(57)【要約】【課題】基板の製造条件、検査結果、検査データ等の基板情報を表示できる基板収納容器を提供する。【解決手段】基板収納容器２０は、被処理基板もしくは処理済基板１０iを収納する容器本体２２と、前記処理済基板１０iに関する情報を受信する受信装置２４と、前記容器本体に設けられ、前記受信装置２４が受信した前記処理済基板１０i情報を表示する情報表示装置としての表示パネル２６とを備えていることを特徴とする。【選択図】図４
2009070952.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板もしくは処理済基板を収納する容器本体と、
前記処理済基板に関する情報を受信する情報受信装置と、
前記情報受信装置が受信した前記情報を表示する情報表示装置と、を有することを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記情報表示装置は、前記容器本体に設けられ、
収納される前記処理済基板に関する情報を表示する表示パネルを有することを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記情報表示装置は、前記容器本体に設けられ、
収納される前記処理済基板に関する情報を表示する表示灯を有することを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記表示灯は、収納される前記処理済基板と一対一に対応し、
前記処理済基板の情報を、点灯色あるいは点灯状態により表示することを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記処理済基板に関する前記情報は、前記被処理基板に対して処理を行う装置から送信されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記処理済基板に関する前記情報は、前記処理済基板に対して検査を行う装置から送信されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記情報受信装置は、前記情報を無線で受信することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の基板収納容器。
【請求項８】
前記情報受信装置は、前記情報を送信する装置と電気的に接続されることにより、前記情報を受信することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の基板収納容器。
【請求項９】
前記容器本体に収納される前記被処理基板もしくは処理済基板は、フラットパネル製造用の基板であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の基板収納容器。
【請求項１０】
前記容器本体に収納される前記被処理基板もしくは処理済基板は、有機エレクトロルミネッセンス製造用の基板であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を収納する基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液晶パネルや有機ＥＬの製造において、ガラス基板上に素子を形成する方法が行われている。その中で、有機ＥＬ素子の成膜や封止等は真空中あるいは不活性ガス雰囲気中で行われることが多い。このような密閉チャンバー内で基板を製造する場合は、複数枚のガラス基板を収納可能な基板収納容器を用い、製造ラインの各工程を流動させる。そして、製造ラインでの流動の完了後に、作業者が当該ガラス基板の製造条件もしくは検査結果データ等の基板情報に基づいて分類もしくは選別作業等の処理を行う。
【０００３】
この基板情報の表示方法として、検査済のウェハをウェハ収納用カセットに収納する場合、当該ウェハの良品もしくは不良品の情報に基づいて、ウェハのオリフラあるいはノッチの方向を異ならせて収納する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１３５３０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述したウェハ収納方法では、ウェハ収納用カセットに収納されるウェハの収納方向を、良品基板もしくは不良品基板ごとに、変換させる方向変換装置が必要になる。そのため、装置が複雑になる、大型になってしまうという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
（適用例１）被処理基板もしくは処理済基板を収納する容器本体と、前記処理済基板に関する情報を受信する情報受信装置と、前記情報受信装置が受信した前記情報を表示する情報表示装置と、を有することを特徴とする基板収納容器。
【０００８】
この構成によれば、基板収納容器は、収納される処理済基板に関する情報を、情報受信装置で受信して、情報表示装置で表示することができる。そのため、作業者は、基板収納容器内を確認することなしに基板収納容器に設けられた情報表示装置により、処理済基板に関する情報を確認することができる。従って、基板の収納方向を転換させる装置が不要になり、装置が複雑化、大型化することを防ぐことができる。
【０００９】
（適用例２）前記情報表示装置は、前記容器本体に設けられ、収納される前記処理済基板に関する情報を表示する表示パネルを有することを特徴とする上記基板収納容器。
【００１０】
この構成によれば、処理済基板に関する情報は、容器本体に設けられた表示パネルにより表示され、作業者は、表示パネルにより、複数の基板情報を一時に認識することができる。従って、作業者は、複数の基板情報に基づいて分類作業を行うことができ、作業の精度を向上させやすくすることができる。
【００１１】
（適用例３）前記情報表示装置は、前記容器本体に設けられ、収納される前記処理済基板に関する情報を表示する表示灯を有することを特徴とする上記基板収納容器。
【００１２】
この構成によれば、処理済基板に関する情報は、容器本体に設けられた表示灯からなる情報表示装置により表示され、作業者は、表示灯により基板に関する情報を視覚的に認識し、分類作業を行うことができる。従って、視認性に優れた情報表示装置により、分類作業の精度を向上させやすくすることができる。
【００１３】
（適用例４）前記表示灯は、収納される前記処理済基板と一対一に対応し、前記処理済基板の情報を、点灯色あるいは点灯状態により表示することを特徴とする上記基板収納容器。
【００１４】
この構成によれば、容器本体に収納された処理済基板と容器本体に設けられた表示灯とが一対一に対応されている。さらに収納された処理済基板に関する情報を、その処理済基板と対応する表示灯の点灯色と点滅等の点灯状態との組合せで表示することができる。そのため、処理済基板に対して複数の基板情報を表示することができるとともに、処理済基板の特定がしやすくなる。従って、分類作業の精度を向上させやすくすることができる。
【００１５】
（適用例５）前記処理済基板に関する前記情報は、前記被処理基板に対して処理を行う装置から送信されることを特徴とする上記基板収納容器。
【００１６】
この構成によれば、基板収納容器は、処理済基板に関する処理条件を受信して処理条件の適否もしくは結果を表示することができる。そのため、本情報に基づいて次工程への投入条件を決定する等の細かな分類作業が可能になる。
【００１７】
（適用例６）前記処理済基板に関する前記情報は、前記処理済基板に対して検査を行う装置から送信されることを特徴とする上記基板収納容器。
【００１８】
この構成によれば、基板収納容器は、処理済基板に関する検査結果を受信して、検査結果を表示することができる。そのため、処理済基板に関する良品もしくは不良品の分類作業が容易になる。
【００１９】
（適用例７）前記情報受信装置は、前記情報を無線で受信することを特徴とする上記基板収納容器。
【００２０】
この構成によれば、情報受信装置は、処理済基板に関する情報を無線で受信することができる。そのため、装置と基板収納容器との配置位置に関わらず、処理済基板の情報を受信することができ、情報表示装置に当該情報を表示することができる。
【００２１】
（適用例８）前記情報受信装置は、前記情報を送信する装置と電気的に接続されることにより、前記情報を受信することを特徴とする上記基板収納容器。
【００２２】
この構成によれば、基板収納容器が装置間を搬送された場合でも、情報受信装置は、適所でコネクタ等により接続され、その処理工程における基板情報を受信することができる。そのため、ノイズ等に影響されず、処理済基板に関する情報を受信することができる。
【００２３】
（適用例９）前記容器本体に収納される前記被処理基板もしくは処理済基板は、フラットパネル製造用の基板であることを特徴とする上記基板収納容器。
【００２４】
この構成によれば、フラットパネルの製造において、装置構成を複雑または大型にすることなしに、収納される処理済基板の情報を表示できる基板収納容器を提供することができる。
【００２５】
（適用例１０）前記容器本体に収納される前記被処理基板もしくは処理済基板は、有機エレクトロルミネッセンス製造用の基板であることを特徴とする上記基板収納容器。
【００２６】
この構成によれば、有機エレクトロルミネッセンスの製造において、装置構成を複雑または大型にすることなしに、収納される処理済基板の情報を表示できる基板収納容器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
（第１実施形態）
第１実施形態を、有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬという）装置用の基板を収納する基板収納容器を例にとり、図面に基づいて説明する。なお、図面では、説明を分かりやすくするために、一部を省略したり、各構成等を誇張して図示している。
【００２８】
（有機ＥＬ装置の構造）
まず、有機ＥＬ装置の概略構造を、図１を参照して説明する。図１は、有機ＥＬ装置の構造を示す概略断面図である。
図１に示すように、有機ＥＬ装置１００は、基板１０上に、陽極としての複数の画素電極１２０が形成されている。各画素電極１２０は、それぞれに図示しない独立した配線を介して、図示しないデータ信号出力駆動回路に接続されている。そして、このデータ信号出力駆動回路から出力された描画データ信号が、画素電極１２０に供給されるようになっている。なお、画素電極１２０は、基板１０上に、平面視で縦横方向に所定の間隔をあけてマトリクス状に形成されている。
【００２９】
また、画素電極１２０の周囲には、これら画素電極１２０を囲むように隔壁としてのバンク１２２が形成されている。このバンク１２２によって、基板１０上には、画素電極１２０を囲む複数の凹状の領域が形成されている。本実施形態においては、凹状の領域は矩形形状であり、それぞれの領域が１つの画素領域１４０に相当する。
【００３０】
また、凹状の領域の底部の画素電極１２０から順に、正孔注入層１２８と発光層１３０とが積層されている。正孔注入層１２８は、例えば、ポリチオフェン誘導体、ポリピロール誘導体、または、これらのドーピング体等の有機材料から形成され得る。発光層１３０は、例えば、赤色、緑色、青色に発光する低分子の有機発光色素や高分子発光体、即ち、各種の蛍光物質や燐光物質等の発光性を具備した有機材料から形成され得る。
【００３１】
また、有機ＥＬ装置１００には、発光層１３０とバンク１２２とを覆う陰極１３２が形成されている。この陰極１３２は、図示しないデータ信号出力駆動回路に接続されている。さらに、バンク１２２、正孔注入層１２８、発光層１３０、画素電極１２０、陰極１３２は、封止部材１３４によって封止されている。
【００３２】
有機ＥＬ装置１００は、１つの画素領域１４０において、画素電極１２０と陰極１３２との間に、画素電極１２０を正側とし陰極１３２を負側とする電位差が生じると、発光層１３０が発光する。この発光は、正孔注入層１２８から注入された正孔と、陰極１３２からの電子とが、発光層１３０で結合することによって生じる。
【００３３】
本実施形態における有機ＥＬ装置１００は、発光層１３０で発光した光を画素電極１２０側から出射する、いわゆるボトムエミッション型が採用されている。そのため、基板１０および画素電極１２０は、それぞれ光を透過可能な材料で構成されている。基板１０の材料には、例えば、ガラス、石英、サファイア、あるいはポリエステル、ポリアクリレート、ポリカーボネート、ポリエーテルケトン等が好適に用いられる。画素電極１２０の材料には、インジウム錫酸化物（Indium Tin Oxide：ＩＴＯ）等が好適に用いられる。
【００３４】
（有機ＥＬ装置の製造方法）
ここで、有機ＥＬ装置１００の製造方法について、図２を参照して説明する。図２は、有機ＥＬ装置１００の製造の流れを説明する図である。
有機ＥＬ装置を形成する工程は、図２に示すように、画素電極形成工程Ｓ１と、バンク形成工程Ｓ２と、正孔注入層材料塗布工程Ｓ３と、正孔注入層材料乾燥工程Ｓ４と、発光層材料塗布工程Ｓ５と、発光層材料乾燥工程Ｓ６と、陰極形成工程Ｓ７と、封止工程Ｓ８とを有している。
【００３５】
図２に示すように、画素電極形成工程Ｓ１では、基板１０上に、複数の画素電極１２０を、例えば、スパッタリング技術等を活用して形成する。このとき、データ信号出力駆動回路に接続される配線も形成される。
次いで、バンク形成工程Ｓ２では、基板１０上に、例えば、スクリーン印刷技術やフォトリソグラフィ技術等を活用してバンク１２２を形成する。このとき、基板１０上には、画素電極１２０を囲む凹状の画素領域１４０が形成される。
【００３６】
正孔注入層材料塗布工程Ｓ３では、例えば、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドから、正孔注入層材料を、バンク１２２によって囲まれた領域に塗布する。正孔注入層１２８を形成する液状の有機材料として、例えば、３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）の分散液等が好適に用いられる。塗布された材料は、領域内に濡れ広がる。ここで、領域内の基板１０の表面が親液性を有していれば、材料が均一に濡れ広がりやすくなるので好ましい。
【００３７】
親液性を持たせるために、基板１０に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行い、基板１０を親液化させるとともに、画素電極１２０を親液化させてもよい。プラズマを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生する装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様に用いることができる。
【００３８】
ここで、前述したバンク１２２が撥液性を有していれば、材料を領域内にせき止めやすくなるので好ましい。バンク１２２に撥液性を持たせるために、感光性ポリイミドを用いてバンク１２２を形成して、基板１０に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行ってもよい。これにより、バンク１２２の材料の感光性ポリイミドは表面が撥液化され、撥液性を有するバンク１２２が形成される。なお、親液および撥液処理は、バンク形成工程Ｓ２の後に設けることができる。
【００３９】
正孔注入層材料乾燥工程Ｓ４では、基板１０を加熱装置（ヒータ等）により加熱し、塗布された材料を乾燥固化させ、正孔注入層１２８を形成する。本実施形態では、加熱条件として、大気環境下または不活性ガス環境下で、加熱温度を約２００℃とし、加熱時間を１０分とした。これらの条件に加え、大気圧より低い圧力環境下（減圧環境下）で加熱すれば、溶媒の除去が促進されるので、加熱時間を短縮することができる。
このようにして、材料が乾燥すると正孔注入層１２８が完成する。
【００４０】
発光層材料塗布工程Ｓ５では、例えば、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドから、発光層形成材料を、バンク１２２によって囲まれた正孔注入層１２８の上に塗布する。発光層１３０を形成する液状の有機材料として、例えば、ポリアリールビニレン系やポリフルオレン系等の共役系高分子や、クマリン系、ペリレン系、ピラン系等の蛍光性色素をポリスチレン、ポリメチルメタクリレート等の高分子中に溶解させ、さらに、これをキシレン等の溶媒に溶解させたものが好適に用いられる。発光層形成材料は、領域内の正孔注入層１２８の上に濡れ広がる。
【００４１】
発光層材料乾燥工程Ｓ６では、基板１０を加熱装置（ヒータ等）により加熱し、塗布された材料を乾燥固化させ、発光層１３０を形成する。本実施形態では、加熱条件として、大気環境下または不活性ガス環境下で、加熱温度を約２００℃とし、加熱時間を１０分とした。これらの条件に加え、大気圧より低い圧力環境下、すなわち（減圧環境下）で加熱すれば、溶媒の除去が促進されるので、加熱時間を短縮することができる。
このようにして、発光層形成材料が乾燥すると、発光層１３０が完成する。
【００４２】
その後、陰極形成工程Ｓ７では、バンク１２２および発光層１３０上に、ＬｉＦ層、Ｃａ層、Ａｌ層等を、例えば、蒸着方法等により積層し、陰極１３２を形成する。
そして、封止工程Ｓ８では、バンク１２２、正孔注入層１２８、発光層１３０、画素電極１２０、陰極１３２を、封止部材１３４で封止する。このような工程を経て、図１に示す有機ＥＬ装置１００が完成する。
【００４３】
（有機ＥＬ装置の製造ラインについて）
有機ＥＬ装置１００の製造ラインの概略を、図３を参照して説明する。図３は、有機ＥＬ装置の製造ラインの概略を説明する図である。
【００４４】
有機ＥＬ装置１００の製造ライン２００は、図３に示すように、洗浄装置２０２と、スパッタリング装置２０４と、スクリーン印刷装置２０６と、プラズマ発生装置２０８と、液滴吐出装置２１０と、加熱装置２１２と、蒸着装置２１４と、封止部形成装置２１６と、搬送装置２１８と、検査装置２２０ａ，２２０ｂとを備えている。本製造ライン２００は、上述の有機ＥＬ装置１００の製造方法を実現できる１つの例である。
【００４５】
有機ＥＬ装置１００を製造するためには、基板１０を洗浄装置２０２で洗浄し、次いで、スパッタリング装置２０４、スクリーン印刷装置２０６で、図１に示す画素電極１２０、配線およびバンク１２２を形成する。ここで、検査装置２２０ａで、処理された基板１０の検査を行う。次いで、プラズマ発生装置２０８で、バンク１２２に囲まれた領域の親液処理およびバンク１２２の撥液処理を行う。
【００４６】
次いで、液滴吐出装置２１０で正孔注入層材料を、バンク１２２によって囲まれた領域に塗布する。その後、加熱装置２１２で基板１０を加熱し、塗布された正孔注入層材料を乾燥させ正孔注入層１２８を形成する。次いで、液滴吐出装置２１０で発光層材料を、バンク１２２によって囲まれた正孔注入層１２８の上に塗布する。その後、加熱装置２１２で基板１０を加熱し、塗布された発光層材料を乾燥させ発光層１３０を形成する。
【００４７】
次いで、蒸着装置２１４で、バンク１２２および発光層１３０上に、ＬｉＦ層、Ｃａ層、Ａｌ層等を、蒸着方法により積層し、陰極１３２を形成する。さらに、封止部形成装置２１６で、バンク１２２、正孔注入層１２８、発光層１３０、画素電極１２０、陰極１３２を、封止部材１３４で封止する。このように各装置を用いて、有機ＥＬ装置１００を製造する。
【００４８】
また、上述の製造ライン２００の中間には検査装置２２０ａ，２２０ｂが設けられている。本実施形態では、プラズマ発生装置２０８で基板１０を処理する前に、それ以前の工程で形成された画素電極１２０、配線、バンク１２２の形成状況を検査する検査装置２２０ａが設けられている。なお、この検査はスパッタリング装置２０４での処理の後に行ってもよい。
さらに、加熱装置２１２により基板１０に塗布された材料を乾燥し固化させる前に、液滴吐出装置２１０が塗布した正孔注入層材料もしくは発光層材料の塗布状況を検査する検査装置２２０ｂを設けている。なお、この検査装置２２０ｂは、液滴吐出装置２１０と一体に設けられており、液滴吐出装置２１０から基板１０に正孔注入層１２８および発光層１３０の形成材料を塗布しながら、基板１０を検査することもできる。
【００４９】
処理される基板１０は、各装置間を搬送装置２１８によって搬送される。しかしながら、例えば、プラズマ発生装置２０８は、真空環境下でプラズマを発生させる。また、例えば、加熱装置２１２は、不活性ガス環境および減圧環境下で基板１０を加熱すれば、品質が安定し、溶媒の除去が促進される。このように有機ＥＬ装置１００の製造装置は、特定環境下で動作されるため、密閉チャンバー内に設置されている場合がある。
そのため、各装置間の基板１０の搬送は、基板１０単体で行う場合と一定枚数の基板１０を基板収納容器にストックさせ、基板収納容器ごと搬送させる場合とがある。
【００５０】
図３に示す製造ライン２００では、スクリーン印刷装置２０６とプラズマ発生装置２０８との間、プラズマ発生装置２０８と液滴吐出装置２１０との間、および液滴吐出装置２１０と加熱装置２１２との間は、基板収納容器に複数枚の基板１０を収納させ搬送もしくは移動させる。
または、各製造工程が終了したときもしくは検査工程において、発生した不良品を排除する場合がある。この場合は、作業者が、処理済もしくは検査済の基板１０が収納された基板収納容器を、製造ライン２００外に運搬し、分類仕分け作業を行う。
また、製造工程の各所で基板１０をストックして、製造ライン２００の流れを調整する場合もある。このような場合にも、基板収納容器に複数枚の基板１０を収納させ、必要に応じ製造ライン２００に投入する。
【００５１】
（基板収納容器について）
基板１０を収納する基板収納容器を、図４、図５を参照して説明する。図４は、基板収納容器の外観斜視図である。図５は、基板収納容器を用いたシステムの実施の形態を示すブロック図である。
【００５２】
図４に示すように、基板収納容器２０は、容器本体２２と、情報受信装置としての受信装置２４と、情報表示装置としての表示パネル２６とを有している。
容器本体２２は、底板２８と天板３０と複数の支柱部３２とを有し、底板２８と天板３０とが支柱部３２により連結され、箱状に構成されている。支柱部３２には、基板１０を保持する保持部３４が、一定の間隔をあけて複数設けられている。箱状に形成された容器本体２２は、１つの側面部が開放されており、基板搬入口３６となっている。
【００５３】
そのため、基板１０は、基板搬入口３６から、底板２８もしくは天板３０とほぼ平行な状態で容器本体２２内に搬送され、支柱部３２に設けられた保持部３４に周辺部を保持され収納される。本実施形態においては、基板収納容器２０は、基板１０を最大１０枚収納できるように構成されている。容器本体２２の天板３０には可搬用の取っ手３８が設けられている。また、底板２８の下部には、図３に示す搬送装置２１８に設けられた図示しない容器受け部と係合する図示しない係合部が設けられている。
【００５４】
このように構成されていることによって、上述の各装置で処理された基板１０が収納された基板収納容器２０を、基板収納容器２０の係合部が搬送装置２１８の容器受け部と係合することによって、搬送装置２１８で基板収納容器２０を各装置に搬送することができる。また、必要があれば、作業者が、基板収納容器２０の取っ手３８を用い手動で可搬できるようになっている。
【００５５】
図５に示すように、受信装置２４は、無線で基板情報を受信する無線用受信機であり、受信装置２４は、アンテナ４０と、制御装置４２と、メモリ４４と、電源４６とを備えている。アンテナ４０は、処理済の基板１０を検査する検査装置２２０ａ，２２０ｂ等からの無線信号を受信するために用いられる。制御装置４２は、アンテナ４０を介して無線信号を受信し、それに基づく検査データおよび結果をメモリ４４に書き込む。メモリ４４は、書き換え可能な不揮発メモリであって、例えば、強誘電体メモリであるＦｅＲＡＭ（Ferroelectric  Random  Access  Memory）が好適に用いられる。メモリ４４は、処理済の基板１０の検査データおよび結果等の基板情報を記録する。
なお、受信装置２４は、図４に示す容器本体２２の基板搬入口３６以外の側面の底板２８近傍に設けられている。
【００５６】
表示パネル２６は、図４に示す天板３０の上面の基板搬入口３６側上面に設けられている。また、表示パネル２６は、液晶表示装置等から構成されていて、制御装置４２と電気的に接続されており制御装置４２からの制御信号に応じて基板情報等の表示を行う。
電源４６は、着脱可能な一次電池、二次電池、太陽電池等が好適に用いられ、制御装置４２、メモリ４４、表示パネル２６に電力を供給する。
【００５７】
（基板情報の表示システムについて）
ここで、基板情報の表示システムについて、上述の図５および図６を参照して説明する。図６は、基板収納容器２０の表示パネル２６に表示される基板情報の例を示す図である。
なお、ここでは、図３に示す液滴吐出装置２１０と一体に構成された検査装置２２０ｂから加熱装置２１２に、基板１０が、基板収納容器２０に収納され搬送される場合を例にとり説明する。
【００５８】
図５に示すように、検査装置２２０ｂは、アンテナ２２４と、制御部２２６と、検査部２２８とを備えている。
検査装置２２０ｂは、液滴吐出装置２１０で塗布された正孔注入層材料もしくは発光層材料の塗布状況を、液滴吐出装置２１０に備えられた図示しない液滴吐出ヘッドから吐出される正孔注入層材料または発光層材料の吐出状況を代用特性として検査する装置である。
【００５９】
検査部２２８は、撮像装置２３０と、重量測定装置２３２とを備えている。撮像装置２３０は、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の飛翔状況を撮影して、液滴の飛行曲りまたはドット抜け等の吐出不良を検査する。重量測定装置２３２は、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の重量を測定する。
【００６０】
制御部２２６は、ＰＣ等のコンピュータであって、検査部２２８で得られた検査データに基づいて、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の重量が規定値範囲内にあるか否か、液滴の飛行曲り量が規定値範囲内にあるか否か、ドット抜けがあるか否か等に基づき、検査対象である基板１０の良否およびランクを判断する。そして、制御部２２６は、検査データおよび検査結果等を無線信号として、アンテナ２２４を介して受信装置２４に送信する。また直接受信装置２４へ送信するのではなく、通信装置を備えた搬送装置２１８を介して情報を送信しても良い。
【００６１】
なお、検査済の基板１０は、図示しない基板搬入装置により、図４に示す基板収納容器２０の基板搬入口３６より搬入され、容器本体２２に設けられた保持部３４に１枚ずつ保持され、基板収納容器２０に順次収納される。このとき、基板１０は、例えば、基板収納容器２０の底板２８側から順に搬入され、保持された底板２８からの順番により、基板１０が特定される。本実施形態においては、基板収納容器２０は、基板１０を最大１０枚収納できるように構成されているため、基板１０は、底面側から基板１０i（ｉは、１から１０までの整数）として特定される。
【００６２】
検査装置２２０ｂから送信された基板１０iの検査データおよび検査結果は、基板１０iが収納された基板収納容器２０の受信装置２４に受信される。受信された基板１０iの検査データおよび検査結果は、メモリ４４に書き込まれるとともに、制御装置４２から、表示信号として表示パネル２６に送られる。表示パネル２６に送られた基板１０iの検査データおよび検査結果は、表示パネル２６に表示される。
【００６３】
このようにして、液滴吐出装置２１０で液滴が塗布された基板１０iは、基板収納容器２０に収納され、検査装置２２０ｂで検査され良否が判定された結果が表示パネル２６に表示されて、加熱装置２１２に搬送される。
【００６４】
加熱装置２１２に搬送された基板収納容器２０の表示パネル２６には、収容される１０枚の基板１０iの検査データおよび検査結果が表示される。図６に示す表示例では、収容される基板１０iがＮｏ.ｉとして特定され、その基板１０iの基板情報として、判定された結果およびランク、検査データとしての吐出重量、飛行曲り、ドット抜けの有無が表示される。
【００６５】
加熱装置２１２において、作業者は、表示パネル２６の表示内容に基づいて良品および不良品の分類を行う。図６に示す表示例では、Ｎｏ．９として特定された基板１０9が不良品として排除され、それ以外の９枚の基板１０iが加熱処理される。排除された基板１０9は、そのランクもしくは検査データに基づいて、廃却されるか、修理されるかを判断され、別の基板収納容器２０に移し替えられる。
【００６６】
以下、実施形態の効果を記載する。
【００６７】
（１）本実施形態における基板収納容器２０は、検査装置２２０ｂにより検査された基板１０iの検査結果および検査データを、受信装置２４で受信し、表示パネル２６で表示することができる。検査結果および検査データが表示された基板１０iは、基板収納容器２０に収納される場所により特定されることができる。そのため、作業者は、基板収納容器２０内を確認することなしに基板収納容器２０に設けられた表示パネル２６の表示内容により、検査済の基板１０iに関する情報を確認することができ、その情報に基づいて、分類作業を実施することができる。
【００６８】
（２）また、従来の、良品基板もしくは不良品基板ごとに収納されるウェハ等の基板の収納方向を異ならせて収納する基板収納容器と比較して、収納方向を変換させる方向変換装置が不要になり、装置が複雑もしくは大型になってしまうことを防止できる。
【００６９】
（３）基板収納容器２０の表示パネル２６は、基板１０iの良否情報以外にも判定ランク、および、検査データとして吐出重量、飛行曲り、ドット抜けの有無等の複数の情報を表示することができる。そのため、不良品の排除のみならず、修理品もしくは製造装置への再投入品等の細かな分類作業を実現することができる。この結果、生産性向上に寄与できる。
【００７０】
（４）基板収納容器２０は、表示パネル２６と電源４６とを有しているため、基板収納容器２０を装置が設置されている場所と異なる場所に移動しても、基板収納容器２０単体で、収納された基板１０iに関する情報を確認することができる。そのため、生産の自由度を向上させることができる。
【００７１】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態について、図７を参照して説明する。図７は、第２実施形態にかかる基板収納容器の概略斜視図である。なお、この第２実施形態においては、前記第１実施形態と同じ構成部材についてはその符号を等しくし、その詳細な説明を省略する。
【００７２】
図７に示すように、第２実施形態にかかる基板収納容器２０ａは、情報表示装置として１０個の表示灯５０i（ｉは１から１０までの整数）からなる表示部５２を有している。基板収納容器２０ａのその他の構成部材である容器本体２２と、受信装置２４とは第１実施形態にかかる基板収納容器２０と同様である。
１０個の表示灯５０iは、容器本体２２の基板搬入口３６近傍の支柱部３２に底板２８側から天板３０側に向かって列状に設けられている。表示灯５０iは、容器本体２２の１０個の保持部３４に収納される基板１０iと一対一に対応するように構成されている。また、表示灯５０iは、ＬＥＤ等から構成されており、図５に示す制御装置４２と電気的に接続されており、制御装置４２からの制御信号に応じて、例えば、青色、赤色、黄色等の複数色に点灯する。
【００７３】
前述の検査装置２２０ｂにより検査され良品か不良品か判定された基板１０iは、基板収納容器２０ａの基板搬入口３６より搬入され、容器本体２２に設けられた保持部３４に１枚ずつ保持され、基板収納容器２０ａに順次収納される。このとき、検査装置２２０ｂから送信された基板１０iの判定結果は、基板１０iが収納された基板収納容器２０ａの受信装置２４で受信される。受信された基板１０iの判定結果は、メモリ４４に書き込まれるとともに、制御装置４２から、表示信号として表示部５２に送られる。表示部５２に送られた基板１０iの判定結果は、良品もしくは不良品の区分に基づき、基板１０iの収納位置に対応する表示灯５０iを所定の色に点灯させる。本実施形態では、表示灯５０iは、例えば、良品の場合は青色に、不良品の場合は赤色に点灯する。
【００７４】
すなわち、基板収納容器２０ａの表示部５２は、収容される１０枚の基板１０iの判定結果を、表示灯５０iの点灯色により表示する。図７に示す表示例では、表示灯５０2、５０6が赤色に点灯し、その他の表示灯５０iが青色に点灯している。
作業者は、作業場所において、表示灯５０iの点灯色に基づいて良品および不良品の分類を行う。図７に示す表示例では、赤色に点灯している表示灯５０2，５０6に対応する基板１０2，１０6が不良品として排除される。
【００７５】
本実施形態では、表示灯５０iが、良品および不良品の区分にあわせ、青色、赤色の２色に点灯する場合について説明したがこれに限定されない。
良否判定以外の表示内容を増やして、表示内容に対応する点灯色を増やすことにより表示してもよい。また、表示灯５０iの点灯状態を、例えば、連続点灯、消灯、点滅、周期を持った間欠点灯等に変化させてもよい。この場合には、例えば、良品、不良品以外にも、要修理品、製造ライン２００への再投入品等を表示できる。
【００７６】
以下、第２実施形態の効果を記載する。
【００７７】
（１）第２実施形態の基板収納容器２０ａにおいて、収容される１０枚の基板１０iの判定結果が、表示部５２の表示灯５０iの点灯色および点灯状態により表示される。そのため、作業者は容易に基板１０iの判定結果を認識できる。すなわち、視認性に優れた表示部５２を有する基板収納容器２０ａを提供することができる。
【００７８】
（２）１０個の表示灯５０iは、容器本体２２の支柱部３２に列状に設けられているとともに、容器本体２２の１０個の保持部３４に収納される基板１０iと一対一に対応するように構成されている。そのため、基板１０iの判定結果は、当該基板１０iが収納される収納位置近傍に個別に表示される。その結果、作業者による基板の排除間違い等のミスが低減され、信頼性の高い分類作業が実施できる。
【００７９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば、上記実施形態以外の変形例は以下の通りである。
【００８０】
（変形例１）
前述の実施形態では、基板収納容器２０に収納される基板１０iについて、その基板１０iを検査した検査装置２２０ａ，２２０ｂから検査結果および検査データが、基板収納容器２０の受信装置２４に送信される場合を例にとり説明したが、これに限定されない。
【００８１】
図３に示す有機ＥＬ装置１００の製造ライン２００を構成する各装置から、その基板１０iを処理したときの処理条件や処理に関する情報を送信してもよい。例えば、液滴吐出装置２１０から送信される場合は、基板１０iに液滴が吐出されるときの液滴吐出ヘッドの駆動波形の種類、液滴の吐出時の周辺環境、吐出される液状体のロットＮｏ、等を基板収納容器２０の受信装置２４に送信する。
受信された基板１０iの上記データは、受信装置２４のメモリ４４に書き込まれるとともに、所定の項目が表示信号として表示パネル２６に送られ、表示部に表示される。
【００８２】
このようにすることにより、製造ライン２００を流動する基板１０iの製造履歴が、受信装置２４のメモリ４４に書き込まれ、保存される。そのため、製造工程において、歩留低下もしくは不良が発生した場合、その不良原因の解析に製造履歴等の情報を有効に活用することができる。
【００８３】
また、基板収納容器２０の受信装置２４に送信する情報として、製造される有機ＥＬ装置１００の型番や品質ランクや流動させる製造上の優先順位等を送信してもよい。送信された情報は、受信装置２４のメモリ４４に書き込まれるとともに、所定の項目が表示信号として表示パネル２６に送られ、表示部２７に表示される。そのため、多品種少量生産ラインにおいても、作業者による細かな仕分け、分類が可能になり、生産性の向上に寄与できる。
【００８４】
（変形例２）
前述の実施形態では、受信装置２４が、無線で基板情報を受信する無線用受信機である場合を例にとり説明したが、これに限定されない。
基板収納容器の変形例２を示す図である図８に示すように、基板収納容器２０ｃの受信装置２４ａに接続コネクタ６０を設けてもよい。この場合、基板収納容器２０ｃが、図３に示す各装置または検査装置２２０ａ，２２０ｂに搬送される時に、各々の装置に設けられた接続ケーブル２４０と接続コネクタ６０とを接続させ、その装置で処理もしくは検査された情報を装置から基板収納容器２０ｃの受信装置２４ａに送信する。
【００８５】
この構成によれば、基板収納容器２０ｃは、適所で受信装置２４ａの接続コネクタ６０が装置の接続ケーブル２４０により接続されその処理工程における基板情報を受信し、表示パネル２６で表示することができる。従って、各装置が発生するノイズ等に影響されず、確実に基板情報を受信できる基板収納容器２０ｃを提供することができる。
【００８６】
（変形例３）
前述の実施形態では、受信装置２４が、電源４６を有している場合を例に説明したが、これに限定されない。変形例２に示すように、基板収納容器２０ｃの受信装置２４ａに接続コネクタ６０を設けて、図３に示す各装置または検査装置２２０ａ，２２０ｂと接続ケーブル２４０により接続される場合は、各装置または検査装置２２０ａ，２２０ｂから電力が供給されてもよい。
【００８７】
（変形例４）
前述の実施形態では、表示パネル２６が、液晶表示装置等から構成されている場合を例にとり説明したが、これに限定されない。表示パネル２６は、いわゆる電子ペーパーが好適に用いられる。電子ペーパーは、表示内容を電気的に書き換えることができ、バックライトを用いないため、液晶表示装置等に対して消費電力が少なく、電源４６の切断後も一定期間表示内容を維持できる。そのため、基板収納容器２０が内部電源を有していない場合でも、表示パネル２６に表示される基板情報等を一定期間表示することができる。
【００８８】
（変形例５）
前述の実施形態では基板収納容器２０ａは、情報表示装置として表示パネル２６もしくは表示灯５０iからなる表示部５２のどちらを有している場合について説明したが、これに限定されない。表示パネル２６および表示灯５０iからなる表示部５２の双方を有していてもよい。この場合、さらに多岐にわたる情報を表示することができる。
【００８９】
前述の実施形態では、基板収納容器２０が、基板１０iを最大１０枚収納できる場合を例にとり説明したがこれに限定されず、基板１０iは、１枚でもよいし複数枚であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】第１実施形態にかかる有機ＥＬ装置の構造を示す概略断面図。
【図２】有機ＥＬ装置の製造の流れを説明する図。
【図３】有機ＥＬ装置の製造ラインの概略を説明する図。
【図４】基板収納容器の外観斜視図。
【図５】基板収納容器を用いたシステムの実施の形態をしめすブロック図。
【図６】基板収納容器の表示パネルに表示される基板情報の例を示す図。
【図７】第２実施形態にかかる基板収納容器の概略斜視図。
【図８】変形例２の基板収納容器を示す図。
【符号の説明】
【００９１】
１０，１０i…基板、２０，２０ａ，２０ｃ…基板収納容器、２２…容器本体、２４…受信装置、２６…表示パネル、３２…支柱部、３４…保持部、４０…アンテナ、５０i…表示灯、６０…接続コネクタ、１００…有機ＥＬ装置、２００…製造ライン、２１０…液滴吐出装置、２１２…加熱装置、２１８…搬送装置、２２０ａ，２２０ｂ…検査装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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