(57)【要約】【課題】単一基板の反り量がある一定の範囲内であれば容易に基板反り角、軸方向振れ加速度、トラック方向振れ加速度値を調整できる光ディスク貼合方法、光ディスク貼合装置、及び光ディスクを提供する。【解決手段】テーブルのセンターボス部とテーブル部をネジ式にしてセンターボス部に対するテーブル部の段差を調整できるようにしたことにより、単一基板の反り量がある一定の範囲内であれば容易に基板反り角、軸方向振れ加速度、トラック方向振れ加速度値を調整することができる光ディスク貼合方法、光ディスク貼合装置、及び光ディスクの提供を実現することができる。【選択図】図１
2009064513.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を貼合わせる光ディスク貼り合わせ方法において、
貼合わせる２枚の基板のうち、一方の基板の内周部に接着剤を塗布する工程、該接着剤を挟んで他方の基板を重ね合わせる工程、前記基板を回転させて前記接着剤を全面に広げる際紫外線照射を内周から外周へ行って前記接着剤を仮硬化させる工程、及び紫外線照射して接着剤を硬化させる本露光工程を備えた光ディスク貼り合わせ方法において、
前記基板を回転させ前記接着剤を全面に広げた後、紫外線照射を内周から外周へ移動させ前記接着剤を仮硬化させるために前記基板を保持するテーブルの円盤状のテーブル部と該テーブル部の中心を保持するセンターボス部との間の段差を調整することを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法。
【請求項２】
複数の基板を接着材で貼合わせる光ディスク貼り合わせ方法において、
貼合わせる２枚の基板のうち、一方の基板の内周部に接着剤を塗布する工程、該接着材を挟んで他方の基板を重ね合わせる工程、前記基板を回転させて前記接着材を全面に広げる工程、及びテーブルで保持された基板を紫外線照射して接着材を硬化させる本露光工程を備えた光ディスク貼り合わせ方法において、
前記本露光工程のテーブルの円盤状のテーブル部と該テーブル部の中心を保持するセンターボス部との間の段差を調整することを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法。
【請求項３】
複数の基板を接着材で貼合わせる光ディスク貼り合わせ方法において、
貼合わせる２枚の基板のうち、一方の基板、もしくは、両方の基板に接着剤を塗布する工程、前記基板を回転させて前記接着材を全面に広げる工程、真空中で前記基板を重ね合わせる工程、及びテーブルで保持された前記基板を紫外線照射して前記接着材を全面硬化させる本露光工程を備えた光ディスク貼り合わせ方法において、
前記本露光工程のテーブル部とセンターボス部との間の段差を調整することを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項記載の光ディスク貼り合わせ方法において、貼合わせ後の基板の機械特性を前記段差により制御することを特徴とする光ディスク貼り合わせ方法。
【請求項５】
複数の基板を貼合わせてなる光ディスクの基板を保持したまま回転させるための円盤状のテーブルのテーブル部と該テーブル部の中心を保持するセンターボス部との間をネジ加工することにより、前記テーブルの内周部に対する外周部の段差を調整できるようにしたテーブル構造を有することを特徴とする光ディスク貼り合わせ装置。
【請求項６】
接着剤が塗布されて貼合わされた２枚の基板に紫外線を照射して前記接着剤を硬化させる本露光工程用のテーブルのテーブル部と該テーブル部の中心を保持するセンターボス部との間をネジ加工することにより、前記テーブルのテーブル部と前記センターボス部との間の段差を調整できるようにしたテーブル構造を有することを特徴とする光ディスク貼合装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載のテーブルの外周部の高さ可変範囲を±１ｍｍとし、前記センターボス部の基板載置面に１箇所切り込みを入れ、前記テーブル部の基板載置面には前記基板と接触しない位置に均等な放射角度で切り込みを入れ、前記センターボス部の切り込みと前記テーブル部の切り込みとの位置関係により前記テーブルの前記テーブル部と前記センターボス部との間の段差を確認できるようにしたことを特徴とする光ディスク貼合わせ装置。
【請求項８】
請求項５または６に記載のセンターボス部は前記基板を保持するため吸着する吸着機構を具備したことを特徴とする光ディスク貼合装置。
【請求項９】
前記センターボス部は前記テーブル部と平行な円盤状の基部を有し、前記テーブル部から前記基部に接触するように設けられたテーブル固定用ネジで段差が固定されるようにしたことを特徴とする請求項５から８のいずれか１項記載の光ディスク貼合わせ装置。
【請求項１０】
請求項５または６に記載の基板を貼合わせるときの両基板のそれぞれの基板反り形状を±３５０μｍ以下に調整した基板を貼合せることを特徴とする光ディスク貼合装置。
【請求項１１】
請求項５から１０のいずれか１項記載の光ディスク貼合装置によって貼合わせたことを特徴とする光ディスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスク等の光学的情報記録媒体、磁気記録媒体製造に用いられる光ディスク貼り合わせ方法、光ディスク貼り合わせ装置、及び光ディスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザー光を用いて記録したりあるいは消去したりする光学式記録媒体において、２枚の光透過性基板を貼合わせて作られた光ディスクがすでに製造、販売されている。ＤＶＤやレーザーディスク等がそれである。これらは、２枚の光透過性基板と、反射層と、接着層と、印字層とからなり、光透過性基板の素材としてＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＭＭＡ（アクリル樹脂）が用いられ、反射層としてＡｕ，Ａｇ，Ａｌ合金などが用いられ、また、接着剤として紫外線硬化型接着剤が用いられている。
【０００３】
光ディスク貼合わせ方法として最も多く採用されているラジカルＵＶ方式は、光ディスク情報基板(情報記録される方の単板、記録層・反射層を有する。)  を所定同心円上に接着剤をディスペンサーにより滴下し、カバー基板（カバーとなる透過性単板）を光ディスク情報基板に載せた後所定の回転数と回転時間とをもって紫外線硬化型接着剤を広げ、その紫外線硬化型接着剤に紫外線を光照射して硬化させることで貼合わせ型の基板を得ている。
【０００４】
次に従来のディスク貼合わせ方法の一例について、その概要を説明する。
なお便宜上、片側光入射の光ディスクにおいて、光入射面を下にして下側の基板をＬａと呼び、上側の基板をＬｂと呼ぶ。貼合わせ工程は通常、上からの紫外線照射でＬａ，Ｌｂ間の接着剤を硬化させることにより、接着剤まで光を透過させることが可能なＬａ層を上向きにして基板搬送を行う。
ついでＬｂ基板を、保護膜がスパッタリングされた面(光入射面側)を上にして、回転塗布装置のテーブル上にセットする。
【０００５】
Ｌａ基板、Ｌｂ基板を重合する方法としては、方法１，２が一般的である。
方法１
Ｌａ基板もしくはＬｂ基板のいずれか一方を円盤状のテーブルにセットし、数十ｒｐｍ程度の回転速度で回転させながら、ディスペンサーによって接着剤（粘度は約５００ｃｐ）を基板の中心から約２５ｍｍの円周上に同心円状に滴下する。
【０００６】
ついでＬａ基板を、光入射面側を上にして重合した後、ステージ（テーブル）を数百〜数千ｒｐｍの回転速度で回転させて接着剤をディスク終端まで延展する方法。
【０００７】
方法２
Ｌａ基板の片方、もしくはＬａ基板、Ｌｂ基板の両方の基板をテーブル上で数十ｒｐｍ程度の回転速度で回転させながら、ディスペンサーによって接着剤（粘度は約５００ｃｐ）を基板の中心から約２５ｍｍの円周上に同心円状に滴下し、テーブルを数百〜数千ｒｐｍの回転速度で回転させて接着剤をディスク終端まで延展する。
その後真空下でＬａ基板を、光入射面側を上にして重合する方法である。
その後、この重合基板を本露光工程のテーブルへ移動させ紫外線照射により紫外線硬化型接着剤を硬化させて貼合わせ型の光ディスクとする。
【０００８】
また２層再生ディスクや２層記録ディスクの場合は、接着剤膜厚の均一性が要求される。
方法１の重合方法の場合は、接着剤膜厚の均一性を制御することが困難である。この不均一性を解決するために、Ｌａ基板もしくはＬｂ基板のいずれか一方をテーブルにセットし、数十ｒｐｍ程度の回転速度で回転させながら、ディスペンサーによって紫外線硬化型接着剤（粘度は約５００ｃｐ）を基板の中心から約２５ｍｍの円周上に同心円状に滴下する。
【０００９】
ついでＬａ基板を、光入射面側を上にして重合した後、テーブルを数百〜数千ｒｐｍの回転速度で回転させて接着剤をディスク終端まで延展する際、紫外線照射装置にて接着剤を仮硬化させた後、次工程の本露光工程にて紫外線照射により接着剤を硬化させて貼り合わせ型の光ディスクとする。
【００１０】
近年、高速記録化されてきたＤＶＤ分野では、基板反り角、基板軸方向及び、トラック方向加速度の品質が重要視されている。
通常ＤＶＤ＋／−Ｒ／ＲＷライブでは、再生時ディスク面上下の振れ(面ブレ)によりピックアップとディスクとの間の距離が変動してフォーカス(焦点)が外れるのを防ぐ機能(フォーカスサーボ)と、ディスクのセンターホールの偏心やトラックが局所で蛇行したようになっても、 トラックを外れ無い様に修正する機能(トラッキングサーボ)との二つの光学的サーボを持っており、これら二つのサーボ動作中はピットあるいはグルーブを読もうと対物レンズを修正するための制御信号を計算し、情報を記録再生している。
【００１１】
高速で記録する場合、基板反り角、基板軸方向及び、トラック方向加速度が悪化すると、ピックアップがトラックを追従できず、記録停止や、再生不良を発生する。
【００１２】
一方２枚以上の基板同士を貼合わせる光ディスクは１層再生ディスク、１層記録再生ディスク、２層再生ディスク、２層記録再生ディスクがあり、層構成がそれぞれ異なることから、貼合わせる前の基板の反り形状は異なることがある。
貼合わせ装置を共通にしようと考えた場合、各品種で良好な貼合品質を得るには、品種ごとに貼合装置の貼合わせ条件を変更する必要がある。 良好な貼合品質を得るために、特許文献１にリング状の外周部の凸部と内周凸部を有し、この外周凸部及び内周凸部のうち少なくとも一方の多高さを調整し、内周部を固定して反りを矯正する手段を設けた貼合装置について言及している。
特許文献２に光ディスク貼合テーブルにおいて、テーブルの内周側が窪み、外周側は窪みがない光ディスクテーブルを用い、ディスク内周部に押す力を印加することにより、フラットな貼り合ができ、良好な特性が得られる貼合わせ方法及び貼合装置について言及している。
【特許文献１】特開２００５−２７７８２号公報
【特許文献２】特開２００４−１０３０５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、上述した従来技術では、貼り合わせようとする基板（単一基板）が反っている場合には基板反り角、軸方向振れ加速度(ＦＥ：フォーカスエラー)、トラック方向振れ加速度(ＴＥ：トラッキングエラー)を調整することができなかった。
そこで、本発明の目的は、単一基板の反り量がある一定の範囲内であれば容易に基板反り角、軸方向振れ加速度、トラック方向振れ加速度値を調整できる光ディスク貼合方法、光ディスク貼合装置、及び光ディスクを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１に記載の発明は、複数の基板を貼合わせる光ディスク貼り合わせ方法において、貼合わせる２枚の基板のうち、一方の基板の内周部に接着剤を塗布する工程、該接着剤を挟んで他方の基板を重ね合わせる工程、前記基板を回転させて前記接着剤を全面に広げる際紫外線照射を内周から外周へ行って前記接着剤を仮硬化させる工程、及び紫外線照射して接着剤を硬化させる本露光工程を備えた光ディスク貼り合わせ方法において、前記基板を回転させ前記接着剤を全面に広げた後、紫外線照射を内周から外周へ移動させ前記接着剤を仮硬化させるために前記基板を保持するテーブルの円盤状のテーブル部と該テーブル部の中心を保持するセンターボス部との間の段差を調整することを特徴とする。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、複数の基板を接着材で貼合わせる光ディスク貼り合わせ方法において、貼合わせる２枚の基板のうち、一方の基板の内周部に接着剤を塗布する工程、該接着材を挟んで他方の基板を重ね合わせる工程、前記基板を回転させて前記接着材を全面に広げる工程、及びテーブルで保持された基板を紫外線照射して接着材を硬化させる本露光工程を備えた光ディスク貼り合わせ方法において、前記本露光工程のテーブルの円盤状のテーブル部と該テーブル部の中心を保持するセンターボス部との間の段差を調整することを特徴とする。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、複数の基板を接着材で貼合わせる光ディスク貼り合わせ方法において、貼合わせる２枚の基板のうち、一方の基板、もしくは、両方の基板に接着剤を塗布する工程、前記基板を回転させて前記接着材を全面に広げる工程、真空中で前記基板を重ね合わせる工程、及びテーブルで保持された前記基板を紫外線照射して前記接着材を全面硬化させる本露光工程を備えた光ディスク貼り合わせ方法において、前記本露光工程のテーブル部とセンターボス部との間の段差を調整することを特徴とする。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか１項記載の発明において、貼合わせ後の基板の機械特性を前記段差により制御することを特徴とする。
【００１８】
請求項５に記載の発明は、複数の基板を貼合わせてなる光ディスクの基板を保持したまま回転させるための円盤状のテーブルのテーブル部と該テーブル部の中心を保持するセンターボス部との間をネジ加工することにより、前記テーブルの内周部に対する外周部の段差を調整できるようにしたテーブル構造を有することを特徴とする。
【００１９】
請求項６に記載の発明は、接着剤が塗布されて貼合わされた２枚の基板に紫外線を照射して前記接着剤を硬化させる本露光工程用のテーブルのテーブル部と該テーブル部の中心を保持するセンターボス部との間をネジ加工することにより、前記テーブルのテーブル部と前記センターボス部との間の段差を調整できるようにしたテーブル構造を有することを特徴とする。
【００２０】
請求項７に記載の発明は、請求項５または６に記載のテーブルの外周部の高さ可変範囲を±１ｍｍとし、前記センターボス部の基板載置面に１箇所切り込みを入れ、前記テーブル部の基板載置面には前記基板と接触しない位置に均等な放射角度で切り込みを入れ、前記センターボス部の切り込みと前記テーブル部の切り込みとの位置関係により前記テーブルの前記テーブル部と前記センターボス部との間の段差を確認できるようにしたことを特徴とする。
【００２１】
請求項８に記載の発明は、請求項５または６に記載のセンターボス部は前記基板を保持するため吸着する吸着機構を具備したことを特徴とする。
【００２２】
請求項９に記載の発明は、ことを特徴とする請求項５から８のいずれか１項記載の発明において、前記センターボス部は前記テーブル部と平行な円盤状の基部を有し、前記テーブル部から前記基部に接触するように設けられたテーブル固定用ネジで段差が固定されるようにしたことを特徴とする。
【００２３】
請求項１０に記載の発明は、請求項５または６に記載の発明において、基板を貼合わせるときの両基板のそれぞれの基板反り形状を±３５０μｍ以下に調整した基板を貼合わせることを特徴とする。
【００２４】
請求項１１に記載の発明は、請求項５から１０のいずれか１項記載の貼合装置によって貼合わせた光ディスクであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、テーブルのセンターボス部とテーブル部をネジ式にしてセンターボス部に対するテーブル部の段差を調整できるようにしたことにより、単一基板の反り量がある一定の範囲内であれば容易に基板反り角、軸方向振れ加速度、トラック方向振れ加速度値を調整することができる光ディスク貼合方法、光ディスク貼合装置、及び光ディスクの提供を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明に係る光ディスク貼り合わせ方法の一実施の形態は、複数の基板を貼合わせる光ディスク貼り合わせ方法において、貼合わせる２枚の基板のうち、一方の基板の内周部に接着剤を塗布する工程、接着剤を挟んで他方の基板を重ね合わせる工程、基板を回転させて接着剤を全面に広げる際紫外線照射を内周から外周へ行って接着剤を仮硬化させる工程、及び紫外線照射して接着剤を硬化させる本露光工程を備えた光ディスク貼り合わせ方法において、基板を回転させ接着剤を全面に広げた後、紫外線照射を内周から外周へ移動させ接着剤を仮硬化させるために基板を保持するテーブルの円盤状のテーブル部とテーブル部の中心を保持するセンターボス部との間の段差を調整することを特徴とする。
【００２７】
ここで、接着剤を仮硬化させてから本硬化させる理由について述べる。
貼合型光ディスクはＵＶ硬化樹脂（紫外線硬化型接着剤を含む）にて２枚のディスクを貼合わせる。通常はＵＶ硬化樹脂を塗布し、振り切り後、本硬化にてＵＶ硬化させメディア化する。貼合型光ディスク製造プロセスではＵＶ硬化樹脂の本硬化は必須である。２層記録の場合ＵＶ硬化樹脂の面内膜厚をできるだけ均等にさせる必要がある。上記方式では内周に対して外周の膜厚が厚くなり、膜厚均一性が悪くなってしまう。この膜厚均一性を良くするために、ＵＶ硬化樹脂を塗布し、振り切り直後にＵＶにて仮硬化させ膜厚形状を決定した後、本硬化する貼合装置も一般的になりつつある。
【００２８】
上記構成によれば、テーブルのセンターボス部とテーブル部をネジ式にしてセンターボス部に対するテーブル部の段差を調整できるようにしたことにより、単一基板の反り量がある一定の範囲内であれば容易に基板反り角、軸方向振れ加速度、トラック方向振れ加速度値を調整することができる。
【００２９】
本発明に係る光ディスク貼り合わせ方法の他の実施の形態は、複数の基板を接着材で貼合わせる光ディスク貼り合わせ方法において、貼合わせる２枚の基板のうち、一方の基板の内周部に接着剤を塗布する工程、接着材を挟んで他方の基板を重ね合わせる工程、基板を回転させて接着材を全面に広げる工程、及びテーブルで保持された基板を紫外線照射して接着材を硬化させる本露光工程を備えた光ディスク貼り合わせ方法において、本露光工程のテーブルの円盤状のテーブル部とテーブル部の中心を保持するセンターボス部との間の段差を調整することを特徴とする。
【００３０】
上記構成によれば、テーブルのセンターボス部とテーブル部をネジ式にしてセンターボス部に対するテーブル部の段差を調整できるようにしたことにより、単一基板の反り量がある一定の範囲内であれば容易に基板反り角、軸方向振れ加速度、トラック方向振れ加速度値を調整することができる。
【００３１】
本発明に係る光ディスク貼り合わせ方法の他の実施の形態は、複数の基板を接着材で貼合わせる光ディスク貼り合わせ方法において、貼合わせる２枚の基板のうち、一方の基板、もしくは、両方の基板に接着剤を塗布する工程、基板を回転させて接着材を全面に広げる工程、真空中で基板を重ね合わせる工程、及びテーブルで保持された基板を紫外線照射して接着材を全面硬化させる本露光工程を備えた光ディスク貼り合わせ方法において、本露光工程のテーブル部とセンターボス部との間の段差を調整することを特徴とする。
【００３２】
上記構成によれば、テーブルのセンターボス部とテーブル部をネジ式にしてセンターボス部に対するテーブル部の段差を調整できるようにしたことにより、単一基板の反り量がある一定の範囲内であれば容易に基板反り角、軸方向振れ加速度、トラック方向振れ加速度値を調整することができる。
【００３３】
本発明に係る光ディスク貼り合わせ方法の他の実施の形態は、上記構成に加え、貼合わせ後の基板の機械特性を段差により制御することを特徴とする。
【００３４】
上記構成によれば、貼合わせ後の基板の機械特性を段差により制御することにより、高品質の光ディスクを得ることができる。
【００３５】
本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の一実施の形態は、複数の基板を貼合わせてなる光ディスクの基板を保持したまま回転させるための円盤状のテーブルのテーブル部とテーブル部の中心を保持するセンターボス部との間をネジ加工することにより、テーブルの内周部に対する外周部の段差を調整できるようにしたテーブル構造を有することを特徴とする。
【００３６】
上記構成によれば、テーブルのセンターボス部とテーブル部をネジ式にしてセンターボス部に対するテーブル部の段差を調整できるようにしたことにより、単一基板の反り量がある一定の範囲内であれば容易に基板反り角、軸方向振れ加速度、トラック方向振れ加速度値を調整することができる。
【００３７】
本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の他の実施の形態は、接着剤が塗布されて貼合わされた２枚の基板に紫外線を照射して接着剤を硬化させる本露光工程用のテーブルのテーブル部とテーブル部の中心を保持するセンターボス部との間をネジ加工することにより、テーブルのテーブル部とセンターボス部との間の段差を調整できるようにしたテーブル構造を有することを特徴とする。
【００３８】
上記構成によれば、テーブルのセンターボス部とテーブル部をネジ式にしてセンターボス部に対するテーブル部の段差を調整できるようにしたことにより、単一基板の反り量がある一定の範囲内であれば容易に基板反り角、軸方向振れ加速度、トラック方向振れ加速度値を調整することができる。
【００３９】
本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の他の実施の形態は、上記構成に加え、テーブルの外周部の高さ可変範囲を±１ｍｍとし、センターボス部の基板載置面に１箇所切り込みを入れ、テーブル部の基板載置面には基板と接触しない位置に均等な放射角度で切り込みを入れ、センターボス部の切り込みとテーブル部の切り込みとの位置関係によりテーブルのテーブル部とセンターボス部との間の段差を確認できるようにしたことを特徴とする。
【００４０】
上記構成によれば、センターボス部の切り込みとテーブル部の切り込みとの位置関係によりテーブルのテーブル部とセンターボス部との間の段差を確認できるようにしたことで、基板の反りの調整ミスを低減し、歩留まりの向上を図ることができる。
【００４１】
本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の他の実施の形態は、上記構成に加え、センターボス部は基板を保持するため吸着する吸着機構を具備したことを特徴とする。
【００４２】
上記構成によれば、センターボス部が基板を保持するため吸着する吸着機構を具備したことにより、基板に傷を付けることなく保持することができる。
【００４３】
本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の他の実施の形態は、上記構成に加え、センターボス部はテーブル部と平行な円盤状の基部を有し、テーブル部から基部に接触するように設けられたテーブル固定用ネジで段差が固定されるようにしたことを特徴とする。
【００４４】
上記構成によれば、センターボス部はテーブル部と平行な円盤状の基部を有し、テーブル部から基部に接触するように設けられたテーブル固定用ネジで段差が固定されるようにしたことにより、テーブル部の調整後の段差が保持され、高品質の光ディスクが得られる。
【００４５】
本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置の他の実施の形態は、上記構成に加え、基板を貼合わせるときの両基板のそれぞれの基板反り形状を±３５０μｍ以下に調整した基板を貼合わせることを特徴とする。
【００４６】
上記構成によれば、基板を貼合わせるときの両基板のそれぞれの基板反り形状を±３５０μｍ以下に調整した基板を貼合わせることにより、高品質の光ディスクを得ることができる。
【００４７】
本発明に係る光ディスクの一実施の形態は、上記いずれかの光ディスク貼合装置によって貼合わせた光ディスクであることを特徴とする。
【００４８】
上記構成によれば、高品質の光ディスクを得ることができる。
【００４９】
なお、上述した実施の形態は、本発明の好適な実施の形態の一例を示すものであり、本発明はそれに限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲内において、種々変形実施が可能である。
【実施例１】
【００５０】
次に本発明の実施例について述べる。
図１は本発明に係る光ディスク貼り合わせ方法の一実施例を示すフローチャートである。
図２（ａ）は本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置のテーブルの一実施例を示す平面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のIIｂ−IIｂ線断面図の一例である。図３は図２（ａ）の斜視断面図である。
【００５１】
図２（ａ）、（ｂ）、図３に示すようにテーブルは円盤状のテーブル部２と、テーブル部２の中心を保持するセンターボス部１とで構成されている。テーブル部２は中心に貫通穴が形成され、センターボス部１のセンターボス７に螺合できるようにテーブル部２の貫通穴内とセンターボス７の外周とに調整用ネジ溝２０が形成されている。このテーブル部２を一の方向（例えば右方向）に回転させることによりセンターボス部１に対して上昇し、他の方向（この場合、左方向）に回転させることによりセンターボス部１に対して降下するようになっている（センターボス部１とテーブル部２とをフラットにした状態を０として±１ｍｍの幅で高さ変更できるようになっている。）。
【００５２】
テーブル部２には複数（図では４箇所であるが３箇所以上あればよい。）のテーブル固定用ネジ穴が形成され、テーブル固定用ネジ６が螺合されるようになっている。テーブル固定用ネジ６は例えば頭部（図３では上端）の六角穴を六角レンチで回して底部（この場合下端）をセンターボス部１の基部に突き当てて固定することによりセンターボス部１とテーブル部２との間の距離を固定するようになっている（プラス穴もしくはマイナス穴をドライバーで締めるように構成してもよい。）。テーブル固定用ネジ６は、段差の調整時にはその頭部（図３では上方）がテーブル部２より上には出ないような長さに設定されており、かつテーブル部（外周部）２の高さ可変範囲（センターボス部１に対する段差）が±１ｍｍとなるように設定されている。
【００５３】
センターボス部１は筒状の頭部１ａとテーブル部２と並行な円盤状の基部１ｂとを有する凸字断面形状を有している。センターボス部１の頭部１ａには鍋ネジ状のセンターボス７が螺合されており、センターボス７の周囲には図示しない基板を保持するための真空吸着用穴３が複数（図では４個であるが限定されない。）形成されている。各真空吸着用穴３はセンターボス部１の中心軸に並行に形成され、センターボス部１の基部１ｂ内で集合し外部の図示しない真空ポンプに接続されるようになっている。センターボス部１の中心部には図示しないモーターのモーターシャフト１１がネジ止めされるようになっている。図２（ｂ）において、網点領域が真空ポンプへの流路を示している。
【００５４】
次に記録膜がスパッタリングされたＬａ基板において、スパッタリングされた面を上にしてテーブルに吸着し、テーブルを数十ｒｐｍ程度の回転数で回転させながらディスペンサーによって接着剤（粘度：５００ｃｐ）を基板（Ｌａ基板：単一基板、Ｌｂ基板：単一基板）の中心から約３０ｍｍの円周上に同心円状に滴下し、この状態においてＬｂ基板を貼合わせ、テーブルを数百〜数千回転で回転させて接着剤をディスク終端まで展開させる。その展開の最中にスポット的な紫外線照射装置を内周から外周に走らせて振り切りの回転数にて膜厚をコントロールしながら均一な状態に仮硬化させる。
【００５５】
その後本露光工程にて接着材を硬化させる図１のプロセスフローを特徴とする貼合わせ装置を使用する。
図１に示すように、Ｌａ基板（第１単板）を準備し（ステップＳ１）、Ｌａ基板に接着剤を塗布し（ステップＳ２）、Ｌｂ基板（第２単板）を準備し（ステップＳ３）、Ｌａ基板とＬｂ基板とを重ね合わせ（ステップＳ４）、接着剤を振り切り、紫外線照射を施し（ステップＳ５）、本露光を行い（ステップＳ６）、払い出す（ステップＳ７）ことで終了する。
【００５６】
図１のプロセスフロー内の“接着剤振り切り、紫外線照射”工程（ステップＳ５）においてセンターボス部１、及び円盤状のテーブル部２から構成される図２に示すようなテーブルを使用する。テーブル部２とテーブル部２の中心を保持するセンターボス部１との間にはネジ加工を施すことにより、これら２つのセンターボス部１とテーブル部２とを接合し、センターボス部１とテーブル部２との間の段差を容易に調整することができる。
【００５７】
センターボス部１とテーブル部２との間のネジピッチは、例えば１ｍｍとする。センターボス部１には切り欠き４を設け、テーブル部２には例えば３０度毎に切り欠き５を設ける（図２（ａ）参照）。テーブル部２を例えば９０度回転させると２５０μｍほどセンターボス部１に対する段差（高さ）が変化する。
ここで、センターボス部１の切り欠き４と、テーブル部２の切り欠き５との位置関係からセンターボス部１の平面とテーブル部２の平面との段差量を容易に把握することができる。テーブル部２の切り欠き５を例えば１２分割（角度３０°）にし、センターボス部１の直径３０ｍｍのときセンターボス部１の細目でネジ加工するとネジピッチは２ｍｍとなる。テーブル部２を３０°回転させたとき、テーブル部２の段差量は約１６７μｍ変わる。尚、センターボス部１の切り欠き４の数は図では１つであるが限定されない。
テーブル部２の高さを調整した後、テーブル固定用ネジ８にてテーブル部２を固定する。
【００５８】
センターボス部１にはディスク（Ｌａ基板、Ｌｂ基板）を吸着するための真空吸着用穴３を設け、図示しない真空ポンプを設置し、ディスク（Ｌａ基板、Ｌｂ基板）を吸着できるようにする。
【００５９】
図４は貼り合わせ前のＬａ基板、Ｌｂ基板の形状を示す概念図である。図５は図４に示した貼り合わせ前のＬａ基板の反り状態を示す図であり、図６は図４に示した貼り合わせ前のＬｂ基板の反り状態を示す図である。図５、６において、横軸はディスク半径を示し、縦軸は反りを示す。
また、貼合わせ前の基板形状は図５、６に示すようにテーブル部２に対してＬａ基板は＋１５０μｍとし、Ｌｂ基板は−２５０μｍとする。
【００６０】
図７は貼り合わせ後の基板形状を示す概念図である。
【００６１】
表１はテーブルのセンターボス部１とテーブル部２との間の段差さを変更したときの貼合わせ後の反り、反り角(°)を示すデータである。
【００６２】
【表１】
2009064513.tif 000003
【００６３】
表１においてマイナス側はセンターボス部１がテーブル部２より高い状態を示し、プラス側はテーブル部２がセンターボス部１より高い状態を示す。テーブル部２がセンターボス部１より高い位置状態になると貼合わせたディスク（Ｌａ基板、Ｌｂ基板）はマイナス側に反る。またセンターボス部１とテーブル部２との段差とディスク（Ｌａ基板、Ｌｂ基板）の反り角とは図８のような関係があり、テーブルの段差を変更することで、反り角を制御することができる（光ディスクの反り角は±０．７ｄｅｇで制御している。）。
図８はテーブル段差と貼り合わせ後反り角との関係を示す図である。図８において横軸はテーブル段差を示し、縦軸は貼り合わせ後反り角を示す。
【００６４】
図９は図７に示した貼り合わせ後のサンプル基板１の反り状態を示す図であり、図１０は図７に示した貼り合わせ後のサンプル基板２の反り状態を示す図である。図９、１０において横軸はディスク半径を示し、縦軸は反りを示す。
【００６５】
光ディスクの記録、再生に重要となるサーボ特性の代替値として基板軸方向及び、トラック方向加速度を使用する。基板軸方向の加速度をＦＥとし、基板トラック方向の加速度をＴＥとする。
評価方法としては、ＴＥ／ＦＥの測定可能なドライブＰＸ−７５５、ＰＸ−７６０Ａ（いずれもプレクスター社製）で測定する。ＴＥ／ＦＥは内周から外周に向かって測定される。
【００６６】
図１１はテーブル部のセンターボス部１に対する段差を−８０μｍとしたときのＦＥとＴＥとの関係を示す図であり、図１２はテーブル部のセンターボス部１に対する段差を＋２５０μｍとしたときのＦＥとＴＥとの関係を示す図である。図１１、１２において横軸は容量（ＧＢ：ギガバイト）を示し、縦軸は測定値を示し、Ｌ１線はＦＥを示し、Ｌ２線はＴＥを示す。
図１１、１２に示すようにテーブルの段差を変更すると、ＴＥの値が変化する。Ｌａ基板とＬｂ基板とを重ね合わせ紫外線照射をする際の熱の影響により、基板に対してテーブルを過度に押し当てると、基板反り角は制御範囲に調整できても、ＴＥの値が悪化し、サーボ特性の悪いメディア（記録媒体）になってしまう。
貼合わせ後のメディアの反り角、サーボ特性を制御するためには紫外線照射される部分のテーブル段差の微調整ができることが必要である。
【００６７】
一方、２枚以上の基板同士を貼合わせる光ディスクは１層記録再生ディスク、１層記録ディスク、２層再生ディスク、２層記録再生ディスクがあり、層構成がそれぞれ異なることから、貼合わせる前の基板の反り形状は異なることがある。
よって１つの貼合わせ装置で多数の品種を貼合わせる場合には、テーブル段差の調整を容易にできることが望ましい。
【実施例２】
【００６８】
本実施形態では、テーブル形状を平面な場合について説明したが、図１３に示すようなテーブル形状を外周のみで受けることによっても同様の効果を得ることができる。
図１３はテーブルの他の実施例を示す断面図である。
図１３に示すテーブルの図２に示したテーブルとの相違点は、テーブル部２の外周に外周受け部１０が形成されている点である。図１３において、網点領域は真空ポンプへの流路を示している。
【００６９】
図１４、１５に示すようなプロセスフローの光ディスク貼り合わせ装置において、本露光工程のテーブル形状を図２（ａ）、（ｂ）、図１３に示すように構成することで同様の効果を得ることができる。
【実施例３】
【００７０】
図１４は本発明の光ディスク貼り合わせ方法の他の実施例を示すフローチャートである。
図１４において、Ｌａ基板を準備し（ステップＳ１０）、Ｌａ基板に接着剤を塗布し（ステップＳ１１）、
Ｌｂ基板を準備し（ステップＳ１２）、Ｌａ基板とＬｂ基板とを重ね合わせ（ステップＳ１３）、接着剤を振り切り（ステップＳ１４）、本露光を行い（ステップＳ１５）、払い出す（ステップＳ１０）ことで終了する。このような工程でディスクを貼り合わせても実施例１と同様の効果が得られる。
【実施例４】
【００７１】
図１５は本発明の光ディスク貼り合わせ方法の他の実施例を示すフローチャートである。
図１５において、Ｌａ基板を準備し（ステップＳ２０）、Ｌａ基板に接着剤を塗布し、接着剤を振り切り（ステップＳ２１）、Ｌｂ基板を準備し（ステップＳ２２）、ＬＢ基板に接着剤を塗布し、接着剤を振り切り（ステップＳ２３）、Ｌａ基板とＬｂ基板とを重ね合わせ（ステップＳ２４）、本露光を行い（ステップＳ２５）、払い出す（ステップＳ２６）ことで終了する。このような工程でディスクを貼り合わせても実施例１と同様の効果が得られる。
【００７２】
〔作用効果〕
センター穴を有する第１単板と第２単板とを接着剤によって重合する光ディスク貼合わせ装置について、第１単板と第２単板とを接着剤を挟んで重ね合わせた後、接着剤を仮硬化、硬化させる工程（図１のような２度露光するような貼合わせ装置の場合には最初に露光する工程）のテーブルのセンターボス部とテーブル部をネジ式にして容易に高さ調整できるようにし、ディスク内周部を吸着する機構を設けることにより、貼合わせ後の反り角、基板軸方向及び、トラック方向加速度の良好な光ディスクを得ることができる。従って、光学的情報記録媒体等の製造における歩留まりを向上出来るとともに、複数の品種を１つの貼合装置で対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明に係る光ディスク貼り合わせ方法の一実施例を示すフローチャートである。
【図２】（ａ）は本発明に係る光ディスク貼り合わせ装置のテーブルの一実施例を示す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のIIｂ−IIｂ線断面図の一例である。
【図３】図２（ａ）の斜視断面図である。
【図４】貼り合わせ前のＬａ基板、Ｌｂ基板の形状を示す概念図である。
【図５】図４に示した貼り合わせ前のＬａ基板の反り状態を示す図である。
【図６】図４に示した貼り合わせ前のＬｂ基板の反り状態を示す図である。
【図７】貼り合わせ後の基板形状を示す概念図である。
【図８】テーブル段差と貼り合わせ後反り角との関係を示す図である。
【図９】図７に示した貼り合わせ後のサンプル基板１の反り状態を示す図である。
【図１０】図７に示した貼り合わせ後のサンプル基板２の反り状態を示す図である。
【図１１】テーブル部のセンターボス部１に対する段差を−８０μｍとしたときのＦＥとＴＥとの関係を示す図である。
【図１２】テーブル部のセンターボス部１に対する段差を＋２５０μｍとしたときのＦＥとＴＥとの関係を示す図である。
【図１３】テーブルの他の実施例を示す断面図である。
【図１４】本発明の光ディスク貼り合わせ方法の他の実施例を示すフローチャートである。
【図１５】本発明の光ディスク貼り合わせ方法の他の実施例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００７４】
１    センターボス部
２    テーブル部
３    真空吸着穴
４    センターボス部切り欠き
５    テーブル部切り欠き
６    テーブル固定用ネジ
７    センターボス
８    Ｌａ基板
９    Ｌｂ基板
１０    外周受け部
２０    調整用ネジ溝
【図１】
2009064513.tif 000004
【図２】
2009064513.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2009064513.tif 000013
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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