(57)【要約】      （修正有）【課題】組立が容易で廉価、また、測定精度の高く、長期間使用可能で、周囲温度が低下したときも、結露や、氷結のない高い信頼性を有する光電界センサを提供する。【解決手段】光を偏光子側へ出射するコリメータと、偏光子と、１／４波長板と、ポッケルス素子と、検光子と、光を集光するコリメータと、光の通過する部分が穴形状で偏光子を貼り付けるブロックと、光の通過する部分が穴形状で１／４波長板を貼り付けるブロックと、ポッケルス素子を貼り付けるブロックと、光の通過する部分が穴形状で検光子を貼り付けるブロックと、前記コリメータと前記偏光子と前記１／４波長板と前記ポッケルス素子と前記検光子を配設するベースとからなる光電界センサにおいて、前記ブロックが、前記偏光子と、前記１／４波長板と、前記ポッケルス素子と、前記検光子の必要とする光学的方位角を各々設定できるようにした段形部を備える。【選択図】図１
2009085593.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を偏光子側へ出射するコリメータと、偏光子と、１／４波長板と、ポッケルス素子と、検光子と、光を集光するコリメータと、光の通過する部分が穴形状で偏光子を貼り付けるブロックと、光の通過する部分が穴形状で１／４波長板を貼り付けるブロックと、光の通過する部分が穴形状で検光子を貼り付けるブロックと、前記コリメータと前記偏光子と前記１／４波長板と前記ポッケルス素子と前記検光子を配設するベースとからなる光電界センサにおいて、
前記ブロックは、前記偏光子と、前記１／４波長板と、前記検光子の必要とする光学的方位角を各々設定できるように予め段形部を有することを特徴とする光電界センサ。
【請求項２】
前記偏光子と前記１／４波長板とを同一ブロックの両面に貼り付けたことを特徴とする請求項１に記載の光電界センサ。
【請求項３】
前記ベースの側面は、前記ブロックの側面を合わせて配設するだけでアライメントができる段形部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の光電界センサ。
【請求項４】
前記ポッケルス素子は、前記ポッケルス素子の光軸に対し垂直な２面に透明電極を蒸着した縦型変調のポッケルス素子であることを特徴とする請求項１乃至３いずれか１項に記載の光電界センサ。
【請求項５】
前記ポッケルス素子は、Bi12GeO20又はBi12SiO20からなることを特徴とする請求項４に記載の光電界センサ。
【請求項６】
前記ポッケルス素子は、前記ポッケルス素子の光軸に対し平行な２面に電極を蒸着した横型変調のポッケルス素子であることを特徴とする請求項１乃至３いずれか１項に記載の光電界センサ。
【請求項７】
前記ポッケルス素子は、Bi４Ge３O12、Bi４Si３O12又はLiNbO３からなることを特徴とする請求項６に記載の光電界センサ。
【請求項８】
前記ブロックと前記ベースの材料は含水率が０の絶縁物であるとともに、含水率が０の絶縁物からなるカバー内に収納したことを特徴とする請求項１乃至７いずれか１項に記載の光電界センサ。
【請求項９】
前記ベースと前記カバーとを半田付けにて接合し、最低使用温度以下の露点をもつガスを封入したことを特徴とする請求項１乃至８いずれか１項に記載の光電界センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、変電所や発電所などの電力機器および電力系統の電圧を測定する計器用変圧器に関し、特に電力機器や系統の高電圧部と接地との間の電界を光の偏光を用いて直接測定する光電界センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
強誘電体結晶に電界を加えるとその強度に比例して屈折率が変化するポッケルス効果が生じる。この効果が得られる結晶は、ポッケルス素子と呼ばれ、これを被測定部に配置して電界を計測することにより、その部位の電圧を測定する光電界センサが開発されている（特許文献１参照）。
【０００３】
このような従来の光電界センサ２０の一例を図１６（ａ）、（ｂ）及び図１７〜図１９に基づいて説明する。
【０００４】
図１６（ａ）は光電界センサ２０の平面図で、図１６（ｂ）は側面図である。図１６（ａ）及び（ｂ）において、光電界センサ２０は、光を偏光子２側に出射するコリメータ１と、偏光子２と、１／４波長板３と、ポッケルス素子４と、検光子５と、光を反射するプリズム６と、光を集光するコリメータ７と、これらの光学素子が配設される絶縁物からなるベース８から構成される。また、これらの光学素子を密封するため、光学素子を配設したベース８は、絶縁物からなるカバー１３に収納され、ベース８とカバー１３とは、接着剤１８により気密に接着される。
【０００５】
この光電界センサ２０は送変電機器に取り付けられ、高電圧部と接地電位間の電界中におかれる。そして、光電界センサ２０は送変電機器の一構成要素として用いられ、図１９に示されるように光ファイバ１１と１２を介して、光源９と信号処理器１０に接続される。
【０００６】
以上の構成を有する光電界センサ２０は以下のように機能する。すなわち、光源９からの光は、光ファイバ１１を通り光電界センサ２０に入る。光電界センサ２０では、各光学素子が必要とされる方位角で直接ベース８に貼り付けられている。コリメータ１を出た光は、偏光子２にて直線偏光となり、１／４波長板３にて円偏光となり、ポッケルス素子４で印加される電界に応じた変調を受けて楕円偏光となり、次に、検光子５である一方向の成分が直線偏光として取り出され、プリズム６での反射により光進行方向が曲げられ、コリメータ７で集光され、光電界センサ２０を出る。光電界センサ２０を出た光は、光ファイバ１２を通り信号処理器１０に入り、被測定電界を作る高電圧部の電圧が変調信号を用いて求められる。
【特許文献１】特開２００３−４７７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、以上の構成を有する従来の光電界センサには、次のような欠点があった。すなわち、偏光子２、１／４波長板３、ポッケルス素子４、検光子５は、ベース８に直接貼り付けられるため、これらの光学素子の貼り付け部８ａがベース８に形成され、複雑な形状となっている。また、光電界センサ２０を小型化するために、光学素子間の間隔が極めて狭いものとなっている。したがって、光電界センサ２０を組立てる際、作業空間が狭いため、作業性が極めて悪いものとなっていた。
【０００８】
しかも、従来の光電界センサの光学素子の貼り付け面には、光学素子の方位角を決める部位が設けられておらず、位置決めに多大な時間を要していた。図１７及び図１８は、偏光子２と１／４波長板３の相対角を４５°に配置する例を示している。なお、図１７中の４個の黒丸印２ｂは接着部を、また図１８中の４個の黒丸印４ｂは接着部を示す。この場合、１／４波長板３を４５°に傾けて接着する必要があるが、接着前に、円偏光が作られているかを確認する必要がある。したがって、最終状態となるまで、調整と確認を何回も繰り返すことになり、調整・確認作業に多くの時間を必要としていた。
【０００９】
また、調整・確認を行った後も、接着剤で貼り付けるとき位置ずれが生じやすいため、貼り付け作業には細心の注意が必要となり作業性が悪いという問題があった。検光子４についても貼り付けの際に同様な課題があった。
【００１０】
また、ベース８は、例えば機械加工が可能なエポキシモールド材などの絶縁材で構成される。このような材料は、比誘電率が６程度であり、気体の比誘電率（約１）と等しくないため、ポッケルス素子４にかかる電界を歪ませる。すなわち、縦形変調の光電界センサでは、光軸に対し垂直にかかるべき電界が、光軸に対し平行な成分を含むことになり、必要な電界の強度が得られず、精度低下の原因となっていた。
【００１１】
同様な現象は横型変調の光電界センサでも生じ、光軸に対し平行にかかるべき電界が、光軸に対し垂直な成分を含むことになり、必要な電界の強度が得られず、精度低下の原因となっていた。
【００１２】
さらに、シール部１８には、エポキシ系の接着剤を用いるため、長期間の時間経過に伴い、接着力の低下等によりリークが発生し、大気中の水分が密封空間内に混入することがあった。また、ベース８、カバー１３の材料であるエポキシモールド材内部に含まれている水分が少しずつ密封空間内に出てくるため、周囲温度が低下した際に、混入した水分により光学素子の表面で結露や氷結が発生し、光電界センサの精度低下や使用不可能な状況に陥る可能性があった。
【００１３】
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は組立が容易で、廉価な光電界センサを提供することである。また、測定精度の高い光電界センサを提供し、さらに、長期間使用可能で、周囲温度が低下したときも、結露や、氷結のない高い信頼性を有する光電界センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明は、光を偏光子側へ出射するコリメータと、偏光子と、１／４波長板と、ポッケルス素子と、検光子と、光を集光するコリメータと、光の通過する部分が穴形状で偏光子を貼り付けるブロックと、光の通過する部分が穴形状で１／４波長板を貼り付けるブロックと、光の通過する部分が穴形状で検光子を貼り付けるブロックと、前記コリメータと前記偏光子と前記１／４波長板と前記ポッケルス素子と前記検光子を配設するベースとからなる光電界センサにおいて、前記ブロックは、前記偏光子と、前記１／４波長板と、前記検光子の必要とする光学的方位角を各々設定できるように予め段形部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、組立が容易で、廉価な光電界センサを提供することができる。また、測定精度の高い光電界センサを提供し、さらに、長期間使用可能で、周囲温度が低下したときも、結露や、氷結のない高い信頼性を有する光電界センサを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態を図１〜４を用いて具体的に説明する。  
図１（ａ）、（ｂ）は、第１の実施形態に係る光電界センサ２０の構成図で、それぞれ水平面図及び側面図である。図２は図１（ｂ）におけるＡ部詳細図で、偏光子２の貼り付け状態を示し、図３は図１（ｂ）におけるＢ部詳細図で、１／４波長板３の貼り付け状態を示し、また、図４は図１（ｂ）におけるＣ部詳細図で検光子５の貼り付け状態を示している。
【００１７】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、光電界センサ２０は、光を偏光子２側に出射するコリメータ１と、偏光子２と、偏光子２を取り付けるブロック２ａと、１／４波長板３と、１／４波長板３を取り付けるブロック３ａと、ポッケルス素子４と、検光子５と、検光子５を取り付けるブロック５ａと、光を集光するコリメータ７と、これらを配設するベース８から構成される。また、反射により光の進行方向を曲げるプリズム６が、検光子５の後に配設される。偏光子２等の光学素子を貼り付けるブロック２ａ、３ａ、５ａは、光が通過する穴のあいた端面に、所定の光学的方位角を有する段形部を形成し、この段形部に当接した状態で光学素子の四隅を貼り付けるだけで各々が必要とする光学的方位角を設定できるようになっている。また、ブロック２ａ、３ａ、５ａは、ベース８の所定位置２ｃ、３ｃ、５ｃにそれぞれ接着剤により貼り付けられる。
【００１８】
偏光子２等の光学素子の方位角の設定の様子を図２、図３、図４を用いて説明する。図２は、図１（ｂ）のＡ部詳細図で、偏光子２が貼り付けられる部分２ｂは、ブロック２ａの端面に段形状に加工されており、この部分に偏光子２の縁の部分を当接した状態で沿わせて貼り付けることで、偏光子２が必要とする方位角が達成できる（ここでは、方位角０°の例を示している。）。
【００１９】
図３は、図１（ｂ）のＢ部詳細図で、１／４波長板３が貼り付けられる部分３ｂは、ブロック３ａの端面に段形状に加工されており、この部分に１／４波長板３の縁の部分を当接した状態で沿わせて貼り付けることで、１／４波長板３が必要とする方位角が達成できる（ここでは、方位角４５°の例を示している。）。
【００２０】
図４は、図１（ｂ）のＣ部詳細図で、検光子５が貼り付けられる部分５ｂは、ブロック５ａの端面に段形状に加工されており、この部分に検光子５の縁を当接した状態で沿わせて貼り付けることで検光子５が必要とする方位角が達成できる（ここでは、方位角１０°の例を示している。検光子の方位角は、ポッケルス素子の有する、ポッケルス効果の温度特性と旋光能の温度特性で決まる。）。  
以上のような構成を有する第１の実施形態に係る光電界センサ２０の作用・効果は以下のとおりである。
【００２１】
すなわち、偏光子２等の光学素子を貼り付けるブロック２ａ、３ａ、５ａは、偏光子２と、１／４波長板３と、検光子５の必要とする光学的方位角を設定できるような段形部を予め形成しているので、偏光子２等の光学素子の縁をブロック２ａ、３ａ、５ａに当接させた状態で貼り付けるだけで必要とする光学的方位角を達成できる。したがって、調整・確認作業は不要であり、作業時間は短くてすみ、位置ずれも発生しない。これにより、廉価で、精度のよい光電界センサを提供することができる。
【００２２】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係る光電界センサ２０を図５（ａ）、（ｂ）及び図６（ａ）、（ｂ）を用いて具体的に説明する。なお、上記の第１の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
【００２３】
図５（ａ）、（ｂ）に示すように、光電界センサ２０は、光を偏光子２側に出射するコリメータ１と、偏光子２と、１／４波長板３と、偏光子２と１／４波長板３とを貼り付ける単一のブロック２３ａと、ポッケルス素子４と、検光子５と、検光子５を貼り付けるブロック５ａと、光を集光するコリメータ７と、これらを配設するベース８から構成される。また、光の進行方向を曲げるプリズム６が検光子５の後に配設される。偏光子２等の光学素子を貼り付けるブロック２３ａ、５ａは、光が通過する穴のあいた端面に所定の光学的方位角を有する段形部を形成し、この段形部に当接した状態で光学素子の四隅を貼り付けるだけで、各々が必要とする光学的方位角を設定できるようになっている。
【００２４】
図６（ａ）、（ｂ）は、図５（ｂ）のブロック２３ａへの偏光子２と１／４波長板３の取り付け状態図で、図６（ａ）は１／４波長板３の取り付け状態を示す図５（ｂ）のＡ矢視図、図６（ｂ）は偏光子２の取り付け状態を示す図５（ｂ）のＢ矢視図である。ブロック２３ａにおいて、偏光子２を貼り付けるブロック２３ａの偏光子２側の端面は、段形状に加工されており、この部分に偏光子２の縁を当接した状態で沿わせて貼り付けることで偏光子２が必要とする方位角（ここでは、方位角０°の例で示している。）を達成できる。また、１／４波長板３を貼り付けるブロック２３ａの１／４波長板３側の端面も、段形状に加工されており、この部分に１／４波長板の縁を当接した状態で沿わせて貼り付けることで、１／４波長板３が必要とする方位角（ここでは、方位角４５°の例で示している。）が達成できる。
【００２５】
以上のような構成を有する第２の実施形態の光電界センサによれば、偏光子２と１／４波長板３を、同一のブロックの両面に予め形成された所定の光学的方位角を有する段形部に貼り付けるので、使用するブロックを１個減らすことができ、さらに作業性を高め、コストを下げることができ、また、光電界センサを小さくすることが可能となる。
【００２６】
（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係る光電界センサ２０を図７（ａ）、（ｂ）及び図８を用いて具体的に説明する。なお、上記の第１の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して説明する。  
図７（ａ）、（ｂ）は、第３の実施形態に係る光電界センサ２０の構成図、図８は図７（ａ）におけるＡ−Ａ矢視図で、ポッケルス素子４の取り付け状態図である。
【００２７】
図７（ａ）に示すように、光電界センサ２０は、光を偏光子２側に出射するコリメータ１と、偏光子２と、１／４波長板３と、偏光子２と１／４波長板３とを貼り付けるブロック２３ａと、ポッケルス素子４と、ポッケルス素子４を貼り付けるブロック４ａと、検光子５と、検光子５を取り付けるブロック５ａと、光を集光するコリメータ７と、これらを配設するベース８から構成される。
【００２８】
また、反射により光の進行方向を曲げるプリズム６が、検光子５の後に配設される。偏光子２等の光学素子を貼り付けるブロック２３ａ、５ａは、光が通過する穴のあいた端面に、前述した実施形態と同様にして光学素子を貼り付けるだけで各々が必要とする光学的方位角を設定できるようになっている。
【００２９】
ポッケルス素子４の取り付け状態を図８に示す。図８は、図７（ｂ）のＡ−Ａ矢視図である。本実施形態の場合、ポッケルス素子４は、その光学軸が結晶軸に対して４５°となるように直方体状に切り出されており、ブロック４ａ上の所定位置４ｂにポッケルス素子４を貼り付けることでポッケルス素子４の光学的方位角が達成されるようになっている。ポッケルス素子４を取り付けたブロック４ａは、ベース８上の所定位置４ｃに接着剤で貼り付けられる。
【００３０】
以上のような構成を有する第３の実施形態の光電界センサによれば、ポッケルス素子４をブロック４ａ上に置くことで接着面から光軸までの距離を短くでき、高価なポッケルス素子４を光学的に必要な最小寸法まで小さくすることができる。したがって、さらに、低コストの光電界センサを供給することができる。
【００３１】
（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態に係る光電界センサ２０を図９（ａ）、（ｂ）及び図１０を用いて具体的に説明する。なお、上記の第１の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
【００３２】
図９（ａ）、（ｂ）は、第４の実施形態に係る光電界センサ２０の構成図、図１０は図９（ｂ）におけるＡ−Ａ矢視図で、ポッケルス素子４の取り付け状態図である。
【００３３】
図１０に示すように、光電界センサ２０は、光を偏光子２側に出射するコリメータ１と、偏光子２と、１／４波長板３と、偏光子２と１／４波長板３とを貼り付けるブロック２３ａと、ポッケルス素子４と、ポッケルス素子４を取り付けるブロック４ａと、検光子５と、検光子５を取り付けるブロック５ａと、光を集光するコリメータ７と、これらを配設するベース８から構成される。また、反射により光の進行方向を曲げプリズム６が検光子５の後に配設される。
【００３４】
偏光子２等の光学素子を貼り付けるブロック２３ａ、５ａは、光が通過する穴のあいた端面に、前述した実施形態と同様にして光学素子を貼り付けるだけで、各々が必要とする光学的方位角を設定できるような段形部を有している。また、ポッケルス素子４を貼り付けるブロック４ａは、その上にポッケルス素子４を置くことでポッケルス素子４の光学的方位角が達成されるようになっている。
【００３５】
さらに、ベース８の形状を段形部８ｂを有する形状にしてあり、この段形部８ｂに光学を貼り付けたブロック２３ａ、５ａ、６ａの側面をベース８の底面から直角に立ち上がるように形成された段形部８ｂの側面に合わせて前記ブロックを配設するだけでアライメントが達成できる精度で加工が施されている。
【００３６】
以上のような構成を有する第４の実施形態の光電界センサによれば、ブロックの側面をベース８の段形部８ｂの側面に合わせてアライメントがとれる構造としたことで、複雑な位置決め、調整作業が不要となり、作業時間をさらに短縮することができる。したがって、さらに、コストを下げることができ、廉価な光電界センサを提供することができる。
【００３７】
（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態に係る光電界センサ２０を図１１（ａ）、（ｂ）及び図１２を用いて具体的に説明する。なお、上記の第１の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して説明する。  
図１１（ａ）、（ｂ）は、第５の実施形態に係る光電界センサ２０の構成図、図１２は図１１（ｂ）のＡ部詳細図である。
【００３８】
第５の実施形態は、第４に実施形態に係る横型変調の光電界センサ２０のポッケルス素子４としてBi12GeO20又はBi12SiO20を使用し、その両端面には、酸化インジウムからなる透明電極１４が蒸着したものを使用している。
【００３９】
以上のような構成を有する第５の実施形態の光電界センサ２０によれば、ポッケルス素子４の両端面に導電性物質である透明電極１４が蒸着されているので、等電位面１４ａが均一に分布する。この結果、ポッケルス素子４内にできる電界１４ｂは、ほとんど歪むことなく光軸に対し垂直になる。したがって、必要な強度の電界が得られ、測定の精度が低下することなく高精度の測定が可能となる。
【００４０】
（第６の実施形態）
本発明の第６の実施形態に係る光電界センサ２０を図１３（ａ）、（ｂ）及び図１４を用いて具体的に説明する。なお、上記の第１の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して説明する。  
図１３（ａ）、（ｂ）は、第６の実施形態に係る光電界センサ２０の構成図、図１４は図１３（ａ）のＡ部詳細図である。
【００４１】
第６の実施形態に係る光電界センサ２０は、光を偏光子２側に出射するコリメータ１と、偏光子２と、１／４波長板３と、偏光子２と１／４波長板３とを貼り付けるブロック２３ａと、ポッケルス素子４と、ポッケルス素子４を取り付けるブロック４ａと、検光子５と、検光子５を取り付けるブロック５ａと、光を集光するコリメータ８と、これらを配設するベース８から構成される。また、光の進行方向を曲げプリズム６ａ，６ｂが、偏光子２の前と検光子５の後に各々配設される。
【００４２】
光学素子を貼り付けるブロック２３ａ、５ａは、前述の実施形態同様、光が通過する穴のあいた端面に、光学素子を貼り付けるだけで必要とする光学的方位角を各々設定できるようになっている。また、反射によりポッケルス素子を貼り付けるブロック４ａは、その上にポッケルス素子を置くことでポッケルス素子の光学的方位角が達成されるようになっている。
【００４３】
さらに、ベース８の形状を段形状にしてあり、この部分に光学素子を貼り付けたブロック２３ａ、４ａ、５ａの側面をベース８の段形状の側面に合わせて前記ブロックを配設するだけでアライメントが達成できる精度で加工が施されている。
【００４４】
本実施形態の場合、横型変調の電界センサであるため、電界は、光軸に対し垂直となる。さらに、ポッケルス素子４としてBi4Ge3O12、Bi4Si3O12又はLiNbO3を使用し、光軸と平行な２面には、金からなる電極１５の膜が蒸着してある。
【００４５】
以上のような構成を有する第６の実施形態の光電界センサ２０によれば、ポッケルス素子４内の光軸に対し平行な２つの面には金電極１５が蒸着されているので、等電位面１４ａが均一に分布する。この結果、ポッケルス素子４内にできる電界１４ｂは、ほとんど歪むことなく光軸に対し平行になる。したがって、必要な強度の電界が得られ、測定の精度が低下することなく高精度の測定が可能である。
【００４６】
（第７の実施の形態）
本発明の第７の実施形態に係る光電界センサ２０を図１５（ａ）、（ｂ）を用いて具体的に説明する。なお、上記の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
図１５（ａ）、（ｂ）は、第６の実施形態に係る光電界センサ２０の構成図である。
【００４７】
第７の実施形態に係る光電界センサ２０は、第５の実施形態に記載の光学部を取り付いたベース８が、カバー１３に収納され、ベース８とカバー１３は、半田１６にて接合され、カバー１３内に最低使用温度以下の露点の窒素ガスが封入されている。さらに、ブロック２３ａ、４ａ、５ａ、ベース８、カバー１３は、含水率０％の絶縁材料である機械加工が可能なセラミックスで構成される。
【００４８】
以上のような構成を有する第７の実施形態の光電界センサ２０によれば、ベース８とカバー１３を半田１６、すなわち金属によって接合するため透湿率が０にすることができる。また、密着性がよいので、経年的にシール性能が低下することがない。
【００４９】
したがって密封された内部の水分量は増えない。また、初期に封入した窒素ガスの露点が最低周囲温度より露天が低いので最低周囲温度で使用しても結露、氷結はない。したがって、長期間使用において最低周囲温度まで温度が低下しても結露、氷結し、測定不能に陥ることは決してなく、高い信頼性が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明の第１の実施形態に係る光電界センサの構成図。
【図２】図１（ｂ）におけるＡ部詳細図で、偏光子の貼り付け状態図。
【図３】図１（ｂ）におけるＢ部詳細図で、１／４波長板の貼り付け状態図。
【図４】図１（ｂ）におけるＣ部詳細図で、検光子の貼り付けの状態図。
【図５】（ａ）、（ｂ）は本発明の第２の実施形態に係る光電界センサの構成図。
【図６】（ａ）、（ｂ）は、図５（ｂ）のＡ及びＢ矢視図で、偏光子及び１／４波長板の貼り付け状態図。
【図７】（ａ）、（ｂ）は本発明の第３の実施形態に係る光電界センサの構成図。
【図８】図６（ｂ）のＡ−Ａ矢視図で、ポッケルス素子の貼り付け状態図。
【図９】（ａ）、（ｂ）は本発明に係る第４の実施形態に係る光電界センサの構成図。
【図１０】図８（ｂ）におけるＡ−Ａ矢視図で、偏光子を貼り付けたブロックの取り付け状態図。
【図１１】（ａ）、（ｂ）は本発明に係る第５の実施形態に係る光電界センサの構成図。
【図１２】図１０（ｂ）のＡ部詳細図。
【図１３】（ａ）、（ｂ）は本発明の第６の実施形態に係る光電界センサの構成図。
【図１４】図１２（ａ）のＡ部詳細図。
【図１５】（ａ）、（ｂ）は本発明の第７の実施形態に係る光電界センサの構成図。
【図１６】（ａ）、（ｂ）は従来の光電界センサの構成図。
【図１７】図１６（ｂ）におけるＡ−Ａ矢視図で、偏光子の貼り付け状態図。
【図１８】図１６（ｂ）におけるＢ−Ｂ矢視図で、１／４波長板の貼り付け状態図。
【図１９】送変電機器に、光電界センサを取り付けたときの接続図。
【符号の説明】
【００５１】
１…コリメータ、２…偏光子、２ａ…ブロック（偏光子用）、２３ａ…ブロック（偏光子と１／４波長板用）、３…１／４波長板、３ａ…ブロック（１／４波長板用）、４…ポッケルス素子、４ａ…ブロック（ポッケルス素子用）、５…検光子、５ａ…ブロック（検光子用）、６…プリズム、７…コリメータ、８…ベース、８ａ…貼り付け部、８ｂ…ベース８の段形部、９…光源、１０…信号処理器、１１，１２…光ファイバ、１３…カバー、１４…透明電極、１５…金電極、１６…半田、１７…窒素ガス、１８…接着剤（エポキシ系）、２０…光電界センサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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