(57)【要約】【課題】生産性良く描画することができる吐出方法、カラーフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】ノズル３１からマザー基板に液滴３６を吐出して、第１塗布領域８３及び第２塗布領域８７に機能液を塗布する吐出方法にかかわり、マザー基板に液滴３６を吐出する吐出工程と、マザー基板とノズル３１とを相対移動する移動工程と、を有し、吐出工程と移動工程とは並行して行われ、吐出工程では、所定の吐出周期９０と同期して吐出又は非吐出され、移動工程では、着弾間隔９２に応じてノズル３１とマザー基板とを相対移動するステージ速度９１を変更することを特徴とする。【選択図】図９
2009247915.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから基板に液滴を吐出して描画パターンを形成する吐出方法であって、
前記基板に前記液滴を吐出する吐出工程と、
前記基板と前記ノズルとを相対移動する移動工程と、を有し、
前記吐出工程と前記移動工程とは並行して行われ、
前記吐出工程では、所定の周期間隔と同期して吐出又は非吐出され、
前記移動工程では、着弾間隔に応じて前記ノズルと前記基板とを相対移動する速度を変
更することを特徴とする吐出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の吐出方法であって、
前記描画パターンは第１描画パターンと第２描画パターンとを有し、
前記第１描画パターンは前記着弾間隔が前記第２描画パターンの前記着弾間隔と異なる
パターンであり、
前記第１描画パターンと前記第２描画パターンとのいずれか一方の描画パターンを描画
した後、他方の描画パターンを描画することを特徴とする吐出方法。
【請求項３】
請求項１に記載の吐出方法であって、
前記基板は第１描画パターンと第２描画パターンとを有し、
前記第１描画パターンは前記着弾間隔が前記第２描画パターンの前記着弾間隔と異なる
パターンであり、
前記ノズルと前記基板とを相対移動し、前記第１描画パターンと前記第２描画パターン
とを前記ノズルが通過するとき、前記第１描画パターンと前記第２描画パターンとの間で
前記ノズルと前記基板とを相対移動する速度を変更することを特徴とする吐出方法。
【請求項４】
請求項２に記載の吐出方法であって、
前記吐出工程では配列した前記ノズルから前記液滴を吐出し、
前記第１描画パターンと前記第２描画パターンとのうち一方の描画パターンは前記ノズ
ルが配列した方向と同じ方向に着弾位置が配列し、他方の描画パターンは前記ノズルが配
列する方向と異なる方向に着弾位置が配列され、
前記ノズルが配列する方向と同じ方向に着弾位置が配列した前記一方の描画パターンを
描画する吐出工程と、
前記他方の描画パターンの着弾位置を前記ノズルが配列する方向と同じ向きになるよう
に、前記基板の垂直方向を中心にして前記基板を回転する回転工程と、
前記他方の描画パターンを描画する吐出工程と、を有することを特徴とする吐出方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法であ
って、
前記カラーフィルタには着色膜が配置され、
前記液滴は着色材料を含み、前記液滴を吐出した後に成膜して前記着色膜を形成するこ
とを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出方法、カラーフィルタの製造方法にかかわり、特に複数の異なるパター
ンを生産性良く描画する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が
知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させる
テーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に配置さ
れるガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェ
ットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、
塗布していた。
【０００３】
この液滴吐出装置を用いてカラーフィルタを形成する方法が特許文献１に紹介されてい
る。これによると基板上に格子状のブラックマトリクスを形成し、液滴吐出装置はブラッ
クマトリクスに囲まれるフィルタエレメントに液滴吐出ヘッドから赤青緑色の各色のイン
クを吐出する。そして、インクを加熱してインク内の溶媒を蒸発させて、インクの膜を形
成していた。
【０００４】
また、液滴吐出装置を用いてペーストを塗布する方法で、塗布ノズルを移動するとき、
塗布ノズル速度パターンを用いる方法が特許文献２に紹介されている。この方法では、ペ
ーストを連続吐出しながら塗布ノズルを加減速する。そして線画のパターンに沿って塗布
していた。
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３３８８７５号公報
【特許文献２】特開２００２−３３３４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
大型カラーテレビ用のカラーフィルタを生産性良く形成するために、１枚の基板で複数
種類のカラーフィルタを形成する方法が試みられている。このとき画素の大きさや画素間
の間隔が異なるカラーフィルタを１枚の基板に形成した後、基板を分割して各カラーフィ
ルタが形成される。
【０００７】
液滴吐出ヘッドは安定して品質良く液滴を吐出できる吐出時間間隔の許容範囲が限定さ
れている。そして、この許容範囲の中で所定の吐出時間間隔が設定され、この吐出時間間
隔と同期して液滴の吐出と非吐出が制御される。このときテーブルは一定の速度で移動し
、液滴を吐出する予定の場所と対向する場所にノズルが位置するとき、ノズルから液滴が
吐出される。この方法は、画素の大きさや画素間の間隔が異なるカラーフィルタにおいて
も同じテーブル速度で基板を移動し、同じ吐出時間間隔と同期して液滴を吐出していた。
そして、１枚の基板で画素の大きさや画素間の間隔が異なるカラーフィルタを形成すると
き、さらに生産性良く液滴を吐出する方法が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］
本適用例にかかる吐出方法は、ノズルから基板に液滴を吐出して描画パターンを形成す
る吐出方法であって、前記基板に前記液滴を吐出する吐出工程と、前記基板と前記ノズル
とを相対移動する移動工程と、を有し、前記吐出工程と前記移動工程とは並行して行われ
、前記吐出工程では、所定の周期間隔と同期して吐出又は非吐出され、前記移動工程では
、着弾間隔に応じて前記ノズルと前記基板とを相対移動する速度を変更することを特徴と
する。
【００１０】
この吐出方法によれば、ノズルと基板とを相対移動しながら液滴を吐出することにより
、描画パターンを描画する。そして、着弾間隔に応じてノズルと基板とを相対移動する速
度を変更する。ノズルから液滴を吐出するとき、吐出品質を品質良く吐出できる時間間隔
である適正吐出間隔がある。そして、適正吐出間隔で吐出することにより、品質良く描画
することができる。
【００１１】
描画パターンを描画するときに液滴を複数回吐出する。そして、続けて吐出する場所の
間隔が長い場所と短い場所があるとき、ノズルと基板とを低速で相対移動し、適正時間間
隔と同期して吐出と非吐出とを繰り返して描画する方法がある。この方法に比べて、続け
て吐出する場所の間隔に合わせてノズルと基板とを相対移動する速度を変更して適正時間
間隔で吐出する方法の方が短い時間で多くの場所に吐出することができる。その結果、生
産性良く描画することができる。
【００１２】
［適用例２］
上記適用例にかかる吐出方法において、前記描画パターンは第１描画パターンと第２描
画パターンとを有し、前記第１描画パターンは前記着弾間隔が前記第２描画パターンの前
記着弾間隔と異なるパターンであり、前記第１描画パターンと前記第２描画パターンとの
いずれか一方の描画パターンを描画した後、他方の描画パターンを描画することを特徴と
する。
【００１３】
この吐出方法によれば、基板に第１描画パターンと第２描画パターンとを描画する。そ
して、第１描画パターンと第２描画パターンとは異なる速度でノズルと基板とを相対移動
する。描画方法の１つに第１描画パターンの一部を描画する工程と第２描画パターンの一
部を描画する工程とを繰り返す方法がある。この方法に比べて、第１描画パターンと第２
描画パターンのいずれか一方の描画パターンを描画した後、他方の描画パターンを描画す
る方が、ノズルと基板とを相対移動する速度を変更する回数が少ないので速度制御を簡便
にすることができる。
【００１４】
［適用例３］
上記適用例にかかる吐出方法において、前記基板は第１描画パターンと第２描画パター
ンとを有し、前記第１描画パターンは前記着弾間隔が前記第２描画パターンの前記着弾間
隔と異なるパターンであり、前記ノズルと前記基板とを相対移動し、前記第１描画パター
ンと前記第２描画パターンとを前記ノズルが通過するとき、前記第１描画パターンと前記
第２描画パターンとの間で前記ノズルと前記基板とを相対移動する速度を変更することを
特徴とする。
【００１５】
この吐出方法によれば、基板に第１描画パターンと第２描画パターンとを描画する。そ
して、第１描画パターンと第２描画パターンとを通過するときには速度を変更してノズル
と基板とを相対移動する。このとき、第１描画パターンの場所と第２描画パターンとの場
所によらずノズルが通過する順路を設定することができる。従って、ノズルが通過する順
路を設定し易くすることができる。
【００１６】
［適用例４］
上記適用例にかかる吐出方法において、前記吐出工程では配列した前記ノズルから前記
液滴を吐出し、前記第１描画パターンと前記第２描画パターンとのうち一方の描画パター
ンは前記ノズルが配列した方向と同じ方向に着弾位置が配列し、他方の描画パターンは前
記ノズルが配列する方向と異なる方向に着弾位置が配列され、前記ノズルが配列する方向
と同じ方向に着弾位置が配列した前記一方の描画パターンを描画する吐出工程と、前記他
方の描画パターンの着弾位置を前記ノズルが配列する方向と同じ向きになるように、前記
基板の垂直方向を中心にして前記基板を回転する回転工程と、前記他方の描画パターンを
描画する吐出工程と、を有することを特徴とする。
【００１７】
この吐出方法によれば、配列したノズルから液滴を吐出する。従って、ノズルから吐出
される液滴も配列して形成することができる。描画パターンにおける着弾位置がノズルの
配列と同じ場合には１度に多くの場所に吐出できるので、少ない吐出回数で多くの場所に
吐出することができる。この適用例では、回転工程にて１度に多くの場所に吐出できる向
きに基板を回転した後、吐出する為、生産性良く吐出することができる。
【００１８】
［適用例５］
本適用例にかかる上記吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法において、前記カラ
ーフィルタには着色膜が配置され、前記液滴は着色材料を含み、前記液滴を吐出した後に
成膜して前記着色膜を形成することを特徴とする。
【００１９】
このカラーフィルタの製造方法によれば、生産性良く着色材料を含む液滴が基板に吐出
されて描画される為、生産性良くカラーフィルタを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、具体化した実施形態について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材
毎に縮尺を異ならせて図示している。
【００２１】
（第１の実施形態）
液滴吐出装置及びこの液滴吐出装置を用いて本実施形態における特徴的な吐出方法によ
り液滴を吐出して、カラーフィルタを形成する場合の例について図１〜図１０に従って説
明する。
【００２２】
（カラーフィルタ）
最初に、カラーフィルタ１について図１を用いて説明する。図１（ａ）は、カラーフィ
ルタを示す模式平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のカラーフィルタのＡ−Ａ’線
に沿う模式断面図である。カラーフィルタ１は液晶テレビ等の表示装置に用いられ、画像
信号に応じた輝度分布をもつ白色光をカラーフィルタ１に通過させることにより、カラー
画像を形成する。図１に示すように、カラーフィルタ１はワークとしての基板２を備えて
いる。この基板２は光透過性があり、張力に対して破れ難い強度があればよく、ガラス板
、プラスチック板、プラスチックシート等を用いることができる。本実施形態においては
、例えば、ガラス板を採用している。基板２の上面には着色素子３が縦横並んで配列して
形成されている。そして、着色素子３は赤、青、緑色の着色素子３により構成され、各色
の着色素子３が列毎に配列して配置されている。図１（ａ）において、上から赤色素子列
３ａ、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃの順に着色素子３が配列して配置されている。そ
して、図中に上から下へ、この順番を繰り返してストライプ状に配置されている。
【００２３】
着色素子３は格子状に形成されたバンク４を備え、バンク４によって矩形に仕切られた
場所に着色膜５が形成されている。赤色素子列３ａの着色素子３には赤色着色膜５ａが形
成され、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃにはそれぞれ青色着色膜５ｂ、緑色着色膜５ｃ
が形成されている。
【００２４】
次に、カラーフィルタ１を形成する工程に用いるマザー基板について図２を用いて説明
する。図２は、マザー基板を示す模式平面図である。図２に示すように、基板としてのマ
ザー基板６には２枚の第１カラーフィルタ７及び３枚の第２カラーフィルタ８が配置され
ている。この第１カラーフィルタ７及び第２カラーフィルタ８は同じの構造のカラーフィ
ルタ１であり、大きさのみ異なって形成される。従って、第１カラーフィルタ７の着色膜
７ａは第２カラーフィルタ８の着色膜８ａより大きく形成される。そして、第１カラーフ
ィルタ７及び第２カラーフィルタ８の周囲には分断予定線９が設定され、マザー基板６を
分断予定線９で分断することにより個々のカラーフィルタ１が形成される。
【００２５】
第１カラーフィルタ７が配置されている領域を第１領域１０とし、第２カラーフィルタ
８が配置されている領域を第２領域１１とする。そして、第１領域１０における着色膜７
ａは第２領域１１における着色膜８ａより広く形成される。
【００２６】
（液滴吐出装置）
図３は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図であり、この液滴吐出装置は、着色膜５
の材料を含む機能液を基板２に吐出する装置である。図３に示すように、液滴吐出装置１
４は直方体形状に形成された基台１５を備えている。本実施形態では、この基台１５の長
手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００２７】
基台１５の上面１５ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１６ａ，１６ｂが同Ｙ方
向全幅にわたり凸設されている。その基台１５の上側には、一対の案内レール１６ａ，１
６ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するステージ１７が取付けら
れている。そのステージ１７の直動機構は、例えば案内レール１６ａ，１６ｂに沿ってＹ
方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動
機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸
モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号
がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ１７が同ステッ
プ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査
する）ようになっている。
【００２８】
ステージ１７の上には回転機構１８が配置され、回転機構１８の上には載置台１９が配
置されている。回転機構１８はステップ単位で正逆転するＺ軸モータを内蔵し、所定のス
テップ数に相対する駆動信号がＺ軸モータに入力されると、Ｚ軸モータが正転又は逆転し
て、載置台１９が同ステップ数に相当する分だけ、Ｚ方向を中心にして正転又は、逆転す
るようになっている。
【００２９】
その載置台１９の上面には載置面１９ａが形成され、その載置面１９ａには図示しない
吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面１９ａに基板２を載置する
と、基板チャック機構によって、その基板２が載置面１９ａの所定位置に位置決め固定さ
れるようになっている。
【００３０】
基台１５のＸ方向両側には一対の支持台２０ａ，２０ｂが立設され、その一対の支持台
２０ａ，２０ｂにはＸ方向に延びる案内部材２１が架設されている。案内部材２１の長手
方向の幅はステージ１７のＸ方向よりも長く形成され、案内部材２１の一端が支持台２０
ａ側に張り出すように配置されている。
【００３１】
案内部材２１の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク２２が配設
されている。一方、その案内部材２１の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール２３がＸ方
向全幅にわたり凸設されている。
【００３２】
案内レール２３に沿って移動可能に配置されるキャリッジ２４は、略直方体形状に形成
されている。そのキャリッジ２４の直動機構は、例えば、ステージ１７が備える直動機構
と同様の機構である。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をキャリッジ２４が
備えるＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ２４が同ス
テップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。この
キャリッジ２４の下面（ステージ１７側の面）には、液滴吐出ヘッド２５が凸設されてい
る。
【００３３】
Ｘ方向と逆の方向における基台１５の側面であってキャリッジ２４の移動範囲と対向す
る場所には、保守装置２６が配置され、保守装置２６には液滴吐出ヘッド２５をクリーニ
ングする機構が配置されている。
【００３４】
図４（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図である。図４（ａ）に示すように、１つの
キャリッジ２４には、３個の液滴吐出ヘッド２５が略Ｙ方向において等間隔に配列して配
置されている。３個の液滴吐出ヘッド２５は赤色、青色、緑色の機能液が供給されている
。そして、この各色の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド２５はそれぞれＸ方向に千鳥状に
配列して配置されている。
【００３５】
そして、液滴吐出ヘッド２５の表面にはノズルプレート３０が配置され、ノズルプレー
ト３０にはノズル３１が複数形成されている。ノズル３１の数は、吐出するパターンと基
板２の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズル
プレート３０にはノズル３１の配列が１列形成され、各列には１５個のノズル３１が配置
されている。このノズル３１が配列する方向をノズル配列方向３１ａとする。
【００３６】
図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図４（
ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２５は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート
３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であって、ノズル３
１と対向する位置には、ノズル３１と連通する圧力室としてのキャビティ３２が形成され
ている。そして、液滴吐出ヘッド２５のキャビティ３２には、図示しない供給装置に貯留
されている液状体としての機能液３３が図示しない流路を介して供給される。
【００３７】
キャビティ３２の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ３２内の容積
を拡大縮小する振動板３４と、上下方向に伸縮して振動板３４を振動させる駆動部として
の圧電素子３５が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド２５が圧電素子３５を制御駆
動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子３５が伸縮して、振動板３４がキャビ
ティ３２内の容積を拡大縮小してキャビティ３２を加圧する。その結果、液滴吐出ヘッド
２５のノズル３１から、縮小した容積分の機能液３３が液滴３６として吐出される。ノズ
ル３１、キャビティ３２、振動板３４、圧電素子３５等により液滴吐出素子３７が構成さ
れ、１つの液滴吐出ヘッド２５には複数の液滴吐出素子３７が配列して形成されている。
【００３８】
図５（ａ）は、液滴吐出ヘッドの駆動信号の流れを示す回路図である。図５（ａ）に示
すように液滴吐出装置１４は制御装置４０を備え、制御装置４０は液滴吐出ヘッド２５を
駆動するヘッド駆動回路４１と電気的に接続されている。そして、ヘッド駆動回路４１は
液滴吐出ヘッド２５と電気的に接続されている。
【００３９】
ヘッド駆動回路４１は駆動信号制御部４２、駆動波形形成部４３、吐出制御信号分配部
４４、同期信号形成部４５を備えている。そして、制御装置４０が出力する駆動信号を駆
動信号制御部４２へ入力する。駆動信号制御部４２は駆動信号を入力して、液滴吐出ヘッ
ド２５を駆動する波形を出力するための演算を行い、駆動波形のデジタル信号を形成する
。そして、駆動波形のデジタル信号を駆動波形形成部４３に出力し、駆動波形形成部４３
は駆動波形のデジタル信号をアナログ信号に変換して駆動波形信号を形成する。そして、
駆動波形形成部４３は駆動波形信号を液滴吐出ヘッド２５に出力する。
【００４０】
さらに駆動信号制御部４２は、各液滴吐出ヘッド２５において吐出するノズル３１を選
択する演算を行い、ノズル選択信号を形成する。そして、ノズル選択信号を吐出制御信号
分配部４４に出力する。吐出制御信号分配部４４はノズル選択信号を入力して液滴吐出ヘ
ッド２５毎に分離した後、分離したノズル選択信号を各液滴吐出ヘッド２５に分配する。
【００４１】
さらに、駆動信号制御部４２は駆動波形のタイミングを合わせるタイミング情報を形成
し、同期信号形成部４５に出力する。そして、同期信号形成部４５はタイミング情報を用
いて同期信号を形成し、同期信号を駆動波形形成部４３、吐出制御信号分配部４４、各液
滴吐出ヘッド２５に出力する。駆動波形形成部４３は同期信号を入力し、同期信号と同期
して駆動波形信号を出力する。同様に、吐出制御信号分配部４４は同期信号を入力し、同
期信号と同期してノズル選択信号を出力する。
【００４２】
液滴吐出ヘッド２５は、吐出制御信号分配部４４及び同期信号形成部４５と接続される
切換制御回路４６を備えている。さらに、駆動波形形成部４３及び切換制御回路４６と接
続される切換回路４７を液滴吐出ヘッド２５は備え、切換回路４７は圧電素子３５と接続
されている。そして、切換回路４７及び圧電素子３５の個数はノズル３１と同じ個数とな
っている。
【００４３】
切換制御回路４６は同期信号及びノズル選択信号を入力し、ノズル選択信号をノズル３
１毎に分離した切換信号を形成する。この切換信号は吐出と非吐出とを切り換える信号で
あり、切換制御回路４６はこの切換信号を同期信号と同期させて切換回路４７に出力する
。切換回路４７は、駆動波形形成部４３が出力する駆動波形信号と、切換制御回路４６が
出力する切換信号とを入力する。そして、切換信号が吐出する指示の信号であるときには
、切換回路４７は圧電素子３５に駆動信号を出力する。また、切換信号が吐出しない指示
の信号であるときには、切換回路４７は圧電素子３５に駆動信号を出力しない。
【００４４】
図５（ｂ）は信号の同期関係を示すタイムチャートである。図５（ｂ）において縦軸は
電圧４９を示し、上が下より高い電圧４９となっている。横軸は時間５０の経過を示し、
時間５０は左から右へ推移する。同期信号５１は同期信号形成部４５が出力する信号であ
り、所定の周期間隔５１ａで矩形波５１ｂが出力される信号である。駆動波形信号５２は
駆動波形形成部４３が切換回路４７に出力する信号であり、略台形の波形５２ａに形成さ
れている。そして、波形５２ａが立ち上がるタイミング５２ｂは矩形波５１ｂが立ち上が
るタイミング５１ｃと同期して形成される。
【００４５】
切換信号５３は切換制御回路４６が切換回路４７に出力する信号であり、吐出するタイ
ミングに合わせて矩形波５３ａが出力される波形である。そして、切換信号５３の矩形波
５３ａが立ち上がるタイミング５３ｂも矩形波５１ｂが立ち上がるタイミング５１ｃと同
期して形成される。
【００４６】
駆動信号５４は切換回路４７が圧電素子３５に出力する信号であり、略台形の波形５４
ａに形成されている。そして、波形５４ａが立ち上がるタイミング５４ｂは矩形波５１ｂ
が立ち上がるタイミング５１ｃと同期して形成される。
【００４７】
図６は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図６において、液滴吐出装置１４
の制御装置４０はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）６０と
各種情報を記憶する記憶部としてのメモリ６１とを有する。
【００４８】
主走査駆動装置６２、回転ステージ駆動装置６３、副走査駆動装置６４、ヘッド駆動回
路４１は、入出力インターフェース６５及びデータバス６６を介してＣＰＵ６０に接続さ
れている。さらに、入力装置６７、表示装置６８、保守装置２６も入出力インターフェー
ス６５及びデータバス６６を介してＣＰＵ６０に接続されている。
【００４９】
主走査駆動装置６２はステージ１７の移動を制御する装置であり、回転ステージ駆動装
置６３はステージ１７に配置された回転機構１８の回転を制御する装置である。そして、
副走査駆動装置６４はキャリッジ２４の移動を制御する装置である。主走査駆動装置６２
がステージ１７の移動を制御し、副走査駆動装置６４がキャリッジ２４の移動を制御する
ことにより、液滴吐出ヘッド２５を基板２に対して所望の位置に移動及び停止することが
可能となっている。そして、回転ステージ駆動装置６３がステージ１７の回転を制御する
ことにより、液滴吐出ヘッド２５に対する基板２の角度を変更することが可能となってい
る。
【００５０】
ヘッド駆動回路４１は液滴吐出ヘッド２５を駆動する回路である。そして、ＣＰＵ６０
が指示する駆動電圧、吐出数、吐出間隔等の吐出条件に従って、ヘッド駆動回路４１は液
滴吐出ヘッド２５を駆動する。
【００５１】
入力装置６７は液滴３６を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板
２に液滴３６を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。表
示装置６８は加工条件や作業状況を表示する装置であり、表示装置６８に表示される情報
を基に入力装置６７を用いて操作者は入力操作を行う。保守装置２６は液滴吐出ヘッド２
５を保守する装置であり、キャビティ３２内にある機能液３３の吸引やノズルプレート３
０の拭取等を行う装置である。
【００５２】
メモリ６１は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−Ｒ
ＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１４における動
作の制御手順が記述されたプログラムソフト６９を記憶する記憶領域がメモリ６１に設定
される。さらに、マザー基板６内における吐出位置の座標データである吐出位置データ７
０を記憶するための記憶領域もメモリ６１に設定される。さらに、圧電素子３５を駆動す
る駆動信号データ７１を記憶するための記憶領域もメモリ６１に設定される。さらに、吐
出するパターンに応じて変更するステージ１７の走査速度のテーブルであるステージ速度
データ７２を記憶するための記憶領域もメモリ６１に設定される。他にも、ＣＰＵ６０の
ためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶
領域がメモリ６１に設定される。
【００５３】
ＣＰＵ６０はメモリ６１内に記憶されたプログラムソフト６９に従って、マザー基板６
の所定の位置に機能液３３を液滴３６にして吐出するための制御や液滴吐出ヘッド２５を
保守するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、液滴吐出ヘッド２５
において液滴３６を吐出するための演算を行う吐出演算部７３等を有する。吐出演算部７
３を詳しく分割すれば、吐出演算部７３はマザー基板６を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の
速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部７４を有する。加えて、吐
出演算部７３は液滴吐出ヘッド２５を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査移動量で移動
させるための制御を演算する副走査制御演算部７５を有する。さらに、吐出演算部７３は
液滴吐出ヘッド２５内に複数あるノズル３１の内、どのノズル３１を作動させて機能液３
３を吐出するかを制御するための演算を行う吐出制御演算部７６等といった各種の機能演
算部を有する。吐出演算部７３の他にも、回転ステージ制御演算部７７や保守装置制御演
算部７８を有する。回転ステージ制御演算部７７は、基板２を回転させるか回転させない
かの判断と回転させるための制御を演算する演算部である。保守装置制御演算部７８は液
滴吐出ヘッド２５を保守するための制御を演算する演算部である。
【００５４】
（カラーフィルタの形成方法）
次に、上述した液滴吐出装置１４を用いて液滴吐出ヘッド２５からマザー基板６に機能
液３３を塗布し、カラーフィルタ１を形成する形成方法について製造工程順に図７にて説
明する。図７は、カラーフィルタを形成する製造工程を示すフローチャートである。
【００５５】
ステップＳ１は基板載置工程に相当する。この工程は、載置面に基板を載置した後、吸
引チャックを用いて基板を載置面に固定する工程である。次にステップＳ２及びステップ
Ｓ３に移行する。ステップＳ２は吐出工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程
である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ３は第１移動工程に相当し、第１領域
において基板と液滴吐出ヘッドとを相対移動させる工程である。ステップＳ２とステップ
Ｓ３とは並行して実施される。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は第２移動工
程に相当し、第２領域において基板と液滴吐出ヘッドとを相対移動させる工程である。ス
テップＳ２とステップＳ４とは並行して実施される。ステップＳ３及びステップＳ４を合
わせてステップＳ１０の移動工程とする。次にステップＳ５に移行する。
【００５６】
ステップＳ５は終了判断工程に相当する。この工程は、機能液を塗布する予定の場所総
てに塗布したかの判断を行う工程である。予定した総ての領域に塗布したとき、ステップ
Ｓ６に移行する。予定した総ての領域の中に塗布していない場所があるとき、ステップＳ
２及びステップＳ３に移行する。ステップＳ６は固化工程に相当し、基板に塗布された機
能液を乾燥して固化する工程である。次にステップＳ７に移行する。ステップＳ７は分断
工程に相当し、基板を分断して個々のカラーフィルタに分割する工程である。以上の工程
によりカラーフィルタ１を形成する工程を終了する。
【００５７】
次に、図８〜図１０のカラーフィルタの製造方法を説明するための模式図を用いて、図
７に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。図８（ａ）はステップＳ
１に対応する図である。図８（ａ）に示すように、マザー基板６を載置台１９の載置面１
９ａに載置する。載置台１９には吸引式の基板チャック機構が形成されており、この基板
チャック機構を作動することにより、マザー基板６を載置面１９ａに固定する。
【００５８】
図８（ｂ）〜図９はステップＳ２〜ステップＳ４に対応する図である。図８（ｂ）に示
すように、液滴吐出ヘッド２５に形成されたノズル３１から液滴３６をマザー基板６に吐
出して塗布する。このとき、液滴吐出装置１４はステージ１７を移動させながらノズル３
１から液滴３６を吐出する。
【００５９】
図８（ｃ）は、液滴吐出ヘッドが通過する順路を示す図である。図８（ｃ）に示すよう
に、ステップＳ３において第１カラーフィルタ７を形成する第１領域１０に液滴吐出ヘッ
ド２５を液滴吐出装置１４が移動させながら、ステップＳ２においてノズル３１から液滴
３６を吐出する。このとき、液滴吐出装置１４は液滴吐出ヘッド２５を第１順路８１に沿
って所定の回数往復させながら、ノズル３１から液滴３６を吐出する。そして、着色膜７
ａが形成される場所に所定量の機能液３３を液滴吐出装置１４が塗布する。
【００６０】
次に、ステップＳ４において第２カラーフィルタ８を形成する第２領域１１に液滴吐出
ヘッド２５を液滴吐出装置１４が移動させながら、ステップＳ２においてノズル３１から
液滴３６を吐出する。このときにも、液滴吐出装置１４は液滴吐出ヘッド２５を第２順路
８２に沿って所定の回数往復させながら、ノズル３１から液滴３６を吐出する。そして、
着色膜８ａが形成される場所に所定量の機能液３３を塗布する。
【００６１】
図９（ａ）はステップＳ２及びステップＳ３に対応する図である。図９（ａ）に示すよ
うに、マザー基板６の第１領域１０にはバンク４が格子状に配置され、バンク４に囲まれ
た第１描画パターンとしての第１塗布領域８３が矩形に形成されている。この第１塗布領
域８３は着色膜５が形成される場所となっている。液滴吐出ヘッド２５が基板２に液滴３
６を吐出するとき、液滴３６の着弾位置３６ａがノズル３１と対向する場所と異なる場合
がある。そして、多数吐出するとき、ノズル３１と対向する場所と、着弾位置３６ａとが
最も離れたときの距離を着弾誤差８４とする。第１塗布領域８３の外周から着弾誤差８４
の距離分内側に狭めた矩形の領域を第１目標領域８５とする。従って、第１目標領域８５
は第１塗布領域８３より狭い領域となる。そして、液滴吐出ヘッド２５は第１目標領域８
５に液滴３６を吐出するとき、着弾位置３６ａは第１塗布領域８３に入るようになる。
【００６２】
液滴吐出ヘッド２５がノズル３１から液滴３６を吐出するとき、マザー基板６はＹ方向
に進行する。このマザー基板６が進行するＹ方向において、隣り合う第１塗布領域８３の
中心線８３ａ間の距離を第１着弾間隔８６とする。液滴吐出ヘッド２５はマザー基板６と
Ｙ方向に相対移動しながら、第１着弾間隔８６の間隔でノズル３１から液滴３６を吐出す
る。そして、第１目標領域８５に吐出することが可能となっている。
【００６３】
図９（ｂ）はステップＳ２及びステップＳ４に対応する図である。図９（ｂ）に示すよ
うに、マザー基板６の第２領域１１においてもバンク４が格子状に配置され、バンク４に
囲まれた第２描画パターンとしての第２塗布領域８７が矩形に形成されている。そして、
第１塗布領域８３の第１目標領域８５と同様に第２塗布領域８７にも第２目標領域８８が
設定され、液滴吐出ヘッド２５は第２目標領域８８に液滴３６を吐出する。第１塗布領域
８３の第１着弾間隔８６と同様に、マザー基板６が進行するＹ方向において隣り合う第２
塗布領域８７の中心線８７ａ間の距離を第２着弾間隔８９とする。そして、液滴吐出ヘッ
ド２５はマザー基板６とＹ方向に相対移動しながら、第２着弾間隔８９の間隔でノズル３
１から液滴３６を吐出する。そして、第２目標領域８８に吐出することが可能となってい
る。
【００６４】
図９（ｃ）はステップＳ２〜ステップＳ４におけるステージの動作と吐出動作の関係を
示すタイムチャートである。図９（ｃ）において、横軸は時間５０の経過を示し、時間５
０は左から右へ推移する。そして、第１領域１０を塗布した後、第２領域１１を塗布して
いる。縦軸には、吐出周期９０、ステージ速度９１、着弾間隔９２が配置されている。吐
出周期９０はノズル３１から液滴３６を吐出するときの周期を示し、上が下より長い周期
となっている。ステージ速度９１はステージ１７が走査するときの速度であり、上が下よ
り早い速度となっている。着弾間隔９２はマザー基板６に液滴３６が着弾する間隔であり
、上が下より長い間隔となっている。
【００６５】
図中上側の吐出周期推移線９３が示すように、第１領域１０及び第２領域１１をとおし
て吐出周期９０は一定の吐出周期９３ａに設定する。ノズル３１から液滴３６を吐出する
とき、吐出品質を品質良く吐出できる時間間隔である適正吐出間隔がある。そして、適正
吐出間隔で吐出することにより、品質良く描画することができる。そして、吐出周期９３
ａはこの適正吐出間隔の間隔範囲内に設定されている。そして、図中中側のステージ速度
推移線９４が示すように、第１領域１０では第１ステージ速度９４ａでステージ１７が走
査し、第２領域１１では第２ステージ速度９４ｂでステージ１７が走査する。このとき、
第１ステージ速度９４ａは第２ステージ速度９４ｂより早い速度で走査する。図中下側の
着弾間隔９２は、吐出周期９０とステージ速度９１とを乗算して算出される値と同じにな
る関係となっている。従って、着弾間隔推移線９５が示すように、第１領域１０における
第１着弾間隔８６は第２領域１１における第２着弾間隔８９より長い着弾間隔９２となる
。
【００６６】
図１０はステップＳ６に対応する図である。図１０に示すように、機能液３３が塗布さ
れたマザー基板６を乾燥装置９７の内部に配置する。乾燥装置９７は乾燥室９８を備えて
いる。乾燥室９８は載置台９９を備え、マザー基板６をこの載置台９９に配置する。乾燥
室９８は図中上側の供給管１００及び供給バルブ１０１を介して乾燥気体供給部１０２と
接続されている。さらに、乾燥室９８は図中下側の排気管１０３及び排気バルブ１０４を
介して排気部１０５と接続されている。そして、乾燥気体供給部１０２から供給される乾
燥気体１０６が供給バルブ１０１及び供給管１００を介して乾燥室９８に供給される。次
に、乾燥気体１０６はマザー基板６に塗布された機能液３３に沿って流動する。このとき
、機能液３３に含まれる溶媒及び分散媒を乾燥気体１０６に蒸発させて除去することによ
り、機能液３３を乾燥させる。そして、機能液３３が乾燥することにより、着色膜５が形
成される。次に、溶媒及び分散媒を含んだ乾燥気体１０６は排気管１０３及び排気バルブ
１０４を通過して、排気部１０５により図示しない処理装置に排気される。
【００６７】
ステップＳ７では、マザー基板６の分断予定線９に沿ってガラスカッターを摺動するこ
とにより、マザー基板６にクラックを形成する。そして、弾性部材により形成された板の
上に、クラックが板と接するようにマザー基板６を配置する。次に、マザー基板６のクラ
ックと対向する場所を押圧することによりクラックを拡大させてマザー基板６を分断する
。マザー基板６を総ての分断予定線９に沿って分断する。以上で、カラーフィルタ１を形
成する製造工程を終了する。
【００６８】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステージ１７を移動しながら液滴３６を吐出することによ
り、第１塗布領域８３及び第２塗布領域８７に機能液３３を塗布している。そして、第１
着弾間隔８６に比べて第２着弾間隔８９は着弾間隔が短いので、第１ステージ速度９４ａ
に比べて第２ステージ速度９４ｂを遅くしている。ノズル３１から液滴３６を吐出すると
き、吐出品質を品質良く吐出できる時間間隔である適正吐出間隔がある。そして、吐出周
期９３ａを適正吐出間隔で吐出することにより、品質良く描画している。
【００６９】
着弾間隔９２が長い第１着弾間隔８６と着弾間隔９２が短い第２着弾間隔８９があると
き、ステージ１７を低速で移動し、吐出周期９３ａと同期して吐出と非吐出とを繰り返し
て描画する方法がある。この方法に比べて、着弾間隔９２に合わせてステージ１７を移動
する速度を変更して所定の吐出周期９３ａで吐出する方法の方が短い時間で多くの場所に
吐出することができる。その結果、生産性良く塗布することができる。
【００７０】
（２）本実施形態によれば、マザー基板６の第１領域１０及び第２領域１１に機能液３
３を塗布する。そして、第１領域１０と第２領域１１とでは異なる速度でステージ１７を
移動する。塗布方法の１つに第１領域１０の一部を塗布する工程と第２領域１１の一部を
塗布する工程とを繰り返す方法がある。この方法に比べて、第１領域１０と第２領域１１
とのいずれか一方の領域において、塗布する予定の場所総てに塗布した後、他方の領域を
描画する方が、ステージ１７を移動する速度を変更する回数が少ない為、速度制御を簡便
にすることができる。
【００７１】
（３）本実施形態によれば、生産性良く着色膜５の材料を含む液滴３６がマザー基板６
に吐出されて塗布される為、生産性良くカラーフィルタ１を形成することができる。
【００７２】
（第２の実施形態）
次に、液滴吐出装置を用いた特徴的なカラーフィルタの形成方法の一実施形態について
図１１のカラーフィルタの製造方法を説明するための模式図を用いて説明する。本実施形
態が第１の実施形態と異なるところは、第１領域と第２領域とを交互に塗布する点にある
。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００７３】
図１１（ａ）は、液滴吐出ヘッドが通過する順路を示す図である。すなわち、図１１（
ａ）に示すように、マザー基板６にノズル３１から液滴３６を吐出するとき、液滴吐出ヘ
ッド２５は第３順路１０９に沿って所定の回数往復してノズル３１から液滴３６を吐出す
る。この第３順路１０９では液滴吐出ヘッド２５が第１領域１０と第２領域１１との間を
往復するように設定されている。
【００７４】
図１１（ｂ）はステージの移動速度の推移を示すタイムチャートである。図１１（ｂ）
において、横軸は時間５０の経過を示し、時間５０は左から右へ推移する。縦軸はステー
ジ速度９１を示し、ステージ速度９１は上が下より早い速度となっている。ステージ速度
推移線１１０は液滴吐出ヘッド２５が第３順路１０９に沿って移動するときのステージ速
度９１の推移を示している。まず、ステージ速度推移線１１０の第１加速部１１０ａにお
いてステージ１７は停止状態から第１ステージ速度９４ａまで加速する。そして、第１等
速部１１０ｂにおいて、ステージ１７は第１ステージ速度９４ａで移動する。このとき、
液滴吐出装置１４はノズル３１から液滴３６を第１領域１０に吐出する。
【００７５】
次に、第１減速部１１０ｃにおいて、ステージ１７は第２ステージ速度９４ｂまで減速
する。第１減速部１１０ｃにおける減速は、液滴吐出ヘッド２５が第１領域１０から第２
領域１１に入るときに第１カラーフィルタ７を形成する場所と第２カラーフィルタ８を形
成する場所との間の場所で行われる。次に、第２等速部１１０ｄにおいて、ステージ１７
は第２ステージ速度９４ｂで移動する。このとき、所定の吐出周期９０で液滴吐出装置１
４は第２領域１１にノズル３１から液滴３６を吐出する。
【００７６】
次に、第２減速部１１０ｅにおいて、ステージ１７は停止するまで減速する。そして、
第１反転部１１０ｆにおいて、ステージ１７は進行方向を反転する。次に、第２加速部１
１０ｇにおいてステージ１７は第２ステージ速度９４ｂまで加速する。第２減速部１１０
ｅ〜第２加速部１１０ｇは液滴吐出ヘッド２５が第２カラーフィルタ８を形成する場所を
通過した後、反転して再度第２カラーフィルタ８を形成する場所に進入するまでの間に行
われる。次に、第３等速部１１０ｈにおいて第２ステージ速度９４ｂでステージ１７が移
動する。このとき、所定の吐出周期９０で液滴吐出装置１４は第２領域１１にノズル３１
から液滴３６を吐出する。
【００７７】
次に、第３加速部１１０ｉにおいてステージ１７は第１ステージ速度９４ａまで加速す
る。第３加速部１１０ｉにおける加速は、液滴吐出ヘッド２５が第２領域１１から第１領
域１０に入るときに第２カラーフィルタ８を形成する場所と第１カラーフィルタ７を形成
する場所との間の場所で行われる。そして、第４等速部１１０ｊにおいて、ステージ１７
は第１ステージ速度９４ａで移動する。このとき、所定の吐出周期９０で液滴吐出装置１
４は第１領域１０にノズル３１から液滴３６を吐出する。次に、第３減速部１１０ｋにお
いて、ステージ１７は停止するまで減速する。そして、第２反転部１１０ｍにおいて、ス
テージ１７は進行方向を反転する。続いて、第１加速部１１０ａに移行する。第３減速部
１１０ｋ〜第１加速部１１０ａは液滴吐出ヘッド２５が第１カラーフィルタ７を形成する
場所を通過した後、反転して再度第１カラーフィルタ７を形成する場所に進入するまでの
間に行われる。そして、この第１加速部１１０ａから第２反転部１１０ｍのステージ速度
推移線１１０を繰り返して実施される。
【００７８】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、マザー基板６の第１領域１０と第２領域１１とにノズル３
１から液滴３６を吐出する。そして、第１領域１０と第２領域１１とを通過するときには
ステージ速度９１を変更して液滴吐出ヘッド２５とマザー基板６を相対移動する。このと
き、第１領域１０の場所と第２領域１１との場所によらずノズル３１が通過する順路を設
定することができる。従って、液滴吐出ヘッド２５が通過する順路を設定し易くすること
ができる。
【００７９】
（２）本実施形態によれば、第１領域１０と第２領域１１とを貫通して往復する順路を
設定している。従って、第１領域１０を総て塗布した後に第２領域１１を塗布する方法に
比べて、順路の長さを短く設定することができる。
【００８０】
（第３の実施形態）
次に、液滴吐出装置を用いた特徴的なカラーフィルタの製造方法の一実施形態について
図１２〜図１５を用いて説明する。本実施形態が第１の実施形態と異なるところは、マザ
ー基板に液滴を吐出する工程の間にマザー基板を回転する工程が入る点にある。尚、第１
の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００８１】
図１２は、マザー基板を示す模式平面図である。すなわち、図１２に示すように、マザ
ー基板１１３には２枚の第１カラーフィルタ７及び２枚の第３カラーフィルタ１１４が配
置されている。この第１カラーフィルタ７及び第３カラーフィルタ１１４は同じの構造の
カラーフィルタ１であり、大きさのみ異なって形成される。そして、第１カラーフィルタ
７の着色膜７ａは第３カラーフィルタ１１４の着色膜１１４ａより大きく形成される。さ
らに、第１カラーフィルタ７の着色膜７ａの長手方向はＸ方向に配置され、第３カラーフ
ィルタ１１４の着色膜１１４ａの長手方向はＹ方向に配置されている。従って、着色膜７
ａと着色膜１１４ａとは直交する方向に配置されている。
【００８２】
第１カラーフィルタ７の着色膜７ａを形成するために、機能液３３が第１塗布領域８３
に塗布される。同様に、第３カラーフィルタ１１４の着色膜１１４ａを形成するために、
機能液３３が第３塗布領域１１５に塗布される。そして、第１塗布領域８３の長手方向８
３ｂはＸ方向を向き、第３塗布領域１１５の長手方向１１５ａはＹ方向を向いている。従
って、第１塗布領域８３の長手方向８３ｂと第３塗布領域１１５の長手方向１１５ａとは
直交する方向に配置されている。そして、第１カラーフィルタ７及び第３カラーフィルタ
１１４の周囲には分断予定線１１６が設定され、分断予定線１１６で分断することにより
個々のカラーフィルタ１として形成される。
【００８３】
第１カラーフィルタ７が配置されている領域を第１領域１０とし、第３カラーフィルタ
１１４が配置されている領域を第３領域１１７とする。そして、第１領域１０における第
１塗布領域８３は第３領域１１７における第３塗布領域１１５より広く設定される。
【００８４】
図１３は、カラーフィルタを形成する製造工程を示すフローチャートである。ステップ
Ｓ１は基板載置工程に相当する。この工程は、載置面にマザー基板を載置した後、吸引チ
ャックを用いてマザー基板を載置面に固定する工程である。次にステップＳ２１及びステ
ップＳ２２に移行する。ステップＳ２１は、吐出工程に相当し、マザー基板に液滴を吐出
して塗布する工程である。次にステップＳ２３に移行する。ステップＳ２２は、第１移動
工程に相当し、第１領域においてマザー基板と液滴吐出ヘッドとを相対移動させる工程で
ある。ステップＳ２１とステップＳ２２とは並行して実施される。次にステップＳ２３に
移行する。ステップＳ２３は、回転工程としての基板回転工程に相当し、回転機構を駆動
して載置台を回転することにより、マザー基板を回転する工程である。次にステップＳ２
４及びステップＳ２５に移行する。ステップＳ２４は、吐出工程に相当し、マザー基板に
液滴を吐出して塗布する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ２５は、
第３移動工程に相当し、第３領域においてマザー基板と液滴吐出ヘッドとを相対移動させ
る工程である。ステップＳ２４とステップＳ２５とは並行して実施される。ステップＳ２
２及びステップＳ２５を合わせてステップＳ３０の移動工程とする。次にステップＳ５に
移行する。ステップＳ５〜ステップＳ７は第１の実施形態と同様の工程であり、説明を省
略する。以上の工程によりカラーフィルタを形成する工程を終了する。
【００８５】
図１４は、カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図であり、液滴吐出ヘッド
が通過する順路を示す図である。図１４（ａ）は、ステップＳ２１及びステップＳ２２に
対応する図である。図１４（ａ）に示すように、ステップＳ２２において第１カラーフィ
ルタ７を形成する第１領域１０を液滴吐出ヘッド２５が移動しながら、ステップＳ２１に
おいてノズル３１から液滴３６を吐出する。このとき、液滴吐出装置１４は液滴吐出ヘッ
ド２５を第１順路８１に沿って所定の回数往復させながら、ノズル３１から液滴３６を吐
出する。そして、第１塗布領域８３に所定量の機能液３３を塗布する。このとき、第１塗
布領域８３の長手方向８３ｂとノズル配列方向３１ａとが略同じ向きとなっているため、
第１塗布領域８３に１回の吐出で複数の液滴３６を吐出することが可能になっている。
【００８６】
図１４（ｂ）は、ステップＳ２３〜ステップＳ２５に対応する図である。図１４（ｂ）
に示すように、マザー基板１１３を回転することにより、第３カラーフィルタ１１４にお
ける第３塗布領域１１５の長手方向１１５ａをノズル配列方向３１ａと同じ向きにする。
次に、ステップＳ２５において第３カラーフィルタ１１４が配置された第３領域１１７を
液滴吐出ヘッド２５が移動しながらステップＳ２４においてノズル３１から液滴３６を吐
出する。このとき、液滴吐出装置１４は液滴吐出ヘッド２５を第３順路１１８に沿って所
定の回数往復させながら、ノズル３１から液滴３６を吐出する。そして、第３塗布領域１
１５に所定量の機能液３３を塗布する。このとき、第３塗布領域１１５の長手方向１１５
ａとノズル配列方向３１ａとが略同じ向きとなっているため、第３塗布領域１１５に１回
の吐出で複数の液滴３６を吐出することが可能になっている。
【００８７】
（マザー基板を回転しない場合の比較例）
図１５はノズル配列方向と塗布領域の関係を説明する図である。図１５（ａ）において
は、第１塗布領域８３の長手方向８３ｂはノズル配列方向３１ａと同じ向きに配置されて
いる。このとき、例えば本実施形態では、１回の吐出において第１目標領域８５に４個か
ら５個の着弾位置３６ａを設定することができる。そして、ノズル３１の配列が通過する
場所と対向する場所に位置する第１目標領域８５に液滴３６を吐出することが可能になっ
ている。
【００８８】
図１５（ｂ）においては、第１塗布領域８３の長手方向８３ｂはノズル配列方向３１ａ
と直交する向きに配置されている。第１目標領域８５はノズル配列方向３１ａの幅８５ａ
が隣り合うノズル３１のノズル間隔３１ｂに比べて短いので、例えば本実施形態では、１
回の吐出において１つの第１目標領域８５には１個の着弾位置３６ａのみ設定することが
可能となっている。また、隣り合う第１目標領域８５の間隔８５ｂがノズル間隔３１ｂの
整数倍と異なって形成されているので、隣り合う第１塗布領域８３の両方同時に吐出する
ことが不可能になっている。従って、１回の吐出において、隣り合う３個の第１塗布領域
８３の中１個の第１塗布領域８３に液滴３６を吐出可能であり、隣り合う３個の第１塗布
領域８３総てに吐出するためには、液滴吐出ヘッド２５を３回長手方向８３ｂに走査する
ことが必要となる。従って、ノズル配列方向３１ａが長手方向８３ｂと異なる場合には、
ノズル配列方向３１ａが長手方向８３ｂと同じ場合に比べ、液滴吐出ヘッド２５を走査す
る回数が多くなる可能性が高い。従って、ノズル配列方向３１ａと長手方向８３ｂを同じ
向きにする方が少ない吐出回数で第１塗布領域８３に機能液３３を塗布することができる
。
【００８９】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、配列したノズル３１から液滴３６を吐出するため、ノズル
３１から吐出される液滴３６も配列して形成される。第１塗布領域８３の長手方向８３ｂ
及び第３塗布領域１１５の長手方向１１５ａがノズル配列方向３１ａと同じ向きの場合に
は１度に多くの場所に吐出できるので、少ない吐出回数で多くの場所に吐出することがで
きる。そして、マザー基板１１３の第１領域１０に塗布した後、第３領域１１７に塗布す
る前にステップＳ２３の基板回転工程にてマザー基板１１３を回転している。そして、ノ
ズル配列方向３１ａと第３塗布領域１１５の長手方向１１５ａとを同じ向きにした後、吐
出する為、生産性良く第３領域１１７に吐出することができる。
【００９０】
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加
えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態では、図５（ｂ）における駆動波形信号５２の立ち上がるタイミン
グ５２ｂ、切換信号５３の立ち上がるタイミング５３ｂ、駆動信号５４の立ち上がるタイ
ミング５４ｂ、は同期信号５１の立ち上がるタイミング５１ｃと同期して形成されたが、
所定の時間間隔の遅延があっても良い。遅延させることにより波形の同期がとり易くなる
場合には、遅延させることにより安定した波形を出力できる回路にすることができる。こ
の内容は前記第２の実施形態及び前記第３の実施形態にも適用することができる。
【００９１】
（変形例２）
前記第１の実施形態では、キャリッジ２４が液滴吐出ヘッド２５をＸ方向に移動して、
ステージ１７がマザー基板６をＹ方向に移動した。これに限らず、液滴吐出ヘッド２５を
Ｙ方向に移動する機構を配置して、この機構を駆動することにより、液滴吐出ヘッド２５
をＹ方向に移動しても良い。この内容は前記第２の実施形態及び前記第３の実施形態にも
適用することができる。
【００９２】
（変形例３）
前記第１の実施形態では、キャビティ３２を加圧する加圧手段に、圧電素子３５を用い
たが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板３４を変形させて、加
圧しても良い。他に、キャビティ３２内にヒータ配線を配置して、ヒータ配線を加熱する
ことにより、機能液３３を気化させたり、機能液３３に含む気体を膨張させたりして加圧
しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板３４を変形させて、加圧して
も良い。この場合にも同様の効果を得ることができる。この内容は前記第２の実施形態及
び前記第３の実施形態にも適用することができる。
【００９３】
（変形例４）
前記第１の実施形態では、マザー基板６に２種類の大きさが異なる着色膜５を形成する
場所が配置されたが、３種類以上の大きさが異なる着色膜５を形成する場所が配置されて
も良い。この場合にも、ステージ１７の移動速度を変えてノズル３１から液滴３６を吐出
することにより生産性よく吐出することができる。この内容は前記第２の実施形態及び前
記第３の実施形態にも適用することができる。
【００９４】
（変形例５）
前記第３の実施形態では、マザー基板１１３を回転することにより、ノズル配列方向３
１ａと第３塗布領域１１５の長手方向１１５ａとを同じ向きにした。マザー基板１１３を
回転する代わりに液滴吐出ヘッド２５の向きを変えても良い。例えば、キャリッジ２４に
液滴吐出ヘッド２５を回転する機構を配置して、液滴吐出ヘッド２５を回転しても良い。
マザー基板６を回転するときには載置台１９を回転することになる。載置台１９はマザー
基板６より大きく形成されるので、マザー基板６が大きくなるときには、載置台１９も大
きくなる。このとき、載置台１９の重量は重くなるため、載置台１９を回転するのに要す
るエネルギーが大きくなる。一方、マザー基板６を大きくするときにも、液滴吐出ヘッド
２５は大きくせずに吐出することができる。従って、液滴吐出ヘッド２５を回転するのに
要するエネルギーを大きくせずに、ノズル配列方向３１ａと第３塗布領域１１５の長手方
向１１５ａとを同じ向きにすることができる。従って、省エネルギーな方法にすることが
できる。
【００９５】
（変形例６）
前記第３の実施形態では、図１２に示す第１塗布領域８３の長手方向８３ｂと第３塗布
領域１１５の長手方向１１５ａとが直交する方向に配置されていたが、直交する方向以外
でも良い。このときにもステップＳ２３においてマザー基板１１３を回転するときに、ノ
ズル配列方向３１ａと第３塗布領域１１５の長手方向１１５ａとを同じ向きにすることに
より同様の効果を得られることができる。この方法は、液滴３６を吐出して描画するパタ
ーンの自由度を高くすることができる。
【００９６】
（変形例７）
前記第１の実施形態では、カラーフィルタ１に本発明の吐出方法を用いたが、カラーフ
ィルタ１以外の電気光学装置の製造方法にも用いることができる。例えば、プラズマディ
スプレイの発光層、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレ
イの発光層等における膜の形成方法として好適に用いることができる。いずれの場合でも
、生産性良く機能液３３が塗布されて、膜や層が形成された基板を備えた電気光学装置を
提供することができる。この内容は前記第２の実施形態及び前記第３の実施形態にも適用
することができる。
【００９７】
（変形例８）
前記第１の実施形態では、配列する第１目標領域８５の周期に合わせて第１着弾間隔８
６を設定し、配列する第２目標領域８８の周期に合わせて第２着弾間隔８９を設定した。
着弾間隔の設定は他の要因によって設定しても良い。例えば、各目標領域及び塗布領域に
おける着弾予定数に合わせて、着弾間隔を設定しても良い。
【００９８】
第１塗布領域８３及び第２塗布領域８７等の塗布領域の大きさが変わるとき、着弾誤差
８４を考慮して第１目標領域８５及び第２目標領域８８等の目標領域が設定される。この
とき、第１塗布領域８３より第２塗布領域８７が狭いので、第１目標領域８５より第２目
標領域８８が狭くなる。
【００９９】
そして、第１塗布領域８３及び第２塗布領域８７に同じ厚さの着色膜５を形成したいと
き、目標領域の単位面積当たりに必要な吐出量は、第１目標領域８５より第２目標領域８
８の方が多くなる。従って、第１目標領域８５より第２目標領域８８の方が単位面積当た
りの着弾位置の設定数を多く設定することになる。
【０１００】
液滴吐出ヘッド２５と基板２とが相対移動する方向において、第１目標領域８５及び第
２目標領域８８の両方に着弾位置を設定する。このとき、第１目標領域８５より第２目標
領域８８の着弾間隔を短くすることにより、第１目標領域８５より第２目標領域８８の方
が着弾位置の設定数を多く設定することが可能になる。そして、着弾間隔に応じて液滴吐
出ヘッド２５と基板２とが相対移動する速度を変えることにより生産性良く機能液３３を
塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】第１の実施形態にかかわり、（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図、（ｂ）は、（ａ）は、カラーフィルタの模式断面図。
【図２】マザー基板を示す模式平面図。
【図３】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図４】（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図５】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの駆動信号の流れを示す回路図、（ｂ）は信号の同期関係を示すタイムチャート。
【図６】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図７】カラーフィルタを形成する製造工程を示すフローチャート。
【図８】カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。
【図９】カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。
【図１０】カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。
【図１１】第２の実施形態にかかわるカラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。
【図１２】第３の実施形態にかかわるマザー基板を示す模式平面図。
【図１３】カラーフィルタを形成する製造工程を示すフローチャート。
【図１４】カラーフィルタの製造方法を説明するための模式図。
【図１５】ノズル配列方向と塗布領域の関係を説明する図。
【符号の説明】
【０１０２】
２…基板、５…着色膜、６…基板としてのマザー基板、３１…ノズル、３１ａ…ノズル
が配列する方向としてのノズル配列方向、３６…液滴、３６ａ…着弾位置、５１ａ…周期
間隔、８３…第１描画パターンとしての第１塗布領域、８６…着弾間隔としての第１着弾
間隔、８７…第２描画パターンとしての第２塗布領域、８９…着弾間隔としての第２着弾
間隔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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