(57)【要約】【課題】製造が容易であり、駆動性能の良好な振動アクチュエータ、これを備えるレンズ鏡筒及びカメラを提供する。【解決手段】振動アクチュエータ（１０）は、振動を発生する振動子（１３）と、振動子（１３）と加圧接触されて振動によって振動子（１３）に対して相対移動する相対移動部材（１５）と、振動子（１３）の相対移動部材（１５）に対する接触面と相対移動部材（１５）の振動子（１３）に対する接触面との少なくとも一方に設けられ、カーボン繊維が添加された熱硬化性樹脂により形成された熱硬化性樹脂膜（１８）を備えることを特徴とするものとした。【選択図】図３
2009232622.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動を発生する振動子と、
前記振動子と加圧接触され、前記振動によって前記振動子に対して相対移動する相対移動部材と、
前記振動子の前記相対移動部材に対する接触面と前記相対移動部材の前記振動子に対する接触面との少なくとも一方に設けられ、カーボン繊維を添加した熱硬化性樹脂により形成された熱硬化性樹脂膜と、
を備える振動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記熱硬化性樹脂膜は、弾性粒子を含有すること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記弾性粒子は、ゴム系の材料により形成されていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記熱硬化性樹脂膜は、熱伝導性粒子を含有すること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記熱硬化性樹脂膜は、フッ素樹脂を含有すること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記カーボン繊維の体積Ｖｃと前記熱硬化性樹脂の体積Ｖｔとは、
５／１００≦Ｖｃ／Ｖｔ≦４０／１００
を満たすこと、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項７】
請求項２から請求項６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
前記弾性粒子の体積Ｖｒと前記熱硬化性樹脂の体積Ｖｔとは、
５／１００≦Ｖｒ／Ｖｔ≦３０／１００
を満たすこと、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒。
【請求項９】
請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えるカメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動アクチュエータ、これを備えるレンズ鏡筒及びカメラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気機械変換素子と弾性体とが接合された振動子を有し、電気機械変換素子の伸縮を利用して弾性体に進行性振動波（以下、進行波という）を発生させ、この進行波によって、振動子（弾性体）に加圧接触した相対移動部材を摩擦駆動する振動アクチュエータが知られている。この種の振動アクチュエータでは、弾性体は、与えられた振動を効率よく相対移動部材へ伝えるために、高弾性材料、例えば、ステンレス系の金属材料等が用いられる。
【０００３】
このような振動アクチュエータでは、振動子と相対移動部材との摩擦接触面が振動アクチュエータの駆動の安定性や効率等に与える影響が大きい。そのため、摩擦接触面には、耐久性等を向上させるための様々な試みがなされている。
例えば、特許文献１には、ロータ部の駆動体とステータ部との従動面（すなわち、摩擦接触面）にライニング材を配置する手法が開示されている。
【特許文献１】特開平１−２５５４８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、振動子と相対移動部材との摩擦接触面の一方にプラスチック等の樹脂の成形加工品等を用いた場合には、駆動時の異音の低減や耐磨耗性等が改善される。
しかし、プラスチックは、弾性率や摩擦係数が低いため、保持トルクや高負荷時の駆動性能が低下する場合がある。また、プラスチックの種類によっては、吸水率が高いために高温高湿環境下で変質して固着し、駆動が不可能になる場合がある。
さらに、プラスチックは、金属系に比べて熱伝導率が低いため、駆動により摩擦接触面に発生した熱が摩擦接触面内にこもりやすい。この熱による摩擦接触面の温度上昇が大きいと、振動アクチュエータの駆動効率が低下する一因となることが知られている。また、このような摩擦接触面内にこもった熱により、プラスチックが劣化して超音波モータの耐久性が低下する場合がある等の問題も知られている。
【０００５】
特許文献１に開示された手法では、ロータ部とステータ部と従動面に配置されるライニング材は、カーボンファイバー等を含有している。このようなライニング材は、成形加工品であり、摩擦接触面に使用するためには切削加工等を加えて寸法制度を向上させる必要がある。しかし、このようなライニング材を切削加工する場合には、カーボンファイバー等によって切削工具の刃に著しい損傷が生じるため、所望の寸法精度が得難く、製造が困難である。また、ライニング材をロータ部に接着する工程も必要となるため、生産コストも高くなる。
【０００６】
本発明の課題は、製造が容易であり、駆動性能の良好な振動アクチュエータ、これを備えるレンズ鏡筒及びカメラを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。
請求項１の発明は、振動を発生する振動子（１３，２３）と、前記振動子と加圧接触され、前記振動によって前記振動子に対して相対移動する相対移動部材（１５，２５）と、前記振動子の前記相対移動部材に対する接触面と前記相対移動部材の前記振動子に対する接触面との少なくとも一方に設けられ、カーボン繊維を添加した熱硬化性樹脂により形成された熱硬化性樹脂膜（１８，３１）と、を備える振動アクチュエータ（１０，２０）である。
請求項２の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータにおいて、前記熱硬化性樹脂膜（１８，３１）は、弾性粒子を含有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０）である。
請求項３の発明は、請求項２に記載の振動アクチュエータにおいて、前記弾性粒子は、ゴム系の材料により形成されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０）である。
請求項４の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記熱硬化性樹脂膜（１８，３１）は、熱伝導性粒子を含有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０）である。
請求項５の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記熱硬化性樹脂膜（１８，３１）は、フッ素樹脂を含有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０）である。
請求項６の発明は、請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記カーボン繊維の体積Ｖｃと前記熱硬化性樹脂の体積Ｖｔとは、５／１００≦Ｖｃ／Ｖｔ≦４０／１００を満たすこと、を特徴とする振動アクチュエータ（１０）である。
請求項７の発明は、請求項２から請求項６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記弾性粒子の体積Ｖｒと前記熱硬化性樹脂の体積Ｖｔとは、５／１００≦Ｖｒ／Ｖｔ≦３０／１００を満たすこと、を特徴とする振動アクチュエータ（１０，２０）である。
請求項８の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，２０）を備えるレンズ鏡筒（３）である。
請求項９の発明は、請求項１から請求項７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（１０，２０）を備えるカメラ（１）である。
なお、本発明をわかりやすく説明するために、実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、後述の実施形態の構成を適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替させてもよい。さらに、その配置について特に限定のない構成要件は、実施形態で開示した配置に限らず、その機能を達成できる位置に配置することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、製造が容易であり、駆動性能の良好な振動アクチュエータ、これを備えるレンズ鏡筒及びカメラを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を、添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本実施形態では、振動アクチュエータとして超音波の振動域を利用する超音波モータを一例に挙げて説明する。
【００１０】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態のカメラ１を示す図である。
本実施形態のカメラ１は、撮像素子６を有するカメラボディ２と、レンズ鏡筒３とを備える。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態のカメラ１は、レンズ鏡筒３が交換レンズである例を示すが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。
【００１１】
レンズ鏡筒３は、レンズ４、カム筒５、超音波モータ１０等を備える。本実施形態では、超音波モータ１０は、略円環形状であり、その円環中心軸方向が光軸方向（図１中の矢印Ａ方向）と略一致するようにレンズ鏡筒３内に配置されている。この超音波モータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ４を駆動する駆動源として用いられている。超音波モータ１０から得られた駆動力は、カム筒５に伝えられる。レンズ４のレンズ枠４ａは、カム筒５とカム係合しており、超音波モータ１０の駆動力によってカム筒５が光軸回りに回転すると、レンズ４は、光軸方向へ移動して焦点調節が行なわれる。
図１において、レンズ鏡筒３内に設けられた不図示のレンズ群（レンズ４を含む）によって、撮像素子６の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子６によって、結像された被写体像が電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。
【００１２】
図２は、第１実施形態の超音波モータ１０を示す図である。
本実施形態の超音波モータ１０は、圧電体１１及び弾性体１２を備える振動子１３と、移動体１５と、フレキシブルプリント基板１４と、振動吸収材１６と、支持体１７等とを備えている。
圧電体１１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有する。本実施形態では、圧電体１１として圧電素子を用いているが、電歪素子を用いてもよい。この圧電体１１は、フェルト等の振動吸収材１６を介して、レンズ鏡筒３に設けられた支持体１７に固定されている。
圧電体１１は、不図示の電極部が形成されている。圧電体１１は、この電極部と電気的に接続されたフレキシブルプリント基板１４から供給される駆動信号により伸縮し、弾性体１２を励振する。
【００１３】
弾性体１２は、圧電体１１の励振により進行波を発生する部材である。弾性体１２は、高弾性率を有するステンレス鋼、インバー鋼等の鉄合金により形成される。本実施形態の弾性体１２は、ＳＵＳ３０３により形成されている。
弾性体１２は、略円環形状の部材であり、一方の面には導電性を有する接着剤等により圧電体１１が接着され、他方の面には複数の溝１２ｂを切って形成された櫛歯部１２ａが設けられている。
櫛歯部１２ａの先端面は、後述する移動体１５と加圧接触する接触面であり、この面に発生する進行波によって移動体１５が回転駆動される。この櫛歯部１２ａの先端面には、熱硬化性樹脂により形成された樹脂膜１８（図３参照）が形成されている。この樹脂膜１８の詳細については後述する。
【００１４】
移動体１５は、アルミニウム等の軽金属によって形成された略円環形状の部材である。本実施形態の移動体１５は、アルミニウム合金により形成されている。移動体１５は、振動子１３（弾性体１２）に加圧接触され、進行波により摩擦駆動される。この移動体１５の振動子１３に対する接触面には、アルマイト皮膜層１９（図３参照）が形成されている。
フレキシブルプリント基板１４は、圧電体１１の所定の電極部と電気的に接続されており、圧電体１１に駆動信号を供給する部材である。
また、フレキシブルプリント基板１４には、カメラ１の制御を行う制御装置１０８が接続されている。制御装置１０８には、温度センサ１０９が接続されており、温度センサ１０９の検知結果に応じて、超音波モータ１０の回転数が一定となるように、圧電体１１に供給する駆動信号の周波数を調整している。
【００１５】
図３は、第１実施形態の超音波モータ１０の弾性体１２と移動体１５との接触部分を拡大した図である。なお、図３では、超音波モータ１０の周方向の断面の一部を拡大して示している。
弾性体１２の移動体１５との接触面（櫛歯部１２ａの先端面）には、樹脂膜１８が設けられている。移動体１５の弾性体１２との接触面には、アルマイト皮膜層１９が設けられている。従って、振動子１３と移動体１５とが摩擦接触する面は、樹脂膜１８とアルマイト皮膜層１９とが接触する形態となっている。
【００１６】
本実施形態の樹脂膜１８は、カーボン短繊維、シリコンビーズ、アルミナ粒子、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥという）等が添加されたエポキシ樹脂を塗布することにより形成されている。このエポキシ樹脂は、硬化剤としてフェノール樹脂が配合されている。
本実施形態の樹脂膜１８には、エポキシ樹脂の体積（１００％）に対して、ＰＴＦＥが３０体積％、シリコンビーズが１５体積％、カーボン短繊維が２５体積％、アルミナ粒子が５体積％配合されている。また、樹脂膜１８は、その表面粗さＲｚ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１−２００１）が、０．５μｍであり、その膜厚が、３０μｍである。
なお、以下の明細書中では、特に断りが無い場合、カーボン短繊維等の量を、主剤となるエポキシ樹脂の体積を基準とし、エポキシ樹脂の体積に対する体積比で示す。例えば、カーボン短繊維の添加量を２５体積％と記載する場合、エポキシ樹脂の体積の２５％であることを意味する。
【００１７】
フェノール樹脂を硬化剤として配合したエポキシ樹脂は、他の樹脂を硬化剤として配合した場合に比べて、硬さ、密着性や剥離強度、耐摩耗性、耐熱性、耐薬品性、疎水性や耐久性等の点において優れている。そのため、フェノール樹脂を硬化剤として配合したエポキシ樹脂により樹脂膜１８を形成することにより、以下のような効果が期待できる。
（１）樹脂膜１８は、他のエポキシ樹脂を用いた樹脂膜に比べて硬いので、移動体１５（アルマイト皮膜層１９）との接触面の耐摩耗性を向上できる。
（２）樹脂膜１８の剥離強度や振動子１３（弾性体１２）に対する密着性が向上し、樹脂膜１８の耐久性が向上する。
（３）樹脂膜１８の耐熱性が向上し、超音波モータ１０の駆動時に発生する摩擦熱によって、樹脂膜１８が変質することを防止できる。
（４）樹脂膜１８の耐薬品性が向上し、アルマイト皮膜層１９に含まれる微量の硫酸によって樹脂膜１８が化学的に変質することを防止できる。
【００１８】
本実施形態の樹脂膜１８が含有するカーボン短繊維は、黒鉛短繊維である。この黒鉛短繊維の径は、５〜１５μｍであり、その長さは、２０〜５０μｍである。なお、本実施形態の樹脂膜１８の膜厚が３０μｍであるため、この長さのカーボン短繊維を用いたが、膜厚の厚さに合わせてカーボン短繊維の長さを適宜選択して用いてよい。
カーボン短繊維は、高い熱伝導性を有している。そのため、樹脂膜１８がカーボン短繊維を含有することによって、摩擦駆動によって樹脂膜１８の移動体１５（アルマイト皮膜層１９）との接触面内に生じた熱を接触面外へ伝導して接触面内に熱がこもることを防止し、駆動効率を向上させる効果を有する。
また、カーボン短繊維は、振動子１３と移動体１５との摩擦係数（すなわち、樹脂膜１８とアルマイト皮膜層１９との摩擦係数）を増大させ、保持トルクや最大負荷トルクを向上させる効果を有する。
さらに、カーボン短繊維は、導電性を有しているので、静電気による埃等の吸着防止の効果も有する。
【００１９】
本実施形態の樹脂膜１８が含有するＰＴＦＥは、粒子状であり、その粒径が４〜８μｍである。このＰＴＦＥは、樹脂膜１８の接触面の摩擦係数を下げ、超音波モータの低速での起動性を向上させる効果を有する。また、ＰＴＦＥは、適量であれば樹脂膜１８とアルマイト皮膜層１９との固着を防止する効果を期待できる。
本実施形態の樹脂膜１８が含有するシリコンビーズは、粒径が０．１〜６μｍである。このシリコンビーズは、超音波モータ１０の駆動時の衝撃を吸収して異音の発生を防止する効果を有する。
本実施形態の樹脂膜１８が含有するアルミナ粒子は、粒径が３〜６μｍである。アルミナ粒子は、保持トルクを向上させる機能を有する。また、アルミナ粒子は、カーボン短繊維と併用することにより、樹脂膜１８の接触面内に生じた熱を接触面外へ伝導する効果を有する。
【００２０】
この樹脂膜１８は、次のような工程を経て形成される。
まず、弾性体１２の移動体１５との接触面（櫛歯部１２ａの先端面）にプライマーを塗布して乾燥させる。このとき、必要に応じてマスキング等を行なってもよい。
フェノール樹脂を硬化性プレポリマーとして配合したエポキシ樹脂に、カーボン短繊維、アルミナ、ＰＴＦＥ、シリコンビーズ等の添加物と、シンナー等の溶媒とを混合した溶液を作る。この溶液を弾性体１２の摩擦接触面に塗布し、１９０℃程度の高温下に６０分間放置して、乾燥硬化させる。硬化後、樹脂膜１８の表面をグリーンカーボランダム等を用いて研磨して平坦にする。
一方、アルマイト皮膜層１９は、アルミニウム合金（Ａ６０６１）によって形成された移動体１５の表面に陽極酸化処理を施すことにより形成される。
樹脂膜１８が形成された弾性体１２に圧電体１１を接合し、振動子１３を形成する。振動子１３の樹脂膜１８と移動体１５のアルマイト皮膜層１９とが接触するように振動子１３と移動体１５とを配置し、各部材を組み立てる。これらの工程を経て、超音波モータ１０が作製される。
【００２１】
ここで、エポキシ樹脂に対するＰＴＦＥ、カーボン短繊維、シリコンビーズ、アルミナ粒子等の添加物の添加量（エポキシ樹脂の体積に対する体積比）が異なる測定例１〜２３の超音波モータと、振動子１３の摩擦接触面にニッケルリン（ＮｉＰ）めっき処理を施した比較例１の超音波モータを用意し、固着や異音の発生の有無や、保持トルク、最大トルク、駆動効率、低温起動性等、超音波モータの駆動性能について調べた。
【００２２】
表１は、測定例１〜２３及び比較例１の超音波モータの保持トルク等の測定結果と総評を示す表である。
【００２３】
【表１】
2009232622.tif 000003
【００２４】
測定例１〜１９，２１〜２３の超音波モータは、ＰＴＦＥ等の各添加物の添加量が異なる点以外は、本実施形態の超音波モータ１０と略同様の形態である。測定例２０の超音波モータは、本実施形態の超音波モータ１０に相当する。
また、比較例１の超音波モータは、振動子１３の移動体１５との接触面に、樹脂膜１８ではなくＮｉＰめっき皮膜層が形成されている点が異なる以外は、本実施形態の超音波モータ１０と略同様の形態である。この比較例１の超音波モータは、従来一般的に使用されている超音波モータの例である。
【００２５】
測定例１〜２３の超音波モータの樹脂膜について説明する。
測定例１の超音波モータの樹脂膜は、ＰＴＦＥが３０体積％添加されたエポキシ樹脂により形成されている。測定例１の超音波モータの樹脂膜には、カーボン短繊維及びシリコンビーズ、アルミナ粒子は添加されていない。
測定例２〜９の超音波モータの樹脂膜は、ＰＴＦＥが３０体積％、シリコンビーズが３０体積％添加されており、アルミナ粒子が添加されていない点は共通だが、カーボン短繊維の添加量が異なっている。
【００２６】
測定例１０〜１６の超音波モータの樹脂膜は、ＰＴＦＥが３０体積％添加され、アルミナ粒子が添加されていない点が共通している。
また、測定例１０の超音波モータの樹脂膜は、カーボン短繊維を添加せず、シリコンビーズを２体積％添加している。
一方、測定例１１〜１６の超音波モータの樹脂膜は、カーボン短繊維が３０体積％添加している点が共通しているが、シリコンビーズの添加量が異なっている。
【００２７】
測定例１７及び１８の超音波モータの樹脂膜は、ＰＴＦＥが６０体積％、シリコンビーズが３０体積％添加されており、アルミナ粒子が添加されていない点が共通しているが、測定例１８の超音波モータの樹脂膜には、さらに、カーボン短繊維が３０体積％添加されている点で異なる。
測定例１９〜２３の超音波モータの樹脂膜は、ＰＴＦＥが３０体積％、シリコンビーズが１５体積％添加されている点が共通している。
また、測定例１９〜２３の超音波モータの樹脂膜では、カーボン短繊維の添加量とアルミナ粒子の添加量との和が３０体積％となっている。測定例１９の超音波モータの樹脂膜は、カーボン短繊維が３０体積％添加され、アルミナ粒子が添加されておらず、測定例２３の超音波モータの樹脂膜は、カーボン短繊維が添加されておらず、アルミナ粒子が３０体積％添加されている。測定例２０〜２２の超音波モータの樹脂膜は、アルミナ粒子及びカーボン短繊維がともに添加されているが、各添加量がそれぞれ異なる。
【００２８】
表１に示す固着の発生とは、温度７０℃、相対湿度９５％の環境下に１００時間保存した場合の振動子の接触面と移動体の接触面との固着の発生の有無を調べた結果である。
移動体と振動子とが固着すると、駆動に大きな電流を必要としたり、超音波モータが駆動しなかったりする等、駆動性能が劣化する。そのため、超音波モータとしては、高温多湿の環境下に長時間置かれた場合でも、固着が発生しないことが好ましい。
【００２９】
保持トルクとは、静止状態から所定の駆動電圧及び回転数で超音波モータを駆動する場合に必要となるトルクである。表１に示す保持トルクの値は、比較例１の超音波モータでの保持トルクを規定値（１．０）とした場合の各測定例の超音波モータの保持トルクの比を示している。
表１に示す保持トルクの値は、駆動効率の向上効果や不使用時の移動体の回転等を防止する観点から大きい方が好ましいが、０．８より大きい値であれば、超音波モータとして使用可能である。
【００３０】
次に、表１に示す駆動効率について説明する。効率η（％）は、超音波モータを所定の負荷トルクＴ（Ｎｍ）及び回転数Ｎ（ｒｐｍ）で駆動したときの消費電力Ｐｉｎ（Ｗ）から、次式で計算される。
η＝（０．１０４７×Ｎ×Ｔ／Ｐｉｎ）×１００
表１に示す駆動効率は、比較例１の超音波モータを所定の負荷トルク及び回転数で駆動したときの効率を規定値（１．０）とし、各測定例の超音波モータの効率を比較例１の超音波モータの効率で割った値を示すものである。すなわち、表１に示す駆動効率の値が大きい方が、所定の負荷トルク及び回転数で駆動する際に必要な消費電力量が小さく、効率が良好であることを意味する。
表１に示す駆動効率の値は、１．０以上であることが好ましいが、０．８より大きい値であれば、超音波モータとして使用可能である。
【００３１】
最大トルクとは、駆動可能な負荷トルクの最大値、すなわち、最大負荷トルクである。表１に示す最大トルクの値は、比較例１の超音波モータの最大負荷トルクを規定値（１．０）とした場合の各超音波モータの最大負荷トルクの比である。
表１に示す最大トルクの値は、１．０以上であることが好ましいが、０．８より大きい値であれば、超音波モータとしては許容範囲内である。
【００３２】
異音の発生とは、超音波モータを所定の駆動条件下で駆動した場合の異音の発生の有無を調べたものである。超音波モータとしては、異音が発生しないものが好ましい。
磨耗量とは、超音波モータを所定の負荷トルク及び回転数（負荷トルク２０Ｎ・ｍｍ、回転数６０ｒｐｍ）で、５００００回転させた場合の弾性体の磨耗量を、磨耗深さとして測定し、評価したものである。この磨耗深さとは、５００００回転させる前の弾性体の厚みを基準としたときの回転駆動後の弾性体の厚みとの差である。この磨耗深さが小さい方が、駆動によって生じた磨耗量が小さく、耐久性が良好である。
なお、表１では、比較例１の超音波モータを駆動した場合の磨耗量（磨耗深さ約３．０μｍ）を規定値として△で示し、各測定例の超音波モータの磨耗量（磨耗深さ）が１．０μｍ以下であれば耐久性が良好であるとし、表１中に○で示す。
【００３３】
表１に示す低温起動性とは、温度−２０℃の環境下において、所定の負荷トルクで駆動した場合の最低回転数を測定して評価した結果である。
最低回転数とは、超音波モータを駆動可能な最低の回転数であり、この値が小さいほど、低速での駆動が可能であり、起動特性が良好である。また、起動特性は低温になるほど悪くなる傾向を示す。このような理由から、低温起動特性として、温度−２０℃及び所定の負荷トルクで駆動した場合の最低回転数を測定した。
表１では、比較例１の超音波モータの最低回転数（３０ｒｐｍ前後）を規定値として△で示し、各測定例の超音波モータの最低回転数が１５ｒｐｍ以下であれば、低速起動性は良好であるとして○で示す。
総評は、これらの結果から、各測定例及び比較例１の超音波モータを総合的に評価した結果である。超音波モータとして良好な駆動性能を有するものを良として○で示し、良よりは劣るが使用可能なものを可として△で示し、使用に適さないものを不可として×で示す。
【００３４】
比較例１及び各測定例の超音波モータの測定結果について説明する。
まず、比較例１の超音波モータでは、固着や異音は発生せず、保持トルク、最大トルク、駆動効率は使用に適するものであった。しかし、摩耗量及び低温起動性は、使用に適する範囲ではあるが改善の余地のあるものである。
一方、ＰＴＦＥを添加したエポキシ樹脂により形成した樹脂膜を有する測定例１〜２３の超音波モータの磨耗量及び低温起動性は、比較例１の超音波モータに比べて良好である。
測定例１〜２３の超音波モータの磨耗深さは、約０．７〜１．０μｍであり、比較例１の超音波モータの磨耗深さ（約３．０μｍ）に比べて小さい。よって、測定例１〜２３の超音波モータは、比較例１の超音波モータに比べて磨耗量が少なく、耐久性が良好である。また、低温環境下での最低回転数は、測定例１〜２３の超音波モータが１０〜１５ｒｐｍであり、比較例１の超音波モータの最低回転数（約３０ｒｐｍ）に比べて小さく、低温起動性が良好である。
このことから、ＰＴＦＥを添加したエポキシ樹脂により樹脂膜を形成することにより、比較例１の超音波モータに比べて磨耗量及び低温起動性を向上できると言える。
【００３５】
ここで、測定例１の超音波モータは、比較例１の超音波モータに比べて磨耗量や低温起動性が向上し、良好となったが、保持トルク、駆動効率、最大トルクが使用可能な範囲以下に低下し、異音も若干発生している。
測定例１の超音波モータの樹脂膜は、ＰＴＦＥのみが添加されたエポキシ樹脂によって形成されたため、振動子１３と移動体１５との摩擦係数が、比較例１の超音波モータのように振動子１３の接触面にＮｉＰ層を形成した場合に比べて低い。そのため、低温環境下での低速起動特性が向上し、磨耗量も低下するが、その反面、保持トルクが低すぎるために空回りを起こしやすく、駆動効率が低下している。また、振動子１３と移動体１５との接触面の摩擦係数の低下に伴い、最大トルクも低下している。
このことから、ＰＴＦＥのみを添加したエポキシ樹脂によって形成された樹脂膜（表１中の測定例１）では、比較例１の超音波モータに比べて、保持トルクや最大トルク、駆動効率が十分得られないと言える。
【００３６】
次に、測定例２〜９の超音波モータの樹脂膜は、ＰＴＦＥ、シリコンビーズの添加量が一定であるが、カーボン短繊維の添加量が異なる。従って、測定例２〜９の超音波モータの駆動性能を比較することにより、カーボン短繊維の添加量が超音波モータの駆動性能の与える影響がわかる。
カーボン短繊維が添加されていない測定例２の超音波モータ及びカーボン短繊維の添加量が２体積％である測定例３の超音波モータでは、保持トルク、駆動効率、最大トルクは許容範囲以下であるが、シリコンビーズを添加することにより、測定例１の超音波モータに比べて異音が改善されている。また、測定例２の超音波モータでは、測定例１の超音波モータに比べて保持トルクが低下しているが、カーボン短繊維を２体積％添加した測定例３の超音波モータでは、許容範囲以下ではあるが測定例２に比べて保持トルクが向上している。
【００３７】
カーボン短繊維の添加量が５〜４０体積％の範囲内である測定例４〜８の超音波モータでは、固着や異音の発生も無く、保持トルク、駆動効率、最大トルクのいずれも測定例３の超音波モータに比較して向上し、超音波モータとして使用可能な範囲内の数値を示している。また、表１に示すように、カーボン短繊維の添加量の増加にしたがい、保持トルク、最大トルク、駆動効率が増加している。
しかし、カーボン短繊維の添加量が４３体積％である測定例９の超音波モータでは、保持トルク、駆動効率、最大トルクは良好な値であったが、異音が発生している。
よって、エポキシ樹脂の体積をＶｔとし、添加されるカーボン短繊維の体積をＶｃとしたとき、５／１００≦Ｖｃ／Ｖｔ≦４０／１００を満たすことが、所望する保持トルクや最大トルクを満たし、駆動効率を向上させ、異音を防止する観点から好ましいことがわかる。
【００３８】
測定例１０〜１６の超音波モータの樹脂膜は、ＰＴＦＥの添加量が一定（３０体積％）であるが、シリコンビーズの添加量がそれぞれ異なる。また、測定例１０の超音波モータの樹脂膜は、カーボン短繊維が添加されていないが、測定例１１〜１６の超音波モータの樹脂膜は、カーボン短繊維の添加量が一定（３０体積％）である。
従って、測定例１０〜１６の超音波モータの駆動性能を比較することにより、シリコンビーズの添加量が超音波モータの駆動性能の与える影響がわかる。
シリコンビーズの添加量が２体積％である測定例１０の超音波モータでは、保持トルク、駆動効率、最大トルクが許容範囲以下に低下し、異音も若干発生している。また、測定例１０と測定例２の超音波モータを比較して、シリコンビーズの添加量を増やすことにより異音を低減できることがわかる。
【００３９】
次に、測定例１０と同様にシリコンビーズの添加量が２体積％であるが、カーボン短繊維が添加されている樹脂膜を有する測定例１１の超音波モータでは、測定例１０と比べて保持トルク、最大トルク、駆動効率が向上し、良好であったが、固着が発生し、異音も若干発生している。
また、シリコンビーズの添加量が５〜３０体積％の範囲内である測定例１２〜１５の超音波モータでは、固着や異音の発生が無く、保持トルク、最大トルク、駆動効率も良好である。その反面、シリコンビーズの添加量が増加するにしたがい、保持トルク、最大トルクが低下しており、シリコンビーズの添加量が３３体積％である測定例１６の超音波モータでは、保持トルクが許容範囲以下に低下している。
【００４０】
これらのことから、エポキシ樹脂の体積をＶｔとし、添加されるシリコンビーズの体積をＶｒとしたとき、５／１００≦Ｖｒ／Ｖｔ≦３０／１００を満たすことが、所望する保持トルクや最大トルクを満たし、駆動効率を向上させ、異音や固着を防止する観点から好ましいことが解る。
また、測定例１１と測定例１２等を比較することにより、樹脂膜がカーボン短繊維を含有している場合、シリコンビーズの添加量が上記範囲を満たすならば、固着防止効果が得られることがわかる。
【００４１】
次に、測定例１７と測定例２の超音波モータの樹脂膜を比較すると、ＰＴＦＥの添加量が異なる。ＰＴＦＥの添加量が６０体積％である測定例１７の超音波モータでは、保持トルクが大幅に低下し、固着も発生している。一方、ＰＴＦＥの添加量が３０体積％である測定例２の超音波モータでは、固着は発生しないが、保持トルクは許容範囲以下であり、駆動効率や、最大トルクも低下している。
【００４２】
また、測定例１７と測定例１８の超音波モータを比較した場合、測定例１８の超音波モータは、カーボン短繊維が３０体積％添加されている点が異なる。カーボン短繊維が添加されることにより、測定例１８の超音波モータでは、測定例１７の超音波モータに比べて保持トルクが向上しているが、異音が発生している。
さらに測定例１７及び測定例１８の超音波モータでは、カーボン短繊維の添加の有無によらず固着が発生している。しかし、測定例１７及び測定例１８の超音波モータに比べてＰＴＦＥの添加量が小さい測定例２の超音波モータでは、固着が発生していない。
これらのことから、ＰＴＦＥの添加量が多すぎると固着の発生や保持トルクの大幅な低下を招くことがわかる。また、ＰＴＦＥの添加量が多すぎると、カーボン短繊維を添加することによって保持トルクを向上できるが許容範囲以下であり、異音が発生することがわかる。よって、ＰＴＦＥは、５〜３５体積％添加することが、固着の防止や保持トルクの向上、異音の防止等の観点から好ましいとする。
【００４３】
測定例１９〜２３の超音波モータの樹脂膜は、ＰＴＦＥ及びシリコンビーズの添加量が一定であり、カーボン短繊維及びアルミナ粒子の添加量が異なる。従って、測定例１９〜２３の超音波モータの駆動性能を比較することにより、カーボン短繊維及びアルミナ粒子の添加量が超音波モータの駆動性能の与える影響がわかる。
測定例１９〜２３の超音波モータの樹脂膜では、カーボン短繊維及びアルミナ粒子の添加量の合計が３０体積％となるように調整されている。
樹脂膜に、ＰＴＦＥ及びシリコンビーズに加え、カーボン短繊維のみが３０体積％添加された測定例１９の超音波モータと、カーボン短繊維とアルミナ粒子とを組み合わせて添加している測定例２０〜２２の超音波モータとは、保持トルク、駆動効率、最大トルクのいずれも良好であり、異音や固着も発生しておらず、駆動性能は良好である。また、測定例１９の超音波モータと測定例２０〜２２の超音波モータとを比較して、アルミナ粒子の添加量が増加するにつれて樹脂膜の摩擦係数が増大し、保持トルクと最大トルクとが向上することがわかる。
【００４４】
しかし、樹脂膜に、ＰＴＦＥ及びシリコンビーズに加え、アルミナ粒子のみを３０体積％添加した測定例２３の超音波モータでは、保持トルク、駆動効率、最大トルクは許容範囲内であるが、異音が若干発生している。また、アルミナ粒子のみを添加した測定例２３の超音波モータの駆動効率は、アルミナ粒子とカーボン短繊維とを添加した測定例２０〜２２の超音波モータに比べて、許容範囲内ではあるが、駆動効率が低下している。
【００４５】
よって、カーボン短繊維とアルミナ粒子とを組み合わせることにより、保持トルク、駆動効率、最大トルクが向上することがわかる。さらに、アルミナ粒子のみを添加する場合には、異音が発生することに加え、駆動効率が許容範囲内ではあるが若干低下するので、アルミナ粒子は、カーボン短繊維と組み合わせて添加することが好ましいと言える。
また、カーボン短繊維とアルミナ粒子との添加量の和は、４０体積％以下であることが、良好な駆動性能を得る観点から好ましい。この上限は、エポキシ樹脂の体積に対するカーボン短繊維の添加量の上限である。なお、カーボン短繊維と組み合わせて添加する場合のアルミナ粒子の添加量は、５〜３０体積％であることが、保持トルク、駆動効率、最大トルクの向上、異音防止の観点から好ましい。
【００４６】
本実施形態の超音波モータ１０の樹脂膜１８は、ＰＴＦＥを３０体積％、カーボン短繊維を２５体積％、アルミナ粒子を５体積％、シリコンビーズを１５体積％添加したエポキシ樹脂により形成されている。
上述のように、カーボン短繊維の添加量は、エポキシ樹脂の体積をＶｔ、カーボン短繊維の体積をＶｃとすると、５／１００≦Ｖｃ／Ｖｔ≦４０／１００を満たすことが好ましい。本実施形態では、カーボン短繊維が２５体積％添加されており、Ｖｃ／Ｖｔ＝２５／１００であり、好ましい範囲を満たしている。
また、シリコンビーズの添加量は、エポキシ樹脂の体積をＶｔ、シリコンビーズの体積をＶｒとすると、５／１００≦Ｖｒ／Ｖｔ≦３０／１００を満たすことが好ましい。本実施形態では、シリコンビーズが１５体積％添加されており、Ｖｒ／Ｖｔ＝１５／１００であり、好ましい範囲を満たしている。
ＰＴＦＥの添加量は、５〜３５体積％であることが好ましい。本実施形態では、ＰＴＦＥを３０体積％添加しており、好ましい範囲を満たしている。
アルミナの添加量は、５〜３５体積％であることが好ましい。本実施形態では、アルミナ粒子を５体積％添加しており、好ましい範囲を満たしている。
また、本実施形態の超音波モータ１０は、表１に示す測定例２０の超音波モータに相当しており、表１に示すように、保持トルクや最大トルク、駆動効率、低温起動性は良好であり、固着や異音の発生がなく、磨耗量も少なく、良好な駆動性能を示している。
【００４７】
ここで、本実施形態の超音波モータ１０（測定例２０の超音波モータ）と、不図示の比較例２の超音波モータとを一定の条件下で駆動し、振動子と移動体との接触面の温度上昇と駆動効率を調べた。
比較例２の超音波モータは、樹脂膜にカーボン短繊維とアルミナ粒子とが添加されていない点以外は本実施形態と略同様の形態である。
比較例２の超音波モータでは、振動子と移動体１５との接触面近傍で約１５℃温度が上昇したが、本実施形態の超音波モータの温度上昇は約１０℃であった。このとき、本実施形態の超音波モータ１０の駆動効率は良好であったが、比較例２の超音波モータの駆動効率は低く、許容範囲以下であった。
これは、カーボン短繊維によって形成される樹脂膜１８内の構造に起因する以下の理由が考えられる。
【００４８】
図４は、樹脂膜内の構造を模式的に示した図である。
図４（ａ）に示すように、本実施形態の樹脂膜１８内では、エポキシ樹脂１８１内に、ＰＴＦＥ１８２、カーボン短繊維１８３、シリコンビーズ１８４、アルミナ粒子１８５等が散在している。
カーボン短繊維１８３は、散在して網目形状を形成し、アルミナ粒子１８５の一部は、カーボン短繊維１８３間を補い、その網目形状を繋ぐように散在している。また、シリコンビーズ１８４は、アルミナ粒子１８５等に比べてその粒径が小さく、カーボン短繊維１８２及びアルミナ粒子１８５が形成する網目形状を阻害することなく散在している。
カーボン短繊維は、このような網目形状を形成することにより、移動体１５が摩擦駆動されるために、振動子１３と移動体１５との摩擦接触面に生じる熱を樹脂膜１８の接触面外に伝導することができる。よって、樹脂膜１８の接触面内に熱がこもらないので、駆動効率の低下を防止できる。この効果は、カーボン短繊維の添加量が十分であれば、アルミナ粒子を添加せずとも得られる。
【００４９】
しかし、カーボン短繊維及びアルミナが添加されていない樹脂膜では、このような網目形状が形成されないために、熱が樹脂膜の接触面内にこもりやすい。そのため、超音波モータの樹脂膜の接触面の温度が上昇し、所望する駆動効率が得られない（例えば、表１の測定例１，２等参照）。また、そのような超音波モータは、保持トルクや最大負荷トルクも低くなり、使用に適さない。
また、カーボン短繊維の添加量が十分でない樹脂膜１８−２（図４（ｂ）参照）では、このような網目形状が形成されにくく、途中で断絶された部分が増加するために、熱が樹脂膜の接触面外に伝導しにくい。そのため、樹脂膜の接触面の温度が上昇し、所望する駆動効率が得られない（例えば、表１の測定例３参照）。
さらに、カーボン短繊維を添加せず、アルミナ粒子を添加した樹脂膜１８−３（図４（ｃ）参照）では、アルミナ粒子は熱伝導性を有するが、エポキシ樹脂間にアルミナ粒子が散在する状態となって網目形状を形成しないので、カーボン短繊維を添加した樹脂膜に比べて熱が伝導されにくくなり、樹脂膜の接触面に熱がこもり、駆動効率が若干低下する（例えば、表１の測定例２３参照）。
これに対して、本実施形態のように、エポキシ樹脂に対して、カーボン短繊維とアルミナ粒子とを組み合わせて適量添加した樹脂膜１８では、カーボン短繊維１８３による網目形状（図４（ａ）参照）によって接触面外へ熱を伝導することができ、かつ、アルミナ粒子による保持トルクや最大トルクの向上等の効果を得ることができる。
【００５０】
よって、本実施形態によれば、固着や駆動時の異音の発生が無く、低温での低速の起動性が良好であり、磨耗量が少なく耐久性がよく、保持トルクや最大トルク、駆動効率の良好な超音波モータとすることができる。
また、樹脂膜１８は、弾性体１２に塗布して形成するため、メッキ処理等により皮膜層を弾性体１２の接触面に形成する場合と異なり、廃液処理を必要としない。また、工数の低減や生産コストの低減を図ることができる。
【００５１】
（第２実施形態）
図５は、第２実施形態の超音波モータ２０を示す断面図である。
第２実施形態の超音波モータ２０は、第１実施形態の超音波モータ１０と同様のカメラ１のレンズ鏡筒３に設けられ、フォーカス動作を行なう際のレンズ４を駆動する駆動源として用いられている。この超音波モータ２０は、不図示のギアを介して駆動力を不図示のカム筒に伝え、このカム筒に保持されるレンズ４を駆動する形態となっている点が第１実施形態とは異なる。
第２実施形態の超音波モータ２０は、振動子２３、移動体２５、出力軸２８、加圧部２９等を備えている。
振動子２３は、弾性体２２と、弾性体２２に接合された圧電体２１等を有する略円環形状の部材である。この振動子２３は、圧電体２１の伸縮により進行波が発生する。
【００５２】
弾性体２２は、ステンレス鋼により形成された略円環形状の部材であり、一方の面には圧電体２１が接合され、もう一方の面には周方向に複数の溝を切って形成された櫛歯部２２ａが設けられている。この櫛歯部２２ａの先端面は、移動体２５に加圧接触される接触面であり、この面に接する移動体２５を進行波によって駆動する。
振動子２３の移動体２５との接触面には、第１実施形態に示した振動子１３と同様に、樹脂膜３１が形成されている。本実施形態の樹脂膜３１は、フェノール樹脂を硬化剤として配合したエポキシ樹脂に対して、ＰＴＦＥを３０体積％、カーボン短繊維を２５体積％、シリコンビーズを１５体積％、アルミナ粒子を５体積％配合したものを塗布して形成されている。また、樹脂膜３１の膜厚は３０μｍであり、表面粗さＲｚ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１−２００１）は、０．５μｍである。
弾性体２２は、その内周側の径方向に伸ばして形成された鍔状のフランジ部２２ｂを有し、このフランジ部２２ｂにより支持体２６に支持されている。
【００５３】
圧電体２１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有する。本実施形態では、第１実施形態と同様に、圧電体２１として、圧電素子を用いているが、電歪素子を用いてもよい。この圧電体２１は、圧電体２１に形成された所定の電極部と電気的に接続されたフレキシブルプリント基板２４から供給される駆動信号により伸縮し、弾性体２２に振動を生じさせる。
フレキシブルプリント基板２４には、超音波モータ２０を備えられるカメラの制御を行う制御装置２０８が接続されている。本実施例において、制御装置２０８には温度センサ２０９が接続されており、温度センサ２０９の検知結果に応じて、回転数が一定となるように、圧電体２１に供給する駆動信号の周波数を調整している。
【００５４】
移動体２５は、振動子２３と加圧接触し、振動子２３の接触面（櫛歯部２２ａの先端面）に生じた進行波による楕円運動によって回転駆動される。
移動体２５は、アルミニウム等の軽金属により形成された部材である。移動体２５は、出力軸２８に嵌合している。本実施形態の移動体２５は、アルミニウム合金によって形成され、移動体２５の振動子２３との接触面にアルマイト皮膜層３２が形成されている。
従って、移動体２５と振動子２３とが摩擦接触する面は、アルマイト皮膜層３２と樹脂膜３１とが接する形態となっている。
【００５５】
出力軸２８は、略円筒形状をしており、一方の端部はゴム部材３０を介して移動体２５と嵌合し、もう一方の端部は、ベアリング２７を介して支持体２６に回転自在に取り付けられている。この出力軸２８は、移動体２５と一体に回転して移動体２５の回転運動を不図示のギア等の被駆動部材に伝達する。
加圧部２９は、振動子２３と移動体２５とを加圧する機構である。加圧部２９は、加圧力を発生するバネ２９ａと、ベアリング２７に接して配置され、バネ２９ａの一端を押さえる押さえリング２９ｂと、バネ２９ａの他端を押さえる押さえリング２９ｃと、出力軸２８に形成された溝に挿入され、押さえリング２９ｃの位置を規制するＥリング２９ｄとを備えている。
【００５６】
本実施形態に示すような超音波モータ２０においても、樹脂膜３１を振動子２３の摩擦接触面に形成することにより、固着の防止、磨耗量の低減、異音の低減、耐久性の向上、駆動性能の安定化、低温環境下での低速での起動特性の向上等を図ることができる。
また、本実施形態によれば、ＮｉＰ層を摩擦接触面に形成する場合に比べて、表面処理液の廃棄の処理等も不要である。
さらに、本実施形態に示した超音波モータ２０は、第１実施形態に示した超音波モータに比べて径が小さい小型の超音波モータとして作製される場合が多いため、マスキング等の処理を行うことが困難である。しかし、本実施形態によれば、樹脂膜３１は、弾性体２２に塗布して容易に形成することができるので、作業工程を短縮でき、安価で容易に製造することができる。
【００５７】
（変形形態）
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能である。
（１）各実施形態では、エポキシ樹脂に対して、カーボン短繊維を２５体積％、アルミナ粒子を５体積％添加する例を示したが、これに限らず、カーボン短繊維とアルミナ粒子とを添加する場合には、カーボン短繊維とアルミナ粒子との添加量の和が、カーボン短繊維の好ましい添加量の範囲内、すなわち、５〜４０体積％以下であれば、適宜添加量を調整してもよい。
例えば、ＰＴＦＥを３０体積％、シリコンビーズを１５体積％、カーボン短繊維を３０体積％、アルミナ粒子を１０体積％添加したエポキシ樹脂により樹脂膜を形成した場合にも、低温起動特性、保持トルク、最大トルク、駆動効率は良好であり、固着や異音が発生せず、磨耗量の少ない良好な駆動性能を有する超音波モータとすることができる。
【００５８】
（２）各実施形態では、エポキシ樹脂を主剤として樹脂膜１８，３１を形成する例を示したが、これに限らず、例えば、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂等の他の熱硬化性樹脂を用いてもよい。
また、各実施形態では、エポキシ樹脂に配合する硬化剤としてフェノール樹脂を配合する例を示したが、これに限らず、例えば、イソシアネート系硬化剤等を硬化剤として配合してもよい。
【００５９】
（３）各実施形態では、エポキシ樹脂にシリコンビーズを添加する例を示したが、これに限らず、弾力性を有する他のゴム系の材料により形成された粒子状の部材を用いてもよい。例えば、シリコンブタジエンゴム（ＳＢＲ）等の粒子を用いてもよい。
【００６０】
（４）各実施形態では、振動子１３，２３の接触面（櫛歯部１２ａ，２２ａの先端面）に樹脂膜１８，３１を形成する例を示したが、これに限らず、移動体１５，２５の接触面に樹脂膜を形成してもよい。また、振動子１３，２３の接触面と移動体１５，２５の接触面との双方に樹脂膜を形成してもよい。
さらに、弾性体を使用せずに、圧電体と移動体とが摩擦接触する形態の振動アクチュエータに適用してもよい。この場合、圧電体の移動体に対する接触面、移動体の圧電体に対する接触面の少なくとも一方に樹脂膜を形成すればよい。
【００６１】
（５）各実施形態では、エポキシ樹脂にアルミナ粒子を添加する例を示したが、これに限らず、例えば、窒化アルミニウム（ＡＩＮ）、窒化ホウ素（ＢＮ）等により形成された熱伝導性を有する粒子状の部材を用いてもよい。
【００６２】
（６）各実施形態では、弾性体１２，２２を形成する材料として、ステンレス鋼を用いたが、その他の鉄系材料を用いてもよい。例えば、Ｓ１５Ｃ、Ｓ５５Ｃ、ＳＣｒ４４５、ＳＮＣＭ６３０等の各種鉄鋼材料を用いてもよいし、リン青銅、アルミニウム系合金を用いてもよい。
【００６３】
（７）各実施形態では、移動体１５，２５は、アルミニウム合金によって形成される例を示したが、これに限らず、鉄系材料等を用いてもよい。例えば、Ｓ１５Ｃ、Ｓ５５Ｃ、ＳＣｒ４４５、ＳＮＣＭ６３０等の各種鉄鋼材料を用いてもよい。また、ポリイミド樹脂や、ＰＥＥＫ（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｅｔｈｅｒｋｅｔｏｎｅ）樹脂等の耐熱性の高い樹脂を用いてもよい
【００６４】
（８）各実施形態では、フッ素樹脂としてＰＴＦＥを用いる例を示したが、これに限らず、適当なフッ素樹脂を適宜選択して使用してよい。例えば、ＰＦＡ（ｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｐｅｒｆｌｕｏｒｏａｌｋｙｌｖｉｎｙｌ  ｅｔｈｅｒ  Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ）、ＦＥＰ（Ｔｅｔｒａｆｌｕｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｈｅｘａｆｌｕｏｒｏｐｒｏｐｙｌｅｎｅ  Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ）、ＰＣＴＦＥ（Ｐｏｌｙｃｈｌｏｒｏ−Ｔｒｉｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ）、ＥＴＦＥ（Ｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ）、ＥＣＴＦＥ（Ｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｃｈｌｏｒｏｔｒｉｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ  Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ）、ＰＶＤＦ（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｉｄｅｎｅ  Ｆｌｕｏｒｉｄｅ）、ＰＶＦ（Ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｆｌｕｏｒｉｄｅ）等が挙げられる。
【００６５】
（９）各実施形態では、移動体１５，２５が回転駆動される超音波モータを示したが、これに限らず、移動体が直線方向に駆動されるリニア駆動型の振動アクチュエータとしてもよい。なお、各実施形態では、移動体１５，２５が回転駆動される回転型（円環型）の超音波モータを例としてあげたが、これは、この型の超音波モータでは固着が問題になることが多く、本発明を適用することにより大きな効果が得られるからである。
【００６６】
（１０）各実施形態では、超音波領域の振動を用いる超音波モータを例に挙げて説明したが、これに限らず、例えば、超音波領域以外の振動を用いる振動アクチュエータに適用してもよい。
【００６７】
（１１）各実施形態では、超音波モータ１０，２０は、カメラのレンズ鏡筒のフォーカス動作を行う駆動源として用いられる例を示したが、これに限らず、例えば、レンズ鏡筒のズーム動作を行う駆動源に用いてもよい。また、超音波モータ１０，２０を、複写機等の駆動源や、自動車のハンドルチルト装置やヘッドレストの駆動部等に用いてもよい。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】第１実施形態のカメラ１を示す図である。
【図２】第１実施形態の超音波モータ１０を示す図である。
【図３】第１実施形態の超音波モータ１０の弾性体１２と移動体１５との摩擦接触面を拡大した図である。
【図４】樹脂膜内の構造を模式的に示した図である。
【図５】第２実施形態の超音波モータ２０を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１：カメラ、３：レンズ鏡筒、１０：超音波モータ、１３：振動子、１５：移動体、１８：樹脂膜
【図１】
2009232622.tif 000004
【図２】
2009232622.tif 000005
【図３】
2009232622.tif 000006
【図４】
2009232622.tif 000007
【図５】
2009232622.tif 000008