(57)【要約】【課題】複数の被搬送物を仕分ける際に、搬送手段や格納手段を設置する場所の省スペース化を図ることができる被搬送物仕分システム及び被搬送物仕分方法を提供する。【解決手段】基板を仕分ける被搬送物仕分システムであって、基板を搬送する搬送部１０と、搬送部１０の搬送経路上に設けられ基板を格納する格納部２０ａ〜２０ｉと、搬送経路上において格納部２０ａ〜２０ｉに格納される路上格納位置から、路上格納位置に対して垂直方向に配される垂直格納位置まで、搬送経路上を搬送されてきた基板を格納部２０ａ〜２０ｉを介して移動させる昇降装置７０ａ〜７０ｉと、基板が搬送部１０によって路上格納位置まで搬送されて来た場合に昇降装置７０ａ〜７０ｉを駆動することにより基板を垂直格納位置まで移動させる被搬送物仕分装置６０を備える。【選択図】図１
2009096631.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を仕分ける被搬送物仕分システムであって、
前記被搬送物を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段の搬送経路上に設けられ前記被搬送物を格納する格納手段と、
前記搬送経路上において前記格納手段に格納される路上格納位置から、前記路上格納位置に対して垂直方向に配される垂直格納位置まで、前記搬送経路上を搬送されてきた被搬送物を前記格納手段を介して移動させる移動手段と、
前記被搬送物が前記搬送手段によって前記路上格納位置まで搬送されて来た場合に前記移動手段を駆動することにより前記被搬送物を前記垂直格納位置まで移動させる制御手段と、
を備えることを特徴とする被搬送物仕分システム。
【請求項２】
前記格納手段に格納する被搬送物の種別を記憶する記憶手段を更に備え、
前記制御手段は、前記記憶手段が記憶している種別の被搬送物のみを前記格納手段に格納させることを特徴とする請求項１に記載の被搬送物仕分システム。
【請求項３】
被搬送物の格納数が所定数に達した格納手段を、被搬送物が格納されていない格納手段に取り替える取替手段を更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の被搬送物仕分システム。
【請求項４】
被搬送物を仕分ける被搬送物仕分方法であって、
前記被搬送物を搬送する搬送過程と、
前記搬送経路上に設けられ前記被搬送物を格納する格納手段に、前記搬送経路上において格納される路上格納位置から、前記路上格納位置に対して垂直方向に配される垂直格納位置まで、前記搬送経路上を搬送されてきた被搬送物を前記格納手段を介して移動させる移動過程を有することを特徴とする被搬送物仕分方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物を仕分ける被搬送物仕分システム及び被搬送物仕分方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、材質や大きさの異なる複数の基板（被搬送物）を、カセット（格納手段）に格納する被搬送物仕分システムが知られている（特許文献１参照）。
この被搬送物仕分システムでは、ローラなどを備える搬送装置（搬送手段）上を流れてくる複数の基板を、搬送ロボットが１枚１枚取り出し、それらの各基板の材質や大きさに応じて用意されているカセットに格納している。
【特許文献１】特開平８−２６８５１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の技術では、基板を搬送する搬送装置を設置する場所とは別に、基板を格納する複数のカセットを設置する場所を確保する必要があり、被搬送物仕分システムを設置する場所の面積が大きくなるという問題があった。
【０００４】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の被搬送物を仕分ける際に、搬送手段や格納手段を設置する場所の省スペース化を図ることができる被搬送物仕分システム及び被搬送物仕分方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）  本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、被搬送物を仕分ける被搬送物仕分システムであって、前記被搬送物を搬送する搬送手段と、前記搬送手段の搬送経路上に設けられ前記被搬送物を格納する格納手段と、前記搬送経路上において前記格納手段に格納される路上格納位置から、前記路上格納位置に対して垂直方向に配される垂直格納位置まで、前記搬送経路上を搬送されてきた被搬送物を前記格納手段を介して移動させる移動手段と、前記被搬送物が前記搬送手段によって前記路上格納位置まで搬送されて来た場合に前記移動手段を駆動することにより前記被搬送物を垂直格納位置まで移動させる制御手段とを備える。
本発明では、被搬送物を搬送する搬送手段の搬送経路上に格納手段を設け、その格納手段に被搬送物を格納するようにした。このため、搬送手段と格納手段とを同一の場所に配置することができるため、搬送手段や格納手段を設置する場所の省スペース化を図ることができる。
【０００６】
（２）  また、本発明の一態様による被搬送物仕分システムは、前記格納手段に格納する被搬送物の種別を記憶する記憶手段を更に備え、前記制御手段は、前記記憶手段が記憶している種別の被搬送物のみを前記格納手段に格納させる。
本発明では、制御手段が、記憶手段が記憶している種別の被搬送物のみを前記格納手段に格納させるようにしたので、同一の種別の被搬送物のみを同一の格納手段に格納することができる。
【０００７】
（３）  また、本発明の一態様による被搬送物仕分システムは、被搬送物の格納数が所定数に達した格納手段を、被搬送物が格納されていない格納手段に取り替える取替手段を更に備える。
本発明では、格納手段が、被搬送物の格納数が所定数に達した格納手段を、被搬送物が格納されていない格納手段に取り替えるようにしたので、格納手段に格納する被搬送物がいっぱいになった場合であっても、被搬送物の仕分けを継続することができる。
【０００８】
（４）  また、本発明の一態様による被搬送物仕分方法は、被搬送物を仕分ける被搬送物仕分方法であって、前記被搬送物を搬送する搬送過程と、前記搬送経路上に設けられ前記被搬送物を格納する格納手段に、前記搬送経路上において格納される路上格納位置から、前記路上格納位置に対して垂直方向に配される垂直格納位置まで、前記搬送経路上を搬送されてきた被搬送物を前記格納手段を介して移動させる移動過程を有する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の被搬送物仕分システム及び被搬送物仕分方法では、複数の被搬送物を仕分ける際に、搬送手段や格納手段を設置する場所の省スペース化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の実施形態による被搬送物仕分システム１００の概略構成図である。この被搬送物仕分システム１００は、搬送部１０（搬送手段とも称する）、格納部２０ａ〜２０ｉ（格納手段とも称する）、撮像部３０、検出部４０ａ〜４０ｉ（４０ｄ〜４０ｉについては図示省略）、搬入搬出装置５０、被搬送物仕分装置６０、昇降装置７０ａ〜７０ｉ（移動手段とも称する）を備えている。図１において、搬送部１０、格納部２０ａ〜２０ｉ、昇降装置７０ａ〜７０ｉは、平面図を示している。
【００１１】
昇降装置７０ａ〜７０ｇ上には、直方体のフレーム状の格納部２０ａ〜２０ｉがそれぞれ載置されており、その格納部２０ａ〜２０ｉの内部を、搬送部１０が貫通している。
搬送部１０は、基板などの被搬送物を搬送方向Ａに搬送する装置であるが、図１では、基板の図示は省略している。また、本実施形態では、被搬送物が基板である場合について説明するが、被搬送物として、基板以外の物体を用いても良い。
なお、ここでは、格納部、検出部、昇降装置を、それぞれ９台ずつ設ける場合について説明しているが、この台数以外の格納部、検出部、昇降装置を用いても良い。
【００１２】
図２（ａ）及び図２（ｂ）は、本発明の実施形態による搬送部１０（図１）の構成を示す図である。図２（ａ）は、搬送部１０の平面図を示しており、図２（ｂ）は、搬送部１０の側面図を示している。
搬送部１０は、複数の円筒状のローラｒから構成されている。この複数のローラｒは、被搬送物仕分装置６０の制御に基づいて、同一方向に同一速度で回転したり、回転を停止したりする。これにより、搬送部１０の上面に載せられる基板は、搬送部１０の上面をローラｒの配列方向に搬送される。この配列方向が、基板の搬送方向Ａとなる。
図２（ａ）に示すように、各ローラｒは、回転が可能な状態で、一方の端部が支持部１１に支持されている。
【００１３】
図３は、本発明の実施形態による基板について説明する図である。複数の基板Ｂ０１〜Ｂ０９、・・・は、材質がガラスなどでできており、矩形の平板状の形状をしている。基板Ｂ０１〜Ｂ０９、・・・は、搬送部１０によって、搬入側である格納部２０ａ（図１参照）側から、搬出側である格納部２０ｉ（図１参照）側に向けて搬送方向Ａに搬送経路上を搬送される。図３では、搬送部１０の搬送経路上を、基板Ｂ０１〜Ｂ０９が搬送されている状態を示している。
基板Ｂ０１〜Ｂ０９、・・・の表面には、各基板の種別を識別する基板種別情報Ｔ０１、Ｔ０２、Ｔ０３が付されている。基板種別情報としては、例えば、２次元バーコードなどを用いることができる。
なお、搬送部１０の搬送経路には、格納部２０ａ〜２０ｉが設置されている。
【００１４】
ここでは、基板Ｂ０１、Ｂ０４、Ｂ０７は、種別（材質及び大きさなど）が同じ基板であり、基板種別情報Ｔ０１が付されている。また、基板Ｂ０２、Ｂ０５、Ｂ０８は、種別が同じ基板であり、基板種別情報Ｔ０２が付されている。また、基板Ｂ０３、Ｂ０６、Ｂ０９は、種別が同じ基板であり、基板種別情報Ｔ０３が付されている。
【００１５】
図１に戻り、格納部２０ａ〜２０ｉは、それぞれ、複数の基板（例えば、３枚）を格納可能なカセットである。格納部２０ａ〜２０ｉは、搬送部１０の搬送経路上に設置されているが、搬送部１０と格納部２０ａ〜２０ｉは、物理的に接触していない。よって、搬送部１０のローラｒが回転した場合であっても、格納部２０ａ〜２０ｉは、図１に示した搬送部１０の搬送経路上の位置から動かない。
【００１６】
図４は、本発明の実施形態による格納部２０ａ（図１）の構成を示す斜視図である。なお、格納部２０ｂ〜２０ｉの構成は、格納部２０ａの構成と同様であるので、それらの説明を省略し、格納部２０ａについてのみ説明する。格納部２０ａは、直方体のフレーム状に構成されている。すなわち、格納部２０ａは、水平面上において矩形状に配置された下側フレーム（ｆ９、ｆ１０、ｆ１１、ｆ１２）と、この下側フレームに対向して矩形状に配置された上側フレーム（ｆ１、ｆ２、ｆ３、ｆ４）とを備えている。上側フレームと下側フレームは、それぞれ４つの頂点部に配置されて、上下に延びる支柱部材（ｆ５、ｆ６、ｆ７、ｆ８）によって連結されている。
また、格納部２０ａのそれぞれの側面の領域には、上側フレームと下側フレームとに亘って支柱部材と平行に上下に延び、対をなす連結部材（ｆ１３、ｆ１４、ｆ１５、ｆ１６、ｆ１７、ｆ１８）が設けられている。連結部材は、上側フレーム及び下側フレームの長手方向Ｄに均等間隔を空けて、３対設けられている。
連結部材（ｆ１３、ｆ１４、ｆ１５、ｆ１６、ｆ１７、ｆ１８）には、対をなす連結部材同士に亘って延びる鉄製のワイヤ（ｗ１１〜ｗ１３、ｗ２１〜ｗ２３、ｗ３１〜ｗ３３）が設けられている。ワイヤは、連結部材の高さ方向Ｈに均等間隔を空けて、３つ設けられている。これらのワイヤ（ｗ１１〜ｗ１３、ｗ２１〜ｗ２３、ｗ３１〜ｗ３３）の上にそれぞれ基板を１枚ずつ載置することができるようになっている。
【００１７】
また、長さ方向Ｄにおけるワイヤの設置間隔は、長さ方向Ｄにおけるローラｒの設置間隔と同一であり、ワイヤは長さ方向Ｄにおいてローラｒの間に配されている。そのため、昇降装置７０ａを駆動すると、ワイヤがローラｒの間を通り抜けることにより、格納部２０ａが搬送部１０に対して昇降するようになっている。
なお、ここでは、ワイヤｗ１１〜ｗ１３、ｗ２１〜ｗ２３、ｗ３１〜ｗ３３について説明したが、これに限定されるものではなく、鉄などの棒状部材などを用いても良い。
【００１８】
図１に戻り、撮像部３０は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅｓ：電荷結合素子）カメラを備えており、搬送部１０の搬入側の端部から送られてくる各基板の基板識別情報（Ｂ０１、Ｂ０２、Ｂ０３、・・・）や基板種別情報（Ｔ０１、Ｔ０２、Ｔ０３、・・・）を読み取り、その基板識別情報を、被搬送物仕分装置６０に送信する。
検出部４０ａ〜４０ｉは、位置検出センサを備えている。検出部４０ａ〜４０ｉは、搬送部１０の搬送経路上の各格納部２０ａ〜２０ｉが設置されている位置にそれぞれ設置されている。検出部は、その検出部が取り付けられている格納部の長手方向Ｄ（図４）の中央部に、基板が搬送されてきたか否かについて検知するとともに、その基板の基板識別情報を読み取り、それらを検出情報として、被搬送物仕分装置６０に出力する。なお、被搬送物仕分けシステム１００の検出部４０ａ〜４０ｉには位置検出センサのみで基板識別情報読み取りセンサを設けずに、被搬送物仕分け装置６０がデータをトラッキングすることにより、どの基板識別情報の基板が搬送経路上のどの位置にあるかを識別するようにしても良い。
【００１９】
搬入搬出装置５０は、被搬送物仕分装置６０の制御に基づいて、いずれかの格納部が格納する基板が一杯になった場合、例えば、本実施形態では、１つの格納部に３枚の基板が格納された場合に、その格納部が設置されている場所まで移動し、その格納部を搬送部１０の搬送経路上から取り外し、外方の所定の位置に運搬する。そして、搬入搬出装置５０は、基板が格納されていない空の格納部２０を、搬送経路上から取りし出した格納部の代わりに新たに搬送部１０に設置する。
【００２０】
被搬送物仕分装置６０は、撮像部３０から基板識別情報を受信したり、検出部４０ａ〜４０ｉから検出情報を受信したり、搬送部１０のローラｒの回転や停止を制御したり、昇降装置７０ａ〜７０ｉの昇降を制御したりすることにより、被搬送物仕分システム１００の全体的な動作を制御する。
【００２１】
図５（ａ）〜図５（ｄ）は、本発明の実施形態による昇降装置７０ａについて説明する図である。なお、昇降装置７０ｂ〜７０ｉの構成は、昇降装置７０ａの構成と同様であるので、それらの説明を省略し、昇降装置７０ａについてのみ説明する。昇降装置７０ａは、鉛直方向Ｈに伸縮可能な構成をしている。昇降装置７０ａは、矩形板状の基板部７１と、この基板部７１に平行に配置された矩形板状の載置部７２とを備えており、これら基板部７１と載置部７２とが、昇降機構７３を介して連結されている。そして、昇降機構７３を駆動することにより、載置部７２は基板部７１に対して、鉛直方向Ｈに昇降するようになっている。
本実施形態では、被搬送物仕分装置６０は、昇降装置７０ａの高さを、低い順に、高さｈ１（図５（ａ））、高さｈ２（図５（ｂ））、高さｈ３（図５（ｃ））、高さｈ４（図５（ｄ））のいずれかに調整することができる。なお、本実施形態では、この昇降装置７０ａ載置部７２の上面に格納部２０ａが設置される。
【００２２】
図６は、本発明の実施形態による被搬送物仕分装置６０（図１）の構成を示す概略ブロック図である。この被搬送物仕分装置６０は、基板識別情報受信部６１、検出情報受信部６２、入力部６３、制御部６４（制御手段とも称する）、記憶部６５（記憶手段とも称する）、報知部６６、ローラ駆動部６７、昇降装置駆動部６８、搬入搬出装置駆動部６９（取替手段とも称する）を備えている。
【００２３】
基板識別情報受信部６１は、撮像部３０に有線又は無線により接続されており、撮像部３０（図１）が送信する基板識別情報を受信し、その基板識別情報を制御部６４に出力する。
検出情報受信部６２は、検出部４０ａ〜４０ｉ（図１）に有線又は無線によりそれぞれ接続されており、検出部４０ａ〜４０ｉが送信する検出情報を受信し、その検出情報を制御部６４に出力する。
【００２４】
入力部６３は、キーボードなどの入力機器を備えており、被搬送物仕分システム１００の管理者などの操作に基づいて、基板搬入順序と基板種別情報とを取得する。基板搬入順序とは、搬送部１０の搬入側から搬出側に向けて搬送する基板の順序を示す情報である。入力部６３が取得した基板搬入順序と基板種別情報は、制御部６４の制御に基づいて、記憶部６５に記録される。
【００２５】
図７は、本発明の実施形態による被搬送物仕分装置６０の記憶部６５（図６）が記憶する情報の一例を示す図である。図７に示すように、記憶部６５は、メモリを備えており、制御部６４の制御に基づいて、基板搬入順序（例えば、１、２、３、・・・）と、基板種別情報（例えば、Ｔ０１、Ｔ０２、Ｔ０３、・・・）と、基板識別情報（例えば、Ｂ０１、Ｂ０２、Ｂ０３、・・・）とを対応付けて記憶する。基板識別情報は、基盤の種別（材質及び大きさなど）に基づいて分類される情報である。
【００２６】
また、記憶部６５は、図７に示した情報以外に、以下の図８で説明する情報を予め記録している。
【００２７】
図８は、本発明の実施形態による被搬送物仕分装置６０の記憶部６５が記憶する情報の一例を示す図である。図８に示すように、記憶部６５は、基板識別情報（例えば、Ｂ０１、Ｂ０２、Ｂ０３、・・・）と、格納部識別情報（例えば、Ｃ０１、Ｃ０２、Ｃ０３、・・・）、基板格納枚数（例えば、Ｎ０１、Ｎ０２、Ｎ０３、・・・）を対応付けて記憶している。
格納部識別情報は、格納部２０ａ〜２０ｉのそれぞれを一意に識別する情報である。ここでは、格納部２０ａに格納部識別情報Ｃ０１が割り当てられており、格納部２０ｂに格納部識別情報Ｃ０２が割り当てられており、格納部２０ｃに格納部識別情報Ｃ０３が割り当てられている。
基板格納枚数は、それぞれの格納部に格納可能な基板の枚数を示しており、格納部識別情報Ｃ０１である格納部２０ａに対応する基板格納枚数Ｎ１は、例えば、３である。
【００２８】
図６に戻り、制御部６４は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ：中央演算処理装置）を備えており、被搬送物仕分装置６０の記憶部６５、報知部６６、ローラ駆動部６７、昇降装置駆動部６８、搬入搬出装置駆動部６９を制御する。制御部６４の具体的な制御方法については、後述する。
【００２９】
報知部６６は、スピーカを備えており、制御部６４の制御に基づいて、警告音を発する。なお、ここでは、報知部６６が警告音を発する場合について説明するが、これに限定されるものではなく、報知部６６が、表示部（図示省略）に警告メッセージを表示するようにしても良い。
【００３０】
ローラ駆動部６７は、制御部６４の制御に基づいて、搬送部１０に制御信号を送信することにより、搬送部１０を構成するローラｒの回転数を制御することにより、搬送部１０上に置かれている基板を搬送方向Ａに搬送したり、搬送を停止させたりする。
【００３１】
昇降装置駆動部６８は、制御部６４の制御に基づいて、昇降装置７０ａ〜７０ｉに制御信号を送信することにより、昇降機構７３を駆動して、載置部７２の高さを調整する（図５（ａ）〜図５（ｄ））。
搬入搬出装置駆動部６９は、制御部６４の制御に基づいて、搬入搬出装置５０に制御信号を送信することにより、搬入搬出装置５０に、基板がいっぱいになった格納部を搬送部１０の搬送経路上から取り外させ、その取り外した格納部の位置に空の格納部を新たに設置させる。
【００３２】
図９は、本発明の実施形態による被搬送物仕分装置６０の制御部６４（図６）の処理を示すフローチャートである。なお、図９による処理を行う前提として、格納部２０ａ〜２０ｉの昇降状態は、全て、図５（ａ）のようになっている。
【００３３】
また、図９では、被搬送物仕分装置６０の制御部６４が、格納部２０ａを制御する場合について説明する。被搬送物仕分装置６０の制御部６４は、格納部２０ａと同様に、格納部２０ｂ〜２０ｉも制御するため、それらの処理については説明を省略する。
また、基板Ｂ０１〜Ｂ０９、・・・が、搬入側から搬出側に向かって搬送方向Ａに搬送部１０に搬入される場合について説明する。
また、図９では、被搬送物仕分システム１００の管理者などによって、図７と図８に示した情報が記憶部６５に予め記録されている。
【００３４】
始めに、制御部６４は、被搬送物仕分システム１００の管理者などの操作に基づいて、入力部６３から被搬送物仕分システムの処理開始信号の入力があったか否かについて判定する（ステップＳ０１）。
処理開始信号の入力がない場合には、制御部６４はステップＳ０１で「ＮＯ」と判定し、所定時間（例えば、１秒）の経過後、再度、ステップＳ０１に進む。一方、処理開始信号の入力があった場合には、制御部６４はステップＳ０１で「ＹＥＳ」と判定し、ステップＳ０２に進む。
【００３５】
そして、制御部６４は、ローラ駆動部６７を制御することにより、搬送部１０を構成する各ローラｒを所定の回転速度で一定方向に回転させる（ステップＳ０２）。これにより、基板Ｂ０１〜Ｂ０９、・・・が、順に搬送部１０上を搬送方向Ａに搬送される。
【００３６】
そして、制御部６４は、搬送部１０の搬送経路上を搬送されてくる基板に付されている基板識別情報を１枚１枚、撮像部３０によって読み取ることにより、各基板の基板識別情報を受信する（ステップＳ０３）。制御部６４は、記憶部６５が記憶している情報（図７、図８）に基づいて、基板種別情報が同一の基板を特定することにより、搬送部１０に搬入されてくる１枚目、４枚目、７枚目、・・・の基板が格納部２０ａに格納される基板であると判定する。
【００３７】
次に、制御部６４は、基板識別情報受信部６１が順次、撮像部３０から受信する基板識別情報の順序と、記憶部６５が記憶している図７の基板識別情報の順序とが一致しているか否かについて、搬送されてくる基板１枚ごとに判定する（ステップＳ０４）。
【００３８】
基板識別情報受信部６１が受信する基板識別情報の順序と、記憶部６５が記憶している基板識別情報の順序とが一致しない場合には、ステップＳ０４で制御部６４は「ＮＯ」と判定し、ステップＳ０５に進む。この場合、搬入予定の基板の順序と、実際に搬送部１０に搬入されてきた基板の順序とが一致していないことを示している。
このとき、制御部６４は、報知部６６を駆動して、警告音を鳴らすことにより（ステップＳ０５）、被搬送物仕分システム１００の管理者などに異常を通知する。
【００３９】
一方、基板識別情報受信部６１が受信する基板識別情報の順序と、記憶部６５が記憶している基板識別情報の順序とが一致する場合には、ステップＳ０４で制御部６４は「ＹＥＳ」と判定し、ステップＳ０６に進む。
【００４０】
次に、制御部６４は、格納部２０ａに設置されている検出部４０ａから検出情報を受信することにより、１枚目、４枚目、７枚目、・・・の基板が、搬送部１０上であって格納部２０ａ内の搬送経路上にきたか否かについて判定する（ステップＳ０６）。なお、制御部６４がステップＳ０６で受信する検出情報には、検出部４０ａが検出した基板の基板識別情報が含まれている。
【００４１】
所定の基板（１枚目、４枚目、７枚目、・・・）が、搬送部１０上であって格納部２０ａ内の搬送経路上にきていない場合には、ステップＳ０６で制御部６４は「ＮＯ」と判定し、所定時間（例えば、１秒）の経過後、ステップＳ０６に進む。一方、所定の基板（１枚目、４枚目、７枚目、・・・）が、搬送部１０上であって格納部２０ａ内の搬送経路上にきている場合には、ステップＳ０６で制御部６４は「ＹＥＳ」と判定し、ステップＳ０７に進む。
【００４２】
そして、制御部６４は、ローラ駆動部６７から搬送部１０に制御信号を送信することにより、搬送部１０を構成する全てのローラの回転を停止させる（ステップＳ０７）。
次に、制御部６４は、昇降装置駆動部６８から昇降装置７０ａに制御信号を送信することにより、昇降装置７０ａの高さを段階的に高くしていく（ステップＳ０８）。
【００４３】
図１０（ａ）〜図１０（ｄ）は、本発明の実施形態による図９のステップＳ０８の処理を説明する図である。図９のステップＳ０６で制御部６４が「ＹＥＳ」と判定した場合には、昇降装置７０ａなどは、図１０（ａ）の状態にある。この状態は、基板搬入順序が１であって基板種別情報がＢ０１の基板が、搬送部１０上であって格納部２０ａ内にある場合を示している。なお、この状態では、図８の格納部２０ａの基板格納枚数は、０枚である。
【００４４】
そして、この状態で、昇降装置７０ａを駆動すると、図１０（ｂ）に示すように、ワイヤｗ１１、ｗ１２、ｗ１３がローラｒの間を通り抜けることにより、格納部２０ａが上昇する。そして、ワイヤｗ１１、ｗ１２、ｗ１３が基板Ｂ０１を持ち上げて、搬送部１０の上方に基板Ｂ０１を移動させる。これにより、搬送経路上において格納部２０ａに格納される路上格納位置Ｐ１から、その路上格納位置Ｐ１に対して垂直方向に配される垂直格納位置Ｐ２まで、搬送経路上を搬送されてきた基板Ｂ０１が格納部２０ａを介して移動される。つまり、基板Ｂ０１が格納部２０ａごと、路上格納位置Ｐ１から垂直格納位置Ｐ２まで移動される。
【００４５】
図１０（ｂ）は、基板搬入順序が１であって基板種別情報がＢ０１の基板が格納部２０ａ内にある場合における、図９のステップＳ０８の処理後の状態である。この状態は、基板搬入順序が１であって基板種別情報がＢ０１の基板が、格納部のワイヤｗ１１、ｗ２１、ｗ３１上に載置された場合を示している。なお、この状態では、格納部２０ａの図８の基板格納枚数は、１枚である。
【００４６】
図１０（ｃ）は、基板搬入順序が４であって基板種別情報がＢ０１の基板が格納部２０ａ内にある場合における、図９のステップＳ０８の処理後の状態である。この状態は、基板搬入順序が４であって基板種別情報がＢ０１の基板が、格納部のワイヤｗ１２、ｗ２２、ｗ３２上に載置された場合を示している。なお、この状態では、格納部２０ａの図８の基板格納枚数は、２枚である。
【００４７】
図１０（ｄ）は、基板搬入順序が７であって基板種別情報がＢ０１の基板が格納部２０ａ内にある場合における、図９のステップＳ０８の処理後の状態である。この状態は、基板搬入順序が７であって基板種別情報がＢ０１の基板が、格納部のワイヤｗ１３、ｗ２３、ｗ３３上に載置された場合を示している。なお、この状態では、格納部２０ａの図８の基板格納枚数は、３枚であり、格納部２０ａに格納している基板の枚数がＮ１＝３（図８）となっており、格納部２０ａに格納する基板がいっぱいの状態である。
【００４８】
図９に戻り、制御部６４は、格納部２０ａに格納している基板がいっぱいになったか否かについて判定する（ステップＳ０９）。具体的には、格納部２０ａに格納している基板の枚数が、基板格納枚数Ｎ１（ここでは、Ｎ１＝３）（図８）であるか否かについて判定する。
格納部２０ａに格納している基板がいっぱいになっていない場合には、ステップＳ０９で制御部６４は「ＮＯ」と判定し、ステップＳ０２に進む。一方、格納部２０ａに格納している基板がいっぱいになった場合には、ステップＳ０９で制御部６４は「ＹＥＳ」と判定し、ステップＳ１０に進む。
【００４９】
そして、制御部６４は、搬入搬出装置駆動部６９から制御信号を搬入搬出装置５０に送信することにより、ステップＳ０９で基板がいっぱいになったと判定された格納部２０ａを、搬送部１０から取り出し（ステップＳ１０）、所定の保管場所（図１で図示省略）に移動させる。
【００５０】
次に、制御部６４は、搬入搬出装置駆動部６９から制御信号を搬入搬出装置５０に送信することにより、ステップＳ０９で格納部２０ａを取り出した搬送部１０上の位置に、基板が格納されていない空の格納部を設置する（ステップＳ１１）。そして、ステップＳ０２に進む。
【００５１】
上述した実施形態によれば、基板を搬送する搬送部１０の搬送経路上に格納部２０ａ〜２０ｉを設け、その格納部２０ａ〜２０ｉに基板を格納するようにした。このため、搬送部１０と格納部２０ａ〜２０ｉ手段とを同一の場所に配置することができるため、搬送部１０や格納部２０ａ〜２０ｉを設置する場所の省スペース化を図ることができる。
また、制御部６４が格納部２０ａ〜２０ｉを、搬送経路とは垂直な方向に駆動するようにしたため、格納部２０ａ〜２０ｉを段階的に移動させることにより、１つの格納部に複数の基板を格納することができる。
【００５２】
また、制御部６４が、記憶部６５が記憶している種別の被搬送物のみを、格納部２０ａ〜２０ｉに格納させるようにしたので、同一の種別の基板のみを同一の格納部に格納することができる。
また、格納部が、基板の格納数が所定数（例えば、３）に達した格納部を、基板が格納されていない格納部に取り替えるようにしたので、格納部に格納する基板がいっぱいになった場合であっても、基板の仕分けを継続することができる。
【００５３】
なお、以上説明した実施形態において、図６の被搬送物仕分装置６０の各部の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより被搬送物仕分装置６０の制御を行っても良い。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。
【００５４】
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時刻の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時刻プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
【００５５】
以上、この発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も特許請求の範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施形態による被搬送物仕分システム１００の概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態による搬送部１０（図１）の構成を示す図である。
【図３】本発明の実施形態による基板について説明する図である。
【図４】本発明の実施形態による格納部２０ａ（図１）の構成を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施形態による昇降装置７０ａについて説明する図である。
【図６】本発明の実施形態による被搬送物仕分装置６０（図１）の構成を示す概略ブロック図である。
【図７】本発明の実施形態による被搬送物仕分装置６０の記憶部６５（図６）が記憶する情報の一例を示す図である。
【図８】本発明の実施形態による被搬送物仕分装置６０の記憶部６５が記憶する情報の一例を示す図である。
【図９】本発明の実施形態による被搬送物仕分装置６０の制御部６４（図６）の処理を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の実施形態による図９のステップＳ０８の処理を説明する図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０・・・搬送部、２０ａ〜２０ｉ・・・格納部、３０・・・撮像部、４０ａ〜４０ｉ・・・検出部、５０・・・搬入搬出装置、６０・・・被搬送物仕分装置、６１・・・基板識別情報受信部、６２・・・検出情報受信部、６３・・・入力部、６４・・・制御部、６５・・・記憶部、６６・・・報知部、６７・・・ローラ駆動部、６８・・・昇降装置駆動部、６９・・・搬入搬出装置駆動部、７０ａ〜７０ｉ・・・昇降装置、１００・・・被搬送物仕分システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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