(57)【要約】【課題】製造工程において不純物の混入が起こりにくい高圧放電ランプの製造方法を提供する。【解決手段】  本実施形態に係る高圧放電ランプの製造方法は、発光管部１１０と端部が閉じられている一対の側管部１２０、１２１と、を有し、側管部のいずれか一方の中に第１電極複合体１１１が配置され、第１電極複合体１１１が配置された一方の側管部１２０の、第１電極複合体１１１の金属箔１６０が位置する場所が縮径されて閉じられている、内部が減圧状態であるガラスバルブ１００、を準備して、他方の側管部１２１に細孔５１０を設けて、該側管部１２１の該細孔５１０を設けた場所よりも発光管部１１０側で、該側管部１２１を切断して、切断工程で設けられた該側管部１２１の開口から、第２電極複合体１１２を挿入して、ガラスバルブ１００内を減圧状態にして、該側管部１２１の開口を閉じる。【選択図】  図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
球状乃至楕円球状の発光管部と、前記発光管部の両端から延在し、端部が閉じられている一対の側管部と、を有し、
前記側管部のいずれか一方の中に、電極と金属箔と外部リード線とがこの順で接合された第１電極複合体が、前記電極を前記発光管部内に位置するように配置され、
前記第１電極複合体が配置された一方の側管部の、前記第１電極複合体の前記金属箔が位置する場所が、縮径されて閉じられている、
内部が減圧状態であるガラスバルブ、を準備する、準備工程と、
他方の側管部に細孔を設ける、細孔作成工程と、
該他方の側管部の該細孔を設けた場所よりも前記発光管部側で、該他方の側管部を切断する、切断工程と、
前記切断工程で設けられた、該他方の側管部の開口から、第２電極複合体を挿入して、該他方の側管部の中に該第２電極複合体を配置する、第２電極複合体配置工程と、
前記ガラスバルブ内を減圧状態にし、該他方の側管部の開口を閉じる、二次減圧工程と、
を有することを特徴とする高圧放電ランプの製造方法。
【請求項２】
前記細孔作成工程は、レーザで細孔を設ける、
ことを特徴とする請求項１記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項３】
前記細孔作成工程における前記レーザは、炭酸ガスレーザである、
ことを特徴とする請求項２記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項４】
前記細孔作成工程は、前記レーザのレーザ光を、集光レンズを通過させることで先細り形状にする、
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項５】
前記切断工程は、レーザで切断をする、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項６】
前記切断工程におけるレーザは、炭酸ガスレーザである、
ことを特徴とする請求項５に記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項７】
前記切断工程は、前記レーザのレーザ光を、集光レンズを通過させることで先細り形状にする、
ことを特徴とする請求項５又は６に記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項８】
前記切断工程は、前記先細り形状のレーザ光の中心線と切断によって形成される切断面とが鋭角を形成するように、前記レーザ光を斜めにして切断する、
ことを特徴とする請求項７記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項９】
前記切断工程は、前記ガラスバルブを回転させながら切断を行う、
ことを特徴とする請求項５乃至８のいずれか１項に記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項１０】
前記切断工程は、前記他方の側管部の該細孔を設けた場所よりも、前記発光管部側に１ｍｍ以上５ｍｍ以下離れた場所で、前記他方の側管部を切断する、
ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項１１】
前記切断工程において、ガスを吸引する吸引手段を用いることで、前記他方の側管部の切断部分から発生するガスを吸引する、
ことを特徴とする請求項６乃至１０のいずれか１項に記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項１２】
前記切断工程の後に、前記切断工程で設けられた前記他方の側管部の切断面を加熱処理する、
ことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項１３】
前記細孔作成工程で設けられる細孔の孔径は、１ｎｍ以上１０００μｍ以下である、
ことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項１４】
前記細孔作成工程で設けられる細孔が複数である、
ことを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の高圧放電ランプの製造方法。
【請求項１５】
前記細孔作成工程で設けられる複数の細孔は一定の間隔で均一的に配列されている、
ことを特徴とする請求項１４に記載の高圧放電ランプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高圧放電ランプの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶プロジェクタ等の投射型映像装置の光源には高圧放電ランプが用いられる。高圧放電ランプは、以下のようにして製造される。
【０００３】
まず、略球状をした発光管部から、同軸上反対向きに、中空管状の第１および第２の側管部が延設されてなるガラスバルブを準備する。
そして、第１の側管部に、電極・金属箔・外部リード線がこの順に接合された第１電極複合体を、該電極を先頭に該電極が発光管部に位置するまで挿入して、第１の側管部の端部を封着する。
次に、ガラスバルブ内を減圧状態にして、第２の側管部の端部を封着する。
次に、第１の側管部の、該第一の電極複合体の金属箔が位置する場所を、熱処理により縮径させて閉じる。
次に、第２の側管部の端部を切断して、第２の側管部から水銀などの封入物を挿入した後、第１の電極複合体と同じ構成を有する第２電極複合体を挿入し、第２の側管部を封着する。
これにより、気密封止された発光管部内で一対の電極の先端同士が対向して配置された高圧放電ランプが作成される。
【０００４】
ここで、高圧放電ランプは、ランプ内に不純物が混入していると、黒化や失透により寿命が短くなる。
そこで、内部への不純物の混入を防止するべく、特許文献１に示される技術のように、最初から片側が封止されたガラスバルブを用いる技術がある。
【０００５】
しかし、特許文献１に示された技術では、第２の側管部の端部を切断して、第２の電極複合体を挿入する工程において、第２の側管部の切断部分から不純物が混入することがある。
【特許文献１】特開２００３−１０９５０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、内部に不純物が少なく長寿命の高圧放電ランプを得ることができる高圧放電ランプの製造方法を提供することを目的とする。また、製造工程において不純物の混入が起こりにくい高圧放電ランプの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、この発明の高圧放電ランプの製造方法は、
球状乃至楕円球状の発光管部と、前記発光管部の両端から延在し、端部が閉じられている一対の側管部と、を有し、
前記側管部のいずれか一方の中に、電極と金属箔と外部リード線とがこの順で接合された第１電極複合体が、前記電極を前記発光管部内に位置するように配置され、
前記第１電極複合体が配置された一方の側管部の、前記第１電極複合体の前記金属箔が位置する場所が、縮径されて閉じられている、
内部が減圧状態であるガラスバルブ、を準備する、準備工程と、
他方の側管部に細孔を設ける、細孔作成工程と、
該他方の側管部の該細孔を設けた場所よりも前記発光管部側で、該他方の側管部を切断する、切断工程と、
前記切断工程で設けられた、該他方の側管部の開口から、第２電極複合体を挿入して、該他方の側管部の中に該第２電極複合体を配置する、第２電極複合体配置工程と、
前記ガラスバルブ内を減圧状態にし、該他方の側管部の開口を閉じる、二次減圧工程と、を有することを特徴とする。
【０００８】
また、前記細孔作成工程は、レーザで細孔を設ける、ことも可能である。
【０００９】
また、前記細孔作成工程における前記レーザは、炭酸ガスレーザである、ことも可能である。
【００１０】
また、前記細孔作成工程は、前記レーザのレーザ光を、集光レンズを通過させることで先細り形状にする、ことも可能である。
【００１１】
また、前記切断工程は、レーザで切断をする、ことも可能である。
【００１２】
また、前記切断工程におけるレーザは、炭酸ガスレーザである、ことも可能である。
【００１３】
また、前記切断工程は、前記レーザのレーザ光を、集光レンズを通過させることで先細り形状にする、ことも可能である。
【００１４】
また、前記切断工程は、前記先細り形状のレーザ光の中心線と切断によって形成される切断面とが鋭角を形成するように、前記レーザ光を斜めにして切断する、ことも可能である。
【００１５】
また、前記切断工程は、前記ガラスバルブを回転させながら切断を行う、ことも可能である。
【００１６】
また、前記切断工程は、前記他方の側管部の該細孔を設けた場所よりも、前記発光管部側に１ｍｍ以上５ｍｍ以下離れた場所で、前記他方の側管部を切断する、ことも可能である。
【００１７】
また、前記切断工程において、ガスを吸引する吸引手段を用いることで、前記他方の側管部の切断部分から発生するガスを吸引する、ことも可能である。
【００１８】
また、前記切断工程の後に、前記切断工程で設けられた前記他方の側管部の切断面を加熱処理する、ことも可能である。
【００１９】
また、前記細孔作成工程で設けられる細孔の孔径は、１ｎｍ以上１０００μｍ以下である、ことも可能である。
【００２０】
また、前記細孔作成工程で設けられる細孔が複数である、ことも可能である。
【００２１】
また、前記細孔作成工程で設けられる複数の細孔は一定の間隔で均一的に配列されている、ことも可能である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る高圧放電ランプの製造方法は、製造工程において発光管部内に不純物の混入が起こりにくい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
（実施形態１）
実施形態に係る高圧放電ランプの製造法で製造される高圧放電ランプは、図１に示されるように、ガラスバルブ１００と、陰極複合体１１１と、陽極複合体１１２と、を有する。陰極複合体１１１の電極部分と陽極複合体１１２の電極部分は、ガラスバルブ１００内で対向している。
【００２４】
ガラスバルブ１００は、楕円球状の発光管部１１０と、発光管部１１０の一方の端部に位置して陰極複合体１１１を封止する気密封止部１８０と、発光管部１１０の他方の端部に位置して陽極複合体１１２を封止する気密封止部１８１と、を有する。
発光管部１１０の中には、発光物質である水銀、アルゴン等の希ガス、臭素等のハロゲン物質が封入されている。
陰極複合体１１１の右側の端部と、陽極複合体の左側の端部とは、それぞれガラスバルブ１００から突出することで外気に露出しており、それぞれの端部から給電することで高圧放電ランプを点灯させることが可能である。
【００２５】
上述した高圧放電ランプを製造する実施形態に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する。まず、楕円球状の発光管部１１０と、端部が閉じられている一対の側管部１２０、１２１と、を有するガラスバルブ１００を準備する。側管部１２０の中には陰極複合体１１１が設けられており、陰極複合体１１１は気密封止部１８０で固定されている。ガラスバルブ１００の内部は減圧状態である。そして、図２（ａ）に示すように、このガラスバルブ１００の側管部１２１の端部に、細孔５１０を設ける。
次に、図２（ｂ）に示すように、側管部１２１の細孔５１０を設けた場所よりも発光管部１１０側の切断場所５２０にて、側管部１２１を切断する。
次に、図２（ｃ）に示すように、側管部１２１の切断された切断部分から、陽極複合体１１２を挿入する。挿入された陽極複合体１１２は気密封止部１８１で固定される。そして、側管部１２０、１２１の不要部分をそれぞれ切り落とすことにより、図１に示した高圧放電ランプが得られる。
【００２６】
減圧状態のガラスバルブ１００に細孔５１０を設けることにより、ガラスバルブ１００内は徐々に減圧状態が解除される。そして、減圧状態が解除された後に、側管部１２１を切断するから、切断部分から不純物がガラスバルブ１００内に混入することが起こりにくい。
仮に、減圧状態のガラスバルブ１００に細孔５１０を設けることなく、いきなり側管部１２１を切断した場合には、切断部分から不純物がガラスバルブ内部に吸引されうる。
しかしながら、本実施形態に係る高圧放電ランプの製造方法によれば、まず、減圧状態のガラスバルブ１００に細孔５１０を設けることにより、ガラスバルブ１００内は徐々に減圧状態が解除される。ここで、細孔５１０はその孔径が小さく設定されるから細孔５１０を通してガラスバルブ１００内への不純物の侵入は起こりにくい。そして、減圧状態が解除された後に、側管部１２１を切断するから、外部の空気がいきなりガラスバルブ１００内に流入することに伴う不純物の内部への侵入が起こりにくい。
【００２７】
（実施形態２）
実施形態に係る高圧放電ランプの製造方法を更に詳細に説明する。
まず、図３（ａ）に示すように、陰極複合体１１１を形成する。陰極複合体１１１は、陰極１５０と、短冊状の金属箔１６０と、外部リード線１９０と、がこの順で接合されて構成されている。そして、陰極１５０は、電極軸１３０の先端に電極コイル１４０が巻回されて形成されている。外部リード線１９０の端部には規制部材２４０が形成されている。各部分の接合は、例えばスポット抵抗溶接等を用いてなされる。
陽極複合体１１２も、図３（ｂ）に示すように、陰極複合体１１１と同様に、陽極１５１と、金属箔１６１と、外部リード線１９１とが接合されて構成されており、陽極１５１は、電極軸１３１の先端に電極コイル１４１が巻回されて形成されている。外部リード線１９１の端部には規制部材２４１が形成されている。電極コイル１４０、１４１は、適度な放熱機能を発揮して、高圧放電ランプの点灯時における電極の加熱を防止するために設けられる。
【００２８】
電極軸１３０、１３１と電極コイル１４０、１４１とはともにタングステンから形成される。なお、タングステンに限定されずトリウムを含有するタングステンで形成されることも可能である。金属箔１６０、１６１はモリブデンで形成される。外部リード線１９０、１９１もモリブデンで形成される。規制部材２４０、２４１は、例えばモリブデンよりなる菱形形状の金属板である。
【００２９】
次に、図４に示すように、ガラスバルブ１００を準備する（ガラスバルブ準備工程）。ガラスバルブ１００は、発光管部１１０と、発光管部１１０の両端から延在する一対の側管部１２０、１２１と、を有する。発光管部１１０は、楕円球状である。側管部１２０、１２１は、中空円筒形状である。なお発光管部１１０を円球状にすることも可能である。ガラスバルブ１００は、石英ガラスで形成される。
図４の右側に設けられる側管部１２０は、一方の端部（左側の端部）が発光管部１１０に接続されており、他方の端部（右側の端部）は開いている開端部１２９となっている。図４の左側に設けられる側管部１２１は、一方の端部（右側の端部）が発光管部１１０に接続されており、他方の端部（左側の端部）は閉じている。
【００３０】
次に、図５に示すように、側管部１２０の開端部１２９からガラスバルブ１００の中へ陰極複合体１１１を挿入する。
規制部材２４０は菱形形状の金属板であり、その菱形形状金属板の上端と下端がそれぞれ側管部１２０の内周面に接触することにより、陰極複合体１１１を所定の位置に規制する。
陰極複合体１１１は、陰極１５０を先頭にして、金属箔１６０が側管部１２０の中に位置するとともに、電極コイル１４０が発光管部１１０内に位置するように配置される（陰極複合体配置工程）。
【００３１】
次に、図６にて矢印で示すように、側管部１２０の開端部１２９から、ガラスバルブ１００内を排気することにより、ガラスバルブ１００内を真空状態にする。ガラスバルブ１００内を真空状態にするには減圧ポンプ等を使用してガラスバルブ１００内の空気を吸引する。その後、ガラスバルブ１００内部に例えばアルゴンガス等の希ガスを封入して、図７に示すように、側管部１２０の開端部１２９を閉じる（１次減圧工程）。希ガスは酸化防止のために封入される。
【００３２】
次に、図８で示すように、陰極複合体１１１が配置されている側管部１２０の、金属箔１６０が位置するガラス部分を、ガラスバルブ１００を矢印で示すように回転させながら外周からバーナー４００により加熱する。
バーナー４００による加熱により、図９に示すように、側管部１２０の管壁が軟化することにより、ガラス管が縮径してガラス管部分が閉じられ（シュリンク封着）、気密封止部１８０が形成される（１次封止工程）。
【００３３】
次に、図１０に示すように、側管部１２１の端部に、細孔５１０を設ける（細孔作成工程）。細孔５１０は炭酸ガスレーザ発射装置５００から発射される炭酸ガスレーザにて設ける。
【００３４】
図１１に示されるように、炭酸ガスレーザ発射装置５００は、レーザ共振器５３１と、レーザ放電管５３２とを有する。レーザ放電管５３２にはレーザ媒質としての気体が封入され、具体的にはヘリウムガス、窒素ガス、炭酸ガスの低圧混合ガスである。レーザ放電管５３２はパイレックス（登録商標）ガラス、アルミナセラミック等の誘電率の高い電気的絶縁材料で形成されている。レーザ放電管５３２の両端部には円筒状の電極５３３、５３４が取り付けられ、さらに、レーザ放電管５３２の両端外側に全反射鏡５３５と部分反射鏡５３６とが互いに対向して取り付けられている。
なお、低圧混合ガスの比率は、ヘリウムガス：窒素ガス：炭酸ガス＝５０：２５：２５からヘリウムガス：窒素ガス：炭酸ガス＝０：５０：１５０まで適宜変更可能である。
【００３５】
高電圧電源５３７で発生させた電圧は、高電圧整流回路５３９及び安定化回路５３８を経て整流安定化してから電極５３３、５３４に印加される。電極５３３、５３４に高電圧が印加されると、レーザ放電管５３２内で放電が生じ、混合ガスが励起状態となりレーザ発振がなされる。炭酸ガスレーザ発射装置５００の先端部には集光レンズ５０９が設けられており、集光レンズ５０９を通過したレーザ光５０３は先細り形状となる。
【００３６】
なお、細孔５１０の作成は、炭酸ガスレーザを用いることが好ましいが、ＹＡＧレーザやエキシマレーザを用いることも可能である。作成される細孔５１０は一つであり、細孔５１０の孔径（直径）は１００μｍである。
【００３７】
次に、図１２に示すように、側管部１２１の細孔５１０を設けた場所よりも発光管部１１０側に３ｍｍ離れた場所である切断場所５２０で、側管部１２１を切断する（切断工程）。側管部１２１の切断は、炭酸ガスレーザ発射装置５００から発射される炭酸ガスレーザにて行う。側管部１２１の切断についても炭酸ガスレーザを用いることが好ましいが、ＹＡＧレーザやエキシマレーザ等を用いることも可能である。
【００３８】
切断工程は、図１２で矢印にて示されるように、ガラスバルブ１００を回転させながら行う。図１３で示されるように、切断工程は、先細り形状のレーザ光の中心線５０１（中心線５０１の延長線はｙで示される）と切断によって形成される切断面ｘとが鋭角Θを形成するように、前記レーザ光を斜めにして切断する。本実施形態では鋭角Θは４０度である。
側管部１２１の切断が行われることにより、図１４に示すように、該側管部１２１の端部が開放状態となる。
【００３９】
次に、図１５に示されるように、側管部１２１の切断部分から陽極複合体１１２が挿入される。陽極複合体１１２は、陽極１５１を先頭にして、金属箔１６１が側管部１２１の中に位置するとともに、電極コイル１４１が発光管部１１０内に位置するように配置される（陽極複合体配置工程）。発光管部１１０の中では、陰極１５０の先端と陽極１５１の先端とが０．５ｍｍ〜３．０ｍｍ離れて互いに対向して配置される。
【００４０】
次に、側管部１２１の切断部分から発光物質としての水銀を所要量導入し、図１６にて矢印で示すように、ガラスバルブ１００内を排気することにより、ガラスバルブ１００内を真空状態にする。その後、ガラスバルブ１００内部に例えばアルゴンガス等の希ガスを封入し、さらに、臭素等のハロゲン物質を封入し、図１７に示すように、側管部１２１の切断部分を閉じる（２次減圧工程）。臭素は、例えば臭化水素（ＨＢｒ）等をガスの形態で導入する。ハロゲン物質は、いわゆるハロゲンサイクルにより、電極１５０、１５１から蒸発したタングステンを石英でできたガラスバルブ１００の内面に付着させることなく電極１５０、１５１に戻してガラスバルブ１００の黒化を抑制するという機能を果たすために封入される。
【００４１】
次に、図１８で示すように、陽極複合体１１２が配置されている側管部１２１の、金属箔１６１が位置するガラス部分を、ガラスバルブ１００を矢印に示すように回転させながら外周からバーナー４００により加熱する。
バーナー４００による加熱により、図１９に示すように、側管部１２１の管壁が軟化することにより、気密封止部１８１が形成される（２次封止工程）。
【００４２】
最後に、側管部１２０、１２１の不要部分をグラインダー等で切り落とし、気密封止部１８０、１８１から外部リード線１９０、１９１の端部を外気に露出させることにより、図１に示した高圧放電ランプが製造される。
【００４３】
上述の細孔作成工程では、レーザを用いるから、側管部１２１に微少孔径の細孔５１０を設けることができる。そのため、設けた細孔５１０から不純物がガラスバルブ内に侵入することが起こりにくい。
そして、レーザとして炭酸ガスレーザを用いるから、簡易に細孔５１０を設けることができる。さらには、レーザ光を集光レンズを通過させることで先細り形状とするから、先端の高温部分で微少孔径の細孔５１０を作成することができる。
【００４４】
また、上述の切断工程では、レーザを用いて側管部１２１を切断するから、例えばグラインダー等を用いて側管部を切断することと比較して、切断作業中にガラス片等の切断片が生じにくい。そのため、側管部の切断部分からガラスバルブ内に不純物が侵入することが起こりにくい。
そして、レーザとして炭酸ガスレーザを用いるから、簡易に側管部１２１を切断することができる。なお、炭酸ガスレーザで切断した場合、ガラスヒューム（ガラスをレーザで切断することにより発生する、ガラス成分の一部を含有する気体）が発生し、そのガラスヒュームが切断部分からガラスバルブ内部に侵入するおそれがあるが、切断前に上述したように細孔５１０を設けて減圧状態を解除しているから、切断部分から大量のガラスヒュームがガラスバルブ１００内に侵入して固化することにより不純物となることが起こりにくい。
また、レーザ光を集光レンズを通過させることで先細り形状とするから、先端の高温部分で簡易に側管部１２１を切断することができる。
【００４５】
また、上述の切断工程において、先細り形状のレーザ光の中心線５０１と切断によって形成される切断面とが鋭角を形成するように、レーザ光５０３を斜めにして切断するから、切り残される側管部１２１Ａ側に形成される切断面ｘに、レーザ切断により生じるガラス溶融に起因するガラス盛上がりを起こりにくくすることができる。これは以下の理由による。即ち、炭酸ガスレーザ発射装置５００から発射されるレーザ光５０３は、集光レンズを通過することで、図１３に示されるように、略二等辺三角形の先細り形状となる。レーザ光５０３の中心線５０１付近は高温であるが、レーザ光５０３の周辺部５０２Ａ、５０２Ｂの付近では低温である。さらに、周縁部５０２Ｂにおける側管部１２１の外側表面との接触する点Ｂでの温度は、同一水平面状にある周縁部５０２Ａにおける点Ａでの温度よりも低い。ここで、図１３に示すようにレーザ光５０３を切断面ｘに対して斜めにして切断を行うことにより、切り落とされる側管部１２１Ｂ側では、低温の周縁部５０２Ｂが側管部１２１Ｂを溶融させることによりガラス盛上がりを形成しうるが、切り残される側管部１２１Ａ側では、点Ｂよりも点Ａのほうが高温であるから、側管部１２１Ａ側に形成される切断面ｘにガラス溶融に起因する盛上がりを起こりにくくすることができる。
【００４６】
また、上述の切断工程にて、レーザ等の切断装置を回転させるのではなく、ガラスバルブ１００を回転させながら切断を行うから、切断工程を容易に行うことができ、そのため、低コストにて高圧放電ランプを製造することができる。
【００４７】
そして、上述の切断工程では、側管部１２１の細孔５１０を設けた場所よりも、発光管部１１０側に１ｍｍ以上５ｍｍ以下離れた場所である切断場所５２０で、側管部１２１を切断することが望ましい。この理由は、細孔５１０を設けた場所よりも発光管部１１０側に５ｍｍよりも大きく離れると、レーザによる切断時に、切断部分からガラスヒュームが発光管部１１０内に侵入し、固体化することにより不純物となるおそれがありうるからである。一方、細孔５１０を設けた場所と切断場所５２０とが１ｍｍより近くなると、切断場所の設定が困難となることで歩留まりを悪くする可能性があるからである。
【００４８】
上述した細孔作成工程で作成される細孔５１０の孔径は１ｎｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましい。孔径が１ｎｍよりも小さいと細孔５１０を通してガラスバルブ１００内に侵入する単位時間当たりの空気量が小さいから減圧状態を解除するために時間がかかる可能性があるからであり、一方、孔径が１０００μｍよりも大きいと細孔５１０を通して外部から不純物が侵入する可能性があるからである。
【００４９】
（実施形態３）
上述の実施形態２では、陰極複合体１１１は、側管部１２０の開端部１２９から挿入されて側管部１２０に配置された。もっとも、このような製造工程に限定されることはない。図２０に示されるように、陰極複合体１１１は、側管部１２０の開端部１２９から挿入されて側管部１２１に配置されることも可能である。陰極複合体１１１は、外部リード線１９０を先頭にしてガラスバルブ１００内に挿入されて、金属箔１６０が側管部１２１の中に位置するとともに、電極コイル１４０が発光管部１１０内に位置するように配置される。
【００５０】
その後は、図２１にて矢印で示すように、側管部１２０の開端部１２９から、ガラスバルブ１００内を排気することにより、ガラスバルブ１００内を真空状態にする。そして、ガラスバルブ１００内部に例えばアルゴンガス等の希ガスを封入して、図２２に示すように、側管部１２０の開端部１２９を閉じる。
後の工程においては、実施形態２と同様にして実施形態に係る高圧放電ランプが製造される。
【００５１】
（実施形態４）
実施形態４では、切断工程において、図２３に示されるように、切り残される側管部１２１Ａ側にエア吹き付け器７２０が設けられている。エア吹き付け器７２０には、エアブロー開口部７３０が切り落とされる側管部１２１Ｂ側方向に向いて設けられている。
【００５２】
また、図２３に示されるように、ガスを吸引する吸引器７００が、切り落とされる側管部１２１Ｂ側に設けられている。吸引機７００には、ガス吸引開口部７１０が切り残される側管部１２１Ａ側方向に向いて設けられている。
【００５３】
切断工程において、エア吹き付け器７２０からエアが吹き付けられるから、レーザによる切断場所５２０から発生するガラスヒュームが吹き飛ばされ、切断場所５２０からガラスバルブ内部へガラスヒュームが侵入しにくくなる。
また、切断工程において、吸引器７００がガスを吸引するから、レーザによる切断場所５２０から発生するガラスヒュームが吸引され、切断場所５２０からガラスバルブ内部へガラスヒュームが侵入しにくくなる。
なお、切断工程において、エア吹き付け器７２０と吸引器７００のどちらか一方のみを設けることも可能であるが、図２３で示すように、ともに設けることにより、エア吹き付け器７２０から吹き付けられたエアが切断場所５２０で発生したガラスヒュームを吹き飛ばし、その吹き飛ばされたガラスヒュームを吸引器７００が吸引するので、より好適にガラスヒュームのガラスバルブ内部への侵入が起こりにくい。
【００５４】
（その他の実施形態）
上述の切断工程の後に、側管部１２１の切断面をバーナーにて加熱処理（グレージング）することも可能である。これにより、切断面から不純物の発生をより抑制することが可能である。
【００５５】
また、上述の細孔作成工程において、細孔５１０を複数設けることも可能である。これにより細孔５１０が単数設けられた場合と比較してより短時間でガラスバルブ１００内部の減圧状態を解除することが可能となる。
【００５６】
さらに、細孔５１０を複数設ける場合において、細孔５１０は一定の間隔で均一的に配列されて設けることも可能である。このように複数の細孔５１０を設けることにより、それぞれの細孔５１０から均一的にガラスバルブ１００内部に空気が侵入して減圧状態が解除されることになる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施形態に係る製造方法により製造された高圧放電ランプの断面図である。
【図２】実施形態１に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、そのうち（ａ）は細孔を設ける工程であり、（ｂ）は側管部を切断する工程であり、（ｃ）は陽極複合体を挿入して側管部の端部を閉じたところである。
【図３】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法に用いられる電極複合体を説明する図であり、そのうち（ａ）は陰極複合体であり、（ｂ）は陽極複合体である。
【図４】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、ガラスバルブを準備するところである。
【図５】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、陰極複合体を挿入するところである。
【図６】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、減圧状態にするところである。
【図７】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、側管部の端部を閉じるところである。
【図８】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、陰極複合体の金属箔のある部分をバーナーで加熱するところである。
【図９】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、陰極複陰極複合体の金属箔のある部分で側管部を縮径するところである。
【図１０】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、炭酸ガスレーザで側管部に細孔を設けるところである。
【図１１】炭酸ガスレーザ発射装置を説明する図である。
【図１２】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、炭酸ガスレーザで側管部を切断するところである。
【図１３】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、炭酸ガスレーザで側管部を切断する工程の切断部分の拡大図である。
【図１４】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、側管部の切断部分を示すものである。
【図１５】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、切断部分から陽極複合体を挿入するところである。
【図１６】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、切断部分から減圧状態にするところである。
【図１７】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、切断部分を閉じるところである。
【図１８】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、陽極複合体の金属箔のある部分をバーナーで加熱するところである。
【図１９】実施形態２に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、陽極極複合体の金属箔のある部分で側管部を縮径するところである。
【図２０】実施形態３に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、陰極複合体を挿入するところである。
【図２１】実施形態３に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、減圧状態にするところである。
【図２２】実施形態３に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、側管部の端部を閉じるところである。
【図２３】実施形態４に係る高圧放電ランプの製造方法を説明する図であり、切断場所近傍にエア吹き付け器と吸引器が設けられているようすを説明するものである。
【符号の説明】
【００５８】
１００    ガラスバルブ
１１０    発光管部
１２０    側管部
１２１    側管部
１３０    電極軸
１３１    電極軸
１４０    電極コイル
１４１    電極コイル
１５０    陰極
１５１    陽極
１６０    金属箔
１６１    金属箔
１８０    気密封止部
１８１    気密封止部
１９０    外部リード線
１９１    外部リード線
２４０    規制部材
２４１    規制部材
４００    バーナー
５００    炭酸ガスレーザ発射装置
５３１    レーザ共振器
５３２    レーザ放電管
５３３    電極
５３４    電極
５３５    全反射鏡
５３６    部分反射鏡
５３７    高電圧電源
５３８    安定化回路
５３９    高電圧整流回路
７００    吸引器
７２０    エア吹き付け器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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