(57)【要約】      （修正有）【課題】耐久性に優れた金型を用いて成型素材にノズルを形成する。また、高い形状再現性が得られ、液滴の吐出量にバラツキが少ない液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】金型２１１にストレート部２２１を形成して液滴吐出ヘッドを形成する工程に代えて、ストレート部を異方性エッチングにより形成する工程を用いる。即ち、加工する技術そのものが非常に難易度の高い細いストレート部を備えた金型を作る必要がなくなる。そのため、耐久性に優れた金型を用いて成型素材にノズルを形成することができる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成型素材の第１面に、金型を押し当て侵入口部を形成する工程と、
金型を離型する工程と、
平面視にて、前記侵入口部の内側に開口部が形成された保護部材を前記成型素材の前記第１面と対向する第２面に形成する工程と、
前記保護部材をマスクとした異方性エッチングにより前記成型素材を貫通させ、ストレート部を形成する工程と、を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記保護部材は、前記成型素材と比較して高い撥液性を有する材質が用いられた層を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
成型素材の第１面に、金型を押し当て侵入口部を形成する工程と、
金型を離型する工程と、
平面視にて、前記侵入口部の内側に開口部が形成された保護部材を前記成型素材の前記第１面に形成する工程と、
前記保護部材をマスクとした異方性エッチングにより前記成型素材を貫通させ、ストレート部を形成する工程と、を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記金型を押し当てる工程では、前記成型素材は可塑性を有する状態であることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記成型素材はガラスまたは、熱可塑性樹脂が用いられ、前記金型を押し当てる工程は前記成型素材を加熱し軟化させた状態で行われることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記金型を離型する工程は、前記ガラス及び前記熱可塑性樹脂が加熱し軟化されている状態で行われることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記成型素材に金属を用いることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記金型は前記成型素材に侵入する領域内では、平面視にて、任意の位置での断面形状の輪郭線が、当該位置よりも先端寄りの全ての位置での断面形状の輪郭線と重なる、または外側に位置することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記金型は、円柱形状、テーパ形状、多段形状、お椀型形状、ラッパ形状、曲面形状、多面体形状またはこれらの組合せ形状を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力発生室内を加圧することで機能液やインクなどの液体を、ノズルから液滴として吐出させる液滴吐出ヘッドは、液滴吐出装置に搭載され、画像の印刷や、電気配線パターンの形成、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子の形成など、多岐に渡って応用されてきている。そして最近では、描画品質を向上させるため、より微細な形状を有する液滴吐出ヘッドの製造を可能とする製造方法の開発が進められている。液滴吐出ヘッドの製造方法としては、例えば、特許文献１に記載されるような方法が知られている。この製造方法は、ガラス基板に５５０℃程度の熱を加え軟化させた状態でストレート部を含む金型をガラス基板の第１面に押し当て、ガラス基板を軟化させた状態で金型を離型する工程を行う。次に、ガラス基板を冷却し、第１面に対向する第２面を研磨し、ストレート部を露出させて液滴吐出ヘッドを形成する製造方法である。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−６７０４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年の微細化要求に対応するには、ストレート部の直径を、例えば１０μｍ程度に制御する必要がある。このような微細寸法を有し、かつ寸法精度高く超硬材を加工する技術は非常に難易度の高い技術であり、このような微細金型を得ることそのものが困難である。
【０００５】
また、ガラス基板を軟化させた状態で金型を引き抜いた場合、冷却の過程での寸法変化が発生し、ノズルの構造が不均一に変形する。特に、ストレート部での変形は液滴吐出量を変動させる要因となり、描画品質を低下させる大きな要因となる。
【０００６】
ここで、冷却の過程での寸法変化を避けるべく、ガラス基板を冷却した後に金型を離型する場合、ガラス基板が金型に噛み付いた状態となり、特に微細寸法に加工された金型のストレート部が容易に折れてしまい、加工そのものが不可能なものとなる。
【０００７】
さらに、第２面を研磨してストレート部を開孔させる工程では、研磨量の管理が難しく、ストレート部の長さにバラツキが発生する。ストレート部の長さは液滴吐出性能に大きく影響するため、このバラツキは直接描画品質の低下を引き起こすという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出ヘッドの製造方法は、成型素材の第１面に、金型を押し当て侵入口部を形成する工程と、金型を離型する工程と、平面視にて、前記侵入口部の内側に開口部が形成された保護部材を前記成型素材の前記第１面と対向する第２面に形成する工程と、前記保護部材をマスクとした異方性エッチングにより前記成型素材を貫通させ、ストレート部を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１０】
これによれば、金型にストレート部を形成して液滴吐出ヘッドを形成する工程に代えて、ストレート部を異方性エッチングにより形成する工程を用いている。即ち、弱点となる細いストレート部を備えた金型を作る必要がなくなる。そのため、耐久性に優れ、容易に形成することが可能な金型を用いて成型素材にノズルを形成することができる。
また、ストレート部を異方性エッチングで貫通形成させるため、高い形状再現性が得られ、液滴の吐出量にバラツキが少ない液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。
【００１１】
［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記保護部材は、前記成型素材と比較して高い撥液性を有する材質が用いられた層を含むことを特徴とする。
【００１２】
上記した適用例によれば、液滴吐出ヘッドの吐出側の面には、成型素材と比較して高い撥液性を有する材質が用いられている。そのため、液滴吐出を行う場合に成型素材の第２面に付着する液滴をふき取る工程を成型素材を剥き出しで用いる場合よりも確実に行え、吐出側の面の汚染が抑えられる。また、撥液性を有する材質に形成された穴を用いて、自己整合的にストレート部を形成することが可能となるため、吐出側のストレート部周辺にも撥液性を有する材質を配置することができる。そのため、ストレート部周辺の汚染も抑えることができ、液滴吐出をさせる場合に障害となる汚染を取り除くことができる。
【００１３】
［適用例３］本適用例にかかる液滴吐出ヘッドの製造方法は、成型素材の第１面に、金型を押し当て侵入口部を形成する工程と、金型を離型する工程と、平面視にて、前記侵入口部の内側に開口部が形成された保護部材を前記成型素材の前記第１面に形成する工程と、前記保護部材をマスクとした異方性エッチングにより前記成型素材を貫通させ、ストレート部を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１４】
これによれば、金型にストレート部を形成して液滴吐出ヘッドを形成する方法に代えて、ストレート部を異方性エッチングにより形成する工程を用いている。即ち、弱点となる細いストレート部を備えた金型を作る必要がなくなる。そのため、耐久性に優れ、容易に形成することが可能な金型を用いて成型素材にノズルを形成することができる。
加えて、金型が押し付けられた領域をアライメントパターンとして用いて、アライメントを行うことが可能となる。そのため、アライメント精度を高く保つことができ、より液滴吐出量のバラツキが少ない液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。
【００１５】
［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの製造方法は、前記金型を押し当てる工程では、前記成型素材は可塑性を有する状態であることを特徴とする。
【００１６】
上記した適用例によれば、金型を押し当てる工程では、成型素材は可塑性を有した状態で金型に押し当てられる。そのため、金型の形状を転写し、保持することができるため、金型による成型が可能となる。
【００１７】
［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記成型素材はガラスまたは、熱可塑性樹脂が用いられ、前記金型を押し当てる工程は前記成型素材を加熱し軟化させた状態で行われることを特徴とする。
【００１８】
上記した適用例によれば、ガラスや熱可塑性樹脂は、加熱により容易に軟化する。そのため金型による成型が容易である。加えて、室温に戻すことで強固な状態に戻るため、液滴吐出の圧力を受けても歪みの発生が抑えられる。即ち、容易な工程で形成され、かつ強固な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。
【００１９】
［適用例６］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記金型を離型する工程は、前記ガラス及び前記熱可塑性樹脂が加熱し軟化されている状態で行われることを特徴とする。
【００２０】
上記した適用例によれば、ガラスや熱可塑性樹脂を、加熱により容易に軟化された状態で金型が引き抜かれる。そのため、金型に印加される応力を抑えた状態で金型が引き抜かれるため、金型の破損を抑えることができる。また、軟化した成型素材を冷却することで形状に若干の歪みが発生しても、ストレート部はその歪みの影響を受けることなく形成されるため、液滴の吐出量のバラツキを抑えることができる。
【００２１】
［適用例７］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの製造方法は、前記成型素材に金属を用いることを特徴とする。
【００２２】
上記した適用例によれば、金属は室温でも可塑性を有している。そのため、加温することなく加工することができる。また、弾性を有しているため、薄層形状に加工された場合においても破損しにくく、割れや欠けによる歩留まり低下を防ぐことができ、高い生産性を持つ液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。
【００２３】
［適用例８］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記金型は前記成型素材に侵入する領域内では、平面視にて、任意の位置での断面形状の輪郭線が、当該位置よりも先端寄りの全ての位置での断面形状の輪郭線と重なる、または外側に位置することを特徴とする。
【００２４】
上記した適用例によれば、金型は、成型素材に侵入する領域内では、金型の先端から根元に向けて、断面形状の輪郭線は重なるか、或いは外側に位置している。即ち、どの領域においても金型を離型する際に引っかかる部分は発生しない。そのため、金型の引き抜きを容易に行うことができる。
【００２５】
［適用例９］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記金型は、円柱形状、テーパ形状、多段形状、お椀型形状、ラッパ形状、曲面形状、多面体形状またはこれらの組合せ形状を有することを特徴とする。
【００２６】
上記した適用例によれば、液滴吐出ヘッドの形状が上記した形状を取ることとなる。これらのパターン、またはこれらのパターンの組み合わせを用いることでメニスカスの乱れを抑制し、液滴の高速吐出を可能とする液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
（第１の実施形態：第２面から異方性エッチングを行う液滴吐出ヘッドの製造方法）
以下、本実施形態について図面を用いて説明する。図１は本実施形態にかかる液滴吐出ヘッドを具備したインクジェットプリンタ１０の概略図を示すものである。また、図中吹き出し部は、後述するキャリッジ２０を白抜き矢印の方向から見たときの模式図である。なお、説明の便宜上、キャリッジ２０を基準として、この白抜き矢印の方向を正面方向とし、横方向をそれぞれ左右側面方向と呼ぶこととする。また、印刷用紙２５の方向を下方向、その反対方向を上方向として以降説明する。
【００２８】
このインクジェットプリンタ１０は、液体としてのＹ（イエロー）、Ｍ（マゼンタ）、Ｃ（シアン）、Ｋ（ブラック）の各色インクがそれぞれ収納されたインクカートリッジ１１，１２，１３，１４がキャリッジ２０に装着される。そして、各色インクに対応したそれぞれ４つの液滴吐出器１１０，１２０，１３０，１４０がキャリッジ２０の下方向に設けられ、これらの液滴吐出器からインク滴を吐出して、印刷用紙２５に所定の画像などを印刷するものである。
【００２９】
キャリッジ２０は、キャリッジベルト４１に固定され、キャリッジベルト４１がキャリッジモータ４０によって駆動されるのに伴って、フレーム１７に固定されたガイド２１に沿って図面左右方向（主走査方向）に移動する。このとき、各色インクを吐出するため液滴吐出器１１０，１２０，１３０，１４０に、主走査方向に対して直交する方向に直線状に穿設された複数の吐出口からなる吐出口列から、印刷画像に相応した所定量のインク滴が吐出される。また印刷用紙２５は、プラテン２８によって裏面から支持されつつ、フレーム１７に固定された駆動モータ２６により駆動される図示しない紙送りローラーなどによって、図面上下方向に所定量ずつ移動する。こうして、印刷画像に相応した所定量のインク滴が、印刷用紙２５全体に吐出されることによって画像が形成される。
【００３０】
液滴吐出器１１０，１２０，１３０，１４０について図２を用いて説明する。なお、液滴吐出器１１０，１２０，１３０，１４０は全て同じ構造を有していることから、代表して、液滴吐出器１１０について以降説明する。
【００３１】
図２は、液滴吐出器１１０の構成を示す三面図で、（ａ）は上面図、（ｂ）は右側方図、（ｃ）は下面図、をそれぞれ示している。本実施形態の液滴吐出器について、インクの流路に沿ってその構成を説明する。
【００３２】
まず、図２（ａ）に示すように、開口部となるインク流入口１１１ａが設けられた供給流路形成部材１１１に、図示しないインクカートリッジから供給されたインクが流入する。そして、供給流路形成部材１１１に流入したインクは、内部に形成された供給流路（以降、「リザーバ」と称す）１１１ｃを通って、図中二点鎖線の矢印で示すように、連通孔１１３ａと連通孔１１３ｂへ流れる。
【００３３】
リザーバ１１１ｃは、図２（ｂ）に示すように、供給流路形成部材１１１と薄膜材１１２と連通板１１３とによって囲まれて形成され、連通孔１１３ａ，１１３ｂは連通板１１３に貫通開口されている。連通孔１１３ａに流入したインクは、図２（ｂ）に示すように、圧力室形成部材１１４に形成された圧力室１１４ａに流入する。そして、圧力室１１４ａに流入したインクは、圧電素子１１７の変形駆動によって変位する振動板１１６によって加圧され、液滴吐出ヘッド１１５の構成要素となる吐出口１１８ａからインク滴として吐出される。なお、図２（ｂ）では省略しているが、連通孔１１３ｂに流入したインクも、図中裏面側となる左側面において圧力室形成部材１１４に形成された圧力室（図示せず）にて同様に加圧され、図２（ｃ）に示すように液滴吐出ヘッド１１５に形成された吐出口１１８ｂから、同じくインク滴として吐出される。
【００３４】
供給流路形成部材１１１、連通板１１３、圧力室形成部材１１４、液滴吐出ヘッド１１５は、それぞれ金属板（本実施形態ではステンレス鋼板）が用いられている。そして、液滴吐出ヘッド１１５にはガラスが用いられており、接着剤や溶着などによって互いに積層固着されて形成されている。薄膜材１１２は、インク滴の吐出動作などによってリザーバ１１１ｃに生ずるインクの振動バランスをとるために、可撓性を有する樹脂製の薄板（本実施形態ではＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド樹脂））からなり、供給流路形成部材１１１の上面に、接着または溶着によって固定されている。
【００３５】
また、振動板１１６はセラミック板（本実施形態ではジルコニア板）からなり、図２（ｂ）に示すように、連通板１１３、圧力室形成部材１１４、液滴吐出ヘッド１１５のそれぞれ左右の側壁面に接着固定されている。そして、同じく図２（ｂ）に示すように、振動板１１６の表面には、圧力室１１４ａのインクを加圧するための圧電素子１１７が貼り付けられている。圧電素子１１７は、圧力室１１４ａの幅（図面左右方向）よりも狭い幅で、圧力室１１４ａの長手方向（図面上下方向）に長い形状を有するＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などの電歪特性を有する圧電材料の薄板からなり、電圧を印加すると幅方向において湾曲するように構成されている。そして、図示しない電極が圧電素子１１７に接続形成され、所定の駆動信号が同じく図示しない結線部材を介して電極に印加されることによって圧電素子１１７が湾曲し、もって振動板１１６を変形させて圧力室１１４ａのインクを加圧するように形成されている。
【００３６】
液滴吐出ヘッド１１５は、図３（ａ），（ｂ）に示すように、侵入口部２２０と、ストレート部２２１とを組み合わせた形状を有している。図３（ａ）は液滴吐出ヘッド１１５の平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図である。
【００３７】
以下、液滴吐出ヘッド１１５の製造方法について説明する。図４（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は液滴吐出ヘッド１１５の製造工程を示す工程断面図である。
【００３８】
まず、工程１として、低融点ガラスを用いた成型素材としての基板２１０を用意する。基板２１０の厚みは、例えば５０μｍ程度とする。
【００３９】
次に，工程２として、基板２１０を５００〜６００℃程度に昇温し、軟化させる。
【００４０】
次に、工程３として、軟化した基板２１０の第１面に金型２１１を押し付け、塑性変形させる。ここまでの工程を終了させた工程断面図を図４（ａ）に示す。
【００４１】
次に、工程４として、基板温度を保った状態で、金型２１１を基板２１０から離すことで、侵入口部２２０が形成される。ここまでの工程を終了した工程断面図を図４（ｂ）に示す。基板２１０の温度を保った状態で金型２１１を基板２１０から離すことで、金型２１１が基板２１０に噛み付き、金型２１１が破壊される現象を抑制することができる。
【００４２】
次に、工程５として、基板２１０を放冷し、室温近傍まで冷却する。この工程で若干の寸法変化は生じるが、ストレート部２２１の寸法変化ほど大きな影響を与えることがないため、冷却に伴う寸法変化は実用上無視することができる。
【００４３】
次に、工程６として、基板２１０の第１面と対向する第２面に、平面視にて侵入口部２２０の内側に開口部２３１が開口された保護部材としてのフォトレジスト２３０を形成する。開口部２３１の直径は、例えば１０μｍ程度である。基板２１０にガラスを用いている本実施形態では、第１面に位置する侵入口部２２０が基板２１０を通してその位置を確認できるため、高いアライメント精度を得ることができる。
【００４４】
次に、工程７として、ＣＦ4などのガスを用いて（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｃｙｃｌｏｔｒｏｎ  Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ：電子サイクロトロン共鳴）プラズマエッチング装置を用いてフォトレジスト２３０をマスクとして異方性エッチングを行い、ストレート部２２１を形成する。ここまでの工程を終了した工程断面図を図４（ｃ）に示す。
【００４５】
次に、工程８としてフォトレジスト２３０を剥離して液滴吐出ヘッド１１５が形成される。ここまでの工程を終了した工程断面図を図４（ｄ）に示す。
【００４６】
（効果）
以上の工程を経て、液滴吐出ヘッド１１５を得ることで、金型２１１に直径１０μｍ程度の微細寸法を有する領域を形成する必要が無くなる。そのため、金型２１１の製造を行う場合に、極めて難易度が高く、しかも脆弱で若干の応力が印加されることで破壊されるストレート部を形成する必要がなくなるため、信頼性、耐久性に優れた金型２１１を用いて液滴吐出ヘッド１１５の製造方法を適用することが可能となる。
【００４７】
（第１の実施形態についての変形例）
以下、第１の実施形態についての変形例について説明する。
【００４８】
（変形例１）第１の実施形態では、基板２１０に低融点ガラスを用いた例について説明したが、これは金型２１１に超硬材を用いる場合、室温で可塑性を有するアルミニウムやステンレスなどの金属を用いても良い。この場合、一例としてアルミニウムを例に取ると、異方性エッチングに塩素系ガスを用いたＥＣＲプラズマエッチング装置を用いることができる。また、ステンレスを用いる場合には、異方性のドライエッチングにはＥＣＲプラズマエッチング装置を用いてハロゲン系のガスを用いることができる。金属を用いた場合には、ガラスに比べ脆性が小さいことから、加工途中での基板２１０の割れや、欠けの発生頻度を低減することが可能となる。また、昇温、降温過程が不要となるため加工に必要な時間を短縮することが可能となり短時間で加工を施すことが可能となる。
【００４９】
（変形例２）また、基板２１０に熱可塑性を有するプラスチックを用いても良く、ポリカーボネートを例に取る場合には、異方性エッチングに酸素などを用いてＥＣＲプラズマエッチング装置を用いても良い。そして、この場合には、１５０〜２００℃程度の加熱で軟化するため、ガラスを用いた場合と同様に加熱軟化させて処理できる。また、熱軟化性ポリイミドを用いても良い。この場合には、２００〜２５０℃程度の加熱で軟化するため、ガラスを用いた場合と同様に加熱軟化させて処理できる。ここで、一般的なプラスチックに対して異方性エッチングを行う場合には酸素や希ガス、あるいはその混合物を用いてＥＣＲプラズマエッチング装置を用いることで、ほとんどの場合対応することが可能である。
【００５０】
（変形例３）また、フォトレジスト２３０を保護層として形成しているが、この製造方法としては、スピンコート法を用い、その後、露光、現像することで形成することができる。また、液滴吐出装置などを用いて、必要な部分にのみフォトレジストを供給することでパターンを形成しても良い。この場合には、パターニング工程で生じる廃液の発生をなくすことが可能となり、廃棄物の発生を抑えてマスクを形成することができる。また、工程数を減らすことが可能となるため、製造に必要とする時間と費用を削減することが可能となる。また、この場合には感光性を持たないレジストを用いても良く、プロセスの自由度を向上させることができる。
【００５１】
（変形例４）また、フォトレジスト２３０への腐蝕性が強く、フォトレジスト２３０がエッチング工程に耐えない場合には、酸化シリコン層や窒化シリコン層を適宜用いて選択比を上げるハードマスクの手法を用いても良い。
【００５２】
（変形例５）また、特に基板２１０の第２面にハードマスクを形成する場合には、ハードマスクにニッケルテフロン（登録商標）など、より撥液性に優れた材質を用いても良く、液滴吐出ヘッド１１５の吐出口近傍に付着する汚染物質の除去が容易となる。さらに、ハードマスクを除去する工程を省略できることから、製造工程を短縮することができる。また、この場合にアミノ系材料を含む液体中でプライマー処理を施した後、無電界めっきの手法を用いることも好適である。また、基板２１０にアルミニウムやステンレスを用いる場合には、表面酸化層を酸性の液体でライトエッチして除去した後、プライマー処理を行うことも好適である。
【００５３】
（変形例６）金型２１１を基板２１０に侵入する領域内では、任意の位置での断面形状の輪郭線が、当該位置よりも金型２１１の先端寄りの全ての位置での断面形状の輪郭線と重なる、または外側に位置する構造を用いることが好適である。即ち、金型２１１を離型する工程で引っかからない形状を有する金型２１１を用いることで、金型２１１を離型する場合での損傷を抑制することが可能となる。ここでは、お椀型形状を有する金型２１１を用いているが、金型２１１の形状としては、お椀型形状に代えて、円柱形状、多段形状、テーパ形状、ラッパ形状を用いても良い。また、これらの組合せ形状や、金型２１１を離型する工程で引っかからない形状を有する曲面形状、多面体形状、または、これらの組合せ形状を用いることが可能であり、例えばメニスカスがより安定する形状を選択することができ、より高い周波数で液滴を吐出することが可能となる。
【００５４】
（変形例７）基板２１０として、低融点ガラスに代えて、重合途中で成型可能な状態にあるプラスチックを用いても良い。この場合、ある程度硬化させ、流動が抑えられた状態で金型２１１を押し付けて変形させ、離型させた後、硬化処理を行うことが好適である。この場合、加熱工程を用いないため、基板２１０の昇温／降温に必要とする処理時間が不要となる。そのため、短い時間で加工することが可能となる。また、熱可塑性プラスチックに限定される必要がなくなるため、例えばエポキシ樹脂など、硬化後の特性に優れたプラスチックを用いることが可能となる。なお、この場合には金型２１１にポリエチレンやフッ素系樹脂をコーティングしたものを用いると、完全硬化前の樹脂の金型への付着を防げるため、好適である。
【００５５】
（第２の実施形態：第１面から異方性エッチングを行う液滴吐出ヘッドの製造方法）
以下、第２の実施形態について図面を用いて説明する。図５（ａ），（ｂ）は第２の実施形態を説明するための工程断面図である。この製造方法は第１の実施形態と類似した工程を用いて行われていることから、類似した部分については重複を避けるよう、前述の工程名を記して説明を行う。まず、工程１，２，３，４，５までは同じ工程を行う。
【００５６】
次に、工程６ａとして、基板２１０の第１面に、平面視にて侵入口部２２０の内側に開口部２３１ａが開口されたフォトレジスト２３０ａを形成する。開口部２３１ａの直径は、例えば１０μｍ程度である。本実施形態では、基板２１０にガラスを用いているが、基板２１０に光学的に不透明な材質を用いた場合においても、第１面に位置する侵入口部２２０の位置を確認できるため、高いアライメント精度を得ることができる。ここまでの工程を終了した工程断面図を図５（ａ）に示す。
【００５７】
次に、工程７，８として同じ工程を用いてストレート部２２１を形成し、フォトレジスト２３０ａを除去することで液滴吐出ヘッド１１５が形成される。ここまでの工程を終了した工程断面図を図５（ｂ）に示す。
【００５８】
この製造方法を用いた場合においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５９】
（第２の実施形態についての変形例）
第２の実施形態の変形例は、第１の実施形態の変形例と重なっているため、該当部分については前文に付した番号を引用し、説明の重複を避ける。第２の実施形態についての変形例としては、第１の実施形態での（変形例１，２，３，４，６，７）を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】液滴吐出ヘッドを具備したインクジェットプリンタの概略図。
【図２】液滴吐出器の構成を示す三面図で、（ａ）は上面図、（ｂ）は右側方図、（ｃ）は下面図。
【図３】（ａ）は液滴吐出ヘッドの平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図。
【図４】（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は液滴吐出ヘッドの製造工程を示す工程断面図。
【図５】（ａ），（ｂ）は第２の実施形態を説明するための工程断面図。
【符号の説明】
【００６１】
１１，１２，１３，１４…インクカートリッジ、１７…フレーム、２０…キャリッジ、２１…ガイド、２５…印刷用紙、２６…駆動モータ、２８…プラテン、４０…キャリッジモータ、４１…キャリッジベルト、１１０，１２０，１３０，１４０…液滴吐出器、１１１…供給流路形成部材、１１１ａ…インク流入口、１１１ｃ…リザーバ、１１２…薄膜材、１１３…連通板、１１３ａ…連通孔、１１３ｂ…連通孔、１１４…圧力室形成部材、１１４ａ…圧力室、１１５…液滴吐出ヘッド、１１６…振動板、１１７…圧電素子、１１８ａ…吐出口、１１８ｂ…吐出口、２１０…基板、２１１…金型、２２０…侵入口部、２２１…ストレート部、２３０…フォトレジスト、２３０ａ…フォトレジスト、２３１…開口部、２３１ａ…開口部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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