(57)【要約】【課題】露光装置で発生した情報の分析を再現することを容易化する。【解決手段】レポート６０１は、露光装置で発生した情報を指定された分析条件に従って分析した分析結果を示す分析結果表示６１０ａと、前記分析条件を取得するために使用される補助情報を示す補助情報表示６２０ａとを含む。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光装置で発生した情報を指定された分析条件に従って分析した分析結果を示す分析結果表示と、
前記分析条件を取得するために使用される補助情報を示す補助情報表示と、
を含むことを特徴とするレポート。
【請求項２】
前記分析条件は、前記露光装置で発生した情報をフィルタリングするためのフィルタリング条件、および、前記情報を統計処理するための統計処理条件の少なくとも一方を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のレポート。
【請求項３】
前記分析結果表示がプリントされていて、
前記補助情報表示が機械読み取り可能な形式でプリントされていることを特徴とする請求項１または２に記載のレポート。
【請求項４】
前記補助情報表示が１次元コードまたは２次元コードを含むことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のレポート。
【請求項５】
電子データによって構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のレポート。
【請求項６】
露光装置で発生した情報を指定された分析条件に従って分析して分析結果を生成する分析部と、
前記分析条件を取得するために使用される補助情報を生成する補助情報生成部と、
前記分析結果を示す分析結果表示および前記補助情報を示す補助情報表示を含むレポートを生成するレポート生成部と、
を含むことを特徴とする情報処理装置。
【請求項７】
露光装置で発生した情報を指定された分析条件に従って分析して分析結果を生成する分析ステップと、
前記分析条件を取得するために使用される補助情報を生成する補助情報生成ステップと、
前記分析結果を示す分析結果表示および前記補助情報を示す補助情報表示を含むレポートを生成するレポート生成ステップと、
を含むことを特徴とする情報処理方法。
【請求項８】
露光装置で発生した情報を指定された分析条件に従って分析して分析結果を生成する処理ステップと、
前記分析条件を取得するために使用される補助情報を生成する補助情報生成ステップと、
前記分析結果を示す分析結果表示および前記補助情報を示す補助情報表示を含むレポートを生成するレポート生成ステップと、
を含む処理をコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レポート、情報処理装置、情報処理方法およびコンピュータプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス等のデバイスを製造するためにリソグラフィ工程で使用される露光装置は、設定されたパラメータ値を示す情報、露光装置の状態を示す状態情報、露光に付随する計測の結果等の各種の情報を発生する。このような情報は、露光装置の状態を診断したり、動作中に発生したトラブルの原因究明を行ったりするために使用されうる。
【特許文献１】特開２００６−１２８４４７号公報
【特許文献２】特開平１０−６３８２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
露光装置に対しては、常に、パターンの解像力や重ね合わせ精度の向上が要求されている。近年では、露光装置の高精度化に伴って露光装置に対して様々な機能や処理が追加され、露光装置が発生する情報が増加している。そのため、露光装置の診断やトラブル原因の究明のために必要な情報処理の量も膨大になってきている。
【０００４】
最近、露光装置が発生する情報を収集して蓄積し、参照を可能にする装置や、多様な処理を実行することができるツールが開発されている。しかしながら、それらを駆使して分析を行うためには、必要な情報の項目の選択や適切な処理のための高度な知識が必要であった。他の者が作成した分析結果を再現しようとしても、必要な情報の項目や処理が分からないことが多い。
本発明は、上記の背景に鑑みてなされたものであり、例えば、露光装置で発生した情報の分析を再現することを容易化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１の側面は、レポートに係り、前記レポートは、露光装置で発生した情報を指定された分析条件に従って分析した分析結果を示す分析結果表示と、前記分析条件を取得するために使用される補助情報を示す補助情報表示とを含む。
【０００６】
本発明の第２の側面は、情報処理装置に係り、前記情報処理装置は、露光装置で発生した情報を指定された分析条件に従って分析して分析結果を生成する分析部と、前記分析条件を取得するために使用される補助情報を生成する補助情報生成部と、前記分析結果を示す分析結果表示および前記補助情報を示す補助情報表示を含むレポートを生成するレポート生成部とを含む。
【０００７】
本発明の第３の側面は、情報処理方法に係り、前記情報処理方法は、露光装置で発生した情報を指定された分析条件に従って分析して分析結果を生成する分析ステップと、前記分析条件を取得するために使用される補助情報を生成する補助情報生成ステップと、前記分析結果を示す分析結果表示および前記補助情報を示す補助情報表示を含むレポートを生成するレポート生成ステップとを含む。
【０００８】
本発明の第４の側面は、コンピュータプログラムに係り、前記コンピュータプログラムは、露光装置で発生した情報を指定された分析条件に従って分析して分析結果を生成する処理ステップと、前記分析条件を取得するために使用される補助情報を生成する補助情報生成ステップと、前記分析結果を示す分析結果表示および前記補助情報を示す補助情報表示を含むレポートを生成するレポート生成ステップとを含む処理をコンピュータに実行させる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、例えば、露光装置で発生した情報の分析を再現することを容易化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。
【００１１】
図３は、本発明の好適な実施形態のシステムの概略図を示す図である。この実施形態のシステム１０００は、１又は複数の露光装置１００と、１又は複数の情報記憶装置３０１と、１又は複数の第１情報処理装置２０２と、１又は複数の第２情報処理装置２０３とを備えている。露光装置１００で発生した情報は、情報記憶装置３０１に蓄積される。第１情報処理装置２０２は、情報記憶装置３０１に蓄積された情報を指定された分析条件に従って分析してレポートを生成する。レポートは、分析結果を示す分析結果表示と、当該分析条件を取得するために使用される補助情報を示す補助情報表示とを含む。
【００１２】
補助情報表示は、それを含むレポートを生成した第１情報処理装置２０２とは異なる他の第１情報処理装置２０２または第２情報処理装置２０３を使用して、当該レポートに含まれる分析結果を再現することを可能にする。分析結果の再現の後には、分析条件を変更して、更に分析を行いうる。
１つの実施形態において、第１情報処理装置２０２は、例えば、露光装置１００の提供者に帰属する情報処理装置であり、第２情報処理装置２０３は、例えば、露光装置１００のユーザ（例えば、所有者）に帰属する情報処理装置でありうる。この場合、第１情報処理装置２０２は、互いに異なる複数のユーザの管理下にそれぞれある複数の情報記憶装置３０１を介して、互いに異なる複数のユーザの管理下にそれぞれある互いに異なる複数の露光装置１００で発生した情報を取得し、それを利用し得る。また、この場合において、第２情報処理装置２０３は、一般には、他のユーザに帰属する露光装置１００で発生した情報を取得することはできない。
他の実施形態において、第１情報処理装置２０２および第２情報処理装置２０３は、同一のユーザに帰属しうる。
図１は、本発明の好適な実施形態の露光装置の構成を概略的に示す図である。この実施形態の露光装置１００は、走査型露光装置とし構成されている。しかしながら、本発明において、露光装置は、走査露光装置には限定されない。露光装置１００において、光源１から提供される光束は、照明光学系２でスリット形状に整形されるとともに光量分布が調整され、レチクルステージ６に保持されたレチクル（原版）３を照明する。レチクル３のパターンは、投影光学系４を介して、ウエハステージ７上のウエハ吸着チャック８に保持された感光剤（レジスト）が塗布されたウエハ（基板）５に転写される。これにより、感光剤に潜像パターンが形成される。潜像パターンは、現像工程において現像されて、マスクパターン（レジストパターン）となる。
【００１３】
照明光学系２には、例えば、コヒーレンスファクタ（σ）の値を設定するための円形開口面積が異なる複数の開口絞りが備えられうる。照明光学系２には、更に、輪帯照明用のリング形状絞り、４重極絞り、照明光量を調整するための機構（例えば、複数のＮＤフィルタ及びそれを切り替える機構）が備えられうる。照明光学系２には、更に、光量を計測する光量検出器、スリット状の照明範囲を確保するためにレチクル３と共役な位置に載置されたブラインド及びそれを駆動する駆動機構が備えられうる。光源１と照明光学系２は、照明光学系制御系２１の指示によって動作が制御される。
【００１４】
投影光学系４には、開口数を設定するための開口数設定機構や、収差を補正するためのレンズ駆動機構が備えられうる。投影光学系４は、投影光学系制御系２４によって動作が制御される。
【００１５】
スリット状の照明領域をもって照明されたレチクル３のパターンからの光は、投影光学系４を介してウエハ５に投影される。レチクルステージ６（結果としてレチクル３）の位置は、レチクルステージ計測系１０によって計測され、レチクルステージ制御系２２によって制御される。
【００１６】
ウエハ５の位置は、ウエハステージ計測系１２及びアライメント計測系３０よって計測されうる。ウエハステージ計測系１２は、例えば、投影光学系４の光軸方向（即ち、Ｚ方向）、該光軸に直交する面内における直交する２つの軸方向（即ち、Ｘ、Ｙ方向）の位置、並びに、これらの軸周り回転を計測する。アライメント計測系３０は、投影光学系４の光軸方向（Ｚ方向）におけるウエハ５の表面位置を計測する。アライメント計測系３０は、ウエハ５の露光時にウエハ５の表面位置を計測することができる。ウエハステージ制御系２５は、ウエハステージ計測系１２及びアライメント計測系３０から提供される情報に基づいてウエハステージ７の位置を制御する。
【００１７】
また、照明光学系２とレチクルステージ６の間にはレチクルから投影光学系４を介してウエハステージ７までを同時に観測及び計測することができるＴＴＲ（Ｔｈｒｏｕｇｈ  Ｔｈｅ  Ｒｅｔｉｃｌｅ）方式のＴＴＲ観察光学系９が構成されている。これにより投影光学系４の光軸方向におけるレチクルステージ６（レチクル３）の位置を計測できる。
【００１８】
また、ウエハ５表面を非露光光で観察及び計測することが可能なオフアクシス観察光学系１１が構成される。アライメント計測時には、ウエハ５表面のマークを観察する。また、ウエハステージ７上のステージ基準マークを観察し、ステージ基準マークの位置を計測できる。
【００１９】
スリット状の照明光束でレチクル３の全てのパターン範囲をウエハ５に転写するために、レチクルステージ６によって保持されたレチクル３は、図１に示された"走査方向"に駆動される。それと同時に、ウエハステージ７によって保持されたウエハ５も図１に示された走査方向に駆動される。ここで、レチクル３とウエハ５は、投影光学系４の投影倍率に応じた速度比で駆動される。レチクル３とウエハ５との相対位置がずれると、ウエハ５に変形したパターンが転写される。そこで、主制御系２７は、レチクル３とウエハ５との相対位置ずれを計算し、その相対位置ずれがゼロになるようにレチクルステージ制御系２２及びウエハステージ制御系２５を制御する。
【００２０】
また、露光装置１００は、レチクルライブラリ１４、レチクルロボット１３を含むレチクル搬送ユニット、および、レチクルアライメントユニット２９を備えうる。レチクル搬送ユニットは、レチクル搬送制御系１９から指示にしたがって動作する。また、露光装置１００は、ウエハカセットエレベータ１６およびウエハ搬入出ロボット１５を含むウエハ搬送ユニットを備えうる。ウエハ搬送ユニットは、ウエハ搬送制御系２６からの指示にしたがって動作する。
【００２１】
チャンバ３１は、主に空気の温度調整と、微小異物を濾過する空気清浄を行って露光装置１００の内部環境温度を一定に保つ。チャンバ３１は、チャンバ制御系１８からの指示にしたがって動作する。
【００２２】
主制御系２７は、露光装置１００の構成要素、例えば、チャンバ制御系１８、レチクル搬送制御系１９、ウエハ搬送制御系２６、レチクルステージ制御系２２、ウエハステージ制御系２５、照明光学系制御系２１、投影光学系制御系２４等を制御する。
【００２３】
露光装置１００の走査露光動作について説明する。まず、主制御系２７は、通信インターフェース１７を介して、例えば情報処理装置２０３から、露光装置１００の露光動作を定義するパラメータを取得する。パラメータは、例えば、工程名（ジョブ名）、ロット認識ＩＤ、使用するレチクルの認識ＩＤ、ショット領域の寸法、各ショット領域の位置、露光走査速度、露光走査方向を含みうる。設定パラメータはまた、例えば、各ショット領域のアライメント補正値、ウエハのアライメント補正値、アライメント方式、サンプルショットの数、アライメント計測回数、ウエハ搬送方式等を含みうる。
主制御系２７は、上記のパラメータに基づいて露光装置１００の各構成要素を制御し、ウエハ、レチクルの搬入出と、ウエハのアライメント用の計測を実施し、ウエハをステップ・アンド・スキャン方式で露光する。
【００２４】
主制御系２７は、通信インターフェース１７を介して、例えば、露光装置１００の露光動作を定義するパラメータ値およびそれに従って実施された処理を通して生成される情報を情報記憶装置３０１に送信する。当該情報には、例えば、ウエハやレチクルの搬送の所要時間、ウエハおよびレチクルのそれぞれのアライメント用の計測の結果および計測の所要時間が含まれうる。当該情報にはまた、例えば、各ショット領域の露光における動作指令や制御結果に関わる情報や所要時間が含まれうる。当該情報にはまた、例えば、動作イベントやエラーイベントが含まれうる。また、当該情報には、例えば、装置認識ＩＤ、ロット認識ＩＤ、ジョブ名、ウエハ番号、ショット番号、実施時刻が含まれうる。
図２は、本発明の好適な実施形態のシステムの構成を概略的に示す図である。システム１０００は、１又は複数の露光装置１００と、１又は複数の情報記憶装置３０１と、１又は複数の第１情報処理装置２０２と、１又は複数の第２情報処理装置２０３とを備えている。露光装置１００で発生した情報は、情報記憶装置３０１に蓄積される。
露光装置１００と情報記憶装置３０１とは、例えば、イーサネット（登録商標）で接続されうる。情報記憶装置３０１、第１情報処理装置２０２および第２情報処理装置２０３は、例えば、イントラネット、および／または、インターネットで接続されうる。
【００２５】
情報記憶装置３０１は、情報収集部３０３を有し、通信インターフェース３０２を介して露光装置１００から提供される情報を収集し、データベース３０５に格納する。また、情報記憶装置３０１は、第１情報処理装置２０２および第２情報処理装置２０３から送られてくる情報提供要求に応答して情報を提供する要求処理部３０４を有する。
【００２６】
第１情報処理装置２０２は、入力部２３２、通信インターフェース２２１、分析部２５０、コード生成部（補助情報生成部）２２４、コード解読部２２５、レポート生成部２４５、出力部２３３、管理部２３０を備える。分析部２５０は、フィルタリング部２２２および統計処理部２２３を含む。第１情報処理装置２０２は、例えば、分析部２５０に対応する分析ステップ、コード生成ステップ、コード解読ステップ、レポート生成ステップを含む処理を実行する装置として把握することもできる。第１情報処理装置２０２は、典型的には、コンピュータにコンピュータプログラムをロードすることによって構成されうる。
【００２７】
フィルタリング部２２２は、入力部２３２から提供されるフィルタリング条件２４１に合致した情報を情報記憶装置３０１のデータベース３０５に格納されている情報から抽出して統計処理部２２３に提供する。
【００２８】
統計処理部２２３は、入力部２３２から提供される統計処理条件２４２に従って、フィルタリング部２２２によって抽出された情報を統計処理して分析結果を生成し、それをレポート生成部２４５に提供する。
コード生成部２２４は、フィルタリング条件２４１および統計処理条件２４２をコード（補助情報）に変換しレポート生成部２４５に提供する。
レポート生成部２４５は、分析部２５０が生成した分析結果を示す分析結果表示およびコード生成部２２４が生成したコード（補助情報）を示すコード表示（補助情報表示）を含むレポートのデータを生成し、出力部２３３に提供する。
【００２９】
出力部２３３は、プリンタ、メモリおよび通信インターフェースの少なくとも１つを含む。出力部２３３は、レポート生成部２４５から提供されたレポートのデータに基づいてレポートを出力する。このレポートにおいて、分析結果表示は、プリントされたものであり、補助情報表示は、機械読み取り可能な形式でプリントされたものでありうる。或いは、このレポートは、その全体又は一部が電子データによって構成されてもよい。補助情報表示は、１次元コード（例えば、バーコード）または２次元コード（例えば、ＱＲコード）を含みうる。或いは、補助情報表示は、補助情報を提供するＵＲＬ情報でもよい。
コード解読部２２５は、入力部２３２から提供されるコード２４３をフィルタリング条件および統計処理条件に変換する。
【００３０】
管理部２３０は、情報処理装置２０２の構成要素、即ち、入力部２３２、通信インターフェース２２１、分析部２５０、コード生成部（補助情報生成部）２２４、コード解読部２２５、レポート生成部２４５、出力部２３３を管理する。
【００３１】
第２情報処理装置２０３は、第１情報処理装置２０２と同様の構成を有しうる。第２情報処理装置２０３は、入力部２３２、通信インターフェース２２１、分析部２５０、コード生成部（補助情報生成部）２２４、コード解読部２２５、レポート生成部２４５、出力部２３３、管理部２３０を備える。分析部２５０は、フィルタリング部２２２および統計処理部２２３を含みうる。第２情報処理装置２０３は、例えば、分析ステップ、コード生成ステップ、コード解読ステップ、レポート生成ステップを含む処理を実行する装置として把握することもできる。第１情報処理装置２０３は、典型的には、コンピュータにコンピュータプログラムをロードすることによって構成されうる。
【００３２】
以下、図２に示すシステム１０００における具体的な処理を例示的に説明する。
【００３３】
［具体例１］
図４は、図２に示すシステム１０００の第１情報処理装置２０２（または第２情報処理装置２０３）で実行される処理の一例を示すフローチャートである。図４を参照しながらレポートの出力に関する処理を例示する。
【００３４】
ステップＳ４０１では、入力部２３２は、ユーザによる操作にしたがって、フィルタリング条件を決定する。フィルタリング条件としては、例えば、装置ＩＤ、ウエハ番号、ショット番号、ロットＩＤ、ロット番号、ジョブ名、期間等を挙げることができる。例えば、露光装置の稼働率をグラフで示す処理を行う場合には、装置ＩＤ、稼働率を計算する期間がフィルタリング条件として入力されうる。例えば、露光装置における特定の動作の所要時間をグラフで示す場合には、装置ＩＤ、所要時間を計算する期間、計算する対象の動作（例えば、ウエハやレチクルの搬入出動作、各アライメント計測動作）を指定する情報が入力されうる。
ステップＳ４０２では、フィルタリング部２２２は、ステップＳ４０１で決定されたフィルタリング条件２４１に合致した情報を情報記憶装置３０１のデータベース３０５に格納されている情報から抽出して統計処理部２２３に提供する。
【００３５】
ステップＳ４０３では、入力部２３２は、ユーザによる操作にしたがって、統計処理条件を決定する。統計処理条件としては、例えば、露光装置の稼働率をグラフで示すという条件、ジョブ実行で行われる様々な動作の所要時間をロットを単位としてグラフで示すという条件等が挙げられる。
統計処理条件の決定では、例えば、出力形式の選択（例えば、出力単位（例えば、ロット単位）、出力するべき統計値など）も決定されてもよい。統計処理方法の決定においては、候補の中からユーザに所望の項目を選択させてもよい
なお、この例では、分析部２５０による分析処理をフィルタリング及び統計処理として説明しているが、他の分析がなされてもよい。また、分析内容を決定する方法としても、種々の方法を選択しうる。
ステップＳ４０４では、統計処理部２２３は、ステップＳ４０３で決定された統計処理方法２４２に従って、フィルタリング部２２２によって抽出された情報を統計処理して分析結果を生成し、レポート生成部２４５に提供する。
ステップＳ４０５では、コード生成部２２４は、フィルタリング条件２４１および統計処理条件２４２をコード（補助情報）に変換し、そのコードをレポート生成部２４５に提供する。
ステップＳ４０６では、レポート生成部２４５は、分析部２５０が生成した分析結果を示す分析結果表示およびコード生成部２２４が生成したコード（補助情報）を示すコード表示（補助情報表示）を含むレポートのデータを生成し、出力部２３３に提供する。
【００３６】
ステップＳ４０７では、出力部２３３は、レポート生成部２４５から提供されたレポートのデータに基づいてレポートを出力する。
【００３７】
出力されたレポートは、露光装置１００の使用者等に提供されうる。レポートは、視認可能な媒体（例えば、紙）に対してプリントすることによって出力されてもよいし、電子データとして出力されてもよい。
図５は、図２に示すシステム１０００の第２情報処理装置２０３（または第１情報処理装置２０２）で実行される処理の一例を示すフローチャートである。以下では、図５を参照しながら、レポートを受け取った露光装置１００のユーザが当該レポートの内容を再現する方法を例示的に説明する。
【００３８】
ステップＳ５００では、入力部２３２は、レポートに含まれるコード表示を読み取る。ここで、前述のように、補助情報表示の一例としてのコード表示は、１次元コード（例えば、バーコード）または２次元コード（例えば、ＱＲコード）を含みうる。或いは、補助情報表示は、補助情報を提供するＵＲＬ情報を示す表示でもよい。
ステップＳ５０１では、コード解読部２２５は、ステップＳ５００で入力されたコード表示（補助情報表示）を解読して、分析条件を再現する。ここで、分析条件は、例えば、露光装置１００が発生し情報記憶装置３０１に蓄積されている情報をフィルタリングするためのフィルタリング条件、および、フィルタリングによって抽出された情報を統計処理するための統計処理条件を含みうる。
ステップＳ５０２では、フィルタリング部２２２は、ステップＳ５０１で解読されたフィルタリング条件に従って、露光装置１００が発生し情報記憶装置３０１に蓄積されている情報をフィルタリングする。
ステップＳ５０３では、統計処理部２２３は、ステップＳ５０２でフィルタリングによって抽出された情報を、ステップＳ５０１で再現された分析条件に含まれる統計処理条件に従って統計処理する。
【００３９】
ステップＳ５０４では、出力部２３３は、ステップＳ５０３で得られた統計処理結果を分析条件（フィルタリング条件、統計処理条件）とともに表示器に表示する。ユーザは、表示器に表示された内容を見て、分析条件（フィルタリング条件、統計処理条件）を変更することができる。この変更は、入力部２３２を操作することによってなされうる。
ステップＳ５０５では、管理部２３０は、分析条件が変更されたか否かを判断し、分析条件が変更された場合には処理をステップＳ５０７に進め、分析条件が変更されなかった場合には処理をステップＳ５０６に進める。
【００４０】
ステップＳ５０７では、管理部２３０は、変更された分析条件がフィルタリング条件であるか統計処理条件であるかを判断し、変更された分析条件がフィルタリング条件であれば処理をステップＳ５０２に進める。この場合は、フィルタリングの再実行の後にステップＳ５０３において統計処理が再実行される。一方、管理部２３０は、変更された分析条件が統計処理条件であれば、この場合にはフィルタリングの再実行は不要であるので、処理をステップＳ５０３に進める。
【００４１】
例えば、入力部２３２で読み取ったコードによって示される分析条件が特定の装置の稼働率をグラフで示すことを指定するものであった場合、装置ＩＤの条件のみを変更して、異なる装置の稼働率をグラフで示してもよい。或いは、期間の条件だけを変更して、異なる期間での稼働率をグラフで示してもよい。或いは、装置、期間の条件を変更しないで、統計処理条件を変更してもよい。例えば、統計処理条件を変更して、同じ装置、期間での日ごとのウエハ処理枚数の推移をグラフにしてもよい。このように以前に分析された結果を再現し、表示させ、さらに処理条件を変更することで新たな分析を行うことができる。
【００４２】
ステップＳ５０６では、コード生成部２２４は、コード生成部２２４は、フィルタリング条件２４１および統計処理条件２４２をコード（補助情報）に変換し、そのコードをレポート生成部２４５に提供する。
ステップＳ５０７では、レポート生成部２４５は、分析部２５０が生成した分析結果を示す分析結果表示およびコード生成部２２４が生成したコード（補助情報）を示すコード表示（補助情報表示）を含むレポートのデータを生成し、出力部２３３に提供する。
【００４３】
ステップＳ５０９では、出力部２３３は、レポート生成部２４５から提供されたレポートのデータに基づいてレポートを出力する。
【００４４】
［具体例２］
図６は、レポートの利用方法を模式的に示す図である。分析結果表示６１０（６１０ａ、６１０ｂ）とコード表示（補助情報表示）６２０（６２０ａ、６２０ｂ）を含むレポート６０１を配布することで、レポートを受け取った者は、そのレポートを利用して新たな分析を独自に実施することができる。レポートは、例えば、プリントされた形式で、又は、電子データの形式で配布されうる。
例えば、レポート６０１に表示された分析結果を見て詳しく調べたい個所が生じた場合を考える。この場合、その分析結果を得るための分析条件を示すコードを入力部２３２を通して情報処理装置に入力して分析を行うことで、簡単に同じ分析結果６０２を得ることができる。そして、分析条件（例えば、フィルタリング条件、統計処理条件）を変更して更に分析を行うことで、新たな分析結果６０３を得ることができる。
【００４５】
レポート６０１は、分析結果表示とそれらに対応する分析条件を示すコード表示との組を複数含んでいてもよい。レポートの受取人は、複数の分析結果表示のうち任意の分析結果表示を選択し、それに対応するコード表示を使って分析を再現することができる。
分析を再現するための情報をコード化したコード表示は、大量の表示を圧縮してレポートに掲載するために有利である。
【００４６】
［具体例３］
レポートには、分析結果表示およびコード表示の組以外に、分析結果表示に付随しないコード表示を掲載してもよい。例えば、レポートには、代表的な分析結果だけを掲載して見易さを高め、詳細については、コード表示に基づいてレポートの受取人に分析を行わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の好適な実施形態の露光装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】本発明の好適な実施形態のシステムの構成を概略的に示す図である。
【図３】本発明の好適な実施形態のシステムの概略図を示す図である。
【図４】図２に示すシステムの情報処理装置で実行される処理の一例を示すフローチャートである。
【図５】図２に示すシステムの情報処理装置で実行される処理の一例を示すフローチャートである。
【図６】レポートの利用方法を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１００  露光装置
３０１  情報記憶装置
２０２  第１情報処理装置
２０３  第２情報処理装置
【図１】
2009170613.tif 000003
【図２】
2009170613.tif 000004
【図３】
2009170613.tif 000005
【図４】
2009170613.tif 000006
【図５】
2009170613.tif 000007
【図６】
2009170613.tif 000008