(57)【要約】【課題】ホストコンピュータが行う生産管理に支障を生じることなく、半導体製造装置についての必要なプロセスデータを収集すること。【解決手段】製造装置が出力すべきイベントおよび変数の項目を設定する設定情報（第１の情報）をホストコンピュータから受け取り、収集すべきプロセスデータのトリガとなるイベントおよび変数の項目を設定する設定情報（第２の情報）に含まれるイベントおよび変数の項目と、第１の情報に含まれる変数の項目とを突き合わせ、不足する変数およびイベントの項目を追加項目として情報生成し、追加のイベントおよび変数を含むメッセージを出力するように製造装置を設定する設定情報（第３の情報）を、追加項目に基づき生成して製造装置に送信し、製造装置がホストコンピュータへ向けて出力した送信内容を先取りし、第１の情報のみに対応する送信内容に改変してホストコンピュータに出力する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置がホストコンピュータへ向けて出力すべきイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報を第１の情報として、該第１の情報を前記ホストコンピュータが前記半導体製造装置に送信するときに、前記ホストコンピュータから受け取る手段と、
前記半導体製造装置について収集すべきプロセスデータの項目ならびに該プロセスデータを収集するためのトリガとなるイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報を第２の情報として、該第２の情報を保持する手段と、
前記第２の情報に含まれるイベントの項目および変数の項目と、前記第１の情報に含まれるイベントの項目および変数の項目とを突き合わせる手段と、
前記第２の情報に含まれる前記イベントの項目および前記変数の項目であって前記第１の情報に対応するものがない該イベントの項目および該変数の項目を、イベントの追加項目および変数の追加項目として情報生成する手段と、
前記イベントの前記追加項目および前記変数の前記追加項目を含むメッセージを前記半導体製造装置が出力するように前記半導体製造装置を設定する設定情報を第３の情報として、該第３の情報を前記イベントの前記追加項目および前記変数の前記追加項目に基づき生成する手段と、
前記第３の情報を前記半導体製造装置に送信する手段と、
前記半導体製造装置が前記ホストコンピュータへ向けて出力した送信内容を先取りする手段と、
前記送信内容に、前記第２の情報に対応するイベントの項目および変数の項目が含まれるか否か判断する手段と、
前記送信内容を、前記第１の情報のみに対応する送信内容に改変して改変メッセージを生成する手段と、
前記改変メッセージを前記ホストコンピュータに向けて出力する手段と
を具備することを特徴とするデータ収集装置。
【請求項２】
前記送信内容に、前記第２の情報に対応するイベントの項目および変数の項目が含まれる場合に、前記収集すべきプロセスデータの項目に対応のプロセスデータを出力するように前記半導体製造装置に要求する要求メッセージを前記半導体製造装置に送信する手段をさらに具備することを特徴とする請求項１記載のデータ収集装置。
【請求項３】
前記要求メッセージに基づいて前記半導体製造装置が出力する前記プロセスデータを蓄積する手段をさらに具備することを特徴とする請求項２記載のデータ収集装置。
【請求項４】
前記第２の情報に相当する情報を情報源から受け入れる手段と、
前記周期ごとの前記プロセスデータを前記情報源に送り出す手段と
をさらに具備することを特徴とする請求項３記載のデータ収集装置。
【請求項５】
半導体製造装置がホストコンピュータへ向けて出力すべきイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報を第１の情報として、該第１の情報を前記ホストコンピュータが前記半導体製造装置に送信するときに、前記ホストコンピュータから受け取り、
前記半導体製造装置について収集すべきプロセスデータの項目ならびに該プロセスデータを収集するためのトリガとなるイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報を第２の情報として、該第２の情報を保持し、
前記第２の情報に含まれるイベントの項目および変数の項目と、前記第１の情報に含まれるイベントの項目および変数の項目とを突き合わせ、
前記第２の情報に含まれる前記イベントの項目および前記変数の項目であって前記第１の情報に対応するものがない該イベントの項目および該変数の項目を、イベントの追加項目および変数の追加項目として情報生成し、
前記イベントの前記追加項目および前記変数の前記追加項目を含むメッセージを前記半導体製造装置が出力するように前記半導体製造装置を設定する設定情報を第３の情報として、該第３の情報を前記イベントの前記追加項目および前記変数の前記追加項目に基づき生成し、
前記第３の情報を前記半導体製造装置に送信し、
前記半導体製造装置が前記ホストコンピュータへ向けて出力した送信内容を先取りし、
前記送信内容に、前記第２の情報に対応するイベントの項目および変数の項目が含まれるか否か判断し、
前記送信内容を、前記第１の情報のみに対応する送信内容に改変して改変メッセージを生成し、
前記改変メッセージを前記ホストコンピュータに向けて出力すること
を特徴とするデータ収集方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置のプロセスデータを収集するためのデータ収集装置およびデータ収集方法に係り、特に、半導体製造装置がこれを管理するホストコンピュータに接続されて運用される場合に好適なデータ収集装置およびデータ収集方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
今日、半導体生産の分野においては、種々の半導体製造装置がこれを管理するためのホストコンピュータに接続され使用されている。ホストコンピュータは、例えば、半導体製造装置におけるロット処理の進捗状況を把握、管理し、これにより半導体生産の全体を統括している。半導体製造装置とホストコンピュータとの間の通信には、例えばＳＥＣＳ（semiconductor equipment communication standard）通信による標準化された通信方法が一般的に用いられている。
【０００３】
このような半導体生産システムにおいて、ホストコンピュータは、あらかじめ半導体製造装置に対して、半導体製造装置がホストコンピュータへ向けて出力すべき、進捗状況把握に必要なイベント項目およびこれにリンクする変数項目を設定する設定情報を、上記通信方法に則り送信する。半導体製造装置は、この設定情報に基づいて、該当するイベントおよびこれにリンクする変数をホストコンピュータに向けて上記通信方法に則り出力する。これにより、ホストコンピュータは半導体の生産管理に関して必要な処理を行うことができる。
【０００４】
一方、データ収集装置は、半導体製造装置のプロセス性能や健常性を監視する目的で設けられるもので、ホストコンピュータが必要とする上記のイベントや変数とは異なる情報を一般的には必要とする。そこで、ホストコンピュータが、半導体製造装置との上記通信手段を利用して、データ収集装置が必要とする情報を含めて半導体製造装置から得るようにしてもよい。しかしながら、その場合にはホストコンピュータに集約される情報の量が膨大になり、ホストコンピュータが本来の任務とする生産管理に支障が発生する恐れがある。特に、今日の大規模な半導体生産システムではこの傾向は顕著になる。
【０００５】
なお、半導体製造装置がこれを管理するホストコンピュータに接続されたシステムにおいて使用されるデータ収集装置の従来例には、下記特開２００６−９３６４１号公報に開示のものがある。このデータ収集装置が適用されるシステムでは、半導体製造装置からホストコンピュータに向けてＳＥＣＳ通信で出力される情報が膨大になり得ること、およびそれに対する処置について開示するところはない。
【特許文献１】特開２００６−９３６４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、半導体製造装置がこれを管理するホストコンピュータに接続されたシステムにおいて使用されるデータ収集装置およびデータ処理方法において、ホストコンピュータの本来の任務である生産管理に支障を生じることなく、半導体製造装置についての必要なプロセスデータを収集することが可能なデータ収集装置およびデータ処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様であるデータ収集装置は、半導体製造装置がホストコンピュータへ向けて出力すべきイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報を第１の情報として、該第１の情報を前記ホストコンピュータが前記半導体製造装置に送信するときに、前記ホストコンピュータから受け取る手段と、前記半導体製造装置について収集すべきプロセスデータの項目ならびに該プロセスデータを収集するためのトリガとなるイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報を第２の情報として、該第２の情報を保持する手段と、前記第２の情報に含まれるイベントの項目および変数の項目と、前記第１の情報に含まれるイベントの項目および変数の項目とを突き合わせる手段と、前記第２の情報に含まれる前記イベントの項目および前記変数の項目であって前記第１の情報に対応するものがない該イベントの項目および該変数の項目を、イベントの追加項目および変数の追加項目として情報生成する手段と、前記イベントの前記追加項目および前記変数の前記追加項目を含むメッセージを前記半導体製造装置が出力するように前記半導体製造装置を設定する設定情報を第３の情報として、該第３の情報を前記イベントの前記追加項目および前記変数の前記追加項目に基づき生成する手段と、前記第３の情報を前記半導体製造装置に送信する手段と、前記半導体製造装置が前記ホストコンピュータへ向けて出力した送信内容を先取りする手段と、前記送信内容に、前記第２の情報に対応するイベントの項目および変数の項目が含まれるか否か判断する手段と、前記送信内容を、前記第１の情報のみに対応する送信内容に改変して改変メッセージを生成する手段と、前記改変メッセージを前記ホストコンピュータに向けて出力する手段とを具備する。
【０００８】
また、本発明の別の態様であるデータ収集方法は、半導体製造装置がホストコンピュータへ向けて出力すべきイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報を第１の情報として、該第１の情報を前記ホストコンピュータが前記半導体製造装置に送信するときに、前記ホストコンピュータから受け取り、前記半導体製造装置について収集すべきプロセスデータの項目ならびに該プロセスデータを収集するためのトリガとなるイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報を第２の情報として、該第２の情報を保持し、前記第２の情報に含まれるイベントの項目および変数の項目と、前記第１の情報に含まれるイベントの項目および変数の項目とを突き合わせ、前記第２の情報に含まれる前記イベントの項目および前記変数の項目であって前記第１の情報に対応するものがない該イベントの項目および該変数の項目を、イベントの追加項目および変数の追加項目として情報生成し、前記イベントの前記追加項目および前記変数の前記追加項目を含むメッセージを前記半導体製造装置が出力するように前記半導体製造装置を設定する設定情報を第３の情報として、該第３の情報を前記イベントの前記追加項目および前記変数の前記追加項目に基づき生成し、前記第３の情報を前記半導体製造装置に送信し、前記半導体製造装置が前記ホストコンピュータへ向けて出力した送信内容を先取りし、前記送信内容に、前記第２の情報に対応するイベントの項目および変数の項目が含まれるか否か判断し、前記送信内容を、前記第１の情報のみに対応する送信内容に改変して改変メッセージを生成し、前記改変メッセージを前記ホストコンピュータに向けて出力する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、半導体製造装置がこれを管理するホストコンピュータに接続されたシステムにおいて使用されるデータ収集装置およびデータ処理方法において、ホストコンピュータの本来の任務である生産管理に支障を生じることなく、半導体製造装置についての必要なプロセスデータを収集することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の一態様に係るデータ収集装置およびデータ収集方法では、半導体製造装置がホストコンピュータへ向けて出力すべきイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報（＝第１の情報）を、ホストコンピュータから受け取る。また、半導体製造装置について収集すべきプロセスデータの項目ならびに該プロセスデータを収集するためトリガとなるイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報（＝第２の情報）を保持しておく。そして、第２の情報に含まれるイベントの項目および変数の項目と、第１の情報に含まれるイベントの項目および変数の項目とを突き合わせ、不足するイベントの項目および変数の項目を、イベントの追加項目および変数の追加項目として、情報生成する。
【００１１】
さらに、イベントの追加項目および変数の追加項目を含むメッセージを半導体製造装置が出力するように半導体製造装置を設定する設定情報（＝第３の情報）を、上記追加項目に基づき生成し半導体製造装置に送信する。半導体製造装置がホストコンピュータへ向けて出力した送信内容は先取りされ、この送信内容に第２の情報に対応するイベントの項目および変数の項目が含まれるか否かが判断される。そして、この送信内容は、第１の情報のみに対応する送信内容に改変され、ホストコンピュータに向けて出力される。
【００１２】
したがって、ホストコンピュータは、半導体製造装置がホストコンピュータへ向けて出力すべきイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報である第１の情報に基づいたメッセージのみを受信する。よって、ホストコンピュータの本来の任務に支障を生じることはない。一方、データ収集においては、第２の情報が反映した第３の情報が半導体製造装置に送信されているため、これに基づき、半導体製造装置について必要なプロセスデータを収集することができる。
【００１３】
実施態様としては、前記送信内容に、前記第２の情報に対応するイベントの項目および変数の項目が含まれる場合に、前記収集すべきプロセスデータの項目に対応のプロセスデータを出力するように前記半導体製造装置に要求する要求メッセージを前記半導体製造装置に送信する手段をさらに具備する、としてもよい。これは例えばプロセスデータを経時的に得る必要がある場合に向く態様である。
【００１４】
ここで、前記要求メッセージに基づいて前記半導体製造装置が出力する前記プロセスデータを蓄積する手段をさらに具備する、としてもよい。蓄積することにより、プロセスデータ解析システムが外部に用意されている場合に、外部との通信負荷に制限がある場合に容易に対応できる。また、プロセスデータ解析システムがデータ収集装置とは別に外部にある場合には、前記第２の情報に相当する情報を情報源から受け入れる手段と、前記周期ごとのプロセスデータを前記情報源に送り出す手段とをさらに具備する、とすることができる。
【００１５】
なお、データ収集装置が有する各手段は、例えば、マイクロプロセッサやメモリ、ハードディスク、インターフェースなどのハードウエアと、これらのハードウエア上で動作するオペレーティングシステム（ＯＳ）とこのＯＳ上で動作するアプリケーションプログラムとによるソフトウエアとで構成することが可能である。
【００１６】
以上を踏まえ、以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るデータ収集装置が適用されたシステムの構成を示している。このシステムは、種々の半導体製造装置３０がこれを管理するためのホストコンピュータ２０に接続され運用されていることが前提になる。これら間の相互の通信は、業界において事実上標準になっているＳＥＣＳ（semiconductor equipment communication standard）通信に基づいている。この通信のため、半導体製造装置３０には、専用の通信ポートが実装されている。
【００１７】
データ収集装置１０は、ホストコンピュータ２０と半導体製造装置３０との間のオンラインのＳＥＣＳ通信を利用できるように、これらの間に位置して設けられている。このような位置に設けられることで、データ収集装置１０は以下のことができる。まず、ホストコンピュータ２０が半導体製造装置３０に送信するメッセージを受け取るとともに、そのまま通過させて半導体製造装置３０に送り出すことができる。また、ホストコンピュータ２０に代わって半導体製造装置３０にメッセージを送信することができる。さらに、半導体製造装置３０が出力するメッセージを受け取るとともに、場合により、これを改変してまたは改変せずにホストコンピュータ２０に送り出すことができる。加えて、半導体製造装置３０が出力するメッセージのうち必要なものをプロセスデータ解析システム４０に送信することができる。
【００１８】
プロセスデータ解析システム４０は、データ収集装置１０を介して、半導体製造装置３０についての必要なプロセスデータを取得して解析し、プロセス性能や健常性を監視するものである。一般的には、ユーザが対話的に所定の設定や確認を行うための端末が含まれていて、このような設定を行うに際し、データ収集装置１０に対する情報源となる。プロセスデータ解析システム４０は、データ収集装置１０と一体的に構成されていてもよい。一体的でない場合のプロセスデータ解析システム４０とデータ収集装置１０との間の相互通信には、ＴＣＰ／ＩＰによるイントラネットなど周知のネットワークを活用できる。
【００１９】
ホストコンピュータ２０は、半導体製造装置３０との間の所定のメッセージの相互通信により、半導体製造装置３０におけるロット処理などの進捗状況の把握、管理を行うものである。これにより半導体生産の全体を統括している。半導体製造装置３０は、半導体装置を製造するための各種の装置、例えば、拡散炉、レジスト塗布・現像装置などである。
【００２０】
次に、図１中に示したデータ収集装置１０の動作について、図２、図３に示す流れ図をも参照して説明する。図２、図３は、図１中に示したデータ収集装置１０の動作フローを示している。
【００２１】
まず、ホストコンピュータ２０が半導体製造装置３０に向けてある種の設定を行うためメッセージを発するので、これをデータ収集装置１０もオンラインで受け取り（ステップ５１）、保持しておく。このメッセージは、半導体製造装置３０がホストコンピュータ２０に向けて出力すべきイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報（第１の情報）である。
【００２２】
イベントとは、例えば、ロット処理開始や終了、ウエハ処理開始や終了などの各種の事象である。必要な変数とは、そのイベントに付帯して関連するウエハＩＤ、ロットＩＤ、レシピ名、ステップ番号などである。このような変数の項目をイベントに付帯して設定することで、ホストコンピュータ２０は、イベントの発生のみならず、それがどのロットに関するものかなどさらに詳細な情報を半導体製造装置３０から得ることができる。ただし、半導体製造装置３０内で発生するイベントは一般に膨大であるため、ホストコンピュータ２０は、ロット処理などの進捗など半導体生産の管理に必要なイベントおよび関連する変数のみを半導体製造装置３０が出力するように、設定情報を送信する。
【００２３】
図４は、図１中に示したホストコンピュータ２０が半導体製造装置３０に送信する、上記の設定情報の構成例を示している。図４（ａ）は、ＳＥＣＳ通信におけるＳ２Ｆ３３のメッセージの構造である。このメッセージでは、変数の識別符号ＶＩＤ（・）およびその一定のまとまりとしての識別符号ＲＰＴＩＤ（・）を定義している（「Ｖ」＝variable、「ＲＰＴ」＝report）。図４（ｂ）は、ＳＥＣＳ通信におけるＳ２Ｆ３５のメッセージの構造である。このメッセージでは、識別符号ＲＰＴＩＤ（・）がリンクされるべきイベントの識別符号ＣＥＩＤ（・）が、そのＣＥＩＤ（・）ごとに定義される（「ＣＥ」＝collection event）。図４（ｃ）は、ＳＥＣＳ通信におけるＳ２Ｆ３７通信のメッセージの構造である。このメッセージでは、有効とされる、すなわち出力されるべきイベントの項目がその識別符号ＣＥＩＤ（・）で定義される。
【００２４】
半導体製造装置３０は、これらのＳ２Ｆ３３、Ｓ２Ｆ３５、Ｓ２Ｆ３７の各メッセージをホストコンピュータ２０から受け取り、ホストコンピュータ２０に向けて出力すべきイベントの項目および該イベントに付帯する必要な変数の項目を、一応、設定されることになる。ただし、本実施形態では、ホストコンピュータ２０からの設定情報のみで半導体製造装置３０が設定されるのではなく、以下述べるように、データ収集装置１０からの設定情報によっても半導体製造装置３０は設定される。
【００２５】
なお、半導体製造装置３０がホストコンピュータ２０に向けて出力するイベントおよびこれに付帯する必要な変数を伴うメッセージ（そのひとつとして例えばイベント識別符号がＣＥＩＤ（１）のもの）は、Ｓ２Ｆ３３、Ｓ２Ｆ３５、Ｓ２Ｆ３７の各メッセージに対応して図５に示すような構成になる。図５は、図１中に示した半導体製造装置３０がホストコンピュータ２０に向けて出力するメッセージ（Ｓ６Ｆ１１メッセージ）の構成例を示している。
【００２６】
図２に戻り、次に、データ収集装置１０は、プロセスデータ解析システム４０から、半導体製造装置３０に関する所望のプロセスデータを収集するため必要な情報（データ収集プラン；第２の情報）を受け取り、これを保持する（ステップ５２）。この情報は、より具体的には、収集すべきプロセスデータの項目ならびにこのプロセスデータを収集するためのトリガとなるイベントの項目およびこのイベントに付帯する必要な変数の項目を、データ収集装置１０に設定または要求するための情報である。
【００２７】
図６は、このような情報の具体的構成例を示している。図６（ａ）に示すように、この例では、データ収集開始トリガとして、イベント識別符号ＣＥＩＤ（２００１）を定義し（この識別符号は例えばレシピ実行開始を意味する）、データ収集終了トリガとしてイベント識別符号ＣＥＩＤ（２００２）を定義している（この識別符号は例えばレシピ実行終了を意味する）。イベント識別符号には、必要なＲＰＴＩＤおよびＶＩＤもリンクして定義されている。これは、処理チャンバやレシピ（＝ＶＩＤ）ごとに収集したいデータや時間的なデータ収集区間が異なるためである。
【００２８】
また、図６（ｂ）に示すように、データ収集装置１０は、データ収集プランの一部として、収集すべきプロセスデータの項目を示す識別符号ＶＩＤ（・）とその収集する周期を示す情報も、プロセスデータ解析システム４０から受け取り、保持しておく。この情報は、データ収集開始終了トリガの間で収集されるべきプロセスデータの項目およびその収集する周期を示している。
【００２９】
次に、データ収集装置１０は、上記第２の情報に含まれるイベントの項目および変数の項目と、上記第１の情報に含まれるイベントの項目および変数の項目とを突き合わせる（ステップ５３）。より具体的には、例えば、第２の情報に含まれるイベントがすべて第１の情報にも定義があるのか、さらにイベントとして第１の情報に定義があるとしてもそのリンクする変数も第２の情報に相当して定義があるのかを見極める。
【００３０】
上記突き合せの結果、第１の情報に不足するイベントの項目および変数の項目がある場合には（ステップ５４のＹ）、不足するイベントの項目および変数の項目に対応して、イベントの追加項目および変数の追加項目を情報生成する（ステップ５５）。この情報生成では、あるイベントとそのリンクする変数とがまるまる追加項目となる場合と、既存のイベントについてある変数の項目が追加項目となる場合とがある。続いて、追加項目を含むメッセージを半導体製造装置３０が出力するように設定する設定情報（第３の情報）を、情報生成された上記の追加項目に基づき生成する（ステップ５６）。この第３の情報は、データ収集装置１０から半導体製造装置３０に送信される（同ステップ）。
【００３１】
第３の情報の半導体製造装置３０への送信も、送信フォーマットとして、すでに説明したＳ２Ｆ３３、Ｓ２Ｆ３５、Ｓ２Ｆ３７の各メッセージとすることができる。半導体製造装置３０においては、これらのメッセージにより、自身が出力すべきイベントの項目およびこのイベントに付帯する必要な項目を設定する設定情報が、ホストコンピュータ２０から設定のため送信されたものとは一部異なったものとなる。
【００３２】
なお、上記突き合せの結果、第１の情報に不足するイベントの項目および変数の項目がない場合には（ステップ５４のＮ）、ステップ５５、５６はパスされる。この場合には、ホストコンピュータ２０が半導体製造装置３０を先に設定した設定情報のままで、所望のプロセスデータを収集することに支障がない。
【００３３】
以上により、半導体製造装置３０は、ホストコンピュータ２０にとっては半導体生産の管理に必要な報告を受けるための設定がなされ、データ収集装置１０にとっては所望のプロセスデータの出力を受けるための前提となる設定がなされたことになる。
【００３４】
次に、半導体製造装置３０が、以上のような設定がされた状態下で、ホストコンピュータ２０に向けてイベントおよびその付帯する変数の出力を行った場合について説明する。このような出力は、すでに述べたように、例えば、Ｓ６Ｆ１１のメッセージ（図５を参照）でなされる。この送信内容は、本来、ＳＥＣＳ通信による半導体製造装置３０からホストコンピュータ２０に向けてのものであるが、本実施形態では、データ収集装置１０に先取りされ（ステップ５７）、次に述べるように条件により、そのままホストコンピュータ２０に出力される場合と、一定の改変を受けてホストコンピュータ２０に出力される場合とがある。
【００３５】
すなわち、データ収集装置１０において、先取りされた内容に第２の情報に対応するイベントの項目および変数の項目が含まれるか判断される（ステップ５８）。これがない場合には（ステップ５８のＮ）、先取りされた通信内容はそのままデータ収集装置１０からホストコンピュータ２０に送られる（ステップ５９）。この場合は、先取りされた通信内容は、収集すべき所望のプロセスデータに関連しないイベントに関するものである。そして、半導体製造装置３０の次の出力を待って対応する（ステップ５９からステップ５７）。
【００３６】
データ収集装置１０において、先取りされた内容に第２の情報に対応するイベントの項目および変数の項目が含まれる場合には（ステップ５８のＹ）、まず、この通信内容を、第１の情報のみに対応するメッセージに改変してＳ６Ｆ１１の形式でホストコンピュータ２０に向けて出力する（ステップ６０；ただし当然ながら第１の情報に対応する内容がまったくない場合はここでは何もしない）。この出力より、ホストコンピュータ２０では、自身が半導体製造装置３０を設定した設定情報に対応するイベントおよび変数の情報のみが得られる。よって、ホストコンピュータ２０において生産管理に不要な情報の集約はなく、その本来の任務である生産管理に支障を生じる恐れがなくなる。
【００３７】
なお、先取りされた内容がデータ収集（次に述べる）の停止トリガに相当のイベント発生に関している場合には、データ収集装置１０は、半導体製造装置３０からの次の出力を待って新たに対応する（ステップ６１のＹからステップ５７）。これは、開始されていたプロセスデータの収集をここで終了すべきことを示しているからである。
【００３８】
先取りされた内容がデータ収集の停止トリガに相当のイベント発生に関していない場合には（ステップ６１のＮ）、データ収集装置１０は、次に、データ収集プランの一部として保持されている収集すべきプロセスデータの項目およびその収集周期の情報（図６（ｂ）を参照）に従って、半導体製造装置３０に向けて、対応する情報の出力を要求するメッセージを送信する（ステップ６３）。この送信には、ＳＥＣＳ通信では、Ｓ１Ｆ３メッセージを用いることができる。
【００３９】
なお、上記ステップ６３の前に、実際はステップ６２として次の動作が行われる。これは、上記ステップ６３により半導体製造装置３０にすでにＳ１Ｆ３メッセージが届いており、次にこれに反応して半導体製造装置３０がステップ５７でメッセージを発した場合かもしれないからである。すなわち、ステップ６３の処理で半導体製造装置３０にＳ１Ｆ３メッセージが届くと、半導体製造装置３０はこのメッセージに従うプロセスデータを、ＳＥＣＳ通信のＳ１Ｆ４メッセージで出力するので、これをデータ収集装置１０が受信し（ステップ５７）、さらに、処理としてはステップ５８、６０、６１を図示下に抜けて再びステップ６２に至る。
【００４０】
ステップ６２では、収集周期ごとのプロセスデータを経時的に蓄積メモリ（不図示）に蓄積することになる。蓄積されたプロセスデータは、データ収集装置１０からプロセスデータ解析システム４０に送られる。データ収集装置１０にプロセスデータを蓄積するメモリが設けられている場合、データ収集装置１０とプロセスデータ解析システム４０との間の通信負荷量が限られている場合にも円滑なデータ収集ができる。データ収集装置１０は、さらに、半導体製造装置３０の次の出力を待って対応する（ステップ６２からステップ５７）。
【００４１】
ステップ５７、５８、６０、６１、６２、６３からなるループについて補足すると、このループは、Ｓ１Ｆ３メッセージがひとつ発せられこれに対応して半導体製造装置からＳ１Ｆ４のメッセージがひとつ出力されるごとに１周する。したがって、これに応じて、ステップ５８での判断は、第２の情報に対応するイベントの項目および変数の項目が含まれるか否かに加えて、第２の情報に対応するプロセスデータが含まれるか否かが判断の対象になっている。
【００４２】
以上、実施形態の動作を説明したが、この実施形態によれば、プロセスデータ収集のためデータ収集装置１０およびプロセスデータ解析システム４０の都合で半導体製造装置３０に設定する必要がある設定情報は、ホストコンピュータ２０が用いられることなくデータ収集装置１０によって設定される。したがって、ホストコンピュータ２０と半導体製造装置３０との接続関係に何ら影響を与えることはなく、それら間のオンライン状態が維持される。したがって、半導体生産の効率を低下させることがない。
【００４３】
さらに、半導体生産の効率の低下を心配することなく、データ解析に必要なプロセスデータ収集するための設定やその変更を容易に行うことができる。よって、例えば、半導体製造装置３０自体やそこでのプロセスの異常を早期に検知することが可能になるなど大きな利点がある。
【００４４】
上記の実施形態の変形例としては、ステップ６３で半導体製造装置３０に送信する要求メッセージに代えて、第３の情報とともにステップ５６において半導体製造装置３０に要求メッセージをあらかじめ送信しておくようにすることもできる。収集すべきプロセスデータのデータ量があまり大きくない場合にはこれでも十分実用になる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施形態に係るデータ収集装置が適用されたシステムを示す構成図。
【図２】図１中に示したデータ収集装置１０の動作フローを示す流れ図。
【図３】図２の続図であって、図１中に示したデータ収集装置１０の動作フローを示す流れ図。
【図４】図１中に示したホストコンピュータ２０が半導体製造装置３０に送信する設定情報の構成例を示す図。
【図５】図１中に示した半導体製造装置３０がホストコンピュータ２０に向けて出力するメッセージの構成例を示す図。
【図６】図１中に示したデータ収集装置１０がプロセスデータを収集するためのトリガとなるイベントの項目およびこのイベントに付帯する必要な変数の項目を設定する設定情報、ならびにプロセスデータの項目およびその収集周期を示す情報の構成例を示す図。
【符号の説明】
【００４６】
１０…データ収集装置、２０…ホストコンピュータ、３０…半導体製造装置、４０…プロセスデータ解析システム。
【図１】
2009064798.tif 000003
【図２】
2009064798.tif 000004
【図３】
2009064798.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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