(57)【要約】【課題】減圧室に空気振動が伝わることを抑制することにより、塗布故障の発生を防止できる塗布方法及び装置を提供する。【解決手段】塗布装置１０は、塗布液を吐出することにより、連続走行中のウエブ１２との間に塗布液を架橋させてビードを形成する塗布ヘッド１４と、ウエブ１２の走行方向に対してビードの上流側に設けられた減圧室２４と、減圧室２４に接続されて減圧室２４を負圧に制御するブロア３４とを備え、減圧室２４の内部には振動減衰部材３６が設けられる。【選択図】  図１
2009241013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布ヘッドから塗布液を吐出し、該塗布液を連続走行中の長尺状支持体と前記塗布ヘッドとの間に架橋させてビードを形成するとともに、前記支持体の走行方向に対して前記ビードの上流側に減圧室を設けて減圧しながら塗布を行う塗布方法において、
前記減圧室内の減圧度の５０〜５００Ｈｚの振動を２０ｄｂ以内に制御しながら前記塗布を行うことを特徴とする塗布方法。
【請求項２】
塗布液を吐出することにより、連続走行中の長尺状支持体との間に前記塗布液を架橋させてビードを形成する塗布ヘッドと、前記支持体の走行方向に対して前記ビードの上流側に設けられた減圧室と、前記減圧室に接続され、該減圧室を負圧に制御する減圧源と、を備えた塗布装置において、
前記減圧室の内部には、振動減衰部材が設けられることを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
前記振動減衰部材は、１０００Ｈｚ未満の空気振動に対して吸音率が１０％以上であることを特徴とする請求項２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記振動減衰部材は、前記減圧室を構成する内面の一部又は全部を覆うように設けられることを特徴とする請求項２または３に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記塗布ヘッドと前記支持体とのクリアランスをＤとし、前記支持体の上に形成された塗布膜の厚さをｔとした際に、ｔ／Ｄが０．３未満であることを特徴とする請求項２〜４のいずれか１に記載の塗布装置。
【請求項６】
塗布ヘッドから塗布液を吐出し、該塗布液を連続走行中の長尺状支持体と前記塗布ヘッドとの間に架橋させてビードを形成するとともに、前記支持体の走行方向に対して前記ビードの上流側に減圧室を設けて減圧しながら塗布を行う塗布方法において、
前記減圧室の内部の空気振動を、該減圧室内に設けた振動減衰部材で抑制しながら前記塗布を行うことを特徴とする塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は塗布方法及び装置に係り、特に光学フイルムの製造過程における塗布方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
連続走行する長尺状支持体（以下、ウエブと称する）に塗布液を塗布する方法として、スライド塗布やスロット塗布（エクストルージョン塗布）などのビード塗布が知られている。ビード塗布は、塗布ヘッドと支持体との間に塗布液を架橋させてビードを形成し、塗布液を塗布する方法であり、塗布液の押出速度とウエブの移動速度を調節することによって、塗布膜の厚みを正確に制御することができる。
【０００３】
このビード塗布では、ビードの上流側に減圧室（減圧チャンバ）を設けることが一般に行われている。減圧室は減圧源に接続され、この減圧源で減圧室内の空気を吸引することによって負圧に制御される。これにより、ウエブの表面に空気が同伴される同伴空気現象を抑制できるので、ビードを安定させることができ、塗布精度を向上させることができる。
【０００４】
ところで、減圧室を用いた場合には、減圧室内の圧力変動を抑制してビードを安定させることが重要となる。このため、特許文献１では、減圧室を多段とするとともに、減圧室間にラビリンスシールを設ける方法が記載されている。この方法によれば、各減圧室を独立して減圧することができるので、減圧度が高い場合にも減圧室の圧力変動を抑制でき、ビードを安定させることができ、塗布故障を抑制することができる。
【０００５】
また、特許文献２には、減圧室のサイドプレートの上部をバックロール又はウエブに接触させる方法が記載されている。この方法によれば、周囲の空気が減圧室に流入することを防止できるので、減圧室の圧力変動を防止でき、塗布故障を抑制することができる。
【０００６】
特許文献３は、カーテン塗布に関する発明であるが、同伴空気現象を防止する方法が記載されている。この特許文献３では、塗布液が自由落下して着地する着地部の上流側に同伴空気除去部材を設置し、この同伴空気除去部材をウエブに沿って曲げて配置している。これにより、ウエブに同伴する空気を効果的に除去することができ、塗布液膜を安定化させて塗布欠陥発生を防止できる。
【０００７】
上述した特許文献１〜３の技術をビード塗布に適用することによって、減圧室に流入する気流を抑制することができ、その結果として、筋故障（ウエブの走行方向に沿ってスジが塗布面に発生する故障）やアバラ故障（ウエブの走行方向に対して斜めのスジが塗布面に発生する故障）を防止することができる。しかし、特許文献１〜３は、減圧源側から伝わる空気振動を抑制することができず、その結果として、段状ムラ故障（ウエブの走行方向に対して直交方向の塗布ムラが塗布面に発生する故障）が発生するという問題がある。
【０００８】
そこで、特許文献４には、減圧室と減圧源との間に、流動抵抗（オリフィスや絞り弁等）とバッファタンクとを設ける方法が記載されている。この方法によれば、塗布開始時に支持体上に形成される塗布液の厚みムラやスジ故障の発生を抑制することができる。
【特許文献１】特開平５−４０６３
【特許文献２】特開平５−７８１９
【特許文献３】特開２０００−１６７４６５
【特許文献４】特開２００２−３６１１４６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献４の方法は、減圧源で発生した空気振動を流動抵抗やバッファタンクによって抑制できるものの、それより先で発生した空気振動は抑制できないという問題があった。このため、外乱によって空気振動が発生した場合に、減圧室内の圧力が変動してビードが不安定になり、塗布故障が発生するという問題があった。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みて成されたもので、減圧室に空気振動が伝わることを抑制することにより、塗布故障の発生を防止できる塗布方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の発明は前記目的を達成するために、塗布ヘッドから塗布液を吐出し、該塗布液を連続走行中の長尺状支持体と前記塗布ヘッドとの間に架橋させてビードを形成するとともに、前記支持体の走行方向に対して前記ビードの上流側に減圧室を設けて減圧しながら塗布を行う塗布方法において、前記減圧室内の減圧度の５０〜５００Ｈｚの振動を２０ｄｂ以内に制御しながら前記塗布を行うことを特徴とする。
【００１２】
本発明の発明者は、段状ムラ故障の発生原因が、減圧室内の空気振動にあるという知見を得た。さらに本発明の発明者は、減圧室内の減圧度の５０〜５００Ｈｚの振動を２０ｄｂ以内に制御しながら塗布を行えば、段状ムラ故障を防止できるという知見を得た。本発明はこのような知見に基づいて成されたものであり、減圧室内の減圧度の５０〜５００Ｈｚの振動を２０ｄｂ以内に制御しながら塗布を行うようにしたので、段状ムラ故障を防止することができる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は前記目的を達成するために、塗布液を吐出することにより、連続走行中の長尺状支持体との間に前記塗布液を架橋させてビードを形成する塗布ヘッドと、前記支持体の走行方向に対して前記ビードの上流側に設けられた減圧室と、前記減圧室に接続され、該減圧室を負圧に制御する減圧源と、を備えた塗布装置において、前記減圧室の内部には、振動減衰部材が設けられることを特徴とする。
【００１４】
本発明の発明者は、減圧室内に振動減衰部材を設ければ、段状ムラ故障を防止できるという知見を得た。本発明はこのような知見に基づいて成されたものであり、減圧室内に振動減衰部材を設けたので、段状ムラ等の塗布故障を防止することができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明は請求項２の発明において、前記振動減衰部材は、１０００Ｈｚ未満の空気振動に対して吸音率が１０％以上であることを特徴とする。たとえば、suisaku製のアルミラスクが好ましいが、アルミ以外でねずみ鋳鉄でも良く、吸音率が１０％以上確保できれば良い。このような物性の振動減衰部材を用いることによって、段状ムラ故障を効果的に防止することができる。
【００１６】
請求項４に記載の発明は請求項２又は３の発明において、前記振動減衰部材は、前記減圧室を構成する内面の一部又は全部を覆うように設けられることを特徴とする。本発明によれば、減圧室の内面を振動減衰部材で覆うようにしたので、減圧室内の空気振動を効果的に抑制することができる。なお、振動減衰部材は、支持体の幅方向に所定の間隔で立設された一対の内側面、または、支持体の走行方向に所定の間隔で立設された一対の内側面に設けることが好ましく、その両方に設けることがより好ましい。
【００１７】
請求項５に記載の発明は請求項２〜４のいずれか１の発明において、前記塗布ヘッドと前記支持体とのクリアランスをＤとし、前記支持体の上に形成された塗布膜の厚さをｔとした際に、ｔ／Ｄが０．３未満であることを特徴とする。
【００１８】
請求項６に記載の発明は前記目的を達成するために、塗布ヘッドから塗布液を吐出し、該塗布液を連続走行中の長尺状支持体と前記塗布ヘッドとの間に架橋させてビードを形成するとともに、前記支持体の走行方向に対して前記ビードの上流側に減圧室を設けて減圧しながら塗布を行う塗布方法において、前記減圧室の内部の空気振動を、該減圧室内に設けた振動減衰部材で抑制しながら前記塗布を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、減圧室内の空気振動を抑制しながら塗布を行うようにしたので、段状ムラ故障の発生を防止することができ、精度の良い塗膜を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面に従って本発明に係る塗布方法及び装置の好ましい実施の形態について説明する。
【００２１】
図１は本発明が適用された塗布装置の構成の一部を模式的に示している。同図に示す塗布装置１０は、連続走行するウエブ１２に塗布液を薄膜状に塗布するスロット型（エクストルージョン型ともいう）の塗布装置であり、ウエブ１２を支持するバックアップローラ１６と、ウエブ１２に塗布液を吐出する塗布ヘッド１４とを備える。
【００２２】
ウエブ１２は、帯状に形成されており、バックアップローラ１６に巻き掛けられた状態で矢印方向に走行するようになっている。ウエブ１２の走行速度は、ウエブ１２を送り出す送出装置（不図示）やウエブ１２を挟持搬送するフィードローラ（不図示）等を制御することによって調節される。ウエブ１２の材質は特に限定するものではないが、たとえばＰＥ（ポリエチレン）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＴＡＣ（セルローストリアセテート）等の樹脂フイルム、紙、金属箔等を使用することができる。また、ウエブ１２に塗布する塗布液としては、光学補償シートを製造する際に用いられるディスコティック液晶を含むものや、熱現像用感光材料に用いられるハロゲン化銀粒子を含むものなどが挙げられる。
【００２３】
塗布ヘッド１４は、バックアップローラ１６上のウエブ１２に向けて塗布液を薄膜状に吐出する部材であり、リップ先端１４Ａがバックアップローラ１６を向くように架台１８によって斜めに支持される。塗布ヘッド１４の内部には、スロット２２とマニホールド２０が形成されており、マニホールド２０は、ウエブ１２の幅方向に形成される。マニホールド２０には不図示の塗布液供給手段が接続されており、この塗布液供給手段によってマニホールド２０に塗布液が供給される。スロット２２は、マニホールド２０とリップ先端１４Ａとを繋ぐスリットであり、マニホールド２０に供給された塗布液はスロット２２を介してリップ先端１４Ａから吐出される。リップ先端１４Ａはバックアップローラ１６上のウエブ１２に近接して配置されており、リップ先端１４Ａから吐出された塗布液はリップ先端１４Ａとウエブ１２との間に架橋される。これにより、リップ先端１４Ａとウエブ１２との間に塗布液のビードが形成される。なお、リップ先端１４Ａとウエブ１２とのクリアランスＤμｍ（図８参照）は、塗膜のウエット膜厚をｔμｍとした際に、ｔ／Ｄが０．３未満であることが好ましく、０．０５以上０．２以下であることがより好ましい。ｔ／Ｄが大きくなると、塗布液のビードが空気振動の影響を受けやすくなり、段状ムラが発生しやすくなるためである。
【００２４】
ウエブ１２の走行方向に対してリップ先端１４Ａの上流側には、減圧室形成部材２６が設けられ、その内部に減圧室２４が形成されている。減圧室形成部材２６は、たとえば金属材料から成り、上面が開口された中空の箱型に形成され、架台１８に固定されている。
【００２５】
図２、図３に示すように、減圧室形成部材２６は、ウエブ１２の幅方向に所定の間隔で立設された側面２６Ａ、２６Ａと、ウエブ１２の走行方向に所定の間隔で立設された側面２６Ｂ、２６Ｂと、これらの下端を連結する底板（不図示）によって構成されている。減圧室形成部材２６の上部は、図１のバックアップローラ１６と同形状にカットされており、その上面は開口されている。これにより、バックアップローラ１６上のウエブ１２と減圧室形成部材２６との隙間を小さくすることができる。
【００２６】
減圧室形成部材２６にはチューブ２８が接続されており、このチューブ２８がバッファタンク３０に接続されている。さらにバッファタンク３０にはチューブ３２が接続され、このチューブ３２がブロア３４に接続されている。したがって、ブロア３４を駆動することによって、減圧室形成部材２６の内部、すなわち減圧室２４からエアを吸引することができ、減圧室２４の内部を負圧に制御することができる。これにより、ウエブ１２の表面に空気が同伴されてリップ先端１４Ａに進入することを防止することができ、リップ先端１４Ａでの塗布液のビードを安定させることができる。また、ブロア３４と減圧室２４との間にバッファタンク３０が設けられているので、ブロア３４による圧力変動がバッファタンク３０でカットされ、減圧室２４に伝わることを防止できる。なお、減圧室２４の減圧度は、ブロア３４の回転をインバータ制御したり、チューブ２８、３２にバルブ（不図示）を設けて流量制御したりすることによって調節することができる。
【００２７】
減圧室２４の内部には、振動減衰部材３６が設けられている。振動減衰部材３６は薄板状に形成され、図３に示すように、減圧室形成部材２６の各側面２６Ａ、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｂに貼り付けられている。振動減衰部材３６は、空気振動を減衰する部材であり、たとえば、残響室法で測定した残響室法吸音率が１０００Ｈｚ未満の空気振動に対して１０％以上のもの、好ましくは５０％以上１００％以下のものが用いられる。このような振動減衰部材３６の材質としては、ウレタンゴム、エチレン・プロピレンゴム、セラミックス、アルミニウム等を用いることができ、特にアルミニウムを用いることが好ましい。また、振動減衰部材３６は、減圧室２４内での減圧度変動を０．２ｋＰａ以上減圧させる大きさのものが好ましい。さらに振動減衰部材３６は、空気振動を吸収するのに適した形態を適宜採用することができ、たとえばハニカム構造や多孔質構造を採用してもよい。
【００２８】
なお、上記の説明では省略したが、ウエブ１２の走行方向に対して塗布ヘッド１４の下流側には乾燥装置（不図示）が設けられ、この乾燥装置によって塗布液の乾燥が行われる。
【００２９】
次に本実施の形態の塗布装置１０の作用について図４〜図６に基づいて説明する。図４は、本実施の形態での減圧室２４内の周波数分布を測定した結果を示している。また、図５は、比較例として、減圧室２４の内部から振動減衰部材３６を取り除いた状態で、減圧室２４内の周波数分布を測定した結果を示している。さらに図６は、比較例の装置で得られた塗膜の状態を示している。
【００３０】
図５に示すように、振動減衰部材３６のない比較例装置では、周波数分布に偏りがみられ、特定の周波数域で振動が大きくなっている。その結果、図６に示すように、得られた塗膜には、ウエブ１２の進行方向の直交方向に段状のムラ３８が発生している。この原因としては、図１のバッファタンク３０よりも減圧室２４側（すなわちチューブ２８や減圧室形成部材２６）において、外乱の影響で空気振動が発生し、ビードに伝達するためであると考えられる。
【００３１】
そこで、本実施の形態の塗布装置１０では、減圧室２４に振動減衰部材３６を設け、振動防止加工（防音加工）を施している。これにより、図４に示すように、減圧室２４の内部では全ての周波数域において振動が抑制され、空気振動がビードに影響することを防止できる。したがって、本実施の形態によれば、段状ムラ故障のない均一な塗布面を得ることができる。
【００３２】
このように本実施の形態の塗布装置１０によれば、減圧室２４内に振動減衰部材３６を設けたので、減圧室２４内の空気振動を抑制することができ、段状ムラ故障の発生を防止して、均一な塗布面を得ることができる。
【００３３】
また、本実施の形態によれば、減圧室２４内の空気振動を抑制できるので、ブロア３４の風量を増加させて減圧室２４内の減圧度を高めることが可能となる。すなわち、ブロア３４の風量を増加させた場合には、減圧室２４内に空気振動が伝わりやすくなり、段状ムラ故障が発生しやすいという問題があるが、本実施の形態ではこれを防止できるので、ブロア３４の風量を増加させて減圧室２４の減圧度を高めることができる。
【００３４】
同様に本実施の形態によれば、バッファタンク３０の容量を小さくしたり、バッファタンク３０をなくしたりすることが可能となる。すなわち、バッファタンク３０の容量を小さくしたり、無くしたりした場合には、減圧室２４内に空気振動が伝わりやすくなり、段状ムラ故障が発生しやすいという問題があるが、本実施の形態ではこれを防止できるので、バッファタンク３０の容量を小さくしたり、無くしたりすることができる。
【００３５】
なお、上述した実施形態は、減圧室形成部材２６の全ての側面２６Ａ、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｂに振動減衰部材３６を取り付けたが、これに限定するものではなく、たとえば図７（Ａ）に示すように側面２６Ａ、２６Ａのみに取り付けたり、図７（Ｂ）に示すように側面２６Ｂ、２６Ｂのみに取り付けたり、図７（Ｃ）に示すように一方の側面２６Ａと側面２６Ｂに取り付けたりしてもよい。
【００３６】
また、上述した実施形態は側面２６Ａ、２６Ｂの全面を振動減衰部材３６で覆うようにしたが、これに限定されるものではなく、側面２６Ａ、２６Ｂの一部のみを振動減衰部材３６で覆うようにしてもよい。ただし、側面２６Ａ、２６Ｂのうち、ウエブ１２に近い部分（すなわち、上部）を覆うようにすることが好ましい。
【００３７】
また、上述した実施形態は、側面２６Ａ、２６Ｂに振動減衰部材３６を取り付けたが、振動減衰部材３６の取付位置はこれに限定するものではなく、たとえば減圧室形成部材２６の底板の上面にも振動減衰部材３６を取り付けて、減圧室形成部材２６の内面全体を振動減衰部材３６で覆うようにしてもよい。
【００３８】
また、図８に示すように、減圧室２４が塗布ヘッド１４や架台１８を利用して形成される場合には、塗布ヘッド１４や架台１８のうち、減圧室２４を形成する部分に振動減衰部材３６を取り付けるとよい。
【００３９】
さらに本発明は、振動減衰部材３６を減圧室２４の内部に設ければ、上述した実施形態と同様の効果が得られる。たとえば図９（Ａ）に示すように、減圧室２４の内部に、複数の板状の振動減衰部材３６を所定の間隔で平行に立設してもよい。また、図９（Ｂ）に示すように、減圧室２４の内部に、多孔板から成る振動減衰部材３６をウエブ１２と略平行に配置したり、水平に配置したりしてもよい。これらの場合にも、振動減衰部材３６によって減圧室２４内の空気振動を抑制することができる。
【００４０】
なお、上述した実施形態はスロット塗布装置１０の例で説明したが、図１０に示すようなスライド塗布装置４０にも本発明を適用することができる。図１０に示すスライド塗布装置４０は、塗布ヘッド４２の上面が斜面になっており、この斜面上を塗布液がスライドして塗布が行われる。具体的に説明すると、図１０に示す塗布ヘッド４２は、複数のダイブロック４４を合わせ、その側面に一対の側板（不図示）を当てることによって構成される。塗布ヘッド４２の内部には、マニホールド４６が幅方向に形成されており、このマニホールド４６に不図示の塗布液供給手段から塗布液が供給される。各マニホールド４６は、幅方向に形成されたスリット４８を介してダイブロック４４の上面に連通されており、マニホールド４６に供給された塗布液は、ダイブロック４４の上面に吐出される。ダイブロック４４の上面は、バックアップローラ１６側が下方に傾斜したスライド面になっており、スライド面に吐出された塗布液はスライド面をリップ先端４２Ａまで流下する。そして、塗布液は、リップ先端４２Ａとバックアップローラ１６上のウエブ１２との間に架橋され、ビードが形成される。リップ先端４２Ａの上流側には、減圧室２４が形成される。減圧室２４は、塗布ヘッド４２（ダイブロック４４）の一面と、減圧室形成部材２６とによって形成される。減圧室２４は、チューブ２８、バッファタンク３０、チューブ３２を介してブロア３４に連通され、ブロア３４を駆動することによって負圧に制御される。減圧室２４の内部には、振動減衰部材３６が設けられる。すなわち、減圧室形成部材２６の内面と、塗布ヘッド４２の一面とに振動減衰部材３６が取り付けられる。このように構成されたスライド塗布装置４０の場合にも、減圧室２４の内部の振動を振動減衰部材３６によって減少させることができ、段状ムラ故障の発生を防止することができる。
【００４１】
また、本発明は、図１１に示すようなカーテン塗布装置５０にも適用することができる。図１１に示すカーテン塗布装置５０は、塗布ヘッド５２から塗布液がカーテン状に落下し、ウエブ１２上に着地することによって塗布が行われる。具体的に説明すると、図１１に示す塗布ヘッド５２は、複数のダイブロック５４を合わせ、その側面に一対の側板（不図示）を当てることによって構成される。塗布ヘッド５２の内部には、マニホールド５６が幅方向に形成されており、このマニホールド５６に不図示の塗布液供給手段から塗布液が供給される。各マニホールド５６は、幅方向に形成されたスリット５８を介してダイブロック５４の上面に連通されており、塗布液はダイブロック５４の上面に吐出される。ダイブロック５４の上面は、バックアップローラ１６側が下方に傾斜したスライド面になっており、スライド面に吐出された塗布液はスライド面を流下し、先端から落下する。そして、塗布液は、カーテンを形成した後、ウエブ１２上に着地する。この着地点の上流側には、減圧室２４が形成される。減圧室２４は、塗布ヘッド５２（ダイブロック５４）の一面と、減圧室形成部材２６とによって形成される。減圧室２４は、チューブ２８、バッファタンク３０、チューブ３２を介してブロア３４に連通され、ブロア３４を駆動することによって負圧に制御される。減圧室２４の内部には、振動減衰部材３６が設けられる。すなわち、減圧室形成部材２６の内面と、塗布ヘッド５２の一面とに振動減衰部材３６が取り付けられる。このように構成されたスライド塗布装置４０の場合にも、減圧室２４の内部の振動を振動減衰部材３６によって減少させることができ、段状ムラ故障の発生を防止することができる。
【００４２】
上記のカーテン塗布装置５０の場合には、減圧室２４を減圧せずに同伴空気防止室としてもよい。この場合にも同伴空気防止室の内部に振動減衰部材３６を設けることによって、塗布精度を向上させることができる。
【００４３】
なお、本発明は、光学補償シート等の光学的機能性フイルムシート、感光材料用のフイルムの溶剤下塗り、熱現像感光材料、ナノ粒子等の微細構造粒子を含む機能性フイルム、写真用フイルム、写真用印画紙、磁気記録テープ、接着テープ、感圧記録紙、オフセット版材、電池等の製造に好ましく使用することができる。
【実施例】
【００４４】
(試験Ａ)
試験Ａでは、スロット型塗布装置を用い、塗布試験を行った。試験条件としては、ライン速度（ウエブの走行速度）３０ｍ／分、塗布ヘッドの形状（スリットクリアランス２００μｍ、下流側リップ長２００μｍ、上流側リップ長２０００μｍ）、減圧室の減圧度０．７ｋＰａとした。また、ウエット膜厚ｔを５μｍ、リップ先端とウエブとのクリアランスＤを５０μｍ（すなわちｔ／Ｄ＝０．１）として試験を行った。試験では、減圧室の内部に各種の振動減衰部材を設置するとともに、減圧室の内部で１００Ｈｚの空気振動を発生させながら、塗布ムラの発生を調べた。その結果を表１に示す。なお、表１において振動減衰部材の位置は「Ａ：幅方向の両側の側面（図３の側面２６Ａ参照）に取り付けた」、「Ｂ：ウエブ走行方向の両面（図３の側面２６Ｂ参照）に取り付けた」とした。また、塗布ムラの評価は、「◎：段状ムラ故障が全く発生しない」「○：段状ムラ故障が殆ど発生せず、塗布ムラのレベルも低い」「△：段状ムラ故障が若干みられるが光学フィルム製品としては問題がないレベル」「×：段状ムラが発生」とした。また、吸音率はカタログデータを参照した。
【００４５】
【表１】
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【００４６】
表１から分かるように、振動減衰部材のない比較例１と、振動減衰部材でないものを用いた比較例２〜４では、塗布ムラが発生した。これに対して、振動減衰部材を設けた実施例１〜１３では、塗布ムラの発生を抑制する効果が得られた。また、アルミラスクの振動減衰部材を全側面に設けた実施例３では、同じ振動減衰部材を一部の側面のみに設けた実施例１、２よりも効果が増した。
【００４７】
(試験Ｂ)
試験Ｂでは、減圧室内の減圧度５０〜５００Ｈｚの振動を２０ｄｂ以内にした場合の塗布効果を調べた。その結果を図１２の表図、及び図１３のグラフに示す。なお、図１２及び図１３の実施例１〜４と比較例１〜３は、試験Ｂでのものであり、試験Ａとは相違する。
【００４８】
試験は、騒音計により減圧室内の音圧を測定し、周波数分析して２０、５０、１００、２００、５００、１０００Ｈｚごとの音圧を図１２及び図１３に示した。
【００４９】
その結果、減圧室内の減圧度５０〜５００Ｈｚの振動を２０ｄｂ以内である実施例１〜４は、段ムラのない◎〜○の良好な塗布であった。この場合、５００Ｈｚを超える高周波の振動はエネルギーが小さいので、段ムラになりにくく、レベリングもし易い。一方、５０Ｈｚ未満の低周波の振動による段ムラは厚みの変動が緩やかになることから段ムラが目立たないと共に、薄層塗布の小さなメニスカスの固有振動数から離れているために影響しにくいと考察される。
【００５０】
これに対して、減圧室内の減圧度５０〜５００Ｈｚの振動を２０ｄｂを超える比較例１〜３は、全て×の評価であり段ムラが明らかに発現した。
【００５１】
この試験Ｂの結果から、減圧室内の減圧度５０〜５００Ｈｚの振動を２０ｄｂ以内に制御しながら塗布を行うことが重要であることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明が適用されたスロット塗布装置の構成の一部を模式的に示す図
【図２】図１の減圧室形成部材を示す斜視図
【図３】図２の減圧室形成部材を示す平面図
【図４】本実施形態の減圧室における周波数作用を示す図
【図５】比較例の塗布装置の減圧室における周波数分布を示す図
【図６】比較例の塗布装置で得られた塗膜を示す図
【図７】図３と異なる構成の減圧室形成部材を説明する図
【図８】図２と異なる構成の減圧室を示す図
【図９】図１と異なる構成の振動減衰部材を示す図
【図１０】本発明が適用されたスライド塗布装置の構成を示す図
【図１１】本発明が適用されたカーテン塗布装置の構成を示す図
【図１２】本発明の試験Ｂを説明する表図
【図１３】本発明の試験Ｂを説明するグラフ
【符号の説明】
【００５３】
１０…（スロット）塗布装置、１２…ウエブ、１４…塗布ヘッド、１６…バックアップローラ、１８…架台、２０…マニホールド、２２…スロット、２４…減圧室、２６…減圧室形成部材、２８…チューブ、３０…バッファタンク、３２…チューブ、３４…ブロア、３６…振動減衰部材、３８…段状ムラ、４０…スライド塗布装置、４２…塗布ヘッド、４４…ダイブロック、４６…マニホールド、４８…スリット、５０…カーテン塗布装置、５２…塗布ヘッド、５４…ダイブロック、５６…マニホールド、５８…スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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