(57)【要約】【課題】イオンバランスの制御が困難な不活性ガス雰囲気中での除電に好適な除電装置を提供する。【解決手段】放電電極1には次の手順で電圧が印加される。(1)第１期間は、プラス電圧を放電電極1に印加してプラスイオンを生成する。(2)第４追加期間は、マイナス極性の所定の電圧を印加してプラスイオンの生成の直ちに停止させる。(3)第３追加期間はしきい値(Vth1)よりもプラス電圧を印加して電界を生成し、浮遊しているプラスイオンをワークＷに搬送する。(4)第２期間は、マイナス電圧を印加して放電を発生させて電子を生成する。(5)第１追加期間は、プラス電圧を印加して電子の生成を停止させる。(6)第２追加期間はマイナス電圧を印加して電界を生成して、放電電極1の回りの電子がワークWに到達する時間を調整する。【選択図】図13
2009193793.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電電極と、
該放電電極に高電圧を印加する電源回路と、
前記電源回路から前記放電電極にプラスならびにマイナスの高電圧を供給する電源制御手段とを有し、
前記電源制御手段が、前記電源回路からマイナス極性の高電圧を前記放電電極に印加することにより、前記放電電極から電子を放出する期間が終了した直後の第１の所定の追加期間に、前記放電電極に対して放電電極周りの雰囲気をプラスにイオン化することができる電圧値より低い電圧値のプラス電圧を前記放電電極に印加することを特徴とする除電装置。
【請求項２】
前記電源制御手段が、前記第１の追加期間が終了した直後の第２の所定の追加期間に、前記放電電極から電子を放出することができる電圧値よりも低い電圧値のマイナス電圧を前記放電電極に印加する、請求項１に記載の除電装置。
【請求項３】
前記電源制御手段が、プラス極性の高電圧を前記放電電極に印加して、前記放電電極周りの雰囲気をプラスイオンにイオン化する期間が終了した後の第３の所定の追加期間に、前記前記放電電極周りの雰囲気をプラスイオンにイオン化する電圧値より低い電圧値のプラス電圧を前記放電電極に印加する、請求項１又は２に記載の除電装置。
【請求項４】
前記電源制御手段が、プラス極性の高電圧を前記放電電極に印加して、前記放電電極周りの雰囲気をプラスイオンにイオン化する期間と前記第３の追加期間との間に、第４の追加期間が挿入され、該第４の追加期間に、前記放電電極に前記放電電極から電子を放出することができる電圧値よりも低い電圧値のマイナス電圧を印加する、請求項３に記載の除電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的に除電装置に関し、より詳しくは、放電電極に電圧を印加することにより生成されるプラスイオンや電子によって帯電体つまり被除電物を除電する除電装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
除電装置は、高電圧が印加される放電電極を備え、この放電電極に高電圧を印加することによりプラスイオン、マイナスイオンを生成し、このイオンを使って被除電物の除電を行う。
【０００３】
除電装置は、被除電物の除電によって消費されるプラスとマイナスのイオン量に対応するイオンバランス制御が実行される。特許文献１は、放電電極とは別にイオン電流測定電極を用意し、このイオン電流測定電極によってイオン電流の電流値及び方向によって必要な極性のイオンが相対的に多くなるように放電電極に印加する高電圧を制御することを開示している。特許文献２は、イオンバランス制御の方法として、接地線に流れる電流を検出して、この電流の電流値及び方向によって必要な極性のイオンが相対的に多くなるように放電電極に印加する高電圧の電圧値又はパルス幅を制御することを開示している。
【０００４】
ところで、特定の雰囲気中における被除電物に関して除電機能が十分に機能しないという問題が存在する。この問題点を特許文献４は詳しく説明している。すなわち、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）をガラス板や透明樹脂板の表面に形成したＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子基板に対する製造工程は、窒素ガス雰囲気などに素子基板をおいて行われる。しかしながら、この窒素などの不活性ガス雰囲気における除電（ここでの除電とは、電極に高電圧を印加することにより、電極周りのガスをイオン化させることにより除電を行う放電タイプの除電を指す。）は、大気中における除電に比べ、除電機能が十分でないという問題がある。
【０００５】
その理由としては、特許文献５が指摘するように、窒素ガス雰囲気又は希ガス雰囲気つまり不活性ガス雰囲気でコロナ式放電タイプの除電装置を動作させた場合に、高純度の窒素や希ガスが電子と結合しないためにマイナスイオンが生成されないという問題が発生することが知られている。
【０００６】
図１、図２は、大気雰囲気で除電を行った場合と高純度窒素ガス雰囲気（例えば、窒素濃度が９９％以上の窒素ガス）で除電を行った場合の放電電流の値をプロットした図である。ここに、図１は放電電極にプラス極性の高電圧を印加した例を開示するものであり、図２は放電電極にマイナス極性の高電圧を印加した例を開示するものである。
【０００７】
プラスの高電圧を放電電極に印加してプラスイオンを生成した場合（図１）と対比すると良く分かるように、図２の窒素ガス雰囲気下でマイナスの高電圧を放電電極に印加すると、一気に放電電流が流れる。（放電電極より電子が雰囲気中に放出される。）すなわち、マイナス極性の高電圧を放電電極に印加すると、放電電極の回りでマイナスイオンが生成されず、電子が放電電極から窒素ガス雰囲気中に放出される。そして、この放出された電子の移動速度はプラスイオンに比べて１００〜１０００倍であることから大きな放電電流が一気に流れてしまい、その結果、イオンバランスが一気にマイナス方向に変化してしまう。
【０００８】
図３は、従来から一般的に採用されている放電電極への高電圧印加の方法を適用したモデルを示す。同図中、参照符号１は放電電極であり、２は接地電極である。ワークＷとして、静電容量が500pＦのアルミニウムプレートを用いた。放電電極１とワークＷとの離間距離は150mmであった。
【０００９】
図４は、放電電極１の先端つまり針先の電圧の変化を示し、図５は、電源回路３から高電圧の供給を受ける放電電極１の電位の変化を示すと共に除電によるワークＷの電位の変化を示す。なお、図４ならびに図５に示す針先の電圧ならびに放電電極の電位の変化は、上述した高純度窒素ガス雰囲気（例えば、窒素濃度が９９％以上の窒素ガス）中でのものである。
【００１０】
図５は、上述した高純度窒素ガス雰囲気において、図５のワークの電位の平均値がほぼゼロの電位となるように、放電電極に対する電源回路３からプラスとマイナスの高電圧の印加時間（デューティ比）とその電圧を設定した場合の、放電電極における電位の時系列的な変化と、放電電極から与えられる電荷によるワークの電位の時系列的な変化を示している。詳細には、ワークの電位の平均値がほぼゼロの電位とするために、放電電極に印加するプラス側の電圧は、５．７kＶで６７０ｍsecであり、マイナス側の電圧は、２．３kＶで、２０ｍsecとしている。図５のワーク電位を参照すると、放電電極１にプラスの電圧が印加されることにより、ワークの電位がマイナス側からプラス側にシフトする時間に比べて、放電電極１にマイナスの電圧が印加されることにより、ワークの電位がプラス側からマイナス側にシフトする時間が瞬時であることが分かるであろう。また、イオン制御によるワークＷの電位の最小値（−１３０Ｖ）、最大値（＋１１５Ｖ）が極めて大きいことが分かるであろう。このことから、従来一般的に採用されている放電電極への高電圧印加の方法を採用したときにはイオン制御が実質的に不可能になってしまう、という問題がある。
【００１１】
なお、特許文献５では、電子と結合する所定の少量のガスを放電電極の近傍に注入してマイナスイオンを生成することを提案しており、電子と結合するガスとして、空気、酸素、二酸化炭素などを例示している。
【００１２】
【特許文献１】特開２００５−２２８６５５号公報
【特許文献２】特開２００７−１４９４１９号公報
【特許文献３】特開平１１−２９７４５５号公報
【特許文献４】特開２００４−４７１７９号公報
【特許文献５】特表２００２−５３３８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、特許文献５のように、少量とは言え空気などのガスを放電電極の近傍に注入することは、注入した酸素などによって不活性ガス雰囲気を害することであり、高純度の窒素や希ガスの雰囲気下で管理する必要のある被除電物に対して適用することができない。
【００１４】
本発明の目的は、イオンバランスの制御が困難な不活性ガス雰囲気中での除電に好適な除電装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記の技術的課題は、本発明によれば、
放電電極と、
該放電電極に高電圧を印加する電源回路と、
前記電源回路から前記放電電極にプラスならびにマイナスの高電圧を供給する電源制御手段とを有し、
前記電源制御手段が、前記電源回路からマイナス極性の高電圧を前記放電電極に印加することにより、前記放電電極から電子を放出する期間が終了した直後の第１の所定の追加期間に、前記放電電極に対して放電電極周りの雰囲気をプラスにイオン化することができる電圧値より低い電圧値のプラス電圧を前記放電電極に印加することを特徴とする除電装置を提供することにより達成される。
【００１６】
図６は、高純度窒素ガスのような不活性ガス雰囲気でワークＷの除電を行うことを前提とした本発明の除電装置の放電電極に印加する電圧制御の一例の電源制御信号を示す図であり、この電源制御信号に基づいて電源回路（図３）が制御される。
【００１７】
図６から分かるように、プラス高電圧を放電電極１（図３）に印加する第１放電期間、これに続いてマイナス高電圧を放電電極１に印加する第２放電期間に加えて、この第２放電期間の直後に所定の電圧を放電電極１に印加する第１追加期間が設定されている。ここに、プラス高電圧（＋5.7kＶ）を印加する第１放電期間は１００msecであり、マイナス高電圧（−2.3kＶ）を印加する第２放電期間は２０msecであり、第１追加期間は１msecである。ここで設定されているプラス高電圧の電圧＋5.7kＶとその電圧を印加する第１放電期間と、マイナス高電圧−2.3kＶとその電圧を印加する第２放電期間は、特定の除電器を用い、特定のワークＷとの距離などを前提とした上で、ワークＷの電位の平均値がほぼゼロとなるように実験に基づいて設定されたものである。更に、マイナス高電圧−2.3kＶ（ピーク電圧値）という値は、放電電極１から電子が放出される電圧値で且つ、放電電極１から電子の放出が開始される電圧値または、開始電圧値より若干高い電圧（絶対値として）に設定することが好ましい。具体的には、放電電極１から電子が放出される開始電圧値から、その値にその値の２０％程度の値を加えた値の範囲内であることが好ましい。その理由は、ピーク電圧値が大幅に電子の放出を開始する電圧値を超えたものであると、既にピーク値にいたるまでに電子が大量に雰囲気中に放出されているため、ピーク値に達した直後に、上述した第１追加期間におけるプラスの高電圧を放電電極１に印加しても、マイナスの電圧のピーク値の直後に急峻にプラス側へ電圧を立ち上げることによる効果が低減するためである。また、放電電極１の経年変化による放電効率の低下に対しては、放電電極１からのマイナスの電子の発生量を、図示しない、グランドとマイナス側の電圧を生成する高電圧電源との間に抵抗とこの抵抗に流れる電流の向きと大きさを検出する電流計を設けることにより、電子の生成量を検出し、マイナスの印加電圧を制御したり、プラスとマイナスの電圧のデューティ比を制御することにより、放電電極１から電子の放出量がほぼ一定となるように維持するようにすることが好ましい。このデューティ比の制御としては、例えば図７に示すピーク値−2.3kＶについても、マイナス側の電圧の目標電圧値は、−３kＶに向けて制御するようにし、それをデューティ比制御で−2.3kＶにてピーク値となるように制御している。このため、仮に放電電極１の経年的な劣化が進んだ場合（電子の放出量が低下した場合）は、マイナスの目標電圧値−３kＶに向けて、マイナスの比率を増加する方向のデューティ比制御を行うことにより、放電電極１の劣化に対する対策を簡単に行うことができる。
【００１８】
勿論、第１、第２放電期間の時間は電源制御に基づいて変動してもよいが、第１追加期間の１msecは固定である。つまり、この図６の制御例は、従来の制御に対して、マイナス高電圧を印加する第２放電期間の直後に所定の電圧（この例では＋6.5kＶ）を印加する第１追加期間を付加したものである。なお、放電電極に印加する電源制御において第１放電期間及び第２放電期間に放電電極１に印加する高電圧の電圧値を変化させるようにしてもよい。
【００１９】
上述したように、第１追加期間は、マイナス高電圧を放電電極１に印加する第２放電期間の直後に設定され、この第１追加期間では、放電電極１に印加する電圧は所定値（図６の例では＋6.5kＶ）であり、また、この第１追加期間の時間的長さは一定（図６の例では１msec）である。
【００２０】
図７は、放電電極１の先端つまり針先の電位の変化を示し、図８は、前述した図５に対応した図であって、放電電極１の電位の変化及びワークＷの電位の変化を示す。
【００２１】
第1追加期間に放電電極１に印加した所定電圧は、プラス極性であって且つ6.5kＶと高電圧であるが、放電電極１に入力する期間が１msecと短時間であるため、放電電極１の針先の電位は＋6.5kＶまで上昇していない。しかし、図７から分かるように、第１追加期間で所定の電圧を放電電極１に印加することで、放電電極１の針先が第１放電期間として設定している＋5.7kＶまで立ち上がる時間が７msec（図７）と大幅に短縮している（従来例では図４から分かるように１５msecを要している）。この結果、ワークＷの電位の変化を示す図８から分かるように、ワーク電位の最小値が「−２０Ｖ」と従来の「−１３０Ｖ」から大幅に小さくなっている。
【００２２】
上記の現象を詳細に説明すると、上述したように、放電電極１から電子の放出を開始する電圧またはその開始電圧より若干高い値（絶対値として）に設定されたピーク値に達した直後に、放電電極１に対してプラス側の電圧を第１追加期間中、印加するのでピーク値直後に放出される電子の量を抑制できると共に、放電電極１近傍に存在する余剰電子をプラスに帯電した放電電極１にて吸収することが可能となる。このため、マイナスの電圧を放電電極１に印加することによってワークＷが帯電する電圧を上述した「−１３０Ｖ」から「−２０Ｖ」に低減でき、除電行為によるワークの電位のバラツキを大幅に抑制することができる。言うまでも無く、プラス側が同様に「＋２０Ｖ」にワークの電位を抑制できるのは、マイナス側を「−２０Ｖ」に抑えることができるため、ワークの電位平均値をほぼゼロとしてプラスの電圧を制御するための制御値（プラス側の電圧値やデューティ比など）を設定しているためである。この結果、第１放電期間のプラス高電圧を印加する期間を従来の６７０msecから１００msecに短縮してワークＷの電位の平均値をゼロボルトにすることが可能になっていることが分かるであろう。
【００２３】
図９は、本発明の除電装置の電源制御の他の例の電源制御信号を示す図であり、この電源制御信号に基づいて電源回路（図３）が制御される。図９と前述した図６とを対比すると分かるように、図６の例と同様に、プラス高電圧を放電電極１（図３）に印加する第１放電期間、これに続いてマイナス高電圧を放電電極１に印加する第２放電期間に加えて、この第２放電期間の直後に所定の電圧を放電電極１に印加する第１追加期間が設定されている。ここに、プラス高電圧（＋5.7kＶ）を印加する第１放電期間は、図６（１００msec）と異なり１５０msecであるが、マイナス高電圧（−2.3kＶ）を印加する第２放電期間は２０msec、第１追加期間は１msecであり、図６の例と同じである。この他の例（図９）では、更に、第１追加期間の直後に第２追加期間が設定され、この第２追加期間では−1.2kＶの電圧が放電電極１に印加され、その時間は３０msecである。
【００２４】
この他の例（図９）においても、上述したように、第１追加期間は、マイナス高電圧を放電電極１に印加する第２放電期間の直後に設定され、この第１追加期間では、放電電極１に印加する電圧は所定値（＋6.5kＶ）であり、同様に、第１追加期間の直後に設定される第２追加期間に放電電極１に印加する電圧も所定値（−1.2kＶ）であり、また、これら第１追加期間（１msec）及び第２追加期間（３０msec）の時間的長さは一定である。
【００２５】
図１０は、放電電極１の先端つまり針先の電位の変化を示し、図１１は、前述した図９に対応した図であって、放電電極１の電位の変化及びワークＷの電位の変化を示す。
【００２６】
第1追加期間に放電電極１に印加した所定電圧は、プラス極性であって且つ6.5kＶと高電圧であるが、放電電極１に入力する期間が１msecと短時間であるため、放電電極１の針先の電位は＋6.5kＶまで上昇せずにゼロボルト近傍にある。そして、次の第２追加期間に放電電極１に印加した所定電圧は、放電電極１で電子を生成する電圧（−2.3kＶ）よりも絶対値が小さいマイナス極性の電圧に設定されている（−1.2kＶ）。
【００２７】
このように、マイナス極性の高電圧を印加する第２放電期間に直後に短時間の第１追加期間でプラス極性の高電圧(＋6.5kＶ)を放電電極１に印加することで、放電電極１の回りの電子が放電電極１に引き寄せられ又は余剰の電子が吸収され、そして、この第１追加期間の次に、比較的低いマイナス電圧(1.2kＶ)を放電電極１に印加する第２追加期間を挿入することで、放電電極１周りの電子を、電子と同極性のマイナスに帯電された放電電極１により反発させることができ、電子をワークＷに向けて移動させることが可能となり、その結果除電速度を向上させることができる。
【００２８】
ちなみに、図６から図８に基づいて説明した実験結果の除電時間は、ワークがプラスに帯電している場合、0.4secで、ワークがマイナスに帯電している場合、2.4secであった。これに対して、図９から図１１に基づいて説明した実験結果の除電時間は、同一の条件下において、ワークがプラスに帯電している場合、0.1secで、ワークがマイナスに帯電している場合、2.4secであった。つまり、放電電極１にマイナスの電圧をかけてプラスに帯電しているワークＷを除電する時間が、第１の実験に比べ、第２追加期間を追加した第２の実験のものが効率的になっていることがわかる。
【００２９】
このようにマイナス極性の高電圧を印加する第２放電期間の直後に第１追加期間を挿入し、更に、この第１追加期間の次に第２追加期間を挿入することで、図１１から理解できるようにワークＷの電位がマイナス方向に一気に大きく変化するのを抑制することができる。そして、この結果、第１放電期間のプラス高電圧を印加する期間を従来の６７０msecから１５０msecに短縮してワークＷの電位の平均値をゼロボルトにすることが可能になっていることが分かるであろう。勿論、ワークＷの電位の最大値を「＋３０Ｖ」に抑え且つ最小値を「−４０Ｖ」に抑えることができることも確認できた。この範囲であれば、第１放電期間（プラス高電圧印加）と第２放電期間（マイナス高電圧印加）に対して従来一般的な電源制御によってワークＷを適正に除電することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
図１２は、パルスＡＣ方式の除電装置１０に対して本発明を適用した実施例であり、除電装置１０は、高純度の窒素ガス雰囲気でワークＷ（図３）の除電のために用いられる。パルスＡＣ方式の除電装置１０は、一本の放電電極１に対して電源３からプラス又はマイナスの電圧が供給される。また、放電電極１は、電源３を介してグランドに接続されている。そして電源３は電源制御手段４によって制御される。なお、放電電極１の近傍には、放電電極１から電子を放出し易くしたり、放電電極１の周りの雰囲気をプラスイオンにイオン化しやすくするために、対向電極６を設置している。
【００３１】
電源制御手段４は、放電電流を検出する電流計５の検出信号を受けて電源制御が実行される。図１３は、電源３から放電電極１に入力される電圧の波形図である。図１３を参照して、第１放電期間において電源３からプラス極性の高電圧が放電電極１に供給されて、放電電極１周りの雰囲気をプラスイオンにイオン化し、これによりプラスイオンが生成される。つまり、第１放電期間は、放電電極１周りの雰囲気をプラスイオンにイオン化し、プラスイオンを生成する期間である。
【００３２】
引き続き図１３を参照して、第１放電期間の直後の第４追加期間では、マイナス極性の所定の電圧が所定時間印加される。この第４追加期間で放電電極１に印加するマイナス電圧の電圧値は所定値であり且つ印加する時間も所定時間である。この第４追加期間を第１放電期間の直後に挿入することで、プラスイオンの生成を直ちに停止することができる。したがって、第４追加期間では第１放電期間のプラス高電圧の印加を停止することに意義がある。このため、この第４追加期間において印加する電圧は、放電電極１でプラスイオンを生成する、生成しない、というしきい値としてのプラス電圧の電圧値（＋極性のしきい値Vth1）よりも低い電圧を設定すればよく、プラスの電圧であってもよい。また、この第４追加期間において図１３に示すようにマイナス電圧を放電電極１に印加することで、第１放電期間で余剰に生成したプラスイオンを吸収することができるという利点がある。なお、本発明の観点から言えば、この第４追加期間は必ずしも必須ではない。
【００３３】
第４追加期間の直後に第３追加期間が挿入されている。この第３追加期間では、プラス電圧が放電電極１に印加される。この第３追加期間で印加するプラス電圧は上述したプラスしきい値Vth1よりも低い電圧値に設定される。
【００３４】
このようにプラスしきい値Vth1よりも低いプラス電圧を放電電極１に印加する第３追加期間を挿入してワークＷとの間に電界を生成することで、この電界によって、窒素ガス雰囲気に浮遊しているプラスイオンをワークＷまで搬送することができる。
【００３５】
第３追加期間の直後に第２放電期間が実行され、この第２放電期間でマイナス極性の高電圧が放電電極１に印加されて、放電電極１から電子が放出されることにより、雰囲気中に電子が生成される。この第２放電期間で放電電極１に印加するマイナス電圧は、放電電極１とワークＷとの間で放電を開始するか否かのマイナス極性のしきい値(−Vth2)よりも絶対値が大きい。
【００３６】
第２放電期間の直後に第１追加期間が設定されている。この第１追加期間では、短時間にプラス極性の電圧が放電電極１に印加される。この第１追加期間を第２放電期間の直後に挿入することで、放電電極１の極性を一気に消失させて電子の生成を直ちに停止させると共に逆極性（プラス極性）に反転させることで放電電極１の回りの電子を放電電極１に引き寄せ、好ましくは過剰に生成した電子を放電電極１で吸収することができる。
【００３７】
第１追加期間の直後に第２追加期間が設定されている。この第２追加期間では、マイナス電圧が放電電極１に印加される。この第２追加期間で印加するマイナス電圧は上述したマイナスしきい値(−Vth2)よりも絶対値が小さい。
【００３８】
このようにマイナスしきい値(−Vth)よりも絶対値が小さいマイナス電圧を放電電極１に印加する第２追加期間を挿入してワークＷとの間に電界を生成することで、この電界によって、電子をワークＷまで搬送する到達時間を調整することができる。
【００３９】
上述した図１３に例示の電源制御を時系列で列挙すると以下の通りである。
（第１ステップ）第１放電期間：
プラスしきい値Vth1よりも高いプラス電圧を放電電極１に印加して、ワークＷとの間に放電を発生させてプラスイオンを生成する。
【００４０】
（第２ステップ）第４追加期間：
マイナス極性の所定の電圧を放電電極１に印加して、プラスイオンの生成の直ちに停止させる。好ましくは、余剰のプラスイオンを吸収する。
【００４１】
（第３ステップ）第３追加期間：
しきい値（Vth1）よりも低い電圧値のプラス電圧を放電電極１に印加して電界を生成し、この電界によって、浮遊しているプラスイオンをワークＷに搬送する。
【００４２】
（第４ステップ）第２放電期間：
マイナスしきい値（−Vth2）よりも絶対値が大きいマイナス電圧を放電電極１に印加して、ワークＷとの間に放電を発生させて放電電極１の回りに電子を生成する。
【００４３】
（第５ステップ）第１追加期間：
プラス極性の電圧を放電電極１に印加して放電電極１の極性を一気に消失させて放電電極１の電子の生成を停止させる。好ましくは、放電電極１の極性をプラスに反転させて電子を引き寄せて、過剰の電子を放電電極１で吸収する。
【００４４】
（第６ステップ）第２追加期間：
マイナスしきい値（−Vth2）よりも絶対値が小さなマイナス電圧を放電電極１に印加して電界を生成し、この電界によって、放電電極１の回りの電子がワークＷに到達する時間を調整する。
【００４５】
プラスイオンに関連した第１〜第３ステップと、電子に関連した第４〜第６ステップの間に、放電電極１に対して電圧の印加を中止する休止期間を設けてもよい。
【００４６】
以上、パルスＡＣ方式の除電器１０を例に説明したが、パルスＤＣ方式の除電器２０（図１４）に対して同様に適用することができる。この場合に、図１５に例示するように、放電によりプラスイオンを生成する第１期間の直後に、しきい値Vth1よりも低いプラス電圧を印加する第３追加期間を設定し、また、放電により電子を生成する第２期間の直後にマイナスしきい値（−Vth2）よりも絶対値が小さいマイナス電圧を放電電極１に印加する第２追加期間を設定するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】雰囲気が大気の場合と高純度窒素ガスの場合とを対比してマイナス放電のときの印加電圧と放電電流の関係を示す図である。
【図２】雰囲気が大気の場合と高純度窒素ガスの場合とを対比してプラス放電のときの印加電圧と放電電流の関係を示す図である。
【図３】従来から一般的に採用されている除電装置のモデルを示す図である。
【図４】図４の除電モデルにおいて、放電電極の先端の電圧の変化を示す図である。
【図５】図４の除電モデルにおいて、放電電極の電位の変化及びこれに伴うワークの電位の変化を示す図である。
【図６】本発明の基本概念を説明するために図４の除電モデルにおいて電源から放電電極に入力される電圧の制御例を示す図である。
【図７】図６の制御例における放電電極の先端の電圧の変化を示す図である。
【図８】図６の制御例における放電電極の電位の変化及びこれに伴うワークの電位の変化を示す図である。
【図９】本発明に従う他の制御例を示す図である。
【図１０】図９の制御例における放電電極の先端の電圧の変化を示す図である。
【図１１】図９の制御例における放電電極の電位の変化及びこれに伴うワークの電位の変化を示す図である。
【図１２】実施例のパルスＡＣ方式の除電装置の概略構成図である。
【図１３】図１２の実施例において電源から放電電極に入力される電圧の制御例を説明するための図である。
【図１４】変形例としてパルスＤＣ方式の除電装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００４８】
１    放電電極
３    電源回路
４    高電圧制御手段
【図１】
2009193793.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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