(57)【要約】【課題】ラック本体の棚部材の上面に傷をつけることなく電子機器の筐体をラック本体に対して挿抜できるようにする。【解決手段】電子機器の筐体１を収容可能な箱型のラック本体６Ａの棚部材６Ｂに、ラック本体６Ａの前後方向へ延びるガイド溝７ａ，７ｂが形成されている。ガイド溝７ａ，７ｂにはラック本体６Ａ内に収容される筐体１の側面及び底面に形成された複数の回転体８ａ，８ｂが係合する。回転体８ａ，８ｂがガイド溝７ａ，７ｂ上を転がって凹部７ｃ，７ｄに落ち込んだとき、筐体側コネクタ５とラック側コネクタとが嵌合する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子機器を収容するとともに、複数のガイド用回転体を有する筐体と、
前記回転体を案内して位置決めする凹部が形成されたガイド溝を有する棚部材と、
前記ガイド溝によって前記筐体が収納されるように前記棚部材を設けたラック本体と
を備えていることを特徴とするラック装置。
【請求項２】
前記ガイド溝は前記回転体を前記凹部に円滑に案内するための傾斜面を有していることを特徴とする請求項１記載のラック装置。
【請求項３】
前記棚部材は、前記筐体が載置された棚本体と、この棚本体に結合され、前記ガイド溝を有する板体とで構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のラック装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はラック装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体露光装置のウエハステージ及びレチクルステージには複数のモータが使用され、各モータを駆動するために複数のアンプが使用される。アンプの筐体は複数の収納室を有するラック（ラック本体）に収納される（下記公報参照）。
【０００３】
アンプの筐体はラックの正面側から収納室に収納される。
【０００４】
ラック内部にはアンプの筐体を載置する棚が配置され、棚はラックの正面側から背面側へ水平に延びている。ラックの背面側内壁には、アンプの筐体の背面に設けられた筐体側コネクタと嵌合可能なラック側コネクタが取り付けられている。
【０００５】
ラック内部の棚にはガイドレールが形成され、アンプの筐体はガイドレールに沿って挿入される。
【特許文献１】特開２００７−３２４４０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
筐体をラックの棚に収納するとき、ラックの棚の上面に筐体を滑らせて収納室内に挿入する。このとき、ラックの棚の上面にごみが付着していると、筐体にごみが引きずられ、棚の上面に傷がついてしまう。棚の上面の損傷を防止するためには筐体にごみが引きずられないようにすることが必要である。また、棚の上面は板金加工によって成形されるため、凹凸部を有する。したがって、棚の上面と筐体の底面との間にごみがなくとも、筐体を滑らせたときにそのエッジ部によって棚の上面に傷が付いてしまう。
【０００７】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題はラック本体の棚部材の上面に傷をつけることなく電子機器の筐体をラック本体に対して挿抜できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前述の課題を解決するため請求項１記載の発明は、電子機器を収容するとともに、複数のガイド用回転体を有する筐体と、前記回転体を案内して位置決めする凹部が形成されたガイド溝を有する棚部材と、前記ガイド溝によって前記筐体が収納されるように前記棚部材を設けたラック本体とを備えていることを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のラック装置において、前記ガイド溝は前記回転体を前記凹部に円滑に案内するための傾斜面を有していることを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載のラック装置において、前記棚部材は、前記筐体が載置された棚本体と、この棚本体に結合され、前記ガイド溝を有する板体とで構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、ラック本体の棚部材の上面に傷をつけることなく電子機器の筐体をラック本体に対して挿抜できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１３】
図１はこの発明の一実施形態に係るラック装置のラックと筐体との関係を説明する斜視図、図２は筐体と棚部材との関係を説明する斜視図、図３は一部が破断された筐体のメインフレームの平面を示す概念図、図４はメインフレームの縦断面を示す概念図である。
【００１４】
このラック装置６はラック本体６Ａとラック本体６Ａに支持された棚部材６Ｂを備えている。
【００１５】
筐体１はメインフレーム２とフロントパネル３とメインカバー４とから構成されている。メインフレーム２の底面及び側面には回転体８ａ，８ｂがそれぞれ設けられている。回転体８ａは球体（ベアリングボール等）であり、メインフレーム２の底面に設けられた半球状の球体保持金具９ａ（球面軸受等）に回転可能に保持されている。回転体８ｂは例えばころがり軸受であり、その内輪にメインフレーム２の側面に設けられた回転体保持具９ｂが嵌合している。
【００１６】
メインフレーム２に連結されたフロントパネル３には筐体１をラック６に挿入（又はラック６から引き出す）ための一対のハンドル３Ａが設けられている。
【００１７】
メインフレーム２の背面１Ｂには筐体１内に配置される電子機器（図示せず）に接続された筐体側コネクタ５が設けられている。
【００１８】
メインフレーム２の底面にはメインフレーム２を固定するためのねじ１１を通す長孔２ａを形成した一対の板部２Ｂがフロントパネル３から突出するように形成されている。板部２Ｂはフロントパネル３に対してほぼ直角をなす。
【００１９】
ラック６は箱型である。ラック６は直方体状の電子機器の筐体１を収容可能な収納室６Ｃを有する。収納室６Ｃの開口部はラック６の正面側に位置し、外部に臨む。
【００２０】
収納室６Ｃの背面側内壁６Ｄにはラック側コネクタ６ｂが設けられている（図４参照）。このラック側コネクタ６ｂは図示しないホストコンピュータ、リニアモータ、外部電源等に接続されている。
【００２１】
棚部材６Ｂは筐体１が載置される棚本体６Ｂ−１と、ラック本体６Ａの前後方向へ延びるガイド溝７ａ，７ｂが形成されたガイド部材（板体）７とで構成される。棚部材６Ｂは板金成形品である。ガイド溝７ａ，７ｂは複数の回転体８ａ，８ｂと係合可能である。ガイド溝７ａを回転体８ａが転がる。ガイド溝７ａには回転体８ａが落ち込む凹部７ｃが形成されている。ガイド溝７ａは傾斜面７ｅを介して凹部７ｃに連なる。ガイド溝７ｂを回転体８ｂが転がる。ガイド溝７ｂには回転体８ｂが落ち込む凹部７ｄが形成されている。ガイド溝７ｂは傾斜面７ｆを介して凹部７ｄに連なる。棚部材６Ｂはラック６に形成されたフランジ部６ａに載置されている。なお、この実施形態ではガイド溝７ａをガイド溝７ｂより長くしたが、ガイド溝７ｂをガイド溝７ａより長くしてもよい。また、回転体８ａを筐体１の正面側に設け、回転体８ｂを背面側に設けてもよい。
【００２２】
筐体１はフロントパネル３に設けられたハンドル３Ａを使用して収納室６Ｃに挿入される。筐体１内に配置されるアンプ装置（図示せず）は筐体側コネクタ５、ラック側コネクタ６ｂを介してホストコンピュータ、リニアモータ等に接続される。
【００２３】
図５（ａ），（ｂ）は筐体１のラック６への挿入を説明する図、図５（ｃ）は筐体１のラック６からの引き出しを説明する図である。
【００２４】
筐体１を収納室６Ｃに収納するときには、回転体８ａ，８ｂをガイド溝７ａ，７ｂに係合させ、ハンドル３Ａ（図１参照）を使用して筐体１を収納室６Ｃに挿入する。回転体８ａ，８ｂがガイド溝７ａ，７ｂ上をそれぞれ転がる（図５（ａ）参照）。
【００２５】
筐体１が所定量挿入されると、回転体８ａ，８ｂが傾斜面７ｅ，７ｆを経て凹部７ｃ，７ｄにそれぞれ落ち込む（図５（ｂ）参照）。回転体８ａ，８ｂは傾斜面７ｅ，７ｆによって凹部７ｃ，７ｄに円滑に案内される。同時に、筐体側コネクタ５とラック側コネクタ６ｂとが嵌合し、両者が電気的に接続される。
【００２６】
長孔２ａ（図２参照）を介してねじ１１（図２参照）をメインフレーム２のタップ孔２ｄ（図２参照）にねじ込んで筐体１を棚部材６Ｂに固定する。その結果、メインフレーム２の底面と棚部材６Ｂの上面とが接触する。
【００２７】
一方、筐体１をラック６から引き出すには、ねじ１１を外し、ハンドル３Ａを使用して筐体１を引っぱる。筐体１を引っぱると、回転体８ａ，８ｂが傾斜面７ｅ，７ｆ、ガイド溝７ａ，７ｂ上を転がり（図５（ｃ）参照）、筐体１がラック６の収納室６Ｃから外部に引き出される。
【００２８】
この実施形態によれば、筐体１のラック６内への挿入時（又は引き出し時）、メインフレーム２の底面と棚部材６Ｂの上面とが接触しないので、棚部材６Ｂの上面に傷をつけることなく筐体１をラック６に容易に挿入できる（又は引き出せる）。また、ガイド溝７ａ，７ｂに傾斜面７ｅ，７ｆが形成されているので、筐体１をラック６から容易に引き出すことができる。更に、ガイド部材７は棚本体６Ｂ−１と別体であるので種々の筐体に対応することができる。また、回転体８ａ，８ｂとして市販のころがり軸受等を使用できるので、製造コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１はこの発明の一実施形態に係るラック装置のラックと筐体との関係を説明する斜視図である。
【図２】図２は筐体と棚部材との関係を説明する斜視図である。
【図３】図３は一部が破断された筐体のメインフレームの平面を示す概念図である。
【図４】図４はメインフレームの縦断面を示す概念図である。
【図５】図５（ａ），（ｂ）は筐体１のラック６への挿入を説明する図、図５（ｃ）は筐体のラックからの引き出しを説明する図である。
【符号の説明】
【００３０】
１：筐体、６：ラック、６Ａ：ラック本体、６Ｂ：棚部材、６Ｂ−１：棚本体、７：ガイド部材（板体）、７ａ，７ｂ：ガイド溝、７ｃ，７ｄ：凹部、７ｅ，７ｆ：傾斜面、８ａ，８ｂ：回転体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2009302111.tif 000006
【図５】
2009302111.tif 000007