(57)【要約】【課題】電極針への不純物の付着を防止しつつ対象物に迅速かつ確実にイオンを供給することが可能な除電装置を提供する。【解決手段】エア供給モジュール３００が除電器１００に取り付けられた状態では、各キャップ２０を挟むようにエア供給ユニット３２，３３のエア吹き出し孔３２ｂ，３３ｂが配置される。詳細には、各キャップ２０の一方側および他方側にそれぞれ４つのエア吹き出し孔３２ｂまたは４つのエア吹き出し孔３３ｂが配置される。また、エア吹き出し孔３２ｂ，３３ｂの開口部は、キャップ２０の先端部とほぼ同じ高さまで延びている。このエア吹き出し孔３２ｂ，３３ｂを通してエアが下方に吹き出される。【選択図】図１０
2009070706.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の除電を行う除電装置であって、
一方向に延びる一対の側面および底面を有するとともに、気体の供給路を有する本体部と、
前記本体部の前記底面において前記一方向に沿って各々が離間して配置されるとともに、コロナ放電を発生させるための電圧が印加される複数の電極針と、
前記本体部に設けられ、前記複数の電極針を先端部が露出する状態で保持するとともに、前記複数の電極針の先端部を覆う気体被覆層を形成するように前記供給路を通して供給される気体を吹き出す気体吹き出し孔を有する保持部材と、
前記本体部の少なくとも一方の側面に着脱可能に設けられ、前記複数の電極針のうちの少なくとも１つの電極針において生成されるイオンを予め定められた方向に搬送するために気体を吹き出す気体吹き出し口を有する気体吹き出し部とを備えることを特徴とする除電装置。
【請求項２】
前記気体吹き出し部の前記気体吹き出し口は、
前記少なくとも１つの電極針の軸方向に沿って帯状に気体を吹き出す第１の気体吹き出し口を含むことを特徴とする請求項１記載の除電装置。
【請求項３】
前記保持部材は、前記複数の電極針を前記本体部の前記底面よりも突出するように保持し、
前記気体吹き出し部の前記第１の気体吹き出し口は、前記少なくとも１つの電極針の軸方向と平行な方向において前記本体部の前記底面よりも突出する位置に配置されることを特徴とする請求項２記載の除電装置。
【請求項４】
前記保持部材は、前記複数の電極針の各々に対応するように前記一方向に沿って前記本体部の底面に複数設けられ、
前記気体吹き出し部の前記第１の気体吹き出し口は、前記複数の保持部材のうちの少なくとも１つの保持部材の側方に配置されることを特徴とする前記２または３記載の除電装置。
【請求項５】
前記気体吹き出し部は、前記本体部に着脱可能に設けられた１または複数の気体吹き出し用部材を含むことを特徴とする請求項４記載の除電装置。
【請求項６】
前記気体吹き出し用部材は、前記本体部の前記一対の側面のうち一方の側面に沿って配置される第１の側壁部および他方の側面に沿って配置される第２の側壁部を有し、
前記第１の側壁部は、前記一方向に延びる底面を有し、前記第２の側壁部は、前記一方向に延びる底面を有し、
前記第１の気体吹き出し口は、前記気体吹き出し用部材の前記第１の側壁部の前記底面および前記第２の側壁部の前記底面に設けられることを特徴とする請求項５記載の除電装置。
【請求項７】
前記気体吹き出し用部材は、前記第１および第２の側壁部によって前記複数の保持部材のうち少なくとも１つが挟まれるように配置されることを特徴とする請求項６記載の除電装置。
【請求項８】
前記気体吹き出し用部材は、前記第１の気体吹き出し口に気体を導くための気体通路を有することを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の除電装置。
【請求項９】
各気体吹き出し用部材は、他の気体吹き出し用部材に連結可能に構成され、複数の気体吹き出し用部材が連結された状態で前記複数の気体吹き出し用部材の気体通路が連通することを特徴とする請求項８記載の除電装置。
【請求項１０】
前記気体吹き出し部は、前記本体部に着脱可能に設けられるとともに前記気体吹き出し用部材に連結可能な連結部材をさらに含み、
前記連結部材は、前記気体吹き出し用部材の前記気体通路に連通する連通路を有することを特徴とする請求項８または９記載の除電装置。
【請求項１１】
前記連結部材の前記一方向の長さは、前記気体吹き出し用部材の前記一方向の長さと等しいことを特徴とする請求項１０記載の除電装置。
【請求項１２】
前記気体吹き出し用部材の前記気体通路に気体を導入する気体導入手段をさらに備えることを特徴とする請求項８〜１１のいずれかに記載の除電装置。
【請求項１３】
前記気体吹き出し部の前記気体吹き出し口は、前記本体部の前記一対の側面のうち一方の側面に沿って気体を吹き出す第２の気体吹き出し口および他方の側面に沿って気体を吹き出す第３の気体吹き出し口を含み、
前記本体部の前記一方の側面と前記底面とは第１の曲面で連続的につながり、前記本体部の前記他方の側面と前記底面とは第２の曲面で連続的につながり、
前記第２の気体吹き出し口から吹き出される気体が前記第１の曲面に沿って誘導されることにより気体の進行方向が前記少なくとも１つの電極針の延長線上から外れた位置で前記少なくとも１つの電極針の軸方向に対して傾斜するように前記第２の気体吹き出し口が配置され、
前記第３の気体吹き出し口から吹き出される気体が前記第２の曲面に沿って誘導されることにより気体の進行方向が前記少なくとも１つの電極針の延長線上から外れた位置で前記少なくとも１つの電極針の軸方向に対して傾斜するように前記第３の気体吹き出し口が配置されることを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の除電装置。
【請求項１４】
前記気体吹き出し部の前記気体吹き出し口は、前記少なくとも１つの電極針の前方でかつ前記少なくとも１つの電極針の軸方向に交差する方向に気体を吹き出す第４の気体吹き出し口を含むことを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載の除電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除電対象物にイオンを供給する除電装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス等の製造が行われるクリーンルームには、例えば空気中の静電気を除去するため、または製造対象となるワークの帯電を防止するために除電器が用いられる。
【０００３】
除電器として、コロナ放電式除電器がある。コロナ放電式除電器では、針状のコロナ電極に正または負の高い電圧を印加することによりコロナ放電を発生させる。これにより、コロナ電極の先端部周辺の雰囲気がイオン化される。
【０００４】
そして、発生された正または負のイオンが気流により基板等の除電対象物に送られる。それにより、除電対象物上の電荷を逆極性のイオンにより中和することができる。
【０００５】
上記のコロナ放電を空気中で発生させると、コロナ放電により生成される化学物質と空気中に存在する水分とが反応することにより不純物が生成される。生成された不純物は、コロナ電極の先端部に付着し、粗大化する。粗大化した不純物がコロナ電極から飛散すると、クリーンルーム内の雰囲気の清浄度が低下するとともに、ワークが不純物により汚染される。
【０００６】
特許文献１には、コロナ放電式除電器を用いることによるクリーンルーム内での不純物の飛散を防止する空気イオン化装置が開示されている。
【０００７】
以下、特許文献１の空気イオン化装置について説明する。図４３は、特許文献１の空気イオン化装置を示す概略構成図である。
【０００８】
この空気イオン化装置９５０は、フィルタが設けられたクリーンルームの天井に取り付けられる。この空気イオン化装置９５０は、バルブ９５５に接続されたシースガスノズル９５４ａ，９５４ｂを有する。シースガスノズル９５４ａ，９５４ｂ内には、それぞれ正および負のコロナ電極９７１ａ，９７１ｂが配置されている。より詳細には、コロナ電極９７１ａ，９７１ｂの先端部は、シースガスノズル９５４ａ，９５４ｂの先端よりも内側に位置する。
【０００９】
上記構成を有する空気イオン化装置９５０の動作時には、シースガスノズル９５４ａ，９５４ｂに、バルブ９５５を介して高純度のＮ２（窒素）ガス（シースガス）が供給される。そして、コロナ電極９６１ａ，９６１ｂに高電圧が印加される。これにより、コロナ放電が発生する。
【００１０】
このとき、シースガスノズル９５４ａ，９５４ｂに供給されるＮ２ガスは、コロナ電極９７１ａ，９７１ｂの周辺を覆うとともに各ノズル９５４ａ，９５４ｂの下部先端から流出する。
【００１１】
これにより、コロナ電極９７１ａにおいて発生した正イオン９５６ａが、Ｎ２ガスとともにシースガスノズル９５４ａの外部に送られる。また、コロナ電極９７１ｂにおいて発生した負イオン９５６ｂが、Ｎ２ガスとともにシースガスノズル９５４ｂの外部に送られる。
【００１２】
上記のように、特許文献１の空気イオン化装置９５０においては、コロナ放電の発生時にコロナ電極９７１ａ，９７１ｂの周辺が水分を含まないＮ２ガスにより覆われる。これにより、コロナ電極９７１ａ，９７１ｂの先端部への不純物の付着が防止される。
【特許文献１】特開平９−１７５９３号公報
【特許文献２】特開２００６−２３６７６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、特許文献１の空気イオン化装置９５０によりワークを除電する場合、コロナ電極９７１ａ，９７１ｂから生成されるイオン９５６ａ，９５６ｂは、シースガスノズル９５４ａ，９５４ｂの先端部から流出するＮ２ガスの気流によりワークに送られる。
【００１４】
このため、空気イオン化装置９５０から遠く離れたワークにイオン９５６ａ，９５６ｂを吹き付ける場合には、シースガスノズル９５４ａ，９５４ｂへのＮ２ガスの供給量を増加させる必要がある。
【００１５】
しかしながら、実際には、高価な高純度のＮ２ガスを多量に使用するとワークの製造コストが増大するため、このような方法は実現されていない。そこで、発生されたイオンをより遠くへ飛ばすための除電器として、特許文献２のシースエア式イオナイザが提案されている。
【００１６】
このシースエア式イオナイザにおいては、特許文献１の空気イオン化装置９００の構成に加えて、アシストエアノズルが設けられる。アシストエアノズルは、シースガスノズル９５４ａ，９５４ｂのそれぞれの外周を取り囲むように、各ノズル９５４ａ，９５４ｂに対して同心円状に形成される。
【００１７】
シースエア式イオナイザの動作時には、シースガスノズル９５４ａ，９５４ｂへのＮ２ガスの供給量を増加させることなく、アシストエアノズルに安価かつ清浄なドライエア（アシストエア）を供給する。これにより、シースガスノズル９５４ａ，９５４ｂから流出するイオンが、アシストエアノズルから流出するドライエアの気流によりワークに吹き付けられる。
【００１８】
しかしながら、上記構成において、アシストエアノズルから流出するドライエアは、シースガスノズル９５４ａ，９５４ｂの先端部を覆うように流れるので、シースガスノズル９５４ａ，９５４ｂの先端部近傍に乱流が発生しやすい。
【００１９】
シースガスノズル９５４ａ，９５４ｂの先端部近傍の雰囲気が乱れると、コロナ電極９７１ａ，９７１ｂの先端部周辺をＮ２ガスにより十分に覆うことが困難となる。
【００２０】
このため、特許文献２のシースエア式イオナイザでは、ワークまでの距離等に応じて各構成部材の寸法、ならびにＮ２ガスおよびドライエアの供給量を詳細に設定しなければならない。また、このシースエア式イオナイザでは、イオンが吹き出される方向が一方向に限定されているため、レイアウトの自由度が低い。
【００２１】
本発明の目的は、レイアウトの自由度が向上されるとともに、電極針への不純物の付着を防止しつつ対象物に迅速かつ確実にイオンを供給することが可能な除電装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
（１）本発明に係る除電装置は、対象物の除電を行う除電装置であって、一方向に延びる一対の側面および底面を有するとともに、気体の供給路を有する本体部と、本体部の底面において一方向に沿って各々が離間して配置されるとともに、コロナ放電を発生させるための電圧が印加される複数の電極針と、本体部に設けられ、複数の電極針を先端部が露出する状態で保持するとともに、複数の電極針の先端部を覆う気体被覆層を形成するように供給路を通して供給される気体を吹き出す気体吹き出し孔を有する保持部材と、本体部の少なくとも一方の側面に着脱可能に設けられ、複数の電極針のうちの少なくとも１つの電極針において生成されるイオンを予め定められた方向に搬送するために気体を吹き出す気体吹き出し口を有する気体吹き出し部とを備えるものである。
【００２３】
この除電装置においては、保持部材により複数の電極針が先端部が露出する状態で保持される。電極針に電圧が印加されると、電極針の先端部においてコロナ放電が発生し、イオンが生成される。
【００２４】
本体部の供給路を通して供給される気体は、複数の電極針の先端部を覆う気体被覆層を形成するように保持部材の気体吹き出し孔を通して吹き出される。これにより、各電極針の先端部に不純物等が付着することを防止することができる。
【００２５】
また、気体吹き出し部が本体部の少なくとも一方の側面に取り付けられた状態で、気体吹き出し口を通して気体が吹き出されることにより、少なくとも１つの電極針においてコロナ放電により生成されたイオンが気体の流れによって予め定められた方向に搬送される。それにより、対象物にイオンを確実に供給することができ、迅速に対象物の除電を行うことができる。
【００２６】
また、気体吹き出し部が本体部に着脱可能に設けられているため、共通の気体吹き出し用部材を複数の本体部に対して用いることができる。さらに、気体吹き出し口の配置または形状が互いに異なる種々の気体吹き出し部を選択的に用いることにより、イオンの搬送方向を任意に調整することが可能となる。それにより、レイアウトの自由度が向上される。
【００２７】
（２）気体吹き出し部の気体吹き出し口は、少なくとも１つの電極針の軸方向に沿って帯状に気体を吹き出す第１の気体吹き出し口を含んでもよい。
【００２８】
この場合、第１の気体吹き出し口を通して吹き出される気体の流量を高く設定することにより、少なくとも１つの電極針の先端部において生成されたイオンを気体の流れによって本体部からその電極針の軸方向に遠く離れた位置まで搬送することができる。それにより、対象物が本体部から電極針の軸方向に遠く離れた位置にある場合でも、対象物にイオンを迅速かつ確実に供給することができる。
【００２９】
さらに、第１の気体吹き出し口から吹き出される気体の流れが帯状であるので、電極針を包囲するように気体が吹き出される場合と比べて、電極針近傍の気流の乱れが抑制される。そのため、第１の気体吹き出し口から吹き出される気体の流量を高く設定しても、保持部材の気体吹き出し孔から吹き出される気体によって各電極針の先端部が覆われる状態を維持することができる。したがって、各電極針の先端部に不純物等が付着することを防止しつつ本体部から少なくとも１つの電極針の軸方向に遠く離れた位置にイオンを供給することができる。
【００３０】
（３）保持部材は、複数の電極針を本体部の底面よりも突出するように保持し、気体吹き出し部の第１の気体吹き出し口は、少なくとも１つの電極針の軸方向と平行な方向において本体部の底面よりも突出する位置に配置されてもよい。
【００３１】
この場合、気体吹き出し部の第１の気体吹き出し口から吹き出される気体が本体部に接触しない。そのため、気体の進行方向がコアンダ効果によって電極針の軸方向からずれることが防止される。それにより、生成されたイオンを電極針の軸方向に確実に搬送することができる。
【００３２】
（４）保持部材は、複数の電極針の各々に対応するように一方向に沿って本体部の底面に複数設けられ、気体吹き出し部の第１の気体吹き出し口は、複数の保持部材のうちの少なくとも１つの保持部材の側方に配置されてもよい。
【００３３】
この場合、複数の電極針の各々が、個別の保持部材によって保持される。少なくとも１つの保持部材の側方に気体吹き出し部の第１の気体吹き出し口が配置されることにより、その保持部材によって保持される電極針の先端部において生成されたイオンが、第１の気体吹き出し口から吹き出される気体によって本体部から電極針の軸方向に遠く離れた位置に確実に送られる。
【００３４】
（５）気体吹き出し部は、本体部に着脱可能に設けられた１または複数の気体吹き出し用部材を含んでもよい。
【００３５】
この場合、本体部に取り付ける気体吹き出し用部材の位置または個数を調整することにより、気体が吹き出される領域を調整することができる。それにより、複数の電極針のうちの所望の電極針の先端部において生成されたイオンを本体部から電極針の軸方向に遠く離れた位置に搬送することができる。したがって、所望の領域の除電を効率良く行うことができる。
【００３６】
（６）気体吹き出し用部材は、本体部の一対の側面のうち一方の側面に沿って配置される第１の側壁部および他方の側面に沿って配置される第２の側壁部を有し、第１の側壁部は、一方向に延びる底面を有し、第２の側壁部は、一方向に延びる底面を有し、第１の気体吹き出し口は、気体吹き出し用部材の第１の側壁部の底面および第２の側壁部の底面に設けられてもよい。
【００３７】
この場合、気体吹き出し用部材が本体部に取り付けられた状態で、第１の気体吹き出し口が本体部の一方の側面および他方の側面に沿って配置される。それにより、第１の気体吹き出し口から吹き出される気体の流れによって少なくとも１つの電極針の先端部において生成されたイオンを本体部から電極針の軸方向に遠く離れた位置まで確実に送ることができる。
【００３８】
（７）気体吹き出し用部材は、第１および第２の側壁部によって複数の保持部材のうち少なくとも１つが挟まれるように配置されてもよい。
【００３９】
この場合、少なくとも１つの保持部材により保持される電極針の先端部において生成されたイオンが、気体吹き出し用部材の第１の側壁部および第２の側壁部に設けられた第１の吹き出し口から吹き出される気体によって本体部から電極針の軸方向に遠く離れた位置に確実に送られる。
【００４０】
（８）気体吹き出し用部材は、第１の気体吹き出し口に気体を導くための気体通路を有してもよい。この場合、除電装置の構造を複雑化することなく気体を気体吹き出し用部材の気体通路を通して第１の気体吹き出し口に容易に導くことができる。
【００４１】
（９）各気体吹き出し用部材は、他の気体吹き出し用部材に連結可能に構成され、複数の気体吹き出し用部材が連結された状態で複数の気体吹き出し用部材の気体通路が連通してもよい。
【００４２】
この場合、複数の気体吹き出し用部材が連結されると、複数の気体吹き出し用部材の気体通路が連通する。そのため、連結された複数の気体吹き出し用部材のうちいずれかの気体吹き出し用部材の気体通路に導入された気体が、全ての気体吹き出し用部材の気体通路に導かれる。したがって、複数の気体吹き出し用部材のそれぞれに気体を導入する必要がないので、除電装置の構造を複雑化することなく複数の気体吹き出し用部材に気体を容易に導くことができる。
【００４３】
（１０）気体吹き出し部は、本体部に着脱可能に設けられるとともに気体吹き出し用部材に連結可能な連結部材をさらに含み、連結部材は、気体吹き出し用部材の気体通路に連通する連通路を有してもよい。
【００４４】
この場合、連結部材からは気体が吹き出されないので、気体吹き出し用部材と連結部材とを組み合わせて用いることにより、気体の使用量を抑制しつつ気体の供給領域を調整することができる。
【００４５】
（１１）連結部材の一方向の長さは、気体吹き出し用部材の一方向の長さと等しくてもよい。
【００４６】
この場合、気体吹き出し用部材と連結部材との互換性が確保され、気体吹き出し用部材および連結部材のいずれを用いても、一方向における全体の長さが一定に維持される。そのため、気体吹き出し用部材および連結部材の配置の自由度が高くなる。
【００４７】
（１２）気体吹き出し用部材の気体通路に気体を導入する気体導入手段をさらに備えてもよい。
【００４８】
この場合、気体導入手段により、連結された複数の気体吹き出し用部材のうちの１または複数の気体吹き出し用部材の気体通路に気体が導入される。
【００４９】
（１３）気体吹き出し部の気体吹き出し口は、本体部の一対の側面のうち一方の側面に沿って気体を吹き出す第２の気体吹き出し口および他方の側面に沿って気体を吹き出す第３の気体吹き出し口を含み、本体部の一方の側面と底面とは第１の曲面で連続的につながり、本体部の他方の側面と底面とは第２の曲面で連続的につながり、第２の気体吹き出し口から吹き出される気体が第１の曲面に沿って誘導されることにより気体の進行方向が少なくとも１つの電極針の延長線上から外れた位置で少なくとも１つの電極針の軸方向に対して傾斜するように第２の気体吹き出し口が配置され、第３の気体吹き出し口から吹き出される気体が第２の曲面に沿って誘導されることにより気体の進行方向が少なくとも１つの電極針の延長線上から外れた位置で少なくとも１つの電極針の軸方向に対して傾斜するように第３の気体吹き出し口が配置されてもよい。
【００５０】
この場合、気体吹き出し部の第２の気体吹き出し口を通して本体部の一方の側面に沿って気体が吹き出され、気体吹き出し部の第３の気体吹き出し口を通して本体部の他方の側面に沿って気体が吹き出される。第２の気体吹き出し口から吹き出される気体は、コアンダ効果によって第１の曲面に沿って誘導され、気体の進行方向が少なくとも１つの電極針の延長線上から外れた位置でその電極針の軸方向に対して傾斜する。第３の気体吹き出し口から吹き出される気体は、コアンダ効果によって第２の曲面に沿って誘導され、気体の進行方向が少なくとも１つの電極針の延長線上から外れた位置でその電極針の軸方向に対して傾斜する。
【００５１】
それにより、第２および第３の気体吹き出し口を通して吹き出された気体の流れによって少なくとも１つの電極針の先端部において生成されたイオンを広範囲に搬送することができる。したがって、広範囲の除電を効率良く行うことができる。
【００５２】
また、気体の進行方向が電極針の延長線上から外れることにより、各電極針の先端部近傍に気体が流れ込むことが防止される。そのため、各電極針の先端部が保持部材の気体吹き出し孔から吹き出される気体によって覆われる状態が維持される。したがって、各電極針の先端部に不純物等が付着することを防止しつつ広範囲にイオンを供給することができる。
【００５３】
（１４）気体吹き出し部の気体吹き出し口は、少なくとも１つの電極針の前方でかつ少なくとも１つの電極針の軸方向に交差する方向に気体を吹き出す第４の気体吹き出し口を含んでもよい。
【００５４】
この場合、気体吹き出し部の第４の気体吹き出し口を通して少なくとも１つの電極針のその前方でかつ電極針の軸方向に交差する方向に気体が吹き出される。そのため、その電極針の先端部において生成されたイオンが、電極針の軸方向に交差する方向に送られる。これにより、その電極針の側方領域の除電を行うことができる。
【００５５】
また、電極針の前方に気体が吹き出されることにより、電極針の先端部近傍に気体が流れ込むことが防止される。そのため、各電極針の先端部が保持部材の気体吹き出し孔から吹き出される気体によって覆われる状態が維持される。したがって、各電極針の先端部に不純物等が付着することを防止しつつ少なくとも１つの電極針の側方領域にイオンを供給することができる。
【発明の効果】
【００５６】
本発明によれば、電極針の先端部が気体によって覆われることにより、電極針の先端部に不純物等が付着することを防止することができる。また、コロナ放電により生成されたイオンが気体の流れによって予め定められた方向に搬送される。それにより、対象物にイオンを確実に供給することができ、迅速に対象物の除電を行うことができる。さらに、気体吹き出し口の配置または形状が互いに異なる種々の気体吹き出し部を選択的に用いることにより、イオンの搬送方向を任意に調整することが可能となる。それにより、レイアウトの自由度が向上される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５７】
以下、本発明の実施の形態に係る除電装置について図面を参照しながら説明する。本実施の形態では、除電器およびエア供給モジュールにより除電装置が構成される。
【００５８】
（１）除電器の構成
図１は除電器の外観斜視図であり、図２は除電器の内部構成を示す模式図である。なお、図１および図２においては、矢印Ｘ，Ｙ，Ｚで示すように、互いに直交する３方向をＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向と定義する。以下に示す図３〜図４１においても同様に、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向を定義する。
【００５９】
図１に示すように、除電器１００は、略楕円形状の断面を有するとともにＹ方向に沿って長尺状に延びている。以下、除電器１００のＹＺ平面に沿う一面および他面を一側面および他側面と呼び、ＸＺ平面に沿う一面および他面を一端面および他端面と呼ぶ。
【００６０】
除電器１００の一側面には、表示部１１およびモジュラコネクタ１２が設けられている。表示部１１は、例えばＬＥＤ（発光ダイオード）等からなり、除電器１００の動作状態等を表示する。モジュラコネクタ１２には、外部電源からの電力を供給するための電源コードまたは複数の除電器１００を互いに通信可能とするための接続コード等が接続される。また、除電気１００の一側面および他側面に互いに同じ高さでＹ方向に延びるように嵌合溝１３が形成されている。
【００６１】
除電器１００の一端面および他端面には、外部からエアを導入するためのエアポート１４が設けられている。なお、図１には、除電器１００の一端面に設けられたエアポート１４のみが示される。
【００６２】
除電気１００の底部には、グランドプレート（接地プレート）１５が取り付けられている。グランドプレート１５は、ＸＹ平面に沿ってＹ方向に延びるとともに、除電器１００の一側面および他側面にかけて湾曲している。また、グランドプレート１５から下方に突出するように、複数（本例では８つ）の略円筒状のキャップ２０がＹ方向に沿って等間隔で取り付けられている。後述のように、各キャップ２０内には、イオンを発生させるための電極針が設けられている。
【００６３】
図２に示すように、除電気１００の内部には、制御ユニット２１、高電圧ユニット２２および複数（本例では２つ）のエアユニット２３が設けられている。制御ユニット２１は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、電源回路および表示回路等を含み、モジュラコネクタ１２からの電力供給を受けて、各種回路を制御する。制御ユニット２１は、グランドプレート１５および高電圧ユニット２２に接続されている。高電圧ユニット２２は昇圧回路等を含み、高電圧を発生する。
【００６４】
複数のエアユニット２３は、Ｙ方向に沿って直列に配置され、連通管１３ａを介して互いに接続されるとともに、除電気１００の一端面側および他端面側において、連通管１３ｂを介してエアポート１４に接続されている。
【００６５】
エアユニット２３には、グランドプレート１５の開口部１５ａ（後述の図３参照）を通して複数のキャップ２０が取り付けられている。本例では、各エアユニット２３に４つのキャップ２０が取り付けられている。エアポート１４から導入されるエアは、エアユニット２３を通して各キャップ２０に供給される。
【００６６】
各キャップ２０内には電極針２５が設けられている。電極針２５は、エア供給ユニット２３を通して上記の高圧ユニット２２と電気的に接続されている。高電圧ユニット２２によって各電極針２５に高電圧が印加されることにより、各電極針２５の先端部でコロナ放電が発生し、周囲の雰囲気がイオン化される。
【００６７】
（２）エアユニットおよびキャップの詳細
次に、エアユニット２３およびキャップ２０の詳細について説明する。図３（ａ）はエアユニット２３にキャップ２０を取り付けた状態を示す断面図であり、図３（ｂ）はキャップ２０を下方から見た図である。
【００６８】
図３（ａ）に示すように、エアユニット２３は、流路形成部材２１０、接点支持部材２２０および高電圧配板保持部材２３０から構成される。流路形成部材２１０は、上方に開口する中空構造を有する。流路形成部材２１０の所定部分には、下方に突出するように円筒状のキャップ取り付け部２１１が設けられている。
【００６９】
接点支持部材２２０は、流路形成部材２１０の上端部に取り付けられる。これにより、流路形成部材２１０の内部にエア流路Ｆ１が形成される。図１および図２に示したエアポート１４から導入されたエアは、エア流路Ｆ１に導かれる。
【００７０】
接点支持部材２２０には上下に貫通する貫通孔２２１が形成されており、この貫通孔２２１を上方から閉塞するように、高電圧配板保持部材２３０が取り付けられる。貫通孔２２１の上端部には、高電圧配板保持部材２３０により保持された高電圧配板２２５が配置される。高電圧配板２２５は、図２の高電圧ユニット２２と電気的に接続されている。
【００７１】
キャップ２０は、略円筒状の保持部２０１およびその保持部２０１に一体的に形成された外筒部２０２を含む。キャップ２０の保持部２０１内には、先端部が下方に露出した状態で電極針２５が支持されている。外筒部２０２は、露出した電極針２５の先端部を取り囲むように下方に延びている。
【００７２】
キャップ２０の外筒部２０２が流路形成部材２１０のキャップ取り付け部２１１の外周面に嵌合される。また、キャップ２０の保持部２０１は接点支持部材２２０の貫通孔２２１に挿入される。この場合、電極針２５の後端部が高電圧配板２２５に接触する。それにより、電極針２５と図２の高電圧ユニット２２とが電気的に接続される。
【００７３】
電極針２５の周りにはエア流路Ｆ２が形成されている。キャップ２０の保持部２０１には、電極針２５を中心とする周方向に沿って、複数のエア供給路２０ａが設けられている。エア供給路２０ａを介してエア流路Ｆ１とエア流路Ｆ２とが連通する。エア流路Ｆ１からエア供給路２０ａを介してエア流路Ｆ２に供給されたエアは、電極針２５を外気に対してシールドしつつ、電極針２５の外周面に沿って電極針２５の下方に移動する。それにより、電極針２５の先端部近傍で生成されたイオンがキャップ２０の下方に押し出される。
【００７４】
ここで、図１および図２のエアポート１４から導入されるエアの流量は、例えば１分当り２０リットル程度に調整される。この場合、エア流路Ｆ２を通して供給されるエアによって電極針２５の外周面および先端部が確実にシールドされるとともに電極針２５の先端部近傍で生成されるイオンがキャップ２０の下方に向けて確実に押し出される。このため、外気に含まれる粉塵等が電極針２５に付着することを抑制することができるとともに、生成されたイオンを確実に外部へ搬送することができる。
【００７５】
（３）エア供給モジュールの構成
次に、除電器１００に取り付けられるエア供給モジュールについて説明する。図４は、エア供給モジュールの概観斜視図である。
【００７６】
図４に示すように、エア供給モジュール３００は、エンドユニット３１、表示窓付エア供給ユニット３２、１または複数（本例では３つ）のエア供給ユニット３３、およびエンドユニット３４を含む。
【００７７】
エンドユニット３１は、Ｙ方向に延びる略円筒状の流路形成部３１１、および流路形成部３１１から下方に延びる断面逆Ｕ字状の側壁３１２を有する。流路形成部３１１には、ねじ切り加工が施された接続孔３１ａがＹ方向に貫通するように形成されている。側壁３１２の内側面には、互いに対向するように２本の突条部３１３がＹ方向に沿って形成されている。
【００７８】
エア供給ユニット３２は、Ｙ方向に延びる略円筒状の流路形成部３２１、および流路形成部３２１から下方に延びる断面逆Ｕ字状の側壁３２２を有する。エア供給ユニット３２の流路形成部３２１および側壁３２２は、エンドユニット３１の流路形成部３１１および側壁３１２よりもＹ方向の長さが長く設定されている。
【００７９】
側壁３２２の内側面には、互いに対向するように２本の突条部３１３がＹ方向に沿って形成されている。流路形成部３２１の一端面には、Ｙ方向に突出するように円筒状の結合部３２４が形成されている。結合部３２４の内部を通して流路形成部３２１をＹ方向に貫通するようにエア通路３２ａが形成されている。流路形成部３２１の上部には、断面Ｔ字状の取付嵌合部３２５がＹ方向に沿って設けられている。また、側壁３２２の所定部には、矩形の切り抜き部３２６が形成されている。
【００８０】
エア供給ユニット３３は、切り抜き部３２４が形成されていない点を除いてエア供給ユニット３２と同様の形状を有し、流路形成部３２１、側壁３２２、突条部３２３、結合部３２４、エア通路３２ａおよび取付嵌合部３２５に相当する流路形成部３３１、側壁３３２、突条部３３３、結合部３３４、エア通路３３ａおよび取付嵌合部３３５を有する。
【００８１】
エンドユニット３４は、エンドユニット３１とほぼ同様の形状を有し、エンドユニット３１の流路形成部３１１、側壁３１２、突条部３１３に相当する流路形成部３４１、側壁３４２および突条部３４３を有する。また、流路形成部３１１には、ねじ切り加工が施された接続孔３４ａがＹ方向に貫通するように形成されている。エンドユニット３４とエンドユニット３１とが異なる点として、エンドユニット３４の一端面には、Ｙ方向に突出するように円筒状の結合部３４４が形成されている。
【００８２】
（４）エア供給ユニットの詳細
次に、エア供給ユニット３２，３３の詳細について説明する。図５（ａ）は、エア供給ユニット３２のＸＺ平面における断面図である。なお、エア供給ユニット３３のＸＺ平面における断面は、切り抜き部３２６がない点を除いて図５（ａ）に示すエア供給ユニット３２の断面と同様である。図５（ｂ）は、エア供給ユニット３２を図５（ａ）のＡ−Ａ線において切欠いた状態で示す一部切欠き断面図である。また、図５（ｃ）はエア供給ユニット３３を図５（ａ）のＡ−Ａ線において切欠いた状態で示す一部切欠き断面図である。
【００８３】
図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、エア供給ユニット３２のエア通路３２ａを中心として一方および他方の側壁３２２の内部に広がるようにエア供給空間３２７が形成されている。また、一方の側壁３２２の底部および他方の側壁３２２の底部を貫通するように、それぞれ複数（本例では８つ）のエア吹き出し孔３２ｂがＹ方向に沿って並列に形成されている。複数のエア吹き出し孔３２ｂは、２つの領域に分かれて配置されており、各領域に互いに等しい数（本例では４つ）のエア吹き出し孔３２ｂが等間隔で配置されている。
【００８４】
同様に、図５（ｃ）に示すように、エア供給ユニット３３のエア通路３３ａを中心として一方および他方の側壁３３２の内部に広がるようにエア供給空間３３７が形成されている。また、一方の側壁３３２の底部および他方の側壁３３２の底部を貫通するように、それぞれ複数（本例では８つ）のエア吹き出し孔３３ｂがＹ方向に沿って並列に形成されている。複数のエア吹き出し孔３３ｂは、２つの領域に分かれて配置されており、各領域に互いに等しい数（本例では４つ）のエア吹き出し孔３３ｂが等間隔で配置されている。
【００８５】
（５）除電器への取り付け
次に、エア供給モジュール３００の除電器１００への取り付け方法について説明する。図６〜図８は、エア供給モジュール３００の除電器１００への取り付け方法を説明するための図である。
【００８６】
図６（ａ）に示すように、まず、除電器１００の一端部側からエンドユニット３１が取り付けられる。この場合、エンドユニット３１の突条部３１３が除電器１００の嵌合溝１３に嵌合され、所定位置までＹ方向にスライドされる。
【００８７】
続いて、図６（ｂ）に示すように、除電器１００の他端部からエア供給ユニット３２が取り付けられる。この場合、エア供給ユニット３２の突条部３２３が除電器１００の嵌合溝１３に嵌合され、除電器１００の一端部側に向けてＹ方向にスライドされる。そして、図６（ｃ）に示すように、エア供給ユニット３２の結合部３２４がエンドユニット３１の接続孔３１ａに挿入される。なお、エア供給ユニット３２は、除電器１００の表示部１１上に配置される。この場合、エア供給ユニット３２の切り抜き部３２６を通して表示部１１の表示を視認することが可能となる。
【００８８】
エア供給ユニット３２と同様にして、図７（ｄ）に示すように、複数のエア供給ユニット３３が順に取り付けられる。この場合、エア供給ユニット３２に隣接するエア供給ユニット３３の結合部３３４（図４）はエア供給ユニット３２のエア通路３２ａ（図４）に挿入され、他のエア供給ユニット３３の結合部３３４は隣接するエア供給ユニット３３のエア通路３３ａに挿入される。
【００８９】
続いて、図７（ｅ）に示すように、除電器１００の他端部からエンドユニット３４が取り付けられる。この場合、エンドユニット３４の結合部３４４が除電器１００の最も他端部側に位置するエア供給ユニット３３のエア通路３３ａ（図４）に挿入される。
【００９０】
このようにしてエンドユニット３１，３４およびエア供給ユニット３２，３３が除電器１００に取り付けられた後、図８（ｆ）に示すように、エンドユニット３１，３４の接続孔３１ａ，３４ａに、後述のエア導入管を接続するため接続部材４０が取り付けられる。接続部材４０は挿入孔４０ａを有する略円筒形状に形成されている。挿入孔４０ａ内には図示しないロック爪が設けられており、エア導入管が挿入孔４０ａ内に挿入されると、このロック爪によりエア導入管が挿入孔４０ａ内で固定される。
【００９１】
（６）除電器およびエア供給モジュールの設置
次に、工場等における除電器１００およびエア供給モジュール３００の設置方法について説明する。図９は除電器１００およびエア供給モジュール３００の設置方法を示す図である。
【００９２】
図９に示すように、除電器１００およびエア供給モジュール３００の設置時には、複数（本例では２つ）の上部取付具４１および２つの端部取付具４２が用いられる。
【００９３】
上部取付具４１は、固定支持部材４１１および揺動支持部材４１２からなる。固定支持部材４１１は、ＸＹ平面に沿った略平板形状を有し、その両側辺の近傍にねじ挿入孔４１１ａが形成されている。揺動支持部材４１２は、固定支持部材４１１に揺動可能に接続されており、その下部には断面略Ｔ字状の嵌合溝４１２ａがＹ方向に貫通するように形成されている。
【００９４】
上部取付具４１は、エア供給ユニット３２，３３のうちの任意の１つまたは複数に取り付けられる。図９においては、エア供給ユニット３２および除電器１００の他端部側に位置するエア供給ユニット３３に上部取付具４１が取り付けられる。具体的には、揺動支持部材４１２の嵌合溝４１２ａにエア供給ユニット３２，３３の取付嵌合部３２５，３３５が嵌合される。
【００９５】
端部取付具４２は、ＸＹ平面およびＸＺ平面に沿うようにＬ字状に折曲された固定支持部材４２１、およびＸＺ平面に沿った略平板状の揺動支持部材４２２からなる。固定支持部材４２１のＸＹ平面に沿う部分にはねじ挿入孔４２１ａが形成されている。揺動支持部材４２２は、固定支持部材４２１の下端部に揺動可能に接続されており、揺動支持部材４２２の上端部近傍にはエア導入管挿入孔４２２ａが形成されている。
【００９６】
端部取付具４２は、固定支持部材４２１のＸＹ平面に沿う部分をＹ方向の外側に向けた状態で、ねじ等により除電器１００の一端面および他端面に取り付けられる。
【００９７】
上部取付具４１がエア供給モジュール３００に取り付けられるとともに端部取付具４２が除電器１００に取り付けられた状態で、上部取付具４１の固定支持部材４１１および端部取付具５２の固定支持部材４２１が、図示しないねじによって工場等の設置部分（例えば天井）に固定される。
【００９８】
なお、上部取付具４１の揺動支持部材４１２は固定支持部材４１１に対して揺動可能であり、また、端部取付具４２の揺動支持部材４２２は固定支持部材４２１に対して揺動可能であるので、設置された除電器１００およびエア供給モジュール３００を鉛直面に対して傾斜させることも可能である。
【００９９】
続いて、エア（空気）を導入するためのエア導入管５０が、端部取付具４２のエア導入管挿入孔４２２ａを通して、エア供給モジュール３００の両端部側から接続部材４０の挿入孔４０ａに挿入される。これにより、エア導入管５０がエンドユニット３１，３４に接続され、除電器１００およびエア供給モジュール３００の設置が完了する。
【０１００】
なお、エンドユニット３１，３４のうちの一方のみにエア導入管５０を接続してもよい。その場合、エンドユニット３１，３４の他方には、接続部材４０の代わりに接続孔３１ａ，３４ａを閉塞するための閉塞部材（図示せず）が取り付けられる。
【０１０１】
（７）除電器のキャップとエア吹き出し孔との位置関係
図１０（ａ）はエア供給モジュール３００が取り付けられた除電器１００を下方から見た図であり、図１０（ｂ）はエア供給モジュール３００が取り付けられた除電器１００を一端面側から見た図である。
【０１０２】
図１０（ａ）に示すように、エア供給モジュール３００が除電器１００に取り付けられた状態では、各キャップ２０を挟むようにエア供給ユニット３２，３３のエア吹き出し孔３２ｂ，３３ｂが配置される。詳細には、各キャップ２０の一方側および他方側にそれぞれ４つのエア吹き出し孔３２ｂまたは４つのエア吹き出し孔３３ｂが配置される。
【０１０３】
また、図１０（ｂ）に示すように、エア供給ユニット３２，３３の側壁３２２，３３２の下端部におけるエア吹き出し孔３２ｂ，３３ｂの開口部は、キャップ２０の先端部とほぼ同じ高さまで延びている。
【０１０４】
（８）エアの流れ
次に、エア供給モジュール３００に導入されるエアの流れについて説明する。図１１は、エア供給モジュール３００に導入されるエアの流れを説明するための図である。なお、エアの代わりに不活性ガスおよびドライガス等の他の気体を用いてもよい。
【０１０５】
図１１に示すように、エア導入管５０から導入されるエアは、エンドユニット３１，３４の接続孔３１ａ，３４ａおよびエア供給ユニット３２，３３のエア通路３２ａ，３３ａを通って、エア供給ユニット３２，３３のエア供給空間３２７，３３７に導かれる。そして、エア供給ユニット３２の複数のエア吹き出し孔３２ｂを通してエアが下方に吹き出されるとともに、各エア供給ユニット３３の複数のエア吹き出し孔３３ｂを通してエアが下方に吹き出される。この場合、複数のエア吹き出し孔３２ａを通して吹き出されるエアおよび複数のエア吹き出し孔３２ｂを通して吹き出されるエアは、それぞれ帯状の流れを形成する。
【０１０６】
ここで、エア供給ユニット３３の側壁３３２の下端部の高さとエア吹き出し孔３３ｂから吹き出されるエアの流れとの関係について説明する。図１２は、エア供給ユニット３３の側壁３３２の下端部の高さとエア吹き出し孔３３ｂから吹き出されるエアの流れとの関係を説明するための模式図である。なお、エア供給ユニット３２の側壁３２２の下端部の高さとエア吹き出し孔３２ｂから下方に吹き出されるエアの流れとの関係は、図１２に示すエア供給ユニット３３の場合と同様である。
【０１０７】
以下、図１２において、除電器１００の一方の側面側に位置するエア吹き出し孔３３ｂから吹き出されるエアを第１エアＡ１と呼び、他方の側面側に位置するエア吹き出し孔３３ｂから吹き出されるエアを第２エアＡ２と呼ぶ。
【０１０８】
図１２（ａ）および図１２（ｂ）には、側壁３３２の下端部が除電器１００の底部に取り付けられたグランドプレート１５よりも高い位置にある場合のエアの流れが示される。
【０１０９】
上記のように、グランドプレート１５の両側部は、上方に円弧状に湾曲している。そのため、図１２（ａ）に示すように、側壁３３２の下端部がグランドプレート１５よりも上方にあると、第１エアＡ１および第２エアＡ２が、コアンダ効果によりグランドプレート１５の湾曲部分を伝って内方へと導かれる。なお、コアンダ効果とは、流体の流れの中に物体がある場合、その物体の表面に沿って流体が流れることをいう。
【０１１０】
この場合、図１２（ｂ）に示すように、第１エアＡ１と第２エアＡ２とが除電器１００の下端部近傍において衝突し、拡散する。そのため、第１エアＡ１および第２エアＡ２を遠くまで到達させることができない。
【０１１１】
また、この場合には、第１エアＡ１および第２エアＡ２が除電器１００の下端部近傍に流れ込むため、キャップ２０内の電極針２５（図３）を覆うように形成されたシースエア層が第１エアＡ１および第２エアＡ２によって破壊される。それにより、電極針２５の先端に不純物等が付着しやすくなる。
【０１１２】
図１２（ｃ）〜図１２（ｄ）には、側壁３３２の下端部が除電器１００の底部に取り付けられたグランドプレート１５よりも低い位置にある場合のエアの流れが示される。
【０１１３】
図１２（ｃ）に示すように、第１エアＡ１および第２エアＡ２がグランドプレート１５よりも低い位置から高速で吹き出された場合、第１エアＡ１と第２エアＡ２との間にＹ方向の軸周りに回転する渦が発生する。この渦により、第１エアＡ１と第２エアＡ２との間の雰囲気が、第１エアＡ１および第２エアＡ２の流れの中に導かれて吸収される。それにより、図１２（ｄ）に示すように、第１エアＡ１と第２エアＡ２との間に負圧領域Ｈが形成される。
【０１１４】
そのため、図１２（ｅ）に示すように、第１エアＡ１および第２エアＡ２が負圧領域Ｈに引き込まれて互いに合流する。この場合、第１エアＡ１および第２エアＡ２の下方への流れは維持されるので、合流したエアは、除電器１００から下方に遠く離れた位置まで到達する。
【０１１５】
本実施の形態では、図１０（ｂ）に示したように、側壁３３２の下端部が除電器１００の底部に取り付けられたグランドプレート１５の底面よりも低い位置にある。そのため、図１２（ｃ）〜図１２（ｅ）に示したように、エア吹き出し孔３２ｂ，３３ｂから吹き出されるエアは、除電器１００から下方に遠く離れた位置まで到達する。
【０１１６】
（９）イオンとエアとの関係
図１３は、除電器１００の各キャップ２０において生成されるイオンとエア吹き出し孔３３ｂから吹き出されるエアとの関係を示す図である。なお、除電器１００の各キャップ２０において生成されるイオンとエア吹き出し孔３２ｂから吹き出されるエアとの関係は、図１３に示す関係と同様である。
【０１１７】
図１３に示すように、キャップ２０内において電極針２５の先端部近傍にイオンＬが生成され、キャップ２０のエア流路Ｆ２を通して吹き出されるエアによって、キャップ２０内から下方に押し出される。また、除電器１００の一方の側面側および他方の側面側から、エア吹き出し孔３３ｂを通して下方に第１エアＡ１および第２エアＡ２が吹き出される。
【０１１８】
ここで、エア吹き出し孔３３ｂはキャップ２０を挟むように除電器１００の一方の側面側および下方の側面側に配置され（図１０（ａ）参照）、また、側壁３２２，３３２の下端部の高さは各キャップ２０の先端部の高さとほぼ等しく設定されている。そのため、上記のようにキャップ２０から下方に押し出されたイオンＬは、第１エアＡ１と第２エアＡ２との間の雰囲気中に存在する状態となる。
【０１１９】
図１２（ｃ）に示したように、第１エアＡ１と第２エアＡ２との間の雰囲気は、第１エアＡ１および第２エアＡ２へ吸収される。そのため、生成されたイオンは、第１エアＡ１および第２エアＡ２に吸収され、第１エアＡ１および第２エアＡ２の流れによって除電器１００から下方に遠く離れた位置まで送られる。
【０１２０】
（１０）本実施の形態の効果
本実施の形態では、除電器１００の各キャップ２０内において生成されたイオンが、エア供給ユニット３２，３３から吹き出されるエアによって下方に遠く離れた位置まで送られる。それにより、ワーク等の除電対象物が、除電器１００から下方に遠く離れた位置にある場合でも、除電対象物にイオンを迅速かつ確実に供給することができる。
【０１２１】
また、除電器１００ａの一方の側面側から吹き出される第１エアＡ１および他方の側面側から吹き出される第２エアＡ２は、除電器１００の下端部から所定距離下方に離間した位置で合流する。そのため、第１エアＡ１および第２エアＡ２によって、キャップ２０内の電極針２５近傍に形成されたシースエア層が破壊されることがない。したがって、電極針２５に不純物が付着することをシースエア層により防止しつつ除電器１００から下方に遠く離れた位置にイオンを送ることができる。
【０１２２】
さらに、第１エアＡ１および第２エアＡ２は、除電器１００ａの一方の側面側および他方の側面側から帯状に吹き出される。この場合、各キャップ２０を包囲するように第１エアＡ１および第２エアＡ２が吹き出される場合と比べて、キャップ２０近傍の気流の乱れが抑制される。したがって、シースエア層が破壊されることをより確実に防止することができる。
【０１２３】
また、本実施の形態のエア供給モジュール３００は、エア供給ユニット３２，３３の個数を調整することにより、Ｙ方向の長さおよびキャップ２０の個数等が異なる種々の除電器１００に対して適用が可能である。
【０１２４】
（１１）実施例
エア供給モジュール３００を用いて除電器１００を使用する場合およびエア供給モジュール３００を用いずに除電器１００を使用する場合のそれぞれにおいて、イオンが供給される距離を調べた。
【０１２５】
（１１−１）エア供給モジュールを用いる場合
図１４は、エア供給モジュール３００を用いた場合のイオンの到達距離の測定結果を示す図である。ここで、除電対象物の電位を１０００Ｖから１００Ｖに下げるために必要なイオンの量をイオンの十分量とする。図１４において、Ｅ１は十分量のイオンが１秒以内に供給された領域を示し、Ｅ２は十分量のイオンが１〜２秒で供給された領域を示し、Ｅ３は十分量のイオンが２〜５秒で供給された領域を示し、Ｅ４は十分量のイオンが５〜１０秒で供給された領域を示す。また、図１４において、縦軸は除電器１００から下方向への距離を示し、横軸は除電器１００の電極針２５を通るＹ方向の鉛直面から側方への距離を示す。
【０１２６】
除電器１００の電極針２５（図３）は、一本のみを使用した。また、除電器１００に導入するエアの流量は１分当り約２０リットルに設定し、エア供給モジュール３００に導入するエアの流量は１分当り約２５０リットルに設定した。
【０１２７】
図１４に示すように、エア供給モジュール３００を用いた場合には、１秒以内に除電器１００から約４０ｃｍ離れた位置まで十分量のイオンを供給することができた。また、２秒以内に除電器１００から約６５ｃｍ離れた位置まで十分量のイオンを供給することができた。
【０１２８】
さらに、５秒以内に除電器１００から約１００ｃｍ離れた位置まで十分量のイオンを供給することができた。また、１０秒以内に除電器１００から約１４０ｃｍ離れた位置まで十分量のイオンを供給することができた。
【０１２９】
（１１−２）エア供給モジュールを用いない場合
図１５は、エア供給モジュール３００を用いなかった場合のイオンの到達距離の測定結果を示す図である。図１５において、Ｅ６は十分量のイオンが１秒以内に供給された領域を示し、Ｅ７は十分量のイオンが１〜２秒で供給された領域を示し、Ｅ８は十分量のイオンが２〜５秒で供給された領域を示し、Ｅ９は十分量のイオンが５〜１０秒で供給された領域を示す。また、図１５において、縦軸は除電器１００から下方向への距離を示し、横軸は除電器１００の電極針２５を通るＹ方向の鉛直面から側方への距離を示す。
【０１３０】
なお、エア供給モジュール３００を用いなかった点を除いて、上記と同様の条件で測定を行った。
【０１３１】
図１５に示すように、エア供給モジュール３００を用いない場合には、１秒以内に除電器１００から約２５ｃｍ離れた位置までしか十分量のイオンを供給することができなかった。また、２秒以内に除電器１００から約４０ｃｍ離れた位置までしか十分量のイオンを供給することができなかった。
【０１３２】
さらに、５秒以内に除電器１００から約６０ｃｍ離れた位置までしか十分量のイオンを供給することができなかった。また、１０秒以内に除電器１００から約８５ｃｍ離れた位置までしか十分量のイオンを供給することができなかった。
【０１３３】
このように、エア供給モジュール３００を用いた場合には、除電器１００により生成されたイオンが下方に遠く離れた位置に迅速に供給されることがわかった。
【０１３４】
（１２）変形例
（１２−１）エア供給ユニットの第１の変形例
図１６（ａ）はエア供給ユニット３３の第１の変形例の一部切欠き断面図であり、図１６（ｂ）は図１６（ａ）に示すエア供給ユニット３３を下方から見た図である。
【０１３５】
図１６（ａ）および図１６（ｂ）の例では、エア供給ユニット３３の底部に、複数のエア吹き出し孔３３ｂの代わりにスリット状のエア吹き出し孔３３ｃが形成されている。この場合、図１０の互いに近接した４つのエア吹き出し孔３３ｂが、１つのエア吹き出し孔３３ｃに対応する。
【０１３６】
スリット状のエア吹き出し孔３３ｃの幅または長さを調整することにより、エア吹き出し孔３３ｂから吹き出されるエアの流速等を容易に調整することができる。なお、エア供給ユニット３２においても、同様に、複数のエア吹き出し孔３２ｂの代わりにスリット状のエア吹き出し孔に形成してもよい。
【０１３７】
（１２−２）エア供給ユニットの第２の変形例
図１７（ａ）はエア供給ユニット３２，３３の第２の変形例を示す外観斜視図であり、図１７（ｂ）は図１７（ａ）に示すエア供給ユニット３２，３３を下方から見た図である。図４〜図１６においては、２つのキャップ２０に対して１つのエア供給ユニット３２，３３が設けられているが、図１７の例では、１つのキャップ２０に１つのエア供給ユニット３２，３３が設けられている。
【０１３８】
この場合、エア供給ユニット３２，３３の配置の自由度が向上される。例えば奇数個のキャップ２０を有する除電器１００に対しても、全てのキャップ２０に対して均一にエア供給ユニット３２，３３を配置することができる。
【０１３９】
（１２−３）第３の変形例
エンドユニット３１，３４およびエア供給ユニット３２，３３を互いに連結した状態で維持するための係止機構を設けてもよい。図１８は、係止機構の一例を示す図である。なお、図１８においては、エンドユニット３１およびエア供給ユニット３２に係止機構が設けられた場合を示す。
【０１４０】
図１８に示すように、係止機構は、エンドユニット３１に設けられた突起部Ｔ１、およびエア供給ユニット３２に設けられた鉤状部Ｔ２からなる。突起部Ｔ１はエンドユニット３１の流路形成部３１１の一端部に設けられ、鉤状部Ｔ２はエア供給ユニット３２の流路形成部３２１の一端部に設けられる。
【０１４１】
エンドユニット３１とエア供給ユニット３２とが連結されると、鉤状部Ｔ２の先端部が突起部Ｔ１の縁部に係止される。それにより、エンドユニット３１とエア供給ユニット３２とが互いに連結された状態で維持される。
【０１４２】
（１２−４）エンドユニットの変形例
エンドユニット３１，３４において、エア供給ユニット３２，３３のエア供給空間３２７，３３７およびエア吹き出し孔３２ｂ，３３ｂ（図４および図５）と同様の下方にエアを供給するための機構を設けてもよい。具体的には、エンドユニット３１，３４の内部に、エア通路３１ａ，３４ａを中心として一方の側壁３１２，３４２および他方の側壁３１２，３４２にエア供給空間を設け、一方の側壁３１２，３４２の底部および他方の側壁３１２，３４２の底部を貫通するようにエア吹き出し孔を設けてもよい。
【０１４３】
また、エンドユニット３１，３４を用いずに、エア供給ユニット３２，３３にエア導入管５０が接続可能な構成としてもよい。例えば、エア供給ユニット３２，３３のエア通路３２ａ，３３ａ（図４および図５）の内周面にねじ切り加工を施すとともに、結合部３２４，３３４（図４および図５）の外周面にねじ切り加工を施す。
【０１４４】
隣接するエア供給ユニット３２，３３を互いに連結させる際には、一方のエア供給ユニット３２，３３の結合部３２４，３３４が他方のエア通路３２ａ，３３ａにねじ込まれる。除電器１００の一端部および他端部に位置するエア供給ユニット３２，３３のエア通路３２ａ，３３ａには、接続部材４０を介してエア導入管５０（図９）が接続される。なお、除電器１００の一端部に位置するエア供給ユニット３２，３３に取り付けられる接続部材としては、結合部３２４，３３４を螺合することが可能なねじ孔が形成されたものを用いる。
【０１４５】
また、結合部３２４，３３４を設ける代わりに、隣接するエア供給ユニット３２，３３の一方および他方のエア通路３２ａ，３３ａに螺合可能でかつ一方および他方のエア通路３２ａ，３３ａを互いに連通させる連通孔が形成された略円筒状のねじ部材（図示せず）を用いてもよい。
【０１４６】
このねじ部材を隣接するエア供給ユニット３２，３３の一方および他方のエア通路３２ａ，３３ａに螺合することにより、一方および他方のエア通路３２ａ，３３ａが互いに連通する状態で隣接するエア供給ユニット３２，３３が連結される。
【０１４７】
また、接続部材４０のエア供給ユニット３２，３３への取り付けを螺合以外の他の方法で行ってもよい。例えば、接続部材４０の一端部を除電器１００の他端部に位置するエア通路３２ａ，３３ａに押し込むことにより、接続部材４０のエア供給ユニット３２，３３への取り付けが可能な構成とする。その場合、エア通路３２ａ，３３ａの内周面には、ねじ切り加工を施す代わりに接続部材４０の受け入れが可能な機構を設ける。また、結合部３２４，３３４の外周面には、接続部材４０の一端部と同様の機構を設ける。なお、除電器１００の一端部に位置するエア供給ユニット３２，３３に取り付けられる接続部材には、結合部３２４，３３４を受け入れ可能な機構を設ける。
【０１４８】
このように、エンドユニット３１，３４を用いない構成とすることにより、エア供給モジュール３００の部品点数を削減することが可能となる。それにより、エア供給モジュール３００の除電器１００への取り付けが容易になるとともに、製造コストの削減が可能となる。
【０１４９】
（１２−５）除電器への取付方法の他の例
エンドユニット３１，３４およびエア供給ユニット３２，３３の各々を除電器１００の側面または上面にねじ止めしてもよい。この場合、エンドユニット３１，３４の突状部３１３，３４３およびエア供給ユニット３２，３３の突状部３２３，３３３は設けなくてもよい。
【０１５０】
また、エンドユニット３１，３４の側壁３１２，３４２の内側面間の距離およびエア供給ユニット３２，３３の側壁３２２，３３２の内側面間の距離が下方に向かって漸次小さくなるように設定してもよい。この場合、エンドユニット３１，３４およびエア供給ユニット３２，３３を除電器１００に取り付けた際に、側壁３１２，３４２，３２２，３３２から除電器１００に内方への応力が加わる。そのため、エンドユニット３１，３４およびエア供給ユニット３２，３３が除電器１００に固定される。なお、エンドユニット３１，３４の突状部３１３，３４３およびエア供給ユニット３２，３３の突状部３２３，３３３は設けなくてもよい。
【０１５１】
（１３）エア供給ユニットの他の例
（１３−１）構成
エア供給ユニット３２，３３の代わりに、以下に示すエア供給ユニット６１を用いてもよい。図１９（ａ）はエア供給ユニット６１の外観斜視図であり、図１９（ｂ）は図１９（ａ）に示すエア供給ユニット６１を反対側から見た外観斜視図である。
【０１５２】
図１９に示すように、エア供給ユニット６１は、Ｙ方向に延びる略円筒状の流路形成部６１０、および流路形成部６１０に連結されたエア供給部６２０，６３０，６４０を有する。なお、流路形成部６１０のＹ方向の長さは、上記エア供給ユニット３２，３３の流路形成部３２１，３３１のＹ方向の長さと等しい。
【０１５３】
エア供給部６２０は流路形成部６１０の一端部から斜め下方に湾曲して延び、エア供給部６３０は流路形成部６１０の他端部からエア供給部６２０と同じ側の斜め下方に湾曲して延びている。エア供給部６４０は、流路形成部６１０の中間部分からエア供給部６２０，６３０とは反対側の斜め下方に湾曲して延びている。
【０１５４】
エア供給部６２０の上下方向の長さはエア供給部６３０の上下方向の長さよりも短く、エア供給部６２０のＹ方向の幅はエア供給部６３０のＹ方向の幅よりも大きい。エア供給部６４０は、エア供給部６２０の長さおよび幅と等しい長さおよび幅を有する第１供給部６４１、およびエア供給部６３０の長さおよび幅と等しい長さおよび幅を有する第２供給部６４２からなる。
【０１５５】
エア供給部６２０，６３０，６４０の各々の内側面には、突条部６１１が互いに同じ高さで形成されている。流路形成部６１０の一端面には、Ｙ方向に突出するように円筒状の結合部６１２が形成されている。結合部６１２の一端面から流路形成部６１０をＹ方向に貫通するようにエア通路６１０ａが形成されている。流路形成部６１０の上部には、断面Ｔ字状の取付嵌合部６１３がＹ方向に沿って設けられている。
【０１５６】
なお、エア供給部６２０，６３０，６４０の内部には、それぞれエア通路６１０ａに連通するエア供給空間（図示せず）が形成されており、エア供給部６２０，６３０，６４０の底部には、それぞれエア供給空間に連通するエア吹き出し孔が形成されている（後述の図２１参照）。
【０１５７】
図２０は複数（本例では４つ）のエア供給ユニット６１を除電器１００に取り付けた状態を示す図であり、図２１はエア供給ユニット６１のエア吹き出し孔と除電器１００のキャップ２０との位置関係を示す図である。なお、エア供給ユニット６１の除電器１００への取り付け方法は、上記エア供給ユニット３２，３３を除電器１００に取り付ける場合と同様である（図６〜図８参照）。
【０１５８】
図２０に示すように、エア供給部６２０，６３０は除電器１００の一方の側面側に配置され、エア供給部６４０は除電器１００の他方の側面側に配置される。複数のエア供給ユニット６１が連結された場合、隣接する２つのエア供給ユニット６１に関して、一方のエア供給ユニット６１のエア供給部６２０と他方のエア供給ユニット６１のエア供給部６３０とが互いに当接した状態となる。
【０１５９】
上記のように、エア供給部６２０の形状はエア供給部６４０の第１供給部６４１の形状と同じであり、エア供給部６３０の形状はエア供給部６４０の第２供給部６４２の形状と同じである。そのため、エア供給部６２０とエア供給部６３０とが互いに当接することにより一体化した場合、一体化したエア供給部６２０およびエア供給部６３０の形状がエア供給部６４０の形状と等しくなる。以下、一体化したエア供給部６２０およびエア供給部６３０を組み合わせ構造体６５０と呼ぶ。
【０１６０】
本例では、除電器１００の一方の側面側に３つの組み合わせ構造体６５０が等間隔で配置される。また、除電器１００の他方の側面側に４つのエア供給部６４０が等間隔で配置される。組み合わせ構造体６５０とエア供給部６４０とは、除電器１００を挟んで互いに対向しないように交互に配置される。
【０１６１】
図２１に示すように、各エア供給部６２０の底部には２つのエア吹き出し孔６２０ａが形成されており、各エア供給部６３０の底部には１つのエア吹き出し孔６３０ａが形成されている。また、各エア供給部６４０の第１供給部６４１の底部には２つのエア吹き出し孔６４１ａが形成され、第２供給部６４２の底部には１つのエア供給部６４２ａが形成されている。
【０１６２】
組み合わせ構造体６５０におけるエア吹き出し孔６２０ａとエア吹き出し孔６３０ａとの位置関係は、エア供給部６４０におけるエア吹き出し孔６４１ａとエア吹き出し孔６４２ａとの位置関係に等しい。
【０１６３】
また、組み合わせ構造体６５０に形成されるエア吹き出し孔６２０ａ，６３０ａは、除電器１００の一方の側面側において、隣接するキャップ２０間の領域の側方に配置される。エア供給部６４０に形成されるエア吹き出し孔６４１ａ，６４２ａは、除電器１００の他方の側面側において、隣接するキャップ２０間の領域の側方に配置される。すなわち、各キャップ２０の側方には、エア吹き出し孔６２０ａ，６３０ａ，６４１ａ，６４２ａのいずれも位置しない。
【０１６４】
上記のように、エア吹き出し孔６２０ａ，６３０ａ，６４１ａ，６４２ａは、流路形成部６１０（図１９）内のエア通路６１０ａに連通している。エア導入管５０（図９）から導入されるエアは、図１９のエア供給ユニット６１のエア通路６１０ａを通って、エア供給ユニット６１内の図示しないエア供給空間に導かれる。そして、エア吹き出し孔６２０ａ，６３０ａ，６４１ａ，６４２ａを通してエアが吹き出される。
【０１６５】
（１３−２）エアの流れ
次に、エア供給ユニット６１のエア吹き出し孔６２０ａ，６３０ａ，６４１ａ，６４２ａから吹き出されるエアの流れについて説明する。図２２（ａ）はエア吹き出し孔６２０ａから吹き出されるエアの流れを示し、図２２（ｂ）はエア吹き出し孔６３０ａから吹き出されるエアの流れを示し、図２２（ｃ）はエア吹き出し孔６４１ａから吹き出されるエアの流れを示し、図２２（ｄ）はエア吹き出し孔６４２ａから吹き出されるエアの流れを示す。また、図２３はエア吹き出し孔６２０ａ，６３０ａ，６４１ａ，６４２ａから吹き出されるエアの全体的な流れを除電器１００の下方から見た図である。
【０１６６】
以下、エア吹き出し孔６２０ａから吹き出されるエアを第３エアＡ３と呼び、エア吹き出し孔６３０ａから吹き出されるエアを第４エアＡ４と呼ぶ。また、エア吹き出し孔６４１ａから吹き出されるエアを第５エアＡ５と呼び、エア吹き出し孔６４２ａから吹き出されるエアを第６エアＡ６と呼ぶ。
【０１６７】
図２２（ａ）に示すように、エア供給部６２０の下端部は、除電器１００底部に取り付けられるグランドプレート１５よりも上方に位置する。また、図２２（ｂ）に示すように、エア供給部６３０の下端部は、グランドプレート１５よりも上方に位置する。そのため、第３エアＡ３および第４エアＡ４は、コアンダ効果により除電器１００の一方の側面側からグランドプレート１５の湾曲部分を伝って内方へ導かれる。
【０１６８】
ところで、上記のように、エア供給部６２０はエア供給部６３０に比べて比較的上下方向に短く形成されている。すなわち、エア供給部６２０の下端部は、エア供給部６３０の下端部よりも高い位置にある。そのため、エア吹き出し孔６２０ａから吹き出される第３エアＡ３は、エア吹き出し孔６３０ａから吹き出される第４エアＡ４よりも除電器１００との接触面積が大きくなる。
【０１６９】
この場合、第３エアＡ３は第４エアＡ４よりもコアンダ効果による作用が大きくなり、第３エアＡ３の流れの方向と鉛直面との間の角度θ１は、第４エアＡ４の流れの方向と鉛直面との間の角度θ２よりも大きくなる。それにより、第３エアＡ３は、除電器１００の一方の側面側から他方の側面側に向かって斜め下方に流れ、第４エアＡ４は除電器１００の一方の側面側から除電器１００のほぼ下方に向かって流れる。
【０１７０】
また、図２２（ｃ）および図２２（ｄ）に示すように、エア供給部６４０の第１供給部６４１および第２供給部６４２の下端部は、グランドプレート１５よりも上方に位置する。第１供給部６４１の上下方向の長さは、エア供給部６２０の長さと同じであり、第２供給部６４２の上下方向の長さはエア供給部６３０の長さと同じである。したがって、第１供給部６４１の下端部の高さはエア供給部６２０の下端部の高さと同じであり、第２供給部６４２の下端部の高さはエア供給部６３０の下端部の高さと同じである。
【０１７１】
そのため、第５エアＡ５は、コアンダ効果により除電器１００の他方の側面側から一方の側面側に向かって斜め下方に流れ、第６エアＡ６は除電器１００の他方の側面側から除電器１００のほぼ下方に向かって流れる。なお、第５エアＡ５の流れの方向と鉛直面との間の角度θ３は、第３エアＡ３の流れの方向と鉛直面との間の角度θ１と等しくなり、第６エアＡ６の流れの方向と鉛直面との間の角度θ４は、第４エアＡ４の流れの方向と鉛直面との間の角度θ２と等しくなる。
【０１７２】
図２３に示すように、エア吹き出し孔６２０ａとエア吹き出し孔６４１ａとは互いに対向しないように交互に配置されているため、エア吹き出し孔６２０ａから吹き出される第３エアＡ３とエア吹き出し孔６４１ａから吹き出される第５エアＡ５とは互いに干渉しない。
【０１７３】
また、複数のエア供給部６２０は互いに等間隔で配置されているので、エア吹き出し孔６２０ａから吹き出される第３エアＡ３は除電器１００の他方の側面側に均一に供給される。また、複数の第１供給部６４１は互いに等間隔で配置されているので、エア吹き出し孔６４１ａから吹き出される第５エアＡ５は除電器１００の一方の側面側に均一に供給される。
【０１７４】
また、エア吹き出し孔６３０ａとエア吹き出し孔６４２ａとは互いに対向することなく交互にかつ等間隔で配置されているため、エア吹き出し孔６３０ａから吹き出される第４エアＡ４とエア吹き出し孔６４２ａから吹き出される第６エアＡ６とが除電器１００の下方に均一に供給される。
【０１７５】
また、エア吹き出し孔６２０ａ，６３０ａ，６４１ａ，６４２ａは隣接するキャップ２０間の領域の側方に配置されているので、エア吹き出し孔６２０ａ，６３０ａ，６４１ａ，６４２ａから吹き出されるエアによってキャップ２０内の電極針２５近傍に形成されるシースエア層が破壊されることが防止される。
【０１７６】
なお、エア吹き出し孔６２０ａ，６４１ａから吹き出される第３エアＡ３および第５エアＡ５は、エア吹き出し孔６３０ａ，６４２ａから吹き出される第４エアＡ４および第６エアＡ６よりも広範囲に供給されるため、より多くの流量が必要になる。そこで、本実施の形態では、エア吹き出し孔６２０ａ，６４１ａの数をエア吹き出し孔６３０ａ，６４２ａの数よりも多く設定している。これにより、広範囲に供給するために必要な第３エアＡ３および第５エアＡ５の流量が確保される。
【０１７７】
このように、エア供給ユニット６１を用いた場合には、上記エア供給ユニット３２，３３を用いる場合と比べてより広範囲にエアを供給することができる。したがって、除電器１００により生成されたイオンをより広範囲に送ることができ、除電可能な領域を拡大することができる。
【０１７８】
なお、エアが供給される範囲は、各エア吹き出し孔の大きさおよび隣接するエア吹き出し孔間の距離によって変化する。例えば、エア吹き出し孔の大きさを小さくすると、吹き出されるエアの流れが速くなる。しかしながら、エアの流れが速すぎると、複数のエア吹き出し孔から吹き出されるエアが互いに干渉し、エアが供給される範囲が狭くなる。そのため、エアが互いに干渉することなく広範囲に流れるように、各エア吹き出し孔の大きさおよび隣接するエア吹き出し孔間の距離を最適に設定することが好ましい。
【０１７９】
（１３−３）実施例
エア供給ユニット６１を含むエア供給モジュール３００を用いて除電器１００を使用し、イオンが供給される範囲を調べた。図２４には、イオンが供給される範囲の測定結果が示される。
【０１８０】
図２４において、Ｅ１１は十分量のイオンが１秒以内に供給された領域を示し、Ｅ１２は十分量のイオンが１〜２秒で供給された領域を示し、Ｅ１３は十分量のイオンが２〜３秒で供給された領域を示し、Ｅ１４は十分量のイオンが３〜４秒で供給された領域を示し、Ｅ１５は十分量のイオンが４〜５秒で供給された領域。また、図２４において、縦軸は除電器１００から下方向への距離を示し、横軸は除電器１００の電極針２５を通るＹ方向の鉛直面から側方への距離を示す。
【０１８１】
なお、除電対象物の電位を１０００Ｖから１００Ｖに下げるために必要なイオンの量をイオンの十分量とする。また、除電器１００の電極針２５（図３）は、一本のみを使用した。また、除電器１００に供給するエアの流量は１分当り約２０リットルに設定し、エア供給モジュール３００に供給するエアの流量は１分当り約１００リットルに設定した。
【０１８２】
図２４に示すように、エア供給ユニット６１を含むエア供給モジュール３００を用いて除電器１００を５秒間使用した場合には、除電器１００から約６０ｃｍ下方の領域において、横方向に約８０ｃｍの範囲に十分量のイオンを供給することができた。
【０１８３】
一方、エア供給モジュール３００を用いない場合は、除電器１００から６０ｃｍ下方の領域において、側方に約１０ｃｍの範囲にしかイオンを供給することができなかった（図１５参照）。
【０１８４】
（１３−４）変形例
（１３−４−１）
エア供給ユニット６１の代わりに以下に示すエア供給ユニット６６を用いてもよい。図２５（ａ）はエア供給ユニット６６の外観斜視図であり、図２５（ｂ）は図２５（ａ）に示すエア供給ユニット６６を反対側から見た外観斜視図である。また、図２６はエア供給ユニット６６を下方から見た図である。以下、エア供給ユニット６１とエア供給ユニット６６とが異なる点を説明する。
【０１８５】
図２５（ａ）および図２５（ｂ）に示すように、エア供給ユニット６６は、エア供給ユニット６１（図１９）のエア供給部６２０，６３０，６４０に相当するエア供給部６７０，６８０，６９０を有する。
【０１８６】
エア供給部６７０，６８０の上下方向の長さは互いに等しく設定されている。また、エア供給部６９０は、エア供給部６７０，６８０が連結された形状を有し、下端部の高さが一定に維持されている。なお、エア供給部６７０のＹ方向の幅はエア供給ユニット６１（図１９）のエア供給部６２０のＹ方向の幅と等しく、エア供給部６８０のＹ方向の幅はエア供給ユニット６１のエア供給部６３０のＹ方向の幅と等しく、エア供給部６８０のＹ方向の幅はエア供給ユニット６１のエア供給部６４０のＹ方向の幅と等しい。
【０１８７】
図２６に示すように、エア供給部６７０の底部には、エア供給ユニット６１のエア吹き出し孔６２０ａ（図２１）に相当するエア吹き出し孔６７０ａが形成され、エア供給部６８０の底部には、エア供給ユニット６１のエア吹き出し孔６３０ａに相当するエア吹き出し孔６８０ａが形成されている。また、エア供給部６９０の底部には、エア供給ユニット６１のエア吹き出し孔６４１ａ，６４２ａに相当するエア吹き出し孔６９１ａ，６９２ａが形成されている。
【０１８８】
エア供給ユニット６６のエア吹き出し孔６７０ａ，６９１ａは、エア供給ユニット６１のエア吹き出し孔６２０ａ，６４１ａ（図２１）よりも内方に形成されている。また、エア供給ユニット６６のエア吹き出し孔６８０ａ，６９２ａは、エア供給ユニット６１のエア吹き出し孔６３０ａ，６４２ａ（図２１）よりも外方に形成されている。この場合、エア供給ユニット６６を除電器１００に取り付けた状態では、エア吹き出し孔６７０ａ，６９１ａと除電器１００との距離が、エア吹き出し孔６８０ａ，６９２ａと除電器１００との距離よりも短くなる。
【０１８９】
図２７（ａ）はエア吹き出し孔６７０ａから吹き出されるエアの流れを示し、図２７（ｂ）はエア吹き出し孔６８０ａから吹き出されるエアの流れを示す。図２７において、エア吹き出し孔６７０ａから吹き出されるエアを第７エアＡ７と呼び、エア吹き出し孔６８０ａから吹き出されるエアを第８エアＡ８と呼ぶ。
【０１９０】
図２７（ａ）および図２７（ｂ）に示すように、エア供給部６７０，６８０の下端部は、除電器１００の底部に取り付けられるグランドプレート１５よりも上方に位置する。そのため、第７エアＡ７および第８エアＡ８は、コアンダ効果によりグランドプレート１５の湾曲部分を伝って内方へ導かれる。
【０１９１】
ところで、図２６に示したように、エア吹き出し孔６８０ａ，６９２ａは、エア供給ユニット６１のエア吹き出し孔６３０ａ，６４２ａよりも内方に形成されている。そのため、エア吹き出し孔６７０ａから吹き出される第７エアＡ７は、エア吹き出し孔６８０ａから吹き出される第８エアＡ８よりも除電器１００との接触面積が大きくなる。
【０１９２】
それにより、第７エアＡ７は第８エアＡ８よりもコアンダ効果による作用が大きくなる。したがって、第７エアＡ７は、図２２（ａ）に示した第３エアＡ３と同様に除電器１００の一方の側面側から他方の側面側に向かって斜め下方に流れる。また、第８エアＡ８は、図２２（ｂ）に示した第４エアＡ４と同様に、除電器１００の一方の側面側から除電器１００のほぼ下方に向かって流れる。
【０１９３】
なお、エア吹き出し孔６９１ａから吹き出されるエアの流れは、図２２（ｃ）に示した第５エアＡ５の流れと同様になり、エア吹き出し孔６９２ａから吹き出されるエアの流れは、図２２（ｄ）に示した第６エアＡ６の流れの流れと同様になる。
【０１９４】
このように、エア供給ユニット６６のエア吹き出し孔６７０ａ，６８０ａ，６９１ａ，６９２ａから吹き出されるエアの流れは、エア供給ユニット６１の６２０ａ，６３０ａ，６４１ａ，６４２ａから吹き出されるエアの流れと同様になる。したがって、エア供給ユニット６６を用いた場合においても、エア供給ユニット６１を用いた場合と同様に広範囲にエアを供給することができる。
【０１９５】
（１３−４−２）エア吹き出し孔の他の例
図２５および図２６に示したエア供給ユニット６６において、エア吹き出し孔６７０ａ，６８０ａ，６９１ａ，６９２ａの代わりに図２８に示すエア吹き出し孔６７０ｂ，６８０ｂ，６９０ｂを形成してもよい。図２８（ａ）はエア吹き出し孔６７０ｂ，６８０ｂ，６９０ｂが形成されたエア供給ユニット６６を下方から見た図であり、図２８（ｂ）は図２８（ａ）に示すエア供給ユニット６６が複数個連結された状態を示す図である。
【０１９６】
図２８（ａ）に示すように、エア供給部６７０にはエア吹き出し孔６７０ａの代わりにエア吹き出し孔６７０ｂが形成され、エア供給部６８０にはエア吹き出し孔６７０ａの代わりにエア吹き出し孔６８０ｂが形成されている。
【０１９７】
図２８（ｂ）に示すように、複数のエア供給ユニット６６が連結されると、エア供給部６７０に形成されるエア吹き出し孔６７０ａとエア供給部６８０に形成されるエア吹き出し孔６８０ａとがスリット状のエア吹き出し孔６７５ｂを形成する。
【０１９８】
また、エア供給部６９０にはエア吹き出し孔６９１ａ，６９２ａの代わりにエア吹き出し孔６９０ｂが形成されている。エア吹き出し孔６９０ｂは、ＹＺ平面に関してエア吹き出し孔６７５ｂと対称な形状を有する。
【０１９９】
エア吹き出し孔６７５ｂ，６９０ｂは、一端部から他端部にかけて内方から外方に向かうように斜めに形成されている。この場合、エア吹き出し孔６７５ｂ，６９０ｂと除電器１００との距離が、一端部から他端部にかけて漸次長くなる。そのため、エア吹き出し孔６７５ｂ，６９０ｂの一端部側から吹き出されるエアは、他端部側から吹き出されるエアよりも除電器１００との接触面積が大きくなる。
【０２００】
それにより、エア吹き出し孔６７５ｂの一端部側から吹き出されるエアは、図２２（ａ）に示したように、除電器１００の一方の側面側から他方の側面側に向かって斜め下方に流れ、エア吹き出し孔６９０ｂの一端部側から吹き出されるエアは、図２２（ｃ）に示したように、除電器１００の他方の側面側から一方の側面側に向かって斜め下方に流れる。
【０２０１】
一方、エア吹き出し孔６７５ｂ，６９０ｂの他端部側から吹き出されるエアは、図２２（ｂ）および図２２（ｄ）に示したように、除電器１００のほぼ下方に向かって流れる。
【０２０２】
なお、エア吹き出し孔６７５ｂ，６９０ｂの一端部側から吹き出されるエアは他端部側から吹き出されるエアよりも広範囲に供給されるため、より多くの流量が必要になる。本例においては、エア吹き出し孔６７５ｂ，６９０ｂの幅が、内方に位置する一端部から外方に位置する他端部にかけて漸次縮小されている。この場合、エア吹き出し孔６７５ｂ，６９０ｂの一端部側から吹き出されるエアの流量が他端部側から吹き出されるエアの流量よりも多くなる。そのため、広範囲に供給するために必要なエアの流量が確保される。
【０２０３】
このように、エア供給ユニット６６のエア吹き出し孔６７０ｂ，６８０ｂ，６９０ｂから吹き出されるエアの流れは、エア供給ユニット６１の６２０ａ，６３０ａ，６４１ａ，６４２ａ（図２１）から吹き出されるエアの流れと同様になる。したがって、エア供給ユニット６１を用いた場合と同様に広範囲にエアを供給することができる。
【０２０４】
（１４）エア供給ユニットのさらに他の例
（１４−１）構成
図４〜図６のエア供給ユニット３２，３３の代わりに、図２８に示すエア供給ユニット７１を用いてもよい。図２９（ａ）はエア供給ユニット７１の外観斜視図であり、図２９（ｂ）はエア供給ユニット７１のＸＺ平面における断面図である。以下、図４に示したエア供給ユニット３３とエア供給ユニット７１とが異なる点を説明する。
【０２０５】
図２９（ａ）に示すように、エア供給ユニット７１は、エア供給ユニット３３の流路形成部３３１、側壁３３２、突条部３３３、エア通路３３ａ、結合部３３４および取付嵌合部３３５に相当する流路形成部７１１、側壁７１２、突条部７１３、エア通路７１ａ、結合部７１４および取付嵌合部７１５を有する。
【０２０６】
図２９（ｂ）に示すように、エア供給ユニット７１の一方の側壁７１２の下端部は、他方の側壁７１２の下端部よりも下方に延びるとともに内方に向けて湾曲している。なお、エア供給ユニット７１の他方の側壁７１２の上下方向の長さは、エア供給ユニット３３の側壁３３２の上下方向の長さと同じである。
【０２０７】
また、エア供給ユニット７１のエア通路３３ａから一方の側壁７１２の内部に広がるようにエア供給空間７１７が形成されている。一方の側壁７１２の内方に向けられた底部には、Ｘ方向に貫通するエア吹き出し孔７１ｂが形成されている。
【０２０８】
（１４−２）エアの流れ
図３０は、エア供給ユニット７１を除電器１００に取り付けた状態を示す図である。なお、エア供給ユニット７１の除電器１００への取り付け方法は、上述のエア供給ユニット３２，３３を除電器１００に取り付ける場合と同様である。
【０２０９】
図３０に示すように、エア供給ユニット７１を除電器１００に取り付けた場合、エア供給ユニット７１のエア吹き出し孔７１ｂが除電器１００のキャップ２０の先端部近傍に向けられた状態となる。
【０２１０】
エア吹き出し孔７１から吹き出されるエアは、キャップ２０内のシースエア層を維持しつつキャップ２０の先端部近傍を通って側方に流れる。それにより、キャップ２０内において生成されたイオンが除電器１００の側方の領域に送られる。
【０２１１】
この場合、除電器１００を除電対象物の側方に設置した状態で使用することができる。また、除電対象物の上方において、除電器１００を９０°傾けた状態（水平に配置した状態）で使用することができる。このように、エア供給ユニット７１を用いることにより、レイアウトの自由度が向上する。
【０２１２】
なお、エア供給ユニット３２と同様に、エア供給ユニット７１の一方の側壁７１２に矩形の切り抜き部を形成してもよい。その場合、除電器１００の表示部１１上にエア供給ユニット７１を配置しても、切り抜き部を通して表示部１１の表示を視認することができる。
【０２１３】
（１５）連結ユニット
（１５−１）構成
上記のエア供給ユニット３２，３３，６１，６６，７１の代わりに、以下に示す連結ユニット７５を用いてもよい。図３１（ａ）は連結ユニット７５の概観斜視図であり、図３１（ｂ）は連結ユニット７５を除電器１００に取り付けた状態を示す図である。
【０２１４】
図３１（ａ）に示すように、連結ユニット７５は、エア供給ユニット３３（図４）の流路形成部３３１、側壁３３２、突条部３３３、エア通路３３ａ、結合部３３４および取付嵌合部３３５に相当する流路形成部７５１、側壁７５２、突条部７５３、エア通路７５ａ、結合部７５４および取付嵌合部７５５を有する。
【０２１５】
連結ユニット７５の側壁７５２は、エア供給ユニット３３の側壁３３２よりも上下方向に短く形成されている。また、側壁７５２には、エア供給空間およびエア吹き出し孔等のエアを吹き出すための機構が設けられていない。
【０２１６】
図３１（ｂ）に示すように、連結ユニット７５は、例えば複数のエア供給ユニット３２，３３のうちの１つまたは複数の代わりに所定の位置に取り付けられる。なお、連結ユニット７５の除電器１００への取り付け方法は、エア供給ユニット３２，３３を除電器１００に取り付ける場合と同様である。
【０２１７】
連結ユニット７５からはエアが吹き出されないので、連結ユニット７０を用いることによりエアの使用量を削減することができる。図３１（ｂ）の例においては、エア供給ユニット３２，３３と連結ユニット７５とを交互に配置することにより、エアの使用量を抑制しつつ除電器１００の下方にほぼ均一にエアを供給することができる。
【０２１８】
また、除電器１００のＹ方向の長さに対して除電対象物が小さい場合、または除電対象範囲が小さい場合には、複数のエア供給ユニット３２，３３のうち除電対象物または除電対象範囲の上方に配置されるエア供給ユニット３２，３３のみを用い、それ以外のエア供給ユニット３２，３３を連結ユニット７５に代えてもよい。この場合、所望の領域に効率よくエアを供給することができる。
【０２１９】
なお、エア供給ユニット３２の代わりに連結ユニット７０を用いる場合には、除電器１００の表示部１４（図１）が連結ユニット７０の側壁８０２によって隠されないように、側壁８０２の上下方向の長さを適宜調整することが好ましい。
【０２２０】
図３１（ｂ）の例では、エア供給ユニット３２，３３と連結ユニット７０とを組み合わせて用いる場合を示したが、エア供給ユニット６１またはエア供給ユニット７１と連結ユニット７０とを組み合わせて用いてもよい。
【０２２１】
（１５−２）連結ユニットの他の例
図３２は連結ユニット７５の他の例を示す図である。連結ユニット７５の代わりに図３２に示すような側壁７５２を有さない連結ユニット７５Ａを用いてもよい。
【０２２２】
（１６）エア供給モジュールの他の例
（１６−１）エア供給モジュールの構成
次に、エア供給モジュールの他の例について説明する。図３３は、エア供給モジュールの他の例の外観斜視図である。
【０２２３】
図３３に示すように、エア供給モジュール４００は、エンドユニット８０、複数（本例では４つ）の流路形成ユニット８１、複数（本例では１６個）のノズルユニット８２およびエンドユニット８３を有する。
【０２２４】
エンドユニット８０は、断面略楕円形状の流路形成部８０１を有し、流路形成部８０１の一端部には、略円筒状の導入管接続部８０２が連結されている。また、流路形成部８０１の一端部からＸＺ平面に沿って下方に延びるように端部接続部８０３が形成されており、流路形成部８０１の一方の側部および他方の側部からＹＺ平面に沿って下方に延びるように側壁８０４が設けられている。各側壁８０４の内側面には、Ｙ方向に延びる突条部８０５が形成されている。
【０２２５】
導入管接続部８０２には、ねじ切り加工が施された導入孔８０２ａがＹ方向に貫通するように形成されている。また、流路形成部８０１の内部には、導入孔８０２ａに連通しかつ流路形成部８０１の他端部側に開口するエア通路８０１ａ（後述の図３７参照）が形成されている。
【０２２６】
流路形成ユニット８１は断面略楕円形状を有し、流路形成ユニット８１をＹ方向に貫通するようにエア通路８１ａが形成されている。流路形成ユニット８１の一端部には、Ｙ方向に突出するように結合部８１２が形成されている。
【０２２７】
流路形成ユニット８１の底部には、突起および溝等からならなる複数のノズル取付部８１３が流路形成ユニット８１の一方の側部および他方の側部に沿って設けられている。本例では、流路形成ユニット８１の一方の側部および他方の側部に沿ってそれぞれ２つのノズル取付部８１３が設けられている。なお、図３３においては、流路形成ユニット８１の一方の側部に沿って設けられたノズル取付部８１３のみが示される。各ノズル取付部８１３には、エア通路８１ａに連通する連通路８１３ａ（後述の図３９参照）が形成されている。
【０２２８】
ノズルユニット８２は、ＹＺ平面に沿って上下に延びるように設けられている。ノズルユニット８２の上部には接続部８２１が設けられている。接続部８２１は、流路形成ユニット８１のノズル取付部８１３に対して相補的な形状を有する。ノズルユニット８２の詳細については後述する。
【０２２９】
エンドユニット８３は、エンドユニット８０とほぼ同様の形状を有し、ＸＺ平面に関してエンドユニット８０と対称に配置される。エンドユニット８３は、エンドユニット８０の流路形成部８０１、導入管接続部８０２、端部接続部８０３、側壁８０４および突条部８０５に相当する流路形成部８３１、導入管接続部８３２、端部接続部８３３、側壁８３４および突条部８３５を有する。また、流路形成部８３１内にはエア通路８３１ａが形成されており、導入管接続部８３２にはエア通路８３１ａに連通する導入孔８３２ａが形成されている。なお、エンドユニット８３の一端部には、Ｙ方向に突出するように結合部８３６が形成されている。
【０２３０】
（１６−２）ノズルユニットの詳細
次に、ノズルユニット８２の詳細について説明する。図３４は、ノズルユニット８２のＹＺ平面における断面図である。
【０２３１】
図３４に示すように、ノズルユニット８２の内部には、エア供給空間８２２が形成されている。また、接続部８２１が設けられたノズルユニット８２の上部を貫通するように連通路８２２ａが形成されており、ノズルユニット８２の下端部を貫通するように複数（本例では４つ）のエア吹き出し孔８２ｂがＹ方向に沿って等間隔で形成されている。
【０２３２】
（１６―３）除電器への取り付け
図３５は除電器１００に取り付けた状態のエア供給モジュール４００の側面図であり、図３６は図３５に示すエア供給モジュール４００をその一端部側から見た図である。図３７は、エンドユニット８０，８３および流路形成ユニット８１の連結状態を示す断面図である。図３８は、除電器１００に取り付けた状態のエア供給モジュール４００を下方から見た図である。なお、図３５、図３７および図３８において、除電器１００、エンドユニット８０，８３および流路形成ユニット８１の左側の端部を一端部と呼び、右側の端部を他端部と呼ぶ。
【０２３３】
図３５〜図３８に示すように、除電器１００の一端部にエア供給モジュール４００のエンドユニット８０が取り付けられる。エンドユニット８０の側壁８０４の突条部８０５は、除電器１００の嵌合溝１３に嵌合される(図３６)。また、エンドユニット８０の端部接続部８０３は除電器１００の一端面に当接した状態となる。なお、エンドユニット８０の端部接続部８０３を除電器１００の一端面にねじ止めすることにより、エンドユニット８０を除電器１００の一端部に固定してもよい。
【０２３４】
除電器１００の他端部側にはエンドユニット８３が取り付けられる。エンドユニット８３の側壁８３４の突条部８３５は、除電器１００の嵌合溝１３に嵌合される。また、エンドユニット８０の端部接続部８３３は除電器１００の一端面に当接した状態となる。なお、エンドユニット８０の端部接続部８３３を除電器１００の他端面にねじ止めすることにより、エンドユニット８３を除電器１００の他端部に固定してもよい。
【０２３５】
図３５に示すようにエンドユニット８０，８３の導入管接続部８０２，８３２には、接続部材４０（図９参照）を介してエア導入管５０（図９参照）が接続される。
【０２３６】
なお、エンドユニット８０，８３のうちの一方のみにエア導入管５０を接続してもよい。その場合、エンドユニット８０，８３の他方には、接続部材４０の代わりに導入孔８０２ａ，８３２ａを閉塞するための閉塞部材（図示せず）が取り付けられる。
【０２３７】
エンドユニット８０とエンドユニット８３との間には、複数の流路形成ユニット８１が取り付けられる。この場合、図３７に示すように、エンドユニット８０の他端部の開口に流路形成ユニット８１の結合部８１２が嵌め込まれる。また、他の流路形成ユニット８１の結合部８１２が隣接する流路形成ユニット８１の他端部の開口に嵌め込まれる。エンドユニット８３に隣接する流路形成ユニット８１の他端部の開口には、エンドユニット８３の結合部８３６が嵌め込まれる。
【０２３８】
各流路形成ユニット８１のノズル取付部８１３にはノズルユニット８２が取り付けられる（図３５）。具体的には、ノズルユニット８２の接続部８２１（図３３）が流路形成ユニット８１のノズル取付部８１３（図３３）に嵌合されることにより、ノズルユニット８２が流路形成ユニット８１に取り付けられる。
【０２３９】
図３８に示すように、複数のノズルユニット８２は、除電器１００の一側面側および他側面側において等間隔に配置される。除電器１００の一側面側に取り付けられるノズルユニット８２と除電器１００の他側面側に取り付けられるノズルユニット８２とは、除電器１００のキャップ２０を挟んで互いに対向する。なお図３６に示すように、各ノズルユニット８２の下端部は、除電器１００のキャップ２０の先端部とほぼ同じ高さに位置する。
【０２４０】
したがって、除電器１００のキャップ２０とノズルユニット８２のエア吹き出し孔８２ｂとの位置関係は、除電器１００のキャップ２０と上記エア供給ユニット３２，３３のエア吹き出し孔３２ｂ，３３ｂ（図１０）の位置関係と等しくなる。
【０２４１】
（１６−４）エアの流れ
図３９は、エア供給モジュール４００に導入されたエアの流れを示す図である。図３９に示すように、エア導入管５０から導入されたエアは、エンドユニット８０，８３のエア通路８０１ａ，８３１ａを通して複数の流路形成ユニット８１のエア通路８１ａに導かれる。エア通路８１ａに導かれたエアは、流路形成ユニット８１の連通路８１３ａおよびノズルユニット８２の連通路８２２ａを通してノズルユニット８２のエア供給空間８２２に導かれる。そして、各ノズルユニット８２のエア吹き出し孔８２ｂからエアが下方に吹き出される。
【０２４２】
この場合、各ノズルユニット８２のエア吹き出し孔８２ｂから吹き出されるエアの流れは、エア供給ユニット３２，３３のエア吹き出し孔３２ｂ，３３ｂから吹き出されるエアの流れと同様になる。したがって、除電器１００によって生成されたイオンが、エア供給ユニット３２，３３から吹き出されるエアによって下方に遠く離れた位置まで送られる。
【０２４３】
このように、エア供給モジュール４００を用いた場合には、上記のエア供給ユニット３２，３３を含むエア供給モジュール３００を用いた場合と同様の効果を得ることができる。
【０２４４】
また、エア供給モジュール４００においては、ノズルユニット８２が流路形成ユニット８１に対して着脱自在に構成されている。そのため、エンドユニット８０，８３および流路形成ユニット８１を除電器１００に取り付けたままの状態で、ノズルユニット８２を他の部材等に付け替えることができる。
【０２４５】
例えば、ノズルユニット８２の代わりに流路形成ユニット８１の連通路８１３ａを閉塞する閉塞部材を流路形成ユニット８１のノズル取付部８１３に取り付けることにより、図３１に示した連結ユニット７５を用いる場合と同様に、エアの使用量を削減しつつエアの供給領域を調整することが可能になる。
【０２４６】
また、ノズルユニット８２の代わりに他の構成のノズルユニットを用いることにより、エアの流れを容易に変更することができる。以下、ノズルユニットの他の例について説明する。
【０２４７】
（１６−５）ノズルユニットの他の例
ノズルユニット８２の代わりに、図４０および図４１に示すノズルユニット９０およびノズルユニット９１を用いてもよい。図４０（ａ）はノズルユニット９０の外観斜視図であり、図４０（ｂ）はノズルユニット９０のＹＺ平面における断面図である。図４１（ａ）はノズルユニット９１の概観斜視図であり、図４１（ｂ）はノズルユニット９１のＹＺ平面における断面図である。
【０２４８】
図４０（ａ）に示すように、ノズルユニット９０は、互いに平行に上下に延びる第１ノズル９０１および第２ノズル９０２を有する。第１ノズル９０１および第２ノズル９０２は、その上端部において一体的に連結されている。第１ノズル９０１の上下方向の長さは第２ノズル９０２の上下方向の長さよりも短く、第１ノズル９０１のＹ方向の幅は第２ノズル９０２の幅よりも大きい。また、ノズルユニット９０の上部には、２つの接続部９０３が設けられている。接続部９０３は、ノズルユニット８２の接続部８２１と同様の形状である。２つの接続部９０３の間隔は、流路形成ユニット８１（図３３）のノズル取付部８１３の間隔と等しく設定される。
【０２４９】
また、図４０（ｂ）に示すように、ノズルユニット９０の内部には、一方の接続部９０３の下方から第１ノズル９０１の下端部にかけてエア供給空間９０４が形成されており、他方の接続部９０３の下方から第２ノズル９０２の下端部にかけてエア供給空間９０５が形成されている。
【０２５０】
一方の接続部９０３が設けられたノズルユニット９０の部分を貫通するように連通路９０４ａが形成されている。また、第１ノズル９０１の下端部を貫通するように２つのエア吹き出し孔９０４ｂが形成されている。
【０２５１】
また、他方の接続部９０３が設けられたノズルユニット９０の部分を貫通するように連通路９０５ａが形成されている。また、第２ノズル９０２の下端部を貫通するように１つのエア吹き出し孔９０５ｂが形成されている。
【０２５２】
図４１（ａ）に示すように、ノズルユニット９１は、上下に延びる第１供給部９１１および第２供給部９１２からなる第３ノズル９１３を有する。第３ノズル９１３の第１供給部９１１は第１ノズル９０１と同様の長さおよび幅を有し、第２の供給部９１２は第２ノズル９０２と同様の長さおよび幅を有する。ノズルユニット９１の上部には、流路形成ユニット８１（図３３）のノズル取付部８１３の間隔と等しい間隔で２つの接続部９１４が設けられている。接続部９１４は、ノズルユニット８２の接続部８２１と同様の形状を有する。
【０２５３】
図４１（ｂ）に示すように、ノズルユニット９１の内部には、２つの接続部９１４の下方から第３ノズル９１３の第１供給部９１１および第２供給部９１２の下端部にかけてエア供給空間９１５が形成されている。接続部９１４が設けられたノズルユニット９１の部分を貫通するように連通路９１５ａが形成されている。また、第１供給部９１１の下端部を貫通するように２つのエア吹き出し孔９１５ｂが形成されており、第２供給部９１２の下端部を貫通するように１つのエア吹き出し孔９１５ｃが形成されている。
【０２５４】
図４０のノズルユニット９０は、除電器１００の一方の側面側において流路形成ユニット８２に取り付けられる。図４１のノズルユニット９１は、除電器１００の他方の側面側において流路形成ユニット８２に取り付けられる。
【０２５５】
この場合、ノズルユニット９０のエア吹き出し孔９０４ｂ，９０５ｂと除電器１００のキャップ２０との位置関係が、上記エア供給ユニット６１のエア吹き出し孔６２０ａ，６３０ａと除電器１００のキャップ２０との位置関係と等しくなる（図２１参照）。また、ノズルユニット９１のエア吹き出し孔９１５ｂ，９１５ｃと除電器１００のキャップ２０との位置関係が、上記エア供給ユニット６１のエア吹き出し孔６４１ａ，６４２ａと除電器１００のキャップ２０との位置関係と同様になる（図２１参照）。
【０２５６】
それにより、各ノズルユニット９０，９１のエア吹き出し孔９０４ｂ，９０５ｂ，９１５ｂ，９１５ｃから吹き出されるエアの流れは、上記エア供給ユニット６１のエア吹き出し孔６２０ａ，６３０ａ，６４１ａ，６４２ａから吹き出されるエアの流れと同様になる。
【０２５７】
したがって、気体供給モジュール４００においてノズルユニット８２の代わりにノズルユニット９０，９１を用いた場合には、エア供給ユニット６１を含むエア供給モジュール３００を用いた場合と同様の効果を得ることができる。
【０２５８】
（１６−６）ノズルユニットのさらに他の例
ノズルユニット８２の代わりに、図４２に示すノズルユニット９２を用いてもよい。図４２（ａ）はノズルユニット９２の外観斜視図であり、図４２（ｂ）は、ノズルユニット９２のＸＺ平面における断面図である。
【０２５９】
図４２（ａ）に示すように、ノズルユニット９２はノズルユニット８２に比べて上下方向に長く形成されているとともに、ノズルユニット９２の下端部は略Ｊ字状に湾曲している。ノズルユニット９２の上部には、ノズルユニット８２の接続部８２１と同様の形状の接続部９２１が設けられている。
【０２６０】
また、図４２（ｂ）に示すように、ノズルユニット９２の内部にはエア供給空間９２２が形成されている。エア供給空間９２２から上方に接続部９２１の底部を貫通するように連通路９２２ａが形成されている。また、エア供給空間９２２からノズルユニット９２の内方に向けられた底部を貫通するようにエア吹き出し孔９２２ｂが形成されている。
【０２６１】
ノズルユニット９２は、除電器１００の一方の側面側において流路形成ユニット８２に取り付けられる。なお、ノズルユニット９２を用いる場合には、除電器１００の他方の側面側における流路形成ユニット８２のノズル取付部８１３に、連通路８１３ａを閉塞するための閉塞部材が取り付けられる。
【０２６２】
この場合、ノズルユニット９２のエア吹き出し孔９２２ｂと除電器１００のキャップ２０との位置関係が、上記エア供給ユニット７１のエア吹き出し孔７１ｂと除電器１００のキャップ２０との位置関係と等しくなる（図３０参照）。
【０２６３】
それにより、各ノズルユニット９２のエア吹き出し孔９２２ｂから吹き出されるエアの流れは、上記エア供給ユニット７１のエア吹き出し孔７１ｂから吹き出されるエアの流れと同様になる。したがって、気体供給モジュール４００においてノズルユニット８２の代わりにノズルユニット９２を用いた場合には、エア供給ユニット７１を含むエア供給モジュール３００を用いた場合と同様の効果を得ることができる。
【０２６４】
（１７）請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【０２６５】
上記実施の形態では、除電器１００およびエア供給モジュール３００，４００が除電装置の例であり、除電器１００が本体部の例であり、エア流路Ｆ２が気体吹き出し孔の例であり、キャップ２０が保持部材の例であり、エア吹き出し孔３２ｂ，３３ｂ，３３ｃ，８２ｂ，６２０ａ，６３０ａ，６４１ａ，６４２ａ，６７０ａ，６８０ａ，６９１ａ，６９２ａ，６７０ｂ，６８０ｂ，６９０ｂ，９０４ｂ，９０５ｂ，９１５ｂ，９１５ｃ，７１ｂ，９２２ｂが気体吹き出し口の例であり、エア供給モジュール３００，４００が気体吹き出し部の例である。
【０２６６】
また、エア吹き出し孔３２ｂ，３３ｂ，３３ｃ，８２ｂが第１の気体吹き出し口の例であり、グランドプレート１５が本体部の底面の例であり、エア供給ユニット３２，３３またはノズルユニット８２が気体吹き出し用部材の例であり、側壁３２２，３３２が第１および第２の側壁部の例であり、エア通路３２ａ，３３ａが気体通路の例であり、連結ユニット７５，７５Ａが連結部材の例であり、エア通路３３ａが連通路の例であり、エア導入管５０が気体導入手段の例である。
【０２６７】
また、エア吹き出し孔６２０ａ，６３０ａ，６４１ａ，６４２ａ，６７０ａ，６８０ａ，６９１ａ，６９２ａ，６７０ｂ，６８０ｂ，６９０ｂ，９０４ｂ，９０５ｂ，９１５ｂ，９１５ｃが第２および第３の気体吹き出し口の例であり、エア吹き出し孔７１ｂ，９２２ｂが第４の気体吹き出し口の例である。
【０２６８】
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。
【産業上の利用可能性】
【０２６９】
本発明は、ワーク等の帯電を防止するために有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０２７０】
【図１】除電器の外観斜視図である。
【図２】除電器の内部構成を示す模式図である。
【図３】エアユニットおよびキャップの詳細を示す図である。
【図４】エア供給モジュールの概観斜視図である。
【図５】エア供給ユニットの詳細を示す図である。
【図６】エア供給モジュールの除電器への取り付け方法を説明するための図である。
【図７】エア供給モジュールの除電器への取り付け方法を説明するための図である。
【図８】エア供給モジュールの除電器への取り付け方法を説明するための図である。
【図９】除電器およびエア供給モジュールの設置方法を示す図である。
【図１０】エア供給モジュールが除電器に取り付けられた状態を示す図である。
【図１１】エア供給モジュールに導入されるエアの流れを説明するための図である。
【図１２】エア供給ユニットの側壁の下端部の高さとエア吹き出し孔から吹き出されるエアの流れとの関係を説明するための模式図である。
【図１３】除電器の各キャップにおいて生成されるイオンとエア吹き出し孔から吹き出されるエアとの関係を示す図である。
【図１４】エア供給モジュールを用いた場合のイオンの供給距離を示す図である。
【図１５】エア供給モジュールを用いなかった場合のイオンの供給距離を示す図である。
【図１６】エア供給ユニットの第１の変形例を示す図である。
【図１７】エア供給ユニットの第２の変形例を示す図である。
【図１８】係止機構の一例を示す図である。
【図１９】エア供給ユニットの他の例を示す図である。
【図２０】図１９のエア供給ユニットを除電器に取り付けた状態を示す図である。
【図２１】図１９のエア供給ユニットのエア吹き出し孔と除電器のキャップとの位置関係を示す図である。
【図２２】図１９のエア供給ユニットのエア吹き出し孔から吹き出されるエアの流れを示す図である。
【図２３】図１９のエア供給ユニットのエア吹き出し孔から吹き出されるエアの全体的な流れを模式的に示す図である。
【図２４】図１９のエア供給ユニットを用いた場合のイオンの供給範囲を示す図である。
【図２５】エア供給ユニットの変形例を示す図である。
【図２６】図２５のエア供給ユニットを下方から見た図である。
【図２７】図２５のエア吹き出し孔から吹き出されるエアの流れを示す図である。
【図２８】エア吹き出し孔の他の例を示す図である。
【図２９】エア供給ユニットのさらに他の例を示す図である。
【図３０】図２９のエア供給ユニットを除電器に取り付けた状態を示す図である。
【図３１】連結ユニットを示す図である。
【図３２】連結ユニットの変形例を示す図である。
【図３３】他の実施の形態に係るエア供給モジュールを示す図である。
【図３４】ノズルユニットの詳細を示す図である。
【図３５】図３３のエア供給モジュールが除電器に取り付けた状態を示す図である。
【図３６】図３３のエア供給モジュールが除電器に取り付けた状態を示す図である。
【図３７】図３３のエア供給モジュールの連結状態を示す図である。
【図３８】図３３のエア供給モジュールが除電器に取り付けた状態を示す図である。
【図３９】図３３のエア供給モジュールに導入されたエアの流れを示す図である。
【図４０】ノズルユニットの他の例を示す図である。
【図４１】ノズルユニットの他の例を示す図である。
【図４２】ノズルユニットのさらに他の例を示す図である。
【図４３】従来の空気イオン化装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【０２７１】
１００  除電器
３００，４００  エア供給モジュール
２０ａ  エア吹き出し孔
２０  キャップ
２５  電極針
３２ｂ，３３ｂ  エア吹き出し孔
１５  グランドプレート
３２，３３  エア供給ユニット
３２ａ，３３ａ  エア通路
７５  連結ユニット
３１，３４  エンドユニット
【図１】
2009070706.tif 000003
【図２】
2009070706.tif 000004
【図３】
2009070706.tif 000005
【図４】
2009070706.tif 000006
【図５】
2009070706.tif 000007
【図６】
2009070706.tif 000008
【図７】
2009070706.tif 000009
【図８】
2009070706.tif 000010
【図９】
2009070706.tif 000011
【図１０】
2009070706.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2009070706.tif 000014
【図１３】
2009070706.tif 000015
【図１４】
2009070706.tif 000016
【図１５】
2009070706.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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