(57)【要約】【課題】厚膜抵抗体用の導電粉として用いてペーストを得て、該ペーストを焼成して抵抗体としたときに、ペースト中での分散性が良好であり、さらに良好な電気的特性の抵抗体を形成することができ、かつ価格や供給面でも工業的に利用しやすい鉛を含まない導電粉とその製造方法を提供する。【解決手段】導電粉は、組織が化学式：ＩｒＸＲｕ（１−Ｘ）Ｏ２で表され、該式中のｘが０．１〜０．５であるイリジウムルテニウム複合酸化物単相であり、平均粒径が３０〜８０ｎｍであることを特徴とする。また、その製造方法は、塩化ルテニウム酸塩及び／又は酸化ルテニウム粉からなるルテニウム原料と、塩化イリジウム酸塩からなるイリジウム原料を混合し、得られた混合物中のカリウムを全量に対し０．１〜１３質量％含有するように調整した後、該混合物を酸化性雰囲気下に５５０〜１０００℃の温度で焙焼に付すことを特徴とする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的特性に優れる厚膜抵抗体形成用ペーストに用いられるイリジウムルテニウム複合酸化物粉からなる導電粉であって、
組織が化学式：ＩｒＸＲｕ（１−Ｘ）Ｏ２で表され、該式中のｘが０．１〜０．５であるイリジウムルテニウム複合酸化物単相であり、平均粒径が３０〜８０ｎｍであることを特徴とする導電粉。
【請求項２】
塩化ルテニウム酸塩及び／又は酸化ルテニウム粉からなるルテニウム原料と、塩化イリジウム酸塩からなるイリジウム原料を混合し、得られた混合物中のカリウムを全量に対し０．１〜１３質量％含有するように調整した後、該混合物を酸化性雰囲気下に５５０〜１０００℃の温度で焙焼に付すことを特徴とする請求項１に記載の導電粉の製造方法。
【請求項３】
前記塩化イリジウム酸塩は、ヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸アンモニウム及び／又はヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸カリウムであることを特徴とする請求項２に記載の導電粉の製造方法。
【請求項４】
前記塩化ルテニウム酸塩は、ヘキサクロロルテニウム（ＩＶ）酸アンモニウム及び／又はヘキサクロロルテニウム（ＩＩＩ）酸アンモニウムであることを特徴とする請求項２に記載の導電粉の製造方法。
【請求項５】
前記酸化ルテニウム粉の平均粒径は、１０〜６０ｎｍであることを特徴とする請求項２に記載の導電粉の製造方法。
【請求項６】
前記混合物のルテニウムとイリジウムの配合割合は、化学式：ＩｒＸＲｕ（１−Ｘ）Ｏ２で表され、かつ該式中のｘが０．１〜０．５であるイリジウムルテニウム複合酸化物が得られるように、ルテニウム原料とイリジウム原料のそれぞれの原料に含有されるルテニウムとイリジウムのモル比で（１−ｘ）：ｘであることを特徴とする請求項２に記載の導電粉の製造方法。
【請求項７】
カリウムを調整する際に、混合物中に塩化カリウムを添加することを特徴とする請求項２に記載の導電粉の製造方法。
【請求項８】
さらに、前記焙焼により得られる焙焼物を水洗浄に付すことを特徴とする請求項２〜７のいずれかに記載の導電粉の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電粉とその製造方法に関し、さらに詳しくは、厚膜抵抗体用の導電粉として用いてペーストを得て、該ペーストを焼成して抵抗体としたときに、ペースト中での分散性が良好であり、さらに良好な電気的特性の抵抗体を形成することができ、かつ価格や供給面でも工業的に利用しやすい鉛を含まない導電粉とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
厚膜抵抗体は、チップ抵抗器、厚膜ハイブリッドＩＣ及び抵抗ネットワーク等に広く用いられている。厚膜抵抗体の製造方法としては、通常、絶縁体基板の表面に形成された導電体回路パターン又は電極の上に、導電粉を均一に分散させたペーストを印刷し、これを焼成する工程が用いられる。
【０００３】
上記厚膜抵抗体の製造に用いるペーストは、導電粉とガラス結合剤をビヒクルと呼ばれる有機媒体中に均一に分散させることにより製造されている。このうち、導電粉は厚膜抵抗体の電気的特性を決定する最も重要な役割を担い、酸化ルテニウム（ＲｕＯ２）やルテニウム酸鉛（Ｐｂ２Ｒｕ２Ｏ７）の微粉末が広く用いられている。一般に、酸化ルテニウムは低抵抗域から１ｋΩまでの中抵抗値域の広範囲の導電物として使用され、１０ｋΩ以上の高抵抗域では、ルテニウム酸鉛が用いられることが多い。
【０００４】
ところが、近年、電子機器から毒性のある鉛の使用を排除することが求められ、高抵抗領域の厚膜抵抗体用の導電粉として、ルテニウム酸鉛粉に代わる鉛を含有しない導電粉が望まれている。この解決策として、導電粉として、Ｂｉ２Ｒｕ２Ｏ７、ＣａＲｕＯ３、ＳｒＲｕＯ３、ＢａＲｕＯ３、ＬａＲｕＯ３等の化学式で表わされる種々のルテニウム系酸化物粉（例えば、特許文献１参照。）、あるいは、酸化イリジウム（ＩｒＯ２）粉（例えば、特許文献２参照。）が提案されている。
【０００５】
しかしながら、ルテニウム酸鉛粉に代わる導電粉として提案されているルテニウム系酸化物粉では、ペースト化した後、該ペーストを膜状に印刷し焼成して得られた抵抗体の電気的特性が悪く、実用化されるに至ったものはない。一方、酸化イリジウム粉は、ルテニウム酸鉛粉に代わる鉛を含有しない導電粉として有用な特性を有している。ところが、酸化イリジウム粉には、イリジウムがルテニウムに比べて生産量が少なく、価格が不安定であるため、ペースト及び厚膜抵抗体の価格を変動させることになるばかりか供給も不安定であり、ルテニウム酸鉛粉の代替材料として工業的に利用する上で問題がある。
【０００６】
ところで、ルテニウム酸鉛粉の使用されていた高抵抗域のうち、中抵抗側（１０ｋ〜１００ｋΩ）を、従来から低中抵抗域で使用されていた酸化ルテニウム粉の使用領域を高抵抗側に伸ばすということも解決策の１つの方法であり、従来、酸化ルテニウム粉を中抵抗領域で使用できるようにする検討がなされてきた。しかしながら、１０ｋ〜１００ｋΩの抵抗域では、酸化ルテニウム粉を用いた際に、厚膜抵抗体の電気的特性の１つであるノイズが５ｄＢより大きくなるという問題を解決することができなかった。
【０００７】
また、酸化ルテニウム粉と酸化イリジウム粉を混合して使用する方法では、十分な電気的特性を得ようとする際に、混合物は、結果的に酸化イリジウム粉を全量に対し５０質量％を超えて含有することが必要になってしまい、ペースト及び厚膜抵抗体の価格変動の問題を満足させることはできなかった。
【０００８】
以上の状況から、価格及び供給が安定しており、かつ厚膜抵抗体としたときに良好な電気的特性が得られる導電粉とその製造方法が求められている。
【特許文献１】特開２００６−６９８３６号公報（第１頁、第２頁）
【特許文献２】特開２００６−２７３６３６号公報（第１頁、第２頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、上記の従来技術の問題点に鑑み、厚膜抵抗体用の導電粉として用いてペーストを得て、該ペーストを焼成して抵抗体としたときに、ペースト中での分散性が良好であり、さらに良好な電気的特性の抵抗体を形成することができ、かつ価格や供給面でも工業的に利用しやすい鉛を含まない導電粉とその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、上記目的を達成するために、厚膜抵抗体用の導電粉とその製造方法について、鋭意研究を重ねた結果、特定の組成を有する酸化イリジウムと酸化ルテニウムからなる複合粉を導電粉として用いることにより、ペースト中での分散性が良好であり、１０ｋ〜１００ｋΩの抵抗域において良好な電気的特性の抵抗体を形成することができ、かつ工業的に利用し易い導電粉となることを見出し、また、その製造方法として、特定の組成の原料混合物を特定の条件で焙焼に付すことで、上記導電粉が得られることを見出し、これらから本発明を完成した。
【００１１】
すなわち、本発明の第１の発明によれば、電気的特性に優れる厚膜抵抗体形成用ペーストに用いられるイリジウムルテニウム複合酸化物粉からなる導電粉であって、
組織が化学式：ＩｒＸＲｕ（１−Ｘ）Ｏ２で表され、該式中のｘが０．１〜０．５であるイリジウムルテニウム複合酸化物単相であり、平均粒径が３０〜８０ｎｍであることを特徴とする導電粉が提供される。
【００１２】
また、本発明の第２の発明によれば、塩化ルテニウム酸塩及び／又は酸化ルテニウム粉からなるルテニウム原料と、塩化イリジウム酸塩からなるイリジウム原料を混合し、得られた混合物中のカリウムを全量に対し０．１〜１３質量％含有するように調整した後、該混合物を酸化性雰囲気下に５５０〜１０００℃の温度で焙焼に付すことを特徴とする第１の発明の導電粉の製造方法が提供される。
【００１３】
また、本発明の第３の発明によれば、第２の発明において、前記塩化イリジウム酸塩は、ヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸アンモニウム及び／又はヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸カリウムであることを特徴とする導電粉の製造方法が提供される。
【００１４】
また、本発明の第４の発明によれば、第２の発明において、前記塩化ルテニウム酸塩は、ヘキサクロロルテニウム（ＩＶ）酸アンモニウム及び／又はヘキサクロロルテニウム（ＩＩＩ）酸アンモニウムであることを特徴とする導電粉の製造方法が提供される。
【００１５】
また、本発明の第５の発明によれば、第２の発明において、前記酸化ルテニウム粉の平均粒径は、１０〜６０ｎｍであることを特徴とする導電粉の製造方法が提供される。
【００１６】
また、本発明の第６の発明によれば、第２の発明において、前記混合物のルテニウムとイリジウムの配合割合は、化学式：ＩｒＸＲｕ（１−Ｘ）Ｏ２で表され、かつ該式中のｘが０．１〜０．５であるイリジウムルテニウム複合酸化物が得られるように、ルテニウム原料とイリジウム原料のそれぞれの原料に含有されるルテニウムとイリジウムのモル比で（１−ｘ）：ｘであることを特徴とする導電粉の製造方法が提供される。
【００１７】
また、本発明の第７の発明によれば、第２の発明において、カリウムを調整する際に、混合物中に塩化カリウムを添加することを特徴とする導電粉の製造方法が提供される。
【００１８】
また、本発明の第８の発明によれば、第２〜７いずれかの発明において、さらに、前記焙焼により得られる焙焼物を水洗浄に付すことを特徴とする導電粉の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の導電粉は、厚膜抵抗体用の導電粉として用いてペーストを得て、該ペーストを焼成して抵抗体としたときに、良好な電気的特性の抵抗体を形成することができ、かつ主成分としてルテニウムを用いるので、価格および供給面でも工業的に利用し易いものであり、また、その製造方法は、上記導電粉を工業的に効率的に製造することができるので、その工業的価値は極めて大きい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の導電粉とその製造方法を詳細に説明する。
１．導電粉
本発明の導電粉は、電気的特性に優れる厚膜抵抗体形成用ペーストに用いられるイリジウムルテニウム複合酸化物粉からなる導電粉であって、組織が化学式：ＩｒＸＲｕ（１−Ｘ）Ｏ２で表され、該式中のｘが０．１〜０．５であるイリジウムルテニウム複合酸化物単相であり、平均粒径が３０〜８０ｎｍであることを特徴とする。
【００２１】
上記導電粉において、導電粉の組織が化学式：ＩｒＸＲｕ（１−Ｘ）Ｏ２で表されるイリジウムルテニウム複合酸化物単相であることと、該式中のｘが０．１〜０．５であることが重要である。すなわち、酸化ルテニウム（ＲｕＯ２）に酸化イリジウム（ＩｒＯ２）を固溶させて複合酸化物を形成し、しかも複合酸化物単相とすることで、酸化ルテニウム粉の電気特性が改善され、良好な電気特性が得られる。なお、導電粉の組織の妥当性としては、Ｘ線回折で解析した際に、ＩｒＯ２相とＲｕＯ２相のいずれもが見られず、イリジウムルテニウム複合酸化物単相となっていることで確認される。
【００２２】
また、上記式中のｘが０．１〜０．５であることにより、イリジウムの使用量が抑えられるので、酸化イリジウムのみを用いた場合、或いは酸化イリジウムと酸化ルテニウムの混合粉を用いた場合に対し、供給面でも安定し、しかも安価であり、工業的に利用し易いものとなる。ここで、ｘが０．５を超えても、電気的特性に問題はないがイリジウムを多用することになるので、工業的に利用する場合には問題である。したがって、ｘは小さい方が好ましいが、０．１未満では、厚膜抵抗体用の導電粉として用いたときに、電気特性、特にノイズが大きくなるので好ましくない。
【００２３】
上記導電粉の平均粒径としては、３０〜８０ｎｍであり、より好ましくは３０〜６０ｎｍである。これにより、導電粉のペースト中への分散性が良くなり、ノイズが下げられ、良好な電気的特性の抵抗体を形成することができる。すなわち、平均粒径が８０ｎｍを超えると、導電粉を用いてペーストを製造する際に、ペースト中への分散性が悪くなり、ノイズが大きくなってしまう。一方、平均粒径が３０ｎｍ未満では、導電粉の凝集が強くなり、かえってペースト中への分散性が悪くなる。ここで、平均粒径とは、ＢＥＴ法で求めた比表面積より算出された粒径である。
【００２４】
上記のように、上記導電粉は、厚膜抵抗体形成用のペーストの調製において、ガラス結合剤とともに有機ビヒクル中に均一に分散させることができる。そして、得られたペーストを用い、通常の方法にしたがって塗布し、その後焼成することにより、電気特性が優れた厚膜抵抗体を形成することができる。
【００２５】
上記ペーストの調製の方法としては、例えば、導電粉、ガラス結合剤及び有機ビヒクルを混合した後、スリーロールミルなどにより混練、分散して調製する方法が用いられる。ここで、ガラス結合剤としては、ペーストを用いる対象部品や使用条件などに応じて選定され、例えば、ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、ＣａＯなどを含むガラスフリットが用いられる。また、有機ビヒクルとしては、ペーストを用いる対象部品や使用条件などに応じて選定することができ、例えば、セルロース系樹脂などの有機バインダーをターピネオールなどの溶剤に溶解させたものが用いられる。
【００２６】
２．導電粉の製造方法
本発明の導電粉の製造方法は、塩化ルテニウム酸塩及び／又は酸化ルテニウム粉からなるルテニウム原料と、塩化イリジウム酸塩からなるイリジウム原料を混合し、得られた混合物中のカリウムを全量に対し０．１〜１３質量％含有するように調整した後、該混合物を酸化性雰囲気下に５５０〜１０００℃の温度で焙焼に付すことを特徴とする。これによって、電気的特性に優れる厚膜抵抗体形成用ペーストに用いられるイリジウムルテニウム複合酸化物粉からなる導電粉であって、組織が化学式：ＩｒＸＲｕ（１−Ｘ）Ｏ２で表されるイリジウムルテニウム複合酸化物単相であり、該式中のｘが０．１〜０．５であるとともに、平均粒径が３０〜８０ｎｍである本発明の導電粉が得られる。
【００２７】
上記製造方法でルテニウム原料に用いる塩化ルテニウム酸塩としては、特に限定されるものではないが、ヘキサクロロルテニウム（ＩＶ）酸アンモニウム（（ＮＨ４）２ＲｕＣｌ６）又はヘキサクロロルテニウム（ＩＩＩ）酸アンモニウム（（ＮＨ４）３ＲｕＣｌ６）、或いはこれらの混合物が用いられる。これらは、乾燥状態にある粉末が望ましいが、水分を含んだものであってもよい。また、これらの粒径としては、特に限定されるものではなく、乳鉢、ボールミル等を用いた混合に際して、解砕されるものであればよい。
【００２８】
上記製造方法でルテニウム原料に用いる酸化ルテニウム粉としては、特に限定されるものではないが、その平均粒径が大きいと、イリジウム原料と混合後焙焼した際に粒径が大きくなり、所望の粒径の導電粉が得られなくなるので、その平均粒径が小さいものの方が好ましい。例えば、上記酸化ルテニウムの平均粒径としては、１０〜６０ｎｍが好ましく、１０〜３０ｎｍがより好ましい。ここで、平均粒径とは、下記の実施例に記載の測定方法に従って、ＢＥＴ法で求めた比表面積より算出された粒径を意味する。
【００２９】
上記製造方法でイリジウム原料に用いる塩化イリジウム酸塩としては、特に限定されるものではないが、ヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸アンモニウム（（ＮＨ４）２ＩｒＣｌ６）又はヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸カリウム（Ｋ２ＩｒＣｌ６）、或いはこれらの混合物が用いられる。なお、これらは、乾燥状態にある粉末が望ましいが、水分を含んだものであってもよい。また、これらの粒径としては、特に限定されるものではなく、乳鉢、ボールミル等を用いた混合に際して、解砕されるものであればよい。
【００３０】
上記製造方法で用いる塩化ルテニウム酸塩及び／又は酸化ルテニウム粉と塩化イリジウム酸塩からなる混合物のルテニウムとイリジウムの配合割合としては、化学式：ＩｒＸＲｕ（１−Ｘ）Ｏ２で表され、かつ該式中のｘが０．１〜０．５であるイリジウムルテニウム複合酸化物が得られるように、ルテニウム原料とイリジウム原料のそれぞれの原料に含有されるルテニウムとイリジウムのモル比が、（１−ｘ）：ｘで調合される。
【００３１】
上記製造方法に用いる塩化ルテニウム酸塩及び／又は酸化ルテニウム粉と塩化イリジウム酸塩からなる混合物のカリウム含有量としては、カリウムを全量に対し０．１〜１３質量％含有する。すなわち、カリウムの含有量が０．１質量％未満では、焙焼時に導電粉の粒成長が抑制されないので、所望の平均粒径を有する微細な粒子が得られない。一方、カリウムの含有量は、イリジウム原料がヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸カリウムであり、ルテニウム原料が酸化ルテニウムであり、かつｘが０．５であるときに最大となり、１３質量％である。
【００３２】
ここで、カリウムは、上記イリジウム原料とルテニウム原料のいずれかに、若しくは両方に含まれていてもよく、また、カリウム化合物を別途添加することができる。例えば、ヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸アンモニウムをイリジウム原料として用い、かつルテニウム原料がヘキサクロロルテニウム（ＩＶ）酸アンモニウム、ヘキサクロロルテニウム（ＩＩＩ）酸アンモニウム又は酸化ルテニウムのいずれかである場合には、カリウムを添加した後、焙焼する。このとき、添加するカリウムを過剰入れることは不経済なだけであり、上記原料の組合せの場合には１質量％で十分である。
【００３３】
上記カリウムの添加剤としては、特に限定されるものではなく、塩化カリウム、炭酸カリウム、水酸化カリウム、ヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸カリウム（Ｋ２ＩｒＣｌ６）やヘキサクロロルテニウム（ＩＶ）酸カリウム（Ｋ２ＲｕＣｌ６）、ヘキサクロロルテニウム（ＩＩＩ）酸カリウム（Ｋ３ＲｕＣｌ６）等から適宜選択して用いることができる。なお、これらの添加剤の粒径が大きい場合には、乳鉢、ボールミル等で解砕した後使用することが望ましい。
【００３４】
上記製造方法に用いる塩化ルテニウム酸塩及び／又は酸化ルテニウム粉と塩化イリジウム酸塩との混合方法としては、特に限定されるものではなく、乳鉢、ボールミル、シェーカー等の一般的な混合装置が用いられる。なお、カリウムを添加する場合には、上記原料と一緒に上記カリウムの添加剤を混合すればよい。ここで、カリウムの添加剤の粒径が大きい場合には、必要に応じて、乳鉢、ボールミルなどの解砕機能を伴った混合方法を選択すると、カリウム添加剤だけを別途解砕する必要がなく好ましい。
【００３５】
上記製造方法に用いる焙焼方法としては、特に限定されるものではなく、上記イリジウム原料、ルテニウム原料及びカリウムの添加剤との反応性がなく、かつ耐熱性のある容器、例えば、アルミナ製容器の内部に、上記イリジウム原料とルテニウム原料、必要に応じてカリウムの添加剤からなる混合物を入れ、該容器を、管状炉、マッフル炉等の一般的な焼成装置内部に設置して所定温度で加熱することにより行なうことができる。
【００３６】
上記製造方法に用いる焙焼の雰囲気としては、酸化性雰囲気下であれば、特に限定されるものではなく、酸素ガス等の酸化性ガスを含有する雰囲気が用いられるが、大気雰囲気下が経済的で好ましく、大気気流中がより好ましい。
【００３７】
上記製造方法に用いる焙焼の温度としては、５５０〜１０００℃であり、７５０〜８６０℃がより好ましい。すなわち、焙焼温度が５５０℃未満では、塩化イリジウム酸塩と塩化ルテニウム酸塩の分解が不十分であり、イリジウムルテニウム複合酸化物単相とならない。一方、焙焼温度が１０００℃を超えると、ルテニウムが揮発するため好ましくない。
【００３８】
上記製造方法に用いる焙焼の時間としては、特に限定されるものではなく、得られる導電粉の平均粒径の所望値、焙焼温度等に応じて適宜選定される。すなわち、一般的に、焙焼時間が短いと粒径が小さくなり、逆に、焙焼時間が長くなると粒径が大きくなる。また、焙焼温度が高いと粒成長が進んで粒径が大きくなり、一方焙焼温度が低いと粒径が小さくなる。これらの関係を勘案して、適切な時間に調整される。
【００３９】
上記製造方法において、さらに、必要に応じて、焙焼物を水洗浄に付すことができる。すなわち、上記焙焼の温度が低いか、又は焙焼の時間が短い場合、使用する原料の種類とカリウムの添加剤の有無によって、塩化カリウム（ＫＣｌ）が焙焼物中に含有されることがある。この際、焙焼物を水洗浄に付すことにより、イリジウムルテニウム複合酸化物単相とすることができる。
【００４０】
上記水洗浄の方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、まず、焙焼物を水に投入し、攪拌機又は超音波洗浄器を使用して攪拌し、その後、濾過して導電粉を回収する方法が用いられる。この方法において、上記水投入、攪拌及び濾過からなる操作を数回繰返し行なうことが好ましい。ここで用いる水としては、特に限定されるものではないが、導電粉に対して有害な不純物元素を含有していない水が用いられるが、特に純水が好ましい。
なお、水洗浄後の導電粉は、水分を蒸発させ乾燥される。この乾燥の方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、水洗浄後の導電粉をステンレスパッド上に置き、大気オーブン又は乾燥機などの市販の乾燥装置で、９０〜１１０℃の温度に設定して数時間加熱することにより行なうことができる。
【実施例】
【００４１】
以下に、本発明の実施例及び比較例によって本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これらの実施例によってなんら限定されるものではない。なお、実施例及び比較例で用いた焙焼物の平均粒径と組織の同定、組成の分析、及び抵抗体の電気的特性の評価方法は、以下の通りである。
【００４２】
（１）原料中のカリウム濃度の分析：ＩＣＰ発光分析法で行った。
（２）得られた導電粉の平均粒径の測定：比表面積測定装置（ユアサアイオニクス（株）製、マルチソーブ−１６）を用いてＢＥＴ１点法により比表面積を求め、それから算出した。
（３）得られた導電粉の組織の同定：Ｘ線回折装置（株式会社リガク製、ＲＩＮＴ−１４００）で行った。
（４）得られた導電粉組成の分析：蛍光Ｘ線分析装置でＩｒとＲｕのそれぞれの濃度を測定し、組成（Ｉｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比）を求めた。
【００４３】
（５）抵抗体の電気的特性の測定：電気的特性として面積抵抗値とノイズを測定した。得られた導電粉１〜２ｇをガラス結合剤（主成分：ＳｉＯ２及びＢ２Ｏ３）とビヒクル（主成分：ターピネオール）４〜６ｇに混合してペースト化した。このペーストを１ｍｍ×１ｍｍの大きさで、７〜９μｍの膜厚で膜状に印刷し、大気雰囲気中８５０℃で３０分間焼成して得られた抵抗体の電気的特性（抵抗値及びノイズ）を測定した。ここで、抵抗値はデジタルマルチメーター（ＫＥＩＴＨＬＥＹ社製、Ｍｏｄｅｌ  ２００１  Ｍｕｌｔｉｍｅｔｅｒ）を用いて４端子法で測定した。また、ノイズはノイズメーター（Ｑｕａｎ−Ｔｅｃｈ社製、Ｍｏｄｅｌ  ３１５Ｃ）を用いて、１／１０Ｗ印加時の電圧変動を測定することで行った。
【００４４】
（実施例１）
まず、ヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸カリウム（住友金属鉱山（株）製、グレード：９９．９％）とヘキサクロロルテニウム（ＩＶ）酸アンモニウム（住友金属鉱山（株）製、グレード：９９．９％）を、組成（Ｉｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比）が０．５となるように所定量を秤量し、乳鉢を用いて解砕混合した。次に、得られた混合物５ｇを、アルミナ製容器に入れて管状炉で焙焼した。このときの焙焼条件としては、昇温速度が２０℃／分、保持温度が８１０℃で、保持時間を１２０分間とし、保持終了後は加熱を停止して炉内で冷却した。また、焙焼雰囲気としては、昇温開始から冷却終了まで、空気を３Ｌ／分の速度で流し酸化性雰囲気を形成させた。次いで、得られた焙焼物を、純水２００ｍＬ中に投入し、超音波洗浄器を用いて１０分間の攪拌洗浄後、濾紙で濾過して粉末を回収した。ここで、純水投入、攪拌及び濾過からなるこれらの操作を、さらに２回繰返した後、ステンレスパッドに移し、大気乾燥機にて９０℃で１０時間乾燥して、導電粉を得た。
【００４５】
その後、得られた導電粉を用いて、上記評価方法により、平均粒径の測定、組織の同定、及び組成の分析を行った。その結果、平均粒径は４２ｎｍであり、組織はＩｒＲｕＯ２単相、及びＩｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比は０．５であった。さらに、得られた導電粉を用いて、上記測定方法に従って、抵抗体の電気的特性の評価を行なった。このとき、導電粉のペースト中への分散性は良好であり、電気的特性としては、抵抗値が１９．２ｋΩであり、ノイズが３．５ｄＢと良好であった。
【００４６】
（実施例２）
焙焼温度を８５８℃としたこと以外は実施例１と同様にして、得られた導電粉を用いて、上記評価方法により、平均粒径の測定、組織の同定、及び組成の分析を行った。その結果、平均粒径は４６ｎｍであり、組織はＩｒＲｕＯ２単相、及びＩｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比は０．５であった。さらに、得られた導電粉を用いて、上記測定方法に従って、抵抗体の電気的特性の評価を行なった。このとき、導電粉のペースト中への分散性は良好であり、電気的特性としては、抵抗値が２９．０ｋΩであり、ノイズが０．５ｄＢと良好であった。
【００４７】
（実施例３）
組成（Ｉｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比）が０．３となるように原料の所定量を秤量したこと、及び焙焼温度が８３０℃であったこと以外は同様にして実施例１と同様にして、得られた導電粉を用いて、上記評価方法により、平均粒径の測定、組織の同定、及び組成の分析を行った。その結果、平均粒径は４８ｎｍであり、組織はＩｒＲｕＯ２単相、及びＩｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比は０．３であった。さらに、得られた導電粉を用いて、上記測定方法に従って、抵抗体の電気的特性の評価を行なった。このとき、導電粉のペースト中への分散性は良好であり、電気的特性としては、抵抗値が２３．７ｋΩであり、ノイズが３．１ｄＢと良好であった。
【００４８】
（実施例４）
組成（Ｉｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比）が０．１となるように原料の所定量を秤量したこと、及び焙焼温度が７７０℃であったこと以外は実施例１と同様にして、得られた導電粉を用いて、上記評価方法により、平均粒径の測定、組織の同定、及び組成の分析を行った。その結果、平均粒径は４４ｎｍであり、組織はＩｒＲｕＯ２単相、及びＩｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比は０．１であった。さらに、得られた導電粉を用いて、上記測定方法に従って、抵抗体の電気的特性の評価を行なった。このとき、導電粉のペースト中への分散性は良好であり、電気的特性としては、抵抗値が２５．１ｋΩであり、ノイズが３．８ｄＢと良好であった。
【００４９】
（実施例５）
イリジウム原料をヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸カリウムの代わりに、ヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸アンモニウム（住友金属鉱山（株）製、グレード：９９．９％）を用いたこと、さらに塩化カリウム（和光製薬（株）製、試薬特級）を混合物中のカリウム濃度が０．１質量％となるように添加したこと、及び焙焼温度が８２６℃であったこと以外は実施例１と同様にして、得られた導電粉を用いて、上記評価方法により、平均粒径の測定、組織の同定、及び組成の分析を行った。その結果、平均粒径は７２ｎｍであり、組織はＩｒＲｕＯ２単相、及びＩｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比は０．５であった。さらに、得られた導電粉を用いて、上記測定方法に従って、抵抗体の電気的特性の評価を行なった。このとき、導電粉のペースト中への分散性は良好であり、電気的特性としては、抵抗値が１９．４ｋΩであり、ノイズが０．０ｄＢと良好であった。
【００５０】
（実施例６）
イリジウム原料をヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸カリウムの代わりに、ヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸アンモニウムを用いたこと、さらに塩化カリウムを混合物中のカリウム濃度が０．１質量％となるように添加したこと、組成（Ｉｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比）が０．３となるように原料の所定量を秤量したこと、及び焙焼温度が８２９℃であったこと以外は実施例１と同様にして、得られた導電粉を用いて、上記評価方法により、平均粒径の測定、組織の同定、及び組成の分析を行った。その結果、平均粒径は５７ｎｍであり、組織はＩｒＲｕＯ２単相、及びＩｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比は０．３であった。さらに、得られた導電粉を用いて、上記測定方法に従って、抵抗体の電気的特性の評価を行なった。このとき、導電粉のペースト中への分散性は良好であり、電気的特性としては、抵抗値が１８．５ｋΩであり、ノイズが２．４ｄＢと良好であった。
【００５１】
（実施例７）
ルテニウム原料をヘキサクロロルテニウム（ＩＶ）酸アンモニウムの代わりに、水酸化ルテニウム（同和鉱業（株）製、グレード：９９．９％）を４００℃で焙焼して得た粒径が１０〜２０ｎｍの酸化ルテニウムを用いたこと、及びさらに塩化カリウムを混合物中のカリウム濃度が０．１質量％となるように添加したこと以外は実施例１と同様にして、得られた導電粉を用いて、上記評価方法により、平均粒径の測定、組織の同定、及び組成の分析を行った。その結果、平均粒径は４６ｎｍであり、組織はＩｒＲｕＯ２単相、及びＩｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比は０．５であった。さらに、得られた導電粉を用いて、上記測定方法に従って、抵抗体の電気的特性の評価を行なった。このとき、導電粉のペースト中への分散性は良好であり、電気的特性としては、抵抗値が１４．５ｋΩであり、ノイズが１．７ｄＢと良好であった。
【００５２】
（実施例８）
焙焼温度が７５４℃であったこと以外は実施例７と同様にして、得られた導電粉を用いて、上記評価方法により、平均粒径の測定、組織の同定、及び組成の分析を行った。その結果、平均粒径は３９ｎｍであり、組織はＩｒＲｕＯ２単相、及びＩｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比は０．５であった。さらに、得られた導電粉を用いて、上記測定方法に従って、抵抗体の電気的特性の評価を行なった。このとき、導電粉のペースト中への分散性は良好であり、電気的特性としては、抵抗値が２０．９ｋΩであり、ノイズが３．１ｄＢと良好であった。
【００５３】
（比較例１）
塩化カリウムを添加しなかったこと、及び焙焼温度を８０９℃としたこと以外は実施例６と同様にして、得られた導電粉を用いて、上記評価方法により、平均粒径の測定、組織の同定、及び組成の分析を行った。その結果、平均粒径は８５ｎｍであり、組織はＩｒＲｕＯ２単相、及びＩｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比は０．５であった。さらに、得られた導電粉を用いて、上記測定方法に従って、抵抗体の電気的特性の評価を行なった。このとき、導電粉のペースト中への分散性は良好であり、電気的特性としては、抵抗値が１１４ｋΩであり、ノイズが１６．５ｄＢと悪化した。なお、使用したイリジウム原料とルテニウム原料のそれぞれのカリウム濃度は、０．０８質量％と０．０１質量％以下であった。
【００５４】
（比較例２）
水酸化ルテニウム（同和鉱業（株）製、グレード：９９．９％）を大気雰囲気中にて７００℃で、４時間焙焼して得られた平均粒径が３５ｎｍの酸化ルテニウムと、ヘキサクロロイリジウム（ＩＶ）酸アンモニウムを８４０℃で焙焼して得られた平均粒径が４５ｎｍの酸化イリジウムを、Ｉｒ／（Ｉｒ＋Ｒｕ）モル比が０．３になるように配合した混合物からなる導電粉を用いて、上記測定方法に従って、抵抗体の電気的特性の評価を行なった。このとき、電気的特性としては、抵抗値が７９ｋΩであり、ノイズが６．５ｄＢとなり、実施例１と比べて十分な電気的特性が得られない。
【００５５】
以上より、実施例１〜８では、所定のルテニウム原料とイリジウム原料を混合し、得られた混合物中のカリウムを所定値に調整した後、該混合物を所定の条件で焙焼に付し、本発明の方法に従って行われたので、組織が化学式：ＩｒＸＲｕ（１−Ｘ）Ｏ２で表され、該式中のｘが０．１〜０．５であるイリジウムルテニウム複合酸化物単相であり、平均粒径が３０〜８０ｎｍである導電粉が得られ、それを用いてなる抵抗体は、抵抗値が１０〜１００ｋΩで５ｄＢ以下の低ノイズであり電気的特性が良好であることが分かる。これに対して、比較例１では、焙焼時の混合物中のカリウム濃度がこれらの条件に合わないので、得られた導電粉の平均粒径が大きく、それを用いてなる抵抗体は、電気的特性の評価において満足すべき結果が得られないことが分かる。また、比較例２では、ルテニウム原料とイリジウム原料、及び焙焼がこれらの条件に合わないので、得られた導電粉の組織が上記複合酸化物単相でないので、それを用いてなる抵抗体は、電気的特性の評価において満足すべき結果が得られないことが分かる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
以上より明らかなように、本発明の導電粉とその製造方法は、特にチップ抵抗器、厚膜ハイブリッドＩＣ及び抵抗ネットワーク等に広く用いられている厚膜抵抗体分野で利用されるペースト用の導電粉とその製造方法として好適である。