(57)【要約】【課題】搬送アームに対するキャリアステージの高さのティーチングを高精度に行えるようにすること。【解決手段】ウェハを搬送する搬送アーム４と、ウェハを収納するキャリア１を搭載したキャリアステージ５とを備えた搬送装置での前記搬送アーム４に対するキャリアステージ５の高さをティーチングする際に用いるティーチング装置であって、キャリア１内のスロット台２上に配置される円板１１と、円板１１に取り付けられるとともにスロット台２に配置されている前記円板１１の下に配された搬送アーム４と円板１１との最適な隙間に設計された突起部を有するヘッド部材１２と、を有するティーチング治具１０と、突起部と搬送アーム４の電気的接触を検出する検出器２０と、を備える。【選択図】図１
2009302322.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハを搬送する搬送アームと、ウェハを収納するキャリアを搭載したキャリアステージとを備えた搬送装置での前記搬送アームに対する前記キャリアステージの高さをティーチングする際に用いるティーチング装置であって、
前記キャリア内のスロット台上に配置される円板と、前記円板に取り付けられるとともに前記スロット台に配置されている前記円板の下に配された前記搬送アームと前記円板との最適な隙間に設計された突起部を有するヘッド部材と、を有するティーチング治具と、
前記突起部と前記搬送アームの電気的接触を検出する検出器と、
を備えることを特徴とするティーチング装置。
【請求項２】
前記円板は、中心に貫通穴を有し、
前記ヘッド部材は、前記突起部の反対側に延在したボルト軸部を有し、
前記ボルト軸部は、前記貫通穴を挿通して、前記円板の前記突起部側の反対側の部分でナットと螺合するように構成されていることを特徴とする請求項１記載のティーチング装置。
【請求項３】
前記搬送アームは、少なくとも前記キャリア内に入る部分が導電性材料よりなり、
前記ヘッド部材は、導電性材料よりなり、
前記検出器は、一極が前記ヘッド部材に電気的に接続されるとともに、他極が前記搬送アームに電気的に接続されることを特徴とする請求項１又は２記載のティーチング装置。
【請求項４】
前記検出器は、前記一極が前記ボルト軸部の先端部に電気的に接続されることを特徴とする請求項３記載のティーチング装置。
【請求項５】
前記搬送アームは、少なくとも前記キャリア内に入る部分が導電性材料よりなり、
前記円板は、導電性材料よりなるとともに、前記スロット台との接触部分に絶縁処理が施されており、
前記ヘッド部材は、導電性材料よりなり、
前記検出器は、一極が前記ヘッド部材に電気的に接続されるとともに、他極が前記搬送アームに電気的に接続されることを特徴とする請求項１又は２記載のティーチング装置。
【請求項６】
前記搬送アームは、少なくとも前記キャリア内に入る部分が導電性材料よりなり、
前記円板は、非導電性材料よりなり、
前記ヘッド部材は、導電性材料よりなり、
前記検出器は、一極が前記ヘッド部材に電気的に接続されるとともに、他極が前記搬送アームに電気的に接続されることを特徴とする請求項１又は２記載のティーチング装置。
【請求項７】
ウェハを搬送する搬送アームと、ウェハを収納するキャリアを搭載したキャリアステージとを備えた搬送装置での前記搬送アームに対する前記キャリアステージの高さをティーチングする際に用いるティーチング装置であって、
前記キャリア内のスロット台上に配置される円板と、
前記搬送アームに取り付けられるとともに前記スロット台に配置されている前記円板の下に配された前記搬送アームと前記円板との最適な隙間に設計された突起部を有するティーチング治具と、
前記突起部と前記円板の電気的接触を検出する検出器と、
を備えることを特徴とするティーチング装置。
【請求項８】
前記ティーチング治具は、前記搬送アームを上側から覆うように前記搬送アームに取り付けられるとともに、上側の面の中心部に前記突起部を有することを特徴とする請求項７記載のティーチング装置。
【請求項９】
前記円板及び前記ティーチング治具は、導電性材料よりなり、
前記検出器は、一極が前記円板に電気的に接続されるとともに、他極が前記ティーチング治具に電気的に接続されることを特徴とする請求項７又は８記載のティーチング装置。
【請求項１０】
ウェハを搬送する搬送アームと、ウェハを収納するキャリアを搭載したキャリアステージとを備えた搬送装置での前記搬送アームに対する前記キャリアステージの高さをティーチングするティーチング方法であって、
前記キャリアの所定段のスロットの下に前記搬送アームがくるように前記キャリアステージを移動する工程と、
前記搬送アームを前記キャリア内に延ばし、前記搬送アームに第１クリップを接続する工程と、
円板上に突起部を有するティーチング治具を、前記突起部を下向きにして前記キャリア内の前記所定段のスロットに係るスロット台上に配置し、前記ティーチング治具に第２クリップを接続する工程と、
前記第１クリップ及び前記第２クリップに係る各配線を検出器に接続する工程と、
前記キャリアステージを上下させて、前記検出器で前記突起部と前記搬送アームの電気的接触の切替りポジションを検出する工程と、
を含むことを特徴とするティーチング方法。
【請求項１１】
ウェハを搬送する搬送アームと、ウェハを収納するキャリアを搭載したキャリアステージとを備えた搬送装置での前記搬送アームに対する前記キャリアステージの高さをティーチングするティーチング方法であって、
前記キャリアの所定段のスロットの下に前記搬送アームがくるように前記キャリアステージを移動する工程と、
前記搬送アームを前記キャリア内に延ばし、突起部を有するティーチング治具を、前記突起部を上向きにして前記搬送アームに取り付け、前記ティーチング治具に第１クリップを接続する工程と、
円板を前記キャリア内の前記所定段のスロットに係るスロット台上に配置し、前記円板に第２クリップを接続する工程と、
前記第１クリップ及び前記第２クリップに係る各配線を検出器に接続する工程と、
前記キャリアステージを上下させて、前記検出器で前記突起部と前記円板の電気的接触の切替りポジションを検出する工程と、
を含むことを特徴とするティーチング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハを搬送する搬送アームと、ウェハを収納するキャリアを搭載したキャリアステージとを備えた搬送装置での搬送アームに対するキャリアステージの高さをティーチングする際に用いるティーチング装置及びティーチング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程では、キャリアステージ上に載置されたキャリア内に所定間隔をおいて積層して収納された半導体ウェハ（以下、ウェハ）を搬送アームにより搬出し、ウェハ表面に半導体素子形成のためのさまざまな処理を処理室にて行い、再び搬送アームによりキャリア内の元の位置（スロット）に搬入して収納する形式が一般的である。この形式で搬送アームとウェハの隙間の関係が不適だと、ウェハ搬送異常や、搬送アームのウェハ表面への接触による半導体素子の不良が発生する。このため、搬送アームに対するキャリアステージの高さのティーチングが重要となる。
【０００３】
従来のティーチングでは、搬送アームと、上下のウェハとの隙間を目視で確認しながら隙間が均等になる様に調整を実施していた（従来例１；図１０参照）。目視による確認以外の方法として、隙間を定量化する方法がある。そのような方法として、特許文献１では、ウェハと搬送アームとの距離を非接触式センサ（距離測定部２１２）により測定する方法（従来例２；図１１参照）、ダイヤルゲージ２５１を使用する方法（従来例３；図１２参照）、隙間ゲージ２５４を使用する方法（従来例４；図１３参照）、ノギス２５６を使用する方法（従来例５；図１４参照）が開示されている。また、特許文献１では、アーム上のウェハ２２０Ｅと、専用治具内にウェハ厚（もしくはわずかに広く）に配置された上下の探針２７１Ａ、２７１Ｂとの接触を、電気抵抗計測部２７２（テスタ）を使用して電気的に検出し、上下どちらの探針探針２７１Ａ、２７１Ｂにも触れない位置に調整する方法（従来例６；図１５参照）が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−８０９６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来例１（図１０参照）の目視確認によるティーチングでは精度が低く、搬送アーム１０４とキャリアの高さとの関係が不適で、ウェハ搬送異常や、搬送アーム１０４のウェハ表面への接触による半導体素子の不良が発生していた。
【０００６】
従来例２（図１１参照）の非接触式センサ（距離測定部２１２）による調整では隙間の精度は確保できるが装置の費用が高額となる。また、距離測定部２１２が大きく、キャリア（ウェハカセット）内の広いスパン（上段スロットと下段スロットを測定し全スロットに対する最適位置を求めるために必要）での測定ができない。
【０００７】
従来例３（図１２参照）、従来例５（図１４参照）のダイヤルゲージ（図１２の２５１）やノギス（図１４の２５６）を使用する方法では、測定時に搬送アーム３３０に接触圧がかかり、正確な隙間の測定ができない。また、従来例２と同様に、広いスパンでの測定ができない。
【０００８】
従来例４（図１３参照）の隙間ゲージ２５４を使用する方法では、隙間ゲージ２５４が接触しているか否かの確認が目視・感覚であり、正確な隙間の測定ができない。
【０００９】
従来例６（図１５参照）の上下の探針２７１Ａ、２７１Ｂと電気抵抗計測部２７２を使用した調整では、上下の探針２７１Ａ、２７１Ｂ間に探針２７１Ａ、２７１Ｂに接触しない様にウェハ２２０Ｅを挿入する方式であるため、探針２７１Ａ、２７１Ｂとウェハ２２０Ｅとの接触は避けられず、接触により探針２７１Ａ、２７１Ｂがズレ、隙間の変化が懸念される。また、精度を出す上で最も重要な上下の探針２７１Ａ、２７１Ｂの設置やズレが生じた時の調整が困難と考えられる。
【００１０】
本発明の主な課題は、搬送アームに対するキャリアステージの高さのティーチングを高精度に行えるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１の視点においては、ウェハを搬送する搬送アームと、ウェハを収納するキャリアを搭載したキャリアステージとを備えた搬送装置での前記搬送アームに対する前記キャリアステージの高さをティーチングする際に用いるティーチング装置であって、前記キャリア内のスロット台上に配置される円板と、前記円板に取り付けられるとともに前記スロット台に配置されている前記円板の下に配された前記搬送アームと前記円板との最適な隙間に設計された突起部を有するヘッド部材と、を有するティーチング治具と、前記突起部と前記搬送アームの電気的接触を検出する検出器と、を備えることを特徴とする。
【００１２】
本発明の第２の視点においては、ウェハを搬送する搬送アームと、ウェハを収納するキャリアを搭載したキャリアステージとを備えた搬送装置での前記搬送アームに対する前記キャリアステージの高さをティーチングする際に用いるティーチング装置であって、前記キャリア内のスロット台上に配置される円板と、前記搬送アームに取り付けられるとともに前記スロット台に配置されている前記円板の下に配された前記搬送アームと前記円板との最適な隙間に設計された突起部を有するティーチング治具と、前記突起部と前記円板の電気的接触を検出する検出器と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
本発明の第３の視点においては、ウェハを搬送する搬送アームと、ウェハを収納するキャリアを搭載したキャリアステージとを備えた搬送装置での前記搬送アームに対する前記キャリアステージの高さをティーチングするティーチング方法であって、前記キャリアの所定段のスロットの下に前記搬送アームがくるように前記キャリアステージを移動する工程と、前記搬送アームを前記キャリア内に延ばし、前記搬送アームに第１クリップを接続する工程と、円板上に突起部を有するティーチング治具を、前記突起部を下向きにして前記キャリア内の前記所定段のスロットに係るスロット台上に配置し、前記ティーチング治具に第２クリップを接続する工程と、前記第１クリップ及び前記第２クリップに係る各配線を検出器に接続する工程と、前記キャリアステージを上下させて、前記検出器で前記突起部と前記搬送アームの電気的接触の切替りポジションを検出する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１４】
本発明の第４の視点においては、ウェハを搬送する搬送アームと、ウェハを収納するキャリアを搭載したキャリアステージとを備えた搬送装置での前記搬送アームに対する前記キャリアステージの高さをティーチングするティーチング方法であって、前記キャリアの所定段のスロットの下に前記搬送アームがくるように前記キャリアステージを移動する工程と、前記搬送アームを前記キャリア内に延ばし、突起部を有するティーチング治具を、前記突起部を上向きにして前記搬送アームに取り付け、前記ティーチング治具に第１クリップを接続する工程と、円板を前記キャリア内の前記所定段のスロットに係るスロット台上に配置し、前記円板に第２クリップを接続する工程と、前記第１クリップ及び前記第２クリップに係る各配線を検出器に接続する工程と、前記キャリアステージを上下させて、前記検出器で前記突起部と前記円板の電気的接触の切替りポジションを検出する工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、機械的な部品（ティーチング治具）により設計上の最適な隙間を確保し、搬送アームとティーチング治具の突起部との電気的接触を検出してティーチングを行うことで、人の感覚（目視・聴覚・触覚）に因らず高精度なティーチングを実現できる。また、作業に熟練度を必要とせず、誰でも１人で短時間でティーチングが可能である。また、長期的にわたって治具の精度の信頼性が確保でき、精度の確認・校正も容易である。また、測定部が小型でありキャリア内の広いスパンで測定が可能である。また、新たな測定器等を必要とせず安価にシステムを構成できる。また、測定に電源等の準備が不要で作業環境によらず使用することが可能である。さらに、測定時に接触圧がかからず正確な測定ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の実施形態に係るティーチング装置では、ウェハを搬送する搬送アーム（図１の４）と、ウェハを収納するキャリア（図１の１）を搭載したキャリアステージ（図１の５）とを備えた搬送装置での前記搬送アーム（図１の４）に対する前記キャリアステージ（図１の５）の高さをティーチングする際に用いるティーチング装置であって、前記キャリア（図１の１）内のスロット台（図１の２）上に配置される円板（図１の１１）と、前記円板（図１の１１）に取り付けられるとともに前記スロット台（図１の２）に配置されている前記円板（図１の１１）の下に配された前記搬送アーム（図１の４）と前記円板（図１の１１）との最適な隙間に設計された突起部を有するヘッド部材（図１の１２）と、を有するティーチング治具（図１の１０）と、前記突起部と前記搬送アーム（図１の４）の電気的接触を検出する検出器（図１の２０）と、を備える。
【００１７】
本発明の実施形態に係るティーチング方法では、ウェハを搬送する搬送アームと、ウェハを収納するキャリアを搭載したキャリアステージとを備えた搬送装置での前記搬送アームに対する前記キャリアステージの高さをティーチングするティーチング方法であって、前記キャリアの所定段のスロットの下に前記搬送アームがくるように前記キャリアステージを移動する工程（図６のステップＡ４）と、前記搬送アームを前記キャリア内に延ばし、前記搬送アームに第１クリップを接続する工程（図６のステップＡ５）と、円板上に突起部を有するティーチング治具を、前記突起部を下向きにして前記キャリア内の前記所定段のスロットに係るスロット台上に配置し、前記ティーチング治具に第２クリップを接続する工程（図６のステップＡ６）と、前記第１クリップ及び前記第２クリップに係る各配線を検出器に接続する工程（図６のステップＡ７）と、前記キャリアステージを上下させて、前記検出器で前記突起部と前記搬送アームの電気的接触の切替りポジションを検出する工程（図６のステップＡ８）と、を含む。
【実施例１】
【００１８】
本発明の実施例１に係るティーチング装置について図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施例１に係るティーチング装置の使用例を示した模式図である。図２は、本発明の実施例１に係るティーチング装置におけるティーチング治具の構成を模式的に示した正面図及び平面図である。図３は、本発明の実施例１に係るティーチング装置におけるティーチング治具の円板の構成を模式的に示した平面図及び断面図である。図４は、本発明の実施例１に係るティーチング装置におけるティーチング治具のヘッド部材の構成を模式的に示した拡大正面図である。図５は、ウェハと搬送アームの間の基準隙間を説明するための模式図である。
【００１９】
図１を参照すると、ティーチング装置は、搬送アーム４とキャリア１を搭載したキャリアステージ５とを有する搬送装置での搬送アーム４に対するキャリアステージ５の高さをティーチングする際に用いる装置である。ティーチング装置は、搬送アーム４でウェハ（図示せず）をキャリア１内に搬送する際に、ウェハ（図示せず）を保持する搬送アーム４が、キャリア１内に設けられたスロット台２や、既にスロットに収納されている他のウェハ（図示せず）に接触しないようにキャリア１内に搬送されるように、搬送アーム４と、キャリア１内の各スロットとの間の位置関係を、搬送装置を制御するコンピュータ（図示せず）に学習させるためのものである。搬送アーム４に対するキャリアステージ５の高さは、テスタ等の検出器２０を用いて、ティーチング治具１０の下側のヘッド部材１２の突起部が、搬送アーム４（キャリア１内に入る先端部）と接触して導通するか否かにより検出される。
【００２０】
キャリア１は、複数のウェハを搬送アーム４によって出し入れ可能に収納するための収容体であり、キャリアステージ５上に搭載されている。キャリア１の内壁には、ウェハを積層して収納するために、スロット（１つのウェハを収容するスペース）ごとに所定間隔をおいて突起状のスロット台２が設けられている。
【００２１】
搬送アーム４は、ウェハを搬送するためのアームであり、ウェハを保持する機能を有し、３方（左右、上下、前後）に移動する機能を有する。搬送アーム４は、所定の高さを保持してキャリア１内に出入りすることが可能である。搬送アーム４は、少なくともキャリア１内に入る部分が導電性材料で構成されており、ティーチングを行う際、クリップ２２によって摘まれ、クリップ２２、配線２４を介して検出器２０と電気的に接続される。搬送アーム４の動作は、図示されていないコンピュータによって制御される。
【００２２】
キャリアステージ５は、キャリア１を搭載するためのステージであり、上下に移動する機能を有する。キャリアステージ５の動作は、図示されていないコンピュータによって制御される。
【００２３】
ティーチング治具１０は、円板１１と、ヘッド部材１２と、ナット１３と、からなる（図２参照）。ティーチング治具１０は、キャリア１内のスロット台２に搭載されるときに、ヘッド部材１２の突起部が下向きに配置される。
【００２４】
円板１１は、キャリア１内の各スロット台２に搭載可能な円盤状の板材である（図１〜図３参照）。円板１１の中心には、ヘッド部材１２の軸部を挿通するための貫通穴を有する。
【００２５】
ヘッド部材１２は、ボルト頭部に突起部を有する導電性材料よりなる部材である（図１、図２、図４参照）。ヘッド部材１２は、ボルト軸部にねじ溝が形成されており、当該軸部が円板１１の貫通穴に挿通され、挿通したボルト軸部の先端側でナット１３と螺合している。ヘッド部材１２のボルト軸部の先端部は、ティーチングを行う際、クリップ２１によって摘まれ、クリップ２１、配線２３を介して検出器２０と電気的に接続される。ヘッド部材１２の突起部の先端部は、搬送アーム４（キャリア１内に入る先端部）と接触して導通するか否かを検出するための接触部分となる。ヘッド部材１２の突起部の高さは、キャリア１内のウェハの下面（円板１１の下面に相当）と搬送アーム４との間隔が最適隙間（基準隙間Ａ）になるように設定される。なお、基準隙間Ａは、図５のようにＢをウェハ間隔、Ｃをウェハ厚、Ｄをアーム厚とすると、計算式「Ａ＝（Ｂ−Ｃ−Ｄ）／２＝Ａ´」で求めることができる。
【００２６】
ナット１３は、ヘッド部材１２のボルト軸部と螺合する部材である（図１、図２参照）。ナット１３は、円板１１のヘッド部材１２の突起部側の面の反対面にてヘッド部材１２のボルト軸部と螺合する。
【００２７】
検出器２０は、ティーチング冶具１０と搬送アーム４（キャリア１内に入る先端部）の間の電気的接触を検出するための装置であり、例えば、テスタを用いることができる。検出器２０は、ティーチングの際、配線２３、クリップ２１を介してティーチング冶具１０のヘッド部材１２（ボルト軸部の先端部）と電気的に接続され、配線２４、クリップ２２を介して搬送アーム４（キャリア１内に入る先端部）と電気的に接続される。検出器２０は、ティーチング冶具１０と搬送アーム４とが接触したときに、音や表示などにより報知する機能を有する。
【００２８】
ここでは半導体分野での適用を想定しているが、半導体分野以外の分野でも適用することができる。
【００２９】
次に、本発明の実施例１に係るティーチング装置を用いたティーチング方法について図面を用いて説明する。図６は、本発明の実施例１に係るティーチング装置を用いたティーチング方法を模式的に示したフローチャートである。図７は、本発明の実施例１に係るティーチング装置におけるティーチング治具を校正する際に用いる校正治具の平面図、Ｘ−Ｘ´間断面図、Ｙ−Ｙ´間断面図である。図８は、本発明の実施例１に係るティーチング装置におけるティーチング治具を校正する際に用いる校正治具の使用例を示した模式図である。
【００３０】
図６を参照すると、まず、事前準備として、ティーチングの対象となる搬送装置のキャリア（図１の１）に対応するティーチング治具（図１の１０）、検出器（図１の２０）、及び、クリップ（図１の２１、２２）付の配線（図１の２３、２４）を準備する（ステップＡ１）。なお、使用する検出器（図１の２０）については、性能チェック（０点確認、バッテリ確認）を行い、異常ない事を確認する。
【００３１】
次に、ティーチングの精度を保つために、使用前にティーチング治具（図１の１０）の精度を確認する（ステップＡ２）。ティーチング治具の精度がある場合、ステップＡ３に進む。ティーチング治具の精度がない場合、校正治具（図７の５０）を用いてティーチング治具（図１の１０）の校正を行い、再度確認する。
【００３２】
ここで、校正治具５０は、導電性材料よりなる矩形の板材の２辺の縁部に台部５１が形成されており、台部５１の間に底面に段差がある溝が形成されており、溝の底面の浅い方がＯＮ領域５２（例えば、基準隙間Ａ−０．０５ｍｍ）となり、深い方がＯＦＦ領域５３（例えば、基準隙間Ａ＋０．０２ｍｍ）となる。
【００３３】
ティーチング治具（図１の１０）の校正では、図８のように、ティーチング治具１０を校正治具５０の台部５１上に置き、ＯＦＦ領域５３で導通無し、ＯＮ領域５２で導通有りを確認する事により、ティーチング治具１０が所定範囲（例えば、基準寸法Ｈの０．０２ｍｍ〜−０．０５ｍｍ）内にある事を確認する。この際、ティーチング治具１０にクリップ（例えば、図１の２１）を接続し、校正治具５０の端子部５４にクリップ（例えば、図１の２２）を接続し、配線（例えば、図１の２３、２４）を介して検出器（例えば、図１の２０）と両クリップとを電気的に接続する。また、ゴミ・異物の影響を排除するため、ティーチング治具１０と校正治具５０の基準面をメンテ用薬品を浸した低発塵ワイパーにて拭きあげる。また、検出器（図１の２０、例えば、テスタ）を抵抗レンジにし、ティーチング治具１０がＯＦＦ領域５３側で導通無し（∞Ω）であることを確認した後、ティーチング治具１０をＯＮ領域５２側へ移動し、ティーチング治具１０がＯＮ領域５２で導通有り（例えば、１０Ω以下）であることを確認する。ＯＦＦ領域５３及びＯＮ領域５２のいずれかでもＮＧの場合は、所定の処置を行い、再度同様な確認を行う。所定の処置として、ＯＦＦ領域５３及びＯＮ領域５２の両側ともＯＦＦの場合は、ティーチング治具１０におけるヘッド部材（図１の１２）のボルト頭部と円板１１との間にリング状のスペーサ（図示せず；例えば、０．０２ｍｍ厚のスペーサ）を介在させて調整し、ＯＦＦ領域５３及びＯＮ領域５２の両側ともＯＮの場合は、薄いスペーサに交換したり、スペーサの数を減らしたり、スペーサを除去して調整する。
【００３４】
次に、搬送装置のキャリアステージ（図１の５）及び搬送アーム（図１の４）が平行（水平）になっているか確認する（ステップＡ３）。平行になっている場合、ステップＡ４に進む。平行になっていない場合、キャリアステージ（図１の５）及び搬送アーム（図１の４）の傾きを調整し、再度確認する。
【００３５】
次に、キャリア（図１の１）内の最下段スロットの下に搬送アーム（図１の４）がくるようにキャリアステージ（図１の５）を移動する（ステップＡ４）。
【００３６】
次に、搬送アーム（図１の４）をキャリア（図１の１）内に延ばし、搬送アーム（図１の４）にクリップ（図１の２２）を接続する（ステップＡ５）。
【００３７】
次に、ティーチング治具（図１の１０）をキャリア（図１の１）内の最下段スロットに係るスロット台（図１の２）にセットし、ティーチング治具（図１の１０）にクリップ（図１の２１）を接続する（ステップＡ６）。
【００３８】
次に、各クリップ（図１の２１、２２）に係る配線（図１の２３、２４）を検出器（図１の２０；テスタ等）に接続する（ステップＡ７）。
【００３９】
次に、キャリアステージ（図１の５）を徐々に下降又は上昇させて、検出器（図１の２０）を使用して、搬送アーム（図１の４）とティーチング治具（図１の１０）との導通（電気的接触）の切替りポイントを確認する（ステップＡ８）。なお、ティーチング治具（図１の１０）は、ステップＡ２にてティーチングに最適な隙間となるようにヘッド部材（図１の１２）の突起部が設定されているので、搬送アーム（図１の４）とティーチング治具（図１の１０）の導通（電気的接触）を検出することで、搬送アーム（図１の４）に対するキャリアステージ（図１の５）の最適な高さのティーチングが可能となる。
【００４０】
次に、検出された切替りポイントでのキャリアステージ（図１の５）の高さを、搬送アーム（図１の４）に対する最下段スロットのポジションと決定する（ステップＡ９）。
【００４１】
次に、ステップＡ３〜Ａ９と同様にして、上段のスロット（可能な限り広いスパンがとれるスロット）について、検出された切替りポイントでのキャリアステージ（図１の５）の高さを、搬送アーム（図１の４）に対するスロットのポジションと決定する（ステップＡ１０）。
【００４２】
最後に、ステップＡ９とステップＡ１０で決定されたポジションに基づいて、基準高さとスロット間移動量を算出し（ステップＡ１１）、終了する。
【００４３】
実施例１によれば、ティーチングに必要な最適な隙間（基準隙間）を測定ではなく、突起部を有するティーチング治具１０を用いて導通（電気的接触）により検出するため、測定の必要がなく、高精度にティーチングできる。このため、人の感覚（目視・聴覚・触覚）に因らず高精度なティーチングを実現できる。また、従来例４（図１３参照）のように隙間ゲージを使用する場合に比べて高精度である。また、接触のポイントが電気的に明確にできるため、従来例３、５（図１２、図１４参照）のようにダイヤルゲージやノギスを使用する場合の問題点である接触圧による測定精度の低下も発生しない。さらに、従来例６（図１５参照）のように探針と電気抵抗測定部を使用した場合の問題点である調整時の探針のズレによる隙間の変化もなく、長期的に治具の精度の信頼性が確保できる。
【００４４】
また、作業に熟練度を必要とせず、誰でも１人で短時間でティーチングが可能である。また、長期的にわたってティーチング治具１０の精度の信頼性が確保でき、精度の確認・校正も容易である。また、測定部が小型でありキャリア１内の広いスパンで測定が可能である。また、新たな測定器等を必要とせず安価にシステムを構成できる。また、測定に電源等の準備が不要で作業環境によらず使用することが可能である。さらに、測定時に接触圧がかからず正確な測定ができる。
【実施例２】
【００４５】
本発明の実施例２に係るティーチング装置について図面を用いて説明する。図９は、本発明の実施例２に係るティーチング治具の使用例を示した模式図である。
【００４６】
実施例２に係るティーチング装置は、突起部４１ａを有するティーチング治具４１を搬送アーム４０に取り付けたもの（ティーチング治具４１を搬送アーム４０上に載せたもの）である。なお、ティーチング治具４１は、搬送アーム４０に必ずしも固定される必要はない。
【００４７】
搬送アーム４０は、ウェハを搬送するためのアームであり、ウェハを保持する機能を有し、３方（左右、上下、前後）に移動する機能を有する。搬送アーム４０は、所定の高さを保持してキャリア１内に出入りすることが可能である。搬送アーム４０の動作は、図示されていないコンピュータによって制御される。なお、搬送アーム４０は、実施例１の搬送アーム（図１の４）と異なり、キャリア１内に入る部分が導電性材料で構成されているかどうかは問わない。
【００４８】
ティーチング治具４１は、搬送アーム４０を上側から覆うように搬送アーム４０に取り付けられるとともに、上側の面の中心部に突起部４１ａを有する導電性材料よりなる部材である。ティーチング治具４１の搬送アーム４０を覆う部分は、ティーチングを行う際、クリップ２２によって摘まれ、クリップ２２、配線２４を介して検出器２０と電気的に接続される。突起部４１ａの先端部は、導電性材料よりなる円板３０と接触して導通するか否かを検出するための接触部分となる。突起部４１ａの高さは、キャリア１内のウェハの下面（円板３０の下面に相当）と搬送アーム４０との間隔が最適隙間（基準隙間Ａ）になるように設定される。なお、基準隙間Ａは「Ａ＝（Ｂ−Ｃ−Ｄ）／２＝Ａ´」としている（図５参照）。
【００４９】
円板３０は、キャリア１内の各スロット台２に搭載可能な円盤状の板材である。円板３０は、導電性材料で構成されており、ティーチングを行う際、クリップ２１によって摘まれ、クリップ２１、配線２３を介して検出器２０と電気的に接続される。なお、仮に搬送アーム４０が導電性である場合、円板３０は、スロット台２又はキャリア１と絶縁されている必要がある。
【００５０】
その他の構成、及び動作は、実施例１と同様である。ただし、搬送アーム４０に取り付けるティーチング治具４１の重量をウェハの重量と同等又はそれ以下とし、搬送アーム４０への負荷によるアームの下方向へのズレを軽減する事が精度確保の上で重要となる。
【００５１】
実施例２によれば、搬送アーム４０（キャリア１内に入る部分）に用いられる材料が、導電性材料だけでなくセラミック等の非導電性材料である場合にも、実施例１と同様に高精度なティーチングが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施例１に係るティーチング装置の使用例を示した模式図である。
【図２】本発明の実施例１に係るティーチング装置におけるティーチング治具の構成を模式的に示した正面図及び平面図である。
【図３】本発明の実施例１に係るティーチング装置におけるティーチング治具の円板の構成を模式的に示した平面図及び断面図である。
【図４】本発明の実施例１に係るティーチング装置におけるティーチング治具のヘッド部材の構成を模式的に示した拡大正面図である。
【図５】ウェハと搬送アームの間の基準隙間を説明するための模式図である。
【図６】本発明の実施例１に係るティーチング装置を用いたティーチング方法を模式的に示したフローチャートである。
【図７】本発明の実施例１に係るティーチング装置におけるティーチング治具を校正する際に用いる校正治具の平面図、Ｘ−Ｘ´間断面図、Ｙ−Ｙ´間断面図である。
【図８】本発明の実施例１に係るティーチング装置におけるティーチング治具を校正する際に用いる校正治具の使用例を示した模式図である。
【図９】本発明の実施例２に係るティーチング装置の使用例を示した模式図である。
【図１０】従来例１に係るティーチング方法を説明するための模式図である。
【図１１】従来例２に係るティーチング方法を説明するための模式図である。
【図１２】従来例３に係るティーチング方法を説明するための模式図である。
【図１３】従来例４に係るティーチング方法を説明するための模式図である。
【図１４】従来例５に係るティーチング方法を説明するための模式図である。
【図１５】従来例６に係るティーチング方法を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００５３】
１、１０１  キャリア
２、１０２  スロット台
３Ａ、３Ｂ、１０３Ａ、１０３Ｂ  ウェハ
４、１０４  搬送アーム
５、１０５  キャリアステージ
１０  ティーチング治具
１１  円板
１２  ヘッド部材
１３  ナット
２０  検出器
２１、２２  クリップ
２３、２４  配線
３０  円板
４０  搬送アーム
４１  ティーチング治具
４１ａ  突起部
５０  校正治具
５１  台部
５２  ＯＮ領域
５３  ＯＦＦ領域
５４  端子部
２１０、２１０Ａ、２１０Ｂ、２１０Ｃ  基準板
２１１  板材
２１２  距離測定部
２１３  回転防止ガイド
２１４、２２３  センタ穴
２２０、２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃ  基準ウェハ
２２０Ｅ、２２１  ウェハ
２２２  距離測定用部材
２３０  センタ位置調整用シャフト
２３１  挿入部
２３２  ストッパ部
２４０  表示部
２５１  ダイヤルゲージ
２５２  測定子
２５３  目盛部
２５４  隙間ゲージ
２５６  ノギス
２７０  搬送系調整用装置
２７１Ａ、２７１Ｂ  探針
２７２  電気抵抗計測部
３００  ウェハカセット
３０１、３０１Ａ、３０１Ｂ  カセット脚
３３０  搬送アーム
Ａ、Ａ´  基準隙間
Ｂ  ウェハ底面間の間隔
Ｃ  ウェハ厚
Ｄ  アーム厚
ｄ  厚さ
Ｒ  距離
【図１】
2009302322.tif 000003
【図２】
2009302322.tif 000004
【図３】
2009302322.tif 000005
【図４】
2009302322.tif 000006
【図５】
2009302322.tif 000007
【図６】
2009302322.tif 000008
【図７】
2009302322.tif 000009
【図８】
2009302322.tif 000010
【図９】
2009302322.tif 000011
【図１０】
2009302322.tif 000012
【図１１】
2009302322.tif 000013
【図１２】
2009302322.tif 000014
【図１３】
2009302322.tif 000015
【図１４】
2009302322.tif 000016
【図１５】
2009302322.tif 000017