(57)【要約】【課題】吐出口の変形を防止すると共に、吐出口付近の液体が吐出口から離れる方向へと移動しやすくする。【解決手段】ノズルプレート１には、ノズル孔５１と凹部５２とが形成されている。凹部５２の底面５２ａには、ノズル孔５１の吐出口６１が形成されている。凹部５２の側面５２ｂは、吐出面３ａに向かうほど外側に拡がった傾斜面となっている。側面５２ｂは撥水膜で被覆されていないが、底面５２ａは凹部５２の深さよりも薄い撥水膜５６で被覆されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートであって、
前記ノズルプレートの吐出面である一方の面には、複数の凹部が形成されており、
前記ノズル孔の吐出口である一方の開口が前記凹部の底面に形成されており、前記一方の面と前記凹部の前記底面と間に形成された前記凹部の側面には撥水膜が形成されておらず、前記凹部の深さ未満の厚さを有する撥水膜が前記底面を被覆していることを特徴とするノズルプレート。
【請求項２】
前記一方の面に撥水膜が形成されていないことを特徴とする請求項１に記載のノズルプレート。
【請求項３】
前記凹部の深さが１μｍ〜５μｍであることを特徴とする請求項１又は２に記載のノズルプレート。
【請求項４】
前記複数の凹部が互いに離隔していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のノズルプレート。
【請求項５】
前記側面が、前記底面から前記一方の面に向かうほど外側に拡がった傾斜面であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のノズルプレート。
【請求項６】
液体を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートの製造方法であって、
前記ノズルプレートとなる板材に、これを厚み方向に貫通する貫通孔を形成する工程と、
前記板材の一方の面の前記貫通孔の一方の開口を包含した所定領域を、先端面が撥水液で被覆されたパンチを用いてプレス加工することによって、前記所定領域を前記一方の面よりも他方の面に近い底面を有する凹部とし且つ前記パンチの前記先端面を被覆した前記撥水液を前記凹部の前記底面に転写するプレス工程と、
前記撥水液を乾燥させて、前記凹部の深さ未満の厚さを有する撥水膜を形成する乾燥工程とを備えていることを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項７】
前記プレス工程において、複数の前記所定領域が互いに離隔するようにプレス加工を行うことを特徴とする請求項６に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項８】
前記プレス工程で用いる前記パンチの内部には、前記先端面に撥水液を供給するための給液流路が設けられていることを特徴とする請求項６又は７に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項９】
前記給液流路の開口が、前記所定領域に包含された前記貫通孔の前記一方の開口と前記プレス工程時に対向しないように前記先端面に設けられていることを特徴とする請求項８に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１０】
前記プレス工程において、円錐台形状部分を先端付近に有する前記パンチを用いたプレス加工によって、前記一方の面と前記底面との間に形成された前記凹部の側面を、前記底面から前記一方の面に向かうほど外側に拡がった傾斜面とすることを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１１】
請求項１〜５のいずれか１項に記載されたノズルプレートを含む液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
請求項１１に記載された液体吐出ヘッドを含む液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレート及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ノズルプレートに形成された吐出口の周囲を凹部とする技術が開示されている。この技術によると、吐出口際に紙が接触しにくくなって吐出口近傍をガードすることができ、吐出口の変形を防止することができる。
【０００３】
また、特許文献２に記載されているように、複数の吐出口が形成されたノズルプレートの吐出面を撥水膜で被覆することで、吐出口からの液体の吐出性能を安定したものにする技術が知られている。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１５５０２７号公報（図５）
【特許文献２】特開２００７−１０５９４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載された技術では、吐出面が撥水膜で被覆されていないために、吐出面の吐出口付近に付着した液体によって吐出口からの液体吐出が阻害されるおそれがある。一方、特許文献２に記載された技術では、撥水膜がノズルプレートのほぼ全面に形成されるため、吐出面に付着した液体が吐出口付近から離れる方向に移動するとは限らない。そのため、吐出性能を十分に安定なものとすることができないおそれがある。
【０００６】
本発明の目的は、吐出口の変形を防止することができると共に、吐出口付近の液体が吐出口から離れる方向へと移動しやすく吐出口からの液体吐出が阻害されることがないノズルプレート及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、液体を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートであって、前記ノズルプレートの吐出面である一方の面には、複数の凹部が形成されており、前記ノズル孔の吐出口である一方の開口が前記凹部の底面に形成されており、前記一方の面と前記凹部の前記底面と間に形成された前記凹部の側面には撥水膜が形成されておらず、前記凹部の深さ未満の厚さを有する撥水膜が前記底面を被覆している。
【０００８】
本発明によると、吐出口が形成された底面を有する凹部が設けられているので、ワイパーや用紙が吐出口の周囲に接触しにくくなり、吐出口の変形を防止することができると共に吐出口の周囲に異物が着きにくくなる。また、凹部の底面を被覆する撥水膜にはワイパーが接触しにくくなるため、撥水膜の損傷が抑制される。加えて、吐出口の周囲に撥水膜があり且つ凹部の側面には撥水膜が形成されていないので、吐出口付近の液体が凹部外へと移動しやすいため、吐出口からの液体吐出が阻害されることがない。さらに、撥水膜の形成面積を小さくできるので低コストである。
【０００９】
前記一方の面には前記凹部内を除いて撥水膜が形成されていないことが好ましい。これによって、吐出口付近の液体が凹部外へとより移動しやすくなる。さらに、撥水膜の形成面積が小さくなるためにより低コストでノズルプレートを製造することが可能である。
【００１０】
前記凹部の深さが１μｍ〜５μｍであることが好ましい。これによって、吐出口付近の液体が凹部外へとより移動しやすくなる。また、凹部の深さが５μｍ以下であるので、凹部を形成する工程に起因した吐出口形状のばらつきを小さくすることができる。
【００１１】
前記複数の凹部が互いに離隔していることが好ましい。これによって、吐出口からの液体吐出が隣接する吐出口から受ける悪影響を少なくできる。
【００１２】
前記側面が、前記底面から前記一方の面に向かうほど外側に拡がった傾斜面であってよい。これによって、ノズルプレートの吐出面をワイパーで払拭する際に、凹部内の液体を除去しやすくなる。また、仮に凹部内にワイパーからの異物が付着するとしても傾斜面である凹部の側面に付着する可能性が高いので、凹部内への異物付着が吐出口からの液体の吐出に与える影響は小さい。
【００１３】
さらに、本発明は、液体を吐出する複数のノズル孔が形成されたノズルプレートの製造方法であって、前記ノズルプレートとなる板材に、これを厚み方向に貫通する貫通孔を形成する工程と、前記板材の一方の面の前記貫通孔の一方の開口を包含した所定領域を、先端面が撥水液で被覆されたパンチを用いてプレス加工することによって、前記所定領域を前記一方の面よりも他方の面に近い底面を有する凹部とし且つ前記パンチの前記先端面を被覆した前記撥水液を前記凹部の前記底面に転写するプレス工程と、前記撥水液を乾燥させて、前記凹部の深さ未満の厚さを有する撥水膜を形成する乾燥工程とを備えている。
【００１４】
この製造方法によって、上述した本発明に係るノズルプレートを容易且つ迅速に作製できる。
【００１５】
前記プレス工程において、複数の前記所定領域が互いに離隔するようにプレス加工を行うことが好ましい。これによって、吐出口からの液体吐出が隣接する吐出口から受ける悪影響を少なくできる。
【００１６】
前記プレス工程で用いる前記パンチの内部には、前記先端面に撥水液を供給するための給液流路が設けられていることが好ましい。これによって、多数回のプレス工程を迅速に行うことができる。
【００１７】
前記給液流路の開口が、前記所定領域に包含された前記貫通孔の前記一方の開口と前記プレス工程時に対向しないように前記先端面に設けられていることが好ましい。これによって、給液流路から貫通孔内に撥水液が直接供給されることがない。そのため、撥水液を凹部の底面に効果的に転写することができる。
【００１８】
前記プレス工程において、円錐台形状部分を先端付近に有する前記パンチを用いたプレス加工によって、前記一方の面と前記底面との間に形成された前記凹部の側面を、前記底面から前記一方の面に向かうほど外側に拡がった傾斜面としてよい。これによって、上述した凹部の側面が傾斜面となったノズルプレートを容易に形成することができる。
【００１９】
また、本発明は、上述したノズルプレートを含む液体吐出ヘッドである。さらに、本発明は、この液体吐出ヘッドを含む液体吐出装置である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によると、吐出口が形成された底面を有する凹部が設けられているので、ワイパーや用紙が吐出口の周囲に接触しにくくなり、吐出口の変形を防止することができると共に吐出口の周囲に異物が着きにくくなる。また、凹部の底面を被覆する撥水膜にはワイパーが接触しにくくなるため、撥水膜の損傷が抑制される。加えて、吐出口の周囲に撥水膜があり且つ凹部の側面には撥水膜が形成されていないので、吐出口付近の液体が凹部外へと移動しやすいため、吐出口からの液体吐出が阻害されることがない。さらに、撥水膜の形成面積を小さくできるので低コストである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の好適な一実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２２】
図１は、本実施の形態に係るノズルプレート１の底面図である。ノズルプレート１は、主走査方向に細長い矩形形状を有している。ノズルプレート１の底面である吐出面３ａには、液体を吐出するための開口である複数の吐出口６１がマトリクス状に２次元配列されている。直径２０μｍである吐出口６１は、ノズルプレート１に形成されたノズル孔５１（図２参照）の一方の開口である。本実施の形態において、複数の吐出口６１は、後述する４つのアクチュエータユニット１２１（図７（ａ）及び図７（ｂ）参照）とほぼ同じ台形形状である４つの吐出領域内にのみ形成されている。
【００２３】
図２は、ノズルプレート１の部分拡大断面図である。図３は、吐出口６１付近でのノズルプレート１の部分拡大底面図である。以下の説明において、上下とは、ノズルプレート１が図２に描かれたように配置されていることを前提として表現されている。ノズルプレート１は、吐出口６１が形成された吐出面３ａと、吐出面３ａの反対面である接続面１ａとを有している。吐出面３ａには、平面形状が直径４０〜７０μｍの円形であって、互いに離隔した複数の凹部５２が形成されている。凹部５２の深さ、つまり吐出面３ａから凹部５２の底面５２ａまでの距離は、１μｍ〜５μｍの範囲である。吐出面３ａと底面５２ａとの間に形成された凹部５２の側面５２ｂは、吐出面３ａに向かうほど外側に拡がった環状の傾斜面となっている。
【００２４】
ノズルプレート１には、接続面１ａから凹部５２の底面５２ａに至る複数のノズル孔５１が形成されている。ノズル孔５１は、吐出面３ａに形成された円形の吐出口６１と、接続面１ａに形成された円形の流入口６２との間に形成された貫通孔である。ノズル孔５１は、一端に吐出口６１を有し且つ底面５２ａに連続した円柱部分５４と、一端に流入口６２を有し且つ接続面１ａに連続した円錐台部分５５とから構成されており、円錐台部分５５の頂部が円柱部分５４と同径となっている。円錐台部分５５の周面は厳密には円錐形状となっておらず、図２の断面においてノズル孔５１内部に向かってやや膨出した滑らかな曲線となっている。後述するように、ノズル孔５１は、円柱部分５４と円錐台部分５５とを合わせた形状を有するパンチを用いた１回のプレス工程によって形成される。
【００２５】
凹部５２の底面５２ａには、凹部５２の深さ未満である０．５μｍの厚みを有する撥水膜５６が形成されている。撥水膜５６の材料としては、例えば旭硝子株式会社製のサイトップ（商品名）が用いられる。撥水膜５６はその内周縁が吐出口６１の周縁と一致しており、外周縁が底面５２ａの外周縁と一致した環状形状を有している。側面５２ｂ及び吐出面３ａには、撥水膜が形成されていない。なお、実際には、側面５２ｂはその下端から撥水膜５６の厚みと同じだけ下端から上方にある位置までが撥水膜５６によって被覆されている。しかしながら、本明細書において、このように面方向が底面５２ａに平行である撥水膜５６によって側面５２ｂが撥水膜５６の厚み分だけ側面５２ｂの下端から被覆されている状態は、『凹部の側面が撥水膜によって被覆されている』ことを意味しないものとする。
【００２６】
上述した本実施の形態に係るノズルプレート１では、凹部５２の底面５２ａにノズル孔５１の吐出口６１が形成されているので、吐出面３ａを払拭するワイパーや印字時などにジャムを起こした用紙が吐出口６１の周囲に接触しにくくなり、吐出口６１の変形を防止することができると共に吐出口６１の周囲に紙粉などの異物が着きにくくなる。
【００２７】
また、凹部５２の深さ、つまり吐出面３ａと底面５２ａとの段差未満の膜厚を有する撥水膜５６にはワイパーが接触しにくくなるため、撥水膜５６の損傷が抑制される。
【００２８】
さらに、上述した理由によりワイパーの吐出面３ａに対する接触圧を従来よりも大きくすることができるため、ワイピングによるインクの除去性能を高めることができる。
【００２９】
加えて、吐出口６１の周囲に撥水膜５６があり且つ凹部５２の側面５２ｂには撥水膜が形成されていないので、吐出口６１付近に付着したインクがここから離れる方向へと移動しやすいため、吐出口６１からのインク吐出が阻害されることがない。さらに、例えば特許文献２のように吐出面全体を撥水膜で被覆する場合に比べて、撥水膜５６の形成面積を小さくできるので低コストである。
【００３０】
また、本実施の形態では、吐出面３ａには凹部５２内を除いて撥水膜が形成されていなので、吐出口６１付近のインクが凹部５２外へとより移動しやすくなる。さらに、撥水膜５６の形成面積がより小さくなるために、より低コストでノズルプレートを製造することが可能である。
【００３１】
さらに、本実施の形態では、凹部５２の深さが１μｍ〜５μｍであるので、吐出口６１付近のインクが凹部５２外へとより移動しやすくなる。また、凹部５２の深さが５μｍ以下であるので、凹部５２を形成する工程に起因した吐出口６１の形状のばらつきを小さくすることができる。
【００３２】
しかも、複数の凹部５２が互いに離隔しているので、吐出口６１からのインク吐出が隣接する吐出口６１から受ける悪影響を少なくできる。
【００３３】
さらに、本実施の形態では、凹部５２の側面５２ｂが、底面５２ａから吐出面３ａに向かうほど外側に拡がった傾斜面なので、ノズルプレート１の吐出面３ａをワイパーで払拭する際に、凹部５２内のインクを除去しやすくなる。また、仮に凹部５２内にワイパーからの異物が付着するとしても傾斜面である凹部５２の側面５２ｂに付着する可能性が高いので、凹部５２内への異物付着が吐出口６１からのインクの吐出に与える影響は小さい。
【００３４】
次に、本実施の形態に係るノズルプレート１の製造方法について、図４（ａ）〜図４（ｃ）を参照して説明する。なお、ここでは１つのノズル孔５１及び凹部５２に関してのみ説明するが、ノズルプレート１のすべてのノズル孔５１及び凹部５２は以下に説明するのと同様の方法で製造することができる。
【００３５】
まず、図４（ａ）に示すように、ノズルプレート１となる板材７１の接続面１ａにパンチ８２を打ち込んで、板材７１を貫通する貫通孔７２を形成する（貫通孔形成工程）。貫通孔７２は、吐出面３ａに開口７３を有している。ここで用いられるパンチ８２は、その先端付近が、図２で説明した円柱部分５４と円錐台部分５５とを連結し、さらに円柱部分５４の先端に凹部５２の深さと同じ長さで円柱部分５４と同じ径を有する円柱部分を連結した形状となっている。また、パンチ８２を打ち込むときは、板材７１をパンチ８２が貫通してもしなくてもどちらでもよい。いずれの場合も、吐出面３ａとなる側を機械研磨して板材７１の一部を除去し、さらにラップ処理によって吐出面３ａを整えておく。
【００３６】
しかる後、図４（ｂ）に示すように、パンチ８４を用いて、板材７１の吐出面３ａに凹部５２を形成する（プレス工程）。詳細には、貫通孔７２の開口７３を包含したほぼ円形の吐出面３ａの所定領域を、先端面８４ａが撥水液７６で被覆されたパンチ８４を用いてプレス加工する。このプレス加工によって、所定領域が吐出面３ａよりも接続面１ａに近い底面５２ａを有する凹部５２となり、パンチ８４の先端面８４ａを被覆した撥水液７６が凹部５２の底面５２ａに転写される。なお、本実施の形態では、複数の所定領域が互いに離隔するようにプレス加工を行う。このとき、吐出口６１の径の保持及びワイパーによる撥水膜５６の損傷回避という観点から、加工深さは１ｍｍ〜５ｍｍとすることがよい、さらに、ワイパーによる良好な払拭が行われるようにするには、加工深さは３ｍｍ程度とすることが好ましい。
【００３７】
パンチ８４の先端面８４ａは、図２で説明した凹部５２の底面５２ａと側面５２ｂとを連結したのと同じ形状を有している。したがって、このプレス加工によって、凹部５２には底面５２ａと、吐出面３ａに向かうほど外側に拡がった傾斜面となった側面５２ｂとが同時に形成される。つまり、本実施の形態では、凹部５２の側面５２ｂが傾斜面となったノズルプレート１を容易に形成することができる。
【００３８】
ここで、パンチ８４の構造について、それぞれがその側面図及び底面図である図５（ａ）及び図５（ｂ）を参照して説明する。図５（ａ）及び図５（ｂ）に描かれているように、パンチ８４は円柱形状を有しており、その内部には軸方向に延びた４本の給液流路８６が形成されている。給液流路８６の一方の開口は、パンチ８４の先端面８４ａに設けられている。給液流路８６の他方の開口は、撥水液７６の供給源に接続されている。このようにパンチ８４の内部にその軸方向に延びて先端面８４ａに撥水液７６を供給する給液流路８６が設けられていることによって、適切な量の撥水液７６を短時間で先端面８４ａに供給することが可能となって、多数回のプレス工程を迅速に行うことができる。
【００３９】
４本の給液流路８６は、給液流路８６とパンチ８４の中心軸とを結ぶ４本の線分がそれぞれ隣接するものとなす角度が９０°の等角度となるように、中心軸からパンチ８４の半径の１／２程度離れた位置に配置されている。そして、給液流路８６の下側開口の直径は、５μｍ〜１０μｍであって吐出口６１よりもかなり小さくなっている。そのため、プレス工程時に給液流路８６の下側開口が吐出口６１と対向することがない。これによって、給液流路８６から貫通孔７２内に撥水液７６が直接供給されることがない。そのため、撥水液７６を凹部５２の底面５２ａに効果的に転写することができる。
【００４０】
最後に、図４（ｃ）に示すように、２００℃〜２５０℃で１時間の熱処理を行って撥水液７６を乾燥させて、凹部５２の深さ未満の厚さを有する撥水膜５６を底面５２ａ上に形成する（乾燥工程）。
【００４１】
上述したノズルプレート１の製造方法によると、パンチ８４で凹部５２を形成すると共にパンチから転写させた撥水液をもとに撥水膜５６が形成されるので、ノズルプレート１を容易且つ迅速に作製できる。
【００４２】
図２及び図３で説明したようなノズルプレート１はノズル孔５１のマスキング処理を行った後に撥水膜をメッキで形成することでも製造可能であるが、マスキング処理でマスクの位置精度が十分でない場合には、ノズル孔５１内に撥水膜が形成されてしまったり、底面５２ａの吐出口６１付近に撥水膜が形成されないといった問題が生じることがある。しかし、本実施の形態では、このような問題が生じることがなく、作業性が著しく改善される。
【００４３】
また、本実施の形態では、プレス工程において、複数の所定領域が互いに離隔するようにプレス加工を行っているので、吐出口６１からのインク吐出が隣接する吐出口６１から受ける悪影響を少なくできる。
【００４４】
次に、上述した実施の形態の一変形例について説明する。図６は、本変形例に係るノズルプレート９０の部分拡大断面図である。ここでは、上述した実施の形態と同じ部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００４５】
本変形例は、ノズルプレート９０の吐出面３ａに形成された凹部９２の側面９２ｂが傾斜面ではなく、吐出面３ａ及び接続面１ａに直交した面となっている点においてのみ、上述した実施の形態と相違している。本変形例において、ノズルプレート９０には、凹部９２とノズル孔５１とが形成されている。凹部９２は、底面９２ａと側面９２ｂとを有している。底面９２ａは、撥水膜９６によって被覆されている。撥水膜９６の厚みは、凹部９２の深さ未満である。本変形例によっても、側面９２ｂが傾斜面になっていない点を除いて、上述した実施の形態と同様の効果が得られる。
【００４６】
次に、上述したノズルプレート１を含む液体吐出ヘッドであるインクジェットヘッド１２のヘッド本体３について説明する。ヘッド本体３は、図７（ａ）に示すように、直方体形状である流路ユニット１０９と、流路ユニット１０９の上面に固定された４つのアクチュエータユニット１２１とを含んでいる。
【００４７】
図７（ｂ）に示すように、流路ユニット１０９は、上から順に、キャビティプレート１２２、ベースプレート１２３、アパーチャプレート１２４、サプライプレート１２５、マニホールドプレート１２６、１２７、１２８、ディセンダプレート１２９、及び、ノズルプレート１、という９枚の金属プレート、詳細にはステンレスプレートから構成されている。これらプレート１２２〜１３０は、主走査方向に長尺な矩形平面形状を有する。これらプレート１２２〜１３０を互いに位置合わせしつつ積層することによって、流路ユニット１０９内に、共通インク室である副マニホールド流路１０５ａ、及び、副マニホールド流路１０５ａの出口から圧力室１１０を経て吐出口６１に至る複数の個別インク流路１３２が形成されている。キャビティプレート１２２には複数の圧力室１１０が貫通孔として形成されている。
【００４８】
アクチュエータユニット１２１は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる３枚の圧電層から構成されている。最上層の圧電層の上面における圧力室に対向する位置には、個別電極が形成されている。最上層の圧電層とその下側の圧電層との間に圧電層の全面に亘って共通電極が介在している。
【００４９】
共通電極はすべての圧力室に対応する領域において等しく基準電位が付与されるように、グランドに接続されている。一方、複数の個別電極は、制御部３２（図８参照）とそれぞれ個別に電気的に接続されている。そのため、制御部３２は、所望の一又は複数の個別電極に供給される駆動信号だけをアクティブとすることができる。つまり、アクチュエータユニット１２１において、平面視で複数の個別電極と重なる複数の部分のそれぞれが、個別のアクチュエータとして機能する。すなわち、アクチュエータユニット１２１には、圧力室１１０の数と同数の複数のアクチュエータが構築されている。
【００５０】
次に、図７（ａ）及び図７（ｂ）で説明したヘッド本体３をそれぞれ含む４つのインクジェットヘッド１２Ｋ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｙを有する液体吐出装置であるインクジェットプリンタ１０１について、図８を参照して説明する。このインクジェットプリンタ１０１は、互いに同じ構造を有する４つのインクジェットヘッド１２Ｋ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｙを有している。４つのインクジェットヘッド１２Ｋ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｙは、互いに異なる４色の有色インク（ブラック、マゼンタ、シアン、イエロー）をそれぞれ吐出する。
【００５１】
インクジェットプリンタ１０１は、図中左方に給紙トレイ２１を、図中右方に排紙トレイ２２を有している。インクジェットプリンタ１０１の内部には、給紙トレイ２１から排紙トレイ２２に向かって、記録媒体としての用紙Ｐが搬送される搬送経路が形成されている。給紙トレイ２１のすぐ下流には、用紙を狭持しつつ搬送する一対の送りローラ２５ａ、２５ｂが配置されている。一対の送りローラ２５ａ、２５ｂは、用紙Ｐを給紙トレイ２１から図中右方に向けて送り出す。送りローラ２５ａは、モータ（図示せず）によって回転駆動される。
【００５２】
搬送経路の中間部には、２つのベルトローラ２６、２７と、両ローラ２６、２７の間に架け渡されるように巻回されたエンドレスの搬送ベルト２８と、搬送ベルト２８によって囲まれた領域内にあって搬送ベルト２８を挟んで４つのインクジェットヘッド１２Ｋ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｙと対向する位置に配置されたプラテン２９とを含むベルト搬送機構２３が設けられている。プラテン２９は、４つのインクジェットヘッド１２Ｋ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｙと対向する領域において搬送ベルト２８が下方に撓まないように搬送ベルト２８を支持する。
【００５３】
ベルトローラ２７上には、ニップローラ２４が配置されている。ニップローラ２４は、給紙トレイ２１から送りローラ２５ａ、２５ｂによって送り出された用紙Ｐを搬送ベルト２８の外周面に押さえ付ける。搬送ベルト２８の外周面には、弱粘着性のシリコン樹脂層が形成されている。
【００５４】
モータ（図示せず）が駆動ローラであるベルトローラ２６を回転させることによって、搬送ベルト２８が回転する。これにより、搬送ベルト２８が、ニップローラ２４によって外周面に押さえ付けられた用紙Ｐを粘着保持しつつ排紙トレイ２２に向けて搬送する。搬送経路に沿って搬送ベルト２８のすぐ下流には、剥離プレート３０が設けられている。剥離プレート３０は、搬送ベルト２８の外周面に粘着している用紙Ｐを外周面から剥離する。
【００５５】
４つのインクジェットヘッド１２Ｋ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｙは、用紙Ｐの搬送方向に沿って並べられており、プラテン２９と対向する位置に固定されている。つまり、このインクジェットプリンタ１０１は、ライン式プリンタである。４つのインクジェットヘッド１２Ｋ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｙは、図８の紙面に直交した方向、つまり主走査方向に長尺な直方体形状となっている。各インクジェットヘッドの下側部分には、ヘッド本体３が固定されている。ヘッド本体３の底面は、搬送ベルト２８の外周面のうち上側に位置する搬送面２８ａに対向し且つ複数の吐出口６１が形成された吐出面３ａとなっている。
【００５６】
上述したように、各ヘッドにおいて、複数の吐出口６１は、２次元的に配列されている。吐出面における主走査方向に関する吐出口６１のピッチは、主走査方向の印字解像度（本実施の形態において６００ｄｐｉ）に相当する間隔となっている。
【００５７】
搬送ベルト２８によって搬送される用紙Ｐが４つのヘッドの下方を順に通過する際に、吐出面３ａに形成された複数の吐出口６１から、用紙Ｐの上面すなわち印刷面に向けて、各色のインク滴が吐出される。４つのインクジェットヘッド１２Ｋ、１２Ｍ、１２Ｃ、１２Ｙに係る複数の吐出口６１から吐出された有色インクによって、用紙Ｐに所望パターンのカラー画像が形成される。ここで、インクジェットプリンタ１０１では、前回の吐出動作からインクの吐出動作が無いまま所定期間が経過したとき、インクの吐出動作に関係なく電源オンから所定期間の整数倍の時間が経過したとき（所定期間経過毎）、及び、ユーザからの指示があったときなどに、パージ動作が行われる。パージ動作は、インクを強制的に排出する動作であって、インクの吐出に関わるすべての吐出口６１からインクが排出される。これによって、各吐出口６１の吐出特性が回復するが、吐出面３ａにインクが残留してしまう。そこで、ワイパーによる払拭動作を行って、インクジェットヘッド１２の吐出面３ａを清浄にする。このとき、撥水膜５６が凹部５２の底部に形成され、吐出口６１がこの底部に開口しているので、吐出口６１付近のインクは凹部５２の側壁５２ｂに向かって移動しやすくなっている。さらに、ワイパーによって吐出口６１付近のインクを確実に除去できると共に、撥水膜５６が損傷を受けることがないので、インクジェットプリンタ１０１及びインクジェットヘッド１２におけるインクの安定吐出が維持されている。
【００５８】
インクジェットプリンタ１０１の各部の動作は、制御部３２によって制御される。
【００５９】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更を上述の実施の形態に施すことが可能である。例えば、本発明に係るノズルプレートは、上述した製造方法以外で製造されたものであってもよい。本発明に係るノズルプレートを製造可能な方法の一つとして、上述したマスキング処理を行う製造方法が挙げられる。凹部５２外の吐出面３ａに撥水膜が形成されていてもよい。また、凹部が隣接する凹部と連結されていてもよい。さらに、ノズル孔の形状は、図２に描かれたものに限られるものではなく、円錐台部分のみを有するもの、円柱部分のみを有するものなど、どのような形状でもよい。また、各部材の材質や寸法も適宜変更可能である。側面５２ｂに撥水膜が形成されていてもよい。
【００６０】
パンチ８４の先端面８４ａへの撥水液の供給機構は実施の形態のものに限らず、公知の態様のいずれを採用してもよい。また、上述したヘッド本体３及びインクジェットプリンタ１０１は、インク以外を吐出するために用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の一実施の形態に係るノズルプレートの底面図である。
【図２】図１に描かれたノズルプレートの部分拡大断面図である。
【図３】図１に描かれたノズルプレートの部分拡大底面図である。
【図４】図１に描かれたノズルプレートの製造方法を工程順に示した断面図である。
【図５】図４（ｂ）に描かれたパンチの側面図及び底面図である。
【図６】一変形例に係るノズルプレートの部分拡大断面図である。
【図７】図１に描かれたノズルプレートを含むインクジェットヘッドのヘッド本体の斜視図及び部分拡大断面図である。
【図８】図７（ａ）及び図７（ｂ）に描かれたインクジェットヘッドを有するインクジェットプリンタの側面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１  ノズルプレート
３  ヘッド本体
３ａ  吐出面
１２  インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
１ａ  接続面
５１  ノズル孔
５２  凹部
５２ａ  底面
５２ｂ  側面
５４  円柱部分
５５  円錐台部分
５６  撥水膜
６１  吐出口
６２  流入口
７１  板材
７２  貫通孔
７３  開口
７６  撥水液
８２  パンチ
８４  パンチ
８４ａ  先端面
８６  給液流路
１０１  インクジェットプリンタ（液体吐出装置）
１０９  流路ユニット
１２１  アクチュエータユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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