(57)【要約】【課題】転写装置内に塵埃が混入することなくマスターディスクをホルダーユニットに脱着させることができ、ホルダーユニットの位置精度について再現性を維持しつつ転写部に配置することができ、また、マスターディスクの交換する際にマスターディスクと被転写用ディスクの位置関係を合わせることができること。【解決手段】被転写用ディスクに転写するための情報を備えたマスターディスクを保持するためのホルダーユニットと、前記ホルダーユニットに前記マスターディスクを保持させた状態で前記被転写用ディスクに前記情報を転写させる転写動作を行う転写手段と、前記転写手段が配置される空間である転写部と、前記ホルダーユニットに前記マスターディスクを保持させるための作業空間であって前記転写部と遮断可能なマスターセット部と、を有することを特徴とする。【選択図】  図１
2009170029.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被転写用ディスクに転写するための情報を備えたマスターディスクを保持するためのホルダーユニットと、
前記ホルダーユニットに前記マスターディスクを保持させた状態で前記被転写用ディスクに前記情報を転写させる転写動作を行う転写手段と、
前記転写手段が配置される空間である転写部と、
前記ホルダーユニットに前記マスターディスクを保持させるための作業空間であって前記転写部と遮断可能なマスターセット部と、
を有することを特徴とする転写装置。
【請求項２】
請求項１の転写装置において、
前記マスターセット部にて前記マスターディスクを保持させた状態で前記ホルダーユニットを清掃した後、前記転写部にて前記転写動作を行う制御を実行する制御手段を有すること、
を特徴とする転写装置。
【請求項３】
請求項１または２の転写装置において、
前記ホルダーユニットを前記転写部に移動させた時の前記ホルダーユニットの位置を検出するホルダーユニット位置検出手段と、
前記ホルダーユニット位置検出手段の検出結果をもとに前記ホルダーユニットの位置を補正する制御及び、前記ホルダーユニット位置検出手段の検出結果をもとに前記ホルダーユニット内に前記被転写用ディスクを供給する位置を補正する制御のうち少なくとも何れか一方の制御を実行するユニット補正制御手段と、
を有することを特徴とする転写装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１つの転写装置において、
前記ホルダーユニットに前記マスターディスクを装着した時に自動的に前記ホルダーユニットに前記マスターディスクを保持させる自動保持手段を有すること、
を特徴とする転写装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１つの転写装置において、
前記ホルダーユニットに保持された前記マスターディスクとして第１マスターディスクと第２マスターディスクを有するものであって、
前記第１マスターディスクの中心軸の位置と前記第２マスターディスクの中心軸の位置を検出するマスター位置検出手段と、
前記マスター位置検出手段の検出結果をもとに前記第１マスターディスクの中心軸の位置に前記第２マスターディスクの中心軸の位置を移動させる移動手段と、
前記マスター位置検出手段の検出結果をもとに前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクの間における前記被転写用ディスクが供給される位置を前記第１マスターディスクの中心軸の位置と前記被転写用ディスクの中心軸の位置が合うように補正する制御を実行するディスク補正制御手段と、
を有することを特徴とする転写装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１つの転写装置において、
前記マスターディスクに取り付けられたカバーを除去するカバー除去手段を有することを特徴とする転写装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１つの転写装置において、
前記被転写用ディスクは磁性層を備え、
前記マスターディスクは前記情報が書き込まれた磁性層を備えるものであって、
磁界を印加して前記被転写用ディスクの磁性層に対し前記マスターディスクの磁性層に書き込まれた前記情報を磁気転写すること、
を特徴とする転写装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１つの転写装置を使用することにより転写を行うことを特徴とする転写方法。
【請求項９】
請求項１乃至７のいずれか１つの転写装置を使用することにより転写が行なわれたことを特徴とする前記被転写用ディスクからなる被転写媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は転写装置、転写方法、及び被転写媒体に係り、特にハードディスク装置等に用いられる被転写媒体に、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する転写装置、転写方法及び転写された被転写媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法（磁気転写）が効率的であり、好ましい。
【０００３】
この磁気転写にあたっては、磁気転写装置内の転写部に配置される転写ユニットにおいて、マスターディスクを保持するディスクホルダを２つ設け、各々のディスクホルダはマスターディスクを保持し、一方のディスクホルダを稼動させて他方のディスクホルダに接近させて２枚のマスターディスクでスレーブディスクを密着狭持する。そしてその後、マスターディスクからスレーブディスクへ磁気転写を行う。
【０００４】
特許文献１には、転写ユニットにマスターディスクを保持するディスクホルダを着脱する際の装着位置再現性機構部の発明が開示されている。また、特許文献２には、磁気転写装置に対し２つのディスクホルダが一体として着脱可能である発明が開示されている。
【０００５】
また、特許文献３には、マスターディスクとスレーブディスクの中心位置の位置ずれを補正する発明が開示されている。
【特許文献１】特開２００６−１９６１１９号公報
【特許文献２】特開２００５−１９０５２４号公報
【特許文献３】特開２００１−３５１２３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１，２を含め一般に、ディスクホルダは作業者の手作業により磁気転写装置に脱着させている。このように、作業者の手作業により、磁気転写装置内の転写部に配置されるホルダーユニット（転写ユニット）に対しディスクホルダを着脱させようとすると、転写部内に塵埃を持ち込むおそれがある。そのため、マスターディスクやその周辺にゴミなどが付着するおそれがある。
【０００７】
また、磁気転写装置内の転写部から一旦ホルダーユニットを取り出してディスクホルダを装着させた後に再び磁気転写装置内に配置させると、ホルダーユニットの重量が大きいため、ホルダーユニットの位置精度の再現性が困難になる。
【０００８】
また、ディスクホルダに保持されるマスターディスクを交換した時には、マスターディスクの中心位置がずれるおそれがある。特に、スレーブディスクの両面側に配置される両マスターディスクの間の中心位置の位置関係、および両マスターディスクとスレーブディスクとの間の中心位置の位置関係を合わせる必要がある。ここで、特許文献３では、２枚のマスターディスクでスレーブディスクを密着狭持するときの各ディスク間の中心位置の位置関係を補正する方法は開示されていない。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、転写部に塵埃が混入することなくマスターディスクが保持されたディスクホルダをホルダーユニットに脱着させることができ、ホルダーユニットについて位置精度の再現性を維持しつつ転写部に配置することができ、また、ディスクホルダに保持されるマスターディスクを交換した時にマスターディスクと被転写用ディスクの中心位置の位置関係を合わせることができる転写装置、転写方法、当該転写装置により転写がなされた被転写媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するために本発明の転写装置は、被転写用ディスクに転写するための情報を備えたマスターディスクを保持するためのホルダーユニットと、前記ホルダーユニットに前記マスターディスクを保持させた状態で前記被転写用ディスクに前記情報を転写させる転写動作を行う転写手段と、前記転写手段が配置される空間である転写部と、前記ホルダーユニットに前記マスターディスクを保持させるための作業空間であって前記転写部と遮断可能なマスターセット部と、を有することを特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、転写部とマスターセット部が遮断可能なので、転写部内に塵埃を混入させることなくホルダーユニットにマスターディスクを保持させる作業を行なうことができる。
【００１２】
本発明の一態様として、前記マスターセット部にて前記マスターディスクを保持させた状態で前記ホルダーユニットを清掃した後、前記転写部にて前記転写動作を行う制御を実行する制御手段を有すること、を特徴とする。
【００１３】
本態様によれば、マスターセット部にてマスターディスクを保持させた状態でホルダーユニットを清掃した後に転写動作を行うので、転写部に塵埃が混入しない。
【００１４】
本発明の一態様として、前記ホルダーユニットを前記転写部に移動させた時の前記ホルダーユニットの位置を検出するホルダーユニット位置検出手段と、前記ホルダーユニット位置検出手段の検出結果をもとに前記ホルダーユニットの位置を補正する制御及び、前記ホルダーユニット位置検出手段の検出結果をもとに前記ホルダーユニット内に前記被転写用ディスクを供給する位置を補正する制御のうち少なくとも何れか一方の制御を実行するユニット補正制御手段と、を有することを特徴とする。
【００１５】
本態様によれば、転写部に移動させたホルダーユニットの位置を検出しホルダーユニットの位置または被転写用ディスクの供給位置を補正するので、ホルダーユニットについて位置精度の再現性を維持しつつ磁気転写装置内に配置することができる。
【００１６】
本発明の一態様として、前記ホルダーユニットに前記マスターディスクを装着した時に自動的に前記ホルダーユニットに前記マスターディスクを保持させる自動保持手段を有すること、を特徴とする。
【００１７】
本態様によれば、自動保持手段により自動的にホルダーユニットにマスターディスクを保持できるので、装置内への塵埃の混入を抑制することができる。
【００１８】
本発明の一態様として、前記ホルダーユニットに保持された前記マスターディスクとして第１マスターディスクと第２マスターディスクを有するものであって、前記第１マスターディスクの中心軸の位置と前記第２マスターディスクの中心軸の位置を検出するマスター位置検出手段と、前記マスター位置検出手段の検出結果をもとに前記第１マスターディスクの中心軸の位置に前記第２マスターディスクの中心軸の位置を移動させる移動手段と、前記マスター位置検出手段の検出結果をもとに前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクの間における前記被転写用ディスクが供給される位置を前記第１マスターディスクの中心軸の位置と前記被転写用ディスクの中心軸の位置が合うように補正する制御を実行するディスク補正制御手段と、を有することを特徴とする。
【００１９】
本態様によれば、ホルダーユニットに保持されるマスターディスクを交換した時にもマスターディスクと被転写用ディスクの中心位置の位置関係を合わせることができる。
【００２０】
本発明の一態様として、前記マスターディスクに取り付けられたカバーを除去するカバー除去手段を有することを特徴とする。
【００２１】
本発明の一態様として、前記被転写用ディスクは磁性層を備え、前記マスターディスクは前記情報が書き込まれた磁性層を備えるものであって、磁界を印加して前記被転写用ディスクの磁性層に対し前記マスターディスクの磁性層に書き込まれた前記情報を磁気転写すること、を特徴とする。
【００２２】
また、本発明の転写方法は、前記の転写装置を使用することにより転写を行うことを特徴とする。
【００２３】
また、本発明の被転写媒体は、前記の転写装置を使用することにより転写が行なわれたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、転写装置内に塵埃が混入することなくマスターディスクをホルダーユニットに脱着させることができ、ホルダーユニットについて位置精度の再現性を維持しつつ転写部に配置することができ、また、マスターディスクの交換する際にマスターディスクと被転写用ディスクの位置関係を合わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下添付図面に従って、本発明に係る転写装置、転写方法、被転写媒体の好ましい実施の形態について詳説する。なお、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。
【００２６】
〔磁気転写装置の構成〕
＜磁気転写装置の構成の概要＞
図１は、転写装置の一例である磁気転写装置１０の概略図である。この磁気転写装置１０は、装置本体１２とマスターセット部１４などから構成される。
【００２７】
装置本体１２は、架台（不図示）を備え、この架台上には水平方向に面をなすベース２０が設けられている。なお、この装置本体１２は、周辺をクリーンユニット２１で囲われ、クリーン度が確保されている。
【００２８】
クリーンユニット２１の天井部（不図示）には、装置の内部にクリーンエアを供給するクリーンエア送風ユニット（不図示）が設けられている。このクリーンエア送風ユニットは、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等のエアフィルタと、送風ファンにより構成され、装置の内部に、ダウンフローによる清浄度クラス１００未満のクリーンエアが供給できるようになっている。
【００２９】
クリーンエア送風ユニットより吹き出されたクリーンエアは、外部に排出されるようになっている。このため、ベース２０上において、装置本体１２の各機構が配置されていない空き領域には、排気手段としての排気ファン（不図示）が複数配設されている。
【００３０】
装置本体１２は、ベース２０上の空間において、被転写用ディスクであるスレーブディスク２２の供給および回収を行うスレーブ供給回収部１６、スレーブディスク２２の磁性層にマスターディスク２８ａ，２８ｂの磁性層に書き込まれた磁気パターンの情報を転写する転写部１７、ホルダーユニット３０に保持されたマスターディスク２８ａ，２８ｂの位置を検出するためのマスター位置検出部１８などから構成される。
【００３１】
スレーブ供給回収部１６には、ディスク供給カセット２４、リフタ３４、チャック３６、吸着ヘッド３８、ディスク位置検出カメラ４４などが設けられている。
【００３２】
ディスク供給カセット２４は、スレーブディスク２２を収容するものであり、スレーブディスク２２のディスク面を対向させて複数枚収納可能となっている。詳細には、ディスク供給カセット２４の内面に並行して形成された複数の溝（不図示）のそれぞれに、一枚ずつスレーブディスク２２が遊挿されるようになっており、溝がなす面によってスレーブディスク２２の外周が保持され、複数のスレーブディスク２２のそれぞれは互いに離間して配置されるようになっている。また、ディスク供給カセット２４をＸ方向（図１参照）に往復動可能とするリニア（直動）アクチュエータ５３が設けられている。
【００３３】
また、ディスク供給カセット２４の底部には開口部（不図示）が形成されている。そして、当該開口部から出入りするリフタ３４が設けられ、このリフタ３４は図１のＺ方向（紙面垂直方向）に上下動可能であり、ディスク供給カセット２４に収納されたスレーブディスク２２を１枚ずつ保持して昇降する。このリフタ３４の昇降は、エアシリンダなどを含むアクチュエータ５４により操作される。
【００３４】
リフタ３４は、チャック３６の手前（図１のＸ方向についてディスク供給カセット２４のリニアアクチュエータ５３とチャック３６の間に配置され、ディスク供給カセット２４の搬送路下方に設けられている。
【００３５】
チャック３６は、リフタ３４によって持ち上げられたスレーブディスク２２を受け取って保持したり、吸着ヘッド３８からスレーブディスク２２を受け取って保持したりする手段であり、リフタ３４と吸着ヘッド３８の間でスレーブディスク２２の受け渡しを行う際のディスク仮置き部となる。このチャック３６は、リニアアクチュエータ５６により図１のＸ方向に移動可能に支持されており、リフタ３４と吸着ヘッド３８のディスク受け取り位置の間で移動し得る。
【００３６】
吸着ヘッド３８は、アーム３９の先端に取り付けられており、該吸着ヘッド３８によってスレーブディスク２２を吸着保持する。アーム３９は、図１のＺ方向に移動するアクチュエータ４２ａと、Ｘ方向に移動するリニアアクチュエータ４２ｂ（リニアアクチュエータ）及びＹ方向に移動するアクチュエータ４２ｃ（リニアアクチュエータ）とを組み合わせた３軸直交ＸＹＺ移動機構に搭載されている。
【００３７】
そして、これらアクチュエータ４２ａ、４２ｂ、４２ｃを制御することにより、吸着ヘッド３８をチャック３６とのディスク受け取り位置から、転写部１７におけるホルダーユニット３０のマスターディスク２８ａ，２８ｂとの対向位置（スレーブ取り付け位置）まで移動させることができる。
【００３８】
また、チャック３６に対面するディスク受け取り位置からホルダーユニット３０のスレーブ取り付け位置までのディスク搬送経路の途中には、所定位置（図１に示した位置）にディスク位置検査ポジションが定められている。当該検査ポジションは、吸着ヘッド３８に吸着保持されたスレーブディスク２２の内周円の検出とその中心位置を検出する場所であり、ディスク位置検出手段としてのディスク位置検出カメラ４４が設けられている。なお、ディスク位置検出カメラ４４には、例えば、テレセントリック光学系を組み込んで、入射する光線をＣＣＤイメージセンサで受光するものが好適である。
【００３９】
転写部１７は、一対の磁気転写手段５５ａ，５５ｂ、リニアアクチュエータ５８、ホルダーユニット位置検出カメラ４８などから構成される。
【００４０】
リニアアクチュエータ５８は、マスターセット部１４まで延設され、転写部１７におけるホルダーユニット３０の固定位置と、マスターセット部１４におけるセット作業位置（図１中の破線で示したホルダーユニット３０’の位置）との間でホルダーユニット３０をＹ方向（図１参照）に移動させるための手段である。
【００４１】
リニアアクチュエータ５８は、遮断ゲート５９の開閉と連動してリニアアクチュエータ５８を制御することにより、装置本体１２のクリーン度を確保しつつ、ホルダーユニット３０の出し入れが可能である。こうして、マスターセット部１４と転写部１７との間でホルダーユニット３０の受け渡しがなされる。
【００４２】
また、装置本体１２には、転写部１７におけるホルダーユニット３０の位置を検出するためのホルダーユニット位置検出カメラ４８が配置されている。このホルダーユニット位置検出カメラ４８は、図１のように転写部１７におけるホルダーユニット３０の側部に配置され、ホルダーユニット３０の端面に付された基準マーク（不図示）を撮像することにより、ホルダーユニット３０のＹ方向位置を検出する。
【００４３】
転写部１７においてホルダーユニット３０が配置される位置の両側には、一対の磁気転写手段５５ａ，５５ｂが配置される。磁気転写手段５５ａ，５５ｂは、磁石４０ａ，４０ｂ、軸４５ａ，４５ｂ、減速機４７ａ，４７ｂ、カップリング４９ａ，４９ｂ、モータ４１ａ，４１ｂなどにより構成される磁気転写機構と、リニアアクチュエータ４３ａ，４３ｂなどにより構成される。
【００４４】
リニアアクチュエータ４３ａ，４３ｂは、図１のＸ方向に沿って磁気転写機構を移動させる手段である。そして、リニアアクチュエータ４３ａ，４３ｂは、転写時には磁気転写機構を図示の待機位置から移動させることにより、磁石４０ａ，４０ｂをホルダーユニット３０に接近させて所定の磁石挿入位置にセットする。
【００４５】
磁石４０ａ，４０ｂは、減速機４７ａ，４７ｂおよびカップリング４９ａ，４９ｂを介してモータ４１ａ，４１ｂと軸４５ａ，４５ｂにより連結されており、マスターディスク２８ａ，２８ｂのディスク面と平行な面内で回転させることができる。
【００４６】
一方、マスター位置検出部１８には、転写部１７に配置されたホルダーユニット３０に保持されたマスターディスク２８ａ，２８ｂの中心位置を検出するマスター位置検出カメラ５０が設けられている。マスター位置検出カメラ５０はアーム５１に取り付けられており、アクチュエータ５２ａによってＺ方向の往復移動が、アクチュエータ５２ｂ（リニアアクチュエータ）によってＸ方向の往復移動が、アクチュエータ５２ｃ（リニアアクチュエータ）によってＹ方向の往復移動が可能である。
【００４７】
図１のようにマスターディスク２８ａ，２８ｂを離間させた状態でマスター位置検出カメラ５０をホルダーユニット３０内に挿入してマスターディスク２８ａ，２８ｂのディスク面を撮像し、その撮像画像を解析することによりディスク位置（中心位置）を測定する。ディスク位置の検出工程後は、マスター位置検出カメラ５０をホルダーユニット３０から退避させ、所定の待機位置で待機させる。
【００４８】
なお、吸着ヘッド３８とマスター位置検出カメラ５０は、ともにホルダーユニット３０内外に挿入および退避させるものであるが、それぞれを移動させるアクチュエータ４２ａ、４２ｂ、４２ｃとアクチュエータ５２ａ、５２ｂ、５２ｃを制御することにより、往復動を行なってもお互いに接触しない仕様になっている。
【００４９】
他方、マスターセット部１４は、ホルダーユニット３０にマスターディスク２８ａ，２８ｂを保持させるための作業空間である。そして、マスターセット部１４には、前記のリニアアクチュエータ５８が配置されており、リニアアクチュエータ５８は転写部１７における一対の磁気転写手段により挟まれる空間まで延設されている。そして、リニアアクチュエータ５８により装置本体１２の転写部１７との間で、前記のホルダーユニット３０の受け渡しがなされる。
【００５０】
また、マスターセット部１４は、図１に示すように装置本体１２の転写部１７と隣接して設けられている。そして、マスターセット部１４と装置本体１２の転写部１７との間には、マスターセット部１４内の空間と装置本体１２の転写部１７の空間を開放したり遮断したりする開閉可能なシャッターなどからなる遮断ゲート５９が設けられている。
【００５１】
また、マスターセット部１４は、前記の装置本体１２と同様に、周辺をクリーンユニット２３で囲われ、クリーン度が確保されている。但し、外部から作業者がホルダーユニット３０にマスターディスク２８ａ，２８ｂを保持させる作業ができるように、作業口（不図示）が設けられている。
【００５２】
前記の装置本体１２と同様に、クリーンユニット２３の天井部（不図示）には、マスターセット部１４の内部にクリーンエアを供給するクリーンエア送風ユニット（不図示）が設けられている。そして、クリーンエア送風ユニットより吹き出されたクリーンエアが外部に排出されるように（ダウンフローを実現するように）、排気手段としての排気ファン（不図示）が配設されている。
【００５３】
また、図２は磁気転写装置１０の動作を制御する各制御部と各構成機器との間の信号の流れを示す。図２に示すように、マスターセット部１４、転写部１７、リニアアクチュエータ５８、自動カバー取り外し装置１１０（図１６参照）の各機器の動作は、転写方法制御部１２０から送られる制御信号により制御される。
【００５４】
また、アクチュエータ４２ｃ、リニアアクチュエータ５８の各機器の動作は、ホルダーユニット位置検出カメラ４８からの信号を受けたユニット補正制御部１２２から送られる制御信号によって制御される。
【００５５】
また、アクチュエータ４２ａ，４２ｂ，４２ｃ、ホルダユニット３０内に配置されるＸＹステージ１０８の各機器の動作は、マスター位置検出カメラ５０からの信号を受けたディスク補正制御部１２４から送られる制御信号によって制御される。
【００５６】
転写方法制御部１２０、ユニット補正制御部１２２、ディスク補正制御部１２４は、１つのコントローラ内に構成されるものであっても、各制御部が各々異なるコントローラを構成するものであってもよい。また、転写方法制御部１２０、ユニット補正制御部１２２、ディスク補正制御部１２４の駆動は、パーソナルコンピュータなどの端末機上のソフトウェアを使って作業者が操作できるようにしてもよい。
【００５７】
＜ホルダーユニットの詳細＞
ここで、ホルダーユニット３０の構成について詳しく説明する。
【００５８】
図３は、ホルダーユニット３０の構成を説明するための側面図である。ホルダーユニット３０は、第１のディスクホルダ６０、第２のディスクホルダ６２、第１のディスクホルダ６０の姿勢調整を行うチルチング調整手段６４、及び第２のディスクホルダ６２を第１のディスクホルダ６０に対して接近又は離間させる移動手段６６等から構成されている。
【００５９】
図３に示すように、ホルダーユニット３０のユニットベース６８には取り付け板７０が固定され、取り付け板７０にはチルチング調整手段６４を構成するチルチングベース７２が取り付けられている。チルチングベース７２には第１のディスクホルダ６０が図３のＹ方向（図３について紙面に垂直な方向）及びＺ方向の傾斜調整が可能に取り付けられている。
【００６０】
チルチング調整手段６４は、チルチングベース７２、４個の先端が球形の微調ネジ（調整ボルト）７４、７４、…と４個のクランプネジ７６、７６、…とからなる調整部材とで構成されている。微調ネジ７４は押しネジでクランプネジ７６は引きネジとして作用する。
【００６１】
また、第１のディスクホルダ６０は、スレーブディスク２２とマスターディスク２８ａとを保持するホルダ板７８、ホルダ板７８を複数のＬ字状コマ（固定部材）８０、８０、…を介して固定保持する中間板（取り付け部材）８２、中間板８２を位置決め固定するディスクホルダーベース８４等で構成されている。
【００６２】
ディスクホルダーベース８４は、一方の面に凹部８４ａを有しており、ホルダ板７８を固定保持した中間板８２を凹部８４ａに挿入し、押圧部材である押しネジ８６で中間板８２の上部側面を押圧することにより中間板８２の他の側面２面がディスクホルダーベース８４の凹部８４ａの壁面に形成された位置規制部位に当接し、中間板８２が位置決めされるようになっている。この構成はホルダ板７８の装着位置再現機構部といい、詳細は後述する。このため、押しネジ８６を緩め、ホルダ板７８を中間板８２ごとディスクホルダーベース８４から取りはずしても又再現性良く位置決めが可能である。
【００６３】
このために、ホルダ板７８でスレーブディスク２２とマスターディスク２８ａとを保持した時のスレーブディスク２２とマスターディスク２８ａの中心線ＣＬを所定位置に合わせこむ調整を磁気転写装置１０の外部で行うことができる。
【００６４】
取り付け板７０、チルチングベース７２、ディスクホルダーベース８４、及び中間板８２の夫々中央部には図の点線で示す貫通孔が形成されており、後述する転写用磁界印加手段の磁石４０ａ，４０ｂ（図１参照）が中心線ＣＬを中心に回転可能に挿入されるようになっている。
【００６５】
また、ホルダーユニット３０のユニットベース６８にはリニアガイド８８が設けられ、テーブル９０をＸ方向（図３参照）に案内し、テーブル９０はモータ９２で駆動されるボールネジ９４によってＸ方向（図３参照）に移動されるようになっている。このリニアガイド８８、テーブル９０、ボールネジ９４、及びモータ９２等で移動手段６６を構成している。
【００６６】
移動手段６６のテーブル９０には取り付け板９６が固定されており、取り付け板９６にはＸＹステージ１０８が取り付けられ、ＸＹステージ１０８に第２のディスクホルダ６２が取り付けられている。第２のディスクホルダ６２は、前記の第１のディスクホルダ６０と同様な構成を有している。なお、ＸＹステージ１０８は第１のディスクホルダ６０側の取り付け板７０に取り付けてもよく、また、ＸＹステージ１０８は取り付け板７０と取り付け板９６の両方に取り付けてもよい。
【００６７】
第２のディスクホルダ６２は、移動手段６６によってＸ方向（図３参照）に接近又は離間されるようになっている。そのため、第２のディスクホルダ６２を第１のディスクホルダ６０に向けて接近させることにより、磁気転写の対象となるスレーブディスク２２は第１のディスクホルダ６０及び第２のディスクホルダ６２に保持されたマスターディスク２８ａ，２８ｂに両側から密着保持されるようになっている。
【００６８】
図４は、第１のディスクホルダ６０のホルダ板７８の固定部分及びホルダ板７８の装着位置再現機構部１０４の詳細を表わした平面図である。図５は、ホルダ板（７８，９８）、中間板（８２，１００）、ディスクホルダーベース（８４，１０２）の部分の詳細な断面図（図４におけるＭ−Ｑ−Ｎ断面図に相当）である。
【００６９】
スレーブディスク２２とマスターディスク２８ａとを保持したホルダ板７８は、位置調整がされた後取り付け部材である中間板８２に固定される。この固定は図４、図５に示すように、ホルダ板７８の外周部の４箇所を固定部材であるＬ字状コマ８０、８０、…で挟み込むことによって行われる。なお、Ｌ字状コマ８０は４個に限らず、適宜の複数個とすることができる。
【００７０】
ホルダ板７８を単にネジで固定する方法では、ネジの回転力によってホルダ板７８が僅かにずれる可能性があり、精密位置調整後の部材を固定するには適さないが、本実施の形態ではＬ字状コマ８０を用いて中間板８２に挟み込んで固定するので、固定時の位置ズレが生じない。
【００７１】
ホルダ板７８の装着位置再現機構部１０４は、図４に示すように、ディスクホルダーベース８４、ディスクホルダーベース８４に略４５°傾けて形成された概略四角形の凹部８４ａ、凹部８４ａの頂角部に設けられた押圧部材である押しネジ８６、押しネジ８６の作用軸心である押圧軸心ＯＬを挟んで凹部８４ａの右下壁部に形成された２個の位置規制部位８４ｂ、８４ｂと、押圧軸心ＯＬを挟んで凹部８４ａの左下壁部に形成された２個の位置規制部位８４ｂ、８４ｂとの４個の位置規制部位８４ｂ、８４ｂ、…とで構成されている。
【００７２】
押しネジ８６の先端は球状に形成されており、４個のＬ字状コマ８０を用いてホルダ板７８を挟持した中間板８２をディスクホルダーベース８４の凹部８４ａに挿入し、押しネジ８６をねじ込むと、中間板８２は押圧軸心ＯＬに沿って押圧され、４個の位置規制部位８４ｂ、８４ｂ、…に当接して固定されることにより位置決めされる。
【００７３】
図４において、凹部８４ａの押圧軸心ＯＬの右下壁部の位置規制部位８４ｂ、８４ｂの位置規制面を結ぶ位置規制線Ｌ１の有効規制長さＤは、ホルダ板７８に保持されるスレーブディスク２２の外周直径の１倍〜１５倍になるように位置規制部位８４ｂ、８４ｂが形成されている。有効規制長さＤがスレーブディスク２２の外周直径の１倍より小さいと位置決めの再現性が悪化する。また、有効規制長さＤがスレーブディスク２２の外周直径の１５倍より大きいと必要以上に装置が大型化する。
【００７４】
また、図４に示すように、押圧軸心ＯＬの右下壁部の２個の位置規制部位８４ｂを結ぶ位置規制線Ｌ１（その延長線も含む）と、押圧軸心ＯＬの左下壁部の位置規制部位８４ｂを結ぶ位置規制線Ｌ２（その延長線も含む）とは、押圧軸心ＯＬに対して線対称になるように構成されている。このため、押しネジ８６による押圧力を中間板８２の左右の下側側面に均等に伝えることができる。
【００７５】
また、位置規制線Ｌ１の延長線と位置規制線Ｌ２の延長線との交差角αは、６０°〜１２０°に設定されている。交差角αが６０°より小さいと装着位置再現機構部１０４が必要以上に大型化し、交差角αが１２０°より大きいと装着位置の再現性が悪化する。
【００７６】
更に、図４において、ホルダ板７８に保持されたスレーブディスク２２の中心Ｑを含み位置規制線Ｌ１と直交する線分ＶＬが位置規制線Ｌ１と交わる点Ｕは、位置規制線Ｌ１の有効規制長さＤ部分に存在するように位置規制部位８４ｂ、８４ｂが形成されている。このため、装着位置再現機構部１０４の必要以上の大型化を抑えながら、良好な装着位置の再現性が図られる。
【００７７】
第１のディスクホルダ６０のホルダ板７８の固定部分及びホルダ板７８の装着位置再現機構部１０４は前述のように構成されているので、ホルダ板７８の位置調整を装置外の外段取りで行って中間板８２に固定し、この中間板８２をディスクホルダーベース８４の凹部８４ａに再現性良く装着することができる。また、マスターディスク２８ａのクリーニング等の保守の場合も外段取りで行うことができる。ホルダ板７８の位置調整は数μｍの精度で行う必要があるため、中間板８２のディスクホルダーベース８４への装着位置再現性は特に重要である。
【００７８】
以上、図４にて第１のディスクホルダ６０のホルダ板７８の固定部分及びホルダ板７８の装着位置再現機構部１０４の詳細について説明したが、第２のディスクホルダ６２についても同様な構成となっているので、重複を避けるため説明は省略する。
【００７９】
また、中間板８２の装着位置再現機構部１０４では、押圧軸心ＯＬの両側に夫々２個の位置規制部位８４ｂ、８４ｂを設けたが、位置規制部位８４ｂはこれに限らず、押圧軸心ＯＬの両側に夫々２個以上の適宜な複数個設けてもよく、あるいは押圧軸心ＯＬの一方側に２個他方側に１個設けてもよい。
【００８０】
更に、押圧軸心ＯＬの両側に夫々１個の位置規制部位８４ｂを設けるだけでもよい。この場合少なくとも一方側の位置規制部位８４ｂは有効規制長さＤを十分確保したものである必要がある。
【００８１】
また、前記の装着位置再現機構部１０４では、マスターディスク２８ａをホルダーユニット３０に保持させる手段として押しネジ８６を用いて、押しネジ８６による押圧力により中間板８２をディスクホルダーベース８４に保持させて位置決めし、マスターディスク２８ａをホルダーユニット３０に保持させたが、押しネジ８６に代えて、以下のような自動保持手段を設けてもよい。
【００８２】
例えば、図６に示すように、ディスクホルダーベース８４の凹部８４ａにおける底面８４ｂに吸引孔８４ｃを設ける。そして、ホルダ板７８を介してマスターディスク２８ａが保持された中間板８２を４個の位置規制部位８４ｂ、８４ｂ、…に当接させてディスクホルダーベース８４の凹部８４ａに装着した時に、自動的に吸引孔８４ｃに連通する連通孔８４ｄからポンプ８５によりエアを吸引させること、が考えられる。
【００８３】
このように、エアの吸引力により自動的に中間板８２をディスクホルダーベース８４の凹部８４ａに保持させて位置決めすることにより、中間板８２の位置ずれを防止して、確実にディスクホルダーベース８４の凹部８４ａに装着することができる。これにより、ホルダーユニット３０にマスターディスク２８ａを保持させることができる。
【００８４】
また、例えば、図７，図８に示すように、第１のディスクホルダ６０や第２のディスクホルダ６２に、押付け用シリンダー１０６とテーパー形状のブロックからなるクランプ部１０７を設ける。そして、ホルダ板７８を介してマスターディスク２８ａが保持された中間板８２をディスクホルダーベース８４の凹部８４ａに装着した時に、自動的に押付け用シリンダー１０６の作用によりクランプ部１０７を中間板８２に押さえ付けること、が考えられる。
【００８５】
このように、押付け用シリンダー１０６とクランプ部１０７による押圧力により、自動的に中間板８２をディスクホルダーベース８４の凹部８４ａに保持させて位置決めすることにより、中間板８２の位置ずれを防止して、確実にディスクホルダーベース８４の凹部８４ａに装着することができる。これにより、ホルダーユニット３０にマスターディスク２８ａを保持させることができる。
【００８６】
なお、図７，図８では略正方形の中間板８２の２辺を押え付けているが、これに限らず、１辺または３辺または４辺を押え付けることとしてもよい。
【００８７】
図６〜図８に示すように、自動的にエアの吸引力や押付け用シリンダー１０６とクランプ部１０７による押圧力によって中間板８２をディスクホルダーベース８４の凹部８４ａに保持させることにより、ホルダーユニット３０内に塵埃が混入するのを抑制できる。
【００８８】
また、図６〜８では第１のディスクホルダ６０側について説明したが、第２のディスクホルダ６２側についても同様な構成とすることが考えられる。
【００８９】
以上説明したホルダーユニット３０を構成する部材のうち、安定した転写磁界を印加するために、少なくとも第１のディスクホルダ６０、第２のディスクホルダ６２、第１のディスクホルダ６０の姿勢調整を行うチルチング調整手段６４、及び取り付け板７０、９６の材質は、例えばＳＵＳ３０４等の非磁性材料が用いられる。
【００９０】
〔磁気転写装置の作用〕
次に、上記のように構成された磁気転写装置の作用について説明する。
【００９１】
＜磁気転写装置による転写方法の概要＞
磁気転写装置による転写方法については、様々な実施例が考えられ、例えば図９〜図１４に示すような実施例が考えられる。図９〜図１４は、本発明の磁気転写装置による転写方法の概要を示すフローチャート図である。また、図１５は、転写工程のフローチャート図である。また、図１６，１７は自動カバー取り外し装置を表す図である。
【００９２】
図９は、ホルダー／マスターセット工程（ステップＳ１）、ホルダーユニット移動工程（ステップＳ２）、転写工程（ステップＳ３）のフローからなる実施例を示している。
【００９３】
そこで、各ステップ毎の具体的な説明をする。
【００９４】
まず、ホルダー／マスターセット工程（ステップＳ１）では、マスターセット部１４にてマスターディスク２８ａ，２８ｂをホルダーユニット３０に保持させる。具体的には、遮断ゲート５９によりマスターセット部１４を転写部１７と遮断させた状態とする。そして、マスターセット部１４にてマスターディスク２８ａ，２８ｂを各々保持するホルダ板７８，９８が装着された中間板８２，１００を、ディスクホルダーベース８４，１０２の凹部８４ａ，１０２ａに装着する。そして、ホルダーユニット３０の取り付け板７０に取り付けられているチルチングベース７２にディスクホルダーベース８４を取り付け、ホルダーユニット３０の取り付け板９６にディスクホルダーベース１０２を取り付ける。
【００９５】
なお、マスターディスク２８ａ，２８ｂを各々保持するホルダ板７８，９８が装着された中間板８２，１００を、ディスクホルダーベース８４，１０２の凹部８４ａ，１０２ａに装着する際には、前記のように、押しネジ８６により中間板（８２，１００）を押え付けたり（図４、図５）、吸引孔８４ｃ，１０２ｃに連通する連通孔８４ｄ，１０２ｄからエアを吸引したり（図６）、押付け用シリンダー１０６の作用によりクランプ部１０７を中間板（８２，１００）に押さえ付けること（図７，図８）により、中間板８２，１００の位置ずれを防止して、確実にディスクホルダーベース８４，１０２の凹部８４ａ，１０２ａに装着させる。
【００９６】
次に、ホルダーユニット移動工程（ステップＳ２）では、まず、遮断ゲート５９によるマスターセット部１４と転写部１７との遮断状態を解除する。そして、リニアアクチュエータ５８の作用により、マスターセット部１４内に配置されているホルダーユニット３０を、装置本体１２の転写部１７へ移動させて位置決めを行なう。
【００９７】
この時、ホルダーユニット位置検出カメラ４８によりホルダーユニット３０の位置を検出し、この検出結果をもとにユニット補正制御部１２２により、位置決めすべき所定の位置との誤差を無くすようにリニアアクチュエータ５８を制御してホルダーユニット３０の位置の補正を行う。これにより、ホルダーユニット３０を装置本体１２の転写部１７における位置決めが完了する。
【００９８】
なお、ホルダーユニット位置検出カメラ４８の検出結果をもとに、ホルダーユニット３０の位置の補正を行うのではなく、後述する転写工程（ステップＳ３）においてスレーブディスク２２をホルダーユニット３０に供給する際に、ユニット補正制御部１２２によりアクチュエータ４２ｃを制御してスレーブディスク２２の供給位置の補正を行なってもよい。
【００９９】
または、ホルダーユニット位置検出カメラ４８の検出結果をもとにユニット補正制御部１２２によりアクチュエータ４２ｃ，５８を制御して、ホルダーユニット３０の位置の補正と、後述する転写工程（ステップＳ３）においてスレーブディスク２２をホルダーユニット３０に供給する際の供給位置の補正の両方を行なうこととしてもよい。
【０１００】
次に、転写工程（ステップＳ３）では、図１５に示されるようなフロー図で示される動作が行われる。
【０１０１】
まず、マスターディスク２８ａ，２８ｂの位置の補正を行なう（ステップＳ１０１）。具体的には、アクチュエータ５２ｃの作用によりマスター位置検出カメラ５０をＹ方向（図１参照）に移動させて、ホルダーユニット３０内のマスターディスク２８ａ，２８ｂの間に配置させて、マスターディスク２８ａ，２８ｂの中心位置を検出する。
【０１０２】
そして、この検出結果をもとにディスク補正制御部１２４によりＸＹステージ１０８（図１８参照）を制御して、マスターディスク２８ａ，２８ｂ同士の中心位置が合うようにマスターディスク２８ａ，２８ｂの位置の補正を行なう。マスター位置検出カメラ５０は、マスターディスク２８ａ，２８ｂの位置を検出した後、アクチュエータ５２ｃの作用によりホルダーユニット３０内のマスターディスク２８ａ，２８ｂの間から退避させておく。なお、マスターディスク２８ａ，２８ｂの中心位置の補正方法については後述する。
【０１０３】
マスターディスク２８ａ，２８ｂの位置の補正（ステップＳ１０１）の後、スレーブ供給回収部１６においてスレーブディスク２２を順次１枚ずつ取り出す（ステップＳ１０２）。具体的には、リフタ３４がディスク供給カセット２４内の１枚のスレーブディスク２２を選択して持ち上げ、チャック３６を経由して吸着ヘッド３８により吸着保持させることにより、スレーブディスク２２を順次１枚ずつ取り出す。
【０１０４】
その後、ディスク位置検出カメラ４４によりスレーブディスク２２の中心位置を検出する。（ステップＳ１０３）。具体的には、アクチュエータ４２ｃの作用により、スレーブディスク２２を吸着保持した吸着ヘッド３８をＹ方向（図１参照）に移動させて、スレーブディスク２２をディスク位置検出カメラ４４に対峙する位置まで移動させる。そして、ディスク位置検出カメラ４４によりスレーブディスク２２の中心位置を検出する。
【０１０５】
その後、スレーブディスク２２を、ホルダーユニット３０内のマスターディスク２８ａ，２８ｂの間の供給位置まで移動させる。（ステップＳ１０４）。
【０１０６】
その後、スレーブディスク２２の供給位置の補正を行なう。（ステップＳ１０５）。具体的には、前記のステップＳ１０１におけるマスター位置検出カメラ５０の検出結果をもとにディスク補正制御部１２４によりアクチュエータ４２ａ，４２ｂ，４２ｃを制御して、スレーブディスク２２を供給する際の中心位置の補正を行なう。また、ホルダーユニット移動工程（ステップＳ２）におけるホルダーユニット位置検出カメラ４８の検出結果をもとに、ユニット補正制御部１２２によりアクチュエータ４２ｃを制御して、スレーブディスク２２を供給する際の中心位置の補正を行なってもよい。なお、スレーブディスク２２の中心位置の補正方法については後述する。
【０１０７】
その後、スレーブディスク２２の両面の磁性層にマスターディスク２８ａ，２８ｂの磁性層に書き込まれた磁気パターンの情報が磁気転写される（ステップＳ１０６）。具体的には、まず、スレーブディスク２２は、吸着ヘッド３８から第１のディスクホルダ６０のホルダ板７８へと引き渡され、吸着固定される。そして、第２のディスクホルダ６２を第１のディスクホルダ６０に向かって移動させ、スレーブディスク２２の両面を２枚のマスターディスク２８ａ，２８ｂに対して密着させた状態で挟持する。さらに、磁石４０ａ，４０ｂをホルダーユニット３０の両側に移動させ、回転させながら両側から磁界を加える。これにより、スレーブディスク２２の両面の磁性層にマスターディスク２８ａ，２８ｂの磁性層に書き込まれた磁気パターンの情報が磁気転写される。
【０１０８】
その後、吸着ヘッド３８を退避させた後、磁気転写されたスレーブディスク２２をチャック３６に経由させて、リフタ３４によりディスク供給カセット２４内へ収納する（ステップＳ１０７）。このように転写工程（ステップＳ３）が行なわれる。
【０１０９】
以上が図９に示す実施例である。
【０１１０】
図１０は、ホルダー／マスターセット工程（ステップＳ１１）、クリーニング工程（ステップＳ１２）、ホルダーユニット移動工程（ステップＳ１３）、転写工程（ステップＳ１４）のフローからなる実施例を示している。
【０１１１】
ここで、クリーニング工程（ステップＳ１２）では、マスターセット部１４におけるダウンフローを利用して、エアによるブローをすることによりホルダーユニット３０および保持されるマスターディスク２８ａ，２８ｂのクリーニングを行う。その他の工程の内容は、図９の実施例の各工程の内容と共通する。
【０１１２】
図１１は、ホルダー／マスターセット工程（ステップＳ２１）、カバー除去工程（ステップＳ２２）、ホルダーユニット移動工程（ステップＳ２３）、転写工程（ステップＳ２４）のフローからなる実施例を示している。
【０１１３】
ここで、カバー除去工程（ステップＳ２２）では、マスターディスク２８ａ，２８ｂに予め装着されている塵埃付着防止用のカバーを除去する。その他の工程の内容は、図９，図１０の実施例の各工程の内容と共通する。
【０１１４】
なお、カバー除去工程（ステップＳ２２）において、カバーを除去する装置として、図１６に示すような自動カバー取り外し装置１１０を使用すること、が考えられる。自動カバー取り外し装置１１０は、塵埃付着防止用のカバーとして柔軟性がありマスターディスク２８ａ，２８ｂに密着しているソフトカバー２９を使用する際に、当該ソフトカバー２９を除去する装置である。
【０１１５】
図１６（ａ）に示すように、自動カバー取り外し装置１１０は、シャフト１１２とアクチュエータ１１４などから構成され、シャフト１１２の先端部１１２ａに粘着シート１１６が取り付けられている。そして、自動カバー取り外し装置１１０は、先端部１１２ａをホルダーユニット３０の外部の位置（図１６（ａ）においてはユニットベース６８の下部の位置）から、アクチュエータ１１４の作用によりシャフト１１２を伸ばすように操作し、ホルダーユニット３０の底面部分における開口部（不図示）から先端部１１２ａをホルダーユニット３０内に挿入させる。
【０１１６】
その後、さらにアクチュエータ１１４の作用によりシャフト１１２を伸ばすように操作し、ホルダーユニット３０内に先端部１１２ａを通過させていく。そして、シャフト１１２が伸びきった位置に達した時に、図１６（ｂ）に示すように粘着シート１１６がマスターディスク２８ａ，２８ｂのソフトカバー２９に張り付いた状態でマスターディスク２８ａ，２８ｂを覆うことになる。なお、マスターディスク２８ａ，２８ｂは、クッション材３１を介して第１のディスクホルダ６０や第２のディスクホルダ６２に保持されている。
【０１１７】
この状態から、アクチュエータ１１４の作用によりシャフト１１２を縮めるように操作し、先端部１１２ａをホルダーユニット３０内に通過させる。すると同時に、粘着シート１１６に張り付いたソフトカバー２９がマスターディスク２８ａ，２８ｂから徐々に剥がされていく。そして、シャフト１１２が縮みきった位置（図１６（ａ）においてはユニットベース６８の下部の位置）に達した時に、マスターディスク２８ａ，２８ｂからソフトカバー２９が完全に剥がされることになる。以上のように、マスターディスク２８ａ，２８ｂから塵埃付着防止用のソフトカバー２９を取り外す。
【０１１８】
また、図１７に示すように、塵埃付着防止用のカバーとして、ソフトカバー２９の代わりに、ハードカバー１１８を嵌め合いや吸着固定や磁石固定により第１のディスクホルダ６０に予め固定させて、マスターディスク２８ａ，２８ｂを覆っておく仕様も考えられる。このようにハードカバー１１８で覆う仕様においては、カバーを除去する装置として、図１７に示すような自動カバー取り外し装置１２６を使用すること、が考えられる。
【０１１９】
図１７に示すように、自動カバー取り外し装置１２６は、３爪チャック等のクランプ機構１２８、リニアアクチュエータなどの水平アクチュエータ１３０、ロータリアクチュエータ１３２、リニアアクチュエータなどの垂直アクチュエータ１３４などから構成される。
【０１２０】
このように構成される自動カバー取り外し装置１２６は、当初クランプ機構１２８をホルダーユニット３０の外部の位置（図１７においてはユニットベース６８の下部の位置）に配置させた状態から、垂直アクチュエータ１３４の作用により、ホルダーユニット３０の底面部分における開口部（不図示）を通ってホルダーユニット３０内に挿入させる。
【０１２１】
そして、水平アクチュエータ１３０の作用によりクランプ機構１２８を水平方向に移動させて、取り付け板７０側のマスターディスク２８ａ，２８ｂを覆うハードカバー１１８をクランプ機構１２８にてクランプする。クランプ後、水平アクチュエータ１３０の作用によりクランプ機構１２８を水平方向に取り付け板９６側に後退させる。ハードカバー１１８は嵌め合いや吸着固定や磁石固定により第１のディスクホルダ６０に固定させているので、クランプ機構１２８を水平方向に後退させることにより、ハードカバー１１８を第１のディスクホルダ６０から外すことができる。
【０１２２】
その後、垂直アクチュエータ１３４の作用により、クランプ機構１２８をホルダーユニット３０の底面部分における開口部（不図示）を通ってホルダーユニット３０外に後退させる。そして、クランプ機構１２８からクランプしたハードカバー１１８を取り外す。
【０１２３】
なお、ロータリアクチュエータ１３２によりクランプ機構１２８および水平アクチュエータ１３０の向きを１８０度回転させれば、他方の取り付け板９６側のマスターディスク２８ａ，２８ｂを覆うハードカバー１１８を同様に取り外すことができる。
【０１２４】
図１２は、ホルダー／マスターセット工程（ステップＳ３１）、クリーニング工程（ステップＳ３２）、カバー除去工程（ステップＳ３３）、ホルダーユニット移動工程（ステップＳ３４）、転写工程（ステップＳ３５）のフローからなる実施例を示している。各工程の内容は、図９〜図１１の実施例の各工程の内容と共通する。
【０１２５】
図１３は、ホルダー／マスターセット工程（ステップＳ４１）、クリーニング工程（ステップＳ２２）、ホルダーユニット移動工程（ステップＳ４３）、カバー除去工程（ステップＳ４４）、転写工程（ステップＳ４５）のフローからなる実施例を示している。
【０１２６】
ここで、カバー除去工程（ステップＳ４４）においては、自動カバー取り外し装置１１０，１２６は、装置本体１２の転写部１７の位置にてマスターディスク２８ａ，２８ｂのソフトカバー２９，ハードカバー１１８を除去できるように配置されている。その他の工程の内容は、図９〜図１２の実施例の各工程の内容と共通する。
【０１２７】
図１４は、ホルダー／マスターセット工程（ステップＳ５１）、カバー除去工程（ステップＳ５２）、クリーニング工程（ステップＳ５３）、ホルダーユニット移動工程（ステップＳ５４）、転写工程（ステップＳ５５）のフローからなる実施例を示している。各工程の内容は、図９〜図１３の実施例の各工程の内容と共通する。
【０１２８】
＜ディスクの中心位置の補正方法＞
ここで、図１８〜図２０を用いて、前記の転写工程（図１５参照）における、マスター位置検出カメラ５０の検出結果に基づく、マスターディスク２８ａ，２８ｂおよびスレーブディスク２２の中心位置の補正方法（ステップＳ１０１，ステップＳ１０５）について説明する。なお、説明の便宜上、図１８〜図２０では第１のディスクホルダ６０や第２のディスクホルダ６２の構造を簡略して示している。
【０１２９】
図１８は、マスターディスク２８ａ，２８ｂとスレーブディスク２２の中心位置の補正方法の第１形態を示す図である。図１８では、取り付け板９６に取り付けられたＸＹステージ１０８に第２のディスクホルダ６２が装着されている。本実施形態では、ＸＹステージ１０８により第２のディスクホルダ６２をＹＺ方向に移動可能としている。なお、ＸＹステージ１０８は、取り付け板７０に取り付けて第１のディスクホルダ６０を装着させてもよい。
【０１３０】
図１８では、ＸＹステージ１０８に装着された第２のディスクホルダ６２を移動させて、第２のディスクホルダ６２側に保持されたマスターディスク２８ｂの中心位置を第１のディスクホルダ６０側に保持されたマスターディスク２８ａの中心位置に合わせる（図１８（ａ），（ｂ））。
【０１３１】
その後、第１のディスクホルダ６０側に保持されたマスターディスク２８ａの中心位置にスレーブディスク２２の中心位置を合わせながら、両マスターディスク２８ａ，２８ｂの間にスレーブディスク２２を供給する（図１８（ｃ））。なお、スレーブディスク２２は、供給前にディスク位置検出カメラ４４により中心位置を検出している（図１５のステップＳ１０３）。
【０１３２】
図１８に示すようなマスターディスク２８ａ，２８ｂとスレーブディスク２２の位置の補正方法によれば、マスターディスク２８ａ，２８ｂ同士の中心位置を合わせるために移動させるのは一方のマスターディスクのみ（図１８では第２のディスクホルダ６２側に保持されたマスターディスク２８ｂのみ）なので、装置構成の単純化を図ることができる。
【０１３３】
また、他方のマスターディスクについては、移動させないことから移動による位置合わせ誤差の発生を防止でき、マスターディスク２８ａ，２８ｂとスレーブディスク２２の中心位置の位置合わせ精度が向上する。
【０１３４】
図１９は、マスターディスク２８ａ，２８ｂとスレーブディスクの位置の補正方法の第２形態を示す図である。図１９では、取り付け板７０と取り付け板９６に取り付けられたＸＹステージ１０８に、各々第１のディスクホルダ６０と第２のディスクホルダ６２が装着されている。本実施形態では、各々のＸＹステージ１０８により第１のディスクホルダ６０と第２のディスクホルダ６２を各々ＹＺ方向に移動可能としている。
【０１３５】
図１９では、第１のディスクホルダ６０と第２のディスクホルダ６２に保持されたマスターディスク２８ａ，２８ｂの中心位置を、所定の基準位置Ａに移動させる（図１９（ａ））。そして、基準位置Ａに中心位置が合うようにしてスレーブディスク２２を供給する（図１９（ｂ））。なお、スレーブディスク２２は、供給前にディスク位置検出カメラ４４により中心位置を検出している（図１５のステップＳ１０３）。
【０１３６】
図２０は、マスターディスク２８ａ，２８ｂとスレーブディスクの位置の補正方法の第３形態を示す図である。図２０では、取り付け板９６に取り付けられたＸＹステージ１０８に第２のディスクホルダ６２が装着されている。本実施形態では、ＸＹステージ１０８により第２のディスクホルダ６２をＹＺ方向に移動可能としている。
【０１３７】
図２０では、スレーブディスク２２の中心位置がマスターディスク２８ａの中心位置に合うように、スレーブディスク２２を第１のディスクホルダ６０に保持させる（図２０（ａ））。
【０１３８】
そして、スレーブディスク２２の中心位置を検出し、第２のディスクホルダ６２に保持されたマスターディスク２８ｂの中心位置が第１のディスクホルダ６０に保持されたマスターディスク２８ａの中心位置に合うように、ＸＹステージ１０８を用いて第２のディスクホルダ６２を移動させる（図２０（ｂ））。
【０１３９】
以上、本発明の転写装置、転写方法、及び被転写媒体について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０１４０】
【図１】磁気転写装置の概略を表す平面図
【図２】磁気転写装置の動作を制御する各制御部と各構成機器との間の信号の流れを示す図
【図３】ホルダーユニットの構成を示す側面図
【図４】第１のディスクホルダのホルダ板の固定部分及びホルダ板の装着位置再現機構部の詳細を表わした平面図
【図５】ホルダ板、中間板、ディスクホルダーベースの部分の詳細な断面図（図４におけるＭ−Ｑ−Ｎ断面図に相当）
【図６】ディスクホルダーベースの凹部における底面に吸引孔を設けた例を表す断面図
【図７】押付け用シリンダーの作用によりテーパー形状のブロックからなるクランプ部を、中間板に押さえ付けた例を表す断面図
【図８】押付け用シリンダーの作用によりテーパー形状のブロックからなるクランプ部を、中間板に押さえ付けた例を表す正面図
【図９】本発明の転写装置による転写方法のフロー図（第１例）
【図１０】本発明の転写装置による転写方法のフロー図（第２例）
【図１１】本発明の転写装置による転写方法のフロー図（第３例）
【図１２】本発明の転写装置による転写方法のフロー図（第４例）
【図１３】本発明の転写装置による転写方法のフロー図（第５例）
【図１４】本発明の転写装置による転写方法のフロー図（第６例）
【図１５】転写工程のフロー図
【図１６】自動カバー取り外し装置（ソフトカバー用）を表す図
【図１７】自動カバー取り外し装置（ハードカバー用）を表す図
【図１８】マスターディスクとスレーブディスクの位置の補正方法の第１形態を示す図
【図１９】マスターディスクとスレーブディスクの位置の補正方法の第２形態を示す図
【図２０】マスターディスクとスレーブディスクの位置の補正方法の第３形態を示す図
【符号の説明】
【０１４１】
１０…磁気転写装置、１２…装置本体、１４…マスターセット部、１７…転写部、２０…ベース、２２…スレーブディスク、２８ａ，２８ｂ…マスターディスク、３０…ホルダーユニット、４０ａ，４０ｂ…磁石、１６…中間板、４８…ホルダーユニット位置検出カメラ、５０…マスター位置検出カメラ、７８…ホルダ板、８２…中間板、８４…ディスクホルダーベース、８４ｃ…吸引孔、８４ｄ…連通孔、８５…ポンプ、１０６…押付け用シリンダー、１０７…クランプ部、１１０…自動カバー取り外し装置、１２０…転写方法制御部、１２２…ユニット補正制御部、１２４…ディスク補正制御部
【図１】
2009170029.tif 000003
【図２】
2009170029.tif 000004
【図３】
2009170029.tif 000005
【図４】
2009170029.tif 000006
【図５】
2009170029.tif 000007
【図６】
2009170029.tif 000008
【図７】
2009170029.tif 000009
【図８】
2009170029.tif 000010
【図９】
2009170029.tif 000011
【図１０】
2009170029.tif 000012
【図１１】
2009170029.tif 000013
【図１２】
2009170029.tif 000014
【図１３】
2009170029.tif 000015
【図１４】
2009170029.tif 000016
【図１５】
2009170029.tif 000017
【図１６】
2009170029.tif 000018
【図１７】
2009170029.tif 000019
【図１８】
2009170029.tif 000020
【図１９】
2009170029.tif 000021
【図２０】
2009170029.tif 000022