(57)【要約】【課題】微細粉塵を筒状フィルタの表面で捕集し、この表面捕集した微細粉塵を十分に払い落としができる逆止弁付きフィルタを提供する。【解決手段】逆止弁付きフィルタ１は、上部に吸引口３を有する複数の筒状フィルタ５と、この複数の筒状フィルタ５を互いに隣り合うように並べて前記複数の筒状フィルタ５の上部を一体的に固定する平板状の上部枠材７と、前記隣り合う筒状フィルタ５の間の前記上部枠材７に、前記隣り合う筒状フィルタ５の間隔へ下方に向けて逆洗用のパルスエアを噴射すべく設けた複数の逆止弁１１と、で構成されていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部に吸引口を有する複数の筒状フィルタと、この複数の筒状フィルタを互いに隣り合うように並べて前記複数の筒状フィルタの上部を一体的に固定する平板状の上部枠材と、前記隣り合う筒状フィルタの間の前記上部枠材に、前記隣り合う筒状フィルタの間隔へ下方に向けて逆洗用のパルスエアを噴射すべく設けた複数の逆止弁と、で構成されていることを特徴とする逆止弁付きフィルタ。
【請求項２】
前記複数の筒状フィルタを前記上部枠材に一列又は複数列に配置すると共に、前記複数の逆止弁を前記各列の隣り合う筒状フィルタの間に１個ずつ千鳥状に交互に配置することを特徴とする請求項１記載の逆止弁付きフィルタ。
【請求項３】
前記複数の筒状フィルタを前記上部枠材に一列又は複数列に配置すると共に、前記複数の逆止弁を前記各列の隣り合う筒状フィルタの間に前記各列方向に対して幅方向に２個ずつ配置することを特徴とする請求項１記載の逆止弁付きフィルタ。
【請求項４】
供給されるガス状の流体から微細粉塵を分離して濾過する捕集室と、この捕集室に配置して上部に吸引口を有する複数の筒状フィルタと、前記複数の筒状フィルタの各吸引口に連通して前記複数の筒状フィルタ内を吸引する清浄空気室と、この清浄空気室に配置して前記複数の筒状フィルタの各吸引口から筒状フィルタ内へ逆洗用のパルスエアを断続的に噴射する逆洗用噴射ノズルと、からなる捕集装置におけるフィルタの逆洗装置において、
前記複数の筒状フィルタは、各吸引口を前記清浄空気室に連通するように互いに隣り合うように並べて前記捕集室の上部壁に配設し、前記隣り合う筒状フィルタの間隔に下方に向けて前記逆洗用のパルスエアを噴射する複数の逆止弁を前記隣り合う筒状フィルタの間の上部壁に配設してなることを特徴とする捕集装置におけるフィルタの逆洗装置。
【請求項５】
前記逆洗用噴射ノズルと、前記複数の筒状フィルタの吸引口並びに前記複数の逆止弁との間に、前記逆洗用噴射ノズルから噴射される逆洗用のパルスエアを導入するためのベンチュリー管を設けてなることを特徴とする請求項４記載の捕集装置におけるフィルタの逆洗装置。
【請求項６】
前記逆洗用噴射ノズルは、前記複数の筒状フィルタの吸引口に向けて逆洗用のパルスエアを噴射すべく配置すると共に、前記複数の逆止弁に向けて逆洗用のパルスエアを噴射する第２の逆洗用噴射ノズルを配設してなることを特徴とする請求項４記載の捕集装置におけるフィルタの逆洗装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、特にガス状の流体から微細粉塵を分離する捕集装置に使用される逆止弁付きフィルタ、並びに前記逆止弁付きフィルタを用いた捕集装置におけるフィルタの逆洗装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガス状の流体から微細粉塵を分離して濾過する捕集手段としては、種々の形態のフィルタが用いられており、布やセルロース、フェルト等の繊維からなる袋状のバグフィルタやプリーツフィルタ、樹脂や金属などの粒子を表面で融着して焼結した連通多孔質成形体からなる焼結体フィルタ、焼結体フィルタの表面にフッ素樹脂（コーティング層）やＰＴＦＥ膜を付着したフィルタが用いられている。
【０００３】
プリーツフィルタは、例えば特許文献１及び特許文献２に示されているように、ひだ折りにした濾過材を筒状に加工したものであり、構造が簡単で、かつ圧力損失が小さいことや、ひだを多く取ることで表面積が大きくなるので集塵効率が向上するなどの理由で、一般的に最も多く用いられている。
【０００４】
特許文献３〜特許文献５の焼結体フィルタでは、例えばポリエチレンなどの樹脂の粒子を表面で融着して焼結した連通多孔質成形体（焼結体）の表面に、精密濾過層としてフッ素樹脂あるいは他の樹脂などの微粒子のコーティング層を例えば接着剤などで接着して形成した焼結体フィルタである。すなわち、焼結体の孔がフッ素樹脂などの微粒子により多数の小さな隙間となる。
【特許文献１】特許第２９１１０４２号公報
【特許文献２】実開平８−１５１０号公報
【特許文献３】特許第３３３０１５３号公報
【特許文献４】特開平１１−２６２６１３号公報
【特許文献５】特開平１１−２７６８２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した従来のフィルタにおいて、バグフィルタでは、簡単で安価であるが、フィルタの繊維の中にダストが浸入するため、逆洗用のパルスエア等を用いてダストの払い落としを行っても、ダストが内部に残留し、比較的短期（半年〜１年）で目詰まりを起こすので新品との交換が必要となる。また、吸引とパルスエアを繰り返すことで、リテーナと擦り合って破損するという問題点があった。
【０００６】
プリーツフィルタでは、バグフィルタと比較すると、ひだがあるため剛性は向上するが、フィルタの繊維の内部にダストが浸入し、目詰まりを起こすために約１年で交換する必要がある。また、ひだが吸引圧力で変形したり、ひだの内部のダストはパルスエアでは十分に落ちないので目詰まりが早まる。また、繊維層が比較的薄いので破損も起こし易いという問題点があった。
【０００７】
焼結体フィルタでは、バグフィルタやプリーツフィルタと比較すると、剛性が高く、内部にダストがたまりにくいが、長期的には目詰まりを起こすことになる。また、焼結体であるために結合力が小さく、衝撃で破損するという問題点があった。また、製作するには焼結炉などの高価な設備が必要である。また、プラズマ、レーザ加工などの場合は、１μｍ以下のサブミクロンの微細なダストが多量に発生する。この微細粉塵は重さが殆どないために空中に浮遊した状態であるので、たとえパルスエアで払い落としを行っても、通常の粉塵捕集運転を行うと再びフィルタの表面に付着してしまう。そのために、パルスエアのみでは払い落としが不十分であるので、表面目詰まりを起こして風量が低下するという問題点があった。
【０００８】
焼結体フィルタの表面にフッ素樹脂（コーティング層）やＰＴＦＥ膜を付着したフィルタでは、剛性が高く、表面が緻密なのでダストは表面で捕集され、フッ素樹脂が表面を覆っているために、ダストの剥離も容易であり、長期的な使用が可能である。しかし、焼結体であるために、高価であり、衝撃に弱いという問題点があった。また、１μｍ以下の微細なダストは軽いために、ダスト層が厚くならないと、つまり目詰まりした状態にならないと払い落としができないという問題点があった。
【０００９】
この発明は、微細粉塵を筒状フィルタの表面で捕集すると共に表面捕集した微細粉塵を十分に払い落としができる逆止弁付きフィルタ、並びに前記逆止弁付きフィルタを用いた捕集装置におけるフィルタの逆洗装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するために、この発明の逆止弁付きフィルタは、上部に吸引口を有する複数の筒状フィルタと、この複数の筒状フィルタを互いに隣り合うように並べて前記複数の筒状フィルタの上部を一体的に固定する平板状の上部枠材と、前記隣り合う筒状フィルタの間の前記上部枠材に、前記隣り合う筒状フィルタの間隔へ下方に向けて逆洗用のパルスエアを噴射すべく設けた複数の逆止弁と、で構成されていることを特徴とするものである。
【００１１】
また、この発明の逆止弁付きフィルタは、前記逆止弁付きフィルタにおいて、前記複数の筒状フィルタを前記上部枠材に一列又は複数列に配置すると共に、前記複数の逆止弁を前記各列の隣り合う筒状フィルタの間に１個ずつ千鳥状に交互に配置することが好ましい。
【００１２】
また、この発明の逆止弁付きフィルタは、前記逆止弁付きフィルタにおいて、前記複数の筒状フィルタを前記上部枠材に一列又は複数列に配置すると共に、前記複数の逆止弁を前記各列の隣り合う筒状フィルタの間に前記各列方向に対して幅方向に２個ずつ配置することが好ましい。
【００１３】
この発明の捕集装置におけるフィルタの逆洗装置は、供給されるガス状の流体から微細粉塵を分離して濾過する捕集室と、この捕集室に配置して上部に吸引口を有する複数の筒状フィルタと、前記複数の筒状フィルタの各吸引口に連通して前記複数の筒状フィルタ内を吸引する清浄空気室と、この清浄空気室に配置して前記複数の筒状フィルタの各吸引口から筒状フィルタ内へ逆洗用のパルスエアを断続的に噴射する逆洗用噴射ノズルと、からなる捕集装置におけるフィルタの逆洗装置において、
前記複数の筒状フィルタは、各吸引口を前記清浄空気室に連通するように互いに隣り合うように並べて前記捕集室の上部壁に配設し、前記隣り合う筒状フィルタの間隔に下方に向けて前記逆洗用のパルスエアを噴射する複数の逆止弁を前記隣り合う筒状フィルタの間の上部壁に配設してなることを特徴とするものである。
【００１４】
また、この発明の捕集装置におけるフィルタの逆洗装置は、前記捕集装置におけるフィルタの逆洗装置において、前記逆洗用噴射ノズルと、前記複数の筒状フィルタの吸引口並びに前記複数の逆止弁との間に、前記逆洗用噴射ノズルから噴射される逆洗用のパルスエアを導入するためのベンチュリー管を設けていることが好ましい。
【００１５】
また、この発明の捕集装置におけるフィルタの逆洗装置は、前記捕集装置におけるフィルタの逆洗装置において、前記逆洗用噴射ノズルは、前記複数の筒状フィルタの吸引口に向けて逆洗用のパルスエアを噴射すべく配置すると共に、前記複数の逆止弁に向けて逆洗用のパルスエアを噴射する第２の逆洗用噴射ノズルを配設していることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
以上のごとき課題を解決するための手段から理解されるように、この発明の逆止弁付きフィルタによれば、筒状フィルタの表面の微細粉塵の払い落としは、単に筒状フィルタの内部にパルスエアを噴射して逆洗するだけのエア圧力では不十分であるが、複数の筒状フィルタを逆洗すると同時に、複数の逆止弁により互いに隣り合う筒状フィルタの間に、換言すれば各筒状フィルタの外側に下方へ向けた気流を発生させることにより、筒状フィルタの表面の微細粉塵の払い落とし効果を上げることができる。
【００１７】
また、この発明の捕集装置におけるフィルタの逆洗装置によれば、上記の逆止弁付きフィルタを用いることで、複数の筒状フィルタを逆洗すると同時に、複数の逆止弁により互いに隣り合う筒状フィルタの間に、換言すれば各筒状フィルタの外側に下方へ向けた気流を発生させることにより、筒状フィルタの表面の微細粉塵の払い落とし効果を上げることができる。再び通常の粉塵捕集運転が行われても、従来のように微細粉塵が再び筒状フィルタの表面に付着するという事態を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
図１（Ａ）〜（Ｃ）及び図２を参照するに、この実施の形態に係る逆止弁付きフィルタ１は、上部に吸引口３を有する複数の筒状フィルタ５が、互いに隣り合うように一列に並べられ、前記複数の筒状フィルタ５の上部が平板状の上部枠材７で一体的に固定されている。図１（Ａ）では、８個の筒状フィルタ５が上部枠材７でユニット化されている。しかも、この実施の形態では、図２に示されているように、上記の８個の筒状フィルタ５の下部が下部枠材９で固定されることで、安定した状態でユニット化されている。また、上記の上部枠材７と下部枠材９は例えば樹脂製にして複数の筒状フィルタ５を金型で同時に一体的に成形することでユニット化することができる。
【００２０】
さらに、上記の上部枠材７の互いに隣り合う筒状フィルタ５の間には、前記隣り合う筒状フィルタ５の間隔へ下方に向けて逆洗用のパルスエアを噴射する複数の逆止弁１１が設けられている。この逆止弁１１は、通常は先端のノズル１３が閉じているが、上方から逆洗用のパルスエアを下へ向けて逆止弁１１の開口１５へ噴射すると、パルスエアが逆止弁１１の先端のノズル１３から上記の隣り合う筒状フィルタ５の間隔へ下方に向けて噴射することになる。つまり、逆洗用のパルスエアが各筒状フィルタ５の外側に下方へ向けて流れることになる。
【００２１】
また、この実施の形態では、筒状フィルタ５はその上端が吸引口３で開口し、かつ下端が閉塞した円筒形状である。さらに、筒状フィルタ５は、図３に示されているように、基本的に筒状フィルタ５のそれ自体を支持するための強い強度を有するフィルタ本体１７が円筒形状に形成されており、このフィルタ本体１７の外表面には、微細粉塵を分離して濾過するために、前記フィルタ本体１７より小径の素材で、かつ前記フィルタ本体１７より細かい気孔を有している精密濾過膜１９が、接着又は熱融着などの接合技術で接合されている。
【００２２】
このとき使用される接着剤としては、例えば、ビニール系樹脂やフェノール系樹脂、メラニン系樹脂、レゾルシノール系樹脂、アクリルニトリル系樹脂、ウレタン系樹脂などがある。また、上記の各層を熱融着する場合、例えば１００〜２５０°Ｃの加熱温度で行われる。
【００２３】
より詳しくは、上記のフィルタ本体１７は、例えば５〜３００μｍの径で、孔径１０μｍ（不織布の密度で０．４〜０．６ｇ／ｃｍ３相当）〜１０００μｍ（不織布の密度で０．０５〜０．０７ｇ／ｃｍ３相当）を持った不織布であり、この不織布が１層ないしは複数層に巻かれて円筒状に成形されている。この円筒状の厚さ、つまり不織布の１層ないしは複数層の全体の厚さが１．０〜５．０ｍｍである。なお、不織布としては、ＰＰ（ポリプロピレン）、低密度ポリエチレンや高密度ポリエチレンを含むＰＥ（ポリエチレン）、あるいはＰＰとＰＥとの混合などの素材、あるいはその他の樹脂の素材が用いられる。
【００２４】
また、フィルタ本体１７としては、不織布に限らず、素材である樹脂の粒子径が数十μｍ〜数百μｍで、より具体的には５０μｍ以上の樹脂の粒子径の骨格粒子からなり２５〜１００μｍの径の気孔を持った比較的粗い焼結体でも良い。例えば、樹脂の粒子径が５０μｍ以上のＰＥ（ポリエチレン）の焼結体がある。
【００２５】
一方、上記の精密濾過膜１９としては、微粒子素材を接着剤で吹き付けたり、あるいは上記の不織布より細かい１０μｍ以下の微細孔を持ったＰＴＦＥ膜やマイクロファイバ膜を貼り付けて接着又は熱融着などの接合技術で接合して精密濾過膜１９が形成される。
【００２６】
例えばテフロン（登録商標）の１０μｍ以下の樹脂の粒子径からなる微粒子素材が、上記のフィルタ本体１７の外側に接着剤で吹き付けられることで、５μｍ以下の径の微細孔を有した多孔質膜が形成される。この多孔質膜はテフロン（登録商標）素材であるために粉塵の付着力が弱いので、捕集した粉塵が落下し易いものである。なお、多孔質膜としては、上記のテフロン（登録商標）素材に限らず、ポリエチレン、ポリプロピレン、セルロースなどの他の材質からなるものであってもよい。また、具体的には、粒子径がミクロンからサブミクロン（１０μｍ〜０．１μｍ）である。
【００２７】
また、ＰＴＦＥ膜としては、１０μｍ以下の径の微細孔を有しており、テフロン（登録商標）素材であるために粉塵の付着力が弱いので、捕集した粉塵が落下し易いものである。なお、ＰＴＦＥ膜としては、上記のテフロン（登録商標）素材に限らず、ポリエチレン、ポリプロピレン、セルロースなどの他の材質からなるものであってもよい。また、具体的には、孔径がミクロンからサブミクロン（０．０１μｍ〜１０μｍ）である。
【００２８】
また、マイクロファイバ膜としては、１０μｍ以下の繊維径を有し１０μｍ以下の径の孔を持っており、例えば、テフロン（登録商標）、ポリエチレン、ポリプロピレン、セルロースなどのマイクロファイバ膜の例えば不織布などのシート状の物体からなるシートであって比較的安価であり、表面処理を行うことで耐熱性や難燃性を付加し易いものであり、粉塵の剥離性も向上できる。また、具体的には、繊維径は０．０１〜１０μｍである。
【００２９】
なお、この実施の形態では、複数の筒状フィルタ５が一列に並んでいるが、複数列に並べて上部を平板状の上部枠材７で一体的に固定してユニット化し、さらには、複数列の筒状フィルタ５の下部を下部枠材９で固定して安定したユニット化を図る構成でも良い。
【００３０】
また、上記の上部枠材７に一列に配置された複数の筒状フィルタ５では、図１（Ａ）に示されているように、前記複数の逆止弁１１が互いに隣り合う筒状フィルタ５の間に１個ずつ千鳥状に交互に配置されている。あるいは、図４に示されているように、前記複数の逆止弁１１が互いに隣り合う筒状フィルタ５の間に前記一列方向に対して幅方向に２個ずつ配置されても良い。
【００３１】
なお、この実施の形態の逆止弁付きフィルタ１は、集塵機や濾過装置などの捕集装置に取り付けられることで効果が発揮されるので、この実施の形態の捕集装置におけるフィルタの逆洗装置４１について説明する際に、逆止弁付きフィルタ１の作用も説明する。
【００３２】
この実施の形態で用いられる捕集装置２１について図面を参照して説明する。
【００３３】
図５を参照するに、捕集装置２１は、密閉されたケーシング２３が装置本体２５の構造物に設けられており、ケーシング２３の内部は、隔壁２７によって下部の捕集室２９と上部の清浄空気室３１とに分けられている。ケーシング２３の側壁には微細粉塵を含むガス状の流体（以下、単に「気流」という）を捕集室２９に供給するための供給口３３が設けられている。ケーシング２３の上部には清浄空気室３１内の清浄空気を排出するための排出口３５が清浄空気室３１に連通して設けられている。また、捕集室２９の下部は下方に落下した粉塵を集めるためにホッパ３７が形成されており、このホッパ３７の下方には粉塵収容タンク３９が設けられている。
【００３４】
捕集室２９には、供給される気流から微細粉塵を分離して濾過するために、前述したように筒状フィルタ５（今回の場合８本）を有する逆止弁付きフィルタ１のユニットが複数個、取り付けられている。すなわち、各逆止弁付きフィルタ１のユニットの上部枠材７が捕集室２９の上部壁としての例えば隔壁２７に固定されており、各筒状フィルタ５の吸引口３は清浄空気室３１に連通している。この実施の形態では、図６に示されているように、合計２４個の逆止弁付きフィルタ１のユニットが整列された状態で配設されている。
【００３５】
図７及び図８を併せて参照するに、清浄空気室３１の内部には上記の複数の筒状フィルタ５を洗浄するための逆洗装置４１が設けられている。逆洗装置４１としては、上記の各逆止弁付きフィルタ１のユニット毎に、前記各筒状フィルタ５の吸引口３を経てそれぞれの筒状フィルタ５へ逆洗用のパルスエアを断続的に噴射する逆洗用噴射ノズル４３が設けられている。すなわち、各ユニットの逆止弁付きフィルタ１の複数の筒状フィルタ５の吸引口３の上方には、パルスエア用パイプ４５が配置されており、パルスエア用パイプ４５には各筒状フィルタ５の吸引口３に対応した位置に上記の逆洗用噴射ノズル４３が設けられている。
【００３６】
また、捕集装置２１には、図５に示されているように、逆洗用のパルスエアを予め貯留するためのエアタンク４７が装置本体２５に設けられており、各パルスエア用パイプ４５は図示しない逆洗バルブを介設してエアタンク４７に連通している。つまり、逆洗バルブの開閉動作により、エアタンク４７のパルスエアがパルスエア用パイプ４５へ断続的に供給される構成である。したがって、筒状フィルタ５が多数であっても、パルスエアがエアタンク４７から供給されるので、パルスエア用パイプ４５の各逆洗用噴射ノズル４３から常時安定したパルスエアの噴射が行われる。つまり、パルスエアの噴射量が不十分になるようなことがない。
【００３７】
さらに、上記のパルスエア用パイプ４５の逆洗用噴射ノズル４３と、前記複数の筒状フィルタ５の吸引口３並びに前記複数の逆止弁１１との間には、前記逆洗用噴射ノズル４３から噴射される逆洗用のパルスエアを導入するためのベンチュリー管４９が設けられている。なお、前記ベンチュリー管４９は、図７において左右方向には同じ断面であり、図７の左右方向に直交する断面では、図８に示されているように、面積が高さ方向のほぼ中央位置で最も狭くなるように、上部から中央位置までは下方に向けて徐々に小さくされ、前記中央位置から下方に向けては徐々に大きくされる構成である。しかも、ベンチュリー管４９の下端は、前記複数の各逆止弁１１にもパルスエアを噴射できるように広がっている。
【００３８】
上記構成により、捕集装置２１の通常の粉塵捕集運転では、図５に示されているように、清浄空気室３１の清浄空気が排出口３５から排出されると清浄空気室３１の内部が負圧になるために、清浄空気室３１に連通する各筒状フィルタ５の吸引口３を経て筒状フィルタ５内が負圧となる。したがって、微細粉塵を含む気流が供給口３３へ供給されると、図８及び図９の矢印に示されているように、捕集室２９の気流は多数の各筒状フィルタ５を通過して内部へ流れる。このとき、微細粉塵は各筒状フィルタ５の精密濾過膜１９の表面に付着して捕集されて気流が濾過される。この濾過された清浄空気はフィルタ本体１７を通過し、筒状フィルタ５の内部から吸引口３を経てケーシング２３の上部の清浄空気室３１へ流れ、排出口３５から外部へ排出される。なお、通常の粉塵捕集運転では、互いに隣り合う筒状フィルタ５の間に配置されている各逆止弁１１は閉塞しており、捕集室２９の気流が逆止弁１１を通過することはない。
【００３９】
上述したように捕集装置２１の粉塵捕集運転が行われると、微細粉塵が各筒状フィルタ５の精密濾過膜１９の表面に付着し堆積するために、圧力損失が増加することになる。そこで、各筒状フィルタ５に対して一定時間の間隔をおいて逆洗して上記の精密濾過膜１９の表面に付着し堆積した粉塵を払い落とす必要がある。
【００４０】
例えば、タイマー制御などにより逆洗バルブを一定の時間をおいて開閉すると、図１０及び図１１の矢印に示されているように、各パルスエア用パイプ４５の各逆洗用噴射ノズル４３からパルスエアが噴射する。なお、この逆洗時は通常の粉塵捕集運転が中断する。また、この実施の形態では、パルスエアの噴射圧力は例えば４〜７ｋｇｆ／ｃｍ２（≒３９２〜６８６ｋＰａ）で、パルスエアの噴射時間は例えば０．０５〜０．５秒で、パルスエアの噴射の断続間隔は例えば数十秒〜数分ないしは数時間である。
【００４１】
上記の各逆洗用噴射ノズル４３から噴射されたパルスエアはベンチュリー管４９を通過して下方の各筒状フィルタ５の吸引口３と各逆止弁１１の開口１５へ噴射される。このとき、パルスエアがベンチュリー管４９の高さ方向のほぼ中央の狭い面積を通過するので噴射力が増強され、かつ、ベンチュリー管４９の上方の周囲の空気が流入するので、噴射量も増大されることになる。
【００４２】
吸引口３から筒状フィルタ５の内部へ噴射されたパルスエアは、筒状フィルタ５のフィルタ本体１７と精密濾過膜１９を通過して外側へ噴出することになり、精密濾過膜１９に付着していた粉塵がパルスエアの噴出力と筒状フィルタ５自体の弾性変形により剥離される。このように筒状フィルタ５の表面から剥離した粉塵の中で重い粉塵は下方のホッパ３７へ落下するが、１μｍ以下の微細粉塵は重さが殆どないために空中に浮遊して落下しない。
【００４３】
しかし、上述したようにパルスエアにより筒状フィルタ５の表面の粉塵が剥離されると同時に、逆止弁１１の開口１５へ噴射されたパルスエアが、逆止弁１１の先端のノズル１３から互いに隣り合う筒状フィルタ５の間隔へ下方に向けて噴射されるので、上記の浮遊している１μｍ以下の微細粉塵を下方へ強制的に落下することとなる。その結果、再び通常の粉塵捕集運転が行われても、従来のように微細粉塵が再び筒状フィルタ５の表面に付着するという事態を防止することができる。
【００４４】
しかも、筒状フィルタ５の表面の粉塵が剥離されるときに、逆止弁１１により筒状フィルタ５の外側に気流を生じさせることで、前記粉塵の剥離を確実なものにして払い落としを促進することができる。つまり、筒状フィルタ５の上部の粉塵に剥離が発生することで粉塵層の厚さが部分的に変化するため、次々と下部にわたって粉塵の剥離が連鎖することになる。
【００４５】
なお、複数の逆止弁１１の配置状態は、図１（Ａ）のように隣り合う筒状フィルタ５の間に１個ずつ千鳥状に配置したものより、図４のように隣り合う筒状フィルタ５の間に２個ずつ配置した方が、筒状フィルタ５の逆洗効率は良いのであるが、筒状フィルタ５の間隔や逆止弁１１からの噴射量や噴射力の状況に応じて使い分けをすることで、低コストで、かつ高効率で筒状フィルタ５の逆洗を行うことができる。
【００４６】
また、この実施の形態の捕集装置２１では、前述した逆止弁付きフィルタ１をユニットとして、複数のユニットの各逆止弁付きフィルタ１の上部枠材７を捕集室２９の上部壁としての例えば隔壁２７に固定しているが、他の実施の形態では、複数の筒状フィルタ５と複数の逆止弁１１を直接に前記隔壁２７（捕集室２９の上部壁）に取り付けた構成であっても良い。
【００４７】
以上のことから、筒状フィルタ５の表面の微細粉塵の払い落としは、単に筒状フィルタ５の内部にパルスエアを噴射して逆洗するだけのエア圧力では不十分であるが、この実施の形態の逆止弁付きフィルタ１では、複数の筒状フィルタ５を逆洗すると同時に、複数の逆止弁１１により互いに隣り合う筒状フィルタ５の間に、換言すれば各筒状フィルタ５の外側に下方へ向けた気流を発生させることにより、筒状フィルタ５の表面の微細粉塵の払い落とし効果を上げることができる。
【００４８】
また、この実施の形態の捕集装置におけるフィルタの逆洗装置４１では、上記の逆止弁付きフィルタ１を用いることで、複数の筒状フィルタ５を逆洗すると同時に、複数の逆止弁１１により互いに隣り合う筒状フィルタ５の間に、換言すれば各筒状フィルタ５の外側に下方へ向けた気流を発生させることにより、筒状フィルタ５の表面の微細粉塵の払い落とし効果を上げることができる。
【００４９】
すなわち、筒状フィルタ５の逆洗による気流圧と筒状フィルタ５の弾性変形により、筒状フィルタ５の表面の粉塵が剥離されると同時に、逆止弁１１により筒状フィルタ５の外側に気流を生じさせることで、筒状フィルタ５の上部の粉塵の剥離を次々と下部にわたって連鎖する。しかも、微細粉塵が下方へ落下するので、再び通常の粉塵捕集運転が行われても、従来のように微細粉塵が再び筒状フィルタ５の表面に付着するという事態を防止することができる。
【００５０】
図１２を参照するに、他の実施の形態の捕集装置におけるフィルタの逆洗装置５１としては、前述したフィルタの逆洗装置４１のようにベンチュリー管４９を用いずに、第１の逆洗用噴射ノズル５３が複数の筒状フィルタ５の吸引口３に向けて逆洗用のパルスエアを噴射するための専用の噴射ノズルとして配置され、第２の逆洗用噴射ノズル５５が複数の逆止弁１１に向けて逆洗用のパルスエアを噴射するための専用の噴射ノズルとして配設されている。
【００５１】
例えば、上記の第１の逆洗用噴射ノズル５３を有する第１のパルスエア用パイプ５７が図示しない逆洗バルブを介してエアタンク４７に連通している。一方、第２の逆洗用噴射ノズル５５を有する第２のパルスエア用パイプ５９が図示しない逆洗バルブを介してエアタンク４７に連通している。その他の構成、作用、効果は前述したフィルタの逆洗装置４１と同様であるので詳細な説明は省略する。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】この発明の実施の形態の逆止弁付きフィルタを示すもので、（Ａ）は平面図で、（Ｂ）は（Ａ）の矢視ＩＢ−ＩＢ線の断面図で、（Ｃ）は（Ａ）の矢視ＩＣ−ＩＣ線の断面図である。
【図２】この発明の実施の形態の逆止弁付きフィルタの正面図である。
【図３】この発明の実施の形態の逆止弁付きフィルタの部分的な断面図である。
【図４】この発明の他の実施の形態の逆止弁付きフィルタの平面図である。
【図５】この発明の実施の形態で用いられる捕集装置を示す概略的な正面図である。
【図６】図５の捕集装置に設置される逆止弁付きフィルタの全体的な平面図である。
【図７】図５の捕集装置におけるフィルタの逆洗装置の部分的な概略説明図である。
【図８】図７の矢視ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線の断面図で、通常の粉塵捕集運転状態を示す説明図である。
【図９】図７を部分的に拡大した正面図であり、図８の縦断面図である。
【図１０】図８と同じで、逆洗装置による逆洗の状態を示す説明図である。
【図１１】図９と同じで、逆洗装置による逆洗の状態を示す説明図である。
【図１２】この発明の他の実施の形態の捕集装置におけるフィルタの逆洗装置の部分的な概略説明図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  逆止弁付きフィルタ
３  吸引口
５  筒状フィルタ
７  上部枠材
９  下部枠材
１１  逆止弁
１３  ノズル（逆止弁１１の）
１５  開口（逆止弁１１の）
１７  フィルタ本体
１９  精密濾過膜
２１  捕集装置
２３  ケーシング
２５  装置本体
２７  隔壁（捕集室２９の上部壁）
２９  捕集室
３１  清浄空気室
３３  供給口
３５  排出口
４１  逆洗装置
４３  逆洗用噴射ノズル
４５  パルスエア用パイプ
４７  エアタンク
４９  ベンチュリー管
５１  逆洗装置（他の実施の形態の）
５３  第１の逆洗用噴射ノズル
５５  第２の逆洗用噴射ノズル
５７  第１のパルスエア用パイプ
５９  第２のパルスエア用パイプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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