(57)【要約】【課題】安定的に、かつ、精度よく温度を検出できるとともに、取付け、取り外しの作業性が良好な熱電対およびその取付け構造を提供する。【解決手段】絶縁被覆から熱電対素線の先端接合部が露出した被覆線タイプの熱電対３において、熱電対素線の先端接合部に、例えば、真鍮からなるチップ状の保持部材６をロウ付けし、この保持部材６を、金型１に形成された溝５内に嵌め込んで、熱電対３を、金型１に取り付け、取り外しできるようにしている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱電対素線の先端接合部が露出した熱電対であって、
温度検出対象に、当該熱電対が保持されるように、前記先端接合部に、保持部材を接合したことを特徴とする熱電対。
【請求項２】
前記保持部材が、金属製である請求項１に記載の熱電対。
【請求項３】
前記保持部材が、バネである請求項１または２に記載の熱電対。
【請求項４】
前記保持部材が、チップ状である請求項１または２に記載の熱電対。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の熱電対を、温度検出対象に取り付ける構造であって、
前記温度検出対象の表面に形成された溝内に、前記熱電対を収納するとともに、前記保持部材が、前記溝の内壁に当接して前記熱電対を、前記溝内に保持することを特徴とする熱電対の取付け構造。
【請求項６】
前記温度検出対象が金型であり、前記熱電対が複数取付けられる請求項５に記載の熱電対の取付け構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱電対およびその取付け構造に関し、更に詳しくは、熱電対素線の先端接合部が露出した熱電対およびその取付け構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、金型などの制御対象を、多点で温度制御する場合の各制御点間の干渉を低減する温度制御方法として、複数の制御点に対応する複数の検出温度を、複数の検出温度の平均温度と、複数の検出温度に基づく温度差（傾斜温度）とに変換し、平均温度と傾斜温度とを制御量として温度制御する手法（以下「傾斜温度制御」ともいう）がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図１８は、上記傾斜温度制御手法を、２チャンネルの温度制御に適用した場合の構成図である。
【０００４】
制御対象３０の２つの制御点の検出温度を、モード変換器３１によって、両検出温度の平均値である平均温度および両検出温度の温度差である傾斜温度に変換し、平均温度と目標平均温度との偏差または傾斜温度と目標傾斜温度との偏差を、各ＰＩＤ制御部３２にそれぞれ入力する。
【０００５】
各ＰＩＤ制御部３２は、平均温度の偏差または傾斜温度の偏差をなくすように操作量を演算出力し、前置補償器３３では、傾斜温度の操作量の変化に対して傾斜温度だけが反応し、平均温度への反応は小さくなるように、また逆に、平均温度の操作量の変化に対して傾斜温度への反応が小さくなるように操作量を配分して制御出力とし、この制御出力によって制御対象３０の温度を制御する。
【０００６】
従来では、制御対象の２点の各点を個別に制御するために、一方の点の制御が他方の点の制御に影響を与えて高精度の制御が困難であったのに対して、この傾斜温度制御では、２点の平均温度と２点の温度差である傾斜温度とを制御量として制御することにより、高精度な制御を可能とするものである。
【特許文献１】特許第３２７８８０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
かかる傾斜温度制御は、干渉を低減して均一な温度制御を可能とするものであるが、例えば、光学レンズ部品等の精密部品の射出成形において、金型の温度を多点制御しようとすると、各点の温度を検出する複数の温度センサの検出端が、金型の開閉に伴う衝撃等が加わっても位置ずれすることなく、安定的に金型の検出点に接触していなければ、信頼性の高い温度計測ができず、金型の温度を高精度に制御するのは困難となる。
【０００８】
また、金型の交換作業に要する時間を短縮して生産性を高めるには、金型に対する温度センサの取付け、取り外しの作業性がよいことが望まれ、特に、多点の温度制御では、温度センサの数が多くなるので、その要求が一層高いものとなる。
【０００９】
一般に、温度センサとして、測温抵抗体や熱電対などが用いられるが、熱電対は安価であって、設置の自由度が高いという利点を有している。
【００１０】
かかる熱電対には、図１９に示すように、金属製のシース管２０内に、熱電対素線２１が、高純度マグネシア等の充填材２２と共に封入されたシースタイプと、図２０に示すように、熱電対素線２１を、ガラス繊維被覆チューブ２３および耐熱性樹脂被覆チューブ２４などによって被覆し、検出端となる熱電対素線の先端接合部が、絶縁被覆から露出した被覆線タイプとがある。
【００１１】
シースタイプは、ステンレスなどの金属材料からなるシース管２０を使用するため、熱電対素線２１が保護される一方、その剛性のため曲げにくいという欠点がある。
【００１２】
これに対して、被覆線タイプは、曲げ易く、取り扱いし易いという利点を有しており、上述の金型への取付け、取り外しの作業性の観点からは、かかる被覆タイプを使用するのが好ましい。
【００１３】
しかしながら、被覆線タイプでは、検出端となる細い熱電対素線の先端接合部が露出しており、この細い素線からなる接合部を、金型などに位置ずれすることなく、安定的に接触させるのは容易でないという課題がある。
【００１４】
本発明は、上述のような点に鑑みて為されたものであって、安定的に、精度よく温度を検出できるとともに、取付け、取り外しの作業性が良好な熱電対およびその取付け構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
（１）本発明の熱電対は、熱電対素線の先端接合部が露出した熱電対であって、温度検出対象に、当該熱電対が保持されるように、前記先端接合部に、保持部材を接合している。
【００１６】
保持部材は、弾性を有するのが好ましく、温度検出対象に、弾性復元力を利用して保持されるのが好ましい。
【００１７】
本発明の熱電対によれば、細い熱電対素線の先端接合部に、保持部材を接合し、当該熱電対を、温度検出対象に保持するようにしているので、保持部材によって、熱電対素線の先端接合部を、安定的に、温度検出対象に保持して温度を検出することができる。
【００１８】
(２)本発明の熱電対の一つの実施形態では、前記保持部材が、金属製である。
【００１９】
この実施形態によれば、保持部材が、熱伝導性が良好な金属で構成されるので、温度検出対象の熱が、保持部材を介して、熱電対素線の先端接合部に効率的に伝達されることになり、熱応答性が良好となる。
【００２０】
(３)本発明の熱電対の他の実施形態では、前記保持部材が、バネである。
【００２１】
バネは、弾性復元力によって温度検出対象に保持できればよく、弦巻状、板状、その他の形状であってもよい。
【００２２】
この実施形態によれば、保持部材のバネの弾性復元力を利用して、熱電対素線の先端接合部を、安定的に、温度検出対象に保持して温度を検出することができる。
【００２３】
(４)本発明の熱電対の更に他の実施形態では、前記保持部材が、チップ状である。
【００２４】
チップ状とは、細片状をいい、温度検出対象に保持できる大きさであればよく、その形状も、円柱状、直方体状、筒状など任意である。
【００２５】
この実施形態によれば、チップ状の保持部材を利用して、熱電対素線の先端接合部を、安定的に、温度検出対象に保持して温度を検出することができる。
【００２６】
（５）本発明の熱電対の取付け構造は、上記（１）〜（４）のいずれか記載の熱電対を、温度検出対象に取り付ける構造であって、前記温度検出対象の表面に形成された溝内に、前記熱電対を収納するとともに、前記保持部材が、前記溝の内壁に当接して前記熱電対を、前記溝内に保持するものである。
【００２７】
本発明の熱電対の取付け構造によれば、温度検出対象に形成された溝内に、保持部材を嵌め込んで、当該熱電対を保持するので、温度検出対象への熱電対の取付け、取り外し作業が容易である。
【００２８】
また、温度検出対象の溝の内壁に当接する保持部材を介して、熱電対素線の先端接合部に、温度検出対象の熱が効率的に伝達され、精度よく温度を計測できるとともに、熱応答性が良好となる。
【００２９】
（６）本発明の熱電対の取付け構造の一つの実施形態では、前記温度検出対象が金型であり、前記熱電対が複数取付けられている。
【００３０】
この実施形態によれば、金型の多点の温度制御に適用することができ、例えば、金型の交換時における多数の熱電対の取付け、取り外しの作業性が向上し、生産性を高めることができる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、熱電対を、保持部材によって、温度検出対象に保持するようにしているので、熱電対素線の先端接合部を、安定的に、温度検出対象に保持して温度を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて詳細に説明する。
【００３３】
（実施形態１）
図１は、本発明の一つの実施形態に係る熱電対を備える温度制御システムの概略構成図である。
【００３４】
この温度制御システムは、制御対象としての金型１と、この金型１を加熱するヒータ２と、金型１の温度を検出する温度センサとしての熱電対３と、熱電対３からの検出温度に基づいて、ヒータ２の通電を制御して金型１の温度を制御する温度調節器４とを備えている。
【００３５】
この実施形態の金型１は、例えば、射出成形機の固定側の金型である。なお、ヒータ２および熱電対３は、複数設けられているが、この図１では、代表的に一つだけ示している。
【００３６】
図２は、図１の金型１、ヒータ２および熱電対３の配置を示す正面図である。なお、金型１の表面には、キャビティを構成するための図示しない凹部が形成されているが、この図２では、省略している。
【００３７】
金型１の各側面には、それぞれ３つずつ計９つのプレート式のヒータ２−１，２−２ａ，２−２ｂ，２−３，２−４ａ，２−４ｂ，２−５，２−６ａ，２−６ｂ，２−７，２−８ａ，２−８ｂが、それぞれ取り付けられて、図１のヒータ２を構成している。
【００３８】
正方形の金型１の各側面に取り付けられている９つのヒータ２−１，２−２ａ，２−２ｂ，２−３，２−４ａ，２−４ｂ，２−５，２−６ａ，２−６ｂ，２−７，２−８ａ，２−８ｂの内、正方形の４つの隅部のヒータ２−２ａ，２−２ｂ；２−４ａ，２−４ｂ；２−６ａ，２−６ｂ；２−８ａ，２−８ｂは、それぞれ二つのヒータ２−２ａ，２−２ｂ；２−４ａ，２−４ｂ；２−６ａ，２−６ｂ；２−８ａ，２−８ｂを一組としている。したがって、個別に制御されるヒータ２−１，２−２，２−３，２−４，２−５，２−６，２−７，２−８は、８つである。
【００３９】
この実施形態では、図１の熱電対３を構成する８つの熱電対３ａ〜３ｈが、金型１の表面に形成された取り付け用の溝５に、収納保持されており、各温度センサ３ａ〜３ｈの先端の保持部材６が、８つの制御点Ａ〜Ｈに対応するように、金型１の中心から同一円周上に沿って位置するように配設されている。
【００４０】
図１の温度調節器４は、各制御点Ａ〜Ｈの各熱電対３ａ〜３ｈの検出温度に基づいて、図示しないＳＳＲなどを介して、８つの各ヒータ２−１，２−２，２−３，２−４，２−５，２−６，２−７，２−８の通電を制御するものであり、この実施形態では、８チャンネルの温度制御を行なうものである。
【００４１】
この実施形態の温度調節器４は、チャンネル毎に個別に温度制御するのではなく、上述の特許文献１等に開示されている温度制御手法を用いている。
【００４２】
この温度制御手法は、上述のように、複数の制御点に対応する複数の検出温度を、例えば、複数の検出温度の平均温度と、複数の検出温度に基づく温度差（傾斜温度）とに変換し、平均温度と傾斜温度とを制御量として温度制御するものである。
【００４３】
図３は、この実施形態の温度調節器４における傾斜温度制御の構成を示すブロック図である。
【００４４】
この実施形態の温度調節器４は、上記８つの温度センサ３ａ〜３ｈからの入力温度ＰＶ１〜ＰＶ８を、１つの平均温度（平均ＰＶ）および７つの傾斜温度（傾斜ＰＶ１〜傾斜ＰＶ７）に変換するモード変換部１４と、このモード変換部１４からの各温度（平均ＰＶ，傾斜ＰＶ１〜傾斜ＰＶ７）と目標温度（平均ＳＰ，傾斜ＳＰ１〜傾斜ＳＰ７）との偏差に基づいて、操作量をそれぞれ演算する８つのＰＩＤ制御部１５と、各ＰＩＤ制御部１５からの操作量を、各ＰＩＤ制御部１５による制御が、他のＰＩＤ制御部１５による制御に与える影響をなくす又は小さくするように配分して制御出力ＭＶ１〜ＭＶ８を各ヒータ２−１，２−２，２−３，２−４，２−５，２−６，２−７，２−８に与える前置補償部１６とを備えている。
【００４５】
モード変換部１４は、８つの入力温度ＰＶ１〜ＰＶ８を、その平均値である平均温度（平均ＰＶ）と、例えば、隣の入力温度との温度差（ＰＶ１−ＰＶ２，ＰＶ２−ＰＶ３，ＰＶ３−ＰＶ４，…ＰＶ７−ＰＶ８）である７つの傾斜温度（傾斜ＰＶ１〜傾斜ＰＶ７）に変換する。
【００４６】
なお、傾斜温度は、隣の入力温度との温度差に限らず、例えば、前記平均温度（平均ＰＶ）と、各入力温度との温度差（ＰＶ１−平均ＰＶ，ＰＶ２−平均ＰＶ，ＰＶ３−平均ＰＶ，…ＰＶ７−平均ＰＶ）としてもよい。このように傾斜温度として、各入力温度と平均温度との温度差を用いることにより、対称な金型を、より均等に温度制御することが可能となる。
【００４７】
目標温度ＳＰについては、８つの制御点Ａ〜Ｈの設定温度（目標温度）ＳＰ１〜ＳＰ８の平均値である目標平均温度（平均ＳＰ）と、例えば、隣の設定温度との温度差（ＳＰ１−ＳＰ２，ＳＰ２−ＳＰ３，ＳＰ３−ＳＰ４，…ＳＰ７−ＳＰ８）である７つの目標傾斜温度（傾斜ＳＰ１〜傾斜ＳＰ７）としている。
【００４８】
各ＰＩＤ制御部１５は、入力温度ＰＶと目標温度ＳＰとの偏差をなくすようにＰＩＤ演算を行なって操作量を出力するものである。
【００４９】
前置補償部１６は、ＰＩＤ制御部１５からの操作量を分解するものであり、上記特許文献１等に開示されている構成と同様の構成であり、前置補償部１６の配分比の行列である前置補償行列をＧｃ、上述のモード変換部１４による検出温度（ＰＶ１〜ＰＶ８）を、傾斜温度（傾斜ＰＶ１〜傾斜ＰＶ７）および平均温度（平均ＰＶ）に変換する行列をモード変換行列Ｇｍ、干渉の度合いを示す情報である干渉行列をＧｐとすると、前置補償行列Ｇｃは、以下のように逆行列として求めることもできる。
【００５０】
Ｇｃ＝（Ｇｍ・Ｇｐ）−１
８つの各制御点Ａ〜Ｈを個別に制御すると、或る制御点が他の制御点に影響を与える、すなわち、干渉のために高精度の温度制御が困難であるのに対して、この傾斜温度制御では、８つ制御点Ａ〜Ｈの検出温度に基づく平均温度および傾斜温度を制御量として制御するので、干渉の影響を低減した高精度な温度制御が可能となる。
【００５１】
この実施形態の熱電対３は、例えば、Ｋタイプ(クロメル・アルメル) と呼ばれる熱電対であって、被覆線タイプの熱電対である。なお、熱電対３としては、Ｋタイプに限らす、精度や温度域など応じて、Ｅタイプ、Ｊタイプ、Ｔタイプ等の各種を選択することができる。
【００５２】
この被覆線タイプの熱電対は、上述の図２０に示すように、熱電対素線２１を、ガラス繊維被覆チューブ２３および耐熱性樹脂被覆チューブ２４によって被覆したものであって、検出端となる熱電対素線の先端接合部２１ａが、被覆チューブ２３，２４から露出している。
【００５３】
この実施形態の熱電対３は、被覆線の外形が、楕円形状であって、例えば、長径が１．５ｍｍ、短径が０．８ｍｍであって、熱電対の素線径が０．２ｍｍである。
【００５４】
かかる被覆線タイプの熱電対３では、被覆線から露出した熱電対素線の先端接合部を、金型１の検出点に十分に接触させる必要がある。すなわち、熱電対の計測原理である熱起電力は、この熱電対素線の先端接合部分で発生するため、接触が不十分だったり、接触位置がずれると、計測誤差の要因となる。
【００５５】
この実施形態では、熱電対３の熱電対素線の先端接合部を、金型１に安定的に十分接触させることができるように、図４および上述の図１に示すように、金型１の表面に、熱電対３を取り付けるための溝５を形成し、この溝５内に、熱電対３を収納するとともに、熱電対３の先端には、図５に示すように、金属製、例えば、真鍮からなるチップ状の保持部材６を、例えば、銀ロウを用いたロウ付けによって接合している。なお、図４では、固定側の金型１に、矢符で示すように圧接される可動側の金型７を示している。なお、保持部材６は、真鍮に限らず、他の金属材料、例えば、ステンレス鋼、銅、アルミニウム、銀、または、その合金類などで構成してもよい。
【００５６】
上述のように、被覆線タイプの熱電対では、その先端は、細い熱電対素線部分がむき出しの状態であるために、溝５の幅に比べて、接触箇所が小さく不安定になる。
【００５７】
そこで、この実施形態では、熱電対３の先端に、上述のように、真鍮からなる保持部材６を一体に接合することにより、直方体状の保持部材６を、金型１の溝５の先端に嵌め込むようにして熱電対３を、溝５内に安定的に保持することができる。
【００５８】
しかも、保持部材６は、真鍮製であって、適度な金属弾性を有しているので、取付け、取り外し作業が容易である。
【００５９】
したがって、例えば、ネジを用いて熱電対を、金型に取り付ける構成に比べて、作業時間を短縮して生産性を高めることができ、また、熱電対を、金型に樹脂で固定する構成のように、樹脂の飛散による汚染の虞もなく、特に、精密部品の成形などに有用である。
【００６０】
更に、保持部材６は、熱伝導率が高い金属製であるので、金型１の熱が、熱電対３の熱電対素線の先端接合部に効率的に伝達され、精度よく温度を計測できるとともに、熱応答性が良好である。
【００６１】
なお、本発明の他の実施形態として、チップ状の保持部材６に代えて、図６に示すように、金属製のバネからなる保持部材６ａを用いてもよい。この熱電対３ａでは、バネ弾性によって、金型１の溝５内に、熱電対３ａを保持することができるとともに、金型１に接触した金属性の保持部材６ａを介して、金型１の熱が、熱電対素線の接合部に効率的に伝達される。
【００６２】
次に、この実施形態の熱電対の特性について説明する。
【００６３】
先ず、熱応答性について説明する。
【００６４】
チップ状の保持部材６を設けた熱電対３と、上述の図２０に示される従来の被覆線タイプの熱電対２５との熱応答性を次のようにして比較した。
【００６５】
すなわち、図７に示される金型１を加熱するヒータ２の表面に、図８の平面図に示すように、アルミテープ８によって、従来の被覆線タイプの熱電対２５と、上述のチップ状の保持部材６を有する熱電対３とを貼り付け、昇温試験を行った。
【００６６】
図９は、その結果を示しており、実線が、チップ状の保持部材６を有する熱電対３によって検出されたヒータ温度を、破線が、従来の被覆線タイプの熱電対２５によって検出されたヒータ温度をそれぞれ示している。この図９に示されるように、チップ状の保持部材６を有する熱電対３が、従来例の熱電対２５に比べて、やや遅れて立ち上がっている。
しかし、熱電対には個体差があるのと、ヒータ表面は微妙に場所により温度が異なるので、温度の微分値について検討した。
【００６７】
図１０ がその結果である。微分値は単純に 1 秒間に何度温度が変化しているか、一定時間の差分により計算している。
【００６８】
図１０において、三角形のプロットは、ヒータの温度を従来の被覆線タイプの熱電対２５で計測した結果を示し、実線は、チップ状の保持部材６を有する熱電対３による検出温度の微分値の推移を、破線は、従来の被覆線タイプの熱電対２５による検出温度の微分値の推移をそれぞれ示している。
【００６９】
この図１０に示されるように、両者は １℃/秒以上の差が無いことが分かる。すなわち、保持部材６を有する熱電対３は、従来の被覆線タイプの熱電対と同等の熱応答性を示すことが分かる。
【００７０】
次に、熱電対の取付けによる安定性を評価した。
【００７１】
取付けによる安定性の評価とは、熱電対の取付け、取り外しを繰り返したときに、安定した接触面を確保することができるか否か、すなわち、同じ計測条件を安定して確保できるか否かを評価するものである。
【００７２】
図１１の平面図およびその断面図である図１２に示すように、金型１に幅・深さとも１．６ｍｍ、長さ２０ｍｍの溝５を切り、熱電対３を取付け位置の近傍に、基準温度計測のために温度センサとして従来の被覆線タイプの熱電対９を、アルミの耐熱テープ８で取り付ける。この状態で、図１１に示すヒータ２によって一定出力で加熱し、熱平衡に近づける。その後、この溝５に熱電対３の取り付け・取り外しを繰り返して温度が再現できているかどうかを確認する。
【００７３】
熱電対３としては、バラツキがある可能性を考慮して同じ仕様の図５に示されるチップ状の保持部材６を有する熱電対３の２種類と、図６に示されるバネからなる保持部材６ａを有する熱電対３ａの１種類と、比較のために図２０に示される従来の被覆線タイプの熱電対２５の１種類との合計４ 種類で行った。
【００７４】
取付け強度に関してであるが、被覆線タイプの熱電対２５は、溝５に嵌め込んだだけでは固定されず外れてしまうのでアルミシールで溝５を塞ぎ、そこに差し込んで取り付けている。このため、手が触れただけで熱電対２５は外れてしまう。これに対して、バネからなる保持部材６ａおよびチップ状の保持部材６を有する熱電対６ａ，６は、保持部材６ａ，６が、溝５に嵌り込むので安定している。
【００７５】
計測結果を図１３に示す。図１３において、右上がりの太い実線は、金型の基準温度を、破線はチップ状の保持部材６を有する２種類の熱電対３の一方（チップ１）を、一点鎖線はチップ状の保持部材６を有する熱電対３の他方（チップ２）を、二点鎖線はバネからなる保持部材６ａを有する熱電対３ａ（バネ）を、細い実線は従来の被覆線タイプの熱電対２５（被覆）をそれぞれ示している。
【００７６】
この図１３に示すように、完全に熱平衡していないので右上がりの温度波形になっているが、その波形上にヒゲが生じている状態が見て取れる。このヒゲは熱電対を取り外したことにより発生している。金型から外されることにより、熱電対の先端の温度が急激に下がり、また金型に取り付けられることで今度は急激に温度が上がるのでヒゲ状の波形となる。
【００７７】
図１３のグラフで安定性をより分かり易く表現するため、それぞれの熱電対毎に基準温度からの差温をプロットしたのが図１４〜図１７である。いずれも取り付けの再現性が確保されている。但し、被覆線タイプの従来の熱電対２５は、シールで軽く固定した状態であるので金型に振動がかかると外れてしまう。
【００７８】
以上のように、保持部材を有する熱電対３，３ａは、金型１への取付け安定性が良好である。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明は、多点の温度制御などに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の一つの実施の形態に係る熱電対を備えるシステムの概略構成図である。
【図２】図１の金型、ヒータおよび熱電対を示す正面図である。
【図３】図１の温度調節器の要部のブロック図である。
【図４】金型に形成された溝および該溝に収納された熱電対を示す図である。
【図５】実施形態に係る熱電対を示す図である。
【図６】他の実施形態に係る熱電対を示す図である。
【図７】ヒータが取り付けたられた金型の正面図である。
【図８】図７のヒータに取り付けられた熱電対を示す平面図である。
【図９】ヒータ温度の計測結果を示す図である。
【図１０】図９の微分波形を示す図である。
【図１１】熱電対の取付け、取り外しの評価試験を説明するための平面図である。
【図１２】図１１の要部の断面図である。
【図１３】熱電対の取付け、取り外しによる計測温度の変化を示す図である。
【図１４】チップ状の保持部材を有する熱電対の基準温度からの差温の変化を示す図である。
【図１５】別のチップ状の保持部材を有する熱電対の基準温度からの差温の変化を示す図である。
【図１６】バネからなる保持部材を有する熱電対の基準温度からの差温の変化を示す図である。
【図１７】従来の被覆タイプの熱電対の基準温度からの差温の変化を示す図である。
【図１８】傾斜温度制御の構成図である。
【図１９】シースタイプの熱電対を示す図である。
【図２０】被覆線タイプの熱電対を示す図である。
【符号の説明】
【００８１】
１                          金型
２                          ヒータ
３                          熱電対
４                          温度調節器
５                          溝
６                          保持部材
１４                        モード変換部
１５                        ＰＩＤ制御部
１６                        前置補償部  
【図１】
2009031026.tif 000003
【図２】
2009031026.tif 000004
【図３】
2009031026.tif 000005
【図４】
2009031026.tif 000006
【図５】
2009031026.tif 000007
【図６】
2009031026.tif 000008
【図７】
2009031026.tif 000009
【図８】
2009031026.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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