(57)【要約】      （修正有）【課題】無電力の場合でも真空状態を保ち続ける真空保持設備を提供する。【解決手段】第１電磁弁１４の一端は、吸気ポート１１に接続し、他端は真空生成器１３のガス入口１３１に接続しており、電力により動作するとき、ガスが第１電磁弁１４を流れ、真空生成器１３のガス入口１３１に入り、真空出力を生成する。第２電磁弁１５の一端は、吸気ポート１１と真空生成器１３の真空出口１３３と並列的に接続し、他端は出力ポート１２に接続しており、それを操作して出力ポート１２をガス出力または真空出力とすることができる。また、切り替えスイッチ１６の一端は吸気ポート１１に接続し、他端は真空生成器１３に接続し、正常な操作のときには切り替えスイッチ１６を閉じ、突発的な電力のない状況が発生した場合に切り替えスイッチ１６を開き、ガス源がこの通路を介し真空生成器１３に供給され、真空を生成し続け、ウェハの吸着を継続する。【選択図】図１
2009090446.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス源を受け入れるために用いられる吸気ポートと、
真空出力またはガス出力を提供するために用いられる出力ポートと、
ガス入口、ガス出口、および真空出口を有する真空生成器と、
一端が前記吸気ポートに接続され、他端が前記真空生成器のガス入口に接続される第１電磁弁であり、電力により動作するときにガスが前記第１電磁弁を流れ、前記真空生成器のガス入口に入り、真空を生成することができる第１電磁弁と、
一端が並列の方式で前記吸気ポートおよび前記真空生成器の真空出口に接続され、他端が前記出力ポートに接続され、それを操作して前記出力ポートをガス出力または真空出力とすることができる第２電磁弁と、
一端が前記吸気ポートに接続され、他端が前記真空生成器のガス入口に接続される切り替えスイッチであり、電力により動作するときに前記切り替えスイッチが閉じ、電力のない状況が発生した場合に、前記切り替えスイッチが開くことにより、ガス源が前記真空生成器のガス入口に供給され、真空の生成を続けることができる切り替えスイッチと、を含む、
真空保持設備。
【請求項２】
ウェハダイシングテーブルと、真空チャックを有するウェハ移載装置とを含む真空保持設備を有するウェハダイシング装置であって、
真空保持設備は前記真空チャックに接続され、ガス源を受け入れるために用いられる吸気ポートと、
真空出力またはガス出力を提供するために用いられる出力ポートと、
ガス入口、ガス出口、および真空出口を有する真空生成器と、
一端が前記吸気ポートに接続され、他端が前記真空生成器のガス入口に接続される第１電磁弁であり、電力により動作するときにガスが前記第１電磁弁を流れ、前記真空生成器のガス入口に入り、真空を生成することができる第１電磁弁と、
一端が並列の方式で前記吸気ポートおよび前記真空生成器の真空出口に接続され、他端が前記出力ポートに接続され、それを操作して前記出力ポートをガス出力または真空出力とすることができる第２電磁弁と、
一端が前記吸気ポートに接続され、他端が前記真空生成器のガス入口に接続される切り替えスイッチであり、電力により動作するときに前記切り替えスイッチが閉じ、電力のない状況が発生した場合に、前記切り替えスイッチが開くことにより、ガス源が前記真空生成器のガス入口に供給され、真空の生成を続けることができる切り替えスイッチと、を含むことを特徴とする、
真空保持設備を有するウェハダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空装置に関し、特にウェハダイシング工程用の真空保持設備に関する
【背景技術】
【０００２】
従来技術のウェハダイシング装置は、ウェハダイシングテーブルおよび真空チャックを有するウェハ移載装置を主に含む。真空チャックが生成する真空吸着力により、ウェハを真空チャックに吸着する。なおウェハ移載装置により、ウェハをウェハダイシングテーブルに搬送して固定し、ダイシングを実施する。
【０００３】
ウェハをダイシングする際に正確な位置に固定する必要があり、位置に少しでも誤差があると、ダイシングラインがずれ、ウェハを廃棄処分することになる。
【０００４】
しかし、従来のウェハダイシング装置は、停電または生産ラインの一時的な停止など、突発的な電力のない状況のため、本来、電力供給状態下で真空吸着を生成していた能力が直ちに喪失されることがよくある。ウェハ移載装置でウェハを搬送し固定し終わっていないときに真空チャックの真空状態がなくなると、ウェハを搬送し固定し終わる前に真空吸着を離脱し、装置に落下してダイシングがずれてしまうため、ウェハダイシング装置の正常なダイシング作業に影響を及ぼし、深刻な場合にはウェハを廃棄処分することとなり、生産ラインが停止し、生産能力およびウェハダイシングの良率に大きな影響を与えることとなる。
【０００５】
そのため、ウェハダイシング工程中に予想外の瞬間的な停電が発生した際に、装置で搬送中のウェハの真空吸着力をいかにして維持し、吸着した状態を維持するかが、業者にとって解決すべき課題となっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の主要な目的は、電力のない状況が発生した場合でも真空状態を保ち続けることができる真空保持設備を提供することである。
【０００７】
本発明のもう１つの目的は、電力のない状況が発生した場合に、保ち続けられる真空状態により、作業者が緊急処置を実施することができる真空保持設備を提供することである。
【０００８】
本発明のもう１つの目的は、電力のない状況が発生した場合でも、使用する真空保持設備が真空状態を保ち続けることができるウェハダイシング装置を提供することである。
【０００９】
本発明のもう１つの目的は、電力のない状況が発生した場合でも、使用する真空保持設備の保ち続けられる真空状態により、作業者が緊急処置を実施することができるウェハダイシング装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した問題を解決するため、本発明は、真空保持設備および真空保持設備を有するウェハダイシング装置を提供する。
【００１１】
そのうち、真空保持設備は、吸気ポートと、出力ポートと、真空生成器と、第１電磁弁と、第２電磁弁と、切り替えスイッチとを含む。吸気ポートはガス源を受け入れるために用いられる。
【００１２】
出力ポートは真空出力またはガス出力を提供するために用いられる。
【００１３】
真空生成器はガス入口と、ガス出口と、真空出口とを有する。
【００１４】
第１電磁弁の一端は、吸気ポートに接続し、他端は真空生成器のガス入口に接続しており、電力により動作するとき、ガスが第１電磁弁を流れ、前記真空生成器のガス入口に入り、真空を生成することができる。
【００１５】
第２電磁弁の一端は、並列の方式で吸気ポートと真空生成器の真空出口とに接続し、他端は出力ポートに接続しており、それを操作して出力ポートをガス出力または真空出力とすることができる。
【００１６】
しかも、切り替えスイッチの一端は吸気ポートに接続し、他端は真空生成器のガス入口に接続し、電力により動作するときは切り替えスイッチを閉じ、電力のない状況が発生した場合に切り替えスイッチを開くことにより、ガス源を真空生成器のガス入口に供給し、真空を生成し続けることができる。
【００１７】
すなわち、本願の第１発明は、ガス源を受け入れるために用いられる吸気ポートと、真空出力またはガス出力を提供するために用いられる出力ポートと、ガス入口、ガス出口、および真空出口を有する真空生成器と、一端が前記吸気ポートに接続され、他端が前記真空生成器のガス入口に接続される第１電磁弁であり、電力により動作するときにガスが前記第１電磁弁を流れ、前記真空生成器のガス入口に入り、真空を生成することができる第１電磁弁と、一端が並列の方式で前記吸気ポートおよび前記真空生成器の真空出口に接続され、他端が前記出力ポートに接続され、それを操作して前記出力ポートをガス出力または真空出力とすることができる第２電磁弁と、一端が前記吸気ポートに接続され、他端が前記真空生成器のガス入口に接続される切り替えスイッチであり、電力により動作するときに前記切り替えスイッチが閉じ、電力のない状況が発生した場合に、前記切り替えスイッチが開くことにより、ガス源が前記真空生成器のガス入口に供給され、真空の生成を続けることができる切り替えスイッチと、を含む、真空保持設備を提供することを要旨とする。
【００１８】
また、本願の第２発明は、ウェハダイシングテーブルと、真空チャックを有するウェハ移載装置とを含む真空保持設備を有するウェハダイシング装置であって、真空保持設備は前記真空チャックに接続され、ガス源を受け入れるために用いられる吸気ポートと、真空出力またはガス出力を提供するために用いられる出力ポートと、ガス入口、ガス出口、および真空出口を有する真空生成器と、一端が前記吸気ポートに接続され、他端が前記真空生成器のガス入口に接続される第１電磁弁であり、電力により動作するときにガスが前記第１電磁弁を流れ、前記真空生成器のガス入口に入り、真空を生成することができる第１電磁弁と、一端が並列の方式で前記吸気ポートおよび前記真空生成器の真空出口に接続され、他端が前記出力ポートに接続され、それを操作して前記出力ポートをガス出力または真空出力とすることができる第２電磁弁と、一端が前記吸気ポートに接続され、他端が前記真空生成器のガス入口に接続される切り替えスイッチであり、電力により動作するときに前記切り替えスイッチが閉じ、電力のない状況が発生した場合に、前記切り替えスイッチが開くことにより、ガス源が前記真空生成器のガス入口に供給され、真空の生成を続けることができる切り替えスイッチと、を含むことを特徴とする、真空保持設備を有するウェハダイシング装置を提供することを要旨とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、以下の効果を得ることができる。
（１）電力のない状況が発生した場合でも真空状態を保ち続けることができる。
（２）電力のない状況が発生した場合に、保ち続けられる真空状態により、作業者が緊急処置を実施することができる。
（３）電力のない状況が発生した場合でも、使用する真空保持設備が真空状態を保ち続けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明は、真空保持設備および真空保持設備を有するウェハダイシング装置を開示する。そのうち、真空生成原理とウェハダイシング装置の基本構造については、この分野の当業者がすでに理解しているため、以下の説明において完全な説明を行わない。しかも、実施例で対照する図面の作用は、本発明の特徴に関する概要を表すだけであり、実際の寸法に基づき完全に作図する必要はないことを先に述べておく。
【実施例１】
【００２１】
［第１実施例（真空保持設備）］
図１は、本発明における第１実施例であり、真空保持設備の概要図である。真空保持設備１は、高圧ガス源Ａを受け入れるために用いられる吸気ポート１１と、真空出力またはガス出力を提供するために用いられる出力ポート１２と、真空生成器１３と、第１電磁弁１４と、第２電磁弁１５と、切り替えスイッチ１６とを含む。真空生成器１３には、ガス入口１３１と、ガス出口１３２と、真空出口１３３とが設けてあり、高圧ガスがガス入口１３１から流入し、ガス出口１３２から流出するとき、真空出口１３３の位置で、ベルヌーイの定理の作用に基づき、低圧の、真空に近い状態が形成される。第１電磁弁１４の一端１４１は吸気ポート１１と接続し、他端１４２は真空生成器１３のガス入口１３１に接続し、電力によって動作するとき、ガスが第１電磁弁１４を流れ真空生成器１３のガス入口１３１に入ることにより、真空出口１３３に真空状態が形成される。
【００２２】
第２電磁弁の一端１５１を、吸気ポート１１と真空生成器１３の真空出口１３３とに並列的に接続し、他端１５２を出力ポート１２に接続する。これによって、電磁弁１５の弁の位置を操作して切り替えることにより、出力ポート１２をガス出力または真空出力とすることができる。
【００２３】
切り替えスイッチ１６の一端１６１を吸気ポート１１に接続し、他端１６２を真空生成器１３のガス入口１３１に接続する。真空保持設備１を通電した正常な稼動状態のときに、切り替えスイッチ１６は閉じた状態であり、ガスはここの管を流れずに、第１電磁弁１４を経て真空生成器１３に流れる。突発的な停電など、電力のない状況が発生すると、第１電磁弁１４が停電のために閉じ、ガスが導通できなくなる。このときに、真空生成器１３は、真空状態の消失を防止するため、切り替えスイッチ１６を開（導通状態）に切り替え、これによって、吸気ポート１１のガスがここの管を経由して真空生成器１３のガス入口１３１に供給され、真空生成器１３が動作を続け、真空出口１３３の真空状態が保たれる。
【００２４】
電力のない状況が発生した際に、切り替えスイッチ１６を閉から開にする操作は、作業者が手動で切り替えを行うか、または常開型（Ｎｏｒｍａｌｌｙ ｏｐｅｎｅｄ）リードスイッチを選定し切り替えスイッチ１６とすることができる。正常な電力により動作するとき、切り替えスイッチ１６は、電力操作により閉じた状態になっており、ガスが流れることができず、瞬間的で突発的な電力のない状況が発生すると、切り替えスイッチ１６がリードの回復力により直ちに自動的に開の状態に切り替えられ、ガスが流れることができるようになる。
【００２５】
また、真空生成器１３の真空出口１３３には、ガスが単一方向にだけ流れるようにする逆止弁１７を接続し、ガスが真空出口１３３から逆向きに真空生成器１３に入り真空状態を破壊することを防止することもできる。そのため、突発的な電力のない状況が発生したときに、逆止弁１７が設置してあれば、真空保持の時間を延長することができ、作業者が緊急処置を採る時間を得ることができる。
【実施例２】
【００２６】
［第２実施例（真空保持設備を有するウェハダイシング装置）］
図２は、本発明における第２実施例であり、真空保持設備を有するウェハダイシング装置の概要図である。ウェハダイシング装置２は、ウェハダイシングテーブル２３と、ウェハをウェハダイシングテーブル２３に搬送するウェハ移載装置とを主に含み、ウェハ移載装置でウェハ吸着に用いる真空チャック２２に、真空保持設備１が接続されている。
【００２７】
真空保持設備１は、吸気ポート１１と、出力ポート１２と、真空生成器１３と、第１電磁弁１４と、第２電磁弁１５と、切り替えスイッチ１６とを含み、かつその特徴は主に前記の第１実施例に記載したとおりである。そのうち、出力ポート１２は、ウェハ移載装置上のウェハ吸着用の真空チャック２２に接続され、出力ポート１２で真空を出力するときに、真空チャック２２がウェハを吸着し、ウェハの搬送を行うことができ、特に、ウェハダイシングテーブル２３に搬送することができる。また、出力ポート１２でガスを出力するときに、真空チャック２２がウェハを離れ、他の動作を行うことができる。
【００２８】
この真空保持設備１は、真空チャック２２がウェハを吸着し、ウェハダイシングテーブル２３に搬送しているときに突発的な電力のない状況が発生した場合、切り替えスイッチ１６を操作することにより、真空チャック２２が真空吸着力を保ち続け、ウェハが搬送中に落下したり、またはウェハがダイシング位置に正しく置かれないうちに真空チャック２２から離脱してウェハダイシングがずれたりすることを防止し、ウェハダイシング作業の正常な稼動を維持することができる。
【００２９】
以上は本発明の比較的優れた実施例でしかなく、本発明の権利範囲を限定するために用いられたものではない。同時に、以上の説明は、本技術分野を熟知した当業者が理解し実施できるものであるため、本発明で開示された趣旨を逸脱せずに完成されたその他の同等の変更または修飾は、特許請求の範囲に含まれるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明における第１実施例であり、真空保持設備の概要図である。
【図２】本発明における第２実施例であり、真空保持設備を有するウェハダイシング装置の概要図である。
【符号の説明】
【００３１】
１      真空保持設備
１１    吸気ポート
１２    出力ポート
１３    真空生成器
１３１  ガス入口
１３２  ガス出口
１３３  真空出口
１４    第１電磁弁
１４１  第１電磁弁の一端
１４２  第１電磁弁の他端
１５    第２電磁弁
１５１  第２電磁弁の一端
１５２  第２電磁弁の他端
１６    切り替えスイッチ
１６１  切り替えスイッチの一端
１６２  切り替えスイッチの他端
１７    逆止弁
２      ウェハダイシング装置
２２    真空チャック
２３    ウェハダイシングテーブル
【図１】
2009090446.tif 000003
【図２】
2009090446.tif 000004