(57)【要約】【課題】主ろ材を通気性を備えた合成樹脂製のシート体よりなる袋体内にガス除去剤を封入させてなるものとしながら、この主ろ材から生じる可能性のある塵埃の問題を簡素な構造をもって確実に解消できるようにする。【解決手段】主ろ材１と、メンブレンフィルタよりなる副ろ材２と、容器Ｃの通気部Ｃａに蓋状に嵌め付けられる両端を開放させた筒状主体３０とその筒一端３０ａを巡る外鍔部３１とを備えてなる合成樹脂製のベース３と、キャップ口４０側にベース３の外鍔部３１への組み合わせ部４０ａを備えると共にキャップ底４１にエアの通し部４１ａを備えてなる合成樹脂製のキャップ４とを備えている。副ろ材２はベース３の筒一端３０ａを覆った状態でベース３の外鍔部３１に溶着されていると共に副ろ材２とキャップ４のキャップ底４１との間に主ろ材１を納めて、ベース３とキャップ４とを一体化させてなる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器に形成された通気部に容器の外側から取り外し可能にはめ付けられてこの容器内のエアを清浄に保つエアフィルタユニットであって、
通気性を備えた合成樹脂製のシート体よりなる袋体内にガス吸着剤を封入してなる主ろ材と、
メンブレンフィルタよりなる副ろ材と、
前記容器の通気部に蓋状に嵌め付けられ、又は、栓状に嵌め付けられる両端を開放させた筒状主体と、この筒状主体の筒一端を巡る外鍔部とを備えてなる合成樹脂製のベースと、
キャップ口側にベースの外鍔部への組み合わせ部を備えると共に、キャップ底にエアの通し部を備えてなる合成樹脂製のキャップとを備えており、
副ろ材はベースの筒一端を覆った状態でベースの外鍔部に溶着されていると共に、
この副ろ材とキャップのキャップ底との間に主ろ材を納めて、ベースの外鍔部とキャップの組み合わせ部とを突き合わせ、両者を一体化させてなることを特徴とするエアフィルタユニット。
【請求項２】
キャップのキャップ底の外側に摘み部を備えていることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタユニット。
【請求項３】
ベースの外鍔部とキャップの組み合わせ部とを、両者が直接接する箇所において溶着して、両者を一体化させてなることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のエアフィルタユニット。
【請求項４】
ベースの筒状主体は、管状をなす容器の通気部を筒他端側から受け入れこれに蓋状に嵌め付けられると共に、この通気部の外形に倣って筒一端側に向かうに連れて内径を漸減させるように構成されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のエアフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、通気部を備えた容器のこの通気部に取り外し可能にはめ付けられてこの容器内のエアを清浄に保つために用いられるエアフィルタユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造に使用するマスクを収納するレチクルケースやシリコンウエハーの運搬ケースなど、収納対象物を収納した状態において容器内部のエアを高度に清浄に保つことが要請される容器がある。この種の容器では塵埃（パーチクル）はもとより前記マスクなどに悪影響を及ぼすｐｐｂレベルの微量なガスも容器内部に存在しないことが求められるが、この種の容器にはいわゆる呼吸弁と称される通気部が備えられている。そこで、かかる通気部に組み付けられてこの通気部を通るエアから塵埃とガスの両者を捕捉除去するエアフィルタユニットが提案されている。（特許文献１参照）
【０００３】
この特許文献１のものは、通気性を備えた合成樹脂製のシート体よりなる袋体内にガス除去剤を封入させてなるろ材を持つ。ここで、前記シート体をこうした袋体とする過程でなされる溶着などにより、かかるろ材を構成する袋体自体から塵埃を生じさせてしまう可能性も零ではない。しかし、できあがった袋体内にはガス除去剤が封入されているから、こうした塵埃が生じていてもこれを洗浄によって除去することはできない。
【特許文献１】特開２００７−８３１６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この発明が解決しようとする主たる問題点は、この種の容器の通気部に備えられるエアフィルタユニットにおいて、主ろ材を通気性を備えた合成樹脂製のシート体よりなる袋体内にガス除去剤を封入させてなるものとしながら、この主ろ材から生じる可能性のある塵埃の問題を簡素な構造をもって確実に解消できるようにする点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を達成するために、この発明にあっては、エアフィルタユニットを、以下の（１）〜（７）の構成を備えたものとした。
（１）容器に形成された通気部に容器の外側から取り外し可能にはめ付けられてこの容器内のエアを清浄に保つエアフィルタユニットであって、
（２）通気性を備えた合成樹脂製のシート体よりなる袋体内にガス吸着剤を封入してなる主ろ材と、
（３）メンブレンフィルタよりなる副ろ材と、
（４）前記容器の通気部に蓋状に嵌め付けられ、又は、栓状に嵌め付けられる両端を開放させた筒状主体と、この筒状主体の筒一端を巡る外鍔部とを備えてなる合成樹脂製のベースと、
（５）キャップ口側にベースの外鍔部への組み合わせ部を備えると共に、キャップ底にエアの通し部を備えてなる合成樹脂製のキャップとを備えており、
（６）副ろ材はベースの筒一端を覆った状態でベースの外鍔部に溶着されていると共に、
（７）この副ろ材とキャップのキャップ底との間に主ろ材を納めて、ベースの外鍔部とキャップの組み合わせ部とを突き合わせ、両者を一体化させてなる。
【０００６】
エアフィルタユニットは、容器の通気部に、容器の外側から、ベースの筒状主体をその筒他端側から嵌め付けることで取り付けられる。通気部にエアが入り込むときは、エアは先ずキャップの通し部からキャップ内に入り込み主ろ材を通過する。主ろ材を構成する袋体内にはガス吸着剤が封入されていることから、キャップに入り込んだエア中にある除去すべきガスはここで捕捉される。主ろ材を通過したエアはベースの筒状主体を通じて通気部に入り込むが筒状主体の筒一端側の筒口はメンブレンフィルタよりなる副ろ材によって覆われていることから、塵埃はこの副ろ材に捕捉され通気部から容器内に入り込むことはない。かかる副ろ材は、キャップと主ろ材とベースとを組み合わせるに先立ち、ベースに溶着して備えさせられていることから、この組み合わせに先立ちベースと一緒に塵埃の洗浄除去が可能とされる。主ろ材は通気性を備えた袋体内にガス吸着剤を封入してなるため洗浄できないが、通気部に最終的に接続されるベースの筒状主体の筒一端は副ろ材で覆われているため、主ろ材がこうした塵埃を生じたとしてもそれを容器の内部に入り込ませてしまうことがない。
【０００７】
前記キャップのキャップ底の外側に摘み部を備えさせておくこともある。このようにした場合、かかる摘み部を利用して容器の通気部にエアフィルタユニットを嵌め付けやすく、また、その交換のための取り外しも容易となる。
【０００８】
前記ベースの外鍔部とキャップの組み合わせ部とを、両者が直接接する箇所において溶着して、両者を一体化させるようにしておくこともある。このようにした場合、この溶着に副ろ材が影響を受けることがなく、この溶着によって前記のようにベースと一緒に洗浄された副ろ材がその後に塵埃を生じさせる要因となってしまうことがない。
【０００９】
前記ベースの筒状主体を、管状をなす容器の通気部を筒他端側から受け入れこれに蓋状に嵌め付けられるように構成させておくと共に、この通気部の外形に倣って筒一端側に向かうに連れて内径を漸減させるように構成させておくこともある。このようにした場合、エアフィルタユニットの取り付けにあたり、このように構成される通気部を筒状主体の内側に入れ込みやすく、また、この取り付け状態において通気部の外面と筒状主体の内面との間を気密状態にシールさせることができる。
【発明の効果】
【００１０】
この発明にかかるエアフィルタユニットは、主ろ材を通気性を備えた合成樹脂製のシート体よりなる袋体内にガス除去剤を封入させてなるものとしながら、この主ろ材から生じる可能性のある塵埃を洗浄可能なベースに予め備え付けられた副ろ材によって確実に除去することができることから、収納対象物を収納した状態において容器内部のエアを高度に清浄に保つことが要請される容器の通気部に取り付けられるエアフィルタユニットとして最適なものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図１ないし図１３に基づいて、この発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００１２】
なお、ここで図１はエアフィルタユニットＦの取り付けられる容器Ｃの通気部Ｃａの形成部分を断面にして、図２はこの通気部ＣａにエアフィルタユニットＦを取り付けた状態を、それぞれ示している。また、図３〜図５はエアフィルタユニットＦを構成する主ろ材１を、図６〜図１０はエアフィルタユニットＦを、それぞれ示している。また、図１１はエアフィルタユニットＦを構成するキャップ４を、図１２は副ろ材２を備え付けさせる前の状態におけるベース３を示しており、図１３はかかるベース３に副ろ材２を備え付けさせた状態を断面にして示している。
【００１３】
この実施の形態にかかるエアフィルタユニットＦは、通気部Ｃａを備えた容器Ｃのこの通気部Ｃａに取り外し可能にはめ付けられてこの容器Ｃ内のエアを清浄に保つために用いられるものである。
【００１４】
かかる容器Ｃとしては、通気部Ｃａ以外の箇所では、気密状態にシールされるものが予定される。典型的には、本体とこの本体の開口を塞ぐ蓋体とからなる容器Ｃにあっては、本体と蓋体との組み合わせ箇所である本体の開口においては両者は気密状態にシールされる。
【００１５】
通気部Ｃａは、典型的には、このように組み合わされる本体及び蓋体の双方又はいずれか一方に一カ所又は二カ所以上設けられる。かかる通気部Ｃａは、例えば、容器Ｃの運搬時などにおいて、容器外Ｃｃが低圧になったときは容器外Ｃｃに容器内Ｃｂのエアを容器Ｃ内外の圧力が等しくなるまで吐き出し、容器外Ｃｃが高圧になったときは容器内Ｃｂに容器外Ｃｃのエアを容器Ｃ内外の圧力が等しくなるまで吸い込むように機能するものであり、一般に呼吸弁と称されている。
【００１６】
図１は、かかる通気部Ｃａを、管状に構成させた例を示している。図１では、容器Ｃの外側にはエアフィルタユニットＦの収納凹部Ｃｄが形成されている。この収納凹部Ｃｄは、エアフィルタユニットＦの後述するベース３の円板状をなす外鍔部３１よりもやや大きい内径を備えた丸穴状をなすと共に、凹部底Ｃｅに、この凹部底Ｃｅのほぼ中央に管一端を一体に連接させて凹部口側に向けて突き出す管体Ｃｆを備えている。この管体Ｃｆの管他端は開放されていると共に、管一端は容器Ｃの内外を貫通する貫通孔Ｃｇに連通されている。また、この管体Ｃｆは、その管他端側に向かうに連れて外径を漸減させるように、つまり、先細りの形状を持つように構成されている。
【００１７】
かかるエアフィルタユニットＦは、こうした容器Ｃの通気部Ｃａに取り付けられて、かかる容器内Ｃｂを高度に清浄に保つようにするものである。
【００１８】
かかる容器Ｃとしては、典型的には、半導体製造に使用するマスクを収納するレチクルケース、シリコンウエハーの運搬ケース、電子部品の運搬ケース、電子機器の運搬ケースなど、内外の通気を確保しつつ、内部のエアを高度に清浄に保つ必要のあるものが予定される。
【００１９】
運搬ケースの場合、典型的には、一回の運搬終了後はケース内部は洗浄などして清浄化され、エアフィルタユニットＦも取り替えられて、再度の運搬に用いられる。
【００２０】
かかるエアフィルタユニットＦは、
（１）主ろ材１と、
（２）副ろ材２と、
（３）ベース３と、
（４）キャップ４とから構成されている。
【００２１】
主ろ材１は、通気性を備えた合成樹脂製のシート体１０ａよりなる扁平袋体１０内にガス吸着剤１１を封入してなる。図示の例では、主ろ材１を構成する扁平袋体１０は、二枚の円形のシート体１０ａ、１０ａをその全周の縁部において他方のシート体１０ａに対し溶着を施して構成されている。ガス吸着剤１１は典型的にはこの扁平袋体１０を生成する過程において二枚のシート体１０ａ、１０ａの間に充填され、あるいは納められる。
【００２２】
図３〜図５は、かかるガス吸着剤１１をシート状に成形させた例を示している。かかるシート状のガス吸着剤１１は、繊維状活性炭そのものを不織布状にしたもの、不織布シートに活性炭粉を添着させたもの、イオン交換樹脂膜などを用いることができる。図４に示される例では、一枚のかかるシート状のガス吸着剤１１を扁平袋体内に納めて主ろ材１を構成させている。図５に示される例では、三枚のシート状のガス吸着剤１１を重ね合わせた状態で扁平袋体内に納めて主ろ材１を構成させている。この図５に示される例において、重ね合わされた三枚の中間を無担持の活性炭を主体としたシート状のガス吸着剤１１とし、この中間のものを挟んだ一方を酸性化合物（例えば、リン酸化合物、硫酸化合物など）を担持させた活性炭を主体としたシート状のガス吸着剤１１とし、この中間のものを挟んだ他方をアルカリ化合物（例えば、炭酸カリウム、炭酸ソーダ、苛性カリウムなど）を担持させた活性炭を主体としたシート状のガス吸着剤１１とすれば、主ろ材１の厚さ方向ｘを通過するエアから有機性ガスの他に酸性ガスとアルカリ性ガスを捕捉除去することができると共に、酸性化合物を担持させた活性炭を主体としたシート状のガス吸着剤１１とアルカリ化合物を担持させた活性炭を主体としたシート状のガス吸着剤１１とが接触して相互に影響し合うことを中間の無担持の活性炭を主体としたシート状のガス吸着剤１１によって防ぐことができる。かかる酸性化合物を担持させた活性炭を主体としたシート状のガス吸着剤１１はこれに代えて陽イオン交換樹脂膜としても良く、また、アルカリ化合物を担持させた活性炭を主体としたシート状のガス吸着剤１１はこれに代えて陰イオン交換樹脂膜としても良い。
【００２３】
前記主ろ材１の扁平袋体１０を構成するシート体１０ａを、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などの合成樹脂よりなるメンブレンフィルタ（微細な孔を持った膜状フィルタ）として構成させておけば、ガス吸着剤１１から生じる塵埃の外部への拡散などを防止することができる。特に、ＰＴＦＥは自身よりガスや粉塵を生じさせることがなく、エアフィルタユニットＦへの利用に適している。
【００２４】
副ろ材２は、メンブレンフィルタより構成される。かかる副ろ材２も主ろ材１の扁平袋体１０を構成するシート体１０ａと同様に、ＰＴＦＥを主体としたものを用いるのが最適である。図示の例では、この副ろ材２は、円形に成形された状態で、後述するベース３に溶着され、このベース３と一体化される。
【００２５】
ベース３は、合成樹脂製であって、前記容器Ｃの通気部Ｃａに蓋状に嵌め付けられ、又は、栓状に嵌め付けられる両端３０ａ、３０ｃを開放させた筒状主体３０と、この筒状主体３０の筒一端３０ａを巡る外鍔部３１とを備えてなる。図示の例では、筒状主体３０は円筒状に構成され、また、外鍔部３１は円盤状に構成されている。筒状主体３０の筒一端３０ａ側の筒口３０ｂは、架橋片３２によって分割されている。図示の例では、外鍔部３１における筒状主体３０の筒他端側に向けられた側と反対の側に、外側から順に、周回外縁面３１ａと、周回立ち上がり部３１ｂと、周回止着面３１ｃとが形成されている。また、この周回止着面３１ｃと筒口３０ｂとの間に、この筒口３０ｂの中心を中心とした放射方向に長く延びると共に、この筒口３０ｂを巡る向きにおいて隣り合うリブ３１ｄとの間に略等しい間隔を開けるようにして形成された複数のリブ３１ｄ、３１ｄ…が形成されている。そして、この複数のリブ３１ｄ、３１ｄ…のうちの四つのリブ３１ｄに連続した棒状体３１ｅが筒口３０ｂ内に入り込み、かかる筒口３０ｂの中心で互いに連接されて十字状をなすようになっている。図示の例では、かかる棒状体３１ｅが前記架橋片３２として機能するようになっている。
【００２６】
そして、前記副ろ材２は、このように構成されるベース３の筒一端３０ａを覆った状態で、このベース３の外鍔部３１に溶着されて、このベース３と一体化されるようになっている。
【００２７】
図示の例では、ベース３の外鍔部３１の周回立ち上がり部３１ｂの内径が副ろ材２の外径と略等しくなるようにしてあり、この周回立ち上がり部３１ｂの内側に副ろ材２を納めた状態で周回止着面３１ｃと副ろ材２の縁部とを溶着させ合わせて、副ろ材２とベース３とを一体化させている。
【００２８】
キャップ４は、合成樹脂製であって、キャップ口４０側にベース３の外鍔部３１への組み合わせ部４０ａを備えると共に、キャップ底４１にエアの通し部４１ａを備えてなる。
【００２９】
図示の例では、かかるキャップ４は、短寸の円筒状体の筒一端３０ａを閉塞してキャップ底４１とすると共に、その筒軸方向略中程の位置とキャップ底４１との間よりもこの中程の位置からキャップ口４０との間が大径となるように構成されており、キャップ４の内側に内側周回段差面４２を、キャップ４の外側に外側周回段差面４３を備えている。図示の例では、かかるキャップ４のキャップ口４０の内径が前記ベース３の外鍔部３１の周回立ち上がり部３１ｂの外径と略等しくなっており、ベース３の外鍔部３１のこの周回立ち上がり部３１ｂをキャップ口４０内に納めた状態でキャップ口４０の口縁部がベース３の外鍔部３１の周回外縁面３１ａに突き当てられるようになっている。すなわち、図示の例では、かかるキャップ口４０の口縁部が前記組み合わせ部４０ａとして機能するようになっている。
【００３０】
図示の例ではまた、かかるキャップ４は、そのキャップ底４１の外面略中央部に軸一端を一体に連接させてこのキャップ４の筒軸に沿って突き出す軸状の摘み部４４を備えている。この摘み部４４の軸他端には円板状の頭部４４ａが形成され、また、この摘み部４４の外側にはその軸方向に沿って延び、頭部４４ａに近づくに連れて摘み部４４の外面からの突き出し寸法を漸増させ、さらにリブ一端を頭部４４ａに連接させるようにしたリブ４４ｂが、その軸線を中心とした周回方向において隣り合うリブ４４ｂとの間に略等しい間隔を開けるようにして四箇所に形成されている。
【００３１】
また、図示の例では、キャップ４のキャップ底４１に、かかる摘み部４４を巡る向きにおいて、隣り合う通し部４１ａとの間に略等しい間隔を開けるようにして、複数の貫通孔状をなす通し部４１ａが形成されている。図示の例では、各通し部４１ａは、摘み部４４の側から離れるにしたがって孔幅を漸増させるように構成されると共に、摘み部４４を中心とした放射方向に長寸側を沿わせるようにした長孔状の孔口を持つように構成されている。
【００３２】
そして、この実施の形態にかかるエアフィルタユニットＦは、前記のようにベース３と一体化された副ろ材２とキャップ４のキャップ底４１との間に主ろ材１を納めて、ベース３の外鍔部３１とキャップ４の組み合わせ部４０ａとを突き合わせ、両者を一体化させることにより構成されている。両者の一体化は、ベース３の外鍔部３１とキャップ４の組み合わせ部４０ａとを溶着などして固着したり、ベース３とキャップ４とに前記突き合わせ状態において互いに掛合し合う掛合部と被掛合部とを形成させておくなどすることで、確保させることができる。図示の例では、ベース３の外鍔部３１とキャップ４の組み合わせ部４０ａとを、両者が直接接する箇所において溶着して、両者を一体化させている。これにより、図示の例では、この溶着に副ろ材２が影響を受けることがなく、この溶着によって後述するようにベース３と一緒に洗浄された副ろ材２がその後に塵埃を生じさせる要因となることがないようになっている。
【００３３】
エアフィルタユニットＦは、容器Ｃの通気部Ｃａに、容器Ｃの外側から、ベース３の筒状主体３０をその筒他端側から嵌め付けることで取り付けられる。通気部Ｃａにエアが入り込むときは、エアは先ずキャップ４の通し部４１ａからキャップ４内に入り込み主ろ材１を通過する。主ろ材１を構成する袋体内にはガス吸着剤１１が封入されていることから、キャップ４に入り込んだエア中にあるガスはここで捕捉される。主ろ材１を通過したエアはベース３の筒状主体３０を通じて通気部Ｃａに入り込むが筒状主体３０の筒一端３０ａ側の筒口３０ｂはメンブレンフィルタよりなる副ろ材２によって覆われていることから、塵埃はこの副ろ材２に捕捉され通気部Ｃａから容器Ｃ内に入り込むことはない。かかる副ろ材２は、キャップ４と主ろ材１とベース３とを組み合わせるに先立ち、ベース３に溶着して備えさせられていることから、この組み合わせに先立ち塵埃の洗浄除去が可能とされる。主ろ材１は通気性を備えた袋体内にガス吸着剤１１を封入してなるため洗浄できないが、通気部Ｃａに最終的に接続されるベース３の筒状主体３０の筒一端３０ａは副ろ材２で覆われているため、主ろ材１がこうした塵埃を生じたとしてもそれを容器Ｃの内部に入り込ませてしまうことがない。
【００３４】
図示の例では、キャップ４の内側周回段差面４２には、主ろ材１の袋体を構成する二枚のシート体の溶着された縁部に突き当てられる突起４２ａが、周回方向において隣り合う突起との間に間隔を開けて四箇所に設けられている。また、この内側周回段差面４２の内側にはキャップ底４１に近づくに連れてキャップ４の内径を狭める向きの傾斜を持った周回肩部４５が形成されている。キャップ４の通し部４１ａからキャップ４内に入り込んで主ろ材１を通過したエアは副ろ材２を介してストレートにベース３の筒状主体３０内に入り込む他、前記外鍔部３１のリブ３１ｄに案内されてこの筒状主体３０に入り込む。
【００３５】
図示の例では、かかるキャップ４のキャップ底４１の外側に摘み部４４が備えられていることから、この摘み部４４を利用して容器Ｃの通気部ＣａにエアフィルタユニットＦを嵌め付けやすく、また、その交換のための取り外しも容易とされる。
【００３６】
また、図示の例では、ベース３の筒状主体３０は、管状をなす容器Ｃの通気部Ｃａを筒他端側から受け入れこれに蓋状に嵌め付けられると共に、この通気部Ｃａの外形に倣って筒一端３０ａ側に向かうに連れて内径を漸減させるように構成されている。これにより、この例にあっては、エアフィルタユニットＦの取り付けにあたり、このように構成される通気部Ｃａを筒状主体３０の内側に入れ込みやすく、また、この取り付け状態において通気部Ｃａの外面と筒状主体３０の内面との間を気密状態にシールさせることができる。
【００３７】
また、図示の例にあっては、前記架橋部によって、ベース３の筒状主体３０の他端部からの管状をなす通気部Ｃａの入れ込み量に限度を設けさせていると共に、副ろ材２の中央部を支え、さらに保護している。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】容器Ｃの要部断面構成図
【図２】容器ＣにエアフィルタユニットＦを取り付けた状態を示す要部断面構成図
【図３】主ろ材１の平面構成図
【図４】同断面構成図
【図５】図４と異なる主ろ材１の構成例の断面構成図
【図６】エアフィルタユニットＦの斜視図
【図７】同平面構成図
【図８】同底面構成図
【図９】同側面構成図
【図１０】同断面構成図
【図１１】キャップ４の斜視図
【図１２】ベース３の斜視図
【図１３】副ろ材２を備え付けたベース３の要部断面図
【符号の説明】
【００３９】
Ｃ 容器
Ｃａ 通気部
Ｆ エアフィルタユニット
１ 主ろ材
１１  ガス吸着剤
２  副ろ材
３  ベース
３０  筒状主体
３１  外鍔部
４  キャップ
４０  キャップ口
４０ａ  組み合わせ部
４１  キャップ底
４１ａ  通し部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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