(57)【要約】【課題】大型の部品や複雑な流体通路などを持つ部品のバリ取りなどの研磨処理を能率良く行う。【解決手段】研磨処理用のメディア４６を収容する研磨槽４２を加振することによって、メディア４６に入れた被加工物４８を研磨処理する振動式研磨処理装置であって、研磨槽４２の内底面を下方に向かって凸な略半円状とし、研磨槽４２を水平方向および上下方向に弾性支持する一方、研磨槽４２を加振機３４によって円周方向に加振することによってメディア４６を研磨槽内で振動させながら一定方向に回転流動させ、メディア４６中に固定保持した被加工物４８にメディア４６を打ちつける。この時に被加工物４８をメディア４６の上部流動線Ａにほぼ沿わせることにより研磨処理を均一化する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨処理用のメディアを収容する研磨槽を加振することによって、前記メディアに入れた被加工物を研磨処理する振動式研磨処理装置において、
前記研磨槽の内底面を下方に向かって凸な略半円状とし、前記研磨槽を水平方向および上下方向に弾性支持する一方、前記研磨槽を加振機によって円周方向に加振することによって前記メディアを研磨槽内で振動させながら一定方向に回転流動させ、前記被加工物をその研磨処理面がメディア上部の流動線と略平行になるように保持したことを特徴とする振動式研磨処理装置。
【請求項２】
請求項１の振動式研磨処理装置であって、
固定フレームに弾性支持された加振板と、この加振板に取付けられ略水平な振動中心軸線回りに回転振動を発生する加振機と、前記加振板に複数のばねを介して弾性支持されかつ研磨槽が固定された振動板と、被加工物をその研磨処理面が前記研磨槽内のメディアの流動線と略平行になるように保持する保持部と、を備える振動式研磨処理装置。
【請求項３】
研磨槽の内底面は、加振機の加振方向に直交する方向に長い略半円筒形である請求項１または２の振動式研磨処理装置。
【請求項４】
保持部は、被加工物を研磨槽に固定している請求項２の振動式研磨処理装置。
【請求項５】
保持部は、被加工物を固定フレームに保持している請求項２の振動式研磨処理装置。
【請求項６】
保持部は、被加工物をその研磨処理面がメディアの流動線に対して略平行かつ僅かな迎え角を持つ状態に保持している請求項２の振動式研磨処理装置。
【請求項７】
保持部は、研磨処理面がメディアの流動線に対して作る迎え角を調整可能である請求項２の振動式研磨処理装置。
【請求項８】
保持部は、一端で被加工物を保持し他端が研磨槽の外側に延出する保持腕と、この保持腕の他端を回動自在に保持する振動中心軸線と平行な支軸とを備え、被加工物の研磨処理面がメディア上部の流動線と略平行になるように前記保持腕の傾きが自動調整される請求項２の振動式研磨処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、粒子状などの研磨材を含むバリ取り用や表面研磨用などのメディアを収容する研磨槽を加振することによって、メディアの中に入れた被加工物のバリを除去したり表面研磨などの処理を行う振動式研磨処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、主として砥粒からなるメディア（研磨砥粒）や細かい鋼球、ガラス球などを含むメディア（以下バリ取り用、表面研磨用などのメディアまたは単にメディアという）に被加工物を混合して全体を振動させ、相互の擦れ合いによって被加工物のバリを除去したり表面を研磨する研磨処理装置が知られている。また多数の被加工物のバリ取りを連続的に行うために筒状の研磨槽内にスパイラル状の搬出路を形成し、研磨槽を加振することによって搬送路上で被加工物を搬送すると共に、研磨砥粒によって被加工物のバリを除去することが提案されている。
【０００３】
【特許文献１】特願平４−２９２５８１
【特許文献２】特願平７−１４８６５８
【特許文献３】特願２００７−２２３０２６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１、２のバリ取りや研磨を行う方法は、小部品のバリ取りや表面研磨を行うことを想定したものであり、多数の部品をメディアの中に混入し、部品とメディアを一緒に加振して相互に擦り合わせるものであった。このため部品とメディアとの相対速度差が小さく、処理速度が遅くなり、処理時間も数１０分かける必要がある。また処理後にメディアと部品（被加工物）とを分離する必要があり、生産性が悪いという問題があった。
【０００５】
また自動車や産業機械などに用いられる自動変速機などの油圧機器で、複雑な迷路状の流体通路を有するものでは、１０数キログラムの軽合金部品が使われ、このような大型かつ大重量の部品では従来のバリ取り方法を使えないという問題があった。さらに複雑な流体通路や、細かい溝や孔部を持つ部品では、これらの通路、溝、孔部にメディアが詰まるため、バリ取りが不可能であったり、詰まったメディアの除去に手間がかかる、という問題もあった。また鋳造時に砂型を用いる場合には、細かい孔や溝に入った砂を除去するのに手間がかかるという問題があった。さらに細かい孔の内面が研磨できないという問題もあった。
【０００６】
そこで本願の出願人は特許文献３を提案した。これはメディアを収容した研磨槽を水平方向および上下方向に弾性支持し、この研磨槽を加振機によって円周方向に加振し、研磨槽内のメディアを一定方向へ回転流動させ、このメディアの中に被加工物を固定保持することによりメディアを被加工物に打ちつけるものである。この装置によれば、大型の部品や複雑な流体通路などを持つ部品のバリ取りや、表面研磨や、鋳造時に用いた砂型の砂の除去や、細かい孔の内面の研磨などを能率良く行うことができるものである。
【０００７】
しかしこの特許文献３の装置では、被加工物の研磨処理面を均質に研磨することが難しく、処理面の位置によっては研磨が進み過ぎ、また別の位置では研磨の進行が遅くなるという問題があることが解った。このため研磨処理面の面積が広いものでは全体を均一に研磨するのが困難であり、研磨処理が不均一になり易いという問題があった。
【０００８】
この発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、流動するメディアの中に入れて保持した被加工物の研磨処理を均質に行うことでき、特に研磨処理面積が広い場合に仕上がりを向上させることができる振動式研磨処理装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明によればこの目的は、研磨処理用のメディアを収容する研磨槽を加振することによって、前記メディアに入れた被加工物を研磨処理する振動式研磨処理装置において、
前記研磨槽の内底面を下方に向かって凸な略半円状とし、前記研磨槽を水平方向および上下方向に弾性支持する一方、前記研磨槽を加振機によって円周方向に加振することによって前記メディアを研磨槽内で振動させながら一定方向に回転流動させ、前記被加工物をその研磨処理面がメディア上部の流動線と略平行になるように保持したことを特徴とする振動式研磨処理装置、により達成される。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、研磨槽の内底面を下方に向かって凸な略半円状とし、研磨槽を円周方向に細かく振動させながら回転（回転振動）させることにより研磨槽に入れたメディアを振動させながら一方向に回転流動させる。一方、被加工物はこのメディア中に固定保持されているので、被加工物にメディアが激しく当たり、被加工物のバリが能率良く除去される。また表面研磨や鋳型の砂落としや、細かい孔の内面研磨などを能率良く行うことができる。
【００１１】
被加工物はメディアの中に混合してメディアと共に振動および流動するのでなく、メディアの振動および一方向の回転流動に対して固定されているので、両者の相対速度差が大きくなり、メディアは被加工物に激しく当たることになる。このためバリ取りや表面などの研磨や鋳型の砂落としの能率が高くなり、処理時間を短縮できる。またメディアの材質、サイズ（粒径）、形状などを適切に設定することにより、被加工物の複雑な形状をした細溝や、貫通孔、交叉孔などの周囲に発生したバリの除去や表面や孔の内面などの研磨や砂落としをすることが可能になる。
【００１２】
また被加工物は、その研磨処理面が研磨槽内のメディアの上部における流動線に対して略平行となるように保持しているから、研磨処理面にメディアが均等に接触しながら流動することになり、メディアの接触圧力が研磨処理面の全面に亘ってほぼ均等になる。このため研磨処理面の研磨が均等に進み、特に処理面積が広い場合に仕上がりを向上させる効果が大きい。
【００１３】
ここにメディアの流動線はメディアの流れ方向を示す線であり、研磨槽内のメディアの表面（上面）は、その流動方向に向かって低くなるように傾く。すなわち研磨槽は水平軸の回りに一定方向に回るように加振されているので、メディアの上面は反回転方向側でメディアが上昇し回転方向側でメディアは沈み込むことになるからである。このためメディアの上部ではメディア上面の傾きとほぼ平行にメディアは流動する。すなわちメディアの上面の傾きから、メディア上部の流動線の傾きは予測できる。従って被加工物は研磨処理面がこのメディア上面の傾きにほぼ平行となるように保持すれば、結果的にメディアの流動線にほぼ平行になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
研磨槽の内底面は下方に向かって略半球状に凸となったものであってもよいが、略半円筒状としてもよい（請求項３）。すなわち加振機の振動中心軸線方向に直交する垂直面での断面を略半円状とした略半円筒形にするものである。研磨槽の回転振動方向に対して半円筒面の中心線が略直交する方向になるので、研磨槽の内底面によってメディアが円弧状に送られて一側面に沿って上昇し、他側面側に落下することになり、回転流動し循環する。この場合はメディアの収容量を増やすことができ、バリ取り処理を能率良く行うことができる。
【００１５】
研磨槽は、固定フレームに弾性支持された加振板に複数のばねを介して弾性支持された振動板に固定し、加振板を加振機によって回転方向（円周方向）に加振すると共に、被加工物は保持部に保持し固定する構成とすることができる（請求項２）。
【００１６】
この場合加振板の振動（振幅、周波数）を制御することによって研磨槽の振動を制御でき、特に振動系を共振周波数付近の周波数で振動させることにより研磨槽の振動を著しく増幅させてメディアの回転流動を一層強くすることができる。このためには加振板に取付ける加振機の加振周波数を可変としておくのがよい。
【００１７】
加振板を固定フレームに対して弾性支持するためには、金属細線を編んだ編組体からなるワイヤをコイル状に巻いた複数の編組体コイルばねを、それらの中心軸線を加振機の振動中心線に略直交させかつ水平にして加振板と固定フレームとの間に介在させるのがよい。水平にした編組体コイルばねは、その下縁と上縁とが中心軸線方向に極めて柔らかく、中心軸線に直交する方向には十分に硬いという特性を持つ。このため前記のように複数の編組体コイルばねを加振板と固定フレームとの間に介在させた場合には、加振板はこの編組体コイルばねの中心軸線方向に極めて柔らかく振動し易くなる一方、他の方向には十分大きな荷重に耐えることになる。従って研磨槽や加振機などを含む振動系の上下方向の荷重を支えることができる。
【００１８】
加振機は加振板に取付けた不平衡型振動モータで形成することができる。この場合、振動モータの振動中心軸線を編組体コイルばねの中心軸線に直交方向にするのがよい。振動板を弾性支持するばねは、縦置きのコイルばねとするのがよい。
【００１９】
被加工物を保持固定する保持部は、被加工物を研磨槽に固定するものであってもよいが（請求項４）、固定フレームに固定するものであってもよい（請求項５）。いずれにしても被加工物をメディアに対して固定すればよい。後者の固定フレームに固定する場合には被加工物とメディアとの相対速度差が大きくなり、バリ取りなどの処理能率は一層向上する。
【００２０】
被加工物を保持する保持部は、被加工物の研磨処理面がメディアの流動線に対して略平行でかつ僅かな迎え角を持って保持することが望ましい（請求項６）。研磨処理面に沿って流動するメディアには、研磨槽内の回動によって上昇するメディアが加わるから、研磨処理面に沿うメディア流量は上流寄りより下流よりで多くなると考えられる。そこで前記の迎え角を大きくすることにより、研磨処理面の上流寄りに加わるメディアの上昇流の流動圧が減ることを利用して、後記するように研磨処理面に加わるメディアの圧力を均一化することができる。
【００２１】
保持部は、迎え角を調整可能にするのがよい（請求項７）。例えば被加工物を研磨槽の振動中心軸と平行な支軸回りの傾きを調節可能かつ固定可能にする。この場合には被加工物で実際に研磨した結果を見ながら、最適な迎え角を求めることができる。
【００２２】
保持部は、被加工物の迎え角を自動調整できるように被加工物を揺動自在に保持することも可能である（請求項８）。すなわち研磨処理面の上流寄りと下流寄りとでメディアの圧力に差があれば、被加工物には回転力が発生するから、この回転力を利用して迎え角を自動調整するものである。
【００２３】
保持部はコンピュータで制御されるロボットで形成してもよい。この発明はバリ取り装置に最適であるが、表面研磨、鋳型の砂落とし、孔などの内面研磨などを行う研磨処理装置に適用することもできる。
【実施例１】
【００２４】
図１は本発明の一実施例であるバリ取り装置の分解斜視図、図２はその平面図、図３は正面図、図４は側面図、図５は編組体コイルをその中心軸線方向から見た図、図６は同じく斜視図である。図７は被加工物を研磨槽に固定する保持部を示す図、図８は同じく被加工物を研磨槽に固定する保持部を示す分解斜視図である。図９は本発明の原理を説明する図であり、（Ａ）は被加工物を入れない時のメディアの流動を、Ｂは被加工物の入れた時のメディアの流動を示す。
【００２５】
図１〜４において符号１０は固定フレームであり、４本の縦の支柱１２をそれらの下端を４本の枠材１４で連結すると共に、それらの上端を４本の枠材１６で連結したものである。ここに上端の枠材１６は支柱１２よりも細い断面形状（四角形）をもつ（図１、２参照）。支柱１２は、正面側の２本および背面側の２本がそれぞれ左右方向の梁１８で結合されると共に、２本の梁１８、１８の両端が前後方向の２本の梁２０、２０によって結合されている。４本の支柱１２の下端には設置場所への据え付けを安定されるため高さ調整用のスクリューブロック１２ａが取付けられている（図３、４）。
【００２６】
２２は加振板であり、梁２０、２０に弾性支持され、前後方向に柔らかく振動可能であり、上下方向に硬く振動系の荷重を支持するように保持されている。すなわち加振板２２は４本の支柱１２の間でこれらの支柱１２との間に適切な間隔を持つ寸法であり、４つの編組体コイルばね２４に支持されている。ここに編組体コイルばね２４はステンレスなどの金属細線を編んだ編組体からなるワイヤをコイル状に巻いたものである。
【００２７】
編組体コイルばね２４は図５、６に示すように、中心軸線２６を水平にしてコイル状に巻いて、このコイルの上下をそれぞれ２本の固定バー２８、３０に挟み複数のビス３２でワイヤと固定バー２８、３０とを一体に固定したものである。このコイルばね２４は下の固定バー２８、３０に対して上の固定バー２８、３０が中心軸線２６方向に柔らかく、中心軸線２６に交叉する方向に硬くなる特性を持つ。なおコイルばね２４はその長手方向中央でワイヤの巻き方向を逆にして、下の固定バー２８、３０に対する上の固定バー２８、３０の復帰力を対称にしている。
【００２８】
この編組体コイルばね２４は、その中心軸線２６を平行かつ前後方向に一致させて、加振板２２の四隅と前後方向の梁２０、２０との間に取付けられる。すなわち４個の編組体コイルばね２４の下の固定バー２８、３０が梁２０に固定され、上の固定バー２８、３０が加振板２２に固定される。この結果加振板２２は、コイル２４の中心軸線２６方向（前後方向）に柔らかく（振動し易く）、他の方向に硬く（振動しにくく）なる状態で固定フレーム１０に保持される。
【００２９】
加振板２２の中央下面には、加振機３４が取付けられている。この加振機３４は不平衡振動モータで形成され、その不平衡重りを持つ回転軸は編組体コイルばね２４の中心軸線２６に直交しかつ水平となるように配置される。なおこの加振機３４の振動数（回転速度）は制御可能である。
【００３０】
３６は振動板である。この振動板３６は加振板２２の上面に６個のコイルばね３８によって取付けられている。ここに振動板３６には左右方向に長い長方形の開口部４０が形成され、６個のコイルばね３８はこの開口部４０を挟んで前側と後側に３個ずつ配列されている。各コイルばね３８は縦に置いて、下端を加振板２２に固定し、上端を振動板３６の下面に固定したものである。
【００３１】
４２は研磨槽である。この研磨槽４２は上方が開いた略半円筒形である。すなわちその内底面は編組体コイルばね２４の中心軸線２６方向に平行な垂直面（振動モータ２４の振動中心軸線に直交する垂直面）による断面が略半円状であり、上方に開く開口は振動板３６の開口部４０より僅かに小さい長方形である。研磨槽４２の外周には水平なフランジ４４が一体に固着されている。研磨槽４２はその底を振動板３６の開口部４０に上方から挿入し、フランジ４４をこの開口部４０の周縁に上方から重ねて、ビス止めされる。
【００３２】
研磨槽４２の中には研磨砥粒などからなるメディア４６が入れられる。４８は被加工物であり、図７に示すように研磨槽４２内のメディア４６の上部に僅かに埋没する状態に保持される。すなわち研磨槽４２の蓋板５０の下面に左右一対の保持板５２が下方へ突出し、これらの保持腕５２の下端に被加工物４８が固定される。ここに被加工物４８はその下面（研磨処理面）がメディア４６の上部の流動線Ａにほぼ平行になるように傾けた状態で固定される。
【００３３】
なお保持板５２，５２はメディア４６の流動の邪魔にならないように左右方向（振動中心軸と平行方向）に薄くした板状である。被加工物４８はこの保持板５２に対して容易に着脱できるように固定する。例えばビス５４で保持板５２に着脱可能とし、処理済みの被加工物４８を簡単に未処理の被加工物４８と交換できるようにする。
【００３４】
次に被加工物４８の固定角度について、図９を用いて説明する。図９（Ａ）は被加工物４８を入れずに研磨槽４２を加振している状態を示す。この状態ではメディア４６は研磨槽４２の回転振動方向に定常流となって流動する。図中の矢印はこの定常流の流れ方向と速度とを示す流動線Ａである。すなわちメディア４６は研磨槽４２の内面に接する領域の流速が大きく、中心領域で流速は小さくなって安定して回動する。
【００３５】
このメディア４６の上部の中に被加工物４８を図９（Ｂ）のように入れて保持するものとする。ここに被加工物４８の下面が研磨処理面である。この研磨処理面に沿って流動するメディア４６の流動線Ａと研磨処理面とが挟む角度θは、研磨処理面がメディア４６の流動線Ａに対する迎え角である。この図９（Ｂ）では僅かな迎え角θが付くように被加工物４８を保持する。
【００３６】
この場合、メディア４６が研磨処理面に加える圧力（ここではメディア圧力ともいう）Ｆは、メディア流動の上流寄りでＦ１、中央付近でＦ２、下流寄りでＦ３となり、これらはほぼ等しくなる。すなわち上流寄りでは研磨槽４２の底面により押し上げられたメディア４６の圧力が主として加わり、このメディア圧力Ｆ１は被加工物４８の傾きが一定の範囲内にある時には迎え角θの増大に伴って減少する。一方下流寄りのメディア圧Ｆ３は研磨処理面に沿った流動による圧力と、研磨槽４２の底から上昇するメディア４６の上昇流の圧力とが加算された圧力になる。従って迎え角θの変化によってメディア圧Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３は変化する。例えば迎え角θが増加するとＦ１／Ｆ３は小さくなり、迎え角θが減少するとＦ１／Ｆ３が大きくなる。
【００３７】
固定フレーム１０の前後面には上下に２分割された外板５６、５８（図３に前面のみ示す。）が固定され、左右側面には上下に２分割された外板６０、６２（図４に一側面のみ示す。）が固定されている。固定フレーム１０の上面には上板６４が固定されている。この上板６４には研磨槽４２の開口の上方に臨む開口６６が形成されている（図２）、被加工物４８やメディア４６はこの開口６６を通して研磨槽４２に出し入れされる。
【００３８】
次にこの実施例の動作を説明する。加振機３４の円周方向の回転振動力により、加振板２２は編組体コイルばね２４の中心軸線２６方向および上下方向の偏位により回転振動する。この加振板２２の回転振動は、コイルばね３８を介して振動板３６に伝えられる。加振機３４、加振板２２および振動板３６の重さ、編組体コイルばね２４およびコイルばね３８のばね定数、研磨槽４２に収容したメディア４６の量（重さ）などで決まる振動系の共振周波数と、加振機３４の加振周波数が一定の関係になると、振動系は共振状態に近い状態となって激しく回転振動する。この時にはメディア４６は図７、９に示すように研磨槽４２内で内底面に案内されて円を描きながらかつ激しく振動しながら循環する。
【００３９】
被加工物４８は研磨槽４２側に固定されているので、振動しながら回転流動するメディア４６はこの被加工物４８に激しく衝突する。このため、被加工物４８のバリは能率よく除去される。また被加工物４８は保持腕５２と共に研磨槽４２から出し入れすればよいので処理能率を向上させることができる。また被加工物４８はメディア４６の流動線Ａにほぼ沿うように保持されているので、研磨処理面に作用するメディア圧力Ｆが均一化し、研磨処理を均一化させ研磨仕上がりを向上させることができる。
【実施例２】
【００４０】
図１０は保持部の他の実施例を示す図、図１１は同じく分解斜視図である。この実施例は被加工物４８のメディア４６に対する迎え角θを可変にしたものである。この保持部は図示しない工業用ロボットのアーム６８と、このアーム５６の下端に設けたチャック７０とを備える。
【００４１】
なお研磨槽４２の内底面には、メディアの送り方向に対して直交方向（振動中心軸線方向）に長い凸条７２を設けておくのがよい（図１０）。これら１または複数の凸条７２によって、メディアが研磨槽４２の内面を滑るのを防ぎ、メディアの流動および振動を強くできるからである。
【００４２】
チャック７０は、アーム６８の下端に振動中心軸線方向に平行な支軸７４によって回動自在かつ任意の角度に固定可能に保持された保持板７６と、この回動板７６から下方へのびる揺動自在な４個の係合爪７８とを備える。係合爪７８は被加工物４８の側縁に係脱し被加工物を保持板７６に固定可能である。なお保持板７６の下面には、被加工物４８との間隔を保持するための適宜数のスペーサ８０が固定されている。
【００４３】
この実施例によれば、保持板７６の角度、すなわち被加工物４８のメディア流動線Ａに対する迎え角θ、を調整することにより、研磨の仕上がり状態を確認し、被加工物４８に対する最適な迎え角θを求めるのに都合がよい。
【実施例３】
【００４４】
図１２は保持部の他の実施例を示す図である。この実施例は、被加工物４８を研磨槽４２の外に位置する支軸８２を中心に回動自在に保持し、迎え角θを自動的に最適状態に調整できるようにしたものである。すなわち被加工物４８が固定された保持板８４は、支軸８６によって回動可能かつ固定可能に保持腕８８に保持される。保持腕８８はこの支軸８６から研磨槽４２の外側から側方にのび、前記支軸８２に回動自在に連結されている。支軸８２には、被加工物４８の重量とバランスするばね力を有するばねが装着されている。ばねに代えて保持腕８８に平衡重りを取付けてもよい。
【００４５】
ここに被加工物４８の下面である研磨処理面はメディア４６の上部流動線にほぼ沿うように傾けておく。加振によりメディア４６が流動すると、研磨処理面にメディア圧力Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３が加わる。下流寄りのメディア圧力Ｆ３が増加すると被加工物４８は支軸８２を中心に上方へ回動する。このため迎え角θ（図９参照）が減少しＦ１／Ｆ３が大きくなる。すなわちＦ３がＦ１に比べて小さくなり、被加工物４８は下方へ回動し、迎え角θが増加する。このためＦ１／Ｆ３が小さくなり、Ｆ３が相対的に大きくなる。このように迎え角θは自動的に調整される。
【実施例４】
【００４６】
図１３は保持部の他の実施例を示す側面図、図１４は同じく正面図である。この実施例は被加工物４８を左右一対の保持板８４と、両保持板８４の上端を連結し研磨槽４８の両外側を通って下方へのびる保持腕９０と、この保持腕９０の下端を研磨槽４２の底面に軸支する支軸９２とを備える。なお支軸９２は側面視で、被加工物４８の研磨処理面の垂直二等分線Ｂ（図Ｂ）上付近にある。
【００４７】
この実施例によれば前記実施例３（図１２）と同様に自動的に最適な迎え角θの位置に安定する。すなわち、メディア４６の下流寄りのメディア圧力Ｆ３が増加すると保持腕９０が図１３で左側へ（迎え角θが減る方向へ）回動するので、Ｆ１／Ｆ３が大きくなる。このため被加工物４８は右側へ（迎え角θが増加する方向）へ揺動する。このようにして最適な迎え角θ付近で安定する。なお保持腕９０には適切な回動復帰習性を付与しておくのがよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施例の分解斜視図
【図２】同じく平面図
【図３】同じく正面図
【図４】同じく側面図
【図５】編組体コイルを中心軸線方向から見た図
【図６】編組体コイルの斜視図
【図７】保持部を示す図
【図８】保持部を示す分解斜視図
【図９】本発明の原理説明図
【図１０】保持部の他の実施例を示す図
【図１１】同じく分解斜視図
【図１２】保持部の他の実施例を示す図
【図１３】保持部の他の実施例を示す側面図
【図１４】同じく正面図
【符号の説明】
【００４９】
１０  固定フレーム
２２  加振板
２４  編組体コイルばね
２６  中心軸線
３４  加振機（不平衡振動モータ）
３６  振動板
３８  コイルばね
４０  開口部
４２  研磨槽
４６  メディア
４８  被加工物
５２  保持板（保持部）
６８  アーム（工業用ロボットからなる保持部の一部）
７０  チャック（保持部の一部）
８２  支軸
８４  保持板（保持部の一部）
８８  保持腕（保持部の一部）
９０  保持腕（保持部の一部）
９２  支軸
Ａ  メディアの流動線
θ  迎え角
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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