(57)【要約】【課題】  一対のバフ研磨ローラで板状ワークの両面を同時に研磨するという本発明者等が案出した手法を採用する場合における種々の弊害を回避する。【解決手段】  複数の搬送ローラ６、９により形成される搬送径路３Ｂの途中に配設され且つ板状ワークＰを相互間に介在させてその板状ワークＰの両面を同時に研磨する一対のバフ研磨ローラ１４（１５）を備えると共に、この一対のバフ研磨ローラ１４（１５）の相互間における板状ワークＰの研磨位置がそれらのバフ研磨ローラ１４（１５）のそれぞれの径の異同に拘わらず予め判明している研磨基準位置３８となるように一対のバフ研磨ローラ１４（１５）を位置決めする位置決め手段３０を備える。【選択図】図６
2009291907.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを搬送する搬送手段と、この搬送手段による搬送途中で前記板状ワークを研磨するバフ研磨ローラとを備えた研磨装置において、
前記搬送手段により形成される搬送径路の途中に配設され且つ前記板状ワークを相互間に介在させて該板状ワークの両面を同時に研磨する一対のバフ研磨ローラを備えると共に、前記一対のバフ研磨ローラの相互間における前記板状ワークの研磨位置がそれらのバフ研磨ローラのそれぞれの径の異同に拘わらず予め判明している研磨基準位置となるように前記一対のバフ研磨ローラを位置決めする位置決め手段を備えたことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記位置決め手段は、前記一対のバフ研磨ローラをそれぞれ前記研磨基準位置を境として両側に等距離だけ離間した退避位置から両者の移動距離を等しく維持しつつ接近移動させる移動手段と、前記一対のバフ研磨ローラのうち一方のバフ研磨ローラのみを回転駆動させる回転駆動手段と、前記一方のバフ研磨ローラの回転速度を検出する第一回転速度センサと、前記移動手段による接近移動に伴って前記一方のバフ研磨ローラと接触して連れ回る他方のバフ研磨ローラの回転速度を検出する第二回転速度センサとを備えていることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
板状ワークを搬送する搬送手段と、この搬送手段による搬送途中で前記板状ワークを研磨するバフ研磨ローラとを備え、前記バフ研磨ローラの位置決めを行う研磨装置のローラ位置決め方法において、
前記搬送手段により形成される搬送径路の途中に配設され且つ前記板状ワークを相互間に介在させて該板状ワークの両面を同時に研磨する一対のバフ研磨ローラを備え、前記一対のバフ研磨ローラの相互間における前記板状ワークの研磨位置がそれらのバフ研磨ローラのそれぞれの径の異同に拘わらず予め判明している研磨基準位置となるように前記一対のバフ研磨ローラを位置決めすることを特徴とする研磨装置のローラ位置決め方法。
【請求項４】
前記一対のバフ研磨ローラをそれぞれ前記研磨基準位置を境として両側に等距離だけ離間した退避位置から両者の移動距離を等しく維持しつつ接近移動させることにより、前記一対のバフ研磨ローラのうち回転駆動される一方のバフ研磨ローラと回転駆動されない他方のバフ研磨ローラとを接触させて該他方のバフ研磨ローラに連れ回りを生じさせ、この時の両バフ研磨ローラの回転速度を比較して、その比較結果に基づいて前記一対のバフ研磨ローラを位置決めすることを特徴とする請求項３に記載の研磨装置のローラ位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨装置及び研磨装置のローラ位置決め方法に係り、詳しくは、板状ワークを搬送する複数の搬送ローラと、これらの搬送ローラによる搬送途中で板状ワークを研磨するバフ研磨ローラとを備えた研磨装置及び研磨装置のローラ位置決め方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、板状ワークの一種であるプリント基板は、絶縁基板の片面または両面に形成した銅箔等からなる金属層の表面にフォトレジスト膜を形成し、露光、現像、エッチング等を行うフォトリソ工程を経て製作される。この場合、絶縁基板の金属層の表面にフォトレジスト膜を形成する前段階においては、その金属層をバフ研磨するのが通例とされている。
【０００３】
この種のバフ研磨を行う研磨装置として、例えば特許文献１（同文献の図１０）及び特許文献２（同文献の図８）によれば、バフ研磨ローラと、このバフ研磨ローラに対向配置されたバックアップローラとを備え、この両ローラの相互間に送り込まれた板状ワークとしてのプリント基板に対してバフ研磨ローラが研磨処理を施しつつ、該プリント基板を前方に搬送する構成が開示されている。
【０００４】
そして、これらの文献に開示されたプリント基板は、可撓性を有する薄肉基板であるため、上下一対のガイド部材により直進性を維持できるように案内されながら上記の両ローラの相互間に送り込まれて研磨処理を受けると共に、研磨処理後においても同様にガイド部材により案内されながら搬送ローラによってさらに前方に搬送されていくことになる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２６８２４９号公報
【特許文献２】特開２００３−０６２７４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記の特許文献１、２に開示された研磨装置によれば、プリント基板がバフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間に送り込まれる構成であるが、プリント基板が薄肉基板であると、片面のみが研磨されることに起因する反りの発生が品位低下を招くという問題が生じる。しかも、これらの研磨装置のように、バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間で、プリント基板をバフ研磨ローラにより研磨する構成であると、この両ローラ間に異物が介入した場合には、バックアップローラの周面の剛性が高いこと等に起因して、プリント基板に打痕が付き、これによってもプリント基板の品位低下を招くことになる。
【０００７】
そこで、本発明者等は、鋭意研究を重ねた結果、バックアップローラの使用を廃止し、一対のバフ研磨ローラを対向させて配置して、この一対のバフ研磨ローラの相互間にプリント基板等の板状ワークを送り込み、この板状ワークの両面をそれらのバフ研磨ローラにより同時に研磨する手法を案出するに至った。この手法によれば、従来のようなプリント基板の反りや打痕による問題を一挙に解決することが期待できる。
【０００８】
しかしながら、このように一対のバフ研磨ローラにより板状ワークの両面を同時に研磨する手法によれば、この双方のバフ研磨ローラの磨耗量が相違すること等に起因して、両者の径が異なる寸法となり、板状ワークの研磨位置が正規の位置からズレを生じるという事態を招く。このような事態は、一方のバフ研磨ローラのみを取替え交換して板状ワークの両面同時研磨を行う場合に顕著に現れる。
【０００９】
そして、このような事態が生じると、一対のバフ研磨ローラの相互間に板状ワークが適正に挟み込まれなくなるばかりでなく、両面研磨を受けている板状ワークに曲げ応力が作用して、上述のバックアップローラを使用した場合とは異種の反りが発生し、品位低下の問題を拭い去ることができないという問題が生じる。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑み、一対のバフ研磨ローラで板状ワークの両面を同時に研磨するという本発明者等が案出した手法を採用する場合における種々の弊害を回避することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記技術的課題を解決するためになされた本発明に係る装置は、板状ワークを搬送する搬送手段と、この搬送手段による搬送途中で前記板状ワークを研磨するバフ研磨ローラとを備えた研磨装置において、前記搬送手段により形成される搬送径路の途中に配設され且つ前記板状ワークを相互間に介在させて該板状ワークの両面を同時に研磨する一対のバフ研磨ローラを備えると共に、前記一対のバフ研磨ローラの相互間における前記板状ワークの研磨位置がそれらのバフ研磨ローラのそれぞれの径の異同に拘わらず予め判明している研磨基準位置となるように前記一対のバフ研磨ローラを位置決めする位置決め手段を備えたことに特徴づけられる。ここで、上記の「位置決め手段」は、一対のバフ研磨ローラによる研磨が所定枚数の板状ワークに行われる度にもしくは所定時間が経過する度に、一対のバフ研磨ローラを位置決めするものであってもよく、または、研磨が行われている間中、継続して一対のバフ研磨ローラを位置決めするものであってもよく、もしくは、バフ研磨ローラの取替え交換時に位置決めするものであってもよい。また、上記の「搬送手段」は、複数の搬送ローラまたは搬送コンベヤもしくはこれらの組み合わせで構成することができる。
【００１２】
このような構成によれば、一対のバフ研磨ローラの相互間における板状ワークの実際の研磨位置は、双方のバフ研磨ローラの径が同一であっても相違していても、位置決め手段が双方のバフ研磨ローラの位置を適正に位置決めすることにより、予め判明している理想位置つまり研磨基準位置に維持される。これにより、研磨基準位置と関連性を有して設計された搬送経路に沿って送られる板状ワークは、一対のバフ研磨ローラの相互間に適正に直進して進入し、曲げ応力等の作用を受けずにその両面の同時研磨が円滑に行われることになるため、板状ワークの品位低下が効果的に抑止される。なお、板状ワークは、その両面が、一対のバフ研磨ローラによって同時に研磨されるため、反りの発生が回避されると共に、従来のようにバックアップローラが使用されていないために、異物の介入によって板状ワークに打痕が付く等の不具合が回避され、上記の曲げ応力等の不発生や反りの発生抑止と相俟って板状ワークの品位低下がより一層確実に防止される。
【００１３】
このような構成において、前記位置決め手段は、前記一対のバフ研磨ローラをそれぞれ前記研磨基準位置を境として両側に等距離だけ離間した退避位置から両者の移動距離を等しく維持しつつ接近移動させる移動手段と、前記一対のバフ研磨ローラのうち一方のバフ研磨ローラのみを回転駆動させる回転駆動手段と、前記一方のバフ研磨ローラの回転速度を検出する第一回転速度センサと、前記移動手段による接近移動に伴って前記一方のバフ研磨ローラと接触して連れ回る他方のバフ研磨ローラの回転速度を検出する第二回転速度センサとを備えていることが好ましい。ここで、上記の「回転駆動手段」の動作について説明すると、一対のバフ研磨ローラが板状ワークの研磨を行う場合には両バフ研磨ローラは何れも回転駆動手段により回転駆動されるが、位置決め手段により両バフ研磨ローラの位置決めを行う場合には、何れか一方のみのバフ研磨ローラが回転駆動手段により回転駆動され、他方のバフ研磨ローラは空転するように保持される。
【００１４】
このようにすれば、移動手段が、研磨基準位置の両側に等距離だけ離間して存する両退避位置から、一対のバフ研磨ローラをそれらの移動距離が等しくなる状態（例えば両バフ研磨ローラの移動速度が等しい状態）で接近移動させることにより、両バフ研磨ローラ（詳しくは両バフ研磨ローラの外周面）が接触する。この場合、一対のバフ研磨ローラは、一方のバフ研磨ローラのみが回転駆動手段の動作により回転駆動しているため、他方のバフ研磨ローラは、一方のバフ研磨ローラと接触した状態で連れ回ることになる。そして、この時に第一回転速度センサにより検出された一方のバフ研磨ローラの回転速度と、第二回転速度センサにより検出された他方のバフ研磨ローラの回転速度とが等しい場合には、両バフ研磨ローラの径が等しいため、この両ローラの相互間における研磨位置は、予め判明している研磨基準位置に存在することになる。したがって、この場合には両バフ研磨ローラの位置修正または位置補正を行う必要はない。これに対して、一方のバフ研磨ローラの回転速度が、他方のバフ研磨ローラの回転速度よりも低回転である場合には、一方のバフ研磨ローラの方が他方のバフ研磨ローラよりも径が大きいため、両ローラの相互間における研磨位置は、予め判明している研磨基準位置から他方のバフ研磨ローラの中心軸側に偏倚していることになる。したがって、この場合には両ローラの回転速度の比（または差）に対応する量だけ実際の研磨位置を一方のバフ研磨ローラの中心軸側にずらせばよいことになる。また、一対のバフ研磨ローラの回転速度の高低が上記と逆の場合には、両ローラの回転速度の比（または差）に対応する量だけ実際の研磨位置を他方のバフ研磨ローラの中心軸側にずらせばよいことになる。このような動作が行われることにより、両バフ研磨ローラの相互間における実際の研磨位置が、予め判明している研磨基準位置に正確に位置決めされることになる。
【００１５】
また、上記技術的課題を解決するためになされた本発明に係る方法は、板状ワークを搬送する搬送手段と、この搬送手段による搬送途中で前記板状ワークを研磨するバフ研磨ローラとを備え、前記バフ研磨ローラの位置決めを行う研磨装置のローラ位置決め方法において、前記搬送手段により形成される搬送径路の途中に配設され且つ前記板状ワークを相互間に介在させて該板状ワークの両面を同時に研磨する一対のバフ研磨ローラを備え、前記一対のバフ研磨ローラの相互間における前記板状ワークの研磨位置がそれらのバフ研磨ローラのそれぞれの径の異同に拘わらず予め判明している研磨基準位置となるように前記一対のバフ研磨ローラを位置決めすることに特徴づけられる。
【００１６】
このような方法によれば、上述の研磨装置の基本的構成について説明した事項と実質的に同一の動作が行われ得ることになり、同様の効果を享受することが可能となる。
【００１７】
更に、このような方法において、前記一対のバフ研磨ローラをそれぞれ前記研磨基準位置を境として両側に等距離だけ離間した退避位置から両者の移動距離を等しく維持しつつ接近移動させることにより、前記一対のバフ研磨ローラのうち回転駆動される一方のバフ研磨ローラと回転駆動されない他方のバフ研磨ローラとを接触させて該他方のバフ研磨ローラに連れ回りを生じさせ、この時の両バフ研磨ローラの回転速度を比較して、その比較結果に基づいて前記一対のバフ研磨ローラを位置決めすることが好ましい。
【００１８】
このようにすれば、上述の研磨装置の位置決め手段について説明した事項と実質的に同一の動作が行われ得ることになり、同様の効果を享受することが可能となる。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように本発明によれば、一対のバフ研磨ローラの相互間における板状ワークの実際の研磨位置は、双方のバフ研磨ローラの径が同一であっても相違していても、双方のバフ研磨ローラの位置を適正に位置決めすることにより、予め判明している研磨基準位置に維持されることになるため、研磨基準位置と関連性を有して設計された搬送経路に沿って送られる板状ワークは、一対のバフ研磨ローラの相互間に適正に直進して進入し、曲げ応力等の作用を受けずにその両面の同時研磨が円滑に行われることになり、板状ワークの品位低下が効果的に抑止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。図１は、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略正面図であり、図２は、当該研磨装置の全体構成を示す概略平面図である。また、図３は、図１のＡ−Ａ線拡大断面図である。更に、図４は、当該研磨装置の要部を示す拡大概略斜視図であり、図５は、当該研磨装置の要部を示す拡大概略正面図である。
【００２１】
図１に示すように、本実施形態に係る研磨装置１は、筐体２の内部に、板厚が０．１ｍｍ以下（例えば０．０８４ｍｍ）の可撓性を有する板状ワークとしてのフレキシブルプリント基板を含む薄肉基板（以下、単にプリント基板という）Ｐを、水平方向に沿って搬送する搬送経路３を有している。この搬送経路３は、プリント基板Ｐを搬入させる搬入口４に通じる搬入用搬送経路３Ａと、プリント基板Ｐを研磨しつつ搬送する研磨用搬送経路３Ｂと、プリント基板Ｐを搬出させる搬出口５に通じる搬出用搬送経路３Ｃとに大略区分される。
【００２２】
搬入用搬送経路３Ａには、プリント基板Ｐを載せた状態で上流側（同図の左側）から下流側（同図の右側）に搬送する複数個の下部搬送ローラ６が水平方向に沿って配列されている。そして、この搬入用搬送経路３Ａの下流側端部には、下部搬送ローラ６によって搬送されるプリント基板Ｐの前端（同図の右端）が初期位置に到達したことを検出する入口センサ７と、この入口センサ７からの信号に基づいて下降することによりプリント基板Ｐを停止させる基板用ストッパ８とが配設されている。
【００２３】
研磨用搬送経路３Ｂには、プリント基板Ｐを小さな力で挟持して搬送する複数個の下部搬送ローラ６及び複数個の上部搬送ローラ９が水平方向に沿って配列されると共に、その上流端及び下流端にはそれぞれ、プリント基板Ｐの全領域を挟持してそのプリント基板Ｐの液切りを行う上下一対の挟持ローラ１０、１１が配設されている。なお、上部搬送ローラ９の配列ピッチは、下部搬送ローラ６の配列ピッチの二倍であると共に、上部搬送ローラ９は、一つおきの下部搬送ローラ６の上方に対向して配置されている。この場合、上部搬送ローラ９の配列ピッチと、下部搬送ローラ６の配列ピッチとは、同一であっても差し支えない。更に、この研磨用搬送経路３Ｂの中間部における上流側と下流側との二箇所にはそれぞれ、プリント基板Ｐを一層大きな力で挟持する左右一対のグリップローラ１２、１３が対向して配置されると共に、この二箇所のグリップローラ１２、１３の直下方にはそれぞれ、左右一対のバフ研磨ローラ１４、１５が対向して配置されている。この場合、上流側と下流側との二箇所のバフ研磨ローラ１４、１５は、所定の時期に位置決め手段３０の動作によって、それぞれ正確な位置に位置決めされるように構成されている。また、この研磨用搬送経路３Ｂにおける二箇所のグリップローラ１２、１３の上流側にはそれぞれ、プリント基板Ｐの前端が研磨用初期位置に到達したことを検出する初期位置検出センサ１８、１９が配設されている。更に、二箇所に配設された一対のグリップローラ１２、１３のそれぞれのうち、上流側に存するグリップローラ１２、１３の斜め右上には方向変換用ガイドローラ１６、１７がそれぞれ対向して配置されると共に、同じく上流側に存するグリップローラ１２、１３の斜め左上方には、水やエア等の流体（本実施形態では水）を斜め右下方に向けて噴射する流体噴射手段２０、２１がそれぞれ配設されている。また、この研磨用搬送経路３Ｂの下方における各一対のバフ研磨ローラ１４、１５の配設位置のそれぞれの左右両側には、対応するグリップローラ１２、１３及びバフ研磨ローラ１４、１５並びにプリント基板Ｐに向けて研磨液を噴射供給する研磨液供給手段２２が配設されている。
【００２４】
搬出用搬送経路３Ｃには、プリント基板Ｐを小さな力で挟持する複数個の下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９が水平方向に沿って配列されると共に、その下流端には、プリント基板Ｐの前端が搬出口５近傍に到達したことを検出する出口センサ２３が配設されている。
【００２５】
この場合、図２及び図３に示すように、下部搬送ローラ６は、上下流方向（搬送方向）と直交するローラ軸６ａ上に複数枚のローラ体６ｂが並列に固定されてなるものである。詳述すると、厚みが直径の１／２以下とされた１０枚以上のローラ体６ｂがローラ軸６ａ上に固定され、隣り合うローラ軸６ａのうち、一方のローラ軸６ａ上の各ローラ体６ｂ間の隙間に、他方のローラ軸６ａ上の各ローラ体６ｂが入り込んだ状態とされている。また、上部搬送ローラ９も、図３に示すように、上下流方向と直交するローラ軸９ａ上に同様の複数枚のローラ体９ｂが並列に固定されてなるものである。
【００２６】
一方、図２に示すように、上流端及び下流端の挟持ローラ１０、１１は何れも、外周面が上下流方向と直交する軸方向に連続して延びる円筒面をなし、この円筒面の軸方向長さは、プリント基板Ｐの全領域を挟持できる長さとされている。更に、図４にも示すように、各グリップローラ１２（１３）の外周面及び各バフ研磨ローラ１４（１５）の外周面も、上下流方向と直交する軸方向に連続して延びる円筒面をなし、これらの円筒面の軸方向長さは、プリント基板Ｐの全領域を挟持できる長さとされている。また、方向変換用ガイドローラ１６（１７）も、上記と同様の軸方向長さを有する円筒面とされている。
【００２７】
図５は、上流側の一対のグリップローラ１２及び一対のバフ研磨ローラ１４の周辺構造を示すものである。なお、下流側の一対のグリップローラ１３及び一対のバフ研磨ローラ１５の周辺構造についても実質的に同一であるので、その構成要素については図５に括弧付きの符号を付してその説明を省略する。同図に示すように、研磨用搬送経路３Ｂの上流側から下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９の矢印ａ方向への回転に伴って水平方向下流側に搬送されるプリント基板Ｐは、その前端が一対のグリップローラ１２のうち上流側のグリップローラ１２に到達した時点で、流体噴射手段２０から噴射供給される流体（水）の流れＷ１によって上流側のグリップローラ１２の外周面に接触しつつ一対のグリップローラ１２の相互間に挟持される。そして、この両グリップローラ１２が矢印ｂ方向に正転することによって、両グリップローラ１２間に挟持されたプリント基板Ｐは、下方に向かって送られ、一対のバフ研磨ローラ１４の相互間に送り込まれる。この送り込まれたプリント基板Ｐは、その表裏両面が一対のバフ研磨ローラ１４により同時に研磨され、この研磨は、プリント基板Ｐの後端が一対のグリップローラ１２から離反する直前まで実行されるようになっている。
【００２８】
この後においては、一対のグリップローラ１２が矢印ｃ方向に逆転することによって、プリント基板Ｐは上方に向かって送られ、一対のバフ研磨ローラ１４により上記とは逆方向の両面の同時研磨がプリント基板Ｐの同一領域に対して行われる。この場合、プリント基板Ｐの上方への送りが開始された直後においては、プリント基板Ｐの後端は、流体噴射手段２０から噴射供給される流体（水）の流れＷ２によって下流側のグリップローラ１２の外周面に接触しつつその下流側の下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９の相互間に挟持され、その後、プリント基板Ｐは水平方向下流側に搬送されるようになっている。なお、一対のバフ研磨ローラ１４は、矢印ｄ方向への回転を維持する。
【００２９】
図６は、上流側の一対のバフ研磨ローラ１４を正確な位置に位置決めする位置決め手段３０の構成を示すものである。なお、下流側の一対のバフ研磨ローラ１５に対する位置決め手段も実質的に同一の構成とされている。同図に示すように、位置決め手段３０は、一方（同図の左方）のバフ研磨ローラ１４を水平方向に沿って移動させる第一移動手段３１と、他方（同図の右方）のバフ研磨ローラ１４を水平方向に沿って移動させる第二移動手段３２と、他方のバフ研磨ローラ１４を空転状態とした上で一方のバフ研磨ローラ１４のみを回転駆動させる回転駆動手段３３と、一方のバフ研磨ローラ１４の回転速度を検出する第一回転速度センサ３４と、他方のバフ研磨ローラ１４の回転速度を検出する第二回転速度センサ３５とを備えている。
【００３０】
そして、図７に示すように、一対のバフ研磨ローラ１４の位置決めを行う際の位置設定としては、一方のバフ研磨ローラ１４が左側に退避して停止する第一退避位置３６と、他方のバフ研磨ローラ１４が右側に退避して停止する第二退避位置３７とが予め設定されている。更に、この一対のバフ研磨ローラ１４の相互間には、一対のグリップローラ１２との関係で定まるプリント基板Ｐの研磨位置の基準（理想位置）となる研磨基準位置３８が予め判明して存在している。そして、この研磨基準位置３８を境として、第一退避位置３６までの距離Ｘ１と、第二退避位置３７までの距離Ｘ２とが、等距離とされている。
【００３１】
このような構成の下で、位置決め手段３０は、以下に示すようにして一対のバフ研磨ローラ１４の位置決めを行う。なお、以下の説明に際しては、上記の距離Ｘ１及び距離Ｘ２が何れも７５ｍｍである場合を例に挙げる。先ず、第一移動手段３１及び第二移動手段３２が、図８（ａ）に示すように、一方のバフ研磨ローラ１４及び他方のバフ研磨ローラ１４をそれぞれ第一退避位置３６及び第二退避位置３７まで移動させて停止状態にする。このような状態から、図８（ｂ）に示すように、一方のバフ研磨ローラ１４のみを矢印で示す方向に回転駆動させると共に、各移動手段３１、３２が、一方のバフ研磨ローラ１４及び他方のバフ研磨ローラ１４を、同速度で研磨基準位置３８に向かって接近移動させる。そして、図８（ｃ）に示すように、一方のバフ研磨ローラ１４と他方のバフ研磨ローラ１４とが５ｍｍ移動して両者の外周面が接触した時点で、両バフ研磨ローラ１４が連れ回りを開始し、この時に両移動手段３１、３２が両バフ研磨ローラ１４を停止させることにより、両バフ研磨ローラ１４の中心間距離が１４０ｍｍであることが検知される。更に、この連れ回りが生じている間に、第一回転速度センサ３４が一方のバフ研磨ローラ１４の回転速度を検出すると共に、第二回転速度センサ３５が他方のバフ研磨ローラ１４の回転速度を検出し、この両回転速度の比を図外の演算手段が算出する。この場合、同図に示す一対のバフ研磨ローラ１４は、両者が同一の径であるため、その回転速度も両者が同一であり、両回転速度の比は１：１となる。したがって、この場合には、両バフ研磨ローラ１４の相互間における実際の研磨位置と研磨基準位置３８とが一致し、両バフ研磨ローラ１４の位置修正を行う必要はない。
【００３２】
一方、図９（ａ）に示すように、径が相違する両バフ研磨ローラ１４（一方の径が１５０ｍｍ、他方の径が１３０ｍｍ）をそれぞれ第一、第二退避位置３６、３７に停止させた状態から、図９（ｂ）に示すように径の大きな一方のバフ研磨ローラ１４を回転駆動させながら両者を接近移動させて、図９（ｃ）に示すように両バフ研磨ローラ１４が接触して連れ回りを開始した時点では、上記の場合と同様に両バフ研磨ローラ１４の中心間距離が１４０ｍｍであることが検知されるが、この場合には、両者の回転速度の比が１３：１５となり、両バフ研磨ローラ１４の径の比が１５：１３であることが判明する。したがって、図９（ｄ）に示すように、両バフ研磨ローラ１４の接触点から一方のバフ研磨ローラ１４までの距離が、１４０×１５／（１３＋１５）＝７５ｍｍであることが演算手段により算出されると共に、両バフ研磨ローラ１４の接触点から他方のバフ研磨ローラ１４までの距離が、１４０×１３／（１３＋１５）＝６５ｍｍであることが演算手段により算出される。この結果、両バフ研磨ローラ１４の接触点つまり実際の研磨位置が、予め判明している研磨基準位置３８から、他方のバフ研磨ローラ１４の中心軸側に、（７５−６５）／２＝５ｍｍだけ偏倚していることが判明するため、両バフ研磨ローラ１４を共に５ｍｍだけ一方のバフ研磨ローラ１４の中心軸側に移動させれば、実際の研磨位置が研磨基準位置３８に一致することになる。これにより、両バフ研磨ローラ１４は、正確な位置に位置決めされる。
【００３３】
図１０（ａ）は、径が相違する両バフ研磨ローラ１４（一方の径が１０８ｍｍ、他方の径が１４０ｍｍ）をそれぞれ第一、第二退避位置３６、３７に停止させた状態を示し、図１０（ｂ）は径の小さな一方のバフ研磨ローラ１４を回転駆動させながら両者を接近移動させる状態を示し、図１０（ｃ）は、両バフ研磨ローラ１４が接触して連れ回りを開始した状態を示している。この場合、連れ回りの開始時には、両バフ研磨ローラ１４の中心間距離が１２４ｍｍであることが検知されると共に、両者の回転速度の比が３５：２７となり、両バフ研磨ローラ１４の径の比が２７：３５であることが判明する。したがって、図１０（ｄ）に示すように、両バフ研磨ローラ１４の接触点から一方のバフ研磨ローラ１４までの距離が、１２４×２７／（３５＋２７）＝５４ｍｍであることが演算手段により算出されると共に、両バフ研磨ローラ１４の接触点から他方のバフ研磨ローラ１４までの距離が、１２４×３５／（３５＋２７）＝７０ｍｍであることが演算手段により算出される。この結果、両バフ研磨ローラ１４の接触点つまり実際の研磨位置が、予め判明している研磨基準位置３８から、一方のバフ研磨ローラ１４の中心軸側に、（７０−５４）／２＝８ｍｍだけ偏倚していることが判明するため、両バフ研磨ローラ１４を共に８ｍｍだけ他方のバフ研磨ローラ１４の中心軸側に移動させれば、実際の研磨位置が研磨基準位置３８に一致することになる。これにより、両バフ研磨ローラ１４は、正確な位置に位置決めされる。
【００３４】
以上のような位置決め動作は、両バフ研磨ローラ１４の磨耗量が相違することに起因して両者の径が相違した場合、或いは何れか片方のバフ研磨ローラ１４を取替え交換した場合に実行される。なお、このような位置決め動作は、上流側の一対のバフ研磨ローラ１４のみならず、下流側の一対のバフ研磨ローラ１５に対しても同様にして行われる。
【００３５】
次に、本実施形態に係る研磨装置１によりプリント基板Ｐを研磨する動作を時系列的に説明する。
【００３６】
図１１（ａ）に示すように、搬入口４を通じて搬入されたプリント基板Ｐは、搬入用搬送経路３Ａの下部搬送ローラ６により下流側に向かって搬送され、入口センサ７によってプリント基板Ｐの前端が初期位置に到達したことが検出された時点で、基板用ストッパ８が図示の状態に下降する。
【００３７】
その結果、図１１（ｂ）に示すように、プリント基板Ｐは、その前端が基板用ストッパ８に当接して挟持ローラ１０の直前で停止するが、この時点では、基板用ストッパ８の動作によって、プリント基板Ｐの前端が上下流方向と直交する方向に揃えられて、プリント基板Ｐが正確な姿勢に維持される。
【００３８】
この後、図１１（ｃ）に示すように、プリント基板Ｐは、上下一対の挟持ローラ１０に挟持された状態で下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９によって下流側に搬送され、上流側の初期位置検出センサ１８により、プリント基板Ｐの前端が研磨用初期位置に到達したことが検知される。この場合、初期位置検出センサ１８からの信号に基づいて、プリント基板Ｐの長さ及び搬送速度に応じたグリップローラ１２の正転及び逆転の時期や流体噴射手段２０からの水の噴射供給の時期等が、図外の制御手段により制御される。
【００３９】
そして、プリント基板Ｐが更に下流側に搬送されていくことにより、プリント基板Ｐは、方向変換用ガイドローラ１６及び流体噴射手段２０からの水の流れＷ１によって方向変換して、図１２（ａ）に示すように、正転する一対のグリップローラ１２により挟持された状態でその前方部が下方に向かって送られ、その前端が一対のバフ研磨ローラ１４間に円滑に侵入する。
【００４０】
このように、プリント基板Ｐの前端が一対のバフ研磨ローラ１４間に侵入した後は、その一対のバフ研磨ローラ１４によってプリント基板Ｐの両面が同時に研磨されながらプリント基板Ｐは下方に送られる。そして、このようなプリント基板Ｐの研磨を伴う下方への送りは、図１２（ｂ）に示すように、プリント基板Ｐの後端が一対のグリップローラ１２間から離脱する直前で停止する。この時点では、後続のプリント基板Ｐ１が、入口センサ７を通過して基板用ストッパ８により停止されて待機した状態にある。
【００４１】
この後は、一対のグリップローラ１２が逆転して先行するプリント基板Ｐは上方に向かって送られるが、この際には、同方向に回転している一対のバフ研磨ローラ１４によりプリント基板Ｐの両面が上記と実質的に同方向の研磨を同時に受ける。そして、プリント基板Ｐの上方への送り開始直後においては、プリント基板Ｐの後端が前端となって、その前端が、方向変換用ガイドローラ１６と流体噴射手段２０からの水の流れＷ２とによって水平方向下流側に向かうように方向変換し、プリント基板Ｐの当初前端であった後端が上方への送りによって一対のバフ研磨ローラ１４間から離脱した時点で、図１２（ｃ）に示すように、プリント基板Ｐは下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９によって更に下流側に向かって搬送される。なお、このプリント基板Ｐの前側領域（当初後側領域）は、未研磨領域となっている。この時点で、後続のプリント基板Ｐ１は、基板用ストッパ８の上昇により下流側に向かって搬送可能となる。
【００４２】
更に、先行するプリント基板Ｐが下流側に搬送され、その前端（当初後端）が、図１３（ａ）に示すように、下流側の初期位置検出センサ１９により検知されて、下流側の一対のグリップローラ１３の正転及び逆転の時期や流体噴射手段２１の動作が特定されると共に、この時点では、後続のプリント基板Ｐ１は上流側の一対の挟持ローラ１０により挟持されて下流側に搬送される。
【００４３】
そして、図１３（ｂ）に示すように、先行するプリント基板Ｐ及び後続のプリント基板Ｐ１が下流側に搬送されることにより、図１３（ｃ）に示すように、先行するプリント基板Ｐの前端が、下流側のグリップローラ１３の直前に到達した時点で、後続のプリント基板Ｐ１は、その前端が上流側の初期位置検出センサ１８により検知されて、上流側の一対のグリップローラ１２の正転及び逆転の時期や流体噴射手段２０の動作が特定される。
【００４４】
この後、図１４（ａ）に示すように、先行するプリント基板Ｐの前端が方向変換して下方に向かって送られ、下流側の一対のバフ研磨ローラ１５間に侵入した時点で、後続のプリント基板Ｐ１は、その前端が上流側のグリップローラ１２の近傍で方向変換しつつある。なお、上流側のグリップローラ１２及びバフ研磨ローラ１４と、下流側のグリップローラ１３及びバフ研磨ローラ１５とは、回転方向等の動作が同一である。
【００４５】
そして、図１４（ｂ）に示すように、先行するプリント基板Ｐが更に下方に送られることにより、そのプリント基板Ｐの未研磨領域である前側領域が、下流側の一対のバフ研磨ローラ１５により研磨されると共に、この時点では、後続のプリント基板Ｐ１が、上流側の一対のバフ研磨ローラ１４間に侵入を開始する。更に、図１４（ｃ）に示すように、先行するプリント基板Ｐの後端が一対のグリップローラ１３間から離脱する直前で停止した時点では、後続のプリント基板Ｐ１は下方への送りを伴う研磨途中にある。したがって、この研磨装置１では、複数枚（図例では２枚）のプリント基板Ｐ、Ｐ１が、同時に研磨処理を受けることになる。
【００４６】
そして、図１５（ａ）に示すように、先行するプリント基板Ｐが上方への送りを伴う研磨途中にある時に、後続のプリント基板Ｐ１の後端は一対のグリップローラ１３間から離脱する直前で停止した状態にあるが、この時点では、更に後続（三枚目）のプリント基板Ｐ２が入口センサ７を通過して基板用ストッパ８により停止された状態にある。したがって、この研磨装置１では、複数枚（図例では三枚）のプリント基板Ｐ、Ｐ１、Ｐ２が、搬送や研磨等の処理を同時に受けることになる。なお、先行するプリント基板Ｐは、この下流側のバフ研磨ローラ１５によって、上流側のバフ研磨ローラ１４による場合とは逆方向の研磨を受ける。
【００４７】
この後、図１５（ｂ）に示すように、先行するプリント基板Ｐが下流側の上下一対の挟持ローラ１１により挟持された状態で、その前端が出口センサ２３を通過して搬出口５から僅かに外部に突出した時点では、後続のプリント基板Ｐ１と、更に後続のプリント基板Ｐ２とは、上述の図１２（ｃ）に示す状態と同一になる。なお、図１５（ｃ）に示す状態を経て、先行するプリント基板Ｐの前端が、図１６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す変化態様に則して、搬出口５から徐々に突出していくことにより、後続のプリント基板Ｐ１と、更に後続のプリント基板Ｐ２とは、上述の図１３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す変化態様と同一になる。そして、先行するプリント基板Ｐの後端が出口センサを通過した時点で、このプリント基板Ｐに対する研磨装置１内での処理が終了する。
【００４８】
以上のような処理が繰り返し実行されることにより、上流側の一対のバフ研磨ローラ１４または下流側の一対のバフ研磨ローラ１５が磨耗して、それらの径にバラツキが生じ得る状態となった時点で、既述の位置決め手段３０によって、各バフ研磨ローラ１４（１５）の位置決めが行われる。
【００４９】
なお、上記の実施形態では、搬入用搬送経路３Ａ、研磨用搬送経路３Ｂ及び搬出用搬送経路３Ｃの全てが水平方向に沿うように構成したが、これらの径路３Ａ、３Ｂ、３Ｃのうちの少なくとも一つが水平方向に対して所定角度だけ傾斜していてもよい。
【００５０】
図１７は、本発明の第二の実施形態に係る研磨装置１を例示するものであるが、便宜上、搬送ローラ等を省略すると共に、プリント基板Ｐの移動軌跡を一点鎖線で図示したものである。同図に示すように、この研磨装置１は、搬入口から上流側のグリップローラ１２に至るまでの搬送径路の全部または一部の径路３Ａ１が上下方向に沿うと共に、下流側のグリップローラ１３から搬出口に至るまでの搬送経路の全部または一部の径路３Ｃ１が上下方向に沿うように構成されている。その他の構成は、上述の第一の実施形態に係る研磨装置１と実質的に同一であるので、共通する構成要素に同一符号を付して動作等の説明を省略する。
【００５１】
図１８は、本発明の第三の実施形態に係る研磨装置１を例示するものであり、この場合にも便宜上、搬送ローラ等を省略すると共に、プリント基板Ｐの移動軌跡を一点鎖線で図示したものである。同図に示すように、この研磨装置１は、搬入口から水平方向（上下方向でもよい）に沿って搬送されて上流側のグリップローラ１２に到達したプリント基板Ｐが、下方のみに送られながら上流側のバフ研磨ローラ１４により両面が同時研磨された後、方向変換して搬送されることにより下流側のバフ研磨ローラ１５の直下方に至り、更に方向変換して上方のみに送られながら下流側のバフ研磨ローラ１５により両面が同時研磨され、然る後、下流側のグリップローラ１３を経て水平方向（上下方向でもよい）に沿って搬出口に至るように構成されている。この場合、プリント基板Ｐを挟持する上流側のグリップローラ１２及び下流側のグリップローラ１３は、上流側のバフ研磨ローラ１４の上方及び下方と、下流側のバフ研磨ローラ１５の上方及び下方とに配設され、これらのグリップローラ１２、１３と各バフ研磨ローラ１４、１５とは、該当するローラに矢印を付した方向に回転する。その他の構成は、上述の第一の実施形態に係る研磨装置１と実質的に同一であるので、共通する構成要件については同一符号を付してその説明を省略する。
【００５２】
以上の第一、第二、第三実施形態では、研磨装置１による研磨対象が可撓性を有する薄肉基板であったが、本発明は、これに限定されるわけではなく、可撓性を有しない厚肉（例えば板厚が１ｍｍ超或いは２ｍｍ超）の板状ワークであってもよい。以下、その具体的一例を説明する。すなわち、図１９は、本発明の第四の実施形態に係る研磨装置１を例示するものであり、この装置１の研磨対象となるのは、上述のプリント基板に比して剛性の高い或いは厚肉の板状ワークとしてのプリント基板Ｐである。そして、下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９によって水平方向に送られるプリント基板Ｐは、水平姿勢のままの状態で上下一対のバフ研磨ローラ４０により両面が同時に研磨されるようになっている。このように一対のバフ研磨ローラ４０が上下に配列されている場合であっても、既述の図８、図９及び図１０に示す動作と実質的に同一の位置決め動作を行うことが可能である。
【００５３】
なお、以上の実施形態では、プリント基板Ｐを搬送する搬送手段として搬送ローラを使用したが、この搬送手段は、搬送コンベヤであってもよく、或いは搬送ローラと搬送コンベヤとの組み合わせであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略正面図である。
【図２】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略平面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線拡大断面図である。
【図４】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の要部を示す拡大概略斜視図である。
【図５】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の要部を示す拡大概略正面図である。
【図６】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の構成要素である位置決め手段の構成を示す概略図である。
【図７】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の構成要素であるバフ研磨ローラが退避位置にある時の状態を示す概略正面図である。
【図８】図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の構成要素である位置決め手段の動作を示す概略図である。
【図９】図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の構成要素である位置決め手段の動作を示す概略図である。
【図１０】図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の構成要素である位置決め手段の動作を示す概略図である。
【図１１】図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。
【図１２】図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。
【図１３】図１３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。
【図１４】図１４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。
【図１５】図１５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。
【図１６】図１６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。
【図１７】本発明の第二の実施形態に係る研磨装置の要部を模式的に示す概略正面図である。
【図１８】本発明の第三の実施形態に係る研磨装置の要部を模式的に示す概略正面図である。
【図１９】本発明の第四の実施形態に係る研磨装置の要部を示す概略正面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  研磨装置
３Ａ  搬送経路（搬入用搬送経路）
３Ｂ  搬送経路（研磨用搬送経路）
３Ｃ  搬送経路（搬出用搬送経路）
６  搬送手段（下部搬送ローラ）
９  搬送手段（上部搬送ローラ）
１２  グリップローラ（上流側のグリップローラ）
１３  グリップローラ（下流側のグリップローラ）
１４  バフ研磨ローラ（上流側のバフ研磨ローラ）
１５  バフ研磨ローラ（下流側のバフ研磨ローラ）
１６  方向変換用ガイドローラ（上流側の方向変換用ガイドローラ）
１７  方向変換用ガイドローラ（下流側の方向変換用ガイドローラ）
２０  流体噴射手段（上流側の流体噴射手段）
２１  流体噴射手段（下流側の流体噴射手段）
３０  位置決め手段
３１  移動手段（第一移動手段）
３２  移動手段（第二移動手段）
３３  回転駆動手段
３４  第一回転速度センサ
３５  第二回転速度センサ
３６  退避位置（第一退避位置）
３７  退避位置（第二退避位置）
３８  研磨基準位置
４０  バフ研磨ローラ
Ｐ  プリント基板（薄肉基板）
Ｐ１  プリント基板（薄肉基板）
Ｐ２  プリント基板（薄肉基板）
Ｗ１  流体（水）の流れ
Ｗ２  流体（水）の流れ
【図１】
2009291907.tif 000003
【図２】
2009291907.tif 000004
【図３】
2009291907.tif 000005
【図４】
2009291907.tif 000006
【図５】
2009291907.tif 000007
【図６】
2009291907.tif 000008
【図７】
2009291907.tif 000009
【図８】
2009291907.tif 000010
【図９】
2009291907.tif 000011
【図１０】
2009291907.tif 000012
【図１１】
2009291907.tif 000013
【図１２】
2009291907.tif 000014
【図１３】
2009291907.tif 000015
【図１４】
2009291907.tif 000016
【図１５】
2009291907.tif 000017
【図１６】
2009291907.tif 000018
【図１７】
2009291907.tif 000019
【図１８】
2009291907.tif 000020
【図１９】
2009291907.tif 000021