(57)【要約】【課題】硬質材より構成された耐圧容器内部に塗布液が充填された可撓性の内袋容器を有する塗布液容器について、該塗布液容器内の塗布液を他の容器に移し替えることなく、そのまま直接脱泡処理が可能な塗布液の脱泡方法および脱泡装置を提供し、さらにはこの脱泡方法で脱泡した塗布液を使用してディスプレイ用部材を製造するディスプレイ用部材の製造方法を提供する。【解決手段】空気流入路を備え硬質材より構成された耐圧容器と、該耐圧容器の内部に配置され、かつ可撓性を有した袋状に構成されるとともに内部に塗布液を貯蔵する内袋容器と、該内袋容器内の塗布液を耐圧容器外部まで排出案内する排出案内配管とから構成される塗布液容器内に充填された塗布液の脱泡方法であって、前記内袋容器内で塗布液の上部にある第１空間と、前記耐圧容器と前記内袋容器の間にある第２空間の両方を減圧することを特徴とする塗布液の脱泡方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気流入路を備え硬質材より構成された耐圧容器と、該耐圧容器の内部に配置され、かつ可撓性を有した袋状に構成されるとともに内部に塗布液を貯蔵する内袋容器と、該内袋容器内の塗布液を耐圧容器外部まで排出案内する排出案内配管とから構成される塗布液容器内に充填された塗布液の脱泡方法であって、前記内袋容器内で塗布液の上部にある第１空間と、前記耐圧容器と前記内袋容器の間にある第２空間の両方を減圧することを特徴とする塗布液の脱泡方法。
【請求項２】
前記第２空間から減圧を開始してから、前記第１空間からの減圧を開始することを特徴とする請求項１に記載の塗布液の脱泡方法。
【請求項３】
前記第２空間の圧力を、前記第１空間の圧力以下にすることを特徴とする請求項１または２に記載の塗布液の脱泡方法。
【請求項４】
前記第１空間からの減圧を、第１空間に塗布液導入口がある排出案内配管を介して行い、前記第２空間からの減圧を前記空気流入路を介して行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の塗布液の脱泡方法。
【請求項５】
前記塗布液容器の上下を反転させた後に、前記第１空間からの減圧を前記排出案内配管を介して行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の塗布液の脱泡方法。
【請求項６】
前記排出案内配管の塗布液導入口が前記塗布液容器の上下を反転させる前には前記塗布液中にあり、前記塗布液容器の上下を反転させた後は前記第１空間にあることを特徴とする請求項５に記載の塗布液の脱泡方法。
【請求項７】
空気流入路を備え硬質材より構成された耐圧容器と、該耐圧容器の内部に配置され、かつ可撓性を有した袋状に構成されるとともに内部に塗布液を貯蔵する内袋容器と、該内袋容器内の塗布液を耐圧容器外部まで排出案内する排出案内配管とから構成される塗布液容器内に充填された塗布液の脱泡装置であって、前記内袋容器内で塗布液の上部にある第１空間から減圧可能とする第１減圧手段と、前記耐圧容器と内袋容器の間にある第２空間から減圧可能とする第２減圧手段と、第１減圧手段と第２減圧手段による減圧と減圧開始タイミングをそれぞれ制御する制御ユニットと、を備えることを特徴とする塗布液の脱泡装置。
【請求項８】
前記第１減圧手段は、第１空間からの減圧経路となる第１空間に塗布液導入口がある排出案内配管を含み、前記第２減圧手段は、第２空間からの減圧経路となる前記空気流入路を含むことを特徴とする請求項７に記載の塗布液の脱泡装置。
【請求項９】
前記第１減圧手段は、塗布液容器の上下を反転させて内袋容器内の塗布液上部に第１空間を形成する回転機構と、第１空間からの減圧経路となる前記排出案内配管を含み、前記第２減圧手段は、第２空間からの減圧経路となる前記空気流入路を含むことを特徴とする請求項７に記載の塗布液の脱泡装置。
【請求項１０】
前記排出案内配管はその塗布液導入口が、前記塗布液容器の上下を反転させる前には前記塗布液中にあり、前記塗布液容器の上下を反転させた後は前記第１空間にあるものであることを特徴とする請求項９に記載の塗布液の脱泡装置。
【請求項１１】
請求項１〜６のいずれかに記載の塗布液の脱泡方法で脱泡した塗布液を使用してディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばプラズマディスプレイ用前面板、カラー液晶ディスプレイ用カラーフィルターやＴＦＴ用アレイ基板、光学フィルタ、プリント基板、集積回路、半導体等の製造分野に使用されるものであり、詳しくは塗布液の脱泡方法および脱泡装置、並びにこの脱泡方法で脱泡した塗布液を使用したディスプレイ用部材の製造方法の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、スリットダイ等の塗布器を有してディスプレイ用部材等の被塗布基材に塗布をする塗布装置では、塗布液を内蔵したタンク等のバッチ式塗布液容器を塗布液供給装置に接続し、塗布液容器内の塗布液を塗布液供給装置から塗布器に供給して塗布生産を行う。この塗布液容器を運搬可能な形態とし、塗布液に対して専用化すれば、塗布液製造者で塗布液が充填されてから出荷される塗布液容器を、そのまま塗布装置の塗布液供給装置の上流側に接続することができる。その結果、外部からの異物混入や品質劣化の恐れなしに、塗布液容器内部の塗布液をすぐに使用できる。また、塗布液を使い切って空となった塗布液容器は、そのまま塗布液製造者に返却されて再利用されるが、塗布液容器の使用者側には塗布液容器の洗浄等のメンテナンスを行う必要がないので、コスト削減ができるという有益性が生じる。
【０００３】
この様な運搬可能な塗布液容器として、樹脂製の内袋入り容器が近年使用されるようになっている（例えば特許文献１）。
【０００４】
この塗布液容器は、金属などの硬質性の耐圧容器の内部に、樹脂製などの可撓性の内袋容器を収容し、この内袋容器内に塗布液を充填するものである。内袋容器は密閉構造となっているので、製造者側で充填されてから送られてくる塗布液は、使用者側で使用されるまで一切大気や異物に曝されることが無く、塗布液をクリーンな状態に保持できる。また内袋容器は使い捨てとなっていることから、塗布液を使い切れば、塗布液製造者側で、残留している塗布液を内袋容器ごと廃棄し、新たな内袋容器に交換して塗布液を充填することができるので、耐圧容器内を洗浄する手間が省け、さらには残留物によるクリーン度の低下、異物の混入等を回避することができる。
【０００５】
内袋容器の内部には、底部より耐圧容器外まで伸びる排出案内配管が備えられており、この塗布液容器から塗布液を取り出す場合は、蓋部に付属している継手と排出案内配管が通じると共に、耐圧容器内に空気が導かれる空気流入路も設けられているので、空気流入路から空気で加圧することにより内袋容器が押し潰されて収縮し、内袋容器内の塗布液を、排出案内配管を介して送出できる。またこの内袋容器は、加圧空気が塗布液に直接接触することなく塗布液を送出するので、加圧空気の塗布液への溶存や加圧空気からの異物の混入が発生しないと言う利点もある。
【０００６】
さて、塗布液容器に充填された塗布液中には、通常、塗布液充填時に混入する微細な気泡が存在していたり、あるいは塗布液そのものに気体が溶存していたりする。特に後者は、時間の経過に伴って気泡となる場合があることの他、塗布液が流れる流路中にオリフィス等の狭い隙間があったり、塗布器に塗布液を供給する定容量ポンプの急激な吸引動作によって負圧状態になったりすると、溶存している気体が気泡となることがある。塗布液中に気泡のある状態でスリットダイコーター等の塗布装置で被塗布基材に塗布をすると、気泡のある部分が塗布されない、いわゆる抜け等の塗布欠点を生じ、品質を著しく損なってしまう。この様な塗布欠点を未然に防止するために、塗布液中に存在している微細な気泡や、溶存している気体を、塗布液の脱泡装置で排除することが行われる。塗布液の脱泡処理は、製造者側で予め出荷前に行うこともあるが、その処理が不十分であったり、出荷後運搬中の振動等で気泡が塗布液中に再発生したりすることもあるので、使用者側が使用直前に塗布液の脱泡を行うことが塗布欠陥を無くす上で確実かつより効果的である。
【０００７】
一般的な塗布液の脱泡装置としては、真空源を脱泡用容器に接続するものがある（例えば特許文献２）。これは塗布液容器内の塗布液を専用の脱泡用容器内に入れ、容器内部を真空源で減圧すると、塗布液の脱泡処理が行われる。
【０００８】
また、塗布液を充填した塗布液容器の一部を開放し、真空源と接続された脱泡室内にこの塗布液容器を設置後、この脱泡室を密閉し、脱泡室内を減圧して、塗布液容器内の塗布液の脱泡を行うものもある（例えば特許文献３）。
【０００９】
さらに、塗布液の粘度が高い場合などは、上述の脱泡用容器や脱泡室内の減圧に加えて塗布液を攪拌したり、あるいは超音波振動を与えたりして、効率よく脱泡するものもある（例えば特許文献４）。
【００１０】
一方、上述の脱泡手段に加えて、塗布液容器とスリットダイ等の塗布器を接続する配管途中に設けられて、溶存している気泡を、透過膜を介して減圧することで塗布液外に排出する脱泡装置もある（例えば特許文献５）。
【００１１】
しかし、上記特許文献２〜４に示される各脱泡手段は、上述した内袋容器内に塗布液を貯蔵する塗布液容器に対してはそのまま実施できない。すなわち、内袋容器内の塗布液を専用の脱泡用容器に移し替えれば脱泡処理することができるが、内袋容器内にある塗布液を排出案内配管を通して直接減圧すると、塗布液が吸引されるだけで脱泡はできない。また、空気流入路から耐圧容器と内袋容器の間の空間を減圧しても、内袋容器内の塗布液は脱泡できない。だからと言って、脱泡処理のために内袋容器を有する塗布液容器から脱泡用容器に塗布液の移し替えを行うと、塗布液のクリーン度、品質の維持と言うこの内袋容器を有する塗布液容器の優れた特長を生かすことができない。また脱泡用容器で脱泡された塗布液をさらに塗布液供給装置に送出する時は、この塗布液が加圧空気等に接触することになり、せっかく脱泡された塗布液に再び空気が溶存することになる。以上のように内袋を有する塗布液容器においては、特許文献２〜４の脱泡手段は好ましくない。
【００１２】
一方特許文献５の脱泡装置は、特許文献２〜４に示される脱泡手段による問題は発生しないが、塗布器への塗布液供給速度に脱泡性能が依存し、多くの場合、十分な脱泡処理が行えない。
【特許文献１】特開２００５−２９８０２４号公報（第４欄１行目〜第６欄５行目、図２、図８）
【特許文献２】特開平９−２０６６５７号公報（第２５欄１行目〜第３１欄１９行目、図３、図４）
【特許文献３】特開２０００−２１０９２９（第３欄１行目〜第４欄４行目、図４）
【特許文献４】特開２００２−６６４３１（第４欄１行目〜第７欄４行目、図１）
【特許文献５】特開２００２−１２６４０３（第１５欄１行目〜第１７欄６行目、図１、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上述の事情に基づいてなされたもので、その目的とするところは、硬質材より構成された耐圧容器内部に塗布液が充填された可撓性の内袋容器を有する塗布液容器について、該塗布液容器内の塗布液を他の容器に移し替えることなく、そのまま直接脱泡処理が可能な塗布液の脱泡方法および脱泡装置を提供することにある。さらにはこの脱泡方法で脱泡した塗布液を使用してディスプレイ用部材を製造するディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的は、以下に述べる手段によって達成される。
【００１５】
本発明になる塗布液の脱泡方法は、空気流入路を備え硬質材より構成された耐圧容器と、該耐圧容器の内部に配置され、かつ可撓性を有した袋状に構成されるとともに内部に塗布液を貯蔵する内袋容器と、該内袋容器内の塗布液を耐圧容器外部まで排出案内する排出案内配管とから構成される塗布液容器内に充填された塗布液の脱泡方法であって、前記内袋容器内で塗布液の上部にある第１空間と、前記耐圧容器と前記内袋容器の間にある第２空間の両方を減圧することを特徴とする。
【００１６】
ここで、前記第２空間から減圧を開始してから、前記第１空間からの減圧を開始すること、前記第２空間の圧力を、前記第１空間の圧力以下にすること、前記第１空間からの減圧を、第１空間に塗布液導入口がある排出案内配管を介して行い、前記第２空間からの減圧を前記空気流入路を介して行うこと、前記塗布液容器の上下を反転させた後に前記第１空間からの減圧を前記排出案内配管を介して行うこと、前記排出案内配管の塗布液導入口が前記塗布液容器の上下を反転させる前には前記塗布液中にあり、前記塗布液容器の上下を反転させた後は前記第１空間にあること、が好ましい。
【００１７】
本発明になる塗布液の脱泡装置は、空気流入路を備え硬質材より構成された耐圧容器と、該耐圧容器の内部に配置され、かつ可撓性を有した袋状に構成されるとともに内部に塗布液を貯蔵する内袋容器と、該内袋容器内の塗布液を耐圧容器外部まで排出案内する排出案内配管とから構成される塗布液容器内に充填された塗布液の脱泡装置であって、前記内袋容器内で塗布液の上部にある第１空間から減圧可能とする第１減圧手段と、前記耐圧容器と内袋容器の間にある第２空間から減圧可能とする第２減圧手段と、第１減圧手段と第２減圧手段による減圧と減圧開始タイミングをそれぞれ制御する制御ユニットと、を備えることを特徴とする。
【００１８】
ここで、前記第１減圧手段は、第１空間からの減圧経路となる第１空間に塗布液導入口がある排出案内配管を含み、前記第２減圧手段は、第２空間からの減圧経路となる前記空気流入路を含むこと、前記第１減圧手段は、塗布液容器の上下を反転させて内袋容器内の塗布液上部に第１空間を形成する回転機構と、第１空間からの減圧経路となる前記排出案内配管を含み、前記第２減圧手段は、第２空間からの減圧経路となる前記空気流入路を含むこと、前記排出案内配管はその塗布液導入口が、前記塗布液容器の上下を反転させる前には前記塗布液中にあり、前記塗布液容器の上下を反転させた後は前記第１空間にあるものであること、が好ましい。
【００１９】
本発明になるディスプレイ用部材の製造方法は、上述の塗布液の脱泡方法で脱泡した塗布液を使用してディスプレイ用部材を製造することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明になる塗布液の脱泡方法および脱泡装置を用いれば、内袋容器内部の塗布液上部にある第１空間と、塗布液容器の耐圧容器と可撓性の内袋容器の間にある第２空間の両方を減圧するのであるから、減圧によって内袋容器が押し潰されて収縮することなく、内袋容器内の塗布液をそのまま脱泡処理することができる。特に排出案内配管が短く、その塗布液導入口が第１空間にある時は、容易に脱泡処理できる。また内袋容器内部の底部まで排出案内配管が連通している場合も、塗布液容器を上下反転させることで、内袋容器内の上部に形成される第１空間と排出案内配管が連通するので、空気流入路と排出案内配管出口の両方から、第１空間と第２空間を減圧することで内袋容器内の塗布液をそのまま脱泡処理できる。いずれの場合も、塗布液容器に充填された塗布液を脱泡用の別容器に移す必要がないので、塗布液が塗布液容器外の空気に曝されることなく、塗布液のクリーン度、品質の状態を維持したまま、塗布液を確実かつ効果的に脱泡することができる。さらに上記構造の塗布液容器内の塗布液を直接脱泡処理したことで、塗布液の送出は内袋容器の外側から空気で加圧して行われて、脱泡処理した塗布液に再度空気が溶存しないと言うこの塗布液容器の特長を十分に発揮させることができる。
【００２１】
本発明になるディスプレイ用部材の製造方法によれば、上記の優れた脱泡方法で脱泡した塗布液を用いてディスプレイ用部材を製造するのであるから、低コストで、塗布膜の均一性や再現性に優れ、かつ気泡等の塗布欠点の無い高品質のディスプレイ用部材を製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、この発明の好ましい一実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２３】
図１は、本発明に係る脱泡装置１を備えた塗布装置１００の概略正面断面図、図２は塗布液容器２の通常時の状態と反転させたときの状態を示した概略正面断面図である。さらに、図３は本発明に係る別の脱泡装置２０１を備えた塗布装置２００の概略正面断面図である。
【００２４】
図１に示される本発明の脱泡装置１は、塗布液５が充填された塗布液容器２に対して配管２１Ａ、２１Ｂを介して減圧や加圧を行う加減圧ユニット２０と、塗布液容器２を回転によって上下反転させる回転機構５０と、加減圧ユニット２０と回転機構５０の各動作を制御する制御ユニット６０と、からなる。
【００２５】
また図１に示される塗布装置１００は、脱泡装置１と、脱泡装置１により脱泡処理される塗布液５が充填された塗布液容器２と、脱泡処理された塗布液５をスリットダイ６３に供給するための塗布液供給装置４０と、塗布液供給装置４０によって供給された塗布液５を被塗布基材である基板Ａに塗布するためのスリットダイ６３と、基板Ａを吸着保持して水平方向に移動させるステージ７３と、からなる。
【００２６】
塗布液容器２は、硬質材からなる耐圧容器３と、耐圧容器３の内部に配置され、かつ可撓性を有した内袋容器４と、内袋容器４の底部１３を最下方部として充填された塗布液５を塗布液導入口である取液口１４で取り込んで塗布液容器２の外部まで排出案内する排出案内配管６と、耐圧容器３と内袋容器４の間にある第２空間８に連通する空気流入路７と、蓋部１０と、蓋部１０の内側にあるシール材１１と、からなる。塗布液容器２の蓋部１０には、排出案内配管６と脱泡装置１の加減圧ユニット２０の配管２１Ａを接続するための継手１２Ａと、空気流入路７と加減圧ユニット２０の配管２１Ｂを接続するための継手１２Ｂとが取り付けられている。排出案内配管６と継手１２Ａ、空気流入路７と継手１２Ｂは、十分にシールされて連結されている。また内袋容器４内に充填された塗布液５の上部には第１空間９が存在している。第１空間９および第２空間８は、空気等の気体で占められている。
【００２７】
次に、脱泡装置１の加減圧ユニット２０は、２つの切り替えバルブ２２Ａ、２２Ｂと、真空源６１と、加圧源６２と、を備えている。さらに加減圧ユニット２０には、切り替えバルブ２２Ａから配管２９を介して真空源６１に至る経路に、配管２３Ａと、トラップ容器２４と、配管２５と、開閉バルブ２６Ａと、配管２７Ａと、調整弁２８Ａと、が備えられ、切り替えバルブ２２Ｂから配管２９を介して真空源６１に至る経路に、配管２３Ｂと、開閉バルブ２６Ｂと、配管２７Ｂと、調整弁２８Ｂと、が備えられ、さらにまた切り替えバルブ２２Ｂから加圧源６２に至る経路には、配管３０と、開閉バルブ３１と、配管３２と、調整弁３３と、配管３４と、が備えられている。
【００２８】
加減圧ユニット２０の切り替えバルブ２２Ａ、２２Ｂは三方ボールバルブになっている。したがって切り替えバルブ２２Ａは、配管２１Ａを介して塗布液容器２に至る側からスリットダイ６３に連通する配管３５側へと、真空源６１に連通する配管２３Ａ側へと、に経路を切り替えることができる。切り替えバルブ２２Ａから真空源６１へ通じる経路では、塗布液容器２に充填された塗布液５の減圧脱泡処理を行う際に、トラップ容器２４によって、配管２１Ａと切り替えバルブ２２Ａに残存する塗布液５が真空源６１に侵入することを防止せしめられる。また同じ経路にある開閉バルブ２６Ａによって、これより下流（真空源６１とは反対側）にあるものへの減圧の作用／停止を制御し、調整弁２８Ａによって塗布液容器２の内袋容器４内の塗布液５の上部にある第１空間９の圧力を調整する。
【００２９】
一方、切り替えバルブ２２Ｂは、配管２１Ｂを介して塗布液容器２に至る側から真空源６１に連通する配管２３Ｂ側へと、加圧源６２に連通する配管３０側へと、に経路を切り替えることができる。切り替えバルブ２２Ｂから真空源６１へ通じる経路では、開閉バルブ２６Ｂによって、これより下流にあるものの減圧の作用／停止を制御し、調整弁２８Ｂによって、塗布液容器２の耐圧容器３と内袋容器４の間にある第２空間８の圧力が調整される。
【００３０】
以上で調整弁２８Ａ、２８Ｂには、好ましくは真空用のレギュレーターを用い、内袋容器４内の塗布液５の上部にある第１空間９の圧力、および耐圧容器３と内袋容器４との間にある第２空間８を、好ましくは絶対圧で５０〜１０００Ｐａ、より好ましくは１００〜５００Ｐａに減圧する。真空源６１は、好ましくはドライポンプを用いるが、油回転真空ポンプ等その他の形式のポンプを使用しても良く、その到達真空度は、好ましくは１〜４００Ｐａである。
【００３１】
また、切り替えバルブ２２Ｂから加圧源６２へ至る経路では、開閉バルブ３１によって塗布液容器２内の耐圧容器３と内袋容器４の間にある第２空間８への加圧の作用／停止を制御し、調整弁３３によって第２空間８の圧力が調整される。以上で調整弁３３は、好ましくは加圧用の精密レギュレーターを用い、前記第２空間８の圧力を、好ましくは０．０１〜１ＭＰａ、より好ましくは０．０５〜０．５ＭＰａに調整する。加圧源６２としては、一定圧力のエアーや、Ｎ２等の気体であることが好ましい。
【００３２】
次に、脱泡装置１の回転機構５０は、ベース台５１と、ベース台５１に立てられた一対の支柱５２Ａ、５２Ｂと、一対の支柱５２Ａ、５２Ｂに回転自在に取り付けられた軸５３Ａ、５３Ｂと、軸５３Ａ、５３Ｂに連結された塗布液容器２の把持部５４Ａ、５４Ｂと、台座５６を介して支柱５２Ａに固定され、片方の軸５３Ａを駆動するモータ５５、からなる。なお、軸５３Ａ、５３Ｂとモータ５５の回転軸は同一軸線上に配置されている。軸５３Ａとモータ５５については、図示しないカップリングで接続されているが、減速機を介して接続されていても良い。塗布液容器２と把持部５４Ａ、５４Ｂとは図示しない締結手段により締結されている。回転機構５０は塗布液容器２を軸５３Ａ、５３Ｂの回転によって上下反転させて、蓋部１０側を上下方向の下側、内袋容器４の底部１３を上側に持ってくることで、塗布液容器２の内袋容器４内に充填された塗布液５の上部に形成される第１空間９に排出案内配管６の取液口１４が通じるようになる。なお、塗布液容器２の回転時に配管２１Ａ、２１Ｂが折損しないように、配管２１Ａ、２１Ｂには十分に長く、屈曲可能な材質のものが使用される。
【００３３】
なお、内袋容器４内の塗布液５上部にある第１空間９の減圧を行う第１減圧手段は、回転機構５０と、加減圧ユニット２０と、塗布液容器２の排出案内配管６と、で構成される。また塗布液容器２の耐圧容器３と内袋容器４の間にある第２空間８の減圧を行う第２減圧手段は、加減圧ユニット２０と、塗布液容器２の空気流入路７と、で構成される。
【００３４】
脱泡装置１の制御ユニット６０は、切り替えバルブ２２Ａ、２２Ｂと、開閉バルブ２６Ａ、２６Ｂ、３１と、調整弁２８Ａ、２８Ｂ、３３、の各部アクチュエーターと電気的に接続されており、予め入力された制御パラメータやプログラムに応じた制御信号が各部に送られることによって、配管経路の切り替え、減圧時あるいは加圧時の圧力の調整、減圧／加圧の作用／停止、および作用開始／終了タイミングの調整等の制御を行う。また制御ユニット６０には、回転機構５０のモータ５５も電気的に接続されており、モータ５５を任意のタイミングで駆動／停止させることができる。
【００３５】
さらにまた、切り替えバルブ２２Ａには配管３５、開閉バルブ３６、配管４１を介して塗布液供給装置４０が接続されている。塗布液供給装置４０は、配管４１に接続される吸引用バルブ４２と、配管４３を介して吸引用バルブ４２と連通した定容量ポンプ４４と、配管４５を介して前記定容量ポンプ４４と連通した吐出用バルブ４６と、スリットダイ６３と前記吐出用バルブ４６とを接続する配管４７と、からなる。定容量ポンプ４４は、間欠的に動作して定容量性を保証する液体供給手段であるならばいかなるものを用いてもよく、例えば、シリンジポンプ、ギアポンプ、スクリューポンプ、ダイヤフラムポンプ、ベロフラムポンプ等が好ましく適用される。また定容量ポンプ４４の代わりに、塗布液容器２の耐圧容器３と内袋容器４の間にある第２空間８に一定圧力をエアーや窒素ガス等で付加して、内袋容器を介した間接的な圧送供給により塗布液５をスリットダイ６３に供給してもよい。なお吸引用バルブ４２、吐出用バルブ４６は、それぞれ脱泡処理された塗布液５の送出／遮断を任意に実施することができる。
【００３６】
スリットダイ６３は、互いに間隔をおいて対向する一対のリップ間に形成されるスリットに塗布液５を通過させることによって、スリットの出口である塗布液吐出口６４から塗布液５を均一に吐出できるものである。スリットダイ６３では、特に材質は限定されないが、ステンレス、超硬合金等の金属材料の他、セラミックスや、あるいはこれらの材料に表面処理を施工したものを用いてもよい。特にステンレスは、耐薬品性を有し、安価なため、好適に用いることができる。スリットダイ６３は図示されていない昇降機構によって上下方向に自在に往復動できる。スリットダイ６３から吐出される塗布液５は、これもまた図示されていない駆動源により水平方向に移動自在なステージ７３に吸着保持された基板Ａに塗布される。
【００３７】
図１に示した塗布装置１００では、加圧源６２により耐圧容器３と内袋容器４の間にある第２空間８が加圧されることによって内袋容器４が押し潰され収縮して、内袋容器４内に充填された塗布液５が排出案内配管６、配管２１Ａ、切り替えバルブ２２Ａ、配管３５、開閉バルブ３６、配管４１、吸引用バルブ４２および配管４３を経て、定容量ポンプ４４に供給される。この時、脱泡された塗布液５は内袋容器４を介して空気等の気体で加圧され、直接には加圧されないので、空気等の気体が塗布液５に再び溶存することはない。そして、定容量ポンプ４４から一定供給速度で塗布液５がスリットダイ６３へ送られ、塗布が行われる。なお、各構成部品間を接続する配管は、例えば、フッ素系樹脂製ホース、シリコン製ブレードホース、ポリエチレン製ホース、ポリプロピレン製ホース等の屈曲可能な可撓性ホースの他、金属製の配管を使用してもよい。
【００３８】
次に、以上の構成を説明した本発明の脱泡装置１を用いての塗布液容器２内の塗布液５の脱泡方法について詳しく説明する。
【００３９】
まず、初期状態として、加減圧ユニット２０の切り替えバルブ２２Ａは配管２１Ａと配管３５とが連通し、切り替えバルブ２２Ｂは配管２１Ｂと配管３０とが連通し、また開閉バルブ２６Ａ、２６Ｂ、３１は全て閉じた状態になっている。次に、塗布液容器２を図示しない締結部品により回転機構５０の把持部５４Ａ、５４Ｂに締結固定する。なお、脱泡時に塗布液容器２内の内袋容器４に充填されている塗布液５の量は、内袋容器４の容積に対して、好ましくは５０〜９５％、より好ましくは８０〜９０％である。この範囲より小さいと使用中の内袋容器４内の塗布液５が使い切られて空になるまでの消費サイクルが短くなるので、塗布液容器２の交換、脱泡回数が増え、生産効率が落ちてしまう。またこの範囲より大きいと、内袋容器４内で塗布液５を脱泡処理するための塗布液５の上部にある第１空間９を十分に確保できないので、脱泡処理効率が低下し、甚だしい場合には脱泡処理が不可能となる。続いて、塗布液容器２の継手１２Ａ、１２Ｂのそれぞれに、加減圧ユニット２０の配管２１Ａ、２１Ｂを各々接続する。次に制御ユニット６０により、回転機構５０のモータ５５を起動して、図２（ａ）から図２（ｂ）に示す状態となるように、塗布液容器２を上下逆さまに反転させて、排出案内配管６の取液口１４が内袋容器４内の塗布液５の上部にある第１空間９に通じるようにする。この時、塗布液容器２を反転させる回転速度は、内袋容器４に充填された塗布液５に対する回転時の衝撃によって発泡することが無いように低速で行うことが好ましい。
【００４０】
次に、制御ユニット６０により、切り替えバルブ２２Ａは配管２１Ａと配管２３Ａが連通するように、切り替えバルブ２２Ｂは配管２１Ｂと配管２３Ｂが連通するように、動作させる。そして真空源６１を起動させた後、内袋容器４内の塗布液５の上部にある第１空間９と、塗布液容器２の耐圧容器３と内袋容器４の間にある第２空間８の圧力が所定の値になるように、調整弁２８Ａ、２８Ｂを制御ユニット６０により各々調整する。ここで塗布液容器２の内袋容器４内部で塗布液５の上部にある第１空間９の圧力をＰａ、塗布液容器２の耐圧容器３と内袋容器４の間にある第２空間８の圧力をＰｂとすると、常にＰａ≧Ｐｂとなるようにする。このような圧力の関係に設定することで、内袋容器４の内外の圧力差により、脱泡中に内袋容器４が押し潰され収縮することを防止できる。以上の調整が完了した後、制御ユニット６０により、開閉バルブ２６Ａ、２６Ｂを開状態とする。開閉バルブ２６Ａ、２６Ｂは同時に開状態としてもよいが、まず先に開閉バルブ２６Ｂを開状態として、その後開閉バルブ２６Ａを開状態とするように制御することが好ましい。開閉バルブ２６Ｂ、２６Ａの順序で開状態とすることで、必ず第２空間８の方から先に減圧されるので、内袋容器４は耐圧容器３側に膨張し、内袋容器４が押し潰されて塗布液５が塗布液容器２の外部に送出されること無く、排出案内配管６の取液口１４を介して第１空間９が減圧されることにより塗布液５を減圧脱泡することができる。
【００４１】
第１空間９の圧力Ｐａ、第２空間８の圧力Ｐｂは、塗布液５の蒸気圧の値にもよるが、好ましくは５０〜１０００Ｐａ、より好ましくは、１００〜５００Ｐａである。これより小さいと塗布液５の溶剤が蒸発して固形分濃度が変化（増加）してしまい、これより大きいと脱泡処理が十分に行えないので好ましくない。
【００４２】
開閉バルブ２６Ａを開状態としてから脱泡処理終了後に、制御ユニット６０により、まず開閉バルブ２６Ａを閉状態とし、続いて開閉バルブ２６Ｂを閉状態とすることが好ましいが、開閉バルブ２６Ａ、２６Ｂを同時に閉状態としてもよい。開閉バルブ２６Ａ、２６Ｂの順序で閉状態とすることで、第２空間８には減圧の作用が残り、内袋容器４は耐圧容器３側に膨張した状態を維持しているので、内袋容器４が押し潰されて収縮し、内袋容器４に充填された塗布液５が塗布液容器２の外部に送出されることを確実に防ぐことができる。以上のように開閉バルブ２６Ａ、２６Ｂを閉状態として塗布液５の脱泡処理が完了した後、真空源６１を停止させる。脱泡処理時間は、好ましくは１〜１２０秒、より好ましくは２〜６０秒である。これより短いと脱泡処理が十分に行えず、これより長いと塗布液５の溶剤が蒸発して固形分濃度が変化（増加）してしまうので好ましくない。続いて制御ユニット６０により回転機構５０のモータ５５を起動して、図２（ｂ）から図２（ａ）に示す状態となるように、塗布液容器２を上下逆さまに反転させ、元の状態に戻す。このときも、脱泡開始前と同様、塗布液容器２を反転させる回転速度は、内袋容器４に充填された脱泡済みの塗布液５に対する回転時の衝撃により再発泡することを防ぐため低速で行うことが好ましい。最後に真空源６１に備えられた図示されていないリーク弁によって、減圧していた配管経路を大気開放する。
【００４３】
次に、図３を参照すると、本発明の別の実施態様である脱泡装置２０１を備えた塗布装置２００が示されている。塗布装置２００は、前述の塗布装置１００で脱泡装置１を脱泡装置２０１に、塗布液容器２を塗布液容器２０２に置き換えた以外は塗布装置１００と全く同じ構成である。また脱泡装置２０１は、脱泡装置１から回転機構５０を取り除いた以外は、脱泡装置１と全く同じ構成である。すなわち、脱泡装置２０１と加減圧ユニット２０は同じものとなる。塗布液容器２０２は、塗布液容器２の排出案内配管６を、短い排出案内配管２０６に置き換えた以外は塗布液容器２と全く同じである。塗布液容器２０２を設置して、最初に脱泡装置２０１（加減圧ユニット２０）と接続した初期接続状態では、排出案内配管２０６の塗布液導入口である取液口２１４は、塗布液５の液面より上方にあって、塗布液５とは接触せず、第１空間９の空気と接している。第２空間８に加圧エアーを供給して加圧し、内袋容器４を外側から押し潰して変形させると、塗布液５が上方に移動し、排出案内配管２０６の取液口２１４に達する。さらに第２空間８に加圧エアーを供給し続けると、内袋容器４がさらに変形するので、押し出される塗布液５は取液口２１４から排出案内配管２０６の内部を上昇して配管２１Ａ内を流れ、最終的に定容量ポンプ４４のところまで達することになる。
【００４４】
つづいて脱泡装置２０１を用いての塗布液容器２０２内の塗布液５の脱泡方法について説明する。まず初期接続状態、すなわち新しい塗布液容器２０２の継手１２Ａ、１２Ｂのそれぞれに脱泡装置２０１（加減圧ユニット２０）の配管２１Ａ、２１Ｂを接続した状態で、塗布液容器２０２内の内袋容器４内にある排出案内配管２０６の取液口２１４は、既に塗布液５の上部にある第１空間９内にあるので、排出案内配管２０６に加減圧ユニット２０の真空源６１からの吸引力を付加して減圧しても、塗布液５は吸引されず第１空間９の空気のみが吸引される。したがって初期状態で、すぐに塗布液容器２０２内の塗布液５の脱泡を開始することができる。すなわち、前述の脱泡装置１を用いての塗布液容器２内の塗布液５の脱泡方法において、回転機構５０による塗布液容器２の上下反転動作を省略すること以外は全く同じ脱泡方法を実施する。この脱泡方法では、第２空間８の減圧を圧力Ｐｂで開始してから第１空間９の減圧を圧力Ｐａで行うので、内袋容器４が押し潰されることなく安定して内袋容器４内の塗布液５の脱泡が可能となる。塗布装置２００では、塗布液容器２０２を上下反転させる作業を実施しないでも脱泡装置２０１で塗布液５の脱泡を行えることになるので、塗布液５の脱泡に要する時間を短縮することができる。また内袋容器４に充填された塗布液５が、塗布液容器２０２の回転時の衝撃によって発泡するという懸念も全く無くなるという効果もある。
【００４５】
次に、本発明の脱泡装置１で脱泡処理された塗布液５を塗布装置１００により塗布する塗布方法について説明する。なお、定容量ポンプ４４には、シリンジポンプが使用されているとする。
【００４６】
まず、上述の一連の脱泡処理のための作業を終了させた後、制御ユニット６０により、開閉バルブ３６を閉状態にしてから、切り替えバルブ２２Ａを配管２１Ａと配管３５が連通するように、そして切り替えバルブ２２Ｂを配管２１Ｂと配管３０が連通するように動作させる。次に、配管３４を介して加圧源６２に接続された調整弁３３により、第２空間８を加圧する圧力を適当に調整する。第２空間８の圧力は、好ましくは０．０１〜１ＭＰａ、より好ましくは０．０５〜０．５ＭＰａである。そして制御ユニット６０により、開閉バルブ３１を開状態とすると、第２空間８が加圧され、さらに開閉バルブ３６を開状態とすることによって内袋容器４が収縮し、内袋容器４内の脱泡済みの塗布液５が塗布液供給装置４０の方に送出される。そして、吸引用バルブ４２と吐出用バルブ４６を開状態として、塗布液５を定容量ポンプ４４、スリットダイ６３まで送り込み、塗布液容器２からスリットダイ６３までを塗布液５で充填して、経路内のエアーを排出したら、吸引用バルブ４２を閉状態とする。この時、シリンジポンプである定容量ポンプ４４の状態はシリンジ内部にも塗布液５が充填済みの状態で、吐出用バルブ４６は開状態なので、いつでも所定量の塗布液５をスリットダイ６３に供給できるようになっている。
【００４７】
次に、ステージ７３の上面に図示しないリフトピンを上昇させ、図示しないローダから基板Ａがリフトピン上部に載置される。続いて該リフトピンを下降させて基板Ａをステージ７３の表面に載置し、同時に吸着保持する。そしてステージ７３を所定の塗布速度にて移動開始し、基板Aの塗布開始部がスリットダイ６３の塗布液吐出口６４の直下に来たら停止させる。続いて図示していない昇降装置を駆動して、スリットダイ６３の塗布液吐出口６４を基板Ａから予め与えたクリアランスだけ離れた位置まで近接させる。そして定容量ポンプ４４（シリンジポンプ）を駆動させ、スリットダイ６３から塗布液５を基板Ａに向かって吐出し、基板Ａとの間にビードＢを形成してからステージ７３を所定の速度で駆動開始して基板A上に塗布膜Ｃを形成する。基板Ａの塗布終了部がスリットダイ６３の塗布液吐出口６４の位置に来たら定容量ポンプ４４（シリンジポンプ）を停止させて塗布液５の供給を停止し、続いてスリットダイ６３を上昇させる。これによって基板Ａとスリットダイ６３の間に形成されたビードＢが断ち切られ、塗布が終了する。
【００４８】
これらの動作中ステージ７３は動き続け、終点位置にきたときに停止し、基板Ａの吸着保持を解除してから図示されないリフトピンを上昇させて基板Ａを持ち上げる。このとき、図示されないアンローダによって基板Ａの下面が保持され、次の工程に基板Ａを搬送する。基板Ａをアンローダに受け渡したら、ステージ７３はリフトピンを下降させ原点位置に復帰する。
【００４９】
続いて、吐出用バルブ４６を閉状態にしてから、吸引用バルブ４２を開状態として、塗布液容器２から塗布液５を定容量ポンプ４４であるシリンジポンプのシリンジ内に供給して充填する。充填完了後、吸引用バルブ４２を閉状態にしてから、吐出用バルブ４６を開状態として、次の基板Ａが来るのを待ち、同じ動作を繰り返す。なお、スリットダイ６３を基板Ａの塗布開始部に近接する前に、スリットダイ６３の塗布液吐出口６４周辺を清掃あるいは初期化することが好ましい。
【００５０】
上述のような構成の脱泡装置１によって塗布液容器２内の塗布液５を脱泡処理し、その脱泡処理された塗布液５が、再び気体が溶存することなく塗布液供給装置４０に供給されてからスリットダイ６３で基板Ａに塗布されるのであるから、気泡起因によるピンホール等の塗布欠陥が塗布膜面上に発生することを皆無にでき、かつ、塗布液容器２の特長である異物の混入、および塗布液５の品質の変化や劣化が無いので、高品位の塗布膜面を得ることができる。
【００５１】
次に別の本発明である塗布装置２００で、脱泡装置２０１で脱泡処理された塗布液５を塗布する塗布方法であるが、塗布液容器２を塗布液容器２０２に置き換える以外は塗布装置１００により塗布する塗布方法と全く同じとなる。脱泡装置２０１で脱泡処理した塗布液５も、塗布装置２００で気体が溶存することなく、基板Ａに塗布されるのであるから、同じく、気泡起因による塗布欠陥が無い塗布膜面が得られるとともに、異物の混入や塗布液５の品質劣化のない高品位の塗布膜面が得られる。
【００５２】
本発明が適用できる塗布液５の粘度としては、好ましくは１〜１００ｍＰａＳ、より好ましくは２〜５０ｍＰａＳであり、その性質はニュートニアンであることが好ましいが、チキソ性を有する塗布液５にも適用できる。とりわけ溶剤に揮発性の高いもの、たとえばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、酢酸ブチル、乳酸エチル等を使用している塗布液５を塗布するときに有効である。具体的に適用できる塗布液５の例としては、プラズマディスプレイ用の前面板ＩＴＯ透明電極パターン形成用や液晶ディスプレイのＴＦＴ形成用のポジレジスト液、カラーフィルター用のブラックマトリックス、ＲＧＢ色画素形成用塗布液の他、オーバーコート材、柱形成材料等がある。基板Ａとしてはガラスの他にアルミ等の金属板、セラミック板、樹脂板、シリコンウェハー等を用いてもよい。また、使用する塗布条件としては、基板Ａとスリットダイ６３の塗布液吐出口６４間の間隔であるクリアランスが１０〜２００μｍ、より好ましくは５０〜１００μｍ、塗布速度が０．１〜３０ｍ／分、より好ましくは１〜２０ｍ／分、スリットダイ６３のスリット部の間隙は５０〜１０００μｍ、より好ましくは８０〜２００μｍ 、塗布膜Ｃの厚さがウェット状態で１〜５０μｍ 、より好ましくは２〜２０μｍである。
【００５３】
さらには、フィルム、金属シートや金属箔、紙等の長尺のウエブ（長尺の被塗布基材）へ塗布する塗布液５にも、本発明の脱泡装置１、および脱泡装置２０１による脱泡処理を適用してもよい。
【実施例】
【００５４】
次に、本発明を、具体的実施例を用いて、さらに説明する。
【００５５】
実施例１：
図１に示した塗布装置１００を用いた。粘度が７．５ｍＰａ・ｓ、固形分濃度が１６％で、プラズマディスプレイの前面板用ＩＴＯ透明電極のパターン形成用のポジレジスト液である塗布液５を、ステンレス製の耐圧容器３内にある厚さ１ｍｍのポリエチレンフィルムで袋状に形成された内袋容器４に１６Ｌ充填した。なお内袋容器４は、最大１９Ｌの塗布液５を充填できるものであった。内袋容器４内にある排出案内配管６は、内径φ５ｍｍ、外径φ８ｍｍ、長さが６５０ｍｍのフッ素系樹脂製チューブで、取液口１４の形状は、直径φ４ｍｍの略円形状であった。内袋容器４内の塗布液５上部にある第１空間９と排出案内配管６の取液口１４を連通させるために、脱泡装置１の回転機構５０によって回転速度２ｒｐｍで塗布液容器２を反転させた。真空源６１には到達圧力が２６０Ｐａで、排気速度が１２０Ｌ／分のダイヤフラム型ドライ真空ポンプを用いた。制御ユニット６０により、内袋容器４内の塗布液５の上部にある第１空間９の圧力が２９０Ｐａとなるように調整弁２８Ａを調整し、同様に塗布液容器２の耐圧容器３と内袋容器４との間にある第２空間８の圧力が２７０Ｐａとなるように調整弁２８Ｂを調整した。次に、制御ユニット６０によって第２空間８に連通する開閉バルブ２６Ｂを開状態とした２秒後に、第１空間９に連通する開閉バルブ２６Ａを開状態として塗布液５の減圧脱泡処理を開始した。開閉バルブ２６Ａを開状態としてから６０秒後に、制御ユニット６０によりまず開閉バルブ２６Ａを閉状態とし、その２秒後に開閉バルブ２６Ｂを閉状態として、減圧脱泡処理を終えた。
【００５６】
次に、上記脱泡処理を終えた塗布液５を用いて塗布装置１００により塗布を行った。スリットダイ６３には、スリット部の間隙が１００μｍ、長手方向長さが５５４ｍｍのものを用いた。なお、塗布液容器２から塗布液５を、排出案内配管６を介して塗布液供給装置４０に送出させるため、加圧源６２から第１空間９に供給される空気の圧力が０．０５ＭＰａとなるように、調整弁３３を制御ユニット６０により調整した。そして、洗浄された５９０ｍｍ（幅）×９６４ｍｍ（長）×２．８ｍｍ（厚）のガラス基板上に、ウェット時の塗布厚さ１２μｍ、塗布速度２ｍ／分、スリットダイ６３の塗布液吐出口６４とガラス基板間のクリアランス１５０μｍにて、塗布液５を塗布して、塗布幅５５４ｍｍで塗布長さが９６４ｍｍの塗布膜を形成した。そして、塗布後のガラス基板Ａを、ステージ７３から移載機で取り出して、６０秒の常温減圧乾燥後にホットプレートを用いた乾燥炉に投入し、１００℃で１０分間乾燥した。乾燥後、塗布品位、膜面の状態について検査した。その結果、塗布膜面全面に渡って気泡起因のピンホールや異物欠点が全く無く、塗布品位、膜面の状態は申し分のないものであった。続いて連続して１００枚のガラス基板に同じく脱泡処理した塗布液５を用いて同様の塗布を行ったが、ピンホール等の欠点は無く、塗布品位、膜面の状態は良好であった。
【００５７】
実施例２：
実施例１で脱泡装置１を脱泡装置２０１に、塗布液容器２を塗布液容器２０２に、排出案内配管６を排出案内配管２０６に、塗布装置１００を塗布装置２００に置き換え、回転機構５０による反転動作を省略した以外は全く同じようにして、塗布液５の脱泡処理と、ガラス基板への塗布と乾燥を行った。なお、塗布液容器２０２の中にある排出案内配管２０６は、内径φ５ｍｍ、外径φ８ｍｍ、長さ７０ｍｍのフッ素系樹脂製チューブで、取液口２１４の形状は、直径φ４ｍｍの略円形状であった。また取液口２１４は、塗布液容器２０２を脱泡装置２０１（加減圧ユニット２０）に接続した初期接続状態では、塗布液５の上方にあって、第１空間９と接していた。乾燥後に、塗布品位、膜面の状態について検査したところ、塗布膜面全面に渡って気泡起因のピンホールや異物欠点が全く無く、塗布品位、膜面の状態は申し分のないものであった。続いて連続して２００枚のガラス基板に同じく脱泡処理した塗布液５を用いて同様の塗布を行ったが、ピンホール等の欠点は無く、塗布品位、膜面の状態は良好であった。
【００５８】
比較例：
脱泡装置１で塗布液５を脱泡処理しなかった以外は、実施例１と全く同様にしてガラス基板上に塗布膜を形成して乾燥し、塗布品位、膜面の状態について検査した。その結果、塗布膜面上の１００ｍｍ角四方の領域当たりに、略円形で直径が１ｍｍ以下の気泡起因と考えられるピンホールが２〜３個確認された。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
この発明は、例えばプラズマディスプレイの前面板やカラー液晶ディスプレイ用カラーフィルター、ＴＦＴ用アレイ基板、光学フィルタ、プリント基板、集積回路、半導体等の製造分野で、ガラス基板などの被塗布基材表面に塗布液を吐出しながら塗布膜を形成する際に、異物や気泡起因の塗布欠点や膜厚不良を発生させない高品質の製品を製造するのに利用されうる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係る脱泡装置１を備えた塗布装置１００の概略正面断面図である。
【図２】塗布液容器２の通常時の状態と反転させたときの状態を示した概略正面断面図である。
【図３】本発明に係る別の脱泡装置２０１を備えた塗布装置２００の概略正面断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１：脱泡装置
２：塗布液容器
３：耐圧容器
４：内袋容器
５：塗布液
６：排出案内配管
７：空気流入路
８：第２空間
９：第１空間
１０：蓋部
１１：シール材
１２Ａ、１２Ｂ：継手
１３：内袋容器４の底部
１４：取液口
２０：加減圧ユニット
２１Ａ、２１Ｂ：配管
２２Ａ、２２Ｂ：切り替えバルブ
２３Ａ、２３Ｂ：配管
２４：トラップ容器
２５：配管
２６Ａ、２６Ｂ：開閉バルブ
２７Ａ、２７Ｂ：配管
２８Ａ、２８Ｂ：調整弁
２９：配管
３０：配管
３１：開閉バルブ
３２：配管
３３：調整弁
３４：配管
３５：配管
３６：開閉バルブ
４０：塗布液供給装置
４１：配管
４２：吸引用バルブ
４３：配管
４４：定容量ポンプ
４５：配管
４６：吐出用バルブ
４７：配管
５０：回転機構
５１：ベース台
５２Ａ、５２Ｂ：支柱
５３Ａ、５３Ｂ：軸
５４Ａ、５４Ｂ：把持部
５５：モータ
５６：台座
６０：制御ユニット
６１：真空源
６２：加圧源
６３：スリットダイ
６４：塗布液吐出口
７３：ステージ
１００：塗布装置
２００：塗布装置
２０１：脱泡装置
２０２：塗布液容器
２０６：排出案内配管
２１４：取液口
Ａ：基板（被塗布基材）
Ｂ：ビード
Ｃ：塗布膜
【図１】
2009241056.tif 000003
【図２】
2009241056.tif 000004
【図３】
2009241056.tif 000005