(57)【要約】      （修正有）【課題】面積を比較的小さく作成できると共に、良好なインク吐出特性を得ることができる液体噴射ヘッドとこの液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置とを提供する。【解決手段】第１のリザーバ部３１が設けられたリザーバ形成基板３０とを含む流路ユニット４００を具備し、第１のリザーバ部３１は、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通する貫通部３１ａと、リザーバ形成基板３０の流路形成基板１０とは反対面側で且つ貫通部３１ａよりも他方の列の流路１６側に貫通部３１ａに連続して設けられた段差部３１ｂとを有し、他方の列の圧力発生室１２に連通し第２のリザーバ１０２の少なくとも一部を構成する第２のリザーバ部２５が、流路ユニット４００の厚さ方向で段差部３１ｂと実質的に重なるように流路ユニット４００に形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力発生素子により圧力が付与されて、液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室を少なくとも備える複数の並設された流路の列が複数並設された流路形成基板と、
前記流路形成基板の一方面側に接合され、隣接する一方の列の圧力発生室に連通し第１のリザーバの少なくとも一部を構成する第１のリザーバ部が設けられたリザーバ形成基板とを含む流路ユニットを具備し、
前記第１のリザーバ部は、前記リザーバ形成基板を厚さ方向に貫通する貫通部と、前記リザーバ形成基板の前記流路形成基板とは反対面側で且つ該貫通部よりも他方の列の前記流路側に該貫通部に連続して設けられた段差部とを有し、
他方の列の圧力発生室に連通し第２のリザーバの少なくとも一部を構成する第２のリザーバ部が、前記流路ユニットの厚さ方向で前記段差部と実質的に重なるように前記流路ユニットに形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記流路ユニットは、前記ノズル開口が設けられ前記流路形成基板の前記リザーバ形成基板とは反対側の面に接合されたノズルプレートをさらに備えており、
前記第２のリザーバ部が、前記ノズルプレートに形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記第２のリザーバ部が、前記リザーバ形成基板に形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記リザーバ形成基板には、当該リザーバ形成基板を厚さ方向に貫通する液体導入孔を有し、前記第１のリザーバ部の前記段差部から突出する突出部が設けられており、
液体を貯留する貯留手段と前記第２のリザーバとが、該液体導入孔を介して連通されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
前記流路形成基板には、各列の圧力発生室にそれぞれ連通する連通部が設けられていると共に、前記第１及び第２のリザーバ部が各連通部に連通し、当該各連通部が第１又は第２のリザーバの一部を構成している
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備する
ことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクなどの液体を吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧電素子によって圧力が付与される圧力発生室が形成された流路形成基板と、流路形成基板の圧電素子側の面に接合され各圧力発生室の共通のインク室となるリザーバの少なくとも一部を構成するリザーバ部が形成されたリザーバ形成基板と、流路形成基板の他方面側に接合され圧力発生室内に貯留されたインクを吐出するノズル開口が設けられたノズルプレートとを具備し、インクを吐出するノズル開口の列が２列並設されたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
一方、リザーバの一部に段差部を設けたインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）が提案されている（例えば、特許文献２，３参照）。このようにリザーバ形成基板に形成されたリザーバの一部に段差部を設けることにより、リザーバ内に導入されたインクは段差部に接触するので、当該リザーバの最底部に当たる場合に比べてリザーバ内の急激な圧力変化が抑制される。さらに、各圧力発生室に連通するリザーバ内のインクの流れをスムーズにすることができる。したがって、良好なインク吐出特性を得ることができる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１１３８５７号公報
【特許文献２】特開２００１−１２１６９０号公報
【特許文献３】特開２００７−９８８１３号公報（第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような段差部は、例えば、特許文献１に記載のようなノズル列を２列有するヘッドにも採用することができる。
【０００６】
しかしながら、段差部を設けたリザーバは、その幅が広がるため、リザーバ形成基板の面積が大きくなり、ヘッドが大型化してしまうという問題があった。
【０００７】
また、リザーバ形成基板や流路形成基板の面積が大きくなってしまうと、材料コストの高騰を招来してしまうという問題もあった。
【０００８】
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけに存在するものではなく、インク以外の液体を吐出する他の液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、面積を比較的小さく作製できると共に、良好なインク吐出特性を得ることができる液体噴射ヘッドとこの液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置とを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の態様は、圧力発生素子により圧力が付与されて、液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室を少なくとも備える複数の並設された流路の列が複数並設された流路形成基板と、前記流路形成基板の一方面側に接合され、隣接する一方の列の圧力発生室に連通し第１のリザーバの少なくとも一部を構成する第１のリザーバ部が設けられたリザーバ形成基板とを含む流路ユニットを具備し、前記第１のリザーバ部は、前記リザーバ形成基板を厚さ方向に貫通する貫通部と、前記リザーバ形成基板の前記流路形成基板とは反対面側で且つ該貫通部よりも他方の列の前記流路側に該貫通部に連続して設けられた段差部とを有し、他方の列の圧力発生室に連通し第２のリザーバの少なくとも一部を構成する第２のリザーバ部が、前記流路ユニットの厚さ方向で前記段差部と実質的に重なるように前記流路ユニットに形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【００１１】
かかる態様では、第２のリザーバ部が、第１のリザーバの段差部と、流路ユニットの厚さ方向で実質的に重なるように設けられている。すなわち、段差部の下部領域が有効に利用されており、従来よりも面積が小さく作製された液体噴射ヘッドを実現できるので、材料コストを大幅に低減できる。また、第１及び第２のリザーバ部内のインクの流れがスムーズとなるので、良好なインク吐出特性を得ることができる。
【００１２】
ここで、前記流路ユニットは、前記ノズル開口が設けられ前記流路形成基板の前記リザーバ形成基板とは反対側の面に接合されたノズルプレートをさらに備えており、前記第２のリザーバ部が、前記ノズルプレートに形成されていることが好ましい。あるいは、前記第２のリザーバ部が、前記リザーバ形成基板に形成されていることが好ましい。これによれば、流路ユニットの厚さ方向で重なるように形成することができる。
【００１３】
また、前記リザーバ形成基板には、当該リザーバ形成基板を厚さ方向に貫通する液体導入孔を有し、前記第１のリザーバ部の前記段差部から突出する突出部が設けられており、液体を貯留する貯留手段と前記第２のリザーバとが、該液体導入孔を介して連通されていることが好ましい。これによれば、同一方向から第１及び第２のリザーバ内に液体を貯留できる。
【００１４】
また、前記流路形成基板には、各列の圧力発生室にそれぞれ連通する連通部が設けられていると共に、前記第１及び第２のリザーバ部が各連通部に連通し、当該各連通部が第１又は第２のリザーバの一部を構成していることが好ましい。これによれば、第１及び第２のリザーバの容積をより大きく確保できる。
【００１５】
また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、印刷効率が向上されると共に材料コストが大幅に低減された液体噴射装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、以下では液体噴射ヘッドの一例として、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドを例に挙げて説明する。
（実施形態１）
図１は、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドのリザーバ形成基板側の平面図である。なお、図１では、駆動回路が省略されている。また、図２は、図１のＡ−Ａ’断面図であり、図３は、図１のＢ−Ｂ’断面図である。また、図４は、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドのノズルプレート側の平面図である。
【００１７】
図示するように、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、流路形成基板１０、リザーバ形成基板３０及びノズルプレート２０を備えている。そして、これら流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０とノズルプレート２０とで、インクの流路が形成される流路ユニット４００が構成されている。
【００１８】
流路形成基板１０は、結晶面方位が（１１０）面のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。
【００１９】
そして、流路形成基板１０には、他方面側から異方性エッチングすることにより、インクが流れる流路となる液体流路１６が、２列並設されている。
【００２０】
液体流路１６は、圧力発生室１２、インク供給路１３及び連通路１４で構成されており、連通路１４同士を相対向させるように設けられている。そして、液体流路１６の列間には、連通部１５が２つ設けられている。なお、圧力発生室１２、インク供給路１３及び連通路１４は、隔壁１１によって区画されている。
【００２１】
圧力発生室１２は、後述する圧力発生素子となる圧電素子３００の駆動を受けて圧力が付与される部分であり、所定間隔を空けて、その長さ方向（長手方向）に２列並設されている。
【００２２】
インク供給路１３は、圧力発生室１２の列間で且つ圧力発生室１２の長さ方向一端部側に連通している。またインク供給路１３の圧力発生室の幅方向（短手方向）の断面積は、圧力発生室の幅方向（短手方向）の断面積よりも小さく形成されている。例えば、本実施形態では、インク供給路１３は、連通部１５と各圧力発生室１２との間の圧力発生室１２側の流路を幅方向に絞ることで、圧力発生室１２の幅より小さい幅で形成されており、連通路１４から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。なお、本実施形態では、流路の幅を片側から絞ることでインク供給路１３を形成したが、流路の幅を両側から絞ることでインク供給路１３を形成してもよい。また、流路の幅を絞るのではなく、厚さ方向から絞ることでインク供給路１３を形成してもよい。
【００２３】
また、連通路１４は、インク供給路１３の圧力発生室１２とは反対側に連通している。そして、連通路１４の圧力発生室１２の幅方向（短手方向）の断面積は、インク供給路１３の圧力発生室１２の幅方向（短手方向）の断面積よりも大きく形成されている。本実施形態では、連通路１４を圧力発生室１２と同じ断面積で形成した。
【００２４】
また、連通部１５は、液体流路１６の各列間に、各液体流路１６の列に対応して２つ設けられている。そして連通部１５は、液体流路１６の並設方向に沿ってそれぞれの列の各連通路１４に連通している。
【００２５】
ここで、流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）等からなる絶縁体膜５５が積層形成されている。
【００２６】
そして、この絶縁体膜５５上には、下電極膜６０と圧電体層７０と上電極膜８０とが積層形成されて、圧力発生室１２に圧力を付与する圧力発生素子である圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、下電極膜６０、圧電体層７０及び上電極膜８０を含む部分をいう。
【００２７】
一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。
【００２８】
本実施形態では、下電極膜６０を複数の圧力発生室１２に対向する領域に亘って連続して設けることで、複数の圧電素子３００の共通電極とし、上電極膜８０及び圧電体層７０を各圧電素子３００毎に切り分けることで、上電極膜８０を各圧電素子３００の個別電極としている。
【００２９】
また、圧電素子３００の個別電極である各上電極膜８０には、インク供給路１３側の端部近傍から引き出され、絶縁体膜５５上まで延設される、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている。
【００３０】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上、すなわち、下電極膜６０、弾性膜５０及びリード電極９０上には、リザーバ形成基板３０が接着剤３５によって接合されている。
【００３１】
そして、このリザーバ形成基板３０には、一方の列の各圧力発生室１２の共通のインク室（液体室）となる第１のリザーバ１０１の、少なくとも一部を構成する第１のリザーバ部３１が設けられている。具体的には、第１のリザーバ部３１は、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通する貫通部３１ａと、リザーバ形成基板３０の流路形成基板１０とは反対面側で且つ貫通部３１ａよりも他方の列の液体流路１６側に貫通部３１ａに連続して設けられた段差部３１ｂとで構成されており、液体流路１６の並設方向に沿って連続して設けられている。また、貫通部３１ａと一方の連通部１５との間の弾性膜５０及び絶縁体膜５５は除去されており、貫通部３１ａは一方の列の液体流路１６の連通部１５に連通している。そして、これらリザーバ形成基板３０に設けられた第１のリザーバ部３１と、流路形成基板１０に設けられた一方の連通部１５とで、第１のリザーバ１０１が構成されている。なお、第１のリザーバ１０１は、第１のリザーバ部３１のみで構成されていても構わない。具体的には、例えば、圧力発生室１２のみを流路形成基板１０に形成しておき、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０との間に介在する部材（例えば、弾性膜５０、絶縁体膜５５等）に、第１のリザーバ部３１と各圧力発生室１２とを連通するインク供給路１３を設けるようにしてもよい。
【００３２】
また、リザーバ形成基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間からなる圧電素子保持部３２が設けられている。圧電素子保持部３２は、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。
【００３３】
また、リザーバ形成基板３０には、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３３内に露出するように設けられている。
【００３４】
このようなリザーバ形成基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００３５】
また、リザーバ形成基板３０の流路形成基板１０とは反対側の面には、封止膜４１Ａと固定板４２Ａとを備える第１のコンプライアンス基板４０Ａが接合されており、第１のリザーバ部３１の開口部は、この封止膜４１Ａにより封止されている。この封止膜４１Ａは、剛性が低く可撓性を有する材料で形成されればよい。また、固定板４２Ａは、金属等の硬質の材料で形成されればよい。
【００３６】
また、リザーバ形成基板３０上には、並設された圧電素子３００を駆動するための駆動回路１２０が固定されている。この駆動回路１２０としては、例えば、回路基板や半導体集積回路（ＩＣ）等を用いることができる。そして、駆動回路１２０とリード電極９０とは、ボンディングワイヤ等の導電性ワイヤからなる接続配線１２１を介して電気的に接続されている。
【００３７】
一方、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１３とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が、接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。
【００３８】
このノズルプレート２０には、他方の列の圧力発生室１２の共通のインク室（液体室）となる第２のリザーバ１０２の、少なくとも一部を構成する第２のリザーバ部２５が設けられている。具体的には、第２のリザーバ部２５は、ノズルプレート２０に、リザーバ形成基板３０に形成された段差部３１ｂと流路ユニット４００の厚さ方向で実質的に重なるように、ノズルプレート２０を貫通して設けられている。
【００３９】
第２のリザーバ部２５は、液体流路１６の並設方向に沿って連続して設けられており、他方の列の液体流路１６の連通部１５に連通している。すなわち、第２のリザーバ１０２は、第２のリザーバ部２５と他方の連通部１５とで構成されている。なお、ノズルプレート２０は、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。
【００４０】
また、ノズルプレート２０の流路形成基板１０とは反対側の面には、封止膜４１Ｂと固定板４２Ｂとを備える第２のコンプライアンス基板４０Ｂが接合されており、第２のリザーバ部２５の開口部は、この封止膜４１Ｂにより封止されている。なお、図２及び図４に示すように、第２のコンプライアンス基板４０Ｂの固定板４２Ｂは蓋状の形状を有しており、封止膜４１Ｂを撓み変形可能にその内部に保持するとともに、封止膜４１Ｂと共に第２のリザーバ１０２の一方面側を覆うように固定されている。これにより、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、第２のコンプライアンス基板４０Ｂの封止膜４１Ｂに、ノズル開口２１から吐出されるインクが付着して乾燥し、封止膜４１Ｂの撓み変形量が低下してしまうことが防止される。なお、封止膜４１Ｂの変形量の低下を考慮しなくてよいのであれば、第２のコンプライアンス基板４０Ｂの固定板４２Ｂの形状は、蓋状の形状に限定されるものではなく、例えば、枠状の形状であってもよい。この第２のコンプライアンス基板４０Ｂは、第１のコンプライアンス基板４０Ａと同様に、封止膜４１Ｂが、剛性が低く可撓性を有する材料で形成され、固定板４２Ｂが、金属等の硬質の材料で形成されている。
【００４１】
上述したように、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、液体流路１６が２列並設されると共に、段差部３１ｂと第２のリザーバ部２５とが流路ユニット４００の厚さ方向で実質的に重なるように設けられている。すなわち、第２のリザーバ部２５は、段差部３１ｂと流路ユニット４００の厚さ方向で大部分が重なるように設けられている。これにより、従来よりもリザーバ形成基板３０の面積を小さく作製できる。なお、第２のリザーバ部２５は、段差部３１ｂと流路ユニット４００の厚さ方向で完全に重なるように設ける場合が、最もリザーバ形成基板３０の面積を小さく作製できるので、最も好ましい。また、リザーバ形成基板３０の面積を小さく作製できるので、それに伴って、流路ユニット４００の面積も小さく作製できる。したがって、大幅に材料コストを低減できる。
【００４２】
また、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、第１のリザーバ１０１内に、段差部３１ｂが設けられている。これにより、段差部３１ｂ付近のインクの流れは比較的速くなるので、第１のリザーバ１０１内のインクの流れはスムーズになり、第１のリザーバ１０１内に発生した気泡の停滞を防止することができる。
【００４３】
また、上述したような構成であると、良好なインク吐出特性も保持することができる。すなわち、面積を小さく作製できると共に、良好なインク吐出特性を備えたインクジェット式記録ヘッドを実現できる。
【００４４】
なお、上述した例では、一方の連通部１５が第１のリザーバ１０１を兼ねており、他方の連通部１５が第２のリザーバ１０２の一部を兼ねていたが、各連通部１５を圧力発生室１２毎に複数に分割して、第１又は第２のリザーバ部３１，２５だけが第１又は第２のリザーバ１０１，１０２として機能するような構成であっても構わない。
【００４５】
ここで、このように形成された第１及び第２のリザーバ１０１，１０２は、第１のコンプライアンス基板４０Ａに形成されたインク導入口４３ａ及び４４ａにより、図示しないインク貯留手段と連通されて、その内部にインクが貯留される。具体的には、図１及び図３を用いて説明する。
【００４６】
図１に示すように、第１のコンプライアンス基板４０Ａの固定板４２Ａには、第１のリザーバ部３１の開口部内に延設された第１の延設部４３が設けられており、この第１の延設部４３の、段差部３１ｂに対向する部分には、この第１の延設部４３を厚さ方向に貫通する第１のインク導入口４３ａが設けられている。この第１のインク導入口４３ａは、第１のリザーバ部３１に連通している。
【００４７】
また、図１及び図３に示すように、第１のリザーバ部３１の段差部３１ｂには、流路形成基板１０とは反対側に突出した突出部３４が設けられており、この突出部３４には、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通するインク導入孔３４ａが設けられている。なお、インク導入孔３４ａの下方の弾性膜５０及び絶縁体膜５５には貫通孔が設けられており、このインク導入孔３４ａは、第２のリザーバ１０２、具体的には他方の連通部１５と連通している。また、第１のコンプライアンス基板４０Ａの固定板４２Ａには、突出部３４に対向するように延設された第２の延設部４４が設けられており、この第２の延設部４４には、厚さ方向に貫通する第２のインク導入口４４ａが設けられている。そして、この第２のインク導入口４４ａと、インク導入孔３４ａとにより、第２のリザーバ１０２には、図示しないインク貯留手段により、その内部にインクが貯留されるように構成されている。したがって、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、第１のリザーバ１０１及び第２のリザーバ１０２内に、同一の方向から、具体的にはリザーバ形成基板３０の上方からインクを導入することができる。
【００４８】
（実施形態２）
図５は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図６は図５のＢ−Ｂ’断面図である。また、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００４９】
図示するように、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドでは、第２のリザーバ部２５Ａが、リザーバ形成基板３０に設けられている。
【００５０】
具体的には、本実施形態の第２のリザーバ部２５Ａは、液体流路１６の並設方向に沿って、リザーバ形成基板３０の流路形成基板１０側で且つ段差部３１ｂと流路ユニット４００の厚さ方向で実質的に重なるように溝状に設けられている。そして、第２のリザーバ部２５Ａには、封止膜４１Ｃと固定板４２Ｃとを具備する第３のコンプライアンス基板４０Ｃが接合されている。なお、封止膜４１Ｃに対向する部分には、液体流路１６の並設方向に沿って溝状の段部３６が設けられており、封止膜４１Ｃは撓み変形可能に構成されている。なお、連通部１５と第２のリザーバ部２５Ａとの間の弾性膜５０及び絶縁体膜５５は除去されており、第２のリザーバ部２５Ａは他方の連通部１５と連通している。これにより、本実施形態の第２のリザーバ１０２Ａは、リザーバ形成基板３０に設けられた第２のリザーバ部２５Ａと他方の連通部１５とで構成されている。
【００５１】
このようにリザーバ形成基板３０に、段差部３１ｂと流路ユニット４００の厚さ方向で実質的に重なるように第２のリザーバ部２５Ａを設けても、従来よりもリザーバ形成基板３０の面積を小さく作製でき、大幅に材料コストを低減できる。
【００５２】
また、上述したような構成であると、良好なインク吐出特性も保持することができる。すなわち、面積を小さく作製できると共に、良好なインク吐出特性を備えたインクジェット式記録ヘッドを実現できる。
【００５３】
（他の実施形態）
以上、本発明のインクジェット式記録ヘッドについて説明したが、本発明のインクジェット式記録ヘッドは上述した実施形態に限定されるものではない。
上述した実施形態では、液体流路１６が２列並設された例を示したが、本発明はもちろんこれに限定されるものではなく、複数列並設されていても構わない。
【００５４】
また、上述した実施形態では、第２のリザーバ部が、ノズルプレート２０又はリザーバ形成基板３０に形成されている例を示したが、図７に示すように、リザーバ形成基板３０とノズルプレート２０の両方に第２のリザーバ部２５Ｂが設けられているような構成であっても構わない。これによれば、第２のリザーバ１０２Ｂの容積をより大きく確保できる。また、ノズルプレート２０と流路形成基板１０との間に、ノズル開口２１と圧力発生室１２とを繋ぐ貫通孔が設けられた基板を新たに設け、その基板に第２のリザーバ部が設けられているような構成でも勿論構わない。
【００５５】
上述したようなインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない第１及び第２の外部インク供給手段と接続した第１及び第２のインク導入口４３ａ、４３ｂからインクを取り込み、第１及び第２のリザーバからノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１２０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極膜６０と上電極膜８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体膜５５、下電極膜６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００５６】
また、これらのインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５７】
図８に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ３に沿ってプラテン８が設けられている。このプラテン８は図示しない紙送りモータの駆動力により回転できるようになっており、給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５８】
なお、上述した実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図である。
【図５】本発明の実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図である。
【図６】本発明の実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０  流路形成基板、  １１  隔壁、  １２  圧力発生室、  １３  インク供給路、  １４  連通路、  １５  連通部、  １６  液体流路、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ２５，２５Ａ，２５Ｂ  第２のリザーバ部、  ３０  リザーバ形成基板、  ３１  第１のリザーバ部、  ３１ａ  貫通部、  ３１ｂ  段差部、  ３２  圧電素子保持部、  ３３  貫通孔、  ３４  突出部、  ３４ａ  インク導入孔、  ３５  接着剤、  ３６  段部、  ４０Ａ  第１のコンプライアンス基板、  ４０Ｂ  第２のコンプライアンス基板、  ４０Ｃ  第３のコンプライアンス基板、  ４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ  封止膜、  ４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ  固定板、  ４３  第１の延設部、  ４３ａ  第１のインク導入口、  ４４  第２の延設部、  ４４ａ  第２のインク導入口、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体膜、  ６０  下電極膜、  ７０  圧電体層、  ８０  上電極膜、  ９０  リード電極、  １０１  第１のリザーバ、  １０２，１０２Ａ，１０２Ｂ  第２のリザーバ、  １２０  駆動回路、  １２１  接続配線、  ３００  圧電素子、  ４００  流路ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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