(57)【要約】【課題】外観検査装置において、検査対象物の搬送位置上方のスペースを確保すると共に、装置の小型化を図る。【解決手段】検査対象物に照明光を照射する照明部（３５）、この照明部（３５）により照明光を照射された検査対象物を撮像する撮像部（２６）、及び、検査対象物を載置して検査を行うためのステージ（３０）、を有する検査部（２）と、検査対象物を、ステージ（３０）に受け渡すと共にステージ（３０）から受け取るための搬送部（２９）と、を備える外観検査装置において、撮像部（３３）の光軸は、検査対象物から撮像部（３３）へ向う光路中でミラーにより搬送部（２９）から離れる方向に偏向されている構成とする。【選択図】図５
2009122078.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物に照明光を照射する照明部、該照明部により照明光を照射された検査対象物を撮像する撮像部、及び、前記検査対象物を載置して検査を行うためのステージ、を有する検査部と、
前記検査対象物を、前記ステージに受け渡すと共に該ステージから受け取るための搬送部と、
を備える外観検査装置において、
前記撮像部の光軸は、前記検査対象物から前記撮像部へ向う光路中でミラーにより前記搬送部から離れる方向に偏向されている、
ことを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記照明部の光軸は、前記検査対象物から照明部へ向う光路中でミラーにより前記搬送部から離れる方向に偏向されていることを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記撮像部及び前記照明部は、共通の回動軸を中心に回動することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記撮像部と共通の回動軸を中心に回動する前記照明部は、明視野観察又は回折光による観察を行なう検査に用いられることを特徴とする請求項３記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記撮像部の回動軸を含む鉛直な平面に対し前記搬送部の反対側に、明視野観察用照明部及び暗視野観察用照明部の少なくとも一方を更に備えることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記ステージは、前記検査対象物を前記搬送部から受け取ると共に該搬送部に受け渡す搬送位置と前記撮像部により前記検査対象物が撮像される撮像位置との間を移動することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の外観検査装置。
【請求項７】
前記撮像部は、前記検査対象物の表面を撮像する表面撮像部であり、
前記検査部は、前記表面撮像部を有する表面検査部であり、
前記外観検査装置は、前記検査対象物の裏面を撮像する裏面撮像部を有する裏面検査部を更に備える、
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項記載の外観検査装置。
【請求項８】
前記表面検査部と前記裏面検査部とは、互いに平行に配置され、
前記搬送部は、前記表面検査部及び前記裏面検査部に前記検査対象物を搬送する、
ことを特徴とする請求項７記載の外観検査装置。
【請求項９】
前記表面検査部は、前記搬送部から搬送される検査対象物を、前記ステージに受け渡されるまで支持する上ハンドと、該上ハンドの下方に配置され、前記ステージから受け渡される検査対象物を、前記搬送部により搬送されるまで支持する下ハンドと、を更に有することを特徴とする請求項７又は請求項８記載の外観検査装置。
【請求項１０】
前記搬送部は、表面が上方を向いた状態のまま前記検査対象物を前記表面検査部から前記裏面検査部に搬送し、
前記裏面撮像部は、前記検査対象物の裏面を該検査対象物の下方から撮像する、
ことを特徴とする請求項７から請求項９のいずれか１項記載の外観検査装置。
【請求項１１】
前記裏面検査部は、前記搬送部により搬送される検査対象物が搭載され、該検査対象物の周縁を支持する複数の搭載部を有し、
該複数の搭載部は、下方にかけて前記検査対象物側に傾斜する傾斜面と、該傾斜面の下端から鉛直下方に延びる鉛直面と、該鉛直面の下端に設けられ前記検査対象物が載置される載置部と、を有する、
ことを特徴とする請求項１０記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハなどの検査対象物を撮像することにより検査対象物の外観検査を行う外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハなどの検査対象物の外観検査を行う際には、欠陥の種類に応じて、撮像方向を切り換える場合があるほか、明視野照明若しくは暗視野照明による撮像又は回折像の撮像などを使い分けて検査を行っている。そのため、撮像部や照明部を回動（揺動）させる機構を備える検査装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１記載の検査装置は、検査対象物の表面側を撮像する撮像部に加え、裏面側を撮像する撮像部を備え、検査対象物を一定速度で移動させながら検査対象物の両面を撮像している。
【特許文献１】国際公開第０３／０２７６５２号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年ウェハのサイズが大型化されるとともに撮像部や照明部の光学系の光路長が長くなり、検査条件によっては種種の角度条件で検査を行うため高さ方向も含め装置自体が大型化されてきている。
【０００５】
また、検査対象物が搬送され、受け渡しや受取りが行なわれる搬送位置においては、検査対象物の受け渡しなどの高速化のためにバッファ機能をもつ搬送装置として上下方向に複数段にウェハを載置して受渡しを行なう装置を設置する場合があるため、撮像部等の回動する角度を確保し、搬送部との干渉を防止するよう搬送位置の上方に十分な空間が必要となる。
【０００６】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、装置の小型化を図ることができると共に、検査対象物の搬送位置上方のスペースを確保することができる外観検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の外観検査装置は、検査対象物に照明光を照射する照明部、この照明部により照明光を照射された検査対象物を撮像する撮像部、及び、上記検査対象物を載置して検査を行うためのステージ、を有する検査部と、上記検査対象物を、上記ステージに受け渡すと共にこのステージから受け取るための搬送部と、を備える外観検査装置において、上記撮像部の光軸は、上記検査対象物から上記撮像部へ向う光路中でミラーにより上記搬送部から離れる方向に偏向されている構成とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、撮像部の光軸が偏向されているため、光路長を確保するために検査装置が大型化するのを抑えることができる。また、撮像部の光軸の偏向方向は、検査対象物から撮像部ヘ向う光路中でミラーにより搬送部から離れる方向に偏向されている。そのため、撮像部の本体やその配線等を、検査対象物の搬送位置上方から遠ざかるように引き延ばすことができる。よって、本発明によれば、装置の小型化を図ることができると共に、検査対象物の搬送位置上方のスペースを確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態に係る外観検査装置について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施の形態に係る外観検査装置１の内部構成を示す平面図である。
【００１０】
図２Ａは、上記外観検査装置１の内部構成を示す左側面図であり、図２Ｂは、上記外観検査装置１を示す左側面図である。
図３は、上記外観検査装置１の内部構成を示す右側面図である。
【００１１】
図４は、上記外観検査装置１を示す正面図である。
外観検査装置１は、検査対象物としての半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という。）の表面を検査する検査部としての表面検査部２、ウェハの裏面を検査する裏面検査部３、ウェハを搬送する搬送部としての搬送ロボット４、ウェハが載置される２つのロードポート５，５などから構成されている。
【００１２】
詳しくは後述するが、表面検査部２及び裏面検査部３は互いに平行に配置されており、表面検査部２及び裏面検査部３には搬送ロボット４によってウェハが受け渡されるようになっている。
【００１３】
ロードポート５，５は、図１に示すように、外観検査装置１の搬送ロボット４側の壁面外側に配置されている。ロードポート５，５は、２つ配置されているため、例えば、検査前のウェハ並びに検査後の異常のなかったウェハ及び異常のあったウェハなどを有効に載置することができる。
【００１４】
裏面検査部３の搬送ロボット４と反対側には、図４にも示す操作部６が配置されている。操作部６においては、外観検査装置１の各部のＯＮ／ＯＦＦや設定などの操作を行うことができる。
【００１５】
ここで、外観検査装置１のうち操作部６のある面側を正面側と呼ぶこととする。また、ロードポート５，５側を裏面側、他を側面（左側面・右側面）側と呼ぶこととする。
表面検査部２の搬送ロボット４と反対側には、ＰＣラック７が配置されている。ＰＣラック７には、図示しないコンピュータが設置されている。このコンピュータは、操作部６及び外観検査装置１の各部に接続され、操作部６における操作を外観検査装置１の各部に反映させている。
【００１６】
表面検査部２の装置側面側（裏面検査装置３と反対側）には、電装ボックス８が配置されている。この電装ボックス８には、例えば、表面検査部２などを駆動させるモータのドライバなどが収納される。電装ボックス８は、表面検査部２の下方に収納されている。なお、電装ボックス８の外側に、部品を収納可能な開閉扉を設けることで、より有効にスペースを活用することもできる。
【００１７】
電装ボックス８の左側面視（図２Ａ）左側には、ユーティリティボックス９（図１においては図示されていない）が配置されている。このユーティリティボックス９には、例えば電源装置や、真空吸着用圧縮空気などの工場配管を接続できる。
【００１８】
外観検査装置１の上部には、２つのＦＦＵ（ファン・フィルタ・ユニット）１０，１０が配置されている。これらＦＦＵ１０，１０は、図２Ｂに示す装置左側面側上部に配置されたＦＦＵコントローラ１１，１１によってそれぞれ制御されている。そして、ＦＦＵ１０，１０は、外観検査装置１内に清浄な空気を送り込んでいる。なお、各ＦＦＵコントローラ１１，１１に隣接した位置には、外観検査装置１内外の差圧を測定する差圧計１２，１２が配置されている。これらの差圧計１２，１２は、各ＦＦＵ１０が正常に作用していることを監視している。
【００１９】
図２Ａに示すように、ＰＣラック７の上方には、後述する光源に接続された２つの光源装置１３，１３が高さ方向に並んで配置されている。光源装置１３，１３の後方（外観検査装置１の壁面側）には、排気ダクト１４が配置されている。この排気ダクト１４は、光源装置１３，１３の排気を後述する排気ファン２１に送っている。
【００２０】
図２Ａ、図２Ｂ及び図４に示すように、光源装置１３，１３側の外観検査装置１の上面角部には、上方に延びるシグナルタワー１５が配置されている。このシグナルタワー１５は、外観検査装置１の動作が正常であるか否かなどを例えば表示灯の点灯・点滅或いは表示色によって表している。
【００２１】
図２Ｂに示す外観検査装置１の左側面側壁面には、圧力計１６、バルブ１７、非常停止用の左側面側非常用スイッチ１８、ブレーカ１９、ＬＡＮ接続口２０などが配置されている。バルブ１７は、例えば、後述するウェハの真空吸着や、外観検査装置１各部の整列などに用いられる。また、圧力計１６は圧縮空気の圧力を調整することに用いられる。
【００２２】
図１及び図３に示す搬送ロボット４は、上下に２つ並んだロボットアームであり、ウェハを保持する２つのアーム部４ａ，４ａ、これらアーム部４ａ，４ａを移動させるアーム支持部４ｂ、４ｂ、この２つのアーム支持部４ｂが固定された搬送ステージ４ｃ、この搬送ステージ４ｃをスライドさせるための１対のスライドレール４ｄ、このスライドレール４ｄが配置されるベース部４ｅなどから構成されている。
【００２３】
なお、アーム支持部４ｂは、高さ方向に移動させることができるように構成することで、ウェハの円滑な搬送を実現することができる。
表面検査部２及び裏面検査部３と、搬送ロボット４との間は、仕切り壁４ｆで仕切られている。この仕切り壁４ｆには、アーム部４ａを通すことができる程度の大きさを有する図示しない窓部（又は開口部）が形成されている。
【００２４】
図３に示すように、裏面検査部３の下方（破線で示すＰＣラック７の手前側）には、排気ダクト１４に接続された排気ファン２１が配置されている。この排気ファン２１は、排気ダクト１４からの排気に加えて、破線で示すＰＣラック７に設置されるコンピュータの熱気をも排出している。なお、排気ファン２１は、外観検査装置１から生じる全ての排気を一括して排出するようにするとよい。
【００２５】
図４に示すように、外観検査装置１の操作部６上方には、稼働状況などを表示するモニタ２２、外観検査装置１のＯＮ／ＯＦＦスイッチ２３、及び、非常停止用の正面側非常用スイッチ２４が配置されている。また、操作部６のある正面側には、アワーメータ２５も配置されている。
【００２６】
なお、図示はしていないが、搬送ロボット４の近傍にベベル検査装置を配置することや、ロードポート５，５近傍にマイクロスコープ或いは目視検査装置を配置することなども考えられる。
【００２７】
図５は、上記表面検査部２を示す左側面図である。
図６は、上記表面検査部２の回折像撮像状態を示す左側面図である。
図７は、上記表面検査部２の正反射撮像状態を示す左側面図である。
【００２８】
図８は、上記表面検査部２の暗視野撮像状態を示す左側面図である。
表面検査部２は、撮像部としての表面撮像部２６、回動支持部２７、ベース部２８、回転ステージ３０（ステージ）、ガイド３１ａ上を摺動するスキャンステージ３１などから構成され、除振部３２を介して電装ボックス８上に設置されている。
【００２９】
表面撮像部２６は、カメラ３３、このカメラ３３が配置されると共に回動支持部２７に軸支されて回動する回動部３４などから構成されている。ここでリフタ部２９は、搬送ロボット４と合わせて搬送部を構成している。リフタ部２９は、ウェハの受渡しの高速化のために設置しており、十分な受渡し時間確保できれば、省略して搬送ロボット４から直接回転ステージ３０にも受渡しを行なってもよい。
【００３０】
また、カメラ３３は、レンズ等で構成された撮像光学系３３ａと、この撮像光学系３３ａの結像位置に配置された撮像素子としてのラインセンサ３３ｂとを有している。さらに図５，６，７等に図示の撮像光路ＬＰ２の回転ステージ３０に近い位置にシリンドリカルレンズ５８が配置されている。このシリンドリカルレンズ５８は紙面に垂直な方向に対しコリメートレンズの効果を持つ。このシリンドリカルレンズ５８とカメラ３３と回動部３４とで表面撮像部２６を構成している。
【００３１】
回動部３４は、左右の側壁及び上壁からなり、左右の側壁の両下端において回動支持部２７に軸支されている。なお、回動支持部２７には、回動部３４に係合し回動部３４の角度を調整するモータが配置されているものとする。
【００３２】
また、回動の中心軸となる回動部３４の回動軸は、回転ステージ３０にウェハが保持されたときのパターンが形成された表面の高さに一致するよう配置される。またラインセンサにより撮像される撮像領域や各照明部により照明される照明領域は、回動軸に沿って設定されている。
【００３３】
回動部３４には、カメラ３３に加えて、ウェハに照明光を照射する照明部としての第１光源３５（図５及び図６においてのみ図示）も配置されている。ここで、検査装置で使用される照明光を直接射出する部分を「光源」と表現することとする。
【００３４】
ベース部２８に固定された図示しないアームには、明視野観察用照明部としての第２光源３６（図７においてのみ図示）、及び、暗視野観察用としての第３光源３７（図８においてのみ図示）が、表面撮像部２６の回動軸を含む鉛直な平面に対し搬送部（搬送ロボット４及びリフタ部２９）の反対側に配置されている。第１光源３５は表面撮像部２６と一体に構成されているので回動部３４の回動と共に回動するが、第２光源３６及び第３光源３７は上記アームに固定されて移動しない。なお、移動可能に構成してもよい。図５〜図８においては、カメラ３３、第１〜第３光源３５，３６，３７を簡易的に図示している。      
【００３５】
光源３５、３６，３７は、前述した光源装置１３から光ファイバにより導光される。図５、図６等では簡略化のため図示していないが、第１光源３５とカメラ３３からは光路のない側に、それぞれ光源装置１３やカメラ３３からの画像信号の画像構築処理を行なう装置のあるＰＣラック７に光ファイバや配線が伸びている。
【００３６】
回転ステージ３０は、真空吸着によりウェハを保持することが可能となっている。スキャンステージ３１には、回転ステージ３０が固定され、搬送ロボット４からウェハが搬送される搬送位置Ｐ１と撮像部２６（カメラ３３）によりウェハが撮像される撮像位置Ｐ２とに、ウェハを吸着保持した回転ステージ３０を移動させる。
【００３７】
表面撮像部２６（カメラ３３）の撮像方向（矢印Ｄ１）は、スキャンステージ３１の移動方向（矢印Ｄ２）に直交する方向からの側面視（即ち、図５〜図８に示す左側面側の側面視）において鉛直方向（矢印Ｄ３）よりも搬送位置（Ｐ１）側に傾いている。
【００３８】
また、別の表現をすれば、表面撮像部２６の光軸は、表面撮像部２６または光源３５，３６，３７を回動軸に平行な方向から見た（側面視した）とき、ウェハから表面撮像部２６ヘ向う光路（撮像光路ＬＰ２）の途中に配置されたミラーにより、搬送ロボット４、リフタ部２９などの搬送部から離れる方向に偏向されている。
【００３９】
なお、撮像方向とは、後述する撮像光路ＬＰ２が偏向されるか否かにかかわらず表面撮像部２６（カメラ３３）が傾いた方向をいうものとする。つまり、表面撮像部２６の撮像光学系３３ａのもつ光軸のウェハ側に向かう方向をいうものとする。
【００４０】
各光源３５〜３７の照射方向（矢印Ｄ４〜Ｄ６）も、スキャンステージ３１の移動方向（矢印Ｄ２）に直交する方向からの側面視において、鉛直方向（矢印Ｄ３）よりもスキャンステージ３１の搬送位置（Ｐ１）側に傾いている。なお、照射方向とは、後述する照明光路ＬＰ１，ＬＰ３，ＬＰ４が偏向されるか否かにかかわらず、第１光源３５〜第３光源３７が照明光を照射する方向をいうものとする。
【００４１】
第１光源３５は、表面回折像の撮像に用いられる。図５及び図６に示すように、ミラー３９により光軸が偏向されるカメラ３３のすぐ上方に近接して第１光源３５が配置されている。このとき、照明光路ＬＰ１と撮像光路ＬＰ２は、ほぼ平行になるよう構成されている。照明光学系と撮像光学系３３ａの光軸がほぼ平行に近接して配置されるため、光ファイバや配線の取り回しが容易になる。
【００４２】
そして、図では模式的に描いているがシリンドリカルレンズ等を含むレンズで構成された照明用光学系により、適宜ライン状の照明光になるよう光束の形状が調整されてミラー３８の方向に射出される。また、第１光源３５から照射される照射光（照明光路ＬＰ１）は、回動部３４に配置された第１ミラー３８においてほぼ直角に反射（偏向）し、シリンドリカルレンズ５８を通してウェハにライン状の平行光として照射される。そして、ウェハから反射、散乱した光（撮像光路ＬＰ２）は、シリンドリカルレンズ５８により集光され第２ミラー３９においてほぼ直角に反射（偏向）し、カメラ３３に導光される。なお、表面回折像を用いた外観検査は、例えば、ウェハ上に形成されたパターンのピッチのばらつきを発生させるピントズレなどの露光不良等を検査するために用いられる。
【００４３】
カメラ３３及び第１光源３５は、撮像方向Ｄ１（照射方向Ｄ４）が上記側面視において鉛直方向（矢印Ｄ３）よりも搬送位置（Ｐ１）側に傾いた範囲内で、回動部３４によって、撮像方向Ｄ１（照射方向Ｄ４）を変えるように回動する。
【００４４】
図５及び図６においては、照明光路ＬＰ１における第１ミラー３８とウェハとの間、及び、撮像光路ＬＰ２におけるウェハと第２ミラー３９との間、が互いに重なる同軸の照明となっている。このとき、第２ミラー３９をハーフミラーで構成して一部共通の光路としている。
【００４５】
なお、照明光路ＬＰ１と撮像光路ＬＰ２とは、光路が重ならないよう互いに微小角度を持つように配置されていてもよい。このときシリンドリカルレンズ５８については、光学作用面の微小距離だけ離れた位置を使用し、光学部品として共通に使用することにより反射面を少なくでき、回折光の光量損失を少なく撮像できる。
【００４６】
第２光源３６は、正反射撮像時に用いられる。図７に示すように、第２光源３６から照射される照明光（照明光路ＬＰ３）は、偏向（ミラーにおいて反射）することなくウェハに導光される。そして、ウェハから反射した光（撮像光路ＬＰ２）は、第２ミラー３９において反射（偏向）し、カメラ３３に導光される。
【００４７】
第２光源３６の照明光路ＬＰ３は、上記側面視において、鉛直方向（矢印Ｄ３）からの傾き角度（θ１）が撮像光路ＬＰ３の傾き角度（θ１）と同一となっている。これにより、表面撮像部２６（カメラ３３）は、正反射撮像を行っている。正反射撮像を用いた外観検査は、例えば、ウェハに塗布されたレジストの膜ムラやキズなどを検査するために用いられる。
【００４８】
第３光源３７は、暗視野撮像時に用いられる。図８に示すように、暗視野用の照明光は入射角θ２が大きな角度でウェハ表面に対して浅い角度で照射される。第３光源３７から照射される照明光（照明光路ＬＰ４）は、偏向（ミラーにおいて反射）することなくウェハに導光される。そして、ウェハから反射した光（撮像光路ＬＰ２）は、第２ミラー３９において反射（偏向）し、カメラ３３に導光される。
【００４９】
第３光源３７の照明光路ＬＰ４は、上記側面視において、鉛直方向（矢印Ｄ３）からの傾き角度（θ２）が撮像光路ＬＰ２の傾き角度（θ１）と異なっている。これにより、表面撮像部２６（カメラ３３）は、暗視野撮像を行っている。暗視野撮像を用いた外観検査は、例えば、ウェハ上のゴミやキズを検査するために用いられる。
【００５０】
図９Ａ及び図９Ｂは、上記表面検査部２のリフタ部２９の概略構成を示す背面図及び平面図である。
リフタ部２９は、回転ステージへの受渡し、受取りを高速化するためのバッファであり、上下２段のウェハ保持部とそれらを一体に昇降させる機構を有している。具体的には、リフタ部２９は、スキャンステージ３１上の回転ステージ３０に投入されるウェハの周縁を両側から支持する４つ（片側２つ）の上ハンド４０ｕ、搬出されるウェハの周縁を両側から支持する４つ（片側２つ）の下ハンド４０ｄ、整列シリンダ４１、昇降用モータ４２、ガイド部４３、昇降板４４などから構成されている。
【００５１】
上ハンド４０ｕは、搬送ロボット４（図９Ａ及び図９Ｂでは図示せず）から搬送されるウェハを、スキャンステージ３１に受け渡されるまで支持する。また、下ハンド４０ｄは、上ハンド４０ｕの下方に配置され、スキャンステージ３１から受け渡されるウェハを、搬送ロボット４により搬送されるまで支持する。
【００５２】
整列シリンダ４１は、その先端に取付けられた図９Ｂに示す整列用プッシャ４１ａによりウェハを押圧することで、ウェハの位置アライメントを行う。これにより、ウェハの中心は、回転ステージ３０の中心に一致することになる。
【００５３】
昇降用モータ４２は、ガイド部４３にガイドされた状態で昇降板４４を上下動させ、昇降板４４に固定された上ハンド４０ｕ、下ハンド４０ｄ及び整列シリンダ４１を昇降させることが可能となっている。
【００５４】
図１０Ａは、上記表面検査部２の各種センサを説明するための概略平面図であり、図１０Ｂ及び図１０Ｃは、上記各種センサを説明するための概略背面図及び概略左側面図である。なお、図１０Ｂ及び図１０Ｃにおいては、リフタ部２９が上段・中段・下段に位置する場合を実線・点線を用いて表している。
【００５５】
表面検査部２には、ウェハＷが上ハンド４０ｕに乗り上げているか否かを検出するウェハ乗り上げセンサＳ１、ウェハＷの有無を検出するウェハ有無センサＳ２，Ｓ３、ウェハＷのノッチを検出するノッチ検出センサＳ４、ウェハＷ上の異物を検出する異物検出センサＳ５などが配置されている。
【００５６】
ウェハ乗り上げセンサＳ１は、ウェハ搬入時に中段に位置する上ハンド４０ｕ上でウェハＷが上ハンド４０ｕの所定位置以外の場所に乗り上げているか否かを検出するべく、水平方向に配置された透過型スポットセンサである。
【００５７】
ウェハ乗り上げセンサＳ１によりウェハＷの乗り上げが検出された場合には、ウェハＷを回転ステージ３０に受け渡してから回転ステージ３０を１８０度回転させ、再度、上ハンド４０ｕで持ち上げ、整列プッシャ４１ａによるウェハＷの位置アライメントを行う。
【００５８】
ウェハ有無センサＳ２，Ｓ３は、ウェハＷの周縁部に鉛直方向に配置された図１０Ａのみに示す透過型センサＳ２と、ウェハ搬入時に中段に位置する上ハンド４０ｕ上でウェハＷの有無を検出するべく、水平方向から微小に傾斜して配置された透過型センサＳ３との２つからなる。これにより、ウェハ有無センサＳ２，Ｓ３は、搬送ロボット４から搬出入位置にウェハＷが無いかを検出している。
【００５９】
ノッチ検出センサＳ４は、ウェハＷの周縁部に鉛直方向に配置された透過型スリットセンサである。ノッチ検出センサＳ４がウェハＷのノッチを検出できなかった場合には、回転ステージ３０を１８０度回転させ、再度、整列プッシャ４１ａによるウェハＷの位置アライメントを行いノッチの検出を開始する。
【００６０】
異物検出センサＳ５は、スキャンステージ３１にウェハＷを受け渡した高さよりも微小に上側に位置し、ウェハＷ上の異物を検出するべく水平方向に配置されている。異物検出センサＳ５としては、例えば透過型センサを用いることができる。
【００６１】
図１１Ａ〜図１１Ｄは、上記裏面検査部３を示す左側面図、平面図、背面図及び左側面断面図である。
裏面検査部３は、裏面撮像部４５、ベース部４６、裏面検査ホルダ４７、Ｘステージ４８、Ｙステージ４９、除振部５０、架台５１などから構成されている。なお、図３に示すように、架台５１の内部には排気ファン２１が配置されているが、図１１Ａ〜図１１Ｄにおいては図示を省略する。
【００６２】
裏面撮像部４５は、ウェハの裏面をウェハの下方から撮像するカメラ５２と、このカメラ５２が配置される支持部５３とからなる。そして、裏面撮像部４５は、支持部５３がベース部４６に固定されることでベース部４６に固定されている。
【００６３】
なお、カメラ５２は、表面検査部２のカメラ３３と同様に、レンズ等で構成された撮像光学系５２ａと、この撮像光学系５２ａの結像位置に配置された撮像素子としてのラインセンサ５２ｂとを有している。
【００６４】
ベース部４６には、図示しないアームを介して第４光源５４及び第５光源５５が配置されている。これら第４光源５４及び第５光源５５は上記アームに固定されて移動しない。なお、図１１Ａ及び図１１Ｂにおいては、カメラ５２並びに第４及び第５光源５４，５５を簡易的に図示している。
【００６５】
カメラ５２の撮像方向（矢印Ｄ７）は、図１１Ａに示す左側面側の側面視において鉛直方向（矢印Ｄ８）よりも搬送位置Ｐ１（図１１Ａ及び図１１Ｄに示すウェハ搬入・搬出時の裏面検査ホルダ４７）側に傾いている。
【００６６】
また、第４光源５４の照射方向（矢印Ｄ９）及び第５光源５５の照射方向（矢印Ｄ１０）も、上記側面視において鉛直方向（矢印Ｄ８）よりも搬送位置Ｐ１側に傾いている。
第４光源５４は、正反射撮像時に用いられる。図１１Ａに示すように、第４光源５４から照射される照明光（照明光路ＬＰ５）は、偏向（ミラーにおいて反射）することなくウェハに導光される。そして、ウェハから反射した光（撮像光路ＬＰ６）は、ミラー５６において反射（偏向）し、カメラ５２に導光される。
【００６７】
第４光源５４の照明光路ＬＰ５は、上記側面視において、鉛直方向（矢印Ｄ８）からの傾き角度（θ３）が撮像光路ＬＰ６の傾き角度（θ３）と同一となっている。これにより、カメラ５２は、正反射撮像を行っている。正反射撮像を用いた裏面検査は、例えば、ウェハのキズ、レジストの回り込みなどを検査するために用いられる。
【００６８】
第５光源５５は、暗視野撮像時に用いられる。図１１Ａに示すように、第５光源５５から照射される照明光（照明光路ＬＰ７）は、偏向（ミラーにおいて反射）することなくウェハに導光される。そして、ウェハから反射した光（撮像光路ＬＰ６）は、ミラー５６において反射（偏向）し、カメラ５２に導光される。
【００６９】
第５光源の照明光路ＬＰ７は、上記側面視において、鉛直方向（矢印Ｄ８）からの傾き角度（θ４）が撮像光路ＬＰ６の傾き角度（θ３）と異なっている。これにより、カメラ５２は、暗視野撮像を行っている。暗視野撮像を用いた裏面検査は、例えば、ウェハ上のゴミやキズを検査するために用いられる。
【００７０】
裏面検査ホルダ４７には、図１１Ｂに示すように、ウェハ有無センサＳ６が配置されている。このウェハ有無センサＳ６は、ウェハの周縁部に鉛直方向に配置された透過型センサである。
【００７１】
裏面検査ホルダ４７には、搬送ロボット４（図１１Ａ〜図１１Ｄにおいては図示せず）により搬送されるウェハが搭載され、ウェハの周縁を支持する複数の搭載部５７が下方に延びるように配置されている。これら搭載部５７は、ウェハの外周方向に略均等間隔で配置されている。
【００７２】
各ウェハ搭載部５７は、図１２（ウェハ搭載部５７を示す断面図）に示すように、下方にかけてウェハＷ側に傾斜する傾斜面５７ａと、この傾斜面５７ａの下端から鉛直下方に延びる鉛直面５７ｂと、この鉛直面５７ｂの下端に突出するように設けられウェハＷが載置される載置部５７ｃとを有している。
【００７３】
ウェハ搭載部５７に搭載される際のウェハＷが微小に位置ズレをして搬送された場合にも、傾斜面５７ａを摺動して、鉛直面５７ｂの高さ分だけ落としこまれ、最終的に突出部５７ｃ上に載置されることになる。
【００７４】
Ｘステージ４８は、裏面検査ホルダ４７（ウェハ）を図１１Ｂに示すＸ軸方向に移動させることが可能となっている。また、Ｙステージ４９は、裏面検査ホルダ４７をＸステージごとＹ軸方向に移動させることが可能となっている。
【００７５】
図１３Ａは、裏面検査ホルダ４７を示す平面図であり、図１３Ｂは、図１３ＡのＢ方向矢視図である。
裏面検査ホルダ４７のウェハ搬入方向の奥中央には、奥側整列用シリンダ４７ａが配置されている。搬送ロボット４は、裏面検査ホルダ４７にウェハＷを搬送する。
【００７６】
裏面検査ホルダ４７の開口側両端には、手前側整列用シリンダ４７ｂ，４７ｃが配置されている。奥側整列用シリンダ４７ａ及び手前側整列用シリンダ４７ｂ，４７ｃは、ウェハＷを押圧することで、ウェハＷを位置決め固定している。なお、奥側整列用シリンダ４７ａ（図１３Ａに図示）はウェハＷのノッチが嵌り込みながらウェハＷを押すことによりウェハＷの回転方向の位置決めを行う。
【００７７】
また、裏面検査ホルダ４７には、水平方向に延びる透過型センサである２つの乗り上げセンサＳ７，Ｓ７が互いに交差して配置されている。なお、図１３Ａ及び図１３Ｂにおいては、図１１Ｂに示すウェハ有無センサＳ６は図示していない。
【００７８】
以下、外観検査装置１を用いたウェハの外観検査について説明する。
図１４から図１９は、リフタ部２９の動作を説明するための説明図である。
図２０Ａ〜図２０Ｄは、スキャンステージ３１の動作を説明するための説明図である。
【００７９】
まず、図１に示す搬送ロボット４がウェハＷをロードポート５上から表面検査部２に搬送する。
そして、図１４に示すように、ウェハＷは、アーム部４ａにより保持された状態で回転ステージ３０の上方に搬送され、図１５に示すように中段で待機している上ハンド４０ｕ上に載置され、上ハンド４０ｕにより支持される。そして、ウェハＷは、整列用プッシャ４１ａにより位置アライメントされる。これにより、ウェハＷは、回転ステージ３０の上方において中心が回転ステージ３０の中心と位置合わせされる。
【００８０】
次に、昇降用モータ４３によりリフタ部２９を降下させ、上ハンド４０ｕを下段に移動させる。これにより、図１６に示すように、ウェハＷは、回転ステージ３０に吸着保持される。その後、回転ステージ３０を回転させることにより、ノッチ検出や異物有無の検出が行なわれる。
【００８１】
そして、図２０Ａに示す搬送位置Ｐ１にあるスキャンステージ３１（回転ステージ３０）は、図２０Ｂに示す撮像位置Ｐ２にかけて等速移動を開始する。この等速移動中に、ここでは図示しない表面撮像部２６（カメラ３３）により、ウェハＷの半分（進行方向に対する左右の一側）が撮像される。
【００８２】
左右の一側が撮像されたウェハＷは、図２０Ｃに示すようにスキャンステージ３１が端部に到達した後、回転ステージ３０によって１８０度回転する。そして、残る半分を撮像するべく、スキャンステージ３１を撮像位置Ｐ２及び搬送位置Ｐ１側に等速運動させる。
【００８３】
ウェハＷの撮像が行われている間には、図１７に示すように、中段に戻ったリフタ部２９（上ハンド４０ｕ）に新たなウェハＷ´が搬送されてくる。
図１８に示すようにキャンステージ３１が搬送位置Ｐ１に戻ると、回転ステージ３０によるウェハＷの吸着を開放し、中段に位置していた下ハンド４０ｄを図１９に示すように上段に移動させて検査済みのウェハＷを下ハンド４０ｄにより支持する。なお、上述の回折像の撮像並びに正反射及び暗視野による撮像のうち２種以上の撮像を行う場合には、ウェハＷを下ハンド４０ｄに回収せず、再び撮像位置Ｐ２にかけてスキャンステージ３１を往復運動させる。
【００８４】
検査終了後には、搬送ロボット４（アーム部４ａ）により、検査済みのウェハＷを裏面検査部３へ搬送する。そして、上ハンド４０ｕに支持しておいた検査前のウェハＷ´を、上ハンド４０ｕを下段に移動させることにより、回転ステージ３０に吸着させる。なお、搬送ロボット４は、裏面検査部３への搬送時にも、ウェハＷの表面が上方を向いた状態のままウェハＷを搬送する。
【００８５】
以上のような動作を繰り返して、表面検査部２におけるウェハＷの表面検査を連続的に行う。
図２１Ａ〜図２１Ｄは、本発明の一実施の形態に係る裏面検査ホルダ４７の動作を説明するための説明図である。
【００８６】
表面検査部２における検査が終了したウェハＷは、搬送ロボット４により裏面検査ホルダ４７に搬送され、図１２に示すウェハ搭載部５７に搭載される。このときの裏面検査ホルダ４７の位置が図２１Ａに示す搬送位置Ｐ３である。
【００８７】
搬送位置Ｐ３においてシリンダ４７ａ，４７ｂ，４７ｃによる位置決め固定が行われたウェハＷは、裏面検査ホルダ４７がＹステージ４９の移動により撮像位置Ｐ４を通過する際に、ここでは図示しないカメラ５２により、ウェハＷの半分（進行方向に対する左右の一側）が撮像される。
【００８８】
左右の一側が撮像されたウェハＷは、図２１Ｂに示すように裏面検査ホルダ４７が端部に到達した後、図２１Ｃに示すように、Ｘステージ４８がウェハＷの半径程度の距離だけ移動する。そして、残る半分を撮像するべく、Ｙステージ４９により裏面検査ホルダ４７を撮像位置Ｐ４及び搬送位置Ｐ３側に等速移動させる。
【００８９】
これにより、裏面検査が終了する。なお、上述の正反射及び暗視野による撮像の両方を行う場合には、再び撮像位置Ｐ４にかけて裏面検査ホルダ４７を往復移動させる。裏面検査が終了した後、裏面検査ホルダ４７は搬送位置Ｐ３へ移動した後、シリンダ４７ａ，４７ｂ，４７ｃによるウェハＷの位置決め固定を解除し、搬送ロボット４により例えばロードポート５にウェハＷを搬送する。
【００９０】
以上のようにして、ウェハＷの表面検査及び裏面検査が終了する。なお、上述のように、外観検査装置１に、ベベル装置、マイクロスコープ、目視観察装置などを配置し、それらの工程を別途行うことも考えられる。また、本実施の形態では、表面検査部２及び裏面検査部３を備える外観検査装置１について説明したが、表面撮像部２６（カメラ３３）の撮像方向等の特徴については、表面検査部２（又は裏面検査部３）のみの外観検査装置においても採用可能である。更には、本実施の形態では、検査対象物をウェハＷとして説明したが、他の基板などの検査対象物を用いることも考えられる。
【００９１】
以下、本実施の形態に係る効果について説明する。
本実施の形態では、表面撮像部２６の光軸が偏向されているため、光路長を確保するために検査装置１が大型化するのを抑えることができる。また、表面撮像部２６の光軸の偏向方向は、検査対象物から撮像部ヘ向う光路中でミラー３９により搬送部（搬送ロボット４及びリフタ部２９）から離れる方向に偏向されている。そのため、カメラ３３やその配線等を、ウェハの搬送位置Ｐ１上方から遠ざかるように引き延ばすことができる。
【００９２】
よって、本実施の形態によれば、装置の小型化を図ることができると共に、検査対象物の搬送位置上方のスペースを確保することができる。
また、別の表現をすると、本実施の形態では、ウェハから表面撮像部２６（カメラ３３）への撮像光路ＬＰ２は、偏向しており、表面撮像部２６（カメラ３３）の撮像方向（矢印Ｄ１）は、スキャンステージ３１の移動方向（矢印Ｄ２）に直交する方向からの側面視（図５〜図８）において鉛直方向（矢印Ｄ３）よりも搬送位置側Ｐ１に傾いている。
【００９３】
そのため、焦点距離を確保するために外観検査装置１が大型化するのを抑えることができる。更には、表面撮像部２６（カメラ３３）の配線を、ウェハの搬送位置Ｐ１上方から遠ざかるように引き延ばすことができる。よって、本実施の形態によれば、外観検査装置１の小型化を図ることができると共に、ウェハの搬送位置Ｐ１上方のスペースを確保することができる。これらの効果については、表面検査部２のみならず、裏面検査部３においても同様のことがいえる。
【００９４】
また、本実施の形態では、第１光源３５の光軸は、ウェハから第１光源３５へ向う光路中でミラー３８により搬送部（搬送ロボット４及びリフタ部２９）から離れる方向に偏向されている。そのため、第１光源３５やその配線等を、ウェハの搬送位置Ｐ１上方から遠ざかるように引き延ばすことができる。したがって、ウェハの搬送位置Ｐ１上方のスペースをより有効に確保することができる。
【００９５】
また、別の表現をすると、本実施の形態では、第１〜第３光源３５，３６，３７の照射方向（矢印Ｄ４〜Ｄ６）も、スキャンステージ３１の移動方向（矢印Ｄ２）に直交する方向からの側面視において鉛直方向（矢印Ｄ３）よりも搬送位置Ｐ１側に傾いている。
【００９６】
そのため、第１〜第３光源３５，３６，３７の配線をも、ウェハの搬送位置Ｐ１上方から遠ざかるように引き延ばすことができる。したがって、ウェハの搬送位置Ｐ１上方のスペースをより有効に確保することができる。
【００９７】
また、本実施の形態では、第１光源３５より照射される照明光（照明光路ＬＰ１）は、偏向してウェハに導光されている。したがって、より有効に外観検査装置１の小型化を図ることができる。
【００９８】
また、本実施の形態では、カメラ３３及び第１光源３５は、共通の回動軸を中心に回動している。そのため、外観検査装置１の構成を簡素にすることができ、したがって、より有効に外観検査装置１の小型化を図ることができる。
【００９９】
また、本実施の形態では、カメラ３３と共通の回動軸を中心に回動する第１光源３５は、明視野観察又は回折光による観察を行なう検査に用いられている。そのため、明視野観察又は回折光による観察を簡素な構成で実現することができ、したがって、より有効に外観検査装置１の小型化を図ることができる。
【０１００】
また、本実施の形態では、外観検査装置１は、表面撮像部２６の回動軸を含む鉛直な平面に対し搬送部（搬送ロボット４及びリフタ部２９）の反対側に配置される第２光源（明視野観察用照明部）３６及び第３光源（暗視野観察用照明部）３７を備えている。したがって、明視野観察や暗視野観察などの多様な検査を行う場合にも、ウェハの搬送位置Ｐ１上方のスペースをより有効に確保することができる。
【０１０１】
また、別の表現をすると、本実施の形態では、表面検査部２は、上述のように照射方向（矢印Ｄ４〜Ｄ６）が側面視において鉛直方向（矢印Ｄ３）よりも搬送位置Ｐ１側に傾いている光源を複数（第１光源３５〜第３光源３７）備えている。そのため、回折像の撮像、正反射及び暗視野における撮像などを使い分けることができ、ウェハの外観検査を有効に行うことができる。
【０１０２】
また、本実施の形態では、表面撮像部２６は、撮像方向（矢印Ｄ１）がスキャンステージ３１の移動方向（矢印Ｄ２）に直交する方向からの側面視において鉛直方向（矢印Ｄ３）よりも搬送位置Ｐ１側に傾いた範囲内で、撮像方向（矢印Ｄ１）を変えるように回動している。したがって、ウェハの搬送位置Ｐ１上方のスペースを有効に確保しながら、ウェハの外観検査を行うことができる。
【０１０３】
また、本実施の形態では、少なくとも１つの光源（第１光源３５）は、照射方向（矢印Ｄ４）を変えるように、表面撮像部２６と共に回動している。そのため、ウェハの検査態様に応じた表面撮像部２６の撮像方向（矢印Ｄ１）に合わせて照射方向（矢印Ｄ４）を調整することができる。したがって、ウェハの外観検査を有効に行うことができる。
【０１０４】
また、本実施の形態では、スキャンステージ３１は、ウェハを搬送部（搬送ロボット４及びリフタ部２９）から受け取ると共に搬送部に受け渡す搬送位置Ｐ１と表面撮像部２６によりウェハが撮像される撮像位置Ｐ２との間を移動している。したがって、ウェハの搬送位置Ｐ１上方のスペースを有効に確保しながら、ウェハの外観検査を行うことができる。
【０１０５】
また、本実施の形態では、外観検査装置１は、互いに平行に配置された表面検査部２及び裏面検査部３を備えており、単一の搬送ロボット４によって、表面検査部２及び裏面検査部３にウェハを搬送している。
【０１０６】
そのため、ウェハのうち回路パターンなどが形成された表面の検査においては、ウェハを回転テーブル３０に吸着保持することにより、ウェハ周縁を支持して行う両面同時検査の際に生じる撓みの発生を防ぎながら、表面検査部２と平行に裏面検査部３を配置することによって、有効に外観検査装置１の小型化を図ることもできる。
【０１０７】
また、本実施の形態では、表面検査部２は、搬送ロボット４から搬送されるウェハを、スキャンステージ３１に受け渡すまで支持する上ハンド４０ｕと、上ハンド４０ｕの下方に配置され、スキャンステージ３１から受け渡されるウェハを、搬送ロボット４により搬送されるまで支持する下ハンド４０ｄとを有している。
【０１０８】
そのため、ウェハの受け渡しを上ハンド４０ｕ及び下ハンド４０ｄで同時進行させながらスペースを有効に利用することができ、より一層、外観検査装置１の小型化を図ることができる。
【０１０９】
また、本実施の形態では、搬送ロボット４は、表面が上方を向いた状態のままウェハを表面検査部２から裏面検査部３に搬送している。そのため、ウェハの表裏を反転させる機構を要することがなく、したがって、より一層、外観検査装置１の小型化を図ることができる。
【０１１０】
また、本実施の形態では、裏面検査ホルダ４７に配置された複数の搭載部５７は、下方にかけてウェハ側に傾斜する傾斜面５７ａと、この傾斜面５７ａの下端から鉛直下方に延びる鉛直面５７ｂと、この鉛直面５７ｂの下端に設けられウェハが載置される載置部５７ｃとを有している。そのため、ウェハを傾斜面５７ａに搭載し、鉛直面５７ｂで落とし込んで載置部５７ｃに載置することで、複雑な機構を要することなく、有効にウェハを裏面検査ホルダ４７（ウェハ搭載部５７）に搭載することができる。したがって、より一層、外観検査装置１の小型化を図ることができる。
【０１１１】
なお、表面検査部２と裏面検査部３に使用される部材を共通部品としてもよい。例えば枠構造体から撮像部、照明部等すべてを、上下反対にして使用するようにすれば、製造原価を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１２】
【図１】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の内部構成を示す平面図である。
【図２Ａ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の内部構成を示す左側面図である。
【図２Ｂ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置を示す左側面図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の内部構成を示す右側面図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置を示す正面図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の表面検査部を示す左側面図である。
【図６】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の表面検査部の回折像撮像状態を示す左側面図である。
【図７】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の表面検査部の正反射撮像状態を示す左側面図である。
【図８】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の表面検査部の暗視野撮像状態を示す左側面図である。
【図９Ａ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の表面検査部のリフタ部の概略構成を示す背面図である。
【図９Ｂ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の表面検査部のリフタ部の概略構成を示す平面図である。
【図１０Ａ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の表面検査部の各種センサを説明するための概略平面図である。
【図１０Ｂ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の表面検査部の各種センサを説明するための概略背面図（その１）である。
【図１０Ｃ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の表面検査部の各種センサを説明するための概略左側面図（その２）である。
【図１１Ａ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の裏面検査部を示す左側面図である。
【図１１Ｂ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の裏面検査部を示す平面図である。
【図１１Ｃ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の裏面検査部を示す背面図である。
【図１１Ｄ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の裏面検査部を示す左側面断面図である。
【図１２】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置のウェハ搭載部を示す断面図である。
【図１３Ａ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の裏面検査ホルダを示す平面図である。
【図１３Ｂ】図１３ＡのＢ方向矢視図である。
【図１４】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置のリフタ部の動作を説明するための背面図（その１）である。
【図１５】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置のリフタ部の動作を説明するための背面図（その２）である。
【図１６】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置のリフタ部の動作を説明するための背面図（その３）である。
【図１７】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置のリフタ部の動作を説明するための背面図（その４）である。
【図１８】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置のリフタ部の動作を説明するための背面図（その５）である。
【図１９】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置のリフタ部の動作を説明するための背面図（その６）である。
【図２０Ａ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置のスキャンステージ（表面検査部）の動作を説明するための説明図（その１）である。
【図２０Ｂ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置のスキャンステージ（表面検査部）の動作を説明するための説明図（その２）である。
【図２０Ｃ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置のスキャンステージ（表面検査部）の動作を説明するための説明図（その３）である。
【図２０Ｄ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置のスキャンステージ（表面検査部）の動作を説明するための説明図（その４）である。
【図２１Ａ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の裏面検査ホルダの動作を説明するための説明図（その１）である。
【図２１Ｂ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の裏面検査ホルダの動作を説明するための説明図（その２）である。
【図２１Ｃ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の裏面検査ホルダの動作を説明するための説明図（その３）である。
【図２１Ｄ】本発明の一実施の形態に係る外観検査装置の裏面検査ホルダの動作を説明するための説明図（その４）である。
【符号の説明】
【０１１３】
１      外観検査装置
２      表面検査部
３      裏面検査部
４      搬送ロボット
４ａ      アーム部
４ｂ      アーム支持部
４ｃ      搬送ステージ
４ｄ      スライドレール
４ｅ      ベース部
４ｆ      仕切り壁
５      ロードポート
６      操作部
７      ＰＣラック
８      電装ボックス
９      ユーティリティボックス
１０      ＦＦＵ（ファン・フィルタ・ユニット）
１１      ＦＦＵコントローラ
１２      差圧計
１３      光源装置
１４      排気ダクト
１５      シグナルタワー
１６      圧力計
１７      バルブ
１８      左側面側非常用スイッチ
１９      ブレーカ
２０      ＬＡＮ接続口
２１      排気ファン
２２      モニタ
２３      ＯＮ／ＯＦＦスイッチ
２４      正面側非常用スイッチ
２５      アワーメータ
２６      表面撮像部
２７      回動支持部
２８      ベース部
２９      リフタ部
３０      回転ステージ
３１      スキャンステージ
３１ａ      ガイド
３２      除振部
３３      カメラ
３３ａ      撮像光学系
３３ｂ      ラインセンサ
３４      回動部
３５      第１光源
３６      第２光源
３７      第３光源
３８      第１ミラー
３９      第２ミラー
４０ｕ      上ハンド
４１ｄ    下ハンド
４１      整列シリンダ
４１ａ      整列用プッシャ
４２      昇降用モータ
４３      ガイド部
４４      昇降板
４５      裏面撮像部
４６      ベース部
４７      裏面検査ホルダ
４７ａ      奥側整列用シリンダ
４７ｂ      手前側整列用シリンダ
４７ｃ      手前側整列用シリンダ
４８      Ｘステージ
４９      Ｙステージ
５０      除振部
５１      架台
５２      カメラ
５２ａ      撮像光学系
５２ｂ      ラインセンサ
５３      支持部
５４      第４光源
５５      第５光源
５６      ミラー
５７      ウェハ搭載部
５７ａ      傾斜面
５７ｂ      鉛直面
５７ｃ      突出部
Ｓ１      ウェハ乗り上げセンサ
Ｓ２      ウェハ有無センサ
Ｓ３      ウェハ有無センサ
Ｓ４      ノッチ検出センサ
Ｓ５      異物検出センサ
Ｓ６      ウェハ有無センサ
Ｓ７      乗り上げセンサ
Ｗ      半導体ウェハ
【図１】
2009122078.tif 000003
【図２Ａ】
2009122078.tif 000004
【図２Ｂ】
2009122078.tif 000005
【図３】
2009122078.tif 000006
【図５】
2009122078.tif 000007
【図６】
2009122078.tif 000008
【図７】
2009122078.tif 000009
【図８】
2009122078.tif 000010
【図９Ａ】
2009122078.tif 000011
【図９Ｂ】
2009122078.tif 000012
【図１１Ａ】
2009122078.tif 000013
【図１１Ｂ】
2009122078.tif 000014
【図１１Ｃ】
2009122078.tif 000015
【図１１Ｄ】
2009122078.tif 000016
【図１２】
2009122078.tif 000017
【図１３Ａ】
2009122078.tif 000018
【図１３Ｂ】
2009122078.tif 000019
【図１４】
2009122078.tif 000020
【図１５】
2009122078.tif 000021
【図１６】
2009122078.tif 000022
【図１７】
2009122078.tif 000023
【図１８】
2009122078.tif 000024
【図１９】
2009122078.tif 000025
【図２０Ａ】
2009122078.tif 000026
【図２０Ｂ】
2009122078.tif 000027
【図２０Ｃ】
2009122078.tif 000028
【図２０Ｄ】
2009122078.tif 000029
【図２１Ａ】
2009122078.tif 000030
【図２１Ｂ】
2009122078.tif 000031
【図２１Ｃ】
2009122078.tif 000032
【図２１Ｄ】
2009122078.tif 000033
【図４】
2009122078.tif 000034
【図１０Ａ】
2009122078.tif 000035
【図１０Ｂ】
2009122078.tif 000036
【図１０Ｃ】
2009122078.tif 000037