(57)【要約】      （修正有）【課題】簡易な構造でベアリングケースのラジアル方向の支持剛性を向上させることができる主軸装置を提供する。【解決手段】ハウジング１と、ハウジング１に転がり軸受装置３、４、５を介して回転自在に支持された主軸２と、ハウジング１と転がり軸受装置４との間に配設されて転がり軸受装置４を軸方向一方側に押圧するベアリングケース６とを備えている。ベアリングケース６とスリーブ部材１ｄ（ハウジング１）の間に、複数のクリアランス部とクリアランス部よりも大きい隙間幅を有する複数のポケット部６６、…、６６とを円周方向に交互に設ける。クリアランス部及びポケット部６６、…、６６には、それらの軸方向他方側に設けられた流体供給口から供給される非圧縮性流体を充填する。【選択図】図１
2009241214.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングと、該ハウジングに転がり軸受を介して回転自在に支持された主軸と、前記ハウジングと前記転がり軸受との間に配設されて前記転がり軸受を軸方向一方側に押圧して前記転がり軸受に予圧を付加するベアリングケースと、を備えた主軸装置において、
前記ベアリングケースと前記ハウジングの間には、クリアランス部と該クリアランス部よりも大きい隙間幅を有するポケット部とが円周方向に交互に設けられ、前記クリアランス部及び前記ポケット部には、それらの軸方向他方側に設けられた流体供給口から供給される非圧縮性流体が充填されていることを特徴とする主軸装置。
【請求項２】
前記流体供給口と前記ポケット部は、軸方向に距離を隔てて設けられていると共に、前記ベアリングケースと前記ハウジングの間に形成される微小隙間通路により連通されていることを特徴とする請求項１に記載の主軸装置。
【請求項３】
前記微小隙間通路は、前記クリアランス部よりも隙間幅が小さくされていることを特徴とする請求項２に記載の主軸装置。
【請求項４】
前記クリアランス部及び前記ポケット部は、軸方向の少なくとも２箇所に設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の主軸装置。
【請求項５】
前記流体供給口及び前記ポケット部の軸方向外側には、前記ベアリングケースと前記ハウジングの間に形成される隙間を封止するシール部材がそれぞれ配設されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の主軸装置。
【請求項６】
前記クリアランス部及び前記ポケット部に滞留したエアーを排出するエアー抜き管路を備えていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の主軸装置。
【請求項７】
前記非圧縮性流体は、作動油であることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の主軸装置。
【請求項８】
前記ベアリングケース外周面の前記流体供給口よりも前記軸方向一方側の部位には、前記非圧縮性流体の圧力により前記軸方向一方側への押圧を受ける受圧部が前記流体供給口と軸方向に距離を隔てて設けられており、前記流体供給口と前記受圧部の間に流体流通路が形成されていることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の主軸装置。
【請求項９】
前記受圧部は、前記ベアリングケースの全周に亘って設けられていることを特徴とする請求項８に記載の主軸装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械等の主軸装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば特許文献１に開示されているように、定圧予圧方式のアンギュラ玉軸受を用いた工作機械用の主軸装置においては、軸受の最適な性能を発揮させるようにするために、予圧荷重を油圧ピストンによりかける方法がよく採用されている。特許文献１の場合には、軸受の外輪外径面に外嵌されたベアリングケース（軸受スリーブ）に対して、油圧により軸方向の定圧予圧を付与するようにしている。そして更に、ベアリングケースに軸方向の減衰力を発生させるアキシャルダンパ（Ｏリング）を配設することにより、ベアリングケースのアキシャル方向の自励振動発生を防止するようにしている。
【０００３】
このような定圧予圧方式の主軸装置は、定位置予圧方式の主軸装置に比べて、主軸の高速回転時においても予圧荷重が増大しない特徴を有することから、高速回転での使用に有利となる。なお、ベアリングケースのラジアル方向の支持は、特許文献１に開示されているようなＯリングによるダンパ支持や静圧支持、或いはストロークボールによる支持等が一般に採用されている。
【０００４】
ところで、内周側に軸受を介して主軸を保持しているベアリングケースは、ラジアル方向の支持剛性が低いと、主軸が回転する際に振動や振れ回りが発生し易くなる。そのため、主軸装置による高精度の加工が困難になり、加工品の品質低下を招くこととなる。しかし、Ｏリングによるダンパ支持のみの場合には、十分に大きな支持剛性が得られない。また、静圧支持やストロークボールによる支持の場合には、構造が複雑になるという問題がある。
【特許文献１】特開２００４−１９５５８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、簡易な構造でベアリングケースのラジアル方向の支持剛性を向上させることができる主軸装置を提供することを解決すべき課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以下、上記課題を解決するのに適した各手段について、必要に応じて作用効果等を付記しつつ説明する。
【０００７】
〔手段１〕  手段１に係る発明は、ハウジングと、該ハウジングに転がり軸受を介して回転自在に支持された主軸と、前記ハウジングと前記転がり軸受との間に配設されて前記転がり軸受を軸方向一方側に押圧して前記転がり軸受に予圧を付加するベアリングケースと、を備えた主軸装置において、前記ベアリングケースと前記ハウジングの間には、クリアランス部と該クリアランス部よりも大きい隙間幅を有するポケット部とが円周方向に交互に設けられ、前記クリアランス部及び前記ポケット部には、それらの軸方向他方側に設けられた流体供給口から供給される非圧縮性流体が充填されていることを特徴としている。
【０００８】
手段１の主軸装置では、ベアリングケースとハウジングの間に、クリアランス部とポケット部とが円周方向に交互に設けられている。そのため、ラジアル方向に負荷がかかった時や、主軸が部品精度などに起因してラジアル方向に振られながら回転する際に、ベアリングケースのラジアル方向への動きによりポケット部の容積が変化するのに伴って、ポケット部の非圧縮性流体が、隣り合うポケット部間にあるクリアランス部を通って流動する。このとき、非圧縮性流体が流動する際の絞り効果による抵抗力が、ベアリングケースのラジアル方向への速度変化に対する抵抗力となるため、ベアリングケースのラジアル方向の動剛性が向上する。これにより、主軸が回転する際に発生する振動や振れ回りを抑制することができる。そのため、主軸装置による高精度の加工を行うことが可能となるので、加工品の良好な品質を確保することができる。また、主軸の回転の高速化を図ることができる。
【０００９】
〔手段２〕  手段２に係る発明は、手段１に記載の主軸装置において、前記流体供給口と前記ポケット部は、軸方向に距離を隔てて設けられていると共に、前記ベアリングケースと前記ハウジングの間に形成される微小隙間通路により連通されていることを特徴としている。
【００１０】
手段２によれば、主軸が回転する際に、ベアリングケースのラジアル方向への動きによりポケット部の容積が変化するのに伴って、非圧縮性流体が微小隙間通路を通って流動する。これにより、非圧縮性流体が流動する際の絞り効果による抵抗力が、ベアリングケースのラジアル方向への速度変化に対する抵抗力となるため、ベアリングケースのラジアル方向の動剛性を向上させることができる。
【００１１】
〔手段３〕  手段３に係る発明は、手段２に記載の主軸装置において、前記微小隙間通路は、前記クリアランス部よりも隙間幅が小さくされていることを特徴としている。
【００１２】
手段３によれば、ポケット部に充填されている非圧縮性流体が、微小隙間通路よりもクリアランス部の方へ流動し易くすることができるので、ベアリングケースのラジアル方向の動剛性を向上することができる。
【００１３】
〔手段４〕  手段４に係る発明は、手段１〜３の何れか一つに記載の主軸装置において、前記クリアランス部及び前記ポケット部は、軸方向の少なくとも２箇所に設けられていることを特徴としている。
【００１４】
手段４によれば、ベアリングケースの軸方向のモーメント剛性を高めることができるので、主軸が回転する際に発生する振動や振れ回りをより効果的に低減することができる。
【００１５】
〔手段５〕  手段５に係る発明は、手段１〜４の何れか一つに記載の主軸装置において、前記流体供給口及び前記ポケット部の軸方向外側には、前記ベアリングケースと前記ハウジングの間に形成される隙間を封止するシール部材がそれぞれ配設されていることを特徴としている。
【００１６】
手段５によれば、シール部材によって、流体供給口からポケット部やクリアランス部に供給された非圧縮性流体の漏洩を確実に防止することができる。なお、シール部材としては、例えばＯリング等を好適に採用することができる。
【００１７】
〔手段６〕  手段６に係る発明は、手段１〜５の何れか一つに記載の主軸装置において、前記クリアランス部及び前記ポケット部に滞留したエアーを排出するエアー抜き管路を備えていることを特徴としている。
【００１８】
手段６によれば、クリアランス部及びポケット部に非圧縮性流体を充填する際に、クリアランス部及びポケット部に滞留したエアー（圧縮性流体）をエアー抜き管路を介して確実に排出することができる。これにより、クリアランス部及びポケット部に、エアーが混在しないようにして非圧縮性流体を確実に充填するすることができる。
【００１９】
〔手段７〕  手段７に係る発明は、手段１〜６の何れか一つに記載の主軸装置において、前記非圧縮性流体は、作動油であることを特徴としている。
【００２０】
手段７によれば、工作機械に搭載された油圧制御機器に作動油を供給するポンプユニットと共有することができるため、新たにポンプユニットを持つ必要がなくなり、コストを低減することができる。
【００２１】
〔手段８〕  手段８に係る発明は、手段１〜７の何れか一つに記載の主軸装置において、前記ベアリングケース外周面の前記流体供給口よりも前記軸方向他方側の部位には、前記非圧縮性流体の圧力により前記軸方向一方側への押圧を受ける受圧部が前記流体供給口と軸方向に距離を隔てて設けられており、前記流体供給口と前記受圧部の間に流体流通路が形成されていることを特徴としている。
【００２２】
手段８によれば、主軸が外乱等によりアキシャル方向に動く場合に、非圧縮流体が流体流通路を介してアキシャル方向に移動するようになり、そのとき流体流通路で絞り効果による抵抗力を受けるため、アキシャル方向の動剛性を向上させることができる。
【００２３】
〔手段９〕  手段９に係る発明は、手段８に記載の主軸装置において、前記受圧部は、前記ベアリングケースの全周に亘って設けられていることを特徴としている。
【００２４】
手段９によれば、受圧部で受ける非圧縮性流体の押圧力が周方向において均一になるので、ベアリングケースの軸方向へのピストン運動をより円滑にすることができる。なお、受圧部は、周方向に連続して形成されている方が好ましいが、断続して形成されていてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本実施形態に係る主軸装置の軸方向に沿う断面図であり、図２は図１の主軸装置の前方側部分を示す断面図であり、図３は図２の主軸装置の要部を拡大して示す断面図であり、図４は本実施形態におけるベアリングケースとハウジングの要部を示す説明図である。
【００２６】
本実施形態の主軸装置は、図１及び図２に示すように、ハウジング１と、転がり軸受装置３、４、５と、ハウジング１に転がり軸受装置３、４、５を介して回転自在に支持された主軸２と、ハウジング１と転がり軸受装置４との間に配設されたベアリングケース６と、主軸２の回転駆動させるモータ７とを備えている。
【００２７】
ハウジング１は、フロントハウジング１ａと、センタハウジング１ｂと、リヤハウジング１ｃと、スリーブ部材１ｄとからなり、それらが一体に連結固定された状態で略円筒状に形成されている。スリーブ部材１ｄは、軸方向中央部に径方向外方へ突出するリング状のフランジ部を有する。このスリーブ部材１ｄは、フランジ部の軸方向両側にある円筒部分がセンタハウジング１ｂの前方側（図１及び図２において左側）端部の内周とフロントハウジング１ａの内周に嵌合された状態で、センタハウジング１ｂとフロントハウジング１ａとの間にフランジ部が位置するように配設されている。
【００２８】
スリーブ部材１ｄのフランジ部の部位には、径方向に貫通する第１流体供給路１１が設けられている。また、センタハウジング１ｂには、第１流体供給路１１の中間部に合流するように軸方向に延びる第２流体供給路１２が設けられている。さらに、センタハウジング１ｂには、第２流体供給路１２の中間部に合流するように軸方向に延びる第３流体供給路１３が設けられている。これら第１〜第３流体供給路１１〜１３の注入口には、図略のポンプユニットが接続され、そのポンプユニットより所定の圧力に調整された圧油が供給されている。なお、フロントハウジング１ａとスリーブ部材１ｄとの嵌合部、及びセンタハウジング１ｂとスリーブ部材１ｄとの嵌合部には、冷却用の周方向に延びる複数の通油溝１４、…、１４がそれぞれ設けられている。
【００２９】
主軸２は、略円筒状に形成されており、ハウジング１内に転がり軸受装置３、４、５を介して回転自在に支持されている。主軸２内の前端側には、刃具２１が固定されたホルダ２２をクランプするクランプユニット２３や、クランプユニット２３を作動させるプッシュロッド２４及びドローバー２５が収容されている。また、主軸２の後端側には、クランプユニット２３を操作するためのシリンダ組立体２６が配設されている。主軸２外周の軸方向略中央部には、ロータスリーブ２７を介してモータ７のロータ７ａが固定されている。このロータ７ａの外周側には、センタハウジング１ｂの内周に嵌合固定されたモータ７のステータ７ｂが設けられている。主軸２は、このモータ７により回転駆動されるようになっている。
【００３０】
転がり軸受装置３は、２個で１セットのアンギュラ玉軸受３１、３１と、両アンギュラ玉軸受３１、３１の間に介在する内輪間座３２及び外輪間座３３とにより構成されている。各アンギュラ玉軸受３１は、主軸２の外周に嵌合固定された内輪３１ａと、スリーブ部材１ｄの内周に嵌合固定された外輪３１ｂと、内外輪３１ａ、３１ｂの軌道面に介在する複数の転動体３１ｃと、各転動体３１ｃを保持する保持器３１ｄとからなる。この転がり軸受装置３の前方側は、ハウジング１の前端開口部に装着された外輪抑え蓋３５に当接して位置決めされている。
【００３１】
転がり軸受装置４は、転がり軸受装置３と同一のものであり、内輪４１ａ、外輪４１ｂ、転動体４１ｃ及び保持器４１ｄからなる２個で１セットのアンギュラ玉軸受４１、４１と、内輪間座４２と、外輪間座４３とにより構成されている。なお、転がり軸受装置４とスリーブ部材１ｄとの間には、ベアリングケース６が配設されており、アンギュラ玉軸受４１の外輪４１ｂは、ベアリングケース６の内周に嵌合固定されている。両転がり軸受装置３、４は、それらの間に配設された内輪位置決め間座３６や、転がり軸受装置４の後方側に配設された内輪固定キャップ３７及び外輪固定キャップ３８により軸方向において位置決めされている。これら転がり軸受装置３、４は、主軸２の前端部を回転自在に支持するように設けられている。
【００３２】
転がり軸受装置５は、図１に示すように、主軸２の外周に嵌合固定された内輪５ａと、リヤハウジング１ｃの内周に嵌合固定された外輪５ｂと、内外輪５ａ、５ｂの軌道面に介在する複数のころ５ｃとからなるころ軸受により構成されている。この転がり軸受装置５は、主軸２の後端部を回転自在に支持するように設けられている。
【００３３】
ベアリングケース６は、略円筒状に形成されたものであり、筒状本体部６１と、筒状本体部６１よりも外径が小さくされた小径筒部６２とからなる。このベアリングケース６は、転がり軸受装置４及び内輪位置決め間座３６と、それらの外周側に配置されたスリーブ部材１ｄとの間に配設されている。筒状本体部６１の軸方向中央から前方側に寄った部位には、内周面より径方向内方へ突出するリング状の突出部６１ａが設けられている。この突出部６１ａの突出先端面（内周面）は、内輪位置決め間座３６の外周面と対向し、突出部６１ａの後方側端面は、一方の外輪４１ｂの前方側端面に当接している。
【００３４】
小径筒部６２は、筒状本体部６１の前方側に段差面６１ｂを介して設けられており、ベアリングケース６の前方側端部に位置している。小径筒部６２の前方側端面は、スリーブ部材１ｄとの間に微小な隙間を介して対向している。また、小径筒部６２の外周面、並びに筒状本体部６１の段差面６１ｂ及び外周面は、スリーブ部材１ｄと略接触した状態で対向している。これにより、ベアリングケース６は、軸方向への相対変位が許容されている。
【００３５】
段差面６１ｂの周方向における１箇所の部位には、軸方向後方側へ凹んだ凹部により区画される流体室６３が設けられている。この流体室６３には、スリーブ部材１ｄに設けられた第１流体供給路１１の流体供給口１１ａから非圧縮性流体が供給される。なお、この流体供給口１１ａは、流体室６３の軸方向後方側を区画する面（以下、「受圧面６３ａ」という。）よりも軸方向前方側に設けられている。流体室６３の受圧面６３ａは、ベアリングケース６の軸線と交わる角度が略９０度となるように形成されている。流体供給口１１ａ及び流体室６３の軸方向前方側には、ベアリングケース６とスリーブ部材１ｄの間に形成される隙間を封止して、非圧縮性流体の漏洩を防止するシール部材（Ｏリング）６４が配設されている。
【００３６】
筒状本体部６１の外周面の軸方向略中央部には、図４に示すように、スリーブ部材１ｄの内周面との間に微小な隙間を形成する複数（本実施形態では６個）のクリアランス部６５、…、６５と、クリアランス部６５、…、６５よりも大きい隙間幅を有する複数（本実施形態では６個）のポケット部６６、…、６６とが円周方向に交互に設けられている。
【００３７】
これらのクリアランス部６５、…、６５及びポケット部６６、…、６６は、流体供給口１１ａ（流体室６３）と軸方向に所定距離を隔てて設けられている。流体供給口１１ａ（流体室６３）とこれに軸方向に対向する位置にある一つのポケット部６６は、ベアリングケース６とスリーブ部材１ｄの間に形成される微小隙間通路６７により連通されている。なお、微小隙間通路６７は、クリアランス部６５、…、６５よりも隙間幅が小さくされている。
【００３８】
クリアランス部６５、…、６５及びポケット部６６、…、６６には、所定の圧力に調整された非圧縮性流体が、第１流体供給路１１の流体供給口１１ａから流体室６３及び微小隙間通路６７を通じて供給されている。これにより、ベアリングケース６とスリーブ部材１ｄがラジアル方向に相対変位する際には、各ポケット部６６、…、６６内の非圧縮性流体が、隣り合うポケット部６６、６６間にある各クリアランス部６５、…、６５を通って流動可能にされている。なお、ポケット部６６、…、６６の軸方向後方側には、ベアリングケース６とスリーブ部材１ｄの間に形成される隙間を封止して、非圧縮性流体の漏洩を防止するシール部材（Ｏリング）６８が配設されている。
【００３９】
本実施形態のベアリングケース６は、定圧予圧方式のピストンとして機能するように構成されている。即ち、ベアリングケース６の流体室６３の受圧面６３ａは、流体室６３内に供給された非圧縮性流体の高圧力により、軸方向後方側への押圧を受ける受圧部となっている。そのため、ベアリングケース６が軸方向後方側へ常時付勢されることにより、転がり軸受装置３、４に予圧が付与される。これにより、ベアリングケース６は、定圧予圧方式のピストンとして機能する。
【００４０】
以上のように構成された本実施形態の主軸装置では、主軸２が回転する際に、ハウジング１のスリーブ部材１ｄに対してベアリングケース６がラジアル方向に相対変位すると、各ポケット部６６、…、６６の容積が変化するのに伴って、各ポケット部６６、…、６６内の非圧縮性流体が隣り合うポケット部６６、６６間にある各クリアランス部６５を通って流動する。このとき、非圧縮性流体が流動する際の絞り効果による抵抗力が、ベアリングケース６のラジアル方向への速度変化に対する抵抗力となるため、ベアリングケース６のラジアル方向の動剛性が向上する。
【００４１】
以上のように、本実施形態の主軸装置によれば、ベアリングケース６とハウジング１のスリーブ部材１ｄとの間には、クリアランス部６５、…、６５とポケット部６６、…、６６とが円周方向に交互に設けられ、クリアランス部６５、…、６５及びポケット部６６、…、６６には、流体供給口１１ａから供給される非圧縮性流体が充填されているため、簡易な構造でベアリングケース６のラジアル方向の支持剛性を向上させることができる。これにより、主軸２が回転する際に発生する振動や振れ回りを効果的に抑制することができる。そのため、主軸装置による高精度の加工を行うことが可能となるので、加工品の良好な品質を確保することができる。さらに、主軸２の回転の高速化を図ることも可能となる。
【００４２】
また、本実施形態においては、ベアリングケース６外周面の流体供給口１１ａよりも軸方向後方側の部位に、非圧縮性流体の圧力により軸方向後方側への押圧を受ける受圧面６３ａが設けられているため、流体供給口１１ａから供給される非圧縮性流体の圧力を利用した、ベアリングケース６が定圧予圧方式のピストンとして機能するピストン構造を簡易に得ることができる。
【００４３】
なお、軸方向後方側への押圧を受ける受圧面６３ａは、ベアリングケース６の全周に亘って設けるようにすれば、受圧面６３ａで受ける非圧縮性流体の押圧力が周方向において均一になるので、ベアリングケース６の軸方向へのピストン運動をより円滑にすることができる。
【００４４】
さらに、本実施形態においては、流体供給口１１ａ及び流体室６３の軸方向前方側とポケット部６６、…、６６の軸方向後方側には、ベアリングケース６とスリーブ部材１ｄの間に形成される隙間を封止するシール部材６４、６８がそれぞれ配設されているため、流体室６３やポケット部６６、…、６６等に充填されている非圧縮性流体の漏洩を確実に防止することができる。
【００４５】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更を施すことが可能である。
【００４６】
例えば、上記実施形態において採用された非圧縮性流体として作動油を採用するようにしてもよい。このようにすれば、工作機械に搭載された油圧制御機器に作動油を供給するポンプユニットと共有することができるため、新たにポンプユニットを持つ必要がなくなり、コストを低減することができる。
【００４７】
また、上記実施形態においては、クリアランス部６５、…、６５及びポケット部６６、…、６６が軸方向の１箇所に設けられているが、それらを軸方向の少なくとも２箇所に設けることにより、ベアリングケース６の軸方向のモーメント剛性を高めることができる。これにより、主軸２が回転する際に発生する振動や振れ回りをより効果的に低減することができる。
【００４８】
また、図５に示すように、主軸装置に対して、非圧縮性流体を充填する際に、クリアランス部（図示せず）やポケット部６６、…、６６に滞留していたエアーを排出するための第１〜第３エアー抜き管路１５、１６、１７を設けるようにしてもよい。第１エアー抜き管路１５は、スリーブ部材１ｄのフランジ部の下方部に、径方向に貫通するように設けられている。第１エアー抜き管路１５の入口（図５において上方側）は、流体室６３と主軸２を挟んで相対向する位置に設けられた流体室６９に開口している。この流体室６９は、下方側に位置する一つのポケット部６６と連通している。
【００４９】
第２エアー抜き管路１６は、軸方向後方側から前方側に延び、第１エアー抜き管路１５の中間部に合流するように設けられている。第１及び第２エアー抜き管路１５、１６の出口は、主軸装置の下方部に開口しており、その開口は栓部材で閉栓されている。また、第３エアー抜き管路１７の軸方向後端側の先に出口が開口しており、その開口は、バルブにより閉栓されている。
【００５０】
以上のように構成された主軸装置によれば、クリアランス部及びポケット部６６、…、６６に非圧縮性流体を充填する際に、第１〜第３流体供給路１１〜１３から非圧縮性流体を供給すると、クリアランス部及びポケット部６６、…、６６に滞留していたエアー（圧縮性流体）を第１〜第３エアー抜き管路１５〜１７を介して確実に排出することができる。これにより、クリアランス部及びポケット部６６、…、６６に、エアーが混在しないようにして非圧縮性流体を確実に充填するすることができるので、非圧縮性流体に基づいて発揮される、ベアリングケース６の支持剛性の向上効果をより確実に得られるようにすることができる。
【００５１】
なお、上記の第１エアー抜き管路１５は、図６に示す第１エアー抜き管路１８のように変更してもよい。この場合の第１エアー抜き管路１８は、流体室６９にまで貫通しておらず、流体室６９の手前で略直角に屈曲して軸方向後方側へ延出する延長管路１８ａを有する。延長管路１８ａの軸方向後方側は、スリーブ部材１ｄの後方側端面に開口している。そして、スリーブ部材１ｄ外周の最下方部のポケット部６６とシール部材６８との間には流体室６９ａが設けられており、この流体室６９ａと延長管路１８ａとが連通孔１８ｂで連通されている。
【００５２】
このような第１エアー抜き管路１８を有する主軸装置は、図５に示す主軸装置と同様ののエアー抜き効果が得られるが、第１エアー抜き管路１８の方が効率よくエアー抜きすることができる。
【００５３】
また、図７に示すように、ベアリングケース６に設けられる受圧部６３ａの位置を軸方向後方側へずらし、その受圧部６３ａと流体供給口１１ａとの間に流体流通路７１を設けるようにすることができる。このようにすれば、主軸２が外乱等によりアキシャル方向に動く場合に、非圧縮流体が流体流通路７１を介してアキシャル方向に移動するようになり、そのとき流体流通路７１で絞り効果による抵抗力を受けるため、アキシャル方向の動剛性を向上させることができる。
【００５４】
さらに、受圧部６３ａは、ベアリングケース６の全周に亘って設けるようにすれば、受圧部６３ａで受ける非圧縮性流体の押圧力が周方向において均一になるので、ベアリングケース６の軸方向でのピストン運動をより円滑にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施形態に係る主軸装置の軸方向に沿う断面図である。
【図２】図１の主軸装置の前方側部分を示す断面図である。
【図３】図２の主軸装置の要部を拡大して示す断面図である。
【図４】本発明の実施形態におけるベアリングケースとハウジングの要部を示す説明図である。
【図５】本発明の他の実施形態に係る主軸装置の要部を拡大して示す断面図である。
【図６】本発明の他の実施形態の変形例に係る主軸装置の要部を拡大して示す断面図である。
【図７】本発明のその他の実施形態に係る主軸装置の要部を拡大して示す断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１…ハウジング    ２…主軸    ３、４、５…転がり軸受装置    ６…ベアリングケース    ７…モータ    １１ａ…流体供給口    ６３ａ…受圧面（受圧部）    ６４、６８…シール部材    ６５…クリアランス部    ６６…ポケット部    ６７…微小隙間通路    ７１…流体流通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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