(57)【要約】      （修正有）【課題】遊星歯車式研磨装置において、ワークキャリヤ又はワーク着脱等での上ラップ板昇降時においての上ラップ板落下防止の対策として、上昇限のみのならず停止させるすべての位置で落下を防止する装置が働き上ラップ板が落下することを防止し、作業者の安全を守る研磨装置を提供する。【解決手段】上ラップ板昇降時の上ラップ板のガイドバー２３（回転止軸）を複数設け段付きとし、中間停止時にはこの段に落下防止の第二安全ロック爪部がロックし落下を防止させる。【選択図】図３
2009090437.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平面内に組み込まれた太陽歯車と内歯車との間に、被加工物を保持する複数個のキャリ
アに被加工物であるワークを挿入した後、上ラップ板を下降させ下ラップ板とで挟み込ん
だ状態で研磨剤を供給しつつワークキャリヤを自転及び公させる遊星運動と上下ラップ板
の相対的な回転運動を同時に行う研磨装置において、ワークキャリヤやワークの脱着時に
昇降する上ラップ板の停止位置の上昇限に落下防止装置を備えたことを特徴とする平面研
磨装置。
【請求項２】
上記上ラップ板落下防止装置は、上ラップ板の停止位置を上昇限から下降限まで自由に選
定可能とした格別の落下防止を可能とした請求項１記載の平面研磨装置。
【請求項３】
前記請求項２において、ワーク加工中も上ラップ板の落下防止を可能とした請求項２記載
の平面研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶、シリコン、ガラス、金属その他種々の材料の表面を両面同時に研磨加
工を行う遊星歯車式磨装置の上ラップ板落下防止装置に関するものである。            
【背景技術】
【０００２】
従来より水晶、シリコンウエハ等を研磨する研磨装置によれば、鋳鉄等の材質で造られ
た定盤と言われる上下ラップ板と太陽歯車及び内歯車を備え、該下ラップ板の上に載置さ
れ、該両歯車に噛み合わされたワークキャリアと言われる被加工物を保持する歯車を上ラ
ップ板とで把持し、自転しつつ公転する遊星運動をさせ被加工物の上下面を同時に研磨加
工を行う。
【０００３】
加工作業開始時は、被加工物であるワークをワークキャリヤに取り付ける為に、上ラッ
プ板の上方に設置された上ラップ板昇降装置により上方に移動させ上ラップ板と下ラップ
板とに作業隙間距離をつくりワークをセットする。セットが終わると上ラップ板を下降さ
せ下ラップ板の上に載置されたワークキャリアに保持されたワークの上に積載しワークを
押圧し、研磨剤を供給しながら上下ラップ板の全面を被加工物が相対的に運動するように
予め設定されたプログラムにより内歯車、太陽歯車、上ラップ板及び下ラップ板を回転さ
せ加工を開始する。
【０００４】
加工が終了するとワークキャリアに取り付けたワークを取り出す為に、上ラップ板の上
方に設置された上ラップ板昇降装置により上方に移動させワークを取り出す。このラップ
加工は、定盤と言われる上下ラップ板の平面精度を被加工物の加工面に転写する加工技術
なので、所定の平面精度が得られ加工終了となり上ラップ板を上昇すると、半数の被加工
物は、上ラップ板に密着してしまう。
【０００５】
上ラップ板の昇降装置には、上ラップ板が上昇限到達時にその直下にラップ面に近接す
るように複数のラップ板受け部を突出させ落下を防止する安全装置が設置されている為、
必ず上ラップ板は上限に停止させ、この密着したワークを上ラップ板より作業者が手作業
により外す。（特許文献１）
【特許文献１】特開平８−１７４４１２
【０００６】
しかし上ラップ板に密着したワークを外す作業時間を短縮する為には、作業者の作業し
やすい位置にまで上ラップ板を上昇停止させ、ワークを外すことである。しかしこの作業
は、宙吊りとなった上ラップ板は、落下の危険が伴うため、禁止されている。
【０００７】
また従来からの安全対策として、上ラップ板を昇降させる昇降軸を固定する方法もある
が、安全のために常にシリンダシャフトにブレーキを掛けているので、上ラップ板の荷重
を制御し加工中のラップ圧を微細に制圧するには不向きであった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記に記した従来からの研磨装置では、安全対策として上ラップ板の上昇限のみに落下
防止の装置が取り付けられていた。このため上ラップ板に密着したワークは、上昇限に限
って停止している上ラップ板から、作業者により異なる作業しやすい位置まで下降させ、
容易に取り外し作業をすることが可能となるように、作業位置の総てに上ラップ板の落下
を防ぐ安全装置が働くようにすることが作業者の安全を守り且つ作業効率を上昇させる手
段となる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そこで、本発明は、従来事情を鑑みてなされたもので、上ラップ板昇降装置の昇降用軸
や連結部分が破断して上ラップ板が落下するような事になっても上ラップ板昇降装置の昇
降軸の回り止め防止を兼ねた複数の落下防止軸により落下を防ぐため、安全性のすぐれた
上ラップ板落下防止方法及び装置を提供する。
【００１０】
上記の問題を解決するための技術的手段は、従来から使用されている上ラップ板昇降装
置の昇降用軸の回転を防止する為に設置された案内軸に連続的に傾斜段差を付け上ラップ
板上昇時には、常に落下防止爪がロックされ、上ラップ板の落下を防止する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の発明の研磨装置では、以上のような構成により下記の作用を得られた。
作業者の安全を守りつつ加工終了後のワークの取り出し及び上ラップ板の加工面の洗浄が
下ラップ板に接近した位置で停止が可能となり洗浄ノズルの入る隙間調整ができる為、と
粒が混合した廃液が飛散し周辺を汚染することを防ぐことができるばかりか作業者の手作
業による洗浄及び清掃が可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明に係る平面研磨装置について図面に基づき説明する。
【実施例】
【００１３】
以下本発明の実施例について図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施例を示す
ための要部装置構成図である。図２は、図１に示された上ラップ板の落下を防止する第２
安全装置の要部断面図でりあり、図３は、図１に示された上ラップ板の落下を防止する第
１安全装置の要部断面図である。
【００１４】
図１において、１１は研磨プレートである上ラップ板、１２は下ラップ板である。１２
下ラップ板上面に載置された１３ワークキャリヤは、１６ワークを保持するジグであり、
１４太陽歯車と１５内歯車に噛み合っている。
【００１５】
１６ワークの加工後の厚み及び研磨加工の条件は、加工プログラムとして作成し予め２
９制御盤に入力しておき、１２上ラップ板昇降機構により１１上ラップ板を上昇させ、１
３ワークキャリヤを１４太陽歯車と１５内歯車に噛み合わせた後に１６ワークを保持させ
再び１２上ラップ板を下降させ１６ワーク加工面に載積し、研磨剤を適量１１上ラップ板
を通して１６ワーク加工部分に供給し加工を開始する。供給する研磨剤の供給量は、２７
研磨剤撹拌漕より１１上ラップ板を経由して１６ワークの加工面に連続又は間欠供与され
る。
【００１６】
加工開始と共に１６ワークへは研磨剤が供与され、１１上ラップ板、１２下ラップ板、
１４太陽歯車１５内歯車は、予め設定されたプログラムに従った回転を開始しする。１２
下ラップ板及び１１上ラップ板の加工面は、供給された研磨剤であると粒を保持し、１４
ワークを研磨加工する。
【００１７】
予め設定された１６ワークの厚み又は加工時間に達すると２９制御盤からの指令により
加工を終了する。作業者は、１１上ラップ板を１７上ラップ板昇降機構により上昇させる
。１１上ラップ板が上昇限までに達すると２２第一安全ロック駆動用シリンダにより２１
第１安全ロック爪部が２０第一安全ロックガイドを滑動し１９上ラップ板昇降連結軸をロ
ックし落下を防止する。
【００１８】
１１上ラップ板に密着した１６ワークを外す時は、作業者の作業しやすい位置にまで１
１上ラップ板を下降させ停止させると２３ガイドバー切欠き部に２２安全ロック駆動用シ
リンダにより２５第二安全ロック爪部が２４第二安全ロックガイドを滑動し２３ガイドバ
ーをロックし１１上ラップ板の降下を防止する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係わる平面研磨装置の要部装置構成図である。
【図２】本発明の一実施例の中間停止において、上ラップ板の落下を防止する第２安全装置の要部断面図 ある。
【図３】本発明の上昇限において、上ラップ板の落下を防止する第１安全装置の要部断面図である。
【符号の説明】
【００２０】
１１  上ラップ板                      
１２  下ラップ板                                  
１３  ワークキャリヤ                  
１４  太陽歯車           
１５  内歯車                  
１６  ワーク                              
１７  上ラップ板昇降機構
１８  上ラップ板昇降軸
１９  上ラップ板昇降連結軸
２０  第一安全ロックガイド                                 
２１  第一安全ロック爪部                                
２２  第一安全ロック駆動用シリンダ                     
２３  ガイドバー                                                        
２４  第二安全ロックガイド                
２５  第二安全ロック爪部                                 
２６  第二安全ロック駆動用シリンダ
２７  研磨剤攪拌槽                            
２８  上ラップ板吊り上げ皿       
２９  制御盤                                    
【図１】
2009090437.tif 000003
【図２】
2009090437.tif 000004
【図３】
2009090437.tif 000005