(57)【要約】【課題】パネル内部を均一に清浄化できるＰＤＰ製造方法を提供する。【解決手段】ベーキング工程では、２つの通気穴（２３，２４）の一方（２４）から第１の排気パス（３３Ａ）と第１の排気パス（３３Ａ）に連通した一方の隙間（３２Ａ）を介して隔壁領域（２１Ａ）に清浄ガスを導入し、第１と第２の基板（１０，２０）の両方又は一方から脱離したガスとともに、隔壁領域（２１Ａ）から前記第２の排気パス（３３Ｂ）に連通した他方の隙間（３２Ｂ）と第２の排気パス（３３Ｂ）を介して２つの通気穴（２３，２４）の他方（２４）から清浄ガスを排気する。これにより、パネル面内に洗浄ガスを均一に導入することができ、パネル特性における面内均一性の高い高品質なＰＤＰの製造を実現できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のガラス基板上に第１の電極と誘電体層と保護膜とを備えた第１の基板（１０）と第２のガラス基板上に第２の電極と隔壁と蛍光体層とを備えた第２の基板（２０）を放電空間を介して互いに対向させて位置合わせするアライメント工程、第１の基板と第２の基板の間の放電空間を封止する封着工程、加熱状態で放電空間内から排気を行うベーキング工程、放電空間内への放電ガスの導入工程、放電空間内に放電を発生させるエージング工程を経てプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
前記第２の基板（２０）上の四角形隔壁領域（２１Ａ）の外側に、前記隔壁領域（２１Ａ）を囲むように連続的に配置された第１の封着部（２２）と、前記第１の封着部（２２）の内側にあって前記隔壁領域（２１Ａ）を囲むように連続的に配置された封着部（３１）であって、前記四角形隔壁領域の四辺のうち少なくとも対向する一対の２つの辺に隣接する部分（３１Ａ，３１Ｂ）に前記隔壁領域（２１Ａ）の内外を連通する少なくとも一つの隙間（３２Ａ，３２Ｂ）を有する第２の封着部（３１）を配置し、
前記第２の基板（２０）上に、前記第１の封着部（２２）と第２の封着部（３１）の間に形成された排気パス（３３）を、前記２つの辺に隣接する部分（３１Ａ，３１Ｂ）の一方に形成された隙間（３２Ａ）を介して隔壁領域（２１Ａ）に連通する第１の排気パス（３３Ａ）と前記２つの辺に隣接する部分（３１Ｂ）の他方に形成された隙間（３２Ｂ）を介して隔壁領域（２１Ａ）に連通する第２の排気パス（３３Ｂ）に分ける第３の封着部（３４Ｃ，３４Ｄ）を配置し、
前記第１の基板（１０）又は第２の基板（２０）のいずれか一方に、前記第１の排気パスと第２の排気パスにそれぞれ連通する２つの通気穴（２３，２４）を形成し、
前記封着工程では、前記第１〜第３の封着部（２２，３１，３４）を加熱溶融して前記第１の基板（１０）と第２の基板（２０）に溶着させ、
前記ベーキング工程では、前記２つの通気穴（２３，２４）の一方（２４）から前記第１の排気パス（３３Ａ）と前記第１の排気パス（３３Ａ）に連通した一方の隙間（３２Ａ）を介して前記隔壁領域（２１Ａ）に清浄ガスを導入し、前記第１と第２の基板（１０，２０）の両方又は一方から脱離したガスとともに、前記隔壁領域（２１Ａ）から前記第２の排気パス（３３Ｂ）に連通した他方の隙間（３２Ｂ）と前記第２の排気パス（３３Ｂ）を介して前記２つの通気穴（２３，２４）の他方（２４）から、前記清浄ガスを排気することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記２つの通気穴（２３，２４）が、前記隔壁領域（２１Ａ）の四辺の一辺に隣接して形成されていることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネル製造方法に関するものであり、特にパネル内部の空間の清浄化技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図面を参照して、従来の一般的なＡＣ面放電型のプラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」と略す。）の構成を説明する。図４は従来のＰＤＰのセル構造を示す斜視図である。この図に示すように、ＰＤＰは、対向配置された前面板１００と背面板１１０を有し、それらの間の放電空間１２０に放電ガスが封入されている。前面板１００は、ガラス基板１０１上に、複数の対になった平行な表示電極１０２、光吸収層１０３、誘電体層１０４、保護膜１０５を順に積層して構成されている。背面板１１０は、ガラス基板１１１上に、複数の平行なデータ電極１１２、誘電体層１１３、隔壁１１４、蛍光体層１１５が形成されている。
【０００３】
ＰＤＰが画像を表示する動作は以下のとおりである。まず、背面板１１０のデータ電極１１２と前面板１００の表示電極１０２との間で予備放電を発生させて放電させる放電セルを選択する。次に、対になった表示電極１０２の間に電圧をかける。これにより、放電セル内のＸｅとＮｅなどの混合ガスが電離してプラズマ放電が発生し、そのプラズマから発生した紫外線が蛍光体層１１５を発光させて画像を表示する。
【０００４】
ＰＤＰの従来の製造工程を説明する。まず、前面板１００の作製工程では、前面板１００上にフォトリソグラフィ法などにより表示電極１０２を形成し、スクリーン印刷法などにより誘電体層１０４を形成し、その後、保護膜１０５が成膜される。他方、背面板１１０の作製工程では、背面板１１０上にフォトリソグラフィ法などによりデータ電極１１２を形成し、スクリーン印刷法などにより誘電体層１１３を形成し、サンドブラスト法などにより隔壁１１４を形成し、その後、隣接する隔壁１１４の間に蛍光体ペーストを充填して焼成することにより蛍光体層１１５を成膜する。
【０００５】
次に、背面板１１０の前面板１００に対向する側の面の周縁部に、封着用の封着剤（ガラスフリット）を塗布し、約４００℃の温度で焼成して封着層を形成する。その後、前面板１００と背面板１１０を、それぞれに形成された表示電極１０２とデータ電極１１２とが直交する向きになるように、互いに対向されて重ね合わせる。そして、重ね合わせた前面板１００と背面板１１０を約４５０℃の温度で加熱する。これにより、背面板１１０に設けた封着層を前面板１００に溶着し、背面板１１０と前面板１００の間の放電空間１２０の周囲を封止する。続いて、約３５０℃の温度での加熱状態で放電空間１２０内を排気（ベーキング）し、冷却後に放電空間１２０内に放電ガスを所定の圧力（４００〜６００Ｔｏｒｒ）で導入する。放電ガスの導入が終了した後、排気および放電ガスの導入に使用した排気管を封止する。そして、前面板１００の表示電極１０２に駆動パルスを印加して所定時間放電を発生させることにより、前面板１００に形成された保護膜１０５の活性化および放電の安定化を実現するエージングを行い、ＰＤＰの初期パネル特性を安定化させる。
【０００６】
図５〜図７を用いてＰＤＰの清浄化技術について説明する。図５は従来のＰＤＰの製造方法を示した図である。図示するように、製造途中のＰＤＰ２０１の前面板２０３又は背面板２０４に設けた通気穴２０６に接続した通気管２０８はバルブ２１３を介して真空ポンプ２１５に接続されており、この真空ポンプ２１５でパネル内部の放電空間を排気して清浄化する。しかしながらこの清浄化方法では、パネル内部の放電空間を満たすガスが排気されて内部が真空状態に近づくと、パネル内の流れが分子流に近づいていくことから十分な清浄化を行うことができない。
【０００７】
この問題を解消するものとして、別の清浄化技術が特許文献１に提案されている。この清浄化方法では、図６に示すように、２つの通気穴２０５，２０６を形成し、一方の通気穴２０５より洗浄ガスを導入し、他方の通気穴２０６より排気を行い、放電空間を清浄化する。そのため、通気穴２０５に接続した一方の通気管２０７はバルブ２１２を介してガスボンベ２１４に接続し、通気穴２０６に接続した他方の通気管２０８はバルブ２１３を介して真空ポンプ２１５に接続する。真空ポンプ２１５を作動してバルブ２１２，２１３を開くと、パネル空間内にガスボンベから供給された清浄化ガスの流れが生じる。そして、パネル内の各部分の表面から脱離した不純物ガスは、清浄化ガスの流れに乗ってバルブ２１３から外部に排出され、パネル内部が洗浄される。しかしながら、図６に示す従来の清浄化技術では、パネル外周部の封着剤２０２と隔壁２０９との間に形成された排気パス２１０の空間コンダクタンスが、互いに隣り合う隔壁２０９と隔壁２０９の空間コンダクタンスよりも大きい。そのため、通気穴２０５からガスを注入して通気穴２０６からガスを排気する場合、洗浄ガスは主にコンダクタンスの大きい排気パス２１０を流れてしまい、パネル内部の各部表面から脱離した不純物ガスを十分に洗浄できないという問題があった。
【０００８】
特許文献１で提案された清浄化技術の問題を解消するために、特許文献２に別の清浄化技術が開示されている。図７に示すように、特許文献２の清浄化技術では、コンダクタンスの大きい排気パス２１０に規制部２２０を形成し、排気パス２１０に導入された清浄化ガスを隔壁領域に案内してパネル内部を洗浄する。しかしながら、排気パス２１０に規制部２２０を形成して流れを遮蔽する特許文献２の方法では、規制部２２０の無い場合に比べて確かにパネル内部の洗浄ガスの流れ分布は改善されるが、未だ不純物ガスを十分に除去できないだけでなく、パネル内部の空間に均一に洗浄ガスを流すことはできないため、不純物ガスの洗浄度合いが面内でばらつき、その結果パネルの初期特性に大きな影響を与えることが考えられる。特に、隔壁が井桁配置されている場合、ストライプ配置に比べて不純物ガスの洗浄度合いが更にばらつく。
【特許文献１】特開平３−２５８２６号公報
【特許文献２】特開２０００−２６８７３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、このような問題を解決するもので、洗浄ガスをパネル面内に均一に流すことにより、パネル特性における面内均一性が高いＰＤＰの製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明のＰＤＰの製造方法は、第１のガラス基板上に第１の電極と誘電体層と保護膜とを備えた第１の基板（１０）と第２のガラス基板上に第２の電極と隔壁と蛍光体層とを備えた第２の基板（２０）を放電空間を介して互いに対向させて位置合わせするアライメント工程、第１の基板と第２の基板の間の放電空間を封止する封着工程、加熱状態で放電空間内から排気を行うベーキング工程、放電空間内への放電ガスの導入工程、放電空間内に放電を発生させるエージング工程を経てプラズマディスプレイパネルを製造する。このとき、前記第２の基板（２０）上の四角形隔壁領域（２１Ａ）の外側に、前記隔壁領域（２１Ａ）を囲むように連続的に配置された第１の封着部（２２）と、前記第１の封着部（２２）の内側にあって前記隔壁領域（２１Ａ）を囲むように連続的に配置された封着部（３１）であって、前記四角形隔壁領域の四辺のうち少なくとも対向する一対の２つの辺に隣接する部分（３１Ａ，３１Ｂ）に前記隔壁領域（２１Ａ）の内外を連通する少なくとも一つの隙間（３２Ａ，３２Ｂ）を有する第２の封着部（３１）を配置する。また、前記第２の基板（２０）上に、前記第１の封着部（２２）と第２の封着部（３１）の間に形成された排気パス（３３）を、前記２つの辺に隣接する部分（３１Ａ，３１Ｂ）の一方に形成された隙間（３２Ａ）を介して隔壁領域（２１Ａ）に連通する第１の排気パス（３３Ａ）と前記２つの辺に隣接する部分（３１Ｂ）の他方に形成された隙間（３２Ｂ）を介して隔壁領域（２１Ａ）に連通する第２の排気パス（３３Ｂ）に分ける第３の封着部（３４Ｃ，３４Ｄ）を配置する。さらに、前記第１の基板（１０）又は第２の基板（２０）のいずれか一方に、前記第１の排気パスと第２の排気パスにそれぞれ連通する２つの通気穴（２３，２４）を形成する。そして、前記封着工程では、前記第１〜第３の封着部（２２，３１，３４）を加熱溶融して前記第１の基板（１０）と第２の基板（２０）に溶着させる。また、前記ベーキング工程では、前記２つの通気穴（２３，２４）の一方（２４）から前記第１の排気パス（３３Ａ）と前記第１の排気パス（３３Ａ）に連通した一方の隙間（３２Ａ）を介して前記隔壁領域（２１Ａ）に清浄ガスを導入し、前記第１と第２の基板（１０，２０）の両方又は一方から脱離したガスとともに、前記隔壁領域（２１Ａ）から前記第２の排気パス（３３Ｂ）に連通した他方の隙間（３２Ｂ）と前記第２の排気パス（３３Ｂ）を介して前記２つの通気穴（２３，２４）の他方（２４）から、前記清浄ガスを排気する。
【発明の効果】
【００１１】
このような構成を有する本発明の方法によれば、パネル面内に均一にガスを導入および排出できることにより、不純物ガスの洗浄度合いの面内ばらつきはほとんどなくなり、その結果ＰＤＰの特性を大幅に向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１は、本発明に係るＰＤＰ製造方法の実施の形態を説明するための模式図である。図示するように、ＰＤＰ１は、第１の基板である前面板１０と第２の基板である背面板２０を有する。背面板２０の前面板１０と対向する側の面には、多数の隔壁２１が平行に形成されており、隔壁２１が形成されている長方形又は四角形の隔壁領域２１Ａの周囲には、隔壁領域２１Ａから所定の間隔をあけて、隔壁領域２１Ａの周囲を連続的に囲うように、封着剤を線状に塗布して第１の封着部２２（２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ）が塗布されている。また、背面板２０には、隔壁領域２１Ａと第１の封着部２２の間に、背面板２０の表面と裏面を貫通する通気穴２３，２４が形成される。なお、通気穴２３，２４の両方又は一方は前面板１０に設けることができる。後に説明する封着工程において、通気穴２３は、バルブ２６を有する通気管２５を介してガスボンベ２７に接続され、通気穴２４は、バルブ２９を有する通気管２８を介して真空ポンプ３０に接続される。隔壁領域２１Ａの周囲には、隔壁領域２１Ａの外周四辺全周に沿って、隔壁２１に隣接して又は隔壁２１の縁部と僅かに重なるように封着剤を塗布して、第２の封着部３１（３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄ）が形成される。
【００１４】
図１の実施の形態において、ＰＤＰ１の長手方向（図の左右方向）に伸びる封着部３１Ａ、３１Ｂには、その長手方向に所定の間隔をあけて、封着部３１Ａ，３１Ｂを除去して隙間（連通部）３２Ａ，３２Ｂが形成される。封着部３１Ａ，３１Ｂの配置方向（図の左右方向）における隙間３２Ａ，３２Ｂの大きさは、例えば、０．１〜１．０ｍｍ、好ましくは０．５ｍｍとする。
【００１５】
第１の封着部２２と第２の封着部３１の間に形成された排気パス３３は、ＰＤＰ１の短辺方向（図１の上下方向）に伸びる封着部２２Ｃ、２２Ｄと封着部３１Ｃ，３１Ｄをつなぐ第３の封着部３４Ｃ，３４Ｄが形成され、隙間３２Ａに連通する第１の排気パス３３Ａと隙間３２Ｂに連通する第２の排気パス３３Ｂに分けられる。
【００１６】
前面板１０と背面板２０の作製について説明する。まず、前面板１０の作製工程では、前面ガラス基板上に、フォトリソグラフィ法などにより表示電極が形成され、スクリーン印刷法などにより誘電体層が形成された後、保護膜が成膜される（図４参照）。保護膜の形成は、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などによって行われる。
【００１７】
背面板２０の作製工程では、背面ガラス基板上に、フォトリソグラフィ法などによりデータ電極が形成され、スクリーン印刷法などにより誘電体層が形成され、サンドブラスト法などにより隔壁２１が高さ数μ〜２００μｍで形成され、隔壁間に蛍光体ペーストが充填されて焼成されて蛍光体層が成膜される。
【００１８】
次に、背面板２０の前面板１０に対向される側の面の周縁部に封着剤が線状に塗布されて、第１の封着部２２が高さ２００μｍ〜６００μｍで形成される。また、隔壁領域２１Ａの外周四辺全周に沿って封着剤が線状に塗布され、高さ２００μｍ〜６００μｍで且つ封着用封着部２２の高さ以下の高さを有する第２の封着部が形成される。このとき、ＰＤＰ長辺側の封着部３１Ａ，３１Ｂにはそれぞれ隙間３２Ａ，３２Ｂが、例えばサンドブラスト法で形成される。隙間３２Ａ，３２Ｂの長辺方向（図の左右方向）の長さは、例えば、０．１６ｍｍである。また、隙間３２Ａ、３２Ｂは、図上左側端にある隔壁から、８０ｍｍ、２５０ｍｍ、８０ｍｍ、２５０ｍｍ、８０ｍｍ、２５０ｍｍ、８０ｍｍの間隔をあけて、６箇所形成される。さらに、短辺方向に伸びる封着部２２Ｃと３１Ｃ、２２Ｄと３１Ｄの間には、排気パス３３を横断するように封着剤を塗布して、第３の封着部３４Ｃ，３４Ｄが形成される。これにより、排気パス３３は、隙間３２Ａに連通する第１の排気パス３３Ａと隙間３２Ｂに連通する第２の排気パス３３Ｂに分けられる。第３の封着部３４Ｃ，３４Ｄの高さは、２００μｍ〜６００μｍで且つ第１の封着部２２よりも低くする。以上のようにして形成された封着部２２（２２Ａ〜２２Ｄ），３１（３１Ａ〜３１Ｄ），３４（３４Ｃ，３４Ｄ）は、後に約４００℃の温度で焼成されて封着層となる。
【００１９】
このようにして準備された前面板１０と背面板２０は、アライメント装置（図示せず）内でアライメントを行った後、それぞれに形成された表示電極とデータ電極とが直交する向きになるように、互いに対向されて重ね合わされる（アライメント工程）（図４参照）。重ね合わせた前面板１０と背面板２０は、約４５０℃の温度で加熱される（封着工程）。これにより、背面板２０に設けた封着部２２，３１，３４を前面板１０に溶着し、溶着した封着部２２によって背面板２０と前面板１０の間の放電空間（図４参照）の周囲を封止する。続いて、約３５０℃の加熱温度で放電空間内を排気（ベーキング工程）し、冷却後に放電空間内に放電ガスを所定の圧力（４００〜６００Ｔｏｒｒ）で導入する（放電ガス導入工程）。放電ガスの導入が終了した後、排気および清浄ガスの導入に使用した排気管を封止する。そして、前面板１０の表示電極に駆動パルスを印加して所定時間放電を発生させることにより、前面板１０に形成された保護膜の活性化および放電の安定化を実現するエージングを行い、ＰＤＰの初期パネル特性を安定化させる（エージング工程）。
【００２０】
ベーキング工程では、ＰＤＰ１において、真空ポンプ３０を作動させてバルブ２６、バルブ２９を開くと、ガスボンベ２７から供給される清浄ガスが通気管２５、通気穴２３を介してパネル空間内に導入され、清浄ガスの流れが生じる。この清浄ガスの流れに乗り、パネル内各部の表面から脱離した不純物ガスは、通気穴２４、通気管２８、バルブ２９を通って外部に排出され、パネル内部が洗浄される。このとき、通気穴２３から導入された清浄ガスは、排気パス３３Ａから隙間３２Ａを介して隔壁領域２１Ａに入る。隔壁領域に導入された清浄ガスは、隔壁領域２１Ａの全体に分散し、パネルから脱離した不純物ガスとともに隙間３２Ｂから排気パス３３Ｂに回収され、通気穴２４から外部に排出される。
【００２１】
図２は、図１に点線矢印で示す長手方向の横断面上を流れる清浄ガスの流速を数値解析によって求めた結果を示すグラフである。数値解析には、（株）ソフトウェアクレイドル社製の熱解析ソフトウェア「熱設計ＰＡＣ」を利用した。数値解析で使用したモデルは、パネルサイズが４２インチで、表示部の大きさが９３０．６×５３４ｍｍ、隔壁の高さが０．１２ｍｍ、各セルの構造がポーラス要素、隙間の大きさ（長手方向の長さ）が０．１６ｍｍ、清浄ガスが７００Ｋの窒素ガスとし、出口の流量が１２ｃｃ／ｍｉｎで一定となるようにした。
【００２２】
図８は、図７に示した従来例のＰＤＰにおいて同図に点線矢印で示す長手方向の横断面上を流れる清浄ガスの流速を数値解析によって求めた結果を示すグラフである。数値解析で使用したモデルは、隙間が無い点と通気穴の設置場所を除いて、図２の実施の形態と同一である。また、数値解析に利用したソフトウェアも同一である。
【００２３】
図２と図８の解析結果から明らかなように、本発明に係るＰＤＰ製造方法によれば、通気穴２３からガスを導入するとともに通気穴２４から排気を行ってパネル内部を清浄化した場合、パネル面内での清浄ガスはガス注入口（通気穴）から遠ざかるにつれて流速が３．３ｍｍ／ｓから１．９ｍｍ／ｓに低下した。ただし、この流速差は僅か１．４ｍｍ／ｓであり、図８に示す従来例のＰＤＰ製造方法における流速差２．５ｍｍ／ｓに比べて、４４％も向上した。また、本発明の製造方法では、隔壁領域内の洗浄ガスの最低流速が、従来例の製造方法における隔壁領域内中央部の洗浄ガスの最低流速の３倍以上であり、より不純物ガスの清浄化ができると考えられる。
【００２４】
このように、上述したＰＤＰの製造方法によれば、複数の通気穴を近くに設置できる。そのため、封着工程でＰＤＰに与えられる熱履歴によってＰＤＰが熱膨張することで起こり得る通気穴の移動を最小限に抑えることができる。これにより、通気穴と通気管の接続部におけるリークを確実に防止できるので、両者の封止の信頼性が向上する。また、ＰＤＰのエージング工程で清浄ガスによるパネル清浄化を実施すると、さらに効果がある。
【００２５】
上述した実施の形態では、隔壁２１の外周四辺に隣接する位置に封着部３１を塗布し、長手方向に伸びる一対の封着部３１Ａ，３１Ｂに隙間３２Ａ，３２Ｂを形成したが、図３に示すように、短辺方向に伸びる一対の封着部３１Ｃ，３１Ｄに一つ又は複数の隙間３２Ｃ，３２Ｄを形成してもよい。
【００２６】
また、上述した隙間の大きさ（封着剤の配置方向に関する長さ）、隙間の位置（例えば、隣接する隙間同士の間隔）、各辺に配置する隙間の数は単なる一例であって、それらの値に任意に選択できる。
【００２７】
さらに、隙間は、塗布後の封着剤を薄板状の切れ刃で除去して形成してもよいし、フォトリソグラフィ法で形成してもよいし、粘着テープを貼った上に封着剤を塗布し、その後テープを剥がして形成してもよい。
【００２８】
さらに、上述の実施の形態では、流動性のある状態の封着剤を塗布し、その後、その一部を除去して隙間を形成したが、隔壁２１の外周四辺の相対する二対の辺のうちどちらか一対の辺に、隔壁２１より高い封着剤ブロック（流動性の無いブロック）を配置して隙間を形成してもよい。
【００２９】
なお、上述の説明では、第２，３の封着部は第１の封着部２２よりも低くしたが、第１の封着部と同一の高さであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、パネル面内に均一にガスを導入および排出できることにより、ＰＤＰの面内均一性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係るプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の製造方法を説明する模式図。
【図２】図１のＰＤＰの隔壁領域内の位置とそこを流れるガスの流速の関係を示すグラフ。
【図３】他の実施の形態に係るＰＤＰの製造方法を説明する模式図。
【図４】従来のＰＤＰのセル構造を示す部分断面斜視図。
【図５】従来のＰＤＰの平面図と清浄化方法を表す模式図。
【図６】特許文献１に示されたＰＤＰの平面図と清浄化方法を表す模式図。
【図７】特許文献２に示されたＰＤＰの平面図と清浄化方法を表す模式図。
【図８】図７に示すＰＤＰの隔壁領域内の位置とそこを流れるガスの流速の関係を示すグラフ。
【符号の説明】
【００３２】
１  プラズマディスプレイパネル
１０  前面板
２０  背面板
２１  隔壁
２２  第１の封着部
２３  通気穴
２４  通気穴
２５  通気管
２６  バルブ
２７  ガスボンベ
２８  通気管
２９  バルブ
３０  真空ポンプ
３１  第２の封着部
３２Ａ  隙間
３２Ｂ  隙間
３３  排気パス
３４  第３の封着部
８０  前面板
８１  背面板
８２  放電空間
８３  ガラス基板
８４  表示電極
８５  誘電体層
８６  保護膜
８７  ガラス基板
８８  データ電極
８９  誘電体層
９０  隔壁
９１  蛍光体層
２０１  プラズマディスプレイパネル
２０２  封着用封着剤
２０３  前面板
２０４  背面板
２０５  通気穴
２０６  通気穴
２０７  通気管
２０８  通気管
２０９  隔壁
２１０  排気パス
２１２  バルブ
２１３  バルブ
２１４  ガスボンベ
２１５  真空ポンプ
２２０  遮断用部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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