(57)【要約】【課題】高粘度の液体を用いた場合でも十分な吐出量を確保し得るとともに、液体に含まれる成分がノズル付近に析出することを防止して良好に液体を吐出し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】インクを噴射する液体噴射面にノズル開口１３が設けられたノズルプレート１４と、ノズルプレート１４の液体噴射面とは反対側の面に接合されてノズル開口１３に連通する圧力発生室１１を含む液体流路を有する流路形成基板１２と、圧力発生室１１内に圧力を付与する圧電素子１６と、加熱流路４０に流通して液体流路内のインクを加熱する熱媒体とを具備し、ノズルプレート１４は、流路形成基板１２に接合された第１のプレート１４ａと該第１のプレート１４ａに接合された第２のプレート１４ｂとから構成され、第２のプレート１４ｂは、第１のプレート１４ａの熱伝導率よりも低い熱伝導率を有する材料からなる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射する液体噴射面にノズル開口が設けられたノズルプレートと、
該ノズルプレートの前記液体噴射面とは反対側の面に接合されて前記ノズル開口に連通する圧力発生室を含む液体流路を有する流路形成基板と、
前記圧力発生室内に液滴を噴射するための圧力を付与する圧力発生手段と、
前記液体流路内の前記液体を加熱する加熱手段とを具備し、
前記ノズルプレートは、前記流路形成基板に接合された第１のプレートと、該第１のプレートに接合された第２のプレートとから構成され、
前記第２のプレートは、前記第１のプレートの熱伝導率よりも低い熱伝導率を有する材料からなる
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記第２のプレートを冷却する冷却手段を具備する
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記冷却手段は、前記第２のプレートの前記液体噴射面側に設けられた冷却素子である
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記加熱手段は、前記流路形成基板に配設された加熱用導線である
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記加熱手段は、前記流路形成基板に形成された加熱流路に循環する熱媒体である
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記第２のプレートの前記液体噴射面には、撥水膜が設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に高粘度の液体を用いる場合に適用して有用なものである。
【背景技術】
【０００２】
液滴を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズルが穿設されたノズルプレートと、ノズルに連通する複数の圧力発生室を含む液体流路が形成された流路形成基板と、この流路形成基板の一方面側に形成される圧力発生手段とを具備するものがある。
【０００３】
最近では、紙だけでなく、プラスチックやガラス等の印刷対象に印刷する需要も増加している。このような印刷対象はインクの吸収性が低いため、印刷対象にインクを確実に定着させるべく高粘度のインクが用いられている。高粘度のインクは、常温においては粘度が高すぎるため、インクジェット式記録ヘッドでは、液体流路内のインクを加熱してインクの粘度を低下させている。インクの粘度を低下させることにより、インクは液体流路を安定して流通するため、良好なインクの吐出特性が得られるようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１９７９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、インクには、顔料のような粒子成分が含まれており、インクを加熱することで溶媒が蒸発すると粒子成分がノズル付近に析出する虞がある。ノズル付近に粒子成分が析出すると、インク滴がノズルからまっすぐ吐出されなくなったり、粒子成分でノズルが詰まってしまうという問題が生じる。
【０００６】
なお、このような問題は、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、勿論、インク滴以外の液滴を噴射する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、高粘度の液体を用いた場合でも十分な吐出量を確保し得るとともに、液体に含まれる成分がノズル付近に析出することを防止して良好に液体を吐出し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明は、液体を噴射する液体噴射面にノズル開口が設けられたノズルプレートと、該ノズルプレートの前記液体噴射面とは反対側の面に接合されて前記ノズル開口に連通する圧力発生室を含む液体流路を有する流路形成基板と、前記圧力発生室内に液滴を噴射するための圧力を付与する圧力発生手段と、前記液体流路内の前記液体を加熱する加熱手段とを具備し、前記ノズルプレートは、前記流路形成基板に接合された第１のプレートと、該第１のプレートに接合された第２のプレートとから構成され、前記第２のプレートは、前記第１のプレートの熱伝導率よりも低い熱伝導率を有する材料からなることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、第２のプレートの熱伝導率が第１のプレートよりも低いため、液体流路の液体の熱が第２のプレートに伝達し難い。このため、第２のプレートの温度上昇が抑制される。これにより、ノズル開口付近で液体の蒸発が抑制されるため、該液体の粒子成分がノズル開口付近で析出し難くなり、粒子成分の析出によるノズル開口の目詰まりが防止される。このため、ノズル開口から液体を高精度にまっすぐに吐出し得る液体噴射ヘッドが提供される。また、完全な目詰まりによる吐出不良を防止した高信頼性を有する液体噴射ヘッドが提供される。
【０００９】
ここで、前記第２のプレートを冷却する冷却手段を具備することが好ましい。これによれば、第２のプレートのノズル開口付近の温度が冷却されるため、ノズル開口付近で液体の蒸発がより一層抑制され、粒子成分の析出を確実に防止できる。
【００１０】
また、前記冷却手段は、前記第２のプレートの前記液体噴射面側に設けられた冷却素子であることが好ましい。これによれば、より確実に、粒子成分の析出を防止できる。
【００１１】
また、前記加熱手段は、前記流路形成基板に配設された加熱用導線であることが好ましい。これによれば、液体の吐出側に近い圧力発生室に流通する液体を加熱することになるので、液体を確実に加熱してその粘度を低下させることができる。
【００１２】
また、前記加熱手段は、前記流路形成基板に形成された加熱流路に循環する熱媒体であることが好ましい。これによれば、液体の吐出側に近い圧力発生室に流通する液体を加熱することになるので、液体を確実に加熱してその粘度を低下させることができる。
【００１３】
また、前記第２のプレートの前記液体噴射面には、撥水膜が設けられていることが好ましい。これによれば、ノズル開口からの液体が第２のプレートの表面に付着することを防止できる。
【００１４】
さらに本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、信頼性を向上すると共に液体の吐出特性に優れた液体噴射装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを示す概略断面図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの要部断面図である。
【００１６】
図１及び図２に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、複数の圧力発生室１１を有する流路形成基板１２と、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４と、流路形成基板１２のノズルプレート１４とは反対側の面に設けられる振動板１５と、該振動板１５上の各圧力発生室１１に対応する領域に設けられる圧電素子１６を有する圧電素子ユニット１７と、振動板１５上に固定されて圧電素子ユニット１７が収容される収容部１８を有するヘッドケース１９とを有する。
【００１７】
流路形成基板１２には、その一方面側の表層部分に、圧力発生室１１が隔壁によって区画されてその幅方向で複数並設されている。例えば、本実施形態では、流路形成基板１２には、複数の圧力発生室１１が並設され、各圧力発生室１１の列の外側には、各圧力発生室１１にインクを供給するためのリザーバ２１が、流路形成基板１２を厚さ方向に貫通して設けられている。そして、各圧力発生室１１とリザーバ２１とは、インク供給路２２を介して連通している。インク供給路２２は、本実施形態では、圧力発生室１１よりも狭い幅で形成されており、リザーバ２１から圧力発生室１１に流入するインクの流路抵抗を一定に保持する役割を果たしている。さらに、圧力発生室１１のリザーバ２１とは反対の端部側には、流路形成基板１２を貫通するノズル連通孔２３が形成されている。また、リザーバ２１は、ヘッドケース１９の厚さ方向に貫通して形成されたインク導入路４１と連通している。インク導入路４１は、インクカートリッジ（図示せず）からのインクをリザーバ２１に導く流路である。すなわち、リザーバ２１、インク供給路２２、圧力発生室１１及びノズル連通孔２３から構成される液体流路が流路形成基板１２に形成されている。
【００１８】
また、詳細は後述するが、液体流路内のインクを加熱する加熱手段の一例として、流路形成基板１２には、熱媒体が流通する加熱流路４０が形成されている。かかる熱媒体によりインクが加熱されてその粘度が低下するので、インクは圧力発生室１１等を安定して流通し、良好なインクの吐出特性が得られる。
【００１９】
このような流路形成基板１２は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、流路形成基板１２に設けられる上記圧力発生室１１等は、流路形成基板１２をエッチングすることによって形成されている。
【００２０】
この流路形成基板１２の一方面側には、ノズル開口１３が穿設されたノズルプレート１４が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着され、各ノズル開口１３は、流路形成基板１２に設けられたノズル連通孔２３を介して各圧力発生室１１と連通している。
【００２１】
ノズルプレート１４は、流路形成基板１２に接合された第１のプレート１４ａと、該第１のプレート１４ａに接合された第２のプレート１４ｂとから構成されており、第２のプレート１４ｂは、第１のプレート１４ａの熱伝導率よりも低い熱伝導率を有する材料からなる。第２のプレート１４ｂの材料としては、例えばシリコンまたはガラスであることが好ましく、この場合の第１のプレート１４ａの材料としてはＳＵＳであることが好ましい。また、第１のプレート１４ａ及び第２のプレート１４ｂは、単一層から形成されていてもよいし、複数層から形成されていてもよい。複数層から形成される場合は、ノズルプレート１４の液体噴射面（第２のプレート１４ｂの流路形成基板１２とは反対側の面）側の層から流路形成基板１２側の層に向けて熱伝導率が高くなるように積層形成したノズルプレートを用いる。
【００２２】
このように第２のプレート１４ｂの熱伝導率が第１のプレート１４ａよりも低いと、圧力発生室１１等のインクの熱が第２のプレート１４ｂに伝達し難いため、第２のプレート１４ｂの温度上昇が抑制される。これにより、ノズル開口１３付近でインクの蒸発が抑制されるため、該インクの粒子成分がノズル開口１３付近で析出し難くなり、粒子成分の析出によるノズル開口１３の目詰まりが防止される。このため、ノズル開口１３からインクを高精度にまっすぐに吐出し得るインクジェット式記録ヘッドが提供される。また、完全な目詰まりによる吐出不良を防止した高信頼性を有するインクジェット式記録ヘッドが提供される。
【００２３】
また、上記に説明した熱伝導率の違いから、第１のプレート１４ａの温度は、その熱が第２のプレート１４ｂに伝達され難いため、液体流路内のインクと同等の温度に保たれる。このため、第１のプレート１４ａのインクが直接触れる領域、例えば、第１のプレート１４ａのリザーバ２１に対向する領域Ａ１やノズル連通孔２３に対向する領域Ａ２では、リザーバ２１やノズル連通孔２３のインクの熱を奪うことなく当該インクの温度を保持することができる。これにより、インクの粘度を低下させて、液体流路におけるインクの安定した流通を確保できる。
【００２４】
なお、ノズルプレート１４の液体噴射面側の温度を低温度とすべく、インクジェット式記録ヘッドに第２のプレート１４ｂを冷却する冷却手段を設けてもよい。これによれば、ノズル開口１３付近をより確実に低温度に維持することができ、ノズル開口１３付近に粒子成分が析出することをより確実に防止できる。冷却手段の一例については後述する。
【００２５】
また、本実施形態では、第２のプレート１４ｂの表面には撥水膜４２が設けられており、ノズル開口１３からのインクが第２のプレート１４ｂの表面に付着しないようになっている。
【００２６】
また、流路形成基板１２の他方面側、すなわち、圧力発生室１１の開口面側には振動板１５が接合されて、各圧力発生室１１はこの振動板１５によって封止されている。
【００２７】
この振動板１５は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜２４と、この弾性膜２４を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板２５との複合板で形成されており、弾性膜２４側が流路形成基板１２に接合されている。例えば、本実施形態では、弾性膜２４は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、支持板２５は、ステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。また、振動板１５の各圧力発生室１１に対向する領域内には、圧電素子１６の先端部が当接する島部２６が設けられている。すなわち、振動板１５の各圧力発生室１１の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部２７が形成されて、この薄肉部２７の内側にそれぞれ島部２６が設けられている。また、本実施形態では、振動板１５のリザーバ２１に対向する領域に、薄肉部２７と同様に、支持板２５がエッチングにより除去されて実質的に弾性膜２４のみで構成されるコンプライアンス部２８が設けられている。なお、このコンプライアンス部２８は、リザーバ２１内の圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部２８の弾性膜２４が変形することによって圧力変化を吸収し、リザーバ２１内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００２８】
そして、圧電素子ユニット１７を構成する各圧電素子１６は、その活性領域の先端が振動板１５の島部２６に当接した状態で固定されている。
【００２９】
ここで、圧力発生室１１内にインク滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段である圧電素子１６は、本実施形態では、一つの圧電素子ユニット１７において一体的に形成されている。すなわち、圧電材料２９と電極形成材料３０，３１とを縦に交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子形成部材３２を形成し、この圧電素子形成部材３２を各圧力発生室１１に対応して櫛歯上に切り分けることによって各圧電素子１６が形成されている。すなわち、本実施形態では、複数の圧電素子１６が一体的に形成されている。そして、この圧電素子１６（圧電素子形成部材３２）の振動に寄与しない不活性領域、すなわち、圧電素子１６の基端部側が固定基板３３に固着されている。そして、圧電素子１６の基端部近傍には、固定基板３３とは反対側の面に、各圧電素子１６を駆動するための信号を供給する配線３４を有する回路基板３５が接続され、本実施形態では、これら圧電素子１６（圧電素子形成部材３２）と固定基板３３と回路基板３５とで圧電素子ユニット１７が構成されている。
【００３０】
そして、このような圧電素子ユニット１７は、圧電素子１６の先端部が上述した振動板１５の島部２６に当接された状態で固定されている。例えば、本実施形態では、上述したように振動板１５上にヘッドケース１９が固定されており、圧電素子ユニット１７は、このヘッドケース１９の収容部１８内に収容されて、圧電素子１６が固定された固定基板３３が、圧電素子１６とは反対側の面でヘッドケース１９に固定されている。
【００３１】
ヘッドケース１９には、圧電素子ユニット１７が収容される収容部１８が複数設けられている。
【００３２】
収容部１８は、本実施形態では、３つ並設されており、１つの収容部１８に１つの圧電素子ユニット１７が配置されている。すなわち、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、圧電素子ユニット１７が合計３個設けられている。そして、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０では、各圧電素子ユニット１７に対してノズル開口１３の列が設けられているため、３列のノズル開口１３の列が設けられていることになる。
【００３３】
また、ヘッドケース１９上には、回路基板３５の各配線３４がそれぞれ接続される複数の導電パッド３６が設けられた配線基板３７が固定されており、ヘッドケース１９の収容部１８は、この配線基板３７によって実質的に塞がれている。配線基板３７には、ヘッドケース１９の収容部１８に対向する領域にスリット状の開口部３８が形成されており、回路基板３５はこの配線基板３７の開口部３８から収容部１８の外側に引き出されている。
【００３４】
なお、配線基板３７の開口部３８は、各収容部１８に対して１つ、すなわち、本実施形態では、３つ設けられており、１つの収容部１８に設けられた１つの圧電素子ユニット１７に接続された１つの回路基板３５は、１つの開口部３８から引き出されている。
【００３５】
圧電素子ユニット１７を構成する回路基板３５は、本実施形態では、圧電素子１６を駆動するための駆動ＩＣ（図示なし）が搭載されたフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）、例えば、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）やチップオンフィルム（ＣＯＦ）やフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）などからなる。そして、回路基板３５の各配線３４は、その基端部側では、例えば、半田、異方性導電材等によって圧電素子１６を構成する電極形成材料３０，３１に接続されている。一方、先端部側では、各配線３４は配線基板３７の各導電パッド３６に接合されている。具体的には、配線基板３７の開口部３８から収容部１８の外側に引き出された回路基板３５の先端部が配線基板３７の表面に沿って折り曲げられた状態で、各配線３４は配線基板３７の各導電パッド３６に半田（図示せず）を介して接合されている。
【００３６】
このようなインクジェット式記録ヘッド１０では、インク滴を吐出する際に、圧電素子１６及び振動板１５の変形によって各圧力発生室１１の容積を変化させて所定のノズル開口１３からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジからリザーバ２１にインクが供給されると、インク供給路２２を介して各圧力発生室１１にインクが分配される。実際には、圧電素子１６に電圧を印加することにより圧電素子１６を収縮させる。これにより、振動板１５が圧電素子１６と共に変形されて圧力発生室１１の容積が広げられ、圧力発生室１１内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口１３に至るまで内部にインクを満たした後、配線基板３７を介して供給される記録信号に従い、圧電素子１６の電極形成材料３０及び３１に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子１６が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板１５も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室１１の容積が収縮して圧力発生室１１内の圧力が高まりノズル開口１３からインク滴が吐出される。
【００３７】
ここで、図３を用いて、加熱手段の一例である加熱流路について説明する。図３は、図２のＡ−Ａ’線断面図である。
【００３８】
図示するように、流路形成基板１２には、圧力発生室１１を区画する隔壁４３におけるリザーバ２１及び圧力発生室１１の外側、並びに各圧力発生室１１の間に連続して設けられた溝部からなる加熱流路４０が設けられている。加熱流路４０には、図示しない熱媒体供給手段により、例えば所定温度に加熱された水などの熱媒体が流通しており、その熱媒体の熱が、隔壁４３を介してインクを加熱している。
【００３９】
このような加熱流路４０を流れる熱媒体によれば、液体流路のうち、インクの吐出側に近いリザーバ２１からノズル連通孔２３に至る部分に流れるインクを加熱することになるので、インクを確実に加熱してその粘度を低下させることができる。
【００４０】
もちろん、リザーバ２１からノズル連通孔２３のインクを加熱する場合のみならず、インクカートリッジ、インク導入路４１に流通するインクを加熱してもよい。また、加熱手段は、加熱流路４０に流通する熱媒体に限定されない。例えば、ＳＵＳからなる流路形成基板を用いる場合は、この流路形成基板に電圧を印加して流路形成基板全体を加熱させ、その熱をもってインクを加熱してもよい。更に、加熱流路４０と同様に、圧力発生室１１を区画する隔壁４３におけるリザーバ２１及び圧力発生室１１の外側、並びに各圧力発生室１１の間に加熱用導線を配設し、この導線に電流を流して生じる熱をもって液体流路のインクを加熱してもよい。
【００４１】
ここで、図４を用いて、冷却手段の一例である冷却素子について説明する。図４は、ノズルプレートの液体噴射面側の平面図及びＡ−Ａ’線断面図である。図示するように、第２のプレート１４ｂの表面（液体噴射面）上には、ノズル開口１３のノズル列を取り囲むように、冷却素子４４が配設されている。冷却素子４４としては、例えば、ペルチェ素子が用いられる。かかる冷却素子４４は、第２のプレート１４ｂが冷却されるように構成されており、これにより、第２のプレート１４ｂのノズル列近傍が冷却され、ノズル開口１３付近でインクが蒸発することが更に抑制され、ノズル開口１３にインクの粒子成分が析出することが一層抑制できる。このため、より高精度にインクを吐出し得ると共に、ノズル開口１３の目詰まりを確実に防止し得るインクジェット式記録ヘッドが提供される。
【００４２】
なお、冷却手段は、冷却素子４４に限定されない。例えば、冷却手段は、第２のプレート１４ｂに設けた冷媒流路を流通して、加熱されたインクよりも低温度の冷媒であってもよい。
【００４３】
また、これらのインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図５は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００４４】
図５に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４５】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００４６】
なお、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク滴以外の液滴を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】実施形態に係る記録ヘッドの概略断面図である。
【図２】実施形態に係る記録ヘッドの要部断面図である。
【図３】実施形態に係る流路形成基板の断面図である。
【図４】実施形態に係るノズルプレートの平面図及び断面図である。
【図５】実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０  記録ヘッド、  １１  圧力発生室、  １２  流路形成基板、  １３  ノズル開口、  １４  ノズルプレート、  １５  振動板、  １６  圧電素子、  １７  圧電素子ユニット、  １８  収容部、  １９  ヘッドケース、  ２１  リザーバ、  ２２  インク供給路、  ２３  ノズル連通孔、  ２４  弾性膜、  ２５  支持板、  ２６  島部、  ２７  薄肉部、  ２８  コンプライアンス部、  ２９  圧電材料、  ３０，３１  電極形成材料、  ３２  圧電素子形成部材、  ３３  固定基板、  ３４  配線、  ３５  回路基板、  ３６  導電パッド、  ３７  配線基板、  ３８  開口部、  ４０  加熱流路、  ４１  インク導入路、  ４２  撥水膜、  ４３  隔壁、  ４４  冷却素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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