(57)【要約】【課題】装置サイズを大型化することなく、液滴の吐出状態が正常か否かを検出することが可能に構成された液滴吐出装置を提供すること。また、吐出異常を早期に発見することが可能な液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】インクジェットヘッドは、ノズル及びインク流路が形成された流路ユニット２２と、インク流路内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータを備えている。また、流路ユニット２２は、圧電材料からなるノズルプレート３３と、ノズルプレート３３の両面のノズル周囲領域にそれぞれ配置された、第１電極６１及び第２電極６２を有する。そして、プリンタは、圧電アクチュエータによってインク流路内のインクに圧力が付与されたときに生じる、第１電極６１と第２電極６２の電位差に基づいて、ノズル４０からの液滴の吐出状態が正常か否かを判定するように構成されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルとこのノズルに連通するとともに前記ノズルよりも流路面積の大きい液体流路が形成された流路ユニットと、前記液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与するエネルギー付与手段とを備えた液滴吐出装置であって、
前記流路ユニットは、
貫通状の前記ノズルが形成された、圧電材料からなるノズルプレートと、
前記液体流路が形成されるとともに、前記ノズルプレートと接合された流路構造体と、
前記ノズルプレートの両面の、前記ノズルの周囲領域にそれぞれ配置された、第１電極及び第２電極とを有し、
さらに、前記エネルギー付与手段によって前記液体流路内の液体に吐出エネルギーが付与されたときの、前記第１電極と前記第２電極の電位差に基づいて、前記ノズルからの液滴の吐出状態が正常か否かを判定する吐出状態判定手段を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記吐出状態判定手段は、
前記第１電極と前記第２電極の電位差が所定値以上であるときには、前記ノズルから液滴が吐出されたと判定し、
前記第１電極と前記第２電極の電位差が前記所定値未満であるときには、前記ノズルから液滴が吐出されていないと判定することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
少なくとも前記第１電極が、複数に分割されて前記ノズルの周囲領域に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記吐出状態判定手段は、
複数の前記第１電極のそれぞれと前記第２電極の間に生じた電位差に基づいて、ノズルからの液滴の吐出方向が正常か否かを判定することを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記ノズルプレートの、複数に分割された前記第１電極の間の領域に、前記ノズルから放射状に延びるスリットが形成されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記複数の第１電極にそれぞれ独立して電位を付与する電位付与手段と、
前記電位付与手段を制御して、前記複数の第１電極の電位をそれぞれ調整することにより、前記ノズルからの液滴の吐出方向を変更する吐出方向変更手段と、
を備えていることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記ノズルから液体を排出させることにより前記ノズルの吐出性能を回復させる回復手段と、この回復手段を制御する回復制御手段とを備え、
前記吐出状態判定手段により、前記ノズルからの吐出状態が異常であると判定されたときに、前記回復制御手段は、前記回復手段に前記ノズルの吐出性能回復動作を行わせることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液滴を吐出する液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液滴吐出装置として、ノズルから印刷用紙へ向けてインクの液滴を吐出するインクジェットヘッドを備え、印刷用紙に画像等を印刷するインクジェットプリンタが知られている。このようなインクジェットプリンタにおいては、インクジェットヘッドのインク流路内のインク粘度増加（以下、「増粘」とも称する）や、インク流路内への気泡の混入などの原因により、ノズルからインクを吐出できなくなるという問題が生じる。そこで、一般的なインクジェットプリンタは、ノズルからインクを吸引する吸引パージ処理や、印刷前あるいは印刷途中に、廃液受けに向けてノズルから液滴を複数回連続して吐出するフラッシング処理等、種々のメンテナンス処理を行って増粘インクや気泡をインクとともに排出し、ノズルの液滴吐出性能を回復することが可能に構成されている。
【０００３】
ところで、上述したメンテナンス時には、増粘インクや気泡とともにノズルからインクが排出されるため、メンテナンス処理を頻繁に行うと無駄に排出されるインク量が増大してしまう。そこで、メンテナンス時のインク消費量を抑制するために、ノズルに不吐出状態が生じているか否かを検出した上で、ノズルに不吐出が検出されたときにのみメンテナンス処理を実行するように構成されているものが提案されている。
【０００４】
特許文献１に記載のインクジェットプリンタは、所定の走査方向に往復移動しながら印刷用紙に液滴を吐出するシリアル型のインクジェットヘッド（印刷ヘッド）と、印刷用紙と対向する印刷領域よりもヘッド走査方向に関して外側の位置に配置されたドット抜け検査部とを備えている。ドット抜け検査部は、レーザー光を発射する発光部と、発光部から発射されたレーザー光を受光する受光部とを有する。
【０００５】
ノズルに不吐出が生じているか否かを検出する際には、インクジェットプリンタの制御部は、まず、インクジェットヘッドを、印刷領域外の、ドット抜け検査部の発光部及び受光部が配置されている領域まで移動させる。その後、ドット抜け検査部において、発光部から受光部に向けてレーザー光を発射させた状態で、ノズルからインクの液滴を吐出させる。このとき、ノズルから液滴が吐出された場合には、吐出された液滴によってレーザー光の一部が遮断されるが、液滴が吐出されなかった場合には当然ながらレーザー光は遮断されない。従って、受光部で受光したレーザー光の光量の低下度合から、ノズルから液滴が吐出されたか否かを検出することが可能となる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−７６３１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記特許文献１のインクジェットプリンタにおいては、インクジェットヘッドのノズルに不吐出が生じているか否かを検出するドット抜け検査部が、インクジェットヘッドとは別に、印刷領域よりも外側の領域に設置されている。従って、プリンタの本体内にドット抜け検査部を配置するスペースを余計に確保する必要があり、その分、プリンタが大型化するという問題があった。
【０００８】
また、インクジェットヘッドを、印刷領域外に配置されたドット抜け検査部の位置まで移動させないと、ノズルの不吐出を検出することができない。従って、インクジェットヘッドが印刷領域を往復移動しながら通常の印刷動作を行っているときや、ドット抜け検査部とは別の位置に配置された廃液受けに向けてフラッシングを行っているときに、同時に、ドット抜け検査部でノズルの不吐出を検出することはできない。そのため、ノズルの不吐出の発見が遅れ、その不吐出状態が存在したままでしばらくの間印刷が行われてしまう虞があった。
【０００９】
本発明の目的は、装置サイズを大型化することなく、液滴の吐出状態が正常か否かを検出することが可能に構成された液滴吐出装置を提供することである。また、本発明の他の目的は、吐出異常を早期に発見することが可能な液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の発明の液滴吐出装置は、液滴を吐出するノズルとこのノズルに連通するとともに前記ノズルよりも流路面積の大きい液体流路が形成された流路ユニットと、前記液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与するエネルギー付与手段とを備えた液滴吐出装置であって、
前記流路ユニットは、貫通状の前記ノズルが形成された、圧電材料からなるノズルプレートと、前記液体流路が形成されるとともに、前記ノズルプレートと接合された流路構造体と、前記ノズルプレートの両面の、前記ノズルの周囲領域にそれぞれ配置された、第１電極及び第２電極とを有し、
さらに、前記エネルギー付与手段によって前記液体流路内の液体に吐出エネルギーが付与されたときの、前記第１電極と前記第２電極の電位差に基づいて、前記ノズルからの液滴の吐出状態が正常か否かを判定する吐出状態判定手段を備えていることを特徴とするものである。
【００１１】
ノズルプレートに形成されたノズルは、それよりも上流の、流路構造体に形成された液体流路よりも流路面積が小さいことから、ノズルプレートは、流路構造体に接していないノズルの周囲領域において変形可能となっている。さらに、このノズルプレートのノズル周囲領域は、ノズルからの液滴の吐出状態によって様々な変形態様をとる。例えば、エネルギー付与手段により液体流路内の液体に吐出エネルギーが付与されたときに、ノズルから液滴が正常に吐出された場合には、ノズルプレートのノズル周囲領域は大きく変形するが、ノズルから液滴が吐出されなかったときには、ノズルプレートはあまり変形しない。また、ノズルから液滴が吐出された場合でも、その液滴の吐出方向（ノズルの軸線方向）が正規の方向から傾いている場合には、ノズルプレートの変形は、ノズルの周方向における一部分に偏って生じる。従って、ノズルプレートが圧電材料で構成された上で、このノズルプレートの変形態様に応じて第１電極と第２電極の間に生じる電位差から、液滴の吐出状態が正常か否かを判定することが可能となる。
【００１２】
本発明によれば、ノズルの吐出状態を検出するための構成が流路ユニットのノズルプレートと一体化されているため、このような構成が付加されることによって、液滴吐出装置のサイズが大型化することはない。また、吐出状態の判定は、ノズルから液滴を吐出できる状況であればいつでも行うことができる。つまり、ノズルから通常の液滴吐出が行われている最中や、ノズルの吐出性能回復のための液滴吐出（フラッシング）が行われている最中においても、そのときのノズルプレートの変形に応じて第１電極と第２電極の間に生じる電位差から、ノズルの吐出状態が正常か否かを検出することが可能である。そのため、ノズルに吐出異常が生じていることが速やかに発見されうる。
【００１３】
第２の発明の液滴吐出装置は、前記第１の発明において、前記吐出状態判定手段は、前記第１電極と前記第２電極の電位差が所定値以上であるときには、前記ノズルから液滴が吐出されたと判定し、前記第１電極と前記第２電極の電位差が前記所定値未満であるときには、前記ノズルから液滴が吐出されていないと判定することを特徴とするものである。
【００１４】
ノズルから液滴が吐出されたときには、ノズルプレートは、ノズルの周囲領域において大きく変形するため、第１電極と第２電極の電位差は大きくなる。一方、液滴が吐出されなかったときには、ノズルプレートの変形量は小さいため、第１電極と第２電極の電位差は小さくなる。従って、第１電極と第２電極の電位差を予め定められた閾値と比較することで、ノズルから液滴が吐出されたか否かを判定することができる。
【００１５】
第３の発明の液滴吐出装置は、前記第１又は第２の発明において、少なくとも前記第１電極が、複数に分割されて前記ノズルの周囲領域に配置されていることを特徴とするものである。
【００１６】
このように、第１電極が複数に分割されていると、複数の第１電極のそれぞれと第２電極の電位差から、ノズル周囲領域の周方向複数箇所における変形の程度をそれぞれ個別に認識することができる。これにより、液滴が吐出されたときの、ノズルプレートの変形の偏りを検出することが可能となる。
【００１７】
第４の発明の液滴吐出装置は、前記第３の発明において、前記吐出状態判定手段は、複数の前記第１電極のそれぞれと前記第２電極の間に生じた電位差に基づいて、ノズルからの液滴の吐出方向が正常か否かを判定することを特徴とするものである。
【００１８】
液滴が吐出されたときに、複数の第１電極の間で第２電極との電位差がほぼ均一であるときには、ノズルプレートの変形がノズルの周方向に関して偏っていないことから、液滴が正規の方向に沿って正常に吐出されたと判定できる。一方、複数の第１電極の間で第２電極との電位差に違いが生じているときには、ノズルプレートの変形が一部分に偏って生じていることから、液滴の吐出方向が正規の方向に対して傾いた、吐出異常の状態であると判定できる。
【００１９】
第５の発明の液滴吐出装置は、前記第３又は第４の発明において、前記ノズルプレートの、複数に分割された前記第１電極の間の領域に、前記ノズルから放射状に延びるスリットが形成されていることを特徴とするものである。
【００２０】
この構成によれば、液滴が吐出される際に、複数の第１電極が配置された、ノズルプレートの複数の箇所における変形をそれぞれ大きくすることができる。これにより、液滴が吐出されたときの、ノズルプレートの変形の偏りを検出しやすくなる。また、逆に、外部から複数の第１電極にそれぞれ独立して電位を付与し、これら複数の第１電極のそれぞれと第２電極との間に電位差を生じさせることにより、ノズルプレートの、スリットで分断された前記複数箇所のそれぞれを、独立して変形させることも可能になる。
【００２１】
第６の発明の液滴吐出装置は、前記第５の発明において、前記複数の第１電極にそれぞれ独立して電位を付与する電位付与手段と、前記電位付与手段を制御して、前記複数の第１電極の電位をそれぞれ調整することにより、前記ノズルからの液滴の吐出方向を変更する吐出方向変更手段とを備えていることを特徴とするものである。
【００２２】
第１電極が複数に分割されて配置され、さらに、複数の第１電極の間の領域においてノズルプレートにスリットが形成されていることから、電位付与手段により、複数の第１電極に対して個別に電位を付与することで、これら複数の第１電極が配置されている領域のそれぞれを、独立して変形させることができる。これにより、ノズルプレートの一部を局所的に変形させて、ノズルの液滴吐出方向を変更することが可能になる。
【００２３】
第７の発明の液滴吐出装置は、前記第１〜第６の何れかの発明において、前記ノズルから液体を排出させることにより前記ノズルの吐出性能を回復させる回復手段と、この回復手段を制御する回復制御手段とを備え、前記吐出状態判定手段により、前記ノズルからの吐出状態が異常であると判定されたときに、前記回復制御手段は、前記回復手段に前記ノズルの吐出性能回復動作を行わせることを特徴とするものである。
【００２４】
この構成によれば、吐出状態判定手段により、ノズルの吐出状態が異常であると判定されたときには、回復制御手段は、回復手段に吐出性能回復動作を行わせて、吐出異常を引き起こす、増粘液体、気泡、あるいは、塵等を液体とともにノズルから排出させる。これにより、ノズルの吐出異常を解消することが可能になる。
【発明の効果】
【００２５】
ノズルの吐出状態を検出するための構成が流路ユニットのノズルプレートと一体化されているため、このような構成が付加されることによって、液滴吐出装置のサイズが大型化することはない。また、吐出状態の判定は、ノズルから液滴を吐出できる状況であればいつでも行うことができる。つまり、ノズルから通常の液滴吐出が行われている最中や、ノズルの吐出性能回復のための液滴吐出（フラッシング）が行われている最中においても、そのときのノズルプレートの変形に応じて第１電極と第２電極の間に生じる電位差から、ノズルの吐出状態が正常か否かを検出することが可能である。そのため、ノズルに吐出異常が生じていることが速やかに発見されうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、インクジェットヘッドから印刷用紙に対してインクの液滴を吐出することにより、印刷用紙に所望の文字や画像等を印刷するプリンタに、本発明を適用したものである。
【００２７】
図１は、本実施形態に係るプリンタの概略構成を示す平面図である。図１に示すように、プリンタ１（液滴吐出装置）は、一方向に沿って往復移動可能に構成されたキャリッジ２と、このキャリッジ２に搭載されたインクジェットヘッド３、及び、サブタンク４ａ〜４ｄと、インクを貯留するインクカートリッジ６ａ〜６ｄと、エア混入等によってインクジェットヘッド３の液滴吐出性能が低下したときに、その性能を回復させるためのメンテナンスユニット７と、プリンタ１の各部をそれぞれ制御する制御装置８（図６参照）等を備えている。
【００２８】
プリンタ１には、水平な一方向（図１の左右方向：走査方向）に平行に延びるとともに、走査方向と直交する紙送り方向に間隔を空けて配置された２本のガイドフレーム１７ａ，１７ｂが設けられており、これら２本のガイドフレーム１７ａ，１７ｂにキャリッジ２が取り付けられている。また、キャリッジ２には無端ベルト１８が連結されている。そして、この無端ベルト１８がキャリッジ駆動モータ１９により走行駆動されることによって、キャリッジ２は、２本のガイドフレーム１７ａ，１７ｂによって案内されつつ、無端ベルト１８の走行に伴って左右方向に移動するようになっている。
【００２９】
このキャリッジ２には、インクジェットヘッド３と４つのサブタンク４ａ〜４ｄが搭載されている。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動しつつ、その下面（図１の紙面向こう側の面）に設けられたノズル４０（図２〜図５参照）から、図示しない用紙搬送機構により紙送り方向（図１の下方）に搬送される印刷用紙Ｐにインクの液滴を噴射する。これにより、印刷用紙Ｐに所望の文字や画像等が印刷される。
【００３０】
４つのサブタンク４ａ〜４ｄは走査方向に沿って並べて配置されており、インクジェットヘッド３の４つのインク供給口３８（図２参照）にそれぞれ接続されている。また、これら４つのサブタンク４ａ〜４ｄにはチューブジョイント２１が一体的に設けられている。このチューブジョイント２１に連結された可撓性のチューブ１１ａ〜１１ｄを介して、４つのサブタンク４ａ〜４ｄと４つのインクカートリッジ６ａ〜６ｄとがそれぞれ接続されている。
【００３１】
４つのインクカートリッジ６ａ〜６ｄには、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの、４色のインクがそれぞれ貯留されており、これらのインクカートリッジ６ａ〜６ｄは、ホルダ１０に着脱自在に装着されている。そして、４つのインクカートリッジ６ａ〜６ｄに貯留された４色のインクは、サブタンク４ａ〜４ｄに一時的に貯留された後、インクジェットヘッド３に供給される
【００３２】
メンテナンスユニット７は、走査方向に関するキャリッジ２の移動範囲のうちの、印刷用紙Ｐと対向する印刷領域よりも外側（図１における右側）の領域に配置されている。このメンテナンスユニット７は、インクジェットヘッド３のインク流路内におけるインクの増粘や、インク流路内への気泡や塵等の混入によって、インクジェットヘッド３のノズル４０に吐出不良が生じたときに、メンテナンス処理（吐出性能回復動作）として、ノズル４０からインクを吸引して排出する吸引パージ、あるいは、ノズル４０からインクの液滴を複数回連続して吐出するフラッシングを行うためのものである。
【００３３】
図１に示すように、メンテナンスユニット７は、液滴を吐出するインクジェットヘッド３の下面に密着可能なキャップ部材１３と、このキャップ部材１３に接続された吸引ポンプ１４と、インクジェットヘッド３の下面に付着したインクを拭き取るワイパー１６と、フラッシング時にインクジェットヘッド３のノズル４０から吐出されたインクを受ける廃液受け１２等を備えている。
【００３４】
吸引パージ時には、キャップ部材１３、吸引ポンプ１４、及び、ワイパー１６等が使用される。吸引パージを実行する際には、まず、キャリッジ２は、キャリッジ駆動モータ１９によって、インクジェットヘッド３のノズル４０がキャップ部材１３と対向する位置まで駆動される。その状態で、キャップ部材１３は、図示しないキャップ駆動機構によって上方（図１の紙面手前側）に駆動されて、インクジェットヘッド３の下面に密着し、複数のノズル４０を覆うことが可能に構成されている。
【００３５】
また、このキャップ部材１３は、切り替えユニット１５を介して吸引ポンプ１４と接続されている。そして、キャップ部材１３がインクジェットヘッド３の下面に配置されたノズル４０を覆っている状態で、吸引ポンプ１４を作動させることにより、ノズル４０からインクを吸引して排出するように構成されている。また、ノズル４０からインクが吸引排出されてから、キャップ部材１３がインクジェットヘッド３の下面から離れた状態で、インクジェットヘッド３がキャリッジ２とともにワイパー１６に対して走査方向に移動することで、インクジェットヘッド３の下面に付着したインクが、ワイパー１６によって拭き取られる。
【００３６】
尚、本実施形態においては、図１に示すように、キャップ部材１３は、ブラックインクを噴射するノズル４０を覆う第１キャップ部１３ａと、３色のカラーインク（イエローインク、マゼンタインク、及び、シアンインク）を噴射するノズル４０を覆う第２キャップ部１３ｂとを備えており、第１キャップ部１３ａと第２キャップ部１３ｂは互いに隔てられている。また、これら第１キャップ部１３ａと第２キャップ部１３ｂは、チューブを介して切り替えユニット１５にそれぞれ接続され、さらに、この切り替えユニット１５が吸引ポンプ１４に接続されている。尚、切り替えユニット１５は、吸引ポンプ１４の連通先を切り替えるものである。そして、切り替えユニット１５によって、吸引ポンプ１４の連通先を、第１キャップ部１３ａと第２キャップ部１３ｂとの間で切り替えることで、ブラックインクを噴射するノズル４０とカラーインクを噴射するノズル４０の一方を選択してインクを吸引することが可能となっている。
【００３７】
一方、フラッシングを実行する際には、キャリッジ２は、キャリッジ駆動モータ１９によって、インクジェットヘッド３の複数のノズル４０が廃液受け１２と対向する位置まで駆動される。また、廃液受け１２には、スポンジ等の吸収部材が設けられている。そして、廃液受け１２は、フラッシング時にノズル４０から吐出されたインクの液滴を受け止め、そのインクを吸収部材によって保持するように構成されている。
【００３８】
次に、インクジェットヘッド３について詳細に説明する。図２は、図１のインクジェットヘッド３の上面図、図３は、図２の部分拡大図、図４は、図３のIV-IV線断面図である。ただし、図面を分かりやすくするため、図２においては図３では示されている圧力室３４及び貫通孔３５，３６，３９の図示を省略するとともに、ノズル４０を図３、図４よりも大きく図示している。
【００３９】
図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド３は、ノズル４０、及び、圧力室３４を含むインク流路が形成された流路ユニット２２と、圧力室３４内のインクに圧力（吐出エネルギー）を付与することにより、流路ユニット２２のノズル４０からインクを吐出させる圧電アクチュエータ２３（エネルギー付与手段）を備えている。
【００４０】
流路ユニット２２は、ステンレス鋼等の金属材料で形成された、キャビティプレート３０、ベースプレート３１、及び、マニホールドプレート３２と、圧電材料からなるノズルプレート３３を備えており、これら４枚のプレート３０〜３３は積層状態で接合されている。
【００４１】
ノズルプレート３３には、複数の貫通状のノズル４０が形成されている。複数のノズル４０は、紙送り方向（図２の上下方向）に沿って配列されてノズル列４１を構成しており、このようなノズル列４１が走査方向（図８の左右方向）に４本並べて配置されている。これら４本のノズル列４１に属するノズル４０からは、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの４色のインクがそれぞれ吐出される。
【００４２】
図５（ａ）は、図４のノズル４０の周辺部分の拡大図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のノズル４０の周辺部分を下方から見た図である。後で詳細に説明するが、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、流路ユニット２２には、圧電材料からなるノズルプレート３３自体を含み、ノズル４０からの液滴の吐出状態を検出するため、及び、液滴の吐出方向を調整するための、圧電部６０が設けられている。また、図５（ｂ）に示すように、ノズルプレート３３のノズル周囲領域には、ノズル４０から放射状に延びる３本のスリット３３ａが形成されている。
【００４３】
図３、図４に示すように、キャビティプレート３０には、複数のノズル４０に対応して複数の圧力室３４が形成されている。圧力室３４は走査方向を長手方向とする略楕円の平面形状を有し、平面視で圧力室３４の右端部がノズル４０と重なるように配置されている。また、ベースプレート３１には、平面視で圧力室３４の長手方向の両端部に重なる位置に、それぞれ貫通孔３５，３６が形成されている。
【００４４】
マニホールドプレート３２には、４本のノズル列４１にそれぞれ対応する４本のマニホールド流路３７が形成されている。図２〜図４に示すように、各マニホールド流路３７は、対応するノズル４０列の左側の位置において紙送り方向に延在し、さらに、平面視で、対応する圧力室３４の略左半分と重なっている。また、図２に示すように、４本のマニホールド流路３７の一端部（紙送り方向上流側の端部：図２における上端部）は、最上層のキャビティプレート３０に形成された４つのインク供給口３８にそれぞれ連通している。これら４つのインク供給口３８は、前述した４つのサブタンク４とそれぞれ接続されており、サブタンク４内のインクがインク供給口３８からマニホールド流路３７に供給される。また、マニホールドプレート３２には、平面視で、ベースプレートの貫通孔３６とノズルプレート３３のノズル４０の両方と重なる位置に、貫通孔３９が形成されている。
【００４５】
そして、図４に示すように、流路ユニット２２内において、インク供給口３８に連なるマニホールド流路３７が貫通孔３５を介して圧力室３４に連通し、圧力室３４はさらに貫通孔３６、３９を介してノズル４０に連通している。つまり、流路ユニット２２には、マニホールド流路３７の出口から圧力室３４を経てノズル４０に至る複数の個別インク流路が形成されている。
【００４６】
尚、本実施形態においては、インク供給口３８（図２参照）、マニホールド流路３７、貫通孔３５、圧力室３４、及び、貫通孔３６，３９からなり、ノズル４０に連通するインク流路が、本発明の「液体流路」に相当する。また、このインク流路が形成されるとともにノズルプレート３３に接合される、３枚の金属プレート３０，３１，３２の積層体が、本発明の「流路構造体」に相当する。
【００４７】
圧電アクチュエータ２３は、振動板５０、圧電層５１及び複数の個別電極５２を有している。振動板５０は金属材料などの導電性材料からなり、複数の圧力室３４を覆うようにキャビティプレート３０の上面に接合されている。また、導電性を有する振動板５０は、後述するように圧電層５１の複数の個別電極５２との間に配置された部分に電界を作用させるための共通電極を兼ねており、ヘッドドライバ５４（図６参照）のグランド配線に接続されて常にグランド電位に保持されている。
【００４８】
圧電層５１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であり、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、振動板５０の上面に複数の圧力室３４にまたがって連続的に配置されている。また、圧電層５１は予めその厚み方向に分極されている。
【００４９】
複数の個別電極５２は、圧電層５１の上面に複数の圧力室３４に対応して設けられている。個別電極５２は、圧力室３４よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有しており、平面視で、圧力室３４の略中央部に重なる位置に配置されている。また個別電極５２の長手方向における一端部（図３の左端部）は、平面視で圧力室３４と重ならない位置まで左方に延びており、その先端部が接点５２ａとなっている。接点５２ａには、図示しないフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等の配線部材を介してヘッドドライバ５４が接続される。そして、ヘッドドライバ５４から複数の個別電極５２に対して、所定の駆動電位とグランド電位の何れか一方の電位が選択的に付与される。
【００５０】
以上の構成を有する圧電アクチュエータ２３の作用について説明する。インクに圧力を付与しないとき（ノズル４０からインクの液滴を吐出させないとき）には、複数の個別電極５２の電位は、ヘッドドライバ５４により予めグランド電位に保持されている。その状態から、ヘッドドライバ５４により複数の個別電極５２の何れかに所定の駆動電位が付与されると、駆動電位が付与された個別電極５２とグランド電位に保持された共通電極としての振動板５０との間に電位差が発生し、圧電層５１の個別電極５２と振動板５０とに挟まれた部分に厚み方向の電界が発生する。ここで、圧電層５１の分極方向が電界方向と同じである場合には、圧電層５１は厚み方向に伸びて面方向に収縮する。そして、この圧電層５１の収縮変形に伴って、振動板５０の圧力室３４と対向する部分が圧力室３４側に凸となるように変形する（ユニモルフ変形）。このとき、圧力室３４の容積が減少することになるから、その内部のインクの圧力が上昇し、圧力室３４に連通するノズル４０からインクの液滴が吐出される。
【００５１】
尚、図５（ｂ）に示すように、ノズルプレート３３のノズル周囲領域には、ノズル４０から放射状に延びる３本のスリット３３ａが形成されている。そのため、圧電アクチュエータ２３によって圧力室３４内のインクに付与された圧力の大きさに応じて、ノズルプレート３３をノズル４０の周囲領域において変形させ、ノズル４０の流路面積を変更させることができる。つまり、圧電アクチュエータ２３により圧力室３４内のインクに大きな圧力を付与することで、ノズル４０の流路面積を大きくして、大きな液滴を吐出させることができる。逆に、圧力室３４内のインクに小さな圧力を付与することで、ノズル４０の流路面積を小さくして、小さな液滴を吐出させることができる。このように、ノズルプレート３３に３本のスリット３３ａが形成されていることで、液滴体積の大きさを調整することが容易になる。
【００５２】
ところで、流路ユニット２２のノズル４０やその上流のインク流路内において、乾燥によるインクの増粘や、気泡の流入、あるいは、塵の混入等が生じると、ノズル４０から液滴が吐出されなくなったり、あるいは、吐出方向が正規の方向（本実施形態では鉛直方向下方）から傾いてしまったりする。
【００５３】
そこで、本実施形態のインクジェットヘッド３には、ノズル４０からの液滴の吐出状態が正常か否かを検出するため、及び、液滴の吐出方向を調整するために、液滴吐出時に作動する圧電部６０が設けられている。以下、この圧電部６０の具体的構成について、図５（ａ），（ｂ）を参照して詳細に説明する。
【００５４】
まず、ノズル４０が形成されているノズルプレート３３は、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）フィルムなどの、強誘電性を示すポリマーを含んだ圧電高分子フィルムで構成されている。前述したように、このノズルプレート３３が、ノズル４０よりも上流側のインク流路をなす貫通孔３９が形成されたマニホールドプレート３２の下面に接合されることで、ノズル４０は貫通孔３９の下端に連通している。ここで、図５（ａ）に示すように、ノズル４０よりも上流に位置する貫通孔３９の流路面積（孔の軸線に直交する面（水平面）における断面積）は、ノズル４０の流路面積よりも十分大きくなっている。そのため、ノズルプレート３３は、ノズル４０を取り囲む部分（以下、ノズル周囲領域ともいう）において、マニホールドプレート３２とは接合されておらず、この部分は上下に変形できる状態となっている。
【００５５】
その上で、図５に示すように、ノズルプレート３３の下面の、各ノズル４０の周囲領域には、第１電極６１が配置されている。各ノズル４０に対応する第１電極６１は３つに分割されており、各々の第１電極６１は矩形の平面形状を有する。さらに、分割された３つの第１電極６１はノズル４０の周囲領域において、ノズル４０の周方向に関して等間隔（角度で１２０度）離れた位置にそれぞれ配置されている。また、３つの第１電極６１からはそれぞれ独立した配線６１ａが引き出され、これらの配線６１ａを介して、３つの第１電極６１は、図６に示す起電力検出回路６５と駆動回路６６（電位付与手段）に接続されている。
【００５６】
さらに、図５（ｂ）に示すように、ノズルプレート３３の、３つに分割された第１電極６１の間の領域には、ノズル４０から放射状に延びる３本のスリット３３ａがそれぞれ形成されている。これにより、ノズルプレート３３の、３つの第１電極６１が配置された３つの部分の各々が、スリット３３ａによって隣接する部分と切り離されることから、第１電極６１が配置された部分がそれぞれ独立して変形しやすくなる。
【００５７】
一方、ノズルプレート３３の上面の、ノズル４０の周囲領域には、３つの第１電極６１の全てと対向する環状の第２電極６２が配置されている。この第２電極６２は、グランド配線に接続されて、常にグランド電位に保持されている。
【００５８】
また、ノズルプレート３３の両面には、各ノズル４０の周囲領域に配置された第１電極６１と第２電極６２をそれぞれ完全に覆うように、絶縁材料からなる被覆層６３，６４が形成されている。尚、ノズル４０から吐出された液滴の一部が付着する、ノズルプレート３３の下面を覆う被覆層６３は、付着した液滴がノズル４０の周囲に滞留するのを防止するために、フッ素系樹脂等の撥液性の高い材料で形成されることが好ましい。
【００５９】
尚、図６のブロック図に示されているように、圧電部６０の３つの第１電極６１と、起電力検出回路６５及び駆動回路６６の間には、切換スイッチ６７が設けられている。そして、３つの第１電極６１と起電力検出回路６５とが導通するように、切換スイッチ６７が切り換えられている状態では、圧電材料からなるノズルプレート３３が変形することによって、３つの第１電極６１のそれぞれと第２電極６２との間に生じた電位差（起電力）を起電力検出回路６５で検出できるようになる。一方、３つの第１電極６１と駆動回路６６とが導通するように、切換スイッチ６７が切り換えられている状態では、駆動回路６６から３つの第１電極６１に電位を付与して、グランド電位に保持されている第２電極６２との間に電位差を発生させることで、圧電材料からなるノズルプレート３３を変形させることができる。
【００６０】
そして、ノズル４０から液滴を吐出するために、圧電アクチュエータ２３によって圧力室３４内のインクに圧力（吐出エネルギー）が付与された時には、インクの圧力によって、ノズルプレート３３は、マニホールドプレート３２と接合されていないノズル周囲領域において変形するが、この変形の程度は、実際にノズル４０から液滴が吐出されたか否かによって異なり、また、液滴が吐出された場合でもその吐出方向によっても変形の程度は異なる。従って、ノズルプレート３３の変形態様に応じて、３つの第１電極６１のそれぞれと第２電極６２との間に発生した電位差（起電力）を起電力検出回路６５により検出し、検出された電位差に基づいて、ノズル４０からの吐出状態が正常か否かを判定することが可能となる。この圧電部６０からの出力信号に基づく吐出状態の判定については、後ほど詳細に説明する。
【００６１】
また、先に述べた吐出状態の検出時とは逆に、駆動回路６６（電位付与手段）から３つの第１電極６１に独立して電位を付与することにより、３つの第１電極６１と第２電極６２の間にそれぞれ電位差を生じさせて、ノズルプレート３３を、３つの第１電極６１がそれぞれ配置された３つの領域において独立して変形させることが可能となる。従って、あるノズル４０の吐出方向が、正規の吐出方向である鉛直方向から傾いている場合に、ノズルプレート３３の一部を局所的に変形させることで、ノズル４０の吐出方向を調整することが可能となる。この圧電部６０を用いた吐出方向調整についても、後ほど詳細に説明するものとする。
【００６２】
次に、プリンタ１の電気的構成について、制御装置８を中心に、図６のブロック図を参照して説明する。
【００６３】
図６に示される制御装置８は、中央処理装置であるＣＰＵ（Central Processing Unit）と、プリンタ１１の全体動作を制御する為の各種プログラムやデータ等が格納されたＲＯＭ（Read Only Memory）と、ＣＰＵで処理されるデータ等を一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）等を備えている。
【００６４】
また、図６に示すように、制御装置８は、印刷用紙への印刷を制御する印刷制御部７０、ノズル４０の吐出性能回復のためのメンテナンス処理を実行させるメンテナンス制御部７１、圧電部６０からの出力に基づいてノズル４０の吐出状態を判定する吐出状態判定部７２、及び、圧電部６０を用いてノズル４０の吐出方向を調整する吐出方向変更部７３を備えている。尚、これら制御装置８の各部（印刷制御部７０、メンテナンス制御部７１、吐出状態判定部７２、及び、吐出方向変更部７３）の機能は、ＲＯＭに記憶された各種制御プログラムがＣＰＵによって実行されることにより実現される。
【００６５】
印刷制御部７０は、ＰＣ等の入力装置８０から入力されたデータに基づいて、キャリッジ２を往復駆動するキャリッジ駆動モータ１９、インクジェットヘッド３のヘッドドライバ５４、印刷用紙Ｐを搬送する用紙搬送機構（図示省略）に含まれる搬送モータ２５等を制御して、印刷用紙Ｐへの画像等の印刷を行わせる。
【００６６】
メンテナンス制御部７１（回復制御手段）は、フラッシング制御部７４とパージ制御部７５とを備えている。フラッシング制御部７４は、インクジェットヘッド３のヘッドドライバ５４を制御して、圧電アクチュエータ２３によって圧力室３４内のインクに圧力を付与することで、インクジェットヘッド３に、ノズル４０から複数回連続してインクの液滴を吐出させるフラッシングを実行させる。一方、パージ制御部７５は、吸引ポンプ１４等のメンテナンスユニット７の各部を制御して、インクジェットヘッド３の複数のノズル４０からキャップ部材１３を介してインクを吸引排出させる、吸引パージを実行させる。尚、本実施形態においては、吸引ポンプ１４等を含むメンテナンスユニット７と、フラッシングを行う際にインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ２３、及び、この圧電アクチュエータ２３を駆動するヘッドドライバ５４が、ノズル４０からインクを排出させて吐出性能を回復させる、本発明の「回復手段」に相当する。
【００６７】
（吐出状態判定）
次に、吐出状態判定部７２について詳細に説明する。吐出状態判定部７２（吐出状態判定手段）は、あるノズル４０から液滴の吐出タイミングにおいて、起電力検出回路６５で検出された、圧電部６０の３つの第１電極６１のそれぞれと第２電極６２の電位差に基づいて、そのノズル４０からの液滴の吐出状態が正常か否かを判定する。
【００６８】
図７は、圧電アクチュエータ２３によって圧力室３４内のインクに圧力が付与されたときの、ノズル周囲領域におけるノズルプレート３３の変形状態を示す図であり、（ａ）は正常吐出状態、（ｂ）は不吐出状態、（ｃ）は吐出方向が傾いた状態をそれぞれ示している。尚、図面の簡単のため、この図７においては、図５では示されている被覆層６３，６４の図示は省略している。
【００６９】
図７（ａ）に示すように、圧電アクチュエータ２３によって圧力室３４内のインクに圧力が付与されたときに、この圧力室３４に連通するノズル４０から液滴Ｄが鉛直下方に向けて正常に吐出されたときには、ノズルプレート３３は、ノズル周囲領域において、ノズル４０の周方向に関してほぼ均一に、下方に凸となるように変形し、さらに、そのときの変形量（下方への変位量）は比較的大きなものとなる。そのため、ノズルプレート３３の変形に応じて発生する、３つの第１電極６１と第２電極６２の電位差は、ある所定値以上の大きな値を示すとともに、３つの第１電極６１に関して、第２電極６２との電位差はほぼ等しくなる。
【００７０】
一方、図７（ｂ）に示すように、圧力室３４内のインクに圧力が付与されても、この圧力室３４に連通するノズル４０から液滴が吐出されなかったときには、ノズルプレート３３は、ノズル周囲領域において多少は下方に凸となるように変形するものの、図７（ａ）のように液滴Ｄが吐出された場合に比べると、その変形量は格段に小さい。そのため、３つの第１電極６１と第２電極６２の電位差は、ある所定値未満の小さな値を示す。
【００７１】
また、図７（ｃ）に示すように、ノズル４０から液滴Ｄが吐出されたものの、ノズル４０の軸線が鉛直方向に対して傾いているために、液滴Ｄの吐出方向が正規の方向である鉛直方向からずれてしまっている場合には、ノズルプレート３３の、ノズル周囲領域における変形は、ノズル４０の周方向に関して均一とならず、変形量にばらつきが生じる。そのため、３つの第１電極６１の間で、第２電極６２との電位差に違いが生じる。
【００７２】
そこで、吐出状態判定部７２は、起電力検出回路６５で検出された、３つの第１電極６１のそれぞれと第２電極６２の電位差から、以下のようにして、ノズル４０からの液滴の吐出状態が正常か否かを判定する。図８は、吐出状態判定に関するフローチャートを示している。尚、図８中のＳｉ（ｉ＝１０，１１，１２・・・）はステップ番号を示している。
【００７３】
図８に示される吐出状態判定は、全てのノズル４０に対してそれぞれ行われる。また、この吐出状態の判定は、ノズル４０から液滴を吐出できる状況であればいつでも実行できる。従って、印刷用紙Ｐに画像等を印刷する通常印刷時であってもよいし、メンテナンスユニット７の廃液受け１２に向けて液滴を連続して吐出するフラッシング時であってもよい。
【００７４】
まず、制御装置８の印刷制御部７０から圧電アクチュエータ２３に対して、吐出状態判定の対象となるノズル４０から液滴を吐出させる指令が出力された場合には、吐出状態判定部７２は、圧電アクチュエータ２３によって、このノズル４０に連通する圧力室３４内のインクに圧力が付与された（圧力室３４が駆動された）と判断する（Ｓ１０：Ｙｅｓ）。
【００７５】
このとき、Ｓ１１において、起電力検出回路６５で検出された、３つの第１電極６１と第２電極６２との電位差Ｖ１が、全て所定値Ｖ０以上である場合には（Ｓ１１：Ｙｅｓ）、ノズルプレート３３が大きく変形していることから液滴が吐出された（図７（ａ）の状態）と判定して、Ｓ１２へ進む。一方、少なくとも１つの第１電極６１と第２電極６２との電位差Ｖ１が、所定値Ｖ０を下回っている場合には（Ｓ１１：Ｎｏ）、ノズルプレート３３の変形量が小さいことから、液滴が吐出されていない（図７（ｂ）の状態）として、吐出状態が異常であると判定する（Ｓ１４）。
【００７６】
次に、Ｓ１２において、３つの第１電極６１の間で、第２電極６２との間に生じている電位差Ｖ１の差が、所定値ΔＶ未満である場合には（Ｓ１２：Ｙｅｓ）、ノズルプレート３３の、ノズル周方向に関する変形量がほぼ均一であり、液滴の吐出方向が正規の方向である（図７（ａ）の状態）と判断できることから、吐出状態が正常であると判定する（Ｓ１３）。一方、３つの第１電極６１の間で、第２電極６２との電位差Ｖ１の差が所定値ΔＶ以上である場合には（Ｓ１２：Ｎｏ）、ノズルプレート３３のノズル周囲領域において、周方向に関して変形量がばらついており、吐出方向が傾いて正常でない（図７（ｃ）の状態）として、吐出状態が異常であると判定する（Ｓ１４）。
【００７７】
ここで、本実施形態においては、ノズルプレート３３の、３つに分割された第１電極６１の間の領域には、ノズル４０から放射状に延びる３本のスリット３３ａがそれぞれ形成されている（図５（ｂ）参照）。そのため、３つの第１電極６１が配置された３つの領域において、それぞれ大きく変形することができるようになり、液滴が吐出されたときの、ノズルプレート３３のノズル周囲領域における、周方向に関する変形の偏りを一層検出しやすくなる。
【００７８】
さらに、全てのノズル４０に関する吐出状態の判定が終了したときに、何れかのノズル４０における液滴の吐出状態が異常であると判定された場合には、メンテナンス制御部７１は、ノズル４０の吐出性能を回復させるために、まず、インクジェットヘッド３にフラッシングを実行させる。即ち、フラッシング制御部７４が、圧電アクチュエータ２３を駆動するヘッドドライバ５４を制御することにより、全てのノズル４０から複数回連続してインクの液滴を吐出させる。
【００７９】
このフラッシングの実行中に、吐出状態判定部７２は、再び、起電力検出回路６５で検出された、３つの第１電極６１のそれぞれと第２電極６２の電位差から、全てのノズル４０からの液滴の吐出状態が正常か否かを判定する（図８参照）。
【００８０】
吐出状態判定部７２により、フラッシングの複数回の液滴吐出のうちの、少なくとも最後の吐出時において、一部のノズル４０の吐出状態が異常であると判定された場合には、フラッシングによってノズル４０の吐出異常が解消されなかったとして、メンテナンス制御部７１は、メンテナンスユニット７に吸引パージを実行させる。即ち、パージ制御部７５は、吸引ポンプ１４等のメンテナンスユニット７の各部を制御して、全てのノズル４０からキャップ部材１３を介してインクを吸引排出させる。一方、吐出状態判定部７２により、フラッシングの最後の液滴吐出時において、全てのノズル４０について吐出状態が正常であると判定された場合には、フラッシングによってノズル４０の吐出異常が解消されたとして、メンテナンスを終了する。
【００８１】
尚、先に述べたように、吐出状態判定部７２は、全てのノズル４０の各々について吐出状態を判定する。言い換えれば、吐出異常が生じているノズル４０を特定することができる。そこで、フラッシング制御部７４は、吐出状態判定部７２により吐出異常が生じていると判定されたノズル４０についてのみフラッシングを行い、吐出状態が正常であるノズル４０についてはフラッシングを行わないという制御を行うことが可能である。あるいは、吐出異常が生じていると判定されたノズル４０については、吐出状態が正常であるノズル４０に比べて、フラッシング発数を増やす制御を行ってもよい。このような制御を実行すれば、フラッシング時のインク排出量を抑えることができる。
【００８２】
（吐出方向変更）
次に、吐出方向変更部７３について詳細に説明する。吐出方向変更部７３（吐出方向変更手段）は、あるノズル４０からの液滴の吐出方向が正規の方向（鉛直下方）に対して傾いている場合に、駆動回路６６（電位付与手段）を制御して、液滴の吐出方向が正規の方向となるように、３つの第１電極６１にそれぞれ付与される電位を調整して、吐出方向を変更する。
【００８３】
尚、本実施形態においては、各々のノズル４０の吐出方向が、正規の方向に対して傾いているか否か、また、傾いている場合には、どの方向にどのぐらいの角度傾いているかについては、プリンタ１の製造段階の検査工程等において予め検出されており、その検出結果（傾斜方向及び傾斜角度に関する情報）が制御装置８のＲＯＭに格納されているものとする。その上で、吐出方向変更部７３は、ＲＯＭを参照して吐出方向が傾いているノズル４０を認識し、そのようなノズル４０に関して、圧電部６０を用いてその吐出方向を正規の方向（鉛直下方）に調整する。
【００８４】
但し、上の記載は、本発明が、ノズル４０の吐出方向の検出がプリンタ１の製造段階で行われる場合に限ることを意図するものではない。即ち、プリンタ１の使用中に、前述した吐出状態判定部７２が、起電力検出手段で検出された、圧電部６０の３つの第１電極６１と第２電極６２の電位差から、おおよそのノズル４０の吐出方向を推測できる場合には、その推測された吐出方向に基づいて、吐出方向変更部７３がノズル４０の吐出方向を調整するように構成されてもよい。
【００８５】
図９は、液滴の吐出方向が傾いているノズル４０の周囲領域における、ノズルプレート３３の変形状態を示す図であり、（ａ）は吐出方向変更前、（ｂ）は吐出方向変更後の状態をそれぞれ示している。尚、図面の簡単のため、この図９においては、前述した図７と同様、図５では示されている被覆層の図示は省略している。
【００８６】
図９（ａ）に示すように、あるノズル４０の軸線方向（即ち、矢印で示される液滴Ｄの吐出方向）が、鉛直方向に対して図中左方に傾いている場合には、ノズル周囲領域におけるノズルプレート３３の変形は、吐出方向が鉛直方向に対して傾いている側である、図中左側部分の方が、右側部分よりも小さくなっている。
【００８７】
このような場合には、吐出方向変更部７３は駆動回路６６を制御して、図９（ｂ）に示すように、ノズルプレート３３の変形が小さくなっている図中左側部分に配置された第１電極６１に、所定の駆動電位を付与させる（図９（ｂ）に“＋”で示す）。すると、この駆動電位が付与された第１電極６１と第２電極６２の間で電位差が生じるため、両者の間に挟まれた、ノズルプレート３３の図中左側の部分が面方向に収縮し、その結果、下に凸となるように変形する。
【００８８】
その一方で、吐出方向変更部７３は、駆動回路６６により、ノズルプレート３３の変形が大きくなっている図中右側部分に配置された第１電極６１の電位はグランド電位に維持しておく（図９（ｂ）に“ＧＮＤ”で示す）。このとき、グランド電位に維持された第１電極６１と、元々グランド電位である第２電極６２との間には電位差が生じないため、両者の間に挟まれた、ノズルプレート３３の図中右側の部分には圧電変形が生じない。
【００８９】
つまり、ノズルプレート３３の、図中左側部分における変形が大きくなる一方で、図中右側部分における変形は変わらない。従って、図９（ｂ）に示すように、ノズルプレート３３の変形量がノズル４０の左右でほぼ等しくなり、ノズル４０の軸線方向（液滴Ｄの吐出方向）が鉛直方向に変更される。
【００９０】
また、図９（ａ）とは逆に、液滴Ｄの吐出方向が鉛直下方に対して右側に傾いている場合には、駆動回路６６からノズル４０の右側に配置された第１電極６１に駆動電位を付与し、右側部分におけるノズルプレート３３の変形を増大させることにより、吐出方向を鉛直下方に変更することができる。
【００９１】
尚、本実施形態においては、ノズルプレート３３の、３つに分割された第１電極６１の間の領域には、ノズル４０から放射状に延びる３本のスリット３３ａがそれぞれ形成されている（図５（ｂ）参照）。そのため、ノズルプレート３３を、３つの第１電極６１が配置された３つの領域のそれぞれにおいて、独立して大きく変形させることが可能である。
【００９２】
以上説明したプリンタ１によれば、次のような効果が得られる。
インクジェットヘッド３の流路ユニット２２には、圧電材料からなるノズルプレート３３と、このノズルプレート３３の両面のノズル周囲領域にそれぞれ配置された第１電極６１及び第２電極６２からなる、圧電部６０が一体的に設けられている。そのため、ノズル４０から液滴が吐出されたときのノズルプレート３３の変形に応じて第１電極６１と第２電極６２の間に生じる電位差に基づいて、吐出状態判定部７２は、液滴の吐出状態が正常か否かを判定することができる。
【００９３】
また、ノズル４０の吐出状態を検出するための構成（圧電部６０）が流路ユニット２２と一体化されているため、このような構成が付加されることによって、プリンタ１の装置サイズが大型化することはない。また、吐出状態の判定は、ノズル４０から液滴を吐出できる状況であればいつでも行うことができる。従って、ノズル４０から通常の液滴吐出が行われている最中や、ノズル４０の吐出性能回復のための液滴吐出（フラッシング）が行われている最中においても、ノズル４０の吐出状態が正常か否かを検出することが可能である。そのため、ノズル４０に吐出異常が生じていることが速やかに発見されうる。
【００９４】
また、吐出方向が正規の方向から傾いているノズル４０が存在する場合には、吐出方向変更部７３が駆動回路６６を制御して、圧電部６０の第１電極６１に付与される電位を調整することにより、その液滴の吐出方向を変更することも可能となる。
【００９５】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００９６】
１］第１電極やノズルプレートに形成されるスリットの数、また、第１電極及び第２電極の形状等は、前記実施形態のものに限定されるわけではなく、必要に応じて適宜変更可能である。また、第１電極と同じ分割数で、第２電極も複数に分割されて、同数の第１電極と第２電極が、ノズルプレートを挟んで互いに対向して配置されてもよい。
【００９７】
２］前記実施形態では、液滴を吐出するインクジェットヘッド３は、一方向に往復移動するキャリッジに搭載されたシリアル型のヘッドであるが、印刷用紙の幅方向に延びるノズル列を有する固定ライン型のインクジェットヘッドを有するプリンタに対しても、本発明を適用することが可能である。
【００９８】
また、シリアル型のインクジェットヘッドにおいては、一部のノズルに吐出異常が生じても、キャリッジの走査速度や、他の正常なノズルの吐出タイミングを制御するなどして、正常なノズルによって吐出異常のノズルをカバーすることがある程度可能であるが、固定型のラインヘッドにおいてはヘッドが移動しないために、前述のような正常ノズルによるカバーを行うことは不可能である。そのため、特に、固定型のラインヘッドに、ノズルの吐出異常の早期検出、及び、吐出方向の調整が可能な、本発明の構成を適用することは非常に有効である。
【００９９】
３］前記実施形態においては、インクジェットヘッド３に一体的に設けられた圧電部６０が、吐出状態の検出と吐出方向の調整の、両方の用途に用いられていたが、圧電部が、吐出状態の検出にのみ用いられるものであってもよい。
【０１００】
尚、圧電部を吐出状態の検出にのみ用いる場合には、ノズルプレート３３を、ノズル４０の周囲領域の複数箇所で独立して変形させる必要はない。そこで、例えば、図１０に示すように、１つのノズル４０の周囲領域に、分割されていない環状の第１電極６１Ａが１つ設けられていてもよい。但し、この図１０の形態のように、１つのノズル４０に対して１つの第１電極６１Ａのみが設けられている場合には、ノズルプレート３３の、ノズル４０の周方向に関する複数箇所の変形を、それぞれ独立して検出することはできないことから、液滴の吐出方向が傾いているか否かは検出できず、液滴が吐出されたか否かのみを検出することになる。
【０１０１】
以上説明した実施形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出して画像等を記録するインクジェット式のプリンタに適用したものであるが、本発明の適用対象は、このようなプリンタに限られない。即ち、様々な種類の液体をその用途に応じて対象に吐出する、種々の液滴吐出装置に本発明を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の実施形態に係るプリンタの概略構成を示す平面図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの上面図である。
【図３】図２の部分拡大図である。
【図４】図３のIV-IV線断面図である。
【図５】（ａ）は、図４のノズル周辺部分の拡大図、（ｂ）は、（ａ）のノズル周辺部分を下方から見た図である。
【図６】プリンタの電気的な構成を概略的に示すブロック図である。
【図７】圧力室内のインクに圧力が付与されたときのノズルプレートの変形状態を示す図であり、（ａ）は正常吐出状態、（ｂ）は不吐出状態、（ｃ）は吐出方向が傾いた状態をそれぞれ示す。
【図８】吐出状態判定及びメンテナンスに関するフローチャートである。
【図９】吐出方向が傾いているノズルの周囲領域における、ノズルプレートの変形状態を示す図であり、（ａ）は吐出方向変更前、（ｂ）は吐出方向変更後の状態をそれぞれ示す。
【図１０】変更形態に係るインクジェットヘッドの、ノズル周辺部分を下方から見た図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１  プリンタ
７  メンテナンスユニット
２２  流路ユニット
２３  圧電アクチュエータ
３３  ノズルプレート
３４  圧力室
４０  ノズル
６１，６１Ａ  第１電極
６２  第２電極
６６  駆動回路
７１  メンテナンス制御部
７２  吐出状態判定部
７３  吐出方向変更部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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