(57)【要約】【課題】めっきの給電治具において、治具への不要なめっきの析出を防止し、治具剥離作業を行う必要がないようにすると同時に、金属の無駄な消費を削減する。【解決手段】本発明のめっき給電治具は、電源と接続することにより通電する本体と、該治具本体から突出して設けられる給電部と、該給電部の周囲を覆う弾性体から構成される給電側治具と、該給電側治具と対になる押さえ治具とからなる。治具は、給電部の被めっき物との接触面および電源からの導通箇所を除き絶縁被膜で被覆され、被めっき物は上記2種類の治具の間に挟持される。給電部の被めっき物との接触箇所は、通常弾性体よりもやや引っ込んでおり、被めっき物を挟持した際の圧力で弾性体が縮むことにより被めっき物と接触するよう設計されている。【選択図】図２
2009209390.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき槽に被めっき物を固定し、前記被めっき物と陽極との間に給電するめっき給電治具であって、前記めっき槽内のめっき液に浸される部分が、前記給電時に、前記めっき液と電気的に絶縁されることを特徴とするめっき給電治具。
【請求項２】
電源と接続することにより通電する治具本体と、前記治具本体から突出して設けられる給電部と、前記給電部の周囲を覆う弾性体とを有する給電側治具と、前記給電側治具と対になる押さえ治具とを備え、前記給電側治具と前記押さえ治具との間に前記給電部に接触するように被めっき物を挟持する治具であって、導通が必要な箇所を除き絶縁被膜で被覆されていることを特徴とするめっき給電治具。
【請求項３】
前記弾性体が絶縁物であることを特徴とする請求項２に記載のめっき給電治具。
【請求項４】
前記弾性体が蛇腹形状であることを特徴とする請求項２に記載のめっき給電治具。
【請求項５】
前記弾性体が吸盤であることを特徴とする請求項２に記載のめっき給電治具。
【請求項６】
前記給電部が円柱形であり、前記弾性体が前記給電部を覆う円筒形であることを特徴とする請求項２に記載のめっき給電治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、めっき給電治具に関し、めっき処理装置全般、特に半導体リードフレームの外装めっき装置の給電治具構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
湿式の電解めっきにおいては、一度に多数の被めっき物を処理するために引っ掛け治具などが使用されている。引っ掛け治具は、治具本体と、該治具本体より突出される複数の枝からなり、枝の先端には被めっき物を引っ掛けたり、挟持したりする給電部が設けられている。被めっき物を給電部に取り付けた状態で通電すると、めっき処理を行うことができる。
【０００３】
しかし、繰り返しめっき処理を行うと、給電部には不要なめっき皮膜が付着する。この不要なめっきが積層されると、給電部は通電不良を起こしてめっき効率が悪くなり、また、被めっき物の安定な固定などにも問題が生ずる他、品質にも悪影響を及ぼす。さらに、不要なめっきは金属を無駄に消費するだけでなく、その剥離にも手間がかかる。このため、被めっき物との通電部以外を極力絶縁被膜で被覆し、不要なめっきの析出を削減すると同時に、めっき層の形成に関与しなかった金属を効率的に回収する方法などが発明されている（たとえば特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１３１９３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、この特許文献１に記載の方法においては、不要なめっきの析出を抑制するのみであって、治具剥離は行わなくてはならない。
【０００６】
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解決することであって、その目的は、めっき処理において治具へ不要なめっきを析出させず、治具剥離工程を省略すると同時に金属の無駄な消費を削減することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するにあたり、本発明のめっき給電治具は、電源と接続することにより通電する治具本体と、前記治具本体から突出して設けられる給電部と、前記給電部の周囲を覆う弾性体とを有する給電側治具と、前記給電側治具と対になる押さえ治具とを備え、前記給電側治具と前記押さえ治具との間に前記給電部に接触するように被めっき物を挟持する治具であって、導通が必要な箇所を除き絶縁被膜で被覆されていることを特徴とする。
［効果をもたらす手段の働き］
本発明によれば、給電側治具と押さえ治具との間に被めっき物を把持した際、圧力で弾性体が圧縮され該弾性体と被めっき物とが密着し、給電箇所周辺へめっき液が浸入しないため、治具への不要なめっき析出が起こらない。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の第一の効果は、治具へ不要なめっきを析出させず、高品質かつ剥離工程を省略可能な半導体めっき装置を提供することができることである。
【０００９】
本発明の第二の効果は、治具へ不要なめっきが析出しないため、金属の無駄な消費が少ない半導体めっき装置を提供することができることである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【実施例１】
【００１１】
実施例１として、陽極を被めっき物の両側に配置し、被めっき物の両面に同時にめっきを施す形態について説明する。
【００１２】
図１は、実施例１におけるめっき槽の概略側断面図である。
【００１３】
また、図２は、図１に示した実施例において被めっき物への給電部分を拡大して示す概略側断面図である。
【００１４】
さらに、図３は、図１に示した実施例において被めっき物に給電する電極を拡大して示す概略斜視図である。
【００１５】
このめっき槽は、めっき槽本体１と、電源２を接続することにより通電する給電側治具本体３と、この給電側治具本体３から突出して設けられる給電部４（給電電極）と、給電部４を覆うように設けられた、たとえばゴムからなる絶縁物である弾性体８と、給電側治具本体３と対になって被めっき物７を押さえる押さえ治具５と、被めっき物７の両側の２つの陽極６とを有して構成される。
【００１６】
本実施例における治具は、給電部４の被めっき物７との接触面および電源２からの導通箇所を除き絶縁被膜で被覆されており、被めっき物７は給電部４と押さえ治具５との間に挟持される。
【００１７】
めっき槽本体１は、所定のめっき液を貯留するための化学的および物理的に安定な材料からなるめっき槽である。
【００１８】
電源２は、めっきのために必要とする所定の電流を制御供給するための電源であり、アノード側に陽極６を、カソード側に被めっき物７を電気的に接続している。
【００１９】
陽極６としては、たとえばスズ-ビスマスめっきの場合には、チタン材などの不溶性材料の板あるいはカゴの中にスズボールを入れたものなどを用いることもできる。
【００２０】
給電側治具本体３、給電部４および押さえ治具５の材料としては、ステンレスが好適である。
【００２１】
給電部４の被めっき物７との接触面および電源２からの導通箇所以外を被覆する絶縁被膜としては、フッ素樹脂コーティング剤などを用いることができる。
【００２２】
給電側治具本体３および押さえ治具５の形状は、挟持する圧力に耐えうる範囲で被めっき物７への被りが小さく、対称形であることが望ましい。給電部４は円柱形など、弾性体８は円筒形など、めっき液が溜まりにくい形状がよい。
【００２３】
給電部４の被めっき物７との接触面は、通常、弾性体８と同等かそれよりも引っ込んでおり、被めっき物７を給電側治具本体３と押さえ治具５とで挟持した際の圧力で弾性体８が圧縮されることにより、給電部４が被めっき物７と接触して電気的に接続されるよう設計されている。
【００２４】
従って、この給電側治具本体３と押さえ治具５とで被めっき物７を挟持する圧力は、弾性体８が圧縮されて給電部４の給電面が被めっき物７に接触し、通電が行われる範囲であればよい。
【００２５】
以上の構成を有する本実施例によれば、弾性体８が給電面を密閉し、めっき液が浸入しないため、給電部４へ不要なめっきが析出せず、治具剥離工程を省略できると同時に、金属の無駄な消費を抑制することができる。
【００２６】
次に、図１および２を参照して実施例１のめっき槽の製造方法を説明する。
【００２７】
始めに、給電側治具本体３に突出した給電部４を設け、電源２から給電側治具本体３、さらに給電部４への導通を確保した上で、給電部４と被めっき物７との接触面および電源２からの導通箇所を除き絶縁被膜で被覆する。
【００２８】
次いで給電部４の周囲を弾性体８で覆い、給電部４の被めっき物７との接触面は弾性体８と同等かそれより引っ込んだ状態とする。このとき、給電部４と弾性体８とは密着していることが好ましく、弾性体８はエポキシ樹脂等の接着剤を用いて治具本体３に固定される。
【００２９】
この構造によれば、被めっき物７を把持した際の圧力で弾性体８が圧縮され、給電部４が密閉された状態で被めっき物７と接触し通電されるため、給電面に不要なめっきが析出しないという利点が得られる。
【００３０】
なお、本実施例における各構成要素は、図１および２に示した形状に限定されるものではなく、本発明の趣旨を実現するいかなる形状であってもかまわない。
【００３１】
また、本実施例ではめっき槽本体１内に、給電側治具本体３と押さえ治具５とを１組設けたが、本発明はこれに限られるものではなく、めっき槽本体１内に複数組設けてもよいことは言うまでもない。
【実施例２】
【００３２】
実施例１では給電部４を弾性体８で覆うようにしたが、それ以外に、給電部４を覆う部材の形状を蛇腹にすることもできるし、あるいは吸盤で構成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明の活用例として、半導体リードフレームの外装めっきに使用されるめっき装置が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】実施例１におけるめっき槽の概略側断面図である。
【図２】図１に示した実施例において被めっき物への給電部分を拡大して示す概略側断面図である。
【図３】図１に示した実施例において被めっき物に給電する電極を拡大して示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  めっき槽本体
２  電源
３  給電側治具本体
４  給電部
５  押さえ治具
６  陽極
７  被めっき物
８  弾性体
【図１】
2009209390.tif 000003
【図２】
2009209390.tif 000004
【図３】
2009209390.tif 000005