(57)【要約】【課題】構造が簡単だけでなく、異なるニーズに応じて光源と光検知ユニットとをコード部材に対して両側や同一側に位置させても良い。【解決手段】一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置において、発光素子と、コード部材と、光検知ユニットとを備える。前記発光素子は光源として投射光を投射し、コード部材は複数の全反射面を有し、異なる角度や位置で前記発光素子からの投射光を受け、且つ複数の一部の全反射ビームや複数の一部の非全反射ビームを生成させるようにする。光検知ユニットは、前記コード部材の周りに設置され、前記一部の全反射ビーム及び一部の非全反射ビームの少なくとも一方による光検知ユニットの光強度分布を検知する。これによって、前記発光素子や前記光検知ユニットに対して前記コード部材が移動する移動方向や変位量、回転角度を検知することができる。【選択図】図４
2009002932.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源として投射光を投射する発光素子と、
複数の全反射面を有し、異なる角度と位置で前記発光素子が投射した投射光を受け、そして受けた投射光から複数の一部の全反射ビームと複数の一部の非全反射ビームを生成させるコード部材と、
前記コード部材の周りに設置された光検知ユニットと
を備え、
前記光検知ユニットは、前記一部の全反射ビーム及び前記一部の非全反射ビームの少なくとも一方による自己の光強度分布を検知することにより、発光素子や自己に対する前記コード部材の移動方向や変位量、回転角度を検知する
ことを特徴とする一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置。
【請求項２】
前記発光素子と前記光検知ユニットとは両者の相対位置が一定であって、前記コード部材は移動しながら異なる角度と位置で前記発光素子から投射された投射光を受けることを特徴とする請求項１に記載の一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置。
【請求項３】
前記発光素子と前記光検知ユニットとは両者の相対位置が一定であって、前記発光素子と前記光検知ユニットは前記コード部材に対して相対的に変位し、前記コード部材は固定された状態で異なる角度と位置で前記発光素子から投射された投射光を受けることを特徴とする請求項１に記載の一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置。
【請求項４】
前記コード部材は、底面が平面で、上面が連続的な波峰と波谷を有する波のような起伏構造であって、発光素子が投射した投射光は、コード部材の底面側からコード部材内に向かって投射されることを特徴とする請求項１に記載の一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置。
【請求項５】
前記コード部材は、透明な起伏構造を有し、当該コード部材はリング状或いはストリップ状であることを特徴とする請求項１に記載の一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学式移動検知装置に関し、特に、一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の光学式エンコーダは、透過型と反射型という二つのタイプがある。
【０００３】
図１Ａは、透過型光学式エンコーダの一例である。光学式エンコーダは、コードホイール１０ａと、光源２０ａと、光検出器アレイ３０ａとを備える。前記コードホイール１０ａは、複数の透過部分１００ａと、複数の非透過部分１１０ａとを備える。前記光源２０ａから発射した複数の光ビームＬ１は、上記透過部分１００ａを通過するか、または上記非透過部分１１０ａによって遮断される。
【０００４】
また、前記コードホイール１０ａにおける複数の透過部分１００ａを上記光ビームＬ１が透過することができるからこそ、このタイプの光学式エンコーダは「透過型光学式エンコーダ」と称される。このような透過型光学式エンコーダは、明暗の間でコントラストのより良い出力信号を生成することができ、且つハイスピードの操作に対応する高解像度が得られる。前記透過型光学式エンコーダは、高品質の出力を提供することができるが、その構造は、光源２０ａと光検出器アレイ３０ａをそれぞれコードホイール１０ａの両側の相対位置に配置することが必要であるので、全体のサイズが比較的大きく、設置するのに制限もいろいろあって不便である。
【０００５】
図１Ｂは、反射型光学式エンコーダの一例である。反射型光学式エンコーダは、コードホイール１０ｂと、光源２０ｂと、光検出器アレイ３０ｂとを備える。前記コードホイール１０ｂは、複数の反射部分１００ｂと、複数の非反射部分１１０ｂとを備える。前記光源２０ｂから発射した複数の光ビームＬ２は、上記反射部分１００ｂで反射されるか、または上記非反射部分１１０ｂにより吸収される。前記反射された反射光は、前記光検出器アレイ３０ｂ上に投射される。
【０００６】
また、前記コードホイール１０ｂにより一部の反射機能が提供されるので、光源２０ｂと光検出器アレイ３０ｂはコードホイール１０ｂの同一側に配置されてもかまわない。これにより、反射型光学式エンコーダは全体構造としては緊密である。しかし、反射型光学式エンコーダは占める空間を節約することができるが、信号のコントラストが比較的低いため、このようなエンコードシステムでは、スピードと解像度が制限されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上から分かるように、上記従来の透過型光学式エンコーダや反射型光学式エンコーダは実用的とは言い難い。
【０００８】
本発明者は、上記の欠点を改善するため、慎重に研究開発し、そして、学理を活用して、設計が合理的で有効に上記の欠点を改善できる本発明を提案する。
【０００９】
本発明は、一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置であって、当該光学式移動検知装置は、複数の全反射面を備える波状に起伏する透明構造を有し、光源の異なる入射位置や入射角度により一部の全反射光を生成させ、これにより判断を行う。本発明の光学式移動検知装置によると、構造が簡単だけでなく、異なるニーズに応じて光源と光検知ユニットとをコード部材に対して両側や同一側に位置させても良い光学式移動検知装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記の課題を解決するため、一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置を提供する。前記光学式移動検知装置は、発光素子と、コード部材と、光検知ユニットとを備える。
【００１１】
また、前記光学式移動検知装置において、発光素子は光源として投射光を投射するものである。コード部材は、異なる角度と位置で前記発光素子からの投射光を受ける。また、前記コード部材は、複数の全反射面を有し、前記投射された光から複数の一部の全反射ビームや複数の一部の非全反射ビームを生成させる。光検知ユニットは、前記コード部材の周りに設置され、前記一部の全反射ビーム及び一部の非全反射ビームの少なくとも一方による自己の光強度分布を検知することによって、前記コード部材が前記発光素子や前記光検知ユニットに対して移動する場合の移動方向や変位量、回転角度を検知することができる。
【００１２】
前記コード部材が前記光源や光検知ユニットに対して相対的に移動する時、光の異なる入射位置に従って一部の全反射及び一部の非全反射の少なくとも一方というような異なる状態になる。また、上記一部の全反射光源は、異なる入射位置に応じて異なる反射角度で生成される。光検知ユニットは、これらの異なる状況に基づいて生成された「一部の全反射光」及び「一部の非全反射光」の少なくとも一方の分布状況を検知することにより、前記光源や光検知ユニットに対する前記コード部材の移動方向と変位を判断することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、構造が簡単だけでなく、異なるニーズに応じて光源と光検知ユニットとをコード部材に対して両側や同一側に位置させても良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら、本発明に係る当初の目的を達成するための技術や手段、そして、その効果を詳しく説明するが、本発明は、それによって制限されることがない。
【００１５】
（第１実施形態）
図２は、本発明の第１実施形態のコード部材の斜視図であって、図３Ａ乃至図３Ｄは、本発明による一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置の第１実施形態のケース１乃至ケース４の模式図であって、図４は、本発明の第１実施形態のケース１乃至ケース４の機能ブロック図である。
【００１６】
それらの図から分かるように、本発明は、一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置を提供する。本発明による光学式移動検知装置は、発光素子１と、コード部材２と、光検知ユニット３とを備える。
【００１７】
発光素子１は、光源として投射光を投射するためのものである。発光素子１として、発光ダイオードやレーザ発生器などを用いることができる。コード部材２は、図２に示すように、全体がリング状（例えば、コードホイールである）で、上方の表面が透明な起伏構造を有するものである。前記波状に起伏する構造は、周期的な起伏構造であって、例えば周期的な三角波状構造である。また、前記透明構造は、屈折率が空気の屈折率よりも大きい。
【００１８】
発光素子１と光検知ユニット３は、両者の相対位置が一定である。コード部材２は、移動しながら、異なる角度や位置で前記発光素子１からの投射光源Ｓを受ける。或いは、発光素子１と光検知ユニット３をコード部材２に対して相対的に移動させ、前記コード部材２が固定された状態で、前記コード部材２は、異なる角度と位置で前記発光素子１からの投射光源Ｓを受ける。
【００１９】
コード部材２は、複数の全反射面２０を有し、前記投射光源Ｓから投射された光から複数の一部の全反射ビームや複数の一部の非全反射ビームを生成させる。
【００２０】
光検知ユニット３は、コード部材２の周りに設置され、上記一部の全反射ビーム及び上記非全反射ビームの少なくとも一方による光検知ユニットの光強度分布を検知することにより、コード部材２が発光素子１や光検知ユニット３に対して変位した移動方向や変位量、回転角度を検知する。
【００２１】
図３Ａ乃至図３Ｄ及び図４に示すように、コード部材２は、底面が平面２１で、上面が連続波峰と波谷を有する三角波形のような起伏構造である。発光素子１からの投射光源Ｓは、コード部材２の底面側からコード部材２内に向かって投射する。また、光検知ユニット３は、コード部材２の下方に設置される少なくとも三つの光検知素子を備える。それらの光検知素子は、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３と第２光検知素子３２という順に配列される。
【００２２】
図３Ａと図４に示すように、発光素子１の投射光源Ｓがコード部材２の波谷に向かって投射されると、投射された光がコード部材２を透過して全反射面２０により生成された一部の全反射ビームＳ１ａは、光検知ユニット３には受けられない。したがって、「ケース１」において、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３と第２光検知素子３２は、それぞれ、「暗、暗、暗」と現れる。
【００２３】
図３Ｂと図４に示すように（矢印のように、コード部材２が左へ回転した場合）、発光素子１からの投射光源Ｓがコード部材２の波谷と波峰の間のほぼ中間位置に投射されると、投射された光がコード部材２を透過して２つの全反射面２０により生成された一部の全反射ビームＳ２ａは、光検知ユニット３の第２光検知素子３２によって受けられる。これにより、「ケース２」において、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３と第２光検知素子３２は、それぞれ、「暗、暗、明」と現れる。
【００２４】
図３Ｃと図４に示すように（矢印のように、コード部材２が左へ回転した場合）、発光素子１からの投射光源Ｓがコード部材２の波峰辺りに投射されると、投射された光がコード部材２を透過して２つの全反射面２０により生成された一部の全反射ビームＳ３ａは、光検知ユニット３の中央光検知素子３３によって受けられる。これにより、「ケース３」において、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３と第２光検知素子３２は、それぞれ、「暗、明、暗」と現れる。
【００２５】
また、図３Ｄと図４に示すように（矢印のように、コード部材２が左へ回転した場合）、発光素子１からの投射光源Ｓがコード部材２の波峰と波谷の間のほぼ中間位置に投射されると、投射された光がコード部材２を透過して二つの全反射面２０により生成された一部の全反射ビームＳ４ａは、光検知ユニット３の第１光検知素子３１によって受けられる。これにより、「ケース４」において、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３と第２光検知素子３２は、それぞれ、「明、暗、暗」と現れる。
【００２６】
このように、コード部材２が左へ回転し続けると、図４から分かるように、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３と第２光検知素子３２は、それぞれ、順に「暗、暗、暗」（ケース１）、「暗、暗、明」（ケース２）、「暗、明、暗」（ケース３）、「明、暗、暗」（ケース４）と現れる。逆に、コード部材２が右へ回転し続けると、図４から分かるように、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３と第２光検知素子３２は、それぞれ、順に「暗、暗、暗」（ケース１）、「明、暗、暗」（ケース４）、「暗、明、暗」（ケース３）、「暗、暗、明」（ケース２）と現れる。言い換えれば、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３と第２光検知素子３２の変化から、コード部材２の移動方向と変位が分かる。
【００２７】
（第２実施形態）
図５Ａ乃至図５Ｄは、本発明による一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置の第２実施形態のケース１乃至ケース４の模式図であって、図６は、本発明の第２実施形態のケース１乃至ケース４の機能ブロック図である。
【００２８】
光検知ユニット３’は、コード部材２の下方に設置される少なくとも２つの光検知素子と、コード部材２の上方に設置される少なくとも１つの光検知素子とを備える。コード部材２の下方に設置された２つの光検知素子は、それぞれ第１光検知素子３１と第２光検知素子３２である。また、コード部材２の上方に設置された少なくとも１つの光検知素子は、第１光検知素子３１と第２光検知素子３２との間に位置する中央光検知素子３３’である。
【００２９】
図５Ａと図６に示すように、発光素子１からの投射光源Ｓがコード部材２の波谷辺りに投射されると、投射された光がコード部材２を透過して全反射面２０により生成された一部の全反射ビームＳ１ａと一部の非全反射ビームＳ１ｂは、光検知ユニット３’には受けられない。したがって、「ケース１」において、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３’と第２光検知素子３２は、それぞれ、「暗、暗、暗」と現れる。
【００３０】
図５Ｂと図６に示すように（矢印のように、コード部材２が左へ回転した場合）、発光素子１の投射光源Ｓがコード部材２の波谷と波峰との間のほぼ中間位置に投射されると、投射された光がコード部材２を透過して全反射面２０により生成された一部の非全反射ビームＳ２ｂと一部の全反射ビームＳ２ａは、光検知ユニット３’の中央光検知素子３３’と第２光検知素子３２によって受けられる。これにより、「ケース２」において、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３’と第２光検知素子３２は、それぞれ、「暗、明、明」と現れる。
【００３１】
図５Ｃと図６に示すように（矢印のように、コード部材２が左へ回転した場合）、発光素子１の投射光源Ｓがコード部材２の波峰辺りに投射されると、投射された光がコード部材２を透過して全反射面２０により生成された一部の非全反射ビームＳ３ｂは、光検知ユニット３の中央光検知素子３３’によって受けられる。これにより、「ケース３」において、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３’と第２光検知素子３２は、それぞれ、「暗、明、暗」と現れる。
【００３２】
図５Ｄと図６に示すように（矢印のように、コード部材２が左へ回転した場合）、発光素子１の投射光源Ｓがコード部材２の波峰と波谷の間のほぼ中間位置に投射されると、投射された光がコード部材２を透過して全反射面２０により生成された一部の非全反射ビームＳ４ｂと一部の全反射ビームＳ４ａは、光検知ユニット３’の中央光検知素子３３’と第１光検知素子３１によって受けられる。これにより、「ケース４」において、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３’と第２光検知素子３２は、それぞれ、「明、明、暗」と現れる。
【００３３】
このように、コード部材２が左へ回転し続けると、図６から分かるように、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３’と第２光検知素子３２は、それぞれ、順に「暗、暗、暗」（ケース１）、「暗、明、明」（ケース２）、「暗、明、暗」（ケース３）、「明、明、暗」（ケース４）と現れる。逆に、コード部材２が右へ回転し続けると、図６から分かるように、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３’と第２光検知素子３２は、それぞれ、順に「暗、暗、暗」（ケース１）、「明、明、暗」（ケース４）、「暗、明、暗」（ケース３）、「暗、明、明」（ケース２）と現れる。言い換えれば、第１光検知素子３１と中央光検知素子３３’と第２光検知素子３２の変化から、コード部材２の移動方向と変位が分かる。
【００３４】
（第３実施形態）
図７Ａ乃至図７Ｄは、本発明による一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置の第３実施形態のケース１乃至ケース４の模式図であって、図８は、本発明の第３実施形態のケース１乃至ケース４の機能ブロック図である。
【００３５】
光検知ユニット３”は、コード部材２の上方に設置される少なくとも２つの光検知素子を備える。前記２つの光検知素子は、順に第１光検知素子３１”と第２光検知素子３２”として配列される。
【００３６】
図７Ａと図８に示すように、発光素子１の投射光源Ｓ”がコード部材２の波峰辺りに投射されると、投射された光がコード部材２を透過して２つの全反射面２０により生成された一部の非全反射ビームＳ１ｂ”は、光検知ユニット３”の第１光検知素子３１”と第２光検知素子３２”によって同時に受けられる。そのため、「ケース１」において、第１光検知素子３１”と第２光検知素子３２”は、それぞれ、「明、明」と現れる。
【００３７】
図７Ｂと図８に示すように（矢印のように、コード部材２が左へ回転した場合）、発光素子１の投射光源Ｓ”がコード部材２の波谷と波峰の間に投射されると、投射された光が２つの全反射面２０のどれか１つを透過して生成される一部の非全反射ビームＳ２ｂ”は、光検知ユニット３”の第１光検知素子３１”によって受けられる。そのため、「ケース２」において、第１光検知素子３１”と第２光検知素子３２”は、それぞれ、「明、暗」と現れる。
【００３８】
図７Ｃと図８に示すように（矢印のように、コード部材２が左へ回転した場合）、発光素子１の投射光源Ｓ”がコード部材２の波谷辺りに投射されると、投射された光がコード部材２を透過して全反射面２０により生成された一部の全反射ビームＳ３ａ”は、光検知ユニット３”には受けられない。したがって、「ケース３」において、第１光検知素子３１”と第２光検知素子３２”は、それぞれ、「暗、暗」と現れる。
【００３９】
図７Ｄと図８に示すように（矢印のように、コード部材２が左へ回転した場合）、発光素子１の投射光源Ｓ”がコード部材２の波峰と波谷の間に投射されると、投射された光が２つの全反射面２０の何れか１つを透過して生成される一部の非全反射ビームＳ４ｂ”は、光検知ユニット３”の第２光検知素子３２”によって受けられる。そのため、「ケース４」において、第１光検知素子３１”と第２光検知素子３２”は、それぞれ、「暗、明」と現れる。
【００４０】
このように、コード部材２が左へ回転し続けると、図８から分かるように、第１光検知素子３１”と第２光検知素子３２”は、それぞれ、順に「明、明」（ケース１）、「明、暗」（ケース２）、「暗、暗」（ケース３）、「暗、明」（ケース４）と現れる。逆に、コード部材２が右へ回転し続けると、図８から分かるように、第１光検知素子３１”と第２光検知素子３２”は、それぞれ、順に「明、明」（ケース１）、「暗、明」（ケース４）、「暗、暗」（ケース３）、「明、暗」（ケース２）と現れる。言い換えれば、第１光検知素子３１”と第２光検知素子３２”の変化から、コード部材２の移動方向が分かる。
【００４１】
図９は、本発明の第２種類のコード部材の斜視図である。コード部材２’は、周期的な半円弧状構造の起伏構造を備える。この周期的な半円弧状構造は、複数の円弧面２０’を持つ。
【００４２】
図１０は、本発明の第３種類のコード部材の斜視図である。コード部材２”は、全体がストリップ状である。また、コード部材２”は、複数の全反射面２０”を有する。即ち、本発明によるコード部材（２、２’、２”）は、線形フレームワーク（図１０参照）やリング状フレームワーク（図９参照）の２種類のどちらであってもよい。
【００４３】
なお、本発明は、上に例示される３種類のコード部材（２、２’、２”）によって制限されず、任意の形状である起伏構造は、全て本発明の範囲内に含まれる。例えば、コード部材は、周期的な起伏構造でなくてもよく、また、コード部材は、任意の形状のフレームワークでも良い。
【００４４】
以上のように、本発明は、複数の全反射面を備える透明な起伏構造という簡単な構造を利用し、光源の異なる入射位置と入射角度により一部の全反射光を生成させ、当該生成された一部の全反射光により判断を行うことができる。また、異なるニーズに応じて、光源と光検知ユニットとをコード部材に対して両側や同一側に位置させても良い。コード部材が、光源や検知ユニットに対して相対的に移動する時、光源の異なる入射位置に従って一部の全反射及び一部の非全反射の少なくとも一方というような異なる状態になる。また、これらの一部の全反射光源は、異なる入射位置に応じて異なる反射角度が生成する。光検知ユニットはこれらの異なる情況に基づき生成した「一部の全反射光」及び「一部の非全反射光」の少なくとも一方の分布状況を検知することにより、コード部材が光源や検知ユニットに対する移動方向と変位を判断することができる。
【００４５】
以上は、ただ、本発明のより良い実施形態であり、本発明は、それによって制限されることがなく、本発明に係る特許請求の範囲や明細書の内容に基づいて行った等価の変更や修正は、全てが、本発明の特許請求の範囲内に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１Ａ】従来の透過型光学式エンコーダの模式図である。
【図１Ｂ】従来の反射型光学式エンコーダの模式図である。
【図２】本発明の第１コード部材の斜視図である。
【図３Ａ】本発明による一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置の第１実施形態におけるケース１の模式図である。
【図３Ｂ】同上におけるケース２の模式図である。
【図３Ｃ】同上におけるケース３の模式図である。
【図３Ｄ】同上におけるケース４の模式図である。
【図４】本発明による一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置の第１実施形態のケース１乃至ケース４の機能ブロック図である。
【図５Ａ】本発明による一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置の第２実施形態におけるケース１の模式図である。
【図５Ｂ】同上におけるケース２の模式図である。
【図５Ｃ】同上におけるケース３の模式図である。
【図５Ｄ】同上におけるケース４の模式図である。
【図６】本発明による一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置の第２実施形態のケース１乃至ケース４の機能ブロック図である。
【図７Ａ】本発明による一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置の第３実施形態におけるケース１の模式図である。
【図７Ｂ】同上におけるケース２の模式図である。
【図７Ｃ】同上におけるケース３の模式図である。
【図７Ｄ】同上におけるケース４の模式図である。
【図８】本発明による一部の全反射光源及び一部の非全反射光源の少なくとも一方を利用する光学式移動検知装置の第３実施形態のケース１乃至ケース４の機能ブロック図である。
【図９】本発明の第２種類のコード部材の斜視図である。
【図１０】本発明の第３種類のコード部材の斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０ａ、１０ｂ  コードホイール
１００ａ  透過部分
１００ｂ  反射部分
１１０ａ  非透過部分
１１０ｂ  非反射部分
２０ａ、２０ｂ  光源
３０ａ、３０ｂ  光検出器アレイ
Ｌ１、Ｌ２  光ビーム
１  発光素子
２、２’、２”  コード部材
２０、２０”  全反射面
２０’  円弧面
２１  平面
３、３’、３”  光検知ユニット
３１、３１”  第１光検知素子
３２、３２”  第２光検知素子
３３、３３’  中央光検知素子
Ｓ、Ｓ”  投射光源
Ｓ１ａ、Ｓ２ａ、Ｓ３ａ、Ｓ４ａ  全反射ビーム
Ｓ１ｂ、Ｓ２ｂ、Ｓ３ｂ、Ｓ４ｂ  非全反射ビーム
Ｓ１ｂ”、Ｓ２ｂ”、Ｓ３ａ”、Ｓ４ｂ”  非全反射ビーム
【図１Ａ】
2009002932.tif 000003
【図１Ｂ】
2009002932.tif 000004
【図２】
2009002932.tif 000005
【図３Ａ】
2009002932.tif 000006
【図３Ｂ】
2009002932.tif 000007
【図３Ｃ】
2009002932.tif 000008
【図３Ｄ】
2009002932.tif 000009
【図４】
2009002932.tif 000010
【図５Ａ】
2009002932.tif 000011
【図５Ｂ】
2009002932.tif 000012
【図５Ｃ】
2009002932.tif 000013
【図５Ｄ】
2009002932.tif 000014
【図６】
2009002932.tif 000015
【図７Ａ】
2009002932.tif 000016
【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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