(57)【要約】【課題】塗布する機能液を供給する複数供給経路における機能液の消費量を略同じ量にすることができる液滴吐出装置、吐出方法、カラーフィルタの製造方法及び有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。【解決手段】機能液が供給される供給経路を備える液滴吐出ヘッド２０のノズルから機能液を基板２に吐出する液滴吐出装置８に係り、液滴吐出ヘッド２０と基板２とを相対移動するキャリッジ１９及びステージ１１を備え、ステージ１１において、ステージ１１の移動方向である走査の方向と直交する方向の、少なくとも一方には基板２と隣接する場所に第１受け部１４を備え、液滴吐出装置８は複数の供給経路及び複数のノズルを備え、１つの供給経路は少なくとも１つのノズルと連通し、基板２と対向する場所のノズルは基板２に液滴３７を吐出し、第１受け部１４と対向する場所のノズルは第１受け部１４に液滴３７を吐出する。【選択図】図８
2009160540.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に走査し、前記液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を前記ワークに吐出する液滴吐出装置であって、
前記ワークを載置するワークテーブルを有し、
前記ワークテーブルは、走査の方向と直交する方向の少なくとも一方の側に第１液状体受け部を備え、前記第１液状体受け部は、前記第１液状体受け部と対向する前記ノズルから吐出される前記液状体を受けることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記第１液状体受け部は、前記ワークテーブルの両端に備えられていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記第１液状体受け部は、前記ワークテーブルに対して前記走査の方向の少なくとも一端の近くに備えられていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記第１液状体受け部は、前記ワークテーブルに対して前記走査の方向の全幅に渡って備えられていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記直交する方向において前記第１液状体受け部と前記ワークを合わせた幅は、前記ノズルが吐出可能な領域より広いことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記ワークテーブルの前記走査の方向の少なくとも一方の側に第２液状体受け部をさらに備え、
前記第２液状体受け部は、前記第２液状体受け部と対向する前記ノズルから吐出される前記液状体を受けることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
液滴吐出ヘッドのノズルから液状体をワークに吐出する吐出方法であって、
前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとを相対移動させながら前記ワークに前記液状体を吐出する吐出工程を有し、
前記吐出工程において、前記ワークと対向しない前記ノズルから液状体受け部に対して前記液状体を吐出することを特徴とする吐出方法。
【請求項８】
請求項７に記載の吐出方法であって、
前記ワーク及び前記液状体受け部に対して略同時に前記ノズルから前記液状体を吐出することを特徴とする吐出方法。
【請求項９】
請求項７に記載の吐出方法であって、
前記液滴吐出ヘッドが前記ワークに対して走査の方向の一端側に位置する時は前記液状体受け部と対向する前記ノズルから前記液状体受け部に前記液状体を吐出することを特徴とする吐出方法。
【請求項１０】
請求項７に記載の吐出方法であって、
前記液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する供給経路を複数有する場合、前記供給経路毎の前記液状体の消費量が略同じ量となるように前記ノズルから前記液状体を吐出することを特徴とする吐出方法。
【請求項１１】
請求項７〜１０のいずれか一項に記載の吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法であって、
前記液状体は、カラーフィルタ形成材料を含み、前記液状体を塗布した後に成膜することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
請求項７〜１０のいずれか一項に記載の吐出方法を用いた有機ＥＬ装置の製造方法であって、
前記液状体は、発光素子形成材料を含み、前記液状体を塗布した後に成膜することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、吐出方法、カラーフィルタの製造方法及び有機ＥＬの製造方法に係り、特に、吐出する液状体の吐出量を品質良く吐出する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に配置されるガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。
【０００３】
タンクから機能液が液滴吐出ヘッドへ供給される。そして、機能液を交換するとき、タンクにある既存の機能液と新しく追加する機能液とでは、粘度が微妙に異なることがある。このとき、粘度の差が流体抵抗の差となるので、吐出時の吐出量の差となる。そして、タンクが複数あるとき複数のタンクにおける既存の機能液の消費量を概略同じにする方法が特許文献１に開示されている。それによると、液滴吐出ヘッドを配置するキャリッジを複数備えている。そして、ワークの大きさとタンク内の機能液の残量を基に、液滴吐出ヘッドが吐出するキャリッジを選択することにより、各タンク内における機能液の残量を均一にしていた。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−６１８４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、キャリッジが１つの場合には、この方法を採用することができない。また、複数の液滴吐出ヘッドを配列して配置するとき、端の液滴吐出ヘッドがワークと対向する場所からはずれることがある。そして、その液滴吐出ヘッドは機能液の消費量が他の液滴吐出ヘッドより少なくなる。新しく機能液を追加するとき、既存の機能液を吐出する液滴吐出ヘッドと新しい機能液を吐出する液滴吐出ヘッドが混在する為、液滴吐出ヘッドの吐出量が異なる。従って、塗布された機能液を乾燥して固化するとき、固化した膜厚の分散が大きくなるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
本適用例に係る液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に走査し、前記液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を前記ワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ワークを載置するワークテーブルを有し、前記ワークテーブルは、走査の方向と直交する方向の少なくとも一方の側に第１液状体受け部を備え、前記第１液状体受け部は、前記第１液状体受け部と対向する前記ノズルから吐出される前記液状体を受けることを特徴とする。
【０００８】
この液滴吐出装置によれば、ワークテーブルにワークと第１液状体受け部とが配置され、ノズルからワークに吐出するとき、第１液状体受け部と対向する場所のノズルから第１液状体受け部に吐出する。従って、ワークと対向する場所のノズルと同様にワークと対向しない場所のノズルも液状体を消費する。液滴吐出ヘッドのノズル数が多い場合や液滴吐出ヘッドを複数用いるとき、液滴吐出ヘッドに液状体を供給する供給経路は複数配置される。そして、液状体を収納するタンクから液状体が複数の供給経路を経て液滴吐出ヘッドに供給される。
【０００９】
供給経路内の液状体が少なくなるとき、供給経路内に存在する既存の液状体に加えて、供給経路に製造履歴の異なる新の液状体が供給される。このとき、供給経路内に存在する既存の液状体と新の液状体との粘度が異なる場合がある。粘度が変化するとき、ノズルから吐出する液状体の吐出量が変化する。そして、液滴吐出ヘッドが液状体を吐出することにより、供給経路内の既存の液状体が減り、新の液状体に入れ換わる。
【００１０】
ワークと対向する場所の液滴吐出ヘッドもワークと対向しない場所の液滴吐出ヘッドも液状体を消費することから、総ての供給経路内において既存の液状体を消費することができる。従って、液滴吐出ヘッドにおける液状体の入れ替えを略同じに行うことができる
【００１１】
［適用例２］
上記適用例に係る液滴吐出装置において、前記第１液状体受け部は、前記ワークテーブルの両端に備えられていることを特徴とする。
【００１２】
この液滴吐出装置によれば、ワークの両端に第１液状体受け部を備えている為、液滴吐出ヘッドはワークの両端において、ワークと対向しない場所のノズルも液状体を消費することができる。従って、ワークに対して液滴吐出ヘッドが通る順路を設定し易くすることができる。
【００１３】
［適用例３］
上記適用例に係る液滴吐出装置において、前記第１液状体受け部は、前記ワークテーブルに対して前記走査の方向の少なくとも一端の近くに備えられていることを特徴とする。
【００１４】
この液滴吐出装置によれば、ワークの一端の近くに第１液状体受け部を備えていることから、液滴吐出ヘッドは第１液状体受け部に吐出した後、ワークの他端に移動するまでの間、液状体の吐出を停止する。液滴吐出ヘッドは液状体を吐出するとき液滴吐出ヘッドに供給されるエネルギにより過熱されるので、液滴吐出ヘッドの温度が上昇する。そして、吐出を停止すると放熱するので、液滴吐出ヘッドの温度が下降する。従って、液滴吐出ヘッドが第１液状体受け部に吐出することにより液滴吐出ヘッドの温度が上昇するときにも、液滴吐出ヘッドが他端に移動するまでの間、液滴吐出ヘッドの温度を下降させることができる。その結果、液滴吐出ヘッドの温度上昇を抑えることができる。
【００１５】
［適用例４］
上記適用例に係る液滴吐出装置において、前記第１液状体受け部は、前記ワークテーブルに対して前記走査の方向の全幅に渡って備えられていることを特徴とする。
【００１６】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドからワークに吐出するとき、ワークと対向しない場所の液滴吐出ヘッドは第１液状体受け部と対向する場所に位置している。そして、ワークと対向しない場所の液滴吐出ヘッドは、ワークに吐出する液滴吐出ヘッドと同期して吐出することができる。このとき、ワークと対向する場所のノズル数に限定されずに、所定の数のノズルから液状体を吐出することができる。液滴吐出ヘッドは、同時に液状体を吐出するノズル数が変動しない方が、変動するときに比べて吐出量を安定して吐出することができる。従って、この液滴吐出装置は吐出量を安定して吐出することができる。
【００１７】
［適用例５］
上記適用例に係る液滴吐出装置であって、前記直交する方向において前記第１液状体受け部と前記ワークを合わせた幅は、前記ノズルが吐出可能な領域より広いことを特徴とする。
【００１８】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドが吐出可能な範囲は、第１液状体受け部及びワークの内側となっている。従って、液滴吐出ヘッドから液状体を吐出するとき、吐出される液状体は第１液状体受け部又はワークに吐出される。従って、ワークテーブルに液状体が付着し難くなっている為、ワークテーブルが液状体により汚れることを防ぐことができる。
【００１９】
［適用例６］
上記適用例に係る液滴吐出装置であって、前記ワークテーブルの前記走査の方向の少なくとも一方の側に第２液状体受け部をさらに備え、前記第２液状体受け部は、前記第２液状体受け部と対向する前記ノズルから吐出される前記液状体を受けることを特徴とする。
【００２０】
この液滴吐出装置によれば、第１液状体受け部で液状体の消費量を調整仕切れないときにも第２液状体受け部に吐出して各供給経路内における液状体の消費量差を調整することができる。
【００２１】
［適用例７］
本適用例に係る吐出方法は、液滴吐出ヘッドのノズルから液状体をワークに吐出する吐出方法であって、前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとを相対移動させながら前記ワークに前記液状体を吐出する吐出工程を有し、前記吐出工程において、前記ワークと対向しない前記ノズルから液状体受け部に対して前記液状体を吐出することを特徴とする。
【００２２】
この吐出方法によれば、吐出工程においてノズルからワークに吐出するとき、液状体受け部と対向する場所のノズルから液状体受け部に吐出している。従って、ワークと対向する場所のノズルと同様にワークと対向しない場所のノズルも液状体を消費する。液滴吐出ヘッドのノズル数が多い場合や液滴吐出ヘッドを複数用いるとき、液滴吐出ヘッドに液状体を供給する供給経路は複数配置される。そして、液状体を収納するタンクから液状体が複数の供給経路を経て液滴吐出ヘッドに供給される。ワークと対向する場所の液滴吐出ヘッドもワークと対向しない場所の液滴吐出ヘッドも液状体を消費することから、総ての供給経路内において既存の液状体を消費することができる。従って、液滴吐出ヘッドにおける液状体の切り換えを略同じに行うことができる。
【００２３】
［適用例８］
上記適用例に係る吐出方法であって、前記ワーク及び前記液状体受け部に対して略同時に前記ノズルから前記液状体を吐出することを特徴とする。
【００２４】
この吐出方法によれば、液状体受け部と対向する場所のノズルとワークと対向する場所のノズルとが同時に吐出する。従って、総てのノズルがワークと対向する場所に位置するときと、一部のノズルがワークと対向する場所にないときとでも略同じ数のノズルから液状体を吐出することができる。そして、駆動するノズルの数を毎回略同じ数にすることにより、吐出する液状体の吐出量の変動を少なくすることができる。
【００２５】
［適用例９］
上記適用例に係る吐出方法であって、前記液滴吐出ヘッドが前記ワークに対して走査の方向の一端側に位置する時は前記液状体受け部と対向する前記ノズルから前記液状体受け部に前記液状体を吐出することを特徴とする。
【００２６】
この吐出方法によれば、ワークの一端に近い場所において液滴吐出ヘッドが液状体受け部に吐出した後、ワークの他端に移動するまでの間、液状体の吐出を停止する。吐出を停止すると放熱するので、液滴吐出ヘッドの温度が下降する。従って、液滴吐出ヘッドが液状体受け部に吐出することにより液滴吐出ヘッドの温度が上昇するときにも、液滴吐出ヘッドが他端に移動するまでの間、液滴吐出ヘッドの温度を下降させることができる。その結果、液滴吐出ヘッドの温度上昇を抑えることができる。
【００２７】
［適用例１０］
上記適用例に係る吐出方法において、前記液滴吐出ヘッドに前記液状体を供給する供給経路を複数有する場合、前記供給経路毎の前記液状体の消費量が略同じ量となるように前記ノズルから前記液状体を吐出することを特徴とする。
【００２８】
この吐出方法によれば、総ての供給経路内において既存の液状体を略同じ消費速度で消費している。従って、液滴吐出ヘッドから吐出する液状体を既存の液状体から新の液状体に略同時に切り換えることができる。
【００２９】
［適用例１１］
上記適用例に係る吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法において、前記液状体は、カラーフィルタ形成材料を含み、前記液状体を塗布した後に成膜することを特徴とする。
【００３０】
このカラーフィルタの製造方法によれば、既存の液状体と新の液状体との切り換えが略同時に行われることから、液状体の切換時に吐出される液状体の吐出量を制御することができる。従って、液状体を用いて形成される膜厚が精度良く形成される為、カラーフィルタを透過する光の色調を品質良く揃えることができる。
【００３１】
［適用例１２］
上記適用例に係る吐出方法を用いた有機ＥＬ装置の製造方法において、前記液状体は、発光素子形成材料を含み、前記液状体を塗布した後に成膜することを特徴とする。
【００３２】
この有機ＥＬ装置の製造方法によれば、既存の液状体と新の液状体との切り換えが略同時に行われることから、液状体の切換時に吐出される液状体の吐出量を制御することができる。従って、発光素子の膜厚が精度良く形成される為、発光素子が発光する特性を品質良く揃えることができる。
【００３３】
［適用例１３］
上記適用例に係る液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドと対向する場所に待機時受け部を備え、前記ワークテーブルから前記ワークを除去するとき及び前記ワークテーブルに前記ワークを載置するときに、前記液滴吐出ヘッドが前記待機時受け部と対向する場所に移動し、前記待機時受け部に前記液状体を吐出することを特徴とする。
【００３４】
この液滴吐出装置によれば、ワークを給除材するとき、液滴吐出ヘッドは待機時受け部に液状体を吐出することができる。そして、消費量の少ない液滴吐出ヘッドから液状体を吐出して、供給経路内における既存の液状体の消費差を調整することができる。
【００３５】
［適用例１４］
上記適用例に係る液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドから前記第１液状体受け部もしくは前記第２液状体受け部に吐出するとき、前記第１液状体受け部と前記第２液状体受け部とのうち少なくとも一方は液状体の吐出方向において前記液滴吐出ヘッドと近い距離に配置されていることを特徴とする。
【００３６】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドから吐出される液状体が第１液状体受け部もしくは第２液状体受け部に衝突するとき、一部が微小な液状体の粒となって跳ね返ることがある。このとき、第１液状体受け部もしくは第２液状体受け部と液滴吐出ヘッドとの隙間を狭くすることにより、微小な液状体の粒が発生し難くすることができる。従って、微小な液状体の粒がワークに付着することを防止することができる。
【００３７】
［適用例１５］
上記適用例に係る吐出方法において、前記走査の方向における前記ワークと隣接する場所に第２液状体受け部を備え、前記液滴吐出ヘッドが前記ワークと対向する場所から前記第２液状体受け部と対向する場所に移動して、前記液滴吐出ヘッドから前記第２液状体受け部に前記液状体を吐出する消費量調整工程をさらに有し、前記供給経路毎の前記液状体の消費量が略同じ量となるように前記ノズルから前記液状体を前記ワーク、前記液状体受け部に吐出することを特徴とする。
【００３８】
この吐出方法によれば、吐出工程に加え消費量調整工程において、供給経路内における既存の液状体の消費量を調整している。従って、各供給経路内における既存の液状体の消費量差を調整し易くすることができる。
【００３９】
［適用例１６］
本適用例に係る吐出方法は、テーブルに載置されたワークと液滴吐出ヘッドとを相対移動させながら前記液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を前記ワークに吐出する吐出方法であって、前記液滴吐出ヘッドは前記液状体が供給される複数の供給経路を備え、前記ワークに前記液状体を吐出して塗布する塗布工程と、前記ワークを前記テーブルから除去もしくは配置する給除材工程と、前記塗布工程において吐出する前記液状体の消費量を前記供給経路毎に演算する吐出量演算工程と、前記液状体の消費量の多い前記供給経路より前記液状体の消費量の少ない前記供給経路に対応する前記ノズルから前記液状体を多く吐出する消費量調整工程と、を有し、前記給除材工程と前記消費量調整工程とは並行して行われることを特徴とする。
【００４０】
この吐出方法によれば、給除材工程と消費量調整工程とが並行して行われる。従って、給除材工程と消費量調整工程とを別に行う場合に比べて、生産性良く各供給経路における液状体の消費量を調整することができる。
【００４１】
［適用例１７］
上記適用例に係る吐出方法において、複数の前記ワークに前記液状体を塗布するとき、１つの前記ワークに対して前記液状体の塗布を開始してから、次の前記ワークに対して前記液状体の塗布を開始するまでの間に、前記供給経路毎の前記液状体の消費量が略同じ量となるように前記ノズルから前記液状体を吐出することを特徴とする。
【００４２】
この吐出方法によれば、１つのワークに塗布する間に各供給経路における液状体の消費量が調整させる。新の液状体の供給を開始した後、既存の液状体が消費されて、新の液状体が供給経路を通過してノズルに到達する。このとき、１つのワークに塗布を開始するタイミングに合わせて、ノズル毎に新の液状体と既存の液状体とが切り換わるように調整される。従って、新の液状体と既存の液状体が１つのワークに両方塗布されることを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、実施形態について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
【００４４】
（第１の実施形態）
本実施形態では、特徴的な液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液滴を吐出し、カラーフィルタを製造する場合の例について図１〜図８に従って説明する。
【００４５】
（カラーフィルタ）
最初に、カラーフィルタ１について図１を用いて説明する。図１（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図であり、図１（ｂ）は、カラーフィルタを示す模式側面図である。カラーフィルタ１は液晶テレビ等の表示装置に用いられ、画像信号に応じた輝度分布をもつ白色光をカラーフィルタ１に通過させることにより、カラー画像を形成するときにカラーフィルタ１が用いられる。図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、カラーフィルタ１はワークとしての基板２を備えている。この基板２は光透過性があり、張力に対して破れ難い強度があればよく、ガラス板、プラスチック板、プラスチックシート等を用いることができる。本実施形態においては、例えば、ガラス板を採用している。基板２の上面にはカラー素子３が縦横並んで配列して形成されている。そして、カラー素子３は赤、青、緑色のカラー素子３により構成され、各色のカラー素子３が列毎に配列して配置されている。図１（ａ）において、左から赤色素子列３ａ、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃの順に配置される。そして、図中に左から右へ、この順番を繰り返して配置されている。
【００４６】
カラー素子３は格子状に形成されたバンク４を備え、バンク４によって矩形に仕切られた場所にカラー膜５が形成されている。赤色素子列３ａのカラー素子３には赤色カラー膜５ａが形成され、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃにはそれぞれ青色カラー膜５ｂ、緑色カラー膜５ｃが形成されている。
【００４７】
（液滴吐出装置）
次に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置８について図２〜図５に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【００４８】
図２は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。図２に示すように、液滴吐出装置８は、直方体形状に形成される基台９を備えている。この基台９の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００４９】
基台９の上面９ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１０ａ，１０ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台９の上側には、一対の案内レール１０ａ，１０ｂに対応する図示しない直動機構を備えたワークテーブルとしてのステージ１１が取付けられている。そのステージ１１の直動機構は、例えば案内レール１０ａ，１０ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転する図示しないＹ軸モータに連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ１１が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動することによりＹ方向に走査するようになっている。このステージ１１が走査する方向を走査の方向とする。
【００５０】
そのステージ１１の上面には、載置面１２が形成され、その載置面１２には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面１２にワークとしての基板２を載置すると、基板チャック機構によって、その基板２が載置面１２の所定位置に位置決め固定されるようになっている。基板２が固定される場所のＸ方向両側には、液滴吐出ヘッドが吐出する液滴を受ける第１液状体受け部としての第１受け部１４が配置されている。そして、第１受け部１４のＹ方向における長さは基板２より長く形成され、基板２は第１受け部１４の両端の間に配置されるようになっている。
【００５１】
基台９のＸ方向両側には、一対の支持台１５ａ，１５ｂが立設され、その一対の支持台１５ａ，１５ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材１６が架設されている。案内部材１６の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１７が配設されている。この機能液はカラー膜５の材料を溶媒もしくは分散媒に溶解もしくは分散した液状体である。カラー膜５は赤色カラー膜５ａ、青色カラー膜５ｂ、緑色カラー膜５ｃと３つの色のカラー膜５を形成するために、収容タンク１７の内部には３つの容器が配置され、各容器には赤色カラー膜５ａ、青色カラー膜５ｂ、緑色カラー膜５ｃに対応する機能液が収容されている。
【００５２】
一方、その案内部材１６の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１８がＸ方向全幅にわたり凸設されている。そして、案内レール１８に沿って移動可能に配置されるテーブルとしてのキャリッジ１９は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１９は、ステージ１１の直動機構と同様な機構を備え、Ｘ方向に走査可能となっている。このキャリッジ１９が走査する方向を走査の方向と直交する方向とする。そして、キャリッジ１９の下面であるヘッド配設面１９ａには、液滴吐出ヘッド２０が凸設されている。
【００５３】
図３（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図である。図３（ａ）に示すように、１つのキャリッジ１９には、液滴吐出ヘッド２０が３個で一つの列に配列して略Ｙ方向に形成され、第１ヘッド列２０ａ、第２ヘッド列２０ｂ、第３ヘッド列２０ｃの列が３列配置されている。各列を構成する３個の液滴吐出ヘッド２０は異なる色の機能液が供給されている。図中上側の行に位置する第１ヘッド行２０ｄの液滴吐出ヘッド２０からは赤色カラー膜５ａの材料となる機能液が供給される。同様に、図中中央の行に位置する第２ヘッド行２０ｅの液滴吐出ヘッド２０からは青色カラー膜５ｂの材料となる機能液が供給され、図中下側の行に位置する第３ヘッド行２０ｆの液滴吐出ヘッド２０からは緑色カラー膜５ｃの材料となる機能液が供給される。そして、液滴吐出ヘッド２０の表面にはノズルプレート２１が配置され、ノズルプレート２１にはノズル２２が複数形成されている。ノズル２２の数は、吐出するパターンと基板２の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート２１にはノズル２２の配列が１列形成され、各列には１５個のノズル２２が配置されている。
【００５４】
図３（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図であり、図３（ａ）に示すキャリッジをＹ方向から見た図である。図３（ｂ）に示すように、キャリッジ１９は、ベース板２３を備えている。ベース板２３の上側には、移動機構２４が配置されており、キャリッジ１９が、案内レール１８に沿って移動するための機構が収納されている。
【００５５】
ベース板２３の下側には支持部２５を介して駆動回路基板２６が配置されている。そして、駆動回路基板２６の下側には駆動制御部としてのヘッド駆動回路２７が配置されている。さらに、ベース板２３には支持部２８を介して、ヘッド取付板２９が配置され、ヘッド取付板２９の下面には液滴吐出ヘッド２０が配置されている。そして、液滴吐出ヘッド２０が配置されたヘッド取付板２９をヘッドユニット３０とする。ヘッド駆動回路２７と液滴吐出ヘッド２０とは、図示しないケーブルにより接続され、ヘッド駆動回路２７が出力する駆動信号が、液滴吐出ヘッド２０に入力されるようになっている。
【００５６】
ベース板２３の下側には液滴吐出ヘッド２０と同数の供給経路としての供給装置３１が配置され、収容タンク１７と供給装置３１との間は、図示しないチューブにより接続されている。そして、供給装置３１と液滴吐出ヘッド２０との間は、供給経路としてのチューブ３２により接続されている。そして、収容タンク１７から供給される機能液が、供給装置３１により液滴吐出ヘッド２０に供給されるようになっている。このチューブ３２、供給装置３１、収容タンク１７と供給装置３１との間のチューブ、液滴吐出ヘッド２０内を機能液が流れる流路等から供給経路が構成されている。
【００５７】
図３（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図３（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズルプレート２１を備え、ノズルプレート２１には、ノズル２２が形成されている。ノズルプレート２１の上側であって、ノズル２２と対向する位置には、ノズル２２と連通する圧力室としてのキャビティ３３が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド２０のキャビティ３３には、供給装置３１に貯留されている液状体としての機能液３４がチューブ３２及び図示しない流路を介して供給される。
【００５８】
キャビティ３３の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ３３内の容積を拡大縮小する振動板３５と、上下方向に伸縮して振動板３５を振動させる駆動部としての圧電素子３６が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド２０が圧電素子３６を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子３６が伸張して、振動板３５がキャビティ３３内の容積を拡大縮小してキャビティ３３を加圧する。その結果、液滴吐出ヘッド２０のノズル２２からは、縮小した容積分の機能液３４が液滴３７として吐出される。この液滴吐出ヘッド２０において、ノズル２２、キャビティ３３、振動板３５、圧電素子３６等により液滴吐出素子３８が構成され、１つの液滴吐出ヘッド２０には複数の液滴吐出素子３８が配列して形成されている。
【００５９】
図４は、ステージを示す模式断面図である。図４（ａ）に示すように、ステージ１１はステージ本体４１を備え、ステージ本体４１のＸ方向両端に近い場所には凹状に形成された受皿４２が配置されている。ステージ本体４１の上部であって、基板２が配置される場所と対向する場所には配管４３が形成され、配管４３は図示しないチューブ、電磁弁等を介して真空タンクに接続されている。配管４３はステージ本体４１の内部をＸ方向及びＹ方向に延在して配置され、Ｚ方向に配置される複数の配管４３ａを通してステージ本体４１の上面４１ａと接続されている。
【００６０】
受皿４２のＺ方向には、受皿４２に蓋をするように液吸収部４４が配置されている。液吸収部４４は多孔質の材料により形成され、ウレタン等のプラスチックを発泡形成した材料や繊維を束ねて形成されたマット等を用いることができる。そして、ステージ本体４１の上面４１ａには、載置板４５が配置され、載置板４５において受皿４２と対向する場所には受部孔４５ａが形成されている。液吸収部４４の周囲をステージ本体４１と載置板４５とで挟んで固定し、液吸収部４４の中央が露出するように配置されている。そして、液滴吐出ヘッド２０から吐出される液滴３７が液吸収部４４へ着弾可能になっている。Ｚ方向において、液吸収部４４は液滴吐出ヘッド２０と近い距離に配置され、吐出される液滴３７が液吸収部４４に跳ね返り難くなっている。
【００６１】
載置板４５においてステージ本体４１の配管４３ａと対向する場所には吸引孔４５ｂが配置され、配管４３ａと吸引孔４５ｂとが連通して配置されている。そして、載置板４５の上面である載置面１２に基板２を配置した後、配管４３内の気圧を下げることにより、基板２が載置面１２に吸着される基板チャック機構になっている。
【００６２】
基板２を載置面１２に配置するとき、基板２のＸ方向の端部２ａは第１受け部１４の受部孔４５ａに突き出して配置されるので、基板２と第１受け部１４とが隣接して配置されるようになっている。
【００６３】
図４（ａ）は、液滴吐出ヘッド２０が液滴３７を吐出するとき、液滴吐出ヘッド２０が最もＸ方向の逆方向の位置に移動している状態を示している。図４（ｂ）は、液滴吐出ヘッド２０が液滴３７を吐出するとき、液滴吐出ヘッド２０が最もＸ方向の位置に移動している状態を示している。そして、吐出可能範囲４６は液滴吐出ヘッド２０が移動して吐出できる範囲を示している。一方、基板２を配置する場所と第１受け部１４とを合わせた場所を着弾可能範囲４７とする。このとき、吐出可能範囲４６は着弾可能範囲４７の内側に配置されている。
【００６４】
図５は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図５において、液滴吐出装置８の制御装置５０はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）５１と各種情報を記憶するメモリ５２とを有する。
【００６５】
主走査駆動装置５３、副走査駆動装置５４、液滴吐出ヘッド２０を駆動するヘッド駆動回路２７は、入出力インターフェース５５及びデータバス５６を介してＣＰＵ５１に接続されている。さらに、入力装置５７、ディスプレイ装置５８も入出力インターフェース５５及びデータバス５６を介してＣＰＵ５１に接続されている。
【００６６】
主走査駆動装置５３はステージ１１の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置５４はキャリッジ１９の移動を制御する装置である。主走査駆動装置５３がステージ１１の移動を制御し、副走査駆動装置５４がキャリッジ１９の移動を制御することにより、液滴吐出ヘッド２０を基板２に対して所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。
【００６７】
入力装置５７は液滴３７を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板２に液滴３７を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ装置５８は加工条件や作業状況を表示する装置であり、ディスプレイ装置５８に表示される情報を基に、操作者は入力装置５７を用いて操作を行う。
【００６８】
メモリ５２は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置８における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５９を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板２内における吐出位置の座標データである吐出位置データ６０を記憶するための記憶領域も設定される。さらに、吐出した機能液３４の量を示す消費量データ６１を記憶するための記憶領域も設定される。他にも、基板２を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１９を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ５１のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【００６９】
ＣＰＵ５１はメモリ５２内に記憶されたプログラムソフト５９に従って、基板２における表面の所定位置に機能液３４を液滴３７にして吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、液滴吐出ヘッド２０において液滴３７を吐出するための演算を行う吐出演算部６２等を有する。吐出演算部６２を詳しく分割すれば、吐出演算部６２は基板２を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部６３を有する。加えて、吐出演算部６２は液滴吐出ヘッド２０を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査移動量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部６４を有する。さらに、吐出演算部６２は液滴吐出ヘッド２０内に複数あるノズルの内、どのノズルを作動させて機能液３４を吐出するかを制御するための演算を行う吐出制御演算部６５や、液滴吐出ヘッド２０毎に吐出した液滴３７の量を演算する吐出量演算部６６等といった各種の機能演算部を有する。
【００７０】
（塗布方法）
次に、上述した液滴吐出装置８を使って、基板２に機能液３４を吐出して塗布する塗布方法について図６〜図８にて説明する。図６は、基板に機能液を塗布する製造工程を示すフローチャートである。図７及び図８は、基板に塗布する方法を説明する図である。
【００７１】
ステップＳ１は吐出量演算工程に相当し、基板に吐出する液滴のパターンを用いて各液滴吐出ヘッドが吐出する量を演算する。そして、各液滴吐出ヘッドが吐出する量を略同じ量にするために、各液滴吐出ヘッドが第１受け部に吐出する量を演算する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は給材工程に相当し、液滴吐出装置に基板を配置した後位置決めする工程である。次にステップＳ３及びステップＳ４に移行する。このステップＳ３及びステップＳ４は並行して行われる工程である。ステップＳ３は塗布工程に相当し、基板に機能液の液滴を吐出して塗布する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ４は消費量調整工程に相当し、第１受け部に機能液の液滴を吐出して、各液滴吐出ヘッドが吐出する量を略同じ量にする工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は除材工程に相当し、機能液を塗布された基板を液滴吐出装置から移動する工程である。以上で、基板に機能液を塗布する製造工程を終了する。
【００７２】
次に、図７及び図８を用いて、図６に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから基板に機能液を吐出して塗布する製造方法を詳細に説明する。図７はステップＳ１に対応する図である。図７（ａ）は基板を液滴吐出ヘッドが通るパスを説明する図であり、図７（ｂ）及び図７（ｃ）は、各液滴吐出ヘッドの吐出回数の分布を示す図である。
【００７３】
図７（ａ）に示すように、ステージ１１を３往復する塗布経路６９に従って、１枚の基板２を塗布するときの例を示す。往復回数は基板２の幅と液滴吐出ヘッド２０が一回の走査で塗布できる幅により決定されるものであり、適切な回数を設定するのが望ましい。まず、第１往路６９ａにおいて、液滴吐出ヘッド２０の総てのノズル２２を活用して吐出を行う。次に、第１往路６９ａで塗布されなかった場所を第１復路６９ｂにて塗布する。つまり、図３（ａ）に示す液滴吐出ヘッド２０の配列において、各列の間はノズル２２が配置されていないので、第１往路６９ａでは塗布することができない。その場所を第１復路６９ｂにて塗布する。
【００７４】
同様に第２往路６９ｃ、第２復路６９ｄ及び第３往路６９ｅの吐出を行う。次に第３復路６９ｆの吐出を行う。このとき、第３ヘッド列２０ｃの液滴吐出ヘッド２０は一部が基板２よりＸ方向に位置するので、機能液３４の吐出量が他の液滴吐出ヘッド２０より少なくなる。
【００７５】
図７（ｂ）において、縦軸は各液滴吐出ヘッド２０から吐出される吐出回数７０を示し、横軸は吐出ヘッド列７１を示している。そして、図に示すように、第１ヘッド列２０ａ及び第２ヘッド列２０ｂの吐出回数７０回数に比べて、第３ヘッド列２０ｃの吐出回数７０が少なくなっている。図７（ｃ）において、縦軸と横軸は図７（ｂ）と同じになっている。そして、第１ヘッド列２０ａ及び第２ヘッド列２０ｂの吐出回数７０から第３ヘッド列２０ｃの吐出回数７０を減算した吐出回数７０を調整回数７３とする。
【００７６】
図８（ａ）及び図８（ｂ）はステップＳ２に対応する図である。図８（ａ）に示すように、基板２をステージ１１の載置面１２と対向する場所に移動して、載置面１２上に載置する。この基板２にはバンク４が形成されている。バンク４は感光性樹脂を基板２に塗布した後、バンク４のパターン形状のマスクを用いて露光し、現像して形成される。この工程は公知の装置、方法によって形成されるので、その製造方法の説明は省略する。そして、基板チャック機構を用いて基板２を載置面１２に固定する。その結果、図８（ｂ）に示すように、基板２がステージ１１に固定される。
【００７７】
図８（ｃ）はステップＳ３に対応する図である。図８（ｃ）に示すように、ステージ１１とキャリッジ１９とを移動することにより液滴吐出ヘッド２０と基板２とを相対移動させながら、液滴吐出ヘッド２０から液滴３７を吐出する。そして、基板２上の所定のパターンに機能液３４を塗布する。このとき、図７（ａ）に示す第１往路６９ａ〜第３往路６９ｅに従ってステージ１１及びキャリッジ１９を移動させる。
【００７８】
図８（ｄ）はステップＳ４に対応する図である。図８（ｄ）に示すように、第３復路６９ｆにおいて第３ヘッド列２０ｃの液滴吐出ヘッド２０が第１受け部１４と対向する場所に位置する。そして、液滴吐出ヘッド２０から調整回数７３の吐出を行う。このとき、第１受け部１４は基板２の長さより長く形成されており、第１ヘッド列２０ａ及び第２ヘッド列２０ｂの液滴吐出ヘッド２０が吐出する間に第３ヘッド列２０ｃの液滴吐出ヘッド２０から液滴３７を吐出する。そして、第３ヘッド列２０ｃの液滴吐出ヘッド２０は第１ヘッド列２０ａ及び第２ヘッド列２０ｂの液滴吐出ヘッド２０の吐出と同期して吐出する。従って、１枚の基板２を塗布する間に各供給経路における機能液３４の消費量差が略同じ量となるように調整される。
【００７９】
図８（ｅ）はステップＳ５に対応する図である。図８（ｅ）に示すように、基板チャック機構を解除して、基板２を載置面１２から持ち上げる。そして、基板２を液滴吐出装置８から移動する。以上の工程により基板に機能液を塗布する製造工程を終了する。その後、基板２に塗布された機能液３４を乾燥することにより、機能液３４を固化してカラー膜５を形成する。以上の工程によりカラーフィルタ１が完成する。
【００８０】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ４において、基板２と対向する場所の液滴吐出ヘッド２０も第１受け部１４と対向する場所の液滴吐出ヘッド２０も機能液３４を消費することから、総ての液滴吐出ヘッド２０の供給経路内において機能液３４を消費することができる。従って、新しい機能液３４を収容タンク１７に供給するとき、各液滴吐出ヘッド２０における機能液３４の入れ替えを略同じに行うことができる。
【００８１】
（２）本実施形態によれば、基板２の両側に第１受け部１４を備えている為、液滴吐出ヘッド２０は基板２の両端において、基板２と対向しない場所の液滴吐出ヘッド２０も機能液３４を消費することができる。
【００８２】
（３）本実施形態によれば、第１受け部１４に吐出する液滴吐出ヘッド２０は、基板２に吐出する液滴吐出ヘッド２０と同期して吐出している。このとき、基板２と対向する場所のノズル２２の数に限定されずに、所定の数のノズル２２から機能液３４を吐出することができる。液滴吐出ヘッド２０は、同時に機能液３４を吐出するノズル２２の数が変動しない方が、変動するときに比べて吐出量を安定して吐出することができる。従って、この液滴吐出装置８は吐出量を安定して吐出することができる。
【００８３】
（４）本実施形態によれば、液滴吐出ヘッド２０が吐出可能な範囲は、第１受け部１４及び基板２の内側となっている。従って、液滴吐出ヘッド２０から機能液３４を吐出するとき、吐出される機能液３４は第１受け部１４又は基板２に吐出される。従って、ステージ１１に機能液３４が付着し難くなっている為、ステージ１１が機能液３４により汚れることを防ぐことができる。
【００８４】
（５）本実施形態によれば、Ｚ方向において、第１受け部１４と近い距離に液滴吐出ヘッド２０が配置されていることから、液吸収部４４から微小な機能液３４の粒が跳ね返り難くなっている。従って、微小な液状体の粒が基板２に付着することを防止することができる。
【００８５】
（６）本実施形態によれば、ステップＳ１において、調整回数７３を演算してステップＳ４にて第３ヘッド列２０ｃの液滴吐出ヘッド２０から第１受け部１４に吐出している。そして、総ての供給経路内における機能液３４を略同じ消費速度で消費している。従って、液滴吐出ヘッド２０から吐出する機能液３４を既存の機能液３４から新の機能液３４に略同時に切り換えることができる。
【００８６】
（７）本実施形態によれば、１つの基板２に機能液３４を塗布する間に各供給経路における機能液３４の消費量差が略同じ量となるように調整させる。従って、収容タンク１７の機能液３４を交換した後、既存の機能液３４と新の機能液３４とが両方塗布される基板２が２つ以上連続することを防止することができる。
【００８７】
（８）本実施形態によれば、ステップＳ４において、基板２と対向する場所に位置していない液滴吐出ヘッド２０は第１受け部１４に吐出することができる。従って、ノズル２２から機能液３４の溶媒又は分散媒が揮発することにより、ノズル２２が目詰まりすることを防止することができる。
【００８８】
（第２の実施形態）
次に、液滴吐出装置の一実施形態について図９の液滴吐出装置の概略斜視図及び図１０の吐出方法を説明する図を用いて説明する。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、図２に示した第１受け部１４がＹ方向の一部に配置されている点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００８９】
すなわち、本実施形態では、図９に示したように液滴吐出装置７５はステージ７６を備え、ステージ７６には第１液状体受け部としての第１受け部７７が基板２のＹ方向における端部２ｂの近くに４箇所配置されている。そして、第１液状体受け部としての第１受け部７７ａ〜第１受け部７７ｄが第１受け部７７となっている。Ｘ方向における基板２に対する第１受け部７７ａと第１受け部７７ｃの２つの第１受け部７７の位置は第１の実施形態の第１受け部１４と略同じに配置されている。同様に、Ｘ方向における基板２に対する第１受け部７７ｂと第１受け部７７ｄの２つの第１受け部７７の位置も第１の実施形態の第１受け部１４と略同じに配置されている。また、Ｙ方向における第１受け部７７ａの端からＹ方向の逆方向の第１受け部７７ｂの端までの距離は第１の実施形態の第１受け部１４と略同じに形成されている。同様に、Ｙ方向における第１受け部７７ｃの端からＹ方向の逆方向の第１受け部７７ｄの端までの距離は第１の実施形態の第１受け部１４と略同じに形成されている。
【００９０】
図１０は第１の実施形態におけるステップＳ４に対応する図である。図１０（ａ）に示すように、第３復路６９ｆにおいて第３ヘッド列２０ｃの液滴吐出ヘッド２０が第１受け部７７ｄと対向する場所に位置するとき、液滴吐出ヘッド２０から第１受け部７７ｄに調整回数７３の吐出を行う。そして、図１０（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０が第１受け部７７ｄと対向する場所から移動するとき、液滴吐出ヘッド２０からの吐出を停止する。このとき、図１０（ｃ）に示すように、第１ヘッド列２０ａ及び第２ヘッド列２０ｂの液滴吐出ヘッド２０から基板２に液滴３７を吐出する。
【００９１】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、基板２の一端の近くに第１受け部７７を備えている。そして、液滴吐出ヘッド２０は第１受け部７７ｄに吐出した後、基板２の端部２ｂに移動するまでの間、液滴３７の吐出を停止している。液滴吐出ヘッド２０は液滴３７を吐出するとき液滴吐出ヘッド２０に供給されるエネルギにより過熱されるので、液滴吐出ヘッド２０の温度が上昇する。そして、吐出を停止すると放熱するので、液滴吐出ヘッド２０の温度が下降する。従って、液滴吐出ヘッド２０が第１受け部７７ｄに吐出することにより液滴吐出ヘッド２０の温度が上昇するときにも、液滴吐出ヘッド２０が端部２ｂに移動するまでの間、液滴吐出ヘッドの温度を下降させることができる。その結果、液滴吐出ヘッド２０の温度上昇を抑えることができる。
【００９２】
（第３の実施形態）
次に、液滴吐出装置の一実施形態について図１１の液滴吐出装置の概略斜視図及び図１２の吐出方法を説明する図を用いて説明する。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、図２に示した第１受け部１４に加え、基板２のＹ方向において基板２と接する場所に第２受け部が配置されている点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００９３】
すなわち、本実施形態では、図１１に示したように液滴吐出装置７９はステージ８０を備え、ステージ８０には第１液状体受け部としての第１受け部８２が基板２のＸ方向の逆方向における端部２ａの近くに配置され、第１液状体受け部としての第１受け部８３が基板２のＸ方向における端部２ａの近くに配置されている。さらに、第２液状体受け部としての第２受け部８４が基板２のＹ方向における端部２ｂの近くに配置され、第２液状体受け部としての第２受け部８５が基板２のＹ方向の逆方向における端部２ｂの近くに配置されている。Ｘ方向における基板２に対する第１受け部８２と第１受け部８３との位置は第１の実施形態の第１受け部１４と略同じに配置されている。第２受け部８４及び第２受け部８５のＸ方向の長さは、第１受け部８２と基板２と第１受け部８３とが占める長さと同じ長さに形成されている。そして、第２受け部８４及び第２受け部８５のＹ方向の幅は、第１ヘッド行２０ｄのノズル２２と第３ヘッド行２０ｆのノズル２２との距離より長く形成されている。従って、液滴吐出ヘッド２０から液滴３７を吐出するとき、液滴３７は基板２、第１受け部８２、第１受け部８３、第２受け部８４、第２受け部８５のいずれかに着弾するようになっている。
【００９４】
図１２は第１の実施形態におけるステップＳ４に対応する図である。図１２（ａ）に示すように、基板２に塗布する前に液滴吐出ヘッド２０を第２受け部８４と対向する場所に移動させて、液滴吐出ヘッド２０から第２受け部８４に液滴３７を吐出する。そして、図１２（ｂ）に示すように、第３復路６９ｆにおいて第３ヘッド列２０ｃの液滴吐出ヘッド２０が第１受け部８３と対向する場所に位置するとき、液滴吐出ヘッド２０から第１受け部８３に吐出を行う。そして、図１２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０が第２受け部８５と対向する場所に移動するとき、液滴吐出ヘッド２０から第２受け部８５に吐出する。この工程において、第３ヘッド列２０ｃの液滴吐出ヘッド２０から吐出する回数は第１ヘッド列２０ａ及び第２ヘッド列２０ｂの液滴吐出ヘッド２０が吐出する回数より調整回数７３だけ多く吐出することにより、液滴吐出ヘッド２０の各列における吐出量の差が略同じになるように調整する。
【００９５】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、第１受け部８２及び第１受け部８３に加え、第２受け部８４及び第２受け部８５にノズル２２から液滴３７を吐出することができる。そして、各液滴吐出ヘッド２０につながる各供給経路内における機能液３４の消費量差を調整することができる。
【００９６】
（第４の実施形態）
次に、液滴吐出装置の一実施形態について図１３の液滴吐出装置の概略斜視図及び図１４の基板に機能液を塗布する製造工程を示すフローチャートを用いて説明する。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、図２に示した第１受け部１４に加え、待機時受け部が配置されている点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００９７】
すなわち、本実施形態では、図１３に示したように液滴吐出装置８８は基台９のＸ方向の逆方向に保守台８９を備え、保守台８９の上面に待機時受け部９０が配置されている。そして、キャリッジ１９がＸ方向の逆方向に移動するとき、キャリッジ１９が待機時受け部９０と対向する場所に位置するように配置されている。この待機時受け部９０は第１受け部１４と同様の構造に形成され、待機時受け部９０のＸＹ方向の大きさはキャリッジ１９より大きく形成されている。そして、キャリッジ１９に配置されている総ての液滴吐出ヘッド２０から液滴３７を吐出するとき、総ての液滴３７が待機時受け部９０に着弾することが可能になっている。
【００９８】
次に、基板２に機能液３４を吐出して塗布する塗布方法について説明する。図１４におけるステップＳ１〜ステップＳ５については第１の実施形態と同じであり説明を省略する。ステップＳ１の次にステップＳ６に移行する。このステップＳ６はステップＳ２と並行して行われる。ステップＳ６は消費量調整工程に相当し、キャリッジ１９を待機時受け部９０と対向する場所に移動する。そして、液滴吐出ヘッド２０から待機時受け部９０に液滴３７を吐出する工程である。このとき、第３ヘッド列２０ｃの液滴吐出ヘッド２０は第１ヘッド列２０ａ及び第２ヘッド列２０ｂの液滴吐出ヘッド２０より多い吐出回数の吐出を行う。次にステップＳ３及びステップＳ４を経てステップＳ７に移行する。このステップＳ７はステップＳ５と並行して行われる。ステップＳ７は消費量調整工程に相当し、キャリッジ１９を待機時受け部９０と対向する場所に移動する。そして、液滴吐出ヘッド２０から待機時受け部９０に液滴３７を吐出する工程である。このとき、第３ヘッド列２０ｃの液滴吐出ヘッド２０は第１ヘッド列２０ａ及び第２ヘッド列２０ｂの液滴吐出ヘッド２０より多い吐出回数の吐出を行う。そして、ステップＳ３、Ｓ４、Ｓ６、Ｓ７の工程において、各液滴吐出ヘッド２０が吐出する回数が同じ回数になるように吐出する。以上で、基板に機能液を塗布する製造工程を終了する。
【００９９】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、基板２を給除材するとき、液滴吐出ヘッド２０は待機時受け部９０に機能液３４を吐出することができる。そして、消費量の少ない液滴吐出ヘッド２０から機能液３４を吐出して、供給経路内における既存の機能液３４を消費することができる。
【０１００】
（２）本実施形態によれば、給材工程及び除材工程と消費量調整工程とが並行して行われる。従って、給除材工程と消費量調整工程とを別に行う場合に比べて、生産性良く各供給経路における機能液３４の消費量を調整することができる。
【０１０１】
（第５の実施形態）
次に、上記の塗布方法を応用して有機ＥＬ装置（ＥＬＥＣＴＲＯ  ＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥ）を製造する一実施形態について図１５を用いて説明する。
【０１０２】
まず、電気光学装置の一つである有機ＥＬ装置について説明する。図１５は、有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【０１０３】
図１５に示すように、光学素子基板及び電気光学装置としての有機ＥＬ装置９３は、基板９４を備えている。基板９４の上側には、絶縁膜９５が形成されている。絶縁膜９５上には、コンタクト電極９６がマトリクス状に形成され、各コンタクト電極９６と隣接する場所には、スイッチング機能を有する半導体としてのＴＦＴ素子９７が形成されている。そして、ＴＦＴ素子９７のドレイン端子にコンタクト電極９６が接続されている。
【０１０４】
各コンタクト電極９６及びＴＦＴ素子９７を囲むように、配線としての走査線９８及び配線としてのデータ線９９が格子状に形成されている。そして、走査線９８は、ＴＦＴ素子９７のゲート端子と接続され、データ線９９は、ＴＦＴ素子９７のソース端子と接続されている。
【０１０５】
そして、コンタクト電極９６、ＴＦＴ素子９７、走査線９８、データ線９９等からなる素子層１００が形成されている。素子層１００の上側には、絶縁膜１０１が形成され、絶縁膜１０１の上側には、隔壁部１０２が格子状に形成されている。
【０１０６】
隔壁部１０２により形成される凹状領域の各底部には、電極としての画素電極１０３が形成され、画素電極１０３は、コンタクト電極９６と電気的に接続されている。画素電極１０３の上面には、発光素子としての正孔輸送層１０４が形成され、正孔輸送層１０４の上面には、発光素子としての発光層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂが形成されている。そして、正孔輸送層１０４と発光層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂとにより発光素子としての機能層１０６が形成されている。
【０１０７】
発光層１０５Ｒは、赤色を発光する有機発光材料等により構成された発光層であり、発光素子としての発光層１０５Ｇは、緑色を発光する有機発光材料等により構成された発光層である。同様に、発光素子としての発光層１０５Ｂは、青色を発光する有機発光材料等により構成された発光層である。
【０１０８】
機能層１０６及び隔壁部１０２の上側全面に渡って、光透過性を有する導電性材料等からなる電極としての陰極１０７が形成されている。本実施形態においては、陰極１０７は、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ：インジウムスズ酸化物）を採用している。
【０１０９】
陰極１０７の上面には、光透過性を有する材料等からなる封止膜１０８が形成され、陰極１０７及び機能層１０６が空気中の酸素により酸化されることを防止している。
【０１１０】
画素電極１０３と陰極１０７との間に電圧を印加するとき、正孔輸送層１０４は、正孔のみを流動する。そして、発光層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂは、正孔輸送層１０４から供給される正孔と陰極１０７から供給される電子とが、合体するときのエネルギにより、発光する性質を持っている。ＴＦＴ素子９７は、スイッチング動作を行い、機能層１０６にかける電圧をコントロールすることにより、発光層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂが発光する光量を制御する。このように、発光層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂが発光する光量を制御することにより、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。
【０１１１】
画素電極１０３は、ＴＦＴ素子９７のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線９９から供給される画素信号が各画素電極１０３に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極１０３に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、陰極１０７と画素電極１０３との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、発光層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂが発光する光量が変化する。
【０１１２】
画素電極１０３の表面に正孔輸送層１０４を形成する工程において、第１の実施形態における塗布方法を用いる。具体的には、液滴吐出装置８を用いて、この正孔輸送層の材料液を画素電極１０３の表面に吐出して塗布する。その後、乾燥して固化することにより正孔輸送層１０４を形成する。
【０１１３】
このとき、第１の実施形態における塗布工程と消費量調整工程とを並行して行う。つまり、各液滴吐出ヘッド２０が消費する正孔輸送層の材料液を略同じ量にする。
【０１１４】
さらに、正孔輸送層１０４の表面に発光層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂを形成する工程において、第１の実施形態における乾燥方法を用いる。具体的には、液滴吐出装置８を用いて、この発光層の材料液を正孔輸送層１０４の表面に吐出して塗布する。その後、乾燥して固化することにより発光層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂを形成する。
【０１１５】
このとき、第１の実施形態における塗布工程と消費量調整工程とを並行して行う。つまり、各液滴吐出ヘッド２０が消費する発光層の材料液を略同じ量にする。
【０１１６】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、正孔輸送層１０４及び発光層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂを製造する工程において、第１の実施形態における吐出方法を用いることにより、正孔輸送層１０４、発光層１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂの膜厚を品質良く製造することができる。そして、膜厚の品質が良くなることにより、発光する光の色調を良くすることができる。さらに、膜厚の品質が良くなることにより、膜内の電流密度を均等にすることができる為、寿命を長くすることができる。
【０１１７】
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態では、ステップＳ１において調整回数７３を演算した後、ステップＳ２において基板２を載置面１２に給材したが、工程の順番を逆にしても良い。つまり、ステップＳ２の給材工程の後にステップＳ１を行っても良い。調整回数７３の演算はステップＳ４を行う前であれば良い。また、同じパターンの塗布を行う場合は、調整回数７３の演算を１回行う。そして、その演算結果を用いて、複数回の塗布を行っても良い。調整回数７３の演算を行う回数を減らすことができるので、生産性良く塗布することができる。この内容については、前記第２の実施形態〜前記第５の実施形態においても同様に適応することができる。
【０１１８】
（変形例２）
前記第１の実施形態において、１つの色の機能液３４を３つの液滴吐出ヘッド２０から吐出して塗布していた。各色毎に吐出する液滴吐出ヘッド２０は１つにしても良い。そして、１つの液滴吐出ヘッド２０に供給するチューブ３２を複数配置しても良い。この場合にも、各チューブ３２と各チューブ３２に連通するノズル２２とを関連づけて、チューブ３２毎に吐出するノズル２２の調整回数７３を演算して、消費量を調整しても良い。液滴吐出ヘッド２０の形態に合わせて対応することができる。この内容については、前記第２の実施形態〜前記第５の実施形態においても同様に適応することができる。
【０１１９】
（変形例３）
前記第１の実施形態において、ステージ１１に回転機構を付加しても良い。ステージ１１の進行方向と基板２におけるバンク４のパターンとを合わせることができる。このとき、ステージ１１が回転するときにも、液滴吐出ヘッド２０が吐出する液滴３７が基板２もしくは第１受け部１４に着弾するように、第１受け部１４におけるＸ方向の幅を広く設定した方が良い。載置面１２に機能液３４が付着して汚れることを防止することができる。この内容については、前記第２の実施形態〜前記第５の実施形態においても同様に適応することができる。
【０１２０】
（変形例４）
前記第１の実施形態において、Ｘ方向の案内レール１８には１つのキャリッジ１９が配置されていたが、複数のキャリッジ１９を配置しても良い。この場合にも、供給経路毎に機能液３４の消費量を調整することにより、消費量差を小さくすることができる。この内容については、前記第２の実施形態〜前記第５の実施形態においても同様に適応することができる。
【０１２１】
（変形例５）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタは基板２単体に形成したが、電気光学装置に組み込まれた基板にカラー素子３を配置しても良い。電気光学装置としては、例えば、液晶表示装置やプラズマディスプレイ、真空蛍光ディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等に応用することができる。そして電気光学装置に組み込まれた基板に機能液３４を塗布してカラー素子３を形成しても良い。機能液３４の切り換えに伴う膜厚不良を少なくすることができる。
【０１２２】
（変形例６）
前記第１の実施形態において、基板２に機能液３４を塗布したが、基板２に限らずシートや凹凸のある構造物に塗布するときにも上記の方法を用いて塗布することができる。また、基板２は長方形に形成されていたが、基板２は多角形や丸形状でも良い。この場合にも上記の方法と同様の効果を得ることができる。
【０１２３】
（変形例７）
前記第１の実施形態において、キャビティ３３を加圧する加圧手段に、圧電素子３６を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板３５を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ３３内にヒータ配線を配置して、ヒータ配線を加熱することにより、機能液３４を気化させたり、機能液３４に含む気体を膨張させたりして加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板３５を変形させて、加圧しても良い。この内容については、前記第２の実施形態〜前記第５の実施形態においても同様に適応することができる。
【０１２４】
（変形例８）
前記第１の実施形態において、１つ収容タンク１７からチューブ３２を介して液滴吐出ヘッド２０に機能液３４が供給されたが、収容タンク１７を複数配置しても良い。その場合にも収容タンク１７毎の消費量を調整しても良い。この場合にも上記の方法と同様の効果を得ることができる。
【０１２５】
（変形例９）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタ１は同じ色のカラー素子３が直線状に配列するストライプ状のフィルタであるが、カラー素子３の配列はデルタ配置、モザイク配置等の配列にも採用することができる。
【０１２６】
（変形例１０）
前記第１の実施形態において、カラーフィルタ１は３色のカラー素子３が配置されているが、３色に限らず、２色もしくは４色以上の色の場合にも適用することができる。
【０１２７】
（変形例１１）
前記第２の実施形態において、第１受け部７７ｄに機能液３４を吐出して消費量を調整したが、塗布経路６９に応じて機能液３４を吐出する場所を第１受け部７７ａ〜第１受け部７７ｃに変更しても良い。さらに、複数の第１受け部７７に吐出しても良い。塗布する順序を設計し易くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２８】
【図１】第１の実施形態に係り、（ａ）は、カラーフィルタを示す模式平面図、（ｂ）は、カラーフィルタを示す模式側面図。
【図２】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図３】（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図、（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図４】ステージを示す模式断面図。
【図５】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図６】基板に機能液を塗布する製造工程を示すフローチャート。
【図７】（ａ）は基板を液滴吐出ヘッドが通るパスを説明する図、（ｂ）及び（ｃ）は、各液滴吐出ヘッドの吐出回数の分布を示す図。
【図８】基板に塗布する方法を説明する図。
【図９】第２の実施形態に係る液滴吐出装置の概略斜視図。
【図１０】吐出方法を説明する図。
【図１１】第３の実施形態に係る液滴吐出装置の概略斜視図。
【図１２】吐出方法を説明する図。
【図１３】第４の実施形態に係る液滴吐出装置の概略斜視図。
【図１４】基板に機能液を塗布する製造工程を示すフローチャート。
【図１５】第５の実施形態に係る有機ＥＬ装置の構造を示す概略分解斜視図。
【符号の説明】
【０１２９】
１…カラーフィルタ、２…ワークとしての基板、８，７５，７９，８８…液滴吐出装置、１１…ワークテーブルとしてのステージ、１４，７７，７７ａ，７７ｂ，７７ｃ，７７ｄ，８２，８３…第１液状体受け部としての第１受け部、１９…テーブルとしてのキャリッジ、２０…液滴吐出ヘッド、２２…ノズル、３１…供給経路としての供給装置、３２…供給経路としてのチューブ、３４…液状体としての機能液、８４，８５…第２液状体受け部としての第２受け部、９０…待機時受け部、９３…有機ＥＬ装置、１０４…発光素子としての正孔輸送層、１０５Ｂ，１０５Ｇ，１０５Ｒ…発光素子としての発光層、１０６…発光素子としての機能層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2009160540.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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