(57)【要約】【課題】外気をウエハーカセット内に導き、カセット内の真空を消去し、気圧を平衡させて開けやすくする入気バルブを具えたウエハーカセットの提供。【解決手段】入気バルブを具えたウエハーカセットは、カセット及び入気バルブを含む。入気バルブはカセットの外フレーム上に設置し、案内柱、密封蓋、密封ワッシャー及び弾性部品を含む。入気バルブは弾性部品によって弾性予定力が提供されることにより、案内柱を押して密封蓋を外フレームの通孔上に対応させて密封し、更に密封ワッシャーが密封蓋と外フレームの間を押して気密を形成する。カセット内の真空のウエハーカセットを開けたい時には外力で案内柱を押し、密封蓋と外フレームの間に隙間を作り、その時に外気が隙間から通孔を通り、カセットの内部空間に進入するため、カセットが開けやすい。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入気バルブを具えたウエハーカセットにおいて、
外フレーム及び内部空間を含み、その外フレーム上には通孔を貫設し、その通孔は内部空間に連通するカセットと、
案内柱、密封蓋、少なくとも密封ワッシャー及び弾性部品を含み、その案内柱の一端には密封蓋を設置し、その密封蓋はカセットの通孔より大きく、少なくとも密封ワッシャーは密封蓋とカセットの外フレームの間に挟持設置する入気バルブを含み、
そのうち、弾性部品は圧縮バネで、弾性予定力を提供し、その弾性予定力が案内柱を押して移動し密封蓋に対応して通孔上に合わせ、少なくとも密封ワッシャーは密封蓋と外フレームの間で圧して気密を形成することを特徴とする入気バルブを具えたウエハーカセット。
【請求項２】
前記外フレームは、内表面を含み、更に複数個の停止塊及び内凸縁を含み、弾性部品は案内柱と内凸縁の間で支持し、その弾性部品が提供する弾性予定力によって更に案内柱を複数個の停止塊で停止させ、密封蓋を少なくとも密封ワッシャーに密着し、外フレームの内表面上に合わせることを特徴とする請求項１記載の入気バルブを具えたウエハーカセット。
【請求項３】
前記外フレームは、外表面を含み、更に複数個の停止塊、及び内凸縁を含み、弾性部品は複数個の停止塊と密封蓋の間で支持し、弾性部品が提供する弾性予定力によって密封蓋を少なくとも密封ワッシャーに密着し、外フレームの外表面上に合わせることを特徴とする請求項１記載の入気バルブを具えたウエハーカセット。
【請求項４】
入気バルブを具えたウエハーカセットにおいて、
外フレーム及び内部空間を含み、その外フレーム上に通孔、凹槽を貫設し、通孔は内部空間に連通し、凹槽には一枢設軸を設置するカセットと、
回転柱、密封蓋、少なくとも密封ワッシャー及び弾性部品を含み、回転柱の一端には密封蓋を設置し、別一端は凹槽の枢設軸を枢設し、密封蓋はカセットの通孔より大きく、少なくとも密封ワッシャーは密封蓋、カセットの外フレームの間に挟持設置する入気バルブを含み、
そのうち、弾性部品はトーションバネで、その弾性部品は凹槽と回転柱の間で支持して回転予定力を提供し、その回転予定力は回転柱を押して回転させて密封蓋を通孔上に対応させて蓋をし、少なくとも密封ワッシャーは密封蓋と外フレームの間で圧して気密を形成することを特徴とする入気バルブを具えたウエハーカセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハーカセットに関するもので、特に入気バルブを具えたウエハーカセットを指し、外気をウエハーカセット内に導き、カセット内の真空を消去し、気圧を平衡させて開けやすくするものである。
【背景技術】
【０００２】
公知のウエハーカセットはウエハーを保護する効果の他に、ウエハーを運ぶ際にはカセット内にウエハーが汚れるのを防ぐか否かに注意しなければならない。そのため、ウエハーカセットにウエハーを入れる時、このカセット内の気体を抜いて真空にし、カセット内の細かな顆粒を最小限にする以外に、外界の空気に対するウエハーカセット内のウエハーへの影響から隔てる。
【０００３】
しかし、作業者がウエハーカセットからウエハーを取り出す時には、先ず工具で梃子の力を利用してカセット蓋を開き、ウエハーカセットのカセット蓋とカセット体の嵌合を緩める他に、ウエハーカセット内の真空に依るマイナス圧がカセット蓋とカセット体に掛かる真空吸力を克服しなければならない。通常ウエハーカセット内の真空のマイナス圧に依る真空吸力はカセット蓋とカセット体の嵌合力の数倍大きい。
【０００４】
解決しようとする問題点は、カセット内の真空によって作業者のウエハーカセットの開示が非常に不便で、更に開示の際の梃子で開ける力が強すぎると、ウエハーカセットが反転してウエハーを壊してしまうことで、ウエハーカセットが開けにくい点である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、一種の入気バルブを具えたウエハーカセットで、カセット、入気バルブを含む。カセットは外フレーム及び内部空間を含み、外フレーム上に通孔を貫設し、この通孔は内部空間に連通する。この他、カセットの上部、下部はカセット蓋、カセット本体に別れ、カセット蓋はカセット本体に被さり、二者の間には内部空間が形成される。入気バルブは、案内柱もしくは回転柱、密封蓋、密封ワッシャー及び弾性部品を含む。
【０００６】
案内柱もしくは回転柱の一端は密封蓋に設置し、密封蓋はカセットの通孔より大きい。また密封ワッシャーは密封蓋とカセットの通孔周囲の外フレームの間に挟持設置する。
【０００７】
弾性部品は圧縮バネもしくはトーションバネで、弾性予定力もしくは回転予定力を提供する。この弾性予定力は案内柱を押して移動、もしくは回転柱を回転させ、密封蓋の通孔への密着度を高め、密封ワッシャーを密封蓋と外フレームの間で圧して気密を形成する。
【０００８】
弾性予定力もしくは回転予定力より大きい外力で案内柱もしくは回転柱を押して移動させ、密封蓋を通孔から放すと、密封蓋と外フレームの間に隙間が発生し、外気がこの隙間から通孔を通って内部空間へ導かれるため、カセット内の真空マイナス圧と外部の気圧が平衡し、蓋を開けやすくする。
【０００９】
そのうち、外フレームは内表面、外表面、複数個の停止塊及び内凸縁を含む。弾性部品は案内柱と内凸縁の間で支持し、弾性部品が提供する弾性予定力によって案内柱が複数個の停止塊で止められ、同時に入気バルブの密封蓋を密封ワッシャーに密着させ外フレームの内表面上で合わせるか、もしくは弾性部品を複数個の停止塊と密封蓋の間で支持して入気バルブの密封蓋を密封ワッシャーに密着させ外フレームの外表面上に合わせる。また、弾性部品は、外フレームの凹槽と回転柱の間に支持し、弾性部品が提供する回転予定力が入気バルブの密封蓋を密封ワッシャーに密着させて外フレームの通孔上で合わせ、気密効果を達成する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１の発明は、入気バルブを具えたウエハーカセットにおいて、
外フレーム及び内部空間を含み、その外フレーム上には通孔を貫設し、その通孔は内部空間に連通するカセットと、
案内柱、密封蓋、少なくとも密封ワッシャー及び弾性部品を含み、その案内柱の一端には密封蓋を設置し、その密封蓋はカセットの通孔より大きく、少なくとも密封ワッシャーは密封蓋とカセットの外フレームの間に挟持設置する入気バルブを含み、
そのうち、弾性部品は圧縮バネで、弾性予定力を提供し、その弾性予定力が案内柱を押して移動し密封蓋に対応して通孔上に合わせ、少なくとも密封ワッシャーは密封蓋と外フレームの間で圧して気密を形成することを特徴とする入気バルブを具えたウエハーカセットとしている。
請求項２の発明は、前記外フレームは、内表面を含み、更に複数個の停止塊及び内凸縁を含み、弾性部品は案内柱と内凸縁の間で支持し、その弾性部品が提供する弾性予定力によって更に案内柱を複数個の停止塊で停止させ、密封蓋を少なくとも密封ワッシャーに密着し、外フレームの内表面上に合わせることを特徴とする請求項１記載の入気バルブを具えたウエハーカセットとしている。
請求項３の発明は、前記外フレームは、外表面を含み、更に複数個の停止塊、及び内凸縁を含み、弾性部品は複数個の停止塊と密封蓋の間で支持し、弾性部品が提供する弾性予定力によって密封蓋を少なくとも密封ワッシャーに密着し、外フレームの外表面上に合わせることを特徴とする請求項１記載の入気バルブを具えたウエハーカセットとしている。
請求項４の発明は、入気バルブを具えたウエハーカセットにおいて、
外フレーム及び内部空間を含み、その外フレーム上に通孔、凹槽を貫設し、通孔は内部空間に連通し、凹槽には一枢設軸を設置するカセットと、
回転柱、密封蓋、少なくとも密封ワッシャー及び弾性部品を含み、回転柱の一端には密封蓋を設置し、別一端は凹槽の枢設軸を枢設し、密封蓋はカセットの通孔より大きく、少なくとも密封ワッシャーは密封蓋、カセットの外フレームの間に挟持設置する入気バルブを含み、
そのうち、弾性部品はトーションバネで、その弾性部品は凹槽と回転柱の間で支持して回転予定力を提供し、その回転予定力は回転柱を押して回転させて密封蓋を通孔上に対応させて蓋をし、少なくとも密封ワッシャーは密封蓋と外フレームの間で圧して気密を形成することを特徴とする入気バルブを具えたウエハーカセットとしている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の入気バルブを具えたウエハーカセットは、外気をウエハーカセット内に導き、カセット内の真空を消去し、気圧を平衡させて開けやすくするという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１に示すのは、本発明の第一実施例の分解図である。図に示すとおり、本発明は入気バルブを具えたウエハーカセットで、主にカセット１、及び入気バルブ２を含む。
【００１３】
図１に示すとおり、本実施例のカセット１は、外フレーム１１、及びその中の内部空間１２を含む。そのうち、本実施例のカセット１はカセット蓋１０１及びカセット本体１０２に分けられる。カセット蓋１０１は開けることができ、もしくはカセット本体１０２上方で合わせて密閉した内部空間１２を取り囲むことができる。本実施例の外フレーム１１は６インチもしくは８インチのウエハーに用いる上開式ウエハーカセットを例としており、且つカセット蓋１０１上方箇所に位置する外フレームを例として説明しているが、これに制限を加えるものではない。図１に示すカセット１全体の側面、または底面でもよいとする。または１２インチのウエハーに用いる前開式ウエハーカセット、側面もしくは底面の外フレームでもよい。
【００１４】
図１に示すとおり、カセット蓋１０１の外フレーム１１上には通孔１１１を貫設する。この通孔１１１は内部空間１２まで連通する。入気バルブ２は案内柱２１、密封蓋２３、密封ワッシャー２４及び弾性部品２２を含む。案内柱２１の上端には指圧槽２１１を設置して作業者が指で案内柱２１を押すと、しっかりと固定される。案内柱２１の下端には密封蓋２３を設置し、その密封蓋２３の内側面には固定槽２３１を設置し、密封ワッシャー２４は固定槽２３１内に設置する。その他、密封蓋２３はカセット１の通孔１１１より大きいので通孔１１１を塞ぎやすい。
【００１５】
図２に示すのは、本発明第一実施例の断面図である。図２に示すとおり、外フレーム１１は内表面１１２、二個の停止塊１１３及び内凸縁１１４を含む。弾性部品２２は案内柱２１と内凸縁１１４の間に設置し、この弾性部品２２が上への弾性予定力Ｆ１を提供して案内柱２１を上に移動させるのを促し、二個の停止塊１１３で停止し、入気バルブ２の密封蓋２３を動かして外フレーム１１で締める。本実施例での弾性部品２２は圧縮バネとする。
【００１６】
図２に示すとおり、密封ワッシャー２４は密封蓋２３と通孔１１１周囲の内表面１１２の間で挟持設置する。そのため、弾性予定力Ｆ１が案内柱２１を押して上に移動した後、密封蓋２３を上向きに対応させて通孔１１１上で被せ、密封ワッシャー２４を密封蓋２３と外フレーム１１の内表面１１２上で圧し、気密して最良の気密効果を得る。
【００１７】
反対に、作業者が案内柱２１の指圧槽２１１を弾性予定力Ｆ１より大きい外力Ｆ２で押すと、密封蓋２３と外フレーム１１の間に隙間が発生し、外気がその隙間から通孔１１１を通って内部空間１２へ入るため、カセット１内の真空マイナス圧力と外部の気圧が平衡し、カセット蓋１０１をカセット本体１０２から開けやすくなる。
【００１８】
図３に示すのは、本発明第二実施例の断面図である。図３に示すとおり、外フレームは、外表面１１５、二個の停止塊１１６及び内凸縁１１７を含む。弾性部品２２は二個の停止塊１１６と案内柱３１の下端の密封蓋３２の間で支え、弾性部品２２が提供する弾性予定力Ｆ１により入気バルブ３の密封蓋３２が更に内凸縁１１７で密着する。本実施例中、弾性部品２２は圧縮バネとする。
【００１９】
密封ワッシャー２４は密封蓋３２と通孔１１１周囲の外表面１１５の間に挟持する。この実施例に於いて、密封蓋３２はカセット１の通孔１１１より大きいため、通孔１１１を塞ぎやすい。そのため弾性予定力Ｆ１が案内柱３１を下へ移動させると、密封蓋３２を下向きに通孔１１１で蓋をし、密封ワッシャー２４を密封蓋３２と外フレーム１１の外表面１１５で圧し、気密を形成し、良好な気密効果を得る。
【００２０】
図３に示すとおり、案内柱２１の上端には牽引リング３１１を設置し、使用者が案内柱２１上で力を加えて使用にするのを便利にする。本実施例中、二個の停止塊１１６は熱溶解樹脂１１８で二個の停止塊１１６を外フレーム１１の外表面上に溶接する。それによって作業者が牽引リング３１１で弾性予定力Ｆ１より大きい外力Ｆ２を施すと、案内柱３１を引いて上向きに移動して密封蓋３２を通孔１１１から離す。この時、密封蓋３２と外フレーム１１の間には隙間が発生し、外気が隙間から通孔１１１を通って内部空間１２へ達するため、カセット１内の真空マイナス圧が外部の気圧と平衡し、カセット蓋１０１が容易に開く。
【００２１】
図４は、本発明第三実施例の動作概略図である。図４に示すとおり、入気バルブ４は、回転柱４１、密封ワッシャー２４及び弾性部品５を含み、本実施例中、弾性部品５はトーションバネとする。外フレーム１１は凹槽１１９を含み、回転柱４１はこの凹槽１１９に入れる。凹槽１１９上には枢設軸４２を設置し、回転柱４１の一端は枢設軸４２上に枢設し、回転柱４１の別一端は密封蓋４１１に設置する。密封蓋はカセット１の通孔１１１より大きいので、通孔１１１を塞ぎやすい。また密封ワッシャー２４は密封蓋４１１とカセット１の通孔１１１周囲の外フレームの間に挟設する。
【００２２】
弾性部品５は凹槽１１９と回転柱４１の間で支持し、入気バルブ４の密封蓋４１１を密封ワッシャー２４に押し付けて外フレーム１１の通孔１１１上にしっかりと密接させる。弾性部品５は回転予定力Ｆ３を提供して回転柱４１を回転させ、密封蓋４１１を通孔１１１上に対応させて蓋をする。そのため密封ワッシャー２４を密封蓋４１１と外フレームの間で圧着して気密を形成する。
【００２３】
反対に作業者が回転予定力Ｆ３より大きい外力で回転柱４１上の回転キー４１２を押すと、密封蓋４１１が通孔１１１から離れ、この時密封蓋４１１と外フレームの間に隙間が発生し、外気をこの隙間から通孔１１１を経由して内部空間１２へ導くため、カセット１内外の気圧が平衡し、カセット蓋が容易に開く。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第一実施例の分解図である。
【図２】本発明の第一実施例の断面図である。
【図３】本発明の第二実施例の断面図である。
【図４】本発明は第三実施例の動作概略図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  カセット
１０１  カセット蓋
１０２  カセット本体
１１  外フレーム
１１１  通孔
１１２  内表面
１１３  停止塊
１１４  内凸縁
１１５  外表面
１１６  停止塊
１１７  内凸縁
１１８  熱溶解樹脂
１１９  凹槽
１２  内部空間
２    入気バルブ
２１  案内柱
２１１  指圧槽
２２    弾性部品
２３    密封蓋
２３１  固定槽
２４    密封ワッシャー
３  入気バルブ
３１  案内柱
３１１  牽引リング
３２  密封蓋
４  入気バルブ
４１  回転柱
４１１  密封蓋
４１２  回転キー
４２  枢設軸
５  弾性部品
Ｆ１  弾性予定力
Ｆ２  外力
Ｆ３  回転予定力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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