(57)【要約】【課題】検査の高速化が可能な外観検査装置を提供する。【解決手段】画像処理部１３の光源特性測定部１３５において、光量制御量と基準明るさとの対応を光源特性として求め、光厳情報保存部１３６に光源特性データとして保存する。検査時は、正解パターン登録時の明るさ換算値及び光源特性データに基づいて、光量制御量を演算することで、光量調整の手間を要することなく、迅速に検査が実行可能である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源による照明条件下で良品及び検査対象を夫々撮像した画像の比較に基づいて、検査対象の良否を判定する外観検査装置において、
前記検査対象の受光面に代替する基準面を前記光源により照らしたときの基準面の明るさである基準明るさ、及び、当該光源の光量を制御するための光源に対する操作量である光量制御量の関係を光源特性として求める光源特性測定部と、
良品撮像時の照明条件下における前記基準明るさを登録時基準明るさとして取得する登録時基準明るさ取得部と、
前記光源特性に基づいて、前記登録時基準明るさを前記基準面で得るのに必要な前記光量制御量を演算する光量制御量演算部と、
前記光量制御量演算部による演算値に応じて前記検査対象の撮像時における前記光源の光量を制御する照明コントローラと、
を備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記登録時基準明るさ取得部は、前記良品撮像時における光量制御量を、前記光源特性に基づき前記基準明るさに換算することで、前記登録時基準明るさを取得することを特徴とする請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記光源特性測定部により測定した光源特性を記憶する光源特性記憶部を備え、
前記光量制御量演算部は、前記光源特性記憶部に記憶される前記光源特性に基づいて前記演算を行うことで、前記光源特性測定部による１度の測定に対し、複数の検査対象についての前記演算が繰り返し可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記検査対象の撮像位置に当該検査対象に代えて前記基準面を相対移動させる搬送手段を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記光源特性測定部は、前記光源の光量を変化させて前記基準面を撮像した複数枚の画像データに基づいて、前記光源特性を求めることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の外観検査装置。
【請求項６】
光源による照明条件下で良品及び検査対象を夫々撮像した画像の比較に基づいて、検査対象の良否を判定する外観検査装置において、
前記検査対象の受光面に代替する基準面を前記光源により照らしたときの基準面の明るさである基準明るさと当該光源の光量との関係を光源特性として求める光源特性測定部と、
良品撮像時の照明条件下における前記基準明るさを登録時基準明るさとして取得する登録時基準明るさ取得部と、
前記光源特性に基づいて、前記登録時基準明るさを前記基準面で得るのに必要な前記光源の光量を演算する光量演算部と、
前記光量制御量演算部による演算値に応じて前記検査対象の撮像時における前記光源の光量を制御する照明コントローラと、
を備えることを特徴とする外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は外観検査装置に関し、特に半導体ウェハ上の集積回路やプリント回路パターンの欠陥検査などに適用して好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
検査対象を撮像し、その画像を基に検査対象の不良を判定する外観検査装置においては、検査対象を照らす照明条件を適正に保つことは、良否判定の精度を高める上で重要な課題である。そのため、従来より、照明特性の変動などによらずに検査対象が常に検査に適した照明条件で照らされるように、照明光量を自動的に調整する方法が提案されている。
例えば、特許文献１では、検査対象を撮像した画像の明るさを求め、それが予め設定されている所定の明るさレベル（検査に最適なレベル）にない場合は、照明光量を調整する方法が提案されている。この方法では、検査対象と同様の反射特性を有する対象について、照明光量を変化させて複数回撮像することでその反射特性を予め求めておき、検査対象の実際の測定時にはその反射特性に基づいて所定の明るさレベルを得るのに必要な照明光量を演算している。
【０００３】
また、特許文献２では、予め、検査対象の良品を適正な条件で撮像できるような照明光量に調整しておいて、その照明光量で検査対象とは異なる標準反射物を照らしたときの反射光の明るさを記憶しておき、検査時には、最初に標準反射物を照らして明るさが記憶した明るさになるように照明光量を調整した上で検査を実行する方法が提案されている。
【特許文献１】特開２００１−６６１２０号公報
【特許文献２】特開２００４−１８４２４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の特許文献１の方法は、検査対象が均質な面で、判定したい不良が表面の異物やキズのように、検査画像内で局所的に明るさが異質な箇所が検出できればよい検査装置においては有効であるが、ＩＣチップなどのようにパターンを比較し、パターンの相違に基づき良否を判定するような検査装置には適切でなかった。なぜなら、このような検査方法の場合、正解パターンの撮像時と検査対象の撮像時で照明条件を同一にすべきであり、個々の検査対象に応じて光量が調整されてしまうと正解と検査対象との差異が拡大してしまう場合がある。また、検査対象が均質な面であっても、表面状態そのものが検査対象であるような場合、例えば、ＩＣチップのマスク不良時のように、本来の表面層とは異なる反射率をもった組成の層が表面に露出している欠陥について、光量が調整されてしまうとその反射率の異常が検出できなくなってしまう。これは、特許文献１の方法では、検査時に明るさが所定レベルになっていない場合に、それが検査対象の反射率の変動が原因なのか、それとも劣化や照明交換などによる照明の特性の変化が原因なのかが判別できないことが原因である。さらに、検査対象に大きな染みのようなものが存在していたり、異物やキズが数多く存在したりして、検査対象の画像から正しく明るさが検出できない場合にも、誤った調整がされてしまう可能性がある。
【０００５】
これに対し、特許文献２の方法は、検査時の対象物の状態によって照明光の調整量が影響しないので、正解パターンの撮像時と検査対象の照明条件を同一にすることができる。しかし、この方法では、良品撮像時の照明光量を再現させるために、検査前に標準反射物を照らして光量を調整する手順が必要であり、検査の高速化を妨げていた。特に、ＩＣチップの表面検査のように、複雑なパターンの対象物をいくつかの視野に分割して検査するような場合で、分割した各視野領域で照明光量が異なるような場合は、視野毎に標準反射物で調整をしなければならず、検査を高速に実現したい場合に問題となる。
そこで、本発明の目的は、検査対象の撮像時に検査対象毎に標準反射物を照らして光量調整する手順を行うことなく正解パターン登録時と同じ照明条件を再現することが可能な外観検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した問題点を解決するために、請求項１記載の外観検査装置によれば、光源による照明条件下で良品及び検査対象を夫々撮像した画像の比較に基づいて、検査対象の良否を判定する外観検査装置において、
前記検査対象の受光面に代替する基準面を前記光源により照らしたときの基準面の明るさである基準明るさ、及び、当該光源の光量を制御するための光源に対する操作量である光量制御量の関係を光源特性として求める光源特性測定部と、
良品撮像時の照明条件下における前記基準明るさを登録時基準明るさとして取得する登録時基準明るさ取得部と、
前記光源特性に基づいて、前記登録時基準明るさを前記基準面で得るのに必要な前記光量制御量を演算する光量制御量演算部と、
前記光量制御量演算部による演算値に応じて前記検査対象の撮像時における前記光源の光量を制御する照明コントローラと、
を備えることを特徴とする。
ここで、基準明るさは、光源から出力された光が撮像されるまでの間において、少なくとも基準面で反射された光の明るさであり、例えば、基準面の輝度を測定してもよいし、撮像画像の照度であってもよい。
【０００７】
本発明の請求項２記載の外観検査装置によれば、請求項１において、前記登録時基準明るさ取得部は、前記良品撮像時における光量制御量を、前記光源特性に基づき前記基準明るさに換算することで、前記登録時基準明るさを取得することを特徴とする。
本発明の請求項３記載の外観検査装置によれば、請求項１又は２において、前記光源特性測定部により測定した光源特性を記憶する光源特性記憶部を備え、
前記光量制御量演算部は、前記光源特性記憶部に記憶される前記光源特性に基づいて前記演算を行うことで、前記光源特性測定部による１度の測定に対し、複数の検査対象についての前記演算が繰り返し可能に構成されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項４記載の外観検査装置によれば、請求項１〜３のいずれかにおいて、前記検査対象の撮像位置に当該検査対象に代えて前記基準面を相対移動させる搬送手段を備えることを特徴とする。
本発明の請求項５記載の外観検査装置によれば、請求項１〜４のいずれかにおいて、前記光源特性測定部は、前記光源の光量を変化させて前記基準面を撮像した複数枚の画像データに基づいて、前記光源特性を求めることを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項６記載の外観検査装置によれば、光源による照明条件下で良品及び検査対象を夫々撮像した画像の比較に基づいて、検査対象の良否を判定する外観検査装置において、
前記検査対象の受光面に代替する基準面を前記光源により照らしたときの基準面の明るさである基準明るさと当該光源の光量との関係を光源特性として求める光源特性測定部と、
良品撮像時の照明条件下における前記基準明るさを登録時基準明るさとして取得する登録時基準明るさ取得部と、
前記光源特性に基づいて、前記登録時基準明るさを前記基準面で得るのに必要な前記光源の光量を演算する光量演算部と、
前記光量制御量演算部による演算値に応じて前記検査対象の撮像時における前記光源の光量を制御する照明コントローラと、
を備えることを特徴とする。
このように、光量と基準明るさとから光源特性を求めてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明したように、本発明によれば、光量制御量と基準明るさとの関係を光源特性として予め求めておくことで、検査対象の撮像時に検査対象毎に標準反射物を照らして光量調整する手順を行うことなく、正解パターン撮像時と同じ照明条件を再現可能できる。このため、検査の高速化を図ることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態に係る外観検査装置について図面を参照しながら説明する。この外観検査装置は、例えば、プリント基板のパターンの欠陥を検出するために用いることができる。
（１）構成について
図１は、本実施形態に係る外観検査装置の概略構成を示す図である（（ａ）は装置全体の概略構成、（ｂ）は概略構成である。）。
図１において、外観検査装置には、撮像部１１、搬送部１２、画像処理部１３、全体制御部１４、ユーザインターフェース部１５、及び、記憶部１６が設けられている。
撮像部１１は、検査対象１００の表面を撮像する機能を有する。具体的には、撮像部１１は、撮像位置に置かれた検査対象１００などを撮像し、画像信号を生成するイメージセンサ１１１、検査対象１００を照らす光源１１２、光量制御量演算部１３７からの光量制御量（後述する）の指示値に従って光源１１２の光量を制御する照明コントローラ１１３、照明光学系１１４、及び、対物レンズ１１５を備えて構成される。なお、図１では、垂直落射照明の例を示している。
【００１２】
搬送部１２は、検査対象１００及び明るさ基準面１２３を撮像位置まで移動させる機能を有する。具体的には、ＸＹステージ１２１、全体制御部１４の搬送指示に従ってＸＹステージ１２１を駆動制御するステージコントローラ１２２、及び、明るさ基準面１２３を備えて構成されている。明るさ基準面１２３は、本発明の基準面に相当するものであり、ＸＹステージ１２１の水平面に検査対象１００と共に配されており、水平方向に搬送されることで、検査対象１００に代わりに撮像位置に配置される。また、明るさ基準面１２３は、本実施形態では反射率、透過率などの光に対する特性が一様な面であり、ＸＹステージ１２１上で検査対象１００の照明受光面（表面）と同じ高さに形成されている。
【００１３】
画像処理部１３は、イメージセンサ１１１から出力される画像信号を基に画像処理によって検査対象表面の良否判定を行う機能を有する。
具体的には、図１（ｂ）に示すように、画像処理部１３は、ＡＤ変換部１３１、検査対象と比較するための良品を撮像した画像データを正解パターンとして保存する正解パターン画像保存部１３２を備えて構成される。
また、画像処理部１３は、検査対象を撮像した画像データ（以下、検査画像と記すこともある）を保存する検査画像保存部１３３、正解パターン及び検査画像を比較し、検査対象の欠陥の有無を判定する判定部１３４を備えて構成される。なお、判定部１３４による判定では、特徴抽出法やパターンマッチング法などの公知の方法を用いることができる。
【００１４】
さらに、画像処理部１３は、光源１１２の光量を変化させて明るさ基準面１２３を複数回撮像した画像データに基づいて光源特性を求める光源特性測定部１３５、及び、光源特性測定部１３５により求めた光源特性及び明るさ換算値（後述する）を記憶する光源情報保存部１３６を備えて構成される。さらに、画像処理部１３は、正解パターン画像が最適な明るさに調整されたときの光量制御量及び光源特性に基づいて明るさ換算値を演算することで、登録時基準明るさ（後述する）を取得する登録時基準明るさ取得部１３８を備えて構成される。さらに、光源１１２の光量制御量を演算し、照明コントローラ１１３に設定する光量制御量演算部１３７を備えて構成されている。なお、画像処理部１３は、例えば、プロセッサで実行するプログラムにより構成してもよいし、ハードウェア回路の集合により構成してもよいし、ソフトウェアとハードウェアの組み合わせにより構成してもよい。
【００１５】
全体制御部１４は、各部を制御し、本実施形態に係る検査動作を実行させる。また、ユーザインターフェース部１５は、ユーザから検査の開始や終了の指示を受け付けたり、ユーザに検査状況や検査結果を通知したりする機能を有する。例えば、モニタ、マウス及びキーボードなどのパソコンインターフェースや、タッチパネル、ボタンとＬＣＤ表示器（液晶表示器）の組み合わせなどにより構成することができる。また、記憶部１６は、全体制御部１４で検査動作を実行するための手順や各処理に必要なデータなどを記憶する。全体制御部１４は、コンピュータから構成することができ、記憶部１６に制御プログラムを記憶し、実行時に読み込むことで本実施形態に係る検査動作を実行させる。
【００１６】
（２）動作について
次に、本実施形態に係る外観検査装置の動作について説明する。
図２は、外観検査装置の動作を示すフローチャートである。
本装置で検査を行う場合、まず検査に先立ち、光源特性測定処理を行う（ステップＳ００１）。ここで、図３に、光源特性測定処理に必要な構成を示す。光源特性の測定処理では、具体的には、搬送部１２によって明るさ基準面１２３を、対物レンズ１１５の焦点位置に配置させる。次に、照明コントローラ１１３によって光源１１２の光量を調整した後、この照明条件下に置かれた明るさ基準面１２３をイメージセンサ１１１にて撮像し、その画像信号を撮像部１１のＡＤ変換部１３１にて画像データに変換する。続いて、光源特性測定部１３５にて、画像データから明るさ基準面１２３の明るさ（基準明るさ）を演算し、照明コントローラ１１３に設定された現在の光量制御量との対応を記憶する。
【００１７】
なお、基準明るさは、例えば、明るさ基準面１２３の輝度（ｃｄ／ｍ2）、画像の照度（ｌｘ）などとして求めることができる。また、光量制御量は、ここでは光源１１２の光量を制御するための光源に対する操作量を意味し、光源１１２の構成などに応じて異なる。例えば、光源１１２の光量が電圧や電流の大きさに応じて変化するものである場合は電圧値や電流値を光量制御量とすることができるし、出力レベル（例えば、最大出力に対する出力の割合）なども光量制御量とすることができる。
そして、この動作を、光量制御量を変化させて複数回実行し、得られた複数組の基準明るさと光量制御量の対を基に、光源特性測定部１３５にて光源特性データを算出し、光源情報保存部１３６に記憶する。
【００１８】
図４及び図５は、光源特性データの一例を示すグラフである。
光源特性データは、図４に示すように、光量制御量を特定の範囲で細かく変化させて基準明るさに対応付けたルックアップテーブルであってよい。また、図５に示すように光源特性がリニアな領域のみを使用する前提に立って、光量制御量を数回変化させた測定データから、直線近似のパラメータ（例えば、図５中の近似式）を求め、それを光源特性データとしてもよい。また、リニアな部分のみならず光源特性のカーブを曲線としてモデル化できる光源１１２であれば、そのモデルパラメータを光源特性としてもよい。
光源特性の測定処理の終了後、正解パターン登録処理を行う（ステップＳ１０１〜Ｓ１０４）。ここで、図６に、正解パターン登録処理に必要な構成を示す。
【００１９】
正解パターン登録処理では、まずステップＳ１０１において、検査対象の良品を撮像し、検査に最適な光量に調整する。具体的には、予め欠陥がないと判定されている検査対象１００の良品（以下、良品サンプル１００′）をＸＹステージ１２１に載置し、撮像部１１の対物レンズ１１５の焦点位置まで搬送させる。この良品サンプル１００′をイメージセンサ１１１により撮像し、画像信号をＡＤ変換部１３１にて画像データに変換し、正解パターン画像保存部１３２に一時的に記憶する。次に、撮像した正解パターン画像から明るさを算出し、その明るさが検査に最適かどうかを判定し、最適でない場合は最適になるような補正量を求めて、光量制御量演算部１３７にて、補正量で補正された光量制御量を照明コントローラ１１３に設定する。ここで、明るさが検査に最適かどうかの判定は、例えば、画像内の最大明るさ（画像内で最も明るい領域の明るさ）が適正範囲内にあるかを判定することにより行う。補正された光量制御量が設定された状態で、良品サンプル１００′を再度撮像し、得られた画像データを正解パターン画像保存部１３２に一時的に記憶し、検査に最適な明るさになったかを判定する。この手順を検査に最適な光量になるまで繰り返す。
【００２０】
次に、ステップＳ１０２において、最適な光量で撮像された画像を最終的な正解パターン画像として正解パターン画像保存部１３２に保存する。
そして、ステップＳ１０３において、登録時基準明るさ取得部１３８にて、ステップＳ１０２で最適な光量を得たときの光量制御量及びステップＳ００１で求めた光源特性に基づいて明るさ換算値を求め、正解パターン画像と対応付けて光源情報保存部１３６に保存する。対応付けは、例えば、正解パターン画像及びその明るさ換算値に対し共通の識別番号を付加することで行う。
【００２１】
図７に、明るさ換算値の算出方法を説明するグラフを示す。
図７は、ステップＳ００１で求めた光源特性のグラフであり、ステップＳ１０２で最適な光量を得たときの光量制御量Ｉ０に対応する基準明るさＬ０が、ここで求める明るさ換算値である。つまり、明るさ換算値は、検査に最適な画像が得られたときの光量で明るさ基準面１２３を照らしたときの基準明るさ（登録時基準明るさ）である。
ステップＳ１０４では、保存すべき全ての種類の正解パターンについて、正解パターン画像データ及び明るさ換算値を取得したかを判定し、未取得の正解パターンがある場合（ステップＳ１０４：Ｎｏ）は、ステップＳ１０１に戻り、全ての正解パターンについて取得が完了するまで、ステップＳ１０１〜１０４の動作を繰り返す。
【００２２】
このステップＳ１０１〜１０５の繰り返し動作において、ステップＳ００１にて予め光源特性データを算出しているので、ステップＳ１０２で最適な光量を得たときに、明るさ換算値を得るために、照明対象を良品サンプルから明るさ基準面１２３に変更し、その光量制御量にて明るさ基準面１２３を照らしてその明るさを取得したりする必要はなく、光量制御量及び光源特性データから迅速に明るさ換算値を得ることができる。従って、迅速に正解パターン登録を行うことができる。
以上の過程が終了したら、実際の検査処理を実行する（ステップＳ３０１〜Ｓ３０６）。ここで、図８に、検査処理に必要な構成を示す。
検査では、まずステップＳ３０１において、光量制御量演算部１３７にて、光源情報保存部１３６に保存される光源特性及び明るさ換算値に基づいて、正解パターン登録時を再現する光量制御量を算出する。
【００２３】
図９に、光量制御量の算出方法を説明するグラフを示す。
図９はステップＳ００１で求めた光源特性のグラフであり、図９に示すように検査に最適な光量制御量Ｉは、光源情報保存部１３６に保存された明るさ換算値であって、検査対象１００と比較すべき正解パターン画像の明るさ換算値Ｌから、逆算する。
続くステップＳ３０２において、逆算された光量制御量Ｉを照明コントローラ１１３に設定し、続くステップＳ３０３において、その最適な光量制御量Ｉで検査対象１００を撮像し、続くステップＳ３０４において、画像処理部１３の検査対象１００の画像データと正解パターン画像データを比較し、検査対象１００の欠陥の有無を判定する。
【００２４】
以上の動作を、全ての検査対象１００又は検査対象１００の全ての部分についての検査が終了したと判定されるまで（ステップＳ３０５：Ｙｅｓ）、繰り返す。検査対象１００の種類が変更される場合又は検査対象１００の部分を変更する場合（ステップＳ３０６：Ｙｅｓ）、つまり比較対象となる正解パターン画像の種類が変更される場合は、ステップＳ３０１に戻って検査に最適な光量制御量を算出し直し、撮像を実行し、比較判定を行う（ステップＳ３０２〜３０６）。一方、種類の変更がない場合（ステップＳ３０６：Ｎｏ）は、ステップＳ３０３に移行し、そのままの光量で撮像を行い、比較判定する（ステップＳ３０３〜３０６）。
【００２５】
なお、本装置の定期的なメンテナンスや光源１１２の部品交換を行ったり、照明光学系１１４や光源１１２の構成を変更したりして、正解パターン登録時（ステップＳ１０１〜Ｓ１０４）と検査時（ステップＳ３０１〜３０６）で光源特性が変化する場合は、ステップＳ２０１に示すように、光源特性の更新を行う。処理内容は、ステップＳ００１と同じであり、取得した光源特性データにより光源情報保存部１３６のデータを更新する。これにより、光源特性が変わっても、検査に最適な照明条件を再現できる。
【００２６】
（３）作用効果その他
以上のように、本実施形態では、正解パターン画像について明るさ換算値を記憶しておき、検査時に明るさ基準面１２３で明るさ換算値と同じ明るさを得られるような光量制御量に調整する。例えば、正解パターン登録時と検査時で単に光量制御量を同一にすることで照明条件を同一にしようとすると、例えば光源１１２の光源特性が経年劣化により変化したり、光源１１２や照明光学系の構成を変更したりした場合は、光量制御量を同一にしても同じ光量を得ることができないため照明条件を同一にすることはできず、光源１１２の光源特性が全く変化しないような場合でないと欠陥の検出精度が落ちてしまう。これに対し、本実施形態では、明るさ基準面１２３における明るさを基準として、正解パターン登録時と検査時の照明条件を一致させるので、光源特性が変化した場合でも、正確に登録時と同じ照明条件を再現することが可能となり、精度良く検査することが可能となる。また、明るさ基準面１２３の明るさを基準とすることで、検査対象１００の反射特性の相違にかかわらず、照明条件を一致させることができる。
【００２７】
また、光量制御量と基準明るさとの関係を光源特性として予め求めておき、この光源特性と基準明るさによって光量制御量を逆算しているので、検査時に検査対象毎に明るさ基準面１２３を照らして光量を調整する手間がかからず、複数のパターンを検査する際に検査の高速化を図ることが可能となる。
また、本発明の適用は上記実施形態に限定されない。
例えば、登録時に光源特性に基づいて明るさ換算値を算出するのは、本発明において必須の構成ではなく、正解パターンの画像で最適な光量が得られたときに明るさ基準面１２３を照らして登録時基準明るさを取得するようにしてもよい。但し、登録時にも光源特性から明るさ換算値を求めることで、前述のように、明るさ基準面１２３を照らして明るさを取得する手順を省略できるので、より検査を高速化できる。
【００２８】
また、光量や光量レベル（例えば、最大出力光量に対する出力光量の割合）と基準明るさとの対応を光源特性として求め、この光源特性に基づいて、明るさ換算値の明るさを得るのに必要な光量を逆算し、照明コントローラが光源１１２の光量が演算値となるように制御するものであってもよい。この場合、照明コントローラが、演算値から電圧値や電流値などの光量制御量をさらに逆算し、光源１１２の光量を制御する構成であってもよいし、光源１１２近傍の光量を検出して目的光量に制御する構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本実施形態にかかる外観検査装置の概略構成図である。
【図２】外観検査装置の動作を示すフローチャートである。
【図３】光源特性測定処理に必要な構成を示す図である。
【図４】光源特性データの一例を示すグラフである。
【図５】光源特性データの一例を示すグラフである。
【図６】正解パターン登録処理に必要な構成を示す図である。
【図７】明るさ換算値の算出方法を説明するグラフである。
【図８】検査処理に必要な構成を示す図である。
【図９】光量制御量の算出方法を説明するグラフである。
【符号の説明】
【００３０】
１００ 検査対象物
１１   撮像部
１１１ イメージセンサ
１１２ 光源
１１３ 照明コントローラ
１１４ 照明光学系
１１５ 対物レンズ
１２   搬送部
１２１ ＸＹステージ
１２２ ステージコントローラ
１２３ 明るさ基準面
１３   画像処理部
１３１ ＡＤ変換部
１３２ 正解パターン画像保存部
１３３ 検査画像保存部
１３４ 判定部
１３５ 光源特性測定部
１３６ 光源情報保存部
１３７ 光量制御量演算部
１３８ 登録時基準明るさ取得部（明るさ換算値の演算）
１４   全体制御部
１５   ユーザインターフェース部
１６   記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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