(57)【要約】【課題】振動部のエッチングを効率的に短時間で行える圧電振動片ウエハの製造方法の提供。【解決手段】圧電振動片ウエハ１の製造方法は、水晶ウエハの一方の面に複数の凹部１１を形成することにより、凹部１１の底面を振動部１２とする複数の水晶振動片を形成する凹部形成工程と、濃度を変えたエッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃを用いて、各振動部１２のエッチング終了時刻が同じになるように、エッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃを各凹部１１ａ，１１ｂ，１１ｃに投入し、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの厚みＴ１，Ｔ２，Ｔ３が互いに同等となるようにエッチングするエッチング工程と、エッチング終了時刻に、エッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃを除去または中和し、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃのエッチングを一括して終了するエッチング終了工程と、を有することを特徴とする。【選択図】図３
2009111942.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電ウエハの少なくとも一方の面に複数の凹部を形成することにより、前記凹部の底面を振動部とする複数の圧電振動片を形成する凹部形成工程と、
前記各凹部にエッチング液を投入して、前記各振動部の厚みが互いに同等となるようにエッチングするエッチング工程と、
前記各振動部のエッチングを一括して終了するエッチング終了工程と、を有し、
前記エッチング工程で、濃度を変えたエッチング液を用いて、前記各振動部のエッチング終了時刻が同じになるように、前記エッチング液を前記各凹部に投入し、
前記エッチング終了工程で、前記エッチング終了時刻に、前記エッチング液を除去または中和し、前記各振動部のエッチングを一括して終了することを特徴とする圧電振動片ウエハの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電振動片ウエハの製造方法において、前記エッチング工程で、１つの凹部に濃度が異なる複数のエッチング液を投入して混合することにより、任意の濃度のエッチング液を生成して前記各振動部をエッチングすることを特徴とする圧電振動片ウエハの製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の圧電振動片ウエハの製造方法において、前記エッチング工程で、１つの凹部に前記エッチング液と希釈液とを投入して混合することにより、任意の濃度のエッチング液を生成して前記各振動部をエッチングすることを特徴とする圧電振動片ウエハの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電デバイスなどに用いられ、個片化によって圧電振動片となる圧電振動片ウエハの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電デバイスなどに用いられ、個片化によって圧電振動片となる圧電振動片ウエハの製造方法に関して、次のような製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この製造方法は、まず、圧電ウエハの面上にエッチングにより複数の凹陥部（以下、凹部という）を形成することにより、凹部の底面に超薄振動部（以下、振動部という）を形成する。このとき、各振動部の厚みは、ばらついて形成される。
ついで、各振動部の厚みを規定厚みまで減少させるために、個々の凹部に同一エッチングレート（以下、濃度という）のエッチング液を、振動部の厚みを規定厚みまで減少させる量（以下、エッチング量という）の多い順に、一箇所ずつ滴下してエッチングを行う。
ついで、所定時間経過後に、純水などによりエッチング液を一括洗浄してエッチングを終了する。これにより、各振動部の厚みを規定厚みまで減少させている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１０２６５４号公報（段落番号［０００３］〜［０００５］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記製造方法は、個々の凹部に同一濃度のエッチング液を、エッチング量の多い順に一箇所ずつ滴下させ、振動部のエッチングを行う。したがって、この方法では、１つの凹部へエッチング液を滴下してから次の凹部へ移動してエッチング液を滴下するまでの最短の時間（以下、ストロークタイムという）内は、次の凹部の振動部のエッチングができない。
これにより、上記製造方法は、エッチング液の濃度設定の際に、１つの凹部へエッチング液を滴下してから次の凹部へエッチング液を滴下するまでの時間が、エッチング量の差が最も小さい振動部間で、ストロークタイム以上になるように濃度を設定して、エッチングの進行度合いを調整する必要がある。
したがって、振動部間のエッチング量の差が大きくなるに連れて、１つの凹部へエッチング液を滴下してから次の凹部へエッチング液を滴下するまでの時間が長くなっていく。
【０００５】
例えば、濃度がＦ％のエッチング液を用いて、振動部の厚みを規定厚みまで減少させるのに必要なエッチング時間が、１０秒の振動部Ａと９．９秒の振動部Ｂと９秒の振動部Ｃとがある。そして、各振動部が形成されている各凹部間のストロークタイムが０．２秒である場合を想定してみる。
ここで、振動部Ａが形成されている凹部を凹部ａ、振動部Ｂが形成されている凹部を凹部ｂ、振動部Ｃが形成されている凹部を凹部ｃとする。
【０００６】
凹部ａへエッチング液が滴下されてから０．２秒後に凹部ｂへエッチング液が滴下され、凹部ａへエッチング液が滴下されてから１秒後に凹部ｃへエッチング液が滴下される。
これにより、凹部ｂは、エッチング液の滴下のタイミングが、本来のタイミングである凹部ａへエッチング液が滴下されてから０．１秒後と比較して、０．１秒遅くなる。
したがって、凹部ａへエッチング液が滴下されてから１０秒後のエッチング終了時に、凹部ｂは、エッチング時間が９．８秒となり、本来のエッチング時間９．９秒に対してエッチング時間が０．１秒不足し、振動部Ｂの厚みを規定厚みまで減少させることができない。
これを回避するためには、エッチング液の濃度をＦ％より薄くして、振動部Ａと振動部Ｂとのエッチング時間の差が、ストロークタイムの０．２秒以上になるようにエッチング時間を長く設定する必要がある。
つまり、Ｆ％より薄い濃度のエッチング液を用いてエッチングの進行を遅くし、少なくとも振動部Ａと振動部Ｂとのエッチング時間を上記の倍の、それぞれ２０秒と１９．８秒とにする必要がある。
一方、これにより振動部Ｃは、エッチング時間が９秒から１８秒へと長くなるとともに、凹部ａへエッチング液が滴下されてから凹部ｃへエッチング液が滴下されるまでの時間が１秒から２秒へと長くなる。
【０００７】
このように、上記製造方法は、エッチング量の差が最も小さい振動部間のエッチング時間の差がストロークタイム以上となるようにエッチング液の濃度を薄く設定することで、圧電振動片ウエハ全体のエッチング時間が長くなるという問題がある。
また、上記製造方法は、１つの凹部へエッチング液を滴下してから次の凹部へエッチング液を滴下するまでの時間が、１つの凹部の振動部のエッチング量と次の凹部の振動部のエッチング量との差に応じて決まる。
このことから、上記製造方法は、１つの凹部との振動部のエッチング量の差が大きい次の凹部では、エッチング液滴下までの待機時間が長くなり、効率的でないという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］本適用例にかかる圧電振動片ウエハの製造方法は、圧電ウエハの少なくとも一方の面に複数の凹部を形成することにより、前記凹部の底面を振動部とする複数の圧電振動片を形成する凹部形成工程と、前記各凹部にエッチング液を投入して、前記各振動部の厚みが互いに同等となるようにエッチングするエッチング工程と、前記各振動部のエッチングを一括して終了させるエッチング終了工程と、を有し、前記エッチング工程で、濃度を変えたエッチング液を用いて、前記各振動部のエッチング終了時刻が同じになるように、前記エッチング液を前記各凹部に投入し、前記エッチング終了工程で、前記エッチング終了時刻に、前記エッチング液を除去または中和し、前記各振動部のエッチングを一括して終了することを特徴とする。
【００１０】
これによれば、圧電振動片ウエハの製造方法は、濃度を変えたエッチング液を用いて、各振動部のエッチング終了時刻が同じになるように、エッチング液を各凹部に投入し、各振動部の厚みが互いに同等となるようにエッチングする。そして、エッチング終了時刻にエッチングを一括して終了する。
このことから、圧電振動片ウエハの製造方法は、例えば、振動部のエッチング量の多い凹部には濃い濃度のエッチング液を投入してエッチングの進行を早くし、振動部のエッチング量の少ない凹部には薄い濃度のエッチング液を投入してエッチングの進行を遅くすることができる。
これにより、圧電振動片ウエハの製造方法は、エッチング液の濃度が一定である従来の製造方法と比較して、圧電振動片ウエハ全体のエッチング時間を短縮することができる。
また、圧電振動片ウエハの製造方法は、濃度を変えたエッチング液を用いてエッチングすることから、各凹部の各振動部のエッチング量の差に拘わらず各凹部に一定のサイクルタイムでエッチング液を投入できる。これにより、圧電振動片ウエハの製造方法は、圧電振動片ウエハを効率的に短時間でエッチングすることが可能となる。
また、圧電振動片ウエハの製造方法は、例えば、同じ厚みの複数の振動部をエッチングする場合、各振動部のストロークタイム分のエッチング量をエッチング液の濃度に反映させて補う。つまり、同じ厚みの複数の振動部の中で、最初の凹部に投入するエッチング液の濃度に対して、以降の凹部に投入するエッチング液の濃度を、各振動部のストロークタイム分のエッチング量に応じて濃くする。
これにより、圧電振動片ウエハの製造方法は、同じ厚みの複数の振動部を、互いに同じ厚みにエッチングすることが可能である。
【００１１】
［適用例２］上記適用例にかかる圧電振動片ウエハの製造方法は、前記エッチング工程で、１つの凹部に濃度が異なる複数のエッチング液を投入して混合することにより、任意の濃度のエッチング液を生成して前記各振動部をエッチングすることが好ましい。
【００１２】
これによれば、圧電振動片ウエハの製造方法は、１つの凹部に濃度が異なる複数のエッチング液を投入して混合することにより、任意の濃度のエッチング液を生成する。
このことから、圧電振動片ウエハの製造方法は、複数のエッチング液から所望の濃度のエッチング液を新たに生成できることで、事前に用意しておくエッチング液の濃度の種類数を、エッチング時の濃度の種類数より少なくすることが可能である。
【００１３】
［適用例３］上記適用例にかかる圧電振動片ウエハの製造方法は、前記エッチング工程で、１つの凹部に前記エッチング液と希釈液とを投入して混合することにより、任意の濃度のエッチング液を生成して前記各振動部をエッチングすることが好ましい。
【００１４】
これによれば、圧電振動片ウエハの製造方法は、１つの凹部にエッチング液と希釈液とを投入して混合することにより、任意の濃度のエッチング液を生成する。
このことから、圧電振動片ウエハの製造方法は、エッチング液と希釈液とから所望の濃度のエッチング液を新たに生成できることで、事前に用意しておくエッチング液の濃度の種類数を、エッチング時の濃度の種類数より少なくすることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態の圧電振動片ウエハの製造方法によって製造された、圧電振動片ウエハとしての水晶振動片ウエハの斜視図である。
図２は、水晶振動片ウエハから個片に分割された、圧電振動片としての水晶振動片の概略構成図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は、（ａ）のＤ−Ｄ線での断面図である。なお、水晶振動片ウエハの分割後の状態である水晶振動片には、理解を容易にするため、両者の共通部分に水晶振動片ウエハと同じ符号を付してある。
【００１６】
図１に示すように、水晶振動片ウエハ１は、水晶の原石からＡＴカットで切り出されて所定の厚みに研磨された圧電ウエハとしての水晶ウエハから形成されている。水晶振動片ウエハ１は、水晶ウエハの一方の面にフォトリソグラフィにより複数の凹部１１が形成され、凹部１１の底面が振動部１２として形成されている。
振動部１２は、厚みが互いに同等となるように調整される。ＡＴカットの水晶ウエハの場合は、振動部１２が厚いほど発振周波数が低くなり、振動部１２が薄いほど発振周波数が高くなる。このことから、水晶振動片ウエハ１は、後述する製造方法により振動部１２の厚みを調整して所望の発振周波数を得る。
【００１７】
図１の水晶振動片ウエハ１に、励振電極が成膜され、ダイシング、チョコレートブレークなどで個片に分割されて、図２に示すような水晶振動片１０が得られる。
図２に示すように、個片に分割された水晶振動片１０は、水晶振動片本体１、励振電極１３，１４から構成されている。
水晶振動片本体１には、上述したように一方の面に凹部１１が形成され、凹部１１の底面が振動部１２となっている。
水晶振動片本体１の一方の面には、スパッタリングなどにより全面に励振電極１３が形成され、他方の面には、スパッタリングなどにより部分的に励振電極１４が形成されている。なお、励振電極１３，１４には、クロムまたはニッケルの下地膜の上に金膜などが形成されている。
【００１８】
水晶振動片１０は、図示しないパッケージに収容され、水晶振動子などの圧電デバイスとして電子機器などに用いられる。
【００１９】
このような、振動部１２の厚みが互いに同等に調整された水晶振動片ウエハ１の製造方法について説明する。
図３、図４は、水晶振動片ウエハ１の製造方法についての説明図である。図３（ａ）は、水晶振動片ウエハ１と、水晶振動片ウエハ１に貼り付けて使用する仕切り板とを模式的に表した展開斜視図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＥ−Ｅ線での断面図に、エッチング工程の様子を模式的に表した説明図である。図４は、エッチング終了工程について模式的に表した説明図である。
【００２０】
水晶振動片ウエハ１の製造方法は、工程順に凹部形成工程、エッチング工程、エッチング終了工程を有する。以下，それぞれの工程について説明する。
【００２１】
［凹部形成工程］
図３（ａ）に示すように、水晶の原石からＡＴカットで切り出されて所定の厚みに研磨された水晶ウエハに、フォトリソグラフィ及びエッチングにより一方の面に複数の凹部１１を形成する。そして、凹部１１の底面が、厚みすべり振動する振動部１２として機能する。
凹部形成工程では、水晶振動片ウエハ１の各振動部１２の厚みを、所望の厚みの規定値に対して厚め（所望の発振周波数に対して低め）になるように形成し、後述するエッチング工程による調整が行えるようにしておく。
【００２２】
［エッチング工程］
エッチング工程では、まず、予め測定された各振動部１２の発振周波数と所望の発振周波数との差を厚みに換算し、各振動部１２のエッチング量を求める。
【００２３】
ついで、エッチング液の投入としてのエッチング液の滴下順序を、各振動部１２のエッチング量が多い凹部１１から少ない凹部１１へ順に滴下していくように決める。
【００２４】
ついで、各振動部１２のエッチング終了時刻が同じになるように、各凹部１１に滴下するエッチング液の濃度を設定する。
【００２５】
ついで、図３（ａ）に示すように、水晶振動片ウエハ１の凹部１１側の面に振動部１２のエッチングの際に、エッチング液が周辺の凹部１１に流入しないように仕切り板２０を接着固定する。
仕切り板２０には、水晶振動片ウエハ１の各凹部１１に対応する位置に、平面視において各凹部１１が露出する形状の貫通孔２１が形成されている。
【００２６】
ついで、上記の手順で設定された各濃度のエッチング液を、決められた滴下順序で各凹部１１へ滴下し、設定されたエッチング終了時刻まで各振動部１２のエッチングを行う。
なお、エッチング液には、フッ化水素酸液、またはフッ化アンモニウムとフッ化水素酸の混合液であるバッファードフッ化水素酸液などのフッ酸含有液を用いる。
エッチングは、水晶振動片ウエハ１の総ての凹部１１の振動部１２に対して行われるが、その内の３つの凹部１１ａ，１１ｂ，１１ｃの振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃを例示して詳述する。
【００２７】
図３（ｂ）に示すように、各凹部１１ａ，１１ｂ，１１ｃの各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃのエッチング量及び各凹部１１ａ，１１ｂ，１１ｃへのエッチング液の滴下順序によってエッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃの濃度を設定する。
ここで、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの厚みＴ１，Ｔ２，Ｔ３は、厚い順に振動部１２ａ、振動部１２ｂ、振動部１２ｃとする。したがって、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの所望の厚みに対するエッチング量は、多い順に振動部１２ａ、振動部１２ｂ、振動部１２ｃとなる。
これにより、まず、エッチング液の滴下順序を、先に滴下する順に凹部１１ａ、凹部１１ｂ、凹部１１ｃと決める。
【００２８】
ついで、エッチング液の濃度を、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃのエッチング終了時刻が同じになるように設定する。
このとき、振動部１２ｂよりエッチング量の多い振動部１２ａのエッチング液３０ａの濃度は、振動部１２ｂのエッチング液３０ｂより濃く設定する。
また、振動部１２ｂよりエッチング量の少ない振動部１２ｃのエッチング液３０ｃの濃度は、振動部１２ｂのエッチング液３０ｂより薄く設定する。
これにより、振動部１２ａは、エッチングの進行が振動部１２ｂより早くなり、振動部１２ｃは、エッチングの進行が振動部１２ｂより遅くなる。
【００２９】
ついで、濃度が設定されたエッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃを上記の順序で凹部１１ａ、凹部１１ｂ、凹部１１ｃへ滴下し、振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃをエッチング終了時刻までエッチングする。
【００３０】
これにより、エッチング終了時刻には、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの厚みＴ１，Ｔ２，Ｔ３が、所望の厚みの規定値に収まるようにエッチングされる。
なお、エッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃを設定した濃度とするための濃度調整は、エッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃの滴下前に予め行っておく。
【００３１】
ここで、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの厚みＴ１，Ｔ２，Ｔ３が同じ（エッチング量が同じ）場合における、エッチング液の滴下順序を、先に滴下する順に凹部１１ａ、凹部１１ｂ、凹部１１ｃとしたときの、各エッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃの濃度の設定について説明する。
【００３２】
エッチング液３０ａの濃度は、エッチング量、エッチング時間に合わせて適宜設定する。
エッチング液３０ｂの濃度は、ディスペンサ４０が凹部１１ａの位置から凹部１１ｂの位置へ移動するとともに、エッチング液を３０ａから３０ｂに変える時間であるストロークタイムＳ１の間に進むエッチング量を補うため、エッチング液３０ａより濃く設定する。
エッチング液３０ｃの濃度は、ディスペンサ４０が凹部１１ａの位置から凹部１１ｂの位置、凹部１１ｂの位置から凹部１１ｃの位置へ移動するとともに、エッチング液を３０ａから３０ｂ、３０ｂから３０ｃに変える時間であるストロークタイムＳ２の間に進むエッチング量を補うため、エッチング液３０ｂより濃く設定する。
これにより、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃは、互いに同じ厚みで、所望の厚みの規定値に収まるようにエッチングされる。
【００３３】
ここで、エッチング時間の長さについて従来技術と本実施形態とを具体的に比較してみる。
【００３４】
従来技術では、濃度がＦ％のエッチング液でエッチング時間が１０秒の振動部Ａと９．９秒の振動部Ｂと９秒の振動部Ｃとが、０．２秒のストロークタイムによって、Ｆ％より薄い濃度のエッチング液で振動部Ａと振動部Ｂと振動部Ｃとのエッチング時間を、２０秒と１９．８秒と１８秒とにしていた。つまり、全体のエッチング時間としては、２０秒間であった。
【００３５】
本実施形態では、各凹部間におけるエッチング液の滴下から滴下までの時間を、ストロークタイムと同じ０．２秒間隔に設定する。
振動部Ａとしての振動部１２ａを、エッチング液３０ａの濃度をＦ％として、１０秒で所定の量をエッチングする。
振動部Ｂとしての振動部１２ｂを、エッチング液３０ｂの濃度をＦ％より濃いＧ％にして、９．８秒で所定の量をエッチングする。
振動部Ｃとしての振動部１２ｃを、エッチング液３０ｃの濃度をＦ％より薄いＨ％にして、９．６秒で所定の量をエッチングする。
この結果、本実施形態では、従来技術と比較して、全体のエッチング時間を２０秒から１０秒に短縮することができる。
【００３６】
エッチング工程は、上記のようにエッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃの濃度を設定することにより、エッチング時間を従来技術より短く設定することができる。
【００３７】
［エッチング終了工程］
上記エッチング工程後に、エッチングを一括して終了させるエッチング終了工程について説明する。なお、エッチング終了工程は、水晶振動片ウエハ１の総ての凹部１１に対して一括して行われるが、ここでは、エッチング工程で説明した３つの凹部１１ａ，１１ｂ，１１ｃを例示して説明する。
【００３８】
図４に示すように、エッチング終了工程では、振動部１２ａのエッチング開始から所定時間経過後のエッチング終了時刻に、シャワー洗浄装置５０を用いて純水によるシャワー洗浄を行う。これにより、各凹部１１ａ，１１ｂ，１１ｃに滴下されたエッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃ（図３参照）を除去し、エッチングを一括して終了させる。
これにより、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃのエッチング後の厚みＴ１’，Ｔ２’，Ｔ３’が、所望の厚みの規定値に収まる。他の凹部１１に滴下されたエッチング液も同様に除去することで、水晶振動片ウエハ１の総ての振動部１２の厚みが、所望の厚みの規定値に収まる。
【００３９】
エッチング終了工程後は、接着剤剥離用の溶剤を用いて水晶振動片ウエハ１から仕切り板２０を剥離し、水晶振動片ウエハ１の両面に、図２に示すような励振電極１３，１４を形成し、個片に分割して水晶振動片１０を得る。
【００４０】
上述したように、第１の実施形態の圧電振動片ウエハの製造方法（以下、第１の製造方法という）は、水晶振動片ウエハ１の各凹部１１ａ，１１ｂ，１１ｃに、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃのエッチング量及びエッチング液の滴下順序によって濃度を設定したエッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃを順次滴下する。このとき、第１の製造方法は、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃのエッチング終了時刻が同じになるように濃度を設定する。
そして、第１の製造方法は、エッチングにより各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの厚みＴ１，Ｔ２，Ｔ３を互いに同等にして、所定時間経過後のエッチング終了時刻にエッチングを一括して終了させる。
【００４１】
このことから、第１の製造方法は、エッチング量の多い振動部１２ａが形成された凹部１１ａには、濃い濃度のエッチング液３０ａを滴下してエッチングの進行を早くすることができる。そして、エッチング量の少ない振動部１２ｃが形成された凹部１１ｃには、薄い濃度のエッチング液３０ｃを滴下してエッチングの進行を遅くすることができる。
これにより、第１の製造方法は、エッチング液の濃度が一定である従来の製造方法と比較して、水晶振動片ウエハ１全体のエッチング時間を短縮することができる。
【００４２】
また、第１の製造方法は、エッチング量及びエッチング液の投入順序によって濃度を変えたエッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃを用いてエッチングすることから、各凹部１１ａ，１１ｂ，１１ｃにエッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃを一定のサイクルタイムで投入できる。これにより、第１の製造方法は、水晶振動片ウエハ１を効率的に短時間でエッチングすることが可能となる。
【００４３】
また、第１の製造方法は、例えば、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃが同じ厚みの場合、ストロークタイムＳ１，Ｓ２分のエッチング量をエッチング液３０ｂ，３０ｃの濃度を濃くして補うことで、互いに同じ厚みにエッチングすることができる。
【００４４】
なお、第１の製造方法は、エッチング終了工程で純水によるシャワー洗浄を行ったが、純水槽に浸漬して洗浄を行ってもよい。また、中和液によりエッチング液３０ａ，３０ｂ，３０ｃを中和してエッチングを終了させてもよい。
なお、第１の製造方法は、仕切り板２０を用いてエッチングを行ったが、仕切り板２０を用いなくてもよい。また、第１の製造方法は、エッチング液の滴下順序をエッチング量が多い凹部１１から少ない凹部１１へ順に滴下していく順序としたが、任意の順序としてもよい。例えば、凹部１１の配列順としてもよい。
【００４５】
（第２の実施形態）
ここで、第２の実施形態の圧電振動片ウエハの製造方法について、図５に基づいて説明する。
図５は、第２の実施形態の圧電振動片ウエハの製造方法について、エッチング工程を模式的に説明する説明図である。
第２の実施形態の圧電振動片の製造方法（以下、第２の製造方法という）は、第１の製造方法と比較して、エッチング工程におけるエッチング液の濃度調整が異なる。ここでは、この点を中心に説明する。
【００４６】
第１の製造方法では、エッチング液の濃度がエッチング液の滴下前に予め調整されていた。これに対して第２の製造方法では、図５に示すように、１つの凹部１１に濃度が異なる複数のエッチング液を滴下して混合することで、エッチング液の濃度調整を行う。これにより、第２の製造方法は、任意の濃度としての所望する濃度のエッチング液を生成でき、このエッチング液を用いてエッチングすることができる。
【００４７】
以下に、第２の製造方法におけるエッチング液の濃度調整方法を詳述する。
ここで、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの厚みＴ１，Ｔ２，Ｔ３は、第１の製造方法と同様に、厚い順に振動部１２ａ、振動部１２ｂ、振動部１２ｃとする。したがって、エッチング量は、多い順に振動部１２ａ、振動部１２ｂ、振動部１２ｃとなる。
これにより、エッチング液の滴下順序は、先に滴下する順に凹部１１ａ、凹部１１ｂ、凹部１１ｃとなる。
【００４８】
まず、エッチング液３０ｄと、エッチング液３０ｄより濃い濃度のエッチング液３０ｅを用意する。
ついで、図５（ａ）に示すように、エッチング液３０ｄを凹部１１ａ、凹部１１ｂ、凹部１１ｃの順に滴下する。このとき、それぞれの滴下量は、それぞれの所望の濃度に応じて、凹部１１ａは、凹部１１ｂより少なく、凹部１１ｃは、凹部１１ｂより多くする。
ついで、図５（ｂ）に示すように、エッチング液３０ｅを凹部１１ａ、凹部１１ｂ、凹部１１ｃの順に滴下する。このとき、それぞれの滴下量は、それぞれの所望の濃度に応じて、凹部１１ａは、凹部１１ｂより多く、凹部１１ｃは、凹部１１ｂより少なくする。
ついで、矢印の方向に水晶振動片ウエハ１を揺動させて、エッチング液３０ｄとエッチング液３０ｅとを混合する。
これにより、図５（ｃ）に示すように、それぞれの所望の濃度のエッチング液３０ｆ，３０ｇ，３０ｈが生成される。
【００４９】
このとき、エッチング量が振動部１２ｂより多い振動部１２ａ用のエッチング液３０ｆの濃度は、振動部１２ｂ用のエッチング液３０ｇの濃度より濃くなる。また、エッチング量が振動部１２ｂより少ない振動部１２ｃ用のエッチング液３０ｈの濃度は、振動部１２ｂ用のエッチング液３０ｇの濃度より薄くなる。
これにより、振動部１２ａは、エッチングの進行が振動部１２ｂより早くなり、振動部１２ｃは、エッチングの進行が振動部１２ｂより遅くなる。このことから、エッチング終了時刻には、各振動部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの厚みＴ１，Ｔ２，Ｔ３が、所望の厚みの規定値に収まる。
なお、上記各濃度は、エッチング液３０ｄの滴下とエッチング液３０ｅの滴下とのストロークタイム分（ストロークタイムにおけるエッチング進行量の差）を考慮して決められる。
【００５０】
上述したように、第２の製造方法は、エッチング工程で、１つの凹部１１に濃度が異なる複数のエッチング液３０ｄ，３０ｅを滴下して混合することにより、所望の濃度のエッチング液３０ｆ，３０ｇ，３０ｈを生成することで、エッチング液の濃度調整を行う。
このことから、第２の製造方法は、事前に用意しておくエッチング液の濃度の種類数を、エッチング時の濃度の種類数より少なくできる。
【００５１】
なお、第２の製造方法は、２つのエッチング液３０ｄ，３０ｅの内、濃度が薄いエッチング液３０ｄを先に滴下したが、濃度が濃いエッチング液３０ｅを先に滴下してもよい。なお、２つのエッチング液３０ｄ，３０ｅを混合するまでの間のオーバーエッチングを防止するためには、濃度の薄いエッチング液３０ｄを先に滴下するのが好ましい。
【００５２】
なお、第２の製造方法は、濃度が異なる複数のエッチング液３０ｄ，３０ｅを混合して所望の濃度のエッチング液を生成したが、これに限定するものではない。例えば、１つの凹部１１に１つのエッチング液と希釈液としての純水とを滴下して混合することにより、所望の濃度のエッチング液を生成してもよい。
これによれば、事前に用意しておくエッチング液の濃度の種類数を、エッチング時の濃度の種類数より少なくできる。
なお、この場合、まず純水を滴下しておき、ついでエッチング液を滴下して混合することにより、所望の濃度のエッチング液を生成するのか好ましい。これによれば、純水の滴下から純水とエッチング液とが混合するまでの間は、エッチングが進行せずオーバーエッチングの発生を回避できる。
【００５３】
なお、第１、第２の製造方法は、圧電振動片として水晶振動片を例示したが、これに限定するものではなく、タンタル酸リチウム振動片、ニオブ酸リチウム振動片などの圧電振動片でもよい。また、第１、第２の製造方法は、凹部１１が水晶振動片ウエハ１の一方の面にのみ形成されている場合を例示しているが、凹部１１が一方の面及び他方の面の両面に形成されている場合でも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】第１の実施形態の圧電振動片の製造方法によって製造された水晶振動片ウエハの斜視図。
【図２】第１の実施形態の水晶振動片ウエハから分割された水晶振動片の概略構成図。
【図３】第１の実施形態の水晶振動片ウエハの製造方法についての説明図。
【図４】第１の実施形態の水晶振動片ウエハの製造方法についての説明図。
【図５】第２の実施形態の圧電振動片ウエハの製造方法のエッチング工程についての説明図。
【符号の説明】
【００５５】
１…圧電振動片ウエハとしての水晶振動片ウエハ、１０…水晶振動片、１１，１１ａ，１１ｂ，１１ｃ…凹部、１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ…振動部、１３，１４…励振電極、２０…仕切り板、２１…貫通孔、３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，３０ｅ，３０ｆ，３０ｇ，３０ｈ…エッチング液、４０…ディスペンサ、５０…シャワー洗浄装置、Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ１'，Ｔ２'，Ｔ３'…振動部の厚み。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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