(57)【要約】【課題】生産効率を高めるために、中空パネルを小さい間隔で支持できる真空排気処理用ラックを提供する。【解決手段】複数の中空パネル２を支持する支持部材７と、各中空パネル２の開口に装着されるチップ管１０がそれぞれ挿入され、チップ管１０を介して各中空パネル２からそれぞれ気体を排気する複数の排気ヘッド１１とを有する真空排気処理用ラック１において、排気ヘッド１１をチップ管１０の挿入方向および中空パネル２を挿入する方向に直交する方向に互い違いにずらして、１つ置きにチップ管１０の挿入方向に直列するように配置する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の中空パネルを支持する支持部材と、
前記各中空パネルの開口に装着されるチップ管がそれぞれ挿入され、前記チップ管を介して前記各中空パネルからそれぞれ気体を排気する複数の排気ヘッドとを有し、
互いに隣接する前記排気ヘッドを前記チップ管の挿入方向に直交する方向にずらして配置したことを特徴とする真空排気処理用ラック。
【請求項２】
前記排気ヘッドは、１つ置きに前記チップ管の挿入方向に直列するように配置したことを特徴とする請求項１に記載の真空排気処理用ラック。
【請求項３】
互いに隣接する前記排気ヘッドをずらした方向は、前記中空パネルを挿入する方向と直交する方向であることを特徴とする請求項１または２に記載の真空排気処理用ラック。
【請求項４】
前記チップ管の挿入方向は鉛直方向であり、前記中空パネルは水平に保持されることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の真空排気処理用ラック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、中空パネルを保持して加熱炉内で真空排気するための真空排気処理用ラックに関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネルの製造などでは、中空パネルに取り付けたチップ管に排気ヘッドを装着して加熱炉内で加熱して真空引きする真空排気処理が行われる。
【０００３】
特許文献１に記載されているように、中空パネルの真空排気処理では、複数の排気ヘッドが設けられ、各排気ヘッドに、それぞれ、チップ管が挿入されるように複数の中空パネルを載置可能な支持部材を有するラックが使用される。特許文献１に記載されているように、従来のラックは、所定ピッチで排気ヘッドが並んで配設され、中空パネルが一定の間隔を空けて保持される。なお、真空排気処理用のラックは、特許文献１に記載されているように台車を備えるカートタイプであってもよく、コンベア等で搬送されるものであってもよい。
【０００４】
特許文献１のような従来の真空排気処理用のラックに、中空パネルを載置するときは、中空パネルに装着するチップ管を排気ヘッドの上部の開口から垂直に挿入する。このため、各排気ヘッドの上方にチップ管を水平方向に差し入れるためのスペースを確保するために、上下の排気ヘッドの隙間をチップ管の長さより大きくする必要がある。
【０００５】
このため、従来のラックでは、中空パネルを載置する間隔が大きいために、１つのラックに載置できる中空パネルの枚数が少なく、生産能力が制限されたり、生産能力を確保するために加熱炉を大きく（連続処理炉を長く）する必要があった。
【特許文献１】特開２００３−１２３６４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記問題点に鑑みて、本発明は、生産効率を高めるために、中空パネルを小さい間隔で支持できる真空排気処理用ラックを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、本発明による真空排気処理用ラックは、複数の中空パネルを支持する支持部材と、前記各中空パネルの開口に装着されるチップ管がそれぞれ挿入され、前記チップ管を介して前記各中空パネルからそれぞれ気体を排気する複数の排気ヘッドとを有し、互いに隣接する前記排気ヘッドを前記チップ管の挿入方向に直交する方向にずらして配置したものとする。
【０００８】
この構成によれば、排気ヘッドの間隔をチップ管の長さよりも小さくしても、チップ管を排気ヘッドに挿入する際に、チップ管が隣接する排気ヘッドに干渉しない。このため、真空排気処理用ラックに多数の中空パネルを搭載することができ、真空排気処理能力を高めることができる。
【０００９】
また、本発明の真空排気処理用ラックにおいて、前記排気ヘッドは、１つ置きに前記チップ管の挿入方向に直列するように配置してもよい。
【００１０】
この構成によれば、中空パネルの並びが規則的であり、チップ管の排気ヘッドへの挿入などの操作が複雑にならない。また、中空パネルのずれを最小限に留めることができ、ラックの大型化を招かない。
【００１１】
また、本発明の真空排気処理用ラックにおいて、互いに隣接する前記排気ヘッドをずらした方向は、前記中空パネルを挿入する方向と直交する方向であってもよい。
【００１２】
この構成によれば、チップ管を保持するアームを、中空パネルの挿入方向と同じ方向から差し込んで作業することで、隣接する排気ヘッドとの干渉が避けられるので、チップ管の挿入作業が容易である。
【００１３】
また、本発明の真空排気処理用ラックにおいて、前記チップ管の挿入方向は鉛直方向であり、前記中空パネルは水平に保持されてもよい。
【００１４】
この構成によれば、中空パネルの自重によってチップ管を中空パネルに圧接できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、チップ管を介して中空パネルを真空排気するための排気ヘッドを前記チップ管の挿入方向に直交する方向にずらして配置したので、排気ヘッドにチップ管を挿入するときにチップ管が隣接する排気ヘッドと干渉しない。このため、排気ヘッドの間隔を小さくして、１つの真空排気処理用ラックに多数の中空パネルを積載可能とし、真空排気処理の処理能力を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
これより、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図１および図２に、本発明の１つの実施形態の真空排気処理用ラック１を示す、ラック１は、ディスプレイパネル用の中空ガラスパネル２を複数載置して、レール３に沿って不図示の加熱炉内を通過しながら、中空ガラスパネル２の内部空間空気を真空排気するものである。
【００１７】
ラック１は、レール３に沿って進行するための車輪４を備える台車５の上に、４本のパネル支柱６が直立して設けられ、パネル支柱６の間に、中空パネル２を水平に支持するパネル支持部材７を有する複数のパネル支持梁８が多段に配設されている。
【００１８】
また、ラック１は１つのパネル支柱６に並んで直立するヘッド支柱９を有し、ヘッド支柱９には、それぞれ、チップ管１０を保持し、チップ管１０の上端を、各段のパネル支持梁８のパネル支持部材７の上に載置された中空ガラス２の開口に当接させる排気ヘッド１１を支持する。排気ヘッド１１は、それぞれ、ヘッド支柱９からレール３と平行に水平方向に張り出した２種類の長さのアーム部材１２ａ，１２ｂによって、隣接する排気ヘッド１１がレール３に平行な方向に位置ずれして、２列に並んで交互に保持されている。
【００１９】
中空パネル２は、図２に矢印で示すように、ラック１の側方から挿入および取り出しされるようになっており、排気ヘッド１１は、中空パネル２を挿入／取り出しする側に配置されている。
【００２０】
図３に示すように、各排気ヘッド１１は、上面に開口し、チップ管１０が鉛直方向に挿入されるチップ管挿入室１３を有する。排気ヘッド１１は、ラック１が加熱炉の中を走行する間に、チップ管挿入室１３に挿入されたチップ管１０を介して、中空パネル２の内部空間の空気を真空排気する。このため、排気ヘッド１１には真空源に接続するためのフレキシブルチューブ１４がそれぞれ接続される。中空パネル２の内部を真空に排気した状態で、チップ管１０を排気ヘッド１１と中空パネル２の間で溶断すれば、中空パネル２の内部空間を真空状態に密封できる。
【００２１】
以上のような真空排気処理を行うために、チップ管１０は、中空パネル２を出し入れするのと同じ側からロボットアームなどで排気ヘッド１１の上に差し込まれ、チップ管挿入室１３に垂直に挿入される。チップ管１０の上端に、ガラスペースト（フリットシール）を配置して、その上から中空パネル２を載置することで、中空パネル２の自重により中空パネル２とチップ管１０とを圧接し、チップ管１０を中空パネル２の開口部に接着できる。このとき、チップ管１０と中空パネル２との密接を確保するために、排気ヘッド１１は、アーム部材１２ａ，１２ｂに対して上下に移動可能に保持されていることが好ましい。
【００２２】
さらに、図３を参照しながら、排気ヘッド１１の配置について詳しく説明する。各排気ヘッド１１は、隣接する排気ヘッド１１に対して、チップ管１０の挿入方向（鉛直方向）および中空パネル２の挿入方向に直交する、レール３に平行な水平方向に位置ずれして交互に配置され１つ置きに鉛直方向に直列するように２列に並んでいる。
【００２３】
各チップ管１０の長さはＬであり、排気ヘッド１１に挿入される下部の長さがＬｄ、排気ヘッド１１の上方に露出する長さがＬｕである。１つの排気ヘッド１１と隣接する直上の排気ヘッド１１との隙間Ｄは、チップ管１０の長さＬよりも小さい。また、排気ヘッド１１との隙間Ｄは、保持するチップ管１０上に載置する中空パネル２が上の排気ヘッド１１に干渉しないように、チップ管１０の露出長さＬｕに中空パネル２の厚みｔを加えた高さよりも大きくなっている。
【００２４】
仮に、全ての排気ヘッド１１が１直線に並んで配置されていたならば、隙間Ｄより長いチップ管１０を排気ヘッド１１のチップ管挿入室１３に挿入することは不可能であるが、本実施形態では、排気ヘッド１１が交互に位置ずれして２列に並んでいるので、長さＬが隙間Ｄより長いチップ管１０を排気ヘッド１１の上部に側方から差し入れ、チップ管挿入室１３に垂直に挿入することができる。
【００２５】
さらに、支持する中空パネル２が直上の排気ヘッド１１と鉛直方向に重ならない場合（図３の右列）は、直上の排気ヘッド１１との隙間Ｄを（Ｌｕ＋ｔ）よりも小さくすることが可能である。特に、排気ヘッド１１の高さＨがチップ管１０の長さＬより十分に大きければ、直上の排気ヘッド１１との隙間Ｄをマイナスに、つまり、排気ヘッド１１が部分的に重なり合うように配置してもよい。
【００２６】
本実施形態のラック１は、中空パネル２を小さな間隔で積層して支持するので、１つのラックに積載できる中空パネル２の数が多い。このため、１つの加熱炉でより多数の中空パネルを同時に真空引きすることができ、真空排気処理の効率を高められる。また、同じ処理能力を達成するために必要とされる加熱炉が小さくて済み、ラック１の台数も少なくてよいため、設備コストを抑制することもできる。
【００２７】
また、本実施形態では、パネル支持部材７の上に水平に載置された中空パネル２は、自重によってチップ管１０に圧接し、接着されるが、中空パネル２を垂直に立てて支持し、チップ管１０を保持する排気ヘッド１１を水平に圧離可能な機構を設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の第１実施形態の真空排気処理用ラックの側面図。
【図２】図１のラックの平面図。
【図３】図１のラックの部分拡大図。
【符号の説明】
【００２９】
１…真空排気処理用ラック
２…中空パネル
６…パネル支柱
７…パネル支持部材
８…パネル支持梁
９…ヘッド支柱
１０…チップ管
１１…排気ヘッド
１２ａ，１２ｂ…アーム部材
１３…チップ管挿入室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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