(57)【要約】【課題】パンチ打ち込み面の隆起の発生を抑制することが可能なノズルプレートの製造方法、及び、このノズルプレートを装着した液体噴射ヘッドを提供しようとする。【解決手段】第１パンチ３６を金属板３１の板厚方向の途中まで打ち込むことにより凹部を形成する第１凹部形成工程と凹部を形成した金属板の一方から凹部の未貫通部に第１パンチよりも細い第２パンチ５０を打ち込むことにより、凹部の深さを深くすると共に他方の面に膨出部５２を形成する第２凹部形成工程と金属板の他方の面を研削して膨出部を除去して凹部を貫通孔とする貫通工程とを含むノズルプレートの製造方法であって、第１パンチは、挿入突部４０と該挿入突部の基端で柱状部分の軸方向に直交する方向に延在する押さえ面４１を有する隆起防止部４２とを備え、第１パンチを隆起防止部の押さえ面が金属板の表面に接するまで金属板の板厚方向に打ち込む。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板の一方の面から他方の面に向けてパンチを金属板の板厚方向の途中まで打ち込むことにより金属板に凹部を形成する凹部形成工程と、
凹部を形成した金属板の他方の面を研削して凹部の底の未貫通部を除去して貫通孔とする貫通工程と、を含むノズルプレートの製造方法であって、
前記パンチは、パンチホルダに固定した柱状部分の先端に形成されて金属板の内部に打ち込まれる挿入突部と、該挿入突部の基端で柱状部分の軸方向に直交する方向に延在する押さえ面を有する隆起防止部とを備え、
このパンチを、隆起防止部の押さえ面が金属板の表面に接するまで金属板の板厚方向に打ち込むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項２】
前記パンチを、隆起防止部の押さえ面が金属板の表面を押圧するまで金属板の板厚方向に打ち込むことを特徴とする請求項１に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項３】
金属板を平坦なダイ上に載置して金属板の他方の面をダイの表面に接した状態で金属板の一方の面から他方の面に向けて前記パンチを打ち込むことを特徴とする請求項２に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項４】
前記パンチの挿入突部が先端に向かって縮径して先端が平面で構成されており、
このパンチを、前記隆起防止部の押さえ面が金属板の表面に圧接するまで金属板の板厚方向に打ち込んで凹部の開口の縁を押圧することを特徴とする請求項３に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項５】
金属板の一方の面から他方の面に向けて第１のパンチを金属板の板厚方向の途中まで打ち込むことにより金属板に凹部を形成する第１凹部形成工程と、
前記凹部を形成した金属板の一方から凹部の底の未貫通部に前記第１のパンチよりも細い第２のパンチを打ち込むことにより、凹部の深さを深くすると共に前記他方の面に膨出部を形成する第２凹部形成工程と、
凹部を形成した金属板の他方の面を研削して膨出部を除去して凹部を貫通孔とする貫通工程と、を含むノズルプレートの製造方法であって、
前記第１のパンチは、パンチホルダに固定した柱状部分の先端に形成されて金属板の内部に打ち込まれる挿入突部と、該挿入突部の基端で柱状部分の軸方向に直交する方向に延在する押さえ面を有する隆起防止部とを備え、
この第１のパンチを、隆起防止部の押さえ面が金属板の表面に接するまで金属板の板厚方向に打ち込むことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項６】
前記第１のパンチの挿入突部が先端に向かって縮径して先端が平面で構成されており、
この第１のパンチを、隆起防止部の押さえ面が金属板の表面に接するまで金属板の板厚方向に打ち込んで凹部の開口の縁を押圧することを特徴とする請求項５に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項７】
前記した金属板がインバー型合金製であることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかにより製造したノズルプレートを装着し、開口から液滴を噴射するようにしたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録装置などの液体噴射装置に設けられるノズルプレートの製造方法、およびこのノズルプレートを装着した液体噴射ヘッドに関し、特に、インバー型合金などの比較的柔らかな金属製のノズルプレートに好適である。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置、例えば、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させるインクジェット式記録装置などの液体噴射ヘッドの液体濾過用のフィルタは、薄手の金属板（例えば、ステンレス板）に微細径の貫通孔を複数開設して構成されている。金属板に貫通孔を開設する方法としては、エッチングによる方法と、金型を用いたプレス加工（塑性加工）方法などがある。
【０００３】
上記プレス加工の場合、一般的には、ノズルプレートとなる薄い金属板の一方の面からパンチを押し込み、反対側に隆出した隆出部をその後の研磨工程で除去し、これによりノズル開口となる貫通孔を開設する方法が提案されている（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２００７−１３７０３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、前記した従来の金属板加工方法により、薄い金属板に小さな孔を開設すると、孔の開口周縁に環状の隆起が形成されることがあった。
これは、パンチの金属板への押し込みにより移動した金属が孔の周縁に押し寄せて（いわゆる肉の逃げ）しまうことで生じていた。そして、この隆起は、ステンレス鋼よりも４２アロイなどのインバー金属製板材を加工した場合に顕著であり、この隆起を除去するために、その部分をラップして除去し、平坦面になるようにする工程が必要となっていた。
また、ノズル開口が、大きな孔の底に小さな孔を開設した二段形状である場合、１回のパンチング加工により孔を形成するとなると、パンチが折れ易く、実用に供し得なかった。
【０００５】
本発明は、上記に鑑み提案されたもので、その目的は、パンチ打ち込み面の隆起の発生を抑制することが可能なノズルプレートの製造方法、及び、このノズルプレートを装着した液体噴射ヘッドを提供しようとするものである。また、二段形状のノズル開口であっても、パンチが折れ難いノズルプレートの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記した目的を達成するために、本発明に係るノズルプレートの製造方法は、金属板の一方の面から他方の面に向けてパンチを金属板の板厚方向の途中まで打ち込むことにより金属板に凹部を形成する凹部形成工程と、
凹部を形成した金属板の他方の面を研削して凹部の底の未貫通部を除去して貫通孔とする貫通工程と、を含むノズルプレートの製造方法であって、
前記パンチは、パンチホルダに固定した柱状部分の先端に形成されて金属板の内部に打ち込まれる挿入突部と、該挿入突部の基端で柱状部分の軸方向に直交する方向に延在する押さえ面を有する隆起防止部とを備え、
このパンチを、隆起防止部の押さえ面が金属板の表面に接するまで金属板の板厚方向に打ち込むことを特徴とする。
【０００７】
前記パンチを打ち込む場合、隆起防止部の押さえ面が金属板の表面を押圧するまで金属板の板厚方向に打ち込むことが望ましい。
また、金属板を平坦なダイ上に載置して金属板の他方の面をダイの表面に接した状態で金属板の一方の面から他方の面に向けて前記パンチを打ち込むようにしてもよい。
【０００８】
そして、前記パンチは、その挿入突部が先端に向かって縮径して先端が平面で構成されており、
このパンチを、前記隆起防止部の押さえ面が金属板の表面に圧接するまで金属板の板厚方向に打ち込んで凹部の開口の縁を押圧することが望ましい。
【０００９】
この様にしてノズルプレートを製造すると、金属板に凹部を形成する際に、パンチに形成した隆起防止部の押さえ面が金属板の表面に圧接するので、金属板に形成された凹部の開口の縁が平らに押圧され、この押圧により、金属板の肉が多少隆起したとしても平らに成形されてしまい、凹部形成工程が終了した時点で凹部の開口の周りには隆起がなくなる。したがって、金属板が柔らかい材質であっても、隆起を研磨除去する手間を省くことができ、作業効率を高めることができる。
さらに、ダイとの間に押圧すると、金属板の表面部分を硬化させることができ、孔の真円度を確保することができる。
【００１０】
また、本発明に係るノズルプレートの製造法は、金属板の一方の面から他方の面に向けて第１のパンチを金属板の板厚方向の途中まで打ち込むことにより金属板に凹部を形成する第１凹部形成工程と、
前記凹部を形成した金属板の一方から凹部の底の未貫通部に前記第１のパンチよりも細い第２のパンチを打ち込むことにより、凹部の深さを深くすると共に前記他方の面に膨出部を形成する第２凹部形成工程と、
凹部を形成した金属板の他方の面を研削して膨出部を除去して凹部を貫通孔とする貫通工程と、を含むノズルプレートの製造方法であって、
前記第１のパンチは、パンチホルダに固定した柱状部分の先端に形成されて金属板の内部に打ち込まれる挿入突部と、該挿入突部の基端で柱状部分の軸方向に直交する方向に延在する押さえ面を有する隆起防止部とを備え、
この第１のパンチを、隆起防止部の押さえ面が金属板の表面に接するまで金属板の板厚方向に打ち込むことを特徴とする。
【００１１】
そして、前記パンチは、その挿入突部が先端に向かって縮径して先端が平面で構成されており、
このパンチを、前記隆起防止部の押さえ面が金属板の表面に圧接するまで金属板の板厚方向に打ち込んで凹部の開口の縁を押圧することが望ましい。
【００１２】
この様に、金属板に凹部を形成する第１凹部形成工程と、前記凹部を形成した金属板の一方から凹部の底の未貫通部に前記パンチよりも細いパンチを打ち込むことにより、凹部の深さを深くすると共に前記他方の面に膨出部を形成する第２凹部形成工程と、に分けて凹部を形成すると、細い凹部を形成する際におけるパンチに掛かる負荷を低減することができるので、パンチの損傷を低減することができる。また、第１凹部形成工程で形成する凹部の開口の縁に隆起が生じることを抑制できるので、金属板が柔らかい材質であっても、研磨の工程を簡素化できる。
【００１３】
前記した金属板は、インバー型合金製であることが望ましい。
【００１４】
ノズルプレートをインバー型合金製にすると、接合する他の部品と熱膨張率が同じようになるので、接合面での膨張差が生じ難くなり、剥離等のトラブルを未然に防止できる。
【００１５】
前記した製造方法により製造したノズルプレートを装着した液体噴射ヘッドは、凹部を貫通した孔、すなわちノズル開口が製造途中で潰されることもなく形状の精度が高く維持されるので、液体の噴射特性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面等を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下では、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）のノズル基板の形成に本発明を適用した例を説明する。
【００１７】
図１は、本実施形態における記録ヘッド１の要部断面図である。例示した記録ヘッド１は、ケース２、流路ユニット３、及び、アクチュエータユニット５等を主な構成要素としている。ケース２は、合成樹脂製の中空箱体状部材であり、先端面（下面）には流路ユニット３を接合し、内部に形成された収容空部４内にはアクチュエータユニット５を収容し、流路ユニット３側とは反対側の基端面（上面）には、プリンタ本体側からの駆動信号をアクチュエータユニット５に供給するための回路基板（図示せず）を取り付けるようになっている。
【００１８】
上記アクチュエータユニット５は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子７と、この圧電振動子７が接合される固定板８と、回路基板からの駆動信号を圧電振動子７に供給するためのＴＣＰ（テープキャリアパッケージ）等の配線部材９等から構成される。各圧電振動子７は、固定端部側が固定板８上に接合され、自由端部側が固定板８の先端面よりも外側に突出した所謂片持ち梁の状態で固定板８上に取り付けられている。そして、アクチュエータユニット５は、固定板８の背面を、収容空部４を区画するケース内壁面に接着することで収容空部４内に収納・固定されている。
【００１９】
流路ユニット３は、振動板１１、流路形成基板１２、及びノズル基板（ノズルプレート）１３からなる流路ユニット構成部材を積層した状態で接着剤で接合して一体化することにより作製されており、リザーバ１５（液室）からインク供給口１６及び圧力発生室１７を通りノズル開口１８に至るまでの一連のインク流路（液体流路の一種）を形成する部材である。圧力発生室１７は、ノズル開口１８の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成されている。また、リザーバ１５は、インクカートリッジやサブタンク等のインク供給源からのインクが導入される室である。そして、このリザーバ１５に導入されたインクは、インク供給口１６を通じて各圧力発生室１７に分配供給される。
【００２０】
流路ユニット３の底部に配置されるノズルプレート１３は、図２に示すように、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル開口１８を、記録紙等の記録媒体送り方向に列状に開設した金属製の薄手の板材である。本実施形態のノズルプレート１３は、例えば、４２アロイなどからなる板材（金属板１３´）から作製し、パンチ（図３等参照）を用いたプレス加工によってノズル開口１８の列、即ち、ノズル列（ノズル群の一種）を、記録ヘッド１の走査方向に複数並べて開設している。そして、１つのノズル列は、例えば１８０個のノズル開口１８によって構成される。本実施形態の記録ヘッド１は、合計８種類のインクを吐出可能に構成されており、各インクに対応させて合計８列のノズル列がノズルプレート１３に形成されている。
【００２１】
流路ユニット構成部材の１つである流路形成基板１２は、インク流路となる流路基部、具体的には、リザーバ１５となる空部、インク供給口１６となる溝部、及び、圧力発生室１７となる開口部が区画形成された板状の部材である。本実施形態において、流路形成基板１２は、結晶性を有する基材であるシリコンウェハーを異方性エッチング処理することによって作製されている。
【００２２】
ノズルプレート１３とは反対側の流路形成基板１２の上面に配置される振動板１１は、ステンレス鋼等の金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。この振動板１１の圧力発生室１７に対応する部分には、圧電振動子７の自由端部の先端を接合するための島部２０が形成されている。この島部２０の周囲は、エッチングなどによって支持板を環状に除去して弾性フィルムのみとなっている。そして、この部分はダイヤフラム部として機能し、圧電振動子７が伸縮するのに伴い、弾性フィルムを弾性変形させながら島部２０が変位するように構成されている。また、振動板１１は、流路形成基板１２の空部の一方の開口面を封止してリザーバ１５の一部を区画し、インク流路内の圧力変動を緩和するコンプライアンス部２１としても機能する。このコンプライアンス部２１に相当する部分については、ダイヤフラム部と同様にエッチングなどによって支持板を除去して弾性フィルムだけにしている。
【００２３】
そして、上記構成の記録ヘッド１において、配線部材９を通じて圧電振動子７に駆動信号が供給されると、この圧電振動子７が素子長手方向に伸縮し、これに伴い島部２０が圧力発生室１７に近接する方向或いは離隔する方向に移動する。これにより、圧力発生室１７の容積が変化し、圧力発生室１７内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によってノズル開口１８からインク（液体の一種）が噴射される。
【００２４】
次に、プレス金型を使用してノズルプレート１３を製造する方法を、図３に基づいて説明する。図３はプレス金型の第１実施形態の構成を説明する斜視図である。
このプレス金型は、ノズルプレート１３の材料である金属板３１を載せるダイ３２と、プレス機のラム（図示せず）の下面に取り付けるパンチホルダ（ベース）３３と、このパンチホルダ３３の下にスプリングやエラストマ等の弾性材３４を介してパンチホルダ３３に対して上下動可能な状態で設けた押圧盤３５と、パンチホルダ３３に基端を固定して下向きに設けられたパンチ３６と、から概略構成している。
【００２５】
金属板３１は、例えば、厚みが３０〜１００μｍ程度で、４２Ａｌｌｏｙなどの前述した流路形成基板１２と線膨張係数のほぼ等しいインバー型合金からなり、ニッケル含有量を変化させることで、線膨張係数が流路形成基板１２に近づくように設定されている。これにより、流路形成基板１２と金属板３１とを、熱硬化性樹脂等を用いて２００℃〜３００℃で加熱して接合した後に室温に戻るときに、ノズルプレート１３が反ることを防止され、ノズルプレート１３が流路形成基板１２から剥離することを抑制される。
【００２６】
ダイ３２は、鋼鉄製の平坦な板材である。
【００２７】
パンチ３６は、外径が２０〜３０μｍの円柱形に形成されており、パンチホルダ３３に固定した円柱状部分の先端に形成されて金属板３１の内部に打ち込まれる挿入突部４０と、該挿入突部４０の基端で柱状部分の軸方向に直交する方向に延在する押さえ面４１を有する隆起防止部４２とを備える。挿入突部４０は、先端に向かって次第に縮径する円錐台形を呈しており、テーパー部と、該テーパー部の先端に形成した平坦な先端面とを有する。そして、この挿入突部４０の基端には、円柱状部分の軸方向に直交する方向に延在するリング状の押さえ面４１を有する隆起防止部４２が形成されており、この隆起防止部４２の外周縁が円柱状部分に連続している。すなわち、本実施形態におけるパンチ３６は、円柱状部分の先端にリング状の押さえ面４１を軸方向に直交する方向に形成し、この押さえ面４１の中心部分に挿入円錐台形の挿入突部４０を突設して構成されている。
【００２８】
次に、前記した構成からなるプレス金型を使用してノズル開口１８となる凹部（下穴）を形成する凹部形成工程を行う場合について説明する。なお、ダイ３２はプレス機の図示しないボルスタ等の支持盤上に固定され、パンチホルダ３３はラムの下面に固定され、ダイ３２とパンチホルダ３３（パンチ３６）との相対位置やパンチ３６の下死点調整などの型調整はすべて終了していることとする。
【００２９】
まず、平坦なダイ３２の上に４２Ａｌｌｏｙなどの金属板３１を所定位置に載せ、パンチ３６の先端が金属板３１に向かった状態でパンチホルダ３３を下降させる。すると、図３に示すように、押圧盤３５の下面が、金属板３１の表面に当接する。その後、弾性材３４の付勢力に抗しながらパンチホルダ３３をさらに下方に押し下げると、押圧盤３５の貫通ガイド孔４３に案内されて、図３に示すように、パンチ３６の先端の挿入突部４０が金属板３１に押し込まれ、これによりダイ３２の平坦面との間に挟まれた金属板３１の一方の面（表面）に凹部が形成される。この際に、パンチ３６の挿入突部４０の進入により押し退けられた肉はその一部が凹部の開口の縁に隆起して隆起部を形成することがあるが、パンチ３６を所定の深さまで打ち込むと、隆起防止部４２の押さえ面４１が金属板３１の表面３１ａに接して隆起部を押し潰して平らに均すので、金属板３１が４２Ａｌｌｏｙなどのように柔らかくても、先端が単に縮径しただけの従来のパンチを打ち込んだ際に形成される隆起はできない。なお、このパンチ３６の打ち込みにより、ダイ３２の平坦面との間で金属板３１が挟み付けられて強力な押圧力を受けるので、図３中網掛けした範囲に加工硬化が生じる。したがって、凹部は、その後に外力を受けても変形し難くなり、孔の真円度の維持を確実ならしめることができる。
【００３０】
なお、パンチ３６が下死点まで下降して金属板３１に円錐台形状の凹部を形成すると、その後は上昇に転じる。そして、ラムの上昇に伴ってパンチホルダ３３が上昇すると、弾性材３４の復元力により押圧盤３５がパンチホルダ３３よりも少し遅れて上昇を開始し、金属板３１の表面３１ａから離隔して上死点まで上昇する。
【００３１】
そして、次の凹部形成のために金属板３１をフィーダーにより所定のピッチだけ移動する。この移動（送り）が終了したならば、前記した操作を再度繰り返すことにより金属板３１に次の凹部を所定のピッチで開設することができ、これらの操作を繰り返すと、金属板３１に凹部を所定のピッチで順次開設することができる。
【００３２】
この様にして凹部形成工程が終了したならば、金属板３１をプレス機から外して、次の貫通工程を行う研磨装置（図示せず）に搬送する。この貫通工程では凹部形成工程で残った凹部の底の未貫通部を研磨除去することで、図３（ｂ）に示すように、孔を貫通させてノズル開口１８にすると共に、金属板３１の厚さを所定の厚さになるように研磨する。こうして、ノズル開口１８が開設されたノズルプレート１３が作製される。
【００３３】
この貫通工程において、従来であれば、隆起部を除去するために凹部を形成した面（表面３１ａ）をも研磨する必要があった、すなわち、両面を研磨する必要があったが、本発明によれば隆起部ができないので、片面（裏面３１ｂ）だけを研磨すればよい。したがって、工程数を減らすことができ、作業の効率を高めることができる。
【００３４】
次に、図４に示す第２の実施形態について説明する。
この第２実施形態では、凹部形成工程が２つのステージに分けて行われる点が前記実施形態と異なる。すなわち、前記した第１実施形態で行った凹部の形成（第１凹部形成工程）の後に、それよりも細いパンチを打ち込んで凹部の深さを増す第２凹部形成工程を行うものである。
【００３５】
この実施形態に使用するプレス金型は、第１凹部形成工程を行うための構成は前記実施形態と同じであり、これに第２凹部形成工程のための構成を付加したものである。具体的には、前記実施形態におけるパンチを第１のパンチ（以下、第１パンチという）３６とし、この第１パンチ３６から所定ピッチ離隔した下流側に第１パンチ３６よりも細い第２のパンチ（以下、第２パンチという）５０を設ける。第２パンチ５０は、第１パンチ３６の挿入突部４０の先端よりも少し小さな直径を有する円柱状であり、基端をパンチホルダ３３に固定して下向きに取り付けられ、途中部分は押圧盤３５に開設された貫通ガイド孔５１内を貫通している。なお、第２パンチ５０の下端（先端）は、第１パンチ３６の下端（先端）よりも下方に位置しており、下死点で金属板３１の下面と同じ高さまで挿入するように長さが設定されている。また、第２パンチ５０の下方に位置するダイ３２には、後述する膨出部５２を収納可能な開口部５３が開設されている。
【００３６】
このプレス金型で行う第１凹部形成工程は前記実施形態と同じなので説明を省略し、第１凹部形成工程で形成した凹部を再度加工する第２凹部形成工程について説明する。
第２凹部形成工程では、第１凹部形成工程で凹部が形成されてからパンチ３６が上昇すると、フィーダーが作動して金属板３１を１ピッチだけ下流側に移送し、これにより第１凹部形成工程で形成した凹部が第２パンチ５０の下に位置して停止する。そして、この状態でパンチホルダ３３が下降すると押圧盤３５が金属板３１の表面３１ａに当接した後に第１パンチ３６と第２パンチ５０とが下降する。第１パンチ３６が下降すると、前記と同様に、金属板３１の新たな部位に凹部を形成する。一方、第２パンチ５０が下降すると、先に形成した凹部の底に第２パンチ５０の先端が金属板３１の裏面（下面）３１ｂとほぼ同じ深さまで押し込まれ、これにより第２パンチ５０と同じ大きさの凹部が形成されると共に、金属板３１の裏面に膨出部５２が形成される。
【００３７】
この様にして第２パンチ５０が下死点まで下降して円錐台形状の凹部の底部にさらに細い凹部を形成すると、その後は上昇に転じる。そして、ラムの上昇に伴ってパンチホルダ３３が上昇すると、弾性材３４の復元力により押圧盤３５がパンチホルダ３３よりも少し遅れて上昇を開始し、金属板３１の表面３１ａから離隔して上死点まで上昇する。
【００３８】
そして、次の凹部形成のために金属板３１をフィーダーにより所定のピッチだけ移動する。この移動が終了したならば、前記した操作を再度繰り返すことにより金属板３１に次の凹部を所定のピッチで開設することができ、これらの操作を繰り返すと、金属板３１に凹部を所定のピッチで順次開設することができる。
【００３９】
この様にして凹部形成工程が終了したならば、金属板３１をプレス金型から外して、次の貫通工程を行う研磨装置（図示せず）に搬送する。この貫通工程では凹部形成工程で残った凹部の膨出部５２を研磨除去することで、孔を貫通させてノズル開口１８にすると共に、金属板３１の厚さを所定の厚さになるように研磨する。この様にして、ノズル開口１８が開設されたノズルプレート１３が作製される。
【００４０】
この貫通工程において、本実施形態においても凹部の開口縁に隆起部ができないので、膨出部５２が形成される片面（裏面）３１ｂだけを研磨すればよい。したがって、工程数を減らすことができ、作業の効率を高めることができる。
【００４１】
なお、前記した各実施形態においては、大きい方の凹部を円錐台形としたが、これに限定されるものではなく、同じ太さのストレート穴としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。
【図２】ノズルプレートの平面図である。
【図３】（ａ）は本発明の第１実施形態で使用するプレス金型を説明する要部断面図、（ｂ）はノズルプレートのノズル開口で切断した拡大断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態で使用するプレス金型を説明する要部断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１…記録ヘッド、１３…ノズルプレート、１８…ノズル開口、３１…金属板、３２…ダイ、３３…パンチホルダ、３４…弾性材、３５…押圧盤、３６…パンチ（第１パンチ）、４０…挿入突部、４１…押さえ面、４２…隆起防止部、４３…貫通ガイド孔、５０…第２パンチ、５１…貫通ガイド孔、５２…膨出部、５３…開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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