(57)【要約】【課題】  ノズルプレートとアクチュエータ等との接着面に残留するエアを除去することができ、しかも、接着面に残る余剰の接着剤も除去することができる。【解決手段】  複数の溝が並列的に配置されたアクチュエータと、複数の溝の上面を覆うことで各溝に対応してそれぞれインク通路を形成するカバープレートと、アクチュエータの前端面及び前記カバープレートの前端面に接着剤によって接着され、前記各インク通路に対応するノズルが形成されたノズルプレートとを備え、アクチュエータの溝を形成する各側壁を変形させることによって、インク通路内のインクに圧力を加えてインクをノズルから個別に噴射させるインクジェットヘッドである。アクチュエータの前端面またはカバープレートの前端面の少なくとも一方に対向するノズルプレートの接着面にエア抜き用の孔が形成されている。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の溝が並列的に配置されたアクチュエータと、
前記複数の溝の上面を覆うことで各溝に対応してそれぞれインク通路を形成するカバープレートと、
前記アクチュエータの前端面及び前記カバープレートの前端面に接着剤によって接着され、前記各インク通路に対応するノズルが形成されたノズルプレートとを備え、
前記アクチュエータの溝を形成する各側壁を変形させることによって、前記インク通路内のインクに圧力を加えてインクを前記ノズルから個別に噴射させるインクジェットヘッドにおいて、
前記アクチュエータの前端面または前記カバープレートの前端面の少なくとも一方に対向する前記ノズルプレートの接着面にエア抜き用の孔が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記エア抜き用の孔は、前記ノズルを間に挟んでその上下両側にそれぞれ形成されていることを請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記エア抜き用の孔は、１ｍｍ2あたり４〜２０個形成されていることを特徴とする請求項１または２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記エア抜き用の孔の密度は、前記ノズルの近傍が密に前記ノズルから離れるに従い疎となるように形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記アクチュエータの前端面、前記カバープレートの前端面、または、これらに対向する前記ノズルプレートの接着面の少なくとも一つには、前記エア抜き用の孔に指向する溝が形成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記ノズルプレートに形成される前記エア抜き用の孔は、前記アクチュエータの前端面及び前記カバープレートの前端面に対向する側が他側よりも大径となるようにテーパー状に形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記ノズルプレートに形成される前記エア抜き用の孔は、前記アクチュエータの前端面及び前記カバープレートの前端面に対向する側が他側よりも小径となるように逆テーパー状に形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ノズルプレートに前記空気抜き用の孔を形成するときに同時に、前記ノズルプレートの表面に貼着されたカバーフィルムに、前記空気抜き用の孔に連続する孔を形成する工程と、
前記ノズルプレートを前記接着剤を介して前記前記アクチュエータの前端面及び前記カバープレートの前端面に当接させた後に、前記カバーフィルムを前記ノズルプレートから剥ぎとる工程とを備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
請求項１〜７のいずれか１項記載のインクジェットヘッドと、
前記被記録媒体を予め決められた方向に搬送する搬送手段と、
前記被記録媒体の搬送方向に直交する方向に前記ヘッドチップを往復移動させる移動手段と、を備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェット記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット記録装置に組み込まれるインクジェットヘッドとして、複数の溝が並列的に配置されたアクチュエータと、複数の溝の上面を覆うことで各溝に対応してそれぞれインク通路を形成するカバープレートと、アクチュエータの前端面及びカバープレートの前端面に接着剤によって接着され、かつ、各インク通路に対応するノズルが形成されたノズルプレートとを備え、アクチュエータの溝を形成する各側壁を変形させることによって、インク通路内のインクに圧力を加えてインクをノズルから個別に噴射させる構造のものが知られている。
この種のインクジェットヘッドでは、ノズルプレートをアクチュエータやカバープレートに接着剤により接着させる際に、それらの接着面に気泡(以下、エアと呼ぶ)が混入することがある。この場合、接着面積が減少することに伴い、接着力が低下する問題が生じる。このような問題に対処するものとして、下記の特許文献１には、ノズルプレートやアクチュエータの接着面に溝を形成し、この溝によってエアを移動させて大気中に開放させるものが提案されている。
【特許文献１】特開平１１−２８６１１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述した従来の技術にあっては、エアとともに接着剤が溝に流れ込み、流れ込んだ接着剤がエアを閉じ込めてしまう現象が見られ、所望するようなエア抜き効果が得られないという問題があった。
また、エアが閉じ込められた箇所では、ノズルプレートとアクチュエータ等が接着されておらず、温度上昇時に閉じ込められたエアが膨張して未接着部分近傍の接着部分を無理やり剥離させるという問題も生じていた。この未接着部分近傍の接着部分が剥離するという問題は、ノズルやその周辺に付着したゴミを除去する際等、未接着部分に外力が加わるときにも見られた。
【０００４】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的とするところは、ノズルプレートとアクチュエータ等との接着面に残留するエアを除去することができ、しかも、接着面に残る余剰の接着剤も除去することができるインクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェット記録装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するために、この発明は以下の手段を提供している。
本発明に係るインクジェットヘッドは、複数の溝が並列的に配置されたアクチュエータと、前記複数の溝の上面を覆うことで各溝に対応してそれぞれインク通路を形成するカバープレートと、前記アクチュエータの前端面及び前記カバープレートの前端面に接着剤によって接着され、前記各インク通路に対応するノズルが形成されたノズルプレートとを備え、前記アクチュエータの溝を形成する各側壁を変形させることによって、前記インク通路内のインクに圧力を加えてインクを前記ノズルから個別に噴射させるインクジェットヘッドにおいて、前記アクチュエータの前端面または前記カバープレートの前端面の少なくとも一方に対向する前記ノズルプレートの接着面にエア抜き用の孔が形成されていることを特徴としている。
【０００６】
本願発明に係るインクジェットヘッドによれば、ノズルプレートの接着面にエア抜き用の孔を形成しているので、ノズルプレートとアクチュエータ等との接着面に残留するエアが接着剤の硬化する前に、エア抜き用の孔を介して大気に開放される。したがって、ノズルプレートとアクチュエータ等との接着面にエアを閉じ込めることなく、該接着面から確実に除去できる。
また、エアがエア抜き用の孔から大気側へ抜けるときに、同時に余剰の接着剤もエアとともにエア抜き孔を通じて大気側へ移動して排出される。このため、余剰の接着剤がアクチュエータの溝に流れ込んでインク通路を狭めるといった不具合の発生を防止することができる。
さらに、接着剤がエア抜き用の孔に侵入したまま固着されるときに、固化した接着剤によるアンカー効果が得られ、これにより、ノズルプレートとアクチュエータ等との接着強度を高めることができる。
【０００７】
本願の請求項２に係るインクジェットヘッドは、前記エア抜き用の孔が、前記ノズルを間に挟んでその上下両側にそれぞれ形成されていることを特徴としている。
この場合、ノズルの上下両側にそれぞれエア抜き用の孔を形成しているので、ノズル周辺にエアが閉じ込められる現象を極力排除できる。つまり、最も高い接着強度が要求されるノズル周辺部分の接着強度を重点的に高めることができる。
【０００８】
本願の請求項３に係るインクジェットヘッドは、前記エア抜き用の孔が、１ｍｍ2あたり４〜２０個形成されていることを特徴としている。
この場合、エア抜き用の孔を適宜数となるように配置しているので、ノズルプレートの接着面からエアを速やかに除去することができ、しかも、エア抜き用の孔を多く配置しすぎることに伴う、ノズルプレートの強度低下やコスト上昇といった不具合の発生も防止できる。
【０００９】
本願の請求項４に係るンクジェットヘッドは、前記エア抜き用の孔の密度が、前記ノズルの近傍が密に前記ノズルから離れるに従い疎となるように形成されていることを特徴としている。
この場合、請求項２に係る発明と同様、ノズル周辺にエアが閉じ込められる現象を極力排除することができ、これにより、最も高い接着強度が要求されるノズル周辺部分の接着強度を重点的に高めることができる。
【００１０】
本願の請求項５に係るンクジェットヘッドは、前記アクチュエータの前端面、前記カバープレートの前端面、または、これらに対向する前記ノズルプレートの接着面の少なくとも一つに、前記エア抜き用の孔に指向する溝が形成されていることを特徴としている。
この場合、ノズルプレートとアクチュエータ等との接着面に残留するエアを、溝を通じてエア抜き用の孔に速やかに導くことができ、これらエアを、より確実にエア抜き用の孔から大気側へ除去することができる。
る。
【００１１】
本願の請求項６に係るインクジェットヘッドは、前記ノズルプレートに形成される前記エア抜き用の孔が、前記アクチュエータの前端面及び前記カバープレートの前端面に対向する側が他側よりも大径となるようにテーパー状に形成されていることを特徴としている。
この場合、ノズルプレートにエア抜き用の孔を接着面側が大径となるように形成しているので、ノズルプレートとアクチュエータ等との接着面に残留するエアを、該テーパー状のエア抜き用の孔に速やかに導くことができる。
【００１２】
本願の請求項７に係るインクジェットヘッドは、前記ノズルプレートに形成される前記エア抜き用の孔が、前記アクチュエータの前端面及び前記カバープレートの前端面に対向する側が他側よりも小径となるように逆テーパー状に形成されていることを特徴としている。
この場合、接着剤が逆テーパー状のエア抜き用の孔に侵入して固着したとき、より強固なアンカー効果が得られることとなり、ノズルプレートとアクチュエータ等との接着強度をより高めることができる。
【００１３】
本願の請求項８に係るインクジェットヘッドの製造方法は、請求項１〜７のいずれか１項記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記ノズルプレートに前記空気抜き用の孔を形成するときに同時に、前記ノズルプレートの表面に貼着されたカバーフィルムに、前記空気抜き用の孔に連続する孔を形成する工程と、前記ノズルプレートを前記接着剤を介して前記前記アクチュエータの前端面及び前記カバープレートの前端面に当接させた後に、前記カバーフィルムを前記ノズルプレートから剥ぎとる工程とを備えることを特徴としている。
本願のインクジェットヘッドの製造方法によれば、ノズルプレートとアクチュエータ等との間に介在される接着剤のうち余剰分が、残留するエアとともにエア抜き用の孔の先端から大気側へ溢れ出るが、これらエア抜き用の孔の先端から溢れ出た接着剤は、カバーフィルムをノズルプレートから剥ぎとるときに、このカバーフィルムと一体的に取り除かれる。したがって、エア抜き用の孔から溢れ出た接着剤が、このエア抜き用の孔周辺のノズルプレート部分を汚してしまうという不具合の発生を未然に防止できる。
【００１４】
本願の請求項９に係るインクジェットヘッド記録装置は、請求項１〜７のいずれか１項記載のインクジェットヘッドと、前記被記録媒体を予め決められた方向に搬送する搬送手段と、前記被記録媒体の搬送方向に直交する方向に前記ヘッドチップを往復移動させる移動手段と、を備えていることを特徴としている。
本願のインクジェットヘッド記録装置によれば、請求項１〜６のいずれか１項記載のインクジェットヘッドと同様な効果を奏する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ノズルプレートとアクチュエータ等との接着面にエアを閉じ込めることなく、該接着面から確実に除去できる。また、余剰の接着剤がアクチュエータの溝に流れ込んでインク通路を狭めるといった不具合の発生を防止することができる。さらに、接着剤がエア抜き用の孔に侵入したまま固着されるときアンカー効果によって、ノズルプレートとアクチュエータ等との接着強度を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係るインクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法、およびインクジェット記録装置の実施形態について、図１〜図１０を参照して説明する。図１は、本実施形態のインクジェット記録装置の要部を示す斜視図である。
インクジェット記録装置１は、本体としての装置本体部２と、色ごとに設けられた複数のインクジェットヘッド３とを備えている。
装置本体部２は、直方体形状の筐体４を備えている。筐体４内には、その幅方向（長手方向）に延びる一対のガイドレール６が設けられている。これらガイドレール６には、複数のインクジェットヘッド３が固定されたキャリッジ７が設けられている。このキャリッジ７は、ガイドレール６によって、幅方向Ｗに往復動可能に支持されている。
【００１７】
キャリッジ７は、平板状の基台７ａを備えている。基台７ａには、インクジェットヘッド３が固定されている。
また、筐体４内の幅方向の一端部には、モータ１１が設けられている。モータ１１の出力軸にはプーリ１１aが設けられている。一方、筐体４内の幅方向の他端部にもプーリ１１ｂが対向配置されている。そして、プーリ１１a，１１ｂにわたって、タイミングベルト１２が設けられている。タイミングベルト１２には、キャリッジ７が固定されている。
このような構成のもと、モータ１１を駆動すると、プーリ１１a，１１ｂ及びタイミングベルト１２を介して、キャリッジ７が幅方向Ｗに往復動するようになっている。つまり、前記モータ１１、プーリ１１ａ、１１ｂ、タイミングベルト１２、キャリッジ７は、後述する用紙Ｓの搬送方向に直交する方向に、インクジェットヘッド３並びにその中に組み込まれるヘッドチップ３０を往復移動させる移動手段を構成している。
【００１８】
また、筐体４内の他端部には、インクを供給するインクカートリッジが設けられている。インクカートリッジから、図示せぬインク供給管を介して、インクジェットヘッド３に各種インクが供給されるようになっている。
筐体４の一端部の前面及び後背面には、互いに対向して配置された不図示の開口部が設けられている。筐体４内の一端部のうち、前面の開口部に対向する位置には、長手方向に延びる一対の搬出ローラ１３が設けられている。一方、後背面の開口部に対向する位置には、長手方向に延びる一対の搬入ローラ１４が設けられている。
このような構成のもと、後背面の開口部から用紙（被記録媒体）Ｓが挿入され、用紙Ｓは、搬入ローラ１４及び搬出ローラ１３を駆動することにより、前記幅方向Ｗに直交する方向Ｙへ搬送されて、前面の開口部から排出されるようになっている。つまり、搬入ローラ１４及び搬出ローラ１３は、被記録媒体である用紙Ｓを予め決められた方向に搬送する搬送手段を構成している。
【００１９】
図２は本実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図であり、図３は同インクジェットヘッドの分解斜視図である。
図２および図３に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド３は、ヘッドチップ３０と、このヘッドチップ３０の一方面側に設けられるベースプレート２１と、ヘッドチップ３０の他方面側に設けられるヘッドカバー２２と、ヘッドチップ３０を駆動するための駆動回路２３等が搭載された配線基板２４とを有する。
ヘッドチップ３０の構成部品である圧電セラミックプレート３１の後端には配線パターン３１ａが形成され、この配線パターン３１ａには異方性導電膜２５を介してフレキシブルケーブル２６が接合されている。フレキシブルケーブル２６は、異方性導電膜２５を介して配線基板２４に接続されている。
【００２０】
ヘッドカバー２２には管形状のインク導入路２８が設けられている。インク導入路２８の先端側は、インクカートリッジに接続されていて、インクカートリッジからこのヘッドカバー２２を介してインクがヘッドチップ３０に供給されるようになっている。
【００２１】
上述したヘッドカバー２２と、ベースプレート２１とは、ヘッドカバー２２の係止シャフト２２ａがベースプレート２１の係止孔２１ａに挿入して係合されることにより固定され、両者で圧電セラミックプレート３１とインク室プレート３３との接合体を挟持する。
【００２２】
図４はヘッドチップの斜視図、図５はヘッドチップの要部を断面した斜視図、図６はヘッドチップの断面図、図７はヘッドチップの他の部分の断面図である。これらの図にも示すように、ヘッドチップ３０は、複数の溝３１ｂが並列的に配置された圧電セラミックプレート(アクチュエータ)３１と、複数の溝３１ｂの上面を覆うことで、これら各溝３１ｂに対応してそれぞれインク通路３２を形成するインク室プレート（カバープレート）３３と、これら圧電セラミックプレート３１及びインク室プレート３３の前端面に接着剤によって接着されるノズルプレート３４と、このノズルプレート３４を支持するノズル支持プレート３５で構成される。圧電セラミックプレート３１の後端には、前記フレキシブルケーブル２６に接続される配線パターン３１ａが形成されている。
【００２３】
圧電セラミックプレート３１には複数の溝３１ｂが並列的に設けられ、これら各溝３１ｂは側壁３６によって分離されている。これら各溝３１ｂの長手方向一端部は圧電セラミックプレート３１の前端面まで延設されており、溝３１ｂの他端部は圧電セラミックプレート３１の後端面までは延びておらず、深さが徐々に浅くなっている。この圧電セラミックプレート３１に形成される各溝３１ｂは、例えば、円盤状のダイスカッターにより形成されることで、他端側の深さが徐々に浅くなるように形成される。
【００２４】
また、これら各溝３１ｂ内の幅方向両側の側壁３６には、溝３１ｂの開口側に長手方向に亘って、側壁３６を駆動させるための電界を印加する電極３７が形成されている。この電極３７は、公知の斜め方向からの蒸着により形成される。
【００２５】
圧電セラミックプレート３１の溝３１ｂの開口側には、インク室プレート３３が接合されている。このインク室プレート３３には、各溝３１ｂと連通する凹部となる共通インク室３８と、この共通インク室３８の底部から溝３１ｂとは反対方向に貫通するインク供給口３９とを有する。
【００２６】
また、圧電セラミックプレート３１とインク室プレート３３との接合体の溝３１ｂが開口している端面には、ノズルプレート３４が接合されており、ノズルプレート３４の各溝３１ｂに対向する位置にはノズル４０が形成されている。
【００２７】
なお、ノズルプレート３４の厚みは、薄いとクロストークやセルフトークの影響を受けやすく厚いと引き込み動作でインクが切り離される時に、どちらもインク吐出が不安定になってインクミストが増大してしまうので、例えば５０〜７５μｍが採用される。
【００２８】
圧電セラミックプレート３１の前端面及びインク室プレート３３の前端面に対向するノズルプレート３４の接着面にはエア抜き用の孔４１が形成されている。エア抜き用の孔４１は、ノズル４０を間に挟んでその上下両側にそれぞれ形成されている。エア抜き用の孔４１は、１ｍｍ2あたり４〜２０個形成されている。
【００２９】
また、エア抜き用の孔４１の密度は、ノズル４０の近傍が蜜に、ノズル４０から離れるに従い疎となるように形成されている。例えば、図８に示す例の場合、ノズルの近傍にあるエア抜き用の孔４１ａは、ノズル４０と同数配置されるように、ノズル４０と同ピッチで配置され、また、ノズル４０から離れる箇所に形成されたエア抜き用の孔４１ｂは、ノズル４０…３個に対して１個配置されるように、ノズル４０の３倍のピッチで配置される。
【００３０】
また、ノズルプレート３４に形成されるエア抜き用の孔４１は、圧電セラミックプレート３１の前端面及びインク室プレート３３の前端面に対向する側が他側よりも大径となるようにテーパー状に形成されている。
これらエア抜き用の孔４１は、ノズル４０と同様に例えばエキシマレーザーを用いて形成される。このとき、エア抜き用の孔４１は、ノズル４０の径と同程度となるように形成される。
【００３１】
次に、インクジェットヘッドの製造方法について説明する。ここでは、特に重要な、ノズルプレート３４の製造方法及びこのノズルプレートの圧電アクチュエータ及びインク室プレートへの組付方法についてのみ説明し、圧電セラミックプレート、インク室プレート、ノズルプレートおよびノズル支持プレートの組み付け方法は、従来公知のものと同様であるのでその説明を省略する。
ノズルプレート３４に、例えばエキシマレーザーを用いてノズル４０を形成するとき、同時に、空気抜き用の孔４１(４１ａ、４１ｂ)も形成する。このとき、図９に示すようにノズルプレート３４の表面には予めカバーフィルム４２が貼着されているが、カバーフィルム４２に空気抜き用の孔４１に連続する孔４３を形成する。
【００３２】
その後、ノズルプレート３４を接着剤を介して圧電セラミックプレート３１の前端面及び前記インク室プレート３３の前端面に当接させる。このとき、ノズルプレート３４の接着面等に残留するエアは接着剤の硬化する前に、エア抜き用の孔を介して大気に開放される。このとき、余剰分の接着剤がエアとともにエア抜き用の孔４１及びこれに連続する孔４３の先端から大気側へ溢れ出る。これら孔４３の先端から溢れ出た接着剤は、その後、接着剤が硬化する前に、カバーフィルム４２をノズルプレート３４から剥ぎとるときに、このカバーフィルム４２と一体的に取り除かれる。したがって、エア抜き用の孔４１から溢れ出た接着剤が、このエア抜き用の孔周辺のノズルプレート部分を汚してしまうという不具合の発生を未然に防止できる。
【００３３】
次に、上記構成のインクジェット記録装置、及びインクジェットヘッドの作用について説明する。
本実施形態のインクジェットヘッド３によれば、ノズルプレート３４の接着面にエア抜き用の孔４１を形成しているので、ノズルプレート３４と圧電セラミックプレート３１等との接着面に残留するエアが接着剤の硬化する前に、エア抜き用の孔４１を介して大気に開放される。したがって、ノズルプレート３４と圧電セラミックプレート３１等との接着面にエアを閉じ込めることなく、接着面から確実に除去できる。
【００３４】
また、エアがエア抜き用の孔４１から大気側へ抜けるときに、同時に余剰の接着剤もエアとともにエア抜き孔４１を通じて大気側へ移動して排出される。このため、余剰の接着剤が圧電セラミックプレート３１の溝３１ｂに流れ込んでインク通路３２を狭めるといった不具合の発生を防止することができる。
さらに、接着剤がエア抜き用の孔４１に侵入したまま固着されるときに、固化した接着剤によるアンカー効果が得られ、これにより、ノズルプレート３４と圧電セラミックプレート３１等との接着強度を高めることができる。
【００３５】
また、上記実施形態では、エア抜き用の孔４１が、ノズル４０を間に挟んでその上下両側にそれぞれ形成されているので、ノズル４０周辺にエアが閉じ込められる現象を極力排除できる。つまり、最も高い接着強度が要求されるノズル４０周辺部分の接着強度を重点的に高めることができる。
【００３６】
また、上記実施形態では、前記エア抜き用の孔４１の密度を、ノズル４０の近傍が密に、ノズル４０から離れるに従い疎となるように形成しているので、ノズル４０周辺にエアが閉じ込められる現象を極力排除することができ、これにより、前記同様、最も高い接着強度が要求されるノズル周辺部分の接着強度を重点的に高めることができる。
【００３７】
また、上記実施形態では、ノズルプレート３４に形成されるエア抜き用の孔４１が、圧電セラミックプレート３１の前端面及び前記インク室プレート３３の前端面に対向する側が他側よりも大径となるようにテーパー状に形成されているので、ノズルプレート３４と圧電セラミックプレート３１等との接着面に残留するエアを、テーパー状のエア抜き用の孔４１に速やかに導いて除去できる。
【００３８】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。
上記実施形態では、前記圧電セラミックプレート３１の前端面及びインク室プレート３３の前端面に対向するノズルプレート３４の接着面に全域に渡ってエア抜き用の孔４１を形成したが、これに限られることなく、前記圧電セラミックプレート３１の前端面に対向する部分のみ、あるいはインク室プレート３３の前端面に対向する部分のみに、エア抜き用の孔４１を形成しても良い。
【００３９】
また、前記実施形態には、前記圧電セラミックプレート３１の前端面、前記インク室プレート３３の前端面、または、これらに対向するノズルプレート３４の接着面をそれぞれフラットな形状にしているが、これに限られることなく、これらのうち少なくとも一つに図１０に示すように、前記空気抜き用の孔４１に指向する溝５０を形成しても良い。
この場合、ノズルプレート３４と圧電セラミックプレート３１等との接着面に残留するエアを、溝５０を通じてエア抜き用の孔４１に速やかに導くことができ、これらエアを、より確実にエア抜き用の孔４１から大気側へ除去することができる。なお、溝５０の形状は問わない。
【００４０】
また、前記実施形態では、前記ノズルプレート３４に形成するエア抜き用の孔４１を、圧電セラミックプレート３１の前端面及び前記インク室プレート３３の前端面に対向する側が他側よりも大径となるようにテーパー状に形成しているが、これに限られることなく、圧電セラミックプレート３１の前端面及び前記インク室プレート３３の前端面に対向する側が他側よりも小径となるように逆テーパー状に形成してもよい。この場合、接着剤が逆テーパー状のエア抜き用の孔に侵入して固着したとき、より強固なアンカー効果が得られることとなり、ノズルプレート３４と圧電セラミックプレート３１等との接着強度をより高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本実施形態のインクジェット記録装置の要部を示す斜視図である。
【図２】本実施形態のインクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】同インクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図４】ヘッドチップの斜視図である。
【図５】ヘッドチップの要部を断面した斜視図である。
【図６】ヘッドチップの断面図である。
【図７】ヘッドチップの他の部分の断面図である。
【図８】ヘッドチップの正面図である。
【図９】ヘッドチップの先端部の断面図である。
【図１０】ヘッドチップの変形例を示す正面図である。図５はヘッドチップの要部断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
３１圧電セラミックプレート（アクチュエータ）  ３２インク通路  ３３  インク室プレート（カバープレート）  ３４ノズルプレート  ３６側壁  ４０ノズル  ４１（４１ａ、４１ｂ）エア抜き用の孔  ４３孔  ５０溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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