(57)【要約】  【課題】  シーム接合装置において、１個の外囲器に複数枚のリッドが重なった状態で載置されることを防止する。  【解決手段】  電子部品を収納する外囲器の開口部にリッドを載置し、この外囲器とリッドとをシーム接合することで、前記開口部を封止するシーム接合装置において、リッドを吸着保持して搬送する吸着ノズルと、吸着ノズルに吸着されたリッドが外囲器に載置されるまえに一時リッドを載置するステージと、このステージにリッドを載置する際吸着ノズルを下降させ、リッドを吸着した吸着ノズルの先端がこのリッドを介して前記ステージの上面に当接してもさらに所定距離だけ下降動作を継続する吸着ノズル保持機構と、この吸着ノズル保持機構と吸着ノズルとの相対的な位置のずれ量を計測する計測器とを備え、この計測器の計測結果から前記リッドが１枚であるか複数枚であるかを判断する。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を収納する外囲器の開口部にリッドを載置し、この外囲器とリッドとをシーム接合することで前記開口部を封止するシーム接合装置において、１個の外囲器にリッドが複数枚重なって載置されることを防止するためのリッド２枚取りセンサであって、
リッドを吸着保持して搬送する吸着ノズルと、前記吸着ノズルに吸着されたリッドが外囲器に載置されるまえに一時前記リッドを載置するステージと、前記ステージにリッドを載置する際前記吸着ノズルを下降させ、リッドを吸着した吸着ノズルの先端がこのリッドを介して前記ステージの上面に当接してもさらに所定距離だけ下降動作を継続する吸着ノズル保持機構と、この吸着ノズル保持機構と前記吸着ノズルとの相対的な位置のずれ量を計測する計測器と、前記計測器の計測結果から前記リッドが１枚であるか複数枚であるかを判断する制御部とを備えたことを特徴とするリッド２枚取りセンサ。
【請求項２】
前記ステージは、リッドの所望の位置に吸着ノズルの先端が当接して吸着するようにリッドの位置を修正する位置決めステージであることを特徴とする請求項１に記載のリッド２枚取りセンサ。
【請求項３】
前記計測器は近接センサであり、予め設定された閾値とこの近接センサの出力値とを前記制御部が比較することでリッドが１枚であるか複数枚であるかを判断することを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のリッド２枚取りセンサ。
【請求項４】
電子部品を収納する外囲器の開口部にリッドを載置し、この外囲器とリッドとをシーム接合することで前記開口部を封止するシーム接合装置において、１個の外囲器にリッドが複数枚重なって載置されることを防止するためのリッド２枚取りセンサの使用方法であって、
ａ）リッドを吸着保持して搬送する吸着ノズルによりステージ上に吸着したリッドを載置し、載置されたリッドの厚さの情報を含む距離を計測する計測器の出力値と予め設定した閾値とを比較する。
ｂ）前記比較の結果が、リッドが複数枚であるという結果である場合オペレータに前記閾値の調整を促し、リッドが１枚であるという結果である場合再度前記吸着ノズルにより前記ステージ上の前記リッドにリッドを重ねて載置し、再度前記計測器の出力値と前記閾値とを比較する。
ｃ）前記再度の比較の結果が、リッドが１枚であるという結果である場合オペレータに前記閾値の調整を促し、リッドが複数枚であるという結果である場合調整モードを終了する。
以上の工程を順次行なう調整モードを経てシーム接合のための実作業を行なうことを特徴とするリッド２枚取りセンサの使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動子、弾性表面波フィルタ等の電子部品を収納した外囲器の開口部に金属製の蓋板であるリッドを接合するパッケージの封止装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、水晶振動子、弾性表面波フィルタ等の電子部品をパッケージで気密封止した製品が広く知られている。図５は従来からあるパッケージの一例として取り上げるパッケージ５１の断面図であり、まずセラミックからなる外囲器５２の開口部周縁にシールリング５３をろう付けして設けたものを用意する、そしてこの外囲器５２の内部には水晶振動子等の電子部品５４を収納し、この電子部品５４をワイヤ５５によって外リード５６に電気的に接続する。そしてこの外囲器５２の開口部には、前記シールリング５３を介して金属製蓋体であるリッド５７が位置決めされて載置される。
【０００３】
そしてこのリッド５７の対向する２辺、例えば長辺の２辺の一端縁部アに一対のテーパ付きローラ電極５８ａ、５８ｂを所定の加圧力の下で接触させる（図６（ａ））。この状態でパッケージ５１をワークテーブル６０と共に矢印Ａの方向に移動させると同時にローラ電極５８ａ、５８ｂ間にパルセーション通電を行い、このとき発生するジュール熱によりリッド５７の長辺をシールリング５３にシーム接合する。
【０００４】
このようにして長辺のシーム溶接が終了すると、ローラ電極５８ａ、５８ｂを一旦上昇移動させて電極間隔を調整すると共にパッケージ５１を図６（ｂ）で示すように水平面内にて９０°回転させる。その後、再びローラ電極５８ａ、５８ｂを下降させて他の対向する２辺、すなわち短辺を同様にシーム接合し、チップ５４を封止したパッケージを完成させるものである。
【０００５】
また、生産ラインにおいては作業効率を考慮して、図７で示すようにトレイ５９に多数のパッケージ５１を整列させておき、このトレイ５９を水平方向に移動可能なステージ上に載置してシーム接合作業を行なう。そしてこの場合、トレイ５９上のパッケージ全数に対して一方の対向する２辺のシーム接合（以下Ｘ方向シームと記載する）を行なった後、次にトレイ５９を別のステージ上に移動させ、この別のステージ上ではトレイ５９上のパッケージ全数に対して他方の対向する２辺のシーム接合（以下Ｙ方向シームと記載する）を行なう方法が広く採用されている。
【０００６】
次にこのような接合装置の全体の動作を図８に基づいて説明する。図８において符号６０はＸ方向シームステージ、６１はＹ方向シームステージである。また、６２はローラ電極の取り付け方向がＸ方向用に固定されたＸ方向溶接ヘッド、６３はローラ電極がＹ方向用に固定されたＹ方向溶接ヘッドである。そして６４は仮止めステージであり、この仮止めステージ６４上ではシーム接合工程に入る前に外囲器とリッドとの位置ずれが生じないようにスポット溶接が行なわれる。なお、図８において矢印Ｂはトレイ５９の搬送方向を示している。
【０００７】
図８の符号６５は回転支柱であり、その上部側方に伸びる２本のアームを有している。この２本のアームは互いが９０°の角度で開いて水平方向に伸び、そのそれぞれの先端には第１のピックアップヘッド６６と第２のピックアップヘッド６７を備えている。回転支柱６５が９０°の角度で往復回転運動を行なうことで、第１のピックアップヘッド６６はリッド供給ステージ６８と位置決めステージ６９とのあいだを往復し、同時に第２のピックアップツールは位置決めステージ６９と仮止めステージ６４とのあいだを往復する。
【０００８】
次に前記スポット溶接による仮止めの工程を説明する。まずリッドが載置される前の状態のパッケージを載せたトレイ５９が仮止めステージ６４上に置かれる。そしてリッド供給ステージ６８のリッドを第１のピックアップヘッド６６が真空吸着ノズルを利用して１枚ずつ吸着保持し、次の位置決めステージ６９に搬送する。ここで第１のピックアップヘッド６６は吸着保持しているリッドを位置決めステージ上に載置したのち吸着ノズルからリッドを開放する。その間に位置決めステージ６９は、このリッドが位置決めステージ６９上において所望の位置で載置された状態となるように、リッドの側面（主面ではなく板厚面）を押圧して修正する。
【０００９】
次に第２のピックアップヘッド６７が吸着ノズルで、既に位置決めステージ上でその位置が修正されたリッドを吸着保持し、仮止めステージ６４に置かれたトレイ５９上の外囲器にリッドを載置する。このようにしてトレイ５９上の全ての外囲器にリッドが載置されると、仮止め溶接ヘッド７０がスポット溶接を開始する。このスポット溶接は載置されたリッドの対向する２辺の各辺ほぼ中央に一箇所ずつ計一対のスポット溶接を行なうことでなされる。通常このスポット溶接は、シーム溶接で使用するような一対のローラ電極をリッドに接触させ、転接させることなく静止した状態で電流を流すことで行なわれる。
【００１０】
このようにして、第１のピックアップヘッド６６は、これに備わった吸着ノズルでリッド供給ステージ６８のリッドを１枚ずつ吸着保持して搬送するのであるが、一般にリッドの形状は厚さ約０．１mmで一辺が数mmの矩形の平板であるため、吸着ノズルで最も上の１枚のみを吸着保持すべきものが、その直下に重なっているリッドが密着し、そのまま複数枚が搬送されてしまうことがある。そこで特許文献１では、吸着ノズルがリッドを吸着して少し上昇したところに、側方からエアーを吹きかけ、余分に付着しているリッドをその風力で離脱させる技術を開示している。また他には、リッドを吸着保持した吸着ノズルを磁石の上方に位置させて、その磁力で余分なリッドを下方に引き剥がすことも試みられている。
【００１１】
【特許文献１】特開平８−２２５１６０号公報（第５頁、図６、図７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、一般的にリッドはコバール等の金属にめっき処理を施し、表面が滑らかな平板であり、厚さ０．１mmであることから１枚の質量も非常に小さなものである。したがって、エアブロー方式や磁力方式で余分なリッドを除去する機構を組み入れていたとしても１００％除去されるわけではなく、大量生産の場では時折複数のリッドが載置されたパッケージが混入し、仮止め工程以降に流れてしまう。
【００１３】
また、図８で示すように、これらシーム接合の工程は周囲をブース７１で密閉し、内部に不活性ガスを充満させておく場合が多いので、このような不具合が生じた場合、ステージ上に落下した小さなリッドを回収するのに時間を要し、ライン停止の損失を発生させてしまう。また落下と回収では済まず、余分なリッドの状態によってはシーム接合装置の破損を招く恐れもある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は第１の態様として、電子部品を収納する外囲器の開口部にリッドを載置し、この外囲器とリッドとをシーム接合することで、前記開口部を封止するシーム接合装置において、１個の外囲器にリッドが複数枚重なって載置されることを防止するためのリッド２枚取りセンサであって、リッドを吸着保持して搬送する吸着ノズルと、前記吸着ノズルに吸着されたリッドが外囲器に載置されるまえに一時前記リッドを載置するステージと、前記ステージにリッドを載置する際前記吸着ノズルを下降させ、リッドを吸着した吸着ノズルの先端がこのリッドを介して前記ステージの上面に当接してもさらに所定距離だけ下降動作を継続する吸着ノズル保持機構と、この吸着ノズル保持機構と前記吸着ノズルとの相対的な位置のずれ量を計測する計測器と、前記計測器の計測結果から前記リッドが１枚であるか複数枚であるかを判断する制御部とを備えたことを特徴とするリッド２枚取りセンサを提供する。
【００１５】
また本発明は第２の態様として、前記ステージは、リッドの所望の位置に吸着ノズルの先端が当接して吸着するようにリッドの位置を修正する位置決めステージであることを特徴とする第１の態様として記載のリッド２枚取りセンサを提供する。
【００１６】
また本発明は第３の態様として、前記計測器は近接センサであり、予め設定された閾値とこの近接センサの出力値とを前記制御部が比較することでリッドが１枚であるか複数枚であるかを判断することを特徴とする第１または第２のいずれかの態様として記載のリッド２枚取りセンサを提供する。
【００１７】
さらに本発明は第４の態様として、電子部品を収納する外囲器の開口部にリッドを載置し、この外囲器とリッドとをシーム接合することで、前記開口部を封止するシーム接合装置において、１個の外囲器にリッドが複数枚重なって載置されることを防止するためのリッド２枚取りセンサの使用方法であって、ａ）リッドを吸着保持して搬送する吸着ノズルによりステージ上に吸着したリッドを載置し、載置されたリッドの厚さの情報を含む距離を計測する計測器の出力値と予め設定した閾値とを比較する。ｂ）前記比較の結果が、リッドが複数枚であるという結果である場合オペレータに前記閾値の調整を促し、リッドが１枚であるという結果である場合再度前記吸着ノズルにより前記ステージ上の前記リッドにリッドを重ねて載置し、再度前記計測器の出力値と前記閾値とを比較する。ｃ）前記再度の比較の結果が、リッドが１枚であるという結果である場合オペレータに前記閾値の調整を促し、リッドが複数枚であるという結果である場合調整モードを終了する。以上の工程を順次行なう調整モードを経てシーム接合のための実作業を行なうことを特徴とするリッド２枚取りセンサの使用方法を提供する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、リッドが外囲器に載置される前の段階で、１枚であるべきリッドが複数枚重なった状態であった場合、それを検出できる。したがって、リッドをリッド供給部からピックアップする段階で物理的手段によりリッドの２枚取りを防ぐ方法よりも、より確実に１個の外囲器に対して１枚のリッドを供給することができる。また、シーム接合の実作業のまえにリッド２枚取りセンサの調整モードを設け、実際にリッド１枚の計測とリッド２枚重ねの計測を連続的に行なって閾値の調整（確認）を行なうので、短時間に確実なリッド２枚取りセンサの調整が実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に添付図面を参照して本発明に係るリッド２枚取りセンサおよびその使用方法の実施形態を詳細に説明する。
【００２０】
実施の形態としては、従来技術の説明において図８に基づいて説明した一般的なシーム接合装置に本発明を適用した場合を想定して説明する。本発明の実施形態としては、まず図８の符号６６で示したピックアップヘッドにその特徴を有する。そこで本発明に係るピックアップヘッドの側面図を図１に示す。
【００２１】
図１において回転支柱６５、第１のピックアップヘッド６６および位置決めステージ６９が、図８における符号６５、６６、６９とそれぞれ対応するものである。第１のピックアップヘッド６６は回転支柱６５の上部から側方に向けて突出したアーム１の先端に固定されており、側面視Ｌ字形のベース２の右側面にはモータ３、左側面にはベース２に回転自在に貫通したモータ３のシャフトに軸着された偏心輪４が備わっている。また、ベース２の左側面には第１のスライドレール５が固定されており、これと嵌合する第１のスライドブロック６およびこれに固定された第１の昇降ブロック７がベース２に対して昇降自在に保持されている。
【００２２】
さらに第１の昇降ブロック７の左側面には第２のスライドレール８が固定されており、これと嵌合する第２のスライドブロック９およびこれに固定された第２の昇降ブロック１０が第１の昇降ブロック７に対して昇降自在に保持されている。また、第２の昇降ブロック１０の左側面には吸着ノズル１１が固定されており、その下端ある作用端１１ａがリッドに当接し、吸着を行なう部分である。そしてこの吸着ノズルの上端には排気チューブ１２が接続されており、その他端は図示しない排気手段に接続され、前記作用端１１ａに吸引力を発生させる。
【００２３】
また、ベース２の左側面にはピン１３が凸設されており、その先端近傍と第１の昇降ブロック７とのあいだに第１の引っ張りコイルばね１４が懸架されている。加えて第１の昇降ブロック７の右側面にはカムフォロア１５が設けられているので、第１の引っ張りコイルばね１４によって上方に引き上げられた第１の昇降ブロック７は、カムフォロア１５と偏心輪４との転接により、モータ３の回転とともに昇降移動する。
【００２４】
そして、前記モータ３の回転により第１の昇降ブロック７が下降する場合、それに伴って吸着ノズル１１も下降するが、吸着ノズル１１の作用端１１ａが他の静止物に当接したとき、吸着ノズル１１を固定している第２の昇降ブロック１０の下降は停止し、第１の昇降ブロック７のみが下降する。このとき側面視Ｌ字形の第２の昇降ブロックの上部と第１の昇降ブロック７の上部とのあいだに懸架されている第２の引っ張りコイルばね１６が伸び、Ｌ形の第２の昇降ブロック１０の水平方向への突出部下面に当接していた近接センサ１７は、この下面から離隔する。
【００２５】
一方、位置決めステージ６９はリッドが載置される載置面１８がほぼ上面の中央に設けられ、その四方に設けられた４個のプッシャー１９（図では左右の２個のみ図示）から水平方向に出入りする位置決め片１９ａがリッドを横方向から押圧することで、リッドの位置決めが行なわれる。また、前記載置面１８にはリッドより小径の吸引口１８ａが穿設され、その下端には排気チューブ２０が接続されている。そしてその他端は図示しない排気手段に接続されており、この吸引口１８ａ上に載置されたリッドを載置面１８上に吸着する。
【００２６】
また、前記吸着ノズル１１に接続された排気チューブ１２と位置決めステージ６９の吸引口１８ａに接続された排気チューブ２０には、それぞれ図示しない排気手段に至る前に圧力検知器が設けられている。ここで、一方の圧力検知器は吸着ノズル１１がリッドを吸着保持しているか否かを検知する第１のリッド吸着検知器２１であり、他方の圧力検知器は位置決めステージ６９に設けた吸引口１８ａがリッドを吸着しているか否かを検知する第２のリッド吸着検知器２２である。さらに、位置決めステージ６９に隣接して、一旦位置決めステージ６９に載置されたものの、その後のシーム接合工程で使用しないリッドを廃棄するリッド廃棄ボックス２３が設けられている。
【００２７】
次に、図２及び図３に基づいて、ピックアップヘッド６６の位置決めステージ６９上方での動作を説明する。まず図２で示すのは、ピックアップヘッド６６が図８で示したリッド供給ステージ６８からリッド５７を吸着保持し、その状態で回転支柱６５の回転により位置決めステージ６９の上方に位置した状態である。ここで、偏心輪４は第１の昇降ブロック７が最上部に位置するような回転角度で維持されている。また、第２の昇降ブロック１０は、吸着ノズルの作用端１１ａがリッド５７を吸着保持しているだけで、静止物に当接していないので、第１の昇降ブロック７を基準とした最下端に位置し、近接センサ１７の上端は第２の昇降ブロック１０の突出部に接触している。
【００２８】
さらに第１のリッド吸着検知器２１は、吸着ノズル１１がリッド５７を吸着することによる排気チューブ１２内の圧力低下を検知し、吸着ノズル１１がリッド５７を吸着保持している状態であることを示す信号を図示しない制御部へ出力する。そして第２のリッド吸着検知器２２は、吸引口１８ａがリッド５７を吸着することによる排気チューブ２０内の圧力低下が検知されないので、吸引口１８ａ上にリッド５７が載置されていない状態であることを示す信号を図示しない制御部へ出力する。
【００２９】
次に、図３で示すようにモータ３が所定角度回転すると、そのシャフトに軸着された偏心輪４が回転し、この偏心輪４に転接しているカムフォロア１５とともに第１の昇降ブロック７が下降する。またさらに、引っ張りコイルばね１６によって第１の昇降ブロック７を基準とした最下端に位置している第２の昇降ブロック１０も下降するが、吸着ノズル１１に吸着したリッド５７が位置決めステージ６９の載置面１８に当接すると、その下降を停止する。その結果、引っ張りコイル１６が伸長すると同時に近接センサ１７の上端と第２の昇降ブロック１０の突出部とのあいだに間隙Ｌが生ずる。
【００３０】
このとき、モータ３が再現可能な所定距離だけ第１の昇降ブロック７を下降させるので、前記間隙Ｌは載置面１８に吸着ノズルの作用端１１ａが直接当接したときの距離に載置面１８上に載置されたリッドの厚さを加えた値となる。そこでリッド５７の厚さの値が既知であれば、載置されたリッド５７の枚数が１枚であるのか複数枚であるのかが判別できる。あるいはリッド５７の厚さの値が既知でなくとも、後述する調整作業を行えば簡単にリッド５７が１枚か複数枚かの判別が可能となる。
【００３１】
例えば、載置面１８に吸着ノズルの作用端１１ａが直接当接したときの近接センサ１７上方の間隙をＭｍｍとし、リッド１枚の厚さを０．１ｍｍとすると、近接センサ１７の出力の閾値をＭ＋０．１５ｍｍとすることで、出力つまり間隙Ｌの距離がこの閾値未満であれば載置されたリッド５７は１枚、出力がこの閾値以上であれば載置されたリッド５７は複数枚ということになる。このような近接センサ１７の出力と閾値との比較と判断はシーム接合装置に備わった図示しない制御部で行なわれる。さらにこの判断の時点で、吸着ノズル１１の吸着を継続しておいて、第１のリッド吸着検知器２１の出力が吸着中であることを前記制御部が認識していれば、載置されたリッド５７が０枚ということはない。
【００３２】
また、位置決めステージ６９上にリッドが存在するか否かは、位置決めステージ６９の吸引口１８ａから空気を吸引しつつ第２のリッド吸着検知器２２の出力を確認すれば判断できる。したがって、前述のようにリッドが１枚であることの確認を行なった結果リッドが複数枚であった場合や、このような確認を開始する前に位置決めステージ６９上に既にリッドが存在している場合は、ピックアップヘッド６６で位置決めステージ６９上のリッドを吸着保持し、前述した廃棄ボックス２３にこの不要なリッドを廃棄し、位置決めステージ６９上にリッドが存在しない状態にする。
【００３３】
以上、位置決めステージ６９上に載置されたリッドが、１枚か複数枚かを検出する機構およびその動作を説明し、この機能全体をリッド２枚取りセンサと記載してきたが、これはリッドが２枚であることを検知するものではなく１枚か複数枚かを判別するものであることは言うまでもない。そして次に、このリッド２枚取りセンサの使用方法を記載する。ここで使用方法といっても、前記閾値の設定が正しければ、接合作業の流れの中でオペレータがリッド２枚取りセンサに対して直接操作する要素はない。したがって、シーム接合する対象の品種ごとに変わるリッドの厚さに対応したり、装置始動時の調整を行なう時のリッド２枚取りセンサの調整方法がここでいう使用方法となる。
【００３４】
図４はリッド２枚取りセンサの調整方法を示すフローチャートである。ステップ１０１はリッド２枚取りセンサ調整モードの開始を示す。これは、オペレータが操作することでこの調整モードを開始する場合もあれば、装置始動時のシーケンスの中で自動的にこの調整モードを開始する場合もある。次に、ステップ１０２は前述したように、位置決めステージ６９上にリッドが存在するか否かを検知し、不要なリッドがあれば前述のようにピックアップヘッド６６がリッドを吸着保持し廃棄ボックス２３へ搬送する。そしてリッドが位置決めステージ６９上からなくなるまで排出する（ステップ１０３）ものである。
【００３５】
次に、位置決めステージ６９上にリッドが存在しないと判断されたら、ステップ１０４ではピックアップヘッド６６を動作させ、リッド５７をリッド供給ステージ６８から位置決めステージ６９に搬送する。そしてステップ１０５では、ピックアップヘッド６６が吸着保持したリッド５７を位置決めステージ６９上に載置する際、前述したように近接センサ１７の出力が閾値未満か閾値以上かを判別する。これが閾値以上であった場合は、閾値の設定が不適当である（閾値が低すぎる）と判断し、装置にオペレータコールを表示させて閾値の調整を促す（ステップ１０６）。
【００３６】
一方、近接センサ１７の出力が閾値未満であった場合は、ステップ１０７で、さらにもう一度ピックアップヘッド６６を動作させてリッド５７をリッド供給ステージ６８から位置決めステージ６９に搬送し、既に載置されているリッドに重ねて載置する。そしてステップ１０８で再び近接センサ１７の出力が閾値未満か閾値以上かを判断する。このとき近接センサ１７の出力が閾値未満であった場合は複数枚のリッド５７に対して１枚であると認識したことになるから、閾値の設定が不適当である（閾値が高すぎる）と判断し、装置にオペレータコールを表示させて閾値の調整を促す（ステップ１０６）。
【００３７】
また、近接センサ１７の出力が閾値以上であった場合は、位置決めステージ６９上のリッド５７が１枚である場合と２枚である場合の判別が正しく行なわれたのであるから、閾値の設定が適当であると判断し、装置にリッド２枚取りセンサの調整が良好である旨を表示させる（ステップ１０９）。そしてリッド２枚取りセンサの調整モードを終了させる（ステップ１１０）。
【００３８】
以上のような調整が行なわれたのち、実作業を開始することで、リッド２枚取りセンサの機能を確実に活用できる。また、図４のフローチャートで示した一連の調整動作及び判断を、シーム接合装置にプログラミングしておくことで、オペレータは簡単にこの調整作業を実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施形態を示す側面図
【図２】本発明の実施形態を示す側面図
【図３】本発明の実施形態を示す側面図
【図４】本発明の実施形態を示すフローチャート
【図５】従来の技術を示す断面図
【図６】従来の技術を示す平面図
【図７】従来の技術を示す平面図
【図８】従来の技術を示す平面図
【符号の説明】
【００４０】
１  アーム
２  ベース
３  モータ
４  偏心輪
５、８  スライドレール
６、９  スライドブロック
７  第１の昇降ブロック
１０  第２の昇降ブロック
１１  吸着ノズル
１２、２０  排気チューブ
１３  ピン
１４  第１の引っ張りコイルばね
１５  カムフォロア
１６  第２の引っ張りコイルばね
１７  近接センサ
１８  載置面
１９  プッシャ−
２１  第１のリッド吸着検知器
２２  第２のリッド吸着検知器
２３  廃棄ボックス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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