(57)【要約】【課題】２本の平行でないＶ溝を有する光導波路基板に光ファイバを隙間なく押し付けて接着することが可能になり、光ファイバと導波路との軸ずれによる結合損失を低減することができる、交差する溝の加工方法を提供する。【解決手段】２本の光ファイバが平行でないように搭載されるＶ溝付光導波路基板に光ファイバを搭載する際に使用する、光ファイバ押さえ用溝を設けた光ファイバ押さえ部材の溝を加工する方法であって、第一の方向の溝を加工した後、平行でない第二の方向の溝を加工する時に、第一方向の溝との交点において、加工装置に付属する顕微鏡を用いて第一の方向の溝の深さと第二の方向の溝の深さが等しくなるまで段階的に加工する深さを大きくして加工を行う、交差する溝の加工方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２本の光ファイバが平行でないように搭載されるＶ溝付光導波路基板に光ファイバを搭載する際に使用する、光ファイバ押さえ用溝を設けた光ファイバ押さえ部材の溝を加工する方法であって、第一の方向の溝を加工した後、平行でない第二の方向の溝を加工する時に、第一方向の溝との交点において、加工装置に付属する顕微鏡を用いて第一の方向の溝の深さと第二の方向の溝の深さが等しくなるまで段階的に加工する深さを大きくして加工を行う、交差する溝の加工方法。
【請求項２】
請求項１に記載の加工方法を用いて作製した、平行でない光ファイバ押さえ溝を有する光ファイバ押さえ部材。
【請求項３】
請求項２の光ファイバ押さえ部材を用いて平行でないＶ溝に光ファイバを固定した光部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路基板に光ファイバを搭載するにあたり、Ｖ溝によって位置決めされた光ファイバと、光ファイバをＶ溝に隙間無く押付けるための光ファイバ押え部材およびこの光ファイバ押さえ部材を用いて光ファイバをＶ溝に固定した光デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のＶ溝付光導波路基板では、平行なＶ溝にテープファイバを用いて光ファイバを搭載していた。この場合に使用する光ファイバ押さえ部材は、平行な光ファイバ押さえ溝を有していた。光ファイバ押さえ溝が平行に配置されている場合は、押さえ溝を加工する場合には、ダイシング装置によってピッチ送りで溝を加工するため、ダイシングブレードの摩耗による溝の深さの差は隣り合う溝の間では無視できるほど小さい。
【０００３】
Ｖ溝が斜めに配置された光導波路基板では、Ｖ溝と同様に斜めに光ファイバ押さえ溝を配置した光ファイバ押さえ部材が必要となる。ダイシングにより、ファイバを押さえるための溝が斜めに配置された、ファイバ押さえ部材を加工するとき、第一の方向の溝を連続してピッチ送りにより加工し、次に第二の方向にワークを回転させ、しかる後にピッチ送りにより連続して第二の方向の溝を加工する。この時、装置に設定したブレードハイトのみによって、切り込み深さを設定すると、ダイシングブレードの摩耗により、切り込み深さが溝を加工する距離によって次第に浅くなるため、一枚のガラス板から複数の光ファイバ押さえ部材を切り出そうとすると、第一の方向の光ファイバ押さえ溝と第二の方向の光ファイバ押さえ溝の深さに無視できないほどの大きな差が生じる。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２８８５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
平行な２本の溝の場合、溝の深さに差があっても、光ファイバの軸回りにファイバ押さえ部材が回転するのみで、光ファイバをＶ溝に密着させることができる。しかし、２本の溝が平行でなく斜めに配置された光ファイバ押さえ部材では、溝の深さに数μｍ以上の差があると、Ｖ溝に光ファイバを押さえる時、光ファイバを均一に押さえることができず、光ファイバが導波路と接する先端に数μｍの浮きが生じ、光ファイバと導波路の結合部分で時崩れが生じ損失が大きくなることになる。
本発明は、２本の平行でないＶ溝を有する光導波路基板に光ファイバを隙間なく押し付けて接着することが可能になり、光ファイバと導波路との軸ずれによる結合損失を低減することができる、交差する溝の加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下に関する。
１．  ２本の光ファイバが平行でないように搭載されるＶ溝付光導波路基板に光ファイバを搭載する際に使用する、光ファイバ押さえ用溝を設けた光ファイバ押さえ部材の溝を加工する方法であって、第一の方向の溝を加工した後、平行でない第二の方向の溝を加工する時に、第一方向の溝との交点において、加工装置に付属する顕微鏡を用いて第一の方向の溝の深さと第二の方向の溝の深さが等しくなるまで段階的に加工する深さを大きくして加工を行う、交差する溝の加工方法。
２．  項１に記載の加工方法を用いて作製した、平行でない光ファイバ押さえ溝を有する光ファイバ押さえ部材。
３．  項２の光ファイバ押さえ部材を用いて平行でないＶ溝に光ファイバを固定した光部品。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の交差する溝の加工方法によれば、２本の平行でないＶ溝を有する光導波路基板に光ファイバを隙間なく押し付けて接着することが可能になり、光ファイバと導波路との軸ずれによる結合損失を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明は、光ファイバ押さえ部材の光ファイバ押さえ溝加工方法は第一の方向の溝を加工する工程と、第一の方向の溝と第二の方向の溝の交点で２本の溝の深さを確認して第二の方向の溝の加工深さを決定し、第二の溝の加工を行う工程と、形成された交差する溝を有する板から光ファイバ押さえ部材を切り出す工程からなる。また光ファイバ押さえ部材は、前記の深さが等しい平行でない光ファイバ押さえ溝を有することを特徴とする。また、光デバイスは前記の光ファイバ押さえ部材を用いて光ファイバを斜めに配置されたＶ溝に搭載接着されていることを特徴とする。
【実施例】
【０００９】
加工方法は斜めに配置された光ファイバを押さえる溝の深さを等しくするために、加工手順を次のように行う。長方形の幅３０ｍｍ長さ４０ｍｍ厚さ１ｍｍのガラス板をダイサにセットし、端面をダイサのＸ軸と平行にする。次にダイサのθ軸を右に８°回転させる。ガラス面にブレードが接触するブレードハイトを決めるため、事前にガラス板の厚さを測定しておき、ガラスの厚さをブレードハイトとして溝加工を行い、ブレードとガラス板表面を観察する。ブレードとガラス板が接触していない場合はブレードハイト下げて溝加工を行いガラス板の表面をダイサの顕微鏡にて観察し、ブレードとガラス板が接触しているかどうかを確認する。この作業を繰り返してブレードとガラス板が接触するブレードハイトを決める。
【００１０】
最初にすでにガラス板とブレードが接触している場合は、ガラス板に溝を加工する位置を変えた後、ブレードハイトを高く設定して、上記の作業を行い、ブレードとガラス板が接触する位置を求める。次に溝深さを決めるため、ガラス表面に接触したブレードハイトから、溝深さを減じた値を、第一の方向の溝を加工するブレードハイトとして、装置に設定する。そして、設定したブレードハイトに従って、ピッチ送りにより第一の方向の溝加工を行う。この時の溝ピッチは導波路基板の大きさが長さ３．８５ｍｍ、幅０．８５ｍｍで基板長手方向に対するＶ溝の角度が８°（Ｖ溝同士の角度が１６°）の場合は１ｍｍとなる。加工する溝の数はガラスのサイズによるが、ブレードの摩耗が数μｍに収まる２０本程度が好ましい。
【００１１】
第一の方向の溝加工が終わったら、ガラス板をセットしたダイサのテーブルを左に１６°回転し、第二の方向の溝の加工方向を決める。初期のブレードハイトに従って、第二の方向の溝を加工し、第一の方向の溝の交点を観察する。溝加工を行うことによりブレードの摩耗が数μｍ起こるため、図３にしめすように第一の方向の溝に比べ第二の方向の溝が浅くなる。次に、ブレードハイトを徐々に下げて溝の交点をダイサの顕微鏡モニタ画面で観察し、図４のように溝の深さが等しくなるブレードハイトを求める。
【００１２】
求められたブレードハイトを設定し、第二の方向の溝の加工をピッチ送りで第一の方向の溝と同様に２０本加工することにより、１６°で交差した溝が加工されたガラス板ができる。
【００１３】
このガラス板を、必要となる光ファイバ押さえ部材を得るように切り出すことにより、図４に示すような斜めＶ溝付導波路基板用光ファイバ押さえ部材が得られる。図４には不要な部分も含まれているが、ここから不要な部分を除去した光ファイバ押さえ部材は図５のような形状となる。このようにして得られた斜めに溝が加工された光ファイバ押さえ部材は、溝の深さが溝端部を観察した図６、７にしめすように左右で等しい深さとなる。
【００１４】
このようにして製作した斜め溝付の光ファイバ押さえ部材を使用することにより、８°の角度がついた斜めＶ溝付光導波路基板に、光ファイバを均等に隙間なく接着することが可能になり、光ファイバと導波路の軸ずれの無い結合損失の小さい光導波路基板が得られる。
【００１５】
本発明によれば、２本の平行でないＶ溝を有する光導波路基板に光ファイバを隙間なく押し付けて接着することが可能になり、光ファイバと導波路との軸ずれによる結合損失を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】ダイサを使用して斜めに交差する溝をガラス板に形成する方法の説明図である。
【図２】第二の方向の溝が第一の方向の溝より浅く加工されている状態をダイサ付属の顕微鏡にて観察したダイサのモニタ画面である。
【図３】第一の方向の溝と第二の方向の溝の深さが等しくなった状態をダイサ付属の顕微鏡にて観察したダイサのモニタ画面である。
【図４】斜め配置Ｖ溝用の光ファイバ押さえ部材の外観の拡大写真である。
【図５】斜め配置Ｖ溝用の光ファイバ押さえ部材の外観の写真である。
【図６】左右の溝深さが等しい光ファイバ押さえ部材の溝端部拡大写真である。
【図７】左右の溝深さが異なる光ファイバ押さえ部材の溝端部拡大写真である。
【符号の説明】
【００１７】
１  ガラス板
２  第一の方向の溝
３  溝加工ブレード
４  第二の方向の溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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