(57)【要約】【課題】ＡＣＦ貼付装置において、ＡＣＦテープの追加のためのスプライシング中も基板に対するＡＣＦ片の貼付動作を継続可能とする。【解決手段】ＡＣＦ貼付装置１は、ＡＣＦ供給ユニット１５と切断ユニット２１との間に配置されたクランプ１７と、クランプ１７と切断ユニット２１との間に配置された滞留ユニット１９を備える。スプライシングが実行される際にはクランプ１７が保持状態となってＡＣＦテープ２を固定する。滞留ユニット１９に形成されたＡＣＦテープ２の折り返し部４２の経路長の減少に対応するＡＣＦテープ２が切断ユニット２及び圧着ヘッドユニット２３へ搬送され、スプライシング中もＡＣＦ片２ｅの基板３への貼付動作が継続される。【選択図】図１
2009283742.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着テープを対象物に貼り付ける粘着テープ貼付装置であって、
離型テープの片面に粘着テープが貼着されたテープ部材を巻回状態で収容した供給リールを複数個備える供給部と、
前記供給リールから巻き出された前記テープ部材を搬送経路に沿って搬送する搬送部と、
前記供給部より前記搬送経路の下流側に配置され、前記離型テープを切断することなく前記粘着テープをカットして粘着テープ片を形成する切断部と、
前記切断部よりも前記搬送経路の下流側に配置され、前記粘着テープ片を熱と圧力により対象物に貼り付けた後に前記離型テープを剥離させる貼付部と、
前記搬送経路の前記供給部と前記切断部との間に配置され、前記テープ部材の一部を固定する保持状態と、前記テープ部材の固定を解除する解放状態とに切換可能な保持部と、
前記搬送経路の前記保持部と前記切断部との間に配置され、前記テープ部材に張力を付与すると共に前記搬送経路に少なくとも１つの折り返し部を形成し、前記保持部が前記保持状態にあるときに前記搬送部により前記テープ部材が搬送されると前記折り返し部の経路長が減少し、この減少した経路長に相当する長さの前記テープ部材が前記切断部及び前記貼付部に向けて搬送される滞留部と、
前記搬送経路の前記供給部と前記保持部との間に配置され、使用中の前記テープ部材の終端部と追加の前記テープ部材の始端部とを継ぎ合わせるためのスプライシング部と、
前記テープ部材の終端部を検出する検出部と、
前記検出部が前記使用中のテープ部材の終端部を未検出であれば、前記保持部を前記解放状態で維持し、前記検出部が前記使用中のテープ部材の終端部を検出すると、前記保持部を前記解放状態から前記保持状態に切り換えると共に、前記搬送部による搬送動作と前記切断部及び前記貼付部の動作を継続させる制御部と
を備える粘着テープ貼付装置。
【請求項２】
前記滞留部は、
前記テープ部材が巻掛けられた２個の固定ローラと、
前記搬送経路の前記固定ローラ間に配置され、前記テープ部材が巻掛けられ、鉛直方向に延びるガイドに沿って移動自在であり、自重により前記テープ部材に張力を付与する可動ローラと
を備える、請求項１に記載の粘着テープ貼付装置。
【請求項３】
前記滞留部は、
前記テープ部材が巻掛けられた２個の固定ローラと、
前記搬送経路の前記固定ローラ間に配置され、上端側に開口を有し、かつ内部が真空ポンプにより真空吸引される吸込槽と
を備え、
前記真空ポンプの吸引力で前記開口から前記吸込槽内に引き込まれることにより、前記テープ部材に張力が付与される共に前記折り返し部が形成される、請求項１に記載の粘着テープ貼付装置。
【請求項４】
前記切断部及び前記貼付部が収容された第１のハウジングと、
前記供給部、前記保持部、少なくとも１つ以上の前記滞留部、及び前記スプライシング部が収容され、前記第１のハウジングと隔壁を挟んで隣接し、前記隔壁には前記テープ部材の前記搬送経路が通る貫通孔が形成されている、前記第１のハウジングとは別空間を構成する第２のハウジングと
をさらに備える、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の粘着テープ貼付装置。
【請求項５】
前記第２のハウジング内を冷却する冷却部をさらに備える、請求項４に記載の粘着テープ貼付装置。
【請求項６】
前記搬送経路のうちの前記第１のハウジング内の前記切断部から下流側、及び前記搬送経路のうちの前記第２のハウジング内にある前記供給部から前記切断部までの部分は、いずれも平面視で前記対象物の搬送方向と同方向に延びる、請求項４又は請求項５に記載の粘着テープ貼付装置。
【請求項７】
前記搬送経路のうちの前記第１のハウジング内の前記切断部から下流側は平面視で対象物の搬送方向と同方向に延び、前記搬送経路のうちの前記第２のハウジング内にある前記供給部から前記切断部までの部分は平面視で前記対象物の搬送方向と交差する方向に延びる、請求項４又は請求項５に記載の粘着テープ貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異方性導電性フィルム（Anisotropic Conductive Film:ＡＣＦ）、非導電性フィルム（Non Conductive Film）のような粘着テープを、液晶ディスプレイ（liquid crystal display：ＬＣＤ）基板、プラズマディスプレイパネル（plasma display panel：ＰＤＰ）基板、フレキシブルプリント基板（Flexible Printed Circuit：ＦＰＣ）、ＣＯＦ（chip on film）のような基板を含む対象物に貼り付けるための、粘着テープ貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＣＤ基板、ＰＤＰ基板、ＦＰＣのような基板にＡＣＦを貼り付け、貼り付けられたＡＣＦに電子部品を圧着して実装する部品実装装置が知られている。この種の部品実装装置は、基板にＡＣＦを貼り付けるＡＣＦ貼付装置を備える。ＡＣＦは、離型テープの片面にＡＣＦが貼着されたＡＣＦテープの形態でＡＣＦ貼付装置に供給される。具体的には、ＡＣＦテープを巻回状態で収容した供給リールが、ＡＣＦ貼付装置に供給される。ＡＣＦ貼付装置は、供給リールからＡＣＦテープを巻き出し、離型テープを切断することなく粘着テープのみをカットして所定長さのＡＣＦ片を形成し、このＡＣＦ片を基板上に貼り付け、さらに離型テープをＡＣＦ片から剥離させる。ＡＣＦ貼付装置はこれらの動作を繰り返して基板へのＡＣＦ片の貼付を連続的に実行し、それに伴って供給リールに収容されたＡＣＦテープが消費される。
【０００３】
１つの供給リールに収容されたＡＣＦテープが完全に消費された後に、未使用のＡＣＦテープが収容された新たな供給リールに交換するのでは、交換した供給リールから巻き出したＡＣＦテープを複雑な経路に沿って引き回すセッティング作業が必要となる。このセッティングは一般に手作業で実行せざるを得ないので、ＡＣＦ貼付装置全体の動作を完全に停止する必要がある。これに対して、使用中のＡＣＦテープの終端部に対する追加のＡＣＦテープの始端部の継ぎ合わせ（スプライシング）を実行し、ＡＣＦテープの連続的な供給を確保することが知られている。特許文献１には、このスプライシングを自動的に実行する機構を備え、追加のための未使用のＡＣＦテープを収容した供給リールを装置内に貯蔵したＡＣＦ貼付装置が開示されている。スプライシングは、特許文献１の装置のような自動的な機構によらず、手作業により実行することも可能である。
【０００４】
しかし、特許文献１に開示されたものを含め、従来のＡＣＦテープ貼付装置には以下の問題がある。
【０００５】
ＡＣＦテープの追加のためのスプライシング中はＡＣＦ片の基板への貼付動作を停止する必要があるので、生産効率が低い。特に、ＬＣＤ基板やＰＤＰ基板（以下基板と呼ぶ）の電極部の狭幅化の進行に伴い、０．５〜２ｍｍ程度の幅の非常に細いＡＣＦテープのスプライシングが要求されている。このような細いＡＣＦテープを確実に継ぎ合わせるには、スプライシングのための時間的余裕を充分に確保する必要がある。従って、スプライシング中に貼付動作が停止されることの生産効率への影響が、より顕著化している。
【０００６】
使用中のＡＣＦテープのみでなく、追加のための未使用のＡＣＦテープも貼付動作を実行する圧着ユニットや剥離ユニットと同じハウジング内に収容されている。圧着ユニットは加熱及び加圧によってＡＣＦ片を基板に貼り付けるので、ハウジング内は必然的に高温となる。本来ＡＣＦテープは冷蔵保存の必要があるので、高温のハウジング内での長時間の貯蔵によりＡＣＦテープに劣化等の品質低下が生じる。特許文献１には、熱による品質低下防止のために貯蔵中のＡＣＦテープの冷却装置を設けることが教示されている。しかし、高温のハウジング内でＡＣＦテープを効果的に冷却するためには、複雑かつ大規模の冷却装置を採用する必要がある。
【０００７】
前述のように圧着ユニットと同じ高温のハウジング内に、使用中のＡＣＦテープと追加用のＡＣＦテープが収容されているので、スプライシング、未使用のＡＣＦテープを収容した供給リールの補充、使用済みの供給リールの回収等の作業を手作業で実行する場合、作業性が劣る。特に、大型基板を対象とする大型のＡＣＦ貼付装置の場合、これらの作業のために作業者がハウジング内に入る必要があるので、作業性が著しく劣る。
【０００８】
対象物に部品を実装するための粘着テープとして、非導電性フィルム（Non Conductive Film）のようなＡＣＦ以外の粘着テープも知られている。この種の粘着テープを対象物に貼り付ける粘着テープ貼付装置に関しても、ＡＣＦ貼付装置と同様の問題がある。
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−１８９１９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、粘着テープ貼付装置において、粘着テープの追加のためのスプライシング中も対象物に対する粘着テープ片の貼付動作を継続可能として生産効率を向上することを目的とする。また、本発明は、粘着テープ貼付装置において、比較的簡易な構成で追加用の未使用の粘着テープの品質低下を抑制することを目的とする。さらに、本発明は、粘着テープ貼付装置において、スプライシング、未使用の粘着テープを収容した供給リールの補充、使用済みの供給リールの回収等の作業を手作業により実行する場合の、作業性向上を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、粘着テープを対象物に貼り付ける粘着テープ貼付装置であって、離型テープの片面に粘着テープが貼着されたテープ部材を巻回状態で収容した供給リールを複数個備える供給部と、前記供給リールから巻き出された前記テープ部材を搬送経路に沿って搬送する搬送部と、前記供給部より前記搬送経路の下流側に配置され、前記離型テープを切断することなく前記粘着テープをカットして粘着テープ片を形成する切断部と、前記切断部よりも前記搬送経路の下流側に配置され、前記粘着テープ片を熱と圧力により対象物に貼り付けた後に前記離型テープを剥離させる貼付部と、前記搬送経路の前記供給部と前記切断部との間に配置され、前記テープ部材の一部を固定する保持状態と、前記テープ部材の固定を解除する解放状態とに切換可能な保持部と、前記搬送経路の前記保持部と前記切断部との間に配置され、前記テープ部材に張力を付与すると共に前記搬送経路に少なくとも１つの折り返し部を形成し、前記保持部が前記保持状態にあるときに前記搬送部により前記テープ部材が搬送されると前記折り返し部の経路長が減少し、この減少した経路長に相当する長さの前記テープ部材が前記切断部及び前記貼付部に向けて搬送される滞留部と、前記搬送経路の前記供給部と前記保持部との間に配置され、使用中の前記テープ部材の終端部と追加の前記テープ部材の始端部とを継ぎ合わせるためのスプライシング部と、前記テープ部材の終端部を検出する検出部と、前記検出部が前記使用中のテープ部材の終端部を未検出であれば、前記保持部を前記解放状態で維持し、前記検出部が前記使用中のテープ部材の終端部を検出すると、前記保持部を前記解放状態から前記保持状態に切り換えると共に、前記搬送部による搬送動作と前記切断部及び前記貼付部の動作を継続させる制御部とを備える粘着テープ貼付装置を提供する。
【００１２】
検出部が使用中のテープ部材の終端部を検出して保持部が解放状態から保持状態に切り換えられると、保持部によってテープ部材が固定される。その結果、滞留部で付与される張力や搬送部の搬送動作により付与される張力は、保持部よりも搬送方向の上流側の粘着テープには作用しない。従って、保持部よりも搬送方向の上流側に配置されたスプライシング部においてスプライシングが可能となる。保持部が保持状態にあるときでも、滞留部に形成された折り返し部の経路長の減少に相当する長さのテープ部材が、切断部及び貼付部に向けて搬送される。従って、保持部が保持状態に切り換えられても、切断部における粘着テープ片の形成と貼付部における対象物への粘着テープ片の貼付が継続される。このように本発明の粘着テープ貼付装置は、スプライシング中も対象物に対する粘着テープ片の貼付動作を継続可能である。
【００１３】
具体的には、前記滞留部は、前記テープ部材が巻掛けられた２個の固定ローラと、前記搬送経路の前記固定ローラ間に配置され、前記テープ部材が巻掛けられ、鉛直方向に延びるガイドに沿って移動自在であり、自重により前記テープ部材に張力を付与する可動ローラとを備える。
【００１４】
代案としては、前記滞留部は、前記テープ部材が巻掛けられた２個の固定ローラと、前記搬送経路の前記固定ローラ間に配置され、上端側に開口を有し、かつ内部が真空ポンプにより真空吸引される吸込槽とを備え、前記真空ポンプの吸引力で前記開口から前記吸込槽内に引き込まれることにより、前記テープ部材に張力が付与される共に前記折り返し部が形成される。
【００１５】
スプライシング部における使用中のテープ部材の終端部と追加のテープ部材の始端部のスプライシングは、両面テープのような継ぎ合わせ用のテープを使用してもよく、加熱及び加圧や超音波ホーンによる振動の付与によって重ね合わせた終端部と始端部とを溶融して接合してもよい。また、スプライシング部は、テープ部材の終端部と始端部とを可動のクランプ等を自動的に重ね合わせるものでも、手作業により重ね合わせるものでもよい。
【００１６】
好ましくは、粘着テープ貼付装置は、前記切断部及び前記貼付部が収容された第１のハウジングと、前記供給部、前記保持部、少なくとも１つ以上の前記滞留部、及び前記スプライシング部が収容され、前記第１のハウジングと隔壁を挟んで隣接し、前記隔壁には前記テープ部材の前記搬送経路が通る貫通孔が形成されている、前記第１のハウジングとは別空間を構成する第２のハウジングとをさらに備える。
【００１７】
貼付部が発生する熱により第１のハウジング内が高温となっても、第１のハウジングと隔壁を隔てて隣接する第１のハウジングとは別空間をなす第２のハウジング内は室温に近い比較的低温で維持される。テープ部材を巻回状態で収容した供給リールを少なくとも１つ以上備える供給部と少なくとも１つ以上の滞留部は、比較的低温で維持される第２のハウジング内に収容されているので、粘着テープの熱による劣化等の品質低下を抑制できる。このように貼付部と、供給部及び少なくとも１つ以上の滞留部とを隔壁で隔てられた別体のハウジングの空間内にそれぞれ収容するという比較的簡易な構成により、追加のための未使用の粘着テープの品質低下を抑制できる。また、この構成により、少なくとも１つ以上の滞留部に滞留する領域の粘着テープの品質低下を抑制できる。
【００１８】
また、スプライシング、未使用のテープ部材を収容した供給リールの供給部への補充、使用済みの供給リールの回収等の作業を手作業で実行する場合、作業者は比較的低温で維持された第２のハウジング内に収容されたスプライシング部や供給部にアクセスすればよい。従って、これらの作業を実行する際に作業者が高温に煩わされることがなく作業性が良好である。特に、大型の対象物に粘着テープを貼り付けるための大型の粘着テープ貼付装置の場合、これらの作業のために作業者がハウジング内に入る必要があるので、熱に煩わされないことによる作業性向上の利点が極めて大きい。
【００１９】
前記第２のハウジング内を冷却する冷却部をさらに備えることが好ましい。
【００２０】
第２のハウジング内を冷却する冷却部を設けることにより、熱による粘着テープの劣化等の品質低下をより効果的に抑制できる。前述のように、第２のハウジングは貼付部が発生する熱により高温となる第１のハウジングに対して隔壁により隔てられているので、第２のハウジング内を冷却するための冷却部は、大規模にする必要も複雑な装置を採用する必要もない。
【００２１】
テープ部材の搬送経路は平面視で直線状であってもよい。この場合、前記搬送経路のうちの前記第１のハウジング内の前記切断部から下流側、及び前記搬送経路のうちの前記第２のハウジング内にある前記供給部から前記切断部までの部分は、いずれも平面視で前記対象物の搬送方向と同方向に延びる。
【００２２】
テープ部材の搬送経路が直線状であると、第２のハウジングは第１のハウジングに対して平面視で同方向（対象物の搬送方向と同方向）に配置される。
【００２３】
また、テープ部材の搬送経路は平面視で折れ線状であってもよい。この場合、前記搬送経路のうちの前記第１のハウジング内の前記切断部から下流側は平面視で対象物の搬送方向と同方向に延び、前記搬送経路のうちの前記第２のハウジング内にある前記供給部から前記切断部までの部分は平面視で前記対象物の搬送方向と交差する方向に延びる。
【００２４】
搬送経路が折れ線状であると、第２のハウジングは第１のハウジングに対して平面視で交差する方向（例えば平面視で直交する方向）に配置される。第２のハウジングが第１のハウジングに対して平面視で交差する方向に配置されると、供給部やスプライシング部のメンテナンス時に、作業者側と第２のハウジングとの間に基板の搬送経路が介在しないため、第２のハウジング内に収容された供給部やスプライシング部に対して作業者のアクセスがより容易となり、作業性がさらに向上する。また、第２のハウジングが第１のハウジングに対して平面視で交差する方向に配置する構成は、対象物の搬送方向でのＡＣＦ貼付装置の小型化に寄与する。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の粘着テープ貼付装置は、保持部と滞留部を備えることにより、テープ部材の追加のためのスプライシング中も対象物に対する粘着テープ片の貼付動作を継続可能であり、高い生産効率を実現できる。また、貼付部を収容する第１のハウジングと隔壁により隔てられて別空間を構成する第２のハウジング内に供給部とスプライシング部を収容したことにより、比較的簡易な構成で追加用の未使用の粘着テープの品質低下を防止でき、スプライシング、未使用の粘着テープを収容した供給リールの補充、使用済みのリールの回収等の作業を手作業により実行する場合の作業性が良好である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
次に、添付図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００２７】
（第１実施形態）
図１及び図２に示す本発明の第１実施形態に係るＡＣＦ貼付装置（粘着テープ貼付装置）１は、ＡＣＦテープ２を用いて対象物であるＬＣＤ基板（以下単に基板と呼ぶ）３の電極部３ａにＡＣＦ片を貼り付ける。このＡＣＦ貼付装置１は、図３に模式的に示す部品実装装置４の一部を構成する。部品実装装置４は基板搬送装置５を備え、基板搬送装置５は基板３を洗浄装置６、ＡＣＦ貼付装置１、仮圧着装置７、及び本圧着装置８に順に搬送される。洗浄装置６により洗浄された基板３の電極部３ａに、ＡＣＦ貼付装置１によりＡＣＦ片が貼り付けられる。次に、仮圧着装置７が電子部品（図示せず）をＡＣＦ片が貼り付けられた電極部３ａに対して位置決めし、加熱及び加熱により仮圧着する。さらに、仮圧着よりも高い温度と圧力で本圧着装置８が加熱及び加圧を行うことにより電子部品を本圧着する。
【００２８】
図２を参照すると、ＡＣＦテープ２はベーステープないし離型テープ２ａと、この離型テープ２ａの片面に貼着されたＡＣＦ２ｂとを備える。離型テープ２ａは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、延伸ポリプロピレン、ポリテトラフルオロエチレンのような樹脂製で、幅が０．５ｍｍ〜２ｍｍ程度、厚みが数１０μｍ程度の長尺で柔軟なテープである。ＡＣＦ２ｂはフィルム状の絶縁樹脂材料中に微細な導電性粒子を分散させた素材であり、加圧及び加熱により接着と同時に導電粒子により加圧方向の電気的接続が実現され、それ以外の方向には絶縁状態を維持する機能を有する。図５を参照すると、ＡＣＦテープ２の始端部２ｃでは、スプライシングのための両面テープ９が離型テープ２ａに貼り付けられている。また、図１０を参照すると、ＡＣＦテープ２の終端部２ｄでは、ＡＣＦ２ｂ上に終端マークテープ１１が貼り付けられている。後に詳述するように、両面テープ９を使用する以外にも種々の態様でＡＣＦテープ２のスプライシングが可能である。また、終端マークテープ１１に代えてＡＣＦテープ２の終端部２ｄに着色を施してもよい。
【００２９】
図１及び図２を参照すると、ＡＣＦ貼付装置１は、基板３を取り扱う機構として基板保持ステージ１２、基板移載ステージ１３、及び端部保持ステージ１４を備える。基板保持ステージ１２は、基板３を受け取って保持すると共に、保持した基板３のＸ軸方向及びＹ軸方向の水平方向の移動、並びにＺ軸方向の昇降移動、さらにＸＹ平面におけるθ回転移動を行う。基板移載ステージ１３は、ＡＣＦ貼付装置１の搬入位置に搬入された基板３をその下面側から支持しつつＸ軸方向に搬送し、基板３を基板保持ステージ１２に移載する。基板保持ステージ１２により、基板３の電極部３ａが端部保持ステージ１４上に載置される。
【００３０】
図１及び図２を参照すると、ＡＣＦ貼付装置１は、ＡＣＦテープ２を取り扱う機構として、概ねＡＣＦテープ２の搬送方向の上流側から下流側に向けて順に配置された、ＡＣＦ供給ユニット（供給部）１５、スプライシングユニット（スプライシング部）１６、クランプ（保持部）１７、終端部検出センサ（検出部）１８、滞留ユニット（滞留部）１９、テープテンションユニット２０、切断ユニット（切断部）２１、テープ搬送ユニット（搬送部）２２、圧着ヘッドユニット２３、剥離ユニット２４、及び離型テープ回収ユニット２５を備える。圧着ヘッドユニット２３と剥離ユニット２４が本発明における貼付部を構成する。ＡＣＦ貼付装置１は、ＡＣＦ供給ユニット１５から離型テープ回収ユニット２５に到るＡＣＦテープ２の搬送経路を案内する複数のローラ２６Ａ〜２６Ｍからなるガイド機構２７を備える。
【００３１】
ＡＣＦ供給ユニット１５は、ＡＣＦテープを巻回状態で収容した複数個の供給リール２８を備えている。図４を参照すると、供給リール２８は保持プレート２９に設けられた支軸３１に装着されている。モータ３０により支軸３１が回転することで、供給リール２８からＡＣＦテープ２が巻き出される。保持プレート２９には、ＡＣＦテープ２の巻き出し方向を下向きに規制するローラ２６Ａと、保持チャック３３が設けられている。ＡＣＦ供給ユニット１５には現在ＡＣＦテープ２を使用中の供給リール２８の他に、未使用のＡＣＦテープ２を収容した複数個の供給リール２８が予め蓄積されている。具体的には、１つの保持プレート２９の供給リール２８のみから図４に示すようにＡＣＦテープ２が巻き出され、未使用のＡＣＦテープ２を収容した残りの保持プレート２９の供給リール２８は図５に示す待機状態にある。待機状態にある供給リール２８の始端部２ｃのテープ端は、保持チャック３３により保持されている。後述するスプライシングの際に、図１において矢印Ａで概念的に示すように図示しない機構により保持プレート２９が移動し、ＡＣＦテープ２を巻き出す供給リール２８が交換される。
【００３２】
図４を参照すると、スプライシングユニット１６は、ＡＣＦ供給ユニット１５の保持プレート２９の図において左側に配置されたプレート保持ロッド３４を備える。このプレート保持ロッド３４は、先端が保持プレート２９の一部を保持する突出位置と、保持プレート２９の保持を解除する引込位置との間で水平方向に進退する。プレート保持ロッド３４の下側には水平方向に移動する上側可動ステージ３５が配置されている。また、この上側可動ステージ３５と対向して、保持プレート２９の図において右側に、水平方向に進退する上側カッタ３６とブロック３７とが配置されている。ブロック３７の下側には水平方向に移動する下側可動ステージ３８が配置されている。また、この下側可動ステージ３８と対向して、保持プレート２９の図において左側に、いずれも水平方向に進退する押圧ロッド３９と下側カッタ４１が配置されている。さらに、スプライシングユニット１６は、ＡＣＦテープ２の搬送方向を鉛直方向下向きから水平方向に変換するローラ２６Ｂを備える。本実施形態におけるスプライシングユニット１６は、使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄと追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃとを、手作業を要することなく自動的に継ぎ合わせる。スプライシングユニット１６の動作は、後に詳述する。
【００３３】
図２を参照すると、クランプ１７は、平面視でＡＣＦテープ２を幅方向に横切るようにＡＣＦテープ２の上面側と下面側に配置された可動のクランプ部材１７ａ，１７ｂを備える。クランプ１７は、クランプ部材１７ａ，１７ｂがそれぞれＡＣＦテープ２の上面と下面に当接してクランプ部材１７ａ，１７ｂ間にＡＣＦテープ２の長さ方向の一部を挟み込んで固定する保持状態と、クランプ部材１７ａ，１７ｂがそれぞれＡＣＦテープ２から離れてＡＣＦテープ２の固定を解除する解放状態とに切換可能である。スプライシング時を除く通常時には、クランプ１７は解放状態である。スプライシング時には、クランプ１７は閉鎖状態となる。本実施形態のように、自動的なスプライシングを行うスプライシングユニット１６を場合、このスプライシングユニット１６自体がＡＣＦテープ２の保持機構（本実施形態の場合、下側可動ステージ３８と押圧ロッド）を有しているので、必ずしもクランプ１７を用いなくともスプライシングユニット１６にてスプライシング動作を行うことが可能である。しかし、後述する第３実施形態に関して詳述するように、自動的なスプライシングを行うスプライシングユニット１６を用いずに手作業でスプライシングを行う場合、クランプ１７を閉鎖状態としてスプライシング動作を行う。
【００３４】
終端部検出センサ１８は、ＡＣＦテープ２の終端部２ｄの終端マークテープ１１（図１０参照）を光学的に検出する。終端マークテープ１１を確実に検出できる限り、終端部検出センサ１８は光反射型と光透過型のいずれであってもよい。
【００３５】
滞留ユニット１９は主として２つの機能を有する。まず、滞留ユニット１９は材質、幅等の条件に基づいて予め定められた張力をＡＣＦテープ２に付与する機能を有する。また、滞留ユニット１９はＡＣＦテープ２の搬送経路に折り返し部４２（図６Ａから図６Ｃ参照）を設ける機能を有する。この折り返し部４２はＡＣＦテープ２の搬送経路を意図的に迂回させてＡＣＦテープ２を滞留させるものである。後に詳述するように、スプライシングを実行するためにＡＣＦ供給ユニット４２からのＡＣＦテープ２の供給が途絶えても、滞留ユニット１９内に折り返し部４２としてストックされている使用中のＡＣＦテープが切断ユニット２１及び圧着ヘッドユニット２３側へ搬送される。つまり、スプライシングを実行するためにＡＣＦ供給ユニット４２からのＡＣＦテープ２の供給が途絶えても、滞留ユニット１９内に折り返し部４２としてストックされている量（滞留量）に相当に対応する一定時間は、滞留ユニット１９からＡＣＦテープ２が供給されるので、ＡＣＦ２ｂの基板３への貼付動作を停止することなく継続できる。本実施形態では、滞留ユニット１９は１個であるが、後述の図１７Ａのように２個以上の滞留ユニットを設けても良い。
【００３６】
本実施形態における滞留ユニット１９の具体的な構成について図６Ａから図６Ｃを参照して説明する。滞留ユニット１９は前述したＡＣＦテープ２のガイド機構２７の一部としても機能する一対の固定ローラ２６Ｃ，２６Ｅを備える。これらの固定ローラ２６Ｃ，２６Ｅの位置は、略同一高さ位置で水平方向に間隔をあけて配置されている。個々の固定ローラ２６Ｃ，２６Ｅには離型テープ２ａ側が接触するようにＡＣＦテープ２が巻回されている。また、滞留ユニット１９は、固定ローラ２６Ｃ，２６Ｅ間に配置されて折り返し部４２を構成するダンサーローラ（可動ローラ）２６Ｄを備える。このダンサーローラ２６Ｄの下側には、離型テープ２ａ側が接触するようにＡＣＦテープ２が巻き掛けられており、ＡＣＦテープ２の移動に対して従動回転する。また、ダンサーローラ２６Ｄは固体された直動ガイド４３に沿って鉛直方向に移動自在である。
【００３７】
鉛直方向に移動自在であるダンサーローラ２６Ｄは、それ自体の自重により固定ローラ２６Ｃ，２６Ｅ間のＡＣＦテープ２を下向きに引っ張る。すなわち、ダンサーローラ２６Ｄの自重によってＡＣＦテープ２に対して前述の張力が付与される。また、図６Ａに示す釣合状態では、ダンサーローラ２６Ｄは固定ローラ２６Ｃ，２６Ｅよりも下側に位置する。そのため、ＡＣＦテープ２の搬送経路のうち上流側の固定ローラ２６Ｃからダンサーローラ２６Ｄを経て下流側の固定ローラ２６Ｅに到るまでの部分では、以下のように搬送経路の向きが変化して折り返し部４２を構成する。まず、搬送方向上流側の固定ローラ２６Ｃからダンサーローラ２６Ｄまでは、搬送経路は下向きである。次に、ダンサーローラ２６Ｄの下側部でＡＣＦテープ２の搬送経路は下向きから上向きに反転する。さらに、ダンサーローラ２６Ｄから下流側の固定ローラ２６Ｅまでは、搬送経路は上向きである。ダンサーローラ２６Ｄの位置が下方に移動する程折り返し部４２の経路長が増加し、ダンサーローラ２６Ｄの位置が上方に移動する程折り返し部４２の経路長が減少する。本実施形態ではダンサーローラ２６Ｄの自重によりＡＣＦテープ２を下向きに引っ張っているが、ダンサーローラ２６Ｄに連結した引張ばねや低摺動シリンダ（いずれも図示せず）等によってＡＣＦテープ２を略横方向ないしは略水平方向に引っ張って折り返し部を形成してもよい。
【００３８】
滞留ユニット１９は、ダンサーローラ２６Ｄが前述した釣合状態に対応する高さ位置（原点位置）にあるか否か、換言すればＡＣＦテープ２の折り返し部４２の経路長が予め定められた初期長さにある状態に対応する位置にあるか否かを検出する原点位置検出センサ４４を備える。
【００３９】
また、滞留ユニット１９は、原点位置検出センサ４４の上方に、ダンサーローラ２６Ｄが原点位置から過度に上昇した位置（上限位置）にあるか否か、換言すればＡＣＦテープ２の折り返し部４２の経路長が予め定められ最短長さまで減少したか否かを検出する上限位置検出センサ４５を備える。図６Ｂに示すようにクランプ１７が保持状態のときにダンサーローラ２６Ｄが上限位置にあることは、クランプ１７でＡＣＦテープ２の一部を固定した状態を維持したままで切断ユニット２１及び圧着ヘッドユニット２３へ向けて搬送できるＡＣＦテープ２が使用し尽くされようとしていることを示す。
【００４０】
さらに、滞留ユニット１９は、原点位置検出センサ４４の下方に、ダンサーローラ２６Ｄが原点位置から過度に降下した位置（下限位置）にあるか否か、換言すればＡＣＦテープ２の折り返し部４２の経路長が予め定められた最長長さまで増加したか否かを検出する下限位置検出センサ４６を備える。図６Ｃに示すようにダンサーローラ２６Ｄが下限位置にあれば、ＡＣＦテープ２が途中で切れて分断され（テープ切れ）、その結果折り返し部４２の経路長が過度に増加していると推測される。
【００４１】
原点位置検出センサ４４、上限位置検出センサ４５、及び下限位置検出センサ４６は、ダンサーローラ２６Ｄが対応する高さ位置にあるか否かをある程度の精度で検出できる限り、具体的な構成は特に限定されない。例えば、光学センサ、磁気センサ等を採用できる。
【００４２】
図１及び図２を参照すると、テープテンションユニット２０は、ＡＣＦテープ２の搬送方向を水平方向から下向きに変換する固定ローラ２６Ｆを備える。また、切断ユニット２１は、固定ローラ２６Ｆに対してＡＣＦテープ２の搬送方向の下流側に、水平方向に対向する一対の固定ローラ２６Ｇ，２６Ｉとこれらの間に配置されて直動ガイド４７に沿って鉛直方向に移動自在なダンサーローラ２６Ｈを備える。これらのローラ２６Ｇ〜２６Ｉにより、ＡＣＦテープ２に一定の張力が付与されると共に、ＡＣＦテープ２の搬送方向が鉛直方向下向きに調整されている。
【００４３】
図２及び図７を参照すると、切断ユニット２１はＡＣＦテープ２の鉛直方向下向きに延びる部分の図において右側に吸着ステージ４８を備える。この吸着ステージ４８は図示しない真空ポンプの吸引力によりＡＣＦテープ２を解除可能に吸着保持する。また、吸着ステージ４８と対向してＡＣＦテープ２の鉛直方向下向きに延びる部分の図において左側には、継ぎ目検出センサ４９、ハーフカッタ５１、ＡＣＦ捨打ち装置５２が配置されている。継ぎ目検出センサ４９は、スプライシングユニット１６で形成されるＡＣＦテープ２の継ぎ合わせた部分を光学的に検出する。また、ハーフカッタ５１は、離型テープ２ａを切断することなくＡＣＦ２ｂのみをカットして所定長さのＡＣＦ片２ｅを形成する。ＡＣＦ捨打ち装置５２は、ＡＣＦ２ｂが有する粘着性を利用して貼り付けることで不要なＡＣＦ２ｂを離型テープ２ａから剥離させて取り除く機能を有する。
【００４４】
図１及び図２を参照すると、圧着ヘッドユニット２３は、圧着ヘッド５３と昇降装置５４を備える。圧着ヘッド５３は端部保持ステージ１４の上方に配置されており、載置保持ステージ１４上に保持された基板３の電極部３ａにＡＣＦ片２ｅを圧着するための圧着面を有する。圧着ヘッド５３はヒータ５３ａにより所定温度まで加熱されている。昇降装置５４は、圧着ヘッド５３を昇降させる。
【００４５】
図１及び図２を参照すると、テープ搬送ユニット２２は、圧着ヘッドユニット２３の図において左側に配置されたローラ２６Ｊと、右側に配置されたローラ２６Ｍとピンチローラ２２ａ，２２ｂを備える。ローラ２６Ｍとピンチローラ２２ａ，２２ｂとの間には、チャック５５が配設されている。ローラ２６Ｍとチャック５５は、ローラ２６Ｊと同期して昇降する。ローラ２６Ｊ，２６Ｍにより、ＡＣＦテープ２の搬送経路は、ＡＣＦ片２ｅが下向きとなる姿勢で端部保持ステージ１４と圧着ヘッド５３との間を通過する。ピンチローラ２２ａ，２２ｂがＡＣＦテープ２を挟み込んだ状態で回転してフィード送り動作を実行することにより、ＡＣＦ供給ユニット１５から切断ユニット２１及び圧着ヘッドユニット２３側へのＡＣＦテープ２の供給搬送動作と、端部保持ステージ１４の上方からの離型テープ２ａの排出搬送動作とが実行される。
【００４６】
図１及び図２を参照すると、剥離ユニット２４は、テープ搬送ユニット２２と同期して昇降すると共に水平方向に移動する一対のローラ２６Ｋ，２６Ｌを備える。ローラ２６Ｋの下側とローラＬの上側に離型テープ２ａが巻掛けられている。ローラ２６Ｋ，２６Ｌと共に移動する位置決めチャック５６は、圧着ヘッド５３による圧着時に閉状態となり、ＡＣＦテープ２のずれを防止する。
【００４７】
離型テープ回収ユニット２５は、テープ搬送ユニット２２によって排出搬送された離型テープ２ａを真空吸引により回収する回収槽５７を備える。離型テープ２ａを回収できる限り、離型テープ回収ユニット２５の方式は特に限定されない。
【００４８】
ＡＣＦ貼付装置１は図１にのみ図示するコントローラ４０を備える。このコントローラ４０はセンサ１８，４４〜４６を含む種々のセンサや操作盤（図示せず）からの入力に基づいて、ＡＣＦ供給ユニット１５、スプライシングユニット１６、クランプ１７、切断ユニット２１、テープ搬送ユニット２２、圧着ヘッドユニット２３、剥離ユニット２４、及び離型テープ回収ユニット２５の動作を統括的に制御する。
【００４９】
次に、図８を参照して、本実施形態に係るＡＣＦ貼付装置１の動作を説明する。
【００５０】
ステップＳ８−２において終端部検出センサ１８が供給リール２８から巻き出されているＡＣＦ２の終端部２ｄを検出するまで、ステップＳ８−１において通常のＡＣＦ貼付動作が継続される。具体的には、ＡＣＦ供給ユニット１５の供給リール２８からＡＣＦテープ２が巻き出され、巻き出されたＡＣＦテープ２はテープ搬送ユニット２２の動作により下流側に搬送される。巻き出されたＡＣＦテープ２はスプライシングユニット１６と滞留ユニット１９を通過して切断ユニット２１に搬送される。切断ユニット２１のハーフカッタ５１によりＡＣＦ２ｂがハーフカットあるいはフルカット（切断）され、ＡＣＦ片２ｅが形成される。次に、ＡＣＦテープ２のＡＣＦ片２ｅが形成された部分が圧着ヘッドユニット２３の圧着ヘッド５３と端部保持ステージ１４との間に搬送され、端部保持ステージ１４上に保持された基板３の電極部３ａに対してＡＣＦ片２ｅが位置決めされる。この位置決め後、圧着ヘッド５３が端部保持ステージ１４へ向けて降下し、離型テープ２ａを介してＡＣＦ片２ｅを電極部３ａに加圧及び加熱する。この圧着ヘッド５３による加圧及び加熱によりＡＣＦ片２ｅが電極部３ａに圧着される。圧着ヘッド５３が上昇して初期位置に戻った後、剥離ユニット２４のローラ２６Ｋ，２６Ｌが図１及び図２において圧着ヘッド５３よりも右側から左側に水平移動し、その結果ＡＣＦ片２ｅのみが電極部３ａに残り離型テープ２ａは電極部３ａから剥離される。その後、ローラ２６Ｋ，２６Ｌが初期位置に戻り、電極部３ａへのＡＣＦ片２ｅの貼り付けが完了する。ＡＣＦ片２ｅの貼付完了後の離型テープ２ａは、離型テープ回収ユニット２５に搬送されて回収される。通常のＡＣＦ貼付動作中、クランプ１７は解放状態で維持されている。
【００５１】
ステップＳ８−２の通常のＡＣＦ貼付動作中、供給リール２８からのＡＣＦテープ２の巻き出しは、滞留ユニット１９が備える原点位置検出センサ４４からの信号に基づいて実行される。具体的には、ダンサーローラ２６Ｄが原点位置にないことを所定時間連続して原点位置検出センサ４４が検出すると、モータ３０が作動し、原点位置センサ４４が再びダンサーローラ２６Ｄが原点位置にあることを検出するまで、供給リール２８がＡＣＦテープ２から巻き出される。また、通常のＡＣＦ貼付動作中、ダンサーローラ２６Ｄが下限位置にあることを下限位置検出センサ４６が検出すれば、テープ切れであると判断できるので、供給リール２６からのＡＣＦテープの巻き出しを停止する。さらに、通常のＡＣＦ貼付動作中、ダンサーローラ２６Ｄが上限位置にあることを上限位置検出センサ４５が検出すれば、ＡＣＦテープ２の搬送不良が生じていると判断できるので、テープ搬送ユニット２２による搬送動作を停止する。
【００５２】
ステップＳ８−２において終端部検出センサ１８が終端マークテープ１１（ＡＣＦテープ２の終端部２ｄ）を検出すると、ステップＳ８−３においてクランプ１７が解放状態（図６Ａ）から保持状態（図６Ｂ及び図６Ｃ）に切り換えられ、クランプ部材１７ａ，１７ｂによってＡＣＦテープ２の一部が固定される。クランプ１７によりＡＣＦテープ２が固定されると、ステップＳ８−４においてスプライシングユニット１６によるスプライシング（供給リール２６の交換を含む）が開始される。
【００５３】
ステップＳ８−１０として概念的に示すように、スプライシング中もテープ搬送ユニット２２によるＡＣＦテープ２の搬送動作と、切断ユニット２１、圧着ヘッドユニット２３及び剥離ユニット２４の動作は継続され、基板３に対するＡＣＦ片２ｅの貼付動作が継続される。換言すれば、ＡＣＦ貼付装置１は、ＡＣＦ片２ｅの貼付動作を停止することなく、スプライシングを実行可能である。以下、この点について説明する。保持状態となったクランプ１７でＡＣＦテープ２の一部が固定された結果、滞留ユニット１９のダンサーローラ２６Ｄの自重によりＡＣＦテープ２に付与される張力やテープ搬送ユニット２２の搬送動作にＡＣＦテープ２に作用する張力は、クランプ１７よりも搬送方向上流側のＡＣＦテープ２には作用しない。従って、クランプ１７よりも搬送方向上流側にあるスプライシングユニット１６において、スプライシングが可能となる。一方、クランプ１７が保持状態にあるときでも、テープ搬送ユニット２２によりＡＣＦテープ２が搬送されると、ダンサーローラ２６Ｄが上方に変位することで滞留ユニット１９に形成された折り返し部４２の経路長が減少し、この減少した経路長に相当するＡＣＦテープ２が切断ユニット２１及び圧着ヘッドユニット２３に向けて搬送される。従って、クランプ１７が保持状態に切り換えられても、テープ搬送ユニット２２、切断ユニット１９、圧着ヘッドユニット２３、及び剥離ユニット２４の動作を継続し、基板３に対するＡＣＦ片２ｅの貼付動作を継続できる。
【００５４】
図６Ｂを併せて参照すると、クランプ１７が保持状態にあるときにダンサーローラ２６Ｄが上限位置まで上昇していることは、切断ユニット２１及び圧着ヘッドユニット２３に向けてＡＣＦテープ２が搬送された結果、滞留ユニット１９の折り返し部４２が最短長さまで減少しており、クランプ１７を保持状態に維持したままでそれ以上折り返し部４２からＡＣＦテープ２を供給できない（折り返し部４２から供給可能なＡＣＦテープ２の残量が使用され尽くされようとしている）ことを意味する。従って、クランプ１７を保持状態としてスプライシングを開始した後（ステップＳ８−３，Ｓ８−４）、ステップＳ８−５においてダンサーローラ５４が上限位置にあることを上限位置検出センサ４５が検出すると、ステップＳ８−９においてエラー発生としてＡＣＦ片２ｅの貼付動作（テープ搬送ユニット２２、圧着ヘッドユニット２３、及び剥離ユニット２４の動作）を停止する。
【００５５】
図６Ｃを併せて参照すると、クランプ１７が保持状態にあるときにダンサーローラ２６Ｄが下限位置まで降下していることは、前述のようにＡＣＦテープ２がテープ切れを起こしていることを意味する。従って、クランプ１７を保持状態としてスプライシングを開始した後、ステップＳ８−６においてダンサーローラ５４が下限位置にあることを下限位置検出センサ４６が検出すると、ステップＳ８−９においてＡＣＦ片２ｅの貼付動作を呈しする。
【００５６】
ステップＳ８−７においてスプライシングユニット１６におけるスプライシングが終了すると、ステップＳ８−８においてクランプ１７が保持状態から解放状態に切り換えられ、ステップＳ８−１の通常のＡＣＦ片２ｅの貼付動作が再開される。
【００５７】
以上図８を参照して詳述したように、本実施形態のＡＣＦ貼付装置１はクランプ１７と滞留ユニット１９を設けたことにより、スプライシングユニット１６におけるスプライシング中も基板３に対するＡＣＦ片２ｅの貼付動作を継続可能であり、高い生産効率を実現できる。
【００５８】
本実施形態に係るＡＣＦ貼付装置１が備えるスプライシングユニット１６において実行されるスプライシング動作を、図９Ａから図９Ｆを参照して説明する。まず、図９Ａに示すように、上側可動ステージ３５が水平方向に移動し、上側可動ステージ３５とブロック３７が使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄを挟み込む。次に、図９Ｂに示すように、上側カッタ３６が上側可動ステージ３５に向けて突出し、使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄを切断する。その後、図９Ｃに示すように、プレート保持ロッド３４が引込位置となり、使用中のＡＣＦテープ２を収容している供給リール２８の保持プレート２９は、追加のための未使用のＡＣＦテープ２を収容している新たな供給リール２８（待機状態にあった供給リール２８）の保持プレート２９と交換される。保持プレート２９の交換後、プレート保持ロッド３４は突出位置に戻り、保持プレート２９を保持する。次に、図９Ｄに示すように押圧ロッド３９と下側可動ステージ３８が互いに近接するように移動し、追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃを挟み込む。その結果、追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃに予め貼り付けられた両面テープ９（図５参照）により、使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄと追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃが継ぎ合わせられる。次に、図９Ｅに示すように下側カッタ４１が下側可動ステージ３８に向けて突出し、使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄを切断する。その後、上側可動ステージ３５、下側可動ステージ３８、及び押圧ロッド３９が初期位置に戻り、スプライシングが完了する。図１０に、両面テープ９で継ぎ合わされた使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄと追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃを示す。
【００５９】
図１及び図２を参照すると、本実施形態のＡＣＦ貼付装置１は、隔壁６１で互いに隔てられた２つのハウジング６２，６３を備えている。一方のハウジング（第１のハウジング）６２には、基板保持ステージ１２、基板移載ステージ１３、及び端部保持ステージ１４に加え、テープテンションユニット２０、切断ユニット２１、テープ搬送ユニット２２、圧着ヘッドユニット２３、剥離ユニット２４、及び離型テープ回収ユニット２５が収容されている。他方のハウジング（第２のハウジング）６３には、ＡＣＦ供給ユニット１５、クランプ１７、及び滞留ユニット１９が収容されている。本実施形態では、ガイド機構２７（ローラ２６Ａ〜２６Ｍ）によるＡＣＦテープ２の搬送経路は、平面視で直線状である。具体的には、本実施形態におけるＡＣＦテープ２の搬送経路は、平面視で基板移載ステージ１３による基板３の搬送方向と同方向に延びる直線状である。ＡＣＦテープ２の搬送経路のうち滞留ユニット１９との切断ユニット２１間の部分は、隔壁６１に形成された貫通孔６１ａを通っている。
【００６０】
図１及び図２に最も明瞭に表れているように、平面視で直線状であるＡＣＦテープ２の搬送経路に対応して、ＡＣＦ貼付装置１の２つの第１及び第２のハウジング６２，６３は、基板３の搬送方向に沿って横並びに配置されている。言い換えると、作業者１０がＡＣＦ貼付装置１の正面から見て２つのハウジング６２，６３が左右方向に並んで配置されている。
【００６１】
圧着ヘッドユニット２３の圧着ヘッド５３はヒータ５３ａにより加熱されているので第１のハウジング６２内は高温となっているが、第２のハウジング６３は隔壁６１を隔てて第１のハウジング６２と隣接しているので室温に近い比較的低温で維持されている。複数の供給リール２８を備えるＡＣＦ供給ユニット１５は低温の第２のハウジング６３内に収容されているので、供給リール２８に収容されたＡＣＦテープ２のＡＣＦ２ｂが熱によって劣化等の品質低下をきたすのを防止できる。このように本実施形態のＡＣＦ貼付装置１では、ヒータ５３ａにより加熱される圧着ヘッド５３を含む圧着ヘッドユニット２３とＡＣＦ供給ユニット１５とを隔壁６１で隔てられて互いに別空間を構成するハウジング６２，６３にそれぞれ収容するという比較的簡易な構成により、追加のための未使用のＡＣＦ２ｄの品質低下を防止できる。
【００６２】
また、ＡＣＦ供給ユニット１５を比較的低温である第２のハウジング６３内に収容したことにより、未使用のＡＣＦテープ２を収容した供給リール２８のＡＣＦ供給ユニット１５への補充、使用済みの供給リール２８のＡＣＦ供給ユニット１５から回収等の作業を作業者が手作業で実行する際にも作業者が高温で煩わされることがない。特に、ＡＣＦ貼付装置１が大型の基板３にＡＣＦ片２ｅを貼り付けるための大型ものである場合、基板３に熱と圧力によりＡＣＦ片２ｅを貼り付ける圧着ユニット５３が発生する総熱容量は極めて大きくなるので、第１のハウジング６２とは別空間を構成する第２のハウジング６３にＡＣＦユニット１５と滞留ユニット１９を収容して第１のハウジング６２内の圧着ヘッド５３が発生する熱に煩わされないことようにすることによる、ＡＣＦ２の供給やスプライシングに伴う作業性向上の利点は極めて大きい。
【００６３】
第２のハウジング６３には、第１及び第２のハウジング６２，６３外の空気を内部に送風するためのファン（冷却部）６４が設けられている。このファン６４を作動させることで第２のハウジング６３外の相対的に冷たい空気が送風して第２のハウジング６３内を冷却される。第２のハウジング６３内は、相対的に高温になる第１のハウジン６２から隔壁６１等を介して伝わる熱が蓄積される傾向がある。しかし、ファン６４からの送風により、第２のハウジング６３内を冷却することで、ＡＣＦ供給ユニット１５の未使用のＡＣＦ２ｄの熱による品質低下をより確実に防止できる。第２のハウジング６３は高温である第１のハウジング６２に対して隔壁６１により隔てられた別空間を構成するで、大規模な冷却装置や複雑な冷却装置を使用する必要がなく、ファン６４でも十分な冷却効果が得られる。
【００６４】
図１１はスプライシングユニット１６の第１の代案を示す。この第１の代案は、押圧ロッド３９（図４参照）に代えて、水平方向に進退する加熱ツール６５を備える点が第１実施形態におけるスプライシングユニット１６と異なる。第１の代案の動作は、図９Ａ〜図９Ｆを参照して説明した第１実施形態におけるスプライシングユニット１６の動作と同様である。図１２Ａに示すように、追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃはＡＣＦ２ｂが除去されて離型テープ２ａのみにより構成されている。互いに重ね合わされた使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄと追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃが加熱ツール６５の先端と下側可動ステージ３８との間に挟み込まれる。その結果、終端部２ｄの離型テープ２ａ、ＡＣＦ２ｂ、及び終端マークテープ１１と始端部２ｃの離型テープ２ａが熱溶融し、接合部６６が形成される。
【００６５】
図１２Ｂから図１２Ｄは、熱溶融により形成される接合部６６の種々の形態を示す。図１２Ｂでは、使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄは離型テープ２ａとＡＣＦ２ｂにより構成され、追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃは離型テープ２ａのみにより構成されており、２つの離型テープ２ａと１つのＡＣＦ２ｂの熱溶融による接合部６６が形成されている。図１２Ｃでは、使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄと追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃは共にＡＣＦ２ｂが除去されて離型テープ２ａのみにより構成されており、２つの離型テープ２ａの熱溶融により接合部６６が形成されている。図１２Ｄでは使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄが終端マークテープ１１のみにより構成され、追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃは離型テープ２ａのみにより構成されており、終端マークテープ１１と離型テープ２ａの熱溶融により接合部６６が形成されている。
【００６６】
図１３及び図１４はスプライシングユニット１６の第２の代案を示す。この第２の代案は、押圧ロッド３９（図４参照）に代えて、水平方向に進退する超音波ホーン６７を備える点が第１実施形態におけるスプライシングユニット１６と異なる。第２の代案の動作は、図９Ａ〜図９Ｆを参照して説明した第１実施形態におけるスプライシングユニット１６の動作と同様である。図１４に示すように、使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄと追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃは共にＡＣＦ２ｂが除去されて離型テープ２ａのみにより構成されている。互いに重ね合わされた使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄと追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃがＡＣＦテープ２の厚みよりも大きい突起形状を有する超音波ホーン６７の先端と下側可動ステージ３８との間に挟み込まれる。超音波ホーン６７が発生するＡＣＦテープ２の厚み方向の振動による発熱で熱溶融が生じ、その結果、接合部６６が形成される。
【００６７】
図１５を参照すると、ＡＣＦテープ２はＡＣＦ２ｂを保護するカバーテープないし保護テープ２ｆを備えてもよい。この場合、切断ユニット２１のハーフカッタ５１よりもＡＣＦテープ２の搬送方向上流で保護テープ２ｆを剥離する必要がある。例えば、切断ユニット２１内のローラ２６Ｉ近傍に追加のローラ２６Ｎを配置し、このローラ２６Ｎを介して回収リール６８で巻き取ることで保護テープ２ｆを剥離すればよい。
【００６８】
第１実施形態では、終端マークテープ１１を終端部検出センサ１８で光学的に検出することにより、使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄを検出している。しかし、終端部２ｄの検出には種々の態様がある。例えば、図１６に示すように、供給リール２８が装着された支軸３１の巻き出し方向に回転を検出する回転量検出センサ６９を設け、この回転量検出センサ６９の検出値とテープ搬送ユニット２２によるテープ搬送量とに基づいて終端部２ｄを検出してもよい。このことにより、供給ユニット２８に巻かれているテープの残量に応じて変化する供給リール２８のＡＣＦテープのリール半径Ｒを算出し、終端部２を求めることができる。
【００６９】
図１７Ａから図１７Ｃは滞留ユニット１９の種々の代案を示す。
【００７０】
図１７Ａに示す第１の代案では、滞留ユニット１９は、第１実施形態と同様の固定ローラ２６Ｃ，２６Ｅとダンサーローラ２６Ｄにより形成される折り返し部４２を２つ備える。２つの折り返し部４２を設けたことにより、クランプ１７が保持状態にあるときに滞留ユニット１７から切断ユニット２１及び圧着ヘッドユニット２３に向けて搬送できるＡＣＦテープ２の量が増加し、ＡＣＦ片２ｅの貼付動作を継続しつつスプライシングユニット１６あるいは手作業によるスプライシングを実行可能な時間を延ばすことができる。
【００７１】
図１７Ｂに示す第２の代案では、ダンサーローラ２６Ｄに代えて、固定ローラ２６Ｃ，２６Ｅ間に配置された吸込槽７１を備える。この吸込槽７１は上端に開口を有し、内部は真空ポンプ７２により真空吸引されている。真空ポンプ７２の吸引力で開口から吸込槽７１内に引き込まれることにより、ＡＣＦテープ２に張力が付与される共に折り返し部４２が形成される。この第２の代案の場合、原点位置検出センサ４４、上限位置検出センサ４５、及び下限位置検出センサ４６は、折り返し部４２の下端部分（ＡＣＦテープ２の搬送経路が下向きから上向きに反転する部分）を、例えば光学的に検出する。
【００７２】
図１７Ｃに示す第３の代案では、第２の代案の吸込槽７１と真空ポンプ７２の組み合わせを２組設けている。２つの吸込槽７１の内部を１つの共通の真空ポンプ７２により真空吸引してもよい。
【００７３】
（第２実施形態）
図１８及び図１９は、本発明の第２実施形態に係るＡＣＦ貼付装置１を示す。本実施形態では、ＡＣＦテープ２の搬送経路は、平面視で基板３の搬送方向であるＸ方向に対して実質的に直角に折れ曲がった折れ線状を呈する。この折れ線状の搬送経路を実現するために、切断ユニット２１内のローラ２６Ｆは作業者１０がＡＣＦ貼付装置１を正面から見たときに左斜め下向きに傾斜している。ＡＣＦテープ２の搬送経路のうち概ね第１のハウジング６２内に含まれる部分、すなわち搬送経路のうち切断ユニット２１からテープ搬送ユニット２２、圧着ヘッドユニット２３、及び剥離ユニット２４を経て離型テープ回収ユニット２５に到る部分が、平面視で基板移載ステージ１３による基板３の搬送方向と同方向に延びる直線状である。一方、ＡＣＦテープ２の搬送経路のうちハウジング６３内に概ね含まれる部分、すなわちＡＣＦテープ２の搬送経路のうちＡＣＦ供給ユニット１５からスプライシングユニット１６、クランプ１７、終端部検出センサ１８、及び滞留ユニット１８を経て切断ユニット２１に到る部分が、平面視で基板３の搬送方向であるＸ方向に対して実質的に直角に延びる直線状である。このＡＣＦテープ供給ユニット１５から切断ユニット２１に到る部分のＡＣＦテープ２の搬送経路は、作業者１０がＡＣＦテープ貼付装置１を正面から見たときに、ＡＣＦテープ貼付装置１の背面側に向けて延びている。
【００７４】
直角に折れ曲がったＡＣＦテープ２の搬送経路に対応して、第２のハウジング６３は第１のハウジング６２内の基板３の搬送方向に対して平面視で直交する方向に縦置きに配置されている。具体的には、第２のハウジング６３はＡＣＦ貼付装置１の背面側に向けて延びている。
【００７５】
縦置きされた第２のハウジング６３は基板３の基板搬送装置５から離れる方向に延びているので、作業者と第２のハウジング６３の背面側との基板３の搬送経路が介在しない。従って、作業者は、第２のハウジング６３内に収容されたＡＣＦ供給ユニット１５、スプライシングユニット１６、クランプ１７、終端部検出センサ１８、及び滞留ユニット１９に対して、ＡＣＦ貼付装置２の背面側から容易にアクセスすることができ、作業性が良好である。また、第２のハウジング６３を縦置きしたことにより、基板３の搬送方向のＡＣＦ貼付装置１の寸法を小型化でき、その結果、部品実装装置４のライン長を短縮できる。本実施形態では、第２のハウジング６３はＡＣＦ貼付装置１の背面側に向けて延びているが、第２のハウジング６３をＡＣＦ貼付装置１正面側に向けて延ばして配置し、それによつって基板の搬送経路を介さずに、作業者がＡＣＦ貼り付け装置１の正面側より第２のハウジング内に直接容易にアクセスさせるように構成し、正面側からの作業性を向上させても良い。
【００７６】
第２実施形態のその他の構成及び作用は第１実施形態と同様であるので、同一の要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【００７７】
図２０に示すように、ＡＣＦテープ２が保護テープ２ｆを備える場合には、切断ユニット２１内のローラ２６Ｃ近傍に追加のローラ２６Ｎを配置し、このローラ２６Ｎを介して回収リール６８で巻き取ることで保護テープ２ｆを剥離すればよい。
【００７８】
図１１から図１７Ｃを参照して説明した第１実施形態に関する種々の代案は、本実施形態にも採用できる。
【００７９】
（第３実施形態）
図２１に示す第３実施形態に係るＡＣＦ貼付装置１は、手作業によりスプライシングを実行する方式のスプライシングユニット１６を備える。このスプライシングユニット１６は作業者が手作業により使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄと追加のＡＣＦテープ２の始端部２ｃを重ね合わせて保持するための治具７５と、保持された終端部２ｄと始端部２ｃを治具７５に押し付けて両面テープ９（例えば図１０参照）により継ぎ合わせるためのツール７６を備える。また、本実施形態では、ＡＣＦテープ供給ユニット２８は追加のための未使用のＡＣＦテープ２を収容した供給リール２８を１個のみ備えている。さらに、本実施形態のＡＣＦ貼付装置１は、使用中のＡＣＦテープ２の終端部２ｄが検出されたこと、すなわちスプライシングを実行する必要があることを作業者に報知するための警告灯７７とブザー７８を備える。
【００８０】
終端部検出センサ１８が使用中のＡＣＦテープ２の終端マークテープ１１を検出すると、クランプ１７が解放状態から保持状態に切り換えられると共に、警告灯７７が点灯してブザー７８が報知音を発する。使用者が追加のＡＣＦテープ２を使用中のテープ２へ手作業で継ぎ合わせている間も、滞留ユニット１９から切断ユニット２１及び圧着ヘッドユニット２３にＡＣＦテープ２が供給されるので、基板３へのＡＣＦ片２ｅの貼付動作は継続される。
【００８１】
ヒータ５３ａにより加熱される圧着ヘッド５３を含む圧着ヘッドユニット２３とスプライシングユニット１６とは隔壁６１で隔てられた互いに別空間を構成する第１及び第２のハウジング６２，６３にそれぞれ収容されており、スプライシングユニット１６を収容している第２のハウジング６３は室温に近い比較的低温で維持されている。従って、手作業でスプライシングを実行する際に作業者が高温に煩わされることがない。
【００８２】
第３実施形態のその他の構成及び作用は第１実施形態と同様であるので、同一の要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【００８３】
図１１から図１７Ｃを参照して説明した第１実施形態に関する種々の代案は、本実施形態にも採用できる。
【００８４】
本発明は、前記実施形態限定されず種々の変形が可能である。例えば、本発明は、非導電性フィルムのようなＡＣＦテープ以外の粘着テープにも適用可能である。また、本発明は、ＰＤＰ基板、ＬＣＤ基板、ＦＰＣ基板以外の基板を含む種々の対象物に対する粘着テープの貼付に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の第１実施形態に係るＡＣＦ貼付装置を示す模式的な斜視図。
【図２】本発明の第１実施形態に係るＡＣＦ貼付装置を示す模式的な正面図。
【図３】本発明の第１実施形態に係るＡＣＦ貼付装置を備える部品実装装置の模式的な平面図。
【図４】スプライシングユニットを示す模式的な正面図。
【図５】供給リール及び保持プレートを示す模式的な正面図。
【図６Ａ】滞留ユニット（ダンサーローラは原点位置）を示す模式的な正面図。
【図６Ｂ】滞留ユニット（ダンサーローラは上限位置）を示す模式的な正面図。
【図６Ｃ】滞留ユニット（ダンサーローラは下限位置）を示す模式的な正面図。
【図７】切断ユニットを示す模式的な正面図。
【図８】本発明の第１実施形態に係るＡＣＦ貼付装置の動作を説明するためのフローチャート。
【図９Ａ】スプライシングユニットの動作を説明するための模式的な正面図。
【図９Ｂ】スプライシングユニットの動作を説明するための模式的な正面図。
【図９Ｃ】スプライシングユニットの動作を説明するための模式的な正面図。
【図９Ｄ】スプライシングユニットの動作を説明するための模式的な正面図。
【図９Ｅ】スプライシングユニットの動作を説明するための模式的な正面図。
【図９Ｆ】スプライシングユニットの動作を説明するための模式的な正面図。
【図１０】第１実施形態におけるＡＣＦテープの接合部を示す模式図。
【図１１】スプライシングユニットの第１の代案を示す模式的な正面図。
【図１２Ａ】第１の代案のスプライシングユニットにより形成されたＡＣＦテープの接合部を示す模式図。
【図１２Ｂ】ＡＣＦテープの接合部の他の例を示す模式図。
【図１２Ｃ】ＡＣＦテープの接合部の他の例を示す模式図。
【図１２Ｄ】ＡＣＦテープ接合部の他の例を示す模式図。
【図１３】スプライシングユニットの第２の代案を示す模式的な正面図。
【図１４】スプライシングユニットの第２の代案を示す模式図。
【図１５】ＡＣＦテープが保護テープを有する場合の切断ユニット付近の構成を示す模式的な斜視図。
【図１６】回転量検出機能を有する供給リールを示す模式図。
【図１７Ａ】滞留ユニットの第１の代案を示す模式的な正面図。
【図１７Ｂ】滞留ユニットの第２の代案を示す模式的な正面図。
【図１７Ｃ】滞留ユニットの第３の代案を示す模式的な正面図。
【図１８】本発明の第２実施形態に係るＡＣＦ貼付装置を示す模式的な斜視図。
【図１９】本発明の第２実施形態に係るＡＣＦ貼付装置を備える部品実装装置の模式的な平面図。
【図２０】ＡＣＦテープが保護テープを有する場合の切断ユニット付近の構成を示す模式的な斜視図。
【図２１】本発明の第３実施形態に係るＡＣＦ貼付装置を示す模式的な斜視図。
【図２２】本発明の第３実施形態に係るＡＣＦ貼付装置を示す模式的な正面図。
【符号の説明】
【００８６】
１  ＡＣＦ貼付装置
２  ＡＣＦテープ
２ａ  離型テープ
２ｂ  ＡＣＦ
２ｃ  始端部
２ｄ  終端部
２ｅ  ＡＣＦ片
２ｆ  保護テープ
３  ＬＣＤ基板（基板）
３ａ  電極部
４  部品実装装置
５  基板搬送装置
６  洗浄装置
７  仮圧着装置
８  本圧着装置
９  両面テープ
１１  終端マークテープ
１２  基板保持ステージ
１３  基板移載ステージ
１４  端部保持ステージ
１５  ＡＣＦ供給ユニット
１６  スプライシングユニット
１７  クランプ
１８  終端部検出センサ
１９  滞留ユニット
２０  テープテンションユニット
２１  切断ユニット
２２  テープ搬送ユニット
２３  圧着ヘッドユニット
２４  剥離ユニット
２５  離型テープ回収ユニット
２６  ローラ
２７  ガイド機構
２８  供給リール
２９  保持プレート
３０  モータ
３１  支軸
３３  保持チャック
３４  プレート保持ロッド
３５  上側可動ステージ
３６  上側カッタ
３７  固定ブロック
３８  下側可動ステージ
３９  押圧ロッド
４０  コントローラ
４１  下側カッタ
４２  折り返し部
４３，４７  直動ガイド
４４  原点位置検出センサ
４５  上限位置検出センサ
４６  下限位置検出センサ
４８  吸着ステージ
４９  継ぎ目検出センサ
５１  ハーフカッタ
５２  ＡＣＦ捨打ち装置
５３  圧着ヘッド
５４  昇降装置
５５  チャック
５６  位置決めチャック
５７  回収槽
６１  隔壁
６１ａ  貫通孔
６２，６３  ハウジング
６４  ファン
６５  加熱ツール
６６  接合部
６７  超音波ホーン
６８  回収リール
６９  回転量検出センサ
７１  吸込槽７１
７２  真空ポンプ
７５  治具
７６  ツール
７７  警告灯
７８  ブザー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図９Ｄ】
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【図９Ｅ】
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【図９Ｆ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１２Ｄ】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１７Ｃ】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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