(57)【要約】【課題】温間成形プロセスを経ずに略平板形状に成形することができる金属ガラス合金板の製造方法を提供する。【解決手段】回転する成形盤１の軸方向Ｚと直交する表面を成形面２とする。この成形面２に金属ガラス合金の溶融物３を供給することによって、成形盤１の回転力で溶融物３を広げると共に広げた溶融物３を冷却する。金属ガラス合金の溶融物３を成形盤１の回転力で広げた後、広げた状態で冷却することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転する成形盤の軸方向と直交する表面を成形面とし、この成形面に金属ガラス合金の溶融物を供給することによって、成形盤の回転力で溶融物を広げると共に広げた溶融物を冷却することを特徴とする金属ガラス合金板の製造方法。
【請求項２】
上記成形盤と同期して回転する成形補助盤と上記成形面との間で、成形面に供給された金属ガラス合金の溶融物を挟むことによって、溶融物を冷却することを特徴とする請求項１記載の金属ガラス合金板の製造方法。
【請求項３】
上記成形面が冷却されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の金属ガラス合金板の製造方法。
【請求項４】
上記成形面が凸状または凹状に湾曲していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の金属ガラス合金板の製造方法。
【請求項５】
真空中あるいは不活性ガス雰囲気下で上記成形面に金属ガラス合金の溶融物を供給することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の金属ガラス合金板の製造方法。
【請求項６】
上記成形盤を振動させた状態で金属ガラス合金の溶融物を供給することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の金属ガラス合金板の製造方法。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、三次元形状の金属ガラス合金板を製造するための方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、金属及び合金の液体を融点（Ｔｍ）以下に冷却した場合、液体は直ちに結晶として凝固するため、一般的な金属材料は結晶質構造を持つ。結晶質構造は、規則的に原子が配列するものの、結晶粒界や欠陥を多く含み、機械的強度や化学的安定性を阻害する箇所が多数存在する。
【０００３】
しかし、１９６０年頃、１０６Ｋ／ｓで冷却すると無秩序な原子配列のまま固化する合金系があることが見出された。このように無秩序な原子配列を持つ構造は、非晶質構造やアモルファス構造などと呼ばれ、そのような構造を持つ合金は非晶質合金あるいはアモルファス合金などと呼ばれる。非晶質合金は金属元素がランダムに配列し、最近接原子間距離や配位数及び原子間の相対位置は結晶質のように一定ではない形態を持ち、また、凝固の際、凝固収縮が抑えられているため、結晶質構造を持つものに比べ原子間空隙を多く持っている。
【０００４】
一般的に、非晶質合金は、結晶質構造を持つものに比べ、機械的強度が高い、化学的安定性（耐食性）が優れる、電気抵抗が高くて温度変化が小さい、熱膨張係数や剛性率の温度係数が小さいなどの優れた特性を持つ。また、その他、近年の盛んな研究により結晶合金に比べて優れる種々の特性が確認されている。こうした優れた特性は、主に、結晶粒界を持たない、そして、原子間空隙が大きいということに起因している。ただし、１９８８年までに報告されているアモルファス合金は高冷却速度を必要とし、材料形態も、厚みが５０μｍまでと薄肉小物に限られていた。
【０００５】
そのような中、１９８８年以降、東北大学のグループにより、０．１〜１００Ｋ／ｓ程度の徐冷速度においても非晶質化する数多くの合金系が見出された。これらの非晶質合金は、加熱すると結晶化の前段階にガラス遷移と広い過冷却液体域を示すことが特徴であり、現在では、金属ガラス合金、金属ガラス、ガラス合金、ガラス金属等、各種の表現方法により定義されている。
【０００６】
このような金属ガラス合金の作製方法としては、回転ロール上に射出・急冷する液体急冷法、溶解した合金を水中で冷却する水焼入れ法、高周波による溶解後、鋳型に射出・冷却する金型鋳造法、アーク溶解後、鋳型で鍛造する型締め鋳造法、回転ディスク溝部に注入する回転ディスク製線法、などが開発されてきた（特許文献１、２参照）。
【０００７】
金属ガラスでは、ガラス状原子配列が相当に高い安定性を持って形成され、その構造は１０６Ｋ／ｓの高冷却速度で得られても、あるいは徐冷速度で得られてもほとんど変化せず、ほぼ一定の熱的安定性や諸物性を示す。金属ガラスの一般的な特徴として、非晶質構造が非常に安定であるため、非晶質構造特有の優れた機械的特性、化学的特性を安定的に保持できることが挙げられる。また、過冷却液体領域を持つため、二次加工的に温間成形することも可能となり、工業的には大変利用価値が高い。
【特許文献１】特開２０００−１６９９４７号公報
【特許文献２】特開平１１−７６４７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、板形状の金属ガラスの作製方法は限られており、特に、広面積の平板作製技術は限られており、一度事前作製した金属ガラス片を第二ステップとして温間成形し、平板形状に成形するなどの方法がとられている。しかし、このような方法であると、作業が多段ステップになる上、温間成形段階において、金属ガラスの保有する原子間空隙（フリーボリューム）が徐々に失われていく危険がある。このことは、非晶質構造特有の性質を徐々に失うことに繋がるため、できることであれば、温間成形プロセスを経ずに、略平板形状の金属ガラス合金板を作製することが望まれている。
【０００９】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、温間成形プロセスを経ずに略平板形状に成形することができる金属ガラス合金板の製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の請求項１に係る金属ガラス合金板Ａの製造方法は、回転する成形盤１の軸方向Ｚと直交する表面を成形面２とし、この成形面２に金属ガラス合金の溶融物３を供給することによって、成形盤１の回転力で溶融物３を広げると共に広げた溶融物３を冷却することを特徴とするものである。
【００１１】
本発明の請求項２に係る金属ガラス合金板Ａの製造方法は、請求項１において、上記成形盤１と同期して回転する成形補助盤４と上記成形面２との間で、成形面２に供給された金属ガラス合金の溶融物３を挟むことによって、溶融物３を冷却することを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の請求項３に係る金属ガラス合金板Ａの製造方法は、請求項１又は２において、上記成形面２が冷却されていることを特徴とするものである。
【００１３】
本発明の請求項４に係る金属ガラス合金板Ａの製造方法は、請求項１乃至３のいずれか一項において、上記成形面２が凸状または凹状に湾曲していることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明の請求項５に係る金属ガラス合金板Ａの製造方法は、請求項１乃至４のいずれか一項において、真空中あるいは不活性ガス雰囲気下で上記成形面２に金属ガラス合金の溶融物３を供給することを特徴とするものである。
【００１５】
本発明の請求項６に係る金属ガラス合金板Ａの製造方法は、請求項１乃至５のいずれか一項において、上記成形盤１を振動させた状態で金属ガラス合金の溶融物３を供給することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１の発明では、金属ガラス合金の溶融物３を成形盤１の回転力で広げた後、広げた状態で冷却することができ、温間成形プロセスを経ずに略平板形状に成形することができるものである。
【００１７】
請求項２の発明では、成形盤１と成形補助盤４との間で金属ガラス合金の溶融物３を挟んだ状態で略板状に成形しつつ冷却することができ、容易に略平板形状に成形することができるものである。
【００１８】
請求項３の発明では、成形面２に供給された金属ガラス合金の溶融物３を冷却しやすくなって、容易に略平板形状に成形することができるものである。
【００１９】
請求項４の発明では、金属ガラス合金の溶融物３を成形面２の形状に沿って凸状または凹状に成形することができ、湾曲した金属ガラス合金板を容易に成形することができるものである。
【００２０】
請求項５の発明では、金属ガラス合金の溶融物３の酸化を防止することができ、強度低下などの劣化を防ぐことができるものである。
【００２１】
請求項６の発明では、金属ガラス合金の溶融物３の湯流れをスムーズにすると共に、結晶核の生成を遅らせることができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００２３】
図１に本発明で用いる成形装置１０を示す。この成形装置１０は母金属である金属ガラス合金の溶融（溶解）と金属ガラス合金板の作製（金属ガラス合金の溶融物３の急冷及び成形）とを連続して行うことができる仕組みになっている。この成形装置１０は上からハース１１、成形補助盤４、成形盤１とを順次並べて形成されている。
【００２４】
ハース１１は例えば銅製であって、一対のハース半体１１ａ、１１ａを組み合わせて形成されている。また、ハース１１の上面には溶融凹部１２が一対のハース半体１１ａ、１１ａにわたって設けられている。また、一対のハース半体１１ａ、１１ａは互いに略水平にスライド移動自在に形成されている。そして、図２（ａ）に示すように、一対のハース半体１１ａ、１１ａを隙間無く接合した状態から、図２（ｂ）に示すように、互いに略水平にスライド移動させることにより、溶融凹部１２の底面の略中央部に流下口１３を形成することができる。
【００２５】
成形補助盤４は略円盤状に形成されており、その略中央部にはノズル１４が保持されている。成形補助盤４は例えば真鍮製ブロックを用いることができ、ノズル１４は例えばカーボン製のものを用いることができる。
【００２６】
成形盤１は成形補助盤４と同様に例えば真鍮製で略円盤状に形成されている。また、成形盤１の上面は成形面２として形成されており、例えば、平坦面に形成することができる。また、成形盤１は成形補助盤４の下側に間隙を介して配置されており、この間隙が金属ガラス合金の溶融物３を急冷／成形するための成形空間１５として形成されている。
【００２７】
上記の成形盤１及び成形補助盤４はその中心を通る鉛直方向を軸方向とし、この軸方向を中心として水平面内で回転駆動自在に形成されている。従って、成形盤１の成形面２は軸方向と直交する表面として形成されている。成形盤１及び成形補助盤４の駆動はモータなどを用いることができ、成形盤１及び成形補助盤４の回転は同じ速度で同期するようになっている。ここで、回転速度は１０〜１０００ｒｐｍとすることができるが、これに限定されるものではない。
【００２８】
上記成形盤１の成形面２及び成形補助盤４の下面は０〜２５℃に冷却されているのが好ましく、これにより、金属ガラス合金の溶融物３を急速に冷却することができる。本発明では、成形盤１及び成形補助盤４の内部あるいは外部に冷却水経路を設けることで、成形盤１の成形面２及び成形補助盤４の下面を冷却することができる。
【００２９】
そして、上記の成形装置１０を用いて金属ガラス合金板Ａを形成するにあたっては、次のようにして行う。まず、溶融凹部１２の上に金属ガラス合金の母合金を設置し、この金属ガラス合金を溶融させる。この溶融には例えばアーク溶解などの手段を用いることができる。次に、金属ガラス合金を充分に溶融させた後、一対のハース半体１１ａ、１１ａをスライド移動させることにより流下口１３を形成し、この流下口１３から金属ガラス合金の溶融物（溶湯）３をノズル１４へと流下させる。このとき、溶融凹部１２を加圧して溶融物３を強制的に流下させることができる。この後、ノズル１４から金属ガラス合金の溶融物３を流下して成形盤１の成形面２の略中央部に噴出するように供給する。また、この溶融物３の噴出と同時に成形補助盤４を降下させる。そして、成形面２に供給された金属ガラス合金の溶融物３は成形盤１の回転力（遠心力）により成形空間１５内を円盤状に広がって成形される。また、円盤状に広がった溶融物３は成形面２と成形補助盤４の下面との間で挟まれて冷却される。このようにして金属ガラス合金板Ａを形成することができる。そして、本発明では、金属ガラス合金の溶融物３を成形盤１の回転力で成形面２上で広げ、この後、広げた状態で冷却することができ、温間成形プロセスを経ずに略平板形状に成形することができる。
【００３０】
上記の成形は真空中または不活性ガス雰囲気下で行うことが好ましく、これにより、高温に達する金属ガラス合金の溶融物３の酸化を防止することができる。ここで、真空は例えば真空度１×１０−２〜１×１０−４Ｐａにすることができ、不活性ガスとしてはアルゴンなどを用いることができるが、これらに限定されるものではない。また、成形装置１０の全体を真空中又は不活性ガス雰囲気下に配置することができるが、溶融凹部１２と成形空間１５のみを真空又は不活性ガス雰囲気に保持しても良い。
【００３１】
また、上記の成形において、成形盤１を振動させた状態で金属ガラス合金の溶融物３を成形面２に供給するのが好ましい。この振動は微細な振幅の振動であって、例えば、電磁振動機器を用いて成形盤１に振動を与えることができる。
【００３２】
また、成形面２は図３（ａ）のように上向き凸状や上向き凹状に湾曲してもよく、各種の形状に金属ガラス合金板Ａを成形することができる。
【００３３】
以下に、本発明の一例として、Ｚｒ５０Ｃｕ３０Ｎｉ１０Ａｌ１０の組成を有する金属ガラス合金の平板作製について説明する。まず、上記組成の金属ガラス合金の母合金２０ｇを銅製のハース１１の溶融凹部１２の上に設置し、アーク溶解により十分に溶解する。この溶解の時点で、溶融凹部１２内を２気圧に加圧すると共に、ハース半体１１ａ、１１ａを図２（ｂ）のようにスライド移動させ、真空状態に保持された成形空間１５内にある直径２００ｍｍの成形盤１の成形面２の略中央部に金属ガラス合金の溶融物（溶湯）３を噴出した。このとき、溶湯の噴出と同時に、溶湯が通過する直径１５ｍｍのカーボン製のノズル１４、およびノズル１４の固定用の真鍮製の成形補助盤（ブロック）４を下降させ、成形盤１の成形面２と成形補助盤４の下面との間で上記溶湯を挟み込み、冷却しながら平板形成を行った。成形盤１と成形補助盤４との間の成形空間１５の上下寸法Ｔは初期で１ｍｍであったが、成形補助盤４の下降後、０．５ｍｍとなった。また、成形盤１及び成形補助盤４は４００ｒｐｍの速度で回転していた。こうして作製した平板状の金属ガラス合金板Ａの厚みは０．５ｍｍであり、直径Ｄは６０ｍｍとなった。
【００３４】
このような三次元形状板の金属ガラス合金板Ａを作製するには、ガラス形成能の高い金属ガラス合金が好適に用いられ、例えば、Ｚｒを含むような合金組成が望ましいが、必ずしもこれに限らない。
【００３５】
以下に本発明において適用できる金属ガラス合金の一例を示す。
【００３６】
ＣｕｘＭｙ…（１）
（式（１）において、Ｍ＝Ａｌ，Ｚｒ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｇａ，Ｃｏ，Ｆｅ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｓｉ，Ｂ，Ｃより選ばれた１種以上の元素、２≦ｘ≦６５，３５≦ｙ≦８８、ｘ＋ｙ＝１００）
ＺｒｘＭｙ…（２）
（式（２）において、Ｍ＝Ａｌ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｔｉ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｇａ，Ｃｏ，Ｆｅ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｓｉ，Ｂ，Ｃより選ばれた１種以上の元素、２≦ｘ≦６５，３５≦ｙ≦８８、ｘ＋ｙ＝１００）
ＮｉｘＭｙ…（３）
（式（３）において、Ｍ＝Ａｌ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｔｉ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｇａ，Ｃｏ，Ｆｅ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｓｉ，Ｂ，Ｃより選ばれた１種以上の元素、２≦ｘ≦６５，３５≦ｙ≦８８、ｘ＋ｙ＝１００）
ＴｉｘＭｙ…（４）
（式（４）において、Ｍ＝Ａｌ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｇａ，Ｃｏ，Ｆｅ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｓｉ，Ｂ，Ｃより選ばれた１種以上の元素、２≦ｘ≦６５，３５≦ｙ≦８８、ｘ＋ｙ＝１００）
ＦｅｘＭｙ…（５）
（式（５）において、Ｍ＝Ａｌ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｔｉ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｇａ，Ｃｏ，Ｚｒ，Ｍｏ，Ｃｒ，Ｓｉ，Ｂ，Ｃより選ばれた１種以上の元素、２≦ｘ≦６５，３５≦ｙ≦８８、ｘ＋ｙ＝１００）
式（１）のＣｕ基のものとしては、
Ｃｕ−Ｚｒ−Ｔｉ（例えば、Ｃｕ６０Ｚｒ３０Ｔｉ１０）
Ｃｕ−Ｔｉ−Ｎｉ−Ｈｆ−Ｚｒ−Ｓｉ（例えば、Ｃｕ４２．５Ｔｉ４１．５Ｎｉ７．５Ｈｆ５Ｚｒ２．５Ｓｉ１）
などを例示することができる。
【００３７】
式（２）のＺｒ基のものとしては、
Ｚｒ−Ｃｕ−Ａｌ（例えば、Ｚｒ５０Ｃｕ４０Ａｌ１０）
Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ａｌ（例えば、Ｚｒ５０Ｃｕ３０Ｎｉ１０Ａｌ１０）
Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ａｌ−Ｔｉ（例えば、Ｚｒ５３Ｃｕ２０Ｎｉ１２Ａｌ１０Ｔｉ５）
などを例示することができる。
【００３８】
式（３）に示すＮｉ基のものとしては、
Ｎｉ−Ｎｂ−Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｏ―Ｃｕ（例えば、Ｎｉ５３Ｎｂ２０Ｔｉ１０Ｚｒ８Ｃｏ６Ｃｕ３）
Ｎｉ−Ｎｂ−Ｔｉ−Ｚｒ（例えば、Ｎｉ６０Ｎｂ１５Ｔｉ１５Ｚｒ１０）
Ｎｉ−Ｎｂ−Ｔｉ（例えば、Ｎｉ６０Ｎｂ１５Ｔｉ２５）
Ｎｉ−Ｎｂ−Ｚｒ（例えば、Ｎｉ６０Ｎｂ２０Ｚｒ２０）
Ｎｉ−Ｎｂ−Ｔｉ−Ｚｒ−Ｆｅ（例えば、Ｎｉ５５Ｎｂ１５Ｔｉ１５Ｚｒ１０Ｆｅ５）
Ｎｉ−Ｎｂ−Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｏ（例えば、Ｎｉ５５Ｎｂ１５Ｔｉ１５Ｚｒ１０Ｃｏ５）
Ｎｉ−Ｎｂ−Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ（例えば、Ｎｉ５５Ｎｂ１５Ｔｉ１５Ｚｒ１０Ｃｕ５）
Ｎｉ−Ｎｂ−Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｏ−Ｃｕ（例えば、Ｎｉ５３．５Ｎｂ２０．２Ｔｉ１０．１Ｚｒ７．１Ｃｏ６．１Ｃｕ３）
などを例示することができる。
【００３９】
式（４）に示すＴｉ基のものとしては、
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｈｆ（例えば、Ｔｉ４５Ｚｒ２．５Ｃｕ４２．５Ｎｉ７．５Ｈｆ２．５）
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｎｂ（例えば、Ｔｉ４５Ｚｒ２．５Ｃｕ４２．５Ｎｉ７．５Ｎｂ２．５）
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｔａ（例えば、Ｔｉ４５Ｚｒ２．５Ｃｕ４２．５Ｎｉ７．５Ｔａ２．５）
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｖ（例えば、Ｔｉ４５Ｚｒ２．５Ｃｕ４２．５Ｎｉ７．５Ｖ２．５）
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｓｎ（例えば、Ｔｉ４５Ｚｒ２．５Ｃｕ４２．５Ｎｉ７．５Ｓｎ２．５）
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ａｌ（例えば、Ｔｉ４５Ｚｒ２．５Ｃｕ４２．５Ｎｉ７．５Ａｌ２．５）
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｓｉ（例えば、Ｔｉ４５Ｚｒ２．５Ｃｕ４２．５Ｎｉ７．５Ｓｉ２．５）
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｐｂ（例えば、Ｔｉ４５Ｚｒ２．５Ｃｕ４２．５Ｎｉ７．５Ｐｂ２．５）
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｇａ（例えば、Ｔｉ４５Ｚｒ２．５Ｃｕ４２．５Ｎｉ７．５Ｇａ２．５）
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｙ（例えば、Ｔｉ４６．３Ｚｒ２．４５Ｃｕ４１．４５Ｎｉ７．３Ｓｉ２．５）
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｂ（例えば、Ｔｉ４５Ｚｒ２．５Ｃｕ４２．５Ｎｉ７．５Ｂ２．５）
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｈｆ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｓｉ（例えば、Ｔｉ４１．５Ｚｒ２．５Ｈｆ５Ｃｕ４２．５Ｎｉ７．５Ｓｉ１）
Ｔｉ−Ｚｒ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｓｉ−Ｂ（例えば、Ｔｉ４５Ｚｒ２．５Ｃｕ４２．５Ｎｉ７．５Ｓｉ２Ｂ０．５）
Ｔｉ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｍｏ（例えば、Ｔｉ５２Ｃｕ２３Ｎｉ１１Ｆｅ７Ｍｏ７）
Ｔｉ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｚｒ−Ａｌ−Ｓｉ−Ｂ（例えば、Ｔｉ５３．５Ｃｕ２１Ｎｉ１２Ｚｒ３Ａｌ７Ｓｉ３Ｂ０．５）
Ｔｉ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｚｒ（例えば、Ｔｉ４０Ｃｕ４５Ｎｉ５Ｚｒ１０）
などを例示することができる。
【００４０】
式（５）に示すＦｅ基のものとしては、
Ｆｅ−Ｓｉ−Ｂ−Ｎｂ（例えば、Ｆｅ７１Ｓｉ４Ｂ２０Ｎｂ５）
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｓｉ−Ｂ−Ｎｂ（例えば、Ｆｅ５７．６Ｃｏ１４．４Ｓｉ４Ｂ２０Ｎｂ４）
Ｆｅ−Ｓｉ−Ｂ−Ｎｂ（例えば、Ｆｅ７２Ｓｉ４Ｂ２０Ｎｂ４）
Ｆｅ−Ｎｉ−Ｂ（例えば、Ｆｅ６０Ｎｉ２０Ｂ２０）
Ｆｅ−Ｃｒ−Ｍｏ−Ｃ−Ｂ−Ｅｒ（例えば、Ｆｅ４８Ｃｒ１５Ｍｏ１４Ｃ１５Ｂ６Ｅｒ２）
Ｆｅ−Ｍｏ−Ｃ−Ｂ−Ｅｒ（例えば、Ｆｅ６３Ｍｏ１４Ｃ１５Ｂ６Ｅｒ２）
Ｆｅ−Ｎｉ−Ｓｉ−Ｂ−Ｎｂ（例えば、Ｆｅ４３Ｎｉ２９Ｓｉ４Ｂ２０Ｎｂ４）
Ｆｅ−Ｎｂ−Ｂ（例えば、Ｆｅ７２Ｎｂ４Ｂ２４）
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｂ−Ｓｉ−Ｎｂ（例えば、Ｆｅ５７．６Ｃｏ７．２Ｎｉ７．２Ｂ１９．２Ｓｉ４．８Ｎｂ４）
などを例示することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示し、（ａ）（ｂ）は断面図、（ｃ）は金属ガラス合金板の平面図である。
【図２】同上のハースを示し、（ａ）（ｂ）は平面図である。
【図３】同上の成形盤の他例を示し、（ａ）（ｂ）は断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
Ａ  金属ガラス合金板
１  成形盤
２  成形面
３  溶融物
４  成形補助盤
【図１】
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【図２】
2009202172.tif 000004
【図３】
2009202172.tif 000005