(57)【要約】【課題】検査対象板の欠陥の検査において、検査時間の大幅な短縮化を図る。【解決手段】複数の検査対象板を連続的に検査する検査部と、当該検査部を制御すると共に欠陥が見つかった場合に少なくともその欠陥の位置情報を蓄積する制御コンピュータと、前記欠陥情報をその欠陥を有する検査対象板の検査時に同時に表示する欠陥情報表示部とを備えて構成した。これにより、欠陥が見つかった場合に、少なくともその欠陥の位置情報をその欠陥を有する検査対象板の検査時に同時に表示して、その欠陥情報を基に次の検査対象板に対して同じ欠陥が発生すると予想し、そこに重点を置いて検査する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の検査対象板を連続的に検査する検査部と、
当該検査部を制御すると共に欠陥が見つかった場合に少なくともその欠陥の位置情報を蓄積する制御コンピュータと、
前記欠陥情報をその欠陥を有する検査対象板の検査時に同時に表示する欠陥情報表示部と
を備えて構成されたことを特徴とする欠陥予測システム。
【請求項２】
複数の検査対象板を連続的に検査する検査部と、
当該検査部を制御すると共に欠陥が見つかった場合に少なくともその欠陥の位置情報を蓄積する制御コンピュータと、
当該制御コンピュータに蓄積した複数の欠陥情報を連続的に又は同時に表示する欠陥情報表示部と
を備えて構成されたことを特徴とする欠陥予測システム。
【請求項３】
請求項２に記載の欠陥予測システムにおいて、
前記制御コンピュータが、蓄積した複数の欠陥情報のうち発生数の多い欠陥の種類又は位置情報のうちの一方又は両方を基に欠陥の傾向を分析し前記欠陥情報表示部に表示させることを特徴とする欠陥予測システム。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の欠陥予測システムにおいて、
前記検査対象板に欠陥が見つかったときその欠陥情報を前記制御コンピュータに自動又は手動で入力する入力手段を備えたことを特徴とする欠陥予測システム。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の欠陥予測システムにおいて、
前記欠陥情報表示部が、前記検査対象板と同じ形状で、かつ見つかった欠陥の位置に記号を付した図形を表示することを特徴とする欠陥予測システム。
【請求項６】
請求項５に記載の欠陥予測システムにおいて、
前記欠陥情報表示部に表示される記号が、欠陥の種類に応じて異なった記号であることを特徴とする欠陥予測システム。
【請求項７】
複数の検査対象板を連続的に検査する際に欠陥の傾向を予測する欠陥予測方法であって、
欠陥が見つかった場合に少なくともその欠陥の位置情報をその欠陥を有する検査対象板の検査時に同時に表示して、その欠陥情報を基に次の検査対象板に対して同じ欠陥が発生すると予想し、そこに重点を置いて検査することを特徴とする欠陥予測方法。
【請求項８】
複数の検査対象板を連続的に検査する際に欠陥の傾向を予測する欠陥予測方法であって、
欠陥が見つかった場合に少なくともその欠陥の位置情報を蓄積すると共に、蓄積した複数の欠陥情報を連続的に又は同時に表示し、その欠陥情報を基に次の検査対象板に対して同じ欠陥が発生すると予想し、そこに重点を置いて検査することを特徴とする欠陥予測方法。
【請求項９】
請求項８に記載の欠陥予測方法において、
蓄積した複数の欠陥情報のうち発生数の多い欠陥の種類又は位置情報のうちの一方又は両方を基に欠陥の傾向を分析し、その欠陥情報を基に検査することを特徴とする欠陥予測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の検査対象板の検査の際に用いる欠陥予測システム及び欠陥予測方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等の検査対象板の検査の際には、前工程での加工処理を終えた検査対象板が検査工程に搬送される。検査工程では、検査対象板の搬送ラインに検査装置が設置され、搬送されてくる検査対象板を検査装置で順次検査する。
【０００３】
検査対象板にはロット番号等のＩＤが表示されている。検査においては、このＩＤを基にデータの管理が行われる。検査対象板が検査装置に搬送されると、ＩＤが読み取られ、検査対象板毎に欠陥等の管理が行われる。
【０００４】
点灯検査装置においては、検査対象板が点灯されて検査が行われる。この際、検査対象板に点灯パターンと共に、例えばカーソルが表示される。このカーソルは、例えばマウスで自由に移動できるようにされ、検査対象板に欠陥があると、その欠陥の位置までマウスでカーソルを移動させて、欠陥の位置でクリックする。これにより、マウスで移動させたカーソルの位置が、点灯検査用信号から特定され、欠陥の位置情報がホストコンピュータに入力される。また、欠陥の種類は、検査者が入力手段から入力する。
【０００５】
このような点灯検査装置は搬送ラインにおいて複数台設置され、各点灯検査装置がそれぞれホストコンピュータに接続されて、欠陥情報が送られる。
【０００６】
これの欠陥情報は、検査対象板のＩＤと共にホストコンピュータで管理され、解析される。即ち、ホストコンピュータにて、不良解析が行われ、原因が特定される。この例としては、特許文献１がある。
【特許文献１】特開２００５−１３６１０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、多数の検査対象板を検査する場合において、ホストコンピュータで、全てのデータを均等に解析すると、解析処理に時間がかかる。例えば、１０００枚の検査対象板を１ロットとして検査する場合は、ホストコンピュータで、全てのデータを均等に解析すると、処理情報量が膨大になって解析処理に時間がかかり、検査時間が延びてしまう。
【０００８】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、検査処理の効率化を図り、検査時間を短縮することができる欠陥予測システム及び欠陥予測方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために本発明に係る欠陥予測システムは、複数の検査対象板を連続的に検査する検査部と、当該検査部を制御すると共に欠陥が見つかった場合に少なくともその欠陥の位置情報を蓄積する制御コンピュータと、前記欠陥情報をその欠陥を有する検査対象板の検査時に同時に表示する欠陥情報表示部とを備えて構成した。また、前記欠陥情報表示部は、前記制御コンピュータに蓄積した複数の欠陥情報を連続的に又は同時に表示する場合もある。
【００１０】
また、本発明に係る欠陥予測方法は、複数の検査対象板を連続的に検査する際に欠陥の傾向を予測する欠陥予測方法であって、欠陥が見つかった場合に少なくともその欠陥の位置情報をその欠陥を有する検査対象板の検査時に同時に表示して、その欠陥情報を基に次の検査対象板に対して同じ欠陥が発生すると予想し、そこに重点を置いて検査する。また、蓄積した複数の欠陥情報を連続的に又は同時に表示し、その欠陥情報を基に次の検査対象板に対して同じ欠陥が発生すると予想し、そこに重点を置いて検査する場合もある。
【発明の効果】
【００１１】
検査処理の効率化を図り、検査時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態に係る欠陥予測システム及び欠陥予測方法について、添付図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態の欠陥予測システムに組み込まれる点灯検査装置としては、種々のものを用いることができる。例えば検査対象が液晶パネルの場合においては、その製造工程において、液晶が封入された液晶パネルについて、仕様書通りの性能を有するか否かの検査（試験）が行われる。この検査には、一般に、複数のプローブを有するプローブユニットを備えた点灯検査装置が用いられる。この場合、点灯検査装置の各プローブを液晶パネルの電極に押圧した状態で、所定の電極に所定の電気信号を供給することにより検査が行われる。この種の点灯検査装置全てを本実施形態の欠陥予測システムに組み込むことができる。
【００１３】
本実施形態の欠陥予測システム１は、図１に示すように主に、複数の検査ユニット２と、ホストコンピュータ３とから構成されている。
【００１４】
検査ユニット２は、搬送ラインに沿って搬送される検査対象板を検査する装置である。この検査ユニット２は、検査対象板の搬送ラインに沿って複数設置されている。要求される処理能力に応じた台数の検査ユニット２が搬送ラインに沿って設置される。この検査ユニット２は、検査装置５と、制御コンピュータ６と、制御コンピュータ用モニタ７と、検査入力コンピュータ８と、欠陥情報モニタ９とから構成されている。
【００１５】
検査装置５は、複数の検査対象板を連続的に検査するための検査部である。検査装置５は、例えば上述のように、液晶パネルの点灯検査装置等である。この検査装置５は、検査対象板の搬送ラインに沿って設置され、搬送ラインを搬送される検査対象板を連続的に検査する。
【００１６】
制御コンピュータ６は、検査装置５を制御すると共に、この検査装置５で検査対象板に欠陥が見つかった場合に、少なくともその検査対象板のＩＤ、欠陥の種類及びその位置情報を蓄積するための制御部である。制御コンピュータ６は、１つの検査装置５に１つずつ接続され、各検査装置５を個別に制御する。制御コンピュータ６内には、メモリ部(図示せず)が設けられ、欠陥情報が記録される。この欠陥情報は、各検査ユニット２の制御コンピュータ６毎に管理しても良く、全検査ユニット２で共有しても良い。全検査ユニット２で共有する場合は、１つの外部メモリ(図示せず)を設け、この外部メモリと各制御コンピュータ６とを接続して、外部メモリで欠陥情報を一括管理する。
【００１７】
制御コンピュータ用モニタ７は、制御コンピュータ６の処理情報を表示する表示部である。制御コンピュータ用モニタ７は、制御コンピュータ６に接続されて、検査装置５の処理内容等を表示する。
【００１８】
検査入力コンピュータ８は、検査対象板に欠陥が発見された場合に、その欠陥情報を入力するための入力手段である。この検査入力コンピュータ８は、例えばマウスとキーボードを備えて構成される。検査対象板が検査のために点灯される際に、カーソルを同時に表示させ、そのカーソルをマウスで操作する。欠陥が見つかると、マウスでカーソルをその欠陥の位置まで移動させてクリックし、欠陥の位置を特定する。さらに、キーボードでその欠陥の種類等の情報を入力する。この情報は、制御コンピュータ６の内部メモリ（又は外部メモリ）に記録される。なお、入力手段としては、これに限らず、公知技術を用いた全ての手段を使用することができる。画像処理によって自動的に入力するようにしてもよく、マウス以外の手段によって手動で入力するようにしてもよい。
【００１９】
欠陥情報モニタ９は、前記欠陥情報をその欠陥を有する検査対象板の検査時に同時に表示する欠陥情報表示部である。欠陥情報モニタ９は、欠陥が見つかった場合に少なくともその検査対象板のＩＤ、欠陥の種類及びその位置情報を、その欠陥を有する検査対象板の検査時に同時に表示する。
【００２０】
この欠陥情報モニタ９の表示例を図２に示す。図２は欠陥情報モニタ９の画面９Ａのみを示す図である。欠陥情報モニタ９の画面９Ａにおいて、その左側に検査対象板の外形図１１が表示されている。外形図１１は、検査対象板と同じ形状、即ち検査対象板そのままの図形であり、この外形図１１に実際の検査対象板の欠陥１２が表示される。この外形図１１に、検査対象板上で見つかった欠陥１２の位置に対応する位置に記号を付して表示する。このとき、欠陥１２としては、複数種類あるため、その種類に応じた記号（ここでは○×△）で表示する。これにより、非常に見やすくなり、欠陥１２を容易に認識できるようになる。欠陥情報モニタ９の画面９Ａの右側には、ロット番号、検査枚数、欠陥表示、欠陥の内容及び欠陥の数量を表示する。
【００２１】
これは、検査装置５で検査対象板を検査しているときに、その検査対象板に欠陥が見つかったとき、その欠陥情報を確認することで、次の検査対象板に対して同じ欠陥が発生すると予想して、そこに重点を置いて検査するためである。例えば、１０００枚の検査対象板を１ロットとして製造する場合、製造ラインに設置された加工装置に不具合等があると、１ロットの検査対象板のほとんどに、同じ欠陥が発生することがある。また、加工装置に限らず、他の要素によっても同様の現象が起きることがある。このため、１ロットの検査対象板においては、ある検査対象板に欠陥が見つかると、その後の検査対象板にも同じ欠陥が見つかる可能性が高い。このため、欠陥情報モニタ９に、検査中の検査対象板の欠陥情報をリアルタイムで表示すると、その後の検査対象板の欠陥の傾向がある程度予想できることになる。このため、予想した種類や位置に重点を置いて検査し、検査対象板の全面を均等に検査する場合に比べて、検査時間の短縮化を図る。
【００２２】
また、欠陥情報モニタ９の外形図１１には、制御コンピュータ６に蓄積した複数の欠陥情報を連続的に又は同時に表示する場合もある。欠陥情報を連続的に表示すると、１ロットの検査対象板の中での欠陥の変化を確認することができる。連続的に検査される各検査対象板の欠陥が連続的に変化している場合は、その変化に合わせて、重点的に検査する位置を変化させて検査する。
【００２３】
また、欠陥情報モニタ９の外形図１１に複数の欠陥情報を同時に重ねて表示すると、１ロットの検査対象板に多く発生していると予想される欠陥の種類及び位置が確認できる。この場合、最も多い欠陥の種類に応じてそれが最も多く発生している位置を重点的に検査する。これにより、検査対象板の全面を均等に検査する場合に比べて、検査時間の短縮化を図る。
【００２４】
検査入力コンピュータ８は、検査後に１ロットの全検査対象板の欠陥情報の解析等を行うためのコンピュータである。検査入力コンピュータ８は、内部メモリ(図示せず)を有し、各検査ユニット２の制御コンピュータ６にそれぞれ接続されている。そして、各制御コンピュータ６に入力された欠陥情報が検査入力コンピュータ８に送信され、内部メモリに記録される。内部メモリに記録された欠陥情報は、適宜解析等が行われる。
【００２５】
次に、以上のように構成された欠陥予測システム１を用いた欠陥予測方法について説明する。この欠陥予測方法は、前記欠陥予測システム１で複数の検査対象板が連続的に検査されている際に、欠陥の傾向を予測する方法である。
【００２６】
まず、第１の欠陥予測方法を説明する。
【００２７】
この第１の欠陥予測方法では、前記検査ユニット２の検査装置５で検査対象板が検査された際に欠陥が見つかった場合には、少なくともその検査対象板のＩＤ、欠陥の種類及びその位置情報を、その欠陥を有する検査対象板の検査装置５での検査時に、欠陥情報モニタ９の画面９Ａにその検査と同時にリアルタイムで表示する。
【００２８】
検査者は、欠陥情報モニタ９の画面９Ａに表示された欠陥１２を基に次の検査対象板に対して同じ欠陥１２が発生すると予想し、そこに重点を置いて検査する。例えば、検査対象板の右下位置に欠陥が多く発生していると判断した場合は、その位置を重点的に検査する。画面９Ａの複数箇所に欠陥１２が発生している場合は、それらの箇所を重点的に検査する。その他の箇所は、欠陥１２が発生している可能性が低いので、相対的に軽く注意をしながら検査する。
【００２９】
次に、第２の欠陥予測方法を説明する。
【００３０】
この第２の欠陥予測方法では、欠陥が見つかった場合に少なくともその検査対象板のＩＤ、欠陥の種類及びその位置情報を蓄積し、蓄積した情報を用いて表示する。即ち、検査中にリアルタイムで欠陥表示をするのではなく、既に検査が終了している検査対象板の欠陥情報も含めて表示する。
【００３１】
具体的には、蓄積した複数の欠陥情報を、欠陥情報モニタ９の画面９Ａの外形図１１に連続的に又は同時に表示する。
【００３２】
画面９Ａの外形図１１に欠陥情報を連続的に表示する場合は、１ロットの検査対象板の中での欠陥の変化を確認することができる。連続的に検査される各検査対象板の欠陥が連続的に変化している場合は、次の検査対象板の欠陥がその連続する変化の先に発生すると予想できる。このため、その変化に合わせて、変化の進行方向に沿って、重点的に検査する位置を変化させながら、検査する。
【００３３】
また、欠陥情報モニタ９の外形図１１に複数の欠陥情報を同時に重ねて表示する場合は、１ロットの検査対象板に多く発生していると予想される欠陥の種類及びその位置を確認することができる。この場合は、画面９Ａの外形図１１に表示された欠陥１２のうち、最も多い欠陥の種類に応じてそれが最も多く発生している位置を重点的に検査する。
【００３４】
このとき、蓄積した複数の欠陥情報のうち発生数の多い欠陥の種類を基に欠陥の傾向を分析する場合と、欠陥の位置情報を基に欠陥の傾向を分析する場合と、これら両方を基に欠陥の傾向を分析する場合とある。各欠陥の種類に応じて最適な方法で分析する。そして、その欠陥情報を基に検査する。
【００３５】
これにより、検査対象板の全面を均等に検査するのではなく、欠陥の発生傾向に合わせて重点的に検査する位置等を特定して検査することで、検査時間の大幅な短縮化を図ることができる。
【００３６】
［変形例］
前記実施形態では、欠陥情報モニタ９の外形図１１に複数の欠陥情報を同時に表示する態様として、複数の欠陥情報を同時に重ねて表示したが、欠陥情報モニタ９に複数の外形図１１を並べて表示して、複数の欠陥情報を同時に並べて表示してもよい。欠陥の種類に応じてその欠陥を浮き彫りにできる表示方法で表示する。
【００３７】
また、欠陥情報モニタ９の外形図１１に表示する欠陥情報としては、前記実施形態のように、１つの検査ユニット２内の欠陥情報だけで予測してもよく、全検査ユニット２の欠陥情報を集計して欠陥情報モニタ９の外形図１１に表示し、全体で欠陥を予測するようにしてもよい。
【００３８】
前記実施形態では、蓄積した複数の欠陥情報のうち欠陥の種類と位置情報の両方を基に欠陥の傾向を分析したが、欠陥の種類又は位置情報の一方だけを基に欠陥の傾向を分析する場合もある。欠陥によっては、その欠陥の種類が分かればその欠陥を特定できる場合もあり、また欠陥の位置が分かればその欠陥を特定できる場合もあるためである。
【００３９】
これらの場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施形態に係る欠陥予測システムの概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態に係る欠陥予測システムの欠陥情報モニタの画面を示す模式図である。
【符号の説明】
【００４１】
１：欠陥予測システム、２：検査ユニット、３：ホストコンピュータ、５：検査装置、６：制御コンピュータ、７：制御コンピュータ用モニタ、８：検査入力コンピュータ、９：欠陥情報モニタ、１１：外形図、１２：欠陥。
【図１】
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【図２】
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