(57)【要約】【課題】簡単操作で種々の形状のワークの吸着固定が可能な汎用性に優れた真空チャックを提供する。【解決手段】上面にワーク載置面１３が形成されると共に第１、第２、第３パイプ支持孔２５、２６、２７が形成され、該各パイプ支持孔２５、２６、２７の内周面とワーク載置面１３とを連通する軸方向に沿って配設された吸引孔１５ａ〜１５ｅ、１６ａ〜１６ｅ、１７ａ〜１７ｅを有するチャック本体１０と、各パイプ支持孔２５、２６、２７に回転自在に嵌挿され基端が空気吸引装置に接続されると共に連通孔３５ａ〜３５ｅ、３６ａ〜３６ｅ、３７ａ〜３７ｅが当該パイプ支持孔２５、２６、２７に開口する各吸引孔１５ａ〜１５ｅ、１６ａ〜１６ｅ、１７ａ〜１７ｅに対応して軸方向に沿って配設された第１、第２、第３パイプ３１、３２、３３を備え、各パイプ３１、３２、３３を回転するに伴って吸引孔を順次パイプ３１、３２、３３の外周によって塞閉する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に複数の吸引孔が開口するワーク載置面を有するチャック本体を備え、吸引孔から空気を吸い出すことによりワーク載置面上に載置されたワークを吸引孔を介して吸着固定する真空チャックにおいて、
上面にワーク載置面が形成されると共に複数のパイプ支持孔が形成され、該各パイプ支持孔の内周面とワーク載置面とを連通する複数の吸引孔が該パイプ支持孔の軸方向に沿って配設されたチャック本体と、
上記各パイプ支持孔に回転自在にそれぞれ嵌挿され、先端が閉じられ基端が空気吸引装置に接続されると共に内孔と外周とを連通する連通孔が当該パイプ支持孔に開口する上記各吸引孔に対応して軸方向に沿って配設されたパイプとを備え、
上記各パイプの回転に伴って各連通孔と連通状態の各吸引孔を順次パイプの外周によって塞閉することを特徴とする真空チャック。
【請求項２】
上記パイプの軸方向へ移行する順次の各連通孔は、各連通孔の周方向一端が当該パイプの軸方向に沿って直線状に設定され、かつ上記パイプの軸方向に移行するに従って各連通孔の周方向長が順次増大することを特徴とする請求項１に記載の真空チャック。
【請求項３】
上記パイプの軸方向に移行するに従って各連通孔の周方向長が上記吸引孔の径の整数倍で増大することを特徴とする請求項２に記載の真空チャック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機械加工等においてワークを真空圧で吸着固定する真空チャックに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、研磨機等の機械加工機においては、航空機の板金部品のような薄板、樹脂やセラミック等の非磁性体のワークを作業台に固定するために真空チャックが用いられている。
【０００３】
この種の真空チャックの一例として特許文献１がある。特許文献１の真空チャックは、上下両面に連通する複数の吸引孔を有する吸着プレートと、チャンバの上面開口が吸着プレートで塞がれたボックスとからなり、チャンバと外部とを連通する吸出孔からチャンバ内の空気を吸い出すように構成されている。
【０００４】
このように構成された真空チャックの吸着プレートの上にワークを載置して、吸出孔からチャンバ内の空気を吸い出すことによって吸引孔を介して吸着プレート上のワークを吸着固定する。また、ワークの形状等によってワークによって塞がれない吸引孔にはゴム栓を詰め込み、余分な空気の吸い込みを防止する。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２８７１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１の真空チャックによると、ワークの形状に応じてワークによって塞がれない吸引孔にゴム栓を詰め込むことによって種々の形状のワークを吸着固定することができる。
【０００７】
しかし、ワークの形状等に応じて多数の吸引孔にゴム栓を詰め込み、或いは吸引孔からゴム栓を取り外す作業は厄介で多くの作業工数を要する。また、多くのゴム栓を要し、かつゴム栓が使用により摩耗するなどその管理が煩雑になることが懸念される。
【０００８】
一方、ワークの形状に対応した吸引孔を有する真空チャックを使用することにより作業の効率化を図ることが可能であるが、そのワーク専用の真空チャックとなり種々の形状のワークに対応することができなく汎用性が大幅に制限され、種々の形状のワークに対応する真空チャックが必要になる。
【０００９】
従って、かかる点に鑑みなされた本発明の目的は、簡単操作で種々の形状のワークについて吸着固定が可能な汎用性に優れた真空チャックを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成する請求項１の真空チャックの発明は、上面に複数の吸引孔が開口するワーク載置面を有するチャック本体を備え、吸引孔から空気を吸い出すことによりワーク載置面上に載置されたワークを吸引孔を介して吸着固定する真空チャックにおいて、上面にワーク載置面が形成されると共に複数のパイプ支持孔が形成され、該各パイプ支持孔の内周面とワーク載置面とを連通する複数の吸引孔が該パイプ支持孔の軸方向に沿って配設されたチャック本体と、上記各パイプ支持孔に回転自在にそれぞれ嵌挿され、先端が閉じられ基端が空気吸引装置に接続されると共に内孔と外周とを連通する連通孔が当該パイプ支持孔に開口する上記各吸引孔に対応して軸方向に沿って配設されたパイプとを備え、上記各パイプの回転に伴って各連通孔と連通状態の各吸引孔を順次パイプの外周によって塞閉することを特徴とする。
【００１１】
この発明によると、チャック本体のワーク載置面上にワークを載置するにあたり、各パイプを回転する簡単な操作でワークによって塞がれない吸引孔が塞閉される一方、ワークによって塞がれる吸引孔は連通孔との連通状態が維持され、パイプ内の真空圧が安定し、ワークが安定した吸着力でワーク載置面上に固定される。
【００１２】
また、パイプを回転位置決めする簡単な操作で種々の形状のワークをワーク載置面上に吸着固定でき真空チャックに汎用性が得られる。一方、チャック本体に穿設されたパイプ支持孔にパイプを回転自在に配設する簡単な構成であり、構成部品点数が少ないことと相俟って優れたメンテナンス性が得られる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１の真空チャックにおいて、上記パイプの軸方向へ移行する順次の各連通孔は、各連通孔の周方向一端が当該パイプの軸方向に沿って直線状に設定され、かつ上記パイプの軸方向に移行するに従って各連通孔の周方向長が順次増大することを特徴とする。
【００１４】
この発明によると、各連通孔の周方向一端を当該パイプの軸方向に沿って直線状に設定し、かつパイプの軸方向に移行するに従って各連通孔の周方向長が順次増大するように構成することで、請求項１のパイプを容易に構成できる。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、請求項２の真空チャックにおいて、上記パイプの軸方向に移行するに従って各連通孔の周方向長が上記吸引孔の径の整数倍で増大することを特徴とする。
【００１６】
この発明によると、パイプの軸方向に移行するに従って各連通孔の周方向長が吸引孔の径の整数倍で増大するように構成することにより、パイプの回転に伴って各連通孔と連通状態の吸引孔を順次パイプの外周によって効率的に塞閉できる。
【発明の効果】
【００１７】
パイプを回転する簡単な操作でワークによって塞がれない吸引孔が塞閉される一方ワークによって塞がれる吸引孔は連通孔との連通状態が維持され、パイプ内の真空圧が安定し、安定した吸着力でワークをワーク載置面上に固定できる。また、パイプを回転位置決めする簡単な操作で種々の形状のワークをワーク載置面上に吸着固定でき、真空チャックに汎用性が得られる。
【００１８】
また、チャック本体に穿設されたパイプ支持孔にパイプを回転自在に配設する簡単な構成であり、構成部品点数が少ないことと相俟って優れたメンテナンス性が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係る真空チャックの一実施の形態を、図１乃至図１１を参照して説明する。
【００２０】
図１は、本実施の形態に係る真空チャック１の全体斜視図、図２は真空チャック１の正面図、図３は真空チャック１の平面図、図４は真空チャック１の側面図、図５は図３のＩ−Ｉ線断面図である。
【００２１】
真空チャック１は、平面視矩形の吸着板１１とベース部材２１を、互いの下面１２と上面２２を対向積層して締結ボルト２９によって固定されたチャック本体１０を備える。
【００２２】
互いに対向する吸着板１１の下面１２に形成された断面半円弧状で連続する支持孔形成部とベース部材２１の上面２２に形成された断面半円弧状で連続する支持孔形成部によってチャック本体１０に幅方向に延在して貫通する複数の、本実施の形態では第１パイプ支持孔２５、第２パイプ支持孔２６及び第３パイプ支持孔２７が平行に並設される。
【００２３】
吸着板１１には、ワーク載置面１３と第１パイプ支持孔２５とを連通する複数の、本実施の形態では幅方向、即ち第１パイプ支持孔２５の軸心方向に沿った直線状に配置された第１列の吸引孔１５ａ〜１５ｅ、同様にワーク載置面１３と第２パイプ支持孔２６とを連通する第２列の吸引孔１６ａ〜１６ｅ及び、ワーク載置面１３と第３パイプ支持孔２７とを連通する第３列の吸引孔１７ａ〜１７ｅが格子状に配設される。
【００２４】
チャック本体１０に形成される第１パイプ支持孔２５に、第１列の吸引孔１５ａ〜１５ｅにそれぞれ対応して内孔３１ａから外周３１ｂに連通する連通孔３５ａ〜３５ｅが開口する第１パイプ３１が回転可能に嵌挿される。同様に、第２パイプ支持孔２６に第２列の吸引孔１６ａ〜１６ｅにそれぞれ対応して内孔から外周に連通する連通孔３６ａ〜３６ｅが開口する第２パイプ３２が回転可能に嵌挿され、第３パイプ支持孔２７に第３列の吸引孔１７ａ〜１７ｅにそれぞれ対応して内孔から外周に連通する連通孔３７ａ〜３７ｅが開口する第３パイプ３３が回転可能に嵌挿される。
【００２５】
第１パイプ３１は、図５に示すように第１パイプ支持孔２５を貫通すると共に第１パイプ支持孔２５の両端に配設された環状のスリーブ２８ａ、２８ｂによって第１パイプ支持部２５との間をシールすると共に回転可能に支持される。
【００２６】
一方、第１パイプ支持孔２５から突出する第１パイプ３１の基端に円板状の回転摘み３１Ａが一体形成されると共に、空気配管ナット４１を介して空気配管プラグ４２が取り付けられる。この空気配管プラグ４２は図示しないチューブ等を介して空気吸引装置に接続される。また、第１パイプ支持孔２５から突出する第１パイプ３１の先端はナット４３によって塞閉されると共に第１パイプ支持孔２５からの抜け出しを防止する。
【００２７】
第１パイプ３１に穿孔される連通孔３５ａ〜３５ｅについて、図６乃至９を参照して説明する。図６は第１パイプ３１の平面図、図７は図６のＡ矢視図、図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）はそれぞれ図５のａ−ａ、ｂ−ｂ、ｃ−ｃ、ｄ−ｄ、ｅ−ｅ線断面図を示す。
【００２８】
各連通孔３５ａ〜３５ｅの周方向の一端が第１パイプ３１の周方向に同位相、即ち第１パイプ３１の軸方向に沿って直線状に設定されると共に、各連通孔３５ａ〜３５ｅは吸引孔１５ａ〜１５ｅの各径寸法のｄに相当する第１パイプ３１の軸方向の幅寸法ｄを有し、周方向の両端では半径寸法がｄ／２の半円弧状に形成され、連通孔３５ａ側から３５ｅ側に移行するに従って順に周方向の長さが吸引孔１５ａ〜１５ｅの径ｄの整数倍で順次増大する長孔に形成される。
【００２９】
連通孔３５ａは図８（ａ）に示すように周方向長寸法が吸引孔１５ａ〜１５ｅの各径寸法ｄに相当するｄ、即ち径ｄの孔状に設定される。連通孔３５ｂは図８（ｂ）に示すように周方向長寸法が吸引孔１５ａ〜１５ｅの径方向寸法ｄの２倍のｄ×２に設定される。連通孔３５ｃは図８（ｃ）に示すように周方向長寸法が吸引孔１５ａ〜１５ｅの径方向寸法ｄの３倍のｄ×３に設定される。連通孔３５ｄは図８（ｄ）に示すように周方向長寸法が吸引孔１５ａ〜１５ｅの径方向寸法ｄの４倍にｄ×４設定される。連通孔３５ｅは図８（ｅ）に示すように周方向長寸法が吸引孔１５ａ〜１５ｅの径方向寸法ｄの５倍にｄ×５に設定される。
【００３０】
このように構成された第１パイプ３１を第１パイプ支持孔２５に装着し、第１パイプ３１を回転することにより、吸引孔１５ａ〜１５ｃの全吸引孔と連通孔３５ａ〜３５ｅの全連通孔が連通する全孔吸引位置、吸引孔１５ｂ〜１５ｅの４吸引孔と連通孔３５ｂ〜３５ｅの４連通孔が連通する４吸引位置、吸引孔１５ｃ〜１５ｅの３吸引孔と連通孔３５ｃ〜３５ｅの３連通孔が連通する３吸引位置、吸引孔１５ｄ、１５ｅの２吸引孔と連通孔３５ｄ、３５ｅの２連通孔が連通する２吸引位置、吸引孔１５ｅの１吸引孔と連通孔３５ｅの１連通孔が連通する１吸引位置、及びいずれの吸引孔と連通孔が連通しない全孔閉吸引位置に切り換えられる。これらの全孔吸引位置、４吸引位置、３吸引位置、２吸引位置、１吸引位置及び全孔閉吸引位置に相当する回転つまみ３１Ａの回転位置とチャック本体１０との相対位置が目視確認可能なように回転つまみ３１Ａ及びチャック本体１０に位置合わせ用のマーク３１Ａａを付することが好ましい。
【００３１】
図９は各吸引位置における吸引孔１５ａ〜１５ｅと連通孔３５ａ〜３５ｅの連通状態を模式的に示す平面説明図である。
【００３２】
図９（ａ）は全孔吸引位置における吸引孔１５ａ〜１５ｅと連通孔３５ａ〜３５ｅの連通状態を模式的に示す。
【００３３】
この全孔吸引位置においては、吸引孔１５ａと連通孔３５ａ、吸引孔１５ｂと連通孔３５ｂ、吸引孔１５ｃと連通孔３５ｃ、吸引孔１５ｄと連通孔３５ｄ、吸引孔１５ｅと連通孔３５ｅがそれぞれ連通する。
【００３４】
図９（ｂ）は４孔吸引位置における各吸引孔と連通孔の連通状態を模式的に示す。この４孔吸引位置においては、吸引孔１５ａに対して連通孔３５ａがずれて連通孔３５ａが第１パイプ支持孔２５の内周面によって塞閉、換言すると吸引孔１５ａが第１パイプ３１の外周３１ｂによって塞閉されて、吸引孔１５ｂと連通孔３５ｂ、吸引孔１５ｃと連通孔３５ｃ、吸引孔１５ｄと連通孔３５ｄ、吸引孔１５ｅと連通孔３５ｅが連通する。
【００３５】
図９（ｃ）は３孔吸引位置における吸引孔と連通孔の連通状態を模式的に示す。この３孔吸引位置においては、吸引孔１５ａ及び１５ｂから連通孔３５ａ、３５ｂがずれて連通孔３５ａ、３５ｂが第１パイプ支持孔２５の内周面によって閉鎖、即ち吸引孔１５ａ、１５ｂが第１パイプ３１の外周３１ｂによって塞閉される一方、吸引孔１５ｃと連通孔３５ｃ、吸引孔１５ｄと連通孔３５ｄ、吸引孔１５ｅと連通孔３５ｅが連通する。
【００３６】
図９（ｄ）は２孔吸引位置における吸引孔と連通孔の連通状態を模式的に示す。この２孔吸引位置においては、吸引孔１５ａ〜１５ｃと連通孔３５ａ〜３５ｃがそれぞれずれて連通孔３５ａ〜３５ｃが第１パイプ支持孔２５の内周面によって閉鎖、即ち吸引孔１５ａ〜１５ｃが第１パイプ３１の外周３１ｂによって塞閉される一方、吸引孔１５ｄと連通孔３５ｄ、吸引孔１５ｅと連通孔３５ｅが連通する。
【００３７】
図９（ｅ）は１孔吸引位置における吸引孔と連通孔の連通状態を模式的に示す。この１孔吸引位置においては、吸引孔１５ａ〜１５ｄと連通孔３５ａ〜３５ｄがずれて連通孔３５ａ〜３５ｅが第１パイプ支持孔２５の内周面によって閉鎖、即ち吸引孔１５ａ〜１５ｄが第１パイプ３１の外周３１ｂによって塞閉される一方、吸引孔１５ｅと連通孔３５ｅのみが連通する。
【００３８】
図９（ｆ）は全孔閉吸引位置における吸引孔と連通孔の連通状態を模式的に示す。この全孔閉吸引位置においては、吸引孔１５ａ〜１５ｅから連通孔３５ａ〜３５ｅがずれて連通孔３５ａ〜３５ｅが第１パイプ支持孔２５の内周面によって閉鎖される。
【００３９】
即ち、回転摘み３１Ａにより第１パイプ３１を回転させて全孔吸引位置に設定し、この空気配管プラグ４２及びチューブ等を介して空気吸引装置により第１パイプ３１内の空気を吸い出すことによって吸引孔１５ａ〜１５ｅを介してワーク載置面１３上のワークが吸着でき、同様に第１パイプ３１を４孔吸引位置、３孔吸引位置、２孔吸引位置、１孔吸引位置に設定することによってそれぞれ吸引孔１５ｂ〜１５ｅ、１５ｃ〜１５ｅ、１５ｄと１５ｅ、１５ｅによってワーク載置面１３上のワークが吸着できる。
【００４０】
第２パイプ支持孔２６に装着される第２パイプ３２は、第１パイプ３１と同一構成であり、第１パイプ３１と同様に回転摘み３２Ａにより第２パイプ３２を回転させて全孔吸引位置、４孔吸引位置、３孔吸引位置、２孔吸引位置、１孔吸引位置に設定し、空気配管プラグ４２及びチューブ等を介して空気吸引装置により第１パイプ３１内の空気を吸い出すことによってそれぞれ吸引孔１６ａ〜１６ｅ、１６ｂ〜１６ｅ、１６ｃ〜１６ｅ、１６ｄと１６ｅ、１６ｅよってワーク載置面１３上のワークが吸着できる。
【００４１】
同様に第３パイプ支持孔２７に装着される第３パイプ３３は、第１パイプ３１と同一構成であり、回転摘み３３Ａにより第３パイプ３３を回転させて全孔吸引位置、４孔吸引位置、３孔吸引位置、２孔吸引位置、或いは１孔吸引位置に設定し、空気配管プラグ４２及びチューブ等を介して空気吸引装置により第１パイプ３１内の空気を吸い出すことによってそれぞれ吸引孔１７ａ〜１７ｅ、１７ｂ〜１７ｅ、１７ｃ〜１７ｅ、１７ｄと１７ｅ、１７ｅよってワーク載置面１３のワークを吸着できる。
【００４２】
次に、このように構成された真空チャック１の使用方法を説明する。
【００４３】
まず、図１０に示すように、吸着板１１のワーク載置面１３上にワークｗを載置する。このときワークｗによって塞がれない吸引孔からの空気の流入を防止するために、当該吸引孔を第１パイプ３１、第２パイプ３２、第３パイプ３３によって塞閉する。図１０に示す例では第１列の吸引孔１５ｄ、１５ｅ、第２列の吸引孔１６ｄ、１６ｅ及び第３列の吸引孔１７ｄ、１７ｅがワーク載置面１３上に載置されたワークｗによって塞がれ、第１列の吸引孔１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、第２列の吸引孔１６ａ、１６ｂ、１６ｃ及び第３列の吸引孔１７ａ、１７ｂ、１７ｃが塞がれていない。
【００４４】
そこで、第１列の吸引孔１５ａ〜１５ｃを塞閉すべく、第１パイプ３１を２孔吸引位置に回転する。これにより吸引孔１５ａ〜１５ｃが第１パイプ３１の外周３１ｂによって塞閉される一方、吸引孔１５ｄと連通孔３５ｄ、吸引孔１５ｅと連通孔３５ｅが連通する。
【００４５】
同様に、第２列の吸引孔１６ａ〜１６ｃを塞閉すべく、第２パイプ３２を２孔吸引位置に回転する。これにより吸引孔１６ａ〜１６ｃが第２パイプ３２の外周によって塞閉される一方、吸引孔１６ｄと連通孔３６ｄ、吸引孔１６ｅと連通孔３６ｅが連通する。
【００４６】
更に、第３列の吸引孔１７ａ〜１７ｃを塞閉すべく、第３パイプ３３を２孔吸引位置に回転する。これにより吸引孔１７ａ〜１７ｃが第３パイプ３３の外周によって塞閉される一方、吸引孔１７ｄと連通孔３７ｄ、吸引孔１７ｅと連通孔３７ｅが連通する。
【００４７】
しかる後、空気吸引装置により第１パイプ３１、第２パイプ３２、第３パイプ３３内の空気を吸い出すことによってそれぞれワークｗによって塞がれた吸引孔１５ｄ、１５ｅ、１６ｄ、１６ｅ、１７ｄ、１７ｅよって、ワークｗを全面に亘ってワーク載置面１３上に吸着する。ここで、ワークｗによって塞がれることのない吸引孔１５ａ〜１５ｃ、１６ａ〜１６ｃ、１７ａ〜１７ｃから第１パイプ３１、第２パイプ３２及び第３パイプ３３内に空気が吸引されることなく、第１パイプ３１、第２パイプ３２、第３パイプ３３内の真空圧が安定し、安定した吸着力でワークｗをワーク載置面１３上に固定され、ワークｗの正確な加工が可能である。
【００４８】
また、図１１に示すように、吸引孔１５ａ〜１５ｅ、吸引孔１６ａ〜１６ｅ、吸引孔１７ａ〜１７ｅの全ての吸引孔を塞ぐようなワークｗを吸着板１１のワーク載置１３上に載置固定する場合には、吸引孔１５ａ〜１５ｅと連通孔３５ａ〜３５ｅとが連通する全孔吸引位置に第１パイプ３１を回転位置決めし、同様に第２パイプ３２を全吸引位置に回転して吸引孔１６ａ〜１６ｅと連通孔３６ａ〜３６ｅを連通し、第３パイプ３３を全吸引位置に回転して吸引孔１７ａ〜１７ｅと連通孔３７ａ〜３７ｅを連通させる。
【００４９】
しかる後、空気吸引装置により第１パイプ３１、第２パイプ３２、第３パイプ３３内の空気を吸い出すことによってそれぞれワークｗによって塞がれた吸引孔１５ａ〜１５ｅ、１６ａ〜１６ｅ、１７ａ〜１７ｅによって、ワークｗをその全面に亘ってワーク載置面１３上に吸着する。ここで、安定した吸着力で全面に亘ってワークｗがワーク載置面１３上に固定され、ワークｗの正確な加工が可能である。
【００５０】
従って、本実施の形態によると、ワークの形状等に相当してワーク載置面１３上に載置されたワークｗによって塞がれない吸引孔をパイプの回転により塞閉する簡単な操作で種々の形状のワークをワーク載置面13上に吸着固定でき、かつ真空チャックに汎用性が得られる。
【００５１】
一方、チャック本体１０に穿設された第１、第２、第３パイプ支持孔２５、２６、２７に第１、第２、第３パイプ３１、３２、３３を回転自在に配設する簡単な構成であり、構成部品点数が少ないことと相俟って優れたメンテナンス性が得られる。
【００５２】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、上記実施の形態では、チャック本体１０に第１、第２、第３パイプ支持孔２５、２６、２７を形成し、各パイプ支持孔に第１、第２、第３パイプ３１、３２、３３を回転自在に配設したが、パイプ支持孔及びパイプは真空チャックの大きさ等に応じて他の複数に設定することができる。同様に吸着板に穿孔される吸引孔及び各パイプに配設される貫通孔の数を他の複数個に設定することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本実施の形態に係る真空チャックの全体斜視図である。
【図２】真空チャックの正面図である。
【図３】真空チャックの平面図である。
【図４】真空チャックの平面図である。
【図５】図３のＩ−Ｉ線断面図である。
【図６】第１パイプの平面図である。
【図７】図６のＡ矢視図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）〜（ｅ）はそれぞれ図５のａ−ａ、ｂ−ｂ〜ｅ−ｅ線断面図である。
【図９】吸引位置における吸引孔と連通孔の連通状態を模式的に示す平面説明図であり、（ａ）は全孔吸引位置、（ｂ）は４孔吸引位置、（ｃ）は３孔吸引位置、（ｄ）は２孔吸引位置、（ｅ）は１孔吸引位置、（ｆ）は全孔吸引位置における吸引孔と連通孔の連通状態を模式図である。
【図１０】真空チャックの使用方法を説明する図である。
【図１１】同じく、真空チャックの使用方法を説明する図である。
【符号の説明】
【００５４】
１          真空チャック
１０        チャック本体
１３        ワーク載置面
２５        第１パイプ支持孔
２６        第２パイプ支持孔
２７        第３パイプ支持孔
１５ａ、１５ｂ〜１５ｅ      吸引孔
１６ａ、１６ｂ〜１６ｅ      吸引孔
１７ａ、１７ｂ〜１７ｅ      吸引孔
３１        第１パイプ
３１ａ      内孔
３１ｂ      外周
３２        第２パイプ
３３        第３パイプ
３５ａ、３５ｂ〜３５ｅ      連通孔
３６ａ、３６ｂ〜３６ｅ      連通孔
３７ａ、３７ｂ〜３７ｅ      連通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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