(57)【要約】【課題】他物検出部材と被検出体とを連結させる構成の簡素化を図ることができる出退式物品移載装置における接触検出装置を提供する。【解決手段】先端側部材６３に、その先端側部材６３の出退方向に移動自在でかつ突出側に復帰付勢された他物検出部材７２を、その先端側部材６３の先端部よりも外方側に突出する状態で設け、基部側部材６２に設けた反射式の光センサ７３が検出作用する被検出体７４を、光センサ７３からの投射光を光センサ７３に向けて光を反射する光反射状態と光センサ７３に向けて光を反射しない非反射状態とに他物検出部材７２の移動に連動して切り換わるように他物検出部材７２に連結された状態で、先端側部材６３に設ける。【選択図】図１１
2009161280.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部側部材に対して物品支持用の先端側部材が出退操作されるように構成された出退式物品移載装置における接触検出装置であって、
前記先端側部材に、その先端側部材の出退方向に移動自在でかつ突出側に復帰付勢された他物検出部材が、その先端側部材の先端部よりも外方側に突出する状態で設けられ、
前記基部側部材に設けた反射式の光センサが検出作用する被検出体が、前記光センサからの投射光を前記光センサに向けて光を反射する光反射状態と前記光センサに向けて光を反射しない非反射状態とに前記他物検出部材の移動に連動して切り換わるように前記他物検出部材に連結された状態で、前記先端側部材に設けられている出退式物品移載装置における接触検出装置。
【請求項２】
前記他物検出部材が、前記先端側部材の先端部に設けられ、
前記被検出体が、前記他物検出部材と連係機構を介して連動連結された状態で、前記先端側部材の基端部に設けられている請求項１記載の出退式物品移載装置における接触検出装置。
【請求項３】
前記他物検出部材が、前記出退移動方向と交差する横幅方向に沿う軸芯周りで揺動するアーム部とそのアーム部の先端に前記横幅方向に沿う姿勢で装備された棒状の検出部とから構成されている請求項１又は２記載の出退式物品移載装置における接触検出装置。
【請求項４】
前記基部側部材が、スタッカークレーンの昇降台に旋回自在に装着した旋回台であり、
前記先端側部材が、前記基部側部材に一端側を取り付けた屈伸式のリンク機構の他端側に支持されて、前記屈伸式のリンク機構の屈伸により前記基部側部材に対して出退するよう構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の出退式物品移載装置における接触検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基部側部材に対して物品支持用の先端側部材が出退操作されるように構成された出退式物品移載装置における接触検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる出退式物品移載装置における接触検出装置は、先端側部材に接触する他物を検出するものであり、例えば、出退式物品移載装置がスタッカークレーンに設けられた場合では、物品収納棚とスタッカークレーンとの間で物品を移載すべく先端側部材が基部側部材に対して突出操作された際に、先端側部材に近づいた物品収納棚を構成する枠体や物品収納棚に先に収納されている物品等の他物を検出するものであり、先端側部材が他物に接触することを未然に防止するために使用されるものである。
そして、このような出退式物品移載装置における接触検出装置において、従来では、先端側部材に、その先端側部材の出退方向に移動自在でかつ突出側に復帰付勢された他物検出部材が、その先端側部材の先端部よりも外方側に突出する状態で設けられ、基部側部材に設けたリミットスイッチが検出作用する被検出体が、リミットスイッチに接触する接触状態と接触しない非接触状態とに他物検出部材の移動に連動して切り換わるように他物検出部材に連結された状態で、基部側部材に設けられていた（例えば、特許文献１参照。）。
ちなみに、他物検出部材と被検出部材とはワイヤにて連結され、他物検出部材が移動するに伴って被検出体が接触状態や非接触状態に切り換わるように、他物検出部材と被検出体とを連結するワイヤを長手方向の一方側に付勢して他物検出部材を突出側に復帰付勢させる一方側用のスプリングと、ワイヤを長手方向の他方側に付勢して被検出体をリミットスイッチから離れる側に付勢する他方側用のスプリングとを備えて、他物接触部材が他物に接触して一方側用のスプリングの復帰付勢力に抗して内方側に移動すると、この移動により弛んだワイヤを他方側用のスプリングの付勢力にて長手方向の他方側に移動させて被検出体をリミットスイッチから離間する方向に移動させるように構成されている。
そして、先端側部材が基部側部材に対して出退操作されたときにワイヤが弛まないように、被検出体が接触状態から非接触状態に切り換わるように構成されてこのワイヤの中間部は、先端側部材と基部側部材との間に設けられて先端側部材及び基部側部材に対して出退方向に移動する中間部材のシーブに巻回されている。
【０００３】
【特許文献１】実公昭４９−２０６９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の出退式物品移載装置における接触検出装置では、他物検出部材が先端側部材に設けられ、被検出体が基部側部材に設けられているため、被検出体と他物検出部材とを、他物検出部材の移動に連動して被検出体が接触状態と非接触状態とに切り換わるようにしながらも、先端側部材が基部側部材に対して出退操作されるに伴って被検出体が接触状態と非接触状態とに切り換わらないように連結する必要があるため、他物検出部材と被検出体とを連結する構成が複雑になってしまうものであった。
つまり、先端側部材が基部側部材に対して出退操作されたときにワイヤが弛まないようにワイヤの中間部を巻回するためのシーブを設ける必要があるため、他物検出部材と被検出体とを連結する構成が複雑になってしまうものである。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、他物検出部材と被検出体とを連結させる構成の簡素化を図ることができる出退式物品移載装置における接触検出装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的を達成するために、本発明にかかる出退式物品移載装置における接触検出装置は、基部側部材に対して物品支持用の先端側部材が出退操作されるように構成されたものであって、その第１特徴構成は、
前記先端側部材に、その先端側部材の出退方向に移動自在でかつ突出側に復帰付勢された他物検出部材が、その先端側部材の先端部よりも外方側に突出する状態で設けられ、前記基部側部材に設けた反射式の光センサが検出作用する被検出体が、前記光センサからの投射光を前記光センサに向けて光を反射する光反射状態と前記光センサに向けて光を反射しない非反射状態とに前記他物検出部材の移動に連動して切り換わるように前記他物検出部材に連結された状態で、前記先端側部材に設けられている点にある。
【０００７】
すなわち、他物検出手段は、他物に接触していない状態では復帰付勢力によって外方側に突出し、他物に接触すると復帰付勢力に抗して内方側に引退するように移動し、被検出体は、このような他物検出手段の移動に連動して光反射状態と非反射状態とに切り換わるように他物連結状態に連結されているため、光センサにて被検出体の光反射状態と非反射状態との切り換わりを検出することにより、他物検出手段が他物に接触したことを検出することができる。
そして、被検出体が他物検出部材と同じ基部側部材に設けられており、先端側部材が基部側部材に対して出退操作されても他物検出部材が被検出体に対して出退移動方向に移動しないから、被検出体と他物検出部材との連結は、単に他物検出部材の移動に連動して被検出体が光反射状態と非反射状態とに切り換わるように連結するだけでよいため、他物検出部材と被検出体とを連結する構成の簡素化を図ることができ、もって、他物検出部材と被検出体とを連結する構成の簡素化を図ることができる出退式物品移載装置における接触検出装置を提供することができるに至った。
【０００８】
本発明にかかる出退式物品移載装置における接触検出装置の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記他物検出部材が、前記先端側部材の先端部に設けられ、前記被検出体が、前記他物検出部材と連係機構を介して連動連結された状態で、前記先端側部材の基端部に設けられている点にある。
【０００９】
すなわち、基部側部材に対して先端側部材を突出操作した状態、特に、基部側部材に対して物品を載置した先端側部材を突出操作した状態では先端側部材における先端部が下方に撓んでしまうが、先端側部材における基部側の撓み量は先端部の撓み量に対して小さいため、その撓み量が小さな基端部に被検出体を設けることにより、被検出部材を先端側部材に撓みの影響を受け難い状態で先端側部材に設けることができるので、先端側部材が撓んでいる状態でも光反射状態と非反射状態とに適確に切り換わるように被検出体を他物検出部材と連動させ易いものであり、もって、先端側部材が撓んでも正確に検出することができる出退式物品移載装置における接触検出装置を提供することができるに至った。
【００１０】
本発明にかかる出退式物品移載装置における接触検出装置の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成において、前記他物検出部材が、前記出退移動方向と交差する横幅方向に沿う軸芯周りで揺動するアーム部とそのアーム部の先端に前記横幅方向に沿う姿勢で装備された棒状の検出部とから構成されている点にある。
【００１１】
すなわち、他物検出部材は、棒状の検出部が他物に接触するとアーム部が横幅方向に沿う軸芯周りに揺動するようにして移動するため、アーム部を出退移動方向にスライド移動するように構成した場合に比べてアーム部が拗れ難く、他物検出部材の他物への接触をスムーズに検出することができ、また、棒状の検出部を横幅方向に沿う姿勢で装備することにより横幅方向の広範囲に亘って他物を検出することができるものであり、もって、横幅方向の広範囲に亘って他物を円滑に検出することができる出退式物品移載装置における接触検出装置を提供することができるに至った。
【００１２】
本発明にかかる出退式物品移載装置における接触検出装置の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記基部側部材が、スタッカークレーンの昇降台に旋回自在に装着した旋回台であり、前記先端側部材が、前記基部側部材に一端側を取り付けた屈伸式のリンク機構の他端側に支持されて、前記屈伸式のリンク機構の屈伸により前記基部側部材に対して出退するよう構成されている点にある。
【００１３】
すなわち、例えば、被検出体と他物検出部材との連結をワイヤにて行なう場合においてワイヤをリンク機構の屈伸を考慮することなく配設することができる等、被検出体と他物検出部材との連結を、リンク機構の屈伸を考慮せずに単に他物検出部材の移動に連動して被検出体が光反射状態と非反射状態とに切り換わるように連結することができるため、他物検出部材と被検出体とを連結する構成の簡素化を図ることができ、もって、屈伸式のリンク機構の屈伸により前記基部側部材に対して出退するよう構成されている出退式物品移載装置に適した接触検出装置を提供することができるに至った。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。
図１及び図２に示すように、本発明に係るクリーンルーム用の物品保管設備（以下、単に物品保管設備と記載する場合がある）は、物品保管庫Ｗを清浄化された浄化空気が天井側から床側に向けて下向きに通流するダウンフロー式のクリーンルーム１内に設けて、例えば、半導体製品や液晶表示素子等の製品の仕掛かり品等の板状体を容器Ｃに収納した状態で塵埃の少ない環境にて保管するようになっている。ちなみに、この実施形態では、容器Ｃを物品として搬送したり保管したりするように構成してある。
尚、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ矢視図である。
【００１５】
ダウンフロー式のクリーンルーム１について説明を加えると、図２に示すように、クリーンルーム１の床部を、通気孔が多数形成された多孔状のグレーティング床２に形成し、クリーンルーム１の天井に天井吹出部３を形成して、グレーティング床２を通して吸引した吸引空気を天井吹出部３から吹き出す形態で、浄化空気をクリーンルーム１に循環させるクリーンルーム用循環通風手段Ｆを設けてある。
【００１６】
このクリーンルーム用循環通風手段Ｆについて、説明を加えると、前記グレーティング床２の下方側に吸気室４を設け、前記天井吹出部３にＨＥＰＡフィルタ等からなるエアーフィルタ５を並設し、その天井吹出部３の上方側に空気チャンバ室６を設けて、それら吸気室４と空気チャンバ室６とを接続流路７にて連通接続してある。
又、接続流路７に、循環用送風機８を前記吸気室４に吸引作用するように設け、更に、接続流路７における循環用送風機８の空気吐出側の部分にプレフィルタ９を設けてある。
つまり、クリーンルーム用循環通風手段Ｆを、前記グレーティング床２、前記吸気室４ 、前記接続流路７、前記循環用送風機８、前記プレフィルタ９、前記空気チャンバ室６、前記天井吹出部３及び前記エアーフィルタ５等を備えて構成してある。
【００１７】
そして、循環用送風機８の通風作用により、クリーンルーム１内の空気がグレーティング床２を通して吸気室４に吸い込まれ、その吸気室４に吸い込まれた空気が接続流路７を流動してプレフィルタ９を通過して清浄化された後、空気チャンバ室６に流入し、更に、天井吹出部３に設けられたエアーフィルタ５を通過して清浄化された後、天井吹出部３からクリーンルーム１内に向けて下向きに吹き出されるように構成してある。
従って、クリーンルーム１内の空気が、プレフィルタ９及びエアーフィルタ５を通過しながら上述の経路を通して循環されることにより、常に浄化空気が天井吹出部３から下方に吹き出される状態でクリーンルーム１に供給されて、クリーンルーム１内が清浄度の高い状態に維持される構成となっている。
【００１８】
更に、前記接続流路７における前記循環用送風機８の吸い込み側の部分に、外気取入流路１０を接続すると共に、その外気取入流路１０に外気取入量調節用ダンパ１１を設け、前記接続流路７における前記循環用送風機８の吐出側の部分に、排気流路１２を接続すると共に、その排気流路１２に排気量調節用ダンパ１３を設けてある。
そして、外気取入量調節用ダンパ１１及び排気量調節用ダンパ１３夫々の開度を調節することにより、前記クリーンルーム用循環通風手段Ｆにて循環されるクリーンルーム１内の浄化空気のうちの所定量を新鮮な空気と交換するように構成してある。
【００１９】
次に、図１ないし図４に基づいて、物品保管設備の構成について説明する。
前記物品保管庫Ｗは、物品収納部１４を棚横幅方向及び棚上下方向に複数並べて備えた物品収納棚Ｓと、その物品収納棚Ｓの前方の搬送車移動空間１５を棚横幅方向に移動するスタッカークレーン（物品搬送車に相当する）Ｖと、浄化空気を前記物品収納棚Ｓの後部側から前記物品収納部１４を通過させて前記搬送車移動空間１５に流動させ且つその搬送車移動空間１５の床部（グレーティング床２における搬送車移動空間１５に対応する床部分）を通して浄化空気を下方に流動させる浄化空気通流手段Ｂとを備えて構成し、その物品保管庫Ｗをクリーンルーム１内に設けてある。
尚、図３は、図１のロ−ロ矢視図である。
【００２０】
この実施形態では、前記物品収納棚Ｓが、夫々の前方側を互いに向かい合わせた状態で且つ互いの間に前記搬送車移動空間１５を形成すべく間隔を隔てる状態で、前記搬送車移動空間１５の車両横幅方向両方側に設けられている。
ちなみに、この一対の物品収納棚Ｓは、前記クリーンルーム１のグレーティング床２上に設けてある。
【００２１】
そして、このように設けた一対の物品収納棚Ｓの側周囲を、棚上下方向両端部が開口する矩形筒状の周壁２５にて、各物品収納棚Ｓの棚横幅方向両端部から搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔ及び排気用空間１６を形成すべく間隔を隔てた状態で、且つ、各物品収納棚Ｓの棚前後方向後端部とは後述する空気流通空間１９を形成すべく間隔を隔てた状態で囲んである。
つまり、搬送車移動空間１５を物品収納棚Ｓよりも棚横幅方向外方に突出する形態で設け、物品収納棚Ｓの横側部に排気用空間１６を設けてあり、搬送車移動空間１５における物品収納棚Ｓよりも棚横幅方向外方に突出する外方突出部１５ｔと排気用空間１６とが空気流動可能に連通されている。また、各物品収納棚Ｓの後部に、前記クリーンルーム１の天井吹出部３から吹き出された浄化空気を物品収納部１４に案内するための空気流通空間１９を設けてある。尚、各物品収納棚Ｓと排気用空間１６とは板状体１７にて仕切ってある。
【００２２】
図１に示すように、前記周壁２５において各排気用空間１６に対応する部分には、その排気用空間１６に出入りするための開口部を開閉する排気空間用扉２６を設け、前記周壁２５において搬送車移動空間１５の一方の外方突出部１５ｔに対応する部分には、搬送車移動空間１５に出入りするための開口部を開閉する移動空間用扉２７を設けてある。
尚、図示は省略するが、前記排気用空間１６には、物品保管設備の運転を制御する地上側コントローラや分電盤等を、前記搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔからの浄化空気の流動を妨げない状態で設けてある。
【００２３】
前記浄化空気通流手段Ｂを、クリーンルーム１の天井吹出部３から吹き出された浄化空気を空気流通空間１９にて案内して物品収納部１４に供給し且つその物品収納部１４を通過して搬送車移動空間１５に流動する浄化空気をその搬送車移動空間１５からグレーティング床２を通して下方に流動させる形態で、浄化空気を流動させるように構成してある。
つまり、前記浄化空気通風手段Ｂを、前記空気流通空間１９、前記グレーティング床２ 、前記接続流路７及び前記循環用送風機８等を備えて構成して、前記クリーンルーム用循環通風手段Ｆを構成する前記循環用送風機８を、浄化空気通風手段Ｂ用の送風機に兼用する状態で構成してある。
【００２４】
図４に示すように、各物品収納棚Ｓは、前後一対の棚用支柱２１を棚横幅方向に並べ、前後一対の棚用支柱２１に亘って棚上下方向に複数の物品支持枠２２を支持する状態で、物品収納部１４を棚横幅方向及び棚上下方向に複数並べて構成し、物品収納部１４を、棚横幅方向に隣接する左右一対の物品支持枠２２にて容器Ｃを載置支持する形態で容器Ｃを収納するように構成してある。また、棚横幅方向に複数並ぶ前後一対の棚用支柱２１の上端を、矩形状の上部枠体２３にて一体的に連結してある。
そして、上述の如く各物品収納棚Ｓを構成することにより、物品収納部１４を、棚横幅方向に隣接するもの同士及び棚上下方向に隣接するもの同士が空気流動可能に連通する状態で、棚横幅方向及び棚上下方向に複数並べて設けて、物品収納効率を向上するようにしてある。
尚、図示は省略するが、物品収納棚Ｓに備えた複数の物品収納部１４のうちの１個を用
いて、クリーンルーム１から物品収納棚Ｓに容器Ｃを搬入するための搬入口を形成し、他
の１個を用いて、物品収納棚Ｓからクリーンルーム１に容器Ｃを搬出するための搬出口を
形成してある。
【００２５】
前記グレーティング床２における各物品収納棚Ｓの設置箇所に対応する床部分及び前記空気流通空間１９に対応する床部分の開口率を、前記グレーティング床２における前記搬送車移動空間１５に対応する床部分及び前記排気用空間１６に対応する床部分の開口率よりも小さく形成してある。
具体的には、グレーティング床２における各物品収納棚Ｓの設置箇所に対応する床部分及び前記空気流通空間１９に対応する床部分の開口率を１８％、グレーティング床２における搬送車移動空間１５に対応する床部分及び排気用空間１６に対応する床部分夫々の開口率を５０％に設定してある。
又、前記物品収納棚Ｓの各横側部における前端縁部と前記周壁２５との間の棚横幅方向に開口する開口部分には、その開口部分の下方側部分を空気流動可能な状態で閉じる多孔状板状体２９を設けてある。
【００２６】
次に、前記スタッカークレーンＶについて、説明を加える。
図５及び図６に示すように、スタッカークレーンＶは、車両横幅方向に並ぶ状態で床面（グレーティング床２の上面）に設置された左右一対の走行レール（軌道に相当）３２の夫々に対して車両走行方向（棚横幅方向と同方向）に一対の走行輪３１を備える状態に構成された走行台車３４に、物品支持用の昇降台３６の車両走行方向での両端部夫々を各別に昇降自在に案内支持する前後一対の支柱３５を立設してある。
そして、前後一対の支柱３５の上端部同士を上部フレーム３７にて連結してある。また、前記昇降台３６に、車両横幅方向に出退移動する物品移載用の載置体６３を設けてある。
尚、図５は、スタッカークレーンＶの側面図を示しており、図面上の左側部分は縦断面図である。
【００２７】
図５に示すように、前記走行台車３４を、車両走行方向内方側が開口するコ字状に形成された前後一対の端部用枠体３４ａと、前後一対の端部用枠体３４ａにおける車両横幅方向外方側の端部同士を互いに連結する左右一対の中間部用枠体３４ｂと、各端部用枠体３４ａの車両走行方向内方側の端部同士を連結する前後一対の連結用枠体３４ｃとを備えて、平面視で目字状に形成してある。そして、走行台車３４の車両横幅方向中央部には端部用枠体３４ａと連結用枠体３４ｃとに亘って支持用枠体３４ｄを架設してある。
【００２８】
前記前後一対の端部用枠体３４ａの夫々における棚横幅方向両端部に、前記走行輪３１及びこの走行輪３１を各別に回転駆動させる走行用モータ３８とが設けられており、４つの走行用モータ３８にて４つの走行輪３１を各別に回転駆動させることにより、走行台車３４を棚横幅方向に沿って走行移動するように構成してある。
また、中間部用枠体３４ｂには、車両横幅方向外方側から浄化空気を吸引してその浄化空気を下方に向けて排出するためのファンを備えてある。
【００２９】
前記前後一対の支柱３５の夫々を、前記昇降台３６における車両横幅方向の中央部を案内支持する中央支柱体４１と、前記昇降台３６から車両横幅方向外方側に離れかつ前記中央支柱体４１から車両走行方向外方側に離れて位置する左右一対の補助支柱体４２とを、連結体４３にて接続して構成してある。
また、図６に示すように、前記左右一対の補助支柱体４２を、車両走行方向視にて、左右の走行輪３１よりも車体内方側に位置するように設けてある。
【００３０】
そして、中央支柱体４１は、走行台車３４の車両横幅方向中央部に位置する支持用枠体３４ｄに立設させることにより、前記昇降台３６における車両横幅方向の中央部を案内支持すべく、昇降台３６の車両走行方向外方側に隣接する位置に位置させている。
また、左右一対の補助支柱体４２は、平面視コ字状の端部用枠体３４ａにおける車両横幅方向に伸びる部分の車両横幅方向の両端部に立設させることにより、前記昇降台３６から車両横幅方向外方側に離れかつ前記中央支柱体４１から車両走行方向外方側に離れて位置させている。
また、前記連結体４３は、前記中央支柱体４１と前記左右一対の補助支柱体４２とを上下方向複数箇所にて接続する複数の棒状部材４３ａで構成してある。
【００３１】
前後一対の中央支柱体４１の夫々に、昇降台３６における車両走行方向外方側の端部でかつ車両横幅方向の中央部に設けた係合部材４４を摺動移動自在に案内するガイドレール４５を備えてあり、このガイドレール４５と係合部材４４との各組によりリニアガイドを構成してある。
【００３２】
図５及び図６に示すように、走行台車３４における前後一対の支持用枠体３４ｄの夫々には、左右一対の昇降用モータ４６と、この昇降用モータ４６にて各別に回転駆動される左右一対の駆動回転体４７とが備えられており、前記支柱３５における上端部の夫々には、回転自在な左右一対の従動回転体４８が備えられている。
そして、駆動回転体４７の夫々に下方側用の昇降用ベルト４９を巻き掛け、従動回転体４８の夫々に上方側用の昇降用ベルト４９を巻き掛けている。
車両走行方向一方側に位置する２本の下方側用の昇降用ベルト４９及び２本の上方側用の昇降用ベルト４９の夫々を、一端を昇降台３６の車両走行方向一端部に連結しかつ他端を前後一対の中央支柱体４１よりも車両走行方向一方側に位置するバランスウェイト５０に連結してある。また、車両走行方向他方側に位置する２本の下方側用の昇降用ベルト４９及び２本の上方側用の昇降用ベルト４９の夫々を、一端を昇降台３６の車両走行方向他端部に連結しかつ他端を前後一対の中央支柱体４１よりも車両走行方向他方側に位置するバランスウェイト５０に連結してある。
つまり、４つの昇降用モータ４６にて４つの駆動回転体４７を各別に回転駆動させることにより、昇降台３６を棚上下方向に沿って昇降移動するように構成してある。
【００３３】
図８に示すように、係合部材４４の昇降経路及びガイドレール４５を覆う内方側カバー５１を、車両上下方向に沿う状態で前後一対の中央支柱体４１夫々の車両走行方向内方側に支持しており、バランスウェイト５０の昇降経路を覆う外方側カバー５２を、前後一対の中央支柱体４１夫々の車両走行方向外方側に支持している。
そして、図６に示すように、クリーンルーム１内の浄化空気を外方側カバー５２内に導入するファンフィルタユニット５３を外方側カバー５２に設けてある。
【００３４】
図５及び図７に示すように、スタッカークレーンＶには、車両走行方向及び車両上下方向に沿う姿勢の偏平状の整流体５９を、前記昇降台３６から車両走行方向外方側に離れかつ前記昇降台３６から車両横幅方向において前記物品収納棚Ｓ側に離れて位置する状態で、且つ、前記昇降台３６の昇降移動範囲の全範囲において前記昇降台３６に対応して位置する状態で設けてある。
説明を加えると、前記整流体５９を、前記前後一対の中央支柱体４１の夫々よりも車両走行方向外方側に離れて位置する状態でかつ前記中央支柱体４１の全長又は略全長に亘って車両上下方向に沿う状態で前後一対設けてある。
また、前記整流体５９を、前記昇降台３６よりも車両横幅方向外方側に離れた位置に左右一対設けてある。
【００３５】
前記補助支柱体４２から車両走行方向の両方側に突出する状態で前記補助支柱体４２に支持された整流用部材５９ａを備えており、前記整流体５９を、前記補助支柱体４２とそれに支持された前記整流用部材５９ａとで構成してある。
説明を加えると、図８に示すように、補助支柱体４２の夫々を、車両走行方向及び車両上下方向に沿う姿勢の扁平状に形成し、平面視では車両走行方向に沿う姿勢の扁平な矩形状に形成してある。
そして、補助支柱体４２の夫々に支持される整流用部材５９ａとして、車両走行方向内方側に突出する状態で補助支柱体４２に支持される内方側の整流用部材５９ａと、車両走行方向外方側に突出する状態で補助支柱体４２に支持される外方側の整流用部材５９ａとを支持してある。
内方側の整流用部材５９ａを、平面視で車両走行方向の内方側端部側ほど漸次細くなる先細り形状に形成し、外方側の整流用部材５９ａを、平面視で車両走行方向の外方側端部側に膨出する半円状に形成して、整流体５９における車両走行方向の両端部が平面視で先細り形状となるように形成してある。
また、内方側の整流用部材５９ａを、その車両走行方向内方側の端部が中央支柱体４１と車両横幅方向に並ぶような長さに構成し、外方側の整流用部材５９ａを、その車両走行方向外方側の端部が走行台車３４の後端よりわずかに車両走行方向内方側に位置する長さに構成してある。
ちなみに、補助支柱体４２の車両横幅方向の両側の側面と内方側及び外方側の整流用部材５９ａの車両横幅方向の両側の側面とが面一となるように構成してある。また、整流体５９を、中央支柱体４１よりも車両上下方向に少し短い長さで且つ補助支柱体４２と車両上下方向に同じ長さになるように構成してある。
【００３６】
図５及び図６に示すように、スタッカークレーンＶの昇降台３６には、物品収納部１４と自己との間で容器Ｃを移載可能な出退式物品移載装置６１を載置支持しており、この出退式物品移載装置６１は、昇降台３６に旋回自在に装着した旋回台（基部側部材に相当）６２に対して載置体（物品支持用の先端側部材に相当）６３が出退操作されるように構成してある。
【００３７】
そして、前記載置体６３は、前記旋回台６２に一端側を取り付けた伸縮式のリンク機構６４の他端側に支持して、前記伸縮式のリンク機構６４の屈伸により前記旋回台６２に対して出退するように構成してある。
また、図９及び図１０に示すように、リンク機構６４は、基端部が旋回台６２に上下軸芯Ｐ１周りに回動自在に連結された一対の操作リンク６５と、基端部が操作リンク６５の先端部に上下軸芯周りに回動自在に連結され且つ先端部が載置体６３の基端部に上下軸芯周りに回動自在に連結された一対の揺動リンク６６とを備え、図外の出退用電動モータにて一対の操作リンク６５を同期させた状態で回動させることで、リンク機構６４の全体を屈伸させるように構成してある。
つまり、出退式物品移載装置６１は、旋回台６２の上下軸芯Ｐ１周りの旋回により載置体６３の突出方向を一対の物品収納棚Ｓのうちの一方側又は他方側に切り換え可能で、且つ、リンク機構６４の屈伸により載置体６３を旋回台６２上に引退させた引退状態（図１０（ａ）参照）や載置体６３を物品収納棚Ｓ側に突出させた突出状態（図１０（ｂ）参照）に切り換え可能に構成してある。
【００３８】
図１１に示すように、出退式物品移載装置６１には、載置体６３が物品収納棚Ｓの支柱等の他物に接近したことを検出する接触検出装置７１を備えてある。
この出退式物品移載装置６１における接触検出装置７１は、前記載置体６３に、その載置体６３の出退方向に移動自在でかつ突出側に復帰付勢された他物検出部材７２を、その載置体６３の先端部よりも外方側に突出する状態で設け、前記旋回台６２に設けた反射式の光センサ７３が検出作用する被検出体７４を、前記光センサ７３からの投射光を前記光センサ７３に向けて光を反射する光反射状態と前記光センサ７３に向けて光を反射しない非反射状態とに前記他物検出部材７２の移動に連動して切り換わるように前記他物検出部材７２に連結された状態で、前記載置体６３に設けてある。
ちなみに、光センサ７３は、投光部から光を投射し、被検出部７４にて反射された光を受光部で受光するように拡散反射形に構成してある。
【００３９】
図１２及び図１３に示すように、前記他物検出部材７２は、前記出退移動方向と交差する横幅方向に沿う軸芯周りで揺動するアーム部７２ａとそのアーム部７２ａの先端に前記横幅方向に沿う姿勢で装備された棒状の検出部７２ｂとから構成しており、前記載置体６３の先端部に設けてある。
前記アーム部７２ａは、出退移動方向の中間部において横幅方向の軸芯Ｐ２周りに揺動自在に設けており、この中間部より突出側の部分並びに引退側の部分の夫々が端部側ほど下方に傾斜する形状に形成しており横側面視でへ字状に形成してある。そして、図１３に示すように、アーム部７２ａの先端側の端部は載置体６３の先端から外方に突出しており、この先端側の端部に横幅方向に沿う姿勢で丸棒状の検出部７２ｂを装備し、アーム部７２ａの内方側の端部には連係機構としてのワイヤ７５を連結してある。
【００４０】
そして、アーム部７２ａを、軸芯Ｐ２周りの揺動により、外方側の部分が水平に近い姿勢となる突出用姿勢（図１３（ａ）参照）と外方側の部分が垂直に近い姿勢となる引退用姿勢（図１３（ｂ）参照）とに揺動姿勢変更可能に構成しており、先端部側揺動規制部材７６にて、突出用姿勢から引退用姿勢側とは反対側への揺動並びに引退用姿勢から突出用姿勢側とは反対側への揺動を規制している。
つまり、他物検出部材７２を、アーム部７２ａが突出用姿勢となることにより検出部７２ｂが載置体６３の先端部よりも外方に突出して位置する非接触状態（図１３（ａ）参照）となり、アーム部７２ａが引退用姿勢となることにより検出部７２ｂが前記非接触姿勢の位置より内方に位置する接触状態（図１３（ｂ）参照）となるように構成しており、先端部側揺動規制部材７６の規制により、他物検出部材７２の姿勢変更の範囲を非接触状態と接触状態との範囲に規制している。
【００４１】
図１４及び図１５に示すように、前記被検出体７４を、前記他物検出部材７２とワイヤ７５を介して連動連結された状態で、前記載置体６３の基端部に設けてある。
この被検出体７４は、出退移動方向の中間部において横幅方向の軸芯Ｐ３周りに揺動自在に設けられ、この中間部から先端側、基部側及び下方側に向けて延設された形状に形成されており横側面視でＴ字状に形成しており、被検出体７４における先端側の端部にはワイヤ７５を連結し、下方側の部分には反射部７７を備えてある。
【００４２】
そして、被検出体７４を、軸芯Ｐ３周りの揺動により、被検出体７４の下方側の部分が上下方向に沿う姿勢となって反射部７７が光センサ７３の光路に進入する進入用姿勢（図１５（ｂ）参照）と、被検出体７４の下方側の部分が端部側ほど突出側に位置するように傾斜する姿勢となって反射部７７が光センサ７３の光路から退避した退避用姿勢（図１５（ａ）参照）とに揺動姿勢変更可能に構成しており、基端部側揺動規制部材７８にて、進入用姿勢から退避用姿勢側とは反対側への揺動並びに退避用姿勢から進入用姿勢側とは反対側への揺動を規制している。
つまり、被検出体７４を、進入用姿勢となることにより反射部７７が光センサ７３の光路に進入して光反射状態となり、退避用姿勢となることにより反射部７７が光センサ７３の光路から退避して非反射状態となるように構成しており、基端部側揺動規制部材７８の規制により、被検出体７４の姿勢変更の範囲が光反射状態と非反射状態との範囲に規制している。
ちなみに、光センサ７３は、出退式物品移載装置６１が引退状態となった状態における被検出体７４の位置よりも引退側に位置し且つ光反射状態に切り換えられた被検出体７４における反射部７７と同じ高さに位置するように、支持枠部材６７を介して支持される状態で旋回台６２に設けられている。
【００４３】
被検出体７４を非反射状態側に向けて付勢する引っ張りスプリング７９を設けており、この引っ張りスプリング７９にて、他物検出部材７２を突出側に復帰付勢するように構成してある。
説明を加えると、引っ張りスプリング７９にて被検出体７４を非反射状態側に付勢することにより、この非反射状態側に付勢された被検出体７４にてワイヤ７５が被検出体７４側に引っ張られ、この被検出体７４側に引っ張られたワイヤ７５にて他物検出部材７２が非接触状態側に向けて引っ張り付勢されて、他物検出部材７２を突出側に復帰付勢するように構成しており、このように引っ張りスプリング７９にて他物検出部材７２を突出側に復帰付勢してある。
ちなみに、被検出体７４側に引っ張られたワイヤ７５にて他物検出部材７２を非接触状態側に向けて引っ張り付勢するように、ワイヤ７５を他物検出部材７２に接続される箇所より下方に案内する案内ローラ８０を設けてある。
【００４４】
従って、他物検出部材７２に他物が接触しておらず他物検出部材７２が引っ張りスプリング７９の復帰付勢力にて非接触状態に切り換えられている状態では被検出体７４は非反射状態に切り換えられており、光センサ７３からの投射光が光センサ７３に向けて反射されていない状態である。そして、他物検出部材７２に他物が接触して他物検出部材７２が引っ張りスプリング７９の復帰付勢力に抗して接触状態に切り換えられると被検出体７４は反射状態に切り換えられ、光センサ７３からの投射光が光センサ７３に向けて反射される状態となる。
【００４５】
図１１に示すように、光センサ７３は、スタッカークレーンＶに備えられた制御装置８２に電気通信ケーブル８１によって連係させてあり、反射光を受光すると被検出体７４が存在すると検出し、反射光を受光しないと被検出体７４が存在しないと検出して、各検出結果を電気信号にして制御装置８２に出力するようになっている。
制御装置８２は、マイクロコンピュータを利用して構成しており、光センサ７３からの検出情報を基に、他物検出部材７２が他物に接触したか否かを判別し、他物検出部材７２が他物に接触していないと判別した場合には、地上側コントローラ（図示せず）からの指令情報に基づいてスタッカークレーンＶの運転を制御し、他物検出部材７２が他物に接触したと判別した場合には、地上側コントローラ（図示せず）からの運転指令に優先してスタッカークレーンＶの運転を停止させるように構成してある。
つまり、他物検出部材７２が他物に接触した場合にはスタッカークレーンＶを自動的に停止させて、載置体６３が他物に接触することを未然に防ぐことができるようになっている。
【００４６】
〔別実施の形態〕
（１）  上記実施の形態では、他物検出部材７２を先端側部材６３における出退移動方向の先端部に設けたが、先端側部材６３における出退移動方向の中間部に設けてもよく、また、先端側部材６３における出退移動方向の基端部に設けてもよい。
また、被検出体７４を先端側部材６３における出退移動方向の基端部に設けたが、先端側部材６３における出退移動方向の中間部に設けてもよく、また、先端側部材６３における出退移動方向の先端部に設けてもよい。
そして、他物検出部材７２と被検出体７４とを連係機構７５を介して連動連結したが、他物検出部材７２と被検出体７４との両方を先端側部材６３における出退移動方向の先端部に設ける等、他物検出部材７２と被検出体７４とを近接させた状態で設けた場合は、連係機構７５を用いずに他物検出部材７２と被検出体７４とを直接に連動連結してもよい。
【００４７】
（２）  上記実施の形態では、アーム部７２ａを、横幅方向に沿う軸芯Ｐ２周りで揺動するように構成したが、出退移動方向にスライド移動するように構成してもよい。
上記実施の形態では、検出部７４ｂを、棒状に形成してアーム部７２ａの先端に横幅方向に沿う姿勢で装着したが、球状に形成してアーム部７２ａの先端に装着してもよく、また、板状に形成してアーム部７２ａの先端に出退移動方向並びに横幅方向に沿う姿勢で装着してもよい。
【００４８】
（３）  上記実施の形態では、基部側部材６２を、スタッカークレーンＶの昇降台３６に旋回自在に装着した旋回台としたが、スタッカークレーンＶの昇降台３６に旋回不能に装着した基台としてもよい。
また、先端側部材６３を、基部側部材６２に一端側を取り付けた伸縮式のリンク機構６４の他端側に支持されて、リンク機構６４の伸縮により基部側部材６２に対して出退するように構成したが、基部側部材６２に出退方向にスライド移動自在に支持されたスライド部材に対して出退方向にスライド移動自在に支持されて、スライド部材に対してスライド移動することにより基部側部材６２に対して出退するように構成してもよい。
【００４９】
（４）  上記実施の形態では、連係機構７５をワイヤにて構成したが、棒状部材、リンク機構又はチェーンで構成する等、適宜変更してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】クリーンルーム用の物品保管設備を示す平面図
【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩ矢視図
【図３】図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図
【図４】クリーンルーム用の物品保管設備の要部を示す斜視図
【図５】スタッカークレーンを示す側面図
【図６】スタッカークレーンを示す正面図
【図７】走行台車を示す平面図
【図８】支柱を示す横断平面図
【図９】出退式物品移載装置を示す平面図
【図１０】出退式物品移載装置を示す作用図
【図１１】接触検出装置を示す側面図
【図１２】他物検出部材を示す斜視図
【図１３】他物検出部材の作用図
【図１４】被検出体を示す斜視図
【図１５】被検出体の作用図
【符号の説明】
【００５１】
３６    昇降台
６１    出退式物品移載装置
６２    基部側部材（旋回台）
６３    先端側部材
６４    リンク機構
７１    接触検出装置
７２    他物検出部材
７２ａ  アーム部
７２ｂ  検出部
７３    光センサ
７４    被検出体
７５    連係機構
Ｐ２  軸芯
Ｖ    スタッカークレーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009161280.tif 000009
【図８】
2009161280.tif 000010
【図９】
2009161280.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2009161280.tif 000015
【図１４】
2009161280.tif 000016
【図１５】
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