(57)【要約】【課題】本発明は、固液分離部材によって捕集した端材をワークの加工中においても容易に廃棄することができるダイシング装置を提供する。【解決手段】本発明の端材回収装置８０は、パンチングメタル８２、パンチングメタル８２を保持するフレーム８４、及びフレーム８４を介してパンチングメタル８２を排液部８６の上方位置と端材廃棄部８８の上方位置との間で往復移動させるエアシリンダ装置９０から構成される。パンチングメタル８２は、通常時にはオイルパン２０の所定の位置に形成された排液口２１の下方に配置されている。オイルパン２０に回収された排液は、排液口２１の下方に設置されている排液部８６にパンチングメタル８２を介して排水される。端材はパンチングメタル８２を通過することなくパンチングメタル８２によって捕集され、パンチングメタル８２が排液部８６の上方位置から端材廃棄部８８の上方位置に配置されることにより、端材廃棄部８８に落下して処理される。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークテーブルに載置されたワークを回転刃によって加工する加工手段と、
前記加工手段の下方に設けられるとともに加工に供した液体及び前記ワークの端材を回収するオイルパンと、
前記オイルパンに回収された液体を排液する排液部と、
前記オイルパンによって回収された端材を廃棄する端材廃棄部と、
前記オイルパンによって回収された液体を通過させて端材を捕集する固液分離手段と、
前記固液分離手段を前記排液部の上方位置と前記端材廃棄部の上方位置との間で移動させる移動手段と、
を備えたことを特徴とするダイシング装置。
【請求項２】
前記固液分離手段は、前記端材廃棄部の上方位置に位置すると、傾倒手段によって傾倒され、固液分離手段によって捕集された前記端材が端材廃棄部に向けて落下される請求項１に記載のダイシング装置。
【請求項３】
前記固液分離手段は多孔板である請求項１、又は２に記載のダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はダイシング装置に関し、特に半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工を行うダイシング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や電子部品材料等のワークに溝加工や切断加工（以下加工と称する）を行う従来のダイシング装置においては、ワークテーブルに載置されたワークを、高速で回転するブレードと称する薄型砥石によって研削水をかけながら加工する。このダイシング装置では、薄型砥石を保持したスピンドルがＹ軸方向のインデックス送りとＺ軸方向の切込み送りとがなされるとともに、ワークを載置したワークテーブルがＸ軸方向に研削送りされるように構成されている。また、ワークの上面を観察する顕微鏡が、ホルダーアームを介して薄型砥石を保持したスピンドルに固定されている。この顕微鏡を用いてワークの上面を観察し、ワークのアライメントを行ったり、あるいは加工後の切り溝の評価を行ったりしている。この顕微鏡にはＣＣＤカメラが接続されており、このＣＣＤカメラで撮像した画像をパターンマッチング手段等で画像処理を実施してワークのアライメントを行っている（特許文献１等参照）。
【０００３】
一方、ワークの加工に供した研削水や加工によって生じたワークのスクラップ端材（以下、「端材」と称する）は、ワークテーブルの下方に設けられたオイルパンに回収される。オイルパンに回収された切削水や端材は、オイルパンの所定の位置に形成された排出口に向けて流下する。この排出口には、研削水から端材を分離するパンチングメタル板（多孔板）等の固液分離部材が設けられているため、オイルパンに回収された研削水は、固液分離部材を通過して排出口から排液部に排液され、一方、オイルパンに回収された端材は、固液分離部材に捕集される。固液分離部材で捕集された端材は、作業者によって不定期に回収されて端材廃棄部に廃棄される。
【特許文献１】特開２００６−１５５０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のダイシング装置は、固液分離部材によって捕集した端材を作業者によって回収するものなので、ブレードが高速回転しているワークの加工中には回収することが難しく、固液分離部材が端材で詰まった場合でも、即座に回収することが難しいという問題があった。固液分離部材に詰まりが生じると、研削水がオイルパンに溢れ、ワークテーブルを移動させる移動手段を保護するための蛇腹に、研削水中の端材が食い込んで蛇腹を損傷させるというおそれがあった。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、固液分離部材によって捕集した端材をワークの加工中においても容易に廃棄することができるダイシング装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ワークテーブルに載置されたワークを回転刃によって加工する加工手段と、前記加工手段の下方に設けられるとともに加工に供した液体及び前記ワークの端材を回収するオイルパンと、前記オイルパンに回収された液体を排液する排液部と、前記オイルパンによって回収された端材を廃棄する端材廃棄部と、前記オイルパンによって回収された液体を通過させて端材を捕集する固液分離手段と、前記固液分離手段を前記排液部の上方位置と前記端材廃棄部の上方位置との間で移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とするダイシング装置を提供する。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、固液分離手段に端材による詰まりが生じる前に、固液分離手段を移動手段によって、通常の排液部の上方位置から端材廃棄部の上方位置に移動させ、固液分離手段に捕集された端材を端材廃棄部に廃棄する。これにより、本発明によれば、固液分離部材によって捕集した端材をワークの加工中においても容易に廃棄することができる。
【０００８】
前記移動手段としてシリンダ装置を用いることが好ましい。回転するベルトコンベアによって端材を回収する装置もあるが、この回収装置では、ベルトコンベア、モータ等の回転機械要素を有することから構造が複雑になる。これに対して、シリンダ装置、すなわち、ピストンの伸縮動作のみで固液分離部材を移動させる機構は、シリンダとバルブ等からなる簡単な構造であり、動力もかからないので経済的にも有利である。
【０００９】
固液分離手段としては、パンチングメタル等の多孔板、ネット、濾紙等が適用できるが、端材を安定して回収でき、かつ液体の排水性を考慮すれば、パンチングメタル、ネット等の金属製のものが好適である。
【００１０】
前記移動手段は、固液分離手段を排液部の上方位置から端材廃棄部の上方位置に移動させ、固液分離手段で回収した端材を端材廃棄部に廃棄した後、直ちに排液部の上方位置に固液分離手段を復帰移動させる。固液分離手段が排液部の上方位置に滞在する時間は、すなわち、端材の回収時間は、単位時間に生じる端材の量に基づいて制御することが好ましい。要するに、端材の発生量が多くなるに従って、回収時間を短くすればよい。その時間は、固液分離手段に端材による詰まりが発生する時間よりも短く、経験的に求められるものである。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１において、前記固液分離手段は、前記端材廃棄部の上方位置に位置すると、傾倒手段によって傾倒され、固液分離手段によって捕集された前記端材が端材廃棄部に向けて落下されることを特徴としている。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、固液分離手段が端材廃棄部の上方位置に位置すると、傾倒手段によって傾倒される。例えば、その姿勢が水平方向にあった固液分離手段を鉛直方向に傾倒すれば、水平方向の姿勢で捕集された端材がその自重で端材廃棄部に落下するので、端材を端材廃棄部に容易に廃棄することができる。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２において、前記固液分離手段は多孔板であることを特徴としている。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、固液分離手段を多孔質板としたので、端材と液体とを安定して分離することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係るダイシング装置によれば、固液分離手段に端材による詰まりが生じる前に、固液分離手段を移動手段によって、通常の排液部の上方位置から端材廃棄部の上方位置に移動させ、固液分離手段に捕集された端材を端材廃棄部に廃棄するので、固液分離部材によって捕集した端材をワークの加工中においても容易に廃棄することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下添付図面に従って本発明に係るダイシング装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００１７】
図１に示した実施の形態のダイシング装置１は、複数のワークが収納されたカセットを外部装置との間で受け渡すロードポート２、吸着部３を有しワークＷを装置各部に搬送する搬送手段４、ワークＷの上面を観察する一対の顕微鏡５、５、加工部（加工手段）６、加工後のワークＷを洗浄し乾燥させるスピンナ７、及び装置各部の動作を制御するコントローラ８等とから構成されている。
【００１８】
加工部６には、２本対向して配置され、回転ブレード９が取り付けられた高周波モータ内蔵型のエアーベアリング式スピンドル（又はメカニカルベアリング式のスピンドル）１０、１０が設けられており、これらのスピンドル１０、１０は高速回転されるとともに、互いに独立して図のＹ方向のインデックス送りとＺ方向の切込み送りとがなされる。
【００１９】
ブレード９は手前側と下方が開口した不図示のフランジカバーで囲われ、フランジカバーに設けられた研削ノズルから研削水が加工ポイントに向けて供給される。また、フランジカバーには、不図示の洗浄ノズルが設けられており、この洗浄ノズルから加工ポイントに向けて洗浄水が供給される。ブレード９は薄い円盤状の砥石であり、ダイヤモンド砥粒やＣＢＮ砥粒をニッケルで電着した電着ブレード、又は樹脂で結合したレジンブレードが用いられる。更に、加工部６には、ワークＷを吸着載置する２台の同形状のワークテーブル１２、１４が設けられ、これらは後述する図２のＸテーブル１６、１８の移動によって図１のＸ方向に研削送りされるように構成されている。
【００２０】
図２は、ダイシング装置１の加工部６の主要部を示した斜視図である。
【００２１】
同図に示すように加工部６のワークテーブル１２、１４の下方には、箱状のオイルパン２０が水平に配置されている。このオイルパン２０の左側面には、２本で一対のガイドレール２２、２２が図の矢印Ｘ方向に沿って配設されており、これらのガイドレール２２、２２の間には、駆動機構を構成するボールねじ２４がガイドレール２２、２２と平行に、かつオイルパン２０の左側面に沿って配設されている。
【００２２】
また、このボールねじ２４を回転駆動するサーボモータ（リニアモータでもよい）２６がオイルパン２０の奥行き方向奥側に配置されている。更に、ガイドレール２２、２２で案内され、サーボモータ２６によるボールねじ２４の回転でＸ方向に駆動されるＸテーブル１６が縦方向に配置されている。Ｘテーブル１６には、図３に示すようにボールねじ２４と螺合するボールナット２８と、ガイドレール２２、２２に摺動自在に係合するスライダ３０、３０とが設けられるとともにＺ方向（図１参照）を軸にθ回転するθテーブル３２が搭載され、このθテーブル３２にワークテーブル１２が取り付けられている。θテーブル３２の回転軸は、ワークテーブル１２が水平面上でθ方向に回転するようにＸテーブル１６にその側面が固定されている。
【００２３】
更にまた、Ｘテーブル１６のＸ方向の移動に伴い伸縮動作されてガイドレール２２、２２、及びボールねじ２４を覆う一対の蛇腹３４、３４がオイルパン２０の左側面に配置されている。一方の蛇腹３４は、一端がオイルパン２０の奥行き方向手前側に固定され、他端がＸテーブル１６の奥行き方向手前側縁部に固定されている。また、他方の蛇腹３４は、一端がオイルパン２０の奥行き方向手奥側に固定され、他端がＸテーブル１６の奥行き方向奥側縁部に固定されている。なお、図２では、他方の蛇腹３４を省略している。
【００２４】
一方で、図２の如くオイルパン２０の右側面にも同様に、２本で一対のガイドレール３６、３６が図１の矢印Ｘ方向に沿って配設され、これらのガイドレール３６、３６の間にも、駆動機構を構成するボールねじ３８がガイドレール３６、３６と平行に、かつオイルパン２０の右側面に沿って配設されている。
【００２５】
また、このボールねじ３８を回転駆動するサーボモータ４０がオイルパン２０の奥行き方向奥側に配置されている。更に、ガイドレール３６、３６で案内され、サーボモータ４０によるボールねじ３８の回転でＸ方向に駆動されるＸテーブル１８が配置されている。Ｘテーブル１８には、ボールねじ３８と螺合するボールナット（不図示）と、ガイドレール３６、３６に摺動自在に係合するスライダ（不図示）とが設けられるとともにＺ方向（図１参照）を軸にθ回転するθテーブル４４が搭載され、このθテーブル４４にワークテーブル１４が取り付けられている。θテーブル４４の回転軸は、ワークテーブル１４が水平面上でθ方向に回転するようにＸテーブル１８にその側面が固定されている。
【００２６】
更にまた、Ｘテーブル１８のＸ方向の移動に伴い伸縮動作されてガイドレール３６、３６、及びボールねじ３８を覆う一対の蛇腹４６、４６がオイルパン２０の右側面に配置されている。一方の蛇腹４６は、一端がオイルパン２０の奥行き方向手前側に固定され、他端がＸテーブル１８の奥行き方向手前側縁部に固定されている。また、他方の蛇腹４６は、一端がオイルパン２０の奥行き方向手奥側に固定され、他端がＸテーブル１８の奥行き方向奥側縁部に固定されている。なお、図２では、他方の蛇腹４６を省略している。
【００２７】
また、図４、図５に示すように、加工部６には門型形状のガイドベース４８が立設されている。ガイドベース４８の図５中左側面には、図の矢印Ｙ方向に向けて水平にスピンドルＹガイド５０が取り付けられ、スピンドルＹガイド５０にガイドされ、図示しない駆動機構によってＹ方向にインデックス送りされるスピンドルＹテーブル５２、５２が２台設けられている。各々のスピンドルＹテーブル５２には、図示しないガイドレールと駆動機構によって図の矢印Ｚ方向に切込み送りされるスピンドルＺテーブル５４が設けられ、各々のスピンドルＺテーブル５４には、ホルダ５６を介してスピンドル１０が取り付けられている。２本のスピンドル１０、１０は互いに対向するように配置され、各々のスピンドル１０には先端に回転ブレード９が取り付けられている。このような機構により、２枚の回転ブレード９、９は各々独立してＺ方向の切込み送りとＹ方向のインデックス送りとがされる。また、スピンドルＹテーブル１６、１８、及びスピンドルＺテーブル５４の駆動機構は、リニアモータを用いてもよいし、サーボモータとリードスクリューを用いてもよい。
【００２８】
ガイドベース４８の図５中右側面には、２台の顕微鏡駆動手段５８、６０が設けられている。これらの顕微鏡駆動手段５８、６０は、ガイドベース４８の右側面に取り付けられ図の矢印Ｙ方向に向けて水平に配置された顕微鏡Ｙガイド６２、６２に沿って矢印Ｙ方向に移動自在に支持される。なお、顕微鏡移動手段５８、６０は、顕微鏡Ｙガイド６２、６２以外の別のガイドに移動自在に支持してもよい。
【００２９】
また、顕微鏡駆動手段５８、６０は、顕微鏡Ｙガイド６２、６２にガイドされた顕微鏡Ｙテーブル６４を夫々備えている。顕微鏡駆動手段５８の顕微鏡Ｙテーブル６４は、顕微鏡Ｙガイド６２、６２と平行に配設された、図４のボールねじ７０にそのボールナッド（不図示）が螺合され、ボールネジ７０を回転駆動するサーボモータ７２の回転力によってＹ方向に移動される。同様に、顕微鏡駆動手段６０の顕微鏡Ｙテーブル６４は、顕微鏡Ｙガイド６２、６２と平行に配設されたボールねじ７４にそのボールナッド（不図示）が螺合され、ボールネジ７４を回転駆動するサーボモータ７６の回転力によってＹ方向に移動される。これらのボールねじ７０、７４は、図５に示すようにワークテーブル１２、１４の上方に亘って設けられており、これによって、顕微鏡駆動手段５８、６０は、ワークテーブル１２、１４の双方の上方位置に独立して移動可能となっている。
【００３０】
一方、夫々の顕微鏡Ｙテーブル６４には、図の矢印Ｚ方向に送られる顕微鏡Ｚテーブル６６が設けられ、これらの顕微鏡Ｚテーブル６６には、ワークＷの上面を観察する顕微鏡５が夫々取り付けられている。以上の如く構成された顕微鏡駆動手段５８、６０によって、顕微鏡５、５は図のＹ方向とＺ方向とに送られるとともに、双方の顕微鏡５、５は、ワークテーブル１２、１４に各々載置されたワークＷを撮像可能となっている。
【００３１】
顕微鏡５には図示しないＣＣＤカメラが組み込まれており、ＣＣＤカメラで撮像したワークＷの画像を図１のコントローラ８内に設けられた画像処理装置でパターンパッチング処理をして、ワークＷのアライメントが行われる。これら各部の駆動手段の制御、アライメント動作の制御、加工部６の制御、搬送手段４の制御等は全てコントローラ８によって行われるようになっている。
【００３２】
次に、このように構成されたダイシング装置１の作用について説明する。
【００３３】
まず、ワークＷが収納されたカセットが、外部搬送手段によってダイシング装置１のロードポート２に受け渡される。このカセットには、ダイシングテープを介してフレームに貼着されたワークＷが複数枚収納されている。次に、ワークＷはダイシング装置１の搬送手段４によって１枚ずつカセットから引き出され、ワークテーブル１２に吸着される。その後、ワークテーブル１２が顕微鏡Ｙガイド６２の下方に移動するとともに、２台の顕微鏡５、５が顕微鏡Ｙテーブル６４によってワークＷの真上に搬送される。ここで顕微鏡Ｚテーブル６６によって２台の顕微鏡５、５の焦点が合わされる。次いで、ワークＷの上面に形成されているパターン部分が２台の顕微鏡５、５に組み込まれたＣＣＤカメラで撮像され、既知のパターンマッチング手法を用いてアライメントされる。なお、このワークがアライメントされている時に、次のワークＷがワークテーブル１４に載置される。
【００３４】
アライメントされたワークＷは、ワークテーブル１２によって加工部６に搬送される。ここでは、２枚の回転ブレード１０、１０が夫々必要な切り込み送りがされ、ワークテーブル１２のＸ方向研削送りによって２本の加工領域（ストリート）が同時に加工される。次に、回転ブレード１０、１０がＹ方向に必要ピッチ分インデックス送りされて次のストリートに位置付けられ、ワークテーブル１２のＸ方向研削送りによってこの２本のラインも加工される。この動作が繰り返されてワークＷの一方向の全てのストリートが加工される。一方向の全ラインが加工されると、θテーブル３２の回転によりワークＷは９０度回転され、先程のストリートと直行するストリートが加工される。
【００３５】
最初のワークＷが加工部６で加工されている間に、次のワークＷが顕微鏡Ｙガイド６２の下に移動され、２台の顕微鏡５、５が顕微鏡Ｙテーブル６４によってこのワークＷの真上に搬送される。ここでも同様にして、顕微鏡Ｚテーブル６６によって２台の顕微鏡５、５の焦点が合わされ、次のワークＷの上面に形成されているパターン部分が２台の顕微鏡５、５に組み込まれているＣＣＤカメラで撮像されてアライメントが行われる。最初のワークＷの加工が終了すると、アライメントの終了した次のワークＷが加工部６に搬入され、同様に加工される。なお、ブレード９、９による加工中において、２台の顕微鏡５、５によってアライメントする際に、顕微鏡５、５によって同一のストリートを撮像し、各々の顕微鏡のカメラ軸の精度を確認したり、キャリブレーション値を反映（温度の変化等による精度確認や２台のカメラ搭載時のカメラ間のキャリブレーション値の確認）したりすることができる。
【００３６】
全加工終了した最初のワークＷは、必要により２台の顕微鏡５、５の下で加工溝の形状やチッピング状況が計測されて評価される。加工溝の評価が終了すると、ワークＷは搬送手段４によってスピンナ７に搬送され、ここでスピン洗浄とスピン乾燥とが行われる。洗浄及び乾燥が終了したワークＷは、再び搬送手段４によって元のカセットに収納される。次のワークＷも同様にして、加工、洗浄、及び乾燥されて、元のカセットに収納される。以上のような動作が次々と繰り返されて、カセット内の全部のワークＷが加工される。以上が本発明に係るダイシング装置によってワークＷを加工するときの流れである。なお、顕微鏡５、５によるワークＷのアライメント中に、ブレード９の摩耗量を確認したり、ブレード９を交換したりすることができる。
【００３７】
図６、図７は、ダイシング装置１の加工部６に設けられた端材回収装置８０の斜視図である。この端材回収装置８０は、図２に示したオイルパン２０の下方に配置され、加工部６で生じた排液（加工に使用した液体（研削水、洗浄水））から、ワークＷの端材を分別回収し廃棄する装置である。
【００３８】
端材回収装置８０は図６に示すように、固液分離手段である矩形状のパンチングメタル８２、パンチングメタル８２を保持するフレーム８４、及びフレーム８４を介してパンチングメタル８２を排液部８６の上方位置と端材廃棄部８８の上方位置との間で往復移動させるエアシリンダ装置（移動手段）９０から構成されている。
【００３９】
パンチングメタル８２は図２の如く、通常時にはオイルパン２０の所定の位置に形成された排液口２１の下方に配置されている。通常時とは、ワークＷの加工時である。この排液口２１の下方に図６に示した排液部８６が配置されている。また、図２の排液口２１周りのオイルパン２０には、排液口２１に向けた傾斜面２０Ａが形成され、これによって、オイルパン２０に回収された排液、端材は、オイルパン２０の傾斜面２０Ａに沿って流下し、排液口２１に向けて流れ、排液口２１の下方に配置したパンチングメタル８２に捕集される。この際、排液はパンチングメタル８２の孔を通過し、排液口２１の下方に設置されている図６の排液部８６に排水される。一方で、端材はパンチングメタル８２を通過することなくパンチングメタル８２によって捕集される。
【００４０】
パンチングメタル８２によって捕集された端材は、エアシリンダ装置９０のピストン９１が伸長し、ピストン９１の先端に連結されているフレーム８４が排液部外方に押されることにより、パンチングメタル８２が排液部８６の上方位置から端材廃棄部８８の上方位置に配置される。この動作によってパンチングメタル８２は、パンチングメタル８２の姿勢を水平状態に保持する不図示のサポートプレートから離脱するので、パンチングメタル８２はヒンジ９２の作用により図７の如く下方に自重で傾倒する。これによって、パンチングメタル８２に捕集された端材９４、９４…が端材廃棄部８８に落下して処理される。
【００４１】
また、この状態からピストン９１が収縮すると、フレーム８４を介してパンチングメタル８２がピストン９１に引かれて前記サポートプレートに乗り上げられるので、パンチングメタル８２の姿勢が水平状態に変更されながら排液口２１の下方に図６の如く位置される。これにより、排液と端材の分別捕集が継続する。サポートプレートは、排液部８６の上方に排液口２１を挟むように設けられた一対の金属製板材であり、パンチングメタル８２との間で滑り性を上げるために、その表面には潤滑材が塗布、又はコーティングされている。
【００４２】
なお、実施の形態では、パンチングメタル８２を傾倒させて、捕集した端材を端材廃棄部８８に廃棄するとしたが、これに限定されるものではない。例えば、パンチングメタル８２が端材廃棄部８８側に移動された際に、パンチングメタル８２に捕集された端材が端材廃棄部８８に廃棄されるような機構を端材回収装置８０、又は端材廃棄部８８に設ければよい。また、図６、図７に示したパンチングメタル９６は、パンチングメタル８２が図７の如く傾倒した際に、排液口２１の下方に位置して排液と端材を分別回収する端材分離手段である。このパンチングメタル９６で捕集された端材は、ダイシング装置１の稼働停止中に作業者により回収されて取り除かれる。
【００４３】
ところで、エアシリンダ装置９０は、パンチングメタル８２を排液部８６の上方位置から端材廃棄部８８の上方位置に移動させるように、その動作が制御部９８によって制御されている。すなわち、制御部９８は、パンチングメタル８２で回収した端材９４、９４…を端材廃棄部８８に廃棄した後、直ちに排液部８６の上方位置にパンチングメタル８２を復帰移動させるようにエアシリンダ装置９０のバルブ（不図示）の開閉動作を制御している。また、制御部９８は、パンチングメタル８２が排液部８６の上方位置に滞在する時間を、すなわち、端材９４の回収時間を、単位時間に生じる端材９４の量に基づいて制御している。要するに、端材９４の発生量が多くなるに従って、回収時間が短くなるように制御している。これにより、端材９４によるパンチングメタル８２の詰まりを防止している。
【００４４】
一方で、実施の形態では、固液分離手段としてパンチングメタル８２を適用したので、端材９４と液体とを安定して分離することができ、また、パンチングメタル８２で回収した端材９４を端材処理部８８に円滑に廃棄することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態に係るダイシング装置の外観を示す斜視図
【図２】図１に示したダイシング装置の加工部の構造を示した斜視図
【図３】図２に示した加工部の要部構造を示した断面図
【図４】図２に示した加工部の斜視図
【図５】図２に示した加工部の平面図
【図６】端材回収装置のパンチングメタルが排液部の上方位置にある斜視図
【図７】端材回収装置のパンチングメタルが端材廃棄の上方位置にある斜視図
【符号の説明】
【００４６】
１…ダイシング装置、５…顕微鏡、９…回転ブレード、１０…スピンドル、１２、１４…ワークテーブル、１６、１８…Ｘテーブル、２０…オイルパン、２２…ガイドレール、２４…ボールねじ、２６…サーボモータ、２８…ボールナット、３０…スライダ、３２…θテーブル、３４…蛇腹、３６…ガイドレール、３８…ボールねじ、４０…サーボモータ、４４…θテーブル、４６…蛇腹、４８…ガイドベース、５０…スピンドルＹガイド、５２…スピンドルＹテーブル、５４…スピンドルＺテーブル、５６…ホルダ、５８、６０…顕微鏡駆動手段、６２…顕微鏡Ｙガイド、６４…顕微鏡Ｙテーブル、６６…顕微鏡Ｚテーブル、７０、７４…ボールねじ、７２、７６…サーボモータ、８０…端材回収装置。８２…パンチングメタル、８４…フレーム、８６…排液部、８８…端材廃棄部、９０…エアシリンダ装置、９２…ヒンジ、９４…端材、９６…パンチングメタル、９８…制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
2009096087.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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