(57)【要約】【課題】基板上における膜形成領域の配置間隔が狭くなっても、位置精度よく膜形成領域に液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。【解決手段】液滴吐出装置１０は、マザー基板Ｐが載置されるステージ５と、ステージ５を走査方向に相対移動させるワーク移動機構２０と、マザー基板Ｐを臨むことが可能な位置に設けられ、膜形成領域の位置を検出するワーク撮像部１３と、ノズルとワーク移動機構２０およびワーク撮像部１３を制御する制御部４０と、を備え、制御部４０は、ワーク移動機構２０を駆動してマザー基板Ｐとワーク撮像部１３とを相対移動させ、得られた膜形成領域の位置情報に基づいて、膜形成領域に必要量の液状体を液滴として配置する配置情報を補正し、補正された配置情報に基づいて液滴を吐出するようにノズルとワーク移動機構２０とを制御する。【選択図】図１
2009247914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の膜形成領域を有する基板とノズルとを対向させ相対移動させる走査の間に、前記
ノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴として吐出する液滴吐出装置であって、
前記基板が載置されるステージと、
前記ノズルに対して前記ステージを走査方向に相対移動させる移動機構と、
前記ステージ上に載置された前記基板を臨むことが可能な位置に設けられ、前記膜形成
領域の位置を検出する位置検出部と、
前記ノズルと前記移動機構および前記位置検出部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記移動機構を駆動して前記ステージ上に載置された前記基板と前記位
置検出部とを相対移動させ、得られた前記膜形成領域の位置情報に基づいて、前記膜形成
領域に必要量の前記液状体を前記液滴として配置する配置情報を補正し、補正された前記
配置情報に基づいて前記液滴を吐出するように前記ノズルと前記移動機構とを制御するこ
とを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記位置検出部は、少なくとも１つの前記膜形成領域を撮像可能な撮像部であって、
前記制御部は、前記撮像部により撮像された画像情報に基づいて前記膜形成領域の位置
情報を求めることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記基板上の前記膜形成領域が隔壁部により区画されており、
前記制御部は、前記位置検出部により検出された前記隔壁部の位置情報に基づいて、前
記配置情報を補正することを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記走査方向において前記膜形成領域のほぼ中央に前記液滴が配置され
るように前記配置情報を補正することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載
の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記走査方向において前記隔壁部に前記液滴が掛からないように前記配
置情報を補正することを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
基板上の複数の膜形成領域に液状体を吐出する液状体の吐出方法であって、
前記基板上における前記膜形成領域の位置を検出する位置検出工程と、
前記位置検出工程で得られた前記膜形成領域の位置情報に基づいて、前記膜形成領域に
必要量の前記液状体を液滴として配置する配置情報を補正する配置情報補正工程と、
前記基板とノズルとを対向させ相対移動させる走査の間に、前記ノズルから前記膜形成
領域に前記液滴を吐出する吐出工程と、を備え、
前記吐出工程は、補正された前記配置情報に基づいて前記ノズルから前記液滴を吐出す
ることを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項７】
前記位置検出工程は、前記走査の方向における前記膜形成領域の位置を検出し、
前記配置情報補正工程は、前記走査の方向における前記液滴の配置を補正することを特
徴とする請求項６に記載の液状体の吐出方法。
【請求項８】
前記配置情報補正工程は、前記走査の方向において前記膜形成領域のほぼ中央に前記液
滴が配置されるように前記配置情報を補正することを特徴とする請求項７に記載の液状体
の吐出方法。
【請求項９】
前記基板上の前記膜形成領域が隔壁部により区画されており、
前記位置検出工程は、前記走査の方向における前記隔壁部の位置を検出し、
前記配置情報補正工程は、前記走査の方向において前記液滴が前記隔壁部に掛からない
ように前記配置情報を補正することを特徴とする請求項６に記載の液状体の吐出方法。
【請求項１０】
基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であっ
て、
請求項６乃至９のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含
む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えた
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であ
って、
請求項６乃至９のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含
む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特
徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフ
ィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出装置としては、吐出ヘッドと基板とを相対移動
させながら、基板上の描画領域に液体材料のパターンを形成する描画手段と、基板上の複
数のアライメントマークを撮像してアライメント情報を取得する撮像手段と、アライメン
ト情報に応じて吐出ヘッドおよび基板の相対位置を決定する位置決め手段と、を備えた液
滴吐出装置が知られている（特許文献１）。
【０００３】
上記液滴吐出装置は、一括して取得されたアライメント情報に基づき、複数の描画領域
のそれぞれにおいて位置決め手段と描画手段とを動作させて、描画領域のそれぞれにパタ
ーンを形成している。これにより、大型基板やタイリング基板などを採用した場合でも、
高精度の液滴吐出動作を実現できるとしている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２８８４１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来の液滴吐出装置では、アライメントマークを基準としたアライメント情報に基
づいて、各描画領域における液滴の吐出位置を確定させている。アライメントマークと描
画領域との位置関係は、設計情報に基づく相対的なものであるため、実際の液滴吐出精度
は、例えば、描画手段における相対移動の精度のばらつきなどの影響を受けるという課題
がある。
また、一方で描画領域に形成するパターンが高精細になると、より高い液滴の吐出精度
が要求されるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例の液滴吐出装置は、複数の膜形成領域を有する基板とノズルとを
対向させ相対移動させる走査の間に、前記ノズルから前記膜形成領域に液状体を液滴とし
て吐出する液滴吐出装置であって、前記基板が載置されるステージと、前記ノズルに対し
て前記ステージを走査方向に相対移動させる移動機構と、前記ステージ上に載置された前
記基板を臨むことが可能な位置に設けられ、前記膜形成領域の位置を検出する位置検出部
と、前記ノズルと前記移動機構および前記位置検出部を制御する制御部と、を備え、前記
制御部は、前記移動機構を駆動して前記ステージ上に載置された前記基板と前記位置検出
部とを相対移動させ、得られた前記膜形成領域の位置情報に基づいて、前記膜形成領域に
必要量の前記液状体を前記液滴として配置する配置情報を補正し、補正された前記配置情
報に基づいて前記液滴を吐出するように前記ノズルと前記移動機構とを制御することを特
徴とする。
【０００８】
この構成によれば、制御部は、基板と位置検出部とを相対移動させ、基板上に設けられ
た膜形成領域の位置を検出させ、得られた位置情報を基に膜形成領域における液滴の配置
情報を補正してノズルから液滴を吐出する。したがって、基板上に設けられたアライメン
トマークなどの位置基準を基に液滴を吐出する場合に比べて、走査に伴う装置自体の位置
精度のばらつきや基板上に設けられた膜形成領域の位置精度のばらつきを考慮して配置情
報を補正することができる。ゆえに、ノズルから必要量の液状体を液滴として高精度に膜
形成領域に吐出可能な液滴吐出装置を提供することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例の液滴吐出装置において、前記位置検出部は、少なくとも１つ
の前記膜形成領域を撮像可能な撮像部であって、前記制御部は、前記撮像部により撮像さ
れた画像情報に基づいて前記膜形成領域の位置情報を求めるとしてもよい。
この構成によれば、制御部は、撮像された画像情報から膜形成領域の位置情報をより正
確に求めることができる。すなわち、液滴をより高精度に膜形成領域に吐出可能な液滴吐
出装置を提供することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例の液滴吐出装置において、前記基板上の前記膜形成領域が隔壁
部により区画されており、前記制御部は、前記位置検出部により検出された前記隔壁部の
位置情報に基づいて、前記配置情報を補正するとしてもよい。
この構成によれば、制御部は、膜形成領域を区画する隔壁部の基板上における形成精度
のばらつきを考慮して配置情報を補正することができる。すなわち、隔壁部により区画さ
れた膜形成領域に精度よく液滴を吐出することができる。
【００１１】
［適用例４］上記適用例の液滴吐出装置において、前記制御部は、前記走査方向におい
て前記膜形成領域のほぼ中央に前記液滴が配置されるように前記配置情報を補正すること
が好ましい。
この構成によれば、制御部が補正された配置情報に基づいてノズルから液滴を吐出させ
ることにより、膜形成領域のほぼ中央に液滴を着弾させることができる。言い換えれば、
複数の膜形成領域の走査方向における配置間隔が狭くても、各膜形成領域に液滴を確実に
着弾させることができる。
【００１２】
［適用例５］上記適用例の液滴吐出装置において、前記制御部は、前記走査方向におい
て前記隔壁部に前記液滴が掛からないように前記配置情報を補正するとしてもよい。
この構成によれば、制御部は、ノズルから液滴として吐出させ、隔壁部に着弾させずに
膜形成領域に必要量の液状体を塗布することができる。
【００１３】
［適用例６］本適用例の液状体の吐出方法は、基板上の複数の膜形成領域に液状体を吐
出する液状体の吐出方法であって、前記基板上における前記膜形成領域の位置を検出する
位置検出工程と、前記位置検出工程で得られた前記膜形成領域の位置情報に基づいて、前
記膜形成領域に必要量の前記液状体を液滴として配置する配置情報を補正する配置情報補
正工程と、前記基板とノズルとを対向させ相対移動させる走査の間に、前記ノズルから前
記膜形成領域に前記液滴を吐出する吐出工程と、を備え、前記吐出工程は、補正された前
記配置情報に基づいて前記ノズルから前記液滴を吐出することを特徴とする。
【００１４】
この方法によれば、配置情報補正工程では、実際に検出された膜形成領域の位置情報に
より液滴の配置情報が補正され、吐出工程では、補正された配置情報に基づいてノズルか
ら液滴を膜形成領域に吐出する。したがって、基板上に設けられたアライメントマークな
どの位置基準を基に液滴を吐出する場合に比べて、走査に伴う吐出位置精度のばらつきや
基板上に設けられた膜形成領域の位置精度のばらつきを考慮して配置情報を補正すること
ができる。ゆえに、ノズルから必要量の液状体を液滴として高精度に膜形成領域に吐出可
能な液状体の吐出方法を提供することができる。
【００１５】
［適用例７］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記位置検出工程は、前記走査
の方向における前記膜形成領域の位置を検出し、前記配置情報補正工程は、前記走査の方
向における前記液滴の配置を補正することを特徴とする。
この方法によれば、少なくとも走査の方向における膜形成領域の適正な位置に液滴を吐
出することができる。
【００１６】
［適用例８］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記配置情報補正工程は、前記
走査の方向において前記膜形成領域のほぼ中央に前記液滴が配置されるように前記配置情
報を補正することが好ましい。
この方法によれば、吐出工程では、膜形成領域のほぼ中央に液滴を着弾させることがで
きる。言い換えれば、複数の膜形成領域の走査方向における配置間隔が狭くても、各膜形
成領域に液滴を確実に着弾させることができる。
【００１７】
［適用例９］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記基板上の前記膜形成領域が
隔壁部により区画されており、前記位置検出工程は、前記走査の方向における前記隔壁部
の位置を検出し、前記配置情報補正工程は、前記走査の方向において前記液滴が前記隔壁
部に掛からないように前記配置情報を補正するとしてもよい。
この方法によれば、吐出工程では、液滴が隔壁部に着弾せず、膜形成領域内に必要量の
液状体を確実に塗布することができる。
【００１８】
［適用例１０］本適用例のカラーフィルタの製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に
複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出
方法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐
出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、
を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、必要量の液状体が確実に膜形成領域に塗布されるので、所望の膜厚
を有する着色層を形成することができる。ゆえに、所望の光学特性を有するカラーフィル
タを歩留りよく製造することができる。
【００１９】
［適用例１１］本適用例の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に発
光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出
方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と
、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特
徴とする。
この方法によれば、必要量の液状体が確実に膜形成領域に塗布されるので、所望の膜厚
を有する発光層を形成することができる。ゆえに、所望の発光特性を有する有機ＥＬ素子
を歩留りよく製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
【００２１】
（実施形態１）
＜液滴吐出装置＞
まず、本実施形態の液滴吐出装置について図１〜図４を参照して説明する。図１は、液
滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
【００２２】
図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１０は、マザー基板Ｐを載置するステー
ジ５と、ステージ５を主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させる移動機構としてのワーク移動
機構２０と、ワーク移動機構２０の上方において、主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ
軸方向）にヘッドユニット９を移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。
また、ステージ５上のマザー基板Ｐを上方から臨むことが可能な位置に設けられた位置
検出部としてのワーク撮像部１３を備えている。ワーク撮像部１３は、副走査方向に一対
設けられ、例えば、ＣＣＤなどの撮像素子を備えたカメラである。
【００２３】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１上を移動
する移動台２２とを有し、ステージ５が移動台２２に設けられている。
移動台２２は、内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示省略）により主走
査方向に移動する。移動台２２には、エンコーダ１２（図４参照）が設けられている。
【００２４】
エンコーダ１２は、移動台２２の主走査方向への移動に伴って、ガイドレール２１に並
設されたリニアスケール（図示省略）の目盛を読み取って、タイミング信号としてのエン
コーダパルスを生成する。なお、エンコーダ１２の配設は、これに限らず、例えば、移動
台２２を回転軸に沿ってＹ軸方向に移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設
けた場合には、エンコーダ１２を駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモータ
などが挙げられる。
【００２５】
また、移動台２２には、ヘッド撮像部１５が上方に向けて取り付けられており、ヘッド
ユニット９を下方から臨む位置にヘッド撮像部１５を移動可能となっている。ヘッド撮像
部１５は、ワーク撮像部１３と同様に、例えば、ＣＣＤなどの撮像素子を備えたカメラで
ある。
【００２６】
ステージ５はマザー基板Ｐを吸着固定可能であると共に、ステージ５上の平面内におい
てマザー基板Ｐを回転させる回転機構６を備えている。回転機構６によってマザー基板Ｐ
内の基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。
【００２７】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、リニアモータなどの駆動源により
一対のガイドレール３１上を移動する移動台３２とを有し、移動台３２には、キャリッジ
８が取り付けられている。
【００２８】
キャリッジ８には、ヘッドユニット９と、ヘッドユニット９をステージ５の上面と対向
する平面内において回転させる回転機構７とが取り付けられている。
ヘッドユニット９には、後述する液滴吐出ヘッド５０（図２参照）が下方に向けて搭載
されている。
【００２９】
また、キャリッジ８には、搭載された液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液
状体供給機構（図示省略）と、複数の液滴吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うため
のヘッドドライバ４８（図４参照）とが設けられている。
【００３０】
移動台３２がキャリッジ８を副走査方向に移動させて、ヘッドユニット９に搭載された
液滴吐出ヘッド５０をマザー基板Ｐに対して対向配置する。また、ヘッドユニット９をヘ
ッド撮像部１５と対向配置させることができる。
【００３１】
本実施形態の液滴吐出装置１０においては、上述したようにステージ５を回転させる回
転機構６、キャリッジ８を移動させる移動台３２、ヘッドユニット９を回転させる回転機
構７、ワーク撮像部１３、ヘッド撮像部１５などが、マザー基板Ｐと液滴吐出ヘッド５０
との相対的な位置を位置決めする位置決め機構を構成している。
【００３２】
液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、キャリッジ８に搭載された液滴吐出ヘッド５
０のノズル目詰まり解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテ
ナンス機構（図示省略）が、ヘッド移動機構３０に沿った位置に配設されている。
また、液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子天
秤などの計測器を有する重量計測機構（図示省略）を備えている。さらに、これらの構成
を統括的に制御する制御部４０を備えている。
【００３３】
図２は、液滴吐出ヘッドを示す概略図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）はノズ
ルの配置状態を示す平面図である。
【００３４】
図２に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４
を有する液状体の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板
５５上に配置され内部に液状体のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えてい
る。
接続針５４は、前述した液状体供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、液状
体をヘッド内流路に供給する。
ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッドドラ
イバ４８（図４参照）に接続される２連のコネクタ５８が設けられている。
【００３５】
ヘッド本体５６は、圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面
５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１と
を有している。
【００３６】
図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（１８０個
）のノズル５２がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分の
ピッチＰ２ずれた状態でノズルプレート５１に配設されている。この場合、ピッチＰ１は
、およそ１４１μｍである。よって、２つのノズル列５２ａ，５２ｂからなるノズル列５
２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッ
チで配列した状態となっている。以降説明上、ノズル５２の間隔（ノズルピッチ）は、ピ
ッチＰ２とする。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。
【００３７】
液滴吐出ヘッド５０は、ヘッドドライバ４８から電気信号としての駆動信号が圧電素子
に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキ
ャビティに充填された液状体が加圧され、ノズル５２から液状体を液滴として吐出するこ
とができる。
【００３８】
液滴吐出ヘッド５０における駆動手段は、圧電素子に限らない。アクチュエータとして
の振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２
から液滴として吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。
【００３９】
図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳し
くは、マザー基板Ｐに対向する側から見た図である。
【００４０】
図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の液滴吐出ヘッド５０が配設されるヘッ
ドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０から
なるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計
６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（
液滴吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（液滴吐出ヘッド５０）とは同種の
液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同
様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００４１】
１つの液滴吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５２
ｃの有効長とする。以降、ノズル列５２ｃとは、３６０個のノズル５２から構成されるも
のを指す。
【００４２】
この場合、ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｘ軸方向）から見て隣り合うノズ
ル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連
続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体を吐出す
るヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ1は、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッド
Ｇ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向に並列して配置
されている。
【００４３】
なお、液滴吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよ
い。また、ヘッドユニット９における液滴吐出ヘッド５０の配置は、これに限定されるも
のではない。
【００４４】
次に液滴吐出装置１０の制御系について説明する。図４は、液滴吐出装置の制御系を示
すブロック図である。図４に示すように、液滴吐出装置１０の制御系は、液滴吐出ヘッド
５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０などを駆動する各種ドライバを有する駆
動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１０を制御する制御部４０とを備えている。
【００４５】
駆動部４６は、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれ
ぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッド駆動
部としてのヘッドドライバ４８とを備えている。この他にも重量計測用ドライバと、メン
テナンス用ドライバとを備えているが図示省略した。
【００４６】
制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え
、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュ
ータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを
記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データな
どを記憶する制御データ領域とを有している。
【００４７】
ＲＡＭ４３は、マザー基板Ｐに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶
部、マザー基板Ｐおよび液滴吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ｃ）の位置データ
を記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域と
して使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバなどが接続されており
、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論
理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ
１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ
４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのま
まあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００４８】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介
して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなど
を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６などに各種の制御信号を出力すること
により、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド
５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とマ
ザー基板Ｐとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とマザー基板Ｐとの相対移動
に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２か
らマザー基板Ｐに液状体を液滴として吐出するようにヘッドドライバ４８に制御信号を送
出する。この場合、Ｙ軸方向へのマザー基板Ｐの移動に同期して液状体を吐出することを
主走査と呼び、Ｘ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形
態の液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液
状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へのマ
ザー基板Ｐの移動に限らず、マザー基板Ｐを往復させて行うこともできる。
【００４９】
エンコーダ１２は、ヘッドドライバ４８に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコー
ダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エン
コーダパルスが周期的に発生する。このエンコーダパルスをカウントすることにより、主
走査方向における液滴の吐出タイミングが規定されている。
【００５０】
ワーク撮像部１３は、Ｐ−ＣＯＮ４４に電気的に接続され、撮像したマザー基板Ｐの画
像情報をビットマップデータに変換したマザー基板Ｐの位置情報として送出することがで
きる。マザー基板Ｐの位置情報は、一時的にＲＡＭ４３に格納され、マザー基板Ｐの位置
決め時や液滴の吐出制御に利用される。より具体的なマザー基板Ｐの位置情報としては、
マザー基板Ｐに形成されたアライメントマークに関する位置情報やマザー基板Ｐ上におい
て液滴が吐出される被吐出領域（膜形成領域）に関する位置情報が挙げられる。
【００５１】
ヘッド撮像部１５は、Ｐ−ＣＯＮ４４に電気的に接続され、撮像したヘッドユニット９
の画像情報をビットマップデータに変換したヘッドユニット９の位置情報として送出する
ことができる。ヘッドユニット９の位置情報は、一時的にＲＡＭ４３に格納され、前述し
たヘッドユニット９の姿勢調整を含む位置決め時、すなわち液滴吐出ヘッド５０の位置決
め時に利用される。
【００５２】
上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置
１０に送出する。また、マザー基板Ｐ上の被吐出領域（膜形成領域）ごとに必要量の液状
体を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機
能を有している。配置情報は、被吐出領域（膜形成領域）における液滴の吐出位置（言い
換えれば、マザー基板Ｐとノズル５２との相対位置、液滴の配置数（言い換えれば、ノズ
ル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ、吐出タイミン
グなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピュータ１１
は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修
正することも可能である。
【００５３】
本実施形態の液滴吐出装置１０において、制御部４０は、ワーク撮像部１３により得ら
れるマザー基板Ｐの位置情報と、ヘッド撮像部１５により得られるヘッドユニット９の位
置情報とに基づいて、主走査における液滴吐出ヘッド５０とマザー基板Ｐとの相対的な位
置決めを行わせる。また、ワーク撮像部１３により得られるマザー基板Ｐの被吐出領域（
膜形成領域）の位置情報に基づいて上記配置情報を補正し、補正された配置情報に基づい
て主走査を行う。詳しくは、後述するカラーフィルタの製造方法において説明する。
【００５４】
＜カラーフィルタの製造方法＞
次に、上記液滴吐出装置１０並びに本実施形態の液状体の吐出方法を用いたカラーフィ
ルタの製造方法について、図５〜図９を参照して説明する。図５（ａ）はカラーフィルタ
の構成を示す概略平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ'線で切った断面図である。
図６は、カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。図７（ａ）〜（ｄ）は、カラ
ーフィルタの製造方法を示す概略断面図。図８（ａ）および（ｂ）は、液状体の吐出方法
を説明する概略図である。図９は走査における移動量と補正量との関係を示すグラフであ
る。
【００５５】
図５（ａ）および（ｂ）に示すようにカラーフィルタ２は、透明なガラスなどの基板１
上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色のフィルタエレメントである着色層３を有してい
る。着色層３が形成される矩形状の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂは隔壁部４によりマトリ
クス状に区画されている。本実施形態のカラーフィルタ２は、同色の着色層３が直線的に
配列する所謂ストライプ方式のカラーフィルタである。
【００５６】
図５（ｂ）に示すように、隔壁部４は、第１隔壁部４ａと第２隔壁部４ｂとからなる二
層構造となっている。第１隔壁部４ａは、例えば、ＣｒやＡｌなどの金属薄膜からなり遮
光性を有している。第２隔壁部４ｂは、例えば、樹脂材料からなる。なお、二層構造に限
定されず、遮光性を有する部材を含む樹脂材料により隔壁部４を構成する一層構造でもよ
い。
【００５７】
着色層３は、着色材料を含む透光性樹脂材料からなる。本実施形態では、このようなカ
ラーフィルタ２を液滴吐出法（インクジェット法）を用いて製造する。
【００５８】
カラーフィルタ２が形成される基板１の大きさは、これを用いる表示装置の大きさに寄
る。また、同一の大きさの表示装置であっても画素が高密度に配置されている場合、対応
するカラーフィルタ２の着色層３の配置も高密度な配置が要求される。
【００５９】
カラーフィルタ２を有する基板１をより効率的に生産する方法として、一般的には基板
１よりも面積が大きいマザー基板Ｐに多面取りする方法が採用されている。だが、マザー
基板Ｐが大型化すると、それに伴ってステージ５やこれを移動させるワーク移動機構２０
、マザー基板Ｐに対してヘッドユニット９を対峙させるヘッド移動機構３０も大型化する
。
一方、マザー基板Ｐ上における膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ（言い換えればこれを区画
する隔壁部４）は、大型化によってその形成精度がばらついたり、低下し易い。例えば、
基板１の熱膨張や収縮による形成精度への影響は、マザー基板Ｐのサイズに比例して大き
くなる。
前述したように膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂにおける液滴の配置は、主走査におけるエ
ンコーダ１２のエンコーダパルスをカウントして吐出タイミングが規定され、これに基づ
いて液滴が吐出されることにより実現される。
したがって、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂにおける液滴の配置精度は、膜形成領域３ｒ
，３ｇ，３ｂの形成精度と、エンコーダパルスの生成およびカウント精度の影響を受ける
。
【００６０】
そこで、本実施形態の液滴吐出装置１０並びに液状体の吐出方法を用いたカラーフィル
タ２の製造方法は、マザー基板Ｐにおける膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの実際の位置を検
出して、この位置情報に基づいて液滴の吐出制御を行うものである。
【００６１】
図６に示すように、カラーフィルタ２の製造方法は、隔壁部４を形成する隔壁部形成工
程（ステップＳ１）と、隔壁部４が形成された基板１の表面を表面処理する表面処理工程
（ステップＳ２）と、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの位置を検出する位置検出工程（ステ
ップＳ３）と、得られた膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの位置情報に基づいて配置情報を補
正する配置情報補正工程（ステップＳ４）と、着色層形成材料を含む液状体を吐出する液
状体の吐出工程（ステップＳ５）と、吐出された液状体を乾燥させて着色層３を形成する
乾燥工程（ステップＳ６）とを備えるものである。
【００６２】
図６のステップＳ１では、まず、基板１の表面にＣｒやＡｌなどの金属薄膜を成膜する
。成膜方法としては真空蒸着法、スパッタ法などが挙げられる。膜厚は、例えば遮光性が
得られるように０．１μｍ程度とする。これをフォトリソグラフィ法によりパターニング
して開口させた第１隔壁部４ａを形成する。
次に、第１隔壁部４ａを覆って感光性樹脂を厚み２μｍ程度に塗布し、同じくフォトリ
ソグラフィ法によりパターニングして、第１隔壁部４ａ上に第２隔壁部４ｂを形成する。
これにより図７（ａ）に示すように基板１上に開口した膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂを形
成する。そして、ステップＳ２へ進む。
【００６３】
図６のステップＳ２では、後の液状体の吐出工程において、吐出された液状体が膜形成
領域３ｒ，３ｇ，３ｂに着弾して濡れ拡がるように、基板１の表面を親液処理する。また
、吐出された液状体の一部が第２隔壁部４ｂに着弾したとしても膜形成領域３ｒ，３ｇ，
３ｂ内に収まるように、第２隔壁部４ｂの少なくとも頭頂部を撥液処理する。
【００６４】
表面処理方法としては、隔壁部４が形成された基板１に対して、Ｏ2を処理ガスとする
プラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、膜形成
領域３ｒ，３ｇ，３ｂが親液処理され、その後感光性樹脂からなる第２隔壁部４ｂの表面
（壁面を含む）が撥液処理される。なお、第２隔壁部４ｂを形成する材料自体が撥液性を
有していれば後者の処理を省くこともできる。そして、ステップＳ３へ進む。
【００６５】
図６のステップＳ３では、液滴吐出装置１０のステージ５に表面処理されたマザー基板
Ｐ（基板１）を載置する。そして、図８（ａ）に示すように、制御部４０は、ワーク移動
機構２０を駆動制御して、マザー基板Ｐに形成された一対のアライメントマークＡＬ１，
ＡＬ２を撮像可能な位置にワーク撮像部１３が臨むように、ステージ５を移動させる。
【００６６】
ワーク撮像部１３は、アライメントマークＡＬ１，ＡＬ２を撮像する。制御部４０は、
撮像されたアライメントマークＡＬ１，ＡＬ２の位置情報からマザー基板Ｐの相対的な位
置情報をＣＰＵ４１によって演算させる。演算結果に基づいて回転機構６を駆動制御する
ことにより、前述したようにマザー基板Ｐにおける基準軸を主走査方向、副走査方向に対
して合致させる。
【００６７】
続いて、制御部４０は、主走査方向にステージ５を移動させながら、ワーク撮像部１３
により、マザー基板Ｐに形成された隔壁部４を撮像する。主走査方向における撮像は、マ
ザー基板Ｐの一方の端から他方の端に亘って繰り返し行われる。
【００６８】
撮像された画像情報に基づいて、制御部４０は、図８（ｂ）に示すように、例えば、ア
ライメントマークＡＬ１を基準として、隔壁部４の末端までの距離ｙ０、末端から最初の
膜形成領域３ｒの内壁までの距離ｙ１、次の内壁までの距離ｙ２というようにＣＰＵ４１
により演算を行い、主走査方向における隔壁部４の位置情報としての距離ｙ０，ｙ１，ｙ
２，ｙ３，ｙ４・・・ｙｎを入手することができる。これらのデータから膜形成領域３ｒ
，３ｇ，３ｂの実際の位置情報を入手することができる。
【００６９】
これらの位置情報は、ステージ５の主走査方向への移動に伴って得られるため、ガイド
レール２１に沿って設けられたリニアスケールに対応した位置情報として入手され、ＲＡ
Ｍ４３に一時的に格納される。そして、ステップＳ４へ進む。
【００７０】
図６のステップＳ４では、制御部４０並びに上位コンピュータ１１は、予めＲＡＭ４３
に格納された設計上の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ（隔壁部４）の位置情報と、ステップ
Ｓ３で得られた実際の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの情報とを対比する。
図９のグラフに示すように、マザー基板Ｐにおける設計上の主走査方向における膜形成
領域３ｒ，３ｇ，３ｂの位置は、隔壁部４の形成の仕方（この場合フォトリソグラフィ法
が採用されている）に応じて、主走査方向における基準位置からの距離（ステージ５の移
動量）に対して予め一定の補正が施されている。すなわち、隔壁部４の形成精度を考慮し
た相対的位置である。これに対して、ステップＳ３で得られた位置情報は絶対的位置であ
り、この差を補正量として扱う。
ＲＡＭ４３には、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂにおける液滴の配置を示す配置情報がビ
トマップデータとして格納されている。
上記上位コンピュータ１１は、上記補正量に基づいて配置情報を補正する。具体的には
、主走査方向において膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂのほぼ中央に液滴が配置されるように
ビットマップを補正する。あるいは、設計上の液滴の配置が隔壁部４に掛かる場合には、
隔壁部４に掛からないようにビットマップを補正する。
【００７１】
マザー基板Ｐ上に形成された隔壁部４のすべてを撮像して、すべての膜形成領域３ｒ，
３ｇ，３ｂの位置を検出することが理想的ではあるが、本実施形態のように一対のワーク
撮像部１３によって、少なくとも１回の走査を行うことにより得られた膜形成領域３ｒ，
３ｇ，３ｂの位置情報に基づいて、配置情報を補正すれば、補正前に比べて液滴の配置精
度を各段に向上させることができる。そして、ステップＳ５へ進む。
【００７２】
図６のステップＳ５では、異なる着色層形成材料を含む３色の液状体をそれぞれ吐出す
る。したがって、図３に示したヘッドユニット９の構成を採用している。
そして、図７（ｂ）および（ｃ）に示すように、基板１と液滴吐出ヘッド５０との主走
査に同期して、液滴吐出ヘッド５０から３色の液状体のそれぞれを液滴Ｄとして所望の膜
形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出する。膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出される液状体
の塗布量は、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに選択されるノズル５２の選択パターンと
液滴Ｄの吐出数などが主走査ごとに設定され、液滴Ｄの配置位置が補正された配置情報に
基づいて、制御部４０のＣＰＵ４１から適正な制御信号がヘッドドライバ４８に送られて
制御される。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液滴Ｄは、隔壁部４に掛かることなく、
各膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂのほぼ中央に吐出される。これにより、ほぼ一定量の液状
体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに確実に塗布される。そして、ステップＳ６へ進む
。
【００７３】
図６のステップＳ６では、図７（ｄ）に示すように、マザー基板Ｐ（基板１）に吐出さ
れた液状体から溶媒成分を蒸発させて、着色層形成材料からなる着色層３を形成する。本
実施形態では、溶媒の蒸気圧を一定にして乾燥することが可能な減圧乾燥装置にマザー基
板Ｐ（基板１）をセットして減圧乾燥し、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３色の着色層３を形成した。なお
、１色の液状体を吐出して乾燥する工程を３回繰り返してもよい。
【００７４】
先の液状体の吐出工程（ステップＳ５）において、ほぼ一定量の液状体が膜形成領域３
ｒ，３ｇ，３ｂごとに無駄なく確実に塗布されているので、ほぼ一定の膜厚を有する着色
層３を形成することができる。また、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの主走査方向における
配置間隔が狭くなっても、補正された配置情報に基づいて吐出制御が行われるため、吐出
された液滴Ｄが膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂのほぼ中央に着弾し、異なる色の液状体が混
じる混色不良が低減される。すなわち、歩留りよくカラーフィルタ２を製造することがで
きる。
【００７５】
なお、着色層３の膜厚は、色ごとに設定すればよく、必ずしも３色が同一でなくてもよ
い。必要な膜厚の設定に基づいて、必要量の液状体を液滴Ｄとして対応する膜形成領域３
ｒ，３ｇ，３ｂに吐出すればよい。
【００７６】
また、着色層３の膜厚が色ごとに異なり、基板１の表面に凹凸が生じる場合には、隔壁
部４と各着色層３とを覆って透光性の例えばアクリル系樹脂材料からなる平坦化層を形成
してもよい。
【００７７】
（実施形態２）
次に、上記実施形態１の液滴吐出装置１０並びに液状体の吐出方法を適用した有機ＥＬ
素子の製造方法について図１０および図１１を参照して説明する。図１０は有機ＥＬ装置
の要部構造を示す概略断面図、図１１（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概
略断面図である。
【００７８】
＜有機ＥＬ装置＞
図１０に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光
素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着され
た封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子
部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、
回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、有機発光材料か
らなる３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの膜形成領域としての発光
層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層
６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、こ
の絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。
すなわち、異色の発光層形成領域Ａが行方向に配列し、同色の発光層形成領域Ａが列方向
に配列している。有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１
側に射出するものである。
【００７９】
封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０
１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられてい
る。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入し
た水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化する
ことを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略してもよい。
【００８０】
素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の発光層形成領域Ａを有するものであっ
て、複数の発光層形成領域Ａを区画する隔壁部としてのバンク６１８と、複数の発光層形
成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａ
とを備えている。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を
付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備
えている。バンク６１８は、絶縁材料を用いて形成され、正孔注入／輸送層６１７ａ上に
積層された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと電極６１３とが電気的に短絡しないよ
うに、電極６１３の周囲を覆っている。
【００８１】
素子基板６０１は、例えばガラスなどの透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリ
コン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリ
コンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソー
ス領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されて
いる。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さ
らに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され
、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗなどからなるゲート電極６０９
が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６
１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７
のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１
ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ド
レイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成さ
れている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などか
らなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクト
ホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール
６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各
電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路
素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、
図１０ではこれらの図示を省略している。
【００８２】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔
注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）
と、バンク６１８と発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正
孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成して
いる。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成す
れば、封止基板６２０側から発光する光を射出させることができる。
【００８３】
有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領
域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号により
スイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電
位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５
のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６
０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６
１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる
電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メ
カニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また、有機ＥＬ装置６
００は、発光層Ｌｕが上記実施形態１の液滴吐出装置１０を使用すると共に、上記実施形
態１の液状体の吐出方法を用いて形成されているため、ほぼ一定量の液状体が各発光層形
成領域Ａに付与され、発光ムラ、輝度ムラなどの表示不具合の少ない高い表示品質を有す
ると共に、高精細な表示を可能としている。
【００８４】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の製造方法について図１１を
参照して説明する。なお、図１１（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成さ
れた回路素子部６０２は、図示を省略している。また、実施形態１と同様にマザー基板Ｐ
に素子基板６０１を多面取りして有機ＥＬ装置６００が製造される。ゆえに、以降の素子
基板６０１とはマザー基板Ｐを指すものとして説明する。
【００８５】
本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域
Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるようにバン
ク６１８を形成するバンク形成工程とを備えている。またバンク６１８で区画された発光
層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、主走査方向における発光層形成領域Ａの位置を検
出する位置検出工程と、得られた発光層形成領域Ａの位置情報を基に液滴の配置情報を補
正する配置情報補正工程と、補正された配置情報に基づいて表面処理された発光層形成領
域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐
出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工
程とを備えている。また、補正された配置情報に基づいて発光層形成領域Ａに発光層形成
材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光
層Ｌｕを成膜する成膜工程とを備えている。さらに、バンク６１８と発光層Ｌｕを覆うよ
うに陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の発光層形成領域Ａへの付与は、
上記実施形態１の液滴吐出装置１０を使用すると共に、上記実施形態１の液状体の吐出方
法を用いて行う。よって、図３に示したヘッドユニット９における液滴吐出ヘッド５０の
配置を適用する。
【００８６】
電極（陽極）形成工程では、図１１（ａ）に示すように、素子基板６０１の発光層形成
領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６
０１の表面にＩＴＯなどの透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透
明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチ
ングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。そしてバンク形成工程へ進む。
【００８７】
バンク形成工程では、図１１（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３
の周囲を覆うようにバンク６１８を形成する。バンク６１８の材料としては、後述する発
光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を
有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理
により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなど
といった絶縁性を有する有機材料が好ましい。バンク６１８の形成方法としては、例えば
、電極６１３が形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート
法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２〜３μｍの感光性樹脂層を形成
する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基
板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、バンク６１８を形成する
方法が挙げられる。そして、表面処理工程へ進む。
【００８８】
発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、バンク６１８が形成された素子基板６０１
の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表
面、バンク６１８の表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ4などの
フッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂
からなるバンク６１８の表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、正
孔注入／輸送層形成工程へ進む。
【００８９】
位置検出工程では、表面処理された素子基板６０１と一対のワーク撮像部１３とを走査
することによりバンク６１８を撮像し、得られた画像情報から発光層形成領域Ａの位置を
検出する。
【００９０】
配置情報補正工程では、発光層形成領域Ａの位置情報に基づいて、必要量の液状体を発
光層形成領域Ａの液滴として配置する配置情報を補正する。本実施形態では、後述するよ
うに発光層形成領域Ａには、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０と、発光層形成
材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂとが吐出されるので、それぞれの
液状体における配置情報を補正する。
【００９１】
正孔注入／輸送層形成工程では、図１１（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材
料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては
、図３のヘッドユニット９を備えた液滴吐出装置１０と上記実施形態１の液状体の吐出方
法を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴として素子基板６０
１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は補正された配置情報に基づいて発光
層形成領域Ａの面積に応じ、ほぼ一定量が液滴として吐出される。そして乾燥・成膜工程
へ進む。
【００９２】
乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニールなどの方法で加熱するこ
とにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３のバンク６１８により
区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／
輸送層形成材料として３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルフォ
ン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を用いた。なお、本実施形態では、各発光層形成領域Ａに同
一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対
応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして
次の液状体の吐出工程へ進む。
【００９３】
液状体の吐出工程では、図１１（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０を用いて複数の
液滴吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１
００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形
成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液
状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。補正された配置情
報に基づいて吐出された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの液滴は、発光層形成領
域Ａのほぼ中央付近に着弾して濡れ拡がり断面形状が円弧状に盛り上がる。そして、乾燥
・成膜工程へ進む。
【００９４】
乾燥・成膜工程では、図１１（ｅ）に示すように、吐出された各液状体１００Ｒ，１０
０Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層
６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜する。各液状
体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒
の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ
進む。
【００９５】
陰極形成工程では、図１１（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，
６１７Ｇ，６１７Ｂとバンク６１８の表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６
０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌなどの金属やＬｉＦなどのフッ化物を組み合わせ
て用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が
小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌなどの膜を形成
するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮなどの保護層を積層しても
よい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成
方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法などが挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，
６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【００９６】
このようにして出来上がった素子基板６０１は、ほぼ一定量の各液状体１００Ｒ，１０
０Ｇ，１００Ｂが液滴として発光層形成領域Ａに付与され、乾燥・成膜化後の膜厚が、そ
れぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６
１７Ｂを有する。
【００９７】
上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法によれば、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，
１００Ｂの吐出工程では、上記実施形態１の液滴吐出装置１０を使用すると共に、上記実
施形態１の液状体の吐出方法を用いて液滴を吐出する。したがって、マザー基板Ｐ（素子
基板６０１）において、複数の発光層形成領域Ａの間隔が狭くても、それぞれにほぼ一定
量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが安定的に塗布される。したがって、乾燥・
成膜後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１
７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが得られる。
【００９８】
また、上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法を用いて、有機ＥＬ装置６００を
製造すれば、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、各発
光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、回路素子部６
０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると、各発光層６１７Ｒ，６
１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラなどが低減される。すなわち
、発光ムラや輝度ムラなどが少なく、高精細な有機ＥＬ装置６００を効率よく製造するこ
とができる。
【００９９】
上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【０１００】
（変形例１）上記実施形態１の液滴吐出装置１０において、位置検出部としてのワーク
撮像部１３の構成は、これに限定されない。例えば、アライメントマークＡＬ１，ＡＬ２
を撮像してマザー基板Ｐの最初の位置決めを行うためにワーク撮像部１３を用い、マザー
基板Ｐ上において凸状に形成された隔壁部４の位置を検出する手段として、リニアセンサ
やレーザセンサなどのセンサ類を用いてもよい。これによれば、隔壁部４の平面的な位置
情報だけでなく、マザー基板Ｐの表面における隔壁部４の高さの情報も入手することがで
きる。隔壁部４の高さに応じて当該膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに付与する液状体の量を
可変することも可能となる。すなわち、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂから溢れることなく
液状体を安定的に塗布することができる。
【０１０１】
（変形例２）上記実施形態１の液滴吐出装置１０並びに液状体の吐出方法において、ワ
ーク撮像部１３によって得られた膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの位置情報は、液滴の配置
情報を補正することに利用されることに限定されない。例えば、得られた膜形成領域３ｒ
，３ｇ，３ｂの位置情報に基づいて、液滴の配置情報を生成してもよい。
【０１０２】
（変形例３）上記実施形態１において、カラーフィルタ２における着色層３の配置は、
これに限定されない。図１２（ａ）〜（ｃ）は、カラーフィルタにおける着色層の配置を
示す概略図である。上記実施形態１では、図１２（ａ）に示すように３色の着色層の配置
は、ストライプ方式であったが、例えば、同図（ｂ）に示すように同色の着色層が斜めに
配置されたモザイク方式や、同図（ｃ）に示すように、３色の着色層が三角形の頂点の位
置に配置されたデルタ方式においても、上記実施形態１のカラーフィルタの製造方法を適
用することができる。
また、着色層は、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色に限定されず、Ｒ、Ｇ、Ｂ以外の他の色を加えた多
色の場合にも適用することができる。
【０１０３】
（変形例４）上記実施形態２の有機ＥＬ装置６００において、有機ＥＬ素子としての発
光素子部６０３の構成は、これに限定されない。例えば、発光層形成領域Ａには、赤色や
白色など単色の発光が得られる機能層６１７を形成してもよい。これによれば、有機ＥＬ
装置６００を照明装置として用いることもできる。
また、白色発光させた場合には、封止基板６２０側にカラーフィルタ２を配置すること
によって、フルカラー表示が可能なトップエミッション型の有機ＥＬ装置６００を提供す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は液滴吐出ヘッドを示す斜視図、（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図。
【図３】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】（ａ）はカラーフィルタの構成を示す概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ'線で切った断面図。
【図６】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は、カラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図８】（ａ）および（ｂ）は液状体の吐出方法を説明する概略図。
【図９】走査における移動量と補正量との関係を示すグラフ。
【図１０】有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１１】（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１２】（ａ）〜（ｃ）はカラーフィルタにおける着色層の配置を示す概略図。
【符号の説明】
【０１０５】
１…基板、２…カラーフィルタ、３…着色層、３ｒ，３ｇ，３ｂ…膜形成領域、４…隔
壁部、５…ステージ、１０…液滴吐出装置、１３…位置検出部としてのワーク撮像部、２
０…移動機構としてのワーク移動機構、４０…制御部、５２…ノズル、６０１…基板とし
ての素子基板、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７…機能層、６１７Ｒ，
６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…膜形成領域としての発光層形成領域、Ｄ…液滴、Ｐ…
基板としてのマザー基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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