(57)【要約】【課題】リードフレーム上に半導体チップを搭載し、封止樹脂で半導体チップを埋め込んだ際に、ダイパッドと封止樹脂との密着強度を向上させるとともに封止樹脂からのリード抜けを防ぐ。【解決手段】リードフレーム２００は、半導体チップが搭載されるダイパッド２０２と、複数のリード２０６と、ダイパッド２０２の表面側から窪んで設けられた第１の凹部２１０と、各リード２０６それぞれの表面側および裏面側から窪んで設けられた第２の凹部および第３の凹部（貫通孔２１２）と、を含む。第１の凹部２１０、第２の凹部および第３の凹部（貫通孔２１２）は、それぞれ、内壁面が凹凸形状に形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップが搭載されるダイパッドと、
前記ダイパッドの周囲に当該ダイパッドから間隔を隔てて配置された複数のリードと、
前記ダイパッドの表面側から窪んで設けられた第１の凹部と、
各前記複数のリードそれぞれの表面側から窪んで設けられた第２の凹部と、
各前記複数のリードそれぞれの裏面側から窪んで設けられた第３の凹部と、
を含み、
前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、それぞれ、内壁面が凹凸形状に形成されたリードフレーム。
【請求項２】
請求項１に記載のリードフレームにおいて、
各前記複数のリードそれぞれにおいて、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、連続して形成され、前記リードの前記表面から前記裏面まで貫通した貫通孔を構成するリードフレーム。
【請求項３】
請求項２に記載のリードフレームにおいて、
各前記複数のリードそれぞれにおいて、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、平面視で少なくとも一部が重ならない位置に設けられたリードフレーム。
【請求項４】
請求項１に記載のリードフレームにおいて、
各前記複数のリードそれぞれにおいて、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、平面視で異なる位置に設けられ、互いに接続していないリードフレーム。
【請求項５】
請求項１から４いずれかに記載のリードフレームにおいて、
前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、等方性エッチングにより形成され、それぞれ、表面から当該凹部の形成方向に沿って当該表面の開口幅よりも拡開した形状を有するリードフレーム。
【請求項６】
請求項１から５いずれかに記載のリードフレームにおいて、
前記ダイパッドの裏面側から窪んで設けられた第４の凹部をさらに含むリードフレーム。
【請求項７】
請求項１から６いずれかに記載のリードフレームにおいて、
前記第１の凹部は、前記ダイパッドの前記半導体チップが搭載される領域の周囲に複数設けられたリードフレーム。
【請求項８】
半導体チップと、
表面側に前記半導体チップが搭載されたダイパッド、当該ダイパッドの周囲に当該ダイパッドから間隔を隔てて配置された複数のリード、前記ダイパッドの表面側から窪んで設けられた第１の凹部、各前記複数のリードそれぞれの表面側から窪んで設けられた第２の凹部、および各前記複数のリードそれぞれの裏面側から窪んで設けられた第３の凹部を含むリードフレームと、
前記半導体チップを封止するとともに前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部を埋め込む封止樹脂と、
を含み、
前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、それぞれ、内壁面が凹凸形状に形成された半導体装置。
【請求項９】
請求項８に記載の半導体装置において、
各前記複数のリードそれぞれにおいて、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、連続して形成され、前記リードの前記表面から前記裏面まで貫通した貫通孔を構成する半導体装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の半導体装置において、
各前記複数のリードそれぞれにおいて、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、平面視で少なくとも一部が重ならない位置に設けられた半導体装置。
【請求項１１】
請求項８に記載の半導体装置において、
各前記複数のリードそれぞれにおいて、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、平面視で異なる位置に設けられ、互いに接続していない半導体装置。
【請求項１２】
請求項８から１１いずれかに記載の半導体装置において、
前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、等方性エッチングにより形成され、それぞれ、表面から当該凹部の形成方向に沿って当該表面の開口幅よりも拡開した形状を有する半導体装置。
【請求項１３】
請求項８から１２いずれかに記載の半導体装置において、
前記封止樹脂は、前記リードフレームの前記ダイパッドの裏面側にも設けられた半導体装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の半導体装置において、
前記ダイパッドの裏面側から窪んで設けられた第４の凹部をさらに含み、前記封止樹脂が、前記第４の凹部にも埋め込まれた半導体装置。
【請求項１５】
請求項８から１４いずれかに記載の半導体装置において、
前記第１の凹部は、前記ダイパッドの前記半導体チップが搭載される領域の周囲に複数設けられた半導体装置。
【請求項１６】
半導体チップが搭載されるダイパッドおよび当該ダイパッドの周囲に当該ダイパッドから間隔を隔てて配置された複数のリードを含むリードフレームの表面側および裏面側にそれぞれ第１のレジスト膜および第２のレジスト膜を形成する工程と、
前記第１のレジスト膜の前記ダイパッドに対応する第１の位置、および各前記複数のリードそれぞれに対応する第２の位置にそれぞれ第１の開口部および第２の開口部を形成する工程と、
前記第２のレジスト膜の各前記複数のリードそれぞれに対応する第３の位置にそれぞれ第３の開口部を形成する工程と、
前記第１のレジスト膜および前記第２のレジスト膜をマスクとして、等方性エッチングにより前記リードフレームをエッチングし、当該リードフレームに、前記ダイパッドの表面側から窪んで設けられた第１の凹部、各前記複数のリードそれぞれの表面側から窪んで設けられた第２の凹部、および各前記複数のリードそれぞれの裏面側から窪んで設けられた第３の凹部を形成する工程と、
を含み、
前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、それぞれ、表面から当該凹部の形成方向に沿って当該表面の開口幅よりも拡開した形状を有するように形成されるリードフレームの製造方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載のリードフレームの製造方法において、
前記第１のレジスト膜および前記第２のレジスト膜をマスクとした前記等方性エッチングの後、前記リードフレームの表面側および裏面側にそれぞれ第３のレジスト膜および第４のレジスト膜を形成する工程と、
前記第３のレジスト膜の前記ダイパッドに対応する第４の位置、および各前記複数のリードそれぞれに対応する第５の位置にそれぞれ、前記第１の開口部よりも開口幅が広い第４の開口部および前記第２の開口部よりも開口幅が広い第５の開口部を形成する工程と、
前記第３のレジスト膜の各前記複数のリードそれぞれに対応する第６の位置にそれぞれ前記第３の開口部よりも開口幅が広い第６の開口部を形成する工程と、
前記第３のレジスト膜および前記第４のレジスト膜をマスクとして、等方性エッチングにより前記リードフレームをエッチングする工程と、
を含み、
前記第３のレジスト膜および前記第４のレジスト膜をマスクとして前記リードフレームをエッチングする工程において、前記第１のレジスト膜および前記第２のレジスト膜をマスクとして前記リードフレームをエッチングする工程よりもエッチング時間を短くして、前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部内に、それぞれ、開口幅がより広いとともに深さが浅い凹部を形成するリードフレームの製造方法。
【請求項１８】
請求項１６に記載のリードフレームの製造方法で製造した前記リードフレームの前記ダイパッドの表面側に半導体チップを搭載する工程と、
前記半導体チップを封止樹脂で封止するとともに当該封止樹脂で前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部を埋め込む工程と、
を含む半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレーム、半導体装置、リードフレームの製造方法および半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体装置用のパッケージには、小型・低抵抗化および低価格化が求められている。このような要請に応えるため、近年、リードフレーム上に半導体チップを配置し、封止樹脂で半導体チップを封止したパッケージが用いられている。しかし、リードフレームを構成する金属と封止樹脂の材料とでは、熱膨張係数に大きな相違がある。そのため、両者の密着性が不充分な場合、界面剥離や封止樹脂のクラックが発生し、製品の信頼性を低下させる要因となっている。そのため、双方の密着性を高めるべく、リードフレームの表面積を広くする技術が提案されている。
【０００３】
たとえば、特許文献１（特開２００１−１２７２３２号公報）には、半導体素子の搭載部に、封止樹脂と搭載部との密着強度を向上させる貫通孔がプレス抜き加工によって形成されているリードフレームであって、貫通孔がスリット状に形成されて複数個隣接して配置されるとともに、隣接する貫通孔に挟まれた小片部が貫通孔の抜き方向に対してねじれた形状に形成された構成が記載されている。これにより、ダイパッド等の半導体素子の搭載部と封止樹脂との密着強度を高めることができるとされている。
【０００４】
また、特許文献２（特開２００７−２５８５８７号公報）には、半導体チップを搭載し、封止樹脂によって封止される半導体装置に使用されるリードフレームであって、封止樹脂によって封止されるリードフレームの部分の表面に凹凸部が形成され、凹凸部では、凹部の深さ方向と交差する方向に延在するカギ部が形成されたリードフレームが記載されている。
【特許文献１】特開２００１−１２７２３２号公報
【特許文献２】特開２００７−２５８５８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、本発明者は、従来の技術では以下のような問題があることを見出した。
リードフレームの表面に、たとえば特許文献２に記載されたような凹凸部が形成されている場合、リードフレームと封止樹脂との密着性は向上すると考えられる。しかし、各リードの一表面にこのような凹凸部を設けただけでは、各リードが封止樹脂から抜け出やすいという問題がある。本発明者らは、リードの凹凸部が設けられていない面での密着性が低いために、リードがリードフレームの厚さ方向に回転移動してしまい、リードが封止樹脂から抜けやすいということを見いだした。とくにリードが封止樹脂の外部に露出しているタイプの半導体装置では、このようなリード抜けの問題が顕著である。特許文献１に記載の技術でも、ダイパッドにしか貫通孔が設けられておらず、リード抜けの問題が依然としてある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、
半導体チップが搭載されるダイパッドと、
前記ダイパッドの周囲に当該ダイパッドから間隔を隔てて配置された複数のリードと、
前記ダイパッドの表面側から窪んで設けられた第１の凹部と、
各前記複数のリードそれぞれの表面側から窪んで設けられた第２の凹部と、
各前記複数のリードそれぞれの裏面側から窪んで設けられた第３の凹部と、
を含み、
前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、それぞれ、内壁面が凹凸形状に形成されたリードフレームが提供される。
【０００７】
本発明によれば、
半導体チップと、
表面側に前記半導体チップが搭載されたダイパッド、当該ダイパッドの周囲に当該ダイパッドから間隔を隔てて配置された複数のリード、前記ダイパッドの表面側から窪んで設けられた第１の凹部、各前記複数のリードそれぞれの表面側から窪んで設けられた第２の凹部、および各前記複数のリードそれぞれの裏面側から窪んで設けられた第３の凹部を含むリードフレームと、
前記半導体チップを封止するとともに前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部を埋め込む封止樹脂と、
を含み、
前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、それぞれ、内壁面が凹凸形状に形成された半導体装置が提供される。
【０００８】
本発明によれば、
半導体チップが搭載されるダイパッドおよび当該ダイパッドの周囲に当該ダイパッドから間隔を隔てて配置された複数のリードを含むリードフレームの表面側および裏面側にそれぞれ第１のレジスト膜および第２のレジスト膜を形成する工程と、
前記第１のレジスト膜の前記ダイパッドに対応する第１の位置、および各前記複数のリードそれぞれに対応する第２の位置にそれぞれ第１の開口部および第２の開口部を形成する工程と、
前記第２のレジスト膜の各前記複数のリードそれぞれに対応する第３の位置にそれぞれ第３の開口部を形成する工程と、
前記第１のレジスト膜および前記第２のレジスト膜をマスクとして、等方性エッチングにより前記リードフレームをエッチングし、当該リードフレームに、前記ダイパッドの表面側から窪んで設けられた第１の凹部、各前記複数のリードそれぞれの表面側から窪んで設けられた第２の凹部、および各前記複数のリードそれぞれの裏面側から窪んで設けられた第３の凹部を形成する工程と、
を含み、
前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部は、それぞれ、表面から当該凹部の形成方向に沿って当該表面の開口幅よりも拡開した形状を有するように形成されるリードフレームの製造方法が提供される。
【０００９】
本発明によれば、上記リードフレームの製造方法で製造した前記リードフレームの前記ダイパッドの表面側に半導体チップを搭載する工程と、
前記半導体チップを封止樹脂で封止するとともに当該封止樹脂で前記第１の凹部、前記第２の凹部および前記第３の凹部を埋め込む工程と、
を含む半導体装置の製造方法が提供される。
【００１０】
このような構成とすると、リードの表面側と裏面側に凹部が形成され、各凹部は内壁面が凹凸形状に形成されているので、リードフレーム上に半導体チップを搭載し、封止樹脂で半導体チップを埋め込んだ際に、ダイパッドと封止樹脂との密着強度を向上させるとともに封止樹脂からのリード抜けを効果的に防ぐことができる。
【００１１】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置などの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、リードフレーム上に半導体チップを搭載し、封止樹脂で半導体チップを埋め込んだ際に、ダイパッドと封止樹脂との密着強度を向上させるとともに封止樹脂からのリード抜けを防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１４】
（第１の実施の形態）
図１は、本実施の形態におけるリードフレームの構成を示す上面図である。
リードフレーム２００は、表面側に半導体チップが搭載されるダイパッド２０２と、吊りリード２０４と、複数のリード２０６と、外枠２０８を含む。ダイパッド２０２は、矩形形状を有する。吊りリード２０４は、ダイパッド２０２の四隅に設けられている。ダイパッド２０２は、吊りリード２０４を介して外枠２０８に接続されている。また、複数のリード２０６も、外枠２０８に接続されている。この状態では、ダイパッド２０２、吊りリード２０４、リード２０６、および外枠２０８は、一体に形成されている。ここで、リード２０６は、ダイパッド２０２に近い側の幅が広く形成されたＴ字形状を有する。このような形状とすることにより、リード２０６抜けが生じにくいようにしている。
【００１５】
本実施の形態において、ダイパッド２０２のチップ配置領域２０３に半導体チップが配置される。ここで、ダイパッド２０２のチップ配置領域２０３の周囲には、複数の凹部２１０（第１の凹部）が設けられている。また、複数のリード２０６には、それぞれ、リードフレーム２００の表面から裏面まで貫通した複数の貫通孔２１２（第２の凹部および第３の凹部）が設けられている。
【００１６】
図２は、図１のＡ−Ａ’断面図である。
本実施の形態において、凹部２１０、および貫通孔２１２は、それぞれ、内壁面が凹凸形状に形成されている。ここで、凹凸形状とは、内壁面の一部に他の部分より突出した少なくとも一つの凸部が形成された形状とすることもでき、また内壁面の一部に他の部分よりも窪んだ少なくとも一つの凹部が形成された形状とすることもできる。すなわち、凹凸形状は、リードフレーム２００の表面から内部に向かう方向（凹部の形成方向）に対向する面を有する構成とすることができる。このような構成とすることにより、凹部２１０、および貫通孔２１２内に封止樹脂が充填されたときに、対向する面が引っかかり部となり、封止樹脂とリードフレーム２００との密着性を高めることができる。
【００１７】
図３は、本実施の形態における半導体装置１００の構成を示す上面図である。図４は、図３のＢ−Ｂ’断面図である。
【００１８】
ここで、半導体チップ１０２がリードフレーム２００のダイパッド２０２上に搭載されており、ダイボンド材１１２でダイパッド２０２に貼り付けられている。半導体チップ１０２の複数の電極パッド（不図示）と複数のリード２０６とは、それぞれボンディングワイヤ１１０を介して電気的に接続されている。リードフレーム２００、半導体チップ１０２、およびボンディングワイヤ１１０は、封止樹脂１２０で埋め込まれて封止されている。封止樹脂１２０は、たとえばエポキシ樹脂により構成することができる。このとき、凹部２１０および貫通孔２１２も封止樹脂１２０が充填される。
【００１９】
図５から図７は、本実施の形態において、リードフレーム２００に凹部２１０および貫通孔２１２を形成する手順を示す工程断面図である。図５（ａ）は、凹部２１０および貫通孔２１２を形成する前のリードフレーム２００を示す図である。ここで、リードフレーム２００は、図１に示したように、ダイパッド２０２、吊りリード２０４、リード２０６および外枠２０８の形状に成形された状態となっている。
【００２０】
本実施の形態において、凹部２１０および貫通孔２１２は、リードフレーム２００の表面から内部に向かう方向に内部の途中までエッチングして凹部を形成するハーフエッチングにより形成することができる。貫通孔２１２は、リードフレーム２００の表面側と裏面側からそれぞれハーフエッチングを行うことにより形成することができる。
【００２１】
まず、リードフレーム２００の洗浄やベーク等の前処理を行う。リードフレーム２００を洗浄液に浸けることにより、リードフレーム２００に付着した異物、油、酸化膜等の付着物２０１を除去する（図５（ａ）〜図５（ｃ））。その後、ベークを行うことにより、次工程で用いるレジストとの密着性を向上させることができる。
【００２２】
つづいて、リードフレーム２００の表面側（図中上側）および裏面側（図中下側）にレジスト２３０ａおよびレジスト２３０ｂをそれぞれコーティングし、プリベークを行う（図５（ｄ））。プリベークを行うことにより、レジスト中の溶媒が蒸発され、レジスト２３０ａおよびレジスト２３０ｂを緻密にすることができる。
【００２３】
次いで、レジスト２３０ａおよびレジスト２３０ｂ上にそれぞれ露光マスク２３２ａおよび露光マスク２３２ｂを配置する（図６（ａ））。露光マスク２３２ａには、図１のダイパッド２０２の凹部２１０に対応する箇所に設けられた開口部２３４ａおよびリード２０６の貫通孔２１２に対応する箇所に設けられた開口部２３４ｂが形成されている。露光マスク２３２ｂには、図１のリード２０６の貫通孔２１２に対応する箇所に設けられた開口部２３４ｃが形成されている。つまり、露光マスク２３２ａの開口部２３４ｂと露光マスク２３２ｂの開口部２３４ｃとは、互いに対向する位置に設けられている。
【００２４】
このような露光マスク２３２ａおよび露光マスク２３２ｂをマスクとして、レジスト２３０ａおよびレジスト２３０ｂをそれぞれ露光、現像する。これにより、レジスト２３０ａおよびレジスト２３０ｂに、それぞれ露光マスク２３２ａおよび露光マスク２３２ｂのパターンが転写される。すなわち、レジスト２３０ａには露光マスク２３２ａの開口部２３４ａおよび開口部２３４ｂに対応する位置にそれぞれ開口部２３６ａおよび開口部２３６ｂが形成される。また、レジスト２３０ｂには、露光マスク２３２ｂの開口部２３４ｃに対応する位置にそれぞれ開口部２３６ｃが形成される（図６（ｂ））。本実施の形態において、開口部２３４ａ、開口部２３４ｂ、および開口部２３４ｃは、平面視で円形状とすることができる。そのため、レジスト２３０ａおよびレジスト２３０ｂに形成される開口部２３６ａ、開口部２３６ｂ、および開口部２３６ｃも平面視で円形状となる。
【００２５】
ここで、レジスト２３０ａおよびレジスト２３０ｂの現像後のパターンをチェックし、問題がなければポストベークを行う。ポストベークを行うことにより、残存する現像液やリンス液等の水分を除去するとともに、レジスト２３０ａおよびレジスト２３０ｂのリードフレーム２００への密着性と次工程のエッチング耐性を高めることができる。
【００２６】
つづいて、レジスト２３０ａおよびレジスト２３０ｂをマスクとしてリードフレーム２００をハーフエッチングしてリードフレーム２００に凹部２３８、凹部２４０ａ、および凹部２４０ｂを形成する（図６（ｃ））。ここで、凹部２３８、凹部２４０ａおよび凹部２４０ｂは、表面から各凹部の形成方向に沿って表面の開口幅（開口径）よりも拡開した形状を有する。すなわち、本実施の形態において、凹部２３８、凹部２４０ａおよび凹部２４０ｂは、リードフレーム２００の内部において、マスクとなるレジスト２３０ａやレジスト２３０ｂに形成された開口部２３６ａ、開口部２３６ｂ、開口部２３６ｃの開口径よりも径が大きい形状を有する。このような形状とするために、凹部２３８、凹部２４０ａおよび凹部２４０ｂは、たとえばウェットエッチング等の等方性エッチングにより形成することができる。これにより、エッチングが等方的に進行し、サイドエッチが発生し、内部において径が大きくなった凹部を形成することができる。エッチング液としては、たとえば塩化第二鉄水溶液を用いることができる。
【００２７】
この後、剥離液等を用いてレジスト２３０ａおよびレジスト２３０ｂを除去する。本実施の形態において、等方性エッチングにより凹部２３８を形成することにより、凹部２３８を、リードフレーム２００の表面部分に凸部２３９が形成された形状とすることができる。また、同様に、凹部２４０ａを、リードフレーム２００の表面部分に凸部２４１ａが形成された形状とすることができる。また、凹部２４０ｂを、リードフレーム２００の裏面側の表面部分に凸部２４１ｃが形成された形状とすることができる。さらに、本実施の形態において、リード２０６では、凹部２４０ａと凹部２４０ｂとがつながった貫通孔が形成される（図６（ｄ））。このように、リードフレーム２００の表面側と裏面側から等方性エッチングで凹部２４０ａと凹部２４０ｂとを形成して貫通させることにより、２つの凹部の境界部分に、さらに凸部２４１ｂが形成された形状とすることができる。以上の処理により、凹部２３８ならびに凹部２４０ａおよび凹部２４０ｂから構成される貫通孔の内壁面が凹凸形状に形成される。
【００２８】
さらに、より多くの凸部を形成するために、ハーフエッチング工程を繰り返すことができる。
図７（ａ）に示すように、再度リードフレーム２００の表面側（図中上側）および裏面側（図中下側）にレジスト２４２ａおよびレジスト２４２ｂをそれぞれ配置する。ここで、リードフレーム２００には既に凹部が形成されているため、レジスト２４２ａおよびレジスト２４２ｂとしては、フィルム状のものを用いることができる。
【００２９】
次いで、レジスト２４２ａおよびレジスト２４２ｂ上にそれぞれ露光マスク２４４ａおよび露光マスク２４４ｂを配置する（図７（ｂ））。露光マスク２４４ａには、露光マスク２３２ａの開口部２３４ａおよび開口部２３４ｂにそれぞれ対応する箇所に設けられた開口部２４６ａおよび開口部２４６ｂが形成されている。また、露光マスク２４４ｂには、露光マスク２３２ｂの開口部２３４ｃに対応する箇所に設けられた開口部２４６ｃが形成されている。ここで、露光マスク２４４ａの開口部２４６ａの開口幅は、露光マスク２３２ａの開口部２３４ａの開口幅よりも広く形成される。同様に、露光マスク２４４ａの開口部２４６ｂの開口幅は、露光マスク２３２ａの開口部２３４ｂの開口幅よりも広く形成される。同様に、露光マスク２４４ｂの開口部２４６ｃの開口幅は、露光マスク２３２ｂの開口部２３４ｃの開口幅よりも広く形成される。
【００３０】
このような露光マスク２４４ａおよび露光マスク２４４ｂをマスクとして、レジスト２４２ａおよびレジスト２４２ｂをそれぞれ露光、現像する。これにより、レジスト２４２ａおよびレジスト２４２ｂに、それぞれ露光マスク２４４ａおよび露光マスク２４４ｂのパターンが転写される。すなわち、レジスト２４２ａには露光マスク２４４ａの開口部２４６ａおよび開口部２４６ｂに対応する位置にそれぞれ開口部２４８ａおよび開口部２４８ｂが形成される。また、レジスト２４２ｂには、露光マスク２４４ｂの開口部２４６ｃに対応する位置にそれぞれ開口部２４８ｃが形成される（図７（ｃ））。
【００３１】
つづいて、レジスト２４２ａおよびレジスト２４２ｂをマスクとしてリードフレーム２００をエッチングする。ここでも、ウェットエッチング等の等方性エッチングで行うことができる。また、エッチングの時間は、凹部２３８、凹部２４０ａ、および凹部２４０ｂを形成したときの時間の約半分の時間とすることができる。これにより、凹部２３８内に、凹部２３８よりも径が大きいとともに凹部２３８よりも深さが浅い凹部２５０を形成することができる。同時に、凹部２４０ａ内に、凹部２４０ａよりも径が大きいとともに凹部２４０ａよりも深さが浅い凹部２５２ａを形成することができる。また同時に、凹部２４０ｂ内に、凹部２４０ｂよりも径が大きいとともに凹部２４０ｂよりも深さが浅い凹部２５２ｂを形成することができる（図７（ｄ））。
【００３２】
この後、剥離液等を用いてレジスト２４２ａおよびレジスト２４２ｂを除去する。以上により、リードフレーム２００の表面側に凹部２１０を形成することができる。また、リードフレーム２００に貫通孔２１２を形成することができる。本実施の形態において、等方性エッチングによるハーフエッチングを繰り返して凹部や貫通孔を段階的に形成することにより、凹部２１０および貫通孔２１２内に複数の凸部を形成することができる。凹部２１０内には、図６（ｄ）に示した凸部２３９に加えて、凹部２３８と凹部２５０との境界部分に凸部２５１が形成される。同様に、貫通孔２１２内には、図６（ｄ）に示した凸部２４１ａ、凸部２４１ｂ、および凸部２４１ｃに加えて、凸部２５３ａおよび凸部２５３ｂが形成される（図７（ｅ））。以上の処理により、凹部２１０および貫通孔２１２の内壁面が凹凸形状に形成される。
【００３３】
また、さらに同様にしてハーフエッチング工程を繰り返すことにより、凹部２１０および貫通孔２１２の内壁面に多数の凹凸形状を形成することができる。このように、凹部および貫通孔をハーフエッチングで形成することにより、特別な金型等を用いることなく、内壁面に所望の凹凸形状を形成することができる。また、リードフレーム２００の表面側と裏面側から、反対面に影響を与えることなく同時に凹部を形成することができる。
【００３４】
図８および図９は、本実施の形態において、リードフレーム２００上に半導体チップ１０２を搭載して、封止樹脂１２０で埋め込み、半導体装置１００を製造する手順を示す工程断面図である。
まず、ダイパッド２０２上に、ダイボンド材１１２を用いて半導体チップ１０２を搭載する（図８（ａ））。つづいて、ボンディングワイヤ１１０を用いて半導体チップ１０２とリード２０６を電気的に接続する（図８（ｂ））。次に、封止樹脂１２０を用い、リードフレーム２００、半導体チップ１０２およびボンディングワイヤ１１０の樹脂封止を行う（図９（ａ））。また、このとき、リードフレーム２００の凹部２１０および貫通孔２１２内に封止樹脂１２０が充填される。これにより、リードフレーム２００と封止樹脂１２０との密着面積が増加し、双方の密着度が向上する。その後、ブレードや金型を用いて、破線３００に沿ってリードフレーム２００を切断して個片化する（図９（ｂ））。このとき、リードフレーム２００の外枠２０８も切断除去され、リード２０６がダイパッド２０２から分離される。以上の手順により、本実施の形態における半導体装置１００が得られる。
【００３５】
図１０は、本実施の形態における半導体装置１００の構成の他の例を示す断面図である。
図１０（ａ）は、ダイパッド２０２のチップ配置領域２０３（図１参照）にも凹部２１０が形成された例を示す断面図である。ここでは簡略化のために半導体チップ１０２の下に凹部２１０が１つだけ形成された例を示しているが、半導体チップ１０２のサイズと凹部２１０のサイズに応じて、半導体チップ１０２の下に複数の凹部２１０を設けることができる。本例のように、半導体チップ１０２のチップ配置領域２０３にも凹部２１０を設けることにより、ダイパッド２０２とダイボンド材１１２との密着性も高めることができる。
【００３６】
図１０（ｂ）は、リードフレーム２００に凹部および貫通孔を形成するためのハーフエッチング工程を一度だけ行って凹部２１０および貫通孔２１２を形成した場合の例を示す断面図である。すなわち、図６（ｄ）で凹部２３８、凹部２４０ａおよび凹部２４０ｂを形成した段階でリードフレーム２００のエッチングを終了した場合の例である。このようにしても、凹部２１０および貫通孔２１２には凸部２３９、凸部２４１ａ、凸部２４１ｂ、および凸部２４１ｃ等の凸部が形成されるので、封止樹脂１２０とリードフレーム２００との密着性を良好にすることができる。ハーフエッチングを行う回数は、使用するリードフレーム材と封止樹脂の密着性とコストを考慮して、適宜選択することができる。なお、ここでは図１０（ａ）に示したのと同様、ダイパッド２０２のチップ配置領域２０３にも凹部２１０が形成された例を示しているが、図１から図９に示した例と同様、チップ配置領域２０３には凹部２１０が形成されていない構成に適用することもできる。
【００３７】
図１０（ｃ）は、リードフレーム２００の表面側と裏面側に設ける凹部の開口部の箇所をずらして貫通孔２１２を形成した例を示す断面図である。すなわち、表面側の凹部（第２の凹部）および裏面側の凹部（第３の凹部）が、平面視で少なくとも一部が重ならない位置に設けられている。このような構成とすることにより、貫通孔２１２の軸線が一直線状ではない形状とすることができる。これにより、貫通孔２１２内の凹凸を大きくすることができ、リードフレーム２００と封止樹脂１２０との密着性を高めることができる。なお、ここでは図１０（ａ）に示したのと同様、ダイパッド２０２のチップ配置領域２０３にも凹部２１０が形成された例を示しているが、図１から図９に示した例と同様、チップ配置領域２０３には凹部２１０が形成されていない構成に適用することもできる。
【００３８】
図１１は、本実施の形態における半導体装置１００の構成の他の例を示す上面図である。
本例では、ダイパッド２０２のチップ配置領域２０３外周部に凹部２１０を連続的に設けている。ダイパッド２０２のチップ配置領域２０３の外周部に凹部２１０がドーナツ状に繋げて配置されている。ここでも、ドーナツ状の凹部２１０内に封止樹脂１２０が充填される。
【００３９】
図１２は、本実施の形態における半導体装置１００の構成の他の例を示す上面図である。
本例では、リード２０６の形状が矩形形状に形成される。本実施の形態において、リード２０６に貫通孔２１２が形成されることにより、封止樹脂１２０が貫通孔２１２内に充填され、リード２０６と封止樹脂１２０との密着性を向上させることができる。そのため、リード２０６を矩形形状としても、封止樹脂１２０からのリード２０６の抜けを防ぐことができる。これにより、リード２０６のサイズを小さくすることができるとともに、リードピッチを狭くすることが可能となり、パッケージの小型化が実現可能となる。
【００４０】
本実施の形態のリードフレームによれば、以下の効果が得られる。
本実施の形態において、リード２０６には、内壁面が凹凸形状に形成された貫通孔２１２が形成されているため、リード２０６の表面側と裏面側の双方でリード２０６と封止樹脂１２０との密着性を良好にすることができる。そのため、リード２０６が封止樹脂１２０から抜けるのを防ぐことができる。
【００４１】
また、ダイパッド２０２には、貫通孔ではなく非貫通孔である凹部２１０が形成されている。そのため、ダイボンド材１１２がリードフレーム２００の裏面側に流れ出るのを防ぐことができる。これにより、ダイパッド２０２上に搭載する半導体チップ１０２のサイズに自由度を持たせることができる。さらに、凹部２１０を非貫通孔とすることにより、凹部２１０の配置に制約を受けない。これにより、図１０に示したように、ダイパッド２０２の表面側全面に凹部２１０を配置することもできる。
【００４２】
さらに、本実施の形態において、凹部および貫通孔をハーフエッチングで形成することにより、特許文献１や特許文献２に記載されたような金型等を用いることなく、簡易な手順で内壁面に所望の凹凸形状を形成することができる。
【００４３】
（第２の実施の形態）
図１３は、本実施の形態における半導体装置の構成を示す上面図である。図１４は、図１３のＣ−Ｃ’断面図である。
本実施の形態において、リード２０６が封止樹脂１２０から露出しており、リードフレーム２００の裏面側にも封止樹脂１２０が形成されている点で第１の実施の形態における半導体装置１００と構成が異なる。
【００４４】
このような構成の場合、ダイパッド２０２の裏面側にも凹部２１０を設けることができる。これにより、ダイパッド２０２の裏面側の凹部２１０にも封止樹脂１２０が充填され、ダイパッド２０２の裏面側でもリードフレーム２００と封止樹脂１２０との密着面積を増加させることができる。これにより、ダイパッド２０２の裏面側が露出しておらず、封止樹脂１２０で封止された構成のパッケージにおいても、リードフレーム２００と封止樹脂１２０との密着度を向上させることが可能である。
【００４５】
図１５は、本実施の形態における半導体装置１００の構成の他の例を示す断面図である。本実施の形態における半導体装置１００のように、リードフレーム２００の裏面側にも封止樹脂１２０が設けられる構成の場合、リード２０６には、貫通孔２１２を設けるかわりに表面側に凹部２１４ａ、裏面側に凹部２１４ｂをそれぞれ設けた構成とすることもできる。このような構成としても、リード２０６の表面側と裏面側の双方でリード２０６と封止樹脂１２０との密着性を良好にすることができる。そのため、リード２０６が封止樹脂１２０から抜けるのを防ぐことができる。
【００４６】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【００４７】
以上で説明したすべての例において、図１２を参照して説明したのと同様、リード２０６を矩形形状とすることができる。
【００４８】
また、ハーフエッチング工程を２回以上行う際、前回の開口部から中心位置をずらしてマスクを開口してハーフエッチングを行うことにより、凹部または貫通孔の軸線が一直線状でないではない形状とすることもできる。
【００４９】
なお、以上の実施の形態においては、ダイパッド２０２には、貫通孔ではなく非貫通孔である凹部２１０が形成された例を示した。しかし、ダイパッド２０２にも貫通孔を設けてもよい。すなわち、ダイパッド２０２の凹部２１０とつながるように、リードフレーム２００の裏面側から凹部を形成することもできる。とくに、ダイパッド２０２のチップ配置領域２０３の周囲の領域には、このような貫通孔を設けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態におけるリードフレームの構成を示す上面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’断面図である。
【図３】本発明の実施の形態における半導体装置の構成を示す上面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ’断面図である。
【図５】本発明の実施の形態において、リードフレームに凹部を形成する手順を示す工程断面図である。
【図６】本発明の実施の形態において、リードフレームに凹部を形成する手順を示す工程断面図である。
【図７】本発明の実施の形態において、リードフレームに凹部を形成する手順を示す工程断面図である。
【図８】本発明の実施の形態において、半導体装置を製造する手順を示す工程断面図である。
【図９】本発明の実施の形態において、半導体装置を製造する手順を示す工程断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態における半導体装置の構成の他の例を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態における半導体装置の構成の他の例を示す上面図である。
【図１２】本発明の実施の形態における半導体装置の構成の他の例を示す上面図である。
【図１３】本発明の実施の形態における半導体装置の構成を示す上面図である。
【図１４】図１３のＣ−Ｃ’断面図である。
【図１５】図１３に示した半導体装置の他の例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１００ 半導体装置
１０２ 半導体チップ
１１０ ボンディングワイヤ
１１２ ダイボンド材
１２０ 封止樹脂
２００ リードフレーム
２０１ 付着物
２０２ ダイパッド
２０３ チップ配置領域
２０４ 吊りリード
２０６ リード
２０８ 外枠
２１０ 凹部
２１２ 貫通孔
２１４ａ 凹部
２１４ｂ 凹部
２３０ａ レジスト
２３０ｂ レジスト
２３２ａ 露光マスク
２３２ｂ 露光マスク
２３４ａ 開口部
２３４ｂ 開口部
２３４ｃ 開口部
２３６ａ 開口部
２３６ｂ 開口部
２３６ｃ 開口部
２３８ 凹部
２３９ 凸部
２４０ａ 凹部
２４０ｂ 凹部
２４１ａ 凸部
２４１ｂ 凸部
２４１ｃ 凸部
２４２ａ レジスト
２４２ｂ レジスト
２４４ａ 露光マスク
２４４ｂ 露光マスク
２４６ａ 開口部
２４６ｂ 開口部
２４６ｃ 開口部
２４８ａ 開口部
２４８ｂ 開口部
２４８ｃ 開口部
２５０ 凹部
２５１ 凸部
２５２ａ 凹部
２５２ｂ 凹部
２５３ａ 凸部
２５３ｂ 凸部
３００ 破線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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