(57)【要約】【課題】  原版または基板を保持する保持部材を搭載する可動テーブルの伝熱性を改善する露光装置を提供する。【解決手段】    原版または基板を保持する保持部材と、前記保持部材を搭載し、熱伝導率が異方性を有する繊維強化樹脂材から成る可動テーブルと、を有し、前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、前記繊維強化樹脂材の繊維方向に直交する方向の前記熱伝導率より高い熱伝導率を有する伝熱部材が、前記繊維強化樹脂材の前記繊維方向を横断する面に接触するように配置されていることを特徴とする。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版または基板を保持する保持部材と、
前記保持部材を搭載し、熱伝導率が異方性を有する繊維強化樹脂材から成る可動テーブルと、を有し、前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、 
前記繊維強化樹脂材の繊維方向に直交する方向の前記熱伝導率より高い熱伝導率を有する伝熱部材が、前記繊維強化樹脂材の前記繊維方向を横断する面に接触するように配置されていることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記伝熱部材は、一端が前記保持部材に接触して、前記可動テーブルに埋設されることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
原版または基板を保持する保持部材と、
前記保持部材を搭載し、繊維強化樹脂材から成る可動テーブルと、を有し、前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、 
前記可動テーブルに埋設された金属部材を備え、該金属部材の一端が前記保持部材に接触していることを特徴とする露光装置。
【請求項４】
前記繊維強化樹脂材は、炭素繊維強化樹脂から成ることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項５】
前記炭素繊維強化樹脂は、プリプレグシートを積層することにより形成されることを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記可動テーブルにおける前記保持部材に接触する面の少なくとも最表層は、繊維方向が互いに直交するように織り込まれた前記炭素繊維強化樹脂から成るクロス材により形成されることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記伝熱部材の熱膨張係数の値は、前記繊維強化樹脂材の繊維方向を横断する面の熱膨張係数の値に、ほぼ等しいことを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の露光装置。
【請求項８】
前記伝熱部材は、可撓性を有し、スリットを有する筒状に形成され、前記伝熱部材に生じる熱変形を低減することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の露光装置。
【請求項９】
前記伝熱部材は、前記繊維強化樹脂材の繊維方向を横断する面に接触し、前記繊維強化樹脂材の繊維方向を横断する面と対向する面および前記保持部材に接触する前記一端と対向する面との間は、非接触で隙間が介在され、前記伝熱部材に生じる熱変形を低減することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の露光装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記基板を現像する工程と、を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、原版のパターンを基板に露光する露光装置およびデバイス製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図２２を参照して、半導体製造等に用いられ、レチクル（原版）のパターンをウェハ（基板）に露光する従来例の露光装置の構成を説明する。
露光装置は、ウェハ１０９を位置決めするためのウェハステージ１０１と、その上方に配設された投影レンズ１０２、レチクルステージ１０３および光源１０６を有する。
ｉ線、エキシマレーザ、電子線、Ｘ線、ＥＵＶなどの光源１０６から発生された露光光は、レチクルステージ１０３上の原版であるレチクル１１０を透過または反射する。
さらに、この露光光は、投影レンズ１０２によってウェハ１０９に集光され、レチクル１１０のパターンをウェハ１０９に転写する。
ウェハステージ１０１はベース１０５ａに支持され、ベース１０５ａは防振装置１０５ｂを介して床面に支持される。
ベース１０５ａの外周部分にはフレーム１０５が支持され、フレーム１０５の下面にはウェハステージ１０１上のミラー１０７ａを用いて位置計測を行うためのレーザ干渉計１０７が支持部材によって固定されている。
フレーム１０５の上面の中央に投影レンズ１０２が支持される。  
【０００３】
フレーム１０５およびレチクルステージ支持体１０４、ベース１０５ａおよび光源支持部材１０６ａは、投影レンズ１０２とレチクルステージ１０３と光源１０６および位置計測用のレーザ干渉計１０８を支持するものである。
半導体集積回路を製造するための露光装置は、高集積度に対応すると同時に、単位時間あたりの露光枚数すなわちスループットを向上させ、より安価なチップを提供することが望まれている。
ウェハステージ１０１、レチクルステージ１０３は、可動テーブルにウェハ１０９あるいはレチクル１１０を保持するための保持部材であるチャック、ステージの位置計測用のミラー、および露光時に用いるセンサ部品等を搭載している。
この可動テーブルを高速に駆動し、高精度な位置決めを行うために、可動テーブル自体が高剛性かつ軽量であることが望まれる。
この課題を解決するため、特開２００５−２４３８０９号公報（特許文献１）等に記載されているように可動テーブルの材質を、炭化珪素（ＳｉＣ）から成るセラミック材ではなく、繊維強化樹脂により構成することが提案されている。
【特許文献１】特開２００５−２４３８０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記特許文献１の従来例のように、可動テーブルを繊維強化樹脂材で構成すると、炭化珪素等のセラミックや金属材料と異なり、材料の向きによって強度あるいは弾性に方向性を有し、熱伝導率においても方向性（熱伝導異方性）を有する。
具体的には、炭素繊維強化樹脂（ＣＦＲＰ）材は、炭素繊維が配向された方向へは、熱が炭素繊維を伝わって移動するため熱伝導率は高い。
一方、炭素繊維が配向された方向に対し直交する方向へは、炭素繊維間に樹脂が介在するため、熱伝導率も低く、樹脂材に近い値になる。
露光装置の可動テーブルにおいて、露光時に原版であるレチクルおよび基板であるウェハに加わる露光熱が、保持部材であるチャックを介して可動テーブルに伝熱される。
その一部は、ウェハあるいはレチクル、チャック、可動テーブルから露光環境内に放熱され、また冷却機構を用いて回収される場合もある。
可動テーブルに、上記炭素繊維強化樹脂材を用いた場合、繊維長手方向である繊維方向の熱伝導率は、従来材料の炭化珪素（＝ＳｉＣ）に比べて高く、繊維長手方向と直交する方向である繊維直交方向の熱伝導率は１００分の１程度にまで低下する。
そのため、保持部材であるチャックから可動テーブルへの伝熱効率が低く、チャックの温度が上昇し、このチャックの温度上昇により、ウェハあるいはレチクル自体の変形を引き起こし、集積度の高い露光パターンを形成する。
そこで、本発明は、原版または基板を保持する保持部材を搭載する可動テーブルの伝熱性を改善する露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を達成するための本発明の露光装置は、原版または基板を保持する保持部材と、前記保持部材を搭載し、熱伝導率が異方性を有する繊維強化樹脂材から成る可動テーブルと、を有し、前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、前記繊維強化樹脂材の繊維方向に直交する方向の前記熱伝導率より高い熱伝導率を有する伝熱部材が、前記繊維強化樹脂材の前記繊維方向を横断する面に接触するように配置されていることを特徴とする。
さらに、別観点における本発明の露光装置は、原版または基板を保持する保持部材と、前記保持部材を搭載し、繊維強化樹脂材から成る可動テーブルと、を有し、前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、前記可動テーブルに埋設された金属部材を備え、該金属部材の一端が前記保持部材に接触していることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、原版または基板を保持する保持部材を搭載する可動テーブルの伝熱性を改善する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。
【０００８】
図１から図４を参照して、本発明の実施例１の露光装置を説明する。
なお、図１の本実施例１の露光装置における符号１〜５、５ａ、５ｂ、６、６ａ、７、７ａ、８〜１０は、図２２の従来例における符号１０１〜１０５、１０５ａ、１０５ｂ、１０６、１０６ａ、１０７、１０７ａ、１０８〜１１０に相当し、説明を省略する。
図２は、図１におけるウェハステージ１の構成斜視図を示す。
定盤１１はステージの基準面を有し、この定盤１１上に固定された固定Ｙガイド１２の側面は基準面をなし、固定Ｙガイド１２と定盤１１をガイド面として、Ｙ方向に移動可能なＹステージ１３が構成される。
Ｙステージ１３は、リニアモータを構成する固定子１４と可動子１５によって推力を発生し、可動子１５に連結されたＹビーム１６を移動する。
ＸＹステージ１７は、Ｙビーム１６に設けられた不図示のＸガイドによってＸ方向に移動可能に案内され、Ｙビーム１６に設けられたＸ固定子１８とＸＹステージに設けられた不図示のＸ可動子によってリニアモータを構成し、Ｘ方向に推力が与えられる。
以上により、ＸＹステージ１７は定盤１１面上をＸ，Ｙ方向に移動可能となる。
ＸＹステージ１７上には、ＸＹステージ１７がリニアモータによって受けた推力を非接触で可動テーブル１９へと伝達するための電磁継手と、可動テーブル１９の自重を非接触で支持するための自重補償機構が設けられる。
さらに、可動テーブル１９の６軸方向の位置及び姿勢を微調整するためのＸ軸方向微動リニアモータ、Ｙ軸方向微動リニアモータ、Ｚ軸方向微動リニアモータを備える。ここで、姿勢（各軸回りの回転）の微調整については上記微動リニアモータを２つ駆動することによって達成できる。このような構成で、可動テーブル１９を非接触で６軸方向に位置決め可能な構成となっている。
また、可動テーブル１９上には、感光基板であるウェハ９を保持するチャック２０（保持部材）と位置計測用のミラーおよび露光量を測定するセンサ等が搭載されている。
【０００９】
図３を参照して、可動テーブル１９、チャック２０および伝熱部材２１を説明する。 
可動テーブル１９は、チャック２０を搭載し、熱伝導率が異方性を有する繊維強化樹脂材から成り、この繊維強化樹脂材は、炭素繊維強化樹脂から成る。
炭素繊維強化樹脂材は、直径が７〜１０ｕｍ程度の炭素繊維の束を炭素繊維の向きを揃え、エポキシ系樹脂、シアネート樹脂等を含浸させたものである。
本実施例１での成型方法は、炭素繊維に樹脂を含浸させ樹脂半硬化状態にあるシート材であるプリプレグシートを順次、積層した後、圧力を加えながら樹脂硬化をさせた板材を用いている。この板材を組合せ、可動テーブル１９を構成する。
可動テーブル１９は、チャック２０をエアーやネジ締結等により固定される上板１９ａ、位置計測用レーザ干渉計のターゲットとなる反射ミラーが設置される側板１９ｂを備える。
さらに、可動テーブル１９は、可動テーブル１９を６軸方向に位置決め可能にするための部材が固定される下板１９ｃ、及び可動テーブルを軽量かつ剛性を保つためのリブ１９ｄを備え、各部材は接着やネジ締結等により固定される。
なお、プリプレグシートの積層に際し、積層毎に炭素繊維の方向を変えることで、同一形状の板材でも、板材の向きによって強度および剛性を変えることができる。
この板材には、シートの面内方向には繊維方向が配向され、プリプレグシートの積層方向には繊維と繊維との間が樹脂で構成される。
【００１０】
図４に示されるように可動テーブル１９の上板１９ａは、露光光の光軸と垂直な方向を繊維方向として強度を向上させている。また、この上板１９ａには、アルミ合金からなる円柱状の複数の伝熱部材２１が埋設され、繊維方向１９ｆを横断する面１９ｅに接触するように配置される。
伝熱部材２１は、可動テーブル１９の繊維強化樹脂材の繊維方向１９ｆに直交する方向の熱伝導率より高い熱伝導率を有し、繊維強化樹脂材の繊維方向１９ｆを横断する面１９ｅに接触するように配置されている。
ここで、可動テーブル１９の繊維強化樹脂材の繊維方向１９ｆの熱伝導率は、例えば、３００Ｗ／ｍＫ程度であり、繊維強化樹脂材の繊維方向１９ｆを横断する面１９ｅの熱伝導率は、２Ｗ／ｍＫ程度である。
また、伝熱部材２１は、一端２１ａが保持部材であるチャック２０の下面に接触するように配置される。  
このため、露光光のエネルギーが、ウェハ９上で露光熱に変化し、ウェハ９を保持している保持部材であるチャック２０に熱が伝熱される。
さらに、このチャック２０から、可動テーブル１９の上板１９ａの上面に一部は伝熱されると共に、チャック２０の下面に接している伝熱部材２１にも伝熱される。
プリプレグシートの積層方向である繊維強化樹脂材の繊維方向１９ｆに直交する方向は炭素繊維間には樹脂が介在し、上述のように熱伝導率が２Ｗ／ｍＫ程度と低いために伝熱しにくい。
伝熱部材２１は、このプリプレグシートの積層方向である繊維強化樹脂材の繊維方向１９ｆに直交する方向の熱伝導率より高い１５０Ｗ／ｍＫ程度の熱伝導率を有するアルミ合金を用いている。
しかし、銅合金、チタン合金、ステンレス等の金属やアルミナ、炭化珪素等のセラミックスを用いても構わない。一般に、金属部材は樹脂材よりも熱伝導率が高いため、熱伝導を補助する効果を奏する。  
チャック２０より伝わった熱が、伝熱部材２１内に伝播し、伝熱部材２１に接した繊維方向１９ｆに直交する面を介して、炭素繊維内に流入する。
したがって、可動テーブル１９の上板１９ａの厚さに対して、伝熱部材２１が深く埋設されると炭素繊維内に流入する量を増やすことができる。
なお、伝熱部材２１の形状は円柱に限らず、四角柱や図５に示される本実施例２における伝熱部材２２のように円錐形状であってもよい。
伝熱部材２１は、熱伝導率の高い方向を持つ面に対して接触していれば良く、炭素繊維の繊維方向１９ｆに直交する方向に対して０°とは異なる角度を持った切断面が接触するような伝熱部材の形状であってもよい。
また、伝熱部材２１、２２を、繊維方向１９ｆを横断する面に接するように配置する際、接着剤に金属粉末が入った熱伝導性の良いペーストを用いて固定してもよく、あるいは板材成型時に伝熱部材２１，２２を同時に成型してもよい。
また、チャック２０との接触面は伝熱部材部分が上板１９ａ面より突出し、接触していてもよい。
また、チャック２０との接触面は接触面積を増やし、伝熱を良くするために、平面度および表面粗さは小さい方がよいため、ラップあるいはポリシングにより面形成されることが好ましい。
以上により、繊維強化樹脂材が持つ熱伝導異方性による可動テーブル１９内の伝熱性を改善することが可能になり、繊維強化樹脂材を用いた可動テーブル１９をもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
【００１１】
図６を参照して、本発明の実施例３の露光装置を説明する。
なお、図２２の従来例および実施例１と同様の構成をもつ部分に関しては、必要な部分のみ記載することとし、その他の部分は省略する。
図６は、ウェハステージを構成する可動テーブル１９の側面断面図であり、伝熱部材２３の配置が実施例１とは異なる。
可動テーブル１９を構成する上板１９ａは繊維強化樹脂材を積層し、繊維方向は板の面内方向に平行である。
伝熱部材２３は上板１９ａの端部に繊維方向を横断する面に接触するように配置されている。
本実施例３では、チャック２０の下面に伝熱部材を設けないため、チャックから伝熱部材へ直接伝熱されることはない。
しかし、チャック２０より上板１９ａの上面側に伝熱した熱が、上面側にある炭素繊維に流入し、上板１９ａの端面に到達すると、繊維強化樹脂材における熱伝導率が高い方向を持つ面である、繊維方向に直交する面に接した伝熱部材２３に伝播する。
繊維強化樹脂材における熱伝導率が低い方向である、プリプレグシートの積層方向を伝わる熱より早く、伝熱部材２３内を上方から下方に伝熱される。
その後、上板１９ａの下面側の炭素繊維内に伝熱することで上板１９ａの全体に熱が拡がって行く。
これにより、上板１９ａに伝熱部材を埋設するための穴を設けずにすみ、炭素繊維を分断することないため、可動テーブル１９としての強度及び剛性の低下を抑えつつ、チャック２０の蓄熱を低下できる。
図７の本実施例４においては、伝熱部材２４を可動テーブル１９の側板１９ｂおよび下板１９ｃの端面まで伸ばし、伝熱部材２４を下板１９ｃの繊維方向に直交する面に接触させることで、伝熱量を増やしチャックの蓄熱をさらに低下できる。
図８の本実施例５においては、伝熱部材２５が可動テーブル１９の上板１９ａの下面側寄りに埋設している。これにより、可動テーブル１９が面外曲げを受けたときの上板１９ａの上面における曲げ剛性低下を抑えつつチャック２０の蓄熱を低下できる。
【００１２】
図９、図１０、図１１を参照して、本発明の実施例６の露光装置を説明する。
図９は、可動テーブル１９の側面部分断面図であり、図１０は可動テーブル１９の上面図である。
可動テーブル１９の上板１９ａに伝熱部材２６が埋設されおり、チャック２０の下面にも接触するように配置されていると共に、繊維方向に直交する面のうち、伝熱させる面に対して伝熱部材２６を接するように配置されている。
伝熱部材２６はこのプリプレグシートの積層方向の熱伝導率より高く、かつプリプレグシートの積層方向の熱膨張係数に近い材質を用いる。
これは、温度上昇により生じる伝熱部材とプリプレグシートの積層方向の熱膨張量の差を小さくし、接触面での剥離やプリプレグシートの積層間の剥離、および上板１９ａの局所変形を低減させるためである。
本実施例６では、プリプレグシートの積層方向の熱膨張係数は樹脂材の熱膨張係数に近く、５０×１０−６/Ｋ程度であることから、金属材料のなかでは熱膨張係数の比較的大きいマグネシム合金やアルミ合金を用いる。
【００１３】
一方、伝熱を積極的に行わない面に対しては、伝熱部材２６との間に隙間４１，４２を設ける。
これは、伝熱部材２６が熱により温度上昇した時に生じる伝熱部材２６自体の膨張により、上板１９ａ面内の変形をさせしまうことを回避するためである。
図９の実施例６における隙間４１、４２はこの観点に基づいて設けたものである。しかし、結果として伝熱経路を矢印で示したように限定してしまう。
伝熱部材２６は、繊維強化樹脂材の繊維方向を横断する面１９ｅに接触する。
さらに、繊維強化樹脂材の繊維方向を横断する面１９ｅと対向する面１９ｇおよび保持部材２０に接触する一端２６ａと対向する面１９ｈとの間は、非接触で隙間４１，４２が介在され、伝熱部材２６に生じる熱変形を低減する。
そこで、図１０に示される露光装置の場合は、露光熱が入る方向がウェハ９（２点差線）の内側に限定されるために、ウェハ９の外周付近にこの伝熱部材２６を設ける。
さらに、このウェハ９から遠ざかる方向に熱を流すように伝熱部材２６を配置することで、限定された伝熱経路においてもウェハ９及びチャック２０の温度上昇を低減することができる。
また、隙間４１及び隙間４２にスポンジのような弾性率の低い材料を介在させることで、伝熱性の向上を図ることも可能である。
また、実施例１で示した円柱状の伝熱部材２１の代わりに、図１１に示される本実施例６における伝熱材２７を用いて、嵌入してもよく、伝熱材２７の熱による膨張に対して外周の変形力を低減させることも可能である。
伝熱部材２７は、可撓性を有し、スリット２７ａを有する筒状に形成され、伝熱部材２７に生じる熱変形を低減する。
以上のように、伝熱部材の熱による変形を低減するための手段として可動テーブルと伝熱部材との間に隙間を設け、あるいは、伝熱部材自体にバネ性のある構造にする。
これにより、繊維強化樹脂材からなる可動テーブル内の伝熱性を改善すると共に、この改善をより効果的に実施するための方法を提供することで、より最適な露光装置を提供することが可能になる。
【００１４】
図１２を参照して、本発明の実施例７の露光装置を説明する。
チャック２０の下面全域にわたり、伝熱部材２８が接していると同時に可動テーブル１９の上板１９aに伝熱部材の凸部２８ａ、２８ｂが埋設されている。
各々の凸部は繊維方向を横断する面に接しており、炭素繊維強化樹脂材における熱伝導率が高い面が伝熱部材２８に接触するように配置されている。
凸部２８ａはウェハ９の中央付近の直下に位置すると共に上板の板厚分を埋設されている。
また、凸部２８ｂはチャック２０の外周付近の直下に複数位置し、凸部２８ａよりは凸部深さが低くなっている。
これにより、矢印の伝熱経路のようにチャック２０の下面より伝熱部材２８に伝熱した熱が、段差の異なる凸部を介して、熱伝導率の高い繊維方向に伝熱することで上板の板厚を有効に利用できる。
また、板材の伝熱部材２８の材質は、一例として炭化珪素があげられる。
これは、繊維強化樹脂材における熱伝導率が低い方向である繊維方向に沿った方向の値より高い熱伝導率を持つ点に加え、チャック下面の広範囲にわたって接触している。
このため、チャック２０の材質と同一であることで、チャック２０との境界面での熱膨張の差による変形を低減できるとともに、熱容量を増やすことにもなり、温度上昇を低減できる。
以上により、繊維強化樹脂材が持つ熱伝導異方性による可動テーブル内の伝熱性を改善することが可能になり、繊維強化樹脂材を用いた可動テーブルをもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
【００１５】
図１３の断面図を参照して、本発明の実施例８の露光装置を説明する。
可動テーブル１９は、上板１９ａ、側板１９ｂのうち対向する一対の面、および下板１９ｃが成型の時点で一体化されており、前実施例で上板１９ａの端部にあった繊維方向の直交した面が切断されている断面が存在しない。
この可動テーブル１９の上部１９ａに伝熱部材２９が埋設されている。
この伝熱部材２９はチャック２０の下面にも接触するように配置されていると共に、繊維方向に直交する面に接するように配置されている。
以上の形態により、露光熱がチャック２０より伝熱部材２９内に伝播し、伝熱部材２９に接した繊維方向に直交する面を介して、炭素繊維内に流入する。
そして、繊維方向に沿って、可動テーブル１９の側面１９ｂを経由し下面１９ｃまで伝熱される。
これにより、可動テーブル１９全体にわたって熱を伝えやすくすることで繊維強化樹脂材が持つ熱伝導異方性による可動テーブル内の伝熱性を改善することが可能になり、露光熱がチャックに蓄積することを抑える。
このため、繊維強化樹脂材を用いた可動テーブル１９をもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
なお、本実施例８では、上板１９ａと側板１９ｂおよび下板１９ｃが一体化されている例を示したが、上板１９ａと一部のリブ１９ｄのおよび下板１９ｃが一体化させても構わない。
ミラーを取り付ける１９ｂ部に伝熱経路を形成しないため、位置計測誤差を低減できる効果も期待できる。
【００１６】
図１４、図１５を参照して、本発明の実施例９の露光装置を説明する。
図１４は可動テーブル１９の側面断面図を示しており、上板１９ａの一部分３０を拡大した図が、図１５あるいは図１６である。
図１５において、プリプレグシートの積層方向に対して直交する方向に複数の炭素繊維３１を有しており、チャック２０の下面に炭素繊維３１の繊維直交方向の断面が接触している。
これにより、炭素繊維の繊維方向の高い熱伝導性を伝熱部材として用い、プリプレグシートの積層方向の熱伝導性を良くすることで、露光熱がチャックに蓄積することを低減できる。
このため、繊維強化樹脂材を用いた可動テーブルをもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
なお、図１６において、複数の炭素繊維３２はプリプレグシートの積層方向に対して直交する方向に対し角度をもっている例、および炭素繊維３２ａのように上板の板厚を貫通していない例を示している。
しかし、複数のプリプレグシートの積層部を跨って、炭素繊維を有する点で同様である。
また、本実施例ではプリプレグシートを用いて積層し板材を形成していたが、３次元織りした炭素繊維にマトリックスとなる樹脂を含浸させて形成してもよい。
３次元織りにより板材の厚さ方向の繊維が熱伝導部材とし寄与すると共に、織り込まれた方向の異なる炭素繊維が直接接触している確率が増え、この接触部では樹脂を介さないために伝熱性が向上する。
【００１７】
図１７、図１８、図１９を参照して、本発明の実施例１０の露光装置を説明する。
図１７に示されるように可動テーブル１９を構成する上板１９ａには円柱状の複数の伝熱部材２１が埋設され、上記繊維方向に直交する面に接するように配置されていると共に、チャック２０の下面にも接触するように配置されている。
上板１９ａは、図１８に示されるように複数のプリプレグシートがプリプレグシート面内の繊維方向を変えて積層されている。
さらに、可動テーブル１９における保持部材であるチャンクに接触する面の少なくとも最表層のプリプレグシート３３は、繊維方向が互いに直交するように織り込まれた炭素繊維強化樹脂から成るクロス材により形成される。
これは、一方向の炭素繊維からなるプリプレグシートを積層すると積層部において熱伝導率の低い樹脂を介在させてしまう。
しかし、予め炭素繊維状態で複数の方向が織り込まれたプリプレグシートでは、方向の異なる炭素繊維が直接接触している確率が増え、この接触部での伝熱性が樹脂を介さないために向上される。
また、接触している他方向に伝熱されるため、一方向材に比べ、広範囲に熱を伝熱できる。
表層にこうしたプリプレグシート３３を用いることで、チャック下面から伝熱された熱を、広範囲に伝熱することでチャックの蓄熱を低減できると共に、チャックや可動テーブルの温度ムラを低減できる効果も期待できる。
これにより繊維強化樹脂材を用いた可動テーブルをもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
なお、本実施例１０では表層にプリプレグシート３３のような複数の方向を有するプリプレグシートを用いたが、表層に限ることではない。
また、図１９に示されるように方向の異なる繊維が織り込まれたプリプレグシート３４ａおよび３４ｂを重ねて複数層３４にして用いても構わない。
なお、プリプレグシート３４ａの織り目に対して、位相が異なる織り目をもつプリプレグシート３４ｂを重ねることで、同位相の折り目をもつプリプレグシートを重ねたときに比べ、可動テーブル１９の上板１９ａのより広範囲への伝熱性を向上させる。
以上、本発明の実施例の露光装置について、ウェハステージの可動テーブルについて図面を参照しながら説明したが、本発明の実施例はレチクルステージの可動テーブルの場合にも同様の適用が可能である。
【００１８】
次に、図２０及び図２１を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。
図２０は、デバイス（ＩＣやＬＳＩなどの半導体チップ、ＬＣＤ、ＣＣＤ等）の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
露光装置を用いてウェハを露光する工程と、前記ウェハを現像する工程とを備え、具体的には、以下の工程から成る。
ステップ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行う。
ステップ２（マスク製作）では設計した回路パターンに基づいてマスクを製作する。
ステップ３（ウェハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウェハを製造する。
ステップ４（ウェハプロセス）は前工程と呼ばれ、マスクとウェハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウェハ上に実際の回路を形成する。
ステップ５（組立）は、後工程と呼ばれ、ステップ４によって作製されたウェハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の組み立て工程を含む。
ステップ６（検査）では、ステップ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。
こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷（ステップ７）される。
【００１９】
図２１は、ステップ４のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。
ステップ１１（酸化）では、ウェハの表面を酸化させる。
ステップ１２（ＣＶＤ）では、ウェハの表面に絶縁膜を形成する。
ステップ１３（電極形成）では、ウェハに電極を形成する。
ステップ１４（イオン打込み）では、ウェハにイオンを打ち込む。
ステップ１５（レジスト処理）では、ウェハに感光剤を塗布する。
ステップ１６（露光）では、露光装置によってマスクの回路パターンをウェハに露光する。
ステップ１７（現像）では、露光したウェハを現像する。
ステップ１８（エッチング）では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。
ステップ１９（レジスト剥離）では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。
これらのステップを繰り返し行うことによってウェハ上に多重に回路パターンが形成される。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施例の露光装置の概略構成図である。
【図２】本発明の実施例１の露光装置のウェハステージの概略斜視図である。
【図３】本発明の実施例１の露光装置の可動テーブルを示す概略の斜視図である。
【図４】本発明の実施例１の露光装置の可動テーブルの側面断面図である。
【図５】本発明の実施例２の露光装置の可動テーブルを側面断面図である。
【図６】本発明の実施例３の露光装置の可動テーブルの側面断面図である。
【図７】本発明の実施例４の露光装置の可動テーブルの側面断面図である。
【図８】本発明の実施例５の露光装置の可動テーブルの側面断面図である。
【図９】本発明の実施例５の露光装置の可動テーブルの側面部分断面図である。
【図１０】本発明の実施例６の露光装置の可動テーブルの上面図である。
【図１１】本発明の実施例６の露光装置の伝熱部材の斜視図である。
【図１２】本発明の実施例７の露光装置の可動テーブルの側面部分断面図である。
【図１３】本発明の実施例８の露光装置の可動テーブルの側面断面図である。
【図１４】本発明の実施例９の露光装置の可動テーブルの側面断面図である。
【図１５】本発明の実施例９の露光装置の可動テーブルの側面部分断面図である。
【図１６】本発明の実施例９の露光装置の可動テーブルの側面部分断面図である。
【図１７】本発明の実施例１０の露光装置の可動テーブルを示す概略の斜視図である。
【図１８】本発明の実施例１０の露光装置の可動テーブルの上板の構成を示す斜視図である。
【図１９】本発明の実施例１０の露光装置の可動テーブルの上板の構成を示す斜視図である。
【図２０】露光装置を使用したデバイスの製造を説明するためのフローチャートである。
【図２１】図に示すフローチャートのステップ４のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。
【図２２】従来例の露光装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００２１】
１…ウェハステージ     ２…投影レンズ     ３…レチクルステージ
６…光源               ９…ウェハ      １９…可動テーブル
２０…保持部材         ２１〜２９、３１、３２…伝熱部材
３３、３４…プリプレグシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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