(57)【要約】【課題】  薄いｐ型シリコン半導体基板を用いた場合であっても、基板の反りを抑制しながら十分なＢＳＦ効果が得られる太陽電池用接着性シートおよびそれを用いた太陽電池を提供する。【解決手段】  太陽電池のｐ型シリコン半導体基板上に電極層または不純物層を形成するための接着性シートであって、アルミニウムシート２と、このアルミニウムシート２表面に形成された熱膨張率がアルミニウムより小さい無機化合物粉末を含む接着性ペーストの塗付層３とを有する太陽電池用接着性シート１、およびこれを用いて形成された電極層または不純物層を有する太陽電池である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池のｐ型シリコン半導体基板上に不純物層または電極層を形成するための接着性シートであって、
アルミニウムシートと、このアルミニウムシート表面に形成された熱膨張率がアルミニウムより小さい無機化合物粉末を含む接着性ペーストの塗付層とを有することを特徴とする太陽電池用接着性シート。
【請求項２】
前記アルミニウムシートは、複数の微細孔を有することを特徴とする請求項１に記載の太陽電池用接着性シート。
【請求項３】
前記微細孔は、アルミニウムシート全体に略等間隔で配置されていることを特徴とする請求項２に記載の太陽電池用接着性シート。
【請求項４】
前記微細孔の孔径は、０．０１〜１ｍｍであることを特徴とする請求項２または３記載の太陽電池用接着性シート。
【請求項５】
アルミニウムシート表面における前記微細孔が占める面積の割合が０．０１〜５％であることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項記載の太陽電池用接着性シート。
【請求項６】
前記接着性ペーストは、熱膨張率がアルミニウムより小さく、かつ分解温度がアルミニウムの融点よりも高い無機化合物粉末を含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の太陽電池用接着性シート。
【請求項７】
前記接着性ペーストは、ガラスフリットをさらに含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の太陽電池用接着性シート。
【請求項８】
前記接着性ペーストにおける無機化合物粉末の含有量は、１〜６０質量％であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項記載の太陽電池用接着性シート。
【請求項９】
前記無機化合物粉末は、平均粒径が１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項記載の太陽電池用接着性シート。
【請求項１０】
前記無機化合物は、炭化物、酸化物、窒化物およびホウ化物からなる群より選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項記載の太陽電池用接着性シート。
【請求項１１】
前記無機化合物は、酸化珪素および／または酸化アルミニウムである請求項１乃至９のいずれか１項記載の太陽電池用接着性シート。
【請求項１２】
ｐ型シリコン半導体基板上に、請求項１乃至請求項１１のいずれか１項記載の太陽電池用接着性シートを用いて形成された不純物層または電極層を有することを特徴とする太陽電池。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池用接着性シートおよびそれを用いた太陽電池に係り、特にｐ型シリコン半導体基板上に不純物層または電極層を形成するために用いられる太陽電池用接着性シートおよびそれを用いた太陽電池に関する。
【背景技術】
【０００２】
ｐ型シリコン半導体基板を用いた太陽電池は、基本的な構成として受光面側にｎ型不純物層、反射防止膜およびグリット電極を、非受光面側に裏面電極と呼ばれる電極を有する。この裏面電極としてアルミニウム電極を備えた太陽電池においては、ｐ型シリコン半導体基板上にアルミニウム電極を形成する方法として、一般にアルミニウム粉末を含むペーストを該半導体基板上に塗布し焼成する方法をとっている。これにより、ｐ型シリコン半導体基板上にＡｌ-Ｓｉ合金層、アルミニウム電極層の順に裏面電極を構成する層が形成され、同時にｐ型シリコン半導体基板表層にアルミニウム原子が拡散された不純物層が形成される。この不純物層の存在により、生成キャリアの収集効率が向上するＢＳＦ（Back Surface Field）効果が得られる。
【０００３】
なお、上記アルミニウム電極層およびＡｌ-Ｓｉ合金層を酸等により除去し、不純物層を残してＢＳＦ効果を確保した上で、新たに銀ペースト等により電極層を形成した太陽電池も実用化されている。
【０００４】
最近、ｐ型シリコン半導体基板を用いた太陽電池においては、軽量化およびコストダウンを図るためにｐ型シリコン半導体基板を薄くすることが検討されている。しかしながら、ｐ型シリコン半導体基板を薄くするとｐ型シリコン半導体基板を構成するシリコンとアルミウム電極を構成するアルミニウムとの熱膨張係数の差に起因して焼成後、ｐ型シリコン半導体基板に反りが生じ、太陽電池製造過程で割れ等が発生して製造歩留まりが低下する問題があった。
【０００５】
ｐ型シリコン半導体基板上にアルミニウム電極を形成させる際に発生する上記反りを抑制するためには、アルミニウム電極形成のためのペーストの塗布量を減少させて裏面電極の層厚を薄くする方法があげられる。しかしながら、この方法ではｐ型シリコン半導体基板の表面から内部に拡散するアルミニウムの量が不十分となる。その結果、十分なＢＳＦ効果を達成できず、太陽電池の性能が低下するという問題が生じる。
【０００６】
このような問題に対し、ｐ型シリコン半導体基板上に塗布するアルミニウムペースト量を減少させず、言い換えればＢＳＦ効果の低下を招くことなく、焼成後の半導体基板の反りを抑制できる、アルミニウム電極形成用のペースト組成物が提案されている。（例えば、特許文献1参照。）
【０００７】
また、ｐ型シリコン半導体基板上に形成させるアルミニウム電極の厚さを中心部より周辺部で厚くすることにより上記問題の解決を図る方法も提案されている。（例えば、特許文献２参照。）
【０００８】
しかしながらこれらの方法をもってしても、太陽電池の性能を十分に維持しつつ基板の反りを解消して太陽電池製造の歩留まりを向上させるには十分とはいえず、さらなる改善策が要望されている。
【特許文献１】特開２００３−２２３８１３号公報
【特許文献２】特開２００６−２４５５０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、このような従来技術の課題を解決するためになされたもので、薄いｐ型シリコン半導体基板を用いた場合であっても、基板の反りを抑制しながら十分なＢＳＦ効果が得られる太陽電池用接着性シートおよびそれを用いた太陽電池を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る太陽電池用接着性シートは、太陽電池のｐ型シリコン半導体基板上に不純物層または電極層を形成するための接着性シートであって、アルミニウムシートと、このアルミニウムシート表面に形成された熱膨張率がアルミニウムより小さい無機化合物粉末を含む接着性ペーストの塗付層とを有することを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る太陽電池用接着性シートにおいて、好ましくは、前記アルミニウムシートは、複数の微細孔を有し、より好ましくは、前記微細孔は、アルミニウムシート全体に略等間隔で配置される。好ましくは、前記微細孔の孔径は、０．０１〜１ｍｍである。
【００１２】
また、アルミニウムシート表面における前記微細孔が占める面積の割合は、０．０１〜５％の範囲であることが好ましい。
【００１３】
本発明に係る太陽電池用接着性シートにおいて、前記接着性ペーストは、さらにガラスフリットを含むことが好ましく、また、熱膨張率がアルミニウムより小さく、かつ分解温度がアルミニウムの融点よりも高い無機化合物粉末を含むことが好ましい。
【００１４】
さらに、本発明に係る太陽電池用接着性シートにおいては、前記接着性ペーストにおける無機化合物粉末の含有量は１〜６０質量％であることが好ましく、また、前記無機化合物粉末は平均粒径が１０μｍ以下であることが好ましい。
【００１５】
また、本発明に係る太陽電池用接着性シートにおいて、前記接着性ペーストにおける前記無機化合物は、炭化物、酸化物、窒化物およびホウ化物からなる群より選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。より好ましくは、前記無機化合物は、酸化珪素および／または酸化アルミニウムである。
【００１６】
本発明に係る太陽電池は、ｐ型シリコン半導体基板上に、上記太陽電池用接着性シートを用いて形成された不純物層または電極層を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の太陽電池用接着性シートによれば、薄いｐ型シリコン半導体基板を用いた場合であっても熱膨張率の違いによる基板の反りの発生を防ぐことが可能となる。また、ｐ型シリコン半導体基板表層に十分なＢＳＦ効果を有する不純物層を形成させることが可能となる。つまり、本発明の太陽電池用接着性シートを用いて太陽電池を製造すれば、太陽電池の電気的性能を維持しながら、製造工程（後工程）での割れの発生等を抑制し歩留まり向上に貢献することが可能な太陽電池が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１は、本発明の太陽電池用接着性シートの一実施形態を示す断面図である。図１に示すように、この太陽電池用接着性シート１は、アルミニウムシート２の片面に接着性ペースト塗布層３を設け、さらにそれらの両面に離型フィルム４を積層した構造を有する。
【００１９】
本発明の太陽電池用接着性シート１を構成するアルミニウムシート２は、アルミニウムをシート状に加工したものであり、最終的に本発明の接着性シートとしてｐ型シリコン半導体基板に接着し焼成する際に反りを抑制できるものであって、さらに焼成後これを基板上に残して太陽電池として使用する場合には、裏面電極としての機能を十分に果たすものであれば特に制限されないが、一般には、１０〜５００μｍ程度の均一な厚さを有することが好ましい。厚さが１０μｍ未満であると、不純物層の形成が十分でない場合や、焼成後これを基板上に残して太陽電池として使用する場合には、裏面電極としての機能を十分に果たせない場合がある。また、厚さが５００μｍを超えると、用いるｐ型シリコン半導体基板の厚さにもよるが焼成時の基板の反りを十分に抑制できない場合がある。このようなアルミニウムシート２は、アルミニウム板を圧延して作成してもよいが、市販のアルミ箔等を用いることも可能である。
【００２０】
このアルミニウムシート２には複数の微細孔（図示なし）が設けられている。微細孔は必須のものではないが、それらを設けることで、焼成後、冷却によって収縮する量を抑制することができる。微細孔は、上記効果を得る観点からアルミニウムシート２全体に略等間隔で配置されていることが好ましい。また、微細孔は、収縮抑制の観点から、形状は円形乃至楕円形状であることが好ましく、孔径（楕円の場合は長径）は０．０１〜１ｍｍであることが好ましい。
【００２１】
さらに、微細孔を設ける場合、アルミニウムシート２表面における微細孔の占める面積の割合が０．０１〜５％の範囲となるようにすることが好ましい。微細孔の占める面積の割合が該範囲内にないと上記冷却時の収縮抑制効果が十分に得られない場合がある。
【００２２】
接着性ペースト塗布層３を構成する接着性ペーストは、熱膨張率がアルミニウムより小さい無機化合物粉末を含むことを必須とするが、好ましくは、熱膨張率がアルミニウムより小さく、分解温度がアルミニウムの融点よりも高い無機化合物粉末を含むものである。
無機化合物としては、炭化物、酸化物、窒化物、ホウ化物等があげられる。本発明に用いる無機化合物粉末は、無機化合物の１種で構成されていてもよいし、数種の組み合わせで構成されていてもよい。炭化物としては、炭化珪素等が、酸化物としては、酸化珪素、酸化アルミニウム等が、窒化物としては、窒化珪素、窒化アルミニウム等が、ホウ化物としては、酸化ホウ素等がそれぞれ例示される。これらの無機化合物のなかで好ましく用いられるものとしては、酸化珪素、酸化アルミニウム等があげられ、特に、シリカが好ましい。シリカの具体例としては、超微粒子状無水シリカとして知られる日本アエロジル（株）製のアエロジル（商品名）等があげられる。
【００２３】
本発明に用いる無機化合物粉末は、平均粒径が１０μｍ以下であることが好ましい。無機化合物粉末の平均粒径が１０μｍを超えると、接着性ペースト塗布層３中に存在する無機化合物粒子の数が少なくなり、焼成後のｐ型シリコン半導体基板の反り変形を抑制するほどの十分な添加効果を得られない場合がある。なお、無機化合物粉末の平均粒径は、工業的には０．０１μｍ未満とすることが困難であるため、無機化合物粉末の平均粒径は、実質的に０．０１μｍ以上である。なお、本明細書に用いる無機化合物粉末の平均粒径とは、粒度測定機ＬＡ−９２０（(株)堀場製作所製）により測定した平均粒径をいう。
【００２４】
接着性ペーストにおける無機化合物粉末の含有量は、１〜６０質量％の範囲であることが好ましい。含有量が１質量％未満では、焼成後のｐ型シリコン半導体基板の反り変形を抑制するほどの十分な添加効果を得られない場合がある。また、６０質量％を超えると裏面電極層の抵抗が増大する弊害が生じる場合がある。
【００２５】
本発明に用いる接着性ペーストは、さらにガラスフリットを含むことが好ましく、その含有量は０．１〜２０質量％であることが好ましい。ガラスフリットは、p型シリコン半導体基板の反り変形、ＢＳＦ効果およびエネルギー変換効率には直接関与しないが、本発明にかかる太陽電池用接着シートをｐ型シリコン半導体基板に接着し焼成して得られる太陽電池の裏面電極とｐ型シリコン半導体基板の密着性を向上させる作用を有する。ガラスフリットの含有量が０．１質量％未満であると密着性向上の効果が十分に得られない場合があり、２０質量％を超えるとガラスの偏析が生じる恐れがある。
【００２６】
ガラスフリットは、特に組成や各成分の含有量が限定されず、その軟化点が太陽電池用接着シート１をｐ型シリコン半導体基板に接着し焼成する際の焼成温度以下であればよい。通常、ガラスフリットとして、ＳｉＯ２-Ｂｉ２Ｏ３-ＰｂＯ系の他に、Ｂ２Ｏ３-ＳｉＯ２-Ｂｉ２Ｏ３系、Ｂ２Ｏ３-ＳｉＯ２- ＺｎＯ系、Ｂ２Ｏ３-ＳｉＯ２-ＰｂＯ系等を使用することができる。
【００２７】
接着性ペーストは、上記含有成分を均一に分散して保持するビヒクルを構成成分として含む。ビヒクルとしては、上記含有成分をペーストの状態でアルミニウムシート２表面に塗布可能なものであれば、成分は特に限定されないが、有機質のビヒクルが好ましい。有機質ビヒクルとしては、エチルセルロース、アクリル樹脂、アルキド樹脂等をグリコールエーテル系やターピネオール系などの溶剤に溶解したものを用いることが可能である。ビヒクル、好ましくは有機質ビヒクルの含有量は、通常、１〜６０質量％である。
【００２８】
接着性ペーストの調製方法は、上記材料成分が好ましくは上記含有量の範囲で均一に混合される状態が得られれば、特に限定されないが、例えば、上記材料成分の適当な分量を秤量し、ミキサー等を用いて均一に攪拌する等の方法で調製することが可能である。
【００２９】
アルミニウムシート２表面に接着性ペースト塗布層３を形成する方法としては、例えばスクリーン印刷法等を用いることができるが、両者が常温常圧で剥離しない程度に固定される方法であれば、特に制限されない。接着性ペースト塗布層３は、１〜５０μｍ程度の均一な厚さとすることが好ましい。接着性ペースト塗布層３の厚さが１μｍより小さいと十分な接着性が得られない場合があり、５０μｍより大きいと焼成後の裏面電極層の抵抗を増大させる場合がある。
【００３０】
さらに、離型フィルム４としては、膜厚１０〜３０μｍ程度のフィルム、例えば、シリコーン樹脂等の剥離性のよい樹脂がコーティングされていてもよいＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム等のプラスチックフィルム等が使用される。なお、アルミニウムシート２に微細孔が設けられていない場合には、アルミニウムシート２側の離型フィルム４は不要である。
【００３１】
次に、上記太陽電池用接着性シート１を用いた本発明に係る太陽電池の一実施形態について、その断面構造を示す図２を用いて説明する。
【００３２】
図２に示すように、この太陽電池１０は、ｐ型シリコン半導体基板１１と、その受光面側に形成されたｎ型不純物層１２、その外側に形成された反射防止膜１３およびグリッド電極１４、ｐ型シリコン半導体基板１１の非受光面側に形成された不純物層１５、その外側に形成されたＡｌ-Ｓｉ合金層１６、さらにその外側に形成されたアルミニウム電極層１７とを有する。Ａｌ-Ｓｉ合金層１６とアルミニウム電極層１７が、裏面電極１８として機能する。
【００３３】
この太陽電池１０は、上記太陽電池用接着性シート１を用いて例えば次のように製造される。
【００３４】
まず、ｐ型シリコン半導体基板１１、好ましくは厚さが１５０〜２００μｍのｐ型シリコン半導体基板１１の表面に、ｐｎ接合を形成するためのｎ型不純物層１２および反射防止膜１３を通常の方法で形成する。
【００３５】
次に、このｎ型不純物層１２および反射防止膜１３が形成されたｐ型シリコン半導体基板１１の裏面（非受光面）側の全面に、太陽電池用接着性シート１を接着性ペースト塗布層３が接するように積層する。積層に際し、接着性ペースト塗布層３側の離型フィルム４を剥離し、接着後、アルミニウムシート２側の離型フィルム４を剥離する。
【００３６】
一方、ｐ型シリコン半導体基板１１の受光面側に、グリッド電極１４を形成するために、銀ペースト等の通常の導電ペーストを、通常の方法、例えばスクリーン印刷法等などで塗布し、乾燥させ、導電ペースト層を形成する。
【００３７】
その後、この受光面側に形成した導電ペースト層と、非受光面（裏面）側に積層した接着性シート（接着性ペースト塗布層３およびアルミニウムシート２）を一括して焼成する。この焼成により、ｐ型シリコン半導体基板１１の接着性シート１を積層した側にアルミニウム原子が不純物として拡散し、高濃度の不純物を含んだ不純物層（ｐ+層）１５が形成されるとともに、その外側にＡｌ-Ｓｉ合金層１６およびアルミニウム電極層１７からなる裏面電極１８が形成される。また、焼成により同時にグリッド電極１４が形成される。
【００３８】
焼成温度は６００℃以上９５０℃以下とすることが好ましく、７００℃以上９００℃以下とすることがより好ましい。焼成温度が６００℃未満であるとＢＦＳ効果をもたらす不純物層（ｐ+層）１５が十分に形成されないおそれがある。また、焼成温度が９５０℃を超えると、アルミニウムとシリコンとの熱膨張係数の差が著しく大きく影響することとなり、焼成後のｐ型シリコン半導体基板１１等における反りが大きくなりやすい。
【００３９】
焼成時間は、ｐ型シリコン半導体基板１１および接着性シート１の大きさや厚さ、焼成温度等により適宜調整されるが、上記焼成温度で概ね３〜５分焼成することが、基板の反り抑制や良好な不純物層を形成する観点から好ましい。
【００４０】
以上、本発明における太陽電池の製造方法の一例を示したが、本発明に係る太陽電池用接着性シート１を用いてｐ型シリコン半導体基板１１の裏面側に裏面電極１８および不純物層１５を形成する焼成工程と、ｐ型シリコン半導体基板１１の表面側にグリッド電極１４を形成する工程とはそれぞれ独立して個々に行うことも可能である。
【００４１】
また、アルミニウム電極層１７およびＡｌ-Ｓｉ合金層１６を酸等により除去し、不純物層１５を残してＢＳＦ効果を確保した上で、新たに銀ペースト等により裏面電極を形成して太陽電池とすることも可能である。
【００４２】
本発明においては、太陽電池用接着性シートを用いたことにより、焼成時の接着性シートの熱膨張率をｐ型シリコン半導体基板と同程度に制御することが可能となり、太陽電池の裏面電極（アルミニウム電極）を形成する材料とシリコン半導体基板の熱膨張率の違いによる、焼成後の基板の反り発生を防ぐことが可能となる。また、本発明に係る太陽電池用接着性シートを用いてｐ型シリコン半導体基板上に形成される不純物層は、生成キャリアの収集効率が向上するＢＳＦ効果の発現に十分寄与できるものである。
【００４３】
そのため、本発明によれば、太陽電池の性能を維持しながらの製造工程での歩留まり向上を実現させることができる。
【実施例】
【００４４】
次に、本発明を実施例により具体的に説明する。
【００４５】
（実施例１）
エチルセルロースをグリコールエーテル系有機溶剤に溶解した有機質ビヒクルを１０ｇ、無機化合物粉末としてシリカ粉末（熱膨張率：７×１０−６／℃、平均粒径：３μｍ）を７．４ｇ、Ｂ２Ｏ３-ＳｉＯ２-Ｂｉ２Ｏ３系ガラスフリットを１．０ｇそれぞれ秤量し、周知の混合機にて均一に混合して接着性ペーストを調製した。
【００４６】
厚さ１２μｍのアルミ箔（三井化学ファブロ（株）製、商品名 ハイホイル）に直径０．１ｍｍの円形の微細孔を４個／ｃｍ２の割合で均一に設けた後、その表面全体に、上記接着性ペーストをスクリーン印刷にて１μｍの厚さに塗布し、両面を離型フィルム（ＰＥＴフィルム、厚さ２０μｍ）で挟み込んだ後、一辺１５０ｍｍの正方形を切り出し、太陽電池用接着性シートを作製した。
【００４７】
受光面側にｎ型不純物層が形成され、その外側に反射防止膜、グリッド電極が形成されたｐ型シリコン半導体基板（基板サイズ：１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×２００μｍ）の非受光面側に、上記で得られた太陽電池用接着性シートを接着性ペースト塗布層側の離型フィルムを除去して貼り付け、アルミニウムシート側の離型フィルムを除去した後、高温焼成炉内に投入し、８５０℃で５分間焼成した。焼成後、基板を高温焼成炉内から取り出し、室温まで冷却し、太陽電池セルを完成させた。
【００４８】
（実施例２）
厚さ１２μｍのアルミ箔（三井化学ファブロ（株）製、商品名 ハイホイル）の表面全体に、実施例１と同様の方法で調製した接着性ペーストをスクリーン印刷にて１μｍの厚さに塗布し、その塗付層側に離型フィルム（ＰＥＴフィルム、厚さ２０μｍ）を積層し後、一辺１５０ｍｍの正方形を切り出し、太陽電池用接着性シートを作製した。
【００４９】
受光面側にｎ型不純物層が形成され、その外側に反射防止膜、グリッド電極が形成されたｐ型シリコン半導体基板（基板サイズ：１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×２００μｍ）の非受光面側に、上記で得られた太陽電池用接着性シートを接着性ペースト塗布層側の離型フィルムを除去して貼り付け後、高温焼成炉内に投入し、８５０℃で５分間焼成した。焼成後、基板を高温焼成炉内から取り出し、室温まで冷却し、太陽電池セルを完成させた
【００５０】
（比較例）
エチルセルロースをグリコールエーテル系有機溶剤に溶解した有機質ビヒクルを１０ｇ、アルミニウム粉末（平均粒径２０μｍ）を３０ｇ、それぞれ秤量し、周知の混合機にて均一に混合してアルミペーストを調製した。
【００５１】
受光面側にｎ型不純物層が形成され、その外側に反射防止膜、グリッド電極が形成されたｐ型シリコン半導体基板（基板サイズ：１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×２００μｍ）の非受光面側に、上記で得られたアルミペーストをスクリーン印刷にて３０μｍの厚さに塗布し、常温で乾燥した後、高温焼成炉内に投入し、８５０℃で５分間焼成した。焼成後、基板を高温焼成炉内から取り出し、室温まで冷却し、太陽電池セルを完成させた。
【００５２】
上記実施例１、２および比較例で作製した太陽電池セルについて以下の方法でその性能を評価した。結果を表１に示す。
＜反り＞
アルミニウム電極層を上にしてｐ型シリコン半導体基板の四隅の一端を押さえて、その対角に位置する一端の浮き上がり量（基板の厚みを含む）を測定した。
＜表面抵抗（不純物層（ｐ+層）＞
太陽電池の裏面電極側を塩酸水溶液に浸漬することにより、Ａｌ-Ｓｉ合金層およびアルミニウム電極層を溶解除去し、表出した不純物層（ｐ+層）の表面抵抗を、４端子式表面抵抗測定器（ダイアインスツルメンツ社製  ロレスタＧＰ）を用いて測定した。
【００５３】
【表１】
2009283849.tif 000003
【００５４】
表１に示す結果から、本発明に係る接着性シートを用いて作製された太陽電池セルは、アルミペーストにより裏面電極を形成した従来型の太陽電池セルと比較して、電気特性は損なわれないまま、焼成時に発生する基板の反りを減少させることが可能なことがわかる。
【００５５】
以上に開示された実施の形態や実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態や実施例ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正や変形を含むものと意図される。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の一実施形態に係る太陽電池用接着性シートを示す断面図である。
【図２】本発明の一実施態様に係る太陽電池を概略的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１…太陽電池用接着性シート、２…アルミニウムシート、３…接着性ペースト塗布層、１０…太陽電池、１１…ｐ型シリコン半導体基板、１５…不純物層、１６…Ａｌ-Ｓｉ合金層、１７…アルミニウム電極層、１８…裏面電極。
【図１】
2009283849.tif 000004
【図２】
2009283849.tif 000005