(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイパネル、及びプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法を提供する。【解決手段】第１基板と、第１基板と対向する第２基板と、第１基板と第２基板との間に配置され、表示領域Ｄ用空間を区画することによって放電セルを形成する隔壁１０と、第１基板と第２基板との間の非表示領域Ｎにストライプ状に配置され、少なくとも一側の端部は、空洞が形成された湾曲形状である少なくとも一つのダミー隔壁２０、２５と、第１基板と第２基板との間に設置され、放電セル内で放電を起こす放電電極と、放電セル内に塗布される蛍光体と、を備えるプラズマディスプレイパネルである。【選択図】図１
2009140928.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、
前記第１基板と対向する第２基板と、
前記第１基板と前記第２基板との間に配置され、表示領域用空間を区画することによって放電セルを形成する隔壁と、
前記第１基板と前記第２基板との間の非表示領域にストライプ状に配置され、少なくとも一側の端部は、空洞が形成された湾曲形状である少なくとも一つのダミー隔壁と、
前記第１基板と第２基板との間に設置され、前記放電セル内で放電を起こす放電電極と、
前記放電セル内に塗布される蛍光体と、を備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記湾曲形状は、実質的に楕円形であり、前記少なくとも一側の端部に形成された前記空洞は、前記楕円の中心から他の端部側に偏るように配置されるか、または前記楕円の中心に配置されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記湾曲形状は、実質的に円形であり、前記少なくとも一側の端部に形成された前記空洞は、前記円の中心から他の端部側に偏るように配置されるか、または前記円の中心に配置されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記ダミー隔壁を、複数個互いに平行に配置し、それぞれの前記ダミー隔壁の前記少なくとも一側の端部を、プラズマディスプレイパネルの横または縦方向に一列に配置することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記ダミー隔壁を、複数個互いに平行に配置し、それぞれの前記ダミー隔壁の前記少なくとも一側の端部を、ジグザグ方向に配置することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記ダミー隔壁を、複数個互いに平行に配置し、それぞれの前記ダミー隔壁の前記少なくとも一側の端部を、対角方向に一列に配置することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記少なくとも一側の端部は、前記ダミー隔壁の延長方向と直交する方向に膨らむ湾曲形状を有しており、前記第１基板の基板面と平行な方向への前記少なくとも一側の端部の幅は、前記ダミー隔壁の前記少なくとも一側の端部以外の部分の幅より広い幅を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記ダミー隔壁の前記少なくとも一側の端部の高さは、前記ダミー隔壁の前記少なくとも一側の端部以外の部分の高さと実質的に同じであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
前記ダミー隔壁を、複数個互いに平行に配置し、前記表示領域用空間から最も遠くに配置された最外郭ダミー隔壁の幅を、他のダミー隔壁の幅より広くすることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１０】
第１基板上に隔壁材を塗布するステップと、
前記隔壁材上の表示領域に配置される内部隔壁に対応するパターンを有する隔壁用のパターニングマスクと前記隔壁材上の非表示領域に配置されるダミー隔壁に対応するパターンを有するダミー隔壁用のパターニングマスクとを形成するステップと、
前記隔壁用のパターニングマスクと前記ダミー隔壁用のパターニングマスクとが形成されていない部分に対応する隔壁材部分を除去するステップと、
前記隔壁材上に残っているパターニングマスクを除去するステップと、を含み、
前記ダミー隔壁用のパターニングマスクは、ストライプ状に形成され、前記ダミー隔壁用のパターニングマスクのパターンの少なくとも一側の端部は、空洞が形成された湾曲形状であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
【請求項１１】
前記湾曲形状は、楕円形であり、前記少なくとも一側の端部に形成された前記空洞は、前記楕円の中心から前記ダミー隔壁の他側の端部側に偏るように配置されることを特徴とする請求項１０に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
【請求項１２】
前記湾曲形状は、実質的に円形であり、前記少なくとも一側の端部に形成された前記空洞は、前記円の中心から前記ダミー隔壁の他側の端部側に偏るように配置されることを特徴とする請求項１０に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
【請求項１３】
前記ダミー隔壁用のパターニングマスクを、複数個互いに平行に配置し、それぞれの前記ダミー隔壁用のパターニングマスクの端部を、プラズマディスプレイパネルの横または縦方向に一列に配置することを特徴とする請求項１０〜１２のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
【請求項１４】
前記ダミー隔壁用のパターニングマスクを、複数個互いに平行に配置し、それぞれの前記ダミー隔壁用のパターニングマスクの端部を、ジグザグ方向に配置することを特徴とする請求項１０〜１２のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
【請求項１５】
前記ダミー隔壁用のパターニングマスクを、複数個互いに平行に配置し、それぞれの前記ダミー隔壁用のパターニングマスクの端部を、対角方向に一列に配置することを特徴とする請求項１０〜１２のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
【請求項１６】
前記少なくとも一側の端部は、前記ダミー隔壁用のパターニングマスクの延長方向と直交する方向に膨らむ湾曲形状を有しており、前記第１基板の基板面と平行な方向への前記ダミー隔壁用のパターニングマスクの前記少なくとも一側の端部の幅は、前記ダミー隔壁用のパターニングマスクの前記少なくとも一側の端部以外の部分の幅より広い幅を有することを特徴とする請求項１０〜１５のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
【請求項１７】
前記ダミー隔壁用のパターニングマスクを、複数個互いに平行に配置し、前記表示領域用空間から最も遠くに配置された最外郭ダミー隔壁用のパターニングマスクの幅を、他のダミー隔壁用のパターニングマスクの幅より広くすることを特徴とする請求項１０〜１６のいずれか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）に係り、特にＰＤＰのダミー隔壁及びその形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＰＤＰは、複数個の電極が形成された前面パネルと背面パネルとが封着され、各放電セルに放電ガスが封入された後に放電電圧が加えられ、これにより発生する紫外線により蛍光体が励起されて所望の画像を得る装置である。
【０００３】
ＰＤＰは、放電が発生する放電セルを形成し、隣接する放電セル間の放電干渉を防止するために隔壁を備える。隔壁は、放電セルを形成するために、ＰＤＰの表示領域に配置される内部隔壁と、表示領域の外側である非表示領域に配置されるダミー隔壁とに分けられる。
【０００４】
一般的に、隔壁は、サンドブラスティング法で形成される。さらに詳細に説明すれば、背面基板に隔壁用のペーストを塗布した後に乾燥し、ペースト層上に感光性ＤＦＲ（Ｄｒｙ  Ｆｉｌｍ  Ｒｅｓｉｓｔｏｒ）をラミネーティングし、ＤＦＲを露光及び現像することによって、内部隔壁及びダミー隔壁のパターンと同じパターンを有するパターニングマスクを形成する。そして、サンドブラスティング工程でパターニングマスクを通じてペースト層を切削して残留するパターニングマスクを剥離した後、残ったペースト層を焼成することによって隔壁が形成される。
【０００５】
サンドブラスティング工程時、ＰＤＰの表示領域の外側である非表示領域に形成されたダミー隔壁、特にダミー隔壁の端部はアンダーカットされる。これは、ダミー隔壁の端部が他の部分に比べてより多くのサンド粒子に露出されるだけでなく、ガラス基板の上側に位置したノズルから下側に噴射された後でガラス基板に当たって上側に反射したサンド粒子と、ノズルから下側に噴射されたサンド粒子との衝突により、ガラス基板面に平行な方向に進むサンド粒子によりダミー隔壁の端部が切削されるためである。
【０００６】
サンドブラスティング工程の後、残ったペースト層を焼成すれば、アンダーカットされた隔壁の部分は、ガラス基板から離反する方向に突出した形状に形成される。なぜならば、ペースト層を焼成すれば、ペースト内のバインダーが蒸発してガラス基板側にペースト層が収縮するが、アンダーカットされた部分は収縮しないことによって、アンダーカットされた端部が相対的に突出して形成されるためである。
【０００７】
このようにダミー隔壁の端部が突出した形状に形成される場合、ダミー隔壁の端部と端部以外の部分との高さ寸法の差により、前面パネルと背面パネルとを合着する時に前面パネル部と隔壁とが不完全に密着される。したがって、ＰＤＰの駆動時に振動及びノイズが発生するという問題点が発生する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、前記した問題点を解決するＰＤＰ及びＰＤＰの隔壁の形成方法を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明の一側面によれば、本発明は、第１基板、第２基板、隔壁、ダミー隔壁、放電電極及び蛍光体を備えるＰＤＰを提供する。第２基板は、前記第１基板と対向する。隔壁は、前記第１基板と前記第２基板との間に配置され、表示領域用空間を区画することによって放電セルを形成する。ダミー隔壁は、前記第１基板と前記第２基板との間の非表示領域にストライプ状に配置され、少なくとも一側の端部は、空洞が形成された湾曲形状である。放電電極は、前記第１基板と第２基板との間に設置され、前記放電セル内で放電を起こす。蛍光体は、放電セル内に塗布される。
【００１０】
前記湾曲形状は、実質的に楕円形または円形であり、前記一側の端部に形成された前記空洞は、前記楕円または円の中心から他の端部側に偏るように配置されるか、または前記楕円または円の中心に配置される。
【００１１】
このように、ダミー隔壁の端部の形状が外側に膨らむように湾曲形状であるため、サンドブラスティング工程以後にダミー隔壁の端部がアンダーカットされず、これにより、焼成工程以後にダミー隔壁の端部が突出する現象を防止できる。また、前面パネルと背面パネルとの密着がぴったり行われ、これによって振動及びノイズの発生を低減できる。
【００１２】
前記ダミー隔壁を、複数個互いに平行に配置し、それぞれの前記ダミー隔壁の前記少なくとも一側の端部を、ＰＤＰの横または縦方向に一列に配置するか、ジグザグ方向に配置するか、または対角方向に一列に配置する。かかる構成をとることによって、ダミー隔壁の相互間の干渉を防止できる。
【００１３】
前記少なくとも一側の端部は、前記ダミー隔壁の延長方向と直交する方向に広がる湾曲形状を有しており、前記第１基板の基板面と平行な方向への前記少なくとも一側の端部の幅は、前記ダミー隔壁の前記少なくとも一側の端部以外の部分の幅より広い幅を有する。前記ダミー隔壁の前記少なくとも一側の端部の高さは、前記ダミー隔壁の前記少なくとも一側の端部以外の部分の高さと実質的に同じである。前記ダミー隔壁を、複数個互いに平行に配置し、前記表示領域用空間から最も遠くに配置された最外郭ダミー隔壁の幅を、他のダミー隔壁の幅より広くする。したがって、サンド粒子により最外郭ダミー隔壁部が多く切削されても、他のダミー隔壁部と類似した幅を維持できる。
【００１４】
本発明の他の側面によれば、本発明は、第１基板上に隔壁材を塗布するステップと、前記隔壁材上の表示領域に配置される内部隔壁に対応するパターンを有する隔壁用のパターニングマスクと、前記隔壁材上の非表示領域に配置されるダミー隔壁に対応するパターンを有するダミー隔壁用のパターニングマスクと、を形成するステップと、前記隔壁用のパターニングマスクと前記ダミー隔壁用のパターニングマスクとが形成されていない部分に対応する隔壁材部分を除去するステップと、前記隔壁材上に残っているパターニングマスクを除去するステップと、を含み、前記ダミー隔壁用のパターニングマスクは、ストライプ状に形成され、前記ダミー隔壁用のパターニングマスクの少なくとも一側の端部は、空洞が形成された湾曲形状のＰＤＰの隔壁の形成方法を提供する。
【００１５】
前記湾曲形状は、実質的に楕円形または円形であり、前記少なくとも一側の端部に形成された前記空洞は、前記楕円または円の中心から他の端部側に偏るように配置されるか、または前記楕円または円の中心に配置される。
【００１６】
前記ダミー隔壁用のパターニングマスクを、複数個互いに平行に配置し、それぞれの前記ダミー隔壁用のパターニングマスクの端部を、ＰＤＰの横または縦方向に一列に配置するか、ジグザグ方向に配置するか、または対角方向に一列に配置する。
【００１７】
前記少なくとも一側の端部は、前記ダミー隔壁用のパターニングマスクの延長方向と直交する方向に広がった湾曲形状を有しており、前記第１基板の基板面と平行な方向への前記ダミー隔壁用のパターニングマスクの前記少なくとも一側の端部の幅は、前記ダミー隔壁用のパターニングマスクの前記少なくとも一側の端部以外の部分の幅より広い幅を有する。前記ダミー隔壁用のパターニングマスクを、複数個互いに平行に配置し、前記表示領域用空間から最も遠くに配置された最外郭ダミー隔壁用のパターニングマスクの幅を、他のダミー隔壁用のパターニングマスクの幅より広くする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ダミー隔壁がストライプ状に互いに平行に配置されることによって、ＰＤＰの排気効率を向上させ、これにより、排気不良によるＰＤＰの寿命短縮及び輝度均一性の低下を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下では、添付された図面を参照して、ＰＤＰの隔壁の形成方法についての実施形態及び前記した方法によって製造されたＰＤＰの実施形態について説明する。
【００２０】
図示していないが、ＰＤＰは、互いに接着された前面パネルと背面パネルとで構成される。前面パネルは、前面基板、第１放電電極、前面誘電体層及び保護層を備える。第１放電電極は、前面基板上に形成され、前面誘電体層に埋め込まれる。前面誘電体層を保護するために、前面誘電体層には保護層が塗布される。背面パネルは、背面基板、第２放電電極、背面誘電体層、隔壁及び蛍光体層を備える。第２放電電極は、一般的にガラス材質からなる背面基板に形成され、背面誘電体層に埋め込まれる。
【００２１】
隔壁は、第２放電電極と背面誘電体層とが形成された背面基板上に形成される。隔壁は、第１放電電極と第２放電電極との間に発生する放電のための空間である放電セルを形成し、隣接する放電セル間の放電干渉を防止する機能を行う。
【００２２】
隔壁を形成する方法として、サンドブラスティング法を例として説明する。まず、ガラスからなる背面基板に隔壁材、例えば隔壁用ペーストを塗布した後で乾燥する。ペースト層にＤＦＲのような感光剤をラミネーティングする。次いで、所定のパターンからなるフォトマスクを通じてＤＦＲにＵＶを照射すれば、ＵＶに露光されたＤＦＲ部分は硬化される。したがって、ＤＦＲを現像液に露出させれば、露光されたＤＦＲ部分のみが残り、これにより、隔壁用のパターニングマスクが形成される。
【００２３】
これと異なり、パターニングマスクを形成する方法としてポジティブ感光剤を使用する場合には、ＵＶが照射された部分、すなわちＵＶに露光された感光剤の部分が弱化されるが、この部分を現像液に露出させれば、ＵＶに露光されていない感光剤の部分のみが残って隔壁用のパターニングマスクが形成される。
【００２４】
パターニングマスクを通じて隔壁ペーストを切削するサンドブラスティング工程を説明する前に、隔壁用のパターニングマスクについて説明する。
【００２５】
図１は、一実施形態によるＰＤＰの内部隔壁及びダミー隔壁のパターニングのためのパターニングマスク１０、２０、２５のパターンの配置を示す図面である。
【００２６】
内部隔壁用のパターニングマスク１０は、ＰＤＰの表示領域Ｄに位置する内部隔壁を形成するために内部隔壁に対応するパターンを有し、ダミー隔壁用のパターニングマスク２０、２５は、ＰＤＰの非表示領域Ｎに位置するダミー隔壁を形成するためにダミー隔壁に対応するパターンを有する。非表示領域Ｎは、ＰＤＰの表示領域Ｄを取り囲むように表示領域Ｄの外側に位置する。
【００２７】
図１に示した実施形態では、格子形態の内部隔壁用のパターニングマスク１０のパターンが示されている。しかし、本発明の保護範囲は、これに限定されず、内部隔壁をストライプ状に形成させる内部隔壁用のパターニングマスク１０も、本発明の保護範囲に含まれることはいうまでもない。また、多様な形態の内部隔壁を形成する内部隔壁用のパターニングマスク１０も、本発明の保護範囲に含まれる。
【００２８】
ＰＤＰの非表示領域Ｎのうち、ＰＤＰの上部非表示領域と下部非表示領域、左側非表示領域と右側非表示領域には、それぞれダミー隔壁用のパターニングマスク２０、２５が形成されている。ダミー隔壁用のパターニングマスク２０、２５の個数及び位置は、図１に示したものに限定されず、多様な変形が可能である。
【００２９】
図２は、図１のＢ部分を拡大して示す図面であり、図３は、一実施形態によるダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１を示す図面であり、図４は、他の実施形態によるダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１を示す図面である。図２、図３及び図４を参照して、ダミー隔壁をパターニングするパターニングマスクパターン２１を詳細に説明する。
【００３０】
ダミー隔壁用のパターニングマスク２０、２５は、全体的にストライプ状に形成される。したがって、サンドブラスティング工程を経た後、ダミー隔壁は、互いに平行に形成される。ストライプ状のダミー隔壁は、格子状のダミー隔壁に比べて排気効率が良好である。これにより、排気不良による寿命短縮及び輝度均一性の低下を防止できる。
【００３１】
一つのダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１を説明すれば、その一側の端部または両側の端部２１ａ、２１ｅは、空洞２１ｂが形成された湾曲形状を有する。図２、図３及び図４に示したように、ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１、２２の端部２１ａは、ＰＤＰの縦方向または横方向に一列に配置される。
【００３２】
ここで、湾曲形状は、図３に示したように実質的に楕円形であってもよく、図４に示したように実質的に円形であってもよい。しかし、湾曲形状が楕円形及び円形のみを意味するものではない。ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の端部２１ａが湾曲形状であるというのは、前面基板に平行な面上でのあらゆる方向から外部に膨れるように端部が形成されたことを意味する。すなわち、縦方向（ストライプ状のダミー隔壁用のパターニングマスク２０の延長方向と直交する方向）へのダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の端部２１ａの幅は、ダミー隔壁用のパターニングマスク部分２１の他の部分の幅より広く、ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の端部２１ａは、横方向に凸状に形成される。
【００３３】
図３及び図４において、ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の端部２１ａ、２１ｅに形成された空洞２１ｂの位置は、楕円の中心または円の中心からダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の中央側（ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の他の端部２１ｅ側）に偏るように配置される。すなわち、図中におけるａの長さがｂの長さより長くなるようにダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１が形成されねばならない。
【００３４】
ダミー隔壁用のパターニングマスクパターンの端部２１ａ、２１ｅの形状が本発明のような形状をとらない時に発生する問題点を図５Ａないし図５Ｃに示した。図５Ａは、隔壁材３上に形成されたＤＦＲが露光及び現像を経てパターニングされた状態を示す。隔壁材３をパターニングするためのダミー隔壁用のパターニングマスクパターン５の端部は、湾曲形状でない長方形状である。かかるダミー隔壁用のパターニングマスクパターン５を通じて隔壁材３にサンド粒子を強く噴射させれば、図５Ｂのようにダミー隔壁の端部３ａがアンダーカットされる。これは、ダミー隔壁の端部３ａが他の部分に比べて広い空間に露出されることによって、他の部分に比べてさらに多くのサンド粒子により切削されるだけでなく、ガラス基板の上方に位置したノズルから下側に噴射された後、ガラス基板１に当たって上方に反射したサンド粒子と、ノズルから下側に噴射されたサンド粒子との衝突により、ガラス基板面に平行な方向に進むサンド粒子によりダミー隔壁の端部３ａが切削されるためである。
【００３５】
サンドブラスティング工程が終了した後、ＤＦＲで形成されたダミー隔壁用のパターニングマスクパターン５を除去すれば、図５Ｃに示したようにダミー隔壁３が形成される。次いで、内部隔壁とダミー隔壁３とを焼成すれば、図５Ｄに示したように、ダミー隔壁３のアンダーカットされた端部３ａは、ガラス基板１から離反する方向に突出した形状に形成される（部材番号３ｂを参考）。なぜならば、ダミー隔壁３を構成するペースト層を焼成すれば、ペースト層内のバインダーが蒸発してガラス基板１側に収縮するが、アンダーカットされた部分は収縮しないことによって、アンダーカットされた端部が相対的に突出して形成されるためである。
【００３６】
図６Ａは、図５Ａないし図５Ｄで説明した方式で隔壁を形成した時の内部隔壁の断面を示すために走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）で撮影された写真であり、図６Ｂは、図５Ａないし図５Ｄで説明した方式で隔壁を形成した時のダミー隔壁の端部の形態を示すためにＳＥＭで撮影された写真である。内部隔壁の高さは１２０μｍであった一方、ダミー隔壁は、図６ＢのＥ部分に示すようにダミー隔壁の端部が突出した形状に形成されることによって、ダミー隔壁の端部の高さが１３０μｍと高くなったということが分かる。
【００３７】
一方、一実施形態による隔壁の形成方法によれば、図７Ａに示したように、ＤＦＲで形成されたダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の端部２１ａは湾曲形状を有する。ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１が上部に配置された隔壁材１４にサンド粒子を強く噴射すれば、ダミー隔壁１４の端部１４ａは、図７Ｂおよび図７Ｃに示したように形成される。ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の端部２１ａが外側に突出した湾曲形状であるため、サンドブラスティング工程時にサンド粒子によりダミー隔壁１４の端部１４ａのうち突出した部分１４ｃ、１４ｄのみがカットされるが、アンダーカットされる程度に内部に侵入しつつカットされるものではない。
【００３８】
また、ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の端部２１ａには、空洞２１ｂが形成されている。サンドブラスティング工程の初期に基板が移送されれば、ダミー隔壁１４の端部１４ａがサンド粒子に先に露出されるため、ダミー隔壁１４の端部１４ａがダミー隔壁１４の他の部分に比べて強い衝撃を受ける。一実施形態において、ダミー隔壁１４の端部１４ａに空洞１４ｂが存在するため、ダミー隔壁１４の端部１４ａの一部分に加えられた衝撃は、端部１４ａの他の部分に伝達されずに衝撃力が分散される。すなわち、ダミー隔壁１４の端部１４ａが湾曲形状であるとしても、空洞２１ｂが存在しなければ、サンド粒子の強い衝撃によりダミー隔壁１４の端部１４ａが歪み得るが、空洞２１ｂは、かかる現象を防止する役割を行う。
【００３９】
空洞２１ｂが形成される位置は、ダミー隔壁１４の端部１４ａがサンド粒子によって、より多くカットされること、及びカット量を考慮して決定される。すなわち、ダミー隔壁１４の端部１４ａがサンド粒子によりカットされるので、空洞２１ｂの位置は、楕円の中心または円の中心から前記カットされる端部から遠くなる側（ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の他の端部側）に偏るように配置されることが望ましい（すなわち、図３及び図４において、ａの長さがｂの長さより長くなるように、ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１が形成されることが望ましい）。偏り量は、端部がカットされた後、空洞２１ｂが端部１４ａの中央または端部１４ａの中央から他の端部側に若干偏って位置する程度に決定することが望ましい。したがって、サンドブラスティング工程及び焼成以後には、空洞１４ｂが楕円または円形のダミー隔壁１４の端部１４ａの中央部分に配置されることによって、ダミー隔壁１４の耐久性が向上して不良性が減少することができる。
【００４０】
一方、図７Ｂに示したように、サンドブラスティング工程以後にもダミー隔壁１４の端部１４ｃ、１４ｄがアンダーカットされないことによって、焼成工程を経れば、図７Ｃに示したようにダミー隔壁１４が形成される。すなわち、ダミー隔壁１４の端部１４ａ及び端部以外の部分は、同じ割合で収縮することによって、ほぼ同じ高さを維持できる。
【００４１】
図８Ａは、一実施形態による隔壁の形成方法で内部隔壁を形成した時の内部隔壁の端部の形態をＳＥＭで５００倍拡大して撮影された写真であり、図８Ｂは、一実施形態による隔壁の形成方法で隔壁を形成した時のダミー隔壁の端部の形態をＳＥＭで１００倍拡大して撮影された写真である。図８Ａに示された内部隔壁の端部の高さは１１８μｍであり、図８Ｂに示されたダミー隔壁の端部の高さは１１７μｍである。ダミー隔壁の端部の高さが内部隔壁の端部の高さとほぼ同一であるということが分かり、これは、ダミー隔壁の端部の高さが端部以外の部分の高さともほぼ同一であることを意味する。図８Ｂを詳細に見れば、ダミー隔壁の各端部の断面で、中央部（Ｉ領域）は、周辺部（Ｏ領域）よりさらに明るく撮影されている。このことから、ダミー隔壁の端部が外部に突出した湾曲形状であるということが分かる。
【００４２】
ＳＥＭ写真から分かるように、一実施形態による隔壁の形成方法でダミー隔壁を形成すれば、ダミー隔壁の端部が突出する現象を防止できる。したがって、前面パネルと背面パネルとの密着がぴったり行われ、これによって振動及びノイズの発生を低減できる。
【００４３】
図９は、さらに他の実施形態によるダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１、２２の端部２１ａの配置を示す図面である。この実施形態において、ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１、２２の端部２１ａがジグザグ形状を有している。このように幅が相対的に広い端部２１ａがジグザグ状に配置されることによって、互いに干渉されないようにダミー隔壁を形成できる。
【００４４】
図１０は、さらに他の実施形態によるダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１、２２の端部２１ａの配置を示す図面である。この実施形態において、ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１、２２の端部２１ａが対角方向（ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の延長方向に対して傾斜する方向）に一列に配置される。このように幅が相対的に広い端部２１ａが互いに干渉されないように配置されることによって、空間の制約を受けずに容易にダミー隔壁を形成できる。
【００４５】
一方、最外郭に位置したダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の幅ｃは、他のダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２２の幅ｄより広い。これは、サンドブラスティング工程時、最外郭のダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１がサンド粒子により多く露出されることによって、より多く切削されるためである。したがって、最外郭のダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２１の幅ｃを他のダミー隔壁用のパターニングマスクパターン２２の幅ｄより広くすることによって、サンドブラスティング工程によって形成された最外郭ダミー隔壁の幅が他のダミー隔壁の幅よりさらに狭くなることを防止できる。
【００４６】
本発明は、図面に示した一実施形態を参考にして説明されたが、これは、例示的なものに過ぎず、当業者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想により決まらねばならない。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、ＰＤＰ関連の技術分野に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】一実施形態によるＰＤＰの内部隔壁及びダミー隔壁のパターニングのためのパターニングマスクのパターンの配置を示す図面である。
【図２】図１のＢ部分を拡大して示す図面である。
【図３】一実施形態によるダミー隔壁用のパターニングマスクのパターンを示す図面である。
【図４】他の実施形態によるダミー隔壁用のパターニングマスクのパターンを示す図面である。
【図５Ａ】従来の方法で隔壁を形成したとき、ダミー隔壁の端部が突出した形状に形成されることを示す図面である。
【図５Ｂ】従来の方法で隔壁を形成したとき、ダミー隔壁の端部が突出した形状に形成されることを示す図面である。
【図５Ｃ】従来の方法で隔壁を形成したとき、ダミー隔壁の端部が突出した形状に形成されることを示す図面である。
【図５Ｄ】従来の方法で隔壁を形成したとき、ダミー隔壁の端部が突出した形状に形成されることを示す図面である。
【図６Ａ】従来の方法で隔壁を形成した時の内部隔壁の断面を示すためにＳＥＭで撮影された写真である。
【図６Ｂ】従来の方法で隔壁を形成した時のダミー隔壁の端部の形態を示すためにＳＥＭで撮影された写真である。
【図７Ａ】一実施形態による隔壁の形成方法で隔壁を形成した時に形成されたダミー隔壁の端部の形状を示す図面である。
【図７Ｂ】一実施形態による隔壁の形成方法で隔壁を形成した時に形成されたダミー隔壁の端部の形状を示す図面である。
【図７Ｃ】一実施形態による隔壁の形成方法で隔壁を形成した時に形成されたダミー隔壁の端部の形状を示す図面である。
【図８Ａ】一実施形態による隔壁の形成方法で隔壁を形成した時の内部隔壁の端部の形態をＳＥＭで５００倍拡大して撮影された写真である。
【図８Ｂ】一実施形態による隔壁の形成方法で隔壁を形成した時のダミー隔壁の端部の形態をＳＥＭで１００倍拡大して撮影された写真である。
【図９】さらに他の実施形態によるダミー隔壁用のパターニングマスクの端部の配置を示す図面である。
【図１０】さらに他の実施形態によるダミー隔壁用のパターニングマスクの端部の配置を示す図面である。
【符号の説明】
【００４９】
１  ガラス基板、
１０  内部隔壁用のパターニングマスク、
１４  ダミー隔壁、ダミー隔壁材、
１４ａ  ダミー隔壁の端部、
２０、２５  ダミー隔壁用のパターニングマスク、
２１、２２  ダミー隔壁用のパターニングマスクパターン、
２１ａ、２１ｅ  ダミー隔壁用のパターニングマスクパターンの端部、
２１ｂ  空洞、
Ｄ  表示領域、
Ｎ  非表示領域。
【図１】
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【図２】
2009140928.tif 000004
【図３】
2009140928.tif 000005
【図４】
2009140928.tif 000006
【図５Ａ】
2009140928.tif 000007
【図５Ｂ】
2009140928.tif 000008
【図５Ｃ】
2009140928.tif 000009
【図５Ｄ】
2009140928.tif 000010
【図６Ａ】
2009140928.tif 000011
【図６Ｂ】
2009140928.tif 000012
【図７Ａ】
2009140928.tif 000013
【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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