(57)【要約】      （修正有）【課題】クリーニング時に生じ得る不具合を解消することができるディスペンサノズルのクリーニング方法を提供する。【解決手段】低発塵性不織布に張力を付与し（Ｓ３）、低発塵性不織布をステージ上に張設する。ディスペンサをステージの凹部上へ移動し（Ｓ４）、ディスペンサを凹部上に張設された低発塵性不織布へ向けて下降する（Ｓ５）。ディスペンサノズルの先端を低発塵性不織布に押し当て、ディスペンサノズル先端に残存した塗布剤を低発塵性不織布に付着して取り除く。このとき、低発塵性不織布は、ディスペンサノズル先端の径より狭いメッシュで構成され、ディスペンサノズルは低発塵性不織布を貫通すること無い。【選択図】図３
2009283579.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布剤を吐出するディスペンサノズルの先端部をクリーニングするディスペンサノズルのクリーニング方法において、
前記ディスペンサノズルの先端を、当該ディスペンサノズル先端の径より狭いメッシュの不織布に押し当てて当該ディスペンサノズルの先端部に残存した前記塗布剤を取り除くことを特徴としたディスペンサノズルのクリーニング方法。
【請求項２】
前記ディスペンサノズルの先端を前記不織布に押し当てて当該不織布を撓ませた状態で、前記ディスペンサノズルを前記不織布に沿って動かすことを特徴としたディスペンサノズルのクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布剤を吐出するディスペンサノズルのクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、チップをリードフレームにボンディングする際には、ボンディング装置が用いられている。
【０００３】
このボンディング装置によるボンディング方法としては、ディスペンサによりリードフレーム上に接着剤で構成された塗布剤を塗布した後、この塗布剤上にチップを移送して当該チップをリードフレームに固定する方法が知られている。
【０００４】
このボンディング装置では、図５に示すように、前記ディスペンサ８０１のディスペンサノズル８０２から前記塗布剤８０３を吐出した状態で、当該ディスペンサノズル８０２をリードフレーム８０４上部まで下降し（８０５）、当該ディスペンサノズル８０２先端の塗布剤８０３をリードフレーム８０４に塗布した後（８０６）、ディスペンサノズル８０２を上昇するが、上昇したディスペンサノズル８０２の先端部には、ディスペンサノズル８０２の外壁を這い這い上がり残存した塗布剤８０３ａが残ってしまう（８０７）。
【０００５】
そして、前記塗布剤８０３の吐出と（８１１）、当該塗布剤８０３のリードフレーム８０４への塗布とを繰り返すと（８１２）、前記ディスペンサノズル８０２先端部に残存した塗布剤８０３ａの残存量が徐々に増大する（８１３）。
【０００６】
この状態で、前記塗布剤８０３の吐出と（８２１）、当該塗布剤８０３のリードフレーム８０４への塗布とを繰り返すと（８２２）、前記ディスペンサノズル８０２先端部に残存した塗布剤８０３ａが吐出した塗布剤８０３と共にリードフレーム８０４に塗布されたり（８２３）、ディスペンサノズル８０２に残存した塗布剤８０３ａが落下することがある。この場合、リードフレーム８０４への塗布剤８０３の塗布量が設定値より多くなるため、チップの接着に不具合を生ずることがある。
【０００７】
これを解消する為に、ディスペンサノズル８０２をクリーニングするノズルクリーニング装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００８】
このノズルクリーニング装置では、図６に示すように、前記塗布剤８０３ａが残存したディスペンサノズル８０２の先端を、前記ディスペンサノズル８０２先端の径より広いメッシュ８３１，・・・の布８３２に貫通するとともに（８４１）、上下方向へ刺入することで（８４２）、当該ディスペンサノズル８０２の外周部に残存した塗布剤８０３ａを前記布８３２を構成する経糸８３３，・・・と緯糸８３４，・・・とで削ぐようにして絡め取るように構成されている（８４３）。
【特許文献１】実開昭６３−１４１６７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、このような従来のクリーニング方法にあっては、伸縮性を有した前記布８３２を用いるため、自動供給時の摩擦抵抗等によって発塵してしまう。
【００１０】
また、前記ディスペンサノズル８０２を前記布８３２に貫通させる際に、当該布８３２を構成する経糸８３３，・・・や緯糸８３４，・・・を切断することもあった。
【００１１】
これらから、発塵量が基準値を超えてしまうことがあり、この場合、使用できなくなることがあった。
【００１２】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、クリーニング時に生じ得る不具合を解消することができるディスペンサノズルのクリーニング方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記課題を解決するために本発明の請求項１のディスペンサノズルのクリーニング方法にあっては、塗布剤を吐出するディスペンサノズルの先端部をクリーニングするディスペンサノズルのクリーニング方法において、前記ディスペンサノズルの先端を、当該ディスペンサノズル先端の径より狭いメッシュの不織布に押し当てて当該ディスペンサノズルの先端部に残存した前記塗布剤を取り除く。
【００１４】
すなわち、ディスペンサノズルの先端部に残存した塗布剤をクリーニングする際には、当該ディスペンサノズルの先端を不織布に押し当てる。すると、このディスペンサノズルの先端部に残存した塗布剤が前記不織布に付着することによって、残存した前記塗布剤が前記ディスペンサノズルから取り除かれる。
【００１５】
このとき、前記不織布は、前記ディスペンサノズル先端の径より狭いメッシュで構成されており、当該ディスペンサノズルの先端は、前記不織布を貫通することなく、当該不織布の表面に止まる。
【００１６】
そして、前記塗布剤を取り除く除去体は、不織布で構成されている。このため、経糸と緯糸で形成された伸縮性を有する布と比較して、自動供給時に摩擦が生じたり、テンションが加えられた場合であっても、発塵が抑えられる。
【００１７】
また、請求項２のディスペンサノズルのクリーニング方法においては、前記ディスペンサノズルの先端を前記不織布に押し当てて当該不織布を撓ませた状態で、前記ディスペンサノズルを前記不織布に沿って動かす。
【００１８】
すなわち、前記ディスペンサノズルの先端を前記不織布に押し当てて当該不織布を撓ませた状態では、前記ディスペンサノズルによって撓んだ不織布が、前記ディスペンサノズルの外周部に残存した塗布剤に、その外周部から接触する。これにより、前記不織布の前記塗布剤への接触面積が増大し、当該不織布による除去効率が高められる。
【００１９】
そして、この状態で前記ディスペンサノズルを前記不織布に沿って動かすと、前記ディスペンサノズルの外周部に残存した塗布剤に前記不織布を摺接することができる。これにより、当該不織布による前記塗布剤の除去効率がさらに高められる。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したように本発明の請求項１のディスペンサノズルのクリーニング方法にあっては、ディスペンサノズルの先端を不織布に押し当てることによって、当該ディスペンサノズルの先端部の塗布剤を前記不織布に付着させることができる。これにより、前記塗布剤を前記ディスペンサノズルから取り除くことができる。
【００２１】
このとき、前記不織布は、前記ディスペンサノズル先端の径より狭いメッシュで構成されており、当該ディスペンサノズルの先端は、前記不織布を貫通することなく、当該不織布の表面に止めることができる。
【００２２】
このため、前記ディスペンサノズル先端の径より広いメッシュで構成された布に、ディスペンサノズルの先端を貫通して塗布剤を取り除く構造上、前記布を構成する経糸や緯糸を前記ディスペンサノズルで切断してしまう恐れがあった従来と比較して、経糸及び緯糸の切断時に生じ得る発塵を確実に防止することができる。
【００２３】
また、前記塗布剤を取り除く除去体は、不織布で構成されており、経糸と緯糸で形成された伸縮性を有する布で構成された場合と比較して、自動供給時に摩擦が生じたり、テンションが加えられた場合であっても、発塵を抑えることができる。
【００２４】
これらから、不織布からの発塵を抑えることができるため、発塵量が基準値を超えてしまう従来と比較して、条件が厳しい環境下であっても利用が可能となる。
【００２５】
また、請求項２のディスペンサノズルのクリーニング方法においては、ディスペンサノズルの先端を不織布に押し当てて当該不織布を撓ませることによって、撓んだ不織布をディスペンサノズルの外周部に残存した塗布剤に、その外周部から接触させることができる。これにより、前記塗布剤への前記不織布の接触面積を増大することができるため、当該不織布による前記塗布剤の除去効率を高めることができる。
【００２６】
そして、この状態で前記ディスペンサノズルを前記不織布に沿って動かすことにより、前記ディスペンサノズルの外周部に残存した塗布剤に前記不織布を摺接することができる。これにより、前記塗布剤の除去効率を、さらに高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。
【００２８】
図１は、本実施の形態にかかるディスペンサノズルのクリーニング方法を行うクリーニング装置１を示す図であり、該クリーニング装置１は、ボンディング装置２に設けられている。
【００２９】
すなわち、このボンディング装置２では、ディスペンサによって樹脂製の接着剤からなる塗布剤をリードフレーム上に塗布した後、この塗布剤の上にチップを移送して当該チップをリードフレームに固定するボンディング方式が採用されており、当該ボンディング装置２は、一対のディスペンサ１１，１１を備えている。前記各ディスペンサ１１，１１は、それぞれ異なる駆動機構１２に支持されており（一方のみ図示）、各々が独立して作動するように構成されている。
【００３０】
前記クリーニング装置１は、下段を形成する供給ブロック２１と、上段を形成する回収ブロック２２とによって構成されており、前記供給ブロック２１には、上方に開口したＵ字状の供給ロール保持部２３が基端側に設けられている。この供給ロール保持部２３の側壁２４からは、保持ロッド２５が延出しており、ロール状に巻かれた低発塵性不織布を当該保持ロッド２５に突き刺した状態で回転自在に保持できるように構成されている。
【００３１】
ここで、本実施の形態で使用する前記低発塵性不織布は、前記ディスペンサ１１より延出した円筒状にディスペンサノズル３１の先端の径よりメッシュの細かい低発塵性（リントフリー）の伸縮性を有した不織布で構成され、前記ディスペンサノズル３１の貫通を阻止できるように構成されている。
【００３２】
また、この低発塵性不織布は、前記ディスペンサノズル３１の先端より吐出される前記塗布剤の吸収性に優れた素材で構成されている。これにより、前記低発塵性不織布は、低発塵性と伸縮性とを兼ね備える。
【００３３】
そして、この低発塵性不織布は、薄肉長尺状に形成され、ロール状に巻かれた状態で供給されるものとする。
【００３４】
前記供給ブロック２１と前記回収ブロック２２との間には、前記供給ロール保持部２３からの前記低発塵性不織布が移送される移送経路４１が形成されており、該移送経路４１の前記供給ロール保持部２３側には、矩形状のスライド溝４２が当該移送経路４１の幅方向全域に延設されている。このスライド溝４２には、板状のスライド板４３が上下動自在に収容されており、該スライド板４３は、図外の昇降機構によって上下方向に駆動されるように構成されている。
【００３５】
これにより、前記スライド板４３を下降して前記スライド溝４２内へ後退した状態で、前記低発塵性不織布の前記移送経路４１に沿った移動を許容する一方、前記スライド板４３を上昇して突出することで、前記移送経路４１上の前記低発塵性不織布を当該スライド板４３と前記移送経路４１の上壁面４４との間に挟持した状態で固定できるように構成されている。
【００３６】
そして、前記回収ブロック２２の先端部には、前記移送経路４１より延出した前記低発塵性不織布発を前記回収ブロック２２上面側へ折り返す折返しローラ５１が設けられている。
【００３７】
前記回収ブロック２２の先端部には、前記折返しローラ５１で折り返された前記低発塵性不織布発が通過するステージ６１が設けられており、該ステージ６１の上面は、平坦面で構成されている。このステージ６１には、矩形状の凹部６２，６２が隣接した二箇所に形成されており、各凹部６２，６２は、前記各ディスペンサ１１，１１に対応して設けられている。
【００３８】
前記ステージ６１より基端側の前記回収ブロック２２の部位には、前記低発塵性不織布を回収する為の回収部７１が設けられており、該回収部７１の底面７２と前記ステージ６１の上面との間には、段差が形成されている。前記回収部７１の側面からは、鍔７３付きの巻取ロッド７４が延出しており、該巻取ロッド７４には、前記低発塵性不織布を挟み込むためのスリット７５が形成されている。
【００３９】
前記回収部７１の基端側には、駆動モータ８１が設けられており、該駆動モータ８１は、前記巻取ロッド７４を回動するように構成されている。この駆動モータ８１の上部には、Ｌ字プレート８２の基端部が固定されており、該Ｌ字プレート８２は、前記回収部７１の手前側の壁面を形成するように構成されている。このＬ字プレート８２と、対向する奥側の壁面８３との間には、棒状のローラ８４，８４が設けられており、前記巻取ロッド７４に巻回された前記低発塵性不織布のはみ出しを防止できるように構成されている。
【００４０】
前記Ｌ字プレート８２の先端部には、先端ローラ９１が回動自在に設けられており、該先端ローラ９１は、前記ステージ６１から前記回収部７１へ引き込まれる前記低発塵性不織布を当該回収部７１の底面７２側へガイドするように構成されている。
【００４１】
これにより、前記低発塵性不織布の先端部を前記巻取ロッド７４の前記スリット７５に挟み込んだ状態で、前記駆動モータ８１で当該巻取ロッド７４を回動することによって、前記低発塵性不織布を当該巻取ロッド７４に巻き取れるように構成されている。
【００４２】
また、図２に示すように、前記移送経路４１の下部に設けられた前記スライド板４３を上昇して前記移送経路４１上の前記低発塵性不織布を固定した状態で、前記巻取ロッド７４により前記低発塵性不織布を巻取方向へ付勢すると、前記Ｌ字プレート８２に設けられた前記先端ローラ９１が前記低発塵性不織布を前記回収部７１の底面７２側へガイドすることによって、当該低発塵性不織布を前記ステージ６１上に張設できるように構成されている。
【００４３】
そして、前記巻取ロッド７４を回動する前記駆動モータ８１や、前記スライド板４３を昇降する昇降機構の駆動モータや、前記各ディスペンサ１１，１１を駆動する駆動機構の駆動モータ等は、当該ボンディング装置２を制御する図外の制御装置に接続されており、該制御装置からの制御信号に従って動作するように構成されている。
【００４４】
この制御装置は、パソコン等で構成されており、当該制御装置がハードディスク等の記憶手段に記憶されたプログラムに従って動作することによって、当該クリーニング装置１を備えたボンディング装置２が作動するように構成されている。
【００４５】
以上の構成にかかる本実施の形態の動作を、図３に示すフローチャートに従って説明する。
【００４６】
すなわち、前記制御装置は、例えば前記ディスペンサ１１，１１による塗布剤の塗布回数が所定回数に達すると、この所定回数に達する毎に定期的にメインルーチンからクリーニング処理を呼び出して当該クリーニング処理を実行する。
【００４７】
このクリーニング処理では、前記駆動モータ８１を作動して前記巻取ロッド７４に係止された前記低発塵性不織布を所定量巻き取ることによって、前記保持ロッド２５に巻かれた前記低発塵性不織布を所定量引き出してステージ６１上の低発塵性不織布を移動した後（Ｓ１）、昇降機構によってスライド板４３を上昇することで移送経路４１上の低発塵性不織布を当該スライド板４３と前記移送経路４１の上壁面４４との間に挟持した状態で固定する（Ｓ２）。
【００４８】
この状態において、前記駆動モータ８１で前記巻取ロッド７４を作動して該巻取ロッドに係止された前記低発塵性不織布を引張して張力を付与し（Ｓ３）、当該低発塵性不織布を前記ステージ６１上に張設する。
【００４９】
そして、駆動機構１２を作動して前記ディスペンサ１１，１１を前記ステージ６１の対応する凹部６２，６２上へ移動するとともに（Ｓ４）、前記駆動機構１２を作動して前記各ディスペンサ１１，１１を、対応する凹部６２，６２上に張設された前記低発塵性不織布へ向けて下降する（Ｓ５）。
【００５０】
ここで、前記駆動機構１２による前記ディスペンサ１１，１１の下降は、予め設定された座標値に従って行い、この座標値は、図４に示すように、前記各ディスペンサ１１，１１より延出したディスペンサノズル３１，３１の先端が前記低発塵性不織布１０１に押し当てられる高さ位置に設定されている。
【００５１】
このため、前記ディスペンサノズル３１吐出された塗布剤１１１が当該ディスペンサノズル３１の外壁を這い上がり、その先端部に塗布剤１１１ａが残存した前記ディスペンサノズル３１は、その先端が前記低発塵性不織布１０１を圧接し、当該低発塵性不織布１０１を撓ませた押し当て状態１１２を形成される。すると、前記ディスペンサノズル３１先端部に残存した前記塗布剤１１１ａが前記低発塵性不織布１０１に吸収され付着するので、残存した前記塗布剤１１１ａは、前記ディスペンサノズル３１から取り除かれる。
【００５２】
また、前記ディスペンサノズル３１の先端を前記低発塵性不織布１０１に押し当てて当該低発塵性不織布１０１を撓ませた状態では、前記ディスペンサノズル３１によって撓んだ低発塵性不織布１０１が、前記ディスペンサノズル３１の外周部に残存した塗布剤１１１ａに、その外周部から接触する。これにより、前記低発塵性不織布１０１の前記塗布剤１１１ａへの接触面積が増大し、当該低発塵性不織布１０１による除去効率が高められる。
【００５３】
このとき、前記低発塵性不織布１０１は、前記ディスペンサノズル３１先端の径より狭いメッシュで構成されており、当該ディスペンサノズル３１の先端は、前記低発塵性不織布１０１を貫通することなく、当該低発塵性不織布１０１の表面に止まる。
【００５４】
また、残存した前記塗布剤１１１ａを取り除く前記低発塵性不織布１０１は、不織布で構成されている。このため、経糸と緯糸で形成された伸縮性を有する布と比較して、自動供給時に移送経路４１との間に摩擦が生じたり、前記巻取ロッド７４による巻取力によってテンションが加えられた場合であっても、発塵が抑えられる。
【００５５】
この押し当て状態１１２において、前記駆動機構１２を作動して前記ディスペンサ１１，１１の高さ位置を保持した状態で当該ディスペンサ１１，１１を円運動させる（Ｓ６）。すると、前記低発塵性不織布１０１に押し付けられた前記ディスペンサノズル３１は、その先端が前記低発塵性不織布１０１に押し当てられた状態で、当該低発塵性不織布１０１に沿って回転移動される。
【００５６】
この回転移動状態１２１では、前記ディスペンサノズル３１の外周部に残存した前記塗布剤１１１ａに前記低発塵性不織布１０１を摺接することができる。これにより、当該低発塵性不織布１０１による前記塗布剤１１１ａの除去効率がさらに高められる。
【００５７】
そして、前記駆動機構１２を作動して前記ディスペンサ１１，１１を上昇した上昇状態１３１を形成した後（Ｓ７）、当該ディスペンサ１１，１１をホームポジションへ移動して（Ｓ８）、メインルーチンへ戻る。
【００５８】
このように、前記ディスペンサノズル３１の先端を前記低発塵性不織布１０１に押し当てることによって、当該ディスペンサノズル３１の先端部に残存した塗布剤１１１ａを前記低発塵性不織布１０１に付着させることができ、前記塗布剤１１１ａを前記ディスペンサノズル３１から取り除くことができる。
【００５９】
これにより、前記ディスペンサ１１，１１によって前記塗布剤１１１の塗布を所定回数行う毎に、当該ディスペンサ１１，１１のディスペンサノズル３１を定期的にクリーニングすることができ、前記塗布剤１１１の塗布量を長期に亘って安定化することができる。
【００６０】
このとき、前記低発塵性不織布１０１は、前記ディスペンサノズル３１先端の径より狭いメッシュで構成されており、当該ディスペンサノズル３１の先端は、前記低発塵性不織布１０１を貫通することなく、当該低発塵性不織布１０１の表面に止めることができる。
【００６１】
このため、前記ディスペンサノズル３１先端の径より広いメッシュで構成された布に、ディスペンサノズル３１の先端を貫通して残存した塗布剤１１１ａを取り除く構造上、前記布を構成する経糸や緯糸を前記ディスペンサノズル３１で切断してしまう恐れがあった従来と比較して、経糸及び緯糸の切断時に生じ得る発塵を確実に防止することができる。
【００６２】
また、前記塗布剤１１１ａを取り除く前記低発塵性不織布１０１は、不織布で構成されており、経糸と緯糸で形成された伸縮性を有する布で構成された場合と比較して、自動供給時に前記移送経路４１との間で摩擦が生じたり、前記巻取ロッド７４の回転によりテンションが加えられた場合であっても、発塵を抑えることができる。
【００６３】
これらから、前記低発塵性不織布１０１からの発塵を抑えることができるため、発塵量が基準値を超えてしまう従来と比較して、条件が厳しい環境下であっても利用が可能となる。
【００６４】
また、前記ディスペンサノズル３１の先端を前記低発塵性不織布１０１に押し当てて当該低発塵性不織布１０１を撓ませることによって、撓んだ低発塵性不織布１０１をディスペンサノズル３１の外周部に残存した塗布剤１１１ａに、その外周部から接触させることができる。これにより、前記塗布剤１１１ａへの前記低発塵性不織布１０１の接触面積を増大することができるため、当該低発塵性不織布１０１による前記塗布剤１１１ａの除去効率を高めることができる。
【００６５】
そして、この状態で前記ディスペンサノズル３１を前記低発塵性不織布１０１に沿って回動することによって、前記ディスペンサノズル３１の外周部に残存した前記塗布剤１１１ａに前記低発塵性不織布１０１を摺接することができる。これにより、前記塗布剤１１１ａの除去効率を、さらに高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の一実施の形態を示す図である。
【図２】同実施の形態の動作を示す説明図である。
【図３】同実施の形態の動作を示すフローチャートである。
【図４】同実施の形態の動作を示す説明図である。
【図５】従来のディスペンサの動作を示す説明図である。
【図６】従来のディスペンサノズルのクリーニング方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６７】
１    クリーニング装置
１１    ディスペンサ
３１    ディスペンサノズル
１０１    低発塵性不織布
１１１ａ  塗布剤
【図１】
2009283579.tif 000003
【図２】
2009283579.tif 000004
【図３】
2009283579.tif 000005
【図４】
2009283579.tif 000006
【図５】
2009283579.tif 000007
【図６】
2009283579.tif 000008