(57)【要約】【課題】従来の圧力センサには加速度の影響を除外して圧力を検出できないという課題がある。【解決手段】加速度により生じる慣性力による第１双音叉振動片４０の共振周波数の変化分Δｆ1と第２双音叉振動片５０の共振周波数の変化分Δｆ2とは変化の方向が真逆であることから相殺することができる。密閉空間９０外の圧力Ｆｐによる第１双音叉振動片４０の共振周波数の変化分Δｆｐ1及び第２双音叉振動片５０の共振周波数の変化分Δｆｐ2は、変化の方向が一致していることから上述の加速度により生じる慣性力での第１双音叉振動片４０の共振周波数の変化分Δｆ1及び第２双音叉振動片５０の共振周波数の変化分Δｆ2と区分できる。よって、第１双音叉振動片４０の共振周波数（ｆｐ＋Δｆ1）と第２双音叉振動片５０の共振周波数（ｆｐ−Δｆ2）との和の半数から、圧力センサ１は加速度による影響を除外して密閉空間９０外の圧力Ｆｐを検出することができる。【選択図】図５
2009085807.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する周状の端面と中央部分に形成された貫通孔とを有したケース部と、
前記ケース部の一方の前記端面の全周に接合された第１接合部と、前記第１接合部の内側に形成された第１薄肉部と、前記第１薄肉部の内側に形成された第１保持部と、前記第１保持部の内側に形成され、前記第１保持部の肉厚より薄い肉厚の第１中央板部とを有した第１ダイヤフラム部と、
前記ケース部の他方の前記端面の全周に接合された第２接合部と、前記第２接合部の内側に形成された第２薄肉部と、前記第２薄肉部の内側に形成された第２保持部と、前記第２保持部の内側に形成され、前記第２保持部の肉厚より薄い肉厚の第２中央板部とを有した第２ダイヤフラム部と、
前記ケース部と、対向するように形成された前記第１ダイヤフラム部及び前記第２ダイヤフラム部とで形成された密閉空間と、
前記第１保持部の前記密閉空間側に接合された２つの第１基部と、前記第１中央板部を跨ぎ、２つの前記第１基部間に形成された一対の第１振動腕部とを有し、前記第１ダイヤフラム部に対向した第１双音叉振動片と、
前記第２保持部の前記密閉空間側に接合された２つの第２基部と、前記第２中央板部を跨ぎ、２つの前記第２基部間に形成された一対の第２振動腕部とを有し、前記第２ダイヤフラム部に対向した第２双音叉振動片とを備えていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の圧力センサにおいて、
対向する前記第１ダイヤフラム部と前記第２ダイヤフラム部とが平行になるように形成され、
前記第１双音叉振動片と前記第２双音叉振動片とが平行に対向するように形成されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の圧力センサにおいて、
前記第１保持部は、前記第１ダイヤフラム部の第１重心に対し対称位置に形成され、
前記第２保持部は、前記第２ダイヤフラム部の第２重心に対し対称位置に形成され、
前記第１双音叉振動片の一対の前記第１振動腕部は、前記第１重心と前記第２重心とを結んだ直線を通過するように前記第１中央板部を跨ぎ、
前記第２双音叉振動片の一対の前記第２振動腕部は、前記直線を通過するように前記第２中央板部を跨いでいることを特徴とする圧力センサ。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の圧力センサにおいて、
前記密閉空間は、減圧状態となるように形成されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の圧力センサにおいて、
前記ケース部、前記第１ダイヤフラム部、前記第２ダイヤフラム部、前記第１双音叉振動片、及び前記第２双音叉振動片は、同一のカット角でカットされた水晶で形成されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の圧力センサと、
前記密閉空間内に前記圧力センサの少なくとも駆動及び制御を行う機能を有する回路部とを備えていることを特徴とする圧力測定装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の圧力センサと、
前記密閉空間外に前記圧力センサの少なくとも駆動及び制御を行う機能を有する回路部とを備えていることを特徴とする圧力測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対のダイヤフラム部とそれぞれのダイヤフラム部に接合された双音叉振動片を備えた圧力センサ及び圧力測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一対の圧電ダイヤフラム（以下、ダイヤフラム部と呼ぶ。）が積層されることで形成される内部空間に双音叉振動子（以下、双音叉振動片と呼ぶ。）を配置した感圧素子（以下、圧力センサと呼ぶ。）が開示されている（例えば、特許文献１参照）。この圧力センサにおいて、対向するダイヤフラム部の内底面同士が力伝達用柱で連結され、双音叉振動片の両端（以下、基部と呼ぶ。）が一方のダイヤフラム部の内底面に固定されている。圧力センサは、一方のダイヤフラム部の外面を被測定圧力Ｐ１の被測定体に、他方ダイヤフラム部の外面を比較圧Ｐ２の比較体に曝すように設置される。両外面に働く圧力が同一（Ｐ１＝Ｐ２）のときに、圧力センサには変形が生じない。両外面に働く圧力が異なる（Ｐ１＞Ｐ２、またはＰ１＜Ｐ２）ときに、圧力センサには変形が生じる。具体的には、一対のダイヤフラム部の中央が圧力の小さい側に押し出され、これにより一対のダイヤフラム部は湾曲する。一方のダイヤフラム部に基部が固定された双音叉振動片は、ダイヤフラム部の湾曲に応じて湾曲する。双音叉振動片が固定されたダイヤフラム部の内底面が凹状態となるようダイヤフラム部が湾曲したとき、双音叉振動片には振動腕部の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用する。また、双音叉振動片が固定されたダイヤフラム部の内底面が凸状態となるようダイヤフラム部が湾曲したとき、双音叉振動片には振動腕部の振動方向に交差する方向に引張力が作用する。ここで、双音叉振動片の共振周波数は、双音叉振動片の振動腕部の振動方向に交差する方向に圧縮力が加わったときに減少し、引張力が加わったときに増加することが広く知られている。よって、この圧力センサは、湾曲していない状態の双音叉振動片の共振周波数を基準にとり、この周波数より高いか低いかにより、比較圧Ｐ２に対して被測定圧力Ｐ１が正圧であるのか負圧であるのかを検出することができる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１３２９１３号公報（４頁〜７頁、図１〜図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の圧力センサには、圧力だけでなく、加速度により生じる慣性力が働く。圧力センサが加速度を受ける方向に対し、加速度により生じる慣性力が働く方向は反対方向になる。そして、圧力センサが加速度を受ける方向が一定でないことから、圧力センサに加速度により生じる慣性力が働く方向も一定ではない。よって、圧力センサに慣性力が働いても、圧力が働いたときと同様に、圧力センサが変形し、双音叉振動片が固定されたダイヤフラム部の内底面は、凹状態にも凸状態にも湾曲する。したがって、圧力センサで被測定圧力Ｐ１が検出されても、圧力センサに働いた圧力によるものなのか、または加速度により生じる慣性力によるものなのかを区別することができない。つまり、従来の圧力センサには、加速度の影響を除外して圧力を検出できないという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる圧力センサは、対向する周状の端面と中央部分に形成された貫通孔とを有したケース部と、前記ケース部の一方の前記端面の全周に接合された第１接合部と、前記第１接合部の内側に形成された第１薄肉部と、前記第１薄肉部の内側に形成された第１保持部と、前記第１保持部の内側に形成され、前記第１保持部の肉厚より薄い肉厚の第１中央板部とを有した第１ダイヤフラム部と、前記ケース部の他方の前記端面の全周に接合された第２接合部と、前記第２接合部の内側に形成された第２薄肉部と、前記第２薄肉部の内側に形成された第２保持部と、前記第２保持部の内側に形成され、前記第２保持部の肉厚より薄い肉厚の第２中央板部とを有した第２ダイヤフラム部と、前記ケース部と、対向するように形成された前記第１ダイヤフラム部及び前記第２ダイヤフラム部とで形成された密閉空間と、前記第１保持部の前記密閉空間側に接合された２つの第１基部と、前記第１中央板部を跨ぎ、２つの前記第１基部間に形成された一対の第１振動腕部とを有し、前記第１ダイヤフラム部に対向した第１双音叉振動片と、前記第２保持部の前記密閉空間側に接合された２つの第２基部と、前記第２中央板部を跨ぎ、２つの前記第２基部間に形成された一対の第２振動腕部とを有し、前記第２ダイヤフラム部に対向した第２双音叉振動片とを備えていることを特徴とする。
【０００７】
このような構成によれば、圧力センサは、ケース部と、対向するように形成された第１ダイヤフラム部及び第２ダイヤフラム部とで密閉空間が形成されている。そして、圧力センサには、圧力センサが受ける加速度により生じる慣性力及び密閉空間外の圧力が働く。
【０００８】
前者の圧力センサが受ける加速度により生じる慣性力は、以下のように圧力センサの内部に作用する。圧力センサが、加速度を下方向に受けるとき、圧力センサには、加速度により生じる慣性力が加速度の方向とは反対方向の上方向に働く。よって、慣性力は第１ダイヤフラム部及び第２ダイヤフラム部に対しても、上述の上方向である一方向に働く。
【０００９】
第１ダイヤフラム部では、第１ダイヤフラム部の第１薄肉部がケース部に接合された第１接合部に直接繋がり、薄い肉厚であることから、慣性力が働くことにより、第１薄肉部は第１薄肉部と第１接合部との接点を支点にして傾く。第１薄肉部が傾くことで第１薄肉部に形成された第１保持部も、第１薄肉部と第１接合部との接点を支点にして傾く。第１保持部が傾くことにより、第１保持部は変位するとともに第１保持部の中心点を起点とした回転力が生じる。第１双音叉振動片の２つの第１基部が接合された第１保持部の両箇所は、第１ダイヤフラム部の第１中央板部を挟んだ位置にあることから、一方の箇所が例えば時計回りに、他方の箇所は反時計回りに回転するように移動する。このように、一方の箇所と他方の箇所とでは、互いに反対方向に回転するように移動する。上述の回転力により第１双音叉振動片の２つの第１基部が接合された第１保持部の両箇所同士が近づくとき、第１双音叉振動片には第１振動腕部の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用する。また、第１双音叉振動片の２つの第１基部が接合された第１保持部の両箇所同士が遠ざかるとき、第１双音叉振動片には第１振動腕部の振動方向に交差する方向に引張力が作用する。
【００１０】
また、第２ダイヤフラム部にも、上述の第１ダイヤフラム部と同様に慣性力、回転力が働く。但し、第２ダイヤフラム部に対する第２双音叉振動片の位置は、第１ダイヤフラム部に対する第１双音叉振動片の位置と真逆になる。このことから、第２双音叉振動片には、第１双音叉振動片に第１振動腕部の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用したときに、第２振動腕部の振動方向に交差する方向に引張力が作用する。また、第２双音叉振動片には、第１双音叉振動片に第１振動腕部の振動方向に交差する方向に引張力が作用したときに、第２振動腕部の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用する。このように、加速度により生じる慣性力が圧力センサに働いたとき、第１双音叉振動片と第２双音叉振動片とでは、互いに反対方向の力が作用する。
【００１１】
後者の密閉空間外の圧力は、以下のように圧力センサの内部に作用する。圧力センサに働く力である密閉空間外の圧力は、前者の慣性力と異なり、密閉空間内の中心点に向かうように、または中心点から外周に向かうように働く。また、第１ダイヤフラム部及び第２ダイヤフラム部は、密閉空間を挟むように対向して備えられている。よって、密閉空間外の圧力は第１ダイヤフラム部及び第２ダイヤフラム部に対し、互いに反対方向に働く。また、第１ダイヤフラムに対する第１双音叉振動片の位置と第２ダイヤフラムに対する第２双音叉振動片の位置とは、上述のように真逆になる。このことから、第２双音叉振動片には、第１双音叉振動片に第１振動腕部の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用したときに、第２振動腕部の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用する。また、第２双音叉振動片には、第１双音叉振動片に第１振動腕部の振動方向に交差する方向に引張力が作用したときに、第２振動腕部の振動方向に交差する方向に引張力が作用する。このように、密閉空間外の圧力が圧力センサに働いたとき、第１双音叉振動片と第２双音叉振動片とでは、互いに同一方向の力が作用する。
【００１２】
ここで、双音叉振動片の共振周波数は、双音叉振動片の振動腕部の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用したときに減少し、引張力が作用したときに増加することが広く知られている。よって、圧力センサが加速度を受けても、加速度により生じる慣性力での第１双音叉振動片の共振周波数の変化分（増加分または減少分）と、第２双音叉振動片の共振周波数の変化分（増加分または減少分）とは、変化の方向が真逆であることから、相殺することが可能である。そして、密閉空間外の圧力での第１双音叉振動片の共振周波数の変化分及び第２双音叉振動片の共振周波数の変化分は、変化の方向が一致していることから、上述の加速度により生じる慣性力での第１双音叉振動片の共振周波数の変化分及び第２双音叉振動片の共振周波数の変化分と区分することが可能である。よって、第１双音叉振動片の共振周波数の変化分と第２双音叉振動片の共振周波数の変化分との和（具体的には前記和の半数。）から、圧力センサは密閉空間外の圧力を近似して求めることが可能である。したがって、加速度が一定である環境及び加速度が変化する環境のいずれの環境においても、圧力センサは、加速度の影響を除外して圧力の検出を行うことが可能である。
【００１３】
［適用例２］上記適用例にかかる圧力センサは、対向する前記第１ダイヤフラム部と前記第２ダイヤフラム部とが平行になるように形成され、前記第１双音叉振動片と前記第２双音叉振動片とが平行に対向するように形成されていることが好ましい。
【００１４】
このような構成によれば、第１ダイヤフラム部、第２ダイヤフラム部、第１双音叉振動片、及び第２双音叉振動片が、相互に平行に対向するように形成されていることから、低背化された圧力センサを実現することが可能である。
【００１５】
［適用例３］上記適用例にかかる圧力センサは、前記第１保持部は、前記第１ダイヤフラム部の第１重心に対し対称位置に形成され、前記第２保持部は、前記第２ダイヤフラム部の第２重心に対し対称位置に形成され、前記第１双音叉振動片の一対の前記第１振動腕部は、前記第１重心と前記第２重心とを結んだ直線を通過するように前記第１中央板部を跨ぎ、前記第２双音叉振動片の一対の前記第２振動腕部は、前記直線を通過するように前記第２中央板部を跨いでいることが好ましい。
【００１６】
このような構成によれば、第１保持部は、第１ダイヤフラム部の第１重心に対し対称位置に形成され、第２保持部は、第２ダイヤフラム部の第２重心に対し対称位置に形成されている。また、第１双音叉振動片の一対の第１振動腕部は、第１重心と第２重心とを結んだ直線を通過するように第１中央板部を跨いでいる。また、第２双音叉振動片の一対の第２振動腕部は、上記の直線を通過するように第２中央板部を跨いでいる。
【００１７】
このことにより、加速度により生じる慣性力及び密閉空間外の圧力が第１ダイヤフラム部に働き、第１ダイヤフラム部の第１保持部の両箇所（第１双音叉振動片の２つの第１基部が接合されている。）は、互いが反対方向に向かう略同程度の回転をするように移動する。このことから第１双音叉振動片には、第１振動腕部の振動方向に交差する方向に略均等な圧縮力または引張力が作用する。略均等な圧縮力または引張力が第１双音叉振動片に作用することから、変化した後の第１双音叉振動片の共振周波数は安定している。
【００１８】
また、加速度により生じる慣性力及び密閉空間外の圧力が第２ダイヤフラム部に働き、第２ダイヤフラム部の第２保持部の両箇所（第２双音叉振動片の２つの第２基部が接合されている。）は、互いが反対方向に向かう略同程度の回転をするように移動する。このことから第２双音叉振動片には、第２双音叉振動片の第２振動腕部の振動方向に交差する方向に略均等な圧縮力または引張力が作用する。略均等な圧縮力または引張力が第２双音叉振動片に作用することから、変化した後の第２双音叉振動片の共振周波数は安定している。よって、加速度が一定である環境及び加速度が変化する環境のいずれの環境においても、加速度の影響をより除外して高精度な圧力の検出を行うことが可能である。
【００１９】
［適用例４］上記適用例にかかる圧力センサは、前記密閉空間が、減圧状態となるように形成されていることが好ましい。
【００２０】
このような構成によれば、第１双音叉振動片と第２双音叉振動片とは減圧状態の密閉空間内に設置されている。このことにより、第１双音叉振動片及び第２双音叉振動片の振動を阻害する空気抵抗を抑えることができ、第１双音叉振動片及び第２双音叉振動片の安定した振動特性を得ることが可能になる。よって、より高精度な圧力の検出を行うことが可能である。
【００２１】
［適用例５］上記適用例にかかる圧力センサは、前記ケース部、前記第１ダイヤフラム部、前記第２ダイヤフラム部、前記第１双音叉振動片、及び前記第２双音叉振動片は、同一のカット角でカットされた水晶で形成されていることが好ましい。
【００２２】
このような構成によれば、ケース部、第１ダイヤフラム部、第２ダイヤフラム部、第１双音叉振動片、及び第２双音叉振動片は、同一のカット角でカットされた水晶で形成されている。このことにより、ケース部、第１ダイヤフラム部、第２ダイヤフラム部、第１双音叉振動片、及び第２双音叉振動片の線膨張係数は略等しい。このことから、圧力センサが設置される環境の温度が変化しても、ケース部、第１ダイヤフラム部、第２ダイヤフラム部、第１双音叉振動片、及び第２双音叉振動片は、略同一の比率で膨張または縮小する。よって、圧力センサの構成部間に生じる歪みを最小にすることが可能である。したがって、圧力センサは、環境の温度変化の影響を最小限に抑えて圧力の検出を行うことが可能である。
【００２３】
［適用例６］本適用例にかかる圧力測定装置は、上記記載の圧力センサと、前記密閉空間内に前記圧力センサの少なくとも駆動及び制御を行う機能を有する回路部とを備えていることを特徴とする。
【００２４】
このような構成によれば、圧力測定装置が、圧力センサと圧力センサの密閉空間内に圧力センサの少なくとも駆動及び制御を行う機能を有する回路部とを備えていることから、圧力測定装置は、圧力の検出から算出までの測定を行うことが可能である。
【００２５】
［適用例７］本適用例にかかる圧力測定装置は、上記記載の圧力センサと、前記密閉空間外に前記圧力センサの少なくとも駆動及び制御を行う機能を有する回路部とを備えていることを特徴とする。
【００２６】
このような構成によれば、圧力測定装置が、圧力センサと圧力センサの密閉空間外に圧力センサの少なくとも駆動及び制御を行う機能を有する回路部とを備えていることから、圧力測定装置は、圧力の検出から算出までの測定を行うことが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、実施形態を図面に沿って説明する。以下の説明で参照する図は、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺が実際とは異なる模式図である。
【００２８】
（第１の実施形態）
図１（ａ）は、第１の実施形態の圧力センサを示す平面図であり、図１（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。図１に示すように、圧力センサ１は、ケース部１０、第１ダイヤフラム部２０、第１双音叉振動片４０、第２ダイヤフラム部３０、及び第２双音叉振動片５０を備えている。ケース部１０、第１ダイヤフラム部２０、第１双音叉振動片４０、第２ダイヤフラム部３０、及び第２双音叉振動片５０は水晶板を用い、フォトリソグラフィー法及びエッチング法などによって形成されている。なお、水晶板は、水晶の結晶軸のＸ軸回りに所定の角度回転させたＺ’軸方向を厚さ方向とし、Ｘ軸方向及びＹ軸方向を平面方向として切り出されたＺ板である。
【００２９】
ケース部１０、第１ダイヤフラム部２０、及び第２ダイヤフラム部３０は、密閉空間９０を形成している。また、第１ダイヤフラム部２０と第２ダイヤフラム部３０とが略平行に対向するように形成されている。また、第１双音叉振動片４０と第２双音叉振動片５０とが略平行に対向するように形成されている。また、ケース部１０は、表裏関係となる対向する周状の端面１１，１２、貫通孔１３及び封止された封止孔部６０を有している。また、第１ダイヤフラム部２０は、ケース部１０の端面１１の全周に接合された第１接合部２１、第１接合部２１の内側に形成された第１薄肉部２２、第１薄肉部２２の内側に形成された第１保持部２３、及び第１保持部２３の内側に形成され、第１保持部２３の肉厚より薄い肉厚の第１中央板部２４を有している。また、第１保持部２３は、第１ダイヤフラム部２０の第１重心２５に対し対称位置に形成されている。また、第１双音叉振動片４０は、第１基部４１と第１基部４２間に形成された第１振動腕部４３，４４とを有している。また、第１基部４１，４２は、第１保持部２３の端面１２側の箇所２６，２７に接合されている。第１振動腕部４３，４４は、第１重心２５と後述の第２重心３５とを結んだ直線Ｌを通過するように第１中央板部２４を跨いでいる。
【００３０】
また、第２ダイヤフラム部３０は、ケース部１０の端面１２の全周に接合された第２接合部３１、第２接合部３１の内側に形成された第２薄肉部３２、第２薄肉部３２の内側に形成された第２保持部３３、及び第２保持部３３の内側に形成され、第２保持部３３の肉厚より薄い肉厚の第２中央板部３４を有している。また、第２保持部３３は、第２ダイヤフラム部３０の第２重心３５に対し対称位置に形成されている。また、第２双音叉振動片５０は、第２基部５１，５２と第２基部５１，５２間に形成された第２振動腕部５３，５４とを有している。また、第２基部５１，５２は、第２保持部３３の端面１１側の箇所３６，３７に接合さている。第２振動腕部５３，５４は、第１重心２５と第２重心３５とを結んだ直線Ｌを通過するように第２中央板部３４を跨いでいる。
【００３１】
ここで、第１ダイヤフラム部２０と第１双音叉振動片４０、第２ダイヤフラム部３０と第２双音叉振動片５０とは、エポキシ系の接着剤によって接合されている。また、ケース部１０と第１ダイヤフラム部２０、ケース部１０と第２ダイヤフラム部３０とは、低融点ガラスによって接合されている。また、上述の接合の後に密閉空間９０が減圧され、減圧後にＡｕ−Ｓｎ系の低融点金属を用いた溶融法によって、封止孔部６０は封止される。このことによって封止孔部６０が封止部となり、密閉空間９０は減圧状態が維持される。
【００３２】
図２及び図３を用い、双音叉振動片の電極の構成と振動形態の概略について、第１双音叉振動片４０を一例として説明する。図２は双音叉振動片の電極の構成を示す概略図である。図３は双音叉振動片の振動形態を示す概略図である。
【００３３】
図２に示すように、第１双音叉振動片４０の第１振動腕部４３，４４の表面には、第１振動腕部４３，４４を励振させるための電極形状の一例としての励振電極７１，７２が形成されている。励振電極７１は、第１振動腕部４３の中央部分の上面および下面に設けられた電極７７と、第１振動腕部４３の中央部分の側面に設けられた励振電極８３、８４と、第１振動腕部４３の第１基部４１，４２との接続部に近い部分（励振電極７１の両側の部分。）の上面および下面に設けられた電極７３，７４と、第１振動腕部４３の第１基部４１，４２との接続部に近い部分（励振電極７１の両側の部分。）の側面に設けられた電極７９、８０、８１、８２とから構成されている。励振電極７２は、第１振動腕部４４の中央部分の上面および下面に設けられた電極７８と、第１振動腕部４４の中央部分の側面に設けられた電極８９、９２と、第１振動腕部４４の第１基部４１，４２との接続部に近い部分（励振電極７２の両側の部分。）の上面および下面に設けられた電極７５，７６と、第１振動腕部４４の第１基部４１，４２との接続部に近い部分（励振電極７２の両側の部分。）の側面に設けられた電極８５〜８８とから構成されている。
【００３４】
図３を参照しながら振動について説明する。先ず、図３（ｂ）に示すように、励振電極７１を構成する電極７３，７４，８３，８４にマイナス（−）電位、電極７７，７９，８０，８１，８２にプラス（＋）電位を印加する。同時に励振電極７２を構成する電極７５，７６，８９，９２にプラス（＋）電位、電極７８，８５，８６，８７，８８にマイナス（−）電位を印加する。このような電位を印加することにより、図３（ａ）で示すように略平行状態であった第１振動腕部４３，４４が、図３（ｂ）で示すように外側に湾曲するように撓む。
【００３５】
続いて、図３（ｃ）に示すように、それぞれの電極に図３（ｂ）で示す電位とは逆の電位を印加する。即ち、励振電極７１を構成する電極７３，７４，８３，８４にプラス（＋）電位、電極７７，７９，８０，８１，８２にマイナス（−）電位を印加する。同時に励振電極７２を構成する電極７５，７６，８９，９２にマイナス（−）電位、電極７８，８５，８６，８７，８８にプラス（＋）電位を印加する。このような電位を印加することにより、第１振動腕部４３，４４が、図３（ｃ）で示すように内側に湾曲するように撓む。
【００３６】
上述の図３（ｂ）と図３（ｃ）とに示す状態の電位を繰り返し印加することにより、所定の共振周波数で第１振動腕部４３，４４がＸ方向に振動することになる。本実施形態では、共振周波数が約４０ＫＨｚとなるように形成された第１双音叉振動片４０を用いている。
【００３７】
上述のように、所定の共振周波数（約４０ＫＨｚ）で振動する第１双音叉振動片４０は、第１振動腕部４３，４４の振動方向に交差する方向（図２に示すＹ軸方向。）に圧縮力が加えられたり、逆に引張力が加えられたりするとその共振周波数は変化する。詳述すれば、第１双音叉振動片４０は、第１振動腕部４３，４４の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用すると共振周波数が減少し、逆に引張力が作用すると共振周波数が増加する。なお、この共振周波数の変化は、作用する力の大きさと比例関係を有している。
【００３８】
次に、圧力センサ１が受ける加速度により生じる慣性力の圧力センサ１内部への作用について図４（ａ）に沿って説明する。図４（ａ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面を示し、慣性力の圧力センサ内部への作用の説明図である。
【００３９】
図４（ａ）に示すように、圧力センサ１が加速度を矢印αで示す下方向に受けるとき、圧力センサ１には、加速度により生じる慣性力が矢印αとは反対方向の矢印Ｆで示す上方向に働く。第１ダイヤフラム部２０では、第１ダイヤフラム部２０の第１薄肉部２２がケース部１０に接合された第１接合部２１に直接繋がり、薄い肉厚であることから、慣性力が働くことにより、第１薄肉部２２は第１薄肉部２２と第１接合部２１との接点を支点にして傾く。第１薄肉部２２が傾くことで第１薄肉部２２に形成された第１保持部２３も、第１薄肉部２２と第１接合部２１との接点を支点にして傾く。第１保持部２３が傾くことにより、第１保持部２３は変位するとともに第１保持部２３の中心点２３ａ，２３ｂを起点として回転する。第１双音叉振動片４０の第１基部４１，４２が接合された第１保持部２３の箇所２６，２７は、第１ダイヤフラム部２０の第１中央板部２４を挟んだ位置にあることから、箇所２６が矢印Ｒ１で示す反時計回りに、箇所２７は矢印Ｒ２で示す時計回りに回転するように移動する。このように、箇所２６と箇所２７とは、互いに反対方向に回転するように移動する。上述の回転により第１双音叉振動片４０の第１基部４１，４２が接合された第１保持部２３の箇所２６，２７同士が離れることから、第１双音叉振動片４０には第１振動腕部４３，４４の振動方向に交差する方向に引張力が作用する。
【００４０】
また、第２ダイヤフラム部３０にも、第１ダイヤフラム部２０と同様に慣性力、回転力が働く。但し、第２ダイヤフラム部３０に対する第２双音叉振動片５０の位置は、第１ダイヤフラム部２０に対する第１双音叉振動片４０の位置と真逆になる。このことから、第２双音叉振動片５０には、第２双音叉振動片５０の第２振動腕部５３，５４の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用する。このように、加速度により生じる慣性力が圧力センサ１に働いたとき、第１双音叉振動片４０と第２双音叉振動片５０とでは、互いに反対方向の力が作用する。また、圧力センサ１が図４（ａ）に示す矢印αの方向の反対方向に加速度を受けたときは、加速度により生じる慣性力、慣性力が作用し生じる回転、第１双音叉振動片４０及び第２双音叉振動片５０に作用する力の方向が全て反対方向となる。
【００４１】
次に、重力の圧力センサ１内部への作用について図４（ｂ）に沿って説明する。図４（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面を示し、重力の圧力センサ内部への作用の説明図である。図４（ｂ）に示すように、圧力センサ１に重力が矢印Ｆｇの方向に働くと、重力によって、圧力センサ１は矢印ｇの方向に重力加速度を得る。重力の圧力センサ１内部への作用は、上述の加速度により生じる慣性力の圧力センサ１内部への作用の理屈と同様であり、第１双音叉振動片４０に引張力、第２双音叉振動片５０に圧縮力が作用する。
【００４２】
次に、密閉空間９０外の圧力の圧力センサ１内部への作用について図４（ｃ）に沿って説明する。図４（ｃ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面を示し、密閉空間外の圧力の圧力センサ内部への作用の説明図である。圧力センサ１に上述の慣性力及び密閉空間９０外の圧力が働くが、密閉空間９０外の圧力のみの圧力センサ１内部への作用を説明するため、圧力センサ１には慣性力が働いていないと仮定する。また、一例として、密閉空間９０外の圧力は、密閉空間９０内の圧力より大きい場合とする。
【００４３】
図４（ｃ）に示すように、圧力センサ１には、密閉空間９０内の中心点９１に向かうように、矢印Ｐ３，Ｐ４で示す方向に密閉空間９０外の圧力が働く。第１ダイヤフラム部２０に働く密閉空間９０外の圧力の方向である矢印Ｐ３は、上述の第１ダイヤフラム部２０に働く慣性力の方向の矢印Ｆと同じ方向である。よって、慣性力が働いたときと同じ理屈で、第１双音叉振動片４０には、第１振動腕部４３，４４の振動方向に交差する方向に引張力が作用する。他方、第２ダイヤフラム部３０は、密閉空間９０を挟むように第１ダイヤフラム部２０に対向して備えられている。また、第２ダイヤフラム部３０に対する第２双音叉振動片５０の位置は、第１ダイヤフラム部２０に対する第１双音叉振動片４０の位置と真逆になっている。このことから、第２双音叉振動片５０には、第２振動腕部５３，５４の振動方向に交差する方向に引張力が作用する。このように、密閉空間９０外の圧力が圧力センサ１に働いたとき、第１双音叉振動片４０と第２双音叉振動片５０とでは、互いに同一方向の力が作用する。
【００４４】
なお、密閉空間９０外の圧力が密閉空間９０内の圧力より小さい場合については、密閉空間９０外の圧力が働く方向は、図示しないが矢印Ｐ３，Ｐ４の反対方向となる。よって、第１双音叉振動片４０には、第１振動腕部４３，４４の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用し、第２双音叉振動片５０には、第２振動腕部５３，５４の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用する。
【００４５】
次に、圧力の検出について図に沿って説明する。図５は、圧力の検出についての説明図である。横軸が第１双音叉振動片４０、または第２双音叉振動片５０に作用する力（プラス方向が引張力、マイナス方向が圧縮力。）を示し、縦軸が、第１双音叉振動片４０、または第２双音叉振動片５０の共振周波数を示す。なお、圧力の検出を行う際に、上述の加速度により生じる慣性力と密閉空間９０外の圧力とが、共に圧力センサ１内部へ作用している。このことから、図４（ａ）に示すように、加速度により生じる慣性力によって、第１双音叉振動片には引張力が、第２双音叉振動片には圧縮力が作用し、図４（ｃ）に示すように、密閉空間９０外の圧力が矢印Ｐ３，Ｐ４の方向に働き、第１双音叉振動片及び第２双音叉振動片には引張力が作用している場合について以下に一例として説明する。
【００４６】
図５に示すように、密閉空間９０外の圧力Ｆｐによる第１双音叉振動片４０の共振周波数の変化分Δｆｐ1、第２双音叉振動片５０の共振周波数の変化分Δｆｐ2から、第１双音叉振動片４０の共振周波数及び第２双音叉振動片５０の共振周波数は共振周波数ｆｐとなっている。また、上述のように、加速度により生じる慣性力によって、第１双音叉振動片４０には引張力ΔＦ1が作用し、第２双音叉振動片５０には圧縮力ΔＦ2が作用している。その結果、第１双音叉振動片４０の共振周波数は変化分Δｆ1変化し、第２双音叉振動片５０の共振周波数は変化分Δｆ2変化する。第１双音叉振動片４０に作用する引張力ΔＦ1と、第２双音叉振動片５０に作用する圧縮力ΔＦ2とは作用する方向が真逆であることから、それぞれに対応する共振周波数の変化分Δｆ1と変化分Δｆ2とは、変化の方向が真逆になる。よって、第１双音叉振動片４０の共振周波数の変化分Δｆ1と、第２双音叉振動片５０の共振周波数の変化分Δｆ2とは相殺することができる。そして、後者の密閉空間９０外の圧力Ｆｐによる第１双音叉振動片４０の共振周波数の変化分Δｆｐ1及び第２双音叉振動片５０の共振周波数の変化分Δｆｐ2は、変化の方向が一致していることから、上述の加速度により生じる慣性力での第１双音叉振動片４０の共振周波数の変化分Δｆ1及び第２双音叉振動片５０の共振周波数の変化分Δｆ2と区分できる。したがって、第１双音叉振動片４０の共振周波数（ｆｐ＋Δｆ1）と第２双音叉振動片５０の共振周波数（ｆｐ−Δｆ2）との和（具体的には前記和の半数。）から、圧力センサ１は密閉空間９０外の圧力Ｆｐを加速度の影響を除外し、近似して求めることができる。
【００４７】
上述の第１の実施形態では、以下の効果が得られる。
（１）加速度により生じる慣性力による第１双音叉振動片４０の共振周波数の変化分Δｆ1と、第２双音叉振動片５０の共振周波数の変化分Δｆ2とは、変化の方向が真逆であることから、相殺することができる。密閉空間９０外の圧力Ｆｐによる第１双音叉振動片４０の共振周波数の変化分Δｆｐ1及び第２双音叉振動片５０の共振周波数の変化分Δｆｐ2は、変化の方向が一致していることから、上述の加速度により生じる慣性力での第１双音叉振動片４０の共振周波数の変化分Δｆ1及び第２双音叉振動片５０の共振周波数の変化分Δｆ2と区分できる。よって、第１双音叉振動片４０の共振周波数（ｆｐ＋Δｆ1）と第２双音叉振動片５０の共振周波数（ｆｐ−Δｆ2）との和の半数から、圧力センサ１は加速度による影響を除外して密閉空間９０外の圧力Ｆｐを検出することができる。したがって、加速度が一定である環境及び加速度が変化する環境のいずれの環境においても、圧力センサ１は、加速度の影響を除外して圧力Ｆｐの検出を行うことができる。
【００４８】
（２）第１ダイヤフラム部２０、第２ダイヤフラム部３０、第１双音叉振動片４０、及び第２双音叉振動片５０が、相互に略平行に対向するように形成されていることから、低背化された圧力センサ１を実現することができる。例えば、特許文献１の圧力センサを反対向きに２個用いた場合は、結果として、密閉空間を２つ形成することになり、本実施形態と比べると大型になる。また、本実施形態の圧力センサ１は密閉空間が１つで済むため、製造コスト低減と歩留り向上の効果が得られる。
【００４９】
（３）第１保持部２３は、第１ダイヤフラム部２０の第１重心２５に対し対称位置に形成され、第２保持部３３は、第２ダイヤフラム部３０の第２重心３５に対し対称位置に形成されている。また、第１双音叉振動片４０の第１振動腕部４３，４４は、第１重心２５と第２重心３５とを結んだ直線Ｌを通過するように第１中央板部２４を横切っている。また、第２双音叉振動片５０の第２振動腕部５３，５４は、直線Ｌを通過するように第２中央板部３４を横切っている。このことにより、加速度により生じる慣性力及び密閉空間９０外の圧力Ｆｐが第１ダイヤフラム部２０に働き、第１ダイヤフラム部２０の第１保持部２３の箇所２６，２７は、互いが反対方向に向かう略同程度の回転をするように移動する。このことから第１双音叉振動片４０には、Ｙ方向に略均等な圧縮力または引張力が作用する。略均等な圧縮力または引張力が第１双音叉振動片４０に作用することから、変化した後の第１双音叉振動片４０の共振周波数は安定している。また、加速度により生じる慣性力及び密閉空間９０外の圧力Ｆｐが第２ダイヤフラム部３０に働き、第２ダイヤフラム部３０の第２保持部３３の箇所３６，３７は、互いが反対方向に向かう略同程度の回転をするように移動する。このことから第２双音叉振動片５０には、Ｙ方向に略均等な圧縮力または引張力が作用する。略均等な圧縮力または引張力が第２双音叉振動片５０に作用することから、変化した後の第２双音叉振動片５０の共振周波数は安定している。よって、加速度が一定である環境及び加速度が変化する環境のいずれの環境においても、圧力センサ１は、加速度の影響をより除外して高精度な圧力Ｆｐの検出を行うことができる。
【００５０】
（４）第１双音叉振動片４０と第２双音叉振動片５０とは減圧状態の密閉空間９０内に設置されている。このことにより、第１双音叉振動片４０及び第２双音叉振動片５０の振動を阻害する空気抵抗を抑えることができ、第１双音叉振動片４０及び第２双音叉振動片５０の安定した振動特性を得ることができる。よって、より高精度な圧力Ｆｐの検出を行うことができる。
【００５１】
（５）ケース部１０、第１ダイヤフラム部２０、第２ダイヤフラム部３０、第１双音叉振動片４０、及び第２双音叉振動片５０は、同一のカット角でカットされた水晶で形成されている。このことにより、ケース部１０、第１ダイヤフラム部２０、第２ダイヤフラム部３０、第１双音叉振動片４０、及び第２双音叉振動片５０の線膨張係数は等しい。このことから、圧力センサ１が設置される環境の温度が変化しても、ケース部１０、第１ダイヤフラム部２０、第２ダイヤフラム部３０、第１双音叉振動片４０、及び第２双音叉振動片５０は、略同一の比率で膨張または縮小する。よって、圧力センサ１の構成部間に生じる歪みを最小にすることができる。したがって、圧力センサ１は、環境の温度変化の影響を最小限に抑えて圧力Ｆｐの検出を行うことができる。
【００５２】
（第２の実施形態）
本実施形態では、上述の実施形態と同じ内容については説明を省き、異なる内容を説明する。図６（ａ）は、第２の実施形態の圧力測定装置を示す平面図であり、図６（ｂ）は、同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。図６に示すように、圧力測定装置２は、圧力センサ１と回路部３とを備えている。また、回路部３は、密閉空間９０内のケース部１０に形成され、圧力センサ１の少なくとも駆動及び制御を行う機能を有している。なお、ケース部１０、第１ダイヤフラム部２０、第２ダイヤフラム部３０には、図示しない金属配線などの回路パターンが形成されている。
【００５３】
上述の第２の実施形態では、以下の効果が得られる。
（６）圧力測定装置２が、圧力センサ１と圧力センサ１の密閉空間９０内に圧力センサ１の少なくとも駆動及び制御を行う機能を有する回路部３とを備えていることから、圧力測定装置２は圧力Ｆｐの検出から算出までの測定を行うことができる。
【００５４】
（第３の実施形態）
本実施形態では、上述の実施形態と同じ内容については説明を省き、異なる内容を説明する。図７は、第３の実施形態の圧力測定装置を示す断面図である。図７に示すように、圧力測定装置５は、圧力センサ１と回路部３と実装基板４とを備えている。また、回路部３は、圧力センサ１の少なくとも駆動及び制御を行う機能を有している。なお、実装基板４には、図示しない金属配線などの回路パターンが形成されている。
【００５５】
上述の第３の実施形態では、以下の効果が得られる。
（７）圧力測定装置５が、圧力センサ１と圧力センサ１の密閉空間９０外に圧力センサ１の少なくとも駆動及び制御を行う機能を有する回路部３とを備えていることから、圧力測定装置５は、圧力Ｆｐの検出から算出までの測定を行うことができる。
【００５６】
（比較例）
本比較例では上述の実施形態と比較するため、従来から使用されるひとつの圧力センサについて説明する。ここでは、上述の実施形態と同じ内容については説明を省き、異なる内容を説明する。図８（ａ）は、本比較例の圧力センサを示す平面図であり、図８（ｂ）は、同図（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。図８に示すように、圧力センサ１０１は、ケース部１１０、ダイヤフラム部１２０、第１双音叉振動片１４０、第２双音叉振動片１５０、及びカバー部１７０を備えている。カバー部１７０も、他の構成部同様に水晶板を用い、フォトリソグラフィー法及びエッチング法などによって形成されている。
【００５７】
ケース部１１０、ダイヤフラム部１２０及びカバー部１７０は、密閉空間１９０を形成している。ケース部１１０は、平板部１１１と、平板部１１１上の外周に形成された枠部１１２と、平板部１１１に形成された封止された封止孔部１６０を有している。また、ダイヤフラム部１２０は、枠部１１２の全周に接続された接合部１２１、接合部１２１の内側に形成された薄肉部１２２、薄肉部１２２の内側に形成された保持部１２３、及び保持部１２３の内側に形成された貫通孔部１２４を備えている。第１双音叉振動片１４０は、保持部１２３のケース部１１０側の箇所１２６，１２７に接合されている。第２双音叉振動片１５０は、保持部１２３のカバー部１７０側の箇所１２８，１２９に接合されている。このように、１つのダイヤフラム部１２０の表裏に重心１２５を挟んで略平行に対向して、第１双音叉振動片１４０と第２双音叉振動片１５０とが接合されている。カバー部１７０は、保持部１２３の反ケース部１１０部側の箇所１２８，１２９に第２双音叉振動片１５０を覆うように接合されている。ここで、ダイヤフラム部１２０とカバー部１７０とは、低融点ガラスによって接合されている。
【００５８】
次に、圧力センサ１０１が受ける加速度により生じる慣性力の圧力センサ１０１内部への作用について図９（ａ）に沿って説明する。図９（ａ）は、図８（ａ）のＣ−Ｃ線断面を示し、慣性力の圧力センサ内部への作用の説明図である。
【００５９】
図９（ａ）に示すように、圧力センサ１０１が加速度を矢印αで示す下方向に受けるとき、圧力センサ１０１には、加速度により生じる慣性力が矢印αとは反対方向の矢印Ｆで示す上方向に働く。ダイヤフラム部１２０では、ダイヤフラム部１２０の薄肉部１２２が枠部１１２に接合された接合部１２１に直接繋がり、薄い肉厚であることから、慣性力が働くことにより、薄肉部１２２は薄肉部１２２と接合部１２１との接点を支点にしてカバー部１７０側に傾く。薄肉部１２２が傾くことで保持部１２３も傾き、保持部１２３は変位するとともに保持部１２３の中心点１２３ａ，１２３ｂを起点として回転する。保持部１２３の箇所１２６，１２８と箇所１２７，１２９とは、ダイヤフラム部１２０の貫通孔部１２４を挟んだ位置にあることから、箇所１２６，１２８が矢印Ｒ１で示す反時計回りに、箇所１２７，１２９は矢印Ｒ２で示す時計回りに回転するように移動する。このように、箇所１２６，１２８と箇所１２７，１２９とは、互いに反対方向に回転するように移動する。上述の回転により保持部１２３の箇所１２８，１２９同士が遠ざかることから、第２双音叉振動片１５０には第２振動腕部１５３，１５４（図８参照）の振動方向に交差する方向に引張力が作用する、また、箇所１２６，１２７同士が近づくことから、第１双音叉振動片１４０には第１振動腕部１４３，１４４の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用する。
【００６０】
次に、重力の圧力センサ１０１内部への作用について図９（ｂ）に沿って説明する。図９（ｂ）は、図８（ａ）のＣ−Ｃ線断面を示し、重力の圧力センサ内部への作用の説明図である。図９（ｂ）に示すように、圧力センサ１０１に重力が矢印Ｆｇの方向に働くと、重力によって、圧力センサ１０１は矢印ｇの方向の重力加速度を得る。重力の圧力センサ１０１内部への作用は、上述の加速度により生じる慣性力の加速度センサ１０１内部への作用の理屈と同様であり、第１双音叉振動片１４０に引張力、第２双音叉振動片１５０に圧縮力が作用する。
【００６１】
次に、圧力センサ１が密閉空間９０外の圧力Ｆｐの圧力センサ１内部への作用について図９（ｃ）に沿って説明する。図９（ｃ）は、図８（ａ）のＣ−Ｃ線断面を示し、密閉空間外の圧力の圧力センサ内部への作用の説明図である。圧力センサ１０１には慣性力が働いていないと仮定する。また、一例として、密閉空間１９０外の圧力Ｆｐは、密閉空間１９０内の圧力より大きい場合とする。
【００６２】
図９（ｃ）に示すように、圧力センサ１０１には、密閉空間１９０内に向かうように、矢印Ｐ５で示す方向に密閉空間１９０外の圧力Ｆｐが働く。ダイヤフラム部１２０では、ダイヤフラム部１２０の薄肉部１２２が枠部１１２に接合された接合部１２１に直接繋がり、薄い肉厚であることから、密閉空間１９０外の圧力Ｆｐが働くことにより、薄肉部１２２は薄肉部１２２と接合部１２１との接点を支点にしてケース部１１０側に傾く。薄肉部１２２が傾くことで保持部１２３も傾き、保持部１２３は変位するとともに保持部１２３の中心点１２３ａ，１２３ｂを起点として回転する。保持部１２３の箇所１２６，１２８と箇所１２７，１２９とは、ダイヤフラム部１２０の貫通孔部１２４を挟んだ位置にあることから、箇所１２６，１２８が矢印Ｒ３で示す時計回りに、箇所１２７，１２９は矢印Ｒ４で示す反時計回りに回転するように移動する。このように、箇所１２６，１２８と箇所１２７，１２９とは、互いに反対方向に回転するように移動する。上述の回転により保持部１２３の箇所１２８，１２９同士が近づくことから、第２双音叉振動片１５０には第２振動腕部１５３，１５４の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用する。また、箇所１２６，１２７同士が遠ざかることから、第１双音叉振動片１４０には第１振動腕部１４３，１４４の振動方向に交差する方向に引張力が作用する。
【００６３】
なお、密閉空間１９０外の圧力Ｆｐが密閉空間１９０内の圧力より小さい場合については、密閉空間１９０外の圧力Ｆｐが働く方向は、図示しないが矢印Ｐ５の反対方向となる。よって、第１双音叉振動片１４０には、第１振動腕部１４３，１４４の振動方向に交差する方向に圧縮力が作用し、第２双音叉振動片１５０には、第２振動腕部１５３，１５４の振動方向に交差する方向に引張力が作用する。
【００６４】
圧力Ｆｐの検出を行う際に、上述の加速度により生じる慣性力と密閉空間１９０外の圧力Ｆｐとが、共に圧力センサ１０１内部へ作用している。前者の加速度により生じる慣性力による第１双音叉振動片１４０の共振周波数の変化分（増加分または減少分）と、第２双音叉振動片１５０の共振周波数の変化分（増加分または減少分）とが変化の方向が真逆であることから、第１双音叉振動片１４０の共振周波数の変化分と、第２双音叉振動片１５０の共振周波数の変化分とは、上述の実施形態の圧力センサ１と同様に相殺することができる。しかしながら、後者の密閉空間１９０外の圧力Ｆｐによる第１双音叉振動片１４０の共振周波数の変化分と、第２双音叉振動片１５０の共振周波数の変化分とが、上述の実施形態の圧力センサ１と異なり、変化の方向が一致していない（変化の方向が真逆である。）。このことから、上述の加速度により生じる慣性力での第１双音叉振動片１４０の共振周波数の変化分及び第２双音叉振動片１５０の共振周波数の変化分と区分できない。したがって、圧力センサ１０１は、加速度の影響を除外して圧力Ｆｐの検出を行うことができない。
【００６５】
なお、上記実施形態は上述の内容に限定されるものではなく、その主旨を逸脱しない範囲において上述の内容以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、ケース部１０、第１ダイヤフラム部２０、第１双音叉振動片４０、第２ダイヤフラム部３０、及び第２双音叉振動片５０の材料は、一例として酸化亜鉛、タンタル酸リチウム、チタン酸ジルコン酸鉛、ニオブ酸リチウムなどであってもよい。
【００６６】
また、第１保持部２３は、第１中央板部２４を挟んで形成された複数個の保持部であってもよく、第２保持部３３は、第２中央板部３４を挟んで形成された複数個の保持部であってもよい。
【００６７】
また、第１ダイヤフラム部２０と第１双音叉振動片４０、第２ダイヤフラム部３０と第２双音叉振動片５０との接合は、アクリル系、イミド系、ウレタン系、ポリサルフォン系などの接着剤を用いてもよい。
【００６８】
また、封止孔部６０の封止は、Ａｕ−Ｇｅ系などの低融点金属を用いてもよい。
【００６９】
また、封止孔部６０は、第１ダイヤフラム部２０または第２ダイヤフラム部３０に形成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】（ａ）は、第１の実施形態の圧力センサを示す平面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線断面図。
【図２】双音叉振動片の電極の構成を示す概略図。
【図３】双音叉振動片の振動形態を示す概略図。
【図４】（ａ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面を示し、慣性力の圧力センサ内部への作用の説明図、（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面を示し、重力の圧力センサ内部への作用の説明図、（ｃ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線断面を示し、密閉空間外の圧力の圧力センサ内部への作用の説明図。
【図５】圧力の検出についての説明図。
【図６】（ａ）は、第２の実施形態の圧力測定装置を示す平面図、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線断面図。
【図７】第３の実施形態の圧力測定装置を示す断面図。
【図８】（ａ）は、比較例の圧力センサを示す平面図、（ｂ）は、（ａ）のＣ−Ｃ線断面図。
【図９】（ａ）は、図８（ａ）のＣ−Ｃ線断面を示し、慣性力の圧力センサ内部への作用の説明図、（ｂ）は、図８（ａ）のＣ−Ｃ線断面を示し、重力の圧力センサ内部への作用の説明図、（ｃ）は、図８（ａ）のＣ−Ｃ線断面を示し、密閉空間外の圧力の圧力センサ内部への作用の説明図。
【符号の説明】
【００７１】
１…圧力センサ、２，５…圧力測定装置、３…回路部、１０…ケース部、１１，１２…端面、１３…貫通孔、２０…第１ダイヤフラム部、２１…第１接合部、２２…第１薄肉部、２３…第１保持部、２４…第１中央板部、２５…第１重心、３０…第２ダイヤフラム部、３１…第２接合部、３２…第２薄肉部、３３…第２保持部、３４…第２中央板部、３５…第２重心、４０…第１双音叉振動片、４１，４２…第１基部、４３，４４…第１振動腕部、５０…第２双音叉振動片、５１，５２…第２基部、５３，５４…第２振動腕部、９０…密閉空間、Ｌ…直線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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