(57)【要約】      （修正有）【課題】ワークに反りを発生させずに浮上させて搬送できる浮上方法及び浮上ユニットを提供する。【解決手段】浮上ユニットはチャンバー３６を備えている。チャンバー３６の天井壁にはチャンバー内の気密空間に連通する通気孔が形成されている。また、浮上ユニットは、下側がこの天井壁に固定されて搬送路面Ｆを形成している多孔質板を備えており、気密空間に気体を供給して通気孔と多孔質板の空隙とを通じて搬送路側から気体を噴出させる。更に、浮上ユニットは、搬送路Ｆの上方に配置され、ワークであるフィルムＰを非接触で保持する非接触保持具１７０を備えている。非接触保持具１７０は、保持具下部の全周囲にわたってフィルムＰとの間から保持具外方に向けて空気を噴出することにより、ベルヌーイの原理で保持具下部の中央部に負圧を発生させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを浮上させて搬送する浮上方法であって、
搬送路を上側に形成している多孔質体に気体を供給して前記搬送路側に噴出させてワークを浮上させるとともに、
前記ワークの上方の領域に負圧または正圧を発生させることにより前記ワークを非接触で保持することを特徴とする浮上方法。
【請求項２】
前記ワークの上方の領域に負圧を発生させる際、前記ワークの上方で気体を噴き出すことによってベルヌーイの原理により負圧を発生させることを特徴とする請求項１に記載の浮上方法。
【請求項３】
前記ワークが柔軟なシート状であり、前記ワークのエッジ部を非接触で保持して搬送することを特徴とする請求項１又は２に記載の浮上方法。
【請求項４】
気密空間を形成し、天井壁には前記気密空間に連通する通気孔が形成されているチャンバーと、
下側が前記天井壁に固定され、上側には搬送路を形成している多孔質体と、
前記気密空間に気体を供給し、前記通気孔と前記多孔質体の空隙とを通じて前記搬送路側から気体を噴出させる気体供給手段と、
前記搬送路の上方に配置され、前記ワークとの間で負圧または正圧を発生させる圧発生手段と、
を備えたことを特徴とする浮上ユニット。
【請求項５】
前記圧発生手段は、複数設けられているとともに配置位置が変更可能とされていることを特徴とする請求項４に記載の浮上ユニット。
【請求項６】
前記圧発生手段は、圧発生手段下部の全周囲にわたってワークとの間から外方に気体を噴出することにより、ベルヌーイの原理で下方に負圧を発生させることを特徴とする請求項４又は５に記載の浮上ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等のワークを浮上させ、非接触で搬送する浮上方法及び浮上ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＣＤやＰＤＰといったフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板やフィルムは、画面の大型化の要望に応じ、サイズが大型化する傾向にある。
【０００３】
従来のＦＰＤ製造工程では、ガラス基板をローラで搬送していたが、ガラス基板とローラとの間の摩擦、ガラス基板に与えるストレスの問題等により、ガラス基板を圧縮空気で浮上させて搬送することが考えられている。
【０００４】
ところで、特許文献１のような浮上ユニットは、浮上ブロックの天井壁に形成したエア吹上げ孔からエアを吹上げてワークを浮上させる方式を採用している。このため、エア吹上げ孔同士の間やワークの端部領域でワークに反りが発生する。なお、このことは、フィルム等の柔軟性部材を浮上させて搬送する際に特に顕著である。
【特許文献１】特開２００４−３３１２６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は係る事実を考慮し、ワークに反りを発生させずに浮上させて搬送できる浮上方法及び浮上ユニットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、ワークを浮上させて搬送する浮上方法であって、搬送路を上側に形成している多孔質体に気体を供給して前記搬送路側に噴出させてワークを浮上させるとともに、前記ワークの上方の領域に負圧または正圧を発生させることにより前記ワークを非接触で保持することを特徴とする。
【０００７】
請求項１に記載の発明では、多孔質体の上側すなわち搬送路側では、全面から気体が噴出して全面がエアベアリング面となるため、ワークを浮上させて搬送することが可能となる。
しかも、ワークの上側に負圧を発生させる、又は正圧を発生させることによって、ワークを非接触で保持することができる。従って、ワークの搬送状態をより安定させた状態にすることができる。また、搬送路側で全面から気体が噴出しているので、ワークを非接触で保持する際に上記正圧が若干高すぎても、ワークが多孔質体に当接することが防止される。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、前記ワークの上方の領域に負圧を発生させる際、前記ワークの上方で気体を噴き出すことによってベルヌーイの原理により負圧を発生させることを特徴とする。
これにより、気体を噴き出すことで正圧を発生させるとともに負圧も併せて発生させることができる。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、前記ワークが柔軟なシート状であり、前記ワークのエッジ部を非接触で保持して搬送することを特徴とする。
請求項３に記載の発明では、ワークとしては例えばフィルムである。請求項３に記載の発明により、ワークの変形をより抑えた状態で搬送することができる。また、搬送面上に位置していないワーク部分が下方に垂れ下がることが防止可能となる。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、気密空間を形成し、天井壁には前記気密空間に連通する通気孔が形成されているチャンバーと、下側が前記天井壁に固定され、上側には搬送路を形成している多孔質体と、前記気密空間に気体を供給し、前記通気孔と前記多孔質体の空隙とを通じて前記搬送路側から気体を噴出させる気体供給手段と、前記搬送路の上方に配置され、前記ワークとの間で負圧または正圧を発生させる圧発生手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明では、気体供給手段でチャンバーの気密空間に気体を供給すると、天井壁に形成された通気孔から気体が噴出する。天井壁には多孔質体が固定されているので多孔質体の空隙から気体が噴出する。
【００１２】
つまり、多孔質体の上側、すなわち搬送路側では、全面から気体が噴出して、全面がエアベアリング面となるため、ワークに反りを発生させずに浮上させて、搬送することが可能となる。
【００１３】
また、圧発生手段によって、ワークとの間で負圧または正圧を発生させて保持するので、ワークの搬送状態をより安定させた状態にすることができる。また、搬送路側で全面から気体が噴出しているので、圧発生手段によって発生した正圧が若干高すぎても、ワークが多孔質体に当接することが防止される。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、前記圧発生手段は、複数設けられているとともに配置位置が変更可能とされていることを特徴とする。
圧発生手段が複数設けられていることにより、保持状態をより安定させることができる。また、圧発生手段の配置位置が変更可能とされていることにより、ワークの寸法、材質等に応じ、ワークの好ましい被保持部位に合わせて配置位置を変更することができる。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、前記圧発生手段は、圧発生手段下部の全周囲にわたってワークとの間から外方に気体を噴出することにより、ベルヌーイの原理で下方に負圧を発生させることを特徴とする。
【００１６】
これにより、正圧を発生させることで負圧も併せて発生させることができ、非接触保持具の構成を簡単にすることができる。
【００１７】
なお、多孔質体がグラファイトを含んで構成されていてもよい。これにより、多孔質体の軽量化を図ることができる。また、多孔質体の導電性による静電気アースの機能も付加することができる。
【００１８】
また、多孔質体の搬送路側に保護膜が形成されていてもよい。保護膜を形成する手法としては特に限定しない。例えば塗装、電解メッキ、無電解メッキ、物理気相成長法（ＰＶＤ。真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法など）、化学気相成長法（ＣＶＤ）、イオンプランテーション法等の公知の方法を行うことによって保護膜を形成する。この保護膜を形成することによって、多孔質体の剥離防止、強度向上が図られる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明は上記構成としたので、ワークに反りを与えずに浮上させて搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、ワークとしてフィルムを搬送する例を実施形態として挙げ、本発明の実施の形態について説明する。なお、第２実施形態以下では、既に説明した構成要素と同様のものには同じ符号を付して、その説明を省略する。
【００２１】
［第１実施形態］
まず、第１実施形態について説明する。図１〜図３には、第１実施形態に係る浮上ユニットが組み込まれた検査装置１２が示されている。
【００２２】
この検査装置１２は、レール１４と横材１６で長枠状に構成された組付けフレーム１８を備えている。組付けフレーム１８は、ポスト２０で枠状のベースフレーム２２の上方に支持されている。
【００２３】
また、レール１４の間には複数本の梁材２８が架け渡されている。チャンバー３６の一方の端部側の梁材２８の上には、第１コンプレッサー３２からチューブ３４を介して負圧と正圧の空気が供給されるエア供給ボックス２９が配置されている。このエア供給ボックス２９の上には、レール１４に沿って第１実施形態に係る浮上ユニット１０が３列セットされている。なお、コンプレッサーから供給するものは空気に限らず、窒素やアルゴン、ヘリウム等の不活性ガス、二酸化炭素等の気体でもよい。また、水等の液体でもよい。
【００２４】
また、エア供給ボックス２９が配置されていない梁材２８の上には、チャンバー３６の高さ調整をする高さ調整部材３０が配置されている。なお、エア供給ボックス２９は、第１コンプレッサー３２から供給された加圧空気によって負圧と正圧とを発生させるエジェクタであってもよい。
【００２５】
浮上ユニット１０のチャンバー３６の底板には、エア供給ボックス２９と接続され、負圧と正圧の空気が供給される３つの供給口（図示省略）が形成されている。
【００２６】
さらに、図１で示すレール１４の右方には、レール１４の間へ支持プレート３８が架け渡されている。この支持プレート３８には、後述の第２実施形態に係る浮上ユニット４０がセットされている。支持プレート３８の下面側からは、第２コンプレッサー４４からチューブ４６を介して負圧と正圧の空気が供給される。そして、浮上ユニット４０のチャンバー８０の底板に形成された３つの供給口（図示省略）へ負圧と正圧の空気が供給される。
【００２７】
さらに、手前側のレール１４には、リニア式の搬送装置５０が搭載されている。この搬送装置５０には、吸盤５２を複数備えており、浮上したフィルムＰ（ワーク）をチャックして、矢印方向に搬送する構成である。
【００２８】
浮上ユニット１０の上方で浮上されたフィルムＰは、搬送装置５０により浮上ユニット４０方向へ浮上搬送される。浮上搬送されたフィルムＰは、浮上ユニット４０の上方で浮上状態が維持されたまま、図示しない画像処理手段により所定の検査が行われる。
【００２９】
また、チャンバー３６には、長手方向に沿って、冷却媒体（例えば水）が流れる流路（図示せず）が形成されている。この流路は、浮上ユニット１０のワーク搬送上流端側に配置されている調整部材３０よりもやや搬送方向下流側の位置で下方に向けられていて、下方端に給水口が形成されて給水管５５（図１参照）が接続されている。また、この流路は、浮上ユニット１０のワーク搬送下流端側に配置されているエア供給ボックス２９よりもやや搬送方向上流側の位置で下方に向けられていて、下方端に排水口が形成されて排水管５７（図１参照）が接続されている。これにより、流路のワーク搬送方向上流側のほうがワーク搬送方向下流側よりも冷却効果が大きくなっている。
【００３０】
また、浮上ユニット１０には、フィルムＰをフィルム上方から非接触で保持するベルヌーイ式の非接触保持具１７０が複数設けられている。フィルムＰを搬送する際には、フィルム下方から空気を噴き出してフィルムＰを浮上させるとともに、非接触保持具１７０でフィルムＰを上方から非接触で保持し、搬送方向に搬送する。
【００３１】
次に、第１実施形態に係る浮上ユニット１０の具体的な構成を説明する。
【００３２】
図４〜図９に示すように、浮上ユニット１０のチャンバー３６は、断面が長方形状の長い筒体であり、内側に設けられた２枚の隔壁５４で内部空間が、中央の長方形状断面の吸引室５６、長方形状断面の噴出室５８，６０に区画されている。そして、チャンバー３６の端面に側板６２を接合することで、チャンバー３６の吸引室５６、噴出室５８，６０は気密空間となる。
【００３３】
図６に示すように、チャンバー３６の端面には、ねじ穴１５０が形成された台座部１５２が設けられている。また、側板６２には、取付穴１５４が形成されている。このねじ穴１５０と取付穴１５４は、チャンバー３６の端面に側板６２を重ねたときに、ねじ穴１５０と取付穴１５４が対向する位置関係で形成されている。そして、ねじ穴１５０と取付穴１５４が対向した状態で、取付穴１５４とねじ穴１５０にねじ１５６が挿通されることにより、チャンバー３６と側板６２が螺号される。
【００３４】
なお、チャンバー３６と側板６２との接合には、ねじ１５６による螺合の他、接着剤などの他の手段によって行うことも可能である。
【００３５】
しかし、チャンバー３６と側板６２とを接着剤によって接合することとした場合には、接着剤の硬化時間が必要となるため製造効率の向上を図ることができないこと、および接合後に分解することが困難となるためメンテナンスや部品交換を行い難くなることから、チャンバー３６と側板６２との接合を前記のようにねじ１５６によって行うことが好ましい。
【００３６】
吸引室５６には、前述した供給口から負圧の空気が供給され、噴出室５８，６０には、正圧の空気が供給される。
【００３７】
また、チャンバー３６の側面には、軽量化を図るため長溝６４が長手方向に沿って形成されている。
【００３８】
一方、チャンバー３６の天井壁には、４つの区画に分けられ、それぞれ格子状の格子溝部６８が形成されている。なお、区画に分けて格子溝部６８をそれぞれ形成したのは、天井壁に接合される多孔質板７６へ、均一に空気を供給することが可能となるためである。ただし、本発明では、格子溝部６８が形成される区画の数が限定されるものではなく、１つの区画によってチャンバー３６を構成してもよい。
【００３９】
格子溝部６８の溝底には通気孔７４が貫通し、直線上に複数並んでいる。この通気孔７４は、噴出室６０と連通している。また、格子溝部６８の溝底には吸気孔７０が形成され、吸引室５６に連通している。そして、格子溝部６８の溝底には通気孔７２が形成されている。この通気孔７２は、噴出室５８に連通している。
【００４０】
このように溝部が形成されたチャンバー３６の天井壁には、板状に加工された多孔質板７６が接合される。この多孔質板７６は、例えば多孔質グラファイト、焼結金属、多孔質セラミックス、多孔質樹脂などで構成させることが出来る。
【００４１】
多孔質グラファイトで構成させると、軽量化の向上、機械的強度の向上、製造費の低廉化、表面の平坦度向上を図れるとともに、フィルムＰと接触してしまった場合に、フィルムＰの損傷を少なくすることができる。
【００４２】
また、多孔質板の軽量化を図ることができる。また、多孔質板７６の導電性による静電気アースの機能も付加することができる。
【００４３】
多孔質板７６の通気率が０．２〜６．０ｃｍ２／ｓの範囲内であると、浮上ユニット１０で搬送されるワークを効果的に浮上させることができる。また、多孔質板７６の気孔率が５〜２５ｖｏｌ％であると、ワークを更に効果的に浮上させることができる。
【００４４】
多孔質板７６の上面側は、多孔質板７６の剥離を防ぐとともに強度向上を図るために保護膜７７（図６参照）によって被覆されている。剥離によるパーティクル発生を抑制できる為、クリーンルーム内での使用に適する。保護膜７７は、多孔質板７６の上面に開口している空隙を塞がないように形成されている。そして、多孔質板７６と保護膜７７とによって搬送路面Ｆが形成されている。
【００４５】
保護膜７７は、例えば樹脂で構成されている。これにより、保護膜の軽量化を図ることができるとともに、保護膜の形成が容易になる。この場合、樹脂が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、フラン樹脂、フッ素樹脂、ナイロンから選ばれる少なくとも１種の樹脂で構成されていてもよい。
【００４６】
また、保護膜７７は、金属又は金属化合物で構成されている。これにより、保護膜７７の強度向上を図ることができる。また、保護膜７７が導電性となるので、静電気アースの機能を保護膜７７に付加することができる。また、保護膜７７が、ガラス状炭素又はダイヤモンドライクカーボンのうちの少なくとも１種で構成されていてもよい。これにより、保護膜７７が導電性となることにより静電気アースの機能が付加される。また、光の反射率を低下させることができるので、露光プロセスで反射率の低い搬送路が要求されるラインに更に適した浮上ユニットとすることができる。
【００４７】
チャンバー３６と多孔質板７６とが接合された状態で、チャンバー３６に形成された吸気孔７０と、多孔質板７６及び保護膜７７に形成された吸引孔７８とが互いに対向して連通する。
【００４８】
接合方法としては、定盤の上へ多孔質板７６のエアベアリング面となる面を下にして置き、チャンバー３６の天井壁に接着剤を塗布し多孔質板７６に重ね合わせ、錘を載せて固定する方法が一例として挙げられる。なお、接着剤は、格子溝部６８に食み出さないように塗布することが望ましい。
【００４９】
ここで、格子溝部６８を多孔質板７６の裏面に形成せずに、チャンバー３６の天井壁に形成したのは、多孔質板７６の裏面に溝部を形成する場合と比較して、チャンバーの天井部に溝部を形成した方が、精度良く、容易に溝部を形成することができるからである。
【００５０】
特に、フィルムＰの浮上量のばらつきを少なくして安定して浮上させるためには、多孔質板７６のベアリング面の平坦度を小さく（より平坦に）する必要があるが、多孔質板７６の裏面に溝部を形成すると、多孔質板７６のベアリング面の平坦度を小さくすることが困難になる。
【００５１】
これに対して、本発明では、多孔質板の裏面に溝部が形成されていないことから、多孔質板のベアリング面の平坦度を小さくすることが可能となるため、フィルムＰの浮上量にばらつきを少なくして安定して浮上させることができる。
【００５２】
ここで、多孔質板７６の空隙から空気が噴出して全面をエアベアリング面とするメカニズムについて簡単に説明する。
【００５３】
多孔質板７６には、互いに連通する複数の微細な空隙が形成されている。格子溝部６８から噴出された空気は、格子溝部６８と多孔質板７６の下面とで形成された空気通路を伝わりながら多孔質板７６の空隙を通過し、多孔質板７６のベアリング面から外部へ向けて噴出する。このとき、微細な空隙は互いに連通していることから、空気通路の上方だけでなく、ベアリング面の全面から噴出する。
【００５４】
（非接触保持具）
図１、図２、図１２〜図１４に示すように、浮上ユニット１０には、ワーク（例えばフィルム）を非接触で保持するベルヌーイ式の非接触保持具１７０が多数設けられている。
【００５５】
図１１、図１２に示すように、非接触保持具１７０は、中空部１８２が形成されている外枠部１８４と、中空部１８２に固定される吐出ヘッド部１８６と、で構成される。
【００５６】
図１１に示すように、中空部１８２には、上方から順に、正圧供給ラインＬ（図１参照）が上方から接続される被接続部１９０と、上段中空部１９２と、中段中空部１９４と、下段中空部１９６と、が形成されている。被接続部１９０、上段中空部１９２、及び、中段中空部１９４は、何れも円孔状で、下段中空部１９６は略円板状凹部である。そして、被接続部１９０、上段中空部１９２、及び、中段中空部１９４には、上方から下方にかけて径が順次大きくなる同心円状の円柱状ゾーンが形成されている。また、下段中空部１９６には、中段中空部１９４の円柱状ゾーンよりも径が大きい略円板状ゾーンが形成されている。
【００５７】
吐出ヘッド部１８６は、上段中空部１９２に固定されている略円筒状のヘッド上部２００と、ヘッド上部２００の下端に連続する略円板状のヘッド下部２０２と、で構成される。そして、下段中空部１９６の上端側にはリング状の凹部１９６Ｒが形成されており、ヘッド下部２０２の外周側上部２００Ｕがこの凹部１９６Ｒに配置されている。また、外枠部１８４の下部を形成している外枠部下部１８５の下面１８５Ｓと、ヘッド下部２０２の周囲側の下面２０２Ｓとは、ほぼ同一平面上に位置している。なお、ヘッド下部２０２の下面側中央部には、少し凹んだ凹部２０２Ｄが形成されている。
【００５８】
中段中空部１９４には、ヘッド上部２００とヘッド下部２０２とによって中段空間ＭＺが形成されている。ヘッド上部２００には、ヘッド上部２００の内側空間ＵＺと中段空間ＭＺとを連通させる開口２０１が形成されている。
【００５９】
ヘッド下部２０２には、中段空間ＭＺに連通するリング状の溝部２０３が形成されている。また、ヘッド下部２０２には、リング状の溝部２０３に連通しヘッド下部２０２の外周側に開口して下段中空部１９６の中空ゾーンに連通する吐出細孔２０２Ｈが形成されている。この吐出細孔２０２Ｈは複数形成されていて、図１２に示すように、中心点Ｃから放射状となるように配置されている。
【００６０】
ここで、下段中空部１９６の略円板状ゾーンを形成している内周壁は、下方にかけて径が広がるすり鉢状壁面１９６Ｗとされている。従って、吐出細孔２０２Ｈから噴出された空気はすり鉢状壁面１９６Ｗに案内されてフィルムＰと外枠部１８４との間を通過して非接触保持具１７０の外周外側に向けて流出するようになっている（図１１の吐出空気流Ｇを参照）。
【００６１】
被接続部１９０に接続された正圧供給ラインＬには、第１コンプレッサー３２や第２コンプレッサー４４から正圧の空気を供給する形態としてもよいし、別途コンプレッサーを設けて供給する形態としてもよい。
【００６２】
（作用、効果）
次に、第１実施形態に係る浮上ユニット１０の作用を説明する。
【００６３】
第１コンプレッサー３２から、正圧の空気（例えば５０〜４００ｋＰａ）を噴出室５８，６０へ供給し、負圧の空気（例えば０〜-５０ｋＰａ）を吸引室５６へ供給（吸引室５６から空気を吸引）する。
【００６４】
噴出室５８，６０へ供給された空気は、通気孔７２，７４から噴出し、多孔質板７６の下面と格子溝部６８とで形成された空気通路を伝って、多孔質板７６の下面に均等に行き渡り、多孔質板７６の空隙から噴出する。
【００６５】
つまり、多孔質板７６の全面から空気が噴出して、多孔質板７６の全面がエアベアリング面となるため、フィルムＰの反りを抑えつつ浮上させ、多孔質板７６と非接触で搬送することが可能となる。この浮上したフィルムＰを吸盤５２がチャックして矢印方向に搬送装置５０が搬送する。
【００６６】
また、吸引室５６に供給された負圧の空気は吸気孔７０を介して多孔質板７６に形成された吸引孔７８にフィルムＰを吸引する力を発生させる。この吸気孔７０によって発生した吸引力は、多孔質板７６から噴出した空気によって浮上したフィルムＰの浮上量を規制するものである。従って、この吸引力を制御することによって、フィルムＰの浮上量を制御することが可能となる。
【００６７】
また、多孔質板７６の上側には保護膜７７が形成されており、この保護膜７７によって、多孔質板７６の剥離防止、強度向上が図られている。
【００６８】
また、正圧供給ラインＬから供給される正圧空気が、開口２０１、中段空間ＭＺ、溝部２０３を順次経由して吐出細孔２０２Ｈから放射状に噴出される。噴出された空気は、すり鉢状壁面１９６Ｗに案内されてフィルムＰの上面と外枠部１８４の下面との間を通過して非接触保持具１７０の外周側に流出する。すなわち、図１１に示す吐出空気流Ｇが形成される。この結果、ベルヌーイの原理により、ヘッド下部２０２の下方、特に吐出細孔２０２Ｈの噴出口下方に位置する空気が上方へ吸い上げられて、すなわち上昇空気流Ｊが生じて、ヘッド下部２０２の下方領域に負圧が発生する。従って、フィルムＰは簡易構造の非接触保持具１７０に接触することなく保持され、フィルムＰの下方に撓んだ部分は負圧によって上方へ引き上げられるため、フィルムＰの変形がより抑えられた状態で搬送される。なお、吐出空気流Ｇが形成されている領域（ゾーン）では基本的に正圧である。
従って、この正圧の空気流Ｇによっては、フィルムＰの上方に撓んだ部分が下方へ押圧されるため、フィルムＰの変形を抑えることができる。この非接触保持具１７０とフィルムＰとの間隔を調整することにより、正圧空気流ＧのみをフィルムＰへ作用させることもできる。
【００６９】
また、本実施形態では、図１、図１３に示すように、フィルム中央部ＰＭと、搬送方向に沿ったフィルムエッジ部ＰＥとを各非接触保持具１７０によってそれぞれ非接触で保持しつつ、フィルムＰを搬送する。従って、図１３に示すように、フィルムエッジ部ＰＥが浮上ユニット１０の搬送面上に位置していなくても下方に垂れ下がることが回避される。
【００７０】
また、浮上ユニット１０でフィルムＰの下面側から空気を噴出させつつフィルムＰを搬送するので、非接触保持具１７０から噴出する空気量が若干多すぎても、フィルムＰが多孔質板７６（保護膜７７）に当接することが防止される。
【００７１】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係る浮上ユニット４０を説明する。
【００７２】
浮上ユニット４０の基本構成は、第１実施形態の浮上ユニット１０と同一であるので、図１４及び図１５に示すチャンバー８０の溝部の構成と、多孔質板８２の構成、形状について説明する。
【００７３】
チャンバー８０の天井壁には、長手方向に４本の縦溝部９７と幅方向に複数の横溝部１０２が形成されており、縦溝部９７と横溝部１０２で複数の離島８６が所定の間隔で形成されている。横溝部１０２の溝底には通気孔９２が形成されている。この通気孔９２は、図示しない噴出室に連通している。また、離島８６には、吸引室と連通する吸気孔９０が形成されている。
【００７４】
一方、多孔質板８２には、チャンバー８０の天井壁と重ね合わせたとき、吸気孔９０と対応する位置に吸気孔９６が形成されている。また、多孔質板８２の両側には、貫通孔１０１が形成されており、チャンバー８０に形成された取付孔９４へビスを挿入して、多孔質板８２をチャンバー８０に固定できるようになっている。
【００７５】
更に、多孔質板８２の搬送路面側の表面には、第１実施形態と同様、保護膜８３が形成されている。
【００７６】
また、図１に示すように、第１実施形態と同様、多孔質板８２の上方側にも非接触保持具１７０が複数設けられている。
【００７７】
以上の構成の浮上ユニット４０では、多孔質板８２の表面に貫通孔１０１を形成することでビス止めが可能となる。また、多孔質板８２に溝加工しないので、多孔質板８２の平坦度が維持できる。さらに、吸気孔を等間隔に配置することで、フィルムＰの浮上量をバランスよく規制することができる。
【００７８】
また、多孔質板８２に形成された保護膜８３により、多孔質板８２の剥離防止及び強度向上がなされている。この保護膜８３は、第１実施形態で説明した保護膜７７と同材質、同方法で形成可能である。特に黒色ニッケルメッキ膜、針状メッキ膜、ガラス状炭素、ダイヤモンドライクカーボンとすると、反射率低下の為、露光プロセスに適する。
【００７９】
また、第１実施形態と同様、非接触保持具１７０からの空気の噴出によって、ベルヌーイの原理により、非接触保持具１７０の下部周囲及びその近くに正圧領域が形成されるとともに、正圧領域の内側に負圧領域が形成される。すなわち、フィルムＰは簡易構造の非接触保持具１７０に接触することなく保持され、フィルムＰの変形がより抑えられた状態で搬送される。
【００８０】
なお、図１〜図９に示す実施形態では、浮上ユニット１０がチャンバー３６の天井壁に４枚の多孔質板７６が接合されて構成されている。また、図１４及び図１５に示す実施形態では、浮上ユニット４０が、チャンバー８０の天井壁に１枚の多孔質板８２が接合されている。しかし、本発明は、多孔質板の数が限定されるものではない。また、多孔質板に限らず、上面側に搬送路を形成することができる限り、一般的な多孔質体であってもよい。
【００８１】
さらに、図１〜図１５に示す実施形態では、浮上ユニット１０、４０により搬送される被搬送体としてフィルムＰを例にして説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、ガラス板や不織布や、更には樹脂板や金属板等の被搬送体を搬送するものであってもよい。
【００８２】
また、図１〜図１５に示す実施形態では、本発明の浮上ユニット１０、４０が検査装置に組み込まれたものであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、検査装置以外の装置に使用できるものである。
【００８３】
また、非接触保持具１７０がフィルムエッジ部ＰＥ及びフィルム中央部ＰＭを保持する形態で説明したが、本発明は非接触保持具１７０の数や保持位置が限定されるものではない。
【００８４】
また、本実施形態では、搬送する際に、搬送装置５０と非接触保持具１７０とがフィルムＰ（ワーク）と一緒に搬送方向に移動する形態であってもよいし、非接触保持具１７０が移動せずに搬送装置５０が搬送方向に移動してフィルムＰが搬送される形態であってもよい。
搬送装置５０と非接触保持具１７０とがフィルムＰと一緒に搬送方向に移動する形態である場合、フィルムＰの四隅部及び中央部をそれぞれ非接触保持具１７０で保持して搬送することが可能となる。また、非接触保持具１７０が移動せずに搬送装置５０が搬送方向に移動してフィルムＰが搬送される形態である場合、非接触保持具１７０の配置位置をワーク寸法等に合わせて任意位置に設定可能とした構成にしてもよい。
【００８５】
また、非接触保持具１７０に代えて、浮上ユニット１０、４０を設けてもよい。この場合、上下の浮上ユニット１０、４０の多孔質板７６、８２が対向するように配置し、ワークが上下の多孔質板７６、８２間に位置するようにする。上側に浮遊ユニット１０、４０から噴き出すエアーによって、ワークの変形を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた検査装置を示す斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた検査装置を示す側面図である。
【図３】第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた検査装置を示す平面図である（非接触保持具の描画を省略）。
【図４】第１実施形態に係る浮上ユニットで、ワーク下面側から空気を噴出するユニット部分の斜視図である。
【図５】第１実施形態に係る浮上ユニットで、ワーク下面側から空気を噴出するユニット部分の分解斜視図である。
【図６】第１実施形態に係る浮上ユニットの側板の取付構造を示す斜視図である。
【図７】第１実施形態に係る浮上ユニットで、ワーク下面側から空気を噴出するユニット部分の拡大平面図である。
【図８】第１実施形態に係る浮上ユニットで、ワーク下面側から空気を噴出するユニット部分の側断面図である。
【図９】第１実施形態に係る浮上ユニットで、ワーク下面側から空気を噴出するユニット部分の側断面図である。
【図１０】第１実施形態に係る浮上ユニットの非接触保持具の斜視図である。
【図１１】第１実施形態に係る浮上ユニットの非接触保持具の側断面図である。
【図１２】第１実施形態に係る浮上ユニットの非接触保持具を構成するヘッド下部の平面断面図である。
【図１３】第１実施形態で、浮上ユニットでワークを搬送することを示す搬送方向側から見た側面図である。
【図１４】第２実施形態に係る浮上ユニットのチャンバーの平面図である。
【図１５】第２実施形態に係る浮上ユニットの多孔質板の平面図である。
【符号の説明】
【００８７】
３２    第１コンプレッサー（空気供給手段）
３６    チャンバー
７２    通気孔
７４    通気孔
７６    多孔質板（多孔質体）
７７    保護膜
Ｆ      搬送路面（搬送路）
１７０  非接触保持具（圧発生手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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