(57)【要約】【課題】搬送台車の走行位置及び／又は停止位置に追従して、必要な箇所のみのダウンフローによる排気流速を高めるようにすることにより、必要最小限度のファンフイルターユニットの設置数にて、局部的で効率的なダウンフローを形成し、かつ設備費及びランニングコストを低廉化できるようにしたクリーン搬送装置における空調システムを提供すること。【解決手段】液晶基板を収納するカセットＫを保管する保管棚Ｌと、カセットＫを走行レールＲに沿って搬送する搬送台車Ｃと、保管棚Ｌに清浄空気を供給するファンフィルタユニットＦＦＵとを備えたクリーン搬送装置において、ダウンフロー内を走行可能とした搬送台車Ｃの走行位置及び／又は停止位置に追従して、搬送台車Ｃの走行位置及び／又は停止位置のダウンフローの流速を増すように調整可能に構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶基板を収納するカセットを保管する保管棚と、カセットをレールに沿って搬送する搬送台車と、保管棚に清浄空気を供給するファンフイルターユニットとを備えたクリーン搬送装置において、ダウンフロー内を走行可能とした搬送台車の走行位置及び／又は停止位置に追従して、該搬送台車の走行位置及び／又は停止位置のダウンフローの流速を増すように調整可能に構成したことを特徴とするクリーン搬送装置における空調システム。
【請求項２】
搬送台車の走行位置及び／又は停止位置のダウンフローの流速を増すようにダウンフローの吸込口の開口率を可変調整可能に構成したことを特徴とする請求項１記載のクリーン搬送装置における空調システム。
【請求項３】
ダウンフロー流速の増減調整を、ダウンフローの吸込口の開口率の可変調整と、ファンフイルターユニットの風量調整との組み合わせにより行うように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載のクリーン搬送装置における空調システム。
【請求項４】
ダウンフロー流速の増加を、ファンフイルターユニットの稼働運転数を切り替えて行うように構成したことを特徴とする請求項１又は２記載のクリーン搬送装置における空調システム。
【請求項５】
ダウンフロー流速の増加を、風量調整可能なファンフイルターユニットを用いて行うように構成したことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のクリーン搬送装置における空調システム。
【請求項６】
ダウンフロー流速の増減調整を、走行する搬送台車の走行位置をセンサーにて検出して行うように構成したことを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載のクリーン搬送装置における空調システム。
【請求項７】
ダウンフローの吸込口を、搬送台車の走行方向に沿う壁面下部位置に形成したことを特徴とする請求項１又は２記載のクリーン搬送装置における空調システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーン搬送装置における空調システムに関し、特に、スタッカークレーン、ＯＨＶ、ＲＧＶ、コンベア（ＣＶ）等の搬送装置（以下、「搬送装置」という。）の走行位置及び／又は停止位置に追従して、必要な箇所のみのダウンフローの流速を高めることにより、必要最小限度のファンフイルターユニット等の清浄空気噴出装置（以下、「ファンフイルターユニット」という。）の設置数にて、局部的に効率的なダウンフロー流速を形成するようにしたクリーン搬送装置における空調システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、クリーン搬送装置、特に限定されるものではないが、例えば、図１３〜図１４に示すように、液晶ガラス基板等の液晶基板の自動保管倉庫Ｓにおいては、複数枚の液晶基板を収納したカセットＫを、自動保管倉庫内に多数配設された保管棚Ｌに一時的に出し入れ可能にして保管するようにしている。
このカセットＫの搬送は、自動保管倉庫内を高速で走行する搬送装置Ｃ、例えば、スタッカークレーンにて行われるが、このスタッカークレーンＣの高速走行時、走行レールＲと車輪部から発塵し、この発塵がスタッカークレーンＣの走行に追従して拡散されるとともに、走行停止位置においては舞い上がり拡散される範囲が拡大するものとなる。特にスタッカークレーンＣが自動保管倉庫Ｓの端部壁面近くに停止する場合は、スタッカークレーンＣの走行によって発生した走行方向の風がこの壁面に衝突し、乱流を発生させ、塵埃が巻き上がるものとなる。これを防止し、かつ半ば露出した状態でカセットＫに収納される液晶基板を清浄状態に保って搬送及び保管できるようにするため、自動保管倉庫内に清浄空気を天井面から噴き出し、床面側から排出する所謂清浄空気のダウンフローＤを形成するようにし、この清浄空気のダウンフロー内を予め設定した走行路に沿ってスタッカークレーンＣを走行させて、カセットの各保管棚への一時的に出し入れして保管するようにしている。
【０００３】
ところで、従来のクリーン搬送を可能とした自動保管倉庫Ｓは、図１３〜図１４に示すように、その天井面に清浄空気を通気床面に向かって噴出するためのファンフイルターユニットＦＦＵをほぼ定間隔に複数配設し、かつ床面側にも固定的で同じ開口率の通気床Ｆを配設して清浄空気のダウンフローＤを、自動保管倉庫Ｓ内全体にほぼ均一になるように形成している。
このため、スタッカークレーンＣの走行による発生塵埃を拡散させずに自動保管倉庫外へ排出できるため、自動保管倉庫内全体を設定されたクリーン度を保つことができるが、自動保管倉庫内全体に均一な清浄空気のダウンフローＤを形成し、かつ必要な流速を得るようにするためには、多数のファンフイルターユニットＦＦＵを配設する必要がある。
【０００４】
しかしながら、発塵及び発塵の拡散は、自動保管倉庫内全体において常に均一に生じるものではなく、スタッカークレーンＣの走行位置に追従して、さらには停止位置において発塵及びその拡散が特にひどく発生するものである。
ところで、スタッカークレーンＣの走行による発生塵埃を拡散させずに自動保管倉庫外へ排出できるように、均一な清浄空気のダウンフローＤを自動保管倉庫内全体に形成するためには、ファンフイルターユニットＦＦＵの配設数が多くなり、クリーン搬送装置の空調システムの設備費が高価になるとともに、ランニングコストも高くなるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、クリーン搬送装置における空調システムの有する問題点に鑑み、搬送台車の走行位置及び／又は停止位置に追従して、必要な箇所のみのダウンフローによる排気流速を高めるようにすることにより、必要最小限度のファンフイルターユニットの設置数にて、局部的で効率的なダウンフローを形成し、かつ設備費及びランニングコストを低廉化できるようにしたクリーン搬送装置における空調システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明のクリーン搬送装置における空調システムは、液晶基板を収納するカセットを保管する保管棚と、カセットをレールに沿って搬送する搬送台車と、保管棚に清浄空気を供給するファンフイルターユニットとを備えたクリーン搬送装置において、ダウンフロー内を走行可能とした搬送台車の走行位置及び／又は停止位置に追従して、該搬送台車の走行位置及び／又は停止位置のダウンフローの流速を増すように調整可能に構成したことを特徴とする。
【０００７】
この場合において、搬送台車の走行位置及び／又は停止位置のダウンフローの流速を増すようにダウンフローの吸込口の開口率を可変調整可能に構成することができる。
【０００８】
また、ダウンフロー流速の増減調整を、ダウンフローの吸込口の開口率の可変調整と、ファンフイルターユニットの風量調整との組み合わせにより行うように構成することができる。
【０００９】
また、ダウンフロー流速の増加を、ファンフイルターユニットの稼働運転数を切り替えて行うように構成することができる。
【００１０】
また、ダウンフロー流速の増加を、風量調整可能なファンフイルターユニットを用いて行うように構成することができる。
【００１１】
また、ダウンフロー流速の増減調整を、走行する搬送台車の走行位置をセンサーにて検出して行うように構成することができる。
【００１２】
また、ダウンフローの吸込口を、搬送台車の走行方向に沿う壁面下部位置に形成することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のクリーン搬送装置における空調システムによれば、液晶基板を収納するカセットを保管する保管棚と、カセットをレールに沿って搬送する搬送台車と、保管棚に清浄空気を供給するファンフイルターユニットとを備えたクリーン搬送装置において、ダウンフロー内を走行可能とした搬送台車の走行位置及び／又は停止位置に合わせて、該搬送台車の走行位置及び／又は停止位置のダウンフローの流速を増すように調整可能に構成することにより、必要最小限度のファンフイルターユニットの設置数にて、局部的に効率的なダウンフローを形成して搬送台車走行時等の発塵をダウンフローで押さえ込むようにしてその拡散を防止して確実に排出することができるので、設備費及びランニングコストを低廉させることができる。
【００１４】
また、搬送台車の走行位置及び／又は停止位置のダウンフローの流速を増すようにダウンフローの吸込口の開口率を可変調整可能に構成することにより、簡単な方法で局部的に効率的なダウンフローを形成して、発塵の拡散を防止し、かつ排出することができる。
【００１５】
また、ダウンフロー流速の増減調整を、ダウンフローの吸込口の開口率の可変調整と、ファンフイルターユニットの風量調整との組み合わせにより行うように構成することにより、簡易な方法で、搬送台車の走行に追従して確実に、かつダウンフロー流速の増減調整を微細に行うことができる。  
【００１６】
また、ダウンフロー流速の増加を、ファンフイルターユニットの稼働運転数を切り替えて行うように構成することにより、ランニングコストを抑えて発塵の拡散を防止し、かつ排出することができる。
【００１７】
また、ダウンフロー流速の増加を、風量調整可能なファンフイルターユニットを用いて行うように構成することにより、ランニングコストを抑えて発塵の拡散を防止し、かつ排出することができる。
【００１８】
また、ダウンフロー流速の増減調整を、走行する搬送台車の走行位置をセンサーにて検出して行うように構成することにより、走行する搬送台車位置を正確に検知することができるので、搬送台車の走行速度等に関係なく所定位置でのダウンフロー流速調整が正確に行うことができる。
【００１９】
また、ダウンフローの吸込口を、搬送台車の走行方向に沿う壁面下部位置に形成することにより、既設の装置においても簡易に適用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明のクリーン搬送装置における空調システムの実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００２１】
図１〜図４に、本発明のクリーン搬送装置における空調システムの第１実施例を示す。
この第１実施例のクリーン搬送装置における空調システムでは、搬送台車Ｃとしてスタッカークレーンを用いた場合で説明する。
これは主に、自動保管倉庫Ｓ内に複数枚の液晶基板を収納するようにしたカセットＫを保管する保管棚Ｌを複数列及び複数段形成し、この複数列配設する保管棚列に沿って敷設した走行レールＲ上を走行し、カセットＫを搬送するようにした搬送台車Ｃと、保管棚Ｌ及び該保管棚上に保管した液晶基板、カセットＫに清浄空気を供給するようにしたファンフイルターユニットＦＦＵとを備えて構成する。
なお、図示の実施例では、この保管棚Ｌ、Ｌ列を対峙して配設し、この対峙保管棚Ｌ、Ｌ列間をスタッカークレーンＣを走行可能に配設しているが、この配置方法は限定されるものではない。
【００２２】
搬送台車走行用の走行レールＲは、自動保管倉庫内底部に配設する通気床上に敷設するが、この通気床Ｆはその開口率を可変調整可能とする。この通気床Ｆの開口率可変調整機構は、特に限定されるものではないが、例えば、通気床開口部に開閉可能なシャッター（図示省略）を備え、該シャッターの開口度を調整して行うことができる。このようにして、通気床Ｆの開口率を可変調整することで、搬送台車Ｃの停止位置等所定位置でのダウンフローＤの流速を局部的に効率的に増加させるようにすることができる。
また、自動保管倉庫内天部には、清浄空気を通気床に向かって噴出するように、ファンフイルターユニットＦＦＵを定間隔、或いは所要間隔にて配設して構成する。
【００２３】
なお、ダウンフローの吸込を、この実施例では通気床にて行うようにしているが、これは特に限定されるものではなく、例えば、図１０に示すように、自動保管倉庫内側に形成するリターンダクト３の下部、すなわち、自動保管倉庫内側下部に形成した吸込口Ｆ４より吸い込むようにすることもできる。この自己循環方式の自動保管倉庫においては、天井部のファンフイルターユニットＦＦＵから吹き出されるダウンフローＤを側面下部から吸い込み、リターンダクト３を経て循環させるものである。
【００２４】
次に、本発明のクリーン搬送装置における空調システムの第１実施例の作用について、図３〜図４により説明する。
搬送台車Ｃが前回走行完了時停止した位置を走行ポジション１、また移動目的位置を走行ポジション２とし、かつこれを初期状態としてこの走行ポジション１における通気床Ｆの開口率を大になるように設定している。なお、この走行ポジション２の位置は、保管棚Ｌの位置に合わせて任意に設定することができる。
【００２５】
そして、この走行ポジション１から走行ポジション２へ搬送台車Ｃが移動する場合、走行ポジション１位置における通気床Ｆ１の開口率を予め設定した時間、例えば、Ｔ１秒後に初期状態の開口率大から開口率小へ作動するようにする。
なお、この通気床Ｆ１の開口率小とは、予め設定した清浄空気のダウンフロー流速を得られるようにして設定されている。
また、走行ポジション２位置における通気床Ｆ２の開口率を、搬送台車Ｃの走行距離などにより決定する時間、例えば、Ｔ２秒後に開口率小から開口率大へ作動するようにする。その後、搬送台車Ｃが走行ポジション１から走行ポジション２に向かって走行を開始し、走行ポジション２位置に達すると停止し、搬送台車の走行を終了する。
【００２６】
このように、搬送台車Ｃが移動する前に走行前位置と走行後停止位置での通気床Ｆ１、Ｆ２の開口率を調整しておくため、搬送台車Ｃの移動に合わせてダウンフローの流速を局部的に効率的に増加させることができ、搬送台車走行時の発塵は、通常のダウンフローにて通気床側に吸引され外部へ排出され、特に搬送台車Ｃの停止時に舞い上がらんとする塵埃は、流速を増したダウンフロー流速にて押さえ込まれるようになって通気床側に吸引され塵埃の拡散を未然に防止することができる。
【００２７】
以上の実施例では、走行ポジション１と走行ポジション２の定点において、通気床の開口率を調節してダウンフロー流速を変えるようにしているが、図９に示すように、搬送台車Ｃが走行ポジション１から走行ポジション２へ、或いはその反対方向へ移動する際、その走行に追従して逐次調節するようにすることもできる。
この場合は、搬送台車Ｃの走行移動位置を逐次、特に限定されるものではないが、例えば、センサー等（図示省略）にて検知して、搬送台車Ｃの検知位置に追従して、ダウンフローの流速を順次局部的に変化させるようにする。これにより、搬送台車Ｃの走行移動に追従して発生する粉塵を確実にダウンフロー流速にて押さえ込み、塵埃の拡散を防止することができる。
【実施例２】
【００２８】
図５〜図６に、本発明のクリーン搬送装置における空調システムの第２実施例を示す。この第２実施例では、搬送台車ＣとしてＲＧＶを採用して説明しているが、この搬送台車の種別は特に限定されるものではない。
この場合は、走行ポジション１と走行ポジション２との位置を予め設定した場合で、その構成は大体第１実施例と同じように構成するが、特に異なる構成部分は、天井部に配設するファンフイルターユニットＦＦＵをほぼ定間隔に配置し、かつこのファンフイルターユニットＦＦＵによるダウンフロー流速を搬送台車走行時の発塵を通気床に吸引できる程度の最小必要なる流速となるようにして設定し、かつ走行ポジション１と走行ポジション２における通気床Ｆ１、Ｆ２のみを、その開口率が可変式とし、他の部分の通気床Ｆ３の開口率を固定式とし、さらに搬送台車Ｃの走行範囲で、かつ走行ポジション１と走行ポジション２の近傍に搬送台車の通過を検知するセンサーＳ１及びＳ２をそれぞれ配設して構成する。
そして、このセンサーＳ１、Ｓ２による検知信号で走行ポジション１或いは走行ポジション２位置における通気床Ｆ１、Ｆ２の開口率を調整するようにするものである。
【００２９】
図５（Ａ）及び図６（Ａ）は、搬送台車が走行ポジション１から走行ポジション２へ移動する場合を示す。
搬送台車Ｃが走行ポジション１から走行ポジション２へ走行を開始し、この搬送台車Ｃが走行ポジション１近傍にあるセンサーＳ１にて検知されると、走行ポジション１位置の可変式の通気床Ｆ１が作動してその開口率大から開口率小へ作動するようになり、走行ポジション１近傍の通気床位置のダウンフロー流速が通常のダウンフロー流速に低下する。そして、搬送台車Ｃがそのまま走行して走行ポジション２近傍のセンサーＳ２にて検知されると、走行ポジション２近傍の通気床Ｆ２の開口率小から開口率大へと作動するようになる。これにより、走行ポジション２近傍のダウンフロー流速が増す。この状態で搬送台車Ｃが走行ポジション２位置で停止すると流速を増したダウンフローにて搬送台車停止時において舞い上がらんとする塵埃を通気床側に吸引して外部へ排出される。
【００３０】
また、搬送台車が走行ポジション２から走行ポジション１へ移動する場合、図５（Ｂ）及び図６（Ｂ）に示すように、その詳細説明は省略するが、同様に走行ポジション２及び走行ポジション１位置の通気床Ｆ１、Ｆ２の開口率が反対になるようにそれぞれ調整されるものである。
【実施例３】
【００３１】
図７〜図８は、本発明のクリーン搬送装置における空調システムの第３実施例を示す。この第３実施例は、第２実施例の構成において配設するファンフイルターユニットＦＦＵの配置間隔を、搬送台車Ｃの走行位置においては粗になるように、また、走行ポジション１と走行ポジション２においては密に、望ましくは、主なるファンフイルターユニットＦＦＵと補助ファンフイルターユニットＦＦＵ１又は補助ファンフイルターユニットＦＦＵ２とを互いに連接するようにして配置して構成し、この走行ポジション１と走行ポジション２位置に配設する補助ファンフイルターユニットＦＦＵ１又は補助ファンフイルターユニットＦＦＵ２の稼働調整と、同位置における通気床Ｆ１、Ｆ２の開口率の調整との組み合わせによりダウンフロー流速を調整するようにする。
【００３２】
図７及び図８（Ａ）は、搬送台車Ｃが走行ポジション１から走行ポジション２へと移動する場合を示す。
搬送台車が走行ポジション１から走行ポジション２へ走行を開始し、この搬送台車Ｃが走行ポジション１近傍にあるセンサーＳ１にて検知されると、走行ポジション１位置の可変式の通気床Ｆ１が作動してその開口率大から開口率小へ作動するとともに、同位置の補助ファンフイルターユニットＦＦＵ１を停止することで、走行ポジション１位置におけるダウンフロー流速を大流量から小流量の通常流量へと調節する。
【００３３】
搬送台車Ｃがそのまま走行して走行ポジション２近傍のセンサーＳ２にて検知されると、走行ポジション２近傍の通気床Ｆ２の開口率小から開口率大へと作動するようにするとともに、同位置の補助ファンフイルターユニットＦＦＵ２を稼働するようになり、走行ポジション２近傍のダウンフロー流速が増す。この状態で搬送台車が走行ポジション２位置で停止すると流速を増したダウンフローにて搬送台車停止時において舞い上がらんとする塵埃を通気床側に吸引して外部へ排出される。
【００３４】
また、反対に搬送台車Ｃが走行ポジション２から走行ポジション１へと移動する場合は、図７及び図８（Ｂ）に示すように、同様に走行ポジション２及び走行ポジション１位置の通気床Ｆ１、Ｆ２の開口率及び補助ファンフイルターユニットＦＦＵ１、２が反対になるようにそれぞれ調整されるもので、その詳細説明を省略する。
なお、第２及び第３実施例においても、例えば、図１０に示すように、リターンダクト３及びリターンダクト３の下端に配設し、かつ開口率を可変調整できるようにしたダウンフローの吸込口Ｆ４を搬送台車走行方向に沿った側面壁下部に備えた自己循環方式の自動保管倉庫にも適することができる。さらに、走行する搬送台車Ｃをコントローラ或いはセンサーにてその走行位置を検知し、この検知位置に追従して、ダウンフローの流速を順次局部的に変化させるようにすることもできる。
【００３５】
また、図９に示す実施例は、第２実施例及び第３実施例の変形例で、天井部に配設するファンフイルターユニットＦＦＵをほぼ定間隔に配置し、かつこのファンフイルターユニットＦＦＵによるダウンフロー流速を搬送台車走行時の発塵を通気床に吸引できる程度の最小必要なる流速となるようにして設定し、搬送指示（Ｆｒｏｍ−Ｔｏ）に従い、コントローラが搬送台車の通過の床開口率を大きくし、通過後の床開口率を元に戻すように、指示を出すようにする。なお、この場合、ストッカーの異常時には一定時間後に床開口率を元に戻すようにする。
また、移載ポジションにおける床は、すべて可変開口率の床とし、エリア分けされており、搬送台車の走行通過に応じてその開口率を切り替えるようにする。
【実施例４】
【００３６】
また、図１１は、本発明のクリーン搬送装置における空調システムの第４実施例を示す。
この実施例においては、天井部に配設するファンフイルターユニットＦＦＵをほぼ定間隔に配置すること、搬送台車の走行に沿った床を通気床とすること、及び搬送台車の走行に追従してファンフイルターユニットＦＦＵの稼働制御、通気床の開口率制御を行うことは、すべて上記実施例と同じように構成する。ただし、この第４実施例においては、自動保管倉庫Ｓの端部壁面にリターンダクト３を配設する。
このリターンダクト３の下端には、開口率を可変調整できるようにしたダウンフローの吸込口Ｆ５を配設し、このダウンフローの吸込口Ｆ４の開口率を搬送台車が端部壁面位置或いはその近くに停止する場合、搬送台車の走行によって発生した走行方向の風がこの壁面に衝突し、乱流を発生させ、塵埃が巻き上がるようになるのを、このダウンフローの吸込口Ｆ５の開口率を大きくすることで、該乱流による巻き上がる塵埃をも吸い込むようにするものである。
また、図１２は、第４実施例の変形例を示す。
この変形例は、搬送台車の走行に沿った床を通気床を自動保管倉庫Ｓの端部壁面よりさらに外側まで配設するようにしたものである。これにより、搬送台車の走行によって発生した走行方向の風がこの壁面に衝突し、乱流発生により塵埃が巻き上がるのを、搬送台車の走行終端位置の通気床より吸引するようにするものであり、その制御は上記実施例と同じようにする。
【００３７】
以上、本発明のクリーン搬送装置における空調システムについて、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その実施例の組み合わせ及びその構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明のクリーン搬送装置における空調システムは、必要最小限度のファンフイルターユニットの設置数で、かつ搬送台車の走行位置及び／又は停止位置に追従して必要な箇所のみのダウンフロー流速を高めることにより、局部的に効率的なダウンフローを形成するという特性を有していることから、自動保管倉庫内空調システムの用途に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明のクリーン搬送装置における空調システムの第１実施例を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面縦断面図、（Ｃ）は正面縦断面図である。
【図２】搬送台車の走行動作の説明図で、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面縦断面図である。
【図３】搬送台車の走行動作後における発塵排出の説明図である。
【図４】搬送台車の走行動作フロー図である。
【図５】本発明の第２実施例を示し、（Ａ）は搬送台車の走行動作前の側面縦断面図、（Ｂ）は停止時の側面縦断面図である。
【図６】第２実施例における搬送台車の走行動作フロー図で、（Ａ）は走行ポジション１から走行ポジション２へ走行する場合の走行動作フロー図、（Ｂ）は走行ポジション２から走行ポジション１へ走行する場合の走行動作フロー図である。
【図７】本発明の第３実施例を示す側面縦断面図である。
【図８】第３実施例における搬送台車の走行動作フロー図で、（Ａ）は走行ポジション１から走行ポジション２へ走行する場合の走行動作フロー図、（Ｂ）は走行ポジション２から走行ポジション１へ走行する場合の走行動作フロー図である。
【図９】第２実施例及び第３実施例の変形例を示す側面縦断面図である。
【図１０】本発明のクリーン搬送装置における空調システムをリターンダクトを備えた自己循環方式の自動保管倉庫に適用した実施例の正面縦断面図である。
【図１１】本発明の第４実施例を示し、（Ａ）は搬送台車の始動時を示す側面縦断面図、（Ｂ）は搬送台車の終点位置での停止時を示す側面縦断面図である。
【図１２】第４実施例の変形を示す側面縦断面図である。
【図１３】従来のクリーン搬送装置における空調システムの説明図である。
【図１４】従来の異なるクリーン搬送装置における空調システムの説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
Ｃ    搬送台車
Ｆ    通気床
Ｆ１  走行ポジション１位置の通気床
Ｆ２  走行ポジション２位置の通気床
Ｆ３  開口率固定式の通気床
Ｆ４  ダウンフローの吸込口
Ｆ５  ダウンフローの吸込口
Ｋ    カセット
Ｌ    保管棚
Ｓ    自動保管倉庫
Ｓ１  走行ポジション１近傍のセンサー
Ｓ２  走行ポジション２近傍のセンサー
Ｒ    走行レール
ＦＦＵ  ファンフイルターユニット
ＦＦＵ１  補助ファンフイルターユニット
ＦＦＵ２  補助ファンフイルターユニット
１    走行ポジション
２    走行ポジション
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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