(57)【要約】【課題】対物レンズにおいて、一部のレンズのみが交換を要する際に、交換を要するレンズを格納するユニットのみを、簡便な操作で交換可能とする。【解決手段】対物レンズ１００は、出射光側ユニット２００と、入射光側ユニット３００とから構成され、ユニットどうしが嵌合するための、嵌合部２０１ｂと３０１ｂとを備える。ユニットに格納されるレンズは、各々が格納されているユニットと嵌合する、相手側のユニットに形成される嵌合部の中心軸に合わせて、心だし調整がなされている。【選択図】  図２
2009053340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレンズを鏡筒に格納してなる対物レンズであって、
それぞれレンズを格納し、かつ互いに光軸方向に連結可能に構成された、第１の鏡筒と第２の鏡筒とを有し、
前記第１の鏡筒に格納されているレンズは、
前記第２の鏡筒の前記第１の鏡筒との連結部分を基準として心だしがなされている
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項２】
請求項１に記載の対物レンズであって、
前記第１の鏡筒と前記第２の鏡筒とは、
前記第１の鏡筒の内周面と前記第２の鏡筒の外周面とが嵌合することにより光軸方向に連結し、
前記第１の鏡筒に格納されているレンズは、
前記第２の鏡筒の外周面で構成される連結部分の中心軸を基準として心だしがなされている
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項３】
請求項１に記載の対物レンズであって、
前記第１の鏡筒と前記第２の鏡筒とは、
前記第１の鏡筒の外周面と前記第２の鏡筒の内周面とが嵌合することにより光軸方向に連結し、
前記第１の鏡筒に格納されているレンズは、
前記第２の鏡筒の内周面で構成される連結部分の中心軸を基準として心だしがなされている
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の対物レンズであって、
前記連結手段は、ねじによる螺合である
ことを特徴とする対物レンズ。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の対物レンズであって、
レーザ加工装置において用いられる
ことを特徴とする、対物レンズ。
【請求項６】
請求項１から４のいずれか１項に記載の対物レンズであって、
顕微鏡装置において用いられる
ことを特徴とする、対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工装置又は、顕微鏡装置に用いられる対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体装置や液晶表示装置等の製造品に欠陥が検出されると、欠陥部にレーザ光を照射し、欠陥を修正するリペア処理が行われてきた。リペア処理にはレーザリペア装置が使用され、これはレーザ発振装置がレーザ光を出射し、被加工対象物の欠陥部にレーザ光を集光することで、欠陥を修復するものである。
【０００３】
レーザリペア装置では、出射光は光学系の対物レンズに備えられる複数のレンズを経て、被加工物に集光される。つまり、レーザの光路としては、光源であるレーザ発振器から対物レンズへ入射し、対物レンズの被加工物側先端から出射することとなる。対物レンズ内を透過する光は、レンズ群のレンズを１つ透過するごとに、エネルギーの一部がレンズに吸収されて徐々に減衰する。従って、それぞれのレンズを透過する入射光のエネルギー強度は、最も入射光側に配置されるレンズで最大となり、逆に最も出射光側に配置されるレンズでは最小となる。
【０００４】
さらに、出射光側のレンズは光束を広げるためにレンズ径の大きなものが用いられ、逆に入射光側のレンズは径の小さいものが用いられる傾向にある。従って、強いエネルギーの光を狭い面積で受ける入射光側のレンズは、出射光側のレンズよりも損傷が激しく、他のレンズに比べて交換を要する頻度が高くなる。また一方で、出射光側先端のレンズについても、加工時に発生する金属片等の飛沫によって焼け付き等が発生し、透過率が低下して交換を必要とする場合がある。
【０００５】
これら光学部品の損傷を軽減するために、光束の収束点を、レンズの配置によって移動させ、光学系を通過するレーザ光束径を大きくすることで、エネルギー密度の集中を回避する方法が提案されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平８−１４１７７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１は光束の収束点を移動させ、エネルギー密度の集中を回避する技術であり、光学部品の損傷を軽減したとしても、劣化を防止することはできない。従って、使用によってダメージが蓄積すれば光学性能は劣化するため、最終的には対物レンズを新しい物に交換しなければならない。
【０００８】
しかしながら、損傷の激しい一部のレンズのみを新しいものに交換するためには、対物レンズの分解や組み立て、光学調整等、専門的技術を要する煩雑な作業が必要となる。従って、通常交換の際には、対物レンズごと全てのレンズが新しいものに取替えられ、使用可能なレンズまで同時に交換するしかなかった。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、対物レンズの備える一部のレンズが損傷・劣化して交換を要する場合に、交換を要するレンズを含むユニットのみを、簡便な作業で交換することが可能であり、交換後も特別な調整を必要としない、光学心精度の良い対物レンズを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための請求項１記載の発明は、複数のレンズを鏡筒に格納してなる対物レンズであって、それぞれレンズを格納し、かつ互いに光軸方向に連結可能に構成された第１の鏡筒と第２の鏡筒とを有し、前記第１の鏡筒に格納されているレンズは、前記第２の鏡筒の前記第１の鏡筒との連結部分を基準として心だしがなされていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の対物レンズであって、前記第１の鏡筒と前記第２の鏡筒とは、前記第１の鏡筒の内周面と前記第２の鏡筒の外周面とが嵌合することにより光軸方向に連結し、前記第１の鏡筒に格納されているレンズは、前記第２の鏡筒の外周面で構成される連結部分の中心軸を基準として心だしがなされていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項１に記載の対物レンズであって、前記第１の鏡筒と前記第２の鏡筒とは、前記第１の鏡筒の外周面と前記第２の鏡筒の内周面とが嵌合することにより光軸方向に連結し、前記第１の鏡筒に格納されているレンズは、前記第２の鏡筒の内周面で構成される連結部分の中心軸を基準として心だしがなされていることを特徴とする。
【００１３】
請求項４記載の発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載の対物レンズにおいて、前記連結手段は、ねじによる螺合であることを特徴とする。
【００１４】
請求項５記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載の対物レンズにおいて、レーザ加工装置において用いられることを特徴とする。
【００１５】
請求項６記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載の対物レンズにおいて、顕微鏡装置において用いられることを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。まず、本発明を適用した第一の実施形態にかかる対物レンズについて説明する。
【００１７】
本発明の対物レンズ１００は、レーザ加工装置や顕微鏡装置等において用いられ、被加工物の加工又は試料観察のための器具であり、鏡筒内部に複数のレンズを備える。また、これらのレンズ群はレーザ波長及び顕微鏡観察波長領域を満足させるものである。
【００１８】
本発明に関わる対物レンズの構造の一例を図１、図２に示す。図１は本発明の第一の実施形態に係る対物レンズ１００の断面図、図２は対物レンズ１００を構成する出射光側ユニット２００と入射光側ユニット３００とを、分けて示した分解図である。
【００１９】
対物レンズ１００は、出射光側ユニット２００と入射光側ユニット３００とが、ねじ構造によって結合してなる。出射光側ユニット２００は、前群鏡筒２０１と、その内部に保持されるレンズ群５０１、５０２、５０３と、それぞれのレンズを保持するための保持枠２１０、２２０、２３０と、保持枠２１０、２２０、２３０を固定するための押え環２０２とを備える。入射光側ユニット３００は、後群鏡筒３０１と、その内部に保持されるレンズ群５０４、５０５と、それぞれのレンズを保持するための保持枠３４０、３５０と、保持枠３４０、３５０を固定するための押え環３０２とを備える。なお、入射光は、対物レンズ１００の入射光側開口Ｉから入射し、光軸Ｌに沿って矢示方向Ａへ進行し、出射光側開口Ｏより出射される。すなわち、後群鏡筒３０１の入射光側開口Ｉ３から入射し、出射光側開口Ｏ３、前群鏡筒２０１の入射光側開口Ｉ２を経て、出射光側開口Ｏ２より出射される構成をとる。
【００２０】
図５（ａ）は、前群鏡筒２０１、後群鏡筒３０１の断面図である。前群鏡筒２０１、後群鏡筒３０１は、中空の円筒形状で、前群鏡筒２０１を外筒、後群鏡筒３０１を内筒として、お互いが嵌合し、ねじ構造によって連結可能に構成されている。前群鏡筒２０１は、内周面に押え環２０２と連結するための雌ねじ２０１ｆが形成されている。さらに、入射光側開口Ｉ２内縁には、後群鏡筒３０１と連結するための連結ねじ２０１ｃを備える。連結ねじ２０１ｃと、雄ねじ２０１ｆの間の内周面には、嵌合部２０１ｂが円柱状に形成されている。さらに、前群鏡筒２０１の出射光側開口Ｏ２には、光軸Ｌ方向へ向かって延出し、出射光側開口Ｏ２の円周を段階的に狭める段差部２０１ｇを備える内フランジ２０１ａが設けられている。
【００２１】
後群鏡筒３０１は、入射光側開口Ｉ３内縁に、押え環３０２と連結するための、雌ねじ３０１ｆが形成されている。さらに、後群鏡筒３０１の外周面に外方環状凸部３０１ｄが形成されており、外方環状凸部３０１ｄの出射光側開口Ｏ３側に隣接して、前群鏡筒の連結ねじ２０１ｃと連結する連結ねじ３０１ｃが設けられている。連結ねじ３０１ｃから、出射光側開口Ｏ３まで間の外周面には、嵌合部２０１ｂと嵌合する、嵌合部３０１ｂが円柱状に形成されている。さらに、出射光側開口Ｏ３には、光軸Ｌ方向へ向かって延出し、出射光側開口Ｏ３円周を狭める内フランジ３０１ａが設けられている。なお、入射光側開口Ｉ３外縁に、レーザ加工装置や顕微鏡装置等の本体（図示せず）に固定するためのレボねじ３０１ｅが形成されている。対物レンズ１００は、レボねじ３０１ｅを、レーザ加工装置や顕微鏡装置等の本体に形成される雌ねじに結合して、使用される。
【００２２】
前群鏡筒２０１、後群鏡筒３０１の材料としては、チタン、銅、亜鉛、ステンレススチール、アルミニウム等の金属や合金、セラミックス等の非金属無機材料を用いることができる。
【００２３】
上記嵌合部２０１ｂ、３０１ｂは、後に述べる心だし調整（centering；中心合わせ）において光学心精度を満足するために、ガタ無くぴったりと嵌合し、さらに、できるだけ嵌合の長さを長く形成されるのが望ましい。しかしながらその大きさは、内筒である後群鏡筒３０１が、外筒である前群鏡筒２０１に収容されるレンズや保持枠、押え環に接触しない範囲に制限される。
【００２４】
すなわち、本発明の対物レンズ１００では、連結ねじ２０１ｃと連結ねじ３０１ｃとが回転によって結合した際に、後群鏡筒３０１の出射光側開口Ｏ３と、押え環２０２とが接触しない程度のクリアランスＢ１を残して、嵌合部２０１ｂと嵌合部３０１ｂとが、ガタ無くぴったりと嵌合するよう構成されている（図６（ａ）参照）。
【００２５】
レンズ５０１〜５０５は、対物レンズ１００内に格納される円盤状のレンズ群であり、メニスカスレンズ５０１、５０４、５０５と、両凸レンズ５０２、５０３とで構成されている。レンズ５０１、５０２、５０３は前群鏡筒２０１に、レンズ５０４、５０５は、後群鏡筒に格納されている。
【００２６】
なお、これらのレンズ群は、透過する光の波長、屈折率等の条件から、形状、素材、数が必要に応じて適宜選択される。形状は凹レンズ、凸レンズ、メニスカスレンズ、非球面レンズ等としても良く、素材は例えば、ガラス、二酸化ケイ素結晶、フッ化物結晶、プラスチック等を用いることができる。
【００２７】
環状部材の保持枠２１０、２２０、２３０、３４０、３５０は、中心にレンズ５０１〜５０５がそれぞれ載置され、これらを接着、固定して保持する。保持枠２１０にはレンズ５０１が、保持枠２２０にはレンズ５０２が、保持枠２３０にはレンズ５０３が、それぞれ保持される。保持枠２１０、２２０、２３０の外周面は、前群鏡筒２０１に嵌合するように構成されている。保持枠２１０は、前群鏡筒２０１に形成される内フランジ２０１ａの段差部２０１ｇによって支持され、続いて保持枠２２０、２３０が、光軸Ｌに直列に格納される。
【００２８】
保持枠３４０にはレンズ５０４が、保持枠３５０にはレンズ５０５が保持される。保持枠３４０、３５０の外周面は、後群鏡筒３０１に勘合するよう構成されている。保持枠３４０は、内フランジ３０１ａによって支持され、続いて保持枠３５０が、光軸Ｌに直列に格納される。
【００２９】
押え環２０２は環状部材であり、外周面には前群鏡筒２０１の内周面に形成される雌ねじ２０１ｆに連結する雄ねじが形成されている。押え環２０２は、上記直列に配置された保持枠２１０、２２０、２３０に続いて、前群鏡筒２０１内に挿入される。雌ねじ２０１ｆに対する雄ねじの回転とともに、押え環２０２は入射光側開口Ｉ２方向から出射光側開口Ｏ２方向へと移動し、保持枠２１０、２２０、２３０を内フランジ２０１ａに押し付けて、前群鏡筒２０１内部でこれらが移動しないよう固定する。
【００３０】
押え環３０２についても同様に、外周面には後群鏡筒３０１の内周面に形成される雌ねじ３０１ｆに連結する雄ねじが形成されている。押え環３０２は、上記直列に配置された保持枠３４０、３５０に続いて、後群鏡筒３０１内に挿入される。雌ねじ３０１ｆに対する雄ねじの回転とともに、押え環３０２は入射光側開口Ｉ３方向から出射光側開口Ｏ３方向へと移動し、保持枠３４０、３５０を内フランジ３０１ａに押し付けて、後群鏡筒３０１内部でこれらが移動しないよう固定する。
【００３１】
次に、対物レンズ１００の心だし調整について説明する。
【００３２】
複数のレンズが鏡筒に格納される対物レンズ１００では、それぞれのレンズの偏心誤差が、光学性能に大きな影響を及ぼすため、レンズ群について、一定の光学心精度を満足するように構成されている必要がある。以下、２群構造である対物レンズ１００における光学心だし調整について説明する。
【００３３】
出射光側ユニット２００は、例えば、次のように組み立てられる。保持枠２１０、２２０、２３０に、それぞれ対応するレンズ５０１、５０２、５０３を載置し、接着剤を用いて接着、固定する。保持枠２１０、２２０、２３０と、押え環２０２とを、前群鏡筒２０１に入射光側開口Ｉ２からこの順で挿入し、押え環２０２によって、保持枠２１０、２２０、２３０を前群鏡筒２０１内に固定する。
【００３４】
出射光側ユニット２００の心だし調整は、出射光側ユニット２００の光軸を、後群鏡筒３０１の外周面に形成される嵌合部３０１ｂの中心軸に一致させるようにして行なわれる。前群鏡筒２０１は、側面に複数の調整用貫通孔（図示しない）を備え、ここへ棒状の調整器具を挿入して、偏心誤差のあるレンズを保持する保持枠に力を加えることで、ラジアル方向へ移動させることが可能な構成となっている。これを複数方向から行うことによって、レンズ５０１、５０２、５０３の光軸が、嵌合部３０１ｂの中心軸に一致する位置へ保持枠を移動させる。
【００３５】
入射光側ユニット３００は、例えば、次のように組み立てられる。保持枠３４０、３５０にそれぞれ対応するレンズ５０４、５０５を載置し、接着剤を用いて接着、固定する。保持枠３４０、３５０と、押え環３０２とを、後群鏡筒３０１に入射光側開口Ｉ３からこの順に挿入し、押え環３０２により、保持枠３４０、３５０後群鏡筒３０１内に固定する。
【００３６】
入射光側ユニット３００の心だし調整は、入射光側ユニット２００の光軸を、前群鏡筒２０１の外周面に形成される嵌合部２０１ｂの中心軸に一致させるようにして行なわれる。出射光側ユニット２００と同様に、前群鏡筒２０１は、側面に複数の調整用貫通孔（図示しない）を備え、ここへ棒状の調整器具を挿入して、偏心誤差のあるレンズを保持する保持枠に力を加えることで、ラジアル方向へ移動させて、レンズ５０４、５０５の光軸が、嵌合部２０１ｂの中心軸に一致する位置へ保持枠を移動させる。
【００３７】
このような心だし調整方法では、例えば、出射光側ユニット２００の心だしを行なう場合、嵌合部３０１ｂの中心軸で鏡筒を回転させる。すると、前群鏡筒２０１に格納されるレンズ群に偏心のある場合には、光軸Ｌが振れ回る。よって、光軸Ｌが静止するようにレンズ群の位置を調整することで、偏心誤差の補正をすることが可能である。
【００３８】
従って、対物レンズ１００においては、各々のユニットに備えられるレンズ群が、他方のユニットに形成される嵌合部の中心軸を基準として、心だし調整がなされている。ここで、嵌合部はガタ無く、ぴったりと勘合するように構成されているから、ユニット交換の際にも、偏心を引き起こさずにユニットどうしを組み合わせることが可能である。また、このような嵌合部の構成によれば、心だし調整の際に、他方のユニットの嵌合部ではなく、自ユニットの嵌合部の中心軸を基準として心だしをすることも可能である。もちろん、心だし調整法はこれに限られず、ユニットを組み合わせた際に光学心精度を満たすものであれば、他の方法を用いてもよい。
【００３９】
以上、本実施形態の対物レンズ１００によれば、収容されるレンズ群のうち、一部のレンズに損傷が見られる場合、損傷したレンズの属するユニットのみを交換することができる。すなわち、レンズに損傷の見られないユニットは継続して使用可能なため、経済的に対物レンズの機能を回復することができる。なお、他方の嵌合部の中心軸に合わせて心だし調整がなされているため、交換によって光学心精度の低下を招いたり、新たな調整が必要とされたりすることなく、簡便な操作で交換を要するレンズを含むユニットのみを取替えることが可能である。
【００４０】
次に、本発明を適用した第二の実施形態について説明する。図３は、本発明の第二の実施形態に係る対物レンズ６００の断面図、図４は、対物レンズ６００を構成する出射光側ユニット７００と、入射光側ユニット８００とを、分けて示した分解図である。
【００４１】
対物レンズ６００の構造は、基本的に対物レンズ１００と同様であり、出射光側ユニット７００と入射光側ユニット８００とが、ねじ構造によって結合してなる。出射光側ユニット７００は、前群鏡筒７０１と、その内部に保持されるレンズ５０１と、レンズを固定するための押え環７０２とを備える。入射光側ユニット８００は、後群鏡筒８０１と、その内部に保持されるレンズ群５０２、５０３、５０４、５０５と、レンズを保持するための保持枠８２０、８３０と、レンズを分離するための分離環８１０と、押え環８０２とを備える。なお、入射光は、後群鏡筒８０１の入射光側開口Ｉ８から入射し、出射光側開口Ｏ８、前群鏡筒７０１の入射光側開口Ｉ７を経て、出射光側開口Ｏ７より出射される。
【００４２】
図５（ｂ）は、前群鏡筒７０１、後群鏡筒８０１の断面図である。前群鏡筒７０１は、内周面に押え環７０２と連結するための雌ねじ７０１ｆが形成されている。さらに、入射光側開口Ｉ７内縁には、後群鏡筒８０１と連結するための連結ねじ７０１ｃを備える。連結ねじ７０１ｃと、雌ねじ７０１ｆの間の内周面には、嵌合部７０１ｂが円柱状に形成されている。さらに、前群鏡筒７０１の出射光側開口Ｏ７は、光軸Ｌ方向へ向かって延出し、出射光側開口Ｏ２円周を段階的に狭める段差部７０１ｇを備える内フランジ７０１ａが設けられている。内フランジ７０１ａは、段差部７０１ｇに嵌合するレンズ５０１を支持する。
【００４３】
後群鏡筒８０１は、外周面に外方環状凸部８０１ｄが形成されており、外方環状凸部８０１ｄの出射光側開口Ｏ８側に隣接して、前群鏡筒の連結ねじ７０１ｃと連結する連結ねじ８０１ｃが設けられている。さらに、出射光側開口Ｏ８外縁には、押え環８０２と結合するための雄ねじ８０１ｆを備える。連結ねじ８０１ｃから、雄ねじ８０１ｆまで間の外周面には、嵌合部７０１ｂと嵌合する、嵌合部８０１ｂが円柱状に形成されている。さらに、出射光側開口Ｏ８には、出射光側開口Ｏ８の円周を狭める段差部８０１ｇが形成されている。なお、入射光側開口Ｉ８外縁には、レーザ加工装置や顕微鏡装置等の本体（図示せず）に固定するためのレボねじ８０１ｅが形成されている。対物レンズ６００は、レボねじ８０１ｅを、レーザ加工装置や顕微鏡装置等の本体に形成される雌ねじに結合して、使用される。
本発明の対物レンズ６００では、連結ねじ７０１ｃと連結ねじ８０１ｃとが回転によって結合した際に、押え環７０２と、押え環８０２とが互いに接触しない程度のクリアランスＢ２を残して、嵌合部７０１ｂと嵌合部８０１ｂとが、ガタ無くぴったりと嵌合するよう構成されている（図６（ｂ）参照）。
【００４４】
環状部材の保持枠８２０、８３０は、中心にレンズ５０４、５０５がそれぞれ載置され、これらを接着、固定して保持する。保持枠８２０にはレンズ５０４が、保持枠８３０にはレンズ５０５が、それぞれ保持される。保持枠８２０、８３０の外周面は、後群鏡筒８０１に嵌合するよう構成されており、保持枠８３０は、段差部８０１ｇによって支持される。分離環８１０は後群鏡筒８０１に直接挿入されるレンズ５０３とレンズ５０２とを分離する。
【００４５】
押え環７０２は、外周面に前群鏡筒７０１の内周面に形成される雌ねじ７０１ｆに連結する雄ねじが形成されている。押え環７０２は、内フランジ７０１ａに支持されるレンズ５０１を、雌ねじ７０１ｆに対する雄ねじの回転によって入射光側開口Ｉ７方向から出射光側開口Ｏ７方向へと移動し、固定する。
【００４６】
押え環８０２は、内周面に出射光側開口Ｏ８外縁に形成される雄ねじ８０１ｆに連結する雌ねじが形成されている。雄ねじ８０１ｆに対する雌ねじの回転とともに、押え環８０２は方向出射光側開口Ｏ８から入射光側開口Ｉ８方向へと移動し、保持枠８３０を段差部８０１ｇに押し付けて、後群鏡筒８０１内部で、保持枠８３０、８２０、レンズ５０３、５０２、分離環８１０が移動しないよう固定する。なお、押え環８０２の外周面は、前群鏡筒７０１と嵌合するように構成されており、押え環８０２の外周面の円周と、嵌合部８０１ｂの外周面の円周とは一致する。
【００４７】
次に、本発明の第二の実施形態に係る対物レンズ６００の心だし調整について説明する。
【００４８】
出射光側ユニット７００は、例えば、次のように組み立てられる。レンズ５０１を出射光側開口Ｏ７から挿入して、内フランジ７０１ａ上に載置し、さらに押え環７０２を挿入して、押え環７０２の雄ねじを、雌ねじ７０１ｆに結合させて、レンズ５０１を固定する。
【００４９】
出射光側ユニット７００の心だし調整は、第一の実施形態と同様の方法により、出射光側ユニット７００の光軸を、後群鏡筒８０１の外周面に形成される嵌合部８０１ｂの中心軸に一致させるよう行なう。
【００５０】
入射光側ユニット８００は、例えば、次のように組み立てられる。保持枠８２０、８３０にそれぞれ対応するレンズ５０４、５０５を載置し、接着剤を用いて接着、固定する。保持枠８３０、８２０、レンズ５０３、分離環８１０、レンズ５０２を、後群鏡筒３０１に出射光側開口Ｏ８からこの順で挿入し、押え環８０２の雌ねじを、雄ねじ８０１ｆに結合させて、これらを後群鏡筒８０１内に固定する。
【００５１】
入射光側ユニット３００の心だし調整についても、第一の実施形態と同様の方法により、出射光側ユニット８００の光軸を、後群鏡筒７０１の外周面に形成される嵌合部７０１ｂの中心軸に一致させるよう行なう。
【００５２】
なお、本発明のレンズ群は、保持枠にレンズを接着固定してから保持枠ごと鏡筒に挿入する方法、及び、鏡筒に直接レンズと分離環を落とし込む方法をとっているが、もちろん、どちらか一方の方法のみで構成してもよく、また、別の方法を用いても良い。よって、心だし調整方法についても、上記に限定されない。
【００５３】
以上のような構成により、第二の実施形態に係る対物レンズ６００は、第一の実施形態に係る対物レンズ１００と同様の効果を奏する。さらに、最も出射光側のレンズは、外部にさらされているために、加工物や試料の飛沫等による損傷を受け易いことが予想される。そこで、本態様の対物レンズによれば、前群鏡筒７０１は最も出射光側のレンズ５０１のみを収容するため、最も出射光側のレンズのみを、出射光側ユニット７００ごと簡便な操作で交換することが可能である。
【００５４】
なお、ユニットの連結手段は、上述のものに限られない。爪など、他の連結手段をとるような構成にしてもよい。さらに、本発明の各実施の形態は２群構造であるが、これに限定されず、さらに分割数を増やす構成とすることもできる。
【００５５】
また、前群鏡筒が内筒、後群鏡筒が外筒とする構成としてもよい。その際、もちろん連結手段であるねじと嵌合部は、前群鏡筒の外周面と、後群鏡筒の内周面に形成される。
【００５６】
なお、本発明の対物レンズは、紫外、可視光、赤外等、幅広い波長に対応し、レーザ加工装置においての使用に限られず、顕微鏡等の装置に関しても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】第一の実施形態である対物レンズ１００の断面を示す概略構成図である。
【図２】第一の実施形態である対物レンズ１００を構成する出射光側ユニット２００と入射光側ユニット３００の断面を示す概略構成図である。
【図３】第二の実施形態である対物レンズ６００の断面を示す概略構成図である。
【図４】第二の実施形態である対物レンズ６００を構成する出射光側ユニット７００と入射光側ユニット８００の断面を示す概略構成図である。
【図５】（ａ）第一の実施形態である対物レンズ１００の前群鏡筒２０１と後群鏡筒３０１の断面図である。（ｂ）第二の実施形態である対物レンズ６００の前群鏡筒７０１と後群鏡筒８０１の断面図である。
【図６】（ａ）第一の実施携形態である対物レンズ１００の嵌合部の拡大図である。（ｂ）第二の実施形態である対物レンズ６００の嵌合部の拡大図である。
【符号の説明】
【００５８】
１００・６００・・・対物レンズ、２００・７００・・・出射光側ユニット、３００・８００・・・入射光側ユニット、２０１・７０１・・・前群鏡筒、３０１・８０１・・・後群鏡筒、５０１・５０２・５０３・５０４・５０５・・・レンズ、２１０・２２０・２３０・３４０・３５０・８２０・８３０・・・保持枠、８１０・・・分離環、２０２・３０２・７０２・８０２・・・押え環、２０１ａ・３０１ａ・７０１ａ・・・内フランジ、２０１ｂ・３０１ｂ・７０１ｂ・８０１ｂ・・・嵌合部、２０１ｃ・３０１ｃ・７０１ｃ・８０１ｃ・・・連結ねじ、３０１ｄ・８０１ｄ・・・環状凸部、３０１ｅ・８０１ｅ・・・レボねじ、２０１ｆ、３０１ｆ、７０１ｆ・・・雌ねじ、８０１ｆ・・・雄ねじ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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