(57)【要約】【課題】            複列チャックハンガーに基板を垂直な複列状態に速く且つ確実に装着できる基板装着装置、及びこのハンガーに垂直な複列状態に装着されている基板を速く且つ確実に取り外し水平状態にして供給できる基板脱着装置を提供する。【解決手段】        基板装着装置、又は基板脱着装置を、複列チャックハンガー１の各列の開閉チャック３Ａ，３Ｂ，３Ｃを開閉制御できる複列チャック開閉装置２０と、基板Ｗの基板面を支持する基板受け部４１を垂直状態と水平状態に変換でき、且つ基板受け部の進出位置を各列の開閉チャックに対応する装着又は脱着位置に制御できる基板取付け装置４０、又は基板取り外し装置７０で構成した。また、基板受け部の基板支持手段を、基板の上端部を支持する開閉制御可能な基板支持クランプ４３と、旋回移動制御可能な基板面支えレバー４５とした。【選択図】図１
2009161806.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複列チャックハンガーに複数の基板を複列状態に取付ける基板装着装置であり、
前記複列チャックハンガーは、レールに沿って移動自在な構成を有し、被表面処理物である基板の上端部を着脱自在に挟持して該基板を垂直姿勢に吊持する開閉チャックを有し、この開閉チャックは常態において基板を吊持できる閉状態にバネによる付勢力を与えて構成され、この開閉チャックを、複数の基板を基板面が所定間隔を空けて向き合う並列状態に吊持でき、且つ並列状態に吊持される複数の前記基板をその一側端部が前記レールに沿う移動方向に向けて吊持できるように、該チャックハンガーの下部に設けたチャック取付け体を介して複数の基板に対応した複数列の並列状態に配置した複列チャックとし、
前記基板装着装置は、前記レールに支持されて基板取付け位置に位置している前記複列チャックハンガーの複列チャックを開閉制御する複列チャック開閉装置と、この基板取付け位置の基板搬入部において水平状態に配置してある基板を垂直状態に変換して前記複列チャックハンガーの各列の基板装着位置へ供給する基板取付け装置とを含み、
前記複列チャック開閉装置は、前記複列チャックハンガーの複数列の前記開閉チャックを各列の開閉チャックごとバネによる付勢力に抗して押圧した開状態に単独作動させる各列の開閉チャックに対応したチャック開閉作動部を含み、
前記基板取付け装置は、前記基板の基板面を基板受け面で着脱可能に支持する基板受け部と、この基板受け部で支持される前記基板を水平姿勢から垂直姿勢に変換する基板受け部反転制御手段と、前記基板受け部で垂直姿勢に支持される前記基板の上端部を前記複列チャックにおける各列の開閉チャックで挟持される各進出位置に供給し得る基板受け部進退移動制御手段とを含む、ことを特徴とする複列基板装着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の前記基板取付け装置は、前記基板取付け位置の前記基板搬入部において水平状態に配置してある基板を前記基板受け部で水平姿勢に支持し得る下降位置と該基板受け部で垂直姿勢に支持した基板を前記複列チャックハンガーによる装着を可能にする上昇位置とに該基板受け部を上下動させる基板受け部上下動手段を、更に含むことを特徴とする複列基板装着装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の前記基板受け部において、前記基板の基板面を基板受け面で着脱自在に支持する手段を、前記基板受け部の端部に設けた開閉制御可能な基板支持クランプによって前記基板の端部を基板受け面側に押さえて支持するクランプ支持手段としたことを特徴とする複列基板装着装置。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の前記基板受け部において、前記基板の基板面を基板受け面で着脱自在に支持する手段を、前記基板受け部の端部に設けた開閉制御可能な基板支持クランプによって前記基板の端部を基板受け面側に押さえて支持するクランプ支持手段と、基板の基板面を基板受け面側に向けて支える旋回移動制御可能な基板面支えレバーとで構成し、前記基板支持クランプは少なくとも垂直姿勢において上端となる基板の端部を基板受け面側に押さえる支持位置に設け、前記基板面支えレバーは垂直状態において側端となる該基板受け部の少なくとも一方の側端部の基板受け面より外側位置に設けた軸部を中心にして基板面の支持範囲外から基板面の側端部方向へ移動して基板面を支える支持範囲内に旋回移動するものとしたことを特徴とする複列基板装着装置。
【請求項５】
請求項４に記載の前記基板面支えレバーを、主支えレバーと、従属支えレバーとで構成し、両レバーは、基板面を支える支持範囲内に位置する際には両レバー間に介装したバネ体の付勢力によって略Ｖ字状の二股状に拡開され、レバー受け係止部に係止される基板面の支持範囲外に位置する際にはバネ体の付勢力に抗して閉じられるように構成したことを特徴とする複列基板装着装置。
【請求項６】
請求項１又は２に記載の前記基板受け部において、前記基板の基板面を基板受け面で着脱自在に支持する手段を、基板の基板面を基板受け面側に吸着して支持するバキューム手段としたことを特徴とする複列基板装着装置。
【請求項７】
複列チャックハンガーから基板を取り外し基板搬出部へ供給する基板脱着装置であり、
前記複列チャックハンガーは、レールに沿って移動自在な構成を有し、被表面処理物である基板の上端部を着脱自在に挟持して該基板を垂直姿勢に吊持する開閉チャックを有し、この開閉チャックは常態において基板を吊持できる閉状態にバネによる付勢力を与えて構成され、この開閉チャックを、複数の基板を基板面が所定間隔を空けて向き合う並列状態に吊持でき、且つ並列状態に吊持される複数の前記基板をその一側端部が前記レールに沿う移動方向に向けて吊持できるように、該チャックハンガーの下部に設けたチャック取付け体を介して複数の基板に対応した複数列の並列状態に配置した複列チャックとし、
前記基板脱着装置は、前記レールに支持されて基板取り外し位置に位置している前記複列チャックハンガーの複列チャックを開閉制御する複列チャック開閉装置と、この基板取り外し位置において前記複列チャックハンガーから取り外された基板を垂直状態から水平状態に変換して前記基板搬出部へ供給する基板取り外し装置とから成り、
前記複列チャック開閉装置は、前記複列チャックハンガーの複数列の前記開閉チャックを各列の開閉チャックごとバネによる付勢力に抗して押圧した開状態に単独作動させる各列の開閉チャックに対応したチャック開閉作動部を含み、
前記基板取り外し装置は、前記基板の基板面を基板受け面で着脱可能に支持する基板受け部と、この基板受け部で支持される前記基板を垂直姿勢から水平姿勢に変換する基板受け部反転制御手段と、前記複列チャックハンガーの各列の開閉チャックから脱着される各基板を前記基板受け部で垂直姿勢に支持できる各位置に該基板受け部の進出位置を制御する基板受け部進退移動制御手段とを含む、ことを特徴とする複列基板脱着装置。
【請求項８】
請求項７に記載の前記基板取り外し装置は、前記複列チャックハンガーから脱着される基板を前記基板受け部で垂直姿勢に支持し得る上昇位置と該基板受け部で水平姿勢に支持した基板を該基板受け部から離脱して前記基板搬出部へ水平姿勢で供給し得る下降位置とに該基板受け部を上下動させる基板受け部上下動手段を、更に含むことを特徴とする複列基板脱着装置。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の前記基板受け部において、前記基板の基板面を基板受け面で着脱自在に支持する手段を、前記基板受け部の端部に設けた開閉制御可能な基板支持クランプによって前記基板の端部を基板受け面側に押さえて支持するクランプ支持手段としたことを特徴とする複列基板脱着装置。
【請求項１０】
請求項７又は８に記載の前記基板受け部において、前記基板の基板面を基板受け面で着脱自在に支持する手段を、前記基板受け部の端部に設けた開閉制御可能な基板支持クランプによって前記基板の端部を基板受け面側に押さえて支持するクランプ支持手段と、基板の基板面を基板受け面側に向けて支える旋回移動制御可能な基板面支えレバーとで構成し、前記基板支持クランプは少なくとも垂直姿勢において上端となる基板の端部を基板受け面側に押さえる支持位置に設け、前記基板面支えレバーは垂直状態において側端となる該基板受け部の少なくとも一方の側端部の基板受け面より外側位置に設けた軸部を中心にして基板面の支持範囲外から基板面の側端部方向へ移動して基板面を支える支持範囲内に旋回移動するものとしたことを特徴とする複列基板脱着装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の前記基板面支えレバーを、主支えレバーと、従属支えレバーとで構成し、両レバーは、基板面を支える支持範囲内に位置する際には両レバー間に介装したバネ体の付勢力によって略Ｖ字状の二股状に拡開され、レバー受け係止部に係止される基板面の支持範囲外に位置する際にはバネ体の付勢力に抗して閉じられるように構成したことを特徴とする複列基板脱着装置。
【請求項１２】
請求項７又は８に記載の前記基板受け部において、前記基板の基板面を基板受け面で着脱自在に支持する手段を、基板の基板面を基板受け面側に吸着して支持するバキューム手段としたことを特徴とする複列基板脱着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、表面処理される水平状態の基板をハンガー治具に複列の垂直状態に装着し、又は複列の垂直状態に装着された基板をハンガー治具から脱着し水平状態して供給する複列基板着脱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  複数枚の基板を化学銅浴で同時に無電解メッキする場合、従来は複数枚の基板を網状のバスケットで各基板面が所定間隔を空けて向き合う並列状態に保持し、このバスケットごと複数枚の基板を化学銅浴中に浸漬して行なうバスケット浸漬方式が公知である。【０００３】  また、陰極として機能するレールに吊持ハンガーを介して一枚ずつ基板を移動自在に吊持し、各吊持ハンガーに一枚ずつ吊持した基板をレールに沿ってメッキ浴中の陽極間を垂直搬送させながら電気メッキする垂直搬送方式が公知である（例えば、特許第２９４３０７０号公報）。【０００４】  この垂直搬送方式で用いている吊持ハンガーとしては、バネの付勢力を利用したクリップ式のものが公知（例えば、実用新案登録第３０８５８４９号公報、特許第３６７７４８８号公報）であるが、一つのハンガーで複数の基板を並列状態に吊持できるようにしたものは、公開されていない。【０００５】  しかし、薬品による表面処理の技術分野において、並列状態に吊持した複数の基板をレールに沿って処理薬品液中を垂直搬送させながら表面処理する技術は知られていない。【０００６】
【特許文献１】  特許第２９４３０７０号公報
【特許文献２】  実用新案登録第３０８５８４９号公報
【特許文献３】  特許第３６７７４８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  このような技術背景に鑑み、本発明者は、すでに、複数枚の基板を表面処理する方法として、レールにハンガー治具を介して複数枚の基板を各基板面が所定間隔を空けて向き合う並列状態に吊持し、この複数枚の基板をレールに沿って薬液中を垂直搬送させながら表面処理する複列基板垂直搬送による表面処理方法と、この表面処理方法に用いる複列チャックハンガー及びこの複列チャックハンガーの複列チャック開閉装置を発明し提案してある（特願２００７−１０１８５２）。【０００８】  本発明は、この複列チャックハンガーと、この複列チャックハンガーの複列チャック開閉装置を基礎として、新たに、水平状態にある基板を垂直状態に変換して前記複列チャックハンガーに垂直な複列状態に取付ける基板装着装置と、この複列チャックハンガーから基板を取り外し垂直状態から水平状態に変換して搬出部へ供給する基板脱着装置を提供しようとするものである。そして、複数基板の取付け、複数基板の取り外しを速く且つ確実に行なえる、装置を提供しようとするものである。【０００９】  更に、本発明は、基板のサイズ変更にも対処できる基板装着装置、及び基板脱着装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】  前記課題を解決するため、本発明に係る複列基板装着装置は、複列チャックハンガーに複数の基板を複列状態に取付ける基板装着装置であり、前記複列チャックハンガーは、レールに沿って移動自在な構成を有し、被表面処理物である基板の上端部を着脱自在に挟持して該基板を垂直姿勢に吊持する開閉チャックを有し、この開閉チャックは常態において基板を吊持できる閉状態にバネによる付勢力を与えて構成され、この開閉チャックを、複数の基板を基板面が所定間隔を空けて向き合う並列状態に吊持でき、且つ並列状態に吊持される複数の前記基板をその一側端部が前記レールに沿う移動方向に向けて吊持できるように、該チャックハンガーの下部に設けたチャック取付け体を介して複数の基板に対応した複数列の並列状態に配置した複列チャックとし、前記基板装着装置は、前記レールに支持されて基板取付け位置に位置している前記複列チャックハンガーの複列チャックを開閉制御する複列チャック開閉装置と、この基板取付け位置の基板搬入部において水平状態に配置してある基板を垂直状態に変換して前記複列チャックハンガーの各列の基板装着位置へ供給する基板取付け装置とを含み、前記複列チャック開閉装置は、前記複列チャックハンガーの複数列の前記開閉チャックを各列の開閉チャックごとバネによる付勢力に抗して押圧した開状態に単独作動させる各列の開閉チャックに対応したチャック開閉作動部を含み、このチャック開閉作動部を各列の開閉チャックの開閉作動を可能にする進出位置と前記レールに沿った前記複列チャックハンガーの移動を許容する後退位置とに進退移動するように構成し、前記基板取付け装置は、前記基板の基板面を基板受け面で着脱可能に支持する基板受け部と、この基板受け部で支持される前記基板を水平姿勢から垂直姿勢に変換する基板受け部反転制御手段と、前記基板受け部で垂直姿勢に支持される前記基板の上端部を前記複列チャックにおける各列の開閉チャックで挟持される各進出位置に供給し得る基板受け部進退移動制御手段を含む、ものである。【００１１】  前記複列チャックハンガーの前記複列チャックは吊持する基板の幅方向に所定間隔をおいて同列にそれぞれ複数の開閉チャックを配置して構成し、前記複列チャック開閉装置は各列の開閉チャックに対応した前記チャック開閉作動部によって同列にある複数の開閉チャックの開閉をいっしょに行なえるよう開閉作動を連動させている。【００１２】  また、前記前記基板取付け装置は、前記基板取付け位置の前記基板搬入部において水平状態に配置してある基板を前記基板受け部で水平姿勢に支持し得る下降位置と該基板受け部で垂直姿勢に支持した基板を前記複列チャックハンガーによる装着を可能にする上昇位置とに該基板受け部を上下動させる基板受け部上下動手段を、更に含むものである。【００１３】  また、前記基板取付け装置において、前記基板の基板面を前記基板受け部の基板受け面で着脱自在に支持する手段を、前記基板受け部の端部に設けた開閉制御可能な基板支持クランプによって前記基板の端部を基板受け面側に押さえて支持するクランプ支持手段としている。【００１４】  また、前記基板取付け装置において、前記基板の基板面を前記基板受け部の基板受け面��着脱自在に支持する手段を、前記基板受け部の端部に設けた開閉制御可能な基板支持クランプによって前記基板の端部を基板受け面側に押さえて支持するクランプ支持手段と、基板の基板面を基板受け面側に向けて支える旋回移動制御可能な基板面支えレバーとで構成し、前記基板支持クランプは少なくとも垂直姿勢において上端となる基板の端部を基板受け面側に押さえる支持位置に設け、前記基板面支えレバーは垂直状態において側端となる該基板受け部の少なくとも一方の側端部の基板受け面より外側位置に設けた軸部を中心にして基板面の支持範囲外から基板面の側端部方向へ移動して基板面を支える支持範囲内に旋回移動するものとしたことを特徴としている。また、前記基板支持クランプは垂直姿勢において上端となる基板の端部を基板受け面側に押さえる支持位置と同姿勢において側端となる基板の一方の側端部を基板受け面側に押さえる支持位置に設け、前記基板面支えレバーは垂直状態において側端となる該基板受け部の他方の側端部の基板受け面より外側位置に設けた軸部を中心にして基板面の支持範囲外から基板面の側端部方向へ移動して基板面を支える支持範囲内に旋回移動するものを含むものである。基板受け部の基板支持手段をこのように構成したことによって、矩形の基板の縦横サイズが変更される場合でも、クランプ支持手段を含む支持手段によって、基板の基板面を基板受け部で確実に支持できる。【００１５】  更に、前記基板取付け装置の前記基板面支えレバーを、主支えレバーと、従属支えレバーとで構成し、両レバーは、基板面を支える支持範囲内に位置する際には両レバー間に介装したバネ体の付勢力によって略Ｖ字状の二股状に拡開され、レバー受け係止部に係止される基板面の支持範囲外に位置する際にはバネ体の付勢力に抗して閉じられるように構成したことを特徴とする。基板面支えレバーをこのように構成したことによって、この基板面支えレバーによる基板の基板面の支え範囲を広くすることができ、不使用の場合には基板面支えレバーをコンパクトに配置できる。【００１６】  なお、本発明の複列基板装着装置の前記基板取付け装置において、前記基板の基板面を前記基板受け部の基板受け面で着脱自在に支持する手段として、基板の基板面を基板受け面側に吸着して支持するバキューム手段とすることを除外するものではない。【００１７】  また、前記課題を解決するため、本発明に係る複列基板脱着装置は、複列チャックハンガーから基板を取り外し基板搬出部へ供給する基板脱着装置であり、前記複列チャックハンガーは、レールに沿って移動自在な構成を有し、被表面処理物である基板の上端部を着脱自在に挟持して該基板を垂直姿勢に吊持する開閉チャックを有し、この開閉チャックは常態において基板を吊持できる閉状態にバネによる付勢力を与えて構成され、この開閉チャックを、複数の基板を基板面が所定間隔を空けて向き合う並列状態に吊持でき、且つ並列状態に吊持される複数の前記基板をその一側端部が前記レールに沿う移動方向に向けて吊持できるように、該チャックハンガーの下部に設けたチャック取付け体を介して複数の基板に対応した複数列の並列状態に配置した複列チャックとし、前記基板脱着装置は、前記レールに支持されて基��取り外し位置に位置している前記複列チャックハンガーの複列チャックを開閉制御する複列チャック開閉装置と、この基板取り外し位置において前記複列チャックハンガーから取り外された基板を垂直状態から水平状態に変換して前記基板搬出部へ供給する基板取り外し装置とから成り、前記複列チャック開閉装置は、前記複列チャックハンガーの複数列の前記開閉チャックを各列の開閉チャックごとバネによる付勢力に抗して押圧した開状態に単独作動させる各列の開閉チャックに対応したチャック開閉作動部を含み、このチャック開閉作動部を各列の開閉チャックの開閉作動を可能にする進出位置と前記レールに沿った前記複列チャックハンガーの移動を許容する後退位置とに進退移動するように構成し、前記基板取り外し装置は、前記基板の基板面を基板受け面で着脱可能に支持する基板受け部と、この基板受け部で支持される前記基板を垂直姿勢から水平姿勢に変換する基板受け部反転制御手段と、前記複列チャックハンガーの各列の開閉チャックから脱着される各基板を前記基板受け部で垂直姿勢に支持できる各位置に該基板受け部の進出位置を制御する基板受け部進退移動制御手段を含む、ものである。【００１８】  前記複列基板装着装置と同様に本発明の複列基板脱着装置も、前記複列チャックハンガーの前記複列チャックは吊持する基板の幅方向に所定間隔をおいて同列にそれぞれ複数の開閉チャックを配置して構成し、前記複列チャック開閉装置は各列の開閉チャックに対応した前記チャック開閉作動部によって同列にある複数の開閉チャックの開閉をいっしょに行なえるよう開閉作動を連動させている。【００１９】  また、前記基板取り外し装置は、前記複列チャックハンガーから脱着される基板を前記基板受け部で垂直姿勢に支持し得る上昇位置と該基板受け部で水平姿勢に支持した基板を該基板受け部から離脱して前記基板搬出部へ水平姿勢で供給し得る下降位置とに該基板受け部を上下動させる基板受け部上下動手段を、更に含むものである。【００２０】  また、前記基板取り外し装置において、前記基板の基板面を前記基板受け部の基板受け面で着脱自在に支持する手段を、前記基板受け部の端部に設けた開閉制御可能な基板支持クランプによって前記基板の端部を基板受け面側に押さえて支持するクランプ支持手段としている。【００２１】  また、前記基板取り外し装置において、前記基板の基板面を前記基板受け部の基板受け面で着脱自在に支持する手段を、前記基板受け部の端部に設けた開閉制御可能な基板支持クランプによって前記基板の端部を基板受け面側に押さえて支持するクランプ支持手段と、基板の基板面を基板受け面側に向けて支える旋回移動制御可能な基板面支えレバーとで構成し、前記基板支持クランプは少なくとも垂直姿勢において上端となる基板の端部を基板受け面側に押さえる支持位置に設け、前記基板面支えレバーは垂直状態において側端となる該基板受け部の少なくとも一方の側端部の基板受け面より外側位置に設けた軸部を中心にして基板面の支持範囲外から基板面の側端部方向へ移動して基板面を支える支持範囲内に旋回移動するものとしたことを特徴としている。また、前記基板支持クランプは垂直姿勢において上端となる基板の端部を基板受け面側に押さえる支持位置と同姿勢において側端となる基板の一方の側端部を基板受け面側に押さえる支持位置に設け、前記基板面支えレバーは垂直状態において側端となる該基板受け部の他方の側端部の基板受け面より外側位置に設けた軸部を中心にして基板面の支持範囲外から基板面の側端部方向へ移動して基板面を支える支持範囲内に旋回移動するものを含むものである。基板受け部の基板支持手段をこのように構成したことによって、矩形の基板の縦横サイズが変更される場合でも、クランプ支持手段を含む支持手段によって、基板の基板面を基板受け部で確実に支持できる。【００２２】  更に、前記基板取り外し装置の前記基板面支えレバーを、主支えレバーと、従属支えレバーとで構成し、両レバーは、基板面を支える支持範囲内に位置する際には両レバー間に介装したバネ体の付勢力によって略Ｖ字状の二股状に拡開され、レバー受け係止部に係止される基板面の支持範囲外に位置する際にはバネ体の付勢力に抗して閉じられるように構成したことを特徴とする。基板面支えレバーをこのように構成したことによって、この基板面支えレバーによる基板の基板面の支え範囲を広くすることができ、不使用の場合には基板面支えレバーをコンパクトに配置できる。【００２３】  なお、本発明の複列基板脱着装置の前記基板取り外し装置において、前記基板の基板面を前記基板受け部の基板受け面で着脱自在に支持する手段として、基板の基板面を基板受け面側に吸着して支持するバキューム手段とすることを除外するものではない。
【発明の効果】
【００２４】  本発明の複列基板装着装置によれば、搬入部において水平状態にある基板を一枚ずつ複列チャックハンガーの所定の複列チャック位置に垂直状態にして供給でき、この複列チャックハンガーに基板を垂直な複列状態に速く且つ確実に装着できる。また、本発明の複列基板脱着装置によれば、複列チャックハンガーに垂直な複列状態に装着されている基板を該ハンガーから一枚ずつ速く且つ確実に取り外し水平状態にして搬出部へ供給できる。【００２５】  また、本発明の複列基板装着装置、又は複列基板脱着装置によれば、ハンガーに取付け又はハンガーから取り外しする矩形の基板の縦横サイズが変更される場合でも、クランプ支持手段を含む支持手段によって、基板の基板面を基板受け部で確実に支持でき、基板の取り付けにおける水平状態から垂直状態への反転移動、又は基板取り外しにおける垂直状態から水平状態への反転移動に際しても、反転される基板が基板受け部の支持位置からズレたり、基板が基板受け部から脱落することなく、確実に支持できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】  本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１〜図２は、本発明の複列基板装着装置及び複列基板脱着装置の全体を示し、図１はその概略側面図、図２はその概略正面図である。【００２７】  本発明の複列基板装着装置は、複列チャックハンガー１と、この複列チャックハンガーに複数の基板Ｗを複列状態に取付ける基板装着装置とから成り、この基板装着装置は、基板取付け位置に配設した複列チャック開閉装置２０と、この基板取付け位置の基板搬入部において水平状態に配置してある基板を垂直状態に変換して前記複列チャックハンガーの各列の基板装着位置へ供給する基板取付け装置４０とから構成されている。【００２８】  また、本発明の複列基板脱着装置は、複列チャックハンガー１と、この複列チャックハンガーから基板Ｗを取り外し基板搬出部へ供給する基板脱着装置とから成り、この基板脱着装置は、基板取り外し位置に配設した複列チャック開閉装置２０と、この基板取り外し位置において前記複列チャックハンガーから取り外された基板を垂直状態から水平状態に変換して前記基板搬出部へ供給する基板取り外し装置７０とから構成されている。【００２９】  なお、複列基板脱着装置の構成は、前記複列基板装着装置の構成と実質的に同じである。したがって、複列基板脱着装置の説明において、複列基板装着装置と同じ構成の説明は省略する。【００３０】  先ず、前記複列チャックハンガー１について、前記の図１〜図２に、このハンガーの概略平面図を示した図３を加えて説明する。複列チャックハンガー１は、レール２に沿って移動自在な構成を有し、被表面処理物である基板Ｗの上端部を着脱自在に挟持して該基板Ｗを垂直姿勢に吊持する開閉チャック３（この開閉チャック３は後述するように常態において基板を吊持できる閉じ状態にバネによる付勢力を与えて構成される。）を有し、この開閉チャック３を、複数（本実施例では３枚）の基板Ｗを各基板面が所定間隔を空けて向き合う平行な並列状態に吊持でき、且つ並列状態に吊持される複数（３枚）の前記基板Ｗをその一側端部が前記レール２に沿う移動方向に向けて吊持できるように、該チャックハンガーの下部に設けたチャック取付け体４を介して複数（３枚）の基板に対応した複数列（３列）の並列状態に配置して設けた複列チャック５として構成してある。【００３１】  この複列チャックハンガー１は、上部をレール２に沿って摺動される被支持部６とし、この被支持部６と該チャックハンガーの下部に設けた前記チャック取付け体４とを連結固定部材７を介して連結固定している。なお、複列チャックハンガー１の最上部に設けた係合突起８に図示しないプッシャーを係合させることによって、この複列チャックハンガー１をレール２に沿って移動できるようにしている。【００３２】  この複列チャック５は図示した実施例では、図１において右側から（図３においては下側から）順に第１列開閉チャック３Ａ、第２列開閉チャック３Ｂ、第３列開閉チャック３Ｃの３列の開閉チャック３で構成し、各列の開閉チャック３で１枚ずつ合計３枚の基板Ｗを吊持できるようにしている。そして、前記第１列開閉チャック３Ａを前列、前記第２列開閉チャック３Ｂを中列、第３列開閉チャック３Ｃを後列として���能させるようにしている。各列の開閉チャック３の間隔、すなわち各列の開閉チャック３に吊持される基板Ｗの間隔は、これらの基板Ｗがレールに沿って処理薬品液中を搬送される際、この処理薬品液中で充分析出反応されるものとしてある。この実施例では吊持される３枚の基板Ｗの各間隔を数センチメートルとしてある。【００３３】  この複列チャック５を構成する各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）は、吊持する基板Ｗの幅方向に所定間隔をおいて同列にそれぞれ複数の開閉チャック３を配置して設けている。図示した実施例では、第１列開閉チャック３Ａ、第２列開閉チャック３Ｂ、第３列開閉チャック３Ｃにそれぞれ４個ずつの開閉チャック３を設けている。したがって、図示した実施例の複列チャック５は、３列で４個ずつ合計１２個の開閉チャック３で構成してある。なお、同列の４個の開閉チャック３は、後述するように対応するチャック開閉作動部によって４個いっしょに連動させ開閉作動される。【００３４】  合計１２個の各開閉チャック３は、固定杆１０と可動杆１１をもち、固定杆１０は前記チャック取付け体４に固着固定され、可動杆１１は、バネ１２の付勢力で通常は上部を拡開し下部を固定杆１０の下部に向けて閉じるように軸ピン１３を介して前記チャック取付け体４に固定してある。そして、前記可動杆１１の上部をバネ１２の付勢力に抗して固定杆１１の上部方向へ押圧することによって、可動杆１１の下部を固定杆１０の下部から離れる方向へ移動させ、開閉チャック３を開くようにしてある。合計１２個の各開閉チャック３は、全て図１において右側の前列方向に可動杆１１側を配し、バネ１２の付勢力を同方向に向けている。前記チャック取付け体４は、図３に示したように、各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）を各１個ずつ取り付け可能なチャック取り付け架設杆を、吊持する基板の幅方向に所定間隔をおいて４つ並べ、これらのチャック取り付け架設杆の両端部を固定杆で固着した骨組み構造を有し、このチャック取付け体４に３列で各列４個ずつ合計１２個の開閉チャック３を取り付けてある。【００３５】  複数（３枚の）の基板Ｗを、レール２に沿って移動自在に構成された前記複列チャックハンガー１の第１列開閉チャック３Ａ、第２列開閉チャック３Ｂ、第３列開閉チャック３Ｃの３列の開閉チャック３によって、各基板面が所定間隔を空けて向き合う平行な並列状態にあり、且つ並列状態にある各基板Ｗの一側端部が前記レール２に沿う移動方向に向く姿勢状態に吊持し、この複列チャックハンガー１に吊持された複数（３枚の）の基板Ｗをレール２に沿って処理薬品液中を搬送させながら処理薬品液で無電解メッキするようにした。【００３６】  次に、前記復列チャックハンガー１の複列チャック開閉装置２０について、前記の図１〜図２に、図３及び図４を加えて説明する。図３は複列チャックハンガー１と複列チャック開閉装置２０を便宜的に離して示した平面図、図４はチャック開閉作動部（２１）を進出させた状態の側面図である。なお、図１はチャック開閉作動部（２１）を後退させた状態を示している。【００３７】  この復列チャック開閉装置２０は、基板取付け位置（又は、基板取り外し位置）に対応して設けられ、この基板取付け位置で前記レール１に支持されている前記複列チャックハンガー１に対して、この複列チャックハンガー１の複数列の前記開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）を各列の開閉チャックごとバネ１２による付勢力に抗して押圧した開状態に独立した駆動部によって単独作動させる各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）に対応したチャック開閉作動部２１を有し、このチャック開閉作動部２１を各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）の開閉作動を可能にする進出位置とレール２に沿った前記複列チャックハンガー１の移動を許容する後退位置とに進退移動するように構成してある。【００３８】  前記チャック開閉作動部２１は、復列チャック開閉装置２０の固定支持体２２に軸支された回転コロ２３を介して進退移動可能に支持された開閉作動部支持体２４に支持され、この開閉作動部支持体２４と開閉装置２０の固定基枠２５に連結された進退動シリンダー２６の往復駆動力を得て、各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）の開閉作動を可能にする図４に示した進出位置（図３の実線位置）とレール２に沿った複列チャックハンガー１の移動を許容する図１に示した後退位置（図３の二点鎖線位置）とに進退移動するように構成してある。したがって、前記チャック開閉作動部２１は、図３に実線で示した複列チャックハンガー１（このハンガー１には複数の基板Ｗが吊持されている。）がレール２に沿って基板取付け位置（又は基板取り外し位置）へ送られ該位置で止められた状態で、図３に示した二点鎖線で示した後退位置から同図の実線で示した進出位置へ進出移動され、この進出位置で複列チャックハンガー１の複列チャック５を開閉作動させ、複数基板Ｗの取り外しと装着を行なえるようにしている。【００３９】  前記チャック開閉作動部２１は、第１列開閉チャック３Ａに対応した第１列チャック開閉作動部２１Ａ、第２列開閉チャック３Ｂに対応した第２列チャック開閉作動部２１Ｂ、第３列開閉チャック３Ｃに対応した第３列チャック開閉作動部２１Ｃによって構成され、これらのチャック開閉作動部（２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ）は独立した駆動部（後述する第１作動シリンダー３３Ａ、第２作動シリンダー３３Ｂ、第３作動シリンダー３３Ｃ）によって単独作動するように構成してある。【００４０】  前述したように、前記複列チャック５は、吊持する基板Ｗの幅方向に所定間隔をおいて同列にそれぞれ４個ずつ開閉チャック３を配置して構成してあり、各列にそれぞれ４個ずつ設けた開閉チャック３は、対応するチャック開閉作動部（２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ）によって４個いっしょに連動して開閉作動するように構成してある。【００４１】  第１列開閉チャック３Ａ（前列開閉チャックとして機能される。）に対応する第１列チャック開閉作動部２１Ａ、第２列開閉チャック３Ｂ（中列開閉チャックとして機能される。）に対応する第２列チャック開閉作動部２１Ｂ、第３列開閉チャック３Ｃ（後列開閉チャックとして機能される。）に対応する第３列チャック開閉作動部２１Ｃの各作動機構を図示の実施例に基づき説明する。【００４２】  後列として機能させた第３列開閉チャック３Ｃに対応する第３列チャック開閉作動部２１Ｃは、第３列開閉チャック３Ｃを構成する複数（４個）の開閉チ��ック３に対応して係合する複数（４個）の作動レバー３０を回動軸３１（この回動軸３１はチャック開閉作動部２１を支持している前記開閉作動部支持体２４の支持基枠に軸架してある。）の軸方向に複数（４個）の開閉チャック３に対応して固定し、各作動レバー３０を回動軸３１の回動によって回動軸３１を軸心として連動して回動するように構成してある。前記回動軸３１には該回動軸３１を回動させ前記作動レバー３０をレバーの作用部として機能させるレバーアーム３２を固定し、このレバーアーム３２の先端部に第３作動シリンダー３３Ｃ（この作動シリンダーの他端側は前記開閉作動部支持体２４の後端部に連結してある。）の往復ロッド側を連結し、この往復ロッドの往復動によって、同列の複数の作動レバー３０が該作動レバーの端部に設けた回転子３０ａを介して対応する第３列開閉チャック３Ｃの各開閉チャック３の可動杆１１の上部をバネ１２の付勢力に抗して押圧し、該開閉チャック３を開けさせる係合位置と、開閉チャック３の可動杆１１から離れた不係合位置を連動して作動するように構成してある。【００４３】  中列として機能させた第２列開閉チャック３Ｂに対応する第２列チャック開閉作動部２１Ｂも前述した第３列チャック開閉作動部２１Ｃと同様な作動機構であり、第２列開閉チャック３Ｂを構成する複数（４個）の開閉チャック３に対応して係合する複数（４個）の作動レバー３０を回動軸３１（この回動軸３１はチャック開閉作動部２１を支持している前記開閉作動部支持体２４の支持基枠に軸架してある。）の軸方向に複数（４個）の開閉チャック３に対応して固定し、各作動レバー３０を回動軸３１の回動によって回動軸３１を軸心として連動して回動するように構成してある。前記回動軸３１には該回動軸３１を回動させ前記作動レバー３０をレバーの作用部として機能させるレバーアーム３２を固定し、このレバーアーム３２の先端部に第２作動シリンダー３３Ｂ（この作動シリンダーの他端側は前記開閉作動部支持体２４の後端部に連結してある。）の往復ロッド側を連結し、この往復ロッドの往復動によって、同列の複数の作動レバー３０が該作動レバーの端部に設けた回転子３０ａを介して対応する第２列開閉チャック３Ｂの各開閉チャック３の可動杆１１の上部をバネ１２の付勢力に抗して押圧し、該開閉チャック３を開けさせる係合位置と、開閉チャック３の可動杆１１から離れた不係合位置を連動して作動するように構成してある。【００４４】  前列として機能する第１列開閉チャック３Ａに対応する第１列チャック開閉作動部２１Ａも前述した前記第３列チャック開閉作動部２１Ｃ及び第２列チャック開閉作動部２１Ｂと実質的に同様な作動機構を有するが、第１列チャック開閉作動部２１Ａの進出状態において複列チャックハンガー１の前記連結固定部材７との衝突を回避させる回避作動機構としている。すなわち、第１列開閉チャック３Ａを構成する複数（４個）の開閉チャック３に対応して係合する複数（４個）の作動レバー３０を２本に分離した同軸心の回動軸３１ａ，３１ａ（この回動軸はチャック開閉作動部３１を支持している前記開閉作動部支持体２４の支持基枠に軸架してある。）の軸方向に２個ずつ合計４個を４個の開閉チャック３に対���して固定してある。２本の回動軸３１ａ，３１ａの各内側端部に各回動軸を回動させ前記作動レバー３０をレバーの作用部として機能させるレバーアーム３２をそれぞれ固定し、各レバーアーム３２の上端部を平面視コ字状の迂回連結杆３５に軸ピン３６を介して連結し、この迂回連結杆３５に第１作動シリンダー３３Ａ（この作動シリンダーの他端側は前記開閉作動部支持体２４の後端部に連結してある。）の往復ロッド側を連結してある。この往復ロッドの往復動によって、前記迂回連結杆３５及び前記各レバーアーム３２を介して分離した２本の回動軸３１ａ，３１ａをいっしょに回動させ、各回動軸３１ａ，３１ａに固定した２個ずつの作動レバー３０が該作動レバーの端部に設けた回転子３０ａを介して対応する第１列開閉チャック３Ａの各開閉チャック３の可動杆１１の上部をバネ１２の付勢力に抗して押圧し、該開閉チャック３を開けさせる係合位置と、開閉チャック３の可動杆１１から離れた不係合位置を連動して作動するように構成してある。【００４５】  独立した駆動部（第１作動シリンダー３３Ａ、第２作動シリンダー３３Ｂ、第３作動シリンダー３３Ｃ）によって単独作動する各チャック開閉作動部（２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ）は、前列の第１列開閉チャック３Ａに対応した第１列チャック開閉作動部２１Ａ、中列の第２列開閉チャック３Ｂに対応した第２列チャック開閉作動部２１Ｂ、後列の第３列開閉チャック３Ｃに対応した第３列チャック開閉作動部２１Ｃの順に閉状態にある各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）を開作動させるように制御され、前列の第１列開閉チャック３Ａ、中列の第２列開閉チャック３Ｂ、後列の第３列開閉チャック３Ｃの順に開作動される各列の開閉チャックで吊持されていた表面処理済の各基板Ｗは順次各列の開閉チャックから外され脱着される。次に空の各列の開閉チャックにこれから表面処理される基板を装着し吊持させる場合は、各チャック開閉作動部（２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ）を、後列の第３列開閉チャック３Ｃに対応した第３列チャック開閉作動部２１Ｃ、中列の第２列開閉チャック３Ｂに対応した第２列チャック開閉作動部２１Ｂ、前列の第１列開閉チャック３Ａに対応した第１列チャック開閉作動部２１Ａの順に各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）を開作動から開作動を終了させる不係合状態に制御し、各開閉チャック３のバネ１２の付勢力で後列の第３列開閉チャック３Ｃ、中列の第２列開閉チャック３Ｂ、前列の第１列開閉チャック３Ａの順に閉じられる各列の開閉チャックにこれから表面処理される基板を順次装着し吊持させる。このようにして、復列チャックハンガー１の複列チャック５へ複数の基板を容易に装着でき、装着されていた複数の基板を容易に脱着できる。【００４６】  次に、基板取付け位置の基板搬入部（図示せず。以下同じ）において水平状態に配置してある基板を垂直状態に変換して前記複列チャックハンガー１の各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）の基板装着位置へ供給する基板取付け装置４０、及び基板取り外し位置において前記複列チャックハンガー１の各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）から取り外された基板を垂直状態から水平状態に変換して前記基板搬出部（図示せず。以下同じ）へ供給する基板取り外し装置７０について、主に図１及び図２に基づいて説明する。なお、基板取り外し装置７０の構成は、前記基板取付け装置４０の構成と実質的に同じである。したがって、基板取り外し装置７０の説明において、基板取付け装置４０と同じ構成の説明は省略する。【００４７】  前記基板取付け装置４０は、前記基板の基板面を基板受け面４２で着脱可能に支持する基板受け部４１と、この基板受け部４１で支持される前記基板Ｗを水平姿勢から垂直姿勢に反転する基板受け部反転制御手段５０と、前記基板受け部４１で垂直姿勢に支持される前記基板Ｗの上端部を前記複列チャック５における各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）で挟持し得る各進出位置（図１に一点鎖線で示す）と前記複列チャック５の基板吊持位置から後方に離れる後退位置（図１に実線で示す）とに該基板受け部４１の進退移動を制御する基板受け部進退移動制御手段６０と、前記基板取付け位置の前記基板搬入部において水平状態に配置してある基板Ｗを前記基板受け部４１で水平姿勢に支持し得る下降位置（図１に一点鎖線で示す）と該基板受け部４１で垂直姿勢に支持した基板Ｗを前記複列チャックハンガー１による装着を可能にする上昇位置（図１に実線で示す）とに該基板受け部を上下動させる基板受け部上下動手段と、を含むものである。【００４８】  また、前記基板取り外し装置７０は、前記基板の基板面を基板受け面４２で着脱可能に支持する基板受け部４１と、この基板受け部４１で支持される前記基板Ｗを垂直姿勢から水平姿勢に反転する基板受け部反転制御手段５０と、前記複列チャックハンガー１の各列の開閉チャック（３Ａ，３Ｂ，３Ｃ）から脱着される各基板Ｗを前記基板受け部４１で垂直姿勢に支持できる各進出位置（図１に一点鎖線で示す）と前記複列チャック５の基板吊持位置から後方に離れる後退位置（図１に実線で示す）とに該基板受け部４１の進退移動を制御する基板受け部進退移動制御手段６０と、前記複列チャックハンガー１から脱着される基板Ｗを前記基板受け部４１で垂直姿勢に支持し得る上昇位置（図１に実線で示す）と該基板受け部４１で水平姿勢に支持した基板Ｗを該基板受け部４１から離脱して前記基板搬出部へ水平姿勢で供給し得る下降位置（図１に一点鎖線で示す）とに該基板受け部を上下動させる基板受け部上下動手段と、を含むものである。【００４９】  前記基板受け部反転制御手段５０は、装置フレームに固定した反転用モーター５１と、この反転用モーターの回転軸にカップリングを介して連結され、装置フレームに軸受けを介して回転自在に支持された回転軸５２と、この回転軸５２に反転可能に固定された反転アーム５３及び反転支持体５４と、この反転支持体５４に支持された進退移動制御可能な進退移動スライダ部を持つ基板受け部進退移動制御シリンダー５５と、この基板受け部進退移動制御シリンダー５５の進退移動スライダ部に支持された進退移動制御可能なスライド体５６と、このスライド体５６の先端部に該スライド体５６の進退方向に直交する方向に基板受け面４２を配して固定された基板受け部４１とで構成してある。【００５０】  前記基板受け部進退移動制御手段６０は、前記基板受け部進退移動制御シリンダー５５の進退移動���動制御によって前記基板受け部４１の進退移動を制御するようにし、前記スライド体５６に固定した基板受け部４１の基板受け面４２を進退方向に向けて各進出位置と後退位置とにその進退移動を制御できるようにしてある。【００５１】  この実施形態では、前記基板受け部上下動手段を前記基板受け部進退移動制御シリンダー５５の進退移動駆動制御によって前記基板受け部４１を上下動させている。【００５２】  また、前記基板取付け装置４０（前記基板取り外し装置７０）において、前記基板Ｗの基板面を前記基板受け部４１の基板受け面４２で着脱自在に支持する手段を、前記基板受け部４１の端部に設けた開閉制御可能な基板支持クランプ４３によって前記基板の端部を基板受け面４２側に押さえて支持するクランプ支持手段と、基板Ｗの基板面を基板受け面４２側に向けて支える旋回移動制御可能な基板面支えレバー４５とで構成し、前記基板支持クランプ４３は少なくとも垂直姿勢において上端となる基板Ｗの端部を基板受け面側に押さえる支持位置に設け、前記基板面支えレバー４５は垂直状態において側端となる該基板受け部４１の少なくとも一方の側端部（側端部の下端部側）の基板受け面より外側位置に設けた軸部４６を中心にして基板面の支持範囲外から基板面の側端部方向へ移動して基板面を支える支持範囲内に旋回移動する構成としてある。図２の実施形態では、前記基板支持クランプ４３は垂直姿勢において上端となる基板Ｗの端部（上端部）を基板受け面側に押さえる支持位置と同姿勢において側端となる基板の一方の側端部（右側端部）を基板受け面側に押さえる支持位置に設け、前記基板面支えレバー４５は垂直状態において側端となる該基板受け部の他方の側端部（左側端部の下側位置）から外方向に突設したブラケットに設けた前記軸部４６を中心にして基板面の支持範囲外から基板面の側端部方向へ移動して基板面を支える支持範囲内に旋回移動するものとしてある。【００５３】  前記基板支持クランプ４３の開閉制御は、前記基板受け部４１の端部から外方向に突設したブラケットに支持ピンを介して枢着したクランプレバーの背面側（基板受け面の反対面）の端側を前記基板受け部４１の背面側に設置したクランプ開閉制御シリンダー４４に連結し、このシリンダー４４の往復動によって他端側（基板受け面側）の略Ｌ字形状のクランプ部が前記基板の端部を背面方向から基板受け面側に回り込むようにして押さえて支持する閉止状態と基板の端縁から外側に離れる開放状態とに開閉制御されるようにしてある。【００５４】  図２に示すように、前記基板支持クランプ４３は支持する基板の上端部又は右側端部の幅方向に所定間隔をおいてそれぞれ複数配置し、基板Ｗの上端部を支持する基板支持クランプ４３の配置位置は各列に複数設けた前記開閉チャック３と互いに干渉しないようにずらして配置してある。また、複数配置してある前記基板支持クランプ４３は同時に開閉制御するように設定してある。【００５５】  前記基板面支えレバー４５を、図２に示すように、主支えレバー４５Ａと、従属支えレバー４５Ｂとで構成し、両レバーは、基板面を支える支持範囲内に位置する際には両レバー間に介装した拡開バネ４７の付勢力によって略Ｖ字状の二股状に拡開され、レバー受け係止部４８に係止される基板面の支持範囲外に位置する際には前記拡開バネ４７の付勢力に抗して閉じられ２本のレバー全体が略重なるように構成してある。前記主支えレバー４５Ａの基部を支えレバー作動シリンダー４９によって回転する軸部４６に固定し、前記従属支えレバー４５Ｂの基部を回転する軸部４６にフリー回転状態に取付け、両レバー間に該レバーを略Ｖ字状の二股状に拡開する付勢力の前記拡開バネ４７を介装し、付勢された略Ｖ字状の拡開状態において前記従属支えレバー４５Ｂを前記レバー受け係止部４８の方向に配置して構成してある。これによって、前記支えレバー作動シリンダー４９の作動により前記主支えレバー４５Ａを前記レバー受け係止部４８に係止される位置に旋回移動すれば、従属支えレバー４５Ｂも連動して移動しレバー受け係止部４８に係止され、前記拡開バネ４７の付勢力に抗して閉じられる。基板面支えレバー４５（４５Ａ，４５Ｂ）をこのように構成したことによって、支えレバーによる基板の基板面の支え範囲を広くすることができる。【００５６】  図２において矩形の基板受け面４２に前記基板支持クランプ４３によって支持される矩形の基板Ｗの位置を該基板の上辺と右側辺を基準とし、該基板の下辺及び左側辺に自由度を残している。これにより、基板受け面に支持される矩形基板のサイズ変更に対処できるようにしている。ちなみに、図示した基板サイズは標準サイズより大きなものである。【００５７】  なお、図示してないが、前記基板支持クランプ４３を垂直姿勢において上端となる基板の端部を基板受け面側に押さえる支持位置のみ設け、前記基板面支えレバー４５（４５Ａ，４５Ｂ）を図２において左右対称位置に設けることもできる。この構成にすれば、基板受け面４２に支持される矩形基板Ｗの位置を該基板の上辺と縦方向の中心線を基準とし、該基板の下辺及び左右両辺に自由度を残すことができる。これにより、前記と同様に基板受け面に支持される矩形基板のサイズ変更に更に対処できる。【００５８】  次に、複列チャック開閉装置２０と基板取付け装置４０とから成る基板装着装置で複列チャックハンガー１に基板を装着する動作について説明する。複列チャックハンガー１の複列チャックへの基板装着は、基板取付け装置４０の基板受け部４１を基準にして奥側から手前の順に後列の第３列開閉チャック３Ｃ、中列の第２列開閉チャック３Ｂ、前列の第１列開閉チャック３Ａの順に基板が装着される。【００５９】  下降位置において基板受け面４２を下に向けた水平状態の基板受け部４１は、基板搬入部に水平状態に置かれた基板を該基板の上端部を基板受け面４２から突出（突出部分が開閉チャック３による挟持しろと成る。）した状態に支持する。基板受け面４２での基板の支持は前記基板支持クランプ４３及び基板面支えレバー４５によって行われる。基板を支持した基板受け部４１は、前記基板受け部進退移動シリンダー５５の進退移動制御によって下降位置から上方移動される過程で、水平状態から垂直状態に反転されると共に、後列の第３列開閉チャック３Ｃに対応する装着位置へ進出位置を制御され、支持した基板の上端部を開状態に制御されている第３列開閉チャック３Ｃの挟持部へ供給する。基板供給後に第���列開閉チャック３Ｃが閉じられ、該チャック３Ｃで基板の上端部が挟持され、前記基板受け部４１での基板の支持が解除され、後列の第３列開閉チャック３Ｃへの基板装着を完了する。基板の支持を解除した前記基板受け部４１は、進出位置から後退位置へ後退移動され、この後退位置で垂直状態から水平状態へ反転されると共に、下降位置へ移動される。基板受け部４１は、前記基板搬入部に供給されている水平状態に置かれた基板を支持し、前記と同様な装着動作でこの基板を中列の第２列開閉チャック３Ｂへ装着する。第２列開閉チャック３Ｂへの基板装着を完了した基板受け部４１は前記基板搬入部に戻され、前列の第１列開閉チャック３Ａに装着される基板を支持し、前記と同様な装着動作でこの基板を前列の第１列開閉チャック３Ａへ装着する。第１列開閉チャック３Ａへの基板装着を完了した基板受け部４１は前記基板搬入部に戻され、複列チャック５への基板装着を完了する。基板の装着を完了された複列チャックハンガー１はレール２に沿って表面処理工程へ搬送され、この基板取付け位置に供給された新たな複列チャックハンガー１に同様な基板装着が繰り返される。【００６０】  次に、複列チャック開閉装置２０と基板取り外し装置７０とから成る基板脱着装置で複列チャックハンガー１から基板を取り外し水平状態に反転して基板搬出部へ供給する動作について説明する。複列チャックハンガー１からの基板の取り外しは、基板取り外し装置の基板受け部４１を基準にして手前から順に前列の第１列開閉チャック３Ａ、中列の第２列開閉チャック３Ｂ、後列の第３列開閉チャック３Ｃの順に行われる。【００６１】  上昇位置において垂直状態に反転されている基板受け部４１は、前列の第１列開閉チャック３Ａで吊持されている基板を基板受け面４２で支持できる進出位置へ移動を制御され、この進出位置で前列の基板を基板受け部４１で支持する。基板受け面４２での基板の支持は前記基板支持クランプ４３及び基板面支えレバー４５によって行われる。基板受け部４１で基板を支持した後に、前記第１列開閉チャック３Ａが開けられ、基板受け部４１に支持された基板は前記第１列開閉チャック３Ａから脱着される。基板を支持した前記基板受け部４１は、進出位置から後退位置へ後退移動され、この後退位置で垂直状態から水平状態へ反転されると共に、下降位置へ移動される。ここで、前記基板支持クランプ４３及び基板面支えレバー４５による基板の支持が解除され、基板受け部４１から離された基板は基板搬出部に水平姿勢で供給される。基板を離した前記基板受け部４１は、前記基板受け部進退移動シリンダー５５の進退移動制御によって下降位置から上方移動される過程で、水平状態から垂直状態に反転されると共に、中列の第２列開閉チャック３Ｂに吊持されている基板を支持できる位置へ進出位置を制御され、前記した第１列開閉チャック３Ａと同様に、第２列開閉チャック３Ｂから脱着される基板を基板受け部４１で支持し、進出位置から後退位置へ後退移動され、この後退位置で垂直状態から水平状態へ反転されると共に、下降位置へ移動される。ここで、前記基板支持クランプ４３及び基板面支えレバー４５による基板の支持が解除され、基板受け部４１から離された基板は前記基板搬出部に水平姿勢で供給される。これらと同様に、後列の第３列開閉チャック３Ｃで吊持されている基板を取り外し、基板搬出部へ水平状態にして供給し、複列チャックハンガー１から基板の取り外しを完了する。基板を全て取り外された複列チャックハンガー１は必要に応じ洗浄され、基板取付け位置へ送られる。また、基板取り外し位置に供給された次位の複列チャックハンガーからも同様な基板取り外しが繰り返し行われる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】  本発明の複列基板装着装置及び複列基板脱着装置の側面図である。
【図２】  本発明の複列基板装着装置及び複列基板脱着装置の正面図である。
【図３】  本発明の複列基板装着装置及び複列基板脱着装置の概略平面図である。
【図４】  複列チャック開閉装置の作動状態を示す側面図である。
【符号の説明】
【００６３】  １  複列チャックハンガー
２  レール
３  開閉チャック
３Ａ  第１列開閉チャック
３Ｂ  第２列開閉チャック
３Ｃ  第３列開閉チャック
４  チャック取付け体
５  複列チャック
１２  バネ
２０  複列チャック開閉装置
２１  チャック開閉作動部
２１Ａ  第１列チャック開閉作動部
２１Ｂ  第２列チャック開閉作動部
２１Ｃ  第３列チャック開閉作動部
２４  開閉作動部支持体２４
２６  進退動シリンダー
３３Ａ  第１作動シリンダー
３３Ｂ  第２作動シリンダー
３３Ｃ  第３作動シリンダー
４０  基板取付け装置
４１  基板受け部
４２  基板受け面
４３  基板支持クランプ
４４  クランプ開閉制御シリンダー
４５  基板面支えレバー
４５Ａ  主支えレバー
４５Ｂ  従属支えレバー
４６  基板面支えレバーの軸部
４７  拡開バネ
４８  レバー受け係止部
４９  支えレバー作動シリンダー
５０  基板受け部反転制御手段
５１  反転用モーター
５２  回転軸
５３  反転アーム
５４  反転支持体
５５  基板受け部進退移動制御シリンダー
５６  スライド体
６０  基板受け部進退移動制御手段
７０  基板取り外し装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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