(57)【要約】【課題】外部の影響を考慮したアクチュエータのストローク学習方法を実現する。【解決手段】アクチュエータ１０が車両に搭載されるときの環境と磁気的に同一または類似の磁気的環境を、他ＡＣＴ７１、他モータ７２および他センサ７３を用いて作成し、前記磁気的環境に影響されず、かつ、影響を及ぼさないレーザ変位計４０にてアクチュエータ１０のストロークを検出できるように設定し、前記磁気的環境下で、アクチュエータ１０を作動させ、レーザ変位計４０で検出したストロークを、ティーチングマシン３０が学習する。【選択図】図２
2009213327.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータが車両に搭載されるときの環境と磁気的に同一または類似の磁気的環境を作成し、
前記磁気的環境に影響されず、かつ、影響を及ぼさない位置測定装置にて前記アクチュエータのストロークを検出できるように設定し、
前記磁気的環境下で、前記アクチュエータを作動させ、前記位置測定装置で検出したストロークを、コンピュータが学習するようにしたこと
を特徴とするアクチュエータのストローク学習方法。
【請求項２】
前記アクチュエータは、ストローク方向に移動する可動部とストローク方向に移動しない非可動部とからなり、前記可動部には磁石を設け、前記非可動部にはストローク検出用の検出コイルを設け、
前記可動部の位置を前記磁気的環境に影響されずに検出するようにしたこと
を特徴とする請求項１に記載のアクチュエータのストローク学習方法。
【請求項３】
アクチュエータが車両に搭載されるときの環境と磁気的に同一または類似の磁気的環境を再現した再現セットと、
前記アクチュエータを固定する治具と、
前記治具に固定されたアクチュエータの作動量を、前記磁気的環境に影響されず、かつ、影響を及ぼさずに測定する作動量測定手段と、
前記アクチュエータが備えるセンサの出力値を測定するセンサ出力測定手段と、
前記測定したアクチュエータの作動量と前記測定したセンサの出力値とを用いて、前記アクチュエータの制御手段に学習させるための、アクチュエータの作動量とセンサの出力値との対応関係のデータを作成する学習データ作成手段と
を有することを特徴とするアクチュエータのストローク学習システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータのストローク学習方法およびそのシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
車両の後輪のトー角を変更するアクチュエータは、磁石を備えており、かつ、その磁石が移動して磁束が変化することを利用して、当該アクチュエータのストローク量を電流値として検出するセンサを備えている。一般的には、このセンサにおいて予め、アクチュエータのストローク量とセンサが検出する電流値との対応関係を学習させる。ただし、センサは、外部磁性体や外部磁場といった外部の影響を受け、検出するストローク量に誤差が生じる可能性を有している。このような外部磁性体や外部磁場としては、例えば、他のアクチュエータに使用される磁性体、モータに使用される磁石、各種ＥＣＵ（Electronic Control Unit）に搭載される電気回路に駆動電流が流れるときに発生する磁場等がある。前記誤差が生じることにより、車両の直進性や走行安定性が悪化するという事態を招きかねない。
【０００３】
ちなみに、特許文献１には、エンジンについてではあるものの、ハイブリッド車両のスロットル開度センサに関する出力特性について学習する方法について開示されている。
【特許文献１】特開２０００−３１４３４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１は、スロットル開度センサの温度特性や、摩耗や振動、温度サイクルによる経時劣化といった、エンジン自体の性能、特に、スロットルバルブ自体の性能にのみ着目した学習方法であり、前記した外部の影響についてはなんら考慮されていない。車両の後輪のトー角を変更するアクチュエータのストローク量についてこのような学習を行うにあたり、単に、アクチュエータ自体の性能にのみ着目することは不十分である。
【０００５】
そこで、本発明では、外部の影響を考慮したアクチュエータのストローク学習方法を実現することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本発明のアクチュエータのストローク学習方法は、
アクチュエータが車両に搭載されるときの環境と磁気的に同一または類似の磁気的環境を作成し、
前記磁気的環境に影響されず、かつ、影響を及ぼさない位置測定装置にて前記アクチュエータのストロークを検出できるように設定し、
前記磁気的環境下で、前記アクチュエータを作動させ、前記位置測定装置で検出したストロークを、コンピュータが学習するようにしたこと
を特徴とする。詳細は、後記する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明により、外部の影響を考慮したアクチュエータのストローク学習方法を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明のアクチュエータのストローク学習方法（以下、単に「学習方法」という場合がある。）を実施するための最良の形態（以下、「実施形態」という。）について説明する。説明する際には、本明細書と同時に提出する図面を参照する。
【０００９】
≪第１の実施形態≫
第１の実施形態では、車両に搭載する実物のアクチュエータを用いた学習方法について説明する。
【００１０】
≪構成≫
図１は、車両の後輪のトー角を変更するアクチュエータの構造の概略およびコンピュータであるティーチングマシンの構成とを図示したものである。
【００１１】
図１に示すように、アクチュエータ１０は、送りねじ部１１、減速機構１２、電動機１３などを備えて構成されている。
電動機１３は、正逆両方向に回転可能なブラシモータやブラシレスモータなどで構成されている。後記するティーチングマシンから供給される駆動電流により回転し、その回転の駆動力を減速機構１２に伝達する。減速機構１２は、例えば、２段のプラネタリギア（図示せず）などが組み合わされて構成されている。この減速機構１２は、電動機１３の駆動力を送りねじ部１１に伝達する。
【００１２】
送りねじ部１１は、円筒形状に形成されたロッド１１ａと、このロッド１１ａの内部に挿入されて円筒形状をし、内周側にスクリュー溝１１ｂが形成されたナット１１ｃと、スクリュー溝１１ｂと噛合してロッド１１ａを軸方向に移動可能に支持するスクリュー軸１１ｄとを備えて構成されている。
【００１３】
送りねじ部１１は、減速機構１２および電動機１３とともに細長形状のほぼ円筒形状のケース本体１４内に収容されている。また、ケース本体１４の送りねじ部１１側にはブーツ１５がケース本体１４の端部とロッド１１ａの端部との間を蓋うように取り付けられており、ケース本体１４の端部から露出したロッド１１ａの外周面に埃や異物が付着したり、ケース本体１４の内部に外部から埃や異物や水が侵入しないようになっている。
【００１４】
減速機構１２の一端が電動機１３の出力軸と連結され、他端がスクリュー軸１１ｄと連結されている。電動機１３からの動力が、減速機構１２を介してスクリュー軸１１ｄに伝達されてスクリュー軸１１ｄが回転することで、ロッド１１ａがケース本体１４に対して図示左右方向（軸方向）に伸縮自在に動作するようになっている。スクリュー軸１１ｄとナット１１ｃのスクリュー溝１１ｂとの噛合の摩擦力により、電動機１３が通電されて駆動されていない状態においても、後輪のトー角が一定に保持される。
【００１５】
また、ロッド１１ａの先端には、縮ストッパ１９が設けられている。アクチュエータ１０が縮んでいくと、スクリュー軸１１ｄの端面が当り面１１eとなって縮ストッパ１９に当り、それ以上、アクチュエータ１０は縮まなくなる。アクチュエータ１０が縮まなくなっているときには、スクリュー軸１１ｄと、減速機構１２と、電動機１３の回転も停止する。
【００１６】
また、ロッド１１ａの外周側面には、伸ストッパ２０が固定されている。伸ストッパ２０が固定されている付近のロッド１１ａの外周側面に対向する部分のケース本体１４には窓が設けられている。その窓の側面が当り面１４ａとなって、アクチュエータ１０が伸びていくと伸ストッパ２０に当たり、それ以上、アクチュエータ１０は伸びなくなる。アクチュエータ１０が伸びなくなっているときには、スクリュー軸１１ｄと、減速機構１２と、電動機１３の回転も停止する。
【００１７】
アクチュエータ１０は、ロッド１１ａの先端に設けられた連結部１６がトレーリングアームの車輪側アームにブッシュ等を介して回動自在に連結されている。また、ケース本体１４の基端に設けられた連結部１７がクロスメンバにブッシュ等を介して回動自在に連結されている。
【００１８】
アクチュエータ１０には、ケース本体１４に対するロッド１１ａの位置（相対位置）を検出する位置センサ１８が固定されている。この位置を検出することで、アクチュエータ１０の伸縮量（ストローク量）を計測することができる。
【００１９】
位置センサ１８は、例えば、ケース本体１４の窓上に固定されている本体と、窓内のロッド１１ａに固定されているマグネット１８ａとで構成されている。ケース本体１４とロッド１１ａとが相対移動すると、位置センサ１８の本体と、マグネット１８ａも相対移動することになる。マグネット１８ａの作る磁場の中を位置センサ１８の本体が移動していることになるので、この磁場を利用して前記相対位置を検出できるようになっている。このように、位置センサ１８を用いて後輪のトー角を検出することができる。
【００２０】
この位置センサ１８は、例えば、コイルで実現されており、マグネット１８ａの相対移動により磁場が時間変化するので、このコイルに電流が流れる。その電流の大きさを出力電流値としてティーチングマシン３０に送信する。また、位置センサ１８は出力電流値を一時的に記憶しておくＲＡＭ（Random Access Memory：記憶媒体）を備えているものとする。
【００２１】
なお、説明の便宜上、アクチュエータ１０のうち、そのストロークによってストローク方向に可動する部材を可動部１０ａと称し、可動しない部材を非可動部１０ｂと称する。したがって、可動部１０ａは、ロッド１１ａ、ブーツ１５、連結部１６、マグネット１８ａ、縮ストッパ１９、伸ストッパ２０を有して構成された部材である。また、非可動部１０ｂは、送りねじ部１１、スクリュー溝１１ｂ、ナット１１ｃ、スクリュー軸１１ｄ、減速機構１２、電動機１３、ケース本体１４、連結部１７、位置センサ１８を有して構成された部材である。
【００２２】
ティーチングマシン３０は、入力部３０１、制御部３０２、記憶部３０３および出力部３０４といったハードウェア資源を備えたコンピュータである。入力部３０１は、例えば、キーボードやマウス等で実現されている。制御部３０２は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit：中央制御装置）等で実現されている。記憶部３０３は、例えば、読み書きされるデータを展開するための記憶領域を確保するＲＡＭや外部記憶装置としてのＨＤＤ（Hard Disk Drive）等で実現されている。出力部３０４は、例えば、ディスプレイやマイク等で実現されている。そして、制御部３０２は、ティーチングマシン３０による学習方法に関する情報処理を実行するためのプログラムを格納したＲＯＭ（Read Only Memory）等の記録媒体から、そのプログラムを読み出す。アクチュエータ１０の電動機１３に対しては、駆動電流を流すように指示し、位置センサ１８から検出される出力電流値を、アクチュエータのストローク量と関連付けて記憶部３０３に記憶する。
【００２３】
図２は、第１の実施形態のティーチングマシンによる学習方法を実現するための学習システムを図示したものである。このシステムは、被検査対象であるアクチュエータ１０と前記ティーチングマシン３０の他に、レーザ光を照射してアクチュエータ１０のストローク量を高精度に、しかも、磁気的に影響されることもなく、かつ、影響を及ぼすことも無く測定することができるレーザ変位計４０、アクチュエータ１０を固定する治具５０、レーザ変位計４０およびティーチングマシン３０を乗せている台６０、いわば外部磁性体であり、または外部磁場を発生させる他ＡＣＴ（アクチュエータ）７１、他モータ７２および他センサ７３（再現セット）を有して構成されている。ティーチングマシン３０と、レーザ変位計４０とはケーブル等で電気的に接続されている。また、ティーチングマシン３０、アクチュエータ１０の電動機１３および位置センサ１８とはケーブル等で電気的に接続されている。
【００２４】
治具５０は、アクチュエータ１０の可動部１０ａを固定する治具可動部５０ａと、アクチュエータ１０の非可動部１０ｂを固定する治具非可動部５０ｂとから構成される。治具可動部５０ａは、治具非可動部５０ｂに対してアクチュエータ１０のストローク方向、つまり、図中左右方向に移動可能な構造を有している。したがって、アクチュエータ１０がストロークすれば、それに伴い治具可動部５０ａも移動する。治具可動部５０ａの移動は非常に滑らかであって、アクチュエータ１０のストロークを妨げることはないものとする。また、治具非可動部５０ｂは、アクチュエータの可動部１０ａがストロークしても非可動部１０ｂが動くことの無いように絶対的に固定している。
【００２５】
治具可動部５０ａは、ある方向、図中では上方向に伸びた形状をしており、その伸びた先端には、レーザ変位計４０によるレーザ光を反射する鏡５１を有している。レーザ変位計４０は、レーザ光を鏡５１に向けて出力する発光部（不図示）と鏡５１から反射したレーザ光を入力する受光部（不図示）とを有している。出力されるレーザ光の周波数と入力するレーザ光の周波数との変位を求めることにより、レーザ光の照射先にある物体の位置（つまり、治具可動部５０ａの位置であり、アクチュエータ１０のストローク量でもある）を高精度に求めることができる。ティーチングマシン３０は、レーザ変位計４０からその位置の情報を受信し、記憶部３０３に記憶する。
【００２６】
他ＡＣＴ７１、他モータ７２および他センサ７３は、アクチュエータ１０が車両に搭載されたときに、車両を構成する他の部材によって作り出される外部の磁場と同一または略同一（測定制度を考慮しつつ、類似でも良い。）の磁場を作り出すように配置されている。したがって、位置センサ１８のコイルにおいて発生する電流（出力電流値として評価される電流）は、マグネット１８ａが移動したことによる磁場の時間変化に由来するものだけでなく、他ＡＣＴ７１、他モータ７２および他センサ７３によって作り出される磁場の時間変化に由来するものも加味される。なお、他ＡＣＴ７１、他モータ７２および他センサ７３は単に配置してあるだけでなく、電源を投入して駆動させても良い。例えば、他ＡＣＴ７１は電源を投入してその形状を変化させても良い。その変化に伴い、ある程度の大きさを有する磁場が発生する。
【００２７】
なお、参考までに、アクチュエータ１０が実際に車両に搭載された様子を図３に示す。  図３は左後輪側のトー角変更装置を示す平面図である。再現セットは、図３の環境を模してある。
【００２８】
トー角変更装置１２０Ｌは、車両の左右の後輪２Ｌにそれぞれ取り付けられるものである。トー角変更装置１２０Ｌは、アクチュエータ１０、操舵制御ＥＣＵ１３０を備えている。
なお、図３は、左側の後輪２Ｌのみを示しているが、右側の後輪２Ｒについても同様（対称）にして取り付けられている。
【００２９】
車体のリアサイドフレーム２１にほぼ車幅方向に延びるクロスメンバ２２の車幅方向端部が弾性支持されている。そして、ほぼ車体前後方向に延びるトレーリングアーム２３の前端がクロスメンバ２２車幅方向の端部近くで支持されている。トレーリングアーム２３の後端に後輪２Ｌが固定されている。
【００３０】
トレーリングアーム２３は、クロスメンバ２２に装着される車体側アーム２３ａと、後輪２Ｌに固定される車輪側アーム２３ｂとが、ほぼ鉛直方向の回動軸２３ｃを介して連結されて構成されている。これにより、トレーリングアーム２３が車幅方向へ変位することが可能となっている。
【００３１】
前記アクチュエータ１０は、その一端が車輪側アーム２３ｂの回動軸２３ｃより前方側の端部に連結部１６を介して取り付けられ、他端がクロスメンバ２２に連結部１７を介して取り付けられている。
【００３２】
リアサイドフレーム２１、クロスメンバ２２、トレーリングアーム２３、操舵制御ＥＣＵ１３０等は、いわば外部磁性体でもあり、ある程度の大きさの磁場を発生して、アクチュエータ１０の位置センサ１８に影響を与えている。他ＡＣＴ７１、他モータ７２および他センサ７３も同様の影響を与えている。
【００３３】
≪処理動作≫
次に、ティーチングマシン３０による学習方法の処理動作について説明する。この処理動作は、制御部３０２によって実行される。図４は、ティーチングマシン３０による学習方法の処理動作を図示したフローチャートである。
【００３４】
まず、ステップＳ４０１において、制御部３０２は、出力部３０４から、電動機１３を駆動するための駆動電流を流す。すると、電動機１３の駆動力が送りねじ部１１に伝達され、送りねじ部１１が回転して、ロッド１１ａが移動する。つまり、可動部１０ａがストロークする。駆動電流を流した後、ステップＳ４０２に進む。
【００３５】
次に、ステップＳ４０２において、制御部３０２は、レーザ変位計４０に可動部１０ａの移動量（ストローク量）を測定させる。可動部１０ａがストロークしたとき、治具可動部５０ａも連動する。レーザ変位計４０は鏡５１に対し、当該処理動作中は、ほぼ連続的にレーザ光を照射しており、治具可動部５０ａの移動量を高精度に検出する。検出した移動量からアクチュエータのストローク量を測定し、その測定値をティーチングマシン３０に送信する。測定した後、ステップＳ４０３に進む。
【００３６】
次に、ステップＳ４０３において、制御部３０２は、位置センサ１８に出力電流値を測定させる。位置センサ１８に搭載されたコイルで発生した電流は、マグネット１８ａが移動したことによる磁場の影響と、他ＡＣＴ７１、他モータ７２および他センサ７３による磁場の影響とに由来して発生したものである。この電流を出力電流値として測定し、出力電流値をティーチングマシン３０に送信する。一般に、測定した出力電流値は、マグネット１８ａが移動したことによる磁場の影響のみに由来して得られるであろう出力電流値とは異なる値を有しているはずである。また、測定した出力電流値は、位置センサ１８が備えるＲＡＭに一時的に記憶されている。測定した後、ステップＳ４０４に進む。
【００３７】
次に、ステップＳ４０４において、制御部３０２は、ステップＳ４０２で得られた可動部１０ａの移動量と、ステップＳ４０３で得られた出力電流値とから、外部の磁場の影響を相殺する補正値を算出する。つまり、可動部１０ａのある移動量に対して、外部の磁場の影響が無ければ得られるであろう出力電流値の理論値があって、この理論値は、可動部１０ａのあらゆる移動量に対して計算されている。一般的には、マグネット１８ａによる磁場の影響のみから得られる出力電流値が理論値となる。ただ、ステップＳ４０３で得られた出力電流値の実測値は、この理論値とは一般的には異なる。そこで、制御部３０２は、この実測値と理論値との差分を補正値として算出する。なお、アクチュエータ１０を実際に車両に搭載するときは、車両に搭載されたＥＣＵ（特に、図３でいう操舵制御ＥＣＵ１３０）にこの補正値を記憶させ、後輪のトー角を変更する際には、この補正値を差し引いた状態で電動機１３に対して駆動電流を流す。
【００３８】
以上の処理動作を可動部１０ａがとり得る、できるだけ多くの移動量に対して繰り返し行う。これにより、ティーチングマシン３０による学習方法の処理動作を終了する。
【００３９】
図５は、ティーチングマシン３０による学習方法の処理動作によって得られた、アクチュエータのストローク量と、出力電流値との関係とを図示したグラフである。横軸であるストローク量のとりうる値は−７．５ｍｍ〜＋７．５ｍｍである。ストローク量が０ｍｍであるときは、後輪のトー角が０°であることを意味する。また、縦軸である出力電流値のとり得る値は、出力電流値としてとり得る最大値を１００％とすれば、最小のストローク量−７．５ｍｍにおいて得られる出力電流値１０％から最大のストローク量＋７．５ｍｍにおいて得られる出力電流値９０％までである。出力電流値の理論値は、ストローク量が−７．５ｍｍから＋７．５ｍｍまで変化したときに、１０％から９０％まで直線的に変化する。これに対し、出力電流値の実測値は、ストローク量が−７．５ｍｍから＋７．５ｍｍまで変化したときに、１０％から９０％まで非直線的に変化する（検量線）。各ストローク量において、出力電流値の実測値と理論値との差分を求め、補正値とする。
【００４０】
≪まとめ≫
第１の実施形態により、以下の効果を奏する。つまり、外部の磁場の影響を考慮したアクチュエータのストローク学習方法を実現することができる。磁気的な環境がアクチュエータを実際に車両に搭載したのと同一または略同一となるシステムを作り上げたからである。
【００４１】
≪第２の実施形態≫
第２の実施形態では、車両に搭載する実物のアクチュエータを簡易化したもの用いた学習方法について説明する。
【００４２】
≪構成≫
図６は、第２の実施形態のティーチングマシンによる学習方法を実現するためのシステムを図示したものである。図２に示した、第１の実施形態のものと共通する点については同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００４３】
本実施形態が第１の実施形態と相違する点は、主に、アクチュエータ１０の可動部１０ａを用いない点と、そのことにより治具５０において、治具可動部５０ａを備えていない点である。可動部１０ａを用いない簡易化されたアクチュエータ１０’は、非可動部１０ｂに対し、擬似可動部１０ｃが組み合わされて構成されている。擬似可動部１０ｃは、非可動部１０ｂが備える送りねじ部１１のスクリュー溝１１ｂと螺合するナットを有している。したがって、電動機１３の駆動力が送りねじ部１１に伝達されれば、擬似可動部１０ｃはアクチュエータ１０’のストローク方向（図中左右方向）に移動する。また、擬似可動部１０ｃはマグネット１８ａと同等の機能を有するマグネット１８ｂを、位置センサ１８付近に有している。
【００４４】
さらに、擬似可動部１０ｃは、治具可動部５０ａのように図中上方向に伸びた形状をしており、その伸びた先端には、レーザ変位計４０によるレーザ光を反射する鏡５１を有している。したがって、ティーチングマシン３０は、レーザ変位計４０から擬似可動部１０ｃの位置の情報を受信し、記憶部３０３に記憶する。
【００４５】
擬似可動部５０ｂをアクチュエータ１０の可動部１０ａよりも軽くすれば、治具５０でアクチュエータ１０’を固定する際は、非可動部１０ｂを治具非可動部５０ｂで固定すれば十分である。
【００４６】
≪まとめ≫
第２の実施形態により、以下の効果を奏する。つまり、簡易化したアクチュエータ１０’を用いたとしても、外部の磁場の影響を考慮したアクチュエータのストローク学習方法を実現することができる。さらに、治具可動部５０ａも不要となるため、治具５０の構造も簡易化できる。他ＡＣＴ７１、他モータ７２および他センサ７３並びにレーザ変位計４０の配置等の設計変更は不要である点で、磁気的な環境作りも容易に行える。
【００４７】
≪その他≫
なお、前記実施形態は、本発明を実施するための最良のものであるが、その実施形式はこれに限定されるものではない。したがって、本発明の要旨を変更しない範囲内においてその実施形式を種々変形することが可能である。
【００４８】
例えば、本実施形態では、位置センサ１８にＲＡＭを設け、出力電流値をＲＡＭに一時的に記憶するようにした。しかし、ＲＡＭを設けていない位置センサ１８を用いても良い。この場合は、当該システムにＥＣＵ（例えば、操舵制御ＥＣＵ１３０（図３参照））を配置し、ＥＣＵを位置センサ１８とティーチングマシン３０とにケーブル等で接続する。そして、位置センサ１８のコイルで生じた電流に対し、ＥＣＵが出力電流値として記憶する。
【００４９】
また、磁気的な環境を作り上げるために用いた外部磁性体は、他ＡＣＴ７１、他モータ７２および他センサ７３に限定するものではなく、その個数、種類、機能等は適宜設計変更が可能である。
【００５０】
その他、ハードウェア、ソフトウェアの設計、フローチャートの手順等について、当該発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更可能である。なお、レーザ変位計は、磁気的に影響されない、または、影響を及ぼさない他の測定機器でも良い。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】車両の後輪のトー角を変更するアクチュエータの構造の概略およびコンピュータであるティーチングマシンの構成とを図示したものである。
【図２】第１の実施形態のティーチングマシンによる学習方法を実現するための学習システムを図示したものである。
【図３】左後輪側のトー角変更装置を示す平面図である。
【図４】ティーチングマシン３０による学習方法の処理動作を図示したフローチャートである。
【図５】ティーチングマシン３０による学習方法の処理動作によって得られた、アクチュエータのストローク量と、出力電流値との関係とを図示したグラフである。
【図６】第２の実施形態のティーチングマシンによる学習方法を実現するための学習システムを図示したものである。
【符号の説明】
【００５２】
１０，１０’    アクチュエータ
１８            位置センサ
１８ａ，１８ｂ  マグネット
３０            ティーチングマシン
４０            レーザ変位計
５０            治具
【図１】
2009213327.tif 000003
【図２】
2009213327.tif 000004
【図３】
2009213327.tif 000005
【図４】
2009213327.tif 000006
【図５】
2009213327.tif 000007
【図６】
2009213327.tif 000008