(57)【要約】【課題】重量の増加を伴うことなく、流体部品のチューブ接続部分からの液漏れした機能液を適切に受けることができるヘッドユニット等を提供する。【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド４０の複数個と、複数個の機能液滴吐出ヘッド４０をヘッド搭載部８１に搭載したキャリッジプレート３５と、キャリッジプレート３５のヘッド搭載部８１から外れたサイド延設部８２の直上に配設され、各機能液滴吐出ヘッド４０に機能液を供給する複数の流体部品と、サイド延設部８２上で引き回され各流体部品と各機能液滴吐出ヘッド４０とを接続する機能液チューブと、流体部品の直下に位置してキャリッジプレート３５のサイド延設部８２に窪入形成され、流体部品から液漏れした機能液を受ける溝状の受液部８３と、を備えたものである。【選択図】図４
2009254953.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドの複数個と、
前記複数個の機能液滴吐出ヘッドをヘッド搭載部に搭載したキャリッジプレートと、
前記キャリッジプレートの前記ヘッド搭載部から外れたサイド延設部の直上に配設され、前記各機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する複数の流体部品と、
前記サイド延設部上で引き回され前記各流体部品と前記各機能液滴吐出ヘッドとを接続する機能液チューブと、
前記流体部品の直下に位置して前記キャリッジプレートの前記サイド延設部に窪入形成され、前記流体部品から液漏れした機能液を受ける溝状の受液部と、を備えたことを特徴とするヘッドユニット。
【請求項２】
前記受液部は、上部で前記各機能液チューブの引き回し位置を規制する複数の溝部を、有していることを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニット。
【請求項３】
前記受液部は、前記複数の溝部を連通する連通溝部を、更に有していることを特徴とする請求項２に記載のヘッドユニット。
【請求項４】
前記受液部は、前記各機能液チューブに添設した複数のチューブ添設部材を、更に有していることを特徴とする請求項２または３に記載のヘッドユニット。
【請求項５】
前記流体部品が、圧力調整弁であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のヘッドユニット。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載のヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットの前記複数個の機能液滴吐出ヘッドにおける多数の吐出ノズルから検査吐出を行なわせ、その着弾結果から前記多数の吐出ノズルの吐出性能を検査する吐出検査手段と、を備えたことを特徴とする吐出検査装置。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれかに記載のヘッドユニットと、
ワークに対し、前記ヘッドユニットを相対的に移動させながら前記複数個の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行う描画手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドを複数搭載したヘッドユニット、これを備えた吐出検査装置および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載したメインキャリッジ（ヘッドユニット）に、複数のタンクユニットおよび複数の圧力調整弁から成る機能液供給装置を搭載した液滴吐出装置が知られている（特許文献１参照）。このメインキャリッジは、支持プレート上に、複数の機能液滴吐出ヘッドと、複数の機能液滴吐出ヘッドに供給する機能液を貯留する複数のタンクユニットと、各機能液滴吐出ヘッドと各タンクユニットとを接続する供給チューブに介設された複数の圧力調整弁と、を搭載して構成され、タンクユニットから供給される機能液が、圧力調整弁で所定の水頭圧に調整されて機能液滴吐出ヘッドに自然流下するようになっている。また、メインキャリッジは、機能液供給装置に対し着脱自在に構成されている。
【特許文献１】特開２００６−０８２５３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のメインキャリッジにおいて、各タンクユニットと供給チューブとの接続部分や各圧力調整弁と供給チューブとの接続部分となる継ぎ手に、接続不良が発生すると、この部分から機能液の液漏れが生じる。この場合、漏れた機能液は支持プレートの間隙から滴下し、構成部品を腐食させたり、ワークを損傷するおそれがある。かかる場合に、滴下した機能液を受液パンで受けることが考えられるが、単純に受液パンを設置するとメインキャリッジの重量が増し、メインキャリッジの移動における追従性が悪化することが想定される。
【０００４】
本発明は、重量の増加を伴うことなく、各機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する各流体部品のチューブ接続部分からの、液漏れした機能液を適切に受けることができるヘッドユニット、これを備えた吐出検査装置および液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のヘッドユニットは、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドの複数個と、複数個の機能液滴吐出ヘッドをヘッド搭載部に搭載したキャリッジプレートと、キャリッジプレートのヘッド搭載部から外れたサイド延設部の直上に配設され、各機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する複数の流体部品と、サイド延設部上で引き回され各流体部品と各機能液滴吐出ヘッドとを接続する機能液チューブと、流体部品の直下に位置してキャリッジプレートのサイド延設部に窪入形成され、流体部品から液漏れした機能液を受ける溝状の受液部と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、流体部品と機能液チューブとの接続部分等から機能液の液漏れが生じても、その直下のキャリッジプレートに窪入形成された受液部にて、滴下した機能液を受けることができる。このため、滴下した機能液により、構成部品の腐食やワークの損傷を防止することができる。また、機能液チューブを受液部の直上に位置させることで、流体部品下側の空間を広く確保でき、流体部品から延びる機能液チューブの引き回しの自由度が増す。このため、機能液チューブの無理な取り回しによる折れ曲がりを防止することができる。さらに、受液部が、キャリッジプレートのサイド延設部に窪入形成されているため、ヘッドユニット自身の重量が軽減されることはあっても、増加することはない。
【０００７】
この場合、受液部は、上部で各機能液チューブの引き回し位置を規制する複数の溝部を、有していることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、複数の溝部が、流体部品に機能液チューブを取り付ける際のガイドとなるため、各機能液吐出ヘッドに対応する適切な位置に配設することができる。また、ヘッドユニットの移動に伴って、機能液チューブがふらつくことがなく、機能液チューブに無用な力が加わることがない。
【０００９】
また、この場合、受液部は、複数の溝部を連通する連通溝部を、更に有していることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、連通溝部を介して複数の溝部が連通しているため、滴下した機能液滴を、複数の溝部の全体で受けることができ、機能液のオーバーフローを抑制することができる。
【００１１】
さらに、この場合、受液部は、各機能液チューブに添設した複数のチューブ添設部材を、更に有していることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、各機能液チューブに添うようにチューブ添設部材が設けられているため、漏れた機能液を各溝部に適切に導くことができると共に、機能液チューブの折れ曲がりを有効に防止することができる。
【００１３】
また、さらに、流体部品が、圧力調整弁であることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、機能液を、所定の水頭圧で各機能液滴吐出ヘッドに適切に供給をすることができる。
【００１５】
本発明の吐出検査装置は、上記したヘッドユニットと、ヘッドユニットの複数個の機能液滴吐出ヘッドにおける多数の吐出ノズルから検査吐出を行なわせ、その着弾結果から前記多数の吐出ノズルの吐出性能を検査する吐出検査手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、滴下した機能液による構成部品の腐食および機能液チューブの無理な取り回しによる折れ曲がりを防止することができると共に、ヘッドユニット自身の重量が軽減されるため、検査精度の良好な吐出検査装置を提供することができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置は、上記したヘッドユニットと、ワークに対し、ヘッドユニットを相対的に移動させながら複数個の機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して描画を行う描画手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、滴下した機能液による構成部品の腐食、ワークの損傷および機能液チューブの無理な取り回しによる折れを防止できると共に、ヘッドユニットの軽量化により、描画品質の良好な液滴吐出装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用い、有機ＥＬ装置の各画素となる発光層やカラーフィルタのフィルタエレメント等を形成するものである。
【００２０】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１５上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、基板１０をＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、複数本の支柱２３を介してＸ軸テーブル２を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース２２上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル３と、複数の機能液滴吐出ヘッド４０が搭載された１０個のキャリッジユニット４と、から成り、１０個のキャリッジユニット４は、Ｙ軸テーブル３に移動自在に吊設されている。さらに、液滴吐出装置１は、これらの装置を、温度および湿度が管理された雰囲気内に収容するチャンバ５と、チャンバ５を貫通して、チャンバ５の外部から内部の機能液滴吐出ヘッド４０に機能液を供給する３組のタンクユニット６１を有する機能液供給ユニット６と、装置全体を統括制御する制御装置（図示省略）と、を備えている。Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド４０を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット６から供給されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液を吐出させ、基板１０に所定の描画パターンが描画される。なお、キャリッジユニット４の個数は任意である。
【００２１】
また、液滴吐出装置１には、フラッシングユニット７１、吸引ユニット７２、ワイピングユニット７３、吐出性能検査ユニット７４から成るメンテナンス装置７が設けられており、各ユニットを機能液滴吐出ヘッド４０の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド４０の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、図中の符号７６は、基板１０への描画結果を撮像するカメラユニットであり、Ｘ軸テーブル２の上方において、Ｙ軸方向に移動自在に支持した２個の検査カメラ７７で構成されている。
【００２２】
実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル２およびＹ軸テーブル３が交わる部分にキャリッジユニット４を臨ませて、基板１０の描画を行い、Ｙ軸テーブル３およびメンテナンス装置７が交わる部分にキャリッジユニット４を臨ませて、機能液滴吐出ヘッド４０の機能維持・機能回復を行う。
【００２３】
図２および図３に示すように、Ｘ軸テーブル２は、基板１０を吸着セットすると共に、θ軸方向に補正可能な機構を有するセットテーブル１１と、セットテーブル１１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ１２と、上記のフラッシングユニット７１およびステージユニット７５をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ１３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ１２およびＸ軸第２スライダ１３をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。
【００２４】
Ｙ軸テーブル３は、１０個のキャリッジユニット４をそれぞれ吊設した１０個のブリッジプレート２１と、１０個のブリッジプレート２１を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース２２上に設置され、ブリッジプレート２１をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル３は、各キャリッジユニット４を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド４０を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド４０をメンテナンス装置７に臨ませる。なお、１０個のキャリッジユニット４は、Ｙ軸方向に個別に移動可能に構成されている。
【００２５】
Ｙ軸テーブル３に吊設された１０個のキャリッジユニット４は、同一の形態を有しており、各キャリッジユニット４は、１２個の機能液滴吐出ヘッド４０を６個ずつ２群に分けて搭載したヘッドユニット３０（図６参照）と、ヘッドユニット３０をθ回転自在に支持するθ回転機構３１と、θ回転機構３１を介して、ヘッドユニット３０をＹ軸テーブル３に支持させる昇降機構付の吊設部材３２と、を備えている。加えて、各キャリッジユニット４は、その上方に上記３組のタンクユニット６１に連なる３つのサブタンク３４を収容したサブタンクユニット３３が配設されており（実際には、Ｙ軸テーブル３側に配設：図１および図２参照）、このサブタンク３４から自然水頭を利用して各機能液滴吐出ヘッド４０に機能液が供給されるようになっている。
【００２６】
次に、図４ないし図６を参照して、各ヘッドユニット３０について詳細に説明する。ヘッドユニット３０は、１２個の機能液滴吐出ヘッド４０と、１２個の機能液滴吐出ヘッド４０が取り付けられた略方形のキャリッジプレート３５と、キャリッジプレート３５の両短辺部分に取り付けた左右一対のプレート支持部材３６と、一対のプレート支持部材３６の上端部に掛け渡され、上記のθ回転機構３１に取り付けられるヘッド取付フレーム３７と、キャリッジプレート３５の両短辺側に位置して、各機能液滴吐出ヘッド４０に機能液を供給する左右一対の配管接続アッセンブリ３８と、ヘッド取付フレーム３７上に配設され、吐出制御のために機能液滴吐出ヘッド４０に接続する配線接続アッセンブリ３９と、を備えている。
【００２７】
１２個の機能液滴吐出ヘッド４０は、ヘッドユニット３０に対し、６個ずつ左右に二分して組み付けられている。各組６個の機能液滴吐出ヘッド４０は、それぞれＲ色、Ｇ色およびＢ色の３種類の機能液滴（インク液滴）を吐出する、３種類の機能液滴吐出ヘッド４０を２個ずつ組み合わせて、且つ相互に階段状に位置ずれして配設されている。すなわち、各組６個の機能液滴吐出ヘッド４０は、配色および配置において同一の配列パターンで配設されている。なお、各組内の同色の２つの機能液滴吐出ヘッド４０は、そのノズル列４６ｂがＹ軸方向に連続して１の部分描画ラインを構成している。さらに、１のヘッドユニット３０内の２群間および隣接するヘッドユニット３０間の２群間では、それぞれ各色の部分描画ラインは２部分描画ライン分、離れて配設されている。
【００２８】
図７に示すように、機能液滴吐出ヘッド４０は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針４４を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１に連なる２連のヘッド基板４２と、ヘッド基板４２の下方に連なり機能液を吐出するヘッド本体４３と、を備えている（図７（ａ））。
【００２９】
機能液導入部４１は、一対の接続針４４を有しており、上記の配管接続アッセンブリ３８から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体４３は、ピエゾ素子等で構成される２連のポンプ部４５と、複数の吐出ノズル４７が形成されたノズル面４６ａを有するノズルプレート４６と、を有している。ノズルプレート４６のノズル面４６ａに形成された多数の吐出ノズル４７は、相互に平行且つ半ノズルピッチ位置ズレして列設された２列のノズル列４６ｂを構成しており、各ノズル列４６ｂは、等ピッチで並べた１８０個の吐出ノズル４７で構成されている（図７（ｂ）参照）。ヘッド基板４２には、２連のコネクタ４８が設けられており、各コネクタ４８は、上記の各配線接続アッセンブリ３９から延びるフレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介して上記の制御装置に接続されている。そして、この制御装置から出力された駆動波形が各コネクタ４８を介して各ポンプ部４５（圧電素子）に印加されることで、各吐出ノズル４７から機能液が吐出される。なお、請求項に言う描画手段とは、Ｘ軸テーブル２、Ｙ軸テーブル３、キャリッジユニット４（機能液滴吐出ヘッド４０およびヘッドユニット３０）および制御装置から構成されている。
【００３０】
図４および図５に示すように、一対の配管接続アッセンブリ３８は、キャリッジプレート３５の両短辺側に位置しており、各プレート支持部材３６に内側に向けて水平に取り付けた２枚の固定プレート５１と、各固定プレート５１上に立設した３つのバルブ取付プレート５２と、計６つのバルブ取付プレート５２に取り付けた６個の圧力調整弁５３と、６個の圧力調整弁５３と６個の機能液滴吐出ヘッド４０を接続する６本の減圧供給チューブ５４と、で構成されている。
【００３１】
各圧力調整弁５３は、大気圧基準で作動するダイヤフラム形式の減圧弁であり、その上流側（一次側）には、上記のサブタンク３４に連なる上流コネクタ５３ａが設けられ、下流側（二次側）には、上記の減圧供給チューブ５４が接続された下流コネクタ５３ｂが設けられている。各組６個の圧力調整弁５３は、キャリッジプレート３５の長辺に平行な姿勢で且つ短辺方向に並べて配設されており、各圧力調整弁５３の上流コネクタ５３ａは斜め上向きに、下流コネクタ５３ｂは下向きにそれぞれ配設されている。この場合、各圧力調整弁５３は、高さ方向において、キャリッジプレート３５とヘッド取付フレーム３７との間隙に収まるように配設されており、後述する個別供給チューブ５５は、プレート支持部材３６の外側から上流コネクタ５３ａに接続され、下流コネクタ５３ｂに接続した上記の減圧供給チューブ５４は、「Ｕ」字状に湾曲して延び機能液滴吐出ヘッド４０に上側から接続されている（いずれも、図４参照）。
【００３２】
ここで、図８を参照して、サブタンク３４（サブタンクユニット３３）から機能液滴吐出ヘッド４０に至る配管接続アッセンブリ３８廻りの機能液供給流路について、簡単に説明する。各色のサブタンク３４には、３つの２分岐継手５６を介して同色４本の個別供給チューブ５５が接続されている。また、この同色４本の個別供給チューブ５５は、片側２個ずつの圧力調整弁５３の上流コネクタ５３ａに接続されている。さらに、各圧力調整弁５３の下流コネクタ５３ｂに接続された減圧供給チューブ５４は、下流側で２分岐継手５６を介して機能液滴吐出ヘッド４０の２連の接続針４４に接続されている。なお、本実施形態では、サブタンク３４から各機能液滴吐出ヘッド４０に至る各機能液供給流路において、複数の２分岐継手５６を用いると共に、個別供給チューブ５５および減圧供給チューブ５４のチューブ長およびチューブ径を同一とし、圧力損失にばらつきが生じないようにしている。
【００３３】
図４および図９に示すように、キャリッジプレート３５は、ステンレス等の厚板で構成され、機能液滴吐出ヘッド４０を搭載するヘッド搭載部８１と、ヘッド搭載部８１の両側に位置する一対のサイド延設部８２と、で一体に形成されている。ヘッド搭載部８１には、１２個の機能液滴吐出ヘッド４０を取り付けるための１２個の装着開口８８が形成され、また、その裏面には、ヘッドアライメント用の一対の基準ピン８７が突設されている（図５（ｂ）参照）。なお、機能液滴吐出ヘッド４０は、そのヘッド本体４３を、キャリッジプレート３５に形成した装着開口８８から下方に突出させ、下側からあてがったヘッド保持部材８９を介してキャリッジプレート３５に位置決め状態で固定されている（図５（ｂ）および（ｃ）参照）。
【００３４】
一方、一対のサイド延設部８２には、その直上に配設された配管接続アッセンブリ３８（圧力調整弁５３）から液漏れした場合に機能液を受けるための、一対の受液部８３が、窪入形成されている。各受液部８３は、それぞれ、キャリッジプレート３５の両短辺部分に取り付けた左右の各プレート支持部材３６とヘッド搭載部８１との間に位置し、キャリッジプレート３５の短辺に平行な平面視矩形の一体の溝として窪入形成されている。すなわち、各受液部８３は、上記の６組の下流コネクタ５３ｂと減圧供給チューブ５４との接続部分および減圧供給チューブ５４と２分岐継手５６との接続部分（減圧供給チューブ５４の接続部分）から液漏れが発生した場合にこれを受けられるように、減圧供給チューブ５４の接続部分の直下に位置している。また、各受液部８３は、キャリッジプレート３５厚の略半分の深さに窪入形成されている。
【００３５】
そして、上記の「Ｕ」字状に湾曲した減圧供給チューブ５４は、その湾曲した部分を、受液部８３の窪み内のセンターに臨むように引き回されて、２分岐継手５６に接続されている。例えば、圧力調整弁５３の下流コネクタ５３ｂの部分（減圧供給チューブ５４との接続部分）に液漏れが発生すると、漏れた機能液は減圧供給チューブ５４を伝わって流下し、受液部８３に受けられる。同様に、減圧供給チューブ５４と２分岐継手５６との接続部分から漏れた機能液も、減圧供給チューブ５４を伝わって流下し、受液部８３に受けられる。
【００３６】
ところで、減圧供給チューブ５４（個別供給チューブ５５も同じ）は、分子レベルで気体非透過性を有する材料で形成されているため、剛性が高く、いったん屈曲させてしまうと白化して使用できなくなってしまう。一方、上述のように、圧力調整弁５３との位置関係から、減圧供給チューブ５４は狭いスペースの中で「Ｕ」字状に湾曲して配管する必要がある。このため、減圧供給チューブ５４が他の部品と干渉しない構造とすること、および減圧供給チューブ５４の圧力調整弁５３への接続における作業スペースを十分確保することが、求められる。この点において本実施形態の受液部８３では、受液部８３がキャリッジプレート３５に窪入形成されているため、減圧供給チューブ５４の接続部分から液漏れした機能液を受けられると共に、受液部８３の窪み部分を減圧供給チューブ５４の引き回すための空間として使用することができる。これにより、減圧供給チューブ５４の取付作業を行い易く、取付作業時の減圧供給チューブ５４の折れ曲がりを有効に防止することができる。
【００３７】
次に、図１０を参照して、受液部８３の第２実施形態について説明する。この実施形態の受液部８３は、各減圧供給チューブ５４の数に対応し、各減圧供給チューブ５４を取り付ける際のガイドとなるように複数（片側６個）の溝部８４で、構成されている。各溝部８４は、減圧供給チューブ５４の「Ｕ」字状に湾曲した引き回し部分に対応しており、減圧供給チューブ５４の径より僅かに大きい溝幅と、「Ｕ」字状の湾曲形状に倣った溝底形状を有している。各減圧供給チューブ５４は、溝部８４に遊嵌するように「Ｕ」字状に引き回して配管される。これにより、減圧供給チューブ５４の接続部分から液漏れした機能液を受けられると共に、減圧供給チューブ５４のふらつきを防止することができる。
【００３８】
さらに、図１１に示すように、第３実施形態の受液部８３は、減圧供給チューブ５４の接続部分から液漏れした機能液のオーバーフローを抑制するために、上記の複数の溝部８４と、この複数の溝部８４を相互に連通させる連通溝部８５と、で構成されている。すなわち、第３実施形態の受液部８３は、外側半部の複数の溝部８４と内側半部の連通溝部８５と、で一体に形成されている。これにより、減圧供給チューブ５４のふらつきを防止することができると共に、液漏れした機能液のオーバーフローを抑制することができる。
【００３９】
またさらに、図１２に示すように、第４実施形態に係る受液部８３は、上記実施形態と同様の複数の溝部８４および連通溝部８５と、各溝部８４から立ち上がるように設けたチューブ添設部材８６と、で構成されている。各チューブ添設部材８６は、「Ｕ」字状に湾曲し引き回された減圧供給チューブ５４の下流コネクタ５３ｂ側の部位が添うような湾曲形状に形成されている。また、各チューブ添設部材８６は、キャリッジプレート３５に対し別部材で構成され、接着等により各溝部８４に固着されている。これにより、減圧供給チューブ５４の接続部分から液漏れした機能液を、チューブ添設部材８６を伝って各溝部８４に導くことができると共に、減圧供給チューブ５４の折れ曲がりを有効に防止することができる。
【００４０】
以上の構成によれば、ヘッドユニット３０におけるキャリッジプレート３５のサイド延設部８２に、減圧供給チューブ５４の接続部分から液漏れした機能液を受けるための受液部８３が窪入形成されているため、液漏れした機能液を適切に受けることができる。これにより、滴下した機能液による構成部品やの腐食、ワークの損傷および減圧供給チューブ５４の無理な取り回しによる折れ曲がりを防止することができる。また、受液部８３が窪入形成されている分、ヘッドユニット３０の軽量化を図ることができる。
【００４１】
次に、本実施形態に係る吐出検査装置について説明する。この吐出検査装置は、１２個の機能液滴吐出ヘッド４０を組み込んだ単一のヘッドユニット３０の吐出性能を検査するものである。
【００４２】
図１３に示すように、吐出検査装置９０は、機台９１と、機台９１上の全域に広く載置され、ヘッドユニット３０を搭載した描画検査装置９２と、ヘッド吸引装置９４およびヘッドワイピング装置９５を有するヘッドメンテナンス装置９３と、装置全体を統括制御する制御コンピュータ（図示省略）と、を備えている。また、吐出検査装置９０は、内部を温度管理されたクリーンブースを構成するチャンバ装置（図示省略）内に収容されている。描画検査装置９２は、ヘッドユニット３０に搭載した複数の機能液滴吐出ヘッド４０から検査シートＳ上に機能液滴を吐出させ、吐出した機能液滴の着弾位置を検査する。
【００４３】
描画検査装置９２は、機台９１上に載置されると共に主走査方向の移動軸を構成するＹ軸移動テーブル９６と、Ｙ軸移動テーブル９６を跨いで配設され、副走査方向の移動軸を構成するＸ軸移動テーブル９７と、Ｘ軸移動テーブル９７に設けたメインキャリッジ９８と、を備えている。メインキャリッジ９８には、ヘッドユニット３０が着脱自在に垂設されると共に、ヘッドユニット３０に機能液を供給する機能液供給装置９９が搭載されている。また、Ｘ軸移動テーブル９７には、メインキャリッジ９８とは別にカメラ装置１０１が設けられている。一方、Ｙ軸移動テーブル９６には、アライメントマスク１０３を保持したアライメントテーブル１０２と、吐出される機能液滴の着弾対象となる検査シートＳを吸着保持するシート吸着テーブル１０４と、が設けられている。
【００４４】
この描画検査装置９２では、カメラ装置１０１により、アライメントマスク１０３の着弾位置基準となるマークを画像認識すると共に、ヘッドユニット３０の複数の機能液滴吐出ヘッド４０から検査吐出した着弾ドットを画像認識し、両認識結果を比較することで、各機能液滴吐出ヘッド４０（吐出ノズル４７）の吐出性能を検査するようになっている。
【００４５】
本実施形態の吐出検査装置９０に搭載されたヘッドユニット３０は、上記の液滴吐出装置１に搭載したヘッドユニット３０と同一構造のものである。したがって、上記した圧力調整弁５３、減圧供給チューブ５４および受液部８３等の構造も全く同一であり、この部分の説明は省略する。
【００４６】
このようにキャリッジプレート３５に一対の受液部８３を形成したヘッドユニット３０を吐出検査装置９０に搭載して、その吐出性能の検査を行う場合にも、液漏れした機能液を適切に受けることができる。したがって、滴下した機能液による構成部品やの腐食や減圧供給チューブ５４の無理な取り回しによる折れ曲がりを有効に防止することができると共に、ヘッドユニット３０の軽量化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】液滴吐出装置の平面図である。
【図３】液滴吐出装置の側面図である。
【図４】ヘッドユニットの外観斜視図である。
【図５】ヘッドユニットの平面図および側面図である。
【図６】機能液滴吐出ヘッドの配色パターンの説明図である。
【図７】ヘッドユニットに搭載した機能液滴吐出ヘッドの表裏外観斜視図である。
【図８】サブタンクから機能液滴吐出ヘッドへの機能液の供給系統図である。
【図９】第１実施形態に係るキャリッジプレートの外観斜視図である。
【図１０】第２実施形態に係るキャリッジプレートの外観斜視図およびキャリッジプレートのサイド延設部の拡大斜視図である。
【図１１】第３実施形態に係るキャリッジプレートの外観斜視図およびキャリッジプレートのサイド延設部の拡大斜視図である。
【図１２】第４実施形態に係るキャリッジプレートの外観斜視図およびキャリッジプレートのサイド延設部の拡大斜視図である。
【図１３】実施形態に係る吐出検査装置の概略平面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１：液滴吐出装置、１０：基板、３０：ヘッドユニット、３５：キャリッジプレート、４０：機能液滴吐出ヘッド、５３：圧力調整弁、５４：減圧供給チューブ、８３：受液部、８４：溝部、８５：連通溝部、８６：チューブ添設部材、９０：吐出検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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