(57)【要約】【課題】液体移送装置における、圧電層の圧縮歪みによる液体の移送量の低下を抑制する。【解決手段】インクジェットヘッド３を製造する際には、予め製造しておいた流路ユニット３１の金属材料からなるキャビティプレート２１と、圧電アクチュエータ３２の圧電層４１とを熱硬化性の接着剤などで接合する。その後、個別電極４４と共通電極４３との間に電圧を印加することにより、圧電層４２のこれらの電極に挟まれた部分をその厚み方向に分極させる（活性部Ｒ１とする）。これと同時に、共通電極４３と導電性を有する流路ユニット３１との間に電圧を印加して圧電層４１のこれらに挟まれた部分をその厚み方向に分極させることで、圧電層４１のこの部分をその面方向に収縮させ、この収縮によって、活性部Ｒ１をその面方向に引っ張って、活性部Ｒ１の圧縮歪みを緩和する（圧縮歪み緩和部Ｒ２とする）。【選択図】図７
2009241325.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、
少なくとも前記圧力室と対向する対向領域を占めるように配置される圧電層と、その対向領域の少なくとも一部に対し前記圧電層の厚み方向の電圧を付与する電圧付与手段とを含む、前記圧力室内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータと、
を備え、
前記圧電層がそれ自身よりも線膨張係数の大きい部材に接するよう構成されている液体移送装置であって、
前記圧電層は、
前記厚み方向に分極されるとともに前記電圧付与手段によって電圧が付与される部分である活性部と、
前記活性部とは異なる部分に形成され、前記厚み方向に分極されており、分極されることにより生じたその面方向の収縮によって、前記活性部をその面方向に引っ張り、前記活性部における圧縮歪みを緩和させる圧縮歪み緩和部とを備えていることを特徴とする液体移送装置。
【請求項２】
前記圧縮歪み緩和部が、少なくとも、前記圧電層の面方向と平行な所定の一方向に関する前記活性部の両側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
【請求項３】
前記圧縮歪み緩和部が、前記厚み方向から見て、前記活性部を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項２に記載の液体移送装置。
【請求項４】
前記圧電アクチュエータは、互いに積層された前記圧電層を複数層備えるものであり、
前記活性部は、複数の前記圧電層のうちの前記流路ユニットに直接接合する接合層を除いた他の層に設けられており、
前記圧縮歪み緩和部は、前記接合層に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液体移送装置。
【請求項５】
前記電圧付与手段は、少なくとも前記活性部を挟むように配される複数の電極を含み、
前記接合層は、これら複数の電極のひとつと前記流路ユニットとによって挟まれており、
前記流路ユニットの少なくとも前記接合層と接合する部分は、導電性を有していることを特徴とする請求項４に記載の液体移送装置。
【請求項６】
圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、
少なくとも前記圧力室と対向する対向領域を占めるように配置される圧電層と、その対向領域の少なくとも一部に対し前記圧電層の厚み方向の電圧を付与する電圧付与手段とを含む、前記圧力室内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータと、を備え、
前記圧電層がそれ自身よりも線膨張係数の大きい部材に接するよう構成されている液体移送装置の製造方法であって、
前記圧電層における前記電圧付与手段によって電圧が付与される第１部分を、前記圧電層の厚み方向に分極することで、この第１部分を活性部とする活性部形成工程と、
前記圧電層における前記電圧付与手段によって電圧が付与される部分とは異なる第２部分を、前記厚み方向に分極することで、この第２部分を前記圧電層の面方向において収縮させて、この部分を前記活性部をその面方向に引っ張り前記活性部における圧縮歪みを緩和させる圧縮歪み緩和部とする圧縮歪み緩和部形成工程と、
を備えていることを特徴とする液体移送装置の製造方法。
【請求項７】
前記活性部形成工程と前記圧縮歪み緩和部形成工程とを同時に行うことを特徴とする請求項６に記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項８】
前記第１部分と前記第２部分が分極されていない状態の前記圧電アクチュエータを形成する圧電アクチュエータ形成工程と、
前記流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、
前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータを接合する接合工程と、を備え、
前記活性部形成工程と前記圧縮歪み緩和部形成工程は、前記接合工程の後に行われることを特徴とする請求項６または７に記載の液体移送装置の製造方法。
【請求項９】
前記圧電アクチュエータ形成工程では、
互いに積層された前記圧電層を複数層有し、
前記電圧付与手段として、少なくとも前記第１部分を挟むように配される複数の電極を有し、
前記第１部分が、複数の前記圧電層のうちの前記流路ユニットに直接接合する接合層を除いた他の層に配され、前記第２部分が、前記接合層に配された圧電アクチュエータを形成し、
前記流路ユニット形成工程では、
少なくとも前記接合層と接合する部分が導電性を有する流路ユニットを形成し、
前記活性部形成工程では、前記複数の電極を用いて前記第１部分を分極し、
前記圧縮歪み緩和部形成工程では、前記複数の電極と前記流路ユニットを用いてこれらに挟まれた前記第２部分を分極する
ことを特徴とする請求項８に記載の液体移送装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を移送する液体移送装置及び液体移送装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、複数の圧力室を覆うようにステンレス鋼等の金属材料からなる振動板が配置されており、振動板の上面に圧電層が形成されており、圧電層の上面に複数の圧力室に対応して個別電極が配置されている。また、圧電層における個別電極と共通電極としての振動板との間に挟まれた部分（活性部）は、その厚み方向に分極されている。そして、個別電極と共通電極としての振動板との間に電圧を印加することにより、圧電層の活性部に厚み方向の電界が発生し、活性部がその面方向に収縮して、圧電層及び振動板の圧力室に対向する部分が圧力室側に凸となるように変形する。これにより、圧力室の容積が減少して圧力室内のインクの圧力が上昇し、圧力室に連通するノズルからインクが吐出される。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３２７０３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、特許文献１に記載のインクジェットヘッドを製造する際、例えば振動板と圧電層とを熱硬化性接着剤によって接合する場合などには、振動板と圧電層とを接合するときに振動板及び圧電層を加熱する必要がある。しかしながら、振動板がステンレス鋼など圧電層を構成する圧電材料よりも線膨張係数の大きい材料により構成されているため、加熱後、常温に戻したときに、振動板と圧電層との線膨張係数の違いから、活性部を含めた圧電層に面方向の圧縮歪みが生じることになる。そして、活性部にこのような圧縮歪みが生じると、上述したように圧電アクチュエータを駆動したときの活性部の変形量が小さくなり、これにより、振動板及び圧電層の変形量が小さくなって、ノズルからのインクの吐出量が減少してしまう虞がある。
【０００５】
本発明の目的は、圧電層の圧縮歪みによって液体の移送量が減少してしまうのを抑制することが可能な液体移送装置、及び、このような液体移送装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明に係る液体移送装置は、圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、少なくとも前記圧力室と対向する対向領域を占めるように配置される圧電層と、その対向領域の少なくとも一部に対し前記圧電層の厚み方向の電圧を付与する電圧付与手段とを含む、前記圧力室内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電層がそれ自身よりも線膨張係数の大きい部材に接するよう構成されている液体移送装置であって、前記圧電層は、前記厚み方向に分極されるとともに前記電圧付与手段によって電圧が付与される部分である活性部と、前記活性部とは異なる部分に形成され、前記厚み方向に分極されており、分極されることにより生じたその面方向の収縮によって、前記活性部をその面方向に引っ張り、前記活性部における圧縮歪みを緩和させる圧縮歪み緩和部とを備えていることを特徴とするものである。
【０００７】
例えば、熱硬化性の接着剤などにより、圧電層がそれ自身よりも線膨張係数の大きい部材（この部材は、例えば、振動板または流路ユニットの少なくとも一部を構成する）に接合される場合、接合のために加熱を行った後、常温に戻すと、両者の線膨張係数の違いにより、圧電層には、その面方向に圧縮歪みが生じ、電圧付与手段によって活性部に電圧を付与したときの活性部の変形量が小さくなって、その結果、液体移送装置における液体の移送量が低下してしまう虞がある。しかしながら、本発明では、圧電層の活性部とは異なる部分に形成された圧縮歪み緩和部をその面方向に収縮させ、この収縮により活性部をその面方向に引っ張り、活性部における圧縮歪みを緩和しているため、電圧付与手段により活性部に電圧を付与したときに活性部の変形量が低下してしまうのを抑制することができる。これにより、液体移送装置において液体の移送量が低下してしまうのを抑制することができる。
【０００８】
第２の発明に係る液体移送装置は、第１の発明において、前記圧縮歪み緩和部が、少なくとも、前記圧電層の面方向と平行な所定の一方向に関する前記活性部の両側に配置されていることを特徴とするものである。
【０００９】
これによると、圧縮歪み緩和部の収縮により、活性部が所定の一方向の両側に引っ張られるので、活性部の圧縮歪みを確実に緩和することができる。
【００１０】
第３の発明に係る液体移送装置は、第２の発明において、前記圧縮歪み緩和部が、前記厚み方向から見て、前記活性部を取り囲むように配置されていることを特徴とするものである。
【００１１】
これによると、圧縮歪み緩和部の収縮により、活性部がその面方向に平行な複数の異なる方向に引っ張られるので、活性部の圧縮歪みを確実に緩和することができる。
【００１２】
第４の発明に係る液体移送装置は、第１〜第３のいずれかの発明において、前記圧電アクチュエータは、互いに積層された前記圧電層を複数層備えるものであり、前記活性部は、複数の前記圧電層のうちの前記流路ユニットに直接接合する接合層を除いた他の層に設けられており、前記圧縮歪み緩和部は、前記接合層に形成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
これによると、圧電層を複数備えている場合、流路ユニットに直接接合する接合層に圧縮歪み緩和部を設けることにより、圧縮歪み緩和部が収縮したときに、活性部が強く引っ張られるため、活性部の圧縮歪みを効率よく緩和することができる。
【００１４】
第５の発明に係る液体移送装置は、第４の発明において、前記電圧付与手段は、少なくとも前記活性部を挟むように配される複数の電極を含み、前記接合層は、これら複数の電極のひとつと前記流路ユニットとによって挟まれており、前記流路ユニットの少なくとも前記接合層と接合する部分は、導電性を有していることを特徴とするものである。
【００１５】
これによると、導電性を有する流路ユニットの接合層と接合する部分を利用して、圧縮歪み緩和部を分極することができるため、圧縮歪み緩和部を緩和するための専用の電極の一部が不要となる。
【００１６】
第６の発明に係る液体移送装置の製造方法は、圧力室を含む液体移送流路が形成された流路ユニットと、少なくとも前記圧力室と対向する対向領域を占めるように配置される圧電層と、その対向領域の少なくとも一部に対し前記圧電層の厚み方向の電圧を付与する電圧付与手段とを含む、前記圧力室内の液体に圧力を付与するための圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電層がそれ自身よりも線膨張係数の大きい部材に接するよう構成されている液体移送装置の製造方法であって、前記圧電層における前記電圧付与手段によって電圧が付与される第１部分を、前記圧電層の厚み方向に分極することで、この第１部分を活性部とする活性部形成工程と、前記圧電層における前記電圧付与手段によって電圧が付与される部分とは異なる第２部分を、前記厚み方向に分極することで、この第２部分を前記圧電層の面方向において収縮させて、この部分を前記活性部をその面方向に引っ張り前記活性部における圧縮歪みを緩和させる圧縮歪み緩和部とする圧縮歪み緩和部形成工程と、を備えていることを特徴とするものである。
【００１７】
例えば、熱硬化性の接着剤などにより、圧電層がそれ自身よりも線膨張係数の大きい部材に接合される場合、接合のための加熱の後、常温に戻すと、両者の線膨張係数の違いにより、圧電層には、その面方向に圧縮歪みが生じ、電圧付与手段によって活性部に電圧を付与したときの活性部の変形量が小さくなって、その結果、液体移送装置における液体の移送量が低下してしまう虞がある。しかしながら、本発明では、圧電層の活性部とは異なる部分に形成された圧縮歪み緩和部をその面方向に収縮させ、この収縮により活性部をその面方向に引っ張り、活性部における圧縮歪みを緩和しているため、電圧付与手段により活性部に電圧を付与したときの活性部の変形量が低下してしまうのが抑制される。これにより、液体移送装置において液体の移送量が低下してしまうのを抑制することができる。
【００１８】
第７の発明に係る液体移送装置の製造方法は、第６の発明において、前記活性部形成工程と前記圧縮歪み緩和部形成工程とを同時に行うことを特徴とするものである。
【００１９】
これによると、活性部形成工程と圧縮歪み緩和部形成工程とを同時に行うことにより、液体移送装置の製造工程が簡略化される。
【００２０】
第８の発明に係る液体移送装置の製造方法は、第６又は第７の発明において、前記第１部分と前記第２部分が分極されていない状態の前記圧電アクチュエータを形成する圧電アクチュエータ形成工程と、前記流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータを接合する接合工程と、を備え、前記活性部形成工程と前記圧縮歪み緩和部形成工程は、前記接合工程の後に行われることを特徴とするものである。
【００２１】
これによると、圧電アクチュエータ形成工程において形成した圧電アクチュエータと、流路ユニット形成工程において形成した流路ユニットとを接合工程において接合すると、前述したように、圧電層に圧縮歪みが生じるが、その後、活性部形成工程において、圧電層の第１部分をその厚み方向に分極させることによって活性部とするとともに、圧縮歪み緩和部形成工程において、圧電層の活性部とは異なる第２部分をその厚み方向に分極させることによりその面方向に収縮させ、第２部分をこの収縮により活性部をその面方向に引っ張ることで活性部における圧縮歪みを緩和する圧縮歪み緩和部としているため、電圧付与手段により活性部に電圧を付与したときに活性部の変形量が低下してしまうのが抑制される。これにより、液体移送装置において液体の移送量が低下してしまうのが抑制することができる。
【００２２】
第９の発明に係る液体移送装置の製造方法は、第８の発明において、前記圧電アクチュエータ形成工程では、互いに積層された前記圧電層を複数層有し、前記電圧付与手段として、少なくとも前記第１部分を挟むように配される複数の電極を有し、前記第１部分が、複数の前記圧電層のうちの前記流路ユニットに直接接合する接合層を除いた他の層に配され、前記第２部分が、前記接合層に配された圧電アクチュエータを形成し、前記流路ユニット形成工程では、少なくとも前記接合層と接合する部分が導電性を有する流路ユニットを形成し、前記活性部形成工程では、前記複数の電極を用いて前記第１部分を分極し、前記圧縮歪み緩和部形成工程では、前記複数の電極と前記流路ユニットを用いてこれらに挟まれた前記第２部分を分極することを特徴とするものである。
【００２３】
これによると、流路ユニットの少なくとも接合層と接合する部分が導電性を有しており、第２部分が接合層に配されている場合、圧縮歪み緩和部形成工程において、流路ユニットを用いて第２部分を分極すれば、第２部分を分極するための電極の一部を省略することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、圧電層の活性部とは異なる部分に形成された圧縮歪み緩和部をその面方向に収縮させ、この収縮により活性部をその面方向に引っ張り、活性部における圧縮歪みを緩和しているため、電圧付与手段により活性部に電圧を付与したときに活性部の変形量が低下してしまうのが抑制される。これにより、液体移送装置において、液体の移送量が低下してしまうのを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００２６】
図１は、本実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。図１に示すように、プリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３（液体移送装置）、搬送ローラ４などを備えている。
【００２７】
キャリッジ２は、走査方向（図１の左右方向）に往復移動する。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２の下面に設けられており、その下面に形成されたノズル１５（図３、４参照）からインクを吐出する。搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを紙送り方向（図１の手前方向）に搬送する。そして、プリンタ１においては、搬送ローラ４により搬送される記録用紙Ｐに、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３からインクが吐出されることにより、記録用紙Ｐに印刷が行われる。
【００２８】
次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２はインクジェットヘッド３の平面図である。図３は図２の部分拡大図である。図４は図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。図５は図３のＶ−Ｖ線断面図である。図２〜図５に示すように、インクジェットヘッド３は圧力室１０、ノズル１５等のインク流路が形成された流路ユニット３１と圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ３２とを備えている。
【００２９】
流路ユニット３１は、キャビティプレート２１、ベースプレート２２、マニホールドプレート２３及びノズルプレート２４の４枚のプレートが互いに積層されることによって形成されており、これら４枚のプレート２１〜２４のうち、ノズルプレート２４を除く３枚のプレート２１〜２３は、例えば、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３１６といったステンレス鋼など、導電性を有しているとともに、後述する圧電層４１、４２を構成する圧電材料よりも線膨張係数の大きい材料からなり、ノズルプレート２４はポリイミドなどの合成樹脂材料からなる。あるいは、ノズルプレート２４も、他の３枚のプレート２１〜２３と同様の材料によって構成されていてもよい。また、プレート２１〜２３のうち、後述する圧電層４１に接合されるプレート２１を除いたプレート２２、２３については、上述したもの以外の材料によって構成されていてもよい。なお、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３１６の線膨張係数は、それぞれ、１０．４［１０−６／℃］程度、線膨張係数１６．０［１０−６／℃］程度である。
【００３０】
キャビティプレート２１には、複数の圧力室１０が形成されている。圧力室１０は、走査方向（図２の左右方向）を長手方向とする略楕円の平面形状を有しており、紙送り方向に配列されることによって圧力室列を形成している。さらに、このような圧力室列が走査方向に２列に配列されている。ベースプレート２２は、平面視で、複数の圧力室１０の長手方向の両端部と対向する部分に、それぞれ、略円形の貫通孔１２、１３が形成されている。
【００３１】
マニホールドプレート２３には、マニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、平面視で、図２の左側の圧力室列を構成する複数の圧力室１０の略左半分と対向するとともに、図２の右側の圧力室列を構成する複数の圧力室の略右半分と対向するように紙送り方向に２列に延びており、これら２列に延びた部分が、図２における下端部において互いに接続されている。マニホールド流路１１には図２おけるその下端部に設けられたインク供給口９からインクが供給される。また、マニホールドプレート２３には、平面視で複数の貫通孔１３と対向する部分に略円形の複数の貫通孔１４が形成されている。
【００３２】
ノズルプレート２４には、平面視で複数の貫通孔１４と対向する部分に複数のノズル１５が形成されている。そして、流路ユニット３１においては、マニホールド流路１１が貫通孔１２を介して圧力室１０と連通しており、圧力室１０は貫通孔１３、１４を介してノズル１５に連通している。すなわち、流路ユニット３１には、マニホールド流路１１の出口から圧力室１０を経てノズル１５に至る個別インク流路が複数形成されている。
【００３３】
また、導電性を有する流路ユニット３１（プレート２１〜２３）は、ドライバＩＣ５０に接続されており、ドライバＩＣ５０により、常にグランド電位よりも低い所定の電位（例えば、−２０Ｖ程度）に保持されている。
【００３４】
圧電アクチュエータ３２は、圧電層４１、４２、共通電極４３及び複数の個別電極４４を備えている。圧電層４１（接合層）は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、複数の圧力室１０を覆うように、キャビティプレート２１の上面に配置されており（少なくとも圧力室１０と対向する対向領域を占めるように配置されており）、キャビティプレート２１の上面に熱硬化性の接着剤などにより接合されている。ここで、圧電層４１を構成する圧電材料の線膨張係数は、５．５［１０−６／℃］程度であり、圧電層４１は、前述したように、自身よりも線膨張係数の大きい流路ユニット３１（キャビティプレート２１）に接合されている。なお、圧電層４１は、後述するように圧電アクチュエータ３２を駆動させたときに、圧電層４１、４２をユニモルフ変形させるための振動板として動作する。
【００３５】
圧電層４２は、圧電層４１と同様の圧電材料からなり、圧電層４１の上面に複数の圧力室１０にまたがって連続的に配置されている（少なくとも圧力室１０と対向する対向領域を占めるように配置されている）。共通電極４３は、金属などの導電性材料からなり、圧電層４１と圧電層４２との間にそのほぼ全域にわたって形成されている。また、共通電極４３は、ドライバＩＣ５０に接続されており、常にグランド電位に保持されている。
【００３６】
複数の個別電極４４は、共通電極４３と同様の導電性材料からなり、圧電層４２の上面に複数の圧力室１０に対応して配置されている。個別電極４４は、圧力室１０よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有しており、圧力室１０の略中央部と対向するように配置されている。また、個別電極４４は、長手方向の一端部（ノズル１５と反対側の端部）が走査方向に圧力室１０と対向しない部分まで延びており、その先端が、接続端子４４ａとなっている。そして、接続端子４４ａには図示しないフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）などの配線部材が接続されており、個別電極４４は、ＦＰＣを介してドライバＩＣ５０に接続されている。そして、複数の個別電極４４には、ドライバＩＣ５０により、駆動電位（例えば、２０Ｖ程度）及びグランド電位が選択的に付与される。
【００３７】
図６は図５の圧電アクチュエータ３２周辺の部分を拡大した図である。図６に示すように、圧電アクチュエータ３２においては、圧電層４２（複数の圧電層のうち接合層を除いた他の層）の個別電極４４と共通電極４３とに挟まれた部分（活性部Ｒ１、第１部分）がその厚み方向の下向きに分極されている。ここで、本実施の形態では、ドライバＩＣ５０と、活性部Ｒ１を挟む個別電極４４及び共通電極４３とをあわせたものが、本発明に係る電圧印加手段に相当し、この電圧印加手段は、共通電極４３をグランド電位に保持するとともに、個別電極４４に駆動電位を付与することによって、活性部Ｒ１に（対向領域の少なくとも一部に対して）厚み方向の電圧を付与する。
【００３８】
また、圧電層４１（接合層）の共通電極４３と流路ユニット３１（キャビティプレート２１）とに挟まれた部分（圧縮歪み緩和部Ｒ２、第２部分）はその厚み方向に分極されており、圧縮歪み緩和部Ｒ２は分極されることよって厚み方向と直交する面方向に収縮している。
【００３９】
ここで、前述したように、圧電材料からなる圧電層４１、４２と金属材料からなるキャビティプレート２１とを熱硬化性の接着剤により接合する場合には、接合の際にこれらを加熱する必要があるが、加熱後、常温に戻したときに、両者の線膨張係数の違いから、圧電層４１及び活性部Ｒ１を含む圧電層４２には、その面方向に圧縮歪みが生じることになる。
【００４０】
しかしながら、本実施の形態では、平面視で圧力室１０を取り囲むように配置された圧縮歪み緩和部Ｒ２がその面方向に収縮しているため、この収縮によって、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分が、その面方向と平行に、圧力室１０の外側に向かって複数の異なる方向に引っ張られ、これにより、活性部Ｒ１の圧縮歪みが緩和されている。
【００４１】
また、圧電アクチュエータ３２においては、前述したように共通電極４３がグランド電位に保持されているとともに、キャビティプレート２１がグランド電位よりも低い電位（例えば、−２０Ｖ程度）に保持されている。これにより、共通電極４３とキャビティプレート２１との間に電位差が生じ、この電位差によって圧縮歪み緩和部Ｒ２にはその厚み方向の電界が発生する。この電界の方向は圧縮歪み緩和部Ｒ２の分極方向と一致するため、圧縮歪み緩和部Ｒ２は分極方向と直交するその面方向にさらに収縮している。これにより、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分がその面方向に圧力室１０の外側に向かって強く引っ張られ、活性部Ｒ１の圧縮歪みが大きく緩和される。
【００４２】
さらに、圧縮歪み緩和部Ｒ２が、流路ユニット３１（キャビティプレート２１）に直接接合されている圧電層４１に設けられているため、圧縮歪み緩和部Ｒ２が収縮したときに、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分が強く引っ張られることになり、活性部Ｒ１における圧縮歪みが効果的に緩和される。
【００４３】
次に、圧電アクチュエータ３２の駆動方法について説明する。圧電アクチュエータ３２においては、前述したように共通電極４３がグランド電位に保持されているのに加え、個別電極４４が予めグランド電位に保持されている。
【００４４】
そして、圧電アクチュエータ３２を駆動させる際には、個別電極４４の電位を所定の駆動電位（例えば、２０Ｖ程度）に切り替える。すると、個別電極４４と共通電極４３との間に電位差が生じ、この電位差によって活性部Ｒ１にはその厚み方向の電界が発生する。この電界の方向は活性部Ｒ１の分極方向と一致するため、活性部Ｒ１は分極方向と直交するその面方向に収縮し、圧電層４１、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形（いわゆるユニモルフ変形）する。これにより、圧力室１０の容積が低下して圧力室１０内のインクの圧力が上昇し（圧力室１０内のインクに圧力が付与され）、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。
【００４５】
ここで、活性部Ｒ１にその面方向の圧縮歪みが生じていると、上述したように圧電アクチュエータ３２を駆動したときの、活性部Ｒ１の変形量が小さくなり、その結果、ノズル１５からのインクの吐出量（液体の移送量）が低下してしまう虞がある。
【００４６】
しかしながら、本実施の形態においては、上述したように、活性部Ｒ１の圧縮歪みが緩和されているため、圧電アクチュエータ３２を駆動したときの圧縮歪みによる活性部Ｒ１の変形量の低下が抑制されている。これにより、インクジェットヘッド３におけるインクの吐出量が低下してしまうのが抑制される。
【００４７】
次に、インクジェットヘッド３の製造方法について説明する。図７は、インクジェットヘッド３の製造工程を示す図である。
【００４８】
インクジェットヘッド３を製造する際には、まず、プレート２１〜２４を互いに積層することによって流路ユニット３１を製造するとともに（流路ユニット形成工程）、振動板４０、圧電層４１、４２、共通電極４３及び個別電極４４を互いに積層して、圧電層４２の個別電極４４と共通電極４３とに挟まれた部分（第１部分）、及び、圧電層４１の共通電極４３と流路ユニット３１とに挟まれた部分（第２部分）が分極されていない状態の圧電アクチュエータ３２を製造する（圧電アクチュエータ製造工程）。
【００４９】
次に、図７（ａ）に示すように、流路ユニット３１と圧電アクチュエータ３２とを、熱硬化性の接着剤などによって互いに接合させる（接合工程）。このとき、圧電層４１及び圧電層４２とキャビティプレート２１との線膨張係数の違いから、接合の際の加熱後、常温に戻したときに、圧電層４１及び圧電層４２には、その面方向に圧縮歪みが生じる。
【００５０】
次に、図７（ｂ）に示すように、ドライバＩＣ５０によって、例えば、共通電極４３をグランド電位（０Ｖ）、個別電極４４を３０Ｖ、キャビティプレート２１を−３０Ｖにするなど、個別電極４４を共通電極４３よりも高電位とするとともに、流路ユニット３１を共通電極４３よりも低電位にして、圧電層４２の個別電極４４と共通電極４３とに挟まれた部分（第１部分）をその厚み方向の下向きに分極させることによって、圧電層４２のこの部分を活性部Ｒ１とする（活性部形成工程）と同時に、圧電層４１の共通電極４３と流路ユニット３１とに挟まれた部分（第２部分）をその厚み方向の下向きに分極させることによって、圧電層４１のこの部分を圧縮歪み緩和部Ｒ２とする（圧縮歪み緩和部形成工程）。
【００５１】
これにより、前述したように、圧縮歪み緩和部Ｒ２がその面方向に収縮し、この収縮により、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分がその面方向と平行に、圧力室１０の外側に向かって複数の異なる方向に引っ張られて、活性部Ｒ１の圧縮歪みが緩和される。このとき、上述の活性部形成工程と圧縮歪み緩和部形成工程と同時に行っているため、これらの工程を別々に行う場合と比較して、インクジェットヘッド３の製造工程が簡単になる。
【００５２】
また、圧縮歪み緩和部形成工程では、共通電極４３と導電性を有する流路ユニット３１（キャビティプレート２１）とを用いて、圧電層４１のこれらに挟まれた部分を分極するため、第２部分を分極させるための電極の一部を省略することができる。
【００５３】
以上に説明した実施の形態によると、圧電層４２の活性部Ｒ１とは異なる部分に形成された圧縮歪み緩和部Ｒ２をその厚み方向に分極させることにより、圧縮歪み緩和部Ｒ２をその面方向に収縮させ、この収縮により活性部Ｒ１をその面方向に引っ張ることで、活性部Ｒ１における圧縮歪みを緩和しているため、ドライバＩＣ５０により個別電極４４と共通電極４３との間に電圧を印加して圧電アクチュエータ３２を駆動したときに活性部Ｒ１の変形量が低下してしまうのが抑制される。その結果、インクジェットヘッド３においてインクの吐出量が低下してしまうのが抑制される。
【００５４】
さらに、圧電アクチュエータ３２を駆動させるときに、共通電極４３と流路ユニット３１との間に電圧を印加することによって圧縮歪み緩和部Ｒ２をさらに大きく収縮させているので、活性部Ｒ１がさらに強く引っ張られ、活性部Ｒ１における圧縮歪みが大きく緩和される。
【００５５】
また、圧縮歪み緩和部Ｒ２が、平面視で活性部Ｒ１を取り囲むように配置されているため、活性部Ｒ１はその面方向と平行に、圧力室１０の外側に向かって複数の異なる方向に引っ張られることになり、活性部Ｒ１の圧縮歪みが効果的に緩和される。
【００５６】
また、圧縮歪み緩和部Ｒ２が、流路ユニット３１に直接接合される圧電層４１に設けられているため、圧縮歪み緩和部Ｒ２が収縮したときに、活性部Ｒ１が強く引っ張られることになり、活性部Ｒ１の圧縮歪みがさらに効果的に緩和される。
【００５７】
また、活性部Ｒ１の分極と、圧縮歪み緩和部Ｒ２の分極とを同時に行っているため、インクジェットヘッド３の製造工程が簡単になる。
【００５８】
また、圧電層４１の第２部分を分極して圧縮歪み緩和部Ｒ２とする際に、共通電極４３と導電性を有する流路ユニット３１（キャビティプレート２１）を利用して分極を行っているので、第２部分を分極させるための専用の電極が一部不要となる。
【００５９】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００６０】
一変形例では、図８に示すように、圧電層４２の上面にさらに圧電層７１が配置されており、圧電層４１と圧電層４２との間、圧電層４２と圧電層７１との間、及び、圧電層７１の上面には、それぞれ、電極７２、７３、７４が配置されている。電極７２は、圧電層４１と圧電層４２との間のほぼ全域にわたって配置されており、ドライバＩＣ５０（図５参照）により常にグランド電位に保持されている。電極７３は、圧力室１０の略中央部と対向する部分に配置されており、ドライバＩＣ５０により常に所定の駆動電位に保持されている。電極７４は、その略中央部において電極７３と対向しているとともに、図８の左右方向の両側に電極７３よりも外側まで延びており、電極７３よりも外側まで延びた部分において電極７２と対向している。また、電極７４は、ドライバＩＣ５０によりグランド電位と上記駆動電位との間でその電位が切り替えられる。なお、この場合には、ドライバＩＣ５０と電極７２〜７４とをあわせたものが、本発明に係る電圧付与手段に相当する。
【００６１】
さらに、実施の形態と同様、圧電層４１の電極７２と流路ユニット３１とに挟まれた圧縮歪み緩和部Ｒ２がその厚み方向の下向きに分極されているのに加えて、圧電層４２の電極７３と電極７４とに挟まれた部分（活性部Ｒ３）がその厚み方向の上向きに分極されており、圧電層４２、７１の共通電極７２と電極７４とに挟まれた部分（活性部Ｒ４）がその厚み方向の下向きに分極されている（変形例１）。
【００６２】
この場合には、圧電アクチュエータがインクを吐出させる動作を行う前の待機状態においては、電極７２及び電極７３が、それぞれ、常にグランド電位及び上記駆動電位に保持されているとともに、電極７４の電位が予めグランド電位に保持されている。この状態では、電極７４が、電極７３よりも低電位になっているとともに電極７２と同電位となっている。
【００６３】
これにより、電極７４と電極７３との間の電位差が生じ、活性部Ｒ３にはその分極方向と同じ方向の電界が発生する。これにより、活性部Ｒ３が、電界の方向と直交する面方向に収縮する。これにより、いわゆるユニモルフ変形が生じ、圧電層４１、４２、７１の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形する。この状態では、圧電層４１、４２、７１が変形していない場合と比較して、圧力室１０の容積が小さくなっている。
【００６４】
そして、インクを吐出させるべく圧電アクチュエータを駆動させる際には、電極７４の電位を、一旦、上記駆動電位に切り替え、所定時間経過後、グランド電位に戻す。電極７４の電位を上記駆動電位に切り替えると、電極７４が電極７３と同電位となるとともに、電極７２よりも高電位となる。これにより、圧電層７１の上記収縮が元に戻る。これと同時に、電極７４と電極７２との間に電位差が生じ、圧電層４２、７１のこれらの電極に挟まれた部分がその面方向に収縮する。したがって、圧電層４１、４２、７１の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０と反対側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積が増加する。
【００６５】
この後、電極７４の電位をグランド電位に戻すと、前述したのと同様、圧電層４１、４２、７１の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形し、圧力室１０の容積が小さくなる。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し（圧力室１０内のインクに圧力が付与され）、圧力室１０に連通するノズル１５（図５参照）からインクが吐出される。
【００６６】
また、この場合には、上述したようにして圧電アクチュエータを駆動させる際、電極７４の電位をグランド電位から駆動電位に切り替えたときには、活性部Ｒ３が収縮した状態から収縮前の状態に伸長すると同時に、活性部Ｒ４が収縮するため、活性部Ｒ３の伸長が活性部Ｒ４の収縮に一部吸収される。一方、電極７４の電位を駆動電位からグランド電位に戻したときには、活性部Ｒ３が収縮するとともに、活性部Ｒ４が収縮前の状態まで伸長するため、活性部Ｒ３の収縮が活性部Ｒ４の伸長によって一部吸収される。
【００６７】
以上のことから、圧電層４２、７１の圧力室１０と対向する部分の変形が、他の圧力室１０と対向する部分に伝達して当該他の圧力室１０に連通するノズル１５からのインクの吐出特性が変動してしまう、いわゆるクロストークが抑制される。
【００６８】
そして、このようなインクジェットヘッドにおいても、上述の実施の形態と同様、分極される際の圧縮歪み緩和部Ｒ２の収縮、及び、圧電アクチュエータの駆動時の電極７２と流路ユニット３１との間の電位差による圧縮歪み緩和部Ｒ２の収縮によって、圧電層４１、４２、７１の圧力室１０と対向する部分がその面方向に圧力室１０の外側に向かって引っ張られ、これにより、活性部Ｒ３、Ｒ４の圧縮歪みが緩和される。
【００６９】
なお、この場合には、ドライバＩＣ５０（図５参照）により、電極７４を電極７２よりも高電位にし、電極７３を電極７４よりも高電位にするとともに、流路ユニット３１を電極７２よりも低電位とすることにより、圧電層４２、７１の活性部Ｒ３、Ｒ４となる部分（第１部分）、及び、圧電層４１の圧縮歪み緩和部Ｒ２となる部分（第２部分）の分極を同時に行うことができる（活性部形成工程と圧縮歪み緩和部形成工程とを同時に行うことができる）。
【００７０】
ただし、このようにして活性部Ｒ３、Ｒ４及び圧縮歪み緩和部Ｒ２の分極を同時に行った場合には、電極７３と電極７２との間に大きな電位差が生じ、圧電層４２のこれらの電極に挟まれた部分に大きな電界が発生するため、圧電層４２のこの部分にクラックが発生してしまう虞がある。そこで、これを避けるために、上述したようにして活性部Ｒ３、Ｒ４及び圧縮歪み緩和部Ｒ２を同時に分極する代わりに、電極７３と電極７４との間に電圧を印加して活性部Ｒ３を分極させる工程と、電極７４と電極７２との間に電圧を印加して活性部Ｒ４を分極させる工程とを別々に行い、これら２つの工程のいずれかと同時に、あるいは、これら２つの工程とは別に、電極７２と流路ユニット３１との間に電圧を印加して圧縮歪み緩和部Ｒ２を分極させてもよい。
【００７１】
別の一変形例では、図９に示すように、上述の実施の形態と同様の構成に加えて、圧電層４２の上面に４つの圧電層８１〜８４が積層されている。そして、圧電層８１と圧電層８２との間のほぼ全域、及び、圧電層８３と圧電層８４との間のほぼ全域に、それぞれ、共通電極４３とともにドライバＩＣ５０（図５参照）によりグランド電位に保持される共通電極８５、８７が配置されている。さらに、圧電層８２と圧電層８３との間における圧力室１０の略中央部と対向する部分、及び、圧電層８４の上面における圧力室１０の略中央部と対向する部分に、それぞれ、個別電極４４とほぼ同じ平面形状を有しており、個別電極４４とともにドライバＩＣ５０によりグランド電位と駆動電位との間でその電位が切り替えられる個別電極８６、８８が配置されている。なお、この場合には、ドライバＩＣ５０と電極８５〜８８とをあわせたものが、本発明に係る電圧付与手段に相当する。
【００７２】
また、圧電層４２の個別電極４４と共通電極４３とに挟まれた活性部Ｒ１に加え、圧電層８２の個別電極８６と共通電極８５とに挟まれた部分、及び圧電層８４の個別電極８８と共通電極８７とに挟まれた部分（活性部Ｒ５）がその厚み方向の下向きに分極されているとともに、圧電層８１の個別電極４４と共通電極８５とに挟まれた部分、及び圧電層８３の個別電極８６と共通電極８７とに挟まれた部分（活性部Ｒ６）がその厚み方向の上向きに分極されている（変形例２）。
【００７３】
この場合には、個別電極４４、８６、８８と共通電極４３、８５、８７との間にそれぞれ電圧を印加することによって活性部Ｒ１、Ｒ５、Ｒ６をそれぞれその面方向に収縮させ、圧電層４１、４２、８１〜８４の圧力室１０と対向する部分を全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形させることによって、ノズル１５（図５参照）からインクを吐出させる。
【００７４】
そして、この場合でも、上述の実施の形態と同様、分極される際の圧縮歪み緩和部Ｒ２の収縮、及び、圧電アクチュエータの駆動時の共通電極４３と流路ユニット３１との電位差による圧縮歪み緩和部Ｒ２の収縮によって、圧電層４１、４２、８１〜８４の圧力室１０と対向する部分がその面方向に圧力室１０の外側に向かって引っ張られ、これにより、活性部Ｒ１、Ｒ５、Ｒ６の圧縮歪みが緩和される。
【００７５】
なお、この場合には、ドライバＩＣ５０（図５参照）により、例えば、実施の形態と同様、共通電極４３をグランド電位（０Ｖ）、個別電極４４を３０Ｖ、流路ユニット３１を−３０Ｖにするのに加えて、共通電極８５、８７をグランド電位（０Ｖ）、個別電極８６、８８を３０Ｖとすることにより、圧電層４２、８１〜８４の活性部Ｒ１、Ｒ５、Ｒ６となる部分（第１部分）、及び、圧電層４１の圧縮歪み緩和部Ｒ２となる部分（第２部分）の分極を同時に行うことができる（活性部形成工程と圧縮歪み緩和部形成工程とを同時に行うことができる）。
【００７６】
また、上述の実施の形態においては、キャビティプレート２１に直接接合されている圧電層４１（接合層）の圧力室１０を取り囲む部分に、圧縮歪み緩和部Ｒ２が設けられていたが、これには限られない。また、圧縮歪み緩和部Ｒ２が流路ユニット３１に直接接合される圧電層４１に設けられており、導電性を有する流路ユニットを利用して圧縮歪み緩和部Ｒ２を分極していたが、これには限られない。別の一変形例では、図１０、図１１に示すように、圧電層４２の上面に、電極９１が、紙送り方向（圧電層４２の面方向と平行な所定の一方向、図１０の上下方向）に関して個別電極４４の両側（活性部Ｒ１の両側）に配置されている。そして、圧電層４２の電極９１と共通電極４３とに挟まれた部分（圧縮歪み緩和部Ｒ７）がその厚み方向の下向きに分極されてその面方向に収縮している。また、圧電アクチュエータの駆動時には、ドライバＩＣ５０（図５参照）により電極９１に駆動電位が付与されることにより、電極９１と共通電極４３との間に電圧が印加される（変形例３）。なお、この場合には、ドライバＩＣ５０と電極４３、４４、９１とをあわせたものが、本発明に係る電圧付与手段に相当する。
【００７７】
この場合には、圧縮歪み緩和部Ｒ７が、紙送り方向に関して活性部Ｒ１を挟むように配置されるので、分極による圧縮歪み緩和部Ｒ７の収縮、及び、圧電アクチュエータの駆動時の電極９１と共通電極４３との間の電位差による圧縮歪み緩和部Ｒ７の収縮によって、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する活性部Ｒ１がその紙送り方向の両側に引っ張られて、活性部Ｒ１の圧縮歪みが緩和される。
【００７８】
なお、この場合には、ドライバＩＣ５０（図５参照）により、個別電極４４及び電極９１を共通電極４３よりも高電位とすることによって、圧電層４２の活性部Ｒ１となる部分（第１部分）と圧縮歪み緩和部Ｒ７となる部分（第２部分）とを同時に分極することができる（活性部形成工程と圧縮歪み緩和部形成工程とを同時に行うことができる）。
【００７９】
また、圧縮歪み緩和部は、上述したような、平面視で活性部を取り囲む位置や、平面視で活性部を挟む位置に配置されていることには限られず、圧縮歪み緩和部の収縮により活性部をその面方向に引っ張ることで、活性部の圧縮歪みを緩和することができるような位置であれば、圧電層の他の位置に配置されていてもよい。
【００８０】
また、上述の実施の形態においては、圧電材料からなる圧電層４１が振動板として動作していたが、これには限られない。別の一変形例では、図１２に示すように、変形例３の構成において、圧電層４１の代わりに振動板１０１が配置されており、振動板１０１が流路ユニット３１（プレート２１〜２３）と同様、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３１６など導電性を有するとともに圧電材料よりも線膨張係数の大きい材料からなる。また、導電性を有する振動板１０１がグランド電位に保持されており、共通電極を兼ねている。そして、１層の圧電層４２が、振動板１０１に接合されている（変形例４）。なお、この場合には、ドライバＩＣ５０（図５参照）と電極４４、９１とをあわせたものが、本発明に係る電圧付与手段に相当する。
【００８１】
この場合でも、振動板１０１と圧電層４２とを接合する際の加熱の後、常温に戻したときに、振動板１０１と圧電層４２との線膨張係数の違いから、圧電層４２にはその面方向に圧縮歪みが生じる。しかしながら、この場合においても、分極の際の圧縮歪み緩和部Ｒ７の収縮、及び、圧電アクチュエータの駆動時の電極９１と振動板１０１との電位差による圧縮歪み緩和部Ｒ７の収縮により、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分がその面方向に引っ張られ、これにより、活性部Ｒ１の圧縮歪みが緩和される。
【００８２】
なお、この場合には、ドライバＩＣ５０（図５参照）により、個別電極４４及び電極９１を振動板１０１よりも高電位とすることによって、圧電層４２の活性部Ｒ１となる部分（第１部分）と圧縮歪み緩和部Ｒ７となる部分（第２部分）の分極を同時に行うことができる（活性部形成工程と圧縮歪み緩和部形成工程とを同時に行うことができる）。
【００８３】
また、変形例３においては、圧電層４２の上面に電極９１が配置されていたが、電極９１は配置されていなくてもよい。別の一変形例では、図１３（ａ）に示すように、圧縮歪み緩和部Ｒ７を分極させる際に、圧電層４２の上面に導電性のゴムＧなどを配置し、導電性のゴムＧと共通電極４３との間に電位差を生じさせることによって、活性部Ｒ１及び圧縮歪み緩和部Ｒ７を分極させる。そして、活性部Ｒ１圧縮歪み緩和部Ｒ７の分極後、図１３（ｂ）に示すように、導電性のゴムＧを除去する（変形例５）。
【００８４】
この場合には、導電性のゴムＧと共通電極４３との間の電位差によって圧縮歪み緩和部Ｒ７を分極させているため、圧電アクチュエータに圧縮歪み緩和部Ｒ７を分極させるための専用の電極を設ける必要がなく、圧電アクチュエータの構造が簡単になる。ただし、この場合には、圧電アクチュエータの駆動時には、圧縮歪み緩和部Ｒ７には電圧が印加されないため、活性部Ｒ１は、分極の際の圧縮歪み緩和部Ｒ７の収縮によってのみ、その面方向に圧力室１０の外側に向かって引っ張られ、これにより、活性部Ｒ１の圧縮歪みが緩和されている。
【００８５】
また、上述の実施の形態及び変形例１〜４では、圧電アクチュエータの駆動時に、圧縮歪み緩和部Ｒ２、Ｒ７を挟む電極に電圧を印加して、圧縮歪み緩和部Ｒ２、Ｒ７をその面方向に収縮させていたが、これらの場合においても、変形例５と同様、圧電アクチュエータの駆動時には、圧縮歪み緩和部Ｒ２、Ｒ７を挟む電極に電圧を印加しなくてもよい。この場合でも、分極の際の圧縮歪み緩和部Ｒ２、Ｒ７の収縮によって、圧電層の圧力室１０と対向する部分その面方向に引っ張られ、これにより、活性部Ｒ１、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６の圧縮歪みが緩和される。
【００８６】
また、以上の説明では、圧縮歪み緩和部Ｒ２、Ｒ７がその厚み方向の下向きに分極されていたが、圧縮歪み緩和部Ｒ２、Ｒ７は、その厚み方向の上向きに分極されていてもよい。この場合には、分極時及び駆動時に圧縮歪み緩和部Ｒ２、Ｒ７に上述したのとは逆の電圧を印加すればよい。印加する電圧を上述したのとは逆にすればよい。
【００８７】
また、以上の説明では、活性部の分極（活性部形成工程）と圧縮歪み緩和部の分極（圧縮歪み緩和部形成工程）とを同時に行ったが、これらを別々に行ってもよい。
【００８８】
また、以上の説明では、圧電アクチュエータが振動板を有しており、圧電層の変形により、圧電層及び振動板の圧力室１０と対向する部分が全体として変形するいわゆるユニモルフ変形により、圧力室１０の容積を変化させるものであったが、これには限られず、圧電アクチュエータが振動板を有しておらず、圧電層の変形により直接圧力室１０の容積を変化させるものであってもよい。
【００８９】
また、以上の説明では、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限られず、インク以外の液体を吐出あるいは移送するための液体移送装置に本発明を適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明における実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２の部分拡大図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】図３のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図５の圧電アクチュエータ近傍部分の拡大図である。
【図７】インクジェットヘッドの製造過程を示す図である。
【図８】変形例１の図６相当の図である。
【図９】変形例２の図６相当の図である。
【図１０】変形例３の図３相当の図である
【図１１】変形例３の図６相当の図である。
【図１２】変形例４の図６相当の図である。
【図１３】変形例５の図６相当の図である。
【符号の説明】
【００９１】
３  インクジェットヘッド
１０  圧力室
２１  キャビティプレート
３１  流路ユニット
３２  圧電アクチュエータ
４１、４２  圧電層
４３  共通電極
４４  個別電極
５０  ドライバＩＣ
７１  圧電層
７２〜７４  電極
８１〜８４  圧電層
８５〜８８  電極
９１  電極
１０１  振動板
【図１】
2009241325.tif 000003
【図２】
2009241325.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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