(57)【要約】【課題】過度な振動や衝撃が加わっても、アーマチュアブロックの破壊を防止できるマイクロリレーを提供することにある。【解決手段】マイクロリレーは、枠状のフレーム部３１およびフレーム部３１に揺動自在に支持されるアーマチュア３０を有するアーマチュアブロック３を備える。そして、アーマチュアブロック３は、アーマチュア３０が長手方向の中央部における短手方向の両端側で弾性部３９を介してフレーム部３１と連続一体に連結されるとともに、弾性部３９の幅方向への弾性部３９の変位量を制限する変位量制限手段が設けられ、変位量制限手段は、アーマチュア３０の短手方向の両端面からから互いに離れる方向に連続一体に延設された第１の凸部３６と、フレーム部３１の内周面において側端面が第１の凸部３６の側端面と対向する形で延設された第２の凸部３７とから構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁石装置を収納する収納部が形成され且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたベース基板と、ベース基板の前記一表面側に固着される枠状のフレーム部およびフレーム部の内側に配置されて支持ばね部を介してフレーム部に揺動自在に支持され電磁石装置により駆動されるアーマチュアおよび固定接点に接離する可動接点を有するアーマチュアブロックと、アーマチュアブロックにおけるベース基板とは反対側で周部がフレーム部に固着されたカバーとを備え、アーマチュアブロックは、アーマチュアが前記一表面とは直交する方向に揺動するアーマチュアの両端部の並び方向とは直交する方向の両端側で弾性部を介してフレーム部と連続一体に連結されるとともに、弾性部の幅方向への弾性部の変位量を制限するための変位量制限手段が設けられ、変位量制限手段は、アーマチュアの外周面からアーマチュアの両端部の並び方向とは直交する方向において互いに離れる向きに連続一体に延設された第１の凸部と、フレーム部の内周面から側面が第１の凸部の側面と対向する形で延設された第２の凸部とから構成されてなることを特徴とするマイクロリレー。
【請求項２】
前記弾性部は、前記幅方向への前記アーマチュアの変位を抑制するとともに、前記アーマチュアの揺動を妨げないように、幅と厚みとが設定されてなることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロリレーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、図７に示すように、コイル２２ａ’，２２ｂ’に通電される電流に応じて電磁力を発生する電磁石装置２’と、電磁石装置２’が収納される収納部が形成され且つ厚み方向の一表面側に各一対の固定接点１４ａ’，１４ｂ’および固定接点１５ａ’，１５ｂ’が設けられた直方体状のベース基板１’と、ベース基板１’の前記一表面側に固着される枠状のフレーム部３１’およびフレーム部３１’の内側に配置されて４つの支持ばね部３５’を介してフレーム部３１’に揺動自在に支持され電磁石装置２’により駆動される平面視長方形状のアーマチュア３０’および固定接点１４ａ’，１４ｂ’，１５ａ’，１５ｂ’に接離する可動接点（図示せず）を有するアーマチュアブロック３’と、アーマチュアブロック３’におけるベース基板１’とは反対側で周部がフレーム部３１’に固着されたカバー４’とを備え、アーマチュア３０’が、長手方向の中央部に突設され先端がベース基板１’の前記一表面に当接する支点突起（図示せず）を支点として揺動するマイクロリレーが提案されている（特許文献１参照）。ここで、ベース基板１’は、中央部に収納孔１８’が貫設された矩形板状のベース基板本体１ａ’と、ベース基板本体１ａ’の収納孔１８’の一方の開口部を覆う蓋体１ｂ’とを備え、収納孔１８’と蓋体１ｂ’とで囲まれた空間が収納部を構成している。
【０００３】
ここで、アーマチュア３０’は、長手方向の中央部における短手方向の両端から第１の延出片３６３’，３６３’が連続一体に延設され、フレーム部３１’の内周面において第１の延出片３６３’，３６３’に対応する部位からも第２の延出片３７３’，３７３’が連続一体に延設されている。すなわち、アーマチュア３０’から延設した第１の延出片３６３’とフレーム部３１’から延設された第２の延出片３７３’とは互いの先端面同士が対向している。ここで、図８に示すように、アーマチュア３０’から延設された各第１の延出片３６３’の先端面には凸部３６３ａ’が形成されており、フレーム部３１’から延設された各第２の延出片３７３’の先端面には凸部３６３ａ’が入り込む凹部３７３ａ’が形成されている。従って、アーマチュア３０’がフレーム部３１’に対して、第１の延出片３６３’の延出方向とは直交し且つフレーム部３１’の厚み方向に直交する方向へ移動すると、凸部３６３ａ’が凹部３７３ａ’の内周面に当接することにより、第１の延出片３６３’の延出方向とは直交し且つフレーム部３１’の厚み方向に直交する方向へのアーマチュア３０’の移動が規制される。しかして、アーマチュア３０’とフレーム部３１’とを連続一体に連結する支持ばね部３５’が破断するのを防止することができる。
【０００４】
しかしながら、図７に示した構成のマイクロリレーでは、アーマチュア３０’が凸部３６３ａ’が突出する方向およびフレーム部３１’の厚み方向に直交する方向に過度な振動や衝撃が加わったときに、アーマチュア３０’の凸部３６３ａ’がフレーム部３１’の凹部３７３ａ’の内側に衝突して、凸部３６３ａ’または凹部３７３ａ’に割れや欠けが発生することがあった。
【０００５】
これに対して、従来から、単結晶のシリコン基板を用いて形成されたマイクロアクチュエータとして、図９に示すように、矩形枠状のフレーム部３１”の内側に配置された平面視長方形状の回転部３４”が、当該回転部３４”の長手方向の中央部における短手方向の両端縁から延設された回転軸３ａ”，３ｂ”を介してフレーム部３１”に回転可能に支持され、各回転軸３ａ”，３ｂ”の幅方向（図９における左右方向）の両側それぞれにおいてフレーム部３１”と回転部３４”とを連結した可動部６ａ”，６ｂ”，６ｃ”，６ｄ”にバイメタル１０ａ”，１０ｂ”，１０ｃ”，１０ｄ”が形成されてなる熱形マイクロアクチュエータが提案され（特許文献２参照）、上記特許文献２では、図９に示した構成の熱形マイクロアクチュエータをマイクロリレーに応用することが記載されている。ここにおいて、図９に示した構成の熱形マイクロアクチュエータでは、フレーム部３１”と回転部３４”とが回転軸３ａ”，３ｂ”を介して連結されているので、図７で示した構成のマイクロリレーで問題となるアーマチュア３０’の凸部３６３ａ’または凹部３７３ａ’の割れや欠けの発生が問題となることはない。
【０００６】
そこで、図７に示した構成のマイクロリレーに引用文献２に記載の技術を適用して、アーマチュア３０’が回転軸３ａ”，３ｂ”に相当する弾性部（図示せず）を介してフレーム部３１’と連続一体に連結されてなる構造とすることが考えられる。
【特許文献１】特開２００５−５０７６８号公報
【特許文献２】特開平６−１３１９６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述の図７および図８に示す構成のマイクロリレーに、特許文献２に記載された技術を適用することで、アーマチュア３０’が、ベース基板１’の前記一表面とは直交する方向に揺動するアーマチュア３０’の両端部の並び方向とは直交する方向の両端側で弾性部（図示せず）を介してフレーム部３１’と連続一体に連結されてなる構造とした場合、アーマチュア３０’に過度な振動や衝撃が加わると弾性部が破断するおそれがある。
【０００８】
本願発明は、上記事由に鑑みてなされたものであり、その目的は、過度な振動や衝撃が加わってもアーマチュアブロックの破壊を防止することができるマイクロリレーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明は、電磁石装置を収納する収納部が形成され且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたベース基板と、ベース基板の前記一表面側に固着される枠状のフレーム部およびフレーム部の内側に配置されて支持ばね部を介してフレーム部に揺動自在に支持され電磁石装置により駆動されるアーマチュアおよび固定接点に接離する可動接点を有するアーマチュアブロックと、アーマチュアブロックにおけるベース基板とは反対側で周部がフレーム部に固着されたカバーとを備え、アーマチュアブロックは、アーマチュアが前記一表面とは直交する方向に揺動するアーマチュアの両端部の並び方向とは直交する方向の両端側で弾性部を介してフレーム部と連続一体に連結されるとともに、弾性部の幅方向への弾性部の変位量を制限するための変位量制限手段が設けられ、変位量制限手段は、アーマチュアの外周面からアーマチュアの両端部の並び方向とは直交する方向において互いに離れる向きに連続一体に延設された第１の凸部と、フレーム部の内周面から側面が第１の凸部の側面と対向する形で延設された第２の凸部とから構成されてなることを特徴とする。
【００１０】
この発明によれば、弾性部の変位量を制限する変位量制限手段が、アーマチュアの外周面から当該アーマチュアの両端部の並び方向とは直交する方向に互いに離れる向きに連続一体に延設された第１の凸部と、フレーム部の内周面において側面が第１の凸部の側面と対向する形で延設された第２の凸部とから構成され、マイクロリレーに過度な振動や衝撃が加わり、アーマチュアがフレーム部に対して、弾性部の幅方向へ移動したときに、第１の凸部の側面が第２の凸部の側面に当接することにより、弾性部の幅方向へのアーマチュアの移動を規制し、弾性部の幅方向への変位量を制限するので、弾性部の破断を防止することができる。また、アーマチュアとフレーム部とが弾性部により連結されていることにより、第１の凸部と第２の凸部とが衝突する際の衝撃が緩和されるので、第１の凸部または第２の凸部に割れや欠けが発生するのを防止することができる。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記弾性部は、前記幅方向への前記アーマチュアの変位を抑制するとともに、前記アーマチュアの揺動を妨げないように、幅と厚みとが設定されてなることを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、前記弾性部は、前記幅方向への前記アーマチュアの変位を抑制し、且つ前記アーマチュアの揺動を妨げないように、幅と厚みとが設定されてなるので、前記マイクロリレーに過度な振動や衝撃が加わった場合でも前記弾性部が破断するのを防止することができるとともに、前記アーマチュアが動作不良を起しにくくすることができる。また、第１の凸部と第２の凸部とが衝突する際の衝撃を十分緩和することができるので、第１の凸部または第２の凸部に割れや欠けが発生するのを防止することができる。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１の発明によれば、弾性部の変位量を制限する変位量制限手段が、アーマチュアの外周面からアーマチュアにおいて弾性部の連続する部位の並び方向において互いに離れる向きに連続一体に延設された第１の凸部と、フレーム部の内周から第１の凸部の側面の一部と側面が対向する形で延設された第２の凸部とから構成され、アーマチュアに対して、弾性部の幅方向に過度な振動や衝撃が加わったときでも、第１の凸部の側面の一部が第２の凸部の側面に当接することにより、アーマチュアの弾性部の幅方向への移動を規制し、弾性部の幅方向への弾性部の変位量を制限するので、当該弾性部が破断するのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
（実施形態１）
本実施形態のマイクロリレーは、図１および図２に示すように、電磁石装置２を収納する後述の収納部が形成され且つ厚み方向の一表面側に固定接点１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂが設けられたベース基板１と、ベース基板１の前記一表面側に固着される枠状（矩形枠状）のフレーム部３１およびフレーム部３１の内側に配置されて後述の４つの支持ばね部３５を介してフレーム部３１に揺動自在に支持され電磁石装置２により駆動されるアーマチュア３０および固定接点１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂに接離する可動接点３３ｂ，３３ｂ（図４参照）を有するアーマチュアブロック３と、アーマチュアブロック３におけるベース基板１とは反対側で周部がフレーム部３１に固着されたカバー４とを備える。
【００１５】
ベース基板１は、パイレックス（登録商標）のような耐熱ガラスにより形成され、中央部に厚み方向に貫通し電磁石装置２を収納する収納孔１８が貫設されてなる外周形状が直方体状のベース基板本体１ａと、ベース基板本体１ａの上記一表面において収納孔１８の一端側の開口部を覆う形で固着された蓋体１ｂとを備え、電磁石装置２が図２に示すように収納孔１８の他端側の開口部から挿入されてベース基板１内部に収納される。ここに、蓋体１ｂは、シリコン又はガラスで形成され、エッチング又は研磨によって５〜５０μｍの厚さ寸法に形成されている。また、収納孔１８は、蓋体１ｂによって閉塞された一端側から他端側に向かって断面積が大きくなる形に形成されており、電磁石装置２を収納孔１８の他端側から挿入し易くしている。また、上述の各一対の固定接点１４ａ，１４ｂおよび固定接点１５ａ，１５ｂは、ベース基板１の長手方向の両端部においてベース基板１の短手方向に並設されている。ここに、固定接点１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂは、例えばクロム、チタン、白金、コバルト、ニッケル、銅、金、又はこれらの合金で形成されている。
【００１６】
電磁石装置２は、電磁軟鉄などで形成され直方体状の中央片２０ａの長手方向の両端部から中央片２０ａの長手方向とは直交し且つ同一方向に直方体状の脚片２０ｂ，２０ｃが突出したコ字状のヨーク２０と、ヨーク２０の中央片２０ａの中央部において脚片２０ｂ，２０ｃが突出する側の一面に当接した形で取り付けられる直方体状の永久磁石２１と、中央片２０ａの両端部と永久磁石２１が取り付けられた部位との間の２箇所の部位に巻回されるコイル２２ａ，２２ｂとを備え、コイル２２ａ，２２ｂに電流を通電したときに電磁力を発生するものであり、当該電磁力によって後述のアーマチュア３０に固着された磁性体からなる磁性体部３２（図４参照）を吸引することができる。なお、永久磁石２１は、中央片２０ａに当接する一面と当該一面とは対向する面とが互いに異なる極となるように着磁されている。従って、例えば、コイル２２ａ，２２ｂに電流を規定方向に通電して上述の磁性体が脚片２０ｂに吸引された状態で、コイル２２ａ，２２ｂへの通電を停止しても、永久磁石２１→磁性体３２→脚片２０ｂ→永久磁石２１という閉磁路を通る磁束が発生することにより、磁性体が脚片２０ｂに吸引された状態を維持することができる。
【００１７】
アーマチュアブロック３は、図１、図３および図４に示すように、枠状（矩形枠状）のフレーム部３１と、フレーム部３１の内側に配置されて４つの支持ばね部３５を介してフレーム部３１に揺動自在に支持され電磁石装置２により駆動されるアーマチュア３０と、ベース基板１に設けられた各一対の固定接点１４ａ，１４ｂおよび固定接点１５ａ，１５ｂに接離する可動接点３３ｂ，３３ｂとを備える。ここで、アーマチュアブロック３は、５０〜３００μｍの厚さ寸法を有するシリコン基板の一方の表面におけるフレーム部３１の内側に相当する領域をエッチングすることにより形成され、アーマチュア３０の厚さ寸法がフレーム部３１の厚さ寸法よりも小さく形成されている。従って、アーマチュアブロック３がベース基板１に装着された状態では、アーマチュア３０とベース基板１との間には空隙が形成されている。
【００１８】
アーマチュア３０には、図４に示すように、ベース基板１に対向する面にアーマチュア３０の揺動の支点となる支点突起３６ｃ，３６ｃが形成されており、アーマチュアブロック３がベース基板１に固着された状態で、支点突起３６ｃ，３６ｃの先端部がベース基板１の上記一表面に当接する。
【００１９】
また、アーマチュア３０においてベース基板１に対向する面には、矩形板状の磁性体部３２が固着されている。そして、電磁石装置２が備えるコイル２２ａ，２２ｂに電流を通電することにより発生した電磁力により、磁性体部３２の長手方向の両端部のいずれか一方を吸引することで、アーマチュア３０を駆動させることができる。ここで、アーマチュア３０の４隅から短手方向の両側に向かってストッパ基台部３８が延設され、ストッパ基台部３８においてベース基板１に対向する面には、アーマチュア３０の揺動範囲を規制するストッパ部３８ａ（図４参照）が形成されている。このストッパ部３８ａは、ベース基板１の上記一表面と接触することによりアーマチュア３０の変位量を制限する。しかして、磁性体部３２とベース基板１に設けられた蓋体１ｂとが接触することを回避することができるので、磁性体部３２又は蓋体１ｂが破損するのを防止することができる。
【００２０】
支持ばね部３５は、図３および図４に示すように、アーマチュア３０の短手方向の両側に２個ずつ計４個設けられ、アーマチュア３０を短手方向の両側からアーマチュア３０を支持している。また、各支持ばね部３５は、一端がアーマチュア３０の短手方向の端面であって後述の第１の凸部３６が形成された部位に隣接する部位に連結されるとともに他端がフレーム部３１の内周面に連結されている。ここで、支持ばね部３５は、蛇行する形に形成されており、アーマチュア３０に接続された一端からフレーム部３１に接続された他端までの長さを長くすることができる。しかして、アーマチュア３０が揺動する際に支持ばね部３５に発生する応力を分散して緩和することができる。
【００２１】
可動接点３３ｂは、図４に示すように、アーマチュア３０の長手方向の両端面に対向する形で配設された平面視長方形状の可動接点基台部３０ｂにおけるベース基板１と対向する面に固着されている。ここで、アーマチュアブロック３がベース基板１に接合された状態では、可動接点３３ｂがベース基板１におけるアーマチュア３０に対向する一表面に形成された各一対の固定接点１４ａ，１４ｂおよび固定接点１５ａ，１５ｂに対向している。ここで、アーマチュア３０が支点突起３６ｃを支点として揺動し、可動接点３３ｂが一対の固定接点１４ａ，１４ｂ、または、固定接点１５ａ，１５ｂに接触すると、固定接点１４ａ，１４ｂ間または固定接点１５ａ，１５ｂ間が可動接点を介して電気的に接続されることになる。
【００２２】
ここで、可動接点基台部３０ｂは、一端側がアーマチュア３０の短手方向で対向する端面と連続しアーマチュア３０の長手方向に沿って延出するＬ字状の連結片３４ａと、Ｌ字状の連結片３４ａの他端側と可動接点基台部３０ｂの長手方向の両端との間に接続される接圧ばね片３４ｂとからなる２つの弾性支持部３４，３４によって長手方向の両端側から支持されている。ここで、接圧ばね片３４ｂは、蛇行した形状に形成されている。しかして、弾性支持部３４の長さを長くすることにより、弾性支持部３４に加わる応力を分散して緩和することができるので、可動接点３３ｂと固定接点１４ａ，１４ｂ又は固定接点１５ａ，１５ｂとの接圧を小さくすることができる。
【００２３】
カバー４は、上述のように耐熱ガラスで形成されており、直方体の一面を開放してなる形状を有し、アーマチュアブロック３におけるベース基板１とは反対側で周部がフレーム部３１に陽極接合等により固着されている。しかして、アーマチュアブロック３との対向面にアーマチュア３０の揺動空間を確保している。
【００２４】
ところで、アーマチュアブロック３において、図１乃至図４に示すように、アーマチュア３０は、ベース基板１の前記一表面とは直交する方向に揺動する両端部の並び方向とは直交する方向の両端側、即ち、アーマチュア３０の長手方向の中央部における短手方向の両端側で弾性のある弾性部（トーションバー部）３９を介してフレーム部３１に連続一体に連結されている。ここで、弾性部３９の厚みは、フレーム部３１の厚みに比べて薄く形成されている。そして、アーマチュアブロック３には、弾性部３９の幅方向へのアーマチュア３０の移動を制限することにより、弾性部３９の幅方向への弾性部３９の変位量を制限する変位量制限手段が設けられている。
【００２５】
前記変位量制限手段は、アーマチュア３０の短手方向の両端面からアーマチュア３０の短手方向に沿って互いに離れる向きに連続一体に延設された第１の凸部３６と、フレーム部３１の内周面において側面が第１の凸部３６の側面の一部と対向する形で延設された第２の凸部３７とから構成されている。第１の凸部３６は、弾性部３９が連続する部位の両側から延設され、アーマチュア３０から延出した基台部３６ａの先端面に突出部３６ｂが形成されてなる形状を有している。一方、第２の凸部３７は、フレーム部３１の内周面において基台部３６ａの先端面のうち突出部３６ａが突出しない部位に対応する部位から第１の凸部３６の突出部３６ｂの側面と対向する形で延設されている。
【００２６】
しかして、アーマチュア３０に対して、弾性部３９の幅方向に過度な振動や衝撃が加わったときでも、第１の凸部３６の側端面の一部、即ち突出部３６ｂの側面が第２の凸部３７の側面に当接することにより、アーマチュア３０の弾性部３９の幅方向への移動を規制し、弾性部３９の変位量を制限するので、弾性部３９の破断を防止することができる。
【００２７】
ところで、図１乃至図４に示した構成のマイクロリレーでは、アーマチュア３０の揺動負荷を小さくするために、弾性部３９の厚みを薄く設定すると、弾性部３９の強度が低下する。すると、アーマチュア３０に対して弾性部３９の幅方向に過度な振動や衝撃が加わると、弾性部３９の幅方向に弾性部３９が変位して破断したり、第１の凸部３６と第２の凸部３７とが衝突する際の衝撃により、第１の凸部３６または第２の凸部３７に割れや欠けが発生するおそれがある。一方、弾性部３９の厚みを厚く設定すると、弾性部３９の強度を上げることができる。しかし、アーマチュア３０が揺動する際に弾性部３９内部に発生する応力が大きくなることで、アーマチュア３０の揺動負荷が大きくなり、アーマチュア３０の揺動動作の妨げとなるおそれがある。
【００２８】
これに対して、本実施形態のアーマチュアブロック３では、図１乃至図４の構成において、弾性部３９は、アーマチュア３０が弾性部３９の幅方向への変位を抑制するように幅が設定されているので、弾性部３９に対して弾性部３９の幅方向に過度な振動や衝撃が加わったときに、弾性部３９が破断するのを防止することができ、更に第１の凸部３６と第２の凸部３７とが衝突する際の衝撃を十分に緩和して第１の凸部３６または第２の凸部３７に割れや欠けが発生するのを防止することができる。また、弾性部３９は、アーマチュア３０の揺動の際に、アーマチュア３０の揺動の妨げにならないように厚みが設定されているので、アーマチュア３０の動作不良の発生を抑えることができる。
【００２９】
（実施形態２）
本実施形態のマイクロリレーの基本構成は、実施形態１と略同じであり、図５および図６に示すように、アーマチュアブロック３の変位量制限手段の構造のみが実施形態１のマイクロリレーと相違する。なお、図１乃至図４に示した構成と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
【００３０】
図５および図６に示した構成のアーマチュアブロック３では、後述の２つの第２の凸部３７，３７において後述の第１の凸部３６が配置される側とは反対側の端部とフレーム部３１とが弾性のある弾性部３９を介して連結されている。
【００３１】
また、アーマチュア３０の長手方向の中央部において短手方向の両端側からそれぞれ第１の凸部３６が連続一体に延設されており、２つの第２の凸部３７，３７が、フレーム部３１の内周面から第１の凸部３６の両側端面の一部に対向する形で延設されている。なお、第１の凸部３６において上記一表面に対向する面には、アーマチュア３０の揺動の支点となる支点突起３６ｃが形成されている。
【００３２】
しかして、アーマチュア３０に対して、弾性部３９の幅方向に過度な振動や衝撃が加わったときでも、第１の凸部３６の側面の一部が第２の凸部３７の側面に当接することにより、弾性部３９の幅方向へのアーマチュア３０の移動を規制し、弾性部３９の幅方向への弾性部３９の変位量を制限するので、弾性部３９が破断するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】実施形態１の分解斜視図である。
【図２】同上のベース基板側から見た斜視図である。
【図３】同上のアーマチュアブロックの平面図である。
【図４】同上のアーマチュアブロックの下面図である。
【図５】実施形態２におけるアーマチュアブロックの平面図である。
【図６】同上におけるアーマチュアブロックの下面図である。
【図７】従来例の分解斜視図である。
【図８】同上の要部平面図である。
【図９】他の従来例のマイクロアクチュエータの平面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１    ベース基板
２    電磁石装置
３    アーマチュアブロック
４    カバー
１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ  固定接点
２２ａ，２２ｂ  コイル
３０  アーマチュア
３１  フレーム部
３３ｂ  可動接点
３５  支持ばね部
３６  第１の凸部
３７  第２の凸部
３９  弾性部 
【図１】
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【図２】
2009259645.tif 000004
【図３】
2009259645.tif 000005
【図４】
2009259645.tif 000006
【図５】
2009259645.tif 000007
【図６】
2009259645.tif 000008
【図７】
2009259645.tif 000009
【図８】
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【図９】
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