(57)【要約】【課題】一つのホルダーを用いて半導体レーザーの光軸を調整する。【解決手段】半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫと仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面ＤＭが、光学ベース１１に設定した光学系の光軸Ｋと仮想に直交させて得た仮想平面ＨＭに対して仮想楕円面ＤＭ上の長軸方向に所定の角度αだけ傾いている場合に、ホルダー１３の前面１３ａにレーザー取り付け用孔１３ｃを挟んで２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２をレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫと仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面ＭＤ上の長軸Ｊａに略沿って突出形成し、且つ、２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２を学ベース１１の外側面１１ａ１に当接させたときに、仮想楕円面ＤＭと仮想平面ＨＭとが互いに略平行となるように２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２の各突出高さＨ１，Ｈ２を設定する。【選択図】図４
2009111109.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
楕円状の光強度分布を有するレーザービームを出射する半導体レーザーを、ホルダーに穿設したレーザー取り付け用孔内に取り付け、且つ、前記ホルダーの前面に前記レーザー取り付け用孔を挟んで少なくとも２箇所以上の回動支点部を前記レーザービームの光軸と仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面上の長軸に略沿って突出形成して、前記少なくとも２箇所以上の回動支点部を光学ベースに設定した光学系の光軸と直交した前記光学ベースのレーザー取り付け基準面に当接させつつ、前記ホルダーを前記光学ベースのレーザー取り付け基準面上で摺動させると共に前記少なくとも２箇所以上の回動支点部を回動中心として回動させて、前記レーザービームの光軸と前記光学ベースに設定した光軸とを一致させる構成にして成る半導体レーザー光軸調整装置において、
前記仮想楕円面が、前記光学系の光軸と仮想に直交させて得た仮想平面に対して前記仮想楕円面上の長軸方向に所定の角度傾いている場合に、前記光学ベースのレーザー取り付け基準面に当接させた前記少なくとも２箇所以上の回動支点部は、前記仮想楕円面と前記仮想平面とが互いに略平行となるように各突出高さを設定したことを特徴とする半導体レーザー光軸調整装置。
【請求項２】
前記ホルダーの平坦な前面に突出形成した前記少なくとも２箇所以上の回動支点部を前記光学ベースの平坦なレーザー取り付け基準面に当接させたときに、前記ホルダーの平坦な前面と前記光学ベースの平坦なレーザー取り付け基準面とが成す角度は前記所定の角度であることを特徴とする請求項１記載の半導体レーザー光軸調整装置。
【請求項３】
前記少なくとも２箇所以上の回動支点部は、半円弧状又は三角状もしくは稜線状に形成したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の半導体レーザー光軸調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ピックアップや光通信装置などの光源として用いられる半導体レーザーの光軸を、光学ベースに設定された光学系の光軸に一致させるための半導体レーザー光軸調整装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、レーザービームを出射する半導体レーザーは小型軽量であるために、光ディスク上で情報信号を記録再生するための光ピックアップの光源とか、情報信号を伝送するための光通信装置の光源などに多用されている。
【０００３】
この種の半導体レーザーを光ピックアップや光通信装置に設けられた光学ベースに取り付けるにあたって、光学ベース中で半導体レーザーを取り付けるためのレーザー取り付け基準面に直接取り付けた場合に、半導体レーザーから出射させたレーザービームの光軸が、光学ベースのレーザー取り付け基準面に対して直交して設定された光学系の光軸（基準光軸）に対してズレている場合があるために、本出願人は下記の特許文献１にて半導体レーザーの光軸調整を１部品で構成でき、且つ、半導体レーザーの光軸を短時間で調整できる半導体レーザー光軸調整装置を提案している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１５６５５７号公報。
【０００５】
図６（ａ），（ｂ）は従来の半導体レーザー光軸調整装置及び光軸調整作業を説明するための斜視図，上面図、
図７は従来の半導体レーザー光軸調整装置において、ホルダーの前面に突出形成した２箇所の回動支点部を同じ突出高さに設定したときに、（ａ）は半導体レーザーから出射させたレーザービームの光軸と仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面が、光学ベースに設定した光学系の光軸と仮想に直交させて得た仮想平面と略平行な理想状態を示し、（ｂ）は半導体レーザーの生産時のバラツキにより上記した仮想楕円面が上記した仮想平面に対して仮想楕円面上の長軸方向に所定の角度傾いている状態を示した図である。
【０００６】
図６（ａ），（ｂ）に示した従来の半導体レーザー光軸調整装置１０Ｂは、上記した特許文献１（特開２００６−１５６５５７号公報）に開示されているものであり、ここでは特許文献１を参照して簡略に説明する。
【０００７】
図６（ａ），（ｂ）に示した如く、従来の半導体レーザー光軸調整装置１０Ｂでは、箱状に形成された光学ベース１１のうちで一つの側面１１ａ側に半導体レーザー１２のレーザー発光点１２ｃから出射したレーザービームＬＢを通過させるための丸孔１１ｂがこの一つの側面１１ａの外側に位置する外側面１１ａ１から内側に位置する内側面１１ａ２に向かって貫通して穿設されている。
【０００８】
また、光学ベース１１には、上記した丸孔１１ｂの略中心を通って半導体レーザー１２へのレーザー取り付け基準面となる外側面１１ａ１と直交した線上に光学系の光軸（基準光軸）Ｋが設定されている。この際、光学ベース１１に設定した光学系の光軸Ｋの方向をＺ軸方向とし、このＺ軸方向に直交した水平方向をＸ軸方向とし、且つ、Ｚ軸方向に直交した垂直方向をＹ軸方向としている。
【０００９】
一方、光学ベース１１の一つの側面１１ａの外側面１１ａ１と対向して取り付けられる一つのホルダー１３の中心部位には、レーザー取り付け用孔（以下、レーザー取り付け用段付き孔と呼称する）が大径孔と小径径とを同心で段付き状形成されており、このレーザー取り付け用段付き孔１３ｃ内に半導体レーザー１２が位置決めして嵌め込まれている。
【００１０】
また、ホルダー１３の前面１３ａには、図７（ａ），（ｂ）にも示したように、レーザー取り付け用段付き孔１３ｃを挟んで２箇所の回動支点部１３ｅ１，１３ｅ２が、半導体レーザー１２のレーザー発光点１２ｃから出射させたレーザービームＬＢの楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面ＤＭ上の長軸Ｊａに略沿い且つレーザー取り付け用段付き孔１３ｃの中心を通るＹ軸上に上下に分かれて略対称に突出形成されている。
【００１１】
図６に戻り、この際、２箇所の回動支点部１３ｅ１，１３ｅ２は、レーザー取り付け用段付き孔１３ｃを挟んで上面１３ｈ及び下面１３ｉに達する長さを持って前面１３ａよりも前方に向かって同じ突出高さで稜線状に突出形成されて、光学ベース１１の一つの側面１１ａの外側面１１ａ１に当接可能になっている。
【００１２】
尚、２箇所の回動支点部１３ｅ１，１３ｅ２は、稜線状に突出形成されて所定の長さを持っているが、これに限ることなく、略同じ高さで少なくとも２箇所以上離隔して長さを持たない点状の回動支点部を突出させたものであっても良い。
【００１３】
更に、上記に伴って、ホルダー１３の前面１３ａに突出形成した２箇所の回動支点部１３ｅ１，１３ｅ２に対して略直交して、レーザー取り付け用段付き孔１３ｃの中心を通るＸ軸上に２箇所の光軸調整用丸孔１３ｆ１，１３ｆ２がこのレーザー取り付け用段付き孔１３ｃを挟んで左右に分かれてそれぞれ孔径φｄでホルダー１３の後面１３ｂ側に穿設されている。
【００１４】
また、ホルダー１３の４隅の四隅のコーナ部位に、半導体レーザー１２への光軸調整後にホルダー１３の前面１３ａを光学ベース１１の一つの側面１１ａの外側面１１ａ１に不図示の接着剤を用いて接着するための逃げ用切り欠き１３ｇが合計４箇所形成されている。
【００１５】
そして、上記のように構成した従来の半導体レーザー光軸調整装置１０Ｂにおいて、半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫを光学ベース１１内の光学系の光軸Ｋと一致させるように調整する場合に、先端にテーパ部３１ａ，３２ａをそれぞれ形成した直径φＤの２本の調整ピン３１，３２をホルダー１３の後面１３ｂ側からこのホルダー１３の左右に穿設した２箇所の光軸調整用丸孔１３ｆ１，１３ｆ２内に嵌合させた後、ホルダー１３の前面１３ａにレーザー取り付け用段付き孔１３ｃを挟んで突出形成した２箇所の回動支点部１３ｅ１，１３ｅ２を光学ベース１１の外側面１１ａ１に当接させつつ移動して、レーザービームＬＢの光軸ＬＢＫと光学ベース１１の光軸Ｋとを一致させ、この光軸調整完了後に、ホルダー１３を光学ベース１１に接着することで、半導体レーザーの光軸調整を１部品で構成でき、且つ、半導体レーザーの光軸を短時間で調整できる旨が示されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
ところで、図７（ａ）に示したように、従来の半導体レーザー光軸調整装置１０Ｂでは、前述したように、半導体レーザー１２のレーザー発光点１２ｃから出射させたレーザービームＬＢの楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面ＤＭ上の長軸Ｊａに沿って、ホルダー１３の前面１３ａにレーザー取り付け用段付き孔１３ｃを挟んで２箇所の回動支点部１３ｅ１，１３ｅ２を同じ突出高さで稜線状又は点状に突出形成しているが、ホルダー１３の前面１３ａに突出形成した２箇所の回動支点部１３ｅ１，１３ｅ２を光学ベース１１に設定した光学系の光軸Ｋと直交した外側面１１ａ１に当接させて光軸調整を行う時の前提条件は、半導体レーザー１２のレーザー発光点１２ｃから出射させたレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫと仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面ＤＭが、光学ベース１１に設定した光学系の光軸Ｋと仮想に直交させて得た仮想平面ＨＭと略平行な理想状態であることを想定しているものである。
【００１７】
この理想的な状態を言い換えると、半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫが、ホルダー１３の前面１３ａにレーザー取り付け用段付き孔１３ｃを挟んで同じ突出高さで形成した２箇所の回動支点部１３ｅ１，１３ｅ２の各頂点を結んだ仮想線と直交している状態であり、又、半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫが、光学ベース１１に設定した光学系の光軸Ｋと略平行な状態である。
【００１８】
しかしながら、生産された半導体レーザー１２は、現実には上記した理想的な状態には製造されてなく、統計上でバラツキを持って製造されており、図７（ｂ）に示したように、レーザービームＬＢの光軸ＬＢＫと仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面ＤＭが、光学ベース１１に設定した光学系の光軸Ｋと仮想に直交させて得た仮想平面ＨＭに対して仮想楕円面ＤＭ上の長軸方向に所定の角度αだけ傾いており、この所定の角度αが統計上での正規分布の中心値として例えば１．７°程度となっている。
【００１９】
従って、半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫと仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面ＤＭが上記した所定の角度αだけ傾いた状態で、この半導体レーザー１２をホルダー１３のレーザー取り付け用段付き孔１３ｃ内に取り付けた後に、ホルダー１３の前面１３ａに同じ突出高さで突出形成した２箇所の回動支点部１３ｅ１，１３ｅ２を光学ベース１１の外側面１１ａ１に当接させて、これら２箇所の回動支点部１３ｅ１，１３ｅ２を中心にして回動しても、上記した仮想楕円面ＤＭが上記した仮想平面ＨＭと略平行な理想状態にはならないので、半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫを光学ベース１１の光軸Ｋに一致さることができないため、半導体レーザー光軸調整装置への改善が求められている。
【００２０】
そこで、半導体レーザーから出射させたレーザービームの光軸と仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面が、光学ベースに設定した光学系の光軸と仮想に直交させて得た仮想平面に対して仮想楕円面上の長軸方向に所定の角度だけ傾いている場合でも、半導体レーザーの光軸を短時間で確実に調整でき、且つ、半導体レーザーの光軸の調整構造を１部品で構成できる半導体レーザー光軸調整装置が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、第１の発明は、楕円状の光強度分布を有するレーザービームを出射する半導体レーザーを、ホルダーに穿設したレーザー取り付け用孔内に取り付け、且つ、前記ホルダーの前面に前記レーザー取り付け用孔を挟んで少なくとも２箇所以上の回動支点部を前記レーザービームの光軸と仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面上の長軸に略沿って突出形成して、前記少なくとも２箇所以上の回動支点部を光学ベースに設定した光学系の光軸と直交した前記光学ベースのレーザー取り付け基準面に当接させつつ、前記ホルダーを前記光学ベースのレーザー取り付け基準面上で摺動させると共に前記少なくとも２箇所以上の回動支点部を回動中心として回動させて、前記レーザービームの光軸と前記光学ベースに設定した光軸とを一致させる構成にして成る半導体レーザー光軸調整装置において、
前記仮想楕円面が、前記光学系の光軸と仮想に直交させて得た仮想平面に対して前記仮想楕円面上の長軸方向に所定の角度傾いている場合に、前記光学ベースのレーザー取り付け基準面に当接させた前記少なくとも２箇所以上の回動支点部は、前記仮想楕円面と前記仮想平面とが互いに略平行となるように各突出高さを設定したことを特徴とする半導体レーザー光軸調整装置である。
【００２２】
また、第２の発明は、上記した第１の発明の半導体レーザー光軸調整装置において、
前記ホルダーの平坦な前面に突出形成した前記少なくとも２箇所以上の回動支点部を前記光学ベースの平坦なレーザー取り付け基準面に当接させたときに、前記ホルダーの平坦な前面と前記光学ベースの平坦なレーザー取り付け基準面とが成す角度は前記所定の角度であることを特徴とする半導体レーザー光軸調整装置である。
【００２３】
また、第３の発明は、上記した第１又は第２の発明の半導体レーザー光軸調整装置において、
前記少なくとも２箇所以上の回動支点部は、半円弧状又は三角状もしくは稜線状に形成したことを特徴とする半導体レーザー光軸調整装置である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置によると、とくに、半導体レーザーから出射させたレーザービームの光軸と仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面が、光学ベースに設定した光学系の光軸と仮想に直交させて得た仮想平面に対して仮想楕円面上の長軸方向に所定の角度だけ傾いている場合に、ホルダーの前面にレーザー取り付け用孔を挟んで少なくとも２箇所以上の回動支点部をレーザービームの光軸と仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面上の長軸に略沿ってそれぞれ突出形成し、少なくとも２箇所以上の回動支点部を光学ベースのレーザー取り付け基準面に当接させつつ、ホルダーをレーザー取り付け基準面上で摺動させると共に少なくとも２箇所以上の回動支点部を回動中心として回動させて、レーザービームの光軸と光学ベースに設定した光軸とを一致させる際に、上記した仮想楕円面と、上記した仮想平面とが互いに略平行となるように少なくとも２箇所以上の回動支点部の各突出高さを設定しているので、上記した所定の角度に対応した補正が可能となり、これにより、半導体レーザーの光軸が生産時に上記した所定の角度だけ傾いても、半導体レーザーの光軸を短時間で確実に調整でき、且つ、半導体レーザーの光軸調整構造を１部品で構成できるので、半導体レーザー光軸調整装置へのコストダウンを図ることが可能となる。
【００２５】
この際、半導体レーザーを光学ベースのレーザー取り付け基準面に沿って移動させる位置調整と、楕円状の光強度分布の長軸に対応した半導体レーザーの光軸の傾き調整とを行うものの、この楕円状の光強度分布の短軸に対応した半導体レーザーの光軸の傾き調整を行わなくても良いので、半導体レーザーへの光軸調整時間も短縮できる。
【００２６】
また、ホルダーの平坦な前面に突出形成した少なくとも２箇所以上の回動支点部を光学ベースの平坦なレーザー取り付け基準面に当接させたときに、ホルダーの平坦な前面と光学ベースの平坦なレーザー取り付け基準面とが成す角度は前記所定の角度であるで、ホルダーが光学ベースのレーザー取り付け基準面に対して所定の角度だけ傾いていることを確認することができる。
【００２７】
更に、少なくとも２箇所以上の回動支点部は、半円弧状又は三角状もしくは稜線状に形成したために、少なくとも２箇所以上の回動支点部を容易に作製することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置の一実施例について、図１〜図５を参照して詳細に説明する。
【００２９】
本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置は、光ピックアップや光通信装置などの光源として用いられる半導体レーザーの光軸を、光学ベースに設定した光学系の光軸（基準光軸）に一致させる際に、半導体レーザーから出射させたレーザービームの光軸と仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面が、光学ベースに設定した光学系の光軸と仮想に直交させて得た仮想平面に対して仮想楕円面上の長軸方向に所定の角度傾いている場合でも、半導体レーザーの光軸を短時間で確実に調整でき、且つ、半導体レーザーの光軸の調整構造を１部品で構成できるように構成して、この半導体レーザー光軸調整装置を光ピックアップに適用した場合について以下説明する。
【実施例】
【００３０】
図１は本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置及びこの半導体レーザー光軸調整装置を備えた光ピックアップを説明するために模式的に示した構成図である。
【００３１】
図１に示した如く、本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置１０Ａは、例えば、光ディスクＤ上に情報信号を記録再生するための光ピックアップ１５に適用されており、この光ピックアップ１５内に一体的に取り付けられている。
【００３２】
この半導体レーザー光軸調整装置１０Ａは、光ピックアップ１５の基台となる光学ベース１１と、後述するように楕円状の光強度分布を有するレーザービームＬＢを出射する半導体レーザー１２と、この半導体レーザー１２を光軸調整可能に取り付けるための一つのホルダー１３と、半導体レーザー１２の光軸調整が終了した後にホルダー１３を光学ベース１１に固着するための接着剤１４とで構成されており、この半導体レーザー光軸調整装置１０Ａの詳細については後で詳述する。
【００３３】
一方、光ピックアップ１５は、光学ベース１１に設定された光学系の光軸（基準光軸）Ｋに沿って複数の光学部品が配置されている。
【００３４】
具体的に説明すると、トラッキング方式として３ビームを使用する光ピックアップ１５の場合では、半導体レーザー１２から出射したレーザービームＬＢが回折格子１６でメインビームと一対のサブビームとによる３ビームに分割され、この３ビームがコリメーターレンズ１７で平行光に変換された後に偏光ビームスプリッタ１８に入射されている。
【００３５】
上記した偏光ビームスプリッタ１８は、３ビームに対してｐ偏光光を透過させ且つｓ偏光光を反射させるために偏光性を有する偏光選択性誘電体多層膜１８ａが膜付けされている。
【００３６】
そして、コリメーターレンズ１７を通過した３ビームのうちでｓ偏光光は偏光選択性誘電体多層膜１８ａで反射されて半導体レーザー１２のレーザーパワーを検出して制御するためのフロントモニター１９に入射される。一方、コリメーターレンズ１７を通過した３ビームのうちでｐ偏光光は偏光選択性誘電体多層膜１８ａをそのまま透過して１／４λ板２０を通り円偏光となる。この際、１／４λ板２０は３ビームを透過させる時にレーザービームＬＢの波長λに対して１／４λの位相差を与えるものである。
【００３７】
更に、１／４λ板２０を透過した３ビームは、レンズホルダー２１内に取り付けた対物レンズ２２に入射され、この対物レンズ２２で絞り込まれた３ビームは光ディスクＤの入射面Ｄａから入射して、この入射面Ｄａから所定距離隔てた位置にある信号面Ｄｂに形成された螺旋状の一つの記録トラック（図示せず）上に一つのメインビームが集光され、且つ、この一つの記録トラックに隣り合う左右一対の記録トラック（図示せず）上に一対のサブビームがそれぞれスポット状に集光されている。
【００３８】
この際、対物レンズ２２はレンズホルダー２１内の上方部位に取り付けられていると共に、このレンズホルダー２１の外周に対物レンズ２２を光ディスクＤの信号面Ｄｂに対してフォーカス方向ＦＯとトラッキング方向ＴＲとに制御するためのフォーカスコイル２３とトラッキングコイル２４とが取り付けられている。
【００３９】
この際、１／４λ板２０と、対物レンズ２２を取り付けたレンズホルダー２１との間に、不図示の立ち上げミラーを介装させることで、回折格子１６から１／４λ板２０までの各光学部品を光ディスクＤに対して略平行に光学ベース１１内に配置できるので、光学ベース１１の薄型化が可能となると共に、対物レンズ２２を取り付けたレンズホルダー２１を光ディスクＤに対して不図示のアクチュエータ構造を介して略垂直に支持できる。
【００４０】
この後、光ディスクＤの信号面Ｄｂで反射された３ビームによる各戻り光は、上記とは逆に、対物レンズ２２，１／４λ板２０を順に通過して、この１／４λ板２０で９０°偏光面が変わったｓ偏光の直線偏光となり、偏光ビームスプリッタ１８内の偏光性を有する偏光選択性誘電体多層膜１８ａで反射されて略９０°方向を転じられた後に検出レンズ２５を通って集光され、フォーカシング方式として非点収差法を使用する場合は、シリンドリカルレンズ２６を通り、３ビームによる各戻り光が複数の光検出部を有する光検出部２７上に結像されている。
【００４１】
そして、この光検出部２７上に結像された３ビームの各光量を光電変換し、ここで得られた３ビームによる各検出値を不図示のフォーカスサーボ回路及びトラッキングサーボ回路に供給して、フォーカスコイル２３及びトラッキングコイル２４を介して対物レンズ２２をフォーカス方向ＦＯ及びトラッキング方向ＴＲに制御すると共に、メインビームによる検出値を不図示のＲＦ信号処理回路に供給して光ディスクＤの信号面Ｄｂに記録された情報信号を読み取っている。
【００４２】
次に、本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置について、図２〜図５を用いて説明する。
【００４３】
図２（ａ），（ｂ）は本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置の全体構成を示した斜視図，上面図、
図３は本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置において、半導体レーザーを取り付けるためのホルダーと、半導体レーザーから出射させたレーザービームの楕円状の光強度分布を示した斜視図、
図４は本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置において、ホルダーの前面に突出形成した２箇所の回動支点部の各突出高さを違えて設定することで、半導体レーザーから出射させたレーザービームの光軸と仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面と、光学ベースに設定した光学系の光軸と仮想に直交させて得た仮想平面とが互いに略平行になる状態を示した図、
図５は本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置の光軸調整作業を行う時に用いられる光軸検出装置を説明するため構成図である。
【００４４】
図２（ａ），（ｂ）に示した本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置１０Ａにおいて、光ピックアップ１５（図１）の基台となる光学ベース１１はアルミダイキャスト材などを用いて箱状に形成されており、この光学ベース１１のうちで一つの側面１１ａに半導体レーザー１２から出射したレーザービームＬＢを通過させるための丸孔１１ｂがこの一つの側面１１ａの外側に位置する外側面１１ａ１から内側に位置する内側面１１ａ２に向かって貫通して穿設されている。
【００４５】
また、光学ベース１１には、上記した丸孔１１ｂの略中心を通って半導体レーザー１２へのレーザー取り付け基準面となる平坦な外側面１１ａ１と直交した線上に光学系の光軸（基準光軸）Ｋが設定されている。この際、光学ベース１１に設定した光学系の光軸Ｋの方向をＺ軸方向とし、このＺ軸方向に直交した水平方向をＸ軸方向とし、且つ、Ｚ軸方向に直交した垂直方向をＹ軸方向（紙面に垂直）として以下説明する。
【００４６】
一方、光学ベース１１の一つの側面１１ａの外側面１１ａ１と対向して本発明の要部となる一つのホルダー１３が後述するように半導体レーザー１２を位置決めして嵌め込んだ状態で光軸調整可能に設けられている。
【００４７】
上記した一つのホルダー１３は、アルミダイキャスト材などを用いて一体的に略直方体形状に形成されており、光学ベース１１の一つの側面１１ａの外側面１１ａ１と対向し、且つ、レーザービームＬＢの出射側となる面を平坦な前面１３ａと呼称すると、この平坦な前面１３ａの反対側の面が平坦な後面１３ｂとなっている。
【００４８】
また、ホルダー１３の中心部には、半導体レーザー１２を嵌め込むためのレーザー取り付け用段付き孔（レーザー取り付け用孔）１３ｃが光学ベース１１の一つの側面１１ａに穿設した丸孔１１ｂと対向して前面１３ａと後面１３ｂとの間に貫通して段付き状に穿設されており、レーザー取り付け用段付き孔１３ｃのうちで後面１３ｂ側に大径に形成した大径孔１３ｃ１内には半導体レーザー１２のフランジ部１２ａが下記するように位置決めして嵌め込まれ、且つ、レーザー取り付け用段付き孔１３ｃのうちで前面１３ａ側に大径孔１３ｃ１よりも一回り小径に形成した小径孔１３ｃ２内に半導体レーザー１２のカップ部１２ｂが余裕を持って挿入されている。
【００４９】
この際、半導体レーザー１２のフランジ部１２ａの外周部位には、このフランジ部１２ａの中心を通るＹ軸上で下方部位に位置決め用角状凹部１２ａ１が凹状に形成され、且つ、フランジ部１２ａの中心を通るＸ軸上の左右に位置決め用三角状凹部１２ａ２，１２ａ３が凹状に一対形成されており、位置決め用角状凹部１２ａ１は図３に示したように半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの楕円状の光強度分布の長軸Ｊａに対して位置決めする機能を備え、且つ、位置決め用三角状凹部１２ａ２，１２ａ３はレーザービームＬＢの楕円状の光強度分布の短軸Ｊｂに対して位置決めする機能を備えているが、レーザー取り付け用段付き孔１３ｃは半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの楕円状の光強度分布の長軸Ｊａが所定の方向として例えばＹ軸と対応するように位置決めできるならば、上記した合計３箇所の位置決めに対して少なくともいずれか１箇所の位置決めを設けるだけでも良い。
【００５０】
上記に伴って、ホルダー１３の後面１３ｂ側に形成したレーザー取り付け用段付き孔１３ｃの大径孔１３ｃ１の内周部位には、位置決め用角状凸部１３ｄ１及び位置決め用三角状凸部１３ｄ２，１３ｄ３が半導体レーザー１２のフランジ部１２ａの外周部位に形成した位置決め用角状凹部１２ａ１及び位置決め用三角状凹部１２ａ２，１２ａ３に合わせて凸状に形成されているので、半導体レーザー１２をレーザー取り付け用段付き孔１３ｃ内に位置決めして嵌合させることができる。
【００５１】
従って、ホルダー１３のレーザー取り付け用段付き孔１３ｃ内に位置決めして嵌め込まれた半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの楕円状の光強度分布の長軸Ｊａを、レーザー取り付け用段付き孔１３ｃの中心を通るＹ軸に略沿わせて設定している。
【００５２】
また、図３にも示した如く、ホルダー１３の前面１３ａには、本発明の要部となる回動支点となる少なくとも２箇所以上の回動支点部（１３ｋ１，１３ｋ２）が、レーザー取り付け用段付き孔１３ｃを挟んで半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの楕円状の光強度分布の長軸Ｊａに略沿い且つレーザー取り付け用段付き孔１３ｃの中心を通るＹ軸上に上下に分かれて対称に突出形成されている。
【００５３】
この際、この実施例では、少なくとも２箇所以上の回動支点部（１３ｋ１，１３ｋ２）を、レーザー取り付け用段付き孔１３ｃを挟んで上下に１箇所づつ設けて合計で２箇所の例を説明するが、下記の条件を満たすものであれば回動支点部の数量は限定されるものではない。
【００５４】
即ち、２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２は、先に図６及び図７を用いて説明した従来例における２箇所の回動支点部１３ｅ１，１３ｅ２に対して形状が異なって、先端が半円弧状又は三角状で平坦な前面から前方の光学ベース１１側に向かって突出させたときに互いに突出高さを違えて形成されており、例えば、上方の回動支点部１３ｋ１の突出高さがＨ１であり、且つ、下方の回動支点部１３ｋ２の突出高さがＨ２であり、両者１３ｅ１，１３ｅ２はＨ１＜Ｈ２の高さ関係に予め設定されている。
【００５５】
ここで、２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２を上記したＨ１＜Ｈ２の高さ関係に設定した理由を説明すると、先に図７（ｂ）を用いて説明したように、ホルダー１３内に装着される半導体レーザー１２は、この内部のレーザー発光点１２ｃ（図２）から出射されるレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫと仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面ＤＭが、生産時のバラツキにより光学ベース１１（図１，図２）に設定した光学系の光軸Ｋと仮想に直交させて得た仮想平面ＨＭに対して仮想楕円面ＤＭ上の長軸方向に所定の角度αだけ傾いており、この所定の角度αが従来例で説明したと同様に統計上での正規分布の中心値として例えば１．７°程度となっている。
【００５６】
尚、２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２を稜線状に形成した場合には、上方の回動支点部１３ｋ１から下方の回動支点部１３ｋ２に向かって突出高さが徐々に増加するように傾斜させれば良いものである。
【００５７】
上記に伴って、図４に示したように、ホルダー１３の前面１３ａにレーザー取り付け用段付き孔１３ｃを挟んでそれぞれ突出高さを違えて突出形成した２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２を光学ベース１１の外側面１１ａ１に当接させた時に、半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫと仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面ＤＭと、光学ベース１１に設定した光学系の光軸Ｋと仮想に直交させて得た仮想平面ＨＭとが互いに略平行となるように、２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２の各突出高さＨ１，Ｈ２を設定しているために、ホルダー１３の平坦な前面１３ａと、光学ベース１１の平坦な外側面（レーザー取り付け基準面）１１ａ１とが成す角度は、上記した所定の角度α（例えば１．７°）であるので、ホルダー１３が光学ベース１１の外側面（レーザー取り付け基準面）１１ａ１に対して所定の角度α（例えば１．７°）だけ傾いていることを確認することができる。
【００５８】
従って、上記した仮想楕円面ＤＭが、光学ベース１１に設定した光学系の光軸と仮想に直交させて得た仮想平面ＨＭに対して仮想楕円面ＤＭ上の長軸方向に所定の角度α（例えば１．７°）傾いている場合に、光学ベース１１の外側面（レーザー取り付け基準面）１１ａ１に当接させた少なくとも２箇所以上の回動支点部（１３ｋ１，１３ｋ２）は、仮想楕円面ＤＭと仮想平面ＨＭとが互いに略平行となるように各突出高さＨ１，Ｈ２を違えて設定しているので、上記した所定の角度αに対応した補正が可能となる。
【００５９】
更に、図２（ａ），（ｂ）に戻り、ホルダー１３の前面１３ａに突出形成した２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２に対して略直交して、レーザー取り付け用段付き孔１３ｃの中心を通るＸ軸上に２箇所の光軸調整用丸孔１３ｆ１，１３ｆ２がこのレーザー取り付け用段付き孔１３ｃを挟んで左右に分かれて前面１３ａと後面１３ｂとの間に貫通して穿設されているが、後述するように後面１３ｂ側から光軸調整を行うので２箇所の光軸調整用丸孔１３ｆ１，１３ｆ２を貫通させることなく後面１３ｂに光軸調整用有底孔として穿設しても良い。
【００６０】
即ち、ホルダー１３の前面１３ａと反対側の後面１３ｂ上で前記した２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２を挟み且つ２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２に対して略直交する線上に、後述するようにホルダー１３を支持しつつ半導体レーザー１２に対して光軸調整する２本の調整ピン３１，３２を嵌合させるための２箇所の光軸調整用丸孔１３ｆ１，１３ｆ２が形成されている。
【００６１】
また、ホルダー１３の四隅のコーナ部位に、半導体レーザー１２への光軸調整後にホルダー１３の前面１３ａを光学ベース１１の一つの側面１１ａの外側面１１ａ１に接着剤１４（図１）を用いて接着するための逃げ用切り欠き１３ｇが合計４箇所形成されている。
【００６２】
そして、ホルダー１３の後面１１ｂ側から２本の調整ピン３１，３２の先端に形成したテーパ部３１ａ，３２ａを、ホルダー１３に穿設した２箇所の光軸調整用丸孔１３ｆ１，１３ｆ２に挿入している。この際、２本の調整ピン３１，３２の直径φＤを共にホルダー１３に穿設した２箇所の光軸調整用丸孔１３ｆ１，１３ｆの孔径φｄよりも太径に形成し、この先端に２箇所の光軸調整用丸孔１３ｆ１，１３ｆ内に嵌合できるように先細りのテーパ部３１ａ，３２ａをそれぞれ形成している。また、２本の調整ピン３１，３２はＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸方向に移動自在なＸＹＺステージ（図示せず）に取り付けられている。
【００６３】
この後、２本の調整ピン３１，３２でホルダー１３を支持しながらホルダー１３のレーザー取り付け用段付き孔１３ｃ内に位置決めして嵌合させた導体レーザー１２のカップ部１２ｂの先端をこれと対向して光学ベース１１の一つの側面１１ａに穿設した丸孔１１ｂ内に挿入すると共に、ホルダー１３の前面１３ａにレーザー取り付け用段付き孔１３ｃを挟んでそれぞれ突出高さＨ１，Ｈ２（図３，図４）を違えて突出形成した上下２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２を光学ベース１１の一つの側面１１ａ中でレーザー取り付け基準面となる外側面１１ａ１に当接させると、先に図４を用いて説明したように、ホルダー１３の平坦な前面１３ａと、光学ベース１１の平坦な外側面（レーザー取り付け基準面）１１ａ１とが成す角度は、上記した所定の角度α（例えば１．７°）であるので、ホルダー１３は光学ベース１１の外側面１１ａ１に対して所定の角度α（例えば１．７°）だけ傾いている。
【００６４】
そして、２本の調整ピン３１，３２でホルダー１３を支持しながらこのホルダー１３の前面１３ａに突出形成した上下２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２を光学ベース１１の一つの側面１１ａの外側面１１ａ１上に沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向に摺動（移動）させて半導体レーザー１２から出射したレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫに対して光学系の光軸Ｋと一致するようにＸ軸方向及びＹ軸方向の位置調整を行うと共に、２本の調整ピン３１，３２の一方又は両方を前面１３ａ側に向かってＺ軸方向に押圧しながらホルダー１３の前面１３ａに突出形成した上下２箇所の回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２を支点として回動支点部１３ｋ１，１３ｋ２に対して直交する方向に回動させて、半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫの傾きが光学系の光軸Ｋと一致するようにレーザー取り付け用段付き孔１３ｃの中心を通るＹ軸回り（楕円状の光強度分布の長軸周り）の傾き調整をしている。
【００６５】
この際、半導体レーザー１２のカップ部１２ｂ内に位置するレーザー発光点１２ｃが光学ベース１１の外側面１１ａ１と略一致するようにしておけば、上記したＹ軸周りの傾き調整を行った時にレーザー発光点１２ｃのＸ軸方向への位置が変化せず、これにより短時間で半導体レーザー１２の光軸調整を行うことができる。
【００６６】
ここで、半導体レーザー１２に対してＸ軸方向及びＹ軸方向の位置調整と、Ｙ軸回りの傾き調整とを行う場合には、図５に示した光軸検出装置４０を用いている。
【００６７】
具体的には、光ピックアップ１５内に対物レンズ２２（図１）を取り付ける前に、１／４λ板２０と対向して光軸検査装置４０の光学部４１を光学ベース１１に対して位置決めして取り付け、且つ、この光学部４１上にビデオカメラ４２を設置して、ビデオカメラ４２で撮影した画像をワイヤ４３を介してモニタＴＶ４４で観察している。この際、光学系の光軸Ｋと対応してモニタＴＶ４４の画面４４ａの中心Ｏを予め設設定し、画面４４ａ内に円形に表示されたレーザービームスポットＬＢＳＰの中心がモニタＴＶ４４の画面４４ａの中心Ｏに一致し且つ強度中心がレーザービームスポットＬＢＳＰの中心と合うよう調整された時に、レーザービームＬＢの光軸ＬＢＫに対するＸ軸方向及びＹ軸方向の位置調整と、Ｙ軸回りの傾き調整とが終了して半導体レーザー１２への光軸調整が完了する。
【００６８】
そして、半導体レーザー１２への光軸調整が完了した後に、ホルダー１３の四隅のコーナ部位に接着剤１４（図１）を充填して、ホルダー１３を光学ベース１１の一つの側面１１ａの外側面１１ａ１に接着固定している。
【００６９】
更にこの後、光ピックアップ１５内から光軸検出装置４０を取り除いて対物レンズ２２（図１）を取り付けると、半導体レーザー１２への光軸調整が完了した状態で光ピックアップ１５の組み立てが終了する。
【００７０】
ここで、この実施例では、半導体レーザー１２に対してＸ軸方向及びＹ軸方向の位置調整と、Ｙ軸回り（楕円状の光強度分布の長軸周り）の傾き調整を行い、Ｘ軸回り（楕円状の光強度分布の短軸周り）の傾き調整を省略している。この際、Ｘ軸回りの傾き調整を省略している理由を説明すると、先に図３で示したように、半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの楕円状の光強度分布は、長軸方向が短軸方向よりも光強度が強く、長軸方向と対応したＹ軸方向にレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫが多少ズレていても有効光束の光強度変化が少ないために、光ディスクＤ（図１）の記録再生への影響が少ないために、Ｘ軸回りの傾き調整を省略しても何らの支障が生じないからである。
【００７１】
この際、先に図１で示した光ピックアップ１５において、Ｘ軸方向を光ディスクＤのラジアル方向に設定し、Ｙ軸方向をラジアル方向に対して直角なタンジエンシャル方向（トラック方向）に設定すると、タンジエンシャル方向が半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの楕円状の光強度分布が強い方向になるので、半導体レーザー１２に対してＹ軸回りの傾き調整を行うことによって、光ディスクＤの信号面Ｄｂ上ではラジアル方向に対してレーザービームスポットの解像度を調整することになり、この調整によりトラッキング特性を向上させることができると共に、ジッター特性が良好となる。
【００７２】
更に、半導体レーザー１２に対してＺ軸回りの傾き調整を省略しているが、この理由は、光ピックアップ１５内に設けた偏光ビームスプリッタ１８の偏光選択性誘電体多層膜１８ａの膜特性により偏光方向の精度が低くても、偏光選択性誘電体多層膜１８ａで反射してフロントモニター１９に入射するレーザービームＬＢと、偏光選択性誘電体多層膜１８ａを透過して対物レンズ２２に入射するレーザービームＬＢとの間で光量比に大きな変化がないように偏光選択性誘電体多層膜１８ａの膜付けを設定することで、Ｚ軸回りの傾き調整を省略することができる。
【００７３】
尚、上記した実施例では、半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの楕円状の光強度分布の長軸Ｊａをホルダー１３に穿設したレーザー取り付け用段付き孔１３ｃの中心を通るＹ軸に略沿わせて設定しているが、これに限定されるものでもなく、例えば、Ｙ軸とＸ軸の略中間位置となるようにレーザービームＬＢの楕円状の光強度分布の長軸ＪａをＸ軸又はＹ軸に対して４５°傾けた方向に設定する場合もあり、これに応じて、ホルダー１３の前面１３ａでＸ軸又はＹ軸に対して４５°傾けた方向に少なくとも２箇所以上の回動支点部（図示せず）をレーザー取り付け用段付き孔１３ｃを挟んで設けても良く、この場合には光デイスＤの信号面Ｄｂ上でラジアル方向とタンジエンシャル方向との中間の方向に対してレーザービームスポットの解像度調整を行うことができる。
【００７４】
以上詳述したように、本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置１０Ａによれば、とくに、半導体レーザー１２から出射させたレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫと仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面ＤＭが、光学ベース１１に設定した光学系の光軸Ｋと仮想に直交させて得た仮想平面ＨＭに対して仮想楕円面ＤＭ上の長軸方向に所定の角度αだけ傾いている場合に、ホルダー１３の前面１３ａにレーザー取り付け用孔１３ｃを挟んで少なくとも２箇所以上の回動支点部（１３ｋ１，１３ｋ２）をレーザービームＬＢの光軸ＬＢＫと仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面ＭＤ上の長軸Ｊａに略沿ってそれぞれ突出形成し、少なくとも２箇所以上の回動支点部（１３ｋ１，１３ｋ２）を光学ベース１１の外側面（レーザー取り付け基準面）１１ａ１に当接させつつ、ホルダー１３を外側面（レーザー取り付け基準面）１１ａ１上で摺動させると共に少なくとも２箇所以上の回動支点部（１３ｋ１，１３ｋ２）を回動中心として回動させて、レーザービームＬＢの光軸ＬＢＫと光学ベース１１に設定した光軸Ｋとを一致させる際に、上記した仮想楕円面ＤＭと、上記した仮想平面ＨＭとが互いに略平行となるように少なくとも２箇所以上の回動支点部（１３ｋ１，１３ｋ２）の各突出高さ（Ｈ１，Ｈ２）を設定しているので、上記した所定の角度αに対応した補正が可能となり、これにより、半導体レーザー１２の光軸ＬＢＫが生産時に上記した所定の角度αだけ傾いても、半導体レーザー１２の光軸ＬＢＫを短時間で確実に調整でき、且つ、半導体レーザー１２の光軸調整構造を１部品で構成できるので、半導体レーザー光軸調整装置１０Ａへのコストダウンを図ることが可能となる。
【００７５】
また、半導体レーザー１２を光学ベース１１のレーザー取り付け基準面１１ａ１に沿って移動させる位置調整と、楕円状の光強度分布の長軸Ｊａに対応した半導体レーザー１２の光軸ＬＢＫの傾き調整とを行うものの、この楕円状の光強度分布の短軸Ｊｂに対応した半導体レーザー１２の光軸ＬＢＫの傾き調整を行わなくても良いので、半導体レーザー１２への光軸調整時間も短縮できる。
【００７６】
更に、ホルダー１３の前面１３ａと反対側の後面１３ｂに、ホルダー１３を支持しつつ半導体レーザー１２に対して光軸調整する２本の調整ピン３１，３２を嵌合させるための２箇所の光軸調整用丸孔１３ｆ１，１３ｆ２を形成したため、２本の調整ピン３１，３２を２箇所の光軸調整用丸孔１３ｆ１，１３ｆ２内に嵌合させて半導体レーザー１２への光軸調整を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置及びこの半導体レーザー光軸調整装置を備えた光ピックアップを説明するために模式的に示した構成図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置の全体構成を示した斜視図，上面である。
【図３】本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置において、半導体レーザーを取り付けるためのホルダーと、半導体レーザーから出射させたレーザービームの楕円状の光強度分布を示した斜視図である。
【図４】本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置において、ホルダーの前面に突出形成した２箇所の回動支点部の各突出高さを違えて設定することで、半導体レーザーから出射させたレーザービームの光軸と仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面と、光学ベースに設定した光学系の光軸と仮想に直交させて得た仮想平面とが互いに略平行になる状態を示した図である。
【図５】本発明に係る半導体レーザー光軸調整装置の光軸調整作業を行う時に用いられる光軸検出装置を説明するため構成図である。
【図６】（ａ），（ｂ）は従来の半導体レーザー光軸調整装置及び光軸調整作業を説明するための斜視図，上面図である。
【図７】従来の半導体レーザー光軸調整装置において、ホルダーの前面に突出形成した２箇所の回動支点部を同じ突出高さに設定したときに、（ａ）は半導体レーザーから出射させたレーザービームの光軸と仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面が、光学ベースに設定した光学系の光軸と仮想に直交させて得た仮想平面と略平行な理想状態を示し、（ｂ）は半導体レーザーの生産時のバラツキにより上記した仮想楕円面が上記した仮想平面に対して仮想楕円面上の長軸方向に所定の角度傾いている状態を示した図である。
【符号の説明】
【００７８】
１０Ａ…半導体レーザー光軸調整装置、
１１…光学ベース、１１ａ…一つの側面、１１ｂ…丸孔、
１１ａ１…レーザー取り付け基準面（外側面)、１１ａ２…内側面、
１２…半導体レーザー、１２ａ…フランジ部、１２ｂ…カップ部、
１２ｃ…レーザー発光点、
１３…ホルダー、１３ａ…前面、１３ｂ…後面、
１３ｃ…レーザー取り付け用孔（レーザー取り付け用段付き孔）、
１３ｆ１，１３ｆ２…光軸調整用丸孔、
１３ｋ１，１３ｋ２…２箇所の回動支点部、１４…接着剤、
１５…光ピックアップ、
４０…光軸検出装置、
Ｋ…光学系の光軸、
ＬＢ…レーザービーム、ＬＢＫ…レーザービームの光軸、
ＤＭ…レーザービームの光軸と仮想に直交させて得た楕円状の光強度分布を有する
仮想楕円面、
ＨＭ…光学ベースに設定した光学系の光軸と仮想に直交させて得た仮想平面、
Ｊａ…レーザービームの楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面上の長軸、
Ｊｂ…レーザービームの楕円状の光強度分布を有する仮想楕円面上の短軸、
Ｈ１，Ｈ２…２箇所の回動支点部の各突出高さ。
【図１】
2009111109.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2009111109.tif 000006
【図５】
2009111109.tif 000007
【図６】
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【図７】
2009111109.tif 000009