(57)【要約】【課題】搬送容器の蓋体を蓋着脱装置の扉部材に大きな力で押し当てても、搬送容器が浮き上がりを防止することができる搬送容器の蓋着脱装置、搬送容器及び搬送容器の蓋着脱システムを提供する。【解決手段】搬送容器の蓋着脱装置１００は、搬送容器２００を載置して移動可能なテーブル１５と、搬送容器２００の下面の断面Ｖ字溝２０５ａ〜２０５ｃに設けられ移動方向Ｍとは略直角な固定面２０５ａ−１〜２０５ｃ−１に係合し、テーブル１５に設けられ移動方向Ｍとは略直角な位置決めピン１５ａ〜１５とを有する。【選択図】図３
2009200136.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部が高クリーン度に保たれた搬送容器の開口部の蓋部材を、高クリーン度に保たれた部屋の開口部の扉部材に係合させて、前記両開口部の周辺部を密着させて高クリーン度を保ったまま、前記蓋部材を着脱する搬送容器の蓋着脱装置において、
前記搬送容器を載置して移動可能なテーブルと、
前記搬送容器の下面の断面Ｖ字溝に設けられ前記移動方向とは略直角な固定面に係合し、前記テーブルに設けられ前記移動方向とは略直角な連結ピンとを有すること、
を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送容器の蓋着脱装置において、
前記テーブルは、前記移動方向が水平方向であり、
前記連結ピンは、軸方向が鉛直方向のピンであり、前記断面Ｖ字溝内を窪ませて設けられた凹部の鉛直方向の内壁である前記固定面に対して係合すること、
を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置。
【請求項３】
請求項２に記載の搬送容器の蓋着脱装置において、
前記連結ピンは、先端部に設けられた平面部を有し、前記平面部と前記搬送容器の前記凹部の底部に設けられた平面とが面接触することにより、前記搬送容器の鉛直方向の位置決めをすること、
を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置。
【請求項４】
請求項３に記載の搬送容器の蓋着脱装置において、
前記連結ピンの前記平面部と、前記搬送容器の底部の前記平面とが面接触したことを検出する検出部を備えること、
を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置。
【請求項５】
請求項２に記載の搬送容器の蓋着脱装置において、
前記断面Ｖ字溝の斜面に当接することにより、前記搬送容器の鉛直方向の位置決めをするＶ字斜面当接部を有すること、
を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置。
【請求項６】
請求項１に記載の搬送容器の蓋着脱装置において、
前記テーブルは、前記移動方向が水平方向であり、
前記連結ピンの先端縁部に設けられ、その断面形状がテーパー状であり前記固定面を前記連結ピンへと案内する案内部を有すること、
を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置。
【請求項７】
請求項１に記載の搬送容器の蓋着脱装置において、
前記テーブルは、前記移動方向が水平方向であり、
前記連結ピンの先端縁部に設けられ、その断面形状が円弧状であり前記固定面を前記連結ピンへと案内する案内部を有すること、
を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置。
【請求項８】
請求項１に記載の蓋着脱装置において、
前記断面Ｖ字溝の斜面に接することにより前記固定面を前記連結ピンへと案内する基部案内部を有し、前記連結ピンを前記連結ピンの軸方向に移動可能に保持する基部と、
前記連結ピンを軸方向に前記基部から突出する側に付勢する付勢部材とを備え、
前記連結ピンは、
前記基部案内部により前記固定面が案内されている状態では、前記断面Ｖ字溝の斜面に押圧されることにより前記基部内部へと押し込まれ、
前記基部案内部により前記固定面が案内された状態では、前記付勢部材に付勢されて前記基部から突出すること、
を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置。
【請求項９】
請求項８に記載の蓋着脱装置において、
前記連結ピンが前記基部から突出した状態を検出する検出部を備えること、
を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の搬送容器の蓋着脱装置において、
前記基部案内部は、前記固定面を前記連結ピンへと案内した状態で、前記断面Ｖ字溝の斜面に当接することにより、前記搬送容器の鉛直方向の位置決めをするＶ字斜面当接部であること、
を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置。
【請求項１１】
内部が高クリーン度に保たれたその開口部の蓋部材を、高クリーン度に保たれた部屋の開口部の扉部材に係合させて、前記両開口部の周辺部を密着させて高クリーン度を保ったまま、蓋着脱装置を用いて前記蓋部材が着脱される搬送容器において、
この搬送容器を載置して移動可能な前記蓋着脱装置のテーブルに設けられ前記テーブルの前記移動方向とは略直角な連結ピンに係合し、この搬送容器の下面の断面Ｖ字溝に設けられ前記移動方向とは略直角な固定面を有すること、
を特徴とする搬送容器。
【請求項１２】
請求項１１に記載の搬送容器において、
前記テーブルによる前記移動方向が水平方向であり、
前記固定面は、前記断面Ｖ字溝内を窪ませて設けられた凹部の鉛直方向の内壁であり、軸方向が鉛直方向である前記連結ピンに係合すること、
を特徴とする搬送容器。
【請求項１３】
請求項１１に記載の搬送容器において、
前記凹部の底部に平面を有し、前記底部の平面と前記連結ピンの先端に設けられた平面部とが面接触することにより、この搬送容器の鉛直方向の位置決めがされること、
を特徴とする搬送容器。
【請求項１４】
内部が高クリーン度に保たれた搬送容器と、前記搬送容器の開口部の蓋部材を、高クリーン度に保たれた部屋の開口部の扉部材に係合させて、前記両開口部の周辺部を密着させて高クリーン度を保ったまま、前記蓋部材を着脱する蓋着脱装置とを備えた搬送容器の蓋着脱システムにおいて、
前記蓋着脱装置は、前記搬送容器を載置して移動可能なテーブルに設けられ、前記テーブルに設けられ前記移動方向とは略直角な連結ピンを有し、
前記搬送容器は、前記連結ピンに係合し、下面の断面Ｖ字溝に設けられ前記移動方向とは略直角な固定面を有すること、
を特徴とする搬送容器の蓋着脱システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の薄型基板を収容して搬送する搬送容器を、クリーンルームに装着して、互いのクリーン度を保ったまま、その蓋を着脱する搬送容器の蓋着脱装置、搬送容器及び搬送容器の蓋着脱システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体ウエハを搬送するＦＯＵＰ（ＦＲＯＮＴ  ＯＰＥＮＩＮＧ  ＵＮＩＦＩＥＤ  ＰＯＤ）等と呼ばれる搬送容器の蓋体を、扉部材に着脱可能に保持させ、さらに水平方向及び垂直方向の２方向に移動するロードポートがあった（例えば、特許文献１）。
ロードポートは、移動テーブルの上に搬送容器を載置し、搬送容器の蓋体を扉部材に押し当てて密着させる工程を経て、搬送容器の蓋体を扉部材に保持している。この移動テーブルと搬送容器とは、移動テーブル上に設けられたピンと、搬送容器の底面に設けられたＶ字溝とによって、鉛直方向及び水平方向の位置決めがされている。
しかし、搬送容器が直径３００ｍｍ程度を越える大口径ウエハを収容する場合には、ロードポートは、搬送容器の蓋体を扉部材に大きな力で押し当てる必要がある。この場合、搬送容器の底面のＶ字溝が移動テーブルのピンに乗り上げてしまい、搬送容器が浮き上がってしまう可能性があった。
【特許文献１】特開平１１−２８８９９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の課題は、搬送容器の蓋体を蓋着脱装置の扉部材に大きな力で押し当てても、搬送容器が浮き上がりを防止することができる搬送容器の蓋着脱装置、搬送容器及び搬送容器の蓋着脱システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、以下のような解決手段により、課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。但し、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
【０００５】
第１の発明は、内部が高クリーン度に保たれた搬送容器（２００）の開口部の蓋部材（２０３）を、高クリーン度に保たれた部屋の開口部の扉部材に係合させて、前記両開口部の周辺部を密着させて高クリーン度を保ったまま、前記蓋部材を着脱する搬送容器の蓋着脱装置において、前記搬送容器を載置して移動可能なテーブル（１５）と、前記搬送容器の下面の断面Ｖ字溝（２０５ａ〜２０５ｃ）に設けられ前記移動方向（Ｍ）とは略直角な固定面（２０５ａ−１〜２０５ｃ−１）に係合し、前記テーブルに設けられ前記移動方向とは略直角な連結ピン（１５ａ〜１５ｃ）とを有すること、を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置である。
第２の発明は、請求項１に記載の搬送容器の蓋着脱装置において、前記テーブル（１５）は、前記移動方向（Ｍ）が水平方向であり、前記連結ピン（１５ａ〜１５ｃ）は、軸方向が鉛直方向のピンであり、前記断面Ｖ字溝（２０５ａ〜２０５ｃ）内を窪ませて設けられた凹部（２０５ａ−２〜２０５ｃ−２）の鉛直方向の内壁である前記固定面（２０５ａ−１〜２０５ｃ−１）に対して係合すること、を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置である。
第３の発明は、第１の発明の搬送容器の蓋着脱装置において、前記連結ピン（１５ａ〜１５ｃ）は、先端部に設けられ平面部（１５ａ−７）を有し、前記平面部と前記搬送容器（２００）の前記凹部（２０５ａ−２〜２０５ｃ−２）の底部に設けられた平面（２０５ａ−７）とが面接触することにより、前記搬送容器の鉛直方向の位置決めをすること、を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置である。
第４の発明は、請求項３に記載の搬送容器の蓋着脱装置において、前記連結ピン（１０１５ａ）の前記平面部（１０１５ａ−７）と、前記搬送容器（２００）の底部の前記平面（２０５ａ−７）とが面接触したことを検出する検出部（１０１８−１，１０１８−２）を備えること、を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置である。
第５の発明は、第１の発明の搬送容器の蓋着脱装置において、前記断面Ｖ字溝（２０５ａ，２０５ａ）の斜面（２０５ａ−６，２０５ａ−６）に当接することにより、前記搬送容器（２００）の鉛直方向の位置決めをするＶ字斜面当接部（８１１−１，９１５ａ−８）を有すること、を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置である。
第６の発明は、第１の発明の搬送容器の蓋着脱装置において、前記テーブル（１５）は、前記移動方向（Ｍ）が水平方向であり、前記連結ピン（１５ａ〜１５ｃ）の先端縁部に設けられ、その断面形状がテーパー状であり前記固定面（２０５ａ−１〜２０５ｃ−１）を前記連結ピンへと案内する案内部（１５ａ−６）を有すること、を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置である。
第７の発明は、第１の発明の搬送容器の蓋着脱装置において、前記テーブル（９１５）は、前記移動方向（Ｍ）が水平方向であり、前記連結ピン（９１５ａ）の先端縁部に設けられ、その断面形状が円弧状であり前記固定面（２０５ａ−１）を前記連結ピンへと案内する案内部（９１５ａ−６）を有すること、を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置である。
第８の発明は、第１の発明の蓋着脱装置において、前記断面Ｖ字溝（２０５ａ）の斜面（２０５ａ−６）に接することにより前記固定面（２０５ａ−１）を前記連結ピン（８１５ａ）へと案内する基部案内部（８１１−１）を有し、前記連結ピンを前記連結ピンの軸方向に移動可能に保持する基部（８１１）と、前記連結ピンを軸方向に前記基部から突出する側に付勢する付勢部材（８１６）とを備え、前記連結ピンは、前記基部案内部により前記固定面が案内されている状態では、前記断面Ｖ字溝の斜面（２０５ａ−６）に押圧されることにより前記基部内部へと押し込まれ、前記基部案内部により前記固定面が案内された状態では、前記付勢部材に付勢されて前記基部から突出すること、を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置である。
第９の発明は、第８の発明の蓋着脱装置において、前記連結ピン（８１５ａ）が前記基部（８１１）から突出した状態を検出する検出部（８１８，８１８−１，８１８−２）を備えること、を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置である。
第１０の発明は、第８の発明の搬送容器の蓋着脱装置において、前記基部案内部（８１１−１）は、前記固定面（２０５ａ−１）を前記連結ピン（８１５ａ）へと案内した状態で、前記断面Ｖ字溝（２０５ａ）の斜面（２０５ａ−６）に当接することにより、前記搬送容器（２００）の鉛直方向の位置決めをするＶ字斜面当接部（８１１−１）であること、を特徴とする搬送容器の蓋着脱装置である。
【０００６】
第１１の発明は、内部が高クリーン度に保たれたその開口部の蓋部材（２０３）を、高クリーン度に保たれた部屋の開口部の扉部材に係合させて、前記両開口部の周辺部を密着させて高クリーン度を保ったまま、蓋着脱装置を用いて前記蓋部材が着脱される搬送容器（２００）において、この搬送容器を載置して移動可能な前記蓋着脱装置のテーブル（１５）に設けられ前記テーブルの前記移動方向（Ｍ）とは略直角な連結ピン（１５ａ〜１５ｃ）に係合し、この搬送容器の下面の断面Ｖ字溝（２０５ａ〜２０５ｃ）に設けられ前記移動方向とは略直角な固定面（２０５ａ−１〜２０５ｃ−１）を有すること、を特徴とする搬送容器である。
第１２の発明は、第１１の発明の搬送容器において、前記テーブル（１５）による前記移動方向（Ｍ）が水平方向であり、前記固定面（２０５ａ−１〜２０５ｃ−１）は、前記断面Ｖ字溝（２０５ａ〜２０５ｃ）内を窪ませて設けられた凹部（２０５ａ−２〜２０５ｃ−２）の鉛直方向の内壁であり、軸方向が鉛直方向である前記連結ピン（１５ａ〜１５ｃ）に係合すること、を特徴とする搬送容器である。
第１３の発明は、第１１の発明の搬送容器において、前記凹部（２０５ａ−２〜２０５ｃ−２）の底部に平面（２０５ａ−７）を有し、前記底部の平面と前記連結ピン（１５ａ〜１５ｃ）の先端に設けられた平面部（１５ａ−７）とが面接触することにより、この搬送容器の鉛直方向の位置決めがされること、を特徴とする搬送容器である。
【０００７】
第１４の発明は、内部が高クリーン度に保たれた搬送容器（２００）と、前記搬送容器の開口部の蓋部材（２０３）を、高クリーン度に保たれた部屋の開口部の扉部材に係合させて、前記両開口部の周辺部を密着させて高クリーン度を保ったまま、前記蓋部材を着脱する蓋着脱装置とを備えた搬送容器の蓋着脱システムにおいて、前記蓋着脱装置は、前記搬送容器を載置して移動可能なテーブル（１５）に設けられ、前記テーブルに設けられ前記移動方向（Ｍ）とは略直角な連結ピン（１５ａ〜１５ｃ）を有し、前記搬送容器は、前記連結ピンに係合し、下面の断面Ｖ字溝（２０５ａ〜２０５ｃ）に設けられ前記移動方向とは略直角な固定面（２０５ａ−１〜２０５ｃ−１）を有すること、を特徴とする搬送容器の蓋着脱システムである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
（１）本発明は、扉部材に大きな力で押し当ててテーブルの移動方向に大きな力がかかっても、搬送容器に設けられた固定面と、テーブルに設けられた連結ピンとが係合させているので、搬送容器の浮き上がりを防止することができる。
（２）本発明は、テーブルの移動方向が水平方向であり、連結ピンが鉛直方向のピンであり、搬送容器の鉛直方向の内壁である固定面に対して係合するので、搬送容器の水平方向における位置決めをすることができる。
【０００９】
（３）本発明は、連結ピンの平面部と搬送容器の凹部の平面とが面接触することにより、搬送容器の鉛直方向の位置決めをする。つまり、搬送容器の鉛直方向の位置決めが面接触であるので、連結ピンと搬送容器の底面とが当接した場合に、搬送容器の底面を窪ませることがなく、搬送容器の耐久性を向上することができる。
（４）本発明は、連結ピンの平面部と、搬送容器の底部の平面とが面接触したことを検出する検出部とを備えるので、搬送容器を正しく配置した場合のみに、移動テーブルを駆動して、蓋着脱装置及び搬送容器に過剰な負荷が加わるのを防止して、これらの破損を防止することができる。
（５）本発明は、連結ピンが軸方向に移動可能に保持されているので、従来の搬送容器に利用した場合には、連結ピンがＶ字溝によって基部に押し込まれるので、従来の搬送容器にも対応することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明は、搬送容器の蓋体を蓋着脱装置の扉部材に大きな力で押し当てても、搬送容器が浮き上がりを防止することができる搬送容器の蓋着脱装置、搬送容器及び搬送容器の蓋着脱システムを提供するという目的を、搬送容器の蓋着脱装置に、搬送容器を載置して移動可能なテーブルと、搬送容器の断面Ｖ字溝に設けられ移動方向とは略直角な固定面に係合し、テーブルに設けられ移動方向とは略直角な連結ピンとを設けることによって実現した。
【００１１】
（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の第１実施形態について説明する。
図１は、本発明による搬送容器の蓋着脱装置の第１実施形態を示す図である。
搬送容器の蓋着脱装置１００（ロードポート）は、高クリーン度の空間Ａと低クリーン度の空間Ｂとを区画する仕切板１０１と、仕切板１０１に形成され、高クリーン度の空間Ａと低クリーン度の空間Ｂとを連通する開口部１０２と、仕切板１０１の開口部１０２を開閉する扉１０３と、扉１０３に設けられた２本の位置決めピン１０４ａ，１０４ｂ及び２つのＴ字キー１０４ｃ，１０４ｄとを有し、搬送容器２００の蓋２０３をラッチするラッチ機構１０４と、低クリーン度の空間Ｂ側に設けられ、搬送容器２００が載置され、３本の位置決めピン１５ａ，１５ｂ，１５ｃ及び１つのロックキー１０５ｄを有するテーブル１５等とを備えている。
【００１２】
搬送容器２００は、内部空間Ｃが高クリーン度に保たれ、半導体ウエハを複数枚（例えば２５枚程度）収容する容器である。
この搬送容器２００は、容器本体２０１と、容器本体２０１の一面に設けられた開口部２０２と、開口部２０２を開閉し、位置決めピン１０４ａ，１０４ｂが嵌合するピン孔２０４ａ，２０４ｂ及びＴ字キー１０４ｃ，１０４ｄが係合するキー孔２０４ｃ，２０４ｄとを有する蓋２０３と、テーブル１５の位置決めピン１５ａ，１５ｂ，１５ｃが嵌合する断面Ｖ字溝２０５ａ，２０５ｂ，２０５ｃ及びロックキー１０５ｄが係合するキー孔２０５ｄを有する底面２０５を備えている。
【００１３】
搬送容器２００をテーブル１５に載置すると、３本の位置決めピン１５ａ，１５ｂ，１５ｃが、断面Ｖ字溝２０５ａ〜２０５ｃに嵌合する。ここで、不図示のロックボタンをオンすると、ロックキー１０５ｄが上昇及び傾斜して、キー孔２０５ｄに係合すると共に、テーブル１５全体が、仕切り板１０１側に所定距離（約３０ｍｍ程度）移動して、搬送容器２００が仕切り板１０１に密着する。仕切り板１０１の開口部１０２及び搬送容器２００の開口部２０２の外周には、不図示のＯリング等のシール材が設けられており、密着により、クリーン度を保つことができる。
【００１４】
搬送容器２００は、テーブル１５の移動により、蓋２０３が扉１０３に密着して、位置決めピン１０４ａ，１０４ｂが、蓋２０３のピン孔２０４ａ，２０４ｂに嵌合し、Ｔ字キー１０４ｃ，１０４ｄがキー孔２０４ｃ，２０４ｄに入り込む。その後に、不図示のロータリーアクチュエータ等によって、Ｔ字キー１０４ｃ，１０４ｄを９０度回転することにより、爪２０４ｅ〜２０４ｈが引き込まれて、容器本体２０１と蓋２０３とのロックが解かれる。
次いで、扉１０３は、不図示の駆動機構によって、空間Ａの内側に引き込まれる（矢印Ｄ１）と共に、下降して（矢印Ｄ２）、搬送容器２００の内部空間Ｃと、仕切り板１０１の内部空間Ａとが、高クリーン度を保ったまま連通する。
【００１５】
以下、第１実施形態の搬送容器２００及びテーブル１５についてより詳細に説明する。
図２は、第１実施形態の搬送容器２００及び蓋着脱装置のテーブル１５を示す図であり、図２（ａ）は、図２（ｂ）のＡ１−Ａ１部矢視断面図であり、図２（ｂ）は、底面図である。
図３は、第１実施形態の断面Ｖ字溝２０５ａと位置決めピン１５ａとが係合した状態における断面図であり、図３（ａ）は、（図２（ｂ）のＡ２−Ａ２部矢視断面図）であり、図３（ｂ）は、断面Ｖ字溝２０５ａを長手方向から見た側面の断面図（図２（ｂ）のＢ−Ｂ部矢視断面図）である。
【００１６】
図２（ｂ）に示すように、搬送容器２００は、３つの断面Ｖ字溝２０５ａ，２０５ｂ，２０５ｃを備えている。
断面Ｖ字溝２０５ａ，２０５ｂは、テーブル１５の移動方向（矢印Ｍ）の蓋２０３側に至るに従って互いに離れるように配置されている。一方、断面Ｖ字溝２０５ｃは、その長手方向が移動方向に平行になるように配置されている。
以下、断面Ｖ字溝２０５ａについて主に説明するが、断面Ｖ字溝２０５ｂ，２０５ｃは、断面Ｖ字溝２０５ａと同様な形状であるので説明を省略する。
【００１７】
図３に示すように、断面Ｖ字溝２０５ａは、長穴２０５ａ−２（凹部）と斜面２０５ａ−６とにより形成される。
長穴２０５ａ−２は、断面Ｖ字溝２０５ａを、鉛直方向（つまり移動方向（水平方向）とは直角な方向）に窪ませて設けられている。図２（ｂ）に示すように、長穴２０５ａ−２は、搬送容器２００の底面を見たときに、細長い形状であり、両端部２０５ａ−３，２０５ａ−４が半円状である。
図３に示すように、長穴２０５ａ−２は、内壁が鉛直方向の固定面２０５ａ−１であり、後述するようにこの固定面２０５ａ−１が位置決めピン１５ａに係合する。
斜面２０５ａ−６は、長穴２０５ａ−２の全周と搬送容器２００の底面２０５ａ−５との間にテーパ状に設けられており、傾斜角度が一定である。
【００１８】
図２に示すように、テーブル１５は、搬送容器２００を載置して移動する部材である。テーブル１５の移動方向は、水平方向である。テーブル１５は、３つの位置決めピン１５ａ，１５ｂ，１５ｃ（連結ピン）を備えている。
位置決めピン１５ａ，１５ｂ，１５ｃは、載置された搬送容器２００の断面Ｖ字溝２０５ａ，２０５ｂ，２０５ｃに対応する位置に配置されている。位置決めピン１５ａ，１５ｂ，１５ｃは、その軸方向が鉛直方向であり、テーブル１５から突出するように設けられている。なお、以下、位置決めピン１５ａについて主に説明するが、位置決めピン１５ｂ，１５ｃは、位置決めピン１５ａと同様な形状であるので説明を省略する。
【００１９】
図３に示すように、位置決めピン１５ａは、円柱状の部材である。位置決めピン１５ａの直径と長穴２０５ａの幅とは、ほぼ同一であり、位置決めピン１５ａが長穴２０５ａに係合するようになっている。図２（ｂ）に示すように、位置決めピン１５ａの直径と長穴２０５ａの両端部２０５ａ−３，２０５ａ−４の半円の直径とは、ほぼ同一である。これは、搬送容器２００をテーブル１５に載置する場合に、位置決めピン１５ａと両端部２０５ａ−３，２０５ａ−４とが接触してしまったときに、これらを面接触させることにより、これらの破損を防止するためである。
【００２０】
図３に示すように、位置決めピン１５ａの先端縁部には、案内部１５ａ−６が全周に設けられている。案内部１５ａ−６は、断面形状がテーパ状である。案内部１５ａ−６は、その傾斜角度が、断面Ｖ字溝２０５ａの斜面２０５ａ−６の傾斜角度とほぼ同一である。これにより、搬送容器２００を着脱装置１０のテーブル１５に載置する場合に、断面Ｖ字溝２０５ａの斜面２０５ａ−６が案内部１５ａ−６上を摺動し、固定面２０５ａ−１が位置決めピン１５ａへと案内されて、搬送容器２００をスムーズに配置することができる。
【００２１】
次に、搬送容器２００及びテーブル１５の動作について説明する。
図２に示すように、搬送容器２００をテーブル１５に載置する場合、作業者は、位置決めピン１５ａ，１５ｂ，１５ｃの案内部（図３に示す案内部１５ａ−６参照）と、断面Ｖ字溝２０５ａ，２０５ｂ，２０５ｃの斜面（図３に示す斜面２０５ａ−６参照）とが接する範囲で、搬送容器２００を配置すればよい。これに応じて、長穴２０５ａ−２，２０５ｂ−２，２０５ｂ−２が位置決めピン１５ａ，１５ｂ，１５ｃへと案内されて、固定面２０５ａ−１，２０５ｂ−１，２０５ｃ−１と固定面１５ａ−１，１５ｂ−１，１５−ｃ１とが係合する。
【００２２】
搬送容器２００は、位置決めピン１５ａの固定面１５ａ−１と断面Ｖ字溝２０５ａの固定面２０５ａ−１とが係合し（図２（ａ）参照）、また位置決めピン１５ｂの固定面１５ｂ−１と断面Ｖ字溝２０５ｂの固定面２０５ｂ−１とが係合することにより、移動方向の前後方向における位置決めがされる。
さらに、搬送容器２００は、位置決めピン１５ｃの固定面１５ｃ−１と断面Ｖ字溝２０５ｃの固定面２０５ｃ−１が係合することにより、水平方向における回転止め（矢印θ参照）がされ、水平方向における位置決めがされる。
【００２３】
一方、鉛直方向においては、図３に示すように、搬送容器２００は、位置決めピン１５ａの先端部の平面部１５ａ−７と、搬送容器２００の長穴２０５ａの底部の平面２０５ａ−７とが当接する。位置決めピン１５ｂ及び長穴２０５ｂ−２、位置決めピン１５ｃ及び長穴２０５ｃ−２についても同様である。これにより、搬送容器２００は、テーブル１５に対する鉛直方向の位置決めがされる。なお、これら平面部は、面接触により搬送容器２００の荷重を受け止めるので、搬送容器２００の底面２０５ａ−５を窪ませることがなく、搬送容器２００の耐久性を向上することができる。
【００２４】
蓋２０３を着脱する場合に、搬送容器２００の押し上げ（浮き上がり）を防止できる理由については、前述したとおりである。
【００２５】
図４は、第１実施形態の搬送容器２００（図４（ａ））と、従来の搬送容器３００（図４（ａ）〜図４（ｄ））とを比較説明する図である。なお、図４（ａ）は、前述した図３（ａ）と同じ断面図であり、参考のため示すものである。
従来の搬送容器３００は、テーブル１５が矢印Ｍの方向に前進すると、断面Ｖ字溝３０５ｃは、移動方向と平行であるので、特に、余分な力は発生しないが、断面Ｖ字溝３０５ａ，３０５ｃは、搬送容器３００を矢印Ｎ（Ｎ１）の方向に押し上げようとする力が発生する。
【００２６】
搬送容器３００には、その結果として、図４（ｄ）に示すように、位置決めピン１５ｃを中心にして、矢印Ｐ（Ｐ１）の方向に回転力が発生する。このため、搬送容器３００は、先端上部が仕切り板１１から引き離されることとなり、シール不良等を起こす可能性があった。
【００２７】
これに対して、図４（ａ）に示すように、第１実施形態の搬送容器２００は、その下面に形成された断面Ｖ字溝２０５ａ（２０５ｂ，２０５ｃ）に、垂直な固定面２０５ａ−１（２０５ｂ−１，２０５ｃ−１）を設けることにより、位置決めピン１５ａ（１５ｂ，１５ｃ）の垂直な固定面１５ａ−１（１５ｂ−１，１５ｃ−１）と接することができる（結合姿勢矯正手段）ので、水平方向の力で押しても、搬送容器２００を押し上げる力が発生することはない。
【００２８】
ところで、一般に、ウエハ径が大きくなると、搬送容器及び蓋を大型にする必要があり、蓋を着脱するときに搬送容器に対して、より大きな力を加えることが必要になってくる。このため、ウエハ径が大きくなる程、搬送容器の浮き上がりが発生しやすくなる。
これに対して、本実施形態の搬送容器２００は、搬送容器２００に対して加える力の方向とは直角な方向である鉛直方向の位置決めピン１５ａ，１５ｂ，１５ｃ及び固定面２０５ａ−１，２０５ｂ−１，２０５ｃ−１が係合しているので、浮き上がりを効果的に防止することができる。
【００２９】
（第２実施形態）
図５は、第２実施形態の蓋着脱装置の位置決めピン８１５ａと搬送容器２００の断面Ｖ字溝２０５ａとが係合した状態における断面図（図３（ａ）に相当する図）である。
第２実施形態の蓋着脱装置は、第１実施形態の位置決めピン１５ａ〜１５ｃを変更したものである。
本実施形態の蓋着脱装置のテーブル８１５は、３つの位置決め部８１０が配置されている。図５は、そのうちの１つを示すものである。
位置決め部８１０は、基部８１１と、位置決めピン８１５ａと、付勢部材８１６と、底蓋８１７と、光センサ８１８とを備えている。
【００３０】
基部８１１は、円筒状の部材であり、位置決めピン８１５ａを位置決めピン８１５ａの軸方向つまり鉛直方向に移動可能に保持している。基部８１１は、固定面２０５ａ−１を位置決めピン８１５ａへと案内する基部案内部８１１−１（Ｖ字斜面当接部）を有している。基部案内部８１１−１は、断面形状が円弧状であり、この円弧が断面Ｖ字溝２０５ａの斜面２０５ａに接することにより、固定面２０５ａ−１を案内する。
基部案内部８１１−１は、固定面２０５ａ−１を位置決めピン８１５ａへと案内した状態で、断面Ｖ字溝２０５ａの斜面２０５ａ−６に当接することにより、テーブル８１５の鉛直方向（移動方向とは直角な方向）での搬送容器９００の位置決めをする。
基部８１１は、外周にねじ部８１１−２を有し、このねじ部８１１−２とナット８１２とによりテーブル８１５に取り付けられている。
【００３１】
位置決めピン８１５ａは、第１実施形態の位置決めピン１５ａ，１５ｂ，１５ｃと同様な位置に、テーブル８１５上に配置されている。位置決めピン８１５ａは、鉛直方向に移動可能に基部８１１に保持されている。位置決めピン８１５ａは、天面が球状の部材であり、下面には遮光部８１５ａ−７が設けられている。
位置決めピン８１５ａが基部８１１から上側に突出した状態で、遮光部８１５ａ−７は、その下端が底蓋８１７の下面と同じ位置となるように設定されている。このため、位置決めピン８１５ａが基部８１１内部へと押し込まれた状態で、遮光部８１５ａ−７は、図中２点鎖線で示すように底蓋８１７から突出する。
【００３２】
付勢部材８１６は、基部８１１の内部に収容された圧縮コイルスプリングである。付勢部材８１６は、鉛直方向下側の端部が底蓋８１７により位置決めがされており、鉛直方向側の端部が位置決めピン８１５ａの下面に当接している。これにより、付勢部材８１６は、位置決めピン８１５ａを鉛直方向上側に押し上げ、基部８１１の天面から突出する側に付勢する。
底蓋８１７は、基部８１１にねじ結合して、基部８１１の下側の蓋をする部材である。底蓋８１７は、位置決めピン８１５ａの遮光部８１５ａ−７が挿通可能な貫通孔が設けられている。
【００３３】
光センサ８１８は、発光素子８１８−１と受光素子８１８−２とが対向配置された検出部である。光センサ８１８は、底蓋８１７の下面に配置されている。位置決めピン８１５ａの遮光部８１５ａ−７が底蓋８１７の下面から突出していない場合には、受光素子８１８−２は、発光素子８１８−１が発した光Ｌを受光することができる。一方、遮光部８１５ａ−７が底蓋８１７の下面よりも突出している場合には、発光素子８１８−１の光Ｌは、遮光部８１５ａ−７によって遮られてしまうので、受光素子８１８−２は、光Ｌを受光することができない。このようにして、光センサ８１８は、遮光部８１５ａ−７が底蓋８１７の下面よりも突出しているか否かを検出する。
光センサ８１８は、不図示のコントローラに接続されており、光センサ８１８の検出信号は、コントローラに対して出力される。
【００３４】
次に、搬送容器２００及びテーブ８１５の動作について説明する。
搬送容器２００をテーブ８１５に載置する場合、作業者は、基部案内部８１１−１と断面Ｖ字溝２０５ａの斜面２０５ａ−６とが接する範囲で、搬送容器２００を配置すればよい。これに応じて、長穴２０５ａ−２が位置決めピン８１５ａへと案内されて、固定面２０５ａ−１と位置決めピン８１５ａの固定面８１５ａ−１とが係合する。
【００３５】
この場合において、基部案内部８１１−１により固定面２０５ａ−１が位置決めピン８１５ａへと案内されている状態では、位置決めピン８１５ａは、断面Ｖ字溝２０５ａの斜面２０５ａ−６に押圧されることにより基部８１１内部へと押し込まれる。
これに応じて、位置決めピン８１５ａの遮光部８１５ａ−７は、底蓋８１７の下面よりも突出する。コントローラは、光センサ８１８の出力に応じて、搬送容器２００がテーブ８１５に確実に載置されていないと判断して、テーブル８１５を移動するための移動モータ（図示せず）を駆動せずに、テーブル８１５の停止状態を維持する。
【００３６】
そして、基部案内部８１１−１により固定面２０５ａ−１が案内された状態では、位置決めピン８１５ａは、付勢部材８１６に付勢されて基部８１１から突出する（図５の状態）。搬送容器２００は、位置決めピン８１５ａにより、テーブル８１５に対する水平方向の位置決めがされる。
一方、鉛直方向においては、基部案内部８１１−１が、断面Ｖ字溝２０５ａの斜面２０５ａ−６に当接することにより、搬送容器２００の位置決めをする。
この状態では、位置決めピン８１５ａの遮光部８１５ａ−７の下端が底蓋８１７の下面と同じ位置になる。コントローラは、光センサ８１８の出力に応じて、搬送容器２００がテーブ８１５に確実に載置されたと判断して、移動モータを駆動して、テーブル８１５を前進させる。
【００３７】
なお、搬送容器２００がテーブ８１５に確実に載置されたかの否かの判断は、以下の方法を用いても行なうことができる。
第１の方法は、テーブル８１５に光センサを設けて、テーブル８１５の表面と搬送容器２００の底面との距離を測定し、容器２００の有無を判定する方法である。しかし、この方法は、センサの検出誤差を例えば２ｍｍ程度以内に収まるように設置する必要があり、設置精度及びメンテナンス等の点で好ましくない。
第２の方法は、ピン８１５ａ〜８１５ｃ等に容器２００の荷重を検出する圧力センサ等を設け、容器２００の有無を判定する方法である。しかし、一般に圧力センサは、検出誤差が大きいので、テーブル８１５の誤動作の原因となる。また、容器２００は、収容物の種類等によって重量が異なるので、容器２００の荷重には、ばらつきがある。このため、この方法も、好ましくない。
【００３８】
これらの方法に対して、本実施形態では、位置決めピン８１５ａが底蓋８１７の下面から突出しているか否かのみを判定すればよく、検出エラーがほとんど発生することがない。また、位置決めピン８１５ａの移動ストロークは、長穴２０５ａ−１の深さ程度確保することができる。このため、この移動ストロークつまり位置決めピン８１５ａの突出量を、例えば５ｍｍ程度の十分な長さにすることができ、高い設置精度が要求されず、またメンテナンスも容易である。
【００３９】
図６は、第２実施形態の蓋着脱装置の位置決めピン８１５ａと従来の搬送容器３００の断面Ｖ字溝３０５ａとが係合した状態における断面図（図３（ａ）に相当する図）である。
現在すでに使用されている搬送容器３００は、搬送容器２００のような長穴２０５ａ−２，２０５ｂ−２，２０５ｃ−２（図２参照）を有していない。この場合でも、位置決めピン８１５ａは、断面Ｖ字溝３０５ａの斜面３０５ａ−６に押圧されることにより基部８１１内部へと押し込まれる。そして、基部案内部８１１−１（Ｖ字斜面当接部）は、断面Ｖ字溝３０５ａの斜面３０５ａ−６に当接することにより、搬送容器３００の水平方向における位置決め及び鉛直方向の位置決めをすることができる。
なお、この場合には、コントローラは、光センサ８１８の検出信号の有無に関わらず、テーブル８１５を移動させればよい。
これにより、本実施形態の蓋着脱装置は、従来の搬送容器３００にも対応することができる。
【００４０】
以上説明したように、第２実施形態の蓋着脱装置は、搬送容器２００がテーブ８１５に確実に載置されたか否かを判断し、確実に載置された場合にテーブル８１５を前進させることができる。
また、第２実施形態の蓋着脱装置は、長穴２０５ａ−２，２０５ｂ−２，２０５ｃ−２が設けられている搬送容器２００と、これらが設けられていない従来の搬送容器３００とのいずれにも対応することができる。
【００４１】
（第３実施形態）
図７は、第３実施形態の蓋着脱装置の位置決めピン９１５ａと搬送容器２００の断面Ｖ字溝２０５ａとが係合した状態における断面図（図３（ａ）に相当する図）である。
本実施形態の蓋着脱装置のテーブル９１５には、第１実施形態の位置決めピン１５ａ，１５ｂ，１５ｃと同様な位置に、３つの位置決めピン９１５ａが配置されている。
位置決めピン９１５ａは、上段９１５ａ−７と下段９１５ａ−８とからなる２段状に形成されており、上段９１５ａ−７の先端縁部は、案内部９１５ａ−６が設けられている。案内部９１５ａ−６は、断面形状が円弧状であり、断面Ｖ字溝２０５ａの斜面２０５ａ−６に当接して、断面Ｖ字溝２０５ａの固定面２０５ａ−１を位置決めピン９１５ａの固定面９１５ａ−１へと案内する。また、位置決めピン９１５ａは、下段９１５ａ−８（Ｖ字斜面当接部）の縦断面形状も円弧状である。
【００４２】
位置決めピン９１５ａの固定面９１５ａ−１と断面Ｖ字溝２０５ａの固定面２０５ａ−１とが係合した状態では、搬送容器２００は、第２実施形態と同様な形態で、テーブル９１５に対する位置決めがされる。
すなわち、水平方向において、搬送容器２００は、位置決めピン９１５ａの固定面９１５ａ−１と長穴２０５ａ−２の固定面２０５ａ−１とにより、位置決めがさる。一方、鉛直方向において、搬送容器２００は、位置決めピン９１５ａの下段９１５ａ−８が断面Ｖ字溝２０５ａの斜面２０５ａ−６に当接することにより、鉛直方向の位置決めがされる。
【００４３】
以上説明したように、本実施形態の蓋着脱装置は、位置決めピン９１５ａの天面が平面ではなく円弧状であっても、搬送容器２００の位置決めをすることができる。
【００４４】
（第４実施形態）
図８は、第４実施形態の蓋着脱装置の位置決めピン１０１５ａと搬送容器２００の断面Ｖ字溝２０５ａとが係合した状態における断面図（図３（ａ）に相当する図）である。
本実施形態の位置決めピン１０１５ａには、検出ピン１０１５ａ−８が鉛直方向に移動可能に設けられている。また、位置決めピン１０１５ａは、第２実施形態の付勢部材８１６、光センサ８１８と同様な、付勢部材１０１６、光センサ１０１８とを備えている。
位置決めピン１０１５ａは、付勢部材１０１６により鉛直方向上側に付勢されている。搬送容器２００のＶがテーブル１０１５に載置されていない場合には、位置決めピン１０１５ａは、図中２点鎖線で示すように、平面部１０１５ａ−７から突出し、また遮光部１０１５ａ−９は、底蓋１０１７の下面と同じ位置となるように設定されている。
【００４５】
一方、搬送容器２００は、テーブル１０１５に載置され、固定面２０５ａ−１が案内部１０１５ａ−６により案内されて、正常に載置されると、位置決めピン１０１５ａの平面部１０１５ａ−７と搬送容器２００の底部の平面２０５ａ−７とが面接触する。この場合には、検出ピン１０１５ａ−８は、平面２０５ａ−７により鉛直方向下側に押圧される。これにより、図８に示すように、検出ピン１０１５ａ−８は、位置決めピン１０１５ａ内部へと押し込まれる。また、遮光部１０１５ａ−９は、底蓋１０１７から突出するために、受光素子１０１８−２は、発光素子１０１８−１の光Ｌを受光することができない。
このようにして、本実施形態の蓋着脱装置は、搬送容器２００がテーブル１０１５に載置されたことを検出することができる。
【００４６】
以上説明したように、本実施形態の蓋着脱装置は、発光素子１０１８−１と受光素子１０１８−２とからなる検出部の出力に応じて、位置決めピン１０１５ａの平面部１０１５ａ−７と搬送容器２００の底部の平面２０５ａ−７とが面接触したことを検出することができる。これにより、本実施形態の蓋着脱装置は、搬送容器２００がテーブル１０１５上に正常に載置されか否かを検出することができる。
【００４７】
なお、本実施形態の蓋着脱装置は、発光素子１０１８−１と受光素子１０１８−２の代わり、位置決めピン１０１５ａの平面部１０１５ａ−７に圧力センサを備えていてもよい。この場合、蓋着脱装置は、搬送容器２００が載置されたか否かを判定するために、位置決めピン１０１５ａの平面部１０１５ａ−７と搬送容器２００の底部の平面２０５ａ−７とが面接触したことにともなう圧力の変化を確認すればよい。これにより、蓋着脱装置は、搬送容器２００がテーブル１０１５上に正常に載置されか否かを、より確実に検出することができる。
【００４８】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明による搬送容器の蓋着脱装置の第１実施形態の概略を示す斜視図である。
【図２】第１実施形態による搬送容器の蓋着脱装置のテーブルの位置決め部材を示す図である。
【図３】第１実施形態の搬送容器の断面Ｖ字溝と蓋着脱装置の位置決めピンとが係合した状態における断面図である。
【図４】第１実施形態の搬送容器と、従来の搬送容器とを比較説明する図である。
【図５】第２実施形態の搬送容器の断面Ｖ字溝と蓋着脱装置の位置決めピンとが係合した状態における断面図である。
【図６】第２実施形態の蓋着脱装置の位置決めピンと従来の搬送容器の断面Ｖ字溝とが係合した状態における断面図である。
【図７】第３実施形態の蓋着脱装置の位置決めピンと搬送容器の断面Ｖ字溝とが係合した状態における断面図である。
【図８】第４実施形態の蓋着脱装置の位置決めピンと搬送容器の断面Ｖ字溝とが係合した状態における断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１５，８１５，９１５，１０１５  テーブル
１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，８１５ａ，９１５ａ，１０１５ａ  位置決めピン
１５ａ−１，１５ｂ−１，１５ｃ−１，９１５ａ−１  固定面
１００  蓋着脱装置
２００  搬送容器
２０５ａ，２０５ｂ，２０５ｃ  断面Ｖ字溝
８１０  位置決め部
８１１  基部
８１６，１０１６  付勢部材
８１７  底蓋
８１８，１０１８  光センサ
９１５ａ−６  案内部
１０１５ａ−８  検出ピン
【図１】
2009200136.tif 000003
【図２】
2009200136.tif 000004
【図３】
2009200136.tif 000005
【図４】
2009200136.tif 000006
【図５】
2009200136.tif 000007
【図６】
2009200136.tif 000008
【図７】
2009200136.tif 000009
【図８】
2009200136.tif 000010