(57)【要約】【課題】簡単な工程で、積層体フイルムの不良箇所がハーフカットされることを可及的に阻止することができ、高品質且つ効率的なラミネート処理を遂行可能にする。【解決手段】長尺状感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を部分的に除去して露呈する感光性樹脂層２８を、ガラス基板２４にラミネートする貼り付け方法である。ハーフカット位置から上流側に且つ長尺状感光性ウエブ２２の１枚分の貼り付け長さ以下の位置に配置される光電センサ１０４を介し、前記長尺状感光性ウエブ２２の不良箇所が検出された際に、次回のハーフカット処理が停止される。そして、ハーフカット処理が停止された部分は、ガラス基板２４に貼り付けられることがなく、廃棄される。【選択図】図１
2009023301.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも第１樹脂層上に第２樹脂層が積層された積層体フイルムを、前記第２樹脂層側から積層方向の一部を残してハーフカット処理し、少なくとも前記第２樹脂層を部分的に残して前記積層体フイルムから剥離させることにより前記第１樹脂層を露呈させ、露呈する前記第１樹脂層を基板に接合させることによって前記積層体フイルムを前記基板に貼り付ける積層体フイルムの貼り付け方法であって、
ハーフカット位置から上流側に且つ前記積層体フイルムの１枚分の貼り付け長さ以下の位置に配置されるセンサを介し、前記積層体フイルムの不良箇所を検出する工程と、
前記不良箇所が検出された際に、前記積層体フイルムに対する少なくとも次回の前記ハーフカット処理を停止するとともに、前記積層体フイルムを下流側に搬送する工程と、
前記ハーフカット処理が停止された部位を、前記基板に貼り付けることなく廃棄する工程と、
を有することを特徴とする積層体フイルムの貼り付け方法。
【請求項２】
請求項１記載の貼り付け方法において、前記積層体フイルムは、前記第１樹脂層が感光性樹脂層であり、前記第２樹脂層が保護フイルムである感光性積層体フイルムであることを特徴とする積層体フイルムの貼り付け方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の貼り付け方法において、前記積層体フイルムの不良箇所は、少なくとも前記積層体フイルム同士の端部を接合する接合部、又は欠陥部分を示すために設けられたマーキング部材であることを特徴とする積層体フイルムの貼り付け方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の貼り付け方法において、前記センサは、反射型の光電センサ又は金属検知センサであることを特徴とする積層体フイルムの貼り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも第１樹脂層上に第２樹脂層が積層された積層体フイルムを、前記第２樹脂層側から積層方向の一部を残してハーフカット処理し、少なくとも前記第２樹脂層を部分的に残して前記積層体フイルムから剥離させることにより前記第１樹脂層を露呈させ、露呈する前記第１樹脂層を基板に接合させることによって前記積層体フイルムを前記基板に貼り付ける積層体フイルムの貼り付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰパネル用基板では、感光材料（感光性樹脂）層を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、基本的には、可撓性プラスチック支持体上に感光材料層と保護フイルムとが、順次、積層されている。
【０００３】
上記の感光性シート体は、通常、ロール状に巻回された状態で取り扱われており、このロール状の感光性シート体（以下、感光性シートロールともいう）が、貼り付け装置に装填されている。この貼り付け装置では、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板が、所定の間隔ずつ離間して搬送されるとともに、感光性シートロールから巻き戻された感光性シート体は、前記基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して保護フイルムが剥離された後、前記基板に加熱転写（ドライラミネート）されている。
【０００４】
ところで、感光性シートロールでは、所定長の感光性シート体を巻回する必要がある。このため、実際上、複数の感光性シート体を接合して所望の全長を確保した状態で、前記複数の感光性シート体を連続してロール状に巻回する作業が行われている。その際、感光性シート体の端部同士は、接合テープ部材により互いに接合されているが、この接合部分は、基板に貼り付けることができず、廃棄されている。
【０００５】
また、感光性シート体には、例えば、点欠陥部分等の不良部分が存在している場合がある。この不良部分は、上記の接合部分と同様に、基板に貼り付けることができず、廃棄されている。
【０００６】
従って、貼り付け装置では、接合部分や不良部分等の感光性シートの不良箇所を検出し、不良箇所がラミネートされることなく、廃棄されることが望まれている。このため、例えば、特許文献１に開示されているフイルムラミネート方法とその装置が知られている。
【０００７】
この特許文献１は、一定間隔をもって搬走路上を搬送されてくる各基板と、フイルム供給ロールから繰り出されたフイルムとが、該搬走路に設置してあるラミネートローラ間を通過することで、各基板表面上にフイルムを貼り付ける方法に関するものである。
【０００８】
そして、基板へのフイルムラミネート前にフイルムの状態を監視し、フイルムに不良箇所を含むか否かを判断し、不良箇所ありと判断した時は、フイルムの該不良箇所を含む領域を廃棄し、良好領域を基板に貼り付けるようにしたフイルムラミネート方法において、装置内にフイルムを基板に貼り付けたラミネート済基板がない状態で、貼り付けるフイルムについてフイルム不良判断で不良箇所ありと判断した時は、前記ラミネートローラを待避させてフイルムとの接触を避けた状態として不良箇所を含むフイルムを送り、該フイルムを送る間にフイルムの状態を監視するとともに該不良箇所を含む領域のフイルム廃棄処理を行い、次に貼り付けるフイルム状態の確認処理に戻って前記フイルム不良判断に進むことを特徴としている。
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−２１２４８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、貼り付け装置では、基板に貼り付けられる感光材料層の範囲に対応して保護フイルムを剥離するため、感光性シート体は、ラミネート位置に搬送される前に、予め前記保護フイルムを所定の位置で切断する必要がある。ここで、感光性シート体には、積層方向の一部を残して少なくとも保護フイルムが切断される、すなわち、ハーフカット処理が施されている。
【００１１】
その際、感光性シート体の接合部分には、接合テープ部材、例えば、アルミ蒸着テープ等が接合されている。また、感光性シート体には、点欠陥部分等に対応して金属製のマーキング部材が貼り付けられている。このため、接合テープ部材やマーキング部材にハーフカット用のカッタが接触すると、このカッタが損傷して刃寿命が短くなるおそれがある。
【００１２】
しかも、ハーフカットが行われたとしても、保護フイルムを剥離する際、特に、接合テープ部材が確実に剥離されず、剥離不良が惹起するという問題がある。しかしながら、上記の特許文献１では、この種の問題を解決することができない。
【００１３】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、簡単な工程で、積層体フイルムの不良箇所がハーフカットされることを可及的に阻止することができ、高品質且つ効率的なラミネート処理が遂行可能な積層体フイルムの貼り付け方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、少なくとも第１樹脂層上に第２樹脂層が積層された積層体フイルムを、前記第２樹脂層側から積層方向の一部を残してハーフカット処理し、少なくとも前記第２樹脂層を部分的に残して前記積層体フイルムから剥離させることにより前記第１樹脂層を露呈させ、露呈する前記第１樹脂層を基板に接合させることによって前記積層体フイルムを前記基板に貼り付ける積層体フイルムの貼り付け方法に関するものである。
【００１５】
この積層体フイルムの貼り付け方法では、ハーフカット位置から上流側に且つ前記積層体フイルムの１枚分の貼り付け長さ以下の位置に配置されるセンサを介し、前記積層体フイルムの不良箇所を検出する工程と、前記不良箇所が検出された際に、前記積層体フイルムに対する少なくとも次回のハーフカット処理を停止するとともに、前記積層体フイルムを下流側に搬送する工程と、前記ハーフカット処理が停止された部位を、前記基板に貼り付けることなく廃棄する工程とを有している。
【００１６】
また、積層体フイルムは、第１樹脂層が感光性樹脂層であり、第２樹脂層が保護フイルムである感光性積層体フイルムであることが好ましい。
【００１７】
さらに、積層体フイルムの不良箇所は、少なくとも前記積層体フイルム同士の端部を接合する接合部、又は欠陥部分を示すために設けられたマーキング部材であることが好ましい。
【００１８】
さらにまた、センサは、反射型の光電センサ又は金属検知センサであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明では、センサが、ハーフカット位置から上流側に且つ積層体フイルムの１枚分の貼り付け長さ以下の位置に配置されている。このため、センサにより積層体フイルムの不良箇所が検出された直後に、前記積層体フイルムに対する次回のハーフカット処理を停止するだけで、前記不良箇所自体及び前記不良箇所を含む１枚分の前記積層体フイルムがハーフカットされることを可及的に阻止することができる。
【００２０】
これにより、簡単な工程で、積層体フイルムの不良箇所がラミネートされることを確実に阻止するとともに、前記不良箇所にハーフカット用のカッタが接触することがない。従って、カッタの損傷を可及的に防止することができ、刃寿命が長くなり、経済的である。しかも、第２樹脂層を積層体フイルムから良好に剥離させることができ、前記積層体フイルムを基板に対して効率的且つ高品質に貼り付けることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の実施形態に係る積層体フイルムの貼り付け方法に適用される感光性積層体の製造システム２０の概略構成図である。この製造システム２０は、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ２２の感光性樹脂層２８（後述する）をガラス基板２４に熱転写（ラミネート）する作業を行う。
【００２２】
図２は、製造システム２０に使用される長尺状感光性ウエブ２２の断面図である。この長尺状感光性ウエブ２２は、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２３】
図１に示すように、製造システム２０は、長尺状感光性ウエブ２２をロール状に巻回した感光性ウエブロール２３を収容し、前記感光性ウエブロール２３から前記長尺状感光性ウエブ２２を送り出し可能なウエブ送り出し機構３２と、送り出された前記長尺状感光性ウエブ２２に、保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８の幅方向に切断可能な２箇所の境界部分であるハーフカット部位３４ａ、３４ｂ（図２参照）を形成する加工機構３６と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を前記保護フイルム３０に接着させるラベル接着機構４０とを備える。
【００２４】
ラベル接着機構４０の下流には、長尺状感光性ウエブ２２をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構４２と、前記長尺状感光性ウエブ２２から保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構４４とが配設される。
【００２５】
剥離機構４４の下流には、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構４５と、保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的に貼り付ける貼り付け機構４６と、基板間ウエブ切断機構４８とが配設される。
【００２６】
ウエブ送り出し機構３２の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ２２の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ２２の先端とを貼り付ける貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５３が配設される。
【００２７】
加工機構３６は、ウエブ送り出し機構３２に収容巻回されている感光性ウエブロール２３のロール径を算出するためのローラ対５０の下流に配置される。加工機構３６は、距離Ｍ（図２参照）だけ離間した一対の丸刃５２ａ、５２ｂを備える。丸刃５２ａ、５２ｂは、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分Ｂを挟んだ所定の２箇所の位置にハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する（図２参照）。
【００２８】
ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２ａ、５２ｂの切り込み深さが設定される。丸刃５２ａ、５２ｂは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動してハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ２２上を滑ることなく回転しながら、前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成する方式等が採用される。
【００２９】
ハーフカット部位３４ａ、３４ｂは、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ５ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分Ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００３０】
ラベル接着機構４０は、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分Ｂを残すため、ハーフカット部位３４ｂ側の剥離部分Ａとハーフカット部位３４ａ側の剥離部分Ａとを連結する接着ラベル３８を供給する。
【００３１】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分Ａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分Ａに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３２】
図１に示すように、ラベル接着機構４０は、最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ２２を下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３３】
リザーバ機構４２は、上流側の長尺状感光性ウエブ２２のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ２２の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ６０を備える。
【００３４】
リザーバ機構４２の下流に配置される剥離機構４４は、長尺状感光性ウエブ２２の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。サクションドラム６２の近傍には、剥離ローラ６３が配置されるとともに、この剥離ローラ６３を介して長尺状感光性ウエブ２２から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分Ｂを除いて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００３５】
剥離機構４４の下流側には、長尺状感光性ウエブ２２にテンションを付与可能なテンション制御機構６６が配設される。テンション制御機構６６は、シリンダ６８の駆動作用下にテンションダンサー７０が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ２２のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構６６は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。
【００３６】
基板供給機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、前記ガラス基板２４を矢印Ｙ方向に搬送する複数のローラを有する搬送部７６とを備える。
【００３７】
貼り付け機構４６は、長尺状感光性ウエブ２２とガラス基板２４とを挟持してラミネートするラミネートローラ対８０を備える。このラミネートローラ対８０は、駆動側ゴムローラ８０ａと、回転自在で且つ前記駆動側ゴムローラ８０ａに対して進退する従動側ゴムローラ８０ｂとを有する。駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂには、バックアップローラ８４ａ、８４ｂが摺接するとともに、前記バックアップローラ８４ｂは、ローラクランプ部８６を介して従動側ゴムローラ８０ｂに押圧される。
【００３８】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｙ方向に延在する搬送路９０を介して搬送される。この搬送路９０には、フイルム搬送ローラ９２ａ、９２ｂ及び基板搬送ローラ９４が配設される。駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂと基板搬送ローラ９４との間隔は、ガラス基板２４の一枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。
【００３９】
製造システム２０では、ウエブ送り出し機構３２、加工機構３６、ラベル接着機構４０、リザーバ機構４２、剥離機構４４及びテンション制御機構６６が、貼り付け機構４６の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構３２から前記テンション制御機構６６までを前記貼り付け機構４６の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ２２の上下が逆になって感光性樹脂層２８をガラス基板２４の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ２２の搬送路を直線状に構成してもよい。
【００４０】
製造システム２０内は、仕切り壁９６を介して第１クリーンルーム９８ａと第２クリーンルーム９８ｂとに仕切られる。第１クリーンルーム９８ａと第２クリーンルーム９８ｂとは、貫通部１００を介して連通する。製造システム２０は、制御部１０２を介して制御される。
【００４１】
加工機構３６の上流側には、長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット位置からこの長尺状感光性ウエブ２２の１枚分の貼り付け長さ以下の位置に、光電センサ１０４が配置される。長尺状感光性ウエブ２２の１枚分の貼り付け長さとは、図２及び図３に示すように、各剥離部分Ａの搬送方向（矢印Ｘ方向）の長さをいう。
【００４２】
光電センサ１０４は、長尺状感光性ウエブ２２の可撓性ベースフイルム２６側に向かって配置される。光電センサ１０４は、反射型センサであり、少なくとも１個、以下に説明する長尺状感光性ウエブ２２の接合端部同士の接合部位及びマーキング部位を含む不良箇所に対応する位置に配置される。
【００４３】
長尺状感光性ウエブ２２は、ウエブ状に巻回されて感光性ウエブロール２３として取り扱われており、この感光性ウエブロール２３では、所定のウエブ長を確保するために、例えば、複数本の長尺状感光性ウエブ２２同士が接合テープ１０６を介して接合されている（図４参照）。
【００４４】
長尺状感光性ウエブ２２には、例えば、点欠陥部分１０７が存在していると、この点欠陥部分１０７を示すために、前記長尺状感光性ウエブ２２の所定の位置にマーキング部材１０８（以下、単に不良箇所ともいう）が設けられる。光電センサ１０４は、接合テープ１０６及びマーキング部材１０８の位置に対応して、１又は２以上配置される。
【００４５】
図１に示すように、製造システム２０では、加工機構３６を構成する一対の丸刃５２ａ、５２ｂの中間位置から、ラベル接着機構４０によるラベル接着位置までの距離が、長尺状感光性ウエブ２２の略１枚分の貼り付け長さに対応し、前記ラベル接着位置から剥離機構４４の保護フイルム剥離位置までの距離が、同様に前記長尺状感光性ウエブ２２の略１枚分の貼り付け長さに対応し、前記保護フイルム剥離位置から貼り付け機構４６のラミネート位置までの距離が、前記長尺状感光性ウエブ２２の略１枚分の貼り付け長さに対応し、さらに、前記貼り付け機構４６のラミネート位置から切断機構４８までの距離が、前記長尺状感光性ウエブ２２の略１枚分の貼り付け長さに対応する。
【００４６】
このように構成される製造システム２０の動作について、本実施形態に係る貼り付け方法との関連で説明する。
【００４７】
先ず、ウエブ送り出し機構３２に取り付けられている感光性ウエブロール２３から長尺状感光性ウエブ２２が送り出される。長尺状感光性ウエブ２２は、加工機構３６に搬送される。
【００４８】
加工機構３６では、丸刃５２ａ、５２ｂが長尺状感光性ウエブ２２の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ２２を保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至可撓性ベースフイルム２６まで切り込む。これにより、保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍだけ離間するハーフカット部位３４ａ、３４ｂが形成され、長尺状感光性ウエブ２２には、前記残存部分Ｂを挟んで前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとが設けられる（図２参照）。
【００４９】
次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、ラベル接着機構４０に搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。ラベル接着機構４０では、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ａ〜５４ｇにより吸着保持される。そして、各接着ラベル３８は、保護フイルム３０の残存部分Ｂを跨いで、前方の剥離部分Ａと後方の剥離部分Ａとに一体的に接着される（図３参照）。
【００５０】
例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された長尺状感光性ウエブ２２は、図１に示すように、リザーバ機構４２を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構４４に連続的に搬送される。剥離機構４４では、長尺状感光性ウエブ２２の可撓性ベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して前記長尺状感光性ウエブ２２から剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ローラ６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００５１】
剥離機構４４の作用下に、保護フイルム３０が残存部分Ｂを残して可撓性ベースフイルム２６から剥離された後、長尺状感光性ウエブ２２は、テンション制御機構６６によってテンション調整が行われる。
【００５２】
次いで、長尺状感光性ウエブ２２は、貼り付け機構４６に搬送されることで、ガラス基板２４に対する感光性樹脂層２８の熱転写処理（ラミネート）が行われる。貼り付け機構４６では、予め駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂが離間した状態に設定されている。そして、駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂ間の所定位置に、長尺状感光性ウエブ２２のハーフカット部位３４ａが位置決めされた状態で、前記長尺状感光性ウエブ２２の搬送が一旦停止される。
【００５３】
この状態で、バックアップローラ８４ｂ及び従動側ゴムローラ８０ｂが上昇し、駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂ間には、ガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。さらに、駆動側ゴムローラ８０ａが回転することにより、ガラス基板２４には、感光性樹脂層２８が加熱溶融により熱転写（ラミネート）される。
【００５４】
なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂの温度が８０℃〜１４０℃、前記駆動側ゴムローラ８０ａ及び前記従動側ゴムローラ８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該駆動側ゴムローラ８０ａ及び該従動側ゴムローラ８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００５５】
ガラス基板２４に対して長尺状感光性ウエブ２２の一枚分のラミネートが終了すると、駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂの回転が停止される。一方、図１に示すように、長尺状感光性ウエブ２２がラミネートされたガラス基板２４である感光性積層体１１０の先端部は、基板搬送ローラ９４によりクランプされる。このとき、駆動側ゴムローラ８０ａ及び従動側ゴムローラ８０ｂ間の所定位置には、ハーフカット部位３４ｂが配置される。
【００５６】
そして、従動側ゴムローラ８０ｂは、駆動側ゴムローラ８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除される。このため、バックアップローラ８４ｂ及び従動側ゴムローラ８０ｂが下降してクランプの解除が行われる。
【００５７】
次いで、基板搬送ローラ９４の回転が低速で再び開始される。感光性積層体１１０は、矢印Ｙ方向に保護フイルム３０の残存部分Ｂの幅Ｍに対応する距離だけ搬送される（基板間送り）。次のハーフカット部位３４ａが駆動側ゴムローラ８０ａの下方付近の所定位置に搬送された後、駆動側ゴムローラ８０ａの回転が停止される。
【００５８】
一方、前記の状態において、基板供給機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、感光性積層体１１０が連続的に製造される。
【００５９】
上記のラミネート処理は、図５に示すタイミングチャートに沿って行われており、加工機構３６によるハーフカット処理は、基板間送り処理時に同期して行われている。
【００６０】
貼り付け機構４６でラミネートされた感光性積層体１１０は、切断機構４８によってガラス基板２４間の長尺状感光性ウエブ２２が切断されることで分離される。分離された感光性積層体１１０には、可撓性ベースフイルム２６が装着されており、この可撓性ベースフイルム２６がガラス基板２４間の保護フイルム３０とともに剥離された後、次の処理工程に供給される。
【００６１】
ところで、感光性ウエブロール２３は、複数本の長尺状感光性ウエブ２２の端部同士を接合テープ１０６により接合した状態で巻回されるとともに、前記長尺状感光性ウエブ２２の点欠陥部分１０７等の存在を示すマーキング部材１０８が、前記長尺状感光性ウエブ２２に貼り付けられている（図４参照）。これにより、感光性ウエブロール２３から長尺状感光性ウエブ２２が巻き戻されると、接合テープ１０６又はマーキング部材１０８が加工機構３６側に送り出される。
【００６２】
図５に示すように、加工機構３６は、貼り付け機構４６によるラミネート処理間の基板間送り時に、長尺状感光性ウエブ２２にハーフカット部位３４ａ、３４ｂを形成している。そして、貼り付け機構４６で長尺状感光性ウエブ２２の１枚分のラミネート処理が行われている間、光電センサ１０４により接合テープ１０６又はマーキング部材１０８が検出されると、次回の基板間送り時に加工機構３６によるハーフカット処理が停止される（動作無し）。さらに、次回のラミネート処理が行われた後、基板間送り動作に同期してハーフカット処理が再開され、長尺状感光性ウエブ２２にハーフカット部位３４ａ、３４ｂが形成される。
【００６３】
この場合、本実施形態では、光電センサ１０４は、加工機構３６によるハーフカット位置から上流側に且つ長尺状感光性ウエブ２２の１枚分の貼り付け長さ以下の位置に配置されている。このため、光電センサ１０４により不良箇所である接合テープ１０６又はマーキング部材１０８が検出された直後に、前記長尺状感光性ウエブ２２に対するハーフカット処理が停止されれば、前記接合テープ１０６や前記マーキング部材１０８には、加工機構３６を構成する丸刃５２ａ、５２ｂによるハーフカット処理がなされることはない。
【００６４】
特に、接合テープ１０６やマーキング部材１０８は、アルミ蒸着テープ等が使用されている。従って、丸刃５２ａ、５２ｂは、接合テープ１０６やマーキング部材１０８に接触して破損することを確実に阻止することができる。
【００６５】
一方、接合テープ１０６を挟んで接合される長尺状感光性ウエブ２２間に接着ラベル３８が接着されると、剥離機構４４による保護フイルム３０の剥離処理が良好に遂行されず、前記保護フイルム３０の剥離不良が惹起するおそれがある。接合テープ１０６による接着力は、接着ラベル３８の接着力に比べて相当に大きいからである。このため、接合テープ１０６やマーキング部材１０８の存在が確認された直後に、ハーフカット処理が停止されることにより、保護フイルム３０の剥離作業が確実に遂行される。
【００６６】
ここで、ハーフカット処理が停止されるため、長尺状感光性ウエブ２２は、実質的に２枚分の貼り付け長さに基板間送りの長さを加えた長さだけ、保護フイルム３０が剥離される。
【００６７】
その際、図６に示すように、貼り付け機構４６と剥離機構４４との間に、１枚目の感光性ウエブ２２ａ１が配置され、前記剥離機構４４とラベル接着機構４０との間に、２枚目の感光性ウエブ２２ａ２が配置され、前記ラベル接着機構４０と加工機構３６との間に、３枚目の感光性ウエブ２２ａ３が配置され、さらに前記加工機構３６の上流側に４枚目の感光性ウエブ２２ａ４が配置されている。そして、３枚目の感光性ウエブ２２ａ３と４枚目の感光性ウエブ２２ａ４とは、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂが形成されずに、実質的に２枚分の長さを有する単一の感光性ウエブを構成している。
【００６８】
そこで、１枚目の感光性ウエブ２２ａ１が、貼り付け機構４６においてガラス基板２４にラミネートされた後、切断機構４８によって切断されるとともに、２枚目の感光性ウエブ２２ａ２は、前記貼り付け機構４６においてガラス基板２４にラミネート処理される。
【００６９】
次に、３枚目の感光性ウエブ２２ａ３が、貼り付け機構４６に搬送されると、ガラス基板２４の送りを停止してこの３枚目の感光性ウエブ２２ａ３を切断機構４８側に送り出す。さらに、４枚目の感光性ウエブ２２ａ４は、同様に、貼り付け機構４６でラミネート処理されることがなく、切断機構４８側に送り出される。一方、この４枚目の感光性ウエブ２２ａ４に連続し、ハーフカット部位３４ａ、３４ｂが設けられた５枚目の感光性ウエブ２２ａ５は、貼り付け機構４６においてガラス基板２４にラミネート処理が再開される。
【００７０】
なお、切断機構４８では、４枚目の感光性ウエブ２２ａ４の搬送方向後端部と、新たにラミネート処理された５枚目の感光性ウエブ２２ａ５との間が切断され、３枚目の感光性ウエブ２２ａ３及び４枚目の感光性ウエブ２２ａ４が廃棄処理される。
【００７１】
これにより、本実施形態では、簡単な工程で、長尺状感光性ウエブ２２の不良箇所がガラス基板２４にラミネート処理されることを確実に阻止するとともに、前記不良箇所に加工機構３６を構成する丸刃５２ａ、５２ｂが接触することがない。従って、丸刃５２ａ、５２ｂの損傷を防止して刃寿命が長くなり、経済的であるという利点がある。
【００７２】
しかも、剥離機構４４において、保護フイルム３０を長尺状感光性ウエブ２２から良好に剥離させることができ、前記長尺状感光性ウエブ２２によるラミネート処理が、効率的且つ高品質に行われるという効果が得られる。
【００７３】
なお、本実施形態では、接合テープ１０６やマーキング部材１０８が光電センサ１０４により検出された直後に、ハーフカット処理を停止する一方、次回の基板間送り動作時にハーフカット処理が再開されているが、これに限定されるものではない。例えば、ラミネート不良の発生を可及的に阻止するために、次回の基板間送り時にもハーフカット処理を停止することができる。
【００７４】
また、図６に示すように、１枚目の感光性ウエブ２２ａ１及び２枚目の感光性ウエブ２２ａ２に対して、貼り付け機構４６でラミネート処理が行われているが、この１枚目の感光性ウエブ２２ａ１〜４枚目の感光性ウエブ２２ａ４に対してラミネート処理を停止し、切断機構４８により切断した後、これらを廃棄してもよい。
【００７５】
さらにまた、本実施形態では、接合テープ１０６及びマーキング部材１０８を検出するために、反射型の光電センサ１０４を用いているが、これに限定されるものではなく、例えば、金属検出センサ（図示せず）を使用してもよい。接合テープ１０６及びマーキング部材１０８には、金属が含有されているからである。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の実施形態に係る積層体フイルムの貼り付け方法に適用される感光性積層体の製造システムの概略構成図である。
【図２】前記製造システムに使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】前記長尺状感光性ウエブに接合テープ及びマーキング部材が貼り付けられた状態の保護フイルム側の説明図である。
【図５】前記貼り付け方法を説明するタイミングチャートである。
【図６】前記貼り付け方法の説明図である。
【符号の説明】
【００７７】
２０…製造システム
２２、２２ａ１〜２２ａ５…感光性ウエブ
２３…感光性ウエブロール              ２４…ガラス基板
２６…可撓性ベースフイルム            ２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム                    ３２…ウエブ送り出し機構
３４ａ、３４ｂ…ハーフカット部位      ３６…加工機構
４４…剥離機構                        ４５…基板供給機構
４６…貼り付け機構                    ４８…切断機構
８０…ラミネートローラ対              ８０ａ、８０ｂ…ゴムローラ
８４ａ、８４ｂ…バックアップローラ    １０４…光電センサ
１０６…接合テープ                    １０７…点欠陥部分
１０８…マーキング部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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