(57)【要約】      （修正有）【課題】回転によって発生する振動をスピンドルアセンブリ外に伝播させない。【解決手段】第１のエア供給路を有するスピンドルハウジング３２と、第２のエア供給路と、中心に形成されたスピンドル挿入穴８２と、第２のエア供給路からの圧縮エアをスピンドル挿入穴に供給する複数の分岐路９８とを有し、スピンドルハウジング中に挿入されたベアリングシャフト８０と、ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴中に挿入されたスピンドル２６と、スピンドルとベアリングシャフトのスピンドル挿入穴を画成する内壁との間に形成されたラジアルエアベアリング１０２と、第１のエア供給路を介してスピンドルハウジングとベアリングシャフトとの間の間隙に圧縮エアを供給すると共に、ラジアルエアベアリングに圧縮エアを供給する圧縮エア供給源８４とを具備し、ベアリングシャフトは第１のエア供給路からラジアル方向に噴出される圧縮エアによって保持される。【選択図】図６
2009160671.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンドルアセンブリであって、
第１のエア供給路を有するスピンドルハウジングと、
第２のエア供給路と、中心に形成されたスピンドル挿入穴と、該第２のエア供給路からの圧縮エアを該スピンドル挿入穴に供給する複数の分岐路とを有し、前記スピンドルハウジング中に挿入されたベアリングシャフトと、
該ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴中に挿入されたスピンドルと、
該スピンドルと前記ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴を画成する内壁との間に形成されたラジアルエアベアリングと、
前記第１のエア供給路を介して前記スピンドルハウジングと前記ベアリングシャフトとの間の間隙に圧縮エアを供給すると共に、前記第２のエア供給路及び前記分岐路を介して前記ラジアルエアベアリングに圧縮エアを供給する圧縮エア供給源とを具備し、
前記ベアリングシャフトは前記第１のエア供給路からラジアル方向に噴出される圧縮エアによって保持されることを特徴とするスピンドルアセンブリ。
【請求項２】
スピンドルアセンブリであって、
第１のエア供給路を有するスピンドルハウジングと、
外周面に連通するとともに軸方向に伸長する第２のエア供給路と、中心に形成されたスピンドル挿入穴と、該第２のエア供給路からの圧縮エアを該スピンドル挿入穴に供給する複数の分岐路とを有し、前記スピンドルハウジング中に挿入されたベアリングシャフトと、
該ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴中に挿入されたスピンドルと、
該スピンドルと前記ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴を画成する内壁との間に形成されたラジアルエアベアリングと、
前記第１のエア供給を介して前記スピンドルハウジングと前記ベアリングシャフトとの間の間隙に圧縮エアを供給する圧縮エア供給源とを具備し、
前記間隙に供給された圧縮エアは、前記第２のエア供給路及び前記分岐路を介して前記ラジアルエアベアリングに供給され、
前記ベアリングシャフトは前記第１のエア供給路からラジアル方向に噴出される圧縮エアによって保持されることを特徴とするスピンドルアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレード又は研削ホイール等の加工工具が装着されるスピンドルアセンブリに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の数多くのデバイスが表面に形成され、且つ個々のデバイスが分割予定ライン（ストリート）によって区画された半導体ウエーハは、研削装置によって裏面が研削されて所定の厚みに加工された後、切削装置によって分割予定ラインを切削して個々のデバイスに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
ウエーハを個々のデバイスに分割する切削装置（ダイシング装置）は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハの分割予定ラインを切削する切削ブレードを回転可能に支持した切削手段と、切削手段のスピンドルを回転可能に支持するエアベアリングに圧縮エアを供給する圧縮エア供給源とを具備しており、ウエーハを高精度に個々のデバイスに分割することができる。
【０００４】
切削装置のスピンドルを回転可能に支持するエアベアリングは、例えば特開平７−２０８４７４号公報及び特開平１１−１１７９３９号公報に開示されており、ラジアル軸受部及びスラフト軸受部のエアベアリングから構成されている。
【０００５】
特開平１１−１１７９３９号公報に開示されたエアベアリングでは、スピンドルと一体的に形成されたスラフトプレートの外周面にもエアベアリングから成るラジアル軸受部を設けることにより、ラジアル方向の剛性を高めスピンドルの微小のぶれを防止している。
【特許文献１】特開平７−２０８４７４号公報
【特許文献２】特開平１１−１１７９３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
スピンドルを圧縮エアによってラジアル方向に支持するスピンドルアセンブリでは、スピンドルの回転に伴いラジアル方向の振動が発生する。このようスピンドルアセンブリが工作機械に組み込まれている場合には、スピンドルから発生した振動が装置全体に伝播し、加工品質や加工精度に影響を及ぼす。
【０００７】
特に、スピンドルが加工点に直結している切削装置又は研削／研磨装置では、スピンドルの振動による加工品質の悪化が顕著に現れ、スピンドルの回転が高速になるほど発生する振動は大きくなり、加工品質悪化、加工精度悪化に繋がる。
【０００８】
具体的には、切削装置では、切込深さばらつきの増大や、加工溝縁に発生するチッピングと呼ばれる欠けの増大、スケールの読み取り不良による切削送り位置制御不良等が発生する。また、研削／研磨装置では、被加工物の加工面が焼ける「面焼け」や「うねり」と呼ばれる広範囲での仕上げ厚みばらつきが発生する。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、回転によって発生する振動をスピンドルアセンブリ外に伝播させることのないスピンドルアセンブリを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１記載の発明によると、スピンドルアセンブリであって、第１のエア供給路を有するスピンドルハウジングと、第２のエア供給路と、中心に形成されたスピンドル挿入穴と、該第２のエア供給路からの圧縮エアを該スピンドル挿入穴に供給する複数の分岐路とを有し、前記スピンドルハウジング中に挿入されたベアリングシャフトと、該ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴中に挿入されたスピンドルと、該スピンドルと前記ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴を画成する内壁との間に形成されたラジアルエアベアリングと、前記第１のエア供給路を介して前記スピンドルハウジングと前記ベアリングシャフトとの間の間隙に圧縮エアを供給すると共に、前記第２のエア供給路及び前記分岐路を介して前記ラジアルエアベアリングに圧縮エアを供給する圧縮エア供給源とを具備し、前記ベアリングシャフトは前記第１のエア供給路からラジアル方向に噴出される圧縮エアによって保持されることを特徴とするスピンドルアセンブリが提供される。
【００１１】
請求項２記載の発明によると、スピンドルアセンブリであって、第１のエア供給路を有するスピンドルハウジングと、外周面に連通するとともに軸方向に伸長する第２のエア供給路と、中心に形成されたスピンドル挿入穴と、該第２のエア供給路からの圧縮エアを該スピンドル挿入穴に供給する複数の分岐路とを有し、前記スピンドルハウジング中に挿入されたベアリングシャフトと、該ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴中に挿入されたスピンドルと、該スピンドルと前記ベアリングシャフトのスピンドル挿入穴を画成する内壁との間に形成されたラジアルエアベアリングと、前記第１のエア供給を介して前記スピンドルハウジングと前記ベアリングシャフトとの間の間隙に圧縮エアを供給する圧縮エア供給源とを具備し、前記間隙に供給された圧縮エアは、前記第２のエア供給路及び前記分岐路を介して前記ラジアルエアベアリングに供給され、前記ベアリングシャフトは前記第１のエア供給路からラジアル方向に噴出される圧縮エアによって保持されることを特徴とするスピンドルアセンブリが提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によると、回転によって生じる振動をスピンドルハウジングとベアリングシャフトとの間のエア層で抑制することが可能となり、振動をスピンドルアセンブリ外に伝播させることがない。従って、本発明のスピンドルアセンブリを加工装置に組み込んで使用すると、加工装置に振動を伝播させることがなく、高精度な加工が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は半導体ウエーハをダイシングして個々のチップ（デバイス）に分割することのできる本発明実施形態に係るスピンドルアセンブリを具備した切削装置２の外観を示している。
【００１４】
切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００１５】
図２に示すように、ダイシング対象のウエーハＷの表面においては、第１のストリートＳ１と第２ストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されて多数のデバイスＤがウエーハＷ上に形成されている。
【００１６】
ウエーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウエーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウエーハカセット８中にウエーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウエーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００１７】
ウエーハカセット８の後方には、ウエーハカセット８から切削前のウエーハＷを搬出するとともに、切削後のウエーハをウエーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウエーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウエーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウエーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００１８】
仮置き領域１２の近傍には、ウエーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウエーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００１９】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウエーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２０】
アライメント手段２０は、ウエーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２１】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウエーハＷに対して切削加工を施す切削手段２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２２】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００２３】
図３を参照すると、スピンドルと、スピンドルに装着されるブレードマウントとの関係を示す分解斜視図が示されている。スピンドルアセンブリ３０のスピンドルハウジング３２中には、図示しないサーボモータ又はシンクロナスモータにより回転駆動されるスピンドル２６が回転可能に収容されている。スピンドル２６はテーパ部２６ａ及び先端小径部２６ｂを有しており、先端小径部２６ｂには雄ねじ３４が形成されている。
【００２４】
３６はボス部（凸部）３８と、ボス部３８と一体的に形成された固定フランジ４０とから構成されるブレードマウントであり、ボス部３８には雄ねじ４２が形成されている。さらに、ブレードマウント３６は装着穴４３を有している。
【００２５】
ブレードマウント３６は、装着穴４３をスピンドル２６の先端小径部２６ｂ及びテーパ部２６ａに挿入して、ナット４４を雄ねじ３４に螺合して締め付けることにより、図４に示すようにスピンドル２６の先端部に取り付けられる。
【００２６】
図４はブレードマウント３６が固定されたスピンドル２６と、切削ブレード２８との装着関係を示す分解斜視図である。切削ブレード２８はハブブレードと呼ばれ、円形ハブ４８を有する円形基台４６の外周にニッケル母材中にダイヤモンド砥粒が分散された切刃５０が電着されて構成されている。
【００２７】
切削ブレード２８の装着穴５２をブレードマウント３６のボス部３８に挿入し、固定ナット５４をボス部３８の雄ねじ４２に螺合して締め付けることにより、切削ブレード２８がスピンドル２６に取り付けられる。
【００２８】
図５を参照すると、切削手段２４の拡大斜視図が示されている。６０は切削ブレード２８をカバーするブレードカバーであり、このブレードカバー６０には切削ブレード２８の側面に沿って伸長する図示しない切削水ノズルが取り付けられている。切削水が、パイプ７２を介して図示しない切削水ノズルに供給される。
【００２９】
６２は着脱カバーであり、ねじ６４によりブレードカバー６０に取り付けられる。着脱カバー６２は、ブレードカバー６０に取り付けられた際、切削ブレード２８の側面に沿って伸長する切削水ノズル７０を有している。切削水は、パイプ７４を介して切削水ノズル７０に供給される。
【００３０】
６６はブレード検出ブロックであり、ねじ６８によりブレードカバー６０に取り付けられる。ブレード検出ブロック６６には発光素子及び受光素子からなる図示しないブレードセンサが取り付けられており、このブレードセンサにより切削ブレード２８の切刃５０の状態を検出する。
【００３１】
ブレードセンサにより切刃５０の欠け等を検出した場合には、切削ブレード２８を新たな切削ブレードに交換する。７６はブレードセンサの位置を調整するための調整ねじである。
【００３２】
次に図６を参照して、本発明の第１実施形態に係るスピンドルアセンブリ３０について詳細に説明する。スピンドルハウジング３２内には非常に小さな間隙を持ってベアリングシャフト８０が挿入されている。
【００３３】
ベアリングシャフト８０はその中心部分にスピンドル挿入穴８２を有しており、スピンドル挿入穴８２中にはスピンドル２６が挿入されている。スピンドルハウジング３２には、円周方向に等間隔離間し、軸方向に伸長する複数のエア供給路８８が形成されている。
【００３４】
これらのエア供給路８８には、圧縮エア供給源８４からの圧縮エアがエア供給口８６を介して供給される。圧縮エアをエア供給路８８に供給するエア供給口は、スピンドルハウジング３２の右端部に形成されていても良い。エア供給路８８に供給された圧縮エアは、複数のラジアル方向供給路９０を介してスピンドルハウジング３２とベアリングシャフト８０との間の隙間９２に導入される。
【００３５】
一方、ベアリングシャフト８０のエア供給路９４には、ベアリングシャフト８０の図示しない右端部に形成されたエア供給口を介して圧縮エア供給源８４からの圧縮エアが供給される。
【００３６】
ベアリングシャフト８０には、それぞれエア供給路９４に連通し、軸方向に離間した複数の環状供給路９６と、各環状供給路９６から半径方向内側に伸長し、圧縮エアをスピンドル挿入穴８２に供給する複数の分岐路９８が形成されている。各分岐路９８中には、所定の開口径を有するオリフィス１００が挿入されている。
【００３７】
圧縮エアがスピンドル挿入穴８２中に供給されない状態においては、スピンドル２６を支えるものがないため、スピンドル２６はベアリングシャフト８０のスピンドル挿入穴８２を画成する底壁に接触している。
【００３８】
また、圧縮エアがスピンドルハウジング３２とベアリングシャフト８０との間の隙間９２に供給されない状態においては、ベアリングシャフト８０を支えるものがないため、ベアリングシャフト８０はスピンドルハウジング３２の内壁底部に接触している。
【００３９】
圧縮エア供給源８４からエア供給路９４、環状供給路９６、分岐路９８及びオリフィス１００を介して圧縮エアをスピンドル挿入穴８２中に供給すると、スピンドル２６は圧縮エアに支持され、図６に示したように浮上し、スピンドル２６とベアリングシャフト８０のスピンドル挿入穴８２を画成するベアリングシャフト８０の内壁との間にラジアルエアベアリング１０２が形成される。
【００４０】
一方、圧縮エア供給源８４からの圧縮エアがエア供給口８６、エア供給路８８、ラジアル方向エア供給路９０を介してスピンドルハウジング３２とベアリングシャフト８０との間の隙間９２に供給されると、ベアリングシャフト８０は図６に示したように浮上し、隙間９２中に供給された圧縮エアでベアリングシャフト８０を支持する。
【００４１】
しかして、ラジアルエアベアリング１０２及びスピンドルハウジング３２とベアリングシャフト８０との間の隙間９２に圧縮エアを導入した図６に示した状態において、図示しないサーボモータ又はシンクロナスモータ等によりスピンドル２６が高速回転（６００００〜９００００ｒｐｍ）されると、スピンドル２６の自重による沈み込みとスピンドル２６の高速回転に伴ってラジアルエアベアリング１０２に発生するエア密度差によって、スピンドル２６にラジアル方向の振動が発生する。
【００４２】
この振動はベアリングシャフト８０に伝達され、ベアリングシャフト８０もラジアル方向に振動する。しかし、スピンドルハウジング３２とベアリングシャフト８０との間の隙間９２に圧縮エアが供給されて、ベアリングシャフト８０が圧縮エアにより支持されているため、ベアリングシャフト８０のラジアル方向の振動は隙間９２中の圧縮エアにより吸収され、振動がスピンドルハウジング３２に伝達されることが抑制される。従って、切削ブレード２８によるウエーハＷに対する高精度な加工が可能となる。
【００４３】
次に、図７を参照して、本発明第２実施形態のスピンドルアセンブリ３０Ａについて説明する。本実施形態の説明において、図６に示した第１実施形態と実質的に同一構成部分については同一符号を付して説明する。
【００４４】
スピンドルハウジング３２内には非常に小さな間隙を持ってベアリングシャフト８０が挿入されている。ベアリングシャフト８０はその中心部分にスピンドル挿入穴８２を有しており、スピンドル挿入穴８２中にはスピンドル２６が挿入されている。
【００４５】
スピンドルハウジング３２には、円周方向に等間隔離間し、軸方向に伸長する複数のエア供給路８８が形成されている。一つのエア供給路８８は圧縮エア供給源８４に接続されており、圧縮エアが直接供給される。他のエア供給路８８には環状供給路９５を介して圧縮エアが供給される。
【００４６】
各エア供給路８８に供給された圧縮エアは、複数のラジアル方向供給路９０を介してスピンドルハウジング３２とベアリングシャフト８０との間の間隙９２に導入される。
【００４７】
一方、ベアリングシャフト８０は、軸方向に伸長するエア供給路１０６と、エア供給路１０６を外周面に連通するエア導入口１０４を有している。ベアリングシャフト８０には更に、それぞれエア供給路１０６に連通し、軸方向に離間した複数の環状供給路９６と、各環状供給路９６から半径方向内側に伸長し、圧縮エアをスピンドル挿入穴８２に供給する複数の分岐路９８が形成されている。各分岐路９８中には、所定の開口径を有するオリフィス１００が挿入されている。
【００４８】
第１実施形態と同様に、圧縮エアがスピンドル挿入穴８２中に供給されない状態においてはスピンドル２６を支えるものがないため、スピンドル２６はベアリングシャフト８０のスピンドル挿入穴８２を画成する底壁に接触している。
【００４９】
また、圧縮エアがスピンドルハウジング３２とベアリングシャフト８０との間の間隙９２に供給されない状態においては、ベアリングシャフト８０を支えるものがないため、ベアリングシャフト８０はスピンドルハウジング３２の内壁底部に接触している。
【００５０】
圧縮エア供給源８４からエア供給路８８、ラジアル方向エア供給路９０を介してスピンドルハウジング３２とベアリングシャフト８０との間の間隙９２に圧縮エアが供給されると、ベアリングシャフト８０は図７に示したように浮上し、間隙９２中に供給された圧縮エアでベアリングシャフト８０を支持する。
【００５１】
更に、間隙９２はベアリングシャフト８０のエア導入口１０４に連通しているため、圧縮エアは間隙９２からエア導入口１０４、エア供給路１０６、環状エア供給路９６、分岐路９８及びオリフィス１００を介してスピンドル挿入穴８２中に供給される。
【００５２】
その結果、スピンドル２６は図７に示したように圧縮エアに支持されて浮上し、スピンドル２６とベアリングシャフト８０のスピンドル挿入穴８２を画成する内壁との間にラジアルエアベアリング１０２が形成される。
【００５３】
図６に示した第１実施形態と同様に、ラジアルエアベアリング１０２及びスピンドルハウジング３２とベアリングシャフト８０との間の間隙９２に圧縮エアを導入した図７に示した状態において、図示しないサーボモータ又はシンクロナスモータ等によりスピンドル２６が高速回転（６００００〜９００００ｒｐｍ）されると、スピンドル２６の自重による沈み込みとスピンドル２６の高速回転に伴ってラジアルエアベアリング１０２に発生するエア密度差によって、スピンドル２６にラジアル方向の振動が発生する。
【００５４】
この振動はベアリングシャフト８０に伝達され、ベアリングシャフト８０もラジアル方向に振動する。しかし、スピンドルハウジング３２とベアリングシャフト８０との間の間隙９２に圧縮エアが供給されて、ベアリングシャフト８０が圧縮エアにより支持されているため、ベアリングシャフト８０のラジアル方向の振動は間隙９２中の圧縮エアにより吸収され、振動がスピンドルハウジング３２に伝達されることが抑制される。従って、切削ブレード２８によるウエーハＷに対する高精度な加工が可能となる。
【００５５】
図８を参照すると、研削装置１３０の外観斜視図が示されている。１３２は研削ユニットであり、研削ユニット１３２は支持部１３４を介して一対のガイドレール１５０，１５２に沿って上下方向に移動する移動基台１５４に取り付けられている。
【００５６】
研削ユニット１３２は、支持部１３４に取り付けられたスピンドルハウジング１３６と、スピンドルハウジング１３６中に回転可能に収容されたスピンドル１３８と、スピンドル１３８を回転駆動するサーボモータを含んでいる。スピンドル１３８は、エアベアリングによりスピンドルハウジング１３６内で回転可能に支持されている。
【００５７】
図９（Ａ）に示すように、スピンドル１３８の先端にはマウント１４０が一体的に形成されており、このマウント１４０に図９（Ｂ）に示すように研削ホイール１４２がねじ止めされている。
【００５８】
研削ホイール１４２は、例えばホイール基台１４４の自由端部に粒径０．３〜１．０μｍのダイヤモンド砥粒をビトリファイドボンドで固めた複数の研削砥石１４６が固着されて構成されている。
【００５９】
このように、エアベアリングで支持された縦型のスピンドルを有する研削装置１３０にも本発明は適用可能である。研削装置のスピンドル１３８をラジアルエアベアリングで支持し、ベアリングシャフトを圧縮エアで支持することにより、ラジアル方向の振動がスピンドルハウジング１３６に伝達されることが抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明を適用するのに適した切削装置の外観斜視図である。
【図２】フレームと一体化されたウエーハを示す斜視図である。
【図３】スピンドルアセンブリと、スピンドルに固定されるべきブレードマウントとの関係を示す分解斜視図である。
【図４】スピンドルアセンブリと、スピンドルに装着されるべきハブブレードとの関係を示す分解斜視図である。
【図５】切削手段の拡大斜視図である。
【図６】本発明第１実施形態の縦断面図である。
【図７】本発明第２実施形態の縦断面図である。
【図８】研削装置の外観斜視図である。
【図９】図９（Ａ）はスピンドルのマウントと、マウントにねじ締結される研削ホイールとの関係を示す分解斜視図、図９（Ｂ）はスピンドルのマウントにねじ締結された研削ホイールを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６１】
２    切削装置
１８    チャックテーブル
２４    切削手段（切削ユニット）
２６    スピンドル
２８    切削ブレード
３０    スピンドルアセンブリ
３２    スピンドルハウジング
８０    ベアリングシャフト
８４    圧縮エア供給源
８８，９４    エア供給路
９２    隙間
９６    環状供給路
９８    分岐路
１００    オリフィス
１０２    ラジアルエアベアリング
【図１】
2009160671.tif 000003
【図２】
2009160671.tif 000004
【図３】
2009160671.tif 000005
【図４】
2009160671.tif 000006
【図５】
2009160671.tif 000007
【図６】
2009160671.tif 000008
【図７】
2009160671.tif 000009
【図８】
2009160671.tif 000010
【図９】
2009160671.tif 000011