(57)【要約】【課題】  縦隔壁と横隔壁によって放電空間が区画されたプラズマディスプレイパネルにおいて、縦隔壁に平行で直線的な排気用の貫通孔を簡略な工程で横隔壁上に設けるための製造方法を得る。【解決手段】  ガラス基板上に設けられた隔壁材料塗膜上に、段差形成層となるガラス含有材料を縦隔壁位置にストライプ状に形成し、その後格子状の隔壁をパターニングすることを特徴とする、プラズマディスプレイパネルの製造方法により製造する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の対向する基板と、前記基板間に設けられ、基板間の間隙を保持する格子形状の隔壁とを有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
ガラス基板上に隔壁材料よりなる隔壁材料層を設ける工程と、前記隔壁材料層上にストライプ形状の段差形成層を設ける工程と、前記隔壁材料層及び段差形成層の不要部分を除去し隔壁の形状を形成する工程とよりなることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記隔壁の形状を形成する工程は、サンドブラスト法または化学的エッチング法であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記段差形成層は、縦隔壁上に形成されており、前記ストライプ形状の幅は、前記縦隔壁の上底の幅よりも広いことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
請求項１または２に記載されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記段差形成層は、縦隔壁上に形成されており、前記ストライプ形状の幅は、前記縦隔壁の上底の幅よりも狭いことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
請求項１に記載されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記段差形成層はガラスを含有する材料であり、前記段差形成層は縦隔壁の上底の幅より広い幅のストライプ状に、縦隔壁を形成される位置に重ねて形成され、
前記隔壁の形状を形成する工程は、前記段差形成層上に感光性レジストを貼る工程と、格子状の隔壁のパターンが形成されたマスクを用いて感光性レジストを露光し現像する工程と、隔壁のパターンが形成されたレジストを用いてサンドブラスト処理を行う工程を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記段差形成層は、前記隔壁材料層と同じ材料を使用していることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれかに記載されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記段差形成層は、前記隔壁材料層と異なる材料を使用していることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記段差形成層として、黒色あるいは暗色を呈する無機化合物を含有するガラスを使用することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
前面基板と背面基板とが対向配置されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記前面基板は、複数の電極と、該電極を覆うように形成された誘電体層とを有し、前記背面基板は、アドレス電極と、放電セルを区画する隔壁を有し、前記隔壁は前記アドレス電極と平行な縦隔壁と、前記アドレス電極と直交し、前記縦隔壁と高さの等しい横隔壁よりなり、
前記縦隔壁上に段差形成層を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１０】
請求項９に記載されたプラズマディスプレイパネルであって、前記段差形成層は横隔壁に一部突出した突出部を有し、前記突出部は端部に曲面を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１１】
請求項９に記載されたプラズマディスプレイパネルであって、前記段差形成層の幅は縦隔壁の上面の幅よりも狭く、前記段差形成層の上面は、縦隔壁の中央部の上部が高い形状となっていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１２】
請求項９ないし１１のいずれかに記載されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記段差形成層はガラスを含有する部材よりなり、前記隔壁材料と同一の材料であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１３】
請求項９ないし１１のいずれかに記載されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記段差形成層はガラスを含有する部材よりなり、前記隔壁材料と異なる材料であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１４】
請求項１２または１３に記載されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記段差形成層は、黒色あるいは暗色を呈する無機化合物を含有するガラスよりなることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１５】
請求項１４に記載されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記無機化合物はＦｅ，Ｍｎ，Ｃｏ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｒｕ，Ｔｉ，Ｎｉ，Ｍｏ，Ｎｄのいずれかの酸化物、または複合酸化物を含有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１６】
請求項９ないし１５のいずれかに記載されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記段差形成層の厚みは１０μｍ以上であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１７】
請求項９ないし１６のいずれかに記載されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記段差形成層はアドレス電極方向に連続であり、かつ、アドレス電極に直交する方向に不連続であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１８】
前面基板と背面基板とが対向配置されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記前面基板は、複数の電極と、該電極を覆うように形成された誘電体層とを有し、前記背面基板は、アドレス電極と、放電セルを区画する隔壁を有し、前記隔壁は前記アドレス電極と平行な縦隔壁と、前記アドレス電極と直交する横隔壁とよりなり、
前記横隔壁は前記縦隔壁より高さの低い凹部を有し、前記凹部と前記前面板で形成される貫通孔は、縦隔壁に平行に配置されており、前記横隔壁の壁面は、前記貫通孔内部に向かって曲率を有する面となっていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１９】
請求項９ないし１８のいずれかに記載されたプラズマディスプレイパネルであって、
前記背面基板はブラックマトリックスを有し、前記ブラックマトリクスはアドレス電極方向に連続であり、かつ、アドレス電極に直交する方向に不連続である形状を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイ及びその製法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイとは、一対のガラス基板に微小間隙を設けて対向配置し、周囲を封止することによって内部に放電空間を形成した自己発光型の画像表示装置である。上記の微小間隙を保持するため、プラズマディスプレイは隔壁を有する。プラズマディスプレイ用隔壁には、溝が平行に設けられたストライプ状の隔壁と、隔壁を格子状として画素間の放電の干渉を防止した格子状の隔壁が知られている。ストライプ状の隔壁では、対抗するガラス基板と一体に封着しパネル化する際、ディスプレイパネル内部に存在する空気は溝を経て封止部分から排気できる。格子状の隔壁を用いたパネルの場合、パネル化の封着・排気時には排気が困難になるため、排気を容易とする排気用の貫通孔を設けるため、様々な工夫がなされている。
【０００３】
特開２００６−２１６５２５号公報（特許文献１）では、一旦格子状の隔壁を作製した後に、例えば縦隔壁上部に隔壁用ペーストを直接パターニング法によって所定高さまで形成する。直接パターニング法とは、インクジェット法，ディスペンシング法のいずれかであるとしている。
【０００４】
特開２００６−２１００６９号公報（特許文献２）では、前面板のバス電極を断面円弧状に形成し、誘電体層を薄くすることで前面板に凹凸のパターンを設け、格子状の隔壁を形成した背面板と組み合わせる際に生じる隙間を排気経路にしている。
【０００５】
特開２００５−２８５７１０号公報（特許文献３）では、１層目の感光性ペーストを塗布、ストライプパターンで露光し、更に２層目の感光性ペーストを塗布し、縦隔壁の高さが高くなる部分のパターンを露光し、現像することで、高低差を有する隔壁を形成している。２層目に塗布するペーストの種類および塗布膜厚により、高低差を調整するとしている。
【０００６】
特開２００６−７３３４４号公報（特許文献４）では、金属板を異なったパターンで両面からエッチングすることにより、隔壁および排気用貫通孔を同時に形成する手法が提示されている。
【０００７】
特開２００６−２１６５３６号公報（特許文献５）では、背面基板上に隔壁用ペーストを塗布し、縦方向と横方向で幅の異なるよう隔壁のパターニングを行い、サンドブラスト処理で隔壁を形成後、エッチング液を塗布し、パターン幅の差によるエッチング量の差を利用して縦隔壁と横隔壁の高さに差を作り、それを排気経路にしている。
【０００８】
特開２００６−２１０３４４号公報（特許文献６）では、隔壁の焼成工程において、焼成による縦隔壁と横隔壁の収縮量の差を利用して、縦隔壁と横隔壁の高さに差を作り、それを排気経路にしている。
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−２１６５２５号公報
【特許文献２】特開２００６−２１００６９号公報
【特許文献３】特開２００５−２８５７１０号公報
【特許文献４】特開２００６−７３３４４号公報
【特許文献５】特開２００６−２１６５３６号公報
【特許文献６】特開２００６−２１０３４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献１の手法では、格子状の隔壁の縦隔壁上部のみに隔壁用ペーストをパターニングする必要があり、非常に高精度なパターニング法が必要となる。工程が複雑になる上、パターニング法の精度が低いと、隔壁用ペーストが格子状隔壁の内側に浸入し、排気経路が設けられなくなる場合がある。
【００１１】
特許文献２の手法では、誘電体層を薄く形成しなければならないので、設計の自由度が少ない。また、そのような誘電体層では、封着，排気時にバス電極上の誘電体層が隔壁と接触することで破損する場合がある。
【００１２】
特許文献３の手法では、複数の感光ペーストを用いる上、二度の露光工程を必要とするため、コストが高くなる。
【００１３】
特許文献４では、隔壁材料がハンドリング容易な金属材料に限定される。金属板のエッチングにより隔壁および排気用貫通孔を同時に形成した後、ガラス板に隙間なく貼り付け、表面を絶縁材料でコートする必要があるため、工程が複雑かつ困難になる。
【００１４】
特許文献５では、パターン幅の差によるエッチング量の差を利用して排気経路にしているが、この手法では全域の排気経路を同一サイズにすることが困難である。また、隔壁形状を設計する自由度が失われる。特許文献６でも同様に、全域の排気経路を同一サイズにすることが困難な上、隔壁形状を設計する自由度が失われる。
【００１５】
本願発明の目的は、簡便な工程で排気用の排気経路を設けるプラズマディスプレイパネルの製造方法にある。また、製造時の歩留まりを向上させ、プラズマディスプレイパネルの性能向上とコストダウンの両立を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決する本願発明の特徴は、ガラス基板上に隔壁材料層を設ける工程と、当該隔壁材料層上にストライプ形状の段差形成層を設ける工程と、その後に段差形成層の位置に合わせて格子状の隔壁をパターン形成する工程により、格子状の隔壁を形成することを特徴とするプラズマディスプレイの製造方法にある。
【００１７】
隔壁材料の塗膜上にガラス含有材料をストライプ状に形成し、ストライプ位置に隔壁の位置を合わせてパターニングするので、隔壁上にガラス含有材料が残留する。その結果、格子状の隔壁の縦横いずれかに段差を形成できる。このような意味から、本明細書ではストライプ状のガラス含有材料を段差形成層と称する。格子状隔壁は、前記段差形成層を有する部分を縦隔壁位置とし、横隔壁に排気用の貫通孔を有することが好ましい。
【００１８】
同一色の蛍光体の方向に平行な隔壁に段差形成層を設け、垂直な隔壁に排気用の貫通孔を設ける。格子状の隔壁で形成されるそれぞれのセルに赤，緑，青の蛍光体を入れるとき、通常の画像表示装置では、各セルの蛍光体は縦方向に同一色とする。従って、段差形成層を縦隔壁上に設け、横方向には貫通しない隔壁形状にすることで横隣のセルへの蛍光体の漏れを防止できる。この場合、貫通孔は、横隔壁に設けられる。
【００１９】
段差形成層は、ガラスを含有する材料で構成されることが好ましい。下地である隔壁材料層がガラスのとき、ガラスを含有する材料で段差形成層を構成することにより、焼成工程においてガラスが軟化，溶解し、下地である隔壁材料層と一体化するからである。
【００２０】
段差形成層をストライプ状に設ける工程では、スクリーン印刷法，メタルマスク法，ディスペンサ法，スキージングディスペンサ法などを用いることができ、スクリーン印刷法がもっとも簡便である。
【００２１】
隔壁のパターニング工程のパターニング方法としては、隔壁材料層，段差形成層の不要部分を除去し隔壁のパターンを形成する方法であれば何でもよく、サンドブラスト法や化学的エッチング法などを適用できる。サンドブラスト法や化学的エッチング法などではレジスト材料を用いてパターニングされるが、レジスト材料としては、ポジ型のレジスト材料、あるいはネガ型のレジスト材料のいずれも、適用できる。ストライプ状の段差形成層に生じる段差部分でも破損しにくく、段差部分をカバーできるカバレッジ性の高いレジスト材料を選択することが好ましい。
【００２２】
上記のように形成することにより、一度のパターニング工程で排気経路を設けることができる。従って、縦隔壁と横隔壁によって放電空間が区画された品質の高いプラズマディスプレイ装置であっても、排気用の貫通孔の製造が簡略な工程であり、容易となるので、プラズマディスプレイパネルの歩留まり向上、コスト削減に有効である。また、格子状の隔壁に設ける貫通孔のサイズを調整することが容易である。
【発明の効果】
【００２３】
上記の構成によれば、格子状の隔壁を有するプラズマディスプレイパネルの排気経路を簡便な工程で形成できるとともに、性能のよいプラズマディスプレイ装置の提供が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
格子状の隔壁は、画素間を区画し、放電の干渉を防止することにより高精彩なディスプレイとすることが有効である。プラズマディスプレイでは、放電ガスを充填する前に、一旦、パネル内を高真空に排気する必要がある。格子状の隔壁を有するディスプレイでは、直線状の隔壁のものに比べ、排気がされにくく真空化に時間がかかる。格子状の隔壁に排気効率のよい貫通孔を設け、短時間で高真空にすることが望ましいが、排気効率のよい排気経路を設ける工程は複雑であり手間・コストがかかっていた。そこで発明者らは鋭意検討した結果、背面基板の隔壁の製造工程を工夫し、横隔壁上に排気効率のよい貫通孔を形成する簡便な手法を見いだしたので以下説明する。
【実施例１】
【００２５】
まず、本実施例では、プラズマディスプレイパネルの構成について詳細に説明する。プラズマディスプレイパネルは、前面基板及び背面基板が対向配置された構造を有する。前面基板には複数の電極と、該電極を覆うように形成された誘電体層等とを有する。また、背面基板には、アドレス電極と、放電セルを区画して形成する隔壁等を有する。本実施例の隔壁は、アドレス電極と平行な縦隔壁と、アドレス電極に直行する横隔壁よりなる格子状の隔壁である。隔壁は、高さの等しい縦隔壁と横隔壁からなる格子状の隔壁と、縦隔壁上に設けられた段差形成層を有する。
【００２６】
本実施例の隔壁構造の一例を図１に模式的に示す。本発明の隔壁はガラスを含有する材料から成り、ほぼ高さの等しい縦隔壁と横隔壁からなる格子状の隔壁１および、縦隔壁上に設けられた段差形成層２より構成されている。段差形成層２は横隔壁方向に突出部３を有する。そのため、横隔壁上の段差形成層の凹部により、縦隔壁に平行で、ほぼ直線的な排気用の貫通孔を有するので、排気が容易である。
【００２７】
突出部は、ストライプ状に形成されたガラス含有材料よりなる段差形成層のストライプ幅を縦隔壁の上底の幅よりも広くすることで形成される。このような突出部を設けることで、支持強度を向上させることができる。また、ストライプ形成時の多少のずれが問題とならなくなるため、段差形成層をストライプ状に設ける工程（印刷等）の精度を軽減することができる。
【００２８】
また、突出部によれば、横隔壁上の凹状の貫通孔の幅を横隔壁の幅よりも小さくすることができる。隔壁の内部には蛍光体のペーストが印刷され、乾燥・焼成されるが、プラズマディスプレイでは蛍光体量を多くすることが好ましい。焼成により蛍光体は中央が凹んだ形状（隔壁の角部が高い形状）になるので、隔壁の角部である突出部を有すると、蛍光体が隔壁の外にはみ出してしまう可能性を低減し、隔壁が保有する蛍光体量を多くすることができる。内部の蛍光体の形状に貫通孔の幅や高さを合致させることが好ましい。
【００２９】
図２に、プラズマディスプレイパネルの隔壁および段差形成層部分の模式断面図を示す。図２は、図１に示す突出部３の端部の断面形状である。印刷法を用いて流動性を有するペーストで段差形成層を形成すると、段差形成層のエッジ部がなだらかになる。段差形成層は、図２のように、貫通孔の内側に向かって５に示すような凸面や６のような凹面を有する曲率を有する形状となる。７は排気経路となる貫通孔である。貫通孔の壁面を孔内部に向かって曲率を有する面にすることにより、封着・排気の際、空気が貫通孔を通過する際の流体摩擦係数を低下させる効果を有する。また、このような曲率を有すると、角がなく、封止時等に破壊がされにくいので好ましい。
【００３０】
図３のように、ストライプ形状の段差形成層の幅を縦隔壁の幅よりも細くすることによっても印刷精度を軽減できる。図３の場合には、図１に示す突出部３はない。該段差形成層の幅は縦隔壁の上底の幅よりも狭く、９に示すような丸みを帯びた突起状の形状となる。７は排気経路となる貫通孔である。隔壁の上底の幅よりも細い段差形成層とすると必ずしもきちんと中心に配置する必要性がなくなり、多少印刷精度が悪くても、縦隔壁の上底の面上に載せることができる。
【００３１】
前記段差形成層となる材料として、隔壁材料と同一の材料、隔壁材料とは異なる材料のいずれを使用してもよい。いずれの材料でも排気用の貫通孔を形成でき、段差形成層の機能を得られる。上述のとおり、隔壁および段差形成層を、ガラス、またはガラスを含有する材料で形成することが好ましい。ガラスそのもののほか、ガラスにセラミクス粒子や黒色顔料のフィラーを添加し、隔壁や段差形成層の性質を調整することが可能である。ガラス、またはガラス含有材料は、隔壁により区画されるセル内の蛍光体を焼成する際に、隔壁および段差形成層の形状を維持できる。
【００３２】
前記段差形成層となるガラス含有材料を、隔壁材料とは異なる材料とし、格子状隔壁の横隔壁部に貫通孔を設けると同時に、別の機能を付与できる。例えば、段差形成層の導電性を調整し、放電セル間での荷電粒子，励起原子分子などプライミング粒子の効率的なやりとりを実現できる。
【００３３】
プラズマディスプレイパネルに設けられるブラックマトリクスは、表示画像のコントラストを高める効果を奏する。なお、段差形成層に重ねてブラックマトリクスを設けてもよいが、段差形成層をブラックマトリクスとして使用することも可能である。図４（ａ）は黒色顔料を有する段差形成層で構成され、該段差形成層が横隔壁方向に一部突出した形状を有する場合の模式図である。図４（ｂ）は黒色顔料を有する段差形成層で構成され、該段差形成層の幅は縦隔壁の上底の幅よりも狭い場合の模式図である。黒色あるいは暗色の段差形成層を用いると、格子状隔壁の横隔壁部に貫通孔を設けると同時に、背面板上にブラックマトリックスを設けることと同様の効果を有し好ましい。
【００３４】
黒色あるいは暗色の段差形成層には、黒色あるいは暗色のガラスや、無色・淡色のガラスに黒色あるいは暗色を呈する無機化合物を混合した材料を用いる。黒色のガラスとしてはバナジウム系ガラスが挙げられる。黒色あるいは暗色を呈する無機化合物としては、一般的に知られている黒色顔料でよく、Ｆｅ，Ｍｎ，Ｃｏ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｒｕ，Ｔｉ，Ｎｉ，Ｍｏ，Ｎｄの中から選ばれる１以上の酸化物あるいは複合酸化物が挙げられる。図５に示すように本実施例のブラックマトリックスは背面板側に形成され、前記アドレス電極方向に連続であり、アドレス電極に直交する方向に不連続となる。
【００３５】
印刷法により形成されるストライプ形状の段差形成層の幅は、各縦隔壁間のピッチよりも小さい値の範囲で調整される。前記段差形成層の厚み（前面基板側と、横隔壁との間隙）を３μｍ以上とすることで、充分に排気が可能な排気経路を設けることができる。排気をより短時間・高効率に済ませたい場合は１０μｍ以上とすることが好ましい。横隔壁上に形成される貫通孔の断面積は、
貫通孔の断面積＝（（縦隔壁のピッチ）−（ストライプ幅））×（ストライプ厚み）
であり、ストライプの厚みを厚くすれば、貫通孔の高さが大きくなり、排気抵抗を下げることができる。ただし格子状の隔壁に設ける貫通孔のサイズが大きすぎると、隔壁の強度が低下し、貫通孔の形状を保てなくなる場合がある。また、サイズが小さいと、排気経路を確保することは容易となるが、排気工程の負荷が増える。
【実施例２】
【００３６】
次に、本実施例のプラズマディスプレイパネルの隔壁の製造工程について詳細に説明する。上述のように、ガラス基板上に設けられた隔壁材料の塗膜上に、段差形成層となるガラス含有材料を縦隔壁位置にストライプ状に形成し、その後格子状の隔壁をパターニングする例である。パターニングでは感光性レジストを貼り、格子状の隔壁のパターンが形成されたマスクを用いて露光し、現像後、サンドブラスト処理を行う方法による。
【００３７】
まず図６（ａ）に示す背面ガラス基板１３上に、図６（ｂ）のように第一層の隔壁材料１４を塗布する。乾燥後、図６（ｃ）に示すように、縦隔壁位置に整合するようストライプ状に第二層の隔壁材料１５（段差形成層）を印刷する。その後図６（ｄ）に示すように、サンドブラスト耐性を有する感光性レジスト１６を貼る。隔壁のパターンを有するマスク等によってこの感光性レジストを露光し（図６（ｅ））、現像することにより、図６（ｆ）に示すような、各放電セルの位置形状に対応した所定のパターンを形成する。次に同基板のパターン以外の部分をサンドブラストにより切削し（図６（ｇ））、感光性レジストのパターンを除去し、図６（ｈ）に示すような形態の隔壁を形成する。ここで感光性レジストのパターン以外の部分を除去する手法はサンドブラストに限定されるものではなく、化学的エッチング法等を用いてもよい。またストライプ状に印刷する隔壁第二層を黒色にすることにより、図６（ｉ）のように隔壁上部にブラックマトリックスを設けることができる。
【００３８】
図６（ｃ）においてストライプ状に印刷する隔壁第二層の幅ｂや厚みｈを調整することにより、貫通孔の幅や厚みを調整する。例えば図６（ｉ）に示す厚みｈをｈ′まで増やすことにより、図６（ｊ）に示すような隔壁を得る。また更に、図６（ｊ）に示す幅ｂをｂ′まで増やすことにより、図６（ｋ）に示すような隔壁を得る。
【００３９】
本実施例では、表１に示す６種類の凹状貫通孔を有する隔壁を作製し、パネルの排気特性について検討した。縦隔壁の幅ａを６０μｍ、縦隔壁のピッチを２８８μｍとし、段差形成層の幅ｂ，厚みｈを変えた。使用した段差形成層の材料は、透明な色調の材料を用い、第一層となる隔壁層と同じである。ＲＢ０１〜ＲＢ０６の形態を有する隔壁を印刷法によって形成し、乾燥後、大気中５６０℃×３０minで焼成をした。
【００４０】
【表１】
2009094016.tif 000003
【００４１】
図２に示すように、隔壁の段差形成層の形態は、端面に符号５や６で示される滑らかな曲率を有する断面形状を有する。これは流動性を有するペーストで印刷法を用いて段差形成層を形成する際の形態である。パネルの排気工程で排気経路となる貫通孔７の端面の面粗度を滑らかにすることで流体摩擦を低減させ、排気経路を通過する空気の圧力損失を少なくすることができる。すなわち排気に要するエネルギー効率を高め、到達真空度を高くできる効果がある。化学的エッチング法によりパターニングした場合は、図７（ａ）（ｂ）に示すような壁面に円弧状の曲面を有する形状の隔壁となり、印刷法の場合と同様に圧力損失を少なくする効果を得られる。
【００４２】
本実施例では、４２型ＰＤＰのサンプルを用い、封着と排気を同時に進行するプロセスにより、パネルの内部の真空度を測定した。上記８種類の隔壁を作製した各背面基板を用い、背面基板周囲に封着用ガラスペーストを塗布し、仮焼きを行った。ここで用いた封着用ガラスペーストは、日本電気硝子製のＢｉ系無鉛ガラスペーストであり、仮焼き温度は４８０℃とした。
【００４３】
仮焼き後の背面基板より、ＲＢ０１〜ＲＢ０６の６種類について、パネル内部排気用の排気管を取り付け、前面基板を対向させ、封着用ガラスの焼成を開始した。焼成は最高温度４５０℃で行った。４５０℃での保持を開始してから３０min後に真空排気を開始し、パネル中央に取り付けた真空計によってパネル内部の真空度を観察した。真空計としては、シュルツゲージを使用した。
【００４４】
図８は、４５０℃で真空引きを開始した直後からの、パネル内部の真空度を時間の関数としてプロットしたものである。隔壁第二層の厚みが１０μｍのパネルでは、最も早く１０-4Ｐａ以下に到達しており、次いで隔壁第二層の厚みが５μｍのパネルが１０-4Ｐａ以下に到達している。両パネル内部の真空度が１０-4Ｐａ以下に到達した時間の差は１５分〜３５分であった。一方、隔壁第二層の厚みが１μｍのパネル内部の真空度は２００分の排気の後でも２×１０-3Ｐａ程度であり、真空到達のためには更に多くの時間が必要と判断し、試験を中断した。
【００４５】
本実施例で示されるように、隔壁第一層の上にストライプ状の隔壁第二層（段差形成層）を印刷し、隔壁のパターニング後サンドブラスト処理を行うことにより、容易に排気経路を横隔壁部に設けることができる。
【実施例３】
【００４６】
更に、段差形成層の幅，厚みおよび色調を変化させ、多種の段差形成層についてパネルを試作検討した。上述の例と同様に、縦隔壁幅ａを６０μｍとし、段差形成層となるストライプの幅ｂを２０〜１５０μｍの範囲で、厚みｈを３〜１５μｍの範囲で変化させた隔壁を作製した。更に、黒色顔料を含有するペーストを用いて同様の形態の隔壁を作製した。作製した背面板ＲＢ−Ｔ−１からＲＢ−Ｂ−２０まで合計４０サンプルとした。
【００４７】
上記４０種類の隔壁を作製した各背面基板を用い、背面基板周囲に封着用ガラスペーストを塗布し、仮焼きを行った。ここで用いた封着用ガラスペーストは前記同様、日本電気硝子製のＢｉ系無鉛ガラスペーストであり、仮焼き温度は４８０℃とした。各パネルに排気管を取り付け、封着と排気を同時に進行するプロセスによりパネルの内部の真空度を測定した。
【００４８】
焼成は最高温度４５０℃で行った。４５０℃での保持を開始してから１５min後に真空排気を開始し、パネル中央に取り付けた真空計（シュルツゲージ）によってパネル内部の真空度を観察した。真空排気試験の結果、パネル内真空度が６０min以内に１０-4Ｐａ以下に到達したものには○、１０-4Ｐａ以下に到達するまでに６０min以上を要したものには△、２００min以上経っても１０-4Ｐａ以下に到達しなかったものには×を記した。
【００４９】
【表２】
2009094016.tif 000004
【００５０】
【表３】
2009094016.tif 000005
【００５１】
横隔壁上に形成される貫通孔の断面積は、
貫通孔の断面積＝
（（縦隔壁のピッチ）−（段差形成層のストライプ幅ｂ））×（段差形成層のスト          ライプ厚みｈ）
である。本実施例における縦隔壁のピッチは２８８μｍであり、例えば幅ｂ＝２０μｍ，厚みｈ＝５μｍの貫通高の断面積は
（２８８−２０）×５＝１３４０μｍ2
となる。
【００５２】
本検討の結果、この計算式により計算される断面積がおおむね６００μｍ2を超えるものであれば、排気経路として機能することがわかった。本実施例に記載のないサイズのストライプに関しても、貫通孔の断面積が６００μｍ2を超えていれば問題なく排気が可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の隔壁構造の一例の模式図。
【図２】横隔壁方向に一部突出した形状の段差形成層を縦隔壁上に設けた場合の構造模式図。
【図３】縦隔壁の上底の幅よりも狭い段差形成層を縦隔壁上に設けた場合の構造模式図。
【図４】段差形成層に黒色顔料を含有させた場合の構造模式図。
【図５】背面板側に形成され、アドレス電極方向に連続でありかつ、アドレス電極に直交する方向に不連続であるブラックマトリックスの模式図。
【図６（ａ）（ｂ）（ｃ）】凹状の貫通孔を有する横隔壁を形成する工程を示す図。
【図６（ｄ）（ｅ）】凹状の貫通孔を有する横隔壁を形成する工程を示す図。
【図６（ｆ）（ｇ）（ｈ）】凹状の貫通孔を有する横隔壁を形成する工程を示す図。
【図６（ｉ）（ｊ）（ｋ）】凹状の貫通孔を有する横隔壁を形成する工程を示す図。
【図７】化学的エッチング法でパターニングした場合の隔壁および段差形成層の構造模式図。
【図８】凹状の貫通孔のサイズに応じた試作パネル内部の真空度を示す図。
【符号の説明】
【００５４】
１  格子状隔壁
２  段差形成層
３  段差形成層の横隔壁方向の突出部
４  境界面
５  段差形成層端部の凸状の曲率
６  段差形成層端部の凹状の曲率
７  排気経路となる貫通孔
８  前面板
９  縦隔壁の上底の幅よりも狭い段差形成層
１０  縦方向の連続したブラックマトリックス
１１  横方向に不連続なブラックマトリックス
１２  単位放電セル
１３  背面ガラス基板
１４  隔壁材料
１５  隔壁材料（ストライプ状印刷，幅ｂ，厚みｈ）
１６  感光性レジスト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６（ａ）（ｂ）（ｃ）】
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【図６（ｄ）（ｅ）】
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【図６（ｆ）（ｇ）（ｈ）】
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【図６（ｉ）（ｊ）（ｋ）】
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【図７】
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【図８】
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