(57)【要約】【課題】大気圧にほぼ等しい高圧力領域における排気性能の改善を図る。【解決手段】真空ポンプの上流端側から少なくとも１段目は、複数のポンプ室が並列に接続されてなる。また、ポンプ室が並列に接続されたポンプ段における下流端側のポンプ室の排気口側の流路から、ポンプ室の複数のポンプ段の少なくとも１段以上を迂回して下流側のポンプ室の排気口側の流路に連通させて設けられたバイパスバルブ機構７を備える。そして、バイパスバルブ機構７は、１段目に位置するポンプ室３ａ，３ｂのポンプ吸気口１の圧力が大気圧にほぼ等しい高圧力領域で開かれるバルブ７ａを有し、ポンプ室が並列に接続されたポンプ段における下流端側のポンプ室よりも下流側に位置するポンプ室の排気口側の流路に気体を排気するように構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気口および排気口が設けられたポンプ容器と、該ポンプ容器に配置されたロータとを有し該ロータが回転駆動されることによって前記吸気口から前記排気口に気体を圧送する複数のポンプ室を備え、前記ポンプ室が複数のポンプ段で直列に接続されてなる真空ポンプにおいて、
前記真空ポンプの上流端側から位置する少なくとも１段目は、複数の前記ポンプ室が並列に接続されてなり、
前記ポンプ室が並列に接続されたポンプ段における下流端側の前記ポンプ室の前記排気口側の流路から、前記ポンプ室の複数のポンプ段の少なくとも１段以上を迂回して下流側の前記ポンプ室の前記排気口側の流路に連通させて設けられたバイパスバルブ機構を備え、
前記バイパスバルブ機構は、前記１段目に位置する前記ポンプ室の前記吸気口の圧力が大気圧にほぼ等しい高圧力領域で開かれるバルブを有し、前記ポンプ室が並列に接続されたポンプ段における下流端側の前記ポンプ室よりも下流側に位置する前記ポンプ室の前記排気口側の流路に前記気体を排気するように構成されていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記バイパスバルブ機構は、前記バルブが配置された流路の下流端側が、前記真空ポンプの下流端側に位置する前記ポンプ室の前記排気口に連通されている、請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記気体の圧力を測定する圧力測定手段を備え、
前記バイパスバルブ機構は、前記圧力測定手段による測定結果に基づいて前記バルブが自動的に開閉可能にされている、請求項１又は２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記バイパスバルブ機構は、前記バルブに対する上流側の圧力と下流側の圧力との差圧で前記バルブを自動的に開閉させるバルブ開閉機構を有している、請求項１又は２に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記バイパスバルブ機構は、前記バルブが配置された流路を加熱する加熱手段を有している、請求項１ないし４のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記バイパスバルブ機構は、前記バルブが配置された流路を不活性気体で希釈パージするパージ手段を有している、請求項１ないし５のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ室に配置されたロータを回転駆動することによって吸気口から排気口に気体を圧送する機械式ポンプであって、複数のポンプ室が接続されてなる多段式の真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
単段のポンプ室が複数段（複数のポンプ段）で接続され、これら各ポンプ室を連通させて構成された多段式の真空ポンプが知られている。この多段式の真空ポンプとしては、実用的に大排気流量を実現するために、真空ポンプの上流端側であるポンプ吸気口側から少なくとも１段目が、複数のポンプ室を並列に接続されてなる構成が提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
図１１に、従来の多段式の真空ポンプの構成例を示し、図１２に多段式の真空ポンプにおける排気速度特性の概略図を示す。図１１（Ａ）から図１１（Ｄ）に、一般的な多段式の真空ポンプの構成例として、代表的な４段のポンプ室の構成を示す。ポンプ室３から６は、図示しないモータにそれぞれ接続されており、同様に図示しない制御回路によって、それぞれが最適に回転数が制御されて連動して回転し、大気圧から排気可能な多段式の真空ポンプを構成している。
【０００４】
この多段式の真空ポンプにおいては、比較的大きな排気流量に対応するために、ポンプ吸気口１０１側から少なくとも１段目が、複数の単段のポンプ室を並列に接続されてなる構成が提案されている。図１１（Ａ）は、ポンプ吸気口から１段目が、２つのポンプ室が並列に接続された構成例を示している。図１１（Ｂ）は、１段目から２段目までのポンプ段が、２つのポンプ室が並列に接続された構成例を示している。図１１（Ｃ）は、１段目のポンプ段が、３つのポンプ室が並列に接続された構成を示している。図１２は、図１１に例示した多段式の真空ポンプに該当する排気速度特性を概略的に示した図である。図１２中の曲線Ｄは、図１１（Ｄ）に示す基本的な多段式の真空ポンプの排気速度特性を示し、曲線Ａ及び曲線Ｂ、Ｃは、それぞれ図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）、（Ｃ）に示す各構成例に対応する概略の排気速度特性を示している。排気速度特性は、厳密には、構成する単段ポンプ室の圧縮性能や相互の回転数のバランス等によって変化するが、図１２は代表的な特性例を概略的に示したものである。また、図１２には比較参照のために、図１１（Ｄ）に示す基本的な構成で得られる排気速度特性（Ｓ１）をそれぞれ２倍した曲線（２×Ｓ１）と、３倍した曲線（３×Ｓ１）を破線で併記する。この排気速度特性は、基本的な構成のポンプ（図１１（Ｄ））をそれぞれ２台及び３台を並行して使用した場合に得られる合計の排気速度特性に相当する。図１２に示す結果のように、一般的に真空装置で多く使用されるような減圧領域では、上流端側（ポンプ吸気口側）に複数のポンプ室が並列に接続された多段式の真空ポンプは、２台又は３台の真空ポンプに相当する排気速度特性を容易に実現することができる。このため、このような多段式の真空ポンプは、大排気容量に対応した非常に有効な構成である。
【特許文献１】特開平１１−９３８７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図１２に示す結果から同時に明らかなように、大気圧にほぼ等しい高圧力領域において、ポンプ吸気口側に複数のポンプ室が並列に接続された多段式の真空ポンプでは、十分に排気速度の改善がなされていない。つまり、１段目のポンプ室の容積を例えば２倍、３倍に大きく設定して大排気容量を確保した場合、大気圧にほぼ等しい高圧力領域では、圧力による圧縮の効果がほとんど無いので、排気される気体の容量は主にポンプ室の容積で決まってしまう。このため、１段目である前段（上流側）のポンプ室で２倍、３倍の容積で排気される気体を、後段（下流側）に接続されている容積が比較的小さいポンプ室では排気しきれない。すなわち、比較的大きな容積のポンプ室の後段に接続されているポンプ室の容積が小さいために、この後段のポンプ室の吸気口で気体が過剰となり、結果として圧力が上昇してしまう。そして、前段のポンプ室で維持できる圧縮率を超える気体については、真空ポンプの上流端側のポンプ吸気口側にまで逆流する結果となり、有効に気体が排気されない。加えて、多段式のドライ真空ポンプで一般的に使用されるポンプ室が有する圧縮性能自体が、動作圧力が高い領域で低下することも、真空ポンプ全体の排気性能が大幅に低下することを招いている。
【０００６】
要するに、ポンプ吸気口に近いポンプ段の位置で、複数のポンプ室を並列に接続することで、排気性能を２倍、３倍に大きくして大排気容量を実現しようとしても、このポンプ段の後段に位置する１つのポンプ室からなるポンプ段での排気可能な気体量が律速となってしまう。その結果、排気気体を真空ポンプにおける下流端側のポンプ排気口に十分に移送できなくなる。
【０００７】
この問題は、真空ポンプに接続され、真空ポンプによって排気される被排気容器の容積が非常に大きい場合に一般的に顕著になる。図示しないが、非常に大きな被排気容積を有した容器を、大気圧から排気可能な多段式の真空ポンプの到達圧力よりも更に低い到達圧力にまで真空排気するような場合、排気性能がより大きな他の方式の真空ポンプを併用することになる。このような場合、例えば、一般に知られる大型のルーツブロアポンプや分子ポンプが主ポンプとして用いられるが、これらの真空ポンプは、大気圧から直接ポンプを動作させることができない。
【０００８】
このため、図１１に示す多段式の真空ポンプのように、大気圧から排気可能な真空ポンプで一定の真空圧力状態まで予備排気する必要がある。このとき、実用面から見た場合、所望の圧力にまで到達するのに要する排気時間として、通常、大気圧からの予備排気にほとんどの時間を費やされることが多い。装置全体のタクトタイム等を考慮し、所望の圧力にするのに要する排気時間を短縮する場合、予備排気に用いる真空ポンプの排気速度を大きくして、予備排気時間を短縮することが大きな課題である。
【０００９】
なお、真空における実質的な気体の排気流量は「容積×圧力」で表される。したがって、真空排気が進行してポンプ吸気口の圧力が十分に低くなってくると、ポンプ吸気口に近い１段目のポンプ室の容積が２倍、３倍であっても、各ポンプ室が有する圧縮性能によって、後段に続くポンプ室内部の圧力が、容易に２倍、３倍に圧縮される。このため、実質的に排気される気体量として過剰になることは無く、図１２に示した排気特性のように、実質的に基本構成となる多段式のドライ真空ポンプの排気速度の２倍、３倍の排気速度が得られる。
【００１０】
そこで、本発明は、上述した課題を解決することにあり、大気圧にほぼ等しい高圧力領域での排気性能を改善することができる真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述の目的を達成するため、本発明に係る真空ポンプは、吸気口および排気口が設けられたポンプ容器と、このポンプ容器に配置されたロータとを有しこのロータが回転駆動されることによって吸気口から排気口に気体を圧送する複数のポンプ室を備え、ポンプ室が複数のポンプ段で直列に接続されてなる。また、真空ポンプの上流端側から少なくとも１段目は、複数のポンプ室が並列に接続されてなる。また、この真空ポンプは、ポンプ室が並列に接続されたポンプ段における下流端側のポンプ室の排気口側の流路から、ポンプ室の複数のポンプ段の少なくとも１段以上を迂回して下流側のポンプ室の排気口側の流路に連通させて設けられたバイパスバルブ機構を備える。そして、バイパスバルブ機構は、１段目に位置するポンプ室の吸気口の圧力が大気圧にほぼ等しい高圧力領域で開かれるバルブを有し、ポンプ室が並列に接続されたポンプ段における下流端側のポンプ室よりも下流側に位置するポンプ室の排気口側の流路に気体を排気するように構成されている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、大気圧にほぼ等しい高圧力領域における排気速度の低下を改善することが可能になり、大容量排気系に適した真空ポンプを比較的少ない追加コストで実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各構成及び排気速度特性は、本発明が理解できる程度に代表的な実施形態を概略的に示したものである。したがって、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて様々な形態に変更可能である。
【００１４】
図１は、第１の実施形態の、多段式の真空ポンプを示す模式図である。図１に示すように、本実施形態の真空ポンプは、複数のポンプ室（単段ポンプユニット）が並列に接続されたポンプ段の排気口側の流路が、真空ポンプの下流端側に位置するポンプ室の排気口２（以下、ポンプ排気口２と称する。）側の流路にバイパスバルブ機構７の流路を介して接続されて構成されている。
【００１５】
図１（Ａ）に示すように、第１の実施形態の真空ポンプは、真空ポンプの上流端側に位置する１段目が、２つの単段のポンプ室が並列に接続されて構成されている。また、図１（Ｂ）に示すように、第１の実施形態の真空ポンプは、他の構成例として、真空ポンプの１段目および２段目がそれぞれ、２つの単段のポンプ室が並列に接続されて構成されている。
【００１６】
各ポンプ室３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ、５、６は、図示しないが、吸気口および排気口が設けられたポンプ容器と、このポンプ容器内に配置されたロータとを有しており、ロータが回転駆動されることによって吸気口から排気口に気体を圧送するように構成されている。また、ポンプ室３ａ、３ｂ、４ａ、４ｂ、５、６としては、一般的には同じサイズの単段ポンプユニットが用いられるが、適当な分類で容積が異なる単段ポンプユニットを使用することも可能である。本実施形態では、バイパスバルブ機構７は、複数のポンプ室が並列に接続されたポンプ段における排気口側の流路と、真空ポンプのポンプ排気口２側の流路との間に配置されている。
【００１７】
図１に示した構成例の真空ポンプにおける排気速度特性の概略を図２に示す。図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示す各構成例にそれぞれ対応する排気速度特性を、図２の曲線Ａ及び曲線Ｂで示す。図２には、比較参照のために、図１１（Ｄ）に示した従来の多段式の真空ポンプの基本的な構成で得られる排気速度特性（Ｓ１）と、この特性を２倍にした曲線（２×Ｓ１）を破線で併記している。また、図２には、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示した各構成例で、バイパスバルブ機構７を備えていない構成における排気速度特性を、曲線Ａ及び曲線Ｂにそれぞれ合わせて破線で示している。
【００１８】
本実施形態によれば、大気圧にほぼ等しい（大気圧に近い）高圧力領域での排気速度をそれぞれ曲線Ａ及び曲線Ｂで示すように改善することができる。なお、図１（Ａ）に示した構成例と、図１（Ｂ）に示した構成例を比較した場合、排気速度特性としては、図１（Ｂ）に示した構成の方が性能改善の度合いが大きい。しかし、図１（Ａ）に示した構成例は、図１（Ｂ）に示した構成よりも少ない個数のポンプ室で構成されるので、真空ポンプ全体としてのサイズや製造コストの観点で有利である。
【００１９】
本実施形態は、複数のポンプ室が並列に接続されたポンプ段の排気口側の流路を、ポンプ排気口２側の流路に連通させるバイパスバルブ機構７を備え、ポンプ吸気口２の圧力が高圧力領域でバルブ７ａが開かれてバイパスバルブ機構７を介して気体が排気される。この構成によって、複数のポンプ室が並列に接続されたポンプ段で一度に比較的多量に排気される気体が、このポンプ段の後段に接続された単段ポンプ室で律速されて加圧状態になることが抑えられ、気体を真空ポンプ外部に排気することができる。
【００２０】
真空ポンプのポンプ吸気口側に位置するポンプ室の排気口側の流路を、基本的に大気圧状態である真空ポンプのポンプ排気口側の流路に接続することは、真空ポンプが通常の動作状態で到達圧力に達しているような場合にはあり得ないことである。しかし、ポンプ吸気口の圧力が大気圧にほぼ等しい高圧力領域では、複数のポンプ室が並列に接続されたポンプ段の排気口側の流路は、少なくとも単段のポンプ室が大気圧領域で有する圧縮性能に応じた要因で大気圧よりも高い圧力状態を生み出すため、大気圧との差圧に応じて気体を真空ポンプ外部に排気可能である。バイパスバルブ機構の流路の下流側の圧力よりも、バイパスバルブ機構の上流側の圧力が小さくなる前に、バルブを閉じることで、真空ポンプとして問題が生じることは無く、また真空ポンプに接続されている被排気系の真空容器側に悪影響を及ぼすこともない。なお、バイパスバルブ機構の流路の下流側の圧力は、この下流側に位置するポンプ室の排気口がポンプ排気口である場合にはほぼ大気圧となり、後段のポンプ段の吸気口側に迂回させて接続された場合には、そのポンプ段の吸気口の圧力となる。
【００２１】
図３は、第１の実施形態の更に他の構成例を示している。この構成例の真空ポンプでは、上流端側に位置するポンプ吸気口１側の１段目のポンプ段が、３つのポンプ室が並列に接続されてなる構成例である。また、図４に、この構成例の真空ポンプにおける排気速度特性を示す。図４では、図２と同様に、比較参照のため、図１１（Ｄ）に示した従来の真空ポンプの基本的な構成で得られる排気速度特性（Ｓ１）と、この特性を３倍にした曲線（３×Ｓ１）を破線で併記している。また、図４には、図３に示した構成例で、上述のバイパスバルブ機構７を備えていない構成における排気速度特性を、曲線Ａに合わせて破線で示している。この構成例においても、大気圧にほぼ等しい高圧力領域での排気速度をそれぞれ曲線Ａで示すように改善することができる。
【００２２】
図５は、第２の実施形態の多段式の真空ポンプを示している。本実施形態の真空ポンプは、複数のポンプ室が並列に接続されてなる１段目のポンプ室の排気口側の流路から、この１段目に直列に接続された単段のポンプ室で構成されている複数のポンプ段を少なくとも１段以上を迂回して下流側のポンプ室の排気口側の流路に連通させて設けられたバイパスバルブ機構７を備えている。図５（Ａ）及び図５（Ｂ）は、１段目が、３つの単段のポンプ室が並列に接続されて構成された真空ポンプをそれぞれ示している。
【００２３】
図５（Ａ）は、バイパスバルブ機構７の流路の下流側が、３段目のポンプ室５と４段目のポンプ室６との流路に間に接続された構成例を示している。図５（Ｂ）は、バイパスバルブ機構７の流路の下流側が、２段目のポンプ室４と３段目のポンプ室５との間に接続された構成例を示している。
【００２４】
また、図６に、本実施形態の多段式の真空ポンプにおける排気速度特性を示す。なお、図６には、図２、図４と同様に、比較参照のため、図１１（Ｄ）に示した従来の多段式の真空ポンプの基本的な構成で得られる排気速度特性（Ｓ１）と、この特性を３倍した曲線（３×Ｓ１）を破線で併記している。また、図６には、各構成例の効果の違いを示すために、図５に示した構成例と同様に、１段目は３つのポンプ室が並列に接続されて構成され、バイパスバルブ機構７の流路の下流側が真空ポンプのポンプ排気口２に接続された、図３に示した第１の実施形態の構成例の排気速度特性（排気特性は図４に例示）を破線で示している。バイパスバルブ機構７の流路の下流側（ポンプ排気口２により近い側）を接続する位置によって、得られる特性の改善特徴が異なる。したがって、必要とされる排気性能により適した構成を選択することも可能である。また、物理的なスペースや製造コスト等が増えることが許容される場合には、複数のバイパスバルブ機構を備え、これら複数のバイパスバルブ機構を最適に連動させることで、最大の排気特性を得ることも可能である。
【００２５】
図７は、第３の実施形態の多段式の真空ポンプを示している。図７に示すように、本実施形態の真空ポンプは、圧力測定手段としての圧力測定器８を備えている。本実施形態では、圧力測定器８による測定結果に基づいてバイパスバルブ機構７のバルブ７ａを制御して開閉動作させることで、ポンプ吸気口１の圧力が大気圧にほぼ等しい高圧力領域で、バルブ７ａを自動的に開閉可能に構成されている。
【００２６】
圧力測定器８を真空ポンプ内部に内蔵させる場合、図７（Ｂ）に示すように、複数のポンプ室が並列に接続されたポンプ段の排出口側、つまりバイパスバルブ機構７の上流側の流路に圧力測定器８が配置される構成が、制御する上で最も簡単である。基本的には、圧力測定器８での測定圧力がポンプ排気口圧力よりも高い条件範囲で、バイパスバルブ機構７のバルブ７ａが開かれるように制御すればよい。
【００２７】
なお、図示しないが、望ましくはポンプ排気口２にも同様な圧力測定器８が設けられ、この圧力測定器８で差圧を測定することで制御を更に確実に行うことができる。ポンプ吸気口１の圧力に対する真空ポンプ内部の圧力、特にバイパスバルブ機構７のバルブ７ａに対する上流側の圧力及び下流側の圧力との関係を予め測定しておけば、図７（Ａ）に示すように、ポンプ吸気口１の近傍に圧力測定器８が配置されても良い。また、図７（Ｃ）に示すように、真空ポンプに接続される被排気系の真空容器９に設けられた圧力測定器８による測定結果に基づいて、バイパスバルブ機構７のバルブ７ａを制御して開閉させる構成でもよい。
【００２８】
図８は、第４の実施形態の多段式の真空ポンプで用いられるバイパスバルブ機構７を示す模式図である。図８に示すように、本実施形態におけるバイパスバルブ機構７は、バルブ７ａに対する上流側の圧力と下流側の圧力とが所定の差圧になったときに、バルブ７ａを自動的に開閉させるバルブ開閉機構７ｂを有している。このバルブ開閉機構７ｂは、ポンプ吸気口１の圧力が大気圧にほぼ等しい高圧力領域で、バルブ７ａを制御して自動的に開閉させることが可能に構成されている。
【００２９】
図８（Ａ）に、バルブ７ａとしてボール形状のバルブシール１０を用いたバルブ開閉機構７ｂの構成例を示す。図８（Ａ）に示すように、バルブ開閉機構７ｂは、流路を開閉可能に配置されたバルブシール１０と、このバルブシール１０を流路に沿って移動可能に支持するバルブピストン１２とを有している。また、このバルブ開閉機構７ｂは、バルブピストン１２の移動方向をガイドする一組のバルブガイド１３，１４と、バルブシール１０によって流路が閉じられる方向に付勢するバルブスプリング１１と、バルブシール１０が圧接されるシール面部１５とを有している。
【００３０】
また、図８（Ｂ）に、バルブ７ａとしてＯリング形状のバルブシール１６が設けられたバルブピストン１２を用いたバルブ開閉機構７ｂの他の構成を示す。図８（Ｂ）に示すように、バルブ開閉機構７ｂは、流路を開閉可能に配置されたバルブ部１２ａを有するバルブピストン１２と、バルブ部１２ａに設けられたバルブシール１６と、バルブシール１６が圧接されるシール面部１７とを有している。また、このバルブ開閉機構７ｂは、バルブピストン１２の移動方向をガイドするバルブガイド１３と、バルブ部１２ａによって流路が閉じられる方向に付勢するバルブスプリング１１とを有している。
【００３１】
以上の各構成例のバルブ開閉機構７ｂは、バルブ７ａの上流側の圧力が、バルブ７ａに対する下流側の圧力にバルブスプリング１３の付勢力による圧力を加えた圧力よりも大きいときに、バルブ８ａが開かれる。
【００３２】
図９は、第５の実施形態の真空ポンプで用いられるバイパスバルブ機構７を示している。図９に示すように、本実施形態におけるバイパスバルブ機構７は、流路を構成する配管の外周部に、この配管を加熱するための加熱機構１７が設けられている。この加熱機構１７によれば、凝縮性を有した生成物がバルブ７ａ付近に堆積することを防止できる。図示しないが、例えば温度測定器等を併用してバルブ７ａ周辺の温度が制御されるように構成されるのが望ましい。制御温度は、多段式の真空ポンプを使用する外部装置（不図示）からの流入が予想される反応生成物の種類に応じて適正に選定する必要がある。
【００３３】
図１０は、第６の実施形態の真空ポンプで用いられるバイパスバルブ機構を示している。図１０に示すように、本実施形態におけるバイパスバルブ機構７は、バルブ７ａが配置された流路を例えばＮ2等の不活性気体で希釈パージするパージ手段としてのパージ機構１８を有している。このパージ機構１８によれば、凝縮性を有した生成物が流路の内壁やバルブ７ａ付近に堆積することを防止できる。不活性気体は、パージ用配管１９の導入口から導入され、流量調節バルブ１８ａ、１８ｂで流量を適正に制御されて、バイパスバルブ機構７のバルブ７ａ周辺に導入される。なお、バルブ７ａが開かれた状態で不活性気体を流通させるか否かについては、多段式の真空ポンプの用途に応じて適宜設定されるべきである。
【００３４】
以上、各実施形態の真空ポンプを説明したが、本発明はこれらの構成に限定されるものではない。例えば、実施形態では、基本的に単段のポンプ室のサイズが全て同じサイズであることを前提に説明したが、容積が異なるポンプ室を組合せた場合でも基本的な考え方は同じである。また、真空ポンプ全体におけるポンプ室の段数としては、上述の実施形態とポンプ室の段数を異ならせ、例えば４段や６段で構成する場合等でも同様の効果が得られる。
【００３５】
また、本実施形態では、１段目だけが複数のポンプ室が並列に接続されて構成されたが、例えば１段目および２段目等の複数段にわたって、各ポンプ段がそれぞれ複数のポンプ室が並列に接続された構成にされてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】第１の本実施形態の多段式の真空ポンプを示す模式図である。
【図２】図１に示した第１の実施形態の真空ポンプにおける排気速度特性を示す図である。
【図３】第１の実施形態の真空ポンプの他の構成例を示す模式図である。
【図４】図３に示した第１の実施形態における排気速度特性を示す図である。
【図５】第２の実施形態の多段式の真空ポンプを示す模式図である。
【図６】上記第２の実施形態による排気速度特性を示す図である。
【図７】第３の実施形態の多段式の真空ポンプを示す模式図である。
【図８】第４の実施形態で用いられるバルブ開閉機構の構成例を示す模式図である。
【図９】第５の実施形態で用いられる加熱機構の構成例を示す模式図である。
【図１０】第６の実施形態で用いられるパージ機構の構成例を示す模式図である。
【図１１】従来の多段式の真空ポンプを示す模式図である。
【図１２】図１１に示した従来の真空ポンプにおける排気速度特性を示す図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  ポンプ吸気口
２  ポンプ排気口
３ａ、３ｂ、３ｃ  １段目のポンプ室
４ａ、４ｂ  ２段目のポンプ室
５  ３段目のポンプ室
６  ４段目のポンプ室
７  バイパスバルブ機構
７ａ  バルブ
８  圧力測定器（圧力測定手段）
９  真空容器
１７  加熱機構（加熱手段）
１８  パージ機構（パージ手段）
１８ａ、１８ｂ  流量調節バルブ
１９  パージ用配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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