(57)【要約】      （修正有）【課題】高性能な空気清浄作用を備えながらも広い作業空間を持つことができ、ユニット型とすることで容易に設置が可能なクリーンルームを提供する。【解決手段】機械室ユニット２、前室ユニット６、クリーンルームユニット１０で構成し、機械室ユニットには空調機５、定風量装置５ａを設置し、空調機はクリーンルームユニットに設置した２機のＨＥＰＡフィルタユニット１２と送風ダクト１３を介して連結し、定風量装置はクリーンルームユニットに設置した還気チャンバ１５と還気ダクト１４を介して連結させることで浄化空気を循環させ、クリーンルーム内の空気は常に清浄された状態を保ち、前室ユニットには前室７及びエアシャワー９を配置したユニット型クリーンルーム１の構成とした。【選択図】図１
2009002634.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空調機及び定風量装置を設置した機械室ユニットと、送風ダクトを介して前記空調機と連結する２機のＨＥＰＡフィルタユニットを設置し且つ還気ダクトを介して前記定風量装置と連結する還気チャンバを設置したクリーンルームユニットと、前記クリーンルームユニットに入る前に塵芥を除去するエアシャワーを設置した前室ユニットとからなることを特徴とするユニット型クリーンルーム。
【請求項２】
機械室ユニット、クリーンルームユニット及び前室ユニットを組み立てた屋根部分に骨組みを設置し、屋根カバーを掛けた後に、送風ダクト及び還気ダクトの空調ダクトの施工を行うことにより、屋根を取り付けたことを特徴とする請求項１に記載のユニット型クリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ユニット型のクリーンルームに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、新たに又は改築等によりクリーンルームを設置するには、大がかりな設備が必要になるため高いコストや設置場所等の問題があり容易に設置できるものではなかった。
【０００３】
このような問題を解決するために、低コストで設備の負担をそれほど要せずに設置できるクリーンルームとして特許文献１に記載のクリーンブースユニット及びそれを備えたクリーンルームが提案されている。
【０００４】
しかしながら、前記クリーンブースユニット及びそれを備えたクリーンルームは、精密機器の組立等の際にクリーンルーム内に組立ラインに沿った小型のクリーンブースユニットを複数配置し、隣り合うクリーンブースユニット同士で次々と空気を吸入していく形態であり、多数の作業者及び作業行程を要する場合には多数のクリーンブースユニットが必要になるため、一つのクリーンブースユニットだけなら低コストでも多数が必要となると、最終的には高いコストがかかってしまう恐れがある。
【特許文献１】特開平６−２７２９２１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は、ユニット型とすることで容易に設置することができるようにし、クリーンルームの増床或いは減床が自在で、クリーンルームを構成する各ユニットの組み合わせが自由となり、且つ高性能な空気清浄作用を備えながらも広い作業空間を保ったクリーンルームを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するために、空調機５及び定風量装置５ａを設置した機械室ユニット２と、送風ダクト１３を介して前記空調機５と連結する２機のＨＥＰＡフィルタユニット１２、１２ａを設置し且つ還気ダクト１４を介して前記定風量装置５ａと連結する還気チャンバ１５を設置したクリーンルームユニット１０と、前記クリーンルームユニット１０に入る前に塵芥２０ａを除去するエアシャワー９を設置した前室ユニット６とからなることを特徴とするユニット型クリーンルーム１の構成とした。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は、広い作業空間を持ったクリーンルーム内の空気を常に清浄な状態に保つことができ、またユニット型のクリーンルームであるために、それほど大がかりな設備を必要とせずに容易に設置することができるため、クリーンルームの増床或いは減床が自在でクリーンルームを構成する各ユニットを自由に組み合わせることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明であるユニット型クリーンルームは、機械室ユニット、前室ユニット、クリーンルームユニットで構成し、機械室ユニットに設置した空調機及び定風量装置を送風ダクト及び還気ダクトを介してクリーンルームユニットに設置したＨＥＰＡフィルタユニットと連結して空気を循環させることで、作業空間となるクリーンルーム内の空気は常にクリーンな状態を保つことが可能なユニット型クリーンルームである。
【実施例１】
【０００９】
図１は本発明であるユニット型クリーンルームの平面図である。図１に示すように、本発明であるユニット型クリーンルーム１は、機械室ユニット２、前室ユニット６、クリーンルームユニット１０から構成され、前記機械室ユニット２に設置された空調機５に連結した送風ダクト１３はクリーンルームユニット１０に設置されたＨＥＰＡフィルタユニット１２、１２ａと連結し、前記機械室ユニット２に設置された定風量装置５ａに連結した還気ダクト１４はクリーンルームユニット１０に設置された還気チャンバ１５と連結している。
【００１０】
図２から図４は図１に示した本発明であるユニット型クリーンルームの外観を示す図である。すなわち、図２は本発明であるユニット型クリーンルームの正面図、図３は本発明であるユニット型クリーンルームの背面図、図４は本発明であるユニット型クリーンルームの左側面図、図５は図１中に示したＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【００１１】
図２に示すように、機械室ユニット２とクリーンルームユニット１０を連結する送風ダクト１３及び還気ダクト１４はユニット型クリーンルーム１の正面に配置されている。尚、ユニット型クリーンルーム１は、土台１ａ〜１ｄにより支えられる。
【００１２】
図３に示すように、ユニット型クリーンルーム１を構成する機械室ユニット２の背面には機械室３に入る機械室入り口ドア２ａ、前室ユニット６の背面には前室７に入る前室入り口ドア６ａがそれぞれ設けられている。
【００１３】
また、ユニット型クリーンルーム１の室外には室外機１６が設置され、前記室外機１６は機械室ユニット２の外側に設置されている。
【００１４】
図５のＡ−Ａ断面図に示すように、前室ユニット６は、前室入り口ドア６ａを入るとすぐにエアシャワー９に入るためのエアシャワー入り口９ａの扉がある。また、機械室ユニット２と前室ユニット６を連設する境界パネル２ｆと、前室ユニット６とクリーンルームユニット１０を連設する境界パネル８ｂにはそれぞれ差圧ダンパ８、８ａが取り付けられている。
【００１５】
ここで、図５に示すように、機械室ユニット２の機械室天井パネル３ｂ、境界パネル２ｆ、前室ユニット６の天井及び壁、クリーンルームユニット１０の天井及び壁は断熱パネル１７、１７ａでできている。また、前室ユニット６及びクリーンルームユニット１０には床材１９が使用されている。
【００１６】
以下に、ユニット型クリーンルーム１を構成する機械室ユニット２、クリーンルームユニット１０、前室ユニット６の各ユニットについてそれぞれ詳細に説明する。
【００１７】
図６から図９は本発明であるユニット型クリーンルームを構成する機械室ユニットを示した図である。図６は機械室ユニットの平面図、図７は機械室ユニットの正面図、図８は機械室ユニットの背面図、図９は図６中に示したＢ−Ｂ線に沿った機械室ユニットの断面図である。
【００１８】
図６から図９に示すように、本発明であるユニット型クリーンルーム１を構成する機械室ユニット２は、機械室正面パネル２ｂ、機械室屋根パネル２ｃ、機械室外壁パネル２ｄ、機械室背面パネル２ｅ及び境界パネル２ｆ、床材３ｃで囲まれた直方体状の機械室３を構成している。このとき、機械室３の天井となる機械室天井パネル３ｂは断熱材でできている。また、機械室外壁パネル２ｄにはベントキャップ３ａが設けられる。
【００１９】
前記機械室背面パネル２ｅには機械室入り口ドア２ａが設けられており、機械室入り口ドア２ａを入ってすぐの壁面すなわち境界パネル２ｆには動力盤４及び制御盤４ａが取り付けられている。前記動力盤４及び制御盤４ａは、本発明であるユニット型クリーンルーム１全体を稼働するために用いられるものである。
【００２０】
機械室３の中程には空調機５が設置され、前記空調機５と連結して定風量装置５ａが設置されている。前記定風量装置５ａには外気フィルタユニット５ｃが設けられ、前記外気フィルタユニット５ｃの先端は機械室正面パネル２ｂに設けられた吸気口５ｂに接続されている。
【００２１】
機械室３に設置されている前記空調機５の上部には送風ダクト１３が連結され、定風量装置５ａには還気ダクト１４が連結されている。前記定風量装置５ａでは、吸気口５ｂから吸入した外気が外気フィルタユニット５ｃに取り付けたプレフィルター５ｄを通ることで外気に含まれる塵芥を排除し、空調機５に送り込まれる。さらに、還気ダクト１４を通ってクリーンルーム１１から排出された空気が定風量装置５ａ内に入り、前記塵芥を排除した外気と共に空調機５へと送り込まれる。
【００２２】
そして、空調機５へと送り込まれた浄化空気は空調機５に連結された送風ダクト１３を通ってクリーンルーム１１へと送風されることで、空気がユニット型クリーンルーム１内を循環するが、定風量装置５ａによって空調機５から送風ダクト１３を通してクリーンルーム１１へと送り込まれる浄化空気量や吸気口５ｂから吸入する外気量、還気ダクト１４から排出されるクリーンルーム１１内の空気量が一定となるように制御されている。
【００２３】
図１０から図１２は本発明であるユニット型クリーンルームを構成するクリーンルームユニットを示す図である。図１０はクリーンルームユニットの平面図、図１１はクリーンルームユニットの正面図、図１２は図１０中に示したＣ−Ｃ線に沿ったクリーンルームユニットの断面図である。
【００２４】
図１０から図１２に示すように、クリーンルームユニット１０はクリーンルーム正面パネル１０ａ、クリーンルーム外壁パネル１０ｃ、クリーンルーム背面パネル１０ｄ、境界パネル８ｂ及びクリーンルーム屋根パネル１０ｂで囲まれた長方形状のクリーンルーム１１を構成している。
【００２５】
図に示すようにクリーンルーム正面パネル１０ａ、クリーンルーム外壁パネル１０ｃ、クリーンルーム背面パネル１０ｄ、境界パネル８ｂ及びクリーンルーム屋根パネル１０ｂは、外壁材１８、１８ａと断熱パネル１７、１７ａの二重構造になっている。
【００２６】
クリーンルーム１１の天井部分すなわちクリーンルーム屋根パネル１０ｂには２機のＨＥＰＡフィルタユニット１２、１２ａが併設され、前記ＨＥＰＡフィルタユニット１２、１２ａにはそれぞれ送風ダクト１３ｇ、１３ｆが連結されている。前記送風ダクト１３ｇ、１３ｆとは、前述した機械室ユニット２に設置された空調機５に連結した送風ダクト１３の枝管のことである。
【００２７】
図１０及び図１１に示すように、クリーンルームユニット１０の正面下方すなわちクリーンルーム正面パネル１０ａの下方には還気チャンバ１５が埋設されている。前記還気チャンバ１５には還気ダクト１４の末端１４ｄが連結している。
【００２８】
前述した機械室ユニット２に設置された空調機５から送風ダクト１３を通して送られた浄化空気は、送風ダクト１３ｅを通って枝管１３ｆ、１３ｇからＨＥＰＡフィルタユニット１２、１２ａに排出される。前記ＨＥＰＡフィルタユニット１２、１２ａでは浄化空気がＨＥＰＡフィルタを通ることで更に清浄化し、クリーンルーム１１内に供給される。
【００２９】
そして、クリーンルーム１１内の浄化空気は、還気チャンバ１５から還気ダクト１４内に排出されて機械室ユニット２に設置した定風量装置５ａへと送られていくことで、クリーンルーム１１内の空気が常に循環することとなる。
【００３０】
クリーンルーム１１は、作業空間であるために空間をより広く活用できるよう、天井(クリーンルーム屋根パネル１０ｂ)とクリーンルーム正面パネル１０ａにＨＥＰＡフィルタユニット１２、１２ａと還気チャンバ１５がそれぞれ設けられた以外に余計な物は配置せず、広い作業空間を保っている。
【００３１】
図１３から図１５は本発明であるユニット型クリーンルームを構成する前室ユニットを示す図である。図１３は前室ユニットの平面図、図１４は前室ユニットの正面図、図１５は前室ユニットの背面図である。
【００３２】
図１３から図１５に示すように、前室ユニット６は前室正面パネル６ｂ、前室屋根パネル６ｃ、前室背面パネル６ｄ、境界パネル２ｆで囲まれた部屋であり、前室７とエアシャワー９を構成している。前室背面パネル６ｄに設けた前室入り口ドア６ａを入ると前室７となっており、前記前室入り口ドア６ａの正面にはエアシャワー９に入るためのエアシャワー入り口９ａの扉がある。
【００３３】
前記エアシャワー９は小さな略正方形の空間となっており、エアシャワー入り口９ａを入ってすぐ左手にはエアシャワー出口９ｂの扉がある。
【００３４】
次に図１６を用いて本発明であるユニット型クリーンルームの空気の循環及び作業者の入室について説明する。図１６は本発明であるユニット型クリーンルーム内の空気の循環を示す平面図である。符号２０、２１、２１ａ、２１ｂで示した矢印が空気の流れを表し、符号２２で示した黒丸及び矢印が作業者の動きを表すものである。
【００３５】
本発明であるユニット型クリーンルーム１は、まず機械室ユニット２の機械室正面パネル２ｂに設けた吸気口５ｂから定風量装置５ａ内に外気２０を吸入する。このとき、外気２０は塵芥２０ａを含んでいる。
【００３６】
定風量装置５ａ内に吸入された外気２０は、外気フィルタユニット５ｃを通過する。前記外気フィルタユニット５ｃにはプレフィルター５ｄが取り付けられているので、外気フィルタユニット５ｃを通ることによって塵芥２０ａが除去され、浄化空気２１となって空調機５内に送られる。
【００３７】
そして、浄化空気２１は空調機５に連結された送風ダクト１３の先端１３ａから送風ダクト１３内に送り込まれ配管された送風ダクト１３ｂ、１３ｃ、１３ｄを流れていき、送風ダクト１３の枝管１３ｆ、１３ｇがクリーンルームユニット１０のクリーンルーム屋根パネル１０ｂに埋設された２機のＨＥＰＡフィルタユニット１２、１２ａの上部に連結されているので、浄化空気２１は枝管１３ｆからＨＥＰＡフィルタユニット１２ａ内と、更に送風ダクト１３ｅを流れて枝管１３ｇからＨＥＰＡフィルタユニット１２内とにそれぞれ送り込まれる。
【００３８】
送風ダクト１３を流れ、枝管１３ｆ、１３ｇからＨＥＰＡフィルタユニット１２、１２ａ内に送り込まれた浄化空気２１は、前記ＨＥＰＡフィルタユニット１２、１２ａに取り付けられたＨＥＰＡフィルタを通過することで更に微細な塵芥２０ａが排除され、非常にクリーンな浄化空気２１ａとなってクリーンルーム１１内に排出される。
【００３９】
クリーンルーム１１内に排出された浄化空気２１ａは、クリーンルーム正面パネル１０ａに埋設された還気チャンバ１５によってクリーンルーム１１内から還気ダクト１４に排出される。還気チャンバ１５から還気ダクト１４に排出された排気２１ｂは、還気ダクト１４、１４ｂ、１４ｃ内を流れて、還気ダクト１４の先端１４ａが連結している機械室ユニット２に設置された定風量装置５ａ内に排出される。
【００４０】
そして、定風量装置５ａ内に排出された排気２１ｂは、前述した吸気口５ｂから吸入された外気２０が塵芥２０ａを除去されて浄化された浄化空気２１と合流し、空調機５、送風ダクト１３へと流れることで、本発明であるユニット型クリーンルーム１内では常に浄化された空気が循環している。
【００４１】
クリーンルーム１１内で作業を行う作業者２２は、先ず前室入り口ドア６ａから前室７に入り、前室７の奥に設けられたエアシャワー９に入るために、エアシャワー入り口９ａに進み、エアシャワー９内に入る。
【００４２】
作業者２２は前記エアシャワー９を浴びて身体及び衣服に付いた塵芥２０ａを除去する。そしてエアシャワー出口９ｂを通ってクリーンルーム１１内に入るので、クリーンルーム１１に入る作業者２２は、身体及び衣服に塵芥２０ａ等が付いていない、クリーンな状態でクリーンルーム１１に入ることができる。
【実施例２】
【００４３】
図１７は本発明であるユニット型クリーンルームの第２実施例を示した図である。図１７に示すように、本発明であるユニット型クリーンルーム１には屋根カバー２３を取りつけることができる。
【００４４】
本発明であるユニット型クリーンルーム１は、機械室ユニット２、前室ユニット６、クリーンルームユニット１０の各ユニットを組み立てた後で送風ダクト１３及び還気ダクト１４の配管を行うので、前記送風ダクト１３及び還気ダクト１４の配管を施工する前に、屋根部分に骨組みを設置し、屋根カバー２３を掛けることで、どのような方向にでも屋根カバー２３を取りつけることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明であるユニット型クリーンルームの平面図である。
【図２】本発明であるユニット型クリーンルームの正面図である。
【図３】本発明であるユニット型クリーンルームの背面図である。
【図４】本発明であるユニット型クリーンルームの左側面図である。
【図５】本発明であるユニット型クリーンルームのＡ−Ａ断面図である。
【図６】本発明であるユニット型クリーンルームを構成する機械室ユニットの平面図である。
【図７】本発明であるユニット型クリーンルームを構成する機械室ユニットの正面図である。
【図８】本発明であるユニット型クリーンルームを構成する機械室ユニットの背面図である。
【図９】本発明であるユニット型クリーンルームを構成する機械室ユニットのＢ−Ｂ断面図である。
【図１０】本発明であるユニット型クリーンルームを構成するクリーンルームユニットの平面図である。
【図１１】本発明であるユニット型クリーンルームを構成するクリーンルームユニットの正面図である。
【図１２】本発明であるユニット型クリーンルームを構成するクリーンルームユニットのＣ−Ｃ断面図である。
【図１３】本発明であるユニット型クリーンルームを構成する前室ユニットの平面図である。
【図１４】本発明であるユニット型クリーンルームを構成する前室ユニットの正面図である。
【図１５】本発明であるユニット型クリーンルームを構成する前室ユニットの背面図である。
【図１６】本発明であるユニット型クリーンルームの空気循環を示す図である。
【図１７】本発明であるユニット型クリーンルームの第２実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１            ユニット型クリーンルーム
１ａ          土台
１ｂ          土台
１ｃ          土台
１ｄ          土台
２            機械室ユニット
２ａ          機械室入り口ドア
２ｂ          機械室正面パネル
２ｃ          機械室屋根パネル
２ｄ          機械室外壁パネル
２ｅ          機械室背面パネル
２ｆ          境界パネル
３            機械室
３ａ          ベントキャップ
３ｂ          機械室天井パネル
３ｃ          床材
４            動力盤
４ａ          制御盤
５            空調機
５ａ          定風量装置
５ｂ          吸気口
５ｃ          外気フィルタユニット
５ｄ          プレフィルター
６            前室ユニット
６ａ          前室入り口ドア
６ｂ          前室正面パネル
６ｃ          前室屋根パネル
６ｄ          前室背面パネル
７            前室
８            差圧ダンパ
８ａ          差圧ダンパ
８ｂ          境界パネル
９            エアシャワー
９ａ          エアシャワー入り口
９ｂ          エアシャワー出口
１０            クリーンルームユニット
１０ａ          クリーンルーム正面パネル
１０ｂ          クリーンルーム屋根パネル
１０ｃ          クリーンルーム外壁パネル
１０ｄ          クリーンルーム背面パネル
１１            クリーンルーム
１２            ＨＥＰＡフィルタユニット
１２ａ          ＨＥＰＡフィルタユニット
１３            送風ダクト
１３ａ          先端
１３ｂ          送風ダクト
１３ｃ          送風ダクト
１３ｄ          送風ダクト
１３ｅ          送風ダクト
１３ｆ          枝管
１３ｇ          枝管
１４            還気ダクト
１４ａ          先端
１４ｂ          還気ダクト
１４ｃ          還気ダクト
１４ｄ          末端
１５            還気チャンバ
１６            室外機
１７            断熱パネル
１７ａ          断熱パネル
１８            外壁材
１８ａ          外壁材
１９            床材
２０            外気
２０ａ          塵芥
２１            浄化空気
２１ａ          浄化空気
２１ｂ          排気
２２            作業者
２３            屋根カバー
【図１】
2009002634.tif 000003
【図２】
2009002634.tif 000004
【図３】
2009002634.tif 000005
【図４】
2009002634.tif 000006
【図５】
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【図６】
2009002634.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
2009002634.tif 000011
【図１０】
2009002634.tif 000012
【図１１】
2009002634.tif 000013
【図１２】
2009002634.tif 000014
【図１３】
2009002634.tif 000015
【図１４】
2009002634.tif 000016
【図１５】
2009002634.tif 000017
【図１６】
2009002634.tif 000018
【図１７】
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