(57)【要約】【課題】微細な貫通孔を効率的に形成することができるプレス装置、プレス方法、及び、液体噴射ヘッド用フィルタの製造方法を提供する。【解決手段】外周面に突出したパンチ６３が複数突設されたパンチングローラ５６と、パンチングローラに対向する面が弾性材からなる弾性マット５７と、を備えたプレス装置５５であって、弾性マット上に金属板材５１を載置した状態で、パンチングローラを金属板材に相対的に圧接しながら回転させることで、パンチを金属板材に打ち込んで貫通孔５２を開設する。【選択図】図２
2009160615.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工板材に貫通孔を形成するプレス装置であって、
外周面に突出したパンチが複数突設されたパンチングローラと、
該パンチングローラに対向する面が弾性材からなる基台と、を備え、
前記基台上に被加工板材を載置した状態で、前記パンチングローラを被加工板材に相対
的に圧接しながら回転させることで、パンチを被加工板材に打ち込んで貫通孔を開設する
ことを特徴とするプレス装置。
【請求項２】
前記パンチを、該パンチの基端側から先端側に向かうに従って徐々に細くなるように形
成したことを特徴とする請求項１に記載のプレス装置。
【請求項３】
前記パンチの先端を、前記パンチングローラの軸芯を中心とした同心円上に配置したこ
とを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のプレス装置。
【請求項４】
前記被加工板材に打ち込んだ前記パンチの先端を、前記基台の弾性力に抗しつつ、該基
台の厚さ方向にさらに押し込んで、前記パンチで打ち抜いた前記被加工板材の抜き片を、
前記基台に押圧形成される凹部内に残留保持可能としたことを特徴とする請求項１から請
求項３の何れか一項に記載のプレス装置。
【請求項５】
前記基台を、前記パンチングローラの軸芯に直交した方向に送る搬送手段を備えたこと
を特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載のプレス装置。
【請求項６】
被加工板材に貫通孔を形成するプレス方法であって、
弾性材からなる基台上に前記被加工板材を載置した状態で、外周面に複数のパンチが突
設されたパンチングローラを該被加工板材に相対的に圧接しながら回転させることで、前
記パンチを前記被加工板材に打ち込で貫通孔を開設することを特徴とするプレス方法。
【請求項７】
弾性材からなる基台上に被加工板材を載置した状態で、外周面に複数のパンチが突設さ
れたパンチングローラを該被加工板材に相対的に圧接しながら回転させることで、前記パ
ンチを前記被加工板材に打ち込で貫通孔を開設する貫通孔開設工程と、
貫通孔を開設した被加工板材を所定の形状と大きさに切断するトリミング工程と、を経
て作製することを特徴とする液体噴射ヘッド用フィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プレス装置、プレス方法、及び、液体噴射ヘッド用フィルタの製造方法に関
し、特に微細な貫通孔を開設した液体噴射ヘッド用フィルタを作製するのに適したもので
ある。
【背景技術】
【０００２】
例えば、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出
させる液体噴射ヘッドの流路内の液体を濾過するためのフィルタは、薄手の金属板（例え
ば、ステンレス板）に微細径の貫通孔を複数開設して構成されている。金属板に貫通孔を
開設する方法としては、エッチングによる方法と、金型を用いたプレス加工（塑性加工）
方法などがある。
【０００３】
上記プレス加工の場合、一般的には、開設予定の貫通孔に対応する位置にパンチ穴が設
けられたダイ（雌型）上に被加工板材として金属板を載置し、その載置状態で金属板の表
面からパンチ（雄型）をダイのパンチ穴に向けて押し込むことで貫通孔を開設していた（
例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平０５−１６９１４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような従来のプレス加工方法でμｍオーダーの微細な貫通孔を形成する場合におい
ては、パンチとダイとの間のクリアランスが小さいので、相対的な位置精度が悪いとパン
チがダイに接触してパンチの破損等が生じる虞があった。また、加工効率を上げるために
、複数のパンチをホルダに配置すると、装置が大型化してしまう虞があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、微細な貫通孔を
効率的に形成することができるプレス装置、プレス方法、及び、液体噴射ヘッド用フィル
タの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明のプレス装置は、被加工板材に貫通孔を形成するプレ
ス装置であって、
外周面に突出したパンチが複数突設されたパンチングローラと、
該パンチングローラに対向する面が弾性材からなる基台と、を備え、
前記基台上に被加工板材を載置した状態で、前記パンチングローラを被加工板材に相対
的に圧接しながら回転させることで、パンチを被加工板材に打ち込んで貫通孔を開設する
ことを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、外周面に突出したパンチが複数突設されたパンチングローラと、該
パンチングローラに対向する面が弾性材からなる基台と、を備え、基台上に被加工板材を
載置した状態で、パンチングローラを被加工板材に相対的に圧接しながら回転させること
で、パンチを被加工板材に打ち込んで貫通孔を開設するので、パンチングローラの回転に
伴って、被加工板材に貫通孔を効率良く形成することができる。また、基台に載置した被
加工板材に対してパンチングローラのパンチを回転させて貫通孔を形成するために、板材
に複数のパンチを立設させた場合に比べ、小型化することができ、プレス装置の設置スペ
ースを抑えられる。さらに、パンチの形状に応じた雌型を用いる必要が無くなり、この結
果、型合わせの手間を省くことができると共に、パンチが破損することを防止できる。
【０００９】
また、上記構成において、前記パンチを、該パンチの基端側から先端側に向かうに従っ
て徐々に細くなるように形成することが望ましい。
【００１０】
上記構成によれば、パンチを、パンチの基端側から先端側に向かうに従って徐々に細く
なるように形成するので、パンチの傾斜を、パンチングローラの回転に伴うパンチの打ち
込み角度に合わせることで、微細なパンチであっても耐久性を確保しつつ、形状を容易に
形成することができる。また、微細な貫通孔に対する極細のパンチを、研削などで形成し
易い。
【００１１】
また、上記構成において、前記パンチの先端を、前記パンチングローラの軸芯を中心と
した同心円上に配置することが望ましい。
【００１２】
上記構成によれば、パンチの先端を、パンチングローラの軸芯を中心とした同心円上に
配置するので、パンチングローラの回転によってパンチが金属板材へ打ち込み角度や深さ
を均一にして、貫通孔の加工精度を高めることができる。
【００１３】
また、上記構成において、前記被加工板材に打ち込んだ前記パンチの先端を、前記基台
の弾性力に抗しつつ、該基台の厚さ方向にさらに押し込んで、前記パンチで打ち抜いた前
記被加工板材の抜き片を、前記基台に押圧形成される凹部内に残留保持可能とすることが
望ましい。
【００１４】
上記構成によれば、パンチで打ち抜いた被加工板材の抜き片を、基台に押圧形成される
凹部内に残留保持するので、被加工板材の抜きカスが散乱することを防止できる。
【００１５】
また、上記構成において、前記基台を、前記パンチングローラの軸芯に直交した方向に
送る搬送手段を備えることが望ましい。
【００１６】
上記構成によれば、被加工板材をパンチングローラの軸芯に直交した方向に沿って搬送
しながら、パンチを被加工板材に打ち込んで、貫通孔を形成することができる。そのため
、被加工板材の搬送速度を、パンチングローラの回転速度と同期させることで、被加工板
材にパンチを略垂直に打ち込むことができると共に、貫通孔を効率的に開設することがで
きる。
【００１７】
また、本発明のプレス方法は、被加工板材に貫通孔を形成するプレス方法であって、  
弾性材からなる基台上に前記被加工板材を載置した状態で、外周面に複数のパンチが突設
されたパンチングローラを該被加工板材に相対的に圧接しながら回転させることで、前記
パンチを前記被加工板材に打ち込んで貫通孔を開設することを特徴とする。
【００１８】
上記構成によれば、パンチングローラの回転に伴って、被加工板材に貫通孔を効率良く
形成することができる。また、基台に載置した被加工板材に対してパンチングローラのパ
ンチを回転させて貫通孔を形成するために、板材に複数のパンチを立設させた場合に比べ
、パンチングローラを小型化することができ、プレスに用いる装置の設置スペースを抑え
られる。さらに、基台が弾性変形するために、パンチの形状に応じた雌型を用いる必要が
無くなると共に、型合わせの手間が省け、微細な貫通孔であっても容易に形成することが
できる。
【００１９】
また、本発明の液体噴射ヘッド用フィルタの製造方法は、弾性材からなる基台上に被加
工板材を載置した状態で、外周面に複数のパンチが突設されたパンチングローラを該被加
工板材に相対的に圧接しながら回転させることで、前記パンチを前記被加工板材に打ち込
で貫通孔を開設する貫通孔開設工程と、
貫通孔を開設した被加工板材を所定の形状と大きさに切断するトリミング工程と、を経
て作製することを特徴とする。
【００２０】
上記構成によれば、微細な貫通孔を効率的に形成したフィルタを製造することができ、
フィルタの生産性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以
下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本
発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの
態様に限られるものではない。また、以下の説明では、本発明における被加工板材として
、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンタという）に搭載されるインクジェット
式記録ヘッド（液体噴射ヘッドの一種。以下、単に記録ヘッドという）に用いられるフィ
ルタ３を例示する。
【００２２】
まず、記録ヘッドの構成について説明する。
図１は、本実施形態における記録ヘッド１の構成を説明する要部断面図である。例示し
た記録ヘッド１は、インク導入針２、フィルタ３、及び、導入針ユニット４等からなるフ
ィルタアセンブリ５と、振動子ユニット７、ヘッドケース８、及び、流路ユニット９等か
らなるヘッドユニット１０とを備えて概略構成されている。この記録ヘッド１の内部には
、液体供給源から後述するノズル開口３５に至るまでの一連のインク流路（液体流路の一
種）が形成されている。
【００２３】
インク導入針２（液体導入針）は、例えばエポキシ樹脂等の合成樹脂で成型された中空
針状の部材であり、その内部空間は、インクカートリッジやサブタンク（自己封止弁）等
の液体貯留部材（液体貯留源）内のインク（液体または流体の一種）が導入される針流路
１２となっている。このインク導入針２の尖端部分には、上記針流路１２と連通する導入
孔１３が開設されており、インク導入針２が液体貯留部材の内部に挿入されると、この導
入孔１３を通じて液体貯留部材内のインクが針流路１２内に導入されるようになっている
。また、このインク導入針２の根本部分は、上流側（先端側）から下流側に向けて拡径し
た拡径部１４となっている。この拡径部１４は、インク流路内で発生した気泡を一時的に
捕捉する機能を有している。そして、この拡径部１４の下流側開口の近傍、即ち、インク
導入針２の下流側開口の近傍には、針流路１２に導入されたインクを濾過するためのフィ
ルタ３を配設している。このフィルタ３の詳細については後述する。
【００２４】
導入針ユニット４は、インク導入針２と同様にエポキシ系樹脂等の合成樹脂によって成
型されており、その内部には、インク導入針２毎に対応したインク供給路１７が形成され
ている。そして、フィルタ３をインク供給路１７の入口開口１７′の周縁部に固定した状
態でインク導入針２を導入針ユニット４に取り付けている。即ち、このインク供給路１７
は、針流路１２と液密状態で連通している。また、インク供給路１７の下流端は、流路ジ
ョイント部材１８（パッキン）を介してヘッドケース８の内部に形成されたケース流路１
９と液密状態で連通している。これにより、インク導入針２の導入孔１３から導入された
インクは、フィルタ３で濾過された後、インク供給路１７を通じてヘッドユニット１０側
に供給される。
【００２５】
ヘッドケース８は、振動子ユニット７を収容するための収容空部２２が形成されている
。そして、振動子ユニット７は、この収容空部２２内に挿入され、接着等によって収容空
部２２の内壁に固定されている。このヘッドケース８の一方の面は、導入針ユニット４に
接合され、ケース流路１９が導入針ユニット４のインク供給路１７と液密状態で連通する
。また、ヘッドケース８の他方の面には、流路ユニット９が接着剤等により固定される。
この流路ユニット９は、振動板２３、流路形成基板２４、及びノズルプレート２５を積層
した状態で接着剤等で接合して一体化することにより作製されている。
【００２６】
上記の振動子ユニット７は、圧力発生源としての圧電振動子３０と、この圧電振動子３
０が接合される固定板３１と、圧電振動子３０に駆動信号を供給するための回路基板３２
と、この回路基板３２と圧電振動子３０を電気的に接続するフレキシブルケーブル３３等
から構成される。本実施形態の圧電振動子３０は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動素
子を備える。各圧電振動素子は、固定端部が固定板３１上に接合され、自由端部が固定板
３１の先端面よりも外側に突出している。
【００２７】
流路ユニット９の底部に配置されるノズルプレート２５は、ドット形成密度に対応した
ピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル開口３５を列状に開設した金属製の薄い板
材である。
【００２８】
ノズルプレート２５と振動板２３との間に配置される流路形成基板２４は、インク流路
となる流路基部、具体的には、共通液体室の一種である共通インク室３７、インク供給口
３８、及び、圧力室３９となる空部が区画形成された板状の部材である。本実施形態にお
いて、流路形成基板２４は、結晶性を有する基材であるシリコンウェハーを異方性エッチ
ング処理することによって作製されている。
【００２９】
流路形成基板２４とヘッドケース８との間に配置される振動板２３は、ステンレス鋼等
の金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。こ
の振動板２３の圧力室３９に対応する部分には、エッチングなどによって支持板を環状に
除去することで、圧電振動子３０の自由端部の先端面を接合するための島部４１が形成さ
れており、この部分はダイヤフラム部として機能する。即ち、この振動板２３は、圧電振
動子３０の作動に応じて島部４１の周囲の弾性フィルムが弾性変形するように構成されて
いる。また、振動板２３は、流路形成基板２４の共通インク室３７の開口面を封止してコ
ンプライアンス部４２としても機能する。このコンプライアンス部４２に相当する部分に
ついては、ダイヤフラム部と同様に、エッチングなどにより支持板を除去して弾性フィル
ムだけにしている。
【００３０】
そして、この記録ヘッド１において、上記回路基板３２からフレキシブルケーブル３３
を通じて圧電振動子３０に駆動信号が供給されると、この圧電振動子３０が素子長手方向
に伸縮し、これに伴い島部４１が圧力室３９に近接する方向或いは離隔する方向に移動す
る。これにより、圧力室３９の容積が変化し、圧力室３９内のインクに圧力変動が生じる
。この圧力変動によってノズル開口３５からインク滴が吐出（噴射）される。
【００３１】
ここで、フィルタ３について説明する。
フィルタ３は、例えばステンレス製（ＳＵＳ製）の平坦な極薄の金属板材（例えば、厚
さ１５μｍ。本発明における被加工板材に相当）５１に貫通孔５２（例えば、直径あるい
は対角線長が１５μｍの穴が１ｃｍ２に数万穴）が多数開設された円形板であり、その外
径は、インク供給路１７の直径の数倍の大きさ、例えば８〜９ｍｍ程度とされている。な
お、貫通孔５２の大きさは、フィルタ３として機能させるため、ノズル開口３５（図１参
照）よりも小さく設定されている。また、フィルタ３の穴形状としては、円形とする場合
に限らず、正方形や六角形等の多角形にすることも可能であり、円形の場合には、直径を
ノズル開口３５よりも小さく設定し、多角形の場合には、対角線の長さを記録ヘッド１の
ノズル開口３５よりも小さく設定することで、フィルタとして機能させることができる。
【００３２】
次に、本発明のプレス装置５５について、図２〜図４に基づいて説明する。図２は、フ
ィルタ３となる金属板材５１に貫通孔５２を開設するためのプレス装置５５の構成を説明
する斜視図である。
プレス装置５５は、図２に示すように、パンチングローラ５６と、弾性マット（本発明
における基台に相当）５７と、テーブル５８（本発明における搬送手段に相当）と、を備
えている。
【００３３】
パンチングローラ５６は、その支持軸５６ａよりも拡径した円柱形に形成され、図示し
ないモータによって、軸芯（図２中に符号Ｏで示す）を中心に回転するように構成されて
いる（図２中に回転方向を矢印Ｌで示す）。このパンチングローラ５６の外周面には、図
３に示すように、断面逆ハ字状の複数平行な第一の溝６０と、第一の溝６０と直交した断
面逆ハ字状の複数平行な第二の溝６１と、を細かなピッチで研削して設け、第一の溝６０
と第二の溝６１とによってマトリクス状に区画された部分に四角錐台形状のパンチ６３が
突設されている。
【００３４】
前述した第一の溝６０は、図４に示すように、パンチングローラ５６の軸芯Ｏに沿って
形成されており、第二の溝６１は周方向（回転方向Ｌ）に形成されている。なお、それぞ
れの溝６０，６１は、パンチングローラ５６の軸芯Ｏや周方向と交差する方向に延びてい
ても良い。
【００３５】
また、前述したパンチ６３は、根元（軸芯Ｏ）側から先端６３ａ側に向かうに従って徐
々に細くなっており、軸芯Ｏと直交する方向の断面が台形状（軸芯Ｏに向かう方向の平面
は四角形状）の角錐台形状に形成されているが、パンチ６３側面の傾斜角度は、金属板材
５１へのパンチ６３の打ち込み角度等に応じて適宜変更させることができる。
【００３６】
また、パンチ６３は、それぞれの先端６３ａが軸芯Ｏを中心とした同心円上に配置され
ている（図４中に二点鎖線で示す）。そのため、パンチングローラ５６が軸芯Ｏを中心に
回転する際に、それぞれのパンチ６３の下死点を同一面に揃えることができる。
【００３７】
そして、このように形成されたパンチングローラ５６は、図示しない押圧手段によって
、支持軸５６ａが後述する弾性マット５７に近接する方向に押圧される（図２中に押圧方
向を矢印Ｐで示す）。その押圧状態で、パンチングローラ５６は、パンチ６３で金属板材
５１を圧接しながら回転するように構成されている。
【００３８】
弾性マット５７は、その表面が平坦な板状に形成され、後述するテーブル５８の上面に
配置されて、フィルタ３用素材である金属板材５１を被加工板材として支持する。この弾
性マット５７は、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やエラストマーなどの弾
性を有する素材により作製された板材であり、金属板材５１の厚さの数倍の厚さに設定さ
れている。そして、金属板材５１に貫通孔５２を形成する際には、弾性マット５７上に金
属板材５１を載置した状態で加工を行う。即ち、本発明のプレス（加工）装置５５は、所
謂ダイレス加工を採用している。
【００３９】
なお、弾性マット５７としては、ＰＥＴに限らず、例えばＰＣ（ポリカーボネート）、
ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＡＢＳ（ＡＢＳ樹脂）、ＰＰＳ（ポリフェニンサルファイド
）等の他の高分子材料等を用いることも可能であり、硬さは、金属板材の厚さや貫通孔の
大きさ、ピッチ等により種々選択することが可能である。
【００４０】
テーブル５８は、パンチングローラ５６の下方に所定の間隔を空けて配置され、その上
面から順に弾性マット５７、金属板材５１を載置する。この状態で、テーブル５８は、図
示しない駆動手段によって、弾性マット５７及び金属板材５１をパンチングローラ５６の
軸芯Ｏに直交する方向に沿って搬送する（図２中に搬送方向を矢印Ｍで示す）。なお、テ
ーブル５８が、金属板材５１を送る（搬送する）速度は、パンチングローラ５６のパンチ
６３の先端６３ａの周速度と同じ速さに設定されている。
【００４１】
次に、前述したプレス装置５５を作動させて、金属板材５１に貫通孔５２を開設する手
順を説明する。まず、準備工程として、テーブル５８上に弾性マット５７を載置し、その
上にさらに金属板材５１を載置する。なお、この状態では、パンチングローラ５６から外
れた位置に金属板材５１が位置している。準備工程が終了したならば、スタートスイッチ
をオンにしてパンチングローラ５６を回転すると共に、テーブル５８の移動を開始する。
すると、テーブル５８が、パンチングローラ５６の軸芯Ｏに直交する方向に（矢印Ｍに沿
って）搬送され、金属板材５１の先端表面がパンチングローラ５６の下端に当接する。こ
の状態では、パンチングローラ５６が、その支持軸５１ａを金属板材５１に向かって押圧
されつつ、金属板材５１の搬送速度と同期させた周速度で回転しているので、図４に示す
ように、パンチ６３の先端６３ａが金属板材５１に向かって近づく。そして、引き続き金
属板材５１を矢印Ｍに沿って送ると共にパンチングローラ５６を矢印Ｌに沿って回転させ
ると、パンチ６３の先端６３ａが金属板材５１の表面に当接し、その後、金属板材５１の
板厚方向に押し込まれる。これにより、パンチ６３の先端６３ａに圧接された金属板材５
１が先端６３ａの形状に沿って破断し始める。
【００４２】
そして、パンチ６３をさらに弾性マット５７側に押し込むと、先端６３ａが金属板材５
１を打ち抜いて、その後、弾性マット５７の弾性力に抗しながらパンチ６３を弾性マット
５７の厚さ方向の奥側へさらに押し込む。これにより、パンチ６３で打ち抜く際の抜き片
（カス）６５が金属板材５１から完全に離脱して弾性マット５７内に押し込まれる。この
ため、テーブル５８とパンチ６３の先端６３ａとの位置合わせを行うことなく、貫通孔５
２を所定の位置に開設することができる。
【００４３】
その後、パンチングローラ５６をさらに回転させて、パンチ６３を貫通孔５２から離間
させる。すると、弾性マット５７の表面に押圧形成される凹部６６内には抜き片６５（こ
の抜き片６５を、図４中に符号６５´で示す）が残留保持される。これにより、抜き片６
５の散乱を防止することができる。
【００４４】
このようにして、テーブル５８によって金属板材５１と弾性マット５７とを重ね合わせ
た状態で順次送りつつ、パンチングローラ５６を金属板材５１の送り速度に応じて回転さ
せながら圧接して、パンチ６３を金属板材５１に順次打ち込んで貫通孔５２を所定の間隔
で複数列開設し、金属板材５１の後端がパンチングローラ５６の下を通過すると、金属板
材５１の全面に貫通孔５２が開設されて貫通孔開設工程が終了する。
【００４５】
そして、貫通孔開設工程が終了したならば、金属板材５１を次のプレス装置に搬送し、
これにより最終的には所定の形状（例えば円形）及び大きさに打ち抜いて、即ち、切断し
て、上記記録ヘッド１に用いられるフィルタ３とする（トリミング工程）。
【００４６】
このように本発明のプレス装置５５は、外周面に突設されたパンチ６３が形成されたパ
ンチングローラ５６と、パンチングローラ５６に対向する面が弾性材からなる弾性マット
５７と、を備え、弾性マット５７に金属板材５１を載置した状態で、パンチングローラ５
６を金属板材５１に圧接しながら回転させることで、列状のパンチ６３を金属板材５１に
打ち込むので、パンチングローラ５６の回転に伴って、金属板材５１に貫通孔５２を効率
良く形成することができる。また、弾性マット５７に載置した金属板材５１に対してパン
チングローラ５６のパンチ６３を回転させて貫通孔５２を形成するために、板材に複数の
パンチを立設させた場合に比べ、小型化することができ、プレス装置５５の設置スペース
を抑えられる。さらに、弾性マット５７とパンチ６３との位置を高精度に合わせる必要が
無くなり、この結果、型合わせの手間を省くことができると共に、パンチ６３が破損する
ことを防止できる。
【００４７】
また、パンチ６３を、根元（軸芯Ｏ）側からパンチ６３の先端側６３ａに向かうに従っ
て徐々に細くなるように形成するので、パンチ６３の傾斜を、パンチングローラ５６の回
転に伴うパンチ６３の打ち込み角度に合わせることで、微細なパンチ６３であっても耐久
性を確保しつつ、形状を容易に形成することができる。また、微細な貫通孔５２に対する
極細のパンチ６３を、研削などで形成し易い。
【００４８】
また、パンチ６３の先端６３ａを、パンチングローラ５６の軸芯Ｏを中心とした同心円
上に配置するので、パンチングローラ５６の回転によってパンチ６３が金属板材５１へ打
ち込み角度や深さを均一にして、貫通孔５２の加工精度を高めることができる。
【００４９】
また、パンチ６３で打ち抜いた金属板材５１の抜き片６５を、弾性マット５７に押圧形
成される凹部６６内に残留保持でき、これにより、金属板材５１の抜き片６５が散乱する
ことを防止できる。
【００５０】
また、テーブル５８によって、金属板材５１をパンチングローラ５６の軸芯Ｏに直交し
た（矢印Ｍ）方向に沿って搬送しながら、パンチ６３を金属板材５１に略垂直に打ち込ん
で、貫通孔５２を形成することができる。また、金属板材５１の搬送速度を、パンチング
ローラ５６の回転速度と同期させることで、金属板材５１に貫通孔５２を効率的に開設す
ることができる。
【００５１】
また、微細な貫通孔５２を効率的に形成したフィルタ３を製造することができ、フィル
タ３の生産性を高めることができる。
【００５２】
ところで、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記
載に基づいて種々の変形が可能である。
【００５３】
前述した実施形態では、搬送手段としてのテーブル５８を備えていたが、本発明のプレ
ス装置５５は、パンチングローラ５６に平行に配された受けローラ６８を備えていても良
い。受けローラ６８は、図５に示すように、円筒形に形成され、パンチングローラ５６と
対向するように位置付けられる。受けローラ６８が、その上に弾性マット５７及び金属板
材５１を載置し、図示しないモータによって、軸芯Ｏ´を中心にして回転することによっ
て、金属板材５１をパンチングローラ５６の軸芯Ｏに直交した方向（矢印Ｍ）に沿って搬
送するように構成しても良い。
【００５４】
また、本発明のパンチ６３は、研削により溝６０，６１を形成しなくても、その先端６
３ａが突出するようにパンチングローラ５６の外周に突設されていれば良い。
【００５５】
また、パンチングローラ５６の外周にパンチ６３を列状に形成したが、パンチ６３はど
のように配置しても良い。即ち、パンチングローラ５６の外周面に複数のパンチ６３が形
成されていれば良い。
【００５６】
また、本発明のプレス装置５５は、貫通孔５２を形成した金属板材５１として、液体噴
射ヘッドの一種である記録ヘッド１に用いられるフィルタ３を例に挙げて説明したが、他
の用途に用いられる金属板材５１にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。
【図２】プレス装置の概略構成図である。
【図３】パンチングローラのパンチを説明する拡大斜視図である。
【図４】金属板材に貫通孔を形成する状態を説明する拡大断面図である。
【図５】他の実施形態のプレス装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００５８】
１…記録ヘッド，３…フィルタ，５１…金属板材，５２…貫通孔，５５…プレス装置，
５６…パンチングローラ，５７…弾性マット，５８…テーブル，６３…パンチ，６５…抜
き片，６６…凹部，６８…受けローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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