(57)【要約】【課題】反射防止構造における微細凹凸形状を最適化し、もって電磁波の反射防止性能を向上すると共に、微細形状の破壊を防止することができ、反射防止機能と耐傷付き性を兼ね備えた反射防止構造と、このような微細構造を備え、例えば自動車のメーターフロントカバーやウインドウガラス、ＩＲカメラレンズなど広域な波長範囲に対応することができる反射防止成形体を提供する。【解決手段】入射する電磁波の波長λよりも小さい開口サイズＤを有する錐台状の微細凹部２を波長λよりも短いピッチＰで配置し、錐台状微細凹部２の底部と開口周縁部に平面状の底部反射面２ｂと開口縁反射面２ｆとをそれぞれ形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
略円形又は多角形をなす開口部を備え、該開口形状に外接する円の径がＤである円錐台状又は角錐台状をなす無数の錐台状微細凹部がピッチＰで配列されて成り、上記錐台状微細凹部の底部と開口周縁部とに平面状の反射面を有すると共に、上記外接円径Ｄ及びピッチＰが入射する電磁波の波長λよりも小さいことを特徴とする反射防止構造。
【請求項２】
上記錐台状微細凹部の底部反射面占有率Ｒｂと開口縁反射面占有率Ｒｆの比Ｒｂ／Ｒｆが０．３〜２．０であると共に、微細凹部の深さＳが次式（１）により算出される値であることを特徴とする請求項１に記載の反射防止構造。
Ｓ＝Ａ（λ／２ｎ）  ・・・（１）
（式中のｎは微細凹部形成部分の平均屈折率、Ａは０．６〜１．４の範囲の任意の値を示す）
【請求項３】
上記錐台状微細凹部の稜線形状が次式（２）で表わされるｍ次の非線形式で表される曲線をなし、次数ｍが１．５を超え、２．５以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の反射防止構造。
Ｘ＝（Ｄ／２）×｛１−（Ｚ／ｓ）ｍ｝・・・（２）
（式中のｓは錐台状微細凹部の稜線の延長線の交点までの深さを示す）
【請求項４】
上記錐台状微細凹部の開口形状への外接円径Ｄ及びピッチＰが３８０ｎｍ以下であり、当該微細凹部の深さＳが１６０〜２４０ｎｍであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つの項に記載の反射防止構造。
【請求項５】
上記錐台状微細凹部の開口形状への外接円径Ｄ及びピッチＰが２５０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項４に記載の反射防止構造。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１つの項に記載の反射防止構造を基材の少なくとも一方の面に備えていることを特徴とする反射防止成形体。
【請求項７】
上記基材が透明であることを特徴とする請求項６に記載の反射防止成形体。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の反射防止成形体を用いたことを特徴とする自動車部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波の反射防止機能と共に、耐傷付き性にも優れた反射防止構造と、このような構造を備え、光や電波の無反射パネルとして、例えば、自動車を始めとする車両や船舶、航空機などのボディや各種メーター類、ディスプレイ装置などに好適に使用することができる成形体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
航空機、自動車、船舶などの分野においては、レーダーに映らないステルス技術、車間計測などのＩＲ計測カメラ、メーターカバー、液晶表示装置など、様々な場所で電磁波の反射防止が必要である。
例えば、自動車の運転席には、スピードメータや燃料計などの各種計器類をまとめて収納したディスプレイ部の前面にメーターフロントカバーが嵌め込まれている。
しかし、このメーターフロントカバーに、フロントウインドウやサイドウインドウを通して車外の景色が映り込むことによって、ディスプレイ部の各種表示が見づらくなることがある。そのため、その上方にメーターフードを配置して、メーターディスプレイへの外光の入射を遮るようにしている。
【０００３】
このような光の反射を防止するための構造としては、屈折率の異なる複数の薄膜から成る多層反射防止膜が知られているが、このような多層反射防止膜よりもさらに反射率を低下できるものとして、微細構造を用いた反射防止構造の提案がなされている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２６７８１５号公報
【０００４】
上記特許文献１には、透明性成形品の表面に、透明性素材から成る無数の微細凹凸を光の波長以下のピッチで形成することによって、光の屈折率が厚み方向に変化するようにした反射防止構造が記載されている。
すなわち、例えば波形あるいは三角形をなす無数の微細凹凸が表面に形成されていることによって、凹凸の最表面では透明性素材の存在割合が限りなく０％に近いものとなって、実質的に空気の屈折率に等しくなる。一方、凹凸の底部では逆に空気の存在割合が限りなく０％に近いものとなって透明性素材の屈折率と等しくなり、中間部ではその断面における透明性素材の占める断面積に応じた屈折率となる。その結果、光の屈折率が当該反射防止構造の厚み方向に、空気の屈折率から透明性素材の屈折率の間で連続的に変化するようになる。したがって、屈折率の異なる複数の薄膜から成る多層反射防止膜（この場合の屈折率は段階的に変化する）と同様の原理によって、当該反射防止膜よりも優れた反射防止性能が発揮されることになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に記載の構造においては、光の反射率の低下が可能であるものの、反射防止効果向上のために微細凹凸の先端部を鋭角状にした場合には、構造体の表面に触れたり、表面を拭いたりすることによって、先端部が破損し易く反射防止性能が損なわれるという問題点があった。
【０００６】
本発明は、入射電磁波の波長以下のピッチ及びサイズに形成した微細凹凸構造から成る従来の反射防止構造における上記課題を解決すべくなされたものである。
本発明の目的とするところは、微細凹凸形状を最適化し、もって電磁波の反射防止性能を向上すると共に、微細形状の破壊を防止することができ、反射防止機能と耐傷付き性を兼ね備えた反射防止構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、反射防止性微細構造を基材表面に穿った穴状をなす無数の微細凹部から成るものとし、当該微細凹部の形状を錐台状として、凹部底面と開口部周縁とに２つの反射面を形成することによって、上記目的が達成できることを見出し、本発明を完成するに到った。
【０００８】
本発明は上記知見に基づくものであって、本発明の反射防止構造は、略円形又は多角形をなし、入射する電磁波の波長よりも小さいサイズの開口部を備えた円錐台状又は角錐台状をなす無数の微細凹部が入射する電磁波の波長よりも短いピッチで配列されており、これら錐台状微細凹部の底部と開口周縁部とに平面状をなす反射面をそれぞれ有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、反射防止構造を無数の微細凹部から成るものとし、凹部形状を錐台状（円錐台状又は角錐台状）とし、その開口形状を直径Ｄの円、又はこの直径Ｄの円に内接する多角形（但し、Ｄ＜λ：入射電磁波の波長）として、ピッチＰ（但し、Ｐ＜λ）で配列し、当該錐台状微細凹部の底部と開口周縁部に反射面をそれぞれ形成することとしたため、反射防止機能と耐傷付き性とを両立させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の反射防止構造や、該微細構造を適用した反射防止成形体について、その製造方法や実施形態などと共に、さらに詳細に説明する。
【００１１】
本発明の反射防止構造は、上記したように、錐台状をなす無数の微細凹部から構成され、その底部と開口周縁部とに反射面をそれぞれ備えると共に、当該微細凹部の開口部サイズが入射する電磁波の波長よりも小さく、この波長よりも短いピッチで配列されているものである。
【００１２】
図１は、本発明の反射防止構造の実施形態の一例を示すものであって、本発明の反射防止構造１は、底部が平坦な円錐台又は角錐台形状（図においては、その典型例として四角錘台を示す）をなす無数の微細凹部２が入射する電磁波の波長λよりも短いピッチＰで配列された構造を備えたものである。なお、このとき、微細凹部の開口サイズ、すなわち、円錐台の場合には開口部径、角錐台の場合には開口部を形成する多角形に外接する円の径Ｄ（図の例では、対角線の長さに一致）についても、後述するように、入射電磁波の波長λよりも小さいことになる。
【００１３】
したがって、当該反射防止構造の厚み方向の各段面における構造素材と空気の存在比率によって定まる各断面における電磁波の屈折率が、厚み方向に向けて空気の屈折率から素材の屈折率まで、連続的に変化するようになる。これによって、微細凹凸から成る構造の場合と同様に、電磁波の反射防止特性が発揮される。一方、各微細凹部２の底部が平坦化されているので、当該微細凹部２の底面から反射した電磁波は、開口部周縁の平面部で反射した電磁波と相殺され、さらなる低反射化が可能となる。
また、微細凹部２は穴状をなし、しかも開口周縁部に反射面を有し、隣接する凹部の開口部間の壁が繋がっていることから、他の部材と擦れ合ったり、ぶつかったりしても損傷を受けにくく、反射防止性能に対する影響を最小限のものとして、電磁波の反射防止機能と耐傷付き性とを両立させることができる。
【００１４】
上記微細凹部２の大きさについては、その形状が図１（ｂ）に示すような角錐台状の場合には、当該微細凹部２の開口部を形成する多角形に外接する円の径をＤとするとき、Ｄ＜λ（入射電磁波の波長）の範囲内とすることが必要となる。特に、可視光線の反射を防止するためにはＤ≦３８０ｎｍ、さらに好ましくはＤ≦２５０ｎｍとすることが望ましい。
この他、紫外線についてはＤ≦１５０ｎｍ、近赤外線についてはＤ≦７８０ｎｍであることが好ましい。
【００１５】
すなわち、開口部寸法Ｄが入射電磁波の波長λ以上となると、隣接する微細凹部２間のピッチＰを当該波長λよりも短くすることができず、電磁波が回折し、反射防止機能が低下することになる。特に、Ｄ≦２５０ｎｍとすることによって、光の入射角度が変化しても回折光による着色の影響が現れないようになる。
なお、微細凹部２の形状が円錐台状の場合（円形開口部）には、開口部の径をＤをもって開口サイズとする。
【００１６】
本発明において、微細凹部２の底面と、開口周縁の平面部からの反射電磁波が相殺されるためには、底部と開口周縁における平面部の反射面占有率Ｒｂ、Ｒｆと、微細凹部２の深さＳが重要となる。
底面反射面占有率Ｒｂと開口縁反射面占有率Ｒｆとは、当該反射防止構造１の繰り返しの１単位を抜き出したときの底面と、開口部周縁平面の反射面の占有率である。
【００１７】
具体的には、図２に示すように、反射防止構造１を上方から見たときに、まず、微細凹部２の底部の平坦面を底部反射面２ｂ、微細凹部２の開口部周縁の平面部を開口縁反射面２ｆとする。そして、単位面積（図においては、破線で囲まれた正方形をなす１単位の面積）に対する底部反射面２ｂの面積率を底部反射面占有率Ｒｂ、同じく正方形の単位面積に対する開口縁反射面２ｆの面積率を開口縁反射面占有率Ｒｆと定義する。
本発明の反射防止構造１においては、底部と開口周縁部の反射面占有率の比、Ｒｂ／Ｒｆが０．３〜２．０のときに電磁波の反射防止性が向上する。なお、このＲｂ／Ｒｆ比については、０．８〜１．２の範囲であることがより好ましい。
【００１８】
なお、微細凹部２の底部反射面２ｂ及び開口縁反射面２ｆは、上記の占有率比を満たす範囲でさえあれば、特に限定はなく、平面であることを基本とするが、多少の凹凸は許容される。すなわち、高さ２０ｎｍ以内の凹みや膨らみ、凹凸などは反射率に大きく影響するものではない。
また、底部反射面２ｂと開口縁反射面２ｆは実質的に平行であることが望ましいが、この場合の平行度としては、両面のなす角度が５°以内であれば反射率に大きく影響することはない。
【００１９】
次に、微細凹部２の深さＳについては、入射電磁波を相殺するために開口周縁部からの反射電磁波と底面からの反射電磁波の位相をπ／２ずらしたときに最も効果が大きくなる。
具体的には、深さＳ＝（入射波長λ／（２×平均屈折率ｎ））×Ａの式（１）で表され、Ａの値は、０．６〜１．４の範囲であることが好ましく、更に好ましくは、０．８〜１．２の範囲である。なお、ここで言う平均屈折率とは、入射電磁波に対する屈折率を意味する。
【００２０】
図３は、上記（１）式におけるＡの値と可視光の反射率の関係を図示したものである。  すなわち、ポリカーボネート基材の両面に、開口径１００ｎｍ、底面径３５ｎｍの円錐台状をなし、稜線形状が後述するような２次の非線形式（２）で表され、種々の深さを有する無数の微細凹部を１００ｎｍのピッチで配列した反射防止構造を試作し、その反射率を測定した結果である。
【００２１】
このように、Ａの値が０．６より小さい場合には、微細凹部２の深さＳが浅くなり、２つの反射面からの反射電磁波が、目的とする波長範囲で低反射にできなくなる。また、Ａの値が１．４を超えた場合、微細凹部２の深さＳが深くなり、屈折率変化が緩やかになるため、ある程度の反射防止性は確保できるものの、Ａの値が増すと共に反射率が大きくなる傾向を示す。
【００２２】
特に、可視光における反射防止を目的とする場合、人間の目に対し感度の高い５４０〜５６０ｎｍ付近の波長が最低反射率となるように設計すればよい。
電磁波の種類による微細凹部２の深さＤの範囲については、上記（１）式で導出される範囲であればよいが、特に好ましくは、紫外線領域で８０〜１６０ｎｍ、可視光線領域で１６０〜３５０ｎｍ、さらに好ましくは１６０〜２４０ｎｍ、赤外線領域では３５０ｎｍ〜４５μｍ程度である。
【００２３】
なお、平均屈折率ｎとは、微細凹部２の開口部から底面までの高さ範囲における材料の屈折率を平均化した数値である。平均屈折率の導出方法は、単位ユニットの微細凹部２を高さ方向と垂直な方向で１００分割し、その各単位での固体と空間の比率より屈折率を導出し、平均値を算出する。
【００２４】
本発明の反射防止構造を構成する微細凹部２は、上記したように『錐台状』をなすものであり、図１においては、四角錐台形のものを示した。しかし、本発明における微細凹部２の形状としては、正確な角錐台（稜が直線、側面が平面）や円錐台（母線が直線）のみならず、開口部から底面側に向かって空間の断面積が順次小さくなるような形状である限り、側面が曲面をなす角錐台状のものや、母線が曲線である円錐台状のものであってもよい。
さらに、微細凹部２の開口部の中心と底面の中心点を結ぶ直線は、必ずしも開口面（基材面）に対して垂直である必要はなく、傾いていてもよい。
【００２５】
このように、本発明において『錐台状』とは、正確な円錐台や角錐台のみならず、釣り鐘形や椎の実形の変形円錐や曲面から成る側面を有する変形角錐の尖端部を平坦にしたものや傾斜したものをも含めた形状を意味するものとする。
【００２６】
そして、上記微細凹部２の稜線形状、すなわち微細凹部２の底面の重心を通る開口面に垂直な梯形断面における上底と下底を結ぶ線は、次式（２）で表されるようなｍ次の線形式（但し、１．５＜ｍ≦２．５）で表される形状となっていることが望ましい。これによって、反射防止構造における微細凹部の開口面から底面に到るまでの屈折率の変化の割合が均一なものとなって、反射防止機能をより向上させることができる。
すなわち、微細凹部２の中心を通る垂直断面における開口辺をＸ軸上に、稜線を延長したときの交点までの深さをｓとし、この交点をＺ軸上にとると、稜線上のＸ座標値は、次式（２）に基づいて、図４に示すように表わすことができる。このとき、交点の位置によって定数項を加えて補正することもできる。
Ｘ＝（Ｄ／２）×｛１−（Ｚ／ｓ）ｍ｝・・・（２）
【００２７】
また、微細凹部２の開口形状については、略円形、すなわち円形や楕円形、卵形や、多角形である三角形、四角形、五角形、六角形、さらには多角形の各辺が外側に膨らんだような形状の円形と多角形の中間のような形状のものを採用することができる。これらの中で、円形、四角形、六角形については比較的製造しやすくかつ密に配列できるので好ましい。
なお、このような微細凹部２については、底面を形成する形状に外接する円の径Ｄを底面サイズとする。すなわち、円形底面の場合はその径、楕円や卵形の場合はその長軸径、多角形の場合は、これに外接する円の径がＤに相当する。
【００２８】
上記微細凹部２の配列については、微細凹部２の周縁部に開口縁反射面２ｆを形成する観点から、開口部が円形である場合には、細密配列することができる。
これに対して、微細凹部２の開口形状が平面上に隙間なく敷き詰めることができる正三角形、正方形、正六角形などの場合は、微細凹部２同士の間に、隙間を空けて配列することが必要となる。
【００２９】
本発明の上記反射防止構造を、入射光が可視光線の場合には、透明基材の片面、望ましくは両面に成形することによって、反射防止成形体とすることができる。そして、このような成形体を各種ディスプレイ装置のパネルや、ショウウインドウ、展示ケースなどの透明パネルに適用することによって、外光や室内照明の反射を低減し、反射像の映り込みを効果的に防止して、映像や表示、内部展示物の視認性を向上させることができる。
また、自動車を始めとする各種の部品、例えば、ウインドウやルーフのガラス、メーターフロントカバー、ヘッドランプ、リヤフィニッシャー、液晶などの表示装置の最前面に用いるフィルムなど適用することによって、同様の反射防止効果を得ることができる。
【００３０】
本発明の反射防止成形体を製造するに際しては、上記のような微細凹部２を反転させた無数の微細突起を備えた成形型を用意し、この成形型と基材の一方、又は双方を加熱した状態で両者を相対的に押し当てることによって、当該基材の表面に上記のような反射防止構造１を成形することができる。
また、上記成形型と基材の間に、活性エネルギー線硬化性樹脂を介在させた状態で活性エネルギー線を照射し、当該樹脂を硬化させることによって、当該基材の表面に上記のような反射防止構造１を成形し、反射防止成形体とすることができる。
【００３１】
上記基材の材料としては、代表的には透明性があるものが望ましく、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニール、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ＡＳ樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、ガラス強化ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶性ポリマー、フッ素樹脂、ポリアレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリイミド等の熱可塑性樹脂や、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリアミドビスマレイミド、ポリビスアミドトリアゾール等の熱硬化性樹脂、及びこれらを２種以上ブレンドした材料を用いることができる。
【００３２】
また、例えば紫外線などの照射によって重合を開始し、硬化する活性エネルギー線硬化樹脂としては、例えば、紫外線硬化型アクリルウレタン計樹脂、紫外線硬化型ポリエステルアクリレート系樹脂、紫外線硬化型エポキシアクリレート樹脂、紫外線硬化型ポリオールアクリレート樹脂、紫外線硬化型エポキシ樹脂などを挙げることができ、必要に応じて活性エネルギー線を照射することによってラジカルを発生する重合開始剤を用いることもでき、より強固に固めるためイソシアネートのような硬化剤を加えることもできる。
なお、ここで用いられる活性エネルギー線としては、代表的には、紫外線やＸ線、その他電子線、電磁波などが挙げられるが特に限定されるものではない。
【００３３】
また、ガラス等の無機系透明材料を用いることも可能であり、この場合には、電子ビーム等によってガラス表面を切削することにより上記のような反射防止構造を形成する方法や、本発明の反射防止構造を備えた型に溶融した無機系透明材料を流し込む方法によって基材表面に当該反射防止構造を形成することができる。
【実施例】
【００３４】
以下に、実施例に基づいて、本発明をさらに具体的に説明する。なお、本発明がこれらの実施例のみに限定されないことは言うまでもない。
【００３５】
（実施例１）
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、この金型を１７０℃に加熱したのち、ポリカーボネート基材の両面に１０ＭＰａの圧力で１時間押し当てた後、７０℃以下まで冷却した。これによって、表１に示すように、開口部の直径Ｄが１０００ｎｍ、底面の直径が２５０ｎｍ、深さＳが７５０ｎｍであって、開口外周部分から底面外周部分に至る稜線が、２次の非線形式（２）で表される円錘台状をなす微細凹部２が六方細密状態（ピッチＰ＝１０００ｎｍ）に配列された反射防止構造１を両面に備えた反射防止成形体を作製した。
【００３６】
そして、得られた成形体に波長２０００ｎｍの赤外線を照射し、入射角度０度、測定角度０度における反射率を測定し、反射防止性能を評価した。
また、当該成形体の表面を、ブロード布を用いて、面圧３９２Ｐａで５０００回往復摺動した後における傷の発生具合を目視により観察し、傷の発生が確認できたものを「×」、発生が認められなかったものを「○」として、耐傷付き性を評価した。これらの結果を表２に示す。
【００３７】
（実施例２）
同様の電子線描画装置で作成した金型を使用し、上記実施例１と同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、表１に示すように、開口部の直径Ｄが３００ｎｍ、底面の直径が４５ｎｍ、深さＳが２２０ｎｍ、開口外周部分から底面外周部分に至る稜線が、２次の非線形式（２）で表される円錘台状をなす微細凹部２が六方細密状態（ピッチＰ＝３００ｎｍ）に配列された反射防止構造１を備えた反射防止成形体を作製した。
【００３８】
そして、得られた成形体に波長５５５ｎｍの可視光を照射し、入射角度０度、測定角度０度における反射率を測定し、反射防止性能を評価すると共に、耐傷付き性を上記同様の要領により評価した。この結果を表２に併せて示す。
【００３９】
（実施例３〜９）
上記実施例２と同様の操作を繰り返すことによって、ポリメチルメタクリレート基材の両面に、それぞれ表１に示す寸法を備え、それぞれの稜線形状を有する円錘台状の微細凹部２が六方細密状態に配列された反射防止構造１を備えた反射防止成形体をそれぞれ作製した。
そして、得られた各成形体について、反射率及び耐傷付き性を実施例２と同様の要領によりそれぞれ評価した。これらの結果を表２に併せて示す。
【００４０】
（比較例１）
市販の電子線描画装置で作成した金型を使用して、この金型に紫外線硬化アクリル樹脂を流し込み、ポリカーボネート（ＰＣ）基材を押し当てた状態で、紫外線を照射して固化させた。これによって、ＰＣから成る基材の両面に、ポリメタクリル酸メチル（ＰＰＭＡ）から成り、底部外接円の直径Ｄが２００ｎｍ、高さＨが１８０ｎｍである正四角錐（稜線は１次の線形式）をなす微細凸部が隙間なく配列された厚さ２００ｎｍの微細構造層を備えた反射防止成形体を作製した。
そして、得られた成形体について、反射率及び耐傷付き性を上記実施例と同様の要領によりそれぞれ評価した。その結果を表２に併せて示す。
【００４１】
【表１】
2009198626.tif 000003
【００４２】
【表２】
2009198626.tif 000004
【００４３】
この結果、本発明の範囲である実施例１〜９においては、いずれも入射電磁波に対する反射率が低く、耐傷付き性に優れることが確認された。
これに対し、比較例１の反射防止成形体においては、四角錐状の微細凸部から成るものであるから、特に耐傷付き性に劣る結果となった。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】（ａ）  本発明の反射防止構造の一例を示す斜視図である。（ｂ）  図１（ａ）に示した反射防止構造を構成する微細凹部の形状を説明する断面図である。
【図２】本発明の反射防止構造における底部反射面占有率及び開口縁反射面占有率について説明する平面図である。
【図３】可視光の反射率に及ぼすＡ値（＝２ｎＳ／λ）の影響を示すグラフである。
【図４】本発明の反射防止構造における微細凹部の稜線形状をｍ次の線形式で表した説明図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  反射防止構造
２  微細凹部
２ｂ  底部反射面
２ｆ  開口縁反射面
Ｒｂ  底部反射面占有率
Ｒｆ  開口縁反射面占有率
【図１】
2009198626.tif 000005
【図２】
2009198626.tif 000006
【図３】
2009198626.tif 000007
【図４】
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