(57)【要約】【課題】１つの真空成膜装置では、チャンバー数が足りずに、より多層化された磁気記録媒体を製造することが困難である真空成膜装置を、連結することにより、製造を可能とする磁気記録媒体の製造方法および、連結するための連結装置を提供する。【解決手段】ディスク状の磁気記録媒体の製造方法において、枚葉搬送システム３０２を具備した連結装置３０１にて、複数の真空成膜装置１０１，２０１を連結してなる成膜装置を用いる。【選択図】図２
2009181605.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状の磁気記録媒体の製造方法において、枚葉搬送システムを具備した連結装置にて、複数の真空成膜装置を連結してなる成膜装置を用いることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記連結装置が、真空状態での枚葉搬送システムを具備したことを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項３】
連結した真空成膜装置間の搬送時間が６０秒以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】
連結した真空成膜装置間の搬送時間が３０秒以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】
ディスク状の磁気記録媒体の製造に用いられる真空成膜装置を連結するための、枚葉搬送システムを具備した連結装置。
【請求項６】
真空状態を形成するシステムを具備した請求項５に記載の連結装置。
【請求項７】
前記枚葉搬送システムが、先端にディスクを把持したアームを回転させることにより、ディスクを搬送することを特徴とする請求項５または６に記載の連結装置。
【請求項８】
アームの先端に、略垂直にディスクを把持したことを特徴とする請求項７に記載の連結装置。
【請求項９】
アームの回転によっても、搬送の間、ディスク面の向きが保持されていることを特徴とする請求項８に記載の連結装置。
【請求項１０】
ディスク収納パッケージによる搬送を可能とするシステムをさらに具備した請求項５ないし９のいずれかに記載の連結装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体の製造方法および製造装置に関する。特に詳細には、本発明は、複数の真空成膜装置を用いて、ディスク状の磁気記録媒体を製造する製造方法および製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクやＭＯ（Magnet Optical Disk）といったディスク状の磁気記録媒体（光磁気記録媒体も含む）は、ディスク状の基板の上に、金属などからなる薄膜を多層に積層した構造を有し、その薄膜の製造には、一般に、真空チャンバーを用いたドライ方式にて薄膜を成膜するプロセスが用いられている。中でも、スパッタ成膜法、ＣＶＤ成膜法は、ディスク状の磁気記録媒体の薄膜を成膜するプロセスとして、広く用いられている。
通常、一つの真空チャンバーにおいて、一種類の薄膜が成膜されるため、多層膜を形成するには、多数の真空チャンバーが必要である。そのため、上述の磁気記録媒体を製造する真空成膜装置は、多数の真空チャンバーを有し、個々の真空チャンバー間を、ディスクが搬送される仕組みとなっている。このような真空成膜装置としては、例えば、特許文献１に記載されているようなものがあり、このような装置は、インテバック社MPD-250Bとして購入できる。また他にも、キヤノンアネルバ社のC-3040なども磁気記録媒体用の真空成膜装置として存在している。
近年、磁気記録媒体の高密度化に伴い、磁気記録媒体の層構成は、より多種の材料、より多層になっている。特にハードディスクにおいては、長手磁気記録方式から垂直磁気記録方式へと変遷するなかで、長手磁気記録方式の磁気記録媒体では、インテバック社MPD-250Bのような１２個程度のチャンバー数の真空成膜装置で製造可能であるが、垂直磁気記録方式の磁気記録媒体では、より多層化に伴い、１２個以上のチャンバー数が必要となってきている。
【０００３】
そこで、最近では、特許文献２に記載されているような、プロセスステーションを増設することにより２０個以上のチャンバー数にすることも可能な真空成膜装置も登場している。このような装置は、インテバック社２００Leanとして購入できる。
【特許文献１】特許第２６９９０４５号公報
【特許文献２】特表２００６−５１７３２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、磁気記録媒体の製造業者にとっては、保有する正常に動作するMPD-250Bの使用の代わりに、２００Leanを使用するには、新たな装置の導入にともなう、コストの上昇や、手間を増やすことになる。現有する真空成膜装置を用いて、より多層となっている垂直磁気記録方式の磁気記録媒体を製造することが可能であれば、操作方法も変更などの手間をかける必要がなく、コストを低く抑えることができる。
本発明は、上記のような状況を鑑みなされたものであり、１つの真空成膜装置では、チャンバー数が足りずに、より多層化された磁気記録媒体を製造することが困難である真空成膜装置を、連結することにより、製造を可能とする磁気記録媒体の製造方法および、連結するための連結装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明の磁気記録媒体の製造方法は、ディスク状の磁気記録媒体の製造方法において、枚葉搬送システムを具備した連結装置にて、複数の真空成膜装置を連結してなる成膜装置を用いることを特徴とする。
前記連結装置が、真空状態での枚葉搬送システムを具備することが好ましい。ここで、真空状態とは「大気圧より低い圧力の気体で満たされている特定の空間の状態」を言う。
また、連結した真空成膜装置間の搬送時間が６０秒以下であることが好ましく、さらには、３０秒以下であることが好ましい。
また、本発明の連結装置は、ディスク状の磁気記録媒体の製造に用いられる真空成膜装置を連結するための、枚葉搬送システムを具備した連結装置であることを特徴とする。
また、該連結装置は、真空状態を形成するシステムを具備することが好ましい。
また、前記枚葉搬送システムが、先端にディスクを把持したアームを回転させることにより、ディスクを搬送することが好ましい。
また、アームの先端に、略垂直にディスクを把持することが好ましく、さらには、アームの回転によっても、搬送の間、ディスク面の向きが保持されていることが好ましい。
さらに、ディスク収納パッケージによる搬送を可能とするシステムをさらに具備することが好ましい。
【発明の効果】
【０００６】
１つの真空成膜装置では、チャンバー数が足りずに、より多層化された磁気記録媒体を製造することが困難である真空成膜装置であっても、本発明の連結装置を用いて、2つ以上真空成膜装置連結することにより、例えば、多層化された垂直磁気記録媒体であっても、新たな装置を導入せずとも、製造可能となり、コストを低く抑えるとともに、新規装置導入にともなう操作方法の変更など多種の手間をかけず済むことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は、従来の１つの真空成膜装置を用いて、磁気記録媒体の成膜を行う場合の概要構成図である。洗浄など前工程を終えた磁気記録媒体用の基板ディスクは、ディスク収納パッケージ２に、複数枚ずつ詰められ、真空成膜装置１に搬送される。真空成膜装置１の入り口１１では、ディスク収納パッケージ２から、1枚ずつ磁気記録媒体用の基板ディスク４aが取り出され、真空成膜装置内の真空チャンバー１２に搬送され、真空チャンバー１２内のスパッタ装置など（不図示）によって、基板上に薄膜を形成する。図では、真空チャンバーは、１つしか示していないが、通常は、複数個の真空チャンバーを有しており、成膜された基板は、次の真空チャンバーに搬送され、そこで、さらに成膜が行われ、多層の薄膜が形成される。成膜されたディスク４ｂは、真空成膜装置の出口１３にて、再び、ディスク収納パッケージ２に収納され、成膜されたディスクが複数枚収納された後、検査などの次工程へと搬送される。
図２は、２つの真空成膜装置を本発明の連結装置にて、連結した状態を示す概略構成図である。連結される２つの真空成膜装置は、同じ構成の装置であっても良いし、異なる構成の装置であってもよい。図２には、真空成膜装置１０１と真空成膜装置２０１とを連結装置３０１にて連結した状態が示されている。洗浄など前工程を終えた磁気記録媒体用の基板ディスクは、ディスク収納パッケージ２に、複数枚ずつ詰められ、真空成膜装置１０１に搬送される。真空成膜装置１０１の入り口１１１では、ディスク収納パッケージ２から、1枚ずつ磁気記録媒体用の基板ディスク４aが取り出され、真空成膜装置内の真空チャンバー１１２に搬送され、真空チャンバー１１２内のスパッタ装置など（不図示）によって、基板上に薄膜を形成する。図では、真空チャンバーは、１つしか示していないが、通常は、複数個の真空チャンバーを有しており、成膜された基板は、次の真空チャンバーに搬送され、そこで、さらに成膜が行われ、多層の薄膜が形成される。ここまでは、図１で説明した従来の１つの真空成膜装置を用いて、磁気記録媒体の成膜を行う場合と同様である。成膜を終えたディスク４ｂは、真空成膜装置１０１の出口１１３にて、取り出され、枚葉搬送システム３０２を具備した連結装置３０１により、1枚ずつ、別の真空成膜装置２０１の入り口２１１に搬送される。枚葉システム３０２により、ディスク収納パッケージによる搬送に比べ、３０秒以下の短時間での搬送が可能となり、効率的な製造が可能となる。真空成膜装置２０１では、真空成膜装置１０１と同様に、真空チャンバー２１２内で成膜が行われ、さらに多層の薄膜が形成されたディスク４ｃは、真空成膜装置の出口２１３にて、再び、ディスク収納パッケージ２に収納され、成膜されたディスクが複数枚収納された後、検査などの次工程へと搬送される。
【０００８】
より好ましい連結装置の構成では、真空チャンバー３０６の中に、枚葉搬送システム３０２が設置される。真空チャンバー３０６の中に設置することにより、成膜工程において、一度も真空を破ることなく成膜が可能となる。より好ましい枚葉搬送システムは、アーム３０３の中心にモーター３０４に取り付けられており、アーム３０３の両端にディスク把持機構３０５を有している。成膜されたディスク４ｂは、真空成膜装置１０１の出口１１３にて、取り出され、ディスク把持機構３０５によって把持される。モーター３０４よって、アーム３０３が略１８０°回転し、把持されたディスク４ｂは、真空成膜装置２０１の入り口２１１まで、搬送される。その際、アーム３０３の先端に、略垂直にディスク４ｂを把持することが好ましい。さらには、アーム３０３の回転によっても、搬送の間、ディスク面の向きが保持されていること好ましい。また、アーム３０３の両端にディスク把持機構３０５を有しているので、そのまま、次のディスクを把持することができ、効率的である。
また、さらに、枚葉搬送システム３０２とは、別個に、ディスク収納パッケージ２による搬送が可能なシステム３０７が併設されていると、枚葉搬送システム３０２が故障した際にも、成膜が可能となり、便利である。
【産業上の利用可能性】
【０００９】
種々の磁気記録媒体の製造に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】従来の磁気記録媒体の製造方法の一実施形態を示す上から見た概略構成図である。
【図２】本発明の磁気記録媒体の製造方法および連結装置の一実施形態を示す上から見た概略構成図である。
【符号の説明】
【００１１】
１、１０１、２０１・・・真空成膜装置
３０１・・・連結装置
２・・・ディスク収納パッケージ
４ａ，４ｂ，４ｃ・・・ディスク
１１、１１１、２１１・・・真空成膜装置の入り口
１２、１１２、２１２・・・真空チャンバー
１３、１１３、２１３・・・真空成膜装置の出口
３０２・・・枚葉搬送システム
３０３・・・アーム
３０４・・・モーター
３０５・・・把持機構
３０６・・・真空チャンバー
３０７・・・ディスク収納パッケージによる搬送が可能なシステム
【図１】
2009181605.tif 000003
【図２】
2009181605.tif 000004