(57)【要約】【課題】  横方向へ伸びる伸長部を有するプローブを用いるにもかかわらず、１つの集積回路の電極数と同数のプローブをその集積回路に対応する大きさのプローブ配置領域内に配置することにある。【解決手段】  電気的接続装置は、少なくとも１つのプローブ配置領域を一方の面に有しかつプローブ配置領域内に複数のランドを有するプローブ取付体と、平面的に見てプローブ配置領域内に位置された複数のプローブとを含む。各プローブは、ランドからプローブ配置領域と交差する縦方向に伸びる取付部であってこれの一端部においてランドに取り付けられた取付部と、該取付部の他端部から横方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から取付部の側と反対側に伸びる伸長部と、該伸長部の先端側に設けられた針先とを有する。少なくとも１つのプローブのアーム部は、少なくとも１つの他のプローブのアーム部から他のプローブの取付部の側又は伸長部の側に間隔をおいて他のプローブのアーム部を横切る方向へ伸びている。【選択図】図２
2009025267.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状又はシート状のプローブ取付体であって少なくとも１つのプローブ配置領域を一方の面に有しかつ前記プローブ配置領域内に複数のランドを有するプローブ取付体と、平面的に見て前記プローブ配置領域内に位置された複数のプローブとを含み、
各プローブは、前記ランドから前記プローブ配置領域と交差する縦方向に伸びる取付部であってこれの一端部において前記ランドに取り付けられた取付部と、該取付部の他端部から横方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から前記取付部の側と反対側に伸びる伸長部と、該伸長部の先端側に設けられた針先とを有し、
少なくとも１つのプローブの前記アーム部は、少なくとも１つの他のプローブの前記アーム部から前記他のプローブの前記取付部の側又は前記伸長部の側に間隔をおいて前記他のプローブの前記アーム部を横切る方向へ伸びている、電気的接続装置。
【請求項２】
前記少なくとも１つのプローブの前記アーム部から前記針先の先端までの長さ寸法と前記他のプローブの対応する箇所の長さ寸法とは、前記縦方向における少なくとも前記アーム部の寸法分以上異なる、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記少なくとも１つのプローブの前記取付部から前記アーム部の先端までの長さ寸法と前記他のプローブの対応する箇所の長さ寸法とは、前記第１の方向における少なくとも前記アーム部の寸法分異なる、請求項１又は２に記載の電気的接続装置。
【請求項４】
前記少なくとも１つのプローブは複数のプローブを含み、それらの前記針先は仮想直線上に該仮想直線の方向に間隔をおいて配置されている、請求項１又は２に記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記プローブ配置領域は矩形の領域であり、前記少なくとも１つのプローブの前記針先は前記矩形の隣り合う２つの辺が交差する隅角部又はその近傍に位置されている、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項６】
前記少なくとも１つのプローブは、前記隣り合う２つの辺が交差する隅角部に前記針先が位置された隅角プローブを含む、請求項５に記載の電気的接続装置。
【請求項７】
前記少なくとも１つのプローブは、前記隣り合う２つの辺が交差する隅角部の近傍に前記針先が位置された少なくとも１つの近傍プローブを含む、請求項５に記載の電気的接続装置。
【請求項８】
前記少なくとも１つのプローブは、前記隣り合う２つの辺が交差する隅角部に前記針先が位置された隅角プローブと、前記針先が前記隅角部の近傍に位置された少なくとも１つの近傍プローブとを含む、請求項５に記載の電気的接続装置。
【請求項９】
前記複数のプローブは、前記針先が前記隣り合う２つの辺の一方と平行の第１の仮想直線に整列された第１のグループに属するプローブと、前記針先が前記隣り合う２つの辺の他方と平行の第２の仮想直線に整列された第２のグループに属するプローブとに分けられており、
前記墨角プローブの前記アーム部は前記１の仮想直線と交差する方向に伸びており、
前記近傍プローブの前記アーム部は前記１の仮想直線の方向に伸びており、
前記第１のグループに属するプローブのうち、前記他のプローブの前記アーム部は前記１の仮想直線と交差する方向に伸びており、
前記第２のグループに属するプローブのうち、前記他のプローブの前記アーム部は前記２の仮想直線と交差する方向に伸びている、請求項９に記載の電気的接続装置。
【請求項１０】
各プローブは板の形状を有する、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項１１】
各プローブの前記取付部並びに前記アーム及び伸長部は同じ平面内を伸びている、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項１２】
板状又はシート状のプローブ取付体であって矩形をした少なくとも１つのプローブ配置領域を一方の面に有しかつ前記プローブ配置領域内に複数のランドを有するプローブ取付体と、平面的に見て前記プローブ配置領域内に位置された複数のプローブとを含み、
各プローブは、前記ランドから前記プローブ配置領域と交差する縦方向に伸びる取付部であってこれの一端部において前記ランドに取り付けられた取付部と、該取付部の他端部から横方向へ伸びるアーム部と、該伸長部の先端部から前記取付部の側と反対側に伸びる伸長部と、該伸長部の先端側に設けられた針先とを有し、
前記矩形の隣り合う２つの辺が交差する隅角部又はその近傍に前記針先が位置する少なくとも１つの隅角部プローブの前記アーム部は、少なくとも１つの他のプローブの前記アーム部から前記他のプローブの前記取付部の側又は前記伸長部の側に間隔をおいて前記他のプローブの前記アーム部を横切る方向へ伸びており、
前記少なくとも１つのプローブの前記アーム部から前記針先の先端までの長さ寸法又は前記少なくとも１つのプローブの前記取付部から前記アーム部の先端までの長さ寸法と、前記他のプローブの対応する箇所の長さ寸法とは、前記縦方向における少なくとも前記第1の領域の寸法分以上異なる、電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の電極を有する半導体要素をプローバの電気回路に接続する電気的接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路のような平板状の半導体要素すなわち被検査体は、それが仕様書通りに製造されているか否かの電気的試験をされる。この種の試験すなわち検査は、被検査体の電極に個々に押圧される複数の接触子すなわちプローブを備えた、プローブカード、プローブブロック、プローブユニット等、電気的接続装置を用いて行われる。この種の電気的接続装置は、被検査体の電極とテスターの電気回路とを電気的に接続するために利用される。
【０００３】
この種の電気的接続装置の１つとして、特許文献１に記載されているように、複数のプローブを、配線基板、プローブ基板、プローブシート等、プローブ取付体の平坦な装着部すなわちランドに片持ち梁状に装着したものがある。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５―２０３６０６号公報
【０００５】
この従来の電気的接続装置は、半導体ウエーハに形成された未切断の多数の集積回路であってそれぞれが一方向へ伸びる共通の仮想直線上に位置しかつその仮想直線の方向に間隔をおいた複数の電極を備える多数の集積回路の試験に用いられる。
【０００６】
上記従来の電気的接続装置において、各プローブは、上記ランドから該ランドと交差する縦方向に伸びる座部すなわち取付部であってこれの一端部において前記ランドに導電性接着剤により取り付けられた取付部と、該取付部の他端部から横方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から前記アーム部の側と反対側に伸びる針先部すなわち伸長部と、該伸長部の先端側に設けられた針先とを有する。
【０００７】
上記従来の電気的接続装置は、各集積回路用の複数のプローブを対応する集積回路と同じ大きさのプローブ領域内に配置することにより、未切断の多数の集積回路を一回で又は複数回に分けて試験をすることを可能にしている。
【０００８】
そのようなプローブは、正確な検査をする上で集積回路の電極及び電気的接続装置のプローブの大きさを小さくすることが難しいこと、ランドへのプローブの取付作業を容易にすること等から、それらの針先が共通の仮想直線上に位置しかつその仮想直線の方向に間隔をおくように、及びアーム部が平行に伸びるように、仮想直線に関してジグザグに配置されている。
【０００９】
しかし、被検査体としての半導体要素すなわち集積回路は、今後小型化及び高密度化されて、各集積回路の電極数を少なくすることなく、電極の配置密度を高くすることを要求される。この場合、各集積回路の複数の電極を共通の仮想直線上に配置するだけでは、仮想直線上に配置可能の電極数が目的とする電極数より大きく下回る。
【００１０】
上記のことから、矩形の集積回路の各辺、特に少なくとも隣り合う２つの辺に複数の電極を配置することにより、必要な電極数を確保することが考えられる。しかし、上記従来の電気的接続装置では、針先が共通の仮想線上に位置するにすぎないから、そのような集積回路の検査に用いることができない。
【００１１】
少なくとも隣り合う２つの辺に複数の電極を配置した集積回路の試験には、複数のプローブを、それらの針先が矩形の少なくとも隣り合う２つの辺に位置するように、少なくとも２つのグループに分けて取付体に配置しなければならない。
【００１２】
しかし、上記したように、取付部の先端部から横方向へ伸びるアーム部を有するプローブを用いると、１つの集積回路の電極数と同数のプローブをその集積回路に対応する大きさのプローブ配置領域内に配置することが難しい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の目的は、横方向へ伸びる伸長部を有するプローブを用いるにもかかわらず、１つの集積回路の電極数と同数のプローブをその集積回路に対応する大きさのプローブ配置領域内に配置することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る電気的接続装置は、少なくとも１つのプローブ配置領域を一方の面に有しかつ前記プローブ配置領域内に複数のランドを有するプローブ取付体と、平面的に見て前記プローブ配置領域内に位置された複数のプローブとを含む。
【００１５】
各プローブは、前記ランドから前記プローブ配置領域と交差する縦方向に伸びる取付部であってこれの一端部において前記ランドに取り付けられた取付部と、該取付部の他端部から横方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から前記取付部の側と反対側に伸びる伸長部と、該伸長部の先端側に設けられた針先とを有する。
【００１６】
少なくとも１つのプローブの前記アーム部は、少なくとも１つの他のプローブの前記アーム部から前記他のプローブの前記取付部の側又は前記伸長部の側に間隔をおいて前記他のプローブの前記アーム部を横切る方向へ伸びている。
【００１７】
前記少なくとも１つのプローブの前記アーム部から前記針先の先端までの長さ寸法と前記他のプローブの対応する箇所の長さ寸法とは、前記縦方向における少なくとも前記アーム部の寸法分以上異なっていてもよい。
【００１８】
前記少なくとも１つのプローブの前記取付部から前記アーム部の先端までの長さ寸法と前記他のプローブの対応する箇所の長さ寸法とは、前記縦方向における少なくとも前記アーム部の寸法分異なっていてもよい。
【００１９】
前記少なくとも１つのプローブは複数のプローブを含むことができ、またそれらの前記針先は仮想直線上に該仮想直線の方向に間隔をおいて配置されていてもよい。
【００２０】
前記プローブ配置領域は矩形の領域であり、前記少なくとも１つのプローブの前記針先は前記矩形の隣り合う２つの辺が交差する隅角部又はその近傍に位置されていてもよい。
【００２１】
前記少なくとも１つのプローブは、前記隣り合う２つの辺が交差する隅角部に前記針先が位置された隅角プローブを含むことができる。
【００２２】
上記の代わりに、前記少なくとも１つのプローブは、前記隣り合う２つの辺が交差する隅角部の近傍に前記針先が位置された少なくとも１つの近傍プローブを含むことができる。
【００２３】
好ましい実施例においては、前記少なくとも１つのプローブは、前記隣り合う２つの辺が交差する隅角部に前記針先が位置された隅角プローブと、前記針先が前記隅角部の近傍に位置された少なくとも１つの近傍プローブとを含む。
【００２４】
前記複数のプローブは、前記針先が前記隣り合う２つの辺の一方と平行の第１の仮想直線に整列された第１のグループに属するプローブと、前記針先が前記隣り合う２つの辺の他方と平行の第２の仮想直線に整列された第２のグループに属するプローブとに分けられていてもよい。前記墨角プローブの前記アーム部は前記１の仮想直線と交差する方向に伸びていてもよい。前記近傍プローブの前記アーム部は前記１の仮想直線の方向に伸びていてもよい。前記第１のグループに属するプローブのうち、前記他のプローブの前記アーム部は前記１の仮想直線と交差する方向に伸びていてもよいし、前記第２のグループに属するプローブのうち、前記他のプローブの前記アーム部は前記２の仮想直線と交差する方向に伸びていてもよい。
【００２５】
各プローブは板の形状を有することができる。各プローブの前記取付部並びに前記アーム部及び前記伸長部は同じ平面内を伸びていてもよい。
【００２６】
好ましい実施例においては、電気的接続装置は、板状又はシート状のプローブ取付体であって矩形をした少なくとも１つのプローブ配置領域を一方の面に有しかつ前記プローブ配置領域内に複数のランドを有するプローブ取付体と、平面的に見て前記プローブ配置領域内に位置された複数のプローブとを含み、各プローブは、前記ランドから前記プローブ配置領域と交差する縦方向に伸びる取付部であってこれの一端部において前記ランドに取り付けられた取付部と、該取付部の他端部から横方向へ伸びるアーム部と、該伸長部の先端部から前記アーム部の側と反対側に伸びる伸長部と、該伸長部の先端側に設けられた針先とを有し、前記矩形の隣り合う２つの辺が交差する隅角部又はその近傍に前記針先が位置する少なくとも１つの隅角部プローブの前記アーム部は、少なくとも１つの他のプローブの前記アーム部から前記他のプローブの前記取付部の側又は前記伸長部の側に間隔をおいて前記他のプローブの前記アーム部を横切る方向へ伸びており、前記少なくとも１つのプローブの前記アーム部から前記針先の先端までの長さ寸法又は前記少なくとも１つのプローブの前記取付部から前記アーム部の先端までの長さ寸法と、前記他のプローブの対応する箇所の長さ寸法とは、前記縦方向における少なくとも前記アーム部の寸法分以上異なる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明においては、少なくとも１つのプローブのアーム部が少なくとも１つの他のプローブのアーム部から他のプローブの取付部の側又は伸長部の側に間隔をおいて他のプローブのアーム部を横切る方向へ伸びている。このため、本発明によれば、少なくとも１つのプローブのアーム部が少なくとも１つの他のプローブのアーム部と干渉しない。その結果、各プローブが横方向へ伸びるアーム部を有するにもかかわらず、１つの集積回路の電極数と同数のプローブをその集積回路に対応する大きさのプローブ配置領域内に配置することができる。
【００２８】
複数のプローブが、針先が矩形の隣り合う２つの辺の一方と平行の第１の仮想直線に整列された第１のグループに属するプローブと、針先が前記隣り合う２つの辺の他方と平行の第２の仮想直線に整列された第２のグループに属するプローブとに分けられており、しかも前記少なくとも１つのプローブが、第１又は第２のグループに属し、また隣り合う２つの辺が交差する隅角部に針先が位置された隅角プローブ、前記隅角部の近傍に針先が位置された少なくとも１つの近傍プローブを含むと、プローブが矩形の隅角部又はその近傍にも配置され、その結果電極が矩形の隅角部又はその近傍にも配置された被検査体の試験にも用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
［用語の説明］
【００３０】
以下の実施例の説明において、上下方向とは、図２における上下方向のことをいう。しかし、本発明でいう上下方向は、プローバに対する検査時の被検査体の姿勢により異なる。したがって、本発明でいう上下方向は、実際の検査装置（テスター）に応じて、上下方向、その逆の方向、水平方向、及び水平面に対し傾斜する傾斜方向のいずれかの方向となるように決定してもよい。
【００３１】
［実施例の説明］
【００３２】
図１から図５を参照するに、電気的接続装置１０は、未切断の矩形をした複数の集積回路すなわち被検査領域をマトリクス状に有する図５に示す半導体ウエーハを平板状の被検査体１２とし、またそのような複数の被検査領域の通電試験を同時に又は複数回に分けて行うことができるように構成されている。
【００３３】
各被検査領域は、矩形の各辺に所定の配置ピッチで一列に配置された複数のパッド電極１４を上面に有している。各被検査領域の電極１４は、矩形の短辺に対応された２つの第１のグループと、矩形の長辺に対応された２つの第２のグループとに分けられている。各グループの電極１４は、対応する辺の延在方向に間隔をおいて一列に配置されている。このため、電極１４は矩形の４つの隅角部のそれぞれにも配置されている。
【００３４】
接続装置１０は、上面及び下面を有する板状又はシート状のプローブ取付体２０と、取付体２０の下面に配置された導電性の複数の接触子すなわちプローブ２２とを含む。
【００３５】
取付体２０は、配線基板、プローブ基板、プローブシート等のように、複数のプローブ２２を取り付けるために絶縁材料で製作された基板又はシートである。図示の例では、取付体２０は配線基板である。
【００３６】
取付体２０が配線基板である場合、取付体２０は、テスターの電気回路に接続される導電性の複数のテスターランドを上面の周縁部に有していると共に、プローブ２２を取り付けるための平坦な複数の取付部すなわち取付ランド２４を下面に有しており、またテスターランドと取付ランド２４とを一対一の形に電気的に接続する複数の配線を内部に有している。
【００３７】
取付体２０がプローブ基板である場合、取付体２０は、配線基板の配線に電気的に接続される平坦な導電性の複数の接続ランドを上面に有すると共に、プローブ２２を取り付けるための平坦な複数の取付ランド２４を下面に有しており、また接続ランドと取付ランド２４とを一対一の形に電気的に接続する複数の配線を内部に有している。
【００３８】
取付体２０がプローブ基板の場合、配線基板とプローブ基板とは、これらを厚さ方向に貫通する複数の位置決めピンにより相対的位置決めをされて、複数のねじ部材により相互に結合されている。
【００３９】
取付体２０がプローブシートである場合、取付体２０は、配線基板、プローブ基板等の配線に電気的に接続される平坦な導電性の複数の接続ランドを上面に有すると共に、プローブ２２を取り付けるための平坦な複数の取付ランド２４を下面に有しており、また接続ランドと取付ランド２４とを一対一の形に電気的に接続する複数の配線を内部に有している。
【００４０】
取付体２０がプローブシートの場合、取付体２０は、配線基板、プローブ基板、支持体等の支持部材に取り付けられてそれに支持される。
【００４１】
取付体２０は、その下面に複数のプローブ配置領域２６を有する。それらのプローブ配置領域２６は、同時に試験すべき集積回路（被検査領域）毎に１対１の関係に割り当てられたている。図は、１つの集積回路用の矩形のプローブ配置領域２６を示すにすぎないが、実際には同時に試験することができる集積回路数と同数の複数のプローブ配置領域２６が備えられている。
【００４２】
各プローブ配置領域２６には、対応する集積回路に備えられている電極数と同数の取付ランド２４が設けられている。各ランド２４は、導電性材料で長方形の形状に作られている。
【００４３】
各被検査領域のランド２４は、矩形（プローブ配置領域２６）の短辺に対応する２つの第１のグループと、矩形の長辺に対応する２つの第２のグループとに分けられている。各グループのランド２４は、対応する辺が延在する方向に間隔をおいて一列に配置されて、被検査体の電極１４に個々に対応されている。
【００４４】
各プローブ２２は、その１つを図５に代表して示すように、ランド２４からプローブ配置領域２６と交差する下方へ伸びる取付部３０と、取付部３０の下端部から水平方向へ伸びるアーム部３２と、アーム部３２の下端部から取付部３０の側と反対側の下方へ伸びる伸長部３４と、伸長部３４の下端から下方に突出する針先３６とを有している。
【００４５】
各プローブ２２は、導電性材料により板状をしたブレード針とされている。図示の例では、延長部２８，各アーム部３０及び各伸長部３２の幅寸法及び厚さ寸法は同じとされている。しかし、それらの幅寸法及び厚さ寸法は異なっていてもよい。
【００４６】
プローブ２２の伸長部３２は針先部として作用する。針先２４の幅寸法及び厚さ寸法は、延長部２８，各アーム部３０及び各伸長部３２の厚さ寸法同じとすることができる。しかし、針先２４の幅寸法及び厚さ寸法の少なくとも一方を、延長部２８等の厚さ寸法より小さくしてもよい。
【００４７】
各プローブ２２の取付部３０は、座部４０と、座部４０から下方へ伸びる延長部４２とを有しており、また座部４０の上端部において半田のような導電性接着剤により対応するランド２４に接着されている。各プローブ２２は、被検査体１２の電極１４に１体１の関係に対応されて、針先３６が対応する電極１４に対向可能に取付体２０に配置されている。
【００４８】
各プローブ２２の取付部３０、アーム部３２及び伸長部３４のそれぞれは、帯板状の形状を有しており、またそれぞれの長手方向に長い長穴４４を有している。
【００４９】
プローブ２２は、矩形の短辺に対応されて針先３６が対応する短辺と平行の仮想直線上に位置された２つの第１のグループと、矩形の長辺に対応されて針先３６が対応する長辺と平行な仮想直線上に位置された２つの第２のグループとに分けられている。各グループのプローブ２２は、被検査体１２の対応する電極１４に個々に対応されて、針先３４が対応する電極と対向可能に取付体２０に配置されている。
【００５０】
各プローブ２２は、取付部３０の上端からアーム部３２までの縦方向長さ寸法Ｌ１，アーム部３２から針先３６の下端までの縦方向長さ寸法Ｌ２、及び取付部３０から伸長部３４までの横方向長さ寸法Ｌ３を有しており、またＬ１と、Ｌ２と、アーム部３２の縦方向幅寸法Ｌ４との和である総長さ寸法Ｌ０を有する。
【００５１】
プローブ２２の総長さ寸法Ｌ０と、横方向長さ寸法Ｌ３と、縦方向幅寸法Ｌ４とは、プローブ２２相互の間で同じであるが、縦方向長さ寸法Ｌ１及びＬ２は、プローブ２２の配置位置に応じて異なる。
【００５２】
針先３６が矩形の隅角部に位置された各墨角プローブ２２ａは、第１及び第２のグループのいずれか一方に属するが、第１及び第２のグループのいずれにも属さないようにしてもよい。しかし、各墨角プローブ２２ａは、アーム部３２が矩形の短辺が延在する方向に伸びるように、対応するランド２４に取り付けられている。
【００５３】
針先３６が矩形の隅角部の近傍に位置された各近傍プローブ２２ｂは、図示の例では、第２のグループに属しており、またアーム部３２が矩形の長辺の延在方向に伸びるように、対応するランド２４に取り付けられている。しかし、各近傍プローブ２２ｂを第１及び第２のグループのいずれか一方に属するように配置してもよい。
【００５４】
図示の例では、針先３６を隅角部の近傍とされた２つの近傍プローブ２２ｂが各隅角部の近傍に配置されている。針先３６が矩形の短辺に位置された各他のプローブ２２ｃは、第１のグループに属するが、アーム部３２が矩形の短辺を横切る方向に伸びるように、対応するランド２４に取り付けられている。
【００５５】
針先３６が矩形の長辺に位置された各他のプローブ２２ｄは、第２のグループに属するが、アーム部３２が矩形の長辺を横切る方向に伸びるように、対応するランド２４に取り付けられている。
【００５６】
しかし、上記のようなグループ分けは、矩形の短辺及び長辺の側をそれぞれ上記したように第１及び第２のグループとした場合であるから、前記とは逆に矩形の短辺及び長辺の側をそれぞれ第２及び第１のグループとした場合は前記と逆になる。
【００５７】
各墨角プローブ２２ａは、第１のグループに属する複数の他のプローブ２２ｃのアーム部３２の上側をそれら他のプローブ２２ｃを横切る方向へ伸びている。このため、各墨角プローブ２２ａの寸法Ｌ１は他のプローブ２２ｃのそれより小さく、各墨角プローブ２２ａの寸法Ｌ２は他のプローブ２２ｃのそれより大きい。
【００５８】
各近傍プローブ２２ｂは、第２のグループに属する複数の他のプローブ２２ｄのアーム部３２の上側をそれら他のプローブ２２ｄを横切る方向へ伸びている。このため、各近傍プローブ２２ｂの寸法Ｌ１は他のプローブ２２ｄのそれより小さく、各近傍プローブ２２ｂの寸法Ｌ２は他のプローブ２２ｄのそれより大きい。
【００５９】
針先３６が最も隅角部の近くに位置された各近傍プローブ２２ｂは、他の近傍プローブ２２ｂのアーム部３２の上側をその他の近傍プローブ２２ｂのアーム部３２の長手方向へ伸びている。このため、針先３６が最も隅角部の近くに位置された各近傍プローブ２２ｂの寸法Ｌ１は他の近傍プローブ２２ｂのそれより小さく、針先３６が最も隅角部の近くに位置された各近傍プローブ２２ｂの寸法Ｌ２は他の近傍プローブ２２ｂのそれより大きい。
【００６０】
電気的接続装置１０は、針先３６が下方側となる状態に、テスターに取り付けられる。テスターに取り付けられた状態において、電気的接続装置１０は、各プローブ２２の針先３６を被検査体１２のパッド電極１４に押圧される。
【００６１】
これにより、オーバードライブが各プローブ２２に作用し、各プローブ２２はアーム部３２において弾性変形する。この状態で、テスターから取付体２０のランド２４を介して、所定のプローブ２２に通電され、所定のプローブ２２から電気信号がテスターの電気回路に返される。
【００６２】
電気的接続装置１０においては、墨角プローブ２２ａ及び近傍プローブ２２ｂのアーム部３２がそれぞれ他のプローブ２２ｃ及び２２ｄのアーム部３２と干渉しない。その結果、各プローブ２２が横方向へ伸びるアーム部３２を有するにもかかわらず、１つの集積回路の電極数と同数のプローブ２２をその集積回路に対応する大きさのプローブ配置領域２６内に配置することができる。
【００６３】
電気的接続装置１０においては、また、プローブ２２が矩形の隅角部及びその近傍にも配置されるから、電極１４が矩形の隅角部及びその近傍にも配置された被検査体１２の試験にも用いることができる。
【００６４】
電気的接続装置１０においては、さらに、プローブ２２の横方向長さ寸法を小さくすることができる。
【００６５】
墨角プローブ２２ａ及び近傍プローブ２２ｂのアーム部３２は、上記実施例では、それぞれ、他のプローブ２２ｄ及び２２ｃのアーム部３２の上側を横方向に伸びているが、他のプローブ２２ｄ及び２２ｃのアーム部３２の下側を横方向に伸びていてもよい。
【００６６】
また、図示の例では、墨角プローブ２２ａ及び近傍プローブ２２ｂの両者を備えているが、それらの一方のみを備えていてもよい。
【００６７】
さらに、各プローブ２２の針先３６を矩形の辺と平行の仮想直線上に位置させる代わりに、アーム部３２が少なくとも1つの他のプローブ２２のアーム部３２を横切る方向へ伸びている少なくとも1つのプローブ２２を備えていてもよい。
【００６８】
さらにまた、ブレードタイプのプローブを用いる代わりに、導電性金属細線を用いたニードルタイプのプローブを用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載の趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す底面図である。
【図２】図１示す電気的接続装置を図１における矢印２方向から見た斜視図である。
【図３】図１示す電気的接続装置を図１における矢印３方向から見た図である。
【図４】図１示す電気的接続装置を図１における矢印４方向から見た図である。
【図５】図１示す電気的接続装置で用いるプローブの一実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００７１】
１０  電気的接続装置
１２  被検査体
１４  パッド電極
２０  プローブ取付体
２２  プローブ
２２ａ  墨角プローブ
２２ｂ  近傍プローブ
２２ｃ，２２ｄ  他のプローブ
２４  取付ランド
２６  プローブ配置領域
３０  取付部
３２  アーム部
３４  伸長部
３６  針先
４０  座部
４２  延長部
４４  長穴
【図１】
2009025267.tif 000003
【図２】
2009025267.tif 000004
【図３】
2009025267.tif 000005
【図４】
2009025267.tif 000006
【図５】
2009025267.tif 000007