(57)【要約】【課題】表示装置基板を研磨処理して薄型化するときに、角部の位置によらずに均等な厚さに研磨することができる表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】表示装置基板１０をキャリア５に装着し、下定盤２に押し当て、スラリを供給し、キャリアに対して下定盤の回転軸を軸とする公転運動とキャリアの中心を軸とする自転運動を行わせ、表示装置基板と下定盤の相対位置を移動させ、表示装置基板を研磨して薄型化する。ここで、表示装置基板を研磨して薄型化する工程において、回転駆動する下定盤に対して表示装置基板の第１の角部１１Ａが表示装置基板の中で最上流となる位置Ｆにおける第１の角部と下定盤との相対速度と、回転駆動する下定盤に対して表示装置基板の第２の角部１１Ｂが表示装置基板の中で最上流となる位置Ｇにおける第２の角部と下定盤との相対速度との差を相殺するように、キャリアの自転の回転数を選択する。【選択図】図４
2009241170.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示装置を構成する表示装置基板を研磨して薄型化する表示装置の製造方法であって、
表示装置基板をキャリアに装着する工程と、
前記表示装置基板を下定盤に押し当てる工程と、
前記表示装置基板と前記下定盤の界面にスラリを供給する工程と、
前記キャリアに対して前記下定盤の回転軸を軸とする公転運動と前記キャリアの中心を軸とする自転運動を行わせて、前記表示装置基板と前記下定盤の相対位置を移動させ、前記表示装置基板を研磨して薄型化する工程と
を有し、
前記表示装置基板を研磨して薄型化する工程において、回転駆動する前記下定盤に対して前記表示装置基板の第１の角部が前記表示装置基板の中で最上流となる位置における前記第１の角部と前記下定盤との相対速度と、回転駆動する前記下定盤に対して前記表示装置基板の第２の角部が前記表示装置基板の中で最上流となる位置における前記第２の角部と前記下定盤との相対速度との差を相殺するように、前記キャリアの自転の回転数を選択する
表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記表示装置基板を研磨して薄型化する工程において、前記キャリアの自転による前記第１の角部及び前記第２の角部の位置における周速度の大きさが、回転駆動する前記下定盤に対して前記表示装置基板の第１の角部が前記表示装置基板の中で最上流となる位置における前記第１の角部の位置での前記下定盤の周速度と、回転駆動する前記下定盤に対して前記表示装置基板の第２の角部が前記表示装置基板の中で最上流となる位置における前記第２の角部の位置での前記下定盤の周速度との差の１／２の大きさになるように、前記キャリアの自転の回転数を選択する
請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記表示装置基板をキャリアに装着する工程の前に、
第１基板と第２基板を貼り合わせる工程と、
貼り合わされた第１基板と第２基板の間隙に液晶を充填封止する工程と、
第１基板と第２基板を貼り合わされて液晶を充填封止されてなる表示装置基板を１つの表示装置として用いられる領域ごとに切り出す工程と
をさらに有する
請求項１または２に記載の表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記第１基板と前記第２基板を貼り合わせる工程において、
前記第２基板より大きい形状を有し、前記第２基板との貼り合わせ面に端子部が形成されている前記第１基板を、前記端子部が前記第２基板からはみ出して外部に露出するように、前記第２基板と貼り合わせる
請求項３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記表示装置基板を下定盤に押し当てる工程において前記表示装置基板を上定盤と前記下定盤で挟み込み、
前記表示装置基板と前記下定盤の界面にスラリを供給する工程において、前記表示装置基板と前記上定盤及び前記下定盤の界面にスラリを供給し、
前記表示装置基板を研磨して薄型化する工程において、前記表示装置基板と前記上定盤及び前記下定盤の相対位置を移動させ、前記表示装置基板を両面研磨する
請求項１〜４のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置の製造方法に関し、特に、表示装置となる基板を研磨して薄型化する表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、省スペースなどの目的でブラウン管に代わる表示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）、電界放出表示装置（ＦＥＤ）、プラズマ表示装置（ＰＤＰ）、電界発光表示装置（ＥＬ）などのいわゆる薄型表示装置が注目を集め、実用化が進んでいる。
【０００３】
例えば、液晶表示装置は、薄型で低消費電力であるという特徴を生かして、幅広い電子機器の表示装置として用いられている。例えば、ノート型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション用の表示装置、携帯情報端末（Personal Digital Assistant：ＰＤＡ）、携帯電話、デジタルカメラ、ビデオカメラ等の液晶表示装置を用いた電子機器がある。
【０００４】
一般的な液晶表示装置においては、特許文献１及び特許文献２などに記載されているように、互いに対向する一対の基板間に液晶層を充填封止してなる。
例えば、一対の基板のうちの一方の基板は、縦横にそれぞれ配列された多数の走査線および信号線、ならびにこれらの各交点に対応して多数の画素電極および薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が設けられており、例えば駆動基板と称せられる。一対の基板のうち他方には、対向電極が設けられており、例えば対向基板と称せられる。駆動基板と対向基板は、所定の間隔をもって対向するように貼り合わされている。
【０００５】
駆動基板と対向基板の間は液晶が装着される空間であり、上記の空間内において、画素電極などが形成された駆動基板の表面上と対向電極が形成された対向基板の表面上に液晶配向膜が設けられ、その間の空間に液晶が充填封止されて、液晶層が設けられている。
【０００６】
上記の液晶表示装置の製造方法は、例えば、予め駆動基板と対向基板をそれぞれ形成し、液晶配向膜などを形成した後、これらを貼り合わせる。
次に、例えば駆動基板と対向基板の間隙に設けられた空間に液晶層を充填封止する。
次に、駆動基板と対向基板が貼り合わされて液晶が充填された液晶パネル（表示装置基板）を１つの表示装置として用いられる領域ごとに切り出す。
次に、切り出された液晶パネル（表示装置基板）に対して、両面同時研磨装置を用いて駆動基板と対向基板の両面から研磨して薄型化する。
【０００７】
図７は、上記で用いる両面研磨装置の模式図である。
両面研磨装置は、上定盤１０１、下定盤１０２、サンギヤ１０３及びインターナルギヤ１０４を具備している。上定盤１０１、下定盤１０２、サンギヤ１０３及びインターナルギヤ１０４は、それぞれ独立に回転数を選択して回転駆動可能に構成されている。
【０００８】
サンギヤ１０３は外周側にギヤが設けられ、インターナルギヤ１０４には内周側にギヤが設けられており、サンギヤ１０３とインターナルギヤ１０４のギヤを適合する形状のギヤが外周に設けられたキャリア１０５が、サンギヤ１０３及びインターナルギヤ１０４とギヤが噛み合うように配置されている。
【０００９】
キャリア１０５の対象物用開口部に研磨対象物１０６が装着された状態で、研磨対象物１０６が上定盤１０１と下定盤１０２で上下から挟み込まれる。このとき、上定盤１０１はサンギヤ１０３の内周側に設けられたドライバ１０７に固定される。ドライバ１０７の上方から延伸するシリンダ１０８により、ドライバ１０７を介して上定盤１０１に圧力が印加される。
【００１０】
上定盤１０１及び下定盤１０２と研磨対象物１０６の界面に、研磨粒子などを含有するスラリが供給され、上定盤１０１、下定盤１０２、サンギヤ１０３及びインターナルギヤ１０４がそれぞれ回転駆動されることで、研磨対象物１０６が両面研磨される。
【００１１】
例えば、上定盤１０１は、回転数Ｒ１０７で回転するドライバ１０７とともに時計回り方向に所定の回転数Ｒ１０１で回転し、下定盤１０２、サンギヤ１０３及びインターナルギヤ１０４は、それぞれ反時計回り方向にそれぞれ所定の回転数（Ｒ１０２，Ｒ１０３，Ｒ１０４）で回転する。
【００１２】
ここで、サンギヤ１０３とインターナルギヤ１０４との回転及びその回転数差によって、キャリア１０５の運動が決められる。例えば、キャリア１０５は、回転数Ｒ１０５ａで下定盤１０２、サンギヤ１０３及びインターナルギヤ１０４などの回転軸を軸とする公転運動をしながら、回転数Ｒ１０５ｂでキャリアの中心を軸とする自転運動を行い、移動していく。
【００１３】
図８（ａ）は、上記の両面研磨装置の研磨対象物である、液晶表示装置を構成する液晶パネル（表示装置基板）１０の模式図である。
例えば、画素電極およびＴＦＴなどが設けられた駆動基板１１と、対向電極などが設けられた対向基板１２が、所定の間隔をもって対向するように貼り合わされており、駆動基板１１と対向基板１２の間隙に液晶が充填封止されて、１つの表示装置として用いられる領域に切り出されたものである。
例えば、駆動基板１１は対向基板１２より大きく形成されており、対向基板１２との貼り合わせ面に形成された端子部１１Ｔが対向基板１２からはみ出して外部に露出するように、対向基板１２と貼り合わされている。
【００１４】
上記の構成の液晶パネル（表示装置基板）１０をキャリア１０５の対象物用開口部に装着する場合、例えば、図８（ｂ）に示すように、上記のように端子部１１Ｔが露出した形状の液晶パネル（表示装置基板）１０を装着する。
上記のように液晶パネル（表示装置基板）１０を装着したキャリア１０５を両面研磨装置にセットして両面研磨すると、図８（ａ）に示す端子部１１Ｔの一方の角部（第１の角部）１１Ａの厚さｔＡと他方の角部（第２の角部）１１Ｂの厚さｔＢの間で差が発生してしまうことが知られている。
【００１５】
そこで、端子部１１Ｔの一方の角部（第１の角部）１１Ａの厚さｔＡと他方の角部（第２の角部）１１Ｂの厚さｔＢの間の差を抑制するため、以下の対策が採られている。
即ち、例えば図８（ｂ）のようにキャリア１０５に液晶パネル（表示装置基板）１０を装着して目標の半分量の研磨を行い、一度装置を停止させて、図８（ｃ）のようにキャリア１０５に対する液晶パネル（表示装置基板）１０の位置を１８０度回転させ、再び研磨を開始させる方法である。
【００１６】
上記のように、研磨の途中でキャリア１０５に対する液晶パネル（表示装置基板）１０の位置を１８０度回転させることで、端子部１１Ｔの一方の角部（第１の角部）１１Ａの厚さｔＡと他方の角部（第２の角部）１１Ｂの厚さｔＢの間の差を抑制することができる。
【００１７】
しかし、途中で研磨装置を止めて液晶パネル（表示装置基板）１０をすべて取り出し、キャリア１０５に対する位置を１８０度回転させることから、以下の不利益が発生している。
（１）研磨処理工程にかかる手間が２倍になる。
（２）表示装置基板のキャリアへの装着工程が２倍となるために、セットミスによる割れやカケが増大し、歩留まりが低下する。特に、研磨途中で装着しなおす場合には、表示装置基板がある程度薄くなっているので、強度が弱くなっており、割れやカケが増大しやすくなる。
（３）研磨処理の途中で研磨装置を停止し、表示装置基板を装着しなおす間に、端子部に付着したスラリが乾燥して端子部を汚してしまう。
（４）研磨処理の半分はキャリア中心に対して表示装置基板の端子部を外向きにして行うことになり、遠心力によって表示装置基板の位置ずれが起こり、端子部に傷が入りやすい。
【特許文献１】特開２００７−４７３４３号公報
【特許文献２】特開２００７−３２８１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
解決しようとする課題は、液晶表示装置などの製造方法において、表示装置基板を研磨処理して薄型化するときに角部の位置によらずに均等な厚さに研磨することが困難であることである。
上記の問題は液晶表示装置に限るものではなく、基本的に、基板を薄型化して用いる表示装置のいずれにもあてはまる。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の表示装置の製造方法は、表示装置を構成する表示装置基板を研磨して薄型化する表示装置の製造方法であって、表示装置基板をキャリアに装着する工程と、前記表示装置基板を下定盤に押し当てる工程と、前記表示装置基板と前記下定盤の界面にスラリを供給する工程と、前記キャリアに対して前記下定盤の回転軸を軸とする公転運動と前記キャリアの中心を軸とする自転運動を行わせて、前記表示装置基板と前記下定盤の相対位置を移動させ、前記表示装置基板を研磨して薄型化する工程とを有し、前記表示装置基板を研磨して薄型化する工程において、回転駆動する前記下定盤に対して前記表示装置基板の第１の角部が前記表示装置基板の中で最上流となる位置における前記第１の角部と前記下定盤との相対速度と、回転駆動する前記下定盤に対して前記表示装置基板の第２の角部が前記表示装置基板の中で最上流となる位置における前記第２の角部と前記下定盤との相対速度との差を相殺するように、前記キャリアの自転の回転数を選択する。
【００２０】
上記の本発明の表示装置の製造方法は、表示装置を構成する表示装置基板を研磨して薄型化する表示装置の製造方法である。
まず、表示装置基板をキャリアに装着し、表示装置基板を下定盤に押し当て、表示装置基板と下定盤の界面にスラリを供給し、次に、キャリアに対して下定盤の回転軸を軸とする公転運動とキャリアの中心を軸とする自転運動を行わせて、表示装置基板と下定盤の相対位置を移動させ、表示装置基板を研磨して薄型化する。
ここで、表示装置基板を研磨して薄型化する工程において、回転駆動する下定盤に対して表示装置基板の第１の角部が表示装置基板の中で最上流となる位置における第１の角部と下定盤との相対速度と、回転駆動する下定盤に対して表示装置基板の第２の角部が表示装置基板の中で最上流となる位置における第２の角部と下定盤との相対速度との差を相殺するように、キャリアの自転の回転数を選択する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の表示装置の製造方法によれば、表示装置基板を研磨処理して薄型化するときに、角部の位置によらずに均等な厚さに研磨することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の表示装置の製造方法の実施の形態について、添付の図面を参照して述べる。
【００２３】
本実施形態は、液晶表示装置となる表示装置基板の製造方法に係る。
図１は、本実施形態に係る表示装置基板１０の模式図である。
例えば、画素電極およびＴＦＴなどが設けられた駆動基板１１と、対向電極などが設けられた対向基板１２が、球状あるいは柱状スペーサなどにより所定の間隔をもって対向するように貼り合わされており、駆動基板１１と対向基板１２の間隙に液晶が充填封止されて、１つの表示装置として用いられる領域に切り出されたものである。
【００２４】
例えば、駆動基板１１は対向基板１２より大きく形成されており、対向基板１２との貼り合わせ面に形成された端子部１１Ｔが対向基板１２からはみ出して外部に露出するように、対向基板１２と貼り合わされている。
【００２５】
駆動基板（第１基板）１１の対向基板（第２基板）１２側の表面と、対向基板（第２基板）の駆動基板（第１基板）１１側の表面との間の空間において、表示領域において行列状に配列された複数個の表示画素が設けられた構成である。
【００２６】
また、例えば対向基板（第２基板）１２には画素毎にカラーフィルタが配置され、さらに駆動基板（第１基板）１１と対向基板（第２基板）１２のいずれかの箇所に、１／４波長板や偏光板などが配設される。
【００２７】
本実施形態の液晶表示装置となる表示装置基板は、透過型と反射型のいずれでもよく、また、透過型と反射型の併用型でもよい。
透過型の場合あるいは併用型の透過型の領域においては、光を透過するように、画素電極や共通電極などはＩＴＯなどの透明導電膜により形成された構成となっている。また、表示面の反対側の面にバックライトなどの光源が設けられる。
一方、反射型の場合あるいは併用型の反射型の領域においては、表示領域から入射した光を効率よく反射するように反射膜が設けられる。
【００２８】
駆動基板（第１基板）１１に設けられる駆動用のＴＦＴは、例えば、駆動基板（第１基板）１１上に形成されたポリシリコンあるいはアモルファスシリコンなどの薄膜半導体により形成されている。
また、駆動基板（第１基板）１１のＴＦＴなどを駆動する駆動回路は、駆動基板（第１基板）１１の表示領域の外周部などにおいて、対向基板（第２基板）１２と貼り合わせに支障が生じない領域に形成されている。
【００２９】
上記のほか、電極及び配線などの導電層、絶縁膜、液晶層などの材料は、液晶表示装置に一般的に用いられる材料を適宜用いることができる。
【００３０】
上記の液晶表示装置の製造方法は、例えば、予め駆動基板（第１基板）１１と対向基板（第２基板）１２をそれぞれ形成し、液晶配向膜などを形成した後、これらを貼り合わせる。
次に、例えば駆動基板（第１基板）１１と対向基板（第２基板）１２の間隙に設けられた空間に液晶層を充填封止する。
次に、駆動基板（第１基板）１１と対向基板（第２基板）１２が貼り合わされて液晶が充填されてなる液晶パネル（表示装置基板）１０を、１つの表示装置として用いられる領域ごとに切り出す。
次に、切り出された液晶パネル（表示装置基板）１０に対して、両面同時研磨装置を用いて駆動基板（第１基板）１１と対向基板（第２基板）１２の両面から研磨して薄型化する。
【００３１】
図２は、上記で用いる両面研磨装置の模式図である。
図３は、図２中Ｘ−Ｘ’における模式断面図である。
両面研磨装置は、上定盤１、下定盤２、サンギヤ３及びインターナルギヤ４を具備している。上定盤１、下定盤２、サンギヤ３及びインターナルギヤ４は、それぞれ独立に回転数を選択して回転駆動可能に構成されている。
【００３２】
サンギヤ３は外周側にギヤが設けられ、インターナルギヤ４には内周側にギヤが設けられており、サンギヤ３とインターナルギヤ４のギヤを適合する形状のギヤが外周に設けられたキャリア５が、サンギヤ３及びインターナルギヤ４とギヤが噛み合うように配置されている。
【００３３】
キャリア５の対象物用開口部に研磨対象物６が装着された状態で、研磨対象物６が上定盤１０１と下定盤２で上下から挟み込まれる。研磨対象物６は、本実施形態においては上記の液晶パネル（表示装置基板）１０である。
このとき、上定盤１はサンギヤ３の内周側に設けられたドライバ７に固定される。ドライバ７の上方から延伸するシリンダ８により、ドライバ７を介して上定盤１に圧力が印加される。
【００３４】
上定盤１及び下定盤２と研磨対象物６の界面に、研磨粒子９ａなどを含有するスラリ９が供給され、上定盤１、下定盤２、サンギヤ３及びインターナルギヤ４がそれぞれ回転駆動されることで、研磨対象物６が両面研磨される。
【００３５】
例えば、上定盤１は、回転数Ｒ７で回転するドライバ７とともに時計回り方向に所定の回転数Ｒ１で回転し、下定盤２、サンギヤ３及びインターナルギヤ４は、それぞれ反時計回り方向にそれぞれ所定の回転数（Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４）で回転する。
【００３６】
ここで、サンギヤ３とインターナルギヤ４との回転及びその回転数差によって、キャリア５の運動が決められる。例えば、キャリア５は、回転数Ｒ５ａで下定盤２、サンギヤ３及びインターナルギヤ４などの回転軸を軸とする公転運動をしながら、回転数Ｒ５ｂでキャリアの中心を軸とする自転運動を行い、移動していく。
上記のようにして、液晶パネル（表示装置基板）１０に対して、両面同時研磨装置を用いて駆動基板（第１基板）１１と対向基板（第２基板）１２の両面から研磨して薄型化する。
【００３７】
本実施形態においては、上記の液晶パネル（表示装置基板）１０を研磨して薄型化する工程において、回転駆動する下定盤２に対して液晶パネル（表示装置基板）１０の第１の角部１１Ａが液晶パネル（表示装置基板）１０の中で最上流となる位置における第１の角部１１Ａと下定盤２との相対速度と、回転駆動する下定盤２に対して液晶パネル（表示装置基板）１０の第２の角部１１Ｂが液晶パネル（表示装置基板）１０の中で最上流となる位置における第２の角部１１Ｂと下定盤２との相対速度との差を相殺するように、キャリア５の自転の回転数を選択する。
【００３８】
より具体的には、キャリア５の自転による第１の角部１１Ａ及び第２の角部１１Ｂの位置における周速度の大きさが、回転駆動する下定盤２に対して液晶パネル（表示装置基板）１０の第１の角部１１Ａが液晶パネル（表示装置基板）１０の中で最上流となる位置における第１の角部１１Ａの位置での下定盤２の周速度と、回転駆動する下定盤２に対して液晶パネル（表示装置基板）１０の第２の角部１１Ｂが液晶パネル（表示装置基板）１０の中で最上流となる位置における第２の角部１１Ｂの位置での下定盤２の周速度との差の１／２の大きさになるように、キャリア５の自転の回転数を選択する。
【００３９】
図４は、上記を説明するための模式図である。
液晶パネル（表示装置基板）１０が装着されたキャリア５が、サンギヤ３とインターナルギヤ４によって、回転数Ｒ５ａで下定盤２などの回転軸Ｃ１を軸として公転運動し、かつ、回転数Ｒ５ｂでキャリア５の中心Ｃ２を軸として自転運動する。
液晶パネル（表示装置基板）１０には、端子部１１Ｔが設けられ、第１の角部１１Ａと第２の角部１１Ｂを有している。
【００４０】
上記において、回転駆動する下定盤２に対して液晶パネル（表示装置基板）１０の第１の角部１１Ａが液晶パネル（表示装置基板）１０の中で最上流となる位置Ｆにおける第１の角部１１Ａの位置での下定盤２の周速度は、第１の角部１１ＡのＣ１からの距離ｒＡ、下定盤２の角速度ω２として、ｒＡ×ω２で示される。
一方、回転駆動する下定盤２に対して液晶パネル（表示装置基板）１０の第２の角部１１Ｂが液晶パネル（表示装置基板）１０の中で最上流となる位置Ｇにおける第２の角部１１Ｂの位置での下定盤２の周速度は、第２の角部１１ＢのＣ１からの距離ｒＢ、下定盤２の角速度ω２として、ｒＢ×ω２で示される。
【００４１】
また、キャリア５の自転による第１の角部１１Ａ及び第２の角部１１Ｂの位置における周速度は、第１の角部１１Ａ及び第２の角部１１ＢのＣ２からの距離ｒ、キャリア５の自転の角速度ω４として、ｒ×ω４で示される。
【００４２】
上記のように表記した場合、回転駆動する下定盤２に対して液晶パネル（表示装置基板）１０の第１の角部１１Ａが液晶パネル（表示装置基板）１０の中で最上流となる位置における第１の角部１１Ａと下定盤２との相対速度ＶＡは、下記式（１）で示される。
【００４３】
［数１］
ＶＡ＝ｒＡ×ω２−ｒ×ω４      ・・・（１）
【００４４】
一方、回転駆動する下定盤２に対して液晶パネル（表示装置基板）１０の第２の角部１１Ｂが液晶パネル（表示装置基板）１０の中で最上流となる位置における第２の角部１１Ｂと下定盤２との相対速度ＶＢは、下記式（２）で示される。
【００４５】
［数２］
ＶＢ＝ｒＢ×ω２＋ｒ×ω４      ・・・（２）
【００４６】
上記においては、ｒＡ＞ｒＢであるので、ｒＡ×ω２＞ｒＢ×ω２となり、ｒ×ω４が十分に小さい場合には、ＶＡ＞ＶＢとなってしまい、これが原因となって、図１に示す端子部１１Ｔの一方の角部（第１の角部）１１Ａの厚さｔＡと他方の角部（第２の角部）１１Ｂの厚さｔＢの間で差が発生してしまう。
【００４７】
本実施形態においては、ＶＡとＶＢとの差を相殺するように、キャリア５の自転の回転数を選択する。
具体的には、ｒ×ω４の大きさが、（ｒＡ×ω２−ｒＢ×ω２）／２となるように、キャリア５の自転の回転数を選択する。
上記により、ＶＡ＝ＶＢとすることが可能となり、液晶パネル（表示装置基板）１０を研磨処理して薄型化するときに、角部の位置によらずに均等な厚さに研磨することができる。
【実施例】
【００４８】
（比較例）
図４において、上定盤（不図示）、下定盤２、サンギヤ３及びインターナルギヤ４の回転数を以下のように、設定する。
・上定盤回転数：６．８ｒｐｍ
・下定盤回転数：２０ｒｐｍ
・サンギヤ回転数：５．２ｒｐｍ
・インターナルギヤ回転数：７．２ｒｐｍ
【００４９】
このときのキャリア５の公転運動の回転数は、６．７ｒｐｍとなり、キャリア５の自転運動の回転数は、２．５ｒｐｍとなる。
【００５０】
図４において、回転駆動する下定盤２に対して液晶パネル（表示装置基板）１０の第１の角部１１Ａが液晶パネル（表示装置基板）１０の中で最上流となる位置Ｆにおいて、第１の角部１１ＡのＣ１からの距離ｒＡが５３０ｍｍであり、回転駆動する下定盤２に対して液晶パネル（表示装置基板）１０の第２の角部１１Ｂが液晶パネル（表示装置基板）１０の中で最上流となる位置Ｇにおいて第２の角部１１ＢのＣ１からの距離ｒＢが３３９ｍｍであるとする。
【００５１】
また、キャリア５において、第１の角部１１Ａ及び第２の角部１１ＢのＣ２からの距離ｒは８５ｍｍであるとする。
【００５２】
ここで、１ｒｐｍ＝２π／６０（ｒａｄ／ｓ）＝０．１０５（ｒａｄ／ｓ）であることを考慮すると、位置Ｆにおける第１の角部１１Ａと下定盤２との相対速度ＶＡは、下記式（３）となる。
【００５３】
［数３］
ＶＡ＝ｒＡ×ω２−ｒ×ω４＝０．５３０×０．１０５×２０−０．０８５×０．１０５×２．５＝１．０９０７ｍ／ｓ      ・・・（３）
【００５４】
また、位置Ｇにおける第２の角部１１Ｂと下定盤２との相対速度ＶＢは、下記式（４）となる。
【００５５】
［数４］
ＶＢ＝ｒＢ×ω２＋ｒ×ω４＝０．３３９×０．１０５×２０＋０．０８５×０．１０５×２．５＝０．７３４２ｍ／ｓ      ・・・（４）
【００５６】
上記においては、ＶＡ＞ＶＢとなり、これが原因となって、図１に示す端子部１１Ｔの一方の角部（第１の角部）１１Ａの厚さｔＡと他方の角部（第２の角部）１１Ｂの厚さｔＢの間で差が発生してしまう。
【００５７】
上記において、キャリアの公転運動に係る移動速度は、第１の角部１１Ａと第２の角部１１Ｂで同じであり、考慮に入れないでよい。
【００５８】
（実施例）
上記の比較例において、キャリアの自転運動の回転数が２２ｒｐｍとなるように、サンギヤ回転数とインターナルギヤ回転数を変更した。
上記以外は、上記と同様である。
【００５９】
この場合、位置Ｆにおける第１の角部１１Ａと下定盤２との相対速度ＶＡは、下記式（５）となる。
【００６０】
［数５］
ＶＡ＝ｒＡ×ω２−ｒ×ω４＝０．５３０×０．１０５×２０−０．０８５×０．１０５×２２＝０．９１６７ｍ／ｓ      ・・・（５）
【００６１】
また、位置Ｇにおける第２の角部１１Ｂと下定盤２との相対速度ＶＢは、下記式（６）となる。
【００６２】
［数６］
ＶＢ＝ｒＢ×ω２＋ｒ×ω４＝０．３３９×０．１０５×２０＋０．０８５×０．１０５×２２＝０．９０８３ｍ／ｓ      ・・・（６）
【００６３】
上記においては、ＶＡ≒ＶＢとなり、液晶パネル（表示装置基板）１０を研磨処理して薄型化するときに、角部の位置によらずに均等な厚さに研磨することができる。
【００６４】
より正確にＶＡ＝ＶＢとなるキャリア５の自転運動の回転数を求めるには、ｒ×ω４の大きさが、（ｒＡ×ω２−ｒＢ×ω２）／２となるようにすればよい。
キャリア５の自転運動の回転数をＸとしたとき、下記式（７）となる。
【００６５】
［数７］
ｒ×ω４＝（ｒＡ×ω２−ｒＢ×ω２）／２
０．０８５×０．１０５×Ｘ＝（０．５３０×０．１０５×２０−０．３３９×０．１０５×２０）／２
Ｘ＝２２．４７ｒｐｍ      ・・・（７）
【００６６】
即ち、式（７）から、キャリア５の自転運動の回転数を２２．４７ｒｐｍとすればよいことがわかる。
【００６７】
従来のように角部の厚さに差が生じてしまう場合に、キャリアの自転方向を図4に示す方向から回転を逆向きにしたとき、角部の厚さの関係が逆となることからも、上記の結果ともよく一致するものである。
【００６８】
（変形例１）
図５は、キャリアに表示装置基板を装着したときのレイアウトの変形例を模式的に示す斜視図である。
図５（ａ）に示すキャリアは、１つのキャリアに５枚の研磨対象物を装着可能であり、図５（ｂ）に示すキャリアは、１つのキャリアに８枚の研磨対象物を装着可能である。
図５（ａ）及び（ｂ）においては、キャリア５のギヤ５ａについても示している。
【００６９】
（変形例２）
図６（ａ）は両面研磨装置の模式図であり、図６（ｂ）及び（ｃ）は上定盤と下定盤の形状の変形例である。
図６（ａ）に示すように、インターナルギヤ回転数がサンギヤ回転数より大きい場合、キャリア５で示すように、キャリア５の自転運動の回転方向は、反時計方向となる。
この場合には、図６（ｂ）に示すように、下定盤２の形状として、中心を高く、外周部を低くした順テーパー形状にすることが好ましい。上定盤１の形状は、下定盤２に適合する形状とする。
【００７０】
また、図６（ａ）に示すように、インターナルギヤ回転数がサンギヤ回転数より小さい場合、キャリア５’で示すように、キャリア５’の自転運動の回転方向は、時計方向となる。
この場合には、図６（ｃ）に示すように、下定盤２の形状として、中心を低く、外周部を高くした逆テーパー形状にすることが好ましい。上定盤１の形状は、下定盤２に適合する形状とする。
【００７１】
本発明によれば、液晶パネル（表示装置基板）１０を研磨処理して薄型化するときに、角部の位置によらずに均等な厚さに研磨することができるという効果を享受できる。
従来生じていた、（１）研磨処理工程にかかる手間が２倍になる、（２）表示装置基板のキャリアへの装着工程が２倍となるために、セットミスによる割れやカケが増大し、歩留まりが低下する。特に、研磨途中で装着しなおす場合には、表示装置基板がある程度薄くなっているので、強度が弱くなっており、割れやカケが増大しやすくなる、（３）研磨処理の途中で研磨装置を停止し、表示装置基板を装着しなおす間に、端子部に付着したスラリが乾燥して端子部を汚してしまう、（４）研磨処理の半分はキャリア中心に対して表示装置基板の端子部を外向きにして行うことになり、遠心力によって表示装置基板の位置ずれが起こり、端子部に傷が入りやすい、という各不利益を解消することができる。
【００７２】
本発明は上記の説明に限定されない。
例えば、液晶表示装置（ＬＣＤ）に限らず、電界放出表示装置（ＦＥＤ）、プラズマ表示装置（ＰＤＰ）、電界発光表示装置（ＥＬ）などの表示装置の製造方法に適用できる。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明に係る表示装置の製造方法は、大型から小型の表示装置として、ノート型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション用の表示装置、携帯情報端末、携帯電話、デジタルカメラ、ビデオカメラ等の電子機器の製造方法に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】図１は本発明の実施形態に係る表示装置基板の模式図である。
【図２】図２は本発明の実施形態で用いる両面研磨装置の模式図である。
【図３】図３は図２中Ｘ−Ｘ’における模式断面図である。
【図４】図４は本発明の実施形態を説明するための模式図である。
【図５】図５（ａ）及び（ｂ）はキャリアに表示装置基板を装着したときのレイアウトの変形例を模式的に示す斜視図である。
【図６】図６（ａ）は両面研磨装置の模式図であり、図６（ｂ）及び（ｃ）は上定盤と下定盤の形状の変形例である。
【図７】図７は従来例で用いる両面研磨装置の模式図である。
【図８】図８（ａ）は従来例に係る表示装置基板の模式図であり、図８（ｂ）及び図８（ｃ）はキャリアに表示装置基板を装着したときのレイアウトである。
【符号の説明】
【００７５】
１…上定盤、２…下定盤、３…サンギヤ、４…インターナルギヤ、５，５’…キャリア、５ａ…ギヤ、６…研磨対象物、７…ドライバ、８…シリンダ、９…スラリ、９ａ…研磨粒子、１０…表示装置基板、１１…駆動基板、１１Ａ，１１Ｂ…角部、１２…対向基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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