(57)【要約】【課題】  バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間で板状ワークの片面を研磨する場合における該板状ワークのそりの発生や打痕による品位低下更には研磨作業に要する時間の長期化等の弊害を回避する。【解決手段】  板状ワークＰを搬送する複数の搬送ローラ６、９と、これらの搬送ローラ６、９による搬送途中で板状ワークＰを研磨するバフ研磨ローラ１４（１５）とを備えた研磨装置１において、複数の搬送ローラ６、９により形成される搬送径路３Ｂの途中に、板状ワークＰを相互間に介在させて該板状ワークＰの両面を同時に研磨する一対のバフ研磨ローラ１４（１５）を備え、バックアップローラの使用を廃止する。【選択図】図８
2009291908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを搬送する搬送手段と、この搬送手段による搬送途中で前記板状ワークを研磨するバフ研磨ローラとを備えた研磨装置において、
前記搬送手段により形成される搬送径路の途中に、前記板状ワークを相互間に介在させて該板状ワークの両面を同時に研磨する一対のバフ研磨ローラを備えたことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記一対のバフ研磨ローラは、水平姿勢の板状ワークを研磨すべく上下に隣接して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記一対のバフ研磨ローラは、垂直姿勢の板状ワークを研磨すべく左右に隣接して配置されていることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記一対のバフ研磨ローラは、それらの双方の回転時に、一方のバフ研磨ローラが他方のバフ研磨ローラに対してローラ軸方向に相対移動するように構成されていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の研磨装置。
【請求項５】
前記一対のバフ研磨ローラは、単一の回転駆動軸の二箇所に各バフ研磨ローラに対応して配設され且つ相互に逆方向に偏心して固定された偏心輪のそれぞれの回転に基づいて、ローラ軸方向に往復動すると共に、一方のバフ研磨ローラが往動した時に他方のバフ研磨ローラが復動し、且つ一方のバフ研磨ローラが復動した時に他方のバフ研磨ローラが往動するように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記一対のバフ研磨ローラの両端からそれぞれ延出されたローラ軸は、一方向にのみトルクを伝達する一方向トルク伝達機構を介してそれぞれ軸受けされていることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の研磨装置。
【請求項７】
板状ワークを搬送する搬送手段と、この搬送手段による搬送途中に配置されたバフ研磨ローラとを備え、該バフ研磨ローラにより前記板状ワークを研磨する研磨方法において、
前記搬送手段により形成される搬送径路の途中に一対のバフ研磨ローラを配置し、この一対のバフ研磨ローラの相互間に前記板状ワークを介在させてそれらのバフ研磨ローラにより前記板状ワークの両面を同時に研磨することを特徴とする研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨装置及び研磨方法に係り、詳しくは、板状ワークを搬送する複数の搬送ローラと、これらの搬送ローラによる搬送途中で板状ワークを研磨するバフ研磨ローラとを備えた研磨装置及び研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、板状ワークの一種であるプリント基板は、絶縁基板の片面または両面に形成した銅箔等からなる金属層の表面にフォトレジスト膜を形成し、露光、現像、エッチング等を行うフォトリソ工程を経て製作される。この場合、絶縁基板の金属層の表面にフォトレジスト膜を形成する前段階においては、その金属層をバフ研磨するのが通例とされている。
【０００３】
この種のバフ研磨を行う研磨装置として、例えば特許文献１（同文献の図１０）及び特許文献２（同文献の図８）によれば、バフ研磨ローラと、このバフ研磨ローラに対向配置されたバックアップローラとを備え、この両ローラの相互間に送り込まれた板状ワークとしてのプリント基板に対してバフ研磨ローラが研磨処理を施しつつ、該プリント基板を前方に搬送する構成が開示されている。
【０００４】
そして、これらの文献に開示されたプリント基板は、可撓性を有する薄肉基板であるため、上下一対のガイド部材により直進性を維持できるように案内されながら上記の両ローラの相互間に送り込まれて研磨処理を受けると共に、研磨処理後においても同様にガイド部材により案内されながら搬送ローラによってさらに前方に搬送されていくことになる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２６８２４９号公報
【特許文献２】特開２００３−０６２７４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記の特許文献１、２に開示された研磨装置によれば、プリント基板がバフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間に送り込まれる構成であるが、プリント基板が薄肉基板であると、片面のみが研磨されることに起因する反りの発生が品位低下を招くという問題が生じる。
【０００７】
しかも、これらの研磨装置のように、バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間で、プリント基板をバフ研磨ローラにより研磨する構成であると、この両ローラ間に異物が介入した場合には、バックアップローラの周面の剛性が高いこと等に起因して、プリント基板に打痕が付き、これによってもプリント基板の品位低下を招くことになる。
【０００８】
更に、これらの研磨装置のように、バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間で、プリント基板をバフ研磨ローラにより研磨する構成であると、プリント基板の片面のみが研磨される関係上、その両面を丹念に研磨しようとすれば、多数箇所にバフ研磨ローラとバックアップローラとを配置せねばならなくなり、研磨のための作業ラインが長尺になるばかりでなく、研磨に要する作業時間の長期化をも招くことになる。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑み、バフ研磨ローラとバックアップローラとの相互間で板状ワークの片面を研磨する場合における該板状ワークの反りの発生や打痕による品位低下更には研磨作業に要する時間の長期化等の弊害を回避することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記技術的課題を解決するためになされた本発明に係る装置は、板状ワークを搬送する搬送手段と、この搬送手段による搬送途中で前記板状ワークを研磨するバフ研磨ローラとを備えた研磨装置において、前記搬送手段により形成される搬送径路の途中に、前記板状ワークを相互間に介在させて該板状ワークの両面を同時に研磨する一対のバフ研磨ローラを備えたことに特徴づけられる。ここで、上記の「搬送手段」は、複数の搬送ローラまたは搬送コンベヤもしくはこれらの組み合わせで構成することができる。
【００１１】
このような構成によれば、プリント基板等の板状ワークは、その両面が一対のバフ研磨ローラによって同時に研磨されるので、例えば板状ワークが薄肉のプリント基板等であっても反りの発生を抑制することができる。更に、従来のようにバックアップローラを使用していないので、異物の介入により板状ワークに打痕が付く等の不具合が生じなくなる。これらによって、研磨後の板状ワークの品位低下が効果的に抑止される。しかも、一箇所の研磨位置では、一対のバフ研磨ローラが板状ワークの両面を同時に研磨するため、従来のように一箇所の研磨位置で板状ワークの片面のみが研磨されていた場合と比較して、バフ研磨ローラの配設箇所を１／２にすることができ、研磨のための作業ラインを短縮できると共に、研磨に要する作業時間の短縮をも図ることが可能となる。
【００１２】
このような構成において、前記一対のバフ研磨ローラは、水平姿勢の板状ワークを研磨すべく上下に隣接して配置されていてもよく、また、垂直姿勢の板状ワークを研磨すべく左右に隣接して配置されていてもよい。ここで、水平姿勢とは、理想的な水平面に沿う姿勢のみならず、僅かに傾斜していてもそれが垂直姿勢や傾斜姿勢ではなく水平姿勢と認識できるものを含む意味である。また、垂直姿勢とは、理想的な垂直面に沿う姿勢のみならず、僅かに傾斜していてもそれが水平姿勢や傾斜姿勢ではなく垂直姿勢と認識できるものを含む意味である。
【００１３】
このようにすれば、板状ワークの板厚が大きく或いは剛性が高い場合には、その板状ワークを水平姿勢で研磨することが好ましく、また、板状ワークの板厚が小さく或いは剛性が低い場合（例えばフレキシブルプリント基板を含む薄肉基板である場合）には、その板状ワークを垂直姿勢で研磨することが好ましい。すなわち、板厚が大きく或いは剛性が高い板状ワークの場合には、搬送ローラにより水平姿勢で搬送される板状ワークをその水平姿勢のままで上下一対のバフ研磨ローラの相互間に挿入するに際して、板状ワークの前端に自重による垂れ下がり或いは曲がりが生じないため、支障なく板状ワークがその両ローラ間に挿入されて円滑な研磨処理が施されることになる。これに対して、板厚が小さく或いは剛性が低い板状ワークの場合には、例えば搬送手段により水平姿勢で搬送される板状ワークを方向変換して垂直姿勢とし、その板状ワークを垂直下方に送りながら左右一対のバフ研磨ローラの相互間に挿入するようにすれば、板状ワークの前端に自重による曲がり等が生じないため、支障なく板状ワークがその両ローラ間に挿入されて円滑な研磨処理が施されることになる。
【００１４】
以上の構成において、前記一対のバフ研磨ローラは、それらの双方の回転時に、一方のバフ研磨ローラが他方のバフ研磨ローラに対してローラ軸方向に相対移動するように構成されていることが好ましい。
【００１５】
このようにすれば、板状ワークは、一対のバフ研磨ローラの回転動に伴う送り方向に沿ってのみ両面が研磨されるだけでなく、その両ローラの相対的なローラ軸方向移動を伴って研磨されることになるため、板状ワークの両面は全域に亘って均一な研磨処理を受けることになる。
【００１６】
このような構成において、前記一対のバフ研磨ローラは、単一の回転駆動軸の二箇所に各バフ研磨ローラに対応して配設され且つ相互に逆方向に偏心して固定された偏心輪のそれぞれの回転に基づいて、ローラ軸方向に往復動すると共に、一方のバフ研磨ローラが往動した時に他方のバフ研磨ローラが復動し、且つ一方のバフ研磨ローラが復動した時に他方のバフ研磨ローラが往動するように構成することができる。
【００１７】
このようにすれば、単一の回転駆動軸を回転させることにより相互に逆方向に偏心した二個の偏心輪が回転することに伴って、一方のバフ研磨ローラと他方のバフ研磨ローラとが１８０°の位相差をもってローラ軸方向に往復動することになるため、構成の簡素化を図りつつ、効率良く且つ適切なタイミングで二本のバフ研磨ローラをローラ軸方向に往復動させることが可能となる。
【００１８】
以上の構成において、前記一対のバフ研磨ローラの両端からそれぞれ延出されたローラ軸は、一方向にのみトルクを伝達する一方向トルク伝達機構を介してそれぞれ軸受けされていることが好ましい。この場合、一方向トルク伝達機構としては、ワンウェイクラッチが代表例として挙げられる。
【００１９】
このようにすれば、一対のバフ研磨ローラの相互間に板状ワークを介在させてそれらのローラを相反する方向に回転させることにより板状ワークの両面を同時に研磨している間に、一方のバフ研磨ローラが他方の研磨ローラよりも速く回転しようとしても、その一方のバフ研磨ローラは一方向トルク伝達機構の動作により空転状態になる。この結果、一方のバフ研磨ローラと他方のバフ研磨ローラとは、同速度で連れ回ることになり、両者の回転速度が相違することによってそれらのバフ研磨ローラと板状ワークとの間に摺動が生じて該板状ワークに擦れ傷が発生する等の不具合が回避される。
【００２０】
一方、上記技術的課題を解決するためになされた本発明に係る方法は、板状ワークを搬送する搬送手段と、この搬送手段による搬送途中に配置されたバフ研磨ローラとを備え、該バフ研磨ローラにより前記板状ワークを研磨する研磨方法において、前記搬送手段により形成される搬送径路の途中に一対のバフ研磨ローラを配置し、この一対のバフ研磨ローラの相互間に前記板状ワークを介在させてそれらのバフ研磨ローラにより前記板状ワークの両面を同時に研磨することに特徴づけられる。
【００２１】
このような方法によっても、既述の研磨装置の基本的構成に係る作用効果と実質的に同一の作用効果が得られる。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように本発明によれば、板状ワークは、その両面が一対のバフ研磨ローラによって同時に研磨されるので、板状ワークが薄肉のプリント基板等であっても反りの発生を抑制することができると共に、バックアップローラを使用していないので、異物の介入により板状ワークに打痕が付く等の不具合が生じ難くなり、研磨後の板状ワークの品位低下が効果的に抑止される。しかも、一箇所の研磨位置で、一対のバフ研磨ローラが板状ワークの両面を同時に研磨するため、その片面ずつを研磨していた場合と比較して、バフ研磨ローラの配設箇所を１／２にすることができ、研磨のための作業ラインを短縮できると共に、研磨に要する作業時間の短縮をも図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。図１は、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略正面図であり、図２は、当該研磨装置の全体構成を示す概略平面図である。また、図３は、図１のＡ−Ａ線拡大断面図である。更に、図４は、当該研磨装置の要部を示す拡大概略斜視図であり、図５は、当該研磨装置の要部を示す拡大概略正面図である。
【００２４】
図１に示すように、本実施形態に係る研磨装置１は、筐体２の内部に、板厚が０．１ｍｍ以下（例えば０．０８４ｍｍ）の可撓性を有する板状ワークとしてのフレキシブルプリント基板を含む薄肉基板（以下、単にプリント基板という）Ｐを、水平方向に沿って搬送する搬送経路３を有している。この搬送経路３は、プリント基板Ｐを搬入させる搬入口４に通じる搬入用搬送経路３Ａと、プリント基板Ｐを研磨しつつ搬送する研磨用搬送経路３Ｂと、プリント基板Ｐを搬出させる搬出口５に通じる搬出用搬送経路３Ｃとに大略区分される。
【００２５】
搬入用搬送経路３Ａには、プリント基板Ｐを載せた状態で上流側（同図の左側）から下流側（同図の右側）に搬送する複数個の下部搬送ローラ６が水平方向に沿って配列されている。そして、この搬入用搬送経路３Ａの下流側端部には、下部搬送ローラ６によって搬送されるプリント基板Ｐの前端（同図の右端）が初期位置に到達したことを検出する入口センサ７と、この入口センサ７からの信号に基づいて下降することによりプリント基板Ｐを停止させる基板用ストッパ８とが配設されている。
【００２６】
研磨用搬送経路３Ｂには、プリント基板Ｐを小さな力で挟持して搬送する複数個の下部搬送ローラ６及び複数個の上部搬送ローラ９が水平方向に沿って配列されると共に、その上流端及び下流端にはそれぞれ、プリント基板Ｐの全領域を挟持してそのプリント基板Ｐの液切りを行う上下一対の挟持ローラ１０、１１が配設されている。なお、上部搬送ローラ９の配列ピッチは、下部搬送ローラ６の配列ピッチの二倍であると共に、上部搬送ローラ９は、一つおきの下部搬送ローラ６の上方に対向して配置されている。この場合、上部搬送ローラ９の配列ピッチと、下部搬送ローラ６の配列ピッチとは、同一であっても差し支えない。更に、この研磨用搬送経路３Ｂの中間部における上流側と下流側との二箇所にはそれぞれ、プリント基板Ｐを一層大きな力で挟持する左右一対のグリップローラ１２、１３が対向して配置されると共に、この二箇所のグリップローラ１２、１３の直下方にはそれぞれ、左右一対のバフ研磨ローラ１４、１５が対向して配置されている。また、この研磨用搬送経路３Ｂにおける二箇所のグリップローラ１２、１３の上流側にはそれぞれ、プリント基板Ｐの前端が研磨用初期位置に到達したことを検出する初期位置検出センサ１８、１９が配設されている。更に、二箇所に配設された一対のグリップローラ１２、１３のそれぞれのうち、上流側に存するグリップローラ１２、１３の斜め右上には方向変換用ガイドローラ１６、１７がそれぞれ対向して配置されると共に、同じく上流側に存するグリップローラ１２、１３の斜め左上方には、水やエア等の流体（本実施形態では水）を斜め右下方に向けて噴射する流体噴射手段２０、２１がそれぞれ配設されている。また、この研磨用搬送経路３Ｂの下方における各一対のバフ研磨ローラ１４、１５の配設位置のそれぞれの左右両側には、対応するグリップローラ１２、１３及びバフ研磨ローラ１４、１５並びにプリント基板Ｐに向けて研磨液を噴射供給する研磨液供給手段２２が配設されている。
【００２７】
搬出用搬送経路３Ｃには、プリント基板Ｐを小さな力で挟持する複数個の下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９が水平方向に沿って配列されると共に、その下流端には、プリント基板Ｐの前端が搬出口５近傍に到達したことを検出する出口センサ２３が配設されている。
【００２８】
この場合、図２及び図３に示すように、下部搬送ローラ６は、上下流方向（搬送方向）と直交するローラ軸６ａ上に複数枚のローラ体６ｂが並列に固定されてなるものである。詳述すると、厚みが直径の１／２以下とされた１０枚以上のローラ体６ｂがローラ軸６ａ上に固定され、隣り合うローラ軸６ａのうち、一方のローラ軸６ａ上の各ローラ体６ｂ間の隙間に、他方のローラ軸６ａ上の各ローラ体６ｂが入り込んだ状態とされている。また、上部搬送ローラ９も、図３に示すように、上下流方向と直交するローラ軸９ａ上に同様の複数枚のローラ体９ｂが並列に固定されてなるものである。
【００２９】
一方、図２に示すように、上流端及び下流端の挟持ローラ１０、１１は何れも、外周面が上下流方向と直交する軸方向に連続して延びる円筒面をなし、この円筒面の軸方向長さは、プリント基板Ｐの全領域を挟持できる長さとされている。更に、図４にも示すように、各グリップローラ１２（１３）の外周面及び各バフ研磨ローラ１４（１５）の外周面も、上下流方向と直交する軸方向に連続して延びる円筒面をなし、これらの円筒面の軸方向長さは、プリント基板Ｐの全領域を挟持できる長さとされている。また、方向変換用ガイドローラ１６（１７）も、上記と同様の軸方向長さを有する円筒面とされている。
【００３０】
図５は、上流側の一対のグリップローラ１２及び一対のバフ研磨ローラ１４の周辺構造を示すものである。なお、下流側の一対のグリップローラ１３及び一対のバフ研磨ローラ１５の周辺構造についても実質的に同一であるので、その構成要素については図５に括弧付きの符号を付してその説明を省略する。同図に示すように、研磨用搬送経路３Ｂの上流側から下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９の矢印ａ方向への回転に伴って水平方向下流側に搬送されるプリント基板Ｐは、その前端が一対のグリップローラ１２のうち上流側のグリップローラ１２に到達した時点で、流体噴射手段２０から噴射供給される流体（水）の流れＷ１によって上流側のグリップローラ１２の外周面に接触しつつ一対のグリップローラ１２の相互間に挟持される。そして、この両グリップローラ１２が矢印ｂ方向に正転することによって、両グリップローラ１２間に挟持されたプリント基板Ｐは、下方に向かって送られ、一対のバフ研磨ローラ１４の相互間に送り込まれる。この送り込まれたプリント基板Ｐは、その表裏両面が一対のバフ研磨ローラ１４により同時に研磨され、この研磨は、プリント基板Ｐの後端が一対のグリップローラ１２から離反する直前まで実行されるようになっている。
【００３１】
この後においては、一対のグリップローラ１２が矢印ｃ方向に逆転することによって、プリント基板Ｐは上方に向かって送られ、一対のバフ研磨ローラ１４により上記とは逆方向の両面の同時研磨がプリント基板Ｐの同一領域に対して行われる。この場合、プリント基板Ｐの上方への送りが開始された直後においては、プリント基板Ｐの後端は、流体噴射手段２０から噴射供給される流体（水）の流れＷ２によって下流側のグリップローラ１２の外周面に接触しつつその下流側の下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９の相互間に挟持され、その後、プリント基板Ｐは水平方向下流側に搬送されるようになっている。なお、一対のバフ研磨ローラ１４は、矢印ｄ方向への回転を維持する。
【００３２】
図６は、上流側の一対のバフ研磨ローラ１４及び下流側の一対のバフ研磨ローラ１５のそれぞれの支持構造を示す縦断側面図であって、これらのバフ研磨ローラ１４、１５の支持構造は全てが実質的に同一であるので、一本のバフ研磨ローラ１４のみについて説明をする。同図に示すように、このバフ研磨ローラ１４は、その両端からそれぞれ延出されたローラ軸４１、４２が、筐体２の縦壁部２ａ、２ｂを貫通して外方に突出し、それらの縦壁部２ａ、２ｂの外方で回転自在に軸受けされている。そして、このバフ研磨ローラ１４は、ローラ軸４１、４２と一体となってローラ軸方向（Ｘ−Ｘ方向）に移動可能となるように筐体２に保持されている。
【００３３】
一方（図６の左側）のローラ軸４１の先端部には、駆動用モータから回転トルクが伝達される巻き掛け伝動機構４３の構成要素である従動輪としてのプーリ４４が配設され、図７にも示すように、このプーリ４４の内周面とローラ軸４１の外周面との間には、ベアリング４５と並列に一方向トルク伝達機構としてのワンウェイクラッチ４６が介設されている。したがって、駆動用モータにより巻きがけ伝動機構４３のプーリ４４に入力された回転トルクは、バフ研磨ローラ１４を一方向（プリント基板Ｐの送り方向）に回転させる際には伝達されるが、逆方向（プリント基板Ｐの反送り方向）に回転させる際には伝達されないように構成されている。すなわち、図５に示すバフ研磨ローラ１４（１５）の矢印ｄ方向に対してのみ回転トルクが伝達されるように構成されており、したがって一対のバフ研磨ローラ１４（１５）の矢印ｄ方向への回転速度が相互に相違しようとする状況下にある場合には、回転速度が相対的に高くなりつつあるバフ研磨ローラ１４（１５）への回転トルクの伝達が遮断されて、両ローラ１４（１５）が同速度で回転するようになっている。
【００３４】
更に、図６に示すように、一方のローラ軸４１の外周側には、ローラ軸４１と共にローラ軸方向に移動可能な断面コ字形のガイド体４７がベアリング４８を介して保持されると共に、このガイド体４７は、筐体２の縦壁部２ａに外方に突出して固定されたレール体４９にローラ軸方向に移動可能に係合されている。したがって、一方のローラ軸４１は、ガイド体４７により回動自在に保持された上で、レール体４９によりガイド体４７と共にローラ軸方向にのみスライド可能とされている。なお、他方（図６の右側）のローラ軸４２は、筐体２の縦壁部２ｂに外方に突出して固定された固定部材５０に、ベアリング５１を介して回動自在に保持された上で、ローラ軸方向に移動可能に保持されている。
【００３５】
図８（ａ）は、一対のバフ研磨ローラ１４を駆動するための駆動手段及びその周辺構造を示す正面図であると共に、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示す当該駆動手段及びその周辺構造の右側面図であり、図８（ｃ）は、図８（ａ）に示す当該駆動手段及びその周辺構造の左側面図である。また、図９は、当該駆動手段及びその周辺構造を示す斜視図である。なお、これらの各図は、既述の図６及び図７における一方のローラ軸４１の周辺を示すものである。
【００３６】
図８（ａ）及び図９に示すように、筐体２の縦壁部２ａに対して固定状態とされた一対の取付板５２には、ボールスプラインを備えた単一の回転駆動軸５３が回動自在に保持され、駆動モータ５４が巻き掛け伝動機構５５を介して回転駆動軸５３にトルクを伝達するように構成されている。更に、一対の取付板５２のそれぞれの中央側寄り位置には、図８（ｂ）、（ｃ）にも示すように、ローラ軸方向に沿って往復動する一対の往復ブラケット５６が配設され、これらの往復ブラケット５６の先端側（縦壁部２ａから遠い側）に回転駆動軸５３が連結され、それらの往復ブラケット５６の基端側（縦壁部２ａに近い側）に、一対のガイド体４９の外側面にそれぞれ固定された補助板５７が連結されている。
【００３７】
詳述すると、図１０に示すように、回転駆動軸５３の軸方向二箇所には、相互に逆方向に偏心する偏心輪（偏心ボス）５８がそれぞれ固定され、これらの偏心輪５８は、ベアリング５９を介してそれぞれ往復ブラケット５６の先端側に回動自在に保持されている。そして、これらの往復ブラケット５６の基端側にはそれぞれ、補助板５７に固定された支軸６０がベアリング６１を介して偏心せずに回動自在に保持されている。したがって、回転駆動軸５３が駆動モータ５４によって回転駆動された場合には、それぞれの偏心輪５８の回転に伴って一対の往復ブラケット５６が揺動を伴ってローラ軸方向に往復動し、これにより支軸６０ひいては補助板５７がローラ軸方向に対してのみ往復動する。この場合、一対の偏心輪５８が相互に逆方向に偏心し、且つ補助板５７に固定されたガイド体４７がそれぞれレール体４９にローラ軸方向にのみスライド可能に係合されているため、一方のバフ研磨ローラ１４の往動時には他方のバフ研磨ローラ１４が復動し、且つ一方のバフ研磨ローラ１４の復動時には、他方のバフ研磨ローラ１４が往動することになる。そして、この一対のバフ研磨ローラ１４は、このような往復動と共にローラ軸廻りに回転する。なお、このような一対のバフ研磨ローラ１４の動作は、下流側のバフ研磨ローラ１５についても同様である。
【００３８】
次に、本実施形態に係る研磨装置１によりプリント基板Ｐを研磨する動作を時系列的に説明する。
【００３９】
図１１（ａ）に示すように、搬入口４を通じて搬入されたプリント基板Ｐは、搬入用搬送経路３Ａの下部搬送ローラ６により下流側に向かって搬送され、入口センサ７によってプリント基板Ｐの前端が初期位置に到達したことが検出された時点で、基板用ストッパ８が図示の状態に下降する。
【００４０】
その結果、図１１（ｂ）に示すように、プリント基板Ｐは、その前端が基板用ストッパ８に当接して挟持ローラ１０の直前で停止するが、この時点では、基板用ストッパ８の動作によって、プリント基板Ｐの前端が上下流方向と直交する方向に揃えられて、プリント基板Ｐが正確な姿勢に維持される。
【００４１】
この後、図１１（ｃ）に示すように、プリント基板Ｐは、上下一対の挟持ローラ１０に挟持された状態で下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９によって下流側に搬送され、上流側の初期位置検出センサ１８により、プリント基板Ｐの前端が研磨用初期位置に到達したことが検知される。この場合、初期位置検出センサ１８からの信号に基づいて、プリント基板Ｐの長さ及び搬送速度に応じたグリップローラ１２の正転及び逆転の時期や流体噴射手段２０からの水の噴射供給の時期等が、図外の制御手段により制御される。
【００４２】
そして、プリント基板Ｐが更に下流側に搬送されていくことにより、プリント基板Ｐは、方向変換用ガイドローラ１６及び流体噴射手段２０からの水の流れＷ１によって方向変換して、図１２（ａ）に示すように、正転する一対のグリップローラ１２により挟持された状態でその前方部が下方に向かって送られ、その前端が一対のバフ研磨ローラ１４間に円滑に侵入する。
【００４３】
このように、プリント基板Ｐの前端が一対のバフ研磨ローラ１４間に侵入した後は、その一対のバフ研磨ローラ１４によってプリント基板Ｐの両面が同時に研磨されながらプリント基板Ｐは下方に送られる。この時点で、一対のバフ研磨ローラ１４は、回転しながら両者が１８０°の位相差をもってローラ軸方向に往復動する。そして、このようなプリント基板Ｐの研磨を伴う下方への送りは、図１２（ｂ）に示すように、プリント基板Ｐの後端が一対のグリップローラ１２間から離脱する直前で停止する。この時点では、後続のプリント基板Ｐ１が、入口センサ７を通過して基板用ストッパ８により停止されて待機した状態にある。
【００４４】
この後は、一対のグリップローラ１２が逆転して先行するプリント基板Ｐは上方に向かって送られるが、この際には、同方向に回転している一対のバフ研磨ローラ１４によりプリント基板Ｐの両面が上記と実質的に同方向の研磨を同時に受ける。そして、プリント基板Ｐの上方への送り開始直後においては、プリント基板Ｐの後端が前端となって、その前端が、方向変換用ガイドローラ１６と流体噴射手段２０からの水の流れＷ２とによって水平方向下流側に向かうように方向変換し、プリント基板Ｐの当初前端であった後端が上方への送りによって一対のバフ研磨ローラ１４間から離脱した時点で、図１２（ｃ）に示すように、プリント基板Ｐは下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９によって更に下流側に向かって搬送される。なお、このプリント基板Ｐの前側領域（当初後側領域）は、未研磨領域となっている。この時点で、後続のプリント基板Ｐ１は、基板用ストッパ８の上昇により下流側に向かって搬送可能となる。
【００４５】
更に、先行するプリント基板Ｐが下流側に搬送され、その前端（当初後端）が、図１３（ａ）に示すように、下流側の初期位置検出センサ１９により検知されて、下流側の一対のグリップローラ１３の正転及び逆転の時期や流体噴射手段２１の動作が特定されると共に、この時点では、後続のプリント基板Ｐ１は上流側の一対の挟持ローラ１０により挟持されて下流側に搬送される。
【００４６】
そして、図１３（ｂ）に示すように、先行するプリント基板Ｐ及び後続のプリント基板Ｐ１が下流側に搬送されることにより、図１３（ｃ）に示すように、先行するプリント基板Ｐの前端が、下流側のグリップローラ１３の直前に到達した時点で、後続のプリント基板Ｐ１は、その前端が上流側の初期位置検出センサ１８により検知されて、上流側の一対のグリップローラ１２の正転及び逆転の時期や流体噴射手段２０の動作が特定される。
【００４７】
この後、図１４（ａ）に示すように、先行するプリント基板Ｐの前端が方向変換して下方に向かって送られ、下流側の一対のバフ研磨ローラ１５間に侵入した時点で、後続のプリント基板Ｐ１は、その前端が上流側のグリップローラ１２の近傍で方向変換しつつある。なお、上流側のグリップローラ１２及びバフ研磨ローラ１４と、下流側のグリップローラ１３及びバフ研磨ローラ１５とは、回転方向等の動作が同一である。
【００４８】
そして、図１４（ｂ）に示すように、先行するプリント基板Ｐが更に下方に送られることにより、そのプリント基板Ｐの未研磨領域である前側領域が、下流側の一対のバフ研磨ローラ１５により研磨されると共に、この時点では、後続のプリント基板Ｐ１が、上流側の一対のバフ研磨ローラ１４間に侵入を開始する。更に、図１４（ｃ）に示すように、先行するプリント基板Ｐの後端が一対のグリップローラ１３間から離脱する直前で停止した時点では、後続のプリント基板Ｐ１は下方への送りを伴う研磨途中にある。したがって、この研磨装置１では、複数枚（図例では２枚）のプリント基板Ｐ、Ｐ１が、同時に研磨処理を受けることになる。
【００４９】
そして、図１５（ａ）に示すように、先行するプリント基板Ｐが上方への送りを伴う研磨途中にある時に、後続のプリント基板Ｐ１の後端は一対のグリップローラ１３間から離脱する直前で停止した状態にあるが、この時点では、更に後続（三枚目）のプリント基板Ｐ２が入口センサ７を通過して基板用ストッパ８により停止された状態にある。したがって、この研磨装置１では、複数枚（図例では三枚）のプリント基板Ｐ、Ｐ１、Ｐ２が、搬送や研磨等の処理を同時に受けることになる。なお、先行するプリント基板Ｐは、この下流側のバフ研磨ローラ１５によって、上流側のバフ研磨ローラ１４による場合とは逆方向の研磨を受ける。
【００５０】
この後、図１５（ｂ）に示すように、先行するプリント基板Ｐが下流側の上下一対の挟持ローラ１１により挟持された状態で、その前端が出口センサ２３を通過して搬出口５から僅かに外部に突出した時点では、後続のプリント基板Ｐ１と、更に後続のプリント基板Ｐ２とは、上述の図１２（ｃ）に示す状態と同一になる。なお、図１５（ｃ）に示す状態を経て、先行するプリント基板Ｐの前端が、図１６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す変化態様に則して、搬出口５から徐々に突出していくことにより、後続のプリント基板Ｐ１と、更に後続のプリント基板Ｐ２とは、上述の図１３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す変化態様と同一になる。そして、先行するプリント基板Ｐの後端が出口センサを通過した時点で、このプリント基板Ｐに対する研磨装置１内での処理が終了する。
【００５１】
なお、上記の実施形態では、搬入用搬送経路３Ａ、研磨用搬送経路３Ｂ及び搬出用搬送経路３Ｃの全てが水平方向に沿うように構成したが、これらの径路３Ａ、３Ｂ、３Ｃのうちの少なくとも一つが水平方向に対して所定角度だけ傾斜していてもよい。
【００５２】
図１７は、本発明の第二の実施形態に係る研磨装置１を例示するものであるが、便宜上、搬送ローラ等を省略すると共に、プリント基板Ｐの移動軌跡を一点鎖線で図示したものである。同図に示すように、この研磨装置１は、搬入口から上流側のグリップローラ１２に至るまでの搬送径路の全部または一部の径路３Ａ１が上下方向に沿うと共に、下流側のグリップローラ１３から搬出口に至るまでの搬送経路の全部または一部の径路３Ｃ１が上下方向に沿うように構成されている。その他の構成は、上述の第一の実施形態に係る研磨装置１と実質的に同一であるので、共通する構成要素に同一符号を付して動作等の説明を省略する。
【００５３】
図１８は、本発明の第三の実施形態に係る研磨装置１を例示するものであり、この場合にも便宜上、搬送ローラ等を省略すると共に、プリント基板Ｐの移動軌跡を一点鎖線で図示したものである。同図に示すように、この研磨装置１は、搬入口から水平方向（上下方向でもよい）に沿って搬送されて上流側のグリップローラ１２に到達したプリント基板Ｐが、下方のみに送られながら上流側のバフ研磨ローラ１４により両面が同時研磨された後、方向変換して搬送されることにより下流側のバフ研磨ローラ１５の直下方に至り、更に方向変換して上方のみに送られながら下流側のバフ研磨ローラ１５により両面が同時研磨され、然る後、下流側のグリップローラ１３を経て水平方向（上下方向でもよい）に沿って搬出口に至るように構成されている。この場合、プリント基板Ｐを挟持する上流側のグリップローラ１２及び下流側のグリップローラ１３は、上流側のバフ研磨ローラ１４の上方及び下方と、下流側のバフ研磨ローラ１５の上方及び下方とに配設され、これらのグリップローラ１２、１３と各バフ研磨ローラ１４、１５とは、該当するローラに矢印を付した方向に回転する。その他の構成は、上述の第一の実施形態に係る研磨装置１と実質的に同一であるので、共通する構成要件については同一符号を付してその説明を省略する。
【００５４】
以上の第一、第二、第三実施形態では、研磨装置１による研磨対象が可撓性を有する薄肉基板であったが、本発明は、これに限定されるわけではなく、可撓性を有しない厚肉（例えば板厚が１ｍｍ超或いは２ｍｍ超）の板状ワークであってもよい。以下、その具体的一例を説明する。すなわち、図１９は、本発明の第四の実施形態に係る研磨装置１を例示するものであり、この装置１の研磨対象となるのは、上述のプリント基板に比して剛性の高い或いは板厚の大きな板状ワークとしてのプリント基板Ｐである。そして、下部搬送ローラ６及び上部搬送ローラ９によって水平方向に送られるプリント基板Ｐは、水平姿勢のままの状態で上下一対のバフ研磨ローラ４０により両面が同時に研磨されるようになっている。このように一対のバフ研磨ローラ４０が上下に配列されている場合であっても、既述のようにこれらのバフ研磨ローラ４０は回転動と共にローラ軸方向に往復動する。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略正面図である。
【図２】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の全体構成を示す概略平面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線拡大断面図である。
【図４】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の要部を示す拡大概略斜視図である。
【図５】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の要部を示す拡大概略正面図である。
【図６】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の構成要素であるバフ研磨ローラの支持構造を示す縦断側面図である。
【図７】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の構成要素であるバフ研磨ローラの支持構造の要部を示す縦断側面図である。
【図８】図８（ａ）は、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の構成要素であるバフ研磨ローラの支持構造の要部を示す正面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）の右側面図であり、図８（ｃ）は、図８（ａ）の左側面図である。
【図９】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の構成要素であるバフ研磨ローラの支持構造の要部を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の構成要素であるバフ研磨ローラの支持構造の要部を示す斜視図である。
【図１１】図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。
【図１２】図１２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。
【図１３】図１３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。
【図１４】図１４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。
【図１５】図１５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。
【図１６】図１６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の第一の実施形態に係る研磨装置の作用を示す概略正面図である。
【図１７】本発明の第二の実施形態に係る研磨装置の要部を模式的に示す概略正面図である。
【図１８】本発明の第三の実施形態に係る研磨装置の要部を模式的に示す概略正面図である。
【図１９】本発明の第四の実施形態に係る研磨装置の要部を示す概略正面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  研磨装置
３Ａ  搬送経路（搬入用搬送経路）
３Ｂ  搬送経路（研磨用搬送経路）
３Ｃ  搬送経路（搬出用搬送経路）
６  搬送手段（下部搬送ローラ）
９  搬送手段（上部搬送ローラ）
１２  グリップローラ（上流側のグリップローラ）
１３  グリップローラ（下流側のグリップローラ）
１４  バフ研磨ローラ（上流側のバフ研磨ローラ）
１５  バフ研磨ローラ（下流側のバフ研磨ローラ）
１６  方向変換用ガイドローラ（上流側の方向変換用ガイドローラ）
１７  方向変換用ガイドローラ（下流側の方向変換用ガイドローラ）
２０  流体噴射手段（上流側の流体噴射手段）
２１  流体噴射手段（下流側の流体噴射手段）
４０  バフ研磨ローラ
４１  ローラ軸
４２  ローラ軸
５３  回転駆動軸
５８  偏心輪（偏心ボス）
Ｐ  プリント基板
Ｐ１  プリント基板
Ｐ２  プリント基板
Ｗ１  流体（水）の流れ
Ｗ２  流体（水）の流れ
【図１】
2009291908.tif 000003
【図２】
2009291908.tif 000004
【図３】
2009291908.tif 000005
【図４】
2009291908.tif 000006
【図５】
2009291908.tif 000007
【図６】
2009291908.tif 000008
【図７】
2009291908.tif 000009
【図８】
2009291908.tif 000010
【図９】
2009291908.tif 000011
【図１０】
2009291908.tif 000012
【図１１】
2009291908.tif 000013
【図１２】
2009291908.tif 000014
【図１３】
2009291908.tif 000015
【図１４】
2009291908.tif 000016
【図１５】
2009291908.tif 000017
【図１６】
2009291908.tif 000018
【図１７】
2009291908.tif 000019
【図１８】
2009291908.tif 000020
【図１９】
2009291908.tif 000021