(57)【要約】【課題】  検査用基板の交換を容易に行なうことができる検査用基板固定機構を提供する。【解決手段】      ＤＵＴの試験を行なうためのテストヘッドに実装される検査用基板を固定する検査用基板固定機構において、前記テストヘッドに上から覆いかぶさるように結合されるカバーと、このカバーと結合されると共に、前記カバーの上部に前記カバーと対抗して接続される前記検査用基板を固定するテストヘッドカード固定金具とを備え、前記検査用基板を着脱する際は、前記カバーと前記テストヘッドカード固定金具が結合した状態で前記テストヘッドから着脱される。【選択図】                    図１
2009098045.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＤＵＴの試験を行なうためのテストヘッドに実装される検査用基板を固定する検査用基板固定機構において、
前記テストヘッドに上から覆いかぶさるように結合されるカバーと、
このカバーと結合されると共に、前記カバーの上部に前記カバーと対抗して接続される前記検査用基板を固定するテストヘッドカード固定金具とを備え、
前記検査用基板を着脱する際は、前記カバーと前記テストヘッドカード固定金具が結合した状態で前記テストヘッドから着脱されることを特徴とする検査用基板固定機構。
【請求項２】
前記テストヘッドカード固定金具の中央両端を貫通するように設けられた一対のガイドシャフトと、
このガイドシャフトの近傍の中央よりに形成された一対の視認用透明窓と
を備えたことを特徴とする請求項１記載の検査用基板固定機構。
【請求項３】
前記視認用透明窓の近傍の中央よりに一対のハンドルを備えたことを特徴とする請求項１又は２記載の検査用基板固定機構。
【請求項４】
前記検査用基板固定機構の端面の四隅にハンドルを設けたことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の検査用基板固定機構。
【請求項５】
前記検査用基板固定機構を半導体試験装置に用いたことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の検査用基板固定機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体試験装置のテストヘッドの検査用基板固定機構に関し、特に、検査用基板の交換を容易に行なうことができる検査用基板固定機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体試験装置は、被試験対象（以下ＤＵＴともいう）であるＩＣ、ＬＳＩ等に試験信号を与えることにより得られるＤＵＴの出力に基づき、ＤＵＴの良否の判定を行なうものである。このような半導体試験装置に関連する先行技術文献には次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５―３２１２３８号公報
【０００４】
ところで、半導体試験装置のテストヘッドには複数の検査用基板が備えられている。また、これらの検査用基板は、テストヘッドの内部に等間隔で配置されると共に、テストヘッドのカバーの上にも載置され、いずれの検査用基板についてもテストヘッドを回転させても当該基板が外れないように固定することが必要とされる。
【０００５】
そこで、まずは本発明による検査用基板固定機構の理解を容易にするため、半導体試験装置のテストヘッドの構成例を説明する。
【０００６】
図４は、テストヘッドの構成例である。図４（Ａ）のように、テストヘッド３には検査用基板２が２列で等間隔に設けられている。そして、図４（Ａ）のように検査用基板固定機構１をテストヘッド３に覆い被せるように蓋をする。そうすると、検査用基板１には位置決め機構５（貫通穴）が形成されているので、図４（Ｂ）のように、検査用基盤２の端面に設けられたコネクタが位置決め機構５を貫通する。そして、検査用基板４には勘合部６が設けられており、この勘合部６が検査用基板２の端面に設けられているコネクタと勘合する。
【０００７】
本発明は、図４の構成のうち検査用基板固定機構１に特徴があるので、検査用基板固定機構１の従来例について図５を参照して説明する。従来の検査用基板固定機構１は、テストヘッドカード固定金具１０、第１のカバー２０、第２のカバー３０の３点で構成される。
【０００８】
テストヘッドカード固定金具１０について説明する。テストヘッドカード（検査用基板）固定金具１０は概略長方形の金属性板であり、平面図１１のように、横方向に等間隔で検査用基板４が貫通する位置決め機構５が設けられている。また、上面図１２のように、表裏両面の左端および右端にはガイドシャフト１４が貫通するように設けられている。また、このガイドシャフトは右側面図１３のように、テストヘッドカード固定金具１０の概略中央部に設けられている。
【０００９】
第１のカバー２０について説明する。第１のカバー２０は、平面図２１のように下側の中央部付近にカバーがない略コの字型に形成され、この第１のカバー２０がテストヘッドカード固定金具１０の上側と結合する。また、第１のカバー２０は、図４のテストヘッド３に蓋をするように使用するため、右側面図２２のように、カバーの淵は一定程度（約セ６ンチメートル）の長さを持つ。
【００１０】
一方、第２のカバー３０は、平面図３１のように上側の中央部付近にカバーがない略コの字型に形成され、この第２のカバー３０がテストヘッドカード固定金具１０の下側と結合する。また、第２のカバー３０は、図４のテストヘッド３に蓋をするように使用するため、右側面図３２のように、カバーの淵は一定程度の長さを持つ。また、カバー上面図４０から明らかなように、第１のカバーおよび第２のカバーの四方の淵はともに一定程度の長さを持つ。
【００１１】
図６は、図５の３点の部品（テストヘッドカード固定金具１０、第１のカバー２０、第２のカバー３０）が結合した状態の検査用基板固定機構１の説明図である。平面図５０のように、第１のカバー２０と第２のカバー３０がテストヘッドカード固定金具１０にねじ締結にて取り付けられ、一体的に形成される。なお、一体形成された検査用基板固定機構１は、テストヘッド３に覆い被せて使用するため一辺が１メートル程度の大きさとなる。
【００１２】
このように、従来の検査用基板固定機構１は３点の部品を個別にねじ締結することにより形成されていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかし、従来の検査用基板固定機構１は、３点の部品（テストヘッドカード固定金具１０、第１のカバー２０、第２のカバー３０）がそれぞれ個別にネジ締結されるため、取り外し作業に長時間を要する問題点がある。また、３点の部品を取り外した後は、バラバラの状態になってしまい管理しにくい。また、部品点数が３点からなるため、部品コストが高くなる。さらに、ＤＵＴの種類ごとに検査用基盤２、４の種類が異なるため、仕様毎に異なるカバーが複数存在し、量産効果が期待できない。
【００１４】
本発明は、これらの問題点に鑑みてなされたものであり、検査用基板の交換を容易に行なうことができる検査用基板固定機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
このような課題を達成するために請求項１記載の発明は、
ＤＵＴの試験を行なうためのテストヘッドに実装される検査用基板を固定する検査用基板固定機構において、
前記テストヘッドに上から覆いかぶさるように結合されるカバーと、
このカバーと結合されると共に、前記カバーの上部に前記カバーと対抗して接続される検査用基板を固定するテストヘッドカード固定金具とを備え、
前記検査用基板を着脱する際は、前記カバーと前記テストヘッドカード固定金具が結合した状態で前記テストヘッドから着脱される。
【００１６】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の検査用基板固定機構において、
前記テストヘッドカード固定金具の中央両端を貫通するように設けられた一対のガイドシャフトと、
このガイドシャフトの近傍の中央よりに形成された一対の視認用透明窓と
を備える。
【００１７】
また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の検査用基板固定機構において、
前記視認用透明窓の近傍の中央よりに一対のハンドルを備える。
【００１８】
また、請求項４記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の検査用基板固定機構において、
前記検査用基板固定機構の端面の四隅にハンドルを設ける。
【００１９】
さらに、請求項５記載の発明は、請求項１から４のいずれかに記載の検査用基板固定機構において、
前記検査用基板固定機構を半導体試験装置に用いる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明では、次のような効果がある。カバーとテストヘッドカード固定金具を結合した状態でテストヘッドから着脱するので、検査用基板の交換を容易に行なうことができる検査用基板固定機構を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の半導体試験装置の構成例を説明する。図１は、本発明による検査用基板固定機構１００の組立図である。テストヘッドカード固定金具１１０は、太線で囲まれているように概略長方形に形成されている。視認用透明窓１１１は、ガイドシャフト１１２を視認するため、例えば透明のプラスチックで形成される。
【００２２】
ガイドシャフト１１２は、テストヘッドカード固定金具１１０の中央両端を貫通するように設けられ、表面に突出したガイドシャフト１１２は図４で説明した検査用基板４を接続するために利用され、裏面に突出したガイドシャフト１１２は図４のテストヘッド３と接続する際に使用される。
【００２３】
一対のハンドル１１３は、テストヘッドカード固定金具１１０の表面であって、視認用透明窓１１１よりもやや中央付近に設けられ、テストヘッド３から検査用基板固定機構１００を取り外す際に取手の役割を果たす。また、一対のハンドル１１３は、使用しないときは図４の検査用基板４を接続する際に邪魔にならないようテストヘッドカード固定金具１１０に密着する。位置決め機構１１４は、ハンドル１１３の上下に設けられ、検査用基板２の端面に設けられたコネクタが貫通し、このコネクタと図４の検査用基板４が勘合部６で勘合する。
【００２４】
カバー１２０は、図５の第１のカバー２０、第２のカバー３０の組み合わせと相違して、一つの部品からなり、テストヘッド固定金具１１０にねじ締結され、両者を合わせて検査用基板固定機構１００となる。ここで、この検査用基板固定機構１００は、テストヘッド３にカバー１２０とテストヘッド固定金具１１０が結合された状態で着脱される。したがって、検査用基板２、４の着脱が容易となる。
【００２５】
次に、図２を参照して視認用透明窓１１１の使用例を説明する。検査用基板固定機構１００をテストヘッド３に覆い被せるときにはテストヘッドガイド穴１５１にガイドシャフト１１２の裏面に突出した部分を勘合して位置を合わせる。その際に、作業者は、検査用基板固定機構１００の概略中央の上空から、テストヘッドガイド穴１５１とガイドシャフト１１２の位置関係が把握できるように、視認用透明窓１１を介して斜めに覗き込み、両者を勘合させる。
【００２６】
このように、本発明は、カバー１２０とテストヘッドカード固定金具１１０を結合した状態でテストヘッド３から着脱するので、検査用基板２、４の交換を容易に行なうことができ、さらに取り外したあとにバラバラにならず管理が容易である。
【００２７】
また、テストヘッドカード固定金具１１０中央付近に一対のハンドルを設けたので、検査用基板の交換を容易に行なうことができる検査用基板固定機構を提供することができる。
【００２８】
さらに、部品点数が３点から２点に減少したので、部品コストが低減される。
【００２９】
次に、本発明の応用例を説明する。図３は本発明の応用例の組立図である。図３において図１と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。検査用基板固定機構２００は、端面の四隅にハンドル１６０を備える。
【００３０】
このように、端面の四隅にハンドル１６０を備えたので、２名の作業者によって持ち運ぶことができ、検査用基板固定機構２００の重量が、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipments and Materials International）規格で要求される１名当たりの重量まで低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明による検査用基板固定機構の組立図である。
【図２】本発明による検査用基板固定機構の視認用透明窓１１１の使用状態説明図である。
【図３】本発明の応用例の組立図である。
【図４】従来技術によるテストヘッド３と検査用基板固定機構１の組立図である。
【図５】従来技術による検査用基板固定機構の分解図である。
【図６】従来技術による検査用基板固定機構の組立図である。
【符号の説明】
【００３２】
１００      検査用基板固定機構
１１０      テストヘッドカード固定金具
１１１      視認用透明窓
１１２      ガイドシャフト
１１３      ハンドル
１１４      位置決め機構
１２０      カバー
１６０      ハンドル
２００      検査用基板固定機構    
【図１】
2009098045.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図４】
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