(57)【要約】【課題】パレット上に既に載置された他のワークに影響を与えずに、小型軽量のワークをパレット上に正しく載置するワーク吸着ヘッドを提供する。【解決手段】ワーク吸着ヘッド２３は、内管３１、外管３２、飛散防止カバー３３などからなる多重構造となっており、内管３１と外管３２との間に形作られる隙間４１と、外管３２の側面に設けられたエアー排出路４３が構成される。飛散防止カバー３３は、吸着したレンズ１１をパレット１２ｂに載置するときにバネ３４によってパレット１２ｂに押し当てられ、吸着されたレンズ１１をノズル部２７から離脱するときに吸着口３９から吐出されるエアー４８を閉じ込める。飛散防止カバー３３によって閉じ込められたエアー４８は、パレット１２ｂに既に載置された他のレンズ１１に影響を与えないようにエアー排出路４３を通して排出される。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送時にエアーの吸引によりワークの上面を吸着する吸着口を備え、搬送先で前記吸着口からエアーを吐出してワークを下方に離脱させて所定位置に載置するワーク吸着ヘッドにおいて、
ワークを吸着したときにワークの外周を取り囲み、かつワークよりも下方に達するように延ばされたスリーブ状のカバーと、前記吸着口と前記カバーとの間に開口したエアーの排出路とを備え、
ワークを下方に離脱するときに吐出されるエアーが前記カバーの下縁から外部に吹き出さないように前記排出路を通して排気することを特徴とするワーク吸着ヘッド。
【請求項２】
前記カバーは付勢部材により下方に向けて付勢され、パレットに載置されたワークの吸着時に、カバーの先端をパレットに押しつけることによって前記カバーが前記付勢部材に抗して上昇し、前記吸着口がワークの上面に接近することを特徴とする請求項１記載のワーク吸着ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークが載置されているパレットなどからワークを取り上げてワークを搬送する治具に関し、さらに詳しくは、エアーを吸引，吐出してワークを吸着，離脱するワーク吸着ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラは近年急速に普及しており、携帯電話機といった撮影機能を主な使用用途としない機器にまで搭載されるようになっている。こうしたデジタルカメラの普及にともない、これらのデジタルカメラに用いるレンズは、良好な光学的品質を維持しながらも、迅速に多数生産することが求められている。
【０００３】
このデジタルカメラに用いるレンズのように、多数の物品を生産する際には、材料や生産過程の成型品といったいわゆるワークは、ヤトイと称される専用のパレットに多数個載置され、このパレットを単位として生産工程等が管理される。このようなパレットに載置されたワークは、生産工程に応じてパレットから取り出される。例えば成形用の金型などの生産機器に移載されたり、成型後に形状が変わればその形状に応じた他の専用のパレットに移載される。
【０００４】
こうした移載は、物品の性能や形状を損なわず素早く正確に移際するために、専用の移載装置によって行われる。移載装置は、例えば、ワークを吸着する治具などを設けたロボットハンドなどによってワークの移載を行う。
【０００５】
移載装置としては、例えば、パレットに載置された硝材を、成型用の金型に移載すると同時に、金型内での硝材の位置決めを行う移載装置が知られている（例えば、特許文献１）。また、例えば、短時間でワークの吸着，離脱動作を行うために、チューブ状の配管の替わりにワーク吸着ヘッドに取り付けるアダプタが知られている（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特開２０００−４４２５５号公報
【特許文献２】実開平５−９８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、携帯電話機などの携帯機器に搭載されるデジタルカメラは、携帯機器であるという点から、小型かつ軽量であることが求められる。これに応じて、この携帯機器に搭載されるデジタルカメラに使用されるレンズもまた、光学的性能のみならず、小型かつ軽量であることが求められている。例えば、携帯電話機に搭載されるデジタルカメラのレンズは、直径が数ｍｍのオーダーであり、その重さは数十ｍｇから数ｇ程度となっている。この携帯電話機に搭載されるデジタルカメラのレンズは、同様に小型かつ軽量が求められる通常のデジタルカメラのレンズと比較しても、極めて小さくかつ軽量なものである。
【０００７】
このように、非常に小さく軽量な物品を生産する際に、パレットに載置して従来のように管理しようとすると、ある程度の大きさと重量のある物品では生じない新たな問題が生じる。
【０００８】
例えば、ある程度の大きさと重量のある物品であれば、吸着するための真空を、通常の大気圧に戻すだけで、あるいは、多少の排気圧力をかけるのみで、ワークは吸着用の治具を離れ、パレットなどの所定位置に略正確に載置することができる。
【０００９】
しかしながら、小型軽量のワークをパレットなどから取り上げる際には従来どおりに吸着することが可能であるが、吸着したワークをパレットなどに載置する際には大気圧に戻すだけではワーク吸着ヘッドを離れず、ワーク吸着ヘッドから離脱させるために排気圧力を必要とする。こうした排気圧力はある程度の大きさと重量があれば略問題とならないが、小型軽量のワークは、この排気圧力のために簡単に吹き飛ばされてしまい、パレットなどの所定位置に正確に載置することが困難であるという問題がある。
【００１０】
さらに、パレットには多数のワークが載置されているから、ワーク吸着ヘッドからワークを離脱させるための排気圧力によって生じた気流によって、既に載置されている他のワークが吹き飛ばされてしまったり、向きや位置がずれてしまったりするという問題がある。
【００１１】
また、位置などが所定位置からずれてしまうと、次の工程でワークをパレットから取り上げることができなくなってしまうから、結局は手作業によってパレット上の載置等を確認，修正する必要があり、移載装置を使用する利点が失われてしまうという問題がある。
【００１２】
一方、ワーク吸着ヘッドから小型軽量のワークを離脱させる排気圧力を小さくすれば、パレット上に既に載置された他のワークへの影響は小さくなるが、載置しようとしているワークをワーク吸着ヘッドから確実に離脱させることが難しくなる。パレット上に既に載置されたワークへの影響がなく、載置しようとしているワークを確実に引き離し、かつ正しく載置することができる排気圧力の範囲は、極めて狭く、こうした適切な排気圧力に調節することは困難である。また、適切な排気圧力に調節したとしても、コンプレッサの排圧や気温などの周囲環境の変化によって排気圧力は変化してしまうものであるから、こうした適切な排気圧力を長時間維持することは極めて困難である。
【００１３】
本発明は上述の問題点に鑑みてなされたものであり、既に載置された他のワークに影響を与えずに、小型軽量のワークであってもパレット上に正しく載置することができるワーク吸着ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のワーク吸着ヘッドは、搬送時にエアーの吸引によりワークの上面を吸着する吸着口を備え、搬送先で前記吸着口からエアーを吐出してワークを下方に離脱させて所定位置に載置するワーク吸着ヘッドであり、ワークを吸着したときにワークの外周を取り囲み、かつワークよりも下方に達するように延ばされたスリーブ状のカバーと、前記吸着口と前記カバーとの間に開口したエアーの排出路とを備え、ワークを下方に離脱するときに吐出されるエアーが前記カバーの下縁から外部に吹き出さないように前記排出路を通して排気することを特徴とする。
【００１５】
また、前記カバーは付勢部材により下方に向けて付勢され、パレットに載置されたワークの吸着時に、カバーの先端をパレットに押しつけることによって前記カバーが前記付勢部材に抗して上昇し、前記吸着口がワークの上面に接近することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、パレット上に既に載置された他のワークに影響を与えずに、小型軽量のワークを正しくパレット上に載置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１に示すように、移載装置１０は、パレット１２ａに配列された小型軽量のレンズ１１（ワーク）を、パレット１２ａとは配列が異なるパレット１２ｂに搬送して所定の位置に載置する装置であり、Ｘ軸ガイド１６、Ｙ軸アーム１７、Ｚ軸ハンド１８、真空発生装置２１、コンプレッサ２２、ワーク吸着ヘッド２３などから構成される。
【００１８】
Ｘ軸ガイド１６は、Ｙ軸アーム１７の移動方向を定めるガイドであり、所定位置に固定して設けられている。Ｙ軸アーム１７は、Ｘ軸ガイド１６上に設けられており、Ｘ軸ガイド１６に沿って移動自在に設けられている。また、Ｙ軸アーム１７は、Ｘ軸ガイド１６に対して垂直な方向に突出して設けられており、Ｘ軸ガイド１６を基準としてこのＸ軸ガイド１６から突出する長さを自在に調節できるようになっている。また、Ｚ軸ハンド１８は、Ｙ軸アーム１７の先端付近に設けられており、Ｘ軸ガイド１６及びＹ軸アーム１７に対して垂直な方向、すなわち、鉛直方向に所定範囲内で自在に上下動するように設けられている。さらに、Ｚ軸ハンド１８の先端には、パレット１２ａに載置されたレンズ１１を吸着するワーク吸着ヘッド２３が設けられている。
【００１９】
ワーク吸着ヘッド２３は、レンズ１１の吸着，離脱を自在に行うユニットであり、バルブ２４を介して真空発生装置２１とコンプレッサ２２とが接続されている。バルブ２４は、ワーク吸着ヘッド２３によるエアーの吸引と排気、すなわち、真空発生装置２１によるワーク吸着ヘッド２３のノズル先端からのエアーの吸引と、コンプレッサ２２によるワーク吸着ヘッド２３のノズル先端からの排気とを自在に切り替える。
【００２０】
すなわち、パレット１２ａに載置されたレンズ１１の直上でエアーを吸引することで、ワーク吸着ヘッド２３は、パレット１２ａに配列されたレンズ１１を吸着し、保持する。一方、レンズ１１を吸着したワーク吸着ヘッド２３は、パレット１２ｂの所定位置で排気することにより、吸着しているレンズ１１を離脱し、パレット１２ｂの所定位置に載置する。
【００２１】
移載装置１０は、Ｘ軸ガイド１６，Ｙ軸アーム１７，Ｚ軸ハンド１８の位置を自在に調節することによって、ワーク吸着ヘッド２３の位置をパレット１２ａやパレット１２ｂの所定位置に正確に移動させ、レンズ１１の搬送及び載置を短時間に正確に行う。
【００２２】
図２に示すように、ワーク吸着ヘッド２３は、多重構造となっており、Ｚ軸ハンド１８に直接接続される内管３１、この内管３１の外側に挿通するように組み合わされる外管３２、この外管３２のさらに外側に挿通される飛散防止カバー３３（カバー）、バネ３４（付勢部材）などから構成される。
【００２３】
内管３１は、Ｚ軸ハンド１８に設けられた嵌合部（図示しない）と接続される接続部３６と、この接続部３６よりも外径の小さいノズル部３７とからなる。また、内管３１には接続部３６及びノズル部３７を通して一様な径の吸排気路３８が設けられており、接続部３６側で前述のバルブ２４と接続される。一方、吸排気路３８の他端は、ノズル部３７の先端に設けられた吸着口３９となっている。ワーク吸着ヘッド２３は、レンズ１１の付近で吸着口３９からエアーを吸引することによってレンズ１１をノズル部３７の先端に吸着する。
【００２４】
ノズル部３７の外径は２段階の径となるように設けられている。すなわち、接続部３６に近い部分では外管３２の内径とほぼ等しい径となっており、一方、接続部３６から最も遠い先端部分の外径は外管３２の内径よりも細くなるように設けられている。このノズル部３７の外径の変化の境界部分は、外管３２に設けられたエアー開放口４２（後述）の位置に合わせられている。すなわち、このエアー開放口４２から接続部３６側のノズル部３７の外径は外管３２の内径と略等しく、エアー開放口４２よりも先端部分側のノズル部３７の外径は外管３２の内径よりも細くなるように設けられている。
【００２５】
外管３２は、内管３１のノズル部３７と嵌め合わされるようにして載置され、この外管３２の内径は一様であり、ノズル部３７の接続部３６側の外径と略等しくなるように設けられている。一方、前述のようにノズル部３７は先端側は接続部３６側よりも外径が小さくなるように設けられているから、外管３２を内管３１に嵌め合わせることによってノズル部３７の小径部分の外壁と外管３２の内壁との間に隙間４１が形作られる。この隙間４１に連結するように、外管３２の側面には、例えば２個のエアー開放口４２が設けられている。このエアー開放口４２は、隙間４１とともにエアー排出路４３（排出路）を構成する。エアー排出路４３は、ワーク吸着ヘッド２３が吸着しているレンズ１１を離脱する際に、コンプレッサ２２によって吸排気路３８から送り出される排気をレンズ１１やパレット１２ｂから離れた場所から逃がす。
【００２６】
飛散防止カバー３３は、ワーク吸着ヘッド２３が吸着しているレンズ１１をノズル部３７の先端から離脱するときに、吸着口３９から吐出されるエアーの拡散を防止する。
この飛散防止カバー３３は、レンズ１１の外周を取り囲み、かつ吸着したレンズ１１よりも下方に達するように延ばされたスリーブ形状となっている。また、飛散防止カバー３３は、外管３２の外径と略等しい内径となっており、外管３２の外側に組み合わされて配置される。さらに、飛散防止カバー３３は、外管３２に沿って鉛直方向に移動自在に設けられているとともに、外管３２の下端の突起と係合することでワーク吸着ヘッド２３から脱落しないように設けられている。また、飛散防止カバー３３の上端と内管３１の接続部３６の下端との間にはバネ３４が設けられており、飛散防止カバー３３は常にワーク吸着ヘッド２３の先端の方向に向けて付勢されている。
【００２７】
また、飛散防止カバー３３の上端は外管３２のエアー開放口４２よりも下方、すなわち先端方向となるように設けられている。この位置関係はバネ３４の付勢力に抗して飛散防止カバー３３内に内管３１及び外管３２が押し下げられる場合であっても同様であり、飛散防止カバー３３の上端は、常にエアー開放口４２の下方に位置する長さに飛散防止カバー３３の長さは定められている。
【００２８】
さらに、飛散防止カバー３３の先端面３５は、ワーク吸着ヘッド２３がレンズ１１を吸着，離脱する際にパレット１２ａ，１２ｂの表面と接触するようにノズル部３７の先端よりも突出して設けられている。この飛散防止カバー３３がノズル部３７の先端よりも突出する長さは、飛散防止カバー３３の移動量と略等しくなるように設けられており、ワーク吸着ヘッド２３を正常に駆動する場合にはノズル部３７の先端は飛散防止カバー３３から突出することはない。
【００２９】
上述のように構成されるワーク吸着ヘッド２３及び移載装置１０の作用を説明する。移載装置１０がレンズ１１をパレット１２ａから取り上げるときには、まず、パレット１２ａのレンズ１１が載置された所定位置の直上にワーク吸着ヘッド２３を移動させる。
【００３０】
そして、図３（Ａ）に示すように、Ｚ軸ハンド１８が下方に移動され、ワーク吸着ヘッド２３が下降されると、飛散防止カバー３３がパレット１２ａの表面と接触する。このとき、ノズル部３７の先端は、吸着するレンズ１１から離れた場所に未だ位置している。
【００３１】
さらにＺ軸ハンド１８が下方に移動されると、図３（Ｂ）に示すように、内管３１及び外管３２は、バネ３４に抗して飛散防止カバー３３内を下方に押し下げられる。すなわち、飛散防止カバー３３はＺ軸ハンド１８の下方への更なる移動によって、バネ３４によってパレット１２ａの表面に押し付けられる。そして、ノズル部３７の先端がレンズ１１の表面付近まで押し下げられると、真空発生装置２１によって吸着口３９からエアーの吸引が開始され、直下のレンズ１１がノズル部３７の先端に吸着される。
【００３２】
そして、図３（Ｃ）に示すように、移載装置１０は、ワーク吸着ヘッド２３にレンズ１１を吸着したまま、Ｚ軸ハンド１８を上方に移動させてパレット１２ａからレンズ１１を取り上げる。
【００３３】
一方、移載装置１０がレンズ１１をパレット１２ｂに載置するときには、パレット１２ａから取り上げたレンズ１１を、ワーク吸着ヘッド２３のノズル部３７の先端に吸着したままに、このノズル部３７の先端をパレット１２ｂのレンズ載置穴４６の直上に移動させる。
【００３４】
そして、図４（Ａ）に示すように、Ｚ軸ハンド１８が下方に移動され、ワーク吸着ヘッド２３が下降されると、飛散防止カバー３３がパレット１２ｂの表面と接触する。このとき、飛散防止カバー３３はバネ３４によってワーク吸着ヘッド２３の最先端の方向に押し出されており、吸着されたレンズ１１はこの飛散防止カバー３３内に位置している。
【００３５】
さらにＺ軸ハンド１８が下方に移動されると、図４（Ｂ）に示すように、内管３１及び外管３２は、バネ３４に抗して飛散防止カバー３３内を下方に押し下げられる。このとき同時に、飛散防止カバー３３の先端面３５は、Ｚ軸ハンド１８の下方への移動にともなって、パレット１２ｂの表面に接触するのみならず、パレット１２ｂの表面に押し付けられており、パレット１２ｂと飛散防止カバー３３とは密着される。
【００３６】
そして、図５に示すように、コンプレッサ２２によって吸着口３９からエアーが吐出されると、ノズル部３７の先端に吸着されていたレンズ１１はレンズ載置穴４６に載置される。このとき、吸着口３９から吐出するエアー４８は、レンズ１１をノズル部３７から離脱させると同時に、レンズ１１の周囲に拡散する。このエアー４８は、飛散防止カバー３３がパレット１２ｂの表面と密着しているために、飛散防止カバー３３の内部でのみ拡散する。すなわち、エアー４８は周囲のレンズ載置穴４６の方へは拡散せず、周囲のレンズ載置穴４６やここに載置されたレンズ１１に向けて直接的に吹き付けられてしまうことはない。
【００３７】
一方、飛散防止カバー３３内に閉じ込められたエアー４８は、エアー排出路４３を通ってエアー開放口４２から排出される。このエアー開放口４２は、飛散防止カバー３３の上部に位置しており、周囲のレンズ載置穴４６やここに載置されたレンズ１１からは十分に離れている。したがって、エアー開放口４２から吐出されたエアー４８は、周囲のレンズ載置穴４６の付近に到達するまでには十分に拡散され、ここに載置されたレンズ１１を吹き飛ばしてしまうようなことはない。
【００３８】
また、このようにノズル部３７からレンズ１１が離脱され、レンズ載置穴４６に載置されると同時にノズル部３７からのエアーの吐出は停止され、Ｚ軸ハンド１８は上方に移動されて再びパレット１２ａのレンズ１１の位置へと移動される。こうして、移載装置１０は、上述のようにパレット１２ａからパレット１２ｂへのレンズ１１の移載を繰り返し行う。
【００３９】
以上のように、本発明によれば、ワーク吸着ヘッド２３に飛散防止カバー３３を設けたことで、吸着されたレンズ１１をノズル部３７の先端から離脱するために吐出されるエアーを、飛散防止カバー３３内に閉じ込めることができる。すなわち、このエアーは、パレット１２ｂ上の他のレンズ載置穴４６に既に載置されたレンズ１１に直接的に吹き付けられることはなく、吸着していたレンズ１１を正しくレンズ載置穴４６に載置するとともに、周囲に既に載置されたレンズ１１を飛散してしまうことを防止することができる。
【００４０】
また、吸着されたレンズ１１を離脱するためのエアーは飛散防止カバー３３内に閉じ込められ、周囲のレンズ１１等には影響を与えないから、吸着されたレンズ１１を離脱するためのエアーの圧力の細かい調節は不要であり、確実にノズル部３７から離脱され、かつ正しくレンズ載置穴４６に載置することができるエアーの圧力を容易に選択し、これを維持することができる。
【００４１】
また、内管３１及び外管３２によってエアー排出路４３を形作ることによって、上述のように飛散防止カバー３３内に閉じ込められたエアーは、エアー開放口４２から速やかに排出される。このエアー開放口４２は飛散防止カバー３３の上部に設けられているから、ここから排出される排気は周囲のレンズ載置穴４６に既に載置されたレンズ１１に到達する以前に、十分に拡散され、既に載置された周囲のレンズ１１を飛散してしまうことが確実に防止される。
【００４２】
さらに、飛散防止カバー３３は、バネ３４によってパレット１２ｂに押し付けられているから、飛散防止カバー３３とパレット１２ｂとは密着する。したがって、飛散防止カバー３３とパレット１２ｂとの間に隙間があいてしまい、この隙間から吸着されたレンズ１１を離脱するためのエアーが勢い良く吐出して、既に周囲に載置されたレンズ１１を飛散してしまうことを確実に防止することができる。
【００４３】
なお、上述の実施形態では、飛散防止カバー３３内に閉じ込められたレンズ１１を離脱するためのエアーを、内管３１と外管３２とによって形作られるエアー排出路４３を通して排出する例を示すが、飛散防止カバー３３内に閉じ込められたエアーを排出する機構はこれに限らない。例えば、図６（Ａ）に示すワーク吸着ヘッド５１のように、飛散防止カバー５２のストッパーとなる外管３２の突起部分にエアー４８を通す切り欠きなどを設けるとともに、飛散防止カバー３３に直接的にエアー排出路５３を設けても良い。さらに、エアー排出路も必ずしも単純な孔形状となっていることには限られず、例えば、図６（Ｂ）に示すワーク吸着ヘッド５６ように、飛散防止カバー５７の一部に目の細かいメッシュ状の材料からなるエアー排出路５８を設けることで、効率良くエアー４８を拡散して排出する形状としても良い。このように、飛散防止カバーにエアー排出路を設ける場合には、上述の実施形態のようにワーク吸着ヘッドを内管３１と外管３２とで多重構造としてエアー排出路を設ける必要はなく、この内管３１と外管３２を一体に形成して良い。
【００４４】
なお、上述の実施形態では、パレット１２ａからパレット１２ｂへのレンズ１１の移載は、１個ずつ行われるが、これに限らず、複数個のレンズ１１を同時に移載しても良い。例えば、Ｚ軸ハンド１８に複数個のワーク吸着ヘッド２３を設け、同時に複数個のレンズ１１を吸着，離脱し、パレット１２ａからパレット１２ｂへ移載しても良い。このように、複数個のレンズ１１を同時に移載する場合には、同時に移載されるレンズ１１へ、他のレンズ１１を離脱するためのエアーが吹き付けられることが防止され、小型軽量のレンズ１１であっても確実に移載することができる。
【００４５】
また、上述の実施形態では、配列が互いに異なるパレット間でレンズ１１を移載する例を示すが、これに限らず、成形型など他の生産装置から直接的にパレットに移載する場合や、パレットから他の生産装置に直接的に搬送する場合にも、にも本発明を好適に適用することができる。
【００４６】
さらに、上述の実施形態では、小型軽量のワークとしてレンズ１１を例に挙げて説明するが、これに限らず、吸着されたワークを離脱させる際のエアーによって飛散してしまうほど小型軽量のワークであれば、本発明を好適に適用することができる。
【００４７】
また、上述の実施形態のワーク吸着ヘッドは、レンズの吸着，離脱時にバネ３４によって飛散防止カバーをパレットに押し当てる構造となっているが、これに限らず、飛散防止カバーを下方に付勢することができればバネ以外の付勢部材を好適に用いることができる。また、バネであってもつるまきバネに限らず他の周知の形状のバネであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】移載装置の外観を模式的に示す斜視図である。
【図２】ワーク吸着ヘッドの縦方向の断面図である。
【図３】ワーク吸着ヘッドがレンズを吸着する様子を示す説明図である。
【図４】ワーク吸着ヘッドがレンズを離脱する様子を示す説明図である。
【図５】レンズを離脱する際のエアーの流れを示す説明図である。
【図６】飛散防止カバー内のエアーを排出する機構の例を示すワーク吸着ヘッドの断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０  移載装置
１１  レンズ（ワーク）
１２ａ，１２ｂ  パレット
２１  真空発生装置
２２  コンプレッサ
２３，５１，５６  ワーク吸着ヘッド
３１  内管
３２  外管
３３，５２，５７  飛散防止カバー（カバー）
３４  バネ（付勢部材）
３７  ノズル部
３９  吸着口
４１  隙間
４２  エアー開放口
４３，５３，５８  エアー排出路（排出路）
４８  エアー
【図１】
2009028873.tif 000003
【図２】
2009028873.tif 000004
【図３】
2009028873.tif 000005
【図４】
2009028873.tif 000006
【図５】
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【図６】
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