(57)【要約】【課題】有機溶剤の連続精製を実現し、基本的には吸着材の交換が必要なく、多量な有機溶剤中から水分を安定に除去することができる装置を提供すること。【解決手段】有機溶剤を吸着塔に充填された吸着材に通流させることにより、有機溶剤中に含有している水分を該吸着材に吸着させる吸着工程と、該吸着材に不活性化ガスまたは空気を通流させて該吸着材に吸着された水分を脱着する脱着工程とを有し、該吸着材がイオン交換樹脂、活性アルミナ、モレキュラーシーブス、シリカゲルの少なくとも１つ以上である溶剤精製装置。【選択図】図１
2009291676.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機溶剤を、吸着塔に充填された吸着材に通流させることにより有機溶剤中に含有している水分を該吸着材に吸着させる吸着工程と、該吸着材に不活性化ガスまたは空気を通流させて該吸着材に吸着された水分を脱着する脱着工程とを有し、該吸着材がイオン交換樹脂、活性アルミナ、モレキュラーシーブス、シリカゲルの少なくとも１つ以上である溶剤精製装置。
【請求項２】
不活性化ガスまたは空気を、吸着材に導入する脱着ガス導入経路を有し、該脱着ガス導入経路に不活性化ガスまたは空気を、乾燥および／または加熱できるユニットを有する請求項１に記載の溶剤精製装置。
【請求項３】
水を吸着材に導入させるための水パージ導入経路を有する請求項２に記載の溶剤精製装置。
【請求項４】
吸着塔を少なくとも２塔有し、その内の１塔が脱着ガス導入経路から脱着ガスを導入する時、それ以外の塔が被処理有機溶剤導入経路から有機溶剤を導入することで、連続的に有機溶剤の精製が可能である請求項１に記載の溶剤精製装置。
【請求項５】
吸着材がイオン交換樹脂であり、水素イオン形、及びナトリウム形、及びアルカノールアミン形の少なくとも１つを有する陽イオン交換樹脂である請求項１〜４のいずれかに記載の溶剤精製装置。
【請求項６】
陽イオン交換樹脂が粒状または繊維状である請求項５に記載の溶剤精製装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機溶剤から水分を除去して溶剤を精製する装置に関し、特に各種工場や研究施設等から発生した有機溶剤含有ガスから溶剤回収装置を用いて回収した有機溶剤の精製に用いられる装置である。
【背景技術】
【０００２】
従来から、有機溶剤から水分を除去して溶剤を精製する装置としては、蒸留精製装置が広く用いられている。すなわち、溶剤を加熱蒸発させ、沸点の違いを利用して有機溶剤と不純物を分留することで、純度の高い有機溶剤を取得することができる装置である。
【０００３】
しかしながら、蒸留精製装置は大型な装置であるために広い設置スペースが必要であり、かつイニシャルコスト、ランニングコスト共に高いことが問題となっている。
かかる問題を解決するために、ゼオライト、イオン交換樹脂、モレキュラーシーブス、活性アルミナ等の吸着材を充填させた吸着塔に有機溶剤を通液させて不純物を取り除く方法が知られている（例えば特許文献１参照）。しかしながら、多量の有機溶剤を精製する場合は多量の吸着材が必要であり、吸着材が破過状態になると吸着材の交換が必要であることから、吸着材の交換労力とランニングコストが増大する。そのため、研究室レベルでは有効な手段であるが、工場や研究施設等から回収される多量の有機溶剤の精製を行うには満足できるものではなかった。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２２５３１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、従来技術の課題を背景になされたもので、有機溶剤の連続精製を実現し、基本的には吸着材の交換が必要なく、多量な有機溶剤中から水分を安定に除去することができる装置を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、従来技術の課題を解決するため、鋭意検討した結果、ついに本発明を完成するに到った。即ち本発明は以下の通りである。
１．有機溶剤を、吸着塔に充填された吸着材に通流させることにより、有機溶剤中に含有している水分を該吸着材に吸着させる吸着工程と、該吸着材に不活性化ガスまたは空気を通流させて該吸着材に吸着された水分を脱着する脱着工程とを有し、該吸着材がイオン交換樹脂、活性アルミナ、モレキュラーシーブス、シリカゲルの少なくとも１つ以上である溶剤精製装置。
２．不活性化ガスまたは空気を、吸着材に導入する脱着ガス導入経路を有し、該脱着ガス導入経路に不活性化ガスまたは空気を、乾燥および／または加熱できるユニットを有する上記１に記載の溶剤精製装置。
３．水を吸着材に導入させるための水パージ導入経路を有する上記２に記載の溶剤精製装置。
４．吸着塔を少なくとも２塔有し、その内の１塔が脱着ガス導入経路から脱着ガスを導入する時、それ以外の塔が被処理有機溶剤導入経路から有機溶剤を導入することで、連続的に有機溶剤の精製が可能である上記１に記載の溶剤精製装置。
５．吸着材がイオン交換樹脂であり、水素イオン形、及びナトリウム形、及びアルカノールアミン形の少なくとも１つを有する陽イオン交換樹脂である上記１〜４のいずれかに記載の溶剤精製装置。
６．陽イオン交換樹脂が粒状または繊維状である上記５に記載の溶剤精製装置。
【発明の効果】
【０００７】
本発明による溶剤精製装置は、多量の水分を高い効率で連続的に除去することができ、基本的に吸着材の交換の必要が無いため、低コストで、安定に、高い能力で有機溶剤中の水分を除去でき、有機溶剤の精製ができるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明にかかる溶剤精製装置は、水分を含有する有機溶剤を吸着塔に充填された吸着材に通流させて該吸着材に水分を吸着させる吸着工程設備と、該吸着材に乾燥空気を通流させて該吸着材に吸着された水分を脱着する脱着工程設備を備え、かかる工程を交互に行う溶剤精製装置であることが好ましい。かかる構造を採用することにより、処理を連続的に行うことができるからである。
【０００９】
より好ましい装置の構造としては、吸着材が幾つかに分割されており、それらの吸着工程と脱着工程をダンパー等にて切替操作を行い、吸着と脱着を連続的に行う溶剤精製装置であり、または、吸着材が回転することができ、吸着工程で有機物質を吸着した吸着材の部位が、吸着材の回転により、脱着工程へ移動する構造を有する溶剤精製装置である。
【００１０】
以下、図面を参照して、本発明にかかる溶剤精製装置について詳細に説明する。
図１は本発明の好ましい実施形態の例である。図１に例示した溶剤精製装置は、水分を含有した有機溶剤が、ダンパー４、５が開のときに、貯蔵されている被処理有機溶剤タンク２より被処理有機溶剤導入ライン３を通じて吸着材が充填された吸着塔１に送られ、精製有機溶剤排出ライン６を通じて精製有機溶剤タンク７に精製された有機溶剤が送られることで、吸着材により水分を吸着除去して有機溶剤を精製する吸着工程を有する。
【００１１】
一方、ダンパー４、５が閉でダンパー２４、２５が開のとき、ダンパー１３が開であると、水タンク１１から水ポンプ１２を用い、水または乾燥空気導入ライン２３を通じて、吸着塔１に水が送られることで、水の通流により吸着材表面に付着残存する有機溶剤を除去する水パージ工程を有することが好ましい。これは、水パージ工程を行わず、例えば窒素のような不活性化ガスを用いて、後述する脱着工程を行っても良いが、有機溶剤を水でパージして除去することにより、脱着工程の際にコストが高い不活性化ガスを用いる必要がなくなるからである。
【００１２】
水パージ工程において、水または脱着空気排出ライン２６より排出されたパージ水は、有機溶剤を含むものであり、集積して焼却等してもよいが、ダンパー２７を開にして戻りライン２８より被処理有機溶剤タンク２に戻すことが好ましい。かかる方法によれば、工程数を省略でき、効率的だからである。
【００１３】
また、水パージ工程の後工程で、ダンパー１３が閉でダンパー２２を開にし、水または乾燥空気導入ライン２３を通じて吸着塔１に乾燥空気が送られることで、乾燥空気の通流により吸着材に吸着している水分を脱着する脱着工程を有することが好ましい。脱着工程により発生したガスは微量の有機溶剤を含有しており、水または脱着空気排出ライン２６より排出されたガスを、直接燃焼装置や触媒燃焼装置、蓄熱式燃焼装置等の燃焼装置や活性炭素繊維を使用した溶剤回収装置等の一般的に用いられるガス処理装置にて処理することができる。
【００１４】
脱着工程において、乾燥空気の温度が５〜３０℃のとき、乾燥空気の露点はマイナスであることが好ましい。露点が低く、乾燥した空気であるほど、吸着材から水分を脱着する脱着時間が短くなるからである。露点を低くするためには、コンプレッサー２１を用いるのが好ましい。また、コンプレッサー２１の下流にエアードライヤー等を設置することで脱着用空気の露点を更に下げることがより好ましい。若しくは、コンプレッサー２１の下流にヒーター等を設置することで、脱着用空気を４０〜８０℃に加温することがより好ましい。更に、エアードライヤー等とヒーター等を組み合わせて露点の低い加熱空気を脱着ガスとして用いることがさらに好ましい。
【００１５】
上記の吸着工程→水パージ工程→脱着工程を連続的に繰り返すことで、水分を含有する有機溶剤から水分を効果的、且つ経済的に吸着除去できる装置となる。かかる連続的な吸着−乾燥空気脱着により、低コストで、安定に、高い能力で有機溶剤中の水分を除去することができる。
【００１６】
本発明にかかる吸着材は、ゼオライト、活性アルミナ、シリカゲル、イオン交換樹脂等特に限定するものではないが、性能面から陽イオン交換樹脂であることが好ましい。つまり、陽イオン交換樹脂は、例えばスルホン酸基等のイオン交換基を樹脂表面に有するため、有機溶剤は吸着されずに水分のみを吸着可能である特長を持つ有効な水分吸着材である。また、ゼオライト、シリカゲルまたは活性アルミナと吸着機構が異なり、陽イオン交換樹脂は樹脂内に水分を吸収してゲル膨潤するため、水分の吸着容量が非常に大きい特長を持つ有効な水分吸着材である。
【００１７】
本発明にかかる吸着材の構造は、粒状、粉体状、ポーラス状、ハニカム状、繊維状等特に限定されるものではないが、粒状または繊維状が特に好ましい。つまり、水分を含有した有機溶剤が吸着材を通液する際、吸着材の表面面積が広いほど、吸着材と水分の接触効率が高くなるため、水分吸着能が高くなる構造である粒状または繊維状が好ましいためである。
【００１８】
本発明にかかる吸着材の運転は、図２のように吸着塔を２つ以上設けた連続除去可能なシステムを採用することが好ましいが、除去すべき含有水分の量、被処理有機溶剤の量等を勘案して、間欠運転としてもよい。含有水分の量あるいは被処理有機溶剤の量が少ない条件では、連続運転であることまで要求されず、運転コストを削減できるからである。
【００１９】
本発明において精製可能な有機溶剤は、酢酸エチル、酢酸メチル、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、塩化メチレン、クロロホルム、ジクロロメタン等特に限定されるものではなく、多種の有機溶剤において適応可能である。
【００２０】
本発明において精製可能な有機溶剤は、フィルムを積層させるドライラミネート工程等、多分野における工場等から排出される有機溶剤を含有したガスを、溶剤回収処理装置を用いて回収される有機溶剤にも適応可能である。
例えば、図３に示すような溶剤回収処理装置は、被処理ガス４１がファン４２より導入されて吸着塔４３に充填されている活性炭素繊維エレメント４４で有機溶剤を吸着し、清浄ガス４６として外気に排出される吸着工程と、活性炭素繊維エレメント４４にスチーム４５を導入することで有機溶剤を脱着し、コンデンサー４７で冷却凝縮してセパレーター４８で溶剤と水を分離し、回収溶剤４９を回収する脱着工程があり、吸着工程と脱着工程を交互に行うことで連続的に処理可能なシステムである。このタイプの溶剤回収処理装置は脱着にスチームを用いることや、冷却凝縮をすることから回収溶剤中に水分が混入することから、本発明における装置を適用することで、回収溶剤から水分を効果的に除去することが可能である。
【実施例】
【００２１】
以下、実施例から本発明の詳細を更に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
なお、評価は下記の方法により行った。
（有機溶剤中からの水分除去の評価方法）
３重量％濃度の水分を含有する各種有機溶剤を一定流量で流し、精製有機溶剤排出ライン６からサンプリングした精製後の有機溶剤中の水分濃度を測定した。
（水分濃度評価方法）
吸着材入口・出口の水分濃度をカールフィッシャー水分測定法により分析し、測定した。
（水中の溶剤濃度評価方法）
吸着材出口のパージ水中の溶剤（酢酸エチル、塩化メチレン）濃度をイオンクロマトグラフィー分析法により分析し、測定した。
【００２２】
［実施例１］
１．５ｍｍφで厚み９０ｍｍの吸着塔に、平均粒形１ｍｍの陽イオン交換樹脂（Ｎａ型、スルホン酸基、ＭｕｒｏｍａｃＤＷ２−１、ムロマチテクノス株式会社製）の吸着材を１５重量ｇ充填させ、図１の１槽型溶剤精製装置のシステムフローに組み立て、３重量％の水分を含む酢酸エチルを導入した。その際の出口水分濃度の経時変化を確認した結果、ＳＶ＝２０（１／ｈ）のとき初期の出口水分濃度は０．１重量％であり、出口水分濃度が１重量％に達するまでの水分吸着量（ｑ＊）が０．６（ｇ／ｇ−ｒｅｓｉｎ）と良好な水分吸着量を示した。
【００２３】
次に、水パージ工程として、水パージ導入経路から水を吸着塔に導入した。その際の出口水中の酢酸エチル濃度を測定したとき、ＳＶ＝２０（１／ｈ）のとき吸着材体積の４倍量の水量で吸着材に付着している酢酸エチルを９５％以上除去可能と良好な除去性能を示した。
続いて、脱着工程における脱着ガスとして、２０℃、−４０℃ＤＰの乾燥空気を使用し、脱着のＳＶを２００００（１／ｈ）とした。吸着工程における吸着時間は１ｈ、水パージ工程における時間を１０ｍｉｎ、脱着工程における脱着時間は４ｈとして吸脱着サイクルとした。その際の酢酸エチル中の出口平均水分濃度は０．７重量％以下であった。
【００２４】
本実施例の溶剤精製装置により精製された酢酸エチルは、吸着工程→水パージ工程→脱着工程の吸脱着サイクルを繰り返しても酢酸エチル中の出口平均水分濃度は０．７重量％以下を維持することが可能であった。吸着と脱着を連続して精製するため、性能低下がなく安定して高効率で精製が可能であった。
【００２５】
［実施例２］
１．５ｍｍφで厚み９０ｍｍの吸着塔に、平均粒形１ｍｍの陽イオン交換樹脂（Ｎａ型、スルホン酸基、ＭｕｒｏｍａｃＤＷ２−１、ムロマチテクノス株式会社製）の吸着材を１５重量ｇ充填させ、図１の１槽型溶剤精製装置のシステムフローに組み立て、３重量％の水分を含む塩化メチレンを導入した。その際の出口水分濃度の経時変化を確認した結果、ＳＶ＝２．５（１／ｈ）のとき初期の出口水分濃度は０．０４重量％であり、出口水分濃度が０．１５重量％に達するまでの水分吸着量（ｑ＊）が０．３５（ｇ／ｇ−ｒｅｓｉｎ）と良好な水分吸着量を示した。
【００２６】
次に、水パージ工程として、水パージ導入経路から水を吸着塔に導入した。その際の出口水中の塩化メチレン濃度を測定したとき、ＳＶ＝２０（１／ｈ）のとき吸着材体積の４倍量の水量で吸着材に付着している塩化メチレンを９５％以上除去可能と良好な除去性能を示した。
続いて、脱着工程における脱着ガスとして、５０℃、−１０℃ＤＰの乾燥空気を使用し、脱着のＳＶを２０００（１／ｈ）とした。吸着工程における吸着時間は１ｈ、水パージ工程における時間を１０ｍｉｎ、脱着工程における脱着時間は１０ｈとして切替サイクルとした。その際の塩化メチレン中の出口平均水分濃度は０．１重量％以下であった。
【００２７】
本実施例の溶剤精製装置により精製された塩化メチレンは、吸着工程→水パージ工程→脱着工程の吸脱着サイクルを繰り返しても塩化メチレン中の出口平均水分濃度は０．１５重量％以下を維持することが可能であった。吸着と脱着を連続して精製するため、性能低下がなく安定して高効率で精製が可能である。
【００２８】
［実施例３］
１．５ｍｍφで厚み９０ｍｍの吸着塔２つに、平均粒形１ｍｍの陽イオン交換樹脂（Ｎａ型、スルホン酸基、ＭｕｒｏｍａｃＤＷ２−１、ムロマチテクノス株式会社製）の吸着材をそれぞれ１５重量ｇ充填させ、図２の２槽型溶剤精製装置のシステムフローに組み立て、３重量％の水分を含む酢酸エチルを導入した。その際の出口水分濃度の経時変化を確認した結果、ＳＶ＝２．５（１／ｈ）のとき初期の出口水分濃度は０．０４重量％であり、出口水分濃度が１重量％に達するまでの水分吸着量（ｑ＊）が０．７（ｇ／ｇ−ｒｅｓｉｎ）と良好な水分吸着量を示した。
【００２９】
次に、水パージ工程として、水パージ導入経路から水を吸着塔に導入した。その際の出口水中の酢酸エチル濃度を測定したとき、ＳＶ＝２０（１／ｈ）のとき吸着材体積の４倍量の水量で吸着材に付着している酢酸エチルを９５％以上除去可能と良好な除去性能を示した。
続いて、脱着工程における脱着ガスとして、５℃、−４０℃ＤＰの乾燥空気を使用し、脱着のＳＶを１０００（１／ｈ）とした。工場等のラインから１日に８時間被処理溶剤の供給があることを想定し、吸着時間を８ｈ、吸着休時間を１６ｈ、吸着工程合わせて２４ｈとし、水パージ工程における時間を１０ｍｉｎ、脱着工程における脱着時間は２３．８ｈ、水パージ＋脱着工程合わせて２４ｈとして吸脱着サイクルとした。一方の吸着塔が吸着工程の場合、もう一方の吸着塔は脱着工程を行った。その際の酢酸エチル中の出口平均水分濃度は０．７重量％以下であった。
【００３０】
本実施例の溶剤精製装置により精製された酢酸エチルは、吸着工程→水パージ工程→脱着工程の吸脱着サイクルを繰り返しても酢酸エチル中の出口平均水分濃度は０．７重量％以下を維持することが可能であった。２つの吸着塔を交互に吸着と脱着を連続して精製するため、性能低下がなく安定して高効率で精製が可能である。
【００３１】
［実施例４］
１．５ｍｍφで厚み９０ｍｍの吸着塔に、平均粒形１ｍｍの陽イオン交換樹脂（Ｎａ型、スルホン酸基、ＭｕｒｏｍａｃＤＷ２−１、ムロマチテクノス株式会社製）の吸着材を１５重量ｇ充填させ、図２の２槽型溶剤精製装置のシステムフローに組み立て、ドライラミネート工程から排出された排気ガスを図３に示す溶剤回収処理装置で回収した回収有機溶剤（主要３成分：酢酸エチル９５重量％、水分３．０重量％、トルエン１．８重量％）を導入した。その際の出口水分濃度の経時変化を確認した結果、ＳＶ＝２．５（１／ｈ）のとき初期の出口水分濃度は０．０４重量％であり、出口水分濃度が１重量％に達するまでの水分吸着量（ｑ＊）が０．７（ｇ／ｇ−ｒｅｓｉｎ）と良好な水分吸着量を示した。
【００３２】
次に、水パージ工程として、水パージ導入経路から水を吸着塔に導入した。その際に、パージ水中における回収有機溶剤の主要成分である酢酸エチル濃度を測定したとき、ＳＶ＝２０（１／ｈ）のとき吸着材体積の４倍量の水量で吸着材に付着している酢酸エチルを９５％以上除去可能と良好な除去性能を示した。
続いて、脱着工程における脱着ガスとして、２０℃、−４０℃ＤＰの乾燥空気を使用し、脱着のＳＶを１０００（１／ｈ）とした。工場等のラインから１日に８時間被処理溶剤の供給があることを想定し、吸着時間を８ｈ、吸着休時間を１６ｈ、吸着工程合わせて２４ｈとし、水パージ工程における時間を１０ｍｉｎ、脱着工程における脱着時間は２３．８ｈ、水パージ＋脱着工程合わせて２４ｈとして吸脱着サイクルとした。一方の吸着塔が吸着工程の場合、もう一方の吸着塔は脱着工程を行った。その際の回収有機溶剤中の出口平均水分濃度は０．７重量％以下であった。
【００３３】
本実施例の溶剤精製装置により精製された回収有機溶剤は、吸着工程→水パージ工程→脱着工程の吸脱着サイクルを繰り返しても回収有機溶剤中の出口平均水分濃度は０．７重量％以下を維持することが可能であった。２つの吸着塔を交互に吸着と脱着を連続して精製するため、性能低下がなく安定して高効率で精製が可能である。また、工場で実際に稼動している溶剤回収処理装置から回収された有機溶剤でも高効率に精製可能である。
【００３４】
［実施例５］
１．５ｍｍφで厚み９０ｍｍの吸着塔に、平均粒形１ｍｍの陽イオン交換樹脂（Ｎａ型、スルホン酸基、ＭｕｒｏｍａｃＤＷ２−１、ムロマチテクノス株式会社製）の吸着材を１５重量ｇ充填させ、図１の１槽型溶剤精製装置のシステムフローに組み立て、３重量％の水分を含む酢酸エチルを導入した。その際の出口水分濃度の経時変化を確認した結果、ＳＶ＝２０（１／ｈ）のとき初期の出口水分濃度は０．１重量％であり、出口水分濃度が１重量％に達するまでの水分吸着量（ｑ＊）が０．６（ｇ／ｇ−ｒｅｓｉｎ）と良好な水分吸着量を示した。
【００３５】
次に、水パージ工程として、水パージ導入経路から水を吸着塔に導入した。その際の出口水中の酢酸エチル濃度を測定したとき、ＳＶ＝２０（１／ｈ）のとき吸着材体積の４倍量の水量で吸着材に付着している酢酸エチルを９５％以上除去可能と良好な除去性能を示した。
続いて、脱着工程における脱着ガスとして、２０℃、１５℃ＤＰの空気を使用し、脱着のＳＶを２００００（１／ｈ）とした。吸着工程における吸着時間は１ｈ、水パージ工程における時間を１０ｍｉｎ、脱着工程における脱着時間は４ｈとして吸脱着サイクルとした。その際の酢酸エチル中の出口平均水分濃度は初期で０．８５重量％であったが、２回目、３回目と吸脱着サイクルを繰り返す度に１重量％、１．２重量％と出口水分濃度が上昇した。
【００３６】
本実施例の溶剤精製装置により精製された酢酸エチルは、脱着操作を行わなければ２ｈ後には破過してしまい、出口水分濃度は入口水分濃度と同じ３重量％となり、水分除去機能がなくなり、安定した精製ができなかった。
また、吸着工程→水パージ工程→脱着工程の吸脱着サイクルを繰り返しても、脱着工程における吸着材の脱着性能が低いため、酢酸エチル中の出口平均水分濃度は吸脱着サイクルを繰り返す度に０．８５重量％から高くなり、出口平均水分濃度は２重量％まで上がることから、実施例と比べて出口水分濃度が大幅に高くなった。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明の溶剤精製装置は、溶剤の連続精製を実現し、基本的に吸着材の交換が必要なく、多量の水分を高効率かつ安定に除去することができる精製装置であるため、設備増大を必要とせずに、吸着材交換作業を省略でき、コスト低減、水分安定除去できる。これより、特に研究所や工場等の幅広い分野から発生する排ガスから溶剤回収処理装置を用いて回収される溶剤の精製に利用することができ、産業界に寄与することが大である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の好ましい一形態の例である、吸着塔１塔型方式の溶剤精製装置。
【図２】本発明の好ましい一形態の例である、吸着塔２塔連続吸脱着方式の溶剤精製装置。
【図３】活性炭素繊維を用いた溶剤回収処理装置。
【符号の説明】
【００３９】
１：吸着塔
２：被処理有機溶剤タンク
３：被処理有機溶剤導入ライン
４：ダンパー
５：ダンパー
６：精製有機溶剤排出ライン
７：精製有機溶剤タンク
１１：水タンク
１２：水ポンプ
１３：ダンパー
２１：コンプレッサー
２２：ダンパー
２３：水または乾燥空気導入ライン
２４：ダンパー
２５：ダンパー
２６：水または脱着空気排出ライン
２７：ダンパー
２８：戻りライン
３１：吸着塔
３２：ダンパー
３３：ダンパー
３４：ダンパー
３５：ダンパー
４１：被処理ガス
４２：ファン
４３：吸着塔
４４：活性炭素繊維エレメント
４５：スチーム
４６：清浄ガス
４７：コンデンサー
４８：セパレーター
４９：回収溶剤
【図１】
2009291676.tif 000003
【図２】
2009291676.tif 000004
【図３】
2009291676.tif 000005