(57)【要約】【課題】液体噴射面と保持部材との接着強度を向上し、耐久性を向上した液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１が開口する液体噴射面Ａを有する液体噴射ヘッドと、該液体噴射面Ａに接着剤４０１を介して接合されて、前記液体噴射ヘッドを保持する保持部材２５０とを具備し、前記液体噴射面Ａの接着領域及び前記保持部材２５０の接着領域に凹部２３、２５５を設けると共に、該凹部２３、２５５内に前記接着剤以外の連結部材５００を設け、前記凹部２３、２５５に相対向する前記保持部材２５０及び前記液体噴射面Ａと前記接着剤４０１との界面を前記凹部２３、２５５に沿って設ける。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口が開口する液体噴射面を有する液体噴射ヘッドと、該液体噴射面に接着剤を介して接合されて、前記液体噴射ヘッドを保持する保持部材とを具備し、
前記液体噴射面の接着領域及び前記保持部材の接着領域の何れか一方又は両方に凹部が設けられていると共に、該凹部内に前記接着剤以外の連結部材が設けられており、
前記凹部に相対向する前記保持部材及び前記液体噴射面と前記接着剤との界面が、前記凹部に沿って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項２】
前記凹部は、前記液体噴射面の接着領域に設けられた第１の凹部と、前記保持部材の接着領域の前記第１の凹部に相対向する領域に設けられた第２の凹部とで構成され、前記第１の凹部と前記第２の凹部との間には、前記液体噴射ヘッド及び前記固定部材とは別体の前記連結部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項３】
前記凹部が前記液体噴射面に設けられていると共に、前記連結部材が前記保持部材に一体的に設けられて前記凹部内に突出して設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項４】
前記液体噴射面には、前記ノズル開口の周囲に撥液膜が設けられた撥液領域と、該撥液膜が設けられていない非撥液領域とが設けられていると共に、前記液体噴射ヘッドと前記保持部材との接着領域が、前記非撥液領域であることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項５】
前記凹部が、複数のノズル開口の周囲に亘って連続して設けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニットとも言う）としては、インクを吐出するノズル開口が開口する液体噴射面を有するインクジェット式記録ヘッドと、インクジェット式記録ヘッドの液体噴射面に接着剤を介して接着される固定板等の保持部材とを具備するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このようなヘッドユニットでは、液体噴射面に撥液膜が設けられていると液体噴射面と保持部材との接着強度が低下してしまうため、液体噴射面の保持部材との接着領域に撥液膜を除去した非撥液領域を形成している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−０９６４１９号公報（第７〜１２頁、第１〜３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、インクジェット式記録ヘッドの非撥液領域と保持部材とを接着剤を介して接着すると、液体噴射面に付着したインクが、液体噴射面及び保持部材と接着剤との界面から進入し、接着強度が低下してしまいインクジェット式記録ヘッドから保持部材が剥離してしまうという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドユニットに限定されず、インク以外の他の液体を噴射する液体噴射ヘッドユニットにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、液体噴射面と保持部材との接着強度を向上し、耐久性を向上した液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が開口する液体噴射面を有する液体噴射ヘッドと、該液体噴射面に接着剤を介して接合されて、前記液体噴射ヘッドを保持する保持部材とを具備し、前記液体噴射面の接着領域及び前記保持部材の接着領域の何れか一方又は両方に凹部が設けられていると共に、該凹部内に前記接着剤以外の連結部材が設けられており、前記凹部に相対向する前記保持部材及び前記液体噴射面と前記接着剤との界面が、前記凹部に沿って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、凹部と連結部材とが接着剤を介して接着されるため、液体噴射面及び保持部材と接着剤との界面（接着面積）を広くすることができ、液体が接着剤の界面を侵食したとしても短時間で保持部材と液体噴射面とが剥離するのを防止して耐久性を向上することができる。
【０００９】
ここで、前記凹部は、前記液体噴射面の接着領域に設けられた第１の凹部と、前記保持部材の接着領域の前記第１の凹部に相対向する領域に設けられた第２の凹部とで構成され、前記第１の凹部と前記第２の凹部との間には、前記液体噴射ヘッド及び前記固定部材とは別体の前記連結部材が設けられていることが好ましい。また、他の態様としては、前記凹部が前記液体噴射面に設けられていると共に、前記連結部材が前記保持部材に一体的に設けられて前記凹部内に突出して設けられていることが好ましい。
これによれば、保持部材及び液体噴射面と接着剤との界面が液体噴射面の面内方向に亘って形成されず、凹部に沿って形成されて接着面積を広げることができる。
【００１０】
また、前記液体噴射面には、前記ノズル開口の周囲に撥液膜が設けられた撥液領域と、該撥液膜が設けられていない非撥液領域とが設けられていると共に、前記液体噴射ヘッドと前記保持部材との接着領域が、前記非撥液領域であることが好ましい。これによれば、撥液領域によって、液体のノズル開口近傍への付着を防止することができると共に、非撥液領域に接着することで、接着強度を向上することができる。
【００１１】
また、前記凹部が、複数のノズル開口の周囲に亘って連続して設けられていることが好ましい。これによれば、複数のノズル開口の周囲に亘って接着強度及び耐久性を向上することができ、信頼性を向上できる。
【００１２】
本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、耐久性及び信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットを示す分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドユニットの組立斜視図である。
【００１４】
図示するように、本発明の液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニット１（以下、ヘッドユニットとも言う）を構成するカートリッジケース２１０は、図示しないインク供給手段であるインクカートリッジがそれぞれ装着されるカートリッジ装着部２１１を有する。例えば、本実施形態では、インクカートリッジは、ブラック及び３色のカラーインクが充填された別体で構成され、カートリッジケース２１０には、各色のインクカートリッジがそれぞれ装着される。なお、カートリッジケース２１０の底面には、図示しないが、一端が各カートリッジ装着部２１１に開口し、他端が後述するヘッドケース２３０側に開口する複数のインク連通路が設けられている。また、カートリッジ装着部２１１のインク連通路の開口部分には、インクカートリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針２１３が、インク内の気泡や異物を除去するためにインク連通路に形成されたフィルタ（図示なし）を介して固定されている。
【００１５】
また、このようなカートリッジケース２１０の底面側には、複数のインクジェット式記録ヘッド２が固定されている。
【００１６】
インクジェット式記録ヘッド２は、インクカートリッジ（図示なし）のインク色毎に対応して複数設けられている。本実施形態では、１つのインクジェット式記録ヘッドユニット１に４つのインクジェット式記録ヘッド２が設けられている。
【００１７】
ここで、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド２について詳細に説明する。図３は、インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図４はヘッドユニットの要部断面図であり、図５は、ヘッドユニットの要部平面図及び要部断面図である。図３及び図４に示すように、インクジェット式記録ヘッド２は、ヘッド本体２２０と、ヘッド本体２２０の液体噴射面Ａとは反対側に設けられたヘッドケース２３０とを具備する。
【００１８】
ヘッド本体２２０を構成する流路形成基板１０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。この流路形成基板１０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が、幅方向に並設された列が２列形成されている。また、各列の圧力発生室１２の長手方向外側には、後述するリザーバ形成基板３０に設けられるリザーバ部３１と連通し、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成する連通部１３が形成されている。また、連通部１３は、インク供給路１４を介して各圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板１０に形成された液体流路として、圧力発生室１２、連通部１３及びインク供給路１４が設けられている。
【００１９】
また、流路形成基板１０の開口面側には、ノズル開口２１が形成されたノズルプレート２０が接着剤４００を介して固着されている。具体的には、複数のヘッド本体２２０に対応するように複数のノズルプレート２０が設けられており、当該ノズルプレート２０は後で詳述する固定板２５０の露出開口部２５１よりも若干広い面積を有して固定板２５０と重畳する領域で接着剤４０１によって固定されている。なお、ノズルプレート２０のノズル開口２１は、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通する位置に穿設されている。本実施形態では、流路形成基板１０に圧力発生室１２が並設された列を２列設けたため、１つのヘッド本体２２０にノズル開口２１の並設されたノズル列２１Ａが２列設けられている。そして、本実施形態では、このノズルプレート２０のノズル開口２１が開口する面が液体噴射面Ａとなっている。このようなノズルプレート２０としては、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属基板などが挙げられる。
【００２０】
また、図５に示すように、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口する液体噴射面Ａには、撥液膜２２が設けられている。撥液膜２２は、インクに対して撥水性を有するものであれば特に限定されず、例えば、フッ素系高分子を含む金属膜や、撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜などを用いることができる。
【００２１】
なお、フッ素系高分子を含む金属膜からなる撥液膜２２は、例えば、ノズルプレート２０の液体噴射面Ａに直接、共析メッキを施すことにより形成することができる。
【００２２】
このような撥液膜２２は、本実施形態では、ノズルプレート２０の液体噴射面Ａの中央部のみに形成されている。すなわち、ノズルプレート２０の液体噴射面Ａのノズル開口２１が開口する領域を含む中央部は、撥液膜２２が設けられた撥液領域２５となっている。また、ノズルプレート２０の液体噴射面Ａには、液体噴射面Ａの四方の外周に沿って撥液膜２２が設けられていない非撥液領域２６が設けられている。この非撥液領域２６には、詳しくは後述する保持部材である固定板２５０が接着剤４０１を介して接着される。したがって、液体噴射面Ａの非撥液領域２６が保持部材である固定板２５０と接着される接着領域となっている。
【００２３】
ここで、ノズルプレート２０の液体噴射面Ａの非撥液領域２６（接着領域）には、第１の凹部２３が設けられている。本実施形態では、非撥液領域２６がノズルプレート２０の中央部に設けられた撥液領域２５の四方を囲む周囲に亘って設けられているため、第１の凹部２３はノズルプレート２０の周方向に亘って連続して設けるようにした。
【００２４】
そして、このようなノズルプレート２０の液体噴射面Ａの非撥液領域２６には、インクジェット式記録ヘッド２を保持する保持部材である固定板２５０が接着剤４０１を介して接合されている。
【００２５】
具体的には、固定板２５０は、図１及び図４に示すように、平板からなり、ノズル開口２１を露出する露出開口部２５１と、露出開口部２５１を画成すると共にヘッド本体２２０の液体噴射面Ａのノズル列２１Ａの両端部側に接合される接合部２５２とを具備する。
【００２６】
接合部２５２は、本実施形態では、複数のインクジェット式記録ヘッド２に亘って液体噴射面Ａの外周に沿って設けられた固定用枠部２５３と、隣接するインクジェット式記録ヘッド２の間に延設されて露出開口部２５１を分割する固定用梁部２５４とで構成され、固定用枠部２５３及び固定用梁部２５４からなる接合部２５２が複数のインクジェット式記録ヘッド２の液体噴射面Ａに同時に接合されている。
【００２７】
また、固定板２５０の接着領域には、第１の凹部２３に相対向する領域に第２の凹部２５５が設けられている。すなわち、本実施形態では、凹部として、ノズルプレート２０の液体噴射面Ａ側に設けられた第１の凹部２３と、保持部材である固定板２５０に設けられた第２の凹部２５５とを具備するものである。
【００２８】
第２の凹部２５５は、第１の凹部２３と同じ開口面積で設けられている。そして、第１の凹部２３と第２の凹部２５５との間には、連結部材５００が設けられている。
【００２９】
連結部材５００は、第１の凹部２３及び第２の凹部２５５の幅よりも狭い幅で、且つ第１の凹部２３と第２の凹部２５５とで画成される空間の高さよりも低い高さのものであり、インクジェット式記録ヘッド２と固定板２５０とを接着する接着剤４０１によって第１の凹部２３及び第２の凹部２５５とに接着されている。すなわち、第１の凹部２３及び第２の凹部２５５と連結部材５００とは、接着剤４０１を介して接着されている。
【００３０】
このため、第１の凹部２３及び第２の凹部２５５に相対向する領域では、液体噴射面Ａ及び固定板２５０と接着剤４０１との界面は、液体噴射面Ａの面内方向に沿って設けられておらず、第１の凹部２３及び第２の凹部２５５に沿って屈曲して設けられていることになる。
【００３１】
これにより、液体噴射面Ａ及び固定板２５０と接着剤４０１との接着面積を広げることができるため、ノズルプレート２０の表面にインクが付着して、付着したインクが接着剤４０１の界面を侵食したとしても、侵食に対して接着面積が広いので、ノズルプレート２０から固定板２５０が短時間で剥離するのを防止して耐久性を向上することができる。また、連結部材５００によって、接着面積を広げることができるため、接着強度を向上することができ、ノズルプレート２０から固定板２５０が剥離するのを防止できる。
【００３２】
さらに、本実施形態では、ノズルプレート２０の固定板２５０が接着される接着領域を非撥液領域２６とすることで、接着剤４０１とノズルプレート２０との接着強度を向上することができる。
【００３３】
なお、このような連結部材５００は、インクジェット式記録ヘッド２と固定板２５０とを接着する接着剤４０１とは異なる材料で、且つインクによって侵食されない材料、例えば、金属材料や樹脂材料が挙げられる。本実施形態では、ステンレス鋼を用いるようにした。
【００３４】
また、本実施形態では、ノズルプレート２０と流路形成基板１０とは接着剤４００を介して接着されている。このため、ノズルプレート２０の流路形成基板１０との接着領域も同様に非撥液領域２７となっている。本実施形態では、ノズルプレート２０の液体噴射面Ａとは反対側の面の全面を非撥液領域２７とした。
【００３５】
一方、図４に示すように、流路形成基板１０の開口面とは反対側には、弾性膜５０上に、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子３００が形成されている。このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３１を有するリザーバ形成基板３０が接合されている。このリザーバ部３１は、本実施形態では、リザーバ形成基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。
【００３６】
また、リザーバ形成基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。
【００３７】
さらに、リザーバ形成基板３０上には、各圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ１１０が設けられている。この駆動ＩＣ１１０の各端子は、図示しないボンディングワイヤ等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動ＩＣ１１０の各端子には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。
【００３８】
また、このようなリザーバ形成基板３０上には、コンプライアンス基板４０が接合されている。コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域には、リザーバ１００にインクを供給するためのインク導入口４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域のインク導入口４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部４３となっており、リザーバ１００は、可撓部４３により封止されている。この可撓部４３により、リザーバ１００内にコンプライアンスを与えている。
【００３９】
また、各ヘッド本体２２０の液体噴射面Ａとは反対側の面、すなわち、コンプライアンス基板４０上には、ヘッドケース２３０が固定されている。
【００４０】
ヘッドケース２３０は、インク導入口４４に連通すると共にカートリッジケース２１０のインク連通路に連通して、カートリッジケース２１０からのインクをインク導入口４４に供給するインク供給連通路２３１が設けられている。このヘッドケース２３０には、コンプライアンス基板４０の可撓部４３に対向する領域に溝部２３２が形成され、可撓部４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース２３０には、リザーバ形成基板３０上に設けられた駆動ＩＣ１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動ＩＣ保持部２３３が設けられており、外部配線１１１は、駆動ＩＣ保持部２３３を挿通して駆動ＩＣ１１０と接続されている。
【００４１】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド２は、インクカートリッジからのインクをインク連通路及びインク供給連通路２３１を介してインク導入口４４から取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ１１０からの記録信号に従い、各圧力発生室１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００４２】
なお、上述したヘッド本体２２０は、１枚のシリコンウェハ上に多数のチップを同時に形成し、ノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４０を接着して一体化し、その後、図３に示すような１つのチップサイズの流路形成基板１０毎に分割することによってヘッド本体２２０となる。
【００４３】
このようなインクジェット式記録ヘッド２は、カートリッジケース２１０の底面に４つ固定されている。本実施形態では、４つのインクジェット式記録ヘッド２は、ノズル列２１Ａの並び方向に所定の間隔となるように配置されている。すなわち、本実施形態の１つのインクジェット式記録ヘッド２には、ノズル列２１Ａが８列設けられていることになる。このように複数のインクジェット式記録ヘッド２を用いて並設されたノズル開口２１からなるノズル列２１Ａの多列化を図ることで、１つのインクジェット式記録ヘッド２にノズル列２１Ａを多列形成するのに比べて歩留まりの低下を防止することができる。また、ノズル列２１Ａの多列化を図るために複数のインクジェット式記録ヘッド２を用いることで、１枚のシリコンウェハから形成できるヘッド本体２２０（インクジェット式記録ヘッド２）の取り数を増大させることができ、シリコンウェハの無駄な領域を減少させて製造コストを低減することができる。
【００４４】
また、このような４つのインクジェット式記録ヘッド２は、上述したように、複数のインクジェット式記録ヘッド２の液体噴射面Ａの非撥液領域２６に接着剤４０１を介して接着された保持部材である固定板２５０によって位置決めされて保持されている。
【００４５】
さらに、インクジェット式記録ヘッドユニット１には、図１及び図２に示すように、固定板２５０のインクジェット式記録ヘッド２とは反対側に、複数のインクジェット式記録ヘッド２を覆うような箱形状を有するカバーヘッド２４０が設けられている。このカバーヘッド２４０は、固定板２５０の露出開口部２５１に対応して開口部２４１が設けられた固定部２４２と、ヘッド本体２２０のインク滴吐出面の側面側に、固定板２５０の外周に亘って屈曲するように設けられた側壁部２４５とを具備する。
【００４６】
固定部２４２は、本実施形態では、固定板２５０の固定用枠部２５３に対応して設けられた枠部２４３と、固定板２５０の固定用梁部２５４に対応して設けられて開口部２４１を分割する梁部２４４とで構成されている。また、このような枠部２４３及び梁部２４４からなる固定部２４２は、固定板２５０の接合部２５２に接合されている。
【００４７】
なお、カバーヘッド２４０の固定部２４２には、図２に示すように、カバーヘッド２４０をカートリッジケース２１０に位置決め固定するための固定孔２４７が設けられた支持部２４６が設けられている。この支持部２４６は、側壁部２４５から液滴吐出面の面内方向と同一方向に突出するように屈曲して設けられている。そして、本実施形態では、カバーヘッド２４０は、カートリッジケース２１０に固定されている。すなわち、カートリッジケース２１０には、液体噴射面Ａ側に突出して、カバーヘッド２４０の固定孔２４７に挿入される突起部２１５が設けられており、この突起部２１５をカバーヘッド２４０の固定孔２４７に挿入すると共に、突起部２１５の先端部を加熱してかしめることで、カートリッジケース２１０にカバーヘッド２４０が固定されている。
【００４８】
このように、インクジェット式記録ヘッド２の液体噴射面Ａとカバーヘッド２４０との間が固定板２５０を介して隙間なく接合されているため、この隙間に記録媒体が入り込むのを防止してカバーヘッド２４０の変形及び紙ジャムを防止することができる。また、カバーヘッド２４０の側壁部２４５が、複数のインクジェット式記録ヘッド２の外周縁部を覆うことで、インクジェット式記録ヘッド２の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。
【００４９】
なお、上述した例では、カバーヘッド２４０を固定板２５０のヘッド本体２２０とは反対側の面に接合するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、カバーヘッド２４０を固定板２５０に接合せずに、所定の間隔となるように設けるようにしてもよく、当接するように設けるようにしてもよい。
【００５０】
（実施形態２）
図６は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの要部断面図であり、図７は、ヘッドユニットの要部平面図及び要部断面図である。
【００５１】
図示するように、本実施形態では、ノズルプレート２０の非撥液領域２６（接着領域）には、第１の凹部２３が設けられている。また、固定板２５０Ａは、露出開口部２５１側の端部に、第１の凹部２３内に所定の間隔で挿入される屈曲された連結部材５００Ａを具備する。すなわち、本実施形態では、固定板２５０Ａには、第２の凹部が設けられておらず、ノズルプレート２０の液体噴射面Ａに第１の凹部２３のみが設けられた構成である。
【００５２】
そして、インクジェット式記録ヘッドユニット１のノズルプレート２０と、固定板２５０Ａとは、接着剤４０１を介して接着されている。また、第１の凹部２３と連結部材５００Ａとは、接着剤４０１を介して接着されている。したがって、第１の凹部２３に相対向する領域の接着剤４０１の界面は、液体噴射面Ａの面内方向に沿って形成されておらず、第１の凹部２３に沿って設けられていることになる。
【００５３】
このような構成としても、ノズルプレート２０と固定板２５０Ａとの接着面積を広げて、インクによりノズルプレート２０から固定板２５０Ａが短時間で剥離するのを防止して、耐久性を向上することができる。
【００５４】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１及び２では、インクジェット式記録ヘッド２として、ノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０を具備する構成を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッドとして、流路形成基板にノズル開口が形成された構成、すなわち、流路形成基板とノズルプレートとが一体的に形成されたものであっても本発明は適用できる。
【００５５】
また、上述した実施形態１及び２では、複数のインクジェット式記録ヘッド２を固定板２５０に接着剤４０１を介して接着するようにしたが、固定板２５０を設けずに、複数のインクジェット式記録ヘッド２をカバーヘッド２４０に接着するようにしてもよい。すなわち、カバーヘッド２４０がインクジェット式記録ヘッド２の液体噴射面Ａを保持する保持部材としてもよい。勿論、本実施形態では、固定板２５０やカバーヘッド２４０などの保持部材に４つのインクジェット式記録ヘッド２を接合するようにしたが、保持部材に接合されるインクジェット式記録ヘッド２の数は特にこれに限定されず、保持部材に１つのインクジェット式記録ヘッド２を接合する、すなわち、インクジェット式記録ヘッドユニット１が１つのインクジェット式記録ヘッド２を具備するようにしてもよい。
【００５６】
そして、上述した実施形態１及び２では、固定板２５０やカバーヘッド２４０などの保持部材が、ノズルプレート２０の非撥液領域２６と接着された構成を例示したが、この際に当該保持部材がノズルプレート２０の撥液領域２５にかかるように形成されていてもよい。これは、例えば、保持部材とノズルプレート２０との接着ずれなどによって、ノズルプレート２０の非撥液領域２６が保持部材に形成された露出開口部２５１から露出されるのを防ぐためである。
【００５７】
また、上述した実施形態１及び２では、ノズルプレート２０に第１の凹部２３が設けられた構成を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、固定板２５０に第２の凹部２５５を設け、ノズルプレート２０に第２の凹部２５５内に突出する連結部材を一体的に設けるようにしてもよい。このような構成としても、凹部（第２の凹部２５５）に相対向する領域の接着剤４０１の界面が、液体噴射面Ａの面内方向に沿って設けられることがなく、屈曲されて設けられるため、接着面積を広げて耐久性を向上することができる。
【００５８】
さらに、上述した実施形態１及び２では、液体噴射面Ａの外周側の周囲に亘って第１の凹部２３を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、凹部は、外周側の周囲の一部に設けられていてもよい。また、上述した実施形態１及び２では、液体噴射面Ａに撥液領域２５と非撥液領域２６とを設けるようにすることで、接着剤４０１との接着力を向上するようにしたが、撥液膜２２を設けないようにしてもよい。
【００５９】
また、上述した実施形態１及び２では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電素子３００を有するアクチュエータ装置を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のアクチュエータ装置や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のアクチュエータ装置などを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエータなどを使用することができる。
【００６０】
また、このようなインクジェット式記録ヘッドユニット１は、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。図８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図８に示すように、ヘッドユニット１は、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ、２Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニット１は、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００６１】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００６２】
なお、液体噴射ヘッドとしてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを一例として説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニットを対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係るヘッドユニットの組立斜視図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図４】実施形態１に係るヘッドヘッドの要部断面図である。
【図５】実施形態１に係るヘッドユニットの要部平面図及び要部断面図である。
【図６】実施形態２に係るヘッドユニットの要部断面図である。
【図７】実施形態２に係るヘッドユニットの要部平面図及び要部断面図である。
【図８】一実施形態に係る記録装置の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００６４】
Ｉ  液体噴射装置、  Ａ  液体噴射面、  １  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、  ２  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  １０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  ２０  ノズルプレート（ノズル形成部材）、  ２１  ノズル開口、  ２２  撥液膜、  ２３  第１の凹部、  １００  リザーバ、  ２１０  カートリッジケース、  ２２０  ヘッド本体、  ２３０  ヘッドケース、  ２４０  カバーヘッド、  ２５０  固定板（保持部材）、  ２５５  第２の凹部、  ３００  圧電素子、  ４００、４０１  接着剤、  ５００、５００Ａ  連結部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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