(57)【要約】【課題】使用雰囲気に影響されることなく、良好に回転軸を回転させることができる圧電アクチュエータ装置を提供する。【解決手段】第１の圧電素子１０を備える駆動体と、駆動体の一端に取り付けられた回転軸と、回転軸の接触面と当接する軸受面を備えた軸受部と、軸受面と接触面の摩擦抵抗による回転抵抗力を回転軸に付与する弾性部材と、軸受部の裏面に当接して配置され、回転軸の軸方向に振動する第２の圧電素子１８とを有する圧電アクチュエータと、第１の圧電素子１０および第２の圧電素子１０に接続され、緩やかに変化する第１の信号と素早く変化する第２の信号とを有する略鋸波状波形の第１の制御信号を第１の圧電素子１０に供給する第１制御信号生成手段４２と、第２の信号の開始後予め定められた遅延時間経過後予め定められた給電時間において第２の圧電素子１８に矩形波状の第２の制御信号を供給する第２制御信号生成手段４３とを有する。【選択図】図５
2009232582.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
屈曲振動する第１の圧電素子を備える長尺状の駆動体と、
前記駆動体の一端に取り付けられた回転軸と、
前記回転軸の端部に形成された接触面と当接する軸受面を備えた軸受部と、
前記軸受面に前記接触面を押接させ、これら軸受面と接触面の摩擦抵抗による回転抵抗力を前記回転軸に付与する弾性部材とを備えた圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータの前記駆動体の前記第１の圧電素子に接続され、緩やかに変化する第１の信号と素早く変化する第２の信号とを有する略鋸波状波形の第１の制御信号を前記第１の圧電素子に供給し、前記第１の圧電素子を屈曲振動させる第１制御信号生成手段を備える駆動装置とからなる圧電アクチュエータ装置において、
前記圧電アクチュエータは、前記軸受部の裏面に当接して配置され、前記回転軸の軸方向に振動する第２の圧電素子を有し、前記軸受部を前記回転軸の軸方向に振動させる振動付与部材を備え、
前記駆動装置は、前記第２の圧電素子に接続され、前記第１の制御信号生成手段からの前記第１の制御信号の前記第２の信号の開始後予め定められた遅延時間経過後に、予め定められた給電時間において前記第２の圧電素子を前記回転軸の軸方向に振動させる第２の制御信号を前記第２の圧電素子に供給する第２制御信号生成手段を備えていることを特徴とする圧電アクチュエータ装置。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電アクチュエータ装置において、前記第２の制御信号は、複数の矩形波信号であることを特徴とする圧電アクチュエータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、圧電アクチュエータ装置、特に屈曲振動する駆動体が回転軸を中心に揺動又は回転運動する圧電アクチュエータ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
小型の回転駆動型アクチュエータとして、近年、圧電セラミックス等を用いた圧電アクチュエータ（以下、「圧電アクチュエータ」という。）が開発され、その実用化が進められている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３参照）。
このような圧電アクチュエータは、バイモルフ型圧電素子を用いて形成された板状の駆動体を有している。この駆動体の一端には、圧電アクチュエータが配置される筐体に回転自在に支持された回転軸が設けられている。回転軸には、フランジ部が形成されており、このフランジ部が筐体の凹部に収容されている。接触面であるフランジ部の下面は、凹部底面の軸受面と接触している。
【０００３】
回転軸の下端は引張バネにて回転軸の軸方向に引っ張られており、フランジ下面の接触面と軸受面が押接され、その間の摩擦力により回転軸に回転抵抗力が付与される。
そして、駆動体の屈曲振動に伴う慣性力と、回転抵抗力とのバランス、すなわち、フランジ下面の接触面と軸受面との間の静摩擦トルクと動摩擦トルクとの差を利用して駆動体が回転軸を中心に所定方向に回転するようになっている。
また、この駆動体にワイパブレードを取付けることで被払拭面を払拭するワイパ装置として利用する技術が提案されている。
【特許文献１】特開２００４−２０１４８９号公報
【特許文献２】特開２００５−２１８１８４号公報
【特許文献３】特開２００５−２５３１６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の従来技術にあっては、摩擦トルクが使用雰囲気の湿度により大きく変化し、湿度が高い（例えば、８０％ＲＨ（相対湿度：Ｒｅｌａｔｉｖｅ  Ｈｕｍｉｄｉｔｙ）程度以上の場合）使用雰囲気では圧電アクチュエータのフランジ下面の接触面と軸受面の摩擦トルクが大きくなる。つまり、高湿度の場合、回転抵抗力が駆動体の振動に伴う慣性力よりも大きくなり、回転軸が回転しないおそれがあるという課題がある。
また、高湿度の場合であっても回転軸が回転できるように回転軸のフランジ下面の軸受け面に対する押接力を小さく設定することも考えられる。しかしながら、押接力を小さく設定すると、低湿度や水滴が付着した場合（例えば、４０％ＲＨ程度や１００％ＲＨ程度の場合）に、駆動体の振動に伴う慣性力と回転抵抗力とのバランスが崩れ、回転軸の回転方向の制御ができなくなるおそれがあるという課題がある。
【０００５】
そこで、この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、使用雰囲気（湿度環境）に影響されることなく、良好に回転軸を回転させることができる圧電アクチュエータ装置、及びこの圧電アクチュエータ装置を用いたワイパ装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の圧電アクチュエータ装置は、屈曲振動する第１の圧電素子を備える長尺状の駆動体と、前記駆動体の一端に取り付けられた回転軸と、前記回転軸の端部に形成された接触面と当接する軸受面を備えた軸受部と、前記軸受面に前記接触面を押接させ、これら軸受面と接触面の摩擦抵抗による回転抵抗力を前記回転軸に付与する弾性部材とを備えた圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータの前記駆動体の前記第１の圧電素子に接続され、緩やかに変化する第１の信号と素早く変化する第２の信号とを有する略鋸波状波形の第１の制御信号を前記第１の圧電素子に供給し、前記第１の圧電素子を屈曲振動させる第１制御信号生成手段を備える駆動装置とからなる圧電アクチュエータ装置において、前記圧電アクチュエータは、前記軸受部の裏面に当接して配置され、前記回転軸の軸方向に振動する第２の圧電素子を有し、前記軸受部を前記回転軸の軸方向に振動させる振動付与部材を備え、前記駆動装置は、前記第２の圧電素子に接続され、前記第１の制御信号生成手段からの前記第１の制御信号の前記第２の信号の開始後予め定められた遅延時間経過後に、予め定められた給電時間において前記第２の圧電素子を前記回転軸の軸方向に振動させる第２の制御信号を前記第２の圧電素子に供給する第２制御信号生成手段を備えている。また、前記第２の制御信号は、複数の矩形波信号であってもよい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、回転軸が回転する際、軸受面を振動させて摩擦抵抗を小さくすることができる。すなわち、圧電アクチュエータの使用雰囲気が高湿度であっても、軸受面を振動させることで、フランジ下面と軸受面との間の静摩擦抵抗と動摩擦抵抗を小さくすることができる。このため、回転軸の接触面と軸受面との間に回転軸の回転制御が可能な回転抵抗力を弾性部材によって付与した場合であっても、圧電アクチュエータを常に良好に回転させることが可能になる。
しかも、回転軸が回転するときだけ軸受面を振動させるので、回転軸が回転するときと回転しない時の摩擦抵抗の差を大きくすることができる。このため、駆動トルク等の駆動特性を向上させることができ、高性能な圧電アクチュエータ装置を提供することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
次に、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１及び図２は、この発明の圧電アクチュエータ装置を用いたワイパ装置の斜視図及び断面図である。ワイパ装置１は、例えば、自動車のサイドバンパー、フロントグリル、及びリヤガラス等に取付けられるＣＣＤカメラ等のレンズカバー（図示せず）に取り付けられる。圧電アクチュエータ３には、圧電アクチュエータ３に第１の制御信号及び第２の制御信号を供給する駆動装置４０が接続されており、圧電アクチュエータ３と駆動装置４０から圧電アクチュエータ装置２は構成されている。
【０００９】
ワイパ装置１は、略円環状のレンズホルダ４と、この一側に設けられた圧電アクチュエータ３とを備えている。レンズホルダ４は、ステンレス材（例えば、ＳＵＳ３０４Ｌ）で形成されたものであって、内周面５にはレンズホルダ４に対応するレンズ６が内嵌固定されている。
【００１０】
圧電アクチュエータ３は、レンズホルダ３に一体成形されているベースプレート７と、このベースプレート７の軸受部７ｂに回転自在に支持された回転軸８と、回転軸８に取付けられた駆動体２７とを備えている。
駆動体２７は、回転軸８の外周面８ａから径方向外側に向かって延出するアーム部９を有している。このアーム部９には、電気−機械変換素子の１つであるバイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０が使用されている。バイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０は、薄い金属板の中心電極両面に２枚の圧電セラミックスを貼り合わせた構造となっている。バイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０は、この全体がゴム製のブレードラバー１２で被覆された状態になっている。アーム部９の下側側面、つまり、アーム部９のレンズ６側の側面には、アーム部９の長さに対応するゴム製のワイパブレード１１が設けられている。このワイパブレード１１は、レンズ６を払拭するためのものであって、ブレードラバー１２と一体成形されている。
【００１１】
回転軸８は、コプナ樹脂等の熱硬化性樹脂（例えば、株式会社大西ライト工業所製「ＳＫレジン（商品名）」等）で形成されたものであって、駆動体２７が取付けられている軸本体１３を有している。この軸本体１３の下端（接触面）１３ａ（図２における紙面下側）には、段差によって縮径された縮径部１４が一体成形されている。
【００１２】
これら軸本体１３と縮径部１４は、内部が中空状になっており、ここにバイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０に対して電力を供給するためのリード線３６が配線されている。このリード線３６は、一端がバイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０に接続され、他端が駆動装置４０に接続されている。軸本体１３の上端（図２における紙面上側）には、径方向略中央に半球形上の凸部１５が形成されている。
【００１３】
縮径部１４は、ベースプレート７の軸受部７ｂに回転自在に支持されている。ベースプレート７の軸受部７ｂには、縮径部１４に対応する部位に縮径部１４を回転自在に支持可能な軸孔１６が形成されている。また、軸本体１３が当接し配置されるベースプレート７の軸受面７ａと反対側には、軸方向平面視略円形の凹部１７が形成されている。
【００１４】
凹部１７の内周面１７ａには、雌ネジ部１９が刻設されており、外周面に雄ネジ部２１が刻設されている固定ネジ２０が螺入されている。固定ネジ２０の径方向略中央には、回転軸８の縮径部１４を挿通可能な挿通孔２２が形成されている。この挿通孔２２は、固定ネジ２０を締め付けるときに使用される工具（図示せず）を挿入する部位としても利用され、挿通孔２２の縮径部１４とは反対側端部の開口部周縁には、工具の一部と勘合する鉤部２３が形成されている。
【００１５】
固定ネジ２０の回転軸８に対向する側端部には、略円環状の突出部２４が一体形成され、ここに略円環状の第２の圧電素子１８の内周面が挿入されている。この第２の圧電素子１８は、回転軸の軸方向Ｄに伸縮振動する積層型圧電素子１８であって、リード線３６にて駆動装置４０に電気的に接続されている。
積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８は、固定ネジ２０によって凹部１７内に固定されている。すなわち、圧電素子１８は、固定ネジ２０を締め付けることによって、凹部１７のエンド部１７ｂと固定ネジ２０とで軸方向Ｄに挟持され、エンド部１７ｂの下面に形成されるベースプレートの裏面３７に当接して配置され、一方、固定ネジ２０の突出部２４によって、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８の下面部（図２紙面下側）は径方向への移動が規制されるようになっている。
【００１６】
また、凹部１７のエンド部１７ｂには、内周面１７ａに沿って軸方向平面視略円環状の凹部３５が形成されている。この凹部３５によって、ベースプレート７に剛性の低い薄肉部３５ａが設けられている。つまり、軸受部７ｂは、薄肉部３５ａを支点にして軸方向Ｄに変位しやすい形状になっている。
【００１７】
ベースプレート７には、断面略ハット状の加圧スプリング（弾性部材）２５がボルト２６，２６によって締結固定されている。
加圧スプリング（弾性部材）２５は、ステンレス材（例えば、ＳＵＳ３０４のバネ材等）で形成されたものであって、軸方向Ｄと略直角交差する方向に延び回転軸８の凸部１５を押圧する上壁２８を有している。上壁２８の長手方向両端には、下方に向かって屈曲延出する側壁２９，２９が形成されている。
【００１８】
側壁２９，２９の高さ方向略中央には、内側に向かって屈曲するくびれ部２９ａ，２９ａが形成されている。側壁２９，２９の先端（下端）には、水平方向に沿って回転軸８の外側に向かって屈曲延出する取付け座３０，３０が形成されている。この取付け座３０，３０には、ボルト孔３１，３１が形成されており、ここにボルト２６が螺入されるようになっている。
【００１９】
加圧スプリング（弾性部材）２５によって下方に向かって押圧された回転軸８は、軸本体１３の下端（接触面）１３ａがベースプレート７の軸受面７ａに押接されている。そして、これら軸本体１３の下端（接触面）１３ａと軸受面７ａとの間には、加圧スプリング２５によって回転軸８の回転に際し摩擦力が発生し、回転軸８に対して回転抵抗力（軸保持力）が付与されるようになっている。
【００２０】
次に、図３に基づいて圧電アクチュエータ３の作用について説明する。
図３は、縦軸を電圧（Ｖ）とし、横軸を時間（ｓ）とした場合の駆動体２７のバイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０に印加される電圧（第１の制御信号）の波形αと、ベースプレート７の凹部１７に固定されている積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８に印加される電圧（第２の制御信号）の波形βを示している。また、これらの下方には駆動体２７の挙動を表した図が示してある。なお、この実施形態において、駆動体２７はプラス電圧のときには回転軸８を中心にして右方向に変位し、マイナス電圧のときには左方向に変位する。
【００２１】
同図に示すように、まず、時刻ｔ０から時刻ｔ１において、バイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０にマイナス電圧を印加させた状態では、駆動体２７は回転軸８を中心にして左方向に変位した（曲がった）状態にある。
次に、時刻ｔ１から時刻ｔ２において、電圧をマイナスからプラスにゆっくり変化させる（第１の信号）と駆動体２７もそれに応じてゆっくりと右方向に変位する（曲がる）。
【００２２】
続いて、時刻ｔ３から時刻ｔ４において、時刻ｔ１から時刻ｔ２のときよりも、急速に電圧をプラスからマイナスに変化させる（第２の信号）。このとき、電圧の変化により、駆動体２７も変形する（曲がる）が、電圧の変化に対し駆動体２７の変形は若干遅れる。すなわち、時刻ｔ３から時刻ｔ４における電圧の変化（第２の信号）に対し、駆動体２７は、略時刻ｔ４から略時刻ｔ５にかけて、急速に変形する（曲がる）。つまり、電圧変化がゆっくりな場合（第１の信号）と急速な場合（第２の信号）とにより、駆動体２７の変形速度に差が生じる。
【００２３】
駆動体２７が急速に変位すると、駆動体２７にはその重量によってその場に残ろうとする慣性力が発生する。そして、駆動体２７の変形速度差から時刻ｔ１から時刻ｔ２のときの慣性力よりも、略時刻ｔ４から略時刻ｔ５のときの慣性力の方が大きくなる。
この慣性力に対しては、回転軸８に付与される回転抵抗力が作用する。すなわち、駆動体２７の変形に伴い慣性力と摩擦力とが対抗する形となる。圧電アクチュエータ３では、回転抵抗力Ｆｒが時刻ｔ１から時刻ｔ２のときの慣性力Ｆ１２よりも大きく（Ｆ１２＜Ｆｒ）、回転抵抗力Ｆｒ’が略時刻ｔ４から略時刻ｔ５のときの慣性力Ｆ４５よりも小さくなるように設定されている（Ｆｒ’＜Ｆ４５）。
【００２４】
したがって、時刻ｔ１から時刻ｔ２の場合の慣性力Ｆ１２は、回転抵抗力Ｆｒによって打ち消される形となり、駆動体２７は電圧値に応じた角度だけゆっくりと変位するが、回転軸８は回転しない。これに対して、略時刻ｔ４から略時刻ｔ５の場合には、慣性力Ｆ４５は、回転抵抗力Ｆｒ’によって打ち消されない。このため、駆動体２７が電圧変化に伴い急速に反対方向へ変位するに伴い、慣性力Ｆ４５によって回転軸８が駆動体２７の変形方向と逆の方向（図３においては時計回り）に回転角θにて回転する。
【００２５】
そして、これを順次繰り返し行うことによって、駆動体２７は、ゆっくりと曲げたときの変位側に自走する。なお、電圧変化を図３とは逆に、ゆっくりとマイナス側へと変化させ（第１の信号）、急激にプラス側へと変化させると（第２の信号）、駆動体２７は図３において右方向（時計回り）に回転する。つまり、圧電アクチュエータ３は、この電圧変化パターンの切り換えにより駆動体２７を適宜往復運動させることができる。また、電圧変化の周波数を変化させることにより駆動体２７の移動速度も制御できる。
【００２６】
このように（ｔ１→ｔ２）では静摩擦トルクが、（ｔ４→ｔ５）では動摩擦トルクが駆動体２７の挙動に影響し、これら静摩擦トルクと動摩擦トルクとの差を利用して駆動体２７が回転軸８を中心に所定方向に回転するようになっている。
【００２７】
さらに、バイモルフ型圧電素子１０への印加電圧（波形α）（第１の制御信号）では、鋸歯波形の上下に電圧を一定に保持した休止時間（ｔ０〜ｔ１，ｔ２〜ｔ３、ｔ４〜ｔ５）が設定されている。ここで、鋸歯波形に休止時間を設けることなく電圧印加方向を即座に急転させると、急転時に駆動体２７が駆動方向とは逆方向にすべり、このすべり発生により駆動速度が低下する場合がある。そこで、鋸歯波形に休止時間（ｔ０〜ｔ１，ｔ２〜ｔ３、ｔ４〜ｔ５）を設定し、印加電圧（第１の制御信号）を台形波形とすると、駆動方向に反する逆すべりが減少し、駆動速度低下を抑制することができる。
【００２８】
一方、本実施形態の圧電アクチュエータ３は、時刻ｔ３から予め定められた遅延時間（ΔＴ１）の経過後の時刻ｔＳから予め定められた給電時間（ΔＴ２）経過後の時刻ｔＥまで積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８に矩形波状の電圧（第２の制御信号）を印加し、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８を軸方向Ｄに伸縮振動させている。ここで、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８は、上述のようにベースプレート７のエンド部１７ｂと固定ネジ２０の間に挟持されているため、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８を軸方向Ｄに伸縮振動により、ベースプレート７のエンド部１７ｂは軸方向Ｄに上下振動させられる。すると、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８に電圧（第２の制御信号）を印加した場合は、ベースプレート７のエンド部１７ｂは軸方向Ｄに上下振動により、回転抵抗力Ｆｒ’は積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８に電圧（第２の制御信号）を印加しない場合の回転抵抗力Ｆｒよりも小さくなる（Ｆｒ’＜Ｆｒ）。
【００２９】
具体的に、図４に基づいて説明する。図４は、ベースプレート７のエンド部１７ｂが軸方向Ｄに上下振動している場合と上下振動していない場合の動摩擦トルク、静摩擦トルクの値を示ものであり、縦軸を摩擦トルク（ｍＮ・ｍ）とし、横軸を湿度（％ＲＨ）とした図である。同図に示すように、ベースプレート７のエンド部１７ｂが軸方向Ｄに上下振動している場合の静摩擦トルクや動摩擦トルクは、振動していない場合の静摩擦トルクや動摩擦トルクよりも小さくすることができる。
【００３０】
このため、図３におけるベースプレート７のエンド部１７ｂを上下振動させた場合（ｔ４→ｔ５）には回転抵抗力Ｆｒ’が小さくなり、回転抵抗力Ｆｒ’と慣性力Ｆ３５との差が大きくなり、回転軸８が回転し易くなり、使用雰囲気の湿度が大きくなった場合でも、回転軸８が回転し難くくなる場合が減少する。また、回転軸８が回転し易くなることで、一回あたりの駆動体２７の回転量（回転角度θ、図３参照）が、大きくなる。
【００３１】
なお、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８への電圧変化の周波数は、約３ｋＨｚ以上であることが望ましい。また、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８の振幅が少なくとも１μｍ以上発生する大きさを入力することが望ましい。さらに、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８の共振周波数を入力することによって、摩擦トルクの低減効果を大きくできることはいうまでもない。
【００３２】
したがって、上述の実施形態によれば、回転軸８を回転させる際（図３におけるｔ１→ｔ５）、ベースプレート７のエンド部１７ｂ（軸受面）を圧電素子１８によって超音波振動させ、動摩擦トルクを小さくすることができる。すなわち、使用雰囲気が高湿度であっても、回転抵抗力Ｆｒ’を小さくすることができる。このため、回転軸８における軸本体１３の下端１３ａ（接触面）とベースプレート７のエンド部１７ｂ（軸受け面）との間に回転軸８の回転制御が可能な回転抵抗力Ｆｒを加圧スプリング２５によって付与した場合であっても、回転軸８を常に良好に回転させることが可能になる。
【００３３】
しかも、回転軸８を回転させるときだけベースプレート７のエンド部１７ｂを振動させるので、回転軸が回転するときと回転しない時の摩擦抵抗の差を大きくすることができる。このため、駆動特性を向上させることができ、高性能なアクチュエータ部４、及びワイパ装置１を提供することが可能になる。
【００３４】
また、回転軸８における軸本体１３の上端（図２における上側）に凸部１５を形成し、これを加圧スプリング２５の上壁２８で押圧するようにしているため、加圧スプリング２５が軸本体１３に片当りすることがない。このため、加圧スプリング２５によって常に回転軸８の中心を押圧することができるので、軸本体１３の下端１３ａとベースプレート７のエンド部１７ｂ（軸受け面）との間に安定した回転抵抗力Ｆｒを生じさせることが可能になる。
【００３５】
さらに、ベースプレート７の凹部１７には、エンド部１７ｂに内周面１７ａに沿って軸方向平面視略円環状の凹部３５が形成されているため、エンド部１７ｂの剛性を低くすることができる。つまり、エンド部１７ｂは、凹部３５を支点にして厚さ方向に可撓可能な状態になっているため、圧電素子１８による振動をエンド部１７ｂに伝達し易くすることができ、容易にエンド部１７ｂを振動させることが可能になる。
【００３６】
なお、本発明は上述した実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した実施形態に種々の変更を加えたものを含む。
また、上述の実施形態では、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８に印加する電圧の入力波形β（第２の制御信号）（図３参照）が矩形波である場合について説明したが、これに限られるものではなく、正弦波であってもよい。
【００３７】
さらに、上述の実施形態では、回転軸８はコプナ樹脂等の熱硬化性樹脂で形成されたものである一方、ベースプレート７（レンズホルダ３）はステンレス材（例えば、ＳＵＳ３０４Ｌ）で形成されたものである場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、使用雰囲気（湿度環境）が変わっても回転軸８とベースプレート７との間の摩擦トルクの変動が少ない材質の組み合わせとしてもよい。
そして、例えば、回転軸８、及びベースプレート７の各々接触面の面粗さを使用雰囲気が変わっても摩擦トルクの変動が少ない面粗さとしてもよいし、両者８，７の接触面の少なくとも一方に溝等を形成して使用雰囲気が変わっても摩擦トルクの変動が少ない構造としてもよい。
【００３８】
また、上述の実施形態では、回転軸８を加圧スプリング２５で押圧し、ベースプレート７のエンド部１７ｂを振動させない状態での回転抵抗力Ｆｒを常に一定とした場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、使用雰囲気に応じて回転抵抗力Ｆｒが一定になるように加圧スプリング２５の回転軸８への押圧力を制御する構成としてもよい。
【００３９】
次に、本実施の形態の圧電アクチュエータ装置２の圧電アクチュエータ３に駆動のための制御信号を供給する駆動装置４０について、図５から図１６に基づいて説明する。図５は、本実施の形態の駆動装置のブロック図である。駆動装置４１は、駆動指令部４１、制御指令部５０、昇圧手段６０、第１駆動電圧制御手段７０および充放電回路８０をと備えている。駆動指令部４１は、制御指令部５０に接続されており、圧電アクチュエータ３の駆動の開始または終了、ならびに圧電アクチュエータ３の時計回り（ＣＷ）または反時計回り（ＣＣＷ）の駆動方向を、制御指令部５０に指令する。
【００４０】
第１駆動電圧制御手段７０は、制御手段５０、第１電源回路６１およびバイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０に接続されており、制御手段５０からの制御信号により、第１電源回路６１から供給される電力にて、バイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０を屈曲振動させる第１の制御信号をに供給する。以下、第１駆動電圧制御手段７０の構成について図６に基づいて詳細に説明する。なお、第１駆動電圧指令手段５１、第１電源回路６１、および第１駆動電圧制御手段７０により第１制御信号生成手段４２が構成され、以下に説明するバイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０に供給される第１の制御信号が生成される。
【００４１】
図６は、第１駆動電圧制御手段７０の構成を示すブロック図である。第１駆動電圧制御手段７０は、スイッチング回路７１、電流可変回路７２およびプリドライバ７３とを備えている。スイッチング回路７１は、第１のスイッチ素子（ＰＮＰ型トランジスタ）Ｑ１、第２のスイッチ素子（ＮチャンネルＭＯＳ型ＦＥＴ）Ｑ２、第３のスイッチ素子（ＰＮＰ型トランジスタ）Ｑ３、第４のスイッチ素子（ＮチャンネルＭＯＳ型ＦＥＴ）から構成されている。第１のスイッチ素子Ｑ１と第２のスイッチ素子Ｑ３とは接続点ｂにて、それぞれのコレクタとドレインにて直列に接続され、第１のスイッチ素子Ｑ１と第２のスイッチ素子Ｑ２にて第１アームＡ１を形成している。
【００４２】
第１のスイッチ素子Ｑ１のコレクタと第２のスイッチ素子Ｑ３のドレインとは接続点ｂにて接続され、互いに直列に接続された第１のスイッチ素子Ｑ１と第２のスイッチ素子Ｑ２により第１アームＡ１が形成されている。第３のスイッチ素子Ｑ３のコレクタと第４のスイッチ素子Ｑ４のドレインとは接続点ｃにて接続され、互いに直列に接続された第３のスイッチ素子Ｑ３と第４のスイッチ素子Ｑ４により第２アームＡ２が形成されている。
【００４３】
第１アームＡ１と第２アームＡ２は、接続点ａにて第１のスイッチ素子Ｑ１と第３のスイッチ素子Ｑ３のそれぞれのエミッタが接続され、接続点ｄにて第２のスイッチ素子Ｑ２と第４のスイッチ素子Ｑ４のそれぞれのソースが接続されており、第１アームＡ１と第２アームＡ２は、接続点ａと接続点ｄにて並列に接続されている。このような第１から第４のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４の接続により、スイッチング回路７１は、いわゆるＨブリッジを構成している。
【００４４】
接続点ａには、第１電源回路６１に接続されており、接続点ｂおよび接続点ｃには、バイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０に備えられる２枚の圧電素子がそれぞれ並列に接続されている。このようにＨブリッジを構成するスイッチング回路７１の接続点ｂおよび接続点ｃにバイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０が接続されているため、第１から第４のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４のオンオフの制御により、バイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０には、極性の制御が可能な第１の制御信号を供給することができる。
【００４５】
スイッチング回路７１の第１から第４のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４をオンさせるためには、ＰＮＰ型トランジスタが用いられる第１および第３のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ３は、ベース−エミッタ間に電位差を生じさせる必要があり、ＮチャンネルＭＯＳ型ＦＥＴが用いられている第２および第４のスイッチ素子Ｑ２、Ｑ４は、ゲート−ソース間に電位差を生じさせる必要がある。そのため、スイッチング回路７１は、プリドライバ７３を介して、制御指令部５０のＨブリッジ制御手段５２に接続されている。プリドライバ７３には、トランジスタ７３ａ、７３ｂ、７３ｃ、７３ｄが備えられており、Ｈブリッジ制御手段５２からの指令によりトランジスタ７３ａ、７３ｂ、７３ｃ、７３ｄがオンオフ動作することにより、第１から第４のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４はオンオフ制御される。これにより、バイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０には、極性の制御された第１の制御信号を供給される。
【００４６】
本実施の形態では、第１のスイッチ素子Ｑ１と第４のスイッチ素子Ｑ４がオンし、第２のスイッチ素子Ｑ２と第３のスイッチ素子Ｑ３がオフする状態（状態１）と、第２のスイッチ素子Ｑ２と第３のスイッチ素子Ｑ３がオンし、第１のスイッチ素子Ｑ１と第４のスイッチ素子Ｑ４がオフする状態（状態２）とが繰り返される。状態１では、接続点ｂが第１電源回路６１の電圧値Ｖｐ１となり接続点ｃが電流可変回路７２を介して、接地点ＧＮＤに接地される。一方、状態２では、接続点ｃが第１電源回路６１の電圧値Ｖｐ１となり接続点ｂが電流可変回路７２を介して、接地点ＧＮＤに接地される。したがって、接続点ｂおよび接続点ｃに接続された、バイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０には、交互に極性の変化される電圧が印加されることとなる。
【００４７】
スイッチング回路７１の接続点ｄと接地点ＧＮＤの間には、電流可変回路７２が配置されている。電流可変回路７２は、抵抗Ｒ、第５のスイッチ素子（ＮＰＮ型トランジスタ）Ｑ５、ツェナーダイオードＺｄ、可変抵抗Ｒｖが備えられている。接続点ｄには、第５のスイッチ素子Ｑ５のコレクタが接続されており、第５のスイッチ素子Ｑ５のベースには、ツェナーダイオードＺｄのカソードと抵抗Ｒの一端が接続されており、抵抗Ｒの他端は電源Ｖｐ２に接続されている。第５のスイッチ素子Ｑ５のエミッタには、可変抵抗Ｒｖの一端が接続されており、可変抵抗Ｒｖの他端およびツェナーダイオードＺｄのアノードは接地点ＧＮＤに接続されている。
【００４８】
ツェナーダイオードＺｄにより第５のスイッチ素子Ｑ５のエミッタと接地点ＧＮＤの間の電圧は一定値に保たれる。一方、可変抵抗Ｒｖは、制御指令部５０の電流制御手段５３に接続されており、電流制御手段５３から供給される信号により可変抵抗Ｒｖの抵抗値は可変する。従って、このような構成により、接続点ｄから接地点ＧＮＤに流れる電流値を制御することができるため、スイッチング回路７１に接続されているバイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０には、極性のほかに電流値も制御された第１の制御信号を供給することができる。
【００４９】
次に充放電回路８０について図７に基づいて説明する。なお、第２駆動電圧指令手段５４、第２電源回路６２、および充電回路８０により、第２制御信号生成手段４３は構成される。充放電回路８０は、制御指令部５０の第２駆動電圧指令手段５４、第２電源回路６２、および積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８に接続されている。充放電回路８０は、第６のスイッチ素子（ＮチャンネルＭＯＳ型ＦＥＴ）Ｑ６のソースと第７のスイッチ素子（ＮチャンネルＭＯＳ型ＦＥＴ）Ｑ７のドレインとが接続点ｆにて接続され、第６のスイッチ素子Ｑ６と第７のスイッチ素子Ｑ７とは直列に接続され、第６のスイッチ素子Ｑ６と第７のスイッチ素子Ｑ７でいわゆるハーフブリッジが構成されている。また、第６のスイッチ素子Ｑ６のドレインは、接続点ｅにて電圧値Ｖｐ２の第２電源回路６２に接続されており、第７のスイッチ素子Ｑ７のソースは接続点ｇにて接地点ＧＮＤに接続されており、接続点ｆと接続点ｇに積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８が第７のスイッチ素子Ｑ７に並列に接続されている。
【００５０】
第６のスイッチ素子Ｑ６と第７のスイッチ素子Ｑ７をオンするためには、ゲート−ソース間に電位差を生じさせる必要があり、そのために第６のスイッチ素子Ｑ６および第７のスイッチ素子Ｑ７のゲート−ソースには、プリドライバ８１が接続されている。プリドライバ８１には、ＰＷＭ信号生成手段５６が接続されたハーフブリッジ制御手段５６が接続されている。本実施の形態では、ＰＭＷ周波数が約３０ｋＨｚでＰＷＭデューティー５０％のオンオフの矩形波状のＰＷＭ信号をＰＷＭ信号生成手段５６は発生し、ハーフブリッジ制御手段５６に供給している。
【００５１】
ハーフブリッジ制御手段５５は、割り込み処理手段５８（図５参照）から指令される予め定められたタイミング（遅延時間）にて予め定められた時間（供給時間）だけ、プリドライバ８１に上記のオンオフの矩形波状のＰＷＭ信号を供給する。このＰＷＭ信号により予め定められた時間（供給時間）において、第６のスイッチ素子Ｑ６と第７のスイッチ素子Ｑ７は、交互にオンオフ動作を行う。
【００５２】
第６のスイッチ素子Ｑ６がオンし、第７のスイッチ素子Ｑ７がオフの状態では、第２電源回路６２、第６のスイッチ素子Ｑ６、接地点ＧＮＤへの電気回路が構成され、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８に第２電源回路６２の電圧Ｖｐ２が充電される。次に、第６のスイッチ素子Ｑ６がオフし、第７のスイッチ素子Ｑ７がオンの状態では、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８、第７のスイッチ素子Ｑ７、接地点ＧＮＤへの電気回路が構成され、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８に充電された電荷が放電される。この充放電が順次行われることにより、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８が予め定められた時間（供給時間）において伸縮振動を行う。
【００５３】
次に、第１駆動電圧制御手段７０および充放電回路８０に制御指令を発する制御指令部５０について、図５に基づいて説明する。上述のように図５は、本実施の形態の駆動装置４０の構成を示すブロック図である。図５に示すよに、制御指令部５０は、タイマ５７、割り込み処理手段５８、メモリ（レジスタ）５９、第１駆動電圧指令手段５１および第２駆動電圧指令５４とを備えている。第１駆動電圧指令手段５１は、プリドライバ７３を通じてスイッチング回路７１に指令信号を供給するＨブリッジ制御手段５２と、電流可変手段７２に制御信号を供給する電流制御手段５３とを備える。また、上述のように第２駆動電圧指令手段５４は、ＰＷＭ信号生成手段５４とハーフブリッジ制御手段５５とを備え、ハーフブリッジ制御手段５５は、充放電回路８０に制御信号を供給する。
【００５４】
以下、図５のほか、図８および図９に基づき、タイマ５７、割り込み処理手段５８およびメモリ（レジスタ）５９について説明する。タイマ５７は、駆動指令部４１に接続されており、駆動指令部４１からの圧電アクチュエータ３の駆動指令を受け、時刻Ｔ０から時刻Ｔ９にかけてカウント値０からカウントを開始し、カウント値がＧＲＡになったらカウントをクリアし、再度カウント値０からカウントを開始する。このカウントが順次繰り返しなされる。一方、メモリ（レジスタ）５９には、値の小さい順に、ＧＲＢ１、ＧＲＢ２、ＧＲＢ３、ＧＲＢ４、ＧＲＣ１、ＧＲＢ５、ＧＲＣ２、ＧＲＢ６、ＧＲＡの９つの割り込み値が記憶されている。
【００５５】
割り込み処理手段５８は、駆動指令部４１、タイマ５７およびメモリ（レジスタ）５９に接続されており、駆動指令部４１からのＣＷまたはＣＣＷの圧電アクチュエータ３の指令駆動方向信号に応じて、タイマ５７からの信号とメモリ（レジスタ）５９に記憶された値とを参照し、割り込み処理を行う。また、割り込み処理手段５８は、Ｈブリッジ制御手段５２、電流制御手段５３、ハーフブリッジ制御手段５５に接続されており、前記の割り込み処理に応じて、それぞれに指令信号を供給する。
【００５６】
図３と同様に圧電アクチュエータ３をＣＷに回転させる場合について、図８に基づいて説明する。ＣＷかＣＣＷかの判定は、割り込み処理手段５８にてなされる。本実施の形態では、割り込み処理手段５８が、タイマ５７のカウント値とメモリ５９に記憶された割り込み値とを比較し、カウント値が割り込み値ＧＲＡとなったときに、駆動指令部４１からの指令駆動信号がＣＷであるがＣＣＷであるか判別する。以下、割り込み処理手段５８がＣＷであると判断した場合の処理について説明する。
【００５７】
割り込み値ＧＲＢ１、ＧＲＢ３、ＧＲＢ４およびＧＲＢ６は、スイッチング回路７１の第１から第４のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４のオンオフのタイミングを制御するための割り込み値であり、割り込み処理手段５８にて、タイマ５７のカウント値とメモリ５９に記憶された割り込み値とを比較し、時刻Ｔ１にてカウント値が割り込み値ＧＲＢ１と一致したときに割り込み信号Ｃ１を、時刻Ｔ３にて割り込み値ＧＲＢ３と一致したときに割り込み信号Ｃ３を、時刻Ｔ４にて割り込み値ＧＲＢ４と一致したときに割り込み信号Ｃ４を、時刻Ｔ８にて割り込み値ＧＲＢ６と一致したときに割り込み信号Ｃ８を、割り込み処理手段５８から、それぞれＨブリッジ制御手段５２に供給する。
【００５８】
ここで、割り込み信号Ｃ１は、第１および第４のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ４をオンする指令信号であり、割り込み信号Ｃ３は、第１および第４のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ４をオフする指令信号である。一方、割り込み信号Ｃ４は、第２および第３のスイッチ素子Ｑ２、Ｑ３をオンする指令信号であり、割り込み信号Ｃ８は、第２および第３のスイッチ素子Ｑ２、Ｑ３をオフする指令信号である。割り込み処理手段５８から、これらの割り込み信号Ｃ１、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ８が供給されたＨブリッジ制御手段５２は、これらの割り込み信号Ｃ１、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ８に対応し、スイッチング回路７１に対し、第１から第４のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４のオンオフを指令する。
【００５９】
割り込み値ＧＲＢ２およびＧＲＢ５は、電流可変回路７２の可変抵抗Ｒｖの抵抗値を可変するタイミングを制御するための割り込み値であり、割り込み処理手段５８にて、タイマ５７のカウント値とメモリ５９に記憶された割り込み値とを比較し、カウント値が、時刻Ｔ２にて割り込み値ＧＲＢ２と一致したときに割り込み信号Ｃ２を、時刻Ｔ６にて割り込み値ＧＲＢ５と一致したときに割り込み信号Ｃ６を、割り込み処理手段５８は、それぞれ電流制御手段５３に供給する。
【００６０】
ここで、割り込み信号Ｃ２は、可変抵抗Ｒｖの抵抗値を小さくする指令信号であり、割り込み信号Ｃ６は、可変抵抗Ｒｖの抵抗値を大きくする指令信号である。割り込み処理手段５８から、これらの割り込み信号Ｃ２、Ｃ６が供給された電流制御手段５３は、これらの割り込み信号Ｃ２、Ｃ６に対応し、電流可変回路７２の抵抗値を可変するよう指令する。なお、抵抗値が小さくなる電流可変回路７２を流れる電流値は大きくなり、抵抗値が大きくなると電流可変回路７２を流れる電流値は小さくなる。
【００６１】
上述のように割り込み信号Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ６、Ｃ８により、スイッチング回路７１および電流可変回路７２が制御されることにより、バイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０には図８の第１駆動波形に示すように、負から正への電圧の時間変化が緩やかな電圧（第１の信号）で、正から負への電圧の時間変化が急な電圧（第２の信号）が印加される。
【００６２】
割り込み値ＧＲＣ１およびＧＲＣ２は、充放電回路８０の充放電のタイミングを制御するための割り込み値であり、割り込み処理手段５８にて、タイマ５７のカウント値とメモリ５９に記憶された割り込み値とを比較し、カウント値が、時刻Ｔ５にて割り込み値ＧＲＲＣ１と一致したときに割り込み信号Ｃ５を、時刻Ｔ７にて割り込み値ＧＲＣ２と一致したときに割り込み信号Ｃ７を、割り込み処理手段５８は、それぞれハーフブリッジ制御手段５５に供給する。
【００６３】
ここで、割り込み信号Ｃ５は、充放電回路８０に充放電の開始を指令する信号であり、割り込み信号Ｃ７は、充放電回路８０に充放電の終了を指令する信号である。割り込み処理手段５８から、これらの割り込み信号Ｃ５、Ｃ７が供給されたハーフブリッジ制御手段５５は、これらの割り込み信号Ｃ５、Ｃ７に対応し、充放電回路８０に充放電の開始と終了を指令する。したがって、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８には、時刻Ｔ５からＴ７までの供給時間ΔＴ２の間、充放電を行う。なお、充放電の開始である割り込み信号Ｃ５は、割り込み信号Ｃ４に対し、遅延時間ΔＴ１にて設定されている。これにより、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８には、図８に示すような第２駆動波形の電圧が印加される。
【００６４】
このように、バイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０には第１駆動波形の電圧が印加されるとともに、積層型圧電素子（第２の圧電素子）１８には第２駆動波形の電圧が印加されることで、図３および図４を用いて上述したように、使用雰囲気が高湿度の状態でも、圧電アクチュエータ３を常に良好に回転させることが可能になる。
【００６５】
次に、図３に示す圧電アクチュエータ３の回転方向の逆の方向であるＣＣＷに圧電アクチュエータ３を回転させる場合について、図９に基づいて説明する。ＣＷかＣＣＷかの判定は、割り込み処理手段５８にてなされる。本実施の形態では、割り込み処理手段５８が、タイマ５７のカウント値とメモリ５９に記憶された割り込み値とを比較し、カウント値が割り込み値ＧＲＡとなったときに、駆動指令部４１からの指令駆動信号がＣＷであるがＣＣＷであるか判別する。以下、割り込み処理手段５８がＣＣＷであると判断した場合の処理について説明する。
【００６６】
すでに述べたＣＷにおける割り込み処理手段５８での処理と、これから述べるＣＣＷにおける割り込み処理手段５８での処理は、割り込み信号Ｃ１、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ８においてオンオフするスイッチング回路７１のスイッチ素子が異なるのみで、その他の割り込み処理手段５８での処理は同一である。従って、割り込み信号Ｃ１、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ８における割り込み処理手段５８での処理に関する事項について説明し、その他は省略する。
【００６７】
割り込み値ＧＲＢ１、ＧＲＢ３、ＧＲＢ４およびＧＲＢ６は、スイッチング回路７１の第１から第４のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４のオンオフのタイミングを制御するための割り込み値であり、割り込み処理手段５８にて、タイマ５７のカウント値とメモリ５９に記憶された割り込み値とを比較し、時刻Ｔ１にてカウント値が割り込み値ＧＲＢ１と一致したときに割り込み信号Ｃ１を、時刻Ｔ３にて割り込み値ＧＲＢ３と一致したときに割り込み信号Ｃ３を、時刻Ｔ４にて割り込み値ＧＲＢ４と一致したときに割り込み信号Ｃ４を、時刻Ｔ８にて割り込み値ＧＲＢ６と一致したときに割り込み信号Ｃ８を、割り込み処理手段５８から、それぞれＨブリッジ制御手段５２に供給する。
【００６８】
ここで、割り込み信号Ｃ１は、第２および第３のスイッチ素子Ｑ２、Ｑ３をオンする指令信号であり、割り込み信号Ｃ３は、第２および第３のスイッチ素子Ｑ２、Ｑ３をオフする指令信号である。一方、割り込み信号Ｃ４は、第１および第４のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ４をオンする指令信号であり、割り込み信号Ｃ８は、第１および第４のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ４をオフする指令信号である。割り込み処理手段５８から、これらの割り込み信号Ｃ１、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ８が供給されたＨブリッジ制御手段５２は、これらの割り込み信号Ｃ１、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ８に対応し、スイッチング回路７１に対し、第１から第４のスイッチ素子Ｑ１、Ｑ２、Ｑ３、Ｑ４のオンオフを指令する。
【００６９】
このようにＣＷの場合と比して、割り込み信号Ｃ１、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ８においてオンオフするスイッチ素子を異ならせることで、バイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）１０には図９の第１駆動波形に示すように、正から負への電圧の時間変化が緩やか（第１の信号）で、負から正への電圧の時間変化が急な電圧（第２の信号）が印加される。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本実施の形態の圧電アクチュエータ装置の斜視図である。
【図２】図１にてＡ−Ａにして示す本実施の形態の圧電アクチュエータの断面図である。
【図３】本実施の形態の圧電アクチュエータに印加される電圧およびこの電圧が印加されたときの圧電アクチュエータの動作を説明する図である。
【図４】湿度と摩擦トルクの関係を示す図である。
【図５】本実施の形態の駆動装置を説明するブロック図である。
【図６】本実施の形態の第１駆動電圧制御手段を説明する回路図である。
【図７】本実施の形態の充放電回路を説明する回路図である。
【図８】本実施の形態の圧電アクチュエータがＣＷに回転させるときの駆動装置の動作を説明するタイミングチャートである。
【図９】本実施の形態の圧電アクチュエータがＣＣＷに回転させるときの駆動装置の動作を説明するタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００７１】
１  ワイパ装置
２  圧電アクチュエータ装置
３  圧電アクチュエータ
７  ベースプレート
７ａ  軸受面
７ｂ  軸受部
８  回転軸
１０  バイモルフ型圧電素子（第１の圧電素子）
１８  積層型圧電素子（第２の圧電素子）
４０  駆動装置
４１  駆動指令部
４２  第１制御信号生成手段
４３  第２制御信号生成手段
５０  制御指令部
５１ 第１駆動電圧指令手段
５２  Ｈブリッジ制御手段
５３  電流制御手段
５４  第２駆動電圧指令手段
５５  ハーフブリッジ制御手段
５６  ＰＷＭ信号生成手段
５７  タイマ
５８  割り込み処理手段
５９  メモリ
６０  昇圧手段
６１  第１電源回路
６２  第２電源回路
７０  第１駆動電圧制御手段
７１  スイッチング回路
７２  電流可変回路
７３  プリドライバ
８０  充放電回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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