(57)【要約】【課題】セラミック基板に対して短時間で高精度に封止リングを搭載することが可能な封止リング搭載装置を提供する。【解決手段】封止リング搭載装置は、本体１に立設された４本のガイドポスト６にガイドブッシュ５を介して昇降自在に設置されるテーブル２と、テーブル２の上面に載置されたセラミック基板を保持するクランプ３ａ，３ｂと、テーブル２を昇降させるエアシリンダ４ａと、クランプ３ｂを水平移動させるエアシリンダ４ｂとを備え、テーブル２はベース２ａと、分割溝２ｆによって分離されるブロック体２ｂ，２ｃとから構成されている。【選択図】図１
2009111191.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を収納するキャビティを形成するためにセラミック基板上に封止リングを搭載する装置において、本体に昇降自在に設置されるとともに上面に前記セラミック基板が載置されるテーブルと、このテーブルを両側から挟むように前記本体に設置されるとともに上部にそれぞれ保持部が設けられた一対のクランプとを備え、前記保持部は前記クランプを近接させた状態で前記テーブルを上昇させた場合に、前記テーブル上に載置された前記セラミック基板の上面端部に係止することを特徴とする封止リング搭載装置。
【請求項２】
前記テーブルが分割溝によって分離される少なくとも２つのブロック体からなり、このブロック体は水平方向に対する互いの距離を変更可能に設置されることを特徴とする請求項１記載の封止リング搭載装置。
【請求項３】
前記分割溝が平面視略凹凸状をなすことを特徴とする請求項２記載の封止リング搭載装置。
【請求項４】
前記保持部が前記クランプに対して着脱可能に取り付けられることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の封止リング搭載装置。
【請求項５】
前記テーブル上に載置されたセラミック基板を前記テーブルの下方から吸引する吸引手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の封止リング搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミック基板上に金属製の封止リングを搭載する装置に係り、特に、セラミック基板の反りを矯正して封止リングの搭載精度を向上させるとともに処理時間の短縮を可能とした金属リング搭載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
発光ダイオード（ＬＥＤ：Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）などの発光素子は、セラミック基板上に設置された金属製の封止リング等によって形成されるキャビティの内部に収納され、パッケージの状態で各種の基板に実装される。封止リングは発光素子が外部の影響を受けないように封止するだけでなく、発光素子からの出力光を外部に向けて反射するリフレクタとしても使用される。そのため、封止リングの搭載精度が悪いと発光素子を完全に密封することができないだけでなく、リフレクタとしての機能も十分に発揮されないことになる。従って、発光素子収納用パッケージ等においてはセラミック基板に対する封止リングの搭載精度を高めることが重要な課題となっている。
従来、セラミック基板に封止リングを搭載する場合、溝付ローラーを用いてセラミック基板の長辺と短辺を挟み込んで固定する方法が行われていた。ところが、製品の小型化に伴ってセラミック基板が薄型化してきたため、セラミック基板に反りが生じ易くなり、この方法では反りを矯正できないという問題が生じてきた。そこで、近年、セラミック基板の反りを矯正して封止リングをセラミック基板上に高精度に搭載する技術が求められるようになってきた。なお、セラミック基板の反りは重要な問題であるため、封止リングの搭載時に限らず、各種の工程で対策が講じられている。例えば、以下に示すようにセラミック基板の反りを矯正する技術に関して幾つかの発明が開示されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には「電子部品の装着装置」という名称で、電子部品をプリント基板に装着する際に、プリント基板の反りを矯正することで電子部品の位置ずれを防止するとともに装着品質の安定化を図ることができる電子部品の装着装置に関する発明が開示されている。
特許文献１に開示された発明は、装着ヘッドの先端に昇降自在に取り付けられたハウジングブロックと、このハウジングブロックに設けられて電子部品を吸着保持するノズルと、電子部品をプリント基板に装着する装着ツールと、ノズルの周りに配設されたプリント基板押圧部材と、ハウジングブロックの下方に位置してプリント基板を載置する平坦状の載置面を有する基板バックアップブロックとを備えるものである。そして、装着ツールはハウジングブロックに進退自在に支持され、プリント基板押圧部材はハウジングブロックから下方に突出するとともに突出方向に付勢されたことを特徴としている。
このような構造によれば、ハウジングブロックが下降してプリント基板押圧部材がプリント基板に当接すると、プリント基板押圧部材の付勢によってプリント基板が基板バックアップブロックに押圧されるため、基板の反りが矯正される。そして、装着ツールによって電子部品が基板上に装着される。これにより、装着時の電子部品の位置ずれが防止されるため、装着品質の安定化を図ることができる。
【０００４】
また、特許文献２には「スクリーン印刷装置」という名称で、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストをスクリーン印刷する際に、基板の反り変形を矯正してクランプ状態を確実に保持することができるスクリーン印刷装置に関する発明が開示されている。
特許文献２に開示された発明は、板状の弾性金属よりなる矯正部材が装着された反り矯正部を備え、この反り矯正部の自由端部を基板の側端部の上面に当接させ、下方に押さえ付けることによって基板の反り変形を矯正するものである。
このような構造のスクリーン印刷装置においては、安価で簡便な機構によって基板の反り変形を矯正することができる。これにより、基板のクランプ状態が確実に保持される。
【０００５】
特許文献３には「スクリーン印刷装置」という名称で、プリント基板等の回路基板にクリーム半田等のペーストを塗布する際に、反りを矯正した状態で回路基板を把持することができるスクリーン印刷装置に関する発明が開示されている。
特許文献３に開示された発明は、載置手段に載置された回路基板の側面をクランプによって両側から把持するとともに、基板押さえ手段によって回路基板を上面側から押圧するものである。そして、基板押さえ手段に保持された回路基板がクランプの把持方向に移動可能であることを特徴としている。
このような構造によれば、基板押さえ手段によって反りが矯正された状態のまま回路基板をクランプによって把持することができる。
【０００６】
【特許文献１】特開平６−３２６４９９号公報
【特許文献２】特開２００５−２０５６４６号公報
【特許文献３】特開２００７−１６０６９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述の従来技術である特許文献１に開示された発明では、ハウジングブロックにプリント基板押圧部材が取り付けられているため、ハウジングブロックの基板バックアップブロックに対する水平方向の相対的な位置関係を変えると、プリント基板押圧部材がプリント基板を押圧する箇所が変化してしまい反りを十分に矯正できなくなるおそれがある。従って、ハウジングブロックをプリント基板上で水平移動させることができず、一枚の基板上の異なる箇所に同一の電子部品を複数回繰り返して搭載できないという課題があった。
【０００８】
また、特許文献２に開示された発明では、Ｚ軸テーブルの上面からはみ出した基板の側端部が反り矯正部の自由端部によって下方に押さえ付けられる構成となっているため、基板の中央部が盛り上がるように変形してしまい、反り変形の矯正が不十分となるおそれがある。
【０００９】
さらに、特許文献３に開示された発明では、回路基板の側面をクランプが両側から把持する構成となっているため、クランプの押し付け力によって回路基板が変形するおそれがある。
【００１０】
本発明はかかる従来の事情に対処してなされたものであり、セラミック基板に対して短時間で高精度に封止リングを搭載することができる封止リング搭載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明である封止リング搭載装置は、電子部品を収納するキャビティを形成するためにセラミック基板上に封止リングを搭載する装置において、本体に昇降自在に設置されるとともに上面にセラミック基板が載置されるテーブルと、このテーブルを両側から挟むように本体に設置されるとともに上部にそれぞれ保持部が設けられた一対のクランプとを備え、保持部はクランプを近接させた状態でテーブルを上昇させた場合に、テーブル上に載置されたセラミック基板の上面端部に係止することを特徴とするものである。
このような構造の封止リング搭載装置においては、一対のクランプの上部にそれぞれ設けられた保持部とテーブルとでセラミック基板の上面端部が挟み込まれることにより、セラミック基板の反り等による変形が矯正されるという作用を有する。
【００１２】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の封止リング搭載装置において、テーブルが分割溝によって分離される少なくとも２つのブロック体からなり、このブロック体は水平方向に対する互いの距離を変更可能に設置されることを特徴とするものである。
このような構造の封止リング搭載装置においては、２つのブロック体の水平方向の互いの距離を変更することにより、テーブル上面の利用可能な面積が広くなるという作用を有する。
【００１３】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の封止リング搭載装置において、分割溝が平面視略凹凸状をなすことを特徴とするものである。
このような構造の封止リング搭載装置においては、２つのブロック体を離して設置した場合でも両者の間には大きな隙間が形成されないため、セラミック基板がテーブルによって下方から十分に支持されるという作用を有する。また、２つのブロック体の分割面が互いに干渉し合うことによって所望の方向以外へのブロック体の移動が制限されるという作用を有する。
【００１４】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の封止リング搭載装置において、保持部がクランプに対して着脱可能に取り付けられることを特徴とするものである。
このような構造の封止リング搭載装置においては、保持部が破損した場合でも交換が容易である。
【００１５】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の封止リング搭載装置において、テーブル上に載置されたセラミック基板をテーブルの下方から吸引する吸引手段を備えたことを特徴とするものである。
このような構造の封止リング搭載装置においては、セラミック基板がテーブルに吸着固定されるとともに、端部から離れた箇所においてもセラミック基板の変形が矯正されるという作用を有する。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、本発明の請求項１に記載の封止リング搭載装置においては、セラミック基板の反り等による変形が矯正されるため、封止リングの搭載ミスが発生し難い。これにより、封止リングを搭載する作業効率が高まる。すなわち、本発明の封止リング搭載装置によれば、セラミック基板に対して封止リングを正確に、かつ、短時間で搭載することが可能である。
【００１７】
本発明の請求項２に記載の封止リング搭載装置においては、セラミック基板のサイズに応じてテーブルの両側面の間の距離を調節することにより、セラミック基板の側面がテーブルの側面からはみ出すことなく、かつ、テーブルの両側に２つのクランプをそれぞれ近接させた状態でテーブルを上昇させた場合にセラミック基板の上面端部に保持部を確実に係止させるようにすることができる。
【００１８】
本発明の請求項３に記載の封止リング搭載装置によれば、セラミック基板上への封止リングの搭載精度を高めることができる。また、セラミック基板の側面がテーブルの側面からはみ出すことがないように、テーブルの上面にセラミック基板を正確にセットすることが可能である。
【００１９】
本発明の請求項４に記載の封止リング搭載装置においては、保守に要する費用を安くすることができる。また、例えば、突出長さの異なる数種類の保持部を予め用意しておき、処理対象のセラミック基板のサイズに応じて適宜保持部を交換することにより、セラミック基板に対する保持部の係止をより確実なものとすることができる。
【００２０】
本発明の請求項５に記載の封止リング搭載装置によれば、セラミック基板の反り等による変形をより一層低減して、封止リングの搭載精度を高めることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に、本発明の最良の実施の形態に係る封止リング搭載装置の実施例について説明する。
【実施例１】
【００２２】
本実施例の封止リング搭載装置は、電子部品を収納するキャビティを形成することを目的として、略矩形平板状のセラミック基板の上面にコバール等の金属製の封止リングを搭載するための装置である。セラミック基板はアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などのセラミックの焼結体からなり、量産性を上げるため、通常、一枚のシートに複数の配線基板領域が形成された多数個取り基板の形態で処理される。本実施例の封止リング搭載装置は、このようなセラミック基板に対して複数の封止リングを短時間に正確に搭載できるように、セラミック基板の反りを矯正しつつ封止リングを搭載する構成となっている。以下、図１乃至図６を用いて実施例１の封止リング搭載装置について説明する（特に請求項１乃至請求項４に対応）。
【００２３】
図１（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ本発明の実施の形態に係る封止リング搭載装置の実施例１の側面図及び平面図であり、図２（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ図１（ａ）及び（ｂ）においてセラミック基板を設置した状態を示す図である。また、図３（ａ）は実施例１の封止リング搭載装置においてテーブルの両側にクランプを近接させた状態を示す平面図であり、（ｂ）及び（ｃ）は同図（ａ）に対応する側面図である。さらに、図４（ａ）及び（ｂ）は図３（ａ）のＤ−Ｄ線矢視断面の部分拡大図である。なお、図４（ａ）及び（ｂ）は図３（ｂ）及び（ｃ）の状態にそれぞれ対応している。
図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、本実施例の封止リング搭載装置では本体１の上面にセラミック基板が載置されるテーブル２と、セラミック基板を保持するクランプ３ａ，３ｂと、エアシリンダ４ａ，４ｂが設置されている。
平面視略矩形状をなすテーブル２の４つの角の近傍にはガイドブッシュ５がそれぞれ取り付けられており、テーブル２は、本体１に立設された４本のガイドポスト６にガイドブッシュ５を介して摺動自在に取り付けられている。また、テーブル２の下面略中央部には駆動手段（図示せず）によって駆動されるエアシリンダ４ａが取り付けられており、テーブル２はエアシリンダ４ａの伸縮に伴って昇降する。なお、テーブル２はベース２ａと、分割溝２ｆによって分離されるブロック体２ｂ，２ｃとからなり、ブロック体２ｂ，２ｃはベース２ａの上部にネジ止めされている。また、ブロック体２ｂ，２ｃに形成されたネジ止め用の貫通孔２ｄは長穴となっており、ブロック体２ｃはブロック体２ｂに接触した状態から矢印Ｂで示す方向に、貫通孔２ｄの内部でネジ１０が移動できる分だけ移動可能となっている。すなわち、このような構造のテーブル２においては、ブロック体２ｂに接触した状態でベース２ａにネジ止めされているブロック体２ｃのネジ１０を緩めて、ブロック体２ｃを矢印Ｂの方向に移動させた後、ネジ１０を締めてブロック体２ｃを再度ベース２ａにネジ止めすることにより、セラミック基板をテーブル２の上面に載置する際に利用することができる面積が広くなるという作用を有する。
【００２４】
クランプ３ａは本体１の端部に固定され、クランプ３ａとでテーブル２を両側から挟むクランプ３ｂは、矢印Ａ又は矢印Ｂの方向に対して移動自在に本体１に設置されている。また、クランプ３ｂの側面の両端部近傍には、駆動手段（図示せず）によって駆動されるエアシリンダ４ｂが取り付けられている。すなわち、クランプ３ｂはエアシリンダ４ａの伸縮に伴い、矢印Ａ又は矢印Ｂで示した方向に移動可能となっている。さらに、クランプ３ｂは側面の略中央にボールネジ機構７が取り付けられており、グリップ７ａを回転させてクランプ３ｂの矢印Ａで示した方向への移動量を調節する構造となっている。すなわち、クランプ３ｂの前進限は、ボールネジ機構７によって正確に設定される。
クランプ３ａ，３ｂの幅はテーブル２の幅と略等しく、クランプ３ａ，３ｂはテーブル２の側面２ｅに対して略平行に設置されている。また、クランプ３ａはテーブル２に近接配置されている。さらに、クランプ３ａ，３ｂの上部には保持ブロック８，９が着脱可能にネジ止めされている。そして、保持ブロック８，９の幅はクランプ３ａ，３ｂの幅と略等しく、保持ブロック８，９の側面８ａ，９ａはテーブル２の側面２ｅに対して平行となっている。また、保持ブロック８，９の上端にはテーブル２側に突出する保持部８ｂ，９ｂがそれぞれ形成されている。
【００２５】
図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、セラミック基板１１は、保持ブロック８の側面８ａに側面１１ａが当接した状態でテーブル２上に載置される。この場合、セラミック基板１１の側面１１ｂも保持ブロック９の側面９ａに対して平行となる。このとき、セラミック基板１１の側面１１ａ，１１ｂがテーブル２からはみ出していると、クランプ３ａ，３ｂがセラミック基板１１に近接した際に、セラミック基板１１がクランプ３ａ，３ｂによって両側から押圧されて変形するおそれがある。この場合、封止リングを正確に搭載することが困難となる。また、テーブル２の側面２ｅ，２ｅ間の距離がセラミック基板１１の幅Ｌ１よりも長過ぎると、両側にクランプ３ａ，３ｂを近接した状態でテーブル２を上昇させた場合にセラミック基板１１の上面端部に保持部８ｂ，９ｂが係止しないおそれがある。
【００２６】
セラミック基板１１をテーブル２の上面に載置してエアシリンダ４ｂを駆動させるとクランプ３ｂが矢印Ａの方向に移動する。その結果、図３（ａ）及び（ｂ）に示すようにテーブル２の両側にクランプ３ａ，３ｂがそれぞれ近接した状態となる。この状態で図３（ｃ）に示すように、テーブル２を上昇させると、テーブル２の上面両端に保持部８ｂ，９ｂがそれぞれ係止する。これにより、テーブル２の上面に載置されたセラミック基板１１は保持部８ｂ，９ｂによって上面両端を矢印Ｙで示した方向全体にわたって上部から押圧される。
例えば、図３（ｂ）の状態で図４（ａ）に示すように、セラミック基板１１に反り等による変形が生じている場合でも、テーブル２を矢印Ｃで示す方向に上昇させることにより、セラミック基板１１の端部はブロック体２ｂの上面及び保持部８ｂに挟まれる。これにより、図４（ｂ）に示すようにセラミック基板１１の変形が矯正される。なお、図４を用いて説明したブロック体２ｂと保持ブロック８の上述の作用は、ブロック体２ｃと保持ブロック９においても同様に発揮される。すなわち、本実施例の封止リング搭載装置においては、セラミック基板１１の両端が保持ブロック８，９の保持部８ｂ，９ｂとブロック体２ｂ，２ｃとでそれぞれ挟み込まれることにより、セラミック基板１１の反り等による変形が矯正されるという作用を有する。
【００２７】
テーブル２の作用について図５及び図６を用いてさらに詳しく説明する。
図５（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ図１（ａ）及び（ｂ）においてテーブルを広くした状態を示す図である。また、図６（ａ）及び（ｂ）はテーブルの平面図である。なお、図１及び図２に示した構成要素については同一の符号を付してその説明を省略する。
既に述べたとおり、テーブル２は、ブロック体２ｃを矢印Ａ又は矢印Ｂで示す方向に移動することで側面２ｅ，２ｅ間の距離を調節できるように構成されている。従って、本実施例の封止リング搭載装置においては、セラミック基板１１の幅Ｌ１に応じてテーブル２の側面２ｅ，２ｅ間の距離を調節することにより、セラミック基板１１をテーブル２上に載置した場合に側面１１ａ，１１ｂが側面２ｅ，２ｅからはみ出すことなく、かつ、両側にクランプ３ａ，３ｂを近接させた状態でテーブル２を上昇させた場合に保持部８ｂ，９ｂをセラミック基板１１の上面端部に確実に係止させることが可能である。
例えば、図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、セラミック基板１２の幅Ｌ２が図２に示したセラミック基板１１の幅Ｌ１よりも大きい場合であっても、両者の差がブロック体２ｃの最大移動可能量よりも小さい場合には、ブロック体２ｃを矢印Ｂで示す方向に移動することにより、セラミック基板１２の幅Ｌ２に応じてテーブル２の側面２ｅ，２ｅ間の距離を適切な値に調節することが可能である。
【００２８】
貫通孔２ｄとネジ１０の間にはガタつきがあるため、ブロック体２ｃをブロック体２ｂから離してベース２ａにネジ止めする際に、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、貫通孔２ｄ，２ｄ内のネジ１０，１０はＸ方向に対して位置ずれを生じ、その結果、ブロック体２ｃはブロック体２ｂに対して傾くことになる。また、ブロック体２ｂ，２ｃはＹ方向に対しても位置ずれを生じる。
例えば、図６（ａ）に示すように、分割溝２ｆが平面視直線状に形成されている場合、ブロック体２ｃがブロック体２ｂに対して傾く場合及びブロック体２ｃのブロック体２ｂに対する位置がＹ方向にずれる場合のいずれにおいてもブロック体２ｂ，２ｃの分割面２ｇ，２ｇは互いに干渉し合うことがない。そのため、ブロック体２ｃがブロック体２ｂに対して大きく傾いたり、ブロック体２ｂ，２ｃの互いの位置がＹ方向に対して大きくずれたりするおそれがある。一方、本実施例の封止リング搭載装置においては、テーブル２の分割溝２ｆが平面視凹凸状に形成されている。これにより、図６（ｂ）に示すように、ブロック体２ｂ，２ｃの分割面２ｇ，２ｇの一部がブロック体２ｃのブロック体２ｂに対する傾き及びブロック体２ｂのブロック体２ｃに対するＹ方向の位置ずれを小さく抑えるように互いに干渉し合うため、クランプ３ｂの移動方向以外の方向へのブロック体２ｂ，２ｃの移動が制限される。従って、セラミック基板１１の側面１１ａ，１１ｂがテーブル２の側面２ｅ，２ｅからはみ出さないように、セラミック基板１１をテーブル２の上面に正確にセットすることができる。なお、本願において、凹凸状とは、図６（ｂ）に示されるように矩形状に凹凸に符合する場合をはじめ、例えば三角状すなわちジグザグ状に凹凸を形成してもよいし、波状すなわち円弧を交互に反転させて形成される凹凸であってもよい。分割溝２ｆの凹凸状は、Ｘ方向及びＹ方向に互いに分割面２ｇが接触してクランプ３ｂの移動方向以外の方向へのブロック体２ｂ，２ｃの移動が制限されるような形状を意味するものである。
【００２９】
また、図６（ａ）に示すように、分割溝２ｆが平面視直線状をなしていると、ブロック体２ｃをブロック体２ｂから離して設置した場合に、両者の間に大きな台形状の隙間が形成されることになる。従って、この隙間上に載置されたセラミック基板１２の部分はブロック体２ｂ，２ｃによる下方からの支持が不十分となるおそれがある。
一方、本実施例の封止リング搭載装置ではテーブル２の分割溝２ｆが平面視凹凸状をなしているため、ブロック体２ｃをブロック体２ｂから離して設置した場合でも、両者の間には複数の小さな略四角形状の隙間が互い違いに形成されるのみである。これにより、図６（ａ）の場合とは異なり、この隙間上に載置されたセラミック基板１２の部分はブロック体２ｂ，２ｃによって下方から十分に支持される。従って、セラミック基板１２上への封止リングの搭載精度を高めることができる。
【００３０】
上記構造の封止リング搭載装置によれば、セラミック基板１１の反り変形が矯正されるため、封止リングの搭載ミスを防いで封止リング搭載工程における作業効率を高めることができる。すなわち、本実施例の封止リング搭載装置においては、セラミック基板１１上の所望の箇所に封止リングを正確に、かつ、短時間で搭載することが可能である。また、クランプ３ａ，３ｂに取り付けられた保持ブロック８，９が着脱可能であることから、例えば、突出長さの異なる保持部８ｂ，９ｂを備えた数種類の保持ブロック８，９を予め用意しておいて、処理するセラミック基板１１のサイズに応じて保持ブロック８，９を交換することにより、セラミック基板１１に対する保持ブロック８，９の係止を確実なものとすることができる。また、保持ブロック８，９が破損した場合に簡単に交換できるため、保守に要する費用を安くすることが可能である。
【実施例２】
【００３１】
次に、実施例２の封止リング搭載装置について説明する（特に、請求項５に対応）。なお、実施例１で説明した構成要素については同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施例の封止リング搭載装置は、実施例１の封止リング搭載装置において、テーブル２の下方に吸引手段を設置し、その吸入口を分割溝２ｆから上方に向けて配置したことを特徴とする。
このような構造の封止リング搭載装置においては、テーブル２の上面に載置されたセラミック基板１１が吸引手段によって下方に吸引され、テーブル２の上面に吸着される。従って、セラミック基板１１のテーブル２への固定が確実になされるとともに、分割溝２ｆ付近におけるセラミック基板１１の変形が矯正される。すなわち、本実施例の封止リング搭載装置によれば、セラミック基板１１の変形を実施例１の場合よりもさらに低減することができる。これにより、封止リングの搭載精度が高まる。
【００３２】
なお、本実施例ではクランプ３ａが固定され、クランプ３ｂのみが移動可能となっているが、これに限定されるものではなく、例えば、クランプ３ａも矢印Ａ又は矢印Ｂで示す方向に移動可能な構成としても良い。また、テーブル２やクランプ３ａ，３ｂをエアシリンダ４ａ，４ｂで駆動する代わりに、油圧を用いて駆動することもできる。さらに、ブロック体２ｂ，２ｃをベース２ａにネジ止めする代わりに、ベース２ａにガイド溝を設け、このガイド溝に沿ってブロック体２ｂ，２ｃをスライドする構成としても良い。加えて、分割溝２ｆの形状は本実施例に限定されるものではなく、適宜変更可能である。また、テーブル２を構成するブロック体の数は２つに限らず、３つ以上であっても良い。さらに、封止リングは必ずしも金属製でなくとも良く、例えば、セラミック製であっても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
請求項１乃至請求項５に記載された発明は、セラミック基板に対して、反り等による変形を矯正しつつ、その表面に各種部品を搭載する場合に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ本発明の実施の形態に係る封止リング搭載装置の実施例１の側面図及び平面図である。
【図２】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ図１（ａ）及び（ｂ）においてセラミック基板を設置した状態を示す図である。
【図３】（ａ）は実施例１の封止リング搭載装置においてテーブルの両側にクランプを近接させた状態を示す平面図であり、（ｂ）及び（ｃ）は同図（ａ）に対応する側面図である。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は図３（ａ）のＤ−Ｄ線矢視断面の部分拡大図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ図１（ａ）及び（ｂ）においてテーブルを広くした状態を示す図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）はテーブルの平面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１…本体  ２…テーブル  ２ａ…ベース  ２ｂ，２ｃ…ブロック体  ２ｄ…貫通孔  ２ｅ…側面  ２ｆ…分割溝  ２ｇ…分割面  ３ａ，３ｂ…クランプ  ４ａ，４ｂ…エアシリンダ  ５…ガイドブッシュ  ６…ガイドポスト  ７…ボールネジ機構  ７ａ…グリップ  ８，９…保持ブロック  ８ａ，９ａ…側面  ８ｂ，９ｂ…保持部  １０…ネジ  １１，１２…セラミック基板  １１ａ，１１ｂ…側面  Ａ〜Ｃ…矢印  Ｌ１，Ｌ２…幅  Ｘ，Ｙ…矢印
【図１】
2009111191.tif 000003
【図２】
2009111191.tif 000004
【図３】
2009111191.tif 000005
【図４】
2009111191.tif 000006
【図５】
2009111191.tif 000007
【図６】
2009111191.tif 000008