(57)【要約】【課題】搬送用カセットに収納される複数種別の基板を、効率良く、その種別ごとに収納用カセットに仕分ける搬送装置を提供する。【解決手段】搬送用収納部に収納された、複数の被搬送物を、当該被搬送物の種別に応じた格納用収納部に収納する搬送物仕分け装置であって、搬送用収納部を積載する載置台を有する搬送台車と、搬送用収納部に収納される複数の被搬送物のそれぞれの種別を示す情報である搬送配列情報を記憶する記憶手段と、搬送配列情報に基づいて、搬送台車を搬送配列情報に対応する格納用収納部の近傍に移動させる搬送台車移動手段と、搬送台車が積載する搬送用格納部から、搬送台車移動手段により移動させられた位置近傍の格納用収納部に収納される種別の被搬送物を取り出し、当該格納用収納部に移載させる被搬送物移載手段と、を備えることを特徴とする搬送物仕分け装置。【選択図】図１
2009214992.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送用収納部に収納された、複数の被搬送物を、当該被搬送物の種別に応じた格納用収納部に収納する搬送物仕分け装置であって、
前記搬送用収納部を積載する載置台を有する搬送台車と、
前記搬送用収納部に収納される複数の被搬送物のそれぞれの種別を示す情報である搬送配列情報を記憶する記憶手段と、
前記搬送配列情報に基づいて、前記搬送台車を前記搬送配列情報に対応する格納用収納部の近傍に移動させる搬送台車移動手段と、
前記搬送台車が積載する搬送用格納部から、前記搬送台車移動手段により移動させられた位置近傍の前記格納用収納部に収納される種別の前記被搬送物を取り出し、当該格納用収納部に移載させる被搬送物移載手段と、
を備えることを特徴とする搬送物仕分け装置。
【請求項２】
前記搬送用収納部に収納された複数の被搬送物ごとに種別を検出し、前記搬送配列情報を生成し、前記記憶手段に記憶させる種別検出手段
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の搬送物仕分け装置。
【請求項３】
前記記憶手段は、前記格納用収納部に収納される搬送物の種別を示す情報である収納配列情報を予め記憶し、
前記搬送用収納部移動手段は、前記収納配列情報と、前記搬送配列情報とに基づいて、前記搬送用収納部を移動させる
ことをさらに特徴とする搬送物仕分け装置。
【請求項４】
搬送用収納部に収納された、複数の被搬送物を、当該被搬送物の種別に応じた格納用収納部に収納する搬送物仕分け方法であって、
搬送台車が、載置台に前記搬送用収納部を積載し、
記憶手段が、前記搬送用収納部に収納される複数の被搬送物のそれぞれの種別を示す情報である搬送配列情報を記憶し、
搬送台車移動手段が、前記搬送配列情報に基づいて、前記搬送台車を前記搬送配列情報に対応する格納用収納部の近傍に移動させ、
被搬送物移載手段が、前記搬送台車が積載する搬送用格納部から、前記搬送台車移動手段により移動させられた位置近傍の前記格納用収納部に収納される種別の前記被搬送物を取り出し、当該格納用収納部に移載させる
ことを特徴とする搬送物仕分け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送物仕分け装置の制御に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板などの製造、加工過程において、効率良く基板などの被搬送物を搬送し、または収納用カセットに収納するシステムが提案されている（例えば、特許文献１から特許文献３）。
ここで、基板の搬送過程では、複数枚の異なる種別の基板がひとつの収納カセットに収納され、そのカセットが搬送される場合がある。複数種別の基板が混在して収納された収納カセットは、後のいずれかの工程において、その種別ごとに基板を並べ替えるか、その種別ごとに基板を別の収納カセットに移し替えるなどの処理が必要となる。
【０００３】
そこで、従来技術による搬送装置は、図５に示すように、複数種別が混在して収納された収納カセットであるソースカセットＳの前に配置された搬送台車１０３と、ソースカセットＳから基板を取り出すアーム１０５と、複数の収納用カセット（例えば、収納用カセット１０−１から収納用カセット１０−８）に沿うように予め敷設されたレール上を搬送台車１０３が移動するための搬送駆動部１０２を有している。
【０００４】
アーム１０５は、ソースカセットＳから、例えば、最も上部にある基板を取り出して保持する。そして、搬送駆動部１０２が搬送台車１０３を駆動させ、対応する種別の基板を収納するための収納用カセットの前で停止させる。そして、アーム１０５は、保持していた基板を収納用カセットに収納する。
【０００５】
そして、搬送駆動部１０２は、搬送台車１０３をソースカセットＳの前に再び移動させる。そして、アーム１０５は、２枚目の基板をソースカセットＳから取り出して保持する。そして、搬送駆動部１０２は、２枚目の基板の種別に対応する収納用カセットの前に搬送台車１０３を移動させる。そして、アーム１０５は、２枚目の基板を、収納用カセット１０−２に収納させる。このように、搬送駆動部１０２が搬送台車１０３を駆動させてソースカセットＳと収納用カセットとの間を往復して、ソースカセットＳに収納された全ての基板を一枚ずつ運び、種別ごとに対応する収納用カセットに収納する。
【特許文献１】特開２００６−３１０４７１号公報
【特許文献２】特開２００７−１７１６号公報
【特許文献３】特開２００７−３６２２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述の搬送装置では、基板１枚を取り出すために、ソースカセットＳと、収納用カセットとの間を往復しなければならない。このため、仕分ける基板の数が多い場合や、基板の種別が多く収納用カセットが多量に存在する場合は、ソースカセットＳと収納用カセットとの間を往復する回数が増えたり移動距離が増えたりして、その分、時間と動力も必要であった。
また、上述の特許文献１から特許文献３は、このような複数の基板が収納された搬送カセットから、種別の異なる基板ごとに仕分けて収納するような方法に言及されているものではない。
【０００７】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたもので、搬送用カセットに収納される複数種別の基板を、効率良く、その種別ごとに収納用カセットに仕分ける搬送装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するために、本発明は、搬送用収納部に収納された、複数の被搬送物を、当該被搬送物の種別に応じた格納用収納部に収納する搬送物仕分け装置であって、
搬送用収納部を積載する載置台を有する搬送台車と、搬送用収納部に収納される複数の被搬送物のそれぞれの種別を示す情報である搬送配列情報を記憶する記憶手段と、搬送配列情報に基づいて、搬送台車を搬送配列情報に対応する格納用収納部の近傍に移動させる搬送台車移動手段と、搬送台車が積載する搬送用格納部から、搬送台車移動手段により移動させられた位置近傍の格納用収納部に収納される種別の被搬送物を取り出し、当該格納用収納部に移載させる被搬送物移載手段と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明は、搬送用収納部に収納された複数の被搬送物ごとに種別を検出し、搬送配列情報を生成し、記憶手段に記憶させる種別検出手段をさらに備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明は、記憶手段は、格納用収納部に収納される搬送物の種別を示す情報である収納配列情報を予め記憶し、搬送用収納部移動手段は、収納配列情報と、搬送配列情報とに基づいて、搬送用収納部を移動させることをさらに特徴とする。
【００１１】
本発明は、搬送用収納部に収納された、複数の被搬送物を、当該被搬送物の種別に応じた格納用収納部に収納する搬送物仕分け方法であって、搬送台車が、載置台に搬送用収納部を積載し、記憶手段が、搬送用収納部に収納される複数の被搬送物のそれぞれの種別を示す情報である搬送配列情報を記憶し、搬送台車移動手段が、搬送配列情報に基づいて、搬送台車を搬送配列情報に対応する格納用収納部の近傍に移動させ、被搬送物移載手段が、搬送台車が積載する搬送用格納部から、搬送台車移動手段により移動させられた位置近傍の格納用収納部に収納される種別の被搬送物を取り出し、当該格納用収納部に移載させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように、本発明によれば、搬送台車に載置台を設け、ここに搬送用収納部を積載して搬送台車が移動し、搬送用収納部に収納された被搬送物を、順次収納部に収納していくようにしたので、複数の基板を搬送する場合にも、搬送用収納部に都度基板を取りに行くことなく、収納部との間を往復せずに、被搬送物を収納部に仕分けることができる。
さらに、本発明によれば、搬送用収納部に収納される被搬送物の種別を検出し、検出した種別情報に基づいて収納処理を行うようにしたので、予め種別情報を記憶させておくことなく、仕分け処理を行うことができる。
さらに、収納部に収納される搬送物の種別を示す情報である搬送配列情報を予め記憶し、搬送配列情報と、搬送配列情報とに基づいて、搬送用収納部を移動させるようにしたので、搬送台車を現在位置から近い順に移動させ、収納処理を行わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
本実施形態による搬送物仕分け装置は、複数種別の基板を搬送して、それぞれに対応する収納用カセットに基板を仕分けて収納する基板仕分け装置である。
図１は、本実施形態による基板仕分け装置を示す概念図である。本実施形態による基板仕分け装置は、搬送用カセット８を載置した載置台１３を有する搬送台車３が、複数の収納用カセットを沿うように敷設されたレール１４上を移動し、搬送台車３が有するアーム５が、搬送用カセット８に収納された基板を収納対象となる収納用カセットに移載する。
【００１４】
図２は、本実施形態による基板仕分け装置の構成を示すブロック図である。基板仕分け装置は、制御部１と、搬送駆動部２と、搬送台車３と、アーム駆動部４と、アーム５と、記憶部７と、複数の基板（基板９−１、基板９−２、・・・）が予め収納される搬送用カセット８と、種別ごとに基板を収納するための複数の収納用カセット（収納用カセット１０−１、収納用カセット１０−２、・・・）と、載置台１３とを備えている。
【００１５】
制御部１は、本装置の主制御部であり、記憶部７から搬送配列情報を読み出して、読み出した搬送配列情報に基づいて搬送駆動部２とアーム駆動部４とに動作命令情報を出力する。ここで、記憶部７に記憶された搬送配列情報とは、搬送用カセット８に積層して収納される全ての基板について、いずれの基板がいずれの種別であるかを示す情報の配列情報である。例えば、本実施形態では、搬送用カセット８には、図３に示すように、複数枚の異なる型の基板が収納される。図３は、搬送用カセット８の内部に、支持ピン１５によってラック状の収納スペースが形成され、６枚の基板が収納された様子を示している。ここで、基板とは、例えば、ガラス基板である。種別とは、基板の種別であり、例えば、大きさ、材質、用途などで異なる型に区別される。以下、基板の種別として、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈと分類される８種別の基板があり、それぞれの英文字を種別識別情報として説明する。
【００１６】
図３に示される搬送用カセット８には、基板９−１（種別：Ａ）、基板９−２（種別：Ｈ）、基板９−３（種別：Ａ）、基板９−４（種別：Ｂ）、基板９−５（種別：Ｄ）、基板９−６（種別：Ｅ）の６枚の基板が収納されている。すなわち、図３の例では、Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ、Ｈの５種別の基板が収納されており、このうち、種別Ａについては、基板９−１と基板９−３との同一種別の基板が２枚収納されていることを示している。このとき、記憶部７が記憶する搬送配列情報は、「Ａ、Ｈ、Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ」との情報である。
【００１７】
記憶部７には、さらに、収納配列情報が予め記憶される。収納配列情報は、収納用カセットのそれぞれに対応して、いずれの種別の基板を収納する収納用カセットであるかを示す情報である。上述のように、本実施形態では、収納配列情報は、「Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ」との８要素の情報である。
【００１８】
収納用カセット１０−１（種別：Ａ）、収納用カセット１０−２（種別：Ｂ）、収納用カセット１０−３（種別：Ｃ）、収納用カセット１０−４（種別：Ｄ）、収納用カセット１０−５（種別：Ｅ）、収納用カセット１０−６（種別：Ｆ）、収納用カセット１０−７（種別：Ｇ）、収納用カセット１０−８（種別：Ｈ）には、予め定められた種別の基板が、アーム５によってそれぞれ収納される。
【００１９】
搬送台車３が、上述の８箇所の収納用カセットを沿うように予め敷設されたレール上を移動する。搬送台車３は、搬送駆動部２によって移動させられる。搬送駆動部２は、搬送台車３を移動させるための、例えば、モータである。搬送駆動部２は、例えば、予め定められたＰｔｏＰ型パルスのパルス数によって、搬送台車３をいずれの位置まで移動させる。搬送台車３には、載置台１３と、アーム駆動部４と、アーム５とが搭載される。載置台１３は、搬送用カセット８を積載する台である。アーム駆動部４は、制御部１から出力された動作命令情報に基づいて、アーム５を駆動させる。アーム５は、搬送用カセット８に収納された基板を取り出し、保持し、収納用カセットに収納する。
【００２０】
次に、図４に示されるフローチャートを参照して、本発明による基板仕分け装置が、基板の種別に基づいて仕分けを行う動作例を説明する。
まず、制御部１が、記憶部７に予め記憶された収納配列情報を読み出す（ステップＳ１）。上述のように、本実施形態では、収納配列情報は、「Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ、Ｈ」との８要素の情報である。そして、制御部１は、記憶部７から、搬送配列情報を読み出して、収納配列情報の１番目の要素に対応する種別情報が、搬送配列情報にあるか否かを判定する。すなわち、制御部１は、種別がＡである情報が、搬送配列情報にあるか否かを判定する（ステップＳ２）。
【００２１】
上述の通り、搬送配列情報は、本実施形態では図４に示す状態であるので、記憶部７が記憶する搬送配列情報は、「Ａ、Ｈ、Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ」との６要素の情報である。すなわち、搬送配列情報は、種別Ａの要素を含んでいるので、搬送用カセット８を載置台１３に積載した搬送台車３は、搬送駆動部２によって、種別Ａが割り当てられた収納用カセット１０−１の前に移動させられる（ステップＳ３）。
【００２２】
そして、アーム５は、アーム駆動部４によって動作させられ、搬送用カセット８から、搬送配列情報のうち、種別がＡである１番目の要素に対応する基板９−１を取り出す。そして、アーム５は、取り出した基板９−１を、収納用カセット１０−１に収納する（ステップＳ４）。そして、制御部１は、搬送配列情報に、種別がＡである基板が他にまだあるか否かを判定する（ステップＳ５）。搬送配列情報は、３番目の要素が種別Ａであるので（ステップＳ５−ＹＥＳ）、制御部１は、３番目の要素に対応する基板９−３を、移載対象物として判定する。そして、アーム５は、アーム駆動部４によって駆動させられ、基板９−３を搬送用カセット８から取り出し、収納用カセット１０−１に収納する。
【００２３】
そして、制御部１は、ふたたび、搬送配列情報に種別がＡである基板がまだあるか否かを判定する（ステップＳ５）。搬送配列情報には、種別がＡである要素は他にないので、次のステップへ進む（ステップＳ５−ＮＯ）。制御部１は、全ての搬送配列情報を読み出したか否かを判定する（ステップＳ６）。制御部１は、収納配列情報の全ての要素について、搬送配列情報に存在するか否かの判定をしていれば、ステップＳ７にすすむ。ここでは、まだ全ての要素について判定していないので、ステップＳ２にもどる。
【００２４】
制御部１は、収納配列情報の２番目の要素を読み出す。すなわち、種別Ｂの情報が読み出される。そして、制御部１は、搬送配列情報に、種別Ｂの情報があるか否かを判定する（ステップＳ２）。搬送配列情報の４番目の要素がＢであるので、制御部１は、ステップ３に進む（ステップＳ２−ＹＥＳ）。搬送駆動部２は、搬送台車３を移動させ、種別Ｂの基盤を収納する収納用カセット１０−２の前で停止させる（ステップＳ３）。そして、アーム５は、搬送用カセット８から、種別Ｂの基板である基板９−４を取り出し、収納用カセット１０−２に収納させる（ステップＳ４）。
【００２５】
以下、ステップＳ２からステップＳ６の処理を繰り返し、基板９−５（種別：Ｄ）、基板９−６（種別：Ｅ）、基板９−２（種別：Ｈ）の順番に、対応する収納用カセットに収納する。制御部１は、収納配列情報の全ての種別情報について、ステップＳ２からステップＳ６までの処理を行うと、制御部１は、ステップＳ７にすすむ。搬送駆動部２は、搬送台車３を、処理の終端地点である図１に示すＰ点まで移動させる（ステップＳ７）。
【００２６】
なお、本実施形態の説明では、搬送用カセット８には６枚の基板が収納されているとしたが、それ以上の枚数でもそれ以下の枚数の基板でも良く、例えば２０枚から３０枚程度など、収納用カセットの収納可能枚数は自由に定めてよい。
【００２７】
なお、本実施形態の説明では、制御部１が記憶部７から収納配列情報と搬送配列情報とを読み出し、搬送駆動部２とアーム駆動部４とに動作命令情報を出力するとしたが、搬送駆動部２とアーム駆動部４とが、それぞれ記憶部７から情報を読み出す構成としても良い。
【００２８】
また、本実施形態の説明では、記憶部７が予め基板情報を記憶することとしたが、基板情報読取部を設けて、この基板情報読取部が、予め搬送用カセット８に収納された被搬送物の情報を読み取って、記憶部７に記憶させる構成としても良い。この場合、それぞれの基板には、例えば、予め種別情報などの基板情報を読取可能なバーコードなどを貼付しておき、基板情報読取部は、このバーコードを読み取ることで基板情報を取得する。この際、基板情報を判定するために用いるのはバーコードでなくともよく、例えば、２次元コードや、基板情報を記憶させたＩＣタグを用いても良い。
【００２９】
また、本実施形態の説明では、搬送駆動部２は、ＰｔｏＰ型パルスのパルス数によって、搬送台車３を移動させる位置を判定するとしたが、例えば、搬送台車３に受光部を設け、それぞれの収納用カセットに光照射部を設けて、搬送台車３が移動中に、光照射部が照射する光を、受光部が受光することによって、移動位置を決定しても良い。
【００３０】
また、記憶部７に、収納用カセットが設置された位置情報と種別情報とを対応付けて予め記憶させ、さらに、搬送台車３の現在位置情報を計測する位置計測手段を備えて、収納用カセットの位置情報と、搬送台車３の位置情報とが一致する場合に、収納用カセットに対応する種別の基板を移載する構成としても良い。ここで、位置情報は、ＧＰＳ（Global Positioning System）や、上述のＰｔｏＰ型パルスのパルス数の履歴情報などにより判定すれば良い。
【００３１】
また、収納カセット毎に付与された種別情報を記憶する記録媒体から、格納対象となる収納用カセットの種別情報を読み出し、搬送用カセットに収納された基板の種別を識別する種別情報を取得し、読み出した収納用カセットの種別情報に対応する種別である基板が搬送用カセットに収納されているか否かを、自身の搬送用カセットに収納された基板を示す搬送情報配列を記憶する記憶部を参照して判定し、判定結果に基づいて、搬送用カセットに対応する種別の基板が収納されている場合に、移載するようにしても良い。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態によれば、搬送台車３に載置台１３を設け、ここに搬送用カセット８を積載して搬送台車３が移動し、搬送用カセット８に収納された基板を、順次収納用カセットに収納していくようにしたので、レール１４の上を往復せずに、基板をそれぞれの種別に対応する収納用カセットに仕分けることができる。
さらに、本実施形態によれば、搬送用カセット８に収納される複数の基板の種別を検出し、検出した種別情報に基づいて収納処理を行うようにしたので、予め種別情報を記憶させておくことなく、仕分け処理を行うことができる。
さらに、収納用カセットに収納される基板の種別を示す情報である搬送配列情報を予め記憶し、搬送配列情報と、搬送配列情報とに基づいて、搬送用カセット８を移動させるようにしたので、搬送用カセット８を現在位置から近い順に移動させ、収納処理を行わせることができる。
【００３３】
なお、本発明における処理部の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより基板仕分けを行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。また、「コンピュータシステム」は、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）を備えたＷＷＷシステムも含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ（ＲＡＭ）のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
【００３４】
また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク（通信網）や電話回線等の通信回線（通信線）のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本実施形態による基板仕分け装置を示す概念図である。
【図２】本実施形態による基板仕分け装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本実施形態による搬送用カセットの概念図である。
【図４】本実施形態による基板仕分け装置の動作を示すフローチャートである。
【図５】従来技術による基板仕分け装置を示す概念図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  制御部
２  搬送駆動部
３  搬送台車
４  アーム駆動部
５  アーム
７  記憶部
８  搬送用カセット
９  基板
１０  収納用カセット
１３  載置台
１４  レール
１５  支持ピン
１０２  搬送駆動部
１０３  搬送台車
１０５  アーム
Ｓ  ソースカセット
【図１】
2009214992.tif 000003
【図２】
2009214992.tif 000004
【図３】
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【図４】
2009214992.tif 000006
【図５】
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