(57)【要約】【課題】製造装置を大型化することなく基板に対して表示パネルを合理的に配置しつつも、画素内において蒸着膜の必要膜厚が確保された実効画素領域を広く確保することができ、これにより低コストで表示特性の良好な表示装置を得ることが可能な製造方法を提供する。【解決手段】開口パターン３ａを備えた蒸着マスク３と長尺状のライン蒸着源１とを用いて基板５の画素ａ上に蒸着パターンを形成する表示装置の製造方法において、基板５上における表示パネル領域Ｐの配置方向に係わりなく、ライン蒸着源１の長手方向に開口パターン３ａおよび画素ａの長辺方向をそれぞれ一致させるように蒸着マスク３と基板５とを配置する。蒸着源５に対して基板５と蒸着マスク３とを相対的に移動させることにより、蒸着パターンを各画素ａに形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口パターンを備えた蒸着マスクと長尺状の蒸着源とを用いて基板の画素上に蒸着パターンを形成する表示装置の製造方法において、
前記基板上における表示パネル領域の配置方向に係わりなく、前記蒸着源の長手方向に前記開口パターンおよび画素の長辺方向をそれぞれ一致させるように前記蒸着マスクと前記基板とを配置する工程と、
当該蒸着源に対して当該基板と蒸着マスクとを相対的に移動させることにより、前記蒸着パターンを前記各画素に形成する工程とを有する
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の表示装置の製造方法において、
前記基板上に、複数の前記表示パネル領域を配置する
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項３】
請求項２記載の表示装置の製造方法において、
前記表示パネル領域は矩形形状であり、
前記表示パネル領域の少なくとも１つは、前記基板の移動方向に短辺方向を一致させて当該基板上に配置される
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項４】
請求項１記載の表示装置の製造方法において、
前記基板上には、当該基板の移動方向に矩形形状の短辺方向を一致させた複数の前記表示パネル領域が、当該基板の移動方向に配列される
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項５】
請求項１記載の表示装置の製造方法において、
前記蒸着パターンとして、有機発光機能層をパターン形成する
ことを特徴とする表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、行列状に配列された複数の画素に対してマスク蒸着によるパターン成膜を行う表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機電界発光素子を配列形成してなる表示装置の製造においては、ＲＧＢの各色に対応する有機発光材料を蒸着法によって基板上に塗り分ける際、各画素に対応した複数の開口を有するメタルマスクを用いる、いわゆるマスク蒸着法が一般的に行われている。
【０００３】
図９の斜視図および図１０の側方図には、このようなマスク蒸着法の一例を示す。これらの図に示すマスク蒸着法は、大型の基板に対して面内均一な成膜を行うことを目的とし、蒸気の吐出口が直線状に並んだライン蒸発源１を用いている。この場合、ライン蒸着源１の上方に蒸着マスク３を配置し、この蒸着マスク３上に密着させた状態で基板５を配置する。そして、ライン蒸発源１の長手方向Ｌと直交する移動方向ｖに、蒸着マスク３および基板５を相対的に移動させて、ライン蒸着源１から蒸発させて蒸着マスク３の開口３ａを通過した蒸着物質ｍを、基板５上の各画素ａに蒸着させて有機発光機能層７をパターン形成する。
【０００４】
またこの方法では、ライン蒸発源１の長手方向Ｌと直交する方向ｖは、隣のライン蒸発源１との間での蒸着材料の混合を避けるために、各ライン蒸発源１に沿って制限板９を設けて蒸着角度を規制することが一般的である。尚、制限板９は、各ライン蒸発源１に対してその両脇に１枚ずつ設けられるため、ライン蒸発源１−１間には２枚の制限板９が設けられることになる。ところがライン蒸発源１の長手方向Ｌでは、図１０中矢印に示したように、ライン蒸着源１から放出された蒸着物質ｍの内、低い角度で基板５に入射される成分が多くなる。この結果図１１に示すように、基板上の各画素ａ内の蒸着膜厚は、ライン蒸着源の長手方向Ｌの中央においては実効画素領域ａ１として機能する必要膜厚が確保されるものの、画素ａ内のＬ方向の両端部においては、膜厚が緩やかに減少し、実効画素領域ａ１として機能しないマージン領域ａ２となる。
【０００５】
そこで、図９に示されるように、ライン蒸着源１の長手方向Ｌに対して、矩形形状の画素ａの長辺方向を一致させる構成が提案されている。これにより、図１２（ａ）に示すように、画素ａの短辺に沿った両端に上述した広いマージン領域ａ２が配置されるようにし、画素ａに占めるマージン領域ａ２の面積を抑えることができる。これに対して、ライン蒸着源１の長手方向Ｌに対して、矩形形状の画素ａの短辺方向を一致させた場合には、図１２（ｂ）に示すように、画素ａの長辺に沿った両端に上述したマージン領域ａ２が配置される。このため、同一の矩形形状の画素ａに占めるマージン領域ａ２の面積が、図１２（ａ）の場合よりも広くなるのである（以上、下記特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３-１７２５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ここで、一般な表示装置においては、図９に示したように表示パネル領域Ｐの短辺方向に画素ａの長辺方向を一致させた構成となっている。このため、図１３に示すように、矩形形状の基板５に矩形形状の表示パネル領域Ｐを２枚形成する場合であれば、各表示パネル領域Ｐの短辺方向に対して、画素ａの長辺方向と基板５の長辺方向とが一致した状態となる。したがって、図１２（ａ）を用いて説明したように、画素ａに占めるマージン領域ａ２の面積を抑えた蒸着を行うためには、ライン蒸着源１の長手方向に基板５の長辺方向を一致させる必要がある。そしてこのようなマスク蒸着を行うには、ライン蒸着源１に対する基板５および蒸着マスク３の配置状態を、図９の場合と９０°回転させた状態として移動方向ｖに移動させなければならない。
【０００８】
しかしながら、このような基板５の回転操作を１台の蒸着装置において実施するためには、蒸着装置における蒸着室の前後に、基板５および蒸着マスク３を９０°回転させるためのステージなどを導入するなどの大掛かりな機能を追加する必要がある。しかも、基板５を移動させる手段に、基板５および蒸着マスク３を長辺方向および短辺方向の両方に移動させる場合のそれぞれに対応する機能を追加する必要がある。そしてこのような蒸着装置への機能の追加は、装置の複雑化と著しいコストの増大を招く。
【０００９】
しかも、基板５および蒸着マスク３を短辺方向に移動させるように最適化された設計の蒸着装置内において、基板５および蒸着マスク３を長辺方向に移動させる蒸着を行えば、蒸着材料の無駄が生じる。これに対して、基板５および蒸着マスク３を長辺方向に移動させるように最適化された設計の蒸着装置内において、基板５および蒸着マスク３を短辺方向に移動させる蒸着を行えば、基板上における蒸着膜の膜厚バラツキが大きくなり歩留を低下させる要因となる。
【００１０】
さらに、基板５および蒸着マスク３の移動方向に対応させた別々の蒸着装置を所有することは、蒸着装置に供給される基板の枚数が上流工程に依存するため、各蒸着装置の稼働率が半分になってしまい現実的でない。
【００１１】
そこで本発明は、製造装置を大型化することなく基板に対して表示パネルを合理的に配置しつつも、画素内において蒸着膜の必要膜厚が確保された実効画素領域を広く確保することができ、これにより低コストで表示特性の良好な表示装置を得ることが可能な製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような目的を達成するための本発明の表示装置の製造方法は、開口パターンを備えた蒸着マスクと長尺状の蒸着源とを用いて基板の画素上に蒸着パターンを形成する表示装置の製造方法において、次の工程を行うことを特徴としている。先ず、前記基板上における表示パネル領域の配置方向に係わりなく、前記蒸着源の長手方向に前記開口パターンおよび画素の長辺方向をそれぞれ一致させるように前記蒸着マスクと前記基板とを配置する工程を行う。そして、蒸着源に対して当該基板と蒸着マスクとを相対的に移動させることにより、前記蒸着パターンを前記各画素に形成する工程とを行う。
【００１３】
このような構成の表示装置の製造方法では、基板上において、どのような方向に表示パネル領域が配置された場合であっても、蒸着源の長手方向と画素の長辺方向とを一致させた蒸着が行われる。つまり、平面矩形状の基板と蒸着マスクとを、長尺状の蒸着源に対して当該蒸着源の長手方向と垂直な方向に相対的に移動させることにより、当該基板上に蒸着パターンを形成する場合であれば、基板上における矩形形状の表示パネル領域の配置方向に係わりなく、当該表示パネル領域内に蒸着源の長手方向を長辺方向とした矩形形状の画素を配列し、画素の形状に合わせた蒸着パターンを表示パネル領域内に配列形成することになる。このため、蒸着源の長手方向と一致する方向の長さが同一の基板であれば、蒸着装置に対して機能追加することなく、各表示パネル領域に配列した画素内において蒸着膜の必要膜厚が広い範囲で確保された蒸着を行うことができる。
【発明の効果】
【００１４】
したがって本発明によれば、蒸着装置を大型化することなく基板に対して表示パネル領域を合理的に配置しつつも、各表示パネル領域に配列した画素内において蒸着膜の必要膜厚が確保された実効画素領域を広く確保することができる。この結果、低コストで表示特性の良好な表示装置を得ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。ここでは、ＲＧＢの各画素に有機電界発光素子を設けてなる有機ＥＬ表示装置の製造において、有機発光層を含む発光機能層を蒸着パターンとして積層形成する工程に本発明を適用した実施の形態を説明する。尚、従来の技術と同一の構成要素には同一の符号を付して説明を行うこととする。
【００１６】
図１に示すように、表示装置の製造に用いられる蒸着装置は、並列配置された複数の長尺状の蒸発源（以下ライン蒸発源と記す）１を備えている。各ライン蒸着源１は、この蒸着装置で処理する基板５のサイズに合わせ、例えば矩形形状の基板５の短辺（または長辺）に対応する長さを有していることとする。このことから、この蒸着装置においては、処理される基板５の一方向の辺の長さが、ライン蒸着源１の長さによってほぼ限定されることになる。
【００１７】
このような各ライン蒸着源１には、蒸気の吐出口が長手方向Ｌに直線状に並んで設けられており、長手方向Ｌに均等に蒸着物質ｍが蒸発供給される構成となっている。これらの各ライン蒸着源１からは、例えば、有機正孔注入材料、有機正孔輸送材料、有機発光材料がそれぞれ個別に蒸着物質ｍとして蒸発供給される構成となっている。そしてこれらのライン蒸着源１の間には、各ライン蒸着源１から蒸発供給された蒸着物質ｍの混合を避けるために、制限板９が配置されている。
【００１８】
また蒸着装置は、以上のようなライン蒸着源１の上方において、蒸着マスク３とこの上部に密着させた状態で配置した基板５とを保持し、さらにこれらの蒸着マスク３と基板５とを１組にしてライン蒸着源１の長手方向Ｌと垂直な移動方向ｖに移動させる機能を備えている。尚、ライン蒸着源１に対する蒸着マスク３および基板５の移動は、相対的であって良い。
【００１９】
ここで、蒸着マスク３は、いわゆるメタルマスクであり、基板５と略同一の外形形状を有するとともに、基板５の各表示パネル領域Ｐに設定される各画素ａに対応する開口パターン３ａが設けられている。ただし、蒸着マスク３は、各画素ａのうち赤色（Ｒ)画素に対応する位置に開口パターン３ａが設けられたもの、各画素ａのうち緑色（Ｇ)画素に対応する位置に開口パターン３ａが設けられたもの、さらには各画素ａのうち青色（Ｂ)画素に対応する位置に開口パターン３ａが設けられたものをそれぞれ用意する。尚、これらの各色画素用の蒸着マスク３においては、隣接する同一色の画素ａを一括で開口する開口パターン３ａが設けられていても良い。
【００２０】
そして、基板５は、表示パネルが形成される基板５であり、平面略矩形形状の大型基板であることとする。上述したように、この蒸着装置においては、処理される基板５の一方向の辺の長さが、ライン蒸着源１の長さに対応する所定の関係に保たれていることとする。そこでここでは、基板５が、ライン蒸着源１の長さに対応する長さの短辺を有する矩形形状であることとする。そして、この基板５は、その短辺をライン蒸着源１の長手方向Ｌに一致させて配置され、ライン蒸着源１の上方において長手方向Ｌと垂直な移動方向ｖ、すなわち基板５の長辺方向に移動する構成となっている。尚、基板５の短辺方向がライン蒸着源１の長さに対応する長さの長辺を備えた基板であれば、基板の短辺方向が移動方法ｖとなる。
【００２１】
このような基板５の面内には矩形形状の表示パネル領域Ｐが、１つまたは複数(図示した一例では２つ）配置される。この際、基板５の面内には、矩形形状の表示パネル領域Ｐが、最も効率的でムダのない方向を向けて配置されていることとする。
【００２２】
図面においては、レイアウトＡとして、基板５の面内に、ほぼ基板５と同一のサイズの表示パネル領域Ｐが１つ配置された構成を例示した。またレイアウトＢとして、レイアウトＡと同一形状の基板５の面内に、基板５の長辺方向に２つの表示パネル領域Ｐを配列した構成を例示した。このレイアウトＢでは、各表示パネル領域Ｐの長辺方向が基板５の短辺方向となり、各表示パネル領域Ｐの短辺方向が基板５の長辺方向となっている。また、各表示パネル領域Ｐの短辺の長さは、基板５の長辺の長さの約１／２となっている。
【００２３】
またここでの図示は省略したが、矩形形状の縦横比が異なる複数の表示パネル領域Ｐが、１枚の基板５上にそれぞれの方向に向けてレイアウトされていても良い。また、基板５の長辺方向または短辺方向に対して、複数の表示パネル領域Ｐの長辺方向または短辺方向を異なる方向で平行にして配置しても良い。ここで重要なことは、この蒸着装置で処理される基板５内に、最も効率的でムダのない配置状態で矩形形状の表示パネル領域Ｐを配置することである。
【００２４】
そして、以上のように配置された各表示パネル領域Ｐ内には、Ｒ画素、Ｇ画素、およびＢ画素の３つの画素ａが１組として配列され、これらの１組が略正方形を構成している。このため、１つの画素ａは、正方形を３分割した略矩形形状となっている。そして特に本発明において特徴的なところは、このような矩形形状の画素ａが、基板５内における表示パネル領域Ｐの配置方向に係わり無く、ライン蒸着源１の長手方向Ｌに長辺を合わせて配列されている点にある。
【００２５】
このため、図示したレイアウトＡとレイアウトＢとでは、基板５内に配置された各表示パネル領域Ｐの長辺方向に対して、画素ａの長辺方向が異なる方向に配置されることになる。
【００２６】
つまり、図示した例では、ライン蒸着源１の上方においての基板５の移動方向ｖが、その長辺方向となる。この場合、ライン蒸着源１の長手方向Ｌは基板５の短辺と一致する方向となる。このため、各画素ａの長辺は、ライン蒸着源１の長手方向Ｌと一致する基板５の短辺方向に合わせて配置されることになる。
【００２７】
したがって、ほぼ基板５と同一のサイズの表示パネル領域Ｐが１つ配置されたレイアウトＡにおいては、基板５の短辺方向が画素ａの長辺方向となり、かつ表示パネル領域Ｐの短辺方向が画素ａの長辺方向となる。一方、レイアウトＡと同一形状の基板５の面内に、基板５の長辺方向に２つの表示パネル領域Ｐを配列したレイアウトＢにおいても、基板５の短辺方向が画素ａの長辺方向となる。しかしながら、表示パネル領域Ｐの長辺方向が画素ａの長辺方向となる。
【００２８】
尚、各表示パネル領域Ｐには、各画素ａに形成される有機電界発光素子をアクティブマトリックス駆動させるための駆動回路とこの駆動回路に接続された画素電極等が必要に応じて形成されていることとする。また、以上のように表示パネル領域Ｐおよび画素ａが配置された基板５に対して密着配置される蒸着マスク３には、基板５における画素ａの配置状態に合わせた状態で開口パターン３ａが配置されるように設計がなされる。つまり、矩形形状の開口パターン３ａが、ライン蒸着源１の長手方向Ｌに長辺を合わせて配列されるように設計されているのである。
【００２９】
そして、以上のように構成された基板５を、蒸着マスク３側に蒸着面を向けた状態で当該蒸着マスク３上に密着させて保持し、ライン蒸着源１の長手方向Ｌに対して所定状態に向けて（ここでは短辺方向を一致させて）配置する。この状態で蒸着マスク３および基板５を、ライン蒸着源１の長手方向Ｌと垂直な移動方向ｖに移動させると共に、各ライン蒸着源１から蒸着物質ｍを蒸発供給する。これにより、移動方向ｖの上流側に配置されたライン蒸着源１から供給される蒸着物質ｍから順に、蒸着マスク３の開口パターン３ａを通過して基板５の各画素ａに蒸着させ、積層構造の有機発光機能層を蒸着パターンとしてパターン形成する。
【００３０】
以上説明した方法では、レイアウトＡおよびレイアウトＢとして例示したように、基板５上における矩形形状の表示パネル領域Ｐの配置方向に係わりなく、各表示パネル領域Ｐ内にライン蒸着源１の長手方向Ｌを長辺方向とした矩形形状の画素ａを配列した。これにより、ライン蒸着源１の長手方向と一致する方向の長さが、それぞれ同一の基板５同士であれば、蒸着装置に対して機能追加することなく、図１２（ａ）を用いて説明したように、各基板５上の表示パネル領域Ｐに配列した画素ａ内において蒸着膜の必要膜厚が広い範囲で確保された(実効画素領域ａ１が広くなる）蒸着パターンを形成することが可能である。
【００３１】
この結果、蒸着装置を大型化することなく、基板５に対して表示パネル領域Ｐを合理的に配置しつつも、各表示パネル領域Ｐに配列した画素ａ内において蒸着膜の必要膜厚が確保された実効画素領域を広く確保することができ、低コストで表示特性の良好な表示装置を得ることが可能になる。
【００３２】
＜表示装置の回路構成＞
図２は、以上の製造方法を適用して得られる表示装置の一構成例を説明するための概略の回路構成図である。この図に示すように、表示装置２０を構成する基板５は、上述した基板５であり矩形形状の表示パネル領域Ｐ毎に分割されたものである。この基板５上には、表示領域５ａとその周辺領域とが設定されている。表示領域５ａには、複数の走査線４１と複数の信号線４３とが縦横に配線されており、それぞれの交差部に対応して１つの画素ａが設けられた画素アレイ部として構成されている。
【００３３】
そしてこれらの各画素ａが矩形形状を有しており、上述したような製造方法により、表示パネル領域Ｐの矩形形状に対する配置状態がそれぞれの方向に決められている。またこのように画素ａが配列された表示領域５ａの周辺領域には、走査線４１を走査駆動する走査線駆動回路４５と、輝度情報に応じた映像信号（すなわち入力信号）を信号線４３に供給する信号線駆動回路４７とが配置されている。
【００３４】
走査線４１と信号線４３との各交差部の各画素ａに設けられる画素回路は、例えばスイッチング用の薄膜トランジスタＴｒ１、駆動用の薄膜トランジスタＴｒ２、保持容量Ｃｓで構成されている。そして、この画素回路を覆う絶縁膜上における各画素ａの広い範囲に、画素回路に接続された状態で、有機電界発光素子ＥＬが設けられている。各有機電界発光素子ＥＬは、画素回路に接続された画素電極と、各画素ａに共通に配置された共通電極との間に有機発光機能層を挟持してなる。そして、例えばこの有機発光機能層が、マスク蒸着によってパターン形成された層となっている。
【００３５】
このような回路構成の表示装置２０では、走査線駆動回路４５による駆動により、スイッチング用の薄膜トランジスタＴｒ１を介して信号線４３から書き込まれた映像信号が保持容量Ｃｓに保持され、保持された信号量に応じた電流が駆動用の薄膜トランジスタＴｒ２から有機電界発光素子ＥＬに供給され、この電流値に応じた輝度で有機電界発光素子ＥＬが発光する。尚、駆動用の薄膜トランジスタＴｒ２と保持容量Ｃｓとは、共通の電源供給線（Ｖｃｃ）４９に接続されている。
【００３６】
尚、以上のような画素回路の構成は、あくまでも一例であり、必要に応じて画素回路内に容量素子を設けたり、さらに複数のトランジスタを設けて画素回路を構成しても良い。また、周辺領域には、画素回路の変更に応じて必要な駆動回路が追加される。
【００３７】
尚、本発明にかかる表示装置は、図３に開示したような、封止された構成のモジュール形状のものをも含む。例えば、画素アレイ部である表示領域５ａを囲むようにシーリング部５１が設けられ、このシーリング部５１を接着剤として、透明なガラス等の対向部（封止基板５２）に貼り付けられ形成された表示モジュールが該当する。この透明な封止基板５２には、カラーフィルタ、保護膜、遮光膜等が設けられてもよい。尚、表示領域５ａが形成された表示モジュールとしての基板５(表示パネル領域Ｐ）には、外部から表示領域５ａ（画素アレイ部）への信号等を入出力するためのフレキシブルプリント基板５３が設けられていても良い。
【００３８】
＜適用例＞
以上説明した本発明に係る製造方法によって得られる表示装置は、図４〜図８に示す様々な電子機器、例えば、デジタルカメラ、ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置、ビデオカメラなど、電子機器に入力された映像信号、若しくは、電子機器内で生成した映像信号を、画像若しくは映像として表示するあらゆる分野の電子機器の表示装置に適用することが可能である。以下に、本発明が適用される電子機器の一例について説明する。
【００３９】
図４は、本発明が適用されるテレビを示す斜視図である。本適用例に係るテレビは、フロントパネル１０２やフィルターガラス１０３等から構成される映像表示画面部１０１を含み、その映像表示画面部１０１として本発明に係る表示装置を用いることにより作成される。 
【００４０】
図５は、本発明が適用されるデジタルカメラを示す図であり、（Ａ）は表側から見た斜視図、（Ｂ）は裏側から見た斜視図である。本適用例に係るデジタルカメラは、フラッシュ用の発光部１１１、表示部１１２、メニュースイッチ１１３、シャッターボタン１１４等を含み、その表示部１１２として本発明に係る表示装置を用いることにより作製される。
【００４１】
図６は、本発明が適用されるノート型パーソナルコンピュータを示す斜視図である。本適用例に係るノート型パーソナルコンピュータは、本体１２１に、文字等を入力するとき操作されるキーボード１２２、画像を表示する表示部１２３等を含み、その表示部１２３として本発明に係る表示装置を用いることにより作製される。 
【００４２】
図７は、本発明が適用されるビデオカメラを示す斜視図である。本適用例に係るビデオカメラは、本体部１３１、前方を向いた側面に被写体撮影用のレンズ１３２、撮影時のスタート／ストップスイッチ１３３、表示部１３４等を含み、その表示部１３４として本発明に係る表示装置を用いることにより作製される。
【００４３】
図８は、本発明が適用される携帯端末装置、例えば携帯電話機を示す図であり、（Ａ）は開いた状態での正面図、（Ｂ）はその側面図、（Ｃ）は閉じた状態での正面図、（Ｄ）は左側面図、（Ｅ）は右側面図、（Ｆ）は上面図、（Ｇ）は下面図である。本適用例に係る携帯電話機は、上側筐体１４１、下側筐体１４２、連結部（ここではヒンジ部）１４３、ディスプレイ１４４、サブディスプレイ１４５、ピクチャーライト１４６、カメラ１４７等を含み、そのディスプレイ１４４やサブディスプレイ１４５として本発明に係る表示装置を用いることにより作製される。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態を説明する斜視図である。
【図２】実施形態の表示装置の回路構成の一例を示す図である。
【図３】本発明が適用される封止された構成のモジュール形状の表示装置を示す構成図である。
【図４】本発明が適用されるテレビを示す斜視図である。
【図５】本発明が適用されるデジタルカメラを示す図であり、（Ａ）は表側から見た斜視図、（Ｂ）は裏側から見た斜視図である。
【図６】本発明が適用されるノート型パーソナルコンピュータを示す斜視図である。
【図７】本発明が適用されるビデオカメラを示す斜視図である。
【図８】本発明が適用される携帯端末装置、例えば携帯電話機を示す図であり、（Ａ）は開いた状態での正面図、（Ｂ）はその側面図、（Ｃ）は閉じた状態での正面図、（Ｄ）は左側面図、（Ｅ）は右側面図、（Ｆ）は上面図、（Ｇ）は下面図である。
【図９】従来の製造方法を説明する斜視図である。
【図１０】従来の製造方法を説明する側方図である。
【図１１】画素内における蒸着パターンのライン蒸着源の長手方向（Ｌ方向）に対する蒸着膜厚を示す図である。
【図１２】画素内におけるマージン領域の配置を説明する図である。
【図１３】従来技術の問題点を説明する斜視図である。
【符号の説明】
【００４５】
１…ライン蒸着源、３…蒸着マスク、３ａ…開口パターン、５…基板、ａ…画素、Ｌ…長手方向（ライン蒸着源）、Ｐ…表示パネル領域、ｖ…移動方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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