(57)【要約】【課題】圧電アクチュエータにおいて圧電層を挟んで対向する電極間の位置ズレを検出する。【解決手段】圧電アクチュエータ３２は、振動板４０、下部圧電層４１及び上部圧電層４２、下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５が互いに積層されることによって形成されている。上部電極４５及び中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じていると、上部電極４５ａと中間電極４４との対向面積が増加又は減少し、上部電極４５ｂと中間電極４４との対向面積がこれとは反対に増加又は減少する。そして、上部電極４５ａと中間電極４４との間の静電容量と、上部電極４５ｂと中間電極４４との間の静電容量との差を検出し、検出した差が所定量よりも大きいか否かによって上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じているか否かを判定するとともに、検出した差の値からその位置ズレ量を算出する。【選択図】図７
2009208256.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚みがほぼ均一であり、その面方向が互いに直交する第１方向及び第２方向と平行な圧電層と、
前記圧電層の一表面に配置された第１駆動電極と、
前記圧電層の前記一表面と反対側の面に前記第１駆動電極と対向するように配置された第２駆動電極とを備えた圧電アクチュエータにおいて、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極との間の位置ズレを検出する位置ズレ検出方法であって、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧電層の前記一表面に配置されており、前記第１駆動電極と所定の位置関係にある第１電極対と、
前記圧電層の前記一表面と反対側の面に前記第１電極対と対向するように配置されており、前記第２駆動電極と所定の位置関係にある第１対向電極とをさらに備えており、
前記第１電極対及び前記第１対向電極は、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に前記第１方向に位置ズレが生じることによって、前記第１電極対を構成する電極と前記第１対向電極との対向面積が変化するように配置されたものであって、
前記第１電極対を構成する各電極と前記第１対向電極との間のそれぞれの静電容量を検出する静電容量検出工程と、
前記静電容量検出工程において検出した前記第１電極対を構成する電極の一方と前記第１対向電極との間の静電容量と、前記第１電極対を構成する電極の他方と前記第１対向電極と間の静電容量との差である第１検出差分を、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態における、前記第１電極対を構成する電極の一方と前記第１対向電極との間の静電容量と、前記第１電極対を構成する電極の他方と前記第１対向電極と間の静電容量との差である第１基準差分と比較することによって、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に前記第１方向の位置ズレが生じているか否かを判定する位置ズレ判定工程とを備えていることを特徴とする位置ズレ検出方法。
【請求項２】
前記圧電層の前記一表面と反対側の面に、前記第２駆動電極及び前記第１対向電極が配置された基材が接合されることによって、前記圧電層の前記一表面と反対側の面に前記第２駆動電極及び前記第１対向電極が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の位置ズレ検出方法。
【請求項３】
前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、前記第１電極対を構成する電極の一方と前記第１対向電極との対向面積と、前記第１電極対を構成する電極の他方と前記第１対向電極との対向面積とがほぼ同じであることを特徴とする請求項１又は２に記載の位置ズレ検出方法。
【請求項４】
前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、
前記第１電極対を構成する電極の一方及び他方が、それぞれ、前記第１対向電極の前記第１方向に関する一端部及び他端部と対向するように配置されているとともに、
前記第１方向に関して、前記第１電極対を構成する電極が、前記第１対向電極よりも外側まではみ出していることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の位置ズレ検出方法。
【請求項５】
前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、
前記第１電極対を構成する電極が、前記第１方向に関して前記第１対向電極が配置されている範囲内に収まっており、
前記第１対向電極には抜きパターンが形成されており、
前記第１方向に関して、前記第１電極対を構成する電極の一方における他方側の端を含む一部分、及び、前記第１電極対を構成する電極の他方における一方側の端を含む一部分が、前記抜きパターンに対向するように配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の位置ズレ検出方法。
【請求項６】
前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、
前記第１電極対を構成する電極の前記第２方向に関する両端部が、ともに前記第１対向電極よりも外側にはみ出していることを特徴とする請求項４又は５に記載の位置ズレ検出方法。
【請求項７】
前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、
前記第２方向に関して、前記第１電極対を構成する電極が、前記第１対向電極が配置されている範囲内に収まっていることを特徴とする請求項４又は５に記載の位置ズレ検出方法。
【請求項８】
前記第１駆動電極を複数備えているとともに、これら複数の第１駆動電極のうちの２つが、前記第１電極対を兼ねており、
前記第２駆動電極が、前記第１対向電極を兼ねていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の位置ズレ検出方法。
【請求項９】
複数の前記第１駆動電極が、前記第２方向に配列されることによって第１駆動電極列を形成しているとともに、このような第１駆動電極列が、前記第１方向に沿って２列に配列されており、
前記第２駆動電極が、
複数の前記第１駆動電極と対向する複数の対向部と
前記複数の対向部同士を接続させる２つの接続部とを備えており、
前記複数の対向部は、２列の前記第１駆動電極列に対応して配列された２列の対向部列を形成しており、
前記２つの接続部は、前記第２方向に延びており、前記２列の対向部列の一方及び他方にそれぞれ対応する前記複数の対向部における、前記２列の対向部列の外側の端部同士をそれぞれ接続していることを特徴とする請求項８に記載の位置ズレ検出方法。
【請求項１０】
複数の前記第１駆動電極が、前記第２方向に配列されることによって第１駆動電極列を形成しているとともに、このような第１駆動電極列が、前記第１方向に沿って２列に配列されており、
前記第２駆動電極が、
複数の前記第１駆動電極と対向する複数の対向部と、
前記複数の対向部同士を接続させる３つの接続部とを備えており、
前記複数の対向部は、前記第２方向に関して対応する前記第１駆動電極が配置されている範囲内に収まっており、且つ、前記第１方向に関する両端部が対応する前記第１駆動電極よりも外側にはみ出しているとともに、２列の前記第１駆動電極列に対応して配列された２列の対向部列を形成しており、
前記３つの接続部は、前記第２方向に延びており、前記２列の対向部列の一方及び他方をそれぞれ構成する前記複数の対向部における、前記２列の対向部列の外側の端部同士、並びに、前記複数の対向部における、前記２列の対向部列の内側の端部同士をそれぞれ接続しており、
前記第１方向に関して、前記複数の対向部における、対応する前記第１駆動電極よりも前記２列の対向部列の外側にはみ出した部分の長さと、前記２列の対向部列の内側にはみ出した部分の長さとが互いに異なっていることを特徴とする請求項８に記載の位置ズレ検出方法。
【請求項１１】
複数の前記第１駆動電極が、前記第２方向に配列されることによって第１駆動電極列を形成しているとともに、このような第１駆動電極列が、前記第１方向に沿って２列に配列されており、
前記第２駆動電極が、
複数の前記第１電極と対向する複数の対向部を備えており、
前記複数の対向部は、前記第１方向に関する両端部が対応する前記第１駆動電極よりも外側にはみ出しているとともに、２列の前記第１駆動電極列に対応して配列された２列の対向部列を形成しており、
前記複数の対向部における、対応する前記第１駆動電極よりも前記２列の対向部列の外側にはみ出した部分、及び、前記２列の対向部列の内側にはみ出した部分のいずれか一方に、抜きパターンが形成されていることを特徴とする請求項８に記載の位置ズレ検出方法。
【請求項１２】
前記第１検出差分と前記第１基準差分との差分値に基づいて、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極との間の前記第１方向における位置ズレ量を算出する位置ズレ量算出工程を備えたことを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の位置ズレ検出方法。
【請求項１３】
前記圧電アクチュエータが、
前記圧電層の前記一表面に配置されており、前記第１駆動電極と所定の位置関係にある第２電極対と、
前記圧電層の前記一表面と反対側の面に前記第２電極対と対向するように配置されており、前記第２駆動電極と所定の位置関係にある第２対向電極とをさらに備えており、
前記第２電極対及び前記第２対向電極は、前記第２電極対と前記第２対向電極との間に前記第２方向に位置ズレが生じることによって、前記第２電極対を構成する電極と前記第２対向電極との対向面積が変化するように配置されたものであって、
前記静電容量検出工程において、前記第２電極対を構成する各電極と前記第２対向電極との間のそれぞれの静電容量をさらに検出し、
前記位置ズレ判定工程において、前記静電容量検出工程において検出した前記第２電極対を構成する電極の一方と前記第２対向電極との間の静電容量と、前記第２電極対を構成する電極の他方と前記第２対向電極との間の静電容量との差である第２検出差分を、前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態における、前記第２電極対を構成する電極の一方と前記第２対向電極との間の静電容量と、前記第２電極対を構成する電極の他方と前記第２対向電極との間の静電容量との差である第２基準差分と比較することによって、第２電極対と第２対向電極との間に前記第２方向の位置ズレが生じているか否かをさらに判定することを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の位置ズレ検出方法。
【請求項１４】
前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、前記第２電極対を構成する電極の一方と前記第２対向電極との対向面積と、前記第２電極対を構成する電極の他方と前記第２対向電極との対向面積とがほぼ同じであることを特徴とする請求項１３に記載の位置ズレ検出方法。
【請求項１５】
前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、
前記第２電極対を構成する電極の一方及び他方が、それぞれ、前記第２対向電極の前記第２方向に関する一端部及び他端部と対向するように配置されているとともに、
前記第２方向に関して、前記第２電極対を構成する電極が、前記第２対向電極よりも外側まではみ出していることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の位置ズレ検出方法。
【請求項１６】
前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、
前記第２電極対を構成する電極が、前記第２方向に関して前記第２対向電極が配置されている範囲内に収まっており、
前記第２対向電極には抜きパターンが形成されており、
前記第２方向に関して、前記第２電極対を構成する電極の一方における他方側の端を含む一部分、及び、前記第２電極対を構成する電極の他方における一方側の端を含む一部分が、前記抜きパターンに対向するように配置されていることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の位置ズレ検出方法。
【請求項１７】
前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、
前記第２電極対を構成する電極の前記第１方向に関する両端部が、ともに前記第２対向電極の外側にはみ出していることを特徴とする請求項１５又は１６に記載の位置ズレ検出方法。
【請求項１８】
前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、
前記第１方向に関して、前記第２電極対を構成する電極が、前記第２対向電極が配置されている範囲内に収まっていることを特徴とする請求項１５又は１６に記載の位置ズレ検出方法。
【請求項１９】
前記第１対向電極と前記第２対向電極とが一体となっていることを特徴とする請求項１３〜１８のいずれかに記載の位置ズレ検出方法。
【請求項２０】
前記位置ズレ量算出工程においては、前記第２検出差分と前記第２基準差分との差分値に基づいて、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極との間の前記第２方向における位置ズレ量を算出することを特徴とする請求項１３〜１９のいずれかに記載の位置ズレ検出方法。
【請求項２１】
厚みがほぼ均一であり、その面方向が互いに直交する第１方向及び第２方向と平行な圧電層と、
前記圧電層の一表面に配置された第１駆動電極と、
前記圧電層の前記一表面と反対側の面に前記第１駆動電極と対向するように配置された第２駆動電極と、
前記圧電層の前記一表面に配置されており、前記第１駆動電極と所定の位置関係にある第１電極対と、
前記圧電層の前記一表面と反対側の面に配置されており、前記第２駆動電極と所定の位置関係にある第１対向電極と、
前記圧電層の前記一表面に配置されており、前記第１駆動電極と所定の位置関係にある第２電極対と、
前記圧電層の前記一表面と反対側の面に配置されており、前記第２駆動電極と所定の位置関係にある第２対向電極とを備えており、
前記第１電極対及び前記第１対向電極は、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に前記第１方向に位置ズレが生じることによって、前記第１電極対を構成する電極と前記第１対向電極との対向面積が変化するように配置されており、
前記第２電極対及び前記第２対向電極は、前記第２電極対と前記第２対向電極との間に前記第２方向に位置ズレが生じることによって、前記第２電極対を構成する電極と前記第２対向電極との対向面積が変化するように配置されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電層の両面に配置された電極間の位置ズレを検出する位置ズレ検出方法、及び、このような電極間の位置ズレの検出が可能な圧電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、圧電アクチュエータを構成する互いに積層された複数の圧電シートのうちのいくつかにおける表面に、これらの表面に配置された電極と所定の位置関係にある４つの位置決めマークが配置されている。そして、互いに積層された圧電シートの上方に配置された光源装置から位置決めマークに向かって光を照射すると、照射された光は、位置決めマークの周縁に形成された切れ目、及び、他の圧電シートの位置決めマークと対向する部分に形成された貫通孔を通過して、圧電シートの下方に配置された受像装置において位置決めマークに対応する影が受像される。そして、受像された影に基づいて、位置決めマークと所定の位置関係にある、複数の圧電シート表面に形成された電極の位置を把握して、圧電アクチュエータの重心を決定している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１１２４２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、特許文献１に記載のインクジェットヘッドでは、位置決めマークが各圧電シートの表面に配置された電極と所定の位置関係となるように配置されているため、各圧電シートに配置された電極間に位置ズレが生じた場合には、受像装置において受像された影の形状、濃さなどが変化する。したがって、受像された影の形状、濃さなどから、各圧電シートに配置された電極間の位置ズレを検出することも可能である。
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載のインクジェットヘッドでは、圧電シートの積層枚数が多くなると、光源装置から照射された光が、受像装置に届きにくくなり、電極間の位置ズレを正確に検出できない虞がある。また、特許文献１に記載の圧電アクチュエータにおいては、受像された影に対して画像処理をかけるなどする必要があり、電極の位置ズレを検出する工程が複雑になってしまう。
【０００６】
本発明の目的は、圧電層の両面に配置された電極間の位置ズレを容易に検出することが可能な位置ズレ検出方法、及び、圧電層の両面に配置された電極間の位置ズレの検出が容易な圧電アクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の位置ズレ検出方法は、厚みがほぼ均一であり、その面方向が互いに直交する第１方向及び第２方向と平行な圧電層と、前記圧電層の一表面に配置された第１駆動電極と、前記圧電層の前記一表面と反対側の面に前記第１駆動電極と対向するように配置された第２駆動電極とを備えた圧電アクチュエータにおいて、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極との間の位置ズレを検出する位置ズレ検出方法であって、前記圧電アクチュエータは、前記圧電層の前記一表面に配置されており、前記第１駆動電極と所定の位置関係にある第１電極対と、前記圧電層の前記一表面と反対側の面に前記第１電極対と対向するように配置されており、前記第２駆動電極と所定の位置関係にある第１対向電極とをさらに備えており、前記第１電極対及び前記第１対向電極は、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に前記第１方向に位置ズレが生じることによって、前記第１電極対を構成する電極と前記第１対向電極との対向面積が変化するように配置されたものである。そして、前記第１電極対を構成する各電極と前記第１対向電極との間のそれぞれの静電容量を検出する静電容量検出工程と、前記静電容量検出工程において検出した前記第１電極対を構成する電極の一方と前記第１対向電極との間の静電容量と、前記第１電極対を構成する電極の他方と前記第１対向電極と間の静電容量との差である第１検出差分を、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態における、前記第１電極対を構成する電極の一方と前記第１対向電極との間の静電容量と、前記第１電極対を構成する電極の他方と前記第１対向電極と間の静電容量との差である第１基準差分と比較することによって、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に前記第１方向の位置ズレが生じているか否かを判定する位置ズレ判定工程とを備えている（請求項１）。
【０００８】
これによると、第１電極対と第１対向電極との間に第１方向の位置ズレが生じると、第１電極対を構成する電極と第１対向電極との対向面積が変化して、第１電極対を構成する電極と第１対向電極との間の静電容量が変化する。したがって、第１検出差分を第１基準差分と比較することにより、第１電極対と第１対向電極との間に第１方向の位置ズレが生じているか否かを検出することができる。これにより、第１電極対と所定の位置関係にある第１駆動電極と、第１対向電極と所定の位置関係にある第２駆動電極との間に第１方向の位置ズレが生じているか否かを検出することができる。なお、本発明の位置ズレ判定工程における位置ズレが生じているか否かを判定することには、単に位置ズレが生じているか否かを判定する場合と、所定量よりも大きな位置ズレが生じているか否かを判定する場合との２通りの場合が含まれる。
【０００９】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記圧電層の前記一表面と反対側の面に、前記第２駆動電極及び前記第１対向電極が配置された基材が接合されることによって、前記圧電層の前記一表面と反対側の面に前記第２駆動電極及び前記第１対向電極が配置されていることが好ましい。
【００１０】
これによると、圧電層の一表面と反対側の面に、第２駆動電極及び第１対向電極が配置された基材が接合されることによって第２駆動電極及び第１対向電極が圧電層の一表面と反対側の面に配置されている場合には、圧電層と基材との位置ズレによって第１駆動電極と第２駆動電極との間に位置ズレが生じるが、このような場合でも、第１電極対と第１対向電極との間の第１方向に関する位置ズレを検出することにより、第１駆動電極と第２駆動電極との間の第１方向に関する位置ズレを検出することができる。
【００１１】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、前記第１電極対を構成する電極の一方と前記第１対向電極との対向面積と、前記第１電極対を構成する電極の他方と前記第１対向電極との対向面積とがほぼ同じであることが好ましい（請求項３）。
【００１２】
これによると、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、第１電極対を構成する電極の一方と第１対向電極との間の静電容量と、第１電極対を構成する電極の他方と第１対向電極との間の静電容量とが同じとなり、第１基準差分がほぼ０となる。したがって、第１基準差分を別途記憶しておく必要がなく、第１検出差分が所定値以上であるか否かによって、第１電極対と第１対向電極との間に第１方向の位置ズレが生じているか否かを判定可能となる。
【００１３】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、前記第１電極対を構成する電極の一方及び他方が、それぞれ、前記第１対向電極の前記第１方向に関する一端部及び他端部と対向するように配置されているとともに、前記第１方向に関して、前記第１電極対を構成する電極が、前記第１対向電極よりも外側まではみ出していることが好ましい（請求項４）。
【００１４】
これによると、第１電極対と第１対向電極との間に第１方向の位置ズレが生じたときに、第１電極対を構成する電極の一方及び他方のいずれかと第１対向電極との対向面積が増加するとともに、第１電極対を構成する電極の上述したの反対側のものと第１対向電極との対向面積が減少する。したがって、第１電極対と第１対向電極との間の静電容量の差が大きくなり、第１電極対と第１対向電極との間の第１方向の位置ズレを精度よく検出することができる。
【００１５】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、前記第１電極対を構成する電極が、前記第１方向に関して前記第１対向電極が配置されている範囲内に収まっており、前記第１対向電極には抜きパターンが形成されており、前記第１方向に関して、前記第１電極対を構成する電極の一方における他方側の端を含む一部分、及び、前記第１電極対を構成する電極の他方における一方側の端を含む一部分が、前記抜きパターンに対向するように配置されていることが好ましい（請求項５）。
【００１６】
これによると、第１電極対と第１対向電極との間に第１方向の位置ズレが生じたときに、第１電極対を構成する電極の一方及び他方のいずれかと第１対向電極との対向面積が増加するとともに、第１電極対を構成する電極の上述したのと反対側のものと第１対向電極との対向面積が減少する。したがって、第１電極対と第１対向電極との間の静電容量の差が大きくなり、第１電極対と第１対向電極との間の第１方向の位置ズレを精度よく検出することができる。
【００１７】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、前記第１電極対を構成する電極の前記第２方向に関する両端部が、ともに前記第１対向電極よりも外側にはみ出していることが好ましい（請求項６）。
【００１８】
これによると、第１電極対を構成する電極の第２方向に関する両端部が、第１対向電極よりも外側にはみ出しているため、第１電極対と第１対向電極との間に第２方向の位置ズレが生じても、第１電極対を構成する電極と第１対向電極との間の静電容量が変化しない。したがって、第１電極対と第１対向電極との間の第１方向の位置ズレを確実に検出することができる。
【００１９】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、前記第２方向に関して、前記第１電極対を構成する電極が、前記第１対向電極が配置されている範囲内に収まっていることが好ましい（請求項７）。
【００２０】
第１電極対を構成する電極の第２方向に関する両端部が、第１対向電極が配置されている範囲内に収まっているため、第１電極対と第１対向電極との間に第２方向の位置ズレが生じても、第１電極対を構成する電極と第１対向電極との間の静電容量が変化しない。したがって、第１電極対と第１対向電極との間の第１方向の位置ズレを確実に検出することができる。
【００２１】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第１駆動電極を複数備えているとともに、これら複数の第１駆動電極のうちの２つが、前記第１電極対を兼ねており、前記第２駆動電極が、前記第１対向電極を兼ねていることが好ましい（請求項８）。
【００２２】
これによると、複数の第１駆動電極のうちの２つが第１電極対を兼ねているとともに、第２駆動電極が第１対向電極を兼ねているため、第１電極対及び第１対向電極を第１駆動電極及び第２駆動電極とは別に設ける必要がない。
【００２３】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、複数の前記第１駆動電極が、前記第２方向に配列されることによって第１駆動電極列を形成しているとともに、このような第１駆動電極列が、前記第１方向に沿って２列に配列されており、前記第２駆動電極が、複数の前記第１駆動電極と対向する複数の対向部と、前記複数の対向部同士を接続させる２つの接続部とを備えており、前記複数の対向部は、２列の前記第１駆動電極列に対応して配列された２列の対向部列を形成しており、前記２つの接続部は、前記第２方向に延びており、前記２列の対向部列の一方及び他方にそれぞれ対応する前記複数の対向部における、前記２列の対向部列の外側の端部同士をそれぞれ接続していることが好ましい（請求項９）。
【００２４】
これによると、第１駆動電極と第２駆動電極との間に第１方向の位置ズレが生じると、２列の第１駆動電極列の一方及び他方のいずれかを構成する第１駆動電極とこれに対応する対向部との対向面積が増加するとともに、２列の第１駆動電極列の上述したのと反対側のものを構成する第１駆動電極と、これに対応する対向部との対向面積が減少する。したがって、第１駆動電極を第１電極対として用いることができるとともに、第２駆動電極を第１対向電極として用いることができる。
【００２５】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、複数の前記第１駆動電極が、前記第２方向に配列されることによって第１駆動電極列を形成しているとともに、このような第１駆動電極列が、前記第１方向に沿って２列に配列されており、前記第２駆動電極が、複数の前記第１駆動電極と対向する複数の対向部と、前記複数の対向部同士を接続させる３つの接続部とを備えており、前記複数の対向部は、前記第２方向に関して対応する前記第１駆動電極が配置されている範囲内に収まっており、且つ、前記第１方向に関する両端部が対応する前記第１駆動電極よりも外側にはみ出しているとともに、２列の前記第１駆動電極列に対応して配列された２列の対向部列を形成しており、前記３つの接続部は、前記第２方向に延びており、前記２列の対向部列の一方及び他方をそれぞれ構成する前記複数の対向部における、前記２列の対向部列の外側の端部同士、並びに、前記複数の対向部における、前記２列の対向部列の内側の端部同士をそれぞれ接続しており、前記第１方向に関して、前記複数の対向部における、対応する前記第１駆動電極よりも前記２列の対向部列の外側にはみ出した部分の長さと、前記２列の対向部列の内側にはみ出した部分の長さとが互いに異なっていることが好ましい(請求項１０）。
【００２６】
これによると、第１駆動電極と第２駆動電極との間に第１方向の位置ズレが生じると、２列の第１駆動電極列の一方及び他方のいずれかを構成する第１駆動電極が接続部に対向して、対向部よりも第２方向の外側の部分において接続部と対向している分だけ、第１駆動電極と第２駆動電極との対向面積が増加する。一方、２列の第１駆動電極列の上述したのと反対側のものを構成する第１駆動電極は接続部と対向しないため、第１駆動電極と第２駆動電極との対向面積は変化しない。したがって、第１駆動電極を第１電極対として用いることができるとともに、第２駆動電極を第１対向電極として用いることができる。
【００２７】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、複数の前記第１駆動電極が、前記第２方向に配列されることによって第１駆動電極列を形成しているとともに、このような第１駆動電極列が、前記第１方向に沿って２列に配列されており、前記第２駆動電極が、複数の前記第１電極と対向する複数の対向部を備えており、前記複数の対向部は、前記第１方向に関する両端部が対応する前記第１駆動電極よりも外側にはみ出しているとともに、２列の前記第１駆動電極列に対応して配列された２列の対向部列を形成しており、前記複数の対向部における、対応する前記第１駆動電極よりも前記２列の対向部列の外側にはみ出した部分、及び、前記２列の対向部列の内側にはみ出した部分のいずれか一方に、抜きパターンが形成されていることが好ましい（請求項１１）。
【００２８】
これによると、第１駆動電極と第２駆動電極との間に第１方向の位置ズレが生じると、２列の第１駆動電極列の一方及び他方のいずれかを構成する第１駆動電極が抜きパターンと対向し、抜きパターンと対向している分だけ、第１駆動電極と第２駆動電極との対向面積が減少する変化する。一方、２列の第１駆動電極列の上述したのと反対側のものを構成する第１駆動電極は抜きパターンと対向しないため、第１駆動電極と第２駆動電極との対向面積は変化しない。したがって、第１駆動電極を第１電極対として用いることができるとともに、第２駆動電極を第１対向電極として用いることができる。
【００２９】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第１検出差分と前記第１基準差分との差分値に基づいて、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極との間の前記第１方向における位置ズレ量を算出する位置ズレ量算出工程を備えていることが好ましい（請求項１２）。これによると、第１駆動電極と第２駆動電極との位置ズレ量に応じて、駆動電圧を調整するなどして、圧電アクチュエータの駆動特性を均一にすることができる。
【００３０】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記圧電アクチュエータが、前記圧電層の前記一表面に配置されており、前記第１駆動電極と所定の位置関係にある第２電極対と、前記圧電層の前記一表面と反対側の面に前記第２電極対と対向するように配置されており、前記第２駆動電極と所定の位置関係にある第２対向電極とをさらに備えており、前記第２電極対及び前記第２対向電極は、前記第２電極対と前記第２対向電極との間に前記第２方向に位置ズレが生じることによって、前記第２電極対を構成する電極と前記第２対向電極との対向面積が変化するように配置されたものであって、前記静電容量検出工程において、前記第２電極対を構成する各電極と前記第２対向電極との間のそれぞれの静電容量をさらに検出し、前記位置ズレ判定工程において、前記静電容量検出工程において検出した前記第２電極対を構成する電極の一方と前記第２対向電極との間の静電容量と、前記第２電極対を構成する電極の他方と前記第２対向電極との間の静電容量との差である第２検出差分を、前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態における、前記第２電極対を構成する電極の一方と前記第２対向電極との間の静電容量と、前記第２電極対を構成する電極の他方と前記第２対向電極との間の静電容量との差である第２基準差分と比較することによって、第２電極対と第２対向電極との間に前記第２方向の位置ズレが生じているか否かをさらに判定することが好ましい（請求項１３）。
【００３１】
これによると、第２電極対と第２対向電極との間に第２方向の位置ズレが生じると、第２電極対を構成する電極と第２対向電極との対向面積が変化して、第２電極対を構成する電極と第２対向電極との間の静電容量が変化する。したがって、第２検出差分と、第２基準差分と比較することにより、第２電極対と第２対向電極との間に第２方向の位置ズレが生じているか否かを検出することができる。これにより、第２電極対と所定の位置関係にある第１駆動電極と、第２対向電極と所定の位置関係にある第２駆動電極との間に第２方向の位置ズレが生じているか否かを検出することができる。
【００３２】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、前記第２電極対を構成する電極の一方と前記第２対向電極との対向面積と、前記第２電極対を構成する電極の他方と前記第２対向電極との対向面積とがほぼ同じであることが好ましい（請求項１４）。
【００３３】
これによると、前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、第２電極対を構成する電極の一方と第２対向電極との間の静電容量と、第２電極対を構成する電極の他方と第２対向電極との間の静電容量とが同じとなり、これらの静電容量の差がほぼ０となる。したがって、第１駆動電極と前記第２駆動電極との間に位置ズレが生じていない状態での、第２電極対を構成する電極の一方と第２対向電極との間の静電容量と、第２電極対を構成する電極の他方と第２対向電極との間の静電容量との差を別途記憶しておく必要がなく、第２電極対を構成する電極の一方と第２対向電極との間の静電容量と、第２電極対を構成する電極の他方と第２対向電極との間の静電容量との差が所定値よりも大きいか否かによって、第２電極対と第２対向電極との間に第２方向の位置ズレが生じているか否かを判定可能となる。
【００３４】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、前記第２電極対を構成する電極の一方及び他方が、それぞれ、前記第２対向電極の前記第２方向に関する一端部及び他端部と対向するように配置されているとともに、前記第２方向に関して、前記第２電極対を構成する電極が、前記第２対向電極よりも外側まではみ出していることが好ましい（請求項１５）。
【００３５】
これによると、第２電極対と第２対向電極との間に第２方向の位置ズレが生じたときに、第２電極対を構成する電極の一方及び他方のいずれかと第２対向電極との対向面積が増加するとともに、第２電極対を構成する電極の上述したのと反対側のものと第２対向電極との対向面積が減少する。したがって、第２検出差分が大きくなり、第２電極対と第２対向電極との間の第２方向の位置ズレを精度よく検出することができる。
【００３６】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、前記第２電極対を構成する電極が、前記第２方向に関して前記第２対向電極が配置されている範囲内に収まっており、前記第２対向電極には抜きパターンが形成されており、前記第２方向に関して、前記第２電極対を構成する電極の一方における他方側の端を含む一部分、及び、前記第２電極対を構成する電極の他方における一方側の端を含む一部分が、前記抜きパターンに対向するように配置されていることが好ましい（請求項１６）。
【００３７】
これによると、第２電極対と第２対向電極との間に第２方向の位置ズレが生じたときに、第２電極対を構成する電極の一方及び他方のいずれかと第２対向電極との対向面積が増加するとともに、第２電極対を構成する電極の上述したのと反対側のものと第２対向電極との対向面積が減少する。したがって、第２検出差分が大きくなり、第２電極対と第２対向電極との間の第２方向の位置ズレを精度よく検出することができる。
【００３８】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、前記第２電極対を構成する電極の前記第１方向に関する両端部が、ともに前記第２対向電極の外側にはみ出していることが好ましい（請求項１７）。
【００３９】
これによると、第２電極対を構成する電極の第１方向に関する両端部が、第２対向電極よりも外側にはみ出しているため、第２電極対と第２対向電極との間に第１方向の位置ズレが生じても、第２電極対を構成する電極と第２対向電極との間の静電容量が変化しない。したがって、第２電極対と第２対向電極との間の第２方向の位置ズレを確実に検出することができる。
【００４０】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第２電極対と前記第２対向電極との間に位置ズレが生じていない状態で、前記第１方向に関して、前記第２電極対を構成する電極が、前記第２対向電極が配置されている範囲内に収まっていることが好ましい（請求項１８）。
【００４１】
これによると、第２電極対を構成する電極の第１方向に関する両端部が、第２対向電極が配置されている範囲内に収まっているため、第２電極対と第２対向電極との間に第１方向の位置ズレが生じても、第２電極対を構成する電極と第２対向電極との間の静電容量が変化しない。したがって、第２電極対と第２対向電極との間の第２方向の位置ズレを確実に検出することができる。
【００４２】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記第１対向電極と前記第２対向電極とが一体となっていることが好ましい（請求項１９）。これによると、第１対向電極と第２対向電極とが一体となっているため、これらを別々に設ける必要がなく圧電アクチュエータの構成を簡単にすることができる。
【００４３】
また、本発明の位置ズレ検出方法においては、前記位置ズレ量算出工程においては、前記第２検出差分と前記第２基準差分との差分値に基づいて、前記第１駆動電極と前記第２駆動電極との間の前記第２方向における位置ズレ量を算出することが好ましい（請求項２０）。これによると、第１駆動電極と第２駆動電極との位置ズレ量に応じて駆動電圧を調整するなどして、圧電アクチュエータの駆動特性を均一にすることができる。
【００４４】
本発明の圧電アクチュエータは、厚みがほぼ均一であり、その面方向が互いに直交する第１方向及び第２方向と平行な圧電層と、前記圧電層の一表面に配置された第１駆動電極と、前記圧電層の前記一表面と反対側の面に前記第１駆動電極と対向するように配置された第２駆動電極と、前記圧電層の前記一表面に配置されており、前記第１駆動電極と所定の位置関係にある第１電極対と、前記圧電層の前記一表面と反対側の面に配置されており、前記第２駆動電極と所定の位置関係にある第１対向電極と、前記圧電層の前記一表面に配置されており、前記第１駆動電極と所定の位置関係にある第２電極対と、前記圧電層の前記一表面と反対側の面に配置されており、前記第２駆動電極と所定の位置関係にある第２対向電極とを備えており、前記第１電極対及び前記第１対向電極は、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に前記第１方向に位置ズレが生じることによって、前記第１電極対を構成する電極と前記第１対向電極との対向面積が変化するように配置されており、前記第２電極対及び前記第２対向電極は、前記第２電極対と前記第２対向電極との間に前記第２方向に位置ズレが生じることによって、前記第２電極対を構成する電極と前記第２対向電極との対向面積が変化するように配置されている（請求項２１）。
【発明の効果】
【００４５】
本発明によれば、第１電極対と第１対向電極との間に第１方向の位置ズレが生じると、第１電極対を構成する電極と第１対向電極との対向面積が変化して、第１電極対を構成する電極と第１対向電極との間の静電容量が変化する。したがって、第１電極対を構成する電極の一方と第１対向電極との間の静電容量と、第１電極対を構成する電極の他方と第１対向電極との間の静電容量との差である第１検出差分を、前記第１電極対と前記第１対向電極との間に位置ズレが生じていない状態での上記静電容量の差である第１基準差分と比較することにより、第１電極対と第１対向電極との間に第１方向の位置ズレが生じているか否かを検出することができる。これにより、第１電極対と所定の位置関係にある第１駆動電極と、第１対向電極と所定の位置関係にある第２駆動電極との間に第１方向の位置ズレが生じているか否かを検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
（第１実施形態）
以下、本発明の好適な第１実施形態について説明する。
【００４７】
図１は、第１実施形態に係るプリンタの概略構成図である。図１に示すように、プリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、搬送ローラ４などを備えている。
【００４８】
キャリッジ２は走査方向（図１の左右方向）に往復移動する。インクジェットヘッド３はキャリッジ２の下面に取り付けられており、その下面に形成されたノズル１５（図５参照）からインクを吐出する。搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを紙送り方向（図１の手前方向）に搬送する。そして、プリンタ１においては、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３のノズル１５から、記録用紙Ｐにインクを吐出することにより、記録用紙Ｐに印刷を行う。また、印刷が完了した記録用紙Ｐは、搬送ローラ４によって紙送り方向に排出される。
【００４９】
次に、インクジェットヘッド３について詳細に説明する。図２は、図１のインクジェットヘッド３の分解斜視図である。図３は、図２のインクジェットヘッド３の平面図である。図４（ａ）は図３の部分拡大図である。図４（ｂ）〜（ｄ）は、それぞれ、図４（ａ）における、後述する振動板４０、下部圧電層４１及び上部圧電層４２の上面を示した図である。図５は、図４（ａ）のＶ−Ｖ線断面図である。図６は、図４（ａ）のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【００５０】
なお、図面を分かりやすくするため、図３、図４においては、後述する流路ユニット３１の圧力室１０及びノズル１５除くインク流路の図示を省略し、図３においては、圧電アクチュエータ３２の下部電極４３及び中間電極４４の図示を省略している。また、図４（ａ）においては、ともに点線で図示すべき下部電極４３及び中間電極４４を、それぞれ二点鎖線及び一点鎖線で図示している。さらに、図４（ｂ）〜（ｄ）においては、それぞれ、後述する下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５にハッチングを付している。また、図６においては、流路ユニット３１の圧力室１０よりも下の部分の図示を省略している。
【００５１】
図２〜図６に示すように、インクジェットヘッド３は、流路ユニット３１と圧電アクチュエータ３２とを備えている。流路ユニット３１は、その面方向が走査方向（第１方向）及び紙送り方向（第２方向）と平行な、複数のプレート２１〜２７が互いに積層されることによって、インク供給口９からインクが供給されるマニホールド流路１１、及び、マニホールド流路１１の出口からアパーチャ流路１２を経て圧力室１０に至り、さらに、圧力室１０からディセンダ流路１４を経てノズル１５に至る複数の個別インク流路を有するインク流路（液体移送流路）が形成されている。そして、後述するように、圧電アクチュエータ３２により、圧力室１０内のインクに圧力が付与されると、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。
【００５２】
複数の圧力室１０は、走査方向（図３の左右方向）を長手方向とする略楕円の平面形状を有しており、紙送り方向（図３の上下方向）に沿って配列されて１つの圧力室列８を構成しており、このような圧力室列８が、走査方向に２列に配列されることによって１つの圧力室群７を構成している。さらに、このような圧力室群７が走査方向に沿って５つ配列されている。ここで、１つの圧力室群７に含まれる２列の圧力室列８を構成する圧力室１０同士は、紙送り方向に関して互いにずれて配置されている。また、複数のノズル１５も、複数の圧力室１０と同様に配置されている。
【００５３】
そして、これら５つの圧力室群７のうち、図３の右側の２つを構成する圧力室１０に対応するノズル１５からはブラックのインクが吐出され、図３の左側の３つを構成する圧力室１０に対応するノズル１５からは、図３の右側に配列されているものから順に、イエロー、シアン、マゼンタのインクが吐出される。なお、インク流路の他の部分の構成については、従来のものと同様であるので、ここでは、その詳細な説明を省略する。
【００５４】
圧電アクチュエータ３２は、振動板４０及び下部圧電層４１、上部圧電層４２、下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５を備えている。振動板４０は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、複数の圧力室１０を覆うように、流路ユニット３１の上面に配置されている。また、振動板４０の厚みは２０μｍ程度となっている。なお、振動板４０の材料は、圧電材料には限られない。
【００５５】
下部圧電層４１及び上部圧電層４２は、振動板４０と同様の圧電材料からなり、互いに積層されて振動板４０の上面に配置されている。また、下部圧電層４１及び上部圧電層４２の厚みは均一であり、それぞれ２０μｍ程度となっている。なお、第１実施形態においては、上部圧電層４２が本発明に係る圧電層（圧電材料を含む層）に相当する。
【００５６】
下部電極４３は、振動板４０と下部圧電層４１との間に配置されており、各圧力室群７に対応して、各圧力室群７を構成する２列の圧力室列８に沿って紙送り方向に延びており、これら２列の圧力室列８を構成する複数の圧力室１０と対向している。また、図示しないが、上記紙送り方向に延びた部分同士は互いに接続されている。また、下部電極４３は、圧電アクチュエータ３２の上方に配置されたフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）５０を介してドライバＩＣ５１に接続されており、ドライバＩＣ５１により常にグランド電位に保持されている。
【００５７】
複数の上部電極４５（第１駆動電極）は、上部圧電層４２の上面（圧電層の一表面）に、複数の圧力室１０に対応して、複数の圧力室１０のほぼ全域と対向するように配置されており、略矩形の平面形状を有している。すなわち、複数の上部電極４５は、各圧力室列８に対応して紙送り方向に配列されており（第１駆動電極列を形成しており）、このような上部電極４５の列（第１駆動電極列）が、各圧力室群７に対応して、走査方向に２列ずつ配列されている。
【００５８】
また、上部電極４５は、走査方向に関するノズル１５と反対側の端における一部分が、走査方向に圧力室１０と対向しない部分まで延びており、この部分がＦＰＣ５０に接続される接続端子４６となっている。また、上部電極４５は、ＦＰＣ５０を介してドライバＩＣ５１に接続されており、グランド電位と上記所定の電位（例えば、２０Ｖ）との間でその電位が切り替えられる。
【００５９】
中間電極４４（第２駆動電極）は、下部圧電層４１と上部圧電層４２との間（圧電層の一表面と反対側の面）に配置されている。中間電極４４は、圧力室群７毎に、それぞれ、複数の対向部４４ａ、４４ｂ及び接続部４４ｃ、４４ｄを有している。
【００６０】
複数の対向部４４ａ、４４ｂは、紙送り方向に関する長さが上部電極４５よりも短い（紙送り方向に関して上部電極４５が配置されている範囲内に収まる）略矩形の平面形状を有しており、それぞれ、図中左側の圧力室列８を構成する複数の圧力室１０（以下、圧力室１０ａとする）、及び、図中右側の圧力室列８を構成する複数の圧力室１０（以下、圧力室１０ｂとする）の紙送り方向に関する略中央部と対向するように配置されている。すなわち、複数の対向部４４ａ、４４ｂは、複数の上部電極４５と対向するように配置されることによって、上部電極４５の列（第１駆動電極列）に対応して配列された２列の対向部列を形成している。
【００６１】
接続部４４ｃは、複数の対向部４４ａ（２列の対向部列の一方に対応する対向部）の左側の部分において紙送り方向に延びており、複数の対向部４４ａの左側（２列の対向部列の外側）の端部同士を接続している。接続部４４ｄは、複数の対向部４４ｂの右側の部分において紙送り方向に延びており、複数の対向部４４ｂ（２列の対向部列の他方に対応する対向部）の右側（２列の対向部列の外側）の端部同士を接続している。
【００６２】
また、中間電極４４は、ＦＰＣ５０を介してドライバＩＣ５１に接続されており、ドライバＩＣ５１により、常に所定の電位（例えば、２０Ｖ程度）に保持されている。
【００６３】
そして、このように下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５が配置されることにより、上部圧電層４２の圧力室１０の略中央部と対向する部分が上部電極４５と中間電極４４とに挟まれることとなり、この部分（第１活性部Ｒ１）は、中間電極４４から上部電極４５に向かって上向きに分極されている。
【００６４】
さらに、上部圧電層４２及び下部圧電層４１の圧力室１０と対向する部分が、上部電極４５と下部電極４３とに挟まれることとなり、そして、この部分のうち、中間電極４４と対向する部分を除いた部分（第２活性部Ｒ２）が、上部電極４５から下部電極４３に向かって下向きに分極されている。
【００６５】
なお、下部圧電層４１のうち、中間電極４４と下部電極４３とに挟まれた部分は、中間電極４４から下部電極４３に向かって下向きに分極されている。
【００６６】
ここで、圧電アクチュエータ３２の動作について説明する。圧電アクチュエータ３２がインクを吐出させる動作を行う前の待機状態においては、前述したように、下部電極４３及び中間電極４４が、それぞれ、常にグランド電位及び上記所定の電位（例えば、２０Ｖ）に保持されているとともに、上部電極４５の電位が予めグランド電位に保持されている。この状態では、上部電極４５が中間電極４４よりも低電位になっているとともに、下部電極４３と同電位となっている。
【００６７】
これにより、上部電極４５と中間電極４４との間の電位差が生じ、第１活性部Ｒ１にはその分極方向と同じ上向きの電界が発生する。これにより、第１活性部Ｒ１がこの電界と直交する水平方向に収縮する。これによりいわゆるユニモルフ変形が生じ、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形する。この状態では、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０が変形していない場合と比較して、圧力室１０の容積が小さくなっている。
【００６８】
そして、インクを吐出させるべく圧電アクチュエータ３２を駆動させる際には、上部電極４５の電位を、一旦、上記所定の電位に切り替えた後、グランド電位に戻す。上部電極４５の電位を上記所定の電位に切り替えると、上部電極４５が中間電極４４と同電位となるとともに、下部電極４３よりも高電位となる。これにより、第１活性部Ｒ１の上記収縮が元に戻る。そしてこれと同時に、上部電極４５と下部電極４３との間に電位差が生じ、第２活性部Ｒ２にはその分極方向と同じ下向きの電界が発生し、第２活性部Ｒ２が水平方向に収縮する。これにより上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０が全体として、圧力室１０と反対側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積が増加する。
【００６９】
この後、上部電極４５の電位をグランド電位に戻すと、前述したのと同様、上部圧電層４２、下部圧電層４１及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形し、圧力室１０の容積が小さくなる。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し（圧力室１０内のインクに圧力が付与され）、圧力室１０に連通するノズルからインクが吐出される。
【００７０】
また、上述したようにして圧電アクチュエータ３２を駆動させる場合、上部電極４５の電位をグランド電位から所定の電位に切り替えたときには、第１活性部Ｒ１が収縮した状態から収縮前の状態に伸長すると同時に、第２活性部Ｒ２が収縮するため、第１活性部Ｒ１の伸長が第２活性部Ｒ２の収縮に一部吸収される。一方、上部電極４５の電位を所定の電位からグランド電位に戻したときには、第１活性部Ｒ１が収縮するとともに、第２活性部Ｒ２が収縮前の状態まで伸長するため、第１活性部Ｒ１の収縮が第２活性部Ｒ２の伸長によって一部吸収される。
【００７１】
以上のことから、下部圧電層４１及び上部圧電層４２の圧力室１０と対向する部分の変形が、他の圧力室１０と対向する部分に伝達して当該他の圧力室１０に連通するノズル１５からのインクの吐出特性が変動してしまう、いわゆるクロストークが抑制される。
【００７２】
なお、上述した待機状態及び圧電アクチュエータ３２が駆動されている間においては、下部圧電層４１の中間電極４４と下部電極４３との間の部分には常に電位差が生じており、下部圧電層４１のこの部分には、その分極方向と同じ方向の電界が発生している。これにより、下部圧電層４１のこの部分は常に収縮した状態となっている。
【００７３】
次に、圧電アクチュエータ３２において、上部電極４５と中間電極４４との間の位置ズレを検出する方法について説明する。図７は、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じることによって生じる変化を示した図であり、（ａ）は位置ズレが生じていない状態、（ｂ）は上部電極４５が中間電極４４に対して図中右方に位置ズレした状態を示している。なお、図７においては、上部電極４５と中間電極４４とが対向している部分にハッチングを付している。
【００７４】
上述した圧電アクチュエータ３２は、振動板４０、下部圧電層４１、上部圧電層４２、下部電極４３、中間電極４４及び上部電極４５が互いに積層されることによって製造されるが、このとき、下部圧電層４１の上面における中間電極４４の位置及び上部圧電層４２の上面における上部電極４５の位置の少なくともいずれか一方に位置ズレが生じていると、中間電極４４と上部電極４５との間に位置ズレが生じてしまう。あるいは、下部圧電層４１の上面における中間電極４４の位置及び上部圧電層４２の上面における上部電極４５の位置に位置ズレが生じていなくても、下部圧電層４１と上部圧電層４２とを積層させる際に両者の間に位置ズレが生じた場合にも、中間電極４４と上部電極４５との間に位置ズレが生じてしまう。そして、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じてしまうと、上述したように、圧電アクチュエータ３２を駆動させたときのノズル１５からのインクの吐出特性が変動してしまう虞がある。
【００７５】
ここで、第１実施形態では、図７（ａ）に示すように、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていない場合には、上部電極４５ａと中間電極４４との対向面積と、上部電極４５ｂと中間電極４４との対向面積とはほぼ同じであり、上部電極４５ａと中間電極４４との間の静電容量と、上部電極４５ｂと中間電極４４との間の静電容量とがほぼ同じとなっている。このため、これら２つの静電容量の差（第１基準差分）はほぼ０となっている。
【００７６】
そして、図７（ｂ）に示すように、上部電極４５が中間電極４４に対して、図７の右方に位置ズレすると、複数の圧力室１０ａに対応する複数の上部電極４５（以下、上部電極４５ａとする）の左端部における接続部４４ｃとの対向面積が減少するとともに、右端部において対向部４４ａと対向しなくなることにより、上部電極４５ａと中間電極４４との対向面積が減少する。一方、複数の圧力室１０ｂに対応する複数の上部電極４５（以下、上部電極４５ｂとする）の右端部における接続部４４ｄとの対向面積が増加することにより、上部電極４５ｂと中間電極４４との対向面積が増加する。
【００７７】
これにより、上部電極４５ａと中間電極４４との間の静電容量は、位置ズレが生じていない状態と比較して小さくなり、上部電極４５ｂと中間電極４４との間の静電容量は、位置ズレが生じていない状態と比較して大きくなる。したがって、上記２つの静電容量の間の差（第１検出差分）が変化する。
【００７８】
また、上部電極４５が中間電極４４に対して図中左方に位置ズレした場合には、上述したのとは逆に、上部電極４５ａと中間電極４４との対向面積が増加するとともに、上部電極４５ｂと中間電極４４との対向面積が減少する。すなわち、上部電極４５ａと中間電極４４との間の静電容量が減少するとともに、上部電極４５ｂと中間電極４４との間の静電容量が増加する。
【００７９】
また、上部電極４５と中間電極４４との間には、上述した走査方向の位置ズレ以外に紙送り方向の位置ズレも生じている可能性があるが、第１実施形態においては、上部電極４５の紙送り方向の両端部が、ともに対応する対向部４４ａ、４４ｂよりも外側にはみ出しているため、上部電極４５が中間電極４４に対して紙送り方向に位置ズレしても、対向部４４ａ、４４ｂと上部電極４５の上端部及び下端部の一方との対向面積が増加するとともに、他方との対向面積が同じだけ減少することとなり、全体としては、上部電極４５と中間電極４４との対向面積は変化しない。
【００８０】
以上のことから、上記２つの静電容量の差（第１検出差分）の絶対値が所定値よりも大きいか否かによって（第１検出差分を第１基準差分と比較することによって）上部電極４５が中間電極４４に対して図７の走査方向に位置ズレしているか否かを正確に検出することができる。さらに、上記第１検出差分の値（第１検出差分と第１基準差分との差分値）に基づいて、上部電極４５と中間電極４４との間の走査方向の位置ズレ量を算出することもできる。より詳細には、第１検出差分の正負から位置ズレの方向を検出し、第１検出差分の絶対値から位置ズレの大きさを算出することができる。このとき、前述したように、第１基準差分の値がほぼ０であるので、第２基準差分の値を別途記憶しておく必要がない。
【００８１】
なお、第１実施形態においては、上部電極４５ａと上部電極４５ｂとの組が、それぞれ本発明に係る第１電極対に相当し（複数の第１駆動電極のうちの２つが第１電極対を兼ねており）、中間電極４４が本発明に係る第１対向電極に相当する（第２駆動電極が第１対向電極を兼ねている）。
【００８２】
図８は、圧電アクチュエータ３２における上部電極４５と中間電極４４との間の位置ズレを検出する過程を示すフローチャートである。
【００８３】
図８に示すように、上部電極４５と中間電極４４との間の位置ズレを検出するためには、まず、製造された圧電アクチュエータ３２における、上部電極４５ａ及び上部電極４５ｂと、中間電極４４との間の静電容量を検出する（ステップＳ１０１、以下、単にＳ１０１などとする）（静電容量検出工程）。
【００８４】
次に、検出した静電容量から、上部電極４５ａと中間電極４４との間の静電容量と、上部電極４５ｂと中間電極４４との間の静電容量との差である上記第１検出差分を算出し（Ｓ１０２）、算出した第１検出差分の絶対値が所定値よりも大きいか否かを判断する（Ｓ１０３、位置ズレ判定工程）。算出した第１検出差分の絶対値が所定値よりも大きい場合には（Ｓ１０３：ＹＥＳ）、上部電極４５が中間電極４４に対して所定量よりも大きく位置ズレしているため、圧電アクチュエータ３２を不良品であると判定し（Ｓ１０４）、動作を終了する。不良品であると判定された圧電アクチュエータ３２は、その後、廃棄される。
【００８５】
一方、算出した第１検出差分の絶対値が所定値以下である場合には（Ｓ１０３：ＮＯ）、第１検出差分の値から、上部電極４５の中間電極４４に対する位置ズレ量を算出する（Ｓ１０５、位置ズレ量算出工程）。次に、その位置ズレ量に応じて圧電アクチュエータ３２における駆動電圧を決定し（Ｓ１０６）、動作を終了する。この後、圧電アクチュエータ３２は、製造の次の工程に移行される。
【００８６】
以上に説明した第１実施形態によると、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じると、上部電極４５ａと中間電極４４との対向面積、及び、上部電極４５ｂと中間電極４４との対向面積が変化して第１検出差分が変化する。また、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていない状態では、上部電極４５ａと中間電極４４との対向面積と、上部電極４５ｂと中間電極４４との対向面積とがほぼ同じとなっており、第１基準差分がほぼ０となっている。
【００８７】
したがって、第１基準差分を記憶しておくことなく、第１検出差分の絶対値が所定値以上であるか否かによって、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じているか否かを容易に検出することができる。また、第１検出差分の値に基づいて、上部電極４５と中間電極４４との間の走査方向の位置ズレ量を算出することも可能であり、これにより、圧電アクチュエータ３２における駆動電圧を決定することができる。
【００８８】
また、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じたときには、上部電極４５ａと中間電極４４との対向面積、及び、上部電極４５ｂと中間電極４４との対向面積のうち、一方が増加して他方が減少する。したがって、これらの差である第１検出差分が大きくなり、上部電極４５と中間電極４４との間の位置ズレを精度よく検出することができる。
【００８９】
また、圧電アクチュエータ３２を駆動するための上部電極４５及び中間電極４４が、それぞれ、上部電極４５と中間電極４４との間の走査方向の位置ズレを検出するための電極を兼ねているため、上部電極４５と中間電極４４との間の走査方向の位置ズレを検出するために、別途電極を設ける必要がなく、圧電アクチュエータ３２の構成が簡単なものとなる。
【００９０】
次に、第１実施形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本発明と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００９１】
第１実施形態では、上記第１検出差分が所定値以下の場合に、第１検出差分の値から上部電極４５と中間電極４４との間の走査方向の位置ズレ量を算出し、その位置ズレ量に応じて圧電アクチュエータ３２の駆動電圧を決定したが、図９に示すように、第１検出差分が所定値以下のときに（Ｓ１０３：ＮＯ）、圧電アクチュエータ３２を不良品ではないと判定して（Ｓ１１１）もよい（変形例１）。この場合にも、圧電アクチュエータ３２は、この後、製造の次の工程に移行される。
【００９２】
また、圧電アクチュエータの構成は、第１実施形態のものには限られない。一変形例では、図１０（ａ）〜（ｄ）に示すように、下部電極１４３及び中間電極１４４の配置が、上記第１実施形態の下部電極４３及び中間電極４４（図４参照）と異なっている。より詳細には、下部電極１４３が、各圧力室列８に対応して、圧力室列８を構成する複数の圧力室１０と対向するように紙送り方向（図９の上下方向）に延びている。中間電極１４４は、対向部１４４ａ、１４４ｂ及び接続部１４４ｃ、１４４ｄ、１４４ｅを備えている。
【００９３】
対向部１４４ａ、１４４ｂは、対向部４４ａ、４４ｂ（図４参照）と同様、それぞれ、複数の圧力室１０ａ、及び、複数の圧力室１０ｂの紙送り方向に関する略中央部と対向するように配置されている。すなわち、複数の対向部１４４ａ、１４４ｂは、複数の上部電極４５と対向するように配置されることによって、上部電極４５の列（第１駆動電極列）に対応して配列された２列の対向部列を形成している。
【００９４】
接続部１４４ｃは、複数の対向部１４４ａの図１０左側において紙送り方向に延びており、複数の対向部１４４ａの図１０左側（２列の対向部列の外側）の端部同士を接続している。接続部１４４ｄは、複数の対向部１４４ｂの図１０における右側において紙送り方向に延びており、複数の対向部１４４ｂの図１０右側（２列の対向部列の外側）の端部同士を接続している。
【００９５】
接続部１４４ｅ（第３接続部）は、複数の対向部１４４ａと複数の対向部１４４ｂとの間において紙送り方向に延びており、対向部１４４ａの図１０右側の端部同士、及び、対向部１４４ｂの図１０左側の端部同士（２列の対向部列の内側の端部同士）を接続している。
【００９６】
また、対向部１４４ａ、１４４ｂは、紙送り方向に関して、上部電極４５が配置されている範囲内に収まっているとともに、走査方向の両端部が上部電極４５よりも外側にはみ出している。そして、走査方向に関して、複数の対向部１４４ａの図中左側にはみ出した部分の長さ、及び、複数の対向部１４４ｂの図中右側にはみ出した部分の長さ（図１０の長さｄ１、複数の対向部１４４ａ、１４４ｂにおける、２列の対向部列の外側にはみ出した部分の長さ）が、複数の対向部１４４ａの図中右側にはみ出した部分の長さ、及び、複数の対向部１４４ｂの図中左側にはみ出した部分の長さ（図１０の長さｄ２、複数の対向部１４４ａ、１４４ｂにおける、２列の対向部列の内側にはみ出した部分の長さ）よりも長くなっている（長さｄ１と長さとが互いに異なっている）（変形例２）。
【００９７】
このような圧電アクチュエータにおいても、図４相当の断面は、圧電アクチュエータ３２と同様のもの（図４において、４３の符号を１４３の符号に置き換え、４４ａの符号を１４４ａの符号に置き換えたもの）となり、上記第１実施形態で説明したのと同様にして駆動される。
【００９８】
そして、この場合にも、図１１（ａ）に示すように、上部電極４５と中間電極１４４との間に位置ズレが生じていない場合には、上部電極４５ａと中間電極１４４との対向面積と、上部電極４５ｂと中間電極１４４との対向面積とはほぼ同じとなっている。すなわち、上部電極４５ａと中間電極１４４との間の静電容量と、上部電極４５ｂと中間電極１４４との間の静電容量とがほぼ同じであり、これら２つの静電容量の差（第１基準差分）がほぼ０となっている。
【００９９】
そして、図１１（ｂ）に示すように、上部電極４５が中間電極１４４に対して図中右方に位置ズレすると、複数の上部電極４５ａの右端部が、接続部１４４ｄと対向することなる。これにより、上部電極４５ａの紙送り方向に関して対向部１４４ａよりも外側の部分が接続部１４４ｄと対向する分だけ、上部電極４５ａと中間電極１４４との対向面積が増加して、上部電極４５ａと中間電極１４４との間の静電容量が増加する。一方、上部電極４５ｂは、対向部１４４ｂとのみ対向した状態のままであるので、上部電極４５ｂと中間電極１４４との対向面積は変化せず、上部電極４５ｂと中間電極１４４との間の静電容量も変化しない。これにより、上記２つの静電容量に差が生じる（第１検出差分が変化する）。
【０１００】
また、上部電極４５が中間電極１４４に対して図中左方に位置ズレした場合には、これとは逆に、上部電極４５ａと中間電極１４４との間の静電容量は変化せず、上部電極４５ｂと中間電極１４４との間の静電容量が増加する。これにより、上記２つの静電容量に、上部電極４５が中間電極１４４に対して右方に位置ズレした場合と反対の差が生じる（第１検出差分が変化する）。
【０１０１】
以上のことから、上記第１検出差分（第１検出差分と第１基準差分との差）により、第１実施形態と同様、上部電極４５と中間電極１４４との間に走査方向の位置ズレが生じているか否か、及びその位置ズレ量を検出することができる。
【０１０２】
また、変形例２においては、長さｄ１が長さｄ２よりも長くなっていたが、これとは逆に、長さｄ１が長さｄ２よりも短くなっていてもよい。この場合には、上部電極４５と中間電極１４４との間の位置ズレによる、上部電極４５ａ、４５ｂと中間電極１４４との対向面積の増減が上述したのと反対になるだけであるので、上述したのと同様にして、上部電極４５と中間電極１４４との間に走査方向の位置ズレが生じているか否か、及びその位置ズレ量を検出することができる。
【０１０３】
別の一変形例では、図１２に示すように、変形例２の構成において、対向部１４４ａにおける、平面視で上部電極４５の図中右側にはみ出した部分から接続部１４４ｅまで延びた、紙送り方向を長手方向とする略矩形の平面形状を有する抜きパターン１４４ｆが形成されているとともに、対向部１４４ｂにおける、平面視で上部電極４５の図中左側にはみ出した部分から接続部１４４ｅまで延びた、紙送り方向を長手方向とする略矩形の平面形状を有する抜きパターン１４４ｇが形成されている。すなわち、対向部１４４ａ、１４４ｂにおける、上記２列の対向部列の内側にはみ出した部分に抜きパターン１４４ｆ、１４４ｇが形成されている（変形例３）。
【０１０４】
また、変形例３においても、図１３（ａ）に示すように、上部電極４５と中間電極１４４との間に位置ズレが生じていない場合には、上部電極４５ａと中間電極１４４との対向面積と、上部電極４５ｂと中間電極１４４との対向面積とはほぼ同じであり、上部電極４５ａと中間電極１４４との間の静電容量と、上部電極４５ｂと中間電極１４４との間の静電容量とがほぼ同じとなっている。したがって、これら２つの静電容量の差（第１基準差分）はほぼ０となっている。
【０１０５】
上述の変形例２では、上部電極４５ａの中間電極１４４に対する走査方向の位置ズレが接続部１４４ｅと対向する位置まで達しない程度の小さなものである場合には、上部電極４５ａと中間電極１４４との対向面積、及び、上部電極４５ｂと中間電極１４４との対向面積がともに変化しないため、上部電極４５と中間電極１４４との間の位置ズレを検出することができない。
【０１０６】
しかしながら、変形例３では、中間電極１４４に抜きパターン１４４ｆ、１４４ｇが形成されているため、図１３（ｂ）に示すように、上部電極４５が図中右側に位置ズレすると、上部電極４５ａの右端部が抜きパターン１４４ｆと対向するため、抜きパターン１４４ｆと対向している分だけ上部電極４５ａと中間電極１４４との対向面積が減少し、これにより、上部電極４５ａと中間電極１４４との間の静電容量が減少する。一方、上部電極４５ｂは、対向部１４４ｂとのみ対向した状態のままであるので、上部電極４５ｂと中間電極１４４との対向面積は変化せず、上部電極４５ｂと中間電極１４４との間の静電容量も変化しない。したがって、上記２つの静電容量に差が生じる（第１検出差分が変化する）。
【０１０７】
また、上部電極４５が図中左方に位置ズレした場合には、これとは逆であり、上部電極４５ｂの左端部が抜きパターン１４４ｇと対向するため、抜きパターン１４４ｇと対向している分だけ、上部電極４５ｂと中間電極１４４との対向面積が減少し、これによって、上部電極４５ｂと中間電極１４４との間の静電容量が減少する。一方、上部電極４５ａと中間電極１４４との間の静電容量は変化しない。したがって、上記２つの静電容量に、上部電極４５が中間電極１４４に対して右方に位置ズレした場合とは反対の差が生じる（第１検出差分が変化する）。
【０１０８】
以上のことから、上記第１検出差分（第１検出差分と第１基準差分との差）により、第１実施形態と同様、上部電極４５と中間電極１４４との間に走査方向の位置ズレが生じているか否か、及びその位置ズレ量を検出することができる。
【０１０９】
なお、変形例３では、上部電極４５ａ、４５ｂが接続部１４４ｅと対向する位置まできた場合には、上部電極４５ａ、４５ｂと中間電極１４４との対向面積は、接続部１４４ｅと対向している部分のうち、抜きパターン１４４ｆ、１４４ｇと対向している分だけ減少するとともに、抜きパターン１４４ｆ、１４４ｇが形成されていない部分と対向している分だけ増加し、全体としてはこれらの差の分だけ上部電極４５ａ、４５ｂと中間電極１４４との対向面積が変化する（両者が同じ場合には変化しない）。
【０１１０】
一方、変形例３において、上部電極４５ａ、４５ｂが接続部１４４ｅと対向する位置まで位置ズレした場合にも、上述したのと同様にして、上部電極４５と対向部１４４との位置ズレを検出すること可能とするためには、上部電極４５ａ、４５ｂが接続部１４４ｅと対向する位置まで位置ズレしても、接続部１４４ｅと対向した上部電極４５（上部電極４５ａ、４５ｂのいずれか）と中間電極１４４との対向面積が減少し続ける必要がある。
【０１１１】
このため、変形例３において上部電極４５ａ、４５ｂが接続部１４４ｅと対向する位置まで位置ズレするような大きな位置ズレも検出しようとする場合には、上部電極４５と接続部１４４ｅとが対向したときの、上部電極４５と抜きパターン１４４ｆ、１４４ｇとの対向面積が、上部電極４５と接続部１４４ｅにおける抜きパターン１４４ｆ、１４４ｇが形成されていない部分との対向面積よりも大きくなるように抜きパターン１４４ｆ、１４４ｇを形成する必要がある。
【０１１２】
なお、変形例３では、変形例２と同様、長さｄ１（図１０参照）が長さｄ２（図１０参照）よりも長くなっていたが、これとは逆に、長さｄ１が長さｄ２よりも短くてもよく、あるいは、長さｄ１と長さｄ２とが同じであってもよい。
【０１１３】
また、変形例３においては、対向部１４４ａの上部電極４５よりも図中右側にはみ出した部分、及び、対向部１４４ｂの上部電極４５よりも図中左側にはみ出した部分に、それぞれ抜きパターン１４４ｆ、１４４ｇが形成されていたが、これには限られず、図１４に示すように、接点１４６が上部電極４５ａの図中右側及び上部電極４５ｂの図中左側に配置されており、抜きパターン１４４ｆ、１４４ｇの代わりに、対向部１４４ａの上部電極４５よりも図中左側にはみ出した部分、及び、対向部１４４ｂの上部電極４５よりも図中右側にはみ出した部分に、それぞれ抜きパターン１４４ｈ、１４４ｉが形成されていてもよい（変形例４）。すなわち、対向部１４４ａ、１４４ｂにおける、上記２列の対向部列の外側にはみ出した部分に抜きパターン１４４ｈ、１４４ｉが形成されていてもよい。
【０１１４】
この場合でも、上部電極４５と中間電極１４４との間に走査方向の位置ズレが生じたときの、上部電極４５ａ、４５ｂと中間電極１４４との対向面積の増減が、変形例３の場合と反対になるだけであるので、変形例３と同様にして、上部電極４５と中間電極１４４との間に走査方向の位置ズレが生じているか否か、及び、その位置ズレ量を検出することができる。
【０１１５】
また、変形例３、４においては、複数の対向部１４４ａ同士、及び、複数の対向部１４４ｂ同士を接続するための接続部１４４ｄ〜１４４ｆが設けられていたが、接続部１４４ｄ〜１４４ｆは設けられていなくてもよい。なお、この場合には、圧電アクチュエータを駆動させる際に、ドライバＩＣ５１により複数の対向部１４４ａ、１４４ｂが個別に所定の電位に保持される。
【０１１６】
また、以上では、圧電アクチュエータが、振動板４０の上面に下部圧電層４１と上部圧電層４２とが互いに積層されたものであったが、これには限られない。別の一変形例では、図１５に示すように、振動板４０の上面に圧電層１５１が一層のみ配置されている。そして、圧電層１５１の下面に上述の中間電極４４と同様の形状を有する電極１５２が配置されており、圧電層１５１の上面に、上述の上部電極４５と同様の形状を有する複数の電極１５３が配置されている。また電極１５２と複数の電極１５３は、中間電極４４と複数の上部電極４５と同様の位置関係となっている（変形例５）。
【０１１７】
この場合には、電極１５２と電極１５３との間に駆動電圧を印加すると、圧電層１５１のこれらの電極に挟まれた部分が収縮し、圧電層１５１及び振動板４０の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０側に凸となるように変形する。これにより、圧力室１０の容積が低下し、圧力室１０内のインクの圧力が上昇することによって、ノズル１５からインクが吐出される。
【０１１８】
そして、この場合でも、第１実施形態の場合と同様にして、電極１５２と複数の電極１５３との間の走査方向の位置ズレを検出することができる。なお、この場合には、電極１５２が本発明に係る第１対向電極と第２駆動電極とを兼ねるものであり、複数の電極１５３が本発明に係る第１駆動電極に相当するとともに、これらのうち、複数の圧力室１０ａに対応するものと、複数の圧力室１０ｂに対応するものとの組が、本発明に係る第１電極対に相当する。
【０１１９】
また、変形例５においては、電極１５２の代わりに、上述の中間電極１４４と同様の電極が配置されていてもよい。さらには、変形例５の場合、紙送り方向に関して、電極１５２が、電極１５３が配置されている範囲内に収まっていることには限られず、これとは逆に、紙送り方向に関して、電極１５２が、電極１５２よりも外側にはみ出していてもよい。
【０１２０】
（第２実施形態）
次に、本発明に係る第２実施形態について説明する。ただし、第２実施形態については、第１実施形態と異なっている部分についてのみ説明する。
【０１２１】
第２実施形態においては、図１６に示すように、第１実施形態と同様の構成に加えて、下部圧電層４１と上部圧電層４２との間に、中間電極４４とは別に、中間電極４４と所定の位置関係にある電極２１１が配置されているとともに、上部圧電層４２の上面に、複数の上部電極４５とは別に、上部電極４５と所定の位置関係にある４つの電極２１２ａ〜２１２ｄが配置されている。
【０１２２】
電極２１１は、平面視で走査方向（図１６の左右方向）に延びた第１延在部２１１ａと、紙送り方向（図１６の上下方向）に延びた第２延在部２１１ｂとが互いに重なって一体となった、略十字形状となっている。電極２１２ａ、２１２ｂは、それぞれ、第１延在部２１１ａの左右端部と対向しているとともに、走査方向に関して第１延在部２１１ａよりも外側にはみ出している。また、電極２１２ａ、２１２ｂは、紙送り方向に関する両端部がともに第１延在部２１１ａよりも外側まではみ出している。さらに、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていない状態では、図１６（ａ）に示すように、電極２１２ａと電極２１１との対向面積と、電極２１２ｂと電極２１１との対向面積とがほぼ同じとなっている。すなわち、電極２１２ａと電極２１１との間の静電容量と、電極２１２ｂと電極２１１との間の静電容量との差（第１基準差分）がほぼ０となっている。
【０１２３】
電極２１２ｃ、２１２ｄは、それぞれ、第２延在部２１１ｂの上端部及び下端部と対向しているとともに、紙送り方向に関して、第２延在部２１１ｂよりも外側にはみ出している。また、電極２１２ｃ、２１２ｄは、走査方向に関する両端部がともに第２延在部２１１ｂよりも外側まで延びている。さらに、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていない状態では、図１６（ａ）に示すように、電極２１２ｃと電極２１１との対向面積と、電極２１２ｄと電極２１１との対向面積とがほぼ同じとなっており、電極２１２ｃと電極２１１との間の静電容量と、電極２１２ｄと電極２１１との間の静電容量との差（第２基準差分）がほぼ０となっている。
【０１２４】
この場合には、図１６（ｂ）に示すように、上部電極４５が中間電極４４に対して図中右方に位置ズレすると、電極２１２ａと電極２１１との対向面積が増加して、これらの電極間の静電容量が増加するとともに、電極２１２ｂと電極２１１との対向面積が減少して、これらの電極間の静電容量が減少する。これにより、上記２つの静電容量の差（第１検出差分）が変化する。
【０１２５】
また、上部電極４５が中間電極４４に対して図中左方に位置ズレした場合には、上述したのとは逆に、電極２１２ａと電極２１１との対向面積が減少して、これらの電極間の静電容量が減少するとともに、電極２１２ｂと電極２１１との対向面積が増加して、これらの電極間の静電容量が増加する。これにより、上記２つの静電容量の差（第１検出差分）が、上部電極４５が中間電極４４に対して右方に位置ズレした場合とは逆に変化する。
【０１２６】
一方、前述したように、電極２１２ａ、２２１ｂは、紙送り方向に関してともに第１延在部２１１ａよりも外側にはみ出しているため、電極２１２ａ、２１２ｂが第１延在部２１１ａに対して紙送り方向に位置ズレしても、これらの対向面積は変化しない。
【０１２７】
したがって、上記第１検出差分の絶対値が所定値よりも大きいか否かによって（第１検出差分を第１基準差分と比較することによって）上部電極４５が中間電極４４に対して走査方向に位置ズレしているか否かを正確に検出することができる。さらに、上記第１検出差分の値（第１検出差分と第１基準差分との差分値）に基づいて、上部電極４５と中間電極４４との間の走査方向の位置ズレ量を算出することもできる。より詳細には、第１検出差分の正負から位置ズレの方向を検出し、第１検出差分の絶対値から位置ズレの大きさを検出する。このとき、前述したように第１基準差分の値が０であるので、第１基準差分の値を別途記憶しておく必要がない。
【０１２８】
さらに、図１６（ｃ）に示すように、上部電極４５が中間電極４４に対して図中上方に位置ズレすると、電極２１２ｃと電極２１１との対向面積が減少して、これらの電極間の静電容量が減少するとともに、電極２１２ｄと電極２１１との対向面積が増加して、これらの電極間の静電容量が増加する。これにより、上記２つの静電容量の差（第２検出差分）が変化する。
【０１２９】
また、上部電極４５が中間電極４４に対して図中下方に位置ズレした場合には、上述したのとは逆に、電極２１２ｃと電極２１１との対向面積が増加して、これらの電極間の静電容量が増加するとともに、電極２１２ｄと電極２１１との対向面積が減少して、これらの電極間の静電容量が減少する。これにより、上記２つの静電容量の差（第２検出差分）が、上部電極４５が中間電極４４に対して上方に変化した場合とは反対に変化する。
【０１３０】
一方、前述したように、電極２１２ｃ、２２１ｄは、走査方向に関してともに第１延在部２１１ａよりも外側にはみ出しているため、電極２１２ｃ、２１２ｃが第１延在部２１１ａに対して走査方向に位置ズレしても、これらの対向面積は変化しない。
【０１３１】
したがって、上記第２検出差分の絶対値が所定値よりも大きいか否かによって（第２検出差分を第２基準差分と比較することによって）上部電極４５が中間電極４４に対して図１２の紙送り方向に位置ズレしているか否かを正確に検出することができる。さらに、上記第２検出差分の値（第２検出差分と第２基準差分との差分値）に基づいて、上部電極４５と中間電極４４との間の紙送り方向の位置ズレ量を算出することも可能である。より詳細には、第２検出差分の正負から位置ズレの方向を検出し、第２検出差分の絶対値から位置ズレの大きさを検出する。このとき、前述したように第２基準差分の値が０であるので、第２基準差分の値を別途記憶しておく必要がない。
【０１３２】
次に、第２実施形態において、上部電極４５と中間電極４４との間の位置ズレを検出する方法について説明する。図１７は、この過程を示すフローチャートである。上部電極４５と中間電極４４との間の位置ズレを検出するためには、図１７に示すように、製造された圧電アクチュエータにおいて、電極２１１と電極２１２ａ〜２１２ｄとの間の静電容量を、それぞれ検出し（Ｓ２０１）（静電容量検出工程）、検出した静電容量から、上記第１検出差分及び上記第２検出差分を算出する（Ｓ２０２）。
【０１３３】
次に、算出した第１検出差分の絶対値が所定値よりも大きいか否かを判断し（Ｓ２０３）、さらに、算出した第２検出差分の絶対値が所定値よりも大きいか否かを判断する（Ｓ２０４）、なお、これらＳ２０３及びＳ２０４の工程をあわせたものが、本発明に係る位置ズレ判定工程に相当する。
【０１３４】
そして、算出した第１検出差分の絶対値が所定値よりも大きい場合（Ｓ２０３：ＹＥＳ）、あるいは、算出した第２検出差分の絶対値が所定値よりも大きい場合（Ｓ２０４：ＹＥＳ）、その圧電アクチュエータにおいて、上部電極４５と中間電極４４との間に、走査方向あるいは紙送り方向に所定量よりも大きな位置ズレが生じているため、圧電アクチュエータを不良品であると判定し（Ｓ２０５）、動作を終了する。この場合も、第１実施形態と同様、不良品であると判定された圧電アクチュエータはその後廃棄される。
【０１３５】
一方、算出した第１検出差分の絶対値が所定値以下であり（Ｓ２０３：ＮＯ）、さらに、算出した第２検出差分の絶対値が所定値以下である場合（Ｓ２０４：ＮＯ）には、算出した第１検出差分及び第２検出差分から、それぞれ、上部電極４５と中間電極４４との間の走査方向及び紙送り方向の位置ズレ量を算出し（Ｓ２０６、位置ズレ量算出工程）、この位置ズレ量に応じて、圧電アクチュエータの駆動電圧を決定する（Ｓ２０７）。この後、圧電アクチュエータは製造の次の工程に移行される。
【０１３６】
以上に説明した、第２実施形態によると、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じると、電極２１２ａと電極２１１との間の静電容量、及び、電極２１２ｂと電極２１１との間の静電容量が変化するため、これら２つの静電容量の差（第１検出差分）が変化する。また、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていないときには、電極２１２ａと電極２１１との間の静電容量と、電極２１２ｂと電極２１１との間の静電容量とがほぼ同じとなっており、これら２つの静電容量の差（第１基準差分）がほぼ０となっている。
【０１３７】
したがって、別途第１基準差分の値を記憶しておくことなく、第１検出差分の値に応じて、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じているか否か、さらには、上部電極４５と中間電極４４との間の走査方向の位置ズレ量を検出することができる。
【０１３８】
また、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていない状態で、電極２１２ａ、２１２ｂが、紙送り方向の両側に第１延在部２１１ａよりも外側にはみ出ているので、上部電極４５と中間電極４４との間に紙送り方向の位置ズレが生じても、電極２１２ａと電極２１１との間の静電容量、及び、電極２１２ｂと電極２１１との間の静電容量が変化しない。したがって、上部電極４５と中間電極４４との走査方向の位置ズレを確実に検出することができる。
【０１３９】
また、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じると、電極２１２ａと電極２１１との間の静電容量、及び、電極２１２ｂと電極２１１との間の静電容量の一方が増加して、他方が減少するため、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じたときの第１検出差分の大きさが大きくなるため、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレを精度よく検出することができる。
【０１４０】
また、上部電極４５と中間電極４４との間に紙送り方向の位置ズレが生じると、電極２１２ｃと電極２１１との間の静電容量、及び、電極２１２ｄと電極２１１との間の静電容量が変化するため、これら２つの静電容量の差（第２検出差分）が変化する。また、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていないときには、電極２１２ｃと電極２１１との間の静電容量と、電極２１２ｄと電極２１１との間の静電容量とがほぼ同じとなっており、これら２つの静電容量の差（第２基準差分）がほぼ０となっている。
【０１４１】
したがって、別途第２基準差分の値を記憶しておく必要がなく、第２検出差分の値に応じて、上部電極４５と中間電極４４との間に紙送り方向の位置ズレを検出することができる。
【０１４２】
また、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていない状態で、電極２１２ｃ、２１２ｄが、走査方向の両側に、第２延在部２１１ｂよりも外側にはみ出ているので、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じても、電極２１２ｃと電極２１１との間の静電容量、及び、電極２１２ｄと電極２１１との間の静電容量が変化しない。したがって、上部電極４５と中間電極４４との紙送り方向の位置ズレを確実に検出することができる。
【０１４３】
また、上部電極４５と中間電極４４との間に紙送り方向の位置ズレが生じると、電極２１２ｃと電極２１１との間の静電容量、及び、電極２１２ｄと電極２１１との間の静電容量の一方が増加して、他方が減少するため、上部電極４５と中間電極４４との間に紙送り方向の位置ズレが生じたときの第２検出差分の大きさが大きくなり、上部電極４５と中間電極４４との間の紙送り方向の位置ズレを精度よく検出することができる。
【０１４４】
また、電極２１１が、走査方向に延びた第１延在部２１１ａと紙送り方向に延びた第２延在部２１１ｂとが一体となったものであるため、第１延在部２１１ａに相当する電極及び第２延在部２１１ｂに相当する電極とを別々に設ける必要がなく、圧電アクチュエータの構成が簡単になる。
【０１４５】
次に、上述の第２実施形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、第２実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
【０１４６】
第２実施形態では、電極２１２ａ、２１２ｂの紙送り方向に関する両端部がともに第１延在部２１１ａよりも外側にはみ出しているとともに、電極２１２ｃ、２１２ｄの走査方向に関する両端部がともに第２延在部２１１ｂよりも外側にはみ出していたが、これには限られない。一変形例では、図１８に示すように、電極２１２ａ〜２１２ｄの代わりに、それぞれ、電極２２２ａ〜２２２ｄが配置されている。電極２２２ａ、２２２ｂは、ともに紙送り方向に関して第１延在部２１１ａが配置されている範囲内に収まっており、電極２２２ｃ、２２２ｄがともに走査方向に関して、第２延在部２１１ｂが配置されている範囲内に収まっている（変形例６）。
【０１４７】
この場合でも、図１８（ｂ）、（ｃ）に示すように、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じたときの、電極２２２ａ、２２２ｂと電極２１１との対向面積の増減、及び、上部電極４５と中間電極４４との間に紙送り方向の位置ズレが生じたときの、電極２２２ｃ、２２２ｄと電極２１１との対向面積の増減は、第２実施形態と同様である。
【０１４８】
さらに、上部電極４５と中間電極４４との間に紙送り方向に位置ズレが生じても、電極２２２ａ、２２２ｂと電極２２１との対向面積が変化せず、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じても、電極２２２ｃ、２２２ｄと電極２２１との対向面積が変化しない。
【０１４９】
したがって、第２実施形態と同様にして、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じているか否かを正確に検出することができるとともに、その位置ズレ量を検出することができる。
【０１５０】
別の一変形例では、図１９（ａ）に示すように、電極２１１の代わりに、走査方向に延びた電極２３１ａ及び紙送り方向に延びた電極２３１ｂが別々に設けられており、電極２１２ａ〜２１２ｄの代わりに、電極２３２ａ〜２３２ｄが配置されている。電極２３１ａと電極２３２ａ、２３２ｂとの位置関係、及び、電極２３１ｂと電極２３２ｃ、２３２ｄとの位置関係は、それぞれ、前述した、第１延在部２１１ａと電極２１２ａ、２１２ｂとの位置関係、及び、第２延在部２１１ｂと電極２１２ｃ、２１２ｄとの位置関係と同様である（変形例７）。
【０１５１】
この場合でも、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じたときの、電極２３１ａと電極２３２ａ、２３２ｂとの対向面積の変化、及び、電極２３１ｂと電極２３２ｃ、２３２ｄとの対向面積の変化が、それぞれ、第２実施形態における、電極２１１と電極２１２ａ、２１２ｂとの対向面積の変化、及び、電極２１１と電極２１２ｃ、２１２ｄとの対向面積の変化と同様であるので、第２実施形態と同様にして、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じているか否か、及びその位置ズレ量を検出することができる。
【０１５２】
また、変形例７では、電極２３１ａ、２３１ｂ及び電極２３２ａ〜２３２ｄが設けられていたが、図１９（ｂ）に示すように、これらのうち、電極２３１ａ及び電極２３２ａ、２３２ｂのみ設けられていてもよい（変形例８）。あるいは、図１９（ｃ）に示すように、電極２３１ｂ及び電極２３２ｃ、２３２ｄのみが設けられていてもよい(変形例９)。
【０１５３】
別の一変形例では、図２０に示すように、下部圧電層４１と上部圧電層４２との間に、中間電極４４とは別に、中間電極４４と所定の位置関係にある電極２４１が配置されており、上部圧電層４２の上面に、上部電極４５とは別に、上部電極４５と所定の位置関係にある電極２４２ａ〜２４２ｄが配置されている（変形例１０）。
【０１５４】
電極２４１は略矩形の平面形状を有しており、その内部には、平面視で略矩形の抜きパターン２４１ａが形成されている。電極２４２ａは、抜きパターン２４１ａの左端部に、図中右側の略半分（電極２４２ｂ側の端を含む一部分）が抜きパターン２４１ａと対向するように配置されている。電極２４２ｂは、抜きパターン２４１ａの右端部に、図中左側の略半分（電極２４２ａ側の端を含む一部分）が抜きパターン２４１ａと対向するように配置されている。また、電極２４２ａ、２４２ｂは、走査方向に関して、電極２４１が配置されている範囲内に収まっているとともに、紙送り方向に関して、抜きパターン２４１ａが形成されている範囲内に収まっている。なお、この場合には、電極２４２ａ、２４２ｂが本発明に係る第１電極対に相当し、電極２４１の抜きパターン２４１ａが形成された部分及びその左右の部分が本発明に係る第１対向電極に相当する。
【０１５５】
電極２４２ｃは、抜きパターン２４１ａの上端部に、図中下側の略半分（電極２４２ｄ側の端を含む一部分）が抜きパターン２４１ａと対向するように配置されている。電極２４２ｄは、抜きパターン２４１ａの下端部に、図中上側の略半分（電極２４２ｃ側の端を含む一部分）が抜きパターン２４１ａと対向するように配置されている。また、電極２４２ｃ、２４２ｄは、紙送り方向に関して、電極２４１が配置されている範囲内に収まっているとともに、走査方向に関して、抜きパターン２４１ａが形成されている範囲内に収まっている。なお、この場合には、電極２４２ｃ、２４２ｄが本発明に係る第２電極対に相当し、電極２４１の抜きパターン２４１ａが形成された部分及びその上下の部分が本発明に係る第２対向電極に相当する。そして、電極２４１は、本発明に係る第１対向電極と第２対向電極とが一体となったものである。
【０１５６】
さらに、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていない状態では、電極２４２ａと電極２４１との対向面積と、電極２４２ｂと電極２４１との対向面積がほぼ同じとなっており、電極２４２ａと電極２４１との間の静電容量と、電極２４２ｂと電極２４１との間の静電容量との差（第１基準差分）がほぼ０となっている。また、電極２４２ｃと電極２４１との対向面積と、電極２４２ｄと電極２４１との対向面積がほぼ同じとなっており、電極２４２ｃと電極２４１との間の静電容量と、電極２４２ｄと電極２４１との間の静電容量との差（第２基準差分）がほぼ０となっている。
【０１５７】
この場合には、図２０（ｂ）に示すように、上部電極４５が中間電極４４に対して図中右方に位置ズレすると、電極２４２ａと電極２４１との対向面積が減少して、これらの電極間の静電容量が減少するとともに、電極２４２ｂと電極２４１との対向面積が増加して、これらの電極間の静電容量が増加する。一方、上部電極４５が中間電極４４に対して図中左方に位置ズレすると、上述したのとは逆に、電極２４２ａと電極２４１との対向面積が増加して、これらの電極間の静電容量が増加するとともに、電極２４２ｂと電極２４１との対向面積が減少して、これらの電極間の静電容量が減少する。
【０１５８】
また、電極２４２ａ、２４２ｂが、紙送り方向に関して、抜きパターン２４１ａが配置されている範囲内に収まっているため、上部電極４５が中間電極４４に対して、紙送り方向に位置ズレしても、電極２４２ａ、２４２ｂと電極２４１との対向面積は変化しない。
【０１５９】
さらに、図２０（ｃ）に示すように、上部電極４５が中間電極４４に対して図中上方に位置ズレすると、電極２４２ｃと電極２４１との対向面積が増加して、これらの電極間の静電容量が増加するとともに、電極２４２ｄと電極２４１との対向面積が減少して、これらの電極間の静電容量が減少する。一方、上部電極４５が中間電極４４に対して図中下方に位置ズレすると、上述したのとは逆に、電極２４２ｃと電極２４１との対向面積が減少して、これらの電極間の静電容量が減少するとともに、電極２４２ｄと電極２４１との対向面積が増加して、これらの電極間の静電容量が増加する。
【０１６０】
また、電極２４２ｃ、２４２ｄが、走査方向に関して、抜きパターン２４１ａが配置されている範囲内に収まっているため、上部電極４５が中間電極４４に対して、走査方向に位置ズレしても、電極２４２ｃ、２４２ｄと電極２４１との対向面積は変化しない。
【０１６１】
以上のことから、第２実施形態と同様にして、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じているか否か、及びその位置ズレ量を検出することができる。
【０１６２】
また、別の一変形例では、図２１に示すように、下部圧電層４１と上部圧電層４２との間に、電極２４１の代わりに、２つの抜きパターン２５１ａ、２５１ｂが形成された電極２５１が配置されており、上部圧電層４２の上面に、電極２４２ａ〜２４２ｄの代わりに、電極２５２ａ〜２５２ｄが配置されている（変形例１１）。
【０１６３】
抜きパターン２５１ａは、走査方向を長手方向とする略矩形の平面形状を有している。電極２５２ａは、抜きパターン２５１ａの左側の端部に、図中右側の略半分（電極２５２ｂ側の端を含む一部分）が抜きパターン２５１ａと対向するように配置されている。電極２５２ｂは、抜きパターン２５１ａの右側の端部に、図中左側の略半分（電極２５２ａ側の端を含む一部分）が抜きパターン２５１ａと対向するように配置されている。また、電極２５２ａ、２５２ｂは、走査方向に関して電極２５１が配置されている範囲内に収まっているとともに、紙送り方向に関して、抜きパターン２５１ｂが配置されている範囲内に収まっている。
【０１６４】
抜きパターン２５１ｂは紙送り方向を長手方向とする略矩形の平面形状を有している。電極２５２ｃは、抜きパターン２５１ｂの上側の端部に、図中下側の略半分（電極２５２ｄ側の端を含む一部分）が抜きパターン２５１ｂと対向するように配置されている。電極２５２ｄは、抜きパターン２５１ｂの下側の端部に、図中上側の略半分（電極２５２ｃ側の端を含む一部分）が抜きパターン２５１ｂと対向するように配置されている。また、電極２５２ｃ、２５２ｄは、紙送り方向に関して、電極２５１が配置されている範囲内に収まっているとともに、走査方向に関して、抜きパターン２５１ｂが配置されている範囲内に収まっている。
【０１６５】
なお、この場合には、電極２５２ａ、電極２５２ｂが本発明に係る第１電極対に相当し、電極２５２ｃ、２５２ｄが本発明に係る第２電極対に相当する。また、電極２５１が本発明に係る第１対向電極と第２対向電極とを兼ねるものである。
【０１６６】
この場合でも、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じたときの電極２５２ａ、２５２ｂと電極２５１との対向面積の変化、及び、上部電極４５と中間電極４４との間に紙送り方向の位置ズレが生じた時の電極２５２ｃ、２５２ｄと電極２５１との対向面積の変化は、それぞれ、変形例１０における、電極２４１と電極２４２ａ、２４２ｂとの対向面積の変化、及び、電極２４１と電極２４２ｃ、２４２ｄとの対向面積の変化と同様である。
【０１６７】
また、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていない状態では、電極２５２ａと電極２５１との対向面積と、電極２５２ｂと電極２５１との対向面積がほぼ同じとなっているとともに、電極２５２ｃと電極２５１との対向面積と、電極２５２ｄと電極２５１との対向面積がほぼ同じとなっている（第１基準差分及び第２基準差分がほぼ０となっている）。
【０１６８】
さらに、電極２５２ａ、２５２ｂが紙送り方向に関して抜きパターン２５１ａが配置されている範囲内に収まっているため、上部電極４５と中間電極４４との間に紙送り方向の位置ズレが生じても、電極２５２ａ、２５２ｂと電極２５１との対向面積が変化しない。一方、電極２５２ｃ、２５２ｄが走査方向に関して抜きパターン２５１ｂが配置されている範囲内に収まっているため、上部電極４５と中間電極４４との間に走査方向の位置ズレが生じても、電極２５２ｃ、２５２ｄと電極２５１との対向面積が変化しない。
【０１６９】
したがって、第２実施形態と同様にして、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じているか否か、及びその位置ズレ量を検出することができる。
【０１７０】
また、変形例１１においては、下部圧電層４１と上部圧電層４２との間に、抜きパターン２５１ａ、２５１ｂが形成された電極２５１が形成されているとともに、上部圧電層４２の上面に、電極２５２ａ〜２５２ｄが形成されていたが、図２１（ｂ）に示すように、電極２５１に抜きパターン２５１ｂのみが形成されており、これに対応して、上部圧電層４２の上面に電極２５２ａ、２５２ｂのみが配置されていてもよい（変形例１２）。
【０１７１】
あるいは、図２１（ｃ）のように、電極２５１に抜きパターン２５１ｂのみが形成されており、これに対応して、上部圧電層４２の上面に電極２５２ｃ、２５２ｄのみが配置されていてもよい（変形例１３）。
【０１７２】
また、変形例１１〜１３では、図２２（ａ）〜（ｃ）に示すように、電極２５２ａ、２５２ｂの代わりに、走査方向に関して、電極２５１が配置されている範囲内に収まっているとともに、紙送り方向の両側に抜きパターン２５１ａよりも外側にはみ出した電極２６２ａ、２６２ｂが配置されており、電極２５２ｃ、２５２ｄの代わりに、紙送り方向に関して、電極２５１が配置されている範囲内に収まっているとともに、走査方向の両端部が抜きパターン２５１ｂよりも外側にはみ出した電極電極２６２ｃ、２６２ｄが配置されていてもよい（変形例１４〜１６）。この場合でも、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じたときの、電極２６２ａ〜２６２ｄと電極２６１との対向面積の変化は、変形例１１〜１３と同様になる。
【０１７３】
また、第２実施形態では、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていない状態において、電極２１２ａと電極２１１との対向面積と、電極２１２ｂと電極２１１との対向面積とが同じであり、電極２１２ｃと電極２１１との対向面積と、電極２１２ｄと電極２１１との対向面積が同じであったが、これには限られない。
【０１７４】
別の一変形例では、図２３に示すように、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていない状態において、電極２１２ａと電極２１１との対向面積が、電極２１２ｂと電極２１１との対向面積よりも大きく、電極２１２ｃと電極２１１との対向面積が、電極２１２ｄと電極２１１との対向面積よりも大きくなっている（変形例１７）。
【０１７５】
この場合には、予め、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていない圧電アクチュエータにおいて、電極２１２ａ〜２１２ｄと電極２１１との間の静電容量を検出し、電極２１２ａと電極２１１との間の静電容量と、電極２１２ｂと電極２１１との間の静電容量の差（第１基準差分）、及び、電極２１２ｃと電極２１１との間の静電容量と、電極２１２ｄと電極２１１との間の静電容量の差（第２基準差分）を算出しておく。
【０１７６】
そして、製造した圧電アクチュエータにおいて、図２４のフローチャートに示すように、電極２１２ａ〜２１２ｄと電極２１１との間の静電容量を検出し（Ｓ３０１、静電容量検出工程）、検出した静電容量から第１検出差分及び第２検出差分を算出した（Ｓ３０２）後、第１検出差分と第１基準差分との差分値の絶対値が所定値よりも大きいか否かを判断し（Ｓ３０３）、さらに、第２検出差分と第２基準差分との差分値の絶対値が所定値よりも大きいか否かを判断する（Ｓ３０４）。なお、変形例１７においては、上記Ｓ３０３及びＳ３０４の工程をあわせたものが、本発明に係る位置ズレ判定工程に相当する。
【０１７７】
そして、第１検出差分と第１基準差分との差分値の絶対値が所定値よりも大きい場合（Ｓ３０３：ＹＥＳ）、あるいは、第２検出差分と第２基準差分との差分値の絶対値が所定値よりも大きい場合（Ｓ３０４：ＹＥＳ）には、上部電極４５と中間電極４４との間に所定量よりも大きな位置ズレが生じているため、圧電アクチュエータを不良品であると判定し（Ｓ３０５）、動作を終了する。不良品であると判定された圧電アクチュエータは、その後、廃棄される。
【０１７８】
一方、第１検出差分と第１基準差分との差分値の絶対値が所定値以下であり（Ｓ３０３：ＮＯ）、且つ、第２検出差分と第２基準差分との差分値の絶対値が所定値以下である場合には（Ｓ３０４：ＮＯ）、算出した第１検出差分と第１基準差分との差分値、及び、第２検出差分と第２基準差分との差分値から、上部電極４５と中間電極４４との間の走査方向及び紙送り方向の位置ズレ量を算出する（Ｓ３０６、位置ズレ量算出工程）。より詳細には、第１検出差分と第１基準差分との差分値の正負、及び、第２検出差分と第２基準差分との差分値の正負から、それぞれ、走査方向及び紙送り方向に関する位置ズレの方向を検出し、第１検出差分と第１基準差分との差分値の絶対値、及び、第２検出差分と第２基準差分との差分値の絶対値から、それぞれ、走査方向及び紙送り方向の位置ズレの大きさを算出する。
【０１７９】
次に、算出した位置ズレ量に応じて、圧電アクチュエータの駆動電圧を決定し（Ｓ３０７）、動作を終了する。この後、圧電アクチュエータは、製造の次の工程に移行される。
【０１８０】
また、変形例１７においては、上述したのとは逆に、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じていない状態において、電極２１２ａと電極２１１との対向面積が、電極２１２ｂと電極２１１との対向面積よりも小さくなっていてもよく、電極２１２ｃと電極２１１との対向面積が、電極２１２ｄと電極２１１との対向面積よりも小さくなっていてもよい。
【０１８１】
また、第２実施の形態では、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じているか否かを検出するとともに、上部電極４５と中間電極４４との位置ズレ量を算出していたが、第１実施形態の上記変形例１と同様、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じているか否かを検出してもよい。
【０１８２】
また、以上の説明では、上部電極４５と中間電極４４との間に位置ズレが生じているか否かを検出したが、これには限られない。例えば、下部圧電層４１の下面に、下部電極４３とは別に、上述した電極２１１、２３１、２４１及び２５１のいずれかと同様の電極（第１対向電極及び第２対向電極の一方あるいは両方）が配置されており、下部圧電層４１と上部圧電層４２との間に、中間電極４４とは別に、これらに対応する電極２１２ａ〜２１２ｄ、２２２ａ〜２２２ｄ、２３２ａ〜２３２ｄ、２４２ａ〜２４２ｄ、２５２ａ〜２５２ｄ及び２６２ａ〜２６２ｄのいずれかと同様の電極（第１電極対及び第２電極対の一方あるいは両方）が配置されており、これらの電極を用いて中間電極４４と下部電極４３との間の走査方向及び紙送り方向の位置ズレが生じているか否かを判定することも可能である。なお、この場合には、下部圧電層４１が本発明に係る圧電層に相当し、中間電極４４が本発明に係る第１駆動電極に相当し、下部電極４３が本発明に係る第２駆動電極に相当する。
【０１８３】
また、以上の説明では、圧力室内のインクに圧力を付与するための圧電アクチュエータに対して、本発明に係る位置ズレ検出方法を適用した例について説明したが、これには限られず、インク以外の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータ、さらには、所定の駆動部を駆動させるための圧電アクチュエータに対して、本発明の位置ズレ検出方法を適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１８４】
【図１】本発明における第１実施形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図３】図２のインクジェットヘッドの平面図である。
【図４】（ａ）が図３の部分拡大図、（ｂ）〜（ｄ）が（ａ）の各プレートの表面の図である。
【図５】図４（ａ）のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図４（ａ）のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図７】上部電極と中間電極との間に位置ズレが生じたときの様子を示す図である。
【図８】上部電極と中間電極との間の位置ズレを検出する工程を示すフローチャートである。
【図９】変形例１の図８相当のフローチャートである。
【図１０】変形例２の図４相当の図である。
【図１１】変形例２の図７相当の図である。
【図１２】変形例３の図４相当の図である。
【図１３】変形例３の図７相当の図である。
【図１４】変形例４の図４相当の図である。
【図１５】（ａ）が変形例５の図４（ａ）相当の図であり、（ｂ）が変形例４の図６相当の図である。
【図１６】本発明における第２実施形態に係る図７相当の図である。
【図１７】第２実施形態に係る図８相当のフローチャートである。
【図１８】変形例６の図１３相当の図である。
【図１９】（ａ）が変形例７の図１３（ａ）相当の図であり、（ｂ）が変形例８の図１３（ａ）相当の図であり、（ｃ）が変形例９の図１３（ａ）相当の図である。
【図２０】変形例１０の図１３相当の図である。
【図２１】（ａ）が変形例１１の図１３（ａ）相当の図であり、（ｂ）が変形例１２の図１３（ａ）相当の図であり、（ｃ）が変形例１３の図１３（ａ）相当の図である。
【図２２】（ａ）が変形例１４の図１３（ａ）相当の図であり、（ｂ）が変形例１５の図１３（ａ）相当の図であり、（ｃ）が変形例１６の図１３（ａ）相当の図である。
【図２３】変形例１７の図１３（ａ）相当の図である。
【図２４】変形例１７の図８相当のフローチャートである。
【符号の説明】
【０１８５】
１０  圧力室
３１  流路ユニット
３２  圧電アクチュエータ
４０  振動板
４１  下部圧電層
４２  上部圧電層
４３  下部電極
４４  中間電極
４４ａ、４４ｂ  対向部
４４ｃ、４４ｄ  接続部
４５  上部電極
１４４  中間電極
１４４ａ、１４４ｂ  対向部
１４４ｃ〜１４４ｅ  接続部
１４４ｆ〜１４４ｉ  抜きパターン
１５１  圧電層
１５２  電極
１５３  電極
２１１  電極
２１２ａ〜２１２ｄ  電極
２２１  電極
２２２ａ〜２２２ｄ  電極
２３１ａ、２３１ｂ  電極
２３２ａ〜２３２ｄ  電極
２４１  電極
２４１ａ  抜きパターン
２４２ａ〜２４２ｄ  電極
２５１  電極
２５１ａ、２５１ｂ  抜きパターン
２５２ａ〜２５２ｄ  電極
２６１  電極
２６２ａ〜２６２ｄ  電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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