(57)【要約】【課題】より正確な、搬送位置ティーチングや基板搬送ロボット、及び処理室内の把持装置の水平確認、調整、及び基板搬送ロボット上に載置された基板が滑り出す基板搬送ロボットの動作加速度測定を、効率的に行うことができる設置・搬送情報教示治具及び教示方法を提供する。【解決手段】処理対象の設置・搬送情報教示治具であって、加速度検出器と、該加速度検出器を支持する支持板と、該加速度検出器に加わる重力加速度又は動作加速度を電気信号に変換して通信する通信手段と、該通信手段から通信される電気信号を処理し、得られる該設置・搬送情報を表示、出力する制御手段とを含む設置・搬送情報教示治具及びそれを用いる設置・搬送情報教示方法である。【選択図】図１
2009012107.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の処理対象を把持するための把持手段と、
該把持手段に該処理対象を搬送するための搬送手段と、
該搬送手段が該把持手段に該処理対象を搬送するときの動作を制御するための搬送動作制御手段とを有する処理装置に対し、該処理対象の設置・搬送情報を取得、教示するための設置・搬送情報教示治具であって、
加速度検出器と、該加速度検出器を支持する支持板と、該加速度検出器に加わる重力加速度又は動作加速度を電気信号に変換して通信する通信手段と、該通信手段から通信される電気信号を処理し、得られる該設置・搬送情報を表示、出力する制御手段とを含むことを特徴とする、設置・搬送情報教示治具。
【請求項２】
前記加速度検出器は３軸方向それぞれの加速度を検出でき、それを２個以上有することを特徴とする、請求項１に記載の設置・搬送情報教示治具。
【請求項３】
前記支持板は、前記板状の処理対象を模擬した形状、寸法、材質を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の設置・搬送情報教示治具。
【請求項４】
前記把持手段及び搬送手段が密閉された室内に設置されていることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一に記載の設置・搬送情報教示治具。
【請求項５】
加速度検出器と、該加速度検出器を支持する支持板と、該加速度検出器に加わる重力加速度又は動作加速度を電気信号に変換して通信する通信手段と、該通信手段から通信される電気信号を処理し、得られる設置・搬送情報を表示、出力する制御手段とを含む設置・搬送情報教示治具を、搬送手段によって回転機構を有する把持手段に搬送、把持、回転させることにより、処理対象の把持位置ずれ量を取得、教示することを特徴とする、設置・搬送情報教示方法。
【請求項６】
加速度検出器と、該加速度検出器を支持する支持板と、該加速度検出器に加わる重力加速度又は動作加速度を電気信号に変換して通信する通信手段と、該通信手段から通信される電気信号を処理し、得られる設置・搬送情報を表示、出力する制御手段とを含む設置・搬送情報教示治具を、搬送手段又は把持手段に把持させることにより、該搬送手段又は該把持手段の水平度を取得、教示することを特徴とする、設置・搬送情報教示方法。
【請求項７】
加速度検出器と、該加速度検出器を支持する支持板と、該加速度検出器に加わる重力加速度又は動作加速度を電気信号に変換して通信する通信手段と、該通信手段から通信される電気信号を処理し、得られる設置・搬送情報を表示、出力する制御手段とを含む設置・搬送情報教示治具を、搬送手段で搬送させることにより、処理対象の滑りの有無を取得、教示することを特徴とする、設置・搬送情報教示方法。
【請求項８】
前記把持手段及び搬送手段が密閉された室内に設置されていることを特徴とする、請求項５から７のいずれか一に記載の設置・搬送情報教示方法。
【請求項９】
板状の処理対象を把持するための把持手段と、
該把持手段に該処理対象を搬送するための搬送手段と、
該搬送手段が該把持手段に該処理対象を搬送するときの動作を制御するための搬送動作制御手段とを有する処理装置の該搬送動作制御手段に、
加速度検出器と、該加速度検出器を支持する支持板と、該加速度検出器に加わる重力加速度又は動作加速度を電気信号に変換して通信する通信手段と、該通信手段から通信される電気信号を処理し、得られる設置・搬送情報を表示、出力する制御手段とを含む設置・搬送情報教示治具によって得られる該設置・搬送情報を教示することを特徴とする、ティーチング方法。
【請求項１０】
前記把持手段及び搬送手段が密閉された室内に設置されていることを特徴とする、請求項９に記載のティーチング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板を処理するための基板処理装置における、設置・搬送情報教示治具と設置・搬送情報教示方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、半導体ウェハなどの基板を1枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置では、その処理の内容に適した状態で基板を把持するための基板把持装置と、この基板把持装置に対して基板を搬送するための基板搬送ロボットが備えられている。基板に対する処理は基板搬送ロボットから基板把持装置に基板が受け渡されて、基板把持装置に基板が把持された状態で行われる。
【０００３】
基板搬送ロボットには、受け渡し時に基板把持装置から基板が脱落したり、基板が正しい把持位置からずれた状態で基板把持装置に把持されて、処理中に基板把持装置から基板が脱落したりすることのないよう、基板把持装置との基板の受け渡し位置に基板を高精度で搬送することが要求される。基板が正しい把持位置からずれた状態で把持されたまま、基板への処理が行われた場合、その基板に対する処理液の供給むらや加熱、冷却むらなどの処理むらを生じるおそれがある。
【０００４】
また、基板搬送ロボットに把持された基板は水平であることが望ましい。なぜならば、基板が水平でなく、傾いた状態で把持されて搬送された場合、基板の搬送経路上にある他の構造物に基板が接触して、基板の破損、基板への異物付着などの問題が生じるおそれがあるからである。
【０００５】
また、基板処理室内に設置された基板把持装置に把持された基板においても水平であることが望ましい。なぜならば、基板が水平でなく、傾いた状態で把持されて処理された場合、その基板に対する処理液の供給むらや加熱、冷却むらなどの処理むらを生じるおそれがあるからである。
【０００６】
また、基板を固定せず、載置しただけの状態で基板を搬送する基板搬送ロボットでは、基板搬送ロボット上で基板が滑る事を防ぐ必要がある。なぜならば、基板搬送ロボット上で基板が滑った場合、基板の搬送位置ずれが発生し、その基板に対する加熱、冷却むらなどの処理むらや、基板への異物付着などの問題が生じる恐れがあるからである。
【０００７】
基板搬送ロボット及び基板把持装置の配置は設計によって決められているため、それぞれを設計通りに組み付ける事ができれば、その設計上の基板搬送ロボットと基板把持装置との相対的な位置関係に基づいて、基板を問題なく受け渡すことができる位置に基板を搬送することができる筈である。しかし、基板搬送ロボット及び基板把持装置の組み付けには誤差が生じるため、設計上の基板搬送ロボット及び基板把持装置の相対的な位置関係と実際の基板搬送ロボット及び基板把持装置の相対的な位置関係との間にはずれが生じる。そのため、基板把持装置及び基板搬送ロボットを組み付けた後には、基板搬送ロボットの動作を制御する制御装置に対して、そのずれ量を教示するティーチングが行われる。
【０００８】
また、同様に基板搬送ロボットの水平及び基板処理室内の基板把持装置の水平も、設計通りに組み付ける事が出来れば、基板が水平になる筈である。しかし、基板搬送ロボット及び基板処理室内の基板把持装置の組み付けには誤差が生じるため、組み付けた後に、水平調整が行われる。
【０００９】
また、基板を固定せず、載置しただけの状態で基板を搬送する基板搬送ロボットでは、基板搬送ロボットの動作、停止時の動作加速度を、基板搬送ロボット上に載せられた基板が、慣性によって滑らないような値に設定しなければならない。
【００１０】
従来、このようなティーチングはオペレーターの手作業によって行われることが一般的であった。第一の従来技術として、図５に、基板把持装置と、従来の設置・搬送情報教示治具を使用した基板の搬送位置を調整する方法の一例を示した。（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図（一部断面図）である。
【００１１】
この方法の場合、オペレーターは基板搬送ロボット（図示せず）のハンドを少しずつ動かしながら、目視によって、そのハンドに把持されたセンター指標付きガラスウェハ４０の中心と基板把持装置であるスピンモーター２１の回転中心との合わせ込みを行う。そして、基板搬送ロボットのハンドに把持されたセンター指標付きガラスウェハ４０の中心と基板把持装置であるスピンモーター２１の回転中心が合致した位置の基板搬送ロボットのハンドの位置座標を基板搬送ロボットの制御情報として基板搬送ロボットの制御装置に入力する。
【００１２】
なお、図面参照符号は、後述の実施形態における構成要素などと対応している。以下の文中に記載される符号においても同様である。
【００１３】
また、第二の従来技術として、特許文献１があり、図６に、その方法の一例を示した。（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図（一部断面図）である。ここでは、処理室内にＣＣＤカメラ５１を収容し、このＣＣＤカメラ５１によって得られる画像から、基板把持装置であるスピンモーター２１の中心を求め、次に基板搬送ロボットによって搬送された基板３０をＣＣＤカメラ５１によって撮影し、同様に基板３０の中心を求め、スピンモーター２１の中心と基板３０の中心との位置ずれ量を教示情報とする方法が記載されている。
【００１４】
また、図４に、基板搬送ロボットの水平を調整する従来方法の一例を示した。（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図である。この方法の場合、基板搬送ロボット１０に基板３０を把持させ、その上に水準器３１を載置し、水準器３１の気泡を見ながら、水準調整を行うものであるが、基板３０を把持せず、基板搬送ロボット１０の任意の基準位置を決め、水準器３１を使用して、基準位置の水平を調整する場合もある。
【００１５】
また、基板を基板搬送ロボット上に載置しただけの状態で搬送した時、基板搬送ロボット上で基板が滑ったか否かは、目視で判断されることが多く、判断が難しい事から、基板搬送ロボットの動作加速度は、実際に基板が滑り出す動作加速度に対して、十分に余裕を持たせた値に設定される。
【００１６】
【特許文献１】特開２００６−１４０３５０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
以下の分析は、本発明によって与えられる。上記、第一の従来技術に示すようなオペレーターの手作業によるティーチングは、目視での位置合わせが非常に面倒で手間のかかる作業であり、また、オペレーターの主観によって受け渡し位置が決められるために、オペレーターの経験や技術力によって搬送位置精度に差が生じる。
【００１８】
上記、第二の従来技術に示すようなＣＣＤカメラを用いたティーチングでは、ティーチングを行う時だけ、処理室内へのＣＣＤカメラの取り付け、取り外しが行われる。なぜならば、基板の処理に使用されるフッ酸、アンモニア過酸化水素水、純水、炭酸水などの薬液にＣＣＤカメラがさらされた場合、レンズの一般的なコーティング膜の損傷、ＣＣＤカメラの腐食などの問題が発生する為である。このため、ＣＣＤカメラの脱着のために、ティーチング作業時間が長くなる。
【００１９】
また、図４に示すような基板搬送ロボット及び基板処理室内の基板把持装置の水平調整は、水準器の向きを変え、水準器の気泡の位置から、Ｘ方向、Y方向の傾き方向を読み取り、傾き修正を行う作業であり、オペレーターの主観によって傾きが決められるため、オペレーターの経験や技術力によって傾き量に差が生じる。加えて、真空中にある基板搬送ロボットや基板把持装置の傾き測定を行う場合、大気状態に戻す必要があり、測定及び測定後の復旧にかかる作業時間が長くなる。
【００２０】
また、基板を基板搬送ロボット上に載置しただけで搬送する基板搬送ロボットにおいて、基板搬送ロボットの動作、停止時の動作加速度を、基板搬送ロボット上に載置された基板が滑り出す動作加速度に対して、十分に余裕を持たせた値に設定した場合、基板の搬送にかかる時間が長くなり、基板処理装置の処理能力を上げることが出来ない。
【００２１】
本発明の課題は、より正確な搬送位置ティーチングや、基板搬送ロボット及び処理室内の基板把持装置の水平確認、調整、及び基板搬送ロボット上に載置された基板が滑り出す基板搬送ロボットの動作加速度測定を、効率的に行うことができる設置・搬送情報教示治具及び教示方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明の第１の視点に係る設置・搬送情報教示治具は、板状の処理対象を把持するための把持手段と、該把持手段に該処理対象を搬送するための搬送手段と、該搬送手段が該把持手段に該処理対象を搬送するときの動作を制御するための搬送動作制御手段とを有する処理装置に対し、処理対象の設置・搬送情報を取得、教示するための設置・搬送情報教示治具であって、加速度検出器と、該加速度検出器を支持する支持板と、該加速度検出器に加わる重力加速度又は動作加速度を電気信号に変換して通信する通信手段と、該通信手段から通信される電気信号を処理し、得られる該設置・搬送情報を表示、出力する制御手段とを含むことを特徴とする。
【００２３】
本発明に係る設置・搬送情報教示治具は、前記加速度検出器が３軸方向それぞれの加速度を検出でき、それを２個以上有することが好ましい。
【００２４】
さらに本発明に係る設置・搬送情報教示治具は、前記支持板が、前記板状の処理対象を模擬した形状、寸法、材質を有することが好ましい。もちろん、処理対象自体を支持板として用いることが可能である。
【００２５】
さらに本発明に係る設置・搬送情報教示治具は、特に前記把持手段及び搬送手段が密閉された室内に設置されている場合に好ましく適用できる。
【００２６】
また、本発明の第２の視点に係る設置・搬送情報教示方法は、加速度検出器と、該加速度検出器を支持する支持板と、該加速度検出器に加わる重力加速度又は動作加速度を電気信号に変換して通信する通信手段と、該通信手段から通信される電気信号を処理し、得られる設置・搬送情報を表示、出力する制御手段とを含む設置・搬送情報教示治具を、搬送手段によって回転機構を有する把持手段に搬送、把持、回転させることにより、処理対象の把持位置ずれ量を取得、教示することを特徴とする。なお、ここでいう「搬送手段」、「把持手段」及び「処理対象」とは、上記段落００２１に記載したような処理装置が有する搬送手段及び把持手段と、その処理装置が処理する処理対象を意味する。
【００２７】
また、本発明の第３の視点に係る設置・搬送情報教示方法は、加速度検出器と、該加速度検出器を支持する支持板と、該加速度検出器に加わる重力加速度又は動作加速度を電気信号に変換して通信する通信手段と、該通信手段から通信される電気信号を処理し、得られる設置・搬送情報を表示、出力する制御手段とを含む設置・搬送情報教示治具を、搬送手段又は把持手段に把持させることにより、該搬送手段又は該把持手段の水平度を取得、教示することを特徴とする。なお、ここでいう「搬送手段」及び「把持手段」とは、上記段落００２１に記載したような処理装置が有する搬送手段及び把持手段を意味する。
【００２８】
また、本発明の第４の視点に係る設置・搬送情報教示方法は、加速度検出器と、該加速度検出器を支持する支持板と、該加速度検出器に加わる重力加速度又は動作加速度を電気信号に変換して通信する通信手段と、該通信手段から通信される電気信号を処理し、得られる設置・搬送情報を表示、出力する制御手段とを含む設置・搬送情報教示治具を、搬送手段で搬送させることにより、処理対象の滑りの有無を取得、教示することを特徴とする。なお、ここでいう「搬送手段」及び「処理対象」とは、上記段落００２１に記載したような処理装置が有する搬送手段と、その処理装置が処理する処理対象を意味する。
【００２９】
また、本発明に係る設置・搬送情報教示方法は、特に前記把持手段及び搬送手段が密閉された室内に設置されている場合に好ましく適用できる。
【００３０】
さらに、本発明の第５の視点に係るティーチング方法は、板状の処理対象を把持するための把持手段と、該把持手段に該処理対象を搬送するための搬送手段と、該搬送手段が該把持手段に該処理対象を搬送するときの動作を制御するための搬送動作制御手段とを有する処理装置の該搬送動作制御手段に、加速度検出器と、該加速度検出器を支持する支持板と、該加速度検出器に加わる重力加速度又は動作加速度を電気信号に変換して通信する通信手段と、該通信手段から通信される電気信号を処理し、得られる設置・搬送情報を表示、出力する制御手段とを含む設置・搬送情報教示治具によって得られる該設置・搬送情報を教示することを特徴とする。
【００３１】
また、本発明に係るティーチング方法は、特に前記把持手段及び搬送手段が密閉された室内に設置されている場合に好ましく適用できる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明の設置・搬送情報教示治具を用いた設置・搬送情報教示方法により、搬送手段及び把持手段、特に密閉された室内に設置された搬送手段及び把持手段の水平調整が、人の感覚に依存することなく、精度良く、かつ再現性良く確認・調整することができるとともに、搬送手段上での基板の滑りの有無が、精度良く確認することができ、基板の滑りが発生しない動作加速度に容易に設定できる。また、本発明のティーチング方法により、処理対象の搬送位置の確認・調整を精度良く、かつ再現性良く行うことができる。さらに、基板処理室や基板搬送室等を開放することがないため、確認後の装置復旧時間が短く、基板処理室開放による異物の進入を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
次に、本発明の典型的な実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００３４】
図１は、本発明に係る設置・搬送情報教示治具６の典型的な実施形態を示す構成図である。構成は、重力加速度及び動作加速度を検出する４個の３軸加速度センサ（４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ）、各３軸加速度センサ（４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ）を固定する支持板２、各３軸加速度センサ（４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ）の出力を制御部１へ送る通信手段（無線通信ブロック）５、無線通信ブロック５から送られた加速度情報を受信し、信号処理し、各種情報を表示、出力する制御部１からなる。
【００３５】
この治具は、板状の処理対象（本実施形態においては半導体ウェハ等の基板）の搬送手段及び把持手段を含む処理装置に対して用いられるものである。特に、半導体ウェハ等の基板を処理する、通常密閉（又は真空密閉）された室内に設置された搬送手段及び把持手段を含む処理装置に好ましく用いることができる。
【００３６】
支持板２は、３軸加速度センサを支持できるものであれば特に形状、寸法、材質等を問わないが、板状の処理対象である基板の搬送手段及び把持手段により把持されるものでなければならない。また、各手段の水平度及び搬送手段上での基板の滑りの有無を検出する必要があるため、基板の形状、寸法、材質（摩擦係数）等を模擬したものが好ましい。もちろん基板そのものを用いることが最適である。
【００３７】
４個の３軸加速度センサ（４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ）は、支持板２の中心点３で直交する２本の中心線（２点鎖線で図示）と、支持板２の中心点３を中心として、支持板２の半径より小さい任意の半径を持つ円（点線で図示）との交点に固定する。なお、図示の固定位置に限定するものではない。
【００３８】
また、使用する３軸加速度センサの数は４個と限定するものではない。例えば、搬送手段及び把持装置の水平測定や、搬送手段上での基板の滑りの有無検出は１個の３軸加速度センサで実施可能である。ただし、基板搬送位置のずれ量検出は、少なくとも２個の３軸加速度センサが必要となる。１個だと、搬送位置での回転中心と加速度センサとの距離が、支持板２の中心点と加速度センサとの距離に偶然一致する可能性があるからである。従って、２個以上の３軸加速度センサを使用することが好ましい。
【００３９】
３軸加速度センサ（４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ）は、静止時は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の３軸方向への重力加速度の大きさを電気信号に変えて出力し、移動時は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の３軸方向への動作加速度の大きさを電気信号に変えて出力する。従って、加速度センサは１軸センサよりも３軸センサのほうが好ましい。なお、Ｘ、Ｙ軸は水平面内にとり、Ｚ軸は鉛直方向にとって説明する。
【００４０】
無線通信ブロック５は、前述の３軸加速度センサ（４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ）が出力した電気信号を無線通信によって制御部１へ送信する。なお、図１では３軸加速度センサ（４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ）と無線通信ブロック５とが別々に設置されているが、加速度センサと通信手段とを一体化したものを用いても良い。
【００４１】
制御部１は、無線通信ブロック５から送られた電気信号を受信し、以下のような信号処理を行う。
【実施例】
【００４２】
（実施例１、搬送手段の傾きを調整する場合）
図２に、本発明に係る設置・搬送情報教示治具６を用いて、搬送手段（基板搬送ロボット１０）の傾きを調整する一実施例を示す。図２は基板搬送ロボット１０上に設置・搬送情報教示治具６を載置した状態を示し、（ａ）はその上面図、（ｂ）は側面図である。本実施例に係る基板搬送ロボット１０は、水平多関節型搬送ロボットであり、真空室内での半導体用基板の搬送によく用いられる。なお、搬送手段には基板を固定する把持機構を有していても、有していなくても良い。
【００４３】
設置・搬送情報教示治具６を、基板搬送ロボット１０で保持する。この時（静止状態）の４個の３軸加速度センサ（４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ）の出力は、設置・搬送情報教示治具６が水平な場合、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向への出力は０であり、Ｚ軸方向への出力（重力加速度）は、全て同じとなる。設置・搬送情報教示治具６が傾いていた場合、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向、それぞれの出力が４個の３軸加速度センサ（４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ）で同じになる。制御部は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の出力から、傾きの方向と傾き量を演算して表示する。この演算結果を基に、これらの演算結果が所望の値以下となるように手動又は自動で傾きを調整することができる。以下に説明する基板把持装置についても同様である。
【００４４】
（実施例２、回転機構を有する把持手段に対する搬送位置ずれを調整する場合）
図３に、本発明に係る設置・搬送情報教示治具６を用いて、基板搬送位置ずれを調整する一実施例を示す。本実施例においては、把持手段（基板把持装置）は、スピンモーター２１と、その先端部にあって基板を把持できる真空吸着部から構成されている。なお、把持方式は真空吸着方式に限られない。基板処理カップ２０は、例えば基板の洗浄処理を行う場合に用いられる。図３は、真空吸着部に設置・搬送情報教示治具６を把持させた状態を示し、（ａ）はその上面図、（ｂ）は側面図（一部断面図）である。
【００４５】
スピンモーター２１の先端部に設置された真空吸着部へ、基板搬送ロボット１０を用いて本発明に係る設置・搬送情報教示治具６を搬送、把持させた後、任意の回転速度でスピンモーター２１を回転させる。この時、４個の３軸加速度センサには基板の中心から外側へ向かって遠心力が加わる。スピンモーター２１の回転中心と、設置・搬送情報教示治具６の中心がずれた状態で設置・搬送情報教示治具６を把持した場合、スピンモーター２１の回転中心から４個の３軸加速度センサまでの距離に差が生じる。遠心力は、回転中心から離れるほど大きくなる為、スピンモーター２１の回転中心から遠くなる３軸加速度センサの出力が大きくなる。制御部は、上記実施例１の基板の傾きを求める場合と同様に、３軸加速度センサが出力するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向のそれぞれの動作加速度の差から、位置ずれ方向とずれ量を演算して表示する。このずれ量を教示情報として基板処理装置の搬送動作制御手段に自動又は手動で入力することにより、基板搬送ロボットの搬送位置座標の調整を行うことができる。
【００４６】
（実施例３、搬送手段で基板が滑らない加速度を確認する場合）
例えば真空吸着等により基板を固定する把持機構を持たない基板搬送ロボット１０上に、本発明に係る設置・搬送情報教示治具６を載置し、基板搬送ロボット１０を動作させる。この時、設置・搬送情報教示治具６上の３軸加速度センサは、移動方向に応じた動作加速度を出力する。制御部１では、３軸加速度センサに加わるＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の加速度の推移を電圧アナログ信号として出力する。
【００４７】
設置・搬送情報教示治具６にもっとも大きな慣性力が働くのは、基板搬送ロボット１０の動作開始、動作停止時であり、その時の設置・搬送情報教示治具６の加速度と、基板搬送ロボット１０の制御信号から計算される動作加速度の推移に相違が有るとき、それは設置・搬送情報教示治具６が滑った事を意味する。基板搬送ロボット１０の動作加速度を変化させて、設置・搬送情報教示治具６と基板搬送ロボット１０の動作加速度の推移が同一となる動作加速度を求めれば、基板搬送ロボット１０上の基板が滑らないで搬送できる最大動作加速度を知ることができ、基板の位置ずれが発生しない、安全な最高速度での基板搬送加速度を搬送動作制御手段に設定することができる。
【００４８】
（実施例４）
本発明の設置・搬送情報教示治具、方法の別の使用方法として、ウェハを持ち上げたり、ウェハを下げたりするときの動作速度の検知、適正化も可能である。搬送ロボットから、処理室内の把持装置へウェハを移す時、多くの装置では、ウェハの下からウェハを持ち上げ、搬送ロボットを退避、ウェハを下げて処理室内の把持装置上へ置くという動作をする。ウェハを持ち上げ、下げるという動作の速度が適正でない場合、ウェハを跳ね上げてしまうことがある。本発明の治具を使用することで、これも検出可能であり適正な動作を設定できる。特に、真空室内など外部から見えない場所でのウェハの受け渡し時の状態把握にこの治具は有効である。
【００４９】
以上の実施例からも理解されるように、本発明の設置・搬送情報教示治具、方法では、従来の方法に比べて簡単に、十分な精度の調整が出来るようになる。その理由は、加速度センサに加わる遠心力が測定できるからである。通常の搬送の妨げにならないように薄く、小さい加速度センサを用いるのがよい。このセンサを搬送するもの（たとえばウェハ）に付けると、通常の搬送をし、回転させるだけで位置ズレ量の測定が可能である。さらに、実施例で説明したように水平調整、滑りの検出も可能である。
【００５０】
また、加速度センサで検出した重力加速度や遠心力の電気信号は、無線で送る事が可能である。無線で送ることが出来るということは、密閉された処理室の中で加速度センサに掛かる荷重を、密閉された状態のままで知る事が出来る。真空処理室などは、一度開放すると、ウェハ処理開始状態に戻す為に長時間掛かってしまうが、本発明の治具を使用する事によって、測定を行う為に処理室を開放する必要がなくなる。
【００５１】
以上、本発明を上記実施例に即して説明したが、本発明は上記実施例の構成にのみ制限されるものでなく、本発明の範囲内で当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明に係る設置・搬送情報教示治具の実施形態を示す構成図である。
【図２】本発明に係る設置・搬送情報教示治具を用いた傾き調整の実施例である。
【図３】本発明に係る設置・搬送情報教示治具を用いた搬送位置ずれ調整の実施例である。
【図４】従来方法による傾き調整の実施例である。
【図５】従来技術による搬送位置ずれ調整の実施例である。
【図６】従来技術による搬送位置ずれ調整の実施例である。
【符号の説明】
【００５３】
１  制御部
２  支持板
３  中心点
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ  ３軸加速度センサ
５  無線通信ブロック
６  設置・搬送情報教示治具
１０  基板搬送ロボット
２０  基板処理カップ
２１  スピンモーター
３０  基板
３１  水準器
４０  センター指標付きガラスウェハ
５０  カメラステー
５１  ＣＣＤカメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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