(57)【要約】【課題】液体流路を確実に親水化することができ、液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口３４に連通すると共に液体導入口から液体が供給される圧力発生室１２等の液体流路が設けられた流路基板２０、３０を具備し、該流路基板２０、３０が複数の構成基板を接合することにより形成された液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記液体流路内を減圧した状態で、親水性膜７０を形成する処理剤を通液して、前記液体流路内に前記処理剤を充填した後、前記液体流路内の前記処理剤を排出し、その後、前記ノズル開口３４に送風することで、前記ノズル開口３４近傍の前記処理剤を除去して、前記液体流路の内面に前記親水性膜７０を成膜する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口に連通すると共に液体導入口から液体が供給される液体流路が設けられた流路基板を具備し、該流路基板が複数の構成基板を接合することにより形成された液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記液体流路内を減圧した状態で、親水性膜を形成する処理剤を通液して、前記液体流路内に前記処理剤を充填した後、前記液体流路内の前記処理剤を排出し、その後、前記ノズル開口に送風することで、前記ノズル開口近傍の前記処理剤を除去して、前記液体流路の内面に前記親水性膜を成膜することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記処理剤を加熱した状態で、前記液体流路に充填することを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記構成基板が、互いに熱溶着フィルムにより接合されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記ノズル開口に送風した後に、前記ノズル開口が開口する液体噴射面に設けられた前記親水性膜を除去することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記液体噴射面に設けられた前記親水性膜を除去する際に、当該液体噴射面を有機溶剤により払拭することを特徴とする請求項４記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧電素子及び圧力発生室が設けられたアクチュエータユニットと、圧力発生室に連通してインクを吐出するノズル開口が設けられたノズルプレートを有する流路ユニットとを具備するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクの流路を形成する各部材、例えば、アクチュエータユニットと流路ユニットとや、流路ユニットを構成する各構成基板などは接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されている。
【０００４】
また、インクジェット式記録ヘッドの液体流路の内面に親水性膜を形成したものがある（例えば、特許文献２及び３参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−０４２５５９号公報
【特許文献２】特開平５−３３８１８５号公報
【特許文献３】特開平９−２３９９９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、液体流路が細くて長い内壁面で画成されている場合や液体流路が複雑な形状を有する場合、内面に亘って親水性膜を形成するのは困難であるという問題がある。
【０００７】
また、特許文献２では、染料溶液を液体流路内に充填した状態で通電して親水性膜を形成するため、導体以外の材料の壁面に親水性膜を形成することができず、特に親水化処理が必要な接着剤や熱溶着フィルムの表面に親水性膜を形成することができないという問題がある。
【０００８】
そして、液体流路の内壁の一部に親水性膜が形成されていない領域が存在すると、親水性膜が形成されていない領域にインク内の気泡が付着し、付着した気泡がインクを吐出した際にインクと同時に噴射されるなど、液体噴射特性が劣化してしまうという問題がある。また、液体噴射ヘッド内の液体を排出させるクリーニング動作を行っても、親水性膜が形成されていない領域に付着した気泡を排出するのは困難であり、気泡が成長して大型化して初めて液体と共に排出されるため、排出されるタイミングを制御するのが困難で、液体噴射特性が劣化してしまうという問題がある。
【０００９】
また、ノズル開口近傍に余分な親水性膜が形成されてしまうと、親水性膜によってインク吐出特性が変化し、均一なインク吐出特性で形成することができないという問題がある。
【００１０】
さらに、特許文献３では、親水性膜を形成する際に高温（２５０℃〜５００℃）で加熱焼成して形成しているため、インクジェット式記録ヘッドが組み立てられた状態でインク流路の内面に親水性膜を形成しようとすると、インクジェット式記録ヘッドが高温で加熱された際に駆動回路や圧電素子等が破壊されてしまうため、インクジェット式記録ヘッドが組み立てられた状態では親水性膜を形成することができないという問題がある。
【００１１】
なお、このような問題はインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法に限定されず、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法においても同様に存在する。
【００１２】
本発明はこのような事情に鑑み、液体流路を確実に親水化することができ、液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通すると共に液体導入口から液体が供給される液体流路が設けられた流路基板を具備し、該流路基板が複数の構成基板を接合することにより形成された液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記液体流路内を減圧した状態で、親水性膜を形成する処理剤を通液して、前記液体流路内に前記処理剤を充填した後、前記液体流路内の前記処理剤を排出し、その後、前記ノズル開口に送風することで、前記ノズル開口近傍の前記処理剤を除去して、前記液体流路の内面に前記親水性膜を成膜することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる態様では、高温で加熱することがないため、液体噴射ヘッドが組み立てられた状態で、液体流路内の親水性膜を形成することができる。また、構成基板同士を接合する接着剤や熱溶着フィルムの表面にも親水性膜を形成することができるため、気泡が滞留する領域を無くして、液体噴射特性を安定させることができる。また、液体流路内に気泡が滞留する領域が実質的に存在しないため、液体流路への液体の供給を短時間で行うことができると共に、液体流路内の液体をノズル開口から吸引するなどのクリーニング動作が最小限で済むため、液体の無駄な消費を減少させることができる。さらに、最終的にノズル開口近傍の処理剤を送風により除去するため、ノズル開口に余分な親水性膜が形成されることがなく、余分な親水性膜による液体噴射不良が発生するのを確実に防止することができる。
【００１４】
ここで、前記処理剤を加熱した状態で、前記液体流路に充填することが好ましい。これによれば、常温で比較的高い濃度の処理剤を用いて親水性膜を形成しても、ノズル開口の目詰まりを防止することができる。
【００１５】
また、前記構成基板が、互いに熱溶着フィルムにより接合されていることが好ましい。これによれば、特に気泡が滞留し易い熱溶着フィルムの表面に親水性膜を形成することができる。
【００１６】
また、前記ノズル開口に送風した後に、前記ノズル開口が開口する液体噴射面に設けられた前記親水性膜を除去することが好ましい。これによれば、液体噴射面の親水性膜を除去することで、液体噴射特性が余分な親水性膜によって阻害されるのを防止できる。
【００１７】
また、前記液体噴射面に設けられた前記親水性膜を除去する際に、当該液体噴射面を有機溶剤により払拭することが好ましい。これによれば、液体噴射面に形成された余分な親水性膜を確実に除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２はインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００１９】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエータユニット２０と、このアクチュエータユニット２０が固定される流路ユニット３０とで構成されている。
【００２０】
アクチュエータユニット２０は、圧電素子４０を具備するアクチュエータ装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを有する。
【００２１】
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や、ジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力発生室２１がその幅方向に沿って並設された列が２列形成されている。そして、この流路形成基板２２の一方面に、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。
【００２２】
圧力発生室底板２４は、流路形成基板２２の他方面側に固定されて圧力発生室２１の他方面を封止すると共に、圧力発生室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するリザーバ３２とを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。
【００２３】
そして、圧電素子４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられ、例えば、本実施形態では、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、圧電素子４０の列も２列設けられている。
【００２４】
ここで、各圧電素子４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層と、各圧電体層上に設けられた上電極膜とで構成されている。圧電体層は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜は、並設された圧電体層に亘って設けられて各圧電素子４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。勿論、下電極膜を各圧電体層毎に設けるようにしてもよい。
【００２５】
なお、アクチュエータユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。そして、その後、振動板２３上に圧電素子４０が形成される。
【００２６】
一方、流路ユニット３０は、アクチュエータユニット２０の圧力発生室底板２４に接着剤を介して接合されるインク供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通インク室となるリザーバ３２が形成されるリザーバ形成基板３３と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とからなる。
【００２７】
インク供給口形成基板３１は、厚さ１５０μｍのジルコニアの薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にリザーバ３２と圧力発生室２１とを接続するインク供給口３７を穿設して構成され、また、各リザーバ３２と連通し、外部のインクタンクからのインクが供給される液体導入口であるインク導入口３８が設けられている。
【００２８】
リザーバ形成基板３３は、インク流路を構成するに適した、例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するリザーバ３２と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とを有する。
【００２９】
ノズルプレート３５は、例えば、ステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでノズル開口３４が穿設されて形成されている。例えば、本実施形態では、流路ユニット３０には、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、ノズルプレート３５にも、ノズル開口３４の列が２列形成されている。また、このノズルプレート３５は、リザーバ形成基板３３の流路形成基板２２の反対面に接合されてリザーバ３２の一方面を封止している。
【００３０】
また、ノズルプレート３５のリザーバ形成基板３３とは反対側であるインク吐出面側には、撥水膜６０が設けられている。撥水膜６０は、ノズル開口３４が開口する領域にノズル開口３４よりも大きな開口を有するクレータ部６１が設けられている。すなわち、撥水膜６０は、クレータ部６１によってノズル開口３４の開口周囲に撥水膜６０が設けられていない非撥水領域を形成し、その他の領域を全て覆っている。このように撥水膜６０にクレータ部６１によって非撥水領域を設けることで、ノズル開口３４の視認性を向上して、ノズル開口３４をアライメントマークとして、複数のインクジェット式記録ヘッド１０をアライメントする際に、高精度なアライメントを行うことができる。
【００３１】
このような流路ユニット３０は、これらインク供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５を、接着剤や熱溶着フィルム等によって接合することで形成される。そして、このような流路ユニット３０とアクチュエータユニット２０とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されている。本実施形態では、流路ユニット３０を構成するインク供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５を熱溶着フィルム５０で接合すると共に、流路ユニット３０とアクチュエータユニット２０とを熱溶着フィルム５１で接合している。
【００３２】
これらのアクチュエータユニット２０及び流路ユニット３０からなるインクジェット式記録ヘッド１０には、インク流路（液体流路）として、本実施形態では、インク導入口３８、リザーバ３２、インク供給口３７、供給連通孔２５、圧力発生室２１、ノズル連通孔２６、３６、３９及びノズル開口３４が設けられている。
【００３３】
すなわち、本実施形態では、インク流路（液体流路）が形成された流路基板として、アクチュエータユニット２０を構成する流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４と、流路ユニット３０を構成するインク供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５とからなる構成基板が用いられていることになる。
【００３４】
そして、これらインク流路（液体流路）の内面、すなわち、インク導入口３８、リザーバ３２、インク供給口３７、供給連通孔２５、圧力発生室２１、ノズル連通孔２６、３６、３９及びノズル開口３４の内面と熱溶着フィルム５０、５１のインク流路側の内面には、親水性膜７０が設けられている。親水性膜の材料としては、例えば、エチレンビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリシラザン、親水性シランカップリング剤等が挙げられる。
【００３５】
ここで、このようなインクジェット式記録ヘッドの製造方法、特に、インクジェット式記録ヘッドのインク流路（液体流路）内に親水性膜を形成する製造方法について詳細に説明する。なお、図３及び図４は、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す要部断面図である。
【００３６】
まず、図３（ａ）に示すように、インクジェット式記録ヘッド１０のインク流路（液体流路）内を減圧する。本実施形態では、図示しないインク導入口３８を塞いだ状態で、複数のノズル開口３４側からインク流路内の気体を吸引することで、インク流路内を減圧する。具体的には、複数のノズル開口３４を覆うキャップ部材１００によって複数のノズル開口３４を覆い、キャップ部材１００に接続された図示しない吸引ポンプ等の吸引手段によって吸引することで、インク流路内を減圧する。
【００３７】
次に、図３（ｂ）に示すように、インク導入口３８側からインク流路内に親水性膜７０を形成する処理剤１７０を通液し、インク流路内に処理剤１７０を充填する。このとき、インク流路内は減圧してあるため、複数の圧力発生室２１及びノズル開口３４等に亘って処理剤１７０を均一に充填することができる。すなわち、例えば、インク流路内を減圧しない常圧の状態で、インク流路内に処理剤１７０を充填しようとすると、細いインク流路である複数の圧力発生室２１及びノズル開口３４等に亘って処理剤１７０を均一に充填することができず、処理剤１７０が充填されていない圧力発生室２１等が生じてしまう虞がある。
【００３８】
また、本実施形態では、加熱した処理剤１７０をインク流路内に充填するようにした。これにより、処理剤１７０の粘度を低下させて、細いインク流路内に亘って処理剤１７０を確実に充填させることができる。
【００３９】
なお、処理剤１７０としては、親水性膜７０を形成するものであれば、特に限定されず、例えば、エチレンビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、ポリシラザン、親水性シランカップリング剤の主成分、ポリアクリル酸共重合体（ＰＭＡ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）等の親水性高分子、酸化チタン（ＴｉＯ2）を主成分とする光触媒、界面活性剤等の溶剤を含むものが挙げられる。
【００４０】
次に、処理剤１７０がインク流路内で固化しない程度の時間放置した後、図４（ａ）に示すように、インク流路内の処理剤１７０を排出する。本実施形態では、キャップ部材１００によって複数のノズル開口３４側から処理剤１７０を吸引することによって、インク流路内の処理剤１７０を外部に排出する。
【００４１】
次に、図４（ｂ）に示すように、ノズル開口３４に送風することで、ノズル開口３４近傍の余分な処理剤１７０を除去する。本実施形態では、図示しないインク導入口３８側から気体を送風することで、ノズル開口３４に送風するようにした。このように、インク導入口３８側から送風することで、ノズル開口３４近傍に付着した余分な処理剤１７０を除去することができると共に、インク流路の内面に付着した余分な処理剤１７０も同時に除去することができる。なお、ノズル開口３４への送風は、ノズル開口３４側からインク導入口３８側に向かって送風することで行ってもよい。
【００４２】
その後は、ノズル開口３４が開口する液体噴射面に設けられた余分な親水性膜７０を除去する。ここで、本実施形態では、例えば、液体噴射面をエタノール等の有機溶剤により払拭することで余分な親水性膜７０の除去を行うことができる。具体的には、エタノール等の有機溶剤を染み込ませた吸収剤で液体噴射面を払拭することで、液体噴射面に設けられた余分な親水性膜７０のみを選択的に除去することができる。もちろん、液体噴射面に設けられた余分な親水性膜７０の除去方法は、特にこれに限定されず、例えば、レーザ照射やワイピングブレードによる払拭によって削り取るようにしてもよい。いずれにしても、液体噴射面に設けられた余分な親水性膜７０を除去することで、撥水膜６０を露出させて、液体噴射面の撥水性を復元することができる。
【００４３】
また、液体噴射面に設けられた余分な親水性膜７０を除去した後は、所定の温度で一定時間（例えば、６０℃で１２時間）乾燥することによって、インクジェット式記録ヘッド１０のインク流路の内面に親水性膜７０を形成する。実際には、図３（ｂ）に示すように、処理剤１７０をインク流路内に充填して、一定時間放置した状態で、親水性膜７０は形成され始めるが、一定時間乾燥することによって、所望の厚さの親水性膜７０を確実に形成することができる。
【００４４】
このように親水性膜７０を形成すると、親水性膜７０は、流路形成基板２２、振動板２３、圧力発生室底板２４、インク供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３及びノズルプレート３５の内面だけではなく、熱溶着フィルム５０、５１のインク流路側の内面に亘って連続して形成される。
【００４５】
以上説明したように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０の製造方法によれば、親水性膜７０を形成する際に高温での加熱が不要であるため、例えば、圧電素子３００や駆動回路等が高温の熱により破壊されるのを防止することができる。したがって、上述のようにインクジェット式記録ヘッド１０を組み立てた状態で、親水性膜７０を形成することができる。これにより、インクジェット式記録ヘッド１０の組み立て工程に親水性膜７０の形成工程を組み込む必要が無く、製造工程を容易にすることができる。
【００４６】
また、このような工程によって親水性膜７０を形成することによって、不導体の表面にも親水性膜７０を形成することができる。したがって、特に親水性膜７０が必要な熱溶着フィルム５０、５１のインク流路側の内面に親水性膜７０を形成することができるため、熱溶着フィルム５０、５１のインク流路側の内面に気泡が滞留し、気泡が成長して、インクと共に吐出されることが可及的に抑制される。これにより、インク重量及びインク速度等のインク吐出特性を安定させることができる。また、インク流路内に気泡が滞留する領域が実質的に存在しないため、インク導入口３８側からのインクの供給を短時間で行うことができると共に、インク流路内のインクをノズル開口３４から吸引するなどのクリーニング動作が最小限で済むため、インクの無駄な消費を減少させることができる。
【００４７】
また、本実施形態では、最終的にノズル開口３４近傍の処理剤１７０を送風により除去するため、ノズル開口３４に余分な親水性膜７０が形成されることがない。したがって、余分な親水性膜７０によるインク吐出不良が発生するのを確実に防止することができる。
【００４８】
（試験例１）
ここで、下記表１に示すように、濃度が異なる処理剤Ａ〜Ｆを用いて、上述した製造方法によりインクジェット式記録ヘッド１０のインク流路の内面に親水性膜を形成した。具体的には、エチレンビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）の濃度が異なる処理剤Ａ〜Ｆを用意し、まず、各インクジェット式記録ヘッド１０のインク流路内を−８０ｋＰａ以下に減圧した状態で、各インクジェット式記録ヘッド１０のインク流路に処理剤Ａ〜Ｆを通液して充填する。次に、５分程度放置した後、インク流路内の処理剤Ａ〜Ｆを排出し、インク導入口３８側から気体を３０秒送風する。そして、液体噴射面をエタノールを染み込ませた吸収剤で払拭する。その後、６０℃で１２時間乾燥する。
【００４９】
このように処理剤Ａ〜Ｆを用いて親水性膜を形成した各インクジェット式記録ヘッド１０について処理剤（親水性膜）によるノズル開口３４の目詰まりした数を測定した。この結果を下記表１に示す。
【００５０】
【表１】
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【００５１】
表１に示すように、粘度が約６ｃＰ以下の処理剤Ｅ、Ｆで親水性膜を形成したインクジェット式記録ヘッドでは、ノズル開口の目詰まりが発生していないことが分かる。これに対して、粘度が約６ｃＰより大きい処理剤Ａ〜Ｄで親水性膜を形成したインクジェット式記録ヘッドでは、ノズル開口の目詰まりが発生してしまうことが分かった。したがって、ＥＶＯＨを主成分とする処理剤は、常温（ここでは２４℃）では粘度が６ｃＰ以下であるのが好ましく、このように処理剤の粘度を６ｃＰ以下とすることで、ノズル開口の目詰まりが発生することなく親水性膜を形成することができる。
【００５２】
（試験例２）
ここで、下記表２に示すように、試験例１と同様の濃度の処理剤Ａ〜Ｆを用いて、この処理剤Ａ〜Ｆを約６０℃に加熱した状態で、上述した実施例１と同様の工程により、インクジェット式記録ヘッドのインク流路の内面に親水性膜を形成した。
【００５３】
このように加熱した処理剤Ａ〜Ｆを用いて親水性膜を形成した各インクジェット式記録ヘッド１０について処理剤（親水性膜）によるノズル開口３４の目詰まりした数を測定した。この結果を下記表２に示す。
【００５４】
【表２】
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【００５５】
上述した試験例１で、常温（２４℃）で親水性膜を形成した際にノズル開口の目詰まりが発生した処理剤Ｃ、Ｄであっても、表２に示すように処理剤Ｃ、Ｄを約６０℃に加熱することによって、ノズル開口の目詰まりが発生しないことが分かった。これに対して、常温（２４℃）で粘度が１３ｃＰよりも大きい処理剤Ａ、Ｂは（表１参照）、表２に示すように約６０℃に加熱したとしても、ノズル開口の目詰まりが発生してしまうことが分かった。したがって、常温（ここでは２４℃）で粘度が１３ｃＰ以下の処理剤は、６０℃に加温して用いることで、ノズル開口の目詰まりが発生することなく親水性膜を形成することができる。
【００５６】
なお、試験例１及び２から、何れの処理剤Ａ〜Ｆを用いた場合であっても、上述した実施形態の製造方法によって親水性膜を形成することができるものであり、ノズル開口の開口面積や形状、インク流路の形状等のインクジェット式記録ヘッドの構造や、処理剤の主成分、溶剤などの種類によって、ノズル開口の目詰まりが発生しない処理剤の粘度は、特にこれに限定されるものではない。
【００５７】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、インク導入口３８側から気体を送風することで、ノズル開口３４に送風し、余分な処理剤１７０を除去するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、キャップ部材１００によってノズル開口３４側から気体を吸引することで、インク導入口３８側からノズル開口３４に向かって気体が送風されるようにしてもよい。また、キャップ部材１００としては、インクジェット式記録装置等に搭載されて、ノズル開口３４のクリーニング動作や、インクジェット式記録ヘッド１０のインク流路内にインクを充填する際に用いられるキャップ部材を用いるようにしてもよい。
【００５８】
また、例えば、上述した実施形態１では、厚膜型の圧電素子を有するインクジェット式記録ヘッド１０を例示したが、圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電素子、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子、振動板と電極を所定の隙間を開けて配置し、静電気力で振動板の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエータ、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものなどが挙げられる。
【００５９】
また、上述した実施形態１では、インクジェット式記録ヘッド１０の液体流路として、アクチュエータユニット２０及び流路ユニット３０に形成された流路を例示したが、その他の構成の液体流路であっても、本発明を適用することができる。すなわち、本発明は、複数の構成基板が接合されて構成された流路基板の液体流路に親水性膜を形成する製造方法に適用することができるため、液体流路の構成は特に限定されるものではない。
【００６０】
なお、上述した実施形態１においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの検査方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す要部断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１０  インクジェット式記録ヘッド、  ２０  アクチュエータユニット、  ２１  圧力発生室、  ２２  流路形成基板、  ２３  振動板、  ２４  圧力発生室底板、  ３０  流路ユニット、  ３１  インク供給口形成基板、  ３２  リザーバ、  ３３  リザーバ形成基板、  ３４  ノズル開口、  ３５  ノズルプレート、  ４０  圧電素子、  ５０、５１  熱溶着フィルム、  ６０  撥水膜、  ６１  クレータ部、  ７０  親水性膜、  １００  キャップ部材、  １７０  処理剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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