(57)【要約】【課題】簡単な回路構成で且つ大きな設備コストを要することなく安定的に電源の切り替えを行うことが可能なバックアップ用電源回路を提供する。【解決手段】直流電源３２から主電源ライン３０を介して負荷に対して電力を供給する直流電源回路に設けたバックアップ用電源回路において、バックアップ用の直流電圧を発生するバックアップ用電源３８と、バックアップ用電源と主電源ラインとを接続するバックアップ用ライン４０と、主電源ラインの途中に介設されて直流電源からの電力によって駆動される常開型の第１の継電器４２と、バックアップ用ラインの途中に介設されると共に直流電源からの電力によって駆動される常閉型の第２の継電器４４とを備える。これにより、簡単な回路構成で且つ大きな設備コストを要することなく安定的に電源の切り替えを行う。【選択図】図１
2009284643.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直流電源から主電源ラインを介して負荷に対して電力を供給する直流電源回路に設けたバックアップ用電源回路において、
バックアップ用の直流電圧を発生するバックアップ用電源と、
前記バックアップ用電源と前記主電源ラインとを接続するバックアップ用ラインと、
前記主電源ラインの途中に介設されて前記直流電源からの電力によって駆動される常開型の第１の継電器と、
前記バックアップ用ラインの途中に介設されると共に前記直流電源からの電力によって駆動される常閉型の第２の継電器と、
を備えたことを特徴とするバックアップ用電源回路。
【請求項２】
前記第２の継電器の復帰電圧は、前記第１の継電器の復帰電圧よりも大きくなるように設定されていることを特徴とする請求項１記載のバックアップ用電源回路。
【請求項３】
前記バックアップ用電源は、
交流電源に給電ラインを介して接続されて交流電圧を直流電圧に変換して出力する交流直流変換器を有していることを特徴とする請求項１又は２記載のバックアップ用電源回路。
【請求項４】
前記バックアップ用電源は、
前記給電ラインの途中に介設されると共に前記直流電源からの電力によって駆動される常閉型の第３の継電器を更に有していることを特徴とする請求項３記載のバックアップ用電源回路。
【請求項５】
前記第３の継電器の復帰電圧は、前記第１の継電器の復帰電圧よりも大きくなるように設定されていることを特徴とする請求項４記載のバックアップ用電源回路。
【請求項６】
前記第２の継電器と前記第３の継電器の復帰電圧は互いに同一になるように設定されていることを特徴とする請求項５記載のバックアップ用電源回路。
【請求項７】
前記主電源ラインの前記第１の継電器の下流側には、復帰時間調整用のコンデンサ部材が設けられていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のバックアップ用電源回路。
【請求項８】
被処理体に対して所定の処理を施すための処理装置において、
前記被処理体を収容して所定の処理を施す処理ユニットと、
前記処理ユニットに必要な直流の電力を供給する直流電源回路と、
前記直流電源回路に設けられた請求項１乃至７のいずれか一項に記載されたバックアップ用電源回路と、
を備えたことを特徴とする処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直流電源回路に設けたバックアップ用電源回路及びこれを用いた半導体ウエハ等の処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電力使用系である負荷に対して電力を供給する電源回路において、例えば負荷に対して電源回路の故障等に起因する意図しない急激な電力供給の遮断が生じては困るような場合には、バックアップ用電源回路が設けられている（例えば特許文献１〜５）。
例えば直流電源を用いて半導体製造装置のモータや各種のセンサやプリント配線基板等の電力を供給している場合において、意図しない急激な電力供給の遮断が生じると、処理の中断が生じて最悪の場合には処理中の半導体ウエハが無駄になってしまう場合がある。
【０００３】
このため、直流電源の寿命が到来する前に、これを新たなものと交換したり、上述のようにバックアップ用電源回路を設けて、電源回路から出力される電圧等の状態を電圧検出回路により検出して、この検出結果に応じて制御部からバックアップ用電源回路への切り替えをリレーにより行うようにしている。
【０００４】
【特許文献１】実開平０５−０３０９２９号公報
【特許文献２】特開平０５−１９１９２８号公報
【特許文献３】特開平０６−０８６４８１号公報
【特許文献４】特開平１０−０１４１３２号公報
【特許文献５】特開２００７−１４５２０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述したように、直流電源の寿命が到来する前に、これを新たな物と交換する場合には、直流電源の寿命の到来前に十分に長い余裕を持たせた期間を残して新品の直流電源と交換しなければならないので、直流電源の寿命到来までに十分な残存期間が在り、その分、設備コストが増加するのみならず、装置ダウンタイムが長くなって生産性が低下する、といった問題があった。更には、新品の直流電源とはいえ、何らかの故障が寿命の到来する前に生ずる場合もあり、この場合には対応することができない、といった問題もあった。
【０００６】
また、上述のように直流電源の出力する電圧等の状態を検出して対応する場合には、電圧等の検出回路や、この出力に基づいて電源の切り替え制御を行う制御回路等を設ける必要があるため、装置全体が複雑化して設備コストを増加させてしまう、といった問題があった。
【０００７】
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、簡単な回路構成で且つ大きな設備コストを要することなく安定的に電源の切り替えを行うことが可能なバックアップ用電源回路及び処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に係る発明は、直流電源から主電源ラインを介して負荷に対して電力を供給する直流電源回路に設けたバックアップ用電源回路において、バックアップ用の直流電圧を発生するバックアップ用電源と、前記バックアップ用電源と前記主電源ラインとを接続するバックアップ用ラインと、前記主電源ラインの途中に介設されて前記直流電源からの電力によって駆動される常開型の第１の継電器と、前記バックアップ用ラインの途中に介設されると共に前記直流電源からの電力によって駆動される常閉型の第２の継電器と、を備えたことを特徴とするバックアップ用電源回路である。
【０００９】
このように、バックアップ用電源回路として、バックアップ用の直流電圧を発生するバックアップ用電源と、バックアップ用電源と主電源ラインとを接続するバックアップ用ラインと、主電源ラインの途中に介設されて直流電源からの電力によって駆動される常開型の第１の継電器と、バックアップ用ラインの途中に介設されると共に直流電源からの電力によって駆動される常閉型の第２の継電器とを備え、直流電源の異常によってこの出力電圧が低下することに応答して常開型の第１の継電器が開状態になると共に常閉型の第２の継電器が閉状態になってバックアップ用電源に切り替わるようにしたので、簡単な回路構成で且つ大きな設備コストを要することなく安定的に電源の切り替えを行うことができる。
【００１０】
この場合、例えば請求項２に記載したように、前記第２の継電器の復帰電圧は、前記第１の継電器の復帰電圧よりも大きくなるように設定されている。
また例えば請求項３に記載したように、前記バックアップ用電源は、交流電源に給電ラインを介して接続されて交流電圧を直流電圧に変換して出力する交流直流変換器を有している。
また例えば請求項４に記載したように、前記バックアップ用電源は、前記給電ラインの途中に介設されると共に前記直流電源からの電力によって駆動される常閉型の第３の継電器を更に有している。
【００１１】
また例えば請求項５に記載したように、前記第３の継電器の復帰電圧は、前記第１の継電器の復帰電圧よりも大きくなるように設定されている。
また例えば請求項６に記載したように、前記第２の継電器と前記第３の継電器の復帰電圧は互いに同一になるように設定されている。
また例えば請求項７に記載したように、前記主電源ラインの前記第１の継電器の下流側には、復帰時間調整用のコンデンサ部材が設けられている。
【００１２】
請求項８に係る発明は、被処理体に対して所定の処理を施すための処理装置において、前記被処理体を収容して所定の処理を施す処理ユニットと、前記処理ユニットに必要な直流の電力を供給する直流電源回路と、前記直流電源回路に設けられた請求項１乃至７のいずれか一項に記載されたバックアップ用電源回路と、を備えたことを特徴とする処理装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るバックアップ用電源回路及び処理装置によれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
バックアップ用電源回路として、バックアップ用の直流電圧を発生するバックアップ用電源と、バックアップ用電源と主電源ラインとを接続するバックアップ用ラインと、主電源ラインの途中に介設されて直流電源からの電力によって駆動される常開型の第１の継電器と、バックアップ用ラインの途中に介設されると共に直流電源からの電力によって駆動される常閉型の第２の継電器とを備え、直流電源の異常によってこの出力電圧が低下することに応答して常開型の第１の継電器が開状態になると共に常閉型の第２の継電器が閉状態になってバックアップ用電源に切り替わるようにしたので、簡単な回路構成で且つ大きな設備コストを要することなく安定的に電源の切り替えを行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明に係るバックアップ用電源回路及び処理装置の好適な一実施形態を添付図面に基づいて詳述する。図１は本発明に係るバックアップ用電源回路を有する処理装置の一例を示す図である。
【００１５】
図示するように、この処理装置２は、半導体ウエハ等の被処理体に対して成膜処理、酸化拡散処理、改質処理、エッチング処理等の各種の処理を施す時に用いられる装置である。具体的には、この処理装置２は、実際に半導体ウエハＷに対して成膜処理等の所定の処理を施す処理ユニット４と、この処理ユニット４に必要な直流の電力を供給する直流電源回路６と、この直流電源回路６に設けられた本発明に係るバックアップ用電源回路８とにより主に構成されている。
【００１６】
まず、上記処理ユニット４について説明する。この処理ユニット４は、例えば石英製の円筒体状になされた処理容器１０を有している。この処理容器１０内には、保持手段として例えば石英製のウエハボート１２に複数段に亘って等ピッチで支持された複数枚の半導体ウエハＷが収容されている。この半導体ウエハＷを支持するウエハボート１２は、上記処理容器１０の下方から昇降機構１４によって処理容器１０内に対してロード及びアンロード可能になされている。この昇降機構１４は例えば直流電圧によって駆動される直流モータ１６によって動作される。
【００１７】
この処理容器１０の下部には、必要なガスを処理容器１０内へ導入するガス導入手段１８が設けられており、これより処理に必要な各種のガスを流量制御しつつ導入し得るようになっている。そして、処理容器１０の天井部には排気口２０が設けられると共に、この排気口２０には、図示しない圧力調整弁や真空ポンプ等を有する排気系が接続されており、処理容器１０内の雰囲気を、例えば真空排気しつつ所定の圧力に維持するようになっている。尚、上記処理容器１０を２重管構造にしたり、上記排気口２０を処理容器１０の下部側壁に設ける場合もある。
【００１８】
そして、上記処理容器１０の周囲には、これを囲むようにして円筒体状の加熱手段２２が設けられており、上記処理容器１０内のウエハＷを所定の温度に加熱し得るようになっている。この加熱手段２２の内側には、温度制御用の例えば熱電対よりなる温度センサ２４が設けられている。尚、上記加熱手段２２に供給する大電力は図示しない交流電源より供給されることになる。
【００１９】
そして、この処理ユニット４の動作は、例えばコンピュータよりなる制御部２６により制御されることになる。ここで上記制御部２６に設けたプリント配線基板や上記温度センサ２４や直流モータ１６等の負荷には、その駆動電力として直流電力が供給されることになり、この直流電力の供給のために上記直流電源回路６が用いられる。
【００２０】
上記直流電源回路６は、上記負荷、例えば制御部２６のプリント配線基板に接続された主電源ライン３０を有しており、この主電源ライン３０の基端側は直流電源３２に接続されている。この直流電源３２は、例えば１００Ｖ又は２００Ｖの商用交流電源から電源トランスや平滑回路を用いて直流電圧を得るようになっており、必要に応じて例えば＋２４Ｖ、＋１５Ｖ、＋５Ｖなどの直流電圧を上記負荷に向けて出力するようになっている。
【００２１】
そして、この直流電源回路６に上述したように本発明に係るバックアップ用電源回路８が設けられる。具体的には、このバックアップ用電源回路８は、バックアップ用の直流電圧を発生するバックアップ用電源３８と、上記バックアップ用電源３８と上記主電源ライン３０とを接続するバックアップ用ライン４０と、上記主電源ライン３０の途中に介設されて上記直流電源３２からの電力によって駆動される常開型（ノーマリオープン）の第１の継電器４２と、上記バックアップ用ライン４０の途中に介設されると共に上記直流電源３２からの電力によって駆動される常閉型（ノーマリクローズ）の第２の継電器４４とにより主に構成されている。
【００２２】
ここで上記第１の継電器４２は、上記主電源ライン３０に対する上記バックアップ用ライン４０の接続点Ｐ１よりも上流側において上記主電源ライン３０の途中に介設されている。具体的には、上記第１の継電器４２の励磁コイル４２Ａは直流電源３２から供給される電力（電圧）により励磁されており、これにより主電源ライン３０の途中に介設した常開型の第１の継電器４２のスイッチ部４２Ｂを開閉するようになっている。
【００２３】
また、上記第２の継電器４４の励磁コイル４４Ａも直流電源３２から供給される電力（電圧）により励磁されており、これによりバックアップ用ライン４０の途中に介設した常閉型の第２の継電器４４のスイッチ部４４Ｂを開閉するようになっている。
【００２４】
そして、上記バックアップ用電源３８は、商用電源などの交流電源４６に給電ライン４８を介して接続された交流直流変換器５０と、この給電ライン４８の途中に介設された常閉型（ノーマリクローズ）の第３の継電器５２とにより主に構成されている。上記交流直流変換器５０は、交流電圧を直流電圧に変換するものであり、例えばＡＣ／ＤＣコンバータにより構成されている。またこの交流直流変換器５０をトランスと平滑回路との組み合わせで構成するようにしてもよく、そして、直流電圧を出力できるのであればその構造は問わない。この交流直流変換器５２の出力電圧は、上記直流電源３２の出力電圧と同じにするように設定されている。
【００２５】
また、上記第３の継電器５２の励磁コイル５２Ａも直流電源３２から供給される電力（電圧）により励磁されており、これにより給電ライン４８の途中に介設した常閉型の第３の継電器５２のスイッチ部５２Ｂを開閉するようになっている。ここで、上記第１〜第３の継電器４２、４４、５２の復帰電圧の特性は、同一でもよいが、好ましくは第２及び第３の継電器４４、５２の復帰電圧を、第１の継電器４２の復帰電圧よりもそれぞれ大きくなるように設定するのがよい。
【００２６】
この場合、第１の継電器４２の復帰電圧よりも大きければ、第２及び第３の継電器４４、５２の復帰電圧は互いに同一になるように設定してもよい。例えば第１の継電器４２の復帰電圧を定格電圧の５０％に設定し、第２及び第３の継電器４４、５２の復帰電圧を定格電圧の８０％にそれぞれ設定するようにして、両者間に差を設ける。尚、この場合、定格電圧は共に同一であり、例えば２４Ｖ（ボルト）である。
【００２７】
そして、上記主電源ライン３０の上記第１の継電器４２の下流側には、復帰時間調整用のコンデンサ部材５６が設けられている。具体的には、このコンデンサ部材５６は、上記主電源ライン３０と接地ライン（図示せず）との間に接続することにより構成されている。このコンデンサ部材５６により電源復帰時の電圧の落ち込み量や復帰時間の長さを調整するようにしている。
【００２８】
次に以上のように構成されたバックアップ用電源回路８を有する処理装置２の動作について説明する。
まず、処理ユニット４の処理容器１０内へは、昇降機構１４の直流モータ１６を駆動することによりウエハボート１２に多段に保持された状態で複数枚の半導体ウエハがロードされており、この処理容器１０内は密閉されている。そして、図示しないヒータ電源からは加熱手段２２に電力が供給されて、処理容器１０内の上記ウエハＷを所定のプロセス温度に維持する。
【００２９】
これと同時に、この処理容器１０内へガス導入手段１８より所定のガスを流量制御しつつ導入すると共に、排気口２０からは処理容器１０内の雰囲気が例えば真空排気されて処理容器１０内を所定の圧力に維持する。これにより、ウエハＷに対して成膜処理や酸化アニール等の所定の処理が施されることになる。
【００３０】
この場合、ウエハＷの温度は、加熱手段２２側に設けた熱電対よりなる温度センサ２４により検出されて、例えばフィードバック制御等により所定の温度に維持されている。また、この処理装置２の必要な多くの動作は、例えばプリント配線基板を内蔵する制御部２６からの指示によって行われる。ここで、上記動作に必要な直流電圧、例えば制御部２６のプリント配線基板（負荷）へは、直流電源回路６から例えば＋２４Ｖの直流電圧が供給されている。
【００３１】
さて、このような状況下で、直流電源回路６の直流電源３２に経年劣化等に起因して故障が生じた場合には急激な電圧低下が生じて、負荷である上記プリント配線基板への供給電力が断たれるので制御部２６が動作しなくなり、この処理装置２の動作が停止したり、異常動作を引き起こす原因となる。
【００３２】
しかしながら、本発明ではバックアップ用電源回路８を設けているので、上記したような直流電源３２の故障が生じても、電源をバックアップ用電源回路８側へ切り替えることにより、直流電力を安定して供給することができる。
【００３３】
すなわち、直流電源回路６が正常に動作している場合には、第１〜第３の各継電器４２、４４、５２の各励磁コイル４２Ａ、４４Ａ、５４Ａはそれぞれ励磁されており、第１の継電器４２のスイッチ部４２Ｂは閉状態、第２及び第３の継電器４４、５２の各スイッチ部４４Ｂ、５２Ｂはそれぞれ開状態となっている。尚、図１中の各スイッチ部４２Ｂ、４４Ｂ、５２Ｂはノーマリ状態（励磁コイルが励磁されていない）時の開閉状態を示している。
【００３４】
ここで、上述したように経年劣化等に起因して直流電源３２の出力電圧が急激に低下してくると、上記第１〜第３の継電器４２、４４、５２の各励磁コイル４２Ａ、４４Ａ、５４Ａへの電力供給が断たれることになるので、第１〜第３の継電器４２、４４、５２はそれぞれノーマリ状態へ復帰することになる。
【００３５】
すなわち、第１の継電器４２のスイッチ部４２Ｂは開状態へ復帰することになり、これに対して第２及び第３の継電器４４、５２の各スイッチ部４４Ｂ、５２Ｂは共に閉状態へ復帰することになる。この結果、バックアップ用電源３８が活動状態となって、この交流直流変換器５０より出力される直流電圧がバックアップ用ライン４０を介して上記主電源ライン３０に加わり、この結果、上記制御部２６に対して直流電力を安定して供給することが可能となる。
【００３６】
すなわち、直流電源３２が何らかの故障によって出力電圧が低下しても、直ちにバックアップ用電源回路８からのバックアップ用電源３８からの出力電圧が切り替わって供給されるので、直流電圧と安定して供給することができる。尚、上記第３の継電器５２は必要に応じて設ければよく、この第３の継電器５２を設けておけば、交流直流交換器５０における待機電力等をなくすことができ、省エネルギーに寄与することができる。
【００３７】
このように、本発明によれば、バックアップ用電源回路８として、バックアップ用の直流電圧を発生するバックアップ用電源３８と、バックアップ用電源３８と主電源ライン３０とを接続するバックアップ用ライン４０と、主電源ライン３０の途中に介設されて直流電源３２からの電力によって駆動される常開型の第１の継電器４２と、バックアップ用ライン４０の途中に介設されると共に直流電源３２からの電力によって駆動される常閉型の第２の継電器４４とを備え、直流電源３２の異常によってこの出力電圧が低下することに応答して常開型の第１の継電器４２が開状態になると共に常閉型の第２の継電器４４が閉状態になってバックアップ用電源３８に切り替わるようにしたので、簡単な回路構成で且つ大きな設備コストを要することなく安定的に電源の切り替えを行うことができる。
【００３８】
ところで、上記動作は、第１〜第３の各継電器４２、４４、５２の復帰電圧（復帰特性）が略同一の場合を例にとって説明したが、制御部２６等の負荷の種類によっては、電圧低下に関する基準が厳しくて電圧低下の許容範囲が非常に少ない場合がある。このような場合には、上述のようにバックアップ用電源に切り替わる際の電圧低下をできるだけ抑制する必要がある。
【００３９】
このように、電源が切り替わる際の電圧低下を抑制するためには、前述したように、第１の継電器４２と第２及び第３の継電器４４、５２との特性を互いに異ならせるようにし、第２及び第３の継電器４４、５２の復帰電圧を、第１の継電器４２の復帰電圧よりも大きくなるように設定しておくのが好ましい。例えば前述したように、第１の継電器４２の復帰電圧を定格電圧の５０％に設定し、第２及び第３の継電器４４、５２の復帰電圧を定格電圧の８０％にそれぞれ設定するようにして、両者間に差を設ける。尚、この場合、定格電圧は共に同一であり、例えば２４Ｖ（ボルト）とする。
【００４０】
一般に、上述したような直流電源３２が経年劣化等の故障により出力電圧が低下する場合は、瞬時に出力電圧がゼロに低下するのではなく、例えば１００ｍｓｅｃ程度の短い時間をかけて出力電力が次第に低下してゼロに至ることになる。この理由は、上記直流電源３２を構成する部品中には幾つかのコンデンサが含まれているので、このコンデンサに蓄積されていた電力が上述のような時間をかけて放出されるからである。
【００４１】
この時の第１〜第３の各継電器４２、４４、５２の動作状態を図３に基づいて説明する。図３は上述したように直流電源の出力電圧が時間をかけて低下する際に第１〜第３の各継電器の動作状態を説明するための説明図である。この説明図において、横軸に時間をとっており、縦軸に直流電源３２の出力電圧をとっている。
【００４２】
図３に示すように、時間ゼロの時点で直流電源３２において故障が発生したものと仮定すると、直流電源３２の出力電圧は定格電圧である＋２４Ｖから約１００ｍｓｅｃ程度の時間を要して０Ｖまで次第に低下して行く。尚、ここでは発明の理解を容易にするために出力電圧が直線的に低下して行くものと仮定する。
【００４３】
当初は、常開型の第１の継電器４２のスイッチ部４２Ｂは閉状態であり、これに対して常閉型の第２及び第３の継電器４４、５２の各スイッチ部４４Ｂ、５２Ｂは共に開状態にある。そして、直流電源３２の出力電圧が低下して１９．２Ｖ、すなわち定格電圧の８０％まで低下すると、第２及び第３の継電器４４、５２は復帰電圧に到達するので、これらのスイッチ部４４Ｂ、５２Ｂは共に復帰して閉状態に切り替わることになる。これにより、バックアップ用電源３８の出力電圧がバックアップ用ライン４０を介して主電源ライン３０に加わるようになる。また、この時点では第１の継電器４２のスイッチ部４２Ｂは閉状態を維持している。
【００４４】
そして、直流電源３２の出力電圧が更に低下して１２Ｖ、すなわち定格電圧の５０％まで低下すると、第１の継電器４２は復帰電圧に到達するので、このスイッチ部４２Ｂは復帰して開状態に切り替わる。これにより、直流電源３２は、主電源ライン３０から電気的に切り離されることになる。
【００４５】
このように、第１の継電器４２と第２及び第３の継電器４４、５２の復帰電圧を互いに異ならせて、第２及び第３の継電器４４、５２側の復帰電圧を大きく設定することにより、第１の継電器４２が復帰するのに先立って第２及び第３の継電器４４、５２を復帰させることができる。
【００４６】
これにより、第１〜第３の各継電器４２、４４、５２の復帰電圧が互いに同一である場合と比較して早くバックアップ用電源３８を主電源ライン３０側へ電気的に接続することができる。この結果、復帰電圧の落ち込みをより小さくすることができると共に、復帰に要する時間、すなわち復帰時間をより短くすることができ、より安定的に電源の切り替えを行うことができる。従って、この場合には、処理装置２の動作停止や異常動作の発生を更に抑制することができる。
【００４７】
この場合、第２及び第３の継電器４４、５２が復帰した時点Ｔ１から第１の継電器４２が復帰した時点Ｔ２までの間は、全てのスイッチ部４２Ｂ、４４Ｂ、５２Ｂが閉状態となって電源干渉が発生する恐れが生ずるが、直流電源３２はすでに異常状態になっており、しかもＴ１−Ｔ２間は時間的に非常に短いので、それ程問題を生ずることはない。この場合、電源干渉が生ずることを確実に防止する必要がある場合には、図２に示すように、第１の継電器４２の後段に電流の逆流を防止する第１のダイオード７２を設け、更に第２の継電器４４の後段に電流の逆流を防止する第２のダイオード７４を設け、これにより電源復帰時における誤動作を確実に防止することができる。尚、図２では図１中の構成部品と同一構成部品については、同一の参照符号を付している。また上記復帰電圧の特性である５０％及び８０％は単に一例を示したに過ぎず、これらの値に限定されないのは勿論である。
【００４８】
次に、具体的に第１〜第３の各継電器４２、４４、５２の復帰電圧を全て同一に設定した場合と、第１の継電器４２と第２及び第３の継電器４４、５２の復帰電圧を互いに異ならせた場合において負荷に加わる電圧の変化についてシミュレーションを行ったので、そのシミュレーション結果について説明する。
【００４９】
図４は上記シミュレーション結果を示すグラフであり、図４（Ａ）は第１〜第３の継電器４２、４４、５２の復帰電圧を全て同一に設定した場合を示し、図４（Ｂ）は第１の継電器４２と第２及び第３の継電器４４、５２の復帰電圧を互いに異ならせた場合（第２及び第３の継電器の復帰電圧を第１の継電器の復帰電圧よりも大きく設定）を示す。尚、ここでは定格電圧をＶＡ に設定し、第１の継電器４２の復帰電圧を定格電圧の−Ａ％（＝Ｖ１ ）に設定し、第２及び第３の継電器４４、５２の復帰電圧を定格電圧の−Ｂ％（＝ＶＢ ）に設定している。
【００５０】
図４（Ａ）に示すように、第１〜第３の継電器４２、４４、５２の復帰電圧が全て同一の場合には、負荷に加わる電圧の降下は大きく、ＶＡ からＶＢ までＶ−１程度も落ち込んでおり、電圧の落ち込みが大きくてあまり好ましくない。これに対して、図４（Ｂ）に示すように、継電器の復帰電圧を異ならせた場合には、負荷に加わる電圧の降下は小さく、ＶＡ からＶＣ までＶ−２程度であり、電圧の落ち込みが非常に小さくなって好ましいことが理解できる。
【００５１】
仮にこの場合、負荷に加わる電圧が元の値に戻る復帰時（仮に負側の保証される電圧が定格電圧の±０．５Ｖ以内の電圧まで戻る時間）は、図４（Ａ）の場合は２５ｍｓｅｃ程度要しているのに対して、図４（Ｂ）の場合は、上述のようにＶ−２が０．２Ｖしか電圧の落ち込みがなくて連続的に許容電圧を維持しており、非常に良好な結果を示していることを理解することができる。
【００５２】
尚、上記負荷に加わる電圧の落ち込み量と復帰時間の長さは負荷のインピーダンスに依存するが、前述したようにコンデンサ部材５６を適宜調整することにより、上記負荷に加わる電圧の落ち込み量と復帰時間の長さをコントロールすることができる。
【００５３】
また、上記実施形態では非接地側の主電源ライン３０、バックアップ用ライン４０、給電ライン４８に各継電器４２、４４、５２を設けた場合を例にとって説明したが、これに限定されず、接地側の各ライン（図示せず）にも上記各継電器を設けて、それぞれ一体的に動作させるようにしてもよいし、この場合、このスイッチ部を有する２連の継電器を用いるようにしてもよい。
【００５４】
また上記実施形態では１つの直流電源３２から１つの主電源ライン３０を介して負荷に直流電力を供給しているが、上記直流電源３２から複数の並列に接続された主電源ラインを設けるようにしてもよく、その場合には、各主電源ライン毎に上記第１の継電器４２を設け、第２の継電器４４及びバックアップ用電源３８についてはこれらを１つだけ設けて各主電源ラインに対して共通に接続するようにすればよい。
【００５５】
また、ここでは複数の半導体ウエハＷを一度に処理することができる、いわゆるバッチ式の処理装置を例にとって説明したが、これに限定されず、半導体ウエハＷを１枚ずつ処理する、いわゆる枚葉式の処理装置にも本発明を適用することができる。また、ここでは直流電圧が２４Ｖの場合を例にとって説明したが、この電圧に限定されるものではない。
【００５６】
また、ここでは被処理体として半導体ウエハを例にとって説明したが、この半導体ウエハにはシリコン基板やＧａＡｓ、ＳｉＣ、ＧａＮなどの化合物半導体基板も含まれ、更にはこれらの基板に限定されず、ガラス基板、ＬＣＤ基板、セラミック基板等にも本発明を適用することができる。
【００５７】
更には、本発明に係るバックアップ用電源回路は、半導体ウエハの処理装置に限定されず、直流電源を必要とする全ての電器機器、或いは電力使用系に対して適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明に係るバックアップ用電源回路を有する処理装置の一例を示す図である。
【図２】電源復帰時の電源干渉を防止するための回路構成の一例を示す部分回路構成図である。
【図３】直流電源の出力電圧が時間をかけて低下する際に第１〜第３の各継電器の動作状態を説明するための説明図である。
【図４】第１〜第３の各継電器の復帰電圧の異同と負荷に加わる電圧変化の関係とを検証したシミュレーション結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５９】
２  処理装置
８  バックアップ用電源回路
１０  処理容器
１２  ウエハボート（保持手段）
１４  昇降機構
１６  直流モータ（負荷）
２２  加熱手段
２４  温度センサ（負荷）
２６  制御部（負荷）
３０  主電源ライン
３２  直流電源
３８  バックアップ用電源
４０  バックアップ用ライン
４２  常開型の第１の継電器
４２Ａ  励磁コイル
４２Ｂ  スイッチ部
４４  常閉型の第２の継電器
４４Ａ  励磁コイル
４４Ｂ  スイッチ部
４８  給電ライン
５０  交流直流変換器
５２  第３の継電器
５２Ａ  励磁コイル
５２Ｂ  スイッチ部
５６  コンデンサ部材
Ｗ  半導体ウエハ（被処理体）
【図１】
2009284643.tif 000003
【図２】
2009284643.tif 000004
【図３】
2009284643.tif 000005
【図４】
2009284643.tif 000006