(57)【要約】  【課題】  本発明は、拡大鏡の高さまたは配線板の高さを変化させることなく、配線板に散在する複数のスルーホールを検査できる検査装置を提供することを目的とする。  【解決手段】  支持台と、この支持台の下面に固定されるスペーサと、上記支持台に保持される鏡面とを備え、上記鏡面が水平方向に対して傾斜を有する検査装置。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持台と、この支持台の下面に固定されるスペーサと、上記支持台に保持される鏡面とを備え、上記鏡面が水平方向に対して傾斜を有する検査装置。
【請求項２】
請求項１において、更に、鏡面からの反射像を拡大する拡大鏡を有する検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、スペーサが、板体を複数枚積層させたものである検査装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかにおいて、鏡面の傾斜角度が、水平方向に対し４５〜７５度である検査装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかにおいて、スペーサが、支持台の両端部に、同一高さで固定され、このスペーサ間に配線板を挿入する検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、鏡面を利用して検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、配線板の検査方法として、表面視による検査が多く実施されている。これは、検査を行う者が、製造後の配線板の表面を直接目視するものであり、細かい配線部分等は拡大鏡を用いて見るようにしている。更に、この検査は、カメラを用いて自動的に行うものもある（特許文献１）。
【０００３】
また、前述した表面視では、基板表面の配線状況は検査できるものの、スルーホールの内壁の検査が困難であるため、配線板を傾斜させる方法が多く実施されている。
【特許文献１】特開２００４−２８８３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、配線板に散在する複数のスルーホールの内壁を、拡大鏡を用いて検査する場合、配線板を傾斜すると、拡大鏡と配線板に散在する任意のスルーホールの内壁との間の距離と、拡大鏡と配線板に散在する別のスルーホールの内壁との間の距離が同じではない場合があり、拡大鏡の高さまたは配線板の高さを変化させるなどして焦点を合わせ直す必要があり、検査の効率を低下させるという問題がある。
【０００５】
本発明は、拡大鏡の高さまたは配線板の高さを変化させることなく、配線板に散在する複数のスルーホールを検査できる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下のものに関する。
（１）支持台と、この支持台の下面に固定されるスペーサと、上記支持台に保持される鏡面とを備え、上記鏡面が水平方向に対して傾斜を有する検査装置。
（２）項（１）において、更に、鏡面からの反射像を拡大する拡大鏡を有する検査装置。
（３）項（１）又は（２）において、スペーサが、板体を複数枚積層させたものである検査装置。
（４）項（１）乃至（３）の何れかにおいて、鏡面の傾斜角度が、水平方向に対し４５〜７５度である検査装置。
（５）項（１）乃至（４）の何れかにおいて、スペーサが、支持台の両端部に、同一高さで固定され、このスペーサ間に配線板を挿入する検査装置。
【発明の効果】
【０００７】
本発明では、スペーサと、このスペーサの上に配置される鏡面を備えることにより、鏡面と、本発明の検査装置を設置する設置台とを、非接触とすることができ、鏡面と設置台の間に検査対象を入れることができる。
【０００８】
また、本発明では、上記鏡面が、設置台に対し（水平方向に対し）、傾斜固定されることにより、設置台上に設置された検査対象の反射像を入射方向と異なる方向から見ることができる。
【０００９】
本発明では、鏡面からの反射像を拡大する拡大鏡を有することにより、より詳細な検査を行うことができる。
【００１０】
本発明では、スペーサが、板体を複数枚積層させたものでることにより、板体の積層枚数を変えることで、鏡面と設置台の間隔を変化させることができる。
【００１１】
本発明では、鏡面の傾斜角度が、設置台の上面に対し４５〜７５度であることにより、鏡面からの反射像で、検査対象を、設置台に対して垂直方向から検査することができる。
【００１２】
本発明では、検査対象が、スペーサ厚み未満の厚みを有することにより、鏡面と設置台の間で検査対象の位置を、設置台に対し水平移動することができる。
【００１３】
本発明では、検査対象を、鏡面と設置台の間で、設置台に対し水平移動することにより、拡大鏡の高さまたは検査対象の高さを変えることなく、鏡面からの反射像で検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明にて述べるスペーサとは、鏡面と設置台を非接触にできれば良く、その材質は特に限定されない。より具体的には、固体を用いることが好ましく、その材質として、鉄、アルミニウム、銅などの金属及びそれらの合金等、アクリル、ポリエステル及びプラスチックなどの石油化学製品等、パルプ、綿及び絹などの繊維物及びその織物等、石英、大理石及び黒曜石などの鉱物等、ガラス及び木材などを適宜選択することができる。
スペーサの厚みは、特に規定されるものではないが、複数の板体を積層することでスペーサを形成する場合は、同一厚みの板体を使用することが好ましく、このようにすることで、複数のスペーサ厚みを、板体の枚数により、容易に同一高さとすることができる。
板体は、平行な２つの面を有していれば良く、好ましくは、平行な２つの面が、板体の表面積の３分の１以上を占める方が良く、安定した設置ができる。
板体を積層させる方法としては、テープによる固定、接着剤による固定及びはめ込みによる固定等を適宜選択でき、特に、容易に脱着ができるはめ込みによる固定が好ましい。
【００１５】
本発明にて述べる鏡面とは、反射像を観察できるものであれば良く、その材質は特に限定されない。より具体的には、可視光の反射率が高いものが好ましく、その材質として、銀、アルミニウム、クロムなどの金属及びそれらを蒸着した表面またはめっきした表面などを適宜選択することができる。
鏡面の大きさは、特に限定されるものではないが、その横幅は検査対象物の横幅と同等以上の長さを有することが好ましい。
【００１６】
検査装置を載置する設置台は、スペーサおよび鏡面を設置できれば良く、好ましくは、検査対象を設置する面が、検査対象の大きさよりも大きい面積を有する方が良く、検査対象の検査位置により、設置台上で検査対象を動かすことができる。
【００１７】
鏡面を傾斜固定する方法は、支持体による固定及び接着剤による固定等を適宜選択できる。傾斜角度は、検査対象物を垂直方向から見下ろせるように、４５〜７５度の範囲とすることが特に好ましく、検査を行う者が、傾斜角度を任意に変化させることができるように、鏡面を固定することが良い。
【００１８】
本発明にて述べる支持体とは、鏡面を傾斜固定できるものであれば良く、特に限定されない。より具体的には、固体を用いることが好ましく、その材質として、鉄、アルミニウム、銅などの金属及びそれらの合金等、アクリル、ポリエステル、ウレタン及びプラスチックなどの石油化学製品等、パルプ、綿及び絹などの繊維物及びその織物等、石英、大理石及び黒曜石などの鉱物等、ガラス及び木材などを適宜選択することができる。
【００１９】
上記支持体の形状は、特に限定されるものではないが、設置台に対して垂直方向の断面形状が、多角形であることが好ましく、鋭角を１つ以上有する多角形であることがさらに好ましく、傾斜部を有することで傾斜固定が容易にでき、鋭角を有することで鏡面の反射像を上方から検査することができる。
【００２０】
本発明にて述べる拡大鏡とは、ルーペ、金属顕微鏡などを指し、必要な倍率に合わせて適宜選択することができ、倍率を交換可能であることが特に好ましい。使用者は、検査対象物により、拡大鏡を任意に交換して適したものを選択する。
【実施例】
【００２１】
以下、図面を用いて本発明の検査装置について説明する。
図１は、本発明の１実施例である検査装置を示した斜視図である。
検査装置１の設置台２上に、検査対象である配線板３を設置し、スペーサ４によって設置台２と、支持体５で傾斜固定された鏡面６の間にできている間隙７に、配線板３を挿入する。鏡面６に写る配線板３の反射像を、光学顕微鏡８で観察しながら、配線板３に配されたスルーホールの内壁９に焦点が合うように、配線板３の位置および光学顕微鏡８の高さを調節し、検査を実施する。
【００２２】
次に、スルーホールの内壁９の検査が終了次第、別のスルーホールの内壁１０を検査するため、配線板３の位置を調節する。このとき、光学顕微鏡８の高さは、必要に応じて調節する。
【００２３】
上記方法を繰り返し、配線板３に散在する複数のスルーホールの内壁を、検査実施する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の１実施例を示す、検査装置の斜視図である。
【符号の説明】
【００２５】
１…検査装置、２…設置台、３…配線板、４…スペーサ、５…支持体、６…鏡面、７…間隙、８…光学顕微鏡、９…スルーホールの内壁、１０…別のスルーホールの内壁
【図１】
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