(57)【要約】【課題】従来の空気浄化装置は、触媒温度が約２００℃以上でないと触媒性能が発揮できず、被処理ガスを分解できないという課題があった。触媒を２００℃以上に加熱するには多くのエネルギーを必要とするだけでなく、触媒温度が高いときにはそこを通過した直後の空気はかなりの高温となるため、一般家庭で用いられるような家電製品に搭載するには不向きであった。【解決手段】イオン交換水に硝酸コバルト六水和物と硝酸マンガン六水和物と硝酸銀とを加えて攪拌したＣｏ／Ｍｎ／Ａｇ溶液にハニカム構造体１１を３分間含浸した後、余剰液を除去し、室温で５分間通風乾燥後、３５０℃で２時間焼成することにより得られたＣｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材１２をヒータ４により１２０℃以上に加熱し、そこに被処理ガスを含む空気を通過させることにより、空気浄化触媒の作用により被処理ガスは分解される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともコバルトとマンガンと銀とを含む３種以上の金属元素からなる空気浄化触媒を基材に担持した空気浄化材を設けてなることを特徴とする空気浄化装置。
【請求項２】
空気浄化材がハニカム構造であることを特徴とする請求項１記載の空気浄化装置。
【請求項３】
空気浄化材が耐熱性を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の空気浄化装置。
【請求項４】
空気浄化材に空気を通過させるための送風手段を設けてなることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の空気浄化装置。
【請求項５】
送風手段がファンであることを特徴とする請求項４記載の空気浄化装置。
【請求項６】
空気浄化材を加熱するための手段を設けてなることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の空気浄化装置。
【請求項７】
空気浄化材を加熱するための手段が、空気浄化材に直接通電することにより、空気浄化材を発熱させる方法であることを特徴とする請求項６記載の空気浄化装置。
【請求項８】
空気浄化材を加熱するための手段が、ヒータにより空気を加熱し、その加熱された空気により空気浄化材を加熱する方法であることを特徴とする請求項６記載の空気浄化装置。
【請求項９】
加熱された空気を冷却する手段を設けてなることを特徴とする請求項１乃至８いずれかに記載の空気浄化装置。
【請求項１０】
加熱された空気を冷却する手段が、熱交換器であることを特徴とする請求項９記載の空気浄化装置。
【請求項１１】
空気浄化材を回転させる機構を設けてなることを特徴とする請求項１乃至１０いずれかに記載の空気浄化装置。
【請求項１２】
粉じんを捕集するための集塵機能を備えてなることを特徴とする請求項１乃至１１いずれかに記載の空気浄化装置。
【請求項１３】
除湿機能を備えてなることを特徴とする請求項１乃至１２いずれかに記載の空気浄化装置。
【請求項１４】
加湿機能を備えてなることを特徴とする請求項１乃至１３いずれかに記載の空気浄化装置。
【請求項１５】
少なくともコバルトとマンガンと銀とを含む３種以上の金属元素からなる空気浄化触媒を基材に担持した空気浄化材と、送風手段としてのファンと、加熱手段としてのヒータとを備えた空気浄化装置であって、ファンにより送風された空気がヒータにより加熱され、その加熱された空気が空気浄化材を加熱するような位置に空気浄化材とファンとヒータとが配置され、被処理ガスが加熱された空気浄化材を通過する際に空気浄化触媒の作用によって分解されることを特徴とする空気浄化方法。
【請求項１６】
空気浄化材の表面を１２０℃以上にすることを特徴とする請求項１５に記載の空気浄化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気中に含まれる臭気成分などを分解することができる空気浄化装置と、該空気浄化装置による空気浄化方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の空気浄化装置は、特許文献１に開示されているように、白金を担持したフィルタと、被処理ガスを加熱するためのヒータとを備え、被処理ガスを２００〜３５０℃に加熱し、白金の作用により被処理ガスを燃焼するものが用いられている。
【特許文献１】特開２００１−３４０４３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来の空気浄化装置は、触媒温度が約２００℃以上でないと触媒性能が発揮できず、被処理ガスを分解できないという課題があった。
【０００４】
触媒を２００℃以上に加熱するには多くのエネルギーを必要とするだけでなく、触媒温度が高いときにはそこを通過した直後の空気はかなりの高温となるため、一般家庭で用いられるような家電製品に搭載するには不向きであった。
【０００５】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、温度が２００℃以下であっても被処理ガスを分解することができる空気浄化触媒を担持した空気浄化材を備えているため、加熱するためのエネルギーを抑えることができるだけでなく、空気浄化材を通過した直後の空気温度を従来よりも低くすることができる空気浄化装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の空気浄化装置は、少なくともコバルトとマンガンと銀とを含む３種以上の金属元素からなる空気浄化触媒を基材に担持した空気浄化材を設けてなることを特徴とする空気浄化装置である。該空気浄化材は、空気浄化材表面の温度、すなわち、空気浄化触媒の温度が２００℃以下でも被処理ガスを分解することができるので、加熱するためのエネルギーを抑えることができるだけでなく、空気浄化材を通過した直後の空気温度を従来よりも低くすることができる空気浄化装置を提供することができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、空気浄化触媒の温度が２００℃以下でも被処理ガスを分解することができるので、加熱するためのエネルギーを抑えることができるだけでなく、空気浄化材を通過した直後の空気温度を従来よりも低くすることができる空気浄化装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の請求項１に記載の発明は、少なくともコバルトとマンガンと銀とを含む３種以上の金属元素からなる空気浄化触媒を基材に担持した空気浄化材を設けてなることを特徴とする空気浄化装置である。
【０００９】
これにより、少なくともコバルトとマンガンとを含む３種以上の金属元素からなる空気浄化触媒を担持した基材となるので、空気浄化材表面の温度、すなわち、空気浄化触媒の温度が２００℃以下でも被処理ガスを分解することができる空気浄化装置となる。
【００１０】
また、ここに示す少なくともコバルトとマンガンと銀とを含む３種以上の金属元素からなる空気浄化触媒は、酸化コバルトと酸化マンガンと酸化銀との混合物、もしくは、コバルトとマンガンと銀との複合酸化物であることが好ましい。
【００１１】
また、ここに示す空気浄化材は、少なくともコバルトイオンとマンガンイオンと銀イオンとを含む溶液に基材を含浸した後、３５０℃以上で焼成することにより得られる。
【００１２】
また、ここに示す基材とは、空気浄化触媒を担持するための担体であり、形状の制限は特にないが、空気浄化材を製造する際に３５０℃以上で焼成する必要があるので、金属やセラミックのような耐熱性を有する材料であることが好ましい。基材の表面にゼオライトなどの比表面積の大きな吸着剤をあらかじめ担持することにより、空気浄化触媒を高分散に担持させることができるだけでなく、被処理ガスを吸着することができるので、空気浄化触媒と被処理ガスとの接触確率と接触時間が大きくなり、被処理ガス分解効率を上げることができる。
【００１３】
本発明の請求項２に記載の発明は、空気浄化材がハニカム構造であることを特徴とする空気浄化装置である。
【００１４】
これにより、圧力損失の上昇を抑えることができるだけでなく、表面積が大きくなるので空気浄化触媒を高分散に担持することができる。
【００１５】
本発明の請求項３に記載の発明は、空気浄化材が耐熱性を有していることを特徴とする空気浄化装置である。
【００１６】
これにより、熱による空気浄化材の変形や損傷を抑制することができる。
【００１７】
本発明の請求項４に記載の発明は、空気浄化材に空気を通過させるための送風手段を設けてなることを特徴とする空気浄化装置である。
【００１８】
これにより、空気浄化材に被処理ガスを効率良く送ることができる。
【００１９】
また、送風手段は空気浄化材の前後どちらに配置しても良い。
【００２０】
本発明の請求項５に記載の発明は、前記送風手段がファンであることを特徴とする空気浄化装置である。
【００２１】
これにより、空気浄化材に被処理ガスを効率良く送ることができる。
【００２２】
また、ファンは空気浄化材の前後どちらに配置しても良い。
【００２３】
本発明の請求項６に記載の発明は、空気浄化材を加熱するための手段を設けてなることを特徴とする空気浄化装置である。
【００２４】
これにより、空気浄化材を加熱することができるので、表面に担持された空気浄化触媒を活性化し、被処理ガスを分解することができる。
【００２５】
本発明の請求項７に記載の発明は、前記空気浄化材を加熱するための手段が、空気浄化材に直接通電することにより、空気浄化材を発熱させる方法であることを特徴とする空気浄化装置である。
【００２６】
これにより、空気浄化材を加熱するためのエネルギーロスが少なく、かつ、短時間で空気浄化材を加熱することができる。
【００２７】
本発明の請求項８に記載の発明は、前記空気浄化材を加熱するための手段が、ヒータにより空気を加熱し、その加熱された空気により空気浄化材を加熱する方法であることを特徴とする空気浄化装置である。
【００２８】
これにより、空気浄化材を加熱することができるので、表面に担持された空気浄化触媒を活性化し、被処理ガスを分解することができる。
【００２９】
本発明の請求項９に記載の発明は、加熱された空気を冷却する手段を設けてなることを特徴とする空気浄化装置である。
【００３０】
これにより、空気浄化装置からの排気温度を、空気浄化材直後の温度よりも低くすることができる。
【００３１】
本発明の請求項１０に記載の発明は、前記加熱された空気を冷却する手段が、熱交換器であることを特徴とする空気浄化装置である。
【００３２】
これにより、空気浄化装置からの排気温度を、空気浄化材直後の温度よりも低くすることができる。
【００３３】
また、空気浄化材を通過した直後の高温空気と、空気浄化材を通過する前の低温空気とで熱交換させることにより、空気浄化材を通過する前の低温空気を加熱することができるので、加熱手段によって上昇させなければならない空気の温度幅が小さくなり、加熱手段にかかる消費電力を少なくすることができる。
【００３４】
本発明の請求項１１に記載の発明は、空気浄化材を回転させる機構を設けてなることを特徴とする空気浄化装置である。
【００３５】
これにより、空気浄化材をヒータなどの加熱手段に近づけたり遠ざけたりすることができるので、例えば、ヒータに近づいたときには脱着や分解といった再生操作をし、ヒータから遠ざかったときには吸着操作をするなど、再生と吸着を繰り返すことができる。
【００３６】
また、空気浄化材は連続的に回転していても、間欠的に回転して位置切り替わる機構であってもよい。
【００３７】
本発明の請求項１２に記載の発明は、粉じんを捕集するための集塵機能を備えてなることを特徴とする空気浄化装置である。
【００３８】
これにより、粉じんを捕集するための集塵機能と、被処理ガスを分解するための空気浄化機能とを併せ持つ空気浄化装置となる。
【００３９】
また、集塵手段としては、集塵フィルタを設ける方法でも良いし、電気集塵装置を設ける方法でも良い。
【００４０】
本発明の請求項１３に記載の発明は、除湿機能を備えてなることを特徴とする空気浄化装置である。
【００４１】
これにより、除湿機能と、被処理ガスを分解するための空気浄化機能とを併せ持つ空気浄化装置となる。
【００４２】
また、除湿手段としては、空気を冷却して水分を結露させるコンプレッサー方式でも良いし、ゼオライトなどの除湿剤を用いたデシカント方式でも良い。
【００４３】
本発明の請求項１４に記載の発明は、加湿機能を備えてなることを特徴とする空気浄化装置である。
【００４４】
これにより、加湿機能と、被処理ガスを分解するための空気浄化機能とを併せ持つ空気浄化装置となる。
【００４５】
本発明の請求項１５に記載の発明は、少なくともコバルトとマンガンと銀とを含む３種以上の金属元素からなる空気浄化触媒を基材に担持した空気浄化材と、送風手段としてのファンと、加熱手段としてのヒータとを備えた空気浄化装置であって、ファンにより送風された空気がヒータにより加熱され、その加熱された空気が空気浄化材を加熱するような位置に空気浄化材とファンとヒータとが配置され、被処理ガスが加熱された空気浄化材を通過する際に空気浄化触媒の作用によって分解されることを特徴とする空気浄化方法である。
【００４６】
これにより、被処理ガスを含む空気や、空気浄化材の表面が効率良く加熱されるので、空気浄化触媒が加熱されて活性化され、被処理ガスを分解することができる。
【００４７】
また、ここに示す被処理ガスとは、空気浄化触媒の作用によって分解されるガス成分であり、アンモニア、アセトアルデヒド、酢酸などに代表される悪臭物質や、揮発性有機化合物などがこれに含まれる。
【００４８】
本発明の請求項１６に記載の発明は、空気浄化材の表面を１２０℃以上にすることを特徴とする空気浄化方法である。
【００４９】
これにより、空気浄化触媒が活性化されるので、被処理ガスを効率良く分解することができる。
【００５０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明するが、以下の解釈に何ら限定されるものではない。
【００５１】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１の空気浄化装置について、図１に図示して説明する。
【００５２】
本発明に記載の空気浄化装置は、枠体１内に、送風手段としてのファン２と、加熱された空気を冷却する手段としての熱交換器３と、加熱手段としてのヒータ４と、少なくともコバルトとマンガンと銀とを含む３種以上の金属元素からなる空気浄化触媒が担持された空気浄化材５とが配置されている。このとき、空気浄化材５はセラミック製カニカム基材に空気浄化触媒を担持したものである。
【００５３】
被処理ガスを含む空気はファン２の作用により空気浄化装置内へ吸い込まれ、熱交換器３を通過する際に排気空気から熱を奪い、ヒータ４によりさらに加熱され、空気浄化材５を通過する際に空気浄化触媒の作用により被処理ガスは分解される。空気浄化材５を通過した空気は熱交換器３を通過する際に、空気浄化材５を通過する前の空気に熱を与えて、空気浄化装置外へ排気される。
【００５４】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２の空気浄化装置について、図２に図示して説明する。
【００５５】
本発明に記載の空気浄化装置は、枠体１内に、送風手段としてのファン２と、加熱された空気を冷却する手段としての熱交換器３と、少なくともコバルトとマンガンと銀とを含む３種以上の金属元素からなる空気浄化触媒が担持された空気浄化材５とが配置されている。また、枠体１外に、加熱手段として空気浄化材５を直接加熱するための通電用コード６が配置されている。このとき、空気浄化材５はステンレス製のカニカムである。
【００５６】
被処理ガスを含む空気はファン２の作用により空気浄化装置内へ吸い込まれ、熱交換器３を通過する際に排気空気から熱を奪い、基材に直接通電することにより加熱された空気浄化材５を通過する際に空気浄化触媒の作用により被処理ガスは分解される。空気浄化材５を通過した空気は熱交換器３を通過する際に、空気浄化材５を通過する前の空気に熱を与えて、空気浄化装置外へ排気される。
【００５７】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３の空気浄化装置について、図３に図示して説明する。
【００５８】
本発明に記載の空気浄化装置は、枠体１内に、送風手段としてのファン２と、加熱された空気を冷却する手段としての熱交換器３と、加熱手段としてのヒータ４と、少なくともコバルトとマンガンと銀とを含む３種以上の金属元素からなる空気浄化触媒が担持された空気浄化材５と、集塵手段としての集塵フィルタ７とが配置されている。このとき、空気浄化材５はセラミック製カニカム基材に空気浄化触媒を担持したものである。
【００５９】
被処理ガスを含む空気はファン２の作用により空気浄化装置内へ吸い込まれ、集塵フィルタ７によりサブミクロンオーダー以上の粉じんは捕集され、熱交換器３を通過する際に排気空気から熱を奪い、ヒータ４によりさらに加熱され、空気浄化材５を通過する際に空気浄化触媒の作用により被処理ガスは分解される。空気浄化材５を通過した空気は熱交換器３を通過する際に、空気浄化材５を通過する前の空気に熱を与えて、空気浄化装置外へ排気される。
【００６０】
このようにして、集塵機能と悪臭成分などを分解する空気浄化機能とを有する空気浄化装置を実現することができる。
【００６１】
（実施の形態４）
本発明の実施の形態４の空気浄化装置について、図４に図示して説明する。
【００６２】
本発明に記載の空気浄化装置は、枠体１内に、送風手段としてのファン２と、加熱された空気を冷却する手段としての熱交換器３と、加熱手段としてのヒータ４と、少なくともコバルトとマンガンと銀とを含む３種以上の金属元素からなる空気浄化触媒が担持された空気浄化材５と、除湿した水を溜めるための除湿タンク８とが配置されている。このとき、空気浄化材５は円形のセラミック製カニカム基材に空気浄化触媒を担持したもので、回転させることができる機構を備えており、表面には被処理ガスと水とを吸着することができるゼオライトが担持されている。また、空気浄化材５は連続的に回転していても、間欠的に回転して位置切り替わる機構であってもよい。
【００６３】
被処理ガスと水分とを含む空気はファン２の作用により空気浄化装置内へ吸い込まれ、熱交換器３を通過する際に排気空気から熱を奪い、空気浄化材５を通過する際にゼオライトの作用により被処理ガスと水は吸着除去される。空気浄化材５を通過した空気のうち約１０Ｖｏｌ％をヒータ４の方へ導入することにより、空気浄化材５のヒータ４直近部分のみが加熱され、加熱された部分に吸着されていた被処理ガスは触媒の作用により分解され、水は脱着する。ここで高温高湿となった空気は熱交換器３を通過する際に冷却されて、空気中に含まれていた水は結露して除湿タンク８に溜まる。
【００６４】
このようにして、除湿機能と悪臭成分などを分解する空気浄化機能とを有する空気浄化装置を実現することができる。
【００６５】
（実施の形態５）
本発明の実施の形態５の空気浄化装置について、図５に図示して説明する。
【００６６】
本発明に記載の空気浄化装置は、枠体１内に、送風手段としてのファン２と、加熱手段としてのヒータ４と、少なくともコバルトとマンガンと銀とを含む３種以上の金属元素からなる空気浄化触媒が担持された空気浄化材５と、加湿手段としての加湿フィルタ９と、加湿用の水を溜めておく加湿タンク１０とが配置されている。このとき、空気浄化材５はセラミック製カニカム基材に空気浄化触媒を担持したものである。また、加湿フィルタ９は加湿タンク１０に溜まっている水中に浸漬されており、常に水を吸い上げることができる機構となっている。
【００６７】
被処理ガスを含む空気はファン２の作用により空気浄化装置内へ吸い込まれ、ヒータ４により加熱され、空気浄化材５を通過する際に空気浄化触媒の作用により被処理ガスは分解される。空気浄化材５を通過した高温空気は、水を含んだ加湿フィルタ９を通過する際に加湿されて空気浄化装置外へ排気される。
【００６８】
このようにして、加湿機能と悪臭成分などを分解する空気浄化機能とを有する空気浄化装置を実現することができる。
【実施例】
【００６９】
（実施例１）
本発明の実施例１の空気浄化材の製造方法について説明する。
【００７０】
イオン交換水３２．５０ｇに硝酸コバルト六水和物を４．９２２ｇ、硝酸マンガン六水和物の５０ｗｔ％水溶液を９．７１ｇ、硝酸銀を２．８７４ｇ加えて攪拌し、これをＣｏ／Ｍｎ／Ａｇ溶液（仕込みＣｏ／Ｍｎ：Ａｇモル比＝１：１：１）とした。ハニカム構造体１１をＣｏ／Ｍｎ／Ａｇ溶液に３分間含浸した後、余剰液を除去し、室温で５分間通風乾燥後、３５０℃で２時間焼成することによりＣｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材１２を得た。ここで、空気浄化触媒の担持量は０．０２２７ｇ／ｃｍ3であった。
【００７１】
また、Ｃｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材１２の図を図６（ａ）に、Ｃｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材１２の表面を拡大した触媒担持状態の概念図を図６（ｂ）に示す。図６（ｂ）に示すように、ハニカム表面１３には酸化コバルトと酸化マンガンと酸化銀との混合物、もしくは、コバルトとマンガンと銀との複合酸化物からなる空気浄化触媒１４が担持されている。金属イオンが溶解している溶液にハニカム構造体１１を含浸した後、金属イオンをハニカム構造体１１上で酸化するため高分散に担持させることができる。
【００７２】
（評価例１）
実施例１で製造したＣｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材１２について、アセトアルデヒドの分解性能を評価した。その試験方法を図７に示す。
【００７３】
内径２０ｍｍのガラス管１５の中に、直径２０ｍｍにカットしたＣｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材１２を入れ、Ｃｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材１２の中心付近のセルに熱電対１６を差し込み、Ｃｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材１２の表面温度を測定できるようにし、それをＣｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材１２が中心にくるように加熱管状炉１７にセットした。
【００７４】
アセトアルデヒド濃度が約５０ｐｐｍで純空気ベースのガスボンベ１８から、マスフローコントローラー１９を介して５００ｍＬ／ｍｉｎでアセトアルデヒドを流し、Ｃｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材１２を通過してきた空気中の一酸化炭素（ＣＯ）と二酸化炭素（ＣＯ2）の濃度をＣＯ計２０およびＣＯ2計２１を用いて測定し、アセトアルデヒド分解率を算出した。
【００７５】
ここで、アセトアルデヒド分解率の算出方法は以下のとおりである。
【００７６】
アセトアルデヒドの化学式がＣＨ３ＣＨＯであることから、アセトアルデヒドが１ｐｐｍ分解すると、ＣＯとＣＯ2合わせて２ｐｐｍ生成することになる。したがって、もしアセトアルデヒドが５０ｐｐｍすべて分解すると、ＣＯとＣＯ2合わせて１００ｐｐｍ生成することになるので、ＣＯとＣＯ2合わせて１００ｐｐｍ生成したときをアセトアルデヒド分解率１００％とした。
【００７７】
図７に示した方法で実験を行い、アセトアルデヒド分解率を算出した結果、Ｃｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材１２の表面温度が１２０℃のときには分解率が１２．７％、１６０℃のときには分解率が９０．５％となった。これにより、空気浄化材の表面温度が２００℃以下でもアセトアルデヒドを十分に分解できることが示された。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明の空気浄化装置は、空気浄化触媒の温度が２００℃以下でも被処理ガスを分解することができるので、加熱するためのエネルギーを抑えることができるだけでなく、空気浄化材を通過した直後の空気温度を従来よりも低くすることができ、家庭用の脱臭機、空気清浄機、除湿機、加湿器などに適用できるので有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の実施の形態１における空気浄化装置の断面図
【図２】同実施の形態２における空気浄化装置の断面図
【図３】同実施の形態３における空気浄化装置の断面図
【図４】同実施の形態４における空気浄化装置の断面図
【図５】同実施の形態５における空気浄化装置の断面図
【図６】同実施例１における空気浄化材を示す図（（ａ）Ｃｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材を示し斜視図、（ｂ）Ｃｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材表面を拡大した触媒担持状態の概念図）
【図７】評価例１におけるアセトアルデヒド分解性能評価試験の試験方法を示す図
【符号の説明】
【００８０】
１    枠体
２    ファン
３    熱交換器
４    ヒータ
５    空気浄化材
６    通電用コード
７    集塵フィルタ
８    除湿タンク
９    加湿フィルタ
１０  加湿タンク
１１  ハニカム構造体
１２  Ｃｏ／Ｍｎ／Ａｇ空気浄化材
１３  ハニカム表面
１４  空気浄化触媒
１５  ガラス管
１６  熱電対
１７  加熱管状炉
１８  ガスボンベ
１９  マスフローコントローラー
２０  ＣＯ計
２１  ＣＯ2計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2009090206.tif 000006
【図５】
2009090206.tif 000007
【図６】
2009090206.tif 000008
【図７】
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