(57)【要約】【課題】光ファイバー素線の調芯精度を維持することができる光導波路装置を提供する。【解決手段】光導波路１２及び光導波路１２の両端部に形成された接続部１３を備える基板１１と、接続部１３に配置され光導波路１２に接続される光ファイバー４０と、接続部１３との間に光ファイバー４０を挟持する固定部材５０とを備える光導波路装置１である。基板１１には光導波路１２と接続部１３との間に溝１５が形成され、固定部材５０は溝１５を跨いで設けられている。固定部材５０により光ファイバー４０の先端の動きを抑制することができ、光ファイバー素線の調芯精度を維持することができる。【選択図】図３
2009003098.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光導波路及び前記光導波路の両端部に形成された接続部を備える基板と、前記接続部に配置され前記光導波路に接続される光ファイバーと、前記接続部との間に前記光ファイバーを挟持する固定部材とを備え、
前記基板には前記光導波路と前記接続部との間に溝が形成され、
前記固定部材は前記溝を跨いで設けられていることを特徴とする光導波路装置。
【請求項２】
前記光ファイバーは前記溝上において前記固定部材に接着されていることを特徴とする請求項１に記載の光導波路装置。
【請求項３】
前記光ファイバーと前記固定部材とを接着する接着剤は前記光導波路と前記固定部材との隙間より注入されることを特徴とする請求項２に記載の光導波路装置。
【請求項４】
前記接着剤は前記光ファイバーと前記光導波路との隙間に充填され、前記光ファイバーのコアと前記光導波路のコアとを光学的に接続することを特徴とする請求項２または３に記載の光導波路装置。
【請求項５】
前記接着剤の粘度は１０００ＣＰ以下であることを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の光導波路装置。
【請求項６】
前記固定部材と前記接続部とは前記接着剤よりも粘度が高い補強用接着剤により接着されることを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項に記載の光導波路装置。
【請求項７】
前記接続部には前記光ファイバーを前記光導波路と光学的に接続される位置に配置する位置決め溝が設けられているとともに、前記位置決め溝と平行に設けられ前記補強用接着剤が流入する固定溝が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の光導波路装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ケーブルと接続する光導波路装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年では、データ通信の高速化に伴い、従来からのメタリックケーブルによる通信に代わって光ケーブルを用いた光通信が主流となりつつある。この光通信を行う光導波路装置としては、光ケーブルと光学的に接続され、その光ケーブルを伝播する光を複数の光ケーブルにスプリットする光導波路装置などがある。
【０００３】
光導波路装置は、Ｙ字状に複数の分岐が形成されたコア及びコアを覆うクラッドが形成された光導波路部と、光ファイバー素線を固定しコアの両端に光ファイバー素線を接続する接続部とが、同一の基板上に形成されてなる。
【０００４】
光導波路装置と光ファイバーとの接続においては、その接続箇所における損失を少なくするために正確な位置合わせ（アラインメント：Alignment）を行い、多少の外力を受けた場合でもその接続がずれないように固定することが重要である。
このため、接続部に光ファイバー素線が配置されるＶ字型の溝（Ｖ溝）を設け、光ファイバー素線の固定時に正確な位置決めを可能とする構造が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。
【０００５】
図１０（ａ）に示すように、深さが１００μｍ程度のＶ溝１１４を基板１１１の接続部１１３に異方性ウエットエッチングにより形成する場合には、終端面が平坦にならない。このため、図１０（ｂ）に示すように、光導波路部１１２と接続部１１３との境界にＶ溝１１４と直交する矩形溝１１５をダイシングで形成し、図１０（ｃ）に示すように矩形溝１１５の光導波路部１１２側の側面に光ファイバー素線１４０を当接させることで正確な位置合わせを行うことができる（例えば、特許文献３参照）。なお、光導波路部１１２のコア及びクラッドとしては、例えばポリイミド等のポリマー材を用いることができ、基板１１１としては、シリコン基板を用いることができる。
【０００６】
接続部への光ファイバー素線１４０の固定は、図１０（ｃ）に示すように、接続部１１３上に載置された光ファイバー素線１４０の上にガラスブロック１５０を載せ、図示しない治具でガラスブロック１５０を接続部１１３へ押し付けた状態で接着剤を接続部１１３とガラスブロック１４０との間に注入することで行う(例えば、特許文献４参照)。
【特許文献１】特開２００４−９３７３０号公報
【特許文献２】特開２００５−３５２４５３号公報
【特許文献３】特開２００２−１３９６４１号公報
【特許文献４】特開２００４−２１２６８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、光ファイバー素線と光導波路部のコアとの隙間には、エアギャップによるフレネル反射損失をなくすために、コアと同等の屈折率を有する透明なＵＶ硬化樹脂が充填される。
【０００８】
しかし、ＵＶ硬化樹脂を必要以上に供給すると、矩形溝内にＵＶ硬化樹脂が流入し、これが硬化収縮すると光ファイバー素線の先端が動いてしまい、調芯精度が低下するという問題がある。
【０００９】
本発明の課題は、光ファイバー素線の調芯精度を維持することができる光導波路装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以上の課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、光導波路装置であって、光導波路及び前記光導波路の両端部に形成された接続部を備える基板と、前記接続部に配置され前記光導波路に接続される光ファイバーと、前記接続部との間に前記光ファイバーを挟持する固定部材とを備え、前記基板には前記光導波路と前記接続部との間に溝が形成され、前記固定部材は前記溝を跨いで設けられていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光導波路装置であって、前記光ファイバーは前記溝上において前記固定部材に接着されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の光導波路装置であって、前記光ファイバーと前記固定部材とを接着する接着剤は前記光導波路と前記固定部材との隙間より注入されることを特徴とする。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項２または３に記載の光導波路装置であって、前記接着剤は前記光ファイバーと前記光導波路との隙間に充填され、前記光ファイバーのコアと前記光導波路のコアとを光学的に接続することを特徴とする。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項２〜４のいずれか一項に記載の光導波路装置であって、前記接着剤の粘度は１０００ＣＰ以下であることを特徴とする。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項２〜５のいずれか一項に記載の光導波路装置であって、前記固定部材と前記接続部とは前記接着剤よりも粘度が高い補強用接着剤により接着されることを特徴とする。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の光導波路装置であって、前記接続部には前記光ファイバーを前記光導波路と光学的に接続される位置に配置する位置決め溝が設けられているとともに、前記位置決め溝と平行に設けられ前記補強用接着剤が流入する固定溝が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、矩形溝内へのＵＶ硬化樹脂の流入を防止し、光ファイバー素線の調芯精度を維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係る光導波路装置の実施形態について詳細に説明する。
＜光導波路装置＞
図１は本発明に係る光導波路装置１の分解斜視図である。光導波路装置１は、光導波路チップ１０と、リボンファイバー３０と、ガラスブロック５０と、等から概略構成される。
【００１９】
光導波路チップ１０は、基板１１の上に形成された光導波路部１２と、この光導波路部１２にリボンファイバー３０内の光ファイバー素線４０を光学的に接続する接続部１３とを有する。基板１１としては、例えばシリコン基板等を用いることができる。
光導波路部１２は基板１１のＺ１方向の基板面上において、Ｙ字状に複数の分岐が形成されたコア１２ａと、コア１２ａを被覆するクラッド１２ｂとからなり、図１ではＹ１方向から入力される光を分配する。なお、逆に、Ｙ２方向から入力する光を集約してもよい。
コア１２ａ及びクラッド１２ｂには、ポリイミド等のポリマー材を用いることができる。
【００２０】
図２は図１の接続部１３の拡大図である。接続部１３は、図１、図２に示すように、基板１１のＺ１方向の基板面上に、断面Ｖ字形のＶ溝１４がコア１２ａの光伝播方向に沿う方向（Ｙ１−Ｙ２方向）に形成されている。Ｖ溝１４はリボンファイバー３０の光ファイバー素線４０を嵌合可能となるように、光ファイバー素線４０の径に応じて光ファイバー素線４０のコア４１が光導波路部１２のコア１２ａの位置と一致するように予め定められた設計位置で形成されている。
【００２１】
なお、Ｖ溝の数は、後述する光ファイバー素線４０の本数よりも２本以上多く、図１、図２においては光ファイバー素線４０の本数よりも２本多い。両端部のＶ溝１４は後述するように、補強用接着剤７０が流入し糊代として用いられる固定溝１４ａとなる。その他のＶ溝１４は、光ファイバー素線４０の固定位置を定める位置決め溝１４ｂとなる。光ファイバー素線４０を位置決め溝１４ｂに配置することで、光ファイバー素線４０のコア４１がＹ１−Ｙ２方向に配置される。
【００２２】
また、接続部１３の光導波路部１２との境界部には、Ｖ溝１４が形成された方向と直交する方向（Ｘ１−Ｘ２方向）に、Ｖ溝１４よりも深い矩形溝１５が形成されている。矩形溝１５の光導波路部１２側の側面には、コア１２ａが露出しており、後述するようにＶ溝１４に配置された光ファイバー素線４０の端面が当接される。
【００２３】
接続部１３に接続されるリボンファイバー３０は、その被覆３１の内部に多芯又は単芯の光ファイバー素線４０を有し、接続部１３と接続する端部領域においては光ファイバー素線４０を露出している。光ファイバー素線４０は、例えば、石英（ＳｉＯ2）ガラスにゲルマニア（ＧｅＯ2）などをドープしたプリフォームを引き延ばして円筒状に作成されており、この円筒状の中心付近にはコア４１がクラッド４２で包むようにして延在されてなる。なお、光ファイバー素線４０は、多成分ガラスやプラスチック光ファイバー（ＰＯＦ：Plastic  Optical  Fiber）などであってよく、形状も上述した円筒状に限定するものではない。リボンファイバー３０は、この光ファイバー素線４０の一端側からコア４１に入力される光を全反射させて伝送し、他端側に出力する。
【００２４】
なお、図１においては、Ｙ１側からＹ２側に光が伝送され、Ｙ１側のリボンファイバー３０は４本の光ファイバー素線４０を有しているが、そのうち光導波路部１２のコア１２ａに接続される１本の光ファイバー素線４０のコア４１のみに光が伝送される。
【００２５】
ガラスブロック５０は、位置決め溝１４ｂに嵌め込まれた光ファイバー素線４０の端部を押さえた状態で、光導波路チップ１０に接着され、光ファイバー素線４０を光導波路チップ１０に固定する。
【００２６】
図３は光ファイバー素線４０を光導波路チップ１０に固定した状態を示す側面図であり、図４は図３のIV−IV矢視断面図、図５は図３のV−V矢視断面図、図６は図３のVI−VI矢視断面図である。
【００２７】
図３に示すように、光ファイバー素線４０は、位置決め溝１４ｂに配置された状態で端面が矩形溝１５の光導波路部１２側の側面に当接されている。ここで、光ファイバー素線４０のコア４１は光導波路部１２のコア１２ａと対向配置されている。
【００２８】
ガラスブロック５０は、図３に示すように、光ファイバー素線４０の上に配置されている。なお、ガラスブロック５０の光導波路部１２側の側面は、矩形溝１５の光導波路部１２側の側面よりも光導波路部１２側に配置されている。
ガラスブロック５０の下面の光ファイバー素線４０との当接部の近傍は、後述するように、毛細管現象によりマッチング用接着剤６０が流れる流路となる。
【００２９】
光ファイバー素線４０の光導波路チップ１０への固定には、マッチング用接着剤６０及び補強用接着剤７０が用いられる。
【００３０】
マッチング用接着剤６０としては、紫外線を照射することにより硬化するＵＶ硬化樹脂等を用いることができる。硬化したマッチング用接着剤６０の屈折率は光ファイバー素線４０のコア４１及び光導波路部１２のコア１２ａの屈折率とほぼ等しい。光ファイバー素線４０のコア４１と光導波路部１２のコア１２ａとの間にマッチング用接着剤６０を注入することで、光ファイバー素線４０のコア４１と光導波路部１２のコア１２ａとの間のエアギャップをなくしフレネル反射損失をなくすことができる。これにより、光ファイバー素線４０のコア４１と光導波路部１２のコア１２ａとが光学的に接続される。
【００３１】
マッチング用接着剤６０は、後述するように、光導波路部１２の上面とガラスブロック５０の下面との隙間から注入され、一部が光ファイバー素線４０の端面と矩形溝１５の光導波路部１２側の側面との隙間に浸透し、残りが毛細管現象により光ファイバー素線４０とガラスブロック５０の下面との当接部に沿って接続部１３側へ移動し、さらに、光ファイバー素線４０の表面を伝って位置決め溝１４ｂに到達する。
【００３２】
ここで、マッチング用接着剤６０の流動性は高いことが好ましく、マッチング用接着剤６０の粘度は補強用接着剤７０の粘度よりも低く、粘度１０００ＣＰ以下であることが好ましい。これよりも粘度が高い（例えば３８００ＣＰ）接着剤では、毛細管現象により光ファイバー素線４０とガラスブロック５０の下面との当接部に沿って移動するマッチング用接着剤６０の移動度が遅くなり、矩形溝１５内にマッチング用接着剤６０が流れ込んでしまう。
【００３３】
マッチング用接着剤６０に紫外線を照射することで、光ファイバー素線４０と光導波路部１２、光ファイバー素線４０と位置決め溝１４ｂ、光ファイバー素線４０とガラスブロック５０とが接着される。
【００３４】
補強用接着剤７０は、光ファイバー素線４０を挟持する接続部１３とガラスブロック５０とを接着する。補強用接着剤７０で接着することで、接続部１３、光ファイバー素線４０及びガラスブロック５０を一層強力に接着することができ、機械的強度を向上させることができる。
【００３５】
補強用接着剤７０は、後述するようにガラスブロック５０の接続部１３側から補強用接着剤７０を接続部１３の上部に滴下され、接続部１３の上面とガラスブロック５０の下面との隙間に注入される。
【００３６】
ここで、補強用接着剤７０の流動性は低いことが好ましく、補強用接着剤７０の粘度はマッチング用接着剤６０の粘度よりも高く、粘度１２０００ＣＰ以上であることが好ましい。これよりも粘度が低い接着剤では、補強用接着剤７０の移動度が早くなり、矩形溝１５内に補強用接着剤７０が流れ込んでしまう。
【００３７】
以下、光ファイバー素線４０の光導波路チップ１０への固定方法について説明する。
まず、光ファイバー素線４０を位置決め溝１４ｂに嵌め込み、光ファイバー素線４０の端部を矩形溝１５の光導波路部１２側の側面に当接させる。
次に、ガラスブロック５０を、光導波路部１２側の側面が矩形溝１５よりも光導波路部１２側に配置されるように光ファイバー素線４０の上に配置する。
【００３８】
次に、図３、図６に示すように、マイクロシリンジ等を使用してマッチング用接着剤６０をガラスブロック５０の光導波路部１２側から滴下し、光導波路部１２の上面とガラスブロック５０の下面との隙間に注入する。注入されたマッチング用接着剤６０は、一部が毛細管現象により光ファイバー素線４０の端面と矩形溝１５の光導波路部１２側の側面との隙間に浸透するとともに、図４に示すように、残りが毛細管現象により光ファイバー素線４０とガラスブロック５０の下面との当接部に沿って接続部１３側へ移動し、メニスカスを形成する。さらに、マッチング用接着剤６０は光ファイバー素線４０の表面を伝って位置決め溝１４ｂに到達し、図４、図５に示すように、位置決め溝１４ｂと光ファイバー素線４０との隙間にも到達する。
【００３９】
次に、マッチング用接着剤６０に紫外線を照射し、光ファイバー素線４０と光導波路部１２、光ファイバー素線４０と位置決め溝１４ｂ、光ファイバー素線４０とガラスブロック５０とを接着する。
【００４０】
次に、図３〜図５に示すように、ガラスブロック５０の接続部１３側から補強用接着剤７０を接続部１３の上部に滴下し、接続部１３の上面とガラスブロック５０の下面との隙間に注入する。このとき、補強用接着剤７０は、複数の光ファイバー素線４０の間にも充填され、光ファイバー素線４０が配置されていない両端部の固定溝１４ａにも充填される。
補強用接着剤７０が硬化することで光ファイバー素線４０を挟持する接続部１３とガラスブロック５０とが接着される。以上により、光導波路装置１が完成する。
【００４１】
このような光導波路装置１においては、余分なマッチング用接着剤６０を毛細管現象により光ファイバー素線４０とガラスブロック５０の下面との当接部に沿って接続部１３側へ移動させることで、矩形溝に流入することを防ぐことができる。このため、マッチング用接着剤６０の硬化収縮や熱膨張を抑制し、光ファイバー素線４０の先端が動くことを抑制し、調芯精度の低下を防止することができる。
【００４２】
また、ガラスブロック５０が矩形溝１５を跨いで光導波路チップ１０に固定されているため、光ファイバー素線４０の先端をマッチング用接着剤６０によりガラスブロック５０の下面に接着することで、光ファイバー素線４０の先端が動くことを抑制することができる。
【００４３】
以下、本発明の実施例についてさらに具体例を挙げて詳細に説明する。
〔１〕  矩形溝の幅
矩形溝の幅が広くなると、矩形溝１５上に配置される光ファイバー素線が長くなり、光ファイバー素線のＶ溝への追従性が劣化し、調芯精度が低下するおそれがある。そこで、最適な矩形溝の幅を求めるために、矩形溝の幅を変えて挿入損失を計測した。
【００４４】
８ポートのコアを有する光導波路部に８本の光ファイバー素線を接続し、挿入損失を計測した。矩形溝の幅は１６０μｍ、３６０μｍ、５６０μｍ、７６０μｍとした。なお、挿入損失の計測時には、光ファイバー素線及び光導波路部のコアの屈折率に合わせたシリコン系のマッチングオイルを使用した。
【００４５】
図７は矩形溝の幅と１〜８ポートにおける測定された挿入損失との関係を示すグラフである。１〜８ポートのいずれにおいても、１６０μｍ、３６０μｍ、５６０μｍ、７６０μｍ幅の矩形溝では、５６０μｍ幅の矩形溝において最も挿入損失が小さかった。
５６０μｍよりも短形溝の幅が短い場合に挿入損失が高い理由としては、コア及びクラッドとなるポリマー材をスピンコーティングにより塗布すると、周辺部ではコア及びクラッドの膜厚が設計値に対して薄くなり、コアのセンターの位置が正規の位置に調芯した光ファイバー素線と合わないからと考えられる。このため、溝幅を広くして膜厚が均一になった部分で光ファイバー素線と位置合わせすることが好ましい。
しかし、５６０μｍ幅よりも矩形溝の幅が大きくなると、光ファイバー素線の非拘束部が増えて光ファイバー素線が正しい位置に調芯できなくなり、実装が困難であると判断される。
【００４６】
〔２〕  ガラスブロックの位置
次に、実際にマッチングオイルの代わりにマッチング用接着剤を用いるとともに、補強用接着剤を用いて、ガラスブロックの位置を変えて光導波路チップに接着した光導波路装置を作成し、挿入損失を計測した。
【実施例１】
【００４７】
８ポートのコアを有する光導波路部が形成された光導波路チップにＶ溝、矩形溝を形成した。
接続部の長さ（Ｖ溝の長さ）を７ｍｍとし、Ｖ溝の幅を１２７μｍとした。
光ファイバー素線の直径を２５０μｍとした。
矩形溝の幅を４６０μｍ、深さを２５０μｍとした。
ガラスブロックの長さは５ｍｍ、厚さは１ｍｍとした。
【００４８】
ガラスブロックの光導波路部側の面を、光導波路部側に２００μｍ突き出した状態に配置した。ガラスブロックの光導波路部側からガラスブロックの下面と光導波路部の上面との隙間に、マッチング用接着剤として粘度４５０ＣＰのＵＶ硬化樹脂をマイクロシリンジで２μＬ注入し、紫外線を照射して硬化させた。
また、ガラスブロックの接続部側からガラスブロックの下面と接続部の上面との隙間に、粘度１２０００ＣＰの補強用接着剤を注入し、光導波路装置を形成した。
【００４９】
＜比較例１＞
接続部の長さ（Ｖ溝の長さ）を７ｍｍとし、Ｖ溝の幅を１２７μｍとした。
光ファイバー素線の直径を２５０μｍとした。
矩形溝の幅を４６０μｍ、深さを２５０μｍとした。
ガラスブロックの長さは５ｍｍ、厚さは１ｍｍとした。
【００５０】
ガラスブロックの光導波路部側の面を、矩形溝の接続部側の側面の位置に配置した状態で、光ファイバー素線４０の端面と矩形溝１５の光導波路部１２側の側面との隙間に、マッチング用接着剤として粘度４５０ＣＰのＵＶ硬化樹脂をマイクロシリンジで２μＬ注入し、紫外線を照射して硬化させた。
また、ガラスブロックの接続部側からガラスブロックの下面と接続部の上面との隙間に、粘度１２０００ＣＰの補強用接着剤を注入し、光導波路装置を形成した。
【００５１】
上記２つの光導波路装置に対して、（１）ＵＶ硬化樹脂の供給時、（２）紫外線をＵＶ硬化樹脂に照射して硬化させた後（ＵＶ硬化終了）、さらに（３）８５℃、１時間のエージング後、（４）気温８５℃、相対湿度８５％の高温高湿試験後において、挿入損失を計測した。
【００５２】
図８は比較例１の光導波路装置の（１）ＵＶ硬化樹脂の供給時、（２）ＵＶ硬化終了時、（３）エージング後、（４）高温高湿試験後に計測した１〜８ポートにおける挿入損失を示すグラフである。
ＵＶ硬化樹脂を供給した際はマッチングオイルと同様な特性が得られたものの、ＵＶ硬化開始と同時に損失が増大し始め、ＵＶ効果終了後には初期より損失が０．１〜１ｄＢ増加した。その後のエージングで損失はさらに増大し、高温高湿試験後には全ポートにおいて損失が３ｄＢと著しく増大した。
【００５３】
この損失増大の原因としては、ＵＶ硬化樹脂が硬化収縮することで光ファイバー素線の先端が動いてしまったためと考えられる。また、矩形溝に流入したＵＶ硬化樹脂がエージングや高温高湿試験で加熱されることにより膨張し、光ファイバー素線の先端が動いてしまうことが考えられる。
【００５４】
図９は実施例１の光導波路装置の（１）ＵＶ硬化樹脂の供給時、（２）ＵＶ硬化終了時、（３）エージング後、（４）高温高湿試験後に計測した１〜８ポートにおける挿入損失を示すグラフである。
ＵＶ硬化樹脂を供給した際にマッチングオイルと同様な特性が得られ、ＵＶ効果終了後、エージング後、高温高湿試験後も全ポートにおいて損失の変動が０．２５ｄＢ以下に抑えられた。
【００５５】
損失の変動を低減できた理由としては、余分なＵＶ硬化樹脂が毛細管現象により光ファイバー素線とガラスブロックの下面との当接部に沿って接続部側へ移動したため、矩形溝に流入することを防ぐことができ、ＵＶ硬化樹脂の硬化収縮や熱膨張を抑制することができたためと考えられる。
【００５６】
なお、上記の光導波路装置１は、光通信用デバイスのスプリッター、波長合分波器、スイッチ等に用いることができるが、これに限らず、光ファイバーを搭載するあらゆる製品に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】図１は本発明に係る光導波路装置１の分解斜視図である。
【図２】図１の接続部１３の拡大図である。
【図３】光ファイバー素線４０を光導波路チップ１０に固定した状態を示す側面図である。
【図４】図３のIV−IV矢視断面図である。
【図５】図３のV−V矢視断面図である。
【図６】図３のVI−VI矢視断面図である。
【図７】矩形溝の幅と１〜８ポートにおける測定された挿入損失との関係を示すグラフである。
【図８】比較例１の光導波路装置の（１）ＵＶ硬化樹脂の供給時、（２）ＵＶ硬化終了時、（３）エージング後、（４）高温高湿試験後に計測した１〜８ポートにおける挿入損失を示すグラフである。
【図９】実施例１の光導波路装置の（１）ＵＶ硬化樹脂の供給時、（２）ＵＶ硬化終了時、（３）エージング後、（４）高温高湿試験後に計測した１〜８ポートにおける挿入損失を示すグラフである。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は従来の光導波路装置の製造方法を示す側面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１     光導波路装置
１０   光導波路チップ
１１   基板
１２   光導波路部
１３   接続部
１４   Ｖ溝
１４ａ 固定溝
１４ｂ 位置決め溝
１５   矩形溝
４０   光ファイバー素線
５０   ガラスブロック（固定部材）
６０   マッチング用接着剤
７０   補強用接着剤
【図１】
2009003098.tif 000003
【図２】
2009003098.tif 000004
【図３】
2009003098.tif 000005
【図４】
2009003098.tif 000006
【図５】
2009003098.tif 000007
【図６】
2009003098.tif 000008
【図７】
2009003098.tif 000009
【図８】
2009003098.tif 000010
【図９】
2009003098.tif 000011
【図１０】
2009003098.tif 000012