(57)【要約】【課題】  本発明は、真空雰囲気内で露光を行う露光装置および真空雰囲気内で使用される電子機器に関し、真空チャンバ中の機器の熱対策を効果的に行うことを目的とする。【解決手段】  本発明の露光装置は、ほぼ真空に減圧された空間内で物体に露光光を照射する露光装置であって、内部をほぼ真空に減圧可能な真空チャンバと、前記真空チャンバ中の局所領域と前記真空チャンバ外側との間に媒体を介在させる局所媒体機構とを備えることを特徴とする。本発明の電子機器は、容器内に収納された基板を含み、真空空間内で使用される電子機器であって、前記基板上に配置された電子素子と、前記電子素子と前記容器とを熱的に接続する熱伝導物質とを含むことを特徴とする。【選択図】      図２
2009071055.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ほぼ真空に減圧された空間内で物体に露光光を照射する露光装置であって、
内部をほぼ真空に減圧可能な真空チャンバと、
前記真空チャンバ中の局所領域と前記真空チャンバ外側との間に媒体を介在させる局所媒体機構と、
を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
請求項１記載の露光装置において、
前記真空チャンバ内に配置された機器と前記局所媒体機構の媒体との間で熱交換を行うことを特徴とする露光装置。
【請求項３】
請求項２記載の露光装置において、
前記機器が少なくとも部分的に前記媒体中に配置されることを特徴とする露光装置。
【請求項４】
請求項２記載の露光装置であって、
前記局所媒体機構の流体の熱を前記真空チャンバ外に排熱する排熱機構を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項５】
請求項４記載の露光装置であって、
前記排熱機構は、前記真空チャンバ外側に連通する連通孔を備え、前記媒体として前記連通孔を通る大気が前記真空チャンバ外に開放されることにより排熱を行うことを特徴とする露光装置。
【請求項６】
請求項１記載の露光装置であって、
前記局所媒体機構は、前記真空チャンバ中の局所領域と前記真空チャンバ外との間を連通する連通孔を備え、前記媒体として前記連通孔を通る大気が前記真空チャンバ外に開放されていることを特徴とする露光装置。
【請求項７】
請求項６記載の露光装置であって、
前記真空チャンバ内に配置された機器が少なくとも部分的に前記媒体としての大気中に配置されることを特徴とする露光装置。
【請求項８】
請求項６記載の露光装置であって、
前記真空チャンバ内に配置される機器へ動力を供給する配線または配管が、前記連通孔内に配置されることを特徴とする露光装置。
【請求項９】
請求項１記載の露光装置であって、
前記局所媒体機構は、前記真空チャンバ中の局所領域と前記真空チャンバ外側との間に延在し前記真空チャンバ外側から前記局所領域へ前記媒体を供給する供給管と、前記局所領域と前記真空チャンバ外側との間に延在し前記局所領域から前記真空チャンバ外側へ前記媒体を排出する排出管とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項１０】
請求項９記載の露光装置であって、
前記真空チャンバ内に配置される機器へ動力を供給する配線または配管が、前記供給管内または前記排出管内に配置されることを特徴とする露光装置。
【請求項１１】
請求項２〜５、７、８、１０のいずれか一項に記載の露光装置であって、
前記機器がＣＣＤカメラまたは真空ポンプであることを特徴とする露光装置。
【請求項１２】
容器内に収納された基板を含み、真空空間内で使用される電子機器であって、
前記基板上に配置された電子素子と、
前記電子素子と前記容器とを熱的に接続する熱伝導物質とを含むことを特徴とする電子機器。
【請求項１３】
請求項１２記載の電子機器において、
前記熱伝導物質は、熱伝導性を備えた物質で形成され、一端で前記容器の内面に立設し、他端で前記電子素子と接触し、前記電子素子が配置された前記基板を前記容器内で支持する支持部材を含むことを特徴とする電子機器。
【請求項１４】
請求項１２記載の電子機器において、
前記熱伝導物質は熱伝導グリースであることを特徴とする電子機器。
【請求項１５】
請求項１４記載の電子機器において、
前記熱伝導グリースは絶縁性を備え、前記容器内で少なくとも前記電子素子と前記容器との間に満たされることを特徴とする電子機器。
【請求項１６】
請求項１４記載の電子機器において、
熱伝導性を備えた物質で形成され、一端で前記容器の内面に立設し、他端で前記電子素子が配置された前記基板を前記容器内で支持する支持部材を備え、
前記熱伝導グリースは少なくとも前記電子素子と前記支持部材との間に満たされることを特徴とする電子機器。
【請求項１７】
請求項１５または１６記載の電子機器において、
前記容器が開閉口を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１８】
請求項１２記載の電子機器において、
前記熱伝導物質は熱伝導シートであることを特徴とする電子機器。
【請求項１９】
請求項１２ないし１８のいずれか一項に記載の電子機器において、
前記電子素子は、ＣＣＤであることを特徴とする電子機器。
【請求項２０】
ほぼ真空に減圧された空間内で物体に露光光を照射する露光装置であって、
請求項１２ないし１９のいずれか一項に記載の電子機器と、
内部をほぼ真空に減圧可能な真空チャンバとを備え、
前記真空チャンバ中に前記電子機器を配置することを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空雰囲気内で露光を行う露光装置および真空雰囲気内で使用される電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ＥＢＬ，ＥＰＬ，ＥＵＶＬ等の露光装置では、真空雰囲気内においてウエハへの露光が行われる。そして、真空雰囲気内において露光を行うため、レチクルステージ、投影光学系、ウエハステージ等を真空チャンバ内に収容し、真空チャンバ内を真空排気した状態でウエハへの露光が行われる。
【特許文献１】特開２００１−２８４２４７号公報
【特許文献２】特開２００１−２４４１９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、真空雰囲気内においては、空気の対流を利用して熱を逃がすことができないため、真空チャンバ内の機器の熱対策を効果的に行うことが困難であるという問題があった。
【０００４】
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、真空チャンバ中の機器の熱対策を効果的に行うことができる露光装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１の発明の露光装置は、ほぼ真空に減圧された空間内で物体に露光光を照射する露光装置であって、内部をほぼ真空に減圧可能な真空チャンバと、前記真空チャンバ中の局所領域と前記真空チャンバ外側との間に媒体を介在させる局所媒体機構と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
第２の発明の露光装置は、第１の発明の露光装置において、前記真空チャンバ内に配置された機器と前記局所媒体機構の媒体との間で熱交換を行うことを特徴とする。
【０００７】
第３の発明の露光装置は、第２の発明の露光装置において、前記機器が少なくとも部分的に前記媒体中に配置されることを特徴とする。
【０００８】
第４の発明の露光装置は、第２の発明の露光装置であって、前記局所媒体機構の流体の熱を前記真空チャンバ外に排熱する排熱機構を備えることを特徴とする。
【０００９】
第５の発明の露光装置は、第４の発明の露光装置であって、前記排熱機構は、前記真空チャンバ外側に連通する連通孔を備え、前記媒体として前記連通孔を通る大気が前記真空チャンバ外に開放されることにより排熱を行うことを特徴とする。
【００１０】
第６の発明の露光装置は、第１の発明の露光装置であって、前記局所媒体機構は、前記真空チャンバ中の局所領域と前記真空チャンバ外との間を連通する連通孔を備え、前記媒体として前記連通孔を通る大気が前記真空チャンバ外に開放されていることを特徴とする。
【００１１】
第７の発明の露光装置は、第６の発明の露光装置であって、前記真空チャンバ内に配置された機器が少なくとも部分的に前記媒体としての大気中に配置されることを特徴とする。
【００１２】
第８の発明の露光装置は、第６の発明の露光装置であって、前記真空チャンバ内に配置される機器へ動力を供給する配線または配管が、前記連通孔内に配置されることを特徴とする。
【００１３】
第９の発明の露光装置は、第１の発明の露光装置であって、前記局所媒体機構は、前記真空チャンバ中の局所領域と前記真空チャンバ外側との間に延在し前記真空チャンバ外側から前記局所領域へ前記媒体を供給する供給管と、前記局所領域と前記真空チャンバ外側との間に延在し前記局所領域から前記真空チャンバ外側へ前記媒体を排出する排出管とを有することを特徴とする。
【００１４】
第１０の発明の露光装置は、第９の発明の露光装置であって、前記真空チャンバ内に配置される機器へ動力を供給する配線または配管が、前記供給管内または前記排出管内に配置されることを特徴とする。
【００１５】
第１１の発明の露光装置は、第２〜５、７、８、１０のいずれか１の発明の露光装置であって、前記機器がＣＣＤカメラまたは真空ポンプであることを特徴とする。
【００１６】
第１２の発明の電子機器は、容器内に収納された基板を含み、真空空間内で使用される電子機器であって、前記基板上に配置された電子素子と、前記電子素子と前記容器とを熱的に接続する熱伝導物質とを含むことを特徴とする。
【００１７】
第１３の発明の電子機器は、第１２の発明の電子機器において、前記熱伝導物質は、熱伝導性を備えた物質で形成され、一端で前記容器の内面に立設し、他端で前記電子素子と接触し、前記電子素子が配置された前記基板を前記容器内で支持する支持部材を含むことを特徴とする。
【００１８】
第１４の発明の電子機器は、第１２の発明の電子機器において、前記熱伝導物質は熱伝導グリースであることを特徴とする。
【００１９】
第１５の発明の電子機器は、第１４の発明の電子機器において、前記熱伝導グリースは絶縁性を備え、前記容器内で少なくとも前記電子素子と前記容器との間に満たされることを特徴とする。
【００２０】
第１６の発明の電子機器は、第１４の発明の電子機器において、熱伝導性を備えた物質で形成され、一端で前記容器の内面に立設し、他端で前記電子素子が配置された前記基板を前記容器内で支持する支持部材を備え、前記熱伝導グリースは少なくとも前記電子素子と前記支持部材との間に満たされることを特徴とする。
【００２１】
第１７の発明の電子機器は、第１５または１６の発明の電子機器において、前記容器が開閉口を備えることを特徴とする。
【００２２】
第１８の発明の電子機器は、第１２の発明の電子機器において、前記熱伝導物質は熱伝導シートであることを特徴とする。
【００２３】
第１９の発明の電子機器は、第１２ないし１８のいずれか１の発明の電子機器において、前記電子素子は、ＣＣＤであることを特徴とする。
【００２４】
第２０の発明の電子機器は、ほぼ真空に減圧された空間内で物体に露光光を照射する露光装置であって、第１２ないし１９のいずれか１の発明の電子機器と、内部をほぼ真空に減圧可能な真空チャンバとを備え、前記真空チャンバ中に前記電子機器を配置することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
本発明では、真空チャンバ中の機器の熱対策を効果的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
(第１の実施形態)
図１は本発明の第１の実施形態を模式的に示している。この実施形態では、本発明がＥＵＶ光を使用したＥＵＶ露光装置に適用される。
【００２７】
図１の露光装置は、底部にベースプレート１１を有している。ベースプレート１１は、除振装置１３を介して床１５上に保持されている。ベースプレート１１の上には真空チャンバ１７が配置されている。真空チャンバ１７は直方体状をしており上面部１７ａと側面部１７ｂとを有している。この真空チャンバ１７の内部は真空ポンプ(不図示)により真空引きされ真空に保たれている。
【００２８】
真空チャンバ１７内には架台１９が水平に配置されている。架台１９は除振装置２１を介して真空チャンバ１７に保持されている。除振装置２１は、真空チャンバ１７の側面部１７ｂから内側に伸びた梁２３と架台１９との間に配置されている。
【００２９】
架台１９には照明光学系２５および投影光学系２７が配置されている。照明光学系２５および投影光学系２７は架台１９を上下方向に貫通して配置され架台１９に固定されている。照明光学系２５の下部２５ａは真空チャンバ１７の側面部１７ｂを貫通して真空チャンバ１７の外部に延存されている。真空チャンバ１７の外部には、ＥＵＶ光を発生するための光源部２８が配置されている。
【００３０】
投影光学系２７の下方にはウエハステージ２９が配置されている。ウエハステージ２９はベース部材３１を介してベースプレート１１上に配置されている。投影光学系２７の上方にはレチクルステージ３３が配置されている。レチクルステージ３３は真空チャンバ１７の側面部１７ｂから内側に向かって張り出した梁３５によって支持されている。
【００３１】
架台１９の上面には、レチクルステージ３３側に突出して台座３７が固定されている。台座３７には、オフアクシス方式のレチクル用基準顕微鏡３９が固定されている。レチクル用基準顕微鏡３９によりレチクルステージ３３の下側に固定されているレチクルＲの基準マークを検出することによりレチクルＲのアライメントが行われる。
【００３２】
レチクル用基準顕微鏡３９は、図２に示すように、光学系部４１、撮像部４３を有している。光学系部４１は、ケーシング４４、レンズ４５，４７、反射鏡４９を有している。光学系部４１は、レンズ４５によりレチクルＲの基準マークを拡大する。反射鏡４９は、レンズ４５からの光を直角方向に反射しレンズ４７に入射する。
【００３３】
撮像部４３は、ケーシング５１、ＣＣＤカメラ５３を有している。
【００３４】
ケーシング５１の光学系部４１側には、窓部５５が形成されている。窓部５５は、透明のガラス部材５７により密閉されている。ケーシング５１内には、ＣＣＤカメラ５３が収容されている。ＣＣＤカメラ５３は、カメラ筐体５９、ＣＣＤ６１、ＣＣＤ基板６３、駆動基板６５、配線６７を有している。ＣＣＤ６１は、光学系部４１からの像を撮像する。ＣＣＤ基板６３、駆動基板６５はＣＣＤ６１の駆動、画像処理等を行う。
【００３５】
ケーシング５１には、ＣＣＤカメラ５３の配線６７を、真空チャンバ１７の外部に導出するための配線導出機構６９が接続されている。ここで配線６７とは、電力線、信号線等をいう。また、ケーシング５１には、ケーシング５１内の熱を真空チャンバ１７の外部に排出するための排熱機構７１が接続されている。ケーシング５１内の熱は、ＣＣＤ６１、ＣＣＤ基板６３、駆動基板６５を熱源として発生する。
【００３６】
具体的には、ケーシング５１には、３箇所の貫通穴５１ａ，５１ｂ，５１ｃが形成されている。各貫通穴５１ａ，５１ｂ，５１ｃには、管継手Ａ１，Ａ２，Ａ３が気密に固定されている。一方、真空チャンバ１７には、真空チャンバ１７の内部と外部とを連通する３箇所の連通孔１７ｃ，１７ｄ，１７ｅが形成されている。そして、各連通孔１７ｃ，１７ｄ，１７ｅには、管継手Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３が気密に挿通されている。
【００３７】
配線導出機構６９は、管継手Ａ１と管継手Ｂ１との間に気密に連結される導管Ｃ１、管継手Ｂ１の外側に気密に連結される導管Ｃ２を有している。そして、ＣＣＤカメラ５３の配線６７を、管継手Ａ１、導管Ｃ１、管継手Ｂ１、導管Ｃ２に挿通することにより、配線６７が真空チャンバ１７の外部に導出されている。
【００３８】
排熱機構７１は、管継手Ａ２と管継手Ｂ２との間に気密に連結される排出管Ｄ１、管継手Ｂ２の外側に気密に連結される排出管Ｄ２を有している。また、管継手Ａ３と管継手Ｂ３との間に気密に連結される供給管Ｅ１、管継手Ｂ３の外側に気密に連結される供給管Ｅ２を有している。排出管Ｄ２の先端には、吸引ポンプ７３が接続されている。そして、吸引ポンプ７３を駆動すると、ケーシング５１内の空気が吸引されケーシング５１内の熱が外部に排熱される。また、ケーシング５１内には、供給管Ｅ１，Ｅ２を介して大気が供給される。
【００３９】
上述した露光装置では、真空チャンバ１７の外側に配置される光源部２８においてターゲット材料をプラズマ化してＥＵＶ光を発生させる。発生したＥＵＶ光は照明光学系２５に導かれ、複数の反射鏡(不図示)により反射されレチクルステージ３３の下側に配置されるレチクルＲの下面に導かれる。レチクルＲは、ＥＵＶ光を反射する多層膜とパターンを形成するための吸収体パターン層を有しており、レチクルＲでＥＵＶ光が反射されることによりＥＵＶ光はパターン化される。パターン化されたＥＵＶ光は、投影光学系２７の複数のミラー(不図示)により順次反射されて、レチクルパターンの縮小された像をウエハＷ上に形成する。ウエハＷ上のダイを露光するときには、ＥＵＶ光がレチクルＲの所定の領域に照射され、レチクルＲとウエハＷは投影光学系２７に対して投影光学系２７の縮小率に従った所定の速度で動く。このようにして、レチクルパターンはウエハＷ上の所定の露光範囲（ダイに対して）に露光される。
【００４０】
上述した露光装置では、真空チャンバ１７内に配置されるＣＣＤカメラ５３をケーシング５１内に収容し、ケーシング５１内を排熱機構７１により排熱するようにしたので、ＣＣＤカメラ５３のＣＣＤ６１、ＣＣＤ基板６３、駆動基板６５から発生する熱を効果的に除去することができる。また、ＣＣＤカメラ５３から発生するアウトガスを効果的に除去することができる。従って、通常、大気中で使用されるＣＣＤカメラ５３を真空中で使用することが可能になる。
(第２の実施形態)
図３は本発明の第２の実施形態を模式的に示している。なお、この実施形態において第１の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００４１】
図３の露光装置では、真空チャンバ１７の内部が、ターボ分子ポンプＰ１およびドライポンプＰ２を介して真空引きされる。また、投影光学系(図１の符号２７)がチャンバ７５内に収容され、チャンバ７５の内部がターボ分子ポンプＰ３およびドライポンプＰ２を介して差動排気される。これによりチャンバ７５内をより高い真空度に維持することができる。ターボ分子ポンプＰ１およびドライポンプＰ２は、真空チャンバ１７の外部に配置されている。
【００４２】
ターボ分子ポンプＰ３は、真空チャンバ１７の内部に配置されている。ターボ分子ポンプＰ３は、架台１９の下側にダクト部材７７を介して固定されている。ダクト部材７７は、チャンバ７５内に気密に開口している。
【００４３】
ターボ分子ポンプＰ３は、図４に示すように、ケーシング７９内に収容されている。
【００４４】
ケーシング７９のダクト部材７７側には、開口部７９ａが形成されている。開口部７９ａは、ダクト部材７７の開口部７７ａに連通されている。ケーシング７９は、シール部材Ｓ１を介してダクト部材７７に気密に固定されている。ケーシング７９の開口部７９ａの下側には、ターボ分子ポンプＰ３が、シール部材Ｓ２を介して気密に固定されている。
【００４５】
ケーシング７９には、ケーシング７９内の熱を真空チャンバ１７の外部に排出するための排熱機構７１Ａが接続されている。ケーシング７９内の熱は、ターボ分子ポンプＰ３内に配置されるモータ(不図示)、電気基板(不図示)等を熱源として発生する。また、ケーシング７９には、ターボ分子ポンプＰ３で真空引きされたチャンバ７５内の空気を排気する排気機構８１が接続されている。さらに、ケーシング７９には、ターボ分子ポンプＰ３の配線６７Ａを、真空チャンバ１７の外部に導出するための配線導出機構６９Ａが接続されている。なお、配線導出機構６９Ａには、ターボ分子ポンプＰ３のモータ(不図示)を冷却する冷却水を供給する供給管８３と、モータ(不図示)を冷却した冷却水を戻す戻し管８５が収納されている。
【００４６】
具体的には、ケーシング７９には、４箇所の貫通穴７９ａ，７９ｂ，７９ｃ，７９ｄが形成されている。各貫通穴７９ａ，７９ｂ，７９ｃ，７９ｄには、管継手Ａ４，Ａ５，Ａ６，Ａ７が気密に固定されている。一方、真空チャンバ１７には、真空チャンバ１７の内部と外部とを連通する４箇所の連通孔１７ｆ，１７ｇ，１７ｈ，１７ｉが形成されている。そして、各連通孔１７ｆ，１７ｇ，１７ｈ，１７ｉには、管継手Ｂ４，Ｂ５，Ｂ６，Ｂ７が気密に挿通されている。
【００４７】
排熱機構７１Ａは、管継手Ａ４と管継手Ｂ４との間に気密に連結される排出管Ｄ１、管継手Ｂ４の外側に気密に連結される排出管Ｄ２を有している。また、管継手Ａ５と管継手Ｂ５との間に気密に連結される供給管Ｅ１、管継手Ｂ５の外側に気密に連結される供給管Ｅ２を有している。排出管Ｄ２の先端には、吸引ポンプ７３が接続されている。そして、吸引ポンプ７３を駆動すると、ケーシング７９内の空気が吸引されケーシング７９内の熱が外部に排熱される。また、ケーシング７９内には、供給管Ｅ１，Ｅ２を介して大気が供給される。
【００４８】
排気機構８１は、管継手Ａ６と管継手Ｂ６との間に気密に連結される排気管Ｆ１、管継手Ｂ６の外側に気密に連結され、ドライポンプＰ２に接続される排気管Ｆ２を有している。そして、ターボ分子ポンプＰ３の排気管Ｆ３が管継手Ａ６に接続されている。
【００４９】
配線導出機構６９Ａは、管継手Ａ７と管継手Ｂ７との間に気密に連結される導管Ｇ１、管継手Ｂ７の外側に気密に連結される導管Ｇ２を有している。そして、ターボ分子ポンプＰ３の配線６７Ａを、管継手Ａ７、導管Ｇ１、管継手Ｂ７、導管Ｇ２に挿通することにより、配線６７Ａが真空チャンバ１７の外部に導出されている。また、導管Ｇ１，Ｇ２には、ターボ分子ポンプＰ３のモータ(不図示)を冷却するための供給管８３および戻し管８５が収容される。
【００５０】
上述した露光装置では、真空チャンバ１７内に配置されるターボ分子ポンプＰ３をケーシング７９内に収容し、ケーシング７９内を排熱機構７１Ａにより排熱するようにしたので、ターボ分子ポンプＰ３のモータ、電気基板等から発生する熱を効果的に除去することができる。また、ターボ分子ポンプＰ３から発生するアウトガスを効果的に除去することができる。従って、通常、大気中で使用されるターボ分子ポンプＰ３を真空中で使用することが可能になる。
(第３の実施形態)
図５は本発明の第３の実施形態を模式的に示している。なお、この実施形態において第１の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００５１】
図５のＣＣＤカメラ５３Ａは、ケーシング５９Ａを有している。ケーシング５９Ａは、熱伝導性の良好な金属等の物質からなる。ケーシング５９Ａには、被写体光を入射するための窓部５５が形成されている。窓部５５は、透明のガラス部材５７により形成されている。ケーシング５９Ａ内には、ＣＣＤ６１、ＣＣＤ基板６３および駆動基板６５が収容されている。ＣＣＤ基板６３上にＣＣＤ６１が配置されている。ＣＣＤ基板６３と駆動基板６５とは、配線６７により接続されている。配線６７は、配線導出部８７を介してケーシング５９Ａ外に導出されている。ケーシング５９Ａには、ケーシング５９Ａ内にＣＣＤ基板６３、駆動基板６５等を組み込むための開閉部８９が開閉可能に形成されている。
【００５２】
ケーシング５９Ａには、ケーシング５９Ａ内に熱伝導性グリースＧを供給するためのグリース供給部９１が配置されている。ケーシング５９Ａ内には、熱伝導性グリースＧが充填される。熱伝導性グリースＧは、ＣＣＤ６１、ＣＣＤ基板６３、駆動基板６５等の全体を覆うため絶縁タイプのものが良い。例えば、熱伝導フィラとして、絶縁性の酸化金属類やベースオイルを使用したものが挙げられる。
【００５３】
上述したＣＣＤカメラ５３Ａでは、ＣＣＤ６１、ＣＣＤ基板６３、駆動基板６５で発生した熱は、熱伝導性グリースＧを介してケーシング５９Ａに伝達される。従って、ＣＣＤカメラ５３Ａを真空中で使用する場合にも、ＣＣＤ６１、ＣＣＤ基板６３、駆動基板６５で発生した熱をケーシング５９Ａに効果的に伝達することができる。
【００５４】
そして、上述したＣＣＤカメラ５３Ａは、例えば、図２に示した撮像部４３として、熱伝導性の金属からなる台座３７上に直接固定されて使用される。従って、ケーシング５９Ａに伝達された熱は、台座３７、架台１９等を介して真空チャンバ１７に伝達され外部に放熱される。
(第４の実施形態)
図６は本発明の第４の実施形態を模式的に示している。なお、この実施形態において第３の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００５５】
図６のＣＣＤカメラ５３Ｂは、ケーシング５９Ａ内に支持部材９３，９４，９５を有している。支持部材９３，９４，９５は、熱伝導性の良好な金属等の物質からなる。支持部材９３，９４，９５は、ケーシング５９Ａの内面に密着して立設されている。支持部材９３には、ＣＣＤ基板６３が支持されている。また、支持部材９３は、ＣＣＤ６１に接触している。支持部材９４には、駆動基板６５Ａが熱伝導性グリースＧを介して支持され、支持部材９５には、駆動基板６５Ｂが熱伝導性グリースＧを介して支持されている。
【００５６】
この実施形態では、ＣＣＤ６１、ＣＣＤ基板６３で発生した熱は、支持部材９３を介してケーシング５９Ａに伝達される。また、駆動基板６５Ａ，６５Ｂで発生した熱は、熱伝導性グリースＧ、支持部材９４，９５を介してケーシング５９Ａに伝達される。従って、ＣＣＤカメラ５３Ｂを真空中で使用する場合にも、ＣＣＤ６１、ＣＣＤ基板６３、駆動基板６５Ａ，６５Ｂで発生した熱をケーシング５９Ａに効果的に伝達することができる。
【００５７】
また、ＣＣＤ６１に支持部材９３を直接接触するようにしたので、ＣＣＤ６１からの発熱をケーシング５９Ａに効果的に伝達することができる。
(第５の実施形態)
図７は本発明の第５の実施形態を模式的に示している。なお、この実施形態において第４の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００５８】
図７のＣＣＤカメラ５３Ｃでは、支持部材９７には、ＣＣＤ基板６３が支持されている。そして、支持部材９７とＣＣＤ６１との間には、熱伝導性グリースＧが充填されている。
【００５９】
この実施形態では、ＣＣＤ６１で発生した熱は、熱伝導性グリースＧ、支持部材９７を介してケーシング５９Ａに伝達される。従って、ＣＣＤ６１からの発熱をケーシング５９Ａに効果的に伝達することができる。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではない。
【００６０】
(１)上述した第１の実施形態では、本発明をレチクル用基準顕微鏡３９に適用した例について説明したが、例えば、ウエハ用基準顕微鏡、レチクル用オートフォーカス、ウエハ用オートフォーカス等の光学モジュール、あるいは、光学モジュール以外の機器に広く適用することができる。
【００６１】
(２)上述した第１および第２の実施形態では、ケーシング５１，７９内に大気を導入して排熱を行った例について説明したが、例えば、二酸化炭素、水等の媒体を導入して排熱を行っても良い。
【００６２】
(３)上述した第３ないし第５の実施形態では、熱伝導性物質に熱伝導性グリースＧを用いた例について説明したが、例えば、熱伝導性シートを用いても良い。
【００６３】
(４)上述した第３ないし第５の実施形態では、ケーシング５９Ａの熱を台座３７を介して放熱した例について説明したが、例えば、ケーシング５９Ａの熱をヒートパイプを介して放熱するようにしても良い。
【００６４】
(５)上述した実施形態では、ＥＵＶ光を用いた露光装置に本発明を適用した例について説明したが、本発明は、真空雰囲気内で露光を行う露光装置に広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第１の実施形態の露光装置を示す説明図である。
【図２】図１のレチクル用基準顕微鏡の詳細を示す説明図である。
【図３】本発明の第２の実施形態の露光装置を示す説明図である。
【図４】図３のターボ分子ポンプの詳細を示す説明図である。
【図５】本発明の第３の実施形態のＣＣＤカメラを示す説明図である。
【図６】本発明の第４の実施形態のＣＣＤカメラを示す説明図である。
【図７】本発明の第５の実施形態のＣＣＤカメラを示す説明図である。
【符号の説明】
【００６６】
１７…真空チャンバ、５３，５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃ…ＣＣＤカメラ、６１…ＣＣＤ、６３…ＣＣＤ基板、６７…配線、７１，７１Ａ…排熱機構、８９…開閉部、９３，９４，９５，９７…支持部材、Ｅ１，Ｅ２…供給管、Ｄ１，Ｄ２…排出管、Ｐ３…ターボ分子ポンプ、Ｇ…熱伝導性グリース。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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