(57)【要約】【課題】マイクロヒーター、マイクロヒーターアレイ、その製造方法及びこれを用いた電子装置を提供する。【解決手段】本発明のマイクロヒーターは、基板上に形成された金属ラインを備えることができる。金属ラインの一部には変形部が一体に形成され得る。基板と金属ラインとの間には保持部を設けることができる。保持部は金属ラインを基板に固定し且つこの金属ラインを基板から分離することができる。マイクロヒーターが作動するときに発する熱によって金属ラインが伸縮されるとき、金属ラインの変形部が変形しながら張力を吸収できる。結果的に、金属ラインが受ける張力の大きさが少なくなる。このため、金属ラインが破壊する可能性を弱めることができる。【選択図】図１
2009283437.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された第１金属ラインであって、該第１金属ラインの一部と一体に形成された第１変形部を含み、該第１変形部は前記第1金属ラインの長軸から離れて前記第１金属ラインの長軸と一致しない構造である前記第１金属ラインと、
前記第１金属ラインを前記基板に固定し且つ前記第１金属ラインを前記基板から分離する、前記第１金属ラインと前記基板との間の第１保持部と、
を備えることを特徴とするマイクロヒーター。
【請求項２】
前記第１変形部は、前記第１金属ラインの伸縮に応じて変形されることを特徴とする請求項１に記載のマイクロヒーター。
【請求項３】
前記第１変形部は、前記第１金属ラインが前記第１保持部への連結部に隣設されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロヒーター。
【請求項４】
前記第１変形部は、前記第１金属ラインが前記第１保持部への連結部から離れていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロヒーター。
【請求項５】
前記第１変形部は、平らな上面を持ち、中空であることを特徴とする請求項１に記載のマイクロヒーター。
【請求項６】
前記第１変形部は、中が開いていることを特徴とする請求項５に記載のマイクロヒーター。
【請求項７】
前記第１変形部は、円形状又は楕円形状であることを特徴とする請求項６に記載のマイクロヒーター。
【請求項８】
前記楕円形状の長軸は、前記第１金属ラインの長軸に直角な方向であることを特徴とする請求項７に記載のマイクロヒーター。
【請求項９】
前記第１変形部は、曲線形状又はジグザグ形状であることを特徴とする請求項１に記載のマイクロヒーター。
【請求項１０】
前記曲線形状は、半円形状又は半楕円形状であることを特徴とする請求項９に記載のマイクロヒーター。
【請求項１１】
前記半楕円形状の長軸は、前記第１金属ラインの長軸に直角な方向であることを特徴とする請求項１０に記載のマイクロヒーター。
【請求項１２】
前記第１金属ラインは、モリブデン、タングステン、及び炭化シリコンよりなる群から選ばれる一種類以上の物質を含んでなることを特徴とする請求項１に記載のマイクロヒーター。
【請求項１３】
前記第１保持部は、シリコン酸化物を含んでなることを特徴とする請求項１に記載のマイクロヒーター。
【請求項１４】
前記基板に形成されて前記第１金属ラインの側面から延長される第２金属ラインであって、該第２金属ラインの一部と一体に形成された第２変形部が設けられ、該第２変形部は前記第２金属ラインの長軸から離れて前記第２金属ラインの長軸と一致しない構造である前記第２金属ラインと、
前記第２金属ラインを前記基板に固定し且つ前記第２金属ラインを前記基板から分離する、前記第２金属ラインと前記基板との間の第２保持部と、
を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のマイクロヒーター。
【請求項１５】
請求項１に記載のマイクロヒーターを備えることを特徴とする電子装置。
【請求項１６】
請求項１に記載のマイクロヒーターが２以上並設されていることを特徴とするマイクロヒーターアレイ。
【請求項１７】
請求項１６に記載のマイクロヒーターアレイを備えることを特徴とする電子装置。
【請求項１８】
基板の上に犠牲層を形成するステップと、
前記犠牲層の上に加熱層を形成するステップと、
前記加熱層をパターニングして加熱ラインを形成するステップであって、該加熱ラインの一部と一体に形成された変形部を設け、該変形部は前記加熱ラインの長軸から離れ、前記加熱ラインの長軸と一致しない構造を有するように前記加熱層をパターニングして加熱ラインを形成するステップと、
前記犠牲層をエッチングして前記加熱ラインを前記基板に固定し且つ前記加熱ラインを前記基板から分離させる、前記加熱ラインと前記基板との間の保持部を形成するステップと、
を有することを特徴とするマイクロヒーターの製造方法。
【請求項１９】
前記加熱層は、モリブデン、タングステン、及び炭化シリコンよりなる群から選ばれる一種類以上の物質を含んでなることを特徴とする請求項１８に記載のマイクロヒーターの製造方法。
【請求項２０】
前記犠牲層は、シリコン酸化物を含んでなることを特徴とする請求項１８に記載のマイクロヒーターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロヒーター、マイクロヒーターアレイ、その製造方法及びこれを用いた電子装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロヒーターは電力の印加により基板上において局部的に高温発熱するものである。マイクロヒーターは高温の製造工程又は高温の作動工程が求められる各種の電子装置に応用可能である。これらの電子装置は、例えば、炭素ナノチューブトランジスター、低温多結晶シリコンや薄膜トランジスター、バックライトユニット用のＴＥフィールド放出源などを備える。
【０００３】
マイクロヒーターにおける発熱及び発光のための加熱要素は、スパッタリング又は電子ビーム蒸着などの方法により形成される。結果物である加熱要素における構成物質は柱状構造を有するが、マイクロヒーターが加熱される時、過熱要素である構成物質の再結晶化がなされる。再結晶化された物質は柱状構造のときよりも強度が弱くなる。
【０００４】
加熱されたマイクロヒーターが再び冷却される場合、マイクロヒーターの加熱要素の長さが減少してしまう。このため、加熱要素に張力が印加されるが、このとき、再結晶化に起因して構成物質の強度が弱くなった加熱要素が途切れてしまう可能性がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、加熱及び冷却を繰り返しても破壊されることのないマイクロヒーター、マイクロヒーターアレイ、これを用いた電子装置及び該マイクロヒーターを製造する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するためになされた本発明の一特徴によるマイクロヒーターは、基板上に第１金属ラインが形成され、該第１金属ラインは該第１金属ラインの一部と一体に形成された第１変形部を含む。該第１変形部は前記第１金属ラインの長軸から離れて前記第１金属ラインの長軸と一致しない構造を有する。前記第１金属ラインと前記基板との間に第１保持部を形成する。該第１保持部は前記第１金属ラインを前記基板に固定し且つ前記第１金属ラインを前記基板から分離させる。
前記第１変形部は、前記第１金属ラインの伸縮に応じて変形できる。また、前記第１変形部は、前記第１金属ラインが前記第１保持部に連結される個所に隣設されていてもよく、そこから離れていてもよい。
前記第１変形部は、平らな上面を持ち、中空であってもよい。前記第１変形部は中が開いていてもよい。例えば、前記第１変形部は円形状又は楕円形状であってもよい。前記楕円形状の長軸は前記第１金属ラインの長軸に直角な方向であってもよい。また、前記第１変形部は曲線形状（例えば、半円又は半楕円形状）もしくは折れ線形状（例えば、ジグザグ形状）であってもよい。
前記マイクロヒーターは、基板上に前記第１金属ラインの一側面から延長される第２金属ラインを更に備えることができる。前記第２金属ラインは前記第２金属ラインの一部と一体に形成された第２変形部を設けることができる。該第２変形部は前記第２金属ラインの長軸から離れて前記第２金属ラインの長軸と一致しない構造を有してもよい。前記第２金属ラインと前記基板との間には第２保持部が形成され、該第２保持部は第２金属ラインを基板に固定し且つ第２金属ラインを基板から分離することができる。
【０００７】
上記目的を達成するためになされた本発明の一特徴によるマイクロヒーターアレイは、基板の上に並設された２以上のマイクロヒーターからなる。
【０００８】
上記目的を達成するためになされた本発明の一特徴による電子装置は、上記のマイクロヒーター又はマイクロヒーターアレイを備える。
【０００９】
上記目的を達成するためになされた本発明の一特徴によるマイクロヒーターの製造方法は、基板の上に犠牲層を形成するステップと、前記犠牲層の上に加熱層を形成するステップと、前記加熱層をパターニングして加熱ラインを形成するステップであって、該加熱ラインの一部と一体に形成された変形部を設け、該変形部は前記加熱ラインの長軸から離れ、前記加熱ラインの長軸と一致しない構造を有するように前記加熱層をパターニングして加熱ラインを形成するステップと、前記犠牲層をエッチングして前記加熱ラインを前記基板に固定し且つ前記加熱ラインを前記基板から分離させる、前記加熱ラインと前記基板との間の保持部を形成するステップと、を有する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のマイクロヒーターは、加熱又は冷却により加熱要素が伸縮される場合に、形状変化により加熱要素への張力が弱くなることから、張力による加熱要素の破壊を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明のマイクロヒーター、マイクロヒーターアレイ、及びその製造方法を実施するための最良の形態の具体例を、図面を参照しながら詳細に説明する。しかし、本発明は下記の実施形態により限定されるものではない。
【００１２】
図１は、本発明の一実施形態よるマイクロヒーターを示す斜視図であり、図２は、図１に示す切取線Ｉ−Ｉ’に沿って切断した断面図である。
【００１３】
図１及び図２を参照すると、本発明の一実施形態によるマイクロヒーター５０は、基板１０の上に設けられ、金属ライン２０及び保持部４０を備えることができる。金属ライン２０には変形部２５を設けることができる。
【００１４】
金属ライン２０は、基板１０上において、この基板１０から離れて位置することができ、直線方向Ｄ１に沿って延長できる。金属ライン２０は、モリブデン（Ｍｏ）やタングステン（Ｗ）、炭化シリコン又はその他の適当な物質から構成することができ、電力の印加により発光及び発熱することができる。
【００１５】
基板１０は、シリコンウェーハ又はガラスの材質から形成することができる。一実施形態として、基板１０がガラス材質から形成される場合、輻射熱（例えば、可視光線やＩＲを通して）を透過することができる。結果的に、相対的な高温の加熱が可能である。
【００１６】
金属ライン２０の少なくとも一部には変形部２５を一体に形成することができる。変形部２５はマイクロヒーター５０の加熱又は冷却により金属ライン２０が伸長又は圧縮される時の張力に応じて変形可能な構造となっている。
【００１７】
変形部２５は、金属ライン２０の保持部４０への連結部３０に隣設できる。変形部２５は円形状でもよく、中が空いたリング状の形状であってもよい。金属ライン２０が伸縮する場合、変形部２５が変形しながら伸縮による張力が変形部２５により吸収される。このため、金属ライン２０へ印加される張力が弱くなって金属ライン２０の破壊の可能性を減らすか、又は防ぐことができる。
【００１８】
変形部２５は、金属ライン２０と同じ材質からなってもよく、この場合、同じ工程を通じて金属ライン２０と一体に形成することができる。熱損失の低減のために、金属ライン２０は、金属ライン２０の保持部４０への連結部３０に比べて狭い幅を有するように形成することができる。
【００１９】
保持部４０は基板１０と金属ライン２０との間に設けることができる。保持部４０は、基板１０に固定でき、金属ライン２０を基板１０から所定の間隔だけ離したままで保持できる。保持部４０は、金属ライン２０の連結部３０の各下部に部分的に設けられ、金属ライン２０と部分的に接触できる。保持部４０は、基板１０と接触する下の領域が金属ライン２０の連結部３０と接触する上の領域よりも大きく形成されてもよい。
【００２０】
金属ライン２０の連結部３０及び保持部４０の形状は円形を呈しているが、他の形状も可能である。例えば、従来のエッチング法によっては、連結部３０及び保持部４０の形状が必ずしも円形ではなく、楕円、半円、半楕円、矩形又はその他の適合する形状を呈していてもよい。
【００２１】
保持部４０は、金属ライン２０からの熱の損失を減らすか又は防ぐために、相対的に熱伝導率の小さな物質から構成することができる。例えば、保持部４０は、シリコン酸化物（ＳｉＯｘ）又はその他の適合する物質から構成することができる。
【００２２】
上述したように金属ライン２０の連結部３０は保持部４０により保持できる。結果的に、金属ライン２０は保持部４０により基板１０から離れた状態で基板１０に固定可能になる。
【００２３】
金属ライン２０がマイクロヒーター５０の加熱又は冷却の結果として伸長又は圧縮される場合、結果的に、張力に応じて変形部２５が変形され、変形部２５の変形により金属ライン２０が受ける張力は弱くなり得る。このため、マイクロヒーター５０の加熱時に金属ライン２０の構成物質が再結晶化されて強度が弱くなるとしても、マイクロヒーター５０の冷却時に金属ライン２０が途切れてしまう可能性を減らすか、或いは途切れてしまうことを防ぐことができる。
【００２４】
図３は、図１に示すマイクロヒーターの加熱による形状変化を示す平面図である。
【００２５】
マイクロヒーターが加熱されると、温度が上昇するに伴い金属ライン２０が熱膨張により伸長し得る。金属ライン２０は全ての方向に伸長するが、金属ライン２０は直線方向Ｄ１に延びるため、熱膨張の多くは直線方向Ｄ１に沿って発生する可能性がある。このとき、金属ライン２０の構成物質は、上述したように、熱により再結晶化される可能性がある。
【００２６】
金属ライン２０の変形部２５は、金属ライン２０の熱膨張による張力により変形できる。一方、金属ライン２０の連結部３０は保持部４０により基板の上に固定されている。このため、金属ライン２０の熱膨張の場合、変形部２５は直線方向Ｄ１に圧縮可能になり、円形状から長軸が金属ライン２０の長手方向となる直線方向Ｄ１に直角な方向である楕円形状に変形できる。
【００２７】
反面、図４は、マイクロヒーターが冷却される場合における変形部２５の変形を示す平面図である。マイクロヒーターが冷却されると、金属ライン２０の長さは圧縮され得る。金属ライン２０の長さが減少するに伴い、変形部２５が直線方向Ｄ１に伸長可能になり、長軸が直線方向Ｄ１と平行な楕円形状に変形できる。このため、金属ライン２０への張力が弱くなり得、金属ライン２０の破壊を減らすか、又は防ぐことができる。
【００２８】
以上、図３及び図４を参照しながら述べたように、本実施形態によるマイクロヒーターは、金属ライン２０の長さの変化による張力を吸収する変形部２５を設けている。このため、本実施形態によるマイクロヒーターを用いると、加熱時における物質の再結晶化による金属ライン２０の破壊の可能性を減らすか、又は防ぐことができるという利点がある。
【００２９】
図１には中が空いた中空の円形状を呈する変形部２５を示したが、変形部２５はその他の適当な形状（例えば、多角形）と類似するものであってもよい。例えば、変形部２５は、中空の平板形状（中空の閉曲面形状）であってもよい。
【００３０】
変形部２５は中の空いた中空の楕円形状であってもよく、この場合、中空の楕円形状の長軸は直線方向Ｄ１と直角な方向であることが望ましい。
【００３１】
図５は、本発明における他の実施形態によるマイクロヒーターの平面図である。図５に示す実施形態において図１と図４に共通する特徴に対する説明は省略する。図５を参照すると、変形部２５は金属ライン２０の連結部３０から所定の間隔だけ離れて形成されていてもよい。連結部３０と、隣設する変形部２５との間の間隔は各変形部２５同士のそれよりも短くなっていることが望ましい。
【００３２】
図６は、本発明の更に他の実施形態によるマイクロヒーターを示す平面図である。図６に示す実施形態において、図５を参照しながら上述した実施形態と共通する特徴に対する説明は省略する。
【００３３】
図６を参照すると、金属ライン２０の一部には変形部２６が一体に形成され得る。変形部２６は曲線形状（例えば、半円形状）を呈していることが望ましい。金属ライン２０の伸縮に応じて半円形状の変形部２６が変形しながら金属ライン２０への張力を弱めることができる。
【００３４】
連結部３０に連結される２つの変形部２６の半円形状は異なる方向を向くように連結可能であるがこれらの変形部２６が同じ方向を向くように連結部３０に連結されてもよい。
【００３５】
図６に示す変形部２６は半円形状を呈しているが、変形部２６はその他の適合する形状からなってもよい。変形部２６は伸縮により変形可能な他の曲線形状（例えば、半楕円形状）であってもよい。半楕円形状の長軸は金属ライン２０の長軸に直角な方向であることが望ましい。また、変形部２６は折れ線形状（例えば、Ｖ−形状、ジグザグ形状）であってもよい。
【００３６】
図７は、本発明の更に他の実施形態によるマイクロヒーターを示す平面図である。図７に示す実施形態において図１〜図６と共通する特徴に対する説明は省略する。
【００３７】
図７を参照すると、本実施形態によるマイクロヒーターは第１金属ライン２０の両側から延長される第２金属ライン２１を備えることができる。第１金属ライン２０は第１方向Ｄ１に延長でき、第２金属ライン２１は第２方向Ｄ２に延長できる。第１方向Ｄ１は第２方向Ｄ２と区別することが望ましい。
【００３８】
第２金属ライン２１の少なくとも一部には第２変形部２７が一体に形成され得る。第２変形部２７は、第１金属ライン２０に連結可能であり、マイクロヒーターの加熱又は冷却による第１金属ライン２０又は第２金属ライン２１の伸長又は圧縮に応じて変形可能になる。
【００３９】
図７において、第２金属ライン２１は、第１方向Ｄ１と直角な第２方向Ｄ２に延びているが、他の構成も可能である。例えば一つもしくはそれ以上の第２金属ライン２１は第１方向Ｄ１に対して斜めの第２方向に延びてもよい。
【００４０】
第２変形部２７は第１金属ライン２０を基準として両側に対称的に設けられていてもよい。反面、第２変形部２７は第１金属ライン２０を基準として第１金属ライン２０の両側に互い違いに設けられていてもよい。
【００４１】
第２保持部４１は第２金属ライン２１の連結部３１と基板１０との間に位置することができる。第２保持部４１は第２金属ライン２１を基板１０に固定することができる。
【００４２】
第２変形部２７は折れ線形状（例えば、ジグザグ形状）に形成可能である。第１金属ライン２０及び/又は第２金属ライン２１が伸縮すると、第２変形部２７において折れ線の角度が変化しながら伸縮を調節できる。
【００４３】
一方、図７に示す第２変形部２７の形状は例示的なものであり、第２変形部２７は伸縮により変形される他の形状に形成可能である。例えば、第２変形部２７は中の空いたリング状の平板形状であっても、曲線形状であってもよい。
【００４４】
図８は、本発明の更に他の実施形態によるマイクロヒーターを示す平面図である。図８を参照すると、本実施形態によるマイクロヒーターは、金属ライン２０及び保持部４０を備えることができる。金属ライン２０は変形部２５及び連結部３０を備えることができる。金属ライン２０は連結部３０を通して保持部４０に連結されることが望ましい。金属ライン２０から連結部３０を除く残りの部分は、互いに直接連結された１以上の変形部２５として形成されてもよい。
【００４５】
上述のように、変形部２５によってマイクロヒーターが加熱又は冷却されるに伴い、金属ライン２０が伸長又は圧縮されたとしても、金属ライン２０の破壊を減らすか、又は防ぐことができる。
【００４６】
図８に示す変形部２５は単なる例示的なものに過ぎず、変形部２５は他の適合する形状からなってもよい。例えば、変形部２５は中が空いたリング状の平板形状であってもよく、曲線形状又は折れ線形状であってもよい。
【００４７】
更に、図１〜図７を参照しながら上述した各変形部２５、２６及び/又は第２変形部２７の形状を組み合わせてマイクロヒーターを設けることも可能である。例えば、金属ラインの一部には中の空いたリング状の平板形状、曲線形状及び/又は折れ線形状の変形部を形成することも可能である。
【００４８】
図９は、本発明の一実施形態によるマイクロヒーターアレイを示す斜視図である。図９を参照すると、マイクロヒーターアレイは、基板１０の上に２以上のマイクロヒーター５０が同じ方向に並設されてなることができる。２以上のマイクロヒーター５０を並列連結して同じ電圧を印加することができる。
【００４９】
図９には、図１に示す本発明の一実施形態によるマイクロヒーター５０を用いてなるマイクロヒーターアレイを示している。しかしながら、これは単なる例示的なものに過ぎず、上述した他のマイクロヒーターを用いてマイクロヒーターアレイを設けることも可能である。
【００５０】
このような本発明のマイクロヒーター５０又はマイクロヒーターアレイは、相対的に高温の製造工程又は高温の作動過程が求められる各種の電子装置に応用可能である。例えば、これらの電子装置は、炭素ナノチューブトランジスター、低温多結晶シリコンや薄膜トランジスター、バックライトユニット用のＴＥフィールド放出源などを備える。
【００５１】
電子装置に応用する場合、加熱要素としての金属ラインが基板１０から離れていることから、薄膜トランジスターなどの電子装置の設計値への影響が小さくなる。このため、マイクロヒーター５０の最適な条件を電子装置の応用時にもそのまま取り込むことができる。更に、マイクロヒーター５０が加熱や冷却により破壊される可能性が少ないことから、電子装置の安定性及び信頼度を向上させることができる。
【００５２】
図１０〜図１２は、本発明の一実施形態によるマイクロヒーターアレイの製造方法を説明する図面である。図１０及び図１２は断面図であり、図１１は平面図である。
【００５３】
図１０を参照すると、基板１０の上に犠牲層６０を形成できる。犠牲層６０はその後工程により保持部４０としてエッチングできる。犠牲層６０の上には加熱層７０を形成できる。犠牲層６０はシリコン酸化物（ＳｉＯｘ）又はその他の適当な酸化物を含んでなる。加熱層７０はモリブデン（ＭＯ）やタングステン（Ｗ）、炭化シリコン、又はその他の適当な物質から構成することができる。  
【００５４】
図１１を参照すると、加熱層７０は、金属ライン２０の形状にパターニング可能である。金属ライン２０は基板１０上において直線方向Ｄ１に沿って延長できる。金属ライン２０の一部には変形部２５及び連結部３０が一体に形成され得る。
【００５５】
例えば、加熱層７０は図１に示す金属ラインを形成するようにパターニングされてもよい。しかし、加熱層７０は実施形態に伴い、他の金属ライン形状にパターニングされてもよい。
【００５６】
図１２を参照すると、犠牲層６０がエッチングされ、保持部４０を形成することができる。保持部４０は金属ライン２０の連結部３０の下部に部分的に設けることができる。保持部４０は、金属ライン２０が基板１０から離れた状態で、金属ライン２０を基板１０に固定できる。
【００５７】
ここで、金属ライン２０の変形部２５は、金属ライン２０の熱による結果として、伸縮に伴い変形しながら、金属ライン２０への張力を弱めるために形成される。変形部２５は中の空いた中空の平板形状（例えば、リング形状）、曲線形状（例えば、半円形状）又は折れ線形状（例えば、ジグザグ形状）、又はその他の変形された適合する形状であってもよい。
【００５８】
以上、本発明を実施するための最良の形態について説明してきたが、本発明は、上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の一実施形態よるマイクロヒーターを示す斜視図である。
【図２】図１に示す切取線Ｉ−Ｉ’に沿って切断した断面図である。
【図３】図１に示すマイクロヒーターの加熱時における形状変化を示す平面図である。
【図４】図１に示すマイクロヒーターの冷却時における形状変化を示す平面図である。
【図５】本発明の他の実施形態によるマイクロヒーターを示す平面図である。
【図６】本発明の更に他の実施形態によるマイクロヒーターを示す平面図である。
【図７】本発明の更に他の実施形態によるマイクロヒーターを示す平面図である。
【図８】本発明の更に他の実施形態によるマイクロヒーターを示す平面図である。
【図９】本発明の一実施形態によるマイクロヒーターアレイを示す斜視図である。
【図１０】本発明の一実施形態によるマイクロヒーターアレイの製造方法を説明するための断面図である。
【図１１】本発明の一実施形態によるマイクロヒーターアレイの製造方法を説明するための平面図である。
【図１２】本発明の一実施形態によるマイクロヒーターアレイの製造方法を説明するための断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０    基板
２０    金属ライン、第１金属ライン
２１    第２金属ライン
２５、２６    変形部
２７    第２変形部
３０、３１    連結部
４０    保持部
４１    第２保持部
５０    マイクロヒーター
６０    犠牲層
７０    加熱層
【図１】
2009283437.tif 000003
【図２】
2009283437.tif 000004
【図３】
2009283437.tif 000005
【図４】
2009283437.tif 000006
【図５】
2009283437.tif 000007
【図６】
2009283437.tif 000008
【図７】
2009283437.tif 000009
【図８】
2009283437.tif 000010
【図９】
2009283437.tif 000011
【図１０】
2009283437.tif 000012
【図１１】
2009283437.tif 000013
【図１２】
2009283437.tif 000014