(57)【要約】【課題】オゾンガスを水又は水溶液中に溶存させ、混合時に発生するソノルミネッセンス作用による熱エネルギーにより、気泡内オゾン分子が自己分解することを抑制して、溶存効率と到達濃度を高めることを目的とし、エジェクターに吸引導入されるオゾン含有ガスを冷却し、低温保持できるガス冷却装置を備え、オゾン水生成装置の小型化や、効果の高い高濃度オゾン水の生成が可能となる。【解決手段】エジェクター上流入水路からオリフィス部またはガス吸引導入管接続部を通過して下流排水路へと、通過する水、又は液の原水に、前記オリフィス部近傍に接続した吸引導入管よりオゾンガスを流入させ、気液混合してオゾン水またはオゾン水溶液を生成するオゾン水生成装置およびオゾン水生成方法であり、ガス冷却装置を具備し、オゾナイザーからエジェクターに至るガス吸引導入管経路内でオゾンガスを、０℃以下の低温に冷却してエジェクター内に導入する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エジェクター上流入水路からオリフィス部またはガス吸引導入管接続部を通過して下流排水路へと、通過する水、又は液の原水に、前記オリフィス部近傍に接続した吸引導入管よりオゾンガスを流入させ、気液混合してオゾン水またはオゾン水溶液を生成するオゾン水生成装置であり、
オゾナイザーからエジェクターに至るガス吸引導入管経路内でオゾンガスを、０℃以下の低温に冷却して前記エジェクター内に導入するための、ガス冷却装置を具備したことを特徴とするオゾン水生成装置。
【請求項２】
エジェクター上流入水路からオリフィス部またはガス吸引導入管接続部を通過して下流排水路へと、通過する水、又は液の原水に、前記オリフィス部近傍に接続した吸引導入管よりオゾンガスを流入させ、気液混合してオゾン水またはオゾン水溶液を生成するオゾン水生成方法であり、
ガス冷却装置を具備し、オゾナイザーからエジェクターに至るガス吸引導入管経路内でオゾンガスを、０℃以下の低温に冷却して前記エジェクター内に導入することを特徴とするオゾン水生成方法。
【請求項３】
前記原水が、少なくとも水道水、井戸水、海水、純水、超純水のいずれかの添加物を含まない水を、原水とし、
前記オゾン水を生成することを特徴とする請求項２に記載のオゾン水生成方法。
【請求項４】
前記原水が、少なくとも水道水、井戸水、海水、純水、超純水に、少なくとも硫酸、塩酸、酢酸、過酸化水素のいずれかの添加物を加えた液を、原水とし、
前記オゾン水溶液を生成することを特徴とする請求項２に記載のオゾン水生成方法。
【請求項５】
前記オゾンガスに、少なくとも酸素、水素、窒素、ヘリウム、アンモニアのいずれかのガスを任意に混合または含有せしめ、それを請求項３の水や、請求項４の液に吸引導入させて、気液混合し、
前記オゾン水または前記オゾン水溶液を生成することを特徴とする請求項２に記載のオゾン水生成方法。
【請求項６】
請求項２に記載のオゾン水生成方法を用い、
前記原水が、少なくとも水道水、井戸水、海水、純水、超純水のいずれかの添加物を含まない水を、原水として生成したことを特徴とするオゾン水。
【請求項７】
請求項２に記載のオゾン水生成方法を用い、
前記原水が、少なくとも水道水、井戸水、海水、純水、超純水に、少なくとも硫酸、塩酸、酢酸、過酸化水素のいずれかの添加物を加えた液を、原水として生成したことを特徴とするオゾン水溶液。
【請求項８】
請求項２に記載のオゾン水生成方法を用い、
前記オゾンガスに、少なくとも酸素、水素、窒素、ヘリウム、アンモニアのいずれかのガスを任意に混合または含有せしめ、それを請求項３の水や、請求項４の液に吸引導入させて、気液混合して生成したことを特徴とするオゾン水。
【請求項９】
請求項２に記載のオゾン水生成方法を用い、
前記オゾンガスに、少なくとも酸素、水素、窒素、ヘリウム、アンモニアのいずれかのガスを任意に混合または含有せしめ、それを請求項３の水や、請求項４の液に吸引導入させて、気液混合して生成したことを特徴とするオゾン水またはオゾン水溶液。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、原水に、オゾンガスを流入させ、気液混合してオゾン水またはオゾン水溶液を生成するオゾン水生成装置、オゾン水生成方法、オゾン水、オゾン水溶液、及びオゾン水またはオゾン水溶液に関する。
【背景技術】
【０００２】  オゾンは、気相では極めて人や動物に危険で有害である。オゾン気泡を水中に溶存させて液相にし、食品などの表面に対する殺菌消毒、水の浄化処理、半導体ウエハーや液晶パネルなど精密部品類の洗浄やレジスト剥離、表面改質などに用いることは、気相に比較して安全性が高いことと共に、コントロールの容易な酸化技術として又、残留性が無く環境にやさしい洗浄技術として広く利用されている。【０００３】  オゾン水の効果を高めるためには、より多くオゾンを水中に溶存保持させて高濃度にできる技術が必要であり、同じくより効率よくオゾン水やオゾン水溶液を生成する手段が求められている。高濃度で効率よくオゾン水やオゾン水溶液を生成するために、様々な方法が提案されている。【０００４】  例えば特開２００５−３３４７９７では、オゾナイザー内において放電されオゾン化する以前の、酸素または空気をペルチェ式冷却装置により冷却し、放電の効率を上げると共に、冷却による除湿効果により酸素や空気中の水分を除湿させて、放電の安定性を高める方法が提案されている。同様に特開２００３−４７８２５や、特開平５−９７４０５には、方式こそ異なるものの、空気または酸素原料をオゾナイザーに於いて、放電する以前に冷却すると共に除湿し、下流の放電においてオゾン発生効率を上げることが提案されている。【０００５】  これら原料ガスの冷却によればオゾンの発生効率は高まり、放電装置に供給される水分が減少することで放電装置の寿命が延びるといった効果があった。しかし、放電後にオゾンを含有したガスは、高圧放電により発せられる熱エネルギーにより瞬時に昇温し、さらに装置フローによっては放電装置から下流の混合装置（エジェクターやインジェクター）に至る間に、周辺環境温度と供給管での熱交換により外気温と均しく、数℃〜数十℃の状態になって後に水や液体と混合された。オゾンガス温度が上昇することにより、オゾンは自己分解するというヘンリー定数に示される現象が起こり、水中にガスとして送り込まれた際に、水中に溶存保持される効率が低下していた。【０００６】  さらに、これら特許文献においては、エジェクターオリフィス部において混合される水及び液の中で、オゾンガス気泡のキャビテーションが起こり、これに付随して発生するソノルミネッセンス現象すなわち気泡圧縮による熱エネルギー発生による影響については何ら配慮さるものではなかった。原料ガス冷却式オゾン水生成装置のフローを（図６）に示す。【０００７】    一方、気液混合法によりオゾン水を生成する際に、水を冷却して溶存効率を高めるということは例えば特開２００６−１０２５７６において提案されている様に、一般に広く実施されている方法であり、ガス冷却と同じくヘンリー定数に示されるオゾンの温度上昇による自己分解の物性に鑑みて実用化されている。しかし、水または水溶液を冷却する場合は、添加される物により若干の違いはあるが、水が凍結する温度域以下に水温維持することは不可能であり、凡そ０℃以上数℃以内に水温を保持することが限界となっている。【０００８】    また、ガス冷却と同様に、ソノルミネッセンス現象による熱エネルギー発生とその影響について配慮されている例はなかった。水冷却式オゾン水生成装置のフロー図を（図５）に示す。また、あらかじめ微細径で発生させたオゾン等のマイクロバブル気泡に、超音波を印加する等して気泡を収縮させ、圧壊と称せられる気泡の収縮現象により、気泡内に超高圧で超高温な場を発生させ、気泡径５０〜５００ｎｍといった極めて微細な気泡を含有するオゾン水が生成できることは、特開２００５−２４５８１７で提案されている。【０００９】  しかし、この圧壊作用による方法においてもソノルミネッセンス現象により熱エネルギーが発生し、それは計測不能な程瞬間であるが、極めて高温であり、よってオゾンが分解して濃度低下する作用となることについて配慮されたものではなかった。
【特許文献１】  特開２００５−３３４７９７
【特許文献２】  特開２００３−４７８２５
【特許文献３】  特開平５−９７４０５号公報
【特許文献４】  特開２００６−１０２５７６
【特許文献５】  特開２００５−２４５８１７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】  この発明は、エジェクターまたはインジェクターという気液混合装置を用いてオゾンガスを水又は水溶液中に溶存させ、混合時に発生するソノルミネッセンス作用による熱エネルギーにより、気泡内オゾン分子が自己分解することを抑制して、溶存効率と到達濃度を高めることを目的とし、エジェクターに吸引導入されるオゾン含有ガスを冷却し、低温保持できるガス冷却装置を備えたオゾン水生成装置、オゾン水生成方法、オゾン水、オゾン水溶液、及びオゾン水またはオゾン水溶液であり、オゾン水生成装置の小型化や、効果の高い高濃度オゾン水の生成が可能となる。
【課題を解決するための手段】
【００１１】  前記課題を解決し、かつ目的を達成するために、この発明は、以下のように構成した。【００１２】  請求項１に記載の発明は、
エジェクター上流入水路からオリフィス部またはガス吸引導入管接続部を通過して下流排水路へと、通過する水、又は液の原水に、前記オリフィス部近傍に接続した吸引導入管よりオゾンガスを流入させ、気液混合してオゾン水またはオゾン水溶液を生成するオゾン水生成装置であり、
オゾナイザーからエジェクターに至るガス吸引導入管経路内でオゾンガスを、０℃以下の低温に冷却して前記エジェクター内に導入するための、ガス冷却装置を具備したことを特徴とするオゾン水生成装置である。【００１３】  請求項２に記載の発明は、
エジェクター上流入水路からオリフィス部またはガス吸引導入管接続部を通過して下流排水路へと、通過する水、又は液の原水に、前記オリフィス部近傍に接続した吸引導入管よりオゾンガスを流入させ、気液混合してオゾン水またはオゾン水溶液を生成するオゾン水生成方法であり、
ガス冷却装置を具備し、オゾナイザーからエジェクターに至るガス吸引導入管経路内でオゾンガスを、０℃以下の低温に冷却して前記エジェクター内に導入することを特徴とするオゾン水生成方法である。【００１４】  請求項３に記載の発明は、
前記原水が、少なくとも水道水、井戸水、海水、純水、超純水のいずれかの添加物を含まない水を、原水とし、
前記オゾン水を生成することを特徴とする請求項２に記載のオゾン水生成方法である。【００１５】  請求項４に記載の発明は、
前記原水が、少なくとも水道水、井戸水、海水、純水、超純水に、少なくとも硫酸、塩酸、酢酸、過酸化水素のいずれかの添加物を加えた液を、原水とし、
前記オゾン水溶液を生成することを特徴とする請求項２に記載のオゾン水生成方法である。【００１６】  請求項５に記載の発明は、
前記オゾンガスに、少なくとも酸素、水素、窒素、ヘリウム、アンモニアのいずれかのガスを任意に混合または含有せしめ、それを請求項３の水や、請求項４の液に吸引導入させて、気液混合し、
前記オゾン水または前記オゾン水溶液を生成することを特徴とする請求項２に記載のオゾン水生成方法である。【００１７】  請求項６に記載の発明は、
請求項２に記載のオゾン水生成方法を用い、
前記原水が、少なくとも水道水、井戸水、海水、純水、超純水のいずれかの添加物を含まない水を、原水として生成したことを特徴とするオゾン水である。【００１８】  請求項７に記載の発明は、
請求項２に記載のオゾン水生成方法を用い、
前記原水が、少なくとも水道水、井戸水、海水、純水、超純水に、少なくとも硫酸、塩酸、酢酸、過酸化水素のいずれかの添加物を加えた液を、原水として生成したことを特徴とするオゾン水溶液である。【００１９】  請求項８に記載の発明は、
請求項２に記載のオゾン水生成方法を用い、
前記オゾンガスに、少なくとも酸素、水素、窒素、ヘリウム、アンモニアのいずれかのガスを任意に混合または含有せしめ、それを請求項３の水や、請求項４の液に吸引導入させて、気液混合して生成したことを特徴とするオゾン水である。【００２０】  請求項９に記載の発明は、
請求項２に記載のオゾン水生成方法を用い、
前記オゾンガスに、少なくとも酸素、水素、窒素、ヘリウム、アンモニアのいずれかのガスを任意に混合または含有せしめ、それを請求項３の水や、請求項４の液に吸引導入させて、気液混合して生成したことを特徴とするオゾン水またはオゾン水溶液である。
【発明の効果】
【００２１】前記構成により、この発明は、以下のような効果を有する。【００２２】  この発明によれば、多大なエネルギーを必要とする液冷却でなく、熱交換効率の極めて高いガス冷却により極めて高効率なオゾン水またはオゾン水溶液の生成が可能となる。【００２３】  故に、オゾン水生成装置の小型化が可能となり、また高効率化により装置製造コストも削減できることから、用途を拡大して広く普及することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】  以下、この発明のオゾン水生成装置、オゾン水生成方法、オゾン水、オゾン水溶液、及びオゾン水またはオゾン水溶液の実施の形態について説明する。この発明の実施の形態は、発明の最も好ましい形態を示すものであり、この発明はこれに限定されない。【００２５】  オゾンは低温であればあるほど安定して自己分解が少なく、高い温度に曝されると早い速度で分解して酸素に戻る性質を持っている。オゾン水を効率よく生成し、結果高濃度のオゾン水を生成するために、これまでオゾン発生の為の放電の上流において原料ガスを冷却する方法や、一方でオゾンガスを混合する水や水溶液を、冷却保持して分解を抑制する方法が提案され、また実用化されてきた。しかし、オゾンガス冷却は、放電により再度一定の高温に戻されてしまう結果、冷却したまま混合されることは難しかった。水や水溶液の冷却については０℃付近までを限界としてそれより低い水温への冷却は不可能で、十分なオゾン安定化効果を奏することはできなかった。【００２６】  図１に示すエジェクターやインジェクター１を用いてオゾンガスを水中に溶存させる方式では、加圧送水により送水された水は、エジェクターやインジェクター１のエジェクター上流入水路１ａから逆放射状に流路を絞られて高い加圧作用を受け、オリフィス部１６を通過する水流となり、オリフィス部１６で極めて高速な流速に到達し、加圧状態のまま瞬時にオリフィス部１６を通過した後、下流排水路１ｂに向けて流れ、次には放射状に開放する流路により強い真空にさらされてキャビテーションを発生させられる。【００２７】  同時に真空作用によりオリフィス部１６近傍に設けられたガス吸引導入管２０から、オゾンガスが適量に調整されて吸入せられ、オリフィス部１６またはガス吸引導入管４接続部を通過する構造となっている。上記過程に置いては、次の様な現象が起こっていると予想される。すなわち連続する２段階の圧壊作用あるいはソノルミネッセンス作用である。この作用を図１に示している。【００２８】  エジェクター入水路では急速に水圧が高まり、圧力の最も高い地点であるオリフィス部１６で吸引導入されたオゾンガスと激しく混合される。この瞬間に極めて強い加圧衝撃波が発生して水と気泡群に作用するが、加圧の衝撃波により圧壊と称される気泡圧縮の現象が起こる。圧壊で圧縮された微細気泡は、数百気圧以上という内部圧力にまで圧縮され、さらに微細な気泡径へと分子間密度を高めながら小形化する。【００２９】  次に、圧壊作用部すなわち加圧衝撃波域と重なりあって下流側で作用する強い真空により、オリフィス部１６直近の下流で気泡が強い真空に曝されてキャビテーションを発生させる。キャビテーション作用の衝撃で、気泡は変形させられ、真球の形ではなく、歪に変形する。すでに圧壊で小形化された気泡には極めて高い水圧がかかっているが、キャビテーションによる変形により気泡表面の圧力分布に不均衡が発生し、内部圧力に最も弱い箇所に局所的に更なる高圧が掛って気泡の分断が起こる。又、分断された微細気泡は更に強い加圧衝撃波を受けて気泡内部に作用し、小形化を繰返し、高濃度に溶存せしめられる。機械的気泡せん断の微細化モデルを図２に示し、圧壊およびキャビテーションによる気泡の細分化モデルを（図３）に示す。【００３０】    しかし、ここで重要なのは熱エネルギーである。１９９３年以降、例えば２０ｋＨｚ〜１ＭＨｚの超音波を微細気泡に照射して強制的に収縮させた場合、収縮する気泡内に球面状の衝撃波が発生し、気泡内温度は７，０００Ｋから２０，０００Ｋ以上にまで達し、気体のプラズマ化により気泡が発光する現象さえ見られることが報告されている。【００３１】    この現象をソノルミネッセンスというが収縮した気泡内部での高温高圧の持続時間はナノ秒以下であるとされている。気泡に収縮を与える原理が超音波とは異なるものの、オリフィス部１６直近の上流部で発生する加圧衝撃波は圧壊に匹敵するものであり、さらにオリフィス部１６から直近下流の放射状経路で真空により大量なキャビテーションが起こり、気泡が分断されて後に２段階目の圧壊作用が連続して発生していると思われる。高速でオリフィス部１６を水と気泡が通過する短い間隙において、圧壊を起こす加圧衝撃波と、真空によるキャビテーションの衝撃波をナノ秒に近い状態で作用させられることにより大量の微細気泡に対してソノルミネッセンス作用が施されているとするとその発生場所たるオリフィス部１６とその下流では瞬間で水と熱交換されるとは云え、プラズマ化して発光する程の極めて高い熱エネルギーが気泡内に発生して、オゾンは多量に分解させていることが予想された。【００３２】    そこで、発明者らはオゾンガスをオリフィス部１６へと吸引導入する直前に急速冷却して０℃以下、さらに望ましくはマイナス数十℃以下に冷却して低温保持してエジェクター吸引導入部に供給し、ソノルミネッセンスによるプラズマ発光と発熱によるオゾン分解のダメージを軽減することが重要と考え、それを実施したところオゾン水の生成効率が向上できることを発見した。【００３３】    すなわち、図４に示すように、オゾナイザー３からエジェクター１に至るガス吸引導入管経路内でオゾンガスを、０℃以下の低温に冷却してエジェクター内に導入するための、ガス冷却装置２を具備した。【００３４】    尚、ガス冷却装置２はエジェクターのガス吸引導入部に直接接続していることが望ましいが、同吸引導入部より上流でガス冷却装置２とガス導入路で接続され、相互の間が十分な保温効果のある材料で被覆断熱された形態のものでも可能である。【００３５】    尚、実施例ではガス冷却装置２にペルチェ式を用いたが、十分なオゾンガス冷却ができるものであれば、装置方式に制限をするものではない。また、混合装置としてのエジェクターやインジェクター１等混合機構についてその構造に制限をするもではなく、気液混合をキャビテーション作用を伴って行うもであればどの様な混合装置にでも適用が可能なものである。図４は、この発明のガス冷却混合法によるオゾン水生成装置のフロー図である。【００３６】  また、原水が、少なくとも水道水、井戸水、海水、純水、超純水のいずれかの添加物を含まない水を、原水とすることで、オゾン水を生成することができる。【００３７】  また、原水が、少なくとも水道水、井戸水、海水、純水、超純水に、少なくとも硫酸、塩酸、酢酸、過酸化水素のいずれかの添加物を加えた液を、原水とすることで、オゾン水溶液��生成することができる。【００３８】  また、オゾンガスに、少なくとも酸素、水素、窒素、ヘリウム、アンモニアのいずれかのガスを任意に混合または含有せしめ、それを前記した水や、前記した液に吸引導入させて、気液混合することで、オゾン水またはオゾン水溶液を生成することができる。
【実施例】
【００３９】  実施例について、図７に示す実証試験機フロー図を基に、実施形態とその効果について詳細を説明する。実証試験機は以下に示す仕様のものを、同じく示す条件にて運転してオゾン水を生成した。用いた水は水道水（東京都世田谷区内）である。まず実容量５５リットルのタンク５満槽に給水し、０．４ｋｗ／ｈのカスケード式循環ポンプ６により加圧送水してオリフィス径２．５φのエジェクター１に毎分１０リットル通水し、圧力調整バルブ１５で循環経路内を０．４５ＭＰａになる条件で循環させた。【００４０】  エジェクター１内の水圧を適正にするために圧力計１１で確認しながら調整した。圧力調整バルブ１５より下流でタンク５に戻る経路は大気圧となる。タンク上部からは未溶存で脱気するオゾンガスの排出経路を設け、排オゾン分解装置を経て機外に排出した。一方、酸素濃度９５％に調整した酸素ガスを毎分４リットルでオゾナイザー３に供給し、放電をしてオゾンガスとしてエジェクター１に吸引導入した。この時のオゾンガス濃度は４．８ｇ／Ｎｍ３であった。【００４１】  オゾンガスがエジェクター１に導入される経路はテフロン製チューブであったが、チューブを直接冷却する構造にしてペルチェ式ガス冷却装置２を配置し凡そマイナス１０℃にオゾンガス温度が安定する様に調整した。循環に伴って溶存オゾン濃度は上昇するが、循環ポンプ６からエジェクター１に向かう経路よりサンプリング液を採取できる経路を設け、紫外線吸収式による溶存オゾン濃度計１２を用いて連続的に濃度を計測した。尚、対象となる水（およびオゾン水）の水温は４００ｗのチラー７を２台の自動温度調整により一律プラス１５℃に維持した。【００４２】  この運転条件にて、先ず溶存オゾン濃度の上昇について、ガス冷却によりマイナス１０℃に冷却したオゾンガスを導入した場合と、ガス冷却を行わずにプラス３５℃にてガス導入を行った場合を比較した。図８の表１に示す通り、吸引導入されるオゾンガス温度のみ異なる比較によれば、冷却したオゾンを用いた場合に３０％もの有意な濃度上昇が認められた。この結果により、気液混合部上流でオゾンガスを冷却すると、熱エネルギーにより自己分解して失われるオゾンが、分解抑制されて多く残存することが判る。【００４３】  前述濃度上昇に関する試験に引き続き、装置停止後にそれぞれオゾンガスの供給を停止して、濃度低下の推移を計測して濃度低下率に関する比較試験を実施した。装置は、オゾン供給ラインを停止するとともに、循環経路の電磁弁１３を閉止し、循環ポンプ６の出力をインバーター１４により１０％以下に低下させ、溶存オゾン濃度計１２へのサンプル液供給のみ可能な状態で維持した。濃度低下率試験の際にも水温は１５℃、タンク５内の圧力は大気圧であった。タンク５には、排オゾン分解装置１０が接続されている。【００４４】  結果は、図９の表２の通り、オゾンガスを冷却して混合した場合には５時間経過後にも極めて安定したオゾン濃度が維持され、冷却しない場合とは著しい違いが生じた。この結果から、オゾンの分解がガス冷却により抑制されたことに加え、圧壊やソノルミネッセンス作用を強く受ける気泡径の微細なオゾンに効果が及んだことにより、浮上しにくいマイクロバブルが高濃���オゾンにより満たされたことと予想された。オゾンの高濃度化技術として、また同時に安定化技術として、このガス冷却混合法が極めて有効であることを確認し、発明を完了した。
【産業上の利用可能性】
【００４５】  この発明は、原水に、オゾンガスを流入させ、気液混合してオゾン水またはオゾン水溶液を生成するオゾン水生成装置及びオゾン水生成方法に適用可能であり、オゾンガスを水又は水溶液中に溶存させ、混合時に発生するソノルミネッセンス作用による熱エネルギーにより、気泡内オゾン分子が自己分解することを抑制して、溶存効率と到達濃度を高めることを目的とし、エジェクターに吸引導入されるオゾン含有ガスを冷却し、低温保持できるガス冷却装置を備え、オゾン水生成装置の小型化や、効果の高い高濃度オゾン水の生成が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】エジェクター内の作用を示した図である。
【図２】機械的せん断による気泡微細化のモデル図である。
【図３】圧壊およびキャビテーション作用による気泡微細化のモデル図である。
【図４】ガス冷却混合法（当発明技術）によるオゾン水生成装置フロー図である。
【図５】従来式／水冷式オゾン水生成装置フロー図である。
【図６】従来式／原料ガス冷却式オゾン水生成装置フロー図である。
【図７】図７は、実証試験機フロー図である。
【図８】溶存オゾン濃度上昇率計測データである。
【図９】溶存オゾン濃度低下率計測データである。
【符号の説明】
【００４７】１    エジェクターまたはインジェクター
２    ガス冷却装置
３    オゾナイザー
４    ガス吸引導入管
５    タンク
６    循環ポンプ
７    チラー
８    水冷却ポンプ
９    原料ガス冷却装置
１０  排オゾン分解装置
１１  圧力計
１２  溶存オゾン濃度計
１３  電磁弁
１４  インバーター
１５  圧力調整バルブ
１６  オリフィス部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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