(57)【要約】【課題】ガラス板表面への洗浄液の飛散を防止しつつ、ガラス粉の如き端面に強力に付着した異物を確実に除去する。【解決手段】ガラス板端面洗浄装置１は、ガラス板２の端面２ａに回転を伴って当接させ、端面２ａの洗浄を行う洗浄ローラ３と、洗浄ローラ３を端面２ａに当接可能に移動させる移動手段と、洗浄液を供給する洗浄液供給手段５とを備えており、洗浄ローラ３はその外周にスポンジ部９を有し、移動手段により端面２ａに密着可能に移動するように構成されている。また、洗浄液供給手段５は、洗浄液をスポンジ部９に向けて供給可能に配設されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板の端面に回転を伴って当接させ、該端面の洗浄を行う洗浄ローラと、該洗浄ローラを前記端面に当接可能に移動させる移動手段と、洗浄液を供給する洗浄液供給手段とを備えたガラス板端面洗浄装置において、
前記洗浄ローラはその外周にスポンジ部を有し、前記移動手段により前記端面に密着可能とされ、かつ、前記洗浄液供給手段は、前記洗浄液を前記スポンジ部に供給可能に配設されていることを特徴とするガラス板端面洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄液供給手段はノズル部を有し、該ノズル部から前記洗浄液を前記スポンジ部に向けて供給するように配設されている請求項１に記載のガラス板端面洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄ローラの回転方向に倣う向きに前記洗浄液が供給されるように構成されている請求項１又は２に記載のガラス板端面洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄ローラの回転時、前記スポンジ部の前記端面と当接する直前の部位に前記洗浄液が供給されるように構成されている請求項１〜３の何れかに記載のガラス板端面洗浄装置。
【請求項５】
前記ガラス板の送り方向に順じる向きに前記洗浄ローラが回転するように構成されている請求項１〜４の何れかに記載のガラス板端面洗浄装置。
【請求項６】
前記ガラス板が縦置きされると共に、その鉛直下方に位置する前記端面が前記洗浄ローラと当接するように構成されている請求項１〜５の何れかに記載のガラス板端面洗浄装置。
【請求項７】
前記スポンジ部は単泡スポンジからなる請求項１に記載のガラス板端面洗浄装置。
【請求項８】
洗浄液供給手段から洗浄液を供給しつつ、回転状態の洗浄ローラをガラス板の端面に当接させ、該端面の洗浄を行うガラス板端面の洗浄方法において、
前記洗浄ローラの外周をスポンジ部とし、かつ、該スポンジ部に前記洗浄液を供給しながら、前記スポンジ部を前記端面に密着させることを特徴とするガラス板端面の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の端面洗浄装置およびその洗浄方法に関し、詳しくは、ガラス板の研磨加工が施された端面を洗浄する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイなどの各種画像表示機器の製作に際しては、大型のガラス基板に対して複数の表示素子を形成した後に、各表示素子の区画ごとに分割する、いわゆる多面取りという手法が採用されるに至っている。そのため、ガラスメーカー等で製造されるガラス基板の大型化が推進されている現状がある。
【０００３】
これらのガラス基板は、成形後の素材ガラスを矩形状かつ所定の大きさに切断した後、その切断端面に対して研磨加工を施し、然る後、当該ガラス基板の表裏面を清浄な面とするための洗浄処理および乾燥処理を施すことにより最終製品として得られる。なお、上記研磨加工の際、切断端面の角部が欠けたり、搬送時に隣接する他のガラス基板を傷付けたりする事態を回避すべく、当該切断端面に対して面取り加工を研磨加工と併せて実施する場合もある。
【０００４】
また、各種画像表示機器用の素板ガラスの表面に電子機能素子が形成される場合、高い清浄度だけでなく、基板端面に付着したガラス粉を確実に除去することが要求される。すなわち、複数枚のガラスパネルを形成した後、個々のパネルに分断する場合、端面の研磨により発生するガラス粉がデバイス作製工程中、何らかの事由で基板表面に再付着することがある。この種の異物が基板表面に付着すると当該表面を汚染し、基板表面の傷あるいは配線の断線等の原因となるおそれがある。以上の理由から、基板端面に付着したガラス粉等の異物を確実に除去する必要が生じる。
【０００５】
例えば、下記特許文献１には、ガラス板の研磨された端面の微小凹部内に存する異物を掻き出すために必要な噴射圧力であって且つガラス基板を損傷させない噴射圧力で、その端面に対して洗浄用液体を噴射する液体噴射手段を備えたガラス基板洗浄装置が開示されている。
【０００６】
また、下記特許文献２には、フォトマスク等の基板端面を洗浄するための装置として、スクラブ用ブラシの軸方向が、基板の端面に対して直角に配置されている基板端面洗浄装置が開示されている。また、同文献には、基板端面の洗浄中、基板リンス用シャワーノズルより洗浄剤が基板表裏面にシャワー状に噴射されており、スクラブ用ブラシにより基板端面から除去された汚染物質が即座に洗い流されるように構成されている旨が記載されている。
【０００７】
また、下記特許文献３には、洗浄装置本体内に設けた洗浄室内に、開口部を介して基板の一部を収容すると共に、洗浄室に回転自在に設けられたブラシを収容した基板の端面に接触させることで基板端面を洗浄する基板端面洗浄装置が開示されている。また、同文献には、洗浄室内に収容された基板の端面に対して上部と下部から洗浄液を供給する旨が記載されている。
【０００８】
さらに、下記特許文献４には、ガラス基板の端面に残るカラーフォトレジストの残膜を機械的に洗浄することの可能な洗浄装置が開示されている。すなわち、同文献には、所定の位置に固定されたガラス基板の端面に対して、円筒状のスポンジの外周面を接触させながら回転させることで端面洗浄を行うガラス端面洗浄装置が開示されている。また、同文献には、ガラス基板の端面が非常に平坦で滑らかである場合を除き、スポンジローラによる物理的研磨に加えて、薬液による化学的溶解剥離を行う旨が記載されている。
【特許文献１】特開２００６−２２５１８９号公報
【特許文献２】特開２００２−４９１４４号公報
【特許文献３】特開２００３−１９７５９２号公報
【特許文献４】特開平５−２６５１９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、ガラス基板の研磨加工後の端面は擦りガラス状の外観を有し、当該外観部分には多数のガラス粉が埋設される形で付着している。この種のガラス粉は研磨後の端面に強く付着しているのが通常であるから、上記特許文献１に開示の如く洗浄液を噴射したとしても、実際にガラス粉を除去することは困難である。また、上記特許文献２や３に開示の如くブラシを用いて端面を洗浄する場合、ブラシでは掻き取り切れない領域が生じるため基板端面の全域を漏れなく洗浄することができないおそれがある。特に、基板端面に対して面取り加工を施す場合など、端面が曲面形状をなす場合にかかる傾向は顕著となる。
【００１０】
あるいは、洗浄液の飛散を考慮した場合、上記特許文献１〜３の如く洗浄液の噴射やブラシを用いた洗浄では、ガラス基板の表面ないし端面に直接洗浄液を吹付けるため洗浄液が跳ね返り等により飛散し易い。これでは飛散した洗浄液に含まれるガラス粉がガラス基板の表面に再付着することになるため、ガラス表面の汚染が懸念される。
【００１１】
上記特許文献４に開示の洗浄装置は、円筒状のスポンジローラを接触させながら回転させることで基板端面の洗浄を行うものであるが、この洗浄装置は、ガラス基板の端面に残るカラーフォトレジストの残膜を機械的に洗浄することを目的とするものであり、ガラス基板の端面に強力に付着した異物の除去を考慮したものではない。また、同文献には、ガラス基板の端面が非常に平坦で滑らかである場合を除き、スポンジローラによる物理的研磨に加えて、薬液による化学的溶解剥離を行う旨が記載されている一方、洗浄液に関する何らの記載もしくは示唆もなされていない。これらの点から、スポンジローラは薬液の外周への滲み出しを生じるために採用したに過ぎない。しかし、除去すべき異物がガラス粉のように基板と同材料である場合には、薬液による化学的除去手段を採用できない。そのため、上記洗浄装置では、ガラス粉の如く端面に強力に付着した異物を除去することは難しい。
【００１２】
以上の事情に鑑み、本発明では、ガラス板表面への洗浄液の飛散を防止しつつ、ガラス粉の如き端面に強力に付着した異物を確実に除去することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記課題の解決は、本発明の一の側面に係るガラス板端面洗浄装置により達成される。すなわち、この端面洗浄装置は、ガラス板の端面に回転を伴って当接させ、端面の洗浄を行う洗浄ローラと、洗浄ローラを端面に当接可能に移動させる移動手段と、洗浄液を供給する洗浄液供給手段とを備えたガラス板端面洗浄装置において、洗浄ローラはその外周にスポンジ部を有し、移動手段により端面に密着可能とされ、かつ、洗浄液供給手段は、洗浄液をスポンジ部に供給可能に配設されている点をもって特徴づけられる。
【００１４】
上述の構成によれば、洗浄ローラを回転させながらその外周に設けたスポンジ部をガラス板の端面に密着させることで、当該端面に付着した異物をその端面全域にわたって密着状態のスポンジ部で掻き取ることができる。そのため、端面に強固に付着したガラス粉等の異物であっても確実に除去することができる。また、面取り加工を施した端面であっても、スポンジ部を密着させることでその全面に付着した異物をくまなく除去することができる。また、スポンジ部に供給された洗浄液はスポンジ部で吸収され、洗浄ローラとガラス板の端面との当接部にまで運搬される。これにより、洗浄液を直接的に端面との当接部に供給でき、かつ、洗浄液を供給した状態で密着させたスポンジ部により端面に付着したガラス粉を除去することができる。このようにすれば、必要箇所に洗浄液を確実に供給でき洗浄効率が高まるので、洗浄液の使用量を小さく抑えることができ、洗浄液の飛散を抑制することができる。また、スポンジ部に供給された洗浄液の跳ね返りを抑えられることによっても飛散が抑制される。
【００１５】
また、スポンジ部に供給された洗浄液の跳ね返りが抑制される点から、洗浄液供給手段はノズル部を有し、ノズル部から洗浄液をスポンジ部に向けて供給するように配設されるようにしてもよい。洗浄液をノズル部から供給すると共に、スポンジ部に向けて供給することで、洗浄液をガラス板へ向けて供給せずに済むので、洗浄液の跳ね返りが可及的に抑えられる。また、必要箇所のみに洗浄液を供給できるので洗浄液の供給効率が高まる。そのため、使用する洗浄液は最小限の量で済み、これによっても洗浄液の飛散を抑えることが可能となる。
【００１６】
ここで、洗浄ローラの回転方向に倣う向きに洗浄液が供給されるように構成することもできる。このように洗浄液の供給方向を定めることで、洗浄液が洗浄ローラと正面から衝突する割合を減じることができる。そのため、当該ローラとの衝撃を和らげて、この衝突による洗浄液の飛散を極力抑えることができる。
【００１７】
また、上述の如く洗浄液をスポンジ部に供給する場合、例えば洗浄ローラの回転時、スポンジ部のガラス板端面と当接する直前の部位に洗浄液が供給されるように構成してもよい。上記部位に洗浄液を供給することで、一旦スポンジ部に吸収された洗浄液を、洗浄ローラの回転遠心力により当該ローラの半径方向外側になるべく飛散させることなく、ガラス板端面との当接部に供給することができる。
【００１８】
また、ガラス板の送り方向に順じる向きに洗浄ローラが回転するように構成してもよい。このようにすることで、当接部における洗浄液の飛散を抑えることができる。一方、ガラス板の送り方向に逆らう向きに洗浄ローラを回転させると、洗浄ローラの相対周速は大きくなり洗浄効果は高まるものの、洗浄液は飛散し易くなる。そのため、ガラス板表面に向けた洗浄液の飛散を抑制する観点からは、ガラス板と洗浄ローラとの相対移動速度を低く設定する、すなわち、ここではガラス板を搬送する向きに洗浄ローラを回転させるようにするのがよい。
【００１９】
また、上記同様、ガラス板表面に向けて洗浄液が飛散するのを防止する観点から、ガラス板が縦置きされると共に、その鉛直下方に位置する端面が洗浄ローラと当接するように上記洗浄装置を構成してもよい。これによれば、洗浄液が自重によりガラス板端面から遠ざかる向きに流動し易くなるので、ガラス板表面へ飛散する可能性のある洗浄液の量を低減することができる。また、以上の構成を組合せによれば、洗浄液の供給量が最小限に抑えられつつ、供給された洗浄液の跳ね返りも極力小さくなるため、洗浄液の飛散抑制効果はさらに高まる。
【００２０】
ここで、洗浄ローラの外周に設けたスポンジ部には、スポンジ構造、言い換えると多孔質ないし海綿構造を有し、ガラス板端面に弾性的に密着可能な限りにおいて、種々の材料を採用することができる。ここで、スポンジ部の材料に、例えば連泡スポンジを使用することもできるが、この種のスポンジは内部気孔同士がつながった構造を有するため、洗浄液を過剰に含み、必要以上の量の洗浄液がガラス板端面に供給されることになる。また、多くの洗浄液を含んだスポンジ部（洗浄ローラ）を回転させると遠心力で外径側に洗浄液が飛散し易くなるため、洗浄ローラの回転速度を抑えて洗浄を行う必要が生じ、端面の洗浄効果が低下するおそれがある。これに対して、単泡スポンジをスポンジ部の材料に採用すれば、スポンジ部の表層のみの気孔部に洗浄液が含まれることになるため、適度な密着状態となるまでスポンジ部を端面に押し付けた場合であっても、適量の洗浄液を当接部に供給することができる。また、洗浄ローラを比較的高速に回転させることができ、これにより端面の洗浄効果を高めることができる。
【００２１】
一方、前記課題の解決は、本発明一の側面に係るガラス板端面の洗浄方法によっても達成される。すなわち、この端面の洗浄方法は、洗浄液供給手段から洗浄液を供給しつつ、回転状態の洗浄ローラをガラス板の端面に当接させ、端面の洗浄を行うガラス板端面の洗浄方法において、洗浄ローラの外周をスポンジ部とし、かつ、スポンジ部に洗浄液を供給しながら、スポンジ部を端面に密着させる点をもって特徴づけられる。
【００２２】
このような方法によれば、既に述べた本発明の一の側面に係るガラス板端面洗浄装置についての事項と、同一の事項が当てはまり、故に上記洗浄装置による作用効果と同一の作用効果を得ることができる。
【発明の効果】
【００２３】
以上のように、本発明に係るガラス板端面洗浄装置およびその洗浄方法によれば、ガラス板表面への洗浄液の飛散を防止しつつ、ガラス粉の如き端面に強力に付着した異物を確実に除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。
【００２５】
まず、図１に示す正面図に基づいて、本発明の一実施形態に係るガラス板端面洗浄装置の全体構成を説明する。なお、本実施形態では、プラズマディスプレイ用のガラス基板の研磨後の端面を洗浄する場合を例にとって説明する。
【００２６】
同図に示すように、ガラス基板の端面洗浄装置１は、成形後の素板ガラスから切り出されたガラス基板２の、研磨加工が施された端面２ａを洗浄するための装置であり、ここでは縦置き姿勢で所定の方向に搬送されるガラス基板２の鉛直下方に配設される。この端面洗浄装置１は、ガラス基板２の下側の端面２ａに当接しかつ回転することでこの端面２ａを洗浄する洗浄ローラ３と、洗浄ローラ３とガラス基板２との当接部（洗浄箇所）４を基準として洗浄ローラ３の回転方向後方側（図１でいえば、当接部４よりも右側領域）に配設される洗浄液供給ノズル５と、洗浄ローラ３および洗浄液供給ノズル５を収容するケーシング６、および、洗浄液のガラス基板２表面への飛散を防止するための飛散防止カバー７とを主として備える。また、ガラス基板２の下側の一部は、ケーシング６の上端に設けた開口部６ａを介してケーシング６内に挿通でき、かつ、挿通したガラス基板２の下側の端面２ａを洗浄ローラ３の外周面と当接できるように構成されている。また、ケーシング６の下方には、洗浄液供給ノズル５から供給されて端面２ａの洗浄に使用された洗浄液をケーシング６外に排出し、回収するための排出管８が取り付けられている。
【００２７】
洗浄ローラ３は、ガラス基板２の平面に直交する軸と平行な軸まわりに回転し、かつ、ガラス基板２の端面２ａと近接もしくは離間可能に移動するように構成されている。また、洗浄ローラ３の回転方向は、ガラス基板２の洗浄箇所（当接部４）においてガラス基板２の搬送方向と同一の方向（図１中、反時計回りの方向）とされている。言い換えると、ガラス基板２の送り方向に順じる向きに洗浄ローラ３が回転するように構成されている。
【００２８】
洗浄ローラ３はその外周にスポンジ部９を有しており、スポンジ部９の外周面９ａで洗浄ローラ３の外周面、すなわち、端面２ａの洗浄面を構成している。スポンジ部９は、例えば環状をなし、その両端面側に配した固定用円盤で挟持することで、これら固定用円盤と一体的に固定される。ここでは、適当な固定ボルトにより、固定用円盤をスポンジ部９に挟持固定するようにしている。また、スポンジ部９の材質、構造は、スポンジ構造を有し、ガラス基板２の端面２ａに弾性的に密着可能な限りにおいて任意であり、ここでは、ウレタン製の単泡スポンジが使用される。材質についても樹脂に限らず、ゴムなどを使用することもできる。なお、洗浄ローラ３の外周面９ａは、面取り加工を施したガラス基板２の端面２ａと密着させ易いように、例えば図２に示すように、略凹円弧状の断面輪郭形状としておいてもよい。
【００２９】
洗浄ローラ３の一端面側（例えば図２中右側）には、図示は省略するが、移動手段が設けられており、連結部１０を介して洗浄ローラ３と連結されている。ここで、移動手段は、上下方向移動機構や軸心方向移動機構を有しており、連結部１０を介して移動手段に連結された洗浄ローラ３を鉛直上下方向（図１および図２中上下方向）、ないし、洗浄ローラ３の軸心方向（図１中紙面表裏方向、図２中左右方向）に移動できるようになっている。また、洗浄ローラ３の回転用モータは移動手段と同じ側に配置され、回転用モータの回転軸が連結部１０と同軸に接続されている。従い、回転用モータの駆動回転に伴い連結部１０および洗浄ローラ３が一体的に回転する。なお、移動手段と同じく図示は省略するが、環状のスポンジ部９が回転遠心力で外径側に広がり、あるいは偏心するのを抑えるため、スポンジ部９を軸方向に貫通する固定用のピンを、一対の上記固定用円盤の間に同心円状かつ等間隔に配置するようにしてもよい。
【００３０】
洗浄液供給ノズル５は、ガラス基板２と洗浄ローラ３との当接部４を基準として、洗浄ローラ３の回転方向後方側から洗浄ローラ３に向けて洗浄液（例えば水など）を供給するように、ケーシング６に取り付けられている。具体的には、洗浄ローラ３のうち、回転状態において端面２ａと当接部４にて当接する直前の部位、図１でいえば、当接部４から時計回りに若干量進んだ位置に向けて洗浄液が供給されるようになっている。また、洗浄液の供給方向が上記供給位置における洗浄ローラ３の回転方向に倣った向きとなるように、洗浄液供給ノズル５が配設されている。具体的には、上記供給位置における洗浄ローラ３の周速ベクトルとのなす角が少なくとも鋭角となるような向きに洗浄液が噴射供給されるようになっている。
【００３１】
飛散防止カバー７は、図１に示すように、長手方向に沿って湾曲状、例えば略円弧状に形成された部分を有しており、この円弧状部が当接部４を含む洗浄ローラ３のガラス基板２側の周囲を包囲するように配置されている。また、飛散防止カバー７にはスリット状の開口部７ａが形成されており、この開口部７ａにガラス基板２の一部を水平方向から挿通し、挿通部分の端面２ａを洗浄ローラ３に当接できるようになっている。
【００３２】
以下、上記構成の洗浄装置を用いたガラス基板の洗浄方法について説明する。
【００３３】
まず、ガラス基板２が縦置き状態でガラス板端面洗浄装置１内の所定位置に搬送されると共に、待機位置（図１および図２中、２点鎖線で示す位置）にあった洗浄ローラ３を上昇させ、洗浄ローラ３をガラス基板２の端面２ａに当接させる（図１および図２中、実線で示す位置）。この際、洗浄ローラ３を、図１で示す方向に回転させた状態で端面２ａに当接させる。また、図２に示すように、洗浄ローラ３のスポンジ部９が端面２ａに密着する位置まで洗浄ローラ３を上昇させることで、洗浄ローラ３の外周面９ａが端面２ａの形状に倣った形状に変形して当接した状態となる（図２中、実線で示す形状）。かつ、上記動作に対応して、洗浄液供給ノズル５より洗浄液を洗浄ローラ３の上記所定位置に向けて噴射供給することで、供給された洗浄液はスポンジ部９に吸収されると共に、スポンジ部９で吸収された洗浄液は洗浄ローラ３とガラス基板２との当接部４にまで運搬される。従い、洗浄液が直接的に端面２ａとの当接部４に供給され、端面２ａの洗浄、異物の除去が円滑かつ効果的に行われる。このようにして端面２ａの全長にわたって洗浄ローラ３を密着させて洗浄を行うことで、端面２ａに付着した異物、特に端面２ａに強力に付着した状態のガラス粉が確実に除去される。
【００３４】
また、上述の態様にて洗浄液を当接部４に供給することで、必要箇所のみに洗浄液が供給されることとなり、使用する洗浄液は必要最小限の量で済む。また、洗浄液をガラス基板２に向けて供給せず、洗浄ローラ３のスポンジ部９に向けてのみ供給することで洗浄液の跳ね返り等が抑えられる。加えて、当接部４を、飛散防止カバー７によって包囲するようにしているため、ガラス基板２の表面への洗浄液の飛散は飛散防止カバー７により遮断される。また、図１に示すように、飛散防止カバー７を、当接部４の周囲を包囲する形状としているので、当接部４の周辺から飛散した洗浄液は、飛散防止カバー７の内側面に沿って流動し、ガラス基板２の端面２ａから離れる方向に誘導される。そして、ケーシング６の内壁に沿って流れ、下方に設けた排出管８を通じて外部に排出され、回収される。上記の作用は、ガラス基板２を縦置きした状態で搬送する形態を採ることにより一層効果的に得られる。
【００３５】
なお、上記構成を有するガラス板端面洗浄装置１を用いた洗浄実験では、基板端面に付着したガラス粉を、端面の洗浄前と比べて９０％以上除去することが確かめられた。この際、ガラス粉の除去の程度は、ガラス基板端面の一部を拡大してモニターに映し出し、当該画像に表示される領域内に占めるガラス粉の面積の割合を画像処理により算出し、洗浄の前後で当該面積を比較することにより行った。
【００３６】
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明に係るガラス板端面洗浄装置もしくはその洗浄方法は、本発明の範囲内において任意に変更が可能である。
【００３７】
上記実施形態では、洗浄ローラ３を、スポンジ部９が端面２ａに密着する位置まで上昇させるようにしたが、この際、端面２ａの洗浄効率を考慮して、適当な押し付け圧となるように調整することも可能である。すなわち、スポンジ部９の密着変形に必要な押し付け圧を超えるようにしても問題ない。
【００３８】
また、洗浄ローラ３をガラス基板２の厚み方向に移動させて端面２ａの洗浄を行うようにしてもよい。すなわち、上記移動手段のうち、洗浄ローラ３の軸心方向移動機構により、連結部１０を介して移動手段に連結された洗浄ローラ３をその軸心方向（図１中紙面表裏方向、図２中左右方向）に移動させるようにしてもよい。このように、端面２ａに直接当接する部分を軸心方向にずらしながら洗浄を行うことで、スポンジ部９が継続使用により摩耗する場合でも、その厚み方向に均等に摩耗することになる。そのため。端面２ａの洗浄ムラが抑制されると共に、スポンジ部９の寿命も向上する。なお、軸心方向への移動は、洗浄中ではなく当該作業間に行うのがよい。
【００３９】
また、上記実施形態では、必要最小限の洗浄液でもって端面２ａを洗浄する構成を採ることにより、ガラス基板２表面への洗浄液の飛散が効果的に抑制ないし防止するようにしたが、さらに確実を期すため、ケーシング６や飛散防止カバー７などの遮蔽手段に加え、ケーシング６の開口部６ａにいわゆるウォーターカーテンを設け、あるいは、ケーシング６内を排気する装置を設ける等の手段を講じることも可能である。
【００４０】
例えば、図１に示すようにケーシング６を設ける場合、ケーシング６の開口部６ａ側の端面にカーテン状の洗浄液（例えば水など）を供給するための遮蔽用洗浄液供給ノズルを配設するようにしてもよい。この際、ケーシング６の開口部６ａ側からガラス基板２の端面２ａ側に向けて斜方向にカーテン状の洗浄液を供給することで、開口部６ａにおけるケーシング６とガラス基板２との隙間がカーテン状の洗浄液で遮蔽される。これにより、洗浄液のガラス基板２表裏面への漏れ出しが効果的に防止される。この遮蔽用洗浄液供給ノズルは、例えば、飛散防止カバー７の開口部７ａとガラス基板２との間の隙間にウォーターカーテンを形成するように配設してもよい。また、その配設位置も特に限定されない。
【００４１】
また、ケーシング６に排気口を設け、適当な排気装置によりケーシング６内の排気を行うことで、ケーシング６内部を負圧にして、もしくは、開口部６ａにおけるガラス基板２との隙間を介して外気をケーシング６内部に導入するようにして当該隙間にいわゆるエアナイフ（エアカーテン）を形成するようにしてもよい。
【００４２】
なお、ガラス基板２を縦置きにした状態で洗浄する場合、飛散防止カバー７や遮蔽用洗浄液供給ノズル等をガラス基板２の上下両面側に配設するのが好ましいが、横置きの状態で洗浄する場合、必ずしも両面側に配置する必要はなく、例えばガラス基板２の上面側にのみ飛散防止カバー７や遮蔽用洗浄液供給ノズルを配設してもよい。
【００４３】
また、以上の説明に係るガラス基板の端面洗浄装置１は、素板ガラスから切り出されたガラス基板２の４辺に係る端面全てを研削する場合、例えば、ガラス基板２の搬送ラインの上流側から下流側にかけて４台を並べて配設するようにしてもよい。この場合、ガラス基板２はその下方に位置する端面を４辺全てに変更できるよう適当な回転ないし反転機構を備えた搬送手段により搬送される。
【００４４】
以上、本発明をプラズマディスプレイ用のガラス基板の端面の洗浄工程に適用する場合を例にとって説明したが、本発明に係るガラス板端面洗浄装置およびその洗浄方法は、プラズマディスプレイ用のガラス基板の他に、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等の各種画像表示機器用のガラス基板や、各種電子表示機能素子や薄膜を形成するための基材として用いられるガラス基板のように、端面だけでなくその表面にも高い面精度並びに清浄度が要求されるガラス板の端面を洗浄するに際して好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施形態に係るガラス板端面洗浄装置の正面図である。
【図２】図１に示すガラス板端面洗浄装置の要部Ａ−Ａ断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１      ガラス板端面洗浄装置
２      ガラス基板
２ａ    端面
３      洗浄ローラ
４      当接部
５      洗浄液供給ノズル
６      ケーシング
６ａ    開口部
７      飛散防止カバー
９      スポンジ部
９ａ    外周面
【図１】
2009233547.tif 000003
【図２】
2009233547.tif 000004