(57)【要約】【課題】磁気記録媒体に、磁気パターンを転写する磁気転写方法に関し、磁気転写マスタの寿命を長くする。【解決手段】表面に潤滑剤（３）を有する磁気記録媒体（２）に、磁気パターンを転写する磁気転写マスタ（１）を、磁気転写装置（２０）内で、定期的に、オゾン雰囲気中に曝し、磁気転写マスタ（１）に付着した潤滑剤（３）や汚染粒子を、化学分解し、クリーニングする。【選択図】図１０
2009283052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気転写用マスタを、潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、磁気転写するステップと、
前記磁気転写用マスタをオゾン雰囲気中に暴露して、前記磁気転写用マスタをクリーニングするステップとを有する
ことを特徴とする磁気転写方法。
【請求項２】
前記クリーニングするステップは、前記磁気転写用マスタに酸素を吹き付け、且つ紫外線照射するステップを有する
ことを特徴とする請求項１の磁気転写方法。
【請求項３】
前記クリーニングするステップは、前記磁気転写用マスタにオゾンを供給するステップを有する
ことを特徴とする請求項１の磁気転写方法。
【請求項４】
チャンバー内で、セットされた潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、磁気転写する磁気転写マスタと、
前記磁気記録媒体の取り出し後、前記チャンバー内で、前記磁気転写用マスタをオゾン雰囲気中に暴露して、前記磁気転写用マスタをクリーニングするクリーニングユニットとを有する
ことを特徴とする磁気転写装置。
【請求項５】
磁気記録基板に、少なくとも磁気記録層と潤滑剤層とを形成するステップと、
磁気転写装置内で、磁気転写用マスタを、前記潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、サーボパターンを磁気転写するステップと、
前記磁気転写装置から、前記磁気記録媒体を取り出すステップと、
前記磁気転写装置内で、前記前記磁気転写用マスタをオゾン雰囲気中に暴露して、前記磁気転写用マスタをクリーニングするステップとを有する
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体に磁気パターンを転写するための磁気転写方法、磁気転写装置及び磁気記録媒体の製造方法に関し、特に、磁気記録媒体に磁気的サーボパターンを形成するのに好適な磁気転写方法、磁気転写装置及び磁気記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体、特に、ディスク上でヘッドを位置決めするために、データ領域と交互にサーボ領域を形成している。このサーボデータ領域から読み出される磁気情報に基づき、ヘッドは正確に記録トラック上に位置決めされる。従来、サーボデータは、サーボトラックライタ（Servo Track Writing：STW)によって、専用ヘッドを用いて、磁気ディスクに、１枚毎、記録されていた。
【０００３】
このようなサーボデータは、ユーザーデータと異なる、１回記録されると、書き換えられることがない。近年の磁気ディスク装置の低価格の傾向により、サーボデータの書き込みを、量産に適したものとなることが要望されている。
【０００４】
この要請により、磁気転写法を利用したサーボデータ書き込み法が、注目を浴びている。磁気転写法は、スレーブ媒体にサーボ情報を記録する場合に、外部磁界を印加しながら、磁気転写用マスタと、潤滑剤が塗布されているスレーブ媒体とを密着させる。これにより、磁気転写用マスタに形成されたサーボパターンに対応して、スレーブ媒体に、磁化パターンが形成される。
【０００５】
この磁気転写法は、ディスク１面の数万トラック分のサーボ情報を、１回の転写で記録できるため、量産に適している。一方、１枚あたりの磁気転写用マスタから、サーボ情報を記録できる媒体数が多いほど、長寿命のマスタであることを意味し、サーボ情報記録のコストが押さえられるメリットがある。
【０００６】
この量産過程での磁気転写特有の問題点として、スレーブ媒体に塗布された潤滑剤が、磁気転写用マスタ側に移着し、蓄積された後、スレーブ媒体に、再付着することがまれに発生する。
【０００７】
そのようなスレーブ媒体（磁気記録媒体）を装置に搭載すると、ヘッドへの付着汚染、さらにヘッドクラッシュが発生し、転写したディスク媒体で組み立てた磁気ディスク装置の製造の歩留まりが悪化する。そのため、従来の専用ヘッドによりサーボ情報を記録する方法（ＳＴＷ法）よりも、製造コストが割高となってしまう問題が生じていた。
【０００８】
この潤滑剤の悪影響を防止するため、磁気転写後に、磁気記録媒体に潤滑剤を塗布する方法が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。しかしながら、この方法では、磁気転写前後で、成膜工程と塗布工程とが分離され、量産に適することが、難しい。
【０００９】
一方、転写用マスタの表面に、初めから、潤滑剤を塗布する方法が、提案されている（例えば、特許文献３，４参照）。この方法では、スレーブ媒体に塗布された潤滑剤が、転写用マスタに移着しても、転写用マスタには、潤滑剤が塗布されているため、不織布等によるワイピングで、簡単に移着された潤滑剤をクリーニングできる。
【特許文献１】特開２００１−００６１７０号公報
【特許文献２】特開２００１−２０９９３４号公報
【特許文献３】特開２００５−０５０４７７号公報
【特許文献４】特開２００１−０３４９３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、従来の転写用マスタに、潤滑剤を塗布する方法では、転写枚数が少ない場合には、有効であるが、量産過程で、より多くの１００万枚規模の媒体との転写圧着を繰り返すため、潤滑剤を塗布するだけでは、スレーブ媒体への付着防止に不十分であり、より多くの転写枚数の実現が困難であった。
【００１１】
従って、本発明の目的は、多数枚の磁気記録媒体の磁気転写において、転写マスタから磁気記録媒体への潤滑剤の再付着現象を有効に防止するための磁気転写方法、磁気転写装置及び磁気記録媒体の製造方法を提供することにある。
【００１２】
又、本発明の他の目的は、転写マスタの寿命を伸ばし、低コストに、サーボパターンを記録した磁気記録媒体を提供するための磁気転写方法、磁気転写装置及び磁気記録媒体の製造方法を提供することにある。
【００１３】
更に、本発明の他の目的は、多数枚の磁気記録媒体の磁気転写において、生産性を低下することなく、転写マスタから磁気記録媒体への潤滑剤の再付着現象を有効に防止するための磁気転写方法、磁気転写装置及び磁気記録媒体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この目的の達成のため、本発明の磁気転写方法は、磁気転写用マスタを、潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、磁気転写するステップと、前記磁気転写用マスタをオゾン雰囲気中に暴露して、前記磁気転写用マスタをクリーニングするステップとを有する。
【００１５】
又、本発明の磁気転写装置は、チャンバー内で、セットされた潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、磁気転写する磁気転写マスタと、前記磁気記録媒体の取り出し後、前記チャンバー内で、前記磁気転写用マスタをオゾン雰囲気中に暴露して、前記磁気転写用マスタをクリーニングするクリーニングユニットとを有する。
【００１６】
又、本発明の磁気記録媒体の製造方法は、磁気記録基板に、少なくとも磁気記録層と潤滑剤層とを形成するステップと、磁気転写装置内で、磁気転写用マスタを、前記潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、サーボパターンを磁気転写するステップと、前記磁気転写装置から、前記磁気記録媒体を取り出すステップと、前記磁気転写装置内で、前記前記磁気転写用マスタをオゾン雰囲気中に暴露して、前記磁気転写用マスタをクリーニングするステップとを有する。
【００１７】
更に、本発明では、好ましくは、前記クリーニングするステップは、前記磁気転写用マスタに酸素を吹き付け、且つ紫外線照射するステップを有する。
【００１８】
更に、本発明では、好ましくは、前記クリーニングするステップは、前記磁気転写用マスタにオゾンを供給するステップを有する。
【００１９】
更に、本発明では、好ましくは、前記磁気転写するステップは、前記磁気記録媒体の両面から一対の前記磁気転写用マスタを圧着するステップと、前記磁気転写後、前記磁気記録媒体を取り出し、且つ前記一対の磁気転写用マスタを互いに離間するステップとを有し、前記クリーニングするステップは、前記離間された前記一対の磁気転写媒体を、前記オゾン雰囲気中に暴露するステップとを有する。
【００２０】
更に、本発明では、好ましくは、前記磁気転写するステップは、表面を、低自由エネルギー処理した前記磁気転写用マスタを、潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、磁気転写するステップを有する。
【００２１】
更に、本発明では、好ましくは、前記磁気転写ステップは、前記潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、サーボパターンを磁気転写するステップを有する。
【発明の効果】
【００２２】
磁気転写マスタを、磁気記録媒体の転写後、所定周期で、オゾン雰囲気中に暴露するため、磁気転写マスタに、磁気記録媒体からの潤滑剤の移着・蓄積があった場合においても、10ｎｍ程度の汚染粒子が付着・蓄積された場合においても、磁気転写用マスタ上の潤滑剤や汚染粒子を化学分解・除去し、フレッシュな状態のマスタに復活できる。その状態で、磁気転写を行うので、転写された磁気記録媒体は、常に転写する前の媒体表面状態を保てるため、装置に組み込んでもヘッドクラッシュなどの発生を防止でき、サーボ情報書き込み媒体の量産が可能となる。
【００２３】
また、磁気転写装置の中でマスタに対して、オゾン雰囲気中暴露を行うため、マスタをわざわざ、転写装置から外して処理し再度装着する必要が無くなり、生産性の高い磁気転写装置が実現される。
【００２４】
さらにマスタ体の表面エネルギーが45ｍＮ/ｍ以下となるような表面処理（ＬＳＥ処理）についても、１マスタに対して転写を繰り返すことで、ＬＳＥ処理の効果が薄れてしまう問題に対しても、上記の紫外線照射、オゾン雰囲気中暴露を定期的に行うことで、マスタ体表面のＬＳＥ処理の効果を復活させることができ、マスタの寿命を延ばすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態を、磁気記録媒体の製造方法、磁気転写方法の第１の実施の形態、磁気転写方法の第２の実施の形態、他の実施の形態の順で説明するが、本発明は、この実施の形態に限られない。
【００２６】
（磁気記録媒体の製造方法）
図１は、本発明の磁気記録媒体の製造方法の一実施の形態の工程図、図２は、図１の磁気記録媒体の説明図、図３は、図２のサーボパターンの説明図、図４乃至図６は、磁気転写工程の説明図である。図１乃至図３は、磁気記録媒体として、磁気ディスク装置（ハードディスクドライブ）の磁気ディスクを例に示す。
【００２７】
以下、図１の工程を、図２乃至図６を参照して説明する。
【００２８】
（Ｓ１０）基板を成膜装置にセットし、基板上に、磁性膜、保護膜を成膜する。図４で説明すると、下地層６を設けた基板（円板）７に、磁気記録層（磁性層）５、保護膜４を成膜する。基板７に、ガラス基板が用いられた場合には、ガラス基板に密着性向上のため、ガラス基板７上に、下地層６としてクロム合金膜を設けることが望ましい。ここでは、磁気記録層５としては、Ｃｏ合金垂直磁化膜を用いる。
【００２９】
（Ｓ１２）この磁性膜５、保護膜４を成膜された磁気記録媒体２に、図４のように、潤滑剤３を、塗布装置で塗布する。潤滑剤３は、有機物で構成され、例えば、プロピレングリコール基で終端されている直鎖状のパーフルオロポリエーテル（ＦＯＭＢＬＩＮ  Ｚ  ＴＥＴＲＡＯＬ）が好適である。
【００３０】
（Ｓ１４）磁気記録媒体２は、転写前のクリーニングが行われる。即ち、塗布装置から取り出し、磁気記録媒体の表面の汚染（コンタミネーション）を除去する。
【００３１】
（Ｓ１６）次に、磁気記録媒体の表面検査を行い、汚染がないかを調べる。汚染があれば、ステップＳ１４のクリーニングを再度行う。
【００３２】
（Ｓ１８）表面検査に合格すると、磁気記録媒体２は、図４以下で説明する磁気転写装置に搬送され、磁気記録媒体２の両面に、サーボパターンが磁気転写される。図２に示すように、円板上の磁気記録媒体２に対し、半径方向に同心円上のトラックを多数形成するためのサーボパターン１６が磁気転写される。サーボパターン１６は、トラックの円周方向に複数記録され、セクタの一部を構成する。図３は、サーボパターンの一例であり、同期信号パターン、トラック番号パターン及び位置検出用パターン（ここでは、位相パターン）からなる。
【００３３】
（Ｓ２０）サーボパターンが記録された磁気記録媒体２は、転写後のクリーニングが行われる。即ち、磁気転写装置から取り出し、磁気記録媒体の表面の汚染（コンタミネーション）を除去する。
【００３４】
（Ｓ２２）磁気記録媒体２は、ヘッド浮上試験機にセットされる。ヘッド浮上試験機では、磁気記録媒体２を回転し、ヘッドの浮上量を測定し、ヘッド浮上量が適切かを試験する。試験に合格しない場合には、ステップＳ１４のクリーニングを再度行う。
【００３５】
（Ｓ２４）ヘッド浮上試験に合格すると、磁気ディスク装置の組み立て用磁気ディスクとして、磁気ディスク装置の組み立て工程に提供される。
【００３６】
次に、図４乃至図６で磁気転写工程を説明する。
【００３７】
図４のように、磁気転写用マスタ１は、Ｎｉ等のマスタ基板１０をエッチングして、サーボパターンに対応する凹凸を形成したものであり、凸部が、磁気転写すべきパターン部分である。このマスタ基板１０に、磁性層１２（例えば、Ｆｅ−Ｃｏ等の軟磁性層）を設けて、磁気転写用マスタ１を形成する。尚、軟磁性層１２上に、ＤＬＣ（ダイアモンドライクカーボン）や、スパッタカーボン等の保護膜を形成する。
【００３８】
図４に示すように、磁気転写は、外部磁石で、磁化を与えながら、潤滑剤３を塗布した媒体２面に、磁気転写マスタ１を圧着し、磁気転写用マスタ１の凸部に対応する磁気記録層５を磁化して、サーボパターンを記録する。
【００３９】
図５に示すように、この磁気転写時、磁気記録媒体２上に塗布された潤滑剤３等の有機物の一部が、磁気転写マスタ１へ移着する。図５では、転写後、磁気記録媒体２から磁気転写マスタ１を離した状態を示す。  
【００４０】
図６に示すように、１つマスタ体１に対して、転写する媒体数を増やしていくことで、磁気記録媒体２面の微量の潤滑剤３が、マスタ１へ累積移着していき、今度は、マスタ１上の潤滑剤３（凹部に残る）が、媒体２面にまれに、再付着するようになる。又、マスタ１の凸部、凹部に、汚染粒子８が付着する場合もある。
【００４１】
このような状態で、転写を繰り返すと、媒体２上のコンタミネーションが、ヘッドに絡んで、浮上障害を引き起こしたり、媒体１に再付着した潤滑剤３が、媒体上で凝集し、ヘッドに付着することで、ヘッドが汚れる。さらに、ヘッドの汚れにより、媒体２とヘッド間に、潤滑剤のメニスカス架橋を形成することで、ＴＤ（タッチダウン）を起こして、ヘッドクラッシュ発生に至ることが懸念される。
【００４２】
本発明は、以下に説明するように、このような磁気転写マスタ１の潤滑剤やコンタミネーションを、転写工程で、有効に除去する。
【００４３】
（磁気転写方法の第１の実施の形態）
図７及び図１０は、本発明の磁気転写方法の第１の実施の形態の説明図である。
【００４４】
図７に示すように、磁気転写装置２０は、装置の両側に、一対の磁気転写マスタ１が設けられ、中央に、磁気記録媒体２にセットされる。更に、この実施の形態では、装置上部に、酸素ガス吹き付け器３０を設ける。更に、図９で後述するように、紫外線（紫外線）照射器４０を、転写装置２０に挿入可能に設ける。
【００４５】
図７に示すように、転写装置２０に、両面に磁気記録層を設けた磁気記録媒体２がセットされると、一対の磁気転写マスタ１が、図示しない駆動部材で、磁気記録媒体２方向に移動し、一対の磁気転写マスタ１で、磁気記録媒体２を挟み込む。図示しない磁界印加部材で、磁界を印加して、図４乃至図６で説明したように、磁気転写マスタ１のサーボパターンを、磁気記録媒体２の両面に、磁気転写する。
【００４６】
次に、図８に示すように、一対の磁気転写マスタ１を、図示しない駆動部材が、磁気記録媒体２から離れる方向に移動した後、磁気転写された磁気記録媒体２を、磁気転写装置２０から取り出す。
【００４７】
図９に示すように、磁気転写マスタ１は、転写装置２０に設置したままの状態で、両面のマスタが開いた状態で、装置のほぼ中央に、紫外線照射器４０を挿入する。
【００４８】
図１０に示すように、マスタ１を含むチャンバー２０の雰囲気を、真空ポンプで荒引きする。次に、酸素吹き付け器２０は、酸素バルブ３４を開き、フィルタ３３を通して、ノズル３１から、マスタ１の表面に、酸素ガスをふきつける。さらに、紫外線照射器４０は、１９２ｎｍ・５００Ｗの紫外線ランプを点燈させ、５ｍｍ／ｓｅｃのスピードで、紫外線ランプを、マスタ１に対して相対的に、１往復移動させる。
【００４９】
例えば、マスタ１の表面と紫外線ランプとの最短距離は、５ｍｍとする。紫外線ランプとの距離が１０ｍｍ以上とすると、紫外線照射の効果が少なく、５往復程度とすると効果が大きい。
【００５０】
このように、酸素供給し、紫外線照射することにより、オゾンが発生し、マスタ１上の潤滑剤やコンタミネーション（汚染粒子）が、化学分解・除去され、フレッシュな状態のマスタとなる。その状態で、磁気転写を行うと、転写された媒体２は、常に転写する前の媒体表面状態を保てるため、装置に組み込んでも、ヘッドクラッシュなどは起こらなくなり、サーボ情報書き込み媒体の量産が可能となる。
【００５１】
即ち、磁気転写マスタ１に、スレーブ媒体２からの潤滑剤の移着・蓄積があった場合においても、又、１０ｎｍ程度のナノコンタミネーションが付着・蓄積された場合においても、定期的に、磁気転写用マスタ１に対し、紫外線照射を行うことで、これらが化学分解且つ除去され、多数回転写しても、転写工程での潤滑剤や汚染粒子による、磁気記録媒体２の性能低下を防止でき、マスタの寿命を伸ばすことができる。
【００５２】
例えば、転写回数が、５０００回毎に、紫外線照射を行うことが望ましく、転写毎に行う必要はない。
【００５３】
また、磁気転写装置２０の中で、マスタ１に対して紫外線照射を行うため、マスタ１をわざわざ、転写装置２０から外して、処理し、再度装着する必要が無くなり、生産性の高い磁気転写装置が実現できる。
【００５４】
さらに、マスタ１の表面自由エネルギーが、４５ｍＮ/ｍ以下となるような表面処理（ＬＳＥ処理という）を予め施した磁気転写用マスタに対して、特に好適である。即ち、紫外線照射、或いは、オゾン雰囲気中暴露を定期的に行うことで、ＬＳＥ効果を持続させることができる。
【００５５】
ＬＳＥ処理として、マスタ１の表面層（ここでは、保護膜）に対して、非酸化性雰囲気中で、エキシマレーザ光等の高エネルギー線を予め照射する。これにより、マスタ１の表面自由エネルギーが４５ｍＮ／ｍ以下にしている。
【００５６】
このマスタ１の表面層の表面自由エネルギーが、４５ｍＮ/ｍ以下である効果を、図１１で説明する。図１１は、マスタ１の表面自由エネルギーと転写枚数との関係図である。マスタ１の表面自由エネルギーは、対象膜に対する純水およびジヨードメタンの接触角を測定し、以下の導出式から算出した。
【００５７】
固体試料の表面自由エネルギーをγS、液体試料の表面自由エネルギーをγL、固体試料／液体試料の接触角をθSL、固体試料／液体試料の界面自由エネルギーをγSLとすれば、（１）式に示すYoungの式が成立する。
【００５８】
γS =γL・cosθSL+γSL・・・（１）
液体が固体表面に付着することにより安定化するエネルギーである接着仕事WSLはDupreの式（２）に従う。
【００５９】
γS +γL = WSL+γSL・・・（２）
以上の２式から、Young- Dupreの式（３）が導出され、接着仕事は液体の表面自由エネルギーと接触角から求められることになる。
【００６０】
WSL=γL（1+cosθSL）・・・（３）
この接着仕事に対して表面自由エネルギーの各成分の幾何平均則を適用すると、（４）式が成り立つ。
【００６１】
WSL=２√（γSd・γLd）＋２√（γSh・γLh）・・・（４）
ここでｄ、ｈは分散成分、水素結合成分を意味する。
【００６２】
２種類の液体（i, j）を用いれば接着仕事について次の関係が成り立つ。
【００６３】
【数１】
2009283052.tif 000003
従って、２種類の液体の接触角を実測し、接着仕事求めれば、次の関係から固体の表面自由エネルギーを各成分毎に求めることができる。この関係式をFowkes式と呼ぶ。またこの関係式より、表面自由エネルギーγs=γsd＋γshが求められる。
【００６４】
【数２】
2009283052.tif 000004
具体的には下表のデータを用い、下記の式により、表面自由エネルギーγs=γsd＋γsｈを求めた。
【００６５】
【数３】
2009283052.tif 000005
上式においてθｗは水の接触角、θＤはジヨードメタンの接触角である。
【００６６】
【表１】
2009283052.tif 000006
又、転写枚数は、サーボセクタの欠陥セクタ率より求めた。即ち、サーボセクタの欠陥セクタ率は、磁気ディスク媒体上に記録されるサーボセクタの内、記録再生に使用できないセクタの割合であり、転写された磁気記録媒体を、磁気ヘッドで、リード／ライトテストし、欠陥セクタを検出した。そして、転写枚数は、サーボセクタの欠陥セクタ率が１％に達するまで、転写できたスレーブ媒体数を意味する。
【００６７】
図１０は、磁気転写マスタ１の表面自由エネルギーを変化させた場合に、サーボセクタの欠落セクタ率が１％になる転写枚数を調べた結果である。これより、磁気転写マスタ１の表面の表面エネルギーが、４５ｍＮ／ｍ以下になると、転写枚数は２万枚となる。
【００６８】
一方、表面自由エネルギーが、５０ｍＮ／ｍを越えると、急激に転写可能枚数が減少する。また、磁気転写マスタ１の表面（本例の場合には表面層の表面）の表面自由エネルギーが、サーボ情報が書き込まれる磁気記録媒体（本例の場合には潤滑層の表面）の表面よりも小さい場合、磁気記録媒体の潤滑層が情報転写マスタ側へ移着しないため、磁気転写マスタからの再付着もないと考えられる。
【００６９】
このような表面処理（ＬＳＥ処理）をした場合でも、１マスタに対して転写を繰り返すことで、ＬＳＥ処理の効果が薄れてしまうが、上記の紫外線照射を定期的に行うことで、マスタ１の表面のＬＳＥ処理の効果を復活させることができ、マスタ１の寿命を延ばすことができる。
【００７０】
（磁気転写方法の第２の実施の形態）
図１２及び図１３は、本発明の磁気転写方法の第２の実施の形態の説明図である。
【００７１】
図１２に示すように、磁気転写装置２０は、装置の両側に、一対の磁気転写マスタ１が設けられ、中央に、磁気記録媒体２にセットされる。更に、この実施の形態では、装置下部に、オゾン発生器５０を設ける。
【００７２】
図７と同様に、転写装置２０に、両面に磁気記録層を設けた磁気記録媒体２がセットされると、一対の磁気転写マスタ１が、図示しない駆動部材で、磁気記録媒体２方向に移動し、一対の磁気転写マスタ１で、磁気記録媒体２を挟み込む。図示しない磁界印加部材で、磁界を印加して、図４乃至図６で説明したように、磁気転写マスタ１のサーボパターンを、磁気記録媒体２の両面に、磁気転写する。
【００７３】
次に、図１２に示すように、一対の磁気転写マスタ１を、図示しない駆動部材が、磁気記録媒体２から離れる方向に移動した後、磁気転写された磁気記録媒体２を、磁気転写装置２０から取り出す。
【００７４】
図１３に示すように、磁気転写マスタ１は、転写装置２０に設置したままの状態で、両面のマスタが開いた状態で、マスタ１を含むチャンバー２０の雰囲気を、真空ポンプで荒引きする。次に、オゾン発生器５０は、オゾンガスバルブ５２を開き、フィルタ５４を通して、転写装置２０内部にオゾンを供給する。
【００７５】
このように、オゾン雰囲気中に、磁気転写マスタ１が暴露されると、マスタ１上の潤滑剤やコンタミネーション（汚染粒子）が、化学分解・除去され、フレッシュな状態のマスタとなる。その状態で、磁気転写を行うと、転写された媒体２は、常に転写する前の媒体表面状態を保てるため、装置に組み込んでも、ヘッドクラッシュなどは起こらなくなり、サーボ情報書き込み媒体の量産が可能となる。
【００７６】
即ち、磁気転写マスタ１に、スレーブ媒体２からの潤滑剤の移着・蓄積があった場合においても、又、１０ｎｍ程度のナノコンタミネーションが付着・蓄積された場合においても、定期的に、磁気転写用マスタ１に対し、オゾン雰囲気中暴露を行うことで、これらが化学分解且つ除去され、多数回転写しても、転写工程での潤滑剤や汚染粒子による、磁気記録媒体２の性能低下を防止でき、マスタの寿命を伸ばすことができる。
【００７７】
例えば、転写回数が、５０００回毎に、オゾン雰囲気中暴露を行うことが望ましく、転写毎に行う必要はない。
【００７８】
また、磁気転写装置２０の中で、マスタ１に対してオゾンを供給するため、マスタ１をわざわざ、転写装置２０から外して、処理し、再度装着する必要が無くなり、生産性の高い磁気転写装置が実現できる。
【００７９】
さらに、第１の実施の形態と同様に、マスタ１の表面自由エネルギーが、４５ｍＮ/ｍ以下となるような表面処理（ＬＳＥ処理という）を予め施した磁気転写用マスタに対して、特に好適である。即ち、紫外線照射、或いは、オゾン雰囲気中暴露を定期的に行うことで、ＬＳＥ効果を持続させることができる。
【００８０】
（他の実施の形態）
サーボパターンの磁気転写の例で説明したが、磁気転写用マスタについては、特に制限はなく、どのような情報を転写するものでもよい。このようなマスタの構成は、シリコン、ガラス、Ni基板の微細凹凸パターンにＦｅ−Ｃｏ等よりなる軟磁性層が被覆されているのが一般的である。
【００８１】
又、本発明に係る磁気記録媒体（スレーブ媒体）についても、特に制限はなく、ハードディスク装置に使用される、面内媒体、ＳＦＭ（Ｓｙｎｔｈｅｔｉｃ Ｆｅｒｒｉ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｍｅｄｉａ）、垂直記録媒体、ディスクリートトラック媒体、ビットパターンド媒体など、どのような記録媒体であってもよい。
【００８２】
更に、磁気記録媒体の表面の潤滑層は、特に制限はなく、公知の潤滑剤を用い、公知の方法で形成することもできる。さらに、ＬＳＥ処理として、媒体の潤滑剤膜厚以上の潤滑剤を、転写マスタに塗布した場合にも適用できる。
【００８３】
尚、本発明は、以下に付記する発明を包含する。
【００８４】
（付記１）
磁気転写用マスタを、潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、磁気転写するステップと、前記磁気転写用マスタをオゾン雰囲気中に暴露して、前記磁気転写用マスタをクリーニングするステップとを有することを特徴とする磁気転写方法。
【００８５】
（付記２）
前記クリーニングするステップは、前記磁気転写用マスタに酸素を吹き付け、且つ紫外線照射するステップを有することを特徴とする付記１の磁気転写方法。
【００８６】
（付記３）
前記クリーニングするステップは、前記磁気転写用マスタにオゾンを供給するステップを有することを特徴とする付記１の磁気転写方法。
【００８７】
（付記４）
前記磁気転写するステップは、前記磁気記録媒体の両面から一対の前記磁気転写用マスタを圧着するステップと、前記磁気転写後、前記磁気記録媒体を取り出し、且つ前記一対の磁気転写用マスタを互いに離間するステップとを有し、前記クリーニングするステップは、前記離間された前記一対の磁気転写媒体を、前記オゾン雰囲気中に暴露するステップとを有することを特徴とする付記１の磁気転写方法。
【００８８】
（付記５）
前記磁気転写するステップは、表面を、低自由エネルギー処理した前記磁気転写用マスタを、潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、磁気転写するステップを有することを特徴とする付記１の磁気転写方法。
【００８９】
（付記６）
前記磁気転写ステップは、前記潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、サーボパターンを磁気転写するステップを有することを特徴とする付記１の磁気転写方法。
【００９０】
（付記７）
チャンバー内で、セットされた潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、磁気転写する磁気転写マスタと、前記磁気記録媒体の取り出し後、前記チャンバー内で、前記磁気転写用マスタをオゾン雰囲気中に暴露して、前記磁気転写用マスタをクリーニングするクリーニングユニットとを有することを特徴とする磁気転写装置。
【００９１】
（付記８）
前記クリーニングユニットは、前記磁気転写用マスタに酸素を吹き付ける吹き付けユニットと、紫外線照射する照射ユニットとを有することを特徴とする付記７の磁気転写装置。
【００９２】
（付記９）
前記クリーニングユニットは、前記磁気転写用マスタにオゾンを供給するユニットを有することを特徴とする付記７の磁気転写装置。
【００９３】
（付記１０）
前記磁気転写用マスタは、前記磁気記録媒体の両面から一対の前記磁気転写用マスタで構成され、前記クリーニングユニットは、前記磁気転写された前記磁気記録媒体を取り出し後、前記一対の磁気転写用マスタを互いに離間した状態で、前記一対の磁気転写媒体を、前記オゾン雰囲気中に暴露するユニットを有することを特徴とする付記７の磁気転写装置。
【００９４】
（付記１１）
前記磁気転写用マスタは、表面を、低自由エネルギー処理された磁気転写用マスタで構成されたことを特徴とする付記７の磁気転写装置。
【００９５】
（付記１２）
前記磁気転写用マスタは、前記潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、サーボパターンを磁気転写する磁気転写用マスタで構成されたことを特徴とする付記７の磁気転写装置。
【００９６】
（付記１３）
磁気記録基板に、少なくとも磁気記録層と潤滑剤層とを形成するステップと、磁気転写装置内で、磁気転写用マスタを、前記潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、サーボパターンを磁気転写するステップと、前記磁気転写装置から、前記磁気記録媒体を取り出すステップと、前記磁気転写装置内で、前記前記磁気転写用マスタをオゾン雰囲気中に暴露して、前記磁気転写用マスタをクリーニングするステップとを有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【００９７】
（付記１４）
前記クリーニングするステップは、前記磁気転写用マスタに酸素を吹き付け、且つ紫外線照射するステップを有することを特徴とする付記１３の磁気記録媒体の製造方法。
【００９８】
（付記１５）
前記クリーニングするステップは、前記磁気転写用マスタにオゾンを供給するステップを有することを特徴とする付記１３の磁気記録媒体の製造方法。
【００９９】
（付記１６）
前記磁気転写するステップは、前記磁気記録媒体の両面から一対の前記磁気転写用マスタを圧着するステップと、前記磁気転写後、前記磁気記録媒体を取り出し、且つ前記一対の磁気転写用マスタを互いに離間するステップとを有し、前記クリーニングするステップは、前記離間された前記一対の磁気転写媒体を、前記オゾン雰囲気中に暴露するステップとを有することを特徴とする付記１３の磁気記録媒体の製造方法。
【０１００】
（付記１７）
前記磁気転写するステップは、表面を、低自由エネルギー処理した前記磁気転写用マスタを、潤滑剤を表面に有する磁気記録媒体に圧着して、磁気転写するステップを有することを特徴とする付記１３の磁気記録媒体の製造方法。
【産業上の利用可能性】
【０１０１】
磁気転写マスタに、磁気記録媒体からの潤滑剤の移着・蓄積があった場合においても、10ｎｍ程度の汚染粒子が付着・蓄積された場合においても、定期的に磁気転写用マスタに対し、紫外線照射、オゾン雰囲気中暴露のいずれかを行うことで、マスタ上の潤滑剤や汚染粒子を化学分解・除去し、フレッシュな状態のマスタに復活できる。その状態で、磁気転写を行うので、転写された媒体は、常に転写する前の媒体表面状態を保てるため、装置に組み込んでもヘッドクラッシュなどの発生を防止でき、サーボ情報書き込み媒体の量産が可能となる。
【０１０２】
また、磁気転写装置の中でマスタに対して紫外線照射、オゾン雰囲気中暴露を行うため、マスタをわざわざ、転写装置から外して処理し再度装着する必要が無くなり、生産性の高い磁気転写装置が実現される。
【０１０３】
さらに、マスタ体の表面エネルギーが、４５ｍＮ/ｍ以下となるような表面処理（ＬＳＥ処理）についても、１マスタに対して転写を繰り返すことで、ＬＳＥ処理の効果が薄れてしまう問題に対しても、上記の紫外線照射、オゾン雰囲気中暴露を定期的に行うことで、マスタ体表面のＬＳＥ処理の効果を復活させることができ、マスタの寿命を延ばすことができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の一実施の形態の磁気記録媒体の製造方法の工程図である。
【図２】本発明の磁気記録媒体の一実施の形態の正面図である。
【図３】図２の磁気記録媒体のサーボパターンの説明図である。
【図４】図１の磁気転写前の状態図である。
【図５】図４の磁気転写後の状態図である。
【図６】図４の多数回の磁気転写後の状態図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態の磁気転写方法の説明図である。
【図８】図７の磁気転写後の磁気記録媒体の取り出し動作の説明図である。
【図９】図７の紫外線照射ユニットの挿入動作の説明図である。
【図１０】図９の紫外線照射ユニットの動作の説明図である。
【図１１】図７の磁気転写マスタの低自由エネルギー処理の説明図である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態の磁気転写方法の説明図である。
【図１３】図１２のクリーニング動作の説明図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１  磁気転写マスタ
２  磁気ディスク（磁気記録媒体）
３  潤滑剤
４  保護層
５  磁気記録層
６  下地層
７  基板
８  汚染粒子
１０  マスタ基板
１２  軟磁性層
１６  サーボパターン
２０  磁気転写装置
３０  酸素吹き付け器
４０  紫外線照射ユニット
５０  オゾン供給ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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