(57)【要約】【課題】めっきプロセスその他の金属層形成プロセスとエッチングプロセスを用いて、積層構造体としての超小型可変絞り装置を作製すると共に、軸周りのクリアランスによる、可動部材としての絞り羽根のがたつきを小さくする。【解決手段】移動可能な少なくとも１つの可動部材と、可動部材の動作を規制するガイド軸と、を有する、金属層形成プロセスとエッチングプロセスを用いて作製される積層構造体であって、可動部材には第１の間隔を有する溝部と、第２の間隔を有する溝部と、が連続して形成され、第２の間隔は、第１の間隔よりも小さく、第２の間隔を有する溝部に沿って、ガイド軸は、可動部材の動作を規制する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能な少なくとも１つの可動部材と、
前記可動部材の動作を規制するガイド軸と、を有する、金属層形成プロセスとエッチングプロセスを用いて作製される積層構造体において、
前記可動部材には第１の間隔を有する溝部と、第２の間隔を有する溝部と、が連続して形成され、
前記第２の間隔は、前記第１の間隔よりも小さく、
前記第２の間隔を有する溝部に沿って、前記ガイド軸は、前記可動部材の動作を規制することを特徴とする積層構造体。
【請求項２】
前記第１の間隔を有する溝部は、この溝部に内接する第１の内接円を有し、前記第２の間隔を有する溝部は、この溝部に内接する第２の内接円を有し、
前記第１の内接円の直径が前記第１の間隔であり、前記第２の内接円の直径が前記第２の間隔であることを特徴とする請求項１に記載の積層構造体。
【請求項３】
前記積層構造体は前記積層構造体よりも大きい枠部材で覆われていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の積層構造体。
【請求項４】
前記第１の間隔を有する溝部及び前記第２の間隔を有する溝部は、略円形及び略長方形の平面形状をそれぞれ備え、互いに連続して形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の積層構造体。
【請求項５】
前記積層構造体は、第１の光学開口が形成された基板を有し、
前記少なくとも１つの可動部材は、前記第１の光学開口よりも小さい光学開口と、遮蔽部と、を備え、
前記可動部材が前記ガイド軸に規制され動作することによって、前記基板に形成された第１の光学開口と、前記可動部材に形成された光学開口と、を切り替えることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の積層構造体を用いた光調節装置。
【請求項６】
前記少なくとも１つの可動部材は、前記ガイド軸に規制され、回転動作し、前記基板に形成された光学開口と、前記可動部材に形成された光学開口とを切り替えることを特徴とする請求項５に記載の光調節装置。
【請求項７】
移動可能な少なくとも１つの可動部材と、
前記可動部材の動作を規制するガイド軸と、を有する、金属層形成プロセスとエッチングプロセスを用いて作製される積層構造体の製造方法であって、
前記可動部材に、第１の間隔を有する溝部及び第２の間隔を有する溝部を連続して形成する工程と、
前記第１の間隔を有する溝部の中に前記ガイド軸を形成する工程と、
前記可動部材を移動させることによって、前記ガイド軸の位置を前記第１の間隔を有する溝部内から前記第２の間隔を有する溝部内に移動させ、前記可動部材の動作を前記ガイド軸によって規制させる工程と、を有することを特徴とする積層構造体の製造方法。
【請求項８】
前記積層構造体に枠部材をはめ込む工程を有することを特徴とする請求項７に記載の積層構造体の製造方法。
【請求項９】
前記第１の間隔を有する溝部と前記第２の間隔を有する溝部は、略円形及び略長方形の平面形状をそれぞれ備え、互いに連続して形成されていることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の積層構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層構造体、光調節装置、及び積層構造体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
固体撮像素子を用いた内視鏡装置において、近年、半導体製造技術の進展に伴い、微細な画素を有する固体撮像素子が内視鏡にも適用可能となってきている。しかしながら、微細画素の固体撮像素子は撮影対象までの距離による焦点位置の変化に敏感であり、従来の固定焦点・固定絞りの光学系を用いている内視鏡では、たとえ微細な画素を持つ撮像素子を適用しても、高精細画像を得るのは難しい状態にある。この問題を回避する方法としては、レンズを変位させ、焦点調節機能を付加させる方法と、光学系自体は固定焦点で遠点の撮影対象に対して適正な結像が得られるように調節して、近点撮影時には開口径を小さくして焦点深度を増大させることで良好な結像を得る方法と、がある。後者の場合は可変絞り機構が必要で、近点撮影時には固体撮像素子に到達する光量が減少するといった問題があるが、一般的に先端部の照明装置の光によって撮影する内視鏡に置いては近点撮像時には十分な光量が確保できるので大きな問題とはならない。
【０００３】
このように微細画素の撮像素子の性能を活かすにはレンズ駆動装置か可変絞り装置のいずれかが必要となる。光学的には前者が優れているが、細径の内視鏡にレンズ駆動装置を組み込むのはかなり難しい。このため、細径の内視鏡には超小型の可変絞り装置を適用することが望まれる。このような内視鏡に適用可能な超小型可変絞り装置を作製するにあたり、プレス加工、切削加工といった従来の加工技術では、複雑な構造の作製は困難で、かつ各部品の加工後、組み立て工程が必要となってしまう。さらに、それ以上の小型、若しくは複雑な構造を作成するためには、めっきプロセスとエッチングプロセスによって積層構造体を作製する技術を用いる必要がある。
【０００４】
めっきプロセスとエッチングプロセスによって積層構造体を作製する技術として、特許文献１記載の電気化学製造のための物品、方法、及び装置が提案されている。図１６は、従来の積層構造体の製造工程を示す図である。図１６に示すように、特許文献１記載の電気めっき物品の製造方法では、支持材５４８上にフォトレジスト５４２を形成（図１６（ａ））した後に、支持材５４８及びフォトレジスト５４２上に、液体のマスキング材５４６を積層する（図１６（ｂ））。つづいて、マスキング材５４６上にシート５６０を押しつける（図１６（ｃ））。このとき、シート５６０には、シート５６０とレジスト５４２との間のマスキング材５４６を押し出すような圧力を加える。その後、マスキング材５４６を硬化してマスク５５６を形成し、シート５６０を除去する（図１６（ｄ））。さらに、レジスト５４２を除去すると、支持材５４８上にマスク５５６でパターンが形成された電気めっき物品が得られる（図１６（ｅ））。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−３５５０９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１記載の方法は、超小型、かつ複雑な構造体を作製するのには非常に適しているが、その製法上、可変絞り装置の可動部材に形成される軸穴と、可動部材の動作を規制する軸と、のクリアランスを大きくしなければならず、そのままでは可動部材が動作する際にがたついてしまうというデメリットがある。内視鏡に適用可能な超小型可変絞り装置を作製するにあたり、光量を調節する絞り羽根（可動部材）ががたついてしまうと、精密に光量の調節を行うことが出来なくなってしまうという問題が生じる。
【０００７】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、めっきプロセスその他の金属層形成プロセスと、エッチングプロセスその他の金属層除去プロセスと、を用いて、積層構造体としての超小型可変絞り装置を作製すると共に、軸周りのクリアランスによる、可動部材としての絞り羽根のがたつきを小さくすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る積層構造体は、移動可能な少なくとも１つの可動部材と、可動部材の動作を規制するガイド軸と、を有する、金属層形成プロセスとエッチングプロセスを用いて作製される積層構造体であって、可動部材には第１の間隔を有する溝部と、第２の間隔を有する溝部と、が連続して形成され、第２の間隔は、第１の間隔よりも小さく、第２の間隔を有する溝部に沿って、ガイド軸は、可動部材の動作を規制することを特徴としている。
【０００９】
本発明に係る積層構造体において、第１の間隔を有する溝部は、この溝部に内接する第１の内接円を有し、第２の間隔を有する溝部は、この溝部に内接する第２の内接円を有し、第１の内接円の直径が第１の間隔であり、第２の内接円の直径が第２の間隔であることが好ましい。
【００１０】
本発明に係る積層構造体において、積層構造体は積層構造体よりも大きい枠部材で覆われているとよい。
【００１１】
本発明に係る積層構造体において、第１の間隔を有する溝部及び第２の間隔を有する溝部は、略円形及び略長方形の平面形状をそれぞれ備え、互いに連続して形成されていることが好ましい。
【００１２】
本発明に係る光調節装置は、積層構造体が、第１の光学開口が形成された基板を有し、少なくとも１つの可動部材は、第１の光学開口よりも小さい光学開口と、遮蔽部と、を備え、可動部材がガイド軸に規制され動作することによって、基板に形成された第１の光学開口と、可動部材に形成された光学開口と、を切り替える積層構造体を用いたことを特徴としている。
【００１３】
本発明に係る光調節装置において、少なくとも１つの可動部材は、ガイド軸に規制され、回転動作し、基板に形成された光学開口と、可動部材に形成された光学開口とを切り替えることができる。
【００１４】
本発明に係る積層構造体の製造方法は、移動可能な少なくとも１つの可動部材と、可動部材の動作を規制するガイド軸と、を有する、金属層形成プロセスとエッチングプロセスを用いて作製される積層構造体の製造方法であって、可動部材に、第１の間隔を有する溝部及び第２の間隔を有する溝部を連続して形成する工程と、第１の間隔を有する溝部の中にガイド軸を形成する工程と、可動部材を移動させることによって、ガイド軸の位置を第１の間隔を有する溝部内から第２の間隔を有する溝部内に移動させ、可動部材の動作をガイド軸によって規制させる工程と、を有することを特徴としている。
【００１５】
本発明に係る積層構造体の製造方法は、積層構造体に枠部材をはめ込む工程を有することが好ましい。
【００１６】
本発明に係る積層構造体の製造方法において、第１の間隔を有する溝部及び第２の間隔を有する溝部は、略円形及び略長方形の平面形状をそれぞれ備え、互いに連続して形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る積層構造体、光調節装置、及び積層構造体の製造方法は、めっきプロセスその他の金属層形成プロセスとエッチングプロセスを用いて、積層構造体としての超小型可変絞り装置を作製すると共に、軸周りのクリアランスによる、可動部材としての絞り羽根のがたつきを小さくすることができる、という効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明に係る積層構造体、光調節装置、及び積層構造体の製造方法の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
（第１実施形態）
以下、図１〜図１１を参照して、第１実施形態に係る積層構造体、光調節装置、及び積層構造体の製造方法について説明する。
【００１９】
まず、図１、図２を用いて第１実施形態の光調節装置１０の構成を説明する。ここで、図１は光調節装置１０の構成を示す分解斜視図であり、図２は組み立て後の光調節装置１０の構成を示す斜視図である。
【００２０】
図１に示す様に、光調節装置１０は、第１の開口１２が形成された基板１１と、基板１１の上側に配置され、第１の開口よりも小さい第２の開口２２が形成された可動部材２１と、基板１１の下側に配置され、第３の開口３２が形成された枠部材３１と、を備える。ここで、第１実施形態の積層構造体１０Ａは、基板１１と、可動部材２１と、を備える。
【００２１】
第１の開口１２及び第３の開口３２は円形状をなし、その中心が、平面視の外形形状が円板状の基板１１及び枠部材３１の中心に一致するように形成されている。また、第２の開口２２も円形状に形成されている。
【００２２】
基板１１には、上方に突出するように、ストッパー１４、１５及びガイド軸１３が形成されている。可動部材２１には、厚さ方向に貫通するように、第１の溝部２３及び第２の溝部２４が連続して形成されている。第１の溝部２３の間隔（第１の間隔）は、第２の溝部２４の間隔（第２の間隔）よりも大きい。また、枠部材３１には第１の開口よりも大きい第３の開口３２が形成されている。
【００２３】
図２に示すように、可動部材２１は、ガイド軸１３を第２の溝部２４内に挿入して基板１１と連結される。基板１１は、第１の開口１２と第３の開口３２の中心が光軸Ｌ上にあるように、枠部材３１にはめ込まれている。
【００２４】
ここで、第１の溝部２３が有する第１の間隔、及び、第２の溝部２４が有する第２の間隔について、図３、図４を参照しつつ説明する。図３は、第１の間隔を有する溝部及び第２の間隔を有する溝部の一例を説明するための平面図、図４は、第１の間隔を有する溝部及び第２の間隔を有する溝部の別の例を説明するための平面図である。
【００２５】
本発明において、第１の間隔を有する溝部は、内接する第１の内接円を有し、第２の間隔を有する溝部は、この溝部に内接する第２の内接円を有している。さらに、第１の内接円の直径が第１の間隔であり、第２の内接円の直径が第２の間隔である。第１実施形態に係る光調節装置１０では、略円形状の平面形状を備える第１の溝部２３は、内接する第１の内接円を有し、略長方形状の平面形状を備える第２の溝部２４は、内接する第２の内接円を有しており、第１の内接円の直径は第２の内接円の直径よりも大きい。
【００２６】
以下、説明の便宜上、図３、図４に挙げる例について説明するが、上述のような第１の内接円及び第２の内接円を有していれば、溝は任意の形状とすることができる。また、第１の間隔を有する溝部と第２の間隔を有する溝部は、これらとは別の、一つ又はそれ以上の溝部を介して連続的に形成することもできる。第１の間隔を有する溝部と第２の間隔を有する溝部との間に介在する溝部は、内接する内接円を有し、その直径は、第２の間隔よりも大きいことが好ましい。
【００２７】
図３に示す例では、第１の間隔を有する第１の溝部２３ａは略正方形状をなし、第１の内接円２５ａが内接している。第２の間隔を有する第２の溝部２４ａは、第１の溝部２３ａよりも小さな略正方形状をなし、第２の内接円２６ａが内接している。第１の溝部２３ａと第２の溝部２４ａは一辺において連続して形成されている。第１の間隔及び第２の間隔は、第１の溝部２３ａ及び第２の溝部２４ａに内接する内接円２５ａ、２６ａの直径であり、以下の式（１）、（２）を満たす。
Ｄ１−ｄ  ＝δ    ・・・（１）
Ｄ２−ｄ  ≒  ０  ・・・（２）
ここで、Ｄ１＞Ｄ２＞ｄ≠０であって、Ｄ１は第１の溝部２３ａに内接する内接円２５ａの直径、Ｄ２は第２の溝部２４ａに内接する内接円２６ａの直径、ｄはガイド軸１３の軸直径、δはエッチング時の抜き穴分のクリアランス量である。
【００２８】
図４に示す例では、第１の間隔を有する第１の溝部２３ｂは略円形状をなし、第１の内接円２５ｂが内接している。第２の間隔を有する第２の溝部２４ｂは、第１の溝部２３ｂよりも小さな略円形状をなし、第２の内接円２６ｂが内接している。第１の溝部２３ｂと第２の溝部２４ｂは連続して形成されている。第１の間隔及び第２の間隔は、第１の溝部２３ｂ及び第２の溝部２４ｂに内接する内接円２５ｂ、２６ｂの直径であり、図３に示す例と同様に、上述の式（１）、（２）を満たす。
【００２９】
次に、図５、図６を参照して、光調節装置１０の動作について説明する。図５は、第１の静止位置に可動部材２１がある場合の状態を示す上面図である。図６は、第２の静止位置に可動部材２１がある場合の状態を示す上面図である。
【００３０】
図５に示すように、可動部材２１はストッパー１５に当接することによって第１の静止位置に固定される。この状態では光調節装置１０の光学開口は可動部材２１に形成された第２の開口２２となる。可動部材２１は、第２の溝部２４の内壁とガイド軸１３が接触しながら、ガイド軸１３の中心軸の周りを回動する。すなわち、可動部材２１は、動作を規制されながら回動し、ストッパー１４に接触し第２の静止位置で静止する（図６）。この状態では光調節装置１０の光学開口は基板１１に形成された第１の開口１２となる。
【００３１】
つづいて、図７から図１１を参照して、積層構造体１０Ａの作製プロセス（製造方法）について説明する。なお、以下の説明では、めっきプロセス及びエッチングプロセスを用いた光調節装置１０の製造プロセスを説明しているが、本発明における金属層の形成はめっきに限定されることなく、例えば、蒸着又は半導体プロセスによって行うこともできる。また、金属層の除去はエッチング以外の方法によって行うこともできる。
【００３２】
積層構造体１０Ａの作製プロセスは、めっき層と、犠牲層とを積み重ねていき、最終的には犠牲層をエッチングで除去することによって、めっき層が残り、構造体となるというプロセスである。図７は、本作製プロセスの各工程における積層構造体１０Ａの構成を示す高さ方向の断面図である。以下、図７（ａ）〜（ｇ）の順に説明する。図７に示す斜線部は、後にエッチングで除去する犠牲層である。また、本説明ではストッパー１４、１５の図示は省略する。
【００３３】
まず、図７（ａ）に示すように、基板１１をめっき層により形成するとともに、第１の開口１２を犠牲層で形成する（第１層４１）。次に、第１層４１上に、第２層４２を形成する。第２層４２は、ガイド軸１３をめっき層で形成し、ほかの部分は犠牲層で形成する（図７（ｂ））。つづいて、第２層４２上に、可動部材２１をめっきで形成するとともに、第２の開口２２、第１の溝部２３、第２の溝部２４を犠牲層で形成する（第３層４３）。このとき、第２層４２のガイド軸１３上にさらに積層することによって、第１の溝部２３の中にガイド軸１３を形成する（図７（ｃ））。
【００３４】
さらに、第３層４３上に第４層４４を形成する（図７（ｄ））。第４層４４は、第２層４２及び第３層４３のガイド軸１３上に、ガイド軸１３をめっき層で形成し、ほかの部分は犠牲層で形成する。次に、図７（ｅ）に示すように、第５層４５として、例えば、めっき層５１と犠牲層５２を含む上基板を形成することも可能である。
【００３５】
次に、エッチングにより犠牲層（斜線部）を除去する（図７（ｆ））。このとき、ガイド軸１３は第１の溝部２３内にあり、第１の溝部２３の内壁との間にはクリアランス量δだけ間隔が存在している。最後に、可動部材２１の第２の開口２２と基板１１の第１の開口１２の中心を一致させる方向へ可動部材２１を押し込むことで、可動部材２１に対し、ガイド軸１３の位置を第１の溝部２３内から第２の溝部２４内の位置に移動させる（図７（ｇ））。
【００３６】
つづいて、図８、図９を参照して、上述のエッチング後の工程（図７（ｆ）、（ｇ））について説明する。図８は、エッチング後、可動部材２１を移動させる前の状態を示す上面図であり、図９は、エッチング後可動部材２１を移動させた後の状態を示す上面図である。
【００３７】
図８に示すように、犠牲層をエッチングで除去したときには、ガイド軸１３は可動部材２１に形成された第１の溝部２３内の位置にある。次に、基板１１の平面内においてガイド軸１３から離れる方向、つまりはガイド軸１３が第１の溝部２３内の位置から第２の溝部２４内の位置となるように、可動部材２１を押し込み、これにより、ガイド軸１３は第２の溝部２４内に配置される。このとき、ガイド軸１３の外周は第２の溝部２４の内壁に接触するため、可動部材２１の回動動作は規制される。
【００３８】
つづいて、図１０に示すように、ガイド軸１３を第２の溝部２４内に配置した積層構造体１０Ａの外周及び下面を枠部材３１で覆い、可動部材２１の第２の溝部２４側端面２５を枠部材３１の周壁３３に当接させる（図１１）。これにより、可動部材２１を基板１１の平面内のガイド軸１３から離れる方向へ押し込んだ状態を維持することができ、図１１に示すようにガイド軸１３が第２の溝部２４の位置にある状態を維持させる。ここで、図１０は、積層構造体１０Ａと枠部材３１との組み立て状態を示す分解斜視図である。図１１は、組み立て後の光調節装置１０の状態を示す斜視図である。
【００３９】
以上の構成及び製造方法の積層構造体１０Ａ、光調節装置１０によれば、以下の効果を奏する。
めっきプロセスとエッチングプロセスを用いて、積層構造体１０Ａを作製するためには、可動部材２１の第１の溝部２３とガイド軸１３のクリアランスδを広くしなければならない。その理由としては、ガイド軸１３と可動部材２１の第１の溝部２３の間隔が小さいと、ガイド軸１３と可動部材２１との間の犠牲層がうまくエッチングされない為である。一方、加工のしやすさを重視してクリアランスを広くしてしまうと、可動部材２１を動作させるときのがたつきにつながってしまう。具体的には、可動部材２１をガイド軸１３の周りに回動させるとき、回動むらが生じるため、第２の開口２２を所望の位置に正確に配置することができなくなる。
【００４０】
これに対して、第１実施形態に係る積層構造体１０Ａでは、可動部材２１に、第１の溝部２３と第２の溝部２４とを連続して形成して、全体として鍵穴形状の溝部としている。ガイド軸１３は、エッチング工程で犠牲層を除去する時には、鍵穴形状の広い位置にあたる第１の溝部２３内にあり、犠牲層を除去して第１の溝部２３、第２の溝部２４を形成した後に、可動部材２１を基板１１の平面内のガイド軸１３から離れる方向へ押し込む。これにより、ガイド軸１３は、鍵穴形状の狭い位置にあたる第２の溝部２４内に移動し、さらに、枠部材３１の周壁３３で可動部材２１の端面２５を押さえてしまうことで、ガイド軸１３をクリアランスの小さな可動部材２１の第２の溝部２４内に維持することが可能となる。したがって、めっきプロセスその他の金属層形成プロセスとエッチングプロセスを用いて、超小型可変絞り装置を作製することができると共に、ガイド軸１３周りのクリアランスによる可動部材２１のがたつきを小さくすることができる。
【００４１】
（第２実施形態）
第２実施形態に係る積層構造体、光調節装置、及び積層構造体の製造方法について説明する。
上述の第１実施形態では可動部材２１に形成される第１の溝部２３、第２の溝部２４を鍵穴形状にしていたが、これに代えて、図１２、図１３に示すような形状とすることもできる。ここで、図１２は、第２実施形態に係る可動部材１２１の構成を示す平面図であって、（ａ）はエッチング後、可動部材１２１を移動させる前の状態を示す図、（ｂ）はエッチング後、可動部材１２１を移動させた後の状態を示す平面図である。図１３は、第２実施形態の変形例に係る可動部材２２１の構成を示す平面図であって、（ａ）はエッチング後、可動部材２２１を移動させる前の状態を示す図、（ｂ）はエッチング後、可動部材２２１を移動させた後の状態を示す平面図である。なお、可動部材以外の構成については、第１実施形態と同様であるため、詳細な説明は省略する。
【００４２】
図１２に示す可動部材１２１では、第１の間隔を有する略円形状の第１の溝部１２３と、第１の間隔より小さな第２の間隔を有する半円状の第２の溝部１２４とが連続的に形成されている。第１の溝部１２３は、直径が第１の間隔と同じ第１の内接円を有し、第２の溝部１２４は、直径が第２の間隔と同じ第２の内接円を有する。これらの内接円とガイド軸１３は、上述の式（１）、（２）を満たす。
【００４３】
同様に、図１３に示す可動部材２２１では、第１の間隔を有する略正方形状の第１の溝部２２３と、第１の間隔より小さな第２の間隔を有する略楕円状の第２の溝部２２４が連続的に形成されている。第１の溝部２２３は、直径が第１の間隔と同じ第１の内接円を有し、第２の溝部２２４は、直径が第２の間隔と同じ第２の内接円を有する。これらの内接円とガイド軸１３は、上述の式（１）、（２）を満たす。
【００４４】
図１２に示す可動部材１２１及び図１３に示す可動部材２２１によれば、ガイド軸１３との間には、犠牲層をエッチングできるだけの間隔を有し、もう１つの間隔（第２の溝部１２４又は第２の溝部２２４との間隔）で、可動部材１２１、２２１は、ガイド軸１３により動作が規制される。したがって、第１実施形態に係る積層構造体１０Ａ、光調節装置１０と同様の効果が得られる。
【００４５】
また、第１実施形態及び第２実施形態に係る積層構造体では、可動部材は１つしかなかったが、図１４、図１５に示す積層構造体３１０Ａのように、可動部材が複数あった場合も、同様の効果が得られる。ここで、図１４は、エッチング後、可動部材３２１ａ、３２１ｂ、３２１ｃを移動させる前の状態を示す上面図であり、図１５は、エッチング後可動部材３２１ａ、３２１ｂ、３２１ｃを移動させた後の状態を示す上面図である。
【００４６】
図１４、図１５に示す例では、略円板状の基板３１１の上面周縁部に等角度間隔にガイド軸３１３ａ、３１３ｂ、３１３ｃが形成されている。可動部材３２１ａ、３２１ｂ、３２１ｃには、第１の間隔を有する第１の溝部３２３ａ、３２３ｂ、３２３ｃと、第１の間隔より小さな第２の間隔を有する第２の溝部３２４ａ、３２４ｂ、３２４ｃと、がそれぞれ形成されている。エッチング直後には、ガイド軸３１３ａ、３１３ｂ、３１３ｃは、可動部材３２１ａ、３２１ｂ、３２１ｃの第１の溝部３２３ａ、３２３ｂ、３２３ｃ内にそれぞれ配置されている。その後、可動部材３２１ａ、３２１ｂ、３２１ｃをガイド軸３１３ａ、３１３ｂ、３１３ｃから離れる方向へ移動させることにより、ガイド軸３１３ａ、３１３ｂ、３１３ｃを第２の溝部３２４ａ、３２４ｂ、３２４ｃ内にそれぞれ配置する。このような構成において、可動部材３２１ａ、３２１ｂ、３２１ｃの動作は、ガイド軸３１３ａ、３１３ｂ、３１３ｃが第２の溝部位置にあり規制される。つまりは、（第一の実施形態同様、）ガイド軸と第２の溝部とのクリアランスは小さいことから、この第２の溝部位置にガイド軸がくるよう可動部材を配置する事で、ガタつき無く可動部材を動作させることが可能となる。さらに、図１４、図１５に示すような複雑な形状で、かつ超小型な構造体を作製するには、めっきプロセスとエッチングプロセスを用いることは非常に有効であり、また、以上説明した、連続した溝部を用いることで、各可動部材の動作精度を上げることが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
以上のように、本発明に係る積層構造体は、金属層形成プロセスとエッチングプロセスによって形成し、可動部材を備えた構造体に有用であり、特に、可変絞り装置を備えた内視鏡装置に適している。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】第１実施形態に係る光調節装置の構成を示す分解斜視図である。
【図２】組み立て後の光調節装置の構成を示す斜視図である。
【図３】第１の間隔を有する溝部及び第２の間隔を有する溝部の一例を説明するための平面図である。
【図４】第１の間隔を有する溝部及び第２の間隔を有する溝部の別の例を説明するための平面図である。
【図５】第１の静止位置に可動部材がある場合の状態を示す上面図である。
【図６】第２の静止位置に可動部材がある場合の状態を示す上面図である。
【図７】第１実施形態に係る作製プロセス（製造方法）の各工程における積層構造体の構成を示す高さ方向の断面図である。
【図８】エッチング後、可動部材を移動させる前の状態を示す上面図である。
【図９】エッチング後、可動部材を移動させた後の状態を示す上面図である。
【図１０】積層構造体と枠部材との組み立て状態を示す分解斜視図である。
【図１１】組み立て後の光調節装置の状態を示す斜視図である。
【図１２】第２実施形態に係る可動部材の構成を示す平面図であって、（ａ）はエッチング後、可動部材を移動させる前の状態を示す図、（ｂ）はエッチング後、可動部材を移動させた後の状態を示す平面図である。
【図１３】第２実施形態の変形例に係る可動部材の構成を示す平面図であって、（ａ）はエッチング後、可動部材を移動させる前の状態を示す図、（ｂ）はエッチング後、可動部材を移動させた後の状態を示す平面図である。
【図１４】第１実施形態及び第２実施形態の変形例に係る積層構造体において、エッチング後、可動部材を移動させる前の状態を示す上面図である。
【図１５】第１実施形態及び第２実施形態の変形例に係る積層構造体において、エッチング後、可動部材を移動させた後の状態を示す上面図である。
【図１６】従来の積層構造体の製造工程を示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０    光調節装置
１０Ａ  積層構造体
１１    基板
１２    第１の開口
１３    ガイド軸
２１    可動部材
２２    第２の開口
２３    第１の溝部
２３ａ  第１の溝部
２３ｂ  第１の溝部
２４    第２の溝部
２４ａ  第２の溝部
２４ｂ  第２の溝部
２５ａ  第１の内接円
２５ｂ  第１の内接円
２６ａ  第２の内接円
２６ｂ  第２の内接円
３１    枠部材
３２    第３の開口
１２１  可動部材
１２３  第１の溝部
１２４  第２の溝部
２２１  可動部材
２２３  第１の溝部
２２４  第２の溝部
３１０Ａ  積層構造体
３１１  基板
３１３ａ、３１３ｂ、３１３ｃ  ガイド軸
３２１ａ、３２１ｂ、３２１ｃ  可動部材
３２３ａ、３２３ｂ、３２３ｃ  第１の溝部
３２４ａ、３２４ｂ、３２４ｃ  第２の溝部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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