(57)【要約】【課題】高速記録に適した大容量の光情報記録媒体を提供することを目的とする。【解決手段】基板上に記録層及び反射層を有し、前記記録層にレーザ光が照射されることにより情報が記録される光情報記録媒体であって、前記反射層は、前記光情報記録媒体の内周側の領域よりも、外周側の領域の方が、膜厚が厚いことを特徴とする。【選択図】図７
2009070460.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に記録層及び反射層を有し、前記記録層にレーザ光が照射されることにより情報が記録される光情報記録媒体であって、
前記反射層は、前記光情報記録媒体の内周側の領域よりも、外周側の領域の方が、膜厚が厚いことを特徴とする光情報記録媒体。
【請求項２】
前記反射層は、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌのいずれか一つを主成分とする材料を有することを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体。
【請求項３】
前記反射層は、膜厚が３０ｎｍ〜１５０ｎｍであることを特徴とする請求項１又は２記載の光情報記録媒体。
【請求項４】
前記記録層は、無機材料からなることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項記載の光情報記録媒体。
【請求項５】
前記記録層は、膜厚が５ｎｍ〜３０ｎｍであることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項記載の光情報記録媒体。
【請求項６】
前記レーザ光の波長が４００ｎｍ帯であることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項記載の光情報記録媒体。
【請求項７】
前記記録層に情報が記録される際の、前記光情報記録媒体の最内周部における線速度がＢＤ規格における４倍速に相当する線速度以上である事を特徴とする請求項１乃至６の何れか一項記載の光情報記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光で記録可能な光情報記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報のデジタル化・マルチメディア化が急速に進んでおり、より大容量の情報を高速に記録・再生可能な記録媒体の需要が高まっている。特に再生専用メモリであるＤＶＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭとの再生互換を確保しつつ、記録が可能であるＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋Ｒ、ＤＶＤ＋ＲＷ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷに代表される記録型光情報記録媒体は、汎用性が高く利便性に優れているため需要が拡大している。最近では、更に大容量の記録を達成するために、波長４０５ｎｍの青色レーザを用いたシステムであるブルーレイディスク（ＢＤ）やＨＤ  ＤＶＤも其々、ＲＯＭ、追記型、書き換え型の光情報記録媒体に関して実用化されている。これらの光情報記録媒体は大容量（例えば、２５ＧＢ）であり、記録に時間がかかるため、記録時間を短縮すべく、記録速度の高速化が要求されている。
【０００３】
記録速度の高速化の要求に伴って、高速記録に適した光情報記録媒体が検討されているが、記録時間の短縮の為には、ＣＡＶ（Ｃｏｎｓｔａｎｔ Ａｎｇｕｌａｒ Ｖｅｌｏｃｉｔｙ：回転角一定）方式や、内周部から一定の区間はＣＡＶ方式で、それ以降の区間はＣＬＶ（Ｃｏｎｓｔａｎｔ Ｌｉｎｅａｒ Ｖｅｌｏｃｉｔｙ：線速度一定）方式であるＰＣＡＶ（パーシャルＣＡＶ）方式で記録する事に適した光情報記録媒体であることが望ましい。スピンドルモータの最大回転数が同じであれば、ＣＡＶ方式やＰＣＡＶ方式で記録する方がＣＬＶ方式で記録する場合に比べて外周部における記録速度が速くなるため、記録に必要な時間が短縮されるからである。なお、ＣＡＶ方式で記録する場合は、内周から外周に向けてリニアに変化する線速度に合わせて記録条件を最適化する必要がある。
【０００４】
一般的な光情報記録媒体では特定の記録線速度において記録時のレーザパワーと記録パルスの形状が最適化されており、記録線速度が変わると記録マークの状態が変化してジッタ特性が悪化する。特にＣＤやＤＶＤに比べて、より微細な記録マークを形成する青色レーザ対応の大容量光情報記録媒体では、良好な記録特性を確保することが難しい事は明らかである。
【０００５】
又、従来のＣＤやＤＶＤなどの比較的容量の小さい光情報記録媒体においては、記録時のパワーマージン（記録時のレーザパワーと記録後のジッタ値などとの関係）が十分に確保されていたため、高線速度で記録しても、ジッタ値などに設けられている所定の基準値を十分に満足することができた。しかし、ブルーレイディスク（ＢＤ）やＨＤ  ＤＶＤなどの大容量の光情報記録媒体では、記録時のパワーマージンを十分に確保することが難しいため、高線速度で記録することは困難である。従って、より広いパワーマージンを確保できる大容量の光情報記録媒体が求められている。
【０００６】
高速記録により記録時間の短縮が可能なＣＡＶ記録やＰＣＡＶ記録に適した光情報記録媒体としては、光情報記録媒体の半径位置毎に記録層の膜厚分布を変化させる光情報記録媒体が提案されている（例えば、特許文献１、２参照）。又、上部保護層の膜厚分布を変化させる光情報記録媒体が提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平１０−０２１５８０号公報
【特許文献２】特開平０６−３０２０１３号公報
【特許文献３】特開２００１−２８３４６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＣＤ−ＲやＤＶＤ−Ｒなどの従来の比較的記録容量の小さい光情報記録媒体においては、記録層に色素を用いており、記録層の膜厚が４０〜１００ｎｍ程度と非常に厚いため、記録特性を変化させずに半径位置毎に膜厚分布を変化させることで高速記録に適した光情報記録媒体を実現することは十分可能であった。又、ＣＤ−ＲやＤＶＤ−Ｒなどの従来の比較的記録容量の小さい光情報記録媒体の上部保護層の膜厚は４０ｎｍ〜１４０ｎｍと非常に厚いため、記録特性を変化させずに半径位置毎に膜厚分布を変化させることで高速記録に適した光情報記録媒体を実現することは十分可能であった。
【０００８】
しかしながら、例えば、ブルーレイディスク（ＢＤ）やＨＤ  ＤＶＤなどの青色レーザ対応の大容量光情報記録媒体においては、無機記録層材料からなる記録層の膜厚は５〜３０ｎｍ程度と薄く、又、上部保護層の膜厚も５〜３０ｎｍ程度と薄いため、記録層や上部保護層の膜厚分布を半径位置毎に変化させると、膜厚に対する記録特性の変動が非常に大きくなり、半径位置毎に膜厚分布を変化させることで高速記録に適した光情報記録媒体を実現することは困難であるという問題があった。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、高速記録に適した大容量の光情報記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、第１の発明は、基板上に記録層及び反射層を有し、前記記録層にレーザ光が照射されることにより情報が記録される光情報記録媒体であって、前記反射層は、前記光情報記録媒体の内周側の領域よりも、外周側の領域の方が、膜厚が厚いことを特徴とする。
【００１１】
第２の発明は、第１の発明に係る光情報記録媒体において、前記反射層は、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌのいずれか一つを主成分とする材料を有することを特徴とする。
【００１２】
第３の発明は、第１又は第２の発明に係る光情報記録媒体において、前記反射層は、膜厚が３０ｎｍ〜１５０ｎｍであることを特徴とする。
【００１３】
第４の発明は、第１乃至第３の何れか一に記載の発明に係る光情報記録媒体において、前記記録層は、無機材料からなることを特徴とする。
【００１４】
第５の発明は、第１乃至第４の何れか一に記載の発明に係る光情報記録媒体において、前記記録層は、膜厚が５ｎｍ〜３０ｎｍであることを特徴とする。
【００１５】
第６の発明は、第１乃至第５の何れか一に記載の発明に係る光情報記録媒体において、前記レーザ光の波長が４００ｎｍ帯であることを特徴とする。
【００１６】
第７の発明は、第１乃至第６の何れか一に記載の発明に係る光情報記録媒体において、前記記録層に情報が記録される際の、前記光情報記録媒体の最内周部における線速度がＢＤ規格における４倍速に相当する線速度以上である事を特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、高速記録に適した大容量の光情報記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態の説明を行う。
【００１９】
最初に、本発明に係る光情報記録媒体に適用される記録方式について説明する。
【００２０】
図１はＣＬＶ方式における回転数、記録線速度、クロック周波数を例示する図である。又、図２はＣＡＶ方式における回転数、記録線速度、クロック周波数を例示する図である。図１及び図２において、（ａ）は内周から外周にかけての回転数の変化、（ｂ）は内周から外周にかけての記録線速度の変化、（ｃ）は内周から外周にかけてのクロック周波数の変化を示している。なお、周知のように、光情報記録媒体の中心部には、光情報記録媒体をスピンドルモータに取り付けるためのセンタホールが設けられている。ここでは、センタホールに近い領域を内周といい、センタホールから遠い領域を外周という。
【００２１】
図１に示すＣＬＶ方式では、光情報記録媒体の回転速度を、トラック半径に反比例した回転数になるように制御して、トラック方向の記録線速度が一定になるようにしている。又、一定のクロック周波数に合わせて情報の記録を行なうため、内周から外周にかけて回転数を変化させる必要がある。その結果、光情報記録媒体を回転駆動するスピンドルモータを変速させる為に大きな回転トルクが必要となり、高コストで消費電力の大きいモータが必要になる。
【００２２】
又、例えばノートパソコン等に組み込むスリムタイプの情報記録装置の場合は、小型のスピンドルモータを用いる必要があり、回転数が制限されるため、ＣＬＶ方式では外周部の記録線速度を十分に上げることが出来ないことや、シーク時にスピンドルモータの変速を伴うことによってアクセス時間が長くなることが問題になる。
【００２３】
一方、図２に示すＣＡＶ方式では、回転数を一定とし、記録時のクロック周波数をトラックの半径位置に比例させて内周から外周にかけて大きくして情報を記録する。この場合、記録線速度は内周側で小さく、外周側で大きくなるが、記録線密度は一定である為、ＣＬＶ方式と比べてスピンドルモータを変速させる必要がなくなり、小さな回転トルクのモータを使うことが出き、シーク時のアクセス時間を短くできるというメリットがある。
【００２４】
図３はＰＣＡＶ方式における回転数、記録線速度、クロック周波数を例示する図である。図３において、（ａ）は内周から外周にかけての回転数の変化、（ｂ）は内周から外周にかけての記録線速度の変化、（ｃ）は内周から外周にかけてのクロック周波数の変化を示している。ＰＣＡＶ方式とは、内周からある半径位置まではＣＡＶ方式で記録し、それ以降はＣＬＶ方式で記録する方式である。
【００２５】
スピンドルモータの最大回転数が同じであれば、ＣＡＶ方式やＰＣＡＶ方式で記録する方がＣＬＶ方式で記録する場合に比べて外周部における記録速度が速くなるため、記録に必要な時間が短縮される。従って、高速記録を実現するためには、ＣＡＶ方式やＰＣＡＶ方式で記録する事に適した光情報記録媒体であることが望ましい。
【００２６】
本発明に係る光情報記録媒体は、内周側よりも外周側の記録線速度が速くなるＣＡＶ方式やＰＣＡＶ方式を用いた記録に好適である。本発明に係る光情報記録媒体は、少なくとも下記（ａ）又は（ｂ）のような構成を含むものが好ましいが、これに限定される訳ではない。
（ａ）基板／下部保護層／記録層／上部保護層／反射層
（ｂ）カバー層／下部保護層／記録層／上部保護層／反射層／基板
更に、上記構成を基本として、多層化した構造でも構わない。なお、光情報記録媒体の両面に基板と保護基板を設けた構造とすることもできる。
【００２７】
図４は本発明に係る光情報記録媒体２０の一例を示す図である。図４（ａ）は本発明に係る光情報記録媒体２０の外観の一例を示す模式図であり、図４（ｂ）は本発明に係る光情報記録媒体２０に適用し得る層構成の一例を示す概略断面図である。光情報記録媒体２０は、基板１６上に、反射層１５、上部保護層１４、記録層１３、下部保護層１２、カバー層１１が順次積層形成されている。又、１７はレーザ光が照射させる方向を示している。以下に図４に示す光情報記録媒体２０の各層について説明する。
〔基板〕
基板１６の素材としては、熱的、機械的に優れた特性を有し、基板１６側から（基板１６を通して）記録・再生が行われる場合には光透過特性にも優れたものであれば特別な制限はない。具体例としては、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、非晶質ポリオレフィン、セルロースアセテート、ポリエチレンテレフタレートなどが挙げられるが、ポリカーボネートや非晶質ポリオレフィンが好ましい。なお、基板１６の厚さは用途により異なり、特に制限はない。基板１６の表面に、トラッキング用の案内溝や案内ピット、更にアドレス信号等のプレフォーマットが形成されていてもよい。
〔保護基板〕
保護基板（図示せず）は、この保護基板側からレーザ光を照射する場合には使用レーザ光に対し透明でなくてはならない。一方、単なる保護板として用いる場合には透明性は問わない。使用可能な保護基板材料は、前記の基板材料と全く同じである。
〔記録層〕
記録層１３の材料としては、有機材料、無機材料を問わないが、記録を行うレーザ波長帯域に吸収を持ち、記録によって物理的、光学的、状態等の変化が起こって記録マークが形成され、再生光や高温高湿での保存条件下で安定である事が必要である。又、記録層１３は２層以上積層してもよい。
【００２８】
青色レーザで高速記録を行う上では、無機記録材料の方が好ましい。無機記録材料は、有機記録材料と比較して、より低い温度で記録マークが形成できるため、レーザパワーを低めに設定でき、高速化に適しているからである。また、記録特性を考慮すると、無機記録層の好ましい膜厚は５〜３０ｎｍである。なお、膜厚は、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）により測定することができる（以下、記録層以外の膜厚に関しても同様）。
【００２９】
無機材料の中でも本出願人らは特に酸化ビスマスを主成分として含むことが好ましい事を見いだしており、酸化ビスマスを主成分として含有する記録層１３としては、例えば、スパッタリング法により、Ｂｉ２Ｏｘをターゲット組成として形成されるＢｉＯ系薄膜、Ｂｉ３Ｆｅ５Ｏｘをターゲット組成として形成されるＢｉＦｅＯ、Ｂｉ２ＢＯｘをターゲット組成として形成されるＢｉＢＯ、Ｂｉ３ＡｌＯｘをターゲット組成として形成されるＢｉＡｌＯ系薄膜、Ｂｉ２ＢＧｅＯｘをターゲット組成として形成されるＢｉＢＧｅＯなどが挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【００３０】
酸化ビスマスを主成分として含有する記録層１３の具体例としては、本出願人が先に提案した特開２００５−１０８３９６号公報、特開２００５−１６１８３１号公報に記載の下記ＲＯ膜（ただし、ＲはＢｉ元素）が挙げられる。
（１）：酸化ビスマスからなるＲＯ膜
（２）：ビスマスと酸化ビスマスを含有するＲＯ膜
（３）：上記ＲがＢｉであると共に４Ｂ族の中から選ばれる一種以上の元素を含有し、その組成をＢｉａ４ＢｂＯｄ（４Ｂは４Ｂ族の元素、ａ、ｂ、ｄは組成比）としたとき、次の条件を満足する酸化ビスマスを含有するＲＯ膜
１０≦ａ≦４０、３≦ｂ≦２０、５０≦ｄ≦７０
（４）：Ａｌ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｉｎ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｚｎ及びＴｉの中から選ばれる一種以上の元素Ｍを含有し、その組成をＢｉａ４ＢｂＭｃＯｄ（４Ｂは４Ｂ族の元素、ａ、ｂ、ｃ、ｄは組成比）としたとき、次の条件を満足する酸化ビスマスを含有するＲＯ膜
１０≦ａ≦４０、３≦ｂ≦２０、３≦ｃ≦２０、５０≦ｄ≦７０
上記（３）、（４）の４Ｂ族の元素としては、例えば、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｐｂなどが挙げられるが、ＳｉとＧｅが特に好ましい。
【００３１】
上記ビスマス酸化物は、青色レーザ対応の記録層材料として非常に有効であり、熱伝導率が低く、耐久性が良好であり、高反射率化や高透過率化が実現しやすい（複素屈折率に起因する）という特徴がある。特に、Ｂｉａ４ＢｂＯｄあるいはＢｉａ４ＢｂＭｃＯｄを記録層に用いることにより、記録再生特性や保存安定特性を向上させることができる。
〔下部保護層及び上部保護層〕
下部保護層１２及び上部保護層１４には、Ｎｂ２Ｏ５、Ｓｍ２Ｏ３、Ｃｅ２Ｏ３、Ａｌ２Ｏ３、ＭｇＯ、ＢｅＯ、ＺｒＯ２、ＵＯ２、ＴｈＯ２などの単純酸化物系の酸化物；ＳｉＯ２、２ＭｇＯ・ＳｉＯ２、ＭｇＯ・ＳｉＯ２、ＣａＯ・ＳｉＯ２、ＺｒＯ２・ＳｉＯ２、３Ａｌ２Ｏ３・２ＳｉＯ２、２ＭｇＯ・２Ａｌ２Ｏ３・５ＳｉＯ２、Ｌｉ２Ｏ・Ａｌ２Ｏ３・４ＳｉＯ２などのケイ酸塩系の酸化物；Ａｌ２ＴｉＯ５、ＭｇＡｌ２Ｏ４、Ｃａ１０（ＰＯ４）６（ＯＨ）２、ＢａＴｉＯ３、ＬｉＮｂＯ３、ＰＺＴ〔Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３〕、ＰＬＺＴ〔（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３〕、フェライトなどの複酸化物系の酸化物；Ｓｉ３Ｎ４、ＡｌＮ、ＢＮ、ＴｉＮなどの窒化物系の非酸化物；ＳｉＣ、Ｂ４Ｃ、ＴｉＣ、ＷＣなどの炭化物系の非酸化物；ＬａＢ６、ＴｉＢ２、ＺｒＢ２などのホウ化物系の非酸化物；ＺｎＳ、ＣｄＳ、ＭｏＳ２などの硫化物系の非酸化物；ＭｏＳｉ２などのケイ化物系の非酸化物；アモルファス炭素、黒鉛、ダイアモンド等の炭素系の非酸化物等を用いることが可能である。あるいは、ＺｎＳ・ＳｉＯ２などの非酸化物と酸化物との混合系を用いることが可能である。
【００３２】
又、色素や樹脂などの有機材料を使用することも可能である。色素としては、ポリメチン系、ナフタロシアニン系、フタロシアニン系、スクアリリウム系、クロコニウム系、ピリリウム系、ナフトキノン系、アントラキノン（インダンスレン）系、キサンテン系、トリフェニルメタン系、アズレン系、テトラヒドロコリン系、フェナンスレン系、トリフェノチアジン系、アゾ系、ホルマザン系各色素、及びこれらの金属錯体化合物などが挙げられる。
【００３３】
樹脂としては、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ニトロセルロース、酢酸セルロース、ケトン樹脂、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ウレタン樹脂、ポリビニルブチラール、ポリカーボネート、ポリオレフィン等を単独で又は２種以上混合して用いることができる。
【００３４】
有機材料層の形成は、蒸着、スパッタリング、ＣＶＤ、溶剤塗布などの通常の手段によって行なうことができる。
【００３５】
塗布法を用いる場合には、上記有機材料などを有機溶剤に溶解し、スプレー、ローラーコーティング、ディッピング、スピンコーティングなどの慣用のコーティング法で行なうことができる。用いられる有機溶剤としては、一般にメタノール、エタノール、イソプロパノールなどのアルコール類；アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類；Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドなどのアミド類；ジメチルスルホキシドなどのスルホキシド類；テトラヒドロフラン、ジオキサン、ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルなどのエーテル類；酢酸メチル、酢酸エチルなどのエステル類；クロロホルム、塩化メチレン、ジクロルエタン、四塩化炭素、トリクロルエタンなどの脂肪族ハロゲン化炭素類；ベンゼン、キシレン、モノクロルベンゼン、ジクロルベンゼンなどの芳香族類；メトキシエタノール、エトキシエタノールなどのセロソルブ類；ヘキサン、ペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサンなどの炭化水素類などが挙げられる。下部保護層１２の好ましい膜厚は、５〜１５０ｎｍである。又、上部保護層１４の好ましい膜厚は、５〜３０ｎｍである。
〔反射層〕
反射層１５には、レーザ光に対する反射率が高い光反射性物質が使用される。このような光反射性物質としては、例えば、Ａｌ、Ａｌ−Ｔｉ、Ａｇ、Ａｇ−Ｂｉ、Ａｇ−Ｎｄ、Ａｇ−Ｎｄ−Ｃｕ、Ｃｕ等の金属、半金属、及び合金を挙げることができる。これらの物質は単独で用いても二種以上を組合せて用いてもよい。
【００３６】
合金により反射層１５を形成する場合には、合金をターゲット材料としたスパッタリング法で作製することができるが、これ以外に、チップオンターゲット方式（例えば、Ａｇターゲット上にＣｕチップを乗せて成膜）、共スパッタ法（例えば、ＡｇターゲットとＣｕターゲットを使用）によっても作製することができる。又、金属以外の材料を用いて低屈折率層と高屈折率層を交互に積み重ねて多層膜を形成し、反射層１５として用いることも可能である。反射層１５を形成する方法としては、例えば、スパッタリング法、イオンプレーティング法、化学蒸着法、真空蒸着法等が挙げられる。反射層１５の好ましい膜厚は、後述するように３０〜１５０ｎｍである。
【００３７】
なお、反射層１５は、記録再生時の光を反射して光の利用効率を高めると共に、記録時に発生した熱を逃がす放熱層の役割も担う。又、周知のように、反射層１５の膜厚が厚くなると記録感度が下がる。
〔保護層、カバー層、オーバーコート層〕
反射層１５や光透過層等の上に形成する保護層（図示せず）、カバー層１１、オーバーコート層（図示せず）の材料としては、反射層１５や光透過層等を外力から保護するものであれば特に限定されず、種々の有機材料や無機材料が用いられる。有機材料としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、電子線硬化性樹脂、ＵＶ硬化性樹脂等が挙げられる。又、無機材料としては、ＳｉＯ２、Ｓｉ３Ｎ４、ＭｇＦ２、ＳｎＯ２等が挙げられる。
【００３８】
熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂を用いて保護層、カバー層１１、オーバーコート層を形成する場合には、これらの樹脂を適当な溶剤に溶解し塗布液として塗布した後、乾燥することによって形成することができる。紫外線硬化性樹脂は、樹脂原料をそのままか、あるいは適当な溶剤に溶解した塗布液を塗布した後、紫外線を照射して硬化させることによって形成することができる。
【００３９】
紫外線硬化性樹脂としては、例えば、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレートなどのアクリレート系樹脂を用いることができる。これらの材料は単独で用いても混合して用いてもよいし、１層だけでなく多層膜にして用いてもよい。保護層の形成方法としては、記録層１３と同様にスピンコート法やキャスト法等の塗布法、スパッタリング法、化学蒸着法等が用いられるが、中でもスピンコート法が好ましい。
【００４０】
保護層の膜厚は、一般に０．１〜１００μｍの範囲であるが、本発明においては、３〜３０μｍが好ましい。又、反射層１５あるいは光透過層面に更に基板を貼り合わせてもよく、反射層１５や光透過層面相互を内面として対向させ、光情報記録媒体２枚を貼り合わせた構成としてもよい。基板鏡面側に、表面保護やゴミ等の付着防止のために紫外線硬化樹脂層や無機系層等を成膜してもよい。
〔接着層〕
接着層（図示せず）は、光情報記録媒体の構成層、例えば、オーバーコート層とダミー基板、反射層１５と記録層１３などの接着の役割を担うものであり、光情報記録媒体として要求される特性に障害を与えない材料であれば特に制約はないが、生産性を考えると紫外線硬化型接着剤から構成されるものが好ましい。
【００４１】
次に、反射層膜厚と記録特性の関係について説明する。図５は２種類の記録線速度で記録した場合における反射層膜厚と記録特性の関係を例示する図である。図５は、反射層膜厚が５５ｎｍ（内週から外周まで膜厚は一定）である光情報記録媒体と、反射層膜厚が８０ｎｍ（内週から外周まで膜厚は一定）である光情報記録媒体とを準備し、それぞれの光情報記録媒体に、４倍速で記録した場合（４×記録）と８倍速で記録した場合（８×記録）の記録パワーとジッタとの関係を示している。
【００４２】
図５において、高線速記録（８×記録）では、反射層膜厚が５５ｎｍの場合よりも、反射層膜厚が８０ｎｍの場合の方が、パワーマージンが広くなっている。これは、高線速記録（８×記録）では、記録パワーを上げて記録するため、記録マークが広がりやすくなっており、反射層を厚くして熱を逃がしやすくする事で記録マークのばらつきを抑えられるためと考えられる。その結果、記録マークのばらつきであるジッタ値が下がり、結果としてパワーマージンが広がる。
【００４３】
一方、低線速記録（４×記録）では、反射層膜厚が５５ｎｍの場合よりも、反射層膜厚が８０ｎｍの場合の方が、パワーマージンが狭くなっている。これは、低線速記録（４×記録）では、比較的低い記録パワーで記録できる為、必要以上に反射層を厚くする必要はなく、逆に必要以上に反射層を厚くすると、反射率が上がってしまい記録感度が下がり、記録特性が悪化してパワーマージンが狭くなるためと考えられる。
【００４４】
この結果から、各記録線速度（４×記録、８×記録）には、パワーマージンが最大になる最適な反射層膜厚が存在し、低線速記録（４×記録）の場合の最適な反射層膜厚よりも、高線速記録（８×記録）の場合の最適な反射層膜厚の方が、厚いことが予想できる。これに関しては、実施例のところで、更に詳しく述べる。
【００４５】
ここで、パワーマージンとは、記録パワーをＰｗ、最適記録パワーをＰｗｏとした際に、基準となるジッタ値（ここでは７．０％とする）以下となるＰｗ／Ｐｗｏの範囲をいう。図６はパワーマージンについて説明をするための図であるが、例えば図６において、ジッタ値が基準値である７．０％以下となるＰｗ／Ｐｗｏの範囲は−８％から＋１８％であるから、パワーマージンは−８％から＋１８％となる。パワーマージンの範囲が広いほど、記録時に記録パワーがずれた時も良好な記録品質を得ることができるので、パワーマージンを比較することで記録品質の指標とすることができる。
【００４６】
ここで、ＣＡＶ方式又はＰＣＡＶ方式で記録する場合には、図２及び図３に示すように、内周側よりも外周側の方が記録時の線速度が速くなるので、前述の結果より、光情報記録媒体を構成する反射層の膜厚を、光情報記録媒体の内周側の領域よりも、外周側の領域の方を厚くしてやれば、線速度の変化に応じた好適な記録を行うことができると考えられる。
【００４７】
前述のように、レーザ光の波長が４００ｎｍ帯である青色レーザ対応の大容量光情報記録媒体における記録層や保護層は、膜厚が５〜３０ｎｍ程度と薄く、膜厚に対する記録特性等の変動が非常に大きくなってしまう為、膜厚を変えることは困難である。一方、前述のように、反射層の好ましい膜厚は、３０〜１５０ｎｍである。すなわち、記録層や保護層に比べて膜厚が厚いために、膜厚に対する特性の変動はそれほど大きくなく、膜厚を変えることは比較的容易である。又、前述のように、反射層は、記録再生時の光を反射して光の利用効率を高めると共に、記録時に発生した熱を逃がす放熱層の役割も担っているため、反射層の膜厚を変えることで放熱特性を変えることができる。なお、周知のように、反射層の膜厚が厚い方が、放熱特性が向上する。又、反射層の膜厚が厚くなると記録感度が下がり、反射層の膜厚が厚くなると層形成のコストが高くなる。
【００４８】
本発明の技術的意義は、反射層の膜厚を変えることが比較的容易であること、反射層の膜厚を変えることにより放熱特性が変化すること、及び、記録線速度の高速化と共に記録パワーが大きくなり放熱特性がより重要になることに着目し、記録線速度に応じた最適な反射層膜厚を設定することにある。
【００４９】
光情報記録媒体の内周側の領域よりも外周側の領域の、反射層の膜厚を厚くするには、例えば、図７のような様々なタイプが考えられる。図７は本発明に係る光情報記録媒体における半径位置と反射層膜厚の関係を例示する図である。図７（ａ）のように反射層の膜厚を内周から外周にかけて単調に厚くしても良い。これはＣＡＶ方式の線速度変化に合わせて反射層膜厚を設定するものである。又、図７（ｂ）のように反射層の膜厚を内周から単調に厚くし、途中から略一定の膜厚にしても良い。これはＰＣＡＶ方式の線速度変化に合わせて反射層膜厚を設定するものである。膜厚が略一定の部分はＣＬＶ方式で記録されることを想定している。
【００５０】
図７（ｃ）、（ｄ）のように反射層の膜厚を内周から外周にかけて階段状に厚くしても良い。膜厚は記録線速度が切り替わるアドレス付近で切り替えても良い。４倍速及び８倍速の２種類の線速度に対応させるなら図７（ｃ）のようにすれば良いし、更に６倍速などの記録線速度が設定させていれば、それに対応するアドレス付近で切り替えても良い。又、図７（ｅ）のように線速度が速くなり記録条件が厳しくなる外周付近のみ膜厚を徐々に厚くしても良い。又、図７（ａ）〜図７（ｅ）に示したもの以外であっても、内周側の領域よりも、外周側の領域の反射層膜厚を厚くしてやれば、線速度の変化に応じた好適な記録を行うことができる。
【００５１】
なお、例えば、図７（ｆ）のように、反射層を形成する際に、製造上のばらつき等により、部分的に膜厚が薄くなる場合もありうるが、内周側の領域よりも、外周側の領域の反射層膜厚が平均的に厚くなっていれば記録特性は改善される。よって、図７（ｆ）のような場合も、「光情報記録媒体の内周側の領域よりも、外周側の領域の方が、反射層膜厚が厚い」に含まれる。
【００５２】
また、反射層は、例えば、スパッタリング法により形成できるが、反射層の膜厚を光情報記録媒体の半径位置に応じて変えることは、例えば、形成すべき所望の膜厚分布に基づいて、反射層が形成される成膜領域の一部を、スパッタターゲットから射出された粒子から遮蔽する遮蔽部材を備えるスパッタリング装置（特願２００７−２２１５８６参照）などを用いて実現できる。このようなスパッタリング装置を用いれば、回転する基板上の反射層の成膜領域は、遮蔽部材によってその一部が基板に形成する反射層の所望の膜厚分布に基づいて、スパッタターゲットから射出された粒子から遮蔽される。これにより、基板上の成膜領域に、所望の膜厚分布の反射層を形成することができる（特願２００７−２２１５９８参照）。
【００５３】
このように、光情報記録媒体の内周側の領域よりも外周側の領域の反射層膜厚を厚くすることで、内周側より外周側で線速度を上げて記録するＣＡＶ記録やＰＣＡＶ記録を行う際に、内周側でも外周側でも良好な記録ができ、光情報記録媒体全域にわたり広いパワーマージンを得ることが出来る。
【００５４】
反射層としてはレーザ光に対する反射率が高く、記録パワーを上げて記録した際に熱を逃がしやすくする為に高い熱伝導率を持ち、比較的安価な材料ということでＡｇ、Ｃｕ、Ａｌのいずれかを主成分とした反射層を用いるのが良く、広いパワーマージンを確保する為には反射層の膜厚を３０ｎｍ以上にするのが良い。なお、主成分とは、その材料に９５重量％以上含まれている成分をいう。又、反射層の膜厚を１５０ｎｍより厚くしても記録特性に与える影響が小さく、無駄に厚膜化する事はコストの面でデメリットとなる為、反射層は３０ｎｍ〜１５０ｎｍの範囲にするのが望ましい。
【００５５】
この様な内周の領域よりも外周の領域の方が反射層の膜厚が厚い光情報記録媒体は、基本的にＣＤやＤＶＤでも用いることが出来るが、記録マークの比較的大きなＣＤやＤＶＤでは均一な反射層膜厚の光情報記録媒体でも十分な品質でＣＡＶ記録やＰＣＡＶ記録が行える。これは、従来のＣＤやＤＶＤなどの比較的容量の小さい光情報記録媒体においては、記録時のパワーマージンが十分に確保されていたため、高線速度で記録しても、ジッタ値などに設けられている所定の基準値を十分に満足することができるからである。
【００５６】
しかし、ブルーレイディスク（ＢＤ）やＨＤ  ＤＶＤなどの、例えば、波長が４０５ｎｍの青色レーザを用いて記録再生を行う大容量の光情報記録媒体では、記録時のパワーマージンを十分に確保することが難しく高線速記録は困難である。そこで、例えば、最内周部における線速度がＢＤ規格（Ｂｌｕ-ｒａｙ Ｄｉｓｃ規格）における４倍速に相当する線速度以上で記録するような光情報記録媒体に本発明を適用すれば、特に効果を発揮することができる。ただし、光情報記録媒体の最内周部における線速度がＢＤ規格（Ｂｌｕ-ｒａｙ Ｄｉｓｃ規格）における４倍速に相当する線速度以上で記録するような光情報記録媒体であれば、必ずしもＢＤ規格に対応したものでなくても良く、例えば、相当する線速度以上で記録するＨＤ ＤＶＤ規格の光情報記録媒体などに対しても本発明は有効である。
【００５７】
ここで、ＢＤ規格（Ｂｌｕ-ｒａｙ Ｄｉｓｃ規格）における４倍速に相当する線速度とは、例えば、ＢＤ規格（Ｂｌｕ-ｒａｙ Ｄｉｓｃ規格）の一つであるＢＤ−Ｒの２５ＧＢの光情報記録媒体の場合には、１９．６８ｍ／ｓｅｃである。例えば、ＢＤ−Ｒの２５ＧＢの光情報記録媒体に記録する場合において、半径２４．０ｍｍの位置で線速１９．６８ｍ／ｓｅｃの４ｘ記録を行う場合はスピンドルの回転数が約８０００ｒｐｍとなるが、これは一般的な記録ドライブの回転数としてはかなり高速の回転であり、ＣＡＶ記録を行うと外周部での記録線速度は８ｘ以上に達する為、高品質で記録を行うことが難しい。このように高密度かつ高線速度で記録する際にも、広いパワーマージンを得る為には、本発明に係る光情報記録媒体を用いることが望ましい。
【００５８】
なお、今後、線速度の条件を変更することにより、ＢＤ−Ｒでも２５ＧＢとは異なる記録容量の光情報記録媒体を実現するようなフォーマットが追加される場合もあり得る。その場合の線速度は、１９．６８ｍ／ｓｅｃとは異なる値となるが、本発明を適用するのに好適であることに変わりはない。
【００５９】
〈実施例１〜５、比較例１、２〉
以下、具体的な実施例に基づいて説明する。
【００６０】
記録・再生信号の評価を行なうため、図４に示した層構成を有するBDフォーマットに準拠した追記型の光情報記録媒体を、次のようにして作製した。
【００６１】
厚さ１．１ｍｍのポリカーボネート製基板１６上に、スパッタリング法で、反射層１５、ＺｎＳ・ＳｉＯ２（８０：２０モル％）からなる膜厚１５ｎｍの上部保護層１４、Ｂｉ２ＢＧｅＯｘからなる膜厚１６ｎｍの記録層１３、ＺｎＳ・ＳｉＯ２（８０：２０モル％）からなる膜厚７５ｎｍの下部保護層１２を順に成膜した。
【００６２】
更に下部保護層１２上に、スピンコート法でＵＶ硬化性樹脂（日本化薬社製、Ｒ２８）を塗布し、厚さ０．１ｍｍのカバー層１１を形成して、厚さ約１．２ｍｍの光情報記録媒体を得た。上記記録層１３の材料のｘは酸化度を示し、本発明に係る光情報記録媒体に用いる無機酸化物では酸素欠損が生じていてよい。実施例の無機酸化物では、化学量論組成となる酸化物でなく、還元体（酸化される元素そのもの）が存在する。
【００６３】
上記光情報記録媒体について、パルステック工業社製の光ディスク評価装置ＯＤＵ−１０００（レーザの波長：４０５ｎｍ、対物レンズのＮＡ：０．８５）を用いて記録再生信号の評価を行った。図８は実施例において記録に用いたレーザ発光パターンを示す図である。図８に示したレーザ発光パターン（記録ストラテジ）は、Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ  Ｒｅｃｏｒｄａｂｌｅ  Ｆｏｒｍａｔ  ｖｅｒ１．２の規格に基づいたレーザ発光パターンである。図８において（ａ）の上側は記録マークを示し、下側は記録マークに対するレーザ発光波形を示している。又、横軸は時間、縦軸はレーザパワーであり、隣接する破線間は基本クロック周期Ｔである。（ｂ）は（ａ）に示したレーザ発光波形の各パラメータである。なお、各パラメータの単位は［Ｔ／１６］である。
【００６４】
記録・再生信号の評価における記録品質の指標として、横河電機株式会社製タイムインターバルアナライザＴＡ７２０でジッタ値を測定し、パワーマージンの比較を行った。
【００６５】
又、記録は、４倍速（４×）と８倍速（８×）で行ったが、いずれの実施例及び比較例においても、４倍速（４×）での記録は光情報記録媒体の最内周付近で行い、８倍速（８×）での記録は光情報記録媒体の最外周付近で行った。
【００６６】
実施例１として、Ａｇを主成分とするＡｇＢｉ（Ｂｉ：０．５重量％）からなる反射層の膜厚が５５ｎｍ（内週から外周まで膜厚は一定）であるBDフォーマットに準拠した追記型の光情報記録媒体を準備し、その光情報記録媒体に、４倍速で記録した場合（４×記録）と８倍速で記録した場合（８×記録）の記録パワーとジッタとの関係を調べた。なお、主成分とは、その材料に９５重量％以上含まれている成分をいう（他の実施例、比較例でも同じ）。
【００６７】
実施例２として、Ａｇを主成分とするＡｇＢｉ（Ｂｉ：０．５重量％）からなる反射層の膜厚が８０ｎｍ（内週から外周まで膜厚は一定）であるBDフォーマットに準拠した追記型の光情報記録媒体を準備し、その光情報記録媒体に、４倍速で記録した場合（４×記録）と８倍速で記録した場合（８×記録）の記録パワーとジッタとの関係を調べた。なお、反射層の膜厚以外の条件は、実施例１の場合と同じである。
【００６８】
実施例３として、Ａｇを主成分とするＡｇＢｉ（Ｂｉ：０．５重量％）からなる反射層の膜厚が３０ｎｍ（内週から外周まで膜厚は一定）であるBDフォーマットに準拠した追記型の光情報記録媒体を準備し、その光情報記録媒体に、４倍速で記録した場合（４×記録）と８倍速で記録した場合（８×記録）の記録パワーとジッタとの関係を調べた。なお、反射層の膜厚以外の条件は、実施例１の場合と同じである。
【００６９】
実施例４として、Ａｇを主成分とするＡｇＢｉ（Ｂｉ：０．５重量％）からなる反射層の膜厚が１２０ｎｍ（内週から外周まで膜厚は一定）であるBDフォーマットに準拠した追記型の光情報記録媒体を準備し、その光情報記録媒体に、４倍速で記録した場合（４×記録）と８倍速で記録した場合（８×記録）の記録パワーとジッタとの関係を調べた。なお、反射層の膜厚以外の条件は、実施例１の場合と同じである。
【００７０】
実施例５として、Ａｇを主成分とするＡｇＢｉ（Ｂｉ：０．５重量％）からなる反射層の膜厚が１５０ｎｍ（内週から外周まで膜厚は一定）であるBDフォーマットに準拠した追記型の光情報記録媒体を準備し、その光情報記録媒体に、４倍速で記録した場合（４×記録）と８倍速で記録した場合（８×記録）の記録パワーとジッタとの関係を調べた。なお、反射層の膜厚以外の条件は、実施例１の場合と同じである。
【００７１】
比較例１として、Ａｇを主成分とするＡｇＢｉ（Ｂｉ：０．５重量％）からなる反射層の膜厚が２５ｎｍ（内週から外周まで膜厚は一定）であるBDフォーマットに準拠した追記型の光情報記録媒体を準備し、その光情報記録媒体に、４倍速で記録した場合（４×記録）と８倍速で記録した場合（８×記録）の記録パワーとジッタとの関係を調べた。なお、反射層の膜厚以外の条件は、実施例１の場合と同じである。
【００７２】
比較例２として、Ａｇを主成分とするＡｇＢｉ（Ｂｉ：０．５重量％）からなる反射層の膜厚が２００ｎｍ（内週から外周まで膜厚は一定）であるBDフォーマットに準拠した追記型の光情報記録媒体を準備し、その光情報記録媒体に、４倍速で記録した場合（４×記録）と８倍速で記録した場合（８×記録）の記録パワーとジッタとの関係を調べた。なお、反射層の膜厚以外の条件は、実施例１の場合と同じである。
【００７３】
実施例１〜５及び比較例１、２についての評価結果を図５、図９及び図１０に示す。図９は実施例及び比較例における最適記録パワーＰｗｏ、ボトムジッタ及びパワーマージンを例示する図である。又、図１０は実施例及び比較例におけるパワーマージンの絶対値と反射層膜厚との関係を例示する図である。
【００７４】
図５、図９及び図１０（特に図１０）からわかるように、各記録線速度（４×記録、８×記録）には、パワーマージンが最大になる最適な反射層膜厚が存在し、低線速記録（４×記録）の場合の最適な反射層膜厚よりも、高線速記録（８×記録）の場合の最適な反射層膜厚の方が、厚いことがわかる。図１０の例では、低線速記録（４×記録）では５５ｎｍ、高線速記録（８×記録）では８０ｎｍが、パワーマージンが最大になる最適な反射層膜厚である。
【００７５】
記録パワーを上げて記録するほど、熱の影響で記録マークが広がりやすくなるが、反射層膜厚を厚くして放熱効果を上げることにより、記録マークのばらつきを抑えられ、パワーマージンは広くなる。しかし、必要以上に反射層膜厚を厚くすると、周知のように記録感度が下がるため、記録特性が悪化して、パワーマージンは反対に狭くなると考えられる。
【００７６】
又、高線速記録（８×記録）では、低線速記録（４×記録）に比べて、パワーマージンが最大になる最適な反射層膜厚が、より厚くなったのは、高線速記録（８×記録）では、低線速記録（４×記録）に比べて記録パワーを上げるので、より放熱効果が重要であるためと考えられる。
【００７７】
このように、記録線速度により、記録パワーが異なるため、反射層膜厚を厚くすることによる、放熱効果の向上と、記録感度の低下とのバランスから記録線速度ごとに、パワーマージンが最大になる最適な反射層膜厚が存在し、最適な反射層膜厚は、記録線速度が速いほど厚くなる。
【００７８】
なお、実施例及び比較例では、低線速記録（４×記録）及び高線速記録（８×記録）の例のみを示したが、例えば、６×記録であれば、４×記録と８×記録の間の反射層膜厚でパワーマージンが最大になり、例えば、１２×記録であれば、８×記録よりも厚い反射層膜厚でパワーマージンが最大になると考えられる。
【００７９】
このように、内周から外周にかけて目的とする記録線速に合わせて反射層の膜厚を最適な値にすることで、どの記録線速度においても広いパワーマージンを確保することが出来る光情報記録媒体が得られる。例えば、４×記録から８×記録までを対象とするのであれば、上記結果より、最内周の反射層膜厚を５５ｎｍ、最外周の反射層膜厚を８０ｎｍとし、その間の反射層膜厚を、例えば、図７に示した例のように設定すれば、どの記録線速度においても広いパワーマージンを確保することが出来る光情報記録媒体が得られる。
【００８０】
又、比較例１、２に示すように、反射層膜厚が３０ｎｍより薄くなると急激にジッタが悪化し、良好な記録が出来なくなり、逆に反射層を１５０ｎｍより厚くしても記録特性に大きく影響しなくなる。
【００８１】
図１１は実施例における反射層膜厚と反射層を積層する為のスパッタ時間との関係を例示する図である。図１１からわかるように、スパッタリング法において、積層する反射層膜厚が厚くなるほどスパッタ時間が長くなり、時間が長くかかるほど生産性が悪くなりコストが高くなる。実施例のような青色レーザ用の追記型の光情報記録媒体の場合、おおよそ４秒から５秒以内のサイクルで製造することが必要であり、スパッタ後のディスクの運搬時間等を考慮しても、１つの膜に対するスパッタ時間が５秒を超えてしまう膜厚ではコスト的に望ましくない。
【００８２】
以上の理由も考慮すると反射層の膜厚は３０ｎｍ〜１５０ｎｍであることがより望ましい。
【００８３】
以上の評価結果から、内周から外周にかけて３０ｎｍ〜１５０ｎｍの膜厚範囲内で目的とする記録線速に合わせて反射層の膜厚を最適な値にすることで、特に記録条件の厳しいレーザ波長が４００ｎｍ帯の青色レーザでの高線速のＣＡＶ記録又はＰＣＡＶ記録を行う上で、どの記録線速度においても広いパワーマージンを確保することが出来る光情報記録媒体を得ることができる。
【００８４】
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【００８５】
例えば、本発明の実施形態及び実施例においては、一層の光情報記録媒体に記録する例を示したが、二層以上の光情報記録媒体に対しても、本発明を同様に適用することができる。
【００８６】
又、本発明の実施形態及び実施例においては、ブルーレイディスクに記録する例を中心に示したが、ＨＤ  ＤＶＤなどの他の光情報記録媒体に対しても、本発明を同様に適用することができる。
【００８７】
又、本発明の実施形態及び実施例においては、低線速記録（４×記録）及び高線速記録（８×記録）の例のみを示したが、例えば、６×記録、１２×記録などに対しても、本発明を同様に適用することができる。
【００８８】
又、本発明の実施形態及び実施例においては、図８に示す記録ストラテジを用いて記録する例を示したが、他の記録ストラテジを用いても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】ＣＬＶ方式における回転数、記録線速度、クロック周波数を例示する図である。
【図２】ＣＡＶ方式における回転数、記録線速度、クロック周波数を例示する図である。
【図３】ＰＣＡＶ方式における回転数、記録線速度、クロック周波数を例示する図である。
【図４】本発明に係る光情報記録媒体２０の一例を示す図である。
【図５】２種類の記録線速度で記録した場合における反射層膜厚と記録特性の関係を例示する図である。
【図６】パワーマージンについて説明をするための図である。
【図７】本発明に係る光情報記録媒体における半径位置と反射層膜厚の関係を例示する図である。
【図８】実施例において記録に用いたレーザ発光パターンを例示す図である。
【図９】実施例及び比較例における最適記録パワーＰｗｏ、ボトムジッタ及びパワーマージンを例示する図である。
【図１０】実施例及び比較例におけるパワーマージンの絶対値と反射層膜厚との関係を例示する図である。
【図１１】実施例における反射層膜厚と反射層を積層する為のスパッタ時間との関係を例示する図である。
【符号の説明】
【００９０】
１１  カバー層
１２  下部保護層
１３  記録層
１４  上部保護層
１５  反射層
１６  基板
１７  レーザ光
２０  光情報記録媒体
２Ｔ〜８Ｔ  記録マーク
Ｐｗ、Ｐｍ、Ｐｓ、Ｐｃ  レーザパワー
Ｐｗｏ  最適記録パワー
Ｔｔｏｐ、ｄＴｔｏｐ、ｄＴｓ、ｄＴｃ  レーザ発光波形の各パラメータ
【図１】
2009070460.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009070460.tif 000009
【図８】
2009070460.tif 000010
【図９】
2009070460.tif 000011
【図１０】
2009070460.tif 000012
【図１１】
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