(57)【要約】      （修正有）【課題】対ホストコンピュータとの通信仕様に不慣れなオペレータでも、通信テストを行って送受信メッセージをリアルタイムに監視し、異常発生時に異常原因を容易に特定することができる半導体製造装置を提供する。【解決手段】メッセージ解析手段３ａが、送受信したメッセージから主要データ及びデータ部を取得して異常メッセージを検出すると、名称解決手段３ｅが、主要データ及びデータ部のデータからメッセージ名称及びイベント名称を導き出す。さらに、データ形式解析手段３ｆがデータ部を所定のデータ形式と照合し、表示手段３ｃが、異常データをフォーカス表示して異常内容を表示する。そして、条件設定手段３ｂが、メッセージ表示を一時停止する条件とメッセージの表示又は非表示の条件との設定を行う。【選択図】図１
2009302170.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホストコンピュータとの通信によって管理される半導体製造装置であって、
前記ホストコンピュータに対して送信又は受信したメッセージのヘッダ部から、メッセージ種別とメッセージシリアル番号とを含む主要データを取得すると共に、前記メッセージのデータ部を取得するメッセージ解析手段と、
前記主要データを時系列的に表示更新する表示手段と
を備えることを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ホストコンピュータと通信ができる通信機能を備えた半導体製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置を管理するホストコンピュータとその半導体製造装置との間で行われる通信に関する通信規約は、一般的に、半導体製造装置とホストコンピュータとの通信規格であるＳＥＭＩが提唱するＳＥＣＳ−II（Ｅ５半導体製造装置通信スタンダード）準拠のメッセージが用いられている。ＳＥＣＳ−II準拠のメッセージには、ホストコンピュータからの要求や半導体製造装置からの報告のための1次メッセージと、その１次メッセージに応答するための２次メッセージとがある。
【０００３】
１次、２次の各メッセージはヘッダ部とデータ部とによって構成され、ヘッダ部には、メッセージ種別を示すストリームコード及びファンクションコードや、メッセージシリアル番号を格納するシステムバイトなどが格納される。また、メッセージ種別はストリームコードとファンクションコードの組み合わせにより定義される。例えば、半導体製造装置からホストコンピュータヘのイベント報告メッセージのストリームコード（Ｓ）は「６」でファンクションコード（Ｆ）は「１１」（以降、Ｓ６Ｆ１１と記載）である。また、半導体製造装置からホストコンピュータヘのアラーム報告メッセージを示すメッセージ種別はＳ５Ｆ１である。
【０００４】
１次メッセージのファンクションコードは奇数であり、２次メッセージのストリームコードは１次メッセージと同一であり、ファンクションコードは１次メッセージのファンクションコード＋１である。つまり、Ｓ６Ｆ１１に対する２次メッセージはＳ６Ｆ１２となる。１次メッセージとそれに対する２次メッセージのシステムバイトは同一の値とし、どの１次メッセージヘの応答であるかを識別可能としている。また、各メッセージ種別のデータ部の形式もＳＥＣＳ−IIで定義されており、一般的に、各社の半導体製造装置は、使用するメッセージのデータ部の形式がＳＥＣＳ−IIの定義に準拠している。
【０００５】
ホストコンピュータから半導体製造装置へ送信された１次メッセージに対し、半導体製造装置は、ヘッダ部の妥当性及びデータ部の形式がメッセージ種別ごとに定義されている形式と一致しているかどうかの検証を行い、異常と判断した場合はエラーメッセージをホストコンピュータヘ送信する。また、メッセージのデータ部の形式はリスト構造を持つことができる。リストとはアイテムの集合であり、リストもアイテムである。これにより、リストがリスト及びアイテムを持つことを可能としている。アイテムのデータ型には、リスト、２進、真理値、アスキー、符号付き１バイト整数、符号付き２バイト整数、符号付き４バイト整数、符号無し１バイト整数、符号無し２バイト整数、及び符号無し４バイト整数などがある。
【０００６】
ＳＥＣＳ−IIで定義されているＳ６Ｆ１１のデータ部のリスト構造を図1５に示し、リスト構造内の各アイテムのデータ型を図１６に示す。図1５に示すように、データ部の先頭はＬ，３であり、リストが３個のアイテムを持つことを意味する。その１個目のアイテムは＜ＤＡＴＡＩＤ＞であり、２個目のアイテムは＜ＣＥＩＤ＞であり、３個目のアイテムはリストＬ，ａである。
【０００７】
図１６ではＳＥＣＳ−IIで定義されているアイテムの一部を示している。アイテム＜ＣＥＩＤ＞のデータ型は、アスキー任意サイズ、符号付き１バイト整数、符号付き２バイト整数、符号付き４バイト整数、符号無し１バイト整数、符号無し２バイト整数、及び符号無し４バイト整数の何れかであり、値に規定は無い。また、ＳＥＣＳ−IIで定義されているＳ６Ｆ１２のデータ部はアイテム＜ＡＣＫＣ６＞である。図１６に示すように、アイテム＜ＡＣＫＣ６＞のデータ型は２進１バイトであり、値には、『了解』を示す“０”と、『了解できず』を示す“０を超える値”とがある。
【０００８】
アイテム＜ＤＡＴＡＩＤ＞又はアイテム＜ＣＥＩＤ＞のように、ＳＥＣＳ−IIではデータ型が一意に決定されていないアイテムが多数あり、幾つかのデータ型のどれかであればＳＥＣＳ−IIの定義に準拠していることとなる。したがって、同一メッセージ種別であってもデータ部の形式が異なるメッセージが定義可能となる。
【０００９】
また、メッセージ種別の追加、データ部のリスト構造の変更、拡張、アイテムの値の確定や追加などのため、各半導体製造装置メーカは、ホストコンピュータと半導体製造装置との間の通信仕様書を顧客へ提出し、メッセージ種別ごとのデータ部のリスト構造とアイテムのデータ型の提示を行っている。また、半導体製造装置を顧客の半導体工場へ新鋭に納入する際は、ホストコンピュータとの通信テストを行うことが必須となっている。
【００１０】
尚、ＳＥＭＩが提唱するＳＥＣＳ−IIに準拠した半導体製造装置に関する技術としては、例えば、通信手段を用いて半導体製造装置の稼動状態の評価を迅速にモニタリングするモニタリングシステムの技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。さらに、ＳＥＣＳ規格に準拠したデータ通信手段をそれぞれ備えた複数の半導体製造装置を個別に制御する技術も知られている（例えば、特許文献２参照）
【特許文献１】特開２００４−４７８８５号公報
【特許文献２】特開平８−１１６５７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
半導体製造装置を顧客の半導体製造工場へ納入する際や半導体製造装置の機能追加時などにおいては、その半導体製造装置とホストコンピュータとの間で通信テストを行うが、ホストコンピュータとその半導体製造装置との間の通信メッセージをリアルタイムに把握する場合、通信テスト担当者が対ホストコンピュータとの通信ログファイルの最新（の日付）ファイルを手動で開閉し、メッセージの送受信履歴や該送受信時のデータを確認しなければならない。このとき、一つの通信ログファイルの格納最大サイズには上限があり、最新ファイルがどれであるかを目視で確認して判断する必要がある。
【００１２】
また、ホストコンピュータが半導体製造装置へ送信する１次メッセージのリスト構造又はアイテムのデータ型が、半導体製造装置が要求しているリスト構造又はアイテムのデータ型と異なる場合がある。このとき、半導体製造装置はホストコンピュータヘエラーメッセージを送信してしまう。この場合、半導体製造装置メーカ側の担当者は、半導体製造装置のエラーログファイルを開いてデータ形式が不正として記録されている時刻を控え、さらに、対ホストコンピュータとの通信ログファイルを開いて先に控えた時刻の通信メッセージを特定し、そのリスト構造又はアイテムのデータ型の不正をエラーログの内容を見ながら判断している。このとき、エラーログファイルではリストの何番目のデータが異常であるかは確認できるが、リスト構造全体の把握やデータが何のアイテムであるかを把握するためには通信仕様書を参照する必要がある。
【００１３】
さらに、半導体製造装置が、ホストコンピュータからイベント報告を必要とするイベントＩＤを複数指定する１次メッセージを受信した場合において、指定されたイベントＩＤがその半導体製造装置として未定義のイベントＩＤの場合は、確認コードが異常である旨を示す２次メッセージを返信する。この場合、半導体製造装置メーカ側の担当者は、半導体製造装置のエラーログファイルや通信ログファイルを開いて未定義のイベントＩＤを判断しなければならない。
【００１４】
また、通信ログファイルには、送受信したメッセージのメッセージ種別、及びリストアイテムを含む各アイテムの値が格納されているが、メッセージ種別の説明文字列やリスト構造の各アイテムの説明文字列は格納されていないため、通信仕様書を参照して理解する必要がある。さらに、通信テスト時やエラー発生時には、通信メッセージのモニタリングのための操作、異常発生時の異常原因のメッセージの特定、及び異常原因のリスト構造やアイテムの特定などを行うため、対ホストコンピュータ通信及びＳＥＣＳ−IIに精通したテスト技術者やオンラインソフト技術者が担当する必要がある。したがって、通信テスト時やエラー発生時においては、サービスエンジニアや半導体製造装置の据付エンジニアなどがオンラインソフト技術者に代わりこれを担当することは困難である。
【００１５】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、対ホストコンピュータとの通信仕様に不慣れなオペレータでも、通信テストを行って送受信メッセージをリアルタイムに監視し、異常発生時に異常原因を容易に特定することができる半導体製造装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上述した課題を解決するため、本発明の一態様に係る半導体製造装置は、ホストコンピュータとの通信によって管理される半導体製造装置であって、ホストコンピュータに対して送信又は受信したメッセージのヘッダ部から、メッセージ種別とメッセージシリアル番号とを含む主要データを取得すると共に、メッセージのデータ部を取得するメッセージ解析手段と、主要データを時系列的に表示する表示手段とを備える構成を採っている。
【００１７】
また、本発明の一態様に係る半導体製造装置は、前記発明の一態様の構成において、前記表示手段は、オペレータなどによる外部からの操作によって表示を一時停止し、かつ、データ部を更新して再表示することを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の一態様に係る半導体製造装置は、前記発明の一態様の構成において、メッセージ解析手段は、メッセージのデータ部からイベントＩＤを取り出す機能と、取得したメッセージ種別がイベント報告を示す場合に、メッセージ種別からメッセージ名称を導き出し、イベントＩＤからイベント名称を導き出す機能を備え、前記表示手段は、メッセージ名称と、イベントＩＤと、イベント名称とを主要データと共に時系列的に表示することを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の一態様に係る半導体製造装置は、前記発明の一態様の構成に加えて、さらに、メッセージのデータ部のデータ形式を所定の形式と照合するデータ形式解析手段を備え、前記表示手段は、主要データとデータ名称を共に表示することを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の一態様に係る半導体製造装置は、前記発明の一態様の構成において、前記メッセージ解析手段は異常メッセージを検出する機能を有し、表示手段は異常メッセージを検出時に表示を一時停止し、データ内部の異常データをフォーカス表示することを特徴とする。
【００２１】
また、本発明の一態様に係る半導体製造装置は、前記発明の一態様の構成に加えて、さらに、表示領域の更新を一時停止する条件とメッセージの表示又は非表示の条件とを設定する条件設定手段を備えることを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の一態様に係る半導体製造装置は、送受信したメッセージから主要データ及びデータ部を取得して異常メッセージを検出するメッセージ解析手段と、主要データ及びデータ部のデータからメッセージ名称及びイベント名称を導き出す名称解決手段と、データ部のデータ形式を所定のデータ形式と照合するデータ形式解析手段と、異常データをフォーカス表示し、異常内容を表示する表示手段と、メッセージ表示を一時停止する条件とメッセージの表示又は非表示の条件とを設定する条件設定手段とを備えている。このような構成により、オペレータの操作無しで主要データを時系列に表示し、オペレータの操作又は操作無しで表示を一時停止、又は、表示を再開させる機能を有して、目視すべき送受信メッセージのみをリアルタイムに表示し、異常メッセージの検出時に表示を一時停止して異常データ及び異常内容を表示させることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の半導体製造装置によれば、対ホストコンピュータとの通信仕様に不慣れなオペレータでも、所定の通信テストを行って通信テストに必要な送受信メッセージを絞り込み、リアルタイムな監視を行うことができる。さらに、オペレータの操作によって表示を一時停止し、メッセージのデータ値と共にアイテム名称を表示することにより、データの意味及び値を容易に把握することができる。これによって通信テストの時間をさらに短縮させることが可能となる。
【００２４】
また、本発明の半導体製造装置によれば、メッセージの異常検出時やアラーム報告時においては表示を一時停止し、異常メッセージ及び異常情報をフォーカス表示することにより、異常原因の特定と異常内容の把握が容易となり、この面からも通信テストの時間をさらに短縮させることができる。
【００２５】
また、本発明の実施形態では各テーブルにハッシュテーブルを採用し、且つ、メッセージ情報としてメッセージ受信時に作成したメッセージのアイテムポインタを採用し、表示条件を設定可能とすることにより、ＣＰＵ負荷の増加を抑制してリソースの節約を図っている。これによって、半導体製造装置内部のホスト通信制御部や他の制御部の処理が滞らないようにすることができるので、基板処理時の半導体形成に悪影響を及ぼさないようにすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明に係る半導体製造装置の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態に係る半導体製造装置のホスト通信表示部の構成を示す図である。図１に示すように、半導体製造装置１はホスト通信制御部２とホスト通信表示部３とによって構成されている。
【００２７】
ホスト通信表示部３は、メッセージ解析手段３ａ、条件設定手段３ｂ、表示手段３ｃ、表示装置３ｄ、名称解決手段３ｅ、データ形式解析手段３ｆ、メッセージ情報バッファ３ｇ、イベント名称テーブル３ｈ、メッセージ名称テーブル３ｉ、データ形式テーブル３ｊ、メッセージ選択テーブル３ｋ、及び入力装置３ｌを備えて構成されている。
【００２８】
メッセージ解析手段３ａは、ホスト通信制御部２との間で送受信したメッセージから主要データ及びデータ部を取得し、異常メッセージを検出すると主要データ及びデータ部のデータからメッセージ名称及びイベント名称を導き出す機能を備えている。データ形式解析手段３ｆは、データ部のデータをデータ形式と照合する機能を備えている。表示手段３ｃは、異常データをフォーカス表示し、異常内容を表示する機能を備えている。条件設定手段３ｂは、メッセージ表示を一時停止する条件とメッセージの表示又は非表示の条件とを設定する機能を備えている。名称解決手段３ｅは、メッセージ種別からメッセージ名称を導き出し、イベントＩＤからイベント名称を導き出す機能を備えている。
【００２９】
また、イベント名称テーブル３ｈ、メッセージ名称テーブル３ｉ、データ形式テーブル３ｊ、及びメッセージ選択テーブル３ｋの各テーブルに格納されるデータは、図示しないハードディスク装置にファイルとして保存されており、半導体製造装置１の起動時にファイルから読み込み、メモリにハッシュテーブルとして展開する。このようなハッシュテーブルの採用によって高速検索を実現し、ＣＰＵ負荷の増加を抑制している。
【００３０】
上記のような構成により、オペレータの操作無しで主要データを時系列に表示し、オペレータの操作又は操作無しで表示を一時停止、又は、表示を再開させる機能を実現する。また、目視すべき送受信メッセージのみをリアルタイムに表示し、異常メッセージの検出時に表示を一時停止して異常データ及び異常内容を表示させる機能を実現する。
【００３１】
また、メッセージ名称テーブル３ｉの検索キーは２バイトデータであり、その上位１バイトはストリームコードであり、その下位１バイトはファンクションコードである。取得されたデータはそのストリームコードとファンクションコードで特定されるメッセージ名称文字列である。さらに、イベント名称テーブル３ｈの検索キーはＣＥＩＤを格納する４バイトデータであり、取得データはそのＣＥＩＤで特定されるイベント名称文字列である。
【００３２】
データ形式テーブル３ｊにはデータ形式ＩＤと対になってデータ形式が記載されている。データ形式テーブル３ｊの検索キーは４バイトデータであり、その最上位１バイトはストリームコード、上位２バイト目はファンクションコード、下位２バイトはパターン番号である。また、取得データは、アイテムのデータ型とサイズとアイテム名称とをカプセル化したオブジェクトのリストである。
【００３３】
また、メッセージ選択テーブル３ｋの一つとして、半導体製造装置１がホストコンピュータから受信するメッセージの表示有無をメッセージ種別ごとに設定する装置受信メッセージ種別選択テーブル（図示せず）がある。この装置受信メッセージ種別選択テーブルは、検索キーは２バイトデータであり、その上位１バイトはストリームコードであり、その下位１バイトはファンクションコードであり、取得データは選択有無を表す真理値1バイトである。
【００３４】
メッセージ選択テーブル３ｋには、その他に、半導体製造装置１がホストコンピュータヘ送信するメッセージの表示有無をメッセージ種別ごとに設定する装置送信メッセージ種別選択テーブル（図示せず）と、半導体製造装置１がイベント報告メッセージを送信する場合、イベントＩＤごとに表示有無を設定するイベントＩＤ選択テーブル（図示せず）がある。
【００３５】
図１に示すホスト通信制御部２は、図示しない上位のホストコンピュータヘメッセージを送信するとき、送信されたメッセージの元となったリストアイテムを含むアイテムポインタとデータ形式ＩＤとを格納したメッセージ情報をメッセージ解析手段３ａへ通知する。また、ホスト通信制御部２は、図示しないホストコンピュータからメッセージを受信したとき、受信したメッセージから作成されたリストアイテムを含むアイテムポインタとデータ形式の妥当性を検証したデータ形式ＩＤとを格納したメッセージ情報をメッセージ解析手段３ａへ通知する。
【００３６】
また、ホスト通信制御部２にて作成済みであるリストアイテムのアイテムポインタを利用することにより、リソースの節約とＣＰＵ負荷の増加の抑制を図っている。尚、ホスト通信制御部２は、図示しないホストコンピュータヘ送信した２次メッセージのＡＣＫコードが異常を報告する応答値の場合は、ＡＣＫコードのアイテム位置を特定するインデックス番号リストと、異常内容を示す文字列とを格納した異常情報とを、メッセージ情報と共にメッセージ解析手段３ａへ通知する。
【００３７】
また、図示しないホストコンピュータから受信したメッセージのデータ形式を検証して不正と判断した場合や、データの値が異常と判断した場合などの異常検出時には、そのアイテム位置を特定するインデックス番号リストと、異常内容を示す文字列を格納した異常情報とを、メッセージ情報と共にメッセージ解析手段３ａへ通知する。
【００３８】
図２は、図１に示す半導体製造装置１のデータ形式テーブル３ｊが読み込むファイルの記載例を示す図である。ここで、メッセージ解析手段３ａへ通知する異常情報について例を示して説明する。図示しないホストコンピュータからＳ１４Ｆ９を受信し、そのデータ形式を図２に示すデータ形式バターン[Ｓ１４Ｆ９−１]と比較し、アイテム名＜PROCESSINGORDERMGMT#DATA＞の位置のアイテムのデータ型が不一致の場合、アイテム位置を特定するインデックス番号リストには、「３」、「５」、「２」を順に格納し、異常内容を示す文字列には、“Illegal item format（Binary 1Bytes）￥nExpected item format（Unsigned integer 1bytes）”を格納する。
【００３９】
メッセージ解析手段３ａは、ホスト通信制御部２から受信したメッセージ情報と異常情報とを、条件設定に従い必要と判断した場合は、メッセージ情報バッファ３ｇの末尾へ格納し、表示手段３ｃへ表示要求を通知する。
【００４０】
表示手段３ｃは、メッセージ解析手段３ａから表示要求を受けると、メッセージ情報バッファ３ｇの先頭からメッセージ情報と異常情報とを取り出し、これらのメッセージ情報と異常情報をＣＲＴや液晶ディスプレイなど表示装置３ｄへ出力し、オペレータがマウスやタッチパネルなど入力装置３ｌから指示する表示更新関連の操作を受け取る。
【００４１】
名称解決手段３ｅは、メッセージ種別を検索キーとし、メッセージ名称テーブルよりメッセージ名称文字列を取り出し、イベントＩＤを検索キーとし、イベント名称テーブル３ｈよりイベント名称文字列を取り出す。
【００４２】
データ形式解析手段３ｆは、データ形式ＩＤを検索キーとし、データ形式テーブル３ｊよりアイテムのデータ型とサイズとアイテム名称とをカプセル化したオブジェクトのリストを取得し、アイテム位置を特定するインデックス番号リストと照合し、特定されるアイテム位置のアイテム名称を取り出す。
【００４３】
条件設定手段３ｂは、オペレータが入力装置３ｌから設定する表示更新関連の設定条件を受け入れて保存する。ここで、異常を検出したときは表示更新を一時停止する条件を設定する。また、メッセージ情報及び異常情報をメッセージ情報バッファヘ格納するか否かについては、メッセージ種別ごと、及び半導体製造装置１からのイベント報告メッセージの場合はＣＥＩＤごとに設定可能としている。これによって、リソースの節約とＣＰＵ負荷の増加の抑制を図っている。
【００４４】
また、半導体を実装した基板が半導体製造装置内を搬送されるたびに報告される基板搬送イベントがあるが、基板の搬送間隔が密なため、基板搬送イベントが主要データの時系列表示領域を埋め尽くし、オぺレータが監視したいメッセージを見逃す可能性がある。この場合は、基板搬送イベントのＣＥＩＤを非取得設定とすることにより、オペレータが監視したいイベントのみを確保することができるようになっている。
【００４５】
次に、フローチャートを用いて、本実施形態に係る図１の半導体製造装置の機能及び動作について説明する。図３は、図１に示す半導体製造装置１におけるメッセージ解析手段３ａの処理手順を説明するためのフローチャートである。したがって、図３のフローチャートを用いてメッセージ解析手段３ａの機能と動作を説明する。
【００４６】
メッセージ解析手段３ａは、ホスト通信制御部２からメッセージ情報の通知を受けたか（メッセージ情報を受信したか）否かを判定する（ステップＳ１）。ここで、メッセージ情報の通知を受けていなければ（ステップＳ１、Ｎｏ）そのまま処理を終了するが、メッセージ情報の通知を受けていれば（ステップＳ１、Ｙｅｓ）、そのメッセージ情報と共に異常情報があるか否かを判定する（ステップＳ２）。ここで、異常情報がある場合は（ステップＳ２、Ｙｅｓ）、メッセージ情報内のメッセージのヘッダ部よりメッセージ種別と送信元とを取得する（ステップＳ３）。
【００４７】
そして、送信元がホストコンピュータ（以下、単にホストという）であるか半導体製造装置（以下、単に装置という）であるかの判定を行い（ステップＳ４）、送信元がホストの場合は、装置受信メッセージ種別選択テーブルより該当するメッセージ種別を検索し（ステップＳ５）、送信元が装置の場合は、装置送信メッセージ種別選択テーブルより該当するメッセージ種別を検索する（ステップＳ６）。
【００４８】
そして、メッセージ種別の検索結果により、指定したストリームコード（Ｓ）とファンクションコード（Ｆ）があるか否か（つまり、指定ＳＦであるか否か）を判定し（ステップＳ７）、指定なしと判定された場合は（ステップＳ７、Ｎｏ）、処理を終了する。
【００４９】
一方、指定ＳＦであると判定された場合は（ステップＳ７、Ｙｅｓ）、それがＳ６Ｆ１１（半導体製造装置からホストコンピュータヘのイベント報告メッセージのストリームコード（Ｓ）は６でファンクションコード（Ｆ）は１１）であるか否かを判定する（ステップＳ８）。
【００５０】
ここで、指定ＳＦがＳ６Ｆ１１である場合は（ステップＳ８、Ｙｅｓ）、メッセージ情報内のメッセージデータ部よりＣＥＩＤを取得する（ステップＳ９）。さらに、イベントＩＤ選択テーブルよりＣＥＩＤを検索する（ステップＳ１０）。そして、そのＣＥＩＤの検索結果により、指定ＣＥＩＤであるか否かを判定し（ステップＳ１１）、指定ＣＥＩＤでない場合は（ステップＳ１１、Ｎｏ）、処理を終了する。
【００５１】
一方、異常情報なしと判定した場合、及び指定ＳＦありのメッセージ種別がＳ６Ｆ１１以外の場合と（ステップＳ８、Ｎｏ）、指定ＳＦありのメッセージ種別がＳ６Ｆ１１であって、且つ、そのＣＥＩＤが指定ありの場合は（ステップＳ１１、Ｙｅｓ）、メッセージ情報並びに異常情報をメッセージ情報バッファの末尾へ格納する（ステップＳ１２）。
【００５２】
そして、現在の表示更新フラグを判定して、表示更新停止中のフラグがＯＮになっていて表示更新停止中であるか否かを判定し（ステップＳ１３）、表示更新停止中の場合は（ステップＳ１３、Ｙｅｓ）、処理を終了する。一方、フラグがＯＦＦの場合で表示更新停止中でない場合は（ステップＳ１３、Ｎｏ）、表示手段３ｃへ表示要求を通知して表示更新処理を行う（ステップＳ１４）。尚、ステップＳ２で、異常情報がない場合は（ステップＳ２、Ｎｏ）、ステップＳ３乃至ステップＳ１１の処理をパスして、メッセージ情報並びに異常情報をメッセージ情報バッファの末尾へ格納し（ステップＳ１２）、以下、前述と同様にステップＳ１３とステップＳ１４の処理を行う。
【００５３】
次に、図４及び図５のフローチャートを用いて、表示手段３ｃ、名称解決手段３ｅ及びデータ形式解析手段３ｆの機能と動作を説明する。図４は、図１に示す半導体製造装置１の表示手段３ｃが行う表示更新処理を説明するためのフローチャートである。尚、図４のフローチャートでは、表示手段３ｃと名称解決手段３ｅの動作について説明する。
【００５４】
図４において、表示手段３ｃは、メッセージ解析手段３ａから表示要求を受けると、メッセージ情報バッファ３ｇの先頭からメッセージ情報並びに異常情報を取り出す（ステップＳ２１）。このとき、メッセージ情報内のメッセージヘッダ部より、送信元、メッセージ種別、メッセージのシリアル番号を示すシステムバイト、及びメッセージ種別が１次メッセージの場合は２次メッセージを必要とするか否かのＷbit、などを取得する。ここで、取得したメッセージ種別がＳ５Ｆ１であるか否かを判定してＳ５Ｆ１の場合は、メッセージ情報内のメッセージデータ部よりＡＬＩＤとＡＬＴＸとを取得する。
【００５５】
次に、取得したメッセージ種別がＳ６Ｆ１１であるか否かを判定し（ステップＳ２２）、Ｓ６Ｆ１１である場合は（ステップＳ２２、Ｙｅｓ）、メッセージ情報内のメッセージデータ部よりＣＥＩＤを取得して名称解決手段３ｅに渡し、イベント名称テーブル３ｈを検索してイベント名称文字列を取得する（ステップＳ２３）。一方、取得したメッセージ種別がＳ６Ｆ１１及びＳ５Ｆ１以外の場合は（ステップＳ２２、Ｎｏ）、メッセージ種別を名称解決手段３ｅに渡し、ヘッダ部よりメッセージ名称を取得してメッセージ名称テーブル３ｉを検索してメッセージ名称文字列を取得する（ステップＳ２４）。
【００５６】
次に、現在時刻を取得して、上記で取得した主要データと共に後述する図６のステップＳ４２に示す主要データ時系列表示領域へ現在時刻を追加して更新する（ステップＳ２５）。ここで、主要データ時系列表示領域はスクロールバーを伴うリストボックスとなっており、主要データを追加すると領域の最下部行に表示される。その表示領域のＴｉｍｅ列には現在時刻を、Ｈ＜−＞Ｅ列には、送信元がホストコンピュータの場合は“＞”を、送信元が半導体製造装置の場合は“＜“を表示する。要するに、送信元を表示する。
【００５７】
Ｓ／Ｆ列にはメッセージ種別を表示し、Ｗbitありの場合は“Ｗ”を添えて表示する。また、ＳＢＹＴＥ列にはシステムバイトを、ＣＥＩＤ列にはＣＥＩＤを、ＡＬＩＤにはＡＬＩＤを、それぞれ表示する。さらに、Ｎａｍｅ（S/F or Event or ALTX）列には、メッセージ名称文字列又はイベント名称文字列又はＡＬＴＸの文字列を表示する。
【００５８】
次に、現在の表示更新停止条件が一致しているか否かを判定する（ステップＳ２６）。なお、表示更新停止条件には、異常情報ありのときの停止と、エラーメッセージ送信時または受信時の停止と、アラーム報告（Ｓ５Ｆ１）送信時の停止とがあり、その何れかの条件と一致する場合は（ステップＳ２６、Ｙｅｓ）、表示更新を停止し（ステップＳ２７）、表示更新停止中のフラグをＯＮにしてデータ部表示更新処理を行う（ステップＳ２８）。
【００５９】
一方、ステップＳ２６で、現在の表示更新停止条件が何れかの条件とも一致しない場合は（ステップＳ２６、Ｎｏ）、メッセージ情報バッファ３ｇに未出力の情報（未表示データ）があるか否かを判定し（ステップＳ２９）、未表示データがある場合は（ステップＳ２９、Ｙｅｓ）、ステップＳ２１に戻って、再度、メッセージ情報バッファ３ｇの先頭からメッセージ情事を取り出し、前述と同じ処理を繰り返し実行する。また、未表示データがない場合は（ステップＳ２９、Ｎｏ）、処理を終了する。
【００６０】
図５は、図１に示す半導体製造装置１におけるデータ部表示更新処理を説明するためのフローチャートである。データ部表示更新処理では、データ形式解析手段３ｆが、データ形式テーブル３ｊよりデータ形式ＩＤを検索してメッセージデータ部とデータ形式ＩＤとを取得する（ステップＳ３１）。
【００６１】
このとき、データ形式解析手段３ｆは、データ形式テーブル３ｊからアイテム名称を含むオブジェクトのリストを取得し、メッセージデータ部のリストと照合し、アイテムの値を文字列に変換し、アイテム名称を追加しながら、リスト全体を表わす表示データ用の文字列を作成して表示手段３ｃへ返す。すなわち、データ形式解析手段３ｆは、メッセージデータ部とデータ形式のアイテム名をマージして表示データを作成し、表示手段３ｃに渡す（ステップＳ３２）。
【００６２】
次に、表示手段３ｃは、表示データ用の文字列を図７の通信モニタ画面実施例に示すデータ部表示領域へ出力してデータ部表示領域の更新を行う（ステップＳ３３）。尚、図７は、本実施形態に係る正常時のホスト通信モニタ画面の表示例を示す図である。
【００６３】
さらに、表示手段３ｃは、異常情報があるか否かを判定し（ステップＳ３４）、異常情報がない場合は（ステップＳ３４、Ｎｏ）処理を終了するが、異常情報がある場合は（ステップＳ３４、Ｙｅｓ）、異常内容の説明文を表示する（ステップＳ３５）。すなわち、異常情報内の異常内容文字列を図８の通信モニタ画面の実施例に示す説明表示領域へ出力して更新する。尚、図８は、本実施形態に係る異常発生時のホスト通信モニタ画面の表示例を示す図である。
【００６４】
このようにして、ステップＳ３５で異常内容の説明文の表示を行うと、異常アイテム指示データより異常アイテムを特定し（ステップＳ３６）、データ形式ＩＤ、及び異常情報内のアイテム位置を特定するインデックス番号リストをデータ解析手段へ渡す。
【００６５】
次に、データ形式解析手段３ｆは、データ形式テーブル３ｊからアイテム名称を含むオブジェクトのリストを取得し、そのインデックス番号リストが示す位置のアイテム名称文字列を表示手段３ｃへ返す。すると、表示手段３ｃは、データ部表示領域からアイテム名称文字列を含む行を検索し、図８の通信モニタ画面の実施例に示すデータ部表示領域の通り、アイテム名称文字列を含む行フォーカス表示して処理を終了する。すなわち、データ部表示領域の異常アイテム位置にフォーカス表示をして処理を終了する（ステップＳ３７）。
【００６６】
図６は、図１に示す半導体製造装置１における画面操作処理及び条件設定処理の流れを説明するためのフローチャートである。従って、図６のフローチャートを用いて、オペレータの入力操作に伴う表示手段３ｃの機能及び動作と条件設定手段３ｂの機能及び動作を説明する。
【００６７】
先ず、図７に示す通信モニタ画面の実施例の表示領域が選択されたか否かが判定され（ステップＳ４１）、表示領域が選択されたときは（ステップＳ４１、Ｙｅｓ）、それが主要データ時系列表示領域であるか否かが判定される（ステップＳ４２）。ここで、主要データ時系列表示領域が選択されなければ（ステップＳ４２、Ｎｏ）、処理を終了するが、主要データ時系列表示領域が選択された場合は（ステップＳ４２、Ｙｅｓ）、選択された行の主要データを取り出したメッセージ情報をメッセージ情報バッファ３ｇから参照し、メッセージ情報内のデータ部を取得し（ステップＳ４３）、データ部表示更新処理を呼び出す（ステップＳ４４）。そして、データ部表示更新処理が終了した後に一連の処理を終了する。
【００６８】
一方、ステップＳ４１で、表示領域が選択されなかったときは（ステップＳ４１、Ｎｏ）、図７又は図８の通信モニタ画面の実施例の右上部に示した各ボタン（“Ｃｌｅａ”ボタン、“Ｈｏｌｄ”ボタン、又は“Ｃｏｎｔｉｎｕｅ”ボタン）の何れかがオペレータにより押下されたか否かが判定され（ステップＳ４５）、オペレータにより何れかのボタンが押下されたとき（ステップＳ４５、Ｙｅｓ）、何れのボタンが押下されたかが判定される（ステップＳ４６）。
【００６９】
ここで、“Ｈｏｌｄ”ボタンが押下された場合は、表示更新停止中のフラグをＯＮにセットして表示更新停止を行い（ステップＳ４７）、“Ｈｏｌｄ”表示を“Ｃｏｎｔｉｎｕｅ”表示へ変更して処理を終了する。一方、“Ｃｌｅａ”ボタンが押下された場合は、主要データ時系列表示領域及びデータ部表示領域及び説明表示領域の各表示領域をクリアし（ステップＳ４８）、さらに、メッセージ情報バッファ３ｇをクリアし（ステップＳ４９）、処理を終了する。
【００７０】
また、“Ｃｏｎｔｉｎｕｅ”ボタンが押下された場合は、表示更新停止中フラグをＯＦＦにセットし、表示更新処理を呼び出して表示更新を再開する（ステップＳ５０）。そして、表示更新処理を終了した後（ステップＳ５１）、処理を終了する。
【００７１】
一方、ステップＳ４５で、何れのボタンも押下されなかった場合は（ステップＳ４５、Ｎｏ）、図７又は図８の通信モニタ画面の実施例の下部に示す条件設定が操作されたか否かが判定され（ステップＳ５２）、条件設定が操作されない場合は（ステップＳ５２、Ｎｏ）、処理を終了するが、条件設定が操作された場合は（ステップＳ５２、Ｙｅｓ）、何れの条件設定が選択されたかが判定される。
【００７２】
ここで、更新停止条件が選択されたか否かが判定され（ステップＳ５３）、更新停止条件が選択された場合は（ステップＳ５３、Ｙｅｓ）、更新停止の有無がセットされて（ステップＳ５４）、処理を終了する。一方、ステップＳ５３で、更新停止条件が選択されなかった場合は（ステップＳ５３、Ｎｏ）、メッセージ種別が選択されたか否かが判定され（ステップＳ５５）、メッセージ種別が選択されなかった場合は（ステップＳ５５、Ｎｏ）、処理を終了するが、メッセージ種別が選択された場合は（ステップＳ５５、Ｙｅｓ）、メッセージ種別選択画面が表示される（ステップＳ５６）。
【００７３】
ここで、メッセージ種別選択画面において画面内容が変更されたか否かが判定され（ステップＳ５７）、画面内容が変更されなければ（ステップＳ５７、Ｎｏ）、処理を終了するが、画面内容が変更された場合は（ステップＳ５７、Ｙｅｓ）、メッセージ選択テーブル３ｋのデータを変更して（ステップＳ５８）、処理を終了する。
【００７４】
ステップＳ５２以降の処理についてさらに具体的に説明する。ステップＳ５２で条件設定が操作された場合は（ステップＳ５２、Ｙｅｓ）、図７又は図８の通信モニタ画面の右下部分に示す条件設定でいずれが選択されたかが判定される。例えば、“Stop the updating when illegal message occurred”が選択された場合は、異常情報があるときに表示更新を停止する条件、及びエラーメッセージの送信又は受信したときに表示更新を停止する条件を設定する。
【００７５】
また、“Step the updating when Alarm Report sent”が選択された場合は、アラーム報告（Ｓ５Ｆ１）送信時に停止する条件を設定する。ここで、“Select capturing S/F to Host”が選択された場合、図９の装置送信メッセージ種別選択の画面例に示すように、ホストコンピュータヘ送信するメッセージ種別ごとの選択画面が表示されてオペレータに設定を促す。ここで、オペレータが所望の条件を設定して保存すると、設定されたメッセージ種別と真理値が装置送信メッセージ種別選択テーブルヘ格納される。
【００７６】
また、“Select capturing S/F From Hostが選択された場合は、図８の装置受信メッセージ種別選択の画面例に示すように、ホストコンピュータから受信するメッセージ種別ごとの選択画面が表示され、オペレータに設定を促す。オペレータが所望の条件を設定して保存すると、設定されたメッセージ種別と真理値が装置送信メッセージ種別選択テーブルヘ格納される。
【００７７】
また、“Select capturing Event Repor”が選択された場合は、図９の装置送信イベントＩＤ選択の画面例に示す通り、ホストコンピュータへ送信するイベント報告メッセージのイベントＩＤごとの選択画面が表示され、オペレータに設定を促す。オペレータが所望の条件を設定して保存すると、設定されたＣＥＩＤと真理値がイベントＩＤ選択テーブルヘ格納される。
【００７８】
以上説明したように、本実施形態の半導体製造装置は、ホストコンピュータとの通信によって管理される半導体製造装置であって、少なくとも、ホストコンピュータに対して送信又は受信したメッセージのヘッダ部から、メッセージ種別とメッセージシリアル番号とを含む主要データを取得すると共に、メッセージのデータ部を取得するメッセージ解析手段３ａと、主要データを時系列的に表示更新する表示手段３ｃとを備える構成を採っている。
【００７９】
このとき、表示手段３ｃは、オペレータなどによる外部からの操作によって表示更新を一時停止し、かつ、データ部を表示更新して表示更新を再開する構成となっている。
【００８０】
また、本実施形態の半導体製造装置においては、メッセージ解析手段３ａは、取得したメッセージ種別がイベント報告を示す場合にメッセージのデータ部からイベントＩＤを取り出す機能と、メッセージ種別からメッセージ名称を導き出し、イベントＩＤからイベント名称を導き出す機能とを備え、表示手段３ｃは、メッセージ名称、イベントＩＤ、及びイベント名称を主要データと共に時系列的に表示更新するように構成されている。
【００８１】
また、本実施形態の半導体製造装置においては、さらに、メッセージのデータ形式と照合するデータ形式解析手段３ｆを備え、表示手段３ｃは、主要データとデータ名称を共に更新するように構成されている。
【００８２】
また、本実施形態の半導体製造装置においては、メッセージ解析手段３ａは、異常メッセージを検出する機能を有し、表示手段３ｃは、その異常メッセージを検出したときに表示更新を一時停止し、データ内部の異常データをフォーカス表示するように構成されている。
【００８３】
また、本実施形態の半導体製造装置においては、さらに、表示領域の表示更新を一時停止する条件とメッセージの表示又は非表示の条件とを設定する条件設定手段３ｂを備えるように構成されている。
【００８４】
尚、本実施形態は半導体製造装置を例に挙げて説明したが、本発明は半導体製造装置だけではなく、ＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置にも適用することができる。さらに、炉内の処理には何ら関係なく、ＣＶＤの他にも、例えば、酸化、拡散、アニール等にも適用することができる。
【００８５】
ここで、参考のために、本発明の実施形態に適用される半導体製造装置の具体的な実施例について説明する。
【００８６】
先ず、基板処理装置について説明する。尚、基板処理装置は、半導体装置（ＩＣ）の製造工程の１つである基板処理工程を実施するものである。また、以下の説明では、基板処理装置の一例として縦型炉を具備して基板に酸化処理、ＣＶＤ成膜処理、拡散処理、及びアニール処理等を行う縦型基板処理装置について説明する。
【００８７】
図１２は、本発明の実施形態に適用される縦型基板処理装置の透視図であり、図１３は、図１２の縦型基板処理装置の要部断面図である。図１２及び図１３に示すように、基板処理装置１００は筐体２００を備えている。この筐体２００の正面壁３００の正面前方部にはメンテナンス可能な様に設けられた開口部としての正面メンテナンス口４が開設され、その正面メンテナンス口４は正面メンテナンス扉５によって開閉される。
【００８８】
筐体２００の正面壁３００には、ポッド搬入搬出口６が筐体２００の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口６はフロントシャッタ（搬入搬出口開閉機横）７によって開閉され、ポッド搬入搬出口６の正面前方側にはロードポート（基板搬送容器受渡し台）８が設置されており、このロードポート８は載置されたポッド９を位置合せするようにに構成されている。
【００８９】
ポッド９は、蜜閉式の基板搬送容器であり、図示しない工程内搬送装置によってロードポート８上に搬入され、また、そのロードポート８上から搬出されるようになっている。
【００９０】
筐体２００内の前後方向の略中央部に於ける上部には、回転式ポッド棚（基板搬送容器格納棚）１１が設置されており、この回転式ポッド棚１１は複数個のポッド９を格納するように構成されている。
【００９１】
回転式ポッド棚１１は、垂直に立設されて間欠回転される支柱１２と、この支柱１２に上中下段の各位置に於いて放射状に支持された複数段の棚板（基板搬送容器載置棚）１３とを備えており、この棚板１３はポッド９を複数個宛それぞれ載置した状態で格納するように構成されている。
【００９２】
回転式ポッド棚１１の下方には、ポッドオープナ（基板搬送容器蓋体開閉機構）１４が設けられ、このポッドオープナ１４はポッド９を載置し、またポッド９の蓋を開閉可能な構成を有している。
【００９３】
ロードポート８と回転式ポッド棚１１及びポッドオープナ１４との間には、ポッド搬送装置（容器搬送装置）１５が設置されており、このポッド搬送装置１５は、ポッド９を保持して昇降可能かつ水平方向に進退可能となっており、ロードポート８と回転式ポッド棚１１とポッドオープナ１４との間でポッド９を搬送するように構成されている。
【００９４】
筐体２００内の前後方向の略中央部に於ける下部には、サブ筐体１６が後端に亘って設けられている。このサブ筐体１６の正面壁１７には、ウェーハ（基板）１８をサブ筐体１６内に対して搬入搬出するためのウェーハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１９が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウェーハ搬入搬出口１９，１９に対してポッドオープナ１４がそれぞれ設けられている。
【００９５】
ポッドオープナ１４はポッド９を載置する載置台２１と、ポッド９の蓋を開閉する開閉機構２２とを備えている。ポッドオープナ１４は載置台２１に載置されたポッド９の蓋を開閉機構２２によって開閉することにより、ポッド９のウェーハ出入れ口を開閉するように構成されている。
【００９６】
サブ筐体１６は、ポッド搬送装置１５や回転式ポッド棚１１が配設されている空間（ポッド搬送空間）から気密となっている移載室２３を構成している。この移載室２３の前側領域にはウェーハ移載機構（基板移載機構）２４が設置されており、このウェーハ移載機構２４は、ウェーハを載置する所要枚数（図示では５枚）のウェーハ載置プレート２５を具備し、このウェーハ載置プレート２５は水平方向に直動可能、水平方向に回転可能、かつ昇降可能となっている。ウェーハ移載機構２４はボート（基板保持具）２６に対してウェーハ１８を装填及び払出しするように構成されている。
【００９７】
移載室２３の後側領域には、ボート２６を収容して待機させる待機部２７が構成され、この待機部２７の上方には縦型の処理炉２８が設けられている。
【００９８】
処理炉２８はボート２６を収納する処理室を有し、この処理室の下端部は炉口部となっており、この炉口部は炉口シャッタ（炉口開閉機構）２９により開閉されるようになっている。
【００９９】
筐体２００の右側端部とサブ筐体１６の待機部２７の右側端部との間には、ボート２６を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）３１が設置されている。このボートエレベータ３１の昇降台に連結されたアーム３２には蓋体としてのシールキャップ３３が水平に取付けられており、このシールキャップ３３はボート２６を垂直に支持し、処理炉２８の炉口部を気密に閉塞可能となっている。
【０１００】
ボート２６は複数本の支柱を備えており、その支柱は複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウェーハ１８を、その中心を揃えて水平姿勢で多段に保持するように構成されている。
【０１０１】
尚、基板処理装置１００の内部にはダミーウェーハ（図示しない）が保管されており、必要に応じてボート２６の上部及び下部には所要枚数のダミーウェーハが装填され、また処理の内容に応じて所要間隔でモニタウェーハがボート２６に装填されるようになっている。
【０１０２】
ボートエレベータ３１側と対向した位置にはクリーンユニット３５が配設され、このクリーンユニット３５は、清浄化した雰囲気若しくは不活性ガスであるクリーンエア３４を供給するように供給ファン（図示せず）及び防塵フィルタ（図示せず）で構成されている。ウェーハ移載機構２４とクリーンユニット３５との間には、ウェーハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合せ装置（図示せず）が設置されている。
【０１０３】
クリーンユニット３５から吹出されたクリーンエア３４は、ノッチ合せ装置（図示せず）及びウェーハ移載機構２４、ボート２６に流通された後に、図示しないダクトにより吸込まれて、筐体２００の外部に排気がなされるか、若しくはクリーンユニット３５の吸込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット３５によって移載室２３内に吹出されるように構成されている。
【０１０４】
次に、図１３，図１４に示す基板処理装置の動作について説明する。ポッド９がロードポート８に供給されると、ポッド搬入搬出口６がフロントシャッタ７によって開放される。ロードポート８の上のポッド９はポッド搬送装置１５によって筐体２００の内部へポッド搬入搬出口６を通して搬入され、回転式ポッド棚１１の指定された棚板１３へ載置される。ポッド９は回転式ポッド棚１１で一時的に保管された後、ポッド搬送装置１５により棚板１３から何れか一方のポッドオープナ１４に搬送されて載置台２１に移載されるか、若しくはロードポート８から直接載置台２１に移載される。
【０１０５】
この際、ウェーハ搬入搬出口１９は開閉機構２２によって閉じられており、移載室２３にはクリーンエア３４が流通されて充満されている。例えば、移載室２３には、クリーンエア３４として窒素ガスが充満されることにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体２００の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【０１０６】
載置台２１に載置されたポッド９は、その開口側端面がサブ筐体１６の正面壁１７に於けるウェーハ搬入搬出口１９の開口縁辺部に押付けられると共に、蓋が開閉機構２２によって取外され、ウェーハ出入り口が開放される。
【０１０７】
ポッド９がポッドオープナ１４によって開放されると、ウェーハ１８はポッド９からウェーハ移載機構２４によって取り出され、ノッチ合せ装置（図示せず）に移送され、このノッチ合せ装置にてウェーハ１８を整合した後、ウェーハ移載機構２４はウェーハ１８を移載室２３の後方にある待機部２７へ搬入し、ボート２６に装填（チャージング）する。
【０１０８】
ボート２６にウェーハ１８を受渡したウェーハ移載機構２４はポッド９に戻り、次のウェーハ１８をボート２６に装填する。
【０１０９】
一方（上段又は下段）のポッドオープナ１４に於けるウェーハ移載機構２４によるウェーハ１８のボート２６への装填作業中に、他方（下段又は上段）のポッドオープナ１４には回転式ポッド棚１１から別のポッド９がポッド搬送装置１５によって搬送されて移載され、他方のポッドオープナ１４によるポッド９の開放作業が同時進行される。
【０１１０】
予め指定された枚数のウェーハ１８がボート２６に装填されると、炉口シャッタ２９によって閉じられていた処理炉２８の炉口部が、炉口シャッタ２９によって開放される。続いて、ボート２６はボートエレベータ３１によって上昇され、処理炉２８内（処理室）へ挿入（ローディング）される。尚、装填されるウェーハ１８には、モニタウェーハも含まれる。
【０１１１】
ローディング後は、シールキャップ３３によって炉口部が気密に閉塞され、ボート２６はウェーハ１８を保持した状態で、処理室に気密に収納される。ウェーハ１８が加熱され、かつ処理室に処理ガスが導入されつつ、所定圧力に維持されるように排気され、処理炉２８にてウェーハ１８に所要の処理が実行される。
【０１１２】
処理後は、ノッチ合せ装置（図示せず）でのウェーハ１８の整合工程を除き、上記とは逆の手順で、ウェーハ１８及びポッド９は筐体２００の外部へ払出される。
【０１１３】
処理済のウェーハ１８について品質を管理するため、バッチ処理毎にモニタウェーハについて処理結果を測定して良否の判定が行われる。
【０１１４】
図１４は、図１２及び図１３に示す基板処理装置が備えるる基板処理システムの概略構成図である。図１４において、管理装置４１は、主通信制御部４５、主演算制御部４６、主記憶部４７、及び操作部４８によって構成され、Ｒｏｕｔｅｒ４２に接続されている。
【０１１５】
管理装置４１は、ホストコンピュータを示し、このホストコンピュータが通信網、例えばＬＡＮによってＲｏｕｔｅｒ４２に接続され、さらに、ＨＵＢ４３のような中継分配器を介して、複数台の基板処理装置１ａ、１ｂ…１ｎの制御部４９ａ、４９ｂ…４９ｎに接続されている。尚、複数台の基板処理装置１ａ、１ｂ…１ｎの制御部４９ａ、４９ｂ…４９ｎは、それぞれ、通信制御部５１と演算制御部５２と記憶部５３とによって構成されている。
【０１１６】
ホストコンピュータ（管理装置）４１は、管理プログラムによって基板処理装置１ａ、１ｂ…１ｎの運用をオンラインで制御する。オンラインの運用では、ポッド９の搬入、搬出、プロセス条件指定、プロセス開始指定、プロセスデータ収集等の一連の処理がホストコンピュータ（管理装置）４１によって実行及び管理される。
【０１１７】
ホストコンピュータ（管理装置）４１は、主通信制御部４５と主演算制御部４６と主記憶部４７と操作部４８とを具備し、主記憶部４７には基板処理装置１ａ、１ｂ…１ｎを自動的に運用するための管理プログラム、及び制御部制御部４９ａ、４９ｂ…４９ｎとの間の通信を行うための通信プログラムが格納され、また基板処理を実行するためのレシピが登録さていれる。
【図面の簡単な説明】
【０１１８】
【図１】本発明の実施形態に係る半導体製造装置のホスト通信表示部の構成を示す図である。
【図２】図１に示す半導体製造装置１のデータ形式テーブル３ｊが読み込むファイルの記載例を示す図である。
【図３】図１に示す半導体製造装置１におけるメッセージ解析手段３ａの処理手順を説明するためのフローチャートである。
【図４】図１に示す半導体製造装置１の表示手段３ｃが行う表示更新処理を説明するためのフローチャートである。
【図５】図１に示す半導体製造装置１におけるデータ部表示更新処理を説明するためのフローチャートである。
【図６】図１に示す半導体製造装置１における画面操作処理及び条件設定処理の流れを説明するためのフローチャートである。
【図７】本発明の実施形態に係る正常時のホスト通信モニタ画面の表示例を示す図である。
【図８】本発明の実施例に係る異常発生時のホスト通信モニタ画面の表示例を示す図である。
【図９】本発明の実施形態に係る装置送信メッセージ選択画面の表示例を示す図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る装置受信メッセージ選択画面の表示例を示す図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る装置送信イベントＩＤ選択画面の表示例を示す図である。
【図１２】本発明の実施形態に適用される縦型基板処理装置の透視図である。
【図１３】図１２の縦型基板処理装置の要部断面図である。
【図１４】図１２及び図１３に示す基板処理装置が備えるる基板処理システムの概略構成図である。
【図１５】ＳＥＣＳ−II準拠メッセージで定義されているＳ６Ｆ１１データ部のデータ形式例を示す図である。
【図１６】ＳＥＣＳ−II準拠メッセージで定義されているリスト構造内のアイテムのデータ型例を示す図である。
【符号の説明】
【０１１９】
１  半導体製造装置１、２  ホスト通信制御部、３  ホスト通信表示部、３ａ  メッセージ解析手段、３ｂ  条件設定手段、３ｃ  表示手段、３ｄ  表示装置、３ｅ  名称解決手段、３ｆ  データ形式解析手段、３ｇ  メッセージ情報バッファ、３ｈ  イベント名称テーブル、３ｉ  メッセージ名称テーブル、３ｊ  データ形式テーブル、３ｋ  メッセージ選択テーブル、３ｌ  入力装置。
【図１】
2009302170.tif 000003
【図２】
2009302170.tif 000004
【図３】
2009302170.tif 000005
【図４】
2009302170.tif 000006
【図５】
2009302170.tif 000007
【図６】
2009302170.tif 000008
【図７】
2009302170.tif 000009
【図８】
2009302170.tif 000010
【図９】
2009302170.tif 000011
【図１０】
2009302170.tif 000012
【図１１】
2009302170.tif 000013
【図１２】
2009302170.tif 000014
【図１３】
2009302170.tif 000015
【図１４】
2009302170.tif 000016
【図１５】
2009302170.tif 000017
【図１６】
2009302170.tif 000018