(57)【要約】【課題】キャッププレート２０２を介して複数のヘッドキャップ２０１の接触面の傾き調整を簡単に行うことができる吸引装置１５等を提供する。【解決手段】複数の機能液滴吐出ヘッド１７をヘッドプレート５３に搭載したヘッドユニット１３に対応して設けられ、複数の機能液滴吐出ヘッド１７に対応する複数のヘッドキャップ２０１をキャッププレート２０２に搭載したキャップユニット２０３と、キャップユニット２０３を支持する支持フレーム３４２と、支持フレーム３４２とキャッププレート２０２との間に介設され、キャッププレート２０２を介して複数のキャップユニット２０３のピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整する傾き調整手段２０７と、を備え、傾き調整手段は、支持フレーム３４２に対しキャッププレート２０２の四隅をそれぞれ高さ調整可能な４つの高さ調整機構３１３を有している。【選択図】図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドをヘッドプレートに下向きに搭載したヘッドユニットに対応して設けられ、前記複数の機能液滴吐出ヘッドに対応する複数のヘッドキャップを略方形のキャッププレートに上向きに搭載したキャップユニットと、
前記キャップユニットを下側から支持する支持フレームと、
前記支持フレームと前記キャッププレートとの間に介設され、前記キャッププレートを介して前記キャップユニットのピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整する傾き調整手段と、を備え、
前記傾き調整手段は、前記支持フレームに対し前記キャッププレートの四隅をそれぞれ高さ調整可能な４つの高さ調整機構を有していることを特徴とする吸引装置。
【請求項２】
前記各高さ調整機構は、上側から前記キャッププレートを貫通するように螺合すると共に、下端が前記支持フレームの上面に突き当てられる調整ねじを有していることを特徴とする請求項１に記載の吸引装置。
【請求項３】
前記各高さ調整機構は、前記調整ねじの軸心を貫通して前記支持フレームに螺合する固定ねじを、更に有していることを特徴とする請求項１または２に記載の吸引装置。
【請求項４】
前記調整ねじの上端部外周面には、前記調整ねじを正逆回転させるための工具掛け部が形成されていることを特徴とする請求項２または３に記載の吸引装置。
【請求項５】
前記調整ねじの下端部は、冠球状に形成されていることを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の吸引装置。
【請求項６】
ワークに対し、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、前記複数の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、
前記複数のヘッドキャップを介して、前記複数の機能液滴吐出ヘッドに対し機能液の吸引処理を行う請求項１ないし５のいずれかに記載の吸引装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項８】
請求項６に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドに密接し、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルを保全する吸引装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法および電気光学装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、クリーニングユニット（吸引装置）として、複数の機能液吐出ヘッドに対応して設けられた複数のヘッドキャップ及び複数のヘッドキャップを搭載したキャッププレートから成るキャップユニットと、キャッププレートの四隅をボルト止めするようにしてキャップユニットを支持固定するキャップベース（支持フレーム）と、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−２７５６４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来の吸引装置（クリーニングユニット）では、ワークギャップ調整により水平に配設した複数の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に対し、複数のヘッドキャップの接触面が精度良く平行に配設されていないと、一部の機能液液滴吐出ヘッドとヘッドキャップとの密接が不十分となり、機能液の漏出やエアーのリークが発生してしまう問題があった。もっとも、キャップユニットや支持フレーム（キャップベース）を高い精度で作製すればかかる不具合は解消するが、コスト高となってしまう。
【０００４】
本発明は、キャッププレートを介して複数のヘッドキャップの接触面の傾き調整を簡単に行うことができる吸引装置、液滴吐出装置電気光学装置の製造方法および電気光学装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の吸引装置は、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドをヘッドプレートに下向きに搭載したヘッドユニットに対応して設けられ、複数の機能液滴吐出ヘッドに対応する複数のヘッドキャップを略方形のキャッププレートに上向きに搭載したキャップユニットと、キャップユニットを下側から支持する支持フレームと、支持フレームとキャッププレートとの間に介設され、キャッププレートを介して複数のキャップユニットのピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整する傾き調整手段と、を備え、傾き調整手段は、支持フレームに対しキャッププレートの四隅をそれぞれ高さ調整可能な４つの高さ調整機構を有していることを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、４つの高さ調整機構により、キャップユニットのピッチング方向およびヨーイング方向の傾きをそれぞれ調整することができるので、複数の機能液滴吐出ヘッドのノズル面に対する複数のヘッドキャップの平行度を精度良く調整することができる。これにより、複数の機能液滴吐出ヘッドに対しキャッププレートに搭載されている各ヘッドキャップを精度良く密接させることができ、機能液の漏出やエアーものリークを確実に防止することができる。
【０００７】
この場合、各高さ調整機構は、上側からキャッププレートを貫通するように螺合すると共に、下端が支持フレームの上面に突き当てられる調整ねじを有していること、が好ましい。
【０００８】
この構成によれば、調整ねじを正逆回転させることによりキャッププレートが上下動するため、キャッププレートの傾きを簡単に調整することができる。なお、調整ねじのリードを短くしてキャッププレートの上下動を微調整できるようにすることが、好ましい。
【０００９】
この場合、各高さ調整機構は、調整ねじの軸心を貫通して支持フレームに螺合する固定ねじを、更に有していること、が好ましい。
【００１０】
また、調整ねじの上端部外周面には、調整ねじを正逆回転させるための工具掛け部が形成されていること、が好ましい。
【００１１】
これらの構成によれば、４つの調整ねじによりキャッププレートの傾き調整を行った後、固定ねじを締め付ければ、キャッププレートを介してキャップユニットを支持フレームに固定することができる。また、固定ねじを、緩めた状態で調整ねじによる調整を行うことができる。
【００１２】
この場合、調整ねじの下端部は、冠球状に形成されていること、が好ましい。
【００１３】
この構成によれば、調整ねじの下端部が支持プレートに線状（円）に当接するため、面状に当接する場合に比して調整ねじの回転角度に対する調整のくるいを抑制することができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドを移動させながら、複数の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出させて描画を行なう描画手段と、複数のヘッドキャップを介して、複数の機能液滴吐出ヘッドに対し機能液の吸引処理を行うことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、複数の機能液滴吐出ヘッドと複数のヘッドキャップを精度良く密接させることができるため、複数の機能性液滴吐出ヘッドの吸引処理を効率良く行うことができる。すなわち、機能性液滴吐出ヘッドの機能維持や機能回復を効率良く行うことができ、生産性を向上させることができる。
【００１６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の電気光学装置は、上記の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００１８】
これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの機能維持および機能回復を効率良く行うことができる液滴吐出装置により製造することで、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付の図面を参照して、本発明の機能液供給装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２０】
図１、図２および図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル（移動テーブル）１２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７が搭載された１０個のキャリッジユニット５１と、から成り、１０個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に移動自在に吊設されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ６と、チャンバ６を貫通して、チャンバ６の外部から内部の機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する３組の機能液供給装置１０１を有した機能液供給ユニット７と、を備えている。Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット７から供給されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。
【００２１】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、複数の吸引装置１５、ワイピングユニット１６、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置５を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、複数の吸引装置１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から直角に延び、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台上に配設されている（厳密には、吐出性能検査ユニット１８は、後述するステージユニット７７がＸ軸テーブル１１に搭載され、カメラユニット７８がＹ軸支持ベース３に支持されている。）。
【００２２】
フラッシングユニット１４は、一対の描画前フラッシングユニット７１,７１と、定期フラッシングユニット７２とを有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受ける。各吸引装置１５は、各機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う。ワイピングユニット１６は、ワイピングシート７５を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取る。吐出性能検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴を受ける検査シート８３を搭載したステージユニット７７と、ステージユニット７７上の機能液滴を画像認識により検査するカメラユニット７８を有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能（吐出の有無および飛行曲り）を検査する。
【００２３】
次に、液滴吐出装置１の構成要素について簡単に説明する。図２または図３に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してセットテーブル２１（ワークＷ）をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介してフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。
【００２４】
セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、それぞれ上記の描画前フラッシングユニット７１が添設されている。
【００２５】
Ｙ軸テーブル１２は、１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ吊設した１０個のブリッジプレート５２と、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジユニット５１を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１７を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１７をメンテナンス装置５（吸引装置１５およびワイピングユニット１６）に臨ませる。
【００２６】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。
【００２７】
また、Ｙ軸テーブル１２の両脇には、これに平行にケーブル坦持体８１が配設されている。両ケーブル坦持体８１は、一端がＹ軸支持ベース３に固定されると共に他端が各ブリッジプレート５２の１つに固定されている。このケーブル坦持体８１には、各キャリッジユニット５１用のケーブル類、エアーチューブ類および機能液流路等が収容されている。
【００２８】
各キャリッジユニット５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するヘッドプレート５３と、から成るヘッドユニット１３を備えている（図４参照）。また、各キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット５１は、その上部にサブタンク１２１が配設されており（実際には、ブリッジプレート５２上に配設）、このサブタンク１２１から自然水頭を利用して各機能液滴吐出ヘッド１７に機能液が供給されるようになっている。
【００２９】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、機能液供給ユニット７（機能液供給装置１０１）に接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）、キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。
【００３０】
なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる２つのノズル列９８ｂが相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９８ｂ同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。
【００３１】
チャンバ６は、内部温度および湿度を一定に保つように構成されている。すなわち、液滴吐出装置１によるワークＷへの描画は、温度および湿度が一定値に管理された雰囲気中で行われる。そして、チャンバ６の側壁の一部には、タンクユニット１２２を収納するためのタンクキャビネット８４が設けられている。なお、有機ＥＬ装置等を製造する場合には、チャンバ６内を、不活性ガス（窒素ガス）の雰囲気で構成することが好ましい。
【００３２】
図１および図２に示すように、ワイピングユニット１６と１０台（複数）の吸引装置１５とが配設された領域は、メンテナンスエリア２１３となっており、液滴吐出装置１の稼動停止時には、Ｙ軸テーブル１２により１０個のキャリッジユニット５１が１０台の吸引装置１５の位置まで移動し、全機能液滴吐出ヘッド１７に対し、いわゆるキャッピングが行われる。一方、稼動開始時には、全機能液滴吐出ヘッド１７に対し、吸引処理が行なわれ、続いてキャリッジユニット５１単位でワイピング処理が行なわれ、１０台のキャリッジユニット５１は順次、Ｘ軸テーブル１１上の描画エリア２１４に移動する。
【００３３】
また、稼動中に、例えばメンテナンスエリア２１３側から３つ目のキャリッジユニット５１に吐出不良が検出されると、１つ目から３つ目までの３つのキャリッジユニットが描画エリア２１４側の３台の吸引装置１５上に移動し、該当する１のキャリッジユニット５１には、吸引装置１５による吸引処理が行なわれ、その間他の２つのキャリッジユニット５１では、各機能液滴吐出ヘッド１７から吸引装置１５に捨て吐出（フラッシング）が行われる。このように、１０個のキャリッジユニット５１が個別に制御され、これに合わせて１０台の吸引装置１５も個別に制御される。すなわち、１０台の吸引装置１５は、本装置の吸引システムを構成している。
【００３４】
次に、図６および図７を参照して、各吸引装置１５について説明する。吸引装置１５は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に対応する１２個のヘッドキャップ２０１を、キャッププレート２０２に配置したキャップユニット２０３と、各ヘッドキャップに連なる吸引機構２０４（図１１参照）と、キャップユニット２０３を支持する支持部材２０５と、支持部材２０５を介してキャップユニット２０３を昇降させる昇降機構２０６と、後述するキャップユニット２０３のピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整する傾き調整機構２０７と、後述するヘッドキャップ２０１の大気開放弁２０８を開放させる弁作動機構２０９とを備えている。
【００３５】
図７に示すように、キャップユニット２０３は、１２個のヘッドキャップ２０１とこれを搭載したキャッププレート２０２とから成り、１２個のヘッドキャップ２０１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と同じ並びで且つ同じ傾き姿勢で、キャッププレート２０２に搭載されている。キャッププレート２０２は、１２個のヘッドキャップ２０１に対応して１２個の取付け開口が形成されると共に、この取付け開口を含むように１２個の受け溝が形成されている（いずれも図示省略）。各ヘッドキャップ２０１は、下部を取付け開口に挿入し、受け溝に位置決めされた状態で、受け溝にねじ止めされている。
【００３６】
図８ないし図１０に示すように、ヘッドキャップ２０１は、機能液滴吐出ヘッド１７に接触するキャップアッセンブリ２２１およびキャップアッセンブリ２２１を受けるアッセンブリベース２２２からなるキャップ本体２２３と、キャップアッセンブリ２２１を保持するキャップホルダ２２４とを有している。キャップ本体２２３の下面には、キャップ本体２２３内を大気に開放する大気開放弁２０８と、キャップ本体２２３内に連通する吸引チューブ２２５用の吸引継手２２６と、が取り付けられている。
【００３７】
キャップアッセンブリ２２１は、キャップアッセンブリ２２１の主体を為すと共に、表面中央部に吸収材収容部２３１ａを形成した吸収材ホルダ２３１と、吸収材収容部２３１ａに収容された機能液吸収材２３２と、膨張した機能液吸収材２３２を平坦に抑える機能液吸収材押さえ２３３と、吸収材収容部２３１ａを囲繞するように設けられ、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７に密接するシール部材２３４と、シール部材２３４の周縁部を押さえる枠状押さえ部材２３５と、枠状押さえ部材２３５を吸収材ホルダ２３１に締結する２本の締結ねじ２３６と、を有している。
【００３８】
吸収材ホルダ２３１は、略方形に作成されており、吸収材ホルダ２３１の表面中央部には、機能液吸収材２３２を収容する方形の吸収材収容部２３１ａが枠状に突設されている。また、吸収材ホルダ２３１の長辺方向両側部には、締結ねじ２３６用の締結ねじ貫通孔２４１と後述する取付ねじ２４２用の取付ねじ貫通孔２４３とが、短辺方向に並んで形成されている（図９参照）。また、吸収材ホルダ２３１の裏面には、後述する一対のＸ軸位置決めピン２４４が係合するＸ軸切欠き部２４５が長辺方向に延在するように形成されて、また吸収材ホルダ２３１の１の角部には後述するＹ軸位置決めピン２４６が係合するＹ軸切欠き部２４７が形成されている。
【００３９】
吸収材収容部２３１ａの底面には、長辺方向に並ぶよう吸引口２４８および大気挿入口２５０が開口しており、吸引口２４８は、吸引流路２５１を介して上記の吸引継手２２６に連通し、大気挿入口２５０は大気開放流路２５２を介して上記の大気開放弁２０８に連通している。そして、吸収材ホルダ２３１の下面には、吸引流路２５１と同心円を為するように、後述する液密シール部材２３７（Ｏリング）が装着される環状溝２５３が形成されている。同様に、吸収材ホルダ２３１の下面には、大気開放流路２５２と同心円を為するように、後述する気密シール部材２３８（Ｏリング）が装着される環状溝２５３が形成されている。なお、液密シール部材２３７および気密シール部材２３８は、キャップアッセンブリ２２１の交換に際し、その一部として一体に交換される（図８参照）。
【００４０】
機能液吸収材２３２は、機能液吸収を主体とする上側の上吸収材２３２ａと機能液保持を主体する下側の下吸収材２３２ｂとから成る２種類の機能液吸収材２３２を積層して構成されており、吸収材収容部２３１ａに敷設するように収容されている。なお、機能液吸収材２３２は、２層構造に限らず単層構造または多層構造にしてもよい。
【００４１】
機能液吸収材押さえ２３３は、ステンレス等の耐食性材料の薄板で構成されており、略方形の枠状部２３３ａと、枠状部２３３ａを横断するように形成された桟状部２３３ｂ（３つ）とで一体に形成されている。これにより、機能液吸収材２３２の膨潤を防止し、平坦に抑えることができるようになっている。
【００４２】
シール部材２３４は、耐食性ゴムや樹脂等で構成されており、断面がクランク状に且つ吸収材収容部２３１ａに沿って環状に形成されている（図８参照）。これにより、シール部材２３４を、ノズル列９８ｂを包含するようにノズル面９７に密着させることができる。また、シール部材２３４と吸収材ホルダ２３１とが機能液吸収材押さえ２３３の縁部を挟み込むように構成されており、機能液吸収材押さえ２３３を安定的にかつ気密に固定することが可能となる。
【００４３】
枠状押さえ部材２３５は、ステンレス等で構成されており、シール部材２３４が臨む開口を有して略方形の枠状に形成されている。枠状押さえ部材２３５の長辺方向の両端部には、の取付ねじ２４２用の取付ねじ貫通穴２６１と締結ねじ２３６用の締結ねじ穴２６２が、短辺方向に並ぶように形成されている。一対の締結ねじ２３６、２３６は、吸収材ホルダ２３１を貫通して枠状押さえ部材２３５に螺合するようになっており、両締結ねじ２３６、２３６により、キャップアッセンブリ２２１が一体化される。なお、取付ねじ２４２により、キャップアッセンブリ２２１をアッセンブリベース２２２に固定した状態では、締結ねじ２３６は、キャップ本体２２３内に隠ぺいされる。
【００４４】
アッセンブリベース２２２は、キャップ本体２２３よりわずかに長くにかつ略方形に形成されており、キャップ本体２２３が着座するベース本体２２２ａと、ベース本体２２２ａから長辺方向両側に延設された一対の被保持部２２２ｂと、で一体に形成されている。そして、アッセンブリベース２２２は、この一対の被保持部２２２ｂの部分でキャップホルダ２２４に保持されている。また、ベース本体２２２ａには、上記の吸引流路２５１に連結する吸引連通流路２７１が形成され、この吸引連通流路２７１には、ストレート形状に形成された吸引継手２２６が取り付けられている。そして、吸引継手２２６の継手本体には、吸引した機能液を後述する廃液タンク２８１（図１１参照）に導く吸引チューブ２２５が接続されている。この場合、吸引チューブ２２５がストレート形状に形成されているため、吸引チューブ２２５を簡単に離接することができると共に、吸引継手２２６やキャップアッセンブリ２２１が吸引チューブ２２５から無用な力を受けることがない。
【００４５】
同様に、ベース本体２２２ａの下面には、大気開放流路２５２に連通する大気連通流路２７２が形成され、この大気連通流路２７２には、下方に延在するロッドホルダ２９１に、上下方向スライド自在に支持するようにして大気開放弁２０８が取り付けられている。大気開放弁２０８は、上記大気連通流路２７２に埋め込んだ弁座３０２ａと、ロッドホルダ２９１にスライド自在に支持された操作ロッド３０１の上端部に形成した弁体３０２ｂと、ロッドホルダ２９１に設けられ操作ロッド３０１を閉弁方向（上方）に付勢する戻しばね３０３と、操作ロッド３０１の下部に螺合した入力コマ３０４と、入力コマ３０４を固定するロックナット３０５と、で構成されている。詳細は後述するが、入力コマ３０４には、上記の弁作動機構２０９が係合しており、弁作動機構２０９により、入力コマ３０４を介して操作ロッド３０１が引き上げられることにより、大気開放弁２０８が閉弁する一方、戻しばね３０３により、操作ロッド３０１が引き上げられることにより大気開放弁２０８が閉弁する。さらに、ベース本体２２２ａの下面には、吸引継手２２６および大気開放弁２０８の外側に位置して、後述する密接ばね３２２を受容する一対のばね受け穴３２６，３２６が形成されている。
【００４６】
キャップアッセンブリ２２１とアッセンブリベース２２２との間には、吸収材ホルダ２３１の一対の環状溝２５３に装着するようにして、液密シール部材２３７（Ｏリング）および気密シール部材２３８（Ｏリング）が介設されている。
【００４７】
取付ねじ２４２は、枠状押さえ部材２３５の表面からキャップアッセンブリ２２１をアッセンブリベース２２２に固定するために、枠状押さえ部材２３５および吸収材ホルダ２３１を貫通して、アッセンブリベース２２２に螺合するようになっている。この一対の取付ねじ２４２により、キャップアッセンブリ２２１をアッセンブリベース２２２に固定すると、液密シール部材２３７および気密シール部材２３８が押しつぶされて、吸引流路２５１と吸引連通流路２７１とが液密に接続され、且つ大気開放流路２５２と大気連通流路２７２とが気密に接続される。これにより、キャップアッセンブリ２２１とアッセンブリベース２２２の接続部分からの機能液の漏出やエアーのリークを有効に防止することができる。なお本実施形態では、液密シール部材２３７および気密シール部材２３８にＯリングを採用するが、機能液の漏出やエアーのリークを有効に防止することができれば、ＸリングやＤリングを採用しても良い（図示省略）。
【００４８】
キャップホルダ２２４は、ステンレス等の耐食性材料で構成され、細長形状の外形を有するキャップホルダ本体３２０と、キャップホルダ本体３２０上にキャップ本体２２３を押さえるように保持する一対の保持ブロック３２１と、キャップホルダ本体３２０を受けとしてキャップ本体２２３を上方に付勢する一対の密接ばね３２２，３２２と、を備えている。キャップホルダ本体３２０は、一対の保持ブロック３２１が固定されている両端部の一対の厚肉部３２０ａと、中間の薄肉部３２０ｂとで一体に形成されており、薄肉部３２０ｂの中央には、上記の吸引継手２２６および大気開放弁２０８が挿入する開口部３２３が形成されている。また、薄肉部３２０ｂには、開口部３２３の外側に位置して、後述する密接ばね３２２を受容する一対のばね受け溝２１２，２１２が形成されている。各ばね受け溝２１２には、その中心にばね支持ピン３２４が立設されており、このばね支持ピン３２４に巻回するようにして、密接ばね３２２が配設されている。すなわち、各密接ばね３２２は、キャップホルダ本体３２０のばね受け溝２１２とアッセンブリベース２２２のばね受け穴３２６との間に介設され、キャップホルダ本体３２０を受けにして、キャップ本体２２３を上方に付勢している。
【００４９】
一対の保持ブロック３２１は、キャップホルダ本体３２０の厚肉部にそれぞれねじ止めされており、その内側でアッセンブリベース２２２の一対の被保持部２２２ｂ，２２２ｂが、上下方向にスライド自在に係合し、且つ一対の密接ばね３２２に接してアッセンブリベース２２２の上動端位置を規制している。すなわち、キャップ本体２２３は、この一対の保持ブロック３２１により位置規制された状態で一対の密接ばね３２２により上方に付勢されている。これによりキャップ本体２２３を、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７に確実に密着させ得るようになっている。また、一対の保持ブロック３２１は、キャップ本体２２３をわずかに傾斜するように位置規制しており、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７が離間するときにキャップ本体２２３の表面から機能液が大きく飛散するのを防止している。
【００５０】
ここで、図９を参照にして、キャップ本体２２３の組立て手順を説明する。予め、吸収材ホルダ２３１と、機能液吸収材２３２と、機能液吸収材押さえ２３３と、シール部材２３４および枠状押さえ部材２３５を組み付け、吸収材ホルダ２３１の裏面から締結ねじ２３６を枠状押さえ部材２３５に螺合することでキャップアッセンブリ２２１を組み立てておく。この状態で、吸収材ホルダ２３１の下面に形成された切欠き部２４５および切欠き部２４７をベース本体２２２ａのＸ軸位置決めピン２４４およびＹ軸位置決めピン２４６に位置合わせをする。そして、枠状押さえ部材２３５の上面から、取付ねじ２４２をキャップアッセンブリ２２１を貫通するようにベース本体２２２ａに螺合させることで、キャップアッセンブリ２２１をベース本体２２２ａに固定する。
【００５１】
一方、機能液吸収材２３２や、シール部材２３４を交換する場合には、吸収材ホルダ２３１、機能液吸収材２３２、シール部材２３４等を組み立てた新たなキャップアッセンブリ２２１を用意しておき、取付ねじ２４２を外し、既存のキャップアッセンブリ２２１を取り外した後、新たなキャップアッセンブリ２２１を装着する。このように、キャップアッセンブリとして、吸収材ホルダ２３１と、機能液吸収材２３２と、機能液吸収材押さえ２３３と、シール部材２３４と、枠状押さえ部材２３５とが吸収材ホルダ２３１の下面から締結ねじ２３６で螺合されており、且つキャップアッセンブリ２２１が枠状押さえ部材２３５の上面からベース本体２２２ａに螺合されることで固定されている。
【００５２】
よって、キャップアッセンブリ２２１交換時には、枠状押さえ部材２３５の上面には、一対の取付ねじ２４２のみ露出していることになる。したがって、キャップアッセンブリ２２１を間違えて解体することなく、取付ねじ２４２を外すことで、一体として交換することができる。よって、確実に短時間でキャップアッセンブリ２２１の交換作業を行うことができる。例えば、この交換作業の作業時間は、従来のねじ固定では１のヘッドキャップ２０１（消耗品の）の交換作業につき約５分であるが、本実施形態の方法では約３０秒である。したがって、１２個のヘッドキャップ２０１に対し、従来の交換作業は約６０分を要したが、本実施形態の方法による交換作業は約６分で完了する。
【００５３】
上記したようにキャップユニット２０３は、ヘッドユニット１３の各色４個、計１２個の機能液滴吐出ヘッド１７に対応して、各色４個、計１２個のヘッドキャップ２０１を有している。本実施形態の吸引機構２０４は、この色別に吸引処理を行なえるようになっている。すなわち、図１１に示すように、吸引機構２０４は、Ｒ・Ｂ・Ｇ３色の機能液滴吐出ヘッド１７に対応して、別個独立のＲ色吸引機構２０４ａ、Ｇ色吸引機構２０４ｂおよびＢ色吸引機構２０４ｃとで構成されている。
【００５４】
ここで、各吸引機構２０４の構成および機能は同じであるため、Ｒ色吸引機構２０４を例に挙げ説明する。各Ｒ色吸引機構２０４は、Ｒ色の４個の各ヘッドキャップ２０１に接続した４本の個別吸引チューブ２２５、及びマニホールド３３０を介して４本の個別チューブ２２５ａの下流端に接続した合流チューブ２２５ｂとから成る吸引チューブ２２５と、吸引チューブ２２５の下流端が接続される廃液タンク２８１と、廃液タンク２８１と一次側にエアーを導入すると共に二次側を廃液タンク２８１に接続したイジェクタ３３１とを有している。各個別吸引チューブ２２５には、圧力センサ３３２および開閉バルブ３３３が介設されており、４個のヘッドキャップ２０１が同一の吸引圧力で吸引される。
【００５５】
各機能液滴吐出ヘッド１７と各ヘッドキャップ２０１とを密着させた状態で、一次側に圧縮エアーを導入するようにしてイジェクタ３３１を駆動すると、廃液タンク２８１および吸引流路２５１が負圧（吸引圧力）に成る。これにより機能液がヘッドキャップ２０１を介して機能液滴吐出ヘッド１７から吸引され、廃液タンク２８１に貯留される。また、本実施形態の吸引装置１５では、機能液滴吐出ヘッド１７から機能液を吸引する場合の他、機能液滴吐出ヘッド１７からの捨て吐出（フラッシング）を受ける場合があり、かかる場合には、ヘッドキャップ２０１を機能液滴吐出ヘッド１７からわずかに離間させ、イジェクタ３３１を駆動させながら捨て吐出を受けるようにしている。なお、負圧力は、圧力センサ３３２により、検出され、この検出結果に基づいて、一次側のレギュレータ３３４がフィードバック制御される。また、本字実施形態では、イジェクタ３３１による吸引を示したが、これに換えて、吸引ポンプによる吸引方法でも良い。
【００５６】
図６に示すように、昇降機構２０６は、支持部材２０５を介してヘッドキャップ２０１を直接昇降させる昇降シリンダ３１１と、昇降シリンダ３１１による昇降をガイドする一対のリニアガイド３１４と、これらを支持するベース部３４１と、を有している。昇降シリンダ３１１は、ヘッドユニット１３の交換時にヘッドキャップ２０１を大きく下降させると共に、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７からヘッドキャップ２０１を離接させるものである。すなわち、昇降シリンダ３１１は、吸引用の密接位置と、フラッシング用の離接位置と、ヘッドユニット１３の交換やキャップユニット２０３の消耗品交換（メンテナンス）用の交換位置との間でキャップユニット２０３を３段階に昇降させる。
【００５７】
支持部材２０５は、上端にキャップユニット２０３を支持する支持フレーム３４２を有する支持部材本体３４３と、支持フレーム３４２を上下方向にスライド自在に支持するスタンド３４４とを有している。支持部材本体３４３の長手方向の両側下面には、一対のエアーシリンダ３４５、３４５が固定されており、この一対のエアーシリンダ３４５、３４５で昇降される操作プレート３１２を設けて、操作プレート３１２上に各ヘッドキャップ２０１の大気開放弁２０８の入力コマ３０４に係合する複数（１２個）の作動部材３０７を取り付けられている（詳細は後述する）。かくて、一対のエアーシリンダ３４５、３４５および作動部材３０７により操作プレート３１２を介して大気開放弁２０８を開閉する弁作動機構２０９が形成されている（図１３参照）。
【００５８】
次に、図７および図１２を参照して、キャップユニット２０３のピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整する傾き調整機構２０７について説明する。傾き調整機構２０７は、上記のキャップユニット２０３におけるキャッププレート２０２の四隅に設けられた４個の高さ調整機構３１３により構成されており、各高さ調整機構３１３は、下端が支持フレーム３４２の上面に突き当てられる調整ねじ３５１と、調整ねじ３５１の軸心を貫通してキャッププレート２０２を支持フレーム３４２に螺合する固定ねじ３５２と、を有している。
【００５９】
支持フレーム３４２は、略方形に形成されており、キャッププレート２０２の長辺方向の両端を下側から支持している。支持フレーム３４２の両端部には、一対のＹ軸位置決め板３５４，３５４が設けられ、一方の端部にはＸ軸位置決めブロック３５５が設けられている（図７参照）。キャップユニット２０３は、そのキャッププレート２０２をＹ軸位置決め板３５４およびＸ軸位置決めブロック３５５に突き当てるようにして、支持フレーム３４２上に位置決めされる。なお、図中の符号３４６は、固定ねじ３５２をロックするロックねじである。
【００６０】
調整ねじ３５１は、外周面でキャッププレート２０２に螺合する雄ネジ部材であり、上端部外周面に調整ねじ３５１を正逆回転させるための工具掛け部３５５が形成されている。調整ねじ３５１を工具等により正逆回転させると、相対的にキャッププレート２０２が上下動する。一方、調整ねじ３５１の下端部は、調整ねじ３５１の回転角度に対する調整のくるいを抑制するために冠球状に形成されており、この部分で調整ねじ３５１は支持フレーム３４２に突き当てられている。なお、調整ねじ３５１の側面に形成されているリードは、キャッププレート２０２の上下動を微調整できるように短く形成されている。また、調整ねじ３５１の軸心には、固定ねじ３５２が貫通する貫通孔３５６が形成されている。
【００６１】
固定ねじ３５２は、調整ねじ３５１の軸心を貫通して支持フレーム３４２に螺合している。すなわち、４本の調整ねじ３５１により、キャッププレート２０２のピッチング方向およびヨーイング方向の傾きを調整した後、４本の固定ねじ３５２を支持フレーム３４２に締結することにより、傾き調整されたキャップユニット２０３が支持フレーム３４２に固定される。
【００６２】
次に、傾き調整機構２０７によるキャッププレート２０２の傾き調整方法について説明する。まず、キャッププレート２０２の四隅と機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７との最短距離をマイクロメーター等により測定することで、４つの高さ調整機構３１３によりキャッププレート２０２を四隅の上下動する移動距離をそれぞれ決定する。次に、支持フレーム３４２に螺合している４つの調整ねじ３５１を緩めることで、固定ねじ３５２を回転可能にする。そして、上記で決定した移動距離に合致するように、キャッププレート２０２の四隅に配設された調整ねじ３５１をレンチ等により正逆回転させキャッププレート２０２の高さレベルを調整する。最後に、固定ねじ３５２を締めることで、調整ねじ３５１を介してキャップユニット２０３を支持フレームに固定する。
【００６３】
したがって、固定ねじ３５２を、緩めた状態で４つの調整ねじ３５１により調整ねじ３５１に対するキャッププレート２０２の位置を調整後、固定ねじ３５２を締め付ければ、キャッププレート２０２を介してキャップユニット２０３を支持フレーム３４２に固定することができる。また、キャッププレート２０２の四隅をそれぞれ高さ調整することが可能であるため、複数の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面に複数のヘッドキャップ２０１の傾きを合わせることができる。したがて、キャッププレート２０２に搭載されているヘッドキャップ２０１を機能液滴吐出ヘッド１７に精度良く密着させることができ、機能液の漏出やエアーのリークを確実に防止することができる。なお、複数の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７の傾きとキャッププレート２０２の傾きが完全に一致しなくても、上記したように、キャップ本体２２３がキャップホルダ２２４に僅かに上下動するように配設されているため、複数の機能液滴吐出ヘッド１７とヘッドキャップ２０１とを精度良く密着させることができる。
【００６４】
次に、図１０および図１３を参照して、大気開放弁２０８を開閉する弁作動機構２０９について説明する。上記のように大気開放弁２０８は、キャップ本体２２３に対し離接する方向にスライド自在に設けられ、このスライド動作で大気連通流路２７２を開閉させる操作ロッド３０１と、操作ロッド３０１の下部に設けられた入力コマ３０４と、入力コマを固定するロックナット３０５と、を有している。一方、弁作動機構２０９は、この入力部３０６と係合する作動部材３０７と、作動部材３０７を上下動させる動力源である一対のエアーシリンダ３４５，３４５と、操作ロッド３０１を弁閉塞方向に付勢する戻しばね３０３と、を有している。
【００６５】
入力コマ３０４は、正逆回転することで操作ロッド３０１に対する軸方向の取付位置を調整することができるように操作ロッド３０１に螺合しており、調整した位置をロックナット３０５により固定する。入力コマ３０４は、円筒状に形成され、上下両端部には、それぞれ上フランジ部３０４ａおよび下フランジ部３０４ｂが一体に形成されている。一方、作動部材３０７は、爪部３０７ａと取付部３０７ｂとで断面逆「Ｌ」字状に形成され、取付部３０７ｂで操作プレート３１２の上面に固定され、爪部３０７ａで入力コマに係合している。爪部３０７ａは、「Ｕ」字状に形成された切欠き部３１０を有しており、切欠き部３１０は、上記した傾き調整機構２０７の傾き調整に伴う入力コマ３０４の移動に加え、キャップ本体２２３の傾動に伴う入力コマ３０４の移動を許容する間隙Ｓを存して臨んでいる。すなわち、傾き調整機構２０７による調整に伴って、操作ロッド３０１が振られ、入力コマ３０４の傾きが移動するが、この移動範囲を想定して、入力コマ３０４の胴体と切欠き部３１０の間隙（クリアランス）Ｓが設計されている。このように入力コマ３０４と切欠き部３１０との間に大きなクリアランスを設けているため、下フランジ部と作動部材３０７の爪部３０７ａとの係合を確実なものとすべく下フランジ部３０４ｂの直径は、作動部材３０７の幅より大きく形成されている（図１４参照）。
【００６６】
次に、吸引動作完了直後に行う大気開放弁２０８の開閉動作について説明する。まず、エアーシリンダ３４５と連結している操作プレート３１２をエアーシリンダ３４５により下動させる。これに伴い、作動部材３０７が引き下げられ、入力コマ３０４の下フランジ部３０４ｂを介して操作ロッド３０１が引かれ大気開放弁２０８が開放する。一方、動力源により操作プレート３１２を上動させると、上記の戻しばね３０３により大気開放弁２０８が開放する。
【００６７】
なお、上記したように、切欠き部３１０は、高さ調整機構３１３によるヘッドキャップ２０１の傾動に伴う入力コマ３０４の移動および機能液滴吐出ヘッド１７とキャップ本体２２３との密着時のキャップ本体２２３の傾動に伴う入力コマ３０４の移動を許容する間隙Ｓを存している。よって、組立時に、作動部材３０７と入力部３０６とを簡単に係合させることができ、且つ切欠き部３１０が操作ロッド３０１に螺合している入力コマ３０４に干渉することがない。また、フランジ部３０９が作動部材３０７の幅より大きく形成されているため入力部３０６と切欠き部３１０との間隙Ｓが大きくても作動部材３０７にフランジ部３０９が掛かることで、確実に開弁することができ、且つ戻しばね３０３により円滑に大気開放弁２０８を閉弁させることができる。これにより、機能液吸収材２３２に含まれている機能液を吸引することができると共に、ノズル面９７近傍に残存している機能液の飛散を防止することができる。この場合、間隙Ｓは２ｍｍとすることが好ましい。
【００６８】
なお、特に図示はしないが、本実施形態では、吸収材ホルダ２３１のＸ軸、Ｙ軸両切欠き部２４５、２４７と、アッセンブリベース２２２のＸ軸、Ｙ軸両位置決めピン２４４、２４６とで位置合わせしているが、これに代えて、吸収材ホルダ２３１に設けたピン穴とキャップアッセンブリ２２１に設けたＸ軸、Ｙ軸両位置決めピン２４４、２４６を嵌合させることで位置決めをしてもよい。さらに、吸収材ホルダ２３１に設けた凹部とアッセンブリベース２２２に設けた凸部が嵌合することで位置決めをしてもよい。また、キャップアッセンブリ２２１をユニット化（枠状押さえ部材２３５を吸収材ホルダ２３１に圧入）するようにしてもよい。
【００６９】
また、本実施形態においては、１０個のキャリッジユニット５１を備えた液滴吐出装置１を備えたものを使用しているが、キャリッジユニット５１の個数および各キャリッジユニット５１に搭載される機能液滴吐出ヘッド１７の個数は任意である。
【００７０】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００７１】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１５は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１６は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１６（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００７２】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１６（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１６（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７３】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００７４】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１６（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００７５】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１６（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００７６】
図１７は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１６に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７７】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７８】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１７において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７９】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８０】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００８１】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００８２】
図１４は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８３】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００８４】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８５】
図１９は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００８６】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８７】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８８】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８９】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００９０】
次に、図２０は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００９１】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００９２】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９３】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００９４】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００９５】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００９６】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９７】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９８】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００９９】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１００】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１０１】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１０２】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２１〜図２９を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２１に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１０３】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図２２に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２３に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１０４】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１０５】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１０６】
図２４に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２５に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１０７】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０８】
そして次に、図２６に示すように、各色のうちのいずれか（図２６の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０９】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２７に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１１０】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２８に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１１１】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１１２】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２９に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１３】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１１４】
次に、図３０は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１１５】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１１６】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１７】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１８】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１９】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１２０】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１２１】
次に、図３１は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１２２】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２３】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１２４】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２５】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１２６】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２８（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３２（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２７】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２８】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の平面図である。
【図３】液滴吐出装置の側面図である。
【図４】ヘッド群を構成する機能液滴吐出ヘッドの図である。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図６】吸引装置の断面図である。
【図７】キャップユニットの平面図である。
【図８】ヘッドキャップの斜系図である。
【図９】ヘッドキャップの分解斜系図である。
【図１０】ヘッドキャップの断面図である。
【図１１】本実施形態に係る吸引機構である。
【図１２】本実施形態に係る高さ調整機構である。
【図１３】本実施形態に係る弁作動機構である。
【図１４】作動部材周りの平面図である。
【図１５】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１６】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１７】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図２０】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２１】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２２】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２３】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２４】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２５】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２６】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２７】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２８】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２９】陰極の形成を説明する工程図である。
【図３０】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３１】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３２】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１２９】
１…液滴吐出装置１  １３…ヘッドユニット  ２０３…キャップユニット  ３４２…支持フレーム  ２０２…キャッププレート  ３１３…高さ調整機構  ３５１…調整ねじ  １５…吸引装置  ３５２…固定ねじ  Ｗ…ワーク  ５０８…成膜部
【図１】
2009034621.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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