(57)【要約】【課題】音叉型圧電振動デバイスを落下させるなどして外力が音叉型圧電振動デバイスに働いた場合であっても、音叉型圧電振動片が蓋に接触したり、ベースから音叉型圧電振動片が剥がれるのを抑制する。【解決手段】水晶振動子１には水晶振動片２とベース３と蓋とが設けられている。水晶振動片２には、第１脚部２１および第２脚部２２と、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４とを突出して設けた基部２５が設けられている。水晶振動片２は、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４においてそれぞれ６点のスタッドバンプ５を介してベース３に接合され、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４それぞれにおける６点のスタッドバンプ５の接合位置は、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の全長Ｌに対して、それらの基端面２３２，２４２から０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内とされる。【選択図】図１
2009284073.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
音叉型圧電振動デバイスにおいて、
音叉型圧電振動片と、前記音叉型圧電振動片を複数点のバンプを介して搭載するベースと、前記ベースに搭載した前記音叉型圧電振動片を気密封止するための蓋と、が設けられ、
前記圧電振動片は、振動部である複数本の脚部と、外部と接合する複数本の支持腕部と、これら前記脚部および前記支持腕部を突出して設けた基部とから構成され、
前記圧電振動片は、前記複数の支持腕部においてそれぞれ前記複数点のバンプを介して前記ベースに接合され、
前記複数の支持腕部それぞれにおける前記複数点のバンプの接合位置は、前記支持腕部の全長Ｌに対して、支持腕部の基側から０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内とされたことを特徴とする音叉型圧電振動デバイス。
【請求項２】
請求項１に記載の音叉型圧電振動デバイスにおいて、
前記バンプは、前記複数の支持腕部に対してそれぞれ３点用いられ、
これら３点のバンプは、前記複数の支持腕部それぞれの０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内においてその全長Ｌ方向に沿って形成され、
前記３点のバンプのうち全長Ｌ方向の先端側に形成された前記バンプと中央に形成された前記バンプとの間隔は、その全長Ｌ方向の基端側に形成された前記バンプと中央に形成された前記バンプとの間隔よりも狭いことを特徴とする音叉型圧電振動デバイス。
【請求項３】
請求項１または２に記載の音叉型圧電振動デバイスにおいて、
前記脚部の先端部は、当該脚部の他の部位と比べて幅広に成形され、
前記支持腕部の先端部の突出方向が、前記脚部の突出方向と同じ方向であり、
前記支持腕部の先端部の突出方向端面は、前記脚部の突出方向の前記先端部手前に位置することを特徴とする音叉型圧電振動デバイス。
【請求項４】
請求項１乃至３のうちいずれか１つに記載の音叉型圧電振動デバイスにおいて、
前記バンプは、メッキバンプであることを特徴とする音叉型圧電振動デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音叉型圧電振動デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電振動デバイスの一つとして、基部とこの基部から突出された２つの脚部を有する振動部とからなる音叉型水晶振動片を用いた音叉型水晶振動子がある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
上記したような音叉型水晶振動子では、その本体筐体がベースと蓋とから構成され、本体筐体の内部には、ベース上に導電性バンプ（具体的にスタッドバンプ）により音叉型水晶振動片が電気機械的に接合され、この接合された音叉型水晶振動片が本体筐体の内部に気密封止される。
【特許文献１】特開２００４−２８９４７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記した特許文献１に記載の音叉型水晶振動子では、ベース上に一対の合計２点のスタッドバンプを吐出形成し、これら形成したスタッドバンプを介して音叉型圧電振動片をベースに接合する。
【０００５】
ベース上へ音叉型水晶振動片を接合する際に２点のスタッドバンプのみを用いるため、音叉型水晶振動子を落下させるなどして外力が音叉型水晶振動子に働いた場合、脚部や基部が蓋に接触する不具合が生じる。
【０００６】
また、外力が当該音叉型水晶振動子に働いた場合、２点のスタッドバンプでベース上へ音叉型水晶振動片を接合するためにスタッドバンプにクラックが生じてベースから音叉型水晶振動片が剥がれる不具合が生じる。
【０００７】
また、上記した不具合から、音叉型水晶振動子の特性（例えばＤＬＤ特性など）が悪化する。
【０００８】
そこで、上記課題を解決するために、本発明は、音叉型圧電振動デバイスを落下させるなどして外力が音叉型圧電振動デバイスに働いた場合であっても、音叉型圧電振動片が蓋に接触したり、ベースから音叉型圧電振動片が剥がれるのを抑制する音叉型圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するため、本発明にかかる音叉型圧電振動デバイスは、音叉型圧電振動片と、前記音叉型圧電振動片を複数点のバンプを介して搭載するベースと、前記ベースに搭載した前記音叉型圧電振動片を気密封止するための蓋と、が設けられ、前記圧電振動片は、振動部である複数本の脚部と、外部と接合する複数本の支持腕部と、これら前記脚部および前記支持腕部を突出して設けた基部とから構成され、前記圧電振動片は、前記複数の支持腕部においてそれぞれ前記複数点のバンプを介して前記ベースに接合され、前記複数の支持腕部それぞれにおける前記複数点のバンプの接合位置は、前記支持腕部の全長Ｌに対して、支持腕部の基側から０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内とされたことを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、当該音叉型圧電振動デバイスを落下させるなどして外力が当該音叉型圧電振動デバイスに働いた場合であっても、前記音叉型圧電振動片が前記蓋に接触したり、前記ベースから前記音叉型圧電振動片が剥がれるのを抑制することが可能となる。
【００１１】
具体的に、本発明によれば、前記音叉型圧電振動片と前記ベースと前記蓋とが設けられ、前記音叉型圧電振動片は前記複数本の脚部と前記複数本の支持腕部と前記基部とから構成され、前記複数の支持腕部においてそれぞれ前記複数点のバンプを介して前記ベースに接合され、前記複数の支持腕部それぞれにおける前記複数点のバンプの接合位置は、前記支持腕部の全長Ｌに対して、支持腕部の基側から０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内とされるので、前記ベースへの前記音叉型圧電振動片の接合強度を高めるとともに、発振周波数の変動など前記音叉型圧電振動片を前記ベースへ接合することによる前記音叉型圧電振動子の特性劣化を抑制することが可能となる。
【００１２】
前記構成において、前記バンプは、前記複数の支持腕部に対してそれぞれ３点用いられ、これら３点のバンプは、前記複数の支持腕部それぞれの０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内においてその全長Ｌ方向に沿って形成され、前記３点のバンプのうち全長Ｌ方向の先端側に形成された前記バンプと中央に形成された前記バンプとの間隔は、その全長Ｌ方向の基端側に形成された前記バンプと中央に形成された前記バンプとの間隔よりも狭くてもよい。
【００１３】
特に、本発明では、前記バンプは、前記複数の支持腕部に対してそれぞれ３点用いられ、これら３点のバンプは、前記複数の支持腕部それぞれの０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内においてその全長Ｌ方向（アームの長手方向）に沿って形成され、前記３点のバンプのうち全長Ｌ方向（アームの長手方向）の先端側に形成された前記バンプと中央に形成された前記バンプとの間隔は、その全長Ｌ方向（アームの長手方向）の基端側に形成された前記バンプと中央に形成された前記バンプとの間隔よりも狭いことを特徴とすることが好適である（本実施の形態の図２参照）。
【００１４】
前記構成において、前記脚部の先端部は、当該脚部の他の部位と比べて幅広に成形され、前記支持腕部の先端部の突出方向が、前記脚部の突出方向と同じ方向であり、前記支持腕部の先端部の突出方向端面は、前記脚部の突出方向の前記先端部手前に位置してもよい。
【００１５】
この場合、前記脚部の先端部は当該脚部の他の部位と比べて幅広に成形され、前記支持腕部の先端部の突出方向が、前記脚部の突出方向と同じ方向であり、前記支持腕部の先端部の突出方向端面は、前記脚部の突出方向の前記先端部手前に位置するので、前記音叉型圧電振動片の小型化を図りながら、低周波数化に対応することが可能となる。
【００１６】
前記構成において、前記バンプは、メッキバンプであってもよい。
【００１７】
この場合、前記バンプにメッキバンプを用いるので、前記音叉型圧電振動片を外部（前記ベース）に搭載する前に、前記音叉型圧電振動片に前記メッキバンプを形成することが可能となる。その結果、常に前記音叉型圧電振動片の所望の形成位置に前記メッキバンプを形成しているので、例えば、前記音叉型圧電振動片の外部（前記ベース）への搭載位置が所望位置からずれた場合であっても、前記音叉型圧電振動片が外部（前記ベース）に前記バンプがずれた状態で搭載されることを防止することが可能となり、安定した前記ベースへの前記音叉型圧電振動片の搭載を行うことが可能となる。また、本発明によれば、多点メッキバンプを前記支持腕部に形成するので、例えば、１つの前記メッキバンプが剥がれる等の不具合が生じた場合であっても、他の前記メッキバンプで安定した接合強度を保持することが可能となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明にかかる音叉型圧電振動デバイスによれば、音叉型圧電振動デバイスを落下させるなどして外力が音叉型圧電振動デバイスに働いた場合であっても、音叉型圧電振動片が蓋に接触したり、ベースから音叉型圧電振動片が剥がれるのを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下に示す実施例では、音叉型圧電振動デバイスとして音叉型水晶振動子に本発明を適用した場合を示す。しかしながら、これは好適な例であり、本発明は、音叉型水晶振動子に限定されるものではなく、圧電材料を用いた音叉型圧電振動片を搭載した音叉型圧電振動デバイスであればよい。
【００２０】
本実施例にかかる音叉型水晶振動子１（以下、水晶振動子という）は、図１に示すように、フォトリソグラフィ法で成形された音叉型水晶振動片２（本発明でいう圧電振動片であり、以下、水晶振動片という）と、この水晶振動片２を搭載する（保持する）ベース３と、ベース３に搭載した（保持した）水晶振動片２を気密封止するための蓋（図示省略）と、が設けられて構成されている。
【００２１】
この水晶振動子１では、ベース３と蓋とが接合されて本体筐体が構成されている。これらベース３と蓋とが接合材（図示省略）を介して接合され、この接合により本体筐体の内部空間１１が形成されている。そして、この本体筐体の内部空間１１内のベース３上に、スタッドバンプ５を介して水晶振動片２が保持接合されているとともに、本体筐体の内部空間１１が気密封止されている。この際、ベース３に水晶振動片２がスタッドバンプ５を用いてＦＣＢ法により超音波接合されるとともに電気機械的に接合されている。
【００２２】
次に、この水晶振動子１の各構成について説明する。
【００２３】
ベース３は、図１に示すように、底部３１と、この底部３１から上方に延出した堤部３２とから構成される箱状体に形成されている。このベース３は、セラミック材料からなる平面視矩形状の一枚板上に、セラミック材料の直方体が積層して凹状に一体的に焼成されている。また、堤部３２は、図１に示す底部３１の平面視外周に沿って成形されている。この堤部３２の上面には、蓋と接合するためのメタライズ層３３が設けられている。なお、メタライズ層３３は、例えば、タングステン層、あるいはモリブデン層上にニッケル，金の順でメッキした構成からなる。また、セラミック材料が積層して凹状に一体的に焼成されたベース３の内部空間１１における長手方向の側壁の中央近傍に、図１に示すように、一対の電極パッド３４が形成され、これら電極パッド３４上に水晶振動片２が搭載保持されている。これら電極パッド３４は、それぞれに対応した引回電極（図示省略）を介して、ベース３の裏面に形成される端子電極（図示省略）に電気的に接続され、これら端子電極が外部部品や外部機器の外部電極に接続される。なお、これら電極パッド３４、引回電極、端子電極は、タングステン、モリブデン等のメタライズ材料を印刷した後にベース３と一体的に焼成して形成される。そして、これら電極パッド３４、引回電極、端子電極のうち一部のものについては、メタライズ上部にニッケルメッキが形成され、その上部に金メッキが形成されて構成される。
【００２４】
蓋は、金属材料からなり、平面視矩形状の一枚板に成形されている。この蓋の下面には、接合材の一部が形成されている。この蓋は、シーム溶接やビーム溶接、加熱溶融接合等の手法により接合材を介してベース３に接合されて、蓋とベース３とによる水晶振動子１の本体筐体が構成される。
【００２５】
次に、内部空間１１に配された水晶振動片２の各構成について説明する。
【００２６】
水晶振動片２は、異方性材料の水晶片である水晶素板（図示省略）から、ウエットエッチング形成された水晶Ｚ板である。そのため、この水晶振動片２は量産に好適である。
【００２７】
この水晶振動片２は、図１に示すように、振動部である２本の第１脚部２１（本発明でいう脚部）および第２脚部２２（本発明でいう脚部）と、外部（本実施例ではベース３の電極パッド３４）と接合する一対の支持腕部（２本の第１支持腕部２３および第２支持腕部２４）と、基部２５とから構成された外形からなる。
【００２８】
基部２５は、図１に示すように、振動部（第１脚部２１，第２脚部２２）より幅広に形成されている。
【００２９】
２本の第１脚部２１および第２脚部２２は、図１に示すように、基部２５の一端面２５１から突出して設けられている。これら第１脚部２１および第２脚部２２の先端部２１１，２２１は、第１脚部２１および第２脚部２２の他の部位と比べて突出方向に対して直交する方向に幅広に成形されている。このように先端部２１１，２２１を幅広に成形することで、先端部２１１，２２１（先端領域）を有効に利用することができ、水晶振動片２の小型化に有用であり、低周波数化にも有用である。
【００３０】
また、２つの第１脚部２１および第２脚部２２の両主面２６（表側主面，裏側主面）には、水晶振動片２の小型化により劣化する直列共振抵抗値（本実施例ではＣＩ値、以下同様）を改善させるために、溝部２７がそれぞれ形成されている。また、水晶振動片２の外形のうち側面２８は両主面２６に対して傾斜して成形されている。これは、水晶振動片２を湿式でエッチング成形する際に基板材料の結晶方向（Ｘ，Ｙ方向）へのエッチングスピードが異なることに起因している。
【００３１】
一対の支持腕部は、図１に示すように、下記する引出電極２９３を外部電極（本発明でいう外部であり、本実施例ではベース３の電極パッド３４）と電気機械的に接合するための２本の第１支持腕部２３および第２支持腕部２４である。具体的に、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４は、２本の第１脚部２１および第２脚部２２が突出した基部２５の一端面２５１と対向する他端面２５２の幅方向中央（中央領域）から突出形成されている。これら第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の先端部２３１，２４１は、第１脚部２１および第２脚部２２の突出方向の先端部２１１，２２１手前（具体的に、第１脚部２１および第２脚部２２の幅広に形成された先端部２１１，２２１手前）まで突出形成されている。
【００３２】
具体的に、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４は、基部２５の他端面２５２から突出して、基部２５の他端面２５２から両側面２８に沿ってＴ字状に２股に分かれて延出して成形され、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の先端部２３１，２４１が基部２５の一端面２５１から突出形成された２本の第１脚部２１および第２脚部２２と同一方向に向くように屈折形成されている。なお、本実施例でいう第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の全長（アーム長）Ｌを、屈折形成された位置（具体的に基端面２３２，２４２）から第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の先端部２３１，２４１（具体的に先端面２３３，２４３）までの、２本の第１脚部２１および第２脚部２２と同一方向に向いている領域の寸法とする。
【００３３】
また、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４は、図１に示すように、基部２５の幅方向の両側面２８および他端面２５２に同一間隙を有して隣接して成形されるとともに、第１脚部２１および第２脚部２２に対して同一間隙を有して隣接して成形されている。そして、第１脚部２１と第２脚部２２に形成された第１励振電極２９１と第２励振電極２９２から引き出された引出電極２９３は、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の先端部２３１，２４１まで形成されている。
【００３４】
また、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の片主面２６（図１では裏側主面）には、ベース３との接合の際にそれぞれ対となる複数（本実施例では合計６点）のスタッドバンプ５が形成される。具体的に、スタッドバンプ５は、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４それぞれに３点ずつ形成される。具体的に、これらスタッドバンプ５は、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の全長（アーム長）Ｌに対して、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の基側（基端面２３２，２４２）からそれぞれ０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内に形成されている（形成方法は下記参照）。
【００３５】
本実施例では、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４におけるスタッドバンプ５は、先端側に偏位した間隔をもって形成されている。すなわち、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４におけるそれぞれ３点のスタッドバンプ５は、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４それぞれにおける０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内においてその全長Ｌ方向（アームの長手方向）に沿って並んで形成され、具体的に、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の基側（基端面２３２，２４２）から０．５４Ｌ，０．６６Ｌ，０．７８Ｌに形成されている。このように、本実施例では、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４それぞれにおける３点のスタッドバンプ５のうち全長Ｌ方向（アームの長手方向）の先端側に形成されたスタッドバンプ５（０．７８Ｌ）と中央に形成されたスタッドバンプ５（０．６６Ｌ）との間隔は、その全長Ｌ方向（アームの長手方向）の基端側に形成されたスタッドバンプ５（０．５４Ｌ）と中央に形成されたスタッドバンプ５（０．６６Ｌ）との間隔よりも狭い。
【００３６】
また、本実施例にかかる水晶振動片２には、異電位で構成された２つの第１励振電極２９１および第２励振電極２９２と、これら第１励振電極２９１および第２励振電極２９２を電極パッド３４に電気的に接続させるためにこれら第１励振電極２９１および第２励振電極２９２から引き出された引出電極２９３とが設けられている。なお、本実施例でいう引出電極２９３は、２つのこれら第１励振電極２９１および第２励振電極２９２から引き出された電極パターンのことをいう。
【００３７】
また、２つの第１励振電極２９１および第２励振電極２９２の一部は、溝部２７の内部に形成されている。このため、水晶振動片２を小型化しても第１脚部２１および第２脚部２２の振動損失が抑制され、ＣＩ値を低く抑えることができる。
【００３８】
第１励振電極２９１は、第１脚部２１の両主面２６（表側主面，裏側主面）と第２脚部２２の両側面２８に形成されている。同様に、第２励振電極２９２は、第２脚部２２の両主面２６（表側主面，裏側主面）と第１脚部２１の両側面２８に形成されている。
【００３９】
上記した水晶振動片２の第１励振電極２９１および第２励振電極２９２や引出電極２９３は、金属蒸着によって各第１脚部２１および第２脚部２２上にクロム層が形成され、このクロム層上に金属が形成されて構成される薄膜である。この薄膜は、真空蒸着法等の手法により基板全面に形成された後、フォトリソグラフィ法によりメタルエッチングして所望の形状に形成される。なお、第１励振電極２９１，第２励振電極２９２および引出電極２９３がクロム，金の順に形成されているが、例えば、クロム，銀の順や，クロム，金，クロムの順や，クロム，銀，クロムの順等であってもよい。
【００４０】
また、各第１脚部２１および第２脚部２２の先端部２１１，２２１には、周波数調整用錘としての金属膜２９４がそれぞれ形成されている。具体的に、金属膜２９４と第１励振電極２９１と引出電極２９３とが一体形成され、金属膜２９４と第２励振電極２９２と引出電極２９３とが一体形成されている。
【００４１】
次に、上記した構成からなる当該水晶振動子１の製造方法について概略説明する。
【００４２】
水晶振動片２の引出電極２９３と、ベース３の電極パッド３４とを、スタッドバンプ５を介してＦＣＢ法により超音波接合して、スタッドバンプ５によりこれら引出電極２９３と電極パッド３４とを電気機械的に接合し、この接合により水晶振動片２をベース３に搭載する。
【００４３】
そして、ベース３に水晶振動片２を搭載した後に、水晶振動片２の周波数調整を行う。具体的に、第１脚部２１および第２脚部２２の先端部２１１，２２１に形成された金属膜２９４に対してイオンミーリング法や金属蒸着などにより金属量の増減を行う。そのため、このベース３に搭載された水晶振動片２の重心は、周波数調整が行なわれることで変位する。
【００４４】
ベース３に搭載した水晶振動片２への周波数調整を終えた後に、ベース３に蓋を接合材を介して接合して水晶振動片２を内部空間１１に気密封止し、水晶振動子１を製造する。なお、上記したようにベース３に搭載した状態の水晶振動片２に対して周波数の最終調整を行うので、製造された水晶振動子１に搭載された水晶振動片２の重心は、製造毎に全て異なる。
【００４５】
上記したように、本実施例にかかる水晶振動子１によれば、当該水晶振動子１を落下させるなどして外力が当該水晶振動子１に働いた場合であっても、水晶振動片２が蓋に接触したり、ベース３から水晶振動片２が剥がれるのを抑制することができる。
【００４６】
具体的に、本実施例によれば、水晶振動片２とベース３と蓋とが設けられ、水晶振動片２は２本の第１脚部２１および第２脚部２２と２本の第１支持腕部２３および第２支持腕部２４と基部２５とから構成され、２本の第１支持腕部２３および第２支持腕部２４においてそれぞれ３点のスタッドバンプ５を介してベース３に接合され、２本の第１支持腕部２３および第２支持腕部２４それぞれにおける３点のスタッドバンプ５の接合位置は、２本の第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の全長Ｌに対して、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の基側（基端面２３２，２４２）から０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内とされるので、ベース３への水晶振動片２の接合強度を高めるとともに、発振周波数の変動など水晶振動片２をベース３へ接合することによる水晶振動子１の特性劣化を抑制することができる。
【００４７】
特に、本実施例では、スタッドバンプ５は、２本の第１支持腕部２３および第２支持腕部２４に対してそれぞれ３点用いられ、これら３点のスタッドバンプ５は、２本の第１支持腕部２３および第２支持腕部２４それぞれの０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内においてその全長Ｌ方向（長手方向）に沿って並んで形成され、３点のスタッドバンプ５のうち全長Ｌ方向（長手方向）の先端側に形成されたスタッドバンプ５と中央に形成されたスタッドバンプ５との間隔は、その全長Ｌ方向（長手方向）の基端側に形成されたスタッドバンプ５と中央に形成されたスタッドバンプ５との間隔よりも狭いことを特徴とすることが好適である。このことは、図２に示すデータからも明らかである。
【００４８】
なお、図２は、本実施例と、本実施例と異なる位置にスタッドバンプ５を形成した比較例との比較を行なった実験データである。具体的に、比較例として、本発明の０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲未満を含む位置にスタッドバンプ５を形成した形態（具体的に、０．２４Ｌ，０．４１Ｌ，０．６６Ｌ）を挙げる。
【００４９】
図２に示すように、比較例を示す四角マークは、励振レベルを１０μＷまで出力した際に、発振周波数の変動量の良否基準となる±１ｐｐｍを超えているために、ＮＧとされる。これに対して、本実施例を示す丸マークは、励振レベルを１０μＷまで出力した場合であっても±１ｐｐｍ範囲内であるため良品とされる。このことから、上記した本発明の０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内という構成は、ＤＬＤ特性において有効であることは明らかである。
【００５０】
また、第１脚部２１および第２脚部２２の先端部２１１，２２１は、当該第１脚部２１および第２脚部２２の他の部位と比べて幅広に成形され、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の先端部２３１，２４１の突出方向が、第１脚部２１および第２脚部２２の突出方向と同じ方向であり、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の先端部２３１，２４１の突出方向端面（先端面２３３，２４３）は、第１脚部２１および第２脚部２２の突出方向の先端部２１１，２２１手前に位置するので、水晶振動片２の小型化を図りながら、低周波数化に対応することができる。
【００５１】
なお、本実施例では、圧電材料として水晶を用いているが、これは好適な例でありこれに限定されるものではなく、水晶以外の圧電材料、例えば、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等であってもよい。
【００５２】
また、本実施例では、スタッドバンプ５を、具体的に、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の全長（アーム長）Ｌに対して、それぞれ第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の基側（基端面２３２，２４２）から０．５４Ｌ，０．６６Ｌ，０．７８Ｌに形成しているが、これは好適な例でありこれに限定されるものではなく、複数点のスタッドバンプ５が、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４の基側（基端面２３２，２４２）から、０．４１Ｌ〜０．７９Ｌの範囲内に形成されていればよい。
【００５３】
また、本実施例でいう溝部２７は、図１に示すような断面凹形状としているが、これに限定されるものではなく、窪み部であってもよい。
【００５４】
また、本実施例では、第１脚部２１および第２脚部２２に溝部２７を形成しているが、これは好適な例でありこれに限定されるものではなく、例えば、第１脚部２１および第２脚部２２に溝部が形成されていない水晶振動片２にも本発明を適用することができる。
【００５５】
また、本実施例では、バンプとしてスタッドバンプ５を用いているが、これに限定されるものではなく、メッキバンプを用いてもよい。ここでいうメッキバンプは、金属材料（例えば金）からなり、水晶振動片２の第１支持腕部２３および第２支持腕部２４にメッキバンプを電解メッキ法などの手法によりメッキ形成し、メッキ形成したメッキバンプをフォトリソグラフィ法によりメタルエッチングして所望の形状（平面視円形や平面視楕円形などの円形や、平面視長方形や平面視正方形などの多角形）に形成してアニール処理を施す。具体的に、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４に対して６点のメッキバンプを形成し、その後６点のメッキバンプにアニール処理を施す。
【００５６】
この場合、安定してベース３上に水晶振動片２をメッキバンプを介して電気機械的に接合することができる。
【００５７】
具体的に、バンプにメッキバンプを用いるので、水晶振動片２を外部（ベース３）に搭載する前に、水晶振動片２にメッキバンプを形成することができる。その結果、常に水晶振動片２の所望の形成位置にメッキバンプを形成しているので、例えば、水晶振動片２の外部（ベース３）への搭載位置が所望位置からずれた場合であっても、水晶振動片２が外部（ベース３）にバンプがずれた状態で搭載されることを防止することができ、安定したベース３への水晶振動片２の搭載を行うことができる。
【００５８】
また、６点のメッキバンプを第１支持腕部２３および第２支持腕部２４それぞれに形成する、すなわち、多点メッキバンプを第１支持腕部２３および第２支持腕部２４に形成するので、例えば、１つのメッキバンプが剥がれる等の不具合が生じた場合であっても、他のメッキバンプで安定した接合強度を保持することができる。
【００５９】
また、６点のメッキバンプを第１支持腕部２３および第２支持腕部２４それぞれに形成した後に、６点のメッキバンプにアニール処理を施すので、６点のメッキバンプがなまされて、第１支持腕部２３および第２支持腕部２４への６点のメッキバンプを形成する際に発生する応力（残留応力）が無くなる。
【００６０】
また、この場合、メッキバンプは、フォトリソグラフィ法により形成するので、メッキバンプそれぞれにおいてメッキバンプの大きさや形状や数量を任意に設定することができる。
【００６１】
なお、本発明は、その精神や主旨または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施例はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、音叉型圧電振動片、音叉型圧電振動デバイスに適用でき、特に音叉型水晶振動子に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】図１は、本実施例にかかる水晶振動子の内部を公開した概略平面図である。
【図２】図２は、本実施例と、本実施例と異なる位置にスタッドバンプを形成した比較例との比較を行なった実験データである。
【符号の説明】
【００６４】
１  音叉型水晶振動子（音叉型圧電振動デバイス）
２  音叉型水晶振動片（音叉型圧電振動片）
２１  第１脚部（脚部）
２１１  第１脚部の先端部（脚部の先端部）
２２  第２脚部（脚部）
２２１  第２脚部の先端部（脚部の先端部）
２３  第１支持腕部（支持腕部）
２３１  第１支持腕部の先端部（支持腕部の先端部）
２３２  第１支持腕部の基端面
２３３  第１支持腕部の先端面
２４  第２支持腕部（支持腕部）
２４１  第２支持腕部の先端部（支持腕部の先端部）
２４２  第２支持腕部の基端面
２４３  第２支持腕部の先端面
２５  基部
２５１  一端面
２５２  他端面
２６  主面
２７  溝部
２８  側面
２９１  第１励振電極
２９２  第２励振電極
２９３  引出電極
２９４  金属膜
３  ベース
３１  底部
３２  堤部
３３  メタライズ層
３４  電極パッド
５  スタッドバンプ（バンプ）
【図１】
2009284073.tif 000003
【図２】
2009284073.tif 000004