(57)【要約】【課題】基板に塗布された塗布溶液の膜厚に応じて塗布条件を動的に変更して、設定された膜厚の溶液を迅速かつ確実に塗布することができるスリットコート式塗布装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】基板１と塗布ヘッド３０とを所定の相対速度で移動させる移動手段１１０と、基板と塗布ヘッドとの基板・塗布ヘッド間距離を調整する距離調整手段１２０と、基板の表面に塗布された液体（塗布溶液２）の膜厚を測定する膜厚測定手段１３０と、液体を所定の膜厚で塗布するための相対速度及び基板・塗布ヘッド間距離を含む塗布条件データ１４１が所定の膜厚ごとに格納されている塗布条件データベース１４０と、膜厚測定手段により測定される液体の膜厚に基づいて、液体の膜厚が設定された膜厚になるような塗布条件データを塗布条件データベースから抽出すると共に、その抽出された塗布条件データに基づいて、ヘッド移動手段とヘッド距離調整手段とを制御する制御部１５０とを具備する。【選択図】図１
2009034568.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の塗布面に対して、所定の液体を塗布ヘッドに設けられたスリット状のノズル開口から突出させ、前記液体を前記基板に接触させた状態で前記基板と前記塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで、設定された膜厚の前記液体を前記基板に塗布するスリットコート式塗布装置であって、前記基板と前記塗布ヘッドとを所定の相対速度で移動させる移動手段と、前記基板と前記塗布ヘッドとの基板・塗布ヘッド間距離を調整する距離調整手段と、前記基板に塗布された前記液体の膜厚を測定する膜厚測定手段と、前記液体を所定の膜厚で塗布するための前記相対速度及び前記基板・塗布ヘッド間距離を含む塗布条件データが前記所定の膜厚ごとに格納されている塗布条件データベースと、少なくとも前記膜厚測定手段により測定される前記液体の膜厚に基づいて、前記液体の膜厚を設定された膜厚とする前記塗布条件データを前記塗布条件データベースから抽出すると共に、その抽出された塗布条件データに基づいて、前記ヘッド移動手段と前記ヘッド距離調整手段とを制御する制御部とを具備することを特徴とするスリットコート式塗布装置。
【請求項２】
前記塗布条件データの前記相対速度及び前記基板・塗布ヘッド間距離は、前記相対速度が大きくなるにつれて前記基板に塗布される前記液体の膜厚が厚くなるという正の相関関係と、前記基板・塗布ヘッド間距離が大きくなるにつれて前記基板に塗布される前記液体の膜厚が薄くなるという負の相関関係とに基づいて算出されていることを特徴とする請求項１に記載のスリットコート式塗布装置。
【請求項３】
前記塗布ヘッドに接続され、前記塗布ヘッドに供給される前記液体が貯留されている液体貯留部に、前記液体の粘度を測定する粘度測定手段と前記液体を攪拌する攪拌手段とを設けると共に、前記液体貯留部に前記液体を構成する液体成分を供給する液体成分供給手段とを設け、前記制御部は、前記粘度測定手段により測定された前記液体貯留部内の前記液体の粘度が所定の粘度より高い場合に、その粘度が前記所定の粘度となるように前記液体成分供給手段から前記液体成分を供給するように制御することを特徴とする請求項１又は２に記載のスリットコート式塗布装置。
【請求項４】
前記液体の粘度を測定する粘度測定手段を設け、前記塗布条件データの前記相対速度及び前記基板・塗布ヘッド間距離は、前記相対速度が大きくなるにつれて前記基板に塗布される前記液体の膜厚が厚くなるという正の相関関係と、前記基板・塗布ヘッド間距離が大きくなるにつれて前記基板に塗布される前記液体の膜厚が薄くなるという負の相関関係と、前記液体の粘度が大きくなるにつれて前記基板に塗布される前記液体の膜厚が厚くなるという正の相関関係と基づいて算出され、前記制御部は、前記粘度測定手段により測定された前記液体の粘度と、前記膜厚測定手段により測定される前記液体の膜厚とに基づいて、前記液体の膜厚を設定された膜厚とする前記塗布条件データを前記塗布条件データベースから抽出すると共に、その抽出された塗布条件データに基づいて前記ヘッド移動手段と前記ヘッド距離調整手段とを制御することを特徴とする請求項１に記載のスリットコート式塗布装置。
【請求項５】
前記塗布条件データは、前記液体が塗布される前記基板の厚みをさらに含み、且つ２階層構造をなしており、第１階層は前記基板の厚みで分類され、第２階層は前記第１階層で分類されたものが前記液体の膜厚でさらに分類されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載のスリットコート式塗布装置。
【請求項６】
基板の塗布面に対して、所定の液体を塗布ヘッドに設けられたスリット状のノズル開口から突出させ、前記液体を前記基板に接触させた状態で前記基板と前記塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで、設定された膜厚の前記液体を前記基板に塗布するスリットコート式塗布装置の制御方法であって、少なくとも前記基板に塗布された前記液体の膜厚に基づいて、前記液体を所定の膜厚で塗布するための前記基板と前記塗布ヘッドとの相対速度及び前記基板と前記塗布ヘッドとの間の基板・塗布ヘッド間距離を含んで所定の膜厚ごとに求められていた塗布条件データの中から、前記液体を設定された膜厚で塗布するための前記相対速度及び前記基板・塗布ヘッド間距離を含む塗布条件データを抽出すると共に、その抽出された塗布条件データに基づいて、前記相対速度と前記基板・塗布ヘッド間距離とを調整して、前記液体を所定の膜厚で塗布するようにすることを特徴とするスリットコート式塗布装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スリット状のノズルの先端から所定の溶液を吐出して基板などの表面に溶液を均一に塗布するスリットコート式塗布装置及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハやガラス基板等の基板にレジスト材料や絶縁材料などの所定の溶液（溶剤）を塗布する塗布装置としては、例えば、スピンコート装置やスリットコート式塗布装置などが挙げられる。
【０００３】
スピンコート装置とは、回転する基板の中心付近上部より溶液を滴下して、遠心力により基板上の溶液を外周方向に伸展させて基板などの表面に溶液を均一に塗布するというものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
一方、スリットコート式塗布装置とはスリット状のノズルの先端から所定の溶液を吐出して基板などの表面に溶液を均一に塗布するというものである（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１３６５７３号公報
【特許文献２】特開平６−３４３９０８号公報（第２〜４頁、第１〜２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したようなスピンコート式装置では、溶液の粘度が一定であれば、基板の回転速度を制御することでしか基板上に塗布される溶液の膜厚を変更することはできない。したがって、基板上の所定の領域にのみ溶液を塗布したり、基板上の所定の領域に塗布される溶液の膜厚のみを変更するということができないという問題があった。
【０００７】
一方、スリットコート式塗布装置では、基板とノズルが形成された塗布ヘッドとの相対速度などの塗布条件を制御することにより、基板上の所定の領域に塗布される溶液の膜厚のみを変更することはできるが、一度塗布条件が設定されると、その塗布条件のまま塗膜処理が継続されていた。したがって、たとえ所定の膜厚の溶液を塗布することができる塗布条件が設定されたとしても、溶液の劣化による粘度の変化や塗布工程での環境（特に気圧）の変化などによって基板に塗布される溶液の膜厚が微妙に変化してしまい、実際には所定の膜厚で溶液を塗布することができないという問題があった。特に、近年、基板に形成されるパターン構造の微細化、複雑化の進展に伴って、許容できる溶液の膜厚誤差も小さくなってきており、上記問題がより大きくなってきている。
【０００８】
また、塗布される溶液を粘度の異なる新たな溶液に変更する場合にも同様の問題が生じてしまうため、溶液を変更するごとに条件を設定し直さなければならず、その設定が煩雑であり、時間がかかってしまうという問題があった。
【０００９】
本発明は、上述した事情に鑑み、基板に塗布された塗布溶液の膜厚に応じて塗布条件を動的に変更して、設定された膜厚の溶液を迅速かつ確実に塗布することができるスリットコート式塗布装置及びその制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の態様は、基板の塗布面に対して、所定の液体を塗布ヘッドに設けられたスリット状のノズル開口から突出させ、前記液体を前記基板に接触させた状態で前記基板と前記塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで、設定された膜厚の前記液体を前記基板に塗布するスリットコート式塗布装置であって、前記基板と前記塗布ヘッドとを所定の相対速度で移動させる移動手段と、前記基板と前記塗布ヘッドとの基板・塗布ヘッド間距離を調整する距離調整手段と、前記基板に塗布された前記液体の膜厚を測定する膜厚測定手段と、前記液体を所定の膜厚で塗布するための前記相対速度及び前記基板・塗布ヘッド間距離を含む塗布条件データが前記所定の膜厚ごとに格納されている塗布条件データベースと、少なくとも前記膜厚測定手段により測定される前記液体の膜厚に基づいて、前記液体の膜厚を設定された膜厚とする前記塗布条件データを前記塗布条件データベースから抽出すると共に、その抽出された塗布条件データに基づいて、前記ヘッド移動手段と前記ヘッド距離調整手段とを制御する制御部とを具備することを特徴とするスリットコート式塗布装置にある。
かかる態様では、塗布された液体の膜厚に基づいて、塗布される液体の膜厚が設定された膜厚となるように移動手段と距離調整手段とを動的に制御することができるので、設定された膜厚の液体を迅速かつ確実に塗布することができる。
【００１１】
ここで、前記塗布条件データの前記相対速度及び前記基板・塗布ヘッド間距離は、前記相対速度が大きくなるにつれて前記基板に塗布される前記液体の膜厚が厚くなるという正の相関関係と、前記基板・塗布ヘッド間距離が大きくなるにつれて前記基板に塗布される前記液体の膜厚が薄くなるという負の相関関係とに基づいて算出されていることが好ましい。これによれば、実際に実験を行うことなく、各膜厚に対する相対速度及び基板・塗布ヘッド間距離を取得することができる。
【００１２】
また、前記塗布ヘッドに接続され、前記塗布ヘッドに供給される前記液体が貯留されている液体貯留部に、前記液体の粘度を測定する粘度測定手段と前記液体を攪拌する攪拌手段とを設けると共に、前記液体貯留部に前記液体を構成する液体成分を供給する液体成分供給手段とを設け、前記制御部は、前記粘度測定手段により測定された前記液体貯留部内の液体の粘度が所定の粘度より高い場合に、その粘度が前記所定の粘度となるように前記液体成分供給手段から前記液体成分を供給するように制御することが好ましい。これによれば、所定の粘度の液体を塗布ヘッドに供給することができるので、液体の粘度が変化した場合であっても、容易に所定の膜厚の液体を塗布することができる。
【００１３】
また、前記液体の粘度を測定する粘度測定手段を設け、前記塗布条件データの前記相対速度及び前記基板・塗布ヘッド間距離は、前記相対速度が大きくなるにつれて前記基板に塗布される前記液体の膜厚が厚くなるという正の相関関係と、前記基板・塗布ヘッド間距離が大きくなるにつれて前記基板に塗布される前記液体の膜厚が薄くなるという負の相関関係と、前記液体の粘度が大きくなるにつれて前記基板に塗布される前記液体の膜厚が厚くなるという正の相関関係と基づいて算出され、前記制御部は、前記粘度測定手段により測定された前記液体の粘度と、前記膜厚測定手段により測定される前記液体の膜厚とに基づいて、前記液体の膜厚が設定された膜厚になるような前記塗布条件データを前記塗布条件データベースから抽出すると共に、その抽出された塗布条件データに基づいて前記ヘッド移動手段と前記ヘッド距離調整手段とを制御することが好ましい。これによれば、液体の粘度をも考慮した塗布条件データに基づいて相対速度及び基板・塗布ヘッド間距離を制御することができるので、その液体の粘度が変化した場合であっても所定の膜厚の液体を塗布することができる。
【００１４】
また、前記塗布条件データは、前記液体が塗布される前記基板の厚みをさらに含み、且つ２階層構造をなしており、第１階層は前記基板の厚みで分類され、第２階層は前記第１階層で分類されたものが前記液体の膜厚でさらに分類されていることが好ましい。これによれば、液体の膜厚に応じて検索・選択すべき塗布条件データの範囲を狭めることができ、適切な塗布条件データを容易に選択することができることになる。その結果、効率的にスリットコート式塗布装置を制御することができる。
【００１５】
本発明の他の態様は、基板の塗布面に対して、所定の液体を塗布ヘッドに設けられたスリット状のノズル開口から突出させ、前記液体を前記基板に接触させた状態で前記基板と前記塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで、設定された膜厚の前記液体を前記基板に塗布するスリットコート式塗布装置の制御方法であって、少なくとも前記基板に塗布された前記液体の膜厚に基づいて、前記液体を所定の膜厚で塗布するための前記基板と前記塗布ヘッドとの相対速度及び前記基板と前記塗布ヘッドとの間の基板・塗布ヘッド間距離を含んで所定の膜厚ごとに求められていた塗布条件データの中から、前記液体を設定された膜厚で塗布するための前記相対速度及び前記基板・塗布ヘッド間距離を含む塗布条件データを抽出すると共に、その抽出された塗布条件データに基づいて、前記相対速度と前記基板・塗布ヘッド間距離とを調整して、前記液体を所定の膜厚で塗布するようにすることを特徴とするスリットコート式塗布装置の制御方法にある。
かかる態様によれば、塗布された液体の膜厚に基づいて、塗布される液体の膜厚が設定された膜厚となるように移動手段と距離調整手段とを動的に制御することができるので、設定された膜厚の液体を迅速かつ確実に塗布することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は本発明の実施形態１に係る液体吐出装置の一例であるスリットコート式塗布装置の概略構成を示す斜視図であり、図２はスリットコート式塗布装置の要部断面図であり、図３はスリットコート式塗布装置の一部拡大断面図である。同図に示すように、スリットコート式塗布装置１０は、シリコンウェハ、半導体基板等の基板１が下方に保持される保持テーブル２０と、保持テーブル２０の基板１側に設けられる塗布ヘッド３０とを具備している。
【００１７】
保持テーブル２０は移動手段１１０によって基板１の面方向に沿って直線移動自在に支持されており、塗布ヘッド３０に対して基板１を所定の移動速度で移動させることができるようになっている。この移動手段１１０は、保持テーブル２０を水平方向に移動させることができるものであれば特に限定されず、例えば駆動モータ等を用いて構成されていてもよい。なお、この保持テーブル２０による基板１の保持方法は、特に限定されず、例えば、真空ポンプ等の吸引による方法が挙げられる。
【００１８】
塗布ヘッド３０は、鉛直方向上側に向かって開口し、液体貯留部４０から供給された塗布溶液２を流出するスリット状のノズル開口３１と、このノズル開口３１に連通する液体流路３２とを有しており、液体供給管５０を介して液体貯留部４０に固定されている。
【００１９】
液体貯留部４０は、底面の中央部に開口部４１が設けられた貯留タンクからなっており、その内部に塗布溶液２が貯留されている。そして、この液体貯留部４０は、側方に配置された距離調整手段１２０によって鉛直方向に移動自在に支持されている。
【００２０】
距離調整手段１２０は、図示しない装置本体の底面から鉛直方向上側に向かって設けられた棒状部材１２１と、棒状部材１２１に棒状部材１２１に沿って鉛直方向に移動自在に取付けられた可動部１２２とからなっており、棒状部材１２１に対する可動部１２２の位置を変更することによって液体貯留部４０の位置（高さ）を変更することができるようになっている。すなわち、距離調整手段１２０は、図示しない駆動モータ等の駆動手段により、液体貯留部４０の位置を変更することによって、基板１と塗布ヘッド３０との基板・塗布ヘッド間距離を調整することができる。なお、距離調整手段１２０は、液体貯留部４０と共に液体供給管５０及び塗布ヘッド３０を鉛直方向に移動させることができるものであれば特に限定されない。
【００２１】
一方、保持テーブル２０の下方に保持される基板１の側方には、基板１に塗布された塗布溶液２の膜厚を測定する膜厚測定手段１３０が設けられている。膜厚測定手段１３０としては、例えば非接触膜厚センサなどが挙げられる。このような膜厚測定手段１３０は、上述した移動手段１１０及び距離調整手段１２０と共に、制御部１５０に接続されている。
【００２２】
制御部１５０は、さらに塗布条件データベース１４０に接続されており、詳細は後述するが、膜厚測定手段１３０により測定された塗布溶液２の膜厚に応じて、移動手段１１０及び距離調整手段１２０を制御することができ、結果として基板１と塗布ヘッド３０との移動速度Ｖと、基板１と塗布ヘッド３０との基板・塗布ヘッド間距離Ｇとを制御することができるようになっている。制御部１５０としては、このような機能を有するものであれば特に限定されず、一般的なパーソナルコンピュータであってもよいし、専用計算機であってもよい。ここで、図３に示すように、移動速度ＶはＡ方向における基板１と塗布ヘッド３０との相対速度を示し、基板・塗布ヘッド間距離Ｇは基板１の下面と塗布ヘッド３０のノズル開口３１との間の鉛直方向の距離を示す。
【００２３】
塗布条件データベース１４０には、塗布溶液２を所定の膜厚で塗布するための基板１の厚みＴ、移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇからなる塗布条件データ１４１が塗布溶液２の膜厚ごとに格納されている。すなわち、塗布条件データベース１４０には、塗布溶液２の膜厚ごとに、その膜厚の塗布溶液２を基板１に塗布できるようにスリットコート式塗布装置１０を制御する際に必要となる基板１の厚みＴ、移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇからなる塗布条件データ１４１が格納されている。ここで、図３に示すように、基板１の厚みＴは基板１の厚さ方向の幅を示す。
【００２４】
本実施形態では、塗布条件データ１４１は２つの階層に階層化された形式で塗布条件データベース１４０に格納されており、第１階層は基板の厚みＴで分類され、第２階層は第１階層で分類されたものが塗布溶液２の膜厚でさらに分類されている。すなわち、塗布条件データ１４１は、まず基板１の厚みＴで分類され、その後塗布溶液２の膜厚で分類・整理されていることになる。塗布条件データ１４１をこのような２つの階層に階層化された形式で塗布条件データベース１４０に格納することにより、適切な塗布条件データ１４１を容易に選択することができる。すなわち、基板１の厚みＴは通常変化しないことから、基板の厚みＴが決定されると、基板１に塗布された塗布溶液２の膜厚に応じた適切な塗布条件データ１４１を第１階層まで戻って検索・選択することなく、その基板１の厚みＴに対応する第２階層の中だけで適切な塗布条件データ１４１を検索・選択すればよいことになる。言い換えると、塗布条件データ１４１を上述した形式にすることにより、塗布溶液２の膜厚に応じて検索・選択すべき塗布条件データ１４１の範囲を狭めることができ、適切な塗布条件データ１４１を容易に選択することができることになる。その結果、効率的にスリットコート式塗布装置１０を制御することができる。なお、上述したように、基板１の厚さは通常変化しないので、その厚さを一度測定しておけばよく、塗布処理中、常に測定する必要はない。
【００２５】
なお、塗布溶液２の各膜厚に対する移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇは、実際に実験を行って求めてもよいし、塗布溶液２の膜厚とこれらの値とを関係付ける経験式を求め、その式を用いて算出するようにしてもよい。具体的には、図４及び図５に示すように、移動速度Ｖと塗布溶液２の膜厚との間には正の相関関係があり、基板・塗布ヘッド間距離Ｇと塗布溶液２の膜厚との間には負の相関関係があるので、これらの関係を組み合わせて塗布溶液２の膜厚と移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇとを関係付ける経験式を求め、その式を用いて各膜厚に対する移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇを求める。ここで、各膜厚に対する移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇを求める場合には、移動速度Ｖの方が基板・塗布ヘッド間距離Ｇよりも膜厚に対する影響が大きいので、移動速度Ｖを決定した後、基板・塗布ヘッド間距離Ｇ決定するようにした方が好ましい。
【００２６】
そして、このように構成されるスリットコート式塗布装置１０では、液体貯留部４０から液体供給管５０を介して塗布ヘッド３０に塗布溶液２が供給されると、液体流路３２内の塗布溶液２が毛細管現象によってノズル開口３１の先端まで上昇する。これにより、スリット状のノズル開口３１には、塗布溶液２が全体に均一に充填されるようになっている。そして、この状態から距離調整手段１２０を用いて塗布ヘッド３０を上昇させてノズル開口３１から突出した塗布溶液２を基板１の表面に接触させ、この状態で、移動手段１１０を用いて保持テーブル２０と塗布ヘッド３０とを基板１の面方向において相対的に移動させる。例えば、本実施形態では、塗布ヘッド３０を固定して保持テーブル２０を基板１の面方向（Ａ方向）に直線移動させることで、これら塗布ヘッド３０と保持テーブル２０とを相対的に移動させている。これにより、ノズル開口３１から塗布溶液２が連続的に流出し、基板１の表面に塗布溶液２が均一な厚さで塗布される。
【００２７】
次に、スリットコート式塗布装置１０の動作について説明する。図６は、本実施形態に係るスリットコート式塗布装置の動作を示すフローチャートである。
【００２８】
まず、基板１の厚みＴを入力し、上述した第２階層に属する塗布条件データ１４１の何れを用いるが決定される（Ｓ１）。
【００２９】
基板１に塗布溶液２が塗布されると、膜厚測定手段１３０によりその塗布溶液２の膜厚ｄが測定され（Ｓ２）、制御部１５０に送信される。
【００３０】
次に、制御部１５０によって、膜厚ｄが設定した塗布溶液２の膜厚Ｄに等しいか否かが判断される（Ｓ３）。そして、膜厚ｄが所定の膜厚Ｄに等しい場合には塗布処理がそのまま継続される（Ｓ６）。
【００３１】
一方、膜厚ｄが膜厚Ｄと異なる場合には、膜厚Ｄに対応する塗布条件データ１４１が塗布条件データベース１４０から抽出される（Ｓ４）。具体的には、たとえば膜厚ｄと膜厚ｄの液体を塗布した際に用いられた移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇとの関係から、膜厚Ｄで塗布溶液２を塗布するための新たな移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇを抽出することができる。その後、その塗布条件データ１４１に従って、移動手段１１０及び距離調整手段１２０が動的（リアルタイム）に制御され（Ｓ５）、塗布処理が継続される（Ｓ６）。そして、塗布処理が終了するまで、これらの動作が繰り返される。
【００３２】
以上、説明したように、本実施形態に係るスリットコート式塗布装置１０によれば、基板１に塗布された塗布溶液２の膜厚に応じて、移動手段１１０及び距離調整手段１２０を動的（リアルタイム）に制御して、所定の膜厚の塗布溶液２を基板１に塗布することができる。
【００３３】
（実施形態２）
本実施形態では、液体貯留部４０に、塗布溶液２の液体成分（溶媒など）を供給する液体成分供給手段と、液体貯留部４０内の塗布溶液の粘度を測定する粘度測定手段と、液体貯留部４０内の塗布溶液２を攪拌するマグネチックスターラや攪拌翼などの攪拌手段とを取付け、液体貯留部４０内の塗布溶液２中の液体成分が揮発などして粘度が所定の値よりも高くなった際に、液体成分供給部から液体成分を供給すると共に、液体貯留部４０内の塗布溶液２を強制的に攪拌させて塗布溶液２の粘度が所定の粘度になるように塗布溶液２の粘度を調整する。
【００３４】
例えば、図７に示すように、液体貯留部４０に、攪拌翼４５及び粘度センサ４６を取付けると共に、供給路８１を介して塗布溶液２の液体成分３が貯留されている液体成分貯留部８０を取付ける。この供給路８１には制御弁８５が設けられている。これらの攪拌翼４５、粘度センサ４６及び制御弁８５は上述した制御部１５０にそれぞれ接続されており、液体貯留部４０内の塗布溶液２の粘度が所定の粘度より高くなった際には、制御部１５０によって、液体貯留部４０内の塗布溶液２を攪拌しつつ、塗布溶液２の粘度が所定の粘度になるように液体成分３を供給するように制御される。なお、その他の構成要素及びその動作は実施形態１と同様であるので、同符号を付して説明を省略する。
【００３５】
このようにスリットコート式塗布装置を構成して駆動させることにより、所定の粘度の塗布溶液２を塗布ヘッド３０に供給することができるので、塗布溶液２の粘度が変化した場合であっても、容易に所定の膜厚の塗布溶液２を塗布することができる。
【００３６】
（実施形態３）
実施形態１では、液体貯留部４０内の塗布溶液２の粘度が変化した場合を考慮することはできないが、本実施形態では、実施形態２で説明したように液体貯留部４０内に粘度センサを設けると共に、塗布溶液２の粘度をも考慮した塗布条件データ１４１を用いることによって、液体貯留部４０内の塗布溶液２の粘度が変化した場合であっても、所定の膜厚の塗布溶液２を基板１に塗布することができる。
【００３７】
塗布溶液２の粘度が変化した場合における塗布溶液２の各膜厚に対する移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇは、実際に実験を行って求めてもよいし、塗布溶液２の粘度に応じた各膜厚とこれらの値とを関係付ける経験式を求め、その式を用いて算出するようにしてもよい。具体的には、図８に示すように、塗布溶液２の粘度と塗布溶液２の膜厚との間には正の相関関係があるので、この関係、上述した移動速度Ｖと塗布溶液２の膜厚との関係、及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇと塗布溶液２の膜厚との関係を組み合わせて、塗布溶液２の粘度に応じた各膜厚と、移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇとを関係付ける経験式を求め、それらの式を用いて塗布溶液２の粘度に応じた各膜厚に対する移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇを求めるようにしてもよい。
【００３８】
そして、このようにして得られた塗布条件データ１４１に基づいて移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇを制御することにより、液体貯留部４０内の塗布溶液２の粘度が変化した場合であっても所定の膜厚の塗布溶液２を基板１に塗布することができる。
【００３９】
（他の実施形態）
上述した実施形態では、塗布条件データ１４１の移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇは、移動速度Ｖと塗布溶液２の膜厚との関係、基板・塗布ヘッド間距離Ｇと塗布溶液２の膜厚との関係、さらには塗布溶液２の粘度と塗布溶液２の膜厚との関係を考慮して算出するようにしたが、これらの関係の他に、たとえば気圧と膜厚との関係などをさらに考慮して算出するようにしてもよい。他の関係を考慮した移動速度Ｖ及び基板・塗布ヘッド間距離Ｇを算出することにより、より正確に所定の膜厚の塗布溶液２を基板１に塗布することができる。なお、このような場合には、たとえば気圧計などを設けると共にその気圧計を制御部１５０に接続し、気圧計により計測された気圧を考慮して動作できるようにスリットコート式塗布装置１０を構成する必要がある。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施形態１に係る塗布装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る塗布装置の要部断面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る塗布装置の一部拡大断面図である。
【図４】移動速度Ｖと膜厚との関係を示すグラフである。
【図５】基板・塗布ヘッド間距離Ｇと膜厚との関係を示すグラフである。
【図６】本発明の実施形態１に係る塗布装置の動作を示すフローチャートである。
【図７】本発明の実施形態２に係る塗布装置の要部断面図である。
【図８】塗布溶液の粘度と膜厚との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４１】
１  基板、  １０  スリットコート式塗布装置、  ２０  保持テーブル、  ３０  塗布ヘッド、  ３１  ノズル開口、  ３２  液体流路、  ４０  液体貯留部、  ４５  攪拌翼、  ４６  粘度センサ、  ５０  液体供給管、  ８０  液体成分貯留部、  ８１  供給路  ８５  制御弁、  １１０  移動手段、  １２０  距離調整手段、  １２１  棒状部材、  １２２  可動部、  １３０  膜厚測定手段、  １４０  塗布条件データベース、  １４１  塗布条件データ、  １５０  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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