(57)【要約】【課題】積層型静電モータにおいて、隣り合う固定子と移動子との間のギャップを拡大することなく、複数個の単位モータ構造を互いに電気的及び機械的に安定して接続する。【解決手段】積層型静電モータ１０の各単位モータ構造１２において、固定子１４及び移動子１６はそれぞれ、複数の電極を担持する主部分５８、６２と、一端６０ａ、６４ａで主部分５８、６２に連結されて主部分から延長され、複数の給電端子２０、２４が個別に設けられる複数の延長部分６０、６４とを備える。各延長部分６０、６４は、主部分５８、６２に撓みを波及させることなく撓むことができる形状を有する。隣り合う固定子１４と移動子１６との互いに対向する表面の間には、それら表面同士の接触を防止する接触防止要素が設けられる。複数個の単位モータ構造１２は、複数の延長部分６０、６４及び給電端子２０、２４を介して、互いに機械的及び電気的に接続される。【選択図】図２
2009284610.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電極及び該複数の電極に複数相の電圧を印加するための複数の給電端子を有する固定子と、複数の電極及び該複数の電極に複数相の電圧を印加するための複数の給電端子を有する移動子とを具備する単位モータ構造であって、該固定子と該移動子とが、それぞれの該複数の電極を互いに対向させて相対移動可能に対面配置されてなる単位モータ構造を、複数個重ねた状態で備える積層型静電モータにおいて、
前記単位モータ構造の前記固定子と前記移動子との少なくとも一方は、前記複数の電極を担持する主部分と、一端で該主部分に連結されて該主部分から延長され、前記複数の給電端子が個別に設けられる複数の延長部分とを備え、それら延長部分の各々が、該主部分に撓みを波及させることなく撓むことができる形状を有し、
複数個の前記単位モータ構造は、個々の前記単位モータ構造の前記固定子と前記移動子との少なくとも一方に備えた前記複数の延長部分を介して、互いに機械的に接続されるとともに、それら複数の延長部分に設けられる前記複数の給電端子を介して、互いに電気的に接続され、
前記複数個の単位モータ構造において積層方向へ隣り合う前記固定子と前記移動子との互いに対向する表面の間に、それら表面同士の接触を防止する接触防止要素が設けられること、
を特徴とする積層型静電モータ。
【請求項２】
前記固定子と前記移動子との少なくとも一方に備えた前記複数の延長部分の各々は、前記一端で前記主部分に一体に形成される、請求項１に記載の積層型静電モータ。
【請求項３】
前記固定子と前記移動子との少なくとも一方に備えた前記複数の延長部分の各々は、前記主部分とは別体であって前記一端で前記主部分に取り付けられる給電部材を含み、複数の該給電部材に前記複数の給電端子が個別に設けられる、請求項１に記載の積層型静電モータ。
【請求項４】
１つの前記単位モータ構造が有する前記複数の給電部材の各々に設けられる前記給電端子が、他の前記単位モータ構造が有する前記複数の給電部材の各々に設けられる前記給電端子に接続される、請求項３に記載の積層型静電モータ。
【請求項５】
１つの前記単位モータ構造が有する前記複数の給電部材の各々に設けられる前記給電端子が、他の前記単位モータ構造の前記固定子又は前記移動子の前記主部分に設けた中継端子に接続される、請求項３に記載の積層型静電モータ。
【請求項６】
前記給電部材が、導電性接着剤による接着、半田付け、機械的かしめ、ピン圧入及びボルト締結のうちの、少なくとも１つの手段により、前記主部分に取り付けられる、請求項３〜５のいずれか１項に記載の積層型静電モータ。
【請求項７】
１つの前記単位モータ構造が有する前記複数の延長部分の各々が、ボルト締結、ピン圧入、機械的かしめ、半田付け及び導電性接着剤による接着のうちの少なくとも１つの手段により、他の前記単位モータ構造が有する前記複数の延長部分の各々に接続される、請求項１〜６のいずれか１項に記載の積層型静電モータ。
【請求項８】
３個以上の前記単位モータ構造を具備し、１個以上の第１の前記単位モータ構造を間に介在させて離間配置される２個以上の第２の前記単位モータ構造が、該第１の単位モータ構造とは別個に、前記複数の延長部分を介して互いに機械的に接続されるとともに前記複数の給電端子を介して互いに電気的に接続される、請求項１〜７のいずれか１項に記載の積層型静電モータ。
【請求項９】
前記複数個の単位モータ構造に複数相の電圧を印加するための、相毎に１本ずつの給電線が、個々の前記単位モータ構造の相毎に１個ずつの前記給電端子に電気的に接続される、請求項１〜８のいずれか１項に記載の積層型静電モータ。
【請求項１０】
前記複数個の単位モータ構造に複数相の電圧を印加するための、相毎に複数本ずつの給電線が、個々の前記単位モータ構造の相毎に複数個ずつの前記給電端子に電気的に接続される、請求項１〜８のいずれか１項に記載の積層型静電モータ。
【請求項１１】
前記単位モータ構造の前記固定子と前記移動子との各々は、互いに反対側の一対の面を有する絶縁基板を備え、該一対の面のいずれか一方に前記複数の電極が形成される、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の積層型静電モータ。
【請求項１２】
前記単位モータ構造の前記固定子と前記移動子との各々は、互いに反対側の一対の面を有する絶縁基板を備え、該一対の面の双方に前記複数の電極が形成される、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の積層型静電モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型静電モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
静電モータにおいて、複数の電極及びそれら電極に複数相の電圧を印加するための複数の給電端子を有する固定子と、複数の電極及びそれら電極に複数相の電圧を印加するための複数の給電端子を有する移動子とを備え、固定子と移動子とを、それぞれの複数の電極（一般に帯状ないし線状電極）が互いに対向する対面配置で相対移動可能に設置した構成が知られている。例えば特許文献１は、回転型の移動子（つまり回転子）を備えた静電モータにおいて、固定子及び回転子の双方が、三相の放射状電極とそれら電極の相毎のリード端子とを有する構成を開示する。特許文献１はさらに、モータ出力を高める目的で、これら固定子と移動子とを対面配置してなる単位モータ構造を、複数個重ねた状態で備える積層型の静電モータを開示する。
【０００３】
積層型静電モータでは、１つの単位モータ構造の固定子と他の単位モータ構造の固定子とが、同一相の電圧を印加するためのそれぞれの給電端子同士を電気的及び機械的に接続することにより、互いに固定的に連結され、また、１つの単位モータ構造の移動子と他の単位モータ構造の移動子とが、同一相の電圧を印加するためのそれぞれの給電端子同士を電気的及び機械的に接続することにより、互いに固定的に連結される構成が公知である。例えば、上記特許文献１は、回転子を備えた積層型静電モータにおいて、固定子給電兼結合用ピンにより複数の固定子が互いに電気的かつ機械的に連結されるとともに、回転子給電兼結合用ピンにより複数の回転子が互いに電気的かつ機械的に連結される構成を開示する。このような構成により、複数の固定子及び移動子のそれぞれの電極群に複数相の電圧を印加するための給電構造を簡略化でき、また固定子同士及び移動子同士を一体化したことで動作信頼性を向上できる。
【０００４】
また、積層型静電モータでは、積層方向へ隣り合う固定子と移動子との間に予め定めた寸法のギャップを確保する目的で、１つの単位モータ構造の固定子と他の単位モータ構造の固定子との間、及び１つの単位モータ構造の移動子と他の単位モータ構造の移動子との間に、スペーサを介在させる構成が公知である。例えば特許文献２は、積層型静電モータにおいて、一対の固定子を互いに接続する接続構造（例えば導電性ピン）に隣接して両固定子の間にスペーサを介在させるとともに、一対の移動子を互いに接続する接続構造（例えば導電性ピン）に隣接して両移動子の間にスペーサを介在させ、それらスペーサにより、積層方向へ隣り合う固定子と移動子との間に微小間隔を確保する構成を開示する。
【０００５】
さらに、個々の単位モータ構造において、固定子と移動子との互いに対向する表面の間に、それら表面同士の接触を防止するための接触防止要素を設けることが知られている。例えば特許文献３は、互いに対向する固定子の表面と移動子の表面との間にガラスビーズ等の微小粒子を散布したり、いずれかの表面に凸部を形成したりする構成を開示する。
【０００６】
【特許文献１】特開平８−１４９８５８号公報（［００２３］、［００３０］〜［００３７］、［図４］、［図５］、［図１１］〜［図２０］）
【特許文献２】特開２００５−２１０８５１号公報（［０００９］〜［００１１］、［図１１］、［図１２］）
【特許文献３】特開２００５−２１０８５２号公報（［０００６］、［００１８］、［００２２］、［図１］、［図３］、［図１０］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
積層型静電モータにおいて、複数の固定子同士及び複数の移動子同士をピンにより電気的及び機械的に接続する構成では、ピンを取り付けるときに加わる外力により、個々の固定子や移動子に撓みが生じる場合がある。この撓みの量が、固定子と移動子との間に確保するべきギャップの寸法に達する場合には、モータ作動時に固定子と移動子とが互いに接触して移動子の動作に影響を及ぼすことが懸念される。このような懸念を排除するためには、固定子間及び移動子間に介在するスペーサの寸法を、本来要求される固定子／移動子間のギャップによって決まる寸法よりも、予め大きく設計する必要がある。また、モータ組立前に固定子や移動子が単体で有する可能性のある厚みのばらつき、反り、ゆがみ等の構造上の誤差をも考慮する場合には、さらに大きなスペーサを使用することが所望される。
【０００８】
固定子と移動子との互いに対向する表面の間に、それら表面同士の接触を防止するための接触防止要素を設けている場合には、固定子同士及び移動子同士を接続することにより個々の固定子や移動子に撓みが生じたとしても、モータ作動時の固定子と移動子との接触を回避することはできる。しかしこの構成でも、固定子や移動子の撓みにより、固定子表面又は移動子表面から接触防止要素に加わる圧力が増加して両者間の動摩擦が増加する場合が有り、やはり移動子の動作に影響を及ぼすことが危惧される。したがって、固定子表面と移動子表面との間に接触防止要素を設けている構成であっても、固定子間及び移動子間に介在するスペーサの寸法を大きくする必要がある。
【０００９】
静電モータにおいて要求される固定子と移動子との間のギャップは、本来、所要のモータ出力を確保し得る静電力を生成することを前提として、モータ作動中の固定子と移動子との接触を回避するに必要な最小限の値（すなわち理想値）に設定される。ここで、モータ組立時に固定子や移動子に生じ得る撓みや、モータ組立前に固定子や移動子が有し得る構造上の誤差を想定して、スペーサの寸法を決定すると、ギャップが理想値よりも拡大し、積層型静電モータの出力が低下したり外形寸法が無駄に増加したりする問題が生じる。
【００１０】
本発明の目的は、積層型静電モータにおいて、隣り合う固定子と移動子との間のギャップを拡大することなく、複数個の単位モータ構造を互いに電気的及び機械的に安定して接続することができる積層型静電モータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、複数の電極及び複数の電極に複数相の電圧を印加するための複数の給電端子を有する固定子と、複数の電極及び複数の電極に複数相の電圧を印加するための複数の給電端子を有する移動子とを具備する単位モータ構造であって、固定子と移動子とが、それぞれの複数の電極を互いに対向させる対面配置で相対移動可能に設置されてなる単位モータ構造を、複数個重ねた状態で備える積層型静電モータにおいて、単位モータ構造の固定子と移動子との少なくとも一方は、複数の電極を担持する主部分と、一端で主部分に連結されて主部分から延長され、複数の給電端子が個別に設けられる複数の延長部分とを備え、それら延長部分の各々が、主部分に撓みを波及させることなく撓むことができる形状を有し、複数個の単位モータ構造は、個々の単位モータ構造の固定子と移動子との少なくとも一方に備えた複数の延長部分を介して、互いに機械的に接続されるとともに、それら複数の延長部分に設けられる複数の給電端子を介して、互いに電気的に接続され、複数個の単位モータ構造において積層方向へ隣り合う固定子と移動子との互いに対向する表面の間に、それら表面同士の接触を防止する接触防止要素が設けられること、を特徴とする積層型静電モータを提供する。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の積層型静電モータにおいて、固定子と移動子との少なくとも一方に備えた複数の延長部分の各々は、一端で主部分に一体に形成される、積層型静電モータを提供する。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の積層型静電モータにおいて、固定子と移動子との少なくとも一方に備えた複数の延長部分の各々は、主部分とは別体であって一端で主部分に取り付けられる給電部材を含み、複数の給電部材に複数の給電端子が個別に設けられる、積層型静電モータを提供する。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の積層型静電モータにおいて、１つの単位モータ構造が有する複数の給電部材の各々に設けられる給電端子が、他の単位モータ構造が有する複数の給電部材の各々に設けられる給電端子に接続される、積層型静電モータを提供する。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載の積層型静電モータにおいて、１つの単位モータ構造が有する複数の給電部材の各々に設けられる給電端子が、他の単位モータ構造の固定子又は移動子の主部分に設けた中継端子に接続される、積層型静電モータを提供する。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、請求項３〜５のいずれか１項に記載の積層型静電モータにおいて、給電部材が、導電性接着剤による接着、半田付け、機械的かしめ、ピン圧入及びボルト締結のうちの、少なくとも１つの手段により、主部分に取り付けられる、積層型静電モータを提供する。
【００１７】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれか１項に記載の積層型静電モータにおいて、１つの単位モータ構造が有する複数の延長部分の各々が、ボルト締結、ピン圧入、機械的かしめ、半田付け及び導電性接着剤による接着のうちの少なくとも１つの手段により、他の単位モータ構造が有する複数の延長部分の各々に接続される、積層型静電モータを提供する。
【００１８】
請求項８に記載の発明は、請求項１〜７のいずれか１項に記載の積層型静電モータにおいて、３個以上の単位モータ構造を具備し、１個以上の第１の単位モータ構造を間に介在させて離間配置される２個以上の第２の単位モータ構造が、第１の単位モータ構造とは別個に、複数の延長部分を介して互いに機械的に接続されるとともに複数の給電端子を介して互いに電気的に接続される、積層型静電モータを提供する。
【００１９】
請求項９に記載の発明は、請求項１〜８のいずれか１項に記載の積層型静電モータにおいて、複数個の単位モータ構造に複数相の電圧を印加するための、相毎に１本ずつの給電線が、個々の単位モータ構造の相毎に１個ずつの給電端子に電気的に接続される、積層型静電モータを提供する。
【００２０】
請求項１０に記載の発明は、請求項１〜８のいずれか１項に記載の積層型静電モータにおいて、複数個の単位モータ構造に複数相の電圧を印加するための、相毎に複数本ずつの給電線が、個々の単位モータ構造の相毎に複数個ずつの給電端子に電気的に接続される、積層型静電モータを提供する。
【００２１】
請求項１１に記載の発明は、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の積層型静電モータにおいて、単位モータ構造の固定子と移動子との各々は、互いに反対側の一対の面を有する絶縁基板を備え、それら一対の面のいずれか一方に複数の電極が形成される、積層型静電モータを提供する。
【００２２】
請求項１２に記載の発明は、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の積層型静電モータにおいて、単位モータ構造の固定子と移動子との各々は、互いに反対側の一対の面を有する絶縁基板を備え、それら一対の面の双方に複数の電極が形成される、積層型静電モータを提供する。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る積層型静電モータによれば、複数個の単位モータ構造が、個々の単位モータ構造の固定子及び移動子の少なくとも一方に備えた複数の延長部分及び複数の給電端子を介して、互いに機械的及び電気的に接続され、しかも、それら延長部分の各々が、主部分に撓みを波及させることなく撓むことができる形状を有する構成としたから、固定子同士や移動子同士を連結する際に、外力により個々の延長部分に撓みが生じたとしても、それら延長部分自体の撓みが主部分に波及することは確実に防止される。したがって、固定子と移動子との間のギャップを、所要のモータ出力を確保し得る静電力を生成することを前提として、モータ作動中の固定子と移動子との接触を回避するに必要な最小限の値（すなわち理想値）に設定することができる。
【００２４】
ここで、固定子と移動子との間のギャップは、固定子及び移動子の互いに対向する表面の間に設けられる接触防止要素によって保持されるが、単位モータ構造同士の接続時に生じ得る延長部分の撓みは主部分に波及しないから、固定子又は移動子の表面から接触防止要素に加わる圧力の増加及び両者間の動摩擦の増加は効果的に防止され、移動子の動作への影響が排除される。さらに、モータ組立前に固定子や移動子が単体で厚みのばらつき、反り、ゆがみ等の構造上の誤差を有している場合にも、接触防止要素が固定子と移動子との間のギャップを保持するように作用するとともに、複数個の単位モータ構造の間で固定子及び移動子の主部分が、相互連結された延長部分に対し軸線方向へのある程度自由な変位を許容されるから、やはり、移動子の動作への影響が排除される。
【００２５】
このように、本発明に係る積層型静電モータにおいては、モータ組立時に固定子や移動子に生じ得る撓みや、モータ組立前に固定子や移動子が有し得る構造上の誤差を想定する必要が無くなり、しかも、移動子の動作に影響を及ぼすことなく、隣り合う固定子と移動子との間のギャップを、接触防止要素によって理想値（許容最小値）に保持できる。したがって本発明によれば、固定子と移動子との間のギャップを拡大すること、及びその結果としての出力の低下や外形寸法の無駄な増加を生じることを、確実に防止しながら、複数個の単位モータ構造を互いに電気的及び機械的に安定して接続することが可能になる。
【００２６】
各延長部分が一端で主部分に一体に形成される構成としたときには、部品点数及び組立工数の増加を抑制することができる。
【００２７】
各延長部分が、主部分とは別体で主部分に取り付けられる給電部材を含む構成としたときには、主部分に対し、給電部材の取付個数や取付場所を適宜選択することができ、また、寸法や形状の異なる複数種類の給電部材を予め用意して、要求に応じて適当な種類の給電部材を組み合わせて使用することもできる。その結果、給電線の接続方式の選択自由度を含む積層型静電モータの設計の自由度が増加する。
【００２８】
１つの単位モータ構造が有する各給電部材の給電端子が、他の単位モータ構造が有する各給電部材の給電端子に接続される構成とすれば、従来の単位モータ構造同士の接続手段をそのまま使用することができる。また、１つの単位モータ構造が有する各給電部材の給電端子が、他の単位モータ構造の主部分に設けた中継端子に接続される構成とすれば、単位モータ構造同士の接続構造を簡略化することができ、しかも、給電部材同士の拘束が無いから、単位モータ構造の個数が増加した場合にも、個々の給電部材が撓み難くなることを防止できる。
【００２９】
給電部材を主部分に取り付ける手段としての、導電性接着剤による接着、半田付け、機械的かしめ、ピン圧入及びボルト締結は、いずれも単純構造で信頼性の高い手段であり、主部分と給電部材との安定した電気的及び機械的接続に寄与する。また、延長部分同士を接続する手段としての、ボルト締結、ピン圧入、機械的かしめ、半田付け及び導電性接着剤は、いずれも単純構造で信頼性の高い接続手段であり、複数個の単位モータ構造同士の安定した電気的及び機械的接続に寄与する。
【００３０】
３個以上の単位モータ構造を具備する場合に、１個以上の第１の単位モータ構造とは別個に、２個以上の第２の単位モータ構造を機械的かつ電気的に接続する構成とすれば、第１の単位モータ構造と第２の単位モータ構造との間で、単位モータ構造同士を接続する延長部分の位置を適当にずらすことができるので、単位モータ構造の個数が増加した場合にも、個々の延長部分が撓み難くなることを防止できる。
【００３１】
相毎に１本ずつの給電線を個々の単位モータ構造の相毎に１個ずつの給電端子に接続する構成とすれば、給電線の配線作業を簡略化できる。他方、相毎に複数本ずつの給電線を個々の単位モータ構造の相毎に複数個ずつの給電端子に接続する構成とすれば、相毎に複数ずつの経路により給電を行うことができるので、積層型静電モータの動作信頼性が向上する。
【００３２】
上記した種々の作用効果は、固定子及び移動子の各々が、絶縁基板の一方の面のみに複数の電極を形成した構成を有する場合であっても、絶縁基板の両面に複数の電極を形成した構成を有する場合であっても、同様に奏されるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。全図面に渡り、対応する構成要素には共通の参照符号を付す。
図面を参照すると、図１は、本発明の第１の実施形態による積層型静電モータ１０を概略で示す斜視図、図２は、積層型静電モータ１０が有する複数個の単位モータ構造１２を示す切欠き斜視図、図３及び図４は、単位モータ構造１２を構成する固定子１４及び移動子１６の平面図、図５及び図６は、積層型静電モータ１０の局部拡大断面図である。なお、図示実施形態による積層型静電モータ１０は、三相交流電源で動作する構成を有するものであるが、本発明に係る積層型静電モータは、三相以外の複数相（多相）の電源で動作する構成を有することもできる。
【００３４】
図１〜図６に示すように、積層型静電モータ１０は、１つの固定子１４と１つの移動子１６とを備えた単位モータ構造１２を、複数個（図では３個）、互いに非接触に重ねた状態で備える。各単位モータ構造１２の固定子１４は、複数の電極１８と、それら電極１８に三相の電圧を印加するための複数の給電端子２０とを有する。各単位モータ構造１２の移動子１６は、複数の電極２２と、それら電極２２に三相の電圧を印加するための複数の給電端子２４とを有する。積層型静電モータ１０は、複数の移動子１６が複数の固定子１４に対して軸線中心に回転（矢印α）する回転モータの構成を有する。
【００３５】
固定子１４は、略円形の外周縁１４ａと略円形の内周縁１４ｂとを軸線１４ｃに関して同心に有する環板状部材であり、複数の電極１８及び給電端子２０を担持する円環形輪郭の絶縁基板２６を有する。絶縁基板２６は、ガラスエポキシやポリイミド等を素材とする可撓性薄板であり、例えば公知の（リジッド又はフレキシブル）プリント基板作製方法に準じた手順により、その一表面２６ａに、複数（３ｎ個：ｎは自然数）の矩形帯状の電極１８が、軸線１４ｃを中心として周方向等間隔配置で放射状に形成されるとともに、６個の環状の給電端子２０が、それら電極１８の形成領域の径方向外側で固定子１４の外周縁１４ａに沿った領域に適当に分散して形成される。
【００３６】
図３は、固定子１４に形成される電極１８等の導電要素のパターンを示す。複数の電極１８は、異なる相の電圧をそれぞれに印加する３個の電極１８−１〜１８−３が相互絶縁状態で周方向へ並んで配置されるとともに、それら３個の電極１８−１〜１８−３を個々に含む複数組の電極１８が、周方向へ繰返しパターンで一様に形成される。同一相の電極１８同士は、絶縁基板２６の表面２６ａ及びその反対側の裏面２６ｂに相毎に独立して形成される導線２８により、電気的に接続される（表面２６ａのパターンを実線で、裏面２６ｂのパターンを破線で示す）。
【００３７】
詳述すれば、第１相の電圧を印加する複数の電極１８−１は、絶縁基板２６の表面２６ａにおいて、電極群全体の外端側に略円形パターンで形成される導線２８−１を介して互いに接続され、導線２８−１が、そのさらに外側で径方向に対向する２箇所に位置する一対の給電端子２０−１に接続される。また、第２相の電圧を印加する複数の電極１８−２は、絶縁基板２６の裏面２６ｂにおいて、電極群全体の外端側に相当する領域に略円形パターンで形成される導線２８−２を介して互いに接続され、導線２８−２が、そのさらに外側で径方向に対向する２箇所に位置する一対の給電端子２０−２に接続される。また、第３相の電圧を印加する複数の電極１８−３は、絶縁基板２６の表面２６ａにおいて、第１相の導線２８−１のさらに外側に略円形パターンで形成される導線２８−３を介して互いに接続され、導線２８−３が、そのさらに外側で径方向に対向する２箇所に位置する一対の給電端子２０−３に接続される。なお、第３相の導線２８−３は、第１相の導線２８−１と交差する箇所では、局所的に裏面２６ｂ側に形成されている。
【００３８】
絶縁基板２６の表面２６ａに形成される導電要素（例えば電極１８−２）と裏面２６ｂに形成される同一相の導電要素（例えば導線２８−２）との電気的接続は、メッキスルーホール３０により確保される。また、各給電端子２０は、スルーホール３２を備えて絶縁基板２６の表面２６ａ及び裏面２６ｂの双方に露出する円筒形の構造を有する（図５）。さらに、図示しないが、一般的構成として、絶縁基板２６の表面２６ａ及び裏面２６ｂは、電極１８、給電端子２０及び導線２８を含む導電要素の絶縁性及び耐久性を向上させるために、全体が絶縁層で被覆されている。なお図示実施形体では、相毎に２個の給電端子２０が設けられているが、相毎に１個のみの給電端子２０或いは３個以上の給電端子２０を設けることもできる。相毎に複数個の給電端子２０を設けることで、後述する給電線の接続方式の選択自由度が増加する。
【００３９】
移動子（すなわち回転子）１６は、略円形の外周縁１６ａと略円形の内周縁１６ｂとを軸線１６ｃに関して同心に有する環板状部材であり、複数の電極２２及び給電端子２４を担持する円環形輪郭の絶縁基板３４を有する。絶縁基板３４は、ガラスエポキシやポリイミド等を素材とする可撓性薄板であり、例えば公知の（リジッド又はフレキシブル）プリント基板作製方法に準じた手順により、その一表面３４ａに、複数（３ｎ個：ｎは自然数）の矩形帯状の電極２２が、軸線１６ｃを中心として周方向等間隔配置で放射状に形成されるとともに、６個の環状の給電端子２４が、それら電極２２の形成領域の径方向内側で移動子１６の内周縁１６ｂに沿った領域に適当に分散して形成される。なお、移動子１６の外周縁１６ａの外径及び内周縁１６ｂの内径は、それぞれ、固定子１４の外周縁１４ａの外径及び内周縁１４ｂの内径よりも小さくなっている。また、固定子１４の各電極１８と移動子１６の各電極２２とは、互いに略同一の形状及び寸法を有し、前者の電極群１８と後者の電極群２２とは、互いに同一の間隔で同一の配列形態に配置される。
【００４０】
図４は、移動子１６に形成される電極２２等の導電要素のパターンを示す。複数の電極２２は、異なる相の電圧をそれぞれに印加する３個の電極２２−１〜２２−３が相互絶縁状態で周方向へ並んで配置されるとともに、それら３個の電極２２−１〜２２−３を個々に含む複数組の電極２２が、周方向へ繰返しパターンで一様に形成される。同一相の電極２２同士は、絶縁基板３４の表面３４ａ及びその反対側の裏面３４ｂに相毎に独立して形成される導線３６により、電気的に接続される（表面３４ａのパターンを実線で、裏面３４ｂのパターンを破線で示す）。
【００４１】
詳述すれば、第１相の電圧を印加する複数の電極２２−１は、絶縁基板３４の裏面３４ｂにおいて、電極群全体の内端側に相当する領域に略円形パターンで形成される導線３６−１を介して互いに接続され、導線３６−１が、そのさらに内側で径方向に対向する２箇所に位置する一対の給電端子２４−１に電気的に接続される。また、第２相の電圧を印加する複数の電極２２−２は、絶縁基板３４の表面３４ａにおいて、電極群全体の内端側に略円形パターンで形成される導線３６−２を介して互いに接続され、導線３６−２が、そのさらに内側で径方向に対向する２箇所に位置する一対の給電端子２４−２に電気的に接続される。また、第３相の電圧を印加する複数の電極２２−３は、絶縁基板３４の表面３４ａにおいて、第２相の導線３６−２の径方向内側に略円形パターンで形成される導線３６−３を介して互いに接続され、導線３６−３が、そのさらに内側で径方向に対向する２箇所に位置する一対の給電端子２４−３に電気的に接続される。なお、第２相の導線３６−２は、第３相の導線３６−３と交差する箇所では、局所的に裏面３４ｂ側に形成されている。
【００４２】
絶縁基板３４の表面３４ａに形成される導電要素（例えば電極２２−１）と裏面３４ｂに形成される同一相の導電要素（例えば導線３６−１）との電気的接続は、メッキスルーホール３８により確保される。また、各給電端子２４は、スルーホール４０を備えて絶縁基板３４の表面３４ａ及び裏面３４ｂの双方に露出する円筒型の構造を有する（図６）。さらに、図示しないが、一般的構成として、絶縁基板３４の表面３４ａ及び裏面３４ｂは、電極２２、給電端子２４及び導線３６を含む導電要素の絶縁性及び耐久性を向上させるために、全体が絶縁層で被覆されている。なお図示実施形体では、相毎に２個ずつの給電端子２４が設けられているが、相毎に１個のみの給電端子２４或いは３個以上の給電端子２４を有する構成と設けることもできる。相毎に複数個の給電端子２４を設けることで、後述する給電線の接続方式の選択自由度が増加する。
【００４３】
各単位モータ構造１２において、固定子１４と移動子１６とは、複数の電極１８、２２をそれぞれに形成した絶縁基板２６、３４の表面２６ａ、３４ａを互いに対向させるとともに、両者の軸線１４ｃ、１６ｃを合致させた状態で、所定寸法のギャップＧ（図５、図６）を介して相対移動可能に対面配置される。また、複数個の単位モータ構造１２は、それぞれが有する固定子１４及び移動子１６の軸線１４ｃ、１６ｃを互いに合致させた状態で、ハウジング構造に収容されて、積層型静電モータ１０を構成する（図１）。
【００４４】
図１に示すように、積層型静電モータ１０のハウジング構造は、複数個の単位モータ構造１２の固定子１４を固定的に支持する第１支持部材４２と、複数個の単位モータ構造１２の移動子１６を固定子１４に対して移動可能に支持する第２支持部材４４とを備える。第１支持部材４２は、複数個の単位モータ構造１２を適正な積層状態に保持する基礎部材であり、その所定位置に、複数の固定子１４を支持する一対の支柱４６が固定的に立設される。第２支持部材４４は、第１支持部材４２に軸受装置（図示せず）を介して回動自在に搭載される可動部材であり、その所定位置に、複数の移動子１６を支持する一対の支柱４８が固定的に立設されるとともに、回転軸線４４ａを中心とする円筒状の軸部５０が、両支柱４８の間の位置に形成される。
【００４５】
個々の固定子１４の外周縁１４ａ近傍には、給電端子２０から離れた位置で径方向へ対向する２箇所に、固定子１４を第１支持部材４２に固定的に取り付けるための取付穴５２が、それぞれ貫通形成される。また、個々の移動子１６の内周縁１６ｂ近傍には、給電端子２４から離れた位置で径方向へ対向する２箇所に、移動子１６を第２支持部材４４に固定的に取り付けるための取付穴５４が、それぞれ貫通形成される。個々の単位モータ構造１２の固定子１４及び移動子１６は、それぞれの取付穴５２、５４に、第１及び第２支持部材４２、４４に設けた対応の支柱４６、４８を嵌入することにより、第１及び第２支持部材４２、４４に固定的に取り付けられる。このとき、個々の移動子１６の内周縁１６ｂによって画定される中心穴５６に、第２支持部材４４の軸部５０が同軸状に受容される。
【００４６】
各単位モータ構造１２の固定子１４及び移動子１６は、両者の軸線１４ｃ、１６ｃが第２支持部材４４の回転軸線４４ａに合致し、かつ前者の電極群１８と後者の電極群２２とが互いに正対するように、それぞれ正確に位置決めした状態で、第１及び第２支持部材４２、４４に支持される。この状態で、複数個（３個）の固定子１４における給電端子群２０は、互いに軸線方向へ同軸に整列し、また複数個（３個）の移動子１６における給電端子群２４は、互いに軸線方向へ同軸に整列する。このような相対配置で、各単位モータ構造１２の固定子１４及び移動子１６のそれぞれの電極群１８、２２に対し、並列する３個の電極１８−１〜１８−３、２２−１〜２２−３に三相交流電圧を印加して、対向する電極１８、２２の間で正負の静電力を交番状に生じさせることにより、移動子１６に、その電極群２２の整列方向（つまり周方向）への駆動力が生じる。それにより、複数組の単位モータ構造１２において、複数の移動子１６は、第１支持部材４２及び複数の固定子１４に対し、第２支持部材４４と一体的に軸線１６ｃ、４４ａを中心に回転する。
【００４７】
積層型静電モータ１０が有する複数の固定子１４及び移動子１６は、モータ組立時に生じ得るそれぞれの撓みやモータ組立前に有し得る構造上の誤差に起因する前述した不都合を回避するための、以下の特徴的構成を有する。
【００４８】
個々の単位モータ構造１２において、固定子１４は、複数（３ｎ個）の電極１８を担持する主部分５８と、一端６０ａで主部分５８に連結されて主部分５８から延長され、複数（６個）の給電端子２０が個別に設けられる複数（６個）の延長部分６０とを備える（図２、図３）。また、移動子１６は、複数（３ｎ個）の電極２２を担持する主部分６２と、一端６４ａで主部分６２に連結されて主部分６２から延長され、複数（６個）の給電端子２４が個別に設けられる複数（６個）の延長部分６４とを備える（図２、図４）。
【００４９】
固定子１４において、各延長部分６０は、主部分５８に撓みを波及させることなく撓むことができる形状を有する。具体的には、各延長部分６０は、一端６０ａで主部分５８に一体に形成されて円弧状に延びる小片であり、スリット６６を介して、主部分５８の周縁５８ａ（すなわち固定子１４の外周縁１４ａ）に沿った位置に設けられる。主部分５８と複数の延長部分６０とは、例えば、円環形の絶縁基板２６に対し、固定子１４の略円形の外周縁１４ａに沿って所定軌跡で延びる複数のスリット６６を加工することにより、互いに一体の要素として形成される。これにより延長部分６０は、一端６０ａで主部分５８に片持ち梁式に支持されるから、一端６０ａを支点とした延長部分６０自体の撓みによる変位（特に軸線方向への変位）が主部分５８によって拘束されず、結果として、延長部分６０自体の撓みを主部分５８に実質的に波及させないものとなる。なお、６個の延長部分６０に個別に担持された給電端子２０−１〜２０−３と対応の電極１８−１〜１８−３とを互いに接続する導線２８−１〜２８−３は、スリット６６に干渉しないパターンで各延長部分６０と主部分５８との間に連続してＬ字状に敷設される部分２８−１Ｅ〜２８−３Ｅを含む。
【００５０】
また、移動子１６において、各延長部分６４は、主部分６２に撓みを波及させることなく撓むことができる形状を有する。具体的には、各延長部分６４は、一端６４ａで主部分６２に一体に形成されて舌状に延びる小片であり、スリット６８を介して、主部分６２の周縁６２ａ（すなわち移動子１６の内周縁１６ｂ）に沿った位置に設けられる。主部分６２と複数の延長部分６４とは、例えば、円環形の絶縁基板３４に対し、移動子１６の略円形の内周縁１６ｂに沿って所定軌跡で延びる複数のスリット６８を加工することにより、互いに一体の要素として形成される。これにより延長部分６４は、一端６４ａで主部分６２に片持ち梁式に支持されるから、一端６４ａを支点とした延長部分６４自体の撓みによる変位（特に軸線方向への変位）が主部分６２によって拘束されず、結果として、延長部分６４自体の撓みを主部分６２に実質的に波及させないものとなる。なお、６個の延長部分６４に個別に担持された給電端子２４−１〜２４−３と対応の電極２２−１〜２２−３とを互いに接続する導線３６−１〜３６−３は、スリット６８に干渉しないパターンで各延長部分６４と主部分６２との間に連続して敷設される部分３６−１Ｅ〜３６−３Ｅを含む。
【００５１】
上記のように、各延長部分６０、６４がスリット６６、６８を介して主部分５８、６２の周縁５８ａ、６２ａに沿った位置に設けられる構成では、主部分５８、６２からの延長部分６０、６４の突出量を削減して、積層型静電モータ１０の外形寸法の増加を抑制できる利点がある。
【００５２】
複数個の単位モータ構造１２は、個々の単位モータ構造１２の固定子１４及び移動子１６に備えた複数の延長部分６０、６４を介して、互いに機械的に接続されるとともに、それら複数の延長部分６０、６４に設けられる複数の給電端子２０、２４を介して、互いに電気的に接続される（図１、図２）。具体的には、３個の固定子１４は、互いに同一相の給電端子２０を担持する延長部分６０同士が、ボルト７０及びナット７２を含むボルト締結構造により相互に固定的に連結される。また、３個の移動子１６は、互いに同一相の給電端子２４を担持する延長部分６４同士が、ボルト７４及びナット７６を含むボルト締結構造により相互に固定的に連結される。
【００５３】
なお図では、簡略化のため、個々の固定子１４において第１相の１つの給電端子２０−１を担持する延長部分６０に対するボルト締結構造のみを示しているが、個々の固定子１４において他の給電端子２０−２、２０−３を担持する延長部分６０同士も、同様に、ボルト７０及びナット７２を含むボルト締結構造により相互に固定的に連結される。また同様に、個々の移動子１６において第２相の１つの給電端子２４−２を担持する延長部分６４に対するボルト締結構造のみを示しているが、個々の移動子１６において他の給電端子２４−１、２４−３を担持する延長部分６４同士も、同様に、ボルト７４及びナット７６を含むボルト締結構造により相互に固定的に連結される。
【００５４】
図５に明示するように、固定子１４の延長部分６０同士を接続するボルト締結構造は、１つの単位モータ構造１２の固定子１４と他の単位モータ構造１２の固定子１４との間に１個ずつ介在する計２個のスペーサ７８を含む。各スペーサ７８は、導電性及び剛性を有する筒状要素であり、その中心貫通孔７８ａにボルト７０の軸部７０ａを受容して、移動子１６を挟んで隣り合う２個の固定子１４の給電端子２０の間に所定圧力下で挟持され、それにより、両給電端子２０を互いに導通させるとともに、両固定子１４の間に所定の間隔Ｓ１を形成する。
【００５５】
図示実施形態では、ボルト７０は、最下層の固定子１４の基板裏面２６ｂ側から給電端子２０のスルーホール３２に挿通され、一対のスペーサ７８の中心貫通孔７８ａ及び他の２個の固定子１４の給電端子２０のスルーホール３２を通って、軸部７０ａの先端が、最上層の固定子１４の基板表面２６ａ側に突出する。ナット７２は、最上層の固定子１４の基板表面２６ａ側でボルト７０の軸部７０ａの先端に螺着される。このとき、最上層の固定子１４の基板表面２６ａ側に露出する給電端子２０とナット７２との間に、所定相の電圧を対応相の電極群１８（図３）に印加するための給電線の末端端子部８０が、固定的に挟持される。このような構成を有するボルト締結構造において、ナット７２をボルト７０に所定トルクで螺着することにより、３個の固定子１４は、同一相の給電端子２０を担持する延長部分６０を介して互いに機械的に接続されるとともに、それら延長部分６０に担持される給電端子２０を介して互いに電気的に接続される。そして、相毎に独立したボルト締結構造によって延長部分６０に接続される所定相の給電線（末端端子部８０のみ図示）から、延長部分６０を介して並列に接続される全ての固定子１４の対応相の電極群１８（図３）に交流電圧が印加される。なお、ボルト７０の頭部７０ｂと最下層の固定子１４の基板裏面２６ｂ側に露出する給電端子２０との間には、座金８２が挿入される。
【００５６】
図６に明示するように、移動子１６の延長部分６４同士を接続するボルト締結構造は、１つの単位モータ構造１２の移動子１６と他の単位モータ構造１２の移動子１６との間に１個ずつ介在する計２個のスペーサ８４を含む。各スペーサ８４は、導電性及び剛性を有する筒状要素であり、その中心貫通孔８４ａにボルト７４の軸部７４ａを受容して、固定子１４を挟んで隣り合う２個の移動子１６の給電端子２４の間に所定圧力下で挟持され、それにより、両給電端子２４を互いに導通させるとともに、両移動子１６の間に所定の間隔Ｓ２を形成する。
【００５７】
図示実施形態では、ボルト７４は、最下層の移動子１６の基板表面３４ａ側から給電端子２４のスルーホール４０に挿通され、一対のスペーサ８４の中心貫通孔８４ａ及び他の２個の移動子１６の給電端子２４のスルーホール４０を通って、軸部７４ａの先端が、最上層の移動子１６の基板裏面３４ｂ側に突出する。ナット７６は、最上層の移動子１６の基板裏面３４ｂ側でボルト７４の軸部７４ａの先端に螺着される。このとき、最上層の移動子１６の基板裏面３４ｂ側に露出する給電端子２４とナット７６との間に、所定相の電圧を対応相の電極群２２（図４）に印加するための給電線の末端端子部８６が、固定的に挟持される。このような構成を有するボルト締結構造において、ナット７６をボルト７４に所定トルクで螺着することにより、３個の移動子１６は、同一相の給電端子２４を担持する延長部分６４を介して互いに機械的に接続されるとともに、それら延長部分６４に担持される給電端子２４を介して互いに電気的に接続される。そして、相毎に独立したボルト締結構造によって延長部分６４に接続される所定相の給電線（末端端子部８６のみ図示）から、延長部分６４を介して並列に接続される全ての移動子１６の対応相の電極群２２（図４）に交流電圧が印加される。なお、ボルト７４の頭部７４ｂと最下層の移動子１６の基板表面３４ａ側に露出する給電端子２４との間には、座金８８が挿入される。
【００５８】
積層型静電モータ１０はさらに、複数個の単位モータ構造１２において積層方向へ隣り合う固定子１４と移動子１６との互いに対向する表面の間（つまり、固定子１４の基板表面２６ａと移動子１６の基板表面３４ａとの間、及び固定子１４の基板裏面２６ｂと移動子１６の基板裏面３４ｂとの間）に、それら表面同士の接触を防止するべく設けられる接触防止要素を備える（図５、図６）。図示実施形態では、接触防止要素は、所定の平均粒径を有する複数の球形粒子（例えばガラスやセラミックスのビーズ）９０から構成される。
【００５９】
球形粒子９０からなる接触防止要素は、互いに対向する固定子１４の表面（基板表面２６ａ又は基板裏面２６ｂ）と移動子１６の表面（基板表面３４ａ又は基板裏面３４ｂ）との間に好ましくは一様な分散状態で介在して、それら表面同士の接触を防止するように作用する。特に、積層型静電モータ１０の動作中に、複数の球形粒子９０は、相対移動する固定子１４及び移動子１６の互いに対向する表面の間で、移動子１６の表面に引きずられて固定子１４の表面上で適当に転動し、球形粒子９０と両表面との動摩擦を軽減して、移動子１６の動作に及ぼす影響を可及的に低減するように作用する。さらに、本発明に係る積層型静電モータ１０では、球形粒子９０からなる接触防止要素は、固定子１４及び移動子１６の互いに対向する表面の双方に常時接触して、固定子１４の基板表面２６ａと移動子１６の基板表面３４ａとの間に所定寸法のギャップＧを保持するとともに、固定子１４の基板裏面２６ｂと移動子１６の基板裏面３４ｂとの間に所定寸法のギャップＧ′（通常はギャップＧと同一寸法）を保持するように作用する（図５、図６）。
【００６０】
なお、固定子１４と移動子１６との互いに対向する表面の間のギャップＧ、Ｇ′の寸法は、固定子１４及び移動子１６の絶縁基板２６、３４の厚み等の、各種構成要素の寸法や、積層型静電モータ１０で要求される出力等に応じて設定でき、特に限定されない。例えば、固定子１４及び移動子１６の絶縁基板２６、３４の厚みが約１００μｍ〜約１ｍｍ程度である場合、ギャップＧ、Ｇ′（或いは球形粒子９０の平均粒径）は、約２０μｍ〜約１００μｍに設定できる。
【００６１】
上記構成を有する積層型静電モータ１０は、複数個の単位モータ構造１２が、個々の単位モータ構造１２の固定子１４及び移動子１６に備えた複数の延長部分６０、６４及び複数の給電端子２０、２４を介して、互いに機械的及び電気的に接続され、しかも、それら延長部分６０、６４が、固定子１４及び移動子１６の主部分５８、６２に撓みを波及させることなく撓むことができる形状を有する構成としたから、ボルト７０、７４及びナット７２、７６を含むボルト締結構造により固定子１４同士及び移動子１６同士を連結する際に、外力（例えばナット締結トルク）により個々の延長部分６０、６４に撓みが生じたとしても、それら延長部分６０、６４自体の撓みが主部分５８、６２に波及することは確実に防止される。したがって、固定子１４と移動子１６との間のギャップＧを、所要のモータ出力を確保し得る静電力を生成することを前提として、モータ作動中の固定子１４と移動子１６との接触を回避するに必要な最小限の値（すなわち理想値）に設定することができる。
【００６２】
ここで、固定子１４と移動子１６との間のギャップＧ（及びギャップＧ′）は、間接的かつ概略的には、延長部分６０、６４同士を接続するためのボルト締結構造に含まれる複数のスペーサ７８、８４によって確保されるが、直接的には、固定子１４及び移動子１６の互いに対向する表面の間に設けられる複数の球形粒子９０（接触防止要素）によって保持される。したがって、各スペーサ７８、８４の寸法は、ギャップＧ、Ｇ′を理想値（許容最小値）に保持する球形粒子９０の粒径に従って決定できる。しかも、固定子１４及び移動子１６の互いに対向する表面の双方に複数の球形粒子９０が常時接触する構成であるにも関わらず、ボルト締結時に生じ得る延長部分６０、６４の撓みは主部分５８、６２に波及しないから、ボルト締結構造に起因する、固定子１４又は移動子１６の表面から球形粒子９０に加わる圧力の増加及び両者間の動摩擦の増加は効果的に防止され、移動子１６の動作への影響は実質的に排除される。さらに、モータ組立前に固定子１４や移動子１６が単体で厚みのばらつき、反り、ゆがみ等の構造上の誤差を有している場合にも、複数の球形粒子９０が固定子１４と移動子１６との間のギャップＧ、Ｇ′を保持するように作用するとともに、複数個の単位モータ構造１２の間で固定子１４及び移動子１６の主部分５８、６２が、相互連結された延長部分６０、６４に対し軸線方向へのある程度自由な変位を許容されるから、やはり、移動子１６の動作への影響が実質的に排除される。
【００６３】
このように、積層型静電モータ１０においては、モータ組立時に固定子１４や移動子１６に生じ得る撓みや、モータ組立前に固定子１４や移動子１６が有し得る構造上の誤差を想定して、スペーサ７８、８４の寸法を決定する必要が無くなり、しかも、移動子１６の動作に影響を及ぼすことなく、隣り合う固定子１４と移動子１６との間のギャップＧ、Ｇ′を、複数の球形粒子９０（接触防止要素）によって直接的に理想値（許容最小値）に保持できる。したがって積層型静電モータ１０によれば、固定子１４と移動子１６との間のギャップＧ、Ｇ′を拡大すること、及びその結果としての出力の低下や外形寸法の無駄な増加を生じることを、確実に防止しながら、複数個の単位モータ構造１２を互いに電気的及び機械的に安定して接続することが可能になる。
【００６４】
上記した積層型静電モータ１０では、１つの単位モータ構造１２に備えた個々の延長部分６０、６４と他の単位モータ構造１２に備えた対応する延長部分６０、６４とを互いに機械的及び電気的に接続する手段として、ボルト７０、７４及びナット７２、７６を含むボルト締結構造を採用したが、本発明はこれに限定されず、他の様々な接続手段を採用することができる。例えば、図７に示すように、ボルト締結構造の代わりに、半田及び導電性接着剤のいずれか一方からなる固着材料９２を用いて、固定子１４の延長部分６０同士並びに移動子１６の延長部分６４（図示せず）同士を機械的及び電気的に接続することもできる。また、図８に示すように、ボルト締結構造の代わりに、リベット状部品９４を用いた機械的かしめにより、固定子１４の延長部分６０同士並びに移動子１６の延長部分６４（図示せず）同士を機械的及び電気的に接続することもできる。また、図示しないが、ボルト締結構造の代わりに、給電端子２０、２４のスルーホール３２、４０にピンを圧入することにより、固定子１４の延長部分６０同士並びに移動子１６の延長部分６４（図示せず）同士を機械的及び電気的に接続することもできる。
【００６５】
これらボルト締結、ピン圧入、機械的かしめ、半田付け及び導電性接着剤による接着は、いずれも、単純構造で信頼性の高い接続手段であり、複数個の単位モータ構造１２同士の安定した電気的及び機械的接続に寄与する。なお、これら接続手段は、いずれか１つの手段を単独で使用するだけでなく、幾つかの適当な手段を組み合わせて使用することもできる。そして、これらいずれの接続手段を採用した場合にも、前述した特徴的な固定子１４及び移動子１６の構成により、固定子１４同士及び移動子１６同士を連結する際に加わる外力の影響が排除される。
【００６６】
上記した積層型静電モータ１０では、積層方向へ隣り合う固定子１４と移動子１６との互いに対向する表面の間にそれら表面同士の接触を防止するべく設けられる接触防止要素として、複数の球形粒子９０を採用したが、本発明はこれに限定されず、他の様々な接触防止要素を採用することができる。例えば、図示しないが、固定子１４の基板表面２６ａと移動子１６の基板表面３４ａとの少なくとも一方、及び固定子１４の基板裏面２６ｂと移動子１６の基板裏面３４ｂとの少なくとも一方に、複数の球形粒子９０の代わりに（又は複数の球形粒子９０に加えて）、接触防止要素として作用する突起を形成することもできる。突起は、固定子１４及び移動子１６の互いに対向する表面の少なくとも一方に、予め一体成形工程により形成したり、同表面に別体の突起を接着剤等で固着したりすることができる。また、突起の形状は、ドーム状、矩形状、柱状等、特に限定されないが、相対移動する相手方の表面に接触する突起の端面は、接触面同士の動摩擦を軽減可能な曲面形状を有することが有利である。
【００６７】
上記した積層型静電モータ１０では、複数個の単位モータ構造１２における全ての固定子１４並びに移動子１６が、主部分５８、６２及び延長部分６０、６４を有する構成としたが、本発明はこれに限定されず、他の様々な構成を採用することができる。例えば、個々の単位モータ構造１２における固定子１４及び移動子１６のいずれか一方のみが、主部分５８、６２と延長部分６０、６４とを有する構成とすることもできる。また、移動子が、電極群の代わりに表面の全体に一様な抵抗膜を形成してなる積層型静電モータにおいては、所望数の単位モータ構造の固定子が主部分と延長部分とを有する構成を採用できる。
【００６８】
さらに、本発明に係る積層型静電モータ１０は、個々の単位モータ構造１２の固定子１４及び移動子１６がいずれも、絶縁基板２６、３４の表面２６ａ、３４ａ及び裏面２６ｂ、３４ｂの双方に複数の電極１８、２２を形成してなる構成を採用することもできる。例として、図９〜図１２は、絶縁基板２６、３４の表面２６ａ、３４ａ及び裏面２６ｂ、３４ｂの双方に、電極１８、２２、給電端子２０、２４及び導線２８、３６を形成してなる固定子１４′及び移動子１６′を示す。このような両面電極型の固定子１４′及び移動子１６′を有する積層型静電モータは、単位モータ構造１２の個数を増やさずに出力を高めることができるものである。この構成においても、固定子１４′及び移動子１６′が延長部分６０、６４を備えていることにより、上記実施形態による片面電極型の積層型静電モータ１０と同等の作用効果が奏される。
【００６９】
なお、上記した積層型静電モータ１０における単位モータ構造１２の個数、固定子１４及び移動子１６における電極１８、２２、給電端子２０、２４、導線２８、３６等の導電要素の個数や形状、ハウジング構造の構成、固定子１４及び移動子１６の主部分５８、６２及び延長部分６０、６４の形状等は、１つの典型例であって、特に限定されない。
【００７０】
図１３〜図１６は、上記した第１実施形態による積層型静電モータ１０の変形例を示す。図示変形例による積層型静電モータ１０Ａは、個々の固定子１４及び移動子１６に設けた主部分５８、６２及び延長部分６０、６４の形状に関する構成以外は、第１実施形態による積層型静電モータ１０と実質的同一の構成を有する。したがって、対応する構成要素には共通する符号を付してその説明を省略する。なお、ハウジング構造並びに固定子１４及び移動子１６の導電要素パターンはいずれも、第１実施形態による積層型静電モータ１０と同一の構成とすることができるから、図示省略する。
【００７１】
図示変形例による積層型静電モータ１０Ａでは、固定子１４の各延長部分６０は、一端６０ａで主部分５８に一体に形成されて円弧状に延びる小片であり、主部分５８の外周縁５８ａから外側へ突出するように設けられる。主部分５８と複数の延長部分６０とは、例えば、円環形の絶縁基板２６を平板素材から所定形状に打ち抜いて作製する際に、互いに一体の要素として形成される。このような構成によっても、各延長部分６０は、一端６０ａで主部分５８に片持ち梁式に支持されるから、一端６０ａを支点とした延長部分６０自体の撓みによる変位（特に軸線方向への変位）が主部分５８によって拘束されず、結果として、延長部分６０自体の撓みを主部分５８に実質的に波及させないものとなる。
【００７２】
また、図示変形例による積層型静電モータ１０Ａでは、移動子１６の各延長部分６４は、一端６４ａで主部分６２に一体に形成されて舌状に延びる小片であり、主部分６２の内周縁６２ａから径方向内側へ突出するように設けられる。主部分６２と複数の延長部分６４とは、例えば、円環形の絶縁基板３４を平板素材から所定形状に打ち抜いて作製する際に、互いに一体の要素として形成される。このような構成によっても、各延長部分６４は、一端６４ａで主部分６２に片持ち梁式に支持されるから、一端６４ａを支点とした延長部分６４自体の撓みによる変位（特に軸線方向への変位）が主部分６２によって拘束されず、結果として、延長部分６４自体の撓みを主部分６２に実質的に波及させないものとなる。
【００７３】
上記構成を有する変形例による積層型静電モータ１０Ａによっても、前述した第１実施形態による積層型静電モータ１０と同等の作用効果が奏される。特に積層型静電モータ１０Ａでは、各延長部分６０、６４が主部分５８、６２の周縁５８ａ、６２ａから突出する構成としたから、固定子１４及び移動子１６における複数の電極１８、２２の設置領域を十分に確保して、積層型静電モータ１０の出力の低下を抑制できる利点がある。
【００７４】
図１７〜図２０は、上記した第１実施形態による積層型静電モータ１０の他の変形例を示す。図示変形例による積層型静電モータ１０Ｂは、複数の移動子１６が複数の固定子１４に対して直線状に移動（矢印β）する直動モータの構成を有する点以外は、第１実施形態による積層型静電モータ１０と実質的同一の構成を有する。したがって、対応する構成要素には共通する符号を付してその説明を省略する。
【００７５】
図示変形例による積層型静電モータ１０Ｂでは、固定子１４及び移動子１６はいずれも、略矩形の外縁１４ａ、１６ａを有する板状部材であり、それぞれ、複数の電極１８、２２及び給電端子２０、２４を担持する矩形輪郭の絶縁基板２６、３４を有する。絶縁基板２６、３４の一表面２６ａ、３４ａには、複数（３ｎ個：ｎは自然数）の矩形帯状の電極１８、２２が、等間隔平行配置で並列状に形成されるとともに、３個の環状の給電端子２０、２４が、それら電極１８、２２の形成領域の外側で固定子１４及び移動子１６の外縁１４ａ、１６ａに沿った領域に適当に分散して形成される。
【００７６】
固定子１４の複数の電極１８は、異なる相の電圧をそれぞれに印加する３個の電極１８−１〜１８−３が相互絶縁状態で並んで配置されるとともに、それら３個の電極１８−１〜１８−３を個々に含む複数組の電極１８が、繰返しパターンで一様に形成される（図１９）。同一相の電極１８（１８−１〜１８−３）同士は、絶縁基板２６の表面２６ａ及びその反対側の裏面２６ｂに相毎に独立して形成される導線２８（２８−１〜２８−３）により、電気的に接続される（表面２６ａのパターンを実線で、裏面２６ｂのパターンを破線で示す）。
【００７７】
移動子１６の複数の電極２２は、異なる相の電圧をそれぞれに印加する３個の電極２２−１〜２２−３が相互絶縁状態で並んで配置されるとともに、それら３個の電極２２−１〜２２−３を個々に含む複数組の電極２２が、繰返しパターンで一様に形成される（図２０）。同一相の電極２２（２２−１〜２２−３）同士は、絶縁基板３４の表面３４ａ及びその反対側の裏面３４ｂに相毎に独立して形成される導線３６（３６−１〜３６−３）により、電気的に接続される（表面３４ａのパターンを実線で、裏面３４ｂのパターンを破線で示す）。
【００７８】
積層型静電モータ１０Ｂでは、各単位モータ構造１２の固定子１４と移動子１６とは、複数の電極１８、２２をそれぞれに形成した絶縁基板２６、３４の表面２６ａ、３４ａを、前者の電極群１８と後者の電極群２２とが互いに平行に位置するように対向させた状態で、所定寸法のギャップＧ（図５、図６）を介して相対移動可能に対面配置される。また、複数個の単位モータ構造１２は、それぞれが有する固定子１４及び移動子１６の外縁１４ａ、１６ａを互いに合致させた状態で、ハウジング構造に収容されて、積層型静電モータ１０Ｂを構成する。なお、ハウジング構造は、移動子１６を支持する第２支持部材が、固定子１４を支持する第１支持部材に対して、電極群１８、２２の整列方向へ直線移動可能に構成される点以外は、第１実施形態による積層型静電モータ１０のハウジング構造と実質的に同一の構成とすることができるから、図示省略する。
【００７９】
積層型静電モータ１０Ｂでは、個々の単位モータ構造１２において、固定子１４の外縁１４ａに沿った所定位置に、複数（３個）の給電端子２０が個別に設けられる複数（３個）の延長部分６０が形成され、移動子１６の外縁１６ａに沿った所定位置に、複数（３個）の給電端子２４が個別に設けられる複数（３個）の延長部分６４が形成される。各延長部分６０、６４は、一端６０ａ、６４ａで主部分５８、６２に一体に形成されて舌状に延びる小片であり、スリット６６、６８を介して、主部分５８、６２に撓みを波及させることなく撓むことができる形状に形成される。
【００８０】
複数個の単位モータ構造１２は、個々の単位モータ構造１２の固定子１４及び移動子１６に備えた複数の延長部分６０、６４を介して、互いに機械的に接続されるとともに、それら複数の延長部分６０、６４に設けられる複数の給電端子２０、２４を介して、互いに電気的に接続される（図１７、図１８）。具体的には、３個の固定子１４は、互いに同一相の給電端子２０を担持する延長部分６０同士がいずれも、ボルト７０及びナット７２（並びにスペーサ）を含むボルト締結構造により相互に固定的に連結される（給電端子２０−２に対するボルト締結構造のみ図示）。また、３個の移動子１６は、互いに同一相の給電端子２４を担持する延長部分６４同士がいずれも、ボルト７４及びナット７６（並びにスペーサ）を含むボルト締結構造により相互に固定的に連結される（給電端子２４−２に対するボルト締結構造のみ図示）。さらに、複数個の単位モータ構造１２において積層方向へ隣り合う固定子１４と移動子１６との互いに対向する表面の間に、それら表面同士の接触を防止する接触防止要素（例えば複数の球形粒子９０（図５、図６））が設けられる。
【００８１】
上記構成を有する変形例による積層型静電モータ１０Ｂによっても、前述した第１実施形態による積層型静電モータ１０と同等の作用効果が奏される。
【００８２】
図２１〜図２９は、本発明の第２の実施形態による積層型静電モータ１００を示す。第２実施形態による積層型静電モータ１００は、各単位モータ構造１０２の固定子１０４及び移動子１０６に設けられる導電要素及び延長部分の構成以外は、第１実施形態による積層型静電モータ１０と実質的に同一の構成を有するので、対応する構成要素については適宜、説明を省略する。なお、図示実施形態による積層型静電モータ１００は、三相交流電源で動作する構成を有するものであるが、三相以外の複数相（多相）の電源で動作する構成を有することもできる。また、図示実施形態による積層型静電モータ１００は、複数の移動子が複数の固定子に対して軸線中心に回転（矢印α）する回転モータとして構成されるが、前述した積層型静電モータ１０と同様に、複数の移動子が複数の固定子に対して直線状に移動する直動モータとして構成されることもできる。
【００８３】
図２１〜図２９に示すように、積層型静電モータ１００は、１つの固定子１０４と１つの移動子１０６とを備えた単位モータ構造１０２を、複数個（図では３個）、互いに非接触に重ねた状態で備える。各単位モータ構造１０２の固定子１０４は、複数の電極１０８（図２５）と、それら電極１０８に三相の電圧を印加するための複数の給電端子１１０（図２１、図２３）とを有する。各単位モータ構造１０２の移動子１０６は、複数の電極１１２（図２６）と、それら電極１１２に三相の電圧を印加するための複数の給電端子１１４（図２１、図２４）とを有する。
【００８４】
固定子１０４は、略円形の外周縁１０４ａと略円形の内周縁１０４ｂとを軸線１０４ｃに関して同心に有する環板状部材であり、複数の電極１０８を担持する円環形輪郭の絶縁基板１１６を有する。絶縁基板１１６は、ガラスエポキシやポリイミド等を素材とする可撓性薄板であり、例えば公知の（リジッド又はフレキシブル）プリント基板作製方法に準じた手順により、その一表面１１６ａに、複数（３ｎ個：ｎは自然数）の矩形帯状の電極１０８が、軸線１０４ｃを中心として周方向等間隔配置で放射状に形成される。絶縁基板１１６の表面１１６ａにはさらに、６個の環状の中継端子１１８が、それら電極１０８の形成領域の径方向外側で固定子１０４の外周縁１０４ａに沿った領域に適当に分散して形成される。
【００８５】
図２５は、固定子１０４に形成される電極１０８等の導電要素のパターンを示す。複数の電極１０８は、異なる相の電圧をそれぞれに印加する３個の電極１０８−１〜１０８−３が相互絶縁状態で周方向へ並んで配置されるとともに、それら３個の電極１０８−１〜１０８−３を個々に含む複数組の電極１０８が、周方向へ繰返しパターンで一様に形成される。同一相の電極１０８同士は、絶縁基板１１６の表面１１６ａ及びその反対側の裏面１１６ｂに相毎に独立して形成される導線１２０により、電気的に接続される（表面１１６ａのパターンを実線で、裏面１１６ｂのパターンを破線で示す）。
【００８６】
固定子１０４に形成される電極１０８及び導線１２０のパターンは、第１実施形態による積層型静電モータ１０の固定子１４における電極１８及び導線２８のパターンと、実質的に同一である。ただし、積層型静電モータ１００では、前述した６個の給電端子２０の代わりに、固定子１０４に６個の中継端子１１８が形成されている。したがって、図２５に示すように、第１相の電圧を印加する複数の電極１０８−１は、略円形パターンの導線１２０−１を介して互いに接続され、導線１２０−１が、そのさらに外側で径方向に対向する２箇所に位置する一対の中継端子１１８−１に接続される。また、第２相の電圧を印加する複数の電極１０８−２は、略円形パターンの導線１２０−２を介して互いに接続され、導線１２０−２が、そのさらに外側で径方向に対向する２箇所に位置する一対の中継端子１１８−２に接続される。また、第３相の電圧を印加する複数の電極１０８−３は、略円形パターンの導線１２０−３を介して互いに接続され、導線１２０−３が、そのさらに外側で径方向に対向する２箇所に位置する一対の中継端子１１８−３に接続される。なお、導線１２０−１〜１２０−３は、前述した固定子１４における導線２８−１〜２８−３のＬ字状に延びる部分２８−１Ｅ〜２８−３Ｅに代えて、径方向へ真直ぐに延びる短尺の部分１２０−１Ｅ〜１２０−３Ｅを含む。
【００８７】
絶縁基板１１６の表面１１６ａに形成される導電要素（例えば電極１０８−２）と裏面１１６ｂに形成される同一相の導電要素（例えば導線１２０−２）との電気的接続は、メッキスルーホール１２２により確保される。また、各中継端子１１８は、スルーホール１２４を備えて絶縁基板１１６の表面１１６ａ及び裏面１１６ｂの双方に露出する円筒形の構造を有する（図２８）。さらに、図示しないが、一般的構成として、絶縁基板１１６の表面１１６ａ及び裏面１１６ｂは、電極１０８、中継端子１１８及び導線１２０を含む導電要素の絶縁性及び耐久性を向上させるために、全体が絶縁層で被覆されている。なお図示実施形体では、相毎に２個の中継端子１１８が設けられているが、相毎に１個のみの中継端子１１８或いは３個以上の中継端子１１８を設けることもできる。相毎に複数個の中継端子１１８を設けることで、後述する給電線の接続方式の選択自由度が増加する。
【００８８】
移動子（すなわち回転子）１０６は、略円形の外周縁１０６ａと略円形の内周縁１０６ｂとを軸線１０６ｃに関して同心に有する環板状部材であり、複数の電極１１２を担持する円環形輪郭の絶縁基板１２６を有する。絶縁基板１２６は、ガラスエポキシやポリイミド等を素材とする可撓性薄板であり、例えば公知の（リジッド又はフレキシブル）プリント基板作製方法に準じた手順により、その一表面１２６ａに、複数（３ｎ個：ｎは自然数）の矩形帯状の電極１１２が、軸線１０６ｃを中心として周方向等間隔配置で放射状に形成される。絶縁基板１２６の表面１２６ａにはさらに、６個の環状の給電端子１２８が、それら電極１１２の形成領域の径方向内側で移動子１０６の内周縁１０６ｂに沿った領域に適当に分散して形成される。
【００８９】
図２６は、移動子１０６に形成される電極１１２等の導電要素のパターンを示す。複数の電極１１２は、異なる相の電圧をそれぞれに印加する３個の電極１１２−１〜１１２−３が相互絶縁状態で周方向へ並んで配置されるとともに、それら３個の電極１１２−１〜１１２−３を個々に含む複数組の電極１１２が、周方向へ繰返しパターンで一様に形成される。同一相の電極１１２同士は、絶縁基板１２６の表面１２６ａ及びその反対側の裏面１２６ｂに相毎に独立して形成される導線１３０により、電気的に接続される（表面１２６ａのパターンを実線で、裏面１２６ｂのパターンを破線で示す）。
【００９０】
移動子１０６に形成される電極１１２及び導線１３０のパターンは、第１実施形態による積層型静電モータ１０の移動子１６における電極２２及び導線３６のパターンと、実質的に同一である。ただし、積層型静電モータ１００では、前述した６個の給電端子２４の代わりに、移動子１０６に６個の中継端子１２８が形成されている。したがって、図２６に示すように、第１相の電圧を印加する複数の電極１１２−１は、略円形パターンの導線１３０−１を介して互いに接続され、導線１３０−１が、そのさらに内側で径方向に対向する２箇所に位置する一対の中継端子１２８−１に接続される。また、第２相の電圧を印加する複数の電極１１２−２は、略円形パターンの導線１３０−２を介して互いに接続され、導線１３０−２が、そのさらに内側で径方向に対向する２箇所に位置する一対の中継端子１２８−２に接続される。また、第３相の電圧を印加する複数の電極１１２−３は、略円形パターンの導線１３０−３を介して互いに接続され、導線１３０−３が、そのさらに内側で径方向に対向する２箇所に位置する一対の中継端子１２８−３に接続される。なお、導線１３０−１〜１３０−３は、前述した移動子１６における導線３６−１〜３６−３の部分３６−１Ｅ〜３６−３Ｅと同様の部分１３０−１Ｅ〜１３０−３Ｅを含む。
【００９１】
絶縁基板１２６の表面１２６ａに形成される導電要素（例えば電極１１２−１）と裏面１２６ｂに形成される同一相の導電要素（例えば導線１３０−１）との電気的接続は、メッキスルーホール１３２により確保される。また、各中継端子１２８は、スルーホール１３４を備えて絶縁基板１２６の表面１２６ａ及び裏面１２６ｂの双方に露出する円筒形の構造を有する（図２９）。さらに、図示しないが、一般的構成として、絶縁基板１２６の表面１２６ａ及び裏面１２６ｂは、電極１１２、中継端子１２８及び導線１３０を含む導電要素の絶縁性及び耐久性を向上させるために、全体が絶縁層で被覆されている。なお図示実施形体では、相毎に２個ずつの中継端子１２８が設けられているが、相毎に１個のみの中継端子１２８或いは３個以上の中継端子１２８を有する構成と設けることもできる。相毎に複数個の中継端子１２８を設けることで、後述する給電線の接続方式の選択自由度が増加する。
【００９２】
各単位モータ構造１０２において、固定子１０４と移動子１０６とは、複数の電極１０８、１１２をそれぞれに形成した絶縁基板１１６、１２６の表面１１６ａ、１２６ａを互いに対向させるとともに、両者の軸線１０４ｃ、１０６ｃを合致させた状態で、所定寸法のギャップＧ（図２８、図２９）を介して相対移動可能に対面配置される。また、複数個の単位モータ構造１０２は、それぞれが有する固定子１０４及び移動子１０６の軸線１０４ｃ、１０６ｃを互いに合致させた状態で、ハウジング構造（図示せず）に収容されて、積層型静電モータ１００を構成する。
【００９３】
積層型静電モータ１００のハウジング構造は、例えば、図１に示す積層型静電モータ１０のハウジング構造と実質的同一の構成を有するものであって、複数個の単位モータ構造１０２の固定子１０４を固定的に支持する第１支持部材４２（図１）と、複数個の単位モータ構造１０２の移動子１０６を固定子１０４に対して移動可能に支持する第２支持部材４４（図１）とを備えることができる。この構成では、各固定子１０４の外周縁１０４ａ近傍の、中継端子１１８から離れた位置で径方向へ対向する２箇所に、固定子１０４を第１支持部材４２に固定的に取り付けるための取付穴１３６が、それぞれ貫通形成される。また、各移動子１０６の内周縁１０６ｂ近傍には、中継端子１２８から離れた位置で径方向へ対向する２箇所に、移動子１０６を第２支持部材４４に固定的に取り付けるための取付穴１３８が、それぞれ貫通形成される。個々の単位モータ構造１０２の固定子１０４及び移動子１０６は、それぞれの取付穴１３６、１３８に、第１及び第２支持部材４２、４４に設けた対応の支柱４６、４８（図１）を嵌入することにより、第１及び第２支持部材４２、４４に固定的に取り付けられる。
【００９４】
各単位モータ構造１０２の固定子１０４及び移動子１０６は、両者の軸線１０４ｃ、１０６ｃが第２支持部材４４の回転軸線４４ａ（図１）に合致し、かつ前者の電極群１０８と後者の電極群１１２とが互いに正対するように、それぞれ正確に位置決めした状態で、第１及び第２支持部材４２、４４に支持される。この状態で、複数個（３個）の固定子１０４における給電端子群１１０及び中継端子群１１８は、互いに軸線方向へ同軸に整列し、また複数個（３個）の移動子１０６における給電端子群１１４及び中継端子群１２８は、互いに軸線方向へ同軸に整列する。このような相対配置で、各単位モータ構造１０２の固定子１０４及び移動子１０６のそれぞれの電極群１０８、１１２に対し、並列する３個の電極１０８−１〜１０８−３、１１２−１〜１１２−３に三相交流電圧を印加して、対向する電極１０８、１１２の間で正負の静電力を交番状に生じさせることにより、移動子１０６に、その電極群１１２の整列方向（つまり周方向）への駆動力が生じる。それにより、複数組の単位モータ構造１０２において、複数の移動子１０６は、第１支持部材４２及び複数の固定子１０４に対し、第２支持部材４４と一体的に軸線１０６ｃ、４４ａを中心に回転する。
【００９５】
積層型静電モータ１００が有する複数の固定子１０４及び移動子１０６は、モータ組立時に生じ得るそれぞれの撓みやモータ組立前に有し得る構造上の誤差に起因する前述した不都合を回避するための、以下の特徴的構成を有する。
【００９６】
個々の単位モータ構造１０２において、固定子１０４は、複数（３ｎ個）の電極１０８を担持する主部分１４０と、一端１４２ａで主部分１４０に連結されて主部分１４０から延長され、複数（３個）の給電端子１１０が個別に設けられる複数（３個）の延長部分１４２とを備える（図２１、図２３、図２５）。また、移動子１０６は、複数（３ｎ個）の電極１１２を担持する主部分１４４と、一端１４６ａで主部分１４４に連結されて主部分１４４から延長され、複数（３個）の給電端子１１４が個別に設けられる複数（３個）の延長部分１４６とを備える（図２１、図２４、図２６）。
【００９７】
固定子１０４において、各延長部分１４２は、主部分１４０に撓みを波及させることなく撓むことができる形状を有する。具体的には、主部分１４０は、絶縁基板１１６の全体を含んで構成され、各延長部分１４２は、主部分１４０とは別体であって、長手方向第１端１４８ａで主部分１４０の周縁１４０ａ（すなわち固定子１０４の外周縁１０４ａ）に沿った位置に取り付けられる帯状の給電部材１４８から構成される。そして、複数の給電部材１４８（延長部分１４２）の各々が、その長手方向第２端１４８ｂに、１つの給電端子１１０を担持する。これにより延長部分１４２（給電部材１４８）は、一端１４２ａ（長手方向第１端１４８ａ）で主部分１４０に片持ち梁式に支持されるから、一端１４２ａを支点とした延長部分１４２自体の撓みによる変位（特に軸線方向への変位）が主部分１４０によって拘束されず、結果として、延長部分１４２自体の撓みを主部分１４０に実質的に波及させないものとなる。
【００９８】
図２７に示すように、各給電部材１４８は、長手方向第２端１４８ｂの給電端子１１０と、長手方向第１端１４８ａの接続端子１５０とを担持する帯状輪郭の絶縁基板１５２を有する。絶縁基板１５２は、ポリイミドやポリエチレンテレフタレート等を素材とする可撓性薄板であり、例えば公知のフレキシブルプリント基板作製方法に準じた手順により、その表面１５２ａに、環状の給電端子１１０及び接続端子１５０が形成される（図２７（ａ））。給電端子１１０及び接続端子１５０はそれぞれ、スルーホール１５４、１５６を備えて絶縁基板１５２の表面１５２ａ及び裏面１５２ｂの双方に露出する円筒形の構造を有する（図２８）。そして、絶縁基板１５２の裏面１５２ｂに、給電端子１１０と接続端子１５０とを導通接続する導線１５８と、導線１５８を被覆する絶縁被膜１６０とが形成される（図２７（ｂ）、（ｃ））。
【００９９】
各給電部材１４８（延長部分１４２）は、長手方向第１端１４８ａの接続端子１５０が、固定子１０４の絶縁基板１１６の表面１１６ａ側で、１つの中継端子１１８に固定的に接続された状態で、主部分１４０の周縁１４０ａ（固定子１０４の外周縁１０４ａ）から径方向外方へ放射状に突出するように設置される。具体的には、３個の給電部材１４８（延長部分１４２）は、固定子１０４の三相の電極１０８−１〜１０８−３に個別に接続される給電端子１１０−１〜１１０−３、接続端子１５０−１〜１５０−３及び導線１５８−１〜１５８−３を、それぞれに備える（図２３）。したがって、個々の給電部材１４８の接続端子１５０を固定子１０４の対応の中継端子１１８に適正に接続することにより、給電端子１１０−１〜１１０−３は、給電部材１４８に形成した導線１５８−１〜１５８−３及び接続端子１５０−１〜１５０−３、並びに絶縁基板１１６に形成した中継端子１１８−１〜１１８−３及び導線１２０−１〜１２０−３を介して、電極１０８−１〜１０８−３に接続される（図２３、図２５）。
【０１００】
また、移動子１０６において、各延長部分１４６は、主部分１４４に撓みを波及させることなく撓むことができる形状を有する。具体的には、主部分１４４は、絶縁基板１２６の全体を含んで構成され、各延長部分１４６は、主部分１４４とは別体であって、長手方向第１端１６２ａで主部分１４４の周縁１４４ａ（すなわち移動子１０６の内周縁１０６ｂ）に沿った位置に取り付けられる帯状の給電部材１６２から構成される。そして、複数の給電部材１６２（延長部分１４６）の各々が、その長手方向第２端１６２ｂに、１つの給電端子１１４を担持する。これにより延長部分１４６（給電部材１６２）は、一端１４６ａ（長手方向第１端１６２ａ）で主部分１４４に片持ち梁式に支持されるから、一端１４６ａを支点とした延長部分１４６自体の撓みによる変位（特に軸線方向への変位）が主部分１４４によって拘束されず、結果として、延長部分１４６自体の撓みを主部分１４４に実質的に波及させないものとなる。
【０１０１】
移動子１０６の延長部分１４６を構成する給電部材１６２は、前述した固定子１０４の給電部材１４８と同一の構成を有する。すなわち、給電部材１６２は、長手方向第２端１６２ｂの給電端子１１４、長手方向第１端１６２ａの接続端子１６４、絶縁基板１６６、スルーホール１６８、１７０、導線１７２、絶縁被膜１７４を有する（図２７）。また、各給電部材１６２（延長部分１４６）は、長手方向第１端１６２ａの接続端子１６４が、移動子１０６の絶縁基板１２６の表面１２６ｂ側で、１つの中継端子１２８に固定的に接続された状態で、主部分１４４の周縁１４４ａ（移動子１０６の内周縁１０６ｂ）から径方向内方へ向心状に突出するように設置される。具体的には、３個の給電部材１６２（延長部分１４６）は、移動子１０６の三相の電極１１２−１〜１１２−３に個別に接続される給電端子１１４−１〜１１４−３、接続端子１６４１〜１６４３及び導線１６８１〜１６８３を、それぞれに備える（図２４）。したがって、個々の給電部材１６２の接続端子１６４を移動子１０６の対応の中継端子１２８に適正に接続することにより、給電端子１１４−１〜１１４−３は、給電部材１６２に形成した導線１６８１〜１６８３及び接続端子１６４１〜１６４３、並びに移動子１０６に形成した中継端子１２８−１〜１２８−３及び導線１３０−１〜１３０−３を介して、電極１１２−１〜１１２−３に接続される（図２４、図２６）。
【０１０２】
図２８に示すように、固定子１０４の延長部分１４２を構成する給電部材１４８は、半田及び導電性接着剤のいずれか一方からなる固着材料１７６を用いて、固定子１０４の主部分１４０に固定的に取り付けることができる。固着材料１７６は、主部分１４０に設けた中継端子１１８と給電部材１４８の接続端子１５０とを、相互に機械的及び電気的に安定して接続する。また、図２９に示すように、移動子１０６の延長部分１４６を構成する給電部材１６２は、半田及び導電性接着剤のいずれか一方からなる固着材料１７８を用いて、移動子１０６の主部分１４４に固定的に取り付けることができる。固着材料１７８は、主部分１４４に設けた中継端子１２８と給電部材１６２の接続端子１６４とを、相互に機械的及び電気的に安定して接続する。
【０１０３】
複数個の単位モータ構造１０２は、個々の単位モータ構造１０２の固定子１０４及び移動子１０６に設けた複数の延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）を介して、互いに機械的に接続されるとともに、それら複数の延長部分１４２、１４６に担持される複数の給電端子１１０、１１４を介して、互いに電気的に接続される（図２８、図２９）。具体的には、３個の固定子１０４は、互いに同一相の給電端子１１０を担持する延長部分１４２（給電部材１４８）同士が、ボルト１８０及びナット１８２を含むボルト締結構造により相互に固定的に連結される。また、３個の移動子１０６は、互いに同一相の給電端子１１４を担持する延長部分１４６（給電部材１６２）同士が、ボルト１８４及びナット１８６を含むボルト締結構造により相互に固定的に連結される。
【０１０４】
なお図では、簡略化のため、個々の固定子１０４において第１相の給電端子１１０−１を担持する延長部分１４２（給電部材１４８）に対するボルト締結構造のみを示しているが、個々の固定子１０４において他の給電端子１１０−２、１１０−３を担持する延長部分１４２（給電部材１４８）同士も、同様に、ボルト１８０及びナット１８２を含むボルト締結構造により相互に固定的に連結される。また同様に、個々の移動子１０６において第２相の給電端子１１４−２を担持する延長部分１４６（給電部材１６２）に対するボルト締結構造のみを示しているが、個々の移動子１０６において他の給電端子１１４−１、１１４−３を担持する延長部分１４６（給電部材１６２）同士も、同様に、ボルト１８４及びナット１８６を含むボルト締結構造により相互に固定的に連結される。
【０１０５】
図２８に明示するように、固定子１０４の延長部分１４２（給電部材１４８）同士を接続するボルト締結構造は、１つの単位モータ構造１０２の固定子１０４と他の単位モータ構造１０２の固定子１０４との間に１個ずつ介在する計２個のスペーサ１８８を含む。各スペーサ１８８は、導電性及び剛性を有する筒状要素であり、その中心貫通孔１８８ａにボルト１８０の軸部１８０ａを受容して、移動子１０６を挟んで隣り合う２個の固定子１０４の延長部分１４２（給電部材１４８）の給電端子１１０の間に所定圧力下で挟持され、それにより、両給電端子１１０を互いに導通させるとともに、両固定子１０４の間に所定の間隔Ｓ１を形成する。
【０１０６】
図示実施形態では、ボルト１８０は、最下層の固定子１０４の給電部材１４８の基板裏面１５２ｂ側から給電端子１１０のスルーホール１５４に挿通され、一対のスペーサ１８８の中心貫通孔１８８ａ及び他の２個の給電部材１４８の給電端子１１０のスルーホール１５４を通って、軸部１８０ａの先端が、最上層の固定子１０４の給電部材１４８の基板表面１５２ａ側に突出する。ナット１８２は、最上層の給電部材１４８の基板表面１５２ａ側でボルト１８０の軸部１８０ａの先端に螺着される。このとき、最上層の給電部材１４８の基板表面１５２ａ側に露出する給電端子１１０とナット１８２との間に、所定相の電圧を対応相の電極群１０８（図２５）に印加するための給電線の末端端子部１９０が、固定的に挟持される。
【０１０７】
このような構成を有するボルト締結構造において、ナット１８２をボルト１８０に所定トルクで螺着することにより、３個の固定子１０４は、同一相の給電端子１１０を担持する延長部分１４２（給電部材１４８）を介して互いに機械的に接続されるとともに、それら延長部分１４２（給電部材１４８）に担持される給電端子１１０を介して互いに電気的に接続される。そして、相毎に独立したボルト締結構造によって延長部分１４２（給電部材１４８）に接続される所定相の給電線（末端端子部１９０のみ図示）から、延長部分１４２（給電部材１４８）を介して並列に接続される全ての固定子１０４の対応相の電極群１０８（図２５）に交流電圧が印加される。なお、ボルト１８０の頭部１８０ｂと最下層の給電部材１４８の基板裏面１５２ｂ側に露出する給電端子１１０との間には、座金１９２が挿入される。
【０１０８】
図２９に明示するように、移動子１０６の延長部分１４６（給電部材１６２）同士を接続するボルト締結構造は、１つの単位モータ構造１０２の移動子１０６と他の単位モータ構造１０２の移動子１０６との間に１個ずつ介在する計２個のスペーサ１９４を含む。各スペーサ１９４は、導電性及び剛性を有する筒状要素であり、その中心貫通孔１９４ａにボルト１８４の軸部１８４ａを受容して、固定子１０４を挟んで隣り合う２個の移動子１０６の延長部分１４６（給電部材１６２）の給電端子１１４の間に所定圧力下で挟持され、それにより、両給電端子１１４を互いに導通させるとともに、両移動子１０６の間に所定の間隔Ｓ２を保持する。
【０１０９】
図示実施形態では、ボルト１８４は、最下層の移動子１０６の給電部材１６２の基板裏面１６６ｂ側から給電端子１１４のスルーホール１６８に挿通され、一対のスペーサ１９４の中心貫通孔１９４ａ及び他の２個の給電部材１６２の給電端子１１４のスルーホール１６８を通って、軸部１８４ａの先端が、最上層の移動子１０６の給電部材１６２の基板表面１６６ａ側に突出する。ナット１８６は、最上層の給電部材１６２の基板表面１６６ａ側でボルト１８４の軸部１８４ａの先端に螺着される。このとき、最上層の給電部材１６２の基板表面１６６ａ側に露出する給電端子１１４とナット１８６との間に、所定相の電圧を対応相の電極群１１２（図２６）に印加するための給電線の末端端子部１９６が、固定的に挟持される。このような構成を有するボルト締結構造において、ナット１８６をボルト１８４に所定トルクで螺着することにより、３個の移動子１０６は、同一相の給電端子１１４を担持する延長部分１４６（給電部材１６２）を介して互いに機械的に接続されるとともに、それら延長部分１４６（給電部材１６２）に担持される給電端子１１４を介して互いに電気的に接続される。そして、相毎に独立したボルト締結構造によって延長部分１４６（給電部材１６２）に接続される所定相の給電線（末端端子部１９６のみ図示）から、延長部分１４６（給電部材１６２）を介して並列に接続される全ての移動子１０６の対応相の電極群１１２（図２６）に交流電圧が印加される。なお、ボルト１８４の頭部１８４ｂと最下層の給電部材１６２の基板裏面１６６ｂ側に露出する給電端子１１４との間には、座金１９８が挿入される。
【０１１０】
積層型静電モータ１００はさらに、複数個の単位モータ構造１０２において積層方向へ隣り合う固定子１０４と移動子１０６との互いに対向する表面の間（つまり、固定子１０４の基板表面１１６ａと移動子１０６の基板表面１２６ａとの間、及び固定子１０４の基板裏面１１６ｂと移動子１０６の基板裏面１２６ｂとの間）に、それら表面同士の接触を防止するべく設けられる接触防止要素を備える（図２８、図２９）。図示実施形態では、接触防止要素は、所定の平均粒径を有する複数の球形粒子（例えばガラスやセラミックスのビーズ）２００から構成される。
【０１１１】
球形粒子２００からなる接触防止要素は、前述した積層型静電モータ１０における球形粒子９０と同様の構成を有する。すなわち球形粒子２００は、互いに対向する固定子１０４の表面（基板表面１１６ａ又は基板裏面１１６ｂ）と移動子１０６の表面（基板表面１２６ａ又は基板裏面１２６ｂ）との間に好ましくは一様な分散状態で介在して、それら表面同士の接触を防止するように作用するとともに、積層型静電モータ１００の動作中には、球形粒子２００と両表面との動摩擦を軽減して、移動子１０６の動作に及ぼす影響を可及的に低減するように作用する。さらに、本発明に係る積層型静電モータ１００では、球形粒子２００からなる接触防止要素は、固定子１０４及び移動子１０６の互いに対向する表面の双方に常時接触して、固定子１０４の基板表面１１６ａと移動子１０６の基板表面１２６ａとの間に所定寸法のギャップＧを保持するとともに、固定子１０４の基板裏面１１６ｂと移動子１０６の基板裏面１２６ｂとの間に所定寸法のギャップＧ′（通常はギャップＧと同一寸法）を保持するように作用する（図２８、図２９）。
【０１１２】
上記構成を有する積層型静電モータ１００は、複数個の単位モータ構造１０２が、個々の単位モータ構造１０２の固定子１０４及び移動子１０６に設けた複数の延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）及び複数の給電端子１１０、１１４を介して、互いに機械的及び電気的に接続され、しかも、それら延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）が、固定子１０４及び移動子１０６の主部分１４０、１４４に撓みを波及させることなく撓むことができる形状を有する構成としたから、ボルト１８０、１８４及びナット１８２、１８６を含むボルト締結構造により固定子１０４同士及び移動子１０６同士を連結する際に、外力（例えばナット締結トルク）により個々の延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）に撓みが生じたとしても、それら延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）自体の撓みが主部分１４０、１４４に波及することは確実に防止される。したがって、固定子１０４と移動子１０６との間のギャップＧを、所要のモータ出力を確保し得る静電力を生成することを前提として、モータ作動中の固定子１０４と移動子１０６との接触を回避するに必要な最小限の値（すなわち理想値）に設定することができる。
【０１１３】
ここで、固定子１０４と移動子１０６との間のギャップＧ（及びギャップＧ′）は、間接的かつ概略的には、延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）同士を接続するためのボルト締結構造に含まれる複数のスペーサ１８８、１９４によって確保されるが、直接的には、固定子１０４及び移動子１０６の互いに対向する表面の間に設けられる複数の球形粒子２００（接触防止要素）によって保持される。したがって、各スペーサ１８８、１９４の寸法は、ギャップＧ、Ｇ′を理想値（許容最小値）に保持する球形粒子２００の粒径に従って決定できる。しかも、固定子１０４及び移動子１０６の互いに対向する表面の双方に複数の球形粒子２００が常時接触する構成であるにも関わらず、ボルト締結時に生じ得る延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）の撓みは主部分１４０、１４４に波及しないから、ボルト締結構造に起因する、固定子１０４又は移動子１０６の表面から球形粒子２００に加わる圧力の増加及び両者間の動摩擦の増加は効果的に防止され、移動子１０６の動作への影響は実質的に排除される。さらに、モータ組立前に固定子１０４や移動子１０６が単体で厚みのばらつき、反り、ゆがみ等の構造上の誤差を有している場合にも、複数の球形粒子２００が固定子１０４と移動子１０６との間のギャップＧ、Ｇ′を保持するように作用するとともに、複数個の単位モータ構造１０２の間で固定子１０４及び移動子１０６の主部分１４０、１４４が、相互連結された延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）に対し軸線方向へのある程度自由な変位を許容されるから、やはり、移動子１０６の動作への影響が実質的に排除される。
【０１１４】
このように、積層型静電モータ１００においては、モータ組立時に固定子１０４や移動子１０６に生じ得る撓みや、モータ組立前に固定子１０４や移動子１０６が有し得る構造上の誤差を想定して、スペーサ１８８、１９４の寸法を決定する必要が無くなり、しかも、移動子１０６の動作に影響を及ぼすことなく、隣り合う固定子１０４と移動子１０６との間のギャップＧ、Ｇ′を、複数の球形粒子２００（接触防止要素）によって直接的に理想値（許容最小値）に保持できる。したがって積層型静電モータ１００によれば、固定子１０４と移動子１０６との間のギャップＧ、Ｇ′を拡大すること、及びその結果としての出力の低下や外形寸法の無駄な増加を生じることを、確実に防止しながら、複数個の単位モータ構造１０２を互いに電気的及び機械的に安定して接続することが可能になる。
【０１１５】
特に、積層型静電モータ１００では、固定子１０４及び移動子１０６の延長部分１４２、１４６を、主部分１４０、１４４とは別体の給電部材１４８、１６２から構成したから、固定子１０４及び移動子１０６の主部分１４０、１４４（絶縁基板１１６、１２６）に予め形成した複数の中継端子１１８、１２８に対し、給電部材１４８、１６２の取付個数や取付場所を適宜選択することができる。また、寸法や形状の異なる複数種類の給電部材１４８、１６２を予め用意して、要求に応じて適当な種類の給電部材１４８、１６２を組み合わせて使用することもできる。その結果、後述する給電線の接続方式の選択自由度を含む、積層型静電モータ１００の設計の自由度が増加する。
【０１１６】
上記構成を有する積層型静電モータ１００において、固定子１０４と移動子１０６との間のギャップＧ、Ｇ′を球形粒子２００（接触防止要素）の寸法によって決まる理想値（許容最小値）に保持するためには、給電部材１４８、１６２の厚み等の他の要件も考慮する必要がある。図２８に示すように、移動子１０６を挟んで隣り合う２個の固定子１０４の間の間隔Ｓ１は、ギャップＧ、Ｇ′と移動子１０６の主部分１４４の厚みＴ１とによって決まる（Ｓ１＝Ｔ１＋Ｇ＋Ｇ′）。そこで、図から理解されるように、給電部材１４８の厚みと、給電部材１４８の基板両面１５２ａ、１５２ｂからの接続端子１５０の突出部分の高さと、固定子１０４の基板両面１１６ａ、１１６ｂからの中継端子１１８の突出部分の高さと、接続端子１５０と中継端子１１８との間に介在する固着材料１７６の厚みとの合計値が、Ｓ１未満となるように、これら構成要素の寸法を設定する必要がある。また、図２９に示すように、固定子１０４を挟んで隣り合う２個の移動子１０６の間の間隔Ｓ２は、ギャップＧ、Ｇ′と固定子１０４の主部分１４０の厚みＴ２とによって決まる（Ｓ２＝Ｔ２＋Ｇ＋Ｇ′）。そこで、図から理解されるように、給電部材１６２の厚みと、給電部材１６２の基板両面１６６ａ、１６６ｂからの接続端子１６４の突出部分の高さと、移動子１０６の基板両面１２６ａ、１２６ｂからの中継端子１２８の突出部分の高さと、接続端子１６４と中継端子１２８との間に介在する固着材料１７８の厚みとの合計値が、Ｓ２未満となるように、これら構成要素の寸法を設定する必要がある。
【０１１７】
なお、図３０に示すように、例えば固定子１０４をフレキシブルプリント基板作製方法に準じた手順により作製する場合、絶縁基板１１６の表面１１６ａ及び裏面１１６ｂを覆う絶縁層２０２は、穴あけ加工を施した後に絶縁基板１１６に貼り付けられるので、中継端子１１８が絶縁層２０２に埋め込まれたような形態となる。この構成では、固定子１０４の基板表面１１６ａ及び基板裏面１１６ｂから中継端子１１８が突出しないので、基板表面１１６ａ側の絶縁層２０２の表面２０２ａから、対応する給電部材１４８の基板表面１５２ａ側の接続端子１５０の頂面１５０ａまでの高さが、Ｓ１未満となるように、上記構成要素の寸法を設定すればよい。移動子１０６が絶縁層２０２を有する場合も同様である。
【０１１８】
上記した積層型静電モータ１００では、固定子１０４及び移動子１０６の延長部分１４２、１４６を構成する給電部材１４８、１６２を、固定子１０４及び移動子１０６の主部分１４０、１４４に取り付ける手段として、半田又は導電性接着剤からなる固着材料１７６（図３１（ａ））を採用したが、本発明はこれに限定されず、他の様々な取付手段を採用することができる。例えば、図３１（ｂ）に示すように、固着材料１７６の代わりに、リベット状部品２０４を用いた機械的かしめにより、主部分１４０、１４４に設けた中継端子１１８、１２８と給電部材１４８、１６２の接続端子１５０、１６４とを、相互に機械的及び電気的に接続することもできる。
【０１１９】
また、図示しないが、中継端子１１８、１２８のスルーホール１２４、１３４及び接続端子１５０、１６４のスルーホール１５６、１７０へのピンの圧入やボルトの締結を、取付手段として採用することもできる。上記した導電性接着剤による接着、半田付け、機械的かしめ、ピン圧入及びボルト締結は、いずれも、単純構造で信頼性の高い取付手段であり、主部分１４０、１４４と延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）との安定した電気的及び機械的接続に寄与する。なお、これら取付手段は、いずれか１つの手段を単独で使用するだけでなく、幾つかの適当な手段を組み合わせて使用することもできる。
【０１２０】
上記した積層型静電モータ１００では、１つの単位モータ構造１０２に設けた個々の延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）と他の単位モータ構造１０２に設けた対応する延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）とを互いに機械的及び電気的に接続する手段として、ボルト１８０、１８４及びナット１８２、１８６を含むボルト締結構造を採用したが、本発明はこれに限定されず、他の様々な接続手段を採用することができる。例えば、積層型静電モータ１０に関連して説明した構成と同様に、半田及び導電性接着剤のいずれか一方からなる固着材料１７２（図７）、リベット状部品１７４を用いた機械的かしめ（図８）、給電端子１１０、１１４のスルーホール１５４、１６８へのピンの圧入（図示せず）等の手段により、固定子１０４の延長部分１４２（給電部材１４８）同士並びに移動子１０６の延長部分１４６（給電部材１６２）同士を機械的及び電気的に接続することもできる。そして、これらいずれの接続手段を採用した場合にも、前述した特徴的な固定子１０４及び移動子１０６の構成により、固定子１０４同士及び移動子１０６同士を連結する際に加わる外力の影響が排除される。
【０１２１】
上記した積層型静電モータ１００では、積層方向へ隣り合う固定子１０４と移動子１０６との互いに対向する表面の間にそれら表面同士の接触を防止するべく設けられる接触防止要素として、複数の球形粒子２００を採用したが、本発明はこれに限定されず、他の様々な接触防止要素を採用することができる。例えば、積層型静電モータ１０に関連して説明した構成と同様に、固定子１０４の基板表面１１６ａと移動子１０６の基板表面１２６ａとの少なくとも一方、及び固定子１０４の基板裏面１１６ｂと移動子１０６の基板裏面１２６ｂとの少なくとも一方に、複数の球形粒子２００の代わりに（又は複数の球形粒子２００に加えて）、接触防止要素として作用する突起を形成することもできる。この場合も、突起の端面は、接触面同士の動摩擦を軽減可能な曲面形状を有することが有利である。
【０１２２】
上記した積層型静電モータ１００では、複数個の単位モータ構造１０２における全ての固定子１０４並びに移動子１０６が、主部分１４０、１４４及び延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）を有する構成としたが、本発明はこれに限定されず、他の様々な構成を採用することができる。例えば、個々の単位モータ構造１０２における固定子１０４及び移動子１０６のいずれか一方のみが、主部分１４０、１４４と延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）とを有する構成とすることもできる。また、移動子が、電極群の代わりに表面の全体に一様な抵抗膜を形成してなる積層型静電モータにおいては、所望数の単位モータ構造の固定子が主部分と延長部分とを有する構成を採用できる。
【０１２３】
さらに、本発明に係る積層型静電モータ１００は、個々の単位モータ構造１０２の固定子１０４及び移動子１０６がいずれも、絶縁基板１１６、１２６の表面１１６ａ、１２６ａ及び裏面１１６ｂ、１２６ｂの双方に複数の電極１０８、１１２を形成してなる構成を採用することもできる（導電要素のパターンは、例えば図９〜図１２のパターンに準ずる）。この構成においても、固定子１０４及び移動子１０６が延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）を備えていることにより、上記実施形態による片面電極型の積層型静電モータ１００と同等の作用効果が奏される。
【０１２４】
なお、上記した積層型静電モータ１００における単位モータ構造１０２の個数、固定子１０４及び移動子１０６における電極１０８、１１２、中継端子１１８、１２８、導線１２０、１３０等の導電要素の個数や形状、ハウジング構造の構成等は、１つの典型例であって、特に限定されない。また、積層型静電モータ１００における給電部材１４８、１６２に関する構成を、複数の移動子が複数の固定子に対して直線状に移動する直動モータ構造に適用することもできる。
【０１２５】
積層型静電モータ１００において、固定子１０４及び移動子１０６の延長部分１４２、１４６を構成する給電部材１４８、１６２は、様々な構成を有することができる。例えば図３２に示すように、給電部材１４８、１６２は、絶縁基板１５２、１６６の表面１５２ａ、１６６ａに給電端子１１０、１１４のみを有する（図３２（ａ））一方、裏面１５２ｂ、１６６ｂに給電端子１１０、１１４、接続端子１５０、１６４、導線１５８、１７２及び絶縁被膜１６０、１７４を有する（図３２（ｂ））構成とすることもできる。また、基板表面１５２ａ、１６６ａと基板裏面１５２ｂ、１６６ｂとの双方に露出する給電端子１１０、１１４は、スルーホール１５４、１６８において連続体とされる構成に代えて、局所に形成される小径のメッキスルーホール２０６で導通する構成とすることもできる。
【０１２６】
また、図３３及び図３４に示すように、フレキシブルプリント基板の構成を有する給電部材１４８、１６２に代えて、鉄、銅、アルミニウム等の１枚の金属板から全体が一体成形される給電部材１４８、１６２を採用することもできる。この場合、給電部材１４８、１６２の第１端１４８ａ、１６２ａの接続端子１５０、１６４と第２端１４８ｂ、１６２ｂの給電端子１１０、１１４との間の領域は、導線１５８、１７２及びその絶縁被膜１６０、１７４が不要となる代わりに、例えば波形折曲部１５８′、１７２′（図３３（ａ）、（ｂ））やコ字形折曲部１５８″、１７２″（図３４（ａ）、（ｂ））として成形されることが、給電部材１４８、１６２に所要の可撓性を付与する観点で望ましい。この構成においても、接続端子１５０、１６４及び給電端子１１０、１１４を除く領域を、絶縁被膜（図示せず）で覆うことができる。
【０１２７】
上記した積層型静電モータ１００では、１つの単位モータ構造１０２が有する複数の給電部材１４８、１６２の各々に設けられる給電端子１１０、１１４が、他の１つの単位モータ構造１０２が有する複数の給電部材１４８、１６２の各々に設けられる給電端子１１０、１１４に接続される構成とした。この構成では、給電部材１４８、１６２同士の接続手段として、従来の単位モータ構造同士の接続手段（例えばボルト締結構造）をそのまま使用できる利点が有る。他方、この構成に代えて、１つの単位モータ構造１０２が有する複数の給電部材１４８、１６２の各々に設けられる給電端子１１０、１１４が、他の単位モータ構造１０２の固定子１０４又は移動子１０６の主部分１４０、１４４に接続される構成を採用することもできる。この構成では、単位モータ構造同士の接続構造を簡略化できる。図３５及び図３６は、そのような構成を実現するための他の変形例による給電部材２０８を延長部分１４２として備えた固定子１０４を例示する。なお、給電部材２０８は、その全体形状及び導電要素パターン以外は、上記した給電部材１４８、１６２と実質的同一の構成を有するので、対応する構成要素には共通の符号を付してその説明を省略する。
【０１２８】
固定子１０４は、一端１４２ａで主部分１４０に連結されて主部分１４０から延長され、複数（３個）の給電端子１１０が個別に設けられる複数（３個）の延長部分１４２（給電部材２０８）を備える。各給電部材２０８は、主部分１４０の周縁１４０ａに沿って全体として円弧形に延びる帯状要素であり、その長手方向第１端２０８ａ（一端１４２ａ）で主部分１４０の周縁１４０ａ（すなわち固定子１０４の外周縁１０４ａ）に沿った位置に取り付けられるとともに、長手方向第２端２０８ｂに、１つの給電端子１１０が設けられる。
【０１２９】
図３７に示すように、給電部材２０８は、長手方向第２端２０８ｂの給電端子１１０と、長手方向第１端２０８ａの接続端子１５０とを担持する円弧状輪郭の絶縁基板２１０を有する。絶縁基板２１０は、ポリイミドやポリエチレンテレフタレート等を素材とする可撓性薄板であり、例えば公知のフレキシブルプリント基板作製方法に準じた手順により、その裏面２１０ｂに、環状の給電端子１１０、接続端子１５０、導線１５８及び絶縁被膜１６０が形成される（図３７（ｂ））。絶縁基板２１０の表面２１０ａには、導電要素は形成されない（図３７（ａ））。したがって、前述した給電部材１４８におけるスルーホール１５４、１５６は省略されている。
【０１３０】
各給電部材２０８（延長部分１４２）は、長手方向第１端２０８ａの接続端子１５０が、固定子１０４の絶縁基板１１６の表面１１６ａ側で、１つの中継端子１１８に固定的に接続された状態で、主部分１４０の周縁１４０ａ（固定子１０４の外周縁１０４ａ）から径方向外方へ離隔して円弧状に設置される。具体的には、３個の給電部材２０８（延長部分１４２）は、固定子１０４の三相の電極１０８−１〜１０８−３（図２５）に個別に接続される給電端子１１０−１〜１１０−３、接続端子１５０−１〜１５０−３及び導線１５８−１〜１５８−３を、それぞれに備える（図３５、図３６）。したがって、個々の給電部材２０８の接続端子１５０を固定子１０４の対応の中継端子１１８に適正に接続することにより、給電端子１１０−１〜１１０−３は、給電部材２０８に形成した導線１５８−１〜１５８−３及び接続端子１５０−１〜１５０−３、並びに絶縁基板１１６に形成した中継端子１１８−１〜１１８−３及び導線１２０−１〜１２０−３を介して、電極１０８−１〜１０８−３に接続される（図２５、図３６）。
【０１３１】
なお、図示の構成では、３個の給電部材２０８の相互干渉を回避するために、前述した第２実施形態の積層型静電モータ１００における回転子１０４の中継端子１１８の配置に対し、第１相の一対の中継端子１１８−１の一方と、第３相の一対の中継端子１１８−３の一方とが、絶縁基板１１６上で互いに位置を入れ替えて形成され、それに対応して、基準寸法の第２相用の給電部材２０８−２に比べて、第１相用の給電部材２０８-１がより長尺に、第３相用の給電部材２０８−３がより短尺に形成されている（図３６）。
【０１３２】
複数個（２個のみ図示）の固定子１０４は、３個の延長部分１４２（給電部材２０８）を介して、互いに機械的に接続されるとともに、それら延長部分１４２に担持される給電端子１１０を介して、互いに電気的に接続される（図３６）。具体的には、２個の固定子１０４は、互いに同一相の中継端子１１８同士が、延長部分１４２（給電部材２０８）自体により相互に固定的に連結される。ここで、給電部材２０８は、半田及び導電性接着剤のいずれか一方からなる固着材料１７６（図３１（ａ））を用いて、両端２０８ａ、２０８ｂで固定子１０４の主部分１４０に固定的に取り付けることができる。固着材料１７６は、主部分１４０に設けた中継端子１１８と給電部材２０８の給電端子１１０及び接続端子１５０とを、相互に機械的及び電気的に安定して接続する。また、各給電部材２０８の給電端子１１０及び接続端子１５０は、各固定子１０４の絶縁基板１１６の表面１１６ａ側で、対応の中継端子１１８に接続される。
【０１３３】
上記構成では、各給電部材２０８は、長手方向第１端２０８ａ及び第２端２０８ｂで２個の固定子１０４の主部分１４０に両端支持されるが、両端２０８ａ、２０８ｂの間の比較的長尺な部分が主部分１４０から分離して形成されているから、給電部材２０８自体の撓みによる変位（特に軸線方向への変位）が主部分１４０によって拘束されず、結果として、延長部分１４２自体の撓みを主部分１４０に実質的に波及させないものとなる。
【０１３４】
上記構成では、複数個の単位モータ構造１０２の固定子１０４のうち、例えば最下層の固定子１０４の、給電部材２０８が接続されていない３個の中継端子１１８のそれぞれに、所定相の給電線の末端端子部１９０（図２８）を接続することにより、それら給電線から、給電部材２０８を介して直列に接続される全ての固定子１０４の対応相の電極群１０８（図２５）に交流電圧が印加される。なお上記構成では、給電部材２０８の、長手方向両端２０８ａ、２０８ｂの給電端子１１０及び接続端子１５０は、給電線に近い方の端子を「給電端子」として定義したものであるが、構造上は同一の端子であって互いに区別されない。よって、例えば図３５に示す構成において、最上層の固定子１０４の中継端子１１８に給電線を接続するようにしたときには、長手方向第１端２０８ａの接続端子１５０と長手方向第２端２０８ｂの給電端子１１０とを、互いに入れ替えて論ずることができる。
【０１３５】
上記構成を有する給電部材２０８は、移動子１０６に対しても同様にして適用することができる。このようにして構成された積層型静電モータ１００は、固定子１０４と移動子１０６との間のギャップＧ、Ｇ′（図２８）が、固定子１０４及び移動子１０６の互いに対向する表面の間に設けられる複数の球形粒子２００（接触防止要素）によって保持されるものであり、前述したスペーサ１８８、１９４を排除することができる。しかも、ボルト締結構造等の接続手段によって複数の給電部材１４８、１６２同士が互いに固定的に接続される前述した構成とは異なり、１つの給電部材２０８をその両端で２個の固定子１０４の主部分１４０（又は２個の移動子１０６の主部分１４４）に接続するものであるから、給電部材２０８同士が拘束し合うことが無く、単位モータ構造１０２の個数が増加した場合にも、個々の給電部材２０８が撓み難くなることを防止できる。さらに、モータ組立前に固定子１０４や移動子１０６が単体で厚みのばらつき、反り、ゆがみ等の構造上の誤差を有している場合にも、固定子１０４の主部分１４０又は移動子１０６の主部分１４４が給電部材２０８に対し軸線方向へのある程度自由な変位を許容されるから、移動子１０６の動作への影響が実質的に排除される。
【０１３６】
上記した積層型静電モータ１００において、特に複数の延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）同士が互いに固定的に接続される構成では、単位モータ構造１０２の個数が増加するに従い、延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）が相互拘束により撓み難くなる場合が有る。このような懸念を排除するために、３個以上の単位モータ構造１０２を備えている場合には、全ての単位モータ構造１０２が相毎に延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）を介して互いに連結される上記構成に代えて、所望個数ずつに分割した単位モータ構造１０２を、それぞれに別の延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）を介して相毎に連結するように構成することもできる。
【０１３７】
図３８〜図４１は、そのような分割構成を採用した積層型静電モータ１００の１つの変形例を示す。図示変形例による積層型静電モータ１００Ａは、個々の固定子１０４及び移動子１０６に設けた延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）の配置に関する構成以外は、第２実施形態による積層型静電モータ１００と実質的同一の構成を有する。したがって、対応する構成要素には共通する符号を付してその説明を省略する。なお、ハウジング構造並びに固定子１０４及び移動子１０６の導電要素パターンはいずれも、第２実施形態による積層型静電モータ１００と同一の構成とすることができるから、図示省略する。
【０１３８】
図示変形例による積層型静電モータ１００Ａは、１個以上（図では１個）の第１の単位モータ構造１０２を間に介在させて離間配置される２個以上（図では２個）の第２の単位モータ構造１０２が、第１の単位モータ構造１０２とは別個に、複数（図では１つの単位モータ構造１０２につき３個）の延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）を介して互いに機械的に接続されるとともに、それら延長部分１４２、１４６に設けられる複数の給電端子１１０を介して互いに電気的に接続される構成を有する。具体的には、図示の計４個の単位モータ構造１０２のうち、第１組を構成する最上段の単位モータ構造１０２と３段目の単位モータ構造１０２との、それぞれの固定子１０４同士及び移動子１０６同士が、３個ずつの延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）を介して、前述した要領で互いに機械的及び電気的に接続されている（これら２個の単位モータ構造１０２を第１の単位モータ構造１０２と見なすことができる）。他方、第２組を構成する２段目の単位モータ構造１０２と最下段の単位モータ構造１０２との、それぞれの固定子１０４同士及び移動子１０６同士が、第１組の単位モータ構造１０２の延長部分１４２、１４６とは中心角１８０度だけ異なる位置で、３個ずつの延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）を介して、前述した要領で互いに機械的及び電気的に接続されている（これら２個の単位モータ構造１０２を第２の単位モータ構造１０２と見なすことができる）。
【０１３９】
上記構成では、各組において固定子１０４の延長部分１４２（給電部材１４８）同士を接続するボルト締結構造は、両延長部分１４２（給電部材１４８）の給電端子１１０の間に所定圧力下で挟持される単一のスペーサ１８８′を含む。また、各組において移動子１０６の延長部分１４６（給電部材１６２）同士を接続するボルト締結構造は、両延長部分１４６（給電部材１６２）の給電端子１１４の間に所定圧力下で挟持される単一のスペーサ１９４′を含む。これらスペーサ１８８′、１９４′は、前述した積層型静電モータ１００におけるスペーサ１８８、１９４に比べて、１つの単位モータ構造１０２の厚み方向の全体寸法に相当する分だけ、軸線方向寸法が大きくなっている（図４０、図４１）。
【０１４０】
上記構成を有する積層型静電モータ１００Ａでは、前述した積層型静電モータ１００に比べて、互いに固定的に接続される延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）の個数が半減するから、単位モータ構造１０２の個数が増加した場合にも、延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）が相互拘束により撓み難くなる懸念を低減することができる。
【０１４１】
上記した分割構成は、給電部材１４８、１６２を使用する積層型静電モータ１００に限らず、主部分一体型の延長部分６０、６４を有する積層型静電モータ１０にも適用できる。この場合、例えば、図４２に示すような、固定子外周縁を規定する主部分５８の円形の外周縁５８ａからさらに外側へ突出するように形成された３個の延長部分６０を有する固定子１４″と、図４３に示すような、移動子内周縁を規定する主部分６２の円形の内周縁６２ａからさらに内側へ突出するように形成された３個の延長部分６４を有する移動子１６″とを用いることで、分割構成を実現できる。
【０１４２】
具体的には、例えば図３８に示す最上段の単位モータ構造１０２と３段目の単位モータ構造１０２に代えて、固定子１４″及び移動子１６″をそれぞれに有する２個の単位モータ構造１２を配置し、それら単位モータ構造１２同士を、３個ずつの延長部分６０、６４を介して互いに機械的及び電気的に接続する（これら２個の単位モータ構造１２を第１の単位モータ構造１２と見なすことができる）。また、図３８に示す２段目の単位モータ構造１０２と最下段の単位モータ構造１０２に代えて、固定子１４″及び移動子１６″をそれぞれに有する２個の単位モータ構造１２を、最上段及び３段目の単位モータ構造１２の固定子１４″及び移動子１６″に対し１８０度回転させて配置し、それら単位モータ構造１２同士を、３個ずつの延長部分６０、６４を介して互いに機械的及び電気的に接続する（これら２個の単位モータ構造１２を第１の単位モータ構造１２と見なすことができる）。このような構成によっても、積層型静電モータ１００Ａと同等の作用効果が奏される。
【０１４３】
なお、上記した分割構成では、複数の単位モータ構造１２、１０２を３組以上に分割することもできる。この場合、分割した単位モータ構造１２、１０２の異なる組の間で、延長部分６０、６４、１４２、１４６の位置を、例えば１２０度ずつや９０度ずつ等、適当にずらして、組毎に別個に単位モータ構造１２、１０２同士を延長部分６０、６４、１４２、１４６により接続するようにすればよい。これにより、相互接続される延長部分６０、６４、１４２、１４６の個数をさらに削減することができる。
【０１４４】
図４４及び図４５は、本発明に係る積層型静電モータにおける給電線の接続方式の幾つかの例を示す。図では、前述した積層型静電モータ１０の複数個の単位モータ構造１２において、移動子１６を挟んで隣り合う２個の固定子１４を、三相交流電源２２０及び給電線２２２と共に模式図的に示す。
【０１４５】
図４４（ａ）に示す接続方式は、複数個の単位モータ構造１２（固定子１４）に複数相の電圧を印加するための、相毎に１本ずつの給電線２２２−１、２２２−２、２２２−３が、個々の単位モータ構造１２（固定子１４）の相毎に１個ずつの給電端子２０−１、２０−２、２０−３に電気的に接続されるものである。これにより、２個の固定子１４が電源２２０に並列に接続される。この構成は、前述した図示実施形態による積層型静電モータ１０の構成に相当する。この接続方式は、給電線２２２の配線作業を簡略化できる利点が有る。また、複数個の単位モータ構造１２（固定子１４及び移動子１６）が電源２２０に並列に接続されるようになるから、いずれかの単位モータ構造１２の固定子１４及び移動子１６に導電要素の断線等による給電不良が生じても、他の単位モータ構造１２に駆動電圧を供給して積層型静電モータ１０の運転を継続することができる。
【０１４６】
この接続方式（単線並列接続）を、前述した積層型静電モータ１００に適用する場合には、各固定子１０４の主部分１４０に設けた６個の中継端子１１８のうち、所望の３個の中継端子１１８−１、１１８−２、１１８−３に、給電端子１１０−１、１１０−２、１１０−３を備えた３個の給電部材１４８が個別に接続され（図２３）、２個の固定子１０４の対応相の給電部材１４８同士が給電端子１１０−１、１１０−２、１１０−３を介して接続され（図２８）、それら給電端子１１０−１、１１０−２、１１０−３に対応相の給電線２２２−１、２２２−２、２２２−３が接続される。この構成は、前述した図示実施形態による積層型静電モータ１００、１００Ａの構成に相当する（積層型静電モータ１００、１００Ａは電気的に等価である）。
【０１４７】
図４４（ｂ）に示す接続方式は、複数個の単位モータ構造１２（固定子１４）に複数相の電圧を印加するための、相毎に２本ずつの給電線２２２−１、２２２−２、２２２−３が、個々の単位モータ構造１２（固定子１４）の相毎に２個ずつの給電端子２０−１、２０−２、２０−３に電気的に接続されるものである。この構成は、前述した図示実施形態による積層型静電モータ１０に対し、未使用の給電端子２０−１、２０−２、２０−３に給電線２２２−１、２２２−２、２２２−３を追加して接続した構成に相当する。この接続方式は、図４４（ａ）に示す接続方式に比べて、電圧供給経路が相毎に２本ずつ提供されるので、積層型静電モータ１０の動作信頼性が向上する。なお、相毎に３本以上ずつの給電線２２２が、個々の単位モータ構造１２の相毎に３個以上ずつの給電端子２０に接続される構成とすることで、さらに信頼性を向上させることもできる。
【０１４８】
この接続方式（複線並列接続）を、前述した積層型静電モータ１００に適用する場合には、各固定子１０４の主部分１４０に設けた６個（３対）の中継端子１１８−１、１１８−２、１１８−３の全てに、給電端子１１０−１、１１０−２、１１０−３を備えた６個（３対）の給電部材１４８が個別に接続され、２個の固定子１０４の相毎に２個ずつの対応相の給電部材１４８同士が給電端子１１０−１、１１０−２、１１０−３を介して接続され、それら給電端子１１０−１、１１０−２、１１０−３に、相毎に２本ずつの対応相の給電線２２２−１、２２２−２、２２２−３が接続される。この構成は、前述した図示実施形態による積層型静電モータ１００に対し、未使用の中継端子１１８−１、１１８−２、１１８−３に給電部材１４８を追加して接続した構成に相当する。
【０１４９】
図４４（ｃ）に示す接続方式は、複数個の単位モータ構造１２（固定子１４）に複数相の電圧を印加するための、相毎に１本ずつの給電線２２２−１、２２２−２、２２２−３が、１つの単位モータ構造１２（固定子１４）の相毎に１個ずつの給電端子２０−１、２０−２、２０−３に電気的に接続されるとともに、当該単位モータ構造１２（固定子１４）の、相毎に１個ずつの他の給電端子２０−１、２０−２、２０−３が、他の１つの単位モータ構造１２（固定子１４）の相毎に１個ずつの給電端子２０−１、２０−２、２０−３に電気的に接続されるものである。これにより、２個の固定子１４が電源２２０に直列に接続される。この接続方式は、単位モータ構造１２（固定子１４）同士を接続する線を一種の給電線と見なすことができるので、図４４（ｂ）に示すような、複数個の単位モータ構造に複数相の電圧を印加するための、相毎に複数本ずつの給電線が、個々の単位モータ構造の相毎に複数個ずつの給電端子に電気的に接続される接続方式の、１つの変形例でもある。
【０１５０】
この接続方式（単線直列接続）を、前述した積層型静電モータ１００に適用する場合には、１つの固定子１０４の主部分１４０に設けた６個の中継端子１１８のうち、所望の３個の中継端子１１８−１、１１８−２、１１８−３に、給電端子１１０−１、１１０−２、１１０−３を備えた３個の給電部材１４８が個別に接続されるとともに、他の３個の中継端子１１８−１、１１８−２、１１８−３に、給電端子１１０−１、１１０−２、１１０−３を備えた３個の給電部材２０８−１、２０８−２、２０８−３（図３６）が個別に接続され、それら給電部材２０８−１、２０８−２、２０８−３が、他の１個の固定子１０４の対応相の中継端子１１８−１、１１８−２、１１８−３に接続され、最初の給電部材１４８の給電端子１１０−１、１１０−２、１１０−３に対応相の給電線２２２−１、２２２−２、２２２−３が接続される。この構成は、前述した積層型静電モータ１００の変形例の構成（図３５）に相当する。なお、この接続方式では、複数個の単位モータ構造１０２が電源２２０に直列に接続されるようになるから、いずれか１つの単位モータ構造１０２に給電不良が生じると、積層型静電モータ１００の運転が停止する懸念が有る。その反面、前述したように、単位モータ構造１０２の個数が増加した場合にも、個々の給電部材２０８が撓み難くなることを防止できる利点が有る。
【０１５１】
上記した接続方式の変形例として、図４５（ａ）に示すように、絶縁基板２６の両面２６ａ、２６ｂに複数相の電極群１８を形成した固定子１４′を考察する。この固定子１４′では、基板表面２６ａの三相の電極１８−１、１８−２、１８−３と基板裏面２６ｂの三相の電極１８−１、１８−２、１８−３とが、相毎にスルーホール３０で互いに接続され、基板両面２６ａ、２６ｂに形成した絶縁層２０２の表面に、各相の電極１８−１、１８−２、１８−３にスルーホール３０′で接続される給電端子２０−１、２０−２、２０−３が形成されている。
【０１５２】
このような構成を有する固定子１４′に対し、図４４（ａ）に示す接続方式を採用する場合には、基板両面２６ａ、２６ｂのいずれか一方の絶縁層２０２に形成した給電端子２０−１、２０−２、２０−３に、対応相の給電線２２２−１、２２２−２、２２２−３を接続すれば、全ての電極１８−１、１８−２、１８−３に電圧が印加される。しかしこの固定子１４′に対しても、図４５（ｂ）に示すように、基板両面２６ａ、２６ｂの双方の絶縁層２０２に形成した給電端子２０−１、２０−２、２０−３に、対応相の給電線２２２−１、２２２−２、２２２−３を接続することもできる（表裏型複線並列接続）。また、このように基板両面２６ａ、２６ｂの給電端子２０−１、２０−２、２０−３に給電線２２２−１、２２２−２、２２２−３を接続することを前提とすれば、固定子１４′にスルーホール３０を形成する必要が無くなるので、固定子１４′の導電要素のパターン及び作製工程を簡素化できる利点が有る（図４５（ｃ））。
【０１５３】
以上、本発明の幾つかの好適な実施形態を説明したが、本発明はこれら実施形態の構成に限定されず、様々な修正を施すことができる。例えば、第１実施形態の積層型静電モータ１０における主部分一体型の延長部分６０、６４と、第２実施形態の積層型静電モータ１００における主部分別体型の延長部分１４２、１４６（給電部材１４８、１６２）とを、組み合わせて使用することもできる。また、１つの積層型静電モータにおいて、主部分一体型の延長部分６０によって相互接続される固定子１４と、主部分別体型の延長部分１４６（給電部材１６２）によって相互接続される移動子１０６とを、組み合わせて使用することもできる（固定子１０４と移動子１６との組み合わせも可能である）。
【図面の簡単な説明】
【０１５４】
【図１】本発明の第１の実施形態による積層型静電モータを概略で示す斜視図である。
【図２】図１の積層型静電モータが有する複数個の単位モータ構造を示す図で、図１の線ＩＩ−ＩＩに沿った切欠き斜視図である。
【図３】図２の単位モータ構造を構成する固定子の平面図で、導電要素のパターンを示す。
【図４】図２の単位モータ構造を構成する移動子の平面図で、導電要素のパターンを示す。
【図５】図１の積層型静電モータの単位モータ構造同士の接続部を示す局部拡大断面図である。
【図６】図１の積層型静電モータの単位モータ構造同士の他の接続部を示す局部拡大断面図である。
【図７】図１の積層型静電モータの単位モータ構造同士の接続部の変形例を示す局部拡大断面図である。
【図８】図１の積層型静電モータの単位モータ構造同士の接続部の他の変形例を示す局部拡大断面図である。
【図９】図１の積層型静電モータにおける固定子の変形例を示す平面図で、表面側の導電要素のパターンを示す。
【図１０】図９の固定子の裏面側の導電要素のパターンを示す平面図である。
【図１１】図１の積層型静電モータにおける移動子の変形例を示す平面図で、表面側の導電要素のパターンを示す。
【図１２】図１１の移動子の裏面側の導電要素のパターンを示す平面図である。
【図１３】図１の積層型静電モータの変形例を概略で示す斜視図である。
【図１４】図１３の積層型静電モータが有する複数個の単位モータ構造を示す図で、図１３の線ＸＩＶ−ＸＩＶに沿った切欠き斜視図である。
【図１５】図１３の単位モータ構造を構成する固定子の平面図である。
【図１６】図１３の単位モータ構造を構成する移動子の平面図である。
【図１７】図１の積層型静電モータの他の変形例を概略で示す斜視図である。
【図１８】図１７の積層型静電モータが有する複数個の単位モータ構造を示す図で、図１７の線ＸＶＩＩＩ−ＸＶＩＩＩに沿った切欠き斜視図である。
【図１９】図１８の単位モータ構造を構成する固定子の平面図で、導電要素のパターンを示す。
【図２０】図１８の単位モータ構造を構成する移動子の平面図で、導電要素のパターンを示す。
【図２１】本発明の第２の実施形態による積層型静電モータを概略で示す斜視図である。
【図２２】図２１の積層型静電モータが有する複数個の単位モータ構造を示す図で、図２１の線ＸＸＩＩ−ＸＸＩＩに沿った切欠き斜視図である。
【図２３】図２１の単位モータ構造を構成する固定子の平面図である。
【図２４】図２１の単位モータ構造を構成する移動子の平面図である。
【図２５】図２３の固定子の導電要素のパターンを示す平面図である。
【図２６】図２４の移動子の導電要素のパターンを示す平面図である。
【図２７】図２１の積層型静電モータで使用される給電部材の図で、（ａ）平面図、（ｂ）裏面の平面図、及び（ｃ）斜視図である。
【図２８】図２１の積層型静電モータの単位モータ構造同士の接続部を示す局部拡大断面図である。
【図２９】図２１の積層型静電モータの単位モータ構造同士の他の接続部を示す局部拡大断面図である。
【図３０】図２１の積層型静電モータの変形例における単位モータ構造同士の接続部を示す局部拡大断面図である。
【図３１】図２１の積層型静電モータにおける給電部材と固定子又は移動子との取付部を示す図で、（ａ）局部拡大断面図、及び（ｂ）変形例の局部拡大断面図である。
【図３２】図２１の積層型静電モータで使用される給電部材の変形例の図で、（ａ）平面図、及び（ｂ）裏面の平面図である。
【図３３】図２１の積層型静電モータで使用される給電部材の他の変形例の図で、（ａ）斜視図、及び（ｂ）側面図である。
【図３４】図２１の積層型静電モータで使用される給電部材の他の変形例の図で、（ａ）斜視図、及び（ｂ）側面図である。
【図３５】さらに他の変形例による給電部材を使用した、図２１の積層型静電モータの変形例における２個の固定子を概略で示す斜視図である。
【図３６】図３５の固定子の平面図である。
【図３７】図３５の固定子が備える給電部材の図で、（ａ）平面図、及び（ｂ）裏面の平面図である。
【図３８】図２１の積層型静電モータの変形例を概略で示す斜視図である。
【図３９】図３８の積層型静電モータが有する複数個の単位モータ構造を示す図で、図３８の線ＸＸＸＩＸ−ＸＸＸＩＸに沿った切欠き斜視図である。
【図４０】図３８の積層型静電モータの単位モータ構造同士の接続部を示す局部拡大断面図である。
【図４１】図３８の積層型静電モータの単位モータ構造同士の他の接続部を示す局部拡大断面図である。
【図４２】図３８の積層型静電モータを実現するための固定子の変形例を示す平面図である。
【図４３】図３８の積層型静電モータを実現するための移動子の変形例を示す平面図である。
【図４４】本発明に係る積層型静電モータにおける給電線の接続方式の幾つかの例を示す図で、（ａ）単線並列接続、（ｂ）複線並列接続、及び（ｃ）単線直列接続を示す。
【図４５】本発明に係る積層型静電モータにおける給電線の接続方式の幾つかの例を示す図で、（ａ）変形例による固定子の断面図、（ｂ）表裏型複線並列接続、及び（ｃ）他の表裏型複線並列接続を示す。
【符号の説明】
【０１５５】
１０、１００    積層型静電モータ
１２、１０２    単位モータ構造
１４、１０４    固定子
１６、１０６    移動子
１８、２２、１０８、１１２    電極
２０、２４、１１０、１１４    給電端子
５８、６２、１４０、１４４    主部分
６０、６４、１４２、１４６    延長部分
６６、６８    スリット
９０、２００    球形粒子（接触防止要素）
１１８、１２８    中継端子
１４８、１６２、２０８    給電部材
２２２    給電線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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