(57)【要約】【課題】本発明は、基板製造設備に使用される基板搬送装置に関する。【解決手段】本発明の基板搬送装置は、一群のシャフトと、前記一群のシャフトを回転させるための駆動部と、を含む。前記一群のシャフトは、第１長さを有する少なくとも一つの第１シャフトと、前記第１シャフトと同一平面上に位置し、前記第１長さより短い第２長さを有する第２シャフトと、前記第１シャフトと同一平面に位置し、前記第１長さより短い第３長さを有する第３シャフトと、を含む。前記第２シャフトは、前記第１シャフトの他端よりも一端に近く位置し、前記第３シャフトは、前記第１シャフトの一端よりも他端に近く位置する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板搬送装置であって、
一群のシャフトと、
前記一群のシャフトを回転させるための駆動部と、を含み、
前記一群のシャフトは、
第１長さを有する少なくとも一つの第１シャフトと、
前記第１シャフトと同一平面上に位置し、前記第１長さより短い第２長さを有する第２シャフトと、
前記第１シャフトと同一平面に位置し、前記第１長さより短い第３長さを有する第３シャフトと、を含み、
前記第２シャフトは、前記第１シャフトの他端よりも一端に近く位置し、前記第３シャフトは、前記第１シャフトの一端よりも他端に近く位置することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記駆動部は、
前記第１シャフトと前記第２シャフトとの間に回転力を伝達するよう、前記第１シャフトと前記第２シャフトとを連結する第１動力伝達部と、
前記第１シャフトと前記第３シャフトとの間に回転力を伝達するよう、前記第１シャフトと前記第３シャフトとを連結する第２動力伝達部と、
前記第１動力伝達部に回転力を提供する動力源と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記第１シャフトは、
両端が基板の搬送経路から離れた位置で軸受によって支持され、
前記第２シャフトと前記第３シャフトは、
一端が基板の搬送経路から離れた位置で軸受によって支持され、他の一端は基板の搬送経路に相当する位置で軸受によって支持されることを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記第２シャフトと前記第３シャフトは、同一直線上に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記第２シャフトと前記第３シャフトは交互に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記第２シャフトと前記第３シャフトは離隔して配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
前記第１長さは基板の幅より長いことを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項８】
前記第２長さと前記第３長さは等しいことを特徴とする請求項１または２に記載の基板搬送装置。
【請求項９】
フラットパネルディスプレイ製造のための設備であって、
基板が搬送される空間を提供するチャンバと、
基板が搬送される方向と平行に前記チャンバの搬送空間両側に設けられる第１、２支持フレームと、
前記第１支持フレームと前記第２支持フレームとの間に設けられる第３、４支持フレームと、
前記第１支持フレームと前記第２支持フレームに回転可能に設けられる少なくとも一つの第１シャフトと、
前記第１支持フレームと前記第３支持フレームに回転可能に設けられる第２シャフトと、
前記第２支持フレームと前記第４支持フレームに回転可能に設けられる第３シャフトと、
前記第１、２支持フレームの外側に設けられ、前記第１シャフト、前記第２シャフトそして前記第３シャフトを回転させるための一つの動力源を有する駆動部と、を含むことを特徴とするフラットパネルディスプレイ製造のための基板製造設備。
【請求項１０】
前記駆動部は、
前記動力源の回転力が前記第１シャフトと前記第２シャフトに伝達されるよう、前記第１シャフトと前記第２シャフトとを連結する第１動力伝達部と、
前記第１シャフトの回転力が前記第３シャフトに伝達されるよう、前記第１シャフトと前記第３シャフトとを連結する第２動力伝達部と、含むことを特徴とする請求項９に記載のフラットパネルディスプレイ製造のための基板製造設備。
【請求項１１】
前記第１シャフトと前記第２シャフトそして前記第３シャフトは、同一平面上にあることを特徴とする請求項９または１０に記載のフラットパネルディスプレイ製造のための基板製造設備。
【請求項１２】
前記第２シャフトと前記第３シャフトは同一直線上に配置されることを特徴とする請求項９または１０に記載のフラットパネルディスプレイ製造のための基板製造設備。
【請求項１３】
前記第２シャフトと前記第３シャフトは交互に配置されることを特徴とする請求項９または１０に記載のフラットパネルディスプレイ製造のための基板製造設備。
【請求項１４】
前記第２シャフトと前記第３シャフトは離隔して配置されることを特徴とする請求項９または１０に記載のフラットパネルディスプレイ製造のための基板製造設備。
【請求項１５】
前記第１支持フレームと前記第３支持フレームの間隔と、前記第２支持フレームと前記第４支持フレームの間隔とは等しいことを特徴とする請求項９または１０に記載のフラットパネルディスプレイ製造のための基板製造設備。
【請求項１６】
前記請求項１の基板搬送装置における基板搬送方法であって、
前記第１シャフトと前記第２シャフトは、前記動力源から回転力を提供されて駆動され、前記第３シャフトは前記第１シャフトによって提供される回転力を提供されて駆動されることで基板を搬送することを特徴とする基板搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理のための装置に関し、さらに詳細には、フラットパネルディスプレイ（ｆｌａｔ  ｐａｎｅｌ  ｄｉｓｐｌａｙ）の搬送のための装置そしてその装置を有する基板製造設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報処理機器は、いろいろな形態の機能やさらに高速の情報処理速度を持つよう急速に発展している。かかる情報処理装置は、処理された情報を表示するためにディスプレイ装置を有する。現在、ディスプレイ装置として、液晶ディスプレイ装置、有機ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ装置のようなフラットパネルディスプレイ装置が注目を浴びている。
【０００３】
このようなフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を製造するためには様々な工程が行われ、基本的に平板ガラスを基板として使用する。基板の表面には絶縁層、カラー層、偏光層など多くの薄膜層が形成され、基板は搬送装置にローディングされて移動されながら、薬液塗布工程、洗浄工程、乾燥工程など様々な処理工程を通じて製造される。従って、基板はフラットパネルディスプレイ装置の品質に最も大きな影響を与える部品の一つである。
【０００４】
このような一連の基板処理工程は、通常基板を移送する基板搬送装置と連係して行われるので、基板搬送装置においては、基板の一定の移送速度の維持や精密な位置制御が可能となるように作動することが最も大切である。
【０００５】
特に、フラットパネルディスプレイ装置の大型化（横／縦の幅が１８７０〜２２００ｍｍの７世代、２１６０〜２４６０ｍｍ以上の８、１０世代）に伴って基板も大型化しつつあるので、基板の保管、特に移送において格別な注意が要求されている。
【０００６】
基板を支持及び移送する基板搬送装置における搬送用のシャフトの長さは、基板の大型化にともなって長くなる。シャフトの長さが長くなると、シャフトの自重、大型化した基板の荷重、そして工程進行中に基板上に供給される処理液の噴射圧力及び流量などによって、シャフトに垂れ変形が発生し、基板の破損や変形をもたらす可能性がある。さらに、シャフトの垂れ変形により直進性が低下すると、シャフト自体の回転時の振動などによって軸受などの関連部品が損傷される可能性がある。これにより、工程の精密度が著しく減少して、基板の不良率が増加する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、大型基板の搬送に適合する基板搬送装置及び方法そしてその装置を有する基板処理設備を提供することにある。
【０００８】
本発明の他の目的は、シャフトの垂れ変形を防止することができる基板搬送装置及び方法そしてその装置を有する基板処理設備を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、一群のシャフトの直進性及び同心度の低下を防止することができる大型基板の搬送に適合する基板搬送装置及び方法を提供することにある。
【００１０】
本発明が解決しようとする課題はこれに限定されない。言及されなかったまた他の課題は、以下の記載から当業者であれば明確に理解できる。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、大型基板を搬送する基板搬送装置を提供する。本発明の一実施の形態によれば、基板搬送装置は、一群のシャフトと、前記一群のシャフトを回転させるための駆動部と、を含み、前記一群のシャフトは、第１長さを有する少なくとも一つの第１シャフトと、前記第１シャフトと同一平面上に位置し、前記第１長さより短い第２長さを有する第２シャフトと、前記第１シャフトと同一平面に位置し、前記第１長さより短い第３長さを有する第３シャフトと、を含み、前記第２シャフトは、前記第１シャフトの他端よりも一端に近く位置し、前記第３シャフトは、前記第１シャフトの一端よりも他端に近く位置する。
【００１２】
本発明の実施の形態によれば、前記駆動部は、前記第１シャフトと前記第２シャフトとの間に回転力を伝達するよう、前記第１シャフトと前記第２シャフトとを連結する第１動力伝達部と、前記第１シャフトと前記第３シャフトとの間に回転力を伝達するよう、前記第１シャフトと前記第３シャフトとを連結する第２動力伝達部と、前記第１動力伝達部に回転力を提供する動力源と、を含む。
【００１３】
本発明の実施の形態によれば、前記第１シャフトは、両端が基板の搬送経路から離れた位置で軸受によって支持され、前記第２シャフトと前記第３シャフトは、一端が基板の搬送経路から離れた位置で軸受によって支持され、他の一端は基板の搬送経路に相当する位置で軸受によって支持される。
【００１４】
本発明の実施の形態によれば、前記第２シャフトと前記第３シャフトは、同一直線上に配置される。また、前記第２シャフトと前記第３シャフトは交互に配置され、前記第２シャフトと前記第３シャフトは離隔して配置される。
【００１５】
本発明の実施の形態によれば、前記第１長さは基板の幅より長く、前記第２長さと前記第３長さは等しい。
【００１６】
本発明は、フラットパネルディスプレイ製造のための設備を提供する。基板製造設備は、基板が搬送される空間を提供するチャンバと、基板が搬送される方向と平行に前記チャンバの搬送空間両側に設けられる第１、２支持フレームと、前記第１支持フレームと前記第２支持フレームとの間に設けられる第３、４支持フレームと、前記第１支持フレームと前記第２支持フレームに回転可能に設けられる少なくとも一つの第１シャフトと、前記第１支持フレームと前記第３支持フレームに回転可能に設けられる第２シャフトと、前記第２支持フレームと前記第４支持フレームに回転可能に設けられる第３シャフトと、前記第１、２支持フレームの外側に設けられ、前記第１シャフト、前記第２シャフトそして前記第３シャフトを回転させるための一つの動力源を有する駆動部と、を含む。
【００１７】
本発明の実施の形態によれば、前記駆動部は、前記動力源の回転力が前記第１シャフトと前記第２シャフトに伝達されるよう、前記第１シャフトと前記第２シャフトとを連結する第１動力伝達部と、前記第１シャフトの回転力が前記第３シャフトに伝達されるよう、前記第１シャフトと前記第３シャフトとを連結する第２動力伝達部と、含む。
【００１８】
本発明の実施の形態によれば、前記第１シャフトと前記第２シャフトそして前記第３シャフトは、同一平面上にある。
【００１９】
本発明の実施の形態によれば、前記第２シャフトと前記第３シャフトは同一直線上に配置されるか、交互に配置される。
【００２０】
本発明の実施の形態によれば、前記第２シャフトと前記第３シャフトは離隔して配置される。
【００２１】
本発明の実施の形態によれば、前記第１支持フレームと前記第３支持フレームの間隔と、前記第２支持フレームと前記第４支持フレームの間隔とは等しい。
【００２２】
本発明は、前記の基板搬送装置を用いる基板搬送方法を提供する。基板搬送方法において、前記第１シャフトと前記第２シャフトは、前記動力源から回転力を提供されて駆動され、前記第３シャフトは前記第１シャフトによって提供される回転力を提供されて駆動されることで基板を搬送する。
【発明の効果】
【００２３】
本発明は大型基板の搬送に適合する。
【００２４】
また、本発明はシャフトの垂れ変形を最小化することができる。
【００２５】
また、本発明はシャフトの直進性及び同心度の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明による基板処理設備を示す平面図である。
【図２】図１に示す基板処理設備の側断面図である。
【図３】図１に示す基板処理設備の斜視図である。
【図４】交互に配置された第２シャフトと第３シャフトを示す図である。
【図５Ａ】第１、２、３シャフトの様々な配置構造を示す図である。
【図５Ｂ】第１、２、３シャフトの様々な配置構造を示す図である。
【図６】第１、２動力伝達部がタイミングベルトとプーリー方式からなる駆動部を示す図である。
【図７】非接触方式で回転力を伝達するためのマグネチック（ｍａｇｎｅｔｉｃ）方式の駆動部を説明するための図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態を添付の図１乃至図７を参照してさらに詳しく説明する。本発明の実施の形態は、さまざまな形態に変形することができ、本発明の範囲が下記の実施の形態に限定されると解釈されてはならない。本実施の形態は、当業界における平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供される。従って、図面における要素の形状は、より明確な説明を強調するために一部誇張されている。
【００２８】
本実施の形態において、基板はフラットパネルディスプレイ（ｆｌａｔ  ｐａｎｅｌ  ｄｉｓｐｌａｙ、以下「ＦＰＤ」）素子を製造するためのもので、ＦＰＤはＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＶＦＤ（Ｖａｃｕｕｍ  Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＥＬＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ  Ｄｉｓｐｌａｙ）でありうる。
【００２９】
本発明の一実施の形態による基板処理設備１は、ガラス基板のような平板状の基板１０に対する処理工程、例えば、エッチング、洗浄、ストリップ、現像、リンスなどのような工程を行うために好適に使用することができる。
【００３０】
図１乃至図３を参照すると、基板処理設備１は、基板１０に対する処理工程が行われるプロセスチャンバ１００と、基板１０を移送するための基板搬送装置２００とを含む。
【００３１】
基板処理工程は、プロセスチャンバ１００または処理槽内で行うことができる。プロセスチャンバ１００は例示的に図示されたのであり、これと類似のプロセスチャンバを一列に配置することができる。例えば、基板１０がプロセスチャンバ１００を通じて移送される間に、エッチング、洗浄、ストリップ、現像などのような処理工程と、処理された基板１０に対する洗浄工程、リンス工程、乾燥工程などを順次に行うことができる。プロセスチャンバ１００は、四つの側壁１１２ａ−１１２ｄからなり、基板処理及び基板搬送が行われる空間を提供する。プロセスチャンバ１００の側壁１１２ａ、１１２ｃには基板１０が出入りする入口１１４ａと出口１１４ｂがそれぞれ設けられる。プロセスチャンバ１００は、基板１０が搬送される方向と平行に搬送空間の両側に設けられる第１、２支持フレーム１１２、１１４と、第１支持フレーム１１２と第２支持フレーム１１４との間に設けられる第３、４支持フレーム１１６、１１８とを含む。前記第１、２、３、４支持フレーム１１２、１１４、１１６、１１８は、基板搬送装置２００の一群のシャフトを支持する構造物である。
【００３２】
基板搬送装置２００はプロセスチャンバ１００に設けられる。基板搬送装置２００は一群のシャフト、シャフトに装着される多数のローラー２０４、及び一群のシャフトを回転させるための駆動部２２０を含むことができる。
【００３３】
一群のシャフトは、第１シャフト２１２、第２シャフト２１４及び第３シャフト２１６を含む。一群のシャフトは、一方向に、例えば、基板１０の移送方向に沿って平行に配列され、それぞれのシャフト２１２、２１４、２１６には多数のローラー２０４が装着される。ローラー２０４の装着数量は、処理または移送しようとする基板１０の大きさによって変化しうる。ローラー２０４はシャフト２１２、２１４、２１６に固定され、シャフト２１２、２１４、２１６の回転によってローラー２０４も一緒に回転する。従って、ローラー２０４の上にある基板１０はローラー２０４の回転によって一方向に移送される。
【００３４】
第１、２、３シャフト２１２、２１４、２１６のそれぞれは、チャンバ１００内に配置される第１、２、３、４支持フレーム１１２、１１４、１１６、１１８によって水平または多少の傾斜を有するように配置される。第１、２、３、４支持フレーム１１２、１１４、１１６、１１８は、第１、２、３シャフト２１２、２１４、２１６の円滑な回転のためにいろいろな形態の軸受１２０を含むことができる。
【００３５】
さらに具体的に説明すると、第１シャフト２１２は軸受１２０によって第１支持フレーム１１２と第２支持フレーム１１４に回転可能に設けられる。第２シャフト２１４は第１シャフト２１２と同一平面上に位置し、第１シャフト２１２より短い長さを有する。第２シャフト２１４は、軸受１２０によって第１支持フレーム１１２と第３支持フレーム１１６に回転可能に設けられる。第３シャフト２１６は、第１シャフト２１２と同一平面上に位置し、第１シャフト２１２より短く、第２シャフト２１４と等しい長さを有する。第３シャフト２１６は、軸受１２０によって第４支持フレーム１１８と第２支持フレーム１１４に回転可能に設けられる。第２シャフト２１４は第１シャフト２１２の他端より一端に近く位置し、第３シャフト２１６は第１シャフト２１２の一端より他端に近く位置する。そして、第２シャフト２１４と第３シャフト２１６は同一直線上に位置する。しかし、図４に示すように、第２シャフト２１４と第３シャフト２１６は交互に配置することもできる。第２シャフト２１４と第３シャフト２１６は、ローラー２０４の取付け間隔の２倍程度離隔するように配置されるが、第２シャフト２１４と第３シャフト２１６との間隔は、第３支持フレーム１１６と第４支持フレーム１１８の取付け間隔によってさらに近くにまたはさらに遠くに位置させてもよい。
【００３６】
図３に示すように、第１シャフト２１２がチャンバ１００の基板入口１１４ａ側に隣接して配置され、第２、３シャフト２１４、２１６がその後方に配置される。しかし、第１、２、３シャフト２１２、２１４、２１６の配置は様々に変更することができる。図５Ａ及び図５Ｂは、第１、２、３シャフト２１２、２１４、２１６の様々な配置構造を示す図である。図５Ａに示すように、第１シャフト２１２は、中央に配置された第２、３シャフト２１４、２１６の前方と後方にそれぞれ配置することができる。または、図５Ｂに示すように、第２、３シャフト２１４、２１６がチャンバの基板入口１１４ａと基板の出口１１４ｂ側に隣接して配置され、その間に第１シャフト２１２が配置されてもよい。このように、第１、２、３シャフト２１２、２１４、２１６の配置は様々に行うことができる。
【００３７】
駆動部２２０は、回転力を発生させる動力源２２２と、動力源２２２の回転力を第１、２、３シャフト２１２、２１４、２１６に伝達する第１、２動力伝達部２３０、２４０とを含む。動力源２２２は、回転力（動力）を発生させる部分であって、電気力によって作動するモータや、化学エネルギーを機械的運動に転換するエンジンを用いることができる。
【００３８】
第１、２動力伝達部２３０、２４０は、動力源２２２によって発生した回転力を第１、２、３シャフト２１２、２１４、２１６に伝達するために、多様に構成することができる。例えば、第１、２動力伝達部２３０、２４０は、ギアの組み合わせや、タイミングベルトと多数のプーリーまたはマグネットを用いる非接触方式などによって具現することができる。
【００３９】
第１動力伝達部２３０は、動力源２２２に連結される第１駆動シャフト２３２、第１駆動シャフト２３２に設けられる第１ギア２３４、及び第１ギア２３４とかみ合うように第１シャフト２１２と第２シャフト２１４の一端に設けられる第２ギア２３６を含む。
【００４０】
第２動力伝達部２４０は、第１シャフト２１２の他端と第３シャフト２１６の他端に設けられる第３ギア２４２と、第１シャフト２１２と第３シャフト２１６の第３ギア２４２とかみ合うよう第４ギア２４４が設置された第２駆動シャフト２４６とを含む。第１、２動力伝達部２３０、２４０に使用されるギアとしてはマグネチック方式のギアを使用することができる。一般的にギアというのは、鋸歯にかみ合うことによって他の軸に動力を伝達する構造を意味するが、マグネチック方式のギアを使用する場合には、ギアの鋸歯を直接接触させずに動力を伝達することができる。
【００４１】
上述したような構成からなる駆動部を持つ基板搬送装置における動作を説明すると、動力源２２２によって第１駆動シャフト２３２が回転し、第１駆動シャフト２３２に設けられた第１ギア２３４が回転することで、第１ギア２３４とかみ合った第２ギア２３６が一緒に回転するようになる。第２ギア２３６の回転は、第１シャフト２１２と第２シャフト２１４を同時に回転させる。一方、第１シャフト２１２の回転は、第１シャフト２１２の第３ギア２４２とかみ合った第４ギア２４４を介して第２駆動シャフト２４６を回転させ、これと同時に、第４ギア２４４とかみ合った第３シャフト２１６の第３ギア２４２を介して第３シャフト２１６が回転するようになる。
【００４２】
即ち、動力源２２２の回転力は、第１動力伝達部２３０を介して第１、２シャフト２１２、２１４を回転させ、第１シャフト２１２の回転力は、第２動力伝達部２４０を介して第３シャフト２１６を回転させるようになる。
【００４３】
図６は、第１、２動力伝達部がタイミングベルトとプーリー方式からなる駆動部を示す図である。
【００４４】
図６に示すように、第１動力伝達部２３０ａは、第１シャフト２１２の一端に結合された第１プーリー２３３と、第２シャフト２１４の一端に結合された第２プーリー２３５と、隣接するプーリー同士を連結して回転力を伝達するベルト２３７とを含む。動力源２２２の回転軸は、第１シャフト２１２の一端に結合された第１プーリー２３３と連結され、回転力を提供する。
【００４５】
第２動力伝達部２４０ａは、第１動力伝達部２３０ａと殆ど類似の構成からなるが、第１シャフト２１２の他端に結合された第３プーリー２４３と、第３シャフト２１６の一端に結合された第４プーリー２４５と、隣接するプーリー同士を連結して回転力を伝達するベルト２４７とを含む
図７は、非接触方式で回転力を伝達するためのマグネチック（ｍａｇｎｅｔｉｃ）方式の駆動部を説明するための図である。
【００４６】
図７を参照すると、第１動力伝達部２６０は、第１シャフト２１２と第２シャフト２１４に回転力を伝達するための複数の駆動軸２６２を含む。駆動軸２６２の端部と第１シャフト２１２及び第２シャフト２１４の一端とはチャンバ１００の隔壁１１９を間に置いて対向配置され、端部には、非接触方式で回転力を伝達するためのマグネチック（ｍａｇｎｅｔｉｃ）動力伝達部材２６４が装着される。それぞれのマグネチック動力伝達部材２６４はその中心に対して放射状に配置される多数の永久磁石を内蔵しており、永久磁石はマグネチック動力伝達部材２６４の円周方向に極性が変化するように配置される。上記のように、回転力は動力源２２２からギア２６５の組み合わせ（またはタイミングベルトとプーリー）と駆動軸２６２及びマグネチック動力伝達部材２６４を介して第１シャフト２１２と第２シャフト２１４に伝達される。
【００４７】
第２動力伝達部２７０は、第１シャフト２１２を介して提供される回転力を回転軸２７４に伝達する第１駆動軸２７２と、回転軸２７４から第３シャフト２１６に回転力を伝達する第２駆動軸２７３と、第１シャフト２１２の他端と第３シャフト２１６の他端そして第１、２駆動軸２７２、２７３の一端に設けられるマグネチック（ｍａｇｎｅｔｉｃ）動力伝達部材２７５とを含む。回転軸２７４と第１、２駆動軸２７２、２７３との間の回転力伝達はギア方式によって行われる。
【００４８】
上述したような基板搬送装置２００は、基板１０の幅より広い第１シャフト２１２よりも、基板１０の幅より狭い第２、３シャフト２１４、２１６が中心となって基板１０を搬送するので、基板１０が大型化しても基板１０の垂れを最小化することができ、特にシャフト２１２、２１４、２１６の垂れ変形による直進性、同心度の低下を防止することができる。また、本発明の基板搬送装置２００は、単一駆動源で発生する回転力が第１シャフト２１２と第２シャフト２１４を回転させ、長軸の第１シャフト２１２を介してさらに第３シャフト２１６を回転させるので、二つの駆動源を使用する場合に第２、３シャフト２１４、２１６が等しい回転力で回転するように駆動源を精密に制御しなければならないという困難を解消することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１００       プロセスチャンバ
２００       基板搬送装置
２１２       第１シャフト
２１４       第２シャフト
２１６       第３シャフト
２２０       駆動部
【図１】
2009302529.tif 000003
【図２】
2009302529.tif 000004
【図３】
2009302529.tif 000005
【図４】
2009302529.tif 000006
【図５Ａ】
2009302529.tif 000007
【図５Ｂ】
2009302529.tif 000008
【図６】
2009302529.tif 000009
【図７】
2009302529.tif 000010