(57)【要約】【課題】基板の端部の領域とそれ以外の領域との間で、ノズル使用率が異なる場合であっても、基板上における液状体の配置量のバラツキを低減することが可能な液状体配置方法を提供する。【解決手段】複数のノズルを有する吐出ヘッドと基板とを相対的に走査させながら前記複数のノズルから液状体を吐出することにより、前記基板上に設定された複数の所定領域に対して前記液状体をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、前記基板の端部の前記所定領域に前記液状体を配置する際の前記吐出ヘッドにおけるノズル使用率が、前記基板の端部以外の前記所定領域に前記液状体を配置する際のノズル使用率よりも低くなる場合に、前記端部の前記所定領域への前記液状体の配置量を、前記端部以外の前記所定領域への前記液状体の配置量より多くする液状体配置方法を採用する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを有する吐出ヘッドと基板とを相対的に走査させながら前記複数のノズルから液状体を吐出することにより、前記基板上に設定された複数の所定領域に対して前記液状体をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、
前記基板の端部の前記所定領域に前記液状体を配置する際の前記吐出ヘッドにおけるノズル使用率が、前記基板の端部以外の前記所定領域に前記液状体を配置する際のノズル使用率よりも低くなる場合に、前記端部の前記所定領域への前記液状体の配置量を、前記端部以外の前記所定領域への前記液状体の配置量より多くすることを特徴とする液状体配置方法。
【請求項２】
前記基板の端部が、吐出ヘッドの副走査方向に沿う端部であることを特徴とする請求項１に記載の液状体配置方法。
【請求項３】
前記端部に位置する前記所定領域への前記液状体の吐出数を、前記端部以外に位置する前記所定領域への前記液状体の吐出数よりも相対的に多くすることで、前記所定領域への前気液状体の配置量を調整することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液状体配置方法。
【請求項４】
前記端部に位置する前記所定領域への前記液状体の吐出量を、前記端部以外に位置する前記所定領域への前記液状体の吐出量よりも相対的に多くすることで、前記所定領域への前気液状体の配置量を調整することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液状体配置方法。
【請求項５】
前記所定領域が、バンクにより区画されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の液状体配置方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いて、前記複数の所定領域のそれぞれに、色材を含む前記液状体を配置するステップと、
配置された前記液状体を固化して、前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする着色部を形成するステップと、を有するカラーフィルタの製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いて、前記複数の所定領域のそれぞれに、有機ＥＬ材料を含む前記液状体を配置するステップと、
配置された前記液状体を固化して前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする発光素子を形成するステップと、を有する有機ＥＬ表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法及び有機ＥＬ装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴吐出法を用いた成膜技術が注目されている。例えば、特許文献１には、液滴吐出法を用いた液晶表示装置のカラーフィルタの製造方法が開示されている。この製造方法では、基板に対して走査する複数のノズルから色材を含む液状体（液滴）を吐出させて液状体を配置（描画）し、さらに配置された液状体を乾燥等により固化させて画素に対応した着色膜を形成するようにしている。
【特許文献１】特開２００３−１５９７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前記したカラーフィルタの製造方法には以下の改善すべき課題がある。図１９〜図２１は、かかる課題についての説明図である。
図１９には、カラーフィルタの製造に用いられる液状体の吐出装置（液滴吐出装置）に備えられた吐出ヘッド１１と、吐出ヘッド１１により液状体が配置される大型基板Ｐとが示されている。吐出ヘッド１１には、一方向に配列された図示しない複数のノズルが形成されており、上位装置から入力される吐出制御データに従って各ノズルから液状体を吐出するように構成されている。
図１９に示すように、大型の基板Ｐ上を吐出ヘッド１１で複数回走査して液状体を配置する場合において、基板Ｐの端部の領域Ｐ２７に液状体を配置する場合には、図示のように吐出ヘッド１１の左側１／３程度の部分のみを使用して液状体の配置が行われる。一方、基板Ｐの端部以外の領域Ｐ２１〜Ｐ２６に液状体を配置する場合には、図示のように吐出ヘッド１１のほぼ全部を使用して液状体の配置が行われる。
このように、液滴吐出装置により基板Ｐ上の所定位置に液状体を配置する場合、基板Ｐの端部の領域Ｐ２７とそれ以外の領域Ｐ２１〜Ｐ２６とでは、吐出ヘッド１１のノズル使用率（Ｄｕｔｙ）が異なることとなる。
【０００４】
ところで、吐出ヘッド１１の吐出量（液状体の一滴あたりの液滴量）について詳細な調査を行ったところ、吐出ヘッド１１のＤｕｔｙと吐出量との間には明確な相関があり、Ｄｕｔｙが小さくなると、同一駆動信号を用いて吐出動作を行っても１ノズルあたりの吐出量が減少することが判明した。図２０には、吐出ヘッド１１におけるノズル１〜ｎのノズルデューティ毎の吐出量を示すグラフを示す。図２０の横軸は、吐出ヘッド１１に設けられた複数のノズル１〜ｎの位置を配列方向順に示す軸であり、縦軸は、各ノズルにおける吐出量を相対値で示している。図２０に示すように、Ｄｕｔｙが高い場合よりも、Ｄｕｔｙが低い場合の方が、各ノズル１〜ｎにおける吐出量が２〜３％程度低下していることが明らかである。
【０００５】
図２１は、Ｄｕｔｙが大きい（ノズル使用率が高い）ときと、Ｄｕｔｙが小さい（ノズル使用率が低い）ときの駆動信号の波形を示す説明図である。図２１に破線の曲線で示す「Ｄｕｔｙ小」の波形は、ほぼ台形状であるが、実線の曲線で示す「Ｄｕｔｙ大」の波形では、駆動信号の最大電位が「Ｄｕｔｙ小」の波形より高くなっており（オーバーシュート）、最小電位は「Ｄｕｔｙ小」の波形より低くなっている（アンダーシュート）。
吐出ノズル１１からの吐出量は、駆動信号の波形の積分値（面積）に依存するため、図２１に示すような電位変動が生じると、その分だけ吐出量が多くなる。これが、ノズル使用率が高くなったときに液状体の吐出量が多くなってしまう原因であると考えられる。
【０００６】
このようにノズル使用率によって吐出量のバラツキが生じると、基板Ｐ上における液状体の配置量（吐出された液状体の全量（＝吐出量×液滴数））のバラツキが生じてしまう。これにより、カラーフィルタの端部の領域Ｐ２７における着色部の膜厚が、それ以外の領域Ｐ２１〜２６における着色部の膜厚よりも薄くなって、カラーフィルタに濃淡ムラが発生するおそれがあった。このような濃淡ムラは、カラーフィルタを介して表示される画像の画質を低下させてしまう。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、基板の端部の領域とそれ以外の領域との間で、ノズル使用率が異なる場合であっても、基板上における液状体の配置量のバラツキを低減することが可能な液状体配置方法を提供することを目的とする。
また本発明は、ノズル使用率が異なる場合であっても、基板上における着色部の膜厚のバラツキを低減することが可能なカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
更に本発明は、ノズル使用率が異なる場合であっても、基板上における発光素子の膜厚のバラツキを低減することが可能な有機ＥＬ装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
本発明の液状体配置方法は、複数のノズルを有する吐出ヘッドと基板とを相対的に走査させながら前記複数のノズルから液状体を吐出することにより、前記基板上に設定された複数の所定領域に対して前記液状体をそれぞれ配置する液状体配置方法であって、前記基板の端部の前記所定領域に前記液状体を配置する際の前記吐出ヘッドにおけるノズル使用率が、前記基板の端部以外の前記所定領域に前記液状体を配置する際のノズル使用率よりも低くなる場合に、前記端部の前記所定領域への前記液状体の配置量を、前記端部以外の前記所定領域への前記液状体の配置量より多くすることを特徴とする。
本発明において、「所定領域への前記液状体の配置量」とは、所定領域に吐出した液状体の全量をいう。例えば、所定領域に対して一滴あたりｎ（リットルまたはグラム）の液滴をｍ回吐出したときの液状体の全量は、ｍ・ｎ（リットルまたはグラム）となる。
本発明によれば、基板の端部における液状体の配置量と端部以外における液状体の配置量とを、ほぼ同量にすることができ、これにより基板全体の各所定領域における液状体の配置量の均等化が図られる。
【０００９】
また、本発明の液状体配置方法においては、前記基板の端部が、吐出ヘッドの副走査方向に沿う端部であることが好ましい。
本発明においては、吐出ヘッドの副走査方向に沿う端部において吐出ヘッドのノズル使用率が小さくなる場合に、その端部に位置する所定領域への液状体の配置量を、端部以外の所定領域への液状体の配置量より多くすることで、基板全体の各所定領域における液状体の配置量の均等化が図られる。
【００１０】
また、本発明の液状体配置方法においては、前記端部に位置する前記所定領域への前記液状体の吐出数を、前記端部以外に位置する前記所定領域への前記液状体の吐出数よりも相対的に多くすることで、前記所定領域への前気液状体の配置量を調整することが好ましい。
本発明において、「所定領域への前記液状体の吐出数」とは、所定領域に液滴を吐出する際の吐出回数をいう（上記の例ではｍ回）。
本発明では、端部の所定領域への吐出数を相対的に多くすることで、基板全体の各所定領域における液状体の配置量の均等化が図られる。
【００１１】
また、本発明の液状体配置方法においては、前記端部に位置する前記所定領域への前記液状体の吐出量を、前記端部以外に位置する前記所定領域への前記液状体の吐出量よりも相対的に多くすることで、前記所定領域への前気液状体の配置量を調整することが好ましい。
本発明において、「所定領域への前記液状体の吐出量」とは、所定領域に対して液滴を吐出する際の一滴あたりの体積または質量をいう（上記の例ではｎ（リットルまたはグラム））。
本発明では、端部の所定領域への吐出量を相対的に多くすることで、基板全体の各所定領域における液状体の配置量の均等化が図られる。
【００１２】
更にまた、本発明の液状体配置方法においては、前記所定領域が、バンクにより区画されていることが好ましい。
この発明によれば、バンクによって所定領域外への液状体のはみ出しを好適に防止できる。
【００１３】
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法は、先のいずれかに記載の液状体配置方法を用いて、前記複数の所定領域のそれぞれに、色材を含む前記液状体を配置するステップと、配置された前記液状体を固化して、前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする着色部を形成するステップと、を有することを特徴とする。
この発明のカラーフィルタの製造方法によれば、上記の液状体配置方法を用いて着色部を形成するので、高品質なカラーフィルタを製造することができる。
【００１４】
また、本発明の有機ＥＬ表示装置の製造方法は、先のいずれかに記載の液状体配置方法を用いて、前記複数の所定領域のそれぞれに、有機ＥＬ材料を含む前記液状体を配置するステップと、配置された前記液状体を固化して前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする発光素子を形成するステップと、を有することを特徴とする。
この発明の有機ＥＬ表示装置の製造方法によれば、上記の液状体配置方法を用いて発光素子を形成するので、高品質な有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、以下の説明で参照する図では、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００１６】
（第１実施形態）
（カラーフィルタの構成）
まずは、図１および図２を参照して、本発明に係るカラーフィルタの構成について説明する。図１はカラーフィルタの構成を示す平面図である。図２は、カラーフィルタの構造を示す断面図である。
【００１７】
図１、図２に示すカラーフィルタ１はカラー用表示パネルに用いられるものであり、表示パネルにおけるＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色の画素に対応して形成された着色部２と、着色部２の間の領域に形成された遮光部３とを有している。尚、本実施形態の着色部２は、いわゆるストライプ型の画素構造に対応する配列ないし形状を有しているが、このような画素構造以外のもの、例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外の色要素を含むものやデルタ型構造のものに対応した構成とすることもできる。
【００１８】
カラーフィルタ１は、ガラスの透光性の基板４を備えており、基板４上にはクロム等の遮光性材料で遮光部３がパターン形成され、さらに遮光部３上には感光性樹脂等を用いてバンク５がパターン形成されている。着色部２は、バンク５で区画された区画領域６内に形成されており、また着色部２の形成面側には、表面を平滑化するためのオーバーコート層７が樹脂等で形成されている。尚、複数の区画領域６は、全て同じ形状、大きさで形成されている。
【００１９】
（液状体吐出装置の機械的構成）
次に、図３〜図５を参照して、本発明の液状体配置方法に用いる液状体吐出装置の機械的構成について説明する。
図３は、液状体吐出装置の要部構成を示す斜視図である。また、図４は、ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置構成を示す平面図である。更に、図５は、吐出ヘッドの構成を示す模式図である。
【００２０】
図３に示す液状体吐出装置２００は、直線的に設けられた１対のガイドレール２０１と、ガイドレール２０１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により主走査方向に移動する主走査移動台２０３を備えている。また、ガイドレール２０１の上方においてガイドレール２０１に直交するように直線的に設けられた１対のガイドレール２０２と、ガイドレール２０２の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により副走査方向に沿って移動する副走査移動台２０４を備えている。
【００２１】
主走査移動台２０３上には、吐出対象物となる基板Ｐを載置するためのステージ２０５が設けられている。ステージ２０５は基板Ｐを吸着固定できる構成となっており、また、回転機構２０７によって基板Ｐ内の基準軸を主走査方向、副走査方向に正確に合わせることができるようになっている。
【００２２】
副走査移動台２０４は、回転機構２０８を介して吊り下げ式に取り付けられたキャリッジ２０９を備えている。また、キャリッジ２０９は、複数の吐出ヘッド１１、１２（以下、ヘッドという。図４参照。）を備えるヘッドユニット１０と、ヘッド１１、１２に液状体を供給するための液状体供給機構（図示せず）と、ヘッド１１、１２の電気的な駆動制御を行うための制御回路基板２１１（図６参照）とを備えている。
【００２３】
図４に示すように、ヘッドユニット１０は、Ｒ，Ｇ，Ｂに対応した液状体をノズル２０から吐出するヘッド１１、１２を備えており、ヘッド１１，１２における複数のノズルＮはノズル群２１Ａ，２１Ｂを構成している。ノズル群２１Ａ，２１Ｂは、それぞれ所定のピッチ（例えば１８０ＤＰＩ）のライン配列をなしており、さらに合わせて千鳥配列をなす関係となっている。また、ノズル群２１Ａ，２１Ｂの配列の方向は副走査方向に一致するようにされている。
【００２４】
図５にはヘッド１１、１２の概略構成図を示している。図５（ａ）はヘッド１１、１２の部分斜視図であり、図５（ｂ）はヘッド１１、１２の１ノズル部分の部分断面図である。
図５（ｂ）に示すように、ヘッド１１、１２は、液状体供給機構に連結される材料供給孔２０aが設けられた振動板２０と、各ノズルＮ（Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３…）が設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられた液溜まり２２と、複数の隔壁２３と、複数のキャビティ２４とを備えている。振動板２０上には、各ノズルＮ１、Ｎ２、Ｎ３…に対応して圧電素子（駆動素子）ＰＺ（ＰＺ１、ＰＺ２、ＰＺ３…）が配置されている。圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２、ＰＺ３…は、例えばピエゾ素子である。
【００２５】
液溜まり２２には、材料供給孔２０aを介して供給される液状体が充填されるようになっている。液状体としては例えば、色材を含む液状のカラーフィルタ材料を例示できる。キャビティ２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されており、各ノズルＮ１、Ｎ２、Ｎ３…に一対一に対応して設けられている。また、各キャビティ２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４aを介して、液溜まり２２から液状体が導入されるようになっている。
【００２６】
図５（ｂ）に示すように、圧電素子ＰＺ１は、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものであり、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電素子ＰＺ１が配置されている振動板２０は、圧電素子ＰＺ１と一体になって同時に外側（キャビティ２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティ２４の容積が増大するようになっている。従って、キャビティ２４内に増大した容積分に相当する液状体が、液溜まり２２から供給口２４aを介して流入する。また、このような状態から圧電素子ＰＺ１への駆動信号の印加を停止すると、圧電素子ＰＺ１と振動板２０はともに元の形状に戻り、キャビティ２４も元の容積に戻ることから、キャビティ２４内の液状体の圧力が上昇し、ノズルＮ１から基板Ｐに向けて液状体の液滴Ｌが吐出される。
【００２７】
このように、ヘッド１１、１２内におけるノズルＮ１、Ｎ２、Ｎ３…に連通する液室（キャビティ）は、圧電素子ＰＺ（ＰＺ１、ＰＺ２、ＰＺ３…）（図６参照）の駆動によって容量が可変するように構成されている。そして、圧電素子ＰＺから電気信号（駆動信号）を供給してキャビティ内の液圧を制御することにより、ノズルＮ（Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３…）から液状体（液滴）を吐出させることが可能となっている。
【００２８】
かくして、主走査移動台２０３の移動によりノズル群２１Ａ，２１Ｂを基板Ｐに対して主走査方向に走査させると共に、ノズルＮ毎の吐出のＯＮ／ＯＦＦ制御（以下、吐出制御とする）を行うことにより、基板Ｐ上におけるノズルＮ１、Ｎ２、Ｎ３…の走査軌跡に沿った位置に液状体を配置することができる。尚、ヘッド１１とヘッド１２とは互いに副走査方向に位置をずらして配置され、それぞれのノズル群２１Ａ，２１Ｂが、互いに吐出可能範囲を補完して連続した定ピッチの走査軌跡を描くように構成されている。
【００２９】
尚、液状体吐出装置の構成は上述の態様に限定されるものではない。例えば、ノズル群２１Ａ，２１Ｂの配列方向を副走査方向から傾けて、ノズルＮ１、Ｎ２、Ｎ３…の走査軌跡のピッチがノズル群２１Ａ，２１Ｂ内におけるノズルＮ１、Ｎ２、Ｎ３…間のピッチに対して狭くなるように構成することもできる。また、ヘッドユニット１０におけるヘッド１１，１２の数やその配置構成なども適宜変更することができる。また、ヘッド１１，１２の駆動方式として、例えば、キャビティに加熱素子を備えたいわゆるサーマル方式などを採用することもできる。
【００３０】
（吐出制御方法）
次に、図６、図７を参照して液状体吐出装置における吐出制御方法について説明する。
図６は、液状体吐出装置の電気的構成を示す図である。図７は、ドットパターンとノズルの位置との関係を示す図である。
【００３１】
図６において、液状体吐出装置２００は、装置全体の統括制御を行う制御コンピュータ２１０と、ヘッド１１，１２の電気的な駆動制御を行うための制御回路基板２１１とを備えている。制御回路基板２１１は、フレキシブルケーブル２１２を介して各ヘッド１１，１２と電気的に接続されている。また、ヘッド１１，１２は、ノズルＮ（図５参照）毎に設けられた圧電素子ＰＺに対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）５０、ラッチ回路（ＬＡＴ）５１、レベルシフタ（ＬＳ）５２、スイッチ（ＳＷ）５３を備えている。
【００３２】
液状体吐出装置２００における吐出制御は次のように行われる。すなわち、まず制御コンピュータ２１０が基板Ｐ（図３参照）における液状体の配置パターンをデータ化したドットパターンデータ（詳しくは後述する）を制御回路基板２１１に伝送する。そして、制御回路基板２１１は、ドットパターンデータをデコードしてノズルＮ毎のＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ５０に伝送される。
【００３３】
シフトレジスタ５０に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路５１に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ５２でスイッチ５３用のゲート信号に変換される。すなわち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ５３が開いて圧電素子ＰＺに駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ５３が閉じられて圧電素子ＰＺに駆動信号（ＣＯＭ）は供給されないことになる。そして、「ＯＮ」に対応するノズルＮからは液状体が液滴化されて吐出され、吐出された液状体が基板Ｐに配置される。
【００３４】
上述したように、液状体の吐出制御はドットパターン（データ）に基づいて行われる。このドットパターンは、図７に示すように、主走査方向、副走査方向の成分を有するマトリクスＭＴにおいて、液状体の吐出位置となる区画にドットＤを配したものとして表すことができる。ドットＤは、単に吐出の有無を示すだけでなく、階調性を有するものとすることも可能であり、例えば、ノズル使用率の変化に応じて液状体の吐出量を変化させることもできる。
【００３５】
ここで、マトリクスＭＴの主走査方向のピッチ：ｐ１は、液状体の吐出制御周期（ラッチ周期）と走査速度によって決められるようになっている。また、マトリクスＭＴの副走査方向のピッチ：ｐ２は、１走査におけるノズルＮの走査軌跡のピッチ：ｐ０の自然数分の１倍に設定することが可能である。本実施形態では、例えば、ｐ２がｐ０の３分の１に設定されており、３回に分けられた各走査間で、ノズルＮの副走査方向における位置を互いにずらすことで、マトリクスＭＴの全てのドットＤをノズルＮに対応させて液状体を吐出するようになっている。
【００３６】
尚、図中において互いに隣接するドットｄ１，ｄ２，ｄ３は、それぞれ第１走査、第２走査、第３走査に係るものである。これらは互いに同じノズルに対応させることも可能であるが、ノズル間における特性（例えば吐出量）のばらつきを空間的に分散させるため、走査間でヘッドを大きく副走査方向に移動させて、互いに異なるノズルＮに対応させるようにすることが好ましい。複数の走査間におけるノズルＮ（ヘッド）の位置のずらし方には多様な方法があり、ノズル間やヘッド間の特性ばらつきの分散やサイクルタイムなどに鑑みて適切なものを採用することができる。また、本実施形態では採用していないが、複数の走査間でノズルＮの副走査方向における位置を互いに重ねるような方法とすることで、一の列（主走査方向の並び）内におけるドットＤを複数のノズルＮに分けて対応させることも可能である。
【００３７】
（カラーフィルタの製造方法（液状体配置方法））
次に、図８〜図１０を参照して、本発明に係るカラーフィルタの製造方法について説明する。図８は、液状体配置を行う際の基板の状態を示す平面図である。図９は、基板に対するヘッドの走査方法を説明する模式図である。なお、図９には、後述するテンプレートの段階値「０」「１」が示されている。
【００３８】
カラーフィルタ１（図１，２参照）の着色部２（図１，２参照）の形成は、Ｒ，Ｇ，Ｂにそれぞれ対応するカラーフィルタ材料を含む液状体を用意し、液状体吐出装置２００（図３〜図５参照）を用いて液状体を基板Ｐ上に配置することで行われる。図８に示すように、液状体を配置するための基板Ｐには、それぞれカラーフィルタ１の個体に対応した領域である４つの個体領域８が設定されており、バンク５によって個体領域８毎に区画領域６の群が形成されている。本実施形態では、区画領域６の長辺方向を副走査方向、短辺方向を主走査方向として基板Ｐをステージ２０５（図３参照）上に載置する。
【００３９】
ここで、液状体はバンク５で区画された所定領域としての区画領域６に対して配置されるが、液状体が区画領域６に合わせて正確にパターニングされるように、区画領域６内における基板Ｐの露出面に親液化処理を、バンク５の表面に撥液化処理をあらかじめ施しておくことが好ましい。このような処理は、例えば、酸素やフッ化炭素のプラズマ処理により行うことができる。尚、バンク５の形成は、液状体のパターニングを高精度に行うための好ましい実施形態であり、所定領域を設定するためにこのような物理的な区画が必ずしも必要というわけではない。
【００４０】
次に、図９に示すように、基板Ｐに対してヘッド１１、１２を走査し、ヘッド１１、１２に備えられたノズルＮから液状体を吐出する。このときのヘッド１１、１２の動作は、先ず、基板の端部の領域Ｐ１及びその隣の領域Ｐ２に対してヘッドを主走査方向に走査し、液状体を吐出させる。次いで、ヘッド１１、１２を図中右方向（副走査方向）に移動させ、領域Ｐ２の隣に位置する領域Ｐ３及びＰ４に対してヘッド１１，１２を主走査方向に走査し、液状体を吐出させる。このような動作を繰り返し行って、基板Ｐの各区画領域６に液状体を配置する。
このとき、ヘッド１１，１２には、一方向に配列された図示しない複数のノズルＮが形成されており、上位装置から入力される吐出制御データに従って各ノズルＮから液状体を吐出するように構成されている。図９に示すように、大型の基板Ｐ上をヘッド１１，１２で複数回走査して液状体を配置する場合において、基板Ｐの端部の領域Ｐ１に液状体を配置する場合には、図示のようにヘッドの右側Ｌ／ｎ程度（Ｌはノズル列の長さ）の部分のみを使用して液状体の配置が行われる。同様に、基板Ｐの別の端部の領域Ｐ１１に液状体を配置する場合には、図示のようにヘッドの左側Ｌ／ｎ程度（Ｌはノズル列の長さ）の部分のみを使用して液状体の配置が行われる。一方、基板Ｐの端部Ｐ１、Ｐ１１以外の領域Ｐ２〜Ｐ１０に液状体を配置する場合には、図示のようにヘッドのほぼ全部を使用して液状体の配置が行われる。
【００４１】
このように、液滴吐出装置により基板Ｐ上の所定位置に液状体を配置する場合、基板Ｐの端部の領域Ｐ１、Ｐ１１とそれ以外の領域Ｐ２〜Ｐ１０とでは、ヘッド１１、１２のノズル使用率（Ｄｕｔｙ）が異なることとなる。すなわち、図２０において既に説明したように、ヘッドのＤｕｔｙと吐出量との間には明確な相関があり、Ｄｕｔｙが小さくなると、同一駆動信号を用いて吐出動作を行っても１ノズルあたりの吐出量が減少する。
従って、基板Ｐ全体の区画領域６に液状体を均等に配置するには、基板Ｐの端部の領域Ｐ１、Ｐ１１に位置する区画領域６への液状体の配置量を、端部以外の領域Ｐ２〜Ｐ１０に位置する区画領域６への液状体の配置量より多くすればよい。配置量を制御する方法としては、以下に説明するように、区画領域６への液状体の吐出数を調整する場合と、液状体の吐出量を調整する場合とがある。
【００４２】
なお、基板Ｐが平面視略矩形状とされ、この基板Ｐの一辺に沿ってヘッド１１、１２の主走査方向が設定され、一辺と交差する方向に延びる他辺に沿ってヘッド１１、１２の副走査方向が設定される場合の基板Ｐの端部は、副走査方向に沿う両端部Ｐ１，Ｐ１１となる。また、ノズル使用率とは、ヘッド１１、１２に設けられた全ノズル数に対する、実際に液滴の吐出に使用されるノズル数の比率である。
【００４３】
＜区画領域６への液状体の吐出数を調整する場合＞
吐出数を調整する場合には、端部の領域Ｐ１、１Ｐ１１に位置する区画領域６への液状体の吐出数を、端部以外の領域Ｐ２〜Ｐ１０に位置する区画領域６への液状体の吐出数より相対的に多くすることが好ましい。より具体的には、端部以外の領域Ｐ２〜Ｐ１０の各区画領域６に対する吐出回数をｍ回とした場合に、端部の領域Ｐ１〜Ｐ１１の各区画領域６に対する吐出回数を（ｍ＋ｐ）回とすればよい。増やすべき吐出回数ｐは、例えば、ノズル使用率と吐出量の相関から求めればよい。例えば、端部におけるノズル使用率が１／３であり、端部以外のノズル使用率が３／３であり、ノズル使用率１／３のときの吐出量がノズル使用率３／３のときの吐出量より２〜３％低下する場合には、端部以外の領域Ｐ２〜Ｐ１０の各区画領域６に対する吐出回数を１００回とし、端部の領域Ｐ１、Ｐ１１の各区画領域６に対する吐出回数を１０２〜１０３回程度とすればよい。
【００４４】
液状体の吐出方法について、より具体的に説明する。図１０は、カラーフィルタにおける着色部の形成工程を示すフローチャートである。図１１は、第１のドットパターンを示す図である。
【００４５】
液状体の配置に先立ち、まずは第１のドットパターンを生成する（図１０のステップＳ１）。この第１のドットパターンは、吐出制御のためのドットパターン（第２のドットパターン）を生成するための基礎となるものであり、図１１に示すような構成となっている。図において、白抜きの丸は１つ１つのドットを表しており、仮想線で示す仮想区画領域Ａ、ＢはマトリクスＭＴを基板Ｐ上に重ねた場合における区画領域６の対応領域を表している。なお、仮想区画領域Ａは、端部以外の領域Ｐ２〜Ｐ１０に対応する区画領域６であり、仮想区画領域Ｂは、端部の領域Ｐ１、Ｐ１１に対応する区画領域６である。また、図中のＬ１〜Ｌ１０およびＲ１〜Ｒ９は、説明の便宜のために付したマトリクスＭＴの行および列を表す記号である。
【００４６】
この吐出方法では、マトリクスＭＴの各列の区画に対し、３回の走査に分けて複数のノズルが割り当てられるようになっている。図示の例では、Ｒ１，Ｒ４，Ｒ７列のドットが第１の走査に係るノズルｎ１１，ｎ１２，ｎ１３に、Ｒ２，Ｒ５，Ｒ８列のドットが第２の走査に係るノズルｎ２１，ｎ２２，ｎ２３に、Ｒ３，Ｒ６，Ｒ９列のドットが第３の走査に係るノズルｎ３１，ｎ３２，ｎ３３にそれぞれ対応する。尚、ノズルｎ１１〜ｎ３３は、それぞれ互いに異なるノズルである。
【００４７】
第１のドットパターンでは、１つの仮想区画領域Ａ、Ｂに対して、そのほぼ中央に２４個（所定数ａ）のドットが４行×６列の配列で設定されている。ここで、２４個というドットの数は、１つの区画領域６に対する液状体の適正配置量の相当数よりも多めに設定された数であり、この２４個のドットのうちいくつかのドットを消去して生成されたものが、吐出制御のための第２のドットパターンとなる。なお、２４個という数は、説明の便宜上設定した数であり、実際には５０個でも１００個でも何個でもよい。
【００４８】
この吐出方法においては、詳しくは後述するが、吐出異常等の発生を想定して、第２のドットパターンの生成の際にノズルの吐出情報に基づいた禁則ドットの判定処理を行う。このため第２のドットパターンの生成に先立ち、ノズルの吐出情報を取得するためのノズル検査が行われる（図１０のステップＳ２）。ここで、ノズルの吐出情報には、大きく吐出異常の有無と液状体の配置位置（着弾位置）精度に関するものがある。吐出異常としては、例えば、吐出不能、吐出量の著しい多寡、ミストの飛散を伴うなどの液滴形成の異常などの現象が挙げられる。
【００４９】
この吐出方法におけるノズル検査は、ノズルから用紙に対して液滴を吐出させ、用紙上に形成された着弾痕を撮像、画像解析することにより行われる。すなわち、吐出異常の有無の判断情報として当該着弾痕の形状、大きさ（面積）が、配置位置精度として当該着弾痕の理想位置からのズレ量が取得されるようになっている。
【００５０】
ノズル検査（ステップＳ２）が終了したら、取得されたノズルの吐出情報に基づいて第１のドットパターンに対して処理を行い、第２のドットパターンを生成する（図１０のステップＳ３）。この処理は、各仮想区画領域Ａ、Ｂに対応して設定された２４個のドット単位毎に行われるものであり、これにより、２４個（所定数ａ）のドットから４ないし６個（所定数ｂ）のドットが消去され、一仮想区画領域あたり１８ないし１９個のドットを有する第２のドットパターンが生成される（図１３（ａ），（ｂ）参照）。
【００５１】
次に、第２のドットパターンに基づいて区画領域６に対して液状体を吐出し（図１０のステップＳ４）、これにより各区画領域６には、１８ないし１９個のドット（液滴）に相当する量の液状体がそれぞれ配置されることになる。そして配置された液状体を乾燥させることにより、着色部２（図１，２参照）を形成する（図１０のステップＳ５）。
【００５２】
このとき、仮想区画領域Ｂに対応する区画領域６への液状体の吐出数を、仮想区画領域Ａに対応する区画領域６への液状体の吐出数より増やす。図１３（ａ）において仮想区画領域Ａに対する吐出数（白丸の数）が「１８」であるところ、図１３（ｂ）に示すように仮想区画領域Ｂおいては吐出数（白丸の数）を「１９」とする。
【００５３】
詳しくは後述するが、第２のドットパターンはノズルの吐出情報に基づいて適性化された構成となっているため、各区画領域６に対応する着色部２は精度良く形成される。
【００５４】
尚、ノズル検査（ステップＳ２）とその結果に基づく第２のドットパターンの生成（ステップＳ３）は、基板Ｐの個体を入れ替えるタイミングなどにおいて、定期的に行うようにすることが望ましい。ノズルの吐出情報は、後天的な事情、例えば流路内への気泡の混入やノズルメンテナンスの実行履歴等によっても変化し得るものであり、このような変化に迅速に対応するためである。
【００５５】
（第２のドットパターンの生成について）
次に、図１１、図１２及び図１３を参照して、第２のドットパターンの生成についての詳細な説明を行う。また、図９には、テンプレートの段階値を示している。図１２は、生成された第２のドットパターンの例を示す図である。
【００５６】
第２のドットパターンの生成の処理は、図１１に示す第１のドットパターンを基礎として、各仮想区画領域Ａ、Ｂ毎に設定された２４個のドット単位毎に、図１２のフローチャートに沿って行われる。この処理は、実際にはコンピュータを用いて自動的に行われるものであり、コンピュータは、あらかじめ入力されていた第１のドットパターンやノズルの吐出情報等を読み出して図１２に示す処理を実行する。
【００５７】
着目する仮想区画領域Ａ、Ｂについて、まず最初のステップＳ１１では、その仮想区画領域Ａ、Ｂに対応する所定数ｂの設定を行う。例えば本実施形態では、あらかじめ用意されたテンプレート（図９）から、仮想区画領域Ａ、Ｂ（区画領域６）毎に割り当てられた段階値を参照することにより、所定値ｂの設定を行う。図９に示すテンプレートでは、仮想区画領域Ａの配列について、一仮想区画領域Ａを一ブロックとして０の段階値が設定されており、「０」の段階値に対応する仮想区画領域Ａの処理において所定値ｂが「６」に設定されており、一方、仮想区画領域Ｂの配列については、一仮想区画領域Ｂを一ブロックとして１の段階値が設定されており、「１」の段階値に対応する仮想区画領域Ｂの処理において所定値ｂが「５」に設定される。
【００５８】
次のステップＳ１２では、図１１に示す２４個のドット全てを対象として禁則ドットであるか否かの判定が行われ、禁則ドットに該当する場合はそのドットが消去される。ここで、禁則ドットとは、そのドットについて液状体の吐出駆動がなされた場合に不具合を生じる虞がある不適切なドットのことであり、例えば次に示すような条件でその判定が行われる。
【００５９】
まず、吐出異常のノズルに対応するドットは、全て禁則ドットと判定される。このようなドットに基づいて吐出駆動が行われると、区画領域６に対する液状体の配置量の精度が低下することになるからである。例えば、図１３（ａ）に示す例では、ノズルｎ１２に吐出異常があるため、ノズルｎ１２に対応するＲ４列のドットが禁則ドットとして消去されている（黒く塗り潰された丸印が消去されたドットを示す）。
【００６０】
また、仮想区画領域Ａの境界に近接する最外郭のドットのうち、そのドットに係るノズルの配置位置精度が当該境界の方向に大きくズレているものは、禁則ドットと判定される。このようなドットに基づいて吐出駆動が行われると、吐出された液状体が区画領域外にはみ出し、パターニングの不良を招く虞があるからである。例えば、ノズルｎ２３が配置位置精度について大きく右寄りの特性を有する場合、Ｒ８列のドットは全て禁則ドットと判定されることになる。但し、吐出異常の場合と異なり、ドットと仮想区画領域Ａの境界との位置関係やズレの方向が考慮されて禁則ドットか否かの判定がなされるので、ズレの方向が逆の場合には禁則ドットとは判定されない。また、他の走査において、他の仮想区画領域Ａの中央寄りの区画にこのノズルｎ２３が割り当てられるような場合にも、対応するドットが禁則ドットと判定されることはない。
【００６１】
このように、第２のドットパターンの生成の際には、消去対象のドットとして禁則ドットが優先的に選択されることになるため、区画領域に対する液状体の配置量やパターニングの精度などに関する不具合の発生を好適に抑えることができる。これにより、高精度な液状体配置が可能となっている。
【００６２】
次のステップＳ１３では、消去されたドットの総数：Ｎｄが所定数ｂよりも大きいか否かの判定を行う。例えば、ノズルｎ３１，ｎ１２が吐出異常だとすると、ステップＳ１２ではＲ３列、Ｒ４列に係るドットが禁則ドットと判定されてＮｄ＝８となるが、このようにＮｄが所定数ｂ（６）より大きくなる場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ１４において警告の表示と共に処理が中断される。すなわち、この警告は、禁則ドットを消去した場合に規定どおりに第２のドットパターンを生成することができないというエラーメッセージに対応するものである。
【００６３】
ステップＳ１３においてＮｄが所定数ｂ以下であると判定された場合（Ｎｏ）、次のステップＳ１５においてＮｄが所定数ｂに達しているか否かの判定を行う。ここで、Ｎｄが所定数ｂに達していない場合（Ｎｏ）には、次のステップＳ１６においてさらにドットの消去を行う。このステップＳ１６において消去されるドット（消去ドット）は、例えば、残されているドットの中からランダムに選択されるようになっている。あるいは、仮想区画領域Ａ内における相対的な位置関係や吐出に係る走査順序などに鑑みた優先条件に基づいて、消去ドットの選択を行うようにすることも可能である。
【００６４】
ステップＳ１６でドットを消去したら、再びステップＳ１５においてＮｄが所定数ｂに達しているか否かの判定を行う。これにより、Ｎｄが所定数ｂに達するまでドットの消去（ステップＳ１６）が連続して行われることになり、Ｎｄが所定数ｂに達したところで（Ｙｅｓ）、一連の処理が終了する。
【００６５】
例えば、図１３（ａ）は、図９に示すテンプレートに基づいて、２４個のドットのうち、ノズルｎ１２に対応する４つの禁則ドットとランダムに選択された２つのドットとの合計６つのドットが消去され、仮想区画領域Ａ内に１８個のドットが設定された例を示している。また、１３（ｂ）は、２４個のドットのうち、ノズルｎ１２に対応する４つの禁則ドットとランダムに選択された１つのドットとの合計５つのドットが消去され、仮想区画領域Ｂ内に１９個のドットが設定された例を示している。図１３（ｂ）では図１３（ａ）に比べて、１個のドットが増やされている。
【００６６】
このように、増やすべきドット数は、予め設定したテンプレートに基づいて設定すればよい。
また、仮想区画領域Ａについてのみテンプレートを使用し、仮想区画領域Ｂについては、仮想区画領域Ａを基準として、増やすべきドット数をノズル使用率と吐出量の相関から求めてもよい。
【００６７】
上述したステップＳ１１〜Ｓ１６の処理は、複数ある仮想区画領域Ａ、Ｂのそれぞれについて実行され、これにより第２のドットパターンが完成する。ここで、所定数ｂを設定する際（ステップＳ１１）に参照されるテンプレート（図９）は、一つの個体領域８（図８参照）内における区画領域６の配列単位で構成されており、複数ある個体領域８について同一のテンプレートを用いて所定数ｂの設定が行われる。これは、個体領域８毎に液状体の配置量の設定条件に差が生じないように配慮したものである。
【００６８】
尚、第２のドットパターンは、Ｒ，Ｇ，Ｂの色毎に生成されるが、この際に参照されるテンプレートは、色毎に同じものとすることも異なるものとすることも可能である。
【００６９】
＜区画領域６への液状体の吐出量を調整する場合＞
次に、端部の領域Ｐ１、Ｐ１１に位置する区画領域６への液状体の吐出量を、端部以外の領域Ｐ２〜Ｐ１０に位置する区画領域６への液状体の吐出量よりも相対的に多くしてもよい。より具体的には、端部以外の領域Ｐ２〜Ｐ１０の各区画領域６に対する一滴当たりの吐出量をｎリットルとした場合に、端部の領域Ｐ１〜Ｐ１１の各区画領域６に対する一滴当たりの吐出量を（ｎ＋ｑ）リットルとすればよい。また、各区画領域６の対する液滴の吐出数をｍ回とした場合、すべての吐出数において一滴当たりの吐出量を（ｎ＋ｑ）リットルにする必要はなく、ヘッドのＤｕｔｙと吐出量との相関関係に基づいて、一部の吐出回においては（ｎ＋ｑ）リットルとし、残りの吐出回においてはｎリットルとしてもよい。
【００７０】
一滴当たりの吐出量の調整は、ノズルによる吐出動作を制御する駆動信号を調整すればよい。例えば、駆動信号の電圧と吐出量とは相関関係にあるので、吐出量を増やすには駆動信号の電圧を高めればよい。
より具体的に説明すると、図１４〜図１５には、圧電素子ＰＺに印加する駆動信号のプロファイルとノズルＮから吐出される液状体の吐出量との関係を示している。図１４（ａ）は待機状態（中間電位ＶＭ）、図１４（ｂ）は充電状態（高電位ＶＨ）、図１４（ｃ）は放電状態（低電位ＶＬ）のキャビティ２４の様子をそれぞれ示している。また、図１４（ｄ）は圧電素子ＰＺに印加する駆動信号の波形を示している。図１５は、駆動波形と液滴吐出量との関係を示している。更に、図１６及び図１７には、待機状態の電位ＶＭを変えたときのメニスカスの挙動を示す模式図を示している。
【００７１】
なお、図１４〜図１７において、符号ＶＭは待機状態の電位（中間電位）、ＶＨは充電状態の電位、ＶＬは放電状態の電位をそれぞれ示している。駆動電圧は、高電位ＶＨと低電位ＶＬとの電位差によって規定される。また、符号ｔ１は待機状態から充電状態までの時間（駆動電圧の立ち上がり時間）、符号ｔ２は充電状態を保持する時間（駆動電圧の保持時間）、符号ｔ３は充電状態から放電状態までの時間（駆動電圧の立ち下がり時間）をそれぞれ示している。
【００７２】
液状体の吐出量は、駆動波形によって変化する。駆動波形による吐出量の変化は、ノズルＮ近傍のメニスカス（液状体の液面）の挙動に起因している。例えば、図１４に示すように、ヘッド１１、１２の吐出動作を、待機状態、充電状態、放電状態の３つの状態で説明する。この場合、待機状態から充電状態までの期間ｔ１は、ノズルＮに隣接するキャビティ２４の容積が増大し、液状体がキャビティ２４内に供給される。充電状態から放電状態までの期間ｔ３は、キャビティ２４の容積が減少し、液状体がノズルＮを介して外部に吐出される。
【００７３】
待機状態から充電状態までの期間ｔ１では、キャビティ２４の容積の増大によって、メニスカスの位置もキャビティ２４側に移動するが、その移動量は、立ち上がり時間ｔ１が短いほど大きい。立ち上がり時間ｔ１が短いほど、勢い良くメニスカスが引き込まれるからである。そのため、メニスカスをキャビティ２４側に大きく移動させ、そのまま素早く吐出動作に移れば、液状体の吐出量はメニスカスが引き込まれた分だけ少なくなる。逆に、立ち上がり時間ｔ１を長くし、キャビティ２４側へのメニスカスの移動量小さくした場合には、メニスカスの引き込み量が少ない分だけ液状体の吐出量は多くなる。図１４（ａ）は、このような立ち上がり時間ｔ１と吐出量ＩＷとの関係を示している。
【００７４】
待機状態の電位ＶＭ（中間電位）は、メニスカスの移動量に影響する。例えば、図１６に示すように、待機状態の電位ＶＭを充電状態の電位ＶＨに近づけ、待機状態と充填状態との電位差ＶＨＭを小さくした場合には、立ち上がり時間ｔ１を短くしてもメニスカスの移動は殆ど生じない。そのため、素早く吐出動作に移っても、液状体Ｌの吐出量は殆ど変化しない。一方、図１７に示すように、待機状態の電位ＶＭを放電状態の電位ＶＬに近づけ、待機状態と充電状態との電位差ＶＨＭを大きくした場合には、メニスカスの移動量が大きくなるため、素早く吐出動作に移ると、メニスカスが引き込まれた分だけ吐出量は少なくなる。図１５（ｂ）は、このような中間電位ＶＭと吐出量ＩＷとの関係を示している。
【００７５】
キャビティ２４側に引き込まれたメニスカスは、キャビティ２４の容量変動が終了すると、元の位置（待機状態の位置）に戻ろうとする。そのため、充電状態においては、メニスカスは元の位置を基準として振動する。そのため、メニスカスがキャビティ２４側に振動したタイミングで吐出動作に移ると、メニスカスが引き込まれている分だけ吐出量は少なくなる。逆に、メニスカスがキャビティ２４とは反対側に振動しているタイミングで吐出動作に移ると、メニスカスが外部に大きく張り出している分だけ吐出量は多くなる。どのタイミングで吐出が行われるかは、充電状態の保持時間ｔ２によって変化する。図１５（ｃ）に示すように、保持時間ｔ２を横軸にとり、吐出量ＩＷを縦軸にとると、吐出量ＩＷは保持時間ｔ２の増大に伴って増減を繰り返す周期的な変動を示す。したがって、この変動曲線に基づいて保持時間ｔ２を制御することで、液状体の吐出量ＩＷを調節することができる。
【００７６】
一方、立ち下がり期間ｔ３は、液状体をノズルＮから外部に押し出すときの加圧力に影響する。立ち下がり時間ｔ３が短い場合には、加圧力は大きくなり、立ち下がり時間ｔ３が長い場合には、加圧力は小さくなる。加圧力が大きい場合には、液状体は勢い良くノズルＮから飛び出すため、その分吐出量は多くなる。逆に加圧力が小さい場合には、液状体はゆっくり押し出されるため、その分吐出量は少なくなる。図１５（ｄ）は、このような立ち下がり時間ｔ３と吐出量ＩＷとの関係を示している。
【００７７】
以上のように、メニスカスの挙動による吐出量の変動を積極的に利用し、駆動信号を制御することで液状体の吐出量を調節できる。例えば、液滴の吐出量が適正量よりも少ない場合には、駆動電圧の立ち上がり時間ｔ１、保持時間ｔ２、立ち下がり時間ｔ３、又は中間電位ＶＭのいずれかを制御して、吐出量を増大させる。逆に、液滴の吐出量が適正量よりも多い場合には、駆動電圧の立ち上がり時間ｔ１、保持時間ｔ２、立ち下がり時間ｔ３、又は中間電位ＶＭのいずれかを制御して、吐出量を減少させる。これにより、ノズルＮの吐出量を調整することができる。
【００７８】
以上のように、本実施形態によれば、ノズル使用率に応じて液状体の配置量を調整することで、基板Ｐの端部Ｐ１、Ｐ１１における液状体の配置量と端部以外Ｐ２〜Ｐ１０における液状体の配置量とを、ほぼ同量にすることができ、これにより基板Ｐ全体の各所定領域における液状体の配置量の均等化が図られる。これにより、カラーフィルタの着色部の膜厚をカラーフィルタ全体において均等にすることができ、色ムラのないカラーフィルタを製造できる。
【００７９】
また、本実施形態では、ヘッドの副走査方向に沿う端部Ｐ１、Ｐ１１においてヘッドのノズル使用率が小さくなる場合に、その端部Ｐ１１、Ｐ１２に位置する区画領域６への液状体の配置量を、端部以外Ｐ２〜Ｐ１０に位置する区画領域６への液状体の配置量より多くすることで、基板全体の各所定領域における液状体の配置量の均等化が図られる。これにより、カラーフィルタの着色部の膜厚をカラーフィルタ全体において均等にすることができ、色ムラのないカラーフィルタを製造できる。
更にまた、本実施形態では、区画領域６がバンクにより区画されているので、バンクによって区画領域６外への液状体のはみ出しを好適に防ぐことができる。
【００８０】
（第２実施形態）
次に、図１８を参照して、本発明の第２実施形態について、先の実施形態との相違点を中心に説明する。
図１８は、有機ＥＬ表示装置の要部構成を示す断面図である。
【００８１】
図１８に示すように、有機ＥＬ表示装置１００は、素子基板１１１と、素子基板１１１上に形成された駆動回路部１１２と、駆動回路部１１２上に形成された発光素子部１１３と、駆動回路部１１２および発光素子部１１３を封止するための封止基板１１４と、を備えている。封止基板１１４によって封止された封止空間１１５には、不活性ガスが充填されている。
【００８２】
発光素子部１１３は、バンク１２０で区画された複数の区画領域１１９を有しており、この区画領域１１９内には発光素子１２５が形成されている。発光素子１２５は、駆動回路部１１２の出力端子であるセグメント電極（陽極）１２１と、共通電極（陰極）１２４との間に、正孔輸送層１２２、有機ＥＬ材料層１２３が積層されて構成されている。また、バンク１２０と駆動回路部１１２との間には、階調要素間の干渉を防ぐための遮光膜１２６が、金属クロムやクロム酸化物等で形成されている。
【００８３】
正孔輸送層１２２は、有機ＥＬ材料層１２３に正孔を注入するための機能層であり、ポリチオフェン誘導体のドーピング体（ＰＥＤＯＴ）などの高分子導電体で形成されている。有機ＥＬ材料層１２３は、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の有機ＥＬ材料、例えば、ポリフルオレン誘導体、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体などで形成されている。正孔輸送層１２２、有機ＥＬ材料層１２３は、第１実施形態で説明した液状体配置方法を用い、所定領域としての区画領域１１９に対応する機能性材料（ＰＥＤＯＴ／有機ＥＬ材料）を含む液状体を配置して製造されたものである。
【００８４】
本発明は上述の実施形態に限定されない。
例えば、上述の液状体配置方法を用いた別の例として、例えば、プラズマディスプレイ装置における蛍光膜の形成、あるいは、電気回路における導電配線や抵抗素子の形成などが挙げられる。
また、実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略したり、図示しない他の構成と組み合わせたりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】カラーフィルタの構成を示す平面図である。
【図２】カラーフィルタの構造を示す断面図である。
【図３】液状体吐出装置の要部構成を示す斜視図である。
【図４】ヘッドユニットにおけるヘッドの配置構成を示す平面図である。
【図５】吐出ヘッドの構成を示す模式図であって、（ａ）は吐出ヘッドの部分斜視図であり、（ｂ）は吐出ヘッドの１ノズル部分の部分断面図である。
【図６】液状体吐出装置の電気的構成を示す図である。
【図７】ドットパターンとノズルの位置との関係を示す図である。
【図８】液状体配置を行う際の基板の状態を示す平面図である。
【図９】本発明の液状体配置方法を説明する説明図であって、基板と吐出ヘッドとの関係を示す平面模式図である。
【図１０】カラーフィルタにおける着色部の形成工程を示すフローチャートである。
【図１１】仮想区画領域に対する第１のドットパターンの配置状態を示す平面模式図である。
【図１２】第２のドットパターン生成に係る処理を示すフローチャートである。
【図１３】第２のドットパターンの配置状態を示す図であって、（ａ）は基板の端部の所定領域に対応する仮想区画領域への第２のドットパターンの配置状態を示す平面模式図であり、（ｂ）は基板の端部以外の所定領域に対応する仮想区画領域への第２のドットパターンの配置状態を示す平面模式図である。
【図１４】駆動波形と液滴吐出量との関係を説明する説明図である。
【図１５】駆動波形と液滴吐出量との関係を説明する説明図である。
【図１６】中間電位と液滴吐出量との関係を説明する説明図である。
【図１７】中間電位と液滴吐出量との関係を説明する説明図である。
【図１８】有機ＥＬ表示装置の要部構成を示す断面模式図である。
【図１９】従来の液状体配置方法を説明する説明図である。
【図２０】吐出ヘッドにおける各ノズルのノズルデューティ毎の吐出量を示すグラフである。
【図２１】ノズルデューティ毎の駆動信号の波形を示すグラフである。
【符号の説明】
【００８６】
１…カラーフィルタ、２…着色部、４，Ｐ…基板、５…バンク、６，１１９…区画領域（所定領域）、１１，１２…ヘッド（吐出ヘッド）、１２５…発光素子、Ｎ…ノズル、Ｐ１，Ｐ１１…基板の端部の領域（基板の端部）、Ｐ２〜Ｐ１０…基板の端部以外の領域（基板の端部以外）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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