(57)【要約】【課題】従来のピックアンドプレイス式搬送によらずに、微細なワークの真空搬送を可能とするワーク搬送装置およびワーク搬送方法を提供する。【解決手段】本発明に係るワーク搬送装置およびワーク搬送方法は、内部に主管路を有する本体と、主管路の一端側に連通する真空ポート、他端側に連通する排気ポート、中途部に連通する供給ポートとを備え、真空ポートには、一端側に吸引口を有する吸引パイプが、その他端側で継手を介して接続され、排気ポートには、一端側に排出口を有する排出パイプが、その他端側で継手を介して接続され、供給ポートは、高圧気体源に連通し、供給ポートから高圧気体が主管路に送入されるとともに、排気ポートから排気されて、真空ポート内が負圧にされることによって、ワークが吸引口から吸引され、主管路を通過させ、排出口から排出されて、搬送が行われる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸引口から吸引したワークを排出口から排出することによって該ワークの搬送を行うワーク搬送装置であって、
内部に主管路を有する本体と、
該主管路の一端側に連通する真空ポートと、
該主管路の他端側に連通する排気ポートと、
該主管路の中途部に連通する供給ポートとを備え、
該真空ポートには、一端側に該吸引口を有する吸引パイプが、その他端側で継手を介して接続され、
該排気ポートには、一端側に該排出口を有する排出パイプが、その他端側で継手を介して接続され、
該供給ポートは、高圧気体源に連通し、
該供給ポートから高圧気体が該主管路に送入されるとともに、該排気ポートから排気されて、該真空ポート内が負圧にされること
を特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記吸引パイプおよび前記排出パイプの少なくとも一方がフレキシブルチューブを用いて構成されること
を特徴とする請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記吸引口から吸引された複数のワークを順次、一つずつ所定箇所に収容するように前記排出口の位置を移動させる排出口制御機構を備えること
を特徴とする請求項１または請求項２記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
所定箇所に収容された複数のワークを順次、一つずつ吸引するように前記吸引口の位置を移動させる吸引口制御機構を備えること
を特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
複数のワークを順次、一つずつ吸引するように前記高圧気体の送入および遮断を行う開閉弁を備えること
を特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記主管路は、直状に形成されること
を特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載のワーク搬送装置。
【請求項７】
前記本体は、前記ワークの搬送経路となる前記主管路の上流側が第一のノズル部に形成され、下流側が第二のノズル部に形成されるとともに、該第一のノズル部と該第二のノズル部との間に、前記供給ポートに連通する開口部が設けられ、
前記高圧気体が、該開口部から下流側に向けて、前記主管路内に送入されること
を特徴とする請求項１〜６のいずれか一項記載のワーク搬送装置。
【請求項８】
前記主管路に送入される高圧気体の圧力を調整する減圧弁を備えること
を特徴とする請求項１〜７のいずれか一項記載のワーク搬送装置。
【請求項９】
前記主管路に送入される高圧気体の流量を調整する絞り弁を備えること
を特徴とする請求項１〜８のいずれか一項記載のワーク搬送装置。
【請求項１０】
前記絞り弁は前記第一のノズル部であって、
該第一のノズル部は、外周におねじ部を有し、前記本体に設けられためねじ部と螺合されて、長手方向に進退可能に構成されること
を特徴とする請求項９記載のワーク搬送装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項記載のワーク搬送装置を用いて、ワークの搬送を行うワーク搬送方法であって、  
前記供給ポートから高圧気体を前記主管路に送入するとともに、前記排気ポートから排気して、前記真空ポート内を負圧にすることによって、前記吸引口からワークを吸引して、前記主管路を通過させ、前記排出口から排出させて所望箇所へ搬送すること
を特徴とするワーク搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク搬送装置およびワーク搬送方法に関し、さらに詳細には、吸引口からワークを吸引して、主管路を通過させ、排出口から排出させて所望箇所へ搬送するワーク搬送装置およびワーク搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークを搬送するための代表的な方法として、真空吸着による搬送、あるいはチャッキングによる搬送が挙げられる。チャッキングによる搬送方法の場合、搬送を行うためのチャックが直接ワークに接触するため、ワークの損傷が発生する可能性が高いという課題がある。一方、真空吸着による搬送方法の場合、ゴムもしくは樹脂等を使用した真空パッドがワークに接触して搬送を行うため、ワークの損傷が発生する可能性は極めて低い。
【０００３】
ここで、ワークを真空吸着して搬送を行う搬送装置の従来例として、特許文献１に示すワーク搬送装置１００がある（図７参照）。このワーク搬送装置１００は、電子部品１０８を真空吸着するノズル１２８を回転軸１０３を中心に連続回転させ、ノズル１２８が電子部品１０８をピックアップするピックアップステーションＳ１において、ノズル１２８を回転軸１０３の回転方向Ｎ１と反対方向へ回転させることにより、ノズル１２８の水平回転を実質的に停止させる。そこでノズル昇降装置１３０Ａを駆動してノズル１２８に下降・上昇動作を行わせ、電子部品１０８をピックアップする機構を備える。これにより、ヘッドを高速度で連続回転させながら部品搬送が行えるというものである。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−３２２８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特にワークが電子部品である場合等においては、ワークの小型化が進んだ結果（一例としてサイズが０．４ｍｍ×０．２ｍｍ程度）、真空パッドによる吸着が困難になりつつある。今後、さらにワークの小型化が進んだ場合、真空パッドを用いる従来の真空吸着による搬送方法では、搬送不可能となる状況が予想される。そのため、微細なワークの搬送が可能な搬送装置および搬送方法の実現が要請されていた。      
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされ、従来の真空吸着して搬送を行ういわゆるピックアンドプレイス式搬送によらずに、微細なワークの真空搬送を可能とするワーク搬送装置およびワーク搬送方法であって、特に、複数のワークを順次、一つずつ搬送することが可能なワーク搬送装置およびワーク搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、以下に記載するような解決手段により、前記課題を解決する。  
【０００８】
本発明に係るワーク搬送装置は、吸引口から吸引したワークを排出口から排出することによって該ワークの搬送を行うワーク搬送装置であって、内部に主管路を有する本体と、該主管路の一端側に連通する真空ポートと、該主管路の他端側に連通する排気ポートと、該主管路の中途部に連通する供給ポートとを備え、該真空ポートには、一端側に該吸引口を有する吸引パイプが、その他端側で継手を介して接続され、該排気ポートには、一端側に該排出口を有する排出パイプが、その他端側で継手を介して接続され、該供給ポートは、高圧気体源に連通し、該供給ポートから高圧気体が該主管路に送入されるとともに、該排気ポートから排気されて、該真空ポート内が負圧にされることを特徴とする。
【０００９】
また、前記吸引パイプおよび前記排出パイプの少なくとも一方がフレキシブルチューブを用いて構成されることを特徴とする。
【００１０】
また、前記吸引口から吸引された複数のワークを順次、一つずつ所定箇所に収容するように前記排出口の位置を移動させる排出口制御機構を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、所定箇所に収容された複数のワークを順次、一つずつ吸引するように前記吸引口の位置を移動させる吸引口制御機構を備えることを特徴とする。
【００１２】
また、複数のワークを順次、一つずつ吸引するように前記高圧気体の送入および遮断を行う開閉弁を備えることを特徴とする。
【００１３】
なお、前記主管路は、直状に形成されることが好適である。
【００１４】
さらに、前記本体は、前記ワークの搬送経路となる前記主管路の上流側が第一のノズル部に形成され、下流側が第二のノズル部に形成されるとともに、該第一のノズル部と該第二のノズル部との間に、前記供給ポートに連通する開口部が設けられ、前記高圧気体が、該開口部から下流側に向けて、前記主管路内に送入されることを特徴とする。
【００１５】
また、前記主管路に送入される高圧気体の圧力を調整する減圧弁を備えることを特徴とする。
【００１６】
また、前記主管路に送入される高圧気体の流量を調整する絞り弁を備えることを特徴とする。
【００１７】
さらに、前記絞り弁は前記第一のノズル部であって、該第一のノズル部は、外周におねじ部を有し、前記本体に設けられためねじ部と螺合されて、長手方向に進退可能に構成されることを特徴とする。
【００１８】
本発明に係るワーク搬送装置は、前記のワーク搬送装置を用いて、ワークの搬送を行うワーク搬送方法であって、前記供給ポートから高圧気体を前記主管路に送入するとともに、前記排気ポートから排気して、前記真空ポート内を負圧にすることによって、前記吸引口からワークを吸引して、前記主管路を通過させ、前記排出口から排出させて所望箇所へ搬送することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１によれば、真空ポート内が負圧となることで吸引パイプの吸引口に生じる吸引力によって、ワークが吸引口から吸引されて、真空ポートを通過し、主管路内へ搬送されるとともに、主管路内の高圧気体の流れによって生じる搬送力が加わることによって、該ワークが排出パイプの排出口まで搬送される作用を生じる。それにより、ピックアンドプレイス式搬送が不可能な微細なワークであっても、所望箇所への搬送を行うことが可能となる。さらに、搬送速度が高速であるため、搬送時間の短縮が可能となる。    
【００２０】
請求項２によれば、搬送経路を、フレキシブルチューブを用いて構成することによって、屈折部が排されて、搬送経路上におけるワークの引っ掛かり、詰まりが防止できる。また、吸引口制御機構もしくは排出口制御機構を備える場合において、吸引パイプもしくは排出パイプを屈折させずに容易に追随させることが可能となる。
【００２１】
請求項３によれば、吸引され、搬送された複数のワークを所定の時間間隔をおいて一つずつ所定箇所に排出することを可能とし、製造ライン等におけるワーク搬送装置として好適に使用することが可能となる。
【００２２】
請求項４によれば、所定箇所に収容された複数のワークを所定の時間間隔をおいて一つずつ吸引することを可能とし、製造ライン等におけるワーク搬送装置として好適に使用することが可能となる。
【００２３】
請求項５によれば、開閉弁により、高圧気体の送入・遮断が可能となり、さらに、所定の時間間隔および圧力・流量の設定下で、高圧気体の送入・遮断制御を行うことにより、複数のワークを順次、一つずつ吸引するための作用を生じさせることが可能となる。
【００２４】
請求項６によれば、搬送経路上におけるワークの引っ掛かり、詰まりを防止することが可能となる。
【００２５】
請求項７によれば、ワーク吸引力の源となる真空ポート内の負圧を発生させることが可能となる。併せて、開口部より下流側の主管路内に高圧気体の流れを生じさせ、ワーク搬送力を生じさせることが可能となる。
【００２６】
請求項８および請求項９によれば、ワークが搬送されている状況を監視しながら、大気状況、機器の稼働状況、さらにはワーク形態等に応じて、手元で精緻な圧力調整および流量調整が可能となる。
【００２７】
請求項１０によれば、絞り弁と第一のノズル部とを１つの構成とすることで、第一のノズル部を絞り弁として用いて高圧気体の流量を調整することが可能となり、装置のコンパクト化および、設置の際の省スペース化が可能となる。
【００２８】
請求項１１によれば、従来のようなピックアンドプレイス式搬送において生じていたワークが微細である場合に真空吸着による搬送が困難になるという課題を解決し、微細なワークを吸引口で吸引するとともに、本体内を通過させた後、排出口から排出させて所望箇所まで該ワークの搬送を行う搬送方法が実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳しく説明する。図１は、本発明の実施の形態に係るワーク搬送装置１の例を示す概略図である。図２は、そのワーク搬送装置１の吸引口制御機構１５の構成を示す概略図である。図３は、そのワーク搬送装置１の排出口制御機構２５の構成を示す概略図である。図４は、本発明に係るワーク搬送装置１の第二の実施例を示す概略図である。図５は、本発明に係るワーク搬送装置１の第三の実施例を示す概略図である。図６は、本発明に係るワーク搬送装置１の第四の実施例を示す概略図である。なお、各図において、矢印Ｐは供給ポートでの高圧気体の流れ方向を示し、矢印Ｖは真空ポートでの吸引された気体の流れ方向を示し、矢印Ｅは排気ポートでの高圧気体および吸引された気体の合流の流れ方向を示す。
【００３０】
図１に示すように、本発明に係るワーク搬送装置１は、本体３の内部に主管路４を備える。この主管路４は、一端側が真空ポート１１に連通し、他端側が排気ポート２１に連通する。また、主管路４の中途部に連通する供給ポート３１を備える。ここで、ワーク２の搬送経路となる主管路４は、直状に形成されることが好適である。それにより、搬送時にワーク２が経路上で引っ掛かったり、詰まったりすることを防止できる。
【００３１】
主管路４の真空ポート１１側（以下、「上流側」という）が第一のノズル部５に形成され、排気ポート２１側（以下、「下流側」という）が第二のノズル部６に形成される。さらに、第一のノズル部５と第二のノズル部６との間に、供給ポート３１に連通する開口部７が設けられる。一例として、第一のノズル部５および第二のノズル部６は、ステンレス、黄銅等の金属材料を用いて形成される。なお、ワーク２に傷がつくことを防止する観点から、内部に樹脂等皮膜を設けてもよく、あるいは、全体を樹脂材料により形成してもよい。
【００３２】
供給ポート３１は、前記の通り一端側が主管路４の中途部に設けられる開口部７に連通するとともに、他端側が高圧気体源３２に連通する。ここで、高圧気体源３２は、高圧気体１０を送出可能な機構を備えるものであって、例えば、空気圧縮機、高圧ガスボンベ等である。なお、高圧気体１０は、一例として、空気であるが、不活性ガス等であってもよい。この構成により、高圧気体源３２から送出される高圧気体１０が、開口部７を通じて、主管路４内に送入される。
【００３３】
ここで、開口部７は、図1に示すように、供給ポート３１から第一のノズル部５の外周を経由して第二のノズル部６内に至る高圧気体１０の流路を構成しつつ、排気ポート２１方向に向けて開口する形状に形成される。これにより、高圧気体１０は、開口部７から下流側に向けて、主管路４内に送入され、排気ポート２１方向へと送出される作用を生じる。なお、一例として、供給ポート３１と高圧気体源３２との間に、高圧気体１０の送入および遮断を行う開閉弁３４が設けられる。
【００３４】
一方、図1に示すように、真空ポート１１には、継手１４を介して吸引パイプ１２が接続される。吸引パイプ１２は、真空ポート１１側とは反対側の端部に吸引口１３を備える。
【００３５】
ここで、ワーク搬送装置１が、例えば、ワークトレイ等の収容手段における所定箇所に収容された複数のワーク２を順次、一つずつ吸引するように、吸引口１３の位置を自在に移動させることが可能な吸引口制御機構１５を備える場合の構成例（ロボットアームを用いた例）を図２に示す。例えば、電子装置の製造ライン等において、電子部品（ワーク）を搬送するための装置として使用するためには、所定箇所に収容されて、載置されているもしくは搬送されてくる複数のワークを所定の時間間隔をおいて一つずつ吸引することが必要となるケースが極めて多い。この点、本発明に係るワーク搬送装置１は、所定箇所に収容された複数のワーク２を所定の時間間隔をおいて一つずつ吸引することを可能とし、製造ライン等におけるワーク搬送装置として好適に使用することが可能となる。
【００３６】
また、吸引パイプ１２は、フレキシブルチューブを用いて構成されることが好適である。屈折部を排することで、搬送経路上におけるワーク２の引っ掛かり、詰まりを防止することが可能となる。また、吸引口制御機構１５を備える場合において、吸引口１３の移動に合わせて吸引パイプ１２を屈折させずに容易に追随させることが可能となる。
【００３７】
なお、吸引パイプ１２および吸引口１３を固定式として、前記ワークトレイ等の収容手段を順次移動させるように構成し、一連のシステムとしてワーク搬送装置１を構築してもよい。
【００３８】
さらに、図1に示すように、排気ポート２１には、継手２４を介して排出パイプ２２が接続される。排出パイプ２２は、排気ポート２１側とは反対側の端部に排出口２３を備える。
【００３９】
ここで、ワーク搬送装置１が、吸引口１３から吸引された複数のワーク２を、例えば、作業ステーション等の収容手段における所定箇所に順次、一つずつ収容するように、排出口２３の位置を自在に移動させることが可能な排出口制御機構２５を備える場合の構成例（ロボットアームを用いた例）を図３に示す。例えば、電子装置の製造ライン等において、電子部品（ワーク）を搬送するための装置として使用するためには、吸引され、搬送された複数のワークを所定の時間間隔をおいて一つずつ所定箇所に排出することが必要となるケースが極めて多い。この点、本発明に係るワーク搬送装置１は、吸引され、搬送された複数のワーク２を所定の時間間隔をおいて一つずつ所定箇所に排出することを可能とし、製造ライン等におけるワーク搬送装置１として好適に使用することが可能となる。
【００４０】
また、排出パイプ２２は、フレキシブルチューブを用いて構成されることが好適である。屈折部を排することで、搬送経路上におけるワーク２の引っ掛かり、詰まりを防止することが可能となる。また、排出口制御機構２５を備える場合において、排出口２３の移動に合わせて排出パイプ２２を屈折させずに容易に追随させることが可能となる。
【００４１】
なお、排出パイプ２２および排出口２３を固定式として、前記作業ステーション等の収容手段を順次移動させるように構成し、一連のシステムとしてワーク搬送装置１を構築してもよい。
【００４２】
上記構成を備えるワーク搬送装置１の作用、すなわち、ワーク２が搬送される際の動作について説明する。
【００４３】
まず、開閉弁３４を開き、高圧気体源３２から供給ポート３１に向けて高圧気体１０の送出を行う。ここで、開閉弁３４は、単なる開閉用として用いてもよいが、所定の時間間隔および圧力・流量の設定下で、高圧気体１０の送入・遮断制御を行うことにより、複数のワーク２を順次、一つずつ吸引するための作用を生じさせることも可能である。
次いで、高圧気体１０は、開口部７から下流側に向けて、主管路４内に送入され、排気ポート２１方向へと送出されて、排出パイプ２２の排出口２３から排気される。これにより、真空ポート１１内が負圧となる。
次いで、真空ポート１１内を負圧にすることによって、真空ポート１１に連通する吸引パイプ１２内も負圧となり、その結果、吸引パイプ１２先端部の吸引口１３に吸引力が生じる。当該吸引力によって、ワーク２が吸引口１３から吸引されて、真空ポート１１を通過し、主管路４内へ搬送される。主管路４内においては、上流側から、開口部７辺りまでは前記負圧による吸引力によって搬送力が生じる。一方、開口部７を過ぎて下流側に至る経路においては、高圧気体１０の流れが生じているため、その流れによって搬送力が生じる。したがって、ワーク２は排気ポート２１、排出パイプ２２を経由して、排出口２３に至るまで搬送される。
【００４４】
以上説明した通り、本発明に係るワーク搬送装置１は、従来のようなピックアンドプレイス式搬送によらずに、ワーク２を吸引するとともに、本体３内を通過させた後、排出口２３から排出させて所望箇所まで当該ワーク２の搬送を行う機構を実現するものである。
【００４５】
これにより、従来の搬送装置において生じていた、ワークが微細である場合に真空吸着による搬送が困難になるという課題を解決することが可能となる。特に、複数のワーク２を順次、一つずつ搬送する機構を実現することが可能となるという顕著な効果を奏するものである。
【００４６】
さらに、高圧気体１０によって生じる作用、すなわち真空吸引力と圧送力によって、ワーク２が搬送されるため、搬送速度が高速であり、搬送時間の大幅な短縮が可能となる。
【００４７】
続いて、本発明に係るワーク搬送装置１の第二の実施例を図４に示す。
図のように、主管路４に送入される高圧気体１０の圧力を調整する減圧弁３８を備える。特に、本実施例では、本体における供給ポート３１から主管路４に至る中途部に当該減圧弁３８を設ける構成とした。すなわち、従来は、本体とは別体に減圧弁を設ける構成であったのに対し、本体３に減圧弁３８を組み込む構成を実現している。
【００４８】
特に、微細なワーク２の場合には、微小な圧力差であっても、ワーク吸引力およびワーク搬送速度に影響を与えるとともに、ワークの損傷可能性に大きな影響を与えるものである。したがって、高圧気体１０に対しては、極めて精緻な圧力調整が必要となる。その点、本体に減圧弁３８を組み込む構成を備えることで、実際にワーク２が搬送されている状況を監視しながら、時々の大気状況、機器の稼働状況、さらにはワーク形態等に応じて、手元で精緻な圧力調整が可能となることは極めて有用な効果を奏するものである。
【００４９】
続いて、本発明に係るワーク搬送装置１の第三の実施例を図５に示す。
図のように、主管路４に送入される高圧気体１０の流量を調整する絞り弁３６を備える。特に、本実施例では、本体３における供給ポート３１から主管路４に至る中途部に当該絞り弁３６を設ける構成とした。すなわち、従来は、本体とは別体に絞り弁を設ける構成であったのに対し、本体３に絞り弁３６を組み込む構成を実現している。
【００５０】
特に、微細なワーク２の場合には、微小な流量差であっても、ワーク吸引力およびワーク搬送速度に影響を与えるとともに、ワークの損傷可能性に大きな影響を与えるものである。したがって、高圧気体１０に対しては、極めて精緻な流量調整が必要となる。その点、本体に絞り弁３６を組み込む構成を備えることで、実際にワーク２が搬送されている状況を監視しながら、時々の大気状況、機器の稼働状況、さらにはワーク形態等に応じて、手元で精緻な流量調整が可能となることは極めて有用な効果を奏するものである。
【００５１】
続いて、本発明に係るワーク搬送装置１の第四の実施例を図６に示す。
主管路４に送入される高圧気体１０の流量を調整する絞り弁を備える点は、上記第三の実施例と同様であるが、第四の実施例では、絞り弁３６’として、第一のノズル部５が使用される。すなわち、第一のノズル部５は、外周におねじ部５ａが設けられる。さらに、本体３にはめねじ部３ａが設けられて、おねじ部５ａとめねじ部３ａとが螺合されることにより、第一のノズル部５が、主管路４の長手方向に進退可能に構成される。
【００５２】
上記構成を備えることによって、前述した本願発明に係る第三の実施例では、絞り弁３６と第一のノズル部５とを、別の部位にそれぞれ設ける構成であったのに対し、これを１つの構成とすることが可能となる。より詳細には、第一のノズル部５をねじによる構成を備えて回転可能とし、高圧気体１０の送入量を絞っている部分（オリフィス）を可変させ、有効断面積を大小させて絞りの構造とすることにより、第一のノズル部を絞り弁３６’として用いて高圧気体１０の流量を調整することが可能となる。これにより、装置のコンパクト化および、設置の際の省スペース化が可能となる。
【００５３】
以上の説明のように、本発明に係るワーク搬送装置およびワーク搬送方法によれば、従来のピックアンドプレイス式搬送が不可能な微細ワークであっても、直接、主管路内を通過させて搬送することが可能となる。特に、複数のワークを所定の時間間隔をおいて一つずつ吸引および排出することを可能とし、製造ライン等において好適に使用をすることが可能となる。また、ワークの搬送速度が高速であるため、搬送時間の大幅な短縮が可能となる。
【００５４】
なお、本発明に関し、微細ワークにより説明を行ったが、本発明の技術的思想を微細形状ではないワークの搬送装置等に適用できることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態に係るワーク搬送装置の例を示す概略図である。
【図２】図１のワーク搬送装置の吸引口制御機構の構成を示す概略図である。
【図３】図１のワーク搬送装置の排出口制御機構の構成を示す概略図である。
【図４】本発明に係るワーク搬送装置の第二の実施例を示す概略図である。
【図５】本発明に係るワーク搬送装置の第三の実施例を示す概略図である。
【図６】本発明に係るワーク搬送装置の第四の実施例を示す概略図である。
【図７】従来の実施の形態に係るワーク搬送装置の例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  ワーク搬送装置
２  ワーク
３  本体
４  主管路
５  第一のノズル部
６  第二のノズル部
７  開口部
１０  高圧気体
１１  真空ポート
１２  吸引パイプ
１３  吸引口
１４  継手
１５  吸引口制御機構
２１  排気ポート
２２  排出パイプ
２３  排出口
２４  継手
２５  排出口制御機構
３１  供給ポート
３２  高圧気体源
３４  開閉弁
３６、３６’  絞り弁
３８  減圧弁
【図１】
2009073637.tif 000003
【図２】
2009073637.tif 000004
【図３】
2009073637.tif 000005
【図４】
2009073637.tif 000006
【図５】
2009073637.tif 000007
【図６】
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【図７】
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