(57)【要約】【課題】圧力発生室毎の液体の吐出性能のバラつきを抑制することが可能な液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】複数のノズル開口２６を列設したノズルプレート２５と、ノズル開口２６それぞれに連通する圧力発生室３５を形成した流路形成基板２４と、圧力発生室３５を封止する弾性板２３と、を備えた流路ユニット１７と、弾性板２３に当接し、圧力発生室３５に圧力変動を与える圧電振動子２９を備えた振動子ユニット２２と、から構成され、ノズル開口２６から液滴を吐出させる記録ヘッドであって、弾性板２３は、フィルム４１と金属薄板４０を積層して構成し、圧力発生室３５に対向する金属薄板４０に形成したアイランド部４３を備え、アイランド部４３は、その配列方向の幅を、ノズル開口２６側の幅Ｗ１よりも圧電振動子２９側の幅Ｗ２を大きく設定した。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル開口を列設したノズル形成部材と、前記ノズル開口に対応する圧力発生室を形成した流路形成基板と、前記圧力発生室を封止する弾性板と、を備え、流路形成基板を間にしてこれらを接合した流路ユニットと、
前記弾性板に当接し、前記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子を備えたアクチュエータユニットと、から構成され、
圧力発生素子の作動によりノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドであって、
前記弾性板は、フィルムと金属薄板を積層して構成され、
前記圧力発生室に対向する金属薄板に形成したアイランド部を備え、
前記アイランド部は、その配列方向の幅を、前記ノズル開口側の幅よりも前記圧力発生素子側の幅を大きく設定したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記アイランド部と前記圧力発生素子は、前記フィルムを介して接合されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記弾性板は、前記フィルムが前記金属薄板の両面を挟んだ状態で積層して形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記弾性板は、一方の面にフィルムを接合した金属薄板をエッチング処理した後に、他方の面にフィルムを接合することによって形成されていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記圧力発生素子側の前記フィルムには、大気開放孔が設けられていることを特徴とする請求項２から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記圧力発生素子側の前記フィルムが、気体を透過する材料で形成されていることを特徴とする請求項２から請求項４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに係り、特に、圧力変動によってノズル開口から液滴を吐出する液体噴射ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンタという）等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。
【０００３】
例えば、上記の記録ヘッドは、中空状の圧力発生室を封止する弾性板に圧力発生素子を接合し、圧力発生素子を該圧力発生素子の長手方向に振動させることで、圧力発生室に圧力変動を与え、圧力発生室と連通したノズル開口から圧力発生室内の液体を吐出させている。
【０００４】
弾性板は、フィルムと金属薄板とを積層させて構成されており、圧力発生室に対向した金属薄板の一部を、エッチング処理などによって除去することで、フィルム上に金属薄板が島状に残されたアイランド部が形成されている。そして、このアイランド部の表面、即ち弾性板には、圧力発生素子の先端が接着剤を介して接合される（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−９４６８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、アイランド部と圧力発生素子とを接合させる際に、互いの接合位置精度が悪いと、圧力発生素子の圧力変動に影響を及ぼすために、液体の吐出性能にバラつきが発生する虞があった。また、アイランド部と圧力発生素子とを接合する際に用いる接着剤が、その接合面間から液垂れすると、固着した接着剤が、アイランド部と共に振動する虞があり、同様に液体の吐出性能に影響することがあった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧力発生室毎の液体の吐出性能のバラつきを抑制することが可能な液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッドは、複数のノズル開口を列設したノズル形成部材と、前記ノズル開口に対応する圧力発生室を形成した流路形成基板と、前記圧力発生室を封止する弾性板と、を備え、流路形成基板を間にしてこれらを接合した流路ユニットと、
前記弾性板に当接し、前記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子を備えたアクチュエータユニットと、から構成され、
圧力発生素子の作動により前記ノズル開口から液滴を吐出させる液体噴射ヘッドであって、
前記弾性板は、フィルムと金属薄板を積層して構成され、
前記圧力発生室に対向する金属薄板に形成したアイランド部を備え、
前記アイランド部は、その配列方向の幅を、前記ノズル開口側の幅よりも前記圧力発生素子側の幅を大きく設定したことを特徴とする。
【０００９】
上記構成によれば、弾性板は、フィルムと金属薄板を積層して構成され、圧力発生室に対向する金属薄板に形成したアイランド部を備え、アイランド部は、その配列方向の幅を、ノズル開口側の幅よりも圧力発生素子側の幅を大きく設定したので、アイランド部の配列方向の幅をノズル開口側の幅よりも圧力発生素子側の幅を小さく設定した場合と比べて、圧力発生素子をアイランド部に接合する際の許容誤差を広くすることができる。そのため、圧力発生素子とアイランド部との要求位置精度を緩和し、歩留まりを向上させることができ、また圧力変動のバラつきを少なくして、圧力発生室毎の液体の吐出性能のバラつきを抑制することができる。
【００１０】
上記構成において、前記アイランド部と前記圧力発生素子は、前記フィルムを介して接合されている構成とすることが望ましい。
【００１１】
上記構成によれば、アイランド部と圧電振動子が、フィルムを介して接合されているので、アイランド部の圧電振動子側がフィルムに保護されることとなり、圧力発生素子を弾性板に接合する際に用いる接着剤が、互いの接合面間から液垂れしたとしても、接着剤がアイランド部に付着して固着することを防止できる。このため、接着剤がアイランド部の外周を覆うことを防止でき、弾性板の弾性率がアイランド部に対向する圧力発生室毎に変化することを抑えることができる。したがって、圧力発生室毎の液体の吐出性能のバラつきを抑制することができる。
【００１２】
上記構成において、前記弾性板は、前記フィルムが前記金属薄板の両面を挟んだ状態で積層して形成されている構成とすることが望ましい。
【００１３】
上記構成によれば、フィルムが金属薄板の両面を挟んでいるので、フィルム間にアイランド部が収容されるので、アイランド部を保護することができる。そのため、圧力発生素子による圧力変動を各アイランド部が確実に圧力発生室に伝えるので、圧力発生室毎の液体の吐出性能のバラつきを抑制することができる。
【００１４】
上記構成において、前記弾性板は、一方の面にフィルムを接合した金属薄板をエッチング処理した後に、他方の面にフィルムを接合することによって形成されている構成とすることが望ましい。
【００１５】
上記構成によれば、弾性板は、一方の面にフィルムを接合した金属薄板をエッチング処理した後に、他方の面にフィルムを接合すればよいので、従来のエッチング処理によって、アイランド部をフィルムで挟んだ弾性板を容易に作製することができる。
【００１６】
上記構成において、前記圧力発生素子側の前記フィルムには、大気開放孔が設けられていることが望ましい。
【００１７】
上記構成によれば、圧力発生素子側のフィルムには、大気開放孔が設けられているので、フィルム間の空間と外側の空間とを大気開放孔を通して連通させることができ、その結果、フィルム間の空間の容積が周りの温度や大気圧に左右されることがなく、圧力発生室内のコンプライアンスが環境に依存しないようになる。
【００１８】
上記構成において、前記圧力発生素子側の前記フィルムが、気体を透過する材料で形成されていることが望ましい。
【００１９】
上記構成によれば、圧力発生素子側のフィルムが、気体を透過する材料で形成されているので、フィルム間の空間の気体がその外側の空間に透過できるようにして、フィルム間の空間と外側の空間とのバランスを保つことができる。その結果、圧力発生室内のコンプライアンスが環境に依存しないようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面等を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、本実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」という）を例に挙げて説明する。
【００２１】
図１はインクジェット式記録装置の斜視図である。まず、第１の実施形態における記録ヘッドを搭載するインクジェット式記録装置（以下、プリンタという）の概略構成について、図１を参照して説明する。例示したプリンタ１は、記録紙等の記録媒体（着弾対象物）２の表面へ液体状のインクを吐出して画像等の記録を行う装置である。このプリンタ１は、インクを吐出する記録ヘッド３（本発明における液体噴射ヘッドの一種に相当）と、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４と、キャリッジ４を主走査方向（図１に符号Ｘで示す）に移動させるキャリッジ移動機構５と、記録媒体２を副走査方向（主走査方向に直交する方向。図１に符号Ｙで示す）に移送するプラテンローラ６等を備えている。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、インクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。
【００２２】
上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモータ等のパルスモータ９により駆動される。従って、パルスモータ９が作動すると、キャリッジ４は、プリンタ１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向Ｘ（記録紙２の幅方向）に往復移動する。
【００２３】
次に、記録ヘッド３の構成について説明する。ここで、図２はキャリッジ４に取り付けられる記録ヘッド３の分解斜視図である。例示した記録ヘッド３は、カートリッジ基台１５（以下、「基台」という）と、ヘッドケース１６と、流路ユニット１７と、振動子ユニット２２（本発明におけるアクチュエータユニットの一種に相当）等から概略構成されている。
【００２４】
基台１５は、例えば合成樹脂によって成型されており、図２に示すように、その上面にはフィルタ１８を介在させた状態でインク導入針１９が取り付けられる。そして、基台１５に取り付けられたインク導入針１９にはインクカートリッジ７が装着される。
【００２５】
上記インク導入針１９が取り付けられる面とは反対側となる基台１５の他面には、回路基板２０が取り付けられる。この回路基板２０は、例えば後述する圧電振動子２９（図３参照）への駆動信号の供給を制御するためのドライブ回路や、プリンタ本体側との接続のためのコネクタ、インク供給用の貫通孔等を備えている。そして、この回路基板２０は、パッキンとして機能するシート部材２１を介して基台１５に取り付けられている。
【００２６】
ヘッドケース１６は、基台１５に固定されるものであり、後述する圧電振動子２９を有する振動子ユニット２２を収容するためのケーシングである。このため、ヘッドケース１６には、振動子ユニット２２を収容可能な収容空部３２（図３参照）が形成されている。そして、振動子ユニット２２は、この収容空部３２内に挿入され、接着等によって固定されている。そして、ヘッドケース１６の基台１５の取付面とは反対側の先端面には、流路ユニット１７が接着剤等により固定されている。
【００２７】
流路ユニット１７は、弾性板２３、流路形成基板２４、及びノズルプレート２５（本発明におけるノズル形成基部材の一種に相当）を積層した状態で接着剤等で接合して一体化することにより作製されている。
【００２８】
ノズルプレート２５は、例えばステンレス製の薄板から作製された部材であり、このノズルプレート２５には、プリンタ１のドット形成密度に対応したピッチで微細なノズル開口２６が列状に形成されている。
【００２９】
ヘッドケース１６の先端部には、さらにノズルプレート２５の外側からその周縁部を包囲するようにヘッドカバー２７が取り付けられる。このヘッドカバー２７は、例えば金属製の薄板部材によって作製されている。このヘッドカバー２７は、流路ユニット１７やヘッドケース１６の先端部を保護すると共に、ノズルプレート２５の帯電を防止する機能を有する。
【００３０】
図３は、記録ヘッド３の要部断面図である。上記の振動子ユニット２２は、圧力発生手段としての圧電振動子群３０と、この圧電振動子群３０が接合される固定板３１と、圧電振動子群３０に回路基板２０からの駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル（図示せず）等から構成される。本実施形態の圧電振動子群３０は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子２９（本発明における圧力発生素子の一種に相当）を備える。各圧電振動子２９は、固定端部が固定板３１上に接合され、自由端部が固定板３１の先端面よりも外側に突出している。即ち、各圧電振動子２９は、所謂片持ち梁の状態で固定板３１上に取り付けられている。また、各圧電振動子２９を支持する固定板３１は、例えば厚さ１ｍｍ程度のステンレス鋼によって構成されている。なお、圧力発生手段としては、上記圧電振動子以外にも、静電アクチュエータ、磁歪素子等を用いることができる。
【００３１】
ヘッドケース１６の内部には、上記の振動子ユニット２２を収納可能な収納空部３２を、ヘッドケース１６の高さ方向を貫通させた状態で形成している。そして、固定板３１の背面を、収納空部３２を区画するケース内壁面に接着することで、振動子ユニット２２は収納空部３２内に収納・固定されている。
【００３２】
流路形成基板２４は、共通インク室３３となる空部、インク供給口３４となる溝部、及び、圧力発生室３５となる空部を隔壁で区画した状態で各ノズル開口２６に対応させて複数並べて形成した板状の部材である。この流路形成基板２４は、例えば、シリコンウェハーをエッチング処理することによって作製される。上記の各圧力発生室３５は、ノズル開口２６の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成されている。また、共通インク室３３は、ヘッドケース１６の高さ方向を貫通して形成されたインク連通路３７を介してインク導入針１９内に設けられたインク導入路（図示せず）と連通し、インクカートリッジ７に貯留されたインクが導入される室である。そして、この共通インク室３３に導入されたインクは、インク供給口３４を通じて各圧力発生室３５に供給される。
【００３３】
図４は、弾性板の構成を説明する断面図である。
弾性板２３は、ステンレス鋼等の金属薄板４０上に、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂からなり弾性変形可能なフィルム４１を、ラミネート加工した複合板材であり、列設された圧力発生室３５を一連に封止する。
【００３４】
本実施形態の弾性板２３のフィルム４１は、図４に示すように、金属薄板４０の一方の面に接合したフィルム４１ａに加えて、もう１枚のフィルム４１ｂを金属薄板４０の他方の面に接合した状態で備えている。そのため、フィルム４１ａ，金属薄板４０，フィルム４１ｂを順に積層した三層構造をなしている。即ち、弾性板２３は、フィルム４１ａ，４１ｂが金属薄板４０の両面を挟んだ状態で積層して形成されている。なお、本発明の弾性板２３は、金属薄板４０と、１枚のフィルム４１ａと、で構成した二層構造をなしていても良い。
【００３５】
また、弾性板２３の圧力発生室３５に対応する部分には、アイランド部４３が形成されている。アイランド部４３は、金属薄板４０の一部をエッチングなどによって環状に除去することで、フィルム４１のみの薄肉部に囲まれた島状に形成されている。詳しくは、アイランド部４３は、圧力発生室３５の平面形状と同様に、ノズル開口２６の列設方向と直交する方向に細長いブロック状に形成されている。また、アイランド部４３の配列方向（ノズル開口２６の列設方向）の幅は、ノズル開口２６側の幅（図４に符号Ｗ１で示す）よりも圧力発生室３５側の幅（図４に符号Ｗ２で示す）の方が大きくなるように形成されている。なお、この弾性板２３の作製方法の詳細については後述する。
【００３６】
このように構成されたアイランド部４３には、フィルム４１ａを介して圧電振動子２９の自由端部の先端が接合され、この部分がダイヤフラム部として機能する。
また、弾性板２３は、共通インク室３３となる空部の一方の開口面を封止し、コンプライアンス部としても機能する。このコンプライアンス部として機能する部分については、エッチングにより弾性フィルム４１ａだけにしている。
【００３７】
この記録ヘッド３は、圧電振動子２９を素子長手方向に伸縮させると、アイランド部４３が圧力発生室３５に近接する方向或いは離隔する方向に移動する。これにより、圧力発生室３５の容積が変化し、圧力発生室３５内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によってノズル開口２６からインク滴（液滴の一種）が吐出（噴射）される。
【００３８】
次に、弾性板２３の作製方法について説明する。図５は本発明の弾性板の作製過程を説明する断面図である。
まず、一方の面に接着剤等によりフィルム４１ａを接合した金属薄板４０をエッチングすると、図５（ａ）に示すように、金属薄板４０の厚み方向だけでなく、平面方向にもエッチングが進行するために、断面から見た場合には金属薄板４０はフィルム４１ａから離れるに従って徐々に幅が狭くなる台形形状で、上面から見た場合（図示せず）には、フィルムに接着していない面が接着している面よりも面積が小さくなる形状となる。このようにして、金属薄板４０の一部をエッチングなどによって除去することで、アイランド部４３が島状に形成される。そして、このアイランド部４３の配列方向の幅は、フィルム４１ａから離れるに従って徐々に小さくなっている。
【００３９】
次に、エッチング処理した金属薄板４０のフィルム４１ａから離れた表面、即ち、フィルム４１ａを接合した金属薄板４０の他方の面に、図５（ｂ）に示すように、フィルム４１ｂを接着剤等により接合する。最後に、このように構成された弾性板２３を、図５（ｃ）に示すように、金属薄板４０の厚み方向（上下）を反転させた向きで流路ユニット１７に配設すると、図４に示すように、アイランド部４３の配列方向の幅を、ノズル開口２６側の幅Ｗ１よりも圧電振動子２９側の幅Ｗ２を大きく設定した弾性板２３が流路ユニット１７に組み付けられる。
【００４０】
このように、上記記録ヘッド３では、弾性板２３は、フィルム４１ａ，４１ｂと金属薄板４０を積層して構成され、圧力発生室３５に対向する金属薄板４０に形成したアイランド部４３を備え、アイランド部４３は、その配列方向の幅を、ノズル開口２６側の幅Ｗ１よりも圧電振動子２９側の幅Ｗ２を大きく設定したので、アイランド部４３の配列方向の幅をノズル開口２６側の幅Ｗ１よりも圧電振動子２９側の幅Ｗ２を小さく設定した場合と比べて、圧電振動子２９をアイランド部４３に接合する際の許容誤差を広くすることができる。そのため、圧電振動子２９とアイランド部４３との要求位置精度を緩和し、歩留まりを向上させることができ、また圧力変動のバラつきを少なくして、圧力発生室３５毎のインクの吐出性能のバラつきを抑制することができる。
【００４１】
また、アイランド部４３と圧電振動子２９が、フィルム４１ｂを介して接合されているので、アイランド部４３の圧電振動子２９側がフィルム４１ｂに保護されることとなり、圧電振動子２９を弾性板２３に接合する際に用いる接着剤が、互いの接合面間から液垂れしたとしても、接着剤がアイランド部４３に付着して固着することを防止できる。このため、接着剤がアイランド部４３の外周を覆うことを防止でき、弾性板２３の弾性率がアイランド部４３に対向する圧力発生室３５毎に変化することを抑えることができる。したがって、インクの吐出性能のバラつきを抑制することができる。
【００４２】
また、フィルム４１ａ，４１ｂが金属薄板４０の両面を挟んでいるので、フィルム４１ａ，４１ｂ間にアイランド部４３が収容されるので、アイランド部４３を保護することができる。そのため、圧電振動子２９による圧力変動を各アイランド部４３が確実に圧力発生室３５に伝えるので、圧力発生室３５毎のインクの吐出性能のバラつきを抑制することができる。
【００４３】
また、弾性板２３は、一方の面にフィルム４１ａを接合した金属薄板４０をエッチング処理した後に、他方の面にフィルム４１ｂを接合すればよいので、従来のエッチング処理によって、アイランド部４３をフィルム４１ａ，４１ｂで挟んだ弾性板２３を容易に作製することができる。
【００４４】
次に、弾性板の他の実施形態について説明する。
図６は、第２の実施形態における弾性板を説明する断面図である。第２の実施形態における弾性板２３のフィルム４１ｂには、該フィルム４１ｂの厚さ方向を貫通する複数の貫通孔４４（本発明における大気開放孔の一種に相当）が設けられている。即ち、フィルム４１ａとフィルム４１ｂ間の空間が、弾性板２３の圧電振動子２９側の空間と連通している。そのため、フィルム４１ａ，４１ｂ間の空間を大気と同じ状態とすることができる。
【００４５】
このように、第２の実施形態の弾性板２３では、圧電振動子２９側のフィルム４１ｂには、大気開放孔４４が設けられているので、フィルム４１ａ，４１ｂ間の空間と外側の空間とを大気開放孔４４を通して連通させることができ、その結果、フィルム間の空間の容積が周りの温度や大気圧に左右されることがなく、圧力発生室３５内のコンプライアンスが環境に依存しないようになる。
【００４６】
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
例えば、第２の実施形態のように弾性板２３は、フィルム４１ｂに大気開放孔４４を設けるだけでなく、フィルム４１ｂを、気体を透過する材料で形成していても良い。即ち、フィルム４１ａ，４１ｂ間の空間を大気と同じ状態にすることができれば、どのような形態であっても良い。この弾性板２３によれば、フィルムが、気体を透過する材料で形成されているので、フィルム間の空間の気体がその外側の空間に透過できるようにして、フィルム間の空間と外側の空間とのバランスを保つことができる。その結果、圧力発生室内のコンプライアンスが環境に依存しないようになる。
【００４７】
以上は、液体噴射装置の一種であるプリンタ１を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタを製造するディスプレー製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレーやＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極を形成する電極製造装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置等にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】第１の実施形態におけるプリンタの構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。
【図３】記録ヘッドの内部構造を説明する部分断面図である。
【図４】弾性板の構成を説明する断面図である。
【図５】弾性板の作製過程を説明する断面図であり、（ａ）は金属薄板をエッチングした状態を示す断面図、（ｂ）はフィルムが金属薄板を挟んだ状態を示す断面図、（ｃ）は（ｂ）を反転させた状態を示す断面図である。
【図６】第２の実施形態における弾性板を説明する断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
３…記録ヘッド，１７…流路ユニット，２２…振動子ユニット，２３…弾性板，２４…流路形成基板，２５…ノズルプレート，２６…ノズル開口，２９…圧電振動子，３５…圧力発生室，４０…金属薄板，４１ａ，４１ｂ（４１）…フィルム，４３…アイランド部，４４…貫通孔，Ｗ１…ノズル開口側の幅，Ｗ２…圧力発生素子側の幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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