(57)【要約】【課題】配線保持装置において、安価かつ簡素な構成で振動を抑制する。【解決手段】可動部（５）に接続された配線４を保持する保持部材６を複数個連設してなり、一端側がベース部７に沿って配置される配線保持装置２において、側面視における配線４とベース部７との間に配置された振動吸収部材（６ｄ）を備える構成とする。【選択図】図１Ａ
2009302368.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部に接続された配線を保持する保持部材を複数個連設してなり、一端側がベース部に沿って配置される配線保持装置において、
側面視における前記配線と前記ベース部との間に配置された振動吸収部材を備える、
ことを特徴とする配線保持装置。
【請求項２】
前記振動吸収部材は、前記ベース部に接触する位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の配線保持装置。
【請求項３】
前記振動吸収部材は、前記保持部材を構成する部品として配置されていることを特徴とする請求項２記載の配線保持装置。
【請求項４】
前記振動吸収部材は、前記保持部材を構成する部品に対し設けられていることを特徴とする請求項２記載の配線保持装置。
【請求項５】
前記振動吸収部材は、前記ベース部に接触する際に、先に該ベース部に接触する部分の厚みよりも後に該ベース部に接触する部分の厚みが厚いことを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか１項記載の配線保持装置。
【請求項６】
前記振動吸収部材は、前記配線と前記保持部材との間に配置されていることを特徴とする請求項１記載の配線保持装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項記載の配線保持装置と、
該配線保持装置により保持される配線の一端側が接続される可動部を有する検査部と、
を備えることを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動部に接続された電気、エア等の配線を保持する保持部材を複数個連設してなる配線保持装置、及び、これを備える基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば基板検査装置のスキャニングステージなどのような可動部に、電気信号、電気動力、圧縮空気、真空圧などのユーティリティをスムーズに供給するために、配線保持装置（いわゆるケーブルベア（登録商標））が用いられている。
【０００３】
配線保持装置としては、配線を保持する保持部材を、略Ｕ字状を形成するように複数個連設してなるものが一般的に用いられている（例えば、特許文献１参照）。
上記特許文献１記載の配線保持装置は、運動軌跡を規定するために単位部材（保持部材）に設けられた水平維持ストッパ及び屈曲半径維持ストッパが、互いに隣り合う単位部材同士で衝突するのを防止するべく、単位部材の回動可能範囲を単位部材とは異なる部材で制限する技術を開示している。
【特許文献１】特開２００３−３７１５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、取得したいデータ精度の向上、取得したいデータ速度の短縮化等の要求が高まるにつれて、配線保持装置からの振動影響がクローズアップされてきている。
例えば基板検査においては、近年の基板パターンの微細化等により、配線保持装置から発生する振動に起因して、焦点ズレにより目的の画像データが得られないという問題や、オートフォーカス時に合焦までに時間を要するという問題が発生する。
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１記載の配線保持装置は、互いに隣り合う保持部材同士の衝突防止を図ってはいるものの、例えば、配線と保持部材との間、或いは、保持部材とベース部との間の接触により振動が発生してしまい、振動を抑制することはできなかった。
【０００６】
また、上記特許文献１記載の配線保持装置は、保持部材の回動可能範囲を単位部材とは異なる部材で制限するために、当該異なる部材を配線保持装置ごとに個別に製作しなければならない。更には、保持部材の構成も複雑化してしまう。
【０００７】
本発明の目的は、上記従来の実情に鑑み、安価かつ簡素な構成で振動を抑制することができる配線保持装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の配線保持装置は、可動部に接続された配線を保持する保持部材を複数個連設してなり、一端側がベース部に沿って配置される配線保持装置において、側面視における上記配線と上記ベース部との間に配置された振動吸収部材を備える構成とする。
【０００９】
本発明の基板検査装置は、上記配線保持装置と、この配線保持装置により保持される配線の一端側が接続される可動部を有する検査部と、を備える構成とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、側面視における配線とベース部との間に振動吸収部材を配置するという安価かつ簡素な構成によって、振動吸収部材は、例えば、配線と保持部材との間、或いは、保持部材とベース部との間で発生する振動を吸収することができる。よって、本発明によれば、安価かつ簡素な構成で配線保持装置において発生する振動を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態に係る配線保持装置及び基板検査装置について、図面を参照しながら説明する。
＜第１実施形態＞
図１Ａ及び図１Ｂは、本発明の第１実施形態に係る基板検査装置１を示す平面図および側面図である。
【００１２】
図２は、本発明の第１実施形態に係る配線保持装置２の保持部材６を示す概略斜視図である。
半導体ウエハＷを撮像して検査を行う基板検査装置１は、配線保持装置２と、この配線保持装置２により保持される配線４の一端側に接続されるステージスキャン部（可動部）５を有する検査部３とを備えている。
【００１３】
配線保持装置２は、ステージスキャン部５に接続された配線４を保持する保持部材６を複数個連設してなり、一端側がベース部７に沿って配置されている。ここで、図では配線４の一部を省略線により省略しているが、配線４は、ベース部７の下の電源供給装置等に接続されている。
【００１４】
配線保持装置２は、ステージスキャン部５の移動に合わせて湾曲位置をＸ方向に移動させながら（２点鎖線で示す配線保持装置２´及び、ステージスキャン部５´のステージ部１２´参照）、配線４を保持している。
【００１５】
図２に示すように、保持部材６は、対向して配置された２つの側壁部６ａ，６ｂ、これらの間に開閉自在（或いは着脱自在）に設けられた内側キャップ部６ｃ及び外側キャップ部６ｄ、側壁部６ａ，６ｂに設けられた連結部６ｅ，６ｆなどから構成されている。
【００１６】
各連結部６ｅ，６ｆは、側壁部６ａ，６ｂと同一平面に延びており、連結ピン６ｇが外側に向かって設けられている。側壁部６ａ，６ｂには、隣接する保持部材６の連結ピン６ｇが挿入される連結孔６ｈ，６ｉが穿設されている。各保持部材６は、隣接する保持部材６の連結孔６ｈ，６ｉに連結ピン６ｇが挿入されることで、連続的に連結されている。
【００１７】
外側キャップ部６ｄは、図１Ａの側面視（透視的に見た側面視を含む。）、即ち配線保持装置２が保持する配線４と直交する方向（Ｙ方向）からの側面視において、ベース部７に接触している保持部材６に保持された部分の配線４とベース部７との間に配置されている。そして、外側キャップ部６ｄは、振動吸収部材として機能するべく、少なくともベース部７との接触面が保持部材６の形状を十分保持でき、かつ、振動を吸収する、例えばゴムなどの弾性素材からなる。
【００１８】
このように、外側キャップ部６ｄは、ベース部７に接触する位置で且つ保持部材６を構成する部品（外側キャップ）として配置されている。
なお、外側キャップ部６ｄは、ベース部７に接触する際に、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、側壁部６ａ，６ｂより外に出る形状として、先にベース部７に接触する部分の厚みよりも後にベース部７に接触する部分の厚みが厚いようにすることで、配線保持装置２が湾曲してベース部７に接触する際に、外側キャップ部６ｄとベース部７とをゆるやかに面接触させることができる。
【００１９】
なお、図３Ａに示す保持部材６−１の外側キャップ部６ｄ−１は、先にベース部７に接触する部分（同図における右端）から後にベース部７に接触する部分（同図における左端）にかけて接触側の面が傾斜し、側壁部６ａ，６ｂから下方へ突出する長さが徐々に増えている。また、図３Ｂに示す保持部材６−２の外側キャップ部６ｄ−２は、接触側の面が階段状になっており、側壁部６ａ，６ｂから下方へ突出する長さが徐々に増えている。
【００２０】
また、外側キャップ部６ｄの厚みを変えずに、外側キャップ部６ｄのベース部７に接触する側を側壁部６ａ，６ｂより外に出た形状としてもよい。例えば、図３Ｃに示すように、保持部材６−３の外側キャップ部６ｄ−３を湾曲させ外側に突出させるようにしてもよい。
【００２１】
検査部３は、上述のスキャンステージ部５のほか、スキャンステージ部５の往復運動の軌道を規定する一対の軌道レール８、この軌道レール８及び配線保持装置２を跨ぐような門型形状を呈するガントリ９、このガントリ９に沿って移動する検査用カメラ１０などから構成されている。
【００２２】
ここで、検査用カメラ１０は、ガントリ９に沿ってＹ方向に移動し、ステージスキャン部５と共にウエハＷ上のＸＹ平面で撮像を行う。ガントリ９をウエハＷの更に上方に配置し、ウエハＷのＹ方向の直径の長さを撮像可能なラインセンサカメラとしてもよい。このとき、スキャンステージ部５の移動により、ウエハＷ全面を撮像でき、マクロ検査装置とすることができる。
【００２３】
また、検査用カメラ１０により撮像した画像信号は、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）１３に入力される。なお、ＰＣ１３には、モニタ１４及び入力装置１５が接続され、これらにより画像処理装置が構成されている。この画像処理装置において周知の検査が行われる。ここで、ＰＣ１３は、基板検査装置１の制御をも行う全体制御装置としても機能する。
【００２４】
また、スキャンステージ部５は、ウエハＷが載置されるウエハホルダ１１、配線４に接続され軌道レール８上を移動するステージ部１２などから構成されている。
次に本実施形態の作用について説明する。
【００２５】
まず、ＰＣ１３からの制御信号により、不図示の搬送ロボットは、ウエハカセットから取り出されたウエハＷを基板検査装置１の左端に位置するウエハホルダ１１上に載置する。ウエハＷがウエハホルダ１１に載置された後、不図示のアライナによりノッチを基準としてウエハＷの回転角度方向のアライメントが行われる。
【００２６】
次に、検査用カメラ１０によるウエハＷの撮像を行う。検査装置１では、複数箇所の検査ポイントを検査するものとする。例えば、ウエハＷ上に形成された複数のチップのうち上下左右と中心との計５箇所のチップを撮像し、検査するものとする。その際、ガントリ９に配置された検査用カメラ１０は、Ｙ軸のプラス方向からマイナス方向に移動する。また、ウエハホルダ１１は、Ｘ方向に往復移動する。このＸ方向のマイナス方向に移動する際、連設された保持部材６の１つ１つが連結ピン６ｇを回転中心としてベース部７をたたくことになる。
【００２７】
従来の構成では、各保持部材６がベース部７に接触する際、大きな振動が発生することになるが、ベース部７に接触する側の外側キャップ部６ｄが振動吸収部材として構成されているので、衝撃を吸収し、振動を抑える作用をする。更には、本実施形態では、外側キャップ部６ｄを振動吸収部材として構成しているため、配線４と外側キャップ部６ｄ（保持部材６）との間で発生する振動をも吸収し、振動を抑える作用をする。
【００２８】
なお、本実施形態のベース部７は、基板検査装置１の一部として設けられているが、必ずしも基板検査装置１の一部として配置する必要はなく、基板検査装置１とは別個の部材として配置するようにしてもよい。
【００２９】
また、本実施形態では、ベース部７に接触する位置で且つ保持部材６を構成する部品となる振動吸収部材として外側キャップ部６ｄを採用する例について説明したが、外側キャップ部６ｄに代えて又は外側キャップ部６ｄと共に、側壁部６ａ，６ｂなどの他の部材を振動吸収部材として構成してもよい。
【００３０】
また、本実施形態では、ウエハＷを検査する基板検査装置１について説明したが、フラットパネルディスプレイなどの３ｍ×３ｍなどの大きさをもつガラス基板その他の被検査基板を検査する基板検査装置においても配線保持装置２を適用することは可能である。
【００３１】
また、本実施形態では、配線保持装置２を基板検査装置１に配置する例について説明したが、配線保持装置２は、配線が可動部に接続されるものであればよく、例えば搬送装置などに適用することも可能である。
【００３２】
以上説明した本実施形態では、側面視（図１Ａ）における配線４とベース部７との間に振動吸収部材として外側キャップ部６ｄを配置するという安価かつ簡素な構成によって、外側キャップ部６ｄは、保持部材６とベース部７との間で発生する振動を吸収することができる。よって、本実施形態によれば、保持部材６の１つの部品である外側キャップ部６ｄを振動吸収部材として構成するという安価かつ簡素な構成で配線保持装置２において発生する振動を抑制することができる。
【００３３】
また、外側キャップ部６ｄの全体を振動吸収部材とした場合には、保持部材６とベース部７との間で発生する振動に加え、保持部材６と配線４との間で発生する振動をも吸収することができ、したがって、振動をより抑制することができる。
【００３４】
また、本実施形態では、振動吸収部材としての外側キャップ部６ｄは、ベース部７に接触する位置に配置されている。そのため、振動をより抑制することができる。
また、本実施形態では、振動吸収部材としての外側キャップ部６ｄは、保持部材６を構成する部品として配置されている。そのため、保持部材６の部品点数を増やすことがなく、したがって、より安価かつ簡素な構成とすることができる。
【００３５】
また、本実施形態では、振動吸収部材としての外側キャップ部６ｄは、ベース部７に接触する際に、先にベース部７に接触する部分の厚みよりも後にベース部７に接触する部分の厚みが厚いようにすることで、配線保持装置２が湾曲してベース部７に接触する際に、外側キャップ部６ｄとベース部７とをゆるやかに面接触させることができる。したがって、振動をより抑制することができる。
【００３６】
＜第２実施形態＞
本実施形態では、振動吸収部材を、保持部材２６を構成する部品として用いるのではなく、保持部材２６を構成する外側キャップ部２６ｄに対し例えば接着により固定する点において上記第１実施形態と相違し、その他の点については概ね同様であるため、同一の部材には図面に同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００３７】
図４Ａ及び図４Ｂは、本発明の第２実施形態に係る基板検査装置２１を示す平面図および側面図である。
図５は、本発明の第２実施形態に係る配線保持装置２２の保持部材２６を示す概略斜視図である。
【００３８】
図５に示す保持部材２６は、上記第１実施形態と同様に、対向して配置された２つの側壁部２６ａ，２６ｂ、これらの間に開閉自在（或いは着脱自在）に設けられた内側キャップ部２６ｃ及び外側キャップ部２６ｄ、側壁部２６ａ，２６ｂに設けられた連結部２６ｅ，２６ｆなどから構成されている。
【００３９】
各連結部２６ｅ，２６ｆは、側壁部２６ａ，２６ｂと同一平面に延びており、連結ピン２６ｇが外側に向かって設けられている。側壁部２６ａ，２６ｂには、隣接する保持部材２６の連結ピン２６ｇが挿入される連結孔２６ｈ，２６ｉが穿設されている。各保持部材２６は、隣接する保持部材２６の連結孔２６ｈ，２６ｉに連結ピン２６ｇが挿入されることで、連続的に連結されている。
【００４０】
本実施形態の振動吸収部材２６ｊは、上記第１実施形態のように外側キャップ部２６ｄとして配置されているのではなく、外側キャップ部２６ｄのうちベース部７に接触する側の面、即ち図５における底面に例えば接着により固定されている。なお、接着に限らず、ビス止め、嵌合、嵌め込みなどの固定方法でもよい。
【００４１】
振動吸収部材２６ｊは、図４Ａの側面視（透視的に見た側面視を含む。）、即ち配線保持装置２２が保持する配線４と直交する方向（Ｙ方向）からの側面視において、ベース部７に接触している保持部材２６に保持された部分の配線４とベース部７との間に配置され、上記第１実施形態と同様の弾性素材からなる。
【００４２】
本実施形態の作用は上記第１実施形態と同様なので省略する。
なお、本実施形態においても、振動吸収部材２６ｊは、ベース部７に接触する際に、図６Ａ及び図６Ｂに示すように、側壁部２６ａ，２６ｂよりも外に出る形状として、先にベース部７に接触する部分の厚みよりも後にベース部７に接触する部分の厚みが厚いようにすることで、配線保持装置２２が湾曲してベース部７に接触する際に、振動吸収部材２６ｊとベース部７とをゆるやかに面接触させることができる。
【００４３】
なお、図６Ａに示す保持部材２６−１の振動吸収部材２６ｊ−１は、先にベース部７に接触する部分（同図における右端）から後にベース部７に接触する部分（同図における左端）にかけて接触側の面が傾斜し、側壁部２６ａ，２６ｂから下方へ突出する長さが徐々に増えている。また、図６Ｂに示す保持部材２６−２の振動吸収部材２６ｊ−２は、接触側の面が階段状になっており、側壁部２６ａ，２６ｂから下方へ突出する長さが徐々に増えている。
【００４４】
また、上記第１実施形態で説明した図３Ｃのように、振動吸収部材２６ｊの厚みを変えずに、湾曲させて側壁部２６ａ，２６ｂの外側に突出するようにしてもよい。
また、本実施形態では、ベース部７に接触する位置で且つ保持部材６を構成する部品としての外側キャップ部２６ｄに振動吸収部材２６ｊを設ける例について説明したが、外側キャップ部２６ｄに代えて又は外側キャップ部２６ｄに加え、側壁部２６ａ，２６ｂなどの他の部材に振動吸収部材を固定するように構成してもよい。
【００４５】
以上説明した本実施形態においても、側面視（図４Ａ）における配線４とベース部７との間に振動吸収部材２６ｊを配置するという安価かつ簡素な構成によって、振動吸収部材２６ｊは、保持部材２６とベース部７との間で発生する振動を吸収することができる。よって、本実施形態によっても、安価かつ簡素な構成で配線保持装置２２において発生する振動を抑制することができる。
【００４６】
また、本実施形態では、振動吸収部材２６ｊは、ベース部７に接触する位置に配置されている。そのため、振動をより抑制することができる。
また、本実施形態では、振動吸収部材２６ｊは、保持部材２６を構成する部品（外側キャップ部２６ｄ）に対し例えば接着により設けられている。そのため、既存の保持部材２６に対し振動吸収部材２６ｊを固定するという安価かつ簡素な構成によって、配線保持装置２２において発生する振動をより抑制することができる。
【００４７】
＜第３実施形態＞
本実施形態では、振動吸収部材を、配線４とベース部７との間で且つ配線４と保持部材３６との間に配置した点において上記第１実施形態と相違し、その他の点については概ね同様であるため、同一の部材には図面に同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４８】
図７Ａ、図７Ｂ及び図７Ｃは、本発明の第３実施形態に係る基板検査装置３１を示す平面図、側面図及び背面図である。
図８は、本発明の第３実施形態に係る配線保持装置３２の保持部材３６を示す概略斜視図である。
【００４９】
図８に示す保持部材３６は、上記第１及び第２実施形態と同様に、対向して配置された２つの側壁部３６ａ，３６ｂ、これらの間に開閉自在（或いは着脱自在）に設けられた内側キャップ部３６ｃ及び外側キャップ部３６ｄ、側壁部３６ａ，３６ｂに設けられた連結部３６ｅ，３６ｆなどから構成されている。
【００５０】
各連結部３６ｅ，３６ｆは、側壁部３６ａ，３６ｂと同一平面に延びており、連結ピン３６ｇが外側に向かって設けられている。側壁部３６ａ，３６ｂには、隣接する保持部材３６の連結ピン３６ｇが挿入される連結孔３６ｈ，３６ｉが穿設されている。各保持部材３６は、隣接する保持部材３６の連結孔３６ｈ，３６ｉに連結ピン３６ｇが挿入されることで、連続的に連結されている。
【００５１】
本実施形態の振動吸収部材３６ｊは、保持部材３６の外側キャップ部３６ｄのうち配線４側の面に例えば接着により固定されている。
振動吸収部材３６ｊは、図７Ａの側面視（透視的に見た側面視を含む。）、即ち配線保持装置３２が保持する配線４と直交する方向（Ｙ方向）からの側面視において、配線４と保持部材３６との間に配置され、スポンジ等の衝撃を吸収する弾性素材からなる。
【００５２】
次に本実施形態の作用について説明する。
上記第１実施形態の作用の記載と同様に、ウエハＷをウエハホルダ１１に載置し、アライメントが行われる。検査用カメラ１０による撮像を行う際もウエハＷ上に形成された複数のチップのうち上下左右と中心との計５箇所のチップを撮像し検査するものとする。
【００５３】
ガントリ９に配置された検査用カメラ１０は、Ｙ軸のプラス方向からマイナス方向に移動する。また、ウエハホルダ１１は、Ｘ方向に往復移動する。このＸ方向のマイナス方向に移動する際、連設された保持部材３６の１つ１つが連結ピン３６ｇを回転中心としてベース７をたたく動作となる。
【００５４】
従来の構成では、保持部材の内部に収納された配線が一緒に移動し、振動が発生していたが、本実施形態では配線４と保持部材３６との間に配置された振動吸収部材３６ｊが振動を抑える作用をする。
【００５５】
なお、本実施形態では、配線４と保持部材３６との間として、外側キャップ部３６ｄに振動吸収部材３６ｊを固定する例について説明したが、上記第１実施形態のように、外側キャップ部３６ｄを振動吸収部材とすることでも、配線４と保持部材３６との間で発生する振動を抑制することができる。
【００５６】
また、外側キャップ３６ｄの配線４側の面に加え、上記第２実施形態のように、ベース部７側の面にも振動吸収部材を配置するようにしてもよい。
本実施形態では、配線４と保持部材３６との間として、外側キャップ部３６ｄの配線４側の面に振動吸収部材３６ｊを設ける例について説明したが、配線４とベース部７との間で且つ配線４と保持部材３６との間であれば、振動吸収部材３６ｊを配線に巻き付けるなど他の部材に設けてもよい。
【００５７】
以上説明した本実施形態においても、側面視（図７Ａ）における配線４とベース部７との間に振動吸収部材３６ｊを配置するという安価かつ簡素な構成によって、振動吸収部材３６ｊは、配線４と保持部材３６との間で発生する振動を吸収することができる。よって、本実施形態によっても、安価かつ簡素な構成で配線保持装置３２において発生する振動を抑制することができる。
【００５８】
また、本実施形態では、振動吸収部材３６ｊは、配線４と保持部材３６との間、具体的には外側キャップ部３６ｄの配線４側の面に配置されている。そのため、配線４と保持部材３６との間で発生する振動をより吸収することができる。
【００５９】
なお、以上説明した第１〜第３実施形態では、配線４とベース部７との間として、保持部材６，２６，３６に振動吸収部材６ｄ，２６ｊ，３６ｊを配置する例について説明したが、ベース部７上に吸収部材を設けることも考えられる。その場合には、振動吸収部材は、ベース部７のうち少なくとも保持部材が接触する位置に配置すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１Ａ】本発明の第１実施形態に係る基板検査装置を示す平面図である。
【図１Ｂ】本発明の第１実施形態に係る基板検査装置を示す側面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る配線保持装置の保持部材を示す概略斜視図である。
【図３Ａ】本発明の第１実施形態に係る配線保持装置の保持部材の変形例を示す側面図（その１）である。
【図３Ｂ】本発明の第１実施形態に係る配線保持装置の保持部材の変形例を示す側面図（その２）である。
【図３Ｃ】本発明の第１実施形態に係る配線保持装置の保持部材の変形例を示す側面図（その３）である。
【図４Ａ】本発明の第２実施形態に係る基板検査装置を示す平面図である。
【図４Ｂ】本発明の第２実施形態に係る基板検査装置を示す側面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る配線保持装置の保持部材を示す概略斜視図である。
【図６Ａ】本発明の第２実施形態に係る配線保持装置の保持部材の変形例を示す側面図（その１）である。
【図６Ｂ】本発明の第２実施形態に係る配線保持装置の保持部材の変形例を示す側面図（その２）である。
【図７Ａ】本発明の第３実施形態に係る基板検査装置を示す平面図である。
【図７Ｂ】本発明の第３実施形態に係る基板検査装置を示す側面図である。
【図７Ｃ】本発明の第３実施形態に係る基板検査装置を示す背面図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る配線保持装置の保持部材を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００６１】
１      基板検査装置
２      配線保持装置
３      検査部
４      配線
５      ステージスキャン部
６      保持部材
６ａ，６ｂ      側壁部
６ｃ      内側キャップ部
６ｄ      外側キャップ部（振動吸収部材）
６ｅ，６ｆ      連結部
６ｇ      連結ピン
６ｈ，６ｉ      連結孔
７      ベース部
８      軌道レール
９      ガントリ
１０      検査用カメラ
１１      ウエハホルダ
１２      ステージ部
１３      ＰＣ
１４      モニタ
１５      入力装置
２１      基板検査装置
２２      配線保持装置
２６      保持部材
２６ａ，２６ｂ      側壁部
２６ｃ      内側キャップ部
２６ｄ      外側キャップ部
２６ｅ，２６ｆ      連結部
２６ｇ      連結ピン
２６ｈ，２６ｉ      連結孔
２６ｊ      振動吸収部材
３１      基板検査装置
３２      配線保持装置
３６      保持部材
３６ａ，３６ｂ      側壁部
３６ｃ      内側キャップ部
３６ｄ      外側キャップ部
３６ｅ，３６ｆ      連結部
３６ｇ      連結ピン
３６ｈ，３６ｉ      連結孔
３６ｊ      振動吸収部材
【図２】
2009302368.tif 000003
【図３Ａ】
2009302368.tif 000004
【図３Ｂ】
2009302368.tif 000005
【図３Ｃ】
2009302368.tif 000006
【図５】
2009302368.tif 000007
【図６Ａ】
2009302368.tif 000008
【図６Ｂ】
2009302368.tif 000009
【図７Ｃ】
2009302368.tif 000010
【図８】
2009302368.tif 000011
【図１Ａ】
2009302368.tif 000012
【図１Ｂ】
2009302368.tif 000013
【図４Ａ】
2009302368.tif 000014
【図４Ｂ】
2009302368.tif 000015
【図７Ａ】
2009302368.tif 000016
【図７Ｂ】
2009302368.tif 000017