(57)【要約】【課題】ダイヤフラムの表裏のいずれか一方に、液体圧力を受けるポンプ室を形成するダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムが表裏にアンバランスな圧力を受けることがない（少ない）液体ダイヤフラムポンプを得る。【解決手段】ダイヤフラムを挟着するアッパハウジングとダイヤフラムとの間に、ポンプ室の反対側に位置させて液室を形成し、アッパハウジングとロアハウジングに跨らせて、この液室と、吸入ポートと吐出ポートの少なくとも一方とを連通させる自由液流路を設け、該吸入ポートまたは吐出ポート内と液室との間で液体を自由に移動可能とした液体ダイヤフラムポンプ。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アッパハウジングとロアハウジングの間に挟着され、該ロアハウジングとの間にポンプ室を形成するダイヤフラム；
上記ロアハウジングに、上記ポンプ室に連ならせて形成した吸入ポートと吐出ポート；
上記吸入ポートとポンプ室の間にあって該吸入ポートからポンプ室への流体流を許容しその逆の流体流を防ぐ逆止弁；及び
上記吐出ポートとポンプ室の間にあって該ポンプ室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆の流体流を防ぐ逆止弁；
を有し、上記ダイヤフラムを振動させてポンプ作用を得る液体ダイヤフラムポンプにおいて、
アッパハウジングとダイヤフラムとの間に、上記ポンプ室の反対側に位置させて液室を形成し、
上記アッパハウジングとロアハウジングに跨らせて、上記液室と、吸入ポートと吐出ポートの少なくとも一方とを連通させる自由液流路を設け、該自由液流路を介して、該吸入ポートまたは吐出ポート内と液室との間で液体を自由に移動可能としたことを特徴とする液体ダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
請求項１記載の液体ダイヤフラムポンプにおいて、上記アッパハウジングとロアハウジングはともに合成樹脂材料の成形品からなり、
該アッパハウジングは、上記液室と、この液室に連なる、該アッパハウジングの外面に開口する外部開口穴と、この外部開口穴に連通しロアハウジング側に開口する接続穴とを有し、
上記ロアハウジングは、上記接続穴内に挿入される流路突起を有し、この流路突起内に、上記吸入ポートと吐出ポートのいずれか一方をアッパハウジングの上記外部開口穴に連通させる内部通路が形成されており、
これら内部通路及び外部開口穴が上記自由液流路を構成する液体ダイヤフラムポンプ。
【請求項３】
請求項２記載の液体ダイヤフラムポンプにおいて、ロアハウジングの上記流路突起は、太径部と、この太径部の上部に位置する細径部と、この太径部と細径部を分ける軸線に対して直交しない環状斜面とを有し、
アッパハウジングの外部開口穴は、該アッパハウジングの外面に開口する大径穴と、この大径穴より内側に位置する小径穴と、この大径穴と小径穴の境界に位置する上記流路突起の環状斜面に対応する軸線に対して直交しない環状斜面とを有し、
上記流路突起の細径部に嵌めたＯリングがこの両環状斜面の間に圧縮挟着されて液密を保持する液体ダイヤフラムポンプ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項記載の液体ダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムは、導電性金属薄板からなる少なくとも一枚のシムと少なくとも一層の圧電体層との交互積層構造を有する圧電振動子からなり、かつ、該シムが上記液室側に位置している液体ダイヤフラムポンプ。
【請求項５】
請求項４記載の液体ダイヤフラムポンプにおいて、上記シムは、その表裏に圧電体層を有するメインシムと、このメインシムの表裏の圧電体層のうち液室側の圧電体層上に積層した保護シムとを有する液体ダイヤフラムポンプ。
【請求項６】
請求項４または５記載の液体ダイヤフラムポンプにおいて、上記保護シムは、厚さ５〜５００μｍの導電性金属薄板からなっている液体ダイヤフラムポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動するダイヤフラムによってポンプ作用を得る液体ダイヤフラムポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体ダイヤフラムポンプは、周縁を液密に保持したダイヤフラムの表裏のいずれか一方にポンプ室を形成し、このポンプ室に連なる一対の流路（吸入ポートと吐出ポート）に、流れ方向の異なる一対の逆止弁（ポンプ室への流体流を許す逆止弁とポンプ室からの流体流を許す逆止弁）を設けている。ダイヤフラムを振動させると、ポンプ室の容積が変化し、この容積変化に伴い一対の逆止弁の一方が閉じて他方が開く動作を繰り返すことから、ポンプ作用が得られる。このような液体ダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムとして圧電振動子を用いると小型にできるため、本出願人は、水冷ノート型パソコンの冷却水循環ポンプとして用いる圧電ポンプを開発中である。
【特許文献１】特開2003-013861号公報
【特許文献２】特開2006-132477号公報
【特許文献３】特開2006-161674号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この液体ダイヤフラムポンプでは従来、ダイヤフラムを挟んでポンプ室と反対側の室は、大気室（空気室）としていた。しかし、ポンプ室の反対側を大気室とすると、次の問題があることが分かった。
【０００４】
すなわち、ダイヤフラムは、運転中常時ポンプ室側の液体圧力を受けて大気室側に突出する方向の力を受けているのに対し、大気室には液体圧力が作用しない。このため、ダイヤフラムに対する力の加わり方が過度に不均等になり、これがダイヤフラムの破損あるいは短寿命化の原因になる。
【０００５】
さらに、ダイヤフラムとして一般に用いられる圧電振動子には、加えて次の問題があることが明らかになった。圧電振動子は、導電性金属板からなる金属シムの表裏の一面に圧電体層を設けたユニモルフ型、及び両面に圧電体層を設けたバイモルフ型が知られており、さらに本出願人は、圧電体層を電気的に並列または直列に接続した複数層としたマルチモルフ型を提案している（特願２００７-３５８７９号）が、いずれのタイプの圧電振動子も導電性金属薄板からなる少なくとも一枚のシムと少なくとも一層の圧電体層との交互積層構造を有する点では共通である。そして、どのタイプの圧電振動子を用いるにしても従来、液体に触れるポンプ室側には金属製のシムを位置させ、大気室側に圧電体層を位置させていた。ところが、大気室側に圧電体層を設けた圧電振動子は、長期間使用すると、該大気室側の圧電体層にクラック（割れ）が発生する可能性があることが判明した。
【０００６】
本発明は従って、ダイヤフラムの表裏のいずれか一方に、液体圧力を受けるポンプ室を形成するダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムが表裏にアンバランスな圧力を受けることがない（少ない）ダイヤフラムポンプを得ることを目的とする。
また、本発明は、ダイヤフラムとして圧電振動子を用いた液体圧電ポンプにおいて、圧電振動子の圧電体層にクラックが生じにくい圧電ポンプを得ることを目的とする。
さらに本発明は、ダイヤフラムを挟着してポンプ室を形成するアッパハウジングとロアハウジングを合成樹脂製とするとき、該ハウジング回りの流路形成が容易で、ダイヤフラムの破損防止構造を容易に構成できる液体ダイヤフラムポンプを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、従来大気室としていた室に吸入ポートまたは吐出ポートの液体を自由状態で導くだけで、ダイヤフラムの表裏に加わる圧力バランスを改善できるとの知見に達して本発明を完成したものである。
すなわち、本発明は、アッパハウジングとロアハウジングの間に挟着され、該ロアハウジングとの間にポンプ室を形成するダイヤフラム；ロアハウジングに、上記ポンプ室に連ならせて形成した吸入ポートと吐出ポート；吸入ポートとポンプ室の間にあって該吸入ポートからポンプ室への流体流を許容しその逆の流体流を防ぐ逆止弁；及び吐出ポートとポンプ室の間にあって該ポンプ室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆の流体流を防ぐ逆止弁；を有し、上記ダイヤフラムを振動させてポンプ作用を得る液体ダイヤフラムポンプにおいて、アッパハウジングとダイヤフラムとの間に、上記ポンプ室の反対側に位置させて液室を形成し、アッパハウジングとロアハウジングに跨らせて、液室と、吸入ポートと吐出ポートの少なくとも一方とを連通させる自由液流路を設け、該自由液流路を介して、該吸入ポートまたは吐出ポート内と液室との間で液体を自由に移動可能としたことを特徴としている。
【０００８】
量産品では、アッパハウジングとロアハウジングは、ともに合成樹脂材料の成形品から形成するのがよい。この場合には、アッパハウジングには、上記液室と、この液室に連なる、該アッパハウジングの外面に開口する外部開口穴と、この外部開口穴に連通しロアハウジング側に開口する接続穴とを設け、ロアハウジングには、この接続穴内に挿入される流路突起を設け、この流路突起内に、吸入ポートと吐出ポートのいずれか一方をアッパハウジングの外部開口穴に連通させる内部通路を形成し、この内部通路と外部開口穴によって自由液流路を構成するのが好ましい。
【０００９】
この態様では、アッパハウジングの接続穴にロアハウジングの流路突起を挿入するだけで液密な自由液流路が構成されるように、ロアハウジングの流路突起には、太径部と、この太径部の上部に位置する細径部と、この太径部と細径部を分ける軸線に対して直交しない環状斜面とを設け、アッパハウジングの外部開口穴には、該アッパハウジングの外面に開口する大径穴と、この大径穴より内側に位置する小径穴と、この大径穴と小径穴の境界に位置する流路突起の環状斜面に対応する軸線に対して直交しない環状斜面とを設け、流路突起の細径部に嵌めたＯリングがこの両環状斜面の間に圧縮挟着されて液密を保持するようにすることができる。
【００１０】
ダイヤフラムは、具体的には例えば、導電性金属薄板からなる少なくとも一枚のシムと少なくとも一層の圧電体層との交互積層構造を有する圧電振動子から構成し、かつ、そのシムを液室側に位置させるのがよい。シムと圧電体層との間、あるいは圧電体層の表裏には、シムと圧電体層を接着する接着層あるいは圧電体層に通電するための電極層が存在するが、これらの接着剤層と電極層は、積層構造の要素としては含んでいない。また各圧電体層は、単層構造の他、複数層を電気的に直列または並列に接続した複数層構造のいずれでもよい。
【００１１】
圧電振動子の好ましい一態様においては、シムは、その表裏に圧電体層を有するメインシムと、このメインシムの表裏の圧電体層のうち液室側の圧電体層上に積層した保護シムとを有している。
【００１２】
保護シムは、液室側圧電体層全体を覆う大径とするのが好ましいが、平面円形の液室側圧電体が受ける引張応力は、その中央部が最も大きく周縁部に行くに従って小さくなることを考慮すると、液室側圧電体層の周縁部を露出させるような小径とすることも可能である。
【００１３】
保護シムは、具体的には、厚さ５〜５００μｍの導電性金属薄板、例えばステンレスまたは４２アロイ等から構成するのがよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、ダイヤフラムの表裏のいずれか一方に、液体圧力を受けるポンプ室を形成する液体ダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムのポンプ室とは反対側に液室を形成し、この液室に、吸入ポートまたは吐出ポートの液体を自由状態で導くようにしたので、ダイヤフラムの表裏に加わる圧力バランスを改善することができ、ダイヤフラムの破損を防止し、長寿命化を達成できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本実施形態は、本発明をダイヤフラムとして圧電振動子を用いた圧電液体ポンプに適用した実施形態である。この圧電液体ポンプ２０は、図１ないし図３に示すように、合成樹脂材料の成形品からなるロアハウジング２１とアッパハウジング２２とを有し、ロアハウジング２１は、下方の分割ロアハウジング２１Ｄと上方の分割ロアハウジング（ミドルハウジング）２１Ｕからなっている。分割ロアハウジング２１Ｄと分割ロアハウジング２１Ｕは、一体に形成してもよい。
【００１６】
分割ロアハウジング２１Ｄには、冷却水（液体）の吸入ポート２４と吐出ポート２５が開口している。分割ロアハウジング２１Ｕとアッパハウジング２２の間には、一対の環状狭着部材（Ｏリング２７、ガイド２８）を介して、圧電振動子１０が液密に狭着支持されていて、該圧電振動子１０と分割ロアハウジング２１Ｕとの間にポンプ室Ｐを構成し、該圧電振動子１０とアッパハウジング２２との間に液室Ａを構成している。圧電振動子１０のポンプ室Ｐ側には、環状電極端子２９が密着している。
【００１７】
分割ロアハウジング２１Ｄと分割ロアハウジング２１Ｕには、吸入ポート２４とポンプ室Ｐを連通させる吸入流路３０、及びポンプ室Ｐと吐出ポート２５を連通させる吐出経路３１がそれぞれ形成されており、分割ロアハウジング２１Ｕには、この吸入流路３０と吐出流路３１にそれぞれ逆止弁（アンブレラ）３２、３３が設けられている。逆止弁３２は、吸入ポート２４からポンプ室Ｐへの流体流を許してその逆の流体流を許さない吸入側逆止弁であり、逆止弁３３は、ポンプ室Ｐから吐出ポート２５への流体流を許してその逆の流体流を許さない吐出側逆止弁である。図示実施形態の逆止弁３２、３３は、同一の形態であり、流路に接着もしくは溶着固定される穴あき基板３２ａ、３３ａに、弾性材料からなるアンブレラ３２ｂ、３３ｂを装着してなっている。
【００１８】
また分割ロアハウジング２１Ｄには、吸入流路３０及び吐出経路３１とは隔離させた位置に矩形状の収納凹部２１ａが形成されており、この収納凹部２１ａと分割ロアハウジング２１Ｕの間に、圧電振動子１０を駆動制御するドライバ回路基板２６が液密に収納されている。このドライバ回路基板２６は、分割ロアハウジング２１Ｄと分割ロアハウジング２１Ｕが一体で成形される場合は、ロアハウジングの裏側から収納され、適宜蓋がされる。
【００１９】
圧電ポンプ２０は、圧電振動子１０が正逆に弾性変形（振動）すると、ポンプ室Ｐの容積が拡大する行程では、吸入側逆止弁３２が開いて吐出側逆止弁３３が閉じるため、吸入ポート２４からポンプ室Ｐ内に液体が流入する。一方、ポンプ室Ｐの容積が減少する行程では、吐出側逆止弁３３が開いて吸入側逆止弁３２が閉じるため、ポンプ室Ｐから吐出ポート２５に液体が流出する。したがって、圧電振動子１０を正逆に連続させて弾性変形（振動）させることで、ポンプ作用が得られる。
【００２０】
平面円形をなす圧電振動子（ダイヤフラム）１０は、図１、図３、図４に示すように、メインシム１１の表裏に圧電体層１２ｆ、１２ｒが積層接着された構造となっており、液室Ａ側に面する圧電体層１２ｆの上には保護シム１３が積層接着され、ポンプ室Ｐ側に面する圧電体層１２ｒの上には、カバーフィルム１４が積層接着されている。表側（液室Ａ側）の圧電体層１２ｆはメインシム１１の径よりも小さく形成され、ガイド２８は、メインシム１１の表側（液室Ａ側）の圧電体層１２ｆの外形部外側部分に位置してメインシム１１を狭着支持する。なお、図２においては、圧電振動子１０の圧電体層１２ｆ、１２ｒ、メインシム１１、カバーフィルム１４は省略して表している。
【００２１】
メインシム１１は、厚さ３０〜５００μｍ程度のステンレスや４２アロイ等からなる導電性金属薄板であり、圧電体層１２ｆ、１２ｒを支持するための剛性を有している。
【００２２】
メインシム１１の表裏の圧電体層１２ｆ、１２ｒは、例えば厚さ５０〜５００μｍ程度のＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ3）等の圧電材料から構成されるもので、表裏方向に分極処理が施されている。表裏の圧電体層１２ｆ、１２ｒの分極方向は同一方向である。このような圧電振動子はバイモルフ型（パラレル接続）として周知である。各圧電体層１２ｆ、１２ｒの表裏に同一の交番電界が与えられると、圧電体層１２ｆ、１２ｒの表裏の一方が伸びて他方が縮むサイクルが繰り返され、シム１１（圧電振動子１０）が中央部の振幅が最も大きくなるように振動する。
【００２３】
保護シム１３は、メインシム１１と同様に、厚さ５〜５００μｍ程度のステンレスや４２アロイ等からなる導電性金属薄板である。この保護シム１３は、液室Ａ側の圧電体層１２ｆ全体を覆う径を有している。この保護シム１３を設けることにより、液室Ａ側の圧電体層１２ｆに加わる引張応力を緩和し、クラックの発生を防止することができる。なお、圧電振動子１０は上述のように表側（液室Ａ側）の圧電体層１２ｆはメインシム１１の径よりも小さく形成され、ガイド２８が、メインシム１１の表側（液室Ａ側）圧電体層１２ｆの外形部外側部分にメインシム１１を狭着支持する構造となっているが、表側（液室Ａ側）圧電体層１２ｆをメインシム１１と同径とし、ガイド２８が表側（液室Ａ側）圧電体層１２ｆ上に当接する構造であっても良い。
【００２４】
カバーフィルム１４は、ポンプ室Ｐ側に位置する圧電体層１２ｒ上に積層接着して、ポンプ室Ｐ内に出入りする流体から該圧電体層１２ｒを保護するものである。このカバーフィルム１４は、厚さ１０〜１００μｍ程度の合成樹脂フィルム、例えばＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）から構成されている。
【００２５】
圧電振動子１０の裏に位置する環状電極端子２９は、メインシム１１の裏の圧電体層１２ｒの露出面と環状に接触して電気的に導通している。さらに圧電振動子１０の表に位置する保護シム１３はメインシム１１の表の圧電体層１２の露出面と同心円状に接触して電気的に導通している。メインシム１１、保護シム１３及び環状電極端子２９はそれぞれ、周縁部に配線接続用の配線突起１１ａ、１３ａ及び２９ａを有し、分割ロアハウジング２１Ｕには、この配線突起１１ａ、１３ａ及び２９ａに対応する突出凹部２２ａがポンプ室Ｐに連なって形成されている。
【００２６】
環状電極端子２９の径は、Ｏリング２７の径と実質的に同一径であり、両者は平面的に見て交差することがない。すなわち、環状電極端子２９とＯリング２７は、その少なくとも一部がその全周に沿って重なる関係、あるいはＯリング２７が環状電極端子２９を全周に渡って押圧できるように形成されている関係である。従ってＯリング２７と環状電極端子２９が重なったとき、Ｏリング２７は一平面内に位置し、微小な凹凸が生じることはなく、Ｏリング２７に生じる微小な凹凸が液密性能に悪影響を与えることがない。
【００２７】
本実施形態では、吐出ポート２５と液室Ａとが、ロアハウジング２１とアッパハウジング２２に跨らせて形成した自由液流路４０を介して連通している。この自由液流路４０を図１、図２、図５及び図６について説明する。アッパハウジング２２には、液室Ａを形成する凹部２２ａと、この凹部２２ａと平行に延び、その内端部が連通路２２ｂを介して凹部２２ａに連通する外部開口穴４１が形成されている。この外部開口穴４１は、アッパハウジング２２の外面に開口する大径穴４１ａと、この大径穴４１ａより内側に位置する小径穴４１ｂと、この大径穴４１ａと小径穴４１ｂの境界に位置する軸線に対して直交しない環状斜面４１ｃとを有している。また、アッパハウジング２２には、この外部開口穴４１の環状斜面４１ｃ部分に位置させて、該外部開口穴４１と直交して連通し、ロアハウジング２１側に開口する接続穴４２が形成されている。これらの外部開口穴４１と接続穴４２は、成形型（抜き型）によりアッパハウジング２２と一体に成形できる。
【００２８】
ロアハウジング２１には、このアッパハウジング２２の接続穴４２に嵌まる流路突起４３が形成されている。図６は、この流路突起４３の形状を示している。詳細には、流路突起４３は、分割ロアハウジング２１Ｄと一体に成形されていて、太径部４３ａと、この太径部４３ａの上部に位置する細径部４３ｂと、この太径部４３ａと細径部４３ｂを分ける（の境界を定める）軸線に対して直交しない環状斜面４３ｃとを有し、その軸部に、吐出ポート２５と連通する内部流路４４が形成されている。分割ロアハウジング２１Ｕには、この流路突起４３の太径部４３ａを挿通する挿通穴４５が形成されている。この流路突起４３も、成形型（抜き型）により分割ロアハウジング２１Ｄと一体に成形できる。
【００２９】
外部開口穴４１の環状斜面４１ｃと流路突起４３の環状斜面４３ｃとは対応関係にあり、図示例では、環状斜面４１ｃ（環状斜面４３ｃ）は、外部開口穴４１（流路突起４３）の軸線に対して４５゜をなしている。この角度は、３０゜〜６０゜程度の範囲で変えることができる。流路突起４３の細径部４３ｂの周囲（環状斜面４３ｃの上）には、Ｏリング４６が嵌められており、流路突起４３を接続穴４２に嵌めると、外部開口穴４１の環状斜面４１ｃと流路突起４３の環状斜面４３ｃとの間に、Ｏリング４６が挟着されて圧縮され、内部流路４４と小径穴４１ｂによって、液密な自由液流路４０が形成される。
【００３０】
上記構成の本圧電ポンプ２０は、メインシム１１の配線突起１１ａと保護シム１３の配線突起１３ａの間（表側圧電体層１２ｆの表裏間）、及びメインシム１１の配線突起１１ａと環状電極端子２９の配線突起２９ａの間（裏側圧電体層１２ｒの表裏間）にそれぞれ交番電界を与えると、圧電振動子１０が正逆に弾性変形（振動）する。すると、上述のように、吸入ポート２４からポンプ室Ｐに液体が吸入され、続いてポンプ室Ｐから吐出ポート２５に吐出されるポンプ作用が繰り返される。このポンプ作用に際し、液室Ａは自由液流路４０を介して吐出ポート２５と連通しているため、ポンプ室Ｐの容積が拡大する工程では、液室Ａから吐出ポート２５に液体が流れ、ポンプ室Ｐの容積が縮小する工程では、吐出ポート２５から液室Ａに液体が流れる。いずれの状態でも、液室Ａには、吐出ポートＰの液体圧力が自由状態で及ぼされるため、圧電振動子１０の表裏に加わる圧力のアンバランスが改善される。この効果は、液室Ａが空気室であった従来品と比較すると明らかである。
【００３１】
また、圧電振動子１０には、ポンプ室Ｐ側から常時液体圧力が加わり、その結果、液室Ａ側の圧電体層１２ｆには引張応力が加わる。液室Ａに吐出ポート２５の自由液体圧力を導いた本実施形態は、液室Ａ側の圧電体層１２ｆに加わる引張応力を緩和する作用を期待でき、さらに本実施形態によれば、液室Ａ側の圧電体層１２ｆに積層接着した保護シム１３がこの引張応力によく抵抗する。すなわち、圧電体層１２ｆに加わる引張応力は、保護シム１３によって緩和され、圧電体層１２ｆにクラックが発生するのを防止し、あるいは圧電体層１２ｆの寿命を長くすることができる。
【００３２】
以上の実施形態では、液室Ａに連なる自由液流路４０を吐出ポート２５と連通させたが、吸入ポート２４に連通させてもよい。
【００３３】
また、図示実施形態によると、分割ロアハウジング２１Ｕと２１Ｄを組み合わせ、分割ロアハウジング２１Ｄの流路突起４３をアッパハウジング２２の接続穴４２に嵌めるだけで、外部開口穴４１の環状斜面４１ｃと流路突起４３の環状斜面４３ｃとの間にＯリング４６を圧縮し、内部流路４４と小径穴４１ｂによって、液密な自由液流路４０が形成されるという利点がある。しかし、例えば、外部開口穴４１の開口端を別の部材によって塞ぐことで液密を保持することも可能である。
【００３４】
以上の実施形態では、ダイヤフラムとして圧電振動子を例示したが、本発明は他の振動するダイヤフラムを用いた液体ポンプに広く適用できる。
【００３５】
上記実施形態では、ハウジングに便宜上「アッパ」「ロア」の名前を付けたが、使用状態でのそれを限定するものではないことは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明によるダイヤフラムポンプを圧電ポンプに適用した実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】図１の圧電ポンプの組立状態におけるII-II線に沿う断面図である。
【図３】図１の圧電ポンプの圧電振動子回りの構成の詳細を示す断面図である。
【図４】同圧電振動子の模式分解斜視図である。
【図５】図２のV部拡大断面図である。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）はロアハウジングから突出させた流路突起の形状例とＯリングの関係を示す、見る方向を変えた斜視図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０  圧電振動子
１１  メインシム
１１ａ  配線突起
１２  １２ｆ  １２ｒ  圧電体層
１３  保護シム
１３ａ  配線突起
１４  カバーフィルム
２０  圧電ポンプ
２１  ロアハウジング
２１Ｄ  分割ロアハウジング
２１Ｕ  分割ロアハウジング（ミドルハウジング）
２２  アッパハウジング
２２ａ  凹部
２２ｂ  連通路
２４  吸入ポート
２５  吐出ポート
２９  環状電極端子
２９ａ  配線突起
３０  吸入流路
３１  吐出流路
３２  ３３  逆止弁
４０  自由液流路
４０  外部開口穴
４１ａ  大径穴
４１ｂ  小径穴
４１ｃ  環状斜面
４２  接続穴
４３  流路突起
４３ａ  太径部
４３ｂ  細径部
４３ｃ  環状斜面
４４  内部流路
４５  挿通穴
４６  Ｏリング
Ａ  液室
Ｐ  ポンプ室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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