(57)【要約】【課題】  ３次元像構築を行なうための連続傾斜像を取得するとき、最適な光学条件を観察倍率に応じて選択でき、かつ自動的に設定する機能を備える透過電子顕微鏡を提供する。【解決手段】  高倍率像観察用に短焦点の対物レンズ（ＯＬ）、低倍率像観察用に長焦点の対物ミニレンズ（ＯＭ）を用いるようにする。指定された加速電圧と観察倍率に必要とされる初段結像系レンズの球面収差係数（Ｃｓ）を計算し、対物ミニレンズの適用範囲にあるか否かを判定し、範囲内であれば対物ミニレンズを使用して大きな被写界深度を得るようにする。範囲外であれば短焦点の対物レンズを使用して高分解能像を取得する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜試料に電子線を照射して試料内部の３次元像を構築する機能を備えた透過電子顕微鏡であって、
試料を複数段階傾斜させて傾斜角度毎に透過電子顕微鏡像を取得する手段と、
試料を透過した電子線を拡大するための対物レンズと、
前記対物レンズが持つ焦点距離よりも大きな焦点距離を持ち、前記対物レンズと併用若しくは独立して使用する対物ミニレンズと、
前記３次元像の構築に必要な透過電子顕微鏡像を取得する加速電圧と観察倍率とを指定する指定手段とを有する透過電子顕微鏡において、
前記指定手段により指定された前記加速電圧と前記観察倍率での透過電子顕微鏡像に必要な分解能を得るための初段結像系レンズの球面収差係数を求める演算手段と、
前記対物レンズ若しくは前記対物ミニレンズの持つ球面収差係数と前記演算手段により求められた前記初段結像系レンズの球面収差係数との大小を比較して、前記対物レンズと前記対物ミニレンズのいずれを使用する方が３次元像の構築に適する透過電子顕微鏡像を得られるかを判定する判定手段とを備え、
前記判定手段により判定された結果に基づいて前記対物レンズ若しくは前記対物ミニレンズの何れかを前記観察倍率での透過電子顕微鏡像の取得に使用するようにしたことを特徴とする透過電子顕微鏡。
【請求項２】
前記判定手段は、前記演算手段により求められた前記初段結像系レンズの球面収差係数より小さな球面収差係数を持つレンズを３次元像の構築に適するレンズとして選択し、更に前記対物レンズと前記対物ミニレンズが共に前記演算手段により求められた前記初段結像系レンズの球面収差係数より小さな球面収差係数を持つ場合は、より長い焦点距離を持つ方のレンズを３次元像の構築に適するレンズとして選択するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の透過電子顕微鏡。
【請求項３】
薄膜試料に電子線を照射して試料内部の３次元像を構築する機能を備えた透過電子顕微鏡であって、
試料を複数段階傾斜させて傾斜角度毎に透過電子顕微鏡像を取得する手段と、
試料を透過した電子線を拡大するための対物レンズと、
前記対物レンズが持つ焦点距離よりも大きな焦点距離を持ち、前記対物レンズと併用若しくは独立して使用する対物ミニレンズと、
前記３次元像の構築に必要な透過電子顕微鏡像を取得する加速電圧と観察倍率とを指定する指定手段とを有する透過電子顕微鏡において、
前記３次元像の構築に必要な透過電子顕微鏡像を取得する加速電圧と観察倍率に応じて必要とされる分解能を得るためのレンズの球面収差係数を予め求めて、前記対物レンズ若しくは前記対物ミニレンズの持つ球面収差係数との大小比較に基づいて、加速電圧と観察倍率に対して３次元像の構築に適する透過電子顕微鏡像を得る方のレンズが選択されるように光学条件を記録したデータセットを予め作成しておき、
前記指定手段により指定された前記加速電圧と前記観察倍率に適する光学条件を前記データセットから読み出し、前記対物レンズ若しくは前記対物ミニレンズの何れかを前記観察倍率での透過電子顕微鏡像の取得に使用するようにしたことを特徴とする透過電子顕微鏡。
【請求項４】
前記データセットは、加速電圧と観察倍率に応じて透過電子顕微鏡像の取得に必要とされる分解能を得るための前記初段結像系レンズの球面収差係数に対して、該球面収差係数より小さな球面収差係数を持つレンズを３次元像の構築に適するレンズとして選択し、更に前記対物レンズと前記対物ミニレンズが共に前記初段結像系レンズの球面収差係数より小さな球面収差係数を持つ場合は、より長い焦点距離を持つ方のレンズが３次元像の構築に適するレンズとして選択されるように光学条件が記録されていることを特徴とする請求項３に記載の透過電子顕微鏡。
【請求項５】
前記３次元像の構築に必要な透過電子顕微鏡像を取得するために選択された初段結像系レンズの種類に基づいて、前記対物レンズの取込角を制限するための絞りと前記対物ミニレンズの取込角を制限するための絞りを透過電子顕微鏡像の取得に適する孔径に自動的に設定する手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の透過電子顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜試料に電子線を照射して試料内部の３次元像を構築する機能を備えた透過電子顕微鏡（以下、「ＴＥＭ」と略称する）に関わり、特にその測定に好適な電子光学系の条件を設定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
物体にＸ線や電子線等を照射して物体の内部構造を立体的に知る方法として、ＣＴ法（Computerized Tomography Method）がある。Ｘ線を用いるＸ線ＣＴ法は広く使われているが、ＴＥＭによる電子線ＣＴ法（「ＴＥＭトモグラフィー」、「電子線トモグラフィー」等とも称される）は、試料の極微小領域の３次元構造を観察する手法として、材料、医学、生物分野等で近年特に注目されている。
【０００３】
３次元像を構築するためには、物体断面と投影像との関係を求めるラドン-逆ラドン変換処理を行なう必要がある。そのため、ＴＥＭを用いる電子線ＣＴ法では、試料を傾斜させて様々な方位の透過電子顕微鏡像（以下、「ＴＥＭ像」と略称する）、即ち「連続傾斜像」を取得することになる。
【０００４】
図６に、電子線ＣＴ法を行なうＴＥＭの概略構成例を示す。図６において、１００はＴＥＭの電子光学系、１は電子線源、２は電子線を集束し試料への電子線照射量を調節するための集束レンズ系、３は試料の観察位置の移動と傾斜を行なうユーセントリックゴニオメータステージ、４は試料Ｓを保持する試料保持台、５は試料を透過した電子線を拡大するための対物レンズ、６は対物レンズの取込角を制限するための絞り、７は対物レンズと併用または独立して使用する対物ミニレンズ、８は対物ミニレンズの取込角を制限するための絞り、９は対物レンズまたは対物ミニレンズの像面を検出面に拡大結像する中間・投影光学系、１０はＴＥＭ像観察用のＣＣＤカメラ、１１は電子光学系１００において加速電圧設定及び各レンズの励磁及びオン／オフ及び各絞り孔径の選択を制御可能な電子光学系制御部、１２はＣＣＤカメラ１０の出力を画像に変換する画像処理装置、１３はＴＥＭ全体の制御と演算を行なう制御演算装置、１４は液晶モニタ等の表示装置、１５はマウス、キーボード等の入力装置である。なお、電子光学系１００内部の電子線通路は、真空排気装置（図示せず）により高真空が保たれるようになっている。
【０００５】
ＴＥＭは高分解能像を得るために球面収差係数が小さい初段結像系レンズでの拡大率を大きくする。これは球面収差が取込角αの三乗に比例するためである。そのため、従来から使用されているＴＥＭの対物レンズの球面収差係数は０．５ｍｍ 〜３ｍｍ程度になるように設計されており、粒子分解能０．２ｎｍ〜０．３ｎｍ程度の性能が得られる。一方、低倍率の観察において初段拡大率が大きい対物レンズを用いると視野がカットされるので、初段結像系レンズとして拡大率が小さい対物ミニレンズが使用される。一般的に観察者が電子線ＣＴ法を行なう場合、視野探しの際には対物ミニレンズによる結像モードが選択され、連続傾斜像の取得の際には対物レンズによる結像モードが選択される。
【０００６】
例えば特許文献１の特開２００６−５９６８７号公報には、試料の傾斜角度毎に対物レンズの正焦点位置からデフォーカス量を変えた複数枚のＴＥＭ像を撮影し、その中から各傾斜角度における最適なＴＥＭ像を１枚ずつ選択することによって、３次元像の像質を向上させる技術が開示されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−５９６８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来から一般的に使用されているＴＥＭの対物レンズは焦点距離が１〜４ｍｍ程度である。このような光学系は、主に低倍率での電子線ＣＴ法を行なう際に重視されるべき厚さ方向の分解能を左右する被写界深度に対しては最適化されていない。低倍率での電子線ＣＴ法を行なう場合はそれほど高いＴＥＭ像分解能（以下単に「分解能」と略称する）を必要としないので、視野探しに使用している対物ミニレンズを連続傾斜像の取得に使う選択が考えられる。但し、対物ミニレンズ焦点距離は５０ｍｍ程度なので被写界深度の観点からは十分であるが、対物レンズに比べると分解能は大きく劣る。電子線ＣＴ法に最適な分解能および被写界深度は観察する倍率に依存して変わるため、操作者が観察倍率に応じて対物レンズを使用するべきか対物ミニレンズを使用するべきかを見極めることは簡単ではない。本発明は上記した問題を解決するためになされたものであって、電子線ＣＴ法に最適な光学系を観察倍率に応じて選択でき、かつ自動的に設定する機能を備えるＴＥＭを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の問題を解決するために、
請求項１に記載の発明は、薄膜試料に電子線を照射して試料内部の３次元像を構築する機能を備えた透過電子顕微鏡であって、
試料を複数段階傾斜させて傾斜角度毎に透過電子顕微鏡像を取得する手段と、
試料を透過した電子線を拡大するための対物レンズと、
前記対物レンズが持つ焦点距離よりも大きな焦点距離を持ち、前記対物レンズと併用若しくは独立して使用する対物ミニレンズと、
前記３次元像の構築に必要な透過電子顕微鏡像を取得する加速電圧と観察倍率とを指定する指定手段とを有する透過電子顕微鏡において、
前記指定手段により指定された前記加速電圧と前記観察倍率での透過電子顕微鏡像に必要な分解能を得るための初段結像系レンズの球面収差係数を求める演算手段と、
前記対物レンズ若しくは前記対物ミニレンズの持つ球面収差係数と前記演算手段により求められた前記初段結像系レンズの球面収差係数との大小を比較して、前記対物レンズと前記対物ミニレンズのいずれを使用する方が３次元像の構築に適する透過電子顕微鏡像を得られるかを判定する判定手段とを備え、
前記判定手段により判定された結果に基づいて前記対物レンズ若しくは前記対物ミニレンズの何れかを前記観察倍率での透過電子顕微鏡像の取得に使用するようにしたことを特徴とする。
【００１０】
また請求項２に記載の発明は、前記判定手段は、前記演算手段により求められた前記初段結像系レンズの球面収差係数より小さな球面収差係数を持つレンズを３次元像の構築に適するレンズとして選択し、更に前記対物レンズと前記対物ミニレンズが共に前記演算手段により求められた前記初段結像系レンズの球面収差係数より小さな球面収差係数を持つ場合は、より長い焦点距離を持つ方のレンズを３次元像の構築に適するレンズとして選択するようにしたことを特徴とする。
【００１１】
また請求項３に記載の発明は、薄膜試料に電子線を照射して試料内部の３次元像を構築する機能を備えた透過電子顕微鏡であって、
試料を複数段階傾斜させて傾斜角度毎に透過電子顕微鏡像を取得する手段と、
試料を透過した電子線を拡大するための対物レンズと、
前記対物レンズが持つ焦点距離よりも大きな焦点距離を持ち、前記対物レンズと併用若しくは独立して使用する対物ミニレンズと、
前記３次元像の構築に必要な透過電子顕微鏡像を取得する加速電圧と観察倍率とを指定する指定手段とを有する透過電子顕微鏡において、
前記３次元像の構築に必要な透過電子顕微鏡像を取得する加速電圧と観察倍率に応じて必要とされる分解能を得るためのレンズの球面収差係数を予め求めて、前記対物レンズ若しくは前記対物ミニレンズの持つ球面収差係数との大小比較に基づいて、加速電圧と観察倍率に対して３次元像の構築に適する透過電子顕微鏡像を得る方のレンズが選択されるように光学条件を記録したデータセットを予め作成しておき、
前記指定手段により指定された前記加速電圧と前記観察倍率に適する光学条件を前記データセットから読み出し、前記対物レンズ若しくは前記対物ミニレンズの何れかを前記観察倍率での透過電子顕微鏡像の取得に使用するようにしたことを特徴とする。
【００１２】
また請求項４に記載の発明は、前記データセットは、加速電圧と観察倍率に応じて透過電子顕微鏡像の取得に必要とされる分解能を得るための前記初段結像系レンズの球面収差係数に対して、該球面収差係数より小さな球面収差係数を持つレンズを３次元像の構築に適するレンズとして選択し、更に前記対物レンズと前記対物ミニレンズが共に前記初段結像系レンズの球面収差係数より小さな球面収差係数を持つ場合は、より長い焦点距離を持つ方のレンズが３次元像の構築に適するレンズとして選択されるように光学条件が記録されていることを特徴とする。
【００１３】
また請求項５に記載の発明は、前記３次元像の構築に必要な透過電子顕微鏡像を取得するために選択された初段結像系レンズの種類に基づいて、前記対物レンズの取込角を制限するための絞りと前記対物ミニレンズの取込角を制限するための絞りを透過電子顕微鏡像の取得に適する孔径に自動的に設定する手段を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、短焦点対物レンズと長焦点対物ミニレンズの両方を有する透過電子顕微鏡を用いて電子線ＣＴ法により３次元像の構築を行なうとき、指定された観察倍率に必要とされる初段結像系レンズの球面収差係数を求め、連続傾斜像の取得の際に、必要な分解能が得られて且つ大きな被写界深度を得られる光学系を対物ミニレンズと対物レンズのうちから選び、自動的に使用状態に設定するようにしたので、
操作者が意識することなく、指定した加速電圧と倍率に従って最適な光学系を用いて連続傾斜像を取得することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。但し、この例示によって本発明の技術範囲が制限されるものでは無い。各図において、同一または類似の動作を行なうものには共通の符号を付し、詳しい説明の重複を避ける。
【００１６】
図１に示す本発明を実施するＴＥＭの基本的な構成は図６に示す従来のＴＥＭとほぼ同じであるが、本発明によって電子線ＣＴ法を行なうのに最適な光学系を選択し自動的に設定するための制御演算プログラム１６が制御演算装置１３に格納されている。
【００１７】
更に、電子光学系２００内に配設されている対物レンズ５は、電子線ＣＴ法で一般に使用される１０万倍以下での観察であれば十分耐えうる分解能を実現し、かつ対物ミニレンズでの結像では作れない高倍率領域をカバーできるように５ｍｍ程度の焦点距離を有する。また、対物ミニレンズ７の焦点距離は、最高倍率が２万倍程度で且つ充分な被写界深度を得られるように５０ｍｍ程度の焦点距離を有する。
【００１８】
対物レンズ５の取込角を制限するための絞り６および対物ミニレンズの取込角を制限する絞り８は、電子線ＣＴ法の最適条件に依存して制限可能な取込角を選択できるように直径１０μｍから１００μｍ程度の４つ程度の孔が開いており、電子光学系制御部１１を介して絞り孔径を選択することができる。また、絞り６と絞り８はＴＥＭ像の視野をカットしないように、それぞれ対物レンズ５と対物ミニレンズ７の後焦点面に置かれている。
【００１９】
次に、本発明における電子線ＣＴ法を行なう際の最適な光学系を求める方法について説明する。
【００２０】
先ず電子線ＣＴ法に最適な光学系と被写界深度との関係について図３を参照しながら説明する。図３において、点Ａの像が初段結像系レンズＬ（以下単に「レンズＬ」と略称する）により取込角でＡ′につくられたとき、Ａの上下のＢ，Ｃの像がＢ′，Ｃ′にできるものとする。Ｂ，Ｃにおける電子線の広がりの直径dがレンズＬの分解能 （dopt）以下であるときＢＣ間の距離lの間にある点は全て焦点が合ったことになる。この時のlは下式（１）のように表される。
【００２１】
【数１】
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【００２２】
また、Ｂ′，Ｃ′における電子線の広がりの直径d′がＣＣＤカメラ１０の分解能（画素サイズ）dpix以下であるとき、ＢＣの距離l′の間にある点は全て焦点が合ったことになる。この時のl′を試料面上に換算するには、式（１）のdoptにdpixをレンズＬによる像倍率Ｍで割った値（dopt＝dpix／Ｍ）を代入することで、下式（２）のように得られる。
【００２３】
【数２】
2009283156.tif 000004
【００２４】
つまり被写界深度は、dopt ＞ dpix／M（高倍率） のとき式（１）で表され、dopt ＜dpix／M（低倍率）のとき式（２）で表される。
取込角αは、近似的に下式（３）で表される。
【００２５】
【数３】
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【００２６】
ここでrは絞りの半径、foはレンズＬの焦点距離である。式（３）を式（２）に代入し、下式（４）が得られる。
【００２７】
【数４】
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【００２８】
式（４）より、同一の検出器、同一の絞りサイズ、同一の像倍率で観察する場合、焦点距離foが大きいレンズＬの方が深い被写界深度を得ることができることが分かる。
【００２９】
次に電子線ＣＴ法に最適な光学系と分解能との関係について説明する。ＴＥＭ像の理論分解能doptは下式（５）で表される。
【００３０】
【数５】
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【００３１】
ここでλは電子線の波長を表す。
【００３２】
低倍率においては、dpix ／Mよりもdoptが小さければよい。従って、低倍率において使用するレンズＬの必要な球面収差係数Ｃｓは、下式（６）を満たしていれば良い。
【００３３】
【数６】
2009283156.tif 000008
【００３４】
一般的にfoが大きいレンズは球面収差係数Ｃｓが大きい。そこで式（６）を満たすＣｓの範囲で最もfoが長い初段結像系レンズを使用する光学系が電子線ＣＴ法にとって最適な光学系といえる。
【００３５】
上記したように、同一の検出器、同一の絞りサイズ、同一の像倍率で観察する場合、被写界深度は使用するレンズの焦点距離に比例して大きくなる。その一方でレンズの焦点距離が大きくなるほどその球面収差係数は一般的に大きくなる。ＴＥＭを用いた電子線ＣＴ法は、試料中の注目する構造体が大きくなるほど低倍率で観察する必要があり、且つそれらの厚み方向の分布を見るために厚い試料を観察する必要がある。しかしながら低倍率ではdpix ／Mが大きいので高い理論分解能を必要としない。逆に小さい構造物は高倍率での観察が必要であり、高い理論分解能が必要となる。つまり、低倍率と高倍率で長焦点レンズと短焦点レンズを使い分けることができればよい。
【００３６】
本発明では、初段結像系レンズとして、低倍率で長焦点の対物ミニレンズ７、高倍率で短焦点の対物レンズ５を使用する。図４に、それぞれのレンズを用いた場合の光線図を模式的に示す。例えば、対物レンズ５の光学定数を焦点距離fo ＝５．２ｍｍ、球面収差係数Ｃｓ＝ ４．６ｍｍとし、対物ミニレンズ７の光学定数を焦点距離fo = ５２ｍｍ、球面収差係数Ｃｓ＝４６０ｍｍとする。式（４）から、対物レンズ５による結像モード（図４−Ｂ）に比べて対物ミニレンズ７による結像モード（図４−Ａ）では約１０倍の被写界深度を得ることができるが、理論分解能はおよそ３倍悪くなることが分かる。
【００３７】
図５は、電子線源１の加速電圧を２００ｋＶ、ＣＣＤカメラ１０の分解能dpix＝１５μｍ、絞り６と絞り８のサイズを３０μｍとしたときの、対物レンズ５及び対物ミニレンズ７の被写界深度と倍率との関係を示すグラフである。式（６）の右辺の値が対物ミニレンズ７の球面収差係数（Ｃｓ＝４６０ｍｍ）より大きくなるのは、倍率（Ｍ）が１４，０００倍未満の低倍率のときである。従って、１４，０００倍以上で連続傾斜像を取得するときは対物レンズ５の使用が必要となることが分かる。
【００３８】
図７に、観察倍率に応じて上記２種類の光学系、対物レンズ５と対物ミニレンズ７のいずれかを選択し、初段結像系レンズを使用状態に設定する手順のフロー図を示す。
ステップＳ１において、操作者は電子線ＣＴ法で連続傾斜像を取得する時の加速電圧と倍率を制御演算装置１３の入力装置１５から指定する。
ステップＳ２において、制御演算プログラム１６は式（６）の右辺の値を計算する。
【００３９】
ステップＳ３において、制御演算プログラム１６は式（６）の右辺の値と対物ミニレンズ（ＯＭ）７の球面収差係数Ｃｓの値が式（６）を満足するか否かを判定する。満足するときはステップＳ４に進み、対物ミニレンズ７を選択する。満足しないときはステップＳ５に進み、対物レンズ（ＯＬ）５を選択する。
【００４０】
ステップＳ６において、選択された結果に従い対物レンズ５と対物ミニレンズ７の励磁状態を設定する。例えば対物レンズ５が選択されていれば対物レンズ５の励磁をオンとし、対物ミニレンズ７の励磁をオフとする。さらに、対物レンズ５用の絞り６を可能な限り小さな穴径のものに設定し、対物ミニレンズ７用の絞り８は穴径最大（若しくは開放状態）に設定する。
【００４１】
以上が、演算と判定により最適な光学系を選択し、自動的に使用状態に設定するようにした本発明の実施の形態である。
【００４２】
なお、上記した本発明の実施の形態では、加速電圧と倍率が指定される度に最適な光学系を求める演算と判定を行なっているが、例えば図２に示すように、予め倍率毎に最適な光学系の設定条件を記録したデータセットを作成しておくようにしても良い。
【００４３】
図２は、加速電圧：２００ｋＶ，ＣＣＤカメラ分解能：１５μｍの場合の最適光学条件を記録したデータセットの一部を、倍率１４，０００倍を中心として抜き出した例である。「ＯＬ」欄は対物レンズ５の励磁状態、「ＯＭ」欄は対物ミニレンズ７の励磁状態を表し、「１」はオンで「０」はオフである。また、「ＯＬ＿Ａｐ」欄は絞り６の状態、「ＯＭ＿Ａｐ」欄は絞り８の状態の状態を表し、「１」は絞り穴径に対応する番号、「０」は開放状態を表している。
【００４４】
なお、図２のデータセットは、使用する初段結像系レンズの励磁状態とともに、絞りの孔径を設定する条件が一緒に記録されているが、初段結像系レンズの励磁状態のみが記録されていても良い。
【００４５】
また、加速電圧が変化した場合には式（４）のλが変化するために最適な光学条件も変わる。そのため、図２のようなデータセットを使用する場合は、予め複数の加速電圧について用意しておくことが望ましい。
【００４６】
以上に説明したように、本発明によれば、短焦点と長焦点レンズの両方を有する透過電子顕微鏡を用いて電子線ＣＴ法により３次元像の構築を行なうとき、操作者が意識することなく、指定した加速電圧と倍率に従って最適な光学系を自動的に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明を実施する透過電子顕微鏡の概略構成例を示す図。
【図２】電子線ＣＴ法にとって最適な電子光学条件を記録したデータセットの例。
【図３】電子線ＣＴ法にとって最適な光学条件と被写界深度との関係を説明するための図。
【図４】対物ミニレンズによる結像モードと対物レンズによる結像モードの概略光線図。
【図５】対物ミニレンズによる結像モードと対物レンズによる結像モードにおける被写界深度の倍率依存性を表すグラフ。
【図６】電子線ＣＴ法を行なうことが可能な透過電子顕微鏡の概略構成例を示す図。
【図７】初段結像系レンズのいずれかを選択し使用状態に設定する手順の例を示すフロー図。
【符号の説明】
【００４８】
（同一または類似の動作を行なうものには共通の符号を付す。）
１…電子線源
２…集束レンズ系
３…ユーセントリックゴニオメータステージ
４…試料保持台
５…対物レンズ（ＯＬ）
６…絞り（ＯＬ用）
７…対物ミニレンズ（ＯＭ）
８…絞り（ＯＭ用）
９…中間・投影光学系
１０…ＣＣＤカメラ
１１…電子光学系制御部
１２…画像処理装置
１３…制御・演算装置
１４…表示装置
１５…入力装置
１６…制御演算プログラム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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