(57)【要約】【課題】同時に駆動される吐出ノズルの数によって変動する液滴吐出ヘッドの駆動信号波形の歪を、制御装置の負荷が増大することを抑制しながら、緻密な補正を実施できる描画方法、及び描画装置、並びに電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の製造装置を提供する。【解決手段】描画方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルと、駆動信号を印加されることによって吐出ノズルから液状体を吐出させる複数の駆動素子と、を備える描画装置を用いる描画方法であって、液状体を吐出することで描画する描画画像の描画パターン情報を取得する描画パターン情報取得工程と、描画パターン情報から、描画画像を描画する際に、略同時に駆動される駆動素子の数である負荷数を算出する負荷数算出工程と、駆動素子に印加する駆動信号の波形形状である駆動波形を、算出された負荷数に対応する負荷別駆動波形に決定する駆動波形決定工程と、を有する。【選択図】図９
2009160541.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルと、該複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルに対応して設けられており、駆動信号を印加されることによって変形することで前記吐出ノズルから前記液状体を吐出させる複数の駆動素子と、を備える描画装置を用いる描画方法であって、
前記液状体を吐出することで描画する描画画像の描画パターン情報を取得する描画パターン情報取得工程と、
前記描画パターン情報から、前記描画画像を描画する際の、前記複数の駆動素子の中で、略同時に駆動される駆動素子の数である負荷数を算出する負荷数算出工程と、
前記駆動素子に印加する前記駆動信号の波形形状である駆動波形を、算出された前記負荷数に対応する負荷別駆動波形に決定する駆動波形決定工程と、を有することを特徴とする描画方法。
【請求項２】
前記負荷別駆動波形を予め求める負荷別駆動波形取得工程と、
前記負荷別駆動波形取得工程で取得された前記負荷別駆動波形を、対応する前記負荷数と対応させて記憶する負荷別駆動波形記憶工程と、をさらに有し、
前記駆動波形決定工程では、前記負荷別駆動波形記憶工程において記憶された前記負荷別駆動波形の中から、前記負荷数算出工程において算出された前記負荷数に対応した前記負荷別駆動波形を読み出して、前記駆動素子に印加する前記駆動波形を、当該負荷別駆動波形に決定することを特徴とする、請求項１に記載の描画方法。
【請求項３】
前記駆動波形の基本波形が台形波を組み合わせた波形であり、該台形波の立上り曲線、立下り曲線、又は上底の曲線の少なくとも一つの形状を前記基本波形から修正することによって、前記負荷別駆動波形を形成することを特徴とする請求項１又は２に記載の描画方法。
【請求項４】
前記駆動波形を、時間軸における規定点の時点に対応する駆動信号の電圧を規定することによって規定し、前記規定点の数を、前記基本波形における勾配の変曲点の数より多くすることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の描画方法。
【請求項５】
前記複数の吐出ノズルは、複数の吐出ヘッドのそれぞれの吐出ヘッドが有する第一の複数の吐出ノズルで構成されており、
前記負荷数算出工程及び前記駆動波形決定工程において、前記負荷数又は前記駆動波形を、前記吐出ヘッドごとにそれぞれ算出又は規定することを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の描画方法。
【請求項６】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルと、該複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルに対応して設けられており、駆動信号を印加されることによって変形することで前記吐出ノズルから前記液状体を吐出させる複数の駆動素子と、を備える描画装置であって、
前記液状体を吐出することで描画する描画画像の描画パターン情報を取得する描画情報取得部と、
取得された前記描画パターン情報から、前記描画画像を描画する際の、前記複数の駆動素子の中で略同時に駆動される駆動素子の数である負荷数を算出する負荷数算出部と、
前記駆動素子に印加する前記駆動信号の波形形状である駆動波形を、算出された前記負荷数に対応する負荷別駆動波形に決定する駆動波形決定部と、を備えることを特徴とする描画装置。
【請求項７】
予め求められた前記負荷別駆動波形を取得する負荷別駆動波形取得部と、
前記負荷別駆動波形取得部によって取得された前記負荷別駆動波形を、対応する前記負荷数と対応させて記憶する負荷別駆動波形記憶部と、をさらに備え、
前記駆動波形決定部は、前記負荷別駆動波形記憶部に記憶された前記負荷別駆動波形の中から、前記負荷数算出部が算出し前記負荷数に対応した前記負荷別駆動波形を読み出して、前記駆動素子に印加する前記駆動波形を、当該負荷別駆動波形に決定することを特徴とする、請求項６に記載の描画装置。
【請求項８】
前記駆動波形の基本波形が台形波を組み合わせた波形であり、前記負荷別駆動波形は、前記台形波の立上がり曲線、立下り曲線、又は上底の曲線の少なくとも一つの形状を前記基本波形から修正することによって、規定されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の描画装置。
【請求項９】
前記駆動波形は、時間軸における規定点の時点に対応する駆動信号の電圧を規定することによって規定されており、前記規定点の数が、前記基本波形における勾配の変曲点の数より多いことを特徴とする、請求項６乃至８のいずれか一項に記載の描画装置。
【請求項１０】
前記複数の吐出ノズルは、複数の吐出ヘッドのそれぞれの吐出ヘッドが有する第一の複数の吐出ノズルで構成されており、
前記負荷算出部、及び前記駆動波形決定部は、前記負荷数、又は前記駆動素子に印加する前記駆動波形を、前記吐出ヘッドごとにそれぞれ算出又は規定することを特徴とする、請求項６乃至９のいずれか一項に記載の描画装置。
【請求項１１】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の描画方法、又は請求項６乃至１０のいずれか一項に記載の描画装置を用いて電気光学装置を構成する機能膜を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
電気光学装置の機能膜を構成する材料を含む機能液を吐出する複数の吐出ノズルと、該複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルに対応して設けられており、駆動信号を印加されることによって変形することで前記吐出ノズルから前記機能液を吐出させる複数の駆動素子と、を備える電気光学装置の製造装置であって、
前記機能液を吐出することで描画する描画画像の描画パターン情報を取得する描画情報取得部と、
取得された前記描画パターン情報から、前記描画画像を描画する際の、前記複数の駆動素子の中で略同時に駆動される駆動素子の数である負荷数を算出する負荷数算出部と、
前記駆動素子に印加する前記駆動信号の波形形状である駆動波形を、算出された前記負荷数に対応する負荷別駆動波形に決定する駆動波形決定部と、を備えることを特徴とする電気光学装置の製造装置。
【請求項１３】
予め求められた前記負荷別駆動波形を取得する負荷別駆動波形取得部と、
前記負荷別駆動波形取得部によって取得された前記負荷別駆動波形を、対応する前記負荷数と対応させて記憶する負荷別駆動波形記憶部と、をさらに備え、
前記駆動波形決定部は、前記負荷別駆動波形記憶部に記憶された前記負荷別駆動波形の中から、前記負荷数算出部が算出し前記負荷数に対応した前記負荷別駆動波形を読み出して、前記駆動素子に印加する前記駆動波形を、当該負荷別駆動波形に決定することを特徴とする、請求項１２に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１４】
前記駆動波形の基本波形が台形波を組み合わせた波形であり、前記負荷別駆動波形は、前記台形波の立上がり曲線、立下り曲線、又は上底の曲線の少なくとも一つの形状を前記基本波形から修正することによって、規定されていることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の電気光学装置の製造装置。
【請求項１５】
前記駆動波形は、時間軸における規定点の時点に対応する駆動信号の電圧を規定することによって規定されており、前記規定点の数が、前記基本波形における勾配の変曲点の数より多いことを特徴とする、請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドから液状体を描画対象物に向けて吐出することで、描画対象物上に液状体を配置する描画装置を用いる描画方法、及び描画装置に関する。また、電気光学装置の機能膜を形成する材料を含む機能液を吐出する吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドを備え、当該液滴吐出ヘッドから機能液液状体を描画対象物に向けて吐出することで、描画対象物上に機能液を配置して機能膜を形成する電気光学装置の製造方法、及び電気光学装置の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などの機能膜を形成する技術として、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有する描画装置を用いて、機能膜の材料を含む液状体の液滴を吐出して基板上の任意の位置に着弾させることで、当該位置に液状体を配置（描画）し、配置した液状体を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる描画装置の液滴吐出ヘッドは、そのノズル列から微小な液滴を選択的に吐出して位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状及び膜厚を有する膜を形成することができる。
【０００３】
しかし、液滴吐出ヘッドを駆動するために液滴吐出ヘッドに印加する駆動信号において、当該駆動信号が駆動信号の生成部から液滴吐出ヘッドまで伝達される間に、波形に歪が生ずるという課題があった。駆動信号の波形に歪が生ずることで、吐出量が変動し、適正な吐出量が実現できなくなる。また、波形の歪の大きさや形状は、同時に駆動される吐出ノズルの数によって異なることが知られている。
特許文献１には、同時に駆動される吐出ノズルの数に対応して、駆動信号波形の変曲点の位置又は変曲点における電圧を補正することによって、駆動信号波形の補正を行うインクジェット式記録装置が開示されている。特許文献２には、負荷変動検出手段と記憶手段を有する負荷変動補正手段とを備え、負荷変動検出手段による負荷検出データによって、負荷変動補正手段は、記憶手段に記憶された補正データ値を選択して、駆動信号の補正を行うインクジェットヘッド駆動装置が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３６５３５号公報
【特許文献２】特開平９−１８７９４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、駆動信号波形の歪は、台形波形の立上がり曲線や立下り曲線の部分的な歪み、又は最大印加電圧印加時の電圧の時間変動として現れる部分があることを、本発明の発明者は見出した。このような波形の歪は、特許文献１や特許文献２に開示されたような補正では、曲線を部分的に補正することができないため、必ずしも充分に補正することができないという課題があった。より緻密な補正をするためには、多くのデータを処理する必要があり、液滴吐出ヘッドを含む液滴吐出装置を制御する制御装置の負荷が大きくなるという別の課題が発生する。
特許文献２のインクジェットヘッド駆動装置では、記憶した補正データを選択することで、補正値をリアルタイムで求める場合に比べて、制御装置の負荷を軽減できている。しかし、負荷変動を検出して、その結果によって補正を実施するためには、負荷検出から吐出実施までの処理時間を短くする必要があり、制御装置の描画時における負荷が増大するという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる描画方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルと、該複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルに対応して設けられており、駆動信号を印加されることによって変形することで前記吐出ノズルから前記液状体を吐出させる複数の駆動素子と、を備える描画装置を用いる描画方法であって、前記液状体を吐出することで描画する描画画像の描画パターン情報を取得する描画パターン情報取得工程と、前記描画パターン情報から、前記描画画像を描画する際の、前記複数の駆動素子の中で、略同時に駆動される駆動素子の数である負荷数を算出する負荷数算出工程と、前記駆動素子に印加する前記駆動信号の波形形状である駆動波形を、算出された前記負荷数に対応する負荷別駆動波形に決定する駆動波形決定工程と、を有することを特徴とする。
【０００８】
この描画方法によれば、描画する描画画像の描画パターン情報に基づいて負荷数を算出する。負荷数を求めるためには、描画パターン情報を取得すればよいため、実際の吐出を実施する前に負荷数を求めることができる。描画パターン情報から形成された描画データ信号から負荷数を求める場合に比べて、情報を処理する速度が遅くても充分対応できるため、負荷数を求めたり駆動信号を生成したりする制御装置の負荷を軽くすることができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる描画方法は、前記負荷別駆動波形を予め求める負荷別駆動波形取得工程と、前記負荷別駆動波形取得工程で取得された前記負荷別駆動波形を、対応する前記負荷数と対応させて記憶する負荷別駆動波形記憶工程と、をさらに有し、前記駆動波形決定工程では、前記負荷別駆動波形記憶工程において記憶された前記負荷別駆動波形の中から、前記負荷数算出工程において算出された前記負荷数に対応した前記負荷別駆動波形を読み出して、前記駆動素子に印加する前記駆動波形を、当該負荷別駆動波形に決定することが好ましい。
【００１０】
この描画方法によれば、負荷別駆動波形を予め求めて、対応する負荷数と対応させて記憶しており、駆動波形決定工程では記憶された負荷別駆動波形を選択して読み出すことで適用する負荷別駆動波形を決定する。負荷別駆動波形を予め求めるため、充分な時間及び検証工程を費やして負荷別駆動波形を求めることが可能となり、短時間で負荷別駆動波形を求める場合に比べて、より適切な負荷別駆動波形を求めることができる。駆動波形決定工程では記憶された負荷別駆動波形を選択して読み出すため、その時点で負荷別駆動波形を形成する場合に比べて、負荷別駆動波形を形成する制御装置の負荷を軽減することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる描画方法において、前記駆動波形の基本波形が台形波を組み合わせた波形であり、該台形波の立上り曲線、立下り曲線、又は上底の曲線の少なくとも一つの形状を前記基本波形から修正することによって、前記負荷別駆動波形を形成することが好ましい。
【００１２】
この描画方法によれば、台形波の立上り曲線、立下り曲線、又は上底の曲線の少なくとも一つの形状を基本波形から変更するため、台形波の立上り曲線や立下り曲線の開始位置や傾きを変更する方法に比べて、台形波をより詳細に補正することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる描画方法において、前記駆動波形を、時間軸における規定点の時点に対応する駆動信号の電圧を規定することによって規定し、前記規定点の数を、前記基本波形における勾配の変曲点の数より多くすることが好ましい。
【００１４】
この描画方法によれば、印加する駆動電圧が規定される規定点が、台形波の変曲点の数より多くなる。このため、変曲点における駆動電圧に加えて、変曲点の間の規定点における駆動電圧も規定して、駆動波形を規定することができる。これにより、変曲点においてのみ駆動電圧を規定する場合に比べて、台形波をより詳細に規定することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる描画方法において、前記複数の吐出ノズルは、複数の吐出ヘッドのそれぞれの吐出ヘッドが有する第一の複数の吐出ノズルで構成されており、前記負荷数算出工程及び前記駆動波形決定工程において、前記負荷数又は前記駆動波形を、前記吐出ヘッドごとにそれぞれ算出又は規定することが好ましい。
【００１６】
この描画方法によれば、吐出ヘッドごとに負荷数を算出し、駆動波形を対応する負荷別駆動波形に決定する。
吐出ノズルのそれぞれの駆動素子に印加される駆動波形は、近接して配設された駆動素子に印加される駆動波形によって互いに影響を受ける。異なる吐出ヘッド間で及ぼしあう影響は、同一の吐出ヘッド内で及ぼしあう影響に比べて小さい。吐出ヘッド単位で負荷数を算出し、負荷別駆動波形を決定することで、効率的に負荷別駆動波形を決定することができる。
【００１７】
［適用例６］本適用例にかかる描画装置は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルと、該複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルに対応して設けられており、駆動信号を印加されることによって変形することで前記吐出ノズルから前記液状体を吐出させる複数の駆動素子と、を備える描画装置であって、前記液状体を吐出することで描画する描画画像の描画パターン情報を取得する描画情報取得部と、取得された前記描画パターン情報から、前記描画画像を描画する際の、前記複数の駆動素子の中で略同時に駆動される駆動素子の数である負荷数を算出する負荷数算出部と、前記駆動素子に印加する前記駆動信号の波形形状である駆動波形を、算出された前記負荷数に対応する負荷別駆動波形に決定する駆動波形決定部と、を備えることを特徴とする。
【００１８】
この描画装置によれば、負荷数算出部は、描画情報取得部が取得した描画画像の描画パターン情報に基づいて負荷数を算出する。負荷数算出部が負荷数を求めるためには、描画パターン情報を取得すればよいため、実際の吐出を実施する前に負荷数を求めることができる。さらに駆動波形決定部は、実際の吐出を実施する前に、駆動波形を算出された負荷数に対応する負荷別駆動波形に決定することができる。描画パターン情報から形成された描画データ信号から負荷数を求める場合に比べて、情報を処理する速度が遅くても充分対応できるため、負荷数算出部や駆動波形決定部を含む描画装置の制御装置の負荷を軽くすることができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる描画装置は、予め求められた前記負荷別駆動波形を取得する負荷別駆動波形取得部と、前記負荷別駆動波形取得部によって取得された前記負荷別駆動波形を、対応する前記負荷数と対応させて記憶する負荷別駆動波形記憶部と、をさらに備え、前記駆動波形決定部は、前記負荷別駆動波形記憶部に記憶された前記負荷別駆動波形の中から、前記負荷数算出部が算出し前記負荷数に対応した前記負荷別駆動波形を読み出して、前記駆動素子に印加する前記駆動波形を、当該負荷別駆動波形に決定することが好ましい。
【００２０】
この描画装置によれば、予め求められた負荷別駆動波形を負荷別駆動波形取得部が取得し、負荷別駆動波形記憶部が記憶している。負荷別駆動波形を予め求めるため、充分な時間及び検証工程を費やして負荷別駆動波形を求めることが可能となり、短時間で負荷別駆動波形を求める場合に比べて、より適切な負荷別駆動波形を求めることができる。
駆動波形決定部は記憶された負荷別駆動波形を選択して読み出すため、その時点で負荷別駆動波形を形成することが不要であり、駆動波形決定部を含む描画装置の制御装置の負荷を軽減することができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる描画装置において、前記駆動波形の基本波形が台形波を組み合わせた波形であり、前記負荷別駆動波形は、前記台形波の立上がり曲線、立下り曲線、又は上底の曲線の少なくとも一つの形状を前記基本波形から修正することによって、規定されていることが好ましい。
【００２２】
この描画装置によれば、台形波の立上り曲線、立下り曲線、又は上底の曲線の少なくとも一つの形状を基本波形から変更するため、台形波の立上り曲線や立下り曲線の開始位置や傾きを変更する場合に比べて、台形波をより詳細に補正することが可能となる。これにより、描画装置は、所望の吐出量をより正確に実現することができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかる描画装置において、前記駆動波形は、時間軸における規定点の時点に対応する駆動信号の電圧を規定することによって規定されており、前記規定点の数が、前記基本波形における勾配の変曲点の数より多いことが好ましい。
【００２４】
この描画装置によれば、印加する駆動電圧が規定される規定点が、台形波の変曲点の数より多くなる。このため、変曲点における駆動電圧に加えて、変曲点の間の規定点における駆動電圧も規定して、駆動波形を規定することができる。したがって、変曲点においてのみ駆動電圧を規定する場合に比べて、台形波をより詳細に規定することができる。これにより、描画装置は、所望の吐出量をより正確に実現することができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例にかかる描画装置において、前記複数の吐出ノズルは、複数の吐出ヘッドのそれぞれの吐出ヘッドが有する第一の複数の吐出ノズルで構成されており、前記負荷算出部、及び前記駆動波形決定部は、前記負荷数、又は前記駆動素子に印加する前記駆動波形を、前記吐出ヘッドごとにそれぞれ算出又は規定することが好ましい。
【００２６】
この描画装置によれば、吐出ヘッドごとに負荷数を算出し、駆動波形を対応する負荷別駆動波形に決定する。
吐出ノズルのそれぞれの駆動素子に印加される駆動波形は、近接して配設された駆動素子に印加される駆動波形によって互いに影響を受ける。異なる吐出ヘッド間で及ぼしあう影響は、同一の吐出ヘッド内で及ぼしあう影響に比べて小さい。吐出ヘッド単位で負荷数を算出し、負荷別駆動波形を決定することで、効率的に負荷別駆動波形を決定することができる。
【００２７】
［適用例１１］本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、上記適用例にかかる描画方法、又は上記適用例にかかる描画装置を用いて電気光学装置を構成する機能膜を形成することを特徴とする。
【００２８】
この電気光学装置の製造方法によれば、描画装置を制御する制御装置の負荷を軽くすることができる描画方法、又は描画装置を制御する制御装置の負荷を軽くすることができる描画装置を用いるため、電気光学装置を製造するために用いる装置を制御する制御装置の負荷を軽くすることができる。
【００２９】
［適用例１２］本適用例にかかる電気光学装置の製造装置は、電気光学装置の機能膜を構成する材料を含む機能液を吐出する複数の吐出ノズルと、該複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルに対応して設けられており、駆動信号を印加されることによって変形することで前記吐出ノズルから前記機能液を吐出させる複数の駆動素子と、を備える電気光学装置の製造装置であって、前記機能液を吐出することで描画する描画画像の描画パターン情報を取得する描画情報取得部と、取得された前記描画パターン情報から、前記描画画像を描画する際の、前記複数の駆動素子の中で略同時に駆動される駆動素子の数である負荷数を算出する負荷数算出部と、前記駆動素子に印加する前記駆動信号の波形形状である駆動波形を、算出された前記負荷数に対応する負荷別駆動波形に決定する駆動波形決定部と、を備えることを特徴とする。
【００３０】
この電気光学装置の製造装置によれば、負荷数算出部は、描画情報取得部が取得した描画画像の描画パターン情報に基づいて負荷数を算出する。負荷数算出部が負荷数を求めるためには、描画パターン情報を取得すればよいため、実際の吐出を実施する前に負荷数を求めることができる。さらに駆動波形決定部は、実際の吐出を実施する前に、駆動波形を算出された負荷数に対応する負荷別駆動波形に決定することができる。描画パターン情報から形成された描画データ信号から負荷数を求める場合に比べて、情報を処理する速度が遅くても充分対応できるため、負荷数算出部や駆動波形決定部を含む電気光学装置の製造装置の制御装置の負荷を軽くすることができる。
【００３１】
［適用例１３］上記適用例にかかる電気光学装置の製造装置は、予め求められた前記負荷別駆動波形を取得する負荷別駆動波形取得部と、前記負荷別駆動波形取得部によって取得された前記負荷別駆動波形を、対応する前記負荷数と対応させて記憶する負荷別駆動波形記憶部と、をさらに備え、前記駆動波形決定部は、前記負荷別駆動波形記憶部に記憶された前記負荷別駆動波形の中から、前記負荷数算出部が算出し前記負荷数に対応した前記負荷別駆動波形を読み出して、前記駆動素子に印加する前記駆動波形を、当該負荷別駆動波形に決定することが好ましい。
【００３２】
この電気光学装置の製造装置によれば、予め求められた負荷別駆動波形を負荷別駆動波形取得部が取得し、負荷別駆動波形記憶部が記憶している。負荷別駆動波形を予め求めるため、充分な時間及び検証工程を費やして負荷別駆動波形を求めることが可能となり、短時間で負荷別駆動波形を求める場合に比べて、より適切な負荷別駆動波形を求めることができる。
駆動波形決定部は記憶された負荷別駆動波形を選択して読み出すため、その時点で負荷別駆動波形を形成することが不要であり、駆動波形決定部を含む電気光学装置の製造装置の制御装置の負荷を軽減することができる。
【００３３】
［適用例１４］上記適用例にかかる電気光学装置の製造装置において、前記駆動波形の基本波形が台形波を組み合わせた波形であり、前記負荷別駆動波形は、前記台形波の立上がり曲線、立下り曲線、又は上底の曲線の少なくとも一つの形状を前記基本波形から修正することによって、規定されていることが好ましい。
【００３４】
この電気光学装置の製造装置によれば、台形波の立上り曲線、立下り曲線、又は上底の曲線の少なくとも一つの形状を基本波形から変更するため、台形波の立上り曲線や立下り曲線の開始位置や傾きを変更する場合に比べて、台形波をより詳細に補正することが可能となる。これにより、電気光学装置の製造装置は、所望の吐出量をより正確に実現することができる。
【００３５】
［適用例１５］上記適用例にかかる電気光学装置の製造装置において、前記駆動波形は、時間軸における規定点の時点に対応する駆動信号の電圧を規定することによって規定されており、前記規定点の数が、前記基本波形における勾配の変曲点の数より多いことが好ましい。
【００３６】
この電気光学装置の製造装置によれば、印加する駆動電圧が規定される規定点が、台形波の変曲点の数より多くなる。このため、変曲点における駆動電圧に加えて、変曲点の間の規定点における駆動電圧も規定して、駆動波形を規定することができる。したがって、変曲点においてのみ駆動電圧を規定する場合に比べて、台形波をより詳細に規定することができる。これにより、電気光学装置の製造装置は、所望の吐出量をより正確に実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、描画方法、及び描画装置の好適な実施の形態について、描画装置の一実施形態としてのインクジェット方式の液滴吐出装置を例に、図面を参照して説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００３８】
＜液滴吐出装置＞
最初に、液滴吐出装置１の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００３９】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ヘッド機構部２と、ワーク機構部３と、機能液供給部４と、メンテナンス装置部５と、を備えている。ヘッド機構部２は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１０を有する。ワーク機構部３は、液滴吐出ヘッド１０から吐出された液滴の吐出対象であるワーク２０を載置するワーク載置台２３を有する。機能液供給部４は、給液チューブ２４を有し、当該給液チューブ２４が、液滴吐出ヘッド１０に接続されている。給液チューブ２４を介して機能液が液滴吐出ヘッド１０に供給される。メンテナンス装置部５は、液滴吐出ヘッド１０の検査及び保守を行う装置を備えている。液滴吐出装置１は、また、これら各機構部等を総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。
【００４０】
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配設されている。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在するように配設されている。また、定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド１０に連通する供給管を有する機能液供給部４の機能液タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、メンテナンス装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。
【００４１】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド１０を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を支持するヘッドキャリッジ２５と、ヘッドキャリッジ２５が吊設された移動枠２２とを有している。移動枠２２とをＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１０をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ワーク機構部３は、ワーク載置台２３をＸ軸方向に移動させることで、ワーク載置台２３に載置されたワーク２０をＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００４２】
このように、液滴吐出ヘッド１０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク２０のＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワーク２０と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１０とを相対的に制御することにより、ワーク２０上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を行うことが可能である。
【００４３】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図２を参照して、液滴吐出ヘッド１０の構成について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図である。図３は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図である。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。液滴吐出ヘッド１０が、吐出ヘッドに相当する。
【００４４】
図２に示したように、液滴吐出ヘッド１０は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４６，４６を有する液体導入部４５と、液体導入部４５の側方に連なるヘッド基板４７と、液体導入部４５に連なるポンプ部４８と、ポンプ部４８に連なるノズルプレート４１とを備えている。液体導入部４５には、配管接続部材が接続され、ヘッド基板４７には、一対のヘッドコネクタ４７Ａ，４７Ａが実装されており、当該ヘッドコネクタ４７Ａを介してフレキシブルフラットケーブルが接続される。このポンプ部４８とノズルプレート４１とにより、方形のヘッド本体４０Ａが構成されている。
【００４５】
ポンプ部４８の基部側、すなわちヘッド本体４０Ａの基部側は、液体導入部４５を受けるべく方形フランジ状にフランジ部４４が形成されている。このフランジ部４４には、液滴吐出ヘッド１０をヘッド保持部材に固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）４９が一対形成されている。ヘッド保持部材を貫通してねじ孔４９に螺合したヘッド止めねじにより、液滴吐出ヘッド１０がヘッド保持部材に固定される。
【００４６】
ノズルプレート４１のノズル形成面４１ａには、ノズルプレート４１に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル４２から成るノズル列４３が、２本形成されている。２本のノズル列４３は相互に平行に列設されており、各ノズル列４３は、等ピッチで並べた１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル４２で構成されている。すなわち、ヘッド本体４０Ａのノズル形成面４１ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列４３が対称に配設されている。
【００４７】
液滴吐出ヘッド１０が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列４３はＹ軸方向に延在する。２列のノズル列４３をそれぞれ構成する吐出ノズル４２同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置ずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列４３を構成する吐出ノズル４２から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。吐出ノズル４２のノズルピッチが１４０μｍの場合、着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。
【００４８】
図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１０は、ノズルプレート４１にポンプ部４８を構成する圧力室プレート５１が積層されており、圧力室プレート５１に振動板５２が積層されている。
圧力室プレート５１には、液体導入部４５から振動板５２の液供給孔５３を介して供給される機能液が常に充填される液たまり５５が形成されている。液たまり５５は、振動板５２と、ノズルプレート４１と、圧力室プレート５１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート５１には、複数のヘッド隔壁５７によって区切られた圧力室５８が形成されている。振動板５２と、ノズルプレート４１と、１対のヘッド隔壁５７とによって囲まれた空間が圧力室５８である。
【００４９】
圧力室５８は吐出ノズル４２のそれぞれに対応して設けられており、圧力室５８の数と吐出ノズル４２の数とは同じである。圧力室５８には、１対のヘッド隔壁５７の間に位置する供給口５６を介して、液たまり５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁５７と圧力室５８と吐出ノズル４２と供給口５６との組は、液たまり５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル４２がノズル列４３を形成している。図３（ａ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル４２を含むノズル列４３に対して液たまり５５に関して略対称位置に、１列に並んだ吐出ノズル４２がもうひとつのノズル列４３を形成しており、対応するヘッド隔壁５７と圧力室５８と供給口５６との組が、１列に並んでいる。
【００５０】
振動板５２の圧力室５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子５９の一端が固定されている。圧電素子５９の他端は、固定板５４（図６（ｂ）参照）を介して液滴吐出ヘッド１０全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図３（ｂ）では振動板５２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子５９の一端が固定された振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子５９が振動板５２を押圧する。振動板５２が押圧されることで、圧力室５８側に戻る。これにより、圧力室５８の容積が急激に元に戻る、即ち増加していた容積が減少することから、圧力室５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室５８に連通して形成された吐出ノズル４２から機能液が液滴となって吐出される。機能液が、液状体に相当する。
【００５１】
吐出装置制御部６は、圧電素子５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル４２のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル４２から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数、基板上に着弾した液滴同士の距離などを変化させることができる。例えば、ノズル列４３に並ぶ複数の吐出ノズル４２の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル４２を選択的に使用することにより、ノズル列４３の方向では、ノズル列４３の長さの範囲であって吐出ノズル４２のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列４３の方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル４２とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル４２が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル４２から吐出される液滴を配置することができる。なお、吐出ノズル４２のそれぞれから吐出される液滴の体積は、１ｐｌ〜３００ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。
【００５２】
＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、図４に示した制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に入出力する情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。
【００５３】
液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）７７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）７４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）７５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）７６と、ハードディスク７８と、を有している。また、ヘッドドライバ１０ｄと、駆動機構ドライバ３０ｄと、給液ドライバ４０ｄと、メンテナンスドライバ５０ｄと、検査ドライバ６０ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）７３と、を有している。これらは、データバス７９を介して互いに電気的に接続されている。
【００５４】
インタフェイス７７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ７４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ７６は、ＣＰＵ７４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ７５は、ＣＰＵ７４が各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶している。ハードディスク７８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ７４が各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶したりしている。
【００５５】
ヘッドドライバ１０ｄには、ヘッドユニット２１を構成する液滴吐出ヘッド１０が接続されている。ヘッドドライバ１０ｄは、ＣＰＵ７４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１０を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。
【００５６】
駆動機構ドライバ３０ｄには、ヘッド機構部２を構成するＹ軸テーブル３２のヘッド移動モータと、ワーク機構部３を構成するＸ軸テーブル３１のＸ軸リニアモータと、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構７１とが接続されている。各種駆動機構は、アライメントカメラを移動するためのカメラ移動モータや、ヘッド機構部２を構成するθ回転機構の駆動モータや、ワーク機構部３を構成するθ回転機構の駆動モータなどである。駆動機構ドライバ３０ｄは、ＣＰＵ７４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１０とワーク２０とを相対移動させてワーク２０の任意の位置と液滴吐出ヘッド１０とを対向させ、ヘッドドライバ１０ｄと協働して、ワーク２０上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させて、当該位置に機能液を配置する。
【００５７】
メンテナンスドライバ５０ｄには、メンテナンス装置部５に含まれるメンテナンスユニット５０の吸引ユニットと、ワイピングユニットと、フラッシングユニットとが接続されている。メンテナンスドライバ５０ｄは、ＣＰＵ７４からの制御信号に従って、吸引ユニット、ワイピングユニット、又はフラッシングユニットを駆動して、液滴吐出ヘッド１０の保守作業を実施させる。
【００５８】
検査ドライバ６０ｄには、メンテナンス装置部５に含まれる検査ユニット６０の吐出検査ユニットと、重量測定ユニットとが接続されている。検査ドライバ６０ｄは、ＣＰＵ７４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット、又は重量測定ユニットを駆動して、吐出重量や吐出の可否や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１０の吐出状態の検査を実施させる。
【００５９】
給液ドライバ４０ｄには、機能液供給部４を構成する給液ユニット４０が接続されている。給液ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ７４からの制御信号に従って給液ユニット４０を駆動して、液滴吐出ヘッド１０に機能液を供給する。検出部インタフェイス７３には、各種センサを含む検出部７２が接続されている。検出部７２の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス７３を介してＣＰＵ７４に伝達される。
【００６０】
＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における吐出制御方法について、図５を参照して説明する。図５は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。
【００６１】
上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力するＣＰＵ７４と、液滴吐出ヘッド１０の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバ１０ｄとを備えている。
図５に示すように、ヘッドドライバ１０ｄは、フレキシブルケーブル１２を介して各液滴吐出ヘッド１０と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド１０は、吐出ノズル４２（図２参照）毎に設けられた圧電素子５９に対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）８０、ラッチ回路（ＬＡＴ）８１、レベルシフタ（ＬＳ）８２、スイッチ（ＳＷ）８３を備えている。
【００６２】
液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ７４がワーク２０などの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバ１０ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバ１０ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル４２毎のＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ８０に伝送される。
【００６３】
シフトレジスタ８０に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８１に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ８２でスイッチ８３用のゲート信号に変換される。すなわち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８３が開いて圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８３が閉じられて圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されないことになる。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル４２からは機能液が液滴化されて吐出され、吐出された機能液がワーク２０などの描画対象物の上に配置される。
【００６４】
＜駆動波形＞
次に、圧電素子５９に印加する駆動信号の駆動波形、及び当該駆動波形の駆動信号を印加された圧電素子５９の動作による吐出動作について、図６を参照して説明する。図６（ａ）は、圧電素子に印加する駆動信号の駆動波形の基本波形を示す図であり、図６（ｂ）は、駆動波形に対応した圧電素子の動作による液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す模式断面図である。
【００６５】
図６（ａ）に示すように、駆動信号を印加する前の待機状態では、圧電素子５９には一定の電圧が印加されている（図６（ａ）のＡ）。この電圧を中間電位と表記する。描画を実施する際は、描画開始前に、圧電素子５９に印加する電圧を中間電位に引き上げ、描画終了後に、グランドレベルに戻す。
図６（ｂ）に示すように、圧電素子５９を中間電位に維持した待機状態では、圧電素子５９がわずかに縮んで振動板５２が圧電素子５９の側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓んでいる（図６（ｂ）のＡ）。
【００６６】
駆動周期の最初の工程は、圧電素子５９に印加する電圧を、中間電位から始まって、高電位に引き上げる（図６（ａ）のＢ）。圧電素子５９に印加される電圧が高くなることで、圧電素子５９がさらに縮んで、振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板５２が圧力室５８と反対側に引張られることで、振動板５２が圧力室５８の反対側に撓む。これにより、圧力室５８の容積が増加することから、機能液が液たまり５５から供給口５６を経て圧力室５８に供給される（図６（ｂ）のＢ）。この工程を、昇圧給液工程と表記する。昇圧給液工程では、吐出ノズル４２から空気が圧力室に入り込まないように、圧電素子５９をゆっくり変位させる。
【００６７】
昇圧給液工程後、圧電素子５９に印加する電圧を高電位に保った状態を維持する。この状態を、吐出前待機状態と表記する（図６（ａ）のＣ）。圧電素子５９を構成する圧電材料は、電圧変動がなくなっても機械的に振動しているため、その機械振動が収まるまで待機する工程が、吐出前待機状態である。
【００６８】
機械振動が収まる時間だけ吐出前待機状態を維持した後、圧電素子５９に印加する電圧を、一気に降圧させる（図６（ａ）のＤ）。圧電素子５９に印加する電圧を、一気に降圧させることによって、圧電素子５９の変位が一気に零になり、圧力室５８は急激に狭くなり、圧力室５８の内部に充填されていた機能液が、吐出ノズル４２から吐出される（図６（ｂ）のＤ）。この工程を、降圧吐出工程と表記する。
【００６９】
降圧吐出工程の次に、圧電素子５９に印加する電圧を低電位に保った状態を維持する。この状態を、吐出後待機状態と表記する（図６（ａ）のＥ）。圧電素子５９の機械振動が収まる時間だけ低電位状態を維持する工程が、吐出後待機状態である。
圧電素子５９の機械振動が収まる時間だけ吐出後待機状態を維持した後、圧電素子５９に印加する電圧を中間電位に引き上げて（図６（ａ）のＦ）、再び待機状態（中間電位）にする。
【００７０】
＜負荷別駆動波形＞
次に、圧電素子５９に印加する駆動信号の負荷別駆動波形の一例について、図７及び図８を参照して説明する。図７は、駆動信号の基本波形を示す図であり、図８は、駆動信号の負荷別駆動波形の一例を示す図である。図７（ａ）は、駆動信号の基本波形の入力データを示す図であり、図７（ｂ）は、基本波形を印加したときの圧電素子に印加される駆動波形の実測値を示す図である。図８（ａ）は、駆動信号の負荷別駆動波形の入力データを示す図であり、図８（ｂ）は、負荷別駆動波形を印加したときの圧電素子に印加される駆動波形の実測値を示す図であり、図８（ｃ）は、駆動波形ごとの吐出重量の実測値を示す表である。
【００７１】
なお、図６を参照して説明した駆動波形において、吐出後待機状態を維持した後に圧電素子５９に印加する電圧を中間電位に引き上げる工程は、降圧吐出工程における吐出量には実質的に影響を与えないため、負荷別駆動波形においても基本波形と同じ形状である。負荷別駆動波形は、基本波形の昇圧給液工程、吐出前待機状態の工程、降圧吐出工程、及び吐出後待機状態の工程の部分波形を調整して形成する。
【００７２】
図７（ａ）に示した基本波形の入力データを入力したところ、図７（ｂ）に示すような駆動波形が、液滴吐出ヘッド１０に印加された。図７（ｂ）に示す駆動波形は、ヘッドコネクタ４７Ａにおける駆動波形を実測したものである。図７（ｂ）に一点鎖線で示した駆動波形は、圧電素子５９を駆動させない状態、即ち無負荷の場合のヘッドコネクタ４７Ａにおける駆動波形である。図７（ｂ）に実線で示した駆動波形は、６０個の圧電素子５９を駆動させた場合のヘッドコネクタ４７Ａにおける駆動波形である。
【００７３】
液滴吐出ヘッド１０などの液滴吐出ヘッドにおいて圧電素子５９などの駆動素子を駆動するための負荷をノズルデューティーと表記し、負荷の大きさを、同時に吐出を実施する吐出ノズル４２などの吐出ノズルの数で表す。例えば、６０個の圧電素子５９（吐出ノズル４２）を同時に駆動させる場合の負荷を、ノズルデューティー６０と表記する。ノズルデューティー６０の場合、図７（ｂ）に示すように二点鎖線で囲ったａ，ｂ，ｃ，ｄの部分で駆動波形に歪が生じている。なお、ノズルデューティー６０の場合の吐出重量は、設定した設計上の吐出重量に比べて、約９％増加していた。
【００７４】
図８（ａ）に示したノズルデューティー６０に対応する負荷別駆動波形の入力データを入力したところ、図８（ｂ）に示すような駆動波形が、ヘッドコネクタ４７Ａ（液滴吐出ヘッド１０）において測定された。図８（ｂ）に一点鎖線で示した駆動波形は、無負荷の場合のヘッドコネクタ４７Ａにおける駆動波形である。図８（ｂ）に実線で示した駆動波形は、ノズルデューティー６０の場合のヘッドコネクタ４７Ａにおける駆動波形である。ノズルデューティー６０に対応する負荷別駆動波形の入力データは、図８（ａ）において、二点鎖線で囲って示した部分の波形形状を、基本波形に対して変更して形成した。台形波である基本波形は直線で構成されているが、図８（ａ）において、ａ、ｂ、ｃ、又はｄで示した部分は、それぞれ複数の時点における電圧を規定することで、直線で規定される波形とは異なる波形を規定している。
ノズルデューティー６０の場合と無負荷の場合とで、駆動波形の形状にほとんど差がないため、図８（ｂ）では一点鎖線が実線と判別できない程度によく一致している。
【００７５】
図８（ａ）において、ａ、ｂ、ｃ、又はｄで示した部分を、基本波形に対して変更した駆動波形を、それぞれ調整波形ａ、調整波形ｂ、調整波形ｃ、調整波形ｄと表記する。図８（ｃ）は、ノズルデューティー６０で、調整波形ａ、調整波形ｂ、調整波形ｃ、又は調整波形ｄの駆動信号を印加して、６００００ショットを吐出させた際の吐出重量の測定結果である。図８（ｃ）に示した基本波形の駆動信号による吐出重量は、ノズルデューティー６０で、調整波形ａ、調整波形ｂ、調整波形ｃ、又は調整波形ｄの駆動信号よる吐出重量測定と交互に実施した基本波形の駆動信号による吐出重量測定の結果である。
【００７６】
４回の基本波形の駆動信号による吐出重量が、互いに最大０．０００７ｇ異なっていることから、吐出重量及び重量測定ユニットのいずれか又は双方合わせて、０．００１ｇ以下程度の誤差があると推定される。
調整波形ａ、調整波形ｂ、調整波形ｃ、又は調整波形ｄそれぞれの駆動信号よる吐出重量の、基本波形の駆動信号による吐出重量との差の合計は、約−９％である。基本波形の駆動信号を印加した場合、ノズルデューティー６０の場合の吐出重量は、設計上の吐出重量に比べて、約９％増加していた。図８（ａ）に示したノズルデューティー６０に対応する負荷別駆動波形の駆動信号を印加した場合、ノズルデューティー６０の場合の吐出重量も無負荷の場合の吐出重量も略同等であって、基本波形の駆動信号を印加した場合の設計上の吐出重量と同等であった。
これらの吐出重量測定の結果から、負荷別駆動波形の駆動信号を用いることによって、負荷の増大による吐出重量の変動を、ほとんど無くすることができることがわかる。
【００７７】
＜描画吐出＞
次に、機能液を吐出して、描画を実行する過程について、図９を参照して説明する。図９は、描画工程を示すフローチャートである。
【００７８】
図９のステップＳ１では、液滴吐出ヘッド１０における同時に吐出を実施する吐出ノズル４２の数（ノズルデューティー）ごとに、上述した負荷別駆動波形を作成する。負荷別駆動波形を作成する工程は、描画吐出に先立って、別途実施する。負荷別駆動波形の作成は、最初に、ノズルデューティーごとに、入力した駆動波形と吐出量との関係、及び入力した駆動波形と実際に液滴吐出ヘッド１０に印加された駆動波形との関係を求める。次に、入力する駆動波形の形状を調整することによって、求める負荷別駆動波形のノズルデューティーにおける液滴吐出ヘッド１０に印加される駆動波形を、ノズルデューティー０の場合における液滴吐出ヘッド１０に印加される駆動波形に合致させる。さらに、当該負荷別駆動波形の駆動信号を用いることで、対応するノズルデューティーにおける吐出ノズルからの吐出重量が、基本波形の駆動信号を印加した場合の設計上の吐出重量と略同等となったかを検証する。
【００７９】
次に、ステップＳ２では、作成した負荷別駆動波形を、対応するノズルデューティーと対応させて記憶する。作成した負荷別駆動波形の情報を、入出力装置６８から入力し、ＲＡＭ７６やハードディスク７８などに記憶させる。入出力装置６８が、負荷別駆動波形取得部に相当する。負荷別駆動波形の情報を記憶するＲＡＭ７６やハードディスク７８などが、負荷別駆動波形記憶部に相当する。
【００８０】
次に、ステップＳ３では、描画する画像の描画データを取得する。描画データの取得は、画像の描画データを入出力装置６８から入力し、ＲＡＭ７６やハードディスク７８などに記憶させることによって実行される。描画データは、例えば、ワーク２０などの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータなどの形式で供給される。入出力装置６８が、描画情報取得部に相当する。描画データが、描画パターン情報に相当する。
【００８１】
次に、ステップＳ４では、取得した画像データに基づいて、描画吐出を実施する際の、各液滴吐出ヘッド１０におけるノズルデューティーを算出する。ノズルデューティーは、各吐出ノズル４２に対応するノズルデータから算出する。上述したように、ヘッドドライバ１０ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル４２毎のＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。液滴吐出装置１が吐出動作を開始する時点からの経過時間が同じ時点において、各液滴吐出ヘッド１０におけるノズルデータの情報がＯＮ（吐出）になっている吐出ノズル４２の数を求めることによって、それぞれの液滴吐出ヘッド１０におけるノズルデューティーを算出する。当該算出は、例えば、ＣＰＵ７４が、ＲＯＭ７５に記憶されたプログラムに従って実行する。この場合のＣＰＵ７４及びＲＯＭ７５が、負荷数算出部に相当する。
【００８２】
次に、ステップＳ５では、記憶されている負荷別駆動波形の中から、算出されたノズルデューティーに対応する負荷別駆動波形を読み出す。そして、スイッチ８３が開いている場合に圧電素子５９に印加される駆動信号の波形を、読み出した負荷別駆動波形に決定する。スイッチ８３が開いている場合に圧電素子５９に印加される駆動信号の波形は、当該時点におけるノズルデューティーとして算出されたノズルデューティーに対応する負荷別駆動波形として読み出された負荷別駆動波形に決定される。
【００８３】
次に、ステップＳ６では、ワーク２０などの描画対象物に向けて、描画吐出を実施する。描画吐出を実施するために、圧電素子５９には、当該吐出を実施する時点におけるノズルデューティーとして算出されたノズルデューティーに対応して決定された負荷別駆動波形の駆動信号が印加される。
【００８４】
ステップＳ６を実施して、描画工程を終了する。
なお、ステップＳ１及びＳ２は、それぞれの液滴吐出ヘッド１０において一回実施してデータを記憶させておけば充分で、描画吐出のたびに実施する必要はない。さらに、それぞれの液滴吐出ヘッド１０の特性は、規格に適合する特性であり、許容誤差の範囲で同等であるため、一つの液滴吐出ヘッド１０において求めた負荷別駆動波形を、他の液滴吐出ヘッド１０の負荷別駆動波形として用いてもよい。
また、ステップＳ３は、描画する描画画像ごとに一回実施すればよい。
【００８５】
＜液晶表示パネルの構成＞
次に、描画装置を用いて描画を実施する描画対象物の一例であるカラーフィルタを備える液晶表示パネルについて説明する。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図１０を参照して説明する。図１０は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。
【００８６】
図１０に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１５（ｋ）参照）とを備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０には、貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１と偏光板２３２とが、配設されている。
【００８７】
素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、画素電極２１７や、走査線２１２及び信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４に信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。
【００８８】
素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。
【００８９】
対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルタ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成され、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルタ膜領域２２５が形成されている。フィルタ膜領域２２５には、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。
【００９０】
ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。
【００９１】
対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。
【００９２】
なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００９３】
＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図１１を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されてガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａ上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図１１（ａ）は、対向基板の平面構造を示す模式図であり、図１１（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を示す模式図である。
【００９４】
対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図１１（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルタ膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該フィルタ膜領域２２５にフィルタ膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を、液滴吐出装置１などの製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。
【００９５】
図１１（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには、対向基板２２０のＣＦ層２０８が、分割されてガラス基板２０１となる部分のそれぞれに形成されている。
【００９６】
＜カラーフィルタ＞
次に、対向基板２２０に形成されているＣＦ層２０８及びＣＦ層２０８におけるフィルタ膜２０５（赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂ）の配列について、図１２を参照して説明する。図１２は、３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図である。
【００９７】
図１２に示すように、フィルタ膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルタ膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルタ膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルタ膜領域２２５を埋める膜状のフィルタ膜２０５を形成する。
【００９８】
３色カラーフィルタにおける赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。ストライプ配列は、図１２（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂになる配列である。モザイク配列は、図１２（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルタ膜２０５一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタ膜２０５が３色となる配列である。デルタ配列は、図１２（ｃ）に示したように、フィルタ膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つのフィルタ膜２０５が異なる色となる配色である。
【００９９】
図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）に示した３色フィルタにおいて、フィルタ膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ２５４」と表記する。）を形成している。一つの絵素フィルタ２５４内の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂのいずれか一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。
【０１００】
＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図１３、図１４、及び図１５を参照して説明する。図１３は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図１４は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図であり、図１５は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。
【０１０１】
図１３に示したステップＳ２１からステップＳ２５を実行することで、対向基板２２０を形成する。
図１３のステップＳ２１では、ガラス基板２０１の上に、フィルタ膜領域２２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図１４（ａ）に示すように、フィルタ膜領域２２５が形成される。フィルタ膜領域２２５は、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形の領域である。
【０１０２】
次に、図１３のステップＳ２２では、フィルタ膜領域２２５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを構成する材料をそれぞれ充填して、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。
【０１０３】
より詳細には、図１４（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルタ膜領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１０Ｒを対向させる。当該赤色吐出ヘッド１０Ｒが有する吐出ノズル４２から、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによって、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板２０１に対して赤色吐出ヘッド１０Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１に形成された全てのフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図１４（ｃ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する。
【０１０４】
同様にして、図１４（ｃ）に示すように、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂに、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能液２５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図１４（ｄ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｇ及びフィルタ膜領域２２５Ｂに緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと合せて、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂからなる３色カラーフィルタが形成される。
上述したように、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂと、の配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。
【０１０５】
次に、図１３のステップＳ２３では、平坦化層を形成する。図１４（ｅ）に示すように、ＣＦ層２０８を構成する赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、図１３のステップＳ２４では、対向電極２０７を形成する。図１４（ｆ）に示すように、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５が形成された領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極２０７である。
【０１０６】
次に、図１３のステップＳ２５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。
図１５（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１０を対向させて、液滴吐出ヘッド１０からガラス基板２０１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１０を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１５（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ２５を実施して、対向基板２２０が形成される。
配向膜液２４２は、溶剤に溶解又は分散されたポリイミドを含む液状体である。溶剤としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチルラクトン、ブチルセルソルブ、又はこれらの混合液などを用いる。
【０１０７】
図１３に示したステップＳ２６からステップＳ２８を実行することで、素子基板２１０を形成する。
図１３のステップＳ２６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６などを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に１個のＴＦＴ素子２１５を形成する。
【０１０８】
次に、ステップＳ２７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。
【０１０９】
次に、ステップＳ２８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成する。
図１５（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液滴吐出ヘッド１０を対向させて、液滴吐出ヘッド１０からガラス基板２１１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１０を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１５（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ２８を実施して、素子基板２１０が形成される。
【０１１０】
ステップＳ２５及びステップＳ２８の次に、ステップＳ２９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせ、図１５（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板を個別の液晶表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板やマザー素子基板を、対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後にステップＳ２９を実施する。ステップＳ２９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。
【０１１１】
以下、実施形態の効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）ノズルデューティーを求めるために、取得した画像データに基づいて描画吐出を実施する際のノズルデューティーを算出する。ノズルデューティーは、各吐出ノズル４２に対応するノズルデータから算出する。ノズルデータは、画像データを取得すれば求めることができるため、実際の吐出を実施する前にノズルデューティーを求めることができる。これにより、ＣＰＵ７４が情報を処理する速度が遅くても充分対応できるため、ノズルデューティーを算出するＣＰＵ７４の負荷を軽くすることができる。
【０１１２】
（２）負荷別駆動波形を予め求めて、対応するノズルデューティーと対応させて記憶しており、算出されたノズルデューティーに対応する負荷別駆動波形を選択して読み出すことで適用する負荷別駆動波形を決定する。負荷別駆動波形を予め求めるため、充分な時間及び検証工程を費やして負荷別駆動波形を求めることが可能となり、短時間で負荷別駆動波形を求める場合に比べて、より適切な負荷別駆動波形を求めることができる。また、描画吐出を実施する時点で負荷別駆動波形を形成する場合に比べて、負荷別駆動波形を形成するＣＰＵ７４の負荷を軽減することができる。
【０１１３】
（３）負荷別駆動波形の入力データは、基本波形を構成する直線の部分を、基本波形に対して変更して形成している。基本波形では直線で構成されている部分を、複数の時点における電圧を規定することでより詳細に規定して、直線で規定される波形とは異なる波形を規定している。これにより、駆動波形を構成する直線の一部分の歪を、当該部分的な歪に対応して修正することができる。
【０１１４】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１１５】
（変形例１）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１０は、圧電素子５９が振動板５２の面に対して略直角方向に伸縮することによって圧力室５８の容積を変える構造であったが、液滴吐出ヘッドにおける圧電素子の構成はこのような構成に限らない。例えば、振動板の面に沿って板状の圧電素子を貼り付けて、当該板状の圧電素子を反らせるように変形させることによって圧力室５８の容積を変える構造であってもよい。
【０１１６】
（変形例２）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１０は、圧電素子５９に印加する駆動信号の電圧を昇圧することで圧力室５８の容積を増加させることによって給液させ、降圧することで圧力室５８の容積を急激に減少させることによって吐出させる構成であった。しかし、駆動素子の構成が昇圧することで給液させ、降圧することでと吐出させる構成であることは必須ではない。駆動素子と圧力室との構成が、圧電素子に印加する駆動信号の電圧を降圧することで圧力室の容積を増加させて給液させ、昇圧することで圧力室の容積を急激に減少させて吐出させる構成であってもよい。この場合、駆動信号の波形は、例えば図６を参照して説明した駆動波形における昇圧及び降圧が、降圧及び昇圧になった駆動波形を用いる。
【０１１７】
（変形例３）前記実施形態においては、液滴吐出装置１を使用して機能液を配置することで描画を実施する描画対象物の一例としてカラーフィルタを備える液晶表示パネルについて説明したが、描画対象物は液晶表示パネルに限らない。上述した描画装置及び描画方法は、様々な液状体を用いる様々な加工対象物の加工装置及び加工方法として利用できる。例えば、液状の色要素材料を吐出する、液状カラー液晶装置のカラーフィルタ膜や有機エレクトロルミネセンス装置のカラーフィルタ膜の加工装置及び加工方法、液状の発光層形成材料を吐出する、有機エレクトロルミネセンス装置の発光膜の加工装置及び加工方法、液状の導電材料を吐出する、回路基板の配線導電パターンの加工装置及び加工方法、液状の絶縁材料を吐出する、回路基板の絶縁膜パターンの加工装置及び加工方法、液状の導電材料を吐出する、半導体装置の配線導電膜の加工装置及び加工方法、液状の絶縁材料を吐出する、半導体装置の絶縁層の加工装置及び加工方法などとして、利用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１１８】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。
【図３】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。
【図４】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図５】液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。
【図６】（ａ）は、圧電素子に印加する駆動信号の駆動波形の基本波形を示す図。（ｂ）は、駆動波形に対応した圧電素子の動作による液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す模式断面図。
【図７】（ａ）は、駆動信号の基本波形の入力データを示す図。（ｂ）は、基本波形を印加したときの圧電素子に印加される駆動波形の実測値を示す図。
【図８】（ａ）は、駆動信号の負荷別駆動波形の入力データを示す図。（ｂ）は、負荷別駆動波形を印加したときの圧電素子に印加される駆動波形の実測値を示す図。（ｃ）は、駆動波形ごとの吐出重量の実測値を示す表。
【図９】描画工程を示すフローチャート。
【図１０】液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。
【図１１】（ａ）は、対向基板の平面構造を示す模式図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を示す模式図。
【図１２】３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図。
【図１３】液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。
【図１４】液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１５】液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。
【符号の説明】
【０１１９】
１…液滴吐出装置、２…ヘッド機構部、３…ワーク機構部、６…吐出装置制御部、１０…液滴吐出ヘッド、２０…ワーク、２１…ヘッドユニット、４１…ノズルプレート、４２…吐出ノズル、５２…振動板、５８…圧力室、５９…圧電素子、６６…ホストコンピュータ、６８…入出力装置、７４…ＣＰＵ、７５…ＲＯＭ、７６…ＲＡＭ、８０…シフトレジスタ、８１…ラッチ回路、８２…レベルシフタ、８３…スイッチ、２００…液晶表示パネル、２０１…ガラス基板、２０１Ａ…マザー対向基板、２０５…フィルタ膜、２２０…対向基板、２２５…フィルタ膜領域。
【図１】
2009160541.tif 000003
【図２】
2009160541.tif 000004
【図３】
2009160541.tif 000005
【図４】
2009160541.tif 000006
【図５】
2009160541.tif 000007
【図６】
2009160541.tif 000008
【図７】
2009160541.tif 000009
【図８】
2009160541.tif 000010
【図９】
2009160541.tif 000011
【図１０】
2009160541.tif 000012
【図１１】
2009160541.tif 000013
【図１２】
2009160541.tif 000014
【図１３】
2009160541.tif 000015
【図１４】
2009160541.tif 000016
【図１５】
2009160541.tif 000017