(57)【要約】【課題】発熱抵抗体および１対の測温抵抗体を用いて被検流体の流量検出を行うように構成された熱式流量センサにおいて、流量検出の感度および精度を十分に確保可能とした上で、その設置箇所の自由度を高める。【解決手段】熱式流量センサ１０を、矩形状の樹脂フィルム片１２と、この樹脂フィルム片１２の片面１２ａに所定の配線パターンで形成された導電膜１４と、この導電膜１４を部分的に被覆する保護膜１６とからなるカード状センサとして構成する。そして、導電膜１４の一部として、発熱抵抗体２２および１対の測温抵抗体２４、２６ならびにその各々から略扇形に拡がる電極パッド３２Ａ、３２Ｂ、３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂを形成する。これにより、積層基板ユニット１００の内部に形成された流路２を流れる被検流体の流量検出を行うために、この積層基板ユニット１００の内部に熱式流量センサ１０を配置することを容易に可能とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検流体の流路に配置される発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の上流側近傍および下流側近傍において上記流路に配置される１対の測温抵抗体と、を備えてなる熱式流量センサにおいて、
上記熱式流量センサが、樹脂フィルム片と、この樹脂フィルム片の片面に所定の配線パターンで形成された導電膜と、この導電膜を部分的に被覆する保護膜とからなるカード状センサとして構成されており、
上記発熱抵抗体および上記各測温抵抗体が、上記導電膜の一部として、それぞれ上記被検流体の流れ方向と略直交する方向に延びるように形成されており、
上記保護膜が、上記樹脂フィルム片の上記片面における少なくとも上記流路に臨む部分を被覆するように形成されており、
上記導電膜の一部として、上記発熱抵抗体から延びる１対の電極パッドと、上記各測温抵抗体から延びる各１対の電極パッドとが形成されており、
上記各電極パッドが、上記発熱抵抗体および上記各測温抵抗体の各々から略扇形に拡がるように形成されている、ことを特徴とする熱式流量センサ。
【請求項２】
上記発熱抵抗体および上記各測温抵抗体が、上記被検流体の流れ方向と略直交する方向にＵ字形の経路で延びるように形成されている、ことを特徴とする請求項１記載の熱式流量センサ。
【請求項３】
上記発熱抵抗体から延びる１対の電極パッドと、上記各測温抵抗体から延びる各１対の電極パッドとが、上記流路を挟んで互いに反対側に位置するように形成されている、ことを特徴とする請求項２記載の熱式流量センサ。
【請求項４】
上記樹脂フィルム片の上記片面における上記発熱抵抗体および上記各測温抵抗体から上記被検流体の流れ方向上流側に離れた位置に、上記被検流体の温度を検出する基準抵抗体が、上記導電膜の一部として、上記被検流体の流れ方向と略直交する方向に延びるように形成されている、ことを特徴とする請求項１〜３いずれか記載の熱式流量センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、発熱抵抗体および１対の測温抵抗体を用いて被検流体の流量検出を行うように構成された熱式流量センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被検流体の流量を測定する流量センサの一形式として、熱式流量センサが知られている。
【０００３】
例えば「特許文献１」や「特許文献２」には、被検流体の流路に配置される発熱抵抗体と、その上流側近傍および下流側近傍において流路に配置される１対の測温抵抗体とを備えた熱式流量センサが記載されている。この熱式流量センサにおいては、発熱抵抗体および各測温抵抗体が、それぞれ被検流体の流れ方向と略直交する方向に延びるように配置されている。そして、この熱式流量センサにおいては、発熱抵抗体により流路を流れる被検流体を加熱した状態で、１対の測温抵抗体の各々により被検流体の温度を検出し、その検出温度差に基づいて、被検流体の流量検出を行うように構成されている。
【０００４】
その際、多くの熱式流量センサは、上記「特許文献１」にも記載されているように、シリコン基板上に、発熱抵抗体および１対の測温抵抗体が形成された構成となっている。一方、上記「特許文献２」に記載された熱式流量センサは、樹脂フィルム片上に、発熱抵抗体および１対の測温抵抗体が形成された構成となっている。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２０６１３４号公報
【特許文献２】特開２０００−２２７３５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記「特許文献２」に記載された熱式流量センサのように、シリコン基板の代わりに断熱性に優れた樹脂フィルム片を用いるようにすれば、発熱抵抗体および各測温抵抗体の背面に断熱用の空洞を形成しなくても流量検出の感度を十分に確保することが可能となる。そしてこれにより熱式流量センサの薄型化を図ることが可能となる。
【０００７】
しかしながら、この「特許文献２」に記載された熱式流量センサにおいては、発熱抵抗体の両端部および各測温抵抗体の両端部の各々に板片状のリード線が取り付けられており、これら各リード線を介して発熱抵抗体および各測温抵抗体を外部の流量検出用制御回路と導通させるように構成されているので、熱式流量センサを設置し得る箇所が限られてしまう、という問題がある。
【０００８】
本願発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、発熱抵抗体および１対の測温抵抗体を用いて被検流体の流量検出を行うように構成された熱式流量センサにおいて、流量検出の感度および精度を十分に確保可能とした上で、その設置箇所の自由度を高めることができる熱式流量センサを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願発明は、熱式流量センサを、樹脂フィルム片を用いたカード状センサとして構成した上で、その発熱抵抗体および各測温抵抗体の構成に工夫を施すことにより、上記目的達成を図るようにしたものである。
【００１０】
すなわち、本願発明に係る熱式流量センサは、
被検流体の流路に配置される発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の上流側近傍および下流側近傍において上記流路に配置される１対の測温抵抗体と、を備えてなる熱式流量センサにおいて、
上記熱式流量センサが、樹脂フィルム片と、この樹脂フィルム片の片面に所定の配線パターンで形成された導電膜と、この導電膜を部分的に被覆する保護膜とからなるカード状センサとして構成されており、
上記発熱抵抗体および上記各測温抵抗体が、上記導電膜の一部として、それぞれ上記被検流体の流れ方向と略直交する方向に延びるように形成されており、
上記保護膜が、上記樹脂フィルム片の上記片面における少なくとも上記流路に臨む部分を被覆するように形成されており、
上記導電膜の一部として、上記発熱抵抗体から延びる１対の電極パッドと、上記各測温抵抗体から延びる各１対の電極パッドとが形成されており、
上記各電極パッドが、上記発熱抵抗体および上記各測温抵抗体の各々から略扇形に拡がるように形成されている、ことを特徴とするものである。
【００１１】
上記「熱式流量センサ」は、カード状センサとして構成されたものであれば、その具体的な形状やサイズは特に限定されるものではなく、また、その厚さについても特に限定されるものではない。
【００１２】
上記「発熱抵抗体」および上記各「測温抵抗体」は、被検流体の流れ方向と略直交する方向に延びるように形成されていれば、その具体的な経路は特に限定されるものではなく、単にＩ字形の経路で延びるように形成されていてもよいし、Ｕ字形の経路で延びるように形成されていてもよいし、さらには、複数回折り返す経路で延びるように形成されていてもよい。
【００１３】
上記「略扇形」とは、発熱抵抗体および各測温抵抗体の各々から離れるに従って徐々に幅が拡がる形状を意味するものであり、その拡がり度合は特に限定されるものではない。
【発明の効果】
【００１４】
上記構成に示すように、本願発明に係る熱式流量センサは、樹脂フィルム片と、この樹脂フィルム片の片面に所定の配線パターンで形成された導電膜と、この導電膜を部分的に被覆する保護膜とからなるカード状センサとして構成されているので、被検流体の流量検出を必要とする様々な箇所に配置することが容易に可能となる。
【００１５】
その際、この熱式流量センサにおける発熱抵抗体および各測温抵抗体は、上記導電膜の一部として、それぞれ被検流体の流れ方向と略直交する方向に延びるように形成されており、さらに上記導電膜の一部として、発熱抵抗体から延びる１対の電極パッドと、各測温抵抗体から延びる各１対の電極パッドとが形成されているが、これら各電極パッドは発熱抵抗体および各測温抵抗体の各々から略扇形に拡がるように形成されているので、次のような作用効果を得ることができる。
【００１６】
すなわち、流量検出の感度を高めるためには、発熱抵抗体と各測温抵抗体との流れ方向の中心間距離をできるだけ小さい値に設定することが好ましい。その点、本願発明に係る熱式流量センサにおいては、各電極パッドが発熱抵抗体および各測温抵抗体の各々から略扇形に拡がるように形成されているので、発熱抵抗体と各測温抵抗体との流れ方向の中心間距離を十分小さい値に設定した場合においても、各電極パッドにおける外部の流量検出用制御回路の電極と導通する部分を、ある程度大きい面積で形成することができる。
【００１７】
そしてこれにより、本願発明に係る熱式流量センサは、カード状センサとして構成されているにもかかわらず、外部の流量検出用制御回路との電気的接続を容易に行うことができる。しかも、これら各電極パッドは略扇形に拡がるように形成されているので、発熱抵抗体および各測温抵抗体以外の部分の抵抗値を十分低く抑えることができ、これにより流量検出の精度を高めることができる。
【００１８】
また、本願発明に係る熱式流量センサにおいては、その樹脂フィルム片の片面における流路に臨む部分がすべて保護膜で被覆されているので、被検流体が例えばメタノール等のように沸点が低く気泡が発生しやすい液体である場合においても、流量検出を精度良く行うことができる。
【００１９】
すなわち、仮に、熱式流量センサにおいて流路に臨む部分に大きな凹凸があったとすると、発熱抵抗体により加熱された液体から発生する気泡が凹凸部分に付着してしまうので、各測温抵抗体における液温検出を精度良く行うことができなくなってしまうこととなる。その点、本願発明に係る熱式流量センサにおいて被検流体と接触する部分は、保護膜の表面であり、この表面の凹凸の高さは最大でも導電膜の膜厚分の高さに抑えられており、十分な平滑性が確保されている。したがって、この保護膜の表面の凹凸部分に気泡が付着してしまうといった事態が発生するのを未然に防止することができ、これにより流量検出を精度良く行うことができる。
【００２０】
このように本願発明によれば、発熱抵抗体および１対の測温抵抗体を用いて被検流体の流量検出を行うように構成された熱式流量センサにおいて、流量検出の感度および精度を十分に確保可能とした上で、その設置箇所の自由度を高めることができる。
【００２１】
上記構成において、発熱抵抗体および各測温抵抗体が、被検流体の流れ方向と略直交する方向にＵ字形の経路で延びるように形成された構成とすれば、発熱抵抗体から延びる１対の電極パッドおよび各測温抵抗体から延びる各１対の電極パッドが、それぞれ被検流体の流路に対して同じ側に形成されることとなるので、これら発熱抵抗体および各測温抵抗体の各々と外部の流量検出用制御回路との電気的接続を行いやすくすることができる。
【００２２】
この場合において、発熱抵抗体から延びる１対の電極パッドおよび各測温抵抗体から延びる各１対の電極パッドが、被検流体の流路に対してすべて同じ側に形成された構成とすれば、これら発熱抵抗体および各測温抵抗体の各々と外部の流量検出用制御回路との電気的接続をすべて同じ側で行うことができる。したがって、流量検出を必要とする箇所への熱式流量センサの設置を行いやすくすることができ、これにより熱式流量センサの汎用性を高めることができる。
【００２３】
一方、この場合において、発熱抵抗体から延びる１対の電極パッドと各測温抵抗体から延びる各１対の電極パッドとが、被検流体の流路を挟んで互いに反対側に位置するように形成された構成とすれば、各測温抵抗体から延びる各１対の電極パッドと、発熱抵抗体から延びる１対の電極パッドとが、互いに近接して配置されないようにすることができる。そしてこれにより、発熱抵抗体から延びる１対の電極パッドの温度が上昇するようなことがあっても、その熱影響が各測温抵抗体からの検出信号には及ばないようにすることができ、これにより流量検出の精度を高めることができる。
【００２４】
上記構成において、樹脂フィルム片の片面における発熱抵抗体および各測温抵抗体から被検流体の流れ方向上流側に離れた位置に、被検流体の温度を検出する基準抵抗体が、上記導電膜の一部として、被検流体の流れ方向と略直交する方向に延びるように形成された構成とすれば、被検流体の温度を検出するためのセンサを、別途、被検流体の流路に配置する必要を無くすことができる。また、このような構成とすることにより、基準抵抗体と発熱抵抗体および１対の測温抵抗体との位置関係を常に一定に維持することができるので、この点においても流量検出を精度良く行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を用いて、本願発明の実施の形態について説明する。
【００２６】
図１は、本願発明の一実施形態に係る熱式流量センサ１０を示す平面図であり、図２は、図１のII部詳細図である。また、図３（ｂ）は、この熱式流量センサ１０が組み込まれた積層基板ユニット１００を示す断面図であって、同図（ａ）は、その組込みの様子を示す断面図である。さらに、図４は、この積層基板ユニット１００に組み込まれた熱式流量センサ１０を示す斜視図である。
【００２７】
図３（ｂ）および図４に示すように、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、積層基板ユニット１００の内部に形成される被検流体の流路２に配置された状態で用いられるようになっている。
【００２８】
この積層基板ユニット１００は、例えばノート型パソコン等のような小型電子機器用の燃料電池システム（図示せず）の一部として組み込まれるようになっている。その際、この燃料電池システムにおいては、メタノール、空気、水素の各流路と、これら各流路の流量を制御するため電子回路とが、多層基板に組み込まれるようにして形成されている。
【００２９】
この多層基板は、第１および第２の基板１０２、１０４を含む複数の基板（例えば１０枚程度の基板）が積層されてなり、その一部として積層基板ユニット１００が組み込まれるようになっている。そして、この多層基板内に形成される流路の一部分が、積層基板ユニット１００の流路２により構成されるようになっている。
【００３０】
この積層基板ユニット１００の流路２は、上記燃料電池システムにおいて燃料カートリッジ（図示せず）からメタノールを供給するための流路であって、幅２ｍｍ、高さ１ｍｍの矩形状断面で、所定長にわたって直線状に延びるように形成されている。そして、この流路２は、その両端部において、第１の基板１０２または第２の基板１０４に形成された貫通孔（図示せず）を介して、他の階層の基板に形成された流路に接続されるようになっている。
【００３１】
この流路２内を流れるメタノールは、分速１ミリリットル程度の流速で送液されるようになっている。そして、この熱式流量センサ１０は、この流路２を流れるメタノールを被検流体として、その流量検出を行うようになっている。
【００３２】
なお、図３（ａ）および（ｂ）は、積層基板ユニット１００を、流路２と直交する平面に沿った断面位置で示している。また、図１、２および４においては、流路２を２点鎖線で示しており、メタノールの流れる向きを２点鎖線の矢印で示している。
【００３３】
図１および４に示すように、熱式流量センサ１０は、流路２に配置される発熱抵抗体２２と、この発熱抵抗体２２の上流側近傍および下流側近傍において流路２に配置される１対の測温抵抗体２４、２６と、これら発熱抵抗体２２および１対の測温抵抗体２４、２６から流れ方向上流側に離れた位置に配置される基準抵抗体２８とを備えてなっている。
【００３４】
そして、この熱式流量センサ１０においては、発熱抵抗体２２を、流路２を流れるメタノールの温度よりも５℃程度高い温度に加熱した状態で、１対の測温抵抗体２４、２６の各々においてメタノールの温度を検出するようになっている。そして、両測温抵抗体２４、２６で検出された温度の差に基づいて、上記燃料電池システムの流量検出用制御回路（図示せず）において流量測定を行うようになっている。その際、基準抵抗体２８により、流路２を流れるメタノールの温度を、発熱抵抗体２２よりも上流側において正確に検出し、この検出温度を発熱抵抗体２２を加熱する際の基準温度とするようになっている。
【００３５】
この熱式流量センサ１０は、矩形状の樹脂フィルム片１２と、この樹脂フィルム片１２の片面１２ａに所定の配線パターンで形成された導電膜１４と、この導電膜１４を部分的に被覆する保護膜１６とからなるカード状センサとして構成されている。
【００３６】
樹脂フィルム片１２は、長辺の長さ１１ｍｍ、短辺の長さ５．５ｍｍ、厚さ０．２ｍｍに設定されたポリイミド製フィルムであって、その長辺の方向をメタノールの流れ方向に向けた状態で用いられるようになっている。その際、流路２は、樹脂フィルム片１２における手前側の長辺１２ｂ１と向こう側の長辺１２ｂ２との間の中心線よりも向こう側の長辺１２ｂ２寄りの位置に、上述した２ｍｍの幅で形成されるようになっている。
【００３７】
導電膜１４は、金属をスパッタリングすることにより形成されており、その膜厚は０．１μｍに設定されている。
【００３８】
発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６は、導電膜１４の一部として、それぞれメタノールの流れ方向と直交する方向に延びるように形成されている。また、基準抵抗体２８も、導電膜１４の一部として、メタノールの流れ方向と直交する方向に延びるように形成されている。
【００３９】
なお、樹脂フィルム片１２における上流側の短辺１２ｃ１に接する位置および下流側の短辺１２ｃ２に接する位置には、それぞれ１対の目印３０が、導電膜１４の一部として形成されている。これら各対の目印３０は、流路２を跨ぐようにして２ｍｍ間隔で形成されており、これにより流路２の位置を標示するようになっている。
【００４０】
保護膜１６は、流路２の幅よりもやや広い幅（３ｍｍ程度の幅）でメタノールの流れ方向に沿って帯状に延びる領域（すなわち図中網線で示す領域）に形成されており、これにより発熱抵抗体２２、１対の測温抵抗体２４、２６および基準抵抗体２８を被覆して、これらを直接メタノールと接触させないようにしている。この保護膜１６は、電気絶縁性を有するとともにメタノールに対して耐性を有するフッ素系樹脂やポリイミド樹脂等をコーティングすることにより形成されており、その膜厚は１μｍに設定されている。
【００４１】
図２に示すように、発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６は、いずれも、メタノールの流れ方向と直交する方向にＵ字形の経路で延びるように形成されている。
【００４２】
その際、これら発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６は、いずれも流路２の幅よりも僅かに狭い範囲内において形成されている。そして、これら発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６の各々は、その１対の基端部が手前側（すなわち長辺１２ｂ１側）に位置しており、向こう側（すなわち長辺１２ｂ２側）で折り返すように形成されている。
【００４３】
これら発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６は、いずれも幅２０μｍで形成されており、その往路部と復路部との中心線間隔は４０μｍに設定されている。また、発熱抵抗体２２と各測温抵抗体２４、２６との流れ方向の中心間距離は、それぞれ８０μｍに設定されている。
【００４４】
発熱抵抗体２２の各基端部には、該基端部から略扇形に拡がる電極パッド３２Ａ、３２Ｂが、導電膜１４の一部としてそれぞれ形成されている。また、上流側の測温抵抗体２４の各基端部には、該基端部から略扇形に拡がる電極パッド３４Ａ、３４Ｂが、導電膜１４の一部としてそれぞれ形成されている。さらに、下流側の測温抵抗体２６の各基端部には、該基端部から略扇形に拡がる電極パッド３６Ａ、３６Ｂが、導電膜１４の一部としてそれぞれ形成されている。
【００４５】
これら各電極パッド３２Ａ、３２Ｂ、３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂは、メタノールの流れ方向に延びる直線に対して手前側に位置する１８０°の角度領域を、多少の角度間隔をおいて略６等分した拡がり角度（具体的には２０〜２５°程度の拡がり角度）で形成されている。
【００４６】
図１に示すように、これら各電極パッド３２Ａ、３２Ｂ、３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂの端部（すなわち保護膜１６により被覆されていない部分）は、メタノールの流れ方向と直交する方向に折れ曲がるようにして、樹脂フィルム片１２の手前側の長辺１２ｂ１まで延びている。その際、これら各電極パッド３２Ａ、３２Ｂ、３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂの端部は、メタノールの流れ方向に関して、いずれも同じ幅（具体的には１ｍｍ程度の幅）で、かつ等間隔で形成されている。そしてこれにより、発熱抵抗体２２から延びる１対の電極パッド３２Ａ、３２Ｂが、メタノールの流れ方向に関して対称形状で形成され、また、上流側の測温抵抗体２４から延びる１対の電極パッド３４Ａ、３４Ｂと、下流側の測温抵抗体２６から延びる１対の電極パッド３６Ａ、３６Ｂとが、メタノールの流れ方向に関して対称形状で形成されている。
【００４７】
基準抵抗体２８は、樹脂フィルム片１２における上流側の短辺１２ｃ１の近傍に形成されている。そして、この基準抵抗体２８は、発熱抵抗体２２から６ｍｍ程度離れた位置に配置されている。
【００４８】
この基準抵抗体２８も、発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６の各々と同様、メタノールの流れ方向と直交する方向にＵ字形の経路で延びるように形成されている。
【００４９】
その際、この基準抵抗体２８も、流路２の幅よりも僅かに狭い範囲内において形成されている。そして、この基準抵抗体２８も、その１対の基端部が手前側に位置しており、向こう側で折り返すように形成されている。また、この基準抵抗体２８も、幅２０μｍで形成されており、その往路部と復路部との中心線間隔は４０μｍに設定されている。
【００５０】
この基準抵抗体２８の各基端部にも、該基端部から略扇形に拡がる電極パッド３８Ａ、３８Ｂが、導電膜１４の一部としてそれぞれ形成されている。ただし、これら各電極パッド３８Ａ、３８Ｂは、基準抵抗体２８が上流側の短辺１２ｃ１近傍に配置されているので、この基準抵抗体２８から下流側寄りに拡がるように形成されている。その際、電極パッド３８Ａは、発熱抵抗体２２から延びる電極パッド３２Ｂと略同様の形状で形成されており、また、電極パッド３８Ｂは、測温抵抗体２６から延びる電極パッド３６Ｂと略同様の形状で形成されている。
【００５１】
図３（ｂ）に示すように、積層基板ユニット１００においては、熱式流量センサ１０が、第１の基板１０２と第２の基板１０４との間に挟まれるようにして配置されており、この状態で断面矩形状の流路２の一壁面を所定長にわたって構成するようになっている。その際、第１および第２の基板１０２、１０４は、いずれも樹脂基板として構成されている。この樹脂基板の具体的な材質としては、例えば、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルフォン等が採用可能である。
【００５２】
図３（ａ）に示すように、第１の基板１０２は板厚１ｍｍに設定されており、その片面１０２ａには、熱式流量センサ１０と略同じサイズでかつ略同じ深さを有する凹部１０２ｂが形成されている。すなわち、この凹部１０２ｂは、長辺の長さ１１ｍｍ程度、短辺の長さ５．５ｍｍ程度の大きさの矩形状凹部であって、その深さが０．２ｍｍ程度に設定されている。
【００５３】
そして、熱式流量センサ１０は、その樹脂フィルム片１２の片面１２ａ側を露出させた状態で、第１の基板１０２の凹部１０２ｂに収容されるようになっている。このとき、熱式流量センサ１０は、凹部１０２ｂに対して略隙間なく収容され、かつ、その樹脂フィルム片１２の片面１２ａが第１の基板１０２の片面１０２ａと略面一の状態となる。
【００５４】
一方、第２の基板１０４は板厚２ｍｍに設定されており、その片面１０４ａには、幅２ｍｍ、深さ１ｍｍの矩形状断面で、所定長（例えば、２０〜４０ｍｍ程度の長さ）にわたって直線状に延びる凹溝１０４ｂが形成されている。また、この第２の基板１０４の片面１０４ａには、凹溝１０４ｂ近傍まで延びる導電膜１０６が所定の配線パターンで形成されている。
【００５５】
この導電膜１０６は、上記燃料電池システムの流量検出用制御回路の一部を構成するものであって、その配線パターンは、熱式流量センサ１０の各電極パッド３２Ａ、３２Ｂ、３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂ、３８Ａ、３８Ｂとそれぞれ導通するようなパターン形状に設定されている。そして、この導電膜１０６を介して、熱式流量センサ１０の発熱抵抗体２２、各測温抵抗体２４、２６および基準抵抗体２８が、それぞれ上記燃料電池システムの流量検出用制御回路における他の部分（例えばブリッジ回路等）と電気的に接続されるようになっている。
【００５６】
図３（ａ）に示すように、積層基板ユニット１００の組付けは、熱式流量センサ１０を第１の基板１０２の凹部１０２ｂに収容した後、この第１の基板１０２に対して、第２の基板１０４を、その凹溝１０４ｂが熱式流量センサ１０の発熱抵抗体２２および１対の測温抵抗体２４、２６と直交する向きとなるように配置した状態で、その片面１０４ａにおいて第１の基板１０２の片面１０２ａと接合することにより行われるようになっている。
【００５７】
その際、熱式流量センサ１０の各電極パッド３２Ａ、３２Ｂ、３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂ、３８Ａ、３８Ｂと導電膜１０６との接触部分には、それぞれ導電性接着剤（図示せず）を塗布しておくことにより、両者の導通を確実に図るようにし、それ以外の部分においては、第１の基板１０２の片面１０２ａと第２の基板１０４の片面１０４ａとの間に通常の接着剤（図示せず）を塗布しておくことにより、流路２周辺の水密性（および気密性）を十分に確保するようになっている。
【００５８】
なお、第１の基板１０２または第２の基板１０４における、凹部１０２ｂの両端部に位置する部分には、流路２を他の階層の基板に形成された流路と接続するための貫通孔（図示せず）が形成されている。
【００５９】
図５（ａ）は、図１のVa-Va 線断面図である。また、同図（ｂ）は、同図（ａ）のｂ部詳細図であり、同図（ｃ）は、同図（ｂ）のｃ部詳細図である。
【００６０】
これらの図に示すように、熱式流量センサ１０は、平滑面として形成された樹脂フィルム片１２の片面１２ａに、発熱抵抗体２２、１対の測温抵抗体２４、２６および基準抵抗体２８が、導電膜１４の一部として形成されており、そして、これらは保護膜１６により被覆されているので、熱式流量センサ１０において流路２に臨む保護膜１６の表面１６ａは略平滑なものとなる。
【００６１】
すなわち、図５（ａ）のスケールでは、保護膜１６の表面１６ａのメタノールの流れ方向に沿った断面形状は一直線状であり、そのｂ部を拡大した同図（ｂ）においても、上記断面形状はまだ一直線状であり、そのｃ部をさらに拡大した同図（ｃ）において、ようやく僅かな凹凸が認められるようになる。その際、同図（ｃ）に示す保護膜１６の表面１６ａの凹凸は、発熱抵抗体２２および測温抵抗体２６の各々の厚さ分の段差が保護膜１６の表面１６ａに現れることによるものであるが、これら発熱抵抗体２２および測温抵抗体２６は、いずれも膜厚０．１μｍの導電膜１４の一部として形成されているので、上記段差も０．１μｍという僅かな高さとなる。このため、発熱抵抗体２２により加熱されたメタノールから気泡が発生したとしても、その気泡が凹凸部分に付着してしまうおそれはない。
【００６２】
以上詳述したように、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、矩形状の樹脂フィルム片１２と、この樹脂フィルム片１２の片面１２ａに所定の配線パターンで形成された導電膜１４と、この導電膜１４を部分的に被覆する保護膜１６とからなるカード状センサとして構成されているので、積層基板ユニット１００の内部に形成された流路２を流れるメタノールの流量検出を行うために、この積層基板ユニット１００の内部に配置することが容易に可能となる。
【００６３】
その際、本実施形態に係る熱式流量センサ１０においては、その発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６が、導電膜１４の一部として、それぞれメタノールの流れ方向と直交する方向に延びるように形成されており、さらに上記導電膜１４の一部として、発熱抵抗体２２から延びる１対の電極パッド３２Ａ、３２Ｂと、各測温抵抗体２４、２６から延びる各１対の電極パッド３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂとが形成されているが、これら各電極パッド３２Ａ、３２Ｂ、３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂは、発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６の各々から略扇形に拡がるように形成されているので、次のような作用効果を得ることができる。
【００６４】
すなわち、本実施形態に係る熱式流量センサ１０においては、流量検出の感度を高めるために、発熱抵抗体２２と各測温抵抗体２４、２６との流れ方向の中心間距離が８０μｍと非常に小さい値に設定されているが、各電極パッド３２Ａ、３２Ｂ、３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂは、発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６の各々から略扇形に拡がるように形成されているので、これら各電極パッド３２Ａ、３２Ｂ、３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂにおける、第２の基板１０４の片面１０４ａに形成された導電膜１０６と導通する部分を、ある程度大きい面積で形成することができる。
【００６５】
そしてこれにより、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、カード状センサとして構成されているにもかかわらず、上記燃料電池システムの流量検出用制御回路の一部を構成する導電膜１０６との電気的接続を容易に行うことができる。しかも、これら各電極パッド３２Ａ、３２Ｂ、３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂは略扇形に拡がるように形成されているので、発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６以外の部分の抵抗値を十分低く抑えることができ、この点においても流量検出の精度を高めることができる。
【００６６】
また、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、その樹脂フィルム片１２の片面１２ａにおける流路２に臨む部分がすべて保護膜１６で被覆されているので、沸点が低く気泡が発生しやすいメタノールが被検流体であるにもかかわらず、流量検出を精度良く行うことができる。
【００６７】
すなわち、本実施形態に係る熱式流量センサ１０においてメタノールと接触する部分は、保護膜１６の表面１６ａであり、この表面１６ａの凹凸の高さは最大でも導電膜１４の膜厚０．１μｍ分の高さに抑えられており、十分な平滑性が確保されている。したがって、保護膜１６の表面１６ａの凹凸部分にメタノールから発生した気泡が付着してしまうといった事態が発生するのを未然に防止することができ、これにより流量検出を精度良く行うことができる。
【００６８】
このように本実施形態によれば、発熱抵抗体２２および１対の測温抵抗体２４、２６を用いてメタノールの流量検出を行うように構成された熱式流量センサ１０において、流量検出の感度および精度を十分に確保可能とした上で、その設置箇所の自由度を高めることができる。
【００６９】
その際、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、その樹脂フィルム片１２が矩形状に形成されているので、センサ本体１０の製造を容易に行うことができ、また、第１の基板１０２の凹部１０２ｂの形成も容易に行うことができる。
【００７０】
また、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、その発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６が、それぞれメタノールの流れ方向と直交する方向にＵ字形の経路で延びるように形成されているので、発熱抵抗体２２から延びる１対の電極パッド３２Ａ、３２Ｂおよび各測温抵抗体２４、２６から延びる各１対の電極パッド３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂが、それぞれメタノールの流路２に対して同じ側に形成されることとなる。したがって、これら発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６の各々と上記燃料電池システムの流量検出用制御回路の一部を構成する導電膜１０６との電気的接続を行いやすくすることができる。
【００７１】
しかも、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、その発熱抵抗体２２から延びる１対の電極パッド３２Ａ、３２Ｂおよび各測温抵抗体２４、２６から延びる各１対の電極パッド３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂが、メタノールの流路２に対してすべて同じ側に形成されているので、流量検出を必要とする箇所への熱式流量センサ１０の設置を行いやすくすることができ、これにより熱式流量センサ１０の汎用性を高めることができる。
【００７２】
すなわち、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、積層基板ユニット１００の一部として組み込まれるようになっているが、この積層基板ユニット１００における第２の基板１０４の片面１０４ａの一部領域に、上記燃料電池システムの流量検出用制御回路の一部を構成する導電膜１０６を集中的に形成することができ、これにより積層基板ユニット１００の構成を簡素化することができる。
【００７３】
また、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、１対の電極パッド３４Ａ、３４Ｂと１対の電極パッド３６Ａ、３６Ｂとが、メタノールの流れ方向に関して対称形状で形成されているので、上流側の測温抵抗体２４での液温検出と下流側の測温抵抗体２６での液温検出とを同一条件で行うことができ、これにより流量検出を一層精度良く行うことができる。
【００７４】
さらに、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、その樹脂フィルム片１２の片面１２ａにおける発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６からメタノールの流れ方向上流側に離れた位置に、液温を検出する基準抵抗体２８が、導電膜１４の一部として、メタノールの流れ方向と直交する方向に延びるように形成されているので、液温検出を行うためのセンサを、別途、メタノールの流路２に配置する必要を無くすことができる。また、このような構成とすることにより、基準抵抗体２８と発熱抵抗体２２および１対の測温抵抗体２４、２６との位置関係が常に一定に維持されることとなるので、この点においても流量検出を精度良く行うことができる。しかも、この基準抵抗体２８は、発熱抵抗体２２から６ｍｍ程度と十分離れた位置に配置されているので、発熱抵抗体２２からの熱影響を全く受けることなく液温検出を行うことができる。
【００７５】
また本実施形態においては、流量測定の際、発熱抵抗体２２を、高温に加熱するのではなく、流路２を流れるメタノールの温度よりも５℃程度高い温度に加熱するようになっているので、メタノールの沸点が６５℃とかなり低い温度であるにもかかわらず、これを沸騰させたり変質させてしまうのを未然に防止することができる。
【００７６】
さらに本実施形態においては、熱式流量センサ１０が、凹部１０２ｂに対して略隙間なく収容された状態で、かつ、その樹脂フィルム片１２の片面１２ａが第１の基板１０２の片面１０２ａと略面一となった状態で積層基板ユニット１００の一部として組み込まれるようになっているので、熱式流量センサ１０が配置されたことにより、流路２の壁面に隙間や段差が生じてしまわないようにすることができ、これにより流量検出の精度を十分維持することができる。その際、この流路２は、断熱性に優れた第１および第２の基板１０２、１０４により形成されているので、この点においても流量検出の精度を十分維持することができる。
【００７７】
なお、本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、その基準抵抗体２８が発熱抵抗体２２から６ｍｍ程度離れた位置に配置されているが、本実施形態の場合のように、発熱抵抗体２２の加熱温度が、流路２を流れるメタノールの温度よりも５℃程度高い程度であれば、基準抵抗体２８を発熱抵抗体２２から２ｍｍ程度以上離すようにすれば、発熱抵抗体２２からの熱影響をほどんど受けないようにすることが可能である。ただし、本実施形態に係る熱式流量センサ１０のように、その基準抵抗体２８が発熱抵抗体２２から６ｍｍ程度離れた位置に配置された構成とすれば、この熱式流量センサ１０を、流量測定条件が大きく異なる箇所にも設置することが容易に可能となり、その汎用性を十分高めることができる。
【００７８】
本実施形態に係る熱式流量センサ１０は、その樹脂フィルム片１２の厚さが、０．２ｍｍに設定されているので、これをカード状センサとして十分薄いものとすることができるようにした上で、これを第１の基板１０２の凹部１０２ｂに収容する際に、実装機を用いるようにした場合においても、そのための所要の剛性を確保することができる。もっとも、この樹脂フィルム片１２の厚さをさらに薄くすることも可能であり、また、剛性をより高めるために逆に厚くすることも可能である。その際、この樹脂フィルム片１２の厚さは、０．１〜０．５ｍｍ程度の範囲内の値に設定することが好ましい。
【００７９】
本実施形態においては、第１および第２の基板１０２、１０４が、いずれも断熱性に優れた樹脂基板として構成されているので、メタノールの流路２の断熱性を極めて高いものとすることができ、これにより熱式流量センサ１０による流量検出の精度についても極めて高いものとすることができる。
【００８０】
なお、上記実施形態においては、熱式流量センサ１０が、流路２の下側に配置されるものとして説明したが、流路２の上側に配置される構成とすること（すなわち、図３（ｂ）に示す積層基板ユニット１００を上下反転させた状態で配置すること）、あるいは、流路２の側方に配置される構成とすることも可能である。
【００８１】
また、上記実施形態においては、熱式流量センサ１０の樹脂フィルム片１２が矩形状に形成されているものとして説明したが、この樹脂フィルム片１２を、矩形の各コーナ部あるいは一部のコーナ部に面取りやコーナＲが施された形状とすることも可能であり、また、矩形以外の形状とすることも可能である。
【００８２】
さらに、上記実施形態においては、発熱抵抗体２２、各測温抵抗体２４、２６および基準抵抗体２８が、いずれもメタノールの流れ方向と直交する方向に延びるように形成されているものとして説明したが、メタノールの流れ方向と直交する方向から多少ずれた方向に延びるように形成されている場合においても、上記実施形態の場合と略同様の作用効果を得ることができる。
【００８３】
また、上記実施形態においては、第１および第２の基板１０２、１０４が樹脂基板として構成されているものとして説明したが、これら第１および第２の基板１０２、１０４のうちの一方あるいは両方を、例えばアルミニウム製あるいはステンレススチール製の金属基板として構成されたものとすることも可能である。
【００８４】
さらに、上記実施形態においては、熱式流量センサ１０が、燃料電池システムにおける多層基板の一部として組み込まれる積層基板ユニット１００の内部に形成されたメタノールの流路２に配置された状態で、メタノールの流量検出を行うものとして説明したが、この熱式流量センサ１０を、上記多層基板の他の部分に配置された積層基板ユニット１００において、その流路２を流れる空気あるいは水素の流量検出を行うものとすることも可能である。
【００８５】
また、上記実施形態においては、熱式流量センサ１０が、積層基板ユニット１００の一部として組み込まれた状態で用いられるものとして説明したが、この熱式流量センサ１０を、これ以外の態様で用いるようにすることも可能である。例えば、配管の内表面にカード挿着用のスロットを形成しておき、このスロットに熱式流量センサ１０を差し込むことにより、外部の流量検出用制御回路との電気的接続を行うようにした状態で、上記配管内を流れる被検流体の流量検出を行うようにすること等が可能である。
【００８６】
次に、上記実施形態の変形例について説明する。
【００８７】
まず、上記実施形態の第１変形例について説明する。
【００８８】
図６は、本変形例に係る熱式流量センサ５０を示す平面図であり、図７は、図６のVII 部詳細図である。
【００８９】
これらの図に示すように、本変形例に係る熱式流量センサ５０は、その基本的な構成は上記実施形態の場合と同様であり、カード状センサとして構成されている。ただし、この熱式流量センサ５０は、その発熱抵抗体２２および該発熱抵抗体２２から延びる１対の電極パッド３２Ａ、３２Ｂの配置が、上記実施形態の場合と異なっており、これに伴い、樹脂フィルム片１２のサイズその他の細部の構成が上記実施形態の場合と異なっている。
【００９０】
すなわち、本変形例においても、発熱抵抗体２２および各測温抵抗体２４、２６が、メタノールの流れ方向と直交する方向にＵ字形の経路で延びるように形成されているが、その向きが発熱抵抗体２２と各測温抵抗体２４、２６とでは逆になっている。具体的には、各測温抵抗体２４、２６は、その各１対の基端部が手前側に位置しており、向こう側で折り返すように形成されているが、発熱抵抗体２２は、その１対の基端部が向こう側に位置しており、手前側で折り返すように形成されている。これに伴い、各測温抵抗体２４、２６から延びる各１対の電極パッド３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂは、流路２の手前側に形成されているのに対して、発熱抵抗体２から延びる１対の電極パッド３２Ａ、３２Ｂは、流路２の向こう側に形成されている。
【００９１】
４つの電極パッド３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂは、メタノールの流れ方向に延びる直線に対して手前側に位置する１８０°の角度領域を、多少の角度間隔をおいて略４等分した拡がり角度（具体的には３５〜４０°程度の拡がり角度）で形成されている。これら各電極パッド３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂの端部（すなわち保護膜１６により被覆されていない部分）は、メタノールの流れ方向と直交する方向に折れ曲がるようにして、樹脂フィルム片１２の手前側の長辺１２ｂ１まで延びている。その際、これら各電極パッド３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂの端部（すなわち保護膜１６により被覆されていない部分）は、メタノールの流れ方向に関して、いずれも同じ幅（具体的には１ｍｍ程度の幅）で、かつ等間隔で形成されている。そしてこれにより、上流側の測温抵抗体２４から延びる１対の電極パッド３４Ａ、３４Ｂと、下流側の測温抵抗体２６から延びる１対の電極パッド３６Ａ、３６Ｂとが、メタノールの流れ方向に関して対称形状で形成されている。
【００９２】
一方、２つの電極パッド３２Ａ、３２Ｂは、メタノールの流れ方向に延びる直線に対して向こう側に位置する１８０°の角度領域を、多少の角度間隔をおいて略２等分した拡がり角度（具体的には７５〜８０°程度の拡がり角度）で形成されている。これら各電極パッド３２Ａ、３２Ｂの端部は、メタノールの流れ方向と直交する方向に折れ曲がるようにして、樹脂フィルム片１２の向こう側の長辺１２ｂ２まで延びている。その際、これら各電極パッド３２Ａ、３２Ｂの端部は、メタノールの流れ方向に関して、いずれも同じ幅（具体的には１ｍｍ程度の幅）で、かつ等間隔で形成されている。そしてこれにより、発熱抵抗体２２から延びる１対の電極パッド３２Ａ、３２Ｂが、メタノールの流れ方向に関して対称形状で形成されている。
【００９３】
本変形例において、基準抵抗体２８の構成は、上記実施形態の場合と同様であるが、この基準抵抗体２８から延びる１対の電極パッド３８Ａ、３８Ｂが、上記実施形態の場合よりも大きい拡がり角度（具体的には３５〜４０°程度の拡がり角度）で形成されている。
【００９４】
本変形例に係る熱式流量センサ５０においては、その発熱抵抗体２２から延びる１対の電極パッド３２Ａ、３２Ｂが流路２の向こう側に形成されている分だけ、樹脂フィルム片１２の長辺の長さが短くなっている。具体的には８．５ｍｍに設定されている。一方、この樹脂フィルム片１２の短辺の長さは、上記実施形態の場合と同様である。ただし、本変形例に係る熱式流量センサ５０においては、その樹脂フィルム片１２の短辺方向の中心に流路２が位置するように構成されている。そして、樹脂フィルム片１２の片面１２ａには、その流路２の両側に、保護膜１６から露出する部分が均等に確保されるようになっている。
【００９５】
本変形例の構成を採用した場合においても、流量検出の感度および精度を十分に確保可能とした上で、熱式流量センサ５０の設置箇所の自由度を高めることができる。
【００９６】
また、本変形例の構成を採用することにより、各測温抵抗体２４、２６から延びる各１対の電極パッド３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂと、発熱抵抗体２２から延びる１対の電極パッド３２Ａ、３２Ｂとが、互いに近接して配置されないようにすることができる。そしてこれにより、発熱抵抗体２２から延びる１対の電極パッド３２Ａ、３２Ｂの温度が上昇するようなことがあっても、その熱影響が各測温抵抗体２４、２６からの検出信号に及ばないようにすることができ、これにより流量検出の精度を高めることができる。
【００９７】
さらに、本変形例の構成を採用することにより、熱式流量センサ５０を一層コンパクトに構成することができ、サイズ面においてその設置箇所の自由度を一層高めることができる。
【００９８】
また、本変形例に係る熱式流量センサ１０においては、各電極パッド３２Ａ、３２Ｂ、３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂ、３８Ａ、３８Ｂが、上記実施形態の場合よりも大きい拡がり角度で形成されているので、発熱抵抗体２２、各測温抵抗体２４、２６および基準抵抗体２８以外の部分の抵抗値を一層低く抑えることができ、これにより流量検出の感度を一層高めることができる。
【００９９】
次に、上記実施形態の第２変形例について説明する。
【０１００】
図８は、本変形例に係る熱式流量センサ６０を示す平面図であり、図９は、図８のIX部詳細図である。
【０１０１】
これらの図に示すように、本変形例に係る熱式流量センサ６０は、その基本的な構成は上記実施形態および第１変形例の場合と同様であり、カード状センサとして構成されている。ただし、この熱式流量センサ６０は、その発熱抵抗体２２から延びる１対の電極パッド３２Ａ、３２Ｂの配置ならびに基準抵抗体２８および該基準抵抗体２８から延びる１対の電極パッド３８Ａ、３８Ｂの配置が、上記第１変形例の場合と異なっており、これに伴い、樹脂フィルム片１２のサイズその他の細部の構成が上記第１変形例の場合と異なっている。
【０１０２】
すなわち、本変形例においては、発熱抵抗体２２だけでなく基準抵抗体２８についても、その向きが各測温抵抗体２４、２６とは逆になっている。具体的には、上記第１変形例の基準抵抗体２８および１対の電極パッド３８Ａ、３８Ｂを、向こう側へ反転させて、さらに下流側へ変位させた状態になっている。そしてこれにより、本変形例においては、上記第１変形例の場合よりもさらに樹脂フィルム片１２の長辺の長さが短くなっている。具体的には５．５ｍｍに設定されている。
【０１０３】
ただし、これを実現するため、本変形例においては、基準抵抗体２８の発熱抵抗体２２からの距離が２．５ｍｍ程度と、上記実施形態および第１変形例の場合よりもかなり短い値に設定されており、また、発熱抵抗体２２から延びる１対の電極パッド３２Ａ、３２Ｂについても、基準抵抗体２８から延びる１対の電極パッド３８Ａ、３８Ｂと同様、発熱抵抗体２２から下流側寄りに拡がるように形成されている。
【０１０４】
また本変形例においては、上記実施形態および上記第１変形例の場合よりも樹脂フィルム片１２の短辺の長さがやや短くなっている。具体的には５ｍｍに設定されている。
【０１０５】
本変形例の構成を採用した場合においても、流量検出の感度および精度を十分に確保可能とした上で、熱式流量センサ６０の設置箇所の自由度を高めることができる。
【０１０６】
また、本変形例の構成を採用することにより、熱式流量センサ６０をより一層コンパクトに構成することができ、サイズ面においてその設置箇所の自由度をより一層高めることができる。
【０１０７】
本変形例に係る熱式流量センサ６０は、その基準抵抗体２８の発熱抵抗体２２からの距離が、２．５ｍｍ程度と上記実施形態および第１変形例の場合よりもかなり短い値に設定されているが、上述したように、この距離が２ｍｍ以上の値に設定されていれば、発熱抵抗体２２からの熱影響をほどんど受けることなく液温検出を行うことが可能である。
【０１０８】
なお、上記実施形態および各変形例において諸元として示した数値は一例にすぎず、これらを適宜異なる値に設定してもよいことはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本願発明の一実施形態に係る熱式流量センサを示す平面図
【図２】図１のII部詳細図
【図３】（ａ）は上記熱式流量センサの積層基板ユニットへの組込みの様子を示す断面図、（ｂ）は上記熱式流量センサが組み込まれた積層基板ユニットを示す断面図
【図４】上記積層基板ユニットの一部として組み込まれた熱式流量センサを示す斜視図
【図５】（ａ）は図１のVa-Va 線断面図、（ｂ）は（ａ）のｂ部詳細図、（ｃ）は（ｂ）のｃ部詳細図
【図６】上記実施形態の第１変形例に係る熱式流量センサを示す平面図
【図７】図６のVII 部詳細図
【図８】上記実施形態の第２変形例に係る熱式流量センサを示す平面図
【図９】図８のIX部詳細図
【符号の説明】
【０１１０】
２  流路
１０、５０、６０  熱式流量センサ
１２  樹脂フィルム片
１２ａ、１０２ａ、１０４ａ  片面
１２ｂ１  手前側の長辺
１２ｂ２  向こう側の長辺
１２ｃ１  上流側の短辺
１２ｃ２  下流側の短辺
１４、１０６  導電膜
１６  保護膜
１６ａ  表面
２２  発熱抵抗体
２４、２６  測温抵抗体
２８  基準抵抗体
３０  目印
３２Ａ、３２Ｂ、３４Ａ、３４Ｂ、３６Ａ、３６Ｂ、３８Ａ、３８Ｂ  電極パッド
１００  積層基板ユニット
１０２  第１の基板
１０２ｂ  凹部
１０４  第２の基板
１０４ｂ  凹溝
【図１】
2009025099.tif 000003
【図２】
2009025099.tif 000004
【図３】
2009025099.tif 000005
【図４】
2009025099.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2009025099.tif 000011