(57)【要約】【課題】出力の短パルス化を可能とするとともに、回路周辺の磁性体等の発熱を防止する。【解決手段】コンデンサＣ１，Ｃ２と可飽和リアクトルＴ３，Ｔ４により複数段の磁気パルス圧縮回路を構成するとともに、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサＣ２の反接地側導体（容器を兼ねる外側導体）１８により最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルＴ４の両側及び上方を覆う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンデンサと可飽和リアクトルからなる複数段の磁気パルス圧縮回路を有し、短パルスを出力するパルス電源装置において、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサの反接地側導体により最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルを覆い、その発生漏れ磁束を電磁遮蔽したことを特徴とするパルス電源装置。
【請求項２】
コンデンサと可飽和リアクトルからなる複数段の磁気パルス圧縮回路を有し、短パルスを出力するパルス電源装置において、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサの接地側導体により最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルを覆い、その発生漏れ磁束を電磁遮蔽したことを特徴とするパルス電源装置。
【請求項３】
コンデンサと可飽和リアクトルからなる複数段の磁気パルス圧縮回路を有し、短パルスを出力するパルス電源装置において、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルを平板状の電磁遮蔽板により覆い、その発生漏れ磁束を電磁遮蔽したことを特徴とするパルス電源装置。
【請求項４】
コンデンサと可飽和リアクトルからなる複数段の磁気パルス圧縮回路を有し、短パルスを出力するパルス電源装置において、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルの周囲を電磁遮蔽板により覆い、その発生漏れ磁束を電磁遮蔽したことを特徴とするパルス電源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、高電圧、大電流の短パルスを発生するパルス電源装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
炭酸ガスレーザやエキシマレーザ等のパルスレーザにおいては、放電のための不安定さや高ピーク、大出力レーザ光を得るために、短時間に放電部に電力を注入する必要がある。そして、これらの電源にはコンデンサに充電した電荷をスイッチング素子で放電する方法が採られているが、寿命や保守の点でスイッチング素子には半導体が望ましい。しかし、現在、高電圧、大電流、高速スイッチング機能を有した半導体素子がなく、比較的低い周波数の電流パルスを例えば図６のように鉄心の飽和特性を使った磁気パルス圧縮回路で短パルス化して放電部へ印加している。
【０００３】
図６において、１は交流電源、２は充電器であり、この充電器２の出力によりコンデンサＣＯが初期充電され、この充電電圧は半導体スイッチＳＷのオンにより放電され、可飽和リアクトルＴ１の飽和により短いパルス幅τ０の放電電流Ｉ０がパルストランスＴ２の一次側に流れ、この電流はパルストランスＴ２により昇圧され、二次側を介してコンデンサＣ１に充電される。この充電電圧は可飽和リアクトルＴ３の飽和により磁気パルス圧縮され、コンデンサＣ２に移り、さらに可飽和リアクトルＴ４の飽和により磁気パルス圧縮され、ピーキングコンデンサＣＰのパルス幅τｐの充電電流Ｉｐとなり、このピーキングコンデンサＣＰの充電電圧により放電管３が放電し、パルスエネルギとして供給される。なお、ピーキングコンデンサＣＰ及び放電管３により負荷が構成される。又、可飽和リアクトルＴ１，Ｔ３，Ｔ４は円環状のトロイダルコアに巻線を施したものである。
【０００４】
図７は特許文献１等で示されたパルス電源装置の構成を示す縦断正面図であり、可飽和リアクトルＴ４はトロイダルコア４に２個の巻線５が巻き付けられて構成され、可飽和リアクトルＴ４の外側には、平行にまたは複数個の内側導体６と容器を兼ねた外側導体７が設けられ、この間には円筒形セラミックス製コンデンサＣ２が左右に６個ずつ両極を内側導体６及び外側導体７に接続されて取り付けられている。そして、各巻線５の一端は内側導体６の下端に接続されるとともに、各巻線５の他端は容器を兼ねた外側導体７の下端の孔７ａを絶縁板８を介して挿通された導体９に接続され、導体９はピーキングコンデンサＣＰの一端及び放電管３の一端に接続され、ピーキングコンデンサＣＰの他端及び放電管３の他端は接地された外側導体７に接続される。
【０００５】
又、可飽和リアクトルＴ４の上側には、同じくトロイダルコア１０に２個の巻線１１が巻き付けられた可飽和リアクトルＴ３が設けられ、可飽和リアクトルＴ３の外側には同じく内側導体１２、セラミックスコンデンサＣ１及び容器を兼ねた外側導体７が取り付けられ、各巻線１１の一端は下側の内側導体６の上端に接続され、各巻線１１の他端は上側の内側導体１２の下端にそれぞれ接続されている。そして、内側導体１２の上端左右は接続線１３により接続された後、パルストランスＴ２の二次側の+側に接続され、外側導体７の上端左右は接続線１４を介して相互に接続されてパルストランスＴ２の二次側の−側に接続される。又、容器を兼ねる外側導体７内には絶縁油１５が収納され、１５ａはその油面である。
【０００６】
なお、この出願の発明に関連する他の先行技術文献情報としては、特許文献２〜５がある。
【特許文献１】特開平２−４６０１６号公報
【特許文献２】特開平３−１２０７０８号公報
【特許文献３】特開平６−５４２６号公報
【特許文献４】特開平１１−１２１２３９号公報
【特許文献５】特開平１１−１２１２４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記したパルス電源装置において、パルス生成のために要求される可飽和リアクトルの特性としては、パルス圧縮動作時に、可飽和リアクトルが飽和した後の漂遊インダクタンスが大きい場合には、パルス幅τ＝π√ＬＣのＬが大きくなり、パルス幅τが長くなり、出力の短パルス化が阻害されるので、飽和後のインダクタンスが小さいことが望まれる。このため、図７に示した従来のパルス電源装置においても、部品配置をなるべく近接させてリード線を短くし、回路インダクタンスの低減を図り、短パルス化を実現しようとしているが、十分なものが得られなかった。又、パルス圧縮動作時に、可飽和リアクトルＴ３，Ｔ４の漏れ磁束（巻線１１，５に流れる電流により漏れ磁束が発生する。）により回路周辺の磁性体や金属部が誘導加熱されるので、可飽和リアクトルＴ３，Ｔ４の漏れ磁束が少ないことが要求されるが、これもまた実現が容易でなかった。
【０００８】
図８（ａ），（ｂ）は一例としての可飽和リアクトルＴ４の漏れ磁束の状態を示す平面図及び正面図であり、巻線５に電流Ｉｐが流れることにより磁束φが発生し、それに伴って漏れ磁束１６が発生する。漏れ磁束１６は大きな漂遊インダクタンスとなり、出力の短パルス化が阻害されるとともに、回路周辺に磁性体や金属部１７があると、漏れ磁束１６により誘導加熱され、発熱した。
【０００９】
この発明は上記のような課題を解決するために成されたものであり、可飽和リアクトルの漏れ磁束を低減することにより、可飽和リアクトルが飽和した後のインダクタンスを小さくして出力の短パルス化を可能とするとともに、可飽和リアクトルの漏れ磁束を低減することにより、回路周辺の磁性体等の発熱を防止することができるパルス電源装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明の請求項１に係るパルス電源装置は、コンデンサと可飽和リアクトルからなる複数段の磁気パルス圧縮回路を有し、短パルスを出力するパルス電源装置において、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサの反接地側導体により最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルを覆い、その発生漏れ磁束を電磁遮蔽したものである。
【００１１】
請求項２に係るパルス電源装置は、コンデンサと可飽和リアクトルからなる複数段の磁気パルス圧縮回路を有し、短パルスを出力するパルス電源装置において、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサの接地側導体により最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルを覆い、その発生漏れ磁束を電磁遮蔽したものである。
【００１２】
請求項３に係るパルス電源装置は、コンデンサと可飽和リアクトルからなる複数段の磁気パルス圧縮回路を有し、短パルスを出力するパルス電源装置において、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルを平板状の電磁遮蔽板により覆い、その発生漏れ磁束を電磁遮蔽したものである。
【００１３】
請求項４に係るパルス電源装置は、コンデンサと可飽和リアクトルからなる複数段の磁気パルス圧縮回路を有し、短パルスを出力するパルス電源装置において、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルの周囲を電磁遮蔽板により覆い、その発生漏れ磁束を電磁遮蔽したものである。
【発明の効果】
【００１４】
以上のようにこの発明の請求項１によれば、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサの反接地側導体により最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルを覆っており、該可飽和リアクトルの漏れ磁束によりコンデンサの反接地側導体には渦電流が発生し、この渦電流により可飽和リアクトルの漏れ磁束と反対方向の磁束が発生し、漏れ磁束は電磁遮蔽され、漏れ磁束は低減される。このため、可飽和リアクトルが飽和した後の漂遊インダクタンスは小さくなり、出力の短パルス化が可能となるとともに、回路周辺の磁性体等の発熱が防止される。
【００１５】
請求項２によれば、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサの接地側導体により最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルを覆っており、該可飽和リアクトルの漏れ磁束によりコンデンサの接地側導体には渦電流が発生し、この渦電流により可飽和リアクトルの漏れ磁束と反対方向の磁束が発生し、漏れ磁束は電磁遮蔽され、漏れ磁束は低減される。このため、可飽和リアクトルが飽和した後の漂遊インダクタンスは小さくなり、出力の短パルス化が可能となるとともに、回路周辺の磁性体等の発熱が防止される。
【００１６】
請求項３によれば、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルを平板状の電磁遮蔽板により覆っており、該可飽和リアクトルの漏れ磁束により電磁遮蔽板には渦電流が発生し、この渦電流により可飽和リアクトルの漏れ磁束と反対方向の磁束が発生し、漏れ磁束は電磁遮蔽され、漏れ磁束は低減される。このため、可飽和リアクトルが飽和した後の漂遊インダクタンスは小さくなり、出力の短パルス化が可能となるとともに、回路周辺の磁性体等の発熱が防止される。
【００１７】
請求項４によれば、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルの周囲を電磁遮蔽板により覆っており、該可飽和リアクトルの漏れ磁束により電磁遮蔽板には渦電流が発生し、この渦電流により可飽和リアクトルの漏れ磁束と反対方向の磁束が発生し、漏れ磁束は電磁遮蔽され、漏れ磁束は低減される。このため、可飽和リアクトルが飽和した後の漂遊インダクタンスは小さくなり、出力の短パルス化が可能となるとともに、回路周辺の磁性体等の発熱が防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
実施最良形態１
以下、この発明を実施するための最良の形態を図面とともに説明する。図１及び図２はこの発明の実施最良形態１によるパルス電源装置の縦断正面図及び磁気パルス圧縮回路の最終段部分の横断平面図を示し、図において、可飽和リアクトルＴ４はトロイダルコア４に２個または複数個の巻線５が巻き付けられて構成され、可飽和リアクトルＴ４の両側には、可飽和リアクトルＴ４の両側及び上方（反接地側）を覆う内側導体１８と容器を兼ねた外側導体７とが設けられ、この間には最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサＣ２が左右に６個ずつ両極を内側導体１８及び外側導体７に接続されて取り付けられる。内側導体１８の可飽和リアクトルＴ４の上方を覆う部分１８ａは、図２に矢印１９で示す絶縁油１５の流れを妨げないように設けられる。そして、各巻線５の一端は内側導体１８の下端に接続されるとともに、各巻線５の他端は容器を兼ねた外側導体７の下端の孔７ａを絶縁板８を介して挿通された導体９に接続され、導体９はピーキングコンデンサＣＰの一端及び放電管３の一端に接続され、ピーキングコンデンサＣＰの他端及び放電管３の他端は外側導体７に接続され、外側導体７は接地される。
【００１９】
又、可飽和リアクトルＴ４の上側には、同じくトロイダルコア１０に２個または複数個の巻線１１が巻き付けられて構成された可飽和リアクトルＴ３が設けられ、可飽和リアクトルＴ３の両側には、内側導体１２及び容器を兼ねた外側導体７が設けられ、この間にはコンデンサＣ１が左右に６個ずつ両極を内側導体１２及び外側導体７に接続されて取り付けられる。そして、各巻線１１の一端は下側の内側導体１８の上端に接続され、各巻線１１の他端は上側の内側導体１２の下端に接続される。内側導体１２の上端左右は接続線１３を介して接続された後、パルストランスＴ２の二次側の+側に接続され、外側導体７の上端左右は接続線１４を介して相互に接続されてパルストランスＴ２の二次側の−側に接続される。又、容器を兼ねた外側導体７内には絶縁油１５が収納され、その上面は油面１５ａとなる。
【００２０】
前記した実施最良形態１においては、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサＣ２の非磁性の金属からなる内側導体、即ち反接地側導体１８により、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルＴ４の両側及び上方（反接地側）を覆っており、巻線５に電流Ｉｐが流れることにより発生する磁束の一部が漏れ磁束となるが、この漏れ磁束と直交する方向の内側導体１８の可飽和リアクトルＴ４の上方を覆う部分１８ａは渦電流を発生し、この渦電流により漏れ磁束と反対方向の磁束が発生し、漏れ磁束が相殺される。このように、漏れ磁束が電磁遮蔽により低減されるので、可飽和リアクトルＴ４が飽和した後の漂遊インダクタンスが小さくなり、出力の短パルス化が可能となるとともに、周囲の磁性体等が誘導加熱されることが防止される。
【００２１】
実施最良形態２
図３はこの発明の実施最良形態２によるパルス電源装置の縦断正面図であり、可飽和リアクトルＴ４の両側には、可飽和リアクトルＴ４の両側を覆う内側導体６と容器を兼ねた外側導体２０とが設けられ、この間にはコンデンサＣ２が左右に６個ずつ両極を内側導体６及び外側導体２０に接続されて取り付けられる。又、外側導体２０には可飽和リアクトルＴ４の上方（反接地側）を覆う部分２０ａが設けられ、該部分２０ａは絶縁油１５の流れを妨げないように設けられる。そして、各巻線５の一端は内側導体６の下端に接続されるとともに、各巻線５の他端は容器を兼ねた外側導体２０の下端の孔２０ｂを絶縁板８を介して挿通された導体９に接続され、導体９はピーキングコンデンサＣＰの一端及び放電管３の一端に接続され、ピーキングコンデンサＣＰの他端及び放電管３の他端は外側導体２０に接続され、外側導体２０は接地される。
【００２２】
又、可飽和リアクトルＴ４の上側には、可飽和リアクトルＴ３が設けられ、可飽和リアクトルＴ３の両側には、内側導体１２及び容器を兼ねた外側導体２０が設けられ、この間にはコンデンサＣ１が左右に６個ずつ両極を内側導体１２及び外側導体２０に接続されて取り付けられる。そして、各巻線１１の一端は外側導体２０の可飽和リアクトルＴ４の上方を覆う部分２０ａに設けられた孔２０ｃに絶縁板２１を介して挿通された導体２２に接続され、各巻線１１の他端は上側の内側導体１２の下端に接続される。内側導体１２の上端左右は接続線１３を介して接続された後、パルストランスＴ２の二次側の+側に接続され、外側導体２０の上端左右は接続線１４を介して相互に接続されてパルストランスＴ２の二次側の−側に接続される。又、容器を兼ねた外側導体２０内には絶縁油１５が収納され、その上面は油面１５ａとなる。
【００２３】
前記した実施最良形態２においては、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサＣ２の外側導体２０、即ち接地側導体により、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルＴ４の上方(反接地側）を覆っており、巻線５を流れる電流Ｉｐにより漏れ磁束が発生するが、この漏れ磁束と直交する方向の外側導体２０の可飽和リアクトルＴ４の上方を覆う部分２０ａは渦電流を発生し、この渦電流により漏れ磁束と反対方向の磁束が発生し、漏れ磁束が相殺される。このように、漏れ磁束が電磁遮蔽により低減されるので、可飽和リアクトルＴ４が飽和した後の漂遊インダクタンスが小さくなり、出力の短パルス化が可能となるとともに、周囲の磁性体等が誘導加熱されることが防止される。又、外側導体２０は接地電位となるので、絶縁が容易となる。
【００２４】
実施最良形態３
図４は実施最良形態３によるパルス電源装置の縦断正面図を示し、可飽和リアクトルＴ４の両側には、可飽和リアクトルＴ４の両側を覆う内側導体６と容器を兼ねた外側導体７とが設けられ、この間には最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサＣ２が左右に６個ずつ両極を内側導体６及び外側導体７に接続されて取り付けられる。そして、可飽和リアクトルＴ４の上方（反接地側）には、該上方を覆う平板状の金属製の電磁遮蔽板２３を設ける。電磁遮蔽板２３は、図２に矢印１９で示す絶縁油１５の流れを妨げないように設けられる。各巻線５の一端は内側導体６の下端に接続されるとともに、各巻線５の他端は容器を兼ねた外側導体７の下端の孔７ａを絶縁板８を介して挿通された導体９に接続され、導体９はピーキングコンデンサＣＰの一端及び放電管３の一端に接続され、ピーキングコンデンサＣＰの他端及び放電管３の他端は外側導体７に接続され、外側導体７は接地される。
【００２５】
又、可飽和リアクトルＴ４の上側には、可飽和リアクトルＴ３が設けられ、可飽和リアクトルＴ３の両側には、内側導体１２及び容器を兼ねた外側導体７が設けられ、この間にはコンデンサＣ１が左右に６個ずつ両極を内側導体１２及び外側導体７に接続されて取り付けられる。そして、各巻線１１の一端は下側の内側導体６の上端に接続され、各巻線１１の他端は上側の内側導体１２の下端に接続される。内側導体１２の上端左右は接続線１３を介して接続された後、パルストランスＴ２の二次側の+側に接続され、外側導体７の上端左右は接続線１４を介して相互に接続されてパルストランスＴ２の二次側の−側に接続される。又、容器を兼ねた外側導体７内には絶縁油１５が収納され、その上面は油面１５ａとなる。
【００２６】
前記した実施最良形態３においては、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルＴ４の上方（反接地側）を独立した電磁遮蔽板２３により覆っており、巻線５に電流Ｉｐが流れることにより発生する磁束の一部が漏れ磁束となるが、この漏れ磁束と直交する電磁遮蔽板２３は渦電流を発生し、この渦電流により漏れ磁束と反対方向の磁束が発生し、漏れ磁束が相殺される。このように、漏れ磁束が電磁遮蔽により低減されるので、可飽和リアクトルＴ４が飽和した後の漂遊インダクタンスが小さくなり、出力の短パルス化が可能となるとともに、周囲の磁性体等が誘導加熱されることが防止される。又、電磁遮蔽板２３を新たに設けるだけであるので、磁気パルス圧縮回路の構成に影響を与えることなく、かつ電磁遮蔽板２３は電位的に浮いた状態であるので、設置が容易となる。
【００２７】
実施最良形態４
図５は実施最良形態４によるパルス電源装置の縦断正面図を示し、可飽和リアクトルＴ４の両側には、内側導体６と容器を兼ねた外側導体７とが設けられ、この間には最終段の磁気パルス圧縮回路を構成するコンデンサＣ２が左右に６個ずつ両極を内側導体６及び外側導体７に接続されて取り付けられる。そして、可飽和リアクトルＴ４の周囲、即ち上方（反接地側）、両側方及び下方（接地側）を覆う金属製の電磁遮蔽板２４を設ける。電磁遮蔽板２４は、図２に矢印１９で示す絶縁油１５の流れを妨げないように設けられる。各巻線５の一端は内側導体６の下端に接続されるとともに、各巻線５の他端は容器を兼ねた外側導体７の下端の孔７ａを絶縁板８を介して挿通された導体９に接続され、導体９はピーキングコンデンサＣＰの一端及び放電管３の一端に接続され、ピーキングコンデンサＣＰの他端及び放電管３の他端は外側導体７に接続され、外側導体７は接地される。
【００２８】
又、可飽和リアクトルＴ４の上側には、可飽和リアクトルＴ３が設けられ、可飽和リアクトルＴ３の両側には、内側導体１２及び容器を兼ねた外側導体７が設けられ、この間にはコンデンサＣ１が左右に６個ずつ両極を内側導体１２及び外側導体７に接続されて取り付けられる。そして、各巻線１１の一端は下側の内側導体６の上端に接続され、各巻線１１の他端は上側の内側導体１２の下端に接続される。内側導体１２の上端左右は接続線１３を介して接続された後、パルストランスＴ２の二次側の+側に接続され、外側導体７の上端左右は接続線１４を介して相互に接続されてパルストランスＴ２の二次側の−側に接続される。又、容器を兼ねた外側導体７内には絶縁油１５が収納され、その上面は油面１５ａとなる。
【００２９】
前記した実施最良形態４においては、最終段の磁気パルス圧縮回路を構成する可飽和リアクトルＴ４の周囲、即ち上方（反接地側）、両側方及び下方を独立した電磁遮蔽板２４により覆っており、巻線５に電流Ｉｐが流れることにより発生する磁束の一部が漏れ磁束となるが、この漏れ磁束と直交する電磁遮蔽板２４は渦電流を発生し、この渦電流により漏れ磁束と反対方向の磁束が発生し、漏れ磁束が相殺される。このように、漏れ磁束が電磁遮蔽により低減されるので、可飽和リアクトルＴ４が飽和した後の漂遊インダクタンスが小さくなり、出力の短パルス化が可能となるとともに、周囲の磁性体等が誘導加熱されることが防止される。又、電磁遮蔽板２４は可飽和リアクトルＴ４の周囲、即ち上方だけでなく、側方及び下方も覆うので、漏れ磁束は効果的に電磁遮蔽される。さらに、電磁遮蔽板２４を新たに設けるだけであるので、磁気パルス圧縮回路の構成に影響を与えることなく、かつ電磁遮蔽板２４は電位的に浮いた状態であるので、設置が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】この発明の実施最良形態１によるパルス電源装置の縦断正面図である。
【図２】実施最良形態１によるパルス電源装置の磁気パルス圧縮回路の最終段部分の横断平面図である。
【図３】実施最良形態２によるパルス電源装置の縦断正面図である。
【図４】実施最良形態３によるパルス電源装置の縦断正面図である。
【図５】実施最良形態４によるパルス電源装置の縦断正面図である。
【図６】従来のパルス電源装置の回路図である。
【図７】特許文献１等で示された従来のパルス電源装置の縦断正面図である。
【図８】従来の可飽和リアクトルの漏れ磁束の状態を示す平面図及び正面図である。
【符号の説明】
【００３１】
４，１０…トロイダルコア
５，１１…巻線
６，１２，１８…内側導体
７，２０…容器を兼ねる外側導体
１６…漏れ磁束
１８ａ，２０ａ…可飽和リアクトルの上方を覆う部分
２３，２４…電磁遮蔽板
Ｔ３，Ｔ４…可飽和リアクトル
Ｃ１，Ｃ２…コンデンサ
【図１】
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【図２】
2009254057.tif 000004
【図３】
2009254057.tif 000005
【図４】
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【図５】
2009254057.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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