(57)【要約】【課題】簡便な構成で多くの払拭動作を略同時に行うことができる液滴吐出ヘッドのワイピングユニット、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法を提供する。【解決手段】液滴吐出ヘッドのノズル面にワイピングシート３４を押圧して摺動することによりノズル面の払拭動作を行う液滴吐出ヘッドのワイピングユニットにかかわり、ワイピングシート３４を液滴吐出ヘッドに押圧する第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０と、第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０にワイピングシート３４を供給する清掃部材供給装置４３と、第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０に供給されるワイピングシート３４を回収する清掃部材回収装置４４と、を有し、ワイピングシート３４は第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０を順次通過して供給されることを特徴とする。【選択図】図４
2009247916.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドのノズル面に清掃部材を押圧して摺動することにより前記ノズル面の払
拭動作を行う液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、
前記清掃部材を前記液滴吐出ヘッドに押圧する複数の押圧部と、
前記押圧部に前記清掃部材を供給する供給部と、
前記押圧部に供給される前記清掃部材を回収する回収部と、を有し、
前記清掃部材は複数の前記押圧部を順次通過して供給されることを特徴とする液滴吐出
ヘッドのワイピングユニット。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、
前記供給部と前記回収部とを制御する清掃部材制御部を有し、
前記清掃部材制御部は、１つの前記押圧部が払拭動作に用いた前記清掃部材の場所を他
の前記押圧部が払拭動作に用いずに回収する制御を行うことを特徴とする液滴吐出ヘッド
のワイピングユニット。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、
前記ノズル面と前記清掃部材とを相対移動させるテーブルを有し、
前記テーブルが前記清掃部材と前記ノズル面とを摺動させながら往復して払拭動作を行
うことを特徴とする液滴吐出ヘッドのワイピングユニット。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、
前記清掃部材に洗浄液を供給する洗浄液供給部を有し、
複数の前記押圧部のうち少なくとも１つは前記洗浄液が含浸された前記清掃部材を用い
て払拭動作を行うことを特徴とする液滴吐出ヘッドのワイピングユニット。
【請求項５】
請求項３に記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、
複数の前記押圧部のうち少なくとも１つは乾燥している前記清掃部材を用いて払拭動作
を行うことを特徴とする液滴吐出ヘッドのワイピングユニット。
【請求項６】
請求項４に記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、
複数の前記押圧部のうち少なくとも１つには乾燥している前記清掃部材が供給され、前
記清掃部材制御部は、前記洗浄液が含浸された前記清掃部材が前記押圧部に供給される速
度と、乾燥している前記清掃部材が前記押圧部に供給される速度と、を制御することを特
徴とする液滴吐出ヘッドのワイピングユニット。
【請求項７】
請求項４に記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、
前記供給部と前記回収部とが前記清掃部材に張力を加えることを特徴とする液滴吐出ヘ
ッドのワイピングユニット。
【請求項８】
請求項２に記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、
前記清掃部材の供給量を検出する供給量検出部を有し、
前記供給量検出部が検出する前記供給量を用いて、前記清掃部材制御部が前記供給量を
制御することを特徴とする液滴吐出ヘッドのワイピングユニット。
【請求項９】
請求項２に記載の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、
前記液滴吐出ヘッドが複数存在するとき、複数の前記押圧部は複数の前記液滴吐出ヘッ
ドと対向する場所に配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッドのワイピングユニッ
ト。
【請求項１０】
液滴吐出ヘッドと前記液滴吐出ヘッドのノズル面に清掃部材を押圧することにより前記
ノズル面の払拭動作を行う液滴吐出ヘッドのワイピングユニットとを有する液滴吐出装置
であって、
前記ワイピングユニットは、前記清掃部材を前記液滴吐出ヘッドに押圧する複数の押圧
部と、
前記押圧部に前記清掃部材を供給する供給部と、
前記押圧部に供給される前記清掃部材を回収する回収部とを有し、
前記清掃部材は複数の前記押圧部を順次通過して供給されることを特徴とする液滴吐出
装置。
【請求項１１】
液滴吐出ヘッドのノズル面に清掃部材を押圧することにより前記ノズル面の払拭動作を
行うワイピングユニットを用いた液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記ワイピングユニットは、前記清掃部材を前記液滴吐出ヘッドに押圧する押圧部を複
数有し、
前記清掃部材を複数の前記押圧部に供給する供給工程と、
前記清掃部材を複数の前記液滴吐出ヘッドに押圧して払拭する払拭工程と、を有し、
前記供給工程において、前記清掃部材は複数の前記押圧部を順次通過して供給されるこ
とを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記ワイピングユニットは、１つの前記押圧部が払拭動作に用いた前記清掃部材の場所
を他の前記押圧部が払拭動作に用いずに回収することを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリ
ーニング方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記ワイピングユニットは、前記清掃部材を前記ノズル面に摺動させながら往復して払
拭動作を行うことを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記清掃部材に洗浄液を供給する洗浄液供給工程を有し、
前記払拭工程では、
複数の前記押圧部のうち少なくとも１つは乾燥している前記清掃部材を用いて払拭動作
を行い、
複数の前記押圧部のうち少なくとも１つは前記洗浄液が含浸された前記清掃部材を用い
て払拭動作を行い、
前記洗浄液が含浸された前記清掃部材が前記ノズル面を摺動する速度と、乾燥している
前記清掃部材が前記ノズル面を摺動する速度と、が異なる速度にて払拭動作を行うことを
特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドのワイピングユニット、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドのク
リーニング方法にかかわり、特に、簡便な構成で生産性良く液滴吐出ヘッドを清掃する装
置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が
知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させる
テーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に配置さ
れるガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェ
ットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、
塗布していた。
【０００３】
この液滴吐出ヘッドが吐出する機能液を液滴吐出ヘッドに充填するときや、液滴吐出ヘ
ッドの流路内に固形物が析出したとき等、吸引ユニットを用いて液滴吐出ヘッドの流路内
の機能液を吸引する。このとき、液滴吐出ヘッドにおいてノズルが形成されているノズル
面が機能液により汚れるので、清掃部材をノズル面に押し当てて機能液を拭き取るワイピ
ングユニットが特許文献１に紹介されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２２２５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ワークの大きさが液滴吐出ヘッドより大きいとき、効率良く機能液を塗布するために、
液滴吐出装置には多数の液滴吐出ヘッドが搭載される。このとき、多数の液滴吐出ヘッド
を効率良く拭くためには、多数のワイピングユニットを配置する必要がある。ワイピング
ユニットを多数配置すると、装置が複雑になるので、簡便な構成で多数の液滴吐出ヘッド
を効率良く拭くワイピングユニットが望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
本適用例にかかる液滴吐出ヘッドのワイピングユニットは、液滴吐出ヘッドのノズル面
に清掃部材を押圧して摺動することにより前記ノズル面の払拭動作を行う液滴吐出ヘッド
のワイピングユニットであって、前記清掃部材を前記液滴吐出ヘッドに押圧する複数の押
圧部と、前記押圧部に前記清掃部材を供給する供給部と、前記押圧部に供給される前記清
掃部材を回収する回収部と、を有し、前記清掃部材は複数の前記押圧部を順次通過して供
給されることを特徴とする。
【０００８】
ここで、ノズル面は液滴吐出ヘッドのノズルが形成されている面を示す。この液滴吐出
ヘッドのワイピングユニットによれば、清掃部材は供給部から供給され、複数の押圧部を
通過した後、回収部に回収される。そして、各押圧部においてノズル面の払拭動作が行わ
れる。このとき、押圧部は供給部と回収部の数より多い数配置することができる。従って
、各１つの供給部と回収部とに対して１つの押圧部を配置する場合に比べて、簡便な構成
で多くの払拭動作を略同時に行うことができる。
【０００９】
［適用例２］
上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのワイピングユニットにおいて、前記供給部と前記
回収部とを制御する清掃部材制御部を有し、前記清掃部材制御部は、１つの前記押圧部が
払拭動作に用いた前記清掃部材の場所を他の前記押圧部が払拭動作に用いずに回収する制
御を行うことを特徴とする。
【００１０】
この液滴吐出ヘッドのワイピングユニットによれば、一度払拭動作に用いた清掃部材は
別の押圧部により払拭動作に用いられることがない。従って、ノズル面の払拭動作により
清掃部材に付着した付着物が、他のノズル面に再度付着することがない。その結果、ノズ
ル面に付着する付着物をノズル面から減らすことができる。
【００１１】
［適用例３］
上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのワイピングユニットにおいて、前記ノズル面と前
記清掃部材とを相対移動させるテーブルを有し、前記テーブルが前記清掃部材と前記ノズ
ル面とを摺動させながら往復して払拭動作を行うことを特徴とする。
【００１２】
この液滴吐出ヘッドのワイピングユニットによれば、往復して払拭動作を行う。ノズル
がある場所を清掃部材が摺動するとき、ノズル内側面のうち、清掃部材が進行する方向の
側面の方が、清掃部材が進行する方向と逆方向の側面に比べて、ノズルの付着物を払拭し
易くなっている。この方法では、２方向に清掃部材が進行して払拭動作を行う。従って、
ノズルと清掃部材とを１方向のみ摺動する場合に比べて、品質良くノズル面を清掃するこ
とができる。
【００１３】
［適用例４］
上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのワイピングユニットにおいて、前記清掃部材に洗
浄液を供給する洗浄液供給部を有し、複数の前記押圧部のうち少なくとも１つは前記洗浄
液が含浸された前記清掃部材を用いて払拭動作を行うことを特徴とする。
【００１４】
この液滴吐出ヘッドのワイピングユニットによれば、洗浄液が清掃部材を介してノズル
面に塗布される。そして、ノズル面に付着物が存在するとき、洗浄液は付着物に塗布され
る。そして、洗浄液がノズル面の付着物をノズル面から剥離することにより付着物を除去
し易くすることができる。
【００１５】
［適用例５］
上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのワイピングユニットにおいて、複数の前記押圧部
のうち少なくとも１つは乾燥している前記清掃部材を用いて払拭動作を行うことを特徴と
する。
【００１６】
ここで、乾燥している清掃部材は水分を全く含まない清掃部材ではなく、液状体を吸収
可能な程度に乾燥している清掃部材を示している。この液滴吐出ヘッドのワイピングユニ
ットによれば、ノズル面に付着する液状体を吸収することにより、ノズル面から液状体を
除去することができる。
【００１７】
［適用例６］
上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのワイピングユニットにおいて、複数の前記押圧部
のうち少なくとも１つには乾燥している前記清掃部材が供給され、前記清掃部材制御部は
、前記洗浄液が含浸された前記清掃部材が前記押圧部に供給される速度と、乾燥している
前記清掃部材が前記押圧部に供給される速度と、を制御することを特徴とする。
【００１８】
この液滴吐出ヘッドのワイピングユニットによれば、洗浄液が含浸された清掃部材がノ
ズル面を摺動する速度と、乾燥している清掃部材がノズル面を摺動する速度と、が制御さ
れる。従って、洗浄液が含浸された清掃部材をノズル面に摺動させるときに最適な速度と
、乾燥している清掃部材が液状体を吸収するときに最適な速度と、が異なる場合にも各清
掃部材を最適な速度で摺動することができる。
【００１９】
［適用例７］
上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのワイピングユニットにおいて、前記供給部と前記
回収部とが前記清掃部材に張力を加えることを特徴とする。
【００２０】
この液滴吐出ヘッドのワイピングユニットによれば、清掃部材に張力が加えられている
ことから、清掃部材は弛まない状態となっている。清掃部材が弛んだ状態で、液滴吐出ヘ
ッドに清掃部材を摺動させるとき、清掃部材が液滴吐出ヘッドに引っ掛かることがある。
このとき、所定の速度で払拭動作ができなくなる場合がある。従って、清掃部材に張力を
加えることにより、品質良く払拭動作を行うことができる。
【００２１】
［適用例８］
上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのワイピングユニットにおいて、前記清掃部材の供
給量を検出する供給量検出部を有し、前記供給量検出部が検出する前記供給量を用いて、
前記清掃部材制御部が前記供給量を制御することを特徴とする。
【００２２】
この液滴吐出ヘッドのワイピングユニットによれば、精度よく検出される清掃部材の供
給量を用いて、供給量を制御することから、清掃部材の供給量を精度良く制御することが
できる。その結果、液滴吐出ヘッドのワイピングユニットは清掃部材の適切な供給量にお
いて払拭動作を行うことができる。
【００２３】
［適用例９］
上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのワイピングユニットにおいて、前記液滴吐出ヘッ
ドが複数存在するとき、複数の前記押圧部は複数の前記液滴吐出ヘッドと対向する場所に
配置されていることを特徴とする。
【００２４】
この液滴吐出ヘッドのワイピングユニットによれば、液滴吐出ヘッドが配置されている
場所や押圧部が配置されている場所を調整することなく、複数の液滴吐出ヘッドに対して
略同時に払拭動作を行うことができる。従って、複数の液滴吐出ヘッドを同時に払拭動作
を行う場合、生産性良く払拭動作を行うことができる。
【００２５】
［適用例１０］
本適用例にかかる液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと前記液滴吐出ヘッドのノズル面に
清掃部材を押圧することにより前記ノズル面の払拭動作を行う液滴吐出ヘッドのワイピン
グユニットとを有する液滴吐出装置であって、前記ワイピングユニットは、前記清掃部材
を前記液滴吐出ヘッドに押圧する複数の押圧部と、前記押圧部に前記清掃部材を供給する
供給部と、前記押圧部に供給される前記清掃部材を回収する回収部とを有し、前記清掃部
材は複数の前記押圧部を順次通過して供給されることを特徴とする。
【００２６】
この液滴吐出装置によれば、清掃部材は供給部から供給され、複数の押圧部を通過した
後、回収部に回収される。そして、各押圧部においてノズル面の払拭動作が行われる。こ
のとき、押圧部は供給部と回収部の数より多く配置することができる。従って、各１つの
供給部と回収部とに対して１つの押圧部を配置する場合に比べて、簡便な構成で多くの払
拭動作を略同時に行うことができる。その結果、液滴吐出装置は生産性良くノズル面を清
掃できるワイピングユニットを備えた装置とすることができる。
【００２７】
［適用例１１］
本適用例にかかる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法は、液滴吐出ヘッドのノズル面に
清掃部材を押圧することにより前記ノズル面の払拭動作を行うワイピングユニットを用い
た液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、前記ワイピングユニットは、前記清掃部
材を前記液滴吐出ヘッドに押圧する押圧部を複数有し、前記清掃部材を複数の前記押圧部
に供給する供給工程と、前記清掃部材を複数の前記液滴吐出ヘッドに押圧して払拭する払
拭工程と、を有し、前記供給工程において、前記清掃部材は複数の前記押圧部を順次通過
して供給されることを特徴とする。
【００２８】
この液滴吐出ヘッドのクリーニング方法によれば、清掃部材は供給部から複数の押圧部
を通過して供給される。そして、各押圧部においてノズル面の払拭動作が行われる。この
とき、１つの清掃部材を複数の押圧部に供給する為、１回の供給により複数の押圧部に清
掃部材を供給することができる。従って、複数の押圧部にそれぞれ清掃部材を供給する方
法に比べて、簡便に清掃部材を供給することができる。その結果、簡便な方法で生産性良
く複数の押圧部にそれぞれ清掃部材を供給することができる。
【００２９】
［適用例１２］
上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、前記ワイピングユニ
ットは、１つの前記押圧部が払拭動作に用いた前記清掃部材の場所を他の前記押圧部が払
拭動作に用いずに回収することを特徴とする。
【００３０】
この液滴吐出ヘッドのクリーニング方法によれば、一度払拭動作に用いた清掃部材は別
の押圧部により払拭動作に用いられることがない。従って、ノズル面の払拭動作により清
掃部材に付着した付着物が、他のノズル面に再度付着することがない。その結果、ノズル
面に付着する付着物をノズル面から減らすことができる。
【００３１】
［適用例１３］
上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、前記ワイピングユニ
ットは、前記清掃部材を前記ノズル面に摺動させながら往復して払拭動作を行うことを特
徴とする。
【００３２】
この液滴吐出ヘッドのクリーニング方法によれば、ワイピングユニットは往復して払拭
動作を行う。この方法では、２方向に清掃部材が進行して払拭動作を行う。従って、ノズ
ルと清掃部材とを１方向のみ摺動する場合に比べて、品質良くノズル面を清掃することが
できる。
【００３３】
［適用例１４］
上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、前記清掃部材に洗浄
液を供給する洗浄液供給工程を有し、前記払拭工程では、複数の前記押圧部のうち少なく
とも１つは乾燥している前記清掃部材を用いて払拭動作を行い、複数の前記押圧部のうち
少なくとも１つは前記洗浄液が含浸された前記清掃部材を用いて払拭動作を行い、前記洗
浄液が含浸された前記清掃部材が前記ノズル面を摺動する速度と、乾燥している前記清掃
部材が前記ノズル面を摺動する速度と、が異なる速度にて払拭動作を行うことを特徴とす
る。
【００３４】
この液滴吐出ヘッドのクリーニング方法によれば、洗浄液が清掃部材を介してノズル面
に塗布される。そして、ノズル面に付着物が存在するとき、洗浄液は付着物に塗布される
。この洗浄液がノズル面の付着物をノズル面から剥離することにより付着物を除去し易く
することができる。そして、洗浄液が含浸された清掃部材がノズル面を摺動する速度と、
乾燥している清掃部材がノズル面を摺動する速度と、が異なる速度にて払拭動作が行われ
る。従って、ノズル面に洗浄液を塗布するときに最適な速度と、乾燥している清掃部材が
液状体を吸収するときに最適な速度と、が異なる場合にも各清掃部材を最適な速度で摺動
することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、具体化した実施形態について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材
毎に縮尺を異ならせて図示している。
【００３６】
（第１の実施形態）
本実施形態における液滴吐出装置と、この液滴吐出装置が備える特徴的なワイピングユ
ニットと、このワイピングユニットを用いて液滴吐出ヘッドを清掃する場合の例について
図１〜図８に従って説明する。
【００３７】
（液滴吐出装置及びワイピングユニット）
まず、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置１について図１〜図６に従って説
明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた
装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適し
ている。
【００３８】
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。図１に示すように、液滴吐出装
置１は、直方体形状に形成された基台２を備えている。この基台２の長手方向をＹ方向と
し、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００３９】
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅に
わたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する
図示しない直動機構を備えたステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構
は、例えば、案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるリニアモータを備えた直動機
構である。そして、この直動機構に所定のステップ数に相対する駆動信号がリニアモータ
に入力されると、リニアモータが前進又は後退して、ステージ４が同ステップ数に相当す
る分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は復動する。この動作によりステージ４
がＹ方向に走査するようになっている。
【００４０】
そのステージ４の上面には、載置面５が形成され、その載置面５には、図示しない吸引
式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面５に基板６を載置すると、基板
チャック機構によって、その基板６が載置面５の所定の位置に位置決め固定されるように
なっている。
【００４１】
基台２のＸ方向両側には、一対の支持台７ａ，７ｂが立設され、その一対の支持台７ａ
，７ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材８が架設されている。案内部材８の上側には、吐出
する機能液を供給可能に収容する収容タンク９が配設されている。
【００４２】
一方、その案内部材８の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１０がＸ方向全幅にわた
り凸設されている。そして、案内レール１０に沿って略直方体形状に形成されたテーブル
としてのキャリッジ１１が配置されている。キャリッジ１１はステージ４の直動機構と同
様な機構を備え、Ｘ方向に走査可能となっている。そして、キャリッジ１１の下面には、
液滴吐出ヘッド１２が凸設されている。ステージ４が基板６をＹ方向に走査して、キャリ
ッジ１１が液滴吐出ヘッド１２をＸ方向に走査する。そして、液滴吐出ヘッド１２は基板
６上の所望の場所に液状体を吐出して塗布することが可能になっている。
【００４３】
基台２に対して、Ｘ方向と逆方向の側面であってキャリッジ１１の移動範囲と対向する
場所には、保守装置１３が配置され、保守装置１３には液滴吐出ヘッド１２をクリーニン
グする機構が配置されている。この保守装置１３は直方体形状に形成された基台１４を備
えている。基台１４の上面１４ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１５ａ，１５ｂ
が同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台１４の上側には、一対の案内レール１
５ａ，１５ｂに対応する図示しない直動機構を備えたテーブルとしての保守ステージ１６
が配置されている。保守ステージ１６はステージ４と同様な直動機構を備え、保守ステー
ジ１６は案内レール１５ａ，１５ｂに沿って移動可能になっている。
【００４４】
保守ステージ１６上のＹ方向側には吐出受部１７が配置され、吐出受部１７には凹状に
形成された受皿と受皿の上に配置されたスポンジ状の吸収マットが配置されている。そし
て、吐出受部１７が液滴吐出ヘッド１２に対向する場所に位置するように保守ステージ１
６を移動した後、液滴吐出ヘッド１２から液状体を吐出する。このとき、吐出された液状
体が吐出受部１７に吸収されるようになっている。一方、保守ステージ１６上のＹ方向と
逆方向の側には払拭装置１８が配置され、払拭装置１８が液滴吐出ヘッド１２に付着した
機能液や塵を拭き取ることが可能になっている。この払拭装置１８、保守ステージ１６、
基台１４等からワイピングユニット１９が構成されている。
【００４５】
図２（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図である。図２（ａ）に示すように、１つの
キャリッジ１１には、３個の液滴吐出ヘッド１２が略Ｙ方向において等間隔に配列して配
置されている。３個の液滴吐出ヘッド１２は赤色、青色、緑色の機能液が供給されている
。そして、この各色の機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１２はそれぞれＸ方向に千鳥状に
配列して配置されている。
【００４６】
そして、液滴吐出ヘッド１２の表面にはノズルプレート２０が配置され、ノズルプレー
ト２０にはノズル２１が複数形成されている。ノズル２１の数は、吐出するパターンと基
板６の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズル
プレート２０にはノズル２１の配列が１列形成され、各列には１１個のノズル２１が配置
されている。
【００４７】
図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図２（
ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１２は、ノズルプレート２０を備え、ノズルプレート
２０には、ノズル２１が形成されている。ノズルプレート２０の上側であって、ノズル２
１と対向する位置には、ノズル２１と連通する圧力室としてのキャビティ２２が形成され
ている。そして、液滴吐出ヘッド１２のキャビティ２２には、図示しない供給装置に貯留
されている液状体としての機能液２３が図示しない流路を介して供給される。
【００４８】
キャビティ２２の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ２２内の容積
を拡大縮小する振動板２４と、上下方向に伸縮して振動板２４を振動させる駆動部として
の圧電素子２５が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド１２が圧電素子２５を制御駆
動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子２５が伸張して、振動板２４がキャビ
ティ２２内の容積を拡大縮小してキャビティ２２を加圧する。その結果、液滴吐出ヘッド
１２のノズル２１からは、縮小した容積分の機能液２３が液滴２６として吐出される。こ
の液滴吐出ヘッド１２において、ノズル２１、キャビティ２２、振動板２４、圧電素子２
５等により液滴吐出素子２７が構成され、１つの液滴吐出ヘッド１２には複数の液滴吐出
素子２７が配列して形成されている。また、ノズルプレート２０において、液滴２６が吐
出される側の面をノズル面２０ａとする。
【００４９】
図３（ａ）は、払拭装置を示す概略斜視図である。図３（ａ）に示すように、払拭装置
１８は直方体に形成された筐体２８を備えている。そして、筐体２８の上面２８ａには押
圧部としての第１押圧ローラ２９と押圧部としての第２押圧ローラ３０の２つの押圧ロー
ラが配置されている。この第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０は円柱状に形成さ
れ、円柱状の半径方向の一部が筐体２８から突出して配置されている。そして、ノズル面
２０ａに付着した機能液２３を払拭するとき、この第１押圧ローラ２９及び第２押圧ロー
ラ３０をノズル面２０ａに押圧する。第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０のＸ方
向の長さは液滴吐出ヘッド１２のＸ方向の長さより長く形成されており、１つの押圧部が
１つの液滴吐出ヘッド１２を払拭することができるようになっている。
【００５０】
図３（ｂ）は、払拭装置とキャリッジを示す模式側面図である。図３（ｂ）に示すよう
に、Ｙ方向に配列する液滴吐出ヘッド１２の間隔は、第１押圧ローラ２９と第２押圧ロー
ラ３０との間隔と同じ間隔に配置されている。そして、第１押圧ローラ２９及び第２押圧
ローラ３０は各々液滴吐出ヘッド１２と対向する場所に配置することが可能となっている
。
【００５１】
図４（ａ）は、払拭装置の構造を示す模式上面図であり、図４（ｂ）は、払拭装置の構
造を示す模式側面図である。そして、図４（ｂ）は、図４（ａ）におけるＡ−Ａ’から見
た図を示している。図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、払拭装置１８は基台３１を
備えている。そして、基台３１上には第１側板３２及び第２側板３３が立設されている。
第１側板３２及び第２側板３３は長方形の板であり、第１側板３２及び第２側板３３は平
行に配置されている。
【００５２】
第１側板３２において、Ｙ方向と逆方向の下側には清掃部材としてのワイピングシート
３４が巻かれている供給ロール３５が配置されている。このワイピングシート３４は引張
り強度があり、機能液２３及び洗浄液を吸収し易い材料であれば良い。ワイピングシート
３４の材料として、例えば、ポリエステル繊維やポリプロピレン繊維からなるシートや綿
布、あるいはポリエステルとポリアミドとが積層された構造を有する繊維からなるシート
等を用いることができる。特に、ポリエステルとポリアミドとの積層構造を有する繊維か
らなる織布を用いるとき、洗浄液を用いた払拭動作において良好にノズル面２０ａの汚れ
を拭き取ることができるのに加え、ノズル面２０ａに洗浄液が付着し難くなり、ノズル面
２０ａの清浄度を向上できるという利点が得られる。本実施形態では、例えば、ポリエス
テルとポリアミドとの積層構造を有する繊維からなる織布を採用している。
【００５３】
供給ロール３５は軸方向が基台３１と平行に配置され、供給ロール３５の軸には供給モ
ータ３６が接続されている。供給モータ３６はサーボモータであり、内部にエンコーダを
備えている。そして、供給モータ３６は回転角度、回転速度、トルク等の信号を入力して
所定の条件にて回転する。
【００５４】
供給ロール３５の上側には第１アイドルプーリ３７が配置され、供給モータ３６の上側
のＹ方向には第２押圧ローラ３０が配置されている。第１アイドルプーリ３７はワイピン
グシート３４の進行方向を変更するために配置されている。そして、第１アイドルプーリ
３７にはロータリーエンコーダ等からなる供給量検出部としての供給量検出装置３８が配
置され、第１アイドルプーリ３７の回転角度を検出することによりワイピングシート３４
が第１アイドルプーリ３７を通過する量である供給量を検出可能となっている。
【００５５】
第２押圧ローラ３０はワイピングシート３４を液滴吐出ヘッド１２のノズル面２０ａに
押圧する部材であり、弾性のある材料が好ましく、天然ゴム、ウレタン、シリコンゴム等
の材料に添加物を加えて硬度を調整した物を用いることができる。本実施形態では、例え
ば、天然ゴムに添加剤を加えたものを採用している。そして、第２押圧ローラ３０は図示
しないバネによりＺ方向に加勢されている。
【００５６】
第２押圧ローラ３０のＹ方向には第１押圧ローラ２９が配置され、第１押圧ローラ２９
と第２押圧ローラ３０との間の下側には第２アイドルプーリ３９が配置されている。そし
て、ワイピングシート３４は第２押圧ローラ３０、第２アイドルプーリ３９、第１押圧ロ
ーラ２９の順に通過するように配置されている。このワイピングシート３４が第２アイド
ルプーリ３９を通過するように配置されることにより、第２押圧ローラ３０から第１押圧
ローラ２９までのワイピングシート３４の長さを長く設定することが可能になっている。
【００５７】
第１押圧ローラ２９は、第２押圧ローラ３０と同様に、ワイピングシート３４を液滴吐
出ヘッド１２のノズル面２０ａに押圧する部材であり、第２押圧ローラ３０と同様の材料
を用いることができる。本実施形態では、例えば、天然ゴムに添加剤を加えたものを採用
している。そして、第１押圧ローラ２９は図示しないバネによりＺ方向に加勢されている
。
【００５８】
第１押圧ローラ２９のＹ方向の下側には第３アイドルプーリ４０が配置され、第３アイ
ドルプーリ４０の下側には回収ロール４１が配置されている。そして、第１押圧ローラ２
９を通過するワイピングシート３４は第３アイドルプーリ４０を経て回収ロール４１に巻
き取られる。第３アイドルプーリ４０は第１アイドルプーリ３７と同様にワイピングシー
ト３４の進行方向を変更するために配置されている。
【００５９】
回収ロール４１には回収モータ４２が配置されている。回収モータ４２は、供給モータ
３６と同様に、サーボモータであり、内部にエンコーダを備えている。そして、回収モー
タ４２は回転角度、回転速度、トルク等の信号を入力して所定の条件にて回転する。
【００６０】
払拭装置１８において、供給ロール３５、供給モータ３６、第１アイドルプーリ３７等
により供給部としての清掃部材供給装置４３が構成されている。そして、第３アイドルプ
ーリ４０、回収ロール４１、回収モータ４２等により回収部としての清掃部材回収装置４
４が構成されている。
【００６１】
第１押圧ローラ２９の下側にはワイピングシート３４に洗浄液４５を噴出する洗浄液用
ノズル４６が配置され、第２アイドルプーリ３９の下側には洗浄液供給装置４７が配置さ
れている。そして、洗浄液用ノズル４６と洗浄液供給装置４７とはチューブ４８により接
続されている。洗浄液供給装置４７は洗浄液４５を収納する容器とポンプを備えている。
そして、洗浄液供給装置４７のポンプが洗浄液４５を加圧することにより、チューブ４８
を介して洗浄液４５を洗浄液用ノズル４６に送る。送られた洗浄液４５は洗浄液用ノズル
４６から噴出されて、ワイピングシート３４に塗布される。そして、塗布された洗浄液４
５はワイピングシート３４に含浸し、第１押圧ローラ２９は洗浄液４５が含浸しているワ
イピングシート３４をノズル面２０ａに押圧しながら払拭運動をするようになっている。
この洗浄液用ノズル４６、洗浄液供給装置４７、チューブ４８等により洗浄液供給部が構
成されている。
【００６２】
図５は、洗浄液を含浸したワイピングシートを示す図であり、回収ロール４１に巻き取
られたワイピングシート３４を示している。図５に示すように、ワイピングシート３４に
は洗浄液４５を含浸した含浸領域３４ａと洗浄液４５を含浸していない乾燥領域３４ｂと
が交互に配置されている。そして、ワイピングシート３４の長手方向における含浸領域３
４ａの長さと乾燥領域３４ｂの長さとが略同じ長さとなっている。そして、含浸領域３４
ａと乾燥領域３４ｂとを合わせた領域を１回あたりの清掃領域３４ｃとし、ワイピングシ
ート３４には１回あたりの清掃領域３４ｃが配列して形成される。
【００６３】
第１押圧ローラ２９が含浸領域３４ａを用いて払拭動作をした後、乾燥領域３４ｂは第
１押圧ローラ２９を通過する。そして、次の含浸領域３４ａが第１押圧ローラ２９の場所
に移動する。このとき、第２押圧ローラ３０が用いた乾燥領域３４ｂは第１押圧ローラ２
９において払拭動作に使用されることなく回収される。
【００６４】
図６は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図６において、液滴吐出装置１の
制御装置５１はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）５２と各
種情報を記憶するメモリ５３とを有する。
【００６５】
主走査駆動装置５４、副走査駆動装置５５、液滴吐出ヘッド１２を駆動するヘッド駆動
回路５６は、入出力インターフェース５７及びデータバス５８を介してＣＰＵ５２に接続
されている。さらに、入力装置５９、ディスプレイ装置６０、供給駆動装置６１、回収駆
動装置６２も入出力インターフェース５７及びデータバス５８を介してＣＰＵ５２に接続
されている。さらに、供給量検出装置３８、液供給駆動装置６３、保守ステージ駆動装置
６４も入出力インターフェース５７及びデータバス５８を介してＣＰＵ５２に接続されて
いる。
【００６６】
主走査駆動装置５４はステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置５５は
キャリッジ１１の移動を制御する装置である。主走査駆動装置５４がステージ４の移動を
制御し、副走査駆動装置５５がキャリッジ１１の移動を制御することにより、液滴吐出ヘ
ッド１２を基板６に対して所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。
【００６７】
ヘッド駆動回路５６は液滴吐出ヘッド１２を駆動する回路である。そして、ＣＰＵ５２
が指示する駆動電圧、吐出数、吐出間隔等の吐出条件に従って、ヘッド駆動回路５６は液
滴吐出ヘッド１２を駆動する。
【００６８】
入力装置５９は液滴２６を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板
６に液滴２６を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。デ
ィスプレイ装置６０は加工条件や作業状況を表示する装置であり、ディスプレイ装置６０
に表示される情報を基に、操作者は入力装置５９を用いて操作を行う。
【００６９】
供給駆動装置６１は清掃部材供給装置４３を駆動する装置であり、ＣＰＵ５２が指示す
る供給の開始と停止、供給速度等の供給条件に従って、供給駆動装置６１は清掃部材供給
装置４３を駆動する。回収駆動装置６２は清掃部材回収装置４４を駆動する装置であり、
ＣＰＵ５２が指示する回収の開始と停止、回収速度等の回収条件に従って、回収駆動装置
６２は清掃部材回収装置４４を駆動する。供給量検出装置３８はワイピングシート３４の
供給量を検出して、検出した供給量のデータをＣＰＵ５２に出力する。
【００７０】
液供給駆動装置６３は洗浄液供給装置４７を駆動する装置であり、ＣＰＵ５２が指示す
る洗浄液４５の供給の開始と停止、供給量等の供給条件に従って、液供給駆動装置６３は
洗浄液供給装置４７を駆動する。そして、所定の供給条件で洗浄液４５が洗浄液用ノズル
４６からワイピングシート３４に噴出され、塗布されるようになっている。保守ステージ
駆動装置６４は保守ステージ１６移動と停止を制御する装置である。
【００７１】
メモリ５３は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−Ｒ
ＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作
の制御手順が記述されたプログラムソフト６５を記憶する記憶領域が設定される。さらに
、基板６内における吐出位置の座標データである吐出位置データ６６を記憶するための記
憶領域も設定される。さらに、吐出する機能液２３の量に対応する吐出波形データ６７を
記憶するための記憶領域も設定される。さらに、ワイピングシート３４を第１押圧ローラ
２９及び第２押圧ローラ３０に供給するときの供給速度、供給量、ワイピングシート３４
に加える張力等の清掃部材管理データ６８を記憶するための記憶領域も設定される。他に
も、吐出する液滴吐出ヘッド１２を払拭する速度、回数等の清掃条件管理データ６９を記
憶するための記憶領域も設定される。他にも、基板６を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する
主走査移動量と、キャリッジ１１を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記
憶するための記憶領域や、ＣＰＵ５２のためのワークエリアやテンポラリファイル等とし
て機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【００７２】
ＣＰＵ５２はメモリ５３内に記憶されたプログラムソフト６５に従って、基板６におけ
る表面の所定位置に機能液２３を液滴２６にして吐出するための制御や液滴吐出ヘッド１
２を保守するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、液滴吐出ヘッド
１２において液滴２６を吐出するための演算を行う吐出演算部７０等を有する。吐出演算
部７０を詳しく分割すれば、吐出演算部７０は基板６を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速
度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部７１を有する。加えて、吐出
演算部７０は液滴吐出ヘッド１２を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査移動量で移動さ
せるための制御を演算する副走査制御演算部７２を有する。さらに、吐出演算部７０は液
滴吐出ヘッド１２内に複数あるノズルの内、どのノズルを作動させて機能液２３を吐出す
るかを制御するための演算を行う吐出制御演算部７３等といった各種の機能演算部を有す
る。
【００７３】
吐出演算部７０の他にも、ＣＰＵ５２は液滴吐出ヘッド１２を清掃する制御を行う清掃
演算部７４を有する。清掃演算部７４を詳しく分割すれば、清掃演算部７４はワイピング
シート３４の供給と回収の制御を行う清掃部材制御部としての清掃部材制御演算部７５を
有する。清掃部材制御演算部７５は供給駆動装置６１にワイピングシート３４の供給量、
供給速度、供給開始、供給停止等の指示を出力する。さらに、清掃部材制御演算部７５は
回収駆動装置６２に回収速度等の指示を出力する。
【００７４】
さらに、清掃部材制御演算部７５は供給駆動装置６１及び回収駆動装置６２にワイピン
グシート３４の張力の指示を出力する。そして、供給駆動装置６１は清掃部材供給装置４
３が備えるサーボモータに通電する電流量を制御し、回収駆動装置６２は清掃部材回収装
置４４が備えるサーボモータに通電する電流量を制御する。そして、清掃部材制御演算部
７５が指示した供給及び回収速度、張力にて、清掃部材供給装置４３及び清掃部材回収装
置４４はワイピングシート３４を供給及び回収することが可能になっている。
【００７５】
さらに、清掃演算部７４はステージ制御演算部７６を有する。ステージ制御演算部７６
は保守ステージ駆動装置６４に移動と停止の指示を出力する。そして、保守ステージ駆動
装置６４は、払拭装置１８を液滴吐出ヘッド１２と対向する場所と待機場所との間で移動
させる制御や、払拭装置１８を液滴吐出ヘッド１２と対向する場所で往復運動させる制御
を行う。
【００７６】
（液滴吐出ヘッドの清掃及び吐出方法）
次に、上述した液滴吐出装置１を用いて、液滴吐出ヘッド１２のノズル面２０ａを清掃
した後、基板６に機能液２３を塗布する製造方法について図７及び図８にて説明する。図
７は、液滴吐出ヘッドの清掃及び基板に機能液を塗布する製造工程を示すフローチャート
であり、図８は、液滴吐出ヘッドの清掃及び基板に機能液を塗布する方法を説明する図で
ある。
【００７７】
ステップＳ１は、吐出洗浄工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出受部に機能液を吐出
して、液滴吐出ヘッドの流路内の機能液を排出する工程である。次にステップＳ２及びス
テップＳ３に移行する。ステップＳ２は、供給工程に相当し、第１押圧ローラ及び第２押
圧ローラに汚れていない未使用のワイピングシートを供給する工程である。次に、ステッ
プＳ４に移行する。ステップＳ３は、洗浄液供給工程に相当し、ワイピングシートに洗浄
液を塗布する工程であり、ステップＳ２と同時に実施される工程である。次にステップＳ
４移行する。ステップＳ４は、ヘッド移動工程に相当し、払拭する予定の液滴吐出ヘッド
と対向する場所に第１押圧ローラ又は第２押圧ローラを移動する工程である。次に、乾い
たワイピングシートを用いて払拭するとき、ステップＳ５に移行し、洗浄液を用いて払拭
するとき、ステップＳ６及びステップＳ７に移行する。ステップＳ５は、乾式払拭工程に
相当し、乾いたワイピングシートを第２押圧ローラでノズル面に押圧して払拭する工程で
ある。次にステップＳ８に移行する。ステップＳ６は、湿式払拭工程に相当し、洗浄液が
含浸されたワイピングシートを第１押圧ローラでノズル面に押圧して払拭する工程である
。次にステップＳ８移行する。ステップＳ７は、洗浄液供給工程に相当し、ワイピングシ
ートに洗浄液を塗布する工程であり、ステップＳ６と同時に実施される工程である。次に
ステップＳ８移行する。ステップＳ５とステップＳ６とは同時に行われることもあり、一
方のステップのみ行われることもある。ステップＳ５からステップＳ７を合わせてステッ
プＳ１１の払拭工程とする。
【００７８】
ステップＳ８は払拭終了判断工程に相当し、払拭する予定の液滴吐出ヘッドを総て払拭
したかの判断を行う。払拭する予定の液滴吐出ヘッドがまだあると判断するとき、ステッ
プＳ２に移行し、総ての液滴吐出ヘッドを払拭したと判断するとき、ステップＳ９に移行
する。ステップＳ９は塗布工程に相当し、基板に機能液を吐出して塗布する工程である。
以上で、液滴吐出ヘッドのノズル面を清掃した後、基板に機能液を塗布する製造工程を終
了する。
【００７９】
次に、図８を用いて、図７に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドのノズル面
を清掃した後、基板に機能液を塗布する製造方法を詳細に説明する。図８（ａ）はステッ
プＳ１に対応する図である。図８（ａ）に示すように、制御装置５１はキャリッジ１１と
保守ステージ１６とを駆動して、液滴吐出ヘッド１２を吐出受部１７の吸収マット１７ａ
と対向する場所に移動する。そして、液滴吐出ヘッド１２のノズル２１から液滴２６を吸
収マット１７ａに吐出する。吐出することにより、液滴吐出ヘッド１２内の流路にある機
能液２３を排出する。そして、機能液２３に含まれる気泡や析出物を機能液２３と一緒に
排出する。尚、キャリッジ１１には９個の液滴吐出ヘッド１２が配置されているが、図に
は１つの列を形成する３個の液滴吐出ヘッド１２のみ掲載し、他の液滴吐出ヘッド１２は
省略している。この３個の液滴吐出ヘッド１２を右から順に右液滴吐出ヘッド１２ａ、中
液滴吐出ヘッド１２ｂ、左液滴吐出ヘッド１２ｃとする。
【００８０】
図８（ｂ）はステップＳ２に対応する図である。図８（ｂ）に示すように、払拭装置１
８の第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０に未使用のワイピングシート３４を供給
する。このとき、洗浄液用ノズル４６によって洗浄液４５が吹き付けられることにより、
洗浄液４５を含浸したワイピングシート３４が第１押圧ローラ２９に供給される。一方、
第２押圧ローラ３０には乾燥したワイピングシート３４が供給される。このとき、図５に
おけるワイピングシート３４の１回あたりの清掃領域３４ｃが清掃部材供給装置４３から
供給され、すでに使用したワイピングシート３４が清掃部材回収装置４４により回収され
る。このとき、ステップＳ３が並行して行われる。図４（ｂ）に示すように、洗浄液用ノ
ズル４６からワイピングシート３４に洗浄液４５が噴出されることにより、洗浄液４５が
ワイピングシート３４に塗布される。そして、洗浄液４５を含浸しているワイピングシー
ト３４が第１押圧ローラ２９に供給される。
【００８１】
図８（ｃ）はステップＳ４及びステップＳ６に対応する図である。まず、３つの配列の
うち、１つの配列の液滴吐出ヘッド１２におけるノズル面２０ａの払拭を行う。ステップ
Ｓ４において、図８（ｃ）に示すように、キャリッジ１１と保守ステージ１６とを駆動す
ることにより、右液滴吐出ヘッド１２ａを第１押圧ローラ２９と対向する場所に移動する
。そして、ステップＳ６において、払拭動作を行う。このとき、洗浄液４５が含浸された
ワイピングシート３４を第１押圧ローラ２９が右液滴吐出ヘッド１２ａのノズル面２０ａ
に押圧する。
【００８２】
そして、第１押圧ローラ２９を回転させながら、保守ステージ１６を往復動作すること
により、払拭装置１８が払拭運動を行う。清掃部材供給装置４３がワイピングシート３４
を供給して、清掃部材回収装置４４がワイピングシート３４を回収することにより、未使
用のワイピングシート３４を第１押圧ローラ２９に供給しながら払拭運動を行う。ワイピ
ングシート３４に含浸している洗浄液４５はノズル面２０ａに塗布される。そして、洗浄
液４５がノズル面２０ａに付着する付着物に浸透することにより、付着物がノズル面２０
ａから剥離され易くなる。
【００８３】
ステップＳ６と並行してステップＳ７が行われる。図４（ｂ）に示すように、洗浄液用
ノズル４６からワイピングシート３４に洗浄液４５が噴出されることにより、洗浄液４５
がワイピングシート３４に塗布される。そして、洗浄液４５を含浸しているワイピングシ
ート３４が第１押圧ローラ２９に供給される。所定の時間、払拭運動を行った後、ステッ
プＳ８において、他の液滴吐出ヘッド１２を払拭する判断を行う。
【００８４】
図８（ｄ）はステップＳ４〜ステップＳ６に対応する図である。図８（ｄ）に示すよう
に、キャリッジ１１と保守ステージ１６とを駆動することにより、右液滴吐出ヘッド１２
ａを第２押圧ローラ３０と対向する場所に移動し、中液滴吐出ヘッド１２ｂを第１押圧ロ
ーラ２９と対向する場所に移動する。右液滴吐出ヘッド１２ａと中液滴吐出ヘッド１２ｂ
との間隔は第１押圧ローラ２９と第２押圧ローラ３０との間隔と略同じ間隔に配置されて
いる。従って、右液滴吐出ヘッド１２ａが第２押圧ローラ３０と対向する場所に位置する
とき、中液滴吐出ヘッド１２ｂは第１押圧ローラ２９と対向する場所に位置することが可
能となっている。
【００８５】
そして、ステップＳ６において、中液滴吐出ヘッド１２ｂを払拭し、ステップＳ５にお
いて、右液滴吐出ヘッド１２ａを払拭する。このとき、中液滴吐出ヘッド１２ｂ及び右液
滴吐出ヘッド１２ａは同時に払拭される。洗浄液４５が含浸されたワイピングシート３４
を第１押圧ローラ２９が中液滴吐出ヘッド１２ｂのノズル面２０ａに押圧する。同時に、
乾燥したワイピングシート３４を第２押圧ローラ３０が右液滴吐出ヘッド１２ａのノズル
面２０ａに押圧する。このときにも、ステップＳ６と並行してステップＳ７が行われるこ
とにより、洗浄液４５を含浸しているワイピングシート３４が第１押圧ローラ２９に供給
される。
【００８６】
そして、第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０を回転しながら、保守ステージ１
６が往復動作することにより、払拭装置１８が払拭運動を行う。このとき、払拭運動と並
行して、第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０には未使用のワイピングシート３４
が供給される。中液滴吐出ヘッド１２ｂのノズル面２０ａでは洗浄液４５により付着物が
剥離される。そして、右液滴吐出ヘッド１２ａでは、剥離された付着物、機能液２３、洗
浄液４５がワイピングシート３４により除去される。所定の時間、払拭運動を行った後、
ステップＳ８において、他の液滴吐出ヘッド１２を払拭する判断をする。
【００８７】
図８（ｅ）は、同様に、ステップＳ４〜ステップＳ６に対応する図である。図８（ｅ）
に示すように、キャリッジ１１と保守ステージ１６とを駆動することにより、中液滴吐出
ヘッド１２ｂを第２押圧ローラ３０と対向する場所に移動し、左液滴吐出ヘッド１２ｃを
第１押圧ローラ２９と対向する場所に移動する。そして、洗浄液４５が含浸されたワイピ
ングシート３４を第１押圧ローラ２９が左液滴吐出ヘッド１２ｃのノズル面２０ａに押圧
する。同時に、乾燥したワイピングシート３４を第２押圧ローラ３０が中液滴吐出ヘッド
１２ｂのノズル面２０ａに押圧する。
【００８８】
そして、第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０に未使用のワイピングシート３４
を供給しながら、保守ステージ１６が往復動作することにより、払拭装置１８が払拭運動
を行う。このときにも、ステップＳ６と並行してステップＳ７が行われることにより、洗
浄液４５を含浸しているワイピングシート３４が第１押圧ローラ２９に供給される。所定
の時間、払拭運動を行った後、ステップＳ８において、他の液滴吐出ヘッド１２を払拭す
る判断をする。
【００８９】
図８（ｆ）は、ステップＳ４及びステップＳ５に対応する図である。図８（ｆ）に示す
ように、キャリッジ１１と保守ステージ１６とを駆動することにより、左液滴吐出ヘッド
１２ｃを第２押圧ローラ３０と対向する場所に移動する。そして、乾燥したワイピングシ
ート３４を第２押圧ローラ３０が左液滴吐出ヘッド１２ｃのノズル面２０ａに押圧する。
このとき、第２押圧ローラ３０に未使用のワイピングシート３４を供給しながら、保守ス
テージ１６が往復動作することにより、払拭装置１８が払拭運動を行う。所定の時間、払
拭運動を行った後、ステップＳ８において、他の液滴吐出ヘッド１２を払拭する判断をす
る。次に、液滴吐出ヘッド１２の配列を変えて、順次、液滴吐出ヘッド１２を払拭する。
【００９０】
図８（ｇ）はステップＳ９に対応する図である。図８（ｇ）に示すように、ステージ４
の載置面５に基板６を載置する。そして、キャリッジ１１及びステージ４を駆動して、機
能液２３を塗布する場所と対向する場所に液滴吐出ヘッド１２を移動する。次に、キャリ
ッジ１１及びステージ４を移動しながら、液滴吐出ヘッド１２から液滴２６を吐出する。
そして、基板６に機能液２３を塗布して、所定のパターンを描画する。以上の工程により
、液滴吐出ヘッド１２のノズル面２０ａを清掃した後、基板６に機能液２３を塗布する製
造工程を終了する。
【００９１】
上述したように、本実施形態は、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ワイピングシート３４は清掃部材供給装置４３から供給さ
れ、第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０を通過した後、清掃部材回収装置４４に
回収される。そして、第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０においてノズル面２０
ａの払拭動作が行われる。このとき、第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０は清掃
部材供給装置４３と清掃部材回収装置４４の数より多く配置することができる。従って、
各１つの清掃部材供給装置４３と清掃部材回収装置４４とに対して１つの押圧ローラを配
置する場合に比べて、簡便な構成で多くの払拭動作を略同時に行うことができる。
【００９２】
（２）本実施形態によれば、一度払拭動作に用いたワイピングシート３４は別の押圧ロ
ーラにより払拭動作に用いられることがない。従って、ノズル面２０ａの払拭動作により
ワイピングシート３４に付着した付着物が、他のノズル面２０ａに再度付着することがな
い。その結果、ノズル面２０ａに付着する付着物をノズル面２０ａから減らすことができ
る。
【００９３】
（３）本実施形態によれば、払拭装置１８が往復して払拭動作を行っている。ノズル２
１がある場所をワイピングシート３４が摺動するとき、ノズル２１内側面のうち、ワイピ
ングシート３４が進行する方向の側面の方が、ワイピングシート３４が進行する方向と逆
方向の側面に比べて、ノズル２１の付着物を払拭し易くなっている。この方法では、２方
向にワイピングシート３４が進行して払拭動作を行う。従って、ノズル２１とワイピング
シート３４とを１方向のみ摺動する場合に比べて、品質良くノズル面２０ａを清掃するこ
とができる。
【００９４】
（４）本実施形態によれば、洗浄液４５がワイピングシート３４を介してノズル面２０
ａに塗布される。そして、ノズル面２０ａに付着物が存在するとき、洗浄液４５は付着物
に塗布される。そして、洗浄液４５がノズル面２０ａの付着物をノズル面２０ａから剥離
することにより付着物を除去し易くすることができる。
【００９５】
（５）本実施形態によれば、乾燥したワイピングシート３４を用いてノズル面２０ａに
付着する機能液２３や洗浄液４５を吸収することにより、ノズル面２０ａから機能液２３
や洗浄液４５を除去することができる。
【００９６】
（６）本実施形態によれば、ワイピングシート３４に張力が加えられていることから、
ワイピングシート３４は弛まない状態となっている。ワイピングシート３４が弛んだ状態
で、液滴吐出ヘッド１２にワイピングシート３４を摺動させるとき、ワイピングシート３
４が液滴吐出ヘッド１２に引っ掛かることがある。このとき、所定の速度で払拭動作がで
きなくなる場合がある。従って、ワイピングシート３４に張力が加えることにより、品質
良く払拭動作を行うことができる。
【００９７】
（７）本実施形態によれば、供給量検出装置３８により精度よく検出されるワイピング
シート３４の供給量を用いて、供給量を制御することから、ワイピングシート３４の供給
量を精度良く制御することができる。その結果、払拭装置１８はワイピングシート３４の
適切な供給量を用いて払拭動作を行うことができる。
【００９８】
（８）本実施形態によれば、第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０は各々液滴吐
出ヘッド１２と対向する場所に配置することが可能となっている。そして、液滴吐出ヘッ
ド１２が配置されている場所や第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０が配置されて
いる場所を調整することなく、複数の液滴吐出ヘッド１２に対して略同時に払拭動作を行
うことができる。従って、複数の液滴吐出ヘッド１２を同時に払拭動作を行う場合、生産
性良く払拭動作を行うことができる。
【００９９】
（９）本実施形態によれば、押圧ローラは清掃部材供給装置４３及び清掃部材回収装置
４４の数より多く配置することができる。その結果、液滴吐出装置１は簡便な構成で生産
性良くノズル面２０ａを清掃できるワイピングユニット１９を備えた装置とすることがで
きる。
【０１００】
（第２の実施形態）
次に、液滴吐出装置の一実施形態について図９〜図１１を用いて説明する。この実施形
態が第１の実施形態と異なるところは、第１押圧ローラ２９と第２押圧ローラ３０とに供
給されるワイピングシート３４の供給速度が異なる点にある。尚、第１の実施形態と同じ
点については説明を省略する。
【０１０１】
図９は、払拭装置の構造を示す模式側面図である。すなわち、本実施形態では、図９に
示すように、払拭装置８０は中間車昇降装置８１を備え、中間車昇降装置８１は第２アイ
ドルプーリ３９を昇降可能となっている。そして、図９（ａ）は、中間車昇降装置８１が
第２アイドルプーリ３９を上昇させたときを示し、図９（ｂ）は、中間車昇降装置８１が
第２アイドルプーリ３９を下降させたときを示している。中間車昇降装置８１は上下に移
動可能な直動機構を備えている。この直動機構は、例えば、案内レールと案内レールに沿
ってＺ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ
式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転す
るＺ軸モータに連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＺ軸モ
ータに入力されると、Ｚ軸モータが正転又は逆転して、第２アイドルプーリ３９が同ステ
ップ数に相当する分だけ、Ｚ方向に沿って所定の速度で往動又は、復動するようになって
いる。
【０１０２】
次に、清掃部材回収装置４４がワイピングシート３４を回収する速度、第１押圧ローラ
２９を通過するワイピングシート３４の速度、第２アイドルプーリ３９が昇降する速度、
第２押圧ローラ３０を通過するワイピングシート３４の速度、清掃部材供給装置４３がワ
イピングシート３４を供給する速度の関係を説明する。
【０１０３】
第１押圧ローラ２９を通過したワイピングシート３４は清掃部材回収装置４４に直接回
収されるので、第１押圧ローラ２９を通過するワイピングシート３４の速度は、清掃部材
回収装置４４がワイピングシート３４を回収する速度と同じ速度となる。同様に、第２押
圧ローラ３０を通過するワイピングシート３４は清掃部材供給装置４３に直接供給される
ので、第２押圧ローラ３０を通過するワイピングシート３４の速度は、清掃部材供給装置
４３がワイピングシート３４を供給する速度と同じ速度となる。
【０１０４】
第２アイドルプーリ３９を下降させるとき、下降速度の約２倍の速度で第１押圧ローラ
２９と第２押圧ローラ３０との間におけるワイピングシート３４の長さが増加する。そし
て、清掃部材供給装置４３が供給するワイピングシート３４の速度を、清掃部材回収装置
４４がワイピングシート３４を回収する速度に第２アイドルプーリ３９の下降速度の約２
倍の速度を加えた速度にする。このとき、ワイピングシート３４を弛ませずに、所定の張
力を維持したままワイピングシート３４を流動することができる。そして、ワイピングシ
ート３４が第２押圧ローラ３０を通過するときの速度は、ワイピングシート３４が第１押
圧ローラ２９を通過するときの速度に第２アイドルプーリ３９の下降速度の約２倍の速度
を加えた速度にすることができる。
【０１０５】
従って、ワイピングシート３４が第２押圧ローラ３０を通過するときの速度は、ワイピ
ングシート３４が第１押圧ローラ２９を通過するときの速度より早くすることができる。
また、第２アイドルプーリ３９を上昇させるとき、ワイピングシート３４が第２押圧ロー
ラ３０を通過するときの速度は、ワイピングシート３４が第１押圧ローラ２９を通過する
ときの速度より遅くすることができる。その結果、ワイピングシート３４が第２押圧ロー
ラ３０を通過するときの速度と、ワイピングシート３４が第１押圧ローラ２９を通過する
ときの速度とを、異なる速度にすることができる。そして、第１押圧ローラ２９において
ワイピングシート３４がノズル面２０ａを摺動する速度と、第２押圧ローラ３０において
ワイピングシート３４がノズル面２０ａを摺動する速度とを異なる速度に制御することが
できる。
【０１０６】
図１０は、洗浄液を含浸したワイピングシートを示す図である。そして、第２アイドル
プーリ３９を下降しながらワイピングシート３４を流動するときの図である。含浸領域３
４ｄはワイピングシート３４が第１押圧ローラ２９を通過するときに払拭運動を行う領域
であり、乾燥領域３４ｅはワイピングシート３４が第２押圧ローラ３０を通過するときに
払拭運動を行う領域である。そして、含浸領域３４ｄと乾燥領域３４ｅとを合わせた領域
が１回あたりの清掃領域３４ｆとなっている。
【０１０７】
含浸領域３４ｄを用いてノズル面２０ａを払拭する時間と乾燥領域３４ｅを用いてノズ
ル面２０ａを払拭する時間は同じ時間となっている。従って、第２押圧ローラ３０では、
早くワイピングシート３４を移動させて、ワイピングシート３４に機能液２３や洗浄液４
５を吸収させている。
【０１０８】
図１１は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図１１に示すように、液滴吐出
装置８２が備える制御装置８３は中間車昇降装置８１を駆動する昇降駆動装置８４と入出
力インターフェース５７を介して接続されている。そして、メモリ５３に格納されている
プログラムソフト８５は、昇降駆動装置８４を制御するためのプログラムを含んでいる。
従って、ＣＰＵ５２の清掃演算部８６における清掃部材制御演算部８７は、供給駆動装置
６１、回収駆動装置６２、昇降駆動装置８４を制御することによりワイピングシート３４
の流動速度を制御するようになっている。
【０１０９】
上述したように、本実施形態は、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、洗浄液４５が含浸されたワイピングシート３４がノズル面
２０ａを摺動する速度と、乾燥しているワイピングシート３４がノズル面２０ａを摺動す
る速度と、が制御される。従って、ノズル面２０ａに洗浄液４５を塗布するときに最適な
速度と、乾燥しているワイピングシート３４が機能液２３や洗浄液４５を吸収するときに
最適な速度と、が異なる場合にも各ワイピングシート３４を最適な速度で摺動することが
できる。
【０１１０】
（２）本実施形態によれば、ノズル面２０ａに洗浄液４５を塗布するときの含浸領域３
４ｄに比べて、乾燥領域３４ｅを広くすることにより、機能液２３や洗浄液４５を確実に
吸収することができる。
【０１１１】
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良等を
加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態では、押圧ローラは第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０の
２つのローラを配置したが、３つ以上でも良い。図１２（ａ）は、払拭装置の構造を示す
模式側面図である。図１２（ａ）に示すように、例えば、３個の押圧部としての押圧ロー
ラ８９を配置しても良い。３個の液滴吐出ヘッド１２が配列しているとき、３個のノズル
面２０ａを同時に払拭できることから、さらに生産性良くノズル面２０ａを払拭すること
ができる。
【０１１２】
（変形例２）
前記第１の実施形態では、清掃部材回収装置４４に近い方の押圧ローラである第１押圧
ローラ２９に近い場所に洗浄液用ノズル４６が配置され、ワイピングシート３４に洗浄液
４５を塗布した。これに限らず、図１２（ａ）に示すように、払拭装置８８は、清掃部材
供給装置４３に近い方の押圧ローラ８９である押圧部としての右押圧ローラ８９ａの近く
に洗浄液用ノズル４６を配置しても良い。そして、右押圧ローラ８９ａの近くでワイピン
グシート３４に洗浄液４５を塗布しても良い。このとき、ワイピングシート３４の送り量
と洗浄液４５を塗布するタイミングを制御することにより、中側にある押圧部としての中
押圧ローラ８９ｂ及び左側にある押圧部としての左押圧ローラ８９ｃでは乾燥したワイピ
ングシート３４にてノズル面２０ａを払拭することが可能である。また、洗浄液４５を塗
布したワイピングシート３４を中押圧ローラ８９ｂ及び左押圧ローラ８９ｃに位置するよ
うに制御することも可能である。従って、３つの押圧ローラ８９は各々乾燥したワイピン
グシート３４と洗浄液４５を含浸したワイピングシート３４とのどちらかを用いることが
可能となっている。このとき、洗浄液用ノズル４６を配置する場所は複数の場所から選択
することができる為、洗浄液用ノズル４６を設置する場所を設計しやすいワイピングユニ
ットとすることができる。
【０１１３】
（変形例３）
前記第１の実施形態では、第１押圧ローラ２９では洗浄液４５が含浸したワイピングシ
ート３４を用いて払拭運動を行った。そして、第２押圧ローラ３０では乾燥したワイピン
グシート３４を用いて払拭運動を行った。これ以外にも、図１２（ａ）に示すように３つ
の押圧ローラを配置して、１つの押圧ローラは洗浄液４５が含浸しているワイピングシー
ト３４を用いて払拭運動を行い、２つの押圧ローラは乾燥したワイピングシート３４を用
いて払拭運動を行っても良い。乾燥したワイピングシート３４を用いて２回の払拭運動を
行うことにより、確実に機能液２３や洗浄液４５を拭き取ることができる。また、２つの
押圧ローラは洗浄液４５が含浸したワイピングシート３４を用いて払拭運動を行い、１つ
の押圧ローラは乾燥したワイピングシート３４を用いて払拭運動を行っても良い。洗浄液
４５が含浸しているワイピングシート３４を用いて２回の払拭運動を行うことにより、ノ
ズル面２０ａに付着する付着物をさらに除去し易くすることができる。
【０１１４】
（変形例４）
前記第１の実施形態では、第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０がワイピングシ
ート３４をノズル面２０ａに押圧しながら、保守ステージ１６が往復運動することにより
、ノズル面２０ａを払拭した。例えば、図１２（ｂ）に示すように、保守ステージ１６を
往復運動させずにノズル面２０ａを払拭しても良い。払拭装置９０は第１押圧ローラ２９
の代わりに押圧部としての第３押圧ローラ９１を備え、第２押圧ローラ３０の代わりに押
圧部としての第４押圧ローラ９２を備えている。第３押圧ローラ９１及び第４押圧ローラ
９２を構成する材料は第１押圧ローラ２９及び第２押圧ローラ３０を構成する材料に比べ
て変形し易い材料によって構成されている。例えば、発泡樹脂、軟質樹脂、ゴムチューブ
に空気を入れた空気バネ等を用いることができる。本変形例においては発泡ウレタンを採
用している。第３押圧ローラ９１及び第４押圧ローラ９２を用いてワイピングシート３４
をノズル面２０ａに押圧するとき、第３押圧ローラ９１及び第４押圧ローラ９２が変形す
る。そして、ワイピングシート３４はノズル面２０ａの広い領域に接触可能となる。この
状態で、清掃部材供給装置４３がワイピングシート３４を供給し、清掃部材回収装置４４
がワイピングシート３４を回収することにより、ワイピングシート３４をノズル面２０ａ
に摺動させる。この方法では、保守ステージ１６を往復運動させる制御が不要となるので
、簡便な制御装置にすることができる。
【０１１５】
（変形例５）
前記第１の実施形態では、供給モータ３６及び回収モータ４２のトルクを制御すること
により、ワイピングシート３４の張力を制御した。他にも、第１アイドルプーリ３７、第
２アイドルプーリ３９、第３アイドルプーリ４０等のアイドルプーリと接続するようにバ
ネを配置して、アイドルプーリを加勢することにより、ワイピングシート３４の張力を制
御しても良い。供給モータ３６及び回収モータ４２の制御装置を簡便にすることができる
。他にも、ワイピングシート３４の移動を制限する移動制限機構を設けて、ワイピングシ
ート３４の移動と停止とを制御する。そして、この移動制限機構と、供給モータ３６及び
回収モータ４２のうち一方のトルクを制御することにより、ワイピングシート３４の張力
を制御しても良い。この場合にも、供給モータ３６及び回収モータ４２の制御装置を簡便
にすることができる。
【０１１６】
（変形例６）
前記第１の実施形態では、キャビティ２２を加圧する加圧手段に、圧電素子２５を用い
たが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板２４を変形させて、加
圧しても良い。他に、キャビティ２２内にヒータ配線を配置して、ヒータ配線を加熱する
ことにより、機能液２３を気化させたり、機能液２３に含む気体を膨張させたりして加圧
しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板２４を変形させて、加圧して
も良い。
【０１１７】
（変形例７）
前記第１の実施形態では、洗浄液用ノズル４６から洗浄液４５を噴出してワイピングシ
ート３４に洗浄液４５を塗布したが、他の方法を用いても良い。洗浄液４５を含んだ刷毛
やスポンジをワイピングシート３４に接触させる方法、容器に入っている洗浄液４５の中
にワイピングシート３４を通過させる方法、ロールコータを用いて転写する方法等、各種
方法を用いることができる。
【０１１８】
（変形例８）
前記第１の実施形態では、供給モータ３６及び回収モータ４２にサーボモータを採用し
たが、ステッピングモータを用いても良い。ワイピングシート３４の供給量の制御を簡便
に行うことができる。
【０１１９】
（変形例９）
前記第１の実施形態では、保守ステージ１６を移動させることにより、払拭装置１８が
往復運動をしたが、キャリッジ１１を移動させることにより、払拭装置１８が往復運動を
しても良い。液滴吐出ヘッド１２のノズル面２０ａにおける付着物が除去し易い方法を選
択するのが望ましい。
【０１２０】
（変形例１０）
前記第２の実施形態では、洗浄液４５を含浸しているワイピングシート３４が第１押圧
ローラ２９を通過する速度より、乾燥しているワイピングシート３４が第２押圧ローラ３
０を通過する速度が早くなるように設定したが、逆でも良い。つまり、洗浄液４５を含浸
しているワイピングシート３４が第１押圧ローラ２９を通過する速度より、乾燥している
ワイピングシート３４が第２押圧ローラ３０を通過する速度が遅くなるように設定しても
良い。付着物の除去具合と、機能液２３や洗浄液４５の除去具合に合わせて調整するのが
望ましい。
【図面の簡単な説明】
【０１２１】
【図１】第１の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図３】（ａ）は、払拭装置を示す概略斜視図、（ｂ）は、払拭装置とキャリッジを示す模式側面図。
【図４】（ａ）は、払拭装置の構造を示す模式上面図、（ｂ）は、払拭装置の構造を示す模式側面図。
【図５】洗浄液を含浸したワイピングシートを示す図。
【図６】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図７】液滴吐出ヘッドの清掃及び基板に機能液を塗布する製造工程を示すフローチャート。
【図８】液滴吐出ヘッドの清掃及び基板に機能液を塗布する方法を説明する図。
【図９】第２の実施形態に係る払拭装置の構造を示す模式側面図。
【図１０】洗浄液を含浸したワイピングシートを示す図。
【図１１】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図１２】変形例に係る払拭装置の構造を示す模式側面図。
【符号の説明】
【０１２２】
１…液滴吐出装置、１１…テーブルとしてのキャリッジ、１２…液滴吐出ヘッド、１６
…テーブルとしての保守ステージ、１８，８０，８８，９０…払拭装置、１９…ワイピン
グユニット、２０ａ…ノズル面、２９…押圧部としての第１押圧ローラ、３０…押圧部と
しての第２押圧ローラ、３４…清掃部材としてのワイピングシート、３８…供給量検出部
としての供給量検出装置、４３…供給部としての清掃部材供給装置、４４…回収部として
の清掃部材回収装置、４６…洗浄液供給部としての洗浄液用ノズル、４７…洗浄液供給部
としての洗浄液供給装置、４８…洗浄液供給部としてのチューブ、７５…清掃部材制御部
としての清掃部材制御演算部、８９…押圧部としての押圧ローラ、８９ａ…押圧部として
の右押圧ローラ、８９ｂ…押圧部としての中押圧ローラ、８９ｃ…押圧部としての左押圧
ローラ、９１…押圧部としての第３押圧ローラ、９２…押圧部としての第４押圧ローラ。
【図１】
2009247916.tif 000003
【図２】
2009247916.tif 000004
【図３】
2009247916.tif 000005
【図４】
2009247916.tif 000006
【図５】
2009247916.tif 000007
【図６】
2009247916.tif 000008
【図７】
2009247916.tif 000009
【図８】
2009247916.tif 000010
【図９】
2009247916.tif 000011
【図１０】
2009247916.tif 000012
【図１１】
2009247916.tif 000013
【図１２】
2009247916.tif 000014