(57)【要約】【課題】固化した溶剤が流入口からヘッド内に流入し、さらにキャップから吸引ポンプに到達したとき、この固化した溶剤が吸引ポンプ内部に残留してしまう場合がある。すると吸引ポンプの吸引性能が落ち、所望する負圧を発生させることが困難になり、洗浄能力が低下してしまう。【解決手段】バルブＶ４から導入された大気は、配管７７ａ、配管７７を流れ、ヘッドの流入口２５に流入し、ヘッド２０内の液状体流路に侵入する。そして、液状体流路中に存在する異物（固化した油性成分）を追い出し、ノズルから吸い出される。吸い出された大気は、次に吸引ポンプＫＰに侵入する。そして、同じく吸引ポンプＫＰの流路内に存在する異物（固化した油性成分）を追い出し、配管８７、配管８８を通って負圧タンク９９に流入する。こうして、負圧タンク９９の負圧力によって、ヘッド２０と同時に吸引ポンプＫＰを大気を用いて洗浄することができる。【選択図】図６
2009208031.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルが形成されたヘッドのノズル面をキャップで覆うことで形成される内部空間を負圧にすることによって、前記ヘッドに形成された流入口から前記ノズルまでの液状体流路を洗浄するヘッド洗浄装置であって、
前記内部空間を負圧にする減圧手段が介設され、当該減圧手段の上流側が第１のバルブを介して前記キャップと接続する第１の流路と、
前記内部空間を負圧にする負圧タンクと前記キャップとを、第２のバルブを介して接続する第２の流路と、
前記第１の流路における前記減圧手段の下流側と前記負圧タンクとを第３のバルブを介して接続する第３の流路と、
前記第１の流路について前記第１のバルブを制御して前記減圧手段と前記キャップとを連通する一方、前記第２の流路について前記第２のバルブを制御して前記キャップと前記負圧タンクとの連通を遮断するとともに、前記第３の流路について前記第３のバルブを制御して前記減圧手段の下流側と前記負圧タンクとを連通する制御手段と、
を備えたことを特徴とするヘッド洗浄装置。
【請求項２】
請求項１に記載のヘッド洗浄装置であって、
前記第１のバルブは、前記減圧手段の上流側において、前記第１の流路と前記キャップとの連通を遮断するとともに、前記減圧手段の上流側を大気と連通させる機能を有し、
前記制御手段は、前記第１のバルブを制御して前記減圧手段と前記キャップとの連通を遮断し、前記減圧手段の上流側に前記大気を流入させることを特徴とするヘッド洗浄装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のヘッド洗浄装置であって、
前記減圧手段は、ダイヤフラムポンプであることを特徴とするヘッド洗浄装置。
【請求項４】
ノズルが形成されたヘッドのノズル面をキャップで覆うことで形成される内部空間を負圧にすることによって、前記ヘッドに形成された流入口から前記ノズルまでの液状体流路を洗浄するヘッド洗浄方法であって、
前記内部空間を負圧にする減圧手段が介設され、当該減圧手段の上流側が第１のバルブを介して前記キャップと接続する第１の流路と、
前記内部空間を負圧にする負圧タンクと前記キャップとを、第２のバルブを介して接続する第２の流路と、
前記第１の流路における前記減圧手段の下流側と前記負圧タンクとを第３のバルブを介して接続する第３の流路と、が形成されているとき、
前記第１の流路について前記第１のバルブを制御して前記減圧手段と前記キャップとを連通する一方、前記第２の流路について前記第２のバルブを制御して前記キャップと前記負圧タンクとの連通を遮断するとともに、前記第３の流路について前記第３のバルブを制御して前記減圧手段の下流側と前記負圧タンクとを連通する制御工程を備えたことを特徴とするヘッド洗浄方法。
【請求項５】
請求項４に記載のヘッド洗浄方法であって、
前記第１のバルブは、前記減圧手段の上流側において、前記キャップとの連通を遮断するとともに、前記減圧手段の上流側に大気を流入させる機能を有するとき、
前記第１のバルブを制御して前記減圧手段と前記キャップとの連通を遮断し、前記減圧手段の上流側に前記大気を流入させる制御工程を備えたことを特徴とするヘッド洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッド洗浄装置およびヘッド洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、機能性材料を含む液状体を、その流入口とノズルとを有したヘッドを備えた液状体吐出装置を用いて吐出対象物となる基板などに吐出し、吐出された液状体を固化して薄膜を形成する方法が提案されている。形成する薄膜の代表的な例としては、例えば、カラーフィルタや有機ＥＬパネルの発光層、金属配線などが挙げられる。
【０００３】
用いられる液状体吐出装置では、形成される薄膜の品質を保つために、予め定められた量の液状体が、ノズルから確実に吐出対象物に吐出されることが要求される。そうでないと、例えば吐出された液状体によって形成される薄膜の厚さにバラツキが生じ、その結果特性バラツキが生じて均質な薄膜形成が阻害されてしまうことになるからである。
【０００４】
ところで、ノズルは通常微小径であるため、流入口より流入した液状体は、時間の経過に伴いノズルに目詰まりが生ずる虞がある。また、ヘッド内部に形成された流入口からノズルまでの液状体流路に保存液を充填してヘッドを保存する場合、保存液中の不純物が析出して目詰まりの原因となることがある。このため、ノズルから液状体が吐出対象物に確実に吐出されない場合が発生する。
【０００５】
そこで、ヘッドの目詰まりを防止するために、例えば特許文献１には、ヘッド（吐出ヘッド）の洗浄装置が提案されている。この洗浄装置は、キャップがヘッドを覆うことによって形成される内部空間を負圧にしてノズルから洗浄液を吸い出すための減圧手段となる吸引ポンプを備えた装置である。そして、複数種類の洗浄液を、供給パイプを介して１種類ずつ順次ヘッド内の液状体流路に通液することによって、ヘッドの洗浄を行うものである。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１８２０９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示された洗浄装置の技術を用いてヘッドを洗浄する場合、複数種類の洗浄液が用いられることから、洗浄液が通液する洗浄装置の流路においては、異なる種類の洗浄液が混在することが起こり得る。このとき、例えば、特許文献１に開示されているように、最後に通液する洗浄液が油性溶剤であって最初に通液する洗浄液が純水である場合、洗浄液が通液する流路内において残留していた油性溶剤と純水とが混じると、油性溶剤は純水によってゲル状に固化する現象が生ずる。その後、固化した溶剤が流入口からヘッド内に流入し、さらにキャップから吸引ポンプに到達したとき、この固化した溶剤が吸引ポンプ内部に残留してしまう場合がある。すると吸引ポンプの吸引性能が落ちて所望する負圧を発生させることが困難になり、ノズルから洗浄液を吸い出す吸引力が落ちて洗浄能力が低下してしまうという課題が生ずる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するために行われたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］ノズルが形成されたヘッドのノズル面をキャップで覆うことで形成される内部空間を負圧にすることによって、前記ヘッドに形成された流入口から前記ノズルまでの液状体流路を洗浄するヘッド洗浄装置であって、前記内部空間を負圧にする減圧手段が介設され、当該減圧手段の上流側が第１のバルブを介して前記キャップと接続する第１の流路と、前記内部空間を負圧にする負圧タンクと前記キャップとを、第２のバルブを介して接続する第２の流路と、前記第１の流路における前記減圧手段の下流側と前記負圧タンクとを第３のバルブを介して接続する第３の流路と、前記第１の流路について前記第１のバルブを制御して前記減圧手段と前記キャップとを連通する一方、前記第２の流路について前記第２のバルブを制御して前記キャップと前記負圧タンクとの連通を遮断するとともに、前記第３の流路について前記第３のバルブを制御して前記減圧手段の下流側と前記負圧タンクとを連通する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、負圧タンクの負圧力によって減圧手段内を吸引することになるので、減圧手段を洗浄することができる。従って、減圧手段内に洗浄液が残留する確率が低くなるので、例えば残留した性質の異なる洗浄液の混合によって、洗浄液の凝集や固化が減圧手段内で生じない。この結果、減圧手段による負圧によってノズルから洗浄液を安定して吸引することができるので、洗浄性能の低下を抑制することが可能となる。
【００１１】
［適用例２］上記ヘッド洗浄装置であって、前記第１のバルブは、前記減圧手段の上流側において、前記第１の流路と前記キャップとの連通を遮断するとともに、前記減圧手段の上流側を大気と連通させる機能を有し、前記制御手段は、前記第１のバルブを制御して前記減圧手段と前記キャップとの連通を遮断し、前記減圧手段の上流側に前記大気を流入させることを特徴とする。
【００１２】
この構成によれば、負圧タンクを用いて減圧手段内を洗浄するとき、ヘッドを介することなく減圧手段に直接導入する大気を用いて洗浄することができる。従って、大気の流動抵抗が小さくなることから減圧手段内の異物を効果的に除去することができる。この結果、減圧手段内において性質の異なる洗浄液の混合によって凝集や固化した洗浄液が取り除かれるので、減圧手段の負圧発生能力の低下が抑制され、洗浄液を安定して吸引することが可能となる。
【００１３】
［適用例３］上記ヘッド洗浄装置であって、前記減圧手段は、ダイヤフラムポンプであることを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、ダイヤフラムの挙動によって発生する脈動を用いて洗浄液を吸引することができるので、洗浄液を用いて効果的に液状体流路を洗浄することができる。
【００１５】
［適用例４］ノズルが形成されたヘッドのノズル面をキャップで覆うことで形成される内部空間を負圧にすることによって、前記ヘッドに形成された流入口から前記ノズルまでの液状体流路を洗浄するヘッド洗浄方法であって、前記内部空間を負圧にする減圧手段が介設され、当該減圧手段の上流側が第１のバルブを介して前記キャップと接続する第１の流路と、前記内部空間を負圧にする負圧タンクと前記キャップとを、第２のバルブを介して接続する第２の流路と、前記第１の流路における前記減圧手段の下流側と前記負圧タンクとを第３のバルブを介して接続する第３の流路と、が形成されているとき、前記第１の流路について前記第１のバルブを制御して前記減圧手段と前記キャップとを連通する一方、前記第２の流路について前記第２のバルブを制御して前記キャップと前記負圧タンクとの連通を遮断するとともに、前記第３の流路について前記第３のバルブを制御して前記減圧手段の下流側と前記負圧タンクとを連通する制御工程を備えたことを特徴とする。
【００１６】
この方法によれば、負圧タンクの負圧力によって減圧手段内を吸引することになるので、減圧手段を洗浄することができる。従って、減圧手段内に洗浄液が残留する確率が低くなるので、例えば残留した性質の異なる洗浄液の混合によって、洗浄液の凝集や固化が減圧手段内で生じない。この結果、減圧手段による負圧によってノズルから洗浄液を安定して吸引することができる。
【００１７】
［適用例５］上記ヘッド洗浄方法であって、前記第１のバルブは、前記減圧手段の上流側において、前記キャップとの連通を遮断するとともに、前記減圧手段の上流側に大気を流入させる機能を有するとき、前記第１のバルブを制御して前記減圧手段と前記キャップとの連通を遮断し、前記減圧手段の上流側に前記大気を流入させる制御工程を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この方法によれば、負圧タンクを用いて減圧手段内を洗浄するとき、ヘッドを介することなく減圧手段に直接導入する大気を用いて洗浄することができる。従って、大気の流動抵抗が小さくなることから減圧手段内の異物を効果的に除去することができる。この結果、減圧手段内において性質の異なる洗浄液の混合によって凝集や固化した洗浄液が取り除かれるので、減圧手段の負圧発生能力の低下が抑制され、洗浄液を安定して吸引することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、本発明を具体化したヘッド洗浄装置について、一実施形態を挙げて説明するが、その前に、本実施形態のヘッド洗浄装置の洗浄対象となるヘッドについて、図１を用いて簡単に説明する。図１は、洗浄対象となるヘッド２０を模式的に示した斜視図である。
【００２０】
図示するように、ヘッド２０には、ノズルがほぼ直線状に複数個並んだノズル列が２列設けられている。設けられた各ノズル列において、ノズル毎に吐出機構がヘッド２０内にそれぞれ形成され、この吐出機構が液状体に圧力を発生させて所定量の液状体をノズルから吐出するように構成されている。もとより、吐出機構は、総てのノズルについて同様な構造を有している。なお、ノズル列は２列に限らず１列や３列以上設けられている場合もある。
【００２１】
吐出機構は、図１の吹出し部に示した構造を有し、圧電素子２を駆動体（アクチュエータ）とするものである。すなわち、圧電素子２は、その両端の電極ＣＯＭとＧＮＤとの間に所定の電圧波形が印加されると、電歪性によって収縮あるいは伸長変形し、振動板３を矢印方向に撓ませて流路途中に形成された加圧室４に存在する液状体を加圧する。この結果、加圧された液状体は、ヘッド２０の底面部材８の外表面（これをノズル面と称す）に微小な開口５を有するように設けられたノズルから、液滴９として吐出されるのである。なお、吐出機構は、例えば、駆動体として加熱素子を用いた所謂サーマル方式などを採用することもできる。
【００２２】
吐出される液状体は、これを収容した容器７０から、流入口２５と着脱可能なコネクタ（例えば、カプラ（登録商標））７５によって接続された供給パイプ７１を通して、流入口２５からヘッド２０内に導入される。そしてヘッド２０内に形成された流入口２５からノズルまでの図示しない液状体の流路において、その途中に設けられた加圧室４において圧電素子２によって加圧されてノズルから吐出する。
【００２３】
ところで、ノズルは、その開口５の面積が小さいため、液状体に含まれる溶媒成分の蒸発に起因する液状体粘度の上昇や、液状体の固化、塵埃の付着などによりノズル開口に目詰まりを発生し、吐出不良を起こすという問題を抱えている。また、未使用のヘッド２０や交換用のヘッド２０を保存する場合は、ヘッド２０内に形成された流入口２５からノズルに至るまでの液状体流路に保存液を充填するが、この充填された保存液中の不純物が析出して目詰まりの原因となることもある。そこで、洗浄装置によって、ヘッド２０内に形成された液状体流路を洗浄するのである。
【００２４】
また、保存されていたヘッド２０を使用する際には、ヘッド２０内の液状体流路に充填されている保存液を、液状体吐出装置にて使用する液状体若しくは液状体の溶媒に置換する必要があるが、本実施形態の洗浄装置はこの置換処理を含めて液状体流路の洗浄を行うものである。なお、保存液としては、粘度上昇や固化を抑制するため水溶性の液体が用いられ、液状体としては、吐出対象物上での定着安定化のため、油性の液体が用いられる場合が多い。従って、洗浄装置は、ヘッド２０内の液状体流路に充填されている水溶性液体を、油若しくは油性の溶媒液に置換することが好ましく、本実施形態では、一例として水溶性液体を液状体に含まれる油性主溶媒に置換するものとする。
【００２５】
それでは、洗浄装置について図２を参照して説明する。図２は、本実施形態の洗浄装置１００の構成要素を示した模式図であり、洗浄対象となるヘッド２０がセットされた状態を示している。もとより洗浄装置１００の各構成要素は、上述した特許文献１などに開示されたように、必要に応じてキャビネットにケーシングされたり、支持部材によって固定されたりしている。また、各々の構成要素も機能説明に必要な範囲で図示しており、実際には、さらに部材が追加されたり形状が異なったりすることは言うまでもない。
【００２６】
洗浄装置１００は、ヘッド２０の流入口２５より上流側において、種類の異なる洗浄液Ａ、洗浄液Ｂ、洗浄液Ｃ、洗浄液Ｄをそれぞれ収容した４つの容器３０、容器４０、容器５０、容器６０と、３つのバルブＶ１、バルブＶ２、バルブＶ３とを有している。バルブＶ１は、制御信号ＣＳ１によって作動し、配管７８を、容器３０に接続された配管３５または容器４０に接続された配管４５のいずれかと連通させる。バルブＶ３は、制御信号ＣＳ３によって作動し、配管７９を、容器５０に接続された配管５５または容器６０に接続された配管６５のいずれかと連通させる。そして、バルブＶ２は、制御信号ＣＳ２によって作動し、配管７７を、配管７８または配管７９のいずれかと連通させる。
【００２７】
配管７７は、ヘッド２０の流入口２５に装着されたコネクタ７５によってヘッド２０内の液状体流路と連通する。さらに、配管７７には、その途中に配管７７ａが合流接続されている。配管７７ａは、配管７７との合流側と反対側の端部が大気開放され、制御信号ＣＳ４によって開閉が制御されるバルブＶ４が、その途中に介設されている。
【００２８】
一方、ヘッド２０のノズルより下流側において、ノズル面に当接する接触部８１と、この接触部８１を保持するキャップ枠８２と、からなるキャップ部８０が備えられている。接触部８１は弾性変形する材料で形成され、図示するように、キャップ枠８２の上面よりヘッド２０の方向に突出するようにキャップ枠８２に取り付けられている。キャップ枠８２は、図示しないバネなどによってヘッド２０の方向に押し上げられ、ヘッド２０の洗浄処理において所定の圧力にて接触部８１がノズル面と当接するようになっている。この結果、キャップ部８０は内部に空間を形成してノズル面を封止状態で覆うようになっている。なお、形成される空間には、キャップ枠８２の上面側に、必要に応じて液状体を吸収する吸収材が設置される。
【００２９】
キャップ枠８２の下面側には洗浄液を排出する排出口８３が形成され、ここに配管８４が接続されている。配管８４は、排出口８３と反対側の端部に、制御信号ＣＳ５によって開閉が制御されるバルブＶ５が設けられ、このバルブＶ５を介して配管８５と接続されている。さらに、この配管８４の途中には、配管８４ａが合流接続されている。配管８４ａは、配管８４との合流側と反対側の端部に、制御信号ＣＳ６によって開閉が制御されるバルブＶ６が設けられ、このバルブＶ６を介して配管８８と接続されている。
【００３０】
配管８５の途中には、吸引ポンプＫＰが介設されている。吸引ポンプＫＰは、本実施形態ではダイヤフラムポンプが用いられる。ダイヤフラムポンプは、図示しないシャフトにより互いに固定された２枚のダイヤフラムが、図示しないエアチャンバに周期的に供給される圧力によって押し引き動作を繰り返すことによって、流体を吸引して一定方向に吐出するポンプである。この結果、吸引する流体にはダイヤフラムの動作に応じて脈動が生じることから、ヘッド２０内を通液する洗浄液にも脈動が生じ、流路を効果的に洗浄できるという長所を有するものである。もとより、配管８５をローラーで押しつぶしながら一定方向に回転する方式など周知な方式のポンプを用いてもよい。そして、吸引ポンプＫＰは、制御信号ＣＳ９によって作動し、キャップ部８０内に形成された空間を負圧にすることによってノズルから洗浄液を吸い出す。
【００３１】
配管８５について、吸引ポンプＫＰの吐出側の端部は、バルブＶ７を介して、配管８６と配管８７とにそれぞれ接続されている。バルブＶ７は制御信号ＣＳ７によって制御され、配管８５を配管８６または配管８７のいずれかに連通させる。
【００３２】
配管８６について、バルブＶ７と反対側の端部は、バルブＶ８を介して、配管９１と配管９２とにそれぞれ接続されている。配管９１は、その開口端が廃液タンク９０内に位置し、洗浄液を廃液タンク９０に滴下する。配管９２は、その開口端が一例として図示したように洗浄液Ａが収容された容器３０内に位置し、配管８６に通液する洗浄液Ａを容器３０に戻すことによって洗浄液Ａを循環させる。もとより、洗浄液Ｂ，Ｃ，Ｄについても、図示しない配管と開閉弁によって、それぞれの容器４０，５０，６０に戻されるように構成されている。バルブＶ８は制御信号ＣＳ８によって制御され、配管８６を配管９１または配管９２のいずれかに連通させる。
【００３３】
配管８７は、バルブＶ７と反対側の端部が配管８８に合流接続されている。そして配管８８はアキュムレーターとしての負圧タンク９９に接続されている。負圧タンク９９の負圧は、制御信号ＣＳ１０によって作動する真空ポンプＶＰによって、負圧タンク９９内の大気が排気されることによって形成される。
【００３４】
本実施形態の洗浄装置１００は、上述した構成要素によって形成されている。なお、ここでは各バルブＶ１〜Ｖ８は電磁バルブであり、所定の電気信号からなる制御信号ＣＳ１〜ＣＳ８によってそれぞれ作動する。もとより、圧縮空気などエアーによって開閉を制御するエアーバルブを採用することも可能である。エアーバルブは洗浄液が引火性の液体である場合、防爆を回避できる効果がある。なお、エアーバルブを採用する場合は、電気信号に替えて圧縮エアーを制御信号として用いる構成とすればよい。
【００３５】
さて、上述した制御信号ＣＳ１〜ＣＳ１０は、洗浄装置１００内に設けられた制御部によって生成され、バルブＶ１〜Ｖ８と、吸引ポンプＫＰおよび真空ポンプＶＰを制御して、ヘッド２０を洗浄する。
【００３６】
次に、制御部について図３に示した機能ブロック図を用いて説明する。制御部はコンピュータ機能を有し、図示するように、バスラインで相互に接続されたＣＰＵ１１とメモリ１２、およびバルブＶ１制御信号生成回路１０１、バルブＶ２制御信号生成回路１０２、バルブＶ３制御信号生成回路１０３、バルブＶ４制御信号生成回路１０４、バルブＶ５制御信号生成回路１０５、バルブＶ６制御信号生成回路１０６、バルブＶ７制御信号生成回路１０７、バルブＶ８制御信号生成回路１０８、吸引ポンプ制御信号生成回路１０９、真空ポンプ制御信号生成回路１１０を有している。
【００３７】
ＣＰＵ１１は、メモリ１２に格納された処理プログラムを読み出し、バルブＶ１制御信号生成回路１０１、バルブＶ２制御信号生成回路１０２、バルブＶ３制御信号生成回路１０３、バルブＶ４制御信号生成回路１０４、バルブＶ５制御信号生成回路１０５、バルブＶ６制御信号生成回路１０６、バルブＶ７制御信号生成回路１０７、バルブＶ８制御信号生成回路１０８、吸引ポンプ制御信号生成回路１０９、真空ポンプ制御信号生成回路１１０を制御して所定のタイミングで所定の信号を出力する。各出力信号は、必要に応じて図示しないインターフェースを介し、バルブＶ１、バルブＶ２、バルブＶ３、バルブＶ４、バルブＶ５、バルブＶ６、バルブＶ７、バルブＶ８、吸引ポンプＫＰ、真空ポンプＶＰに、それぞれ所定の電気信号（例えば電圧信号）からなる制御信号ＣＳ１〜ＣＳ１０を出力する。こうして、洗浄装置１００を制御する。
【００３８】
それでは、本実施形態の洗浄装置１００が行う洗浄処理について、図４に示した処理フローチャートに従って説明する。この処理は、例えば、洗浄装置１００の操作者が、洗浄対象のヘッド２０をセットし（図２参照）、洗浄処理を命令するデータを洗浄装置１００の制御部に入力することによって開始される。
【００３９】
なお、ここでは、保存されていたヘッドを続けて洗浄する場合を想定しているものとする。また、洗浄液Ａは純水、洗浄液Ｂはアルコール（エタノール）、洗浄液Ｃは油性洗浄剤（油性溶媒＋界面活性剤）、洗浄液Ｄは液状体に含まれる油性主溶媒であるものとし、最初に洗浄液Ａ、続いて洗浄液Ｂ、洗浄液Ｃ、そして最後に洗浄液Ｄの順序でヘッド２０に通液するものとして説明する。こうすることで、通液する前後の洗浄液間で洗浄液の親和性が良く、洗浄液が固化することがないからである。また、最初に通液する洗浄液Ａを純水（水）としたのは、保存液が水溶性液体であり、この水溶性液体と親和性が良い液体であるからである。もとより、保存液の種類に応じて、純水（水）以外に水溶性の溶媒液であっても差し支えない。
【００４０】
この処理が開始されると、まずステップＳ１０１にて、ヘッドに純水を通液処理する。制御部はバルブＶ１とバルブＶ２を制御して、配管３５と配管７８と配管７７とを連通状態にする。この結果、配管７７には純水が供給される。そして、バルブＶ５を開いて配管８４と配管８５を連通状態にする一方、バルブＶ６を閉じて配管８４ａと配管８８とを遮断する。さらに、バルブＶ７とバルブＶ８を制御して、配管８５と配管８６と配管９１とを連通状態にする。
【００４１】
このような配管の連通状態において、制御部は制御信号ＣＳ９を出力して吸引ポンプＫＰを作動させる。すると、キャップ部８０内の空間は負圧になり、ノズルが負圧によって吸引されるため、配管７７に供給された純水はコネクタ７５を介してヘッド２０の流入口２５に流入し、ヘッド２０内の保存液を追い出しながら液状体流路を通液後、ノズルから吸い出される。吸い出された保存液および純水は、その後吸引ポンプＫＰを通過して配管９１から廃液タンク９０に排出される。この処理によって、ヘッド２０内の保存液は純水に置換される。その後、制御部は、ヘッド２０内の保存液が純水にほぼ置換されたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ９の出力を停止して吸引ポンプＫＰの作動を停止する。
【００４２】
なお、ステップＳ１０１において、バルブＶ８は、配管８６に流れてくる洗浄液がほぼ純水になっていると思われる期間、制御信号ＣＳ８によって配管８６を配管９２と連通させて純水を容器３０に回収する循環処理が行われる場合もある。以降、説明は省略するが、アルコール、油性洗浄剤、油性主溶媒の通液に際しても、純水と同様な循環処理が行われる場合もある。
【００４３】
次に、ステップＳ１０２にて、ヘッドにアルコールを通液処理する。制御部は、制御信号ＣＳ１を出力してバルブＶ１を制御し、配管４５と配管７８とを連通状態にする。そして、制御信号ＣＳ９を出力して吸引ポンプＫＰを作動させ、キャップ部８０内の空間を負圧状態にする。すると、今度は、アルコールが配管７７からヘッド２０の流入口２５に流入し、ヘッド２０内の純水を追い出しながら液状体流路を通液後、ノズルから吸い出される。吸い出された純水およびアルコールは、その後吸引ポンプＫＰを通過して配管９１から廃液タンク９０に排出される。この処理によって、ヘッド２０内の純水はアルコールに置換される。その後、制御部は、ヘッド２０内の純水がアルコールにほぼ置換されたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ９の出力を停止して吸引ポンプＫＰの作動を停止する。
【００４４】
次に、ステップＳ１０３にて、ヘッドに油性洗浄剤を通液処理する。制御部は、制御信号ＣＳ２と制御信号ＣＳ３とを出力してバルブＶ２とバルブＶ３とをそれぞれ制御し、配管５５と配管７９と配管７７とを連通状態にする。そして、制御信号ＣＳ９を出力して吸引ポンプＫＰを作動させ、キャップ部８０内の空間を負圧状態にする。すると、今度は、油性洗浄剤が配管７７からヘッド２０の流入口２５に流入し、ヘッド２０内のアルコールを追い出しながら液状体流路を通液後、ノズルから吸い出される。吸い出されたアルコールと油性洗浄剤は、その後吸引ポンプＫＰを通過して配管９１から廃液タンク９０に排出される。この処理によって、ヘッド２０内のアルコールは油性洗浄剤に置換される。その後、制御部は、ヘッド２０内のアルコールが油性洗浄剤にほぼ置換されたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ９の出力を停止して吸引ポンプＫＰの作動を停止する。
【００４５】
さて、ステップＳ１０３までの処理が終了した時点で、３種類の洗浄液（純水、アルコール、油性洗浄剤）が、洗浄装置１００において同じ流路を流れることになる。すなわち、図２において、配管７７、ヘッド２０、キャップ部８０、配管８４、配管８５、吸引ポンプＫＰ、配管８６、配管９１に、異なる３種類の洗浄液が流れる。
【００４６】
特に、洗浄対象であるヘッド２０において、内部の液状体流路に通液した純水がアルコールに完全に置換されず残留していた場合、これが次に通液される油性洗浄剤と混ざった場合は、親和性が悪いために油性成分がゲル状に固化し、ヘッド２０内の液状体流路に異物として存在することになる。
【００４７】
この異物を除去するため、洗浄装置１００では、負圧タンクを用いて大気洗浄を行う場合がある。これは、図５に示したように、バルブＶ４とバルブＶ６とを制御信号ＣＳ４と制御信号ＣＳ６とによって開き、図中太い実線矢印で示したように、大気を配管７７ａから配管８８に流通させることによって、ヘッド２０内の液状体流路に大気を流通させ、ヘッド２０内の異物を除去しようとするものである。
【００４８】
しかしながら、上述するようにヘッド２０以外においても異なる種類の洗浄液が通液されていることから、ヘッド２０と同様、通液した純水がアルコールに完全に置換されず残留していた場合、次に通液される油性洗浄剤と混ざった場合は、親和性が悪いために油性成分がゲル状に固化し、異物として存在することになる。特に、吸引ポンプＫＰは、ダイヤフラムなどの部品が構成された構造物であることから、洗浄液が滞留することが起こり易く、従って固化した油性成分が吸引ポンプＫＰ内の流路に異物として滞留することになる。
【００４９】
そこで、本実施形態では、ヘッド２０と同時に吸引ポンプＫＰに大気を流し、それぞれの流路中に存在する異物を取り除くべく、図４におけるステップＳ１０４からステップＳ１０６までの処理を行うのである。具体的には、図６に示したように、バルブＶ４、バルブＶ５、バルブＶ６、およびバルブＶ７を制御して、図中太い実線矢印で示したように、大気を配管７７ａからヘッド２０、配管８４、配管８５、吸引ポンプＫＰ、配管８７、配管８８に順次流通させることによって、ヘッド２０の洗浄とともに吸引ポンプＫＰを洗浄するのである。
【００５０】
図４に戻り、次のステップＳ１０４にて、真空ポンプＶＰを作動処理する。制御部は、制御信号ＣＳ１０を出力して真空ポンプＶＰを作動し、負圧タンク９９内を所定の負圧状態にする。
【００５１】
次いで、ステップＳ１０５にて、ヘッドと吸引ポンプに大気を導入する処理を行う。制御部は、制御信号ＣＳ４を出力してバルブＶ４を開く。さらに、制御信号ＣＳ７を出力してバルブＶ７を制御し、配管５５と配管８７とを連通状態にする。すると、バルブＶ４から導入された大気は、配管７７ａ、配管７７と流れ、ヘッド２０の流入口２５に流入し、ヘッド２０内の油性洗浄剤中に侵入する。そして、油性洗浄剤中において気泡状態となったりしながら、液状体流路中に存在する異物（固化した油性成分）を追い出し、ノズルから吸い出される。
【００５２】
吸い出された大気は、次に吸引ポンプＫＰに侵入する。そして、同じく吸引ポンプＫＰ内において気泡状態となったりしながら、吸引ポンプＫＰ流路内に存在する異物（固化した油性成分）を追い出し、配管８７、配管８８を通って負圧タンク９９に流入する。
【００５３】
次いで、ステップＳ１０６にて、真空ポンプＶＰを停止処理する。制御部は、ヘッド２０内および吸引ポンプＫＰ内の流路における異物がほぼ取り除かれたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ１０の出力を停止して真空ポンプＶＰの作動を停止する。こうして、ヘッド２０と吸引ポンプＫＰは、大気によって洗浄される。
【００５４】
次に、ステップＳ１０７にて、ヘッドに油性主溶媒を通液処理する。制御部は、制御信号ＣＳ３を出力してバルブＶ３を制御し、配管６５と配管７９とを連通状態にする。そして、制御信号ＣＳ９を出力して吸引ポンプＫＰを作動させ、キャップ部８０内の空間を負圧状態にする。すると、今度は、油性主溶媒が配管７７からヘッド２０の流入口２５に流入し、ヘッド２０内の油性洗浄剤を追い出しながら液状体流路を通液後、ノズルから吸い出される。吸い出された油性洗浄剤と油性主溶媒は、その後吸引ポンプＫＰを通過して配管９１から廃液タンク９０に排出される。この処理によって、ヘッド２０内の油性洗浄剤は油性主溶媒に置換される。その後、ヘッド２０内の油性洗浄剤が油性主溶媒にほぼ置換されたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ９の出力を停止して吸引ポンプＫＰの作動を停止する。こうして、洗浄装置１００での洗浄処理が終了する。
【００５５】
以上、本実施形態の洗浄装置１００によれば、負圧タンク９９の負圧力によって、ヘッド２０を介して吸引ポンプＫＰ内の流路に大気を流通することが出来るので、ヘッド２０と同時に吸引ポンプＫＰを洗浄することができる。従って、吸引ポンプＫＰ内に異物が残留する確率が低くなるので、例えば性質の異なる洗浄液の混合によって、洗浄液の凝集や固化が吸引ポンプＫＰ内で生じない。この結果、吸引ポンプＫＰによって生成される負圧によって洗浄液を安定して吸引することができるので、洗浄能力の低下を抑制することが可能となる。
【００５６】
以上、本発明について、一実施形態を用いて説明したが、本発明はこうした実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において様々な形態で実施し得ることは勿論である。以下変形例を挙げて説明する。
【００５７】
（変形例）
上記実施形態では、大気による異物の洗浄処理において、ヘッド２０内の流路を介して吸引ポンプＫＰ内の流路に大気を流通することとしたが、特にこれに限るものでないことは勿論である。例えば、ヘッド２０を介さず、吸引ポンプＫＰに直接大気を導入することとしても良い。本変形例について図７用いて説明する。
【００５８】
図７は、吸引ポンプＫＰの上流側においてヘッド２０を介することなく大気を導入できるように流路構成された洗浄装置１００を示した模式図である。この洗浄装置１００は、図２に示した洗浄装置１００に対して、バルブＶ５を、制御信号ＣＳ５の制御によって配管８５と配管８４との連通、もしくは配管８５と大気との連通、のいずれかに切り替えできるように変更したものである。これ以外の流路構成は、基本的に、図２に示した洗浄装置１００と同一である。
【００５９】
本変形例の洗浄装置１００によれば、例えばステップＳ１０５（図４）において、ヘッド２０に大気を導入せず、吸引ポンプＫＰのみに大気を導入する処理が可能となる。すなわち、図７において太い実線矢印で示すように、バルブＶ５を介して配管８５に大気を導入し、吸引ポンプＫＰを流通させた後、配管８７、配管８８を経由して負圧タンク９９まで流通させることが可能となる。この結果、ヘッド２０を経由することなく、大気を用いて吸引ポンプＫＰを洗浄することができる。
【００６０】
具体的には、制御部は、制御信号ＣＳ１０を出力して真空ポンプＶＰを作動し、負圧タンク９９内を所定の負圧状態にする。そして、制御信号ＣＳ５を出力してバルブＶ５を制御し、配管８５を大気と連通させる。さらに、制御信号ＣＳ７を出力してバルブＶ７を制御し、配管８５と配管８７とを連通状態にする。すると、バルブＶ５から導入された大気は、吸引ポンプＫＰに侵入する。そして、吸引ポンプＫＰ内において気泡状態となったりしながら、ポンプ流路内に存在する異物（固化した油性成分）を追い出し、配管８７、配管８８を通って負圧タンク９９に流入する。その後、制御部は、吸引ポンプＫＰ内の流路における異物がほぼ取り除かれたと想定される時間が経過したとき、制御信号ＣＳ１０の出力を停止して真空ポンプＶＰの作動を停止する。
【００６１】
このような本変形例による洗浄装置１００によれば、ヘッドの洗浄処理とは別処理で、吸引ポンプＫＰ内の流路を大気によって洗浄することができる。従って、例えば、ヘッド２０の洗浄処理が所定回数行われた後に吸引ポンプＫＰを大気洗浄するということが可能となる。従って、ヘッド２０の洗浄処理の実施タイミングに依存せず、吸引ポンプＫＰの初期性能を適宜維持することも可能となる。
【００６２】
また、このとき、洗浄液は吸引ポンプＫＰに流入しないことから、吸引ポンプＫＰ内に残留する洗浄液を総て抜き取ることも可能となる。この結果、吸引ポンプＫＰ内の流路における異物を殆ど総て取り除くことができる可能性もある。
【００６３】
（その他の変形例）
また、上記実施形態では、４種類の洗浄液を用いてヘッド２０を洗浄することとして説明したが、特にこれに限らず、種類は４種類よりも少なくてもよいし（例えば１種類）、多くてもよい。洗浄液の種類が少ない場合は、互いに親和性が悪いことによって異物（例えば固化した油性成分）が発生する確率は低くなる。しかしながら、洗浄液中には少なからず異物（ゴミや埃など）が混入存在する。そして、この異物が吸引ポンプＫＰ内の流路に溜まると、上述したように吸引ポンプＫＰの吸引能力の低下を引き起こす場合があるからである。
【００６４】
また、上記実施形態では、油性洗浄剤を通液した後に、大気を用いてヘッド２０および吸引ポンプＫＰを洗浄することとして説明したが、特にこれに限るものでないことは勿論である。例えば、純水の通液後であってもよいし、アルコールの通液後であってもよい。あるいは、油性主溶媒の通液後であっても差し支えない。上記実施形態では、純水と油性洗浄剤とが混じることによって異物（例えば固化した油性成分）が発生することを説明する都合上、油性洗浄剤を通液後に大気洗浄することとした。しかしながら、上述するように、ヘッドの洗浄処理が既に行われた状態であれば、既に行われた洗浄処理において異物が発生している場合が想定される。従って、大気を用いた洗浄は、どのタイミングであっても洗浄効果が期待できるのである。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】洗浄対象となるヘッドの概要を示す模式図。
【図２】本実施形態の洗浄装置の構成要素を示した模式図。
【図３】本実施形態の洗浄装置の制御部の機能を説明するためのブロック図。
【図４】本実施形態の洗浄装置が行う処理ステップを示すフローチャート。
【図５】本実施形態の洗浄装置が行うヘッドの大気洗浄を説明する説明図。
【図６】本実施形態の洗浄装置が行う吸引ポンプの大気洗浄を説明する説明図。
【図７】変形例で、吸引ポンプを大気洗浄する様子を説明する説明図。
【符号の説明】
【００６６】
１１…ＣＰＵ、１２…メモリ、２０…ヘッド、２５…流入口、３０，４０，５０，６０，７０…容器、７１…供給パイプ、７５…コネクタ、７７，７７ａ，７８，７９…配管、８０…キャップ部、８１…接触部、８２…キャップ枠、８３…排出口、８４，８４ａ，８５，８６，８７，８８…配管、９０…廃液タンク、９１，９２…配管、９９…負圧タンク、１００…洗浄装置、１０１…バルブＶ１制御信号生成回路、１０２…バルブＶ２制御信号生成回路、１０３…バルブＶ３制御信号生成回路、１０４…バルブＶ４制御信号生成回路、１０５…バルブＶ５制御信号生成回路、１０６…バルブＶ６制御信号生成回路、１０７…バルブＶ７制御信号生成回路、１０８…バルブＶ８制御信号生成回路、１０９…吸引ポンプ制御信号生成回路、１１０…真空ポンプ制御信号生成回路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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