(57)【要約】【課題】簡便な方法で、ノズルプレートの所望の位置に精度良く撥液性樹脂層を形成することのできる撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法を提供する。【解決手段】ノズル孔を有するノズルプレートの表面に撥液性樹脂層をラミネートによって形成してノズル孔を覆う工程、ノズル孔の撥液性樹脂層をセルフアライメントで除去する工程を含む撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法。【選択図】図１
2009214475.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズル孔を有するノズルプレートの吐出面側表面に撥液性樹脂層をラミネートによって形成してノズル孔を覆う工程、ノズル孔の撥液性樹脂層を湿式処理によりセルフアライメントで除去する工程を含むことを特徴とする撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法。
【請求項２】
湿式処理が、撥液性樹脂層をラミネートした面とは反対側の面から撥液性樹脂層除去液を供給する工程を含む請求項１記載の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法。
【請求項３】
湿式処理が、ノズル孔以外の撥液性樹脂層の上に更に電着樹脂層を形成する工程、電着樹脂層を形成した面から撥液性樹脂層除去液を供給する工程を含む請求項１記載の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法。
【請求項４】
湿式処理が、ノズル孔の撥液性樹脂層を薄膜化させた後に撥液性樹脂層除去液を供給する工程を含む請求項１記載の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録装置に組み込まれる、インク液滴を吐出するノズル孔を形成したノズルプレートの作製方法であって、良好な液滴の吐出を可能とする撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置のインク液滴を吐出させる方式としては、静電気力を駆動手段に利用する方式や、圧電振動子を駆動手段に利用する方式、また、発熱素子を駆動手段に利用する方式等がある。
【０００３】
高精細な画像様に液滴を吐出させるためには、液滴を安定にまっすぐに噴射する必要があり、そのためには、インク流路の設計やインクに圧力を印加する方法を最適化するのはもちろんであるが、インクを噴射するノズル孔の周りを常に安定な表面状態に保持する必要がある。そのためにはインク吐出面のノズル孔周辺部にインクが付着、残留しないように撥液性樹脂層を付与する必要がある。
【０００４】
撥液性樹脂層を形成する方法としては、スピンコート法やディッピング法等で直接ノズルプレートに撥液性樹脂層を塗布して形成する方法、また、ノズルプレートの吐出面側に、ポジ型のレジストの塗布を行ってから、ノズルプレートを遮光プレートとして、露光を行い、ノズル孔部のレジストを分解して、その後現像により、ノズル孔のレジストの除去を行い、ノズルプレート表面に撥液性樹脂層を形成する技術が紹介されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
ただし、これらの方法では、ノズル孔周辺部に撥液性樹脂層を安定に均一膜厚で塗布を行うことが難しい。また、ポジ型のレジストに露光を行う方法においても、露光の際に、ノズル孔の貫通する方向へ、完全に平行な光を全てのノズル孔に対して当てる必要があり、露光光軸の位置合わせ及び、全面にわたって良好な平行光を得るために高価な平行光露光機が必要となる。ノズル孔の方向とのずれがあると、レジストのパターンがノズル孔と同心円状に形成できなかったり、形がいびつになり、ノズル孔の輪郭に沿った良好な形状を持った撥液性樹脂層を形成することができなかったりする問題があった。
【特許文献１】特開２００７−２１６６５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、液滴を吐出するノズル孔を形成してなるノズルプレートを作製する際に、その表面に位置精度良く、露光等の手段なしに簡便に撥液性樹脂層を形成することのできる撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、
（１）液滴を吐出するノズル孔を有するノズルプレートの吐出面側表面に撥液性樹脂層をラミネートによって形成してノズル孔を覆う工程、ノズル孔の撥液性樹脂層を湿式処理によりセルフアライメントで除去する工程を含むことを特徴とする撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法を見出した。
【０００８】
（２）また、湿式処理が、撥液性樹脂層をラミネートした面とは反対側の面から撥液性樹脂層除去液を供給する工程を含む撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法を見出した。
【０００９】
（３）また、湿式処理が、ノズル孔以外の撥液性樹脂層の上に更に電着樹脂層を形成する工程、電着樹脂層を形成した面から撥液性樹脂層除去液を供給する工程を含む撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法を見出した。
【００１０】
（４）また、湿式処理が、ノズル孔の撥液性樹脂層を薄膜化させた後に撥液性樹脂層除去液を供給する工程を含む撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法を見出した。
【発明の効果】
【００１１】
液滴を吐出するノズル孔を有するノズルプレートの吐出面側表面に撥液性樹脂層をラミネートによって形成してノズル孔を覆った後、ノズル孔の撥液性樹脂層を湿式処理によりセルフアライメントで除去する工程を含むことで、あらかじめ所定の膜厚に設定したフィルム状の撥液性樹脂層を使用することにより、膜厚が均一な撥液性樹脂層を極めて簡便に形成することができる。また、ノズル孔の撥液性樹脂層をセルフアライメントで除去することにより、ノズルプレートのノズル孔に沿って、露光等の手段なしに精度良く、撥液性樹脂層を簡便に形成することができる。また、湿式処理では、ノズルプレートに加わるストレスは少なく、処理前後でのノズルプレートの寸法精度が良好に保たれるという効果も得られる。
【００１２】
また、湿式処理が、本発明（２）の撥液性樹脂層をラミネートした面とは反対側の面から撥液性樹脂層除去液を供給してノズル孔の撥液性樹脂層を除去する工程、本発明（３）のノズル孔以外の撥液性樹脂層の上に更に電着樹脂層を形成する工程、電着樹脂層を形成した面から撥液性樹脂層除去液を供給する工程、本発明（４）のノズル孔の撥液性樹脂層を薄膜化させた後に撥液性樹脂層除去液を供給する工程を含むことによって、ノズルプレートの面内で略均一に撥液性樹脂層を除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法について詳細に説明する。本発明の趣旨に反しない限り、以下の例に限定されるものではない。
【００１４】
本発明に係わるノズルプレートは、平板状のプレートに液滴吐出用のノズル孔を複数形成したものである。プレートの材質としては、ニッケルやステンレスなどの金属や、シリコン基板等の半導体が好適に用いられる。また、非金属部材も含めた複合材料からなっていても良い。板厚とノズル孔の径に関しては、吐出すべき液滴の大きさにより適宜調整されるが、板厚としては１０μｍから１ｍｍ、好ましくは３０μｍから２００μｍの範囲である。また、ノズル孔の径は０．１μｍから２００μｍの範囲、好ましくは１μｍから１００μｍの範囲である。
【００１５】
本発明の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法において、図１に示すような方法で、ノズル孔を形成したノズルプレートに撥液性樹脂層を形成する。すなわち、まず、ノズル孔２を多数形成したノズルプレート１を準備する（図１（ａ））。次に、シート状に形成してある撥液性樹脂層３のラミネートを行う（図１（ｂ））。続いて、湿式処理により、露光による手段を利用せずに、撥液性樹脂層３のノズル孔２の部分をセルフアライメントで除去する（図１（ｃ））。
【００１６】
本発明に係わる撥液性樹脂層のラミネートとは、すでにシート状に形成されている撥液性樹脂層シートを熱圧着させる工程である。ノズルプレートと撥液性樹脂層間の密着性が確保され、かつ、ノズルプレートに熱や圧力によって歪みが発生することがなく、均一な膜厚でのラミネートができればいずれの方法でも使用可能であるが、好ましくは、熱ロールによるラミネートにより行い、温度は４０℃から１５０℃、より好ましくは６０℃から１２０℃の範囲でラミネートを行う。圧力は、熱ロールでのラミネートの場合には、線圧力で１Ｎ／ｃｍから１００Ｎ／ｃｍの範囲、より好ましくは２Ｎ／ｃｍから５０Ｎ／ｃｍの範囲である。このラミネート工程により、ノズル孔を有するノズルプレートに膜厚の均一な撥液性樹脂層を良好に形成することが可能となる。
【００１７】
本発明に係わるセルフアライメントで除去するとは、露光による手段を利用せず、位置合わせの作業なしに、ノズル孔の撥液性樹脂層を除去することをいう。ノズル孔を有するノズルプレートのノズル孔の開口形状を基準として、ラミネートした撥液性樹脂層のノズル孔の除去を行う。除去のための湿式処理としては、撥液性樹脂層除去液を供給する工程を少なくとも含む。撥液性樹脂層除去液による湿式処理を用いることで、ノズルプレートの厚み、寸法の大小にかかわらず、良好に均一に撥液性樹脂層を生産性良く除去することができる。
【００１８】
本発明（２）の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法を図２で説明する。ノズル孔２を有するノズルプレート１（図２（ａ））に、撥液性樹脂層３及びマスキング層（図示せず）をラミネートによりノズルプレートの吐出面側に形成した後（図２（ｂ））、吐出面側とは反対側の面から撥液性樹脂層除去液を、矢印で示す方向に供給して吐出面のノズル孔２の撥液性樹脂層３を除去する（図２（ｃ））。この際、撥液性樹脂層３のノズルプレートとは反対の面にはマスキング層があるため、ノズル孔２以外の撥液性樹脂層３が撥液性樹脂層除去液によって除去されることはない。最後にマスキング層の除去を行い、撥液性樹脂層付きノズルプレートが形成される（図２（ｄ））。マスキング層は撥液性樹脂層３をラミネートした後に形成することもできるが、あらかじめ撥液性樹脂層３と一体として形成しておき、ラミネートによって撥液性樹脂層３をノズルプレート１に熱圧着する方法が、生産性の点から好ましい。
【００１９】
本発明（２）に係わる撥液性樹脂層としては、ノズルプレート表面との密着性、化学的強度、機械的強度を有している樹脂であり、かつ、吐出するインク液滴に対して撥液性の性質を有するものであり、かつ、撥液性樹脂層除去液により溶解除去可能な樹脂であれば特に限定されない。アクリル樹脂、エポキシ樹脂、酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリビニルブチラール等のビニルアセタール樹脂、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン及びその塩化物、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンイソフタレート等のポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ビニル変性アルキッド樹脂、フェノール樹脂、キシレン樹脂、ポリイミド樹脂、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース等のセルロースエステル誘導体等の樹脂が利用できる。撥液性を増すためにシリコーン系、フッ素系の樹脂を含有させることもできる。
【００２０】
また、アルカリ水溶液を撥液性樹脂層除去液として使用する場合には、アルカリ水溶液に対する溶解性が高い樹脂を撥液性樹脂層として使用することで、樹脂層除去液により溶解除去が可能になる。アルカリ水溶液を樹脂層除去液として使用する場合、撥液性樹脂層としては酸価が１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、より好ましくは１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上の樹脂を好適に用いることができる。また、撥液性樹脂層には、耐久性、機械的強度を持たせるため、紫外線硬化性や加熱硬化性を付与することもできる。撥液性樹脂層除去液による溶解除去可能な状態で、撥液性樹脂層除去液により処理を行い、その後、紫外線硬化や加熱硬化によって処理を施すと、容易に除去処理工程を行うことができるとともに、耐久性も向上させることができる。
【００２１】
本発明（２）に係わる樹脂層除去液としては、撥液性樹脂層を溶解又は分散可能な液であり、使用する撥液性樹脂層の組成に見合った液を使用する。撥液性樹脂層除去液によって、ノズル孔の撥液性樹脂層を除去し、ノズル孔に撥液性樹脂層の存在しない領域を形成する。樹脂層除去液は、マスキング層を溶解しない液か、あるいは、マスキング層を溶解する液であっても、撥液性樹脂層を適正量分だけ溶解する条件において、マスキング層が膨潤したり、形状が変化したりすることがない液を使用する。また、ノズルプレートに対しても、形状変化等を起こさせない撥液性樹脂層除去液を使用する。一般的には、アルカリ水溶液が有用に使用され、例えば、アルカリ金属ケイ酸塩、アルカリ金属水酸化物、アルカリ金属リン酸塩又はアルカリ金属炭酸塩、リン酸又は炭酸アンモニウム塩等の無機塩基性化合物の水溶液、エタノールアミン、エチレンジアミン、プロパンジアミン、トリエチレンテトラミン、モルホリン等の有機塩基性化合物を使用することができる。これら水溶液は、撥液性樹脂層に対する溶解性をコントロールするため、濃度、温度、スプレー圧等を調整する必要がある。撥液性樹脂層除去液の供給は、マスキング層を有する面と反対の面から、ノズル孔を通して撥液性樹脂層に撥液性樹脂層除去液が接触するように供給できれば、いずれの方式を用いても良い。ディップ処理装置、両面シャワースプレー装置、片面シャワースプレー装置等を利用することができる。撥液性樹脂層の除去は、樹脂層除去液による処理に続いて、水洗や酸処理を行うことによって、速やかに停止させることができる。
【００２２】
また、以下に述べるように、撥液性樹脂層除去液として２種類の液の組み合わせ（撥液性樹脂層除去液Ａ及び撥液性樹脂層除去液Ｂ）を用いて、それぞれの液による２段階処理を行って撥液性樹脂層の除去を行えば、ノズルプレートの面内によるばらつきを少なくできるため、好ましい。
【００２３】
撥液性樹脂層除去液Ａとしては、アルカリ金属炭酸塩、アルカリ金属リン酸塩、アルカリ金属水酸化物、アルカリ金属ケイ酸塩から選ばれる無機アルカリ性化合物のうち少なくともいずれか１種を含み、無機アルカリ性化合物の含有量が５〜２０質量％である水溶液が好適に用いられる。
【００２４】
撥液性樹脂層除去液Ａの処理では、撥液性樹脂層除去液Ａを供給することにより撥液性樹脂層成分のミセルを形成するが、上記の撥液性樹脂層除去液Ａで処理を行うと、形成された撥液性樹脂層成分のミセルが不溶化し、撥液性樹脂層除去液Ａ中に溶解拡散するのを防止する。次いで、撥液性樹脂層除去液Ｂを供給して、撥液性樹脂層除去液Ａによる処理で不溶化されたミセルを再分散させて除去を行う。このようにして撥液性樹脂層の除去を行うと、ノズル孔毎のばらつきを抑えたより均一な撥液性樹脂層の除去を行うことができ、好ましい。撥液性樹脂層除去液Ａの無機アルカリ性化合物の含有量は、より好ましくは７〜２０質量％、更に好ましくは１０〜２０質量％である。５質量％未満では、ミセルが不溶化し難く除去途中で可溶化されたミセルが溶解拡散しやすい。また、２０質量％を超えると、析出が起こりやすく、液の経時安定性、作業性に劣る。撥液性樹脂層除去液ＡのｐＨは９〜１３の範囲とすることが好ましい。また、界面活性剤、消泡剤等を適宜添加することもできる。
【００２５】
撥液性樹脂層除去液Ｂとしては、撥液性樹脂層除去液Ａの処理で生成した不溶化ミセルを溶解再分散させ、かつ、溶解再分散後は、撥液性樹脂層除去液Ｂのみによる処理ではそれ以上、撥液性樹脂層の除去が進行しないか、もしくは進行しにくい液であればいずれの液も使用可能である。好ましくは、水又は、ｐＨ６からｐＨ１０の範囲の酸又はアルカリ性の水溶液が好適に用いられる。
【００２６】
本発明において、撥液性樹脂層を除去するための処理条件（温度、スプレー圧、時間）は、撥液性樹脂層のミセルの形成と溶解拡散の程度に合わせて適宜調整される。具体的には、処理温度は１０〜５０℃、より好ましくは１５〜４０℃、更に好ましくは１５〜３５℃である。また、スプレー圧は０．０５〜０．５ＭＰａとするのが好ましく、更に好ましくは０．１〜０．３ＭＰａである。
【００２７】
マスキング層としては、撥液性樹脂層除去液に対して不溶性又は難溶性である樹脂や金属等を使用することができる。樹脂としては、アクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリビニルブチラールの様なビニルアセタール樹脂、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン及びその塩化物、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンイソフタレート等のポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ビニル変性アルキッド樹脂、フェノール樹脂、キシレン樹脂、ポリイミド樹脂、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース等のセルロースエステル誘導体等の樹脂が利用できる。汎用性の点から、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂等を好適に使用することができる。金属としては、銅やアルミニウム等を使用できる。マスキング層としては、簡便性や面内の均一性の点から金属よりも樹脂を用いるのがより好ましい。マスキング層は、フィルム形状として、撥液性樹脂層と一体化してノズルプレートに形成するようにすれば、工程上、簡便で安定に撥液性樹脂層とマスキング層の形成ができるので好ましい。アルカリ水溶液を撥液性樹脂層除去液として使用する場合、マスキング層の酸価は、撥液性樹脂層の酸価の十分の一以下、好ましくは百分の一以下である樹脂を好適に使用することができる。
【００２８】
本発明に用いられる撥液性樹脂層とマスキング層とを一体に形成する方法としては、あらかじめ、マスキング層となるフィルム状支持体に撥液性樹脂層を形成することが好ましく、その後、ラミネータによりノズル孔を有するノズルプレートにラミネートを行う。
【００２９】
本発明（３）の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法を図３に示す。ノズル孔２を有するノズルプレート１（図３（ａ））に、撥液性樹脂層３をラミネートにより形成した後（図３（ｂ））、更に、ノズル孔以外の撥液性樹脂層３上に電着樹脂層３２を形成する（図３（ｃ））。次に、撥液性樹脂層除去液を矢印で示す方向に供給することで、ノズル孔２の撥液性樹脂層３の除去を行う（図３（ｄ））。続いて、必要な場合には、電着樹脂層３２の剥離除去を行い、撥液性樹脂層の形成が可能となる。（図３（ｅ））。
【００３０】
本発明（３）に係わる電着樹脂層は、次のようにして形成される。撥液性樹脂層をラミネートしたノズルプレートに対向するように現像電極を設置し、ノズルプレート表面の撥液性樹脂層と現像電極との間に電荷を有する樹脂粒子を分散させた液を充填し、適正な電界を現像電極とノズルプレートとの間に印加することで、樹脂粒子を電着させ、電着樹脂層を形成する。電着樹脂層の膜厚は、電着条件（樹脂粒子の電荷及び印加電圧、処理時間、樹脂粒子分散液供給量等）をコントロールすることで決定することができる。電着法によって付着した樹脂粒子は、加熱、圧力、光、溶剤等によって撥液性樹脂層上に定着されて電着樹脂層となる。この電着樹脂層は、撥液性樹脂層除去液に対して難溶もしくは不溶となるように選択する。
【００３１】
このように撥液性樹脂層をラミネートしたノズルプレートに対し電気泳動法によって電着を行うと、樹脂粒子は、ノズル孔のない表面に向かってより大きな電界を受け、ノズル孔の撥液性樹脂層表面よりも多くの樹脂粒子が、ノズル孔以外の撥液性樹脂層表面に付着することとなる。電着条件を適正に調整することで、ノズル孔の撥液性樹脂層表面と非ノズル孔の撥液性樹脂層表面の樹脂粒子付着量をコントロールでき、ノズル孔の撥液性樹脂層表面には不十分な付着量であるが、非ノズル孔の撥液性樹脂層表面では、撥液性樹脂層を完全に被覆するのに十分な量の樹脂粒子付着量が得られるように設定する。すなわち、ノズルプレートのノズル孔以外の部分に樹脂粒子が多く付着し、電着樹脂層を形成することとなる。位置合わせ作業は不要でセルフアライメントで行われる。その結果、撥液性樹脂層除去液を供給することにより、電着樹脂層によって覆われていないノズル孔の撥液性樹脂層のみ除去される。ノズル孔の撥液性樹脂層を除去した後に、必要な場合には、電着樹脂層の除去を行い、撥液性樹脂層付きノズルプレートが形成される。
【００３２】
本発明に係わる電着樹脂層は撥液性樹脂層除去液に不溶でかつ電着可能な樹脂を用いる。電着樹脂層の成分は、例えば、電子写真に使用する湿式トナー樹脂を使用することができる。電子写真に使用する湿式トナー樹脂の成分としては、電気絶縁性の液体中に分散された樹脂粒子が挙げられ、樹脂粒子の具体的な例は、アクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリビニルブチラールの様なビニルアセタール樹脂、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン及びその塩化物、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンイソフタレート等のポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ビニル変性アルキッド樹脂、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース等のセルロースエステル誘導体等が挙げられる。粒子には電荷制御剤を含有させることができ、所望の電着条件で適正な電着樹脂層が形成できるようにコントロールすることができる。また、最終的に電着樹脂層の除去を行わない場合は、電着樹脂層にも撥液性を持たせることが好ましい。シリコーンやフッ素分散粒子等の撥液性成分を電着成分として添加しても良いし、樹脂粒子中に撥液性成分を添加しても良い。
【００３３】
本発明（３）に係わる撥液性樹脂層及び撥液性樹脂層除去液は、電着樹脂層の形成及び、撥液性樹脂層の除去が上記のように良好に行われるのであれば、本発明（２）に用いられるものの中のいかなる撥液性樹脂層及び撥液性樹脂層除去液を用いることができる。
【００３４】
本発明（４）の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法を図４に示す。ノズル孔２を有するノズルプレート１（図４（ａ））に、撥液性樹脂層３をラミネートにより形成（図４（ｂ））した後、ノズル孔２の撥液性樹脂層３を薄膜化させる（図４（ｃ））。次に撥液性樹脂層除去液を矢印で示す方向に供給（図４（ｄ））して、ノズル孔２の撥液性樹脂層３の除去を行って撥液性樹脂層付きノズルプレートが得られる（図４（ｅ））。撥液性樹脂層の薄膜化は、熱処理や加圧もしくは減圧処理等により行うことができ、ノズル孔の撥液性樹脂層の膜厚を薄くするように処理を行う。熱処理の場合では、撥液性樹脂層の種類にもよるが、４０℃以上１５０℃以下、より好ましくは６０℃以上１２０℃以下で処理を行う。ノズル孔２の撥液性樹脂層３の膜厚を薄くした後に撥液性樹脂層除去液により処理を行うことでノズル孔２の撥液性樹脂層３を除去することができる。また、熱処理で薄膜化を行う際に、反対側の面にもラミネートを行って、ノズル孔内の空気を密閉させ、その空気の熱膨張を利用して、ノズル孔の撥液性樹脂層を薄膜化することもできる。撥液性樹脂層除去液の供給は、良好にノズル孔の撥液性樹脂層の除去が行われれば、どちらの面からでも供給することもできる。
【００３５】
本発明（４）に係わる撥液性樹脂層及び撥液性樹脂層除去液は、撥液性樹脂層の薄膜化、撥液性樹脂層の除去が良好になされるのであれば、本発明（２）に用いられるものの中のいかなる撥液性樹脂層及び撥液性樹脂層除去液を用いることができる。
【実施例】
【００３６】
以下本発明の実施例を示す。
【００３７】
（実施例１）
図２（ａ）に断面を示すようなノズルプレートとして、板厚４０μｍのニッケル板にパンチ加工によりノズル孔を形成したものを準備した。バリは研磨により除去を行った。また、表１に示す成分にフッ素樹脂分散液を撥液性成分として加えた塗液をマスキング層として機能するポリエステルフィルムに塗布して撥液性樹脂層形成用のフィルム（撥液性樹脂層の膜厚１０μｍ、マスキング層の膜厚２５μｍ）を作製した。この撥液性樹脂層形成用フィルムをラミネータを用いて、ノズルプレートにノズルプレートの吐出面側に熱圧着し、撥液性樹脂層及びマスキング層を形成した。
【００３８】
【表１】
2009214475.tif 000003
【００３９】
次に、撥液性樹脂層除去液として、２種類の液、撥液性樹脂層除去液Ａ及び撥液性樹脂層除去液Ｂの組み合わせを用いて、撥液性樹脂層の除去を行った。撥液性樹脂層除去液Ａとして、１０質量％炭酸ナトリウム水溶液（２５℃）を用いて、ノズルプレートの吐出面側とは反対の面よりシャワースプレーを３０秒間当てた後、撥液性樹脂層除去液Ｂとして水をシャワースプレーで当てて、ノズル孔の撥液性樹脂層の除去を行った。その後マスキング層の除去を行った。
【００４０】
次に、紫外線の照射（５Ｊ／ｃｍ2）を行った後、乾燥炉において、１５０℃３０分間加熱処理を行って、耐久性の向上を図った。
【００４１】
ノズル孔周辺を光学顕微鏡で観察したところ、ノズル孔周辺の撥液性樹脂層は、ノズルプレート全面でノズル孔形状に沿って良好に除去されており、ノズル孔と撥液性樹脂層との間の位置ずれも見られず良好な撥液性樹脂層付きノズルプレートが得られた。
【００４２】
（実施例２）
ノズルプレートとして、板厚３０μｍのステンレス板材にパンチ加工を行ってノズル孔を形成し、ノズルプレートを得た。バリは研磨により除去を行った。このノズルプレートの吐出面側にラミネータを用いて、実施例１と同様にして撥液性樹脂層を形成させ、その後、マスキング層の除去を行った。
【００４３】
次に、正帯電樹脂粒子が分散された電子写真用の湿式トナーを用いて、バイアス電圧＋２００Ｖを印加して吐出面側の撥液性樹脂層表面に電着塗布を行い、ノズルプレートのノズル孔以外の部分の撥液性樹脂層上をトナー粒子層で覆った。次に７０℃で２分間加熱してトナー粒子を定着させ、電着樹脂層（厚み１μｍ）を形成した。
【００４４】
続いて、樹脂層除去液として１質量％炭酸ナトリウム水溶液をノズルプレートの吐出面側からシャワースプレーにより供給することで、ノズル孔の撥液性樹脂層の除去を行った。次に、紫外線の照射（５Ｊ／ｃｍ2）を行った後、乾燥炉において、１５０℃３０分間加熱処理を行って、耐久性の向上を図った。
【００４５】
ノズル孔周辺を光学顕微鏡で観察したところ、ノズル孔周辺の撥液性樹脂層は、ノズルプレート全面でノズル孔形状に沿って良好に除去されており、ノズル孔と撥液性樹脂層との間の位置ずれも見られず良好な撥液性樹脂層付きノズルプレートが得られた。
【００４６】
（実施例３）
板厚０．２ｍｍのＳＵＳ３０４のステンレス板を用い、その表面に５０μｍ厚の感光性メッキレジスト層を形成させた。パターン露光及び現像処理を行うことで、ノズル孔の形状に対応したメッキレジストパターンをベース基材の表面に形成させた。このメッキレジストパターンを形成させたベース基材をスルファミン酸ニッケルメッキ浴に浸漬し、２Ａ／ｄｍ2、浴温度４５℃の条件で電気メッキを行い、厚さ４０μｍのニッケル層を形成させた。その後、メッキレジストパターンを除去し、ニッケル層をベース基材から剥離し、ノズル孔を形成したノズルプレートを作製した。
【００４７】
このノズルプレートの吐出面側に、ラミネータを用いて、実施例１と同様にして撥液性樹脂層形成用のフィルムを熱圧着させた。ただし、この際の撥液性樹脂層の厚みは２５μｍとした。また、ノズルプレートの吐出面側とは反対の面にも、撥液性樹脂層形成用のフィルムを熱圧着させた。ただし、このフィルムの撥液性樹脂層の厚みを５μｍとした。
【００４８】
次に、室温２５℃に放置した後に、８０℃に上昇させることで、撥液性樹脂層を軟化させると同時に、ノズル孔内の空気を膨張させ、ノズル孔の撥液性樹脂層の厚みを薄膜化させた。続いて両面のマスキング層の除去を行った。ノズル孔の吐出面側の撥液性樹脂層の厚みを測定したところ、３μｍと薄膜化していた。
【００４９】
次に撥液性樹脂層除去液を両側より供給し、吐出面とは反対側の撥液性樹脂層の全部、及び、吐出面側のノズル孔の撥液性樹脂層の除去を行った。ノズル孔以外の吐出面側の撥液性樹脂層の厚みは２０μｍとなっていた。次に、紫外線の照射（５Ｊ／ｃｍ2）を行った後、乾燥炉において、１５０℃３０分間加熱処理を行って、耐久性の向上を図った。
【００５０】
ノズル孔周辺を光学顕微鏡で観察したところ、ノズル孔周辺の撥液性樹脂層は、ノズル孔形状に沿って良好に除去されており、ノズル孔と撥液性樹脂層との間の位置ずれも見られず良好な撥液性樹脂層付きノズルプレートが得られた。
【００５１】
（比較例）
実施例１に用いたのと同様のノズルプレートの吐出面側に、撥液剤を混合したポジ型の感光性塗料の塗布を行い、ポジ型感光性の撥液性樹脂層の形成を行った。その後、吐出面とは反対側から露光処理を行い、その後、現像処理を行うことで、ノズル孔部の撥液性樹脂層の除去を行った。
【００５２】
ノズル孔周辺を光学顕微鏡で観察したところ、ノズル孔周辺の撥液性樹脂層が、ノズル孔の輪郭とずれている箇所がノズルプレートの端部に近いところにおいて数カ所見られた。また、ポジ型の感光性塗料の塗布を行った際に、ノズル孔周辺の膜厚が均一になっておらず、良好な撥液性樹脂層の形成ができなかった。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法は、種々の液体材料の吐出を行う種々の液吐出装置のノズル孔の作製に利用できる。液体材料としては、目的に合わせて、色材、絶縁性塗液、導電性塗液等種々の機能性液体の吐出に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明（１）の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法の工程を示す説明図。
【図２】本発明（２）の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法の工程を示す説明図。
【図３】本発明（３）の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法の工程を示す説明図。
【図４】本発明（４）の撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法の工程を示す説明図。
【符号の説明】
【００５５】
１  ノズルプレート
２  ノズル孔
３  撥液性樹脂層
３２  電着樹脂層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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