(57)【要約】【課題】シリンダシャフトと弁板との連結を解除しなくてもシール材の交換あるいはメンテナンスを行なうことができるゲート弁を提供する。【解決手段】弁箱４と、該弁箱４の側面に着脱自在に取り付けられたバルブケース２１と、弁箱４とバルブケース２１との間に弁板１０を往復移動させるシリンダ装置６、８と、を備え、シリンダ装置６、８が、弁箱４に設置されたガイド１５に規制され、弁箱４上をバルブケース２１側に向かって水平方向に往復移動可能に設定したことを特徴とする。【選択図】図２
2009002403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁箱と、該弁箱の側面に着脱自在に取り付けられたバルブケースと、
前記弁箱および前記バルブケースの間を往復移動することにより前記弁箱に設けられた開口部を閉または開とする弁板と、該弁板を往復移動させるシリンダ装置と、を備え、
該シリンダ装置が、前記弁箱に設置されたガイドに規制され、前記弁箱上を前記バルブケース側に往復移動可能に設置されていることを特徴とするゲート弁。
【請求項２】
弁箱と、該弁箱の側面に着脱自在に取り付けられたバルブケースと、
前記弁箱および前記バルブケースの間を往復移動することにより前記弁箱に設けられた開口部を閉または開とする弁板と、該弁板を往復移動させるシリンダ装置と、を備え、
該シリンダ装置が、前記弁箱に設置されたガイドに規制され、前記バルブケース側に移動可能に設置されたゲート弁において、
該ゲート弁に装着されたシール材の交換方法であって、
前記弁箱内にある前記弁板が、前記シリンダ装置により、前記バルブケース側に移動し、開口部を開とする弁板移動工程と、
前記バルブケースを前記弁箱から取り外すバルブケース取り外し工程と、
前記弁箱に固定されていた前記シリンダ装置を、ガイドに規制され、前記弁箱上を前記バルブケース側に移動させるシリンダ及び弁板移動工程と、
前記弁板に装着されているシール材の交換作業を行い得るシール材交換工程と、を有することを特徴とするゲート弁におけるシール材交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シール材の交換を容易にしたゲート弁およびゲート弁におけるシール材の交換方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェハなどの半導体製造、薄膜製造、液晶製造などにおいては、クリーンな環境下、高い真空中で、イオンプレーティング、プラズマエッチングなどのワークの加工、処理などが行われている。近年、これら被処理体は次第に大型化される傾向にある。このように大型の被処理体を扱う製造ラインのゲート弁では、例えば、図３に示したように、水平移動方式と呼ばれる移動方式が採用されている（特許文献１）。
【０００３】
すなわち、このゲート弁２０では、図４に拡大して示したように弁板１０の上下端部に、略Ｌ字状の取付金具１４が取り付けられ、弁板１０は、これらの取付金具１４を介して、図３に示した上下のガイドレール１６，１８に移動自在に取り付けられている。また、シリンダ装置６，８のシャフト６ａ，８ａの先端部が、これらの取付金具１４の先端部に連結されることにより、シリンダ装置６，８の駆動に応じて弁板１０が図３に示した矢印方向（水平方向）に往復移動するように構成されている。
【特許文献１】特開２００６−９７８４９号号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このようなゲート弁２０では、図４に示したように、弁板１０の基端１０ａおよび先端１０ｂに渡って船形形状のシール材装着溝１０ｃが形成されている。そして、このシール材装着溝１０ｃに装着されるシール材は、周期的に交換したり、メンテナンスのため周期的に点検したりすることが行なわれている。
【０００５】
大型のゲート弁２０において、弁板１０の外周面に装着されたシール材を交換するには、先ず、図３の状態から弁箱４と弁箱４の側方に設けられたバルブケース２１との係合を解除する。そして、係合が解除されたバルブケース２１を仮想線で示した位置まで水平方向に引き出す。その後、シリンダ装置６，８と弁板１０との連結を解除し、さらに、ガイドレール１６，１８に支持させて弁板１０を水平方向に移動させ、弁板１０が弁箱４の外方に露出した状態からシール材の交換が行なわれている。
【０００６】
このように、従来の真空用ゲート弁２０では、シール材を交換するにあたり、シリンダ装置６，８と弁板１０との連結を解除する必要があった。
一方、真空用ゲート弁２０が、プロセスチャンバとトランスファーチャンバの間に設置される場合、弁板１０は常時真空環境下でプロセス側から輻射による熱を受けることが多いため、弁板１０が熱膨張を起こし易い。このような場合、弁板１０に冷却パイプなどを取り回して弁板１０を強制的に冷却することが行なわれている。
【０００７】
しかしながら、冷却水により弁板１０を強制的に冷却する構造を備えた真空用ゲート弁２０において、弁板１０からシール材を交換する場合には、弁板１０を弁箱４より外側に引き出すととともに、シリンダ装置６、８と弁板１０との連結を解除するのは勿論のこと、弁板１０と冷却パイプとの連結も解除する必要がある。
【０００８】
よって、このように冷却水による冷却構造を備えた真空用ゲート弁２０では、シール材の交換やメンテナンスにかかる工数が増え、その手順も複雑で、困難になるという問題が
あった。
【０００９】
さらに、大型の真空用ゲート弁２０において、シリンダ装置６，８と弁板１０との係合を解除する場合は、弁板１０を引き出した時、弁板１０の姿勢が不安定となるので、弁板１０の倒れを防止するための専用の治具を用意しなければならないという問題もあった。
【００１０】
本発明はこのような従来の実情に鑑み、シリンダシャフトと弁板との連結を解除しなくてもシール材の交換あるいはシール材周辺のメンテナンスを行なうことができるゲート弁を提供することを目的としている。
【００１１】
また、弁板とシリンダ装置との係合を解除する場合に、弁板の倒れを防止する専用の治具も不要とし、シール交換あるいはメンテナンス作業をより簡便に安全に行なうことのできるゲート弁を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するための本発明は、
弁箱と、該弁箱の側面に着脱自在に取り付けられたバルブケースと、
前記弁箱および前記バルブケースの間を往復移動することにより前記弁箱に設けられた開口部を閉または開とする弁板と、該弁板を往復移動させるシリンダ装置と、を備え、
該シリンダ装置が、前記弁箱に設置されたガイドに規制され、前記弁箱上を前記バルブケース側に往復移動可能に設置されていることを特徴としている。
【００１３】
このような構成のゲート弁によれば、シリンダシャフトと弁板との連結を解除しなくても、シリンダ装置を弁板とともにバルブケース側に移動させることにより、弁板を弁箱の外側に露出させることができる。
【００１４】
したがって、この状態から弁板に取り付けられたシール材を取り外して新たなシール材と交換することが可能となる。
また、弁板の倒れを防止する専用の治具も不要で、シ−ル材を安全に交換することができる。
【００１５】
また、本発明に係るシール材の交換方法は、
弁箱と、該弁箱の側面に着脱自在に取り付けられたバルブケースと、
前記弁箱および前記バルブケースの間を往復移動することにより前記弁箱に設けられた開口部を閉または開とする弁板と、該弁板を往復移動させるシリンダ装置と、を備え、
該シリンダ装置が、前記弁箱に設置されたガイドに規制され、前記バルブケース側に移動可能に設置されたゲート弁において、
該ゲート弁に装着されたシール材の交換方法であって、
前記弁箱内にある前記弁板が、前記シリンダ装置により、前記バルブケース側に移動し、開口部を開とする弁板移動工程と、
前記バルブケースを前記弁箱から取り外すバルブケース取り外し工程と、
前記弁箱に固定されていた前記シリンダ装置を、ガイドに規制され、前詭弁箱上を前記バルブケース側に移動させるシリンダ及び弁板移動工程と、
前記弁板に装着されているシール材の交換作業を行い得るシール材交換工程と、を有することを特徴としている。
【００１６】
このような方法によれば、弁板をシリンダ装置の駆動により開口部を開とする位置まで移動させた後、シリンダ装置をバルブケース側に移動させることにより、シリンダ装置と連結している弁板を弁箱から露出させることができる。このような位置に弁板が露出すれば、シリンダシャフトと弁板との連結部を解除することなく、シール材の交換やメンテナ
ンスを安全に行なうことができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る真空用ゲート弁およびこのゲート弁におけるシール材の交換方法によれば、シリンダ装置と弁板との連結を外さずに弁板に取り付けられたシール材を容易に取り外して新たなシール材に交換することができる。また、シール材の交換作業を行なうにあたり、弁板の倒れ防止のために特別な治具が不要である。また、メンテナンス性も良好である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。
図１および図２は、本発明の一実施例に係るシール材の交換方法が実施されるゲート弁を示したもので、特にワンアクションタイプと称される大型の真空用ゲート弁３０を示したものである。なお、以下の説明で、「右」、「左」、「上」、「下」など方向を示す文言は、図１の状態を基準として示したものであり、左右方向は水平方向と同じである。
【００１９】
さらに、図１および図２において、図３および図４と同一要素については同一符号を付して説明する。
この真空用ゲート弁３０は、弁箱４と、弁箱４の側方に着脱自在に取り付けられたバルブケース２１と、これら弁箱４およびバルブケース２１の間を往復移動する弁板１０と、弁板１０を往復移動させるシリンダ装置６、８と、を有している。
【００２０】
略箱型の弁箱４は、弁箱本体４ａと、フランジ部４ｂとからなり、ゲート開口部１２が形成されている。
そして、弁箱４の下部内壁面には、バルブケース２１内まで伸びるガイドレール１８が配置されている。
【００２１】
バルブケース２１は、弁板１０が弁箱４から案内されてきたときに、弁板１０の収容体を構成するもので、弁箱４のフランジ部４ｂに着脱自在に取り付けられている。
弁板１０は、図４に示した弁板１０と略同形状であり、複数のローラ５２と、図４に示した取付金具１４に相当するシャフト連結部材１３と、が設置されている。
【００２２】
そして、このシャフト連結部材１３は、上下のシリンダ装置６，８、のシャフト６ａ，８ｂと一体化されている。
このような構成により、シリンダ装置６，８の駆動に伴い、弁板１０が水平方向に直線的な単一の移動をすることで、弁箱４内に形成されたゲート開口部１２を開閉する構造になっている。
【００２３】
シリンダ装置６，８は、シャフト６ａ，８ａおよびケーシング６ｂ，８ｂから構成されてなる。
シリンダ装置のシャフト６ａ，８ａは、弁箱４のフランジ部４ｂに形成された軸シール部６５に挿通され、弁箱４およびバルブケース２１内を気密に保持しながら、左右方向に摺動自在になっている。
【００２４】
以下、弁箱本体４ａとシリンダ装置６，８との取り付けについて詳述する。
弁箱本体４ａの上下面に、それぞれガイド１５，１５が一体的に設置され、このガイド１５に対してベースプレート１９が移動可能に設置されている。そして、ベースプレート１９にシリンダ取付金具２３が設置され、このシリンダ取付金具２３を介してシリンダ装置６，８のケーシング６ｂ，８ｂがベースプレート１９に取り付けられている。
【００２５】
このような構成により、ケーシング６ｂ，８ｂは、ベースプレート１９と一体でガイド１５に対して左右方向に移動可能にされる。
そして、上記真空用ゲート弁３０の弁板１０はシャフト６ａ，８ａの移動とともに、左右方向に移動するとともに、ケーシング６ｂ，８ｂの移動とともに、弁板１０はさらに左右方向に移動する。
【００２６】
本実施例によるゲート弁３０は、上記のように構成されているが、以下に、その作用について説明する。
今、弁板１０およびシリンダ装置６が図１の状態にある。この時、無端状のシール材２４が装着された弁板１０が、弁箱内に形成されたシール座面（図示せず）と当接し、ゲート開口部１２が閉にされている。シリンダ装置６，８のシャフト６ａ，８ａは、その大部分がケーシング６ｂ，８ｂ内に没入されている。
【００２７】
図１の状態から、シリンダ装置６，8を駆動すると、先ずシリンダ装置６，８のシャフ
ト６ａ，８ａが右方向に突出する。シャフト６ａ，８ａが右方向に突出移動すると、シャフト連結部材１３を介して連結されている弁板１０が、ガイドレール１８上をローラ５２の回転動作によりバルブケース２１内へと案内される。
【００２８】
これにより、弁板１０は、シリンダシャフト６ａ，８ａの水平方向の移動に伴って安定した状態で水平方向に移動することができ、ゲート開口部１２が開となる。
なお、上記ゲート開口部１２を開閉する、通常の使用状態のとき、シリンダ装置6，８
は、ケーシング６ｂ，８ｂが図1の位置で固定されている。
【００２９】
次に、弁板１０に装着されているシール材２４の交換作業を行う時、ゲートバルブ３０は、まず、図１の状態から、弁箱4内にある弁板１０が、シリンダ装置６，８により、バ
ルブケース２１内に移動し、ゲート開口部１２を開の状態とする。
【００３０】
そして、バルブケース２１と弁箱４との係合を解除するとともに、解除されたバルブケース２１を図２の位置まで水平に引き出す。
その後、弁箱本体４ａに図１の状態で固定されていたシリンダ装置６，８のケーシング６ｂ、８ｂを、右方向に移動する。
【００３１】
これにより、ゲートバルブ３０は、図２に示したように弁板１０が弁箱４から完全に露出される。
ケーシング６ｂ，８ｂは、ベースプレート１９にシリンダ取付金具２３にて固定され、弁箱本体４ａの上下面に一体的に設置されたガイド１５，１５に規制され、ベースプレート１９と一体に水平移動される。
【００３２】
なお、ケーシング６ｂ，８ｂが移動する際、シリンダシャフト６ａ，８ｂの突出長さが最大となっている。
そして、ケーシング６ｂ，８ｂが、ガイド１５，１５の右端まで水平移動すると、シリンダシャフト６ａ，８ｂに連結された弁板１０は、図２に示したように、弁箱４から完全に露出する。
【００３３】
よって、この状態から、弁板１０の先端部に装着されたシール部材を交換することが可能になる。
上記弁箱４に形成されたゲート開口部１２は、開口径が１メートル程度の大きさである。本実施例のゲート弁３０では、大型かつ大重量の弁板１０であるが、一対のシリンダ装置６，８およびガイドレール１８により支持されているので、下方に落下の恐れもなく、特別な治具を不要とし、シール材の交換を行なうことが可能である。
【００３４】
このように、本実施例のゲート弁３０では、最初にシャフト６ａ，８ａを右方に移動させ、次いで、バルブケース２１を取り外し、そして、ケーシング６b，８ｂを右方に移動
させたが、この順番は特に限定されず、図２の状態となればシール部材を新たなものと交換することができる。
【００３５】
以上、本発明の一実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に何ら限定されない。
例えば、シール交換ではなく、シール部材や弁板の状態を確認するなどのメンテナンスを行なう場合にも、上記と同じ状態にすれば、メンテナンスを行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】図１は本発明の一実施例によるシール部材の交換方法が実施される真空用ゲート弁の閉の状態を示す概略断面図である。
【図２】図２は図１に示した真空用ゲート弁のシール材交換時の状態を示す断面図である。
【図３】図３は従来の真空用ゲート弁の概略断面図である。
【図４】図４は図３に採用された弁板の斜視図である。
【符号の説明】
【００３７】
４    弁箱
４ａ    弁箱本体
４ｂ    フランジ部
６，８    シリンダ装置
６ａ，８ａ    シャフト
６ｂ，８ｂ    ケーシング
１０    弁板
１０ａ    基端
１０ｂ    先端
１０ｃ    シール部材装着溝
１２    ゲート開口部
１３    シャフト連結部材
１４    取付金具
１５    ガイド
１６，１８    ガイドレール
１９    ベースプレート
２０    真空用ゲート弁
２１    バルブケース
２３    シリンダ取付金具
２５    ストッパ
３０    真空用ゲート弁
【図１】
2009002403.tif 000003
【図２】
2009002403.tif 000004
【図３】
2009002403.tif 000005
【図４】
2009002403.tif 000006