(57)【要約】【課題】分光特性の浮きを改善し、原色フィルタの色再現性を向上させることを目的とする。【解決手段】以上のように、フィルタとして原色フィルタと補色フィルタを積層することにより、分光特性の浮きを改善し、原色フィルタの色再現性を向上させることができる。【選択図】図１
2009289768.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体撮像素子基板上に形成される複数のフォトダイオードと、
前記フォトダイオードのうちのレッドを受光する前記フォトダイオードの上に形成されるレッドを再現するために用いるカラーフィルタと、
前記フォトダイオードのうちのグリーンを受光する前記フォトダイオードの上に形成されるグリーンを再現するために用いるカラーフィルタと、
前記フォトダイオードのうちのブルーを受光する前記フォトダイオードの上に形成されるブルーを再現するために用いるカラーフィルタと
を備え、前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタあるいは前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタあるいは前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタのうちの少なくとも１つがレッドフィルタ、グリーンフィルタ、ブルーフィルタ、シアンフィルタ、あるいはイエローフィルタのうちの少なくとも２つを積層して形成されることを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタは、レッドフィルタと第１のイエローフィルタが積層して形成され、
前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタは、第２のイエローフィルタと第１のシアンフィルタが積層して形成され、
前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタは、第２のシアンフィルタとブルーフィルタが積層して形成されることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタは、レッドフィルタと第１のイエローフィルタが積層して形成され、
前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタは、第２のイエローフィルタとシアンフィルタが積層して形成され、
前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタは、ブルーフィルタの単層であることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタは、レッドフィルタとイエローフィルタが積層して形成され、
前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタは、グリーンフィルタの単層であり、
前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタは、シアンフィルタとブルーフィルタが積層して形成されることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタは、レッドフィルタとイエローフィルタが積層して形成され、
前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタは、グリーンフィルタの単層であり、
前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタは、ブルーフィルタの単層であることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタは、レッドフィルタの単層であり、
前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタは、グリーンフィルタの単層であり、
前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタは、シアンフィルタとブルーフィルタが積層して形成されることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタは、レッドフィルタの単層であり、
前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタは、イエローフィルタと第１のシアンフィルタが積層して形成され、
前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタは、第２のシアンフィルタとブルーフィルタが積層して形成されることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記第１のイエローフィルタと前記第２のイエローフィルタとが同一層であることを特徴とする請求項２または請求項３のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項９】
前記第１のシアンフィルタと前記第２のシアンフィルタとが同一層であることを特徴とする請求項２または請求項７のいずれかに記載の固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、色フィルタを備える固体撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、固体撮像装置は画素サイズの微細化が進んでいる。微細化が進むことにより固体撮像装置の感度劣化が著しくなってきている。このために、受光出力を向上させるためにカラーフィルタ分光を淡色化するなどして対策を行う場合がある。
【０００３】
以下、図８〜図１１を用いて従来の固体撮像装置について説明する。
図８は従来の固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図、図９は従来の固体撮像装置で得られるカラーフィルタの分光特性を示す図、図１０は従来のマゼンタフィルタおよびイエローフィルタならびにシアンフィルタを用いた固体撮像装置の構造を示す断面図である。図１１は従来のマゼンタフィルタおよびイエローフィルタならびにシアンフィルタを用いた固体撮像装置で得られるカラーフィルタの分光特性を示す図であり、図１１（ａ）は補色フィルタ単体での分光特性を示す図であり、図１１（ｂ）は積層後のフィルタにおける分光特性を示す図である。
【０００４】
まず、図８を用いて従来のカラーフィルタ分光を淡色化した固体撮像装置の製造方法を説明する。
図８（ａ）に示されるように、固体撮像素子基板１および入射光を電気信号に変換するための受光部２の凹凸表面上にアクリル樹脂を全面回転塗布した後、加熱乾燥させてアクリル平坦化膜３を形成する。
【０００５】
次に、図８（ｂ）に示すように、グリーンのカラーレジストをアクリル平坦化膜３上に回転塗布した後で、フォトマスクを用いて所定のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をグリーンカラーレジストに照射し、各画素に分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、グリーンフィルタ４Ｇを形成する。
【０００６】
次に、図８（ｃ）に示すように、ブルーのカラーレジストをアクリル平坦化膜３上に回転塗布した後で、フォトマスクを用いて所定のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をブルーカラーレジストに照射し、各画素に分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、ブルーフィルタ４Ｂを形成する。
【０００７】
次に、図８（ｄ）に示すように、レッドのカラーレジストをアクリル平坦化膜３上に回転塗布した後で、フォトマスクを用いて所定のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をレッドのカラーレジストに照射し、各画素に分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、レッドフィルタ４Ｒを形成する。
【０００８】
最後に、図８（ｅ）に示すようにカラーフィルタ４Ｒ、４Ｇ、４Ｂ上に、例えばアクリル系の樹脂よりなる合成樹脂膜を全面回転塗布した後、低温乾燥させる。この後、フォトマスクを用いて所定のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光を合成樹脂膜に照射し、各画素に分離独立するように合成樹脂膜をパターンニングする。次に、前記合成樹脂膜に対して紫外線による全面露光を行い、可視光領域の透過率を全領域で９０％以上に向上させる。次に、全面加熱溶融処理（リフロー）を行い、前記合成樹脂膜を画素毎に所望とする曲率をもった上凸型の半球状に熱変形させ、マイクロレンズ５を形成する。このようにして固体撮像装置を製造する。
【０００９】
図９は、図８（ａ）〜図８（ｅ）で形成された固体撮像装置で得られる原色レッドフィルタ４Ｒの分光特性、グリーンフィルタ４Ｇの分光特性、ブルーフィルタ４Ｂの分光特性を示している。
【００１０】
図９に示すように、レッドフィルタ特性の短波長領域４００〜４５０ｎｍ付近において、分光率が上昇する浮きが発生し、また、ブルーフィルタ特性の長波長領域６００〜７００ｎｍ付近でも分光率が上昇する浮きが発生する。短波長領域４００〜４５０ｎｍ付近はブルーの色再現性に影響の大きな波長領域であり、長波長領域６００〜７００ｎｍ付近はレッドの色再現性に影響の大きな波長領域であるため、レッドフィルタ特性の短波長領域４００〜４５０ｎｍ付近における浮きがブルーの色再現性を劣化させ、ブルーフィルタ特性の長波長領域６００〜７００ｎｍ付近における浮きがレッドの色再現性を劣化させるという問題があった。
【００１１】
その対策の例として、図１０に示すように、レッドフィルタをマゼンタフィルタ４Ｍとイエローフィルタ４Ｙを積層することにより構成し、ブルーフィルタとしてマゼンタフィルタ４Ｍとシアンフィルタ４Ｃを積層することで構成している。一般に、フィルタを積層して形成した場合、積層後の分光特性は、積層される各フィルタの分光特性における波長毎の積で決定される。そのため、図１１（ａ）に示すフィルタを積層して各カラーフィルタを構成した場合、図１１（ｂ）に示すように、積層したレッドフィルタにおける短波長領域４００〜４５０ｎｍ付近の分光特性の浮きを単色のレッドフィルタにおける分光特性の浮きより抑え、積層したブルーフィルタにおける長波長領域６００〜７００ｎｍ付近の分光特性の浮きを単色のブルーフィルタにおける分光特性の浮きより抑えている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−２９４７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、レッドがマゼンタフィルタ４Ｍとイエローフィルタ４Ｙの補色フィルタで形成され、ブルーがマゼンタフィルタ４Ｍとシアンフィルタ４Ｃの補色フィルタで形成された構成では、近年のさらなる色再現性の向上の要求を満足することができないという問題点があった。
【００１３】
本発明の固体撮像装置は、レッドフィルタ分光のデメリットである短波長領域（４００〜４５０ｎｍ付近）の分光特性の浮き、及び、ブルーフィルタ分光のデメリットである長波長領域（６００〜７００ｎｍ付近）の分光特性の浮きを改善し、原色フィルタの色再現性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記の目的を達成するために、本発明の固体撮像装置は、固体撮像素子基板上に形成される複数のフォトダイオードと、前記フォトダイオードのうちのレッドを受光する前記フォトダイオードの上に形成されるレッドを再現するために用いるカラーフィルタと、前記フォトダイオードのうちのグリーンを受光する前記フォトダイオードの上に形成されるグリーンを再現するために用いるカラーフィルタと、前記フォトダイオードのうちのブルーを受光する前記フォトダイオードの上に形成されるブルーを再現するために用いるカラーフィルタとを備え、前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタあるいは前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタあるいは前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタのうちの少なくとも１つがレッドフィルタ、グリーンフィルタ、ブルーフィルタ、シアンフィルタ、あるいはイエローフィルタのうちの少なくとも２つを積層して形成されることを特徴とする。
【００１５】
また、前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタは、レッドフィルタと第１のイエローフィルタが積層して形成され、前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタは、第２のイエローフィルタと第１のシアンフィルタが積層して形成され、前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタは、第２のシアンフィルタとブルーフィルタが積層して形成されることを特徴とする。
【００１６】
また、前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタは、レッドフィルタと第１のイエローフィルタが積層して形成され、前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタは、第２のイエローフィルタとシアンフィルタが積層して形成され、前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタは、ブルーフィルタの単層であることを特徴とする。
【００１７】
また、前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタは、レッドフィルタとイエローフィルタが積層して形成され、前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタは、グリーンフィルタの単層であり、前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタは、シアンフィルタとブルーフィルタが積層して形成されることを特徴とする。
【００１８】
また、前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタは、レッドフィルタとイエローフィルタが積層して形成され、前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタは、グリーンフィルタの単層であり、前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタは、ブルーフィルタの単層であることを特徴とする。
【００１９】
また、前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタは、レッドフィルタの単層であり、前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタは、グリーンフィルタの単層であり、前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタは、シアンフィルタとブルーフィルタが積層して形成されることを特徴とする。
【００２０】
また、前記レッドを再現するために用いるカラーフィルタは、レッドフィルタの単層であり、前記グリーンを再現するために用いるカラーフィルタは、イエローフィルタと第１のシアンフィルタが積層して形成され、前記ブルーを再現するために用いるカラーフィルタは、第２のシアンフィルタとブルーフィルタが積層して形成されることを特徴とする。
【００２１】
また、前記第１のイエローフィルタと前記第２のイエローフィルタとが同一層であることを特徴とすることを特徴とする。
また、前記第１のシアンフィルタと前記第２のシアンフィルタとが同一層であることを特徴とする。
【００２２】
以上により、分光特性の浮きを改善し、原色フィルタの色再現性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００２３】
以上のように、フィルタとして原色フィルタと補色フィルタを積層することにより、分光特性の浮きを改善し、原色フィルタの色再現性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態に係る固体撮像装置について、図面を参照しながら説明する。
【００２５】
図１は第１の実施形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
図２は第１の実施形態における固体撮像装置で得られる分光特性を示す図であり、図２（ａ）はブルーの分光特性を示す図、図２（ｂ）はレッドの分光特性を示す図である。
【００２６】
この固体撮像装置は、図１（ｆ）に示すように、固体撮像素子基板１と、固体撮像素子基板１内に形成されたフォトダイオードである複数の受光部２と、受光部２上に形成されたアクリル平坦化膜３と、アクリル平坦化膜３上に形成されたブルーフィルタ４Ｂおよびイエローフィルタ４Ｙと、ブルーフィルタ４Ｂとイエローフィルタ４Ｙ上に形成されたシアンフィルタ４Ｃと、イエローフィルタ４Ｙ上に形成されたレッドフィルタ４Ｒと、複数の受光部２のそれぞれの上方に位置し、入射光をそれぞれ下方に位置する受光部２に集光する複数のマイクロレンズ５から構成される。また、固体撮像装置は、原色レッド、グリーン、ブルーの色を再現しなければならないが、ブルーの色を再現するためにブルーフィルタ４Ｂ上にシアンフィルタ４Ｃを積層し、グリーンの色を再現するために、イエローフィルタ４Ｙ上にシアンフィルタ４Ｃを積層し、レッドの色を再現するために、イエローフィルタ４Ｙ上にレッドフィルタ４Ｒを積層している。
【００２７】
このように、ブルーの色を再現するためにブルーフィルタ４Ｂ上にシアンフィルタ４Ｃを積層しているため、図２（ａ）に示すように、積層後のフィルタの分光特性はブルーフィルタ４Ｂとシアンフィルタ４Ｃの分光特性によって決まり、積層後のブルーの分光特性における、レッドの分光特性に与える影響の大きい長波長領域６００ｎｍ〜７００付近の浮きを、ブルーの色を再現するためにマゼンタフィルタ４Ｍ上にイエローフィルタ４Ｙを積層した場合よりさらに改善することができ、レッドの色再現性を向上させることができる。
【００２８】
また、レッドの色を再現するためにイエローフィルタ４Ｙ上にレッドフィルタ４Ｒを積層しているため、図２（ｂ）に示すように、積層後のフィルタの分光特性はイエローフィルタ４Ｙとレッドフィルタ４Ｒの分光特性によって決まり、積層後のレッドの分光特性における、ブルーの分光特性に与える影響の大きい短波長領域４００〜４５０ｎｍ付近の浮きを、レッドの色を再現するためにマゼンタフィルタ４Ｍ上にシアンフィルタ４Ｃを積層した場合よりさらに改善することができ、ブルーの色再現性を向上させることができる。
【００２９】
図１（ａ）〜図１（ｆ）は、本実施形態の固体撮像装置の形成方法を示したものである。
図１（ａ）に示されるように、固体撮像素子基板１および入射光を電気信号に変換するための受光部２の凹凸表面上にアクリル樹脂を全面回転塗布した後、加熱乾燥させてアクリル平坦化膜３を形成する。
【００３０】
次に図１（ｂ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３上にブルーのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてブルー画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をブルーカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、ブルーフィルタ４Ｂを形成する。
【００３１】
次に、図１（ｃ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３、前記ブルーフィルタ４Ｂ上にイエローのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてグリーン画素用とレッド画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をイエローカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、イエローフィルタ４Ｙを形成する。このとき、イエローフィルタ４Ｙの膜厚は、ブルーフィルタ４Ｂと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００３２】
次に、図１（ｄ）に示すように、前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記イエローフィルタ４Ｙ上にシアンのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてブルー画素用とグリーン画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をシアンのカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、シアンフィルタ４Ｃを形成する。
【００３３】
次に、図１（ｅ）に示すように、前記シアンフィルタ４Ｃ、前記イエローフィルタ４Ｙ上にレッドのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてレッド画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をレッドのカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しレッドフィルタ４Ｒを形成する。このとき、レッドフィルタ４Ｒの膜厚は、シアンフィルタ４Ｃと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００３４】
ことのき、カラーレジストは、ネガ型レジスト、ポジ型レジストいずれでもかまわないし、顔料系、染料系いずれでもかまわない。
また、各カラーフィルタの形成順は、原色のブルーフィルタ４Ｂと補色のシアンフィルタ４Ｃ、補色のイエローフィルタ４Ｙと補色のシアンフィルタ４Ｃ、原色のレッドフィルタ４Ｒと補色のイエローフィルタ４Ｙが積層されるのであれば問わない。
【００３５】
また、本実施例では、グリーンの色を再現するために用いるイエローフィルタとレッドの色を再現するために用いるイエローフィルタとを同時に形成する場合を例に説明したが、それぞれ独立に形成してもかまわない。
【００３６】
次に、図１（ｆ）に示すように前記シアンフィルタ４Ｃ、前記レッドフィルタ４Ｒ上に、例えばアクリル系の樹脂よりなる合成樹脂膜を全面回転塗布した後、低温乾燥させる。この後、フォトマスクを用いて所定のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光を合成樹脂膜に照射し、各画素に分離独立するように合成樹脂膜をパターンニングする。次に、前記合成樹脂膜に対して紫外線による全面露光を行い、可視光領域の透過率を全領域で９０％以上に向上させる。次に、全面加熱溶融処理（リフロー）を行い、前記合成樹脂膜を所望とする曲率をもった上凸型の半球状に熱変形させ、マイクロレンズ５を形成する。
（第２の実施形態）
図３は第２の実施形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【００３７】
この固体撮像装置は、図３（ｆ）に示すように、固体撮像素子基板１と、固体撮像素子基板１内に形成されたフォトダイオードである複数の受光部２と、受光部２上に形成されたアクリル平坦化膜３と、アクリル平坦化膜３上に形成されたブルーフィルタ４Ｂおよびイエローフィルタ４Ｙと、イエローフィルタ４Ｙ上に形成されたシアンフィルタ４Ｃと、イエローフィルタ４Ｙ上に形成されたレッドフィルタ４Ｒと、複数の受光部２のそれぞれの上方に位置し、入射光をそれぞれ下方に位置する受光部２に集光する複数のマイクロレンズ５から構成される。また、固体撮像装置は、原色レッド、グリーン、ブルーの色を再現しなければならないが、ブルーの色を再現するためにブルーフィルタ４Ｂを単層で形成し、グリーンの色を再現するために、イエローフィルタ４Ｙ上にシアンフィルタ４Ｃを積層し、レッドの色を再現するために、イエローフィルタ４Ｙ上にレッドフィルタ４Ｒを積層している。
【００３８】
このように、レッドの色を再現するためにイエローフィルタ４Ｙ上にレッドフィルタ４Ｒを積層しているため、図２（ｂ）に示すように、積層後のフィルタの分光特性はイエローフィルタ４Ｙとレッドフィルタ４Ｒの分光特性によって決まり、積層後のレッドの分光特性における、ブルーの分光特性に与える影響の大きい短波長領域４００〜４５０ｎｍ付近の浮きを、レッドの色を再現するためにマゼンタフィルタ４Ｍ上にシアンフィルタ４Ｃを積層した場合よりさらに改善することができ、ブルーの色再現性を向上させることができる。
【００３９】
図３（ａ）〜図３（ｆ）は、本実施形態の固体撮像装置の形成方法を示したものである。
図３（ａ）に示されるように、固体撮像素子基板１および入射光を電気信号に変換するための受光部２の凹凸表面上にアクリル樹脂を全面回転塗布した後、加熱乾燥させてアクリル平坦化膜３を形成する。
【００４０】
次に、図３（ｂ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３上にブルーのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてブルー画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をブルーカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、ブルーフィルタ４Ｂを形成する。
【００４１】
次に、図３（ｃ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３、前記ブルーフィルタ４Ｂ上にイエローのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてグリーン画素用とレッド画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をイエローカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、イエローフィルタ４Ｙを形成する。このとき、イエローフィルタ４Ｙの膜厚は、ブルーフィルタ４Ｂと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００４２】
次に、図３（ｄ）に示すように、前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記イエローフィルタ４Ｙ上にシアンのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてグリーン画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をシアンのカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、シアンフィルタ４Ｃを形成する。
【００４３】
次に、図３（ｅ）に示すように、前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記シアンフィルタ４Ｃ、前記イエローフィルタ４Ｙ上にレッドのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてレッド画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をレッドのカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、レッドフィルタ４Ｒを形成する。このとき、レッドフィルタ４Ｒの膜厚は、シアンフィルタ４Ｃと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００４４】
ことのき、カラーレジストは、ネガ型レジスト、ポジ型レジストいずれでもかまわないし、顔料系、染料系いずれでもかまわない。
また、各カラーフィルタの形成順は、補色のイエローフィルタ４Ｙと補色のシアンフィルタ４Ｃ、原色のレッドフィルタ４Ｒと補色のイエローフィルタ４Ｙが積層されるのであれば問わない。
【００４５】
また、本実施例では、グリーンの色を再現するために用いるイエローフィルタとレッドの色を再現するために用いるイエローフィルタとを同時に形成する場合を例に説明したが、それぞれ独立に形成してもかまわない。
【００４６】
最後に、図３（ｆ）に示すように前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記シアンフィルタ４Ｃ、前記レッドフィルタ４Ｒ上に、例えばアクリル系の樹脂よりなる合成樹脂膜を全面回転塗布した後、低温乾燥させる。この後、フォトマスクを用いて所定のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光を合成樹脂膜に照射し、各画素に分離独立するように合成樹脂膜をパターンニングする。次に、前記合成樹脂膜に対して紫外線による全面露光を行い、可視光領域の透過率を全領域で９０％以上に向上させる。次に、全面加熱溶融処理（リフロー）を行い、前記合成樹脂膜を所望とする曲率をもった上凸型の半球状に熱変形させ、マイクロレンズ５を形成する。
（第３の実施形態）
図４は第３の実施形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【００４７】
この固体撮像装置は、図４（ｇ）に示すように、固体撮像素子基板１と、固体撮像素子基板１内に形成されたフォトダイオードである複数の受光部２と、受光部２上に形成されたアクリル平坦化膜３と、アクリル平坦化膜３上に形成されたブルーフィルタ４Ｂおよびグリーンフィルタ４Ｇならびにレッドフィルタ４Ｒと、ブルーフィルタ４Ｂ上に形成されたシアンフィルタ４Ｃと、レッドフィルタ４Ｒ上に形成されたイエローフィルタ４Ｙと、複数の受光部２のそれぞれの上方に位置し、入射光をそれぞれ下方に位置する受光部２に集光する複数のマイクロレンズ５から構成される。また、固体撮像装置は、原色レッド、グリーン、ブルーの色を再現しなければならないが、ブルーの色を再現するためにブルーフィルタ４Ｂ上にシアンフィルタ４Ｃを積層し、グリーンの色を再現するために、グリーンフィルタ４Ｇを単層で形成し、レッドの色を再現するために、イエローフィルタ４Ｙをレッドフィルタ４Ｒ上に積層している。
【００４８】
このように、ブルーの色を再現するためにブルーフィルタ４Ｂ上にシアンフィルタ４Ｃを積層しているため、図２（ａ）に示すように、積層後のフィルタの分光特性はブルーフィルタ４Ｂとシアンフィルタ４Ｃの分光特性によって決まり、積層後のブルーの分光特性における、レッドの分光特性に与える影響の大きい長波長領域６００ｎｍ〜７００付近の浮きを、ブルーの色を再現するためにマゼンタフィルタ４Ｍ上にイエローフィルタ４Ｙを積層した場合よりさらに改善することができ、レッドの色再現性を向上させることができる。
【００４９】
また、レッドの色を再現するためにイエローフィルタ４Ｙ上にレッドフィルタ４Ｒを積層しているため、図２（ｂ）に示すように、積層後のフィルタの分光特性はイエローフィルタ４Ｙとレッドフィルタ４Ｒの分光特性によって決まり、積層後のレッドの分光特性における、ブルーの分光特性に与える影響の大きい短波長領域４００〜４５０ｎｍ付近の浮きを、レッドの色を再現するためにマゼンタフィルタ４Ｍ上にシアンフィルタ４Ｃを積層した場合よりさらに改善することができ、ブルーの色再現性を向上させることができる。
【００５０】
図４（ａ）〜図４（ｇ）は、本実施形態の固体撮像装置の形成方法を示したものである。
図４（ａ）に示されるように、固体撮像素子基板１および入射光を電気信号に変換するための受光部２の凹凸表面上にアクリル樹脂を全面回転塗布した後、加熱乾燥させてアクリル平坦化膜３を形成する。
【００５１】
次に、図４（ｂ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３上にブルーのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてブルー画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をブルーカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、ブルーフィルタ４Ｂを形成する。
【００５２】
次に、図４（ｃ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３、前記ブルーフィルタ４Ｂ上にグリーンのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてグリーン画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をグリーンカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、グリーンフィルタ４Ｇを形成する。このとき、グリーンフィルタ４Ｇの膜厚は、ブルーフィルタ４Ｂと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００５３】
次に、図４（ｄ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３、前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記グリーンフィルタ４Ｇ上にレッドのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてレッド画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をレッドカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、レッドフィルタ４Ｒを形成する。このとき、レッドフィルタ４Ｒの膜厚は、ブルーフィルタ４Ｂ、グリーンフィルタ４Ｇと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００５４】
次に、図４（ｅ）に示すように、前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記グリーンフィルタ４Ｇ、前記レッドフィルタ４Ｒ上にシアンのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてブルー画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をシアンのカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しシアンフィルタ４Ｃを形成する。
【００５５】
次に、図４（ｆ）に示すように、前記シアンフィルタ４Ｃ、前記グリーンフィルタ４Ｇ、前記レッドフィルタ４Ｒ上にイエローのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてレッド画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等等の紫外光をイエローのカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しイエローフィルタ４Ｙを形成する。このとき、イエローフィルタ４Ｙの膜厚は、シアンフィルタ４Ｃと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００５６】
さらに、カラーレジストは、ネガ型レジスト、ポジ型レジストいずれでもかまわないし、顔料系、染料系いずれでもかまわない。
また、各カラーフィルタの形成順は、原色のブルーフィルタ４Ｂと補色のシアンフィルタ４Ｃ、原色のレッドフィルタ４Ｒと補色のイエローフィルタ４Ｙが積層されるのであれば問わない。
【００５７】
最後に、図４（ｇ）に示すように前記シアンフィルタ４Ｃ、前記グリーンフィルタ４Ｇ、前記イエローフィルタ４Ｙ上に、例えばアクリル系の樹脂よりなる合成樹脂膜を全面回転塗布した後、低温乾燥させる。この後、フォトマスクを用いて所定のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光を合成樹脂膜に照射し、各画素に分離独立するように合成樹脂膜をパターンニングする。次に、前記合成樹脂膜に対して紫外線による全面露光を行い、可視光領域の透過率を全領域で９０％以上に向上させる。次に、全面加熱溶融処理（リフロー）を行い、前記合成樹脂膜を所望とする曲率をもった上凸型の半球状に熱変形させ、マイクロレンズ５を形成する。
（第４の実施形態）
図５は第４の実施形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【００５８】
この固体撮像装置は、図５（ｆ）に示すように、固体撮像素子基板１と、固体撮像素子基板１内に形成されたフォトダイオードである複数の受光部２と、受光部２上に形成されたアクリル平坦化膜３と、アクリル平坦化膜３上に形成されたブルーフィルタ４Ｂ、グリーンフィルタ４Ｇ、レッドフィルタ４Ｒと、レッドフィルタ４Ｒ上に形成されたイエローフィルタ４Ｙと、複数の受光部２のそれぞれの上方に位置し、入射光をそれぞれ下方に位置する受光部２に集光する複数のマイクロレンズ５から構成される。また、固体撮像装置は、原色レッド、グリーン、ブルーの色を再現しなければならないが、ブルーの色を再現するためにブルーフィルタ４Ｂを単層で形成し、グリーンの色を再現するために、グリーンフィルタ４Ｇを単層で形成し、レッドの色を再現するために、レッドフィルタ４Ｒ上にイエローフィルタ４Ｙを積層している。
【００５９】
このように、レッドの色を再現するためにイエローフィルタ４Ｙ上にレッドフィルタ４Ｒを積層しているため、図２（ｂ）に示すように、積層後のフィルタの分光特性はイエローフィルタ４Ｙとレッドフィルタ４Ｒの分光特性によって決まり、積層後のレッドの分光特性における、ブルーの分光特性に与える影響の大きい短波長領域４００〜４５０ｎｍ付近の浮きを、レッドの色を再現するためにマゼンタフィルタ４Ｍ上にシアンフィルタ４Ｃを積層した場合よりさらに改善することができ、ブルーの色再現性を向上させることができる。
【００６０】
図５（ａ）〜図５（ｆ）は、本実施形態の固体撮像装置の形成方法を示したものである。
図５（ａ）に示されるように、固体撮像素子基板１および入射光を電気信号に変換するための受光部２の凹凸表面上にアクリル樹脂を全面回転塗布した後、加熱乾燥させてアクリル平坦化膜３を形成する。
【００６１】
次に、図５（ｂ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３上にブルーのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてブルー画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をブルーカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しブルーフィルタ４Ｂを形成する。
【００６２】
次に、図５（ｃ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３、前記ブルーフィルタ４Ｂ上にグリーンのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてグリーン画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をグリーンカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥し、グリーンフィルタ４Ｇを形成する。このとき、グリーンフィルタ４Ｇの膜厚は、ブルーフィルタ４Ｂと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００６３】
次に、図５（ｄ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３、前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記グリーンフィルタ４Ｇ上にレッドのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてレッド画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をレッドカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しレッドフィルタ４Ｒを形成する。このとき、レッドフィルタ４Ｒの膜厚は、ブルーフィルタ４Ｂ、グリーンフィルタ４Ｇと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００６４】
次に、図５（ｅ）に示すように、前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記グリーンフィルタ４Ｇ、前記レッドフィルタ４Ｒ上にイエローのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてレッド画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をイエローのカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しイエローフィルタ４Ｙを形成する。
【００６５】
さらに、カラーレジストは、ネガ型レジスト、ポジ型レジストいずれでもかまわないし、顔料系、染料系いずれでもかまわない。
また、各カラーフィルタの形成順は、原色のレッドフィルタ４Ｒと補色のイエローフィルタ４Ｙが積層されるのであれば問わない。
【００６６】
最後に、図５（ｆ）に示すように前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記グリーンフィルタ４Ｇ、前記イエローフィルタ４Ｙ上に、例えばアクリル系の樹脂よりなる合成樹脂膜を全面回転塗布した後、低温乾燥させる。この後、フォトマスクを用いて所定のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光を合成樹脂膜に照射し、各画素に分離独立するように合成樹脂膜をパターンニングする。次に、前記合成樹脂膜に対して紫外線による全面露光を行い、可視光領域の透過率を全領域で９０％以上に向上させる。次に、全面加熱溶融処理（リフロー）を行い、前記合成樹脂膜を所望とする曲率をもった上凸型の半球状に熱変形させ、マイクロレンズ５を形成する。
（第５の実施形態）
図６は第５の実施形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【００６７】
この固体撮像装置は、図６（ｆ）に示すように、固体撮像素子基板１と、固体撮像素子基板１内に形成されたフォトダイオードである複数の受光部２と、受光部２上に形成されたアクリル平坦化膜３と、アクリル平坦化膜３上に形成されたブルーフィルタ４Ｂおよびグリーンフィルタ４Ｇならびにレッドフィルタ４Ｒと、ブルーフィルタ４Ｂ上に形成されたシアンフィルタ４Ｃと、複数の受光部２のそれぞれの上方に位置し、入射光をそれぞれ下方に位置する受光部２に集光する複数のマイクロレンズ５から構成される。また、固体撮像装置は、原色レッド、グリーン、ブルーの色を再現しなければならないが、ブルーの色を再現するためにブルーフィルタ４Ｂ上にシアンフィルタ４Ｃを積層し、グリーンの色を再現するために、グリーンフィルタ４Ｇを単層で形成し、レッドの色を再現するために、レッドフィルタ４Ｒを単層で形成している。
【００６８】
このように、ブルーの色を再現するためにブルーフィルタ４Ｂ上にシアンフィルタ４Ｃを積層しているため、図２（ａ）に示すように、積層後のフィルタの分光特性はブルーフィルタ４Ｂとシアンフィルタ４Ｃの分光特性によって決まり、積層後のブルーの分光特性における、レッドの分光特性に与える影響の大きい長波長領域６００ｎｍ〜７００付近の浮きを、ブルーの色を再現するためにマゼンタフィルタ４Ｍ上にイエローフィルタ４Ｙを積層した場合よりさらに改善することができ、レッドの色再現性を向上させることができる。
【００６９】
図６（ａ）〜図６（ｆ）は、本実施形態の固体撮像装置の形成方法を示したものである。
図６（ａ）に示されるように、固体撮像素子基板１および入射光を電気信号に変換するための受光部２の凹凸表面上にアクリル樹脂を全面回転塗布した後、加熱乾燥させてアクリル平坦化膜３を形成する。
【００７０】
次に、図６（ｂ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３上にブルーのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてブルー画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をブルーカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しブルーフィルタ４Ｂを形成する。
【００７１】
次に、図６（ｃ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３、前記ブルーフィルタ４Ｂ上にグリーンのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてグリーン画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をグリーンカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しグリーンフィルタ４Ｇを形成する。このとき、グリーンフィルタ４Ｇの膜厚は、ブルーフィルタ４Ｂと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００７２】
次に、図６（ｄ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３、前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記グリーンフィルタ４Ｇ上にレッドのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてレッド画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をレッドカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しレッドフィルタ４Ｒを形成する。このとき、レッドフィルタ４Ｒの膜厚は、ブルーフィルタ４Ｂ、グリーンフィルタ４Ｇと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００７３】
次に、図６（ｅ）に示すように、前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記グリーンフィルタ４Ｇ、前記レッドフィルタ４Ｒ上にシアンのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてブルー画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をシアンのカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しシアンフィルタ４Ｃを形成する。
【００７４】
このとき、カラーレジストは、ネガ型レジスト、ポジ型レジストいずれでもかまわないし、顔料系、染料系いずれでもかまわない。
また、各カラーフィルタの形成順は、原色のブルーフィルタ４Ｂと補色のシアンフィルタ４Ｃが積層されるのであれば問わない。
【００７５】
最後に、図６（ｆ）に示すように前記シアンフィルタ４Ｃ、前記グリーンフィルタ４Ｇ、前記レッドフィルタ４Ｒ上に、例えばアクリル系の樹脂よりなる合成樹脂膜を全面回転塗布した後、低温乾燥させる。この後、フォトマスクを用いて所定のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光を合成樹脂膜に照射し、各画素に分離独立するように合成樹脂膜をパターンニングする。次に、前記合成樹脂膜に対して紫外線による全面露光を行い、可視光領域の透過率を全領域で９０％以上に向上させる。次に、全面加熱溶融処理（リフロー）を行い、前記合成樹脂膜を所望とする曲率をもった上凸型の半球状に熱変形させ、マイクロレンズ５を形成する。
（第６の実施形態）
図７は第６の実施形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図である。
【００７６】
この固体撮像装置は、図７（ｆ）に示すように、固体撮像素子基板１と、固体撮像素子基板１内に形成されたフォトダイオードである複数の受光部２と、受光部２上に形成されたアクリル平坦化膜３と、アクリル平坦化膜３上に形成されたブルーフィルタ４Ｂおよびイエローフィルタ４Ｙならびにレッドフィルタ４Ｒと、ブルーフィルタ４Ｂおよびイエローフィルタ４Ｙ上に形成されたシアンフィルタ４Ｃと、複数の受光部２のそれぞれの上方に位置し、入射光をそれぞれ下方に位置する受光部２に集光する複数のマイクロレンズ５から構成される。また、固体撮像装置は、原色レッド、グリーン、ブルーの色を再現しなければならないが、ブルーの色を再現するためにブルーフィルタ４Ｂ上にシアンフィルタ４Ｃを積層し、グリーンの色を再現するために、イエローフィルタ４Ｙ上にシアンフィルタ４Ｃを積層し、レッドの色を再現するために、レッドフィルタ４Ｒを単層で形成している。
【００７７】
このように、ブルーの色を再現するためにブルーフィルタ４Ｂ上にシアンフィルタ４Ｃを積層しているため、図２（ａ）に示すように、積層後のフィルタの分光特性はブルーフィルタ４Ｂとシアンフィルタ４Ｃの分光特性によって決まり、積層後のブルーの分光特性における、レッドの分光特性に与える影響の大きい長波長領域６００ｎｍ〜７００付近の浮きを、ブルーの色を再現するためにマゼンタフィルタ４Ｍ上にイエローフィルタ４Ｙを積層した場合よりさらに改善することができ、レッドの色再現性を向上させることができる。
【００７８】
図７（ａ）〜図７（ｆ）は、本実施形態の固体撮像装置の形成方法を示す。
図７（ａ）に示されるように、固体撮像素子基板１および入射光を電気信号に変換するための受光部２の凹凸表面上にアクリル樹脂を全面回転塗布した後、加熱乾燥させてアクリル平坦化膜３を形成する。
【００７９】
次に、図７（ｂ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３上にブルーのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてブルー画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をブルーカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しブルーフィルタ４Ｂを形成する。
【００８０】
次に、図７（ｃ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３、前記ブルーフィルタ４Ｂ上にイエローのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてグリーン画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をイエローカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しイエローフィルタ４Ｙを形成する。このとき、イエローフィルタ４Ｙの膜厚は、ブルーフィルタ４Ｂと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００８１】
次に、図７（ｄ）に示すように、前記アクリル平坦化膜３、前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記イエローフィルタ４Ｙ上にレッドのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてレッド画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をシアンのカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しレッドフィルタ４Ｒを形成する。このとき、レッドフィルタ４Ｒの膜厚は、ブルーフィルタ４Ｂ、イエローフィルタ４Ｙと同程度の膜厚になるのが望ましい。
【００８２】
次に、図７（ｅ）に示すように、前記ブルーフィルタ４Ｂ、前記イエローフィルタ４Ｙ、前記レッドフィルタ４Ｒ上にシアンのカラーレジストを０．５ｕｍ〜２．０ｕｍの厚みで回転塗布した後で、フォトマスクを用いてブルー画素用とグリーン画素用のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光をシアンのカラーレジストに照射し、分離独立するようにカラーレジストをパターンニングする。その後、２００〜２５０℃で加熱乾燥しシアンフィルタ４Ｃを形成する。
【００８３】
ことのき、カラーレジストは、ネガ型レジスト、ポジ型レジストいずれでもかまわないし、顔料系、染料系いずれでもかまわない。
また、各カラーフィルタの形成順は、原色のブルーフィルタ４Ｂと補色のシアンフィルタ４Ｃ、補色のイエローフィルタ４Ｙと補色のシアンフィルタ４Ｃが積層されるのであれば問わない。
【００８４】
また、本実施例では、ブルーの色を再現するために用いるシアンフィルタとグリーンの色を再現するために用いるシアンフィルタとを同時に形成する場合を例に説明したが、それぞれ独立に形成してもかまわない。
【００８５】
最後に、図７（ｆ）に示すように前記シアンフィルタ４Ｃ、前記レッドフィルタ４Ｒ上に、例えばアクリル系の樹脂よりなる合成樹脂膜を全面回転塗布した後、低温乾燥させる。この後、フォトマスクを用いて所定のパターンとなるようにｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）等の紫外光を合成樹脂膜に照射し、各画素に分離独立するように合成樹脂膜をパターンニングする。次に、前記合成樹脂膜に対して紫外線による全面露光を行い、可視光領域の透過率を全領域で９０％以上に向上させる。次に、全面加熱溶融処理（リフロー）を行い、前記合成樹脂膜を所望とする曲率をもった上凸型の半球状に熱変形させ、マイクロレンズ５を形成する。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明は、分光特性の浮きを改善し、原色フィルタの色再現性を向上させることができ、色フィルタを備える固体撮像装置等に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】第１の実施形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図
【図２】第１の実施形態における固体撮像装置で得られる分光特性を示す図
【図３】第２の実施形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図
【図４】第３の実施形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図
【図５】第４の実施形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図
【図６】第５の実施形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図
【図７】第６の実施形態における固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図
【図８】従来の固体撮像装置の製造方法を示す工程断面図
【図９】従来の固体撮像装置で得られるカラーフィルタの分光特性を示す図
【図１０】従来のマゼンタフィルタおよびイエローフィルタならびにシアンフィルタを用いた固体撮像装置の構造を示す断面図
【図１１】従来のマゼンタフィルタおよびイエローフィルタならびにシアンフィルタを用いた固体撮像装置で得られるカラーフィルタの分光特性を示す図
【符号の説明】
【００８８】
１・・・固体撮像素子基板
２・・・受光部
３・・・アクリル平坦化膜
４Ｂ・・・ブルーフィルタ
４Ｒ・・・レッドフィルタ
４Ｇ・・・グリーンフィルタ
４Ｙ・・・イエローフィルタ
４Ｃ・・・シアンフィルタ
４Ｍ・・・マゼンタフィルタ
５・・・マイクロレンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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