(57)【要約】【課題】燃料噴射弁において、煩雑な処理を必要とすることなく、噴射孔近傍に撥油性を有する被膜層を成層する。【解決手段】  燃料を噴射する噴射孔を有する燃料噴射弁を製造する方法において、噴射孔の噴射側開口端に撥油性を有する被膜層を形成する際に、噴射孔の噴射側開口端を構成する部材の表面にプラズマを照射する工程（ステップＳ１４）と、プラズマが照射された部材の表面に撥油性を有する被膜層を成層する工程（ステップＳ１６）を実施する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃料を噴射する噴射孔を有し、その噴射孔の噴射側開口端から伸びる表面に撥油性を有する被膜層が形成されており、その被膜層が形成された基材の表面にはプラズマ照射が施されていることを特徴とする燃料噴射弁。
【請求項２】
前記噴射孔の噴射側開口端を形成するオリフィスプレートを有し、そのオリフィスプレートに前記被膜層が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の燃料噴射弁。
【請求項３】
前記被膜層の表面には、親油成分と撥油成分が分散していることを特徴とする請求項１又は２に記載の燃料噴射弁。
【請求項４】
前記親油成分は少なくとも変性シリコーンを含んでおり、前記撥油成分は少なくともテトラフルオロエチレンコポリマーを含んでおり、変性シリコーンがテトラフルオロエチレンコポリマーに対して０．０２から５０重量％の割合であることを特徴とする請求項３に記載の燃料噴射弁。
【請求項５】
前記基材の表面と前記テトラフルオロエチレンコポリマーは、シランカップリング剤によって結合されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の燃料噴射弁。
【請求項６】
前記被膜層には、パーフルオロポリエーテル化合物が含まれていることを特徴とする請求項１又は２に記載の燃料噴射弁。
【請求項７】
燃料を噴射する噴射孔を有する燃料噴射弁の製造方法であって、
噴射孔の噴射側開口端を構成する部材の表面にプラズマを照射する工程と、
プラズマが照射された部材の表面に撥油性を有する被膜層を成層する工程、
を含む燃料噴射弁の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は燃料噴射弁に関する。特に、噴射孔近傍に撥油性を有する被膜層が成層されている燃料噴射弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
燃料噴射弁では、噴射孔近傍に付着した燃料によってデポジットが形成され、そのデポジットによって噴射孔が塞がれてしまうことがある。
上記の問題に対して、例えば特許文献１には、噴射孔近傍に撥油性を有する被膜層を成層し、上記したデポジットの形成を防止する技術が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１１２３９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
噴射孔近傍に被膜層を成層する場合、その基材の表面に対して被膜層を単に成層しても、基材と被膜層との結合が十分に得られず、燃料噴射弁の使用中に被膜層が剥がれてしまう虞がある。
そこで、被膜層と部材との結合性を高めるために部材をアルカリ洗浄し、部材の表面を活性化する処理を施す場合もある。しかしながら、アルカリ洗浄を行う場合、アルカリ洗浄液を除去するための水洗浄工程と、水洗浄後の基材を乾燥させるための乾燥工程を実施する必要がある。煩雑な処理が必要となることから、時間と製造コストがかかってしまう。煩雑な処理を必要とすることなく、基材との結合性に優れた被膜層を形成する技術が必要とされている。
【０００５】
本発明は、上記の課題を解決する。本発明は、煩雑な処理を必要とすることなく、基材との結合性に優れた被膜層を成層する技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の燃料噴射弁は、燃料を噴射する噴射孔を有し、その噴射孔の噴射側開口端から伸びる表面に撥油性を有する被膜層が形成されている。そして、被膜層が形成された基材の表面にはプラズマ照射が施されている。
この燃料噴射弁では、被膜層が成層される基材の表面が、プラズマ照射によって活性化されている。また、基材の表面にプラズマを照射した際に、基材の表面に付着していた汚れ（カーボン）等も除去されている。それにより、噴射孔近傍に成層された被膜層が、基材の表面に強固に結合している。この被膜層の成層に、煩雑な処理は必要とされない。
本発明に係る燃料噴射弁は、噴射孔の噴射側開口端を形成するオリフィスプレートを有することが好ましい。この場合、そのオリフィスプレートに前記被膜層を形成することが好ましい。オリフィスプレートに被膜層を形成する場合、オリフィスプレートを燃料噴射弁に組付ける前に被膜層を成層することが好ましいが、オリフィスプレートを燃料噴射弁に組付けた後に被膜層を成層することもできる。
【０００７】
前記した被膜層の表面には、親油成分と撥油成分が分散していることが好ましい。
この構成によれば、被膜層の表面に付着した燃料が、親油成分の領域に集まって大きな油滴を形成する。これにより、重力や燃料噴射弁の振動等によって、油滴が被膜層から脱落しやすくなる。
【０００８】
前記した親油成分は、少なくとも変性シリコーンを含むことが好ましく、前記した撥油成分は、少なくともテトラフルオロエチレンコポリマーを含むことが好ましい。この場合、変性シリコーンがテトラフルオロエチレンコポリマーに対して０．０２から５０重量％の割合であることが好ましい。
この構成によれば、燃料が被膜層の表面を移動するとき、被膜層の表面から受ける抵抗を小さくすることができる。これにより、燃料の油滴が被膜層から脱落しやすくなる。
【０００９】
この燃料噴射弁では、基材の表面と撥油成分であるテトラフルオロエチレンコポリマーが、シランカップリング剤によって結合されていることが好ましい。
この構成では、基材の表面の官能基とテトラフルオロエチレンコポリマーがシランカップリング剤のＳｉによって結合された分子構造を有している。そのため、基材と被膜層の密着性を高くすることができる。
【００１０】
あるいは、前記した溌油性を有する被膜層が、パーフルオロポリエーテル化合物を含むことも好ましい。
パーフルオロポリエーテル化合物を含む被膜層では、フッ素分子が基材の表面に対して立設された状態で並んでいる。この構成では、エーテル結合（Ｃ−Ｏ−Ｃ）部分でフッ素分子の分子鎖が容易に回転する。また、基材との結合部が柔軟であるため、分子鎖自身が基材に対して容易に回動可能となっている。そのため、被膜層の表面に形成された油滴が移動することを妨げにくく、被膜層の表面から脱落しやすくなる。
【００１１】
本発明では、上記した燃料噴射弁の製造方法も提供する。この燃料噴射弁の製造方法は、噴射孔の噴射側開口端を構成する部材の表面にプラズマを照射する工程と、プラズマが照射された部材の表面に撥油性を有する被膜層を成層する工程を含んでいる。
この製造方法によれば、煩雑な処理をすることなく、噴射孔近傍に被膜層を成層することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、デポジットの形成を防止する被膜層を、煩雑な処理を必要とすることなく成層することができる。そのため、燃料噴射弁の製造時間や製造コストを低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の好適な実施形態を列記する。
（形態１）  燃料噴射弁は、本体と本体に収容された弁体を備えている。本体は、ボディと、ボディ内に固定されているコアと、ボディの一端側に固定されているとともに燃料噴射孔が形成されている弁シートを備えている。本体内に収容された弁体は、コアと弁シートの間に位置している。弁体は、その一端が弁シートに当接して燃料噴射孔を閉塞する第１位置と、その一端が弁シートから離間するとともにその他端がコアに当接する第２位置との間を移動する。
（形態２）  弁シートの一端には、燃料噴射孔を有するオリフィスプレートが設けられている。
（形態３）  アクチュエータは、ソレノイドを用いて構成されている。コアと弁体は磁性材料を用いて形成されており、ソレノイドに通電するとコアと弁体が磁化するようになっている。
【実施例１】
【００１４】
本発明を実施した燃料噴射弁について図面を参照しながら説明する。図１は、実施例の燃料噴射弁１０の縦断面図を示す。図２は、燃料噴射弁１０の噴射孔４２付近の拡大図である。図１に示すように、燃料噴射弁１０は、本体１２と、弁体３０と、圧縮ばね２４と、ソレノイド２６を備えている。
【００１５】
本体１２の内部には、燃料が通過する燃料流路２０が形成されている。図１中の矢印Ａは、燃料の通過方向を示している。本体１２の下流端１２ｄには、燃料噴射孔４２が形成されている。本体１２の上流端１２ｃには、燃料タンク（図示省略）から伸びる燃料配管（図示省略）が接続される。燃料流路２０は、本体１２の上流端１２ｃから燃料噴射孔４２まで連通している。
本明細書において「上流」、「下流」という表現は、「燃料の通過方向Ａに関して上流」、「燃料の通過方向Ａに関して下流」をそれぞれ意味している。即ち、「上流側」、「下流側」という表現は、図１中の「上方」、「下方」にそれぞれ対応する。
【００１６】
本体１２の構成についてさらに詳しく説明する。図１に示すように、本体１２は、ボディ１４と、コア１６と、スプリングピン２２と、弁シートホルダ３２と、弁シート３４を備えている。
ボディ１４は、本体１２の外郭を構成する筒状の部材である。ボディ１４は、樹脂で形成されている。ボディ１４の外周面には、外部の制御ユニット（図示省略）に接続されるコネクタ４８が形成されている。コネクタ４８には、ソレノイド２６と電気的に接続している複数の端子ピン４９が設けられている。
コア１６は、磁性材料によって形成された中空の筒状部材であり、ボディ１４の貫通孔１４ａに固定されている。コア１６の一部は、ボディ１４の貫通孔１４ａから上流側に突出している。コア１６の下流端１６ｄは、ボディ１４の貫通孔１４ａ内に位置している。コア１６の貫通孔１６ａは、燃料流路２０の一部を構成している。コア１６の貫通孔１６ａには、燃料から異物を除去するためのフィルタ１８が設けられている。コア１６は、弁体３０に対して反燃料噴射孔４２側（上流側）に位置している。
【００１７】
スプリングピン２２は、コア１６の貫通孔１６ａ内に圧入されている。スプリングピン２２は、圧縮ばね２４の上流側に位置しており、圧縮ばね２４の上流端２４ｃに当接している。スプリングピン２２は、圧入する位置を調整することによって圧縮ばね２４の圧縮量を調整するための部材である。スプリングピン２２は、中空の筒状部材であり、その貫通孔２２ａは燃料流路２０の一部を構成している。
【００１８】
弁シートホルダ３２は、筒状の部材であり、ボディ１４の貫通孔１４ａに固定されている。弁シートホルダ３２は、コア１６よりも下流側に位置しており、弁シートホルダ３２の一部はボディ１４の貫通孔１４ａから下流側に突出している。弁シートホルダ３２の貫通孔３２ａ内には、弁体３０が収容されている。弁シートホルダ３２の貫通孔３２ａと弁体３０との間には、燃料流路２０の一部を構成する隙間が形成されている。弁シートホルダ３２の上流端には、非磁性材によって形成された筒状のスリーブ２８が設けられている。スリーブ２８の貫通孔２８ａ内には、コア１６の下流端１６ｄ及び弁体３０の上流端３０ｃが位置している。弁体３０は、スリーブ２８の貫通孔２８ａに対して摺動可能になっている。
弁シート３４は、有底円筒形状の部材であり、弁シートホルダ３２の貫通孔３２ａに固定されている。弁シート３４の内穴３４ｂには、弁体３０の下流側部分が位置している。弁シート３４の内穴３４ｂと弁体３０との間には、燃料流路２０の一部を構成する隙間が形成されている。弁シート３４の下流側端面には、オリフィスプレート３８が設けられている。弁シート３４及びオリフィスプレート３８は、本体１２の下流端１２ｄに位置している。弁シート３４とオリフィスプレート３８のそれぞれには、燃料噴射孔４２を構成する貫通孔３４ａ、３８ａが形成されている。ここで、図１，２では、貫通孔３８ａが一つだけ図示されているが、貫通孔３８ａは、貫通孔３４ａに対応する領域に複数形成されていてもよい。オリフィスプレート３８は、プレートフォルダ３９によって弁シート３４の下流側端面に固定されている。オリフィスプレート３８の下流側端面と貫通孔３８ａの内面には被膜層４４（図５参照）が成層されている。オリフィスプレート３８については、後で詳細に説明する。
【００１９】
次に、弁体３０の構成について説明する。弁体３０は、有底円筒形状の部材であり、磁性材料によって形成されている。弁体３０は、弁シートホルダ３２の貫通孔３２ａ内に収容されており、燃料の通過方向Ａと平行な方向にスライド可能に支持されている。弁体３０には、圧縮ばね２４の下流端２４ｄが当接している。
弁体３０の上流端３０ｃは、本体１２の一部であるコア１６の下流端１６ｄに対向している。弁体３０の下流端３０ｄには、燃料噴射孔４２を閉塞するための閉塞部３６が設けられている。弁体３０の内穴３０ａは、コア１６の貫通孔１６ａと連通しており、燃料流路２０の一部を構成している。弁体３０の側壁には複数の貫通孔３０ｂが形成されており、弁体３０の内穴３０ａは弁シート３４の内穴３４ｂと弁体３０との間隙に連通している。
【００２０】
弁体３０は、図２によく示すように燃料噴射孔４２を閉塞する第１位置と、燃料噴射孔４２を開放する第２位置との間で移動可能となっている。なお、第１位置は弁体３０の下流側（燃料噴射孔４２側）の移動限であり、第２位置は弁体３０の上流側（反燃料噴射孔４２側）の移動限である。弁体３０が第１位置にある場合、弁体３０の下流端である閉塞部３６が弁シート３４に当接し、燃料噴射孔４２が閉塞される。このとき、弁体３０の上流端３０ｃは、コア１６の下流端１６ｄから離間している。一方、弁体３０が第２位置にある場合、弁体３０の下流端である閉塞部３６は弁シート３４から離間し、燃料噴射孔４２が開放される。このとき、弁体３０の上流端３０ｃは、コア１６の下流端１６ｄに当接している。
【００２１】
次に、圧縮ばね２４及びソレノイド２６について説明する。圧縮ばね２４は、コア１６の貫通孔１６ａ内に収容されている。圧縮ばね２４は、圧縮された状態でスプリングピン２２と弁体３０の間に位置している。圧縮ばね２４の上流端２４ｃはスプリングピン２２に当接しており、圧縮ばね２４の下流端２４ｄは弁体３０に当接している。圧縮ばね２４は、その弾性力によって、弁体３０を下流側の移動限である第１位置に付勢している。
ソレノイド２６は、ボディ１４の貫通孔１４ａ内に固定されている。ソレノイド２６は、コア１６の下流端１６ｃを含む一部を囲繞している。ソレノイド２６には、コネクタ４８の端子ピン４９を介して、外部の制御ユニット（図示省略）から電流が通電される。ソレノイド２６には、燃料を噴射すべきタイミングで電流が通電される。ソレノイド２６は、電流が通電されることによって磁場を発生する。
【００２２】
次に、燃料噴射弁１０の動作について説明する。燃料噴射弁１０の本体１２内には、その上流端１２ｃに接続された燃料配管（図示省略）から燃料が流入する。流入した燃料は、燃料流路２０を通り、本体１２内に下流端１２ｄに形成された燃料噴射孔４２に到る。ソレノイド２６に電流が通電されていない場合、圧縮ばね２４の付勢力によって弁体３０は第１位置に維持されている（図２参照）。この場合、燃料噴射孔４２は弁体３０の閉塞部３６によって閉塞されているので、燃料噴射孔４２から燃料は噴射されない。
それに対して、ソレノイド２６に電流が通電され、ソレノイド２６が磁場を発生すると、コア１６及び弁体３０が磁気を帯びる。コア１６と弁体３０は互いに引き合い、弁体３０が圧縮ばね２４の付勢力に抗して上流側の第２位置へ移動する。弁体３０の閉塞部３６が弁シート３４から離間し、燃料噴射孔４２が開放される。このとき、燃料噴射孔４２から燃料が噴射される。通常、圧縮ばね２４には電流が断続的に通電され、燃料噴射孔４２から燃料が断続的に噴射される。
【００２３】
以上、本実施例の燃料噴射弁１０の全体の構造及び動作について説明した。続いて、オリフィスプレート３８の製造方法について詳細に説明する。
図３は、オリフィスプレート３８の製造手順を示すフローチャートである。まず、ステップＳ１０の機械加工工程において、ステンレス鋼の母材を加工して、円板形状のプレート５０（図４参照）を作製する。プレート５０の中心付近には、貫通孔３８ａを形成する。次に、作製されたプレート５０をアセトン等の洗浄液に浸した状態で、超音波洗浄を実施する（ステップＳ１２）。この洗浄工程は、例えば、常温で３分間実施される。次に、洗浄されたプレート５０の一方側の表面にプラズマを照射する（ステップＳ１４）。図４は、プレート５０にプラズマを照射する方法を示す概要図である。洗浄されたプレート５０は、ステージ６２に戴置される。ステージ６２に戴置されたプレート５０は、矢印Ｃの方向に向かって移動する。プレート５０の移動速度は、例えば、１００ｍｍ／Ｓである。ノズル６０の下方まで移動したプレート５０には、ノズル６０の照射口６０ａから発せられるプラズマが照射される。照射口６０ａとステージ６２の間隔は、例えば、１０ｍｍである。プラズマの照射は、大気圧で実施される。このプラズマ照射工程は、複数回実施してもよい。
【００２４】
プラズマが照射されたプレート５０は、被膜層の成分に調整された液剤に浸され、その液剤を超音波によって攪拌して被膜層を成層する（ステップＳ１６）。この液剤としては、例えば、撥油成分である（撥油基を含む）テトラフロオロエチレンコポリマー（ＣＦ２ＣＦ２）ｎをベースとして、親油成分である（親油成分を含む）変性シリコーン（Ｒ１Ｒ２ＳｉＯ）ｍを分散させたものを主剤として用いる。この主剤は、変性シリコーンをベースとして、テトラフロオロエチレンコポリマーを分散させてもよい。また、この液剤には、硬化剤として脂肪族ポリイソシアネートと、密着性向上剤（シランカップリング剤）としてオルガノシランと、溶媒としてケトン系溶剤（アセトン、酢酸ブチル等）を混合させる。次に、プレート５０が乾燥され（ステップＳ１８）、オリフィスプレート３８が作製される。図５に示すように、貫通孔３８ａの噴射側の開口端３８ｂから伸びる貫通孔３８ａの内面とオリフィスプレート３８の表面３８ｃには、被膜層４４が成層されている。被膜層４４の表面には、撥油成分と親油成分が分散されている。被膜層４４は、略一定の膜厚で形成されており、その厚みは約１μｍである。
【００２５】
図６は、上記した液剤で成層された被膜層４４とオリフィスプレート３８の表面との結合状態を分子構造を用いて模式的に示している。プレート５０の表面にプラズマを照射すると、プレート５０の表面が活性化され、官能基である自然酸化膜のＯＨ基が生成される。この状態で上記した液剤に浸すと、プレート５０とテトラフロオロエチレンコポリマーとがシアンカップリング剤によって結合された密着性の高い結合層４６が形成される。これにより、オリフィスプレート３８の表面に密着性の高い被膜層４４を形成することができる。
【００２６】
被膜層４４が成層されたオリフィスプレート３８は、弁シート３４の下流側端面にプレートフォルダ３９によって固定される。なお、オリフィスプレート３８を予め弁シート３４の下流側端面に固定し、固定後のオリフィスプレート３８と弁シート３４に対して上記した被膜層４４の形成を行ってもよい。
【００２７】
この燃料噴射弁１０では、プレート５０を洗浄しプラズマ照射した後、被膜層４４を成層している。プレート５０にプラズマを照射することによって、プレート５０の表面にＯＨ基が生成される。これにより、オリフィスプレート３８の貫通孔３８ａ（燃料噴射孔４２）の噴射側開口端から伸びるオリフィスプレート３８の表面に、密着性の高い被膜層４４を形成することができる。プラズマを照射するため、アルカリ洗浄と水洗浄と乾燥をする必要がない。
被膜層４４の表面では、撥油成分と親油成分が分散している。被膜層４４の表面に付着した燃料は、親油成分に引き付けられて親油成分の領域に集まり、大きな油滴を形成する。大きな油滴は、重力や燃料噴射弁１０の振動等によって、下方（図１の下方）に落下しやすくなる。そのため、被膜層４４の表面に付着した燃料は、被膜層４４の表面から脱落しやすくなる。これにより、被膜層４４に付着した燃料がデポジットとなることを防止することができる。
【００２８】
被膜層４４は、撥油成分であるテトラフロオロエチレンコポリマーと、親油成分である変性シリコーンを分散させたものを主剤として用いている。本発明者らは、テトラフロオロエチレンコポリマーに対する変性シリコーンの最適な配合比率（重量％）を検討する実験を実施した。本発明者らは、テトラフロオロエチレンコポリマーに対する変性シリコーンの配合比率が異なる複数の被膜層を成層し、被膜層に付着した油滴の移動性能を検討した。具体的には、配合比率が異なる被膜層を成層した複数の平板を水平に設置し、それぞれの平板上に油滴を滴下する。そして、各平板を傾斜させ、油滴が移動を開始したときの傾斜角度を測定した。図８は、実験結果を示すグラフである。図８の横軸はテトラフロオロエチレンコポリマーに対する変性シリコーンの配合比率（重量％）であり、縦軸は油滴が移動を開始したときの水平に対する平板の傾斜角度である。この結果、テトラフロオロエチレンコポリマーに対する変性シリコーンの配合比率を０．０２から５０重量％の範囲では、被膜層表面の油滴の移動性能が高く、被膜層表面に油滴が残存しなかった。被膜層４４を成層する場合、配合比率を０．０２から５０重量％とすることが好ましいことがわかった。また、配合比率を０．１から１０重量％とすると、より効果的に油滴を被膜層の表面から移動させることができることがわかった。
【００２９】
被膜層の成層工程で用いられる液剤は、上記した以外の液剤を用いることができる。例えば、パーフルオロポリエーテル化合物（ＰＦＰＥ）を主剤とし、溶媒としてパーフルオロヘキサンを混合した液剤を用いてもよい。図７は、上記した液剤を用いて被膜層を成層した場合の被膜層１０２の分子構造を模式的に示している。オリフィスプレート３８の表面とパーフルオロポリエーテル化合物とは密着性の高い結合層１０４によって結合されている。この液剤を用いても、オリフィスプレート３８の表面に密着性の高い被膜層１０２を形成することができる。さらに、被膜層１０２では、表面に付着した燃料の油滴が被膜層１０２の表面を移動する際の抵抗を小さいため、油滴が被膜層の表面を移動しやすい。そのため、被膜層１０２から油滴が脱落しやすくなる。
【００３０】
本発明者らは、プラズマ照射後の被膜層の撥油性を確認するための実験を実施した。本実験では、被膜層を成層する前処理の異なるオリフィスプレートに、パーフルオロポリエーテル化合物の被膜層を成層した。前処理として、以下の３種類の処理を行った。
（１）アセトンに浸して超音波洗浄工程後、プラズマ照射工程（本実施例の処理）。
（２）アセトンに浸して超音波洗浄工程後、アルカリ洗浄工程、水洗浄工程、乾燥工程（従来の処理）。
（３）プラズマ照射工程のみ（アセトンに浸して超音波洗浄工程は実施しない）。
（１）から（３）の前処理を行った後に被膜層を成層したオリフィスプレートに、色付きの油性インクを滴下して被膜層の撥油性を確認した。その結果、従来の処理である（２）と本実施例の処理（１）とでは、同程度の撥油性を有する被膜層を成層することができた。また、プラズマ照射前に洗浄を実施しない（３）の処理では、（１）や（２）と比較して、略同等か若干劣る程度の撥油性を有する被膜層を成層することができた。
【００３１】
上記した実施例では、オリフィスプレート３８単体に被膜層４４を成層してから弁シート３４に固定している。しかしながら、オリフィスプレート３８を予め弁シート３４に組付けてから被膜層４４を成層してもよい。この場合、弁シート３４に固定されて状態で、オリフィスプレート３８にプラズマを照射する。続いて、液剤に浸し、超音波攪拌して成層する。その後、乾燥して被膜層４４を成層する。この方法では、オリフィスプレート３８を有しない燃料噴射弁に対して特に有用である。
【００３２】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は、複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】燃料噴射弁の縦断面図。
【図２】弁体が第１位置にある状態を示す図。
【図３】オリフィスプレートの製造手順を示すフローチャート。
【図４】プラズマ照射工程を示す概要図。
【図５】オリフィスプレートの縦断面図。
【図６】被膜層とオリフィスプレートの表面の結合状態を分子構造を用いて示す模式図。
【図７】被膜層とオリフィスプレートの表面の結合状態を分子構造を用いて示す模式図。
【図８】被膜層に含まれる撥油成分と親油成分の配合比率に関する実験結果を示すグラフ。
【符号の説明】
【００３４】
１０：燃料噴射弁
１２：本体
１４：ボディ
１６：コア
１８：フィルタ
２０：燃料流路
２２：スプリングピン
２４：圧縮ばね
２６：ソレノイド
２８：スリーブ
３０：弁体
３４：弁シート
３８：オリフィスプレート
３９：プレートフォルダ
４２：噴射孔
４４：被膜層
４６：結合層
５０：プレート
６０：ノズル
６２：ステージ
１０２：被膜層
１０４：結合層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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