(57)【要約】【課題】  永久磁石として焼結磁石を用いながらも、有機物の膜による接点不良が防止されるマイクロリレーを提供する。【解決手段】  一方の面に固定接点４１が設けられた基板１と、磁性体からなり可動接点４２が設けられたアーマチュア部２３を有する磁性体ブロック２と、可動接点４２と固定接点４１との離接を切り替えるようにアーマチュア部２３を駆動するように磁性体ブロック２を励磁するコイル６と、可動接点４２を固定接点４１に接触させる方向に作用する向きの磁界を発生させる向きで貼着された焼結磁石からなる永久磁石３と、基板１に被着され、アーマチュア部２３と可動接点４２と固定接点４１とが収納され密閉された収納室１０を基板１との間に構成するカバーとを備える。永久磁石３は収納室１０内には露出しないから、永久磁石３を貼着した接着剤に由来する有機物の膜が接点不良を起こすことがない。【選択図】図１
2009170231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面に固定接点が設けられた基板と、
磁性体からなり可動接点が設けられ弾性復帰した状態では可動接点が固定接点から離間するように基板に対して保持され可動接点を固定接点に接触導通させるように弾性変形可能なアーマチュアと、
磁性体からなり基板に保持されたコアと、
可動接点と固定接点との離接を切り替えるようにアーマチュアを駆動する磁界を発生させるようにコアを励磁するコイルと、
可動接点を固定接点に接触させる方向に作用する向きの磁界を発生させる向きで有機材料を含む接着剤によって基板とコアとの少なくとも一方に対して貼着された焼結磁石からなる永久磁石と、
基板に被着され、アーマチュアと可動接点と固定接点とが収納され密閉された収納室を基板との間に構成するカバーとを備え、
永久磁石は、収納室内には露出しないことを特徴とするマイクロリレー。
【請求項２】
永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第１の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第２の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第１の脚部と第２の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、
磁路ブロックにおいて、第１の脚部の前記一端と前記他端との間の中央部は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石からなり、その他の部位はコアからなることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【請求項３】
永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第１の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第２の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第１の脚部と第２の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、
磁路ブロックにおいて、第２の脚部の前記一端と前記他端との間の中央部は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石からなり、その他の部位はコアからなることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【請求項４】
永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第１の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第２の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第１の脚部と第２の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、
磁路ブロックにおいて、第１の脚部の前記他端付近は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石で構成され、その他の部位はコアで構成されていることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【請求項５】
基板の厚さ方向から見た永久磁石の寸法形状は、第１の脚部においてアーマチュアに対向する端面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項４記載のマイクロリレー。
【請求項６】
コアは永久磁石の各磁極面をそれぞれ覆う形状であって、第１の脚部は、基板の厚さ方向に直交する断面での断面積が前記他端から前記一端に向かって小さくなる部位を有することを特徴とする請求項５記載のマイクロリレー。
【請求項７】
永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第１の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第２の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第１の脚部と第２の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、
磁路ブロックにおいて、第２の脚部の前記他端付近は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石で構成され、その他の部位はコアで構成されていることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【請求項８】
基板の厚さ方向から見た永久磁石の寸法形状は、第１の脚部においてアーマチュアに対向する端面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項７記載のマイクロリレー。
【請求項９】
永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第１の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第２の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第１の脚部と第２の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、
磁路ブロックは、本体部において第１の脚部に連結された部位と第２の脚部に連結された部位との間の中央部が、各磁極面をそれぞれ第１の脚部と第２の脚部とが並ぶ方向に向けた永久磁石で構成され、その他の部位がコアで構成されていることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【請求項１０】
可動接点に対してアーマチュアとコアとを介して電気的に接続され実装に用いられる端子が、本体部において永久磁石よりも第２の脚部に近い部位に設けられていて、
永久磁石の少なくとも一方の磁極面とコアとの間には隙間が設けられていることを特徴とする請求項９記載のマイクロリレー。
【請求項１１】
カバーは、
基板に対向するカバー基板と、
カバー基板に保持されてアーマチュアを挟んでコアの反対側に位置するカバーコアと、
可動接点を固定接点から引き離す方向にアーマチュアを駆動する磁界を発生させるようにカバーコアを励磁するカバーコイルとを有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載のマイクロリレー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロリレーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、コイルと、コアと、永久磁石と、固定接点と、可動接点が設けられてコイルへの通電に応じて可動接点と固定接点との離接を切り替えるように変位するアーマチュアとを備える電磁リレーとして、製造に半導体プロセスの技術を用いることにより小型化したマイクロリレーが提供されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
本発明者は、上記のようなマイクロリレーとして、特願２００７−１６８２１６において図１３に示すものを提案している。以下、上下左右は図１３を基準として説明する。つまり、基板１の厚さ方向を上下方向と呼ぶ。また、図１３の左下−右上方向を前後方向と呼ぶ。なお、上記の方向は説明の便宜上のものであって、使用時の向きとは無関係である。
【０００４】
基板１には、導電性を有する磁性体からなり全体として環形状であって閉磁路を構成する磁性体ブロック２が保持されている。磁性体ブロック２の材料としては、例えば鉄ニッケル合金を用いることができる。
【０００５】
磁性体ブロック２は、基板１の下面上に形成された本体部２０と、本体部２０の右端部から基板１内を上方へ突設された第１の脚部２１と、本体部２０の左端部から基板１内を上方に突設されて上端部が基板１の上面よりも上方に突出する第２の脚部２２と、第２の脚部２２の上端部から右方に突設されて基板１の上面に対し間に隙間を空けて対向するアーマチュア部２３とを有する。また、第１の脚部２１の上端は基板１の上面よりも下側に位置しており、第１の脚部２１の上面には、Ｎ極を上方に向けてＳ極を下方に向けた永久磁石３が設けられている。つまり、磁性体ブロック２において、本体部２０と第１の脚部２１と第２の脚部２２とが請求項におけるコアを構成するとともに請求項における磁路ブロックを永久磁石３とともに構成し、アーマチュア部２３が請求項におけるアーマチュアを構成していて、図１３の例では磁路ブロックの第１の脚部の上端部が永久磁石３で構成されていることになる。また、図１３の例では、永久磁石３の上面は、基板１の上面と略面一となっている。上記のような磁性体ブロック２の脚部２１，２２は、基板１に設けた穴の内面への磁性体のめっきにより形成することができる。また、アーマチュア部２３は、例えば、基板１上に形成した犠牲層（図示せず）上にアーマチュア部２３となる磁性体の層を堆積によって形成した後、犠牲層をエッチングで除去することによって形成することができる。
【０００６】
また、アーマチュア部２３の右端は第１の脚部２１よりも右方に突出しており、基板１の上面において、アーマチュア部２３の右端部の下側、すなわち第１の脚部２１の上端部の右側には、固定接点４１が設けられている。アーマチュア部２３の右端部の下面には可動接点４２が設けられており、アーマチュア部２３は、左端部に対して右端部を下方へ変位させるように曲がって可動接点４２を固定接点４１に接触導通させるように弾性変形可能となっている。また、図１５（ａ）に示すように、アーマチュア部２３において可動接点４２が設けられた右端部の前後の寸法は、他の部位の前後の寸法よりも小さくなっている。なお、上記のようにアーマチュア部２３が導電性を有する場合、可動接点４２を特に設けず、アーマチュア部２３を可動接点として兼用してもよい。
【０００７】
さらに、基板１には、導電材料からなり一端が固定接点４１に電気的に接続され他端が基板１の下面に露出した導電部４１ａが設けられており、導電部４１ａの下側には、球形状のはんだからなり導電部４１ａを介して固定接点４１に電気的に接続された固定側バンプ５１が設けられている。さらに、磁性体ブロック２の本体部２０の下側には、球形状のはんだからなり磁性体ブロック２を介して可動接点４２に電気的に接続された可動側バンプ５２が設けられている。つまり、固定接点４１と可動接点４２との離接（接点の開閉）が切り替わると、固定側バンプ５１と可動側バンプ５２との間の電気的接続のオンオフが切り替わる。
【０００８】
ここで、基板１は、複数のセラミックスシートが積層されてなる低温同時焼成セラミックス（ＬＴＣＣ）基板であって、基板１には、それぞれセラミックスシート間に形成された複数個（図では９個）の螺旋形状の導電パターンが互いに電気的に接続されてなるコイル６が設けられている。さらに、基板１の下面には、それぞれ球形状のはんだからなりコイル６の一端ずつに電気的に接続された２個のコイル用バンプ５３（１個のみ図示）が設けられている。また、基板１の上面には、導電部である磁性体ブロック２と固定接点４１とをそれぞれ間に隙間を空けて囲むシールドパターン（図示せず）が設けられており、基板１の下面には、前記シールドパターンに電気的に接続されグランドに電気的に接続されるシールド用バンプ５４が設けられている。
【０００９】
上記のように基板１がセラミックスで構成されていると、比較的に良好な高周波特性を得ることができる。また、基板１を構成するセラミックスシート間にコイル６が設けられていることにより、コイル６を基板１の外に形成する場合に比べ、コイル６の巻数の増加や小型化が可能となっている。
【００１０】
さらに、基板１には、基板１の上面を覆ってアーマチュア部２３や可動接点４２や固定接点４１を保護するカバー７が被着されている。カバー７は、図１４に示すように、厚さ方向を上下方向に向けた直方体形状であって上方から見た寸法形状が基板１と略同じカバー基板７０と、カバー基板７０の下面の周縁部に接合された長方形の環状のスペーサ７１とで構成されている。スペーサ７１により、カバー基板７０と基板１との間には、磁性体ブロック２のアーマチュア部２３や固定接点４１や可動接点４２が収納される密閉空間である収納室１０が構成されている。カバー７を基板１に接合する際に加熱する場合には、熱応力を低減するために、カバー基板７０の材料として基板１と同じ材料を用いることが望ましい。
【００１１】
上記のマイクロリレーの動作を説明する。磁性体ブロック２内に永久磁石３と同じ向きの磁束が生じるような方向でコイル用バンプ５３を介してコイル６に通電すると、アーマチュア部２３は右端部が下方に吸引されることによりアーマチュア部２３のばね力に抗して右端部を下方へ変位させるように弾性変形し、ここにおいて可動接点４２は固定接点４１に接触導通して（接点がオンされて）、可動側バンプ５２と固定側バンプ５１とは可動接点４２と固定接点４１とを介して電気的に接続される。その後は、コイル６への通電が停止されても、永久磁石３の磁力により上記の状態は維持される。
【００１２】
逆に、可動接点４２が固定接点４１に接触導通した状態で、磁性体ブロック２内に永久磁石３の逆向きの磁束が生じるような方向でコイル用バンプ５３を介してコイル６に通電すると、磁性体ブロック２の磁束が減少する。すると、アーマチュア部２３の右端部に作用する下向きの力がアーマチュア部２３のばね力を下回ることにより、アーマチュア部２３は弾性復帰し、ここにおいて可動接点４２は固定接点４１から離れ（接点がオフされ）、可動側バンプ５２と固定側バンプ５１との電気的接続は切断される。
【００１３】
ここで、永久磁石３は、エアロゾル・デポジション法や、パルスレーザ・デポジション（ＰＬＤ）法や、めっきや、スクリーンプリントといった周知の方法により磁性体ブロック２上に堆積させた磁性体の層を研磨して着磁することにより形成されていた。
【特許文献１】特表２００３−５２２３７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかし、エアロゾル・デポジション法や、ＰＬＤ法や、めっきといった方法で永久磁石３を形成する場合、永久磁石３の磁力が比較的に低くなるので、閉磁路においてより多くの部分を、磁性体ブロック２よりも透磁率の低い永久磁石３で構成する必要が生じるため、コイル６に必要な巻数が多くなり大型化を招いていた。
【００１５】
永久磁石３を比較的に磁力の高い焼結磁石で構成する場合、磁束を同程度としながらも永久磁石３を小型化して磁路のより多くの部分を磁性体ブロック２で構成することができ、これによりコイル６に必要な巻数が減少するから小型化が可能となる。しかし、永久磁石３を基板１や磁性体ブロック２に対して機械的に結合させるために接着剤により貼着する必要があるため、この接着剤に含まれる有機材料が密閉空間内に蒸気となって拡散し、さらに固定接点４１や可動接点４２上に有機物の膜を形成して固定接点４１と可動接点４２との接触導通を阻害し接点不良の原因となる可能性がある。
【００１６】
本発明は、上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、永久磁石として焼結磁石を用いながらも、有機物の膜による接点不良が防止されるマイクロリレーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
請求項１の発明は、一方の面に固定接点が設けられた基板と、磁性体からなり可動接点が設けられ弾性復帰した状態では可動接点が固定接点から離間するように基板に対して保持され可動接点を固定接点に接触導通させるように弾性変形可能なアーマチュアと、磁性体からなり基板に保持されたコアと、可動接点と固定接点との離接を切り替えるようにアーマチュアを駆動する磁界を発生させるようにコアを励磁するコイルと、可動接点を固定接点に接触させる方向に作用する向きの磁界を発生させる向きで有機材料を含む接着剤によって基板とコアとの少なくとも一方に対して貼着された焼結磁石からなる永久磁石と、基板に被着され、アーマチュアと可動接点と固定接点とが収納され密閉された収納室を基板との間に構成するカバーとを備え、永久磁石は、収納室内には露出しないことを特徴とする。
【００１８】
この発明によれば、永久磁石として比較的に磁力の強い焼結磁石を用いることにより小型化を可能としながらも、永久磁石が収納室内には露出しないことにより、永久磁石の貼着に用いられる接着剤に由来する有機物の膜による接点不良が防止される。
【００１９】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第１の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第２の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第１の脚部と第２の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、磁路ブロックにおいて、第１の脚部の前記一端と前記他端との間の中央部は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石からなり、その他の部位はコアからなることを特徴とする。
【００２０】
請求項３の発明は、請求項１の発明において、永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第１の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第２の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第１の脚部と第２の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、磁路ブロックにおいて、第２の脚部の前記一端と前記他端との間の中央部は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石からなり、その他の部位はコアからなることを特徴とする。
【００２１】
請求項４の発明は、請求項１の発明において、永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第１の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第２の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第１の脚部と第２の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、磁路ブロックにおいて、第１の脚部の前記他端付近は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石で構成され、その他の部位はコアで構成されていることを特徴とする。
【００２２】
この発明によれば、請求項２の発明に比べ、製造時にコアにおいて第１の脚部を構成する部位を２回に分けて形成する必要がないから、製造が容易となる。
【００２３】
請求項５の発明は、請求項４の発明において、基板の厚さ方向から見た永久磁石の寸法形状は、第１の脚部においてアーマチュアに対向する端面の面積よりも大きいことを特徴とする。
【００２４】
この発明によれば、基板の厚さ方向から見た永久磁石の寸法形状を第１の脚部においてアーマチュアに対向する端面の面積以下とする場合に比べ、永久磁石による磁束を増大させることができる。
【００２５】
請求項６の発明は、請求項５の発明において、コアは永久磁石の各磁極面をそれぞれ覆う形状であって、第１の脚部は、基板の厚さ方向に直交する断面での断面積が前記他端から前記一端に向かって小さくなる部位を有することを特徴とする。
【００２６】
この発明によれば、コアが永久磁石の磁極面を露出させる形状である場合に比べ、磁束の漏れを低減することができる。
【００２７】
請求項７の発明は、請求項１の発明において、永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第１の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第２の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第１の脚部と第２の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、磁路ブロックにおいて、第２の脚部の前記他端付近は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石で構成され、その他の部位はコアで構成されていることを特徴とする。
【００２８】
この発明によれば、請求項３の発明に比べ、製造時にコアにおいて第２の脚部を構成する部位を２回に分けて形成する必要がないから、製造が容易となる。
【００２９】
請求項８の発明によれば、請求項７の発明において、基板の厚さ方向から見た永久磁石の寸法形状は、第１の脚部においてアーマチュアに対向する端面の面積よりも大きいことを特徴とする。
【００３０】
この発明によれば、基板の厚さ方向から見た永久磁石の寸法形状を第１の脚部においてアーマチュアに対向する端面の面積以下とする場合に比べ、永久磁石による磁束を増大させることができる。。
【００３１】
請求項９の発明は、請求項１の発明において、永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第１の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第２の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第１の脚部と第２の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、磁路ブロックは、本体部において第１の脚部に連結された部位と第２の脚部に連結された部位との間の中央部が、各磁極面をそれぞれ第１の脚部と第２の脚部とが並ぶ方向に向けた永久磁石で構成され、その他の部位がコアで構成されていることを特徴とする。
【００３２】
この発明によれば、請求項２〜４，７の発明に比べ、製造時に永久磁石の貼着が容易となる。
【００３３】
請求項１０の発明は、請求項９の発明において、可動接点に対してアーマチュアとコアとを介して電気的に接続され実装に用いられる端子が、本体部において永久磁石よりも第２の脚部に近い部位に設けられていて、永久磁石の少なくとも一方の磁極面とコアとの間には隙間が設けられていることを特徴とする。
【００３４】
この発明によれば、永久磁石の磁極面とコアとの間に隙間を設けない場合に比べ、可動接点側の端子から固定接点への交流信号の漏れであって永久磁石を経由する漏れが低減される。
【００３５】
請求項１１の発明は、請求項１〜１０のいずれか１項の発明において、カバーは、基板に対向するカバー基板と、カバー基板に保持されてアーマチュアを挟んでコアの反対側に位置するカバーコアと、可動接点を固定接点から引き離す方向にアーマチュアを駆動する磁界を発生させるようにカバーコアを励磁するカバーコイルとを有することを特徴とする。
【００３６】
この発明によれば、可動接点を固定接点から引き離す方向にコイルに通電する際にカバーコイルにも通電することにより、スティッキングを抑制することができる。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、永久磁石として比較的に磁力の強い焼結磁石を用いることにより小型化を可能としながらも、永久磁石が収納室内には露出しないことにより、永久磁石の貼着に用いられる接着剤に由来する有機物の膜による接点不良が防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００３９】
本実施形態の基本構成は、図１３〜図１５で示した従来例（以下、単に「従来例」と呼ぶ。）と共通であるので、異なる部分についてのみ説明する。また、下記の説明においては、方向の表現は従来例と同様とする。すなわち、基板１の厚さ方向を上下方向と呼び、第１の脚部２１と第２の脚部２２とが並ぶ方向を左右方向と呼ぶ。
【００４０】
本実施形態では、図１に示すように、永久磁石３は、焼結磁石からなり、本体部２０と第１の脚部２１との間において、磁性体ブロック２に埋まる形で設けられている。すなわち、本実施形態では、永久磁石３は、磁路ブロックの第１の脚部の下端部（請求項における他端側の端部）を構成する形で、収納室１０の外側に設けられており、収納室１０内には露出しない。また、永久磁石３の各磁極面は、従来例と同様に、それぞれ基板１の厚さ方向である上下方向に向けられている。製造時には、永久磁石３は、第１の脚部２１と第２の脚部２２とがそれぞれ例えば基板１に設けられた貫通穴の内面へのめっきによって形成された後、本体部２０が例えばめっきによって形成される前に、基板１や第１の脚部２１の下端面に対し、有機材料を含む接着剤を用いて貼着される。
【００４１】
上記構成によれば、永久磁石３が、固定接点４１及び可動接点４２が収納される空間の外側に設けられているから、永久磁石３の貼着に有機材料を含む接着剤を用いながらも、有機材料の蒸気が収納室１０内に発生しないから、接着剤に由来する有機物の膜による接点不良が防止される。
【００４２】
さらに、永久磁石３として比較的に強力な焼結磁石を用いていることで、従来例のように堆積によって形成される永久磁石３を用いる場合に比べ、同程度の磁束を維持しながらも永久磁石３を小型化し、磁性体ブロック２と永久磁石３とが構成する閉磁路のより多くの部分を永久磁石３よりも透磁率の高い材料からなる磁性体ブロック２で構成して、鉄損を減少させることができるから、コイル６の巻数を減少させることや磁性体ブロック２を小型化することによる全体の小型化が可能となる。
【００４３】
なお、永久磁石３の位置は上記に限られず、磁性体ブロック２が構成する閉磁路中であって収納室１０外であればよい。例えば、図２に示すように第２の脚部２２と本体部２０との間において磁性体ブロック２を分断する形で、すなわち磁路ブロックの第２の脚部の下端部（請求項における他端側の端部）を構成する形で設けてもよい。また、図３や図４に示すように、第１の脚部２１や第２の脚部２２を磁路に沿った方向である上下方向の中央部で分断する形で永久磁石３を設けてもよいが、この場合には、製造時、第１の脚部２１や第２の脚部２２を形成する工程を、永久磁石３を貼着する工程を挟んで２回に分ける必要が生じてしまう。従って、図１や図２のように基板１において固定接点４１が設けられた面の反対面である下面側に設けたほうが、製造が容易であるから望ましい。図２〜図４のいずれの例においても、永久磁石３の各磁極面は、それぞれ基板１の厚さ方向である上下方向に向けられる。
【００４４】
また、図１や図２の例においては、第１の脚部２１の上端部や第２の脚部２２の上端部と永久磁石３とで、磁路に直交する断面（つまり上下方向に直交する断面）での断面形状を互いに共通としているが、図５や図６に示すように、磁性体ブロック２においてアーマチュア部２３に対し間に隙間を空けて対向する部位である第１の脚部２１の上端部の上記断面形状よりも、永久磁石３の上記断面形状を大きくしてもよい。この構成を採用すれば、図１や図２のように第１の脚部２１の上端部と永久磁石３とで上記断面形状を互いに共通とする場合に比べ、接点が閉じた状態に維持するための磁束を増加させることができる。この場合、磁束の漏れを抑えるために、少なくとも永久磁石３付近においては上記断面形状を永久磁石３と磁性体ブロック２とで合わせること（すなわち、コアを構成する磁性体ブロック２の形状を、永久磁石３の各磁極面をそれぞれ覆う形状とすること）が望ましい。特に、永久磁石３を第１の脚部２１の下側に設ける場合、図７に示すように、第１の脚部２１の上記断面形状をアーマチュア部２３に向かって（つまり上方へ向かって）徐々に小さくすれば、図１の例に比べ、第１の脚部２１においてアーマチュア部２３に対向する上端面の面積を維持しつつ永久磁石３が大型化される形となり、第１の脚部２１とアーマチュア部２３との間での永久磁石３による磁束密度を増大させて吸引力を向上させることができる。
【００４５】
さらに、図８及び図９に示すように、永久磁石３を本体部２０の中央部に設けてもよい。図８及び図９の例では、永久磁石３によって磁性体ブロック２の本体部２０が左右に２つに分断される形となっており、可動側バンプ５２は、分断された本体部２０のうち、第２の脚部２２を介してアーマチュア部２３に連結された側の部位の下面に設けられている。図８及び図９の例では、永久磁石３の各磁極面は、それぞれ第１の脚部２１と第２の脚部２２とが並ぶ方向である左右方向に向けられる。図８及び図９の例のように永久磁石３を基板１の下側に設ければ、図１〜図７のように永久磁石３が基板１に埋め込まれる形となる場合に比べ、永久磁石３の貼着がより容易となる。
【００４６】
ところで、固定接点４１及び可動接点４２を介して交流の電気信号が伝送される場合、特に、その電気信号が周波数の高いいわゆるＲＦ信号である場合には、接点が開いている状態（つまり可動接点４２が固定接点４１から離れている状態）であっても、固定接点４１と可動接点４２との間の浮遊容量を介して電気信号の漏れが生じてしまう。この漏れの経路のうち、可動接点４２側の端子である可動側バンプ５２から可動接点４２に至る経路としては、本体部２０と永久磁石３と第１の脚部２１とを通り第１の脚部２１とアーマチュア部２３との間の浮遊容量を介して可動接点４２に至る第１の経路と、第２の脚部２２とアーマチュア部２３とを介して可動接点４２に至る第２の経路とがある。図８及び図９の例では、上記の第１の経路による漏れを低減するために、永久磁石３において第１の脚部２１側である右側の端面（すなわち一方の磁極面）と磁性体ブロック２との間に隙間２４を設けている。
【００４７】
また、接点のオフ時にアーマチュア部２３の弾性力が不足して可動接点４２が固定接点４１に接触導通したままとなる、いわゆるスティッキングを抑制するために、図１０、図１１（ａ）（ｂ）及び図１２（ａ）（ｂ）に示すように、接点のオフ時にアーマチュア部２３に上向きの磁力を作用させるためのカバーコア７２と永久磁石７３とカバーコイル７４とを、それぞれカバー基板７０に設けてもよい。詳しく説明すると、カバーコア７２は磁性体からなり、上下に扁平であってカバー基板７０の上面に露出する本体部７２ａと、本体部７２ａの右端部の下側に設けられ下端面がカバー基板７０の下面と面一となる第１の脚部７２ｂと、本体部７２ａの左端部からカバー基板７０内を下方へ突設され下端面がカバー基板７０の下面と略面一となる第２の脚部７２ｃとを有する。カバー基板７０は基板１と同様の積層基板であって、カバーコイル７４は、コイル６と同様に、それぞれカバー基板７０を構成するセラミックシート間に形成され上下方向から見て第２の脚部７２ｃを周回する渦巻形状の複数個（図では９個）の導電パターンが互いに電気的に接続されてなる。また、カバー７側の永久磁石７３は、第１の脚部７２ｂの上端部と本体部７２とを分断する形で設けられ、基板１側の永久磁石３と同様に、Ｎ極を上方に向けＳ極を下方に向けており、収納室１０内には露出しない。カバーコア７２の第１の脚部７２ｂは、磁性体ブロック２のアーマチュア部２３を挟んで第１の脚部２１の上側に位置し、カバーコア７２の第２の脚部７２ｃは、磁性体ブロック２の第２の脚部２２の上側に位置している。さらに、図１１（ｂ）に示すように、カバー基板７０の下面（図１１（ｂ）における上面）には、下面がスペーサ７１の上面と略面一となる接続部７０ａが突設され、接続部７０ａ内には、導電材料からなりカバーコイル７４に電気的に接続された導電部７０ｂが設けられている。なお、図１１（ｂ）には接続部７０ａ及び導電部７０ｂを１個のみ図示しているが、実際には接続部７０ａ及び導電部７０ｂはそれぞれカバーコイル７４の一端部ずつに対応して２組設けられる。基板１には、上面においてカバー７の一方の導電部７０ｂに対応した位置と下面とにそれぞれ露出した導電部（図示せず）が設けられており、図１２（ｂ）に示すように、この導電部とカバー７の導電部７０ｂとを介してカバーコイル７４の一端ずつに電気的に接続された球形状のはんだからなる２個のカバーコイルバンプ５５（１個のみ図示）が、基板１の下面に設けられている。
【００４８】
図１０〜図１２の形態では、接点をオフする際には、磁性体ブロック２に永久磁石３の逆向きの磁束が生じる向きでコイル６に通電するとともに、カバーコア７２に永久磁石７３と同じ向きの磁束が生じる向きでカバーコイル７４に通電すれば、アーマチュア部２３に対して下向きの磁力が弱まるだけでなく上向きの磁力が作用することにより、確実に可動接点４２を固定接点４１から引き剥がすことができる。なお、図１０〜図１２では図１の形態への適用例を示しているが、図２〜８のどの形態に適用してもよい。また、図１０〜図１２の例では、カバー７側の永久磁石７３の位置は、図１の形態の永久磁石３に準じた位置となっているが、これに限られず、例えば図２〜８のいずれかの形態の永久磁石３に準じた位置としてもよい。また、カバー７側の永久磁石７３は省略してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施形態を示す一部破断した斜視図である。
【図２】同上の別の形態を示す一部破断した斜視図である。
【図３】同上の更に別の形態を示す一部破断した斜視図である。
【図４】同上の別の形態を示す一部破断した斜視図である。
【図５】同上の更に別の形態を示す一部破断した斜視図である。
【図６】同上の別の形態を示す一部破断した斜視図である。
【図７】同上の更に別の形態を示す一部破断した斜視図である。
【図８】同上の別の形態を示す一部破断した斜視図である。
【図９】図８の形態においてカバーが取り付けられていない状態を示す図８とは異なる方向から見た一部破断した斜視図である。
【図１０】同上の別の形態を示す、一部破断した斜視図である。
【図１１】（ａ）（ｂ）はそれぞれ図１０の形態のカバーを示す互いに異なる方向から見た一部破断した斜視図である。
【図１２】（ａ）（ｂ）はそれぞれ図１０の形態においてカバーが取り付けられていない状態を示す互いに異なる方向から見た一部破断した斜視図である。
【図１３】マイクロリレーの一例を示す一部破断した斜視図である。
【図１４】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上のカバーを示す互いに異なる方向から見た一部破断した斜視図である。
【図１５】（ａ）（ｂ）はそれぞれ同上においてカバーが取り付けられていない状態を示す互いに異なる方向から見た一部破断した斜視図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  基板
２  磁性体ブロック
３  永久磁石
６  コイル
７  カバー
２０  本体部
２１  第１の脚部
２２  第２の脚部
２３  アーマチュア部
２４  隙間
４１  固定接点
４２  可動接点
７０  カバー基板
７２  カバーコア
７４  カバーコイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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