(57)【要約】【課題】複数の圧電素子を振動板の位置に精度良くかつ十分に密着して接着するための接着剤塗布方法を提供する。【解決手段】変形することにより接している物質に機械エネルギーを伝える、平面上の複数の位置に配設された弾性部材に、前記弾性部材の配設位置に対応する位置関係を維持して固定板に剥離可能に仮固定されている圧電素子を接着する接着剤を、該圧電素子の前記固定板に対向する面である転写面に転写により塗布する転写シートであって、前記圧電素子の前記転写面に沿う柔軟な基材からなり、転写する接着剤が塗布される面に、高さが概同じ突起を複数個備えている。【選択図】図３
2009137152.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変形することにより接している物質に機械エネルギーを伝える、平面上の複数の位置に配設された弾性部材に、前記弾性部材の配設位置に対応する位置関係を維持して固定板に剥離可能に仮固定されている圧電素子を接着する接着剤を、該圧電素子の前記固定板に対向する面である転写面に転写により塗布する転写シートであって、
前記圧電素子の前記転写面に沿う柔軟な基材からなり、
転写する接着剤が塗布される面に、高さが概同じ突起を複数個備えていることを特徴とする転写シート。
【請求項２】
前記突起の高さは、前記転写面の表面粗さの２倍以上であることを特徴とする請求項１に記載の転写シート。
【請求項３】
前記突起は、転写する接着剤が塗布される面に固定されている、直径が概同じ球形状であることを特徴とする請求項１又は２に記載の転写シート。
【請求項４】
変形することにより接している物質に機械エネルギーを伝える、平面上の複数の位置に配設された弾性部材に、圧電素子を接着する接着剤を該圧電素子に塗布する接着剤塗布方法において、
前記弾性部材の配設位置に対応する位置関係を維持して前記圧電素子を固定板に剥離可能に仮固定する工程と、
請求項１乃至３の何れか一項に記載の転写シートの前記突起がある面に前記接着剤を塗布する工程と、
前記転写シートの前記接着剤を塗布した面を仮固定された前記圧電素子の前記固定板に対向する面である転写面に重ね合わせる工程と、
前記重ね合わせる工程の後、前記転写シートの前記接着剤を塗布してない面を前記固定板に対して押圧する工程と、
前記転写シートを前記固定板に対して押圧した後、前記転写シートを前記転写面から引き離す工程と、を有することを特徴とする接着剤塗布方法。
【請求項５】
前記接着剤を塗布する工程において、前記接着剤は、前記転写シートの前記突起がある面に該突起が露出しない厚みに塗布することを特徴とする請求項４に記載の接着剤塗布方法。
【請求項６】
変形することにより接している物質に機械エネルギーを伝える、平面上の複数の位置に配設された弾性部材に、前記弾性部材の配設位置に対応する位置関係を維持して固定板に剥離可能に仮固定されている圧電素子を接着する接着剤が塗布され、
且つ、前記圧電素子の前記固定板に対向する面である転写面に沿う柔軟な基材からなる接着剤シートを、
前記転写面に押し付けて、塗布された前記接着剤を該転写面に転写する際に、前記接着剤シートと該転写面の間に挟む中間シートであって、
前記圧電素子の前記転写面に沿う柔軟な基材からなり、
前記接着剤シートに塗布された前記接着剤が前記転写面に移動できる複数の開口を備えていることを特徴とする中間シート。
【請求項７】
前記中間シートの厚みは、以下の条件式（１）を満足することを特徴とする請求項６に記載の中間シート。
ｔｓ  ≧  Ｒｚ／α×２          （１）
但し、
ｔｓ：中間シートの厚み
α：中間シートにおける接着剤塗布面積に対する開口面積の比
Ｒｚ：圧電素子の転写面の表面粗さ
【請求項８】
変形することにより接している物質に機械エネルギーを伝える、平面上の複数の位置に配設された弾性部材に、圧電素子を接着する接着剤を該圧電素子に塗布する接着剤塗布方法において、
前記弾性部材の配設位置に対応する位置関係を維持して前記圧電素子を固定板に剥離可能に仮固定する工程と、
前記圧電素子に転写する接着剤を前記圧電素子の前記固定板に対向する面である転写面に沿う柔軟な接着剤シートに塗布する工程と、
前記接着剤シートの接着剤を塗布した面を、請求項６又は７に記載の中間シートを間に挟んで、仮固定された前記圧電素子の前記転写面に重ね合わせる工程と、
前記重ね合わせる工程の後、前記接着剤シートの前記接着剤を塗布してない面を前記固定板に対して押圧する工程と、
前記接着剤シートを前記固定板に対して押圧した後、前記接着剤シートを前記転写面から前記中間シートと共に引き離す工程と、を有することを特徴とする接着剤塗布方法。
【請求項９】
前記塗布する工程において、前記接着剤シートに塗布する前記接着剤の厚みは、以下の条件式（２）を満足することを特徴とする請求項８に記載の接着剤塗布方法。
ｔｇ  ≧  ｔｓ×α            （２）
但し、
ｔｇ：接着剤シートに塗布する接着剤の厚み
ｔｓ：中間シートの厚み
α：中間シートにおける接着剤塗布面積に対する開口面積の比
【請求項１０】
前記仮固定する工程は、前記固定板に前記圧電素子を加熱により接着力が低下する発泡剥離シートで仮固定することを特徴とする請求項４、５、８及び９の何れか一項に記載の接着剤塗布方法。
【請求項１１】
複数のノズル孔を有するノズルプレートを形成する工程と、
前記ノズルプレートと接合して、前記ノズル孔に連通し、圧電素子の変位による容積の変化により前記ノズル孔から液滴を吐出させる圧力室となる圧力室溝を備えたボディプレートを形成する工程と、
前記ノズルプレートと前記ボディプレートとを接合して前記ノズル孔に連通する前記圧力室を形成する接合工程と、
前記圧力室の一側面を弾性部材で構成する振動板に前記振動板を振動させる前記圧電素子を結合する工程と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記圧電素子を結合する工程は、請求項４、５、８、９及び１０の何れか一項に記載の接着剤塗布方法により前記圧電素子に接着剤を塗布する工程と、
前記接着剤が塗布された前記圧電素子が仮固定されている前記固定板を、前記振動板に押し付けた状態で、前記接着剤を硬化する工程と、
前記接着剤を硬化する工程の後、前記固定板を前記圧電素子より引き離す工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
液体の複数の入口及び出口を有する第１の基板を形成する工程と、
前記第１の基板と接合して、前記入口及び出口に連通し、圧電素子の変位による容積の変化により前記入口及び出口から液体を吸入及び送出させる加圧室となる加圧室溝を形成する第２の基板を形成する工程と、
前記第１の基板と前記第２の基板とを接合して前記入口及び出口に連通する前記加圧室を形成する接合工程と、
前記加圧室の一側面を弾性部材で構成する振動板に前記振動板を振動させる前記圧電素子を結合する工程とを有するマイクロポンプ装置の製造方法において、
前記圧電素子を結合する工程は、請求項４、５、８、９及び１０の何れか一項に記載の接着剤塗布方法により圧電素子に接着剤を塗布する工程と、
前記接着剤が塗布された前記圧電素子が仮固定されている前記固定板を、前記振動板に押し付けた状態で、前記接着剤を硬化する工程と、
前記固定板を前記圧電素子より引き離す工程と、を有することを特徴とするマイクロポンプ装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転写シート、中間シート、接着剤塗布方法、液体吐出ヘッドの製造方法及びマイクロポンプ装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録方式は、ノンインパクト記録方式の１つであり、高速記録が可能であると共に、種々の記録媒体に対して記録が可能であり、しかも、高精細な画像が得られる。このような利点から、インクジェット記録方式は、コンピューターの周辺機器としてのプリンタばかりでなく、複写機、写真、各種印刷、産業用高精細パターニング等の記録手段として近年用途を拡大しながら急速に普及している。
【０００３】
このようなインクジェット記録を行う記録ヘッドには、インク等の液体を飛翔させるためのノズルと、このノズルに連通する圧力室のインク等の液体に吐出のためのエネルギーを与えるエネルギー発生手段とを備えている。そして、エネルギー発生手段として電気機械変換素子である圧電素子（ピエゾ素子）を用いた液体吐出ヘッド（記録ヘッド）は、圧電素子が発生した圧力波の伝搬によってノズル先端のメニスカスを制御して液滴を吐出させるもので、このような圧電素子の機械エネルギーを液体に伝搬させるための振動板（ダイヤフラムとも称する。）を備えているものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
振動板に圧電素子を固定する場合、圧電素子が発生する機械エネルギーを液体に効率よく伝搬させるため、各ノズルに対応した圧力室の振動板に対して位置精度良く圧電素子を固定する必要がある。圧電素子の固定位置にバラツキがあると、各圧電素子に同じ駆動信号を印加して発生させる振動を同じとしても、各圧力室内に生じる圧力に差が生じてノズルから吐出する液滴の飛翔状態が異なってしまい、印刷品質が良好とならない。また、圧電素子が発生した機械エネルギーを十分に振動板に伝達するには、圧電素子と振動板とが一体化するように十分に接着する必要がある。
【０００５】
上記の様に圧電素子が変形する機械エネルギーを効率よく液体に伝搬させるために、圧電素子を振動板に対して位置精度良く十分に接着する例として以下がある（特許文献２参照）。
【０００６】
基板に複数の圧電素子を位置決めして接着する方法として、以下の３工程を備えている。
第１の工程：各圧電素子を相対位置関係を保持した状態で、一方の面を粘着テープに仮貼着する。
第２の工程：粘着テープに仮貼着された各圧電素子を他方の面で接着剤を介して、圧電素子を貼り付ける基板に位置決めして仮置きする。
第３の工程：各圧電素子に対応する突出部を一体的に具備する弾性部材を用意する。この弾性部材は、各圧電素子の平面形状、寸法に応じた平面部分を表面とする突出部を、各圧電素子と同じ相対位置関係を保持して備えている。弾性部材の各突出部と圧電素子とを対応させ、粘着テープの仮貼着面とは反対の面に、この各突出部を当接して基板に対して加圧する。これにより、各突出部と圧電素子とを対応させ圧力が均一化されて、粘着テープの粘着面とは反対側の表面が加圧され、また、隣り合うもの同士の間で圧力の不均一による側方の力を受けないとしている。
【０００７】
また、適量の接着剤を接着面に塗布することにより接着剤のはみ出しがないように複数のプレートを接着する方法として、以下の例がある（特許文献３参照）。
【０００８】
接着剤を弾性体からなる接着剤転写シートに塗布した後、この接着剤転写シートにダミー部材を接触させて、接着剤転写シートの表面に塗布された接着剤をダミー基板に転写する。この後、接着剤転写シートをプレートに接触させて、接着剤転写シートの表面に残留する接着剤をこのプレートに転写する。これにより、適量の接着剤をほぼ均一に転写することができ、プレートを積層・接着しても、孔や溝に接着剤が流れ込むことがなくなるとしている。
【０００９】
また、インクジェット記録方式の記録ヘッドと同様に、液体を送出させるために圧力室の液体に送出のためのエネルギーを振動板を介して与える圧電素子を備えている例としてマイクロポンプ装置がある。このマイクロポンプ装置も、圧電素子が変形する機械エネルギーを効率よく液体に伝搬させるために、圧電素子を振動板に対して位置精度良く十分に接着する必要がある。
【００１０】
マイクロポンプ装置は、マイクロマシン技術および超微細加工技術を駆使することにより、化学分析、化学合成などを行うための装置、手段（例えばポンプ、バルブ、流路、センサなど）を微細化して１チップ上に集積化したシステム（例えば特許文献４参照）に組み込まれているものである。１チップ上に集積化したシステムはμ−ＴＡＳ（Ｍｉｃｒｏ  ｔｏｔａｌ  Ａｎａｌｙｓｉｓ  Ｓｙｓｔｅｍ：マイクロ総合分析システム）、バイオチップとも呼ばれ、医療検査、診断分野、環境測定分野、農産製造分野でその応用が期待されている。
【００１１】
これら各種の分析、検査で使用されるチップにおける分析の定量性、解析の精度、経済性などが重要視される。そのためには簡単な構成で、高い信頼性の送液手段が必要とされている。この送液手段の例として、シリコン基板とガラス基板を接合して形成したマイクロポンプ装置を備えたマイクロ流体デバイスがある（例えば特許文献５参照）。
【特許文献１】特開平５−２２９１１４号公報
【特許文献２】特開平５−６９５４８号公報
【特許文献３】特開２００６−１９２５８４号公報
【特許文献４】特開２００４−２８５８９号公報
【特許文献５】特開２００４−１０８２８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献２においては、圧電素子を加圧する圧力が均一化され振動板に対して複数の圧電素子を十分に密着させて接着するには、各圧電素子と基板との間に介する接着剤をムラなく均一の厚みとなるようにする必要があるが、これに関する記述がない。特許文献２に記載されている方法で加圧しても、圧電素子と基板との間にムラなく均一に接着剤が介していなければ、十分に密着させて接着することが困難であることは十分に推測できる。
【００１３】
また、特許文献３に記載してある接着塗布の方法を、記録ヘッドを構成する振動板に圧電素子を固定する場合に当てはめてみると、以下のようになる。
【００１４】
各圧電素子を相対位置関係を保持した状態で、一方の面を板に仮貼着して固定する。接着剤転写シートに接着剤を塗布し、ダミー基板に転写したのち、板に仮固定した圧電素子の仮固定されている面の反対面に接着剤転写シートを接触させて、接着剤転写シートの表面に残留する接着剤を圧電素子に転写する。
【００１５】
ここで、板に仮固定された圧電素子の仮固定されている面の反対面は、板の圧電素子が固定されている面からの高さが一定となっていない。これは、圧電素子を振動板に貼り付けた後、仮固定した板から圧電素子を良好に剥がすために使用している粘着テープ等の厚みが一定でないためである。従って、高さが一定でない圧電素子の面に接着剤転写シートを接触させ、圧電素子に接着剤転写シートを均一に加圧しても、圧電素子に接着剤を均一な厚みで転写することは困難である。
【００１６】
また，接着剤中に複数個の同一径を有するスペーサ球を均一に散在させ、被接着部材間の間隙を一定にする方法がある。この接着剤を接着剤転写シートに塗布して、上記の様に板に仮固定された圧電素子の仮固定されている面の反対面に接着剤転写シートを接触させて加圧する。このようにすると、圧電素子の接着面から接着剤転写シートまでの距離がスペーサ球により一定とすることが出来る。しかし、圧電素子からを接着剤転写シートを剥離すると、一部のスペーサ球は転写された接着剤と共に圧電素子側にあるため、圧電素子に転写された接着剤からスペーサ球が露出した状態となる。よって、圧電素子を振動板に接触させて接着しようとすると、接着剤表面から露出したスペーサ球により圧電素子の表面と振動板との間に接着剤が充填されていない箇所が発生し，接着による固定が不十分となる。
【００１７】
本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、複数の圧電素子を振動板の位置に精度良くかつ十分に密着して接着するために圧電素子に接着剤を塗布する転写シート、中間シート、これらのシートを用いた接着剤塗布方法、この接着剤塗布方法を用いたインクジェット用記録ヘッドの製造方法及びマイクロポンプ装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記の課題は、以下の構成により解決される。
【００１９】
１．  変形することにより接している物質に機械エネルギーを伝える、平面上の複数の位置に配設された弾性部材に、前記弾性部材の配設位置に対応する位置関係を維持して固定板に剥離可能に仮固定されている圧電素子を接着する接着剤を、該圧電素子の前記固定板に対向する面である転写面に転写により塗布する転写シートであって、
前記圧電素子の前記転写面に沿う柔軟な基材からなり、
転写する接着剤が塗布される面に、高さが概同じ突起を複数個備えていることを特徴とする転写シート。
【００２０】
２．  前記突起の高さは、前記転写面の表面粗さの２倍以上であることを特徴とする１に記載の転写シート。
【００２１】
３．  前記突起は、転写する接着剤が塗布される面に固定されている、直径が概同じ球形状であることを特徴とする１又は２に記載の転写シート。
【００２２】
４．  変形することにより接している物質に機械エネルギーを伝える、平面上の複数の位置に配設された弾性部材に、圧電素子を接着する接着剤を該圧電素子に塗布する接着剤塗布方法において、
前記弾性部材の配設位置に対応する位置関係を維持して前記圧電素子を固定板に剥離可能に仮固定する工程と、
１乃至３の何れか一項に記載の転写シートの前記突起がある面に前記接着剤を塗布する工程と、
前記転写シートの前記接着剤を塗布した面を仮固定された前記圧電素子の前記固定板に対向する面である転写面に重ね合わせる工程と、
前記重ね合わせる工程の後、前記転写シートの前記接着剤を塗布してない面を前記固定板に対して押圧する工程と、
前記転写シートを前記固定板に対して押圧した後、前記転写シートを前記転写面から引き離す工程と、を有することを特徴とする接着剤塗布方法。
【００２３】
５．  前記接着剤を塗布する工程において、前記接着剤は、前記転写シートの前記突起がある面に該突起が露出しない厚みに塗布することを特徴とする４に記載の接着剤塗布方法。
【００２４】
６．  変形することにより接している物質に機械エネルギーを伝える、平面上の複数の位置に配設された弾性部材に、前記弾性部材の配設位置に対応する位置関係を維持して固定板に剥離可能に仮固定されている圧電素子を接着する接着剤が塗布され、
且つ、前記圧電素子の前記固定板に対向する面である転写面に沿う柔軟な基材からなる接着剤シートを、
前記転写面に押し付けて、塗布された前記接着剤を該転写面に転写する際に、前記接着剤シートと該転写面の間に挟む中間シートであって、
前記圧電素子の前記転写面に沿う柔軟な基材からなり、
前記接着剤シートに塗布された前記接着剤が前記転写面に移動できる複数の開口を備えていることを特徴とする中間シート。
【００２５】
７．  前記中間シートの厚みは、以下の条件式（１）を満足することを特徴とする６に記載の中間シート。
ｔｓ  ≧  Ｒｚ／α×２          （１）
但し、
ｔｓ：中間シートの厚み
α：中間シートにおける接着剤塗布面積に対する開口面積の比
Ｒｚ：圧電素子の転写面の表面粗さ
８．  変形することにより接している物質に機械エネルギーを伝える、平面上の複数の位置に配設された弾性部材に、圧電素子を接着する接着剤を該圧電素子に塗布する接着剤塗布方法において、
前記弾性部材の配設位置に対応する位置関係を維持して前記圧電素子を固定板に剥離可能に仮固定する工程と、
前記圧電素子に転写する接着剤を前記圧電素子の前記固定板に対向する面である転写面に沿う柔軟な接着剤シートに塗布する工程と、
前記接着剤シートの接着剤を塗布した面を、６又は７に記載の中間シートを間に挟んで、仮固定された前記圧電素子の前記転写面に重ね合わせる工程と、
前記重ね合わせる工程の後、前記接着剤シートの前記接着剤を塗布してない面を前記固定板に対して押圧する工程と、
前記接着剤シートを前記固定板に対して押圧した後、前記接着剤シートを前記転写面から前記中間シートと共に引き離す工程と、を有することを特徴とする接着剤塗布方法。
【００２６】
９．  前記塗布する工程において、前記接着剤シートに塗布する前記接着剤の厚みは、以下の条件式（２）を満足することを特徴とする８に記載の接着剤塗布方法。
ｔｇ  ≧  ｔｓ×α            （２）
但し、
ｔｇ：接着剤シートに塗布する接着剤の厚み
ｔｓ：中間シートの厚み
α：中間シートにおける接着剤塗布面積に対する開口面積の比
１０．  前記仮固定する工程は、前記固定板に前記圧電素子を加熱により接着力が低下する発泡剥離シートで仮固定することを特徴とする４、５、８及び９の何れか一項に記載の接着剤塗布方法。
【００２７】
１１．  複数のノズル孔を有するノズルプレートを形成する工程と、
前記ノズルプレートと接合して、前記ノズル孔に連通し、圧電素子の変位による容積の変化により前記ノズル孔から液滴を吐出させる圧力室となる圧力室溝を備えたボディプレートを形成する工程と、
前記ノズルプレートと前記ボディプレートとを接合して前記ノズル孔に連通する前記圧力室を形成する接合工程と、
前記圧力室の一側面を弾性部材で構成する振動板に前記振動板を振動させる前記圧電素子を結合する工程と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記圧電素子を結合する工程は、４、５、８、９及び１０の何れか一項に記載の接着剤塗布方法により前記圧電素子に接着剤を塗布する工程と、
前記接着剤が塗布された前記圧電素子が仮固定されている前記固定板を、前記振動板に押し付けた状態で、前記接着剤を硬化する工程と、
前記接着剤を硬化する工程の後、前記固定板を前記圧電素子より引き離す工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【００２８】
１２．  液体の複数の入口及び出口を有する第１の基板を形成する工程と、
前記第１の基板と接合して、前記入口及び出口に連通し、圧電素子の変位による容積の変化により前記入口及び出口から液体を吸入及び送出させる加圧室となる加圧室溝を形成する第２の基板を形成する工程と、
前記第１の基板と前記第２の基板とを接合して前記入口及び出口に連通する前記加圧室を形成する接合工程と、
前記加圧室の一側面を弾性部材で構成する振動板に前記振動板を振動させる前記圧電素子を結合する工程とを有するマイクロポンプ装置の製造方法において、
前記圧電素子を結合する工程は、４、５、８、９及び１０の何れか一項に記載の接着剤塗布方法により圧電素子に接着剤を塗布する工程と、
前記接着剤が塗布された前記圧電素子が仮固定されている前記固定板を、前記振動板に押し付けた状態で、前記接着剤を硬化する工程と、
前記固定板を前記圧電素子より引き離す工程と、を有することを特徴とするマイクロポンプ装置の製造方法。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、転写シートは、柔軟な基材からなっているため高さが不揃いとする圧電素子の転写面にも沿うことができ、また接着剤塗布面に高さが概同じ突起を複数個備えているため、転写シートと転写面との間隔を概同じ高さにすることができる。例えば、転写シートに突起を超える厚みの接着剤を塗布し、転写面に突起が接触するように転写シートを重ねると、転写シートと転写面との間の接着剤の厚みを概突起の高さとすることができる。よって、圧電素子の転写面に適量で厚みにムラがなく均一に接着剤を塗布することができる。
【００３０】
中間シートは、柔軟な基材からなっているため高さが不揃いとする圧電素子の転写面にも沿うことができ、また接着剤シートに塗布された接着剤が圧電素子の転写面に移動できる複数の開口を備えている。接着剤シートと転写面との間隔は中間シートの概厚みとなる。例えば、接着剤を塗布した接着剤シートを中間シートを挟んで転写面に重ねて押圧すると、接着剤シートと転写面との間隔を中間シートの概厚みとして接着剤シートに塗布された接着剤は圧電素子の転写面に移動する。よって、圧電素子の転写面に適量で厚みにムラがなく均一に接着剤を塗布することができる。
【００３１】
接着剤塗布方法は、上記の転写シート又は中間シートを用いて複数の弾性部材の配置位置に対応する位置関係を維持して固定板に、高さを一定とする調整をすること無く仮固定した複数の圧電素子の転写面に適量で厚みにムラがなく均一に接着剤を塗布することができる。
【００３２】
上記の接着剤塗布方法を用いて、インクジェット用記録ヘッドの製造方法及びマイクロポンプ装置における弾性部材で構成される振動板に圧電素子を接着することができる。
【００３３】
従って、複数の圧電素子を振動板（弾性部材）の位置に精度良くかつ十分に密着して接着するために圧電素子に接着剤を塗布する転写シート、中間シート、これらのシートを用いた接着剤塗布方法、この接着剤塗布方法を用いたインクジェット用記録ヘッドの製造方法及びマイクロポンプ装置の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限らない。
【００３５】
本発明に関して、イックジェット式記録ヘッドを用いて説明する。図１は液体吐出ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドＡ（以下、記録ヘッドＡと称する。）の構成の分解斜視図（配線部は図示していない。）を示している。図１において、１は液体吐出ヘッド用ノズルプレート（以下、ノズルプレートと称する。）、５は中間プレート、２はボディプレート、３は圧電素子、３０は供給口接続部を模式的に示している。また、図２は、この記録ヘッドＡにおけるノズルプレート１のＹ−Ｙ’、中間プレート５のＺ−Ｚ’及びボディプレート２のＸ−Ｘ’の位置での断面を模式的に示している。
【００３６】
ノズルプレート１には、インク吐出のためのノズル孔１１を複数配列してある。ノズル孔１１の液滴を吐出する吐出口を有する吐出面１３には撥液膜４５がある。中間プレート５には、ノズル孔１１に連通する貫通孔１２が設けてある。貫通孔１２の径は、ノズル孔１１の径より大きい。
【００３７】
ボディプレート２には、中間プレート５を介してノズルプレート１を貼り合わせることで、圧力室となる圧力室溝２４、インク供給路となるインク供給路溝２３及び共通インク室となる共通インク室溝２２、並びにインク供給口２１が形成されている。
【００３８】
ノズルプレート１のノズル孔１１とボディプレート２の圧力室溝２４とが一対一で対応するように中間プレート５を挟んでノズルプレート１とボディプレート２と貼り合わせることで流路ユニットＭを構成する。ここで、以後、上記で説明に使用した圧力室溝、供給路溝、共通インク室溝の各符号はそれぞれ圧力室、供給路、共通インク室にも使用する。また、インク供給口２１に連通するように供給口接続部３０を結合してある。供給口接続部３０と別途準備するインク貯蔵部（図示しない）とをパイプ（図示しない）で接続することで流路ユニットＭにインクを供給することができる。
【００３９】
図２が示しているように、圧電素子３を圧力室２４の容積を変化させてノズル孔１１から液滴を吐出させるアクチュエータとして、ボディプレート２のノズルプレート１を有する面と反対面上の各圧力室２４の底部の弾性部材である振動板２５に結合してある。振動板２５と圧電素子３との間には、全ての圧電素子３と電気的に接続されるベース電極４０が設けてある。
【００４０】
ボディプレート２の底面には、圧電素子の駆動回路に接続されるフレキシブル基板（図示しない）が固定され、このフレキシブル基板には、各圧電素子３と接続する個別端子と全ての圧電素子３に接続する共通端子とを備えている。各圧電素子３と個別端子とを接続するワイヤを配線Ｌで示し、共通端子とベース電極４０とを接続するワイヤをコモン線ＣＬとして示している。
【００４１】
駆動回路（図示しない）により、コモン線ＣＬと配線Ｌとの間に駆動パルス電圧を印加することによって、各圧電素子３を独立して駆動することができる。駆動した圧電素子３から発生する振動が圧力室２４の振動板２５に伝えられ、この振動板２５の振動により圧力室２４内の圧力を変動させて圧力室２４内の液体をノズル孔１１から液滴として吐出できる。
【００４２】
これまで説明した記録ヘッドＡを製造することに関して図１から４を参照しながら説明する。
【００４３】
（ノズルプレートの準備、ボディプレートの準備、中間プレートの準備）
図２に示す流路ユニットＭを構成するノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２をそれぞれ製造する。ノズルプレート１とボディプレート２の材料はＳｉとし、中間プレート５の材料は、可動イオンを含む硼珪酸ガラスが好ましい。各プレートをこれらの材料とすることで後述する陽極接合を容易に行うことができる。
【００４４】
ノズルプレート１にノズル孔１１を形成する方法、中間プレート５に貫通孔１２を形成する方法、ボディプレート２に圧力室溝２４等を形成する方法は、公知のフォトリソグラフィー技術（レジスト塗布、露光、現像）及びエッチング技術等を用いることができる。エッチング方法としては、ドライエッチングが好ましい。これらの方法により、ノズルプレート１、ボディプレート２及び中間プレート５を準備する。
【００４５】
（接合）
準備したノズルプレート１、中間プレート５、ボディプレート２の３枚のプレートを重ね合わせ、例えば陽極接合にて接合して圧力室２４を備える流路ユニットＭを形成する。接合方法は、陽極接合に限らず接着剤を用いてもよい。
【００４６】
（撥液膜形成）
吐出面１３に設ける撥液膜４５に関して説明する。ノズルプレート１の吐出面１３に撥液膜４５を設けるのが好ましい。撥液膜４５を設けることで、ノズル孔１１から液体が吐出面１３に馴染むことによる染み出しや広がりを抑制することができる。撥液膜４５には、例えば液体が水性であれば撥水性を有する材料が用いられ、液体が油性であれば撥油性を有する材料が用いられる。一般に、ＦＥＰ（四フッ化エチレン、六フッ化プロピレン）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフロロエチレン）、フッ素化シロキサン、フルオロアルキルシラン、アモルファスパーフルオロ樹脂等のフッ素樹脂等が用いられることが多く、塗布方法、真空蒸着方法、浸漬方法で吐出面１３に成膜する。撥液膜４５の厚みは、撥液膜４５の材料、形成方法により適宜決めればよい。また、撥液膜４５は、吐出面１３に直接成膜できるが、撥液膜４５の密着性を向上させるために、下地層、例えばＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）膜を介して成膜するのが好ましい。
【００４７】
（ベース電極形成）
流路ユニットＭの背面の圧電素子３を設ける振動板２５及びその周辺部分にベース電極４０を設ける（図２参照）。ベース電極４０は、この上に設ける全ての圧電素子３に電圧を印加して駆動するための共通電極として機能する。このベース電極４０の材料は、電極となる材料であれば特に限定することはなく、例えば、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｇが挙げられる。また、密着性を良くするためのＣｒ等の下地層を設けてもよい。ベース電極４０を形成する方法は、例えば公知のスパッタリングや真空蒸着があるが、これらに限定されない。
【００４８】
（圧電素子結合、配線）
振動板２５の位置のベース電極４０の上に別途用意する圧電素子３を接着剤を用いて結合する。圧電素子３に電圧を印加する２つの面には、予めＡｕ等の一対の対向する電極を設けておき、この電極の一方の面を例えば銀ペースト等の導電性接着剤を用いてベース電極４０に結合する。この後、ボディプレート２の底面に、フレキシブル基板を固定し、フレキシブル基板と各圧電素子３及びベース電極４０との間をワイヤボンディングにより接続する。振動板２５の位置に圧電素子３を結合することに関して以下で詳細に説明する。
【００４９】
（インク供給路結合）
流路ユニットＭに開口しているインク供給口２１にインクを供給するための供給口接続部３０を接着剤等で結合する。供給口接続部３０を流路ユニットＭに設けることで、供給口接続部３０と別途設けるインク貯蔵部（図示しない）とをパイプで接続することができ、流路ユニットＭにインクを供給することができる。これで、記録ヘッドＡを完成することができる。
【００５０】
（圧電素子結合の第１の方法）
上記の圧電素子結合で説明した振動板２５の上に圧電素子３を接着剤で結合することに関して、図３に沿って説明する。尚、実際には振動板２５の上にはベース電極４０があるが、説明の便宜上、ベース電極４０を省略して、圧電素子３を接着する箇所は振動板２５として説明する。
【００５１】
まず、圧電素子３を固定板１００に仮固定する（図３（ａ））。圧電素子３の固定板１００に対向する面及び反対側の面には駆動用の電極が設けてあるが、図を簡略化するため図示していない。固定板１００は、例えば剛性が高く表面が平坦な板が好ましく、例えば厚み５ｍｍ程度のガラス基板が挙げられるが、これに限定されない。
【００５２】
圧電素子３を固定板１００に仮固定する方法は、仮固定時は固定位置が容易に変化することがない十分な粘着力を持ち、剥離時は容易に剥離できるように加熱等により粘着力が十分に低下する粘着層を圧電素子３を仮固定する面に備えた粘着シート１１０が好ましい。粘着シート１１０は、例えば厚みが５０μｍ程度の加熱により発泡し容易に剥離できる発泡剥離シートが挙げられるが、これに限定されない。
【００５３】
圧電素子３を固定板１００に仮固定する位置は、流路ユニットＭの圧力室２４の振動板２５に圧電素子３を固定する位置に対応する位置関係を維持している配置とする。固定板１００に仮固定された圧電素子３の固定板１００の固定面から圧電素子３の仮固定されていない面までの高さは、圧電素子３の厚みは高精度であるものの、粘着シート１１０の厚みの不均一に起因して、図３（ａ）に示すように不揃いな状態となる。
【００５４】
上記で準備した固定板１００に仮固定した圧電素子３に接着剤を塗布するための、転写シート１２０を用意する（図３（ｂ））。転写シート１２０は、ポリイミド等を材料とする柔軟なシートに複数の突起を備えている。突起は、エンボス加工等によりシート自体に持たせても良いし、図３（ｂ）に示すようにシートに固定されている球状のスペーサ１３０としても良い。スペーサの材料は、セラミックや硬質樹脂が挙げられる。
【００５５】
スペーサ１３０を備えた転写シート１２０に接着剤１４０をスペーサ１３０が露出しない厚みに塗布するのが好ましい（図３（ｃ））。このように塗布することで、後で行う、固定板１００に仮固定された圧電素子３への接着剤１４０の転写の際に、圧電素子３と転写シート１２０との間に接着剤が隙間無くあるようにすることができる。
【００５６】
尚、転写シート１２０に塗布した接着剤１４０の厚みが厚すぎると、固定板１００に仮固定された圧電素子３への接着剤１４０の転写の際に、圧電素子３の間に入り込み、更に振動板２５の位置に圧電素子３を接着する際に、振動板２５と圧電素子３との間に挟まれた接着剤が周囲に押し出されて、隣接する圧電素子３同士の間の接着剤の量が過剰となる。このため、圧電素子３の振動板２５への固定は十分になされるが、圧電素子３自体の振動が十分にできなくなってしまい、液滴の吐出性能が十分に得られなくなってしまう。これは、スペーサ１３０の径が大きすぎる場合も同様に生じる。接着剤１４０の好ましい厚みは、塗布対象である圧電素子３の厚み、大きさ、配列のピッチ等に依存するため、実際に実験により求めるのが好ましいが、最大厚さの目安として５０μｍ程度、スペーサ１３０の径はφ４０μｍ程度である。
【００５７】
次に、接着剤１４０を塗布した転写シート１２０を固定板１００に仮固定した圧電素子３に十分に接触させる（図３（ｄ））。転写シート１２０の接着剤１４０が塗布されていな面から転写シート１２０を圧電素子３に対して押圧することにより、柔軟な転写シート１２０は、仮固定された圧電素子３の凹凸に沿った状態となる。よって、転写シート１２０の接着剤側の面と圧電素子３の接着剤塗布面との距離は、圧電素子３の接着剤塗布面が図３（ｄ）に示すように平坦で無く凹凸状態であってもスペーサ１３０の概直径とすることができる。
【００５８】
次に、固定板１００から転写シート１２０を引き離す（図３（ｅ））。この引き離しにより、転写シート１２０と圧電素子３の両者に接触した接着剤１４０は、接着剤とこの両者との接着力に大きな差がない状態であるので、その接着層のほぼ中央から分離される。すなわち、接着剤１４０の概半分は圧電素子３側に転写され、概半分は転写シート１２０に残る。
【００５９】
スペーサ１３０の径が大きすぎると、接着層からスペーサが抜けた容積が大きすぎて周囲からの接着剤の流れ込みではスペーサの穴埋めが十分できなくて、圧電素子３の転写された接着層の厚みムラが大きくなり、この結果良好な接着力が得られなくなる場合が生じる。このスペーサの穴埋めが十分できなくなることは、スペーサの大きさだけではなく、後述のスペーサの配置密度の影響も受ける。
【００６０】
また、焼結技術により製造された圧電素子３は、表面粗さＲｚ（最大高さ：ＪＩＳ  Ｂ０６０１：２００１）が１μｍ〜５μｍ程度ある。この圧電素子３の表面粗さＲｚに起因する振動板２５との接着時の接着剤の充填不良を防ぐため、スペーサ１３０の径を表面粗さＲｚの２倍以上とするのが好ましい。
【００６１】
また、圧電素子３に接着剤１４０を良好に転写するには、転写シートに備えるスペーサ１３０を、圧電素子３の接着剤転写面の大きさに合わせて適度な密度で均一に配置することが好ましい。スペーサの配置密度が高すぎると、スペーサ１３０間の隙間が少なくなりすぎて、圧電素子３への接着剤１４０の転写が十分に行うことができない。また、密度が低すぎると、圧電素子３と転写シート間の距離をスペーサ１３０の概直径に維持することが困難となり、接着剤１４０を均一な厚みで転写できなくなる。スペーサ１３０の密度の目安としては、例えばスペーサ１３０の直径をφ１０μｍとすると、接着剤の転写面積１００μｍ×１００μｍ当たりスペーサ１個とするのが好ましい。
【００６２】
次に、固定板１００に仮固定され、接着剤１４０が転写された圧電素子３を流路ユニットＭの振動板２５の位置に接触させ、加圧・加熱して接着剤１４０を硬化させて固定する（図３（ｆ））。図３（ｆ）、（ｇ）の流路ユニットＭは、圧電素子３と振動板２５の周辺での圧電素子３と圧力室２４が並列する方向の断面を示している。スペーサ１３０の直径で圧電素子３に転写する接着剤１４０の厚みを調整できるため、圧電素子３を振動板２５に接着する際、圧電素子３を流路ユニットＭに加圧する力の調整と合わせて、圧電素子３と振動板２５との間の間隔（接着層の厚み）や圧電素子３の周囲にはみ出る接着量を適宜調整することができる。従って、圧電素子３を十分に振動板に固定することができ、又、圧電素子３の振動自体が制限されることがなく、更に隣の同士の圧電素子３による相互の影響を抑えることができる。また、圧電素子３に塗布されている接着剤の量が調整されているため、圧電素子３を流路ユニットＭに加圧する力を抑えることができ、圧電素子３より機械強度が弱い振動板２５の破損を避けることができる。
【００６３】
次に、圧電素子３から固定板１００を剥離する（図３（ｇ））。例えば、圧電素子３を固定板１００に発泡剥離シートで仮固定している場合、発泡剥離シートを流路ユニットＭ、圧電素子３及び固定板１００と共に１３０℃程度に加熱することにより、圧電素子３と振動板２５との接着や振動板２５に影響を与えることなく容易に圧電素子３から固定板１００を剥離することができる。
【００６４】
（圧電素子結合の第２の方法）
圧電素子３に接着剤を転写する上記とは別の方法として、突起を備えた転写シートの代わりに中間シートであるメッシュシートを使用する方法に関して図４に沿って説明する。
【００６５】
上記の第１の方法と同じように、圧電素子３を粘着シート１１０で固定板１００に仮固定する（図４（ａ））。次に、上記で準備した固定板１００に仮固定した圧電素子３に接着剤を塗布するための、接着剤シート２２０を用意する（図４（ｂ））。接着剤シート２２０は、ポリイミド等を材料とする柔軟性を備えている。この接着剤シート２２０に接着剤１４０を塗布する。塗布する接着剤１４０の厚みに関しては、後述する。
【００６６】
次に、下から順に圧電素子３を粘着シート１１０で仮固定した固定板１００、メッシュシート３００、接着剤１４０を塗布した接着剤シート２２０を重ね合わせ（図４（ｃ））、重ね合わせた状態で、固定板１００に対して接着剤シート２２０を押圧する（図４（ｄ））。押圧により、接着剤シート２２０の接着剤側の面と圧電素子３の接着剤塗布面との距離は、圧電素子の接着剤塗布面が図４（ｄ）に示すように平坦で無く凹凸状態であってもメッシュシート３００の概厚みとすることができる。
【００６７】
メッシュシート３００は、接着剤シート２２０と重ねた状態で十分に接着剤シート２２０と隙間無く十分に接着剤シート２２０に沿うことができる柔軟性と、接着剤を転写する面積に対して一定の比率（開口率）で複数の開口３０２を備えた薄板である。
【００６８】
メッシュシート３００は、例えばスクリーン印刷に使用するメタルマスクと同様にアディティブ法、レーザー加工法、エッチング法等で製造することができるが、これに限定されない。これら中で、メッシュシート３００の製造方法は、高精度に製造できることからＮｉ等を用いた電鋳技術によるアディティブ法が好ましい。
【００６９】
次に、固定板１００から接着剤シート２２０をメッシュシート３００と共に引き離す（図４（ｅ））。この引き離しにより、接着剤シート２２０と圧電素子３の両者に接触した接着剤１４０は、接着剤１４０とこの両者との接着力に大きな差がない状態であるので、その接着層のほぼ中央から分離される。すなわち、接着剤１４０の概半分は圧電素子３側に転写され、概半分は接着剤シート２２０に残る。圧電素子３に転写された開口形状の接着剤は、転写シートが除かれることで、周囲に広がっていく。
【００７０】
メッシュシート３００の厚みｔｓは、以下の式（１）を満足することが好ましい。
ｔｓ  ≧  Ｒｚ／α×２          （１）
αは開口率、Ｒｚは、接着剤を転写する圧電素子３の表面粗さ（最大高さ：ＪＩＳ  Ｂ０６０１：２００１）である。メッシュシート３００の厚みｔｓが式（１）の下限を下回る場合、圧電素子３に塗布される接着剤の厚みが圧電素子３の表面粗さに対して十分でなく、圧電素子３の表面粗さに起因する圧電素子３と振動板２５の間の接着剤の充填不足が生じる。
【００７１】
開口率αの範囲は、おおよそ０．２〜０．６の範囲が好ましい。開口率αが０．２を下回ると、転写される接着剤の量が少なくなりすぎて、転写ムラや圧電素子３と振動板２５の接着時の両者間に接着剤の充填不足による隙間の発生頻度が高くなる。また、開口率αが０．６を上回ると、メッシュシート３００自体の強度が低下して、取り扱いが容易で無くなってしまう。
【００７２】
開口の形状は、配置に方向性がない円形が好ましいが、これに限定されない。また、開口の大きさの上限は、上記の開口率の好ましい範囲内では転写する対象により依存し。例えば、圧電素子３の大きさが０．２ｍｍ×２ｍｍで、配置のピッチが０．２８ｍｍとすると概ねピッチの半分０．１４ｍｍを直径とする円形となる。また開口の大きさの下限は、メッシュシートの製造の観点からシートの厚みの半分を直径とする円形となる。
【００７３】
また、接着剤シート２２０に塗布する接着剤１４０の厚みｔｇは、以下の式（２）を満足することが好ましい。
ｔｇ  ≧  ｔｓ×α            （２）
接着剤１４０の厚みｔｇが式（１）の下限を下回る場合、上記で説明した圧電素子３の表面の凹凸に起因する圧電素子３と振動板２５の接着剤の充填不足が生じない厚みに均一にするための接着剤の量が確保することができなくなる。
【００７４】
接着剤１４０の厚みｔｇが大きすぎると、メッシュシート３００の開口から、開口してない部分への接着剤の回り込みが多くなりすぎ、固定板１００に仮固定された圧電素子３への接着剤１４０の転写の際に、圧電素子３の間に入り込み、更に振動板２５の位置に圧電素子３を接着する際に、振動板２５と圧電素子３との間に挟まれた接着剤が周囲に押し出されて、隣接する圧電素子３同士の間の接着剤の量が過剰となる。このため、圧電素子３の振動板２５への固定は十分になされるが、圧電素子３自体の振動が十分にできなくなってしまい、液滴の吐出性能が十分に得られなくなってしまう。尚、接着剤１４０の厚みｔｇの上限は、上記に第１の方法と同様に５０μｍ程度である。
【００７５】
次に、接着剤１４０が転写された圧電素子３を流路ユニットＭの所定の位置に接触させ、加圧・加熱して接着剤１４０を硬化させて固定する（図４（ｆ））。図４（ｆ）、（ｇ）の流路ユニットＭは、圧電素子３と振動板２５の周辺での圧電素子３と圧力室２４が並列する方向の断面を示している。メッシュシート３００の厚みｔｓとその開口率αで圧電素子３に転写する接着剤１４０の厚みを調整することができる。このため、圧電素子３を振動板２５に接着する際、圧電素子３を流路ユニットＭに加圧する力の調整と合わせて、圧電素子３と振動板２５との接着剤の間隔（接着層の厚み）や圧電素子３の周囲にはみ出る接着量を適宜調整することができる。従って、圧電素子３を十分に振動板に固定することができ、又、圧電素子３の振動自体が制限されることがなく、更に隣の同士の圧電素子３による相互の影響を抑えることができる。また、圧電素子３に塗布されている接着剤の量が調整されているため、圧電素子３を流路ユニットＭに加圧する力を抑えることができ、圧電素子３より機械強度が弱い振動板２５の破損を避けることができる。
【００７６】
次に、圧電素子３から固定板１００を剥離する（図４（ｇ））。上記に第１の方法と同様に、圧電素子３を固定板１００に発泡剥離シートで仮固定している場合、発泡剥離シートを流路ユニットＭ、圧電素子３及び固定板１００と共に１３０℃程度に加熱することにより、圧電素子３と振動板２５との接着や振動板２５に影響を与えることなく容易に圧電素子３から固定板１００を剥離することができる。
【００７７】
尚、メッシュシートの開口位置の設定は、メッシュシートの製造方法から自由度が高いことから容易に設定することができる。このため、開口の配置を、シート面に対して一様ではなく、圧電素子３の配置を考慮したもの、例えば圧電素子３間に対応する位置では開口を少なくする等とすることで、必要箇所により的確に効率よく接着剤を塗布するようにできる。
【００７８】
次に、マイクロポンプ装置の一例について、図５を用いて説明する。図５（ａ）はマイクロポンプ装置の平面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）にＷ−Ｗ’で示す部分の断面図である。
【００７９】
図５に示すようにマイクロポンプ装置５００は、第１の基板５１１、第２の基板５１２及び圧電素子５３０から構成されている。なお、図５（ａ）において、第１の基板５１１の下の第２の基板５１２の流路を点線で図示している。
【００８０】
図５（ａ）のＷ−Ｗ’で示す部分が一つのマイクロポンプＭＰを構成しており、例えば入出口５４５から吸入した液体を入出口５４６から送出する。あるいは、逆方向に入出口５４６から吸入した液体を入出口５４５から送出することもできる。マイクロポンプＭＰの詳しい構造、動作に関しては、特開２００１−３２２０９９号公報に記載されてあるため、ここでは省略する。
【００８１】
図５（ａ）の例では、マイクロポンプ装置５００は８つのマイクロポンプＭＰが形成されている。これらのマイクロポンプＭＰはそれぞれ同じ構造であるから、以下においては図５（ｂ）を用いて説明する。
【００８２】
第２の基板５１２は、図５（ｂ）に示すように、加圧室５２１、振動板５２２、第１絞り流路５２３、第１流路５２４、第２絞り流路５２５、および第２流路５２６をそれぞれ構成する溝を有する。
【００８３】
第２の基板５１２は、例えばシリコンウエハを公知のフォトリソグラフィー技術（レジスト塗布、露光、現像）及びエッチング技術を用いて形成することができるが、これに限定されない。例えばプラステック樹脂材料を用いて射出成形により作製することもできる。
【００８４】
図５（ｂ）に示すように、第２の基板５１２の振動板５２２の外側の面に、圧電素子５３０を接着する。圧電素子５３０を振動板５２２の外側の面に接着する方法は、これまで記録ヘッドを例にして圧電素子結合の第１の方法、圧電素子結合の第２の方法として説明した接着方法が適用出来る。
【００８５】
圧電素子５３０の駆動のための２つの電極は、上述した記録ヘッドの場合と同様に圧電素子５３０の両側の表面にＡｕ等により設けられ、フレキシブル基板（図示しない）と接続する。圧電素子５３０の一方の電極は、全ての圧電素子５３０と接続する電極として第２の基板５１２の振動板５２２及びその周辺に設けたベース電極（図示しない）に接続し、ベース電極からフレキシブル基板の共通端子に接続する。各圧電素子５３０からはフレキシブル基板の個別端子に接続する。
【００８６】
第１の基板５１１には、第１流路５２４、第２流路５２６それそれに対応した入出口５４５、５４６を設ける。入出口５４５、５４６は、第１の基板５１１の材料が後述のガラスであれば、公知のフォトリソグラフィー技術（レジスト塗布、露光、現像）及びエッチング技術を用いて形成することができるが、これに限定されない。
【００８７】
加圧室５２１等を構成する溝が形成されている第２の基板５１２と入出口が形成されている第１の基板５１１とを結合する。信頼性を良好とするため、第１の基板５１１の熱膨張率は第２の基板５１２にできるだけ近いことが望ましい。第２の基板５１２の材料がシリコンの場合、第１の基板５１１の材料は、例えば、パイレックス（登録商標）ガラス（ＰｙｒｅｘはＣｏｒｎｉｎｇ  Ｇｌａｓｓ  Ｗａｒｋｓ社）、テンパックス（登録商標）ガラス（ＴｅｍｐａｘはＳｃｈｏｔｔ  Ｇｌａｓｗｅｒｋ社）などが用いられる。これらは熱膨張率がシリコン基板とほぼ同じである。第２の基板５１２をシリコンとし、第１の基板５１１を上記のパイレックス（登録商標）ガラス又はテンパックス（登録商標）ガラスとすると、これらを重ね合わせて陽極接合により接合することができるが、これに限定されことはなく、接着剤を用いてもよい。これで、マイクロポンプ装置５００が完成する。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】液体吐出ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドの構成を示す分解斜視図である。
【図２】インクジェット式記録ヘッドの断面を示す図である。
【図３】振動板の上に圧電素子を接着剤で結合する方法の例を説明する図である。
【図４】振動板の上に圧電素子を接着剤で結合する方法の例を説明する図である。
【図５】マイクロポンプ装置の一例の構成を示す図である。（ａ）は上面図、（ｂ）は断面図である。
【符号の説明】
【００８９】
１  ノズルプレート
２  ボディプレート
３、５３０  圧電素子
５  中間プレート
１１  ノズル孔
１２  貫通孔
１３  吐出面
２１  インク供給口
２２  共通インク室（溝）
２３  インク供給路（溝）
２４  圧力室（溝）
２５、５２２  振動板
３０  供給口接続部
４０  ベース電極
４５  撥液膜
１００  板
１１０  粘着シート
１３０  スペーサ
１２０  転写シート
１４０  接着剤
３００  メッシュシート
２２０  接着剤シート
５００  マイクロポンプ装置
５１１  第１の基板
５１２  第２の基板
５２１  加圧室
５２３  第１絞り流路
５２４  第１流路
５２５  第２絞り流路
５２６  第２流路
５４５、５４６  入出口
Ａ  インクジェット式記録ヘッド（記録ヘッド）
Ｌ  配線
ＣＬ  コモン線
Ｍ  流路ユニット
ＭＰ  マイクロポンプ
【図１】
2009137152.tif 000003
【図２】
2009137152.tif 000004
【図３】
2009137152.tif 000005
【図４】
2009137152.tif 000006
【図５】
2009137152.tif 000007