(57)【要約】【課題】印刷工程を用いてＰＤＰの前面板または背面板を作製する場合、高精度なアライメントマークを実現し、表示画面の大きいＰＤＰにおいても製造歩留まりが改善するとともに表示品質に優れたＰＤＰを実現する。【解決手段】表示電極を備えた基板よりなる前面板とアドレス電極を備えた基板よりなる背面板とを、表示電極とアドレス電極が互いに交差するように対向配置し、その間に放電空間を形成したＰＤＰであって、前面板と背面板にそれぞれ前面板アライメントマーク１７と背面板アライメントマーク１８とを備え、前面板アライメントマーク１７と背面板アライメントマーク１８のうちの少なくとも一つが、それぞれの基板に形成された表示電極またはアドレス電極の長手方向に対して傾斜した線分を有している。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示電極を備えた基板よりなる前面板とアドレス電極を備えた基板よりなる背面板とを、前記表示電極と前記アドレス電極とが立体交差するように対向配置し、前記前面板と前記背面板にそれぞれ前面板アライメントマークと背面板アライメントマークとを備えたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記前面板アライメントマークが前記表示電極の長手方向に対して傾斜した線分を有する構成と、前記背面板アライメントマークが前記アドレス電極の長手方向に対して傾斜した線分を有する構成のうち少なくとも一方の構成を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記線分が前記表示電極または前記アドレス電極の長手方向に対して４５°傾斜していることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
複数の表示電極を備えた前面板と、複数のアドレス電極を備えた背面板とを、前記表示電極と前記アドレス電極とが立体交差するように対向配置したプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記表示電極の長手方向に対して傾斜した線分を有する前面板アライメントマークと前記表示電極とを印刷により形成するステップを含む前面板の製造工程と、前記アドレス電極の長手方向に対して傾斜した線分を有する背面板アライメントマークと前記アドレス電極とを印刷により形成するステップを含む背面板の製造工程のうち、少なくとも一方の製造工程を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記線分が前記表示電極または前記アドレス電極の長手方向に対して４５°傾斜していることを特徴とする請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大画面の画像表示に好適なプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）とその製造方法に関し、特に、ＰＤＰを構成する前面板と背面板間の位置合わせのために用いるアライメントマークに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＰＤＰは、対向配置した前面板と背面板の周縁部を封着部材によって封着した構造であって、前面板と背面板との間に形成された放電空間には、ネオンおよびキセノンなどの放電ガスが封入されている。
【０００３】
前面板は、前面ガラス基板の片面にストライプ状に形成された走査電極と維持電極とからなる複数の表示電極対と、これらの表示電極対を覆う誘電体層および保護層とを備えている。表示電極対は、それぞれ透明電極とその透明電極上に形成した金属材料からなるバス電極とによって構成されている。
【０００４】
背面板は、背面ガラス基板の片面に、表示電極対と直交する方向にストライプ状に形成された複数のアドレス電極と、これらのアドレス電極を覆う下地誘電体層と、放電空間をアドレス電極毎に区画するストライプ状の隔壁と、隔壁間の溝に順次塗布された赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層とによって構成されている。
【０００５】
表示電極対とアドレス電極とは直交していて、その交差部が放電セルになる。これらの放電セルはマトリクス状に配列され、表示電極対の方向に並ぶ赤色、緑色、青色の蛍光体層を有する３個の放電セルがカラー表示のための画素になる。ＰＤＰは順次、走査電極とアドレス電極との間、および走査電極と維持電極との間に所定の電圧を印加してガス放電を発生させ、そのガス放電で生じる紫外線で蛍光体層を励起し発光させることによりカラー画像を表示している。
【０００６】
前面板および背面板の製造方法としては、前面ガラス基板上に表示電極対、誘電体層などの構成要素を形成し、背面ガラス基板上にアドレス電極、下地誘電体層、隔壁、蛍光体層などの構成要素を所定の形状、パターンで形成、配置している。
【０００７】
これらの製造方法としては、それぞれの材料をガラス基板上に塗布し、必要に応じてフォトリソグラフィ法やサンドブラスト法などにより所定形状にパターニングした後、焼成することにより形成する方法が一般的である。
【０００８】
このような方法では、構成要素を積層して構成物を形成する際や、前面板と背面板とを対向配置する際の位置精度を確保するために、それぞれのガラス基板にアライメントマークを形成し、そのアライメントマークを基準として露光マスクなどの位置決めをしている。
【０００９】
複数のフォトリソグラフィ工程を用いてＰＤＰを製造する際のアライメントマークを用いて高精度にパターンを形成する方法が開示されている（例えば、特許文献１、２参照）
【特許文献１】特開２００２−７２５０７号公報
【特許文献２】特開２０００−１４８８２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
近年、ＰＤＰの表示画面が大型化するに伴って、製造工程において通常用いられているフォトリソグラフィ工程のコスト高が負担になってきている。このため、大型のＰＤＰを低コストで製造するために、フォトリソグラフィ工程に代わって印刷法が注目されている。
【００１１】
例えば、スクリーン印刷法は、導電性ペーストや絶縁性ペーストを基板に直接パターン印刷した後、焼成して電極、配線等の電子回路を形成する方法である。スクリーン印刷法によれば、比較的大面積の基板に、電極膜を塗布する工程とパターン化の工程とを同時に行えるので、基板あたりの処理時間が短縮できる。
【００１２】
しかしながら、このようなスクリーン印刷法では、印刷方向に直角方向のパターンはそのパターン形状精度が低下する。そのため、前面板の場合には表示電極の長手方向に平行な方向、背面板の場合にはアドレス電極の長手方向に平行な方向に沿って印刷する必要がある。
【００１３】
前面板および背面板の各構成要素を所定の位置関係で形成する場合、各構成要素間の位置合わせのためにアライメントマークを使用する。アライメントマークは各構成要素を形成する際に、周辺部に同時に形成される。また、前面板と背面板とを封着する場合、前面板および背面板に予め形成したアライメントマークを位置合わせをして封着する。
【００１４】
図８は従来のアライメントマークの形状を示す図である。このような従来のアライメントマークは図８（ａ）、（ｂ）に示すように、所定の線幅と長さを有し、表示電極やアドレス電極の長手方向に対して平行な線分と直交する線分とを十字や口の字などに組み合わせたパターンである。このようなアライメントマークをスクリーン印刷法またはオフセット印刷法で形成すると、図８（ｃ）、（ｄ）に示すように、印刷方向に直角な方向に沿うパターンに位置ずれや突起、かすれが発生する。このため、前面板と背面板の各構成要素を形成する際、または前面板と背面板とで位置合わせを行う際に、アライメントマークを正確に認識することができず、主要構成要素のパターン間に位置ずれが発生するという課題があった。電極などの主要構成要素の位置ずれは、ＰＤＰの誤放電、耐圧破壊、輝度低下などの表示品質の劣化を引き起こす。
【００１５】
本発明は、これらの課題に鑑みてなされたものであり、スクリーン印刷法またはオフセット印刷法を用いてＰＤＰの前面板または背面板を形成する際に、パターンに位置ずれや突起、かすれの発生が抑制された精度の高いアライメントマークを形成することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の目的を達成するために、本発明のＰＤＰは表示電極を備えた基板よりなる前面板とアドレス電極を備えた基板よりなる背面板とを、表示電極とアドレス電極とが立体交差するように対向配置し、前面板と背面板にそれぞれ前面板アライメントマークと背面板アライメントマークとを備えたプラズマディスプレイパネルにおいて、前面板アライメントマークが表示電極の長手方向に対して傾斜した線分を有する構成と、背面板アライメントマークがアドレス電極の長手方向に対して傾斜した線分を有する構成のうち少なくとも一方の構成を備えている。
【００１７】
このような構成によれば、アライメントマークに印刷方向に直交する線分がないため、印刷方向に依存せずにパターン精度に優れたアライメントマークを実現し、各構成要素間のパターンの位置ずれを抑制し、表示品質の高いＰＤＰを実現することができる。
【００１８】
さらに、線分が表示電極またはアドレス電極の長手方向に対して４５°傾斜していることが望ましい。このような構成によれば、さらに印刷方向に依存せずにパターン精度に優れたアライメントマークを実現し、各構成要素間のパターンの位置ずれを抑制し、表示品質の高いＰＤＰを実現することができる。
【００１９】
また、本発明のＰＤＰの製造方法は、複数の表示電極を備えた前面板と、複数のアドレス電極を備えた背面板とを、表示電極とアドレス電極とが立体交差するように対向配置したプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、表示電極の長手方向に対して傾斜した線分を有する前面板アライメントマークと表示電極とを印刷により形成するステップを含む前面板の製造工程と、アドレス電極の長手方向に対して傾斜した線分を有する背面板アライメントマークとアドレス電極とを印刷により形成するステップを含む背面板の製造工程のうち、少なくとも一方の製造工程を有している。
【００２０】
このような方法によれば、アライメントマークに印刷方向に直交する線分がないため、印刷方向に依存せずにパターン精度に優れたアライメントマークを実現し、各構成要素間のパターンの位置ずれを抑制し、表示品質の高いＰＤＰを実現することができる。
【００２１】
さらに、線分が表示電極またはアドレス電極の長手方向に対して４５°傾斜していることが望ましい。
【００２２】
このような方法によれば、さらに印刷方向に依存せずにパターン精度に優れたアライメントマークを実現し、各構成要素間のパターンの位置ずれを抑制し、表示品質の高いＰＤＰを実現することができる。
【発明の効果】
【００２３】
以上のように、本発明によれば、印刷方向と直角なパターンがなくなるために、印刷によって形成されるアライメントマークの形状精度が高くなる。その結果、表示面積の大きいＰＤＰにおいても、位置合わせ精度が向上し、位置ずれに起因する誤放電、耐圧不良、輝度低下などの表示品質の劣化が抑制される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態によるＰＤＰについて図面を用いて説明する。
【００２５】
（実施の形態）
図１は本発明の実施の形態におけるＰＤＰの構造を示す斜視図である。ＰＤＰ１は前面板２と背面板１０とより構成されている。前面板２には前面ガラス基板３上に平行に配列された走査電極４と維持電極５とからなる表示電極対６が複数形成されている。走査電極４、維持電極５はインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）や酸化スズ（ＳｎＯ２）などからなる薄膜の透明電極と、透明電極上に形成された銀を主成分とするバス電極とからなる。表示電極対６の間には遮光層７が形成されている。そして、走査電極４、維持電極５と遮光層７とを覆うように誘電体ペーストを塗布し、焼成固化して誘電体層８が形成される。その誘電体層８上に真空蒸着法により酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などからなる保護層９が形成されている。  
【００２６】
背面板１０は背面ガラス基板１１上に、銀ペーストをスクリーン印刷することによりストライプ状のアドレス電極１２が複数形成され、アドレス電極１２を覆うように誘電体ペーストを焼成固化してなる下地誘電体層１３が形成され、さらにその表面でアドレス電極１２を挟むように、ストライプ状の隔壁１４が形成されている。そして、隔壁１４の側面および下地誘電体層１３上には、アドレス電極１２毎に順次、赤色、緑色および青色の各色に発光する蛍光体層１５が設けられている。
【００２７】
これら前面板２と背面板１０とは、微小な放電空間１６を挟んで表示電極対６とアドレス電極１２とが直交して立体交差するように対向配置され、その外周部がガラスフリット等の封着剤によって封着されている。そして放電空間１６には、例えばネオンとキセノンの混合ガスが放電ガスとして封入されている。放電空間１６は隔壁１４によって複数の区画に仕切られており、表示電極対６とアドレス電極１２とが交差する部分に放電セルが形成されている。そしてこれらの放電セルが放電、発光することにより画像が表示される。
【００２８】
次に、前面板２の製造方法について、図２および図３を参照しながら説明する。図２は本発明の実施の形態におけるＰＤＰ１の前面板２の製造工程を示すフローチャートであり、図３は同ＰＤＰ１の前面板アライメントマークを形成した前面板２の一部を示す平面図である。
【００２９】
まず、透明電極形成ステップＳ１において、前面ガラス基板３の一主面上に、真空蒸着法によりインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）や酸化スズ（ＳｎＯ２）などからなる透明導電層を形成した後、フォトリソグラフィ法でストライプ状にパターンニングして走査電極４および維持電極５を構成する透明電極を形成する。透明電極のパターンニング工程で、同時に前面ガラス基板３の四隅に透明導電層からなるアライメントマークを形成する。
【００３０】
次に遮光層形成ステップＳ２について説明する。透明電極が形成された前面ガラス基板３上に黒色顔料を含むペーストをスクリーン印刷法やオフセット印刷法などを用いて形成した後、焼成固化することにより遮光層７を形成する。スクリーン印刷によって遮光層７を形成する場合、印刷領域の外側で、スクリーン版の四隅に形成されたアライメントマークと透明電極形成時に形成されたアライメントマークを参照してマスク合わせをする。
【００３１】
次にバス電極形成ステップＳ３について説明する。このステップにおいては、ストライプ状の透明電極の片辺に銀ペーストをスクリーン印刷することにより金属材料からなるバス電極４ｂ、５ｂを形成する。透明電極とバス電極４ｂ、５ｂの位置合わせには、遮光層７の形成工程と同様に透明電極形成時に形成したアライメントマークを用いる。バス電極４ｂ、５ｂをスクリーン印刷する場合、印刷領域の外側で、スクリーン版の四隅に形成されたアライメントマークと透明電極形成時に形成したアライメントマークを参照してマスク合わせをする。
【００３２】
さらに、バス電極４ｂ、５ｂを形成すると同時に、前面ガラス基板３の四隅に、以降の工程で背面板１０との位置合わせに用いるバス電極４ｂ、５ｂと同様材料からなる前面板アライメントマーク１７を形成する。前面板アライメントマーク１７は前面板２の主要構成要素である遮光層７とバス電極４ｂ、５ｂの長手方向に対して傾斜した線分を有する形状に形成される。
【００３３】
図６（ａ）は本発明の実施の形態におけるＰＤＰの前面板アライメントマーク１７の代表的形状を示す拡大図である。前面板アライメントマーク１７は、バス電極４ｂ、５ｂの形成と同時に形成し、表示電極対６を構成するバス電極４ｂ、５ｂに対し概ね４５°傾斜した線分を有するパターンとしている。
【００３４】
すなわち、表示電極対６のバス電極４ｂ、５ｂをスクリーン印刷法で形成する際には、バス電極４ｂ、５ｂの長手方向に沿わせて印刷スキージを移動させる。ここで印刷スキージを移動させる方向を印刷方向というとき、この場合の印刷方向はバス電極４ｂ、５ｂの長手方向と平行である。そのため、前面板アライメントマーク１７には印刷方向と直角な辺がなくなり、前面ガラス基板３上に形成された前面板アライメントマーク１７として位置ずれや突起、かすれの発生が抑制された精度の高いパターンを実現することができる。
【００３５】
次の誘電体層形成ステップＳ４で、走査電極４、維持電極５および遮光層７を覆うように前面ガラス基板３上に誘電体ペーストをダイコート法などにより塗布して誘電体ペースト層を形成する。その後、誘電体ペースト層を焼成固化することにより、走査電極４、維持電極５および遮光層７を覆うように誘電体層８が形成される。
【００３６】
次に、保護層形成ステップＳ５で、誘電体層８上に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層９を真空蒸着法により形成する。
【００３７】
以上の工程により前面ガラス基板３上に走査電極４、維持電極５、遮光層７、誘電体層８、保護層９が形成されて前面板２が完成する。
【００３８】
次に、背面板１０の製造方法について説明する。図４は本発明の実施の形態におけるＰＤＰ１の背面板１０の製造工程を示すフローチャートであり、図５は同ＰＤＰ１の背面板アライメントマークを形成した背面板１０の一部を示す平面図である。
【００３９】
アドレス電極形成ステップＳ６で、背面ガラス基板１１の一主面上に、アドレス電極１２を形成する。銀ペーストをスクリーン印刷法やオフセット印刷法などによりアドレス電極用の構成要素となる材料層を形成し、それを所望の温度で焼成固化することによりアドレス電極１２を形成する。なお、このような印刷法でアドレス電極１２を形成する際の印刷方向は、アドレス電極１２の長手方向と平行である。
【００４０】
アドレス電極１２を形成する際に、図５に示すように、前面板２との位置合わせに用いる背面板アライメントマーク１８を背面ガラス基板１１の四隅に形成する。図６（ｂ）は本発明の実施の形態におけるＰＤＰの背面板アライメントマーク１８の代表的形状を示す拡大図である。図６（ｂ）に示すように背面板アライメントマーク１８は印刷方向、すなわちアドレス電極１２の長手方向に対し概ね４５°傾斜した線分を有するパターンである。そのため、背面板アライメントマーク１８には印刷方向（印刷スキージを移動させる方向）と直角な辺がなくなり、背面ガラス基板１１上に形成された背面板アライメントマーク１８として位置ずれや突起、かすれの発生が抑制された精度の高いパターンを実現することができる。
【００４１】
次に、下地誘電体層形成ステップＳ７で、アドレス電極１２が形成された面の背面ガラス基板１１上にダイコート法などによりアドレス電極１２を覆うように誘電体ペーストを塗布して誘電体ペースト層を形成した後、誘電体ペースト層を焼成することにより下地誘電体層１３が形成される。
【００４２】
次の隔壁形成ステップＳ８で、下地誘電体層１３上に隔壁材料を含む隔壁形成用ペーストを塗布し、隔壁パターン形成用フォトマスクの四隅に予め形成されたアライメントマークと、下地誘電体層１３が形成された背面ガラス基板１１上の背面板アライメントマーク１８との位置合わせを行う。位置合わせの後、露光、現像によって隔壁パターンを形成し、焼成固化することにより隔壁１４を形成する。
【００４３】
次に、蛍光体層形成ステップＳ９では、隣接する隔壁１４間の下地誘電体層１３上および隔壁１４の側面に、アドレス電極１２毎に順次、赤色、緑色、青色の蛍光体材料を含む蛍光体ペーストをインクジェット法で塗布し、焼成固化することにより蛍光体層１５が形成される。
【００４４】
以上の工程により、背面ガラス基板１１上に所定の構成部材を有する背面板１０が完成する。
【００４５】
図７は、本発明の実施の形態におけるＰＤＰの前面板２と背面板１０との封着時における位置合わせ方法を示す全体図である。所定の構成部材を備えた前面板２と背面板１０とを走査電極４とアドレス電極１２とが直交するように対向配置する。この時、前面板２の四隅に形成された前面板アライメントマーク１７から算出される前面板２の重心位置と、背面板１０の四隅に形成された背面板アライメントマーク１８から算出される背面板１０の重心位置が重なり合うように対向配置し、その周囲をガラスフリットで封着し、放電空間１６にネオン、キセノンなどを含む放電ガスを封入することによりＰＤＰ１が完成する。
【００４６】
以上説明したように、本発明の実施の形態におけるＰＤＰのアライメントマークを利用すれば、前面板と背面板の位置合わせ精度が向上して、表示画面の大きいＰＤＰにおいても製造歩留まりが改善されるとともに、主要構成要素間の位置ずれに起因する誤放電、耐圧不良、輝度低下などが抑制される。
【００４７】
なお、図６にはそれぞれ前面板アライメントマーク１７と背面板アライメントマーク１８の一例を示しているが、この形状に限るものではなく、パターンの周縁を形成する線分が印刷方向に対して傾斜しておればよい。
【００４８】
また、上記の実施の形態では前面板アライメントマーク１７と背面板アライメントマーク１８を両方とも印刷によって傾斜させて形成した場合について述べたが、どちらか一方を本発明の実施の形態に述べた構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
以上のように、本発明によれば、特に印刷法で作製されるプＰＤＰの製造歩留まりを飛躍的に向上させることが可能になり、高品質のＰＤＰを低価格で作製できる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの構造を示す斜視図
【図２】同ＰＤＰの前面板の製造工程を示すフローチャート
【図３】同ＰＤＰの前面板アライメントマークを形成した前面板の一部を示す平面図
【図４】同ＰＤＰの背面板の製造工程を示すフローチャート
【図５】同ＰＤＰの背面板アライメントマークを形成した背面板の一部を示す平面図
【図６】（ａ）同ＰＤＰの前面板アライメントマークの代表的形状を示す拡大図、（ｂ）同ＰＤＰの背面板アライメントマークの代表的形状を示す拡大図
【図７】同ＰＤＰの前面板と背面板との封着時における位置合わせ方法を示す全体図
【図８】従来のアライメントマークの形状を示す図
【符号の説明】
【００５１】
１    ＰＤＰ
２    前面板
３    前面ガラス基板
４    走査電極
４ｂ，５ｂ    バス電極
５    維持電極
６    表示電極対
７    遮光層
８    誘電体層
９    保護層
１０    背面板
１１    背面ガラス基板
１２    アドレス電極
１３    下地誘電体層
１４    隔壁
１５    蛍光体層
１６    放電空間
１７    前面板アライメントマーク
１８    背面板アライメントマーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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