(57)【要約】【課題】気泡の滞留は、液体の流れが急激に変化することで液体が滞留する領域に生じる。具体的には、液体の流れが略直角に変化する領域や隅部近傍で頻発する。気泡が圧力室や、供給流路内で滞留すると、液体の流れ方が変化し、描画品質を低下させる要因となる。【解決手段】液体噴射ヘッド１１０は、圧力室１１４、圧力室１１４と一体化されたノズルプレート１１５、リザーバ１１１、リザーバ１１１に生ずるインクの振動バランスをとるために、可撓性を有する樹脂製の薄板からなる薄膜材１１２、薄膜材１１２と協働して圧力室１１４に圧力を印加する圧電素子１１７を含む。圧力室１１４、リザーバ１１１の隅部が角Ｒ形状を有しているため、気泡の滞留が抑制できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を蓄える供給流路と、
前記供給流路と連通し、前記液体が流入する圧力室と、
前記圧力室と、前記供給流路とを覆う蓋部と、を備え、
前記圧力室の少なくとも一部及び前記供給流路の少なくとも一部が角Ｒ、またはＣ面の少なくとも一つの形状を含むことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、前記蓋部の法線方向の寸法を厚さ方向とし、当該方向と直交する方向を幅方向とした場合、前記圧力室の厚さ方向の寸法、または幅方向の寸法に対して、小さい側の寸法をＬａとして、角Ｒの値がＬａ以下、（１／１０）Ｌａ以上の値を有すると共に、前記供給流路の厚さ方向の寸法、または幅の小さい側の寸法に対して、小さい側の寸法をＬｂとして、角Ｒの値がＬｂ以下、（１／１０）Ｌｂ以上の値を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、前記蓋部の法線方向の寸法を厚さ方向とし、当該方向と直交する方向を幅方向とした場合、前記圧力室はＣ面の形状を有してなり、前記蓋部の法線方向に対して３０°以上６０°以下の角度θａを有すると共に、前記圧力室の厚さ方向の寸法、または幅方向の寸法に対して小さい側の寸法をＬｃとして、Ｃ面の寸法が（１／ｃｏｓθａ）Ｌｃ以下、（１／１０）Ｌｃ以上の値を有しており、かつ前記供給流路はＣ面の形状を有してなり、前記蓋部の法線方向に対して３０°以上６０°以下の角度θｂを有すると共に、前記供給流路の厚さ方向の寸法、または幅方向の寸法に対して小さい側の寸法をＬｄとして、Ｃ面の寸法が（１／ｃｏｓθｂ）Ｌｄ以下、（１／１０）Ｌｄ以上の値を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを含むことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力発生室内を加圧することで機能液やインクなどといった液体をノズルから液滴として噴射させる液体噴射ヘッドは、液体噴射装置に搭載され、画像の印刷や、電気配線パターンの形成、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子の形成など、多岐に渡って応用されてきている。
【０００３】
ここで、何らかの要因により、圧力を加えることで液体を噴射する液体噴射ヘッド内に気泡が発生する場合がある。この場合、液体を噴射すべく液体に圧力を加えると、この圧力の影響を受けて気泡の体積が不規則に変動する。この影響により、液体の噴射量が不規則に変動し、描画品質が低下する現象が発生する。
【０００４】
そのため、液体中に発生した気泡を気泡排出動作によって円滑に排出することが必要である。気泡排出動作を円滑に行うため、例えば特許文献１に示されるように、インク（液体の一例）噴射口での滞留を抑制するため、噴射口に液体を導く領域に丸みをつける構造を用いる構成が知られている。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１９３４０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
気泡は、液体の流れが急激に変化し乱流を形成する領域や、液体が滞留し、液体の流れが遅い領域に滞留することが多い。具体的には、液体の流れが略直角に変化する領域や、液体の流れと略平行な位置にある直角状の隅近傍で頻発する。気泡が圧力室や、供給流路内で滞留すると、液体の流れ方に変動が生じる。また、上述したように、この気泡の体積変動に伴う液体噴射量の変動により、描画品質を低下させる要因となる。
【０００７】
また、圧力室や、供給流路の領域が略直角に形成されることで、隅の部分に応力が集中し、機械的強度が低下する。そのため液体噴射に伴い、圧力室や、供給流路が変形し、液体噴射量の精度を低下させる要因となる。
また、液体の流れを略直角に変化させる場合、圧力損失が大きくなり、噴射効率が低下する。圧力損失は液体の噴射量により変動するため、この現象も液体噴射量の精度を低下させる要因となる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］本適用例にかかる液体噴射ヘッドは、液体を蓄える供給流路と、前記供給流路と連通し、前記液体が流入する圧力室と、前記圧力室と、前記供給流路とを覆う蓋部と、を備え、前記圧力室の少なくとも一部及び前記供給流路の少なくとも一部が角Ｒ、またはＣ面の少なくとも一つの形状を含むことを特徴とする。
【００１０】
これによれば、液体の流れが、従来技術と比べ緩やかな角度で曲げられるため乱流の発生が抑えられる。また、液体の流れと平行な位置にある直角状の隅領域が除かれるため、液体の滞留が抑制される。そのため、気泡の滞留を抑制または防止することが可能となる。また、隅の部分が緩やかな角度で曲げられるため、機械的応力が分散される。そのため、液体噴射に伴い発生する応力による変形が抑制され、液体噴射量の精度を向上させることができる。さらに、圧力損失が小さくなることから、上記した機構により液体噴射量の精度を向上させることが可能となる。
【００１１】
［適用例２］上記適用例にかかる液体噴射ヘッドにおいて、前記蓋部の法線方向の寸法を厚さ方向とし、当該方向と直交する方向を幅方向とした場合、前記圧力室の厚さ方向の寸法、または幅方向の寸法に対して、小さい側の寸法をＬａとして、角Ｒの値がＬａ以下、（１／１０）Ｌａ以上の値を有すると共に、前記供給流路の厚さ方向の寸法、または幅の小さい側の寸法に対して、小さい側の寸法をＬｂとして、角Ｒの値がＬｂ以下、（１／１０）Ｌｂ以上の値を有することを特徴とする。
【００１２】
上記した適用例によれば、圧力室の形状を、厚さまたは幅の小さい側の寸法をＬａとして、Ｌａ以下の曲率を与えることで、液体の通過面積を確保することができる。また、（１／１０）Ｌａ以上の曲率を与えることで、気泡の排出性を従来技術と比べ向上させることができる。
また、供給流路の形状を、厚さまたは幅の小さい側の寸法をＬｂとして、Ｌｂ以下の曲率を与えることで、液体の通過面積を確保することができる。また、（１／１０）Ｌｂ以上の曲率を与えることで、気泡の排出性を従来技術と比べ向上させることができる。
【００１３】
［適用例３］上記適用例にかかる液体噴射ヘッドにおいて、前記蓋部の法線方向の寸法を厚さ方向とし、当該方向と直交する方向を幅方向とした場合、前記圧力室はＣ面の形状を有してなり、前記蓋部の法線方向に対して３０°以上６０°以下の角度θａを有すると共に、前記圧力室の厚さ方向の寸法、または幅方向の寸法に対して小さい側の寸法をＬｃとして、Ｃ面の寸法が（１／ｃｏｓθａ）Ｌｃ以下、（１／１０）Ｌｃ以上の値を有しており、かつ前記供給流路はＣ面の形状を有してなり、前記蓋部の法線方向に対して３０°以上６０°以下の角度θｂを有すると共に、前記供給流路の厚さ方向の寸法、または幅方向の寸法に対して小さい側の寸法をＬｄとして、Ｃ面の寸法が（１／ｃｏｓθｂ）Ｌｄ以下、（１／１０）Ｌｄ以上の値を有することを特徴とする。
【００１４】
上記した適用例によれば、圧力室／供給流路のそれぞれに対して、厚さまたは幅の小さい側の長さ以下の長さで、かつ蓋部の法線方向に対して３０°以上６０°以下の角度を有するＣ面を与えることで、液体の通過面積を確保することができる。また、厚さまたは幅の小さい側の長さの（１／１０）以上の長さで、かつ３０°以上６０°以下の角度を有するＣ面を与えることで、気泡の排出性を従来技術と比べ向上させることができる。
【００１５】
［適用例４］本適用例にかかる液体噴射装置は、上記記載の液体噴射ヘッドを含むことを特徴とする。
【００１６】
これによれば、液体中での気泡の滞留が抑制されるため、従来技術で構成される液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置と比べ、高い描画品質を有する液体噴射装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（第１の実施形態：角Ｒを用いる場合）
以下、本実施形態を具体化した第１の実施形態について説明する。図１は本実施形態の液体噴射ヘッドを具備した液体噴射装置の模式図である。この例は、液体としてインクを用いたインクジェットプリンタ１０について、その概略構造を示したものである。また、図中吹き出し部は、後述するキャリッジ２０を白抜き矢印の方向から見たときの模式図である。なお、説明の便宜上、キャリッジ２０を基準として、この白抜き矢印の方向を正面方向とし、横方向をそれぞれ左右側面方向と呼ぶこととする。また、印刷用紙２５の方向を下方向、その反対方向を上方向として以降説明する。
【００１８】
このインクジェットプリンタ１０は、液体としてのＹ（イエロー）、Ｍ（マゼンタ）、Ｃ（シアン）、Ｋ（ブラック）の各色インクがそれぞれ収納されたインクカートリッジ１１〜１４がキャリッジ２０に装着される。そして、各色インクに対応したそれぞれ４つの液体噴射ヘッド１１０，１２０，１３０，１４０がキャリッジ２０の下方向に設けられ、これらの液体噴射ヘッドからインク滴を噴射して、印刷用紙２５に所定の画像などを印刷するものである。
【００１９】
キャリッジ２０は、キャリッジベルト４１に固定され、キャリッジベルト４１がキャリッジモータ４０によって駆動されるのに伴って、フレーム１７に固定されたガイド２１に沿って図面左右方向（主走査方向）に移動する。このとき、各色インクを噴射するため１１０，１２０，１３０，１４０から、印刷画像に相応した所定量のインク滴が噴射される。また印刷用紙２５は、プラテン２８によって支持されつつ、フレーム１７に固定された駆動モータ２６により駆動される図示しない紙送りローラーなどによって、図面上下方向に所定量ずつ移動する。こうして、印刷画像に相応した所定量のインク滴が、印刷用紙２５全体に噴射されることによって画像が形成される。
【００２０】
ここで、液体噴射ヘッド１１０，１２０，１３０，１４０について説明する。液体噴射ヘッド１１０，１２０，１３０，１４０は同じ構成を有しているため、液体噴射ヘッド１１０について説明する。
図２（ａ）は液体噴射ヘッド１１０の平面図、図２（ｂ）、図２（ｃ）はそれぞれ液体噴射ヘッド１１０の断面図である。図２に示す液体噴射ヘッド１１０は、圧力室１１４、圧力室１１４と一体化されたノズルプレート１１５、圧力室１１４と一体化された供給流路（以降、「リザーバ」と称す）１１１、リザーバ１１１に生ずるインクの振動バランスをとり、また圧力室１１４を封止する可撓性を有する樹脂製の薄板からなる蓋部としての薄膜材１１２、圧力室１１４に薄膜材１１２と協働して圧力を印加する圧電素子１１７、ノズルプレート１１５に穿孔されたノズル１１８、を含む。
【００２１】
一体化された圧力室１１４、リザーバ１１１、ノズルプレート１１５は例えば材質としてニッケルなどを用い、電鋳法を用いて形成することができる。
薄膜材１１２は、インク滴の噴射動作などによってリザーバ１１１に生ずるインクの振動バランスをとるために、可撓性を有する樹脂製の薄板（本実施形態ではＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド樹脂））からなり、リザーバ１１１の上面に、接着または溶着によって固定されている。
【００２２】
リザーバ１１１は、図示せぬ外部から供給される液体を蓄える機能を有している。
圧力室１１４は、リザーバ１１１から液体の供給を受け、液体で満たされた状態に保持される。
ノズルプレート１１５は、穿孔されたノズル１１８より液体を描画対象に噴射する機能を有している。
薄膜材１１２は、インク滴噴射に伴う圧力変動を緩和する機能を有している。
そして、圧電素子１１７は薄膜材１１２と協働して圧力室１１４の断面積を変化させ、ノズルプレート１１５に穿孔されたノズル１１８より液体を噴射する機能を有している。
【００２３】
圧電素子１１７を変形させて液体をノズルから噴射させる構造を用いる場合、液体噴射ヘッド１１０は、インク滴噴射に際して熱を用いないので液体としてインク以外にも、電気配線パターン前駆体を含む溶液、有機ＥＬ素子の形成、溶液中の生体分子の噴射、描画を行うことが可能となる。また、装置の小型化、低消費電力化を実現することができる。
【００２４】
ここで、図２（ａ）〜図２（ｃ）を用いて圧力室１１４、圧力室１１４と一体化されたノズルプレート１１５、圧力室１１４と一体化されたリザーバ１１１の構造について説明する。
【００２５】
圧力室１１４は角Ｒに仕上げられているため、液体の流れ方は、従来技術と比べ緩やかな角度で曲げられる。そのため、圧力室１１４内部での気泡の滞留は抑制される。また、角Ｒで仕上げられることで、液体が滞留する傾向を有する、液体の流れと略平行な位置にある略直角の隅部が円弧状に成型される。そのため、隅近傍での気泡の滞留は抑制され、円滑な気泡除去が可能となる。また、同様にリザーバ１１１も角Ｒに仕上げられているため、リザーバ１１１内部での気泡の滞留は抑制される。
また、圧力室１１４、リザーバ１１１ともに角Ｒで仕上げられているため、液体噴射に伴う圧力変動に起因する圧力室１１４、リザーバ１１１への応力は角Ｒを付けることで分散され、圧力室１１４、リザーバ１１１の変形が抑制される。そのため、液体の噴射量は安定し、高い描画品質を得ることが可能となる。
さらに、液体の流れ方が、従来技術と比べ緩やかな角度で曲げられるため、圧力損失が小さくなり、噴射効率が向上する。圧力損失は液体の噴射量により変動するが、圧力損失の絶対値を低減させることで圧力損失の変動を抑えることが可能となり、より高い描画品質を得ることが可能となる。
【００２６】
ここで、角Ｒの値に対して、適切な範囲について説明する。図３に示すように、例えば圧力室１１４の角Ｒを大きくすると流路面積は斜線ハッチング部分だけ低下する。ここで、薄膜材１１２（蓋部）の法線方向に沿う向きを厚さ方向、直交する方向を幅方向として扱う場合、角Ｒの大きさを圧力室１１４の厚さまたは幅の小さい側の長さＬａに対して、Ｌａ以下にすることで流路面積を確保した状態で液体の流れ方を良好に制御することが可能となる。角Ｒの大きさをＬａ以下に設定することで、圧力室１１４の形状にも依存するが流路面積は角Ｒを用いない場合と比べ、２０％未満の減少量で抑えることができる。そのため、液体噴射後のインク補填動作が良好に行われ、特に連続して液体を噴射した場合液体の噴射量は安定し、印刷用紙２５（図１参照）への描画像の乱れを抑えることが可能となる。
また、角Ｒを小さくすると、液体の流れ方を良好に制御することが困難となる。具体的には、液体の流れ方向が急激に変わることで発生する乱流や、略直角の隅部で、液体の滞留が発生する。角Ｒを小さくした場合での影響については、その詳細な理論は確立していないため、実践的な現象について説明する。何らかの要因により発生する気泡の寸法は、圧力室１１４の厚さまたは幅の小さい側の長さＬａに対して凡そ（１／１０）Ｌａ程度の直径を有する気泡が発生する場合が多い。そのため、乱流や滞留が生じる領域をこの気泡のサイズと概ね合わせることで気泡の排出が良好に行われているものと推測している。また、実験的にも、（１／１０）Ｌａ程度の角Ｒを設けることで気泡の排出動作が円滑に行われていることから、角Ｒの値を（１／１０）Ｌａ以上に設定することで、気泡の排出を円滑に行うことが可能となる。
また、リザーバ１１１についても同様の傾向が観察され、少なくとも小型化されたリザーバ１１１を用いた場合、その厚さまたは幅の小さい側の長さＬｂに対して凡そ（１／１０）Ｌｂ程度の直径を有する気泡が発生する場合が多い傾向があり、実験的にも、（１／１０）Ｌｂ程度の角Ｒを設けることで気泡の排出動作が円滑に行われていることから、角Ｒの値を（１／１０）Ｌｂ以上に設定することで、リザーバ１１１からの気泡の排出を円滑に行うことが可能となる。
【００２７】
また、一部の領域に対して角Ｒを与えず、直角面を用いても良い。例えば、図２（ａ）に＊で示すリザーバ１１１を直角に加工しておくことで、リザーバ１１１の容量を大きくすることができる。また図２（ａ）に＊＊で示す圧力室１１４を直角に加工しておくことで、流体抵抗が増加し、液体噴射を行う場合に液体の圧力を高めることができる。また、求める特性に応じ、他の領域に略直角な面を配置しても良い。
【００２８】
（第２の実施形態：Ｃ面を用いる場合）
上記した実施形態では、図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、圧力室１１４、リザーバ１１１に角Ｒを与える例について説明したが、これは圧力室１１４、リザーバ１１１の角部に角Ｒに代えてＣ面を与えても良く、この場合、角Ｒを与える例と同様の効果が得られる。
【００２９】
図４（ａ）は液体噴射ヘッド１１０Ａの平面図、図４（ｂ）、図４（ｃ）はそれぞれ液体噴射ヘッド１１０Ａの断面図である。図３に示す液体噴射ヘッド１１０Ａは、圧力室１１４Ａ、圧力室１１４Ａと一体化されたノズルプレート１１５Ａ、薄膜材１１２Ａ、圧電素子１１７Ａ、リザーバ１１１Ａを含む。そして、圧力室１１４Ａ内部とリザーバ１１１Ａの内部はＣ面が備えられている。
【００３０】
圧力室１１４Ａ、圧力室１１４Ａと一体化されたノズルプレート１１５Ａ、薄膜材１１２Ａ、圧電素子１１７Ａ、リザーバ１１１Ａの機能については、前述したものと同様の構成と同様であるため、重複を避けるために説明を省略する。
【００３１】
圧力室１１４ＡはＣ面に仕上げられているため、液体の流れ方は、従来技術と比べ緩やかな角度で曲げられる。そのため、圧力室１１４Ａ内部での乱流による気泡の滞留は抑制される。また、同様にリザーバ１１１ＡもＣ面に仕上げられているため、リザーバ１１１Ａ内部での気泡の滞留は抑制される。
【００３２】
また、Ｃ面に仕上げられることで、圧力室１１４Ａやリザーバ１１１Ａ内部で液体が滞留する傾向を有する、液体の流れと略平行な位置にある略直角の領域にテーパー形状が配置される。そのため気泡の滞留は抑制され、円滑な気泡除去が可能となる。即ち、液体噴射ヘッド１１０Ａ内での気泡の排出を効率良く行うことができる。
【００３３】
また、圧力室１１４Ａ、リザーバ１１１ＡがともにＣ面に仕上げられているため、液体噴射に伴う圧力変動に起因する圧力室１１４Ａ、リザーバ１１１Ａへの応力はＣ面化することで分散され、圧力室１１４Ａ、リザーバ１１１Ａの変形が抑制される。そのため、液体の噴射量は安定し、高い描画品質を得ることが可能となる。
【００３４】
さらに、圧力室１１４Ａ、リザーバ１１１Ａ内での液体の流れ方が、従来技術と比べ緩やかな角度で曲げられるため、圧力損失が小さくなり、噴射効率が向上する。圧力損失は液体の噴射量により変動するが、圧力損失の絶対値を低減させることで圧力損失の変動を抑えることが可能となり、より高い描画品質を得ることが可能となる。
【００３５】
以下、圧力室１１４Ａ内でのＣ面の寸法及びテーパー角について、適切な範囲について説明する。ここで、薄膜材１１２Ａ（蓋部）の法線方向に沿う向きを厚さ方向、直交する方向を幅方向として扱う場合、Ｃ面を圧力室１１４Ａの厚さまたは幅の小さい側の長さＬｃ（図４（ｂ）では厚さ）に対して、テーパー角θａを３０°以上とし、テーパー領域の長さを（Ｌｃ／ｃｏｓθａ）以下に抑えることで、図３に示した断面図と同様の機構による流路面積の減少を抑制した状態で液体の流れ方を良好に制御することが可能となる。この場合、θａを３０°、幅方向の厚さを厚さＬｃの４倍程度、Ｃ面の長さＬｃを（Ｌｃ／ｃｏｓ３０°（θａ））とした場合、Ｃ面を用いない場合と比べ２０％程度の流路面積の減少量で抑えることができる。そのため、液体噴射後のインク補填動作が良好に行われ、特に連続して液体を噴射した場合液体の噴射量は安定し、印刷用紙２５（図１参照）への描画像の乱れを抑えることが可能となる。
【００３６】
また、圧力室１１４Ａ内でのＣ面の傾斜部に相当する寸法を小さくすると、液体の流れ方を良好に制御することが困難となる。具体的には、液体の流れ方向が急激に変わることで発生する乱流や、液体の流れと平行な略直角の隅近傍での液体の滞留が発生する。Ｃ面の傾斜部に相当する寸法を小さくした場合での影響については、その詳細な理論は確立していないため、実践的な現象について説明する。何らかの要因により発生する気泡の寸法は、上記した角Ｒの場合と同様、圧力室１１４Ａの厚さまたは幅の小さい側の長さＬｃに対して凡そ（１／１０）Ｌｃ程度の直径を有する気泡が発生する場合が多い。そのため、乱流や滞留が生じる領域をこの気泡のサイズと概ね合わせることで気泡の排出が良好に行われているものと推測している。また、実験的にも、（１／１０）Ｌｃ程度の値をＣ面の傾斜部に相当する寸法として設けることで気泡の排出動作が円滑に行われていることから、Ｃ面の寸法を（１／１０）Ｌｃ以上に設定することで、気泡の排出を円滑に行うことが可能となる。
【００３７】
また、圧力室１１４Ａ内でのＣ面のテーパー角は、薄膜材１１２Ａ（蓋部）の法線方向に沿う向きとの間になすテーパー角θｂが３０°以上である場合には、テーパー領域と圧力室１１４Ａの壁面とのなす角は、１２０°以上の角度を保つことができる。同様にテーパー角θｂが６０°以下である場合にも、テーパー領域と圧力室１１４Ａの壁面とのなす角は、１２０°以上の角度を保つことができ、液体の流れる領域を鈍角にすることで、液体の流れが乱されることによる乱流の発生や、隅領域での、液体の滞留を抑えることが可能となるものと推定され、また実験的にもこの推定を裏付ける結果が得られている。
【００３８】
また、リザーバ１１１Ａについても同様の傾向が観察され、少なくとも小型化されたリザーバ１１１Ａを用いた場合、その厚さまたは幅の小さい側の長さＬｄに対して凡そ（１／１０）Ｌｄ程度の直径を有する気泡が発生する場合が多い傾向があり、実験的にも、Ｃ面の寸法を（１／１０）Ｌｄ以上に設定することで、リザーバ１１１Ａからの気泡の排出を円滑に行うことが可能となる。また、Ｃ面の寸法を（Ｌｄ／ｃｏｓθｂ）以下に抑えることで流路面積の減少量を抑えてＣ面形状を与えることができる。
【００３９】
そして、テーパー角θｂを３０°以上６０°以下とすることで、Ｃ面とリザーバ１１１Ａの壁面とのなす角は、１２０°以上の角度を保つことができる。同様にテーパー角θｂが６０°以下である場合にも、テーパー領域とリザーバ１１１Ａの壁面とのなす角は、１２０°以上の角度を保つことができ、液体の流れる領域を鈍角にすることで、液体の流れが乱されることによる乱流の発生や、隅領域での、液体の滞留を抑えることが可能となるものと推定され、また実験的にもこの推定を裏付ける結果が得られている。
【００４０】
また、一部の領域に対してＣ面を与えず、直角面を用いても良い。例えば、リザーバ１１１Ａの形状を図４（ａ）に＊で示す部分を直角に加工しておくことで、リザーバ１１１Ａの容量を大きくすることができる。また図４（ａ）に＊＊で示す圧力室１１４Ａを直角に加工しておくことで、流体抵抗が増加し、液体噴射を行う場合に液体の圧力を高めることができる。また、求める特性に応じ、他の領域に略直角な面を配置しても良い。
【００４１】
（変形例）
上記した実施形態では、角Ｒを用いる場合と、Ｃ面を用いる場合と、について別々に説明したが、これは混用しても良い。また、上記した構造は、電鋳法や、ＭＥＭＳ法、半導体プロセスの転用などを用いて容易に形成することができ、製造方法に特に制限なく製造することが可能である。
【００４２】
また、上記したように、図２（ａ）に記載されている液体噴射ヘッド１１０として、圧電素子１１７を変形させて液体をノズルから噴射させる構造に代えて、圧力室１１４に加熱素子を埋め込み、インクを沸騰させてバブルを形成し、液体の噴射を行っても良い。この場合には比較的気泡の影響を受けにくくなる。
また、図２（ａ）に記載されている圧電素子１１７を変形させて液体噴射を行う構成に代えて、静電気の印加により薄膜材１１２を変形させて液体噴射を行わせる構成を用いても良い。この場合、圧電素子１１７を貼り付ける工程を省くことが可能となり、製造工程を短縮することが可能となる。
また、図２（ａ）に記載されている圧電素子１１７を薄膜材１１２に貼り付ける構成に代えて、圧電素子１１７の変形駆動によって変位するジルコニア板などの振動板を用いても良い。また、圧電素子１１７を貼り付けた振動板を薄膜材１１２に貼り付けて用いても良い。この場合、薄膜材１１２との密着性を向上させることができる。
又，上記した実施形態では、図２（ａ）に記載されているように、リザーバ１１１と、圧力室１１４と、ノズルプレート１１５とを一体形成した構造を用いた場合について説明したが、これは各々別に形成した後、張り合わせても良い。この場合、構造の自由度を大きく取ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】液体噴射ヘッドを具備した液体噴射装置の模式図。
【図２】（ａ）は液体噴射ヘッドの平面図、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ液体噴射ヘッドの断面図。
【図３】圧力室に設けられた角Ｒに起因する断面積の減少量を示す断面図。
【図４】（ａ）は液体噴射ヘッドの平面図、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ液体噴射ヘッドの断面図。
【符号の説明】
【００４４】
１０…インクジェットプリンタ、１１，１２，１３，１４…インクカートリッジ、１７…フレーム、２０…キャリッジ、２１…ガイド、２５…印刷用紙、２６…駆動モータ、２８…プラテン、４０…キャリッジモータ、４１…キャリッジベルト、１１０，１１０Ａ，１２０，１３０，１４０…液体噴射ヘッド、１１１，１１１Ａ…リザーバ（供給流路）、１１２，１１２Ａ…薄膜材、１１４，１１４Ａ…圧力室、１１５，１１５Ａ…ノズルプレート、１１７，１１７Ａ…圧電素子、１１８，１１８Ａ…ノズル。
【図１】
2009125969.tif 000003
【図２】
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【図３】
2009125969.tif 000005
【図４】
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