(57)【要約】【課題】写真製版に用いられる感光性のレジストのような感光物質が塗布された基板を加熱するベーク装置においては、感光物質から溶剤等の成分が昇華物として蒸発し、排気用配管内で付着物として堆積する。そのため排気量の低下と、それによるさらなる付着物の生成を招き、ひいてはその生成物が基板上に落下して、写真製版時のパターン欠陥を引き起こす。【解決手段】ベーク装置の排気用配管内に、感光物質からの昇華物を付着物として捕獲するための網を設ける。さらに、付着物の堆積状態を把握する手段として昇華物を捕獲する網の前後に排気圧測定器を設置する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光物質が塗付された基板を加熱するための加熱部と、
前記加熱部を有する炉と、
前記炉に接続される排気用配管と、
前記排気用配管を介して前記炉内を排気する排気装置と、
を備えたベーク装置であって、
前記感光物質からの昇華物を捕獲するための昇華物捕獲手段が、取付け支持部を介して前記排気用配管内に取り付けられており、
前記昇華物捕獲手段の上流側と下流側に、それぞれ排気圧測定器が取り付けられていることを特徴とするベーク装置。
【請求項２】
前記昇華物捕獲手段は、金属製の網であることを特徴とする請求項１に記載のベーク装置。
【請求項３】
前記昇華物捕獲手段は、複数取付けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のベーク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、写真製版に用いられる感光性のレジストのような感光物質が塗布された基板を加熱するためのベーク装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体、液晶表示装置、ＥＬ表示装置等に備えられるアレイ基板を製造する際には、各層で成膜された膜をおのおの所望の形状に加工する必要がある。その加工には通常、写真製版工程を用いる。ここで写真製版工程とは、基板上の膜に感光性のレジストのような感光物質を塗布後、露光と現像により感光物質を所望のパターンに成形した後に、リンスと乾燥を行うのが基本的なプロセスである。
【０００３】
ここで、露光の前、および、リンスと乾燥の後に、ベーク工程すなわち加熱する工程を入れるのが、一般的な処理方法である。露光の前においては、感光物質の形状や性質を基板面内で均一にするために、そしてリンスと乾燥の後のベークは残留水分の除去のために行われる。
【０００４】
ベーク装置は、感光物質の中に含まれる溶剤や不要な水分の除去を行い、感光物質を焼きしめる装置であり、具体的には、図２で示すような構成である。ベーク装置１１は、加熱するための炉１２を有している。炉１２内には、加熱手段であるホットプレート１３が設置されている。ホットプレート１３上には、基板１４ａ上に感光性レジスト等の感光物質１４ｂが塗布された被処理基板１４が設置されており、被処理基板１４は加熱が終了すると炉１２の外へ出されて冷却され、次の被処理基板が炉１２内に搬入される。また、炉１２には排気用配管１５がつながって設けられ、その先にファン等の排気装置１６が設けられている。加熱により感光物質１４ｂから溶剤等の成分が昇華物として蒸発するが、排気用配管１５はその昇華物を炉１２の外に排気するための経路となるものである。図中の矢印は、排気する方向を示している。
【０００５】
ベークをするときに感光物質１４ｂの成分から生じる昇華物は、ベーク装置１１の排気装置１６によって排気される。ここで通常、排気装置１６はベーク炉１２内より温度が低いため、排気装置１６内に感光物質１４ｂからの昇華物が付着物として堆積し、さらに排気用配管１５内にも堆積する。付着物が排気用配管１５内に堆積すると排気量が弱くなるため、排気用配管１５と炉１２との境界である排気用配管１５の入り口付近に付着物が堆積しやすくなる。これらの堆積した付着物の一部は、被処理基板１４の上に落ちたり、炉１２内に落ちた場合でも被処理基板１４に再付着したりする可能性が高くなる。非処理基板１４上に付着物が落下したまま写真製版処理を行なうと、パターン異常などの不良を引き起こすことになる。
【０００６】
これらの付着物が被処理基板に再付着することを防止することを目的に、排気装置の一部に強制的に冷却部を設けて、昇華物を付着物として捕獲する方法が知られている。（例えば、特許文献１参照）また、排気装置の一部に高温部を設け、高温部以降にて付着物として捕獲する方法も知られている。（例えば、特許文献２参照）
【０００７】
【特許文献１】特開平６−８４７８２号公報（図１）
【特許文献２】特開２００２−３３４８２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
排気装置に高温部や冷却部を設けることにより昇華物を付着物として捕獲することができるが、これらの設置にはコストを要する上に、取り付けるためのスペースを確保しがたい場合もある。また、昇華物を捕獲する量にも限度があるため、時々交換する必要があるが、その際に温度を上げたり下げたりする必要があるため交換にも時間を要する。
【０００９】
また、交換する時期を知るために付着物の堆積状況を確認する必要があるが、そのためにはベーク装置を停止することが必要であり、これも装置の稼働率を低下させる要因となる。本発明は、安価なコストで設置でき、交換も容易な構造をベーク装置に付加することにより、感光物質に起因する付着物による弊害を防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
ベーク装置の排気用配管内に、感光物質からの昇華物を付着物として捕獲するための網を設ける。さらに、付着物の堆積状態を把握する手段として昇華物を捕獲する網の前後に排気圧測定器を設置する。
【発明の効果】
【００１１】
ベーク装置の排気用配管の途中に昇華物を付着物として捕獲するための網を設けることにより、網を交換するだけで、容易に付着物の除去が可能となる。さらに、昇華物捕獲用の網の前後に排気圧測定器を設けることにより、早期に配管内の付着物による目詰まりを把握することが可能となる。これにより、デバイスを形成する被処理基板の上に付着物が付着することを低減させることが可能となり、歩留まり向上に寄与することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
実施の形態１．
図１に、本発明に係るベーク炉装置を示す。ベーク装置１は、加熱するための炉２を有している。炉２内には、加熱手段であるホットプレート３が設置されている。ホットプレート３上には、基板４ａ上に感光性レジスト等の感光物質４ｂが塗布された被処理基板４が設置されており、被処理基板４は加熱が終了すると炉２の外へ出されて冷却され、次の被処理基板が炉２内に搬入される。
【００１３】
また、炉２には排気用配管５がつながって設けられ、その先にファン等の排気装置６が設けられている。加熱により感光物質４ｂから溶剤等の成分が昇華物として蒸発するが、排気用配管５はその昇華物を炉２の外に排気するための経路となるものである。つまり、昇華物は、排気用配管５を介して排気装置６により、炉２内から排気される。なお、図中の矢印は、排気する方向を示している。
【００１４】
さらに、排気用配管５内において排気装置６と炉２との間には、取付け支持部７を介して、昇華物捕獲手段として網８が取り付けられている。取付け支持部７は、排気用配管５に固定されており、網８が簡単に脱着できるようになっている。網８は、筒状であり、耐久性や耐熱性の点から金属製がのぞましい。また、網は複数設置してもよく、その場合は昇華物の捕獲効率が向上する。
【００１５】
さらに、排気用配管５内において網８と炉２との間、すなわち、網８の上流側には排気圧測定器９が設けられ、網８と排気装置６との間、すなわち、下流側には排気圧測定器１０が設けられている。排気圧測定器９、１０としては、通常マノメーターを用いるが、これに限定されない。図示しないが、排気圧測定器９、１０の両者の圧力値の差をモニターする手段を備えていてもよい。
【００１６】
本実施の形態にかかるベーク炉の機能と効果について説明する。前述のとおり、ベークをするときに感光物質４ｂの成分から生じる昇華物は、ベーク装置１の排気装置６によって、排気配管５を介して炉２から排気される。通常、昇華物は排気用配管５内や、排気装置６で付着物として堆積するが、本実施の形態においては、網８が設けられているため、昇華物の多くは網８において付着物として捕獲される。ここで、網８に昇華物が付着物として堆積した場合、排気用配管５内の圧力分布が変わることにより、排気圧測定器９における圧力値と排気圧測定器１０における圧力値との差が増大することになる。
【００１７】
つまり、排気圧測定器９と排気圧測定器１０の排気圧の差をモニターすることによって詰まり具合を推測することができるので、排気用配管５内の網８の交換時期を決定することができる。これにより、排気用配管５内や網８に堆積した付着物の詰まりを早く発見して、交換時期を決定できるため、基板４への昇華物の再付着を減少させることが可能になるだけでなく、突発的に装置を停止して清掃を行わなくてもよくなる。
【００１８】
さらに、網８の交換は定期的に行ってもよいし、排気用配管５内の詰まりがひどくなったときに配管５内の清掃と同時に網８自体を交換してもよい。いずれの場合にも、網８の交換は、付着物の堆積した網を取付け支持部７から外して、新しい網を取り付けるだけで容易に行うことができる。
【００１９】
また、本実施の形態においては、網８が昇華物の多くを捕獲するので、排気装置６における付着物の堆積を抑制できるだけでなく、排気用配管５の詰まる周期を長くすることもできるので、交換や清掃に伴う装置停止期間を短縮することができる。さらに、昇華物捕獲手段は網に限らず、例えば穴が多数空いた金属板でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明にかかるベーク装置の模式図である。
【図２】従来のベーク装置の模式図である。
【符号の説明】
【００２１】
１、１１  ベーク装置
２、１２  炉
３、１３  ホットプレート
４、１４  被処理基板
４ａ、１４ａ  基板
４ｂ、１４ｂ  感光物質
５、１５  排気用配管
６、１６  排気装置
７  取付け支持部
８  網
９、１０  排気圧測定器
【図１】
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【図２】
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