(57)【要約】【課題】処理溶液の溶媒の気化を抑制することができると共に、気化した溶媒を適切に排気することができる浸漬処理装置を提供する。【解決手段】処理溶液にワークＷを浸漬することにより、ワークＷの表面処理を行うワーク処理槽５と、ワーク処理槽５を開閉する開閉蓋１４と、開閉蓋１４を開閉動作させる蓋移動機構１８と、これら構成装置を収容する装置カバー６と、上流側を装置カバー６に接続され、下流側を排気設備に接続した排気ダクト２５と、排気ダクト２５を開閉する排気ダンパー２７と、蓋移動機構１８および排気ダンパー２７を制御する制御手段９と、を備え、制御手段９は、蓋移動機構１８の開放動作に同期して排気ダンパー２７を「閉」動作させると共に、蓋移動機構１８の閉塞動作に同期して排気ダンパー２７を「開」動作させる。【選択図】図８
2009213995.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貯留した処理溶液にワークを浸漬することにより、ワークの表面処理を行うワーク処理槽と、
前記ワーク処理槽を開閉する開閉蓋と、
前記開閉蓋を開閉動作させる蓋移動機構と、
前記ワーク処理槽、前記開閉蓋および前記蓋移動機構を収容するカバーケースと、
上流側を前記カバーケースに設けた排気口に接続され、下流側を排気設備に接続した排気流路と、
前記排気流路に介設され、前記排気流路を開閉する排気流路開閉手段と、
前記蓋移動機構および前記排気流路開閉手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記蓋移動機構の開放動作に同期して前記排気流路開閉手段を「閉」動作させると共に、前記蓋移動機構の閉塞動作に同期して前記排気流路開閉手段を「開」動作させることを特徴とする浸漬処理装置。
【請求項２】
前記カバーケースには、ケース内外を接続する配管・配線用の貫通開口が形成され、
前記貫通開口が、前記カバーケースの内外を連通する吸気口を兼ねていることを特徴とする請求項１に記載の浸漬処理装置。
【請求項３】
前記処理溶液の気化溶媒は、空気より比重が重いものであり、
前記排気口は、前記カバーケースの下部に配設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の浸漬処理装置。
【請求項４】
前記蓋移動機構は、前記開閉蓋を上下方向に開閉動作させる鉛直移動機構と、
前記鉛直移動機構を介して、開放した前記開閉蓋を前記ワーク処理槽から外れるように水平方向に移動させる水平移動機構と、
前記水平移動機構に併設した蓋部ケーブル担持体と、
前記蓋部ケーブル担持体を覆う蓋部集塵ボックスと、
前記蓋部集塵ボックスに接続され、前記蓋部集塵ボックス内を排気する蓋部ボックス排気流路と、を有し、
前記蓋部ボックス排気流路は、前記排気流路開閉手段の下流側の前記排気流路に接続されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の浸漬処理装置。
【請求項５】
前記鉛直移動機構は、排気ポート付のエアーシリンダで構成されており、
前記蓋移動機構は、前記排気ポートに接続された蓋部シリンダ排気流路と、を更に有し、
前記蓋部シリンダ排気流路は、前記排気流路開閉手段の下流側の前記排気流路に接続されていることを特徴とする請求項４に記載の浸漬処理装置。
【請求項６】
給材した前記ワークを、給材位置と前記処理溶液に浸漬する浸漬位置との間で移動させる浸漬移動機構を、更に備え、
前記浸漬移動機構は、前記ワークを吊り下げる吊下げ機構と、
前記吊下げ機構を昇降自在に支持すると共に、前記吊下げ機構を介して前記ワークを前記ワーク処理槽に浸漬する昇降機構と、
前記昇降機構および前記吊下げ機構を介して吊り下げた前記ワークを、前記給材位置と前記ワーク処理槽との間で水平に移動させる横移動機構と、
前記横移動機構に併設した浸漬部ケーブル担持体と、
前記浸漬部ケーブル担持体を覆う浸漬部集塵ボックスと、
前記浸漬部集塵ボックスに接続され、前記浸漬部集塵ボックス内を排気する浸漬部ボックス排気流路と、を有し、
前記浸漬部ボックス排気流路は、前記排気流路開閉手段の下流側の前記排気流路に接続されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の浸漬処理装置。
【請求項７】
前記昇降機構を覆う昇降部集塵ボックスと、
前記昇降部集塵ボックスに接続され、前記昇降部集塵ボックス内を排気する昇降部ボックス排気流路と、を更に有し、
前記昇降部ボックス排気流路は、前記排気流路開閉手段の下流側の前記排気流路に接続されていることを特徴とする請求項６に記載の浸漬処理装置。
【請求項８】
前記吊下げ機構は、排気ポート付のエアーシリンダで構成されており、
前記浸漬移動機構は、前記排気ポートに接続された浸漬部シリンダ排気流路と、を更に有し、
前記浸漬部シリンダ排気流路は、前記排気流路開閉手段の下流側の前記排気流路に接続されていることを特徴とする請求項６または７に記載の浸漬処理装置。
【請求項９】
前記ワーク処理槽に前記処理溶液を供給する給液タンクと、
前記ワーク処理槽の前記処理溶液を回収する回収タンクと、
前記給液タンクおよび前記回収タンクを収容するタンクキャビネットと、
前記タンクキャビネットに接続され、前記タンクキャビネット内の雰囲気を排気するキャビネット排気流路と、を更に備え、
前記キャビネット排気流路は、前記排気流路開閉手段の下流側の前記排気流路に接続されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の浸漬処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、貯留した処理溶液にワークを浸漬することによりワークの表面処理を行う処理装置本体を、カバーケースで覆った浸漬処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の浸漬処理装置として、ワークに対して表面処理を行う浸漬槽（処理タンク）と、浸漬槽からオーバーフローしたコーティング用液体（処理溶液）を回収する貯液槽（補充層）と、貯液槽と浸漬槽とを接続する配管と、配管を介して貯液槽のコーティング用液体を浸漬槽に送液するポンプと、コーティング用液体の有機溶媒を貯液槽に補充する溶媒補充手段と、を有するコーティング装置が知られている（特許文献１参照）。このコーティング装置では、浸漬処理時に気化した分の有機溶媒を溶媒補充手段により補充し、コーティング用液体の濃度を一定に保つようにしている。
【特許文献１】特開２００４−１１３９３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような、従来の浸漬処理装置において、例えば有機溶媒が毒性を有する場合には、浸漬処理時に気化した有機溶媒を、適切に排気処理することが必要となる。かかる場合、上記の構成装置をチャンバ形式のケースで囲い、内部雰囲気を排気して排気処理することが考えられる。しかし、内部雰囲気を単純に吸引排気すると、ケース内に気流が発生し、かえって有機溶媒の気化を促進してしまうことが考えられる。
【０００４】
本発明は、処理溶液の溶媒の気化を抑制することができると共に、気化した溶媒を適切に排気することができる浸漬処理装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の浸漬処理装置は、貯留した処理溶液にワークを浸漬することにより、ワークの表面処理を行うワーク処理槽と、ワーク処理槽を開閉する開閉蓋と、開閉蓋を開閉動作させる蓋移動機構と、ワーク処理槽、開閉蓋および蓋移動機構を収容するカバーケースと、上流側をカバーケースに設けた排気口に接続され、下流側を排気設備に接続した排気流路と、排気流路に介設され、排気流路を開閉する排気流路開閉手段と、蓋移動機構および排気流路開閉手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、蓋移動機構の開放動作に同期して排気流路開閉手段を「閉」動作させると共に、蓋移動機構の閉塞動作に同期して排気流路開閉手段を「開」動作させることを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、浸漬処理等のために開閉蓋を開放するが、その際、排気流路開閉手段を「閉」とすることで、排気が中止（停止）される。このため、カバーケース内に気流が発生することがなく、処理溶液（の溶媒）の気化を抑制することができる。一方、浸漬処理の処理待ち時等において、開閉蓋を閉塞することで、処理溶液（の溶媒）の気化を防止することができる。また、その際、排気流路開閉手段を「開」とすることで、カバーケース内の排気が実行され、気化した溶媒を適切に排気することができる。すなわち、処理溶液の溶媒の気化を抑制しつつ、気化した溶媒を適切に排気することができる。
【０００７】
この場合、カバーケースには、ケース内外を接続する配管・配線用の貫通開口が形成され、貫通開口が、カバーケースの内外を連通する吸気口を兼ねていることが、好ましい。
【０００８】
この構成によれば、カバーケースの排気に伴って、吸気口から吸気が行われるため、カバーケース内を適切に換気することができる。また、配管・配線用の貫通開口が吸気口を兼ねているため、カバーケースに専用の吸気口を形成する必要がなく、カバーケースの構成を単純化することができる。
【０００９】
また、処理溶液の気化溶媒は、空気より比重が重いものであり、排気口は、カバーケースの下部に配設されていることが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、カバーケースの雰囲気に含まれる処理溶液の気化溶媒を、より一層効率良く排気することができる。
【００１１】
一方、蓋移動機構は、開閉蓋を上下方向に開閉動作させる鉛直移動機構と、鉛直移動機構を介して、開放した開閉蓋をワーク処理槽から外れるように水平方向に移動させる水平移動機構と、水平移動機構に併設した蓋部ケーブル担持体と、蓋部ケーブル担持体を覆う蓋部集塵ボックスと、蓋部集塵ボックスに接続され、蓋部集塵ボックス内を排気する蓋部ボックス排気流路と、を有し、蓋部ボックス排気流路は、排気流路開閉手段の下流側の排気流路に接続されていることが、好ましい。
【００１２】
また、鉛直移動機構は、排気ポート付のエアーシリンダで構成されており、蓋移動機構は、排気ポートに接続された蓋部シリンダ排気流路と、を更に有し、蓋部シリンダ排気流路は、排気流路開閉手段の下流側の排気流路に接続されていることが、好ましい。
【００１３】
これらの構成によれば、蓋部ケーブル担持体から発生する塵埃および鉛直移動機構から発生する塵埃を、直接排気することができ、塵埃によるワークの処理不良を防止することができる。
【００１４】
同様に、給材したワークを、給材位置と処理溶液に浸漬する浸漬位置との間で移動させる浸漬移動機構を、更に備え、浸漬移動機構は、ワークを吊り下げる吊下げ機構と、吊下げ機構を昇降自在に支持すると共に、吊下げ機構を介してワークをワーク処理槽に浸漬する昇降機構と、昇降機構および吊下げ機構を介して吊り下げたワークを、給材位置とワーク処理槽との間で水平に移動させる横移動機構と、横移動機構に併設した浸漬部ケーブル担持体と、浸漬部ケーブル担持体を覆う浸漬部集塵ボックスと、浸漬部集塵ボックスに接続され、浸漬部集塵ボックス内を排気する浸漬部ボックス排気流路と、を有し、浸漬部ボックス排気流路は、排気流路開閉手段の下流側の排気流路に接続されていることが、好ましい。
【００１５】
また、昇降機構を覆う昇降部集塵ボックスと、昇降部集塵ボックスに接続され、昇降部集塵ボックス内を排気する昇降部ボックス排気流路と、を更に有し、昇降部ボックス排気流路は、排気流路開閉手段の下流側の排気流路に接続されていることが、好ましい。
【００１６】
さらに、吊下げ機構は、排気ポート付のエアーシリンダで構成されており、浸漬移動機構は、排気ポートに接続された浸漬部シリンダ排気流路と、を更に有し、浸漬部シリンダ排気流路は、排気流路開閉手段の下流側の排気流路に接続されていることが、好ましい。
【００１７】
これらの構成によれば、浸漬部ケーブル担持体から発生する塵埃、昇降機構および吊下げ機構から発生する塵埃を、直接排気することができ、塵埃によるワークの処理不良を防止することができる。
【００１８】
また、ワーク処理槽に処理溶液を供給する給液タンクと、ワーク処理槽の処理溶液を回収する回収タンクと、給液タンクおよび回収タンクを収容するタンクキャビネットと、タンクキャビネットに接続され、タンクキャビネット内の雰囲気を排気するキャビネット排気流路と、を更に備え、キャビネット排気流路は、排気流路開閉手段の下流側の排気流路に接続されていることが、好ましい。
【００１９】
この構成によれば、給液タンクおよび回収タンクの口金等から発生したタンクキャビネット内の気化溶媒を、適切に排気することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係る浸漬処理装置について説明する。この浸漬処理装置は、処理溶液にワークを浸漬してコーティング等の表面処理を行う、いわゆるＤｉｐコータであり、表面処理を行う処理装置本体を装置カバーで覆い、処理溶液の気化溶媒を適宜排気処理できるようになっている。
【００２１】
図１および図２に示すように、浸漬処理装置１は、下部のタンクキャビネット２と、タンクキャビネット２の上面に配設した機台３と、機台３上に設置され、ワーク処理槽５を有する処理装置本体４と、処理装置本体４を収容し、機台３の上部空間を覆うようにして設けられた装置カバー（カバーケース）６と、を備えている。タンクキャビネット２および装置カバー６は、図外の排気設備に連通しており、内部雰囲気が適宜換気されるようになっている。また、浸漬処理装置１には、装置カバー６の背面側に設けた電装ボックス７と、装置カバー６の正面（前面）に設けた制御装置本体８とから成る制御装置９が組み込まれている。
【００２２】
処理対象物であるワークＷは、方形の金属板であり、その複数枚（２０枚）を単位としてワークマガジン１１に収容して、浸漬処理装置１に対し徐給材される。より具体的には、複数枚のワークＷを並べて収容した２個のワークマガジン１１，１１が、マガジントレイ１２に搭載され、マガジントレイ１２と共に２個のワークマガジン１１，１１が一括して、浸漬処理装置１に対し徐給材される。そして、複数枚のワークＷは、ワークマガジン１１と共にワーク処理槽５に浸漬され、表面処理される。
【００２３】
処理装置本体４は、ワークを浸漬処理するワーク処理槽５と、ワーク処理槽５の上端開放部を開閉する開閉蓋１４と、ワーク処理槽５に隣接するワーク給材部１５に配設したマガジンセット機構１６と、複数枚のワークＷをワークマガジン１１と共に、ワーク給材部１５とワーク処理槽５との間で浸漬移動させる浸漬移動機構（ワーク移動機構）１７と、ワーク処理槽５に対し開閉蓋１４を開閉移動させる蓋移動機構１８と、を備えている。ワーク処理槽５とマガジンセット機構１６とは、機台３の前部に配設され、浸漬移動機構１７と蓋移動機構１８とは、上下に重なった状態で機台３の後部に配設されている。
【００２４】
浸漬移動機構１７は、ワークマガジン１１をフッキングしてワーク処理槽５の直上部まで移動させ、蓋移動機構１８が開閉蓋１４を開放するのを待って、ワークマガジン１１をワーク処理槽５に浸漬する。この浸漬処理では、浸漬移動機構１７は、ワークマガジン１１を処理溶液にゆっくり沈めてゆき、液面の波立ちが静まるのを待ってゆっくり引き上げてゆく。これにより、ワークマガジン１１内の複数枚のワークＷに表面処理が適切に行われる。後述するように、処理溶液は揮発性の高い溶媒を含んでおり、このワークマガジン１１の引き上げ中に、ワークマガジン１１やワークＷに付着した処理溶液（溶媒）は、急速に気化してゆく（乾燥）。ワークマガジン１１の引き上げが完了すると、直ちに蓋移動機構１８が開閉蓋１４を閉塞する。一方、引き上げられたワークマガジン１１は、ワーク給材部１５のマガジントレイ１２に戻される。以上の動作を２回行って、２個のワークマガジン（ワークＷ）１１，１１の浸漬処理が終了したら、ワークマガジン１１をマガジントレイ１２と共に徐材し、新たなワークマガジン（未処理のワークＷ）１１を給材する。
【００２５】
一方、タンクキャビネット２内には、ワーク処理槽５に処理溶液を供給する給液タンク２１と、使用済みの処理溶液をワーク処理槽５から回収する廃液タンク２２と、フィルタリングのためにワーク処理槽５から処理溶液を抜き取って回収するバッファタンク２３と、が収容されている。さらに、タンクキャビネット２内には、これらタンク２１，２２，２３に併設するように、各種のポンプおよびバルブが各種配管と共に収容されている。
【００２６】
処理溶液は、表面処理の主成分となる溶剤と、溶剤を溶かしこんだ溶媒とから成り、溶媒は給液タンク２１からワーク処理槽５に供給され、溶剤はワーク処理槽５の供給した溶媒に直接投入され混合される。また、溶媒には、揮発性の高いものが用いられている。このため、ワーク処理槽５は、浸漬処理を実施するとき以外は、上記の開閉蓋１４で気密に閉塞され、また浸漬処理時にワーク処理槽５から蒸散した気化溶媒は、装置カバー６内の雰囲気と共に主排気ダクト２５を介して、上記の排気設備（排気処理設備）に排気される。なお、気化溶媒の比重は空気より僅かに重い性質を有している。
【００２７】
ここで、図２ないし図７を参照して、浸漬処理装置１の排気系について詳細に説明する。浸漬処理装置１の排気系は、主として処理溶液の気化溶媒を排気する雰囲気排気系と、構成装置で個々に発生する塵埃を直接排気する塵埃排気系と、で構成されている。雰囲気排気系は、装置カバー６内の雰囲気およびタンクキャビネット２内の雰囲気をそれぞれ排気し、塵埃排気系は、浸漬移動装置１７の構成装置および蓋移動機構１８の構成装置をそれぞれ排気する（図７参照）。以下、これらを順に説明する。
【００２８】
図２および図７に示すように、本実施形態の浸漬処理装置１では、処理装置本体４が装置カバー６に覆われており、装置カバー６は、主排気ダクト（排気流路）２５を介して排気設備に接続されている。特に図示しないが、実施形態の排気設備は、排気ファン等を備えた工場の排気設備であり、浸漬処理装置１の運転中は常に排気エアーを吸引するようになっている。
【００２９】
主排気ダクト２５の上流端は、装置カバー６の背面に接続されている。より具体的には、上記のワーク処理槽５に対し平面視対角位置となる装置カバー６の背面板下端部（背面板の左下端部）に排気口２６が設けられおり、この排気口２６に外側から主排気ダクト２５の上流端が接続されている。装置カバー６の内部雰囲気、すなわち処理溶液の気化溶媒を含む内部雰囲気は、この排気口２６から排気される。また、主排気ダクト２５には、この排気口２６の直近に位置して、排気ダンパー（排気流路開閉手段）２７が介設されている。そして、排気ダンパー２７は、電磁式或いは電動式のダンパーで構成され、上記の制御装置９により開閉制御される（詳細は、後述する。）。
【００３０】
一方、排気口２６に対応する装置カバー６の吸気口２８は、装置カバー６の背面板の右下端部に形成されている。具体的には、装置カバー６の背面板の右下端部には、配管・配線が挿通する矩形の貫通開口が形成されており、この貫通開口が吸気口２８を兼ねている。これにより、装置カバー６の内部雰囲気（内部エアー）が排気口２６から排気されると、同時に吸気口２８をから新鮮エアーが流入し、装置カバー６内が換気される。上述したように、気化溶媒の比重は空気より僅かに重いものであり、装置カバー６の下部に設けた吸気口２６および排気口２８により、気化溶媒を優先的に排気できるようになっている。
【００３１】
同様に、タンクキャビネット２の背面板の左下端部には、キャビネット排気口３１が設けられおり、キャビネット排気口３１には、タンクキャビネット２内の雰囲気を排気するキャビネット排気ダクト（キャビネット排気流路）３２が接続されている。上述のように、タンクキャビネット２には、給液タンク２１、廃液タンク（回収タンク）２２およびバッファタンク（回収タンク）２３と、が収容されており、これらタンクの口金部分から漏れた気化溶媒、或いはタンク交換時に漏れた気化溶媒が、キャビネット排気ダクト３２を介して排気される。また、タンクキャビネット２の天板を兼ねる機台３の後部には、電装ボックス７に接続したケーブル用の円形開口が形成されており、この円形開口が、キャビネット吸気口３３を兼ねている。タンクキャビネット２の内部雰囲気（内部エアー）がキャビネット排気口３１から排気されると、同時にキャビネット吸気口３３をから新鮮エアーが流入する。
【００３２】
図３ないし図６に示すように、浸漬移動機構１７と蓋移動機構１８とは、上下に重なった状態で、機台３の後部に立設した左右一対の支柱３５，３５により支持されている。一方、２個のワークマガジン１１は、マガジントレイ１２に搭載した状態で、機台３の前部に配設されたマガジンセット機構１６にセットされている。また、ワーク処理槽５は、処理槽部５Ａおよび補充槽部５Ｂから成り、マガジンセット機構１６の右隣に配設されている。
【００３３】
図３ないし図５に示すように、浸漬移動機構１７は、ワークマガジン（ワーク）１１をフッキングして吊り下げる吊下げ機構５１と、吊下げ機構５１を昇降自在に支持すると共に、吊下げ機構５１を介してワークマガジン１１をワーク処理槽５に浸漬する昇降機構５２と、昇降機構５２および吊下げ機構５１を介して吊り下げたワークマガジン１１を、ワーク給材部（給材位置）１５とワーク処理槽５との間で水平に移動させる横移動機構５３と、を備えている。
【００３４】
吊下げ機構５１は、ワークマガジン１１を吊り下げる前後一対のフック５５，５５と、一対のフック５５，５５を吊下げ位置と吊下げ解除位置との間で水平移動させるフックエアーシリンダ５６と、下面にフックエアーシリンダ５６を固定した板状フレーム５７と、板状フレーム５７に平行に配設され、ワークマガジン１１の浸漬時にワーク処理槽５を閉塞する処理時開閉蓋５８と、を備えている。昇降機構５２により、ワークマガジン１１がワーク処理槽５に完全に浸漬されると、同時に処理時開閉蓋５８が下降して、ワーク処理槽５を閉塞する。
【００３５】
フックエアーシリンダ５６は、ワークマガジン１１に対し、一対のフック５５，５５を吊下げ位置と吊下げ解除位置との間で同時に平行移動させるミラー動作型のシリンダで構成されている。そして、フックエアーシリンダ５６には、作動エアーを供給する一対のエアーポート５９，５９と、内部を排気するための排気ポート６０と、が設けられており、排気ポート６０は、後述する浸漬部シリンダ排気チューブ（浸漬部シリンダ排気流路）６１を介して排気設備に接続されている（図７参照）。
【００３６】
昇降機構５２は、後述する横移動機構５３のＬ字ブラケット６９に搭載されており、吊下げ機構５１を昇降自在に支持する特殊モータ６３と、前後一対の昇降ガイド６４，６４と、特殊モータ６３および一対の昇降ガイド６４，６４を覆う昇降部集塵ボックス６５と、を備えている。この場合、昇降部集塵ボックス６５は、その下部でＬ字ブラケット６９を覆っており、この状態でＬ字ブラケット６９の側面に固定されている。そして、昇降部集塵ボックス６５は、後述する昇降部ボックス排気チューブ（昇降部ボックス排気流路）６６を介して排気設備に接続されている（図７参照）。
【００３７】
横移動機構５３は、モータ駆動の移動テーブル６８と、移動テーブル６８のスライダに固定したＬ字ブラケット６９と、移動テーブル６８の上側に併設したケーブルベア（商標：浸漬部ケーブル担持体）７０と、ケーブルベア７０を覆う浸漬部集塵ボックス７１と、を有している。浸漬部集塵ボックス７１および移動テーブル６８は、上下に位置し且つ左右方向に水平に延在している。また、浸漬部集塵ボックス７１は、後述する浸漬部ボックス排気チューブ（浸漬部ボックス排気流路）７２を介して排気設備に接続されている（図７参照）。
【００３８】
図３および図６に示すように、蓋移動機構１８は、開閉蓋１４を片持ちで保持し、これをワーク処理槽５に対し開閉動作させる鉛直移動機構８１と、鉛直移動機構８１を介して開閉蓋１４を、ワーク処理槽５の直上部位置とマガジンセット機構１６の直上位置との間で水平に移動させる水平移動機構８２と、水平移動機構８２に併設したケーブルベア（商標：蓋部ケーブル担持体）８３と、ケーブルベア８３を覆う蓋部集塵ボックス８４と、を備えている。ケーブルベア８３および蓋部集塵ボックス８４は、水平移動機構８２の下側に位置して、水平移動機構８２と平行に延在している。そして、蓋部集塵ボックス８４は、後述する蓋部ボックス排気チューブ（蓋部ボックス排気流路）８５を介して排気設備に接続されている（図７参照）。
【００３９】
鉛直移動機構８１は、復動の昇降シリンダ（エアーシリンダ）８６を有しており、開閉蓋１４は、昇降シリンダ８６の下端面に取り付けられている。昇降シリンダ８６は、僅かな距離上下動するようになっており、開閉蓋１４を、ワーク処理槽５に対する開放位置と閉塞位置との間で、開閉動作させる。そして、昇降シリンダ８６には、作動エアーを供給する一対のエアーポート８７，８７と、内部を排気するための排気ポート８８と、が設けられており、排気ポート８８は、後述する蓋部シリンダ排気チューブ（蓋部シリンダ排気流路）８９を介して排気設備に接続されている（図７参照）。
【００４０】
ここで、図７の排気系統図を参照して、浸漬処理装置１の排気系についてさらに詳細に説明する。上述のように、装置カバー６の内部雰囲気は、排気口２６から排気されると同時に吸気口２８から吸気され（換気）、その排気エアーは主排気ダクト２５を介して排気設備に排気される。また、詳細は後述するが、主排気ダクト２５を開閉する排気ダンパー２７により、装置カバー６の排気タイミングが制御されるようになっている。
【００４１】
同様に、タンクキャビネット２の内部雰囲気は、キャビネット排気口３１から排気されると同時にキャビネット吸気口３２から吸気され（換気）、その排気エアーは、タンクキャビネット２からキャビネット排気ダクト３２を介して排気設備に排気される。この場合、キャビネット排気ダクト３２の下流端は、排気ダンパー２７の下流側の主排気ダクト２５に接続されており、タンクキャビネット２内の雰囲気は、常時排気される。
【００４２】
一方、浸漬移動装置１７の浸漬部集塵ボックス７１は、浸漬部ボックス排気チューブ７２を介して排気設備に接続されており、浸漬部ボックス排気チューブ７２の下流端は、排気ダンパー２７の下流側の主排気ダクト２５に接続されている。これにより、浸漬部集塵ボックス７１内のケーブルベア７０から発生した塵埃が、常時排気される。同様に、昇降部集塵ボックス６５は、昇降部ボックス排気チューブ６６を介して排気設備に接続されており、昇降部ボックス排気チューブ６６の下流端は、排気ダンパー２７の下流側の主排気ダクト２５に接続されている。これにより、昇降部集塵ボックス６５内の特殊モータ６３や昇降ガイド６４から発生した塵埃が、常時排気される。フックエアーシリンダ５６は、浸漬部シリンダ排気チューブ６１を介して排気設備に接続されており、浸漬部シリンダ排気チューブ６１の下流端は、排気ダンパー２７の下流側の主排気ダクト２５に接続されている。これにより、フックエアーシリンダ５６の内部に発生した塵埃が、常時排気される。
【００４３】
同様に、蓋移動機構１８の蓋部集塵ボックス８４は、蓋部ボックス排気チューブ８５を介して排気設備に接続されており、蓋部ボックス排気チューブ８５の下流端は、排気ダンパー２７の下流側の主排気ダクト２５に接続されている。これにより、蓋部集塵ボックス８４内のケーブルベア８３から発生した塵埃が、常時排気される。また、昇降シリンダ８６は、蓋部シリンダ排気チューブ８９を介して排気設備に接続されており、蓋部シリンダ排気チューブ８９の下流端は、排気ダンパー２７の下流側の主排気ダクト２５に接続されている。これにより、昇降シリンダ８６の内部に発生した塵埃が、常時排気される。
【００４４】
ここで、図８および図９を参照して、制御装置９により関連付けて制御される排気ダンパー２７、浸漬移動機構１７および蓋移動機構１８の制御動作について、説明する。上述のように、ワーク処理層５には揮発性の高い処理溶液が貯留されており、浸漬処理時の開閉蓋の開放に伴って、処理溶液が気化する。そこで、処理溶液の気化を極力抑制すべくこの制御方法では、蓋移動機構１８の開放動作に同期して排気ダンパー２７を「閉」動作させると共に、蓋移動機構１８の閉塞動作に同期して排気ダンパー２７を「開」動作させるようにしている。
【００４５】
装置の起動開始時において、複数枚のワークＷを収容した２個のワークマガジン１１，１１が、マガジントレイ１２を介してマガジンセット機構１６上にセットされている。すなわち、２個のワークマガジン１１，１１は、ワーク給材部１５にセットされている。また、浸漬移動機構１７は、その吊下げ機構５１が左側のワークマガジン１１の直上部の上昇端位置にあって、駆動待機している。同様に、蓋移動機構１８は、開閉蓋１４がワーク処理槽５を閉塞する閉塞位置にあって、ワーク処理槽５を閉蓋している。一方、排気ダンパー２７は「開」となっており、装置カバー６の排気が行われている。
【００４６】
この状態から、装置の起動を開始すると、先ず浸漬移動機構１７の昇降機構５２が駆動し、吊下げ機構５１をフッキング位置に下降させると共に吊下げ機構５１を駆動する（図１１（ａ）参照）。吊下げ機構５１により一対のフック５５，５５を吊下げ位置に移動したら再度昇降機構５２を駆動し、左側のワークマガジン１１を吊り上げた状態で吊下げ機構５１を元の上昇端位置に上昇させる（図１１（ｂ）参照）。続いて、横移動機構５３が駆動し、吊り上げたワークマガジン１１をワーク処理槽５の直上部位置まで移動させる（図１１（ｃ）参照）。
【００４７】
ここで、蓋移動機構１８の鉛直移動機構８１が駆動し、開閉蓋１４を開放位置に上動させると同時に、排気ダンパー２７が「閉」動作される（図１１（ｄ）参照）。すなわち、蓋移動機構１８によりワーク処理層５が開放されると同時に排気（換気）を停止し、装置カバー６内に気流の流れが極力生じないようにしている。更に、水平移動機構８２が駆動し、開放位置にある開閉蓋１４を右側のワークマガジン１１の直上部の開放待機位置に移動させる（図１１（ｅ）参照）。続いて、浸漬移動機構１７の昇降機構５２が駆動し、吊り上げたワークマガジン１１を吊下げ機構５１と共に下降させ、ワークマガジン１１をワーク処理槽５に浸漬する（図１１（ｆ）参照）。この浸漬ための下降動作では、ワークマガジン１１を、処理溶液にゆっくり且つ定速で沈めてゆく。ワークマガジン（ワークＷ）１１が処理溶液に完全に没する（浸漬位置）と、昇降機構５２が停止し、同時に処理時開閉蓋５８がワーク処理槽５を閉塞する。
【００４８】
ここで、液面の波立ちが静まるのを待って（所定時間）、再度昇降機構５２が駆動し、ワークマガジン１１をワーク処理槽５から引き上げる（図１２（ａ）参照）。この引き上げのための上昇動作では、処理溶液に波立ちが生じないように、ワークマガジン１１をゆっくり且つ定速で引き上げる。吊下げ機構５１（ワークマガジン１１）が上昇端位置に達したら、続いて蓋移動機構１８の水平移動機構８２が駆動し、開放待機位置の開閉蓋１４をワーク処理槽５の直上部の開放位置に移動させる（図１２（ｂ）参照）。更に、鉛直移動機構８１が駆動し、開閉蓋１４を閉塞位置に移動させると同時に、排気ダンパー２７が「開」動作される（図１２（ｃ）参照）。これにより、開閉蓋１４の開放時にワーク処理層５から蒸散した気化溶媒、および引上げに伴ってワークＷやワークマガジン１１から蒸散した気化溶媒は、装置カバー６内から排気される。
【００４９】
以降、上記と逆の手順で、横移動機構５３が駆動し、吊り上げたワークマガジン１１をワーク給材部１５に戻し（図１２（ｄ）参照）、マガジントレイ１２上にセットする（図１２（ｅ）参照）。これにより、左側のワークマガジン１１（ワークＷ）の一連の浸漬処理を終了する。続いて、右側のワークマガジン１１（ワークＷ）を上記と同様の動作で行い、２個のワークマガジン（ワークＷ）１１，１１の浸漬処理を完了する。そして、２個のワークマガジン１１，１１をマガジントレイ１２と共に徐材する。
【００５０】
なお、排気ダンパー２７の「閉」動作を、鉛直移動機構８１によるワーク処理槽５の開放直前から開始してもよい。同様に、排気ダンパー２７の「開」動作を鉛直移動機構８１によるワーク処理槽５の閉塞直後から開始してもよい。
【００５１】
以上のように、本実施形態によれば、浸漬処理のために開閉蓋１４を開放したときに排気ダンパー２７を「閉」として排気を停止されるようにしているため、装置カバー６内の気流の流れが抑制される。これにより、処理溶液（の溶媒）の気化を極力抑制することができる。一方、浸漬処理の処理待ち時において、開閉蓋１４を閉塞することで、処理溶液（の溶媒）の気化を防止することができる。また、その際、排気ダンパー２７を「開」とすることで、装置カバー６内の排気が実行され、気化した溶媒を適切に排気することができる。すなわち、処理溶液の溶媒の気化を抑制しつつ、気化した溶媒を適切に排気することができる。
【００５２】
次に、図１０を参照して、排気系の第２実施形態について説明する。この実施形態では、キャビネット排気ダクト３２の下流端が、排気ダンパー２７の上流側の主排気ダクト２５に接続されている。同様に、浸漬移動装置１７の浸漬部ボックス排気チューブ７２、昇降部ボックス排気チューブ６６および浸漬部シリンダ排気チューブ６１の下流端が、それぞれ排気ダンパー２７の上流側の主排気ダクト２５に接続されている。さらに、蓋移動機構１８の蓋部ボックス排気チューブ８５および蓋部シリンダ排気チューブ８９の下流端が、それぞれ排気ダンパー２７の上流側の主排気ダクト２５に接続されている。
【００５３】
すなわち、浸漬処理装置１の全ての排気系が、ワークＷの浸漬処理に伴うワーク処理槽５の開放時に停止（排気ダンパーを「閉」）するようになっている。これにより、装置カバー６内に気流の流れが極力抑制され、処理溶液の気化が最大限抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】第１実施形態に係る浸漬処理装置の正面側から見た外観斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る浸漬処理装置の背面側から見た外観斜視図である。
【図３】処理装置本体の拡大斜視図である。
【図４】浸漬移動機構の斜視図である。
【図５】吊下げ機構廻り拡大斜視図である。
【図６】蓋移動機構の斜視図である。
【図７】浸漬処理装置の排気系統図である。
【図８】排気ダンパー、浸漬移動機構および蓋移動機構の動作を表した模式図（１）である。
【図９】排気ダンパー、浸漬移動機構および蓋移動機構の動作を表した模式図（２）である。
【図１０】第２実施形態に係る浸漬処理装置の排気系統図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  浸漬処理装置、２  タンクキャビネット、４  処理装置本体、５  ワーク処理槽、６  装置カバー、９  制御装置、１１  ワークマガジン、１５  ワーク給材部、１６  マガジンセット機構、１７  浸漬移動機構、１８  蓋移動機構、２１  給液タンク、２２  廃液タンク、２３  バッファタンク、２５  主排気ダクト、２６  排気口、２７  排気ダンパー、２８  吸気口、３１  キャビネット排気口、３２  キャビネット排気ダクト、５１  吊下げ機構、５２  昇降機構、５３  横移動機構、５６  フックエアーシリンダ、６１  浸漬部シリンダ排気チューブ、６５  昇降部集塵ボックス、６６  昇降部ボックス排気チューブ、７０  ケーブルベア、７１  浸漬部集塵ボックス、７２  浸漬部ボックス排気チューブ、８１  鉛直移動機構、８２  水平移動機構、８３  ケーブルベア、８４  蓋部集塵ボックス、８５  蓋部ボックス排気チューブ、８６  昇降シリンダ、８９  蓋部シリンダ排気チューブ、Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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