(57)【要約】【課題】樹脂封止の異常判定を自動的に且つ的確に行う。【解決手段】キャビティ４２内に配置した基板（被成型品）Ｋを樹脂にて封止するための樹脂封止装置２２であって、前記キャビティ４２内の樹脂の圧力を検出する圧力センサ７０と、該検出された圧力の時間変化率を演算する演算部７４と、予め設定された標準圧力を記憶する記憶部７２と、標準圧力と実圧力と乖離の程度により樹脂封止の異常を判定する比較・判定部７８と、を備え、圧力の時間変化率に応じて、前記樹脂封止の異常の判定の仕方を変える。【選択図】図１
2009090594.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャビティ内に配置した被成型品を樹脂にて封止するための樹脂封止装置であって、
前記キャビティ内の樹脂の実圧力を検出する手段と、
該検出された実圧力の時間的変化状態を求める手段と、
予め設定された標準圧力を記憶する手段と、
該標準圧力と実圧力の乖離の程度により樹脂封止の異常を判定する手段と、を備え、
前記実圧力の時間的変化状態に応じて、前記樹脂封止の異常を判定する手段における異常判定の仕方を変える
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記時間的変化状態を、実圧力の時間変化率、実圧力の時間変化率の時間変化率のうち、少なくとも一方を演算することによって求める
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記実圧力の時間的変化状態に応じて、前記乖離の程度により樹脂封止の異常を判定するための閾値の設定態様を変える
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項４】
請求項１または２において、
ａ）前記標準圧力と前記実圧力の乖離の程度のみによって樹脂封止の異常を判定、
ｂ）前記標準圧力の時間変化率と前記実圧力の時間変化率との乖離の程度のみによって樹脂封止の異常を判定、
ｃ）前記標準圧力と前記実圧力との乖離、及び、前記標準圧力の時間変化率と前記実圧力の時間変化率との乖離の双方のうちいずれか一方でも所定以上の乖離があるか否かによって樹脂封止の異常を判定、
ｄ）標準圧力と前記実圧力との乖離、及び、前記標準圧力の時間変化率と前記実圧力の時間変化率との乖離の双方において所定以上の乖離があるか否かによって樹脂封止の異常を判定、及び
ｅ）標準圧力と前記実圧力の乖離に依らず、その時点の樹脂封止は正常と判定、
の各判定の仕方のうち、２通り以上の判定の仕方を、前記実圧力の時間的変化状態に応じて選択することによってその時点の樹脂封止の異常を判定する
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記実圧力の時間的変化状態として実圧力の時間変化率を求め、
該実圧力の時間変化率が所定の閾値未満のときに前記ａ）の判定の仕方により樹脂封止の異常を判定し、
実圧力の時間変化率が該閾値以上のときに前記ｂ）の判定の仕方により樹脂封止の異常を判定する
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項６】
キャビティ内に配置した基板を樹脂にて封止するための樹脂封止装置の異常判定方法であって、
予め設定された標準圧力を記憶しておく手順と、
前記キャビティ内の樹脂の実圧力を検出する手順と、
該検出された実圧力の時間的変化状態を求める手順と、
前記標準圧力と実圧力との乖離の程度に基づく樹脂封止の異常判定の仕方を、前記実圧力の時間的変化状態に応じて変えた上で、該異常判定を行う手順と、
を含むことを特徴とする樹脂封止装置の異常判定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップ等が搭載された被成型品を樹脂封止するための樹脂封止装置であって、特にその異常判定を的確に行うことを可能とした樹脂封止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体チップの搭載された基板（被成型品）をキャビティ内に配置すると共に、溶融した樹脂を該キャビティの外部から圧力を掛けてキャビティ内に流し込んで封止する所謂「トランスファ方式」と称される樹脂封止装置が広く普及している。
【０００３】
また、近年、対向して配置された上型と下型の間に形成されるキャビティ内に基板及び樹脂を配置すると共に、この状態で配置した樹脂を圧縮することによって基板を封止するいわゆる「圧縮方式」と称される樹脂封止装置も開発されている。
【０００４】
いずれの方式の場合においても、キャビティ内に封入された樹脂の圧力が封止作業の進行に伴ってどのように変化しているかという情報は、当該封止作業が正常に進行しているか否かを判定するための重要な判断材料となると考えられる。
【０００５】
この圧力特性の監視によって封止作業の正常・異常の判定を行おうとした場合、例えば、特許文献１に記載されている「機器の運転状態監視装置」に係る技術を当該樹脂封止の異常判定に応用することが考えられる。この運転状態監視装置は、機器の処理状態を表す状態信号をデジタル化して順次入力する状態信号入力手段と、入力起動信号をトリガにして上記状態信号の上記機器の処理が正常な状態の波形を基準信号（標準特性）として記憶する基準波形記憶手段と、上記状態信号の波形と上記基準の信号の波形とを上記入力起動信号をトリガにして順次比較する状態波形比較手段とを備えたことを特徴とするものである。
【０００６】
この装置に係る技術を樹脂封止の異常判定に応用する場合、具体的には、正常に封止が行われた際の圧力特性を標準圧力として装置に予め記憶させておき、特性の取得開始タイミング（起動トリガ）を例えば充填開始からとするなど、共通の測定環境を維持した上で、実際の圧力をこの記憶された標準圧力と比較して両者の乖離の程度が所定の閾値を超えた場合に異常と判断することになると解される。
【０００７】
【特許文献１】特開平０６−３４１９３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、封止作業中の樹脂の実圧力は時間と共にさまざまなファクタの影響を受けて絶えず変化してゆくものであるため、この判定は、現実には必ずしも簡単ではない。
【０００９】
とりわけ、トランスファ方式の樹脂封止装置にあっては、キャビティ内の実圧力は、樹脂の充填速度、温度（粘度）、流動抵抗（金型のランナ、ゲート、キャビティ等の寸法や形状）等の影響を強く受け、極めて複雑に変化する。また、実圧力の上昇勾配が時間と共に変化するため、標準圧力と実圧力の起動トリガの時間軸方向のずれの影響が一様でないことも大きな障害となる。
【００１０】
圧縮方式の樹脂封止装置の場合は、変動要素自体は少ないものの、実圧力の立ち上がりが急である分、標準圧力と実圧力の起動トリガのずれの影響はトランスファ方式の場合よりもむしろ大きく、圧力増大の大きい領域では僅かな起動トリガのずれが大きな圧力乖離要因となって誤判定を誘引する恐れがある。頻繁な誤判定を避ける為に、乖離の許容値を大きくすれば、判定精度の低下は避けられない。しかし、このような圧力が急速に増大する領域こそ、実は製品品質に大きく影響する領域と言えるものであり、判定精度の低下は、判定そのものの意義が失われることになりかねない。
【００１１】
本発明はこのような事情を考慮してなされたものであって、標準圧力と実圧力の乖離の程度による樹脂封止の異常判定を自動的に且つ的確に行うことができるようにすることをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、キャビティ内に配置した被成型品を樹脂にて封止するための樹脂封止装置であって、前記キャビティ内の樹脂の実圧力を検出する手段と、該検出された実圧力の時間的変化状態を求める手段と、予め設定された標準圧力を記憶する手段と、該標準圧力と実圧力の乖離の程度により樹脂封止の異常を判定する手段と、を備え、前記実圧力の時間的変化状態に応じて、前記樹脂封止の異常を判定する手段における異常判定の仕方を変えることにより、上記課題を解決するものである。
【００１３】
本発明では、圧力特性の比較を行う際に、実圧力の時間的変化状態に応じて樹脂封止の異常判定の仕方そのものを変更するようにした。
【００１４】
「実圧力の時間的変化状態」は、例えば、実圧力の時間変化率、あるいは実圧力の時間変化率の時間変化率を求めることによって把握することができる。
【００１５】
「異常判定の仕方」の具体的な変更方法については、種々のバリエーションが考えられる。これについては後に詳述する。
【００１６】
本発明は、キャビティ内に配置した基板を樹脂にて封止するための樹脂封止装置であって、予め設定された標準圧力を記憶しておく手順と、前記キャビティ内の樹脂の実圧力を検出する手段と、該検出された実圧力の時間的変化状態を求める手順と、標準圧力と実圧力との乖離の程度に基づく樹脂封止の異常判定の仕方を、前記実圧力の時間的変化状態に応じて変えた上で、該異常判定を行う手順と、を含むことを特徴とする樹脂封止装置の異常判定方法と捉えることもできる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、樹脂封止の異常判定を自動的に且つ的確に行うことができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。
【００１９】
本発明は、樹脂封止装置の基本的な封止構造自体は特に限定されるものではないが、図１に、本実施形態の適用される樹脂封止装置の一例を示す。なお、図１は、該樹脂封止装置の概略をその機能に着目して模式的に示したものであり、実際の装置の具体的構成とは必ずしも一致していない。
【００２０】
この樹脂封止装置２２の金型２４は、上型２６と下型２８とを備える。上型２６は、さらに上下に分割され、第１上型３０とその上部に重ねられる第２上型３２とから主に構成されている。第１上型３０と第２上型３２との間には、断熱層３４が介在されている。
【００２１】
第１上型３０は、カル部３６、封止対象である基板Ｋが配置される第１、第２凹部３８、４０、及び封止樹脂が充填されるキャビティ４２のうちの基板Ｋの上側に相当する上部キャビティ４４を備える。第２上型３２は、図１においては、その上下方向の厚さが第１上型３０のそれとほぼ同一に描写されているが、実際には上型２６の大半を占め、図示せぬ公知の取付ブロック等を介して固定プラテンに取り付けられている。
【００２２】
一方、下型２８は、図示せぬ公知の取付ブロック、支持プレート等を介して可動プラテンに取り付けられている。なお、可動プラテンは図示せぬプレス装置と連結され、このプレス装置を駆動することによって進退動（図１における上下方向の移動）が可能とされ、上型２６（具体的にはその第１上型３０）に対して下型２８を接離させ、金型２４の型閉じ、型締め及び型開きを行う。尤も、本発明においては、上型、下型のいずれが可動金型とされていてもよい。
【００２３】
下型２８には、ランナ５０及び（キャビティ４２のうちの基板Ｋの下側に相当する）下部キャビティ５２が凹設されている。また、筒状のポット５４が形成されており、このポット５４内をプランジャ５６が進退動自在に配設されている。
【００２４】
プランジャ５６にはロードセル等で構成された圧力センサ７０が付設されており、樹脂の実圧力が計測できるようになっている。尤も、本発明においては、圧力センサの具体的構造や設置位置については特に限定されるものではない。むしろ、設置位置としては、封入樹脂は、完全な「流体」としての動きをするわけではないため、封止空間を構成するキャビティ４２に近い位置に設置する方がより高精度の検出ができる場合がある。
【００２５】
なお、符号７２は、標準圧力の記憶部、７４は、実圧力の時間変化率の演算部、７６は、実圧力の時間変化率の時間変化率の演算部、７８は、標準圧力と実圧力との乖離の程度から樹脂封止の異常を判定するための比較・判定部である（後に詳述）。本実施形態においては演算部７４、７６が実圧力の時間的変化状態を求める手段に相当している。
【００２６】
次にこの樹脂封止装置２２の作用を説明する。
【００２７】
プランジャ５６がその下限位置に置かれた状態で、ポット５４内にタブレット或いはペレット状等の樹脂材料（成形材料）５８がセットされ、プランジャ５６の上昇により、溶融温度下でカル部３６、ランナ５０を介して基板Ｋの上下に形成された上下キャビティ４２、５２内に該樹脂材料５８が流入する。その後上型２６及び下型２８によって型締めされた状態で温度上昇がなされ、樹脂が硬化した段階で型開きし、樹脂封止された基板Ｋが取り出される。
【００２８】
この一連の作業の間、前処理として、この実施形態では、良好な封止が行われたときに検出された圧力特性を、標準圧力として（即ち比較するべき理想の圧力として）予め記憶部７２に記憶している。
【００２９】
その上で、実際の封止作業時に封入樹脂の実圧力が圧力センサ７０によりリアルタイムで検出され、比較・判定部７８において該実圧力と予め記憶された前記標準圧力とが比較され、比較の結果、標準圧力と実圧力の乖離が大きかったときには「封止作業に何らかの異常が発生した」と判定する。
【００３０】
例えば、何らかの原因で樹脂漏れ（あるいは溢れ）が生じた場合には、樹脂の実圧力は正常時のときよりも低くなる傾向となる。又、バリかす等の異物が残存・混入している場合には、その分の容積が樹脂の拡散空間として機能しなくなるため、正常時の標準圧力よりも早めに高く立ち上がる傾向となる。そこで、（正常時の）標準圧力と（実際の封止時の）実圧力との乖離の程度が、所定の許容範囲を超えた場合に封止異常と判定するようにすれば、所定の処理あるいはメンテナンスを確実に且つ早期に行うことができるようになる。
【００３１】
なお、標準圧力と実圧力との乖離の程度の確認に当たっては、何らかの共通のポイントを基準にして標準圧力と実圧力の特性同士を「重ね合わせる」作業が必要となるが、この手法としては、例えば前述の特許文献１の例のように時間軸上の特定の時点を基準にする場合と、可動部材の位置（例えばプランジャや可動金型の初期位置）を基準にする場合とが考えられる。時間軸上の特定の時点を基準にする場合は、トランスファ方式なら例えば充填の開始時点、圧縮方式なら例えば型締め開始時点等の起動トリガが発生した時点を基準として両特性を重ね合わせ、そこからの経過時間に対応させてそれぞれの実圧力の変化を比較することになる。一方、可動部材の位置を基準とする場合には、トランスファ方式なら例えば充填開始時のプランジャの位置、圧縮方式なら例えば型締めの開始時の可動金型の初期位置等を基準として両特性を重ね合わせ、そこからのプランジャや金型の移動距離に対応させてそれぞれの実圧力の変化を比較することになる。いずれの手法を用いた場合でも、本実施形態に拠れば的確な異常判定ができる。
【００３２】
本実施形態の具体的な作用の説明に戻る。
【００３３】
図２は、上記樹脂封止装置２２において多く見られる圧力特性（時間軸に沿った圧力値特性）を若干模式化して示している。図２においてラインＰｔは標準圧力、Ｐｒは実圧力、Ｐｔ１は標準圧力の時間変化率、Ｐｒ１は実圧力Ｐｒ１の時間変化率、Ｐｒ２は実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の時間変化率をそれぞれ示している。実は、この実圧力Ｐｒは、合格品の特性である。即ち、この図２の例は、封止自体は特に問題なく実行されているが、標準圧力Ｐｔと実圧力Ｐｒの起動トリガの重ね合わせのタイミングが何らかの理由でΔｔだけずれてしまった（両特性を旨く重ね合わせることができなかった）例に相当している。
【００３４】
このようなときに、単純に標準圧力Ｐｔと実圧力Ｐｒとの乖離の程度を封止作業工程の全域に亘って同様な比較手法で比較した場合には、実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１が比較的小さい図のＸ１の領域においては標準圧力Ｐｔと実圧力Ｐｒの乖離はδ１程度でしかないため、「正常」の判定がなされ得るが、圧力の時間変化率が大きい図のＸ２の領域に至ると標準圧力Ｐｔと実圧力Ｐｒの乖離はδ２程度にまで拡大してしまい、（許容範囲をかなり大きく設定しない限り）「異常」の判定がなされてしまう恐れがある。
【００３５】
そこで、このような誤判定が行われないように、本実施形態では、実圧力Ｐｒの時間的変化状態を検出し、該時間的変化状態に応じて樹脂封止の異常判定の仕方を変えるようにしたのが大きな特徴である。より具体的には、実圧力Ｐｒの時間的変化状態として該実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１を検出し、この時間変化率Ｐｒ１が閾値α１より小さい領域Ｘ１と大きい領域Ｘ２とで、樹脂封止の異常判定の仕方を変えている。
【００３６】
異常判定の仕方の具体的な変更態様については、種々のバリーションが考えられるが、大きく分けると２つのアプローチに分けることができる。
【００３７】
一つ目のアプローチは、実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１に応じて、異常判定のための閾値δｔｈの設定の仕方を切り換えるというものである。「実圧力Ｐｒ」に応じて単純に異常と判定する際の閾値δｔｈを変更するのではなく、「実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１」に応じて閾値δｔｈを変更するというのが重要である。これにより、実圧力Ｐｒの変化が小さい領域での閾値δｔｈを小さく抑えながら、実圧力Ｐｒが大きく変化している領域Ｘ２においては、その閾値δｔｈがδ２よりも大きくなるような設定をすることができるようになり、判定精度の低下を回避しながら誤判定の発生を効果的に防止できる。この設定は、例えば実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１が閾値α１より小さいときはδｔｈ＝ｋ１＊Ｐｒ、閾値α１より大きいときはδｔｈ＝ｋ２＊Ｐｒとし、係数ｋ１に対して係数ｋ２より小さな値を当てるようにすれば実現できる。
【００３８】
２つ目のアプローチは、実圧力Ｐｒの時間的変化状態に応じて、異常判定の比較の対象自体を切り換えるというものである。例としては、例えば以下のようなものがある。
ａ）標準圧力Ｐｔと実圧力Ｐｒの乖離の程度（のみ）によって樹脂封止の異常を判定する。
ｂ）標準圧力Ｐｔの時間変化率Ｐｔ１と実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の乖離の程度（のみ）によって樹脂封止の異常を判定する。
ｃ）標準圧力Ｐｔと実圧力Ｐｒの乖離、及び、標準圧力Ｐｔの時間変化率Ｐｔ１と実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の乖離のうちのいずれか一方でも所定以上の乖離があるか否かによって樹脂封止の異常を判定する。
ｄ）標準圧力Ｐｔと実圧力Ｐｒの乖離、及び、標準圧力Ｐｔの時間変化率Ｐｔ１と実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の乖離の双方において所定以上の乖離があるか否かによって樹脂封止の異常を判定する。
ｅ）乖離の程度に依らず、その時点の樹脂封止は正常と判定する。
【００３９】
代表的な切り換え手法としては、例えば、実圧力Ｐｒの時間的変化状態に応じて、上記ａ）の判定態様と、上記ｂ）の判定態様を切り換える手法が挙げられる。
【００４０】
図２を用いてより具体的に説明するならば、実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１が閾値α１未満の領域Ｘ１では、標準圧力Ｐｔと実圧力Ｐｒがどの程度乖離しているかにより異常を判定する（上記ａ）の判定に相当）。圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１が小さい場合、前述したように標準圧力Ｐｔと実圧力Ｐｒの重ね合わせに多少の時間的ずれ（或いは位置的ずれ）があったとしても、その影響は小さく、したがって標準圧力Ｐｔと実圧力Ｐｒ自体を直接乖離の程度の指標とすることができ、正確な異常判定ができる。
【００４１】
また、実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１が閾値α１以上の領域Ｘ２では、標準圧力Ｐｔの時間変化率Ｐｔ１と実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１がどの程度乖離しているかにより異常を判定する（上記ｂ）の判定に相当）。圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１が大きい場合、その時点、その時点での実圧力Ｐｒの値自体よりも、むしろ、どの程度の勾配で実圧力が上昇しているかの方が重要である。また、実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１は、変わり始めを除けば、短時間でそう大きく変化するものではなく、よって重ね合わせのずれの影響も受けにくい。更に、時間変化率Ｐｒ１自体は大きいのであるから標準圧力Ｐｔの時間変化率Ｐｔ１と実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の乖離データの信頼性も高く、該乖離の程度を適正に判定することができる。これにより、圧力の変化が小さい領域は勿論、大きい領域でも判定精度を殆ど低下させることなく誤判定の発生を効果的に防止できるようになる。
【００４２】
ところで、判定の仕方を変更する場合には、当該封止品に要求される品質やラインが止まったときの影響度等を考慮して判定の仕方を決定するようにしても良い。
【００４３】
例えば、もし、異常が放置されることによって要求品質に合致しない封止品を作り続けることの損失が大きい場合には、上記ｃ）のように、標準圧力Ｐｔに対する実圧力Ｐｒの乖離、及び、標準圧力Ｐｔの時間変化率Ｐｔ１に対する実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の乖離の双方のうち一方でも所定以上の乖離があると判断されれば樹脂封止の異常が発生したと判定するように構成すると良い。
【００４４】
また、もし、封止品に要求される品質がそれほど高くなく、むしろ止めなくてもいいレベルでラインが止まることの損失の方が大きいと考えられるときは、上記ｄ）のように、標準圧力Ｐｔに対する実圧力Ｐｒの乖離、及び、標準圧力Ｐｔの時間変化率Ｐｔ１に対する実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の乖離の双方において所定以上の乖離が検出されるか否かによって樹脂封止の異常を判定するように構成すると良い。
【００４５】
場合によっては、圧力の変化が激しい領域では、上記ｅ）のように、標準圧力と実圧力の乖離の程度に依らず、その時点の樹脂封止は正常と判定するようにしてもよい。
【００４６】
なお、実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１に応じて区分けする区分は、２つに限定されるものではなく、該時間変化率Ｐｒ１に応じて、例えば閾値α１、α２により「３つの区分Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３」に区分けし、各区分Ｙ１、Ｙ２、Ｙ３に対して、前記ａ）、ｂ）、…  ｅ）の中からいずれかの判定の仕方を当てるようにしても良い。勿論４つ以上の区分に区分けしても良い。
【００４７】
ところで、前述したように、実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１は、実圧力Ｐｒの変わり始めにおいては不安定になり易い。実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１が不安定か否かは、実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の時間変化率Ｐｒ２を見ることによって推察できる。したがって、実圧力Ｐｒの時間的変化状態を「実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の時間変化率Ｐｒ２」を観察することによって推測し、これによって先の例と類似する異常判定の仕方の変更を行っても良い。この場合、この圧力の時間変化率の時間変化率に応じて異常判定の仕方を切り換える手法は、これを単独で採用しても良く、上記圧力の時間変化率に応じた切り換えと組み合わせて採用しても良い。
【００４８】
圧力の時間変化率の時間変化率に応じて異常判定の仕方を切り換える手法を単独で採用する場合は、例えば、実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の時間変化率Ｐｒ２が所定の閾値β１未満の領域Ｚ１では上記ａ）の判定態様で異常判定を行い、閾値β１以上となっている領域Ｚ２では上記ａ）以外の判定態様で異常判定を行うことが考えられる。
【００４９】
一方、実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の時間変化率Ｐｒ２に応じて異常判定の仕方を切り換える手法を、圧力の時間変化率に応じて異常判定の仕方を切り換える手法と組み合わせる場合は、例えば、実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１が閾値α１未満のときは、標準圧力Ｐｔに対する実圧力Ｐｒの乖離を指標として異常を判断する（上記ａ）相当）；実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１が閾値α１以上のときは、標準圧力Ｐｔの時間変化率Ｐｔ１に対する実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の乖離を指標として異常を判断する（上記ｂ）相当）；但し、この場合において、実圧力Ｐｒの時間変化率Ｐｒ１の時間変化率Ｐｒ２が所定値β１よりも大きい領域Ｚ２に関しては、異常判断自体を中止する（上記ｅ）相当）；等の制御を行うことが考えられる。勿論、これは一例であり、組み合わせの態様はこれに限定されない。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明は、半導体チップを搭載した基板を圧縮成形により樹脂封止する樹脂封止装置の異常判定に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施形態が適用された樹脂封止装置の一例を示す概略構成平面図図
【図２】樹脂封止装置における圧力の特性、圧力の時間変化率の特性、圧力の時間変化率の時間変化率の特性を模式的に表したグラフ
【符号の説明】
【００５２】
２２…樹脂封止装置
Ｋ…基板（被成形品）
２４…金型
２６…上型
２８…下型
４２…キャビティ
５０…ランナ
５４…ポット
５６…プランジャ
７０…圧力センサ
７２…記憶部
７４、７６…演算部
７８…比較・判定部
【図１】
2009090594.tif 000003
【図２】
2009090594.tif 000004