(57)【要約】【課題】基板の情報記録面が損傷することを抑制しつつ規格の要求に適合させることが可能なリテーナ付き基板を製造する基板貼り合わせ装置を提供すること。【解決手段】基板貼り合わせ装置１は、基板Ｄが載置される載置台１１と、基板Ｄよりも小さい板状のリテーナＲを吸引保持する吸引保持具２１と、載置された基板Ｄと吸引保持されたリテーナＲとが接着剤を介して接続するように載置台１１と吸引保持具とを接近させる移動装置１３ｍと、基板Ｄを載置台１１から離れないように押さえる押さえ具とを備える。基板貼り合わせ装置１によれば、吸引保持されない基板Ｄの情報記録面の損傷を抑制することができる。また、押さえ具により基板が接着剤を介してリテーナ側に引き寄せられて載置台から離れることを防ぎながらリテーナを基板に貼り付けることができる。【選択図】図１
2009283045.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の基板が載置される載置台と；
前記基板よりも小さい板状のリテーナを、前記載置台に載置された前記基板を挟んで前記載置台とは反対側で吸引保持する吸引保持具と；
前記載置台に載置された前記基板と前記吸引保持具に吸引保持された前記リテーナとが接着剤を介して接続するように前記載置台と前記吸引保持具とを接近させる移動装置と；
前記載置台に載置された前記基板を前記載置台から離れないように押さえる押さえ具とを備える；
基板貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記押さえ具が、前記吸引保持具に弾性体を介して取り付けられ、前記移動装置の作動により前記基板と前記リテーナとが前記接着剤を介して接触する前に前記基板に接触し、前記基板と前記リテーナとが前記接着剤を介して接触したときに前記弾性体の復元力で前記基板を前記載置台に押さえるように構成された；
請求項１に記載の基板貼り合わせ装置。
【請求項３】
前記接着剤が、所定の波長の電磁波が照射されることにより所定の接着強度で硬化するように構成され；
前記接着剤を介して接続された前記基板と前記リテーナとの間の前記接着剤に、前記基板側から前記所定の波長の電磁波を照射する照射器をさらに備える；
請求項１又は請求項２に記載の基板貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板貼り合わせ装置に関し、特に基板の情報記録面とは反対側の面に基板よりも小さいリテーナを貼り付ける基板貼り合わせ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光ディスクを製造する光ディスク基板の貼り合わせ装置として、２枚の光ディスク基板をそれぞれ吸引保持し、吸引保持していない面同士を接着剤で貼り合わせるものがある（例えば、特許文献１参照。）。この装置で製造される光ディスクは、同じ大きさの２枚の光ディスク基板のそれぞれ情報記録面同士が貼り合わせられる。したがって、製造時には、光ディスク基板の貼り合わせ装置によって、情報記録面ではない側の面が吸引保持されることとなる。
【０００３】
他方、上記とは異なる光ディスクとして、１枚の光ディスク基板の情報記録面とは反対側の面にリテーナを貼り付けたものがある（例えば、特許文献２参照。）。この光ディスクは、リテーナが貼り付けられていない面が情報記録面となっており、光ディスク基板とリテーナとを含む厚さが所定の寸法に収まるようにすることが規格で定められている。
【特許文献１】特開２００２−２５１８０４号公報（段落００１４、図１等）
【特許文献２】米国特許出願公開第２００６／００４８１６７号明細書（段落００８６−００９４、Ｆｉｇ．１６−Ｆｉｇ．１９Ｃ等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献２に記載されている光ディスクを特許文献１に記載されている貼り合わせ装置で製造しようとすると、光ディスク基板の情報記録面を吸引保持することとなってしまい、基板の情報記録面に損傷を与えるおそれがある。
【０００５】
本発明は上述の課題に鑑み、情報記録面が損傷することを抑制しつつ規格の要求に適合させることが可能なリテーナ付き基板を製造する基板貼り合わせ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の第１の態様に係る基板貼り合わせ装置は、例えば図１及び図２に示すように、板状の基板Ｄが載置される載置台１１と；基板Ｄよりも小さい板状のリテーナＲを、載置台１１に載置された基板Ｄを挟んで載置台１１とは反対側で吸引保持する吸引保持具２１（図２参照）と；載置台１１に載置された基板Ｄと吸引保持具２１に吸引保持されたリテーナＲとが接着剤を介して接続するように載置台１１と吸引保持具２１とを接近させる移動装置１３ｍと；載置台１１に載置された基板Ｄを載置台１１から離れないように押さえる押さえ具２５（図２参照）とを備える。
【０００７】
このように構成すると、基板が載置される載置台を備えるので、基板を吸引保持する場合に比べて基板の載置台側の面の損傷を抑制することができる。また、載置台に載置された基板を載置台から離れないように押さえる押さえ具を備えるので、載置台に載置されている（吸引保持されていない）基板が接着剤を介してリテーナ側に引き寄せられることにより載置台から離れることを防ぎながらリテーナを基板に貼り付けることができる。これにより、規格の要求に適合するようにリテーナを基板に貼り付けることが可能となる。
【０００８】
また、本発明の第２の態様に係る基板貼り合わせ装置は、例えば図２に示すように、上記本発明の第１の態様に係る基板貼り合わせ装置において、押さえ具２５が、吸引保持具２１に弾性体２６を介して取り付けられ、移動装置１３ｍ（例えば図１参照）の作動により基板ＤとリテーナＲとが接着剤を介して接触する前に基板Ｄに接触し、基板ＤとリテーナＲとが接着剤を介して接触したときに弾性体２６の復元力で基板Ｄを載置台１１（例えば図１参照）に押さえるように構成されている。
【０００９】
このように構成すると、弾性体を用いた単純な構成で、載置台上での基板の移動を防止しながらリテーナを基板に貼り付けることができる。
【００１０】
また、本発明の第３の態様に係る基板貼り合わせ装置は、例えば図１に示すように、上記本発明の第１の態様又は第２の態様に係る基板貼り合わせ装置１において、接着剤が、所定の波長の電磁波が照射されることにより所定の接着強度で硬化するように構成され；接着剤を介して接続された基板ＤとリテーナＲとの間の接着剤に、基板Ｄ側から所定の波長の電磁波を照射する照射器１４をさらに備える。
【００１１】
このように構成すると、接着剤を熱により硬化させるよりも短時間で基板とリテーナとの相対位置を固定することができ、生産性を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、基板が載置される載置台を備えるので、基板を吸引保持する場合に比べて基板の載置台側の面の損傷を抑制することができ、載置台に載置された基板を載置台から離れないように押さえる押さえ具を備えるので、載置台に載置されている基板が接着剤を介してリテーナ側に引き寄せられることにより載置台から離れることを防ぎながらリテーナを基板に貼り付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、各図において互いに同一又は相当する部材には同一あるいは類似の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００１４】
まず図１を参照して、本発明の実施の形態に係る基板貼り合わせ装置１を説明する。図１は、基板貼り合わせ装置１の模式的斜視図である。基板貼り合わせ装置１は、基板Ｄを支持する基板載置部１０と、リテーナＲを保持するリテーナ吸着部２０と、基板貼り合わせ装置１の動作を制御する制御装置３０とを有している。基板載置部１０は、基板Ｄが載置される載置台１１と、載置台１１を支持するベース１２と、ベース１２を鉛直上下に移動させる移動装置としてのステッピングモータ１３ｍと、基板ＤのリテーナＲが貼り合わせられた部分に所定の波長の電磁波を照射する照射器１４とを備えている。リテーナ吸着部２０の詳細な構造は図２に示されている。
【００１５】
図２は、リテーナ吸着部２０の模式的縦断面図である。図２中、紙面の上下が鉛直方向上下に対応する。リテーナ吸着部２０は、リテーナＲを吸引保持する吸引保持具としての吸着ヘッド２１と、吸着ヘッド２１を支えるヘッド固定部２２と、吸着ヘッド２１の水平方向周囲を囲う遮光カバー２３と、基板Ｄを反リテーナＲ側に押さえる押さえ具としてのプッシュピン２５と、プッシュピン２５を下方に付勢する弾性体としてのばね２６とを備えている。リテーナ吸着部２０は、水平方向に回動する回動アーム（不図示）に固定されている。ここで、リテーナ吸着部２０及び基板載置部１０（図１参照）の詳細を説明するのに先立って、基板貼り合わせ装置１（図１参照）で貼り合わせる基板Ｄ及びリテーナＲについて説明する。
【００１６】
図３は、基板Ｄ及びリテーナＲを説明する図であり、（ａ）は貼り合わせる前の状態の模式的斜視図、（ｂ）は貼り合わせた状態の模式的斜視図、（ｃ）は、貼り合わせた状態の部分断面図である。基板Ｄは、典型的には、光ディスク基板であり、ポリカーボネートを円形の平板状に射出成形することにより形成されている。ポリカーボネートに代えて、ポリメタクリル酸メチル、エポキシ樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリ乳酸等のプラスチック材料を用いてもよい。基板Ｄは、典型的には、直径が約３２ｍｍ、厚さが約０．５５ｍｍであり、中心に直径約４．０１０〜４．０２２ｍｍの中心孔Ｄｈが形成されている。基板Ｄの外円周と中心孔Ｄｈとは同心円となっている。基板Ｄは、一方の面は基材のままの非情報記録面ｆｎとなっており、非情報記録面ｆｎの反対面は金属を蒸着して膜が形成された情報記録面ｆｄとなっている。情報記録面ｆｄの金属膜は、中心孔Ｄｈの外側を囲うように凸状（突起）に形成されたリムＤｐよりも外側に形成されている。リムＤｐは、中心孔Ｄｈ周りに円環状に形成され、リテーナＲの外径とほぼ同じ径となっている。リムＤｐよりも内側（中心側）は、情報記録面ｆｄ側も基材のままとなっており、紫外線を透過することができるように構成されている。非情報記録面ｆｎの中心孔Ｄｈ近傍には、接着剤Ｇを受け入れる目安となる幅約１ｍｍの溝Ｄｇが形成されている。溝Ｄｇは、中心孔Ｄｈ周りに円環状に形成され、リムＤｐの径よりも小さい径となっており、典型的には、基板Ｄの半径上における中心孔Ｄｈの最外部とリムＤｐの最内部との中間よりも中心孔Ｄｈ側に形成されている。
【００１７】
接着剤Ｇは、紫外線（所定の波長の電磁波）を照射することにより基板ＤとリテーナＲとを仮止めすることができる程度に硬化するように構成されている。ここで「仮止め」とは、紫外線照射又は加熱等により接着剤Ｇを本硬化させるまでの間に基板ＤとリテーナＲとが剥がれない程度に（基板ＤとリテーナＲとの相対的な位置が変わらない程度に）基板Ｄに対してリテーナＲを接合することである。また「本硬化」とは、情報読み取り装置等のディスクドライブにおいて実用可能な程度の強度で基板Ｄに対してリテーナＲを接合することである。本実施の形態では、所定の波長の電磁波が紫外線であるが、接着剤Ｇの特性に応じて、電波、赤外線、可視光線、Ｘ線、ガンマ線の場合もあり、このような区別のほか、特定の波長（ナノメートル）の範囲を持って規定する場合もある。
【００１８】
リテーナＲは、ディスクＤＲ（基板ＤがリテーナＲ等の必要部材を備えて利用可能となった最終形態）が情報読み取り装置等のディスクドライブで再生等される際に、ディスクドライブがディスクＤＲを保持するために利用されるものである。リテーナＲは、金属等の磁性体で、円形の平板状に形成されている。リテーナＲは、典型的には、直径が約９．２ｍｍ、厚さが約０．２ｍｍであり、中心に直径約４．５ｍｍの中心孔Ｒｈが形成されている。リテーナＲの外円周と中心孔Ｒｈとは同心円となっている。リテーナＲが貼り付けられたディスクＤＲは、ディスクドライブ内に設けられた磁性部材（例えば電磁石）によりリテーナＲが引き寄せられ保持されるように構成されている。ディスクＤＲとなったとき、リテーナＲと基板Ｄとは、両者の外縁が同心円となるように接合されている。
【００１９】
ディスクＤＲは、基板Ｄの情報記録面ｆｄに形成されたリムＤｐの頂上とリテーナＲの反接着面との距離Ｌ（厚さ）が規格により所定の範囲に収まるように要求される。大量に生産される基板Ｄ及びリテーナＲは、製造誤差等の個体差が生じることが不可避であるため、基板ＤとリテーナＲとを貼り合わせる際に単にリテーナＲを基板Ｄに押しつけるだけでは、完成したディスクＤＲの厚さ（距離Ｌ）が規格の要求する所定の範囲に収まらない場合が生じうる。ディスクＤＲは、基板ＤとリテーナＲとを貼り合わせるために用いられる接着剤Ｇの厚さを調節することにより、基板Ｄ及びリテーナＲに生じる個体差を吸収することとしている。また、規格は接着剤ＧがリテーナＲからはみ出さないことも要求している。なお、上述の説明では、基板Ｄ及びリテーナＲの具体的な大きさや材質に言及したが、基板Ｄ及びリテーナＲの大きさ及び材質は、規格に適合するように適宜変更することができる。
【００２０】
再び図１に戻って、基板貼り合わせ装置１の構成の説明を続ける。載置台１１は、円筒状に形成されている。本実施の形態では、円筒状の載置台１１の径は、基板Ｄに形成されたリムＤｐ（図３参照）の径と同じとなるように形成されている。載置台１１は、円筒の軸線が鉛直方向に向くようにしてベース１２に取り付けられている。
図４の載置台１１と基板Ｄとの接触部分を示す部分断面図に示されるように、円筒状の載置台１１の先端に、内径側が一段下がった窪み１１ｄが形成されており、この窪み１１ｄに基板ＤのリムＤｐが嵌合するようになっている。このように構成されていると、基板Ｄが単に載置台１１に載置されている場合であっても、載置されている基板Ｄが水平方向にずれることを抑制することができる。また、基板Ｄを載置台１１に載置したときに窪み１１ｄとリムＤｐの頂部とが接触し、窪み１１ｄの外側の一段上がった載置台１１の最先端部分は基板Ｄと接触しないようになっている。このように構成されていると、基板Ｄの情報記録面ｆｄ（図３参照）に外力が加わることがないので基板の損傷を抑制することができ、また、リテーナＲの貼り付け部分（図３参照）の近くの基板Ｄを載置台１１で支持することができるため好ましい。
【００２１】
再び図１に戻って説明を続ける。円筒状の載置台１１の中空部には紫外線（所定の波長の電磁波）を照射する照射器１４が設けられている。照射器１４は制御装置３０に電気的に接続されており、紫外線の照射のタイミングを制御することができるように構成されている。照射器１４もまた、ベース１２に取り付けられている。ベース１２は、上下移動可能に支柱１３に取り付けられている。
【００２２】
支柱１３は、ベース１２の上下動を案内するガイド溝（不図示）が形成されていると共に、ベース１２を上下に移動させるステッピングモータ１３ｍを有しており、ガイド溝（不図示）に沿ってベース１２を鉛直方向上下に移動させることができるように構成されている。ベース１２が鉛直上下に移動することができることにより、ベース１２に接続されている載置台１１も鉛直上下に移動することができるように構成されている。ステッピングモータ１３ｍは制御装置３０に電気的に接続されており、ベース１２の鉛直方向の移動量を制御することができるように構成されている。
【００２３】
図２に移ってリテーナ吸着部２０の詳細な構成を説明する。吸着ヘッド２１は、円柱状の部材が、外径の異なる部分が軸方向で３箇所形成された外観形状を呈している。つまり、吸着ヘッド２１は、外径が最も小さいヘッド小部２１ａと、外径がヘッド小部２１ａよりも大きいヘッド中部２１ｂと、外径がヘッド中部２１ｂよりも大きいヘッド大部２１ｃとが、軸線を共通にしてこの順で一体に形成されて構成されている。吸着ヘッド２１のヘッド小部２１ａ側の端面には、リテーナＲを吸引保持する吸着穴２１ｈが円柱の軸線と同心円上に複数形成されている。複数の吸着穴２１ｈを吸着ヘッド２１の円周方向に連ねたときに現れる円の半径は、リテーナＲの中心孔Ｒｈ（図３参照）の外周半径よりも大きく、典型的にはリテーナＲの中心孔Ｒｈの外周半径とリテーナＲ自体の外周半径とを加えて２で除した値となっている。吸着ヘッド２１のヘッド小部２１ａの外径は、リテーナＲの外径よりも小さく形成されており、ヘッド中部２１ｂの外径は、リテーナＲの外径よりも大きく形成されている。複数の吸着穴２１ｈは、吸着ヘッド２１の内部で、円柱の軸線と同じ軸線を有する空洞で形成された吸引流路２１ｓに各々連通している。吸引流路２１ｓは、吸着ヘッド２１のヘッド大部２１ｃ側の端面に達している。吸着ヘッド２１は、円柱の軸線が鉛直方向を向き、ヘッド小部２１ａ側の端面が下方を向くようにして、ヘッド固定部２２に取り付けられている。
【００２４】
ヘッド固定部２２は、ヘッド大部２１ｃの外径よりも大きく、かつ、基板Ｄの外径よりも大きい外径を有する円柱状の部材で形成されている。ヘッド固定部２２は、吸着ヘッド２１に接続される方の面の中心部分から軸線に沿って吸引流路２２ｓとなる空洞が形成されている。吸引流路２２ｓは、円柱の軸線方向中央付近で円柱の軸線に対して直角に向きを変えて延び、側面に開口している。ヘッド固定部２２の側面に形成された側面開口２２ｈは、吸引配管（不図示）を介して真空ポンプ（不図示）に接続されている。ヘッド固定部２２と吸着ヘッド２１とは、ヘッド固定部２２の吸引流路２２ｓと吸着ヘッド２１の吸引流路２１ｓとがリークせずに連通するように接続されている。ヘッド固定部２２の吸着ヘッド２１に接続される方の面は、鉛直下方を向いている。ヘッド固定部２２の下方外周部分には、遮光カバー２３が取り付けられている。
【００２５】
遮光カバー２３は、照射器１４（図１参照）で紫外線を照射したときに紫外線の拡散を防ぐ部材である。遮光カバー２３は、ヘッド固定部２２の外径とほぼ同じ外径を有し、基板Ｄの外径よりも一回り大きい内径を有する円筒状に形成されている。遮光カバー２３は、吸着ヘッド２１を囲むように、ヘッド固定部２２の下方外周部分から鉛直下方に延びている。遮光カバー２３の軸方向の長さは、吸着ヘッド２１の軸方向の長さよりも長くなっている。遮光カバー２３の材料には、アルミニウム、又は紫外線遮断特性を有する合成樹脂やガラスが用いられる。
【００２６】
遮光カバー２３の内側には、プッシュピン２５を受ける止め具２４が取り付けられている。止め具２４は、円形平板状の部材であり、その中心には吸着ヘッド２１のヘッド中部２１ｂの外径よりも大きな径の貫通孔２４ｈが形成されている。止め具２４は、吸着ヘッド２１のヘッド小部２１ａの軸方向の中間に、面が鉛直方向を向くようにして（鉛直軸に直角に面が広がるようにして）遮光カバー２３の内側に取り付けられている。なお、止め具２４は、遮光カバー２３と一体に形成されていてもよい。
【００２７】
プッシュピン２５は、止め具２４の貫通孔２４ｈに嵌合する外径を有する円筒状の胴部２５ｂに対し、一端に外側へ広がる外鍔２５ｅが形成され、他端に内側へ入り込んだ内鍔２５ｆが形成されて構成されている。胴部２５ｂの内径は、吸着ヘッド２１のヘッド中部２１ｂの外径に、ばね２６の厚さの２倍を加えた長さよりも大きく形成されている。外鍔２５ｅの外径は、止め具２４の貫通孔２４ｈの外径よりも大きく、遮光カバー２３の内径よりも小さく形成されている。内鍔２５ｆの内径は、リテーナＲの外径よりも大きく、吸着ヘッド２１のヘッド中部２１ｂの外径以下に形成されている。プッシュピン２５は、外鍔２５ｅ側が上方に、内鍔２５ｆ側が下方になるようにして、止め具２４の上方から貫通孔２４ｈに嵌合されて設置される。プッシュピン２５が設置されたとき、外鍔２５ｅが止め具２４に載置される状態になる。プッシュピン２５の長さは、止め具２４に載置された状態で下端（内鍔２５ｆ側の端部）が吸着ヘッド２１に吸着されたリテーナＲよりも下方に突き出る長さ、かつ、吸着ヘッド２１のヘッド中部２１ｂとヘッド大部２１ｃとの境界部分と、ヘッド小部２１ａ側の端部との軸方向における長さよりも短く形成されている。
【００２８】
ばね２６は、典型的にはコイルばねであり、その内径は吸着ヘッド２１のヘッド中部２１ｂに嵌合する大きさに形成され、その外径はプッシュピン２５の胴部２５ｂに嵌合する大きさに形成されている。ばね２６は、ヘッド固定部２２に取り付けられた吸着ヘッド２１のヘッド中部２１ｂに嵌合され、そのばね２６に下方からプッシュピン２５が嵌合され、そのプッシュピン２５が止め具２４の貫通孔２４ｈに嵌合されて、遮光カバー２３がヘッド固定部２２に固定されることにより、リテーナ吸着部２０に設置されている。これにより、ばね２６は、ヘッド中部２１ｂ側のヘッド大部２１ｃの端面と内鍔２５ｆとに挟まれた状態になっている。ばね２６は、プッシュピン２５の先端が基板Ｄに接触していないときに外鍔２５ｅが止め具２４に接触するように付勢することができ、プッシュピン２５の先端及びリテーナＲが基板Ｄに接触したときに基板Ｄに損傷を与えない程度の弾性を有している。
【００２９】
再び図１に戻って説明を続ける。制御装置３０は、基板貼り合わせ装置１を制御する。制御装置３０は、ステッピングモータ１３ｍと信号ケーブルで接続されており、支柱１３に形成されたガイド溝（不図示）の長さの範囲内でベース１２を任意の距離分鉛直上下に移動させることができるように構成されている。また、制御装置３０は、照射器１４と信号ケーブルで接続されており、紫外線の照射の有無を制御することができるように構成されている。また、制御装置３０は真空ポンプ（不図示）と信号ケーブルで接続されており、吸着ヘッド２１の吸着穴２１ｈから吸引を行うか否かを制御することができるように構成されている。
【００３０】
続いて図５を参照して、基板貼り合わせ装置１の作用を説明する。図５は、基板ＤにリテーナＲを貼り合わせる際の主要なプロセスにおける基板貼り合わせ装置１の状態を示す図である。なお、以下の説明において、基板貼り合わせ装置１並びに基板Ｄ及びリテーナＲの構成の符号については適宜図１〜図４を参照することとする。
【００３１】
載置台１１に載置される基板Ｄは、載置される以前の工程で溝Ｄｇに接着剤Ｇが塗布された状態で、移送アーム（不図示）により外縁が把持されて搬送されてくる。接着剤Ｇは、リテーナＲを貼り合わせたときにリテーナＲからはみ出さず、かつ、情報読み取り装置等のディスクドライブでの使用に耐えうる強度で貼り合わせることができる量が、円状、半円状、あるいは複数の点状に塗布されている。移送アーム（不図示）に搬送されてきた基板Ｄは、情報記録面ｆｄを下向きにして、リムＤｐが載置台１１の窪み１１ｄに嵌るように載置台１１に載置される（図４参照）。基板Ｄは載置台１１に載置されているだけで吸引保持は行われていない。したがって、基板Ｄの情報記録面ｆｄの損傷が抑制される。このとき、ベース１２は下方に降りた状態となっている。他方、リテーナ吸着部２０が取り付けられた回動アーム（不図示）がリテーナストッカ（不図示）側に回動し、リテーナストッカ（不図示）に収容されているリテーナＲの一枚に接触してから真空ポンプ（不図示）を作動させることにより吸着ヘッド２１がリテーナＲを吸引保持する。リテーナＲを吸引保持したリテーナ吸着部２０は、回動アーム（不図示）の回動により、載置台１１に載置された基板Ｄの鉛直上方に搬送されてくる。このとき、リテーナ吸着部２０は基板Ｄ及び基板載置部１０に接触しておらず、リテーナ吸着部２０のプッシュピン２５の内鍔２５ｆは、吸着ヘッド２１に保持されたリテーナＲよりも下方に突き出ている（図５（ａ）参照）。
【００３２】
基板Ｄが載置されている載置台１１の上方にリテーナＲが保持されたリテーナ吸着部２０が来たら、制御装置３０は、ステッピングモータ１３ｍを作動させてベース１２を上方へ移動させる。制御装置３０には、あらかじめ載置台１１と吸着ヘッド２１との距離が記憶されており、基板Ｄがプッシュピン２５に接触する手前までは高速でベース１２を上昇させる。制御装置３０は、ステッピングモータ１３ｍを制御して、基板Ｄがプッシュピン２５に接触する手前まで来るとベース１２の上昇速度を減速させる。その後もベース１２は低速で上昇を続け、基板Ｄの非情報記録面ｆｎにプッシュピン２５の内鍔２５ｆが接触する。プッシュピン２５はばね２６により下方に付勢されているため、プッシュピン２５に接触した基板Ｄは載置台１１に押しつけられる。これにより、吸引保持されていない基板Ｄが載置台に対して浮いたり水平方向に動いたりすることが防止される。（図５（ｂ）参照）。
【００３３】
基板Ｄがプッシュピン２５に接触した後もベース１２は低速上昇を続け、制御装置３０は、載置台１１の窪み１１ｄの底部と吸着ヘッド２１のヘッド小部２１ａ側の端面との鉛直距離が距離Ｌ（図３（ｃ）参照）となったところでステッピングモータ１３ｍを停止させてベース１２の上昇を停止させる。このとき、リテーナＲは接着剤Ｇを介して基板Ｄに接続されている。換言すると、リテーナＲと基板Ｄとは接着剤Ｇで貼り合わせられている。接着剤Ｇは、規格の要求に適合するように、リテーナＲからはみ出してはいない。このとき、接着剤Ｇの表面張力により、吸引保持されずに載置台１１に載置されている基板ＤをリテーナＲに引きつけようとする力が働くことがあるが、基板Ｄがプッシュピン２５により載置台１１に押しつけられているので、このような力により基板Ｄが引きつけられて距離Ｌが維持できなくなることを防止することができる。つまり、基板Ｄがプッシュピン２５により載置台１１に押しつけられているので、リムＤｐの頂部とリテーナＲの上面（基板Ｄ側と反対側の面）との寸法を規格の要求する範囲内である距離Ｌにすることができる。また、載置台１１が、水平方向におけるリテーナＲの位置に近いリムＤｐで基板Ｄを支持しているので、例えば基板Ｄの外縁を支持して基板Ｄの中心付近を押さえたときに生じる基板Ｄのたわみを防ぐことができる。続いて制御装置３０は、照射器１４に信号を送信し、接着剤Ｇに向けて紫外線を照射させる。基板Ｄは、中心孔Ｄｈ又はその付近ではなくリムＤｐで支持されているので、中心孔Ｄｈのまわりに塗布された接着剤Ｇに、載置台１１に邪魔されることなく紫外線を照射することができる。接着剤Ｇに紫外線を照射すると接着剤Ｇが紫外線により硬化し、基板ＤとリテーナＲとの相対位置が固定される。接着剤Ｇは、紫外線により仮止めの強度で硬化する。接着剤Ｇを紫外線で仮止め強度に硬化させることにより、接着剤Ｇを加熱で硬化させるよりも短時間で載置台１１と吸着ヘッド２１との位置を解放することができる。これによりサイクルタイムを短縮でき、生産性を向上させることができる（図５（ｃ）参照）。
【００３４】
接着剤Ｇが仮止め強度で硬化したら、制御装置３０は、真空ポンプ（不図示）を停止させて吸着ヘッド２１によるリテーナＲの吸引保持を解放すると共に、ステッピングモータ１３ｍを作動させてベース１２を下方に移動させる。接着剤Ｇが仮止め強度で硬化したか否かは、あらかじめ接着剤Ｇが仮止め強度で硬化するまでの時間を計測して制御装置３０に記憶させておくことによって、その時間が経過したことにより判断することができる。ベース１２が所定の位置まで下降したら、制御装置３０はステッピングモータ１３ｍを停止させてベース１２の下降を停止させる。ベース１２の下降が停止すると、載置台１１に載置されているリテーナＲ付基板Ｄは、移送アーム（不図示）により次工程に搬送される（図５（ｄ）参照）。
【００３５】
以上説明したように、本発明の実施の形態に係る基板貼り合わせ装置１によれば、載置台１１が基板Ｄの情報記録面ｆｄを吸引保持せずに基板Ｄの自重を支持しているだけなので、情報記録面ｆｄの損傷を抑制することができる。また、プッシュピン２５で基板Ｄを載置台１１に押さえた状態でリテーナＲを基板Ｄに貼り付けるので、リテーナＲを貼り付けた基板Ｄの厚さを規格の要求に適合させることができる。これにより、プッシュピン２５等の押さえ具がない場合に生じる、基板Ｄが接着剤Ｇを介してリテーナＲ側に引き寄せられることにより載置台１１から離れる（図６参照）という不都合を防ぐことができ、規格の要求に適合するようにリテーナＲを基板Ｄに貼り付けることができる。また、紫外線で接着剤Ｇを仮止め強度に硬化させるので、サイクルタイムを短縮でき、生産性を向上させることができる。また、載置台１１が、水平方向におけるリテーナＲの位置に近いリムＤｐで基板Ｄを支持しているので、基板Ｄをプッシュピン２５で載置台１１に押さえつけても基板Ｄが反って変形することを抑制することができる。
【００３６】
以上の説明では、ヘッド小部２１ａの外径がリテーナＲの外径よりも小さく形成されているとしたが、リテーナＲの外径よりも大きく又はリテーナＲの外径と同径に形成されていてもよい。
【００３７】
以上の説明では、吸引保持具が真空ポンプによる吸引でリテーナＲを吸引保持する吸着ヘッド２１であることとしたが、吸引保持具が磁石でリテーナＲを吸引保持するように構成されていてもよい。吸引保持具を電磁石とした場合は、電磁石に電流を流してリテーナＲを吸引保持してリテーナＲが基板Ｄに仮止めされたら電流を止めるとよい。吸引保持具を永久磁石とした場合は、基板Ｄに接続されていないリテーナＲを吸引保持しつつ、リテーナＲが基板Ｄに仮止めされたときに引っ張り力でリテーナＲから離れる程度の磁力を持つように構成するとよい。
【００３８】
以上の説明では、弾性体としてばね２６を用いることとしたが、ばね以外の例えばゴム等であってもよい。弾性体（ばね２６）は、押さえ具（プッシュピン２５）と一体に形成されていてもよく、押さえ具（プッシュピン２５）の一部又は全体が弾性体で形成されていてもよい。
【００３９】
以上の説明では、基板ＤとリテーナＲとが貼り合わせられる前に、基板Ｄに接着剤Ｇが塗布されることとしたが、リテーナＲに接着剤Ｇが塗布されていてもよい。また、基板ＤとリテーナＲとを貼り合わせる際に、ベース１２（基板Ｄ側）を移動させることとしたが、リテーナ吸着部２０（リテーナＲ側）を移動させることとしてもよく、あるいは基板Ｄ側及びリテーナＲ側の双方を移動させることとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板貼り合わせ装置の模式的斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る基板貼り合わせ装置を構成するリテーナ吸着部の模式的縦断面図である。
【図３】基板及びリテーナを説明する図である。（ａ）は貼り合わせる前の状態の模式的斜視図、（ｂ）は貼り合わせた状態の模式的斜視図、（ｃ）は、貼り合わせた状態の部分断面図である。
【図４】載置台と基板との接触部分を示す部分断面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る基板貼り合わせ装置の、基板にリテーナを貼り合わせる際の主要なプロセスにおける状態を示す図である。
【図６】押さえ具がないと仮定した場合に生じうる不具合を説明する図である。
【符号の説明】
【００４１】
１    基板貼り合わせ装置
１１  載置台
１３ｍ  ステッピングモータ
１４  照射器
２１  吸着ヘッド
２２  ヘッド固定部
２３  遮光カバー
２４  止め具
２５  プッシュピン
２６  ばね
Ｄ    基板
Ｒ    リテーナ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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