(57)【要約】【課題】クロストークの影響を低減し、トラック密度を向上できる光記録媒体、光記録媒体のスタンパ、及び光記録媒体のスタンパ製造方法を提供する。【解決手段】グルーブの深さ、グルーブ部のピット深さ、ランド部のピット深さを、各々異なる深さに形成することにより、さらにクロストークを低減でき、トラック密度を向上させることができる。【選択図】図１
2009070487.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定のトラックピッチでグルーブトラックとランドトラックとが基板上に形成され、前記グルーブトラックおよび前記ランドトラック上に情報に応じたピットが形成され、前記基板上に少なくとも反射層が形成された光記録媒体において、
前記ランドトラックと前記グルーブトラックとの段差であるグルーブの深さと、前記グルーブトラックと前記グルーブトラックとに形成されたピットとの段差であるグルーブピット深さと、前記ランドトラックと前記ランドトラックに記録されているピットとの段差であるランドピット深さとが各々異なることを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
請求項１記載の光記録媒体において、再生光の波長をλとし、対物レンズの開口数をNAとしたとき、前記トラックピッチTPが、0.46λ/NA≦TP≦0.67λ/NAの範囲内にあることを特徴とする光記録媒体。
【請求項３】
請求項１または２記載の光記録媒体において、反射層の上に少なくとも光吸収層および保護層が順次積層されていることを特徴とする光記録媒体。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項記載の光記録媒体において、再生光の波長をλとし、対物レンズの開口数をNAとしたとき、前記基板上に形成された最小ピット長Lpが、0.18λ/NA≦Lp≦0.25λ/NAの範囲内にあることを特徴とする光記録媒体。
【請求項５】
一定のトラックピッチでグルーブトラックとランドトラックとが基板上に形成され、前記グルーブトラックおよび前記ランドトラック内に情報に応じたピットが形成された光記録媒体のスタンパにおいて、
前記グルーブトラックの深さと、前記グルーブトラックに形成されたピットの深さと、前記ランドトラックに記録されたピットの深さとが各々異なることを特徴とする光記録媒体のスタンパ。
【請求項６】
基板表面にグルーブおよび情報に対応するピット列を形成する光記録媒体のスタンパ製造方法において、
石英基板上に光吸収層と熱反応層とを積層する工程と、
第１のピット列に対応する情報をレーザ光で照射し、現像を行うことで前記石英基板上に情報に対応する第１の凹凸パターンを形成する工程と、
前記第１の凹凸パターンをマスクに石英基板を第１の深さまでドライエッチングする工程と、
前記石英基板に再度光吸収層と熱反応層とを積層する工程と、
第２のピット列に対応する情報をレーザ光で照射し、現像を行うことで前記石英基板上に情報に対応する第２の凹凸パターンを形成する工程と、
前記第２の凹凸パターンをマスクに前記石英基板を第２の深さまでドライエッチングする工程とを少なくとも備えたことを特徴とする光記録媒体のスタンパ製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、再生専用型の光記録媒体、光記録媒体のスタンパ、及び光記録媒体のスタンパ製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＤＶＤやＣＤ等の光記録媒体は、大容量メモリとして民生用および計算機用などに実用化され、急速に普及しつつある。マルチメディア時代を迎え、情報の増大・多様化に対応するため、次世代の光記録媒体においては、大容量化、転送速度の高速化、さらにはオーバーライト化などの要求がますます高まっている。
【０００３】
特に最近では、トラック密度を倍増させて大容量化を図るため、光記録媒体のランドトラックおよびグルーブトラックの双方に情報を記録する方式（以下、「ランド・グルーブ記録」という）が注目されている。このようなランド・グルーブ記録においては、トラックピッチが従来の半分程度まで狭くなる。そのため、再生時に隣接トラックの信号が再生信号に混入するクロストークや、消去時に隣接トラックの信号を消してしまうクロスイレーズや、隣接トラックにはみ出して信号を記録してしまうクロスライトなどの弊害が発生しやすい。
【０００４】
そこで、上記課題を解決するために、以下の技術が提案されている。
「光情報記録媒体及び原盤の製造方法」
目的：ランド・グルーブ記録方式のパーシャルROMにおいて、記録再生装置に新たな機能追加や条件変更をすることなく、記録再生領域および再生専用領域を再生できるようにする。
手段：記録再生領域および再生専用領域での再生信号レベルを等しくする。そのために、再生専用領域におけるグルーブ深さおよびランド部のピット深さは等しく、その範囲はλ/7〜λ/5.5とし、グルーブ部のピット深さをλ/4.5〜λ/4に設定する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
「光情報記録媒体」
目的：再生専用領域および記録領域それぞれで良好な再生信号を得ること。
手段：それぞれの領域において有機色素膜の膜厚が最適値になるように、ピット深さとグルーブ深さが異なる基板にする（例えば、特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開２００３−２２５７６号公報
【特許文献２】特開２００１−３２５７４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１に開示されている溝パラメータでは、クロストークを十分に低減できないことがシミュレーション結果からわかった。溝パラメータ（グルーブ深さが0.15λ、ランドピット深さが0.15λ、グルーブピット深さが0.1λ）を用いて光回折シミュレーションを行なった結果を図９に示す。
図９は本発明の光記録媒体における光回折シミュレーションの結果を示す図である。図９において、横軸はグルーブ深さ（Dg）であり、縦軸はクロストーク量（XT）である。
本明細書では、グルーブピット深さを、グルーブトラックとピットとの段差として定義した。従来技術における定義では、ランドトラックとグルーブピットとの段差なので、シミュレーションしたグルーブピット深さは0.25λになる。丸で囲んだところが従来技術でクロストークが良好とされているグルーブ深さであり、クロストークはグルーブおよびランドトラックともに約-10dBである。
【０００７】
このときのグルーブトラック再生信号を図１０に示す。図１０において、横軸はレーザスポット位置であり、縦軸は反射光強度である。
比較のため、クロストークがない場合の再生信号をのせている。図１０からわかるように、クロストーク-10dB程度では、再生信号波形がクロストークの影響を受けて振幅が小さくなり、正確にピット情報を再生できないことが予想される。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決するためになされたものであって、以下の光記録媒体を提供することにある。
請求項１、２：クロストークの影響を低減し、トラック密度を向上できる光記録媒体の提供。
請求項３、４：トラック密度だけでなく、線密度を向上できる光記録媒体の提供。
請求項５：請求項１から４のいずれか１項記載の光情報記録媒体の基板を作製するためのスタンパの提供。
請求項６：請求項５記載の光情報記録媒体のスタンパ作製方法の提供。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の発明は、一定のトラックピッチでグルーブトラックとランドトラックとが基板上に形成され、前記グルーブトラックおよび前記ランドトラック上に情報に応じたピットが形成され、前記基板上に少なくとも反射層が形成された光記録媒体において、前記ランドトラックと前記グルーブトラックとの段差であるグルーブの深さと、前記グルーブトラックと前記グルーブトラックとに形成されたピットとの段差であるグルーブピット深さと、前記ランドトラックと前記ランドトラックに記録されているピットとの段差であるランドピット深さとが各々異なることを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の光記録媒体において、再生光の波長をλとし、対物レンズの開口数をNAとしたとき、前記トラックピッチTPが、0.46λ/NA≦TP≦0.67λ/NAの範囲内にあることを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の光記録媒体において、反射層の上に少なくとも光吸収層および保護層が順次積層されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項４記載の発明は、請求項１から３のいずれか１項記載の光記録媒体において、再生光の波長をλとし、対物レンズの開口数をNAとしたとき、前記基板上に形成された最小ピット長Lpが、0.18λ/NA≦Lp≦0.25λ/NAの範囲内にあることを特徴とする。
【００１３】
請求項５記載の発明は、一定のトラックピッチでグルーブトラックとランドトラックとが基板上に形成され、前記グルーブトラックおよび前記ランドトラック内に情報に応じたピットが形成された光記録媒体のスタンパにおいて、前記グルーブトラックの深さと、前記グルーブトラックに形成されたピットの深さと、前記ランドトラックに記録されたピットの深さとが各々異なることを特徴とする。
【００１４】
請求項６記載の発明は、基板表面にグルーブおよび情報に対応するピット列を形成する光記録媒体のスタンパ製造方法において、石英基板上に光吸収層と熱反応層とを積層する工程と、第１のピット列に対応する情報をレーザ光で照射し、現像を行なうことで前記石英基板上に情報に対応する第１の凹凸パターンを形成する工程と、前記第１の凹凸パターンをマスクに石英基板を第１の深さまでドライエッチングする工程と、  前記石英基板に再度光吸収層と熱反応層とを積層する工程と、第２のピット列に対応する情報をレーザ光で照射し、現像を行なうことで前記石英基板上に情報に対応する第２の凹凸パターンを形成する工程と、前記第２の凹凸パターンをマスクに前記石英基板を第２の深さまでドライエッチングする工程とを少なくとも備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、グルーブの深さ、グルーブ部のピット深さ、ランド部のピット深さを、各々異なる深さに形成することにより、さらにクロストークを低減でき、トラック密度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明に係る光記録媒体の一実施の形態は、一定のトラックピッチでグルーブトラックとランドトラックとが基板上に形成され、グルーブトラックおよびランドトラック上に情報に応じたピットが形成され、基板上に少なくとも反射層が形成された光記録媒体において、ランドトラックとグルーブトラックとの段差であるグルーブの深さと、グルーブトラックとグルーブトラックとに形成されたピットとの段差であるグルーブピット深さと、ランドトラックとランドトラックに記録されているピットとの段差であるランドピット深さとが各々異なることを特徴とする。
【００１７】
上記構成によれば、グルーブの深さ、グルーブ部のピット深さ、ランド部のピット深さを、各々異なる深さに形成することにより、さらにクロストークを低減でき、トラック密度を向上させることができる。
【００１８】
本発明に係る光記録媒体の他の実施の形態は、上記構成に加え、再生光の波長をλとし、対物レンズの開口数をNAとしたとき、トラックピッチTPが、0.46λ/NA≦TP≦0.67λ/NAの範囲内にあることを特徴とする。
【００１９】
上記構成によれば、クロストーク低減効果のあるトラックピッチに限定しているので、ピット情報を正確に再生することができる。
【００２０】
本発明に係る光記録媒体の他の実施の形態は、上記構成に加え、反射層の上に少なくとも光吸収層および保護層が順次積層されていることを特徴とする。
【００２１】
上記構成によれば、反射層の上に光吸収層および超解像層を形成し、基板上に形成されている解像限界以下のピット周期まで再生することができるので、トラック密度だけでなく、線密度も向上することができる。
【００２２】
本発明に係る光記録媒体の他の実施の形態は、上記構成に加え、再生光の波長をλとし、対物レンズの開口数をNAとしたとき、基板上に形成された最小ピット長Lpが、0.18λ/NA≦Lp≦0.25λ/NAの範囲内にあることを特徴とする。
【００２３】
上記構成によれば、最小ピット長Lpを解像限界以下である0.18λ/NA≦Lp≦0.25λ/NAにしているので、トラック密度だけでなく、線密度も向上することができる。
【００２４】
本発明に係る光記録媒体のスタンパの一実施の形態は、一定のトラックピッチでグルーブトラックとランドトラックとが基板上に形成され、グルーブトラックおよびランドトラック内に情報に応じたピットが形成された光記録媒体のスタンパにおいて、グルーブトラックの深さと、グルーブトラックに形成されたピットの深さと、ランドトラックに記録されたピットの深さとが各々異なることを特徴とする。
【００２５】
上記構成によれば、グルーブの深さ、グルーブ部のピット深さ、ランド部のピット深さを、各々異なる深さに形成することによりクロストークを低減しているので、従来よりもトラック密度を向上させるこことができる。
【００２６】
本発明に係る光記録媒体のスタンパ製造方法の一実施の形態は、基板表面にグルーブおよび情報に対応するピット列を形成する光記録媒体のスタンパ製造方法において、石英基板上に光吸収層と熱反応層とを積層する工程と、第１のピット列に対応する情報をレーザ光で照射し、現像を行なうことで石英基板上に情報に対応する第１の凹凸パターンを形成する工程と、第１の凹凸パターンをマスクに石英基板を第１の深さまでドライエッチングする工程と、石英基板に再度光吸収層と熱反応層とを積層する工程と、第２のピット列に対応する情報をレーザ光で照射し、現像を行なうことで石英基板上に情報に対応する第２の凹凸パターンを形成する工程と、第２の凹凸パターンをマスクに石英基板を第２の深さまでドライエッチングする工程とを少なくとも備えたことを特徴とする。
上記構成によれば、ランドピット列とグルーブピット列を2回に分けて形成するので、確実に深さの異なるピット列を確実に形成できる。
【００２７】
なお、上述した実施の形態は、本発明の好適な実施の形態の一例を示すものであり、本発明はそれに限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲内において、種々変形実施が可能である。
【実施例１】
【００２８】
〔構成〕
本発明に係る光記録媒体の基板の一実施例の平面図を図１（ａ）に示し、図１（ａ）におけるＩｂ−Ｉｂ線断面図を図１（ｂ）に示す。
基板上にトラックピッチ2TPで深さDgのグルーブトラックが形成されており、グルーブトラック内に深さDgpのピットが形成されており、さらにランドトラックには深さDlpのピットが形成されている。
なお、本発明においてピットとは、情報を記録した部分を意味し、それは基板表面に対して凹状の記録部の場合もあり、凸状の記録部の場合もある。
図１（ｂ）に示すように、グルーブ深さDgはランドトラックとグルーブトラックとの段差であり、グルーブピット深さDgpはグルーブトラックとグルーブピットとの段差であり、ランドピット深さDlpはランドトラックとランドピットとの段差である。
【００２９】
上記基板に対してクロストークをシミュレーションした結果、ある条件でクロストークを低減できることがわかった。シミュレーションに用いた光学系は、再生光波長λを400nmとし、対物レンズのNAを0.85とし、再生光を基板表面から入射する方式である。
【００３０】
トラックピッチTPは0.6λ(240nm)とし、第１ピットおよび第２のピットの深さを-0.25λ〜0.25λまでそれぞれ変化させたときのクロストークを、以下の(a)〜(d)に記した手順で計算した。ここで、ピット深さがマイナスの場合は基板表面に対して凹上のピットを意味し、プラスの場合は基板表面に対して凸状のピットを意味する。
(a)長さ300nmのマークとスペースが繰返し記録されたグルーブトラックを再生したときの再生信号振幅Aを計算する。このとき隣接する両側のランドトラックには何も記録されていない。
【００３１】
(b)グルーブトラックに長さ300nmのマークとスペースが繰返し記録されており、これに隣接する両側のランドトラックには長さ600nmのマークとスペースが繰返し記録されている。このときのグルーブトラックの再生信号振幅Bを計算する。
【００３２】
(c)(a)、(b)の結果を、数式(1)に代入してグルーブトラックのクロストークを計算する。
XT(dB)=20log[(A-B)/A]    ・・・(1)
【００３３】
(d)(a)〜(c)の手順において、グルーブをランドに、ランドをグルーブに置き換えてランドトラックのクロストークを計算する。
計算結果の一例を図３に示す。
図３はグルーブ深さDgが0.05λであり、ランドピット深さDlpが-0.25λである場合、グルーブピット深さを変化させたときのクロストークの変化を示す図である。図３より、グルーブピット深さDgpが-0.15λのとき、クロストークはグルーブおよびランドトラックともに約-40dBになることがわかる。クロストークが-40dBということは、数式(1)より再生信号振幅への影響が1/100ということである。再生信号振幅への影響が１％程度であれば、エラーなくピット情報を再生することができる。
図９に示した従来技術の媒体より約30dBだけクロストークが低減できる。
【００３４】
図６（ａ）、（ｂ）に、本発明および従来技術による光記録媒体のシミュレーションによる再生信号波形を示す。図６（ａ）はグルーブトラックを再生した場合の再生信号であり、図６（ｂ）はランドトラックを再生した場合の再生信号である。図６（ａ）、（ｂ）において、横軸はレーザスポット位置であり、縦軸は反射光強度である。
溝パラメータは、本発明の光記録媒体では、グルーブ深さDgが0.05λであり、グルーブピット深さDgpが-0.15λであり、ランドピット深さDlpが-0.25λであり、従来技術では、グルーブ深さおよびランドピット深さが0.15λ、グルーブピット深さが0.1λである。
【００３５】
また、クロストーク（XT）なしの波形は、本発明の光記録媒体のクロストークがない場合の再生信号波形である。図６から、本発明の溝パラメータにすることによって、クロストークによる信号劣化は、再生エラーにほとんど影響しないと予想される。NAが0.85であって、λが405nmの光学系を採用しているBlu-rayシステムのトラックピッチは320nmであるが、本発明の基板を用いることによって、トラックピッチは240nmまでトラック密度を向上できる。
【００３６】
次に、トラックピッチの限界について計算した。
図４にDgが0.05λであり、Dgpが-0.15λであり、Dplが-0.25λである場合、トラックピッチを変化させたときのクロストークを計算した結果を示す。図４より、グルーブおよびランドともにクロストークが-40dB以下になるのは、トラックピッチが0.46λ/NA以上のときである。
【００３７】
一方、トラックピッチの上限はクロストークの影響が小さくなる方向なので定まらないが、同じ光学系であるBlu-raｙのトラックピッチ0.67λ/NA（＝320nm）とした。再生光の波長をλとし、対物レンズの開口数をNAとすると、トラックピッチTPが、0.46λ/NA≦TP≦0.67λ/NAの範囲にあり、かつDgが0.05λであり、Dgpが-0.15λであり、Dplが-0.25λであれば、クロストークの影響を低減できるので、トラック密度を向上することができる。
【実施例２】
【００３８】
グルーブトラックのある場合のスタンパ作製方法について、図５（１）〜（８）に示す工程フロー図にしたがって説明する。
（１）製膜工程
トラックピッチ2TPでグルーブトラックが形成されている石英基板１上に、光吸収層３をスパッタリング法で形成し、さらにこの光吸収層３の上に熱反応層２を同様の方法で形成し、光記録媒体の原盤を作製する。
本発明で使用するレジストは、光吸収層３と熱反応層２とからなる無機レジストであり、光吸収層３は照射されたレーザ光を吸収し発熱し、その熱によって熱反応層２を変質させる。変質した熱反応層２はフッ酸等の現像液に不溶となるため、レーザ照射パターンに応じた凹凸パターンが形成される。フォトレジストの最小パターンサイズが照射スポット径と同程度であるのに対して、無機レジストでは照射スポット径の約1/4までパターンを微細化できる点に特徴がある（図５（１））。
【００３９】
（２）露光工程
成膜工程（１）の原盤のランドトラックにレーザ光でピット情報を記録し、潜像を形成する。記録レーザ光の波長は405nmであり、対物レンズのNAは0.85である。記録線速度は6m/sとし、記録レーザパワーは7mWで行なった（図５（２））。
【００４０】
（３）現像工程
露光後の原盤をフッ酸等の水溶液で浸し、レーザ光で照射されなかった部分の熱反応層を除去することで、ランドピットを形成する（図５（３））。
【００４１】
（４）熱反応層除去工程
熱反応層をマスクにして、Arスパッタエッチングで光吸収層を除去する（図５（４））。
【００４２】
（５）RIE工程
反応性イオンエッチングにより石英を所望の深さにエッチングする。エッチングガスはCHF3、エッチングのRFパワーは100Wである（図５（５））。
【００４３】
（６）マスク除去工程
塩酸等により熱反応層を除去し、続いて水酸化ナトリウム溶液等のアルカリ溶液によって光吸収層を除去後、十分な水洗を行いランドピットが形成された石英原盤となる（図５（６））。
【００４４】
（７）グルーブピット形成工程
RIE工程（５）の石英原盤上に対して、上記工程（１）から（６）を繰り返す。ただし、露光工程においては、ピット情報はグルーブトラックに記録し、RIE工程（５）においては、ランドピットと異なる所望の深さにエッチングを行なうことによって、ランドピットおよびグルーブピットが形成された石英原盤となる。RIE工程を２回行なうので、確実に深さの異なるピットを形成することができる（図５（７））。
【００４５】
（８）Niスタンパ化工程
グルーブピット形成工程（７）の石英原盤をもとに、公知のNiスタンパ化工程によりスタンパを作製した。Ni電鋳を２回行なうことで、石英原盤と凹凸が等しいNiスタンパが得られる（図５（８））。
上記工程（１）〜（８）により作製したスタンパを金型として、射出成形法、2P転写法等によりプラスチックの光ディスク基板を作製し、基板上に少なくとも反射層を形成すれば再生専用型光記録媒体となる。
【実施例３】
【００４６】
基板上に、深さ20nmのグルーブがトラックピッチ480nmで形成され、さらにグルーブトラックには深さ60nmのグルーブピットが、さらにランドトラックには深さ100nmのランドピットが形成された基板を、実施例３の方法で作製した。
グルーブピットは周期300nmのピットとスペースとの繰り返しパターンからなり、ランドピットは周期600nmのピットとスペースとの繰返しパターンからなっている。この基板上に、反射層として膜厚50nmのAgを形成して光記録媒体を作製した。
【００４７】
また、グルーブピット深さだけが20、40、60、80、100nmと異なる５枚の光記録媒体を同様の方法で作製した。
【００４８】
これらの光記録媒体を、再生光波長が405nmであって、対物レンズのNAが0.85の光記録媒体評価装置で再生し、ピット列の再生信号のCNRを測定した。
本発明の光記録媒体のグルーブピット深さとクロストークとの測定結果を図７に示す。図７において横軸はグルーブピット深さであり、縦軸はクロストーク（XT）である。
図７より、シミュレーション結果通り、グルーブピット深さが60nm（＝-0.15λ）のとき、ランドおよびグルーブトラックのクロストークそれぞれ-40dB以下になり、隣接トラックのピットの影響を低減できることを確認した。このような基板の溝パラメータにすることによって、従来よりもトラック密度を向上できる。
【実施例４】
【００４９】
基板上に、深さ20nmのグルーブがトラックピッチ480nmで形成され、さらにグルーブトラックには深さ60nmのグルーブピットが、さらにランドトラックには深さ100nmのランドピットが形成された基板を、実施例２の方法で作製した。
グルーブピットはNAが0.85であって、波長が405nmの光学系の解像限界（240nm≒0.5λ/NA）以下である周期200nmのピットとスペースとの繰り返しパターンからなり、ランドピットは周期400nmのピットとスペースとの繰返しパターンからなっている。
この基板上に、反射層として膜厚50nmのAgを形成し、光吸収層として膜厚20nmのAgInSbTeを形成し、さらにその上に保護層として膜厚50nmのZnS-SiO2を形成した（図２参照）。
図２は図１（ａ）、（ｂ）に示した基板の断面図の一例である。
【００５０】
光吸収層は、記録レーザ光の波長で吸収が起こる材料であれば構わないが、AgInSbTeやGeSbTe等の相変化記録材料が好ましい。
これらの基板を、再生光波長が405nmであって、対物レンズのNAが0.85の光記録媒体評価装置で再生し、ピット列の再生信号のCNRを測定した。
本発明の光記録媒体の再生パワーとCNRとの測定結果を図８に示す。図８において横軸は再生光のレーザパワーであり、縦軸はCNRである。
ランドピットの周期は、解像限界を超えていないため、低パワーからCNRが測定できる。これに対して、解像限界以下の周期であるグルーブピットからの信号は、再生パワーが0.3mWでは得られないが、再生パワーを1.8mWまで上げていくと、ピット周期に対応する周波数の再生信号が現れる。再生パワー1.8mW付近で再生することによって、解像限界以下および解像限界以上のピット列からの再生信号において、それぞれ約35dBのCNRが得られた。
【００５１】
次に、再生信号が得られるピット周期の限界について調べた。
基板上に、深さ20nmのグルーブがトラックピッチ480nmで形成され、さらにグルーブトラックには深さ60nmのグルーブピットが、さらにランドトラックには深さ100nmのランドピットが形成された基板を、実施例２の方法で作製した。
【００５２】
ランドピットには周期400nmのピットとスペースとの繰返しパターンが形成されており、グルーブピットは半径位置によってピット周期が異なる（150〜400nm＝0.31λ/NA〜0.85λ/NA）パターンが形成されている。この基板に上述した構成と同様の層構成を形成した光記録媒体を作製し、再生パワーが1.8Mwのときのグルーブピットの再生信号CNRを測定した。光記録媒体のピット長とCNRとの測定結果を図１１に示す。図１１において横軸はグルーブピットの周期の1/2であるピット長であり、縦軸は再生信号のCNRである。
【００５３】
最小ピット長Lpが、0.18λ/NA≦Lpの範囲にあれば、CNRが30dB以上得られた。CNRが30dBあれば、この後の信号処理プロセスによってピット情報を再生できる。このような基板の溝パラメータおよび層構成として、さらに最小ピット長Lpを0.18λ/NA≦Lp≦0.25λ/NAにすれば、トラック密度だけでなく、線密度方向の記録密度を向上することができる。
【００５４】
〔作用効果〕
請求項１に対応する作用効果
請求項１記載の光記録媒体においては、グルーブの深さ、グルーブ部のピット深さ、ランド部のピット深さを、各々異なる深さに形成することにより、さらにクロストークを低減できるので、トラック密度を向上させることができる。
【００５５】
請求項２に対応する作用効果
請求項２記載の光記録媒体においては、クロストーク低減効果のあるトラックピッチに限定しているので、ピット情報を正確に再生することができる。
【００５６】
請求項３に対応する作用効果
請求項３記載の光記録媒体においては、反射層の上に光吸収層および超解像層を形成し、基板上に形成されている解像限界以下のピット周期まで再生することができるので、トラック密度だけでなく、線密度も向上することができる。
【００５７】
請求項４に対応する作用効果
請求項４記載の光記録媒体においては、最小ピット長Lpを解像限界以下である0.18λ/NA≦Lp≦0.25λ/NAにしているので、トラック密度だけでなく、線密度も向上することができる。
【００５８】
請求項５に対応する作用効果
請求項５記載の光記録媒体のスタンパにおいては、グルーブの深さ、グルーブ部のピット深さ、ランド部のピット深さを、各々異なる深さに形成することによりクロストークを低減しているので、従来よりもトラック密度を向上させるこことができる。
【００５９】
請求項６に対応する作用効果
請求項６記載のスタンパ作製方法においては、ランドピット列とグルーブピット列を２回に分けて形成するので、確実に深さの異なるピット列を確実に形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】（ａ）は本発明に係る光記録媒体の基板の一実施例の平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＩｂ−Ｉｂ線断面図である。
【図２】図１（ａ）、（ｂ）に示した基板の断面図の一例である。
【図３】グルーブ深さDgが0.05λであり、ランドピット深さDlpが-0.25λである場合、グルーブピット深さを変化させたときのクロストークの変化を示す図である。
【図４】Dgが0.05λであり、Dgpが-0.15λであり、Dplが-0.25λである場合、トラックピッチを変化させたときのクロストークを計算した結果を示す図である。
【図５】（１）〜（８）は本発明に係る光記録媒体のスタンパ製造方法の一実施例を示す工程フローである。
【図６】（ａ）はグルーブトラックを再生した場合のシミュレーションによる再生信号であり、（ｂ）はランドトラックを再生した場合のシミュレーションによる再生信号である。
【図７】本発明の光記録媒体のグルーブピット深さとクロストークとの測定結果を示す図である。
【図８】本発明の光記録媒体の再生パワーとCNRとの測定結果を示す図である。
【図９】本発明の光記録媒体における光回折シミュレーションの結果を示す図である。
【図１０】本発明の光記録媒体及び従来の光記録媒体におけるグルーブトラック再生信号を示す図である。
【図１１】本発明の光記録媒体のピット長とCNRとの測定結果をす図である。
【符号の説明】
【００６１】
１    石英基板
２    熱反応層
３    光吸収層
４    潜像（レーザ照射部）
５    Niスタンパ
【図１】
2009070487.tif 000003
【図２】
2009070487.tif 000004
【図３】
2009070487.tif 000005
【図４】
2009070487.tif 000006
【図５】
2009070487.tif 000007
【図６】
2009070487.tif 000008
【図７】
2009070487.tif 000009
【図８】
2009070487.tif 000010
【図９】
2009070487.tif 000011
【図１０】
2009070487.tif 000012
【図１１】
2009070487.tif 000013