(57)【要約】【課題】ジョイントゴム由来の成分を原因とした析出物の発生が抑えられ、良好な吐出を行うことが可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】吐出口形成部材と流路形成部材と供給口とを備えた基板と、供給路と、支持部材と、供給路形成部材と、支持部材と供給路形成部材との間に設けられ供給路の一部を形成するゴム部材と、を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、流路形成部材および吐出口形成部材のうち少なくとも一方はフッ素原子を含む物質を含有し、ゴム部材は有機物で架橋されたものであることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。【選択図】図１
2009073175.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するための吐出口を形成する吐出口形成部材と、前記吐出口と連通するインクの流路を形成する流路形成部材と、前記インクの流路へインクを供給するための供給口と、を備えた基板と、
前記供給口へインクを供給するための供給路と、
前記供給路の一部を形成し、前記基板を支持する支持部材と、
前記供給路の他の部を形成する供給路形成部材と、
前記支持部材と前記供給路形成部材との間に設けられ、前記供給路の一部を形成するゴム部材と、
を有するインクジェット記録ヘッドであって、
前記流路形成部材および吐出口形成部材のうち少なくとも一方はフッ素原子を含む物質を含有し、前記ゴム部材は有機物で架橋されたものであることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記ゴム部材は水素化ニトリルゴムを含むことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記ゴム部材は臭素化ブチルゴムを含むことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記有機物は過酸化物であることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記過酸化物はジクミルペルオキシドであることを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記過酸化物は過酸化ベンゾイルであることを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
前記流路形成部材および吐出口形成部材のうち少なくとも一方は、フッ素原子を含む硬化剤を使用してエポキシ樹脂を硬化させて得られた硬化物により形成されることを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項８】
前記硬化剤は光カチオン重合開始剤であることを特徴とする請求項７に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項９】
前記硬化剤はトリフェニルスルフォニウムヘキサフルオロアンチモネートであることを特徴とする請求項８に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項１０】
前記ゴム部材は酸化チタンを含むことを特徴とする請求項１から９の何れか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録方式等に用いられるインクジェット記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」と記載する場合がある）は、インクが吐出される複数の吐出口と、各吐出口に連通するインクの流路と、インクの流路にインクを供給するための供給口を備えた基板を有する。また、この基板のインクの流路内には、インクに吐出エネルギーを付与するエネルギー発生素子を有する。さらに基板を支持する支持部材、基板へインクを供給する供給路形成部材などを有している。この基板としては、通常はＳｉ（シリコン）製の基板が用いられる。供給路形成部材はプラスチックなどで作られる。インクの流路を形成する流路形成部材には感光性樹脂が用いられ、とりわけ光により重合可能なカチオン重合性樹脂と、光重合用の触媒が用いられている。また、この光重合用の触媒としては、光反応性等の観点から、フッ化アンチモンのヨードニウム塩やフッ化アンチモンのスルフォニウム塩、フッ化リンのスルフォニウム塩等、フッ素原子を含む光酸発生剤が用いられている。
【０００３】
特許文献１（米国特許第６５９２２０２号明細書）には、基板を支持する支持部材と供給路との間にインクの通路の一部としてゴム部材を供えた記録ヘッドが開示されている。このようなゴム部材としては、ＺｎＯやＭｇＯ等の金属酸化物により架橋された架橋ゴムが用いられ、例えば、ブチルゴムやハロゲン化ブチルゴムが用いられる。
【特許文献１】米国特許第６５９２２０２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載のような記録ヘッドにおいては、流路形成部材が光酸発生剤などに起因するフッ素原子を含み、ゴム部材に金属が含まれる場合が想定される。このような場合においては、ゴム部材中に含まれる架橋剤成分である金属が、微量ではあるが、インク中に溶け出すことが想定される。これらの金属は流路形成部材から供給されるフッ素と化合して析出物を生成することが考えられる。このような析出物は時として吐出口に詰まったり、吐出口近傍に滞在したりするなどして、吐出不良の原因となることが懸念される。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものである。すなわち、本発明では、流路形成部材がフッ素原子を含んでいる場合において、吐出がより良好に行えるインクジェット記録ヘッドの形態を提供することを目的とする。具体的にはゴム部材由来の成分を原因とした析出物が抑制されたインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明の一実施形態は、
インクを吐出するための吐出口を形成する吐出口形成部材と、前記吐出口と連通するインクの流路を形成する流路形成部材と、前記インクの流路へインクを供給するための供給口と、を備えた基板と、
前記供給口へインクを供給するための供給路と、
前記供給路の一部を形成し、前記基板を支持する支持部材と、
前記供給路の他の部を形成する供給路形成部材と、
前記支持部材と前記供給路形成部材との間に設けられ、前記供給路の一部を形成するゴム部材と、
を有するインクジェット記録ヘッドであって、
前記流路形成部材および吐出口形成部材のうち少なくとも一方はフッ素原子を含む物質を含有し、前記ゴム部材は有機物で架橋されたものであることを特徴とするインクジェット記録ヘッドに関する。
【発明の効果】
【０００７】
上記のインクジェット記録ヘッドは、ゴム部材由来の成分を原因とした析出物の発生が抑えられているため、良好な吐出を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
なお、以下の説明では、同一の機能を有する構成には図面中、同一の番号を付与し、その説明を省略する場合がある。
【０００９】
なお、インクジェット記録ヘッド（記録ヘッド）は、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に搭載可能である。そして、この記録ヘッドを用いることによって、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど種々の記録媒体に記録を行うことができる。なお、本明細書内で用いられる「記録」とは、文字や図形などの意味を持つ画像を記録媒体に対して付与することだけでなく、パターンなどの意味を持たない画像を付与することも意味することとする。
【００１０】
さらに、「インク」とは、広く解釈されるべきものであり、記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成、記録媒体の加工、或いはインクまたは記録媒体の処理に供される液体を言うものとする。ここで、インクまたは記録媒体の処理としては、例えば、記録媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化による定着性の向上や、記録品位ないし発色性の向上、画像耐久性の向上などのことを言う。
【００１１】
図１は、本発明のインクジェット記録ヘッドの一例を示した模式的斜視図である。この図に示す形態の記録ヘッドは記録ユニット２としてシアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の３色のカラー用記録素子基板４と、ブラック（Ｂｋ）用記録素子基板５を有する記録ヘッド部を有している。そして後述する記録装置に記録ヘッドを装着した際に記録装置の電気接続部と電気的に接続される電気接続部６と、この電気接続部６と上記２つの記録ヘッド部のコンタクトパッド（不図示）を電気的に繋ぐフレキシブル配線板７とを備えている。
【００１２】
一方、インク供給ユニット３は、独立した４色（Ｃ、Ｍ、Ｙ、Ｂｋ）のインクタンク９を保持するホルダー部８と、各色のインクタンク９から対応する吐出口列へインクを供給するための供給路を備えている。
【００１３】
図２は、図１に示すインクジェット記録ヘッドの一部を分解した図である。記録ヘッドは記録ユニット２と、ジョイントゴム４０と、供給路形成部材４２と、インク供給ユニット３とを組み付けてなる。供給路７０（図３）はインク供給ユニット３のインク供給部４１と供給路形成部材４２とを超音波などで溶着し、さらにジョイントゴム４０と支持部材４５とが接合されて形成されている。
【００１４】
この供給路７０は、インク収容部材からインクの流路までのインクの通路の一部を構成する。ジョイントゴム４０は記録ヘッドに使用されるゴム部材の一つであり、後述するように供給路形成部材４２と支持部材４５との間に設けられている。記録ユニット２とインク供給ユニット３は供給路形成部材４２とジョイントゴム４０を挟み込む形でインク供給部４１にあるねじボス４４にビス４３を固定することで結合されている。このことでインク供給部４１と供給路形成部材４２との接合部にはがれる方向の応力がかかることを抑制し、ビス４３を使用することでリサイクル等の為の分解が容易となっている。この際、同時に記録ユニット２はインク供給ユニット３のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の基準位置に対して正確に位置決めがされ、固定される。また、記録素子基板４、５はそれぞれ支持部材４５に固定されている。
【００１５】
図３は、図１においてＡ−Ａ’を通り記録素子基板に垂直の方向に沿った断面における模式的断面図である。インクタンクからインク供給部４１を経由し、供給路形成部材４２とジョイントゴム４０と支持部材４５により設けられた供給路７０を通り、記録素子基板５が有する吐出口まで連通してインクが流れるようになっている。なお、供給路形成部材４２はインクタンクと一体のものでもかまわない。
【００１６】
記録素子基板５は、基板１０と、基板上に設けられインクの流路２０と吐出口３０とを形成する吐出口形成部材５０を有している。図示した例においては、インクの流路２０と吐出口３０は一体の部材で形成されているが、インクの流路２０を形成する流路形成部材は、吐出口形成部材３０とは別の部材により形成されていてもよい。基板１０は、インクの流路を構成する部材の一部となるものである。基板１０は、インクの流路や吐出口を形成する部材及びノズルプレートの支持体として機能し得るものであれば、その形状、材質等は特に限定されない。
【００１７】
この基板１０上には、吐出口３０に対応させて、電気熱変換素子又は圧電素子等の液体吐出エネルギー発生素子が所望の個数、配置される（不図示）。これらの液体吐出エネルギー発生素子によって、インクを吐出させるための吐出エネルギーが与えられる。そして、吐出口からインクが吐出されて記録が行われる。また、図３では、インク供給のための供給口６０が基板１０に設けられており、この供給口６０を介してインク供給部からインクの流路内にインクを供給できるようになっている。この供給口６０は、基板１に穴を形成できる手段であれば、何れの方法も使用して形成することもできる。例えば、ドリル等の機械的手段によって形成しても、レーザー等の光エネルギーにより形成しても構わない。また、基板１０にレジストパターン等を形成して、これをマスクに用いて化学的に基板のエッチングを行っても良い。また、基板１０上に吐出口形成部材、流路形成部材を形成する方法においては特に制約がない。
【００１８】
次いで、本発明におけるインクジェット記録ヘッドで用いられる各部材の材料について説明する。
【００１９】
（ジョイントゴム）
本発明に適用可能なゴム部材の一例としてのジョイントゴムとしては、架橋剤により架橋が可能なものであれば特に限定されるわけではないが、主鎖にある程度の不飽和結合を有するゴムを用いることが好ましい。具体的には、ゴムとして、ブチルゴム、臭素化ブチルゴム、塩素化ブチルゴム、ニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、及びＥＰＤＭゴムからなる群から選択された少なくとも一種のゴムを用いることが好ましい。これらのゴムの中でも特に、水素化ニトリルゴムが好適である。これらのゴムを用いることにより、耐インク性及び基板とインク供給部の接合性に優れたシール部材とすることができる。
【００２０】
本発明で使用されるジョイントゴムは、有機物の架橋剤（有機架橋剤）と、この有機架橋剤によって架橋されたゴムを含有する。この有機架橋剤としては、有機多価アミン化合物、変性フェノール樹脂、有機過酸化物などを挙げることができる。ゴム中への有機架橋剤の添加量は、利用する架橋剤の種類、分子量、有効官能基数に応じた原料ゴムの架橋効率にもよるが、原料ゴム１００質量部に対して、０．５質量部以上１０．０質量部以下の範囲に選択することが好ましい。
【００２１】
また、これらの中でも有機架橋剤としては、有機過酸化物を用いることが好ましい。この有機過酸化物（パーオキサイド架橋剤）としては、ゴムを架橋できる限り、特に限定されるものではない。有機過酸化物としては、過酸化ベンゾイルを用いることが好ましい。
【００２２】
また、有機過酸化物として具体的には、下記のものを使用することができる。
・ジクミルペルオキシド（ＤＣＰ）、ベンゾイルペルオキシド、１，１−ビス（ｔ−ブチルペルオキシ）３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔ−ブチルペルオキシ）シクロドデカン、
・ｔ−ブチルペルオキシベンゾエート、ジ−ｔ−ブチルペルオキシド、ａ，ａ’−ビス（ｔ−ブチルペルオキシ）ジイソプロピルベンゼン、
・２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルペルオキシ）ヘキシン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルペルオキシ）ヘキサン。
【００２３】
また、ゴムの架橋効率を高めるため、架橋助剤としてＭ−フェニレンビスマレイミド、トリアリルイソシアヌレート、トリメチロールプロパントリアクリレートなどのラジカル重合性のある多官能性モノマーを併用しても良い。
【００２４】
これらの有機架橋剤は、ゴム１００質量部に対して、０．５質量部以上、１０．０質量部以下の範囲で用いることが好ましく、１．０質量部以上、５．０質量部以下の範囲で用いることがより好ましい。有機架橋剤をこれらの使用量で使用することによって、ゴムの架橋を効果的に行わせると共に、インク中へのシール部材であるジョイントゴムの溶出をより効果的に防止することができる。
【００２５】
また、ジョイントゴム４０中に酸化チタンを含有させることが好適である。この理由は、ゴムを構成する樹脂には有機脂肪酸が配合されている場合があり、酸化チタンはこの有機脂肪酸を吸着させることができるためである。ジョイントゴム中の有機脂肪酸がインク中に溶出した場合には、例えばインク中の水などに含まれる微量な金属と脂肪酸金属塩を形成する場合がある。ここで、ジョイントゴム中に酸化チタンを含有させると脂肪酸を吸着するため、ジョイントゴム中の脂肪酸由来の析出物を抑制することができる。酸化チタンはその粒径が約１ｍｍであることが好ましい。なお、酸化チタンの必要配合量は極微量であるため、これによるゴム物性の変化はないと言える。例えば、酸化チタンの含有量は１ｗｔ％である。
【００２６】
以上のゴムを使用した場合には、インク中へのＭｇなどのイオンの溶出がなく、好適である。また、ジョイントゴム４０以外の記録ヘッドのゴム部材に用いることも好適である。
【００２７】
（支持部材）
支持部材の構成材料としては特に限定されるわけではないが、所定の機械的強度を有し、吐出口をそなえた基板への接着性に優れたものを用いるのが良い。支持部材の材料としては具体的には、ガラス、アルミナ等のセラミックス、プラスチック又は金属を挙げることができる。
【００２８】
（供給路形成部材）
供給路形成部材４２は、変性ポリフェニレンエーテル（変性ＰＰＥ）で構成されることが好ましい。上記変性ＰＰＥは、強度および耐熱性等の観点から好ましい。また、インク中への溶出物を低減するため無機フィラーを使用しないことが好ましい。さらに、成形時にはオレフィン系、パラフィン系オイルなどの２価の金属元素を有しない有機系滑剤を使用することが好ましい。これにより、金属イオンのインクへの溶出を抑えることができる。なお、無機フィラーを使用しない点を補うため、供給路形成部材４２を構成する材料は、変性ＰＰＥの含有率が５０パーセント以上の樹脂で形成されることが好ましい。
【００２９】
（機能作用）
続いて、本発明の一例における機能作用について説明する。
本発明の一例では、フッ素原子を含む光カチオン重合開始剤（触媒）により、カチオン重合性樹脂を硬化させて流路形成部材や吐出口形成部材を形成する。また、ジョイントゴムは、有機架橋剤により架橋したゴムから構成している。このため、ジョイントゴム中の成分は、流路形成部材や吐出口形成部材を形成する成分と反応して析出物を生成するといったことがない。
【００３０】
（吐出口形成部材、流路形成部材）
本発明において、吐出口形成部材、流路形成部材はカチオン重合性樹脂を用いて形成されることが好ましい。カチオン重合性樹脂は、通常の酸無水物もしくはアミンによる硬化物に比較して、高い架橋密度（高Ｔｇ）を有するため、ノズルプレートの構造材として優れた特性を示す。特に光カチオン重合性樹脂は、パターニング性にすぐれている点で好ましい。
【００３１】
光カチオン重合性樹脂としては、紫外線等の光の照射により、カチオン重合性の基がカチオン重合するものであれば特に限定されるわけではない。カチオン重合性の基としては、ビニル基、環状エーテル基などを挙げることができるが、なかでもエポキシ基、オキセタン化合物を含有する樹脂が好適に用いられる。
【００３２】
エポキシ樹脂の具体例としては、下記のものを挙げることができる。
・ビスフェノール−Ａ−ジグリシジルエーテル、ビスフェノール−Ｆ−ジグリシジルエーテル等、ビスフェノール骨格を有するモノマーまたはオリゴマーからなるビスフェノール型エポキシ樹脂、
・フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、３，４−エポキシシクロヘキセニルメチル−３’，４’−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート。
【００３３】
さらに、下記式（１）で表される、脂環型の骨格の側鎖にエポキシ基を有する樹脂も好適に用いられる。
【００３４】
【化１】
2009073175.tif 000003
【００３５】
また、下記式（２）で表される構造のように、ビスフェノールＡ骨格を有するノボラック樹脂も好適に用いられる。式中のｎは１から３の整数であるものが好適であり、特にｎ＝２のものが好ましい。
【００３６】
【化２】
2009073175.tif 000004
【００３７】
また、オキセタン化合物を含有する樹脂としては、下記のものを挙げることができる。
・フェノールノボラック型オキセタン化合物、クレゾールノボラック型オキセタン化合物、トリスフェノールメタン型オキセタン化合物、ビスフェノール型オキセタン化合物、ビフェノール型オキセタン化合物。
【００３８】
これらのカチオン重合性樹脂は、本発明の効果を損なわない範囲で、単独で、又は複数種を組み合わせて用いることができる。
【００３９】
また、カチオン重合性樹脂には、必要に応じて添加剤等を適宜、添加することができる。例えば、この添加剤としては硬化物の弾性率を下げる目的で可撓性付与剤を添加したり、基板との密着力を更に高めるためにシランカップリング剤を添加することができる。更に、光吸収性を増加させるために増感剤を加えても良い。
以上のようなカチオン重合性樹脂の硬化剤について下述する。
【００４０】
（硬化触媒）
本発明の硬化剤は、紫外線などの光の照射によってカチオン重合を開始するものであり、フッ素原子を含む物質を含有する。この硬化剤としては、反応性を高くする観点から、フッ素原子を含んだアニオンを含有する光酸発生剤を好適に用いることができる。好ましくは、この硬化剤は光カチオン重合開始剤であることが好ましい。
【００４１】
また、この光酸発生剤は、一般的には、カチオン部分とアニオン部分から構成されている。そして、紫外線などの光を照射した際には、カチオン部分が紫外線を吸収し、これをきっかけにしてアニオン部分から酸が遊離する。この酸がカチオン重合性の基に働いて、カチオン重合を効果的に行わせることができる。
【００４２】
本発明において光酸発生剤は、このアニオン部分中にフッ素原子を含み、反応性が高く、カチオン重合を効果的に行わせることが望まれる。この触媒を用いることによって連鎖移動反応を行うことができ、一旦、反応が開始されれば比較的低温、短時間で高い架橋密度で、カチオン重合性樹脂の重合、架橋硬化を行うことができる。また、インクジェット記録ヘッドの吐出口形成部材、流路形成部材に要求される高い機械的強度を得ることができる。
【００４３】
なお、このような触媒としては、従来から公知のものが使用可能である。例えば、触媒としては、ジアゾニウム、アンモニウム、ヨードニウム、スルホニウム、ホスホニウムなどの芳香族オニウム化合物の、ＢＦ4-、Ｂ（Ｃ6Ｆ5）4-、ＰＦ6-、ＡｓＦ6-、ＳｂＦ6-、ＣＦ3ＳＯ3-塩などを挙げることができる。
【００４４】
具体的には、光酸発生剤として下記式（３）に示すジフェニルヨードニウムトリフルオロメチルスルフォン酸塩等のヨードニウム塩を使用することができる。
【００４５】
【化３】
2009073175.tif 000005
【００４６】
また、下記式（４）に示すトリフェニルスルフォニウムヘキサフルオロアンチモネート等のスルフォニウム塩等を使用することもできる。
【００４７】
【化４】
2009073175.tif 000006
【００４８】
また、上記以外の光酸発生剤としては、下記のものを挙げることができる。
・Ｎ−ヒドロキシナフタルイミド−トリフルオロメタンスルフォネート、
・Ｎ−ヒドロキシフタルイミド−トリフルオロメタンスルフォネート、
・ビス（４−ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム-トリフルオロメタンスルフォネート、
・トリフェニルスルフォニウム-トリフルオロメタン-スルフォネート、
・トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルフォニウム−トリフルオロメタンスルフォネート、
・トリフェニルスルフォニウム−トリフルオロメタンスルフォネート、
・トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルフォニウム−ヘキサフルオロアンチモネート、
・トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルフォニウム−テトラフルオロアンチモネート。
【００４９】
市販されているものとしては、ダウケミカル社より販売されているＵＶＩ６９７６や、旭電化工業より販売されているＳＰ−１７２、ＳＰ−１７０、ＳＰ−１５０等を挙げることができる。
これらの光酸発生剤は本発明の効果を損なわない範囲で単独で、又は複数種を組み合わせて使用することができる。
【００５０】
また、上記触媒には、還元剤を併用することができる。還元剤を併用することで、紫外線の照射に加えて加熱によってカチオン重合を促進させることができる。すなわち、触媒を単独で用い紫外線照射のみを行った場合と比較して架橋密度を向上させることができる。なお、光重合触媒とこの還元剤を併用する場合は、常温では反応せず、一定温度以上（好ましくは６０℃以上）で反応するいわゆるレドックス型の還元剤を選択する必要がある。このような還元剤としては、銅化合物やアスコルビン酸等が有用である。
【実施例】
【００５１】
（実施例１）
本実施例では、以下のようにして記録ヘッドを作成した。
まず、基板上に流路形成部材および吐出口形成部材を有する記録素子基板を、以下のようにして形成した。
【００５２】
まず、ヒーター１１を有するシリコン基板１０を用意した（図４(Ａ)）。次いで、基板上にポリエーテルアミド樹脂による密着層１２を形成した（図４（Ｂ））。次いで基板上にポリメチルイソプロペニルケトン樹脂１３を成膜した（図４（Ｃ））。次いでポリメチルイソプロペニルケトン樹脂１３をパターニングしてインクの流路となる部分に相当するパターン１４を作成した（図４（Ｄ））。
【００５３】
次いで、表１に示す組成物Ｉをキシレンに溶解させて得た溶液（キシレンと組成物Ｉの
比率＝１：１）を、基板上にスピンコートした。その後、コートした溶液を６０℃で、９分間、加熱乾燥して被覆層１５を形成した（図４（Ｅ））。なお、表中の触媒はフッ素原子を含むものである。
【００５４】
【表１】
2009073175.tif 000007
【００５５】
次いで、被覆層１５が形成されたシリコンウェハに対して、キヤノン（株）  マスクアライナーＭＰＡ６００（商品名）により、インク吐出口のパターンのマスクを介して５秒間、露光した。その後、９０℃で３分間、ベークしてカチオン重合性樹脂（エポキシ樹脂）にカチオン重合反応を起こさせて硬化させた。以上のようにして吐出口３０を形成する吐出口形成部材１６が設けられた（図４（Ｆ））。
【００５６】
次いで、パターン１４を溶剤により除去してインクの流路２０を形成した。このインクの流路２０を構成する流路形成部材も、吐出口形成部材１６と同じく組成物Ｉから形成されたこととなる。
【００５７】
最後に基板１０に供給口６０を形成した（図４（Ｇ））。このようにして得られた記録素子基板をセラミックで作られた支持部材４５に接合した。その後、ジョイントゴム４０を介して、この支持部材４５を熱可塑性樹脂で作られた供給路形成部材４２に貼り合わせ、必要な電気接続等を行って、図１のインクジェット記録ヘッドを作成した。なお、このジョイントゴムとしては、臭素化ブチルゴムを使用し、このゴムは有機架橋剤であるジクミルペルオキシドを使用して架橋されたものである。
【００５８】
上記のようにして作成したインクジェット記録ヘッドのインクタンクに、インク（水／グリセリン／ダイレクトブラック１５４（水溶性黒色染料）＝６５／３０／５）を充填した。そして、記録ヘッドを７０℃下で、２４時間保存する保存試験を行った結果、吐出口及びインクの流路中に析出物が発生しなかった。また、記録ヘッドを装置に搭載して画像形成を行ったところ、良好な画像が形成された。
【００５９】
（実施例２）
次いで本発明の実施例２について説明する。実施例２が実施例１と異なる点は、被覆層１５の材料として組成物ＩＩ（表２に記載）のものを用いた点と、ジョイントゴムとして、水素化二トリルゴムを用いた点である。なお、この水素化ニトリルゴムは有機架橋剤としてジクミルペルオキシドを使用して架橋されたものである。また、表２中のＳＰ−１７２はフッ素原子を含む光重合開始剤である。それ以外の点は実施例１と同様にしてインクジェット記録ヘッドを作成した。
【００６０】
【表２】
2009073175.tif 000008
【００６１】
上記のようにして作成したインクジェット記録ヘッドに対して、実施例１と同様の保存試験を行ったところ、析出物の発生は見られなかった。また、実施例１と同様に、良好な画像が形成された。
【００６２】
（実施例３）
次いで本発明の実施例３について説明する。実施例３が実施例１と異なる点は、被覆層１５の材料として組成物ＩＩＩ（表３に記載）のものを用いた点と、ジョイントゴムとして、水素化二トリルゴムを用いた点である。なお、この水素化ニトリルゴムは有機架橋剤としてジクミルペルオキシドを使用して架橋されたものである。また、表３中のＵＶＩ６９７６はフッ素原子を含む光重合開始剤である。それ以外の点は実施例１と同様にしてインクジェット記録ヘッドを作成した。
【００６３】
【表３】
2009073175.tif 000009
【００６４】
上記のようにして作成したインクジェット記録ヘッドに対して、実施例１と同様の保存試験を行ったところ、析出物の発生は見られなかった。また、実施例１と同様に、良好な画像が形成された。
【００６５】
（比較例１）
実施例１のジョイントゴムとして、ＭｇＯによって架橋した塩素化ブチルゴムを用いた以外は、実施例１と同様にして記録ヘッドを作成した。上記のようにして作成したインクジェット記録ヘッドに対して、実施例１と同様の保存試験を行ったところ、インク吐出口及びインクの流路中に、フッ化マグネシウムと見られる析出物が観測された。この記録ヘッドを用いて記録を行ったところ、記録しようとする画像によっては、連続吐出の初期段階において所望の画像が得られない場合があった。この理由は、上述した析出物により、インク滴の吐出方向が所望の方向からずれたことが原因であると考えられる。
【００６６】
実施例１〜３及び比較例１の評価結果から、フッ素原子を含む重合開始剤を使用して吐出口形成部材、流路形成部材を設けた場合、ジョイントゴムとして有機架橋剤により架橋したゴム材料を使用することが好適であることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明によるインクジェット記録ヘッドの一例を説明するための模式的斜視図である。
【図２】本発明によるインクジェット記録ヘッドの一例を説明するための模式的斜視図である。
【図３】本発明によるインクジェット記録ヘッドの一例を説明するための模式的断面図である。
【図４】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の一部の工程に関しての一例を示す模式的断面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１  基板
２  記録ユニット
３  インク供給ユニット
４  カラー用記録素子基板
５  ブラック用記録素子基板
６  電気接続部
７  フレキシブル配線板
８  ホルダー部
９  インクタンク
１０  基板
２０  流路
３０  吐出口
４０  ジョイントゴム
４１  インク供給部
４２  供給路形成部材
４３  ビス
４４  ねじボス
４５  支持部材
５０  吐出口形成部材
６０  供給口
７０  供給路
【図１】
2009073175.tif 000010
【図２】
2009073175.tif 000011
【図３】
2009073175.tif 000012
【図４】
2009073175.tif 000013