(57)【要約】【課題】検査対象であるウエハが大面積のものであって多数の被検査電極を有するものであっても、製造コストおよびメンテナンスコストの低減化を図ることができるウエハ検査用プローブ部材およびこれを具えたプローブカードを提供する。【解決手段】断面矩形の柱状のコア材と、このコア材の一面およびこれに対面する他面を覆うよう配置された柔軟な配線シートとを有してなり、前記配線シートは、前記コア材の一面上に位置された部分の表面に、検査対象であるウエハにおける一部の被検査電極に対応するパターンに従って形成された複数の接続用電極と、前記コア材の他面上に位置された部分の表面に形成され、それぞれ前記接続用電極に電気的に接続された端子電極とを具えてなる。【選択図】  図１
2009085681.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
断面矩形の柱状のコア材と、このコア材の一面およびこれに対面する他面を覆うよう配置された柔軟な配線シートとを有してなり、前記配線シートは、前記コア材の一面上に位置された部分の表面に、検査対象であるウエハにおける一部の被検査電極に対応するパターンに従って形成された複数の接続用電極と、前記コア材の他面上に位置された部分の表面に形成され、それぞれ前記接続用電極に電気的に接続された端子電極とを具えてなることを特徴とするウエハ検査用プローブ部材。
【請求項２】
配線シートにおける接続用電極が形成された部分の表面に配置された異方導電性エラストマーシートと、この異方導電性エラストマーシート上に配置された、絶縁性シートにその厚み方向に伸びる複数の電極構造体が配置されてなるシート状プローブとを具えてなることを特徴とする請求項１に記載のウエハ検査用プローブ部材。
【請求項３】
コア材の一面と配線シートとの間およびコア材の他面と配線シートとの間に、弾性シートが配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のウエハ検査用プローブ部材。
【請求項４】
ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるプローブカードであって、
検査対象であるウエハに形成された集積回路における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って検査電極が表面に形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に並ぶよう配置された、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の複数のウエハ検査用プローブ部材とを具えてなることを特徴とするプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハに形成された複数の集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるウエハ検査用プローブ部材およびこのウエハ検査用プローブ部材を具えたプローブカードに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体集積回路装置の製造工程においては、例えばシリコンよりなるウエハに多数の集積回路を形成し、その後、これらの集積回路の各々について、基礎的な電気特性を検査することによって、欠陥を有する集積回路を選別するプローブ試験が行われる。次いで、このウエハを切断することによって半導体チップが形成され、この半導体チップが適宜のパッケージ内に収納されて封止される。更に、パッケージ化された半導体集積回路装置の各々について、高温環境下において電気特性を検査することによって、潜在的欠陥を有する半導体集積回路装置を選別するバーンイン試験が行われる。
このようなプローブ試験またはバーンイン試験などの集積回路の電気的検査においては、検査対象物における被検査電極の各々をテスターに電気的に接続するためにプローブ部材が用いられている。このようなプローブ部材としては、被検査電極のパターンに対応するパターンに従って検査電極が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板上に配置された異方導電性エラストマーシートとよりなるものが知られている。
【０００３】
かかる異方導電性エラストマーシートとしては、従来、種々の構造のものが知られており、例えば特許文献１等には、金属粒子をエラストマー中に均一に分散して得られる異方導電性エラストマーシート（以下、これを「分散型異方導電性エラストマーシート」という。）が開示され、また、特許文献２等には、導電性磁性体粒子をエラストマー中に不均一に分布させることにより、厚み方向に伸びる多数の導電部と、これらを相互に絶縁する絶縁部とが形成されてなる異方導電性エラストマーシート（以下、これを「偏在型異方導電性エラストマーシート」という。）が開示され、更に、特許文献３等には、導電部の表面と絶縁部との間に段差が形成された偏在型異方導電性エラストマーシートが開示されている。
そして、偏在型異方導電性エラストマーシートは、検査すべき集積回路の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って導電部が形成されているため、分散型異方導電性エラストマーシートに比較して、被検査電極の配列ピッチすなわち隣接する被検査電極の中心間距離が小さい集積回路などに対しても電極間の電気的接続を高い信頼性で達成することができる。
【０００４】
ところで、ウエハに形成された集積回路に対して行われるプローブ試験においては、従来、多数の集積回路のうち例えば１６個または３２個の集積回路が形成された複数のエリアにウエハを分割し、このエリアに形成された全ての集積回路について一括してプローブ試験を行い、順次、その他のエリアに形成された集積回路についてプローブ試験を行う方法が採用されている。
そして、近年、検査効率を向上させ、検査コストの低減化を図るために、ウエハに形成された多数の集積回路のうち例えば６４個若しくは１２４個または全部の集積回路について一括してプローブ試験を行うことが要請されている。
一方、バーンイン試験においては、検査対象である集積回路装置は微小なものであってその取扱いが不便なものであるため、多数の集積回路装置の電気的検査を個別的に行うためには、長い時間を要し、これにより、検査コストが相当に高いものとなる。このような理由から、ウエハ上に形成された多数の集積回路について、それらのバーンイン試験をウエハの状態で一括して行うＷＬＢＩ（Ｗａｆｅｒ  Ｌｅｂｅｌ  Ｂｕｒｎ−ｉｎ）試験が提案されている。
そして、このようなプローブ試験やＷＬＢＩ試験に用いられるプローブカードとしては、検査用回路基板と、この検査用回路基板上に配置された異方導電性エラストマーシートと、この異方導電性エラストマーシート上に配置された、絶縁性シートにその厚み方向に伸びる複数の電極構造体が配置されてなるシート状プローブとを有してなるものが知られている（特許文献４参照。）。
【０００５】
しかしながら、このようなプローブカードにおいては、以下のような問題がある。
検査すべきウエハが大面積のものであって多数の被検査電極を有するものである場合には、シート状プローブとしては、大面積で多数の電極構造体が配置されてなるものが必要である。然るに、このようなシート状プローブを製造することは困難であり、従って、プローブカードの製造コストが増大し、延いては検査コストの増大を招く、という問題がある。
また、異方導電性エラストマーシートに故障が生じたり、或いはシート状プローブの一部の電極構造体に故障が生じたりした場合には、大面積の異方導電性エラストマーシート全体またはシート状プローブ全体を交換することが必要となるため、メンテナンスコストが増大し、延いては検査コストの増大を招く、という問題がある。
【０００６】
【特許文献１】特開昭５１−９３３９３号公報
【特許文献２】特開昭５３−１４７７７２号公報
【特許文献３】特開昭６１−２５０９０６号公報
【特許文献４】特開２００２−３３４７３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、ウエハに形成された複数の集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるウエハ検査用プローブ部材において、検査対象であるウエハが大面積のものであって多数の被検査電極を有するものであっても、製造コストおよびメンテナンスコストの低減化を図ることができるウエハ検査用プローブ部材およびこれを具えたプローブカードを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のウエハ検査用プローブ部材は、断面矩形の柱状のコア材と、このコア材の一面およびこれに対面する他面を覆うよう配置された柔軟な配線シートとを有してなり、前記配線シートは、前記コア材の一面上に位置された部分の表面に、検査対象であるウエハにおける一部の被検査電極に対応するパターンに従って形成された複数の接続用電極と、前記コア材の他面上に位置された部分の表面に形成され、それぞれ前記接続用電極に電気的に接続された端子電極とを具えてなることを特徴とする。
【０００９】
本発明のウエハ検査用プローブ部材においては、配線シートにおける接続用電極が形成された部分の表面に配置された異方導電性エラストマーシートと、この異方導電性エラストマーシート上に配置された、絶縁性シートにその厚み方向に伸びる複数の電極構造体が配置されてなるシート状プローブとを具えてなることが好ましい。
また、コア材の一面と配線シートとの間およびコア材の他面と配線シートとの間に、弾性シートが配置されていることが好ましい。
【００１０】
本発明のプローブカードは、ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるプローブカードであって、  検査対象であるウエハに形成された集積回路における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って検査電極が表面に形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に並ぶよう配置された、上記の複数のウエハ検査用プローブ部材とを具えてなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のプローブカードによれば、検査用回路基板上に複数のウエハ検査用プローブ部材が配置されているため、検査対象であるウエハが大面積のものであっても、個々のウエハ検査用プローブ部材に設けられるシート状プローブは面積の小さいものでよく、また、個々のウエハ検査用プローブ部材は簡単な構成であるため、製造コストの低減化を図ることができる。また、シート状プローブまたは異方導電性エラストマーシートに故障が生じた場合には、故障が生じたシート状プローブまたは異方導電性エラストマーシートを有するウエハ検査用プローブ部材を新たなものに交換すればよいので、メンテナンスコストの低減化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。
図１は、本発明のウエハ検査用プローブ部材（以下、「プローブ部材」という。）の一例における要部の構成を示す説明用断面図である。
このプローブ部材２は、例えば複数の集積回路が形成されたウエハについて当該集積回路の各々の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるものであって、断面矩形の柱状（図１において紙面に垂直な方向に伸びる）のコア材１０を有し、このコア材１０の一面（図１において上面）、一側面および一面に対面する他面を覆うよう柔軟な配線シート１１が配置されている。また、コア材１０の一面と配線シート１１との間およびコア材１０の他面と配線シート１１との間には、弾性シート１５，１６が配置されている。
配線シート１１は、樹脂よりなる絶縁性シート１２を有し、この絶縁性シート１２におけるコア材１０の一面上に位置された部分の表面には、図２にも示すように、検査対象であるウエハにおける一部の被検査電極に対応するパターンに従って複数の接続用電極１３が形成され、当該絶縁性シート１２におけるコア材１０の他面上に位置された部分の表面には、後述するプローブカードにおける検査用回路基板の検査用電極に対応するパターンに従って複数の端子電極１４が形成されており、接続用電極１３の各々は、絶縁性シート１２の表面に形成された配線部（図示省略）を介して、適宜の端子電極１４に電気的に接続されている。
また、配線シート１１における接続用電極１３が形成された部分の表面には、異方導電性エラストマーシート２０が配置され、この異方導電性エラストマーシート２０上には、シート状プローブ４０が配置され、更に、このシート状プローブ４０上には、異方導電性エラストマーシート２５が配置されている。
【００１３】
コア材１０を構成する材料としては、導電性のものであっても絶縁性のものであってもよいが、剛性を有するものであることが好ましく、その具体例としては、鉄、ステンレス、チタン、セラミックス、ガラスなどの金属材料を挙げることができる。
また、配線シート１１における絶縁性シート１２を構成する材料としては、ポリイミド、液晶ポリマーなどを用いることができる。
また、弾性シート１５，１６を構成する材料としては、シリコーンゴム、フッ素ゴム、ウレタンゴムなどを用いることができる。
【００１４】
異方導電性エラストマーシート２０は、弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。
【００１５】
異方導電性エラストマーシート２０の厚みは、５０〜２０００μｍであることが好ましく、より好ましくは７０〜１０００μｍ、特に好ましくは８０〜５００μｍである。この厚みが５０μｍ以上であれば、十分な強度を有する異方導電性エラストマーシート２０が確実に得られる。一方、この厚みが２０００μｍ以下であれば、所要の導電性特性が得られる。
【００１６】
異方導電性エラストマーシート２０を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する耐熱性の高分子物質が好ましい。かかる架橋高分子物質を得るために用いることができる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができるが、液状シリコーンゴムが好ましく、特に付加型のものが好ましい。
このような付加型液状シリコーンゴムとしては、信越化学工業株式会社製の液状シリコーンゴム「ＫＥ２０００」シリーズ、「ＫＥ１９５０」シリーズとして市販されているものを用いることができる。
【００１７】
異方導電性エラストマーシート２０に含有される導電性粒子Ｐとしては、磁性を示す芯粒子（以下、「磁性芯粒子」ともいう。）の表面に高導電性金属が被覆されてなるものを用いることが好ましい。
ここで、「高導電性金属」とは、０℃における導電率が５×１０6 Ω-1ｍ-1以上のものをいう。
【００１８】
導電性粒子Ｐを得るための磁性芯粒子は、その数平均粒子径が３〜４０μｍのものであることが好ましい。
ここで、磁性芯粒子の数平均粒子径は、レーザー回折散乱法によって測定されたものをいう。
上記数平均粒子径が３μｍ以上であれば、加圧変形が容易で、抵抗値が低くて接続信頼性の高い異方導電性エラストマーシート２０が得られやすい。一方、上記数平均粒子径が４０μｍ以下であれば、得られる異方導電性エラストマーシート２０は、安定な導電性を有するものとなりやすい。
磁性芯粒子を構成する材料としては、鉄、ニッケル、コバルト、これらの金属を銅、樹脂によってコーティングしたものなどを用いことができるが、その飽和磁化が０．１Ｗｂ／ｍ2 以上のものを好ましく用いることができ、より好ましくは０．３Ｗｂ／ｍ2 以上、特に好ましくは０．５Ｗｂ／ｍ2 以上のものであり、具体的には、鉄、ニッケル、コバルトまたはそれらの合金などが挙げられる。
磁性芯粒子の表面に被覆される高導電性金属としては、金、銀、ロジウム、白金、クロムなどを用いることができ、これらの中では、化学的に安定でかつ高い導電率を有する点で金を用いることが好ましい。
高導電性金属を磁性芯粒子の表面に被覆する方法としては、無電解メッキ法、置換メッキ法等を用いることができるが、これらの方法に限定されるものではない。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子による塊状のものであることが好ましい。
【００１９】
異方導電性エラストマーシート２０中の導電性粒子Ｐの含有割合は、体積分率で１０〜６０％、好ましくは１５〜５０％であることが好ましい。この割合が１０％未満の場合には、十分に電気抵抗値の小さい異方導電性エラストマーシート２０が得られないことがある。一方、この割合が６０％を超える場合には、得られる異方導電性エラストマーシート２０は脆弱なものとなりやすく、必要な弾性が得られないことがある。
【００２０】
シート状プローブ４０は、図３に拡大して示すように、検査対象であるウエハの被検査電極のパターンに対応するパターンに従って複数の貫通孔４１Ｈが形成された柔軟な絶縁性シート４１を有し、この絶縁性シート４１の貫通孔４１Ｈの各々には、当該絶縁性シート４１の厚み方向に伸びる金属よりなる電極構造体４２が配置されている。
電極構造体４２の各々は、絶縁性シート４１の貫通孔４１Ｈの径より大きい径を有する、当該絶縁性シート４１の表面（図において上面）に露出する表面電極部４３と、絶縁性シート４１の貫通孔４１Ｈの径より大きい径を有する、当該絶縁性シート４１の裏面に露出する裏面電極部４４とが、絶縁性シート４１の貫通孔４１Ｈの径より小さい径を有する、当該絶縁性シート４１の貫通孔４１Ｈを挿通する短絡部４５によって互いに一体に連結されて構成されており、絶縁性シート４１の厚み方向に移動自在とされている。
そして、シート状プローブ４０は、電極構造体４２の各々の裏面電極部４４が、異方導電性エラストマーシート２０を介して配線シート１１の接続用電極１３上に位置するよう配置されている。
【００２１】
絶縁性シート４１としては、絶縁性を有する柔軟なものであれば特に限定されるものではなく、例えばポリイミド樹脂、液晶ポリマー、ポリエステル、フッ素系樹脂などの樹脂よりなるもの、繊維を編んだクロスに上記の樹脂を含浸したものなどを用いることができる。
また、絶縁性シート４１の厚みは、当該絶縁性シート４１が柔軟なものであれば特に限定されないが、１０〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは１０〜２５μｍである。
【００２２】
電極構造体４２を構成する金属としては、ニッケル、銅、金、銀、パラジウム、鉄などを用いることができ、電極構造体４２としては、全体が単一の金属よりなるものであっても、２種以上の金属の合金よりなるものまたは２種以上の金属が積層されてなるものであってもよい。
また、電極構造体４２における表面電極部４３および裏面電極部４４の表面には、当該電極部の酸化が防止されると共に、接触抵抗の小さい電極部が得られる点で、金、銀、パラジウムなどの化学的に安定で高導電性を有する金属被膜が形成されていることが好ましい。
【００２３】
電極構造体４２における表面電極部４３および裏面電極部４４の径は、絶縁性シート４１の貫通孔４１Ｈより大きいものであればよく、ウエハ７の被検査電極の寸法およびピッチに応じて設定されるが、例えば３０〜８０μｍであり、好ましくは３０〜５０μｍである。
また、表面電極部４３および裏面電極部４４の厚みは、強度が十分に高くて優れた繰り返し耐久性が得られる点で、２０〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは３５〜５０μｍである。
電極構造体４２における短絡部４５の径は、絶縁性シート４１の貫通孔４１Ｈより小さいものであればよいが、十分に高い強度が得られる点で、３０〜８０μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜５０μｍである。
【００２４】
図４は、本発明に係るプローブカードの構成の概略を示す説明用断面図、図５は、図４に示すプローブカードの平面図である。このプローブカード１は、ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うためのものである。
このプローブカード１は、検査用回路基板３０上に、コネクター５０を介してそれぞれ図１に示す構成の複数のプローブ部材２が縦横に並ぶよう配置されて構成されている。
【００２５】
検査用回路基板３０は、図６にも示すように、円板状の第１の基板素子３２を有し、この第１の基板素子３２の表面における中央部には、正八角形の板状の第２の基板素子３５が配置され、この第２の基板素子３５は、第１の基板素子３２の表面に固定されたホルダー３４に保持されている。また、第１の基板素子３２の裏面における中央部には、補強部材３７が設けられている。
第１の基板素子３２の表面における中央部には、複数の接続用電極（図示省略）が適宜のパターンに従って形成されている。一方、第１の基板素子３２の裏面における周縁部には、図７に示すように、複数のリード電極３３が当該第１の基板素子３２の周方向に沿って並ぶよう配置されたリード電極部３３Ｒが形成されている。リード電極３３のパターンは、後述するウエハ検査装置におけるコントローラーの入試出力端子のパターンに対応するパターンである。そして、リード電極３３の各々は内部配線（図示省略）を介して接続用電極に電気的に接続されている。
第２の基板素子３５の表面には、複数の検査用電極３６が、検査対象であるウエハに形成された全ての集積回路における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された検査用電極部３６Ｒが形成されている。一方、第２の基板素子３５の裏面には、複数の端子電極（図示省略）が適宜のパターンに従って配置されており、端子電極の各々は内部配線（図示省略）を介して検査用電極３６に電気的に接続されている。また、第２の基板素子３５の端子電極は、適宜の手段によって第１の基板素子３２の接続用電極に電気的に接続されている。
【００２６】
検査用回路基板３０における第１の基板素子３２を構成する基板材料としては、従来公知の種々の材料を用いることができ、その具体例としては、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型フェノール樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強型ビスマレイミドトリアジン樹脂等の複合樹脂基板材料などが挙げられる。
検査用回路基板３０における第２の基板素子３５を構成する材料としては、線熱膨張係数が３×１０-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは１×１０-7〜１×１０-5／Ｋ、特に好ましくは１×１０-6〜６×１０-6／Ｋである。このような基板材料の具体例としては、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス、アルミナ、ベリリア、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素等よりなる無機系基板材料、４２合金、コバール、インバー等の鉄−ニッケル合金鋼よりなる金属板をコア材としてエポキシ樹脂またはポリイミド樹脂等の樹脂を積層した積層基板材料などが挙げられる。
【００２７】
ホルダー３４は、第２の基板素子３５の外形に適合する正八角形状の開口３４Ｋを有し、この開口３４Ｋ内に第２の基板素子３５が収容されている。また、ホルダー３４の外縁は円形である。
【００２８】
コネクター５０は、図８に示すように、複合電極シート５１の両面の各々に、異方導電性エラストマーシート５８，５９が配置されて構成されている。
異方導電性エラストマーシート５８，５９としては、プローブ部材２における異方導電性エラストマーシート２０と同様のものを用いることができる。
複合電極シート５１は、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔５２Ｈが形成された絶縁性シート５２と、この絶縁性シート５２の各貫通孔５２Ｈに当該絶縁性シート５２の両面の各々から突出するよう配置された複数の剛性導体５３とにより構成されている。
剛性導体５３の各々は、絶縁性シート５２の貫通孔５２Ｈに挿通された円柱状の胴部５３ａと、この胴部５３ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート５２の表面に露出する端子部５３ｂとにより構成されている。剛性導体５３における胴部５３ａの長さは、絶縁性シート５２の厚みより大きく、また、胴部５３ａの径は、絶縁性シート５２の貫通孔５２Ｈの径より小さいものとされており、これにより、剛性導体５３は、絶縁性シート５２の厚み方向に移動可能とされている。また、剛性導体５３における端子部５３ｂの径は、絶縁性シート５２の貫通孔５２Ｈの径より大きいものとされている。
【００２９】
絶縁性シート５２を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリアミド樹脂等の樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂等の繊維補強型樹脂材料、エポキシ樹脂等にアルミナ、ポロンナイトライド等の無機材料をフィラーとして含有した複合樹脂材料などを用いることができる。
剛性導体５３を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、その具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。
【００３０】
上記のプローブカード１によれば、検査用回路基板３０上に複数のプローブ部材２が配置されているため、検査対象であるウエハが大面積のものであっても、個々のプローブ部材２に設けられるシート状プローブは面積の小さいものでよく、また、個々のプローブ部材２は簡単な構成であるため、製造コストの低減化を図ることができる。また、シート状プローブ４０または異方導電性エラストマーシート２０，２５に故障が生じた場合には、故障が生じたシート状プローブ４０または異方導電性エラストマーシート２０，２５を有するプローブ部材２を新たなものに交換すればよいので、メンテナンスコストの低減化を図ることができる。
【００３１】
図９は、本発明のプローブカードを使用したウエハ検査装置の構成の概略を示す説明用断面図であり、図１０は、図９に示すウエハ検査装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。このウエハ検査装置は、ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路のバーンイン試験をウエハの状態で一括して行うためのものである。
図９に示すウエハ検査装置は、検査対象であるウエハ７の温度制御、ウエハ７の検査を行うための電源供給、信号の入出力制御およびウエハ７からの出力信号を検出して当該ウエハ７における集積回路の良否の判定を行うためのコントローラー３を有する。コントローラー３は、その下面に、多数の入出力端子４が円周方向に沿って配置された入出力端子部４Ｒを有する。
コントローラー３の下方には、図４に示すプローブカード１が、その検査用回路基板３０のリード電極３３の各々が、当該コントローラー３の入出力端子４に対向するよう、適宜の保持手段によって保持された状態で配置されている。
コントローラー３の入出力端子部４Ｒとプローブカード１における検査用回路基板３０のリード電極部３３Ｒとの間には、コネクター５が配置され、当該コネクター５によって、検査用回路基板３０のリード電極３３の各々がコントローラー３の入出力端子４の各々に電気的に接続されている。この例のコネクター５は、図１０に示すように、長さ方向に弾性的に圧縮可能な複数の導電ピン５Ａと、これらの導電ピン５Ａを支持する支持部材５Ｂとにより構成され、導電ピン５Ａは、コントローラー３の入出力端子４と第１の基板素子３２に形成されたリード電極３３との間に位置するよう配列されている。
プローブカード１の下方には、検査対象であるウエハ７が載置されるウエハ載置台６が設けられている。
【００３２】
このようなウエハ検査装置においては、ウエハ載置台６上に検査対象であるウエハ７が載置され、次いで、プローブカード１が下方に加圧されることにより、そのシート状プローブにおける電極構造体の各々が、ウエハ７の被検査電極（図示省略）の各々に接触し、更に、当該電極構造体の各々によって、ウエハ７の被検査電極の各々が加圧されることにより、プローブカード１とウエハ７との電気的接続が達成される。その後、ウエハ載置台６を介してウエハ７が所定の温度に加熱され、この状態で、当該ウエハ７における複数の集積回路の各々について所要の電気的検査が実行される。
【００３３】
〔他の実施の形態〕
本発明は、上記の実施の形態に限定されず、次のような種々の変更を加えることが可能である。
（１）プローブ部材２においては、異方導電性エラストマーシート２０は、偏在型異方導電性エラストマーシートであってもよい。
（２）プローブカード１は、アルミニウムよりなる平面状の電極を有する集積回路が形成されたウエハの検査の他に、金または半田などよりなる突起状電極（バンプ）を有する集積回路が形成されたウエハの検査に用いることもできる。
（３）プローブ部材２においては、図１１に示すように、複数のコア材１０の各々の一面および他面を覆うよう、配線シート１１が配置されて構成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係るプローブ部材の一例における構成を示す説明用断面図である。
【図２】配線シートの一部を拡大して示す平面図である。
【図３】シート状プローブの構成を示す説明用断面図である。
【図４】本発明に係るプローブカードの一例における構成を示す説明用断面図である。
【図５】図４に示すプローブカードの平面図である。
【図６】検査用回路基板の平面図である。
【図７】検査用回路基板における第１の基板素子のリード電極領域を示す説明図である。
【図８】図４に示すプローブカードにおけるコネクターを示す説明用断面図である。
【図９】図４に示すプローブカードを具えたウエハ検査装置の構成の概略を示す説明図である。
【図１０】図９に示すウエハ検査装置におけるコネクターの構成を示す説明図である。
【図１１】本発明に係るプローブ部材の他の例における構成を示す説明用断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  プローブカード      ２  プローブ部材
３  コントローラー      ４  入出力端子
４Ｒ  入出力端子部      ５  コネクター
５Ａ  導電ピン          ５Ｂ  支持部材
６  ウエハ載置台        ７  ウエハ
１０  コア材            １１  配線シート
１２  絶縁性シート      １３  接続用電極
１４  端子電極          １５，１６  弾性シート
２０，２５  異方導電性エラストマーシート
３０  検査用回路基板    ３２  第１の基板素子
３３  リード電極        ３３Ｒ  リード電極部
３４  ホルダー          ３４Ｋ  開口
３５  第２の基板素子    ３６  検査用電極
３６Ｒ  検査用電極部    ３７  補強部材
４０  シート状プローブ  ４１  絶縁性シート
４１Ｈ  貫通孔          ４２  電極構造体
４３  表面電極部        ４４  裏面電極部
４５  短絡部
５０  コネクター        ５１  複合電極シート
５２  絶縁性シート      ５２Ｈ  貫通孔
５３  剛性導体          ５３ａ  胴部
５３ｂ  端子部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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