(57)【要約】【課題】監視システムを構成する一部の構成要素にデータが集中するのを回避でき、これにより構成要素のレスポンスが遅くなるのを抑制できると共に、処理状態を監視すべき機器の数が多い場合でも、監視条件を設定するための作業工数を低減できる監視技術の提供を課題とする。【解決手段】各種の処理を行う複数の機器１０１ｎ（ｎ＝ａ，ｂ，ｃ・・・）から出力される処理の状態を示す処理状態データのうち、互いに異なる何れか１つの前記機器１０１ｎから出力される処理状態データを収集する複数のデータ収集手段１１ｎと、複数のデータ収集手段１１ｎが収集した処理状態データを監視する監視手段１２ｎと、複数の機器１０１ｎから出力される処理の進捗状況を示す進捗データを管理する管理手段１３と、を備える。【選択図】図１
2009048324.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各種の処理を行う複数の機器から出力される前記処理の状態を示す処理状態データを収集する複数のデータ収集手段と、
前記複数のデータ収集手段が収集した前記処理状態データを監視する監視手段と、
前記複数の機器から出力される前記処理の進捗状況を示す進捗データを管理する管理手段と、
を備える監視システム。
【請求項２】
前記機器の数と前記データ収集手段との数が同数である請求項１に記載の監視システム。
【請求項３】
前記監視手段を複数備え、
前記複数の監視手段は、同一の前記データ収集手段が収集した前記処理状態データを重複して監視する請求項１または２に記載の監視システム。
【請求項４】
前記監視手段は、前記処理状態データに含まれる監視項目が予め定められた監視条件に合致しないと判断した際に、アラームを発生する請求項１から３の何れか１項に記載の監視システム。
【請求項５】
前記監視手段は、前記複数のデータ収集手段を巡回して前記処理状態データを監視する請求項１から４の何れか１項に記載の監視システム。
【請求項６】
複数のデータ収集手段が、各種の処理を行う複数の機器から出力される前記処理の状態を示す処理状態データを収集するステップと、
監視手段が、前記処理状態データを収集するステップで収集した前記処理状態データを監視するステップと、
管理手段が、前記複数の機器から出力される前記処理の進捗状況を示す進捗データを管理するステップと、
を備える監視方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の処理を行う機器の処理状態を監視する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体製造装置は、高性能且つ高処理能力が要求されている。このため、半導体製造装置の処理状態を安定させる必要があり、従来から半導体製造装置の処理状態を監視する技術が提案されている。
【０００３】
図４は、従来の半導体製造装置の処理状態を監視するホスト監視型の監視システム１００を示す。この監視システム１００は、複数の半導体製造装置１０１ｎ（以下、ｎ＝ａ，ｂ，ｃ・・・とする。）にＬＡＮ(Local Area Network)１０２によって接続されたホストコンピュータ１０３を有している。
【０００４】
ホストコンピュータ１０３は、複数の半導体製造装置１０１ｎから出力される処理の状態（例えば、処理雰囲気の温度、圧力、使用する液体の流量等）を示す処理状態データを監視すると共に、当該処理の進捗状況を示す進捗データを管理する。また、ホストコンピュータ１０３には、監視条件（例えば、温度、圧力、流量のパラメータや上下限値等）を設定する。この監視システム１００は、１つのホストコンピュータ１０３が、複数の半導体製造装置１０１ｎの処理状態データを監視すると共に、進捗データを管理する。そして、各半導体製造装置１０１の処理状態及び進捗状況に異常があれば、その旨を表示するなど予め定められた処理を行う。なお、図４中の波線で示す矢印線１１０は処理状態データの流れを示し、実線で示す矢印線１１１は進捗データを示す。
【０００５】
また、従来、図５に示すように、端末監視型の監視システム１０５が知られている。この監視システム１０５は、複数の半導体製造装置１０１ｎにそれぞれ一対一で接続された監視用コンピュータ１０６ｎと、複数の監視用コンピュータ１０５ｎにＬＡＮ１０２によって接続されたホストコンピュータ１０１とを有している。
【０００６】
監視用コンピュータ１０５ｎには、監視条件が設定されている。この監視用コンピュータ１０５ｎは、直接接続された半導体製造装置１０１ｎの処理状態データを収集する。またホストコンピュータ１０３は、複数の半導体製造装置１０１ｎから進捗データを収集する。
【０００７】
この端末監視型の監視システム１０５は、１つの監視用コンピュータ１０６ｎが１つの半導体製造装置１０１ｎを監視し、ホストコンピュータ１０３は複数の半導体製造装置１０１ｎの進捗データを管理する。
【特許文献１】特開２００３−７６０５号公報
【特許文献２】特開２００２−２８０２７８号公報
【特許文献３】特開平１１−２７４０２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来のホスト監視型の監視システム１００は、ホストコンピュータ１０３に複数の半導体製造装置１０１ｎから直接、処理状態データ、及び進捗データが送られるので、ホストコンピュータ１０３に大量のデータが集中する。この結果、ホストコンピュータ１０３にかかる負荷が大きくなり、ホストコンピュータ１０３のレスポンスが悪くなるという問題があった。
【０００９】
また、端末監視型の監視システム１０５は、複数の半導体製造装置１０１ｎと同数の監視用コンピュータ１０６ｎに対して監視条件を設定する必要がある。このため、半導体製造装置１０１ｎの数が多くなると、監視用コンピュータ１０６ｎの数も多くなり、監視用コンピュータ１０６ｎに監視条件を設定するための作業工数が増大するという問題があった。このような問題は、半導体製造装置に限らず、各種の機器の処理状態を監視する場合に同様に発生する。
【００１０】
本発明は、このような問題に鑑みなされたもので、１つの構成要素にデータが集中するのを回避でき、これにより構成要素のレスポンスが遅くなるのを抑制できると共に、処理状態を監視すべき機器の数が多い場合でも、監視条件を設定するための作業工数を低減できる監視技術の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、前記課題を解決するため、以下の手段を採用した。
すなわち、本発明は、
各種の処理を行う複数の機器から出力される前記処理の状態を示す処理状態データを収集する複数のデータ収集手段と、
前記複数のデータ収集手段が収集した前記処理状態データを監視する監視手段と、
前記複数の機器から出力される前記処理の進捗状況を示す進捗データを管理する管理手段と、を備える。
【００１２】
本発明によれば、処理状態を監視すべき複数の機器から出力される処理状態データを、複数のデータ収集手段によって収集し、複数のデータ収集手段によって収集した処理状態データを１つの監視手段によって監視すると共に、複数の機器から出力される処理の進捗状況を示す進捗データを１つの管理手段で管理するので、複数の機器から出力される処理状態データ及び進捗データがデータ収集手段、監視手段又は管理手段に集中するのを回避できる。従って、各手段のレスポンスが低下するのを抑制できる。また、機器の数に比べて監視手段の数を少なくできるので、機器の数が多い場合でも監視手段に監視条件を設定するための作業工数を低減できる。
【００１３】
ここで、前記機器の数と前記データ収集手段との数が同数である構成にできる。
また、前記監視手段を複数備え、
前記複数の監視手段は、同一の前記データ収集手段が収集した前記処理状態データを監視する構成にできる。
【００１４】
また、前記監視手段は、前記処理状態データに含まれる監視項目が予め定められた監視条件に合致しないと判断した際に、アラームを発生する構成にできる。
【００１５】
また、前記監視手段は、前記複数のデータ収集手段を巡回して前記処理状態データを監視する構成にできる。
【００１６】
また、本発明は、コンピュータが以上のような処理を実行する方法であってもよい。また、本発明は、コンピュータに、以上の機能を提供するプログラムであってもよい。また、本発明は、そのようなプログラムを記録したコンピュータが読み取り可能な記録媒体であってもよい。
【００１７】
ここで、コンピュータが読み取り可能な記録媒体とは、データやプログラム等の情報を電気的、磁気的、光学的、機械的、または化学的作用によって蓄積し、コンピュータから読み取ることができる記録媒体をいう。
【００１８】
このような記録媒体のうちコンピュータから取り外し可能なものとしては、例えばフレキシブルディスク、光磁気ディスク、CD-ROM、CD-R/W、DVD、DAT、８mmテープ、メモリカード等がある。
【００１９】
また、コンピュータに固定された記録媒体としてハードディスクやＲＯＭ（リードオンリーメモリ）等がある。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、複数のデータ収集手段から出力される処理状態データを１つの監視手段によって監視し、複数の機器から出力される進捗データを１つの管理手段によって管理するので、複数の機器から出力される処理状態データ及び進捗データが特定の監視手段又は管理手段に集中するのを回避でき、監視手段及び管理手段のレスポンスが遅くなるのを抑制できる。また、機器の数に比較して監視手段の数を少なくできるので、監視手段に対して監視条件を設定するための作業効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を添付した図１から図３に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態は例示であり、本発明は実施形態の構成に限定されない。また、以下の説明では、本発明を半導体製造装置の処理状態を監視する場合について説明するが、本発明は半導体製造装置に限らず各種の機器の処理状態を監視する場合に適用できる。
【００２２】
図１は、本発明の実施形態に係る監視システム１を示す。なお、上記と同一の構成要素には同一の符号を付けて詳細な説明を省略する。この監視システム１は、各種の処理を行う半導体製造装置１０１ｎ（以下、ｎ＝ａ，ｂ，ｃ・・・とする。）から出力される処理状態を示す処理状態データを複数のデータ収集手段である収集用パソコン（パーソナルコンピュータ）１１ｎと、複数の収集用パソコン１１ｎが収集した処理状態データを監視する監視手段としての監視用パソコン１２ｎと、複数の半導体製造装置１０１ｎから出力される処理の進捗状況を示す進捗データを管理する管理手段としてのホストコンピュータ１３とを備えている。本実施形態では、収集用パソコン１１ｎは、半導体製造装置１０１ｎと同数である。
【００２３】
各収集用パソコン１１ｎは、各半導体装置１０１ｎに一対一で直接接続されている。ホストコンピュータ１３、監視用パソコン１２ｎ及び収集用パソコン１１ｎは、ＬＡＮ１０２で接続されている。
【００２４】
半導体製造装置１０１ｎは、例えばウェハーをチップ毎に切断するダイシング装置、ダイシングによって製造されたチップをリードフレームに位置決めして装着するダイボンダ、装着したチップとリードフレームの電極とをワイヤボンディングするワイヤボンダなどを例示できる。これらの半導体製造装置１０１ｎから出力される処理状態データは、半導体製造装置１０１ｎがウェハー、チップなどに対して行う各種の処理状態、例えば圧力、温度、使用液体の流量などを例示できる。
【００２５】
各収集用パソコン１１ｎは、当該収集用パソコン１１ｎに接続された半導体製造装置１０１ｎから出力される処理状態データを収集する。なお、図１中の実線で示す矢印線１５は、処理状態データの流れを示し、波線で示す矢印線１６は進捗データの流れを示す。また、１つの収集用パソコン１１ｎが複数の半導体製造装置１１ｎから出力される処理状態データを収集するようにしてもよい。
【００２６】
監視用パソコン１２ｎは、一台で複数の収集用パソコン１１ｎが収集した処理状態デー
タを監視する。本実施形態では、監視用パソコン１２ａｎ、３つの収集用パソコン１１ａ，１１ｂ，１１ｃが収集した処理状態データを監視し、監視用パソコン１２ｂは、２つの収集用パソコン１１ｂ，１１ｃが収集した処理状態データを監視する。
【００２７】
これらの監視用パソコン１２ｎには、図２に示すように、収集用パソコン１１ｎに関する情報（ＩＰ（Internet Protocol）アドレス、ユーザＩＤ、パスワード、監視項目（温
度ｔ、圧力ｐ、流量ｖ）、監視項目に対する監視条件（監視項目のパラメータ、上下限値等）、アラーム発生時に通知するメールアドレス等を予め登録しておく。各監視用パソコン１２ｎは、収集用パソコン１１ｎで収集した処理状態データに含まれる監視項目が、監視条件に合致するか否かを判断し、合致しない場合はアラーム情報をメールアドレスに送信する。
【００２８】
なお、本実施形態では、全ての監視用パソコン１２ｎに対して同一の監視項目、同一の監視条件、及び同一のメールアドレスを同一に設定したが、各監視用パソコン１２ｎに対して、互いに異なる監視項目、監視条件、又はメールアドレスを設定することができる。
【００２９】
更に、本実施形態では、複数の監視用パソコン１２ｎは、同一の収集用パソコン１１ｎにアクセスして処理情報データを監視する。例えば、監視用パソコン１２ａは、３つの収集用パソコン１１ａ，１１ｂ，１１ｃにアクセスし、監視用パソコン１２ｂは、２つの収集用パソコン１１ｂ，１１ｃにアクセスする。また、複数の監視用パソコン１２ｎ、本実施形態では２つの監視用パソコン１２ａ及び１２ｂは、同一の収集用パソコン１１ａ，１１ｂにアクセスする。
【００３０】
同一の収集用パソコン１１ｎにアクセスする複数の監視用パソコン１２ｎは、同一の監視項目に対してアラームを発生する。この場合、各監視用パソコン１２ｎは、同一又は互いに異なるアラームを発生できる。例えば、監視項目が温度の場合、複数の監視用パソコン１２ｎの監視条件を同一温度に設定したり、互いに異なる温度に設定したりできる。なお、各監視用パソコン１２ｎは、それぞれ互いに異なる一つの収集用パソコン１１ｎにのみアクセスするようにしてもよい。
【００３１】
監視用パソコン１２ｎは、複数の収集用パソコン１１ｎが収集した処理状態データを監視し、処理状態データに含まれる監視項目が予め定められた監視条件に合致するか否かを判断する。例えば、監視項目が温度の場合、温度が予め定められた温度に合致するか否かを判断する。また、監視用パソコン１２ｎは、処理状態データに含まれる監視項目が監視条件に合致しないと判断した場合は、予め定められた送信先にトレンドメールを送信する。なお、トレンドメールとは、監視項目に対する処理状態データの傾向を示す情報を報知するための電子メールである。
【００３２】
ホストコンピュータ１３は、各半導体製造装置１０１ｎから出力される進捗データを管理し、進捗状況に異常がある場合は、例えばその旨を表示したり、或いは電子メールで予め定められたメールアドレスに送信するなどの処理を行う。
【００３３】
上記各手段１１ｎ，１２ｎ，１３の機能は、コンピュータ上に実現される制御システムの１つの機能として、コンピュータ上で実現されるコンピュータプログラムによって実現される。ここで、コンピュータは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、メモリ、入出
力インターフェース、入出力インターフェースに接続される外部記憶装置、表示装置、入力装置、通信装置等を有する。
【００３４】
外部記憶装置は、例えば、ハードディスク駆動装置である。また、外部記憶装置は、着脱可能な記憶媒体の駆動装置、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ(Compact DIsc Read Only Memory)
、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）等の駆動装置を含む。さらに、外部記憶装置として、フラッシュメモリカードの入出力装置を用いてもよい。
【００３５】
表示装置は、例えば、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）、液晶ディスプレイ等である。また、入力装置は、キーボード、ポインティングデバイス等である。ポインティングデバイスには、マウス、ジョイスティック、タッチパネル、静電方式のフラットなポインティングデバイス、スティック形状のポインティングデバイス等を含む。通信装置は、例えば、ＬＡＮ基板等である。
【００３６】
＜処理フロー＞
図３は、監視用パソコン１２ｎの処理フローを示す。上述のように、この処理フローは、コンピュータプログラムとして実現される。
【００３７】
この処理フローでは、まず監視用パソコン１２ｎは、複数の収集用パソコン１１ｎに予め定められたアクセス順に従って順次ログオンする（Ｓ１）。
【００３８】
次に、監視用パソコン１２ｎは、ログオンした収集用パソコン１１ｎにアクセスし、この収集用パソコン１１ｎが半導体製造装置１０１ｎから収集した処理状態データを読み込む（Ｓ２）。次に、監視用パソコン１２ｎは、今回のアクセスで読み込んだ処理状態データが、前回のアクセスで読み込んだ処理状態データより新しいか否かを判断する（Ｓ３）。この判断は、収集用パソコン１１ｎが処理状態データを収集した時刻などに基づいて行うことができる。
【００３９】
監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ３）で新しいと判断した場合（ＹＥＳ）は、次に、ステップ（Ｓ２）で読み込んだ処理状態データに監視項目が含まれているか否かを判断する（Ｓ４）。監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ４）で監視項目が含まれていると判断した場合（ＹＥＳ）は、次に、監視項目の値と監視条件と比較する（Ｓ５）。
【００４０】
次に、監視用パソコン１２ｎは、アラームを発生するか否かを判断する（Ｓ６）。監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ６）でアラームを発生すると判断した場合（ＹＥＳ）は、次にトレンドグラフ（監視項目の変化傾向などを示すグラフ）を生成し、このトレンドグラフを添付し且つアラーム情報を含む電子メールを、予め定められたメールアドレスに送信する（Ｓ７）。電子メールを受信した相手は、アラーム情報に基づいて半導体製造装置１０１ｎを調査するなど、適切な処置を行うことができる。
【００４１】
次に、監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ５）で監視条件と比較した監視項目が、処理状態データに含まれる監視項目のうち最後の監視項目であるか否かを判断する（Ｓ８）。監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ８）で最後の監視項目であると判断した場合（ＹＥＳ）は、次に、ステップ（Ｓ２）で読み込んだ処理状態データが、収集用パソコン１１ｎの収集した処理状態データのうち、最終の処理状態データ（最後に収集した処理状態データ）であるか否かを判断する（Ｓ９）。監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ９）で最終の処理状態データであると判断した場合（ＹＥＳ）は、次に、収集用パソコン１１ｎに対するアクセス日時を記録し、ログオフする（Ｓ１０）。
【００４２】
次に、監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ１）でアクセスした収集用パソコン１１ｎが、監視用パソコン１２ｎによって監視すべき収集用パソコン１１ｎのうち、予め定められたアクセス順位の最後の収集用パソコン１１ｎであるか否かを判断する（Ｓ１１）。
【００４３】
本実施形態では、監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ１１）で最終の収集用パソコン１１ｎではない（ＮＯ）と判断し、次に、アクセス順位が２番目の収集用パソコン１１
ｎにログオンしアクセスする（Ｓ１２）。次に、監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ２）以降の処理を行う。
【００４４】
また、監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ３）で読み込んだ処理データが前回読み込んだ処理状態データより新しくないと判断した場合（ＮＯ）は、次に、ステップ（Ｓ９）以降の処理を行う。また、監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ４）で処理状態データに、監視項目が含まれていないと判断した場合、及びステップ（Ｓ６）でアラームを発生しないと判断した場合は、次にステップ（Ｓ８）以降の処理を行う。
【００４５】
また、監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ８）で最終の監視項目ではないと判断した場合は、次の監視項目を確認し（Ｓ１２）、ステップ（Ｓ４）以降の処理を行う。また、監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ９）で最終の処理状態データではないと判断した場合は、次の処理状態データを確認し（Ｓ１２）、以下、ステップ（Ｓ３）以降の処理を行う。また、監視用パソコン１２ｎは、ステップ（Ｓ１１）で最終の収集用パソコン１１ｎであると判断した場合（ＹＥＳ）は、次に、予め定められた設定時間（待機時間）の経過を待ち（Ｓ１５）、以下、ステップ（Ｓ１）以降の処理を行う。
【００４６】
なお、上記の実施形態では、監視用パソコン１２ｎは、複数の収集用パソコン１１ｎから処理状態データを収集する場合について説明したが、監視用パソコン１２ｎは１つの収集用パソコン１１ｎからのみ処理状態データを収集するようにしてもよい。
【００４７】
このように、本発明の監視システム１によれば、複数の収集用パソコン１１ｎがそれぞれ互いに異なる何れか１つの半導体製造装置１０１ｎから出力される処理状態データを収集すると共に、複数の収集用パソコン１１ｎが収集した処理状態データを１つの監視用パソコン１２ｎが監視し、更に、１つのホストコンピュータ１３が複数の半導体製造装置１０１ｎから出力される進捗データを管理するので、収集用パソコン１１ｎ、監視用パソコン１２ｎ又はホストコンピュータ１３に処理状態データ及び進捗データが集中するのを回避でき、収集用パソコン１１ｎ、監視用パソコン１２ｎ又はホストコンピュータ１３のレスポンスが遅れるのを抑制できる。また、監視用パソコン１２ｎの数を、半導体製造装置１０１ｎの数より少なくできるので、監視用パソコン１２ｎに監視条件を設定するための作業工数を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施形態に係る監視システムを示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る監視用パソコンに設定される監視条件などの情報を示す図である。
【図３】本発明の実施形態に係る監視用パソコンの処理フローを示す図である。
【図４】従来例に係るホスト監視型の監視システムを示す図である。
【図５】従来例に係る端末監視型の監視システムを示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  監視システム
１１ｎ（ｎ＝ａ，ｂ，ｃ・・・）  収集用パソコン（データ収集手段）
１２ｎ  監視用パソコン（監視手段）
１３  ホストコンピュータ（管理手段）
１００  ホスト監視型の監視システム
１０１ｎ  半導体製造装置
１０２  ＬＡＮ
１０３  ホストコンピュータ
１０５  端末監視型の監視システム
１０６ｎ  監視用パソコン
【図１】
2009048324.tif 000003
【図２】
2009048324.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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