(57)【要約】【課題】  プレス成形した反射ミラーにおいて、反射面の歪みにより集光能力が低下する現象を抑えた反射ミラーを提供する。【解決手段】  ショートアーク放電ランプから放射する光を反射する凹面を備えた反射ミラーであって、溶融ガラス塊を碗状にプレス成形を施したガラス基材１１の出射開口部１１ｅの厚みが、出射開口部１１ｅより基部開口部１１ｃに至るガラスの肉厚と略同一となるようプレス成形を行う。  【選択図】図２
2009048956.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ショートアーク放電ランプから放射する光を出射する出射開口部と、
該放電ランプの一部を挿通する基部開口部と、
該放電ランプから放射する光を反射する溶融したガラス塊を碗状にプレス成形を施したガラス基材の内面に反射膜を形成した反射面とを備えた反射ミラーであって、
該ガラス基材の出射開口部の厚みが、出射開口部から基部開口部に至るガラスの厚みと略同一であることを特徴とする反射ミラー。
【請求項２】
前記ガラス基材の内面が、連続した曲面により構成されること特徴とする請求項１に記載の反射ミラー。
【請求項３】
前記ガラス基材の内面が研磨加工された後に、前記基部開口部が設けられることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の反射ミラー。
【請求項４】
前記反射ミラーの少なくとも一部が回転楕円面を含む形状であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の反射ミラー。
【請求項５】
ショートアーク放電ランプから放射する光を出射する出射開口部と、
該放電ランプの一部を挿通する基部開口部と、
該放電ランプから放射する光を反射する溶融したガラス塊を碗状にプレス成形を施したガラス基材の内面に反射膜を形成した反射面とを備えた反射ミラーの製造方法であって、
該ガラス基材をプレスし碗状に成形する工程と、
該碗状に成形されたガラス基材内面の反射面を研磨する工程と、
該反射面を研磨されたガラス基材に、該基部開口部を開口する工程と、
により構成される反射ミラーの製造方法。
【請求項６】
ショートアーク放電ランプから放射する光を反射する反射ミラーを備えた光照射装置であって、
記反射ミラーは、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の反射ミラーであることを特徴とする光照射装置。
【請求項７】
請求項６に記載の光照射装置であって、
前記光照射装置は、光を出射する開口部を備え、
前記開口部はライトガイドを装着可能であり、前記反射ミラーより反射した光は、前記ライトガイドの入射端面に集光することを特徴とする光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ショートアーク放電ランプの光を反射するための反射ミラーに関する。
【背景技術】
【０００２】
水銀キセノンランプ等のショートアークランプより放射する光を光ファイバー束の一方の端面に集光し、光ファイバー束を伝播した光を他方の端面より出射する光照射装置が知られている。
【０００３】
このような光照射装置では、例えば図１１に示すように、ランプより放射した光を光ファイバー束の入射端面に集光するために、回転楕円面を備えた反射ミラーが用いられている。
【０００４】
このような反射ミラーとしては、従来パイレックス（登録商標）など耐熱性の高いガラスを椀状に加工し、その内面を研削加工などにより所定の楕円式に基づく曲面を形成し、研磨加工後、さらに、この曲面に誘電体多層膜を成膜することにより反射面を形成したものが用いられている。
【０００５】
一方、上記した光照射装置以外に反射ミラーを備えた装置としては、液晶プロジェクター等の映像投影装置が知られており、これらの装置に利用される反射ミラーは、一般に溶融したガラス材料を加熱プレスすることにより成形される。
【０００６】
具体的には、胴型と呼ばれる金属製の雌型に溶融したガラス材料を落とし込み、矢型と呼ばれる回転楕円形状の曲面を備えた金属製の雄型を挿入し、ガラス材料が所定の形状となるよう加熱プレスを行うものである。
【０００７】
このような加熱プレスにより得られた反射ミラーを開示した文献としては、特許文献１をあげることができる。
この特許文献１に開示した反射ミラーは、研削加工により製作した反射ミラーと比較すると、製造時間を短くすることができるため製造コストを抑えることができるといった長所があり、上述の映像投影装置では、多く用いられている。
【０００８】
しかしながら、加熱プレスにより成形した反射ミラーは、プレス成形時に発生する歪により、形成された反射面の形状と楕円式による計算値との間に差異が生じ、上述した光ファイバー束を用いた光照射装置に用いた場合には、回転楕円の一方の焦点位置に配置したランプの輝点より放射した光が、反射面で反射した際に所定の方向とは異なる方向に反射し、光ファイバー束の入射端面に到達する光が減少するといった問題があった。
【０００９】
この問題は、特に入射端部の断面積が比較的細い光ファイバー束を用いたときに顕著であり、従来の研削加工により製作した反射ミラーと比較して約１０％の光量低下となる場合があった。
【００１０】
【特許文献１】特開２００４−１２９７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の第１の目的は、ガラスをプレス成形した反射ミラーにおいて、反射面の歪みにより集光能力が低下する現象を抑えた反射ミラーを提供することにある。
また、本発明の第２の目的は、上記の反射ミラーの製造方法を提供することにあり、更に本発明の第３の目的は、上記反射ミラーを用いた光照射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者は、上述の課題を解決すべく鋭意研究した結果、プレス成形時に発生する歪は、反射面となる領域に存在するガラスの量の多寡に依存するものであり、ガラスの量が他の部分と比較して多い部分が存在する場合、ガラスが冷却される際の収縮量の相違により所定の曲面と比較して歪んだ形状となるとの知見を得た。
【００１３】
従って、反射ミラーのガラスの肉厚が均一となるようプレス成形を行うことにより、上記課題を解決し得ることに想到して、本発明を完成させた。
【００１４】
即ち、第１の手段は、ショートアーク放電ランプから放射する光を出射する出射開口部と、該放電ランプの一部を挿通する基部開口部と、該放電ランプから放射する光を反射する溶融したガラス塊を碗状にプレス成形を施したガラス基材の内面に反射膜を形成した反射面とを備えた反射ミラーであって、該ガラス基材の出射開口部の厚みが、出射開口部から基部開口部に至るガラスの厚みと略同一であることを特徴とする反射ミラーを用いることである。
本発明において、ガラス基材とは、溶融ガラス塊にプレス成形を施した状態のガラスを意味する。
また、該ガラス基材の出射開口部の厚みが、出射開口部から基部開口部に至るガラスの厚みと略同一とは、ガラス基材の出射開口部の厚みが、ガラス基材の実質的に大半の光を反射する碗状の形状を呈する領域の厚みと略同一であることを意味する。
このような反射ミラーは、形成された出射開口部付近の反射面の歪が少なく、ショートアーク放電ランプより放射した光を効率よく所定の方向に反射することができる。
【００１５】
次に、第２の手段は、前記ガラス基材の内面が、連続した曲面により構成されることを特徴とする第１の手段に記載の反射ミラーである。
本発明における連続した曲面とは、プレス成形されたガラス基材の内面の曲面がなだらかであり、不連続な凹部や凸部が存在しないことを意味する。
このような反射ミラーは、反射面に歪が発生することが少なく、ショートアーク放電ランプより放射した光を効率よく所定の方向に反射することができる。
【００１６】
次に、第３の手段は、前記ガラス基材の内面が研磨加工された後に、前記基部開口部が設けられることを特徴とする第１の手段又は第２の手段に記載の反射ミラーである。
このような反射ミラーは、基部開口部付近の反射面に研磨ダレによる歪が発生することがなく、ショートアーク放電ランプより放射した光を効率よく所定の方向に反射することができる。
【００１７】
次に、第４の手段は、前記反射ミラーの少なくとも一部が回転楕円面を含む形状であることを特徴とする第１の手段乃至第３の手段のいずれか一項に記載の反射ミラーである。
このような反射ミラーは、反射面に回転楕円面を含んでいるため、一方の焦点位置から放射したショートアーク放電ランプの光を、もう一方の焦点位置に効率よく集光することができる。
【００１８】
次に、第５の手段は、ショートアーク放電ランプから放射する光を出射する出射開口部と、該放電ランプの一部を挿通する基部開口部と、該放電ランプから放射する光を反射する溶融したガラス塊を碗状にプレス成形を施したガラス基材の内面に反射膜を形成した反射面とを備えた反射ミラーの製造方法であって、該ガラス基材をプレスし碗状に成形する工程と、該碗状に成形されたガラス基材内面の反射面を研磨する工程と、該反射面を研磨されたガラス基材に、該基部開口部を開口する工程と、により構成される反射ミラーの製造方法である。
このような製造方法を用いて製造された反射ミラーは、基部開口部付近の反射面に研磨ダレによる歪が発生することがなく、ショートアーク放電ランプより放射した光を効率よく所定の方向に反射することができる。
【００１９】
次に、第６の手段は、ショートアーク放電ランプから放射する光を反射する反射ミラーを備えた光照射装置であって、前記反射ミラーは、第１の手段乃至第４の手段のいずれか一つに記載の反射ミラーであることを特徴とする光照射装置である。
このような光照射装置は、搭載した反射ミラーの反射面に歪がないため、ショートアーク放電ランプより放射した光を効率よく利用することができる。
【００２０】
次に、第７の手段は、第６の手段に記載の光照射装置であって、前記光照射装置は、光を出射する開口部を備え、前記開口部はライトガイドを装着可能であり、前記反射ミラーより反射した光は、前記ライトガイドの入射端面に集光することを特徴とする光照射装置である。
このような光照射装置は、搭載した反射ミラーの反射面に歪がないため、ショートアーク放電ランプより放射した光を効率よくライトガイドの入射端面に集光することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明するが、以下の図面に描かれている各部材の縮尺は理解を助けるため実際の縮尺とは異なるものもある。
【００２２】
＜実施形態１：反射ミラー＞
初めに、本発明の第１の実施形態としてプレス成形により成形された反射ミラーおよびその成形用金属金型について説明する。
【００２３】
図１は、本実施形態の反射ミラー１０の断面形状を示す図である。
図２（ａ）は、本実施形態の反射ミラー１０に用いるプレス成形直後のガラス基材１１の断面形状を示す図である。
図２（ｂ）は、ショートアーク放電ランプを挿入するための基部開口部１１ｃを加工したガラス基材１１の断面形状を示す図である。
図２（ｃ）は、ガラス基材１１を成形するための矢型６１、胴型６２、およびリング型６３からなる金属金型６０の断面図である。
図２（ｃ）において、矢型６１は、S１点を一方の焦点とする回転楕円形状の転写面６１aを備えており、上下方向に往復運動が可能なように設置されている。
【００２４】
胴型６２は、図２（ａ）に示すガラス基材１１の外部形状１１ｈと相補的な形状を備えた金型であり、概ね碗状の転写面６２ａを備えており、矢型６１の下方に矢型６１と同軸に配置されている。
【００２５】
ガラス基材１１をプレス成形する手順としては、図３に示すように、胴型６２に硼珪酸ガラスを約１３００℃に加熱した約１９０ｇの溶融ガラス塊６７を投入し、上方より加熱した矢型６１を押し下げ、矢型６１の回転楕円形状の転写面６１aを溶融ガラス塊６７に転写する。
リング型６３は、ガラス基材１１の出射開口部１１ｅを成形するために用いられる。
【００２６】
プレス後、一定時間経過した時点で矢型６１を引き上げ、更にガラス基材１１が所定の温度に低下した時点で、胴型６２よりガラス基材１１を取り出す。
【００２７】
胴型６２より取り出されたガラス基材１１は、プレス成形により加えられたガラス内部の残留応力を取り除くためのアニール処理が施される。
【００２８】
成形されたガラス基材１１の外形は、出射開口部１１ｅの内径寸法が１００ｍｍ、出射開口部１１ｅから頂部１１ｆまでの高さが５０ｍｍの碗状の形状を呈している。
出射開口部１１ｅから頂部１１ｆに至るガラスの肉厚は、一部を除き約５ｍｍと一定である。
【００２９】
ガラス基材１１は、アニール処理後、研磨工程にて凹面１１ａの光学研磨を行った後、頂部１１ｆにショートアーク放電ランプを挿入するための基部開口部１１ｃの加工を行う。
基部開口部１１ｃの内径寸法は、２５ｍｍであり、ショートアーク放電ランプを挿入できる範囲で、最小の大きさであることが好ましい。
【００３０】
次に、上記の手順で得られたガラス基材１１の光学研磨が施された凹面１１ａに対して、誘電体多層膜を成膜する。
本実施形態における誘電体多層膜は、真空蒸着器を用いてＨｆＯ２とＳｉＯ２からなる薄膜を交互に４０層積層した構造を有しており、３８０ｎｍ以下の紫外線領域の光を反射する分光反射特性を備えている。
【００３１】
このような特定の分光反射特性を備えた誘電体多層膜を成膜するための材料としては、上記のＨｆＯ２、ＳｉＯ２の他にＭｇＦ２、ＴｉＯ２などの材料を適宜選択して用いることができる。
【００３２】
上記の手順で製作された反射ミラー１０は、プレス成形後のガラス基材１１の出射開口部１１ｅの厚みが、出射開口部１１ｅから基部開口部１１ｃに至るガラスの厚みと略同一であり、頂部１１ｆの周辺の一部を除くガラス基材１１全体の厚みは、約５ｍｍと一定であるため、冷却時のガラスの収縮量がガラス基材１１全体にわたり概ね一定となる。
この結果、出射開口部１１ｅ付近での歪の発生が抑えられ、忠実に矢型６１の転写面６１aの回転楕円形状を転写することができる。
【００３３】
また、本実施形態の反射ミラー１０は、上述したように、ガラス基材１１の凹面１１ａの研磨処理を行った後に、頂部１１ｆに基部開口部１１ｃの加工を行っている。
一般に、平面或いは曲面の研磨工程において、研磨面に対して直交する断面が存在する場合、この付近の研磨後の研磨面は、断面に近い位置ほど研磨量が多くなり所謂研磨ダレが発生し、所定の研磨面形状を維持することが困難となる。  
【００３４】
本実施形態の反射ミラー１０は、基部開口部１１ｃを加工する前に、ガラス基材１１の凹面１１ａの研磨処理を行うため、上記の研磨ダレが発生する虞がなく所定の反射面形状を得ることができる。
【００３５】
また、本実施形態の反射ミラー１０では、プレス成形を行うためのリング型６３に、図４（ｂ）に示すような溝部６３ａを設けることができる。
溝部６３ａは、胴型６２に投入される溶融ガラス塊６７の重量はプレス毎に変動するため、リング型６３に設けられた溝部６３ａを溶融ガラス塊６７の逃げ場とすることができる。
【００３６】
溝部６３ａを設けることにより、図４（ａ）に示すようにガラス基材１１の出射開口部１１ｅに連続した凸縁部１１ｇを生じるが、凸縁部１１ｇの容積は小さくまた凹面１１ａとは離れた位置に形成されているため、凹面１１ａへの影響は小さく歪みが発生する虞は少ない。
【００３７】
以下に、ガラス基材の出射開口部のガラスの肉厚を、出射開口部から基部開口部に至るガラスの厚みと同一にすることにより、反射面の歪がどのように改善されるかを比較例１、比較例２の反射ミラーとの比較データを用いて説明する。
【００３８】
（比較例１）
図５は、本実施形態の反射ミラー１０との比較のために用いたプレス成形による反射ミラー２０と、そのガラス基材２１の断面図である。
【００３９】
ガラス基材２１は、上述したガラス基材１１と同一の反射面形状を備えているが、出射開口部２１ｅの断面形状が異なり、出射開口部２１ｅの外側にフランジ部２１ｂを備えている。
このフランジ部２１ｂは、反射ミラー２０を装置に固定する際に用いられる。
このため、プレス成形に使用する成形金型は、図６に示すように、胴型６２の開口部の形状は段部６２ｄを備えた形状となり、リング金型６３は段部６３ｂを備えた形状となる。
【００４０】
なお、ガラス基材２１は、胴型へ投入する溶融ガラス塊の量が段部６２ｄ、６３ｂへ充填される分多くなる点を除き、ガラス基材１１と同一の手順で成形を行った。
【００４１】
次に、出射開口部２１ｅにこのようなフランジ部２１ｂを備えたガラス基材２１と、本実施形態のガラス基材１１の反射面での歪み量を比較するため、出射開口部１１ｅ、２１ｅにおける反射面側の真円度の測定を行い、それぞれの測定値の比較を行った。
【００４２】
図７（ａ）は、ガラス基材１１の真円度を示すグラフであり、図７（ｂ）は、ガラス基材２１の真円度を示すグラフである。
ここで真円度とは、円形形体の幾何学的に正しい円からの狂いの大きさをいい、円形形体を二つの同心の幾何学的円で挟んだとき、同心二円の間隔が最小となる場合の、二円の半径の差で表している。
【００４３】
なお、真円度の測定は、ミツトヨ社製真円度測定機ＲＡ−Ｈ５１００ＡＨ                を用いて行った。
【００４４】
図７（ａ）及び図７（ｂ）において、測定値を実線Ｍで描き、計算上の形状を鎖線Ｃで表している。また、破線Ｌ１および破線Ｌ２は互いに同心であり、破線Ｌ１は実線Ｍに内接し、破線Ｌ２は実線Ｍに外接している。
【００４５】
測定データより、ガラス基材１１の出射開口部１１ｅの真円度は、図７（ａ）の鎖線Ｌ１とＬ２の半径の差を求めた結果、９μmであった。
一方、  ガラス基材２１の出射開口部２１ｅの真円度は、図７（ｂ）の鎖線Ｌ１とＬ２の半径の差を求めた結果、３８μmであった。
【００４６】
以上のように、本実施形態に示したガラス基材１１は、出射開口部にフランジ部２１ｂを備えたガラス基材２１と比較して、プレス成形後の出射開口部１１ｅにおけるガラスの収縮による歪みが生じ難く、出射開口部１１ｅ付近の凹面１１ａの真円度が約４倍向上した。
【００４７】
以上説明したように、ガラス基材１１は凹面１１ａにおける歪が小さく、このガラス基材１１を用いて製作された反射ミラー１０は、ショートアーク放電ランプより放射した光を所定の位置に効率よく集光することができる。
【００４８】
（比較例２）
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、本実施形態の反射ミラー１０との比較のために用いたプレス成形による反射ミラー３０と、そのガラス基材３１の断面図である。
【００４９】
ガラス基材３１は、上述したガラス基材１１と同一の反射面形状を備えているが、ガラス基材１１と相違する点として円筒形の凸部３１ｄを有している。
【００５０】
ガラス基材３１の成形は、図８（ｃ）に示すリング型６３と、転写面６５ａに凸部６５ｂを備えた矢型６５、及び底部に凹部６６ａを備えた胴型６６により行われる。
【００５１】
ガラス基材３１は、胴型６６へ投入する溶融ガラス塊の量がガラス基材３１の凸部３１ｄへ充填される分多くなる点を除き、ガラス基材１１と同一の手順で成形を行った。
【００５２】
この凸部３１ｄは、ガラス基材３１をプレス成形後、破線Ａの位置で切断される。
この結果、ガラス基材３１の頂部には開口が発現し、ショートアーク放電ランプを挿入するための基部開口部３１ｃとして用いられる。
【００５３】
次に、凸部３１ｄを備えたガラス基材３１と、本実施形態のガラス基材１１の反射面での歪み量を比較するため、反射面における設計上の回転楕円形状に対する偏差の測定を行い、それぞれの測定値の比較を行った。
【００５４】
図９（ａ）および図９（ｂ）は、図２（ｂ）に示す本実施形態のガラス基材１１と、ガラス基材３１の反射面形状を測定し、設計上の回転楕円との差を示した図である。
なお、反射面の形状測定は、ミツトヨ社製三次元測定器Ｂｒｉｇｈｔ  Ａｐｅｘ（登録商標）７０７を用いて行った。
【００５５】
図９（ａ）は、ガラス基材１１の反射面形状（破線）と、計算上の形状（実線）とを表したものであり、実際に求めた値に一定の係数を掛けて強調して表している。
測定の結果、ガラス基材１１の楕円式との偏差は、最大で４０μmであった。
【００５６】
一方、図９（ｂ）は、図９（ａ）と同様の描き方でガラス基材３１の反射面形状（破線）と、計算上の形状（実線）とを表したものである。
測定の結果、ガラス基材３１の楕円式との偏差は、最大で８２μmであった。
【００５７】
以上のように、本実施形態に示した出射開口部１１ｅから頂部１１ｆに至る範囲において連続した曲面からなる凹面１１ａを備えるガラス基材１１は、凸部３１ｄを備えたガラス基材３１と比較して、プレス成形後の頂部１１ｆ付近或いは出射開口部１１ｅにおけるガラスの収縮による歪みが生じ難く、所望する回転楕円形状により近付けることができる。
【００５８】
また、本実施形態に示した反射ミラー１０は、ガラス基材１１の凹面１１ａに研磨処理を行った後に基部開口部１１ｃの加工を行うため、基部開口部１１ｃ付近の研磨ダレが発生しない。
【００５９】
一方、反射ミラー３０では、ガラス基材３１をプレス成形した時点で、基部開口部３１ｃが存在しているため、その後凹面３１ａの研磨処理を行った際に、基部開口部３１ｃ付近に研磨ダレが発生する。
この研磨ダレは、図９（ｂ）に描かれた実測した反射面形状にも領域Ｄとして表れているが、図９（ａ）に描かれた反射ミラー１０の実測した反射面形状には表れていない。
【００６０】
以上説明したように、ガラス基材１１は凹面１１ａにおける歪が小さく、このガラス基材１１を用いて製作された反射ミラー１０は、ショートアーク放電ランプより放射した光を所定の位置に効率よく集光することができる。
【００６１】
（比較例３）
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、本実施形態の反射ミラー１０との比較のために示したプレス成形による反射ミラー４０と、そのガラス基材４１の断面図である。
ガラス基材４１は、比較例２のガラス基材３１と同一の反射面形状および凸部４１ｄを備え、更に出射開口部にフランジ部４１ｂを備えている。
【００６２】
このような形状を備えた反射ミラー４０は、反射ミラー２０の出射開口部付近の歪みに反射ミラー３０の基部開口部３１ｃ付近の歪みが加わった形状となる。
比較例３のガラス基材４１及び反射ミラー４０の反射面での歪みを参考例１、２と同様の方法で測定した結果、真円度は３６μmであり、楕円式との偏差は最大で７８μmであった。
【００６３】
＜実施形態２：光照射装置＞
次に、本発明の第２の実施形態として、第１の実施形態に示した反射ミラー１０を備えた光照射装置について説明する。
【００６４】
図１１は、反射ミラー１０を備えた光照射装置１００の構成を示す光の出射方向に沿った垂直断面図である。
【００６５】
本実施形態の光照射装置１００は、図１１に示すように、上述した反射ミラー１０を有する光源部１１０と、反射ミラー１０により集光された光を外部の被照射物へ導くための光伝達部１２０とにより構成される。
【００６６】
光源部１１０は、反射ミラー１０の他、ショートアーク放電ランプ１１１、ショートアーク放電ランプ１１１へ印加電圧を供給するための電源１１２、反射ミラー１０で集光した光の照射範囲が光伝達部１２０の入射端１２０ａに対して最適な位置となるようにショートアーク放電ランプ１１１の位置を調整するための光軸調整手段１１４、およびショートアーク放電ランプ１１１を冷却するためのファンモータ１１５とを有し、これらをランプハウス１１６に収納している。
【００６７】
本実施例のショートアーク放電ランプ１１１は、超高圧水銀ランプであり、内部に一対の電極１１１ａおよび１１１ｂを有し、この一対の電極に挟まれた領域に放電空間１１１ｃを形成している。
【００６８】
一対の電極１１１ａおよび１１１ｂは、ショートアーク放電ランプ１１１の長手方向の両端にある口金１１１ｄ、１１１ｅに、電気的に接続されている。
この口金１１１ｄ、１１１ｅに、ケーブル１１７ａ、１１７ｂを経て電源１１２より電力を供給することにより、ショートアーク放電ランプ１１１は、放電空間１１１ｃより紫外線を含む光を放射する。
【００６９】
ショートアーク放電ランプ１１１は、予め光軸調整手段１１４によって、放電空間１１１ｃの位置が、前記回転楕円体からなる反射ミラー１０の第１の焦点位置Ｆ１となるように、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各方向に調節されている。
【００７０】
この結果、放電空間１１１ｃより放射した光は、反射ミラー１０の反射面１０ａで反射された後、反射ミラー１０の第２の焦点位置Ｆ２に集光される。
【００７１】
一方、ランプハウス１１６には、前記第２の焦点位置Ｆ２に集光された光を取り出すための光出射口１１６ａが設けられており、光出射口１１６ａには、その内部に貫通孔１１８ａを有する保持部材１１８を備えている。
【００７２】
この保持部材１１８は、貫通孔１１８ａに光伝達部１２０が挿入され、光伝達部１２０の入射端１２０ａが、前述した反射ミラー１０の第２の焦点位置Ｆ２と合致するように位置が調整され、ランプハウス１１６に固定されている。
【００７３】
光伝達部１２０は、外径２００μｍの石英ガラスファイバ素線を約５００本束ねた導光ファイバ束１２１と、この光ファイバ束１２１を収納して、保護するためのフレキシブルな金属管１２２と、入射端金具１２４及び出射端金具１２５とが取り付けられている。
【００７４】
本実施形態の光照射装置１００は、上述した第一の実施形態の反射ミラー１０を備えているため、ショートアーク放電ランプ１１１より放射した光を効率よく光伝達部１２０の入射端１２０ａに集光することができる。
【００７５】
本実施形態の光源装置１００の光伝達部１２０から放射する波長３６５ｎｍの紫外線強度の測定値を行った結果、第１の実施形態で説明した反射ミラー１０を搭載した際の紫外線強度は４２５０ｍＷ／ｃｍ２であり、図１０（ａ）に示す反射ミラー４０を搭載した際の紫外線強度３８５０ｍＷ／ｃｍ２と比較して１０％以上強い紫外線強度が得られた。
なお、紫外線強度の測定は、図１１に示す光伝達部１２０の出射端１２０ｂより１０ｍｍ離れた位置にウシオ電機社製紫外線受光器ＵＶＤ−Ｓ３６５を配置して行った。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明では、ショートアーク放電ランプから放射する光を反射する反射ミラーにおいて、反射ミラーの反射面の歪みを抑えることが可能であるため、反射する光を所定の方向に効率よく反射することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の第１の実施形態の反射ミラー１０の断面図である。
【図２】（ａ）は、反射ミラー１０に用いるガラス基材１１の断面図である。  （ｂ）は、基部開口部が加工されたガラス基材１１の断面図である。  （ｃ）は、ガラス基材１１をプレス成形するための金属金型の断面図である。
【図３】ガラス基材１１をプレス成形する手順を説明するための図である。
【図４】（ａ）は、ガラス基材１１の変形例を示す断面図である。  （ｂ）は、金属金型６０の変形例を示す断面図である。
【図５】（ａ）は、参考例１の反射ミラー２０を示す断面図である。  （ｂ）は、反射ミラー２０に用いるガラス基材２１の断面図である。
【図６】ガラス基材２１をプレス成形するための金属金型の断面図である。
【図７】（ａ）は、ガラス基材１１の真円度を示す図である。  （ｂ）は、ガラス基材２１の真円度を示す図である。
【図８】（ａ）は、参考例２の反射ミラー３０の断面図である。  （ｂ）は、反射ミラー３０に用いるガラス基材３１の断面図である。  （ｃ）は、ガラス基材３１をプレス成形するための金属金型の断面図である。
【図９】（ａ）は、ガラス基材１１の楕円式との偏差を示す図である。  （ｂ）は、ガラス基材３１の楕円式との偏差を示す図である。
【図１０】（ａ）は、参考例３の反射ミラー４０の断面図である。  （ｂ）は、反射ミラー４０に用いるガラス基材４１の断面図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態である光照射装置１００の構成を示す光の出射方向に沿った垂直断面図である。
【符号の説明】
【００７８】
１０、２０、３０、４０          反射ミラー
１１、２１、３１、４１          ガラス基材
１１ａ、２１ａ、３１ａ、４１ａ  凹面    
２１ｂ、４１ｂ                  フランジ部
１１ｃ、２１ｃ、３１ｃ、４１ｃ  基部開口部
３１ｄ、４１ｄ                  凸部
１１ｅ、２１ｅ、３１ｅ、４１ｅ  出射開口部
１１ｆ                          頂部
１１ｇ                          凸縁部
１１ｈ                          外部形状
６０                            金属金型
６１、６５                      矢型
６２、６６                      胴型
６３                            リング型
６７                            溶融ガラス塊
１００                          光照射装置
１１０                          光源部
１１１                          ショートアーク放電ランプ
１１２                          電源
１１４                          光軸調整手段
１１５                          ファンモータ
１１６                          ランプハウス
１１８                          保持部材
１２０                          光伝達部
１２１                          光ファイバ束
１２２                          金属管
１２４                          入射端金具
１２５                          出射端金具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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