(57)【要約】【課題】装置の高コスト化、作動応答速度の低下、寿命の低下を抑制することができ、駆動の際に生じる可動板の振幅のばらつき（ジッタ）を低減することが可能となる揺動体装置等を提供する。【解決手段】保持部に対し、バネ性を備えた支持梁部によってねじり軸を中心にねじり振動可能に少なくとも片側が支持された可動板を備え、該可動板を該ねじり軸まわりに駆動する揺動体装置であって、  前記可動板は、前記駆動の際に生じる可動板の振幅のばらつきを低減するための突起が、該可動板の前記ねじり軸を中心とする両側端部に形成されている構成とする。【選択図】            図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持部に対し、バネ性を備えた支持梁部によってねじり軸を中心にねじり振動可能に少なくとも片側が支持された可動板を備え、該可動板を該ねじり軸まわりに駆動する揺動体装置であって、
前記可動板は、前記駆動の際に生じる可動板の振幅のばらつきを低減するための突起が、該可動板の前記ねじり軸を中心とする両側端部に形成されていることを特徴とする揺動体装置。
【請求項２】
前記突起は、前記可動板における両側端部に複数形成されていることを特徴とする請求項１に記載の揺動体装置。
【請求項３】
前記突起は、前記可動板の表面側と裏面側において、これらいずれか一方の面側に形成される突起が他方の面側に形成される突起との間に位置するように形成されていることを特徴とする請求項２に記載の揺動体装置。
【請求項４】
前記突起は、長方形の形状を備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の揺動体装置。
【請求項５】
前記突起は、三角形の形状を備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の揺動体装置。
【請求項６】
前記突起は、半円形の形状を備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の揺動体装置。
【請求項７】
前記突起は、それぞれの突起が等しい形状に形成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の揺動体装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の揺動体装置を備え、
前記揺動体装置における前記可動板の一方の面に反射面を形成し、前記反射面に入射する入射光を偏向するように構成されていることを特徴とする光偏向器。
【請求項９】
光源と、感光体または画像表示体と、請求項８に記載の光偏向器と、
を有し、前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、該偏向した光を前記感光体または前記画像表示体上に入射することを特徴とする光学機器。
【請求項１０】
保持部に対し、バネ性を備えた支持梁部によってねじり軸を中心にねじり振動可能に少なくとも片側が支持された可動板を備え、該可動板を該ねじり軸まわりに駆動する揺動体装置の製造方法であって、
前記保持部と、前記支持梁部と、前記可動板と、前記ねじり軸を中心とする前記可動板の両側端部に該可動板の振幅のばらつきを低減するための複数の突起とを備えた揺動体を、表面側と裏面側とからなる揺動体部を互いに貼り合わせて構成するに際し、
前記表面側と裏面側のいずれか一方の面側に形成される前記突起が、他方の面側に形成される前記突起との間に位置するように形成する工程、
を有することを特徴とする揺動体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揺動体装置及び揺動体装置の製造方法、揺動体装置によって構成される光偏向器及び光学機器に関する。
特に、この揺動体装置は特定の振動数でねじり振動する可動板を備えており、該可動板に形成された反射面により入射光を偏向するようにして光偏向器を構成し、これらを用いた画像形成装置を含む光学機器等に広く利用される技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、光を走査する代表的な技術として多角形の側面を反射ミラーとし、モータで回転させて入射光を走査するポリゴンミラーが挙げられ、プリンタ等に使用されている。
また、可動鉄片を介して磁力やモータで反射ミラーをメカニカルに揺動させて光を走査する従来型ガルバノミラーはデータレコーダ、光造形システム、レーザー顕微鏡等に使用されている。
ところで、近年において半導体デバイスの高集積化に代表されるように様々な機器が高機能化と共に小型化されてきている。
特に、光偏向器に関しては従来のポリゴンミラーやガルバノミラーと比較して更なる小型化への要求を満たすものとして、例えば、可動板をねじり共振させるようにした揺動体装置を用いて微小ミラーを構成し、光を走査する光偏向器が検討されている。
このような光偏向器はガルバノミラーの一種であるが、マイクロマシニング技術を用いて、単結晶シリコン基板などからエッチングにより可動板部（反射ミラー）、トーションバー（ねじり梁）、固定部を一体加工したものである。
この光偏向器は内視鏡への実用例もあり、現在、カラーレーザープリンタ、バーコードリーダ、ディスプレイ装置等への応用が検討されている。
【０００３】
この光偏向器においてはポリゴンミラーや従来型ガルバノミラーに比べて小型化のみならず、省電力化や高速化なども期待されている。
しかし、反射ミラーの振動により発生する気流で共振周波数が変化してしまい、光走査の振幅が変わるために走査幅のゆらぎ（ジッタ）が生じるという問題がある。
レーザービームプリンタでは色別に複数の光偏向器を使用する場合があるので、これらの走査幅を高精度に一致させる必要があり、上記ジッタは印字品質を大きく低下させる原因となってしまう。
【０００４】
このようなことから、例えば、特許文献１では、ジッタを低減するためにつぎのような光スキャナ装置が提案されている。
図１９は、特許文献１で提案された光偏向器を示す図である。
この光偏向器においては、反射ミラー１０１が形成された可動板部１０２は支持梁部１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄに接続されており、さらに、これらの支持梁部は軸力伝達部１０７、１０８により保持されている。
また、可動板部１０２の後方には、コア１０５に巻線１０６が巻かれて電磁石が構成されており、このコイル１０６に正弦波や矩形波などの交流電流を流すことで可動板部１０２を共振させるように構成されている。
この際に、反射ミラーの振動により発生する気流で可動板部１０２と支持梁部１０３の系の共振周波数が変化し、上記ジッタが生じてしまう。
ここで、軸力伝達部１０７と１０８を積層型圧電素子１０４ａ、１０４ｂで接続し、この積層型圧電素子に所定の電流を流すことで発生する力を、軸力伝達部１０７、１０８を通して支持梁部１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄに作用させる。
このように軸力を加えることで、可動板部１０２と支持梁部１０３の系の固有振動数を所定の値に制御し、上記ジッタを低減させるように構成されている。
【特許文献１】特開２００６−１５４４９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１記載の構成においては、従来の微小ミラーをねじり共振させる光偏向器と比較して、支持梁部に軸力を加えるための積層型圧電素子などの部品を追加しなければならず、つぎのような課題を有していた。
すなわち、装置の高コスト化、装置の作動応答速度の低下、または支持部に軸力を繰り返し加えることによる装置の寿命低下などを招いてしまうという課題を有していた。
また、レーザービームプリンタ等へ応用する際においては、近年の画像高精度化の要求に応えるため、共振周波数の制御を行うだけでは不十分である。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑み、装置の高コスト化、作動応答速度の低下、寿命の低下を抑制することができ、駆動の際に生じる可動板の振幅のばらつき（ジッタ）を低減することが可能となる揺動体装置を提供することを目的とするものである。
また、本発明は、上記した揺動体装置の製造方法、上記した揺動体装置によって構成される光偏向器及び光学機器の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、次のように構成した揺動体装置及び揺動体装置の製造方法、揺動体装置によって構成される光偏向器及び光学機器を提供するものである。
本発明の揺動体装置は、保持部に対し、バネ性を備えた支持梁部によってねじり軸を中心にねじり振動可能に少なくとも片側が支持された可動板を備え、該可動板を該ねじり軸まわりに駆動する揺動体装置であって、
前記可動板は、前記駆動の際に生じる可動板の振幅のばらつきを低減するための突起が、該可動板の前記ねじり軸を中心とする両側端部に形成されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記突起が、前記可動板における両側端部に複数形成されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記突起が、前記可動板の表面側と裏面側において、これらいずれか一方の面側に形成される突起が他方の面側に形成される突起との間に位置するように形成されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記突起が、長方形の形状を備えていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記突起が、三角形の形状を備えていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記突起が、半円形の形状を備えていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記突起が、それぞれの突起が等しい形状に形成されていることを特徴とする。
また、本発明の光偏向器は、上記したいずれかに記載の揺動体装置を備え、
前記揺動体装置における前記可動板の一方の面に反射面を形成し、前記反射面に入射する入射光を偏向するように構成されていることを特徴とする。
また、本発明の光学機器は、光源と、感光体または画像表示体と、上記光偏向器と、を有し、前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、該偏向した光を前記感光体または前記画像表示体上に入射させることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置の製造方法は、保持部に対し、バネ性を備えた支持梁部によってねじり軸を中心にねじり振動可能に少なくとも片側が支持された可動板を備え、該可動板を該ねじり軸まわりに駆動する揺動体装置の製造方法であって、
前記保持部と、前記支持梁部と、前記可動板と、前記ねじり軸を中心とする前記可動板の両側端部に該可動板の振幅のばらつきを低減するための複数の突起とを備えた揺動体を、表面側と裏面側とからなる揺動体部を互いに貼り合わせて構成するに際し、
前記表面側と裏面側のいずれか一方の面側に形成される前記突起が、他方の面側に形成される前記突起との間に位置するように形成する工程、
を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、装置の高コスト化、作動応答速度の低下、寿命の低下を抑制することができ、駆動の際に生じる可動板の振幅のばらつき（ジッタ）を低減することが可能となる揺動体装置を実現することができる。
また、上記した揺動体装置の製造方法、上記した揺動体装置によって構成される光偏向器及び光学機器を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明は、上記したように、可動板におけるねじり軸を中心とする両側端部に突起を形成することにより、駆動の際に生じる可動板の振幅のばらつきを低減することが可能となるが、それは本発明によるつぎのような知見に基づくものである。
すなわち、可動板をねじり軸まわりに駆動する揺動体装置において、該駆動時に可動板後方に生成される渦とジッタとの間には強い相関関係が認められる。
本発明は、このような相関関係に着目し、上記したように可動板の両側端部に突起を形成することにより、可動板の振幅のばらつき（ジッタ）を低減するようにしたものである。
【００１０】
以下に、この突起による可動板の振幅のばらつき（ジッタ）を低減する仕組みについて説明する。
図３は、光偏向器が作動している際の可動板周辺の気流状態を表したものである。図中Ｅ方向に可動板３が振動している際には可動板後方に後流渦と呼ばれる渦Ｆが発生する。
図４は、光偏向器が作動している際における渦発生時の可動板前後の圧力状態を図示したものである。
前記渦Ｆが発生するとその領域は圧力が低下する。一方、振動中の可動板３の前方は空気が圧縮されるために圧力が高くなる。
その結果、可動板３には前後の圧力差により可動板３の振動方向とは逆方向の力Ｇが発生する。
つまり、可動板３の後方に生成される図３に示される渦Ｆは、前記可動板の振動を妨げる役割を果たしていることになる。
一般的に、物体後方に生成される渦は不安定性を有しており、その大きさや位置、回転の速度などにばらつきがある。
前記渦Ｆにも同様のことがいえる。渦Ｆの生成状態がばらつくことにより可動板３に働く力Ｇもばらつく。
可動板を含む系に加わる力が変化したことにより、系の共振周波数も変化する。
その共振周波数の走査毎の変化により可動板の振幅がばらつき、反射ミラーに入射し、偏向された光の走査幅のばらつき（以下、ジッタと記す）が生じるのである。
図５に可動板の後方に生成された渦直径のばらつき状態とジッタの関係の測定結果のグラフを示す。
図５から明らかなように可動板後方に生成される渦とジッタとの間には強い相関関係が認められる。
また、前記渦のばらつきはその渦の規模に伴って大きくなる。
【００１１】
ところで、前記可動板後方に生成される渦は、図３に示したように可動板が振動している際に、可動板の端部から可動板後方に気流が回り込むようにして発生する。
したがって、端部を小さく形成するようにすれば、可動板後方に回り込む気流の規模を小さくすることができる。つまり、可動板後方に生成される渦を小さくすることができる。渦が小さくなることでそのばらつきも少なくなる。
そこで、本実施例では図６に示すように、可動板端部に突起を形成することにより、可動板後方に生成される渦の規模を小さくし、これによりそのばらつきを低減させる機能を有している。
このように、渦のばらつきを低減することでジッタを低減させることが可能となる。
また、可動板表面に形成された突起の間に裏面に形成された突起を配置することにより、図７に示すように、可動板表面の突起から後方に回り込む気流Ｉが裏面の突起により発生する気流Ｋにより相殺され、結果的に渦を小さくさせる機能も有している。
【００１２】
図８は、従来と本実施例との可動板周辺領域における渦度のシミュレーション結果を示すグラフである。
渦度とは流体の局所的な回転の強さであり、すなわち渦の規模を表す指標の一つである。
図８から、本実施例の構成によって従来よりも渦度が低減していることがわかる。したがって、可動板後方の渦が小規模化でき、ジッタが低減できる。
【００１３】
以上の構成を、保持部に対し、バネ性を備えた支持梁部によってねじり軸を中心にねじり振動可能に少なくとも片側が支持された可動板を備え、該可動板を該ねじり軸まわりに駆動する揺動体装置に適用することで、ジッタを低減することができる。
このような揺動体装置は、可動板の振幅のばらつきを低減するための複数の突起とを備えた揺動体を、表面側と裏面側とからなる揺動体部を互いに貼り合わせて構成することができる。
その際、前記表面側と裏面側のいずれか一方の面側に形成される前記突起が、他方の面側に形成される前記突起との間に位置するように形成することができる。
【実施例】
【００１４】
［実施例１］
実施例１においては、本発明の揺動体装置の構成を適用した光偏向器について説明する。
図１に、本実施例における光偏向器の構成を説明する斜視図を示す。
図１において、１は光偏向器、２は反射ミラー、３は可動板、４は支持梁部、５は梁保持部、６は突起である。
【００１５】
本実施例においては、図１に示すように、反射ミラー２が形成された可動板３は支持梁部４に接続され、さらに、この支持梁部４は梁保持部５により保持されている。
支持梁部４は可動板３をＡ軸（ねじり軸）を中心に弾性的にＢ方向、つまり時計回り方向と反時計回り方向の両方向にねじれ振動するように構成される。
可動板３上に形成された反射ミラー２は、可動板３のＢ方向のねじれにより反射ミラー２に入射する入射光を所定変位角偏向するものである。
また、可動板３はＡ軸を中心にねじり揺動するが回転はしない。
これらの駆動方法には、従来から一般的に用いられている上記特許文献１でも説明した電磁駆動方法を用いることができる。しかし、これに限られるものではなく、静電方法や圧電方法でもよい。
【００１６】
また、可動板３には端部に図示されるように、突起６ａ、６ｂ、６ｃが形成されている。
これらの突起の配置について図２を用いて説明する。図２は可動板３を図１のＣ方向から見た図である。
突起６ａ、６ｂ、６ｃは可動板３の反射ミラーが形成される面（以下、表面と記す）と、反射ミラーが形成されない面（以下、裏面と記す）にそれぞれ配置されている。
また、裏面に形成された突起６ｂはＡ軸方向において表面に形成された６ａと６ｃとの間に位置している。
【００１７】
ここで、本実施例における光偏向器１は、例えば反射面ミラーの大きさが４ｍｍ×１ｍｍとし、可動板の厚みが０．１ｍｍとされている。
また、突起の形状については、可動板幅方向の長さが０．８ｍｍ、ねじり軸方向の長さが０．２５ｍｍ、可動板厚み方向の長さが０．３ｍｍとされている。
また、突起の配置については、表面端部に配置された２つの突起の中心間距離が０．７５ｍｍ、表面に配置された突起と裏面に配置された突起の可動板厚み方向の中心間距離が０．７ｍｍ、裏面に配置された突起は端部の中央に配置されたものとされている。
【００１８】
本実施例の構成によれば、図６に示すように、可動板端部に突起を形成することにより、可動板後方に生成される渦の規模を小さくし、これにより渦のばらつきを低減させることが可能となる。
このように、渦のばらつきを低減することでジッタを低減させることが可能となる。
また、可動板表面に形成された突起の間に裏面に形成された突起を配置することにより、図７に示すように、可動板表面の突起から後方に回り込む気流Ｉが裏面の突起により発生する気流Ｋにより相殺され、結果的に渦を小さくさせることが可能となる。
【００１９】
つぎに本実施例における光偏向器の製造方法について説明する。
図９に、本実施例における光偏向器のドライエッチングによる製造方法を説明する工程図を示す。
図１０は厚み方向に半分ずつ製造した光偏向器を形成するための２つの部品６０、６１を貼り合せる様子を示す図である。
まず、光偏向器を形成するための表面側の部品６０を、つぎのような工程により製造する。
図９（ａ）に示すように、熱酸化により平板上のシリコン基板５１の両面に酸化シリコンのマスク層５２を成膜する。
次に、図９（ｂ）に示すように、マスク層を梁保持部５、支持梁部４、可動板３の表面側の形成予定部分外形に応じてパターニングをし、第１パターン５５を形成する。
このパターニングは通常のフォトリソグラフと酸化シリコンを侵食するガス（例えばＣＦ4等）を用いたドライエッチング加工によって行う。
その後、図９（ｃ）のように、ＩＣＰ−ＲＩＥ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｐｌａｓｍａ−Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｉｏｎ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）装置を用いてシリコンのドライエッチング加工を行い、第１エッチング５６を行う。このエッチング量は可動板の厚みと突起の厚みの寸法差だけとする。
更に、図９（ｄ）に示すように、表面側の形成予定部分外形の突起を含まない形状のマスクを用いて第２パターン５７を第１パターン５５と同様の工程を経て形成する。
次に、図９（ｅ）に示すように、ＩＣＰ−ＲＩＥ装置を用いてドライエッチング加工を行い、第２エッチング５８を行う。
この第２エッチングにより突起６が形成され、梁保持部５、支持梁部４、可動板３がシリコン基板５１からリリースされ、梁保持部５、支持梁部４、可動板３が一体に形成される。
次に、図９（ｆ）に示すように、酸化シリコンのマスク層５２を除去し、更に図９（ｇ）に示すように反射ミラー２として高反射率を有する金属５３（例えば、アルミニウム等）を真空蒸着する。
【００２０】
以上の工程により、本実施形態の光偏向器を形成する表面側の部品が完成する。
続いて、光偏向器を形成するための梁保持部５、支持梁部４、可動板３の裏面側の部品６１を、表面側の部品６０を製造した上記工程と同様の工程で製造する。
最後に厚み方向に半分ずつ製造した光偏向器を形成するための２つの部品を図１０に示すように直接接合により貼りあわせることで図１に示される光偏向器が完成する。
【００２１】
以上の製造方法により、梁保持部５、支持梁部４、可動板３、反射ミラー２が一体に形成され、突起を備えた図１に示される光偏向器が製造される。
ここで、突起は、必ずしも本実施例に示したように可動板表面に２つ、裏面に１つの構成に限定されるものではない。
例えば、図１１に示すように表面に５つ、裏面に４つであっても、図１２に示すように渦度を低減させることができ、本実施例と同様の効果が得られる。
その際、突起形状の大きさは、例えば可動板幅方向の長さが０．１６ｍｍ、ねじり軸方向の長さが表面の突起が０．１ｍｍ、裏面の突起が０．１５ｍｍとする。また、可動板厚み方向の長さについては、それぞれ０．３ｍｍとする。
また、突起形状の配置については表面端部に配置された５つの突起の中心間距離が０．２２５ｍｍ、裏面端部に配置された４つの突起の中心間距離は０．２３ｍｍとする。
また、表面の突起と裏面のそれとの可動板厚み方向の中心間距離が０．７ｍｍとする。
また、突起形状についても、必ずしも本実施例に示したような長方形形状である必要はない。
例えば、図１３に示すような三角形状や、図１４に示すような半円形状でも同様の効果が得られる。
また、突起形状の長さについても、本実施例に示したように全て均等な長さである必要はない。
例えば、図１５に示すようにそれぞれの突起形状の長さに差があっても本実施例と同様の効果が得られる。
また、図１６に示すように可動板表面、裏面の端部だけでなく、その間に突起形状を配置することでも効果が得られる。
また、突起形状を複数形成せずとも、図１７に示すような形状にすることで突起形状を単数にすることもできる。  
【００２２】
［実施例２］
実施例２においては、本発明の揺動体装置を適用して構成した光偏向器を用いた光学機器の構成例について説明する。
ここでは、光学機器として画像形成装置を示している。
すなわち、本実施例の画像形成装置は、光源と、感光体と、本発明の揺動体装置を適用して構成される揺動体の上に配置された光偏向素子を備えた光偏向器とを有している。
図１８に、本実施例における画像形成装置の構成例を説明する図を示す。
図１８において光偏向器１００１は、本実施例では入射光を１次元に走査する光スキャナ装置として用いている。
レーザー光源１００２から照射されたレーザー光は、光走査のタイミングと関係した所定の強度変調を受けて、光偏向器１００１により１次元的に走査する。
この走査されたレーザー光は書き込みレンズ１００３により、感光体１００４上へ画像を形成する。
感光体１００４は不図示の帯電器により一様に帯電されており、この上に光を走査することによりその部分に静電潜像を形成する。
次に、不図示の現像器により静電潜像の画像部分にトナー像を形成し、これを例えば不図示の用紙に転写・定着することにより用紙上に画像を形成することができる。
【００２３】
上記説明では、光学機器として画像形成装置を構成した例について説明したが、本発明はこのような構成に限定されるものではない。
例えば、光源と、画像表示体と、本発明の揺動体装置を適用して構成した光偏向器と、を有し、前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、該偏向した光を前記画像表示体上に入射するようにして画像表示装置を構成するようにしてもよい。
また、例えば、データレコーダ、光造形システム、レーザー顕微鏡、バーコードリーダ、イメージ用ディスプレイ、光通信デバイス（例えば光スイッチ、アテネータ）、機械的な共振を電気的な共振に変換する共振器等に好適に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施例１における光偏向器の構成を説明する斜視図。
【図２】本発明の実施例１を説明する図１をＣ方向から見た側面図。
【図３】本発明の実施例１における光偏向器が作動している際の可動板周辺の気流状態を示した図。
【図４】本発明の実施例１の光偏向器が作動している際における渦発生時の可動板前後の圧力状態を示した図。
【図５】本発明の実施例１における可動板の後方に生成された渦直径のばらつき状態とジッタの関係の測定結果を示すグラフ。
【図６】本発明の実施例１の光偏向器における可動板に突起を形成することで生成する渦が小さくなる様子を示す図。
【図７】本発明の実施例１の光偏向器における可動板の後方に回り込む気流が裏面の突起による気流で相殺される様子を示す図。
【図８】本発明の実施例１における従来と本実施例との可動板周辺領域における渦度のシミュレーション結果を示すグラフ。
【図９】本発明の実施例１における光偏向器のドライエッチングによる製造方法を説明する工程図。
【図１０】本発明の実施例１における光偏向器のドライエッチングによる製造に際し、光偏向器を形成するための２つの部品を貼り合せる様子を示す図。
【図１１】本発明の実施例１における光偏向器の突起形状が複数である場合の別の構成例を示す斜視図と側面図。
【図１２】本発明の実施例１における突起形状が複数である場合の可動板周辺領域における渦度のシミュレーション結果を示すグラフ。
【図１３】本発明の実施例１における光偏向器の突起形状が三角形状である場合の別の構成例を示す斜視図と側面図。
【図１４】本発明の実施例１における光偏向器の突起形状が半円形状である場合の構成例を示す斜視図と側面図。
【図１５】本発明の実施例１における光偏向器の突起形状のそれぞれの長さに差がある場合の別の構成例を示す斜視図と側面図。
【図１６】本発明の実施例１における光偏向器の突起形状が可動板表面と裏面の端部だけでなく、その間にも配置されている場合の別の構成例を示す斜視図と側面図。
【図１７】本発明の実施例１における光偏向器の突起形状を単数で形成した場合の別の構成例を示す斜視図と側面図。
【図１８】本発明の実施例２における画像形成装置の構成例を説明するための図。
【図１９】従来例である特許文献１の光偏向器を説明するための図。
【符号の説明】
【００２５】
１、１００１：光偏向器
２、１０１：反射ミラー
３、１０２：可動板
４、１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄ：支持梁部
５：梁保持部
６、６ａ、６ｂ、６ｃ：突起
５１：シリコン基板
５２：酸化シリコンのマスク層
５３：反射ミラーを形成する金属
５５：フォトリソグラフとドライエッチングにより形成された第１パターン
５６：第１エッチング
５７：フォトリソグラフとドライエッチングにより形成された第２パターン
５８：第２エッチング
１０４ａ、１０４ｂ：積層型圧電素子
１０５：コイルのコア
１０６：コイルの巻線
１０７、１０８：軸力伝達部
１００２：レーザー光源
１００３：書き込みレンズ
１００４：感光体
【図１】
2009198573.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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