(57)【要約】【課題】主走査方向へのスジ状の吐出ムラが目立ち難い液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。【解決手段】液滴吐出装置１０は、複数の被吐出部を有するマザー基板Ｐと複数のノズルとを相対移動させる主走査の間に複数のノズルから液状体を液滴として被吐出部に吐出する液滴吐出装置であって、マザー基板Ｐが載置されるステージ５と、ステージ５を主走査方向に移動させるワーク移動機構２０と、ステージ５上の平面内において、ステージ５を回転させる回転機構６と、複数のノズルとワーク移動機構２０と回転機構６とを駆動制御する制御部４０とを備え、制御部４０は、少なくとも１回の主走査において、回転機構６を駆動してステージ５上に載置されたマザー基板Ｐを微小回転させる。これにより、被吐出部における液滴の着弾位置が分散する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被吐出部を有する基板と複数のノズルとを相対移動させる主走査の間に前記複数のノズルから液状体を液滴として前記被吐出部に吐出する液滴吐出装置であって、
前記基板が載置されるステージと、
前記ステージを前記主走査方向に移動させる第１移動機構と、
前記ステージ上の平面内において、前記ステージを回転させる回転機構と、
前記複数のノズルと前記第１移動機構と前記回転機構とを駆動制御する制御部とを備え、
前記制御部は、少なくとも１回の前記主走査において、前記回転機構を駆動して前記ステージを微小回転させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記制御部は、少なくとも１回の前記主走査中に、前記回転機構を駆動して前記ステージを微小回転させることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記主走査において前記被吐出部に掛かる少なくとも１つのノズルの組み合わせが、回転前に対して異なるように前記ステージを微小回転させることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記複数のノズルを前記主走査と直交する副走査方向に移動させる第２移動機構を備え、
前記複数の被吐出部に対する前記液滴の吐出は、前記主走査と、前記ステージに対して前記複数のノズルを前記副走査方向に相対移動させる改行動作とを組み合わせて行うことにより達成され、
前記制御部は、前記主走査ごとに前記ステージを同一方向に微小回転させ、改行時には、回転前の位置に前記ステージを戻すように前記回転機構を制御することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記基板において、前記複数の被吐出部が互いに直交する行方向と列方向とに配列した第１被吐出領域と、前記第１被吐出領域に対して前記行方向と前記列方向とが異なる第２被吐出領域とを有する場合、
前記制御部は、前記ステージ上の平面内において、前記主走査方向に対して前記基板を所定の回転角度で斜めに位置決めして、まず初めに前記第１被吐出領域の前記被吐出部と前記第２被吐出領域の前記被吐出部とに前記液滴を吐出する前記主走査を行うように、前記回転機構と前記第１移動機構とを制御し、その後の前記主走査において前記ステージを微小回転させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
複数の被吐出部を有する基板と複数のノズルとを相対移動させる主走査の間に前記複数のノズルから液状体を液滴として前記被吐出部に吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
前記吐出工程は、少なくとも１回の前記主走査において、前記主走査方向に対して前記基板を微小回転させてから前記液滴を吐出することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項７】
前記吐出工程は、少なくとも１回の前記主走査中に、前記主走査方向に対して前記基板を微小回転させながら前記液滴を吐出することを特徴とする請求項６に記載の液状体の吐出方法。
【請求項８】
前記吐出工程は、前記主走査において前記被吐出部に掛かる少なくとも１つのノズルの組み合わせが、回転前に対して異なるように前記基板を微小回転させることを特徴とする請求項６または７に記載の液状体の吐出方法。
【請求項９】
前記複数の被吐出部に対する前記液滴の吐出は、前記主走査と前記基板に対して前記複数のノズルを前記主走査方向に直交する副走査方向に相対移動させる改行動作とを組み合わせて行うことにより達成され、
前記吐出工程は、前記主走査ごとに前記基板を同一方向に微小回転させ、改行時には、回転前の位置に前記基板を戻すことを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項１０】
前記基板は、前記複数の被吐出部が互いに直交する行方向と列方向とに配列した第１被吐出領域と、前記第１被吐出領域に対して前記行方向と前記列方向とが異なる第２被吐出領域とを有し、
前記吐出工程は、前記被吐出部の前記行方向または前記列方向が前記主走査方向に対して交差するように、前記主走査方向に対して前記基板を所定の回転角度で斜めに位置決めする位置決め工程を含み、
位置決めされた前記基板の前記第１被吐出領域の前記被吐出部と前記第２被吐出領域の前記被吐出部とに前記液滴を吐出する最初の前記主走査を行うことを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項１１】
基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項６乃至１０のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項６乃至１０のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能性材料を含む液状体を液滴として吐出描画する液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液状体を液滴として吐出描画する液滴吐出装置として、複数の画素領域が互いに直交する行方向および列方向に配列した基板と、該行方向および該列方向に対して斜めに傾いたノズル列とを該列方向に平行な方向に相対移動させながら、該画素領域内を該行方向および該列方向のマトリクス状に分割した複数の仮想着弾ポイントのそれぞれに、ノズル列のうちのｎ個のノズルから機能液滴を吐出・着弾させて描画処理を行う液滴吐出装置が知られている（特許文献１）。
【０００３】
上記液滴吐出装置を用いた描画方法によれば、マトリクス状に分割された複数の仮想着弾ポイントに対して、ノズル列方向の逆対角となる方向順に、機能液滴が吐出・着弾する。したがって、機能液滴の着弾時間差に起因して発生する描画スジ（吐出ムラ）が画素領域が配列する列方向と合致しないので、描画スジが目立ち難いとしている。
例えば、機能液としてカラーフィルタを形成する色材を含むものを用いれば、描画スジすなわちカラーフィルタの色ムラを効果的に防止することができるとしている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１５９１１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、複数のノズルからなるノズル列においては、ノズルごとに吐出される機能液滴の吐出量が必ずしも一定でないため、機能液滴の着弾時間差に起因して発生する描画スジよりも、上記吐出量のばらつきに起因して、ノズル列と基板との相対移動の方向に発生するスジ状の吐出ムラの方が顕著となってしまうという課題があった。
したがって、上記液滴吐出装置を用いてカラーフィルタを製造する場合、画素領域が配列する列方向に発生する色ムラを改善することが困難であった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例の液滴吐出装置は、複数の被吐出部を有する基板と複数のノズルとを相対移動させる主走査の間に前記複数のノズルから液状体を液滴として前記被吐出部に吐出する液滴吐出装置であって、前記基板が載置されるステージと、前記ステージを前記主走査方向に移動させる第１移動機構と、前記ステージ上の平面内において、前記ステージを回転させる回転機構と、前記複数のノズルと前記第１移動機構と前記回転機構とを駆動制御する制御部とを備え、前記制御部は、少なくとも１回の前記主走査において、前記回転機構を駆動して前記ステージを微小回転させることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、被吐出部に対して同一の吐出タイミングで液滴を吐出したとしても、少なくとも１回の主走査においてステージを微小回転させた場合には、被吐出部における液滴の着弾位置が二次元的に分散することになる。したがって、複数のノズルから吐出される液滴の吐出量がばらつきを有しても、当該ばらつきに起因するスジ状の吐出ムラが、主走査方向と完全には一致しないので、強調され難い。すなわち、スジ状の吐出ムラが目立ち難い液滴吐出装置を提供することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例の液滴吐出装置において、前記制御部は、少なくとも１回の前記主走査中に、前記回転機構を駆動して前記ステージを微小回転させるとしてもよい。
この構成によれば、基板と複数のノズルとの相対移動中に基板が微小回転することになり、微小回転させない場合と同じ主走査の時間内で、被吐出部間における液滴の着弾位置を分散させることができる。すなわち、効率的な液滴の着弾位置の分散を可能とし、微小回転による生産性の低下を防止することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例の液滴吐出装置において、前記制御部は、前記主走査において前記被吐出部に掛かる少なくとも１つのノズルの組み合わせが、回転前に対して異なるように前記ステージを微小回転させることが好ましい。
この構成によれば、ノズルから吐出された液滴の着弾位置が被吐出部内あるいは複数の被吐出部に亘って分散する。したがって、スジ状の吐出ムラをより目立ち難くすることができる。
【００１１】
［適用例４］上記適用例の液滴吐出装置において、前記複数のノズルを前記主走査と直交する副走査方向に移動させる第２移動機構を備え、前記複数の被吐出部に対する前記液滴の吐出は、前記主走査と、前記ステージに対して前記複数のノズルを前記副走査方向に相対移動させる改行動作とを組み合わせて行うことにより達成され、前記制御部は、前記主走査ごとに前記ステージを同一方向に微小回転させ、改行時には、回転前の位置に前記ステージを戻すように前記回転機構を制御することを特徴とする。
この構成によれば、主走査ごとにステージを微小回転させるので、同一ノズルから吐出された液滴の着弾位置がより分散してスジ状の吐出ムラがさらに目立ち難くなる。また、改行時にはステージが回転前の位置に戻るので、複数のノズルが複数の被吐出部に掛かる効率が回転前の状態に復帰して、複数のノズルをより効率的に使用することができる。すなわち、効率的に液滴を被吐出部に配置することができる。
【００１２】
［適用例５］上記適用例の液滴吐出装置において、前記基板において、前記複数の被吐出部が互いに直交する行方向と列方向とに配列した第１被吐出領域と、前記第１被吐出領域に対して前記行方向と前記列方向とが異なる第２被吐出領域とを有する場合、前記制御部は、前記ステージ上の平面内において、前記主走査方向に対して前記基板を所定の回転角度で斜めに位置決めして、まず初めに前記第１被吐出領域の前記被吐出部と前記第２被吐出領域の前記被吐出部とに前記液滴を吐出する前記主走査を行うように、前記回転機構と前記第１移動機構とを制御し、その後の前記主走査において前記ステージを微小回転させることを特徴とする。
この構成によれば、基板が被吐出部の配列の仕方が異なる第１被吐出領域と第２被吐出領域とを有していても、主走査において、副走査方向の被吐出部の実質的な間隔が狭くなり、第１被吐出領域と第２被吐出領域のうち少なくとも一方に対して複数のノズルの使用効率を高め、且つ双方の被吐出部に対する液滴の着弾位置を分散させることができる。すなわち、被吐出部の配列の仕方が異なる第１被吐出領域と第２被吐出領域とに、効率よく液状体を塗布し、且つスジ状の吐出ムラを目立ち難くすることができる。
【００１３】
［適用例６］本適用例の液状体の吐出方法は、複数の被吐出部を有する基板と複数のノズルとを相対移動させる主走査の間に前記複数のノズルから液状体を液滴として前記被吐出部に吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、前記吐出工程は、少なくとも１回の前記主走査において、前記主走査方向に対して前記基板を微小回転させてから前記液滴を吐出することを特徴とする。
【００１４】
この方法によれば、被吐出部に対して同一の吐出タイミングで液滴を吐出したとしても、少なくとも１回の主走査で基板を微小回転させた場合には、被吐出部における液滴の着弾位置が二次元的に分散する。したがって、複数のノズルから吐出される液滴の吐出量がばらつきを有しても、当該ばらつきに起因するスジ状の吐出ムラが、主走査方向と完全には一致しないので、強調され難い。すなわち、スジ状の吐出ムラが目立ち難い液状体の吐出方法を提供することができる。
【００１５】
［適用例７］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、少なくとも１回の前記主走査中に、前記主走査方向に対して前記基板を微小回転させながら前記液滴を吐出するとしてもよい。
この方法によれば、基板と複数のノズルとの相対移動中に基板が微小回転するので、微小回転させない場合と同じ主走査の時間内で、被吐出部間における液滴の着弾位置を分散させることができる。すなわち、効率的な液滴の着弾位置の分散を可能とし、微小回転による生産性の低下を防止することができる。
【００１６】
［適用例８］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記主走査において前記被吐出部に掛かる少なくとも１つのノズルの組み合わせが、回転前に対して異なるように前記基板を微小回転させることが好ましい。
この方法によれば、ノズルから吐出された液滴の着弾位置が被吐出部内あるいは複数の被吐出部に亘って分散する。したがって、スジ状の吐出ムラがより目立ち難くなる。
【００１７】
［適用例９］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記複数の被吐出部に対する前記液滴の吐出は、前記主走査と前記基板に対して前記複数のノズルを前記主走査方向に直交する副走査方向に相対移動させる改行動作とを組み合わせて行うことにより達成され、前記吐出工程は、前記主走査ごとに前記基板を同一方向に微小回転させ、改行時には、回転前の位置に前記基板を戻すことを特徴とする。
この方法によれば、主走査ごとに基板を微小回転させるので、同一ノズルから吐出された液滴の着弾位置がより分散してスジ状の吐出ムラがさらに目立ち難くなる。また、改行時には基板が回転前の位置に戻るので、複数のノズルが複数の被吐出部に掛かる効率が回転前の状態に復帰して、複数のノズルをより効率的に使用することができる。すなわち、効率的に液滴を被吐出部に配置することができる。
【００１８】
［適用例１０］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記基板は、前記複数の被吐出部が互いに直交する行方向と列方向とに配列した第１被吐出領域と、前記第１被吐出領域に対して前記行方向と前記列方向とが異なる第２被吐出領域とを有し、前記吐出工程は、前記被吐出部の前記行方向または前記列方向が前記主走査方向に対して交差するように、前記主走査方向に対して前記基板を所定の回転角度で斜めに位置決めする位置決め工程を含み、位置決めされた前記基板の前記第１被吐出領域の前記被吐出部と前記第２被吐出領域の前記被吐出部とに前記液滴を吐出する最初の前記主走査を行うことを特徴とする。
この方法によれば、基板が被吐出部の配列の仕方が異なる第１被吐出領域と第２被吐出領域とを有していても、主走査において、副走査方向の被吐出部の実質的な間隔が狭くなり、第１被吐出領域と第２被吐出領域のうちの一方に対して複数のノズルの使用効率を高め、且つ双方の被吐出部に対する液滴の着弾位置を分散させることができる。すなわち、被吐出部の配列の仕方が異なる第１被吐出領域と第２被吐出領域とに、効率よく液状体を塗布し、且つスジ状の吐出ムラを目立ち難くすることができる。
【００１９】
［適用例１１］本適用例のカラーフィルタの製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、膜形成領域における液滴の着弾位置が分散するので、複数のノズルから吐出される液滴の吐出量がばらつきを有しても、当該ばらつきに起因するスジ状の吐出ムラが強調されない。ゆえに、スジ状の吐出ムラに起因する色ムラが目立ち難いカラーフィルタの製造方法を提供することができる。すなわち、歩留りよくカラーフィルタを製造することができる。
【００２０】
［適用例１２］本適用例の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、膜形成領域における液滴の着弾位置が分散するので、複数のノズルから吐出される液滴の吐出量がばらつきを有しても、当該ばらつきに起因するスジ状の吐出ムラが強調されない。ゆえに、スジ状の吐出ムラに起因する発光ムラや輝度ムラが目立ち難い有機ＥＬ素子の製造方法を提供することができる。すなわち、歩留りよく有機ＥＬ素子を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
【００２２】
（実施形態１）
＜液滴吐出装置＞
まず、本実施形態の液滴吐出装置について図１〜図５を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
【００２３】
図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１０は、マザー基板Ｐを載置するステージ５と、ステージ５を主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させる第１移動機構としてのワーク移動機構２０と、ワーク移動機構２０の上方において、主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）にヘッドユニット９を移動させる第２移動機構としてのヘッド移動機構３０とを備えている。
また、ステージ５上のマザー基板Ｐを上方から臨むことが可能な位置に設けられた一対のワーク撮像部１３を備えている。ワーク撮像部１３は、例えば、ＣＣＤなどの撮像素子を備えたカメラである。
【００２４】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１上を移動する移動台２２とを有し、ステージ５が移動台２２に設けられている。
移動台２２は、内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示省略）により主走査方向に移動する。移動台２２には、エンコーダ１２（図４参照）が設けられている。
【００２５】
エンコーダ１２は、移動台２２の主走査方向への移動に伴って、ガイドレール２１に並設されたリニアスケール（図示省略）の目盛を読み取って、タイミング信号としてのエンコーダパルスを生成する。なお、エンコーダ１２の配設は、これに限らず、例えば、移動台２２を回転軸に沿ってＹ軸方向に移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダ１２を駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモータなどが挙げられる。
【００２６】
また、移動台２２には、ヘッド撮像部１５が上方に向けて取り付けられており、ヘッドユニット９を下方から臨む位置にヘッド撮像部１５を移動可能となっている。ヘッド撮像部１５は、ワーク撮像部１３と同様に、例えば、ＣＣＤなどの撮像素子を備えたカメラである。
【００２７】
ステージ５はマザー基板Ｐを吸着固定可能であると共に、ステージ５上の平面内においてマザー基板Ｐを回転させる回転機構６を備えている。回転機構６によってマザー基板Ｐ内の基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。
【００２８】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、リニアモータ等の駆動源により一対のガイドレール３１上を移動する移動台３２とを有し、移動台３２には、キャリッジ８が取り付けられている。
【００２９】
キャリッジ８には、ヘッドユニット９と、ヘッドユニット９をステージ５の上面と対向する平面内において回転させる回転機構７とが取り付けられている。
ヘッドユニット９には、後述する液滴吐出ヘッド５０（図２参照）が下方に向けて搭載されている。
【００３０】
また、キャリッジ８には、搭載された液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示省略）と、複数の液滴吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ４８（図４参照）とが設けられている。
【００３１】
移動台３２がキャリッジ８を副走査方向に移動させて、ヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０をマザー基板Ｐに対して対向配置する。また、ヘッドユニット９をヘッド撮像部１５と対向配置させることができる。
【００３２】
本実施形態の液滴吐出装置１０においては、上述したようにステージ５を回転させる回転機構６、キャリッジ８を移動させる移動台３２、ヘッドユニット９を回転させる回転機構７、ワーク撮像部１３、ヘッド撮像部１５などが、マザー基板Ｐと液滴吐出ヘッド５０との相対的な位置を位置決めする位置決め機構を構成している。
【００３３】
液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、キャリッジ８に搭載された液滴吐出ヘッド５０のノズル目詰まり解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構（図示省略）が、ヘッド移動機構３０に沿った位置に配設されている。
また、液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子天秤などの計測器を有する重量計測機構（図示省略）を備えている。さらに、これらの構成を統括的に制御する制御部４０を備えている。
【００３４】
図２は、液滴吐出ヘッドを示す概略図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図である。
【００３５】
図２に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する液状体の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に液状体のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。
接続針５４は、前述した液状体供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、液状体をヘッド内流路に供給する。
ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッドドライバ４８（図４参照）に接続される２連のコネクタ５８が設けられている。
【００３６】
ヘッド本体５６は、圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。
【００３７】
図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（１８０個）のノズル５２がピッチＰ１で略等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズルプレート５１に配設されている。この場合、ピッチＰ１は、およそ１４１μｍである。よって、２つのノズル列５２ａ，５２ｂからなるノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。以降説明上、ノズル５２の間隔は、ノズルピッチＰ２とする。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。
【００３８】
本実施形態では、各ノズル５２から吐出される液滴の吐出量のばらつきを考慮して、ノズル列５２ｃの両端側２０個ずつのノズル５２を不使用としている。したがって、実質的なノズル列５２ｃの有効ノズル数は、３２０個である。以降、ノズル列５２ｃは、有効なノズル５２からなるものを指す。
【００３９】
液滴吐出ヘッド５０は、ヘッドドライバ４８から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液状体が加圧され、ノズル５２から液状体を液滴として吐出することができる。
【００４０】
液滴吐出ヘッド５０における駆動手段は、圧電素子に限らない。アクチュエータとしての振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。
また、液滴吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。
【００４１】
図３（ａ）は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、マザー基板Ｐに対向する側から見た図である。図３（ｂ）は、複数のヘッドユニットの配列方法を示す概略平面図である。
【００４２】
図３（ａ）に示すように、ヘッドユニット９は、平行四辺形の形状をしたヘッドプレート９ａに、着色層形成材料を含む赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３種の液状体を吐出する３つの液滴吐出ヘッド５０を１つの群として、４つのヘッド群５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄを、副走査方向（Ｘ軸方向）と主走査方向（Ｙ軸方向）とにそれぞれ２群ずつ配置したものである。そして、主走査方向に配列した２つのヘッド群５０Ａ，５０Ｂに対してもう２つのヘッド群５０Ｃ，５０Ｄを副走査方向に間隔を置いて設けたものである。
【００４３】
各ヘッド群５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄは、異なる種類の液状体を吐出する各ノズル列５２ｃの端部の位置が、互いにずれた状態でヘッドユニット９に搭載されている。
この場合のずれ量は、ノズル列５２ｃの全長（有効ノズル３２０個分）に１ノズルピッチＰ２を加えた長さを、吐出される液状体の種類の数で除した値となっている。すなわち、（（Ｐ２×３１９）＋Ｐ２）／３＝（Ｐ２×３２０）／３となっている。
これにより、主走査方向（Ｙ軸方向）から見ると、同一種類の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２のノズル５２は、ノズルピッチＰ２で３２０×２＝６４０個連続した状態に配置されている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２の同一種類の液状体を吐出する各液滴吐出ヘッド５０においても同様である。また、ヘッド群５０Ａにおいて、異なる種類の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＧ１およびヘッドＢ１の各ノズル列５２ｃの端部は、互いに（Ｐ２×３２０）／３ずれたことにより、互いにもっとも離れた位置に配置された状態となっている。他のヘッド群５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄにおいても同様である。
【００４４】
また、主走査方向から見て最も近接して位置する同一種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ｃの間隔が、ノズル列５２ｃの全長に１ノズルピッチＰ２を加えた長さに、主走査方向（Ｙ軸方向）に配列するヘッド群の数を乗じた値の自然数倍に１ノズルピッチＰ２を加えた長さとなるように設定されたものである。すなわちこの場合は、ヘッドＲ２とヘッドＲ３のノズル列５２ｃの間隔は、（（Ｐ２×３１９）＋Ｐ２）×２（ヘッド群の数）×１（自然数）＋Ｐ２＝（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２となっている。
【００４５】
ヘッドプレート９ａには、ヘッドユニット９の姿勢並びに各液滴吐出ヘッド５０の位置を規定する一対のアライメントマーク９ｂが設けられている。言い換えれば、一対のアライメントマーク９ｂを位置基準として各液滴吐出ヘッド５０がヘッドプレート９ａに取り付けられている。ヘッドユニット９に対して、このアライメントマーク９ｂを臨む位置にヘッド撮像部１５（図１参照）を対向させ、撮像された画像に基づいてヘッドユニット９の位置情報を入手し、キャリッジ８（図１参照）を支持する回転機構７（図１参照）を回転させることによって、ヘッドユニット９の姿勢を調整する。具体的には、一対のアライメントマーク９ｂを結ぶ直線が主走査方向（Ｙ軸方向）と合致するように位置決めする。
【００４６】
前述したヘッド移動機構３０に複数の移動台３２を備える場合には、図３（ｂ）に示すように、隣接するヘッドユニット９との間隔Ｌ２は、相互に配置された同一種類の液状体を吐出する複数の液滴吐出ヘッド５０のうち、主走査方向から見て、最も近接して位置する当該液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ｃの間隔が、ノズル列５２ｃの全長に１ノズルピッチＰ２を加えた長さに主走査方向に配列するヘッド群の数を乗じた値の自然数倍に１ノズルピッチＰ２を加えた長さとなるように設定されている。例えば、ヘッドＲ４とヘッドＲ５のノズル列５２ｃの間隔が、（（Ｐ２×３１９）＋Ｐ２）×２（ヘッド群の数）×１（自然数）＋Ｐ２＝（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２となるように間隔Ｌ２が設定されている。
【００４７】
このヘッドユニット９（言い換えればキャリッジ８）を用いて、Ｙ軸方向への主走査とＸ軸方向へ（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２の間隔で移動させる副走査とを繰り返して行えば、副走査方向に連続した描画範囲に、３種の異なる液状体を吐出することが可能となる。詳しくは、後述する。
【００４８】
次に液滴吐出装置１０の制御系について説明する。図４は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図４に示すように、液滴吐出装置１０の制御系は、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０、液滴吐出ヘッド５０などを駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１０を制御する制御部４０とを備えている。
【００４９】
駆動部４６は、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッド駆動部としてのヘッドドライバ４８とを備えている。この他にも重量計測用ドライバと、メンテナンス用ドライバとを備えているが図示省略した。
【００５０】
制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。
【００５１】
ＲＡＭ４３は、マザー基板Ｐに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、マザー基板Ｐおよび液滴吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ｃ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバなどが接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００５２】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６などに各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とマザー基板Ｐとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とマザー基板Ｐとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からマザー基板Ｐに液状体を液滴として吐出するようにヘッドドライバ４８に制御信号を送出する。この場合、Ｙ軸方向へのマザー基板Ｐの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｘ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へマザー基板Ｐの移動に限らず、マザー基板Ｐを往復させて行うこともできる。
【００５３】
エンコーダ１２は、ヘッドドライバ４８に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコーダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２（図１参照）を移動させるので、エンコーダパルスが周期的に発生する。このエンコーダパルスをカウントすることにより、主走査方向における液滴の吐出タイミングが規定されている。
【００５４】
ワーク撮像部１３は、Ｐ−ＣＯＮ４４に電気的に接続され、撮像したマザー基板Ｐの画像情報をビットマップデータに変換したマザー基板Ｐの位置情報として送出することができる。マザー基板Ｐの位置情報は、一時的にＲＡＭ４３に格納され、マザー基板Ｐの位置決め時に利用される。
【００５５】
ヘッド撮像部１５は、Ｐ−ＣＯＮ４４に電気的に接続され、撮像したヘッドユニット９の画像情報をビットマップデータに変換したヘッドユニット９の位置情報として送出することができる。ヘッドユニット９の位置情報は、一時的にＲＡＭ４３に格納され、前述したヘッドユニット９の姿勢調整を含む位置決め時、すなわち液滴吐出ヘッド５０の位置決め時に利用される。
【００５６】
上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置１０に送出する。また、マザー基板Ｐ上の被吐出部ごとに必要量の液状体を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、被吐出部における液滴の吐出位置（言い換えれば、マザー基板Ｐとノズル５２との相対位置）、液滴の配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピュータ１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。
【００５７】
図５は、液滴吐出装置の吐出描画動作の一例を示す模式図である。詳しくは、同図（ａ）は１回目の主走査におけるヘッドユニットの配置を示す模式図、同図（ｂ）は２回目の主走査におけるヘッドユニットの配置を示す模式図である。また、液滴吐出ヘッド５０を示す四角形の副走査方向の幅は、１つのノズル列５２ｃにより液滴を吐出可能な描画幅Ｌ１を示すものである。
【００５８】
図５（ａ）に示すように、制御部４０は、ヘッド移動機構３０のリニアモータを駆動して、キャリッジ８を移動させヘッドユニット９をマザー基板Ｐに対して位置決めする。そして１回目の主走査に際して、ヘッド群５０ＤのヘッドＢ４（液滴吐出ヘッド５０）がマザー基板Ｐの全描画領域のＸ軸方向の端を描画可能な位置に位置決めする。また、隣合うヘッドユニット９の間隔Ｌ２は、前述したように相互に配置された同一種類の液状体を吐出可能であって、最も近接して位置するヘッドＢ１とヘッドＢ８の有効なノズル列５２ｃの間隔が、ノズル列５２ｃの全長に１ノズルピッチＰ２を加えた長さの２倍の値に１ノズルピッチＰ２を加えた長さ、すなわち（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２となるように、ヘッド移動機構３０により調整される。
【００５９】
制御部４０は、ワーク移動機構２０のリニアモータを駆動させて、ステージ５に載置されたマザー基板ＰをＹ軸方向（主走査方向）に移動させ、これに同期して各液滴吐出ヘッド５０から異なる種類の液状体を吐出して描画させる。これにより、ヘッドＢ３とヘッドＢ４が１回目に描画可能な描画幅を幅Ｅｂ1とすると、マザー基板Ｐの全描画領域の内、副走査方向に（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２の間隔を置いて描画された幅Ｅｂ1の分割描画領域において、青（Ｂ）の液状体が吐出される。他の異なる種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５０においても同様である。
【００６０】
次に図５（ｂ）に示すように、制御部４０は、各ヘッドユニット９を副走査方向に距離（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２移動させる改行動作を行う。そして２回目の主走査による描画動作を行う。ヘッドＢ３とヘッドＢ４が２回目に描画可能な描画幅を幅Ｅｂ2とすると、幅Ｅｂ1＝幅Ｅｂ2＝（Ｐ２×３１９）×２＋Ｐ２であるため、２回目の描画動作が終了した時点では、マザー基板Ｐの全描画領域で異なる液状体を吐出して描画することができる。マザー基板Ｐの全描画領域のＸ軸方向の端では、ヘッドＧ４、ヘッドＲ４で描画できない領域が発生する。したがって、制御部４０は、ヘッド移動機構３０を駆動して、各液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ｃの端部のずれ量に対応して各ヘッドユニット９を移動させる改行動作と主走査による描画動作とを繰り返す。これにより複数の液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ｃを最大限に利用して全描画領域に異なる種類の液状体を偏りなく吐出可能である。なお、ヘッド移動機構３０によって独立して移動可能に支持されるヘッドユニット９（キャリッジ８）の数は、マザー基板Ｐのサイズに応じて決めることは言うまでもない。
【００６１】
マザー基板Ｐに塗布する液状体の塗布量は、被吐出部の平面的および立体的な大きさや、被吐出部に形成される薄膜の膜厚などにより異なるものの、１回の吐出による液状体の吐出量を基にして、必要な液状体の量が確保できるように、主走査や改行動作の回数を設定すればよい。
【００６２】
本実施形態の液滴吐出装置１０において、制御部４０は、複数回の主走査のうち少なくとも１回の主走査において、ステージ５に設けられた回転機構６を駆動し、載置されたマザー基板Ｐを微小回転させる。ステージ５の微小回転は、主走査の前後、主走査中のいずれにも行うことができる。その目的とするところは、微小回転により、ノズル５２から吐出される液滴の着弾位置をマザー基板Ｐの表面において分散させることである。詳しくは、後述するカラーフィルタの製造方法において説明する。
【００６３】
＜カラーフィルタの製造方法＞
次に、上記液滴吐出装置１０並びに本実施形態の液状体の吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法について、図６〜図１２を参照して説明する。図６（ａ）はカラーフィルタの構成を示す概略平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ'線で切った断面図である。図７は、カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。図８（ａ）〜（ｄ）は、カラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。図９〜図１１は、液状体の吐出方法を示す概略平面図である。
【００６４】
図６（ａ）および（ｂ）に示すようにカラーフィルタ２は、透明なガラスなどの基板１上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色のフィルタエレメントである着色層３を有している。各着色層３は隔壁部４によりマトリクス状に区画されている。本実施形態のカラーフィルタ２は、同色の着色層３が直線的に配列する所謂ストライプ方式のカラーフィルタである。
【００６５】
図６（ｂ）に示すように、隔壁部４は、第１隔壁部４ａと第２隔壁部４ｂとからなる二層構造となっている。第１隔壁部４ａは、例えば、ＣｒやＡｌなどの金属薄膜からなり遮光性を有している。第２隔壁部４ｂは、例えば、樹脂材料からなる。なお、二層構造に限定されず、遮光性を有する部材を含む樹脂材料により隔壁部４を構成する一層構造でもよい。
【００６６】
着色層３は、着色材料を含む透光性樹脂材料からなる。本実施形態では、このようなカラーフィルタ２を液滴吐出法（インクジェット法）を用いて製造する。
【００６７】
図７に示すように、カラーフィルタ２の製造方法は、隔壁部４を形成する隔壁部形成工程（ステップＳ１）と、隔壁部４が形成された基板１の表面を表面処理する表面処理工程（ステップＳ２）と、着色層形成材料を含む液状体を吐出する吐出工程（ステップＳ３）と、吐出された液状体を乾燥させて着色層３を形成する乾燥工程（ステップＳ４）とを基本的に備えるものである。
【００６８】
図７のステップＳ１では、まず、基板１の表面にＣｒやＡｌなどの金属薄膜を成膜する。成膜方法としては真空蒸着法、スパッタ法などが挙げられる。膜厚は、例えば遮光性が得られるように０．１μｍ程度とする。これをフォトリソグラフィ法によりパターニングして開口させた第１隔壁部４ａを形成する。
次に、第１隔壁部４ａを覆って感光性樹脂を厚み２μｍ程度に塗布し、同じくフォトリソグラフィ法によりパターニングして、第１隔壁部４ａ上に第２隔壁部４ｂを形成する。これにより図８（ａ）に示すように基板１上に開口した被吐出部としての矩形状の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂを形成する。そして、ステップＳ２へ進む。
【００６９】
図７のステップＳ２では、後の液状体の吐出工程において、吐出された液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに着弾して濡れ拡がるように、基板１の表面を親液処理する。また、吐出された液状体の一部が第２隔壁部４ｂに着弾したとしても膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ内に収まるように、第２隔壁部４ｂの少なくとも頭頂部を撥液処理する。
【００７０】
表面処理方法としては、隔壁部４が形成された基板１に対して、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂが親液処理され、その後感光性樹脂からなる第２隔壁部４ｂの表面（壁面を含む）が撥液処理される。なお、第２隔壁部４ｂを形成する材料自体が撥液性を有していれば後者の処理を省くこともできる。そして、ステップＳ３へ進む。
【００７１】
図７のステップＳ３では、液滴吐出装置１０のステージ５に表面処理された基板１を載置する。異なる着色層形成材料を含む３色の液状体をそれぞれ吐出する。したがって、図３に示したヘッドユニット９の構成を採用している。
そして、図８（ｂ）および（ｃ）に示すように、基板１と液滴吐出ヘッド５０との主走査方向への相対移動に同期して、液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から３色の液状体のそれぞれを液滴Ｄとして所望の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出する。膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出される液状体の塗布量は、あらかじめ膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに選択されるノズル５２の選択パターンと液滴Ｄの吐出数などが主走査ごとに設定された吐出データに基づいて、制御部４０のＣＰＵ４１から適正な制御信号がヘッドドライバ４８に送られて制御される。これにより、ほぼ一定量の液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに塗布される。そして、ステップＳ４へ進む。
【００７２】
図７のステップＳ４では、図８（ｄ）に示すように、基板１に吐出された液状体から溶媒成分を蒸発させて、着色層形成材料からなる着色層３を形成する。本実施形態では、溶媒の蒸気圧を一定にして乾燥することが可能な減圧乾燥装置に基板１をセットして減圧乾燥し、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３色の着色層３を形成した。なお、１色の液状体を吐出して乾燥する工程を３回繰り返してもよい。
【００７３】
先の液状体の吐出工程（ステップＳ３）において、ほぼ一定量の液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに無駄なく塗布されているので、ほぼ一定の膜厚を有する着色層３を形成することができる。なお、着色層３の膜厚は、色ごとに設定すればよく、必ずしも３色が同一でなくてもよい。必要な膜厚の設定に基づいて、必要量の液状体を対応する膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出すればよい。
【００７４】
着色層３が形成された基板１の表面に凹凸が生じる場合には、隔壁部４と各着色層３とを覆って透光性の例えばアクリル系樹脂材料からなる平坦化層を形成してもよい。
【００７５】
カラーフィルタ２を有する基板１をより効率的に生産する方法として、一般的には基板１よりも平面的なサイズが大きいマザー基板Ｐに多面取りする方法が採用されている。多面取りの仕方には色々なケースがあり、以降、実施例を挙げて、液状体の吐出方法について説明する。
【００７６】
（実施例１）
図９は、実施例１の液状体の吐出方法を説明する概略図であり、マザー基板におけるカラーフィルタの配置を示すと共に、マザー基板とヘッドユニットとの相対配置を示すものである。
【００７７】
図９に示すように、マザー基板Ｐには、カラーフィルタＥ１が多面取りされている。ここでは、まだ３色の液状体を吐出する前であるため、基板表面に隔壁部４が形成された状態である。したがって、カラーフィルタＥ１を第１被吐出領域Ｅ１として扱う。
【００７８】
第１被吐出領域Ｅ１は、四角形のマザー基板Ｐの外形に沿って所定の間隔を置いてマトリクス状に合計６つ面付けされている。
【００７９】
第１被吐出領域Ｅ１における膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの配置は、矩形状の長辺がマザー基板Ｐの短辺と平行となっている。言い換えれば、着色層３のストライプ方向がマザー基板Ｐの短辺に沿った方向となっている。以降、このストライプ方向を列方向とし、ストライプ方向に直交する方向を行方向として説明する。
【００８０】
マザー基板Ｐの表面には、その短辺に沿って、十字状の一対のアライメントマークＡＬ１，ＡＬ２が形成されている。さらにマザー基板Ｐのほぼ中心には、回転中心Ｐ0となるアライメントマークが形成されている。よって、これをアライメントマークＰ0と呼ぶこともある。
【００８１】
各ヘッドユニット９（ヘッドユニットｕ１〜ｕ６）は、予めヘッド撮像部１５により撮像された画像情報に基づいて、ヘッドユニット９ごとの姿勢と、Ｘ軸方向におけるヘッドユニットｕ１〜ｕ６の間隔が調整され、位置決めされている。
【００８２】
図７のステップＳ３の液状体の吐出工程では、まず、ステージ５上にマザー基板Ｐを載置する。マザー基板Ｐは、一対のアライメントマークＡＬ１，ＡＬ２がヘッド移動機構３０に沿うようにステージ５上に載置される。また、マザー基板ＰのアライメントマークＰ0とステージ５に設けられた回転機構６の回動中心Ｃ0とがほぼ合致するように載置される。
これにより、ヘッド移動機構３０に沿って設けられたワーク撮像部１３によって、一対のアライメントマークＡＬ１，ＡＬ２が撮像可能となる。また、マザー基板ＰをアライメントマークＰ0を中心として回転させることができる。
制御部４０は、撮像された画像情報に基づいて回転機構６を駆動制御して、マザー基板Ｐにおける基準軸がＸ軸およびＹ軸と合致するようにステージ５を微小回転させ、一旦マザー基板Ｐを位置決めする。
【００８３】
図１０（ａ）〜（ｄ）は、膜形成領域と複数のノズルとの相対的な配置を示す概略平面図である。最初のマザー基板Ｐの位置決め状態において、第１被吐出領域Ｅ１における膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの相対的な配置は、図１０（ａ）に示すように、ノズル列５２ｃに対して、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの列方向が平行な状態となっている。この場合、ノズルピッチＰ２との関係から、このまま主走査すれば、１つの膜形成領域３ｒに４つのノズル５２が掛かる。言い換えれば、１つの膜形成領域３ｒに少なくとも４滴の液滴Ｄを着弾させることができる。
【００８４】
液状体の吐出工程（ステップＳ３）では、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに必要量の液状体を吐出するために、同一の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに対して、複数回の主走査を行っている。各主走査では、各膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの行方向のほぼ中心に液滴Ｄが着弾するように、配置情報を生成している。同一ノズル５２を用いて繰り返し同一膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに液滴Ｄを吐出すると、ノズル５２間の液滴Ｄの吐出量のばらつきにより、吐出ムラが生じ、主走査方向（Ｙ軸方向）すなわち行方向にスジ状の色ムラを発生させてしまう。
【００８５】
そこで、実施例１の液状体の吐出方法では、１回目の主走査では、図１０（ａ）に示すように、複数のノズル５２の配列方向と膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの列方向とを合致させて、各膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに掛かるノズル５２から液滴Ｄ1を吐出する。ここでは、赤色（Ｒ）の液状体を吐出する例を示している。当然ながら緑（Ｇ）、青（Ｂ）の液状体を吐出する場合も同様である。
【００８６】
２回目の主走査では、図１０（ｂ）に示すように、マザー基板Ｐを微小回転させてから、液滴Ｄ2を吐出する。液滴Ｄ2は、先に着弾した液滴Ｄ1に対してわずかにずれて着弾することになる。主走査によって膜形成領域３ｒに掛かるノズル５２の数は、変わっていないので、２回目の主走査では、膜形成領域３ｒごとに少なくとも４滴の液滴Ｄ2を着弾させることができる。
【００８７】
３回目の主走査では、図１０（ｃ）に示すように、マザー基板Ｐをさらに微小回転させる。先の微小回転と同じ方向に同じ回転角度θでマザー基板Ｐを微小回転させる。そして、液滴Ｄ3を吐出する。液滴Ｄ3は、液滴Ｄ2に対してわずかにずれて着弾することになる。
【００８８】
図１０（ｄ）に示すように、主走査方向に配列する同種の膜形成領域３ｒに着弾した液滴に着目すると、マザー基板Ｐの微小回転によって、相互（２つ）の液滴Ｄ1は、回転中心Ｐ0からの距離、すなわち半径Ｒ1と半径Ｒ2で与えられる軌跡を描き、該軌跡からずれた位置に液滴Ｄ2が着弾する。すなわち、同一方向に微小回転を行えば、液滴Ｄの着弾位置をそれぞれの膜形成領域３ｒ内において分散させることができる。分散量は、微小回転における回転角度θと、回転中心Ｐ0からの距離によることがわかる。マザー基板Ｐのサイズにもよるが、実際の微小回転は、秒単位の回転角度である。
【００８９】
マザー基板Ｐの全描画領域に亘って液状体を吐出する場合、液滴吐出ヘッド５０すなわち、ノズル列５２ｃとマザー基板Ｐとの配置により、図５に示したように改行動作を行う必要がある。制御部４０は、改行時には、微小回転前のノズル列５２ｃとマザー基板Ｐとの相対的な配置となるように、回転機構６を駆動制御する。これにより、改行後の主走査においても、微小回転によって着弾位置が分散される液滴Ｄの配置情報を共有化することができる。
【００９０】
実施例１の液状体の吐出方法によれば、主走査に際して、マザー基板Ｐを微小回転させ、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ内における液滴Ｄ1に対して、液滴Ｄ2および液滴Ｄ3の着弾位置を分散させる。これにより、ノズル間の液滴Ｄの吐出量ばらつきによる主走査方向へのスジ状の吐出ムラ（色ムラ）を目立ち難くすることができる。
【００９１】
（実施例２）
図１１（ａ）および（ｂ）は、実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。実施例２の液状体の吐出方法は、実施例１に対してさらに膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに掛かるノズル５２の分散を考慮したものである。
【００９２】
まず、図１１（ａ）に示すように、ノズル列５２ｃと膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの列方向とを合致させた状態での主走査を行う。これにより、実施例１と同様に、膜形成領域３ｒにそれぞれ４滴の液滴Ｄ1を着弾させる。
【００９３】
次に、図１１（ｂ）に示すように、マザー基板Ｐを回転させ、再び４滴の液滴Ｄ2を膜形成領域３ｒに着弾させる。このとき、主走査において同一膜形成領域３ｒに掛かるノズル５２の組み合わせが、１回目の主走査と異なるように、マザー基板Ｐを回転させる。具体的には、図中の左下の膜形成領域３ｒに着目すると、液滴Ｄ1は、ノズルｎ２、ノズルｎ３、ノズルｎ４、ノズルｎ５を用いて吐出されている。これに対して、回転後の主走査では、液滴Ｄ2は、ノズルｎ１、ノズルｎ２、ノズルｎ３、ノズルｎ４を用いて吐出されている。
【００９４】
実施例２の液状体の吐出方法によれば、膜形成領域３ｒごとに主走査において掛かるノズル５２の組み合わせを変えるように、マザー基板Ｐを回転させることにより、膜形成領域３ｒにおける液滴Ｄの着弾位置が分散するだけでなく、液滴Ｄを吐出するノズル５２の選択も変わる。すなわち、異なるノズル５２の組み合わせで液滴Ｄを吐出するので、ノズル間の吐出量のばらつきによる吐出ムラを、実施例１に比べてさらに目立ち難くすることができる。
【００９５】
（実施例３）
図１２は、実施例３の液状体の吐出方法を説明する概略図であり、マザー基板におけるカラーフィルタの配置を示すと共に、マザー基板とヘッドユニットとの相対配置を示すものである。図１３（ａ）および（ｂ）、並びに図１４（ａ）〜（ｃ）は、実施例３の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。
【００９６】
実施例３の液状体の吐出方法は、実施例１および実施例２に対して、マザー基板Ｐにおけるカラーフィルタの面付け状態が異なる場合の実施例である。
【００９７】
図１２に示すように、マザー基板Ｐには、カラーフィルタＥ２と、カラーフィルタＥ２に比べてサイズが小さいカラーフィルタＥ３とがそれぞれ多面取りされている。ここでは、まだ３色の液状体を吐出する前であるため、それぞれに隔壁部４が形成された状態であり、カラーフィルタＥ２を第１被吐出領域Ｅ２、カラーフィルタＥ３を第２被吐出領域Ｅ３として扱う。
【００９８】
第１被吐出領域Ｅ２は、四角形のマザー基板Ｐの外形に沿って所定の間隔を置いてマトリクス状に２つずつ、合計４つ面付けされている。第１被吐出領域Ｅ２が面付けされて余ったマザー基板Ｐの領域に、第２被吐出領域Ｅ３がマザー基板Ｐの長辺に沿って所定の間隔を置いて７つ面付けされている。
【００９９】
第１被吐出領域Ｅ２における膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの配置は、着色層３のストライプ方向がマザー基板Ｐの短辺に沿った方向となっている。
【０１００】
これに対して、第２被吐出領域Ｅ３における膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の配置は、ストライプ方向がマザー基板Ｐの長辺と平行となっている。すなわち、双方の着色層３のストライプ方向が互いに直交する配置となっている。言い換えれば、相互の膜形成領域における行方向と列方向が異なり、互いに直交している。さらに、実施例１や実施例２に対して、双方の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の配置は、高精細になっている。
【０１０１】
実施例１の場合と同様に、最初のマザー基板Ｐの位置決め動作を行う。最初のマザー基板Ｐの位置決め状態において、第１被吐出領域Ｅ２における膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの相対的な配置は、図１３（ａ）に示すように、ノズル列５２ｃに対して、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの列方向が平行な状態となっている。ノズルピッチＰ２との関係から、このまま主走査すれば、１つの膜形成領域３ｒに４つのノズル５２が掛かる。しかし、４つのノズル５２のうち１つは隔壁部４に近いので、これは使用しない。言い換えれば、１つの膜形成領域３ｒに少なくとも３滴の液滴Ｄを着弾させることができる。
【０１０２】
一方で第２被吐出領域Ｅ３における膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の相対的な配置は、図１３（ｂ）に示すように、ノズル列５２ｃに対して、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の列方向が直交する状態となっている。この場合、膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の副走査方向（Ｘ軸方向）における配置ピッチＧＰｘは、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに比べて小さく、且つノズルピッチＰ２に対して整数倍の関係になっていないので、このまま主走査すれば、１つの膜形成領域３ｒ'に必ず１つのノズル５２が掛かるとは限らない。言い換えれば、１回の主走査では、同種の液状体を吐出したい膜形成領域３ｒ'の全てに対して、液滴Ｄを着弾させることができない。
【０１０３】
そこで、実施例３の液状体の吐出方法では、図１４（ａ）に示すように、制御部４０は、回転機構６を駆動制御して、ステージ５を回転させ、マザー基板Ｐを斜めに位置決めする。主走査方向に対する回転角度はθで与えられる。言い換えれば、最初の主走査において、マザー基板ＰをアライメントマークＰ0を中心として回転させる。
【０１０４】
図１４（ｃ）に示すように、制御部４０は、回転後の膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の実質的な副走査方向における配置ピッチＧＰｘが、ノズルピッチＰ２とほぼ合致するようにマザー基板Ｐを回転させる。マザー基板Ｐにおける第１被吐出領域Ｅ２および第２被吐出領域Ｅ３の面付けにおける設計情報からあらかじめ回転角度θを算出する。あるいは、ワーク撮像部１３が撮像した画像情報から膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の配置情報を入手して、ＣＰＵ４１により回転角度θを演算させてもよい。
【０１０５】
これにより、図１４（ｂ）に示すように、第１被吐出領域Ｅ２においては、主走査において膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに掛かるノズル５２の数は変化せず、図１４（ｃ）に示すように、第２被吐出領域Ｅ３においては、同種の液状体を液滴Ｄとして吐出したい膜形成領域３ｒ'には、１つのノズル５２が掛かるようになる。すなわち、少なくとも１滴の液滴Ｄを同種の膜形成領域３ｒ'に着弾させることができる。他の膜形成領域３ｇ'，３ｂ'においても同様である。
【０１０６】
膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂと膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の設計寸法に応じて、主走査において液滴Ｄを吐出可能なノズル数を増やすために、回転後の膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の実質的な副走査方向における配置ピッチＧＰｘが、ノズルピッチＰ２よりも大きくなるように回転角度θを設定してもよい。
これにより、副走査方向における配置ピッチが実質的に小さい膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'に、主走査においてより多くのノズル５２が掛かる。すなわち、使用ノズル率が向上する。
【０１０７】
膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の形状や配置、マザー基板Ｐにおける第１被吐出領域Ｅ２および第２被吐出領域Ｅ３の配置（言い換えれば、互いに異なる配列のフィルタエレメントを有する複数種のカラーフィルタ２の配置）は、設計事項である。したがって、マザー基板Ｐにおける面付け状態が異なる度に、マザー基板Ｐを斜めに位置決めする回転角度θを変えることは、製造工程を複雑にさせる。ゆえに、想定される種々のカラーフィルタ２の面付け状態から、最大公約的な回転角度θを演算して、常に一定の角度でマザー基板Ｐを斜めに位置決めしてもよい。
このようにすれば、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'における液滴Ｄの配置情報のデータ作成が、同一条件の元に可能となる。すなわち、配置情報生成作業を軽減することができる。
【０１０８】
次に、２回目以降の主走査において、制御部４０は、回転機構６を駆動してステージ５を微小回転させる。すなわち、マザー基板Ｐを主走査方向に対して微小回転させる。これにより、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'内における液滴Ｄの着弾位置を分散させる。
【０１０９】
改行を伴う主走査を行う場合には、改行時にマザー基板Ｐを微小回転前の斜めに位置決めされた状態に戻す。
【０１１０】
実施例３の液状体の吐出方法によれば、膜形成領域（あるいは被吐出部）の配列（行、列）が異なる第１被吐出領域Ｅ２、第２被吐出領域Ｅ３とがマザー基板Ｐに多面付けされていても、それぞれに対して好適な複数のノズル５２（ノズル列５２ｃ）の配置を実現して、効率よく液滴Ｄを吐出することができる。また、液滴Ｄの着弾位置を分散させて、ノズル間の吐出量のばらつきに起因するスジ状の吐出ムラ（色ムラ）を目立ち難くすることができる。
【０１１１】
上記実施形態の液滴吐出装置１０並びに液状体の吐出方法を用いれば、マザー基板Ｐに多面付けされたカラーフィルタＥ１，Ｅ２，Ｅ３を、色ムラを目立ち難くして、歩留りよく製造することができる。
【０１１２】
（実施形態２）
次に、上記実施形態１の液滴吐出装置１０並びに液状体の吐出方法を適用した有機ＥＬ素子の製造方法について図１５および図１６を参照して説明する。図１５は有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図、図１６（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。
【０１１３】
＜有機ＥＬ装置＞
図１５に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、有機発光材料からなる３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの膜形成領域としての発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。すなわち、異色の発光層形成領域Ａが行方向に配列し、同色の発光層形成領域Ａが列方向に配列している。有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に射出するものである。
【０１１４】
封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。
【０１１５】
素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の発光層形成領域Ａを有するものであって、複数の発光層形成領域Ａを区画するバンク６１８と、複数の発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、絶縁材料を用いて形成され、正孔注入／輸送層６１７ａ上に積層された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと電極６１３とが電気的に短絡しないように、電極６１３の周囲を覆っている。
【０１１６】
素子基板６０１は、例えばガラスなどの透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗなどからなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などからなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１５ではこれらの図示を省略している。
【０１１７】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、バンク６１８と発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を射出させることができる。
【０１１８】
有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また、有機ＥＬ装置６００は、発光層Ｌｕが上記実施形態１の液滴吐出装置１０を使用すると共に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて形成されているため、ほぼ一定量の液状体が各発光層形成領域Ａに付与され、発光ムラ、輝度ムラなどの表示不具合の少ない高い表示品質を有すると共に、高精細な表示を可能としている。
【０１１９】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の製造方法について図１６を参照して説明する。なお、図１６（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【０１２０】
本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるようにバンク６１８を形成するバンク形成工程とを備えている。またバンク６１８で区画された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する成膜工程とを備えている。さらに、バンク６１８と発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の発光層形成領域Ａへの付与は、上記実施形態１の液滴吐出装置１０を使用すると共に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて行う。よって、図３に示したヘッドユニット９における液滴吐出ヘッド５０の配置を適用する。
【０１２１】
電極（陽極）形成工程では、図１６（ａ）に示すように、素子基板６０１の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯなどの透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。そしてバンク形成工程へ進む。
【０１２２】
バンク形成工程では、図１６（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の周囲を覆うようにバンク６１８を形成する。バンク６１８の材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった絶縁性を有する有機材料が好ましい。バンク６１８の形成方法としては、例えば、電極６１３が形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２〜３μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、バンク６１８を形成する方法が挙げられる。そして、表面処理工程へ進む。
【０１２３】
発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、バンク６１８の表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ4などのフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなるバンク６１８の表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。
【０１２４】
正孔注入／輸送層形成工程では、図１６（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、図３のヘッドユニット９を備えた液滴吐出装置１０と上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴Ｄとして素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は発光層形成領域Ａの面積に応じて、ほぼ一定量が液滴Ｄとして吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。
【０１２５】
乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニールなどの方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３のバンク６１８により区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料として３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を用いた。なお、本実施形態では、各発光層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして次の液状体の吐出工程へ進む。
【０１２６】
液状体の吐出工程では、図１６（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０を用いて複数の液滴吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、発光層形成領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。これらの液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する方法としては、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いた。そして、乾燥・成膜工程へ進む。
【０１２７】
乾燥・成膜工程では、図１６（ｅ）に示すように、吐出された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ進む。
【０１２８】
陰極形成工程では、図１６（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとバンク６１８の表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌなどの金属やＬｉＦなどのフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌなどの膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮなどの保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法などが挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【０１２９】
このようにして出来上がった素子基板６０１は、ほぼ一定量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴Ｄとして発光層形成領域Ａに付与され、乾燥・成膜化後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。
【０１３０】
上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法によれば、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの吐出工程では、上記実施形態１の液滴吐出装置１０を使用すると共に、上記実施形態１の液状体の吐出方法を用いて液滴を吐出する。したがって、マザー基板Ｐ（素子基板６０１）において、複数の発光層形成領域Ａの行方向または列方向が異なる第１被吐出領域と第２被吐出領域とを有していても、着弾位置が分散するように液滴Ｄが吐出され、それぞれの発光層形成領域Ａにほぼ一定量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが安定的に塗布される。したがって、乾燥・成膜後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが得られる。
【０１３１】
また、上記実施形態２の発光素子部６０３の製造方法を用いて、有機ＥＬ装置６００を製造すれば、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、回路素子部６０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラなどが低減される。すなわち、発光ムラや輝度ムラなどが少なく、平面的なサイズが異なる有機ＥＬ装置６００を効率よく製造することができる。
【０１３２】
上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【０１３３】
（変形例１）上記実施形態１のカラーフィルタの製造方法において、主走査におけるマザー基板Ｐと複数のノズル５２の相対的な配置の方法は、これに限定されない。実際には、マザー基板Ｐの回転中心Ｐ0と、ステージ５を回転させる回転機構６の回動中心Ｃ0とを完全に合致させることは難しい。よって、回転後の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ，３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'と複数のノズル５２の相対的な配置が好適な状態からわずかにずれることも考えられる。その場合には、回転角度の微調整や、キャリッジ８側に設けられた回転機構７を駆動してヘッドユニット９を微小回転させることにより、相対的な位置の調整を行ってもよい。
【０１３４】
（変形例２）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、マザー基板Ｐにおけるカラーフィルタの面付けの仕方は、これに限定されない。例えば、第１被吐出領域Ｅ２の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂと第２被吐出領域Ｅ３の膜形成領域３ｒ'，３ｇ'，３ｂ'の大きさは、同一であってもよい。
【０１３５】
（変形例３）上記実施形態１において、カラーフィルタ２における着色層３の配置は、これに限定されない。図１７（ａ）〜（ｃ）は、カラーフィルタにおける着色層の配置を示す概略図である。上記実施形態では、図１７（ａ）に示すように３色の着色層の配置は、ストライプ方式であったが、例えば、同図（ｂ）に示すように同色の着色層が斜めに配置されたモザイク方式や、同図（ｃ）に示すように、３色の着色層が三角形の頂点の位置に配置されたデルタ方式においても、上記実施形態１のカラーフィルタの製造方法を適用することができる。
また、着色層は、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色に限定されず、Ｒ、Ｇ、Ｂ以外の他の色を加えた多色の場合にも適用することができる。
【０１３６】
（変形例４）上記実施形態の液滴吐出装置１０において、ヘッドユニット９における液滴吐出ヘッド５０の配置は、これに限定されない。例えば、異種の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５０を同一の描画幅Ｌ１内において、並列するように配置してもよい。これによれば、描画幅Ｌ１で副走査すればよいので、改行動作が単純になる。
【０１３７】
（変形例５）上記実施形態２の有機ＥＬ装置６００において、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の構成は、これに限定されない。例えば、発光層形成領域Ａには、赤色や白色など単色の発光が得られる機能層６１７を形成してもよい。これによれば、有機ＥＬ装置６００を照明装置として用いることもできる。
また、白色発光させた場合には、封止基板６２０側にカラーフィルタ２を配置することによって、フルカラー表示が可能なトップエミッション型の有機ＥＬ装置６００を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３８】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は液滴吐出ヘッドを示す斜視図、（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図。
【図３】（ａ）はヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図、（ｂ）は複数のヘッドユニットの配列方法を示す概略平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】（ａ）は液滴吐出装置の吐出描画動作の一例を示す１回目の主走査におけるヘッドユニットの配置を示す模式図、（ｂ）は２回目の主走査におけるヘッドユニットの配置を示す模式図。
【図６】（ａ）はカラーフィルタの構成を示す概略平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ'線で切った断面図。
【図７】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は、カラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図９】実施例１の液状体の吐出方法を説明する、マザー基板におけるカラーフィルタの配置を示すと共に、マザー基板とヘッドユニットとの相対配置を示す概略図。
【図１０】（ａ）〜（ｄ）は、実施例１の膜形成領域と複数のノズルとの相対的な配置を示す概略平面図。
【図１１】（ａ）および（ｂ）は、実施例２の液状体の吐出方法を示す膜形成領域と複数のノズルとの相対的な配置を示す概略平面図。
【図１２】実施例３の液状体の吐出方法を説明する、マザー基板におけるカラーフィルタの配置を示すと共に、マザー基板とヘッドユニットとの相対配置を示す概略図。
【図１３】（ａ）および（ｂ）は、実施例３の液状体の吐出方法を示す膜形成領域と複数のノズルとの相対的な配置を示す概略平面図。
【図１４】（ａ）〜（ｃ）は、実施例３の液状体の吐出方法を示す膜形成領域と複数のノズルとの相対的な配置を示す概略平面図。
【図１５】有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１６】（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子としての発光素子部の製造方法を示す概略断面図。
【図１７】（ａ）〜（ｃ）は、カラーフィルタにおける着色層の配置を示す概略図。
【符号の説明】
【０１３９】
１…基板、２…カラーフィルタ、３…着色層、３ｒ，３ｇ，３ｂ…被吐出部としての膜形成領域、５…ステージ、６…回転機構、１０…液滴吐出装置、２０…第１移動機構としてのワーク移動機構、３０…第２移動機構としてのヘッド移動機構、４０…制御部、５２…ノズル、６０１…基板としての素子基板、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７…機能層、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…膜形成領域としての発光層形成領域、Ｄ…液滴、Ｅ１，Ｅ２…第１被吐出領域、Ｅ３…第２被吐出領域、Ｐ…基板としてのマザー基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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