(57)【要約】【課題】吐出ノズルごとに駆動パルスの電圧を変更するように、制御装置にかかる負荷が大きく処理に要する時間が長くなることを抑制しながら、吐出ノズルごとの吐出量を調整できるヘッドユニット、吐出装置、及び吐出方法を提供する。【解決手段】ヘッドユニットは、液状体を吐出する複数の吐出ノズルが形成されたノズルプレートと、ノズルプレートを支持すると共に、内部に吐出ノズルに連通する液状体の流路が形成されているプレート保持部とを有する吐出ヘッドと、熱源又は冷却源と、少なくとも大気より熱伝導率が高い材料で形成されており、一端が吐出ノズルに連通する流路に臨むプレート保持部の外壁に接触しており、他端が熱源又は冷却源に接触している温度調整端子と、を備える。吐出装置は、当該ヘッドユニットを備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートを支持すると共に、内部に前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルに連通する前記液状体の流路が形成されているプレート保持部とを有する吐出ヘッドと、
熱源又は冷却源と、
少なくとも大気より熱伝導率が高い材料で形成されており、一端が前記吐出ノズルに連通する前記流路に臨む前記プレート保持部の外壁に接触しており、他端が前記熱源又は前記冷却源に接触している温度調整端子と、を備えることを特徴とするヘッドユニット。
【請求項２】
前記温度調整端子が、前記吐出ノズルごとに、配置されていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニット。
【請求項３】
前記温度調整端子が、第一の複数の前記吐出ノズルから成るノズル群ごとに、配置されていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニット。
【請求項４】
前記熱源又は前記冷却源は、前記温度調整端子ごとに個別に設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のヘッドユニット。
【請求項５】
前記熱源又は前記冷却源には、複数の前記温度調整端子が接続されており、
前記複数の温度調整端子は、第一の温度調整端子と、前記第一の温度調整端子とは前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の単位時間あたりの熱伝導量が異なる第二の温度調整端子と、を含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のヘッドユニット。
【請求項６】
前記第一の温度調整端子における前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達方向に略直交する方向の断面積が、前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達経路の少なくとも一部において、前記第二の温度調整端子とは異なることを特徴とする請求項５に記載のヘッドユニット。
【請求項７】
前記温度調整端子における、前記吐出ノズルの配列方向の単位長さあたり、及び単位時間あたりの熱伝導量が、前記吐出ノズルの配列方向において、段階的又は連続的に異なっていることを特徴とする請求項３に記載のヘッドユニット。
【請求項８】
前記温度調整端子における、前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達方向に略直交する方向の、前記吐出ノズルの配列方向の単位長さあたりの前記温度調整端子の断面積が、前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達経路の少なくとも一部において、前記吐出ノズルの配列方向において、段階的又は連続的に異なっていることを特徴とする請求項７に記載のヘッドユニット。
【請求項９】
前記熱源又は前記冷却源は、熱容量が少なくとも前記吐出ヘッドより大きい部材であることを特徴とする請求項５乃至８のいずれか一項に記載のヘッドユニット。
【請求項１０】
前記部材は、前記吐出ヘッドが取り付けられて支持されるヘッド支持部材であることを特徴とする請求項９に記載のヘッドユニット。
【請求項１１】
前記熱源又は前記冷却源は、ヘッドユニットが設置されている環境の大気であることを特徴とする請求項５乃至８のいずれか一項に記載のヘッドユニット。
【請求項１２】
前記温度調整端子が、前記熱源又は前記冷却源で構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のヘッドユニット。
【請求項１３】
前記吐出ヘッドは、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか一項に記載のヘッドユニット。
【請求項１４】
請求項１乃至８、及び１２のいずれか一項に記載のヘッドユニットを備えることを特徴とする吐出装置。
【請求項１５】
前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルにおける吐出量の温度特性の情報を取得する情報取得部と、
吐出量の温度特性の情報に基づいて、前記熱源又は前記冷却源を備える温度調節装置を制御することによって、前記吐出ヘッドの各部分の温度を調整するヘッド部分温度制御部と、をさらに備えることを特徴とする、請求項１４に記載の吐出装置。
【請求項１６】
前記吐出ヘッドの温度を測定する温度測定部をさらに備え、
前記ヘッド部分温度制御部は、測定結果及び前記吐出量の温度特性に基づいて、前記吐出ヘッドの各部分の温度を調整することを特徴とする、請求項１５に記載の吐出装置。
【請求項１７】
前記温度測定部は、吐出重量測定部と、前記吐出重量測定部によって測定された吐出重量から前記吐出ヘッドの各部分の温度を算出する温度演算部と、を備えることを特徴とする、請求項１６に記載の吐出装置。
【請求項１８】
請求項９乃至１１のいずれか一項に記載のヘッドユニットを備えることを特徴とする吐出装置。
【請求項１９】
液状体を吐出する複数の吐出ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートを支持すると共に、内部に前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルに連通する前記液状体の流路が形成されているプレート保持部とを有する吐出ヘッドを用いる吐出方法であって、
温度を調整するための温度調整端子を、前記プレート保持部の外壁の部分に接触させた状態で、前記温度調整端子の温度を調整することによって、当該温度調整端子が接触している前記プレート保持部の部分の温度を調整する温度調整工程を有することを特徴とする吐出方法。
【請求項２０】
前記温度調整端子を前記吐出ノズルごとに配置し、
前記温度調整工程において、前記吐出ノズルごとに前記吐出ヘッドの温度を調節することを特徴とする、請求項１９に記載の吐出方法。
【請求項２１】
前記温度調整端子を、第一の複数の前記吐出ノズルから成るノズル群ごとに、配置し、
前記温度調整工程において、前記ノズル群ごとに前記吐出ヘッドの温度を調節することを特徴とする、請求項１９に記載の吐出方法。
【請求項２２】
前記温度調整端子の温度を調整するための熱源又は冷却源を、前記温度調整端子ごとに個別に設け、それぞれの前記熱源又は前記冷却源によって、前記温度調整端子の温度を個別に調節することを特徴とする請求項１９乃至２１のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項２３】
前記温度調整端子の温度を調整する熱源又は冷却源に、複数の前記温度調整端子を接続し、
それぞれの前記熱源又は前記冷却源によって、少なくとも前記複数の温度調整端子のそれぞれの温度調整端子における前記熱源又は前記冷却源に接続された一端の温度を調節すると共に、
同一の前記熱源又は前記冷却源に接続された前記複数の温度調整端子のそれぞれの前記温度調整端子における単位時間あたりの熱伝導量を、互いに異ならせることで、それぞれの前記温度調整端子が接続されている前記外壁に対応する前記流路に連通する前記吐出ノズル相互の、又は前記ノズル群相互の相対温度を調整することを特徴とする、請求項１９乃至２１のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項２４】
同一の前記熱源又は前記冷却源に接続された前記複数の温度調整端子のそれぞれの前記温度調整端子における、前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達方向に略直交する方向の断面積を、前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達経路の少なくとも一部において、互いに異ならせることを特徴とする、請求項２３に記載の吐出方法。
【請求項２５】
前記温度調整端子における、前記吐出ノズルの配列方向の単位長さあたり、及び単位時間あたりの熱伝導量を、前記吐出ノズルの配列方向において段階的又は連続的に異ならせることによって、当該温度調整端子が対応するノズル群におけるそれぞれの前記吐出ノズルに対応する前記外壁の部分へ伝達する単位時間あたりの熱伝導量を、それぞれの部分ごとに互いに異ならせることを特徴とする、請求項２１に記載の吐出方法。
【請求項２６】
前記温度調整端子における、前記温度調整端子の温度を調整する熱源又は冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達方向に略直交する方向の、前記吐出ノズルの配列方向の単位長さあたりの前記温度調整端子の断面積を、前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達経路の少なくとも一部において、前記吐出ノズルの配列方向において、段階的又は連続的に異ならせることによって、当該温度調整端子が対応するノズル群におけるそれぞれの前記吐出ノズルに対応する前記外壁の部分へ伝達する単位時間あたりの熱伝導量を、それぞれの部分ごとに互いに異ならせることを特徴とする、請求項２５に記載の吐出方法。
【請求項２７】
前記温度調整端子が、熱源又は冷却源であって、
前記温度調整工程においては、当該熱源又は当該冷却源の温度を調節することで、前記吐出ヘッドの温度を調節することを特徴とする、請求項１９乃至２１のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項２８】
前記複数の吐出ノズルのそれぞれの前記吐出ノズルにおける吐出量の温度特性の情報を取得する情報取得工程をさらに有し、
前記温度調整工程において、前記情報取得工程において取得した吐出量の温度特性の情報に応じて、前記吐出ヘッドの部分ごとに温度を調整することを特徴とする、請求項１９乃至２７のいずれか一項に記載の吐出方法。
【請求項２９】
前記吐出ヘッドの温度を測定する温度測定工程をさらに有し、
前記温度調整工程において、前記温度測定工程における測定結果及び前記情報取得工程で取得した前記吐出量の温度特性に基づいて、前記吐出ヘッドの各部分の温度を調整することを特徴とする、請求項２８に記載の吐出方法。
【請求項３０】
前記温度調整工程は、前記吐出ヘッドから単位時間に吐出される吐出重量を測定する吐出重量測定工程と、前記吐出重量測定工程において測定された吐出重量から前記吐出ヘッドの各部分の温度を算出する温度演算工程と、を有することを特徴とする、請求項２９に記載の吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備えるヘッドユニット及び吐出装置、及び当該ヘッドユニット又は吐出装置における吐出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などの機能膜を形成する技術として、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を用いて、機能膜の材料を含む液状体の液滴を吐出して基板上の任意の位置に着弾させることで、当該位置に液状体を配置し、配置した液状体を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドは、その吐出ノズルから微小な液滴を選択的に吐出して位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状及び膜厚を有する膜を形成することができる。
【０００３】
より高機能の機能膜を形成するために、より精密な平面形状及び膜厚の機能膜を実現することが必要になっている。一定の膜厚の機能膜を形成するためには、吐出ノズルからの機能液の吐出量を一定に維持することが必要である。吐出量は、液滴吐出ヘッドが吐出する液滴の大きさ（体積）や、連続吐出する吐出ヘッドが単位時間に吐出する量である。吐出量相当の機能液の重量を吐出重量と表記する。
特許文献１には、液滴吐出ヘッドの吐出量が温度の影響を受けて変動することに着目して、ペルチェ素子を用いてインクジェットヘッドを冷却又は加熱することによって印字品位を安定させるインクジェットプリンタが開示されている。しかし、液滴吐出ヘッド全体の温度を一定に保っても、液滴吐出ヘッドが有する複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出量が必ずしも均一ではないことに起因して、一つの液滴吐出ヘッドによって形成される複数の機能膜が必ずしも均一ではない場合があった。特許文献２には、吐出ノズルごとに、駆動パルスの電圧を変更することで吐出量を制御することによって、液体吐出ヘッドのノズルのインク吐出量を均一化する、カラーフィルタの製造方法、パネルの製造装置及び製造方法、液晶表示パネルの製造方法、液晶表示パネルを備えた装置の製造方法が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３３４６４５号公報
【特許文献２】特開２００８−３５８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２に開示された方法又は装置のように、吐出ごとに電圧を制御する場合は、吐出の制御の一環として吐出量を変動させる制御を実施する必要がある。従って、通常の吐出制御であっても膨大なデータ処理を必要とするために大きな負荷がかかっている制御装置に、さらに大きな負荷をかけることが必要になるという課題があった。特に、近年は、液滴吐出装置が大型になり、備える液滴吐出ヘッド（吐出ノズル）の数が多くなり、制御装置にかかる負荷は大きくなる傾向がある。制御装置にかかる負荷が大きく処理に要する時間が長くなると、液滴吐出装置の作業時間が長くなるという課題が発生する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかるヘッドユニットは、液状体を吐出する複数の吐出ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートを支持すると共に、内部に前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルに連通する前記液状体の流路が形成されているプレート保持部とを有する吐出ヘッドと、熱源又は冷却源と、少なくとも大気より熱伝導率が高い材料で形成されており、一端が前記吐出ノズルに連通する前記流路に臨む前記プレート保持部の外壁に接触しており、他端が前記熱源又は前記冷却源に接触している温度調整端子と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
このヘッドユニットによれば、熱源又は冷却源によって温度調整端子の温度を加熱又は冷却することによって、吐出ヘッドにおける温度調整端子が接触している部分の温度を調整することができる。勿論、温度調整端子が接触している部分の周囲も、当該部分から熱が伝導する範囲において、当該部分に準じた温度調整をすることができる。吐出ノズルからの吐出量は、同じ駆動信号を印加しても、吐出ノズル及び液状体の温度によって吐出量が変動する。吐出ヘッドの部分の温度を調整することで、当該部分に在る吐出ノズルからの吐出量を調整することができる。吐出ノズルにおいて吐出ノズルからの吐出量を適正な吐出量に調整することができるため、吐出ヘッドにおける吐出ノズル間の吐出量のばらつきを抑制することもできる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記温度調整端子が、前記吐出ノズルごとに、配置されていることが好ましい。
【００１０】
このヘッドユニットによれば、吐出ノズルごとに配設された温度調整端子を介して、吐出ノズルごとに温度を調整することができる。これにより、吐出ノズルごとに、吐出量を調整することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記温度調整端子が、第一の複数の前記吐出ノズルから成るノズル群ごとに、配置されていることが好ましい。
【００１２】
このヘッドユニットによれば、ノズル群ごとに配設された温度調整端子を介して、ノズル群ごとに温度を調整することができる。これにより、ノズル群ごとに、吐出ノズルからの吐出量を調整することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記熱源又は前記冷却源は、前記温度調整端子ごとに個別に設けられていることが好ましい。
【００１４】
このヘッドユニットによれば、温度調整端子ごとに配設された熱源又は冷却源によって、温度調整端子ごとに温度を調整することができる。これにより、温度調整端子が対応する吐出ノズル又はノズル群ごとに、吐出量を調整することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記熱源又は前記冷却源には、複数の前記温度調整端子が接続されており、前記複数の温度調整端子は、第一の温度調整端子と、前記第一の温度調整端子とは前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の単位時間あたりの熱伝導量が異なる第二の温度調整端子と、を含むことが好ましい。
【００１６】
このヘッドユニットによれば、１個の熱源又は冷却源を調整することで、複数の温度調整端子における熱源又は冷却源に接続された部分の温度を調整することができる。
第一の温度調整端子と第二の温度調整端子とは熱源又は冷却源と吐出ヘッドとの間の単位時間あたりの熱伝導量が互いに異なることによって、温度調整端子における熱源又は冷却源に接続された部分の温度が同一であっても、温度調整端子が接触している吐出ヘッドの部分の温度を、第一の温度調整端子が接続されている部分と第二の温度調整端子が接続されている部分とで、互いに異ならせることができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記第一の温度調整端子における前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達方向に略直交する方向の断面積が、前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達経路の少なくとも一部において、前記第二の温度調整端子とは異なることが好ましい。
【００１８】
このヘッドユニットによれば、温度調整端子における、熱源又は冷却源から吐出ヘッドへの熱エネルギの伝達方向に略直交する方向の断面積が、熱源又は冷却源と吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達経路の少なくとも一部において、第一の温度調整端子と第二の温度調整端子とで互いに異なる。当該断面を単位時間に伝達可能な熱量は断面積に依存するため、第一の温度調整端子と第二の温度調整端子とで、単位時間あたりの熱伝導量を互いに異ならせることができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記温度調整端子における、前記吐出ノズルの配列方向の単位長さあたり、及び単位時間あたりの熱伝導量が、前記吐出ノズルの配列方向において、段階的又は連続的に異なっていることが好ましい。
【００２０】
このヘッドユニットによれば、温度調整端子において吐出ノズルの配列方向における単位長さあたり、及び単位時間あたりの熱伝導量が異なっている。このため、温度調整端子における熱源又は冷却源に接続された部分と吐出ヘッドに接続された部分との間の単位時間あたりの熱伝導量は、吐出ノズルの配列方向において吐出ヘッドの部分ごとに異なっている。これにより、温度調整端子における熱源又は冷却源に接続された部分の温度は略均一であるが、温度調整端子が接触している吐出ヘッドの部分の温度を、吐出ノズルの配列方向において互いに異ならせることができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記温度調整端子における、前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達方向に略直交する方向の、前記吐出ノズルの配列方向の単位長さあたりの前記温度調整端子の断面積が、前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達経路の少なくとも一部において、前記吐出ノズルの配列方向において、段階的又は連続的に異なっていることが好ましい。
【００２２】
このヘッドユニットによれば、吐出ノズルの配列方向の単位長さあたりの温度調整端子の断面積が、吐出ノズルの配列方向において異なっている部分が存在する。当該断面を単位時間に伝達可能な熱量は断面積に依存するため、温度調整端子における単位時間あたりの熱伝導量を、吐出ノズルの配列方向において不均一にすることができる。これにより、温度調整端子における熱源又は冷却源に接続された部分の温度は略均一であるが、温度調整端子が接触している吐出ヘッドの部分の温度を、吐出ノズルの配列方向において互いに異ならせることができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記熱源又は前記冷却源は、熱容量が少なくとも前記吐出ヘッドより大きい部材であることが好ましい。
【００２４】
このヘッドユニットによれば、吐出ヘッドは、熱容量が吐出ヘッドより大きい部材と温度調整端子を介して熱伝導可能に接続されている。吐出ヘッドに熱エネルギが加えられて吐出ヘッドの温度が上昇した場合、部材にも熱エネルギが伝わり部材の温度も上昇させられる。しかし部材の熱容量が大きいため、同じ熱エネルギによる温度の上昇量が小さくなる。吐出ヘッドから熱エネルギが取り去られた場合も同様である。これにより、吐出ヘッドの温度変動を小さくすることができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記部材は、前記吐出ヘッドが取り付けられて支持されるヘッド支持部材であることが好ましい。
【００２６】
このヘッドユニットによれば、ヘッド支持部材は、吐出ヘッドを充分に支持できる大きさであって、吐出ヘッドより体積が大きく熱容量も大きいため、同じ熱エネルギによる吐出ヘッドの温度変動を小さくすることができる。
【００２７】
［適用例１１］上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記熱源又は前記冷却源は、ヘッドユニットが設置されている環境の大気であることが好ましい。
【００２８】
このヘッドユニットによれば、吐出ヘッドに熱エネルギが加えられて吐出ヘッドの温度が上昇した場合、熱エネルギを大気中に放出することができる。吐出ヘッドから熱エネルギが取り去られた場合は、熱エネルギを大気から吸収することができる。これにより、吐出ヘッドの温度変動を小さくすることができる。
【００２９】
［適用例１２］上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記温度調整端子が、前記熱源又は前記冷却源で構成されていることが好ましい。
【００３０】
このヘッドユニットによれば、熱源又は冷却源によって、吐出ヘッドの部分の温度を直接調整することができる。
【００３１】
［適用例１３］上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記吐出ヘッドは、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドであることが好ましい。
【００３２】
このヘッドユニットによれば、液滴吐出ヘッドにおいて、液滴吐出ヘッドの部分の温度を調整することによって、吐出ノズルからの単位吐出量である液滴の体積を適切な体積に調整することができる。
【００３３】
［適用例１４］本適用例にかかる吐出装置は、上記適用例にかかるヘッドユニットを備えることを特徴とする。
【００３４】
この吐出装置によれば、それぞれの吐出ノズルからの吐出量を調整することができるヘッドユニットを備えることによって、それぞれの吐出ノズルから適切な吐出量の吐出を実施することができる。
【００３５】
［適用例１５］上記適用例にかかる吐出装置において、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルにおける吐出量の温度特性の情報を取得する情報取得部と、吐出量の温度特性の情報に基づいて、前記熱源又は前記冷却源を備える温度調節装置を制御することによって、前記吐出ヘッドの各部分の温度を調整するヘッド部分温度制御部と、をさらに備えることが好ましい。
【００３６】
この吐出装置によれば、吐出ノズルにおける吐出量の温度特性の情報を取得して、当該情報に基づいて、温度調節装置を制御することができる。これにより、吐出ヘッドの各部分の温度を、当該部分の吐出ノズルにおける吐出量の温度特性に基づいて、当該部分の吐出ノズルが適切な吐出量を吐出できる温度に調整することができる。
【００３７】
［適用例１６］上記適用例にかかる吐出装置において、前記吐出ヘッドの温度を測定する温度測定部をさらに備え、前記ヘッド部分温度制御部は、測定結果及び前記吐出量の温度特性に基づいて、前記吐出ヘッドの各部分の温度を調整することが好ましい。
【００３８】
この吐出装置によれば、温度測定部が測定した吐出ヘッドの温度に基づいて吐出ヘッドの各部分の温度が調整される。吐出ヘッドの温度が既知であることによって、吐出ヘッドの各部分の温度を、当該部分の吐出ノズルにおいて適切な吐出量が実現できる適切な温度に効率良く調整することができる。
【００３９】
［適用例１７］上記適用例にかかる吐出装置において、前記温度測定部は、吐出重量測定部と、前記吐出重量測定部によって測定された吐出重量から前記吐出ヘッドの各部分の温度を算出する温度演算部と、を備えることが好ましい。
【００４０】
この吐出装置によれば、吐出ヘッドの各部分の温度を直接測定することに代えて、吐出重量を測定することによって、吐出ヘッドの各部分の温度を求めることができる。
【００４１】
［適用例１８］本適用例にかかる吐出装置は、上記適用例にかかるヘッドユニットを備えることを特徴とする。
【００４２】
この吐出装置によれば、吐出ノズルからの吐出量を調整することができるヘッドユニットを備えることによって、それぞれの吐出ノズルから適切な吐出量の吐出を実施することができる。
【００４３】
［適用例１９］本適用例にかかる吐出方法は、液状体を吐出する複数の吐出ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートを支持すると共に、内部に前記複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出ノズルに連通する前記液状体の流路が形成されているプレート保持部とを有する吐出ヘッドを用いる吐出方法であって、温度を調整するための温度調整端子を、前記プレート保持部の外壁の部分に接触させた状態で、前記温度調整端子の温度を調整することによって、当該温度調整端子が接触している前記プレート保持部の部分の温度を調整する温度調整工程を有することを特徴とする。
【００４４】
この吐出方法によれば、温度調整工程によって、吐出ヘッドにおける温度調整端子が接触している部分の温度を調整することができる。勿論、温度調整端子が接触している部分の周囲も、当該部分から熱が伝導する範囲において、当該部分に準じた温度調整をすることができる。吐出ノズルからの吐出量は、同じ駆動信号を印加しても、吐出ノズル及び液状体の温度によって吐出量が変動する。吐出ヘッドの部分の温度を調整することで、当該部分に在る吐出ノズルからの吐出量を調整することができる。吐出ノズルにおいて吐出ノズルからの吐出量を適正な吐出量に調整することができるため、吐出ヘッドにおける吐出ノズル間の吐出量のばらつきを抑制することもできる。
【００４５】
［適用例２０］上記適用例にかかる吐出方法において、前記温度調整端子を前記吐出ノズルごとに配置し、前記温度調整工程において、前記吐出ノズルごとに前記吐出ヘッドの温度を調節することが好ましい。
【００４６】
この吐出方法によれば、吐出ノズルごとに配設された温度調整端子を介して、吐出ノズルごとに温度を調整することができる。これにより、吐出ノズルごとに、吐出量を調整することができる。
【００４７】
［適用例２１］上記適用例にかかる吐出方法において、前記温度調整端子を、第一の複数の前記吐出ノズルから成るノズル群ごとに、配置し、前記温度調整工程において、前記ノズル群ごとに前記吐出ヘッドの温度を調節することが好ましい。
【００４８】
この吐出方法によれば、ノズル群ごとに配設された温度調整端子を介して、ノズル群ごとに温度を調整することができる。これにより、ノズル群ごとに、吐出ノズルからの吐出量を調整することができる。
【００４９】
［適用例２２］上記適用例にかかる吐出方法において、前記温度調整端子の温度を調整するための熱源又は冷却源を、前記温度調整端子ごとに個別に設け、それぞれの前記熱源又は前記冷却源によって、前記温度調整端子の温度を個別に調節することが好ましい。
【００５０】
この吐出方法によれば、温度調整端子ごとに個別に設けられた熱源又は冷却源によって、温度調整端子ごとに温度を調整することができる。これにより、温度調整端子が対応する吐出ノズル又はノズル群ごとに、吐出量を調整することができる。
【００５１】
［適用例２３］上記適用例にかかる吐出方法において、前記温度調整端子の温度を調整する熱源又は冷却源に、複数の前記温度調整端子を接続し、それぞれの前記熱源又は前記冷却源によって、少なくとも前記複数の温度調整端子のそれぞれの温度調整端子における前記熱源又は前記冷却源に接続された一端の温度を調節すると共に、同一の前記熱源又は前記冷却源に接続された前記複数の温度調整端子のそれぞれの前記温度調整端子における単位時間あたりの熱伝導量を、互いに異ならせることで、それぞれの前記温度調整端子が接続されている前記外壁に対応する前記流路に連通する前記吐出ノズル相互の、又は前記ノズル群相互の相対温度を調整することが好ましい。
【００５２】
この吐出方法によれば、１個の熱源又は冷却源を調整することで、複数の温度調整端子における熱源又は冷却源に接続された部分の温度を調整することができる。それぞれの温度調整端子における単位時間あたりの熱伝導量が互いに異なっていることによって、温度調整端子における熱源又は冷却源に接続された部分の温度が同一であっても、温度調整端子が接触している吐出ヘッドの部分の温度を、互いに異ならせることができる。
【００５３】
［適用例２４］上記適用例にかかる吐出方法において、同一の前記熱源又は前記冷却源に接続された前記複数の温度調整端子のそれぞれの前記温度調整端子における、前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達方向に略直交する方向の断面積を、前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達経路の少なくとも一部において、互いに異ならせることが好ましい。
【００５４】
この吐出方法によれば、温度調整端子における、熱源又は冷却源から吐出ヘッドへの熱エネルギの伝達方向に略直交する方向の断面積が、少なくとも熱エネルギの伝達経路の一部において互いに異なる。当該断面を単位時間に伝達可能な熱量は断面積に依存するため、温度調整端子における単位時間あたりの熱伝導量を互いに異ならせることができる。
【００５５】
［適用例２５］上記適用例にかかる吐出方法において、前記温度調整端子における、前記吐出ノズルの配列方向の単位長さあたり、及び単位時間あたりの熱伝導量を、前記吐出ノズルの配列方向において段階的又は連続的に異ならせることによって、当該温度調整端子が対応するノズル群におけるそれぞれの前記吐出ノズルに対応する前記外壁の部分へ伝達する単位時間あたりの熱伝導量を、それぞれの部分ごとに互いに異ならせることが好ましい。
【００５６】
この吐出方法によれば、温度調整端子において吐出ノズルの配列方向における単位時間あたりの熱伝導量が不均一になっている。このため、温度調整端子における熱源又は冷却源に接続された部分と吐出ヘッドに接続された部分との間の単位時間あたりの熱伝導量は、吐出ノズルの配列方向において吐出ヘッドの部分ごとに異なっている。これにより、温度調整端子における熱源又は冷却源に接続された部分の温度は略均一であるが、温度調整端子が接触している吐出ヘッドの部分の温度を、吐出ノズルの配列方向において互いに異ならせることができる。
【００５７】
［適用例２６］上記適用例にかかる吐出方法において、前記温度調整端子における、前記温度調整端子の温度を調整する熱源又は冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達方向に略直交する方向の、前記吐出ノズルの配列方向の単位長さあたりの前記温度調整端子の断面積を、前記熱源又は前記冷却源と前記吐出ヘッドとの間の熱エネルギの伝達経路の少なくとも一部において、前記吐出ノズルの配列方向において、段階的又は連続的に異ならせることによって、当該温度調整端子が対応するノズル群におけるそれぞれの前記吐出ノズルに対応する前記外壁の部分へ伝達する単位時間あたりの熱伝導量を、それぞれの部分ごとに互いに異ならせることが好ましい。
【００５８】
この吐出方法によれば、吐出ノズルの配列方向の単位長さあたりの温度調整端子の断面積が、吐出ノズルの配列方向において不均一である。当該断面を単位時間に伝達可能な熱量は断面積に依存するため、温度調整端子における単位時間あたりの熱伝導量を、吐出ノズルの配列方向において不均一にすることができる。これにより、温度調整端子における熱源又は冷却源に接続された部分の温度は略均一であるが、温度調整端子が接触している吐出ヘッドの部分の温度を、吐出ノズルの配列方向において互いに異ならせることができる。
【００５９】
［適用例２７］上記適用例にかかる吐出方法において、前記温度調整端子が、熱源又は冷却源であって、前記温度調整工程においては、当該熱源又は当該冷却源の温度を調節することで、前記吐出ヘッドの温度を調節することが好ましい。
【００６０】
この吐出方法によれば、熱源又は冷却源によって、吐出ヘッドの部分の温度を直接調整することができる。
【００６１】
［適用例２８］上記適用例にかかる吐出方法において、前記複数の吐出ノズルのそれぞれの前記吐出ノズルにおける吐出量の温度特性の情報を取得する情報取得工程をさらに有し、前記温度調整工程において、前記情報取得工程において取得した吐出量の温度特性の情報に応じて、前記吐出ヘッドの部分ごとに温度を調整することが好ましい。
【００６２】
この吐出方法によれば、情報取得工程において吐出ノズルにおける吐出量の温度特性の情報を取得して、当該情報に基づいて、温度調整工程を実施することができる。これにより、吐出ヘッドの各部分の温度を、当該部分の吐出ノズルにおける吐出量の温度特性に基づいて、当該部分の吐出ノズルが適切な吐出量を吐出できる温度に調整することができる。
【００６３】
［適用例２９］上記適用例にかかる吐出方法において、前記吐出ヘッドの温度を測定する温度測定工程をさらに有し、前記温度調整工程において、前記温度測定工程における測定結果及び前記情報取得工程で取得した前記吐出量の温度特性に基づいて、前記吐出ヘッドの各部分の温度を調整することが好ましい。
【００６４】
この吐出方法によれば、温度測定工程において測定された吐出ヘッドの温度に基づいて吐出ヘッドの各部分の温度が調整される。吐出ヘッドの温度が既知であることによって、吐出ヘッドの各部分の温度を、当該部分の吐出ノズルにおいて適切な吐出量が実現できる適切な温度に効率良く調整することができる。
【００６５】
［適用例３０］上記適用例にかかる吐出方法において、前記温度調整工程は、前記吐出ヘッドから単位時間に吐出される吐出重量を測定する吐出重量測定工程と、前記吐出重量測定工程において測定された吐出重量から前記吐出ヘッドの各部分の温度を算出する温度演算工程と、を有することが好ましい。
【００６６】
この吐出方法によれば、吐出ヘッドの各部分の温度を直接測定することに代えて、吐出重量を測定することによって、吐出ヘッドの各部分の温度を求めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６７】
以下、ヘッドユニット、吐出装置、及び吐出方法の好適な実施の形態について、図面を参照して説明する。実施形態は、吐出装置の一例であるインクジェット方式の液滴吐出装置を用いて、液晶表示装置を構成するカラーフィルタを有する基板に対してカラーフィルタを構成する色要素膜（フィルタ膜）などを形成する工程を例に説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００６８】
（第一の実施形態）
本実施形態に係る液滴吐出装置は、液晶装置の製造ラインに組み込まれており、樹脂を含む機能液を導入したインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを用い、描画対象物上に当該機能液を配置することで、カラーフィルタの色要素膜などを形成するものである。
【００６９】
＜液滴吐出法＞
最初に、フィルタ膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。
このうち、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。ピエゾ方式は、液状材料に熱を直接加えることがないため、材料の組成などに影響を与えない、駆動電圧を調整することによって液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、材料の組成などに影響を与えないため液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の大きさを容易に調整することができるため液滴の制御性がよいことから、上記ピエゾ方式を用いる。
【００７０】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置１の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。図２は、液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。
【００７１】
図１、又は図２に示したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７（図３参照）を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、給液ユニット６０（図９参照）と、検査ユニット４と、メンテナンスユニット５と、吐出装置制御部６（図９参照）とを備えている。
【００７２】
吐出ユニット２は、液状体に相当する機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を１２個備えており、当該液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に移動させると共に移動した位置に保持するためのＹ軸テーブル１２を備えている。ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台２１を有している。給液ユニット６０は、機能液を貯留する貯留タンク（図示省略）を有し、液滴吐出ヘッド１７への機能液の供給を行う。検査ユニット４は、液滴吐出ヘッド１７からの吐出状態を検査するための、吐出検査ユニット１８及び重量測定ユニット１９を有しており、重量測定ユニット１９にはフラッシングユニット１４が併設されている。メンテナンスユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行う吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６を有している。
【００７３】
吐出装置制御部６は、これら各ユニットなどを総括的に制御する。重量測定ユニット１９、吐出ユニット２、吐出検査ユニット１８、又はメンテナンスユニット５などを用いて実施される重量測定処理、描画処理、吐出検査処理、及びメンテナンス処理などは、吐出装置制御部６が各ユニットなどを制御して実施される。
【００７４】
液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１Ａを備え、各ユニットなどが、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されている。Ｘ軸テーブル１１は、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されており、ワーク載置台２１をＸ軸方向（主走査方向）に移動させる。
【００７５】
吐出ユニット２のＹ軸テーブル１２は、複数本の支柱７Ａを介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース７，７の上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在している。吐出ユニット２は、１２個の液滴吐出ヘッド１７を有するキャリッジユニット５１を備えている。キャリッジユニット５１は、ブリッジプレート５２に吊設されている。ブリッジプレート５２は、Ｙ軸スライダ（図示省略）を介して、Ｙ軸テーブル１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸テーブル１２は、ブリッジプレート５２（キャリッジユニット５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。
Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２の駆動と同期して、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液の液滴を吐出させることで、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の描画パターンを描画する。
【００７６】
吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２とを有している。検査描画ユニット１６１は、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、同じくＸ軸第２スライダ２３に固定された重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、を有している。
【００７７】
メンテナンスユニット５が備える吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台８の上に配設されている。吸引ユニット１５は、分割吸引ユニット１４１を有し、液滴吐出ヘッド１７を吸引して、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８（図３参照）から機能液を強制的に排出させる。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１６ａを有し、吸引後の液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａ（図３参照）を拭き取る（ワイピングを行う）ものである。このようにして、吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７の機能維持又は機能回復を図るための保守作業を実施する。
【００７８】
Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対のＸ軸リニアモータ２６，２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４，２４と、を備えている。
【００７９】
Ｘ軸第１スライダ２２には、ワーク載置台２１が取り付けられている。Ｘ軸第１スライダ２２は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸第２スライダ２３には、検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが取り付けられている。Ｘ軸第２スライダ２３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸リニアモータ２６は、Ｘ軸共通支持ベース２４に並設されており、Ｘ軸第１スライダ２２又はＸ軸第２スライダ２３をＸ軸共通支持ベース２４に沿って移動させることによって、ワーク載置台２１（ワーク載置台２１に載置されたワークＷ）又は重量測定ユニット１９などをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸第２スライダ２３とは、Ｘ軸リニアモータ２６により個別に駆動可能である。Ｘ軸方向が主走査方向に相当し、Ｙ軸方向が副走査方向に相当する。
【００８０】
ワーク載置台２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向にθ補正するためのθテーブル３２などを有している。θテーブル３２は、θ駆動モータ５３２を有し、当該θ駆動モータ５３２によって駆動される。
【００８１】
図１及び図２におけるワーク載置台２１の位置が、ワークＷの給除材を行うための給除材位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させる。当該給除材位置において、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。吸着テーブル３１に給材された未処理のワークＷのアライメントは、θテーブル３２を用いて、給除材位置において実施される。
【００８２】
画像認識ユニット８０は、２台のアライメントカメラ８１と、カメラ移動機構８２と、を有している。カメラ移動機構８２は、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に、Ｙ軸方向に延在して、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように配設されている。アライメントカメラ８１は、カメラホルダ（図示省略）を介して、カメラ移動機構８２に、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されている。カメラ移動機構８２に支持されたアライメントカメラ８１は、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、Ｘ軸テーブル１１の上のワーク載置台２１に載置されたワークＷの各基準マーク（アライメントマーク）を画像認識することができる。２台のアライメントカメラ８１は、カメラ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。
【００８３】
各アライメントカメラ８１は、ワーク載置台２１のＸ軸方向への移動と協働して、カメラ移動機構８２によりＹ軸方向に移動しながら、上記したロボットアームが給材した各種ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を実施する。そして、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正（アライメント）が実施される。
【００８４】
Ｙ軸テーブル１２は、一対のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモータは、上記した一対のＹ軸支持ベース７，７の上にそれぞれ設置されて、Ｙ軸方向に延在している。一対のＹ軸スライダは、一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに各１個ずつ摺動自在に支持されている。一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに支持された各１個のＹ軸スライダからなる一対のＹ軸スライダは、吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１が固定されたブリッジプレート５２を両持ちで支持している。吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１を固定したブリッジプレート５２は、ブリッジプレート５２を両持ちで支持するＹ軸スライダを介して、一対のＹ軸支持ベース７，７の上に設置されている。
【００８５】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース７，７を案内にして同時にＹ軸方向に平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向に移動し、ブリッジプレート５２に吊設されたキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。
【００８６】
キャリッジユニット５１は、１２個の液滴吐出ヘッド１７と、１２個の液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するキャリッジプレート５３（図６参照）と、を有するヘッドユニット５４（図６参照）を備えている。ヘッドユニット５４は、ヘッド昇降機構（図示省略）を介して、Ｚ軸方向に昇降自在に支持されている。
【００８７】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図３を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図３（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。液滴吐出ヘッド１７が、吐出ヘッドに相当する。
【００８８】
図３（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレート７６とを備えている。液体導入部７１の接続針７２には、配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された給液ユニット６０（図９参照）から機能液が供給される。ヘッド基板７３には、一対のヘッドコネクタ７７，７７が実装されており、当該ヘッドコネクタ７７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。このポンプ部７５とノズルプレート７６とにより、方形のヘッド本体７４が構成されている。
【００８９】
ポンプ部７５の基部側、即ちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフランジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を副ヘッド保持部材１０３（図４参照）に固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対形成されている。副ヘッド保持部材１０３を貫通してねじ孔７９ａに螺合したヘッド止めねじ１０７（図４参照）により、液滴吐出ヘッド１７が副ヘッド保持部材１０３に固定される。
【００９０】
ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８Ａが、２本形成されている。２本のノズル列７８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８Ａは、等ピッチで並べた１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。即ち、ヘッド本体７４のノズル形成面７６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７８Ａが配設されている。
【００９１】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ＡはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置ずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。
【００９２】
図３（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポンプ部７５を構成する圧力室プレート１５１が積層されており、圧力室プレート１５１に振動板１５２が積層されている。
圧力室プレート１５１には、液体導入部７１から振動板１５２の液供給孔１５３を経由して供給される機能液が常に充填される液たまり１５５が形成されている。液たまり１５５は、振動板１５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート１５１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート１５１には、複数のヘッド隔壁１５７によって区切られた圧力室１５８が形成されている。振動板１５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘッド隔壁１５７とによって囲まれた空間が圧力室１５８である。
【００９３】
圧力室１５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室１５８の数と吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室１５８には、２個のヘッド隔壁１５７の間に位置する供給口１５６を介して、液たまり１５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁１５７と圧力室１５８と吐出ノズル７８と供給口１５６との組は、液たまり１５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８Ａを形成している。図３（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８Ａに対して液たまり１５５に関して略対称位置に、１列に並んだ吐出ノズル７８がもう一列のノズル列７８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁１５７と圧力室１５８と供給口１５６との組が、１列に並んでいる。圧力室プレート１５１及び振動板１５２、又は圧力室プレート１５１及び振動板１５２を含むポンプ部７５が、プレート保持部に相当する。
【００９４】
振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子１５９の一端が固定されている。圧電素子１５９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子１５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図３（ｂ）又は（ｃ）における振動板１５２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子１５９の一端が固定された振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引張られることで、振動板１５２が圧力室１５８の反対側に撓む。これにより、圧力室１５８の容積が増加することから、機能液が液たまり１５５から供給口１５６を経て圧力室１５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子１５９が振動板１５２を押圧する。振動板１５２が押圧されることで、圧力室１５８側に戻る。これにより、圧力室１５８の容積が急激に元に戻る、即ち増加していた容積が減少することから、圧力室１５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室１５８に連通して形成された吐出ノズル７８から機能液が液滴となって吐出される。機能液が流動する、液たまり１５５、供給口１５６、及び圧力室１５８などが、機能液の流路に相当する。
【００９５】
吐出装置制御部６は、圧電素子１５９への印加電圧の制御、即ち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列７８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８を選択的に使用することにより、ノズル列７８Ａの延在方向では、ノズル列７８Ａの長さの範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列７８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。なお、吐出ノズル７８のそれぞれから吐出される液滴の体積は、例えば１ｐｌ〜３００ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。
【００９６】
＜液滴吐出ヘッド、及び冷却ユニットの取り付け＞
次に、液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取付構造、及び冷却ユニット１１０の取付構造について、図４を参照して説明する。図４は、液滴吐出ヘッド、及び冷却ユニットのキャリッジプレートへの取付構造を示す図である。図４（ａ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び冷却ユニットをノズルプレート側からみた平面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）にＡ−Ａで示した断面の断面図であり、図４（ｃ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び冷却ユニットの側面図であり、図４（ｄ）は、キャリッジプレートに取り付けられた冷却ユニットの側面図であり、図４（ｅ）は、冷却ユニットの端子基板の平面図である。
【００９７】
図４（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、主ヘッド保持部材１０２及び副ヘッド保持部材１０３を介して、キャリッジプレート５３に取り付けられている。主ヘッド保持部材１０２及び副ヘッド保持部材１０３は、液滴吐出ヘッド１７をキャリッジプレート５３に精度良く位置決めすると共に、キャリッジプレート５３への着脱を容易にするためのものである。
キャリッジプレート５３にはヘッド開口５３ａが形成されており、主ヘッド保持部材１０２がヘッド開口５３ａを略覆うように、キャリッジプレート５３に固定されている。主ヘッド保持部材１０２は、主ヘッド保持部材１０２に形成された孔を貫通してキャリッジプレート５３に形成されたねじ孔に螺合した３本の保持部材ねじ１０８により、キャリッジプレート５３に固定されている。以降、主ヘッド保持部材１０２がセットされた側を「裏面側」と表記し、反対側を「表面側」と表記する。
【００９８】
主ヘッド保持部材１０２にはフランジ開口１０２ａが形成されており、副ヘッド保持部材１０３は、その長辺方向の両端部でフランジ開口１０２ａを跨ぐようにして、主ヘッド保持部材１０２の裏面側に固定されている。副ヘッド保持部材１０３は、副ヘッド保持部材１０３に形成された孔を貫通して主ヘッド保持部材１０２に形成されたねじ孔に螺合した２本の保持部材ねじ１０８により、主ヘッド保持部材１０２に固定されている。
【００９９】
副ヘッド保持部材１０３は、ステンレスなどで構成された略長方形の平板状に形成されている。副ヘッド保持部材１０３には、その中央に液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４が挿通する方形のヘッド本体開口１０３ｄが形成されている。上記したように、副ヘッド保持部材１０３は、フランジ開口１０２ａを跨ぐようにして主ヘッド保持部材１０２の裏面側にセットされている。これに対し液滴吐出ヘッド１７は、そのヘッド本体７４をヘッド本体開口１０３ｄに挿通してヘッド本体７４を副ヘッド保持部材１０３の裏面側に突出させるようにして、主ヘッド保持部材１０２の表面側からセットされている。液滴吐出ヘッド１７は、副ヘッド保持部材１０３に形成された孔を貫通してフランジ部７９に形成されたねじ孔７９ａに螺合した２本のヘッド止めねじ１０７により、副ヘッド保持部材１０３に固定されている。
【０１００】
副ヘッド保持部材１０３のヘッド本体開口１０３ｄの周囲には、上記したねじ孔７９ａに対応する２つの貫通孔、及びヘッド本体開口１０３ｄの中心線上において第一調整穴１０３ａと第二調整穴１０３ｂとが形成されている。第一調整穴１０３ａ及び第二調整穴１０３ｂは、位置補正用の調整ピンが係合される部位である。
【０１０１】
また、ヘッド本体開口１０３ｄの中心線上において、第一調整穴１０３ａ及び第二調整穴１０３ｂのヘッド本体開口１０３ｄの反対側には２つの接着剤孔１０３ｃが、ヘッド本体開口１０３ｄに関して略対称位置に形成されている。各接着剤孔１０３ｃは副ヘッド保持部材１０３の横断方向に延びる長孔となっている。接着剤孔１０３ｃに接着剤を注入して、当該接着剤（図示省略）によって副ヘッド保持部材１０３を主ヘッド保持部材１０２に接着固定する。
１個の液滴吐出ヘッド１７に対応して、２個の冷却ユニット１１０が取り付けられている。冷却ユニット１１０は、ヘッド本体７４における液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａの延在方向に延在する外面に沿って固定されている。
【０１０２】
図４（ｄ）に示したように、冷却ユニット１１０は、冷却素子１１１と端子基板１１２とを有している。端子基板１１２は、ベースフィルム１１６と伝熱パターン１１４とカバーフィルム１１７とが、伝熱パターン１１４を中に挟む状態で積層されて形成されている。ベースフィルム１１６及びカバーフィルム１１７は、例えばポリイミドのような、可撓性に富む材料で形成されている。伝熱パターン１１４は、例えば銅のような熱伝導率が高い材料で、曲げ変形可能な箔状又は薄板状の形状に形成されている。
伝熱パターン１１４におけるカバーフィルム１１７によって覆われておらず露出した部分が、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の外壁に熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されている。ベースフィルム１１６における図４（ｅ）に示した開口部１１６ａの部分で露出した伝熱パターン１１４には、冷却素子１１１が固定されている。冷却素子１１１は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）によって、電気的に吐出装置制御部６（図９参照）に接続されており、吐出装置制御部６によって温度が制御される。
冷却素子１１１によって、冷却素子１１１に固定された伝熱パターン１１４が冷却され、伝熱パターン１１４が接着されているヘッド本体７４の外壁が冷却される。図３を参照して説明したように、当該外壁の内側には、圧力室１５８が形成されており、外壁が冷却されることで、圧力室１５８や、ノズルプレート７６の圧力室１５８に臨む部分や、圧力室１５８内の機能液などが、冷却される。
【０１０３】
図４（ｅ）に示したように、端子基板１１２の伝熱パターン１１４は、伝熱基部１１４ａと、伝熱基部１１４ａから櫛歯状に突出した端子部１１４ｂ及び端子部１１４ｃと、を有している。伝熱パターン１１４の厚さは略均一である。
伝熱基部１１４ａは、片面がカバーフィルム１１７に覆われており、もう一面は、周辺部分がベースフィルム１１６に覆われており、ベースフィルム１１６の開口部１１６ａの部分が露出している。この伝熱基部１１４ａの露出部分に、冷却素子１１１が、熱伝導可能に接続される。
【０１０４】
端子部１１４ｂ、及び端子部１１４ｃは、伝熱基部１１４ａから櫛歯状に突出しており、片面が伝熱基部１１４ａと共にベースフィルム１１６に覆われている。もう片面は、カバーフィルム１１７が、伝熱基部１１４ａから端子部１１４ｂ及び端子部１１４ｃの伝熱基部１１４ａへの付け根部分までを覆っており、端子部１１４ｂ及び端子部１１４ｃの大部分は露出している。この端子部１１４ｂ及び端子部１１４ｃにおける露出部分がヘッド本体７４の外壁に熱伝導可能に接続される。
【０１０５】
端子部１１４ｃは、伝熱基部１１４ａへの付け根側の端子伝熱部１１４ｖと、先端側の端子端部１１４ｗと、で構成されている。端子端部１１４ｗが、ヘッド本体７４の外壁における上述した圧力室１５８に略臨む位置に熱伝導可能に接続される。端子端部１１４ｗの幅は端子部１１４ｂの幅と同一に設定されており、端子部１１４ｃが圧力室１５８などに臨む範囲は、端子部１１４ｂと同様である。端子伝熱部１１４ｖの幅が端子端部１１４ｗより小さくなっており、伝熱基部１１４ａから端子端部１１４ｗに単位時間当たりに伝わる熱量は、伝熱基部１１４ａから端子部１１４ｂの先端側に単位時間当たりに伝わる熱量より少なくなっている。端子伝熱部１１４ｖの幅を変えることによって、伝熱基部１１４ａから端子端部１１４ｗに単位時間当たりに伝わる熱量が異なる端子部１１４ｃを形成することができる。図４では１種類のみ示したが、伝熱パターン１１４は、端子伝熱部１１４ｖの幅が互いに異なる複数種類の端子部１１４ｃを有している。
冷却素子１１１が、冷却源に相当し、伝熱パターン１１４の端子部１１４ｂ、及び端子部１１４ｃが、温度調整端子に相当する。
【０１０６】
＜吐出ノズル温度、吐出重量、及び端子部＞
次に、吐出ノズル温度と吐出重量との関係、液滴吐出ヘッド１７における吐出ノズル７８ごとの吐出重量の分布、及び端子伝熱部１１４ｖの形状について、図５を参照して説明する。
なお、吐出ノズル７８や圧力室１５８を構成する振動板１５２とノズルプレート７６とヘッド隔壁１５７と、及び圧力室１５８内の機能液の温度を総称して、吐出ノズル７８の吐出ノズル温度と表記する。これらの各部の温度は厳密には一様ではないが、測定可能な部分の温度を、吐出ノズル温度として用いる。吐出ノズル７８や、圧力室１５８や、圧力室１５８内の機能液の温度を直接測定することは非常に困難であるため、ここでの吐出ノズル温度としては、例えば圧電素子１５９の振動板１５２と接触する端部の温度を用いる。
吐出重量は、単位時間あたりに吐出される機能液の重量であって、本実施形態では、吐出ノズル７８から吐出される機能液の液滴一滴の重量である。なお、吐出量は、単位時間あたりに吐出される機能液の量であって、本実施形態では、吐出ノズル７８から吐出される機能液の液滴一滴の量（体積）である。吐出ノズル７８から吐出される機能液の液滴一滴の量を重量で表す場合に吐出重量と表記し、体積で表す場合には吐出量と表記する。
図５（ａ）は、吐出ノズルの温度と吐出重量の関係を示す図であり、図５（ｂ）は、ノズル列における吐出ノズルごとの吐出重量を示す図であり、図５（ｃ）は、端子基板における端子伝熱部の幅の分布を示す図であり、図５（ｄ）は、冷却ユニットを用いた場合のノズル列における吐出ノズルごとの温度を示す図である。
【０１０７】
図５（ａ）に示したように、吐出ノズルの温度が高くなると吐出重量が増加する。
図５（ｂ）に示したように、ノズル列７８Ａを構成する＃１から＃１８０までの１８０個の吐出ノズル７８のそれぞれの吐出重量は互いに異なっている。ノズル列７８Ａの両方の端に近い吐出ノズル７８の吐出重量の方が、ノズル列７８Ａの中央に近い位置の吐出ノズル７８の吐出重量より大きい傾向がある。この場合の１８０個の吐出ノズル７８の温度は略均一である。
【０１０８】
図５（ｃ）に示したように、ノズル列７８Ａにおける５個の吐出ノズル７８に対して１個の端子部１１４ｂ又は端子部１１４ｃが設けられており、端子基板１１２には、ノズル列７８Ａにおける１８０個の吐出ノズル７８に対応して、３６個の端子部１１４ｂ又は端子部１１４ｃが形成されている。本実施形態においては、端子部１１４ｃにおける端子伝熱部１１４ｖの幅は、端子基板１１２の両方の端に近い端子部１１４ｃにおける端子伝熱部１１４ｖの幅を、端子基板１１２の中央に近い位置の端子部１１４ｃにおける端子伝熱部１１４ｖの幅より大きくしてある。端子部１１４ｂは、端子伝熱部１１４ｖの幅が端子端部１１４ｗと同じである端子部１１４ｃに相当し、端子基板１１２の両方の端には端子部１１４ｂが形成されている。端子基板１１２における端子伝熱部１１４ｖの幅のこのような分布は、図５（ｂ）に示したノズル列７８Ａを構成する１８０個の吐出ノズル７８のそれぞれの吐出重量の分布に対応した分布である。
５個の吐出ノズル７８に対して１個の端子部１１４ｂ又は端子部１１４ｃが設けられた構成における、１個の端子部１１４ｂ又は端子部１１４ｃが対応する５個の吐出ノズル７８が、ノズル群に相当する。
【０１０９】
端子伝熱部１１４ｖの幅が広い方が、単位時間に通過する熱量は多くなるため、端子基板１１２の両方の端に近い位置の端子部１１４ｃが接触している部分の方が、中央に近い位置の端子部１１４ｃが接触している部分より、冷却素子１１１によって冷却されやすくなっている。このため、図５（ｄ）に示したように、ノズル列７８Ａを構成する１８０個の吐出ノズル７８の温度は、ノズル列７８Ａの両方の端に近い吐出ノズル７８の温度の方が、ノズル列７８Ａの中央に近い位置の吐出ノズル７８の温度より低くなっている。図５（ａ）に示したように、吐出ノズルの温度が低くなると吐出重量が減少するため、図５（ｂ）に示した、ノズル列７８Ａの両方の端に近い吐出ノズル７８の吐出重量の方が、ノズル列７８Ａの中央に近い位置の吐出ノズル７８の吐出重量より大きい傾向が緩和されて、ノズル列７８Ａを構成する１８０個の吐出ノズル７８の吐出重量が略均一になる。
【０１１０】
＜ヘッドユニット＞
次に、吐出ユニット２が備えるヘッドユニット５４の概略構成について、図６を参照して説明する。図６は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図６に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット５４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【０１１１】
図６に示したように、ヘッドユニット５４は、キャリッジプレート５３と、キャリッジプレート５３に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１７と、１２個の冷却ユニット１１０と、を有している。上述したように、液滴吐出ヘッド１７は、キャリッジプレート５３に固定されており、ヘッド本体７４がキャリッジプレート５３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート７６（ヘッド本体７４）が、キャリッジプレート５３の面より突出している。１個の液滴吐出ヘッド１７に対してそれぞれ２個の冷却ユニット１１０が、液滴吐出ヘッド１７の両側に１個ずつ配設されている。図６は、ノズルプレート７６（ノズル形成面７６ａ）側から見た図である。１２個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ６個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組５５を２群形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ＡはＹ軸方向に延在している。
【０１１２】
一つのヘッド組５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。仮に、ヘッド組５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。即ち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組５５を構成している。
【０１１３】
＜吐出検査ユニット＞
次に、吐出検査ユニット１８について、図７を参照して説明する。図７は、検査描画ユニットの全体構成を示す外観斜視図である。図１を参照して説明したように、吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２とを有している。検査描画ユニット１６１は、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。
【０１１４】
吐出検査ユニット１８は、吐出ユニット２を構成する全液滴吐出ヘッド１７（の吐出ノズル７８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するためのものである。検査描画ユニット１６１は、吐出ユニット２を構成するヘッドユニット５４がＹ軸方向においてワーク載置台２１に載置されたワークＷに対向可能な位置にある場合、ヘッドユニット５４が備える全液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル７８から検査吐出された機能液を受けられるように構成されている。撮像ユニット１６２は、検査描画ユニット１６１に描画された検査パターン（着弾ドットのパターン）を撮像して検査する。上述したように、検査描画ユニット１６１はＸ軸テーブル１１に搭載されている。撮像ユニット１６２はＹ軸テーブル１２直下で、Ｙ軸支持ベース７に固定されて検査位置に固定的に設けられており、２個の検査カメラ１６３，１６３は、それぞれ独立してＹ軸方向に移動可能である。
【０１１５】
図７に示すように、検査描画ユニット１６１は、検査シート１７１と、検査ステージ１７２と、シート送り手段１７３と、シート送り支持部材１７４と、ユニットベース１７５と、を備えている。検査シート１７１は、液滴吐出ヘッド１７から検査吐出された機能液の液滴を着弾させるための帯状のシートで、Ｙ軸方向に延在している。検査ステージ１７２はＹ軸方向に延在しており、検査ステージ１７２の上に検査シート１７１が載っている。シート送り手段１７３が、非検査済み部分を検査ステージ１７２に送り込むように、かつ検査シート１７１の検査済み部分を検査ステージ１７２から送り出すように、検査シート１７１を移動させる。シート送り手段１７３は、シート送り支持部材１７４に支持されており、シート送り支持部材１７４は、ユニットベース１７５に支持されている。
【０１１６】
図２を参照して説明したように、撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３，１６３と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、を有している。検査カメラ１６３は、検査シート１７１に検査吐出された着弾ドットを画像認識するもので、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨む姿勢で、Ｙ軸支持ベース７に固定されたカメラ移動機構１６４を介して、Ｙ軸方向にスライド自在にＹ軸支持ベース７に支持されている。
【０１１７】
検査描画ユニット１６１は、吸着テーブル３１が給除材位置に移動したときに、検査シート１７１が撮像ユニット１６２の検査カメラ１６３に臨む位置に移動して当該位置に位置することが可能である。２個の検査カメラ１６３による撮像結果は、吐出装置制御部６に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各液滴吐出ヘッド１７の各吐出ノズル７８が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか）否かが判定される。また、着弾した液滴の相対位置が規定された位置であるか否かが判定される。
【０１１８】
＜重量測定ユニット＞
次に、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４について、図８を参照して説明する。図８は、重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの図である。図８（ａ）は、重量測定ブロックの平面図であり、図８（ｂ）は、重量測定ブロックの側面図である。上述したように、重量測定ユニット１９、フラッシングユニット１４、及び検査描画ユニット１６１が一体に設けられた吐出検査ブロックが、一体に移動するように構成されている。
【０１１９】
図８に示すように、重量測定ブロック９１Ａは、２個の重量測定装置９１と、支持フレーム９２とを備えている。支持フレーム９２は、２個の重量測定装置９１を支持しており、支持フレーム９２がＸ軸第２スライダ２３に固定されて、重量測定ブロック９１ＡがＸ軸第２スライダ２３に搭載されている。一つの重量測定装置９１が一つのヘッド組５５に対応しており、並列する二つの重量測定装置９１が、一つのヘッドユニット５４に対応している。
【０１２０】
重量測定装置９１は、定期フラッシングボックス９３と、受液容器９４と、電子天秤９９（図８（ａ）では受液容器９４の下に隠れている）と、重量測定時フラッシングボックス９５と、機能液吸収材９７と、押えプレート９８と、これらを収容するケース９６と、を有している。定期フラッシングボックス９３と、重量測定時フラッシングボックス９５と、機能液吸収材９７と、押えプレート９８とは、フラッシングユニット１４に含まれる。受液容器９４と、電子天秤９９とは、重量測定ユニット１９に含まれる。
【０１２１】
受液容器９４は、ヘッド組５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７のうち、任意の１個の液滴吐出ヘッド１７のみに対向して、当該液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることができる大きさである。受液容器９４は、電子天秤９９の上に載っており、電子天秤９９は受液容器９４の重量を測定することで、受液容器９４内に着弾した機能液の重量を測定する。液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることで増加した受液容器９４の重量が、液滴吐出ヘッド１７から吐出されて受液容器９４内に着弾した機能液の重量である。
【０１２２】
重量測定時フラッシングボックス９５は、重量測定時フラッシングボックス９５ａと重量測定時フラッシングボックス９５ｂとが、Ｘ軸方向において受液容器９４を挟んで配置されている。ヘッド組５５を構成する６個の液滴吐出ヘッド１７のうち１個の液滴吐出ヘッド１７が受液容器９４に臨む位置にあるとき、ヘッド組５５を構成する他の５個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂのいずれかに臨む位置に位置する。重量測定対象の液滴吐出ヘッド１７が受液容器９４に臨んで重量測定のための吐出を実施する時に、測定対象外の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂに臨んで、捨て吐出を実施する。
【０１２３】
１個の重量測定装置９１でヘッド組５５の６個の液滴吐出ヘッド１７について重量測定を行うため、１個の液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出を行っている際に、その他の５個の液滴吐出ヘッド１７はその重量測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行わせることができる。このため、「待ち」状態の間に吐出ノズル７８が乾燥することを抑制して、「待ち」状態後に重量測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。
【０１２４】
定期フラッシングボックス９３は、定期フラッシング時に捨て吐出された機能液を受けるものである。
重量測定時フラッシングボックス９５及び定期フラッシングボックス９３内には、機能液吸収材９７が、その両長辺部を一対の押えプレート９８により押え付けた状態で敷設されている。なお、受液容器９４は、各液滴吐出ヘッド１７に対し、ノズル列単位で機能液を受け得る大きさに形成されている。
【０１２５】
電子天秤９９は、受液容器９４に吐出された機能液の重量を測定し、測定結果を吐出装置制御部６に出力する。吐出装置制御部６は、電子天秤９９から入力した測定結果に基づいて、ヘッドドライバ２ｄ（図９参照）から液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電力（電圧値）を制御する。
【０１２６】
＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図９を参照して説明する。図９は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に入出力する情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。
【０１２７】
液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ２ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ６０ｄと、メンテナンスドライバ５ｄと、検査ドライバ４ｄと、冷却素子ドライバ１１１ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３と、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。
【０１２８】
インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶したりしている。
【０１２９】
ヘッドドライバ２ｄには、吐出ユニット２を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバ２ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータ２６と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、上記した、アライメントカメラ８１を移動するためのカメラ移動モータや、θテーブル３２のθ駆動モータ５３２などである。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ２ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。
【０１３０】
メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンスユニット５の吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６と、フラッシングユニット１４とが接続されている。メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、又はフラッシングユニット１４を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。
【０１３１】
検査ドライバ４ｄには、検査ユニット４の吐出検査ユニット１８と、重量測定ユニット１９とが接続されている。検査ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット１８、又は重量測定ユニット１９を駆動して、吐出重量や吐出の可否や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。
【０１３２】
冷却素子ドライバ１１１ｄには、冷却ユニット１１０の冷却素子１１１が接続されている。冷却素子ドライバ１１１ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、冷却素子１１１を駆動して、液滴吐出ヘッド１７を冷却する。
【０１３３】
給液ドライバ６０ｄには、給液ユニット６０が接続されている。給液ドライバ６０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って給液ユニット６０を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。検出部インタフェイス４３には、各種センサを含む検出部４２が接続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。
【０１３４】
＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における吐出制御方法について、図１０を参照して説明する。図１０は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。
【０１３５】
上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力するＣＰＵ４４と、液滴吐出ヘッド１７の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバ１７ｄとを備えている。
図１０に示すように、ヘッドドライバ１７ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド１７と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド１７は、吐出ノズル７８（図３参照）ごとに設けられた圧電素子１５９に対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフタ（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。
【０１３６】
液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ４４がワークＷなどの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバ１７ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバ１７ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル７８ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ８５に伝送される。
【０１３７】
シフトレジスタ８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて圧電素子１５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて圧電素子１５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されないことになる。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル７８からは機能液が液滴化されて吐出され、吐出された機能液がワークＷなどの描画対象物の上に配置される。
【０１３８】
＜液晶表示パネルの構成＞
次に、液晶表示パネルについて説明する。液晶表示パネル２００は、液晶装置の一例であり、カラーフィルタの一例である液晶表示パネル用のカラーフィルタを備える液晶表示パネルである。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図１１を参照して説明する。図１１は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図１１に示した液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。
【０１３９】
図１１に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１６（ｋ）参照）とを備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互いに貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１と偏光板２３２とが、配設されている。
【０１４０】
素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、画素電極２１７や、走査線２１２及び信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４に信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。
【０１４１】
素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。
【０１４２】
対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルタ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成され、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルタ膜領域２２５が形成されている。フィルタ膜領域２２５には、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。
【０１４３】
ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。
【０１４４】
対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。
【０１４５】
なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１４６】
＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図１２を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されてガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａの上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図１２（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面であり、図１２（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８などを形成したものや、ＣＦ層２０８などを形成する途中の状態のものも、マザー対向基板２０１Ａと表記する。
【０１４７】
対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図１２（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルタ膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該フィルタ膜領域２２５にフィルタ膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を、液滴吐出装置１などの製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。
【０１４８】
図１２（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには、対向基板２２０のＣＦ層２０８が、分割されてガラス基板２０１となる部分のそれぞれに形成されている。
【０１４９】
＜カラーフィルタ＞
次に、対向基板２２０に形成されているＣＦ層２０８及びＣＦ層２０８におけるフィルタ膜２０５（赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂ）の配列について、図１３を参照して説明する。図１３は、３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図である。
【０１５０】
図１３に示すように、フィルタ膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルタ膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルタ膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルタ膜領域２２５を埋める膜状のフィルタ膜２０５を形成する。
【０１５１】
３色カラーフィルタにおける赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。ストライプ配列は、図１３（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂになる配列である。モザイク配列は、図１３（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルタ膜２０５一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタ膜２０５が３色となる配列である。デルタ配列は、図１３（ｃ）に示したように、フィルタ膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つのフィルタ膜２０５が異なる色となる配色である。
【０１５２】
図１３（ａ）、（ｂ）、又は（ｃ）に示した３色フィルタにおいて、フィルタ膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ２５４」と表記する。）を形成している。一つの絵素フィルタ２５４内の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂのいずれか一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、さらに、通過させる光の光量を調整することによりフルカラー表示を行う。
【０１５３】
＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図１４、図１５、及び図１６を参照して説明する。図１４は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図１５は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図であり、図１６は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。
【０１５４】
図１４に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形成する。
図１４のステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、フィルタ膜領域２２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図１５（ａ）に示すように、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形のフィルタ膜領域２２５が形成される。
【０１５５】
次に、図１４のステップＳ２では、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、フィルタ膜領域２２５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを構成する材料を含む機能液をそれぞれ充填して、当該機能液を乾燥させることによって形成する。
【０１５６】
より詳細には、図１５（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルタ膜領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１７Ｒを対向させる。当該赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８から、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによって、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板２０１に対して赤色吐出ヘッド１７Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１に形成された全てのフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図１５（ｃ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する。
【０１５７】
同様にして、図１５（ｂ）に示した、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂに、図１５（ｃ）に示すように、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能液２５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図１５（ｄ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｇ及びフィルタ膜領域２２５Ｂに緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと合わせて、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂからなる３色カラーフィルタが形成される。
【０１５８】
次に、図１４のステップＳ３では、平坦化層を形成する。図１５（ｅ）に示すように、ＣＦ層２０８を構成する赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、図１４のステップＳ４では、対向電極２０７を形成する。図１５（ｆ）に示すように、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５が形成された領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極２０７である。
【０１５９】
次に、図１４のステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。
図１６（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１６（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施して、対向基板２２０が形成される。
【０１６０】
図１４に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形成する。
図１４のステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６などを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に少なくとも１個のＴＦＴ素子２１５を形成する。
【０１６１】
次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。
【０１６２】
次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成する。
図１６（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１６（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施して、素子基板２１０が形成される。
【０１６３】
次に、図１４のステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせて、図１６（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板を個別の液晶表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板２０１Ａやマザー素子基板を、対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後にステップＳ９を実施する。ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。
【０１６４】
＜フィルタ膜領域と吐出ノズル＞
次に、フィルタ膜領域２２５と、当該フィルタ膜領域２２５に機能液を配置するために用いられる吐出ノズル７８との位置関係について、図１７を参照して説明する。図１７は、フィルタ膜領域と吐出ノズルとの位置関係を示す説明図である。図１７に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１に示したＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。
【０１６５】
上述したように、液滴吐出装置１においては、ノズル列７８Ａは、吐出ノズル７８がＹ軸方向に配列されている。図１７では、２列のノズル列７８Ａの間を縮めて表示している。図１７に示したフィルタ膜領域２２５のＹ軸方向の寸法は、４００μｍであり、フィルタ膜領域２２５を区画形成している隔壁２０４の幅は、１５μｍである。上述したように、本実施形態の液滴吐出ヘッド１７におけるノズルピッチは、７０μｍである。
フィルタ膜領域２２５に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａの方向に相対移動させながら、それぞれのフィルタ膜領域２２５に対向可能な吐出ノズル７８から機能液を吐出させて、フィルタ膜領域２２５に機能液２５２を着弾させる。図１７に示した１個のフィルタ膜領域２２５は、吐出ノズル７８から吐出される液滴を例えば２５滴、着弾させることによって適正な厚さのフィルタ膜２０５を形成できる。図１７に示した１個のフィルタ膜領域２２５には、それぞれ５個の吐出ノズル７８が対向可能である。フィルタ膜領域２２５に対向可能な５個の吐出ノズル７８のそれぞれが、５滴ずつ機能液２５２の液滴を吐出させることによって、１個のフィルタ膜領域２２５に２５滴の機能液２５２を着弾させる。
この場合、フィルタ膜領域２２５に配置される機能液２５２の量は、液滴の重量によって定まる。図５（ｂ）を参照して説明したような吐出重量のばらつきがある場合には、形成されるフィルタ膜２０５の厚さが、フィルタ膜領域２２５ごとに異なる可能性がある。
本実施形態のヘッドユニット５４は、ノズル群ごとに冷却温度を調整することでノズル群ごとに吐出ノズル７８の吐出量を調整することによって、吐出ノズル７８ごとの吐出量のばらつきを抑制している。
【０１６６】
第一の実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）冷却素子１１１を備える冷却ユニット１１０の伝熱パターン１１４が圧力室１５８が形成されているヘッド本体７４の外壁に熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されている。これにより、冷却素子１１１によって、ヘッド本体７４の内部の圧力室１５８や圧力室１５８に充填された機能液の温度上昇を抑制することができる。
【０１６７】
（２）端子部１１４ｂ及び端子部１１４ｃはヘッド本体７４に接着されている。端子部１１４ｂ及び端子部１１４ｃが当接している部分が主に冷却されるため、ヘッド本体７４の一部分を選択的に冷却することができる。これにより、個別の圧力室１５８（吐出ノズル７８）や、数個の圧力室１５８（吐出ノズル７８）を選択的に冷却することができる。
【０１６８】
（３）端子部１１４ｃは、端子伝熱部１１４ｖの幅によって単位時間あたりの伝熱量が異なる。端子部１１４ｃごとに単位時間あたりの伝熱量を変えることができるため、端子部１１４ｃが当接している部分ごとに冷却素子１１１によって冷却される程度を調整することができる。これにより、個別の圧力室１５８（吐出ノズル７８）や、数個の圧力室１５８（吐出ノズル７８）を冷却する程度を調整して、圧力室１５８などの温度に影響を受ける吐出ノズル７８からの吐出量を調整することができる。
【０１６９】
（４）端子基板１１２は、ベースフィルム１１６と伝熱パターン１１４とカバーフィルム１１７とが、伝熱パターン１１４を中に挟む状態で積層されて形成されている。伝熱パターン１１４が、ベースフィルム１１６又はカバーフィルム１１７に支持される構成であるため、伝熱パターン１１４自体で充分な強度を持つことは必ずしも必要ではない。これにより、端子部１１４ｂ又は端子部１１４ｃのような端子部を、個別の吐出ノズルに対応した微細な形状に形成することもできる。
【０１７０】
（５）端子基板１１２は、ベースフィルム１１６と伝熱パターン１１４とカバーフィルム１１７とが、伝熱パターン１１４を中に挟む状態で積層されて形成されている。伝熱パターン１１４の平面形状は、ベースフィルム１１６又はカバーフィルム１１７に形成した金属の例えば箔をエッチングなどによって形成できる。これにより、複雑な形状や微細な形状であっても、精度よく形成することができる。端子伝熱部１１４ｖの幅なども精度よく形成できるため、端子部の断面積を精度よく形成することによって、単位時間あたりの伝熱量を精度よく作りこむことができる。
【０１７１】
（第二の実施形態）
次に、ヘッドユニット、吐出装置、及び吐出方法の第二の実施形態について、説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、第一の実施形態と同様に、液晶装置の製造ラインに組み込まれており、樹脂を含む機能液を導入した液滴吐出ヘッドを用いて、カラーフィルタの色要素膜などを形成するものである。
本実施形態の液滴吐出装置３０１（図１８参照）は、第一の実施形態の液滴吐出装置１と基本的な構成及び機能は共通である。液滴吐出装置３０１の液滴吐出装置１と異なる構成、及び液滴吐出装置３０１を用いてフィルタ膜２０５を形成する描画工程について説明する。
【０１７２】
＜液滴吐出装置＞
最初に、液滴吐出装置３０１の全体構成について、図１８を参照して説明する。図１８は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。
【０１７３】
図１８に示したように、液滴吐出装置３０１は、液滴吐出ヘッド１７（図３参照）を有する吐出ユニット３０２と、ワークユニット３と、給液ユニット（図示省略）と、検査ユニット３０４と、メンテナンスユニット３０５と、吐出装置制御部６（図９参照）とを備えている。
【０１７４】
吐出ユニット３０２は、ヘッドユニット３５４を備えるキャリッジユニット３５１を１０個備えている。検査ユニット３０４は及びメンテナンスユニット３０５は、１０個のヘッドユニット３５４に対応する構成を備えている。１０個のヘッドユニット３５４に対応する構成となっていること以外は、液滴吐出装置３０１は、液滴吐出装置１と基本的に同様の構成を備えている。
ヘッドユニット３５４は、冷却ユニット１１０とは異なる冷却ユニット３１０を備えている。
検査ユニット３０４は、１０個のヘッドユニット３５４からの吐出の吐出重量測定を一度に実施できるように、１０個の重量測定ユニット１９を備えている。フラッシングユニット１４も１０個備えている。メンテナンスユニット３０５は、分割吸引ユニット１４１を１０個有する吸引ユニット３１５を備えている。
【０１７５】
＜冷却ユニット、及び冷却ユニットの取り付け＞
次に、冷却ユニット３１０の構成、及びヘッドユニット３５４における液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取付構造及び冷却ユニット３１０の取付構造について、図１９を参照して説明する。図１９は、冷却ユニットの構成、並びに液滴吐出ヘッド、及び冷却ユニットのキャリッジプレートへの取付構造を示す図である。図１９（ａ）は、冷却ユニットの端子基板の平面図であり、図１９（ｂ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び冷却ユニットの側面図であり、図１９（ｃ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び冷却ユニットをノズルプレート側からみた平面図である。
【０１７６】
図１９（ａ）及び（ｂ）に示したように、冷却ユニット３１０は、冷却素子３１１と端子基板３１２とを有している。端子基板３１２は、ベースフィルム３１６と伝熱パターン３１４とカバーフィルム３１７とが、伝熱パターン３１４を中に挟む状態で積層されて形成されている。ベースフィルム３１６及びカバーフィルム３１７は、例えばポリイミドのような、可撓性に富む材料で形成されている。伝熱パターン３１４は、例えば銅のような熱伝導率が高い材料で、曲げ変形可能な形状に形成されている。
【０１７７】
伝熱パターン３１４におけるカバーフィルム３１７によって覆われておらず露出した部分が、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の外壁に熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されている。ベースフィルム３１６におけ開口部３１６ａの部分で露出した伝熱パターン３１４には、冷却素子３１１が熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されて固定されている。端子基板３１２は、複数の伝熱パターン３１４を有しており、伝熱パターン３１４のそれぞれに、冷却素子３１１が固定されている。
冷却素子３１１は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）によって、電気的に吐出装置制御部６に接続されており、吐出装置制御部６によって温度が制御される。複数の冷却素子３１１は、それぞれ独立して温度を制御される。
冷却素子３１１が、冷却源に相当し、伝熱パターン３１４が、温度調整端子に相当する。
【０１７８】
冷却素子３１１によって、冷却素子３１１が固定された伝熱パターン３１４が冷却され、伝熱パターン３１４が接着されているヘッド本体７４の外壁が冷却される。図３を参照して説明したように、当該外壁の内側には、圧力室１５８が形成されており、外壁が冷却されることで、圧力室１５８や、ノズルプレート７６の圧力室１５８に臨む部分や、圧力室１５８内の機能液などが、冷却される。
【０１７９】
図１９（ｃ）に示したように、ヘッドユニット３５４における液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取り付けは、図４を参照して説明したヘッドユニット５４における液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取り付けと同様である。
ヘッドユニット３５４における冷却ユニット３１０のキャリッジプレート５３への取り付けは、図４を参照して説明したヘッドユニット５４における冷却ユニット１１０のキャリッジプレート５３への取り付けと同様である。
【０１８０】
＜機能液配置＞
次に、機能液を吐出して、マザー対向基板２０１ＡにおけるＣＦ層２０８のフィルタ膜領域２２５などに機能液を配置する過程について、図２０を参照して説明する。図２０は、機能液を配置する工程を示すフローチャートである。
【０１８１】
図２０のステップＳ２１では、液滴吐出ヘッド１７におけるそれぞれの吐出ノズル７８の温度特性を取得する。
より詳細には、図５（ａ）に示したような吐出ノズル温度と吐出重量との関係を、それぞれの吐出ノズル７８について予め測定して取得する。取得したデータを、制御装置６５の入出力装置６８などから入力し、吐出装置制御部６のＲＡＭ４６やハードディスク４８に記憶する。それぞれの吐出ノズル７８の温度特性を取得することで、図５（ｂ）を参照して説明した液滴吐出ヘッド１７におけるそれぞれの吐出ノズル７８の吐出重量の分布も取得される。ステップＳ２１が、情報取得工程に相当する。データ入力する制御装置６５の入出力装置６８などが、情報取得部に相当する。
【０１８２】
次に、ステップＳ２２では、液滴吐出ヘッド１７のそれぞれの吐出ノズル７８からプレ吐出を実施する。プレ吐出は、液滴吐出ヘッド１７を、安定した吐出が実施できる、稼働時における液滴吐出ヘッド１７の定常状態にするためのものである。休止状態から稼働を開始した直後の液滴吐出ヘッド１７の状態は必ずしも安定した吐出が実施される状態ではない。休止状態の液滴吐出ヘッド１７を駆動してプレ吐出を実施させることによって、休止状態の液滴吐出ヘッド１７を、稼働時における液滴吐出ヘッド１７の定常状態にする。プレ吐出を実施することで、液滴吐出ヘッド１７に、稼働開始時から、通常の稼働時と同じ安定した吐出を実施させることができる。プレ吐出は、実際に吐出を実行させることで実施してもよいし、機能液が実際に吐出されない程度の駆動電圧を圧電素子１５９に印加することで実施してもよい。
【０１８３】
次に、ステップＳ２３では、プレ吐出が実施されて稼働状態となった液滴吐出ヘッド１７のそれぞれの吐出ノズル７８の吐出ノズル温度を測定する。吐出ノズル７８の吐出ノズル温度としては、例えば、圧電素子１５９の振動板１５２との接続部分の温度を温度測定器を設けて測定する。或は、圧電素子１５９を温度測定素子として用いて測定することもできる。圧電素子１５９を温度測定素子として用いる場合の圧電素子１５９が、温度測定部に相当する。
他の測定方法としては、吐出重量を測定する方法が可能である。プレ吐出の終わり近くにおいて、吐出された機能液の重量を重量測定ユニット１９を用いて測定し、測定結果を、それぞれの吐出ノズル７８の温度特性と比較することによって、吐出ノズル７８の吐出ノズル温度を求めることができる。重量測定ユニット１９が吐出重量測定部に相当し、温度を求める演算を実施するＣＰＵ４４が、温度演算部に相当する。重量測定ユニット１９及びＣＰＵ４４が、温度測定部に相当する。ステップＳ２３が、温度測定工程に相当する。
なお、吐出ノズル温度を求めるための吐出重量測定では、吐出ノズル７８から、吐出不良のない正常な吐出が実施されていることが必要である。正常な吐出が実施されていることを確認するために、吐出重量測定に先立って、吐出検査ユニット１８を用いて、吐出検査を実施することが好ましい。
【０１８４】
次に、ステップＳ２４では、それぞれの吐出ノズル７８の吐出ノズル温度を調整する。ステップＳ２１で取得した吐出ノズル７８の吐出重量の温度特性から、それぞれの吐出ノズル７８の適切な吐出ノズル温度を求める。求めた適切な吐出ノズル温度に対するステップＳ２３で取得した吐出ノズル温度の差異を解消するように、それぞれの吐出ノズル７８の吐出ノズル温度を調整する。吐出ノズル７８の吐出ノズル温度は、それぞれの吐出ノズル７８に対応する位置に配置された伝熱パターン３１４のそれぞれに接続された冷却素子３１１を駆動することによって実施する。
【０１８５】
次に、ステップＳ２５では、それぞれの吐出ノズル７８の吐出ノズル温度が適切な吐出重量を実現できる適切な温度に調整された液滴吐出ヘッド１７からフィルタ膜領域２２５に向けて、機能液を吐出する。
【０１８６】
ステップＳ２５を実施して、機能液を配置する工程を終了する。
なお、ステップＳ２１の吐出ノズル７８の温度特性を取得する工程は、機能液吐出を実施するたびに実施してもよいし、液滴吐出ヘッド１７が交換されるごとに実施してもよいし、液滴吐出ヘッド１７の例えば製造ロットが異なるごとに実施してもよいし、液滴吐出ヘッドの種類が変わる場合にのみ実施してもよい。
【０１８７】
第二の実施形態によれば、第一の実施形態によって得られる効果に加えて、以下に記載する効果が得られる。
（１）端子基板３１２は、複数の伝熱パターン３１４を有しており、伝熱パターン３１４のそれぞれに、冷却素子３１１が固定されている。これにより、伝熱パターン３１４ごとに独立して温度を調整することができる。
【０１８８】
（第三の実施形態）
次に、ヘッドユニット、吐出装置、及び吐出方法の第三の実施形態について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、第一の実施形態及び第二の実施形態で説明した液滴吐出装置１又は液滴吐出装置３０１と実質的に同じ構成を有するものである。液滴吐出装置１又は液滴吐出装置３０１が備える冷却ユニット１１０及び冷却ユニット３１０とは異なる冷却ユニットの構成例について説明する。
【０１８９】
＜他の冷却ユニット例１＞
次に、冷却ユニット１１０及び冷却ユニット３１０とは異なる冷却ユニット４１０について、図２１を参照して説明する。
図２１は、冷却ユニットの構成、及び冷却ユニットの取付構造を示す図である。図２１（ａ）は、冷却ユニットの平面図であり、図２１（ｂ）は、液滴吐出ヘッド及び副ヘッド保持部材に取り付けられた冷却ユニットの側面図である。
【０１９０】
図２１（ａ）に示したように、冷却ユニット４１０は、支持板４１５と複数の冷却素子４１１とを有している。冷却素子４１１は、温度を調整できる冷却面４１１ａを有している。冷却素子４１１は、複数の冷却素子４１１が有する冷却面４１１ａが同一の平面に接触可能となるように、支持板４１５に固定されている。
冷却素子４１１は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）によって、電気的に吐出装置制御部６（図９参照）に接続されており、吐出装置制御部６によって温度が制御される。複数の冷却素子４１１は、それぞれ独立して温度を制御される。
【０１９１】
図２１（ｂ）に示したように、冷却ユニット４１０は、支持板４１５が副ヘッド保持部材１０３に固定されている。支持板４１５が副ヘッド保持部材１０３に固定されることによって、冷却ユニット４１０は、上述した冷却ユニット１１０などと同様に、副ヘッド保持部材１０３及び主ヘッド保持部材１０２（図２１（ｂ）では図示省略）を介して、キャリッジプレート５３（図２１（ｂ）では図示省略）に取り付けられている。冷却素子４１１の冷却面４１１ａは、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４のポンプ部７５に対向しており、冷却面４１１ａとポンプ部７５との間には、伝熱シート４１４が挟持されている。伝熱シート４１４は、熱伝導率が高く柔軟性に富む素材で形成されており、冷却面４１１ａとポンプ部７５との双方から押圧された状態で、冷却面４１１ａ及びポンプ部７５の側面に密着している。
冷却素子４１１によって、伝熱シート４１４を介して冷却面４１１ａが接触されているヘッド本体７４の外壁を冷却することができる。図３を参照して説明したように、当該外壁の内側には、圧力室１５８が形成されており、外壁が冷却されることで、圧力室１５８や、ノズルプレート７６の圧力室１５８に臨む部分や、圧力室１５８内の機能液などが、冷却される。
冷却素子４１１が、冷却源に相当する。
【０１９２】
液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取り付けは、図４を参照して説明したヘッドユニット５４における液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取り付けと同様である。冷却ユニット４１０は、ヘッドユニット５４における冷却ユニット１１０と同様に、１個の液滴吐出ヘッド１７に対してそれぞれ２個ずつ配設されている。２個の冷却ユニット４１０は、液滴吐出ヘッド１７の両側に、図２１（ｂ）に示したように固定されている。
【０１９３】
＜他の冷却ユニット例２＞
次に、上述した冷却ユニットとは異なる冷却ユニット４４０について、図２２を参照して説明する。
図２２は、冷却ユニットの構成、及び冷却ユニットの取付構造を示す図である。図２２（ａ）は、冷却ユニットの平面図であり、図２２（ｂ）は、液滴吐出ヘッド及び副ヘッド保持部材に取り付けられた冷却ユニットを示す側面図である。
【０１９４】
図２２（ａ）及び（ｂ）に示したように、冷却ユニット４４０は、ベースフィルム４５６と伝熱パターン４５４とカバーフィルム４５７とを有するフィルム基板状の部材である。冷却ユニット４４０は、ベースフィルム４５６の上に伝熱パターン４５４が形成され、カバーフィルム４５７が、伝熱パターン４５４の中央辺りをベースフィルム４５６との間に挟む状態で積層されて形成されている。ベースフィルム４５６及びカバーフィルム４５７は、例えばポリイミドのような、可撓性に富む材料で形成されている。伝熱パターン４５４は、例えば銅のような熱伝導率が高い材料で、曲げ変形可能な形状に形成されている。
【０１９５】
伝熱パターン４５４は、伝熱基部４５４ａと、伝熱基部４５４ａから櫛歯状に突出した端子部４５４ｂ及び端子部４５４ｃと、を有している。伝熱パターン４５４の厚さは略均一である。
伝熱基部４５４ａは、片面がベースフィルム４５６に覆われており、もう一面は露出している。この伝熱基部４５４ａの露出部分が、副ヘッド保持部材１０３に熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されている。
【０１９６】
端子部４５４ｂ及び端子部４５４ｃは、伝熱基部４５４ａから櫛歯状に突出している。端子部４５４ｂ及び端子部４５４ｃは、片面が伝熱基部４５４ａと共にベースフィルム４５６に覆われている。もう片面は、カバーフィルム４５７が、端子部４５４ｂ及び端子部４５４ｃの伝熱基部４５４ａへの付け根部分の辺りを覆っており、端子部４５４ｂ及び端子部４５４ｃの大部分は露出している。この端子部４５４ｂ及び端子部４５４ｃにおける露出部分がヘッド本体７４の外壁に熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されている。
【０１９７】
液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取り付けは、図４を参照して説明したヘッドユニット５４における液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取り付けと同様である。冷却ユニット４４０は、ヘッドユニット５４における冷却ユニット１１０と同様に、１個の液滴吐出ヘッド１７に対してそれぞれ２個ずつ配設されている。２個の冷却ユニット４４０は、液滴吐出ヘッド１７の両側に、図２２（ｂ）に示したように固定されている。
【０１９８】
端子部４５４ｃは、伝熱基部４５４ａへの付け根側の端子伝熱部４５４ｖと、先端側の端子端部４５４ｗと、で構成されている。端子端部４５４ｗが、ヘッド本体７４（ポンプ部７５）の外壁における上述した圧力室１５８に略臨む位置に熱伝導可能に接続されている。端子端部４５４ｗの幅は端子部４５４ｂの幅と同一に設定されており、端子部４５４ｃが圧力室１５８などに臨む範囲は、端子部４５４ｂと同様である。端子伝熱部４５４ｖの幅が端子端部４５４ｗより小さくなっており、伝熱基部４５４ａから端子端部４５４ｗに単位時間当たりに伝わる熱量は、伝熱基部４５４ａから端子部４５４ｂの先端側に単位時間当たりに伝わる熱量より少なくなっている。端子伝熱部４５４ｖの幅を変えることによって、伝熱基部４５４ａから端子端部４５４ｗに単位時間当たりに伝わる熱量が異なる端子部４５４ｃを形成することができる。図２２（ａ）では１種類のみ示したが、伝熱パターン４５４は、端子伝熱部４５４ｖの幅が互いに異なる複数種類の端子部４５４ｃを有している。
【０１９９】
吐出ノズル７８の吐出ノズル温度が例えば上昇してヘッド本体７４の温度が上昇すると、熱エネルギがヘッド本体７４の外壁から、端子部４５４ｂ又は端子部４５４ｃ、及び伝熱基部４５４ａを介して、副ヘッド保持部材１０３に伝わり、主ヘッド保持部材１０２に伝わり、さらにキャリッジプレート５３に伝わる。ヘッド本体７４に比べて、副ヘッド保持部材１０３及び主ヘッド保持部材１０２を含めたキャリッジプレート５３は、体積が大きく熱容量も大きいため、伝わった熱エネルギによるキャリッジプレート５３の温度の変動は微小である。従って、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の温度を上昇させることができる熱エネルギが液滴吐出ヘッド１７に加えられた場合でも、当該熱エネルギがキャリッジプレート５３などに逃がされることによって、ヘッド本体７４の温度をキャリッジプレート５３の温度に近い温度に保って、ヘッド本体７４の温度の変動を抑制することができる。副ヘッド保持部材１０３、主ヘッド保持部材１０２、及びキャリッジプレート５３が、熱容量が吐出ヘッドより大きい部材、及びヘッド支持部材に相当する。
【０２００】
図５（ｃ）を参照して説明した端子基板１１２における伝熱パターン１１４と同様に、伝熱パターン４５４には、例えば、ノズル列７８Ａにおける５個の吐出ノズル７８に対して１個の端子部４５４ｂ又は端子部４５４ｃが設けられており、ノズル列７８Ａにおける１８０個の吐出ノズル７８に対応して、３６個の端子部４５４ｂ又は端子部４５４ｃが形成されている。本実施形態においては、端子部４５４ｃにおける端子伝熱部４５４ｖの幅は、伝熱パターン４５４の両方の端に近い端子部４５４ｃにおける端子伝熱部４５４ｖの幅を、伝熱パターン４５４の中央に近い位置の端子部４５４ｃにおける端子伝熱部４５４ｖの幅より大きくしてある。端子部４５４ｂは、端子伝熱部４５４ｖの幅が端子端部４５４ｗと同じである端子部４５４ｃに相当し、伝熱パターン４５４の両方の端には端子部４５４ｂが形成されている。
伝熱パターン４５４における端子伝熱部４５４ｖの幅のこのような分布は、図５（ｂ）を参照して説明したノズル列７８Ａを構成する１８０個の吐出ノズル７８のそれぞれの吐出重量の分布に対応した分布である。
端子伝熱部４５４ｖの幅が広いほど、端子端部４５４ｗから伝熱基部４５４ａに単位時間当たりに伝わる熱量は多くなるため、ノズル列７８Ａの端の方に位置する吐出ノズル７８の方が中央側に位置する吐出ノズル７８より、キャリッジプレート５３の温度により近い温度に保つことができる。
伝熱パターン４５４の端子部４５４ｂ、及び端子部４５４ｃが、温度調整端子に相当する。
【０２０１】
＜他の冷却ユニット例３＞
次に、上述した冷却ユニットとは異なる冷却ユニット４６０について、図２３を参照して説明する。
図２３は、冷却ユニットの構成、及び冷却ユニットの取付構造を示す図である。図２３（ａ）は、冷却ユニットの平面図であり、図２３（ｂ）は、液滴吐出ヘッド及び副ヘッド保持部材に取り付けられた冷却ユニットを示す側面図である。
【０２０２】
図２３（ａ）及び（ｂ）に示したように、冷却ユニット４６０は、放熱板４７１と端子基板４７２とを有している。
端子基板４７２は、ベースフィルム４７６と伝熱パターン４７４とカバーフィルム４７７とが、伝熱パターン４７４を中に挟む状態で積層されて形成されている。ベースフィルム４７６及びカバーフィルム４７７は、例えばポリイミドのような、可撓性に富む材料で形成されている。伝熱パターン４７４は、例えば銅のような熱伝導率が高い材料で、曲げ変形可能な形状に形成されている。
伝熱パターン４７４におけるカバーフィルム４７７によって覆われておらず露出した部分が、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の外壁に熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されている。ベースフィルム４７６における開口部４７６ａの部分で露出した伝熱パターン４７４には、放熱板４７１が、熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されて固定されている。放熱板４７１は、熱伝導率が高い素材で形成されており、伝熱パターン４７４に放熱板４７１を固定することで、大気に接触する表面積をより大きくしている。
【０２０３】
伝熱パターン４７４は、伝熱基部４７４ａと、伝熱基部４７４ａから櫛歯状に突出した端子部４７４ｂ及び端子部４７４ｃとを有している。伝熱パターン４７４の厚さは略均一である。
伝熱基部４７４ａは、片面がカバーフィルム４７７に覆われており、もう一面は、ベースフィルム４７６の開口部４７６ａの部分で露出している。この伝熱基部４７４ａの露出部分に、放熱板４７１が、熱伝導可能に接着されている。
【０２０４】
端子部４７４ｂ、及び端子部４７４ｃは、伝熱基部４７４ａから櫛歯状に突出しており、片面が伝熱基部４７４ａと共にベースフィルム４７６に覆われている。もう片面は、カバーフィルム４７７が、伝熱基部４７４ａから端子部４７４ｂ及び端子部４７４ｃの伝熱基部４７４ａへの付け根部分までを覆っており、端子部４７４ｂ及び端子部４７４ｃの大部分は露出している。この端子部４７４ｂ及び端子部４７４ｃにおける露出部分がヘッド本体７４の外壁に熱伝導可能に接着されている。
【０２０５】
液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取り付けは、図４を参照して説明したヘッドユニット５４における液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取り付けと同様である。冷却ユニット４６０は、ヘッドユニット５４における冷却ユニット１１０と同様に、１個の液滴吐出ヘッド１７に対してそれぞれ２個ずつ配設されている。２個の冷却ユニット４６０は、液滴吐出ヘッド１７の両側に、図２３（ｂ）に示したように固定されている。
【０２０６】
端子部４７４ｃは、伝熱基部４７４ａへの付け根側の端子伝熱部４７４ｖと、先端側の端子端部４７４ｗと、で構成されている。端子端部４７４ｗが、ヘッド本体７４の外壁における上述した圧力室１５８に略臨む位置に熱伝導可能に接続されている。端子端部４７４ｗの幅は端子部４７４ｂの幅と同一に設定されており、端子部４７４ｃが圧力室１５８などに臨む範囲は、端子部４７４ｂと同様である。端子伝熱部４７４ｖの幅が端子端部４７４ｗより小さくなっており、伝熱基部４７４ａから端子端部４７４ｗに単位時間当たりに伝わる熱量は、伝熱基部４７４ａから端子部４７４ｂの先端側に単位時間当たりに伝わる熱量より少なくなっている。端子伝熱部４７４ｖの幅を変えることによって、伝熱基部４７４ａから端子端部４７４ｗに単位時間当たりに伝わる熱量が異なる端子部４７４ｃを形成することができる。図２３（ａ）では１種類のみ示したが、伝熱パターン４７４は、端子伝熱部４７４ｖの幅が互いに異なる複数種類の端子部４７４ｃを有している。
【０２０７】
吐出ノズル７８の吐出ノズル温度が例えば上昇してヘッド本体７４の温度が上昇すると、熱がヘッド本体７４の外壁から、端子部４７４ｂ又は端子部４７４ｃ、及び伝熱基部４７４ａを介して、放熱板４７１に伝わる。ヘッド本体７４に比べて、放熱板４７１は大気に接触する面積が大きいため、伝えられた熱を大気中に放出し易い。従って、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の温度の変動を抑制することができる。
【０２０８】
図５（ｃ）を参照して説明した端子基板１１２における伝熱パターン１１４と同様に、伝熱パターン４７４には、例えば、ノズル列７８Ａにおける５個の吐出ノズル７８に対して１個の端子部４７４ｂ又は端子部４７４ｃが設けられており、ノズル列７８Ａにおける１８０個の吐出ノズル７８に対応して、３６個の端子部４７４ｂ又は端子部４７４ｃが形成されている。本実施形態においては、端子部４７４ｃにおける端子伝熱部４７４ｖの幅は、伝熱パターン４７４の両方の端に近い端子部４７４ｃにおける端子伝熱部４７４ｖの幅を、伝熱パターン４７４の中央に近い位置の端子部４７４ｃにおける端子伝熱部４７４ｖの幅より大きくしてある。端子部４７４ｂは、端子伝熱部４７４ｖの幅が端子端部４７４ｗと同じである端子部４７４ｃに相当し、伝熱パターン４７４の両方の端には端子部４７４ｂが形成されている。
伝熱パターン４７４における端子伝熱部４７４ｖの幅のこのような分布は、図５（ｂ）を参照して説明したノズル列７８Ａを構成する１８０個の吐出ノズル７８のそれぞれの吐出重量の分布に対応した分布である。
端子伝熱部４７４ｖの幅が広いほど、端子端部４７４ｗから伝熱基部４７４ａに単位時間当たりに伝わる熱量は多くなるため、ノズル列７８Ａの端の方に位置する吐出ノズル７８の方が中央側に位置する吐出ノズル７８より、冷却され易くなっている。
端子部４７４ｂ及び端子部４７４ｃが、温度調整端子に相当する。
【０２０９】
以下、第三の実施形態の効果を記載する。第三の実施形態によれば、第一の実施形態又は第二の実施形態によって得られる効果に加えて、以下に記載する効果が得られる。
（１）冷却ユニット４１０の冷却素子４１１がヘッド本体７４の外壁に熱伝導可能に接続されている。これにより、ヘッド本体７４の冷却素子４１１が接続された部分の温度を調整することができる。
【０２１０】
（２）冷却素子４１１をそれぞれ独立して制御することができるため、ヘッド本体７４の各部分、即ち各吐出ノズル７８の吐出ノズル温度、又は吐出ノズル群の吐出ノズル温度を、各吐出ノズル７８又は吐出ノズル群ごとに調整することができる。
【０２１１】
（３）冷却ユニット４４０によって、ヘッド本体７４の外壁が、副ヘッド保持部材１０３、主ヘッド保持部材１０２、及びキャリッジプレート５３と熱伝導可能に接続されている。副ヘッド保持部材１０３及び主ヘッド保持部材１０２を含めたキャリッジプレート５３は、体積が大きく熱容量も大きいため、ヘッド本体７４から伝わった熱エネルギによるキャリッジプレート５３の温度の変動は微小であり、ヘッド本体７４の温度上昇を抑制することができる。
【０２１２】
（４）冷却ユニット４４０の伝熱パターン４５４は、端子伝熱部４５４ｖの幅が互いに異なることで単位時間当たりに伝わる熱量が互いに異なる複数種類の端子部４５４ｃを有している。例えば、温度上昇をより抑制するべき部分に単位時間当たりに伝わる熱量がより多い端子部４５４ｃを配置することによって、ヘッド本体７４の各部分、即ち各吐出ノズル７８の吐出ノズル温度を、各吐出ノズル７８ごとに異ならせることができる。
【０２１３】
（５）冷却ユニット４６０の端子基板４７２によって、ヘッド本体７４の外壁が放熱板４７１と熱伝導可能に接続されている。放熱板４７１からは、ヘッド本体７４の外壁からより大気中へ熱エネルギが放出され易いため、ヘッド本体７４から伝わった熱エネルギが放熱板４７１から放出されることによって、ヘッド本体７４の温度上昇を抑制することができる。
【０２１４】
（６）冷却ユニット４６０の伝熱パターン４７４は、端子伝熱部４７４ｖの幅が互いに異なることで単位時間当たりに伝わる熱量が互いに異なる複数種類の端子部４７４ｃを有している。例えば、温度上昇をより抑制するべき部分に単位時間当たりに伝わる熱量がより多い端子部４７４ｃを配置することによって、ヘッド本体７４の各部分、即ち各吐出ノズル７８の吐出ノズル温度を、各吐出ノズル７８ごとに異ならせることができる。
【０２１５】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０２１６】
（変形例１）前記実施形態においては、端子部１１４ｃなどにおける端子伝熱部１１４ｖなどの幅を変えることによって端子部を伝導する単位時間あたりの熱量を調整していたが、伝導する単位時間あたりの熱量を調整する方法として端子の幅を変えることは必須ではない。端子部を伝導する単位時間あたりの熱量は、端子部の厚さを変えることによって調整するなど、端子部の断面積を変えることによって調整することができる。
【０２１７】
（変形例２）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４（ポンプ部７５）に接触している端子部１１４ｃなどは、複数の吐出ノズル７８に対して１個の端子部が設けられていたが、１個の端子部を複数の吐出ノズルに対応させることは必須ではない。１個の吐出ノズルに対して１個の端子部を設ける構成であってもよい。
【０２１８】
（変形例３）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４に接触している伝熱パターン１１４などの部分は、端子部１１４ｂなどのように櫛歯状の端子であったが、吐出ヘッドに接触する端子が吐出ノズルの配列方向において分割されていることは必須ではない。吐出ヘッドに接触する端子は、吐出ノズルの配列方向に連続している構成であってもよい。
【０２１９】
液滴吐出ヘッド１７に接触する伝熱パターン５１４が連続している端子基板５１２について、図２４を参照して説明する。図２４は、端子基板の構成を示す平面図である。図２４に示した端子基板５１２は、図４を参照して説明した端子基板１１２とは、伝熱パターン５１４の形状のみが異なる。伝熱パターン５１４は、伝熱基部５１４ａと、端子部５１４ｂとを有している。伝熱基部５１４ａと端子部５１４ｂとの境界部分には、調整孔５１５ａ及び調整孔５１５ｂが形成されている。調整孔５１５ａ及び調整孔５１５ｂの幅を変えることによって、伝熱基部５１４ａと端子部５１４ｂとの境界部分の幅、及び伝熱基部５１４ａと端子部５１４ｂとを連結する部分の配置を調整することができる。これにより、端子基板１１２などと同様に、単位時間当たりに伝わる熱量をノズル列における吐出ノズルの配列方向において異ならせることができる。
【０２２０】
吐出ヘッドに接触する端子が吐出ノズルの配列方向に連続している他の例として、液滴吐出ヘッド１７に接触する伝熱パターン５５４が連続している端子基板５４２について、図２５を参照して説明する。図２５（ａ）は、端子基板の構成を示す側面図であり、図２５（ｂ）は、端子基板の構成を示す平面図である。図２５に示した端子基板５４２は、図４を参照して説明した端子基板１１２とは、伝熱パターン５５４の形状のみが異なる。伝熱パターン５５４は、伝熱基部５５４ａと、端子部５５４ｂとを有している。図２５（ａ）に示すように、端子部５５４ｂは、端子部５５４ｂがヘッド本体７４に接触した状態で、ノズル列７８Ａの延在方向において、厚さが変化している。ノズル列７８Ａの延在方向において端子部５５４ｂの部分の厚さが異なることによって、ノズル列７８Ａの延在方向における単位長さあたり及び単位時間あたりの端子部５５４ｂを伝導する熱量は異なっている。これにより、端子部５５４ｂの厚さを各部分ごとに調整することによって、端子基板１１２などと同様に、単位時間当たりに伝わる熱量をノズル列における吐出ノズルの配列方向において異ならせることができる。
【０２２１】
（変形例４）前記実施形態においては、冷却ユニット４６０は、２個の放熱板４７１を有し、端子基板４７２の端子部４７４ｃの幅を変えることで、位時間当たりに伝わる熱量を調整していた。しかし、位時間当たりに伝わる熱量を調整するために端子部を異ならせることは必須ではない。端子部４７４ｂ又は端子部４７４ｃごとに放熱板を設け、当該放熱板の大きさを異ならせることによって、単位時間あたりの放熱量、即ち吐出ノズルを冷却する度合いを調整してもよい。
【０２２２】
（変形例５）前記実施形態においては、液滴吐出装置１のヘッドユニット５４や液滴吐出装置３０１のヘッドユニット３５４は１２個の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの数は、１２個に限らない。ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備えていてもよい。
【０２２３】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は１組のヘッドユニット５４を備えており、液滴吐出装置３０１は１０組のヘッドユニット３５４を備えていたが、液滴吐出装置が備えるヘッドユニットは１組又は１０組に限らない。液滴吐出装置は、何組のヘッドユニットを備えていてもよい。
【０２２４】
（変形例７）前記実施形態においては、温度調整端子としての伝熱パターン１１４は、金属材料が箔状又は薄板状の形状に形成されたものをフィルムに挟んで基板状に形成されていたが、温度調整端子の形態は基板状のものに限らない。吐出ヘッドに接触させて熱を伝導させることが可能であれば、どのような形状であってもよい。温度調整端子を構成する材料も、熱伝導率が高い材料であれば、どのような材料であってもよい。
【０２２５】
（変形例８）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７の温度を調整する装置として、冷却素子１１１を備える冷却ユニット１１０などの冷却用の装置を例に説明したが、吐出ヘッドの温度を調整する装置は冷却装置に限らない。吐出ヘッドの温度を調整する装置は、熱エネルギを供給する熱源を有する加熱装置であってもよい。
【０２２６】
（変形例９）前記実施形態においては、伝熱パターン１１４などの温度調整端子は、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の外壁に熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されていたが、温度調整端子を吐出ヘッドに固定するために接着剤を用いることは必須ではない。熱伝導が良好に行えればどのような固着方法であってもよい。熱源又は冷却源と温度調整端子との接続も、熱伝導が良好に行えればどのような接続方法であってもよい。
【０２２７】
（変形例１０）前記実施形態においては、機能液をマザー対向基板２０１Ａなどに配置する吐出装置として、インクジェット方式の液滴吐出ヘッド１７を備える液滴吐出装置１又は液滴吐出装置３０１を例に説明したが、吐出装置が液滴吐出装置であることは必須ではない。吐出装置としては、例えば、ディスペンサを備える吐出装置なども用いることができる。大面積の膜形成区画に大量の膜材料を配置する必要がある場合には、液滴吐出ヘッドより単位時間あたりの吐出量が多いディスペンサを用いることが有用である。
【０２２８】
（変形例１１）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００のフィルタ膜２０５を形成する際の描画吐出について説明したが、形成する膜は、フィルタ膜に限らない。形成する膜は、液晶表示装置の画素電極膜や配向膜や対向電極膜や、カラーフィルタなどを保護するためなどに設けるオーバーコート膜などであってもよい。
形成する膜を有する装置、又は形成過程において膜を形成する必要がある装置も、液晶表示装置に限らない。上述したような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある装置であれば、どのような装置であってもよい。例えば、有機ＥＬ表示装置にも適用できる。有機ＥＬ表示装置を製造する際に上述した液滴吐出装置を用いて形成する機能膜は、有機ＥＬ表示装置の正極電極膜や陰極電極膜、フォトエッチングなどによってパターンを形成するための膜や、フォトエッチングなどのフォトレジスト膜などであってもよい。
【０２２９】
（変形例１２）前記実施形態においては、液滴吐出装置１を使用して機能液を配置することで描画を実施する描画対象物の一例として、電気光学装置の一例であるカラーフィルタを備える液晶表示パネル２００について説明したが、描画対象物は電気光学装置に限らない。上述したヘッドユニット、吐出装置、及び吐出方法は、製造に際して様々な液状体を配置して加工を実施する様々な加工対象物を加工するための製造装置、及び製造方法として利用できる。例えば、回路基板のマザー回路基板、及び液状の導電材料を吐出する配線導電パターンの加工方法又は加工装置、絶縁膜を有する回路基板のマザー回路基板、及び液状の絶縁材料を吐出する絶縁膜パターンの加工方法又は加工装置、半導体ウェハ、及び液状の導電材料を吐出する半導体装置の配線導電膜の加工方法又は加工装置、半導体ウェハ、及び液状の絶縁材料を吐出する半導体装置の絶縁層の加工方法又は加工装置などとして、利用することもできる。
【０２３０】
（変形例１３）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるＣＦ層２０８は、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの３色のフィルタ膜を有する３色フィルタであったが、カラーフィルタは、さらに多くの種類のフィルタ膜を有する多色のカラーフィルタであってもよい。多色のカラーフィルタとしては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色のシアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色カラーフィルタや、シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色カラーフィルタなどがあげられる。
【０２３１】
（変形例１４）前記実施形態においては、膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域としてのフィルタ膜領域２２５などは長方形であったが、膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域が長方形であることは必須ではない。近年、表示特性を向上させるために、画素の形状が長方形とは異なる表示装置も考案されている。膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域の形状は、形状が長方形とは異なる画素などを形成することができる形状のものであってもよい。
【０２３２】
（変形例１５）前記実施形態においては、一つの膜形成領域、機能膜領域、又はフィルタ領域膜においては、膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域としてのフィルタ膜領域２２５などは同じ大きさ及び形状であった。しかし、一つの膜形成領域、機能膜領域、又はフィルタ領域膜においては、膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域が単一の大きさ及び形状であることは必須ではない。例えば、４色カラーフィルタにおける表示の最小単位を構成する色要素の各色の大きさを光源の特性な合わせて異ならせたような、異なる大きさの膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域を有する膜形成領域、機能膜領域、又はフィルタ領域膜であってもよい。
【０２３３】
（変形例１６）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は、マザー対向基板２０１Ａなどを載置したワーク載置台２１を主走査方向に移動させると共に、液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出させることによって機能液を配置していた。また、ヘッドユニット５４を副走査方向に移動することによって、マザー対向基板２０１Ａなどに対する液滴吐出ヘッド１７（吐出ノズル７８）の位置を合わせこんでいた。しかし、配置ヘッドとしての液滴吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向の相対移動をマザー基板を移動させることで実施することも、副走査方向の相対移動を吐出ヘッドを移動させることで実施することも、必須ではない。
吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向の相対移動を吐出ヘッドを主走査方向に移動させることで実施してもよい。吐出ヘッドとマザー基板との、副走査方向の相対移動をマザー基板を副走査方向に移動させることで実施してもよい。あるいは、吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向及び副走査方向の相対移動を、吐出ヘッド、又はマザー基板のどちらか一方を、主走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよいし、吐出ヘッド、又はマザー基板の両方を、主走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０２３４】
【図１】第一の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図２】液滴吐出装置の概略構成を示す側面図。
【図３】（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。
【図４】（ａ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び冷却ユニットをノズルプレート側からみた平面図。（ｂ）は、（ａ）にＡ−Ａで示した断面の断面図。（ｃ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び冷却ユニットの側面図。（ｄ）は、キャリッジプレートに取り付けられた冷却ユニットの側面図。（ｅ）は、冷却ユニットの端子基板の平面図。
【図５】（ａ）は、吐出ノズルの温度と吐出重量の関係を示す図。（ｂ）は、ノズル列における吐出ノズルごとの吐出重量を示す図。（ｃ）は、端子基板における端子伝熱部の幅の分布を示す図。（ｄ）は、冷却ユニットを用いた場合のノズル列における吐出ノズルごとの温度を示す図。
【図６】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図７】検査描画ユニットの全体構成を示す外観斜視図。
【図８】重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの図。
【図９】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図１０】液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。
【図１１】液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。
【図１２】（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。
【図１３】３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図。
【図１４】液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。
【図１５】液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１６】液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１７】フィルタ膜領域と吐出ノズルとの位置関係を示す説明図。
【図１８】第二の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図１９】（ａ）は、冷却ユニットの端子基板の平面図。（ｂ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び冷却ユニットの側面図。（ｃ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び冷却ユニットをノズルプレート側からみた平面図。
【図２０】機能液を配置する工程を示すフローチャート。
【図２１】（ａ）は、第三の実施形態における冷却ユニットの平面図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッド及び副ヘッド保持部材に取り付けられた冷却ユニットの側面図。
【図２２】（ａ）は、冷却ユニットの平面図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッド及び副ヘッド保持部材に取り付けられた冷却ユニットを示す側面図。
【図２３】（ａ）は、冷却ユニットの平面図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッド及び副ヘッド保持部材に取り付けられた冷却ユニットを示す側面図。
【図２４】変形例における端子基板の構成を示す平面図。
【図２５】（ａ）は、端子基板の構成を示す側面図。（ｂ）は、端子基板の構成を示す平面図。
【符号の説明】
【０２３５】
１，３０１…液滴吐出装置、１７…液滴吐出ヘッド、５３…キャリッジプレート、５４…ヘッドユニット、７４…ヘッド本体、７５…ポンプ部、７６…ノズルプレート、７８…吐出ノズル、７８Ａ…ノズル列、１１０…冷却ユニット、１１１…冷却素子、１１２…端子基板、１１４…伝熱パターン、１１４ａ…伝熱基部、１１４ｂ，１１４ｃ…端子部、１１４ｖ…端子伝熱部、１１４ｗ…端子端部、１１６…ベースフィルム、１１７…カバーフィルム、１５１…圧力室プレート、１５２…振動板、１５７…ヘッド隔壁、１５８…圧力室、１５９…圧電素子、３１０…冷却ユニット、３１１…冷却素子、３１２…端子基板、３１４…伝熱パターン、４１０…冷却ユニット、４１１…冷却素子、４１４…伝熱シート、４４０…冷却ユニット、４５４…伝熱パターン、４５４ａ…伝熱基部、４５４ｂ，４５４ｃ…端子部、４５４ｖ…端子伝熱部、４５４ｗ…端子端部、４６０…冷却ユニット、４７１…放熱板、４７２…端子基板、４７４…伝熱パターン、４７４ａ…伝熱基部、４７４ｂ，４７４ｃ…端子部、４７４ｖ…端子伝熱部、４７４ｗ…端子端部、５１２…端子基板、５１４…伝熱パターン、５１４ａ…伝熱基部、５１４ｂ…端子部、５１５ａ，５１５ｂ…調整孔、５４２…端子基板、５５４…伝熱パターン、５５４ａ…伝熱基部、５５４ｂ…端子部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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