(57)【要約】【課題】  清浄な周囲環境及び良好な制御性を保持することができる高性能のリニアモータ及びそれに用いるジャケットの製造方法を提供する。【解決手段】  磁気空隙を介して相対移動可能に配設された永久磁石及び多相コイルと、前記多相コイルを収容すると共にこの収容された多相コイルを冷却する冷媒流路を有するジャケットを備え、前記ジャケットは、ガラス繊維を含む強化プラスチックからなる基材と、この基材を被覆する被覆層から構成され、前記被覆層は樹脂をバインダーとして構成されると共に平均層厚が５〜５０μｍであり、前記基材の表面に露出したガラス繊維が前記被覆層により被覆されて当該ガラス繊維の周囲への飛散が防止されているリニアモータ。【選択図】図２
2009219206.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ギャップを介して相対移動可能に配設された永久磁石及び多相コイルと、前記多相コイルを収容すると共にこの収容された多相コイルを冷却する冷媒流路を有するジャケットを備えたリニアモータであって、
前記ジャケットは、ガラス繊維を含む強化プラスチックからなる基材と、この基材を被覆する被覆層から構成され、前記被覆層は樹脂をバインダーとして構成されると共に平均層厚が５〜５０μｍであり、前記基材の表面に露出したガラス繊維が前記被覆層により被覆されて当該ガラス繊維の周囲への飛散が防止されていることを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
請求項１に記載のリニアモータにおいて、前記基材はガラス繊維強化プラスチックによって形成されたものであることを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】
請求項１に記載のリニアモータにおいて、前記基材はガラス布に合成樹脂を含浸させたシート状部材を積層押圧してなる積層材によって形成されたものであることを特徴とするリニアモータ。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記被覆層は塗膜であることを特徴とするリニアモータ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載のリニアモータにおいて、前記基材及び前記被覆層の体積抵抗率はいずれも１×１０１０Ω・ｃｍ以上であることを特徴とするリニアモータ。
【請求項６】
磁気ギャップを介して相対移動可能に配設された永久磁石及び多相コイルと、前記多相コイルを収容すると共にこの収容された多相コイルを冷却する冷媒流路を有するジャケットを備えたリニアモータに用いるジャケットの製造方法であって、
ガラス繊維を含む強化プラスチックからなる前記ジャケットの基材を形成後、この基材の表面を、樹脂をバインダーとして構成されると共に平均層厚が５〜５０μｍの被覆層により被覆することを特徴とするリニアモータに用いるジャケットの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載のリニアモータに用いるジャケットの製造方法において、前記被覆層が、前記基材表面に塗料を塗布することにより形成した塗膜であることを特徴とするリニアモータに用いるジャケットの製造方法。
【請求項８】
請求項６又は７に記載のリニアモータに用いるジャケットの製造方法において、前記基材及び前記被覆層の体積抵抗率はいずれも１×１０１０Ω・ｃｍ以上であることを特徴とするリニアモータに用いるジャケットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体素子や液晶ディスプレイ等の電子部品の搬送手段として使用されるリニアモータ及びそれに用いるジャケットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置、液晶製造装置、あるいは半導体素子や液晶ディスプレイ等の検査装置などでは、各種部品の搬送手段として定盤に対して所定方向に移動するキャリッジを有するＹステージとそのステージに対して直交する方向に移動するキャリッジを有するＸステージを備えた２軸のステージ装置（Ｘ−Ｙステージ）が使用されている。上記キャリッジを直線移動させる手段として、走行路に沿う磁気ギャップを発生させる永久磁石等から構成される磁界発生部材と、その磁界内（磁気ギャップ内）において鎖交磁束を発生させる多相コイル等から構成されるコイル部材とを備え、磁界発生部材とコイル部材とを相対移動可能に構成したリニアモータが使用されている。
【０００３】
例えば、ヨークに支持された永久磁石を配した磁界発生部材を可動子とし、磁界発生部材と磁気ギャップを介して対向する多相コイルを配したコイル部材を固定子として具備する可動磁石型リニアモータや、磁界発生部材を固定子とし、多相コイルを可動子とする可動コイル型リニアモータが多用されている。これらのリニアモータを大推力にするためには多相コイルに流す電流量を増やすことが有効であるが、多相コイルへの通電電流量の増加に伴いコイルからの発熱量が増大する。この発熱量は電流の二乗に比例する。そうすると、磁界発生部材を構成する永久磁石の温度が上昇して永久磁石から発する磁束量が減少し、もってリニアモータの推力が低下してしまう。更に、周辺部材の熱変形により、リニアモータとして重要な高精度位置決め性能も低下するという問題がある。この対策として、ジャケットと称される多相コイル収容部材の内部に冷媒を供給し、冷媒を直接または間接的に多相コイルに接触させて冷却することが行われている（特許文献１参照）。
【０００４】
他方、磁気ギャップを狭くすればリニアモータの推力は増大するので、ジャケットを剛性の大きな材料で形成し、ジャケットの薄型化を図ることが有効である。この点から、特許文献１では、合成樹脂を含浸させたシート状部材を積層押圧してなる積層材（例えばエポキシ樹脂を含浸させたガラス布を積層させてプレス成形した積層材）で形成することにより、薄くても必要な強度が得られるようにし、同時に大推力を得ている。
【０００５】
特許文献２は、ジャケット（キャン板）が樹脂で形成されていると、その表面に存在する細かな凹部に直接もしくは溜まった水分を介して０．１μｍ程度のパーティクルが付着することがあり、半導体製造装置に使用した時に、露光用光源からの紫外線に曝露されて、キャン表面からパーティクルが離散する発塵や、樹脂が紫外線により分解してガスが発生するなどの問題があることを記載している。この対策として、キャン板の基材としてガラス布をエポキシ樹脂で固めた板状のＧＦＲＰなどを用い、少なくとも外面または内面にコーティングカバーを設けること（具体的には金属のメッキを施すことや金属の箔を接着すること）が記載されている。
【０００６】
【特許文献１】特許第３６９８５８５号公報
【特許文献３】特開２００２−３２０３７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載されるリニアモータでは、固定子用ジャケットがガラス布を含み、このジャケットの表面部のガラス布から脱落したガラス繊維が周囲に飛散し、クリーンルーム等の清浄な周囲環境を汚染させることが懸念される。
特許文献２に記載されるキャンドリニアモータ電機子は、樹脂板の表面が導電体である金属で覆われているので渦電流が流れ易く、もってリニアモータの制御性を低下させてしまうという問題がある。更に、導電性金属のメッキを施す作業は多数の工程からなり、このメッキのコーティングに多大の工数が必要である。また金属の箔を使用する場合は、接着工程が必要であり、使用する接着剤からの発ガスにより清浄な周囲環境を汚染させることが懸念される。
このように、特許文献１、２に記載の発明は実用上の観点から改善の余地がある。
【０００８】
従って本発明の目的は、清浄な周囲環境及び良好な制御性を保持することができる高性能のリニアモータ及びそれに用いるジャケットの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的に鑑み、本発明者が鋭意検討した結果、本発明のリニアモータは、磁気ギャップを介して相対移動可能に配設された永久磁石及び多相コイルと、前記多相コイルを収容すると共にこの収容された多相コイルを冷却する冷媒流路を有するジャケットを備えたリニアモータであって、前記ジャケットは、ガラス繊維を含む強化プラスチックからなる基材と、この基材を被覆する被覆層から構成され、前記被覆層は樹脂をバインダーとして構成されると共に平均層厚が５〜５０μｍであり、前記基材の表面に露出したガラス繊維が前記被覆層により被覆されて当該ガラス繊維の周囲への飛散が防止されていることを特徴とする。
従って、本発明のリニアモータは清浄環境下での長期使用に適する。
【００１０】
前記基材はガラス繊維強化プラスチックによって形成するのが実用的である。
また前記基材はガラス布に合成樹脂を含浸させたシート状部材を積層押圧してなる積層材によって形成するのが実用的である。
また前記被覆層は塗膜によって形成するのが実用的である。
また前記基材及び前記被覆層の体積抵抗率をいずれも１×１０１０Ω・ｃｍ以上とすることによりリニアモータの制御性を良好に保持できるので好ましい。
本発明に係る被覆層は、鉛筆硬度２Ｈ以上の硬度を有し、リニアモータの組立て時の他部材との接触、衝突等により損傷して被覆機能が消失することはない。
【００１１】
本発明のリニアモータに用いるジャケットの製造方法は、磁気ギャップを介して相対移動可能に配設された永久磁石及び多相コイルと、前記多相コイルを収容すると共にこの収容された多相コイルを冷却する冷媒流路を有するジャケットを備えたリニアモータに用いるジャケットを製造するにあたり、ガラス繊維を含む強化プラスチックからなる前記ジャケットの基材を形成後、この基材の表面を、樹脂をバインダーとして構成されると共に平均層厚が５〜５０μｍの被覆層により被覆することを特徴とする。
本発明の方法において、前記被覆層が、前記基材表面に塗料を塗布することにより形成した塗膜であるのが実用上好ましい。
本発明の方法において、前記基材及び前記被覆層の体積抵抗率をいずれも１×１０１０Ω・ｃｍ以上とすることによりリニアモータの制御性を良好に保持できるので好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
（１）ガラス繊維を含む強化プラスチック製のジャケットを用いたリニアモータであっても、ジャケットの構成部材である基材表面に露呈するガラス繊維の周囲への飛散が被覆層により防止されるので、長期にわたり清浄環境下でリニアモータを安定に駆動することができる。
（２）基材及び被覆層はいずれも１×１０１０Ω・ｃｍ以上の体積抵抗率を持ち絶縁性に富むので、多相コイルに通電した際にジャケット表面に流れる渦電流が抑制される。もって、高性能リニアモータとして要求される高精度位置決め性能、高速走行等を実現可能な高精度制御を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下本発明の詳細を添付図面により説明する。図１（ａ）はＸＹステージの平面図、図１（ｂ）は同側面図、図２は本発明の実施の形態に係わるリニアモータの断面図、図３は図１のリニアモータのジャケットを構成する第１のジャケットの断面図、図４（ａ）は図３のＡ―Ａ線断面図、図４（ｂ）は図３のＢ―Ｂ線断面図、図４（ｃ）は図３をＣ方向から見た矢視図、図５は図１のリニアモータのジャケットを構成する第２のジャケットの正面図、図６（ａ）は図５のＤ―Ｄ線断面図、図６（ｂ）は図５のＥ―Ｅ線断面図、図６（ｃ）は図５をＦ方向から見た矢視図である。
【００１４】
図１に示すＸＹステージ１は、平板状の定盤１１の表面に固設された一対のガイド１２上にリニア軸受（不図示）を介して配置されたＹステージ（以下キャリッジという）１３と、キャリッジ１３をＹ軸方向に移動させる一対のリニアモータ２を備えており、同図ではＸステージが省略されている。各リニアモータ２は、定盤１１に固設された支持ブロック３に保持されたジャケット４と、キャリッジ１３に接続された磁界発生部材８を備えている。磁界発生部材８は、後述の通り、強磁性のヨークと永久磁石から構成される。定盤１１は、高い位置決め精度を実現するために、剛性が高くかつ周囲の温度及び湿度変化に対して影響を受けにくい材料（例えばグラナイトに代表される石材）で形成されると共に、基準面となる表面は、高い面精度と平面度を有するように加工されている。
【００１５】
リニアモータ２の構造を図２により説明する。ジャケット４は、皿ネジ４０で一体的に固定された第１のジャケット５及び第２のジャケット６とその内部に収容された複数の空心の多相コイル（以下単にコイルということがある）７とを有する。可動子となる磁界発生部材８は、鉄や鋼等の強磁性体からなり、固定子となるジャケット４を取り囲むように形成された断面コ字形のヨーク９と、その内周面に磁気ギャップ１５、１５を介して異極同士が対向するように固着された直方体状の永久磁石１０とを有する。リニアモータ２によれば、対向する永久磁石１０の間隙（磁気ギャップ１５）に配置されたコイル７に選択的に通電することにより、可動子８を磁気ギャップ１５に沿って直線駆動できる。例えばコイル７を３相コイルとする場合は、各コイルに所定の位相差を有する正弦波電流を流すことにより、リニアモータ２の高精度位置決め、高速走行等の駆動を行うことができる。
【００１６】
各ジャケットの詳細を図３〜６により説明する。図３及び４に示す第１のジャケット５は高剛性であり、非常に薄肉に形成することができる。例えば長さＬが幅Ｗの６倍以上ありかつ厚さｔが幅ｗの０．１倍以下と薄くかつ細長い直方体である。第１のジャケット５は、第２のジャケット６と対向する合せ面５０に長手方向に沿って、コイル７の厚さの半分程度の深さｇ１を有しかつ例えば２個ずつ複数列並んだ仕切部５２で区切られた複数のコイル収容溝５１が設けられている。また各コイル収容溝５１の内周側には、コイル収容溝５１に連通する通路５４を挟んで複数のコア部５３が設けられ、各コア部５３の中心には皿ネジ４０（図２参照）が埋め込み可能な貫通穴５５が形成されている。本実施の形態では、通路５４の深さは、コイル収容溝５１の深さと同等に設定されているが、コイル収容溝５１よりも浅くてもあるいは深くてもよい。第１のジャケット部材５の合せ面５０には、ｈ１の高さを有する突出部５６が形成されている。第１のジャケット５の両端面には、冷媒の供給管（不図示）に接続される通路５７（図４（ｃ）参照）が設けられ、コイル７の周囲を冷媒が循環するように構成されている。
【００１７】
図５及び６に示す第２のジャケット６は高剛性であり、非常に薄肉に形成することができる。そして、第１のジャケット５と組み合わされたときに、正面から見て両部材が重なるように寸法設定がされている。第２のジャケット６は、第１のジャケット５と対向する合せ面６０に長手方向に沿って、コイル７の厚さの半分程度の深さｇ２を有しかつ例えば２個ずつ複数列並んだ仕切部６２で区切られた複数のコイル収容溝６１が設けられている。また各コイル収容溝６１の内周側には、コイル収容溝６１に連通する通路６４を挟んで複数のコア部６３が設けられ、各コア部６３の中心には皿ネジ４０（図２参照）が螺合されるネジ穴６５が形成されている。本例では、通路６４の深さは、コイル収容溝６１の深さと同等に設定されている。第２のジャケット６の内面側には、前記突出部５６（図３、４参照）を受取ることが可能な深さｈ２を有する溝部６６が形成されている。コイル収容溝６１は、冷媒が供給される流入口６８（図６（ｃ）参照）に連通して設けられている。さらに、コイル収容溝６１の短辺側の底部には、高さｈ３の段部６７が形成されることにより、コイル７とコイル収容溝６１との間隙にも冷媒が流動するように構成されている。
【００１８】
上記の第１のジャケット５及び第２のジャケット６は、剛性が大でかつ電気的に絶縁性を有しかつ耐水性（非浸水性）を有することが必要である。前記ジャケットの構成部材である基材及び被覆層の絶縁性は、ＪＩＳＫ６９１１（ＡＳＴＭ−Ｄ２５７）による体積抵抗率で、１×１０１０Ω・ｃｍ以上、好ましくは１×１０１１Ω・ｃｍ以上、より好ましくは１×１０１１Ω・ｃｍ〜９×１０２０Ω・ｃｍであることがよい。体積抵抗率が１×１０１０Ω・ｃｍ未満では渦電流の発生が顕著になり、９×１０２０Ω・ｃｍ超とするのは実用性に乏しい。
例えば、本発明に係るジャケットは、合成樹脂を含浸させたガラス布を積層して得られた積層体（基材）に、被覆層を被覆する表面処理を施して作製される。具体例としては、ガラス繊維から直径５〜１５μｍの線を撚った糸を縦糸及び横糸として織った（例えば平織）ガラス布を基板として熱硬化性樹脂（エポキシ樹脂、メラミン樹脂又はシリコーン樹脂など）を主体とするワニスを含浸させることにより、レジンクロスを製造する。次に、このレジンクロスを積層し、加熱しながらプレスし、乾燥後、所定寸法に切断して加熱硬化したレジンクロスを作製する。高価なＰＥＥＫ押出材のヤング率は０．９×１０５ｋｇ／ｃｍ２程度であるのに対し、前記積層体に所定の被覆層を被覆した本発明に係るジャケットのヤング率は２×１０５ｋｇ／ｃｍ２以上となり高剛性である。
本発明に係る被覆層はワニスを塗布して形成してもよい。ワニスとして、エポキシ樹脂、メラミン樹脂又はシリコーン樹脂などの熱硬化性樹脂、硬化剤、触媒及び添加材を所定比率で配合し、混合して調整したものを使用するのが好ましい。合成樹脂主体の油ワニス（樹脂ワニス）に限らず、天然樹脂主体の酒精ワニスを使用してもよい。
本発明に係る被覆層を構成する樹脂には上記ワニスの他、セルロースが含まれる。
【００１９】
上記のレジンクロス（例えばエポキシ樹脂を含浸させたガラス布を積層させてプレス成形した積層材）で形成したジャケットは、表面にガラス繊維が露出するので、その毛羽立ち及び飛散を防止するために、リニアモータに組み込む前に絶縁性を有する被覆層（図示を省略）を形成することが必要である。また、ガラス繊維強化プラスチック製の基材の場合も表面にガラス繊維が露出するので、絶縁性を有する被覆層を形成することが必要である。絶縁性の被覆層は、各ジャケット５、６の総ての表面に形成しても、あるいは両部材が組み合わされた時に、外気に露出する表面のみに形成してもよい。
絶縁性の被覆層の平均層厚は５〜５０μｍであり、１０〜３０μｍとするのが好ましい。平均層厚が５μｍ未満では十分な被覆効果を得られず、５０μｍ超としても被覆効果は飽和しており実用的でない。絶縁性の被覆層は樹脂をバインダーとする樹脂系材料により形成する。例えば基材表面に蒸着法によりポリパラキシリレン樹脂の皮膜を形成してもよい。あるいは基材表面に含浸法によりエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂の被覆層を形成してもよい。また基材表面に硬化型塗料を塗布後に硬化処理を行い、塗膜を形成してもよい。
硬化型塗料は室温〜１００℃以下の温度で硬化可能なものが好ましく、常温硬化型塗料が特に好ましい。常温硬化型塗料は、通常、樹脂分、着色剤、分散剤、レベリング剤及び有機溶剤を含み、固形分が３０〜５０％程度の主剤と、硬化剤とを混合したものを使用する。塗布手段は、はけ塗り、ローラーブラシ又はエアースプレー、浸漬などである。
【００２０】
常温硬化型塗料の構成材料として以下を例示できる。樹脂分としては、発ガスを防止するために、分解しにくい樹脂（例えばフッ素樹脂）と、塗装を容易に行うために、粘度が低くかつ少ない溶剤量で厚膜に塗装でき、しかも軟化点が低い低分子量樹脂（例えばビスフェノールＡ型エポキシ樹脂）とを用いることが好適である。フッ素樹脂（例えばＰＴＦＥ）は、Ｃ・Ｆの結合エネルギーが大きいので、分解しにくいという性質を持つ。更にＣ・Ｆ結合が低分極性を示すので、導電性が低下する（高絶縁性を示す）ので渦電流の発生防止に顕著な効果があり、特に有用である。
必要に応じて着色剤を使用できるが、有機顔料や、安価で耐熱性が良好な無機顔料、例えば酸化チタン（白色顔料）、モリブデンレッド（赤色顔料）又は酸化クロムグリーン（緑色顔料）などが挙げられる。
また必要に応じて添加剤を使用できるが、顔料の分散安定化を目的とする分散剤（例えば界面活性剤）又は表面調整（レベリング）を目的とレベリング剤（例えばポリジメチルシロキサン）などが挙げられる。
有機溶剤は、樹脂を溶解し、流動性を付与するために、例えばエーテル系（エチレングリコールモノエチルエーテル、セロソルブ等）、エステル系（酢酸エチル、酢酸ブチル）、ケトン類（アセトン、メチルエチルケトン等）、アルコール類（エタノール、ブタノール等）、脂肪族炭化水素（ミネラルスピリット等）あるいは芳香族炭化水素（キシレン、トルエン等）を使用すればよい。
【００２１】
図２に示すリニアモータ２を駆動する場合、コイル７に通電することによりコイル７を配した固定子４側に発熱が生じるので、絶縁性のジャケット４の内部に冷媒を供給し、コイル７の周囲に形成された通路（間隙）内を循環させる。この循環により、コイル７からの発熱が吸収され、周囲への熱的影響が低減され、高い位置決め精度を維持することができる。また、絶縁性のジャケット４の表面が絶縁性の被覆層で覆われているので、ガラス布の毛羽立ちに起因する発塵が防止され、簡単な構造であってしかも高いクリーン度を有するリニアモータとなる。冷媒としては、熱的及び化学的に安定でしかも不燃性、無毒、無臭で、耐環境性に優れた（オゾン破壊係数がゼロ）の液体が好ましく、更に耐環境性の点から、水（イオン交換水や蒸留水など）又は伝熱性の良好なフッ素系不活性液体（例えば住友スリーエム社製、商品名：フロリナート）を使用することが好ましい。前記冷媒の使用条件は、例えば、液圧は０．１〜０．２ＭＰａ、液量は１．５〜２ｌ／分程度に設定するのが好ましい。
【実施例】
【００２２】
以下、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。
【００２３】
（実施例１）
図２のリニアモータ２のジャケット４を構成する第１のジャケット５、第２のジャケット６用の基材を作製するために、まず、ガラス繊維から平織りして得たガラス布を基板とし、この基板にエポキシ樹脂を含浸させたシート状部材を作製した。このシート状部材を多数重ねて積層し、これをプレス機により押圧、圧縮した板状部材を得た。この板状部材を機械加工して一体形状の第１のジャケット５用及び第２のジャケット６用の基材を得た。次に得られた２つの基材の表面の全面にそれぞれワニスを塗布後、室温で乾燥させて、平均層厚１１μｍのワニスの塗膜(被覆層)を前記基材に形成した。こうして得られた被覆層を持つ第１のジャケット５及び第２のジャケット６からジャケット４を組み込んだ図２の可動磁石型リニアモータ２を作製した。このリニアモータ２を清浄なクリーンルーム内で２ヶ月間連続駆動する試験を行った結果、表１に示す通り、ジャケット４表面の渦電流の発生が抑制されてこのリニアモータの制御性は良好であった。また、試験後にクリーンルーム内の清浄度をＪＩＳＢ９９２０に準拠し、パーティクル数をカウントして測定した結果、この試験前後で清浄度の変化は無く良好であった。また、前記塗膜の硬度は鉛筆硬度２Ｈ相当であり、リニアモータ２への組み込み時の他部材との接触、衝突などにより塗膜が損傷することはなく、試験後も健全な状態であった。なお、ジャケット４は絶縁性であり、かつヤング率は２．４×１０５ｋｇ／ｃｍ２（高剛性）であるので非常に薄く形成できた結果、このリニアモータは大推力で高性能のものであった。
【００２４】
（比較例１）
ワニスを塗布しない以外は実施例１と同様にして第１のジャケット、第２のジャケットを作製後、リニアモータを組立てた。このリニアモータにより２ヶ月間連続駆動試験を行ったところ、表１に示す通り、渦電流の発生が顕著でありリニアモータの制御に悪影響を及ぼすことがわかった。またこの試験中にジャケット表面からのガラス繊維片の周囲への飛散が顕著に観察され、クリーンルーム内が汚染されることがわかった。
【００２５】
（実施例２）
図２のリニアモータ２を構成する第１のジャケット５用、第２のジャケット６用の基材を作製するために、市販のＧＦＲＰ製素材を機械加工して一体形状の前記基材を得た。次にこれらの基材の表面の全面に、下記の常温硬化型塗料を塗布後、室温で硬化させて平均層厚１６μｍの塗膜を設けたジャケット５、６を得た。使用した常温硬化型塗料は、ＰＴＦＥ、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、無機顔料、分散剤、レベリング剤及び有機溶剤からなる主剤と、ポリアミド樹脂及び有機溶剤からなる硬化剤を所定比率で均一に混合したものである。
以降は実施例１と同様にしてリニアモータを作製し、清浄なクリーンルーム内で２ヶ月間連続駆動試験を行った。その結果、表１に示す通り、渦電流の発生が抑制されてこのリニアモータの制御性は良好であった。また、試験後のクリーンルーム内の清浄度はこの試験の前後で変化が無く良好であった。また前記塗膜の硬度は鉛筆硬度３Ｈ相当であり、組立作業時における他部材との接触、衝突による損傷が認められず健全な状態であった。
【００２６】
（比較例２）
常温硬化型塗料を塗布しない以外は実施例２と同様にしてジャケット５、６を作製した。以降は実施例２と同様にしてリニアモータを作製後、２ヶ月の連続駆動試験を行ったところ、表１に示す通り、渦電流の発生が顕著となり制御性が悪かった。またこの試験中にジャケット表面からのガラス繊維片の周囲への飛散が顕著に観察された。
【００２７】
【表１】
2009219206.tif 000003
【００２８】
表１から、基材表面に被覆層を形成することにより、良好な清浄度及び制御性を実現できることがわかる。
【００２９】
図１〜５では多相コイルを冷媒に直接接触させる直接冷却の場合を記載したが特に限定されない。例えば、多相コイルを収容したジャケットにおいて前記多相コイルと接触しない部位に冷媒を流通させる構造とすることにより、多相コイルを冷媒により間接的に冷却する場合にも上記実施例と同様の効果を奏することができる。
【００３０】
上記実施例では可動磁石型のリニアモータについて記載したが、特に限定されない。例えば、磁界発生手段(永久磁石を固着した強磁性ヨーク側)を固定子とし、コイルを内蔵したジャケットを可動子とした可動コイル型リニアモータに適用した場合にも上記実施例ととほぼ同等の効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】（ａ）はＸＹステージの平面図、（ｂ）は同側面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係わるリニアモータの断面図である。
【図３】図１のリニアモータのジャケットを構成する第１のジャケットの正面図である。
【図４】（ａ）は図３のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図３のＢ−Ｂ線断面図、（ｃ）は図３をＣ方向から見た矢視図である。
【図５】図１のリニアモータのジャケットを構成する第２のジャケットの正面図である。
【図６】（ａ）は図５のＤ−Ｄ線断面図、（ｂ）は図５のＥ−Ｅ線断面図、（ｃ）は図５をＦ方向から見た矢視図である。
【符号の説明】
【００３２】
１：ＸＹステージ、１１：定盤、１２：ガイド、１３：キャリッジ、１５:磁気ギャップ、
２：リニアモータ、３：支持ブロック、４：ジャケット又は固定子、４０：皿ネジ、
５：第１のジャケット、５１：コイル収容溝、５２：仕切部、５３：コア部、５４：通路、５５：貫通穴、５６：突出部、５７：通路
６：第２のジャケット、６１：コイル収容溝、６２：仕切部、６３：コア部、６４：流路、６５：ネジ穴、６６：溝部、６７：段部、６８：通路
７：空心コイル、
８：磁界発生部材または可動子、９：ヨーク、１０：永久磁石
【図１】
2009219206.tif 000004
【図２】
2009219206.tif 000005
【図３】
2009219206.tif 000006
【図４】
2009219206.tif 000007
【図５】
2009219206.tif 000008
【図６】
2009219206.tif 000009