(57)【要約】【課題】使用耐久性があり、半導体ウェーハの成膜後の面内抵抗バラツキを改善できる横型ウェーハ用ボートを提供する。【解決手段】本横型ウェーハボートは、半導体ウェーハの側部を支持する１対の側部ウェーハ支持部と下部を支持する１対の下部ウェーハ支持部を固定部に固定し、隣接する側部ウェーハ支持部と下部ウェーハ支持部を固定部以外の箇所で接補強部で接続固定し、補強部はウェーハ支持部の断面中心とこれに隣接するウェーハ支持部の断面中心とを結んだ直線を中心としたウェーハ支持部の断面幅を含む領域の外であってかつ反半導体ウェーハ載置側に位置し、ウェーハ支持部の断面中心を通る直線が、両中心間を結んだ直線に対して垂直かつ補強部のウェーハ支持部との接合部位の断面を通過する位置関係にあり、接合部位の断面積が接合されるウェーハ支持部の断面積の２０〜９０％の範囲で、かつ前記補強部のガス通過方向に対して垂直な面における断面積が、前記ウェーハ支持部の断面積の１０〜６０％の範囲にある。【選択図】  図４
2009111064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハの熱処理に用いる横型熱処理装置で使用され、半導体ウェーハを支持する支持溝を複数設けた複数本の棒状のウェーハ支持部を互いに離間して固定部に固定してなる横型ウェーハボートにおいて、
前記ウェーハ支持部を構成し半導体ウェーハの側部を支持する１対の側部ウェーハ支持部と、
前記ウェーハ支持部を構成し半導体ウェーハの下部を支持する１対の下部ウェーハ支持部と、
隣接する前記側部ウェーハ支持部と前記下部ウェーハ支持部を前記固定部以外の箇所で接続固定する補強部と、
前記固定部及び前記補強部の位置の前記下部ウェーハ支持部から下方に延びる脚部とを備え、
前記補強部は前記ウェーハ支持部の断面中心とこれに隣接する前記ウェーハ支持部の断面中心とを結んだ直線を中心とした前記ウェーハ支持部の断面幅を含む領域の外であってかつ反半導体ウェーハ載置側に位置し、
前記ウェーハ支持部の断面中心を通る直線が、前記両中心間を結んだ直線に対して垂直かつ前記補強部の前記ウェーハ支持部との接合部位の断面を通過する位置関係にあり、
前記接合部位の断面積が接合される前記ウェーハ支持部の断面積の２０〜９０％の範囲
にあり、かつ前記補強部のガス通過方向に対して垂直な面における断面積が、前記ウェーハ支持部の断面積の１０〜６０％の範囲であることを特徴とする横型ウェーハボート。
【請求項２】
横型ウェーハボートの材質は、石英であることを特徴とする請求項１に記載の横型ウェーハボート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は横型ウェーハ用ボートに係り、特に改良された補強部を設けた横型ウェーハ用ボートに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体デバイスの製造には、半導体ウェーハの酸化・拡散処理プロセスが設けられる。
【０００３】
この酸化・拡散処理プロセスでは、多数の半導体ウェーハをウェーハ用ボートに積載し、ウェーハ用ボートを拡散炉内に挿入して所定の熱処理を行う。
【０００４】
ウェーハ用ボートには、半導体ウェーハを水平方向に積載する縦型ボートと、半導体ウェーハを鉛直方向に積載する横型ボートがある。
【０００５】
現在でも横型熱処理炉を用いるプロセスが多く残っており、この横型熱処理炉に用いる横型ウェーハ用ボートの使用機会は多い。
【０００６】
この横型ウェーハ用ボートは、半導体ウェーハを支持する溝を多数形成した細い棒状支持部材が複数並行に配置され、その両端を固定した構造が最も広く用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
一般にウェーハ用ボートの形状は、この形状、特に半導体ウェーハを支持する溝やその近傍の支持部材が複雑になると、そこでガス流が乱れ、ウェーハ処理に影響し、その結果ウェーハ面内およびボート溝位置により、ウェーハ特性の分布が生じるため、特別な制約のない限りできるだけ簡単なものが望ましい。
【０００８】
このため、ウェーハ支持部材同士はボートの両端以外に補強部材を設けないのが最適といえる（例えば、特許文献２参照）。
【０００９】
しかし、特許文献２に記載のボート形状は、炭化けい素等で作製されたボートでは問題ないが、石英で作製されたボートでは、熱と半導体ウェーハの重量による塑性変形を受け、ウェーハ支持部材が湾曲する問題がある。
【００１０】
半導体ウェーハの熱処理プロセスによっては、１０００℃以上の温度で使用され、石英製ボートでなければ対応できない場合が多い。さらに、現行のプロセスにおいても、ボートの搬送を手で行なう場合もまだ多い。この場合、半導体ウェーハを載置したボートを熱処理炉に挿入、搬出するため、炉体の入口へのハンドリングでボートの片方の端とボート下部の一部を手で支持する方法が取られている。ボートの下部を保護手袋等をはめた手で持つのは、ボートに載置された半導体ウェーハと手が接触する危険がある。
【００１１】
従って、半導体ウェーハが載置された状態で石英製ボートを手でハンドリングする場合、半導体ウェーハの特性確保、ボートの強度確保、ハンドリングの容易さおよび安全性確保という３つの相反する課題を解決するためのボートの構造が求められる。半導体ウェーハの特性確保とハンドリングの容易さおよび安全性確保のために、図６および図７に示す横型ボート１１のように、多数の支持溝１２を設けた１対の棒状の側部ウェーハ支持部１３、１３と、多数の支持溝２を設けた１対の棒状の下部ウェーハ支持部１４、１４を外側固定部１５、１５および内側固定部１６、１６に固定し、把持部として機能する外側固定部１５、１５と内側固定部１６、１６間に手が入る距離Ｄだけ離間させている。
【００１２】
しかし、この従来のボートは、図１８に示すように、下部ウェーハ支持部１４、１４に変形が生じ、シート抵抗（ρｓ）にバラツキが発生する。
【特許文献１】特開平５−２２９８１２号公報
【特許文献２】特開平５−０９０１８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、使用耐久性があり、半導体ウェーハの成膜後の面内抵抗バラツキを改善できる横型ウェーハ用ボートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上述した目的を達成するため、本発明に係る横型ウェーハボートは、半導体ウェーハの熱処理に用いる横型熱処理装置で使用され、半導体ウェーハを支持する支持溝を複数設けた複数本の棒状のウェーハ支持部を互いに離間して固定部に固定してなる横型ウェーハボートにおいて、前記ウェーハ支持部を構成し半導体ウェーハの側部を支持する１対の側部ウェーハ支持部と、前記ウェーハ支持部を構成し半導体ウェーハの下部を支持する１対の下部ウェーハ支持部と、隣接する前記側部ウェーハ支持部と前記下部ウェーハ支持部を前記固定部以外の箇所で接続固定する補強部と、前記固定部及び前記補強部の位置の前記下部ウェーハ支持部から下方に延びる脚部とを備え、前記補強部は前記ウェーハ支持部の断面中心とこれに隣接する前記ウェーハ支持部の断面中心とを結んだ直線を中心とした前記ウェーハ支持部の断面幅を含む領域の外であってかつ反半導体ウェーハ載置側に位置し、前記ウェーハ支持部の断面中心を通る直線が、前記両中心間を結んだ直線に対して垂直かつ前記補強部の前記ウェーハ支持部との接合部位の断面を通過する位置関係にあり、前記接合部位の断面積が接合される前記ウェーハ支持部の断面積の２０〜６０％の範囲であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る横型ウェーハボートによれば、使用耐久性があり、半導体ウェーハの成膜後の面内抵抗バラツキを改善できる横型ウェーハ用ボートを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボートについて図面を参照して説明する。
【００１７】
図１は本発明の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボートの平面図であり、図２はその側面図であり、図３はその正面図であり、図４は図２のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【００１８】
図１〜図４に示すように、本発明の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボート１は、例えば石英製であり、半導体ウェーハの熱処理に用いる横型熱処理装置で使用される。
【００１９】
縦型ボートは横型ボートより収容枚数が少ないが、大型半導体ウェーハを搭載するのに適するのに対して、横型ボートは比較的小さな直径例えば４”〜６”の半導体ウェーハを多数収容するのに適する。
【００２０】
本横型ウェーハ用ボート１は、多数の支持溝２に半導体ウェーハの側部を挿入して支持し、平行に離間して配される１対の棒状の側部ウェーハ支持部３、３と、多数の支持溝２に半導体ウェーハの下部を挿入して支持し、平行に離間して配される１対の棒状の下部ウェーハ支持部４、４とを備える。
【００２１】
側部ウェーハ支持部３、３は、その両端３ａ、３ａで把持部の機能を持ち、固定部としての１対の直線棒状の外側固定部５、５に固定される。
【００２２】
各下部ウェーハ支持部４は、下部ウェーハ支持部４の略半分の長さの２本の短支持部４Ａ、４Ａからなり、この短支持部４Ａ、４Ａは、平行に等間隔で配され、固定部としての３本の棒状扁平逆山形の内側固定部６ａ、６ａ、６ｂ間に固定され、内側固定部６ａ、６ａは外側固定部５、５の内側に手が入る距離Ｄだけ離間する。内側固定部６ａ、６ａ、６ｂは直線状の水平部材６ａ１、６ｂ１の両端に直線状の傾斜部材６ａ２、６ｂ２を斜めに取り付けて扁平逆山形に形成される。
【００２３】
なお、ボートの長さすなわち側部ウェーハ支持部および下部ウェーハ支持部が比較的短い場合には、中央に配する内側固定部を省略し、下部ウェーハ支持部を連続した１本の棒状に形成してもよい。
【００２４】
下部ウェーハ支持部４、４が固定された内側固定部６ａ、６ａ、６ｂは、その両端で側部ウェーハ支持部３、３に溶着され、この側部ウェーハ支持部３、３は下部ウェーハ支持部４、４と一体的になり、半導体ウェーハを収容する容器状が形成される。
【００２５】
隣接する側部ウェーハ支持部３と下部ウェーハ支持部４は、これら両支持部３、４の外側に設けられる比較的小さな棒状扁平山形の１対の例えば断面形状が円形で直径５〜１０ｍｍの補強部７、７によって接続固定されて補強され、下部ウェーハ支持部４同士は接続固定されていない。補強部７、７は、内側固定部６ａ、６ａ、６ｂが設けられる場所以外の位置に設けられる。
【００２６】
さらに、下部ウェーハ支持部４、４から下方に延びる複数例えば５対の脚部８が設けられる。
【００２７】
図４を拡大した図５に示すように、補強部７は、側部ウェーハ支持部３の断面中心ｃ３とこれに隣接する下部ウェーハ支持部４の断面中心ｃ４とを結んだ直線Ｌを中心（線）とした両ウェーハ支持部３、４の断面幅を含む領域（図５中斜線で示す）の外にあり、また、反半導体ウェーハ載置側に位置する。
【００２８】
この補強部７とウェーハ外周部との距離が十分離れていれば、ガス流れの乱れによる影響はウェーハには及ばないが、炉心管の径が決まっているのであまり外側に大きくはみ出した設計には出来ない。そこでどこまで近接できるかということになるが、本発明においては、距離の限界値補強部７が図５中斜線で示す領域の外であればよい。その理由は、ガスの流れの乱れは各部材の支柱の断面積と補強部７のガスの流れる方向に垂直な断面における断面積に比例して大きくなるが、この２つの断面積の関係を後述のとおりに規定することで、ウェーハ外周への影響を抑制できることを見出したからである。
【００２９】
さらに、両ウェーハ支持部３、４の断面中心を通る直線Ｌ３、Ｌ４が、直線Ｌに対して垂直であり、また、補強部７の両ウェーハ支持部３、４との接合部位７ａ、７ｂの断面を通過する位置関係にあり、接合部位７ａ、７ｂの断面積が接合される両ウェーハ支持部３、４の断面積の２０〜９０％の範囲に設定される。
【００３０】
断面積が２０％より小さいと、補強部自身が変形し、下部ウェーハ支持部の変形を確実に防止することができず、シート抵抗（ρｓ）にバラツキが発生する。一方、断面積が９０％を超えると、図５中斜線で示す領域にかからないように補強部７をとりつけるためには複雑な形状を取る必要が生じ、できるだけ簡単な構造にすることが望ましいボートの設計方針から外れてしまい、好ましくない。
【００３１】
さらに、前記補強部のガス通過方向に対して垂直な面における断面積が、前記ウェーハ支持部の断面積の１０〜６０％の範囲であることが好ましい。これは、断面積が１０％以下だと補強の強度が十分確保できなくなり、６０％以上だとガス流れがより大きく阻害され、図５中斜線で示す領域に補強部７がはいっていなくてもガス流れの乱れの影響が大きく作用して、ρｓのバラツキと面内バラツキが生じるためである。
【００３２】
本横型ウェーハ用ボート１の組み立ては、次のような工程で行われる。
【００３３】
予め多数の支持溝２が切られた２本の棒状の側部ウェーハ支持部３の両端３ａを外固定部５に酸水素火炎バーナーなどにより、溶着する。
【００３４】
予め多数の支持溝２が切られた４本の棒状の短支持部４Ａの両端４ａを内固定部６ａ、６ａ、６ｂに溶着し、さらに、この内側固定部６ａ、６ａ、６ｂの両端を側部ウェーハ支持部３、３に溶着し、この側部ウェーハ支持部３、３と下部ウェーハ支持部４、４で容器状を形成する。
【００３５】
しかる後、補強部７を上記のような位置関係で、側部ウェーハ支持部３、３と下部ウェーハ支持部４、４間に溶着により、橋設する。
【００３６】
下部ウェーハ支持部４、４に５対の脚部８を溶着する。
【００３７】
本実施形態の横型ウェーハ用ボートは、補強部７を上記のような形状と固定位置に設定しているので、補強部７が半導体ウェーハと接触することなく、下部ウェーハ支持部４を補強することができ、熱と半導体ウェーハの重量による塑性変形が抑制され、長時間の使用が可能となり、さらに、ガスの流れに影響を与えず、安定したρｓバラツキを維持しながら、成膜を行うことが可能となる。また、下部ウェーハ支持部同士を補強部により接続固定する構造ではないので、処理バッチ枚数を減少させずに成膜を行うことができる。
【００３８】
本実施形態の横型石英ボートによれば、使用耐久性があり、半導体ウェーハの成膜後の面内抵抗バラツキを改善できる横型ウェーハ用ボートが実現する。
【００３９】
なお、上記実施形態では、補強部の断面形状が円形である例で説明したが、図６に示す第１変形例の補強部７Ａのように断面形状が正方形であってもよく、図７に示す第２変形例の補強部７Ｂのように断面形状を長方形にして、ガス流に対する対向面積を小さくし通風抵抗を減じるものでもよく、図８に示す第３変形例の補強部７Ｃのように断面形状を楕円形にして、ガス流に対する対向面積を小さくし通風抵抗を減じるものでもよく、図９に示す第４変形例の補強部７Ｄのように接合部位７Ｄａ、７Ｄｂの形状を円形にし、この接合部位７Ｄａ、７Ｄｂ間の支持部位７Ｄｃの断面形状を扁平長方形状にしてもよく、図１０に示す第５変形例の補強部７Ｅのように接合部位７Ｅａ、７Ｅｂの形状を円形にし、支持部位７Ｅｃの断面形状を中央部が肉厚の扁平山形形状にしてもよい。これらの変形例を用いることでも、下部ウェーハ支持部を補強することができ、熱と半導体ウェーハの重量による塑性変形が抑制され、長時間の使用が可能となり、さらに、ガスの流れに影響を与えず、安定したρｓバラツキを維持しながら、成膜を行うことが可能となる。
【実施例】
【００４０】
（１）試験目的
本発明の横型石英ボート（実施例）を用いて、シリコンウェーハの成膜を行い、横型石英ボートの変形量と成膜の面内バラツキを調べ、従来例、比較例と比較する。
【００４１】
（２）使用ボートとウェーハ搭載方法
実施例：  図１に示すような補強部を設けた横型石英ボート１を用い、溝数１０８の溝全てに６インチシリコンウェーハを挿入し、１０８枚を搭載した。  
従来例：  図１１および図１２に示すような補強部を設けない横型石英ボート１１を用い、溝数１０８の溝全てに６インチシリコンウェーハを挿入し、１０８枚を搭載した。  
比較例：  図１３および図１４に示すように、図１に示す実施例に下部補強部２２を追加した横型石英ボート１１Ａを用い、溝数１００の溝全てに６インチシリコンウェーハを挿入し、１００枚を搭載した。
【００４２】
（３）測定方法
横型加熱炉内に配置された炉芯管に、シリコンウェーハが搭載された横型石英ボートを収容し、成膜を行い、下記事項について調べる。  
１）横型石英ボートの変形量として、２本の下部ウェーハ支持部の間隔距離（基準値６．５ｃｍ）の変化を調べる。  
２）図１５（実施例）、図１６（従来例）、図１７（比較例）に示す位置のサンプルウェーハのシート抵抗（ρｓ）を測定する。測定点は図１８、図１９、図２０に示す位置の５点である。  
３）実施例（１〜１８０回）および従来例（１〜１００回）繰り返して使用し、面内バラツキ率（Δρｓ）（％）＝（ρｓｍａｘ−ρｓｍｉｎ）／ρｓｍｅｎ×１００を調べる。測定枚数は図２１および図２２の枚数Ｎで示す。
【００４３】
（４）試験結果
１）変形量について
１．実施例は、表１からもわかるように、補強部の変形防止効果により、１５０回の使用後にも、下部ウェーハ支持部の間隔距離の変化はなく、変形量は０ｃｍであった。  
２．従来例は、図２３および表２からもわかるように、２０回の使用後に、中央の固定部近傍に０．１ｃｍの変形が生じ、３０〜５０回では０．２ｃｍの変形が生じ、６０〜７０回では０．３ｃｍの変形が生じ、９０〜１００回では０．５ｃｍの変形が生じ、１１０回ではシリコンウェーハへの影響が生じ、ボートの使用が不可能になった。  
３．比較例は、表３からもわかるように、１０回までは、変形量は０ｃｍであったが、２０回の使用後はシリコンウェーハへの影響が生じ、ボートが使用不可能になった。
【００４４】
【表１】
2009111064.tif 000003
【００４５】
【表２】
2009111064.tif 000004
【００４６】
【表３】
2009111064.tif 000005
【００４７】
２）シート抵抗（ρｓ）について
１．実施例のρｓを図１８に示す。Ｘ軸は図１５に示す搭載位置のサンプルウェーハを番号で示し、Ｙ左軸はρｓ（Ω／□）を示し、Ｙ右軸はρｓバラツキ率（Δρｓ）（％）を示し、曲線は図１３に示す測定ポイントにおける測定値を示す。
【００４８】
サンプルウェーハ１〜７枚目、８〜１４枚目共、搭載位置によってρｓ値の変化がなく、安定しており、また、補強部の形状と固定位置を特定することで、ガス流れに影響を与えず、補強部に対向して位置するサンプルウェーハ４枚目および１１枚目も、他のサンプルウェーハと同様のρｓ値を示して変化がなく、さらに、これは、図１５に示す補強部を設けない従来例の４枚目および１１枚目とも同様である。
【００４９】
また、サンプルウェーハ１〜７枚目、８〜１４枚目共、Δρｓ（面内バラツキ）が小さく、さらに、サンプルウェーハ４枚目および１１枚目の面内バラツキも、小さく、これは、補強部を設けない従来の４枚目および１１枚目とも同様である。
【００５０】
なお、炉口側のサンプルウェーハ１〜７枚目は、炉奥側の８〜１４枚目に比べて、全般的にρｓは大きくなるが、これは作用ガスの流れに起因するもので、補強部を設けない、図１１に示す従来例のボートと同様の傾向を示す。
【００５１】
２．従来例のρｓを図１９に示す。
【００５２】
補強部を設けない従来例は、サンプルウェーハ１〜７枚目、８〜１４枚目共、搭載位置によってρｓ値の変化がなく、安定している。また、Δρｓが小さい。
【００５３】
３．比較例のρｓを図２０に示す。
【００５４】
補強部および下部補強部を設けた比較例は、下部補強部の近傍のサンプルウェーハ３枚目〜６枚目、および１１枚目、１２枚目〜１４枚目でρｓが増加し、特に下部補強部に近接する４枚目、５枚目および１２枚目、１３枚目でρｓの増加が著しく、また、面内バラツキも大きい。
【００５５】
３）面内バラツキ率について
図２１は実施例の測定結果の使用回数と面内バラツキ率の関係を示す。
【００５６】
図２１からもわかるように、実施例は使用回数が１〜２０回…１４１〜１５０回ではいずれも、Δρｓのバラツキは小さく、多回数使用により面内バラツキを生じさせないことがわかった。
【００５７】
これに対して従来例は、図２２に示すように、４１〜６０回からは、Δρｓのバラツキが増大し、多回数使用により面内バラツキが生じることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボートの平面を示す概念図。
【図２】本発明の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボートの正面を示す概念図。
【図３】本発明の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボートの側面を示す概念図。
【図４】図２のＡ−Ａ線に沿う断面図。
【図５】本発明の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボートに用いる補強部の取付状態図。
【図６】本発明の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボートに用いる補強部の第１変形例の斜視図。
【図７】本発明の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボートに用いる補強部の第２変形例の斜視図。
【図８】本発明の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボートに用いる補強部の第３変形例の斜視図。
【図９】本発明の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボートに用いる補強部の第４変形例の斜視図。
【図１０】本発明の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボートに用いる補強部の第５変形例の斜視図。
【図１１】従来の横型ウェーハ用ボートの平面を示す概念図。
【図１２】従来の一実施形態に係る横型ウェーハ用ボートの正面を示す概念図。
【図１３】変形、バラツキ試験に用いる比較例の横型ウェーハ用ボートの平面を示す概念図。
【図１４】変形、バラツキ試験に用いる比較例の横型ウェーハ用ボートの正面を示す概念図。
【図１５】変形、バラツキ試験におけるサンプルウェーハの位置を示す実施例の横型ウェーハボート図。
【図１６】変形、バラツキ試験におけるサンプルウェーハの位置を示す従来例の横型ウェーハボート図。
【図１７】変形、バラツキ試験におけるサンプルウェーハの位置を示す比較例の横型ウェーハボート図。
【図１８】実施例のサンプルウェーハの位置別のシート抵抗および面内シート抵抗バラツキ線図。
【図１９】従来例のサンプルウェーハの位置別のシート抵抗および面内シート抵抗バラツキ線図。
【図２０】比較例のサンプルウェーハの位置別のシート抵抗および面内シート抵抗バラツキ線図。
【図２１】実施例の使用回数と面内バラツキ率の関係を示す図。
【図２２】実施例の使用回数と面内バラツキ率の関係を示す図。
【図２３】従来例の使用試験後の変形状態を示す結果図。
【符号の説明】
【００５９】
１  横型ウェーハ用ボート
２  支持溝
４  下部ウェーハ支持部
５  外側固定部
４Ａ  短支持部
６ａ、６ｂ  内側固定部
６ａ１、６ｂ１  水平部材
６ａ２、６ｂ２  傾斜部材
７  補強部
７ａ、７ｂ  接合部位
８  脚部
Ｄ  距離
ｃ４  断面中心
Ｌ３、Ｌ４  直線
Ｌ  直線
【図１】
2009111064.tif 000006
【図２】
2009111064.tif 000007
【図３】
2009111064.tif 000008
【図４】
2009111064.tif 000009
【図５】
2009111064.tif 000010
【図６】
2009111064.tif 000011
【図７】
2009111064.tif 000012
【図８】
2009111064.tif 000013
【図９】
2009111064.tif 000014
【図１０】
2009111064.tif 000015
【図１１】
2009111064.tif 000016
【図１２】
2009111064.tif 000017
【図１３】
2009111064.tif 000018
【図１４】
2009111064.tif 000019
【図１５】
2009111064.tif 000020
【図１６】
2009111064.tif 000021
【図１７】
2009111064.tif 000022
【図１８】
2009111064.tif 000023
【図１９】
2009111064.tif 000024
【図２０】
2009111064.tif 000025
【図２１】
2009111064.tif 000026
【図２２】
2009111064.tif 000027
【図２３】
2009111064.tif 000028