(57)【要約】【課題】吐出ヘッドから液状体を吸引するキャッピングユニットにおいて、吸引した液状体がキャッピングユニットの内部で乾燥することを抑制するヘッド保守装置、吐出装置、及びヘッド保守方法を提供する。【解決手段】ヘッド保守装置は、膜状体を形成する膜材料を含む液状体を吐出する吐出ノズルを備える吐出ヘッドを保守するためのヘッド保守装置であって、吐出ノズルを封止する空間を構成する封止室を有するノズル封止手段と、封止室に連通する吸引管を備え、吐出ノズルを封止した封止室の内部の気体又は液体を、当該吸引管を介して吸引することで、吐出ノズルを介して吐出ヘッドに充填された液状体を吸引する吸引手段と、膜材料を溶解可能な溶解液をノズル封止手段に供給する溶解液供給手段と、を備える。吐出装置は、当該保守装置を備える。ヘッド保守方法は、少なくとも封止室に溶解液を供給する溶解液供給工程を有する。【選択図】図５
2009247919.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
膜状体を形成する膜材料を含む液状体を吐出する吐出ノズルを備える吐出ヘッドを保守
するためのヘッド保守装置であって、
前記吐出ノズルを封止する空間を構成する封止室を有するノズル封止手段と、
前記封止室に連通する吸引管を備え、前記吐出ノズルを封止した前記封止室の内部の気
体又は液体を、当該吸引管を介して吸引することで、前記吐出ノズルを介して前記吐出ヘ
ッドに充填された前記液状体を吸引する吸引手段と、
前記膜材料を溶解可能な溶解液を前記ノズル封止手段に供給する溶解液供給手段と、を
備えることを特徴とするヘッド保守装置。
【請求項２】
前記溶解液供給手段は、前記封止室に連通する溶解液供給管を備えることを特徴とする
請求項１に記載のヘッド保守装置。
【請求項３】
前記溶解液供給手段は、前記封止室に臨む位置に移動可能であって、前記封止室に臨ん
で当該封止室に向けて前記溶解液を吐出する溶解液供給ヘッドを備えることを特徴とする
、請求項１に記載のヘッド保守装置。
【請求項４】
前記封止室を封止する封止室蓋をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至３のいず
れか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項５】
前記溶解液供給ヘッドを用いて前記封止室を封止することを特徴とする請求項３に記載
のヘッド保守装置。
【請求項６】
前記封止室の内部に溜まった前記液状体又は前記溶解液を排出するための排出管と、
前記排出管に形成された前記液状体又は前記溶解液の流路を開閉する排出路開閉手段と
、をさらに備えることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載のヘッド保守
装置。
【請求項７】
前記吸引管は、前記封止室の内部の気体又は液体を吸引可能であると共に、前記封止室
の内部に溜まった前記液状体又は前記溶解液を吸引可能であることを特徴とする、請求項
１乃至５のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項８】
前記溶解液は、前記液状体の溶媒であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一
項に記載のヘッド保守装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載のヘッド保守装置を備えることを特徴とする吐出
装置。
【請求項１０】
膜状体を形成する膜材料を含む液状体を吐出する吐出ノズルを備える吐出ヘッドを保守
するヘッド保守方法であって、
前記吐出ノズルを封止する空間を構成する封止室を有するノズル封止手段の前記封止室
に、前記膜材料を溶解可能な溶解液を、供給する溶解液供給工程と、
前記吐出ノズルが前記封止室に臨む位置に、前記吐出ヘッドと前記ノズル封止手段とを
相対配置し、当該ノズル封止手段によって、前記吐出ノズルを封止するノズル封止工程と
、
前記封止室を負圧にすることによって、前記吐出ノズルを介して前記吐出ヘッドに充填
された前記液状体を吸引する吸引工程と、を有することを特徴とするヘッド保守方法。
【請求項１１】
前記溶解液供給工程において、前記封止室に連通する溶解液供給管を介して前記溶解液
を供給することを特徴とする、請求項１０に記載のヘッド保守方法。
【請求項１２】
前記溶解液供給工程は、前記溶解液を吐出する溶解液供給ヘッドを前記封止室に臨む位
置に配置する溶解液供給ヘッド配置工程と、前記溶解液供給ヘッドから前記封止室に向け
て前記溶解液を吐出する溶解液吐出工程と、を有することを特徴とする請求項１０に記載
のヘッド保守方法。
【請求項１３】
封止室蓋を用いて前記封止室を封止する封止室封止工程と、前記封止室が封止された状
態を維持して前記ノズル封止手段を待機させる待機工程と、をさらに有することを特徴と
する請求項１０乃至１２のいずれか一項に記載のヘッド保守方法。
【請求項１４】
前記溶解液供給ヘッドを用いて前記封止室を封止する封止室封止工程と、前記封止室が
前記溶解液供給ヘッドによって封止された状態を維持して前記ノズル封止手段を待機させ
る待機工程と、をさらに有することを特徴とする請求項１２に記載のヘッド保守方法。
【請求項１５】
前記封止室の内部に溜まった前記液状体又は前記溶解液を排出する排出工程をさらに有
することを特徴とする、請求項１０乃至１４のいずれか一項に記載のヘッド保守方法。
【請求項１６】
前記吸引工程を実施することによって、前記排出工程を実施することを特徴とする、請
求項１５に記載のヘッド保守方法。
【請求項１７】
前記溶解液供給工程を、前記吸引工程を実施するごとに実施することを特徴とする、請
求項１０乃至１６のいずれか一項に記載のヘッド保守方法。
【請求項１８】
前記溶解液供給工程を、所定の時間間隔で実施することを特徴とする、請求項１０乃至
１６のいずれか一項に記載のヘッド保守方法。
【請求項１９】
前記溶解液供給工程において、前記液状体の溶媒を前記封止室に供給することを特徴と
する、請求項１０乃至１８のいずれか一項に記載のヘッド保守方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドの保守を行うためのヘッド
保守装置、吐出ヘッド及びヘッド保守装置を備える吐出装置、及びヘッド保守方法に関す
る。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などの機能膜を形成する技術として、液
状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を用いて、機能膜の材料
を含む液状体の液滴を吐出して基板上の任意の位置に着弾させることで、当該位置に液状
体を配置し、配置した液状体を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このよ
うな膜形成に用いられる液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドは、その吐出ノズルから微小な液
滴を選択的に吐出して位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状及び膜
厚を有する膜を形成することができる。
近年では、例えば銀（Ａｇ）などの金属微粒子を溶媒に分散させた分散系金属インク（
金属配線用インク）を使用することで、基板上の配線パターンの形成にも利用され、配線
パターンの微細化や狭ピッチ化を可能にしている。
【０００３】
液滴吐出ヘッドは、別設のタンクなどから液状体が供給されると共に、供給された液状
体を内部に設けたインク室（キャビティ）に一時的に貯留する。そして、ノズルプレート
に多数形成された吐出ノズル孔からインク室に貯留した液状体を液滴として吐出する。
ここで、液滴吐出ヘッドが待機しているとき、インク室に貯留した液状体が乾燥してし
まうことがある。液状体が乾燥すると、増粘して吐出量が変化するだけでなく、固化して
しまいノズル孔の目詰まりや吐出時の飛行曲がりなどを起こしてしまうことがある。
【０００４】
これらの対策として、特許文献１には、吐出ノズルが形成されたノズル面にヘッドキャ
ップを密着させて吐出ノズルから流体（液状体）を吸引するキャッピングユニットを備え
た液滴吐出装置が開示されている。
特許文献２には、ノズル面に良好に密着するヘッドキャップが開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２０２３２５号公報
【特許文献２】特開２００５−２８５９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、液状体を吸引するキャッピングユニットにおいては、吸引した液状体が
キャッピングユニットの内部で乾燥してしまう可能性があった。液状体が乾燥して溶質が
キャッピングユニットの内部に付着することによって、キャッピングユニットの機能が損
なわれるという課題があった。吸引された液状体が流動する吸引経路に付着することで吸
引特性が損なわれるという課題があり、吸引された液状体の排出経路に付着することで、
液状体の排出が困難になるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形
態又は適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例にかかるヘッド保守装置は、膜状体を形成する膜材料を含む液状
体を吐出する吐出ノズルを備える吐出ヘッドを保守するためのヘッド保守装置であって、
前記吐出ノズルを封止する空間を構成する封止室を有するノズル封止手段と、前記封止室
に連通する吸引管を備え、前記吐出ノズルを封止した前記封止室の内部の気体又は液体を
、当該吸引管を介して吸引することで、前記吐出ノズルを介して前記吐出ヘッドに充填さ
れた前記液状体を吸引する吸引手段と、前記膜材料を溶解可能な溶解液を前記ノズル封止
手段に供給する溶解液供給手段と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
このヘッド保守装置によれば、ノズル封止手段によって吐出ノズルを封止した状態にお
いて、吸引手段によって封止室の内部の気体又は液体を吸引することによって、吐出ヘッ
ドに充填された液状体を、吐出ヘッドの内部から封止室内に流動させることができる。溶
解液供給手段を用いて溶解液を封止室に供給することによって、封止室に溶解液が溜めら
れた状態のように、少なくとも封止室に溶解液が存在する状態を形成することで、吐出ヘ
ッドの内部から封止室内に流動させられた液状体が乾燥して固化することを抑制すること
ができる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記溶解液供給手段は、前
記封止室に連通する溶解液供給管を備えることが好ましい。
【００１１】
このヘッド保守装置によれば、封止室が吐出ノズルを封止した状態であっても、溶解液
供給管を介して封止室内に溶解液を供給することができる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記溶解液供給手段は、前
記封止室に臨む位置に移動可能であって、前記封止室に臨んで当該封止室に向けて前記溶
解液を吐出する溶解液供給ヘッドを備えることが好ましい。
【００１３】
このヘッド保守装置によれば、溶解液供給ヘッドを介して封止室内に溶解液を供給する
ことができる。封止室に対して溶解液供給ヘッドが臨む方向を、封止室が吐出ヘッドを封
止している際の封止室に対して吐出ヘッドが臨む方向と略同一の方向にすることによって
、吐出ヘッドから吸引された液状体の密度が高い位置に、溶解液供給ヘッドから多くの溶
解液を供給することができる。これにより、液状体と溶解液とが混合しやすくなるため、
効率良く液状体が乾燥して固化することを抑制することができる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記封止室を封止する封止
室蓋をさらに備えることが好ましい。
【００１５】
このヘッド保守装置によれば、封止室蓋によって封止室を封止することによって、封止
室が封止されることなく開放された状態にくらべて、吐出ヘッドから吸引されて封止室に
溜まった液状体が乾燥して固化することを抑制することができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記溶解液供給ヘッドを用
いて前記封止室を封止することが好ましい。
【００１７】
このヘッド保守装置によれば、封止蓋を別途用意することを必要とせずに、封止室蓋と
しての溶解液供給ヘッドによって封止室を封止することができる。また、溶解液供給ヘッ
ドは、封止室を封止した状態で、溶解液を供給することが可能であり、封止室の封止と溶
解液の供給とを並行して実施することができる。
【００１８】
［適用例６］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記封止室の内部に溜まっ
た前記液状体又は前記溶解液を排出するための排出管と、前記排出管に形成された前記液
状体又は前記溶解液の流路を開閉する排出路開閉手段と、をさらに備えることが好ましい
。
【００１９】
このヘッド保守装置によれば、排出管を備えることで、排出管を介して液状体及び溶解
液を封止室から排出することができる。排出管の流路を開閉する排出路開閉手段によって
流路を閉鎖することで、溶解液が封止室に溜まった状態を維持することができると共に、
密閉された封止室が負圧になった際に流路から封止室に液状体などが逆流することを抑制
することができる。
封止室に連通する管として、吸引手段が備える吸引管とは別に、排出管を備えることで
、溶解液が封止室に溜まった状態で、封止室内を負圧にすることができる。
【００２０】
［適用例７］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記吸引管は、前記封止室
の内部の気体又は液体を吸引可能であると共に、前記封止室の内部に溜まった前記液状体
又は前記溶解液を吸引可能であることが好ましい。
【００２１】
このヘッド保守装置によれば、吐出ヘッドからの吸引と吸引された液状体の排液とが略
同時に行われる。これにより、封止室に入った液状体が即排出されることから、封止室内
に留まる時間が少ないため、封止室内に溶質が残る可能性を小さくすることができる。
【００２２】
［適用例８］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記溶解液は、前記液状体
の溶媒であることが好ましい。
【００２３】
このヘッド保守装置によれば、溶解液供給ヘッドから供給された液状体の溶媒によって
、吐出ヘッドから吸引された液状体が希釈されるため、液状体が乾燥して固化することを
抑制することができる。
【００２４】
［適用例９］本適用例にかかる吐出装置は、上記適用例にかかるヘッド保守装置を備え
ることを特徴とする。
【００２５】
この吐出装置によれば、吐出ヘッドの内部からヘッド保守装置における封止室の内部に
流動させられた液状体が乾燥して固化することを抑制することができるヘッド保守装置を
備えることによって、液状体がヘッド保守装置の内部で固化することによってヘッド保守
装置の機能が損なわれることを抑制することができる。これにより、ヘッド保守装置の機
能を好適に維持して、ヘッド保守装置を用いた吐出ヘッドの保守を好適に実施することが
できる。
【００２６】
［適用例１０］本適用例にかかるヘッド保守方法は、膜状体を形成する膜材料を含む液
状体を吐出する吐出ノズルを備える吐出ヘッドを保守するヘッド保守方法であって、前記
吐出ノズルを封止する空間を構成する封止室を有するノズル封止手段の前記封止室に、前
記膜材料を溶解可能な溶解液を、供給する溶解液供給工程と、前記吐出ノズルが前記封止
室に臨む位置に、前記吐出ヘッドと前記ノズル封止手段とを相対配置し、当該ノズル封止
手段によって、前記吐出ノズルを封止するノズル封止工程と、前記封止室を負圧にするこ
とによって、前記吐出ノズルを介して前記吐出ヘッドに充填された前記液状体を吸引する
吸引工程と、を有することを特徴とする。
【００２７】
このヘッド保守方法によれば、ノズル封止工程を実施することによって吐出ノズルを封
止した状態を保って、吸引工程において封止室の内部を負圧にする気体又は液体を吸引す
ることによって、吐出ヘッドに充填された液状体を、吐出ヘッドの内部から吸引して封止
室内に流動させることができる。溶解液供給工程において溶解液を封止室に供給すること
によって、封止室に溶解液が溜められた状態を形成することで、吐出ヘッドの内部から吸
引されて封止室内に流動させられた液状体が乾燥して固化することを抑制することができ
る。
【００２８】
［適用例１１］上記適用例にかかるヘッド保守方法において、前記溶解液供給工程にお
いては、前記封止室に連通する溶解液供給管を介して前記溶解液を供給することが好まし
い。
【００２９】
このヘッド保守方法によれば、ノズル封止工程を実施することによって封止室によって
吐出ノズルを封止した状態であっても、溶解液供給管を介して封止室内に溶解液を供給す
ることができる。
【００３０】
［適用例１２］上記適用例にかかるヘッド保守方法において、前記溶解液供給工程は、
前記溶解液を吐出する溶解液供給ヘッドを前記封止室に臨む位置に配置する溶解液供給ヘ
ッド配置工程と、前記溶解液供給ヘッドから前記封止室に向けて前記溶解液を吐出する溶
解液吐出工程と、を有することが好ましい。
【００３１】
このヘッド保守方法によれば、溶解液供給ヘッド配置工程によって、封止室に対して溶
解液供給ヘッドが臨む位置に溶解液供給ヘッドを位置させることができる。吐出ノズルが
封止室によって封止された状態では、吐出ノズルは封止室に臨んでおり、溶解液供給ヘッ
ドが封止室に臨む方向は、吐出ノズルが封止室に臨む方向と略同じ方向となる。封止室に
対して溶解液供給ヘッドが臨む方向が、封止室が吐出ヘッドを封止している際の封止室に
対して吐出ヘッドが臨む方向と略同一の方向となることによって、吐出ヘッドから吸引さ
れた液状体の密度が高い位置に、溶解液供給ヘッドから多くの溶解液を供給することがで
きる。これにより、液状体と溶解液とが混合しやすくなるため、効率良く液状体が乾燥し
て固化することを抑制することができる。
【００３２】
［適用例１３］上記適用例にかかるヘッド保守方法において、封止室蓋を用いて前記封
止室を封止する封止室封止工程と、前記封止室が封止された状態を維持して前記ノズル封
止手段を待機させる待機工程と、をさらに有することが好ましい。
【００３３】
このヘッド保守方法によれば、封止工程において封止室蓋によって封止室を封止し、待
機工程では、封止室が封止された状態が維持される。これにより、封止室が封止されるこ
となく開放された状態にくらべて、吐出ヘッドから吸引されて封止室に溜まった液状体が
乾燥して固化することを抑制することができる。
【００３４】
［適用例１４］上記適用例にかかるヘッド保守方法において、前記溶解液供給ヘッドを
用いて前記封止室を封止する封止室封止工程と、前記封止室が前記溶解液供給ヘッドによ
って封止された状態を維持して前記ノズル封止手段を待機させる待機工程と、をさらに有
することが好ましい。
【００３５】
このヘッド保守方法によれば、封止工程において溶解液供給ヘッドによって封止室を封
止し、待機工程では、封止室が封止された状態が維持される。これにより、封止室が封止
されることなく開放された状態にくらべて、吐出ヘッドから吸引されて封止室に溜まった
液状体が乾燥して固化することを抑制することができる。
また、溶解液供給ヘッドは、封止室を封止した状態で、溶解液を供給することが可能で
あり、待機工程において溶解液供給工程を並行して実施することができる。
【００３６】
［適用例１５］上記適用例にかかるヘッド保守方法において、前記封止室の内部に溜ま
った前記液状体又は前記溶解液を排出する排出工程をさらに有することが好ましい。
【００３７】
このヘッド保守方法によれば、排出工程を実施することによって封止室の内部に溜まっ
た液状体又は溶解液を排出することができる。排出工程を実施する合間には、溶解液が封
止室に溜まった状態を維持することができる。
吸引工程とは別に、排出工程を実施することで、溶解液が封止室に溜まった状態で、吸
引工程を実施することができる。
【００３８】
［適用例１６］上記適用例にかかるヘッド保守方法において、前記吸引工程を実施する
ことによって、前記排出工程を実施することが好ましい。
【００３９】
このヘッド保守方法によれば、吸引工程を実施することによって、排出工程が実施され
るため、吐出ヘッドからの吸引と吸引された液状体の排液とが略同時に行われる。これに
より、封止室に入った液状体が即排出されることから、封止室内に留まる時間が少ないた
め、封止室内に溶質が残る可能性を小さくすることができる。
【００４０】
［適用例１７］上記適用例にかかるヘッド保守方法において、前記溶解液供給工程を、
前記吸引工程を実施するごとに実施することが好ましい。
【００４１】
このヘッド保守方法によれば、吸引工程を実施するたびに溶解液が供給される。吸引工
程を実施する前に溶解液を供給することによって、吸引工程を実施する際の封止室の内部
における溶解液の状態を略一定にすることができる。
【００４２】
［適用例１８］上記適用例にかかるヘッド保守方法において、前記溶解液供給工程を、
所定の時間間隔で実施することが好ましい。
【００４３】
このヘッド保守方法によれば、一定の時間ごとに溶解液を供給することによって、封止
室の内部における溶解液の状態を略同一の状態に保つことができる。
【００４４】
［適用例１９］上記適用例にかかるヘッド保守方法において、前記溶解液供給工程にお
いては、前記液状体の溶媒を前記封止室に供給することが好ましい。
【００４５】
このヘッド保守方法によれば、溶解液供給工程において溶解液供給ヘッドから供給され
た液状体の溶媒によって、吸引工程において吐出ヘッドから吸引された液状体が希釈され
るため、液状体が乾燥して固化することを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
以下、ヘッドユニット、吐出装置、及び吐出方法の好適な実施の形態について、図面を
参照して説明する。実施形態は、吐出装置の一例であるインクジェット方式の液滴吐出ヘ
ッドを有するヘッドユニットを備える液滴吐出装置を例に説明する。なお、以下の説明に
おいて参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異
なるように表す場合がある。
【００４７】
（第一の実施形態）
＜液滴吐出法＞
最初に、フィルタ膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液
滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配
置できるという利点を有する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動
方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。
このうち、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受け
て変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空
間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出さ
せるものである。ピエゾ方式は、液状材料に熱を直接加えることがないため、材料の組成
などに影響を与えない、駆動電圧を調整することによって液滴の大きさを容易に調整する
ことができるなどの利点を有する。本実施形態では、材料の組成などに影響を与えないた
め液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の大きさを容易に調整することができるた
め液滴の制御性がよいことから、上記ピエゾ方式を用いる。
【００４８】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置１の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は
、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。図２は、液滴吐出装置の概略構成を示す
側面図である。
【００４９】
図１、又は図２に示したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７（図３参照）
を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、給液ユニット６０（図７参照）と、検
査ユニット４と、メンテナンスユニット５と、吐出装置制御部６（図７参照）とを備えて
いる。
【００５０】
吐出ユニット２は、液状体に相当する機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７
を６個備えており、当該液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に移動させると共に移動した位置
に保持するためのＹ軸テーブル１２を備えている。ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド
１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台２１を有して
いる。給液ユニット６０は、機能液を貯留する貯留タンク（図示省略）を有し、液滴吐出
ヘッド１７への機能液の供給を行う。検査ユニット４は、液滴吐出ヘッド１７からの吐出
状態を検査するための、吐出検査ユニット１８及び重量測定ユニット１９を有しており、
重量測定ユニット１９にはフラッシングユニット１４が併設されている。メンテナンスユ
ニット５は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行う吸引ユニット１５及びワイピングユニット
１６を有している。
【００５１】
吐出装置制御部６は、これら各ユニットなどを総括的に制御する。重量測定ユニット１
９、吐出ユニット２、吐出検査ユニット１８、又はメンテナンスユニット５などを用いて
実施される重量測定処理、描画処理、吐出検査処理、及びメンテナンス処理などは、吐出
装置制御部６が各ユニットなどを制御して実施される。
【００５２】
液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１Ａを備え、各ユニットなどが
、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されている。Ｘ軸テーブル１１は、主走査方向となるＸ
軸方向に延在して、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されており、ワーク載置台２１をＸ軸
方向（主走査方向）に移動させる。
【００５３】
吐出ユニット２のＹ軸テーブル１２は、複数本の支柱７Ａを介してＸ軸テーブル１１を
跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース７，７の上に配設され、副走査方向となる
Ｙ軸方向に延在している。吐出ユニット２は、６個の液滴吐出ヘッド１７を有するキャリ
ッジユニット５１を備えている。キャリッジユニット５１は、ブリッジプレート５２に吊
設されている。ブリッジプレート５２は、Ｙ軸スライダ（図示省略）を介して、Ｙ軸テー
ブル１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸テーブル１２は、ブリッジプレ
ート５２（キャリッジユニット５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。
Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２の駆動と同期して、吐出ユニット２の液滴吐出
ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液の液滴を吐出させることで、ワーク載置
台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の描画パターンを描画する。
【００５４】
吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２とを有して
いる。検査描画ユニット１６１は、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、同じくＸ軸
第２スライダ２３に固定された重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一
体に移動するように構成されている。撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３と
、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、を有
している。
【００５５】
メンテナンスユニット５が備える吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、Ｘ
軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可
能である位置に配設された架台８の上に配設されている。吸引ユニット１５は、キャップ
ユニット１１０を備え、液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａ（図３参照）を封止し
て吐出ノズル７８（図３参照）を吸引することによって、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズ
ル７８から機能液を強制的に排出させる。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧した
ワイピングシート１６ａを有し、吸引後の液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａを拭
き取る（ワイピングを行う）ものである。このようにして、吸引ユニット１５及びワイピ
ングユニット１６は、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７の機能維持又は機能回復を図
るための保守作業を実施する。
【００５６】
Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対の
Ｘ軸リニアモータ２６，２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４，２４と、を備えている
。
【００５７】
Ｘ軸第１スライダ２２には、ワーク載置台２１が取り付けられている。Ｘ軸第１スライ
ダ２２は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支
持されている。Ｘ軸第２スライダ２３には、検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニッ
ト１９と、フラッシングユニット１４とが取り付けられている。Ｘ軸第２スライダ２３は
、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されて
いる。Ｘ軸リニアモータ２６は、Ｘ軸共通支持ベース２４に並設されており、Ｘ軸第１ス
ライダ２２又はＸ軸第２スライダ２３をＸ軸共通支持ベース２４に沿って移動させること
によって、ワーク載置台２１（ワーク載置台２１に載置されたワークＷ）又は重量測定ユ
ニット１９などをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸第２スライダ２３
とは、Ｘ軸リニアモータ２６により個別に駆動可能である。
【００５８】
ワーク載置台２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３
１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向にθ補正するため
のθテーブル３２などを有している。θテーブル３２は、θ駆動モータ５３２を有し、当
該θ駆動モータ５３２によって駆動される。
【００５９】
画像認識ユニット８０は、２台のアライメントカメラ８１と、カメラ移動機構８２と、
を有している。カメラ移動機構８２は、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に、Ｙ軸方向に延在して
、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように配設されている。アライメントカメラ８１は、カメラホ
ルダ（図示省略）を介して、カメラ移動機構８２に、Ｙ軸方向にスライド自在に支持され
ている。カメラ移動機構８２に支持されたアライメントカメラ８１は、Ｘ軸テーブル１１
に上側から臨み、Ｘ軸テーブル１１の上のワーク載置台２１に載置されたワークＷの各基
準マーク（アライメントマーク）を画像認識することができる。２台のアライメントカメ
ラ８１は、カメラ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動さ
せられる。
【００６０】
各アライメントカメラ８１は、ワーク載置台２１のＸ軸方向への移動と協働して、カメ
ラ移動機構８２によりＹ軸方向に移動しながら、上記したロボットアームが給材した各種
ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を実施する。そして
、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷの
θ補正（アライメント）が実施される。
【００６１】
Ｙ軸テーブル１２は、一対のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータ（
図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモータは、上記した一対のＹ軸支持ベー
ス７，７の上にそれぞれ設置されて、Ｙ軸方向に延在している。一対のＹ軸スライダは、
一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに各１個ずつ摺動自在に支持されている。一対の
Ｙ軸支持ベース７，７のそれぞれに支持された各１個のＹ軸スライダからなる一対のＹ軸
スライダは、吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１が固定されたブリッジプ
レート５２を両持ちで支持している。吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１
を固定したブリッジプレート５２は、ブリッジプレート５２を両持ちで支持するＹ軸スラ
イダを介して、一対のＹ軸支持ベース７，７の上に設置されている。
【００６２】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持
ベース７，７を案内にして同時にＹ軸方向に平行移動する。これにより、ブリッジプレー
ト５２がＹ軸方向に移動し、ブリッジプレート５２に吊設されたキャリッジユニット５１
がＹ軸方向に移動する。
【００６３】
キャリッジユニット５１は、６個の液滴吐出ヘッド１７と、６個の液滴吐出ヘッド１７
を３個ずつ２群に分けて支持するキャリッジプレート５３（図４参照）と、を有するヘッ
ドユニット５４（図４参照）を備えている。ヘッドユニット５４は、ヘッド昇降機構（図
示省略）を介して、Ｚ軸方向に昇降自在に支持されている。
【００６４】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図３を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図３は、液滴吐出ヘッ
ドの構成を示す図である。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外
観斜視図であり、図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図で
あり、図３（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。液滴吐
出ヘッド１７が、吐出ヘッドに相当する。
【００６５】
図３（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連
の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基
板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレー
ト７６とを備えている。液体導入部７１の接続針７２には、配管接続部材が接続されて、
当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された給液ユニ
ット６０（図７参照）から機能液が供給される。ヘッド基板７３には、一対のヘッドコネ
クタ７７，７７が実装されており、当該ヘッドコネクタ７７を介してフレキシブルフラッ
トケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。このポンプ部７５とノズルプレート７６と
により、方形のヘッド本体７４が構成されている。
【００６６】
ポンプ部７５の基部側、すなわちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッ
ド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフラン
ジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対
形成されている。
【００６７】
ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており
液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８Ａが、２本形成されている。２本の
ノズル列７８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８Ａは、等ピッチで並べた
１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。すなわち
、ヘッド本体７４のノズル形成面７６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７８Ａ
が配設されている。
【００６８】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ＡはＹ
軸方向に延在する。２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ
軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置ずれている。１ノズルピッチは、例えば
１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８Ａを構成する
吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上
に着弾する。吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、着弾位置の中心間距離
は、設計上では、７０μｍである。
【００６９】
図３（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポ
ンプ部７５を構成する圧力室プレート１５１が積層されており、圧力室プレート１５１に
振動板１５２が積層されている。
圧力室プレート１５１には、液体導入部７１から振動板１５２の液供給孔１５３を経由
して供給される機能液が常に充填される液たまり１５５が形成されている。液たまり１５
５は、振動板１５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート１５１の壁とに囲まれた
空間である。また、圧力室プレート１５１には、複数のヘッド隔壁１５７によって区切ら
れた圧力室１５８が形成されている。振動板１５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘ
ッド隔壁１５７とによって囲まれた空間が圧力室１５８である。
【００７０】
圧力室１５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室１５８の
数と吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室１５８には、２個のヘッド隔壁１５７の
間に位置する供給口１５６を介して、液たまり１５５から機能液が供給される。ヘッド隔
壁１５７と圧力室１５８と吐出ノズル７８と供給口１５６との組は、液たまり１５５に沿
って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８Ａを形成している。
図３（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８Ａに対して
液たまり１５５に関して略対称位置に、１列に並んだ吐出ノズル７８がもう一列のノズル
列７８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁１５７と圧力室１５８と供給口１５６との
組が、１列に並んでいる。
【００７１】
振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子１５９の一端が固
定されている。圧電素子１５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド１
７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子１５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印
加することで、活性部が長手方向（図３（ｂ）又は（ｃ）における振動板１５２の厚さ方
向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子１５９の一端が固定された振動板１５２が圧
力室１５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引
張られることで、振動板１５２が圧力室１５８の反対側に撓む。これにより、圧力室１５
８の容積が増加することから、機能液が液たまり１５５から供給口１５６を経て圧力室１
５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元
の長さに戻ることで、圧電素子１５９が振動板１５２を押圧する。振動板１５２が押圧さ
れることで、圧力室１５８側に戻る。これにより、圧力室１５８の容積が急激に元に戻る
、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室１５８内に充填されていた機能
液に圧力が加わり、当該圧力室１５８に連通して形成された吐出ノズル７８から機能液が
液滴となって吐出される。
【００７２】
吐出装置制御部６は、圧電素子１５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御す
ることにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。よ
り詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液
滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や
、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、
ノズル列７８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８
を選択的に使用することにより、ノズル列７８Ａの延在方向では、ノズル列７８Ａの長さ
の範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができ
る。ノズル列７８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移
動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の
位置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。なお、吐出ノズル７
８のそれぞれから吐出される液滴の体積は、例えば１ｐｌ〜３００ｐｌ（ピコリットル）
の間で可変である。
【００７３】
＜ヘッドユニット＞
次に、吐出ユニット２が備えるヘッドユニット５４の概略構成について、図４を参照し
て説明する。図４は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図４に示したＸ軸
及びＹ軸は、ヘッドユニット５４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１
に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【００７４】
図４に示したように、ヘッドユニット５４は、キャリッジプレート５３と、キャリッジ
プレート５３に搭載された６個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド
１７は、キャリッジプレート５３に固定されており、ヘッド本体７４がキャリッジプレー
ト５３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート７６（ヘッド本体７４）
が、キャリッジプレート５３の面より突出している。図４は、ノズルプレート７６（ノズ
ル形成面７６ａ）側から見た図である。６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれ
て、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組５５を２群形成している。
それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ＡはＹ軸方向に延在している。
【００７５】
一つのヘッド組５５が有する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに
隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対し
て、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置す
るように、位置決めされている。仮に、ヘッド組５５が有する３個の液滴吐出ヘッド１７
において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、
Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、そ
れぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７
８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。
液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んで
ヘッド組５５を構成している。
【００７６】
ヘッド組５５がそれぞれの吐出ノズル７８から１滴ずつ吐出して形成できる直線を、ノ
ズル組線と表記する。ヘッド組５５とヘッド組５５とのＹ軸方向の相互位置は、それぞれ
のヘッド組５５において端に位置する吐出ノズル７８が、互いにノズル組線の長さに１ノ
ズルピッチを加えた距離だけ離れている。例えば、２組のヘッド組５５がそれぞれの吐出
ノズル７８から１滴ずつ吐出して２本のノズル組線を形成し、Ｙ軸方向にノズル組線の長
さに半ノズルピッチを加えた距離だけ移動した位置に、２組のヘッド組５５がそれぞれノ
ズル組線を形成する。このようにすることにより、６個の液滴吐出ヘッド１７が有する２
１６０個の吐出ノズル７８から吐出された４３２０個の液滴が等間隔で配置された直線が
形成される。
【００７７】
＜封止キャップ＞
次に、図５を参照して、封止キャップ１０２について説明する。図５は、封止キャップ
の構成を示す図である。図５（ａ）は、封止キャップを封止部材側から見た外観斜視図で
あり、図５（ｂ）は、封止キャップの構造を示す断面図である。封止キャップ１０２が、
ノズル封止手段に相当する。
【００７８】
図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、封止キャップ１０２は、キャップベース１０４と
封止部材１０６とを備えている。キャップベース１０４は、例えばステンレス鋼などのよ
うな腐食され難い材料で略直方体形状に構成されており、一面にキャップ凹部１０５が形
成されている。キャップ凹部１０５は、キャップベース１０４の一面に開口する略直方体
形状の凹部である。キャップベース１０４は、封止キャップ１０２が液滴吐出装置１に取
り付けられた状態では、キャップ凹部１０５の開口が重力加速度方向の上側を向く状態に
なる。
【００７９】
キャップベース１０４のキャップ凹部１０５が形成されている面を上面、反対側の面を
下面、上面と下面以外の４面を側面と表記する。キャップベース１０４には、キャップ凹
部１０５から側面に貫通する吸引孔１１４ａと、キャップ凹部１０５から側面に貫通する
給液孔１１９ａと、キャップ凹部１０５から下面に貫通する排液孔１２４ａと、が形成さ
れている。吸引孔１１４ａと、給液孔１１９ａと、排液孔１２４ａとは、それぞれ、キャ
ップベース１０４の側面又は下面に突設された吸引突起１１４ｂ、給液突起１１９ｂ、又
は排液突起１２４ｂを貫通して、キャップベース１０４の外部に開口している。
吸引孔１１４ａと、給液孔１１９ａとは、キャップ凹部１０５の内壁における、キャッ
プ凹部１０５の底面から離れた位置に開口している。
【００８０】
吸引突起１１４ｂには吸引管１１４の一端が嵌合しており、吸引管１１４の他端は、吸
引ポンプ１１１に接続されている。吸引管１１４の途中には、吸引管１１４の流路を開閉
可能な吸引バルブ１１２が設けられている。吸引バルブ１１２及び吸引ポンプ１１１は、
吐出装置制御部６によって制御される。吸引ポンプ１１１によって、吸引管１１４及び吸
引孔１１４ａを介してキャップ凹部１０５内の気体や液体を吸引することができる。吸引
ポンプ１１１が吸引手段に相当する。
給液突起１１９ｂには給液管１１９の一端が嵌合しており、給液管１１９の他端は、溶
解液供給ユニット１１６が備える溶解液供給ポンプ１１７に接続されている。給液管１１
９の途中には、給液管１１９の流路を開閉可能な溶解液バルブ１１８が設けられている。
溶解液バルブ１１８及び溶解液供給ポンプ１１７は、吐出装置制御部６によって制御され
る。溶解液供給ポンプ１１７によって、溶解液供給ユニット１１６の溶解液タンク（図示
省略）から給液管１１９及び給液孔１１９ａを介してキャップ凹部１０５に溶解液が供給
される。溶解液は、機能液の溶質を溶解可能な液体であって、例えば機能液の溶媒である
。溶解液供給ポンプ１１７が、溶解液供給手段に相当する。給液管１１９が、溶解液供給
管に相当する。
排液突起１２４ｂには排液管１２４の一端が嵌合しており、排液管１２４の他端は、排
液ポンプ１２１に接続されている。排液管１２４の途中には、排液管１２４の流路を開閉
可能な排液バルブ１２２が設けられている。排液バルブ１２２及び排液ポンプ１２１は、
吐出装置制御部６によって制御される。排液ポンプ１２１によって、排液管１２４及び排
液孔１２４ａを介してキャップ凹部１０５の底に溜まった機能液や溶解液を排出すること
ができる。排液管１２４が、排出管に相当する。排液バルブ１２２が、排出路開閉手段に
相当する。
【００８１】
封止部材１０６は、耐食性を有するゴム状弾性体材料を用いて形成されている。封止部
材１０６は、キャップ凹部１０５の開口の縁に沿って、図示省略した封止部材ホルダによ
ってキャップベース１０４に固定されている。封止部材１０６の封止凸部１０６ａが、キ
ャップベース１０４の上面から突出している。封止部材１０６とキャップ凹部１０５とで
、キャップ室１０５ａを構成している。
封止凸部１０６ａの平面形状は、２列のノズル列７８Ａの周囲でノズル形成面７６ａに
当接する形状になっている。封止キャップ１０２が液滴吐出ヘッド１７に当接する場合、
キャップベース１０４から突出している封止凸部１０６ａがノズル形成面７６ａに当接す
る。このとき、ゴム状弾性体材料から成る封止凸部１０６ａは、弾性変形してノズル形成
面７６ａに密着する。キャップ室１０５ａは、図５（ｂ）に二点鎖線で示したように、液
滴吐出ヘッド１７によって封止されて、吸引孔１１４ａ、給液孔１１９ａ、排液孔１２４
ａ、又は液滴吐出ヘッド１７に形成された液状体の流路を介してのみ外部と連通可能な封
止空間となる。吐出ノズル７８に対しては、キャップ室１０５ａが、吐出ノズル７８を封
止する封止空間になっている。キャップ室１０５ａが、封止室に相当する。
【００８２】
＜キャップユニット＞
次に、封止キャップ１０２を有するキャップ装置１０３を備えるキャップユニット１１
０の概略構成について、図６を参照して説明する。図６は、キャップユニットの概略構成
を示す平面図である。図６に示したＸ軸及びＹ軸は、キャップユニット１１０が液滴吐出
装置１に取り付けられた状態において、図１又は図４に示したＸ軸及びＹ軸と一致してい
る。
【００８３】
図６に示したように、キャップユニット１１０は、キャッププレート１０１と、キャッ
ププレート１０１に搭載された６個のキャップ装置１０３と、を有している。キャッププ
レート１０１は、図示省略したキャップ昇降機構を介して架台８に昇降可能に固定されて
いる。
キャップ装置１０３は封止キャップ１０２とベースホルダ１０８とを有しており、ベー
スホルダ１０８がキャッププレート１０１に形成されたプレート孔（図示省略）に嵌合し
て固定されることによって、キャッププレート１０１に固定されている。封止キャップ１
０２は、図示省略したキャップ押圧機構を介してベースホルダ１０８に対して離接方向に
移動可能に取り付けられている。キャップ押圧機構は、封止キャップ１０２がキャッププ
レート１０１の面に略垂直な方向に移動する方向に弾性変形可能である。キャップ押圧機
構は、封止キャップ１０２が液滴吐出ヘッド１７などに当接した状態で、封止キャップ１
０２に加えられた当接力によって変形し、変形抗力によって、封止キャップ１０２を液滴
吐出ヘッド１７などに押付ける力を封止キャップ１０２に加える。
【００８４】
図６は、キャップユニット１１０を封止部材１０６側から見た図である。６個のキャッ
プ装置１０３は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつのキャップ装置１０３を有する
キャップ組１１５を２組形成している。キャップユニット１１０における６個のキャップ
装置１０３は、ヘッドユニット５４における６個の液滴吐出ヘッド１７の位置に対応した
位置にそれぞれ配設されている。キャップユニット１１０が有する６個のキャップ装置１
０３によって、ヘッドユニット５４における６個の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８
を同時に封止することができる。
【００８５】
図１を参照して説明したように、ヘッドユニット５４は、Ｙ軸テーブル１２によってキ
ャリッジユニット５１を移動させることによって、キャップユニット１１０に臨む位置に
移動可能である。キャップユニット１１０に臨む位置にあるヘッドユニット５４に対して
、キャップ昇降機構によってキャップユニット１１０を上昇させることで、６個の液滴吐
出ヘッド１７のそれぞれのノズル形成面７６ａに、封止凸部１０６ａを当接させる。キャ
ップ押圧機構の押圧力によって、封止凸部１０６ａがノズル形成面７６ａに押付けられ、
封止凸部１０６ａが弾性変形することによって、封止凸部１０６ａとノズル形成面７６ａ
とが密着する。上述したように、吐出ノズル７８に対しては、キャップ室１０５ａが、吐
出ノズル７８を封止する封止空間になる。この状態が、封止キャップ１０２によって液滴
吐出ヘッド１７（吐出ノズル７８）をキャッピング（封止）した状態である。
【００８６】
稼働していない液滴吐出ヘッド１７についてキャッピング状態を維持することによって
、吐出ノズル７８の部分で機能液が乾燥することを抑制することができる。液滴吐出ヘッ
ド１７（吐出ノズル７８）をキャッピングした状態で、吸引ポンプ１１１によって、吸引
管１１４及び吸引孔１１４ａを介してキャップ室１０５ａ内の気体を吸引することで、吐
出ノズル７８を介して、圧力室１５８などに充填されている機能液を吸引することができ
る。
【００８７】
＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成につい
て、図７を参照して説明する。図７は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロッ
ク図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止
などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホス
トコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に入出力する情報を入出力するための入出力装置
６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されてい
る。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力す
る外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニ
タ装置などである。
【００８８】
液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Ce
ntral Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random 
Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ
２ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ６０ｄと、メンテナンスドライバ５ｄ
と、検査ドライバ４ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３と、を有している。これ
らは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。
【００８９】
インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置
６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する
制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から
受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が
各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶している。ハードディスク４８は、制御装
置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処
理を行うためのルーチンなどを記憶したりしている。
【００９０】
ヘッドドライバ２ｄには、吐出ユニット２を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されて
いる。ヘッドドライバ２ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を
駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２
のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータ２６と、各種駆動源を有す
る各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、上記した、キ
ャップ昇降機構の駆動モータや、アライメントカメラ８１を移動するためのカメラ移動モ
ータや、θテーブル３２のθ駆動モータ５３２などである。駆動機構ドライバ４０ｄは、
ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワ
ークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘ
ッドドライバ２ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。
【００９１】
メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンスユニット５の吸引ユニット１５と、ワイ
ピングユニット１６と、フラッシングユニット１４とが接続されている。吸引ユニット１
５が有する、吸引ポンプ１１１と、吸引バルブ１１２と、溶解液供給ポンプ１１７と、溶
解液バルブ１１８と、排液ポンプ１２１と、排液バルブ１２２とが、メンテナンスドライ
バ５ｄに接続されている。
メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５
、ワイピングユニット１６、又はフラッシングユニット１４を駆動して、液滴吐出ヘッド
１７の保守作業を実施させる。吸引ポンプ１１１と、吸引バルブ１１２とを駆動して、キ
ャップ室１０５ａ内の気体を吸引することで、吐出ノズル７８を介して、圧力室１５８な
どに充填されている機能液を吸引する。溶解液供給ポンプ１１７と、溶解液バルブ１１８
とを駆動して、キャップ凹部１０５に溶解液を供給する。また、溶解液バルブ１１８を駆
動して給液管１１９を閉鎖することによって、キャップ室１０５ａと外部とを遮断する。
排液ポンプ１２１と、排液バルブ１２２とを駆動して、キャップ凹部１０５に溜まった機
能液などを排出する。また、排液バルブ１２２を閉鎖することによって、キャップ凹部１
０５に供給された溶解液の流出を阻止して、キャップ凹部１０５に溶解液が溜まった状態
を維持したり、キャップ室１０５ａと外部とを遮断したりする。
【００９２】
検査ドライバ４ｄには、検査ユニット４の吐出検査ユニット１８と、重量測定ユニット
１９とが接続されている。検査ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐
出検査ユニット１８、又は重量測定ユニット１９を駆動して、吐出重量や吐出の可否や着
弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。
【００９３】
給液ドライバ６０ｄには、給液ユニット６０が接続されている。給液ドライバ６０ｄは
、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って給液ユニット６０を駆動して、液滴吐出ヘッド１７
に機能液を供給する。検出部インタフェイス４３には、各種センサを含む検出部４２が接
続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイ
ス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。
【００９４】
＜吸引工程＞
次に、吸引ユニット１５によって液滴吐出ヘッド１７に充填された機能液を吸引する吸
引工程について、図８を参照して説明する。図８は、液滴吐出ヘッドを吸引する吸引工程
を示すフローチャートである。
【００９５】
図８のステップＳ１では、排液バルブ１２２を閉じて、排液管１２４を閉鎖する。
次に、ステップＳ２では、機能液の溶媒をキャップ凹部１０５に供給する。溶解液バル
ブ１１８を開放して、溶解液供給ポンプ１１７によって、給液管１１９及び給液孔１１９
ａを介してキャップ凹部１０５に機能液の溶媒を供給する。ステップＳ１を実施して、排
液バルブ１２２によって排液管１２４が閉鎖されているため、溶媒はキャップ凹部１０５
に溜められる。
次に、ステップＳ３では、溶解液バルブ１１８を閉じて、給液管１１９を閉鎖する。
【００９６】
次に、ステップＳ４では、キャップ装置１０３によって液滴吐出ヘッド１７をキャッピ
ングする。上述したように、Ｙ軸テーブル１２によってキャリッジユニット５１を移動さ
せることによって、ヘッドユニット５４をキャップユニット１１０に臨む位置に移動させ
る。キャップユニット１１０に臨む位置にあるヘッドユニット５４に対して、キャップ昇
降機構によってキャップユニット１１０を上昇させることで、６個の液滴吐出ヘッド１７
のそれぞれのノズル形成面７６ａに、封止凸部１０６ａを当接させる。キャップ押圧機構
の押圧力によって、封止凸部１０６ａがノズル形成面７６ａに押付けられ、封止凸部１０
６ａが弾性変形することによって、封止凸部１０６ａとノズル形成面７６ａとが密着する
。
【００９７】
次に、ステップＳ５では、吐出ノズル７８の吸引を実施する。吸引ポンプ１１１によっ
て、吸引管１１４及び吸引孔１１４ａを介してキャップ室１０５ａ内の空気を吸引する。
ステップＳ１において排液管１２４を閉鎖し、ステップＳ３において給液管１１９を閉鎖
し、ステップＳ４においてキャップ装置１０３によって液滴吐出ヘッド１７をキャッピン
グしているため、キャップ室１０５ａは封止された空間となっている。このため、吸引ポ
ンプ１１１によってキャップ室１０５ａ内の空気を吸引することによって、キャップ室１
０５ａは負圧になるため、吐出ノズル７８から、圧力室１５８などの液滴吐出ヘッド１７
の内部の機能液の流路に充填されている機能液が吸引される。
【００９８】
次に、ステップＳ６では、キャップ昇降機構によってキャップユニット１１０を下降さ
せることで、液滴吐出ヘッド１７のキャッピング状態を解除して、液滴吐出ヘッド１７の
吐出ノズル７８を開放する。
【００９９】
次に、ステップＳ７では、排液バルブ１２２を開いて、排液管１２４を開放する。
次に、ステップＳ８では、排液ポンプ１２１によって、キャップ凹部１０５の底に溜ま
った機能液及び溶媒を、排液孔１２４ａ及び排液管１２４を介して排出する。キャップ凹
部１０５の底に溜まった機能液及び溶媒は、ステップＳ２において供給された溶媒、又は
ステップＳ５において液滴吐出ヘッド１７から吸引された機能液である。
【０１００】
次に、ステップＳ９では、排液バルブ１２２を閉じて、排液管１２４を閉鎖する。
次に、ステップＳ１０では、ステップＳ２と同様に、機能液の溶媒をキャップ凹部１０
５に供給する。排液管１２４が閉鎖されているため、溶媒はキャップ凹部１０５に溜めら
れる。
【０１０１】
ステップＳ１０を実施して、吸引ユニット１５によって液滴吐出ヘッド１７に充填され
た機能液を吸引する吸引工程を終了する。
吸引ユニット１５は、次の吸引工程まで、ステップＳ１０が実施された状態で待機させ
る。次の吸引工程の実施に際しては、ステップＳ１は、ステップＳ９を実施してあるため
、省略する。キャップ凹部１０５に溜められた溶媒が著しく減少していなければ、吸引工
程におけるステップＳ２及びステップＳ３を省略して、ステップＳ４からステップＳ１０
を実施する。
また、キャップ凹部１０５に溜められた溶媒が著しく減少した場合には、ステップＳ２
及びステップＳ３を、吸引工程とは別に独立して実施する。
【０１０２】
＜配線基板の構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いて機能液を配置する対象物の一例として、金属配線を形成
する配線基板について、図９を参照して説明する。図９は配線基板のマザー基板を示す概
略平面図である。図９に示すように、配線基板２００は、半導体装置（ＩＣ）を平面実装
する回路基板であり、ＩＣの入出力電極（バンプ）に対応して配置された導電性材料から
なる配線としての入力配線２０１及び出力配線２０３と、絶縁膜２０７とにより構成され
ている。絶縁膜２０７は、二点鎖線で示した外形２０６の内側であって、二点鎖線で示し
た実装領域２０５以外の部分に形成されており、入力端子部２０２及び出力端子部２０４
を避けると共に、実装領域２０５の内側に入力配線２０１と出力配線２０３のそれぞれの
一部が露出するように複数の入力配線２０１及び出力配線２０３を覆っている。配線基板
２００は、マザー基板２００Ａ上に、複数の配線基板２００がマトリクス状に形成される
。当該マザー基板２００Ａを分割することによって、個別の配線基板２００がり取り出さ
れる。マザー基板２００Ａは、絶縁基板としてリジットなガラス基板、セラミック基板、
ガラスエポキシ樹脂基板の他、フレキシブルな樹脂基板を用いることができる。分割方法
としては、スクライブ、ダイシング、レーザーカット、プレスなどがマザー基板２００Ａ
の材料に応じて選択できる。
【０１０３】
本実施形態では、上述した液滴吐出装置１を用いた液滴吐出法により、導電性材料から
なる入力配線２０１及び出力配線２０３や絶縁性材料からなる絶縁膜２０７を形成する。
液滴吐出法を用いることで、各材料の無駄を省いて配線や絶縁膜を形成することができる
。また、フォトリソグラフィ法に比べてパターン形成するための露光用マスクや現像、エ
ッチングなどの工程を必要としないので、マザー基板２００Ａのサイズによらず工程を簡
略化することができる。
【０１０４】
液滴吐出装置１から吐出する機能液に含まれる導電性材料としては、例えば金、銀、銅
、アルミニウム、パラジウム、及びニッケルのうちの少なくともいずれか１つを含有する
金属微粒子の他、これらの酸化物、並びに導電性ポリマーや超電導体の微粒子などが用い
られる。これらの導電性微粒子は分散性を向上させるために表面に有機物などをコーティ
ングして使うこともできる。導電性微粒子の粒径は１ｎｍ以上１．０μｍ以下であること
が好ましい。１．０μｍより大きいと液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８に目詰まりが
生じるおそれがある。また、１ｎｍより小さいと導電性微粒子に対するコーティング剤の
体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。
【０１０５】
分散媒としては、上記の導電性微粒子を分散できるもので凝集を起こさないものであれ
ば特に限定されない。例えば、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタ
ノールなどのアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデ
カン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナ
フタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼンなどの炭化水素系化合物、ま
たエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレ
ングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレ
ングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−
ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサンなどのエーテ
ル系化合物、さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピ
ロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの極性
化合物を例示できる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法
への適用の容易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好
ましく、より好ましい分散媒としては、水、炭化水素系化合物を挙げることができる。
【０１０６】
上記導電性微粒子の分散液の表面張力は０．０２Ｎ／ｍ以上０．０７Ｎ／ｍ以下の範囲
内であることが好ましい。液滴吐出法により機能液を吐出する際、表面張力が０．０２Ｎ
／ｍ未満であると、機能液のノズル形成面７６ａに対する濡れ性が増大するため飛行曲り
が生じやすくなり、０．０７Ｎ／ｍを超えると吐出ノズル７８の先端でのメニスカスの形
状が安定しないため吐出量や吐出タイミングの制御が困難になる。表面張力を調整するた
め、上記分散液には、マザー基板２００Ａとの接触角を大きく低下させない範囲で、フッ
素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加するとよい。ノニオン
系表面張力調節剤は、機能液のマザー基板２００Ａへの濡れ性を向上させ、膜のレベリン
グ性を改良し、膜の微細な凹凸の発生などの防止に役立つものである。上記表面張力調節
剤は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトンなどの有機化合物を含ん
でもよい。
【０１０７】
上記分散液の粘度は１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。液滴
吐出法を用いて機能液を液滴として吐出する際、粘度が１ｍＰａ・ｓより小さい場合には
吐出ノズル７８周辺部が機能液の流出により汚染されやすく、また粘度が５０ｍＰａ・ｓ
より大きい場合は、吐出ノズル７８のノズル孔での目詰まり頻度が高くなり円滑な液滴の
吐出が困難となる。
休止状態の液滴吐出ヘッド１７においては、分散液が吐出ノズル７８から吐出可能な状
態に液滴吐出ヘッド１７に充填されており、吐出ノズル７８から分散媒が蒸発することに
よって分散液の粘度が高くなる可能性がある。
キャップ装置１０３によって液滴吐出ヘッド１７をキャッピングすることによって、吐
出ノズル７８を封止して、吐出ノズル７８から分散媒が蒸発することを抑制することがで
きる。その場合に、キャップ凹部１０５に分散媒を供給することによって、キャップ室１
０５ａに分散媒の雰囲気を充満させることで、吐出ノズル７８から分散媒が蒸発すること
をより抑制することができる。
キャップユニット１１０によって液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８から分散液を吸
引することによって、粘度が高くなった可能性のある分散液を強制的に取り除くことがで
きる。
【０１０８】
第一の実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）液滴吐出ヘッド１７の吸引に先立って機能液の溶媒をキャップ凹部１０５に供給
することによって、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８から吸引されてキャップ凹部１
０５に流入した機能液は溶媒によって希釈されるため、キャップ凹部１０５の内部や排液
経路において機能液が凝固することを抑制することができる。
【０１０９】
（２）排液管１２４の途中には、排液管１２４の流路を開閉可能な排液バルブ１２２が
設けられている。排液バルブ１２２を閉じることによって、キャップ凹部１０５に供給さ
れた溶媒が流出することを抑制することができる。これにより、供給された溶媒が利用さ
れることなく流出することを抑制して、効率良く利用することができる。
【０１１０】
（３）キャップベース１０４には、キャップ凹部１０５から側面に貫通する吸引孔１１
４ａが形成されており、吸引孔１１４ａは、キャップ凹部１０５の内壁における、キャッ
プ凹部１０５の底面から離れた位置に開口している。この構成によって、キャップ室１０
５ａから空気を吸引してキャップ室１０５ａを負圧にする際に、キャップ凹部１０５の底
に溜まった溶媒や機能液を吸引することが少なくなるため、効率よくキャップ室１０５ａ
から空気を吸引して負圧にすることができる。
【０１１１】
（４）キャップベース１０４には、キャップ凹部１０５から側面に貫通する給液孔１１
９ａが形成されている。この構成によって、キャップ室１０５ａの開口が封止された状態
でもキャップ凹部１０５に溶媒を供給することができる。
【０１１２】
（５）キャップベース１０４には、キャップ凹部１０５から側面に貫通する給液孔１１
９ａが形成されており、給液孔１１９ａは、キャップ凹部１０５の内壁における、キャッ
プ凹部１０５の底面から離れた位置に開口している。この構成によって、キャップ凹部１
０５に溶媒を供給する際に、キャップ凹部１０５の底に溜まった溶媒や機能液がキャップ
凹部１０５への溶媒の流入の抵抗となる可能性を小さくすることができる。
【０１１３】
（６）キャップベース１０４には、吸引孔１１４ａとは別に排液孔１２４ａが設けられ
ている。これにより、吸引孔１１４ａや吸引管１１４や吸引バルブ１１２や吸引ポンプ１
１１が機能液に触れる可能性を小さくすることができる。
【０１１４】
（７）キャップユニット１１０における６個のキャップ装置１０３は、ヘッドユニット
５４における６個の液滴吐出ヘッド１７の位置に対応した位置にそれぞれ配設されている
。これにより、キャップユニット１１０が有する６個のキャップ装置１０３によって、ヘ
ッドユニット５４における６個の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８を同時に封止して
、吸引に要する時間を削減することができる。
【０１１５】
（第二の実施形態）
次に、ヘッドユニット、吐出装置、及び吐出方法の第二の実施形態について、説明する
。本実施形態の液滴吐出装置３０１（図１０参照）は、第一の実施形態の液滴吐出装置１
と基本的な構成及び機能は共通である。液滴吐出装置３０１の液滴吐出装置１と異なる構
成について説明する。
【０１１６】
＜液滴吐出装置＞
最初に、液滴吐出装置３０１の全体構成について、図１０を参照して説明する。図１０
は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。
【０１１７】
図１０に示したように、液滴吐出装置３０１は、液滴吐出ヘッド１７（図３参照）を有
する吐出ユニット３３２と、ワークユニット３と、給液ユニット（図示省略）と、検査ユ
ニット３３４と、メンテナンスユニット３３５と、吐出装置制御部（図示省略）とを備え
ている。
【０１１８】
吐出ユニット３３２は、ヘッドユニット５４を備えるキャリッジユニット５１を４個備
えている。検査ユニット３３４は、４個のヘッドユニット５４に対応する構成を備えてい
る。メンテナンスユニット３３５は、メンテナンスユニット５の吸引ユニット１５とは異
なる吸引ユニット３１５を備えている。
４個のヘッドユニット５４に対応する構成となっていること及び吸引ユニット１５とは
異なる吸引ユニット３１５を備えていること以外は、液滴吐出装置３０１は、液滴吐出装
置１と基本的に同様の構成を備えている。液滴吐出装置３０１における吐出装置制御部は
、液滴吐出装置１における吐出装置制御部６と同様に、液滴吐出装置３０１の各装置及び
各ユニットなどを総括的に制御する。
【０１１９】
吸引ユニット３１５は、キャップユニット３１０と、ブリッジプレート５２及びブリッ
ジプレート５２に吊設された溶解液ヘッドキャリッジ３５１を有する溶解液供給ユニット
３１６と、を備えている。溶解液ヘッドキャリッジ３５１は、６個の溶解液供給ヘッド３
１７を備える溶解液ヘッドユニット３５４を備えている。
溶解液ヘッドユニット３５４は、ヘッド昇降機構（図示省略）を介して、Ｚ軸方向に昇
降自在に支持されている。溶解液供給ヘッド３１７には、図示省略した溶解液タンクから
機能液の溶解液が供給される。溶解液は、機能液の溶質を溶解可能な液体であって、例え
ば機能液の溶媒である。溶解液供給ユニット３１６が、溶解液供給手段に相当する。
【０１２０】
溶解液ヘッドユニット３５４における６個の溶解液供給ヘッド３１７の配置は、ヘッド
ユニット５４における６個の液滴吐出ヘッド１７の配置と、基本的に同一である。
キャップユニット１１０における６個のキャップ装置１０３と同様に、キャップユニッ
ト３１０における６個のキャップ装置３０３（図１１参照）は、ヘッドユニット５４にお
ける６個の液滴吐出ヘッド１７の位置に対応した位置にそれぞれ配設されている。これに
より、ヘッドユニット５４における６個の液滴吐出ヘッド１７を、キャップユニット３１
０が備える６個のキャップ装置３０３によって同時にキャッピングすることができる。同
様に、溶解液ヘッドユニット３５４における６個の溶解液供給ヘッド３１７のそれぞれを
、キャップユニット３１０が備える６個のキャップ装置３０３のそれぞれに、同時に臨ま
せることができる。
【０１２１】
溶解液ヘッドキャリッジ３５１が吊設されたブリッジプレート５２は、キャリッジユニ
ット５１が吊設されたブリッジプレート５２と同様のものである。ブリッジプレート５２
を両持ちで支持する一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダ
が一対のＹ軸支持ベース７，７を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより
、ブリッジプレート５２がＹ軸方向に移動し、ブリッジプレート５２に吊設された溶解液
ヘッドキャリッジ３５１がＹ軸方向に移動する。
【０１２２】
＜封止キャップ及びキャップユニット＞
次に、図１１を参照して、封止キャップ３０２及びキャップユニット３１０について説
明する。図１１は、封止キャップ及びキャップユニットの概略構成を示す図である。図１
１（ａ）は、封止キャップの構成を示す断面図であり、図１１（ｂ）は、キャップユニッ
トの概略構成を示す平面図である。図１１（ｂ）に示したＸ軸及びＹ軸は、キャップユニ
ット３１０が液滴吐出装置３０１に取り付けられた状態において、図１０又は図４に示し
たＸ軸及びＹ軸と一致している。封止キャップ３０２が、ノズル封止手段に相当する。
【０１２３】
図１１（ａ）に示すように、封止キャップ３０２は、キャップベース３０４と封止部材
３０６とを備えている。キャップベース３０４は、例えばステンレス鋼などのような腐食
され難い材料で略直方体形状に構成されており、一面にキャップ凹部３０５が形成されて
いる。キャップ凹部３０５は、キャップベース３０４の一面に開口する略直方体形状の凹
部である。キャップベース３０４は、封止キャップ３０２が液滴吐出装置３０１に取り付
けられた状態では、キャップ凹部３０５の開口が重力加速度方向の上側を向く状態になる
。キャップベース３０４のキャップ凹部３０５が形成されている面を上面、反対側の面を
下面、上面と下面以外の４面を側面と表記する。
【０１２４】
キャップベース３０４には、キャップ凹部３０５から側面に貫通する吸引孔３１４と、
キャップ凹部３０５から下面に貫通する排液孔３２４と、が形成されている。吸引孔３１
４と、排液孔３２４とは、それぞれ、キャップベース３０４の側面又は下面に突設された
吸引突起３１４ｂ、又は排液突起３２４ｂを貫通して、キャップベース３０４の外部に開
口している。
吸引孔３１４は、キャップ凹部３０５の内壁における、キャップ凹部３０５の底面から
離れた位置に開口している。
【０１２５】
吸引突起３１４ｂには吸引管１１４の一端が嵌合しており、吸引管１１４の他端は、吸
引ポンプ１１１に接続されている。吸引管１１４の途中には、吸引管１１４の流路を開閉
可能な吸引バルブ１１２が設けられている。吸引バルブ１１２及び吸引ポンプ１１１は、
吐出装置制御部によって制御される。吸引ポンプ１１１によって、吸引管１１４及び吸引
孔３１４を介してキャップ凹部３０５内の気体や液体を吸引することができる。
排液突起３２４ｂには排液管１２４の一端が嵌合しており、排液管１２４の他端は、排
液ポンプ１２１に接続されている。排液管１２４の途中には、排液管１２４の流路を開閉
可能な排液バルブ１２２が設けられている。排液バルブ１２２及び排液ポンプ１２１は、
吐出装置制御部によって制御される。排液ポンプ１２１によって、排液管１２４及び排液
孔３２４を介してキャップ凹部３０５の底に溜まった機能液や溶解液を排出することがで
きる。キャップ凹部３０５の底は、上面からの深さが、排液孔３２４が開口している部分
において最も深くなるように形成されている。これにより、キャップ凹部３０５の底に溜
まった液体は、排液孔３２４に流入し易くなっている。
【０１２６】
封止部材３０６は、耐食性を有するゴム状弾性体材料を用いて形成されている。封止部
材３０６は、キャップ凹部３０５の開口の縁に沿って、図示省略した封止部材ホルダによ
ってキャップベース３０４に固定されている。封止部材３０６の封止凸部３０６ａが、キ
ャップベース３０４の上面から突出している。封止部材３０６とキャップ凹部３０５とで
、キャップ室３０５ａを構成している。
封止凸部３０６ａの平面形状は、２列のノズル列７８Ａの周囲でノズル形成面７６ａに
当接する形状になっている。封止キャップ３０２が液滴吐出ヘッド１７に当接する場合、
キャップベース３０４から突出している封止凸部３０６ａがノズル形成面７６ａに当接す
る。このとき、ゴム状弾性体材料から成る封止凸部３０６ａは、弾性変形してノズル形成
面７６ａに密着する。キャップ室３０５ａは、図１１（ａ）に二点鎖線で示したように、
液滴吐出ヘッド１７によって封止されて、吸引孔３１４、排液孔３２４、又は液滴吐出ヘ
ッド１７に形成された液状体の流路を介してのみ外部と連通可能な封止空間となる。吐出
ノズル７８に対しては、キャップ室３０５ａが、吐出ノズル７８を封止する封止空間にな
っている。キャップ室３０５ａが、封止室に相当する。
【０１２７】
キャップ装置３０３は封止キャップ３０２とベースホルダ３０８とを有しており、ベー
スホルダ３０８がキャッププレート１０１に形成されたプレート孔１０１ａに嵌合して固
定されることによって、キャッププレート１０１に固定されている。封止キャップ３０２
は、キャップ押圧機構３０９を介してベースホルダ３０８に対して離接方向に移動可能に
取り付けられている。キャップ押圧機構３０９は、封止キャップ３０２がキャッププレー
ト１０１の面に略垂直な方向に移動する方向に弾性変形可能である。キャップ押圧機構３
０９は、封止キャップ３０２が液滴吐出ヘッド１７などに当接した状態で、封止キャップ
３０２に加えられた当接力によって変形し、変形抗力によって、封止キャップ３０２を液
滴吐出ヘッド１７などに押付ける力を封止キャップ３０２に加える。
【０１２８】
図１１（ｂ）に示したように、キャップユニット３１０は、キャッププレート１０１と
、キャッププレート１０１に搭載された６個のキャップ装置３０３と、を有している。キ
ャッププレート１０１は、図示省略したキャップ昇降機構を介して架台８に昇降可能に固
定されている。
【０１２９】
図１１（ｂ）は、キャップユニット３１０を封止部材３０６側から見た図である。６個
のキャップ装置３０３は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつのキャップ装置３０３
を有するキャップ組４１５を２組形成している。キャップユニット３１０における６個の
キャップ装置３０３は、ヘッドユニット５４における６個の液滴吐出ヘッド１７の位置に
対応した位置にそれぞれ配設されている。キャップユニット３１０が有する６個のキャッ
プ装置３０３によって、ヘッドユニット５４における６個の液滴吐出ヘッド１７の吐出ノ
ズル７８を同時に封止することができる。
【０１３０】
図１を参照して説明したように、液滴吐出装置１におけるヘッドユニット５４は、Ｙ軸
テーブル１２によってキャリッジユニット５１を移動させることによって、キャップユニ
ット１１０に臨む位置に移動可能である。同様に、液滴吐出装置３０１におけるヘッドユ
ニット５４は、Ｙ軸テーブル１２によってキャリッジユニット５１を移動させることによ
って、キャップユニット３１０に臨む位置に移動可能である。
キャップユニット３１０に臨む位置にあるヘッドユニット５４に対して、キャップ昇降
機構によってキャップユニット３１０を上昇させることで、６個の液滴吐出ヘッド１７の
それぞれのノズル形成面７６ａに、封止凸部３０６ａを当接させる。キャップ押圧機構３
０９の押圧力によって、封止凸部３０６ａがノズル形成面７６ａに押付けられ、封止凸部
３０６ａが弾性変形することによって、封止凸部３０６ａとノズル形成面７６ａとが密着
する。上述したように、吐出ノズル７８に対しては、キャップ室３０５ａが、吐出ノズル
７８を封止する封止空間になる。この状態が、封止キャップ３０２によって液滴吐出ヘッ
ド１７（吐出ノズル７８）をキャッピング（封止）した状態である。
【０１３１】
稼働していない液滴吐出ヘッド１７についてキャッピング状態を維持することによって
、吐出ノズル７８の部分で機能液が乾燥することを抑制することができる。液滴吐出ヘッ
ド１７（吐出ノズル７８）をキャッピングした状態で、吸引ポンプ１１１によって、吸引
管１１４及び吸引孔３１４を介してキャップ室３０５ａ内の気体を吸引することで、吐出
ノズル７８を介して、圧力室１５８などに充填されている機能液を吸引することができる
。
【０１３２】
＜吸引工程＞
次に、液滴吐出ヘッド１７に充填された機能液を、吸引ユニット３１５を用いて吸引す
る吸引工程について、図１２を参照して説明する。図１２は、液滴吐出ヘッドを吸引する
吸引工程を示すフローチャートである。
【０１３３】
図１２のステップＳ２１では、排液バルブ１２２を閉じて、排液管１２４を閉鎖する。
次に、ステップＳ２２では、溶解液供給ユニット３１６を、Ｙ軸テーブル１２によって
Ｙ軸方向に移動させて、溶解液ヘッドユニット３５４における６個の溶解液供給ヘッド３
１７のそれぞれを、キャップユニット３１０が備える６個のキャップ装置３０３のそれぞ
れに対向させる。より詳細には、溶解液供給ヘッド３１７の吐出ノズルを、キャップ室３
０５ａに臨ませる。
【０１３４】
次に、ステップＳ２３では、機能液の溶媒をキャップ凹部３０５に供給する。キャップ
室３０５ａ（キャップ凹部３０５）に臨んだ溶解液供給ヘッド３１７の吐出ノズルから溶
媒を吐出して、キャップ凹部３０５に供給する。ステップＳ２１を実施したことにより、
排液バルブ１２２によって排液管１２４が閉鎖されているため、溶媒はキャップ凹部３０
５に溜められる。液滴吐出装置３０１は４個のキャップユニット３１０を備えるため、そ
れぞれのキャップユニット３１０について、ステップＳ２１からステップＳ２３を実施す
る。
【０１３５】
次に、ステップＳ２４では、溶解液供給ユニット３１６を、Ｙ軸テーブル１２によって
Ｙ軸方向に移動させる。溶解液供給ユニット３１６は、ヘッドユニット５４をキャップユ
ニット３１０に臨ませる際に支障がないように、キャップユニット３１０に関してワーク
ユニット３とは反対側に移動させる。
【０１３６】
次に、ステップＳ２５では、キャップ装置３０３によって液滴吐出ヘッド１７をキャッ
ピングする。上述したように、Ｙ軸テーブル１２によってキャリッジユニット５１を移動
させることによって、ヘッドユニット５４をキャップユニット３１０に臨む位置に移動さ
せる。キャップユニット３１０に臨む位置にあるヘッドユニット５４に対して、キャップ
昇降機構によってキャップユニット３１０を上昇させることで、６個の液滴吐出ヘッド１
７のそれぞれのノズル形成面７６ａに、封止凸部３０６ａを当接させる。キャップ押圧機
構３０９の押圧力によって、封止凸部３０６ａがノズル形成面７６ａに押付けられ、封止
凸部３０６ａが弾性変形することによって、封止凸部３０６ａとノズル形成面７６ａとが
密着する。
【０１３７】
次に、ステップＳ２６では、吐出ノズル７８の吸引を実施する。吸引ポンプ１１１によ
って、吸引管１１４及び吸引孔３１４を介してキャップ室３０５ａ内の空気を吸引する。
ステップＳ２１において排液管１２４を閉鎖し、ステップＳ２５においてキャップ装置３
０３によって液滴吐出ヘッド１７をキャッピングしているため、キャップ室３０５ａは封
止された空間となっている。このため、吸引ポンプ１１１によってキャップ室３０５ａ内
の空気を吸引することによって、キャップ室３０５ａは負圧になるため、吐出ノズル７８
から、圧力室１５８などの液滴吐出ヘッド１７の内部の機能液の流路に充填されている機
能液が吸引される。液滴吐出装置３０１は４個のヘッドユニット５４に対応して４個のキ
ャップユニット３１０を備えるため、ステップＳ２５及びステップＳ２６は、４個のヘッ
ドユニット５４について並行して実施する。
【０１３８】
次に、ステップＳ２７では、キャップ昇降機構によってキャップユニット３１０を下降
させることで、液滴吐出ヘッド１７のキャッピング状態を解除して、液滴吐出ヘッド１７
の吐出ノズル７８を開放する。
【０１３９】
次に、ステップＳ２８では、排液バルブ１２２を開いて、排液管１２４を開放する。
次に、ステップＳ２９では、排液ポンプ１２１によって、キャップ凹部３０５の底に溜
まった機能液及び溶媒を、排液孔３２４及び排液管１２４を介して排出する。キャップ凹
部３０５の底に溜まった機能液及び溶媒は、ステップＳ２３において供給された溶媒、又
はステップＳ２６において液滴吐出ヘッド１７から吸引された機能液である。
【０１４０】
次に、ステップＳ３０では、排液バルブ１２２を閉じて、排液管１２４を閉鎖する。
次に、ステップＳ３１では、ステップＳ２２と同様に、溶解液供給ユニット３１６をＹ
軸方向に移動させて、溶解液供給ヘッド３１７の吐出ノズルを、キャップ室３０５ａに臨
ませる。
次に、ステップＳ３２では、ステップＳ２３と同様に、キャップ室３０５ａに臨んだ溶
解液供給ヘッド３１７の吐出ノズルから溶媒を吐出して、キャップ凹部３０５に供給する
。ステップＳ３０を実施したことにより、排液バルブ１２２によって排液管１２４が閉鎖
されているため、溶媒はキャップ凹部３０５に溜められる。
【０１４１】
ステップＳ３２を実施して、吸引ユニット３１５によって液滴吐出ヘッド１７に充填さ
れた機能液を吸引する吸引工程を終了する。
吸引ユニット３１５は、次の吸引工程まで、ステップＳ３２が実施された状態で待機さ
せる。
次の吸引工程の実施に際しては、最初に、ステップＳ２４と同様に、溶解液供給ユニッ
ト３１６を、Ｙ軸方向に移動させる。溶解液供給ユニット３１６は、次の吸引工程におい
てヘッドユニット５４をキャップユニット３１０に臨ませる際に支障がないように、キャ
ップユニット３１０に関してワークユニット３とは反対側に移動させる。ステップＳ２１
は、ステップＳ３０を実施してあるため、省略する。キャップ凹部３０５に溜められた溶
媒が著しく減少していなければ、吸引工程におけるステップＳ２２からステップＳ２４を
省略して、ステップＳ２５からステップＳ３２を実施する。
また、キャップ凹部３０５に溜められた溶媒が著しく減少した場合には、ステップＳ２
２からステップＳ２４を、吸引工程とは別に独立して実施する。
【０１４２】
第二の実施形態によれば、第一の実施形態によって得られる効果に加えて、以下に記載
する効果が得られる。
（１）溶解液ヘッドユニット３５４における６個の溶解液供給ヘッド３１７の配置は、
ヘッドユニット５４における６個の液滴吐出ヘッド１７の配置と、基本的に同一であり、
キャップユニット３１０における６個のキャップ装置３０３は、ヘッドユニット５４にお
ける６個の液滴吐出ヘッド１７の位置に対応した位置にそれぞれ配設されている。これに
より、溶解液供給ヘッド３１７は液滴吐出ヘッド１７と略同じ状態でキャップ装置３０３
のキャップ室３０５ａに臨む。したがって、キャップ室３０５ａにおける液滴吐出ヘッド
１７から吸引された機能液が最も着弾し易い位置に、溶解液供給ヘッド３１７から溶媒を
供給することができる。キャップ室３０５ａ内に液体を吸収できる吸収部材が配設されて
いる場合などのように、キャップ室３０５ａ内の液状体が流動し難い場合に特に有用であ
る。また、液状体が乾燥し易いために、キャップ室３０５ａに着弾した液状体がその場で
乾燥し始めるような場合に特に有用である。
【０１４３】
（２）溶解液ヘッドユニット３５４における６個の溶解液供給ヘッド３１７の配置は、
ヘッドユニット５４における６個の液滴吐出ヘッド１７の配置と、基本的に同一であり、
キャップユニット３１０における６個のキャップ装置３０３は、ヘッドユニット５４にお
ける６個の液滴吐出ヘッド１７の位置に対応した位置にそれぞれ配設されている。これに
より、溶解液ヘッドユニット３５４における６個の溶解液供給ヘッド３１７のそれぞれを
、キャップユニット３１０が備える６個のキャップ装置３０３のそれぞれに、同時に臨ま
せることができるため、溶媒の供給を効率良く実施することができる。
【０１４４】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は
、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加
え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１４５】
（変形例１）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７を封止していない状態にお
けるキャップ室１０５ａ又はキャップ室３０５ａは、封止している状態ではノズル形成面
７６ａによって塞がれている開口が開放されている。キャップ室１０５ａ又はキャップ室
３０５ａの開口を封止する封止キャップ蓋を設けて、液滴吐出ヘッド１７を封止していな
い場合に、封止キャップ蓋によってキャップ室１０５ａ又はキャップ室３０５ａの開口を
封止してもよい。キャップ室の開口を封止することによって、キャップ室内の溶媒が蒸発
することを抑制して、キャップ室内の機能液の濃度が高くなったり凝固したりすることを
抑制することができる。
【０１４６】
（変形例２）前記第二の実施形態においては、溶解液供給ヘッド３１７を備える溶解液
ヘッドユニット３５４は１個であったが、溶解液ヘッドユニット３５４は多数設けてもよ
い。例えば、第二の実施形態のようにキャップユニット３１０を４個備える装置において
は、４個の溶解液ヘッドユニット３５４を設けることによって、４個のキャップユニット
３１０に略同時に溶媒を供給することで、溶媒の供給に要する時間を少なくすることがで
きる。
【０１４７】
（変形例３）前記第二の実施形態においては、溶解液供給ヘッド３１７は、キャップ室
３０５ａの開口に臨んだ状態で溶媒を供給していたが、溶解液供給ヘッド３１７をキャッ
プ室３０５ａの開口（封止部材３０６）に密着させる構成であってもよい。溶解液供給ヘ
ッドをキャップ室の開口に密着させることによって、供給する溶媒がキャップ室の外に出
ることをほとんどなくすることができる。
溶解液供給ヘッドをキャップ室の開口に密着させることによって、稼働していない時の
キャップ室に溶解液供給ヘッドを用いて蓋をすることもできる。キャップ室に蓋をするこ
とで、キャップ室に供給されている溶解液が蒸発することを抑制することができる。
【０１４８】
（変形例４）前記実施形態においては、吸引ユニット１５及び吸引ユニット３１５は、
キャップ凹部１０５又はキャップ凹部３０５に溜まった機能液などを排出するための排液
ポンプ１２１を設けていたが、排出するためのポンプなどを設けることは必須ではない。
排出孔をキャップ凹部の底に形成して、当該排出孔から重力によって自然に流出させる構
成であってもよい。
【０１４９】
（変形例５）前記実施形態においては、キャップベース１０４及びキャップベース３０
４における吸引孔１１４ａ又は吸引孔３１４は、キャップ凹部１０５又はキャップ凹部３
０５の側面から外部に貫通する孔であったが、吸引孔がキャップ凹部の側面から外部に貫
通することは必須ではない。吸引孔をキャップ凹部の下面に形成してもよい。この場合に
は、吸引孔と排液孔とをそれぞれ設けることなく、吸引孔が排液孔を兼ねる構成であって
もよい。
【０１５０】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７に対して封止キャップ１０
２又は封止キャップ３０２を用いてキャッピング又はキャッピングの解除をする際に、キ
ャップユニット１１０又はキャップユニット３１０とヘッドユニット５４とを離接方向に
相対移動させるために、キャップユニット１１０又はキャップユニット３１０をＺ軸方向
に移動していた。しかし、キャップユニットを吐出ヘッドとの離接方向に移動させること
は必須ではない。ヘッドユニットをキャップユニットとの離接方向に移動させる構成であ
ってもよい。
溶解液供給ユニットとキャップユニットとの離接方向の相対移動についても、溶解液供
給ユニットとキャップユニットとのいずれを移動させる構成であってもよい。
【０１５１】
（変形例７）前記第二の実施形態においては、１個の溶解液ヘッドユニット３５４が１
個のキャップユニット３１０に対応する構成であったが、１個の溶解液ヘッドユニットが
１個のキャップユニットに対応する構成であることは必須ではない。１個の溶解液ヘッド
ユニットが同時に複数のキャップユニットに溶解液を供給する構成であってもよい。
【０１５２】
（変形例８）前記第二の実施形態においては、溶解液供給ヘッド３１７が封止キャップ
３０２に臨む位置に溶解液供給ユニット３１６を移動させるために、溶解液供給ユニット
３１６をＹ軸方向に移動させていた。しかし、溶解液供給ヘッドと封止キャップとを対向
させるために溶解液供給ユニットを移動させることは必須ではない。溶解液供給ヘッドと
封止キャップとを対向させるための溶解液供給ユニットとキャップユニットとの相対移動
は、溶解液供給ユニット又はキャップユニットのいずれを移動させる構成あってもよい。
【０１５３】
（変形例９）前記第二の実施形態においては、キャップ凹部３０５に溶媒を供給するた
めのヘッドとして溶解液供給ヘッド３１７を用いていた。溶解液を供給するためのヘッド
は、機能液を吐出するために用いる液滴吐出ヘッド１７と同じ液滴吐出ヘッド１７を用い
てもよい。また、溶解液を供給するためのヘッドは、溶解液はキャップ凹部から外れない
範囲に供給すればよく、短時間に適量を供給することが好ましいため、例えばディスペン
サのような吐出位置精度は高くないが単位時間あたりの吐出量を多くできる吐出ヘッドを
、溶解液を供給するためのヘッドとして用いることも有効である。
【０１５４】
（変形例１０）前記実施形態においては、ヘッドユニット５４は６個の液滴吐出ヘッド
１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの数は、６個に限らない。
ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備えていてもよい。
【０１５５】
（変形例１１）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は１個のヘッドユニット５４
を備えており、液滴吐出装置３０１は４個のヘッドユニット５４を備えていたが、液滴吐
出装置が備えるヘッドユニットは１個又は４個に限らない。液滴吐出装置は、何個のヘッ
ドユニットを備えていてもよい。
【０１５６】
（変形例１２）前記実施形態においては、吐出装置として、インクジェット方式の液滴
吐出ヘッド１７を備える液滴吐出装置１又は液滴吐出装置３０１を例に説明したが、吐出
装置が液滴吐出装置であることは必須ではない。吐出装置としては、例えば、ディスペン
サを備える吐出装置などであってもよい。
【０１５７】
（変形例１３）前記実施形態においては、液滴吐出装置１を使用して機能液を配置する
ことで描画を実施する描画対象物の一例として、金属配線や絶縁膜を形成する配線基板に
ついて説明したが、描画対象物は配線基板に限らない。上述したヘッド保守装置、吐出装
置、及びヘッド保守方法は、製造に際して様々な液状体を配置して加工を実施する様々な
加工対象物を加工するための製造装置、及び製造方法として利用できる。
例えば、液晶表示パネルのフィルタ膜や、液晶表示装置の画素電極膜や配向膜や対向電
極膜や、カラーフィルタなどを保護するためなどに設けるオーバーコート膜などの加工方
法又は加工装置などとして、利用することもできる。有機ＥＬ表示装置の正極電極膜や陰
極電極膜、フォトエッチングなどによってパターンを形成するための膜や、フォトエッチ
ングなどのフォトレジスト膜などの加工方法又は加工装置などとして、利用することもで
きる。半導体ウェハ、及び液状の導電材料を吐出する半導体装置の配線導電膜の加工方法
又は加工装置、半導体ウェハ、及び液状の絶縁材料を吐出する半導体装置の絶縁層の加工
方法又は加工装置などとして、利用することもできる。
【０１５８】
（変形例１４）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、加工対象物を載置したワ
ーク載置台２１を主走査方向に移動させると共に、液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出
させることによって機能液を配置していた。また、ヘッドユニット５４を副走査方向に移
動することによって、加工対象物に対する液滴吐出ヘッド１７（吐出ノズル７８）の位置
を合わせこんでいた。しかし、配置ヘッドとしての液滴吐出ヘッドと加工対象物との、主
走査方向の相対移動を加工対象物を移動させることで実施することも、副走査方向の相対
移動を吐出ヘッドを移動させることで実施することも、必須ではない。
吐出ヘッドと加工対象物との、主走査方向の相対移動を吐出ヘッドを主走査方向に移動
させることで実施してもよい。吐出ヘッドと加工対象物との、副走査方向の相対移動を加
工対象物を副走査方向に移動させることで実施してもよい。あるいは、吐出ヘッドと加工
対象物との、主走査方向及び副走査方向の相対移動を、吐出ヘッド、又は加工対象物のど
ちらか一方を、主走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよいし、吐出ヘ
ッド、及び加工対象物の両方を、主走査方向及び副走査方向に移動させることで実施して
もよい。
【図面の簡単な説明】
【０１５９】
【図１】第一の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図２】液滴吐出装置の概略構成を示す側面図。
【図３】（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。
【図４】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図５】（ａ）は、封止キャップを封止部材側から見た外観斜視図。（ｂ）は、封止キャップの構造を示す断面図。
【図６】キャップユニットの概略構成を示す平面図。
【図７】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図８】液滴吐出ヘッドを吸引する吸引工程を示すフローチャート。
【図９】配線基板のマザー基板を示す概略平面図。
【図１０】第二の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図１１】（ａ）は、封止キャップの構成を示す断面図。（ｂ）は、キャップユニットの概略構成を示す平面図。
【図１２】液滴吐出ヘッドを吸引する吸引工程を示すフローチャート。
【符号の説明】
【０１６０】
１，３０１…液滴吐出装置、５…メンテナンスユニット、５ｄ…メンテナンスドライバ
、６…吐出装置制御部、１５，３１５…吸引ユニット、１７…液滴吐出ヘッド、５４…ヘ
ッドユニット、７８…吐出ノズル、１０２，３０２…封止キャップ、１０３，３０３…キ
ャップ装置、１０４，３０４…キャップベース、１０５，３０５…キャップ凹部、１０５
ａ，３０５ａ…キャップ室、１０６，３０６…封止部材、１０６ａ，３０６ａ…封止凸部
、１１０，３１０…キャップユニット、１１１…吸引ポンプ、１１２…吸引バルブ、１１
４…吸引管、１１４ａ，３１４…吸引孔、１１６…溶解液供給ユニット、１１７…溶解液
供給ポンプ、１１８…溶解液バルブ、１１９…給液管、１１９ａ…給液孔、１２１…排液
ポンプ、１２２…排液バルブ、１２４…排液管、１２４ａ，３２４…排液孔、１５８…圧
力室、３１６…溶解液供給ユニット、３１７…溶解液供給ヘッド、３３２…吐出ユニット
、３３５…メンテナンスユニット、３５１…溶解液ヘッドキャリッジ、３５４…溶解液ヘ
ッドユニット。
【図１】
2009247919.tif 000003
【図２】
2009247919.tif 000004
【図３】
2009247919.tif 000005
【図４】
2009247919.tif 000006
【図５】
2009247919.tif 000007
【図６】
2009247919.tif 000008
【図７】
2009247919.tif 000009
【図８】
2009247919.tif 000010
【図９】
2009247919.tif 000011
【図１０】
2009247919.tif 000012
【図１１】
2009247919.tif 000013
【図１２】
2009247919.tif 000014