(57)【要約】【課題】チャックテーブルを切削送り方向に移動せしめるための移動手段を覆う蛇腹機構を設けることなく、移動手段に切断屑および切削水が付着することを防止することができる切削装置を提供する。【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルを備えたチャックテーブル機構と、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、チャックテーブルを切削送り方向に移動せしめる切削送り手段とを具備する切削装置であって、チャックテーブル機構はチャックテーブルを支持する支持テーブルと、支持テーブルの片側を片持ちで支持する移動基台とを具備し、切削送り手段は移動基台を切削送り方向に移動可能に案内する案内手段と、移動基台を該案内手段に沿って移動せしめる移動手段とを具備しており、支持テーブルの下側に案内手段に沿って配置され切削屑および切削水を受け入れる受け入れ開口を有する切削屑収容容器を備えている。【選択図】図１
2009090402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルを備えたチャックテーブル機構と、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、該チャックテーブルを切削送り方向に移動せしめる切削送り手段と、を具備する切削装置において、
該チャックテーブル機構は、該チャックテーブルを支持する支持テーブルと、該支持テーブルの片側を片持ちで支持する移動基台とを具備し、
該切削送り手段は、該移動基台を切削送り方向に移動可能に案内する案内手段と、該移動基台を該案内手段に沿って移動せしめる移動手段とを具備しており、
該支持テーブルの下側に該案内手段に沿って配置され切削屑および切削水を受け入れる受け入れ開口を有する切削屑収容容器を備えている、
ことを特徴とする切削装置。
【請求項２】
該移動基台は、該支持テーブルの片側を片持ちで支持する支持部と、該支持部の下端から他側に向けて水平に突出する被支持部とからなっており、該被支持部が該案内手段に沿って案内される、請求項１記載の切削装置。
【請求項３】
該切削屑収容容器の底壁には排出開口が設けられており、該切削屑収容容器の下側には該排出開口から排出された切削屑を搬送する切削屑搬送手段が配設されている、請求項１又は２記載の切削装置。
【請求項４】
該チャックテーブル機構は該第１のチャックテーブル機構と該第２のチャックテーブル機構とからなり、該切削送り手段は同一平面内に平行に配設され該第１のチャックテーブル機構と該第２のチャックテーブル機構をそれぞれ切削送り方向に移動せしめる第１の切削送り手段と第２の切削送り手段とからなっており、該第１の切削送り手段を構成する該移動基台と該第２の切削送り手段を構成する該移動基台はそれぞれ該支持テーブルの外側を片持ちで支持し、該切削屑収容容器は該第１の切削送り手段を構成する該支持テーブルおよび該第の切削送り手段を構成する該支持テーブルの下側に配設されている、請求項１から３のいずれかに記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を切削するための切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列された多数の領域にＩＣ、ＬＳＩ等の回路を形成し、該回路が形成された各領域を所定のストリートといわれる切断ラインに沿ってダイシングすることにより個々の半導体チップを製造している。このようにして分割された半導体チップは、パッケージングされて携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用されている。
【０００３】
携帯電話やパソコン等の電気機器はより軽量化、小型化が求められており、半導体チップのパッケージもチップサイズパッケージ（ＣＳＰ）と称する小型化できるパッケージ技術が開発されている。ＣＳＰ技術の一つとして、Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｎｏｎ−ｌｅａｄ  Ｐａｃｋａｇｅ（ＱＦＮ）と称するパッケージ技術が実用化されている。このＱＦＮと称するパッケージ技術は、半導体チップの接続端子に対応した接続端子が複数形成されているとともに半導体チップ毎に区画するストリートが格子状に形成された銅板等の金属板に複数個の半導体チップをマトリックス状に配設し、半導体チップの裏面側から樹脂をモールディングした樹脂部によって金属板と半導体チップを一体化することによりＣＳＰ基板を形成する。このＣＳＰ基板をストリートに沿って切断することにより、個々にパッケージされたチップサイズパッケージ（ＣＳＰ）に分割する。
【０００４】
上記ＣＳＰ基板の切断は、一般にダイシング装置とよばれる精密切削装置によって施される。この切削装置は、往復動せしめられるチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工部を切断するための切削手段とを具備している。切削手段はダイヤモンド粒子を含有した円板形状の回転ブレードから構成されている。また、切削手段には純水でよい加工水を供給するための加工水供給手段が付設されている。チャックテーブルが往動及び／又は復動する際に、チャックテーブル上のＣＳＰ基板に回転する切削ブレードが作用せしめられ、ＣＳＰ基板の切断が遂行される。チャックテーブルを切削送り方向にせしめるための移動手段は、移動方向に延在する回転自在な雄ネジロッドと、この雄ネジロッドに螺合せしめられた雌ねじ部材とを含んでおり、チャックテーブルは雌ねじ部材に装着されている。雄ネジロッドおよび雌ねじ部材は精密機械要素であり、この精密機械要素に切断屑および加工水が付着することを防ぐ必要がある。回転ブレードの回転方向に起因して切断屑および加工水は、主として、チャックテーブルの移動方向に見て片側、例えばＣＳＰ基板に作用する部位がチャックテーブルの移動方向に切削ブレードが回転せしめられる場合にはチャックテーブルの移動方向に見て下流側、に飛散せしめられる。加工水の一部は霧となりチャックテーブルの移動方向に見て上流側にも飛散する。そこで、チャックテーブルの移動方向に見て少なくとも片側、通常は両側、に蛇腹機構を配設して雄ネジロッド等の精密機械要素を覆っている。チャックテーブルが往動または復動する場合には、チャックテーブルの往動方向に見て下流側に配置された蛇腹機構は収縮され、上流側に配置された蛇腹機構は伸張される。チャックテーブルが復動する場合には、チャックテーブルの往動方向に見て上流側に配置された蛇腹機構は収縮され、下流側に配置された蛇腹機構は伸張される。
【０００５】
上述した切削装置によってＣＳＰ基板を切断する場合、ＣＳＰ基板の縁部にはＣＳＰが形成されていない所謂耳部が存在し、この耳部が比較的大きな切断屑として、チャックテーブルの移動方向に見て片側、例えばＣＳＰ基板に作用する部位がチャックテーブルの往動方向に移動する方向に切削ブレードが回転せしめられる場合にはチャックテーブルの往動方向に見て下流側、に配置されている蛇腹機構上に飛散せしめられる。蛇腹機構上に飛散した比較的大きな切断屑は、蛇腹機構の円滑な収縮及び伸張を阻害する傾向がある。蛇腹機構は、円滑に収縮および伸張せしめられることが必要である故に、通常、布或いはその類似シート材料で形成されている。従って、蛇腹機構上に飛散した比較的大きな切断屑によって、蛇腹手段に穴等の損傷が生成される虞も少なくない。
【０００６】
上記問題を解消するために、蛇腹部材の上面を覆う蛇腹カバーを配設した蛇腹機構が下記特許文献１に開示されている。この蛇腹カバーは、蛇腹部材の複数の山部にそれぞれ装着された複数のプレート部材からなっている。
【特許文献１】特開２００４−１８６３６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
而して、蛇腹部材の上面を覆う蛇腹カバーは蛇腹部材の複数の山部にそれぞれ装着された複数のプレート部材からなっているので、プレート部材間に切断屑が挟まり、プレート部材が破損するという問題がある。
【０００８】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、チャックテーブルを切削送り方向に移動せしめるための移動手段を覆う蛇腹機構を設けることなく、移動手段に切断屑および切削水が付着することを防止することができる切削装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルを備えたチャックテーブル機構と、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、該チャックテーブルを切削送り方向に移動せしめる切削送り手段と、を具備する切削装置において、
該チャックテーブル機構は、該チャックテーブルを支持する支持テーブルと、該支持テーブルの片側を片持ちで支持する移動基台とを具備し、
該切削送り手段は、該移動基台を切削送り方向に移動可能に案内する案内手段と、該移動基台を該案内手段に沿って移動せしめる移動手段とを具備しており、
該支持テーブルの下側に該案内手段に沿って配置され切削屑および切削水を受け入れる受け入れ開口を有する切削屑収容容器を備えている、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
【００１０】
上記移動基台は、上記支持テーブルの片側を片持ちで支持する支持部と、該支持部の下端から他側に向けて水平に突出する被支持部とからなっており、該被支持部が上記案内手段に沿って案内される。
また、上記切削屑収容容器の底壁には排出開口が設けられており、切削屑収容容器の下側には該排出開口から排出された切削屑を搬送する切削屑搬送手段が配設されている。
上記チャックテーブル機構は第１のチャックテーブル機構と第２のチャックテーブル機構とからなり、上記切削送り手段は同一平面内に平行に配設され第１のチャックテーブル機構と第２のチャックテーブル機構をそれぞれ切削送り方向に移動せしめる第１の切削送り手段と第２の切削送り手段とからなっており、第１の切削送り手段を構成する移動基台と第２の切削送り手段を構成する移動基台はそれぞれ支持テーブルの外側を片持ちで支持し、上記切削屑収容容器は第１の切削送り手段を構成する支持テーブルおよび第の切削送り手段を構成する支持テーブルの下側に配設されている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明による切削装置は、切削屑収容容器がチャックテーブルをそれぞれ支持し片側が移動基台に片持ちで支持される支持テーブルの下側に配設されているので、切削工程において飛散された端材を含む切削屑および切削水は確実に切削屑収容容器内に落下する。従って移動基台を切削送り方向に移動せしめる切削送り手段を構成する移動手段に端材を含む切削屑および切削水が落下することはない。このため、従来の切削装置のようにチャックテーブルを往復動せしめるための移動機構を覆う蛇腹機構を設ける必要がない。また、本発明においては、切削送り手段を構成する移動基台は、支持テーブルの片側を片持ちで支持する支持部と、該支持部の下端からそれぞれ他側に向けて水平に突出する被支持部とからなっているので、チャックテーブル機構の切削送り方向と直交する方向の寸法が増大することはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明に従って構成された切削装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
図１には本発明に従って構成された切削装置の要部斜視図が示されており、図２には図１に示す切削装置において切削屑収容容器および切削屑搬送手段を省略した斜視図が示されている。
図１および図２に示された切削装置は、静止基台２を具備している。この静止基台２上には、被加工物を保持する第１のチャックテーブル機構３aおよび第２のチャックテーブル機構３bと、該第１のチャックテーブル機構３aおよび第２のチャックテーブル機構３bをそれぞれを矢印Xで示す切削送り方向に往復動せしめる第１の切削送り手段４aおよび第２の切削送り手段４bが配設されている。
【００１４】
図示の実施形態における第１のチャックテーブル機構３aおよび第２のチャックテーブル機構３bは、それぞれ被加工物を吸引保持する第１のチャックテーブル３１aおよび第２のチャックテーブル３１bと、該第１のチャックテーブル３１aおよび第２のチャックテーブル３１bをそれぞれ支持する第１の支持テーブル３２aおよび第2の支持テーブル３２bと、該第１の支持テーブル３２aおよび第2の支持テーブル３２bの片側（外側）をそれぞれ片持ちで支持する第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bを具備している。第１のチャックテーブル３１aおよび第２のチャックテーブル３１bは、それぞれ図示しない吸引手段に接続されており、図示しない吸引手段によって吸引源に選択的に連通することにより、吸着チャック３１１aおよび３１１b上に載置された被加工物を吸引保持する。また、第１のチャックテーブル３１aおよび第２のチャックテーブル３１bは、それぞれ図示しない回動手段によって適宜回動せしめられるようになっている。このように構成された第１のチャックテーブル３１aおよび第２のチャックテーブル３１bは、それぞれ第１の支持テーブル３２aおよび第2の支持テーブル３２b上に配設される。
【００１５】
第１の支持テーブル３２aおよび第2の支持テーブル３２bは、それぞれ矩形状の板状部材によって形成され、それぞれ片側（外側）部が第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bによって片持ちで支持されている。第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bは、それぞれ第１の支持テーブル３２aおよび第2の支持テーブル３２bの片側（外側）を片持ちで支持する支持部３３１および３３１と、該支持部３３１および３３１の下端からそれぞれ他側（内側）に向けて水平に突出する被支持部３３２および３３２とからなっている。この被支持部３３２および３３２には、それぞれ切削送り方向Xに沿って形成された一対の被案内溝３３３、３３３および３３３、３３３が形成されている。
【００１６】
以上のように構成された第１のチャックテーブル機構３aおよび第２のチャックテーブル機構３bは、それぞれ第１の切削送り手段４aおよび第２の切削送り手段４bによって矢印Xで示す切削送り方向に移動可能に支持される。第１の切削送り手段４aおよび第２の切削送り手段４bは、同一平面内に平行に配設されそれぞれ上記第１のチャックテーブル機構３aを構成する第１の移動基台３３aおよび第２のチャックテーブル機構３bを構成する第２の移動基台３３bを矢印Xで示す切削送り方向に移動可能に支持する第１の案内手段４１aおよび第２の案内手段４１bと、第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bをそれぞれ第１の案内手段４１aおよび第２の案内手段４１bに沿って移動せしめる第１の移動手段４２aおよび第２の移動手段４２bを具備している。第１の案内手段４１aおよび第２の案内手段４１bは、静止基台２上に矢印Xで示す切削送り方向に沿って平行に配設されたそれぞれ一対の第１の案内レール４１１a、４１１aおよび第２の案内レール４１１b、４１１bからなっている。この一対の第１の案内レール４１１a、４１１aおよび第２の案内レール４１１b、４１１bに上記第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bの被支持部３３２および３３２に形成された一対の被案内溝３３３、３３３および３３３、３３３を嵌合することにより、第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bは第１の案内レール４１１a、４１１aおよび第２の案内レール４１１b、４１１bに沿って移動可能に支持される。
【００１７】
第１の案内レール４１１a、４１１aおよび第２の案内レール４１１b、４１１bに支持された第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bは、それぞれ第１の移動手段４２aおよび第２の移動手段４２bによって第１の案内レール４１１a、４１１aおよび第２の案内レール４１１b、４１１bに沿って移動せしめられる。第１の移動手段４２aおよび第２の移動手段４２bは、それぞれ第１の案内レール４１１a、４１１a間および第２の案内レール４１１b、４１１b間に平行に配設され一端が静止基台２に配設された軸受け（図示せず）によって回転可能に支持された第１の雄ネジロッド４２１aおよび第２の雄ネジロッド４２１bと、該第１の雄ネジロッド４２１aおよび第２の雄ネジロッド４２１bの他端に連結され第１の雄ネジロッド４２１aおよび第２の雄ネジロッド４２１b正転または逆転駆動する第１のパルスモータ４２２aおよび第２のパルスモータ４２２bとからなっている。このように構成された第１の移動手段４２aおよび第２の移動手段４２bは、それぞれ第１の雄ネジロッド４２１aおよび第２の雄ネジロッド４２１bが上記第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bの被支持部３３２および３３２に形成された雌ネジ３３４および３３４に螺合される。従って、第１の移動手段４２aおよび第２の移動手段４２bは、それぞれ第１のパルスモータ４２２aおよび第２のパルスモータ４２２bを駆動して第１の雄ネジロッド４２１aおよび第２の雄ネジロッド４２１bを正転または逆転駆動することにより、上記第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bをそれぞれ第１の案内レール４１１a、４１１aおよび第２の案内レール４１１b、４１１bに沿って矢印Xで示す切削送り方向に移動することができる。なお、一対の第１の案内レールと一対の第２の案内レールの前側端間および後側端間は、端壁４１２および４１３によって接続されている。従って、静止基台２の上面と第１の案内レール４１１aと第２の案内レール４１１bと端壁４１２および４１３によって収容室４１４が形成される。なお、静止基台２における収容室４１４を形成する領域には、排水口２２が設けられている。
【００１８】
図２を参照して説明を続けると、図示の実施形態における切削装置は、第１の支持テーブル３２aおよび第2の支持テーブル３２bの下側に第１の案内レール４１１a、４１１aおよび第２の案内レール４１１b、４１１bに沿って共通の切削屑収容容器５を備えている。切削屑収容容器５は、図３に示すように右側壁５１および左側壁５２と、前端壁５３および後端壁５４と、第１の底壁５５および第２の底壁５６を備え、上方が切削屑を受け入れる受け入れ開口５７として形成されている。第１の底壁５５と第２の底壁５６は、互いに内側に向け下方に傾斜して形成され、その内側端部が下方に向けて折り曲げ形成されており、両内端間に排出開口５８が設けられている。この排出開口５８は、上記収容室４１４に向けて開口される。また、切削屑収容容器５を構成する第１の底壁５５および第２の底壁５６の下面にはそれぞれ支持脚５５１および５６１が取り付けられており、この支持脚５５１および５６１が図４に示すように静止基台２における上記第１の案内レール４１１a、４１１aと第２の案内レール４１１b、４１１bの内側に配置される。
【００１９】
上述した切削屑収容容器５の下側には、図１に示すように切削屑収容容器５に落下し排出開口５８から排出された切削屑を搬送する切削屑搬送手段６が配設されている。切削屑搬送手段６は、図３に示すように切削屑収容容器５の後端壁５４側に配設された駆動ローラ６１と、切削屑収容容器５の前端壁５３側に駆動ローラ６１と平行に配設された従動ローラ６２と、駆動ローラ６１と従動ローラ６２に捲回されたメッシュ状の搬送ベルト６３と、駆動ローラ６１を回転駆動する電動モータ６４と、駆動ローラ６１および従動ローラ６２の回転軸をそれぞれ回転自在に支持する支持ブラケット６５、６５および６６、６６とからなっており、支持ブラケット６５、６５および６６、６６が静止基台２上に取り付けられる。このように構成された切削屑搬送手段６は、電動モータ６４を附勢(ON)し駆動ローラ６１を矢印６１aで示す方向に回転することにより、搬送ベルト６３を矢印６３aで示す方向に移動せしめる。
【００２０】
図１および図２を参照して説明を続けると、図示の実施形態における切削装置は、上記第１の案内レール４１１a、４１１aと第２の案内レール４１１b、４１１bを跨いで配設された門型の支持フレーム７を備えている。この門型の支持フレーム７は、上記第１の案内レール４１１a、４１１aの外側に配設された第１の柱部７１と第２の案内レール４１１b、４１１bの外側に配設された第２の柱部７２と、第１の柱部７１と第２の柱部７２の上端を連結し矢印Xで示す切削送り方向と直交する矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って配設された支持部７３とからなり、中央部には上記第１のチャックテーブル機構３aと第２のチャックテーブル機構３bの移動を許容する開口７４が設けられている。第１の柱部７１と第２の柱部７２の上端部はそれぞれ幅広に形成されており、この上端部にはそれぞれ後述する切削手段のスピンドルユニットの移動を許容する開口７１１と７２１が設けられている。上記支持部７３の一方の面には矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って一対の案内レール７３１、７３１が設けられており、他方の面には図５に示すように矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って一対の案内レール７３２、７３２が設けられている。
【００２１】
図示の実施形態における切削装置は、上記門型の支持フレーム７の支持部７３に設けられた一対の案内レール７３１、７３１に沿って移動可能に配設された第１のアライメント手段８aと第２のアライメント手段８bを備えている。第１のアライメント手段８aと第２のアライメント手段８bは、それぞれ移動ブロック８１と、該移動ブロック８１を一対の案内レール７３１、７３１に沿って移動するための移動手段８２、８２と、移動ブロック８１に装着された撮像手段８３、８３とからなっている。移動ブロック８１、８１にはそれぞれ上記一対の案内レール７３１、７３１と嵌合する被案内溝８１１、８１１が設けられており、この被案内溝８１１、８１１を一対の案内レール７３１、７３１に嵌合することにより、移動ブロック８１、８１は一対の案内レール７３１、７３１に沿って移動可能に構成される。
【００２２】
移動手段８２、８２は、それぞれ一対の案内レール７３１、７３１の間に平行に配設された雄ネジロッド８２１と、雄ネジロッド８２１の一端部を回転可能に支持する軸受８２２と、雄ネジロッド８２１の他端に連結され該雄ネジロッド８２１を正転または逆転駆動するパルスモータ８２３とからなっている。このように構成された移動手段８２、８２は、それぞれ雄ネジロッド８２１が上記移動ブロック８１、８１に形成された雌ネジ８１２に螺合される。従って、移動手段８２、８２は、それぞれパルスモータ８２３を駆動して雄ネジロッド８２１を正転または逆転駆動することにより、移動ブロック８１、８１を一対の案内レール７３１、７３１に沿って図１および図２において矢印Yで示す割り出し送り方向に移動することができる。
【００２３】
上記移動ブロック８１、８１にそれぞれ装着された撮像手段８３、８３は、それぞれ撮像素子（ＣＣＤ）を備えており、撮像した画像信号を図示しない制御手段に送る。
【００２４】
上記門型の支持フレーム７を構成する支持部７３の他方の面(上記第１のアライメント手段８aと第２のアライメント手段８bが配設された面と反対側の面)には、第１の切削手段９aと第２の切削手段９bが配設されている。第１の切削手段９aと第２の切削手段９bについて、図５および図６を参照して説明する。第１の切削手段９aと第２の切削手段９bは、それぞれ割り出し移動基台９１と切り込み移動基台９２およびスピンドルユニット９３を具備している。割り出し移動基台９１は、一方の面に上記支持部７３の他方の面に設けられた一対の案内レール７３２、７３２と嵌合する被案内溝９１１、９１１が設けられており、この被案内溝９１１、９１１を一対の案内レール７３２、７３２に嵌合することにより、割り出し移動基台９１は一対の案内レール７３２、７３２に沿って移動可能に構成される。また、割り出し移動基台９１の他方の面には、図５に示すように矢印Zで示す切り込み送り方向（第１のチャックテーブル３１aと第２のチャックテーブル３１bの載置面３１１a、３１１bに垂直な方向）に沿って一対の案内レール９１２、９１２(図５には一方の案内レールのみが示されている)が設けられている。なお、割り出し移動基台９１、９１の一方の面には、後述する割り出し送り手段の雄ネジロッドの挿通を許容する逃げ溝９１３、９１３が上下方向に段差を設けて設けられている。
【００２５】
上記切り込み移動基台９２は、上下方向に延びる被支持部９２１と、該被支持部９２１の下端から直角に水平に延びる装着部９２２とからなっている。図５に示すように被支持部９２１における装着部９２２側の面には上記割り出し移動基台９１の他方の面に設けられた一対の案内レール９１２、９１２と嵌合する被案内溝９２３、９２３(図５には一方の被案内溝のみが示されている)が設けられており、この被案内溝９２３、９２３を一対の案内レール９１２、９１２に嵌合することにより、切り込み移動基台９２は一対の案内レール９１２、９１２に沿って矢印Zで示す切り込み送り方向に移動可能に構成される。このようにして割り出し移動基台９１に装着された切り込み移動基台９２は、図１および図２に示すように装着部９２２が門型の支持フレーム７の上記割り出し移動基台９１が装着された他方の面側から開口９４を通して上記第１のアライメント手段８aと第２のアライメント手段８bが装着された一方の面側に突出して配置される。
【００２６】
上記スピンドルユニット９３は、第１の切削手段９aと第２の切削手段９bの切り込み移動基台９２を形成する装着部９２２の下面にそれぞれ装着されている。このスピンドルユニット９３は、それぞれ図６に示すようにスピンドルハウジング９３１と、該スピンドルハウジング９３１に回転可能に支持された回転スピンドル９３２と、該回転スピンドル９３２の一端に装着された切削ブレード９３３と、切削水を供給する切削水供給管９３４および回転スピンドル９３２を回転駆動する図示しないサーボモータを具備しており、回転スピンドル９３２の軸線方向が矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って配設されている。このように切り込み移動基台９２を形成する装着部９２２に装着されたスピンドルユニット９３は、図１および図２に示すように上記第１のアライメント手段８aと第２のアライメント手段８bと近接して配置されることになる。また、第１の切削手段９aの切削ブレード９３３と第２の切削手段９bの切削ブレード９３３は、互いに対向して配設されている。
【００２７】
図示の実施形態における第１の切削手段９aと第２の切削手段９bは、図６に示すように上記割り出し移動基台９１、９１を一対の案内レール７３２、７３２に沿って矢印Yで示す割り出し送り方向に移動するための割り出し送り手段９４、９４を具備している。割り出し送り手段９４、９４は、それぞれ一対の案内レール７３２、７３２の間に平行に配設された雄ネジロッド９４１と、雄ネジロッド９４１の一端部を回転可能に支持する軸受９４２と、雄ネジロッド９４１の他端に連結され該雄ネジロッド９４１を正転または逆転駆動するパルスモータ９４３とからなっている。なお、雄ネジロッド９４１、９４１は、上記割り出し移動基台９１、９１に設けられた逃げ溝９１３、９１３とそれぞれ対応する高さ位置に配設されている。このように構成された割り出し送り手段９４、９４は、それぞれ雄ネジロッド９４１、９４１が上記割り出し移動基台９１、９１に形成された雌ネジ９１４、９１４に螺合される。従って、割り出し送り手段９４、９４は、それぞれパルスモータ９４３、９４３を駆動して雄ネジロッド９４１、９４１を正転または逆転駆動することにより、割り出し移動基台９１、９１を一対の案内レール７３２、７３２に沿って図１および図２において矢印Yで示す割り出し送り方向に移動することができる。この割り出し移動基台９１、９１が移動する際に雄ネジロッド９４１、９４１が、割り出し移動基台９１、９１に設けられた逃げ溝９１３、９１３を挿通することにより、割り出し移動基台９１、９１はその移動が許容される。
【００２８】
また、図示の実施形態における第１の切削手段９aと第２の切削手段９bは、図５および図６に示すように上記切り込み移動基台９２、９２を一対の案内レール９１２、９１２に沿って矢印Zで示す切り込み送り方向に移動するための切り込み送り手段９５、９５を具備している。切り込み送り手段９５、９５は、それぞれ一対の案内レール９１２、９１２と平行に配設された雄ネジロッド９５１と、雄ネジロッド９５１の一端部を回転可能に支持する軸受９５２と、雄ネジロッド９５１の他端に連結され該雄ネジロッド９５１を正転または逆転駆動するパルスモータ９５３とからなっている。このように構成された切り込み送り手段９５、９５は、それぞれ雄ネジロッド９５１が上記切り込み移動基台９２の被支持部９２１に形成された雌ネジ９２２aに螺合される。従って、切り込み送り手段９５、９５は、それぞれパルスモータ９５３を駆動して雄ネジロッド９５１を正転または逆転駆動することにより、切り込み移動基台９２を一対の案内レール９１２、９１２に沿って図１および図２において矢印Zで示す切り込み送り方向に移動することができる。
【００２９】
図示の実施形態における切削装置は以上のように構成されており、以下その作動について主に図１を参照して説明する。
【００３０】
先ず、第１のチャックテーブル機構３aを構成する第１のチャックテーブル３１aの吸着チャック３１１a上に図示しない被加工物搬送手段によって被加工物としてのＣＳＰ基板Wが搬送される。このとき第１のチャックテーブル３１aは、図１に示す被加工物着脱位置に位置付けられている。なお、ＣＳＰ基板Wは、表面に格子状に形成された複数の分割予定ライン（ストリート)によって複数の矩形状の領域が形成され、この複数の矩形状の領域にそれぞれチップサイズパッケージ（ＣＳＰ）が形成されている。第１のチャックテーブル３１aの吸着チャック３１１a上に載置されたＣＳＰ基板Wは、図示しない吸引手段を作動することにより、第１のチャックテーブル３１a上に吸引保持される（第１の被加工物保持工程）。
【００３１】
上述したようにＣＳＰ基板Wを吸引保持した第１のチャックテーブル３１aは、第１の切削送り手段４aを構成する第１の移動手段４２aの作動により第１のアライメント領域に移動せしめられる。次に、第１のアライメント手段８aの移動手段８２を作動して、第１のアライメント手段８aの撮像手段８３を第１のチャックテーブル３１aの直上に位置付ける。撮像手段８３を第１のチャックテーブル３１aの直上に位置付けたならば、撮像手段８３によって第１のチャックテーブル３１aの吸着チャック３１１a上に保持されたＣＳＰ基板Wの表面が撮像され、ＣＳＰ基板Wの表面に形成された切削領域であるストリート(切断予定ライン)のうちの１本が検出される。そして、第１の切削手段９aの割り出し送り手段９４を作動して、切削ブレード９３３と上記撮像手段８３によって検出されたストリートとの位置合わせを行うアライメントが実施される。（第１のアライメント工程）。
【００３２】
第１のチャックテーブル３１aの吸着チャック３１１a上に保持されたＣＳＰ基板Wに対して第１のアライメント工程を実施している間に、図示しない被加工物搬送手段によって被加工物としてのＣＳＰ基板Wが図１に示す被加工物着脱位置に位置付けられている第２のチャックテーブル機構３bを構成する第２のチャックテーブル３１bの吸着チャック３１１b上に搬送される。第２のチャックテーブル３１bの吸着チャック３１１b上に載置されたＣＳＰ基板Wは、図示しない吸引手段を作動することにより、第２のチャックテーブル３１bの吸着チャック３１１b上に吸引保持される（第２の被加工物保持工程）。
【００３３】
第２のチャックテーブル３１bの吸着チャック３１１b上にＣＳＰ基板Wを吸引保持したならば、第２のチャックテーブル３１bは第２の切削送り手段４bを構成する第２の移動手段４２bの作動により第２のアライメント領域に移動せしめられる。次に、第2のアライメント手段８ｂの移動手段８２を作動して、第２のアライメント手段８ｂの撮像手段８３を第２のチャックテーブル３１ｂの直上に位置付ける。次に、第２のアライメント手段８ｂによって第２のチャックテーブル３１bの吸着チャック３１１bに保持されたＣＳＰ基板Wの切削すべき領域を検出する第２のアライメント工程を実施する。なお、第２のアライメント工程は、上述した第１のアライメント工程と同様に実施する。
【００３４】
一方、上記第１のアライメント工程が終了したならば、第１の切削手段９aの割り出し送り手段９４を作動して切削ブレード９３３を第１のチャックテーブル３１aの吸着チャック３１１aに保持されたＣＳＰ基板Wに形成された所定のストリートと対応する位置に位置付け、更に切り込み送り手段９５を作動して切削ブレード９３３を下降して所定の切り込み送り位置に位置付ける。そして、切削ブレード９３３を回転しつつ第１の切削送り手段４aを構成する第１の移動手段４２aを作動して第１のチャックテーブル３１aを切削送り方向である矢印Ｘ方向に切削領域まで移動することにより、第１のチャックテーブル３１aの吸着チャック３１１aに保持されたＣＳＰ基板Wは高速回転する切削ブレード９３３の作用を受けて、上記所定のストリートに沿って切削される第１の切削工程)。この切削工程においては、切削水供給管９３４から切削水が切削部に供給される。
【００３５】
上述したように第１のチャックテーブル３１aの吸着チャック３１１aに保持されたＣＳＰ基板Wを所定のストリートに沿って切削したならば、割り出し送り手段９４を作動して第１の切削手段９aのスピンドルユニット９３をストリートの間隔分だけ矢印Yで示す割り出し送り方向に移動し(割り出し送り工程)、上記第１の切削工程を実施する。このようにして、割り出し送り工程と第１の切削工程を繰り返し実施することにより、ＣＳＰ基板Wは所定方向に形成された全てのストリートに沿って切削される。所定方向の全てのストリートに沿ってＣＳＰ基板Wを切削したならば、ＣＳＰ基板Wを保持した第１のチャックテーブル３１aを９０度回転させる。そして、第１のチャックテーブル３１aの吸着チャック３１１aに保持されたＣＳＰ基板Wに上記割り出し送り工程と第１の切削工程を繰り返し実施することにより、ＣＳＰ基板Wは格子状に形成された全てのストリートに沿って切削され、個々のチップサイズパッケージ（ＣＳＰ）に分割される。
【００３６】
他方、上述したように第２のチャックテーブル３１bの吸着チャック３１１b上にＣＳＰ基板Wを吸引保持し、第２のアライメント工程を実施したならば、第２の切削手段９bによって上記割り出し送り工程と第２の切削工程を実施する。このように図示の実施形態における切削装置においては、第１のチャックテーブル３１aの吸着チャック３１１aに保持されたＣＳＰ基板Wに対して第１のアライメント工程と割り出し送り工程および第１の切削工程を実施している間に、第２のチャックテーブル３１bの吸着チャック３１１b上にＣＳＰ基板Wを保持し、第２のアライメントアライメント作業と割り出し送り工程および第２の切削工程を実施することができるので、生産性を向上することができる。なお、第１のチャックテーブル３１aに保持されたＣＳＰ基板Wに第１の切削手段９aおよび第２の切削手段９bによって同時に切削加工を施してもよい。
【００３７】
上述した第１の切削工程および第２の切削工程を実施することにより、端材を含む切削屑および切削水が飛散する。飛散した端材を含む切削屑および切削水は、切削屑収容容器５の受け入れ開口５７から切削屑収容容器５に入り、第１の底壁５５と第２の底壁５６の傾斜に沿って排出開口５８に移動し、該排出開口５８から排出される。排出開口５８から排出された端材を含む切削屑および切削水は、切削屑搬送手段６の搬送ベルト６３上に落下する。搬送ベルト６３上に落下した切削水は、搬送ベルト６３がメッシュ状になっているので収容室４１４内に落下し、排水口２２から排出される。一方、搬送ベルト６３上に落下した切削屑は、図３において矢印６３aで示す方向に搬送され、図示しない屑箱に送られる。なお、切削屑収容容器５は第１のチャックテーブル３１aおよび第２のチャックテーブル３１bをそれぞれ支持し片側(外側)が第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bに片持ちで支持される第１の支持テーブル３２aおよび第2の支持テーブル３２bの下側に第１の案内レール４１１a、４１１aおよび第２の案内レール４１１b、４１１bに沿って配設されているので、上述した第１の切削工程および第２の切削工程において飛散された端材を含む切削屑および切削水は確実に切削屑収容容器５内に落下する。従って、第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bを切削送り方向Xに移動せしめる第１の切削送り手段４aの第１の移動手段４２aおよび第２の切削送り手段４bの移動手段４２bに端材を含む切削屑および切削水が落下することはない。このため、従来の切削装置のようにチャックテーブルを往復動せしめるための移動機構を覆う蛇腹機構を設ける必要がない。また、図示の実施形態においては、第１のチャックテーブル３１aおよび第２のチャックテーブル３１bをそれぞれ支持する第１の支持テーブル３２aおよび第2の支持テーブル３２bは片側(外側)が第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bに片持ちで支持されるので、切削屑収容容器５を第１の支持テーブル３２aおよび第2の支持テーブル３２bの下側に配設することができる。従って、第１の切削手段９aの切削ブレード９３３と第２の切削手段９bの切削ブレード９３３が互いに対向して配設された所謂２スピンドル式切削装置においては、切削送り方向Xと直交する割り出し送りYの寸法を増大することなく切削屑収容容器５を配設することができる。また、図示の実施形態においては、第１の移動基台３３aおよび第２の移動基台３３bは、それぞれ第１の支持テーブル３２aおよび第2の支持テーブル３２bの片側（外側）を片持ちで支持する支持部３３１および３３１と、該支持部３３１および３３１の下端からそれぞれ他側（内側）に向けて水平に突出する被支持部３３２および３３２とからなっているので、第１のチャックテーブル機構３aおよび第２のチャックテーブル機構３bの切削送り方向Xと直交する割り出し送りYの寸法が増大することはない。
【００３８】
以上、本発明を第１の切削手段９aの切削ブレード９３３と第２の切削手段９bの切削ブレード９３３が互いに対向して配設された所謂２スピンドル式切削装置に適用した例を示したが、本発明は１個のチャックテーブルと１個の切削手段を備えた一般に用いられている切削装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に従って構成された切削装置の要部斜視図。
【図２】図１に示す切削装置において切削屑収容容器および切削屑搬送手段を除去した状態を示す斜視図。
【図３】図１に示す切削装置を構成する切削屑収容容器および切削屑搬送手段の斜視図。
【図４】図１に示す切削装置の要部正面図。
【図５】図１におけるA―A断面図。
【図６】図１に示す切削装置の切削手段を示す斜視図。
【符号の説明】
【００４０】
２：静止基台
３a：第１のチャックテーブル機構
３b：第２のチャックテーブル機構
３１a：第１のチャックテーブル
３１b：第２のチャックテーブル
３２a：第１の支持テーブル
３２b：第２の支持テーブル
３３a：第１の移動基台
３４b：第２の移動基台
４a：第１の切削送り手段
４b：第２の切削送り手段
４１a：第１の案内手段
４１b：第２の案内手段
４２a：第１の移動手段
４２b：第２の移動手段
５：切削屑収容容器
６：切削屑搬送手段
８a：第１のアライメント手段
８b：第２のアライメント手段
９a：第１の切削手段
９b：第２の切削手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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