(57)【要約】【課題】作業効率を低下させることなく面内変動を抑制可能な膜厚を得ることが可能な記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】情報記録媒体Ｄを対象としてスピナコート法により塗膜形成に際して、滴下された紫外線硬化樹脂を仮硬化された状態で、情報記録媒体の最外周部に生起される紫外線硬化樹脂の盛り上がり部Ｄ１Ａを熱線照射と、情報記録媒体Ｄの遠心力とにより振り切ることで除去し、情報記録媒体表面での塗膜厚さを均一化するとともに、紫外線硬化樹脂Ｄの滴下から盛り上がり部Ｄ１の除去までの工程を同じスピナテーブルを使用して一貫作業とすることを特徴としている。【選択図】図３
2009064525.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心孔を有する円形の光記録媒体表面にスピンコート法により層形成を行う情報記録媒体の製造方法において、
前記光記録媒体を低速回転させた状態で、温度調整された流路から供給される紫外線硬化樹脂を環状に滴下して塗布する第１の回転工程と、
前記第１の回転工程と異なる速度を設定して、滴下された紫外線硬化樹脂を前記光媒体表面上で展延して均一な厚さの塗膜を形成する第２の回転工程と、
前記第２の回転工程と同じ若しくは異なる速度を設定して、前記光記録媒体の外周部に生起している前記紫外線硬化樹脂の盛り上がり部を対象としてスポット状の熱線光を照射し、該盛り上がり部を取り除く第３の回転工程とを同じ作業位置で行うことを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の製造方法に用いられる製造装置であって、
前記光記録媒体を搭載して回転可能なスピナーヘッドと、
該スピナーヘッドを回転駆動する駆動源と、
前記紫外線硬化樹脂を滴下可能なノズルと、
前記紫外線硬化樹脂の乾燥工程を行う紫外線ランプと、
前記スピナーヘッド上に搭載されている光記録媒体の外周部近傍に配置されて熱線照射が可能な光源とを備えていることを特徴とする情報記録媒体の製造装置。
【請求項３】
前記ノズルが、前記光記録媒体の同一円周上で複数設けられていることを特徴とする請求項２に記載の情報記録媒体の製造装置。
【請求項４】
前記紫外線ランプが、前記紫外線硬化樹脂の仮硬化後に照査されるタイミングを設定されていることを特徴とする請求項２に記載の情報記録媒体の製造装置。
【請求項５】
前記紫外線硬化樹脂の滴下から前記熱線照射までの工程が終了するまでの間、前記第１の回転工程を実行するために前記光記録媒体を搭載したスピナーヘッドを用いることを特徴とする請求項２に記載の情報記録媒体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報記録媒体の製造方法および製造装置に関し、さらに詳しくは、光ディスク等の記録媒体における層形成のためのスピンコート法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、情報記録媒体の一つにレーザー光を用いて所定の情報の記録・再生および消去を行うディスク型の光記録媒体が知られている。このような光記録媒体としては、例えば、記録層、樹脂層、印字層等を介して積層した構成の光ディスクがあり、具体的には、次世代ディスクやＤＶＤやレーザーディスク等が挙げられる。また、次世代の光記録媒体は機能に応じた種々の構成を有しており、例えば光透過性の支持基板上に複数層からなる記録膜、紫外線硬化樹脂を形成した構成を有するものが知られている。
【０００３】
紫外線硬化性樹脂の塗布方法として、スピンコート方式やセンターキャップ方式がある。  
従来のスピンコート方法としては、一般に次の方法が知られている。  
スピナーヘッド上に媒体を載せて回転させ、ディスペンスノズルから塗膜材料を滴下することにより塗膜材料を遠心力により媒体表面で外周縁まで行き渡らせて乾燥することにより媒体表面に所定厚さの塗膜を形成する（例えば、特許文献１）。
【０００４】
この方法は、紫外線硬化樹脂を用いた場合にも適用され、具体的には、紫外線硬化性樹脂を環状に塗布後、スピン回転を行いながらランプ照射し、光記録媒体上の紫外線硬化樹脂粘度をあげ中外周部の紫外線硬化樹脂を振り切り中外周の膜厚を下げる工程とスピン回転を行いながら紫外線を照射し、光記録媒体上の紫外線硬化樹脂を全面仮硬化（但し、マスクをかけている為、最外周部は未硬化。）後、狙いの膜厚水準にする工程が機能毎に分かれている。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−３３９７８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
媒体表面での塗膜材料の膜厚は、乾燥方法や回転速度の影響を受けて均一となりにくいことが知られており、特に、乾燥条件に影響を受けて最外周部、例えば、半径が５７．０ｍｍの位置において塗膜材料として用いられる紫外線硬化樹脂が盛り上がり、ディスク記録感度に影響する面内変動が悪化してしまう傾向にあることが知られている。
【０００７】
本発明の目的は、上記従来の記録媒体の製造方法における問題に鑑み、作業効率を低下させることなく面内変動を抑制可能な膜厚を得ることが可能な記録媒体の製造方法および製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するため、本発明は次の構成よりなる。  
（１）中心孔を有する円形の光記録媒体表面にスピンコート法により層形成を行う情報記録媒体の製造方法において、
前記光記録媒体を低速回転させた状態で、温度調整された流路から供給される紫外線硬化樹脂を環状に滴下して塗布する第１の回転工程と、
前記第１の回転工程と異なる速度を設定して、滴下された紫外線硬化樹脂を前記光媒体表面上で展延して均一な厚さの塗膜を形成する第２の回転工程と、
前記第２の回転工程と同じ若しくは異なる速度を設定して、前記光記録媒体の外周部に生起している前記紫外線硬化樹脂の盛り上がり部を対象としてスポット状の熱線光を照射し、該盛り上がり部を取り除く第３の回転工程とを同じ作業位置で行うことを特徴とする情報記録媒体の製造方法。
【０００９】
（２）（１）に記載の製造方法に用いられる製造装置であって、
前記光記録媒体を搭載して回転可能なスピナーヘッドと、
該スピナーヘッドを回転駆動する駆動源と、
前記紫外線硬化樹脂を滴下可能なノズルと、
前記紫外線硬化樹脂の乾燥工程を行う紫外線ランプと、
前記スピナーヘッド上に搭載されている光記録媒体の外周部近傍に配置されて熱線照射が可能な光源とを備えていることを特徴とする情報記録媒体の製造装置。
【００１０】
（３）前記ノズルが、前記光記録媒体の同一円周上で複数設けられていることを特徴とする（２）に記載の情報記録媒体の製造装置。
【００１１】
（４）前記紫外線ランプが、前記紫外線硬化樹脂の仮硬化後に照査されるタイミングを設定されていることを特徴とする（２）に記載の情報記録媒体の製造装置。
【００１２】
（５）前記紫外線硬化樹脂の滴下から前記熱線照射までの工程が終了するまでの間、前記第１の回転工程を実行するために前記光記録媒体を搭載したスピナーヘッドを用いることを特徴とする（２）に記載の情報記録媒体の製造装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、乾燥条件などの影響により外周部に紫外線硬化樹脂の盛り上がり部が生起している場合でも紫外線硬化樹脂の滴下から乾燥工程までを実行すると同じ位置において熱線照射を行うことにより盛り上がり部を除去して均一な塗膜形成が行える。これにより、外周部の盛り上がり部の除去工程を紫外線硬化樹脂の滴下から乾燥までの工程とは別の位置に移し換えて後処理を行うことを不要にして、一貫した塗膜形成工程として実行することができるので、作業効率の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面により、本発明を実施するための最良の形態について説明する。  
図１は、本発明による情報記録媒体の製造方法に用いる製造装置の構成を説明するための模式図である。
【００１５】
図１において情報記録媒体の製造装置は、チャンバー１の内部に配置されて回転可能なスピナーヘッド２と、スピナーヘッド２上に搭載される情報記録媒体である光記録媒体Ｄに対して紫外線硬化樹脂を滴下可能なノズル３と、紫外線硬化樹脂の乾燥工程に用いられる紫外線ランプ４と、紫外線ランプを内部に配置した紫外線遮蔽マスク５と、スピナテーブル２上に搭載されている光記録媒体Ｄの外周縁近傍に位置決め可能な熱線照射部材６とを備えている。
【００１６】
スピナテーブル２は、駆動源７により駆動される回転速度が後述する各回転工程に合わせて変更されるようになっている。  
ノズル３は、光記録媒体Ｄの同一円周上で複数位置に配置されている。  
紫外線照射ランプ４および紫外線遮蔽マスク５は、光記録媒体Ｄに対して接離する構成とされ、乾燥工程においてはチャンバー１内に進入して光記録媒体Ｄに接近した状態で紫外線照射を行うようになっている。
【００１７】
熱線照射部材６は、紫外線照射ランプ５とは独立して光記録媒体Ｄの外周部近傍に接近および離間することが可能なランプが用いられる。
【００１８】
以上のような構成の製造装置においては、次の工程により光記録媒体Ｄの表面に均一厚さの塗膜を形成するようになっている。  
（１）中心孔を有する光記録媒体Ｄを低速回転させた状態で、流路を加熱により温度調整した状態で供給される紫外線硬化樹脂を環状に滴下して塗布する第１の回転工程  
（２）第１の回転工程と異なる速度を設定して、滴下された紫外線硬化樹脂を光記録媒体Ｄの表面上で展延して均一な厚さの塗膜を形成する第２の回転工程  
（３）第２の回転工程と同じ若しくは異なる速度を設定して、光記録媒体Ｄの外周部に生起している紫外線硬化樹脂の盛り上がり部を対象としてスポット状の熱線光を照射し、盛り上がり部を取り除く第３の回転工程
第１乃至第３の回転工程は、全て同じ位置によって実行され、換言すれば、紫外線硬化樹脂の滴下が行われるスピナーヘッド２を第１の回転工程から第３の回転工程まで使用するようになっている。
【００１９】
図１は、第１の回転工程時を示しており、この回転工程では、スピナーヘッド２が低速回転を設定され、この状態でノズル３による紫外線硬化樹脂の滴下が行われる。  
ノズル３から供給される紫外線硬化樹脂は、その流路が温度調整されており、滴下速度が変化するのを防止した状態で供給される。この場合の回転速度は、紫外線硬化樹脂Ｄ１の塗膜厚さが光記録媒体Ｄの表面全域に亘って設定される速度とされる。
【００２０】
ノズル３は光記録媒体Ｄの同一円周上で複数配置されているので、紫外線硬化樹脂の塗布効率を上げることができる。特に同一円周上であるので、異なる位置での滴下において発生する塗膜厚さの不均一な状態、つまり、内周部に滴解された樹脂が外周部の滴下位置で堰き止められてその部分で盛り上がるような状態が発生しないようにできる。
【００２１】
図２は、紫外線硬化樹脂Ｄ１の乾燥硬化工程に相当する第２の回転工程を示しており、この回転工程では、第１の回転工程と違って、スピナーヘッド２が低速よりも速い中速回転を設定される。  
第２の回転工程では、滴下された紫外線硬化樹脂Ｄ１が光記録媒体Ｄの表面で展延されると紫外線ランプ４および紫外線遮蔽マスク５が光記録媒体Ｄに接近して紫外線を照射することで紫外線硬化樹脂を仮硬化させる。
【００２２】
図３は、第３の回転工程を示しており、この回転工程では、第２の回転工程と同じ若しくはその回転速度と異なる速い速度を設定された状態で光記録媒体Ｄの外周部に対して熱線照射部材６を接近させて光照射される。この場合の光照射は、光記録媒体Ｄの最外周部に生起している紫外線硬化樹脂の盛り上がり部（便宜上、盛り上がり部の位置を符号Ｄ１Ａで示す）を対象としており、光記録媒体Ｄの最外周部の半径が５７ｍｍの場合、その付近を対象として２φ程度のスポット径を用いて照射される。これにより、仮硬化している紫外線硬化樹脂は、加熱により溶融軟化すると、スピナーヘッド２の遠心力によって最外周から振り切られることになり、盛り上がり部分が除去されることになる。
【００２３】
以上のような工程により記録媒体Ｄの表面での塗膜厚さを均一化することができる。  
本発明者は、仮硬化している紫外線硬化樹脂の盛り上がり部の除去を行う本発明の工程を用いた場合とこの工程を用いない従来例とを面内変動に関して対比実験したところ、図４，５に示す結果を得た。図４は、従来例であり、図５は本発明による結果である。  
図４および図５の結果から明らかなように、本発明によれば、面内変動が少ないことが判る。
【００２４】
本発明では、第１乃至第３の回転工程を同じスピナーヘッド２を用いて実施するようになっているので、工程毎に光記録媒体Ｄを移し換えることが不要となり、作業効率の向上と塗膜厚さの均一化とを同時に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の情報記録媒体の製造方法に用いる装置の構成を説明するための模式図である。
【図２】図１に示した装置における第２の回転工程時を示す模式図である。
【図３】図１に示した装置における第３の回転工程時を示す模式図である。
【図４】従来の製造方法により得られた情報記録媒体の面内変動を説明するための線図である。
【図５】本発明による製造方法により得られた情報記録媒体の面内変動を説明するための線図である。
【符号の説明】
【００２６】
１  チャンバー
２  スピナーヘッド
３  ノズル
４  紫外線照射ランプ
５  紫外線遮蔽マスク
６  熱線照射部材
Ｄ  光記録媒体
Ｄ１  紫外線硬化樹脂
Ｄ１Ａ  盛り上がり部
【図１】
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【図２】
2009064525.tif 000004
【図３】
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【図４】
2009064525.tif 000006
【図５】
2009064525.tif 000007