(57)【要約】【課題】スライムコントロール剤を必要とする膜処理を行う純水の製造において、ＴＯＣ成分、特にスライムコントロール剤に由来するＴＯＣ成分を効率的に除去し、ＴＯＣの低い純水を得ることができる純水製造方法を提供する。【解決手段】原水にスライムコントロール剤を添加するスライムコントロール剤添加工程と、スライムコントロール剤が添加されスライムコントロール剤含有原水を膜処理する膜処理工程と、膜処理した膜処理水を紫外線照射処理する紫外線照射処理工程と、紫外線照射処理した紫外線照射処理液をイオン交換処理するイオン交換処理工程と、を含む純水製造方法である。【選択図】図１
2009247992.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原水にスライムコントロール剤を添加するスライムコントロール剤添加工程と、
前記スライムコントロール剤が添加されたスライムコントロール剤含有原水を膜処理する膜処理工程と、
前記膜処理した膜処理水を紫外線照射処理する紫外線照射処理工程と、
前記紫外線照射処理した紫外線照射処理液をイオン交換処理するイオン交換処理工程と、
を含むことを特徴とする純水製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の純水製造方法であって、
前記膜処理が、逆浸透膜処理であることを特徴とする純水製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の純水製造方法であって、
前記スライムコントロール剤が、下記式（１）または（２）の構造（式中、Ｒ１は、水酸基または炭素数１〜３のアルキル基を表す。）を含むアルコール系またはグリコール系有機溶剤を含有することを特徴とする純水製造方法。
【化１】
2009247992.tif 000009
（１）
【化２】
2009247992.tif 000010
（２）
【請求項４】
請求項３に記載の純水製造方法であって、
前記アルコール系またはグリコール系有機溶剤が、ジプロピレングリコールであることを特徴とする純水製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の純水製造方法であって、
前記スライムコントロール剤が、ハロシアノアセトアミド化合物、ニトロアルコール化合物、イソチアゾロン化合物のうち少なくとも１つを含有することを特徴とする純水製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の純水製造方法であって、
前記ハロシアノアセトアミド化合物が、２，２−ジブロモ−３−ニトリロプロピオンアミドであることを特徴とする純水製造方法。
【請求項７】
原水にスライムコントロール剤を添加するスライムコントロール剤添加手段と、
前記スライムコントロール剤が添加されたスライムコントロール剤含有原水を膜処理する膜処理手段と、
前記膜処理した膜処理水を紫外線照射処理する紫外線照射処理手段と、
前記紫外線照射処理した紫外線照射処理液をイオン交換処理するイオン交換処理手段と、
を有することを特徴とする純水製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、純水製造方法および純水製造装置に関し、特に膜処理を行う純水の製造において、スライムコントロール剤を必要とする純水製造方法および純水製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程などで使用される一般的な純水製造装置は、工業用水、河川水、井水などを原水とし、分離膜を有する膜装置を備えている。
【０００３】
近年の環境意識、コスト意識の高まりから、工場内で使用した水を回収し、分離膜などにより処理した後、純水製造装置の原水（純水原水）などとして再利用する事例が増えている。この場合、回収した水（回収原水）は工業用水などよりＴＯＣが高いなどの問題がある場合が多い。
【０００４】
このため、回収原水を原水として使用した場合、分離膜でのスライムやスケールの発生による差圧上昇や、透過水（処理水）量の低下などのトラブルが起こりやすくなる。このため、膜装置などに対してスライムコントロール剤、スケール防止剤などの膜処理剤の添加が必要となる。
【０００５】
分離膜用のスライムコントロール剤としては、一般的に次亜塩素酸塩などの酸化系薬剤や有機系薬剤が使用されるが、酸化系薬剤は、スライム抑制効果は高いものの、膜劣化を起こすという欠点がある。ハロシアノアセトアミド化合物、ニトロアルコール化合物、イソチアゾロン化合物などの有機系薬剤は、高いスライム抑制効果を有しながら膜劣化をほとんど起こさないため、分離膜用のスライムコントロール剤として使用されている。特にハロシアノアセトアミド系のスライムコントロール剤はスライム抑制効果が高いことから、膜用殺菌剤としての使用が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
しかし、これらスライムコントロール剤のうち、特に有機系薬剤の場合、薬剤自身のＴＯＣ成分の一部が分離膜を透過することがあり、処理水のＴＯＣを上昇させてしまうという問題がある。さらに、スライム抑制効果の特に高いハロシアノアセトアミド化合物を含有する液体製剤は、多量の有機溶剤を含んでいる場合が多く、この有機溶剤の一部も分離膜を透過することがあるため、ハロシアノアセトアミド系のスライムコントロール剤を使用する場合は、処理水のＴＯＣが特に上昇しやすいという問題がある。このため、十分なスライムコントロール効果を得るためには、処理水ＴＯＣの上昇が避けられず、処理水ＴＯＣを低く保持しようとすると、十分なスライムコントロール効果を得られないという問題がある。
【０００７】
特許文献２には、逆浸透膜（ＲＯ膜）分離装置による排水処理において、原水にスケール防止剤を添加し、濃縮水中のスケール防止剤由来のＴＯＣ成分をＵＶ照射により酸化処理する方法が報告されている。しかし、透過水（処理水）中の膜処理剤由来のＴＯＣ成分の除去については述べられていない。
【０００８】
また、特許文献３には、逆浸透膜装置による超純水製造において、逆浸透膜装置で除去できない処理水中の非イオン性有機物を、膜装置後段のＵＶ酸化装置で除去する方法が報告されている。しかし、膜処理剤由来のＴＯＣ成分の除去については述べられていない。
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−８９４０２号公報
【特許文献２】特開２００７−２４４９３０号公報
【特許文献３】特開平６−３９３６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、スライムコントロール剤を必要とする膜処理を行う純水の製造において、ＴＯＣ成分、特にスライムコントロール剤に由来するＴＯＣ成分を効率的に除去し、ＴＯＣの低い純水を得ることができる純水製造方法および純水製造装置である。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、原水にスライムコントロール剤を添加するスライムコントロール剤添加工程と、前記スライムコントロール剤が添加されたスライムコントロール剤含有原水を膜処理する膜処理工程と、前記膜処理した膜処理水を紫外線照射処理する紫外線照射処理工程と、前記紫外線照射処理した紫外線照射処理液をイオン交換処理するイオン交換処理工程と、を含む純水製造方法である。
【００１２】
また、前記純水製造方法において、前記膜処理が、逆浸透膜処理であることが好ましい。
【００１３】
また、前記純水製造方法において、前記スライムコントロール剤が、下記式（１）または（２）の構造（式中、Ｒ１は、水酸基または炭素数１〜３のアルキル基を表す。）を含むアルコール系またはグリコール系有機溶剤を含有することが好ましい。
【００１４】
【化１】
2009247992.tif 000003
（１）
【化２】
2009247992.tif 000004
（２）
【００１５】
また、前記純水製造方法において、前記アルコール系またはグリコール系有機溶剤が、ジプロピレングリコールであることが好ましい。
【００１６】
また、前記純水製造方法において、前記スライムコントロール剤が、ハロシアノアセトアミド化合物、ニトロアルコール化合物、イソチアゾロン化合物のうち少なくとも１つを含有することが好ましい。
【００１７】
また、前記純水製造方法において、前記ハロシアノアセトアミド化合物が、２，２−ジブロモ−３−ニトリロプロピオンアミドであることが好ましい。
【００１８】
また、本発明は、原水にスライムコントロール剤を添加するスライムコントロール剤添加手段と、前記スライムコントロール剤が添加されたスライムコントロール剤含有原水を膜処理する膜処理手段と、前記膜処理した膜処理水を紫外線照射処理する紫外線照射処理手段と、前記紫外線照射処理した紫外線照射処理液をイオン交換処理するイオン交換処理手段と、を有する純水製造装置である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では、スライムコントロール剤を必要とする膜処理を行う純水の製造において、スライムコントロール剤を添加した原水を膜処理し、その後、紫外線照射処理およびイオン交換処理することにより、ＴＯＣ成分、特にスライムコントロール剤に由来するＴＯＣ成分を効率的に除去し、ＴＯＣの低い純水を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の実施の形態について以下説明する。本実施形態は本発明を実施する一例であって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。
【００２１】
本発明の実施形態に係る純水製造装置の一例の概略を図１に示し、その構成について説明する。純水製造装置１は、膜処理手段である膜処理装置１０と、紫外線照射処理手段である紫外線照射処理装置１２と、イオン交換処理手段であるイオン交換処理装置１４とを備える。
【００２２】
図１の純水製造装置１において、膜処理装置１０の出口と紫外線照射処理装置１２の入口、紫外線照射処理装置１２の出口とイオン交換処理装置１４の入口とがそれぞれ配管などにより接続されている。本実施形態において、「膜処理装置→紫外線照射処理装置→イオン交換処理装置」という配置順であればよく、これらの前後、これらの間にその他の装置が配されてもよい。
【００２３】
本発明の実施形態に係る純水製造装置１を用いた純水製造方法を説明する。
【００２４】
原水は、原水槽などから原水供給配管などを通して、膜処理装置１０に送液される。膜処理装置１０への流入前に、原水供給配管において、スライムコントロール剤貯槽などからポンプなどのスライムコントロール剤添加手段などにより、スライムコントロール剤が添加される（スライムコントロール剤添加工程）。スライムコントロール剤は、連続的に添加されてもよいし、間欠的に添加されてもよい。また、スライムコントロール剤は、原水槽へ、あるいは原水槽などからの原水を貯留する貯留槽を別途設けて、その貯留槽へ添加されてもよい。
【００２５】
膜処理装置１０において、スライムコントロール剤が添加されたスライムコントロール剤含有原水について、膜処理が行われ、分離膜を透過した透過水と、不純物が濃縮された濃縮水とが得られる（膜処理工程）。濃縮水は、系外に排出される。
【００２６】
次に、膜処理装置１０において膜処理されて分離膜を透過した透過水（膜処理水）は、膜処理水配管などにより紫外線照射処理装置１２に送液される。ここで、膜処理水に紫外線が照射されて酸化処理が行われ、主に、分離膜を透過した原水、スライムコントロール剤などに由来する有機物に紫外線が照射されることにより、これらが炭酸ガス、有機酸やその他の揮発性低分子化合物などに分解される（紫外線照射処理工程）。
【００２７】
次に、紫外線照射処理装置１２において紫外線照射処理された紫外線照射処理液は、紫外線照射処理液配管などによりイオン交換処理装置１４に送液される。ここで、主に、紫外線照射処理により生成した有機酸やその他の揮発性低分子化合物などが、イオン交換樹脂などに吸着除去されて、処理水、すなわち純水（または超純水）が得られる（イオン交換処理工程）。
【００２８】
スライムコントロール剤中のＴＯＣ成分は分離膜を一部透過し、処理水を汚染する場合があるが、膜処理装置１０の後段に、紫外線照射処理装置１２およびイオン交換処理装置１４を設置することにより、スライムコントロール剤などに由来するＴＯＣ成分が効率的に除去されて、ＴＯＣ成分が低減された純水が得られる。
【００２９】
本実施形態において処理対象となる原水は特に制限はないが、工業用水、河川水、井水などの他に、工場内で使用された後に回収された水（回収原水）などが挙げられる。
【００３０】
膜処理装置１０としては、逆浸透膜（ＲＯ膜、ＮＦ膜）などを用いる膜処理装置が挙げられるが、ＴＯＣの除去効果などの点から、ＲＯ膜を用いる逆浸透膜装置であることが好ましい。ＲＯ膜としては、酢酸セルロース膜（ＣＡ膜）、ポリアミド膜（ＰＡ膜）などを用いることができる。
【００３１】
スライムコントロール剤は、分離膜におけるスライムの発生を抑制するものである。スライムコントロール剤は、通常、スライムの発生を抑制する効果のある有効成分を含み、その有効成分を溶解あるいは分散させる溶剤を含む場合もある。また、スライムコントロール剤は、酸、アルカリ、公知のスケール防止剤、キレート剤、防食剤などを含んでもよい。
【００３２】
スライムコントロール剤に含有される有効成分としては、次亜塩素酸塩などの酸化系薬剤や有機系薬剤が使用される。酸化系薬剤は、スライム抑制効果は高いものの、膜劣化を起こす場合があるので、高いスライム抑制効果を有しながら膜劣化をほとんど起こさない有機系薬剤が好ましい。有機系薬剤としては、ハロシアノアセトアミド化合物、ニトロアルコール化合物、イソチアゾロン化合物、４級アンモニウム塩化合物などが挙げられ、スライム抑制効果や分離膜への影響などの観点から、ハロシアノアセトアミド化合物、ニトロアルコール化合物、イソチアゾロン化合物のうち少なくとも１つであることが好ましく、特にスライム抑制効果が高く、ＲＯ膜などの分離膜を透過しにくいことから、ハロシアノアセトアミド化合物がより好ましい。
【００３３】
ハロシアノアセトアミド化合物は、下記式（３）で表されるハロシアノアセトアミド化合物（式中、Ｘは、同一の、または互いに異なるハロゲン原子または水素原子であり、Ｒ２は、水素原子または炭素数１〜３のアルキル基である。）であり、例えば、２−ブロモ−３−ニトリロプロピオンアミド、２，２−ジブロモ−３−ニトリロプロピオンアミド（ＤＢＮＰＡ）、２−クロロ−２−ブロモ−３−ニトリロプロピオンアミド、２−クロロ−３−ニトリロプロピオンアミド、２，２−ジクロロ−３−ニトリロプロピオンアミド、Ｎ−メチル−２，２−ジブロモ−３−ニトリロプロピオンアミド、Ｎ−プロピル−２-クロロ−２−ブロモ−３−ニトリロプロピオンアミドなどが挙げられる。
【００３４】
【化３】
2009247992.tif 000005
（３）
【００３５】
ニトロアルコール化合物としては、例えば、２−ブロモ−２−ニトロプロパン−１，３−ジオール、２−ブロモ−２−ニトロブタン−１，３−ジオール、３−ブロモ−３−ニトロペンタン−２，４−ジオール、２，２−ジブロモ−２−二トロ−１−エタノール、２−ニトロ−１，３−プロパンジオール、トリス（ヒドロキシメチル）ニトロメタン、２−ブロモ−２−ニトロ−１，３−ジアセチルオキシプロパン、３，３−ジブロモ−３−ニトロ−２−プロパノール、２−クロロ−２−ニトロエタノール、２−クロロ−２−ニトロ−１，３−プロパンジオール、３−クロロ−３−ニトロ−２−プロパノールなどが挙げられる。
【００３６】
イソチアゾロン化合物としては、例えば、２−メチル−４−イソチアゾリン−３−オン、２−エチル−４−イソチアゾリン−３−オン、２−オクチル−４−イソチアゾリン−３−オン、５−クロロ−２−メチル−４−イソチアゾリン−３−オン、５−クロロ−２−オクチル−４−イソチアゾリン−３−オン、４，５−ジクロロ−２−メチル−４−イソチアゾリン−３−オン、４，５−ジクロロ−２−オクチル−４−イソチアゾリン−３−オン、１，２−ベンゾイソチアゾリン−３−オンなどが挙げられる。
【００３７】
これら化合物は単独で含有されてもよく、２種以上が含有されてもよい。上述の化合物の中ではＤＢＮＰＡは殺菌効果が特に高く、ＲＯ膜などの分離膜を透過しにくいことから、分離膜のスライムコントロール剤としては好適である。
【００３８】
これらの有効成分は、一部がＲＯ膜などの分離膜を透過して、処理水のＴＯＣを上昇させることがある。また、これら有効成分は液体製剤とするために、溶剤を含有している場合がある。特に、ＤＢＮＰＡは水への溶解度が低く、水中で分解しやすいことから、ＤＢＮＰＡ液体製剤は多量の有機溶剤を安定剤として含んでいる場合が多く、これら有機溶剤も一部がＲＯ膜などの分離膜を透過して、処理水のＴＯＣを上昇させてしまうことがある。本実施形態に係る純水製造方法および純水製造装置によれば、多量の有機溶剤を含むＤＢＮＰＡ液体製剤を用いても、ＴＯＣの低い処理水を得ることができる。
【００３９】
スケール防止剤としては、例えば、ポリアクリル酸、アクリル酸／ヒドロキシエチリデンメタアクリレートの共重合物、アクリル酸／ヒドロキシエチリデンメタアクリレート／アクリル酸メチルの共重合物、アクリル酸／アリルグリシジルエーテル類の共重合物、アクリル酸／２−ヒドロキシ−３−アリロキシ−１−プロパンスルホン酸の共重合物、アクリル酸／イソプレンスルホン酸の共重合物、アクリル酸／ビニルスルホン酸、アクリル酸／アリルスルホン酸の共重合物、マレイン酸または無水マレイン酸／イソブチレンの共重合物、マレイン酸または無水マレイン酸／スチレンスルホン酸の共重合物、マレイン酸または無水マレイン酸／アクリル酸の共重合物、マレイン酸または無水マレイン酸／アクリレート酸の共重合物、マレイン酸または無水マレイン酸／２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸の共重合物、マレイン酸または無水マレイン酸／アミレン酸の共重合物、ポリアクリルアミド、ポリイタコン酸およびこれらの塩類などを挙げることができる。
【００４０】
キレート剤としては、例えば、ＥＤＴＡ（エチレンジアミン４酢酸）、ＴＥＴ（トリエチレンテトラアミン）、ＥＧＴＡ（エチレングリコールビス４酢酸）などを挙げることができる。
【００４１】
防食剤としては、例えば、トリルトリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、モリブデン酸、タングステン酸、ケイ酸、亜硝酸、２−ホスホノブタン−１，２，４−トリカルボン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、ヘキサメタリン酸、トリポリリン酸、正リン酸およびこれらの塩類、塩化亜鉛、塩酸酸性塩化亜鉛、硫酸亜鉛、リグニンスルホン酸亜鉛、ヒドラジンなどを挙げることができる。
【００４２】
スライムコントロール剤に含まれる溶剤としては、有効成分を溶解あるいは分散させることができるものであればよく特に制限はなく、水、有機溶剤などが挙げられるが、ＲＯ膜などの分離膜を透過しにくいことから、上記式（１）または（２）の構造（式中、Ｒ１は、水酸基または炭素数１〜３のアルキル基を表す。）を含むアルコール系またはグリコール系有機溶剤を含有することが好ましい。
【００４３】
このようなアルコール系溶剤またはグリコール系溶剤として、具体的には、２−ブタノール、イソブタノール、ｔｅｒｔ−ブタノール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコールなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００４４】
上記溶剤のうち、上記式（１）または（２）のような分岐構造をもつ有機溶剤は、ＲＯ膜などの分離膜を透過しにくいため、処理水質を悪化させにくい。また、これら分岐構造を有する有機溶剤の代表例であるジプロピレングリコールは、後段の紫外線照射処理装置１２とイオン交換処理装置１４によって高い効率で除去することができる。
【００４５】
ハロシアノアセトアミド化合物などの有効成分の含有量は、好ましくはスライムコントロール剤中に１〜６０重量％、より好ましくは１０〜４０重量％である。ここで含有量が１重量％未満の場合には、原水中への薬剤としての添加量を多くする必要が生じるため、輸送コストなどが嵩み経済的ではない場合がある。含有量が６０重量％を超える場合には、ハロシアノアセトアミド化合物などの沈殿が生じるなど、処理水の品質の劣化が起こる可能性がある。
【００４６】
また、アルコール系溶剤またはグリコール系溶剤などの溶剤の含有量は、有効成分に対して、重量比で好ましくは０．１〜５０倍、より好ましくは０．５〜５倍である。
【００４７】
また、これらアルコール系溶剤またはグリコール系溶剤などの溶剤の分子量は、７０〜２００の範囲内にあることが好ましい。分子量７０未満ではＲＯ膜などの分離膜を透過しやすく、処理水水質を悪化させる場合がある。また、分子量が２００を超えると、粘度が高くなり、ポンプなどの装置内を薬剤が流れにくくなるなどの問題が生じる場合がある。
【００４８】
紫外線照射処理装置１２としては、少なくとも１８５ｎｍの波長のＵＶを含むＵＶを照射できるものであればよく特に制限はない。このような紫外線照射処理装置としては一般に水処理に用いられている低圧ＵＶ酸化装置などを使用することができる。
【００４９】
ＵＶ照射量は、少なくとも水中に溶解している有機物を分解するのに十分な量であればよく特に制限はなく、これは装置の設計条件などにより適宜決定することができる。例えば、照射コストと除去効率の関係から、０．０５〜０．５（ｋｗ・ｈｒ／ｍ３）の範囲であることが好ましい。
【００５０】
紫外線照射処理装置１２の入口でのＴＯＣは、除去効率の関係から、１００ｐｐｂ未満であることが好ましい。
【００５１】
イオン交換処理装置１４としては、一般に水処理に用いられるイオン交換処理装置を使用することができる。イオン交換樹脂としては、アニオン交換樹脂、カチオン交換樹脂、あるいはそれらの混床などが挙げられ、紫外線照射処理装置１２で生じた有機酸やその他の揮発性低分子化合物などの吸着効率が高いことから、アニオン交換樹脂およびカチオン交換樹脂の混床であることが好ましい。
【００５２】
本実施形態に係る純水製造方法および純水製造装置により、例えば、半導体製造工程、発電所などで使用されるＴＯＣの低い純水、超純水を製造することができる。本実施形態に係る純水製造方法および純水製造装置により得られる純水、超純水のＴＯＣは、例えば、１ｐｐｂ以下である。
【実施例】
【００５３】
以下、実施例および比較例を挙げ、本発明をより具体的に詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。
【００５４】
（実施例１）
図１に示す純水製造装置１を用いて試験を行い、ａ〜ｃ点（ａ点：スライムコントロール剤添加後、膜処理装置１０への流入前、ｂ点：紫外線照射処理装置１２への流入前、ｃ点：イオン交換処理装置１４からの流出後）でのＴＯＣ測定結果を表１に示す。
【００５５】
原水としては、超純水を用いた。ＲＯ膜処理剤として、ハロシアノアセトアミド化合物であるＤＢＮＰＡ（１０重量％）および溶剤としてジプロピレングリコールを含有するスライムコントロール剤を用いた。スライムコントロール剤の添加濃度が、紫外線照射処理装置１２の入口でＴＯＣとして１５０ｐｐｂ程度になるように添加した。膜処理装置１０は、日東電工（株）製のＲＯ膜であるＥＳ１０を装着したものを用いた。紫外線照射処理装置１２としては、千代田工販（株）製のＵＶ酸化装置を用いた。照射ＵＶ波長は１８５ｎｍとし、ＵＶ照射量は０．０５〜０．５（ｋｗ・ｈｒ／ｍ３）程度となるように調整した。イオン交換処理装置１４には、オルガノ（株）製のカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂とを混合した樹脂（混床）であるＥＰＳ−２を充填した装置を用いた。ＴＯＣ計はＡＮＡＴＥＬ  Ａ−１０００ＸＰを用いた。
【００５６】
（比較例１）
図２に示す、膜処理装置５０を備える純水製造装置（紫外線照射処理装置およびイオン交換処理装置はなし）を用いた以外は、実施例１と同様の条件で試験を行い、ａ点、ｃ点（ａ点：スライムコントロール剤添加後、膜処理装置５０への流入前、ｃ点：膜処理装置５０からの流出後）におけるＴＯＣを測定した。膜処理装置５０は、実施例１と同じものを用いた。結果を表１に示す。
【００５７】
【表１】
2009247992.tif 000006
【００５８】
このように、実施例１では、処理水のＴＯＣを低く保持しながら、スライムコントロール剤を使用して、スライム発生などのトラブルを抑制することができた。また、スライムコントロール剤が、ＤＢＮＰＡ製剤などの溶剤を多く含む製剤の場合であっても、処理水のＴＯＣを低く保持することができた。
【００５９】
（参考例１〜４）
細菌を含む水に、ハロシアノアセトアミド化合物であるＤＢＮＰＡ（参考例１）、イソチアゾロン化合物である５−クロロ−２−メチル−４−イソチアゾリン−３−オン（ＣＭＩ）（参考例２）、ニトロアルコール化合物である２，２−ジブロモ−２−ニトロエタノール（ＤＢＮＥ）（参考例３）、エタノール（参考例４）を、それぞれ３ｍｇ／Ｌとなるように添加し、添加前と添加５分後、３０分後、２４時間後の水中の菌数を測定した結果を表２に示す。
【００６０】
【表２】
2009247992.tif 000007
【００６１】
このように、ＤＢＮＰＡ、ＣＭＩ、ＤＢＮＥの殺菌効果は高く、特に、ハロシアノアセトアミド化合物であるＤＢＮＰＡの殺菌効果が高かった。
【００６２】
（参考例５，６）
図３に示す、紫外線照射処理装置５２、イオン交換処理装置５４を備える純水製造装置を用いて、紫外線照射処理装置５２の入口でＴＯＣが約２０ｐｐｂ程度となるように超純水にジプロピレングリコール（参考例５）またはメタノール（参考例６）を添加し、イオン交換処理装置５４の出口でのＴＯＣを測定し、紫外線照射処理装置５２とイオン交換処理装置５４でのＴＯＣ除去率を求めた。結果を表３に示す。
【００６３】
＜試験条件＞
紫外線照射処理装置：千代田工販（株）製、ＵＶ酸化装置
ＵＶ照射量：０．１（ｋｗ・ｈｒ／ｍ３）
イオン交換処理装置：オルガノ（株）製イオン交換樹脂ＥＰＳ−２を充填したもの
【００６４】
【表３】
2009247992.tif 000008
【００６５】
このように、参考例６（メタノール）よりも参考例５（ジプロピレングリコール）の方が、ＴＯＣ除去率が高く、ジプロピレングリコールが紫外線照射処理→イオン交換処理により高い効率で除去できることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の実施形態に係る純水製造装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】本発明の比較例１で用いた純水製造装置を示す概略構成図である。
【図３】本発明の参考例５，６で用いた純水製造装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００６７】
１  純水製造装置、１０，５０  膜処理装置、１２，５２  紫外線照射処理装置、１４，５４  イオン交換処理装置。
【図１】
2009247992.tif 000011
【図２】
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【図３】
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