(57)【要約】【課題】  パターンデータを用いて診断を行う半導体検査装置において、ハードディスクに保存されたパターンデータを複数回メモリに転送するので、転送回数分時間が増加し、診断時間が長くなってしまうという課題を解決する。【解決手段】  パターンデータを一旦バッファに保持し、このバッファからハードウエア転送を用いて、メモリの複数の領域に転送するようにした。また、パターンデータを圧縮して格納し、バッファで伸長してメモリに転送するようにした。転送時間を短くすることができるので、診断時間を短縮できる。【選択図】                    図１
2009080074.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンデータを用いて診断を行う半導体検査装置において、
前記パターンデータが格納される記憶部と、
前記記憶部に格納されたパターンデータが一時的に保持されるバッファと、
前記バッファに格納されたパターンデータが、その複数領域に転送されるメモリと、
を具備したことを特徴とする半導体検査装置。
【請求項２】
前記記憶部にはパターンデータを圧縮したデータが格納され、
前記バッファは、圧縮データを伸長する伸長部と、データを一時的に保持するデータ保持部で構成され、
たことを特徴とする請求項１記載の半導体検査装置。
【請求項３】
前記記憶部はハードディスクであることを特徴とする請求項１若しくは請求項２記載の半導体検査装置。
【請求項４】
前記バッファから前記メモリへのパターンデータの転送は、ハードウエア転送を用いて行われることを特徴とする請求項１乃至請求項３いずれかに記載の半導体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターンデータを高速で転送できるようにすることにより、診断時間を短縮することができる半導体検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体検査装置では、種々の診断パターンデータをパターンメモリにロードして診断を行っている。例えば、半導体検査装置のファンクション機能を診断する場合には、テストヘッドに診断ボードを実装し、診断パターンデータに基づいてピンエレクトロニクスから試験信号を出力し、この試験信号が診断ボードで折り返されて再びピンエレクトロニクスに入力される。そして、診断パターンデータの期待値データと一致／不一致を判定することにより、診断を行っている。このような半導体検査装置のパターンデータ転送部の構成を図３に示す。
【０００３】
図３において、１０は記憶部であり、パターンデータ１０ａが格納される。パターンデータ１０ａはメモリ１１の複数の領域１１ａ、１１ｂに転送される。記憶部１０には通常多数のパターンデータが格納されている。これらのパターンデータは順番にメモリ１１のしかるべき領域に転送される。
【０００４】
パターンデータの長さは数ワード程度と短いが、数が多いので、記憶部１０として通常ハードディスクが用いられる。従って、記憶部１０からメモリ１１への転送方式として、ソフトウエアを用いるソフトウエア転送が用いられる。
【特許文献１】特開２００４−２７１４１３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような半導体検査装置には次のような課題があった。記憶部１０に格納されているパターンデータは、ソフトウエアを用いてメモリに転送される。記憶部１０として通常ハードディスクが用いられるが、ハードディスクはメモリに比べてアクセス時間が長く、またパターンデータは数が多いので、記憶部１０からメモリ１１へのパターンデータ転送に時間がかかり、診断時間が長くなってしまうという課題があった。
【０００６】
従って本発明の目的は、パターンデータの転送時間を短くすることにより、診断時間の短縮が可能な半導体検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような課題を解決するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
パターンデータを用いて診断を行う検査装置において、
前記パターンデータが格納される記憶部と、
前記記憶部に格納されたパターンデータが一時的に保持されるバッファと、
前記バッファに格納されたパターンデータが、その複数領域に転送されるメモリと、
を具備したものである。転送時間を短くすることができるので、診断時間を短縮できる。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、
前記記憶部にはパターンデータを圧縮したデータが格納され、
前記バッファに格納された圧縮データを伸長する伸長部と、データを一時的に保持するデータ保持部とで構成したものである。データ転送時間をさらに短くすることができる。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項１若しくは請求項２記載の発明において、
前記記憶部としてハードディスクを用いたものである。多数のパターンデータを格納できる。
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３いずれかに記載の発明において、
前記バッファから前記メモリへのパターンデータを、ハードウエア転送を用いて行うようにしたものである。転送時間をさらに短くすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
請求項１，２、３および４の発明によれば、記憶部に格納されているパターンデータを一時的にバッファに保持し、このバッファからメモリの複数の領域に転送するようにした。
【００１２】
記憶部に格納されたパターンデータを、バッファを介してメモリの複数領域に転送するようにしたので、パターンデータの転送時間を短くすることができ、診断時間を短縮することができるという効果がある。また、パターンデータを圧縮した圧縮データを用いると、記憶部からバッファに転送するデータ量を小さくすることができるので、転送時間をさらに短くすることができるという効果もある。
【００１３】
記憶部には通常ハードディスクが用いられるが、ハードディスクのデータアクセス時間はメモリのアクセス時間に比べて長い。本発明は記憶部とメモリの間にバッファを置くことにより、記憶部から読み出す回数を最小の１回にすることができる。従って、パターンデータを転送する時間を短くすることができる。また、バッファからメモリへの転送にハードウエア転送を用いることにより、データ転送時間をさらに短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係る半導体検査装置の一実施例を示す構成図である。なお、図３と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。
【００１５】
図１において、２０はバッファであり、記憶部１０に格納されたパターンデータ１０ａが転送され、このパターンデータを一時的に保持する。バッファ２０はパターンデータが１つ入るだけの容量を有している。記憶部１０はハードディスクであり、パターンデータ１０ａはＣＰＵ(Central Processing Unit)を介して行われるソフトウエア転送によってバッファ２０に転送される。
【００１６】
２１はメモリであり、領域２１ａ、２１ｂを有している。バッファ２０に格納されたパターンデータはハードウエア転送でメモリ２１内の領域２１ａ、２１ｂに転送される。      
【００１７】
ハードウエア転送はＤＭＡ(Direct Memory Access)とも言い、ＣＰＵを介さず、各装置（この場合はバッファ２０）とメモリ間で直接データ転送を行うデータ転送方式である。ＣＰＵを介さないので、ソフトウエアを用いない。そのため、高速でデータ転送を行うことができる。
【００１８】
図３の従来例ではパターンデータ１０ａは記憶部１０から直接メモリ１１に転送されるのに対して、この実施例では、記憶部１０に格納されたパターンデータ１０ａを一旦バッファ２０に転送し、このバッファ２０からメモリ２１に転送される。従って、本実施例の方が転送回数が多く、一見すると転送に時間がかかるように思われる。
【００１９】
しかし、記憶部１０に格納されたパターンデータは、メモリの複数の領域に格納される。従来はこれら複数の領域の各々にソフトウエア転送でパターンデータを転送していたのに対して、本実施例ではソフトウエア転送でバッファ２０に１回転送し、ハードウエア転送で複数回バッファ２０からメモリ２１に転送する。ハードウエア転送の転送時間はソフトウエア転送の転送時間よりずっと短いので、合計の転送時間を削減することができる。
【００２０】
例えば、同じパターンデータを転送する領域の数をＮ、１つのパターンデータをソフトウエア転送するために要する時間をＴｓ、ハードウエア転送に要する時間をＴｈとすると、従来例では合計転送時間はＮ×Ｔｓであるが、図１実施例では（Ｔｓ＋Ｎ×Ｔｈ）になる。通常ＴｈはＴｓよりずっと短いので、図１実施例の方が合計転送時間を短くすることができる。
【００２１】
また、バッファ２０からメモリ２１へのデータ転送時間は、ハードウエア転送を用いなくても記憶部１０からバッファ２０へのデータ転送時間よりずっと短い。従って、ハードウエア転送を用いなくても、データ転送時間を短くすることができる。
【００２２】
図２に本発明の他の実施例を示す。この実施例は、パターンデータを圧縮してデータ量を少なくし、転送時間を削減するようにしたものである。なお、図１と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。
【００２３】
図２において、３０はバッファであり、伸長部３１とデータ保持部３２で構成されている。伸長部３１は、圧縮データを伸長して元のパターンデータに戻して出力する。このパターンデータはデータ保持部３２に一時的に保持される。また、記憶部１０には圧縮されたパターンデータ１０ｂが格納されている。
【００２４】
圧縮されたパターンデータ１０ｂはソフトウエア転送で伸長部３１に入力される。伸長部３１は入力された圧縮データを伸長して元に戻し、データ保持部３２に出力する。データ保持部３２は入力されたパターンデータを一時的に保持し、ハードウエア転送を用いて領域２１ａ、２１ｂに転送する。
【００２５】
本実施例ではソフトウエア転送で転送するデータのサイズが小さくなるので、時間のかかるソフトウエア転送に要する時間を短くすることができ、転送時間をさらに短くすることができる。伸長部３１はハードウエアで伸長を行うので、伸長に要する時間はほぼ無視することができる。
【００２６】
パターンデータを圧縮する手法には種々のものがあるが、次の手法を用いることができる。圧縮パターンデータは、同じパターンのデータを複数回繰り返すものが多い。この繰り返しパターンを複数回べた書きする代わりに、（繰り返しパターンのデータ）×(繰り返し回数)で表すと、パターンデータを圧縮することができる。なお、パターンデータを圧縮する手法はこれに限られることはなく、種々の手法を用いることができる。
【００２７】
なお、図２実施例では伸長部３１で伸長したパターンデータをデータ保持部３２に保持するようにしたが、圧縮データをデータ保持部３２で保持し、ハードウエア転送するときに伸長部３１で伸長するようにしてもよい。但し、ソフトウエア転送は時間がかかるので、図２のようにした方が伸長の回数が１度でよくなるので、転送時間を短くすることができる。
【００２８】
また、これらの実施例では半導体検査装置について説明したが、これに限られることはない。パターンデータを用いる他の検査装置に適用することができる。メモリ２１にパターンデータを格納する領域は２つに限られることはなく、任意に選ぶことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図３】従来の半導体検査装置のパターンデータ転送部の構成図である。
【符号の説明】
【００３０】
１０  記憶部
１０ａ、１０ｂ  パターンデータ
２０、３０  バッファ
２１  メモリ
２１ａ、２１ｂ  領域
３１  伸長部
３２  データ保持部
【図１】
2009080074.tif 000003
【図２】
2009080074.tif 000004
【図３】
2009080074.tif 000005