(57)【要約】【課題】ＩＣローダー部Ａから加温チャンバー部Ｂへのトレイの迅速な搬送と簡潔な搬送機構が得られ且つトレイが引っかからず、スムーズな搬送が行える搬送装置とその搬送方法を実現する。【解決手段】第１のガイドレールと、第１のガイドレールに直交して設けられた第２のガイドレールとを具備する搬送装置において、回転中心が支持ベースに支持され端部が搬送用トレイを押してＩＣローダー部からチャンバー部に搬送用トレイを搬送するトレイ搬送回転アームと、第１と第２のガイドレールの交差部分の搬送路に設けられＩＣアンローダー部からＩＣローダー部に搬送用トレイが通過する際には鉛直方向に降下して搬送用トレイを回避し搬送用トレイがＩＣローダー部から加熱チャンバー部に搬送される際には上昇して搬送用トレイをガイドするガイドブロックとを具備したことを特徴とする搬送装置である。【選択図】図１
2009002656.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持ベースに設けられＩＣアンローダー部からＩＣローダー部に搬送用トレイを搬送する第１のガイドレールと、この第１のガイドレールに直交して設けられ前記ＩＣローダー部から加熱チャンバー部に前記搬送用トレイを搬送する第２のガイドレールとを具備する搬送装置において、
回転中心が前記支持ベースに支持され端部が前記搬送用トレイを押して前記ＩＣローダー部から前記チャンバー部に前記搬送用トレイを搬送するトレイ搬送回転アームと、
前記第１と第２のガイドレールの交差部分の搬送路に設けられ前記ＩＣアンローダー部から前記ＩＣローダー部に前記搬送用トレイが通過する際には鉛直方向に降下して前記搬送用トレイを回避し前記搬送用トレイが前記ＩＣローダー部から加熱チャンバー部に搬送される際には上昇して前記搬送用トレイをガイドするガイドブロックと
を具備したことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
支持ベースに設けられた第１のガイドレールにより、ＩＣアンローダー部からＩＣローダー部に搬送用トレイを搬送し、この第１のガイドレールに直交して設けられた第２のガイドレールにより、前記ＩＣローダー部から加熱チャンバー部に前記搬送用トレイを搬送する、搬送装置の搬送方法において、
回転中心が前記支持ベースに支持され端部が前記搬送用トレイを押すトレイ搬送回転アームにより、前記ＩＣローダー部から前記チャンバー部に前記搬送用トレイを搬送し、
前記第１と第２のガイドレールの交差部分の搬送路に設けられたガイドブロックは前記ＩＣアンローダー部から前記ＩＣローダー部に前記搬送用トレイが通過する際には鉛直方向に降下して前記搬送用トレイを回避し前記搬送用トレイが前記ＩＣローダー部から加熱チャンバー部に搬送される際には上昇して前記搬送用トレイをガイドする
ことを特徴とする搬送装置の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トレイを搬送する搬送装置とその搬送方法に関するものである。
更に詳述すれば、水平搬送型の搬送装置であって、測定ＩＣデバイスを専用の搬送用トレイに搭載し、定まった経路で装置内を搬送させる搬送装置において、搬送機構には、専用の搬送用トレイを正しく導くガイドレールがあるが、本発明は、ロの字形の搬送経路を直角に方向転換させる場合に、搬送用トレイを正しく導くガイドブロックを有する搬送装置とその搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
搬送装置とその搬送方法に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３３７０５３号公報
【０００４】
図３は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、図４は図３の要部構成説明図、図５は図４の要部構成説明図、図６は図３の要部構成説明図である。
【０００５】
図３は、水平搬送型のＩＣハンドラーのＩＣ搬送装置とそのロの字形の搬送経路の概要図である。
トレイ１は、図４に示す如く、相向かい合う「コの字」状の断面形状を持つガイドレール２にガイドされ、装置の支持ベース３上を循環する。
【０００６】
ガイドレール２は、図５に示す如く、支持ベース３に、ねじ止め穴４を介してねじにより固定されている。
そして、図６に示す如く、ガイドレール２は、第１，第２，第３，第４のガイドレール２１，２２，２３，２４によりロの字形に搬送経路を構成する。
【０００７】
トレイ１の搬送動力は、アクチュエータ（エアシリンダー等。）（図示せず）を用い、トレイ１に直接ピン結合し搬送している。
トレイ１は、図３に示す如く、検査前ＩＣを供給するＩＣローダー部Ａ、トレイ１を加温する加温チャンバー部Ｂ，検査機器にＩＣを接続するＩＣ検査部Ｃ、検査後ＩＣを分類収納するＩＣアンローダー部Ｄの箇所において、支持ベース３のガイドレール２上に一時的に留まる。
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの各部間は、アクチュエータ（エアシリンダー等。）によりトレイ１は順次搬送される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、このような装置においては、ＩＣローダー部Ａ、ＩＣ検査部Ｃ、ＩＣアンローダー部Ｄでは、ＩＣを支持ベース３の上面側においてトレイ１に取付けたり、トレイ１から取り外したりするので、支持ベース３の下面側は比較的に空きスペースがあり、かなりなスペースを要する複雑な機構のアクチュエータ（エアシリンダー等。）よりなる搬送機構を配置できる。
【０００９】
しかし、加温チャンバー部Ｂにおいては、支持ベース３の上面側は、加温にかなりの時間を要するために、所定数のトレイが積み重ねられて蓄積され、支持ベース３の下面側は、所定数のトレイが積み重ねられるための積み重ね装置が配置される。
したがって、加温チャンバー部Ｂは、トレイの搬送路を遮断した形で配置されることになる。
【００１０】
このために、加温チャンバー部Ｂの配置された箇所の支持ベース３の下面側にはスペースがないために、加温チャンバー部Ｂの下側を通る複雑な機構のアクチュエータ（エアシリンダー等。）よりなる搬送機構を配置できない。
【００１１】
したがって、回転中心が支持ベース３に支持され端部が搬送用トレイ１を押してＩＣローダー部Ａから加温チャンバー部Ｂに、搬送用トレイ１を搬送するトレイ搬送回転アームの如きものが必要になるが、ガイドレール２とガイドレール２との摩擦により、図６に示す如く、ガイドレール２の角Ｅに搬送用トレイ１が当たってしまいスムーズな搬送が出来ない場合が生ずる。
【００１２】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、ＩＣローダー部Ａから加温チャンバー部Ｂへのトレイの迅速な搬送と簡潔な搬送機構が得られ且つトレイが引っかからず、スムーズな搬送が行える搬送装置とその搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の搬送装置においては、
支持ベースに設けられＩＣアンローダー部からＩＣローダー部に搬送用トレイを搬送する第１のガイドレールと、この第１のガイドレールに直交して設けられ前記ＩＣローダー部から加熱チャンバー部に前記搬送用トレイを搬送する第２のガイドレールとを具備する搬送装置において、回転中心が前記支持ベースに支持され端部が前記搬送用トレイを押して前記ＩＣローダー部から前記チャンバー部に前記搬送用トレイを搬送するトレイ搬送回転アームと、前記第１と第２のガイドレールの交差部分の搬送路に設けられ前記ＩＣアンローダー部から前記ＩＣローダー部に前記搬送用トレイが通過する際には鉛直方向に降下して前記搬送用トレイを回避し前記搬送用トレイが前記ＩＣローダー部から加熱チャンバー部に搬送される際には上昇して前記搬送用トレイをガイドするガイドブロックとを具備したことを特徴とする。
【００１４】
請求項１の搬送装置においては、
支持ベースに設けられた第１のガイドレールにより、ＩＣアンローダー部からＩＣローダー部に搬送用トレイを搬送し、この第１のガイドレールに直交して設けられた第２のガイドレールにより、前記ＩＣローダー部から加熱チャンバー部に前記搬送用トレイを搬送する、搬送装置の搬送方法において、回転中心が前記支持ベースに支持され端部が前記搬送用トレイを押すトレイ搬送回転アームにより、前記ＩＣローダー部から前記チャンバー部に前記搬送用トレイを搬送し、前記第１と第２のガイドレールの交差部分の搬送路に設けられたガイドブロックは前記ＩＣアンローダー部から前記ＩＣローダー部に前記搬送用トレイが通過する際には鉛直方向に降下して前記搬送用トレイを回避し前記搬送用トレイが前記ＩＣローダー部から加熱チャンバー部に搬送される際には上昇して前記搬送用トレイをガイドすることを特徴とする搬送装置の搬送方法。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、次のような効果がある。
回転中心が支持ベースに支持され、端部が搬送用トレイを押して、ＩＣローダー部からチャンバー部に搬送用トレイを搬送するトレイ搬送回転アームが設けられたので、簡潔な構成により、トレイの搬送速度が、ＩＣローダー部Ａと加温チャンバー部Ｂ近くでは遅く、ＩＣローダー部Ａと加温チャンバー部Ｂとの間では早く、迅速な搬送速度が期待できる搬送装置とその搬送方法が得られる。
【００１６】
回転中心が支持ベースに支持され、端部が搬送用トレイを押して、ＩＣローダー部からチャンバー部に搬送用トレイを搬送するトレイ搬送回転アームと、支持ベースに設けられ搬送用トレイが通過する際には降下して搬送用トレイを回避し、搬送用トレイがＩＣローダー部から加熱チャンバー部に搬送される際には上昇して、搬送用トレイをガイドするガイドブロックとが設けられた。
【００１７】
したがって、トレイ搬送回転アームの回転により生ずる分力により、搬送用トレイがガイドレールに引っかかる恐れをガイドブロックにより防止することができてトレイが引っかからず、スムーズな搬送が行える搬送装置とその搬送方法が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の斜視図である。
図において、図３と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図３との相違部分のみ説明する。
【００１９】
図１において、トレイ搬送回転アーム３１は、回転中心３１１が、支持ベース３に支持され端部３１２が搬送用トレイ１を押して、ＩＣローダー部Ａからチャンバー部Ｂに搬送用トレイ１を搬送する。
【００２０】
ガイドブロック３２は、図１、図２に示す如く、第１のガイドレール２１と第２のガイドレール２２の交差部分の搬送路に設けられ、搬送用トレイ１が通過する際には、鉛直方向に降下して搬送用トレイ１を回避し、搬送用トレイ１がＩＣローダー部Ａから加熱チャンバー部Ｂに搬送される際には上昇して搬送用トレイをガイドする。
【００２１】
以上の構成において、トレイ搬送回転アーム３１は、図１に示す如く、回動しながら搬送用トレイ１を押すので、スコッチヨーク機構の原理により、トレイの搬送速度が、ＩＣローダー部Ａと加温チャンバー部Ｂ近くでは遅く、ＩＣローダー部Ａと加温チャンバー部Ｂとの間では早く、迅速な搬送速度が期待できる。
【００２２】
支持ベース３に設けられ搬送用トレイ１が通過する際には降下して搬送用トレイ１を回避し、搬送用トレイ１がＩＣローダー部Ａから加熱チャンバー部Ｂに搬送される際には上昇して、搬送用トレイ１をガイドするガイドブロック３２が設けられた。
【００２３】
したがって、トレイ搬送回転アーム１１の回転により生ずる力により、搬送用トレイ１がガイドレール２に引っかかる恐れを、ガイドブロック１２により防止することができてトレイ１が引っかからず、スムーズな搬送が行える。
【００２４】
この結果、
回転中心３１１が支持ベース３に支持され、端部３１２が搬送用トレイ１を押して、ＩＣローダー部Ａからチャンバー部Ｂに搬送用トレイ１を搬送するトレイ搬送回転アーム３１が設けられたので、簡潔な構成により、トレイ１の搬送速度が、ＩＣローダー部Ａと加温チャンバー部Ｂ近くでは遅く、ＩＣローダー部Ａと加温チャンバー部Ｂとの間では早く、迅速な搬送速度が期待できる搬送装置とその搬送方法が得られる。
【００２５】
回転中心３１１が支持ベース３に支持され、端部３１２が搬送用トレイ１を押して、ＩＣローダー部Ａからチャンバー部Ｂに搬送用トレイを搬送するトレイ搬送回転アーム３１と、支持ベース３に設けられ搬送用トレイ１が通過する際には降下して搬送用トレイ１を回避し、搬送用トレイ１がＩＣローダー部Ａから加熱チャンバー部Ｂに搬送される際には上昇して、搬送用トレイ１をガイドするガイドブロック３２とが設けられた。
【００２６】
したがって、トレイ搬送回転アーム３１の回転により生ずる力により、摩擦により搬送用トレイ１がガイドレール２に引っかかる恐れをガイドブロック３２により防止することができてトレイ１が引っかからず、スムーズな搬送が行える搬送装置とその搬送方法が得られる。
【００２７】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の斜視図である。
【図３】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図４】図３の要部構成説明図である。
【図５】図４の要部構成説明図である。
【図６】図３の動作説明図である。
【符号の説明】
【００２９】
１      トレイ
２      ガイドレール
２１    第１ガイドレール
２２    第２ガイドレール
２３    第３ガイドレール
２４    第４ガイドレール
３      支持ベース
４      ねじ止め穴
５      ねじ
３１    トレイ搬送回転アーム
３１１  回転中心
３１２  端部
３２    ガイドブロック
Ａ      ＩＣローダー部
Ｂ      チャンバー部
Ｃ      ＩＣ検査部
Ｄ      ＩＣアンローダー部
Ｅ      角
【図１】
2009002656.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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