(57)【要約】【課題】複数の振動子を使用しての斜角探傷を安価に実現するための装置を提供する。【解決手段】パルス反射法に用いる従来の超音波探傷器が使用する単一の振動子に替えて、複数の振動子２６を被検体表面に直接またはくさびを介して配設する。  パルサ２８から送信されたパルス信号を受信して、配設した複数の振動子２６の数と同じ数に分岐して送信するか、同じ数のパルス信号を発生させて送信するパルス分岐手段１２と、パルス分岐手段１２が送信したパルス信号を受信し、受信した該パルス信号を、複数の振動子２６の配設位置に応じて時間差を設けて該複数の振動子２６それぞれに送信する送信パルス信号遅延手段１６と、を備えた超音波探傷器用追加装置１０に前記複数の振動子２６を接続するとともに、超音波探傷器用追加装置１０を従来の超音波探傷器２４に接続する。【選択図】図１
2009098002.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体内部へ向けて超音波を送波し、且つ、該被検体からの該超音波の反射波を受波して受信信号を出力する単一の振動子を使用するとともに、少なくとも、該振動子に超音波を発生させるためのパルス信号を送信するパルサと、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記振動子が出力した受信信号を受信するレシーバと、前記パルサ、レシーバを制御する制御器と、を有するパルス反射法に用いる超音波探傷器に接続して用いる超音波探傷器用追加装置であって、
前記パルサから送信されたパルス信号を受信し、前記単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設された複数の振動子の数と同じ数に分岐して送信するか、同じ数のパルス信号を発生させて送信するパルス分岐手段と、
該パルス分岐手段が送信したパルス信号を受信し、受信した該パルス信号を、前記複数の振動子の配設位置に応じて時間差を設けて該複数の振動子それぞれに送信する送信パルス信号遅延手段と、を有し、
被検体の超音波斜角探傷を可能とすることを特徴とする超音波探傷器用追加装置。
【請求項２】
前記パルス分岐手段によって送信されたパルス信号に対して、該パルス信号を送信する前記複数の振動子それぞれの位置に応じて送信電力の重み付けを行うことができる送信電力重み付け手段を有することを特徴とする請求項１に記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項３】
被検体内部へ向けて超音波を送波し、且つ、該被検体からの該超音波の反射波を受波して受信信号を出力する単一の振動子を使用するとともに、少なくとも、該振動子に超音波を発生させるためのパルス信号を送信するパルサと、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記振動子が出力した受信信号を受信するレシーバと、前記パルサ、レシーバを制御する制御器と、を有するパルス反射法に用いる超音波探傷器に接続して用いる超音波探傷器用追加装置であって、
前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して、前記単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設された複数の振動子それぞれが出力した受信信号を受信し、受信した該受信信号を、該受信信号を出力した前記複数の振動子の配設位置に応じた時間差を設けて送信する受信信号遅延手段と、
該受信信号遅延手段から送信された該受信信号を合成して、合成受信信号を前記レシーバへ送信する受信信号合成手段と、を有し、
被検体の超音波斜角探傷を可能とすることを特徴とする超音波探傷器用追加装置。
【請求項４】
前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記複数の振動子がそれぞれ出力した受信信号に対して、該受信信号を出力した前記複数の振動子それぞれの位置に応じて信号増幅率の重み付けを行って増幅することができる受信信号増幅率重み付け手段を有することを特徴とする請求項３に記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項５】
被検体内部へ向けて超音波を送波し、且つ、該被検体からの該超音波の反射波を受波して受信信号を出力する単一の振動子を使用するとともに、少なくとも、該振動子に超音波を発生させるためのパルス信号を送信するパルサと、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記振動子が出力した受信信号を受信するレシーバと、前記パルサ、レシーバを制御する制御器と、を有するパルス反射法に用いる超音波探傷器に接続して用いる超音波探傷器用追加装置であって、
前記パルサから送信されたパルス信号を受信し、前記単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設された複数の振動子の数と同じ数に分岐して送信するか、同じ数のパルス信号を発生させて送信するパルス分岐手段と、
該パルス分岐手段が送信したパルス信号を受信し、受信した該パルス信号を、前記複数の振動子の配設位置に応じて時間差を設けて該複数の振動子それぞれに送信する送信パルス信号遅延手段と、
前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記複数の振動子それぞれが出力した受信信号を受信し、受信した該受信信号を、該受信信号を出力した該複数の振動子の配設位置に応じた時間差を設けて送信する受信信号遅延手段と、
該受信信号遅延手段から送信された該受信信号を合成して、合成受信信号を前記レシーバへ送信する受信信号合成手段と、を有し、
被検体の超音波斜角探傷を可能とすることを特徴とする超音波探傷器用追加装置。
【請求項６】
前記パルス分岐手段によって送信されたパルス信号に対して、該パルス信号を送信する前記複数の振動子それぞれの位置に応じて送信電力の重み付けを行うことができる送信電力重み付け手段と、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記複数の振動子がそれぞれ出力した受信信号に対して、該受信信号を出力した前記複数の振動子それぞれの位置に応じて信号増幅率の重み付けを行って増幅することができる受信信号増幅率重み付け手段と、を有することを特徴とする請求項５に記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項７】
前記送信パルス信号遅延手段は、被検体の斜め方向に発生させる超音波の進行方向が所望の角度方向となるように、パルス信号を送信する際、前記複数の振動子の配設位置に応じて設ける時間差を制御する時間差制御手段を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項８】
前記時間差制御手段は、被検体の斜め方向に発生させる超音波の進行方向の設定、該超音波が縦波か横波かの設定、該超音波の音速の設定、および前記複数の振動子の配設ピッチの設定がなされると、前記送信パルス信号遅延手段における前記複数の振動子ごとの時間差を設定できることを特徴とする請求項７に記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項９】
前記受信信号遅延手段は、被検体内の所望の探傷方向から反射される反射波に基づく合成受信信号の出力が最大となるように、前記複数の振動子の配設位置に応じて設ける時間差を制御する時間差制御手段を有することを特徴とする請求項３〜６のいずれかに記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項１０】
前記時間差制御手段は、被検体の斜め方向に発生させる超音波の進行方向の設定、該超音波が縦波か横波かの設定、該超音波の音速の設定、および前記複数の振動子の配設ピッチの設定がなされると、被検体内の所望の探傷方向から反射される反射波に基づく合成受信信号の出力が最大となる、前記受信信号遅延手段における前記複数の振動子ごとの時間差を設定できることを特徴とする請求項９に記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項１１】
前記単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設される複数の振動子が組み合わされていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項１２】
前記複数の振動子は、横波振動子であることを特徴とする請求項１１に記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項１３】
前記複数の振動子は、縦波振動子であることを特徴とする請求項１１に記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項１４】
被検体内部へ向けて超音波を送波し、且つ、該被検体からの該超音波の反射波を受波して受信信号を出力する単一の振動子を使用するとともに、少なくとも、該振動子に超音波を発生させるためのパルス信号を送信するパルサと、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記振動子が出力した受信信号を受信するレシーバと、前記パルサ、レシーバを制御する制御器と、を有するパルス反射法に用いる超音波探傷器に接続して用いる超音波探傷器用追加装置であって、
前記パルサから送信されたパルス信号を受信し、前記単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設された複数の送波用の振動子の数と同じ数に分岐して送信するか、同じ数のパルス信号を発生させて送信するパルス分岐手段と、
該パルス分岐手段が送信したパルス信号を受信し、受信した該パルス信号を、前記複数の送波用の振動子の配設位置に応じて時間差を設けて該複数の振動子それぞれに送信する送信パルス信号遅延手段と、
前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して、前記単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設された複数の受波用の振動子それぞれが出力した受信信号を受信し、受信した該受信信号を、該受信信号を出力した前記複数の受波用の振動子の配設位置に応じた時間差を設けて送信する受信信号遅延手段と、
該受信信号遅延手段から送信された該受信信号を合成して、合成受信信号を前記レシーバへ送信する受信信号合成手段と、を有し、
被検体の超音波斜角探傷を可能とすることを特徴とする超音波探傷器用追加装置。
【請求項１５】
前記パルス分岐手段によって送信されたパルス信号に対して、該パルス信号を送信する前記複数の送波用の振動子それぞれの位置に応じて送信電力の重み付けを行うことができる送信電力重み付け手段と、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記複数の受波用の振動子がそれぞれ出力した受信信号に対して、該受信信号を出力した前記複数の受波用の振動子それぞれの位置に応じて信号増幅率の重み付けを行って増幅することができる受信信号増幅率重み付け手段と、を有することを特徴とする請求項１４に記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項１６】
前記送信パルス信号遅延手段は、被検体の斜め方向に発生させる超音波の進行方向が所望の角度方向となるように、パルス信号を送信する際、前記複数の送波用の振動子の配設位置に応じて設ける時間差を制御する時間差制御手段を有することを特徴とする請求項１４又は１５に記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項１７】
前記時間差制御手段は、被検体の斜め方向に発生させる超音波の進行方向の設定、該超音波が縦波か横波かの設定、該超音波の音速の設定、および前記複数の送波用の振動子の配設ピッチの設定がなされると、前記送信パルス信号遅延手段における前記複数の送波用の振動子ごとの時間差を設定できることを特徴とする請求項１６に記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項１８】
前記受信信号遅延手段は、被検体内の所望の探傷方向から反射される反射波に基づく合成受信信号の出力が最大となるように、前記複数の受波用の振動子の配設位置に応じて設ける時間差を制御する時間差制御手段を有することを特徴とする請求項１４〜１７のいずれかに記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項１９】
前記時間差制御手段は、被検体の斜め方向に発生させる超音波の進行方向の設定、該超音波が縦波か横波かの設定、該超音波の音速の設定、および前記複数の受波用の振動子の配設ピッチの設定がなされると、被検体内の所望の探傷方向から反射される反射波に基づく合成受信信号の出力が最大となる、前記受信信号遅延手段における前記複数の受波用の振動子ごとの時間差を設定できることを特徴とする請求項１８に記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項２０】
前記単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設される複数の送波用の振動子および受波用の振動子が組み合わされていることを特徴とする請求項１４〜１９のいずれかに記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項２１】
前記複数の送波用の振動子または複数の受波用の振動子は、横波振動子であることを特徴とする請求項２０に記載の超音波探傷器用追加装置。
【請求項２２】
前記複数の送波用の振動子または複数の受波用の振動子は、縦波振動子であることを特徴とする請求項２０に記載の超音波探傷器用追加装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波探傷器用追加装置に関し、特に単一の振動子を使用してパルス反射法に用いる超音波探傷器に接続して用いる超音波探傷器用追加装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
橋梁や造船、パイプラインなどにおける溶接部の欠陥を検査する手段として超音波を使用した斜角探傷法、特に、超音波の横波を使用する探傷法が広く用いられている。
【０００３】
通常、超音波の斜角探傷では、縦波、横波に関わらず、超音波の振動子を所定の角度を設けたくさびに取り付け、該くさびを介して超音波を斜めに送受信して探傷を行っている。さらに、横波による斜角探傷では、通常、くさびと被検体の境界面でのモード変換を利用し、横波のみを検査対象物に入射することにより探傷を行っている。
【０００４】
ここで、超音波探傷器は、用いる振動子の数が単数のものと複数のものがある。
【０００５】
用いる振動子の数が単数の超音波探傷器は、原則、基本表示しかできず、Ａスコープ波形しか表示できない。また、被検体内を進行する超音波の進行方向（屈折角）を変える場合には、振動子ごと替える必要がある。
【０００６】
これに対し、用いる振動子の数が複数の超音波探傷器、例えばアレイ探傷器では、複数の振動子が並べられて構成されたアレイ振動子を用いて探傷が行われるので、探傷信号を画像化して表示することができる。また、超音波の入射角度を変えることができるとともに、超音波ビームを被検体の板厚方向で集束させることもできる。さらに、振動子が並ぶ方向を電子走査できるため探傷速度を向上させることができる。
【０００７】
アレイ振動子を用いた横波による斜角探傷では、例えば特許文献１に示されているように、アレイ振動子を探傷接触面に対し傾きを有したくさびに取り付け、横波を斜めに入射し、探傷を行う方法が使われている。
【０００８】
しかしながら、アレイ振動子を用いた斜角探傷で用いる装置（アレイ探傷器）は高価であるという問題がある。
【０００９】
また、くさびを用いた方法では、くさび内透過距離が長くなった場合のくさび内の超音波の減衰、振動子の接触面の摩耗によるくさび角度の変化による屈折角の変化、くさび内での超音波の反射による不要エコーの発生など、くさびを使用することによる問題が発生している。また、くさび材料と被検体材料の特性インピーダンスの差異による反射によって、送波及び受波の感度が著しく低下することがあるという問題もある。
【００１０】
くさびの使用による問題点を解決するために、くさびを使用しない斜角探傷を可能とする超音波探傷方法及び装置に係る発明が特許文献２に開示されている。
【００１１】
特許文献２に記載の技術を用いた従来のアレイ探傷器２００の１例を、図３に記す。
【００１２】
図３において、アレイ振動子２０２を駆動するための各パルス信号は、送信電力重み付け装置２０４でそれぞれ送信電力に重み付けがなされ、送信パルス信号遅延時間制御装置２０６でそれぞれ時間差が設けられて、アレイ振動子２０２の各振動子にそれぞれ送信され、アレイ振動子２０２の各振動子を励振する。
【００１３】
アレイ振動子２０２の各振動子が時間差をもって駆動することによって、被検体２中で斜め方向に伝わる超音波が発生する。
【００１４】
被検体２中の欠陥４等で反射した超音波は、アレイ振動子２０２の各振動子で受波されて受信信号が出力される。その受信信号は、受信信号遅延時間制御装置２０８で各振動子の位置に応じた時間差が設けられ、受信信号増幅率重み付け装置２１０でアレイ振動子２０２の各振動子の位置に応じた増幅率で増幅された後、アレイ振動子２０２の各振動子の信号がＡＤ変換器２１２でＡＤ変換され、受信波合成装置２１４でデジタル的に合成され、データ処理装置２１６へ送られる。
【００１５】
データ処理装置２１６からの波形データは、パソコン２１８にデータが格納されたり、パソコン２１８のディスプレイに探傷波形が表示されたりする。
【００１６】
【特許文献１】特開昭６１−２５３４５８号公報
【特許文献２】特開２０００−１４６９２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
しかしながら、特許文献２に記載の発明においても、高価な装置を用いる必要があるという問題がある。
【００１８】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、複数の振動子を使用しての斜角探傷を安価に実現するための装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明者は、前記課題を解決するためには、単一の振動子を使用してパルス反射法に用いる従来の超音波探傷器に接続することにより、複数の振動子を使用しての斜角探傷を可能とする超音波探傷器用追加装置を用いることが効果的であることを見出し、本発明をするに至った。
【００２０】
即ち、本発明に係る超音波探傷器用追加装置の第一の態様は、被検体内部へ向けて超音波を送波し、且つ、該被検体からの該超音波の反射波を受波して受信信号を出力する単一の振動子を使用するとともに、少なくとも、該振動子に超音波を発生させるためのパルス信号を送信するパルサと、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記振動子が出力した受信信号を受信するレシーバと、前記パルサ、レシーバを制御する制御器と、を有するパルス反射法に用いる超音波探傷器に接続して用いる超音波探傷器用追加装置であって、前記パルサから送信されたパルス信号を受信し、前記単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設された複数の振動子の数と同じ数に分岐して送信するか、同じ数のパルス信号を発生させて送信するパルス分岐手段と、該パルス分岐手段が送信したパルス信号を受信し、受信した該パルス信号を、前記複数の振動子の配設位置に応じて時間差を設けて該複数の振動子それぞれに送信する送信パルス信号遅延手段と、を有し、被検体の超音波斜角探傷を可能とすることを特徴とする。
【００２１】
前記第一の態様において、前記パルス分岐手段によって送信されたパルス信号に対して、該パルス信号を送信する前記複数の振動子それぞれの位置に応じて送信電力の重み付けを行うことができる送信電力重み付け手段を有することが好ましい。
【００２２】
本発明に係る超音波探傷器用追加装置の第二の態様は、被検体内部へ向けて超音波を送波し、且つ、該被検体からの該超音波の反射波を受波して受信信号を出力する単一の振動子を使用するとともに、少なくとも、該振動子に超音波を発生させるためのパルス信号を送信するパルサと、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記振動子が出力した受信信号を受信するレシーバと、前記パルサ、レシーバを制御する制御器と、を有するパルス反射法に用いる超音波探傷器に接続して用いる超音波探傷器用追加装置であって、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して、前記単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設された複数の振動子それぞれが出力した受信信号を受信し、受信した該受信信号を、該受信信号を出力した前記複数の振動子の配設位置に応じた時間差を設けて送信する受信信号遅延手段と、該受信信号遅延手段から送信された該受信信号を合成して、合成受信信号を前記レシーバへ送信する受信信号合成手段と、を有し、被検体の超音波斜角探傷を可能とすることを特徴とする。
【００２３】
前記第二の態様において、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記複数の振動子がそれぞれ出力した受信信号に対して、該受信信号を出力した前記複数の振動子それぞれの位置に応じて信号増幅率の重み付けを行って増幅することができる受信信号増幅率重み付け手段を有することが好ましい。
【００２４】
本発明に係る超音波探傷器用追加装置の第三の態様は、被検体内部へ向けて超音波を送波し、且つ、該被検体からの該超音波の反射波を受波して受信信号を出力する単一の振動子を使用するとともに、少なくとも、該振動子に超音波を発生させるためのパルス信号を送信するパルサと、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記振動子が出力した受信信号を受信するレシーバと、前記パルサ、レシーバを制御する制御器と、を有するパルス反射法に用いる超音波探傷器に接続して用いる超音波探傷器用追加装置であって、前記パルサから送信されたパルス信号を受信し、前記単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設された複数の振動子の数と同じ数に分岐して送信するか、同じ数のパルス信号を発生させて送信するパルス分岐手段と、該パルス分岐手段が送信したパルス信号を受信し、受信した該パルス信号を、前記複数の振動子の配設位置に応じて時間差を設けて該複数の振動子それぞれに送信する送信パルス信号遅延手段と、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記複数の振動子それぞれが出力した受信信号を受信し、受信した該受信信号を、該受信信号を出力した該複数の振動子の配設位置に応じた時間差を設けて送信する受信信号遅延手段と、該受信信号遅延手段から送信された該受信信号を合成して、合成受信信号を前記レシーバへ送信する受信信号合成手段と、を有し、被検体の超音波斜角探傷を可能とすることを特徴とする。
【００２５】
前記第三の態様において、前記パルス分岐手段によって送信されたパルス信号に対して、該パルス信号を送信する前記複数の振動子それぞれの位置に応じて送信電力の重み付けを行うことができる送信電力重み付け手段と、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記複数の振動子がそれぞれ出力した受信信号に対して、該受信信号を出力した前記複数の振動子それぞれの位置に応じて信号増幅率の重み付けを行って増幅することができる受信信号増幅率重み付け手段と、を有することが好ましい。
【００２６】
前記第一から第三の態様のいずれかにおいて、前記送信パルス信号遅延手段は、被検体の斜め方向に発生させる超音波の進行方向が所望の角度方向となるように、パルス信号を送信する際、前記複数の振動子の配設位置に応じて設ける時間差を制御する時間差制御手段を有することが好ましい。
【００２７】
前記時間差制御手段は、例えば、被検体の斜め方向に発生させる超音波の進行方向の設定、該超音波が縦波か横波かの設定、該超音波の音速の設定、および前記複数の振動子の配設ピッチの設定がなされると、前記送信パルス信号遅延手段における前記複数の振動子ごとの時間差を設定できるような手段である。
【００２８】
前記第二または第三の態様において、前記受信信号遅延手段は、被検体内の所望の探傷方向から反射される反射波に基づく合成受信信号の出力が最大となるように、前記複数の振動子の配設位置に応じて設ける時間差を制御する時間差制御手段を有することが好ましい。
【００２９】
前記時間差制御手段は、例えば、被検体の斜め方向に発生させる超音波の進行方向の設定、該超音波が縦波か横波かの設定、該超音波の音速の設定、および前記複数の振動子の配設ピッチの設定がなされると、被検体内の所望の探傷方向から反射される反射波に基づく合成受信信号の出力が最大となる、前記受信信号遅延手段における前記複数の振動子ごとの時間差を設定できるような手段である。
【００３０】
本発明に係る超音波探傷器用追加装置の第四の態様は、前記第一から第三の態様のいずれかの超音波探傷器用追加装置に、単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設される複数の振動子が組み合わされていることを特徴とする。
【００３１】
前記複数の振動子は、横波振動子とすることもできるし、縦波振動子とすることもできる。
【００３２】
本発明に係る超音波探傷器用追加装置の第五の態様は、被検体内部へ向けて超音波を送波し、且つ、該被検体からの該超音波の反射波を受波して受信信号を出力する単一の振動子を使用するとともに、少なくとも、該振動子に超音波を発生させるためのパルス信号を送信するパルサと、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記振動子が出力した受信信号を受信するレシーバと、前記パルサ、レシーバを制御する制御器と、を有するパルス反射法に用いる超音波探傷器に接続して用いる超音波探傷器用追加装置であって、前記パルサから送信されたパルス信号を受信し、前記単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設された複数の送波用の振動子の数と同じ数に分岐して送信するか、同じ数のパルス信号を発生させて送信するパルス分岐手段と、該パルス分岐手段が送信したパルス信号を受信し、受信した該パルス信号を、前記複数の送波用の振動子の配設位置に応じて時間差を設けて該複数の振動子それぞれに送信する送信パルス信号遅延手段と、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して、前記単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設された複数の受波用の振動子それぞれが出力した受信信号を受信し、受信した該受信信号を、該受信信号を出力した前記複数の受波用の振動子の配設位置に応じた時間差を設けて送信する受信信号遅延手段と、該受信信号遅延手段から送信された該受信信号を合成して、合成受信信号を前記レシーバへ送信する受信信号合成手段と、を有し、被検体の超音波斜角探傷を可能とすることを特徴とする。
【００３３】
前記第五の態様において、前記パルス分岐手段によって送信されたパルス信号に対して、該パルス信号を送信する前記複数の送波用の振動子それぞれの位置に応じて送信電力の重み付けを行うことができる送信電力重み付け手段と、前記被検体からの前記超音波の反射波を受波して前記複数の受波用の振動子がそれぞれ出力した受信信号に対して、該受信信号を出力した前記複数の受波用の振動子それぞれの位置に応じて信号増幅率の重み付けを行って増幅することができる受信信号増幅率重み付け手段と、を有することが好ましい。
【００３４】
前記送信パルス信号遅延手段は、被検体の斜め方向に発生させる超音波の進行方向が所望の角度方向となるように、パルス信号を送信する際、前記複数の送波用の振動子の配設位置に応じて設ける時間差を制御する時間差制御手段を有することが好ましい。
【００３５】
前記時間差制御手段は、例えば、被検体の斜め方向に発生させる超音波の進行方向の設定、該超音波が縦波か横波かの設定、該超音波の音速の設定、および前記複数の送波用の振動子の配設ピッチの設定がなされると、前記送信パルス信号遅延手段における前記複数の送波用の振動子ごとの時間差を設定できるような手段である。
【００３６】
前記受信信号遅延手段は、被検体内の所望の探傷方向から反射される反射波に基づく合成受信信号の出力が最大となるように、前記複数の受波用の振動子の配設位置に応じて設ける時間差を制御する時間差制御手段を有することが好ましい。
【００３７】
前記時間差制御手段は、例えば、被検体の斜め方向に発生させる超音波の進行方向の設定、該超音波が縦波か横波かの設定、該超音波の音速の設定、および前記複数の受波用の振動子の配設ピッチの設定がなされると、被検体内の所望の探傷方向から反射される反射波に基づく合成受信信号の出力が最大となる、前記受信信号遅延手段における前記複数の受波用の振動子ごとの時間差を設定できるような手段である。
【００３８】
本発明に係る超音波探傷器用追加装置の第六の態様は、前記第五の態様の超音波探傷器用追加装置に、単一の振動子に替えて被検体表面に直接またはくさびを介して配設される複数の送波用の振動子および受波用の振動子が組み合わされていることを特徴とする。
【００３９】
前記複数の送波用の振動子または複数の受波用の振動子は、横波振動子とすることもできるし、縦波振動子とすることもできる。
【発明の効果】
【００４０】
本発明に係る超音波探傷器用追加装置を、単一の振動子を使用してパルス反射法に用いる従来の超音波探傷器に接続することにより、複数の振動子を使用しての斜角探傷を行うことができるようになる。したがって、本発明に係る超音波探傷器用追加装置を用いることによって、従来の超音波探傷器を有効活用して、複数の振動子を使用しての斜角探傷を行うことができるようになり、高価なアレイ探傷器に買い替える必要がなくなる。このため、複数の振動子を使用しての斜角探傷を低コストに実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００４２】
図１は、本発明の実施形態に係る超音波探傷器用追加装置１０を用いてなる超音波探傷器の一例である超音波探傷器１００を示す構成図である。図１においては、説明の都合上、超音波探傷器用追加装置１０の構成要素ではない従来の超音波探傷器２４および複数の振動子２６も描いて、超音波探傷器１００全体の構成を示している。従来の超音波探傷器２４に超音波探傷器用追加装置１０を接続するとともに、超音波探傷器用追加装置１０に複数の振動子２６を接続することで、複数の振動子を使用しての斜角探傷を行うことができる超音波探傷器１００が構成されている。
【００４３】
超音波探傷器用追加装置１０は、パルス分岐装置１２と、送信電力重み付け装置１４と、送信パルス信号遅延時間制御装置１６と、受信信号遅延時間制御装置１８と、受信信号増幅率重み付け装置２０と、受信波合成装置２２とを有してなる。
【００４４】
従来の超音波探傷器２４は、手探傷で広く用いられている、パルス反射法に用いる超音波探傷器であり、パルサ２８と、レシーバ３０と、制御器３２と、波形表示器３４と、記憶媒体３６とを有してなり、例えば、ＪＩＳ  Ｚ  ２３５１−１９９２の適用範囲に記載されているような超音波探傷器である。また、波形表示器３４に替えて、欠陥位置を数値等で表示することができるディスプレイ等を備えた超音波探傷器も該当する。超音波探傷器１００における複数の振動子２６は送受波兼用の振動子であり、超音波探傷器１００においては同一の複数の振動子２６を用いて送波および受波を行う。
【００４５】
パルス分岐装置１２は、パルサ２８から送信される１チャンネルのパルス信号を振動子２６の数と同じ数のパルス信号に分枝するか、または、振動子２６の数と同じ数のパルス信号を生成させる装置である。このパルス分岐装置１２が存在することにより、１チャンネルのパルス信号しか送信できない従来の超音波探傷器２４のパルサ２８を用いて複数のパルス信号を送信できることとなり、複数の振動子を使用しての斜角探傷が可能となる。また、パルス分岐装置１２は、従来の超音波探傷器２４との電気的なインピーダンスの調整も行う。
【００４６】
送信電力重み付け装置１４は、パルス信号を送信する複数の振動子２６の位置に応じて、送信する各パルス信号の送信電力に重み付けを行うための装置である。複数の振動子２６に各パルス信号を送信し、複数の振動子２６を同時に励振する際、その配設位置の中心部を強く、両端部を弱く重み付けをして励振することにより、被検体２内を進行する超音波ビームに任意の指向性パターンを与えることができる。これにより、被検体２中の欠陥４の位置がわかりやすくなる。送信電力の分布には、例えば、フラット分布や正規分布がある。また、例えばサイドローブを低減させた形状等もある。送信電力重み付け装置１４には、送信電力の分布を選択できるダイヤルを設けておくことが好ましい。
【００４７】
送信パルス信号遅延時間制御装置１６は、パルス信号を送信する複数の振動子２６の位置に応じて、パルス信号を送信する際に所定の時間差を設けるための装置である。複数の振動子を用いて斜角探傷をする場合のくさびは、複数の各振動子から発生して探傷接触面に伝達される垂直応力にそれぞれ少しずつ時間差を与える機能を果しているが、送信パルス信号遅延時間制御装置１６により、複数の各振動子にパルス信号を送信する際に同様の時間差を設けることで、くさびを使用しなくても複数の振動子を使用しての斜角探傷が可能となる。
【００４８】
くさびを使用しないで複数の振動子を使用しての斜角探傷を可能とするためには、複数の振動子に各パルス信号を送信する際に、送信パルス信号遅延時間制御装置１６によって、くさびを用いた場合と同様の時間差を設ければよく、送信する各パルス信号の電力に送信電力重み付け装置１４によって重み付けを行うことは必須ではない。
【００４９】
また、送信パルス信号遅延時間制御装置１６により、複数の振動子に各パルス信号を送信する際の時間差を調整することにより、被検体２内を所望の角度方向に進行する超音波を発生させることができる。この時間差は、被検体２の斜め方向に発生させる超音波の進行方向（屈折角）の設定、該超音波が縦波か横波かの設定、該超音波の音速の設定、および複数の振動子２６の配設ピッチの設定をすることによって、計算することができる。計算した時間差は、外部から送信パルス信号遅延時間制御装置１６に入力してもよいし、あるいは、前記条件を入力することにより自動的に前記時間差を計算し、該計算結果に基づき前記時間差を制御する時間差制御手段を送信パルス信号遅延時間制御装置１６に備えさせてもよい。
【００５０】
また、前記計算を、各条件を変えて予め行っておき、その計算結果をメモリ等に記憶させておき、前記条件を変更すると自動的に前記時間差が設定されるような時間差制御手段を送信パルス信号遅延時間制御装置１６に備えさせてもよい。
【００５１】
受信信号遅延時間制御装置１８は、被検体２内から反射される超音波を受波して複数の振動子２６それぞれが出力する受信信号を受信し、受信した該受信信号を、該受信信号を出力した該複数の振動子２６それぞれの配設位置に応じた時間差を設けて送信する装置である。この時間差を所定の時間差とすることで、被検体２内の所望の探傷方向から反射される反射波に基づく合成受信信号（複数の振動子２６がそれぞれ出力した受信信号を、受信波合成装置２２によって合成して得られる電気的な信号）の出力が最大となるようにすることができる。この時間差は、被検体２の斜め方向に発生させる超音波の進行方向（屈折角）の設定、該超音波が縦波か横波かの設定、該超音波の音速の設定、および複数の振動子２６の配設ピッチの設定をすることによって、計算することができる。計算した時間差は、外部から受信信号遅延時間制御装置１８に入力してもよいし、あるいは、前記条件を入力することにより自動的に前記時間差を計算し、該計算結果に基づき前記時間差を制御する時間差制御手段を受信信号遅延時間制御装置１８に備えさせてもよい。
【００５２】
また、前記計算を、各条件を変えて予め行っておき、その計算結果をメモリ等に記憶させておき、前記条件を変更すると自動的に前記時間差が設定されるような時間差制御手段を受信信号遅延時間制御装置１８に備えさせてもよい。
【００５３】
受信信号増幅率重み付け装置２０は、被検体２内から反射される超音波を受波して複数の振動子２６それぞれが出力する受信信号に対して、該受信信号を出力した複数の振動子２６それぞれの位置に応じて、信号増幅率の重み付けを行って増幅する装置である。この受信信号増幅率重み付け装置２０により、被検体２内から反射される超音波の受波ビームを、所望のビーム分布（例えばフラット、ガウシアン）が形成されたものとして取り扱うことができる。これにより、被検体２中の欠陥４の位置がわかりやすくなる。
【００５４】
受信波合成装置２２は、被検体２内から反射される超音波を受波して複数の振動子２６それぞれが出力した受信信号を合成して、合成受信信号を得るための装置である。また、受信波合成装置２２は、従来の超音波探傷器２４との電気的なインピーダンスも調整する。合成受信信号は１チャンネルの受信信号として、従来の超音波探傷器２４のレシーバ３０に出力され、レシーバ３０において、増幅、検波がなされるとともに、ＡＤ変換がなされ、デジタル信号に変換され、探傷図形信号となる。探傷図形信号の表示においては、被検体２中の欠陥４の位置は、エコーが出現する位置までのビーム路程で表示される。なお、レシーバ３０は、ＡＤ変換をする機能を有していなくてもよく、この場合、出力された合成受信信号はアナログ信号のまま、増幅、検波がされて、探傷図形信号となる。
【００５５】
この探傷図形信号は、制御器３２に送信され、さらに波形表示器３４に送信されて、制御器３２に設定された条件で波形表示器３４のディスプレイ上に探傷図形が表示される。また、探傷図形信号は、制御器３２から記憶媒体３６に送られ保存される。記憶媒体３６は、制御器３２の設定条件も保存する。なお、制御器３２は、探傷感度を決定するゲイン調整、波形を成形するフィルタ、波形表示器３４に現れたノイズを除去するためのリジェクションなどの機能を持っている。
【００５６】
このように、超音波探傷器用追加装置１０を用いてなる超音波探傷器１００は、従来の超音波探傷器２４を使用する際の取扱い方法と同様の取扱い方法で、探傷図形信号の波形の確認等を行うことができる。
【００５７】
また、本発明の実施形態に係る超音波探傷器用追加装置１０を用いた超音波探傷器１００においては、くさびを用いてもよいし、用いなくてもよい。
【００５８】
くさびを用いる場合は、被検体２の表面に対して角度を有するか水平なくさびの片面に複数の振動子２６を配設する。複数の各振動子２６に送信する各パルス信号の時間差は、被検体２中を進行する超音波の音速（該超音波が縦波か横波かで異なる）、くさび中を進行する超音波の音速（該超音波が縦波か横波かで異なる）、探傷に用いたい超音波の進行方向（屈折角）、くさびの角度および複数の各振動子２６の配設間隔から算出することができる。被検体２内の所望の探傷方向から反射される反射波に基づく合成受信信号の出力が最大となるように、複数の各振動子２６から出力される各受信信号を受信波合成装置２２に送信する時間差も、被検体２中を進行する超音波の音速（該超音波が縦波か横波かで異なる）、くさび中を進行する超音波の音速（該超音波が縦波か横波かで異なる）、探傷に用いたい超音波の進行方向（屈折角）、くさびの角度および複数の各振動子２６の配設間隔から算出することができる。複数の各振動子２６に送信する各パルス信号の送信電力の分布（重み付け）は、所望の分布（例えばフラット分布、正規分布）となるように設定する。被検体２内から反射される超音波を受波して複数の振動子２６それぞれが出力する受信信号に対して、該受信信号を出力した複数の振動子２６それぞれの位置に応じて行う信号増幅率の重み付けは、被検体２内から反射される超音波の受波ビームを、所望のビーム分布（例えばフラット、ガウシアン）が形成されたものとして取り扱うことができるように設定する。
【００５９】
くさびを用いない場合は、被検体２の探傷接触面に、直接、複数の振動子２６を配設する。複数の各振動子２６に送信する各パルス信号の時間差は、被検体２中を進行する超音波の音速（該超音波が縦波か横波かで異なる）、探傷に用いたい超音波の進行方向（屈折角）、および複数の各振動子２６の配設間隔から算出することができる。被検体２内の所望の探傷方向から反射される反射波に基づく合成受信信号の出力が最大となるように、複数の各振動子２６から出力される各受信信号を受信波合成装置２２に送信する時間差も、被検体２中を進行する超音波の音速（該超音波が縦波か横波かで異なる）、探傷に用いる超音波の進行方向（屈折角）、および複数の各振動子２６の配設間隔から算出することができる。複数の各振動子２６に送信する各パルス信号の送信電力の分布（重み付け）は、所望の分布（例えばフラット分布、正規分布）となるように設定する。被検体２内から反射される超音波を受波して複数の振動子２６それぞれが出力する受信信号に対して、該受信信号を出力した複数の振動子２６それぞれの位置に応じて行う信号増幅率の重み付けは、被検体２内から反射される超音波の受波ビームを、所望のビーム分布（例えばフラット、ガウシアン）が形成されたものとして取り扱うことができるように設定する。
【００６０】
くさびを用いない方が、くさびにおける超音波の減衰がなく、探傷における超音波の減衰が少ないため、パルス分岐装置１２によってパルス信号が分割され、強度が小さくなったままでも探傷を行いやすい。このため、本実施形態においては、くさびを用いない方が好ましい。
【００６１】
次に、本発明の実施形態に係る超音波探傷器用追加装置１０を用いた超音波探傷器１００における、複数の振動子２６について説明する。
【００６２】
超音波探傷器１００における複数の振動子２６は、前述のように送受波兼用の振動子であり、複数の振動子２６は送波および受波の両方を行う。超音波探傷器１００において、複数の振動子２６としては、縦波振動子、横波振動子のどちらも用いることができる。縦波振動子を用いた場合、縦波斜角探傷、横波斜角探傷のどちらも行うことができ、横波振動子を用いた場合、横波斜角探傷を行うことができる。いずれの場合においても、くさびを用いてもよいし、用いなくてもよい。また、いずれの場合においても、従来のアレイ探傷器によるメリットである、複数の屈折角での探傷を、１チャンネルのパルス信号を発信することで行うことができ、安価に行うことができる。
【００６３】
ここで、横波斜角探傷を縦波斜角探傷と比較してみると、横波は被検体２の底面で反射してもモード変換が生じないので、横波斜角探傷では一回反射法が適用できる点で縦波斜角探傷よりも有利である。一回反射法は、被検体の底面等で一回反射させて探傷を行う方法であり、例えば、直射では見つけにくい傾きの溶接開先線における欠陥を検出することができる、片面からの探傷では探傷不可能な領域（超音波が到達しない領域）が小さくなる等の利点がある。一方、複数の縦波振動子を用いた横波斜角探傷を行う場合、一般にくさびを用いる必要があり、くさび内での超音波の減衰や、くさび内での超音波の反射による不要エコーの発生などのくさびを使用することによるデメリットが生じる。しかし、超音波探傷器１００においては、くさびを用いずに横波斜角探傷を行うことができ、くさびを使用することによる前記デメリットを排除することができる。
【００６４】
また、横波振動子を用いた横波斜角探傷を行う場合、被検体２と横波振動子との間に設ける接触媒質には粘性の大きな物質を用いる必要があり、振動子を走査することが困難である点が縦波振動子を用いた横波斜角探傷および縦波斜角探傷と比較して不利である。しかし、超音波探傷器１００においては、横波振動子を用いた場合であっても、複数の各横波振動子に送信する各パルス信号に時間差を設けることで、被検体２内を進行する横波の超音波の進行方向（屈折角）を可変にすることができるので、振動子を走査させることなく、探傷したい範囲に超音波を照射することが可能である。
【００６５】
なお、縦波振動子が圧電素子からなる場合、厚み振動モードを利用することとなり、横波振動子が圧電素子からなる場合、厚みすべり振動モードを利用することとなる。
【００６６】
次に、本発明の実施形態に係る超音波探傷器用追加装置１０の動作について説明するが、超音波探傷器用追加装置１０を従来の超音波探傷器２４に接続するとともに、超音波探傷器用追加装置１０に複数の振動子２６を接続することで、複数の振動子を使用しての斜角探傷を行うことができる超音波探傷器１００となるので、超音波探傷器１００の動作について説明することで、超音波探傷器用追加装置１０の動作についての説明に代えることとする。
【００６７】
（１）従来の超音波探傷器２４の制御器３４において、探傷周波数、探傷範囲、増幅度などを設定する。
【００６８】
（２）設定された条件で、パルサ２８から、振動子２６を励振するための１チャンネルの高電圧のパルス信号が発信される。
【００６９】
（３）発信された１チャンネルの高電圧のパルス信号は、パルス分岐装置１２に送信されて、複数の振動子２６の数と同じ数に分割されるか、または、複数の振動子２６の数と同じ数のパルス信号がパルス分岐装置１２で生成される。
【００７０】
（４）パルス分岐装置１２から、複数の振動子２６の数と同じ数のパルス信号が、送信電力重み付け装置１４に送信され、パルス信号を送信する複数の振動子２６の位置に応じて、送信するパルス信号の送信電力に重み付けがなされる。
【００７１】
（５）送信電力重み付け装置１４によって送信電力に重み付けがなされたパルス信号は、送信パルス信号遅延時間制御装置１６に送信される。送信されたパルス信号は、送信パルス信号遅延時間制御装置１６によって、パルス信号を送信する複数の振動子２６の位置に応じて、所定の時間差が設けられて、複数の振動子２６に送信される。
【００７２】
（６）所定の時間差が設けられて複数の振動子２６にそれぞれ送信されたパルス信号によって、複数の振動子２６は所定の時間差をもって励振され、被検体２中を斜め方向に進行する超音波が発生する。
【００７３】
（７）複数の振動子２６は、被検体２中の欠陥４等で反射した超音波を受波し、電気信号である受信信号を出力する。
【００７４】
（８）該受信信号は受信信号遅延時間制御装置１８に出力され、受信信号遅延時間制御装置１８は、該受信信号を出力した該複数の振動子２６それぞれの配設位置に応じて所定の時間差を設けて、該受信信号を受信信号増幅率重み付け装置２０に送信する。
【００７５】
（９）所定の時間差が設けられて受信信号増幅率重み付け装置２０にそれぞれ送信された前記受信信号は、該受信信号を出力した該複数の振動子２６それぞれの配設位置に応じた所定の信号増幅率で受信信号増幅率重み付け装置２０によって増幅されて受信波合成装置２２に送信される。
【００７６】
（１０）所定の時間差が設けられ、かつ、所定の信号増幅率で増幅されて受信波合成装置２２に送信された前記受信信号は、受信波合成装置２２によって１つの合成受信信号に合成されて、従来の超音波探傷器２４のレシーバ３０に送信される。
【００７７】
（１１）１チャンネルの受信信号としてレシーバ３０に送信された合成受信信号は、レシーバ３０において、増幅、検波がなされるとともに、ＡＤ変換がなされ、デジタル信号に変換され、探傷図形信号となる。
【００７８】
（１２）この探傷図形信号は、制御器３２に送信され、さらに波形表示器３４に送信されて、制御器３２の設定に応じた条件で波形表示器３４のディスプレイ上に探傷図形が表示される。また、探傷図形信号は、制御器３２から記憶媒体３６に送られ保存される。記憶媒体３６は、制御器３２の設定条件も保存する。
【００７９】
次に、本発明の実施形態に係る超音波探傷器用追加装置１０を用いてなる超音波探傷器１００の変形例である超音波探傷器１５０について説明するが、超音波探傷器１００と同一の構成については同一の符号を用い、説明は省略する。
【００８０】
図２は、本発明の実施形態に係る超音波探傷器用追加装置１０を用いてなる超音波探傷器１００の変形例である超音波探傷器１５０を示す構成図である。超音波探傷器１００における複数の振動子２６は、送受波兼用の振動子であったが、超音波探傷器１５０における複数の振動子は、複数の送波用の振動子５２Ａと複数の受波用の振動子５２Ｂとからなっており、この点が超音波探傷器１００との相違点である。
【００８１】
超音波探傷器１５０を用いての探傷では、各パルス信号が送信されて複数の送波用の各振動子５２Ａが励振させられて、被検体２内を斜め方向に進行する横波の超音波が欠陥６に照射される。欠陥６で反射させられた横波の超音波および被検体２の底面で反射させられた横波の超音波は、複数の受波用の各振動子５２Ｂに受波されて、欠陥６が探知される。
【００８２】
複数の送波用の振動子５２Ａおよび複数の受波用の振動子５２Ｂは、縦波振動子、横波振動子のどちらも用いることができる。したがって、超音波探傷器１５０で行うことのできる探傷は、超音波探傷器１００で行うことのできる探傷と同様に、縦波振動子を用いた縦波斜角探傷および横波斜角探傷と、横波振動子を用いた横波斜角探傷である。
【００８３】
なお、超音波探傷器用追加装置１０を用いた超音波探傷器１００、１５０についての以上の説明においては、送信パルス信号は送信電力重み付け装置１４から送信パルス信号遅延時間制御装置１６へ送信されるものとして説明したが、送信パルス信号を送信する順番はこれに限られず、逆の順番でもよい。また、受信信号は受信信号遅延時間制御装置１８から受信信号増幅率重み付け装置２０へ送信されるものとして説明したが、受信信号を送信する順番はこれに限られず、逆の順番でもよい。
【００８４】
また、以上説明した超音波探傷器用追加装置１０は振動子を備えていないが、超音波探傷器用追加装置１０に複数の振動子２６を備えさせて超音波探傷器用追加装置１０Ａとしてもよいし、超音波探傷器用追加装置１０に複数の送波用の振動子５２Ａおよび複数の受波用の振動子５２Ｂを備えさせて超音波探傷器用追加装置１０Ｂとしてもよい。
【００８５】
最後に、超音波探傷器用追加装置１０を用いることによる効果について説明する。
【００８６】
超音波探傷器用追加装置１０を、単一の振動子を使用してパルス反射法に用いる従来の超音波探傷器に接続することにより、複数の振動子を使用しての斜角探傷を行うことができるようになる。したがって、超音波探傷器用追加装置１０を用いることによって、従来の超音波探傷器を有効活用して、複数の振動子を使用しての斜角探傷を行うことができるようになり、高価なアレイ探傷器に買い替える必要がなくなる。このため、複数の振動子を使用しての斜角探傷を低コストに実現することができる。
【００８７】
また、超音波探傷器用追加装置１０を用いてなる超音波探傷器１００、１５０は、パルサのチャンネル数、レシーバのチャンネル数、レシーバ３０に備えられたＡＤ変換器のチャンネル数は全て１つであり、振動子の数に対応したチャンネル数を有する従来のアレイ探傷器よりも少ない。このため、従来の超音波探傷器２４のコストに超音波探傷器用追加装置１０のコストを加えた合計コストも、従来のアレイ探傷器のコストよりも低くなる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の実施形態に係る超音波探傷器用追加装置を用いてなる超音波探傷器の一例を示す構成図
【図２】前記超音波探傷器の変形例を示す構成図
【図３】従来のアレイ探傷器２００の一例を示す構成図
【符号の説明】
【００８９】
２…被検体
４、６…欠陥
１０…超音波探傷器用追加装置
１２…パルス分枝装置
１４…送信電力重み付け装置
１６…送信パルス信号遅延時間制御装置
１８…受信信号遅延時間制御装置
２０…受信信号増幅率重み付け装置
２２…受信波合成装置
２４…従来の超音波探傷器
２６…振動子
２８…パルサ
３０…レシーバ
３２…制御器
３４…波形表示器
３６…記憶媒体
５２Ａ…送波用の振動子
５２Ｂ…受波用の振動子
１００、１５０…超音波探傷器
【図１】
2009098002.tif 000003
【図２】
2009098002.tif 000004
【図３】
2009098002.tif 000005