(57)【要約】【課題】バッテリ電圧が変動している状態でも常に正確なガス温度・ガス質量流量を測定することができるパルス変調制御方式の熱式ガス質量流量計を実現する。【解決手段】発熱センサ素子５の両端電圧Ｖ１、Ｖ２を同時に測定するとともに、発熱センサ素子５に流れる電流値を検出して、抵抗値算出手段３３により抵抗値を算出する。これにより、バッテリ電源１の電圧が変動した場合でも正確に発熱センサ素子５の抵抗値を知ることができる。発熱センサ素子５の正確な抵抗値から、発熱センサ素子５の温度を正確に算出することができるので、バッテリ電源１の電圧が変動している状態でも常に正確なガス温度・ガス質量流量を測定することができるパルス幅変調制御の熱式ガス質量流量計を実現できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源から電流が供給される発熱センサ素子の放熱量に基づいて、ガスの流量を測定する熱式ガス質量流量計において、
発熱センサ素子の両端電圧を検出し、上記発熱センサ素子に流れる電流を算出し、算出した電流値と、上記発熱センサ素子の両端電圧値とに基づいて、上記発熱センサ素子の抵抗値を算出し、算出した抵抗値に基づいて、発熱センサ素子の温度を算出し、算出した発熱センサ素子温度に基づいてガス流量を算出する演算制御手段を備えることを特徴とする熱式ガス質量流量計。
【請求項２】
電源から電流が供給される発熱センサ素子の放熱量に基づいて、ガスの流量を測定する熱式ガス質量流量計において、
発熱センサ素子の両端電圧を検出する電圧検出手段と、
上記発熱センサ素子に流れる電流を算出し、算出した電流値と、上記電圧検出手段により検出された上記発熱センサ素子の両端電圧値とに基づいて、上記発熱センサ素子の抵抗値を算出する抵抗値算出手段と、
上記抵抗値算出手段により算出された発熱センサ素子の抵抗値に基づいて、発熱センサ素子の温度を算出する発熱センサ素子温度算出手段と、
上記発熱センサ素子温度算出手段により算出された発熱センサ素子の温度に基づいて、上記発熱センサ素子の温度が一定温度となるように上記発熱センサ素子を加熱又は非加熱とするため、上記電源から発熱センサ素子への電流供給をオン・オフ制御する電流制御手段と、
上記電流制御手段の電流供給オン・オフ期間に基づいて、ガス流量を算出するガス流量算出手段と、
を備えることを特徴とする熱式ガス質量流量計。
【請求項３】
請求項２記載の熱式ガス質量流量計において、
上記抵抗値算出手段は、上記発熱センサ素子が加熱状態の時と、非加熱状態の時との各々の状態における、上記発熱センサ素子の両端電圧値と、算出した電流値とにより抵抗値を算出し、算出した抵抗値に基づいて、ガスの温度を演算するガス温度演算手段を備え、上記ガス流量算出手段は、演算されたガス温度に従ってガス流量を補正することを特徴とする熱式ガス質量流量計。
【請求項４】
請求項２又は３記載の熱式ガス質量流量計において、
上記電圧検出手段は、
上記発熱センサ素子の上記加熱時における一方の端子電圧を検出する差動増幅器及びこの差動増幅器の出力信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバータと、上記発熱センサ素子の上記非加熱時における一方の端子電圧を検出する差動増幅器及びこの差動増幅器の出力信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバータと、
上記発熱センサ素子の上記加熱時における他方の端子電圧を検出する差動増幅器及びこの差動増幅器の出力信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバータと、上記発熱センサ素子の上記非加熱時における他方の端子電圧を検出する差動増幅器及びこの差動増幅器の出力信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバータと、
を備え、上記４つのＡ／Ｄコンバータからの出力信号が、上記抵抗値算出手段に供給されることを特徴とする熱式ガス質量流量計。
【請求項５】
請求項２又は３記載の熱式ガス質量流量計において、
上記電圧検出手段は、
上記発熱センサ素子の上記加熱時における一方の端子電圧を検出する差動増幅器及びこの差動増幅器の出力信号をＡ／Ｄ変換する第１のＡ／Ｄコンバータと、上記発熱センサ素子の上記非加熱時における一方の端子電圧を検出する差動増幅器及びこの差動増幅器の出力信号をＡ／Ｄ変換する第２のＡ／Ｄコンバータと、
上記発熱センサ素子の他方の端子電圧を検出する差動増幅器及びこの差動増幅器の出力信号をＡ／Ｄ変換する第３のＡ／Ｄコンバータと、上記発熱センサ素子の上記加熱時には上記第３のＡ／Ｄコンバータのオフセット電圧を一定値とし、上記非加熱時には上記第３のＡ／Ｄコンバータのオフセット電圧を０とする手段と、
を備え、上記３つのＡ／Ｄコンバータからの出力信号が、上記抵抗値算出手段に供給されることを特徴とする熱式ガス質量流量計。
【請求項６】
請求項３記載の熱式ガス質量流量計において、
上記発熱センサ素子温度算出手段は、上記発熱センサ素子の抵抗値と上記発熱センサ素子の温度との関係が示された温度変換テーブルを備え、上記発熱センサ素子が加熱状態の時と、非加熱状態の時とで、共通の上記温度変換テーブルを使用して、上記発熱センサ素子の温度を算出することを特徴とする熱式ガス質量流量計。
【請求項７】
請求項２記載の熱式ガス質量流量計において、
上記発熱センサ素子の温度を上昇させる為に必要な、上記電流制御手段のオンとオフとの時間比である駆動Ｄｕｔｙを、ガス流量を求めるために必要な流量Ｄｕｔｙに変換する流量Ｄｕｔｙ算出手段を備えることを特徴とする熱式ガス質量流量計。
【請求項８】
請求項２に記載の熱式ガス質量流量計において、上記電圧検出手段、抵抗値算出手段、発熱センサ素子温度算出手段、電流制御手段、ガス流量算出手段は、１チップＬＳＩで構成されていることを特徴とする熱式ガス質量流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体の質量流量を測定する熱式ガス質量流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、エンジンの吸気量を測定するためのガス流量計として、特許文献１に記載されているような熱式ガス質量流量計が広く用いられている。この熱式ガス質量流量計は、ホットワイヤ、流体感温素子がボディ内部に設置され、ホットワイヤ、流体感温素子及び抵抗でブリッジ回路が構成されている。
【０００３】
また、オペアンプ等で構成されたフィードバック回路は、ホットワイヤの温度（Ｔｈ）が流体感温素子の抵抗値変化によって決まるガス温度（Ｔｅ）より一定温度差（固定デルタＴｈ方式）だけ高く保たれるようにホットワイヤに流れる加熱電流はブリッジ回路により制御され、パワートランジスタを介してアナログでフィードバックしている。
【０００４】
そして、ガス流速が速い場合にはホットワイヤから奪われる熱量が多いため加熱電流が多く流されることになり、これに対して流速が遅い場合にはホットワイヤから奪われる熱量が少ないため加熱電流も少なく流されることになるから、この加熱電流を計測することによりガスの質量流量を計測できる。
【０００５】
また、バッテリ電圧に対し、ホットワイヤの加熱に利用されなかった電力は主にパワートランジスタにより熱として発熱される。
【０００６】
つまり、ホットワイヤの加熱電流が多い場合はパワートランジスタの発熱は少なくなり、加熱電流が少ない場合はパワートランジスタの発熱は多くなる。
【０００７】
また、ＭＯＳ形電界効果形トランジスタ（ＭＯＳ−ＦＥＴ）を使用し、パルス幅変調（Ｐｕｌｓｅ  Ｗｉｄｅ  Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）で制御する熱式ガス質量流量計もある。
【０００８】
従来の熱式ガス質量流量計において、吸入空気を測定する場合にはエアクリーナ通過後の空気を測定するためホットワイヤや流体感温素子への付着物はほとんど無いが、排気ガスを測定する場合には、排気ガスに含まれる煤やオイル等の付着が問題となる。
【０００９】
これらがホットワイヤや流体感温素子に付着すると、排気ガス等の流れがホットワイヤや流体感温素子に直接触れなくなる。そのため、排気ガス等の温度が流体感温素子に伝わりにくくなるし、ホットワイヤからの放熱が少なくなってガスの質量流量測定に誤差が生じてしまう。
【００１０】
そこで、この問題に対処するためにホットワイヤに関しては、特許文献２、特許文献３に示されるように、ホットワイヤの加熱温度を高くすることで、ホットワイヤに付着するオイル等を揮発させ、汚損物を付着させなくする方法が考えられている。
【００１１】
【特許文献１】特開２００４−２０５５２８号公報
【特許文献２】特開昭５９−２０６７１４号公
【特許文献３】特開２００６−１７０８０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、特許文献３に記載された方法を採用する場合には、ガス温度が−４０度時でもホットワイヤの温度を４００度以上にする必要があり、パルス幅変調で制御する熱式ガス質量流量計を用い効率よくホットワイヤの温度を上げる必要がある。
【００１３】
ここで、車載バッテリ自身の端子電圧は比較的安定しているが、車載された電子機器がバッテリに接続され、ＯＮ／ＯＦＦされると端末電圧は大きく変動する。また、車載バッテリの電源電圧が変動する要因としては、他に、エンジン始動時にスタータモータに大電流が流れ端子電圧が一時的に大きく下がるコールドクランク（Ｃｏｌｄ  Ｃｒａｎｋ）がある。
【００１４】
他にもオルタネータがバッテリから遮断された時に高電圧を発生させるロードダンプ（Ｌｏａｄ  Ｄｕｍｐ）と言う現象もある。この様に車載バッテリは電圧変動する要因を多く含んでいる。
【００１５】
車載バッテリの電源電圧が変動すると、前述のパルス幅変調で制御する熱式ガス質量流量計ではＭＯＳ−ＦＥＴがＯＮした時のホットワイヤ温度をホットワイヤの低電圧端子の電圧値から求めるため、電圧値が変動し、誤ったホットワイヤの温度を検出してしまう。
【００１６】
同様に、バッテリの電源電圧が変動すると、バッテリの電源電圧から生成されている定電流回路も既定の定電流を出力できなくなり、ＭＯＳ−ＦＥＴがＯＦＦした時のホットワイヤ温度測定でホットワイヤの高電圧端子の電圧値が変動し、誤ったホットワイヤ温度を検出してしまう。
【００１７】
その他、ＭＯＳ−ＦＥＴがＯＦＦした直後ではホットワイヤには定電流に加えＭＯＳ−ＦＥＴから漏れ電流が流れ込み電流値が増加する。従って、漏れ電流がホットワイヤに流れ込んでいる間はホットワイヤ温度測定のためのＡ／Ｄコンバータへの電圧取込みを行えない。
【００１８】
この様に、誤ったホットワイヤ温度を検出すると、誤ったＤｕｔｙやガス温度を算出してしまい正確なガス質量流量を測定出来なくなる。また、正しいホットワイヤ温度が検出出来たとしても、バッテリの電源電圧が変動した状態で算出したＤｕｔｙとガス流量との関係は既定のバッテリ電源電圧のものとは変わっており、正しいガス流量を求めることが出来ない。
【００１９】
本発明の目的は、バッテリ電圧が変動している状態でも常に正確なガス温度・ガス質量流量を測定することができるパルス幅変調制御方式の熱式ガス質量流量計を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記目的を達成するために、本発明は次のように構成される。
【００２１】
本発明の熱式ガス質量流量計は、発熱センサ素子の両端電圧を検出する電圧検出手段と、発熱センサ素子に流れる電流の値と、発熱センサ素子の両端電圧値とに基づいて発熱センサ素子の抵抗値を算出する抵抗値算出手段と、発熱センサ素子の抵抗値に基づいて発熱センサ素子の温度を算出する発熱センサ素子温度算出手段と、発熱センサ素子の温度に基づいて、発熱センサ素子の温度が一定温度となるように発熱センサ素子を加熱又は非加熱とするため、電源から発熱センサ素子への電流供給をオン・オフ制御する電流制御手段と、電流供給オン・オフ期間に基づいて、ガス流量を算出するガス流量算出手段とを備える。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、バッテリ電圧が変動している状態でも常に正確なガス温度・ガス質量流量を測定することができるパルス幅変調制御方式の熱式ガス質量流量計を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明に係る熱式ガス質量流量計の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２４】
図１は、本発明に係る熱式ガス質量流量計の一実施形態の概略構成図であり、自動車のエンジン吸入空気、排気ガスを測定する熱式ガス流量計に適用した場合の例である。
【００２５】
図１において、１は電源であり、車載のバッテリが用いられている。電源１は発熱センサ素子であるホットワイヤ５に駆動電圧を印加して加熱するとともに、定電流回路２及び逆流防止用ダイオード４を介してホットワイヤ５、電流検出用抵抗６に電流を供給する。ホットワイヤ５に印加される駆動電圧は、電流制御手段であるＭＯＳ−ＦＥＴ３によってオン・オフされ、ホットワイヤ５に供給される電流のオンとオフとの時間比（以下、Ｄｕｔｙ）が制御されて、ホットワイヤ５の温度が流量を測定しようとするガス温度Ｔｇより所定の温度差デルタＴｈだけ高くなるように制御されている。
【００２６】
９はＭＯＳ−ＦＥＴ３のオン・オフを制御するとともに、ガス流量を算出する制御装置（ＣＰＵ（演算制御手段））であり、ホットワイヤ５の抵抗値算出手段３３と、ホットワイヤ温度検出手段３４と、ガス温度演算手段１３と、駆動Ｄｕｔｙ演算手段１４と、流量Ｄｕｔｙ演算手段３５と、目標Ｔｈ設定手段３６と、ガス流量算出手段１５と、物性補正テーブル１６とを備えている。ここで、Ｔｈとは、ホットワイヤ５の温度である。
【００２７】
ホットワイヤ５のガス流上流側電圧Ｖ１が差動増幅器２８を介してＡ／Ｄコンバータ３０から抵抗値算出手段３３に供給され、ホットワイヤ５の下流側の電圧Ｖ２が差動増幅器８を介してＡ／Ｄコンバータ１９から抵抗値算出手段３３に供給される。そして、加熱時のホットワイヤ５の抵抗値が抵抗値算出手段３３で算出される。
【００２８】
また、ホットワイヤ５の上流側の電圧Ｖ１が差動増幅器７を介してＡ／Ｄコンバータ１８から抵抗値算出手段３３に供給され、ホットワイヤ５の下流側の電圧Ｖ２が差動増幅器２９を介してＡ／Ｄコンバータ３１から抵抗値算出手段３３に供給される。そして、非加熱時のホットワイヤ５の抵抗値が抵抗値算出手段３３で算出される。
【００２９】
ここで、電源１の駆動電圧が変動したり、それにより定電流回路２の電流値が変動したり、ＭＯＳ−ＦＥＴ３をオフした直後に漏れ電流により定電流回路２の電流値が増加しても、全て次式（１）でホットワイヤ５の抵抗値を求めることが出来る。
【００３０】
ＲＨ／Ｗ＝（Ｖ１−Ｖ２）／（Ｖ２／Ｒ１）      ・・・（１）
上記（１）式において、ＲＨ／Ｗはホットワイヤ５の抵抗値、Ｖ１はホットワイヤ５の上流側の電圧、Ｖ２はホットワイヤ５の下流側の電圧、Ｒ１は電流検出用抵抗６の抵抗値である。
【００３１】
現在のホットワイヤ５の温度を、ガス温度から目標Ｔｈ設定手段３６で決められた目標温度Ｔｈにするために必要なＤｕｔｙがＰＩ制御を用い駆動Ｄｕｔｙ演算手段１４にて駆動Ｄｕｔｙとして演算される。
【００３２】
駆動Ｄｕｔｙは、流量Ｄｕｔｙ演算手段３５にて実際のバッテリ電圧を既定バッテリ電圧１２Ｖで割った値が、掛けられ、ガス流量算出手段１５で利用される流量Ｄｕｔｙとなる。一方、駆動Ｄｕｔｙは、ＰＷＭ信号１０としてＭＯＳ−ＦＥＴ３に供給され、ＭＯＳ−ＦＥＴ３をオン・オフする。
【００３３】
図２は、図１に示した熱式ガス質量流量計における制御装置（ＣＰＵ）９での処理フローチャートである。この図２に示したフローチャート及び図１を用いて、熱式ガス質量流量計による流量測定動作について説明する。
【００３４】
電源１を入れると、ステップＳ１では、ホットワイヤ５の温度Ｔｈを、ガス温度Ｔｇによって決まる温度差デルタＴｈ（ホットワイヤ５とガス温度Ｔｇとの温度差）だけガス温度Ｔｇより高くするように設定する。
【００３５】
ステップＳ２Ａでは現在の非加熱時のホットワイヤ５の温度を上記で設定した温度Ｔｈにするために必要なＤｕｔｙ（駆動Ｄｕｔｙ）をＰＩ制御にて演算する。駆動ＤｕｔｙはＰＷＭ信号１０としてＭＯＳ−ＦＥＴ３に出力し、ＭＯＳ−ＦＥＴ３が駆動Ｄｕｔｙによって決まる時間だけオンされ、駆動電圧がホットワイヤ５に印加される。
【００３６】
ステップＳ３Ａでは定電流回路２から微小の定電流がホットワイヤ５に流されている非加熱状態でホットワイヤ５の上流側の電圧Ｖ１と下流側の電圧Ｖ２とを同時測定し、ホットワイヤ５の抵抗値を算出する。
【００３７】
ステップＳ３ＢではＭＯＳ−ＦＥＴ３がオンし、駆動電圧がホットワイヤ５に印加されている加熱状態でホットワイヤ５の上流側の電圧Ｖ１と下流側の電圧Ｖ２とを同時測定し、ホットワイヤ５の抵抗値を算出する。
【００３８】
ステップＳ４Ａでは非加熱時、ステップ４Ｂでは加熱時のホットワイヤ５の温度をホットワイヤ温度検出手段３４により検出する。ステップＳ５ではステップＳ４Ａ、Ｓ４Ｂで検出した非加熱時・加熱時の２つのホットワイヤ５の温度Ｔｈと１周期前に算出したガス流量からガス温度Ｔｇを算出する。
【００３９】
一方、ステップＳ２Ｂで駆動Ｄｕｔｙは現在の電源電圧値を用いガス流量算出手段１５で使用するＤｕｔｙ（流量Ｄｕｔｙ）に変換され、ステップＳ６においてデルタＴｈに従ってＤｕｔｙ−流量変換テーブルを選択し、選択したＤｕｔｙ−流量変換テーブルを用いて流量Ｄｕｔｙに基づくガス流量を算出する。
【００４０】
ステップＳ７ではステップＳ６で算出したガス流量を物性補正テーブル１６を用い、ガス温度に基づいて最終的なガス流量Ｑを出力１７として算出する。つまり、ステップＳ２Ａ、Ｓ２Ｂ、Ｓ６、Ｓ７により駆動電圧の変動値を知り、駆動Ｄｕｔｙとガス流量との関係について補正を行い、常に正確なガス流量を測定することができる。
【００４１】
以上のように、本発明の一実施形態によれば、発熱センサ素子５の両端の電圧Ｖ１、Ｖ２を同時に測定するとともに、発熱センサ素子５に流れる電流値を検出して、抵抗値算出手段３３により抵抗値を算出することにより、駆動電圧が変動した場合でも正確に発熱センサ素子の抵抗値を知ることができる。そして、この発熱センサ素子５の正確な抵抗値から、発熱センサ素子５の温度を正確に算出することができるので、バッテリ電圧が変動している状態でも常に正確なガス温度・ガス質量流量を測定することができるパルス幅変調制御方式の熱式ガス質量流量計を実現することができる。
【００４２】
さらに、駆動Ｄｕｔｙ演算手段１４、流量Ｄｕｔｙ演算手段３５、ガス流量算出手段１５により、駆動電圧の変動値を知り、Ｄｕｔｙと流量との関係について補正を行い、常に正確なガス流量を測定することができる。
【００４３】
図３は、本発明に係る熱式ガス質量流量計の他の実施形態の概略構成図である。この図３の例と図１の例との相違点は、図１の例における差動増幅器２９及びＡ/Ｄコンバータ３１が省略されていると共に、差動増幅器８の出力がＡ/Ｄコンバータ１９を介して、抵抗値算出手段３３の加熱時入力端子及び非加熱時入力端子に供給されている点である。
【００４４】
なお、Ｄ／Ａコンバータ３２の出力信号は、差動増幅器８の反転入力端子に供給される。
【００４５】
つまり、この図３の例は、ＣＰＵ９は、ホットワイヤ５の下流側の電圧Ｖ２を取込む時に、加熱時にはＤ／Ａコンバータ３２の出力（オフセット電圧）が既定電圧となるようにデジタル信号を供給し、非加熱時にはＤ／Ａコンバータ３２の出力が０Ｖとなるようにする。これにより、差動増幅器とＡ／Ｄコンバータとを共通化する事ができ、図１の例における差動増幅器２９とＡ／Ｄコンバータ３１を削除することができる。
【００４６】
他の構成及び動作は、図１の例と同様であるので詳細な説明は省略する。
【００４７】
この図３に示した例においても、図１に示した例と同様な効果を得ることができる。
【００４８】
なお、図１、図３に示した熱式ガス質量流量計を、図４に示すように、ホットワイヤ５以外の回路を全て１チップＬＳＩ２０で構成し、１つの１チップＬＳＩ２０で複数のホットワイヤ５を制御できるようにすると、複数の発熱センサ素子を使用する熱式ガス質量流量計を小型で安価に製造することができる。
【００４９】
図５に本発明は適用されず、本発明における抵抗値算出手段３３、駆動Ｄｕｔｙ演算手段１４、流量Ｄｕｔｙ演算手段３５、目標Ｔｈ設定手段３６等が設けられていない例であり、本発明との比較例を示す図である。
【００５０】
図５において、ＭＯＳ−ＦＥＴ３がＯＮの時には電源１からの駆動電圧がＭＯＳ−ＦＥＴ３にて殆ど損失されることなくホットワイヤ５に印加され、ホットワイヤ５は加熱される。一方、ＭＯＳ−ＦＥＴ３がＯＦＦの時には定電流回路２からの微小な定電流がホットワイヤ５に流されるが、ホットワイヤ５は加熱されない。
【００５１】
ＭＯＳ−ＦＥＴ３がＯＮの時には加熱温度変換テーブル１２を使い、電流検出用抵抗６に流れる電流値によって決まるＶ２電圧からホットワイヤ５の温度を知ることができる。
【００５２】
また、ＭＯＳ−ＦＥＴ３がオフの時には非加熱温度変換テーブル１１を使い、ホットワイヤ５の抵抗値によって決まるＶ２電圧からホットワイヤ５の温度を知ることができる。
【００５３】
印加時間制御手段１４では現在のホットワイヤ５の温度をガス温度より所定の温度差デルタＴｈ高くするのに必要なＭＯＳ−ＦＥＴ３のオンとオフの時間比（Ｄｕｔｙ）がＰＩ制御により演算され、ＰＷＭ信号１０としてデジタルフィードバックされる。そして、ガス流速が速い場合にはホットワイヤ５から奪われる熱量が多いためＤｕｔｙが大きくなる。
【００５４】
これに対して、流速が遅い場合にはホットワイヤ５から奪われる熱量が少ないためＤｕｔｙが小さくなることから、このＤｕｔｙを計測することによりガスの質量流量を計測できる。
【００５５】
しかし、この図５に示した例では、上述したように、バッテリの電源電圧が変動すると、パルス幅変調で制御する熱式ガス質量流量計ではＭＯＳ−ＦＥＴがＯＮした時のホットワイヤ温度をホットワイヤの低電圧端子の電圧値から求めるため、電圧値が変動し、誤ったホットワイヤの温度を検出してしまう。
【００５６】
これに対して、本発明によれば、ホットワイヤ５の両端電圧及び電流値を測定して抵抗値を算出し、正確な抵抗値に基づいてホットワイヤの正確な温度を算出しているので、電源電圧の変動に関係なく、正確なガス流量を測定することができる。
【００５７】
なお、上述した例は本発明を自動車のエンジン吸入空気量、排気量を測定する熱式ガス質量流量計に適用した場合の例であるが、これに限らず、例えば、プラントのガス流量測定装置等にも本発明は適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明に係る熱式ガス質量流量計の一実施形態における制御装置の概略構成図である。
【図２】本発明の一実施形態における制御装置（ＣＰＵ）の処理フローチャートである。
【図３】本発明に係る熱式ガス質量流量計の他の実施形態における制御装置の概略構成図である。
【図４】本発明に係る熱式ガス質量流量計における複数のホットワイヤを１つの制御装置で動作させる概念図である。
【図５】本発明とは異なる例であり、本発明における制御装置との比較例を示す図である。
【符号の説明】
【００５９】
１・・・電源、２・・・定電流回路、３・・・ＭＯＳ−ＦＥＴ、４・・・逆流防止用ダイオード、５・・・ホットワイヤ、６・・・電流検出用抵抗、７、８、２８、２９・・・差動増幅器、９・・・制御装置（ＣＰＵ）、１０・・・ＰＷＭ信号、１３・・・ガス温度演算手段、１４・・・駆動Ｄｕｔｙ演算手段、１５・・・ガス流量算出手段、１６・・・物性補正テーブル、１７・・・最終流量出力、１８、１９、３０、３１・・・Ａ／Ｄコンバータ、２０・・・１チップＬＳＩ、３２・・・Ｄ／Ａコンバータ３２、３３・・・抵抗値算出手段、３４・・・ホットワイヤ温度検出手段、３５・・・流量Ｄｕｔｙ演算手段、３６・・・目標Ｔｈ設定手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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