(57)【要約】【課題】長期間保守、点検を行わなくともマイクロポンプが安定して駆動液を送液し、所定の検査を行うことができる検査装置を提供する。【解決手段】駆動液タンクに蓄えられた駆動液をマイクロポンプを用いてマイクロチップに注入し、試薬と検体を反応させ反応結果を測定する検査装置において、マイクロポンプの吐出口からマイクロポンプ内部の駆動液を吸引する吸引手段と、吸引手段の駆動を制御する吸引ポンプ制御手段と、を有することを特徴とする検査装置。【選択図】図５
2009085815.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動液タンクに蓄えられた駆動液をマイクロポンプを用いてマイクロチップに注入し、試薬と検体を反応させ反応結果を測定する検査装置において、
前記マイクロポンプの吐出口から前記マイクロポンプの内部の駆動液を吸引する吸引手段と、
前記吸引手段の駆動を制御する吸引ポンプ制御手段と、
を有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
電源スイッチと、
前記電源スイッチがオン状態かオフ状態かを判定する電源スイッチ判定手段と、
を有し、
前記吸引ポンプ制御手段は、
前記電源スイッチがオン状態に変化したと前記電源スイッチ判定手段が判定したとき、前記吸引手段を駆動して前記マイクロポンプの内部の駆動液を吸引することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
電源スイッチと、
前記電源スイッチがオン状態かオフ状態かを判定する電源スイッチ判定手段と、
前記マイクロポンプの駆動を制御するマイクロポンプ制御手段と、
前記マイクロポンプの送液する流量を検出する流量検出手段と、
前記流量検出手段が検出した前記流量が所定の流量以下であることを判定する流量判定手段と、を有し、
前記電源スイッチがオン状態に変化したと前記電源スイッチ判定手段が判定すると、
前記マイクロポンプ制御手段は前記マイクロポンプを駆動し、
前記流量検出手段は流量を検出し、
前記流量判定手段が前記流量は前記所定の流量以下であると判定したとき、
前記吸引ポンプ制御手段は前記吸引手段を駆動して前記マイクロポンプの内部の駆動液を吸引することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
日時を計時する時計手段と、
前記吸引手段が吸引した日時を記憶する吸引日時記憶手段と、
を有し、
前記吸引ポンプ制御手段は、
前記電源スイッチ判定手段の判定結果がオフ状態のとき、前記吸引日時記憶手段に記憶されている日時の情報に基づいて前記吸引手段を所定時間駆動して前記マイクロポンプの内部の前記駆動液を吸引し、前記駆動液を吸引した日時を前記吸引日時記憶手段に記憶させることを特徴とする請求項２または３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記吸引ポンプ制御手段は、
前記電源スイッチ判定手段がオフ状態と判定すると、前記吸引日時記憶手段の情報に基づいて前記吸引手段を所定時間駆動し前記マイクロポンプの内部の駆動液を吸引することを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記駆動液タンクに蓄えられた前記駆動液の残量を検出する駆動液量検出手段と、
警告情報を表示する表示手段と、
を有し、
前記吸引ポンプ制御手段は、
前記駆動液の残量が所定の残量以下になったことを前記駆動液量検出手段が検出したとき、前記吸引手段の駆動を中止し、前記表示手段に前記警告情報を表示することを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記吸引手段が前記駆動液を吸引してからの経過時間を計測するタイマ手段を有し、
前記吸引ポンプ制御手段は、前記タイマ手段が計測した前記経過時間の情報に基づいて前記吸引手段を駆動して前記マイクロポンプの内部の駆動液を吸引することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロマシン技術および超微細加工技術を駆使することにより、従来の試料調製、化学分析、化学合成などを行うための装置、手段（例えばポンプ、バルブ、流路、センサなど）を微細化して１チップ上に集積化したシステムが開発されている（例えば、特許文献１参照）。これは、μ−ＴＡＳ（Ｍｉｃｒｏ  ｔｏｔａｌ  Ａｎａｌｙｓｉｓ  Ｓｙｓｔｅｍ：マイクロ総合分析システム）、バイオリアクタ、ラボ・オン・チップ（Ｌａｂ−ｏｎ−ｃｈｉｐｓ）、バイオチップとも呼ばれ、医療検査・診断分野、環境測定分野、農産製造分野でその応用が期待されている。特に遺伝子検査に見られるように、煩雑な工程、熟練した手技、機器類の操作が必要とされる場合には、μ−ＴＡＳを用いることによりコスト、必要試料量、所要時間を削減できる。
【０００３】
本出願人は、マイクロチップの微細流路内に試薬などを封入し、マイクロポンプによって微細流路に駆動液を注入して試薬などを移動させ、反応部、次いで検出部へ流すことにより、血液など検体との反応結果を測定することができる検査装置を提案している（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
マイクロポンプはこのような微小流量の送液に適しているが、マイクロポンプ内に気泡が入ると送液力が弱いため気泡を排出できず送液が停止するおそれがある。そのため、脱気と呼ばれる作業を行って溶存空気を除去した駆動液を用いている。また、駆動液を貯蔵する駆動液タンクは駆動液が空気に触れないように密閉タンクを用い、配管等も高い気密性を保つようにしている。
【特許文献１】特開２００４−２８５８９号公報
【特許文献２】特開２００６−１４９３７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような対策を行っても、マイクロポンプ内に長時間駆動液を放置すると駆動液中の溶存空気量が増し気泡が発生する場合がある。マイクロポンプ内に気泡が入ると送液が停止し所定の検査が行えなくなるおそれがある。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、長期間保守、点検を行わなくともマイクロポンプが安定して駆動液を送液し、所定の検査を行うことができる検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の目的は、下記構成により達成することができる。
【０００８】
１．
駆動液タンクに蓄えられた駆動液をマイクロポンプを用いてマイクロチップに注入し、試薬と検体を反応させ反応結果を測定する検査装置において、
前記マイクロポンプの吐出口から前記マイクロポンプの内部の駆動液を吸引する吸引手段と、
前記吸引手段の駆動を制御する吸引ポンプ制御手段と、
を有することを特徴とする検査装置。
【０００９】
２．
電源スイッチと、
前記電源スイッチがオン状態かオフ状態かを判定する電源スイッチ判定手段と、
を有し、
前記吸引ポンプ制御手段は、
前記電源スイッチがオン状態に変化したと前記電源スイッチ判定手段が判定したとき、前記吸引手段を駆動して前記マイクロポンプの内部の駆動液を吸引することを特徴とする１に記載の検査装置。
【００１０】
３．
電源スイッチと、
前記電源スイッチがオン状態かオフ状態かを判定する電源スイッチ判定手段と、
前記マイクロポンプの駆動を制御するマイクロポンプ制御手段と、
前記マイクロポンプの送液する流量を検出する流量検出手段と、
前記流量検出手段が検出した前記流量が所定の流量以下であることを判定する流量判定手段と、を有し、
前記電源スイッチがオン状態に変化したと前記電源スイッチ判定手段が判定すると、
前記マイクロポンプ制御手段は前記マイクロポンプを駆動し、
前記流量検出手段は流量を検出し、
前記流量判定手段が前記流量は前記所定の流量以下であると判定したとき、
前記吸引ポンプ制御手段は前記吸引手段を駆動して前記マイクロポンプの内部の駆動液を吸引することを特徴とする１に記載の検査装置。
【００１１】
４．
日時を計時する時計手段と、
前記吸引手段が吸引した日時を記憶する吸引日時記憶手段と、
を有し、
前記吸引ポンプ制御手段は、
前記電源スイッチ判定手段の判定結果がオフ状態のとき、前記吸引日時記憶手段に記憶されている日時の情報に基づいて前記吸引手段を所定時間駆動して前記マイクロポンプの内部の前記駆動液を吸引し、前記駆動液を吸引した日時を前記吸引日時記憶手段に記憶させることを特徴とする２または３に記載の検査装置。
【００１２】
５．
前記吸引ポンプ制御手段は、
前記電源スイッチ判定手段がオフ状態と判定すると、前記吸引日時記憶手段の情報に基づいて前記吸引手段を所定時間駆動し前記マイクロポンプの内部の駆動液を吸引することを特徴とする４に記載の検査装置。
【００１３】
６．
前記駆動液タンクに蓄えられた前記駆動液の残量を検出する駆動液量検出手段と、
警告情報を表示する表示手段と、
を有し、
前記吸引ポンプ制御手段は、
前記駆動液の残量が所定の残量以下になったことを前記駆動液量検出手段が検出したとき、前記吸引手段の駆動を中止し、前記表示手段に前記警告情報を表示することを特徴とする１乃至５の何れか１項に記載の検査装置。
【００１４】
７．
前記吸引手段が前記駆動液を吸引してからの経過時間を計測するタイマ手段を有し、
前記吸引ポンプ制御手段は、前記タイマ手段が計測した前記経過時間の情報に基づいて前記吸引手段を駆動して前記マイクロポンプの内部の駆動液を吸引することを特徴とする１に記載の検査装置。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、マイクロポンプ内の駆動液を吸引する吸引ポンプを設け、所定のタイミングでマイクロポンプ内の駆動液を入れ替えるので、長期間保守、点検を行わなくともマイクロポンプが安定して駆動液を送液し、所定の検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面に基づき本発明の実施形態を説明する。
【００１７】
図１は、本発明の実施形態における検査装置８０の外観図である。
【００１８】
検査装置８０はマイクロチップ１に予め注入された検体と、試薬との反応を自動的に検出し、表示部８４に結果を表示する装置である。
【００１９】
検査装置８０の筐体８２には挿入口８３があり、マイクロチップ１を挿入口８３に差し込んで筐体８２の内部にセットするようになっている。なお、挿入口８３はマイクロチップ１を挿入時に挿入口８３に接触しないように、マイクロチップ１の厚みより十分高さがある。８５はメモリカードスロット、８６はプリント出力口、８７は操作パネル、８８は入出力端子、８９は電源スイッチである。
【００２０】
検査担当者は電源スイッチ８９をオンにした後、図１の矢印方向にマイクロチップ１を挿入し、操作パネル８７を操作して検査を開始させる。検査装置８０の内部では、マイクロチップ１内の反応の検査が自動的に行われ、検査が終了すると液晶パネルなどで構成される表示部８４に結果が表示される。検査結果は操作パネル８７の操作により、プリント出力口８６よりプリントを出力したり、メモリカードスロット８５に挿入されたメモリカードに記憶することができる。また、外部入出力端子８８から例えばＬＡＮケーブルを使って、パソコンなどにデータを保存することができる。
【００２１】
検査担当者は、検査終了後、マイクロチップ１を挿入口８３から取り出す。
【００２２】
次に、本発明の実施形態に係わるマイクロチップ１の一例について、図２を用いて説明する。
【００２３】
図２（ａ）、図２（ｂ）はマイクロチップ１の外観図である。図２（ａ）において矢印は、検査装置８０にマイクロチップ１を挿入する挿入方向であり、図２（ａ）は挿入時にマイクロチップ１の下面となる面を図示している。図２（ｂ）はマイクロチップ１の側面図である。
【００２４】
図２（ａ）の検出部１１１の窓１１１ａと流路１１１ｂは検体と試薬の反応を光学的に検出するために設けられており、ガラスや樹脂などの透明な部材で構成されている。１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ、１１０ｄ、１１０ｅは内部の微細流路に連通する駆動液注入部であり、各駆動液注入部１１０から駆動液を注入し内部の試薬等を駆動する。１１３はマイクロチップ１に検体を注入するための検体注入部である。
【００２５】
図２（ｂ）に示すように、マイクロチップ１は溝形成基板１０８と、溝形成基板１０８を覆う被覆基板１０９から構成されている。
【００２６】
マイクロチップ１を構成する溝形成基板１０８と被覆基板１０９に用いる材料について説明する。
【００２７】
マイクロチップ１は、加工成形性、非吸水性、耐薬品性、耐候性、コストなどに優れていることが望まれており、マイクロチップ１の構造、用途、検出方法などを考慮して、マイクロチップ１の材料を選択する。その材料としては従来公知の様々なものが使用可能であり、個々の材料特性に応じて通常は１以上の材料を適宜組み合わせて、基板および流路エレメントが成形される。
【００２８】
特に、多数の測定検体、とりわけ汚染、感染のリスクのある臨床検体を対象とするチップは、ディスポーサブルタイプであることが望ましい。そのため、量産可能であり、軽量で衝撃に強く、焼却廃棄が容易なプラステック樹脂、例えば、透明性、機械的特性および成型性に優れて微細加工がしやすいポリスチレンが好ましい。また、例えば分析においてチップを１００℃近くまで加熱する必要がある場合には、耐熱性に優れる樹脂（例えばポリカーボネートなど）を用いることが好ましい。また、タンパク質の吸着が問題となる場合にはポリプロピレンを用いることが好ましい。樹脂やガラスなどは熱伝導率が小さく、マイクロチップの局所的に加熱される領域に、これらの材料を用いることにより、面方向への熱伝導が抑制され、加熱領域のみ選択的に加熱することができる。
【００２９】
検出部１１１において、呈色反応の生成物や蛍光物質などの検出を光学的に行うので、少なくともこの部位の基板は光透過性の材料（例えばアルカリガラス、石英ガラス、透明プラスチック類）を用い、光が透過するようにする必要がある。検出部１１１の窓１１１ａと、少なくとも検出部１１１の流路を形成する溝形成基板は、光透過性の材料が用いられていて、検出部１１１を光を透過するようになっている。
【００３０】
マイクロチップ１には、検査、試料の処理などを行うための、微小な溝状の流路（微細流路）および機能部品（流路エレメント）が、用途に応じた適当な態様で配設されている。本実施形態では、これらの微細流路および流路エレメントによってマイクロチップ１内で行われる特定の遺伝子の増幅およびその検出を行う処理の一例を図２（ｃ）を用いて説明する。
【００３１】
図２（ｃ）はマイクロチップ１内部の微細流路および流路エレメントの機能の一例を説明するための説明図である。
【００３２】
微細流路には、例えば検体液を収容する検体収容部１２１、試薬類を収容する試薬収容部１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄなどが設けられており、場所や時間を問わず迅速に検査ができるよう、試薬収容部１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄには必要とされる試薬類、洗浄液、変性処理液などがあらかじめ収容されている。図２（ｃ）において、試薬収容部１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ、検体収容部１２１および流路エレメントは四角形で表し、その間の微細流路は実線と矢印で表す。
【００３３】
マイクロチップ１は、微細流路を形成した溝形成基板１０８と溝状の流路を覆う被覆基板１０９から構成されている。微細流路はマイクロメーターオーダーで形成されており、例えば幅は数μｍ〜数百μｍ、好ましくは１０〜２００μｍで、深さは２５〜５００μｍ程度、好ましくは２５〜２５０μｍである。
【００３４】
少なくともマイクロチップ１の溝形成基板１０８には、上記の微細流路が形成されている。被覆基板１０９は、少なくとも溝形成基板の微細流路を密着して覆う必要があり、溝形成基板の全面を覆っていても良い。なお、マイクロチップ１の微細流路には、例えば、図示せぬ送液制御部、逆流防止部（逆止弁、能動弁など）などの送液を制御するための部位が設けられ、逆流を防止し、所定の手順で送液が行われるようになっている。
【００３５】
検体注入部１１３はマイクロチップ１に検体を注入するための注入部、駆動液注入部１１０はマイクロチップ１に駆動液１１を注入するための注入部である。マイクロチップ１による検査を行うに先立って、検査担当者は検体を検体注入部１１３から注射器などを用いて注入する。図２（ｃ）に示すように、検体注入部１１３から注入された検体は、連通する微細流路を通って検体収容部１２１に収容される。
【００３６】
次に、駆動液注入部１１０ａから駆動液を注入すると、駆動液１１は連通する微細流路を通って検体収容部１２１に収容されている検体を押し出し、増幅部１２２に検体を送り込む。
【００３７】
一方、駆動液注入部１１０ｂから注入された駆動液は、連通する微細流路を通って試薬収容部１２０ａに収容されている試薬を押し出す。試薬収容部１２０ａから押し出された試薬は増幅部１２２に駆動液によって送り込まれる。このときの反応条件によっては、増幅部１２２の部分を所定の温度にする必要があり、後で説明するように検査装置８０の内部で加熱または吸熱して所定の温度で反応させる。
【００３８】
所定の反応時間の後、さらに駆動液１１により増幅部１２２から送り出された反応後の検体を含む溶液は、検出部１１１に注入される。続いて駆動液注入部１１０ｃ、１１０ｄ、１１０ｅから駆動液１１を注入すると、駆動液１１は連通する微細流路を通って試薬収容部１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄに収容されている試薬を押し出し、検出部１１１に注入する。
【００３９】
窓１１１から検出部１１１に光を照射すると、検体と反応した試薬が例えば蛍光を発光するので蛍光の光量を測定することにより反応結果を計測することができる。検出部１１１で反応結果を計測後の溶液は廃液溜め部１２５に送液される。
【００４０】
次に検査装置８０で用いるポンプユニット５について図３を用いて説明する。
【００４１】
図３は、本発明の実施形態におけるポンプユニット５の構成の一例を示す説明図である。
【００４２】
このポンプユニット５は、シリコン製の基板６７と、その上のガラス製の基板６８と、その上のガラス製の基板６９との３つの基板から構成されている。基板６７と基板６８は陽極結合、基板６８と基板６９は接着や融着によって接合されている。
【００４３】
シリコン製の基板６７と、その上に陽極接合によって貼り合わされたガラス製の基板６８との間の内部空間によってマイクロポンプ６２（ピエゾポンプ）が構成されている。マイクロポンプ６２の駆動源は一例として圧電素子であり、内部の加圧室の体積を変化させることにより図３の左から右方向に送液する。
【００４４】
マイクロポンプ６２の上流側は基板６７に設けられた流路から基板６８の貫通孔６６ａを介して、ガラス製の基板に設けられた吸入口６４に連通されている。吸入口６４は、図３には図示せぬ配管５１を介して駆動液タンク１０に接続されていて、駆動液タンク１０に充填された駆動液１１を吸い込むようになっている。吸入口６４は本発明の吸入口である。
【００４５】
基板６９には、流路７０がパターンニングされている。一例として、流路７０の寸法および形状は、幅が１５０μｍ程度、深さが３００μｍ程度の断面矩形状である。流路７０の下流側には開口６５が設けられ、マイクロポンプ６２によって流路７０を通って送液される。
【００４６】
図４、図５は、本発明の第１の実施形態における検査装置８０の内部構成の一例を示す断面図である。
【００４７】
検査装置８０は、駆動液タンク１０、第１電磁バルブ１４、配管１５、少なくとも一つのマイクロポンプ６２からなるポンプユニット５、パッキン６、吸引ポンプ７、第２電磁バルブ１８、キャップ１７、中間流路９、温度調節ユニット３などから構成される。
【００４８】
図４は駆動液１１を充填した駆動液タンク１０を配管１５に連結し、配管１５と連通する吸引口６４から駆動液１１を吸引し、中間流路９を介してマイクロチップ１に駆動液１１を送液している状態を示している。
【００４９】
駆動液タンク１０は駆動液１１を貯蔵するタンクであり、タンク結合針１３から配管１５に駆動液１１を吐出する。駆動液タンク１０には、駆動液タンク１０に蓄積された駆動液１１の残量を検出する駆動液量センサ１９が取り付けられている。配管１５には第１電磁バルブ１４が設けられ、制御信号により流路を開閉することができる。駆動液量センサ１９は本発明の駆動液量検出手段である。
【００５０】
配管１５のマイクロポンプ６２側には駆動液に含まれる不溶性物質を取り除くフィルタ１２が取り付けられている。フィルタ１２は例えば金属または化学繊維から構成され、フィルタ１２に設けられた開口部は不溶性物質を通過させないように不溶性物質の最小径より小さい数〜数十ミクロンになっている。
【００５１】
配管１５はマイクロポンプ６２とポンプ液だまり部１６を介して結合し、マイクロポンプ６２の吸入口６４と連通している。
【００５２】
ポンプユニット５は、図３に示すように少なくとも一つのマイクロポンプ６２を有している。マイクロポンプ６２の吸入口６４は、駆動液タンク１０と連通するように配管１５と接続されおり、吸入口６４から配管１５に充填された駆動液１１を吸い込むことができる。ポンプ液だまり部１６にはゴムなどの弾性部材が取り付けられており、液漏れを防いでいる。
【００５３】
マイクロポンプ６２の吐出口６５には中間流路９が接続されていて、吸い込んだ駆動液１１を、パッキン６ａ、中間流路９、パッキン６ｂを介してマイクロチップ１の駆動液注入部１１０からマイクロチップ１内に形成された微細流路に注入する。
【００５４】
パッキン６ａはポンプユニット５と中間流路９の間に挟まれ、マイクロポンプ６２の開口６５とパッキン６ａの開口部と開口１８６とは連通している。また、パッキン６ｂは開口１８５とマイクロチップ１の駆動液注入部１１０の間に挟まれ、流路１８２とパッキン６ｂの開口部と駆動液注入部１１０とは連通している。このように、マイクロポンプ６２から、連通しているパッキン６ａ、６ｂを介して駆動液注入部１１０より駆動液１１を注入する。
【００５５】
温度調節ユニット３とマイクロチップ１は、図示せぬ駆動機構により駆動され、紙面上下方向に移動可能である。図４はマイクロチップ１を温度調節ユニット３とパッキン６ｂに密着させている状態である。
【００５６】
初期状態において、駆動機構により温度調節ユニット３を、図４の状態からマイクロチップ１の厚み以上上昇させる。すると、マイクロチップ１は図４の紙面左右方向に挿抜可能であり、検査担当者は挿入口８３からトレイ３００の図示せぬ規制部材に当接するまでマイクロチップ１を挿入する。所定の位置までマイクロチップ１を挿入するとフォトインタラプタなどを用いたチップ検知部９５がマイクロチップ１を検知し、オンになる。
【００５７】
温度調節ユニット３は、ペルチェ素子、電源装置、温度制御装置などを内蔵し、発熱または吸熱を行ってマイクロチップ１の面を所定の温度に調整するユニットである。
【００５８】
次に、駆動機構により温度調節ユニット３とトレイ３００を下降させて、マイクロチップ１を温度調節ユニット３とパッキン６ｂに密着させる。
【００５９】
マイクロチップ１の検出部１１１では、検体とマイクロチップ１内に貯蔵された試薬が反応して、例えば呈色、発光、蛍光、混濁などをおこす。本実施形態では試薬の反応結果を測光するマイクロチップ１の検出部１１１を構成する溝形成基板１０８と被覆基板１０９は、光透過性の材料になっていて、試薬と検体の反応結果は、マイクロチップ１の検出部１１１を透過する光を測光または測色することで解析することができる。
【００６０】
発光部４ａと受光部４ｂはマイクロチップ１の検出部１１１を透過する光を検出できるように配置されている。
【００６１】
吸引ポンプ７、第２電磁バルブ１８、キャップ１７については図５を用いて説明する。
【００６２】
図５は検査装置８０にマイクロチップ１が挿入されていないとき、キャップ１７を図示せぬ駆動機構によりパッキン６ｂに密着させた状態を示している。
【００６３】
キャップ１７と吸引ポンプの間には第２電磁バルブ１８が設けられ、制御信号により流路を開閉することができる。吸引ポンプ７と第２電磁バルブ１８は本発明の吸引手段である。
【００６４】
キャップ１７は図示せぬ駆動機構により紙面上下方向に移動可能であり、マイクロチップ１が挿入されていないとき、パッキン６ｂに密着しパッキン６ｂの開口部を覆う。キャップ１７は吸引ポンプ７と連通しているので、吸引ポンプ７を駆動することによりパッキン６ｂを介して中間流路９、マイクロポンプ５内に残留している駆動液１１や気泡を吸引して排出し、新たな駆動液１１を駆動タンク１１から吸引して中間流路９、マイクロポンプ５の内部に満たすことができる。
【００６５】
図６は中間流路９に設けられている流量センサの一例を説明するための説明図である。
【００６６】
図６（ａ）は、センサ基板１８３に形成された流量センサ２８０の平面図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。以下、図面の説明では図６（ａ）、図６（ｂ）の紙面右側に示すＸＹＺの座標軸を用いる。
【００６７】
本発明に係る流量センサ２８０は、流路１８２に沿って配置された発熱抵抗体５２と、温度検出部材である第１の温度センサ５３、第２の温度センサ５１からなり駆動液の流量に対応する信号を出力する。流量センサ２８０は、図６に示すようにセンサ基板１８３の上に形成されている。
【００６８】
センサ基板１８３には、８つの溝状の流路１８２に沿ってそれぞれ発熱抵抗体５２、第１の温度センサ５３、第２の温度センサ５１、が設けられている。また、発熱抵抗体５２、第１の温度センサ５３、第２の温度センサ５１の両端には電極５４が設けられ、センサ基板１８３の図示せぬ配線パターンと配線されている。第１の温度センサ５３、第２の温度センサ５１として例えばサーミスタのように温度によって抵抗値が変化する素子を用いることができる。
【００６９】
流路基板１８４には８つの溝状の流路１８２を備え、溝状の流路１８２の両端には開口１８６、開口１８５がそれぞれ備えられている。流路基板１８４は、例えば樹脂材料からなり、流路１８２は幅数１００μｍ〜数ｍｍ、深さ数１００μｍである。
【００７０】
センサ基板１８３には例えばガラスエポキシ基板などをパターンニングして用いることもできるが、低温焼結セラミックスを用いると厚膜印刷により発熱抵抗体５２、第１の温度センサ５３、第２の温度センサ５１を形成できるので工程を簡略にすることができる。
【００７１】
センサ基板１８３は図６のように流路基板１８４に重ねて貼り合わされている。
【００７２】
センサ基板１８３に形成された発熱抵抗体５２、第１の温度センサ５３、第２の温度センサ５１は流路１８２に沿うように配置されており、流路１８２を流れる駆動液１１に接するようになっている。駆動液１１は開口１８６から注入し、流路１８２を通って開口１８５から吐出する。上流側に設けられた第１の温度センサ５３によって検出した駆動液１１の液温と、下流側に設けられた第２の温度センサ５１によって検出した発熱抵抗体５２によって加熱された駆動液１１の液温の温度差から流路１８２を流れる駆動液１１の流量を算出する。
【００７３】
スリット５０は、図６のようにセンサ基板１８３に流路１８２毎に配設された発熱抵抗体５２、第１の温度センサ５３、第２の温度センサ５１の間に設けられている。
【００７４】
なお、本実施形態では一例として熱移動方式の熱式流量センサについて説明するが、本発明の適用は熱移動方式に限定されるものではなく、駆動液１１が流れていることを検出できれば熱吸収方式や光学方式などどのような方式を用いても良い。
【００７５】
図７は、本発明の第１の実施形態における検査装置８０の回路ブロック図である。
【００７６】
制御部９９は、ＣＰＵ９８（中央処理装置）とＲＡＭ９７（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ），ＲＯＭ９６（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）等から構成され、不揮発性の記憶部であるＲＯＭ９６に記憶されているプログラムをＲＡＭ９７に読み出し、当該プログラムに従って検査装置８０の各部を集中制御する。制御部９９は本発明の制御手段である。
【００７７】
以下、いままでに説明した機能と同一機能を有する機能ブロックには同番号を付し、説明を省略する。
【００７８】
ポンプ駆動部９１はマイクロポンプ６２の駆動源、例えば圧電素子を駆動する駆動部である。メモリカード９２は検査結果を記憶するために、プリンタ９３は検査結果をプリントするために用いられる。第１バルブ駆動部４１は第１電磁バルブ１４を駆動する駆動部、第２バルブ駆動部４２は第２電磁バルブ１８を駆動する駆動部である。
【００７９】
電源部５００は商用電源に接続され、検査装置８０の各部に適した電圧を供給する電源回路である。商用電源が電源部５００に供給されると、電源部５００は制御部９９に電源を供給し、制御部９９からの制御信号に応じて各部に電源を供給するように構成されている。
【００８０】
ＣＰＵ９８は流量算出部４１０、電源スイッチ判定部４１１、マイクロポンプ駆動制御部４１２、吸引ポンプ駆動制御部４１３、流量判定部４１４、時計部４１５、タイマ部４１６を有する。
【００８１】
電源スイッチ判定部４１１は電源スイッチ８９がオン状態か、オフ状態かを判定する。ＣＰＵ９８は電源スイッチ判定部４１１の判定に基づいて、所定のプログラムにより電源部５００に制御信号を送り、各部への給電を開始または停止する。
【００８２】
マイクロポンプ駆動制御部４１２はプログラムに基づいて、所定量の駆動液を注入または吸入するようにポンプ駆動部９１を制御する。ポンプ駆動部９１は、マイクロポンプ駆動制御部４１２の指令を受けて、所定の駆動電圧を発生してマイクロポンプ９２が備える圧電素子を駆動する。
【００８３】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は吸引ポンプ７の駆動を制御し、吸引ポンプ７による吸引を開始または停止する。
【００８４】
電源スイッチ判定部４１１は本発明の電源スイッチ判定手段、マイクロポンプ駆動制御部４１２は本発明のマイクロポンプ制御手段、吸引ポンプ駆動制御部４１３は本発明の吸引ポンプ制御手段である。また、流量判定部４１４は本発明の流量判定手段、時計部４１５は本発明の時計手段、タイマ部４１６は本発明のタイマ手段である。
【００８５】
吸引日時記憶部３０２は吸引ポンプ７が駆動した日時を記憶する。吸引日時記憶部３０２は本発明の吸引日時記憶手段である。
【００８６】
ＣＰＵ９８は所定のシーケンスで検査を行い、検査結果をＲＡＭ９７に記憶する。検査結果は、操作部８７の操作によりメモリカード５０１に記憶したり、プリンタ５０３によってプリントしたり、外部入出力端子８８より出力することができる。
【００８７】
液量センサ２８０は、例えば図７のように第１の温度センサ５３、第２の温度センサ５１、発熱抵抗体５２、抵抗Ｒ１、抵抗Ｒ２から構成される。
【００８８】
第１の温度センサ５３はセンサ基板１８３の図６には図示せぬ面に配置された抵抗Ｒ１と接続されている。発熱抵抗体５２には定電圧Ｖｃが印加され常に発熱している。
【００８９】
第１の温度センサ５３の一端には定電圧Ｖｃが印加され、抵抗Ｒ１の一端は接地されている。第１の温度センサ５３と抵抗Ｒ１の分圧は第１Ａ／Ｄ変換器３１０によりデジタル値に変換され制御部９９に入力される。流量算出部４１０は、第１Ａ／Ｄ変換器３１０の出力値から第１の温度センサ５３の温度Ｔ１を算出する。
【００９０】
第２の温度センサ５１も同様に抵抗Ｒ２と接続されている。また、第２の温度センサ５１の一端には定電圧Ｖｃが印加され、抵抗Ｒ２の一端は接地されている。第２の温度センサ５１と抵抗Ｒ２の分圧は第２Ａ／Ｄ変換器３２０によりデジタル値に変換され制御部９９に入力される。流量算出部４１０は、第２Ａ／Ｄ変換器３２０の出力値から第２の温度センサ５１の温度Ｔ２を算出する。第２の温度センサ５１は発熱抵抗体５２より下流側に設けられているので、温度Ｔ２は発熱抵抗体５２が発生した熱を吸収した流体の液温である。流量センサ２８０は本発明の流量検出手段である。
【００９１】
流量算出部４１０は、上流側の液温Ｔ１と、下流側の液温Ｔ２の温度差ΔＴを算出し、温度差ΔＴから流量を算出する。流量判定部４１４は温度差ΔＴを所定値と比較し、所定の流量以下か、否かを判定する。
【００９２】
時計部４１５は本発明の時計手段であり、日時を計時する。タイマ部４１６は本発明のタイマ手段であり、吸引ポンプ７が吸引してからの経過時間を計測する。
【００９３】
チップ検知部９５は規制部材に設けられていて、マイクロチップ１が規制部材に当接すると検知信号をＣＰＵ９８に送信する。
【００９４】
表示部８４は本発明の表示手段であり、検査装置８０の各種情報を表示する。
【００９５】
駆動液量センサ１９は駆動液タンク１０に蓄えられた駆動液１１の残量が所定の残量以下になると警告信号を制御部９８に送信する。
【００９６】
図８は本発明の第１の実施形態において、電源スイッチ８９を操作したときのメインルーチンの手順を説明するフローチャートである。メインルーチンは一定の周期で起動され電源スイッチ８９の状態を監視している。
【００９７】
Ｓ１０：電源スイッチ８９の状態を判定するステップである。
【００９８】
電源スイッチ判定部４１１は、電源スイッチ８９がオン状態か、オフ状態かを判定する。
【００９９】
オン状態の場合、（ステップＳ１０；ＯＮ）、ステップＳ１３に進む。
【０１００】
オフ状態からオン状態に変化した場合、（ステップＳ１０１；ＯＦＦ→ＯＮ）、ステップＳ１１に進む。
【０１０１】
オフ状態の場合、（ステップＳ１０；ＯＦＦ）、ステップＳ１５に進む。
【０１０２】
Ｓ１１：検査装置８０の各部の電源をオンにするステップである。
【０１０３】
電源スイッチ判定部４１１は、電源部５００に各部への電源を供給するように指令する。
【０１０４】
Ｓ１２：起動時に吸引ポンプ７による駆動液１１の吸引を行うステップである。
【０１０５】
電源スイッチ判定部４１１は、後に図９で説明する起動時吸引処理ルーチンをコールし、吸引ポンプ７による駆動液１１の吸引を行う。一連の手順で吸引後、検査装置８０は検査開始可能なスタンバイ状態になる。
【０１０６】
Ｓ１３：検査開始か、否か、判定するステップである。
【０１０７】
電源スイッチ判定部４１１は、操作部８７の状態を検知し、検査開始が指令されているか、否か判定する。
【０１０８】
検査開始が指令されているとき、（ステップＳ１３；Ｙｅｓ）、ステップＳ１４に進む。
【０１０９】
検査開始が指令されていないとき、（ステップＳ１３；Ｎｏ）、処理を終了する。
【０１１０】
Ｓ１４：検査を行うステップである。
【０１１１】
電源スイッチ判定部４１１は、後に図１０で説明する検査ルーチンをコールし、所定の手順で検査を行う。
【０１１２】
Ｓ１５：停止時に吸引ポンプ７による駆動液１１の吸引を行うステップである。
【０１１３】
電源スイッチ判定部４１１は、後に図１１で説明する停止時吸引処理ルーチンをコールし、停止時においても所定のタイミングで吸引ポンプ７による駆動液１１の吸引を行う。
【０１１４】
メインルーチンの説明は以上である。
【０１１５】
次に、起動時吸引処理ルーチンの実施形態について図９を用いて説明する。
【０１１６】
図９は、本発明の第１の実施形態において、起動時に検査装置８０が行う吸引処理の手順を説明するフローチャートである。なお、検査装置８０の内部は図５のようにキャップ１７がパッキン６ａに密着しているものとする。
【０１１７】
Ｓ１０２：吸引ポンプ７を駆動するステップである。
【０１１８】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、吸引ポンプ７に制御信号を送り吸引ポンプ７を駆動する。
【０１１９】
Ｓ１０３：第１電磁バルブ１４、第２電磁バルブ１８を開くステップである。
【０１２０】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は第１バルブ駆動部４１に、吸引ポンプ駆動制御部４１３は第２バルブ駆動部４２に、それぞれ制御信号を送り、第１電磁バルブ１４、第２電磁バルブ１８を開く。
【０１２１】
Ｓ１０４：駆動液残量を判定するステップである。
【０１２２】
ＣＰＵ９８は駆動液量センサ１９から駆動液残量が所定量以下の信号が出力されているか、否かを判定する。
【０１２３】
駆動液残量が所定量以下のとき、（ステップＳ１０４；ＮＧ）、ステップＳ１３０に進む。
【０１２４】
Ｓ１３０：吸引ポンプ７を停止し、第１電磁バルブ１４、第２電磁バルブ１８を閉じるステップである。
【０１２５】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、吸引ポンプ７に制御信号を送り吸引ポンプ７を停止する。また、吸引ポンプ駆動制御部４１３は、第１バルブ駆動部４１に制御信号を送り第１電磁バルブ１４を閉じ、第２バルブ駆動部４２に制御信号を送り第２電磁バルブ１８を閉じる。
【０１２６】
Ｓ１３１：警告表示を行うステップである。
【０１２７】
ＣＰＵ９８は、表示部８４に駆動液１１の残量不足を表示し、警告する。処理を終了し、メインルーチンに戻る。
【０１２８】
駆動液残量が所定量を超えるとき、（ステップＳ１０４；ＯＫ）、ステップＳ１０５に進む。
【０１２９】
Ｓ１０５：所定時間待機するステップである。
【０１３０】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は所定時間待機する。吸引ポンプ７は、この間に中間流路９とマイクロポンプ６２の内部に残っている駆動液１１を吸引し、図示せぬ廃液溜めに排出する。
【０１３１】
Ｓ１０６：吸引ポンプ７を停止し、第１電磁バルブ１４、第２電磁バルブ１８を閉じるステップである。
【０１３２】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、吸引ポンプ７を停止する。また、吸引ポンプ駆動制御部４１３は、第１バルブ駆動部４１に制御信号を送り第１電磁バルブ１４を閉じ、第２バルブ駆動部４２に制御信号を送り第２電磁バルブ１８を閉じる。
【０１３３】
Ｓ１０７：マイクロポンプ６２を駆動するステップである。
【０１３４】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は、マイクロポンプ６２を吸引ポンプ７の側に所定の流量で駆動液１１を吐出するように駆動する。
【０１３５】
Ｓ１０８：流量を測定するステップである。
【０１３６】
流量算出部４１０は、後に説明する流量測定ルーチンにより流量を測定する。
【０１３７】
Ｓ１０９：流量を判定するステップである。
【０１３８】
流量判定部４１４は、流量が所定の流量以下か、否か判定する。
【０１３９】
流量が所定の流量以下のとき、（ステップＳ１０９；ＮＧ）、ステップＳ１２０に進む。
【０１４０】
Ｓ１２０：マイクロポンプを停止するステップである。
【０１４１】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は、マイクロポンプ６２を停止し、Ｓ１０２に戻る。流量が所定の流量以下のときは、マイクロポンプ６２の流路内に気泡が入り、正常に駆動できていないため、Ｓ１０２に戻り再度吸引ポンプ７で中間流路９とマイクロポンプ６２の内部の駆動液１１を吸引する。
【０１４２】
流量が所定の流量を超えるとき、（ステップＳ１０９；ＯＫ）、ステップＳ１１０に進む。
【０１４３】
Ｓ１１０：マイクロポンプを停止するステップである。
【０１４４】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は、マイクロポンプ６２を停止する。
【０１４５】
Ｓ１１４：吸引ポンプ７が駆動液１１を吸引した日時を記憶するステップである。
【０１４６】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、吸引ポンプ７が駆動液１１を吸引した日時を吸引日時記憶部３０２に記憶する。
【０１４７】
Ｓ１１５：検査装置８０をスタンバイ状態にするステップである。
【０１４８】
ＣＰＵ９８は各部を検査開始可能な状態（スタンバイ状態）にし処理を終了する。
【０１４９】
以上で起動時吸引処理ルーチンは終了し、メインルーチンに戻る。
【０１５０】
次に図１０を用いて検査ルーチンについて説明する。
【０１５１】
Ｓ２０１：マイクロポンプ６２を駆動するステップである。
【０１５２】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は、所定の流量でマイクロチップ１の流路に駆動液１１を送液するように検査の手順に基づいてマイクロポンプ６２を順次駆動する。
【０１５３】
Ｓ２０２：マイクロポンプ６２を停止するステップである。
【０１５４】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は所定の期間、マイクロポンプ６２を駆動した後、マイクロポンプ６２を停止する。
【０１５５】
Ｓ２０３：マイクロポンプ６２を駆動した日時を記憶するステップである。
【０１５６】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は、時計部４１５の情報を参照しマイクロポンプ６２を駆動した日時をＲＡＭ９７に記憶する。
【０１５７】
Ｓ２０４：マイクロチップ１内で検体と試薬の反応を増幅し検出するステップである。
【０１５８】
ＣＰＵ９８は、マイクロチップ１内で行われる検体と試薬の反応が終わる所定の時間温度調整ユニット３で温度調整を行ってから、発光部４ａから発光した光が検出部１１１を透過する光を受光部４ｂで検出する。ＣＰＵ９８は、受光部４ｂが測光または測色した値を解析し、検査結果をＲＡＭ９７に記憶する。
【０１５９】
以上で検査ルーチンは終了し、メインルーチンに戻る。
【０１６０】
次に、図１１を用いて本発明の実施形態の停止時吸引処理ルーチンについて説明する。
【０１６１】
停止時吸引処理ルーチンは電源スイッチ８９がオフ状態のときに行う手順である。
【０１６２】
Ｓ３０１：現在の日時を確認するステップである。
【０１６３】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、時計部４１５に現在の日時を確認する。
【０１６４】
Ｓ３０２：前回吸引ポンプ７による吸引を行った日時から２４時間以上経過しているか、否か、を判定するステップである。
【０１６５】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、吸引日時記憶部３０２に記憶されている前回吸引ポンプ７による吸引を行った日時からＳ３０１で確認した現在の日時が２４時間以上経過しているか、否か、を判定する。
【０１６６】
２４時間以上経過していないとき、（ステップＳ３０２；Ｎｏ）、処理を終了しメインルーチンに戻る。
【０１６７】
２４時間以上経過しているとき、（ステップＳ３０２；Ｙｅｓ）、ステップＳ３０３に進む。
【０１６８】
Ｓ３０３：吸引ポンプ７を駆動するステップである。
【０１６９】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、吸引ポンプ７に制御信号を送り吸引ポンプ７を駆動する。
【０１７０】
Ｓ３０４：第１電磁バルブ１４、第２電磁バルブ１８を開くステップである。
【０１７１】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は第１バルブ駆動部４１に、吸引ポンプ駆動制御部４１３は第２バルブ駆動部４２に、それぞれ制御信号を送り、第１電磁バルブ１４、第２電磁バルブ１８を開く。
【０１７２】
Ｓ３０５：駆動液残量を判定するステップである。
【０１７３】
ＣＰＵ９８は駆動液量センサ１９から駆動液残量が所定量以下の信号が出力されているか、否かを判定する。
【０１７４】
駆動液残量が所定量以下のとき、（ステップＳ３０５；ＮＧ）、ステップＳ３１０に進む。
【０１７５】
駆動液残量が所定量を超えるとき、（ステップＳ３０５；ＯＫ）、ステップＳ３０６に進む。
【０１７６】
Ｓ３０６：所定時間待機するステップである。
【０１７７】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は所定時間の間待機する。吸引ポンプ７は、この間に中間流路９とマイクロポンプ６２の内部に残っている駆動液１１を吸引し、図示せぬ廃液溜めに排出する。このようにマイクロポンプ６２内部に残っていた駆動液１１を排出し、駆動液タンク１０に蓄えられている溶存空気の少ない駆動液１１に入れ替えるので、停止時もマイクロポンプ６２内部に気泡が発生するのを防止することができる。
【０１７８】
Ｓ３０７：吸引ポンプ７を停止するステップである。
【０１７９】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、吸引ポンプ７を停止する。
【０１８０】
Ｓ３０８：第１電磁バルブ１４と第２電磁バルブ１８を閉じるステップである。
【０１８１】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、第１バルブ駆動部４１に制御信号を送り第１電磁バルブ１４を閉じ、第２バルブ駆動部４２に制御信号を送り第２電磁バルブ１８を閉じる。
【０１８２】
Ｓ３０９：吸引ポンプ７が駆動液１１を吸引した日時を記憶するステップである。
【０１８３】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、時計部４１５の情報に基づいて、吸引ポンプ７が駆動液１１を吸引した日時を吸引日時記憶部３０２に記憶する。
【０１８４】
Ｓ３１０：吸引ポンプ７を停止するステップである。
【０１８５】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、吸引ポンプ７を停止する。
【０１８６】
Ｓ３１１：第１電磁バルブ１４と第２電磁バルブ１８を閉じるステップである。
【０１８７】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、第１バルブ駆動部４１に制御信号を送り第１電磁バルブ１４を閉じ、第２バルブ駆動部４２に制御信号を送り第２電磁バルブ１８を閉じる。
【０１８８】
Ｓ３１２：警告表示を行うステップである。
【０１８９】
ＣＰＵ９８は、表示部８４に駆動液１１の残量不足を表示し、警告する。
【０１９０】
Ｓ３２０：検査装置８０を停止するステップである。
【０１９１】
電源スイッチ判定部４１１は電源部５００に指令して、各部への電源供給を停止し検査装置８０を停止する。
【０１９２】
以上で停止時吸引処理ルーチンの処理は終了し、メインルーチンに戻る。
【０１９３】
次に、本発明の第２の実施形態のメインルーチンについて説明する。なお、第１の実施形態で説明した処理と同じ処理には同番号を付し、説明を省略する。
【０１９４】
図１２は本発明の第２の実施形態において、電源スイッチ８９を操作したときのメインルーチンの手順を説明するフローチャートである。メインルーチンは一定の周期で起動され電源スイッチ８９の状態を監視している。第１の実施形態とは電源スイッチ８９がオフからオンになったときの処理が異なる。
【０１９５】
Ｓ１０：電源スイッチ８９の状態を判定するステップである。
【０１９６】
電源スイッチ判定部４１１は、電源スイッチ８９がオン状態か、オフ状態かを判定する。
【０１９７】
オン状態の場合、（ステップＳ１０；ＯＮ）、ステップＳ１３に進む。
【０１９８】
オフ状態からオン状態に変化した場合、（ステップＳ１０；ＯＦＦ→ＯＮ）、ステップＳ１１に進む。
【０１９９】
オフ状態の場合、（ステップＳ１０；ＯＦＦ）、ステップＳ１５に進む。
【０２００】
Ｓ１１：検査装置８０の各部の電源をオンにするステップである。
【０２０１】
電源スイッチ判定部４１１は、電源部５００に各部への電源を供給するように指令する。
【０２０２】
Ｓ２１：マイクロポンプ６２を駆動するステップである。
【０２０３】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は、マイクロポンプ６２を吸引ポンプ７の側に所定の流量で駆動液１１を吐出するように駆動する。
【０２０４】
Ｓ２２：流量を測定するステップである。
【０２０５】
流量算出部４１０は、後に説明する流量測定ルーチンにより流量を測定する。
【０２０６】
Ｓ２３：流量を判定するステップである。
【０２０７】
流量判定部４１４は、流量が所定の流量以下か、否か判定する。マイクロポンプ駆動制御部４１２は、マイクロポンプ６２を停止する。
【０２０８】
流量が所定の流量以下のとき、（ステップＳ２３；ＮＧ）、ステップＳ１２に進む。
【０２０９】
Ｓ１２：起動時に吸引ポンプ７による駆動液１１の吸引を行うステップである。
【０２１０】
電源スイッチ判定部４１１は、図９で説明する起動時吸引処理ルーチンをコールし、吸引ポンプ７による駆動液１１の吸引を行う。一連の手順で吸引後、検査装置８０はいつでも検査開始可能なスタンバイ状態になる。
【０２１１】
流量が所定の流量を超えるとき、（ステップＳ２３；ＯＫ）、ステップＳ２４に進む。
【０２１２】
Ｓ２４：検査装置８０をスタンバイ状態にするステップである。
【０２１３】
ＣＰＵ９８は各部に電源を供給し検査開始可能な状態（スタンバイ状態）にする。
【０２１４】
Ｓ１３：検査開始か、否か、判定するステップである。
【０２１５】
電源スイッチ判定部４１１は、操作部８７の状態を検知し、検査開始が指令されているか、否か判定する。
【０２１６】
検査開始が指令されているとき、（ステップＳ１３；Ｙｅｓ）、ステップＳ１３に進む。
【０２１７】
検査開始が指令されていないとき、（ステップＳ１３；Ｎｏ）、処理を終了する。
【０２１８】
Ｓ１４：検査を行うステップである。
【０２１９】
電源スイッチ判定部４１１は、図１０で説明する検査ルーチンをコールし、所定の手順で検査を行う。
【０２２０】
Ｓ１５：停止時に吸引ポンプ７による駆動液１１の吸引を行うステップである。
【０２２１】
電源スイッチ判定部４１１は、図１１で説明する停止時吸引処理ルーチンをコールし、停止時の吸引ポンプ７による駆動液１１の吸引を行う。
【０２２２】
以上で第２の実施形態のメインルーチンの処理は終了である。
【０２２３】
次に、図１３を用いて流量測定ルーチンの手順について説明する。図１３は流量測定ルーチンの手順を示すフローチャートである。
【０２２４】
Ｓ４０１：第１の温度センサ５３の温度を算出するステップである。
【０２２５】
流量算出部４１０は第１Ａ／Ｄ変換器３１０の出力値から第１の温度センサ５３の温度Ｔ１を求める。
【０２２６】
Ｓ４０２：第２の温度センサ５１の温度を算出するステップである。
【０２２７】
流量算出部４１０は第２Ａ／Ｄ変換器３２０の出力値から第２の温度センサ５１の温度Ｔ２を求める。
【０２２８】
Ｓ４０３：温度差ΔＴを算出するステップである。
【０２２９】
流量算出部４１０はＴ１、Ｔ２から温度差ΔＴを算出する。
【０２３０】
Ｓ４０４：温度差ΔＴを算出するステップである。
【０２３１】
流量算出部４１０は変換テーブルを参照し流量を求める。
【０２３２】
流量を算出する処理は以上である。
【０２３３】
次に第３の実施形態の吸引処理の手順について説明する。第３の実施形態では電源スイッチの状態にかかわらずタイマ部４１６の割り込み信号により一定時間毎に吸引ポンプ７による駆動液１１の吸引を行う。吸引ポンプ７による駆動液１１の吸引の手順は第１の実施形態と同様であり、同じ処理には同番号を付し、説明を省略する。
【０２３４】
図１４は、本発明の第３の実施形態の吸引処理の手順を説明するフローチャートである。タイマ部４１６は、吸引ポンプ７が駆動液１１を吸引してからの時間を計測し、所定の時間が経過すると割り込み信号を発生し、ＣＰＵ９８は図１４に示す割り込み処理ルーチンを実行する。
【０２３５】
Ｓ１０１：吸引する準備を行うステップである。
【０２３６】
検査中でも割り込みが発生するため、ＣＰＵ９８は検査終了を待って機構駆動部３２にキャップ１７をパッキン６ａに密着させる。
【０２３７】
Ｓ１０２：吸引ポンプ７を駆動するステップである。
【０２３８】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、吸引ポンプ７に制御信号を送り吸引ポンプ７を駆動する。
【０２３９】
Ｓ１０３：第１電磁バルブ１４、第２電磁バルブ１８を開くステップである。
【０２４０】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は第１バルブ駆動部４１に、吸引ポンプ駆動制御部４１３は第２バルブ駆動部４２に、それぞれ制御信号を送り、第１電磁バルブ１４、第２電磁バルブ１８を開く。
【０２４１】
Ｓ１０４：駆動液残量を判定するステップである。
【０２４２】
ＣＰＵ９８は駆動液量センサ１９から駆動液残量が所定量以下の信号が出力されているか、否かを判定する。
【０２４３】
駆動液残量が所定量以下のとき、（ステップＳ１０４；ＮＧ）、ステップＳ１３０に進む。
【０２４４】
Ｓ１３０：吸引ポンプ７を停止し、第１電磁バルブ１４、第２電磁バルブ１８を閉じるにするステップである。
【０２４５】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、吸引ポンプ７に制御信号を送り吸引ポンプ７を停止する。また、吸引ポンプ駆動制御部４１３は、第１バルブ駆動部４１に制御信号を送り第１電磁バルブ１４を閉じ、第２バルブ駆動部４２に制御信号を送り第２電磁バルブ１８を閉じる。
【０２４６】
Ｓ１３１：警告表示を行うステップである。
【０２４７】
ＣＰＵ９８は、表示部８４に駆動液１１の残量不足を表示し、警告する。処理を終了しメインルーチンに戻る。
【０２４８】
駆動液残量が所定量を超えるとき、（ステップＳ１０４；ＯＫ）、ステップＳ１０５に進む。
【０２４９】
Ｓ１０５：所定時間待機するステップである。
【０２５０】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は所定時間の間待機する。吸引ポンプ７は、この間に中間流路９とマイクロポンプ６２の内部に残っている駆動液１１を吸引し、図示せぬ廃液溜めに排出する。
【０２５１】
Ｓ１０６：吸引ポンプ７を停止し、第１電磁バルブ１４、第２電磁バルブ１８を閉じるステップである。
【０２５２】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、吸引ポンプ７を停止する。また、吸引ポンプ駆動制御部４１３は、第１バルブ駆動部４１に制御信号を送り第１電磁バルブ１４を閉じ、第２バルブ駆動部４２に制御信号を送り第２電磁バルブ１８を閉じる。
【０２５３】
Ｓ１０７：マイクロポンプ６２を駆動するステップである。
【０２５４】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は、マイクロポンプ６２を吸引ポンプ７の側に所定の流量で駆動液１１を吐出するように駆動する。
【０２５５】
Ｓ１０８：流量を測定するステップである。
【０２５６】
流量算出部４１０は、前述の流量測定ルーチンにより流量を測定する。
【０２５７】
Ｓ１０９：流量を判定するステップである。
【０２５８】
流量判定部４１４は、流量が所定の流量以下か、否か判定する。
【０２５９】
流量が所定の流量以下のとき、（ステップＳ１０９；ＮＧ）、ステップＳ１２０に進む。
【０２６０】
Ｓ１２０：マイクロポンプを停止するステップである。
【０２６１】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は、マイクロポンプ６２を停止し、Ｓ１０２に戻る。流量が所定の流量以下のときは、マイクロポンプ６２の流路内に気泡が入り、正常に駆動できていないため、Ｓ１０２に戻り再度吸引ポンプ７で中間流路９とマイクロポンプ６２の内部の駆動液１１を吸引する。
【０２６２】
流量が所定の流量を超えるとき、（ステップＳ１０９；ＯＫ）、ステップＳ１１０に進む。
【０２６３】
Ｓ１１０：マイクロポンプを停止するステップである。
【０２６４】
マイクロポンプ駆動制御部４１２は、マイクロポンプ６２を停止する。
【０２６５】
Ｓ５００：タイマ部４１６をリセットするステップである。
【０２６６】
吸引ポンプ駆動制御部４１３は、タイマ部４１６をリセットする。なお、タイマ部４１６のリセットは吸引を開始する前でも良い。
【０２６７】
Ｓ１１５：検査装置８０をスタンバイ状態にするステップである。
【０２６８】
ＣＰＵ９８は各部を検査開始可能な状態（スタンバイ状態）にし処理を終了する。
【０２６９】
以上で起動時吸引処理ルーチンは終了し、メインルーチンに戻る。
【０２７０】
このように所定の時間間隔で自動的にマイクロポンプ内部の駆動液の入れ替えを行うので、マイクロポンプ内部に気泡が発生することが少ない。仮に気泡が発生しても吸引ポンプにより気泡を排出することができる。
【０２７１】
以上このように、本発明によれば、長期間保守、点検を行わなくともマイクロポンプが安定して駆動液を送液し、所定の検査を行うことができる検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０２７２】
【図１】本発明の実施形態における検査装置８０の外観図である。
【図２】本発明の実施形態に係わるマイクロチップ１の説明図である。
【図３】本発明の実施形態に係わるポンプユニット５の内部構成の一例を示す説明図である。
【図４】本発明の実施形態に係わる検査装置８０の内部構成の一例を示す断面図である。
【図５】図４に示す検査装置８０のキャップ１７をパッキン６に密着した状態の内部構成を示す断面図である。
【図６】中間流路９に設けられている流量センサの一例を説明するための説明図である。
【図７】本発明の実施形態における検査装置８０の回路ブロック図である。
【図８】本発明の第１の実施形態において、電源スイッチ８９を操作したときのメインルーチンの手順を説明するフローチャートである。
【図９】本発明の第１の実施形態において、起動時に検査装置８０が行う吸引処理の手順を説明するフローチャートである。
【図１０】本発明の実施形態に係わる検査の手順を説明するフローチャートである。
【図１１】本発明の実施形態において、停止時に検査装置８０が行う吸引処理の手順を説明するフローチャートである。
【図１２】本発明の第２の実施形態において、電源スイッチ８９を操作したときのメインルーチンの手順を説明するフローチャートである。
【図１３】流量測定ルーチンの手順を示すフローチャートである。
【図１４】本発明の第３の実施形態の吸引処理の手順を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【０２７３】
１  マイクロチップ
３  温度調整ユニット
４  光検出部
５  ポンプユニット
６  パッキン
７  吸引ポンプ
９  中間流路
１０  駆動液タンク
１１  駆動液
１２  フィルタ
１１１  検出部
１４  第１電磁バルブ
１８  第２電磁バルブ
６４  吸引口
８０  検査装置
８２  筐体
８３  挿入口
８４  表示部
８９  電源スイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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