(57)【要約】【課題】属性情報が付された切削ブレードの交換作業を簡単かつ効率よく行うことができるブレード交換工具を提供する。【解決手段】交換対象となる切削ブレード３１を把持部８１で把持した状態でこの切削ブレード３１に付された記録コード３６の情報を記録コード読取転送手段８５で読み取って制御手段に転送するようにしたので、交換対象となる切削ブレード３１を交換作業のために把持部８１によって把持するだけで記録コード３６の情報も別個専用の操作を要することなく確実に取得して制御手段に転送させることができるようにした。【選択図】        図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持するブレードマウントを有する切削手段と、該切削手段を制御する制御手段とを備える切削装置において前記切削ブレードを交換するためのブレード交換工具であって、
前記ブレードマウントの装着凸部に挿入される挿入口を有する円形基台と、該円形基台の一面に一体に形成された被把持部と、前記円形基台の他面に形成されて該円形基台より外周側に突出する切刃部とを有し、前記被把持部の表面に当該切削ブレードの属性に関する情報を記録した記録コードが付された前記切削ブレードを交換対象とし、
前記被把持部を着脱自在に把持する把持部と、
当該切削ブレードの把持状態で前記被把持部の表面に対向して前記記録コードの情報を読み取って前記制御手段に転送する記録コード読取転送手段と
を備えることを特徴とするブレード交換工具。
【請求項２】
前記記録コードは、バーコードからなり、前記記録コード読取転送手段は、前記バーコードを読み取る無線式のバーコードリーダからなることを特徴とする請求項１に記載のブレード交換工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削装置において切削ブレードを交換するためのブレード交換工具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハ等の被加工物の切削に用いられる一般的な切削ブレードは、リング状の基台からその外周側に切り刃が突出した構成となっており、切り刃の突出量（刃先出し量）および切り刃の厚さ（刃厚）には、切削ブレード毎にバラツキがある。一方、被加工物の切削時においては、被加工物から切り出される個々のチップの品質を一定以上とする必要があるため、各切削ブレードの属性情報をバーコード等の記録コード（個性表示）に記録しておき、その記録コードを切削装置に読み込ませることにより、切り刃の摩耗管理等に利用するようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
一方、切削装置においては、対象となる被加工物の切削に際して所望の切削加工を施すために、切削ブレードを有する切削手段の切削条件およびその切削条件での切削時に使用する被加工物に対応した切削ブレードの属性が予め入力設定されてメモリ等の記録手段に記録されている。よって、所望の切削加工を施すためには、設定されている切削条件および切削ブレードに適合することが必要となる。この場合、特許文献１記載の技術を利用すれば、切削ブレードに記録されたバーコードによる記録コード（個性表示）をバーコードリーダで読み取って、切削条件および切削ブレードに適合するか否かを照合することが可能となる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１４４０３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１記載の技術を利用しても、対象となる切削ブレードに記録されたバーコードをーバーコードリーダで読み取った後、バーコードリーダをブレード交換工具に持ち替えて対象となる切削ブレードを把持してブレードマウントに装着するブレード交換作業を行う必要があり、交換作業が煩雑で作業効率の悪いものとなってしまう。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、属性情報が付された切削ブレードの交換作業を簡単かつ効率よく行うことができるブレード交換工具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかるブレード交換工具は、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持するブレードマウントを有する切削手段と、該切削手段を制御する制御手段とを備える切削装置において前記切削ブレードを交換するためのブレード交換工具であって、前記ブレードマウントの装着凸部に挿入される挿入口を有する円形基台と、該円形基台の一面に一体に形成された被把持部と、前記円形基台の他面に形成されて該円形基台より外周側に突出する切刃部とを有し、前記被把持部の表面に当該切削ブレードの属性に関する情報を記録した記録コードが付された前記切削ブレードを交換対象とし、前記被把持部を着脱自在に把持する把持部と、当該切削ブレードの把持状態で前記被把持部の表面に対向して前記記録コードの情報を読み取って前記制御手段に転送する記録コード読取転送手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明にかかるブレード交換工具は、上記発明において、前記記録コードは、バーコードからなり、前記記録コード読取転送手段は、前記バーコードを読み取る無線式のバーコードリーダからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明にかかるブレード交換工具によれば、交換対象となる切削ブレードの把持状態でこの切削ブレードに付された記録コードの情報を記録コード読取転送手段で読み取って制御手段に転送するので、交換対象となる切削ブレードを交換作業のために把持部によって把持するだけで記録コードの情報も別個専用の操作を要することなく確実に取得して制御手段に転送させることができ、よって、属性情報が付された切削ブレードの交換作業を簡単かつ効率よく行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための最良の形態であるブレード交換工具について図面を参照して説明する。
【００１１】
図１は、本発明の実施の形態のブレード交換工具を用いる切削装置の一例を示す外観斜視図である。切削装置１は、複数のチップを区画する分割予定ラインに沿って被加工物Ｗを切削ブレードで切削することにより分割するものであり、概略構成として、図１に示すように、テープＴを介して環状フレームＦに保持される被加工物Ｗを保持するチャックテーブル２と、チャックテーブル２に保持された被加工物Ｗに対して切削ブレード３１で切削加工を施す切削手段３とを備える。
【００１２】
ここで、切削手段３及び切削ブレード３１の構成例について、図２および図３を参照して説明する。図２は、切削手段の構成例を示す分解斜視図であり、図３は、その斜視図である。切削ブレード３１は、円形基台３１０と被把持部３１１と切刃部３１２とが一体成形されたものである。円形基台３１０は、切削ブレード３１を回転可能に支持する回転スピンドル３２の先端部に設けられたブレードマウント３３の装着凸部３３０に挿入される挿入口３１０ａが中心部に形成されている。このような切削ブレード３１は、ハウジング３４によって回転自在に支持された回転スピンドル３２の先端のブレードマウント３３の装着凸部３３０に対して挿入口３１０ａを嵌挿し、切削ブレード３１の裏面側がストッパ部３３１に当接した状態でナット３５を雄ネジ部３３２に螺合させて締め付けことにより、回転スピンドル３２に固定されて切削手段３が構成されている。また、被把持部３１１は、円形基台３１０の一面にこの円形基台３１０と一体に形成されて後述するブレード交換工具の把持部によって着脱自在に把持されるものである。さらに、切刃部３１２は、円形基台３１０の他面側（被把持部３１１とは反対面側）に形成されて円形基台３１１の外形よりも外側に突出することで、被加工物Ｗに対して実際に切削加工を施す部分である。
【００１３】
また、本実施の形態で適用対象となる切削ブレード３１は、円形基台３１０と一体の被把持部３１１の表面に位置させて、この切削ブレード３１の属性に関する情報を記録した記録コード３６が同一円周上に位置させて複数付されている。切削ブレードの属性に関する情報は、例えば、このブレードの固有の特性を実測した数値データであり、例えば、切刃部３１２の厚さ（刃厚）、切刃部３１２の突出量（刃先出し量）等に関するデータが用いられている。また、記録コード３６は、例えばバーコードの形態で設けられている。
【００１４】
また、本実施の形態の切削装置１は、表示手段５と記録手段６と制御手段７とを備える。図４は、制御手段７等を含む、本実施の形態の切削装置１の制御系を示す概略ブロック図である。表示手段５は、ＣＲＴ、ＬＣＤ等のディスプレイからなり、後述するエラー表示を含む各種情報を表示する。記録手段６は、各種情報を記録するメモリである。本実施の形態では、デバイスデータ設定モード等によって図示しない入力部を通じて入力設定された切削手段３の切削条件とその切削条件での切削時に使用する被加工物Ｗに対応した切削ブレード３１の属性が予め記録手段６に記録されている。
【００１５】
図５は、記録手段６に記録された切削条件やブレード属性等の一例を示す説明図である。すなわち、記録手段６中には、例えば切削条件：フルカット、対象となる被加工物Ｗを特定するウエーハＩＤの情報とともに、切削ブレード３１に関する属性としてブレードの種類、砥粒径等のデータに加えて、切刃部３１２の刃厚、刃先出し量のデータが予め格納されている。
【００１６】
制御手段７は、例えばＣＰＵ等で構成された演算制御装置やＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えて切削装置１全体の制御を司るマイクロプロセッサからなる。このような制御手段７は、設定された切削条件等に従い切削手段３による切削加工動作や送り動作等を制御するとともに、ブレード交換モードにおけるブレード交換に際しては後述する記録コード読取転送手段の読取転送結果に基づきブレード交換の許否を決定する。
【００１７】
このような切削装置１において、本実施の形態では、ブレード交換に用いるブレード交換工具８を備える。図６は、ブレード交換工具８の構成例を示す斜視図であり、図７は、ブレード交換工具８で交換対象となる切削ブレード３１を把持する工程を順に示す正面図であり、図８は、ブレード交換工具８で把持した切削ブレード３１をブレードマウント３３に装着する様子を示す斜視図である。
【００１８】
本実施の形態で用いるブレード交換工具８は、交換対象となる切削ブレード３１の被把持部３１１を着脱自在に把持する把持部８１を備える。この把持部８１は、ヒンジ部８２により少し拡開自在に設けられた例えば３片の可動片８３の下端部側において凹溝状に形成されて設けられ、可動片８３の上端部側の操作部８４によって拡開操作することにより、被把持部３１１に対して着脱自在な構成とされている。また、ブレード交換工具８は、可動片８３に囲まれた内部に記録コード読取転送手段８５を備えている。この記録コード読取転送手段８５は、対象となる切削ブレード３１を把持部８１によって把持した状態で被把持部３１１の表面に対向して記録コード３６の情報を光学的に読み取るセンサ部（光源を含む）８５ａと、センサ部８５ａによって読み取った記録コード３６の情報を制御手段７側の受信部７ａに対して無線で転送する送信部８５ａとを備える無線式のバーコードリーダからなる。ここで、センサ部８５ａは、把持部８１による切削ブレード３１の把持位置に関係なく記録コード３６の情報を読み取るために、複数設けられた記録コード３６の位置に対応する同一円周上の位置で複数設けられている。
【００１９】
このような構成において、切削ブレード３１を交換しようとする際には、まず、図７（ａ）に示すように、交換対象となる切削ブレード３１に対してブレード交換工具８５を近付け、図７（ｂ）に示すように、操作部８４を内側へ操作することで可動片８３の把持部８１側を少し拡開させて把持部８１を被把持部３１１に位置付ける。そして、今度は、図７（ｃ）に示すように、操作部８４側が拡開するように操作することで可動片８３の把持部８１側を内方へ変位させて、被把持部３１１を把持部８１で把持する状態とする。これにより、ブレード交換工具８を把持することで、図８に示すように、交換対象となる切削ブレード３１をそのままブレードマウント３３に対して装着可能となる。
【００２０】
ここで、図７（ｃ）や図８に示すブレード交換工具８により切削ブレード３１を把持した状態では、ブレード交換工具８に搭載された記録コード読取転送手段８５のセンサ部８５ａは切削ブレード３１の表面に付された記録コード３６に対向する状態にあり、記録コード３６の情報の読み取りが可能となる。このセンサ部８５ａで読み取られた記録コード３６の情報は、送信部８５ｂによって無線で受信部７ａへ送信され、受信部７ａでは受信した記録コード３６の情報を制御部７へ転送する。
【００２１】
ここで、切削ブレード３１を交換する場合の制御例について図９を参照して説明する。図９は、制御手段７によって実行されるブレード交換時の制御例を示す概略フローチャートである。まず、ブレード交換を行う際には、図示しない入力部等による操作でブレード交換モードに設定することにより実行される。そこで、制御手段７は、ブレード交換モードに設定されているか否かを判定し（ステップＳ１）、ブレード交換モードに設定されていない場合には（ステップＳ１：Ｎｏ）、他の処理を実行する。一方、ブレード交換モードに設定されている場合には（ステップＳ１：Ｙｅｓ）、記録コード読取転送手段８５の読取情報があるか否かを判定する（ステップＳ２）。すなわち、切削ブレードを交換する際には、交換しようとする切削ブレード３１をブレード交換工具８で把持することで、この切削ブレード３１に付された記録コード３６を記録コード読取転送手段８５によって読み取らせる。読取情報がなければ（ステップＳ２：Ｎｏ）、読取情報があるまで待機し、読取情報があった場合には（ステップＳ２：Ｙｅｓ）、読み取った記録コード３６の情報を、送信部８５ｂから無線で受信部７ａを介して制御手段７に転送させる（ステップＳ３）。
【００２２】
制御手段７は、転送された情報に基づき、記録コード３６対応の切削ブレードの属性情報を取得する。そして、取得した切削ブレードの属性情報と、記録手段６に予め記録されているこれから行おうとする切削処理に対応する切削ブレード３１の属性とが一致するか否かを比較する（ステップＳ４）。比較の結果、取得した切削ブレード３１の属性情報が、記録されている所望の切削ブレードの属性に一致する場合には（ステップＳ５：Ｙｅｓ）、そのまま切削ブレード３１の交換装着を許容する。一方、比較の結果、取得した切削ブレード３１の属性情報が、記録されている所望の切削ブレードの属性に一致していない場合には（ステップＳ５：Ｎｏ）、表示手段５にブレードエラー表示を行わせ（ステップＳ６）、交換しようとする切削ブレード３１の交換装着の取り止めを促す。
【００２３】
例えば、図５に示すような切削条件でウエーハＩＤ：１２３４ＡＢＣＤなる被加工物Ｗに対してフルカットを行うに先立ち、ブレード交換を行う際に、記録コード読取転送手段８５で読み取られた記録コード対応のブレードの属性情報が、「刃厚：２５μｍ、刃先出し量：６４０μｍ」であった場合には、交換しようとする切削ブレード３１は、記録されている切削ブレードの属性に適合することとなる（ステップＳ５：Ｙｅｓ）。よって、この場合には、ブレード交換工具８で把持した切削ブレード３１をそのままブレードマウント３３に対して装着可能となる。
【００２４】
一方、例えば、ブレード交換を行う際に、記録コード読取転送手段８５で読み取られた記録コード対応のブレードの属性情報が、「刃厚：３５μｍ、刃先出し量：８９０μｍ」であった場合には、交換しようとする切削ブレード３１は、記録されている切削ブレード３１の属性に適合しないこととなる（ステップＳ５：Ｎｏ）。この場合には、表示手段５にブレードエラー表示がなされるので（ステップＳ６）、ブレード交換工具８で把持した切削ブレード３１の交換装着を取り止めることで、切削条件に適合しない切削ブレードの交換装着が防止される。
【００２５】
このように、本実施の形態によれば、交換対象となる切削ブレード３１の把持状態でこの切削ブレード３１に付された記録コード３６の情報を記録コード読取転送手段８５で読み取って制御手段７に転送するので、交換対象となる切削ブレード３１を交換作業のために把持部８１によって把持するだけで記録コード３６の情報も別個専用の操作を要することなく無意識のうちに確実に取得して制御手段７に転送させることができ、切削条件等に適合しない場合にはエラー表示等によって誤装着を未然に防止することができ、よって、属性情報が付された切削ブレード３１の交換作業を簡単かつ効率よく行うことができる。
【００２６】
本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。例えば、ブレード交換工具８の構造は、切削ブレード３１の被把持部３１１を着脱自在に把持する把持部８１を有して記録コード読取転送手段８５を搭載していればよく、図示例のような構造に限らず、各種変形が可能である。
【００２７】
また、本実施の形態では、１つの切削手段３を備える１軸構造の切削装置１への適用例として説明したが、１軸に限らず、２つの切削手段を備えてステップカットやデュアルカットなどが可能な２軸構造の切削装置の場合、さらには多軸構造の切削装置の場合であっても同様に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態のブレード交換工具を用いる切削装置の一例を示す外観斜視図である。
【図２】切削手段の構成例を示す分解斜視図である。
【図３】切削手段の構成例を示す斜視図である。
【図４】本実施の形態の切削装置の制御系を示す概略ブロック図である。
【図５】記録手段に記録された切削条件やブレード属性等の一例を示す説明図である。
【図６】ブレード交換工具の構成例を示す斜視図である。
【図７】ブレード交換工具で交換対象となる切削ブレードを把持する工程を順に示す正面図である。
【図８】ブレード交換工具で把持した切削ブレードをブレードマウントに装着する様子を示す斜視図である。
【図９】ブレード交換時の制御例を示す概略フローチャートである。
【符号の説明】
【００２９】
１  切削装置
２  チャックテーブル
３  切削手段
８  ブレード交換工具
３１  切削ブレード
３３  ブレードマウント
３６  記録コード
８１  把持部
８５  記録コード読取転送手段
３１０  円形基台
３１０ａ  挿入口
３１１  被把持部
３１２  切刃部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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