(57)【要約】【課題】スキージがマスク上を加圧しながら摺動するとき、スキージが損傷を受け難くすることができるスクリーン印刷用マスクを提供する。【解決手段】スキージで液状体を押し出して印刷するスクリーン印刷に用いるスクリーン印刷用マスクに係り、１枚のシートにおいて、印刷形状に形成されレジスト材料を通過させる開口部と、レジスト材料を通過させない遮蔽部と、を有し、開口部には複数の第１孔３０が配置され、第１孔３０におけるスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部３０ａの形状は、スキージ進行方向３１と直交する方向の長さが、スキージの進行方向に対して徐々に減少する形状となっている。【選択図】図４
2009137179.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スキージで液状体を押し出して印刷するスクリーン印刷に用いるスクリーン印刷用マスクであって、
１枚のシートにおいて、
印刷形状に形成され液状体を通過させる開口部と、
液状体を通過させない遮蔽部と、を有し、
前記開口部には複数の孔が配置され、
前記孔における前記スキージが進行する方向の側である乗り上げ部の形状は、前記スキージの進行方向と直交する方向の長さが、前記スキージの進行方向に対して徐々に減少する形状となっていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
【請求項２】
請求項１に記載のスクリーン印刷用マスクであって、
前記孔における前記乗り上げ部の形状は、２つの略直線を含んで構成されていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
【請求項３】
請求項２に記載のスクリーン印刷用マスクであって、
前記孔における前記乗り上げ部は面取りが形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
【請求項４】
請求項２に記載のスクリーン印刷用マスクであって、
２つの前記略直線の間は略円弧状に形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
【請求項５】
請求項２に記載のスクリーン印刷用マスクであって、
前記孔の形状が略四角形となっていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
【請求項６】
請求項２に記載のスクリーン印刷用マスクであって、
複数の前記孔は複数種類の面積の前記孔により構成され、前記孔における前記乗り上げ部の形状は、略同じ形状に形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用マスク。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のスクリーン印刷用マスクを基板に重ねて、
前記スクリーン印刷マスクの上に液状体を塗布し、
前記スキージを用いて前記液状体を前記孔から押し出して、
前記基板に印刷することを特徴とする印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷用マスク及び印刷方法に係り、特にスキージが損傷し難い印刷マスクに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板にレジストを塗布するとき、スクリーン印刷が広く用いられている。例えば、特許文献１に印刷方法が開示されている。これによると、印刷パターンが形成された印刷マスクを被印刷物と重ねて、インクを印刷マスクに塗布する。次に、スキージを印刷マスク上で摺動することにより、インクが圧入透過されて被印刷物に付着する。このとき、印刷パターンが被印刷物に転写される。
【０００３】
一般的に用いられている印刷マスクの例が特許文献２に開示されている。これによると、ステンレススチールの細線を平織りしたメッシュにポリビニル系の感光性乳剤を塗布する。次に、印刷パターンの形状に露光した後、現像することにより印刷マスクを形成している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−６９０６４号公報
【特許文献２】特開平６−２１９０７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
印刷するとき、スキージは印刷マスクに押し付けられながら摺動されることから、スキージは弾性を備えた材質が用いられる。そして、スキージはメッシュ上を摺動されるとき、メッシュの凹凸により伸縮しながら擦れる為、損傷し易くなっている。そして、損傷したスキージの一部が損壊して、破片となって分離する。この破片がメッシュを通過し、レジストと共に基板に付着することがある。そしてレジスト内に進入したスキージの破片が外観検査工程において、他の異物と同様に、異物付着と判断され、基板の外観不良の原因となっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
本適用例にかかるスクリーン印刷用マスクは、スキージで液状体を押し出して印刷するスクリーン印刷に用いるスクリーン印刷用マスクであって、１枚のシートにおいて、印刷形状に形成され液状体を通過させる開口部と、液状体を通過させない遮蔽部と、を有し、前記開口部には複数の孔が配置され、前記孔における前記スキージが進行する方向の側である乗り上げ部の形状は、前記スキージの進行方向と直交する方向の長さが、前記スキージの進行方向に対して徐々に減少する形状となっていることを特徴とする。
【０００８】
このスクリーン印刷用マスクによれば、開口部に配置されている複数の孔の形状は、スキージの進行方向に対して幅が徐々に減少する形状となっている。スキージがマスク上を加圧しながら摺動するとき、スキージの一部は孔の内部へ入る。次に、スキージの進行に伴って、スキージは乗り上げ部の形状に沿って徐々に孔から排出される。このとき、スキージは徐々に排出される為、孔に引っかかり難く排出される。従って、スキージが損傷を受け難くすることができる。
【０００９】
［適用例２］
上記適用例にかかるスクリーン印刷用マスクにおいて、前記孔における前記乗り上げ部の形状は、２つの略直線を含んで構成されていることを特徴とする。
【００１０】
このスクリーン印刷用マスクによれば、乗り上げ部が２つの略直線を含んで構成されている。そして、２つの直線を配置するとき、２つの直線間の角度を設定することにより、２つの直線間の距離が変化する程度を設定できる。従って、スキージの進行方向と直交する方向の長さを設計し易い形状にすることができる。
【００１１】
［適用例３］
上記適用例にかかるスクリーン印刷用マスクにおいて、前記孔における前記乗り上げ部は面取りが形成されていることを特徴とする。
【００１２】
このスクリーン印刷用マスクによれば、スキージが孔から排出される場所に面取りが形成されている。そして、スキージが孔から排出されるとき、スキージは面取りに沿って通過して排出される。スキージは、角張っている乗り上げ部を通過する場合に比べて、面取りが形成されている乗り上げ部を通過する場合の方が、乗り上げ部に引っかからずに通過することができる。従って、スキージを損傷し難くすることができる。
【００１３】
［適用例４］
上記適用例にかかるスクリーン印刷用マスクにおいて、２つの前記略直線の間は略円弧状に形成されていることを特徴とする。
【００１４】
このスクリーン印刷用マスクによれば、２つの略直線の間が略円弧状になっていることにより、２つの略直線の間に塗布する液状体が詰り難くなっている。２つの略直線の間に液状体が詰まるとき、詰まった液状体が乾燥して粒状の塊が形成されることがある。この塊がマスクから離れて塗布される液状体に混じるとき、塗布された液状体で塊が凸状となり、液状体による膜厚が不均一となる。このマスクでは液状体の塊が形成され難い為、膜厚が均一の膜を形成することができる。
【００１５】
［適用例５］
上記適用例にかかるスクリーン印刷用マスクにおいて、前記孔の形状が略四角形となっていることを特徴とする。
【００１６】
このスクリーン印刷用マスクによれば、略四角形の孔が複数配置されている。この孔の辺と隣に位置する孔の辺とを近接して配置することにより孔と孔との間隔を狭くすることができる。従って、孔の開口率（単位面積あたりに孔の面積が占める割合）を大きくすることができる。その結果、単位面積あたりに塗布される面積を広くすることができる。
【００１７】
［適用例６］
上記適用例にかかるスクリーン印刷用マスクにおいて、複数の前記孔は複数種類の面積の前記孔により構成され、前記孔における前記乗り上げ部の形状は、略同じ形状に形成されていることを特徴とする。
【００１８】
このスクリーン印刷用マスクによれば、面積の異なる孔が配置されているので、単位面積あたりに塗布される面積を場所によって異なった面積にすることができる。そして、乗り上げ部の形状は略同じ形状となっている為、孔形状を設計し易くすることができる。
【００１９】
［適用例７］
本適用例にかかる印刷方法は、上記に記載のスクリーン印刷用マスクを基板に重ねて、前記スクリーン印刷マスクの上に液状体を塗布し、前記スキージを用いて前記液状体を前記孔から押し出して、前記基板に印刷することを特徴とする。
【００２０】
この印刷方法によれば、スキージが損傷を受け難いので、スキージの破片が発生し難くなっている。従って、塗布された液状体にスキージの破片が混じることがない。その結果、品質良く液状体を塗布することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、実施形態について図面に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
（第１の実施形態）
本実施形態ではスクリーン印刷装置とこのスクリーン印刷装置に用いられる印刷マスク及び印刷方法の特徴的な例について図１〜図１０に従って説明する。
【００２２】
図１は、フレキシブルプリント基板の平面図である。図１に示すように、フレキシブルプリント基板１はベースフィルム２を備えている。ベースフィルム２はポリイミドのシート等からなり、長方形に形成されている。このベースフィルム２の長手方向をＹ方向として、Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。ベースフィルム２上には４個の半導体３と列状に配列されている配線としての電極４が２列配置されている。そして、半導体３と半導体３との間、半導体３と電極４との間は配線５により電気的に接続されている。
【００２３】
そして、ベースフィルム２上で半導体３及び電極４が配置されていない場所にはレジスト６が塗布されている。レジスト６は半導体３を半田付けするとき、半田が付着して配線５がショート不良となることや、半導体３を実装するときに配線５が断線することを防止している。さらに、配線５と配線５の間が汚れて絶縁抵抗が低下することをレジスト６が防止している。レジスト６が塗布されている場所はレジスト６が厚く形成されている膜厚領域６ａとレジスト６が薄く形成されている薄厚領域６ｂとが配置されている。膜厚領域６ａは半導体３、電極４、配線５が配置されている場所の近くの領域であり、薄厚領域６ｂは膜厚領域６ａ以外の領域である。
【００２４】
次にレジスト６を塗布するときに用いるスクリーン印刷装置を説明する。図２は、スクリーン印刷装置の構成を示す概略斜視図である。図２に示すように、スクリーン印刷装置７は直方体形状に形成される基台８を備えている。この基台８の平面上の一方向をＹ方向とし、同平面上でＹ方向と直交する方向をＸ方向とする。そして、Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向をＺ方向とする。
【００２５】
基台８の上面８ａには、Ｙ方向に延びる一対の第１案内レール９が凸設されている。その基台８の上側には、一対の第１案内レール９に対応する図示しない直動機構を備えた第１移動テーブル１０が取付けられている。その第１移動テーブル１０の直動機構は、例えば第１案内レール９に沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転する図示しないＹ軸モータに連結されている。そして、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、第１移動テーブル１０がＹ軸方向に沿って往動又は、復動するようになっている。
【００２６】
第１移動テーブル１０の上には第１昇降装置１１が配置され、第１昇降装置１１の上には載置台１２が配置されている。第１昇降装置１１の内部には油圧シリンダが配置され、載置台１２を所定の距離だけ上下動するようになっている。その載置台１２の上面には、載置面１３が形成され、その載置面１３には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面１３に基板１４を載置すると、基板チャック機構によって、その基板１４が載置面１３の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００２７】
基台８のＹ方向の一端には直方体形状に形成される支持台１５が配置されている。支持台１５のＹ方向に対して逆側の側面１５ａにおける略中央にはＺ方向に延びる一対の第２案内レール１６が凸設されている。その第２案内レール１６のＹ方向と逆側には、第２案内レール１６に対応する図示しない直動機構を備えた第２移動テーブル１７が配置されている。この直動機構は例えば、第１移動テーブル１０が備える直動機構と同様な直動機構となっている。
【００２８】
第２移動テーブル１７に対してＹ方向の逆側には長方形の枠形状に形成されたマスク支持枠１８が配置され、マスク支持枠１８に囲まれた内側にはスクリーン印刷用マスクとしての印刷マスク１９が配置されている。この印刷マスク１９は載置面１３と略並行に配置されている。そして、操作者は印刷マスク１９をＺ方向に移動して、印刷マスク１９と基板１４との距離を調整可能になっている。
【００２９】
支持台１５の側面１５ａにおいて、Ｚ方向の場所にはＸ方向に延びる第３案内レール２０が凸設されている。その支持台１５のＹ方向の逆側には、第３案内レール２０に対応する図示しない直動機構を備えた第３移動テーブル２１が取付けられている。この直動機構は例えば、第１移動テーブル１０が備える直動機構と同様な直動機構となっている。
【００３０】
第３移動テーブル２１に対してＹ方向の逆側には第２昇降装置２２が配置されている。第２昇降装置２２は内部にエアーシリンダを備えている。そして、第２昇降装置２２の下側にはスキージ２３が配置され、第２昇降装置２２がこのスキージ２３を昇降することが可能となっている。
【００３１】
第３移動テーブル２１に対してＹ方向の逆側には第２昇降装置２２と並んで第３昇降装置２４が配置されている。第３昇降装置２４は内部にエアーシリンダを備えている。そして、第３昇降装置２４の下側にはスクレイパ２５が配置され、第３昇降装置２４がこのスクレイパ２５を昇降することが可能となっている。
【００３２】
図３及び図４は印刷マスクを示す図である。図３（ａ）は、印刷マスクの模式平面図であり、図３（ｂ）は、印刷マスクの模式断面図である。そして、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図を示している。図３に示すようにマスク支持枠１８の内側に印刷マスク１９が配置されている。そして、印刷マスク１９に張力が加わるとき、印刷マスク１９はマスク支持枠１８に支持されることにより、必要以上に撓まないようになっている。印刷マスク１９の材料であるシート１９ａは塗布するレジスト等のインクに対して耐食性があり張力に対する強度を備え伸縮性が小さい材料であれば良く、ファイバー等により強化された樹脂や金属シート等を用いることができる。本実施形態では、例えば、印刷マスク１９の材料にステンレスシートを採用している。
【００３３】
印刷マスク１９は基板１４に塗布するレジストを透過しない遮蔽部２８とレジストを透過する開口部２９とを備えている。そして、開口部２９は第１開口部２９ａと第２開口部２９ｂとからなり、第１開口部２９ａは第２開口部２９ｂより開口率が大きく形成されている。開口部２９において、膜厚領域６ａに対応する場所には第１開口部２９ａが配置され、薄厚領域６ｂと対応する場所には第２開口部２９ｂが配置されている。
【００３４】
図４（ａ）及び図４（ｃ）は、印刷マスクの孔部模式平面図であり、図４（ｂ）は、印刷マスクの孔部模式断面図である。そして、図４（ｂ）は、図４（ａ）におけるＢ−Ｂ’断面を示している。図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、第１開口部２９ａには孔としての第１孔３０が複数配置されている。そして、スキージ２３が進行する方向をスキージ進行方向３１が示している。第１孔３０は四角形に形成され、四角形の４つの角が円弧状に形成されている。そして、第１孔３０においてスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部３０ａは２つの直線がスキージ進行方向３１に対して斜めに配置され、２つの直線の間は円弧状に形成されている。従って、乗り上げ部３０ａの形状は、スキージ進行方向３１と直交する方向の長さが、スキージ進行方向３１に対して徐々に減少する形状となっている。そして、第１孔３０は全周に渡り面取り３０ｂが形成されているので、乗り上げ部３０ａにも面取り３０ｂが形成されている。第１孔３０はこの形状に形成されている為、スキージ２３がスキージ進行方向３１に摺動しながら移動するとき、スキージ２３が第１孔３０に引っ掛かり難くなっている。
【００３５】
図４（ｃ）に示すように、第２開口部２９ｂには孔としての第２孔３２が複数配置されている。そして、スキージ２３が進行する方向をスキージ進行方向３１が示している。第２孔３２は三角形に形成され、三角形の３つの角が円弧状に形成されている。そして、第２孔３２においてスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部３２ａの形状は第１孔３０における乗り上げ部３０ａの形状と同様に形成されている。従って、乗り上げ部３２ａの形状は、スキージ進行方向３１と直交する方向の長さが、スキージ進行方向３１に対して徐々に減少する形状となっている。そして、第２孔３２は全周に渡り面取り３２ｂが形成されているので、乗り上げ部３２ａにも面取り３２ｂが形成されている。第２孔３２はこの形状に形成されている為、スキージ２３がスキージ進行方向３１に摺動しながら移動するとき、スキージ２３が第２孔３２に引っ掛かり難くなっている。
【００３６】
第１孔３０と第２孔３２とが単位面積あたりに配置される個数は同じ個数となっている。そして、第１孔３０の面積は第２孔３２の面積より大きく形成されている。従って、第１開口部２９ａの方が第２開口部２９ｂより開口率が大きくなっている。
【００３７】
次に、上述したスクリーン印刷装置７を使って、基板１４にレジストを印刷する印刷方法について図５〜図７にて説明する。図５は、基板にレジストを印刷する製造工程を示すフローチャートである。図６及び図７は、スクリーン印刷装置を使った印刷方法を説明する図である。
【００３８】
ステップＳ１は基板設置工程に相当し、印刷装置に基板を配置する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２はマスク配置工程に相当し、基板と印刷マスクとを重ねて配置する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は転写工程に相当し、レジストを基板に転写する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は基板除去工程に相当し、基板を印刷装置から除去する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は固化工程に相当し、印刷したレジストを乾燥して固化する工程である。以上で、基板にレジストを印刷する製造工程を終了する。
【００３９】
次に、図２、図６、図７を用いて、図５に示したステップと対応させて、基板１４にレジストを印刷する印刷方法を詳細に説明する。図６（ａ）はステップＳ１に対応する図である。図６（ａ）に示すように、基板１４を載置面１３に位置決めして設置する。そして、載置面１３に設けられている吸引式の基板チャック機構により基板１４が載置面１３に固定される。
【００４０】
図６（ｂ）はステップＳ２に対応する図である。第１移動テーブル１０が移動されて、基板１４が印刷マスク１９と対向する場所へ移動される。そして、図６（ｂ）に示すように、第１昇降装置１１により載置台１２が上昇され、基板１４が印刷マスク１９と近接する場所に移動される。このとき、予め、第２移動テーブル１７を上下動させることにより印刷マスク１９の上下の位置が調整されている。そして、印刷マスク１９においてスキージ２３が配置されているスキージ面１９ｂに液状体としてのレジスト材料３３の塊が配置されている。
【００４１】
図６（ｃ）〜図６（ｅ）はステップＳ３に対応する図である。図６（ｃ）に示すように、第３昇降装置２４を駆動することによりスクレイパ２５を下降する。そして、第３昇降装置２４がスクレイパ２５を印刷マスク１９と所定の間隔を設けながら、第３移動テーブル２１が移動することにより、スクレイパ２５を移動させる。そして、基板１４の一端から他端までスクレイパ２５を移動する。このとき、レジスト材料３３の一部が印刷マスク１９を上に塗布される。次に、図６（ｄ）に示すように、第２昇降装置２２を駆動することによりスキージ２３を下降する。そして、第２昇降装置２２がスキージ２３を印刷マスク１９に押し付けながら、第３移動テーブル２１が移動することにより、スキージ２３を印刷マスク１９に摺動させる。このとき、レジスト材料３３の一部が印刷マスク１９を透過して基板１４に転写される。そして、図６（ｅ）に示すように、基板１４の一端から他端までスキージ２３を摺動する。そして、レジスト材料３３が印刷マスク１９上の一方に寄せられる。
【００４２】
図６（ｆ）はステップＳ４に対応する図である。第１昇降装置１１を駆動することにより、基板１４と載置台１２とを下降した後、第１移動テーブル１０を駆動することにより、基板１４を印刷マスク１９と対向する場所から移動する。そして、図６（ｆ）に示すように、基板１４が載置面１３から除去される。
【００４３】
図７（ａ）はステップＳ５に対応する図である。図７（ａ）に示すように、基板１４に転写された直後では、レジスト材料３３は印刷マスク１９の第１孔３０及び第２孔３２と同様の形状の柱状に形成される。このとき、第１開口部２９ａに対応する場所では、第２開口部２９ｂに対応する場所より多量のレジスト材料３３が塗布される。図７（ｂ）に示すように、基板１４に転写された後、しばらくすると柱状のレジスト材料３３の形状が崩れて、隣接するレジスト材料３３の柱が平坦になる。このとき、第１開口部２９ａに対応する場所では、第２開口部２９ｂに対応する場所よりレジスト材料３３が厚く塗布されている。
【００４４】
レジスト材料３３が塗布されている基板１４を恒温槽に入れて乾燥を促進させる。恒温槽の温度はレジスト材料３３の溶媒が蒸発して基板１４が酸化や熱により損傷しない程度の温度であれば良く、本実施形態では、例えば、摂氏７０度を採用している。そして、図７（ｂ）に示すように、第１開口部２９ａと第２開口部２９ｂとに対応する場所において、レジスト材料３３の厚みが異なる状態で固化してレジスト６が形成される。
【００４５】
次に、上述した印刷マスク１９を製造するマスク製造方法について図８〜図１０にて説明する。図８は、マスクに孔あけ加工をするプレス加工装置を示す概略斜視図である。図９は、孔の形成方法を説明する図であり、図１０は、面取りの形成方法を説明する図である。
【００４６】
まず、シート１９ａに複数の第１孔３０を形成するプレス加工装置を説明する。図８に示すように、プレス加工機３６は直方体形状に形成される基台３７を備えている。この基台３７の平面上の一方向をＹ方向とし、同平面上でＹ方向と直交する方向をＸ方向とする。そして、Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向をＺ方向とする。基台３７上のＹ方向と逆側の中央には直方体形状の下型台３８が配置され、下型台３８の上には下金型３９が配置されている。
【００４７】
基台３７上で下型台３８のＸ方向側にはＸＹテーブル４０が配置され、ＸＹテーブル４０は図２に示す第１移動テーブル１０と同様の図示しない直動機構を備えている。そして、ＸＹテーブル４０の上にはマスク支持部４１が配置されている。マスク支持部４１は下金型３９と対向する場所まで延在して形成され、印刷マスク１９の材料であるシート１９ａを下金型３９と対向する場所に保持している。
【００４８】
基台３７上のＹ方向側には金型駆動部４２が配置されている。金型駆動部４２はモータ、回転慣性体、クラッチ機構、動力伝達軸等により構成されている。そして、モータが回転慣性体を回転し、クラッチ機構を介して動力伝達軸に回転慣性体のトルクが伝達される。そして、金型駆動部４２の上部においてＹ方向の逆側には、動力変換部４３が配置されている。動力変換部４３はクランク、コンロッド、ピストン４４等からなるスライダークランク機構が構成されている。そして、クランクが動力伝達軸と連動して回転し、コンロッドがクランクと連動して、ピストン４４をＺ方向に上下動させる。つまり、モータの回転運動を上下の直線運動に変換している。
【００４９】
動力変換部４３のＺ方向と逆側には金型支持部４５が配置されている。そして、金型支持部４５の内部からＺ方向の逆方向に向かって上金型４６が配置されている。この上金型４６はピストン４４と接続され、ピストン４４と連動して上下動する。上金型４６は略円筒状に形成され、上金型４６の中心には孔あけ用のポンチ４７が配置されている。ポンチ４７は平面形状が図４に示す第１孔３０の柱状に形成されている。そして、ポンチ４７の周囲には抑えリング４８が配置されている。抑えリング４８の上側にはコイルバネが配置され、抑えリング４８は下側に付勢されている。
【００５０】
上金型４６がＺ方向に上下動して、下金型３９と接近するとき、ポンチ４７が下金型３９に形成されている孔に侵入する。このとき、ポンチ４７と下金型３９に挟まれた印刷マスク１９は、ポンチ４７の形状に孔が形成される。そして、シート１９ａはマスク支持部４１を介してＸＹテーブル４０に支持されているので、ＸＹテーブル４０を制御することにより、シート１９ａの所望の位置に孔を形成することが可能となっている。
【００５１】
次に、印刷マスク１９に第１孔３０を形成する孔あけ加工について説明する。図９（ａ）に示すように、上金型４６の中心にはポンチ４７が形成され、ポンチ４７と対向する場所の下金型３９には孔部４９が形成されている。そして、マスク支持部４１に配置されたシート１９ａを下金型３９の上に配置する。次に、第１孔３０をあける場所が孔部４９と対向する場所となるようにＸＹテーブル４０を駆動する。
【００５２】
次に、図９（ｂ）に示すように、上金型４６を下降させる。そして、抑えリング４８がシート１９ａと接触して、抑えリング４８がシート１９ａを付勢する。続いて、図９（ｃ）に示すように、さらに上金型４６を下降させる。そして、シート１９ａがポンチ４７と下金型３９とにより剪断される。次に、図９（ｄ）に示すように、上金型４６を上昇させる。そして、シート１９ａに第１孔３０が形成される。シート１９ａに第２孔３２を形成するとき、ポンチ４７の断面形状と孔部４９の平面形状とを第２孔３２の平面形状と同じ形状に形成する。そして、同様の手順で製造することにより第２孔３２が形成される。
【００５３】
次に、印刷マスク１９の第１孔３０に面取り３０ｂを形成する面取り加工について説明する。図１０（ａ）に示すように、上金型５０の中心には面取りポンチ５１が配置され、面取りポンチ５１と対向する場所の下金型３９には孔部４９が形成されている。そして、マスク支持部４１に配置されたシート１９ａを下金型３９の上に配置する。次に、第１孔３０をあける場所が孔部４９と対向する場所となるようにＸＹテーブル４０を駆動する。
【００５４】
次に、図１０（ｂ）に示すように、上金型５０を下降させる。そして、抑えリング４８がシート１９ａと接触して、抑えリング４８がシート１９ａを付勢する。続いて、図１０（ｃ）に示すように、さらに上金型５０を下降させる。そして、シート１９ａが面取りポンチ５１と下金型３９とにより圧縮される。次に、図１０（ｄ）に示すように、上金型５０を上昇させる。そして、シート１９ａの第１孔３０に面取り３０ｂが形成される。印刷マスク１９の第２孔３２に面取りを形成するとき、面取りポンチ５１の形状を第２孔３２の面取り３２ｂの形状と同じに形成する。そして、同様の手順で製造することにより第２孔３２に面取り３２ｂが形成される。
【００５５】
上述したように、本実施形態は、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、開口部２９に配置されている複数の第１孔３０の形状は、スキージ２３の進行方向に対して幅が徐々に減少する形状となっている。スキージ２３が印刷マスク１９上を加圧しながら摺動するとき、スキージ２３の一部は第１孔３０の内部へ入る。次に、スキージ２３の進行に伴って、スキージ２３は乗り上げ部３０ａの形状に沿って徐々に孔から排出される。このとき、スキージ２３は徐々に排出される為、第１孔３０に引っかかり難く排出される。従って、スキージ２３が損傷を受け難くすることができる。このことは、第１孔３０と同様に第２孔３２においてもスキージ２３が損傷を受け難くすることができる。
【００５６】
（２）本実施形態によれば、第１孔３０の乗り上げ部３０ａが２つの略直線を含んで構成されている。そして、２つの直線を配置するとき、２つの直線間の角度を設定することにより、２つの直線間の距離が変化する程度を設定できる。従って、スキージ２３の進行方向と直交する方向の長さを設計し易い形状にすることができる。このことは、第１孔３０と同様に第２孔３２においてもスキージ２３の進行方向と直交する方向の長さを設計し易い形状にすることができる。
【００５７】
（３）本実施形態によれば、スキージ２３が第１孔３０から排出される場所に面取り３０ｂが形成されている。そして、スキージ２３が第１孔３０から排出されるとき、スキージ２３は面取り３０ｂに沿って通過して排出される。スキージ２３は、角張っている乗り上げ部を通過する場合に比べて、面取り３０ｂが形成されている乗り上げ部３０ａを通過する場合の方が、乗り上げ部３０ａに引っかからずに通過することができる。従って、スキージ２３を損傷し難くすることができる。このことは、第１孔３０と同様に第２孔３２においてもスキージ２３が損傷を受け難くすることができる。
【００５８】
（４）本実施形態によれば、第１孔３０の乗り上げ部３０ａでは２つの略直線の間が円弧状になっていることにより、２つの略直線の間に塗布する液状体が詰り難くされている。２つの略直線の間にレジスト材料３３が詰まるとき、詰まったレジスト材料３３が乾燥して粒状の塊が形成されることがある。この塊がマスクから離れて塗布されるレジスト材料３３に混じるとき、塗布されたレジスト材料３３の塊が凸状となり、レジスト材料３３による膜厚が不均一となる。この印刷マスク１９ではレジスト材料３３の塊が形成され難い為、膜厚が均一のレジスト６の膜を形成することができる。
【００５９】
（５）本実施形態によれば、略四角形の第１孔３０が複数配置されている。この第１孔３０の辺と隣に位置する第１孔３０の辺とを近接して配置することにより第１開口部２９ａの開口率を大きくすることができる。従って、単位面積あたりに塗布される面積を広くすることができる。
【００６０】
（６）本実施形態によれば、スキージ２３が損傷を受け難いので、スキージ２３の破片が発生し難くなっている。従って、塗布されたレジスト材料３３にスキージ２３の破片が混じることがない。その結果、品質良くレジスト材料３３を塗布することができる。
【００６１】
（第２の実施形態）
次に、本実施形態では、印刷マスクの孔形状の特徴的な例について図１１に従って説明する。図１１は、印刷マスクの孔を示す要部平面図である。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、印刷マスクの孔形状が異なる点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００６２】
図１１（ａ）は第１開口部２９ａにおける孔の形状を示し、図１１（ｂ）は第２開口部２９ｂにおける孔の例を示している。図１１（ａ）に示すように、第１開口部２９ａには略菱形の孔としての第３孔５４が複数配列して形成されている。そして、第３孔５４のスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部５４ａは２辺が鋭角に形成され、この２辺の間は円弧状となっている。そして、図１１（ｂ）に示すように、第２開口部２９ｂには略五角形の孔としての第４孔５５が複数配列して形成され、第４孔５５の面積は第３孔５４の面積より小さく形成されている。そして、第４孔５５のスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部５５ａは２辺が鋭角に形成され、この２辺の間は円弧状となっている。この乗り上げ部５４ａと乗り上げ部５５ａとは略同じ形状に形成され、スキージ２３が印刷マスク１９上を加圧しながら摺動するとき、スキージ２３は第３孔５４又は第４孔５５から徐々に排出される。
【００６３】
図１１（ｃ）は第１開口部２９ａにおける孔の形状を示し、図１１（ｄ）は第２開口部２９ｂにおける孔の例を示している。図１１（ｃ）に示すように、第１開口部２９ａには略５角形の孔としての第５孔５６が複数配列して形成されている。そして、第５孔５６のスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部５６ａは２辺が略直角に形成され、この２辺の間は円弧状となっている。そして、図１１（ｄ）に示すように、第２開口部２９ｂには略５角形の孔としての第６孔５７が複数配列して形成され、第６孔５７の面積は第５孔５６の面積より小さく形成されている。そして、第６孔５７のスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部５７ａは２辺が略直角に形成され、２辺の間は円弧状となっている。この乗り上げ部５６ａと乗り上げ部５７ａとは略同じ形状に形成され、スキージ２３が印刷マスク１９上を加圧しながら摺動するとき、スキージ２３は第５孔５６又は第６孔５７から徐々に排出される。
【００６４】
図１１（ｅ）は第１開口部２９ａにおける孔の形状を示し、図１１（ｆ）は第２開口部２９ｂにおける孔の例を示している。図１１（ｅ）に示すように、第１開口部２９ａには略５角形の孔としての第７孔５８が複数配列して形成されている。そして、第７孔５８のスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部５８ａは２辺が略直角に形成され、この２辺の間は直線状となっている。そして、図１１（ｆ）に示すように、第２開口部２９ｂには略５角形の孔としての第８孔５９が複数配列して形成されている。そして、第８孔５９のスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部５９ａは２辺が略直角に形成され、２辺の間は直線状となっている。この乗り上げ部５８ａと乗り上げ部５９ａとは略同じ形状に形成され、スキージ２３が印刷マスク１９上を加圧しながら摺動するとき、スキージ２３は第７孔５８又は第８孔５９から徐々に排出される。このとき、２辺の間の直線状の部分が短く形成されているので、この直線状の部分ではスキージ２３が引っ掛かり難くなっている。
【００６５】
図１１（ｇ）は第１開口部２９ａにおける孔の形状を示し、図１１（ｈ）は第２開口部２９ｂにおける孔の例を示している。図１１（ｇ）に示すように、第１開口部２９ａには略７角形の孔としての第９孔６０が複数配列して形成されている。そして、第９孔６０のスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部６０ａは２辺が鋭角に形成されている角が２つ並んで配置され、この２辺の間は円弧状となっている。そして、図１１（ｈ）に示すように、第２開口部２９ｂには略７角形の孔としての第１０孔６１が複数配列して形成され、第１０孔６１の面積は第９孔６０の面積より小さく形成されている。そして、第１０孔６１のスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部６１ａは２辺が鋭角に形成されている角が２つ並んで配置され、２辺の間は円弧状となっている。この乗り上げ部６０ａと乗り上げ部６１ａとは略同じ形状に形成され、スキージ２３が印刷マスク１９上を加圧しながら摺動するとき、スキージ２３は第９孔６０又は第１０孔６１から徐々に排出される。
【００６６】
図１１（ｉ）は第１開口部２９ａにおける孔の形状を示し、図１１（ｊ）は第２開口部２９ｂにおける孔の例を示している。図１１（ｉ）に示すように、第１開口部２９ａには略８角形の孔としての第１１孔６２が複数配列して形成されている。そして、第１１孔６２のスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部６２ａは２辺が略直角に形成されており、この２辺の間は直線状となっている。そして、図１１（ｊ）に示すように、第２開口部２９ｂには略６角形の孔としての第１２孔６３が複数配列して形成され、第１２孔６３の面積は第１１孔６２の面積より小さく形成されている。そして、第１２孔６３のスキージ進行方向３１の側である乗り上げ部６３ａは２辺が略直角に形成されており、この２辺の間は直線状となっている。この乗り上げ部６２ａと乗り上げ部６３ａとは略同じ形状に形成され、スキージ２３が印刷マスク１９上を加圧しながら摺動するとき、スキージ２３は第１１孔６２又は第１２孔６３から徐々に排出される。このとき、２辺の間の直線状の部分が短く形成されているので、この直線状の部分ではスキージ２３が引っ掛かり難くなっている。
【００６７】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、面積の異なる孔が配置されているので、単位面積あたりに塗布される面積を場所によって異なった面積にすることができる。そして、乗り上げ部５４ａ〜６３ａの形状は略同じ形状となっている為、孔形状を設計し易くすることができる。
【００６８】
（２）本実施形態によれば、８角形の第１１孔６２が複数配置されている。この孔の辺と隣に位置する穴の辺とを近接して配置することにより孔の開口率を大きくすることができる。従って、単位面積あたりに塗布される面積を広くすることができる。
【００６９】
（３）本実施形態によれば、第３孔５４の乗り上げ部５４ａは２辺が鋭角に形成されているので、２辺が鈍角に形成されている場合に比べて、２辺に引っ掛かり難くなる。従って、スキージ２３が損傷され難くすることができる。
【００７０】
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態では、第１孔３０及び第２孔３２の加工にプレス加工機３６を用いたが、これに限らず他の方法を用いても良い。例えば、シートに印刷パターンのレジストを塗布した後エッチングする方法、レーザ光を照射して孔を開ける方法、高圧水流を吹き付けて孔を開ける方法、ドリルを用いて孔を開ける方法等を用いることができるこれらの方法のうち、生産性良く第１孔３０及び第２孔３２を加工する方法を選択するのが望ましい。
【００７１】
（変形例２）
前記第１の実施形態では、開口部２９は第１開口部２９ａと第２開口部２９ｂとの２水準が配置されたが、開口部２９は３水準以上の開口率を備えた場所に区分けしても良い。開口率の水準が多い方が塗布されるレジスト材料３３の厚みを徐々に変えることができる。そして、レジスト６の厚さを必要とする厚さにすることができるので、レジスト材料３３の消費量を少なくすることができる。その結果、省資源にレジスト６の膜を製造することができる。
【００７２】
（変形例３）
前記第１の実施形態では、面取りポンチ５１を用いて面取り３０ｂを形成したが、他の方法を用いても良い。例えば、下金型３９の孔部４９の外形をポンチ４７の外形より大きくすることにより、第１孔３０の角を丸くして良い。また、ドリル等の刃具を回転して接触させることにより面取り３０ｂを形成しても良い。これらの方法のうち、生産性良く面取り３０ｂ及び面取り３２ｂを加工する方法を選択するのが望ましい。
【００７３】
（変形例４）
前記第１の実施形態では、基板１４にレジスト材料３３を印刷したが、これに限らず、インク、配線の材料、磁性材料等の機能液を印刷するときに上記の方法を採用しても良い。各種の材料を印刷するときに用いることができる。
【００７４】
（変形例５）
前記第１の実施形態では、フレキシブルプリント基板１にレジスト６を塗布したが、フレキシブルプリント基板１以外の基板を用いても良い。例えば、ガラス繊維入りエポキシ基板や紙フェノール基板などのリジッド基板も用いることができる。さらに、リジッド基板とフレキシブル基板とが一体化しているリジッドフレキシブル基板も用いることができる。さらに、ガラス、シリコン、樹脂等の各種材質及びその混合材料からなる基板に印刷するときに上記の方法を用いることができる。
【００７５】
（変形例６）
前記第１の実施形態では、印刷マスク１９はシート１９ａに第１孔３０及び第２孔３２を形成して用いたが、印刷マスク１９にレジスト６に対する撥液処理を施してもよい。これにより、スキージ２３が印刷マスク１９上を摺動するときの抵抗が小さくなるので、スキージ２３をさらに損傷し難くすることができる。そして、レジスト６が第１孔３０及び第２孔３２を流動するときの流動抵抗が小さくなるので、レジスト６を第１孔３０及び第２孔３２から抜け易くすることができる。さらに、印刷マスク１９の基板１４側の面へレジスト６が付着することを防止することができる。
【００７６】
（変形例７）
前記第１の実施形態では、フレキシブルプリント基板１は長方形に形成されていたが、長尺のテープ状に形成されている基板でも良い。基板の上に複数の回路及び素子を配列して形成するとき、フレキシブル基板をリールに巻いて除給材することにより、フレキシブル基板取り扱いを容易にすることができる。
【００７７】
（変形例８）
前記第１の実施形態では、フレキシブルプリント基板１に半導体３を配置して配線５と電気的に接続して形成されている。この接続方法は各種の方法を用いることができる。例えば、半田付け、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍｅａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）、ワイヤボンディング、フリップチップ等の実装方法を用いることができる。いずれの場合においても、上記の方法を用いてフレキシブルプリント基板１にレジスト６を印刷することにより、スキージ２３の損傷を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】第１の実施形態に係るフレキシブルプリント基板の平面図。
【図２】スクリーン印刷装置の構成を示す概略斜視図。
【図３】（ａ）は、印刷マスクの模式平面図、（ｂ）は、印刷マスクの模式断面図。
【図４】（ａ）は、印刷マスクの孔部模式平面図、（ｂ）は、印刷マスクの孔部模式断面図、（ｃ）は、印刷マスクの孔部模式平面図。
【図５】基板にレジストを印刷する製造工程を示すフローチャート。
【図６】スクリーン印刷装置を使った印刷方法を説明する図。
【図７】スクリーン印刷装置を使った印刷方法を説明する図。
【図８】マスクに孔あけ加工をするプレス加工装置を示す概略斜視図。
【図９】孔の形成方法を説明する図。
【図１０】面取りの形成方法を説明する図。
【図１１】第２の実施形態に係る印刷マスクの孔を示す要部平面図。
【符号の説明】
【００７９】
１９…スクリーン印刷用マスクとしての印刷マスク、１９ａ…シート、２３…スキージ、２８…遮蔽部、２９…開口部、３０…孔としての第１孔、３０ｂ，３２ｂ…面取り、３０ａ，３２ａ，５４ａ，５５ａ，５６ａ，５７ａ，５８ａ，５９ａ，６０ａ，６１ａ，６２ａ…乗り上げ部、３２…孔としての第２孔、３３…液状体としてのレジスト材料、５４…孔としての第３孔、５５…孔としての第４孔、５６…孔としての第５孔、５７…孔としての第６孔、５８…孔としての第７孔、５９…孔としての第８孔、６０…孔としての第９孔、６１…孔としての第１０孔、６２…孔としての第１１孔、６３…孔としての第１２孔。
【図１】
2009137179.tif 000003
【図２】
2009137179.tif 000004
【図３】
2009137179.tif 000005
【図４】
2009137179.tif 000006
【図５】
2009137179.tif 000007
【図６】
2009137179.tif 000008
【図７】
2009137179.tif 000009
【図８】
2009137179.tif 000010
【図９】
2009137179.tif 000011
【図１０】
2009137179.tif 000012
【図１１】
2009137179.tif 000013