(57)【要約】      （修正有）【課題】薄板と浮上ユニットとの干渉を回避して、薄板に傷がつくことを十分に抑えること、過剰な流量の圧縮空気が供給されることを回避して、浮上搬送装置のランニングコストの低下を十分に図る。【解決手段】各浮上ユニット７の上面に浮上ガスを噴出する枠状のノズル３９がそれぞれ形成され、各ノズル３９が垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成され、ガス供給ユニット９は、複数の浮上ユニット７のチャンバーへ浮上ガスを供給するブロワ４３と、薄板の実際の浮上量を検出する浮上量検出手段４９と、浮上量検出手段４９によって検出された検出値に基づいて、薄板Ｗの浮上量が目標の浮上量になるようにブロワ４３の駆動を制御するブロワ制御手段５５とを備えたこと。【選択図】図１
2009012877.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、
基台と、該基台に設けられかつ薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、前記基台に搬送方向に沿って配設されかつ薄板を浮上ガスの圧力によって浮上させる複数の浮上ユニットと、複数の前記浮上ユニットへ浮上ガスを供給するガス供給ユニットとを具備し、
各浮上ユニットは内側に浮上ガスを収容可能なチャンバーをそれぞれ有し、各浮上ユニットの上面に浮上ガスを噴出する枠状のノズルがそれぞれ形成され、各ノズルが前記チャンバーに連通しかつ垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成され、
前記ガス供給ユニットは、
複数の前記浮上ユニットの前記チャンバーへ浮上ガスを供給するブロワと、
薄板の実際の浮上量を検出する浮上量検出手段と、
前記浮上量検出手段によって検出された検出値に基づいて、薄板の浮上量が目標の浮上量になるように前記ブロワの駆動を制御するブロワ制御手段とを備えたことを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、
基台と、該基台に設けられかつ薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、前記基台に搬送方向に沿って配設されかつ薄板を浮上ガスの圧力によって浮上させる複数の浮上ユニットと、複数の前記浮上ユニットへ浮上ガスを供給するガス供給ユニットとを具備し、
各浮上ユニットは内側に浮上ガスを収容可能なチャンバーをそれぞれ有し、各浮上ユニットの上面に浮上ガスを噴出する枠状のノズルがそれぞれ形成され、各ノズルが前記チャンバーに連通しかつ垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成され、
前記ガス供給ユニットは、
複数の前記浮上ユニットの前記チャンバーへ浮上ガスを供給するブロワと、
薄板に有した品種表示部から薄板の品種情報を読取る品種情報読取手段と、
薄板の品種に応じて設定された前記ブロワの複数のブロワ駆動情報を記憶するブロワ駆動情報記憶手段と、
前記品種情報読取手段に読取られた薄板の品種情報に基づいて、前記ブロワ駆動情報記憶手段に記憶された複数のブロワ駆動情報の中からいずれかのブロワ駆動情報を選択するブロワ駆動情報選択手段と、
前記ブロワ駆動情報選択手段によって選択されたブロワ駆動情報に基づいて、前記ブロワの駆動を制御するブロワ制御手段とを備えたことを特徴とする浮上搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばガラス基板等の薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、浮上搬送装置について種々の開発がなされており、一般的な浮上搬送装置の構成は、次のようになる。
【０００３】
即ち、一般的な浮上搬送装置は、基台を具備しており、基台には、ガラス基板等の薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットが設けられている。また、基台には、浮上ガスとしての圧縮空気の圧力によって薄板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向に間隔を置いて配設されており、各浮上ユニットは、内側に、圧縮空気を収容可能なチャンバーをそれぞれ有してあって、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出するノズルがそれぞれ形成されている。更に、基台の近傍（又は基台の適宜位置）には、複数の浮上ユニットのチャンバーへ圧縮空気を供給するブロワが配設されている。
【０００４】
したがって、ブロワの駆動によって複数の浮上ユニットのチャンバーへ圧縮空気を供給して、複数の浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させると共に、搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、浮上搬送装置に搬入された薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる。
【０００５】
なお、本発明に関連する先行技術として、本発明の出願人が既に出願したものがある（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００６−１８２５６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、一般的な浮上搬送装置にあっては、複数の浮上ユニットのチャンバーへ供給される圧縮空気の流量を大きく増加させても、薄板の浮上量は大きく増加することはなく（図３参照）、通常、一定の流量の圧縮空気をチャンバーへ供給するようになっている。そのため、例えば大きな曲がり部を有した薄板等、先行の浮上ユニットから後続の浮上ユニットに乗り継ぎ難い薄板（以下、乗り継ぎ難い薄板という）を搬送方向へ搬送する場合には、薄板が浮上ユニットに干渉して、薄板に傷が付き易いという問題がある。また、例えば曲がり部のない薄板等、先行の浮上ユニットから後続の浮上ユニットに乗り継ぎ易い薄板（以下、乗り継ぎ易い薄板という）を搬送方向へ搬送する場合には、複数の浮上ユニットのチャンバーへ過剰な流量の圧縮空気が供給されることになり、浮上搬送装置のランニングコストの低下を十分に図ることができないという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の発明者は、前述の課題を解決するために、種々の実験等を繰り返した結果、各浮上ユニットの上面に枠状のノズルをそれぞれ形成しかつ各ノズルを垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成した場合には、前述の一般的な浮上搬送装置の場合と異なり、複数の浮上ユニットのチャンバーへ供給される浮上ガスの流量を大きく増やすと、それに応じて、薄板の浮上量が大きく増加するという、新規な知見を得ることができ、本発明を完成するに至った。
【０００９】
本発明の第１の特徴は、薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、基台と、該基台に設けられかつ薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、前記基台に搬送方向に沿って配設されかつ薄板を浮上ガスの圧力によって浮上させる複数の浮上ユニットと、複数の前記浮上ユニットへ浮上ガスを供給するガス供給ユニットとを具備し、各浮上ユニットは内側に浮上ガスを収容可能なチャンバーをそれぞれ有し、各浮上ユニットの上面に浮上ガスを噴出する枠状のノズルがそれぞれ形成され、各ノズルが前記チャンバーに連通しかつ垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成され、前記ガス供給ユニットは、複数の前記浮上ユニットの前記チャンバーへ浮上ガスを供給するブロワと、薄板の実際の浮上量を検出する浮上量検出手段と、前記浮上量検出手段によって検出された検出値に基づいて、薄板の浮上量が目標の浮上量になるように前記ブロワの駆動を制御するブロワ制御手段とを備えたことを要旨とする。
【００１０】
なお、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、ブラケット等の中間部材を介して間接的に設けられたことを含む意であって、「浮上ガス」と、圧縮空気の他に、アルゴンガス又は窒素ガス等を含む意である。
【００１１】
本発明の第１の特徴によると、前記ブロワの駆動によって複数の前記浮上ユニットの前記チャンバーへ浮上ガスを供給して、複数の前記浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させると共に、前記搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、前記浮上搬送装置に搬入された薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる（前記浮上搬送装置の一般的な作用）。
【００１２】
前記浮上搬送装置の一般的な作用の他に、各浮上ユニットの上面に枠状の前記ノズルがそれぞれ形成され、各ノズルが垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成されているため、前述の新規な知見を考慮すると、複数の前記浮上ユニットの前記チャンバーへ供給される浮上ガスの流量を大きく増やすと、それに応じて、薄板の浮上量を大きく増やすことができ、次のように、前記ブロワの駆動を制御することが可能になる。
【００１３】
即ち、薄板の搬送を開始した後に、前記浮上量検出手段は、薄板の実際の浮上量を検出する。そして、前記ブロワ制御部は、前記浮上量検出手段によって検出された検出値に基づいて、薄板の浮上量が目標の浮上量になるように前記ブロワの駆動を制御する。
【００１４】
本発明の第２の特徴は、薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送する浮上搬送装置において、基台と、該基台に設けられかつ薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットと、前記基台に搬送方向に沿って配設されかつ薄板を浮上ガスの圧力によって浮上させる複数の浮上ユニットと、複数の前記浮上ユニットへ浮上ガスを供給するガス供給ユニットとを具備し、各浮上ユニットは内側に浮上ガスを収容可能なチャンバーをそれぞれ有し、各浮上ユニットの上面に浮上ガスを噴出する枠状のノズルがそれぞれ形成され、各ノズルが前記チャンバーに連通しかつ垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成され、前記ガス供給ユニットは、複数の前記浮上ユニットの前記チャンバーへ浮上ガスを供給するブロワと、薄板に有した品種表示部から薄板の品種情報を読取る品種情報読取手段と、薄板の品種に応じて設定された前記ブロワの複数のブロワ駆動情報を記憶するブロワ駆動情報記憶手段と、前記品種情報読取手段に読取られた薄板の品種情報に基づいて、前記ブロワ駆動情報記憶手段に記憶された複数のブロワ駆動情報の中からいずれかのブロワ駆動情報を選択するブロワ駆動情報選択手段と、前記ブロワ駆動情報選択手段によって選択されたブロワ駆動情報に基づいて、前記ブロワの駆動を制御するブロワ制御手段とを備えたことを要旨とする。
【００１５】
本発明の第２の特徴によると、前記ブロワの駆動によって複数の前記浮上ユニットの前記チャンバーへ浮上ガスを供給して、複数の前記浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させると共に、前記搬送ユニットを適宜に動作させる。これにより、前記浮上搬送装置に搬入された薄板を浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる（前記浮上搬送装置の一般的な作用）。
【００１６】
前記浮上搬送装置の一般的な作用の他に、各浮上ユニットの上面に枠状の前記ノズルがそれぞれ形成され、各ノズルが垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成されているため、前述の新規な知見を考慮すると、複数の前記浮上ユニットの前記チャンバーへ供給される浮上ガスの流量を大きく増やすと、それに応じて、薄板の浮上量を大きく増やすことができ、次のように、前記ブロワの駆動を制御することが可能になる。
【００１７】
即ち、薄板の搬送前又は搬送を開始した後に、前記品種情報読取手段は、薄板に有した品種表示部から薄板の品種情報を読取る。次に、前記ブロワ駆動情報選択手段は、前記品種情報読取手段に読取られた薄板の品種情報に基づいて、前記ブロワ駆動情報記憶手段に記憶された複数のブロワ駆動情報の中からいずれかのブロワ駆動情報を選択する。そして、前記ブロワ制御手段は、前記ブロワ駆動情報選択手段によって選択されたブロワ駆動情報に基づいて、前記ブロワの駆動を制御する。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に記載の発明によれば、薄板の浮上量が目標の浮上量になるように前記ブロワの駆動を制御しているため、乗り継ぎ難い薄板を搬送方向へ搬送する場合には、目標の浮上量を大きめに設定しておくことにより、薄板と前記浮上ユニットとの干渉を回避して、薄板に傷がつくことを十分に抑えることができる。また、同じ理由から、乗り継ぎ易い薄板を搬送方向へ搬送する場合には、目標浮上量を小さめに設定しておくことにより、複数の前記浮上ユニットの前記チャンバーへ過剰な流量の浮上ガスが供給されることを回避して、前記浮上搬送装置のランニングコストの低下を十分に図ることができる。
【００１９】
請求項２に記載の発明によれば、薄板の品種情報に基づいて複数のブロワ駆動情報の中からいずれかのブロワ駆動情報を選択し、選択されたブロワ駆動情報に基づいて前記ブロワの駆動を制御しているため、乗り継ぎ難い薄板については薄板の浮上量が大きくなるようなブロワ駆動情報を設定しておくことにより、乗り継ぎ難い薄板を搬送方向へ搬送する場合に、薄板と前記浮上ユニットとの干渉を回避して、薄板に傷がつくことを十分に抑えることができる、また、同じ理由から、乗り継ぎ易い薄板については薄板の浮上量が小さくなるようなブロワ駆動情報を設定しておくことにより、乗り継ぎ易い薄板を搬送方向へ搬送する場合に、複数の前記浮上ユニットの前記チャンバーへ過剰な流量の浮上ガスが供給されることを回避して、前記浮上搬送装置のランニングコストの低下を十分に図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（第１実施形態）
第１実施形態について図１から図８を参照して説明する。ここで、図１は、第１実施形態の要部を示す図、図２は、第１実施形態に係る浮上搬送装置の動作を示すフローチャート、図３は、圧縮空気の流量と薄板の浮上量の関係を示す図、図４は、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図、図５は、図４におけるV-V線に沿った拡大図、図６は、本発明の実施形態に係る浮上ユニットの平面図、図７は、図６におけるVII-VII線に沿った断面図、図８は、図６におけるVIII-VIII線に沿った断面図である。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指している。
【００２１】
図４及び図５に示すように、第１実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の薄板Ｗを浮上させた状態の下で搬送方向（後方向）へ搬送する装置であって、前後方向へ延びた基台３と、基台３に設けられかつ薄板Ｗを搬送方向へ搬送する搬送ユニット５と、基台３に搬送方向及び搬送方向に直交する方向に間隔を置いて配設されかつ薄板Ｗを浮上ガスとして圧縮空気の圧力によって浮上させる複数の浮上ユニット７と、複数の浮上ユニット７へ圧縮空気を供給するガス供給ユニット９とを具備している。
【００２２】
搬送ユニット５の具体的な構成の内容は、次のようになる。
【００２３】
即ち、基台３の左端部付近及び右端部付近には、薄板Ｗの端部を支持する回転可能な複数の支持ローラ１１（複数の左寄りの支持ローラ１１と複数の右寄りの支持ローラ１１）がブラケット１３を介して前後方向へ間隔を置いてそれぞれ設けられており、各支持ローラ１１の回転軸１１ｓには、ウォームホイール１５がそれぞれ一体的に設けられている。また、基台３の左端部及び右端部には、前後方向へ延びた駆動軸１７が軸受（図示省略）等を介して回転可能にそれぞれ設けられており、各駆動軸１７は、外周部に、対応するウォームホイール１５に噛合した複数のウォーム１９をそれぞれ有している。そして、基台３の前側左部及び前側右部には、対応する駆動軸１７を回転させる搬送モータ２１がブラケット２３を介してそれぞれ設けられており、各搬送モータ２１の出力軸２１ｓは、対応する駆動軸１７の前端部にカップリング等を介して一体的に連結されている。
【００２４】
なお、２本の駆動軸１７を２つ搬送モータ２１で回転させる代わりに、１つの搬送モータ２１で回転させるようにしても構わない。また、複数の支持ローラ１１及び搬送モータ２１等を備えた搬送ユニット５の代わりに、薄板Ｗの端部を把持しかつ搬送方向へ移動可能なクランパを備えた別の搬送ユニット等を用いても構わない。
【００２５】
各浮上ユニット７の具体的な構成の内容は、次のようになる。
【００２６】
即ち、図６から図８に示すように、基台３には、浮上ユニット７のユニットベース部材２５がブラケット２７を介して設けられており、このユニットベース部材２５は、内側に、圧縮空気を供給可能なチャンバー２９を有している。
【００２７】
ユニットベース部材２５の上側には、枠状の下部外郭部材３１が設けられており、この下部外郭部材３１の内側には、島部材３３が一体的に設けられている。また、島部材３３の上部は、下部外郭部材３１から上方向へ突出してあって、島部材３３は、上部外側に、垂直方向に対してユニット中心側（浮上ユニット７の中心側）へ略４５度傾斜した外側傾斜面３３ａを有している。
【００２８】
下部外郭部材３１の上側には、枠状の上部外郭部材３５が島部材３３を囲むように設けられており、上部外郭部材３５は、内側に、垂直方向に対してユニット中心側へ略４５度傾斜した内側傾斜面３５ａを有している。また、上部外郭部材３５の内側傾斜面３５ａには、島部材３３の外側傾斜面３３ａに当接可能な複数の位置決め突起３７が一体的に設けられている。なお、上部外郭部材３５の内側傾斜面３５ａに位置決め突起３７が一体的に設けられる代わりに、島部材３３の外側傾斜面３３ａに上部外郭部材３５の内側傾斜面３５ａに当接可能な位置決め突起が一体的に設けられるようにしても構わない。
【００２９】
上部外郭部材３５の内側傾斜面３５ａと島部材３３の外側傾斜面３３ａとの間には、圧縮空気を噴出する枠状のノズル３９が区画形成されており、換言すれば、浮上ユニット７の上面には、枠状のノズル３９が形成されており、ノズル３９は、チャンバー２９に連通してある。また、前述のように、島部材３３の外側傾斜面３３ａ及び上部外郭部材３５の内側傾斜面３５ａが垂直方向に対してユニット中心側へ略４５度傾斜しているため、ノズル３９は、垂直方向に対してユニット中心側へ略４５度傾斜するように構成されている。
【００３０】
なお、複数の浮上ユニット７のチャンバー２９は、複数のエア配管４１によって連通するようになっている。
【００３１】
浮上搬送装置１の要部であるガス供給ユニット９の具体的な構成の内容（具体的な構成が成立するまでの過程を含む）は、次のようになる。
【００３２】
本発明の発明者は、種々の実験等を繰り返した結果、各浮上ユニット７の上面に枠状のノズル３９をそれぞれ形成しかつ各ノズル３９を垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成した場合（特殊なノズル３９を備えた場合）には、図３に示すように、一般的な浮上搬送装置の場合と異なり、複数の浮上ユニット７のチャンバー２９へ供給される圧縮空気の流量を大きく増やすと、それに応じて、薄板Ｗの浮上量が大きく増加するという、新規な知見を得ることができ、ガス供給ユニット９の具体的な構成を成立するに至った。
【００３３】
即ち、図１に示すように、基台３の前方近傍には、複数の浮上ユニット７のチャンバー２９へ圧縮空気を供給するブロワ４３が配設されており、このブロワ４３は、適宜のエア配管４１に接続されている。また、ブロワ４３は、送風動作させる（具体的には、ブロワ４３の羽根を回転させる）ブロワモータ４５を備えており、このブロワモータ４５は、インバータ電源４７に電気的に接続されている。
【００３４】
基台３の前側部分の適宜位置には、薄板Ｗの実際の浮上量を検出する浮上量検出器としてのレーザ測長器４９が支持アーム５１を介して設けられている。なお、レーザ測長器４９の代わりに、別の浮上量検出器を用いても構わない。
【００３５】
ブロワ４３の近傍には、ブロワ４３の駆動を制御するコントローラ５３が配設されており、このコントローラ５３は、制御プログラム等を記憶するメモリと、一連のブロワ４３の駆動制御等を実行するＣＰＵとを備えてあって、インバータ電源４７及びレーザ測長器４９が電気的に接続されている。そして、コントローラ５３のＣＰＵは、レーザ測長器４９によって検出された検出値（薄板Ｗの実際の浮上量）に基づいて、薄板Ｗの浮上量が目標の浮上量になるようにブロワ４３の駆動（具体的には、インバータ電源４７の電源周波数）を制御するブロワ制御部５５としての機能を有している。
【００３６】
続いて、第１実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３７】
ブロワモータ４５の駆動によって複数の浮上ユニット７のチャンバー２９へ圧縮空気を供給して、複数の浮上ユニット７のノズル３９から圧縮空気を噴出させる。また、２つの搬送モータ２１の駆動により２本の駆動軸１７を同期して回転させることにより、ウォームホイール１５とウォーム１９の噛合作用によって複数の左寄りの支持ローラ１１及び複数の右寄りの支持ローラ１１を一方向へ回転させる。これにより、浮上搬送装置１に搬入された薄板Ｗを浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる（浮上搬送装置１の一般的な作用）。
【００３８】
浮上搬送装置１の一般的な作用の他に、各浮上ユニット７の上面に枠状のノズル３９がそれぞれ形成され、各ノズル３９が垂直方向に対してユニット中心側へ４５度傾斜するようにそれぞれ構成されているため、前述の新規な知見を考慮すると、複数の浮上ユニット７のチャンバー２９へ供給される圧縮空気の流量を大きく増やすと、それに応じて、薄板Ｗの浮上量を大きく増やすことができ、次のように、ブロワ４３の駆動を制御することが可能になる。
【００３９】
即ち、図２に示すように、薄板Ｗの搬送を開始した後に（図２におけるステップ１１）、レーザ測長器４９は、薄板Ｗの実際の浮上量を検出する（図２におけるステップ１２）。そして、コントローラ５３のＣＰＵ（ブロワ制御部５５）は、レーザ測長器４９によって検出された検出値（薄板Ｗの実際の浮上量）に基づいて、薄板Ｗの浮上量が目標の浮上量になるようにインバータ電源４７の電源周波数を制御する（図２におけるステップ１３）。具体的には、薄板Ｗの実際の浮上量が目標の浮上量よりも小さい場合には、現在の電源周波数よりも高くするようにインバータ電源４７の電源周波数を制御し、反対に、薄板Ｗの実際の浮上量が目標の浮上量よりも大きい場合には、現在の電源周波数よりも低くするようにインバータ電源４７の電源周波数を制御する。
【００４０】
以上如き、第１実施形態によれば、薄板Ｗの浮上量が目標の浮上量になるようにブロワ４３の駆動（インバータ電源４７の電源周波数）を制御しているため、乗り継ぎ難い薄板Ｗを搬送方向へ搬送する場合には、目標の浮上量を大きめに設定しておくことにより、薄板Ｗと浮上ユニット７との干渉を回避して、薄板Ｗに傷がつくことを十分に抑えることができる。また、同じ理由から、乗り継ぎ易い薄板Ｗを搬送方向へ搬送する場合には、目標浮上量を小さめに設定しておくことにより、複数の浮上ユニット７のチャンバー２９へ過剰な流量の圧縮空気が供給されることを回避して、浮上搬送装置１のランニングコストの低下を十分に図ることができる。
【００４１】
（第２実施形態）
第２実施形態について図４、図９、及び図１０を参照して説明する。
【００４２】
ここで、図４は、前述のように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図、図９は、第２実施形態の要部を示す図、図１０は、第２実施形態に係る浮上搬送装置の動作を示すフローチャートである。
【００４３】
図４に示すように、第２実施形態に係る浮上搬送装置５７は、薄板Ｗを浮上させた状態の下で搬送方向（後方向）へ搬送する装置であって、第１実施形態に係る浮上搬送装置１と略同じ構成を有しており、第２実施形態の係る浮上搬送装置５７の具体的な構成のうち、第１実施形態に係る浮上搬送装置１の具体的な構成と異なる部分（第２実施形態に係るガス供給ユニット５９の具体的な構成）について説明する。また、第２実施形態に係るガス供給ユニット５９は、第１実施形態に係るガス供給ユニット９と同様に、前述の新規な知見を前提としている。なお、第２の実施形態に係る浮上搬送装置５７における複数の構成要素のうち、第１の実施形態に係る浮上搬送装置１における構成要素と対応するものについては、図中に同一番号を付して、説明を省略する。
【００４４】
即ち、図９に示すように、基台３の前方近傍には、複数の浮上ユニット７のチャンバー２９へ圧縮空気を供給するブロワ６１が配設されており、このブロワ６１は、適宜のエア配管４１に接続されている。また、ブロワ６１は、送風動作させる（具体的には、ブロワ６１の羽根を回転させる）ブロワモータ６３を備えており、このブロワモータ６３は、インバータ電源６５に電気的に接続されている。
【００４５】
基台３の前側部分の適宜位置には、薄板Ｗに付した品種表示部Ｗａから薄板Ｗのコード化した品種情報を読取るコードリーダ６７が支持アーム６９を介して設けられている。なお、品種情報のコード化は、バーコード化、二次元コード化のいずれであっても構わない。
【００４６】
ブロワ６１の近傍には、ブロワ６１の駆動を制御するコントローラ７１が配設されており、このコントローラ７１は、制御プログラム等を記憶するメモリと、一連のブロワ６１の駆動制御等を実行するＣＰＵとを備えてあって、インバータ電源６５及びコードリーダ６７が電気的に接続されている。そして、コントローラ７１のメモリは、薄板Ｗの品種に応じて設定されたブロワ６１の複数のブロワ駆動情報（具体的には、インバータ電源６５の電源周波数情報）をテーブルとして記憶するブロワ駆動情報記憶部７３としての機能を有している。また、コントローラ７１のＣＰＵは、コードリーダ６７が読取った薄板Ｗのコード化した品種情報をデジタル化した品種情報として取得する品種情報取得部７５としての機能、取得された薄板Ｗの品種情報に基づいて複数のブロワ駆動情報の中からいずれかのブロワ駆動情報を選択するブロワ駆動情報選択部７７としての機能、及び選択されたブロワ駆動情報に基づいてブロワ６１の駆動（具体的には、インバータ電源６５の電源周波数）を制御するブロワ制御部７９としての機能を有している。
【００４７】
なお、コードリーダ６７及び品種情報取得部７５は、特許請求の範囲に記載された品種情報読取手段に相当する。
【００４８】
続いて、第２実施形態の作用及び効果について説明する。
【００４９】
ブロワモータ６３の駆動によって複数の浮上ユニット７のチャンバー２９へ圧縮空気を供給して、複数の浮上ユニット７のノズル３９から圧縮空気を噴出させる。また、２つの搬送モータ２１の駆動により２本の駆動軸１７を同期して回転させることにより、複数の左寄りの支持ローラ１１及び複数の右寄りの支持ローラ１１を一方向へ回転させる。これにより、浮上搬送装置５７に搬入された薄板Ｗを浮上させた状態の下で搬送方向へ搬送することができる（浮上搬送装置５７の一般的な作用）。
【００５０】
浮上搬送装置５７の一般的な作用の他に、前述の新規な知見を考慮すると、複数の浮上ユニット７のチャンバー２９へ供給される圧縮空気の流量を大きく増やすと、それに応じて、薄板Ｗの浮上量を大きく増やすことができ、次のように、ブロワ６１の駆動を制御することが可能になる。
【００５１】
即ち、図１０に示すように、薄板Ｗの搬送前に、コードリーダ６７は、浮上搬送装置５７に搬入された薄板Ｗに付した品種表示部Ｗａから薄板Ｗのコード化した品種情報を読取り（図１０におけるステップ２１）、コントローラ７１のＣＰＵ（品種情報取得部７５）は、薄板Ｗのコード化した品種情報をデジタル化した品種情報として取得する（図１０におけるステップ２２）。次に、コントローラ７１のＣＰＵ（品種情報取得部７５）は、取得された薄板Ｗの品種情報に基づいて複数のブロワ駆動情報の中からいずれかのブロワ駆動情報を選択する（図１０におけるステップ２３）。そして、コントローラ７１のＣＰＵ（ブロワ制御部７９）は、選択されたブロワ駆動情報に基づいてインバータ電源６５の電源周波数を制御し（図１０におけるステップ２４）、前述のように、薄板Ｗの搬送を開始する（図１０におけるステップ２５）。
【００５２】
なお、ステップ２４からステップ２５の処理を薄板Ｗの搬送を開始する前に実行する代わりに、薄板Ｗの搬送の開始後に実行するようにしても構わない。
【００５３】
以上の如き、第２実施形態によれば、薄板Ｗの品種情報に基づいて複数のブロワ駆動情報の中からいずれかのブロワ駆動情報を選択し、選択されたブロワ駆動情報に基づいてブロワの駆動（インバータ電源６５の電源周波数）を制御しているため、乗り継ぎ難い薄板については薄板Ｗの浮上量が大きくなるようなブロワ駆動情報を設定しておくことにより、乗り継ぎ難い薄板Ｗを搬送方向へ搬送する場合に、薄板Ｗと浮上ユニット７との干渉を回避して、薄板Ｗに傷がつくことを十分に抑えることができる、また、同じ理由から、乗り継ぎ易い薄板Ｗについては薄板Ｗの浮上量が小さくなるようなブロワ駆動情報を設定しておくことにより、乗り継ぎ易い薄板Ｗを搬送方向へ搬送する場合に、複数の浮上ユニット７のチャンバー２９へ過剰な流量の圧縮空気が供給されることを回避して、浮上搬送装置５７のランニングコストの低下を十分に図ることができる。
【００５４】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】第１実施形態の要部を示す図である。
【図２】第１実施形態に係る浮上搬送装置の動作を示すフローチャートである。
【図３】圧縮空気の流量と薄板の浮上量の関係を示す図である。
【図４】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図である。
【図５】図４におけるV-V線に沿った拡大図である。
【図６】本発明の実施形態に係る浮上ユニットの平面図である。
【図７】図６におけるVII-VII線に沿った断面図であって、薄板を浮上させた状態を示している。
【図８】図６におけるVIII-VIII線に沿った断面図であって、薄板を浮上させた状態を示している。
【図９】第２実施形態の要部を示す図である。
【図１０】第２実施形態に係る浮上搬送装置の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５６】
１          浮上搬送装置
３          基台
５          搬送ユニット
７          浮上ユニット
９          ガス供給ユニット
２９          チャンバー
３９          ノズル
４３          ブロワ
４５          ブロワモータ
４７          インバータ電源
４９          レーザ測長器
５３          コントローラ
５５          ブロワ制御部
５７          浮上搬送装置
５９          ガス供給ユニット
６１          ブロワ
６３          ブロワモータ
６５          インバータ電源
６７          コードリーダ
７１          コントローラ
７３          ブロワ駆動情報記憶部
７５          品種情報取得部
７７          ブロワ駆動情報選択部
７９          ブロワ制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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