(57)【要約】【課題】ガラス基板等のワークに発生する反りを抑えて浮上させて搬送することができる浮上ユニット及び装置を提供することを課題とする。【解決手段】本発明に係る浮上ユニットはチャンバー３６を備えている。チャンバー３６の天井壁にはチャンバー内の気密空間に連通する通気孔が形成されている。また、本発明に係る浮上ユニットは、下側がこの天井壁に固定され搬送路面Ｆを形成している多孔質板７６と非多孔質板７７とを、ワーク搬送方向Ｕに沿って交互に備えている。そして、浮上ユニットは、上記気密空間に気体を供給し、通気孔と多孔質板７６の空隙とを通じて搬送路側から気体を噴出させる。【選択図】図１
2009161283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気密空間を形成し、天井壁には前記気密空間に連通する流体通過孔が形成されているチャンバーと、
下側が前記天井壁に固定され、上側にはワークを搬送する搬送路を形成している多孔質体と、
下側が前記天井壁に固定され、上側にはワークを搬送する搬送路を形成している非多孔質体と、
を有し、前記多孔質体がワーク搬送方向に不連続配置となるように、前記多孔質体及び前記非多孔質体が配置されていることを特徴とする浮上ユニット。
【請求項２】
前記多孔質体と前記非多孔質体とがワーク搬送方向に交互に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の浮上ユニット。
【請求項３】
前記多孔質体及び前記非多孔質体が前記天井壁に着脱自在とされていることを特徴とする請求項１又は２に記載の浮上ユニット。
【請求項４】
前記チャンバーがワーク搬送方向に沿って並列に複数設けられていることにより前記搬送路が複数本形成され、
隣り合う前記搬送路では、前記多孔質体と前記非多孔質体とがワーク搬送方向に隣り合うように配置されていることを特徴とする請求項１〜３のうちいずれか１項に記載の浮上ユニット。
【請求項５】
前記多孔質体の搬送路側に保護膜が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか１項に記載の浮上ユニット。
【請求項６】
請求項１〜５のうちいずれか１項に記載の浮上ユニットを有することを特徴とする装置。
【請求項７】
上側にワークの搬送路を形成している多孔質体を有するとともに、前記多孔質体を介して前記搬送路側に連通する気密空間を前記多孔質体の下方に形成しているチャンバーを備え、
前記チャンバーがワーク搬送方向に不連続配置となるように非多孔質体が配置されていることを特徴とする装置。
【請求項８】
前記チャンバーには、前記気密空間の天井側を形成するとともに前記気密空間に連通する流体通過孔が形成された天井壁が設けられ、前記多孔質体が前記天井壁の上側に配置されていることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、カラーフィルタ等のワークを浮上させ、非接触で搬送する浮上ユニット及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＣＤやＰＤＰといったフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いられるガラス基板は、画面の大型化の要望に応じ、サイズが大型化する傾向にある。
【０００３】
従来のＦＰＤ製造工程では、ガラス基板をローラで搬送していたが、ガラス基板とローラとの間の摩擦、ガラス基板に与えるストレスの問題等により、ガラス基板を圧縮空気で浮上させて搬送することが考えられている。
【０００４】
しかし、特許文献１のような浮上ユニットは、図１５に示すように、浮上ブロック２００の天井壁２０２に形成したエア吹上げ孔２０４からエアを吹上げて、ガラス基板２０６を浮上させる方式を採用しているため、エア吹上げ孔２０４の間でガラス基板２０６に反りが発生する。
【特許文献１】特開２００４−３３１２６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は係る事実を考慮し、ガラス基板等のワークに発生する反りを抑えて浮上させて搬送することができる浮上ユニット及び装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、気密空間を形成し、天井壁には前記気密空間に連通する流体通過孔が形成されているチャンバーと、下側が前記天井壁に固定され、上側にはワークを搬送する搬送路を形成している多孔質体と、下側が前記天井壁に固定され、上側にはワークを搬送する搬送路を形成している非多孔質体と、を有し、前記多孔質体がワーク搬送方向に不連続配置となるように、前記多孔質体及び前記非多孔質体が配置されていることを特徴とする。
【０００７】
請求項１に記載の発明では、コンプレッサー等の流体供給手段でチャンバーの気密空間に流体を供給すると、天井壁に形成された流体通過孔から流体が噴出する。天井壁には多孔質体が固定されているので多孔質体の空隙から流体が噴出する。
つまり、多孔質体の上側、すなわち搬送路側では、全面から流体が噴出して全面がエアベアリング面となるため、ワークに発生する反りを抑えつつ浮上させて搬送することが可能となる。
【０００８】
また、上側に搬送路を形成する非多孔質体と多孔質体とが、ワーク搬送方向に不連続配置となるように配置されている。このため、天井壁に形成された流体通過孔から噴出した流体は、非多孔質体を通過せずに多孔質体のみを通過して搬送路側に噴出する。
従って、多孔質体の配置枚数を低減させることができ、設備コストの大幅な低減を図ることができる。また、搬送路側に噴出する流体の流量が多すぎて搬送状態が不安定になることやランニングコストが増大することが防止可能となる。
【０００９】
なお、搬送するワークの寸法や重量が予め明らかな場合、ワークを搬送する上で適切な浮力分布をワークに与えて反りが発生しないように、ワークの寸法や重量に応じて非多孔質体のワーク搬送方向長さが設定されていることが好ましい。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、前記多孔質体と前記非多孔質体とがワーク搬送方向に交互に配置されていることを特徴とする。
請求項２に記載の発明では、搬送路において流体が噴出されない領域の大きさを最小限とすることができる。従って、ワークを浮上搬送させる上で効率良く流体を噴出させることができる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、前記多孔質体及び前記非多孔質体が前記天井壁に着脱自在とされていることを特徴とする。
請求項３に記載の発明では、浮上搬送するワークの寸法、重量に応じて多孔質体、非多孔質体の配置枚数や配置形態をフレキシブルに変更することができる。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、前記チャンバーがワーク搬送方向に沿って並列に複数設けられていることにより前記搬送路が複数本形成され、隣り合う前記搬送路では、前記多孔質体と前記非多孔質体とがワーク搬送方向に隣り合うように配置されていることを特徴とする。
請求項４に記載の発明では、搬送路が複数本形成されている場合において、流体が噴出されない領域の大きさを最小限とすることができる。従って、ワークを浮上搬送させる上で効率良く流体を噴出させることができる。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、前記多孔質体の搬送路側に保護膜が形成されていることを特徴とする。
【００１４】
保護膜を形成する手法としては特に限定しない。例えば塗装、電解メッキ、無電解メッキ、物理気相成長法（ＰＶＤ。真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法など）、化学気相成長法（ＣＶＤ）、イオンプランテーション法等の公知の方法を行うことによって保護膜を形成する。
請求項５に記載の発明では、多孔質体の上側に形成された保護膜によって多孔質体の剥離防止、強度向上が図られている。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のうちいずれか１項に記載の浮上ユニットを有することを特徴とする。
装置としては、例えば、露光装置、検査装置、欠陥修復装置、コータ装置である。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、上側にワークの搬送路を形成している多孔質体を有するとともに、前記多孔質体を介して前記搬送路側に連通する気密空間を前記多孔質体の下方に形成しているチャンバーを備え、前記チャンバーがワーク搬送方向に不連続配置となるように非多孔質体が配置されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項７に記載の発明では、コンプレッサー等の流体供給手段でチャンバーの気密空間に流体を供給すると、多孔質体の空隙から流体が噴出する。
つまり、多孔質体の上側、すなわち搬送路側では、全面から流体が噴出して全面がエアベアリング面となるため、ワークに発生する反りを抑えつつ浮上させて搬送することが可能となる。
これにより、請求項１に記載の発明と同様の作用、効果を奏することができる。
【００１８】
請求項８に記載の発明は、前記チャンバーには、前記気密空間の天井側を形成するとともに前記気密空間に連通する流体通過孔が形成された天井壁が設けられ、前記多孔質体が前記天井壁の上側に配置されていることを特徴とする。
請求項７に記載の発明では、気密空間から流体通過孔を経由して流体が噴出し、更に、多孔質体の空隙から流体が噴出する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明は上記構成としたので、ガラス基板等のワークに発生する反りを抑えて浮上させて搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
［第１実施形態］
図１〜図３には、第１実施形態に係る浮上ユニットが組み込まれた露光装置１２が示されている。
【００２１】
（基本的な構成）
この露光装置１２は、レール１４と横材１６で長枠状に構成された組付けフレーム１８を備えている。組付けフレーム１８は、ポスト２０で枠状のベースフレーム２２の上方に支持されている。
【００２２】
また、レール１４の間には複数本の梁材２８が架け渡されている。チャンバー３６の一方の端部側の梁材２８の上には、第１コンプレッサー３２からチューブ３４を介して負圧と正圧の空気が供給されるエア供給ボックス２９が配置されている。このエア供給ボックス２９の上には、レール１４に沿って第１実施形態に係る浮上ユニット１０が３列セットされている。なお、コンプレッサーから供給するものは空気に限らず、窒素やアルゴン、ヘリウム等の不活性ガス、二酸化炭素等の気体でもよい。また、水等の液体でもよい。
【００２３】
なお、エア供給ボックス２９は、第１コンプレッサー３２から供給された加圧空気によって負圧と正圧とを発生させるエジェクタであってもよい。なお、エア供給ボックス２９に代えて、高さ調整部材３０を配置してもよい。
【００２４】
また、エア供給ボックス２９が配置されていない梁材２８の上には、チャンバー３６の高さ調整をする高さ調整部材３０が配置されている。なお、エア供給ボックス２９に代えて、高さ調整部材３０を配置してもよい。
【００２５】
浮上ユニット１０のチャンバー３６の底板には、エア供給ボックス２９と接続され、負圧と正圧の空気が供給される３つの供給口（図示省略）が形成されている。
【００２６】
さらに、図１で示すレール１４の右方には、レール１４の間へ支持プレート３８が架け渡されている。この支持プレート３８には、後述の第２実施形態に係る浮上ユニット４０がセットされている。支持プレート３８の下面側からは、第２コンプレッサー４４からチューブ４６を介して負圧と正圧の空気が供給される。そして、浮上ユニット４０のチャンバー８０の底板に形成された３つの供給口（図示省略）へ負圧と正圧の空気が供給される。
【００２７】
さらに、手前側のレール１４には、リニア式の搬送装置５０が搭載されている。この搬送装置５０には、バキューム式の吸盤５２を複数備えており、浮上したガラス基板Ｐの下面をチャックしてワーク搬送方向Ｕに搬送する構成である。なお、搬送装置５０は、ワーク搬送方向Ｕとは逆方向に移動することも可能とされている。
【００２８】
浮上ユニット１０の上方で浮上されたガラス基板Ｐは、搬送装置５０により浮上ユニット４０方向へ浮上搬送される。浮上搬送されたガラス基板Ｐは、浮上ユニット４０の上方で浮上状態が維持されたまま、図示しない露光手段により露光され、所定の回路パターンが形成される。
【００２９】
また、チャンバー３６には、長手方向に沿って、冷却媒体（例えば水）が流れる流路（図示せず）が形成されている。この流路は、浮上ユニット１０のワーク搬送上流端側に配置されている調整部材３０よりもやや搬送方向下流側の位置で下方に向けられていて、下方端に給水口が形成されて給水管５５（図１参照）が接続されている。また、この流路は、浮上ユニット１０のワーク搬送下流端側に配置されているエア供給ボックス２９よりもやや搬送方向上流側の位置で下方に向けられていて、下方端に排水口が形成されて排水管５７（図１参照）が接続されている。これにより、流路のワーク搬送方向上流側のほうがワーク搬送方向下流側よりも冷却効果が大きくなっている。
【００３０】
（具体的な構成）
次に、第１実施形態に係る浮上ユニット１０の具体的な構成を説明する。
【００３１】
図４〜図９に示すように、浮上ユニット１０のチャンバー３６は、断面が長方形状の長い筒体であり、内側に設けられた２枚の隔壁５４で内部空間が、中央の長方形状断面の吸引室５６、長方形状断面の噴出室５８，６０に区画されている。そして、チャンバー３６の端面に側板６２を接合することで、チャンバー３６の吸引室５６、噴出室５８，６０は気密空間となる。
【００３２】
図６に示すように、チャンバー３６の端面には、ねじ穴１５０が形成された台座部１５２が設けられている。また、側板６２には、取付穴１５４が形成されている。このねじ穴１５０と取付穴１５４は、チャンバー３６の端面に側板６２を重ねたときに、ねじ穴１５０と取付穴１５４が対向する位置関係で形成されている。そして、ねじ穴１５０と取付穴１５４が対向した状態で、取付穴１５４とねじ穴１５０にねじ１５６が挿通されることにより、チャンバー３６と側板６２が螺合される。
【００３３】
なお、チャンバー３６と側板６２との接合には、ねじ１５６による螺合の他、接着剤などの他の手段によって行うことも可能である。
【００３４】
しかし、チャンバー３６と側板６２とを接着剤によって接合することとした場合には、接着剤の硬化時間が必要となるため製造効率の向上を図ることができないこと、および接合後に分解することが困難となるためメンテナンスや部品交換を行い難くなることから、チャンバー３６と側板６２との接合を前記のようにねじ１５６によって行うことが好ましい。
【００３５】
吸引室５６には、前述した供給口から負圧の空気が供給され、噴出室５８，６０には、正圧の空気が供給される。
【００３６】
また、チャンバー３６の側面には、軽量化を図るため長溝６４が長手方向に沿って形成されている。
【００３７】
一方、チャンバー３６の天井壁３７には、４つの区画に分けられた格子溝部（格子状の溝部）６８が形成されている。なお、区画に分けて格子溝部６８をそれぞれ形成したのは、天井壁３７に接合される多孔質板７６へ、均一に空気を供給することが可能となるためである。ただし、本発明では、格子溝部６８が形成される区画の数が限定されるものではなく、１つの区画によってチャンバー３６を構成してもよい。
【００３８】
格子溝部６８の溝底には本発明の流体通過孔である通気孔７４が貫通し、直線上に複数並んでいる。この通気孔７４は、噴出室６０と連通している。また、格子溝部６８の溝底には吸気孔７０が形成され、吸引室５６に連通している。そして、格子溝部６８の溝底には本発明の流体通過孔である通気孔７２が形成されている。この通気孔７２は、噴出室５８に連通している。
【００３９】
このように溝部が形成されたチャンバー３６の天井壁３７には、板状に加工された多孔質板７６又は非多孔質板７７が接合される。
多孔質板７６は、例えば多孔質グラファイト、焼結金属、多孔質セラミックス、多孔質樹脂などで構成させることが出来る。
【００４０】
多孔質グラファイトで構成させると、軽量化の向上、機械的強度の向上、製造費の低廉化、表面の平坦度向上を図れるとともに、ガラス基板Ｐと接触してしまった場合に、ガラス基板Ｐの損傷を少なくすることができる。また、多孔質板の軽量化を図ることができる。また、多孔質板７６の導電性による静電気アースの機能も付加することができる。
【００４１】
多孔質板７６の通気率が０．２〜６．０ｃｍ２／ｓの範囲内であると、浮上ユニット１０で搬送されるワーク（ガラス基板Ｐ）を効果的に浮上させることができる。また、多孔質板７６の気孔率が５〜２５ｖｏｌ％であると、ワークを更に効果的に浮上させることができる。
【００４２】
本実施形態では、上記の多孔質板７６は１つおきに配置される。すなわち、各チャンバー３６では、多孔質板７６と非多孔質板７７とが、それぞれ、ワーク搬送方向Ｕに沿って交互に天井壁３７に接合されている。
【００４３】
非多孔質板７７の上面側は、ワークを搬送する搬送路面Ｆを構成している。従って、搬送路面Ｆは、空気を噴出する多孔質板７６の上面と、空気を噴出しない非多孔質板７７の上面とで形成されている。なお、本実施形態では、多孔質板７６と非多孔質板７７とは同じ寸法にされ、多孔質板７６の上面と非多孔質板７７の上面とは同一平面上に位置している。
なお、非多孔質板７７の下側に位置する天井壁は、格子溝部６８、吸気孔７０、通気孔７２、７４が形成されていなくてもよく、これにより、非多孔質板７７の下側の天井壁の構造を簡単にすることができる。
【００４４】
非多孔質板７７の材質は、チャンバー３６に取付可能であって空気を噴出しないものである限り、特に限定しない。ステンレス鋼板のような金属板であってもよいし、樹脂板であってもよい。また、グラファイトのようなカーボンで構成された板であってもよいし、耐熱性で非金属とするためにセラミック板としてもよい。
【００４５】
チャンバー３６と多孔質板７６とが接合された状態で、チャンバー３６に形成された吸気孔７０と、多孔質板７６に形成された吸引孔７８とが互いに対向して連通する。
【００４６】
接合方法としては、定盤の上へ多孔質板７６のエアベアリング面となる面を下にして置き、チャンバー３６の天井壁３７に接着剤を塗布し多孔質板７６に重ね合わせ、錘を載せて固定する方法が一例として挙げられる。なお、接着剤は、格子溝部６８に食み出さないように塗布することが望ましい。
【００４７】
ここで、格子溝部６８を多孔質板７６の裏面に形成せずに、チャンバー３６の天井壁３７に形成したのは、多孔質板７６の裏面に溝部を形成する場合と比較して、チャンバーの天井部に溝部を形成した方が、精度良く、容易に溝部を形成することができるからである。
【００４８】
ここで、多孔質板７６の空隙から空気が噴出して全面をエアベアリング面とするメカニズムについて簡単に説明する。
【００４９】
多孔質板７６には、互いに連通する複数の微細な空隙が形成されている。格子溝部６８から噴出された空気は、格子溝部６８と多孔質板７６の下面とで形成された空気通路を伝わりながら多孔質板７６の空隙を通過し、多孔質板７６のベアリング面から外部へ向けて噴出する。このとき、微細な空隙は互いに連通していることから、空気通路の上方だけでなく、ベアリング面の全面から噴出する。
【００５０】
次に、第１実施形態に係る浮上ユニット１０の作用を説明する。
【００５１】
第１コンプレッサー３２から、正圧の空気（例えば５０〜４００ｋＰａ）を噴出室５８，６０へ供給し、負圧の空気（例えば０〜-５０ｋＰａ）を吸引室５６へ供給（吸引室５６から空気を吸引）する。
【００５２】
噴出室５８，６０へ供給された空気は、通気孔７２，７４から噴出し、多孔質板７６の下面と格子溝部６８とで形成された空気通路を伝って、多孔質板７６の下面に均等に行き渡り、多孔質板７６の空隙から噴出する。
【００５３】
つまり、多孔質板７６の全面から空気が噴出して、多孔質板７６の全面がエアベアリング面となるため、ガラス基板Ｐに反りを発生させずに浮上させて、多孔質板７６及び非多孔質板７７に非接触で搬送することが可能となる。この浮上したガラス基板Ｐを吸盤５２がチャックしてワーク搬送方向Ｕ（図１参照）に搬送装置５０が搬送する。
【００５４】
また、吸引室５６に供給された負圧の空気は吸気孔７０を介して多孔質板７６に形成された吸引孔７８にガラス基板Ｐを吸引する力を発生させる。この吸気孔７０によって発生した吸引力は、多孔質板７６から噴出した空気によって浮上したガラス基板Ｐの浮上量を規制するものである。従って、この吸引力を制御することによって、ガラス基板Ｐの浮上量を制御することが可能となる。
【００５５】
また、ガラス基板Ｐがワーク搬送方向Ｕに移動することによって、ガラス基板下側の空気（以下、ワーク下空気Ｌ（図８参照）という）の一部が空気の粘性によってガラス基板Ｐとともに搬送方向に移動する。このワーク下空気Ｌが多孔質板７６上から非多孔質板７７上に移動することは、非多孔質板７７上でガラス基板Ｐに浮力を与えることに寄与している。
【００５６】
また、多孔質板７６と非多孔質板７７とがワーク搬送方向Ｕに交互に配置されており、多孔質板７６と非多孔質板７７がワーク搬送方向Ｕに不連続に配置されている。従って、多孔質板７６の配置枚数を低減させることができ、設備コスト及びランニングコストの大幅な低減を図ることができる。
【００５７】
また、天井壁３７に形成された通気孔７２，７４から噴出した空気は、非多孔質板７７を通過せずに多孔質板７６のみを通過して搬送路面Ｆ側に噴出する。従って、搬送路面Ｆ側に噴出する空気の流量が多すぎて搬送状態が不安定になることやランニングコストが増大することが防止される。
【００５８】
また、多孔質板７６と非多孔質板７７とがワーク搬送方向Ｕに交互に配置されているので、搬送路面Ｆにおいて空気が噴出されない領域の大きさを最小限とすることができる。従って、ワークを浮上搬送させる上で効率良く空気を噴出させることができる。
【００５９】
なお、多孔質板７６及び非多孔質板７７が天井壁３７に着脱自在とされていてもよい。これにより、浮上搬送するワークの寸法、重量に応じて多孔質板７６、非多孔質板７７の配置枚数や配置形態をフレキシブルに変更することができる。
【００６０】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係る浮上ユニット４０を説明する。
【００６１】
浮上ユニット４０の基本的な構成は、第１実施形態の浮上ユニット１０と同一であるので、図１０及び図１１に示すチャンバー８０の溝部の構成と、多孔質板８２の構成、形状について説明する。
【００６２】
チャンバー８０の天井壁には、長手方向に４本の縦溝部９７と幅方向に複数の横溝部１０２が形成されており、縦溝部９７と横溝部１０２で複数の離島８６が所定の間隔で形成されている。横溝部１０２の溝底には通気孔９２が形成されている。この通気孔９２は、図示しない噴出室に連通している。また、離島８６には、吸引室と連通する吸気孔９０が形成されている。
【００６３】
一方、多孔質板８２には、チャンバー８０の天井壁と重ね合わせたとき、吸気孔９０と対応する位置に吸引孔９６が形成されている。また、多孔質板８２の両側には、貫通孔１０１が形成されており、チャンバー８０に形成された取付孔９４へビスを挿入して、多孔質板８２をチャンバー８０に固定できるようになっている。
【００６４】
以上の構成の浮上ユニット４０では、多孔質板８２の表面に貫通孔１０１を形成することでビス止めが可能となる。また、多孔質板８２に溝加工しないので、多孔質板８２の平坦度が維持できる。さらに、吸気孔を等間隔に配置することで、ガラス基板Ｐの浮上量をバランスよく規制することができる。なお、多孔質板８２を接着剤によってチャンバー８０に接合してもよい。
【００６５】
なお、図１〜図９に示す実施形態では、浮上ユニット１０がチャンバー３６の天井壁３７に２枚の多孔質板７６と２枚の非多孔質板７７とが接合されて構成されている。また、図１０及び図１１に示す実施形態では、浮上ユニット４０が、チャンバー８０の天井壁に１枚の多孔質板８２が接合されている。しかし、本発明は、多孔質板の数が限定されるものではない。例えば、図１〜図９に示す実施形態において、チャンバー３６の天井壁３７に１枚の多孔質板７６と１枚の非多孔質板７７とが、ワーク搬送方向Ｕに沿って接合されて構成されても良い。この場合も、本発明でいう「不連続配置」に含まれる。また、多孔質板に限らず、上面側に搬送路を形成することができる限り、一般的な多孔質体であってもよい。
また、チャンバー３６の天井壁に、多孔質板のみが接合されたものと、非多孔質板のみが接合されたものとが、ワーク搬送方向Ｕに沿って不連続に配置された構成であってもよい。この場合、それぞれ１つづつが隣り合って配置される場合も本発明でいう「不連続配置」に含まれる。
【００６６】
［第３実施形態］
次に、第３実施形態について説明する。図１２に示すように、本実施形態に係る浮上ユニットでは、第１実施形態に比べ、多孔質板７６に代えて、搬送路面側に保護膜１１４が形成されている多孔質板１１６が設けられている。
【００６７】
多孔質板１１６の上面側は、多孔質板１１６の剥離を防ぐとともに強度向上を図るために保護膜１１４（図６参照）によって被覆されている。剥離によるパーティクル発生を抑制できる為、クリーンルーム内での使用に適する。保護膜１１４は、多孔質板１１６の上面に開口している空隙を塞がないように形成されている。そして、多孔質板１１６と保護膜１１４とによって搬送路面Ｆが形成されている。
【００６８】
保護膜１１４は、例えば樹脂で構成されている。これにより、保護膜の軽量化を図ることができるとともに、保護膜の形成が容易になる。この場合、樹脂が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、フラン樹脂、フッ素樹脂、ナイロンから選ばれる少なくとも１種の樹脂で構成されていてもよい。
【００６９】
また、保護膜１１４は、金属又は金属化合物で構成されている。これにより、保護膜１１４の強度向上を図ることができる。また、保護膜１１４が導電性となるので、静電気アースの機能を保護膜１１４に付加することができる。この場合、金属又は金属化合物が、Ｎｉ、Ｚｎ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｆｅ、Ｓｎ、Ｍｇから選ばれる少なくとも１種の元素を含んでいてもよい。また、この金属又は金属化合物によって、保護膜１１４として黒色メッキ膜又は針状メッキ膜が形成されていてもよい。これにより、光の反射率を低下させることができるので、露光プロセスで反射率の低い搬送路が要求されるラインに適した浮上ユニットとすることができる。
【００７０】
また、保護膜１１４が、ガラス状炭素又はダイヤモンドライクカーボンのうちの少なくとも１種で構成されていてもよい。これにより、保護膜１１４が導電性となることにより静電気アースの機能が付加される。また、光の反射率を低下させることができるので、露光プロセスで反射率の低い搬送路が要求されるラインに更に適した浮上ユニットとすることができる。
【００７１】
また、保護膜１１４は、例えばガラス等の二酸化ケイ素を含む物質で構成されていても良い。これにより、保護膜の化学的安定性を図ることができる。
【００７２】
［第４実施形態］
次に、第４実施形態について説明する。図１３に示すように、本実施形態に係る浮上ユニットでは、第１実施形態に比べ、多孔質板７６及び非多孔質板７７の配置位置を、搬送方向と直交する方向に隣り合うチャンバー同士でも互い違いとなるように千鳥配置としている。
これにより、より安定した状態でワークを搬送することができる。
【００７３】
［第５実施形態］
次に、第５実施形態について説明する。図１４に示すように、本実施形態に係る浮上ユニットでは、第１実施形態に比べ、１枚の多孔質板７６と２枚の非多孔質板７７とがワーク搬送方向Ｕに繰り返して配置されている。
これにより、第１実施形態に比べ、多孔質板７６の配置枚数を更に低減させることができ、しかも、搬送路面Ｆ側に噴出する空気の流量が多すぎて搬送状態が不安定になることやランニングコストが増大することが更に防止される。
【００７４】
なお、図１〜図１４に示す実施形態では、本発明の浮上ユニット１０、４０が露光装置に組み込まれたものであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、露光装置以外に、例えば、検査装置、欠陥修復装置、コータ装置等、ガラス基板を搬送するための装置に使用できるものである。
【００７５】
さらに、図１〜図１４に示す実施形態では、浮上ユニット１０、４０により搬送される被搬送体としてガラス基板を例にして説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、樹脂板や金属板等、ガラス基板以外の被搬送体を搬送するものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置を示す斜視図である。
【図２】第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置を示す側面図である。
【図３】第１実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置を示す平面図である。
【図４】第１実施形態に係る浮上ユニットの斜視図である。
【図５】第１実施形態に係る浮上ユニットの分解斜視図である。
【図６】第１実施形態に係る浮上ユニットの側板の取付構造を示す斜視図である。
【図７】第１実施形態に係る浮上ユニットのチャンバーの拡大平面図である。
【図８】第１実施形態に係る浮上ユニットの側断面図である。
【図９】第１実施形態に係る浮上ユニットの側断面図である。
【図１０】第２実施形態に係る浮上ユニットのチャンバーの平面図である。
【図１１】第２実施形態に係る浮上ユニットの多孔質板の平面図である。
【図１２】第３実施形態に係る浮上ユニットで多孔質板に保護膜が形成されていることを示す斜視図である。
【図１３】第４実施形態に係る浮上ユニットと第２実施形態に係る浮上ユニットが組付けられた露光装置を示す斜視図である。
【図１４】第５実施形態に係る浮上ユニットの斜視図である。
【図１５】従来の浮上ユニットを示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７７】
１０        浮上ユニット
３６        チャンバー
３７        天井壁
４０        浮上ユニット
７２        通気孔
７４        通気孔
７６        多孔質板（多孔質体）
７７        非多孔質板（非多孔質体）
８０        チャンバー
８２        多孔質板（多孔質体）
１１４      保護膜
１１６      多孔質板（多孔質体）
Ｆ          搬送路面
Ｐ          ガラス基板（ワーク）
Ｕ          ワーク搬送方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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