(57)【要約】【課題】欠陥検査装置で検査されたカラーフィルタ基板の欠陥をカラーフィルタ修正装置にて修正する際、カラーフィルタ基板を精度良く、短時間に位置決めするためのカラーフィルタ基板の位置決め方法を提供することを目的とする。【解決手段】欠陥検査が終了した修正対象のカラーフィルタ基板２０をステージ１０上に載置し、カラーフィルタ基板２０のアライメントマーク２１位置を計測し、アライメントマーク２１の基準値からのズレ量に応じて、エアーブロー圧を算出し、エアーブロー圧を制御するためのエアーブロー圧制御レギュレーターにその値を設定する。また、クランプシリンダー３０のクランプ圧を算出し、クランプ圧を制御するためのクランプ圧制御レギュレーターにその値に設定する。クランプ圧制御レギュレーターに設定された値でカラーフィルタ基板２０をクランプし、カラーフィルタ基板２０の位置決めを行う。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
欠陥検査装置にてカラーフィルタ基板の欠陥検査を行った後前記カラーフィルタ基板を修正ステージ上に載置し、前記修正ステージに設けられたエアーブロー穴よりエアーを吹き出してカラーフィルタ基板を修正ステージより浮かした状態で、クランプシリンダーにて前記カラーフィルタ基板を位置決めし、カラーフィルタ基板の欠陥を修正するカラーフィルタ修正装置のカラーフィルタ基板の位置決め方法であって、
前記カラーフィルタ基板を修正ステージ上に載置した後前記カラーフィルタ基板に設けられたアラーメントマークを読み取って前記カラーフィルタ基板の載置位置を検出し、前記修正ステージに設けられたエアーブロー穴よりエアーを吹き出してカラーフィルタ基板を修正ステージより浮かした状態で、クランプシリンダーにて前記カラーフィルタ基板の位置決めを行うことを特徴とするカラーフィルタ修正装置におけるカラーフィルタ基板の位置決め方法。
【請求項２】
前記エアーブロー穴個々に対してエアーブロー圧を制御するためのエアーブロー圧制御レギュレーターを設け、前記クランプシリンダーに対応したエアーブロー穴に対してエアーブロー圧の制御を行うようにしたことを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ修正装置におけるカラーフィルタ基板の位置決め方法。
【請求項３】
前記クランプシリンダー個々に対してクランプ圧を制御するためのクランプ圧制御レギュレーターを設け、前記クランプシリンダー個々のクランプ圧及びシリンダー速度の制御を行うようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタ修正装置におけるカラーフィルタ基板の位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、欠陥検査装置で検査されたカラーフィルタ基板の欠陥をカラーフィルタ修正装置にて修正するにあたって、カラーフィルタ基板を精度良く、短時間に位置決めするためのカラーフィルタ基板の位置決め方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、大型カラーテレビ、ノートパソコン、携帯用電子機器の増加に伴い、液晶ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの需要の増加はめざましいものがある。
これらカラーカラー液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタ基板は、パターン精度、分光特性、欠陥レベルに対しても高度のものが要求されており、カラーフィルタ基板に対する表示品位の要求が厳しくなっている。
【０００３】
カラー液晶ディスプレイパネルに用いられるカラーフィルタ基板は、ガラス基板等の透明基板上に、ブラックマトリックス、赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタ等からなる着色フィルタ、スペーサー等がフォトマスクを用いたパターン露光、現像等のパターニング処理を行うフォトリソグラフィープロセスを経て形成されるのが一般的である。
カラーフィルタ基板に発生した欠陥（異物、白ピン等）は欠陥検査装置にて検査し、カラーフィルタ修正装置にて修正して品質仕様を満たしたものが出荷される。
【０００４】
上記欠陥検査装置で検査された欠陥は、カラーフィルタ修正装置にて修正されるが、欠陥をレーザーで除去して、そこに修正液を埋め込む修正方法及び修正装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
これは、異物等の欠陥にレーザー光を照射して除去して異物等の欠陥を除去し、除去された孔にディスペンサーで修正液を塗布し、欠陥を修正するというものである。
【０００５】
最近は欠陥検査装置及び修正装置は自動化されおり、欠陥検査装置で検査されたカラーフィルタ基板は、欠陥の内容と位置が記録された状態で、インラインで次のカラーフィルタ修正装置のステージに搬送されて、欠陥の内容に応じて修正が行われる。
【０００６】
欠陥検査装置で欠陥検査が終了したカラーフィルタ基板は、カラーフィルタ修正装置のステージ上に搬送、載置され、エアーブローにてカラーフィルタ基板を浮かした状態でシリンダクランプを行い、カラーフィルタ基板の位置出しを行ってからカラーフィルタ基板をステージに真空吸着等で固定し、修正作業を行っている。
【０００７】
カラーフィルタ基板は基板サイズ（１８００／１８５０ｍｍほか）、品種（面付け数）、基材（ガラス製造元・材質）など多種多様であるにも関わらず、従来のカラーフィルタ修正装置では、欠陥検査装置で欠陥検査が終了したカラーフィルタ基板をカラーフィルタ修正装置のステージ上に搬送、載置し、エアーブロー孔よりのエアーブローにてカラーフィルタ基板を浮かした状態でクランプシリンダーにて位置決め（クランプ）を行っている。クランプシリンダーにて位置決めを行う際のエアーブロー圧、クランプ圧は一定で行われていた。
【０００８】
カラーフィルタ基板をカラーフィルタ修正装置のステージ上に搬送、載置し、エアーブロー孔よりのエアーブローにてカラーフィルタ基板を浮かした状態でクランプシリンダーにて位置決め（クランプ）を行う、クランプシリンダーによる位置決めについて説明する。
図６は、カラーフィルタ基板をカラーフィルタ修正装置のステージ上に搬送、載置し、ク
ランプシリンダーにて位置決めしている状態を示す模式平面図である。
図２では、カラーフィルタ基板２０四方を最低６個以上（ここでは６個）のクランプシリンダー３０で位置決め（クランプ）を行う事例について説明する。
【０００９】
カラーフィルタ修正装置のステージ（ガラス定盤、または石定盤）１０に設けたエアーブロー穴１１からエアーブローを行い、カラーフィルタ基板２０とステージ１０との間にエアーを浸透させることで、クランプ時にカラーフィルタ基板が滑るようになっている。
【００１０】
エアーブロー穴１１からのエアーブロー圧、エアーブロー量は、基本的には１個のレギュレーターでアナログ制御されている。
カラーフィルタ基板は、上記したように、基板サイズ（１８００／１８５０ｍｍほか）、品種（面付け数）、基材（ガラス製造元・材質）など多種多様で、基板サイズの仕上がりサイズが５００〜８００μｍ程度ばらついている。また、カラーフィルタ基板の裏面には透明導電膜が形成されていたり、汚れが付着したりしていて、裏面の状態が変化している。
【００１１】
このようなことから、欠陥検査装置で欠陥検査が終了したカラーフィルタ基板をカラーフィルタ修正装置のステージに載置して、エアーブロー、クランプシリンダーで位置決めする際、カラーフィルタ基板とステージとの間にエアーブロー穴からエアーブローしてもカラーフィルタ基板が浮きにくいとか、カラーフィルタ基板をクランプシリンダーでクランプ（位置決め）した際にカラーフィルタ基板が滑りにくいとか、カラーフィルタ基板がクランプシリンダーでクランプ（位置決め）されているが欠陥の位置がずれているとか等の現象が発生する。
【００１２】
クランプシリンダーでのクランプ（位置決め）ミスは、カラーフィルタ修正装置の停止トラブル引き起こす。例えば、１０分×１０回／日程度のトラブル停止が発生する。
また、欠陥の位置ズレによる再度の位置合わせ作業による修正作業の効率低下が発生する。例えば、欠陥の位置ズレが１個所／１シート発生したとすると、再度の位置合わせに４秒ほどかかり、１日の処理枚数が３００シートすると、ロス時間が１２００秒／日となり、問題である。
また、欠陥の位置ズレによる欠陥修正漏れが発生し、不良品が流出することになり、問題である。
【特許文献１】特開２００１−１６６１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記問題に鑑み考案されたもので、欠陥検査装置で検査されたカラーフィルタ基板の欠陥をカラーフィルタ修正装置にて修正する際、カラーフィルタ基板を精度良く、短時間に位置決めするためのカラーフィルタ基板の位置決め方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、欠陥検査装置にてカラーフィルタ基板の欠陥検査を行った後前記カラーフィルタ基板を修正ステージ上に載置し、前記修正ステージに設けられたエアーブロー穴よりエアーを吹き出してカラーフィルタ基板を修正ステージより浮かした状態で、クランプシリンダーにて前記カラーフィルタ基板を位置決めし、カラーフィルタ基板の欠陥を修正するカラーフィルタ修正装置のカラーフィルタ基板の位置決め方法であって、
前記カラーフィルタ基板を修正ステージ上に載置した後前記カラーフィルタ基板に設けら
れたアラーメントマークを読み取って前記カラーフィルタ基板の載置位置を検出し、前記修正ステージに設けられたエアーブロー穴よりエアーを吹き出してカラーフィルタ基板を修正ステージより浮かした状態で、クランプシリンダーにて前記カラーフィルタ基板の位置決めを行うことを特徴とするカラーフィルタ修正装置におけるカラーフィルタ基板の位置決め方法としたものである。
【００１５】
また、請求項２においては、前記エアーブロー穴個々に対してエアーブロー圧を制御するためのエアーブロー圧制御レギュレーターを設け、前記クランプシリンダーに対応したエアーブロー穴に対してエアーブロー圧の制御を行うようにしたことを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ修正装置におけるカラーフィルタ基板の位置決め方法としたものである。
【００１６】
また、請求項３においては、前記クランプシリンダー個々に対してクランプ圧を制御するためのクランプ圧制御レギュレーターを設け、前記クランプシリンダー個々のクランプ圧及びシリンダー速度の制御を行うようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタ修正装置におけるカラーフィルタ基板の位置決め方法としたものである。
【発明の効果】
【００１７】
欠陥検査装置で検査されたカラーフィルタ基板の欠陥をカラーフィルタ修正装置にて修正する際、本発明のカラーフィルタ基板の位置決め方法にてカラーフィルタ修正装置のステージ上にてカラーフィルタ基板の位置決めを行うことにより、クランプシリンダーによるクランプミスによる装置停止のトラブルを削減し、カラーフィルタ修正装置の稼働率を保持することができる。
また、カラーフィルタ基板の位置ズレによるオペレーションタクトの遅延を防止することにより、カラーフィルタ修正装置の稼働率を保持することができる。
さらにまた、カラーフィルタ基板の欠陥位置ズレによる欠陥修正漏れを防止することで、不良カラーフィルタ基板の流出を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
図１は、本発明のカラーフィルタ修正装置におけるカラーフィルタ基板の位置決め方法に用いる修正装置の一部を示す模式上面図であり、カラーフィルタ基板を載置するステージ１０と、カラーフィルタ基板にエアーブローするエアーブロー穴１１と、エアーブロー穴に対してエアーブロー圧の制御を行うエアーブロー圧制御レギュレーター５０と、カラーフィルタ基板を一時的に載置するためのリフトピン１２と、クランプシリンダー３０と、クランプ圧及びシリンダー速度の制御を行うクランプ圧制御レギュレーター４０と、から構成されている。
【００１９】
ステージ１０に設けられたエアーブロー穴１１は、系統Ａ、系統Ｂ、系統Ｃ及び系統Ｄの４分割されて配置されており、各系統毎にエアーブロー圧の制御が行われる。
ここでは、エアーブロー穴１１の配置分割の例として４分割の例を示したが、これはあくまで一例であって、カラーフィルタ基板のサイズ、面付け数等によって適宜設定されるものである。
【００２０】
図２は、ステージ１０上にカラーフィルタ基板２０を載置した状態を示す模式上面図で、カラーフィルタ基板２０はクランプシリンダー３０でクランプされていない。
【００２１】
図３は、ステージ１０上のカラーフィルタ基板２０をクランプシリンダー３０で位置決めしている状態を示す模式上面図である。
ここでは、クランプシリンダー３０を６個配置した例を示したが、これはあくまで一例であって、カラーフィルタ基板のサイズ等によって適宜設定されるものである。
【００２２】
本発明のカラーフィルタ修正装置におけるカラーフィルタ基板の位置決め方法について説明する。
欠陥が検査されたカラーフィルタ基板２０のステージ１０上への位置決めは、まず、カラーフィルタ基板２０の基板サイズ、アライメントマーク２１の位置測定等の特定作業の前準備を行った後、ステージ１０へのカラーフィルタ基板２０一連の位置決め作業を行う。
【００２３】
ステージ１０でのカラーフィルタ基板２０の基板サイズ、アライメントマーク２１の位置測定等の特定作業の前準備について説明する。
図４（ａ）〜（ｅ）は、ステージ１０でのカラーフィルタ基板２０の基板サイズ、アライメントマーク２１の位置測定等の特定作業の前準備の一例を示す工程フロー図である。
まず、欠陥が検査された修正対象のカラーフィルタ基板２０をＲＢハンド等でステージ１０の上昇したリフトピン１２上に載置する（図４（ａ）参照）。
【００２４】
次に、リフトピン１２を下降し、カラーフィルタ基板２０をステージ１０上に載置する（図４（ｂ）参照）。
エアーブロー穴１１よりエアーブローし、カラーフィルタ基板２０がステージ１０より浮いた状態でクランプシリンダー３０にてカラーフィルタ基板２０をクランプした後エアーブロー穴１１よりのエアーブローを止める（図４（ｃ）参照）。
【００２５】
真空吸着等でカラーフィルタ基板２０をステージ１０に固定し、クランプシリンダー３０によるカラーフィルタ基板２０へのクランプを解除する（図４（ｄ）参照）。
【００２６】
計測機能を有するビューワーをカラーフィルタ基板２０の端面及びアライメントマーク２１上に移動し、基板サイズ及びアライメントマーク２１の位置計測を行い、このときの計測値が基準値となるので、メモリーに保存し、後記するカラーフィルタ基板２０の一連の位置決め作業に利用する。
以上の工程により、ステージ１０でのカラーフィルタ基板２０の基板サイズ、アライメントマーク２１の位置測定等の特定作業の前準備が完了したので、ステージ１０へのカラーフィルタ基板２０一連の位置決め作業を開始する。
【００２７】
図５（ａ）〜（ｇ）は、本発明のカラーフィルタ修正装置におけるカラーフィルタ基板の位置決め方法の一実施例を示す工程フロー図である。
まず、欠陥検査が終了した修正対象のカラーフィルタ基板２０をＲＢハンド等でステージ１０の上昇したリフトピン１２上に載置する（図５（ａ）参照）。
【００２８】
次に、リフトピン１２を下降し、カラーフィルタ基板２０をステージ１０上に載置する（図５（ｂ）参照）。
その状態で、計測機能を有するビューワーにてカラーフィルタ基板２０のアライメントマーク２１を計測し、前準備で計測した基準値とのズレ量を算出する（図２及び図５（ｃ）参照）。
【００２９】
アライメントマーク２１の基準値からのズレ量に応じて、系統Ａ、系統Ｂ、系統Ｃ及び系統Ｄ毎にエアーブロー穴１１からのエアーブロー圧を算出し、エアーブロー圧を制御するためのエアーブロー圧制御レギュレーターにその値を設定する（図５（ｄ）参照）。
ここで、系統Ａ、系統Ｂ、系統Ｃ及び系統Ｄのエアーブロー穴１１とクランプシリンダー３０とは関連づけられており、ズレ量に応じたエアーブロー圧及びクランプ圧の設定時に反映される。
【００３０】
また、アライメントマーク２１の基準値からのズレ量に応じて、各クランプシリンダー３０毎のクランプ圧を算出し、クランプ圧を制御するためのクランプ圧制御レギュレーターにその値に設定する（図５（ｅ）参照）。
【００３１】
例えば、図６に示すように、アライメントマーク２１が基板原点に対して＋ｄｘ、−ｄｙずれたとする。ここで、ｄｘは基板の座標系に対して＋ｘ方向、ｄｙは基板の座標系に対して−ｙ方向のずれである。
また、図３に示すように、各クランプシリンダは、クランプシリンダを区別するために、３０−１〜３０−６まで番号を付与している。
ｄｘが基板原点に対してプラス方向であるので、クランプシリンダ３０−３及びクランプシリンダ３０−４への供給圧に補正係数Ｂをかける。この場合は１．０５倍などで押し量を強くする。
また、ｄｙが基板原点に対してマイナス方向であるので、クランプシリンダ３０−２への供給圧に補正係数Ｂをかける。この場合は１．０５倍などで押し量を強くする。
同様にして、アライメントマーク２１のずれ方向に対して補正するシリンダとエアーブロー圧を補正するエアー系統とをまとめた結果を表１に示す。
【００３２】
【表１】
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次に、エアーブロー穴１１より上記エアーブロー圧制御レギュレーターに設定された値でエアーブローし、カラーフィルタ基板２０がステージ１０より浮いた状態でクランプシリンダー３０にて上記クランプ圧制御レギュレーターに設定された値でカラーフィルタ基板２０をクランプした後、エアーブロー穴１１よりのエアーブローを止める（図５（ｆ）参照）。
【００３３】
次に、真空吸着等でカラーフィルタ基板２０をステージ１０に固定し、クランプシリンダー３０によるカラーフィルタ基板２０へのクランプを解除することにより、カラーフィルタ基板２０はステージ１０の所定位置に位置決めされる（図５（ｇ）及び図３参照）。
【００３４】
位置決めされたカラーフィルタ基板２０の欠陥位置は所定の範囲に入っているので、レーザー照射、インク塗布等の修正作業を行うことができ、修正作業の終わったカラーフィルタ基板２０はステージ１０より排出される。
以上の工程を繰り返すことにより、欠陥検査が終了した修正対象のカラーフィルタ基板２０の修正装置のステージでの位置決め、修正の一連の作業を自動で、クランプシリンダーによるクランプミスによる装置停止等のトラブルを発生させることなく、連続的に行うことが可能となる。
【００３５】
本発明のカラーフィルタ基板の位置決め方法にてカラーフィルタ修正装置のステージ上にてカラーフィルタ基板の位置決めを行うことにより、クランプシリンダーによるクランプミスによる装置停止のトラブルを削減し、カラーフィルタ修正装置の稼働率を保持することができる。
また、カラーフィルタ基板の位置ズレによるオペレーションタクトの遅延を防止することにより、カラーフィルタ修正装置の稼働率を保持することができる。
さらにまた、カラーフィルタ基板の欠陥位置ズレによる欠陥修正漏れを防止することで、不良カラーフィルタ基板の流出を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明のカラーフィルタ修正装置におけるカラーフィルタ基板の位置決め方法に用いる修正装置の一部を示す模式上面図である。
【図２】ステージ１０上にカラーフィルタ基板２０を載置した状態を示す模式上面図である。
【図３】ステージ１０上のカラーフィルタ基板２０をクランプシリンダー３０で位置決めしている状態を示す模式上面図である。
【図４】（ａ）〜（ｅ）は、ステージ１０でのカラーフィルタ基板２０の基板サイズ、アライメントマーク２１の位置測定等の特定作業の前準備の一例を示す工程フロー図である。
【図５】（ａ）〜（ｇ）は、本発明のカラーフィルタ修正装置におけるカラーフィルタ基板の位置決め方法の一実施例を示す工程フロー図である。
【図６】クランプシリンダーを用いた基板の位置決め方法の一例を示す模式上面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０……ステージ
１１……エアーブロー穴
１２……リフトピン
２０……カラーフィルタ基板
２１……アライメントマーク
３０……クランプシリンダー
４０……クランプ圧制御レギュレーター
５０……エアーブロー圧制御レギュレーター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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