(57)【要約】【課題】表示検査において、簡便な方法で適正な検査位置に配置が可能な電気光学装置、電気光学装置の検査方法、および電気光学装置の検査装置を提供すること。【解決手段】電気光学装置としての液晶装置１００は、素子基板９１上に配置された複数の画素Ｇと、画素Ｇを駆動するための電気信号が入力される入力端子３，６と、入力端子３，６が素子基板９１の表面において一の方向に配列された端子部３１と、端子部３１に入力端子３，６とともに一の方向に配列された複数の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４と、一対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３間、およびもう一対の位置検出用端子Ｔ２，Ｔ４間における電気抵抗値が異なる配線系統と、を備えた。【選択図】図１
2009198939.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に配置された複数の画素と、
前記画素を駆動するための電気信号が入力される入力端子と、
前記入力端子が前記基板の表面において一の方向に配列された端子部と、
前記端子部に前記入力端子とともに前記一の方向に配列された少なくとも２対の位置検出用端子と、
前記少なくとも２対の位置検出用端子間における電気抵抗値が異なる配線系統と、を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電気光学装置であって、
前記配線系統は、前記少なくとも２対の位置検出用端子間を繋ぐ独立した配線からなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項３】
請求項１に記載の電気光学装置であって、
前記配線系統は、前記少なくとも２対の位置検出用端子間を繋ぐ同一の導電層にパターニングされた配線からなることを特徴とする電気光学装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気光学装置であって、
前記位置検出用端子の末端は、櫛歯状に形成され前記一の方向に配列する複数の枝端子を有し、
前記複数の枝端子は、前記枝端子間の前記電気抵抗値が段階的に変化するように形成されていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項５】
基板上に配置された複数の画素と、
前記画素を駆動するための電気信号が入力される入力端子と、
前記入力端子が前記基板の表面において一の方向に配列された端子部と、
前記端子部に前記入力端子とともに前記一の方向に配列された少なくとも２対の位置検出用端子と、
前記少なくとも２対の位置検出用端子間における電気抵抗値が異なる配線系統と、を備えた電気光学装置の検査方法であって、
前記少なくとも２対の位置検出用端子に対応して設けられた一対の位置検出用プローブと、
前記入力端子に対応して設けられた検査用プローブとを用い、
前記一対の位置検出用プローブを前記端子部に接触させ、前記位置検出用プローブ間の導通の有無を検出する位置検出工程と、
前記位置検出用プローブ間の導通が有と検出したときに、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を補正する位置補正工程と、
前記位置検出用プローブ間の導通が無と検出したときに、前記検査用プローブを前記端子部に接触させて複数の前記画素を駆動して表示状態を検査する表示検査工程と、を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項６】
請求項５に記載の電気光学装置の検査方法であって、
前記位置検出用プローブ間の導通が有と検出したときの電気抵抗値により、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を特定する位置特定工程を備えることを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項７】
請求項６に記載の電気光学装置の検査方法であって、
前記位置検出用端子の末端は、櫛歯状に形成され前記一の方向に配列する複数の枝端子を有し、
前記複数の枝端子は、前記枝端子間の前記電気抵抗値が段階的に変化するように形成され、
前記位置特定工程は、前記枝端子間の前記電気抵抗値により、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を特定することを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項８】
基板上に配置された複数の画素と、
前記画素を駆動するための電気信号が入力される入力端子と、
前記入力端子が前記基板の表面において一の方向に配列された端子部と、
前記端子部に前記入力端子とともに前記一の方向に配列された少なくとも２対の位置検出用端子と、
前記少なくとも２対の位置検出用端子間における電気抵抗値が異なる配線系統と、を備えた電気光学装置の検査装置であって、
前記少なくとも２対の位置検出用端子に対応して設けられた一対の位置検出用プローブと、
前記入力端子に対応して設けられた検査用プローブと、
前記一対の位置検出用プローブを前記端子部に接触させたときの前記位置検出用プローブ間の導通の有無を検出する位置検出部と、
前記位置検出部において前記導通が有と検出されたときに、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を補正する位置補正機構と、
前記位置検出部において前記導通が無と検出されたときに、前記検査用プローブを前記端子部に接触させ、複数の前記画素を駆動する駆動信号を前記検査用プローブへ送出して、複数の前記画素を表示させる表示駆動部とを備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項９】
請求項８に記載の電気光学装置の検査装置であって、
前記位置検出部において前記導通が有と検出されたときの前記電気抵抗値により、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を特定する位置特定部を備え、
前記位置補正機構は、前記位置特定部の特定結果に基づいて、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を補正することを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の電気光学装置の検査装置であって、
前記位置検出用端子の末端は、櫛歯状に形成され前記一の方向に配列する複数の枝端子を有し、
前記複数の枝端子は、前記枝端子間の前記電気抵抗値が段階的に変化するように形成され、
前記位置特定部は、前記枝端子間の前記電気抵抗値により、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を特定することを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置、電気光学装置の検査方法、および電気光学装置の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶装置などの電気光学装置は、高画質化を目的として、画素数が増加している。各画素は、スイッチング素子として例えばＬＴＰＳ（Low-Temperature Poly-Silicon）などを用いたＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子がそれぞれ設けられている。画素数の増加に伴い、スイッチング素子に電気的に接続された入力端子の間隔が段々狭くなっている。このような電気光学装置の表示検査では、複数の入力端子と検査装置の検査用プローブとの接触時の位置ズレにより、隣接する入力端子間で、短絡が起こってしまうなどの課題がある。この短絡は、スイッチング素子の破壊を引き起こすおそれがある。
そこで、位置ズレを防止する一例として、撮像手段を用いて検査用のプローブと電極との位置関係を撮像し、両者の位置ズレ等の補正を行う液晶製品の状態検出機構が開示されている（特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２５８７４４号公報（４頁〜５頁、図２〜図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の従来例では、検査用のプローブと電極との位置を撮像する撮像手段としてのカメラ、ならびにカメラにより撮像された画像をもとに検査用のプローブと電極との位置関係を検出する画像処理回路などを必要とし、検査方法または検査装置が複雑化してしまうという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例により実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例の電気光学装置は、基板上に配置された複数の画素と、前記画素を駆動するための電気信号が入力される入力端子と、前記入力端子が前記基板の表面において一の方向に配列された端子部と、前記端子部に前記入力端子とともに前記一の方向に配列された少なくとも２対の位置検出用端子と、前記少なくとも２対の位置検出用端子間における電気抵抗値が異なる配線系統と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
これによれば、端子部には、入力端子の他に位置検出用端子が設けられているので、位置検出用端子を用いて端子部の位置を特定し、その後に入力端子を用いて電気的な検査を行うことができる。具体的には、少なくとも２対の位置検出用端子間を結ぶ配線系統は電気抵抗値が異なるので、これに対応して一対の位置検出用プローブを接触させ、位置検出用プローブ間が導通した場合の電気抵抗値を検出すれば、位置検出用端子と位置検出用プローブとの相対的な位置が特定されるので、端子部すなわち電気光学装置が検査に適した位置にあるか否かを瞬時に判別できる。ゆえに、簡易な方法で端子部の位置を特定して電気的な検査が可能な電気光学装置を提供することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例の電気光学装置において、前記配線系統は、前記少なくとも２対の位置検出用端子間を電気的に繋ぐ独立した配線からなるとしてもよい。
これによれば、少なくとも２対の位置検出用端子において隣接する位置検出用端子の間に位置検出用プローブが接触する位置を適正な検査位置とする場合、位置検出プローブ間の導通の有無と、導通した場合の電気抵抗値とにより、端子部の位置が適正か否か、また導通した場合には、相対的な位置ずれ方向を判断することができる。
【０００９】
［適用例３］上記適用例の電気光学装置において、前記配線系統は、前記少なくとも２対の位置検出用端子間を繋ぐ同一の導電層にパターニングされた配線からなるとしてもよい。
これによれば、独立した配線により構成する場合に比べて、簡単な配線系統で端子部の位置が適正か否か判断可能な電気光学装置とすることができる。
【００１０】
［適用例４］上記適用例の電気光学装置において、前記位置検出用端子の末端は、櫛歯状に形成され前記一の方向に配列する複数の枝端子を有し、前記複数の枝端子は、前記枝端子間の前記電気抵抗値が段階的に変化するように形成されているとしてもよい。
これによれば、位置検出用プローブによって枝端子間の電気抵抗値を検出することにより、電気抵抗値が段階的に変化することから、位置検出用端子と位置検出用プローブとが入力端子が配列する一の方向において、いずれの方向に、どの程度ずれて接触しているかが分かる。すなわち、簡単な手法で端子部の位置をより正確に特定できる。
【００１１】
［適用例５］本適用例の電気光学装置の検査方法は、基板上に配置された複数の画素と、前記画素を駆動するための電気信号が入力される入力端子と、前記入力端子が前記基板の表面において一の方向に配列された端子部と、前記端子部に前記入力端子とともに前記一の方向に配列された少なくとも２対の位置検出用端子と、前記少なくとも２対の位置検出用端子間における電気抵抗値が異なる配線系統と、を備えた電気光学装置の検査方法であって、前記少なくとも２対の位置検出用端子に対応して設けられた一対の位置検出用プローブと、前記入力端子に対応して設けられた検査用プローブとを用い、前記一対の位置検出用プローブを前記端子部に接触させ、前記位置検出用プローブ間の導通の有無を検出する位置検出工程と、前記位置検出用プローブ間の導通が有と検出したときに、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を補正する位置補正工程と、前記位置検出用プローブ間の導通が無と検出したときに、前記検査用プローブを前記端子部に接触させて複数の前記画素を駆動して表示状態を検査する表示検査工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１２】
この方法によれば、位置検出工程では、位置検出用プローブ間の導通の有無を検出することにより、端子部が適正な検査位置に有るか否かを判別することができる。少なくとも２対の位置検出用端子間における電気抵抗値が異なっているので、位置検出用プローブ間が導通したときの電気抵抗値を検出すれば、入力端子と検査用プローブの相対的な位置関係を特定することができる。したがって、位置補正工程で端子部が適正な位置となるように電気光学装置の位置補正ができ、隣接する入力端子間での検査用プローブによる短絡を防止できる。すなわち、簡易な方法で入力端子に対して検査プローブを正しく接触させ、適正な表示検査を行うことができる電気光学装置の検査方法を提供することができる。
【００１３】
［適用例６］上記適用例の電気光学装置の検査方法において、前記位置検出用プローブ間の導通が有と検出したときの電気抵抗値により、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を特定する位置特定工程を備えることが好ましい。
この方法によれば、位置特定工程では、位置検出用プローブで隣接しない位置検出用端子間の電気抵抗値を検出することにより、端子部の適正な検査位置に対する相対的なずれ方向を瞬時に判別することができる。
【００１４】
［適用例７］上記適用例の電気光学装置の検査方法において、前記位置検出用端子の末端は、櫛歯状に形成され前記一の方向に配列する複数の枝端子を有し、前記複数の枝端子は、前記枝端子間の前記電気抵抗値が段階的に変化するように形成され、前記位置特定工程は、前記枝端子間の前記電気抵抗値により、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を特定するとしてもよい。
この方法によれば、位置検出用プローブを用いて検出された枝端子間の電気抵抗値により、端子部の位置ずれ方向に加えて、ずれ量を特定することができる。ゆえに、入力端子に対して検査プローブをより精度よく接触させ、適正な表示検査を行うことができる。
【００１５】
［適用例８］本適用例の電気光学装置の検査装置は、基板上に配置された複数の画素と、前記画素を駆動するための電気信号が入力される入力端子と、前記入力端子が前記基板の表面において一の方向に配列された端子部と、前記端子部に前記入力端子とともに前記一の方向に配列された少なくとも２対の位置検出用端子と、前記少なくとも２対の位置検出用端子間における電気抵抗値が異なる配線系統と、を備えた電気光学装置の検査装置であって、前記少なくとも２対の位置検出用端子に対応して設けられた一対の位置検出用プローブと、前記入力端子に対応して設けられた検査用プローブと、前記一対の位置検出用プローブを前記端子部に接触させたときの前記位置検出用プローブ間の導通の有無を検出する位置検出部と、前記位置検出部において前記導通が有と検出されたときに、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を補正する位置補正機構と、前記位置検出部において前記導通が無と検出されたときに、前記検査用プローブを前記端子部に接触させ、複数の前記画素を駆動する駆動信号を前記検査用プローブへ送出して、複数の前記画素を表示させる表示駆動部と、を備えたことを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、電気光学装置に設けられた少なくとも２対の位置検出用端子と一対の位置検出用プローブとを用いて、端子部の相対的な位置を特定し、位置補正機構により電気光学装置の位置を補正して、入力端子と検査用プローブとの相対的な位置を検査に適した状態に適正化することができる。したがって、隣接する入力端子間での検査用プローブによる短絡を防止することができる。すなわち、簡易な構成で適正な表示検査が可能な電気光学装置の検査装置を提供することが可能となる。
【００１７】
［適用例９］上記適用例の電気光学装置の検査装置において、前記位置検出部において前記導通が有と検出されたときの前記電気抵抗値により、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を特定する位置特定部を備え、前記位置補正機構は、前記位置特定部の特定結果に基づいて、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を補正することが好ましい。
この構成によれば、位置特定部は、端子部の検査に適した位置に対するずれ方向を特定することができ、入力端子に検査用プローブを正しい位置で接触させることができる。
【００１８】
［適用例１０］上記適用例の電気光学装置の検査装置において、前記位置検出用端子の末端は、櫛歯状に形成され前記一の方向に配列する複数の枝端子を有し、前記複数の枝端子は、前記枝端子間の前記電気抵抗値が段階的に変化するように形成され、前記位置特定部は、前記枝端子間の前記電気抵抗値により、前記入力端子に対する前記検査用プローブの相対的な位置を特定することがさらに好ましい。
この構成によれば、位置特定部は、端子部の検査に適した位置に対するずれ方向だけでなくずれ量も特定できるので、入力端子に検査用プローブを精度よく接触させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
＜電気光学装置＞
以下、本実施形態の電気光学装置としてアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を一例に挙げ、図１から図３を参照して説明する。
図１は液晶装置の概略構成を模式的に示す平面図、図２は液晶装置の電気的な構成を模式的に示す等価回路図、図３は液晶装置の端子部を示す概略拡大図である。
【００２０】
図１に示すように、液晶装置１００は、素子基板９１と、素子基板９１に対向して配置され、シール材５により貼り合わされたカラーフィルタ基板９２と、シール材５の内側に封入された液晶層４とを備えている。
【００２１】
液晶装置１００は、有効表示領域Ｖ内に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色のフィルタエレメントに対応した複数の画素Ｇを有している。複数の画素Ｇは同色の画素Ｇが液晶装置１００の縦方向（Ｙ軸方向）に配列するようにマトリクス状に配置されている。
【００２２】
素子基板９１には、各画素Ｇに対応するスイッチング素子としてＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子３０（図２参照）が設けられている。
【００２３】
カラーフィルタ基板９２との接合により、図面上において下方にはみ出した素子基板９１の端子部３１には、ＴＦＴ素子３０に電気的に接続する入力端子としての走査線３と信号線６とが端子部３１の一辺部に沿って配列している。
【００２４】
この場合、走査線３と信号線６とは、それぞれ等間隔で配列しており、説明上、入力端子３，６と呼ぶこともある。
【００２５】
端子部３１には、複数の入力端子３，６と同様に等間隔で配列する複数（４つ）の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４が設けられている。複数の入力端子３，６を挟んで、端子部の両側に２つずつの位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２と、位置検出用端子Ｔ３，Ｔ４とが並んでいる。これらの端子において、隣接する端子の間隔は、すべて同じである。
【００２６】
なお、端子部３１において、走査線３の配列間隔と、信号線６の配列間隔とが異なることも有り得るが、その場合には、複数の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４は、狭い方の配列間隔と略同等な間隔で配列させることを基本とする。
【００２７】
図１においては図示省略したが、液晶装置１００は、位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４間を電気的に接続する配線系統を有している。当該配線系統は、互いに隣合わない一対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３間を繋ぐ配線と、同じく互いに隣合わないもう一対の位置検出用端子Ｔ２，Ｔ４間を繋ぐ配線と、を少なくとも有している。これらの配線における電気抵抗値が異なることを特徴としている。詳しくは後述する。
【００２８】
次に、液晶装置１００の電気的な構成について、図２を参照して説明する。図２は、液晶装置の電気的な構成を模式的に示す等価回路図である。
【００２９】
図２に示すように、素子基板９１には、Ｓ１、Ｓ２、・・・、Ｓｎ−１、Ｓｎのアドレス番号に対応する複数の信号線６が、Ｙ方向に延在するとともにＸ方向に間隔をおいて形成されている。そして、Ｇ１、Ｇ２、・・・、Ｇｍ−１、Ｇｍのアドレス番号に対応する複数の走査線３が、Ｘ方向に延在するともにＹ方向に間隔をおいて形成されている。複数の信号線６と複数の走査線３とによってマトリクス状に区画された領域に各画素Ｇが設けられている。画素Ｇには、ソース、ゲート、およびドレインの各電極を有するＴＦＴ素子３０と、ＴＦＴ素子３０のドレインに電気的に接続された画素容量９ならびに画素電極１０とが、それぞれ設けられている。ＴＦＴ素子３０のソース側は、コンタクトホールなどを通じて、信号線６に電気的に接続されている。ＴＦＴ素子３０のゲート側は、コンタクトホールなどを通じて、走査線３に電気的に接続されている。ＴＦＴ素子３０のドレイン側は、画素電極１０に電気的に接続されている。
【００３０】
画素電極１０は、液晶層４を介してカラーフィルタ基板９２に設けられた共通電極ＣＯＭと対向している。
【００３１】
各信号線６および各走査線３は、ドライバＩＣ（図示省略）と電気的に接続され、ドライバＩＣ内に設けられたソース回路は、各信号線６の駆動を担うとともに、ドライバＩＣ内に設けられたゲート回路は、各走査線３の駆動を担う。
【００３２】
ドライバＩＣ内のゲート回路によって、Ｇ１、Ｇ２、・・・、Ｇｍ−１、Ｇｍの順に、走査線３が順次排他的に１本ずつ選択される。選択された走査線３には、選択電圧のゲート信号が供給される一方、他の非選択の走査線３には、非選択電圧のゲート信号が供給される。ドライバＩＣ内のソース回路は、選択された走査線３に位置する画素電極１０に対し、表示内容に応じたソース信号を、それぞれ対応する信号線６およびＴＦＴ素子３０を経由して供給する。このようにして、画素電極１０と共通電極ＣＯＭとの間において、液晶層４を駆動するための駆動信号が印加され、各画素Ｇの表示が行われる。
【００３３】
図３に示すように、端子部３１には、入力端子である走査線３および信号線６とともに、これらの端子とは電気的に接続されていない位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４が、一の方向であるＸ方向に配列されている。配列の順序は、位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２、入力端子である走査線３および信号線６、そして位置検出用端子Ｔ３，Ｔ４の順である。
【００３４】
各端子は、それぞれ等間隔で配列しており、その配置ピッチはＰ１である。以降、これを端子ピッチＰ１と呼ぶ。
【００３５】
図２の等価回路図にて説明したように、走査線３、信号線６にはそれぞれ駆動信号が印加されるため、電気的な抵抗成分により駆動信号が鈍ることを避けたい。したがって、できるだけ電気抵抗値が低くなるようなパターニングが要求される。図３において、入力端子３，６の端子ピッチと、位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２（位置検出用端子Ｔ３，Ｔ４）の端子ピッチは、同等のＰ１となっているが、実際には、入力端子３，６の導体部のＸ方向の幅が位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４のＸ方向の幅よりも広くなっている。言い換えれば、入力端子３，６間の隙間が位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２（位置検出用端子Ｔ３，Ｔ４）間の隙間よりも狭くなっている。それゆえに、後述する表示検査において検査用プローブを入力端子３，６にコンタクトさせるときは、入力端子３，６と検査用プローブのＸ方向における相対的な位置を正確に位置合わせする必要がある。検査用プローブが隣接する入力端子３，６に亘って接触すると、入力端子３，６間で短絡が生じ正しく表示が行えないばかりか、スイッチング素子としてのＴＦＴ素子３０の損傷に繋がる。
【００３６】
本実施形態では、位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２（位置検出用端子Ｔ３，Ｔ４）間の隙間は、この隙間に後述する位置検出用プローブが接触（位置）しても位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２（位置検出用端子Ｔ３，Ｔ４）間において短絡が生じない程度としている。言い換えれば、短絡が生じない程度の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の導体部の幅としている。
【００３７】
液晶装置１００の配線系統について、図４を参照して説明する。図４（ａ）は、本実施形態の配線系統を示す回路図であり、同図（ｂ）は変形例の配線系統を示す回路図である。
【００３８】
図４（ａ）に示すように、本実施形態における配線系統Ｌは、独立した配線Ｌ１３，Ｌ２４からなる。
一対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３間は、配線Ｌ１３で繋がれている。同じく、もう一対の位置検出用端子Ｔ２，Ｔ４間は、配線Ｌ２４で繋がれている。
ここで、配線Ｌ１３，Ｌ２４は、配線幅、配線長さ、または配線の厚さなどを調整することにより電気抵抗値が異なるように形成されている。このため、位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３間の電気抵抗値と、位置検出用端子Ｔ２，Ｔ４間の電気抵抗値は異なっている。例えば、前者の電気抵抗値をＲ１０、後者の電気抵抗値をＲ２０としたときには、Ｒ１０＞Ｒ２０、あるいはＲ１０＜Ｒ２０の関係となっている。位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の検出を考慮すると、Ｒ１０とＲ２０の差は、例えば、数倍など極力大きい方が望ましい。
【００３９】
このような配線系統Ｌは、必ずしも独立した配線Ｌ１３，Ｌ２４から構成される必要はなく、例えば、図４（ｂ）に示すように、同一の導電層にパターニングされた配線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５からなるとしてもよい。
一対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３間は、配線Ｌ１，Ｌ５，Ｌ３で繋がれている。位置検出用端子Ｔ２，Ｔ４間は、配線Ｌ２，Ｌ５，Ｌ４で繋がれている。
ここで、配線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５において、それぞれの配線幅、配線長さを調整することにより、一対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３間の電気抵抗値Ｒ１０と、もう一対の位置検出用端子Ｔ２，Ｔ４間の電気抵抗値Ｒ２０とを異ならせることは可能である。
【００４０】
図４（ｂ）に示すように、同一の導電層をパターニングすることにより配線系統Ｌを形成するほうが、独立した配線Ｌ１３，Ｌ２４に比べて、交差する位置に絶縁部分を設ける必要がないので配線形成が容易である。
【００４１】
本実施形態の液晶装置１００によれば、端子部３１に入力端子３，６の配列間隔と略同等な間隔でＸ方向に配列する位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４を備えているので、これを電気的に検出することにより、後述する表示検査において、適正な検査位置に液晶装置１００を配置することができる。
【００４２】
＜電気光学装置の検査装置＞
以下、本実施形態にかかる液晶装置１００の検査装置について、図５を参照して説明する。図５は、液晶装置の検査装置の構成を示す概略構成図である。
【００４３】
図５に示すように、液晶装置１００の検査装置２００は、検査用プローブ２０と、一対の位置検出用プローブ２２と、制御部５０と、位置補正機構６０とを備えている。
【００４４】
制御部５０は、位置検出部５１と、位置特定部５２と、位置補正機構制御部５３と、表示駆動部５４とを備えている。
【００４５】
検査用プローブ２０と一対の位置検出用プローブ２２におけるＸ方向の相対的な位置関係は、液晶装置１００における各入力端子３，６と一対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３の相対的な位置関係と同じである。
【００４６】
検査用プローブ２０と一対の位置検出用プローブ２２とは、それぞれ独立して端子部３１とコンタクト（接触）することができる構成となっている。
【００４７】
各検査用プローブ２０は、表示駆動部５４に電気的に接続されている。各位置検出用プローブ２２は、位置検出部５１に電気的に接続されている。また、位置検出部５１を介して位置特定部５２にも電気的に接続されている。
【００４８】
位置検出部５１は、一対の位置検出用プローブ２２を液晶装置１００の端子部３１に接触させる。そして、一対の位置検出用プローブ２２間の導通の有無を検出する。
【００４９】
位置特定部５２は、一対の位置検出用プローブ２２間の導通が有と検出されたとき、その電気抵抗値Ｒを測定する。
【００５０】
位置補正機構制御部５３は、位置特定部５２で得られた電気抵抗値Ｒの測定結果に基づいて、位置補正機構６０を駆動して液晶装置１００をＸ方向に移動させる。
【００５１】
表示駆動部５４は、検査用プローブ２０を液晶装置１００の端子部３１に接触させる。そして、検査用プローブ２０から、入力端子である信号線６または走査線３へ表示駆動信号を出力し、液晶装置１００の画素Ｇを表示駆動させる。
【００５２】
検査装置２００の動作については、液晶装置１００の検査方法において説明する。
【００５３】
＜電気光学装置の検査方法＞
電気光学装置としての液晶装置１００の検査方法について、図６および図７を参照して説明する。図６は液晶装置の検査方法を示すフローチャート、図７（ａ）〜（ｄ）は液晶装置の検査方法を示す概略平面図である。詳しくは、図７（ａ）〜（ｄ）は位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４に対する位置検出用プローブ２２の位置関係、および入力端子である信号線６または走査線３に対する検査用プローブ２０の位置関係を示したものである。
【００５４】
図６に示すように、液晶装置１００の検査方法は、一対の位置検出用プローブ２２を端子部３１に接触させる位置検出工程（ステップＳ１）と、接触させたことにより位置検出用プローブ２２間の導通の有無を判定（検出）する判定（検出）工程（ステップＳ２）と、を備えている。また、位置検出用プローブ２２間で導通が有と判定（検出）された場合には、その電気抵抗値Ｒを測定する位置特定工程（ステップＳ３）と、当該電気抵抗値Ｒの測定結果に基づいて位置補正機構６０を駆動し、位置検出用プローブ２２に対する液晶装置１００の相対的な位置を補正する位置補正工程（ステップＳ４）と、を備えている。また、判定工程（ステップＳ２）において、位置検出用プローブ２２間の導通が無と判定された場合に、検査用プローブ２０を端子部３１に接触させ複数の画素Ｇを駆動して表示状態を検査する表示検査工程（ステップＳ５）とを備えている。なお、位置補正工程（ステップＳ４）を行った場合には、再び位置検出工程（ステップＳ１）へ戻る。
【００５５】
位置検出工程（ステップＳ１）では、図７（ａ）に示すように、位置検出部５１は、一対の位置検出用プローブ２２を端子部３１に接触させる。液晶装置１００が検査装置２００において基準の検査位置にある場合には、一対の位置検出用プローブ２２の先端部（接触部）は、位置検出用端子Ｔ１と位置検出用端子Ｔ２の間、および位置検出用端子Ｔ３と位置検出用端子Ｔ４の間に接触する。したがって、判定工程（ステップＳ２）では、導通が「無」と判定されるので、表示検査工程（ステップＳ５）に進んで表示検査を行う。表示検査工程（ステップＳ５）では、図７（ｂ）に示すように、入力端子３，６に対する検査用プローブ２０の相対的な位置は、合致している。したがって、端子部３１に検査用プローブ２０を接触させても、入力端子間において短絡することはない。ゆえに、入力端子３，６には駆動信号が正しく入力され、適正な表示検査を行うことができる。
【００５６】
例えば、図７（ｃ）に示すように、位置検出用端子Ｔ１〜Ｔ４に対して一対の位置検出用プローブ２２の相対的な位置がずれている場合、ステップＳ１で位置検出用プローブ２２を端子部３１に接触させると、一対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３と接触して、ステップＳ２では、導通が「有」と判定される。このときの入力端子３，６に対する検査用プローブ２０の相対的な位置関係は、図７（ｄ）に示すように、Ｘ方向においてずれた状態にある。したがって、このまま表示検査（ステップＳ５）を行うと、検査用プローブ２０の先端部が隣接する入力端子３，６に跨って接触するので、短絡が生じ、最悪の場合には、ＴＦＴ素子３０が電気的に破壊されるおそれがある。
【００５７】
そこで、判定工程（ステップＳ２）において、位置検出用プローブ２２間に導通が「有」と判定された場合、位置特定工程（ステップＳ３）に進む。位置特定工程（ステップＳ３）では、位置検出用プローブ２２間の電気抵抗値を測定する。図７（ｃ）に示すように、測定結果は、接触抵抗を含むものの、ほぼ一対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３間の電気抵抗値Ｒ１０となる。したがって、基準の検査位置に対して液晶装置１００が相対的にずれていることが判明するとともに、Ｘ方向においてどちらの方向にずれているかが分かる。図７（ｃ）に示されている状態は、Ｘ方向において液晶装置１００が右側にずれていることが分かる。
【００５８】
同様にして位置検出用プローブ２２間の電気抵抗値の測定結果が、ほぼＲ２０となった場合には、一対の位置検出用プローブ２２がもう一対の位置検出用端子Ｔ２，Ｔ４に接触していることを示すので、Ｘ方向において液晶装置１００が左側にずれていることが分かる。すなわち、液晶装置１００の相対的な位置が特定される。
【００５９】
続いて行われる位置補正工程（ステップＳ４）では、前述したような位置特定工程での測定結果、すなわち、液晶装置１００の相対的な位置の特定結果に基づいて、位置補正機構制御部５３は、位置補正機構６０を駆動し、液晶装置１００をＸ方向において相対移動させる。その際の移動量は、左または右に少なくとも端子ピッチＰ１の半分程度移動させればよい。
【００６０】
以上により、再び位置検出工程（ステップＳ１）、判定工程（ステップＳ２）を実施しても、ほぼ導通が「無」の結果を導くことができ、スムーズに表示検査工程に移行することができる。
【００６１】
本実施形態の液晶装置１００の検査装置２００を用いた検査方法によれば、入力端子３，６に対して正しく検査用プローブ２０を接触させ、表示検査工程における入力端子３，６間の検査用プローブ２０による短絡を確実に防ぎ、適正な表示検査を行うことができる。ゆえに、検査用プローブ２０による短絡に起因した、ＴＦＴ素子３０の電気的な損傷を防ぐことができる。
【００６２】
上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例について説明する。
【００６３】
（変形例１）上記実施形態の液晶装置１００において、位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の形状およびその配置は、これに限定されない。図８（ａ）および（ｂ）は変形例の位置検出用端子を示す概略平面図である。
【００６４】
図８（ａ）に示すように、変形例の位置検出用端子Ｔ１の末端は、櫛歯状に形成され一の方向であるＸ方向に配列した複数の枝端子ｔ１１，ｔ１２，ｔ１３，ｔ１４を有している。枝端子ｔ１１，ｔ１２，ｔ１３，ｔ１４は等しい端子ピッチＰ２で分岐している。また、Ｘ方向における幅はほぼ同一であるが、Ｙ方向における長さは、それぞれ異なっている。具体的には、右側から枝端子ｔ１１の長さはＤ１、枝端子ｔ１２の長さはＤ２、枝端子ｔ１３の長さはＤ３、枝端子ｔ１４の長さはＤ４となっている。その大小関係は、Ｘ方向に沿って段階的にＤ１＞Ｄ２＞Ｄ３＞Ｄ４となっている。他の位置検出用端子Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の末端も同様に形成されている。
このような液晶装置１００の検査方法では、例えば、図８（ｂ）に示すように、位置検出工程で、一対の位置検出用プローブ２２と端子部３１とを接触させると、一対の位置検出用プローブ２２は、一対の位置検出用端子Ｔ２，Ｔ４に接触し、枝端子ｔ１４と枝端子ｔ２４とを介して導通が得られる。したがって、枝端子ｔ１４，ｔ２４の長さＤ４に対応した電気抵抗値が検出される。ゆえに、端子ピッチＰ１よりも狭い端子ピッチＰ２に想到する精度で、本来の検査位置に対する液晶装置１００の相対的な位置を特定することができる。すなわち、より精度よく、入力端子３，６と検査用プローブ２０とを位置決めして表示検査を行うことができる。
本変形例では、枝端子ｔ１１〜ｔ１４の長さを相違させる一例を示したが、幅、または厚さを相違させる例であってもよい。
【００６５】
（変形例２）上記実施形態の液晶装置１００における配線系統Ｌは、これに限定されない。図９（ａ）および（ｂ）は、他の配線系統を示す回路図である。詳しくは、図９（ａ）は独立した配線からなる配線系統の回路図であり、同図（ｂ）は同一の導電層をパターニングした配線からなる配線系統の回路図である。
【００６６】
図９（ａ）に示すように、配線系統Ｌは、独立した配線Ｌ１０，Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ２０，Ｌ２１，Ｌ２２からなる。したがって、位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４はそれぞれ３本に分割されている。言い換えれば配線系統Ｌによって、６対の位置検出用端子が構成されている。
そして、配線Ｌ１０，Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ２０，Ｌ２１，Ｌ２２を、それぞれ配線幅、配線長さ、または厚さを調整することより電気抵抗値が異なるように形成してもよい。このようにすれば、必然的に位置検出の精度を向上させることができる。
【００６７】
図９（ｂ）に示すように、配線系統Ｌは、同一の導電層にパターニングされた配線Ｌ１５，Ｌ１６，Ｌ１７，Ｌ２５，Ｌ２６，Ｌ２７，Ｌ５０，Ｌ３５，Ｌ３６，Ｌ３７，Ｌ４５，Ｌ４６，Ｌ４７からなる。
一対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３は、それぞれ３本に分割され、配線Ｌ１５，Ｌ５０，Ｌ３５、または配線Ｌ１６，Ｌ５０，Ｌ３６、または配線Ｌ１７，Ｌ５０，Ｌ３７で繋がれた場合の電気抵抗値が検出される。
同様にもう一対の位置検出用端子Ｔ２，Ｔ４は、それぞれ３本に分割され、配線Ｌ２５，Ｌ５０，Ｌ４５、または配線Ｌ２６，Ｌ５０，Ｌ４６、または配線Ｌ２７，Ｌ５０，Ｌ４７で繋がれた場合の電気抵抗値が検出される。
そこで、これらの配線の組み合わせによる電気抵抗値が異なるように、配線Ｌ１５，Ｌ１６，Ｌ１７，Ｌ２５，Ｌ２６，Ｌ２７，Ｌ５０，Ｌ３５，Ｌ３６，Ｌ３７，Ｌ４５，Ｌ４６，Ｌ４７を形成してもよい。これによれば、同図（ａ）における位置検出の精度を、簡略化した構造で得ることができる。
【００６８】
（変形例３）上記実施形態の液晶装置１００において、位置検出用端子の数および配置は、これに限定されない。図１０（ａ）は変形例の端子部における位置検出用端子の配置を示す概略図、同図（ｂ）は配線系統を示す回路図である。例えば、図１０（ａ）に示すように、３つの位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３を端子部３１の一方の端（Ｘ方向における）に配置してもよい。この場合、位置検出用端子Ｔ１の導体部の幅は、他の位置検出用端子Ｔ２，Ｔ３に比べて広く（倍程度）しておく。位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３間の隙間は同じであり、位置検出用端子Ｔ２，Ｔ３の端子ピッチと入力端子３，６間の端子ピッチは、Ｐ１とする。
同図（ｂ）に示すように、一対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２間は、配線Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８で結び、もう一対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３間は、配線Ｌ６，Ｌ９で結ぶ。そして、位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２間の電気抵抗値と位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３間の電気抵抗値とが異なるように各配線Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８，Ｌ９を形成する。すなわち、複数の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３のうちの位置検出用端子Ｔ１を共用する２対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２および位置検出用端子Ｔ１，Ｔ３の構成となっている。
このようにすれば、一対の位置検出用プローブ２２が端子部３１に接触して、導通が得られない場合には、同図（ａ）に示すように、入力端子３，６に対する検査用プローブ２０の相対的な位置は、Ｘ方向において合致することになる。したがって、上記実施形態と同様な作用・効果を奏し、表示検査工程において、適正な表示検査を行うことができる。
また、端子部３１において入力端子３，６を跨いで２対の位置検出用端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３を配置する必要がないので、他の配線に影響を及ぼさずに配線系統Ｌを構成することができる。
【００６９】
（変形例４）上記実施形態の液晶装置１００における等価回路は、これに限定されない。電気的な損傷を受け難いように、ＴＦＴ素子３０を複数設けた回路構成としてもよい。
【００７０】
（変形例５）上記実施形態の液晶装置１００における複数の画素Ｇの配置は、これに限定されない。例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３色に他の色を加えた多色構成としてもよい。
【００７１】
（変形例６）上記実施形態における電気光学装置は、アクティブマトリクス型の液晶装置１００に限定されない。例えば、パッシブマトリクス型の液晶装置やパッシブマトリクス型またはアクティブマトリクス型の有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子を備えた有機ＥＬ装置においても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】液晶装置の概略構成を模式的に示す平面図。
【図２】液晶装置の電気的な構成を模式的に示す等価回路図。
【図３】液晶装置の端子部を示す概略拡大図。
【図４】（ａ）は実施形態の配線系統を示す回路図、（ｂ）は変形例の配線系統を示す回路図。
【図５】液晶装置の検査装置の構成を示す概略構成図。
【図６】液晶装置の検査方法を示すフローチャート。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は液晶装置の検査方法を示す概略平面図。
【図８】（ａ）および（ｂ）は変形例の位置検出用端子を示す概略平面図。
【図９】（ａ）および（ｂ）は他の配線系統を示す回路図。
【図１０】（ａ）は変形例の端子部における位置検出用端子の配置を示す概略図、（ｂ）は配線系統を示す回路図。
【符号の説明】
【００７３】
３，６…入力端子、２０…検査用プローブ、２２…位置検出用プローブ、３１…端子部、５１…位置検出部、５２…位置特定部、５４…表示駆動部、６０…位置補正機構、９１…基板としての素子基板、１００…電気光学装置としての液晶装置、２００…検査装置、Ｇ…画素、Ｌ…配線系統、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５…同一の導電層をパターニングした配線、Ｌ１３，Ｌ２４…独立した配線、ｔ１１，ｔ１２，ｔ１３，ｔ１４，ｔ２４…枝端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009198939.tif 000009
【図８】
2009198939.tif 000010
【図９】
2009198939.tif 000011
【図１０】
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