(57)【要約】【課題】液状体の配置ムラを目立たなくする。【解決手段】複数のノズルを有するヘッドと基板とを相対的に走査させながら、ノズルから所定の駆動波形に応じた量で液状体５を吐出することにより、基板上に設定された複数の所定領域２に対して液状体をそれぞれ配置する。所定領域に複数箇所配置される液状体の吐出時の駆動波形Ｈ１〜Ｈ４を複数用い、且つ複数の駆動波形の組み合わせを異ならせた複数種の配置パターン１００Ａ〜１００Ｅを用いて、液状体を配置する工程を有する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有するヘッドと基板とを相対的に走査させながら、前記ノズルから所定の駆動波形に応じた量で液状体を吐出することにより、前記基板上に設定された複数の所定領域に対して前記液状体をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、
前記所定領域に複数箇所配置される前記液状体の吐出時の前記駆動波形を複数用い、且つ該複数の駆動波形の組み合わせを異ならせた複数種の配置パターンを用いて、前記液状体を配置する工程を有することを特徴とする液状体配置方法。
【請求項２】
請求項１記載の液状体配置方法において、
予め複数の前記配置パターンを設定しておき、前記駆動波形の組み合わせが異なる少なくとも２つの前記配置パターンを用いることを特徴とする液状体配置方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の液状体配置方法において、
隣り合う前記所定領域ごとに、異なる前記配置パターンを用いることを特徴とする液状体配置方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の液状体配置方法において、
隣り合う少なくとも２つの前記所定領域を１つのグループとし、前記グループ内で、前記駆動波形の組み合わせが異なる少なくとも２つの前記配置パターンを用いることを特徴とする液状体配置方法。
【請求項５】
請求項４記載の液状体配置方法において、
同一の前記配置パターンを有するグループを複数設定して、前記液状体を配置することを特徴とする液状体配置方法。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載の液状体配置方法において、
前記ヘッドと基板とを相対的に走査する走査方向に配列される前記所定領域に対して、前記複数種の配置パターンを用いることを特徴とする液状体配置方法。
【請求項７】
請求項６記載の液状体配置方法において、
前記走査方向と交差する方向に配列される前記所定領域に対しても、前記複数種の配置パターンを用いることを特徴とする液状体配置方法。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載の液状体配置方法において、
前記所定領域は、バンクにより区画されていることを特徴とする液状体配置方法。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の液状体配置方法において、
前記所定領域に配置される前記液状体の配置数を異ならせた前記複数種の配置パターンを用いることを特徴とする液状体配置方法。
【請求項１０】
請求項１から８のいずれか一項に記載の液状体配置方法において、
前記所定領域に配置される前記液状体の配置数、及び前記複数の駆動波形毎に吐出される前記液状体の数が、複数の所定領域の間で同一であることを特徴とする液状体配置方法。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
請求項１から１０のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いることを特徴とする配向膜の製造方法。
【請求項１３】
請求項１から１０のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いることを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出法を用いた液状体配置方法と、それを用いたカラーフィルタの製造方法、配向膜の製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴吐出法を用いた成膜技術が注目されており、例えば、特許文献１には、液体吐出法を用いた液体表示装置のカラーフィルタの製造方法が示されている。この製造方法では、基板に対して走査する複数のノズルから色材を含む液状体（液滴）を吐出させて液状体を配置（描画）し、さらに配置された液状体を乾燥等により固化させて画素に対応した着色膜を形成するようになっている。
【特許文献１】特開２００３−１５９７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
液体吐出法を用いた成膜技術において、液状体の吐出特性（吐出量）には、僅かながらもノズル間でバラツキが存在するため、これに起因して走査方向に直交する方向に液状体の配置量のバラツキが生じ、カラーフィルタにおけるスジ状の濃淡ムラを発生させることがある。このようなスジ状の濃淡ムラは視認されやすく、カラーフィルタを介して表示される画像の画質を低下させる原因となる。
【０００４】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、液状体の配置ムラを目立たなくすることができる液状体配置方法、および当該液状体配置方法を用いたカラーフィルタの製造方法、配向膜の製造方法及び有機ＥＬ表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の液状体配置方法は、複数のノズルを有するヘッドと基板とを相対的に走査させながら、前記ノズルから所定の駆動波形に応じた量で液状体を吐出することにより、前記基板上に設定された複数の所定領域に対して前記液状体をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、前記所定領域に複数箇所配置される前記液状体の吐出時の前記駆動波形を複数用い、且つ該複数の駆動波形の組み合わせを異ならせた複数種の配置パターンを用いて、前記液状体を配置する工程を有することを特徴とするものである。
従って、本発明の液状体配置方法では、駆動波形に応じて吐出する液状体の量（重量）が異なることから、所定領域内に配置される複数の液状体の重量に分布を生じさせることが可能になる。
そのため、本発明では、所定領域内で液状体の重量分布を異ならせることで、該所定領域内で意図的にムラを付加させることにより、スジ状の（１次元的な）ムラが相対的に視認しにくくなる。
【０００６】
また、本発明においては、予め複数の上記配置パターンを設定しておき、前記駆動波形の組み合わせが異なる少なくとも２つの前記配置パターンを用いる構成を採用できる。
このような構成を採用することによって本発明では、液状体を配置する都度に配置パターンを設定することなくなり、配置パターンの選択により、所定領域内で意図的にムラを付加させることができる。
【０００７】
また、本発明においては、隣り合う上記所定領域ごとに、異なる上記配置パターンを用いるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、隣り合う所定領域同士が異なる配置パターンで液状体が配置されることとなり、よりスジ状のムラが視認しにくくなる。
【０００８】
また、本発明においては、隣り合う少なくとも２つの前記所定領域を１つのグループとし、前記グループ内で、前記駆動波形の組み合わせが異なる少なくとも２つの前記配置パターンを用いるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、配置パターンの選択をグループとしてパターン化することによって、スジ状のムラを視認しにくくすると供に液状体を配置する作業効率を向上させることができる。
【０００９】
また、本発明においては、上記ヘッドと基板とを相対的に走査する走査方向に配列される前記所定領域に対して、前記複数種の配置パターンを用いるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、ノズル間の吐出量のバラツキに起因して走査方向に特に発生しやすいスジ状のムラを抑制することができる。
【００１０】
また、本発明においては、前記走査方向と交差する方向に配列される前記所定領域に対しても、前記複数種の配置パターンを用いるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、副走査方向に発生するスジ状のムラを抑制することができる。
【００１１】
また、本発明においては、上記所定領域は、バンクにより区画されているという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、バンクによって、所定領域外への液状体のはみ出しを抑制することができる。
【００１２】
また、本発明においては、上記複数箇所配置される上記液状体の配置数を異ならせた上記複数種の配置パターンを用いるという構成を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、液状体の配置数を増減させて、重量分布を異ならせ、所定領域内で意図的にムラを付加させることができる。
【００１３】
また、本発明においては、前記所定領域に配置される前記液状体の配置数、及び前記複数の駆動波形毎に吐出される前記液状体の数が、複数の所定領域の間で同一である構成を好適に採用できる。
このような構成を採用することによって本発明では、複数の所定領域において配置される液状体の総重量を略同一とすることができる。
【００１４】
また、本発明においては、上記液状体配置方法を用いるカラーフィルタの製造方法を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、スジ状のムラの形成が抑制された高品質のカラーフィルタを製造することができる。
【００１５】
また、本発明においては、上記液状体配置方法を用いる配向膜の製造方法を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、スジ状のムラの形成が抑制された高品質の配向膜を製造することができる。
【００１６】
また、本発明においては、上記液状体配置方法を用いる有機ＥＬ表示装置の製造方法を採用する。
このような構成を採用することによって本発明では、スジ状のムラの形成が抑制された高品質の有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法、配向膜の製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法の実施の形態を、図１ないし図１５を参照して説明する。
なお、以下に説明においては、本発明の液状体配置方法をカラーフィルタの製造方法に適応した場合の例について説明する。また、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１８】
先ず、図１及び図２を参照して、カラーフィルタの構成について説明する。
図１は、本実施形態におけるカラーフィルタ１の平面構造を示す模式図である。
図２は、図１におけるカラーフィルタのＡ−Ａ断面図である。
なお、以下の説明及び図１及び図２中、Ｒ、Ｇ、Ｂの文字は、赤（Ｒｅｄ）、緑（Ｇｒｅｅｎ）、青（Ｂｌｕｅ）を示すものとする。
【００１９】
カラーフィルタ１は、カラー用表示パネルに用いられるものであり、図１に示すように、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色に対応して着色された画素部（所定領域）２と、画素部２の間に形成された隔壁（バンク）３とを有している。
また、カラーフィルタ１は、複数の矩形の画素部２が並んだ方形のマトリクス状に形成されており、当該マトリクスの配列は、縦列が同色の画素部２によって形成され、横列が順にＲ、Ｇ、Ｂの画素部２が並ぶ、いわゆるストライプ型の画素配列となっている。
なお、本実施形態におけるカラーフィルタ１は、周知のモザイク型や、デルタ型等の画素配列であっても、また、例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂ以外の色要素を含むものであっても良い。
【００２０】
隔壁３は、図２に示すように、例えばガラスで形成された透光性の基板４上に立設されて、矩形の画素部２を形成するものであり、光を遮光する遮光部６と、遮光部６上に設けられるバンク７とを有している。
遮光部６は、例えば、クロム等の遮光材料で基板４上に所定の領域を複数形成する様にパターン形成され、バンク７は、その遮光部６上にパターン形成される。
画素部２は、バンク７によって区画された同形状の区画領域であり、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の液状体５（適宜、５Ｒ、５Ｇ、５Ｂと称する）が配置され所望の加熱処理を経ることによって着色された膜（着色層）が形成される。
【００２１】
ここで、液状体５は、バンク７で区画された所定領域としての画素部２に対して配置されるが、液状体５が画素部２に合わせて正確に配置されるように、画素部２の底部を形成する基板４の露出面に親液化処理を、バンク７の表面に撥液化処理を予め施しておくことが好ましい。このような処理は、例えば、酸素やフッ化炭素のプラズマ処理により行うことができる。
【００２２】
なお、バンク７の形成は、液状体５の配置（パターニング）を高精度に行うための好ましい実施形態であり、画素部２を形成するためにこのような物理的な区画が必ずしも必要という訳ではなく、例えば液状体に対して親液性領域（画素部２の形状）及び撥液性領域（隔壁３の形状）をプラズマ処理等によりパターニング形成し、液状体５を親液性領域に塗布して着色層を形成する構成としてもよい。
【００２３】
さらに、カラーフィルタ１は、液状体５が配置された側に不図示の保護層を設ける構成となっており、Ｒ、Ｇ、Ｂに着色された画素部２の一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行うこととなる。
【００２４】
次に、図３、図４及び図５を参照して、本発明の液状体配置方法を用いてカラーフィルタ１を製造する液状体吐出装置１０の構成について説明する。
図３は、液状体吐出装置１０の要部構成を示す斜視図である。
図４は、液状体吐出装置１０が備えるヘッドユニット２０の構成を示す平面図である。
図５は、ヘッドユニット２０が備えるヘッド２１の構成を示す模式図である。
【００２５】
液状体吐出装置１０は、液状体５を画素部２へ液滴するヘッドユニット２０（後述）と、ヘッドユニット２０を副走査方向に直線的に移動させる副走査ガイド機構３０と、基板４を副走査方向と直交する主走査方向に移動させる主走査ガイド機構４０とを有する構成となっている。
なお、以下の説明において、上記主走査方向をＹ方向、上記副走査方向をＸ方向、Ｘ方向とＹ方向とからなるＸ−Ｙ平面に対して垂直方向であって液状体吐出装置１０の高さ方向をＺ方向と表現して説明することがある。
【００２６】
副走査ガイド機構３０は、基台１１上に設けられたＺ方向に延びる２本の柱部材によって所定の高さに略水平に架設され、Ｘ方向に直線的に設けられた一対のガイドレール３１と、ガイドレール３１に沿ってＸ方向に移動可能に設けられてヘッドユニット２０を有する副走査移動台３２とを有する。
副走査ガイド機構３０は、ガイドレール３１が内部にエアスライダとリニアモータを備えており、ガイドレール３１に接続された副走査移動台３２をＸ方向に移動自在にさせる構成となっている。
【００２７】
主走査ガイド機構４０は、副走査ガイド機構３０の下方であって、平面視で直交する形で設けられ、Ｙ方向に直線的に設けられた一対のガイドレール４１と、ガイドレール４１に沿ってＹ方向に移動可能に設けられた主走査移動台４２とを有する。
主走査ガイド機構４０は、ガイドレール４１が内部にエアスライダとリニアモータを備えており、ガイドレール４１に接続された主走査移動台４２をＹ方向に移動自在にさせる構成となっている。
【００２８】
また、主走査移動台４２は、吐出対象物である基板４を載置するための回転ステージ５０を有しており、回転ステージ５０は、基板４を載置するステージ５１と、ステージ５１をＺ方向に延びる軸線回りに回転させる回転機構５２とを有する。
ステージ５１上には、基板４を位置決めする位置決めピン５１ａが複数設けられており、例えば、位置決めピン５１ａによる空気吸引等の手段によって、基板４をステージ５１上に固定させる構成となっている。
回転機構５２は、ステージ５１の略中央部を下方から支持する形で主走査移動台４２上に設けられ、不図示のモータ等を回転駆動させることによって、Ｚ方向に延びる軸線回りにθ度傾けて基板４の基準軸を副走査方向及び主走査方向に正確に合わせることができる構成となっている。
【００２９】
ヘッドユニット２０は、副走査移動台３２に搭載されており、液状体５を吐出するヘッド２１と、ヘッド２１をＺ方向に延びる軸線回りに回転させることで向きを変えるモータ２２とを有する。
【００３０】
ヘッド２１は、ヘッドユニット２０の下部に設けられ、図４に示すように、液状体５を吐出するノズル２３がＹ方向に複数、所定の間隔で直線的に並列されるノズル列２４を有する。
ヘッド２１は、ノズル列２４の各ノズル２３がヘッド２１の内部に設けられた各液室（キャビティ）に連通しており、各液室毎に設けられた圧電素子２５（図６参照）が電気信号により駆動することで液室の容量を変化させて液室に満たされた液状体５の液圧を制御することによって、選択的にノズル２３から液状体５を吐出させることができる構成となっている。
なお、不図示であるが、ヘッドユニット２０には、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色に対応した複数のヘッド２１が設けられている。
【００３１】
モータ２２は、図３に示すように、ヘッド２１に接続されて、ヘッド２１の基準軸をＺ方向に延びる軸線回りにα度傾けてノズル列２４を主走査方向に正確に合わせることができる構成となっている。
また、モータ２２は、積極的にヘッド２１の角度を制御することによって、図５（ａ）に示す、ノズル列２４がＹ方向に一致している状体でのヘッド２１の液状体５の吐出ピッチＰ１を図５（ｂ）示すように、Ｙ方向において吐出ピッチＰ１よりも狭い吐出ピッチＰ２に変化させることも可能な構成となっている。
【００３２】
次に、図６を参照して、液状体吐出装置１０における液状体５の吐出制御方法について説明する。
図６は、液状体吐出装置１０の電気的構成を示す図である。
【００３３】
液状体吐出装置１０は、装置全体の統括制御を行う制御コンピュータ６０と、制御コンピュータに接続されてヘッド２１の電気的な駆動制御を行うための制御回路基板７０とを備えている。
制御コンピュータ６０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ハードディスク、ＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等の内部メモリ、並びにヘッドユニット２０、副走査ガイド機構３０、主走査ガイド機構４０との間でデータ授受を行う各種入出力インターフェース回路等から構成されている。
【００３４】
制御回路基板７０は、フレキシブルケーブル７１を介してヘッド２１に設けられた圧電素子２５と電気的に接続されており、圧電素子２５に対応した、シフトレジスタ（ＳＬ）７２、ラッチ回路（ＬＡＴ）７３、レベルシフタ（ＬＳ）７４、スイッチ（ＳＷ）７５を備えている。
【００３５】
液状体吐出装置１０における吐出制御は次のように行われる。先ず、制御コンピュータ６０は、基板４上に設けられた画素部２における液状体５の配置パターン（後述、図８参照）をデータ化したドットパターンデータを予め記憶しており、当該ドットパターンデータを制御回路基板７０に伝送する。そして、制御回路基板７０は、ドットパターンデータをデコードしてノズル２３毎のＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されてクロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ７２に伝送される。
【００３６】
シフトレジスタ７２に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路７３に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ７４でスイッチ７５用のゲート信号に変換される。すなわち、ノズルデータがＯＮの場合には、スイッチ７５が開いて圧電素子２５に液状体５の吐出量に応じた駆動波形を含む駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータがＯＦＦの場合には、スイッチ７５が閉じられて圧電素子２５に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されないことになる。そして、ＯＮに対応するノズル２３からは、供給された駆動波形で圧電素子２５が駆動されることにより、液状体５が液滴化されて吐出され、吐出された液状体が、基板４上に設けられた画素部２内に配置される。
【００３７】
続いて、上記構成の液状体吐出装置１０を用いてカラーフィルタ１を製造する動作について説明する。
カラーフィルタ１は、画素部２（図１及び図２参照）にＲ、Ｇ、Ｂ各色に対応する色材を含む液状体５（５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ）を用意し、液状体吐出装置１０（図３参照）を用いて液状体５Ｒ、５Ｇ、５Ｂを基板４上に設けられた所定の画素部２に配置することで形成される。図７に示すように、本実施形態では、液状体５を配置するための基板４には、それぞれカラーフィルタ１の個体に対応した領域である４つの個体領域が設定されており、該個体領域毎に隔壁３のバンク７（図２参照）によって画素部２の群が形成されている。本実施形態では、画素部２の短辺方向を主走査方向、長辺方向を副走査方向として基板４をステージ５１上に配置する（図３参照）。
【００３８】
液状体吐出装置１０は、主走査ガイド機構４０で基板４をヘッドユニット２０に対してＹ方向に相対的に移動させることによって、ヘッド２１に設けられた複数のノズル２３から液状体５を吐出させて、基板４上に設けられた画素部２に液状体５を配置させることとなる（図２参照）。
このとき、通常であれば、ヘッド２１から吐出される液状体５の量は、吐出特性の違いより複数のノズル２３間で吐出量が異なるため、一部の厚さが小さくなる又は大きくなる形状を有する液状体５が画素部２内に配置されて、上記厚さが小さい部分、大きい部分が主走査方向にそれぞれ線状に並ぶことになり、一次元的なスジ状のムラが生じてしまうこととなる。そのため、副走査方向には、濃淡ムラが生じることになる。
従って、上記スジ状のムラを抑制するために、以下の異なる配置パターンを用いた液状体配置方法を採用する。
【００３９】
上述したように、液状体５の配置は、配置パターンに基づいて行われる。この配置パターンとしては、図８に示すように、画素部２の区画に液状体５を４行３列の計１２ドット（箇所）で等間隔に配置し、一つの画素部２内に配置される液状体の吐出時の駆動波形を複数用い、この複数の駆動波形の組み合わせを異ならせた複数種の配置パターンが用いられる。
【００４０】
図９に、時間と駆動電圧とで表される駆動波形の一例を示す。
この図に示す駆動波形は、時間Ｔ１で圧電素子２５に駆動電圧ＶＤを印加することにより液室を拡大させ、時間Ｔ２で駆動電圧ＶＤを保持した後に、時間Ｔ３で駆動電圧ＶＤを開放することにより液室を縮小させる。この液室の縮小時に、液室内の液状体が加圧されることにより、ノズル２３から液状体５の液滴が吐出される。
【００４１】
ここで、上記駆動波形においては、駆動電圧ＶＤを一定に保持した場合でも、時間Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３を変えることにより、各ノズル２３から吐出される液状体５の重量を変えることができる。図１０（ａ）、（ｂ）は、時間Ｔ１〜Ｔ３を異ならせた駆動波形Ｈ１、Ｈ２に関して、各ノズル２３から吐出される液状体５（の液滴）の平均値に対する重量比を示すものである。
【００４２】
これらの図に示されるように、時間Ｔ１〜Ｔ３が異なる駆動波形Ｈ１、Ｈ２を用いることにより、ノズル２３から吐出される液状体５の重量分布を異ならせること、すなわち、同一の重量分布にはならない分布で液状体５を配置することが可能になる。
【００４３】
以下、総重量を変化させずに、その駆動波形の分布を異ならせた配置パターン１００として表した、配置パターン１００Ａ〜１００Ｅについて図８を参照して説明する。
図８（ａ）〜（ｅ）は、画素部２内における液状体５の配置パターン１００を示す模式図であり、ここでは上述したように、時間Ｔ１〜Ｔ３の少なくとも一つが互いに異なる４つの駆動波形Ｈ１〜Ｈ４を用いるものとして説明する。
【００４４】
配置パターン１００Ａは、図８（ａ）に示すように、画素部２内に駆動波形Ｈ１〜Ｈ４をそれぞれ３つずつ用いて、全１２ドットの液状体５を配置したパターンである。Ｙ方向に並ぶドット（液滴）については、−Ｙ側から＋Ｙ側に向けて駆動波形Ｈ１〜Ｈ４が順次用いられ、これら駆動波形Ｈ１〜Ｈ４のドット群が同一の配列でＸ方向に３列に配列されて配置パターン１００Ａを形成している。
【００４５】
配置パターン１００Ｂは、図８（ｂ）に示すように、配置パターン１００Ａとは逆に、Ｙ方向に並ぶドットについては、＋Ｙ側から−Ｙ側に向けて駆動波形Ｈ１〜Ｈ４が順次用いられ、これら駆動波形Ｈ１〜Ｈ４のドット群が同一の配列でＸ方向に３列に配列されて配置パターン１００Ｂを形成している。
【００４６】
配置パターン１００Ｃは、図８（ｃ）に示すように、各列のドットについては、−Ｙ側から同一の駆動波形Ｈ１〜Ｈ３をそれぞれ３つずつ用い、最も＋Ｙ側に位置する行のドットについては駆動波形Ｈ４を用いるパターンである。
【００４７】
配置パターン１００Ｄは、図８（ｄ）に示すように、最も−Ｘ側の列が−Ｙ側から駆動波形Ｈ１〜Ｈ４が順次用いられ、次の列は−Ｙ側から駆動波形Ｈ４、Ｈ１〜Ｈ３が順次用いられ、最も＋Ｘ側の列が−Ｙ側から駆動波形Ｈ３〜Ｈ４、Ｈ１〜Ｈ２が順次用いられており、この配置により、全ての列及び行において異なる駆動波形が用いられるパターンとなっている。
【００４８】
配置パターン１００Ｅは、図８（ｅ）に示すように、各列においては、駆動波形Ｈ１〜Ｈ４がそれぞれ用いられるものの、各列における駆動波形Ｈ１〜Ｈ４の並びは列毎にランダムとなるパターンとなっている。
上記配置パターンＨ１〜Ｈ４においては、各画素２に配置される液状体５の配置数、及び用いられる各駆動波形Ｈ１〜Ｈ４の数が同一となっている。
【００４９】
また、液状体５の画素部２内における配置形状は、液状体５に用いられる色材等が有する粘度に起因して形成され、その重量分布は加熱処理を経ても保持される。
すなわち、重量分布をもって画素２内に配置された液状体５は、加熱されて膜化された後も、重量分布に応じた表面形状（凹凸状態）を有することになる。
【００５０】
（液状体配置方法（第１パターニング））
スジ状のムラを抑制する第１類型として、図１１に示すような、液状体配置方法（第１パターニング）が採用できる。
図１１は、図８に示したカラーフィルタ１が形成される個体領域の一部を示すものであり、各色の画素部２毎に配置パターン１００が、５つの配置パターン１００Ａ〜１００Ｅからランダムに選択されて液状体５を配置するものである。
【００５１】
なお、以下の説明においては、説明の便宜上、赤色の色材を有する液状体５（５Ｒ）のみについて液状体配置方法の説明を行うが、実際には、緑色の色材を有する液状体５Ｇ及び青色の色材を有する液状体５Ｂについても同様に液状配置方法が用いられる。図１１〜図１３中、液状体５Ｇ及び液状体５Ｂが配置される画素部２については、液状体５（５Ｒ）の視認性を向上させるために二点鎖線で示しており、同図中Ａ〜Ｅは、配置パターン１００Ａ〜１００Ｅを示すものとする。
【００５２】
第１パターニングは、図１１に示すように、配置パターン１００がランダムに選択され、副走査方向及び主走査方向に別の配置パターン１００が形成される。つまり、第１パターニングでは、重量分布の異なる別の形状の液状体５が形成されることで、連続的に同一の形状の液状体５が並ぶことを抑制することができ、スジ状のムラを視認しにくくすることができる。
【００５３】
したがって、上述した本実施形態では、複数のノズル２３と基板４とを相対的に走査させながらノズル２３から液状体５を吐出することにより、基板４上に設定された複数の画素部２に対して液状体５をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、画素部２に複数箇所配置される液状体５の吐出時の駆動波形を複数用い、且つ複数の駆動波形の組み合わせを異ならせた複数種の配置パターン１００Ａ〜１００Ｅを用いて、液状体５を配置する工程を有するという構成を採用することによって、画素部２内で液状体５の重量分布を異ならせることで、該画素部２内で意図的にムラを付加させることが可能となり、また、主走査方向に並ぶ画素２においては、膜の表面形状が液状体５の重量分布に応じて異なるものとなるため、膜表面の凹凸が一様に並ぶことが防止でき、スジ状の（１次元的な）ムラが相対的に視認しにくくなる。
【００５４】
また、本実施形態においては、予め複数の配置パターン１００Ａ〜１００Ｅを設定しておき、画素部２ごとに、配置パターン１００Ａ〜１００Ｅのいずれか一つを選択するという構成を採用することによって、その都度配置パターン１００を設定することなくなり、記憶された配置パターン１００Ａ〜１００Ｅを選択することによって、画素部２内で意図的にムラを容易に付加させることができる。
【００５５】
また、本実施形態においては、ノズル２３と基板４とを相対的に走査する副走査方向において、複数種の配置パターン１００Ａ〜１００Ｅを用いるという構成を採用することによって、ノズル２３間の吐出量のバラツキに起因して副走査方向に特に発生しやすいスジ状のムラを抑制することができる。
【００５６】
また、本実施形態においては、副走査方向と直交する主走査方向においても、複数種の配置パターン１００Ａ〜１００Ｅを用いるという構成を採用することによって、主走査方向に発生するスジ状のムラを抑制することができる。
【００５７】
また、本実施形態においては、各画素２に配置される液状体５の配置数、及び用いられる各駆動波形Ｈ１〜Ｈ４の数が同一であるため、複数の画素２において配置される液状体５の総重量を略同一とすることができる。
【００５８】
（液状体配置方法（第２パターニング））
スジ状のムラをより確実に抑制する第２類型として、図１２に示すような、液状体配置方法（第２パターニング）が採用できる。
この第２パターニングは、配置パターン１００として、５つの配置パターン１００Ａ〜１００Ｅから、隣り合う画素部２が互いに異なるように選択して、液状体５を配置するものである。
【００５９】
第２パターニングでは、図１２に示すように、ある画素部２に対して副走査方向及び主走査方向の双方に、異なる配置パターン１００で配置された液状体５を有する画素部２が形成されるため、重量分布の異なる別の形状の液状体５が、副走査方向及び主走査方向に確実に存在することとなる。
【００６０】
したがって、本実施形態においては、隣り合う画素部２ごとに、互いに異なる配置パターン１００Ａ〜１００Ｅを用いるという構成を採用することによって、隣り合う画素部２同士が異なる配置パターン１００で液状体５が配置されることとなり、よりスジ状のムラを視認させにくくすることが可能になる。
【００６１】
（液状体配置方法（第３パターニング））
スジ状のムラを抑制する第３類型として、図１３に示すような、液状体配置方法（第３パターニング）が採用できる。
第３パターニングは、隣り合う少なくとも２つの画素部２を一つのグループＫとして、グループＫ内で、選択されたパターンを連続的に用いることによって、スジ状のムラを視認しにくくするものである。
【００６２】
第３パターニングでは、図１３に示すように、主走査方向で隣り合う３つの画素部２を一つのグループＫとし、グループＫの第一番目を配置パターン１００Ａ、第二番目を同じく配置パターン１００Ａ、第三番目を配置パターン１００Ｂの駆動波形で液状体５を吐出するものとする。こうすることによって、主走査方向に配置パターン１００Ａと配置パターン１００Ｂとで配置された液状体５を有する画素部２が形成されるため、別の形状の液状体５が一定のパターン周期で主走査方向に確実に存在することとなる。
【００６３】
したがって、本実施形態においては、隣り合う少なくとも２つの画素部２を１つのグループＫとし、グループＫ内で、画素部２ごとに配置パターン１００のいずれか一つが選択された液状体配置様式を繰り返し用いるという構成を採用することによって、配置パターン１００の選択をパターン化することによって、スジ状のムラを視認しにくくすると供に液状体５を配置する作業効率を向上させることができる。
なお、本実施形態では、副走査方向に同じ配置パターン１００が直線的に並ぶことになるが、通常、副走査方向では、用いられるノズル２３が変わるため、吐出特性の違いより、意図的にムラを付与しなくても副走査方向にスジ状のムラが視認されることは少なく、問題はないが、副走査方向（すなわち主走査方向及び副走査方向の双方）にもグループＫを設定しても良い。
【００６４】
（配向膜の製造方法）
続いて、上記液状体配置方法を液晶表示装置に用いられる配向膜の製造に適用する場合について説明する。
図１４は、液晶表示装置５８０の断面構成図である。
この図に示す液晶表示装置５８０は、互いに対向するように配置された素子基板５７４と対向基板５７５と、これらの間に挟持された液晶層７０２と、対向基板５７５に付設された位相差板７１５ａ、偏光板７１６ａと、素子基板５７４に付設された位相差板７１５ｂ、偏光板７１６ｂとが備えられた液晶パネルを主体として構成されている。この液晶パネルに、液晶駆動用ドライバチップと、電気信号を伝達するための配線類、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての液晶表示装置が構成される。
【００６５】
対向基板５７５は、光透過性の基板４と、この基板４に形成された上述したカラーフィルタ１とを主体として構成されている。カラーフィルタ１は、隔壁３と、画素部２に配置された後加熱されて着色層となった液状体５Ｒ，５Ｇ，５Ｂと、隔壁３及び液状体５Ｒ，５Ｇ，５Ｂを覆う保護膜７０４と、を具備して構成されている。
【００６６】
また、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電材料からなる液晶駆動用の電極層７０５が保護膜７０４の略全面にわたって形成されている。さらにこの液晶駆動用の電極層７０５を覆って配向膜７１９ａが設けられており、また、素子基板５７４側の画素電極５７９上にも配向膜７１９ｂが設けられている。
【００６７】
素子基板５７４は、光透過性の基板７１４上に図示略の絶縁層が形成され、さらにこの絶縁層の上に、ＴＦＴ素子５７８と画素電極５７９が形成されてなるものである。また、基板７１４上に形成された絶縁層上には、画素電極５７９が設けられ、各画素電極５７９と電気的に接続される位置にＴＦＴ素子５７８が組み込まれている。また、対向基板５７５側に形成された電極層７０５はこの実施形態では画素領域全体をカバーする全面電極とされている。なお、ＴＦＴの配線回路や画素電極形状には様々なものを適用できる。
【００６８】
素子基板５７４と対向基板５７５とは、対向基板５７５の外周縁に沿って形成されたシール材５７３によって所定の間隙を介して貼り合わされている。なお、符号７５６は両基板間の間隔（セルギャップ）を基板面内で一定に保持するためのスペーサである。素子基板５７４と対向基板５７５との間には、平面視略額縁状のシール材５７３によって矩形の液晶封入領域が区画形成され、この液晶封入領域内に、液晶が封入されている。
【００６９】
このような構成を有する液晶表示装置５８０においては、配向膜７１９ａ，７１９ｂを上述した液状体配置方法によって形成することによって、表示ムラ等が生じることを抑制でき、液晶表示装置５８０の表示特性を向上させることが可能となる。
この場合、配向膜７１９ａ，７１９ｂをそれぞれバンク等の区画部を設けることなく、連続的に並ぶ複数の領域に配向膜形成材料を含む液状体を配置する際に、上記液状体配置方法を用いることにより、配向膜７１９ａ，７１９ｂにスジ状のムラが生じることを防止できる。
【００７０】
（有機ＥＬ表示装置の製造方法）
続いて、上記液状体配置方法を有機ＥＬ表示装置の製造に適用する場合について説明する。
図１５は、有機ＥＬ表示装置１１０の断面構成図である。
この図に示す有機ＥＬ表示装置１１０は、素子基板１１１と、素子基板１１１上に形成された駆動回路部１１２と、駆動回路部１１２上に形成された発光素子部１１３と、駆動回路部１１２及び発光素子１１３を封止するための封止基板１１４とを備えるものであって、封止基板１１４によって封止された封止空間１１５には、不活性ガスが充填されている。
【００７１】
発光素子部１１３は、バンク１２０で区画された複数の区画領域１１９を有しており、この区画領域１１９内には発光素子１２５が形成されている。発光素子１２５は、駆動回路部１１２の出力端子であるセグメント電極（陽極）１２１と、共通電極（陰極）１２４との間に、正孔輸送層１２２、有機ＥＬ材料層１２３が積層されて構成されている。また、バンク１２０と駆動回路部１１２との間には、階調要素間の干渉を防ぐための遮光膜１２６が、金属クロムやクロム酸化物等で形成されている。
【００７２】
正孔輸送層１２２は、有機ＥＬ材料層１２３に正孔を注入するための機能層であり、ポリチオフェン誘導体のドーピング体（ＰＥＤＯＴ）などの高分子導電体で形成されている。有機ＥＬ材料層１２３は、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な周知の有機ＥＬ材料、例えば、ポリフルオレン誘導体、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体等で形成されている。正孔輸送層１２２、有機ＥＬ材料層１２３は、上記実施形態で説明した液状体配置方法を用い、所定領域としての区画領域１１９に対応する機能性材料（ＰＥＤＯＴ／有機ＥＬ材料）を含む液状体を配置して製造することができる。
【００７３】
これにより、本実施形態では、スジ状の（１次元的な）ムラの発生が抑えられた高い表示品質を有する有機ＥＬ表示装置１１０を製造することが可能になる。
【００７４】
以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。  
【００７５】
例えば、上記実施形態では、配置パターン１００として、図８（ａ）〜（ｅ）に示すような、５つの配置パターン１００Ａ〜１００Ｅを用いるものとして説明した。しかしながら、本発明では、上記実施形態に限定されるものではなく、それ以上の種類の配置パターンを用いても良い。なお、意図的にムラを形成させるためには、少なくとも２つの異なる配置パターンを用いることが好ましい。同様に、液状体５の配置に用いる駆動波形は一例であり、互いに異なる２つまたは３つの駆動波形を用いる構成や、５つ以上の駆動波形を用いる構成であってもよい。
【００７６】
また、上記実施形態では、複数の画素２に対して、配置する液状体５の配置数及び用いる駆動波形の数を同一にするものとして説明したが、これに限定されるものではなく、例えば配置する液状体５の数を増減させて、重量分布を異ならせ、所定領域内で意図的にムラを付加させることも可能である。
【００７７】
また、本実施形態における第３パターニングでは、図１３に示すように、主走査方向の隣り合う３つの画素部２を一つのグループＫとして説明した。しかしながら、本発明では、このような構成に限定されるものではなく、例えば、主走査方向に２つ、又は、４つ以上、さらに、副走査方向の画素部２をもクループ化する構成であっても良い。
この場合、例えば、主走査方向に３つ並んだ画素部２と、当該画素部２の副走査方向にそれぞれ隣接する画素部２との計６つの画素部２でグループＫを構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本実施形態におけるカラーフィルタの平面構造を示す模式図である。
【図２】図１におけるカラーフィルタのＡ−Ａ断面図である。
【図３】液状体吐出装置の要部構成を示す斜視図である。
【図４】ヘッドユニットの構成を示す斜視図である。
【図５】ヘッドの構成を示す模式図である。
【図６】液状体吐出装置の電気的構成を示す図である。
【図７】液状体を配置するための基板を示す平面図である。
【図８】画素部内における液状体の配置パターンを示す模式図である。
【図９】時間と駆動電圧とで表される駆動波形の一例を示す図である。
【図１０】ノズルから吐出される液状体の重量分布を示す図である。
【図１１】液状体配置方法（第１パターニング）を示す図である。
【図１２】液状体配置方法（第２パターニング）を示す図である。
【図１３】液状体配置方法（第３パターニング）を示す図である。
【図１４】液晶表示装置の要部構成を示す断面図である。
【図１５】有機ＥＬ表示装置の要部構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７９】
１…カラーフィルタ、  ２…画素部（所定領域）、  ４…基板、  ５、５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ…液状体、  ７…バンク、  １０…液滴吐出装置、  ２１…ヘッド、  ２３…ノズル、  １００、１００Ａ〜１００Ｅ…配置パターン、  １１０…有機ＥＬ表示装置、  ５８０…液晶表示装置、  Ｈ１〜Ｈ４…駆動波形
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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