(57)【要約】【課題】吐出量を生産性良く測定することができる液滴吐出装置及び重量測定方法を提供する。【解決手段】基板と液滴吐出ヘッド１５とを相対移動させながら、液滴吐出ヘッド１５から機能液４４を吐出して描画する液滴吐出装置に係る。液滴吐出ヘッド１５から受皿５２に吐出された機能液４４の重量を測定する重量測定装置２５と、液滴吐出ヘッド１５を受皿５２対向する場所に移動するキャリッジ及び保守ステージ２２と、を備え、液滴吐出ヘッド１５の周囲には、受皿５２に接して流動する気流を遮断する個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４を備える。【選択図】図３
2009022845.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークと液滴吐出ヘッドとを相対移動させながら、前記液滴吐出ヘッドから液状体を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドから容器に吐出された前記液状体の重量を測定する重量測定部と、
前記液滴吐出ヘッドを前記容器と対向する場所に移動する移動部と、を備え、
前記液滴吐出ヘッドの周囲には、前記容器に接して流動する気流の少なくとも一部を遮断する横風防止部を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記移動部は、前記横風防止部と前記重量測定部との距離を変える方向に、前記横風防止部と前記重量測定部とを相対移動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出装置であって、
前記横風防止部は前記液滴吐出ヘッドと連動し、
前記移動部は、前記液滴吐出ヘッドと前記重量測定部との距離を変える方向に、前記液滴吐出ヘッドと前記重量測定部とを相対移動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドが前記ワークと対向する面と前記ワークとの距離は、前記横風防止部が前記ワークと対向する面と前記ワークとの距離より短いか、又は略等しい距離に設定されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項４に記載の液滴吐出装置であって、
前記容器と前記液滴吐出ヘッドとが対向する場所に位置するとき、
前記重量測定部は前記横風防止部と対向する場所にカバー受部を備え、
前記液滴吐出ヘッドにおいて前記容器と対向する面は、前記横風防止部において前記カバー受部と対向する面より凸状に配置されることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項４に記載の液滴吐出装置であって、
前記容器と前記液滴吐出ヘッドとが対向する場所に位置するとき、
前記重量測定部は前記横風防止部と対向する場所にカバー受部を備え、
前記横風防止部と前記カバー受部の少なくとも一方において、前記カバー受部と接近する場所は、弾性部を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項４に記載の液滴吐出装置であって、
複数の前記液滴吐出ヘッドを備え、１つの前記横風防止部は１つの前記液滴吐出ヘッドを囲んで形成されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項４に記載の液滴吐出装置であって、
複数の前記液滴吐出ヘッドを備え、１つの前記横風防止部は複数の前記液滴吐出ヘッドを囲んで形成されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項４に記載の液滴吐出装置であって、
複数の前記液滴吐出ヘッドを備え、前記横風防止部は１つの前記液滴吐出ヘッドを囲んで形成されている前記横風防止部と、
複数の前記液滴吐出ヘッドを囲んで形成されている前記横風防止部と、を有し、
少なくとも１つの前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記横風防止部に囲まれて配置されることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項４に記載の液滴吐出装置であって、
前記容器と近い場所に、吐出液受部を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドと前記容器とが接近するとき、前記横風防止部は前記吐出液受部の液状体が塗布されない場所と近接又は接触することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１２】
請求項４に記載の液滴吐出装置であって、
前記重量測定部を収容するチャンバと、
前記チャンバ内に温度調整された気体を送風する気体制御装置を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
ワークと液滴吐出ヘッドとを相対移動させながら、前記液滴吐出ヘッドから液状体を吐出して描画する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドから容器に吐出された液状体の重量を測定する重量測定部と、
前記液滴吐出ヘッドを前記容器と対向する場所に移動する移動部と、を備え、
前記容器の周囲には、前記容器に接して流動する気流の少なくとも一部を遮断する横風防止部を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドの周囲において、前記横風防止部と対向する場所には、カバー受部を備え、
前記移動部は、前記横風防止部と前記カバー受部との距離を変える方向に、前記横風防止部と前記カバー受部とを相対移動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドは前記カバー受部と連動し、
前記移動部は、前記液滴吐出ヘッドと前記重量測定部との距離を変える方向に、前記液滴吐出ヘッドと前記重量測定部とを相対移動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１６】
請求項１４に記載の液滴吐出装置であって、
前記横風防止部と前記カバー受部の少なくとも一方において、前記カバー受部と接近する場所は、弾性部を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１７】
請求項１４に記載の液滴吐出装置であって、
前記重量測定部は、複数の前記容器を備え、１つの前記横風防止部は１つの前記容器を囲んで形成されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１８】
請求項１４に記載の液滴吐出装置であって、
前記重量測定部は、複数の前記容器を備え、１つの前記横風防止部は複数の前記容器を囲んで形成されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１９】
請求項１４に記載の液滴吐出装置であって、
前記重量測定部は、複数の前記容器を備え、
前記横風防止部は、１つの前記容器を囲んで形成されている前記横風防止部と、複数の前記容器を囲んで形成されている前記横風防止部と、を有し、
少なくとも１つの前記容器は、複数の前記横風防止部に囲まれて配置されることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２０】
請求項１４に記載の液滴吐出装置であって、
前記容器と近い場所に、吐出液受部を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２１】
請求項１４に記載の液滴吐出装置であって、
前記重量測定部を収容するチャンバと、
前記チャンバ内に温度調整された気体を送風する気体制御装置を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２２】
液滴吐出ヘッドから液状体を容器に吐出する吐出工程と、
前記容器を前記液滴吐出ヘッド、横風防止部、カバー受部にて覆うカバー設置工程と、
前記液状体の重量を測定する測定工程と、
前記容器と前記液滴吐出ヘッドとを所定の間隔で離すカバー除去工程とを有し、
前記測定工程では、前記液滴吐出ヘッド、前記横風防止部、前記カバー受部を用いて、前記容器の上部及び前記液滴吐出ヘッドの側面から流動して前記容器に接触する気流の少なくとも一部を遮断して、前記重量を測定することを特徴とする重量測定方法。
【請求項２３】
ワークに液状体をノズルから液滴にして吐出する液状体の吐出方法であって、
液滴吐出ヘッドから液状体を容器に吐出する吐出工程と、
前記容器を前記液滴吐出ヘッド、横風防止部、カバー受部にて覆うカバー設置工程と、
前記液状体の重量を測定する測定工程と、
前記容器と前記液滴吐出ヘッドとを所定の間隔で離すカバー除去工程と、
吐出量を調整する調整工程と、
前記ワークに前記液滴を吐出する塗布工程と、を有し、
前記測定工程では、前記液滴吐出ヘッド、前記横風防止部、前記カバー受部を用いて、前記容器の上部及び前記液滴吐出ヘッドの側面から流動して前記容器に接触する気流の少なくとも一部を遮断して、前記重量を測定することを特徴とする液状体の吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、重量測定方法及び液状体の吐出方法に係り、特に、気流に影響されずに精度良く測定する装置及び方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式にて液滴を吐出する液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、インクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）が搭載されたキャリッジと、基板等のワークを載置してワークを移動させるテーブルとを備えている。そして、液滴吐出ヘッドとワークとを相対移動しながら、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。
【０００３】
このような液滴吐出装置において、吐出量を精度良く制御する方法が特許文献１に開示されている。これによれば、液滴吐出装置は、重量測定装置を備え液滴吐出ヘッドが吐出する吐出量を測定した後調整することにより、機能液の塗布量を制御して塗布していた。そして、液滴吐出ヘッドが吐出する吐出量は、雰囲気の温度により影響を受け易いので、空気制御装置が温度制御された空気を流動されることにより、液滴吐出装置の温度を制御していた。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２０９４２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の方法では、空気制御装置が流動させる気流が、液滴の入った容器に接触するとき、液滴の重量測定値が変動するので、測定精度を向上するのに限界があった。このとき、測定精度をさらに向上させる為に、重量測定装置に防風カバーを配置して、重量測定装置を防風カバーと対向する場所に移動する方法が考えられる。このとき、重量測定装置の移動と、移動後に重量測定装置の受皿の振動が減衰するまで待機する時間が必要となるので、生産性が低下するという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
本適用例にかかる液滴吐出装置は、ワークと液滴吐出ヘッドとを相対移動させながら、前記液滴吐出ヘッドから液状体を吐出して描画する液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドから容器に吐出された前記液状体の重量を測定する重量測定部と、前記液滴吐出ヘッドを前記容器と対向する場所に移動する移動部と、を備え、前記液滴吐出ヘッドの周囲には、前記容器に接して流動する気流の少なくとも一部を遮断する横風防止部を備えることを特徴とする。
【０００８】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は液滴吐出ヘッドの周囲に横風防止部を備えている。移動部により液滴吐出ヘッドが容器と対向する場所に移動するとき、液滴吐出ヘッドは、容器と対向する方向から流動する気流が容器に接触することを防止できる。さらに、横風防止部が気体の流れを遮断することにより、流動する気流が容器の側面方向から流動して、容器に接触することを防止している。従って、容器に流動する気流が接触することにより、液状体の重量測定値が変動することを防止している。その結果、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【０００９】
液滴吐出ヘッド及び横風防止部とは別の防風カバーを備えるとき、重量測定部を防風カバーと対向する場所に移動する移動工程と、移動に伴なって、振動する容器の振動が停止するまで待機する待機工程が必要となる。本適用例では、この移動工程と待機工程とが不要となる為、生産性良く液状体の重量を測定することができる。
【００１０】
［適用例２］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記移動部は、前記横風防止部と前記重量測定部との距離を変える方向に、前記横風防止部と前記重量測定部とを相対移動させることを特徴とする。
【００１１】
この液滴吐出装置によれば、移動部が横風防止部と重量測定部との距離を変えることが可能となっている。そして、横風防止部と重量測定部との距離を小さくすることにより、横風防止部と重量測定部との間を気流が通り難くすることができる。従って、気流が重量測定部の容器に接し難くなる為、容器が気流により振動することを防止することができる。その結果、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【００１２】
［適用例３］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記横風防止部は前記液滴吐出ヘッドと連動し、前記移動部は、前記液滴吐出ヘッドと前記重量測定部との距離を変える方向に、前記液滴吐出ヘッドと前記重量測定部とを相対移動させることを特徴とする。
【００１３】
この液滴吐出装置によれば、移動部は横風防止部と連動する液滴吐出ヘッドを移動させる。そして、液滴吐出ヘッドと重量測定部との距離を変更可能となっている。従って、横風防止部を移動する装置と液滴吐出ヘッドを移動する装置とを別に備える装置に比べて簡便な装置とすることができる。
【００１４】
［適用例４］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドが前記ワークと対向する面と前記ワークとの距離は、前記横風防止部が前記ワークと対向する面と前記ワークとの距離より短いか、又は略等しい距離に設定されていることことを特徴とする。
【００１５】
この液滴吐出装置によれば、ワークが横風防止部と接近するとき、ワークが横風防止部に接触する前又は同時に、ワークが液滴吐出ヘッドと接触する。そして、ワークと液滴吐出ヘッドとの距離を制御するとき、ワークが横風防止部に接触することがない。従って、横風防止部がワークに塗布された液状体に接触しない為、液滴吐出装置は、品質良く描画することができる。
【００１６】
［適用例５］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記容器と前記液滴吐出ヘッドとが対向する場所に位置するとき、前記重量測定部は前記横風防止部と対向する場所にカバー受部を備え、前記液滴吐出ヘッドにおいて前記容器と対向する面は、前記横風防止部において前記カバー受部と対向する面より凸状に配置されることを特徴とする。
【００１７】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドに液状体が付着することがある。このとき、液滴吐出ヘッドに付着した液状体を吸収性のあるシート等の部材を用いて拭き取る。そして、横風防止部より液滴吐出ヘッドが凸状に配置されているので、横風防止部を擦らずに液滴吐出ヘッドを拭くことができる。従って、横風防止部を擦って損傷を与える事無く、液滴吐出ヘッドを保守することができる。
【００１８】
［適用例６］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記容器と前記液滴吐出ヘッドとが対向する場所に位置するとき、前記重量測定部は前記横風防止部と対向する場所にカバー受部を備え、前記横風防止部と前記カバー受部の少なくとも一方において、前記カバー受部と接近する場所は、弾性部を有することを特徴とする。
【００１９】
この液滴吐出装置によれば、この重量測定部の横風防止部とカバー受部との間に、弾性部が配置される。横風防止部がカバー受部と接近するとき、横風防止部がカバー受部と接触することがある。このとき、弾性部が変形するので、横風防止部及びカバー受部が振動することを防止している。そして、カバー受部の振動が容器に伝播することにより、容器が振動して、液状体の重量測定値が変動することを防止している。その結果、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【００２０】
［適用例７］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、複数の前記液滴吐出ヘッドを備え、１つの前記横風防止部は１つの前記液滴吐出ヘッドを囲んで形成されていることを特徴とする。
【００２１】
この液滴吐出装置によれば、１つの横風防止部が１つの液滴吐出ヘッドを覆うことにより、各横風防止部は、１つの容器の形状に合わせた形状にすることができる。そして、各液滴吐出ヘッド及び横風防止部は、確実に、容器を覆うことができる。その結果、重量測定部は、流動する気流の影響を受けずに測定することができる為、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【００２２】
［適用例８］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、複数の前記液滴吐出ヘッドを備え、１つの前記横風防止部は複数の前記液滴吐出ヘッドを囲んで形成されていることを特徴とする。
【００２３】
この液滴吐出装置によれば、１つの横風防止部が複数の液滴吐出ヘッドを覆うことにより、液滴吐出ヘッドの個数に比べて少ない個数の横風防止部にて、液滴吐出ヘッドを覆うことができる。その結果、簡便な構成にすることができる。
【００２４】
［適用例９］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、複数の前記液滴吐出ヘッドを備え、前記横風防止部は１つの前記液滴吐出ヘッドを囲んで形成されている前記横風防止部と、複数の前記液滴吐出ヘッドを囲んで形成されている前記横風防止部と、を有し、少なくとも１つの前記液滴吐出ヘッドは、複数の前記横風防止部に囲まれて配置されることを特徴とする。
【００２５】
この液滴吐出装置によれば、１つの液滴吐出ヘッドを複数の横風防止部で囲っている。従って、液滴吐出ヘッド及び横風防止部にて容器を覆うとき、１つの液滴吐出ヘッドを１つの横風防止部で覆うときに比べて、容器に流動する気流が接することを確実に防止できる。その結果、重量測定部は、流動する気流の影響を受けずに測定することができる為、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【００２６】
［適用例１０］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記容器と近い場所に、吐出液受部を備えることを特徴とする。
【００２７】
この液滴吐出装置によれば、１つのキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが搭載されており、一部のキャリッジのノズルから測定用に吐出しているとき、待機する液滴吐出ヘッドから吐出液受部に液滴を吐出することができる。そして、待機中の液滴吐出ヘッドのノズルが乾燥することを防止することができる。
【００２８】
［適用例１１］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドと前記容器とが接近するとき、前記横風防止部は前記吐出液受部の液状体が塗布されない場所と近接又は接触することを特徴とする。
【００２９】
この液滴吐出装置によれば、横風防止部には、液状体が付着し難い場所と近接又は接触することにより、横風防止部に液状体が付着し難くすることができる。従って、横風防止部が液状体により腐食されることを防止することができる。
【００３０】
［適用例１２］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記重量測定部を収容するチャンバと、前記チャンバ内に温度調整された気体を送風する気体制御装置を備えることを特徴とする。
【００３１】
この液滴吐出装置によれば、重量測定部の周囲には、温度調整された気体が流動しているので、重量測定部の温度が管理されている。従って、重量測定部は温度の影響を受け難い状態にて、液状体の重量を測定する為、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【００３２】
［適用例１３］
本適用例にかかる液滴吐出装置は、ワークと液滴吐出ヘッドとを相対移動させながら、前記液滴吐出ヘッドから液状体を吐出して描画する液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドから容器に吐出された液状体の重量を測定する重量測定部と、前記液滴吐出ヘッドを前記容器と対向する場所に移動する移動部と、を備え、前記容器の周囲には、前記容器に接して流動する気流の少なくとも一部を遮断する横風防止部を備えることを特徴とする。
【００３３】
この液滴吐出装置によれば、重量測定部は容器を備え、容器の周囲には横風防止部を備えている。そして、移動部により液滴吐出ヘッドが、容器と対向する場所に移動するとき、液滴吐出ヘッドは、容器と対向する方向から流動する気流が容器に接触することを防止できる。さらに、横風防止部が気体の流れを遮断することにより、流動する気流が容器の側面方向から流動して、容器に接触することを防止している。従って、容器に流動する気流が接触することにより、液状体の重量測定値が変動することを防止している。その結果、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【００３４】
液滴吐出ヘッド及び横風防止部とは別の防風カバーを備えるとき、重量測定部を防風カバーと対向する場所に移動する移動工程と、移動に伴なって、振動する容器の振動が停止するまで待機する待機工程が必要となる。本適用例では、この移動工程と待機工程とが不要となる為、生産性良く液状体の重量を測定することができる。
【００３５】
［適用例１４］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドの周囲において、前記横風防止部と対向する場所には、カバー受部を備え、前記移動部は、前記横風防止部と前記カバー受部との距離を変える方向に、前記横風防止部と前記カバー受部とを相対移動させることを特徴とする。
【００３６】
この液滴吐出装置によれば、移動部が横風防止部と重量測定部との距離を変えることが可能となっている。そして、横風防止部と重量測定部との距離を小さくすることにより、横風防止部と重量測定部との間を気流が通り難くすることができる。従って、気流が重量測定部の容器に接し難くなる為、容器が気流により振動することを防止することができる。その結果、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【００３７】
［適用例１５］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドは前記カバー受部と連動し、前記移動部は、前記液滴吐出ヘッドと前記重量測定部との距離を変える方向に、前記液滴吐出ヘッドと前記重量測定部とを相対移動させることを特徴とする。
【００３８】
この液滴吐出装置によれば、移動部はカバー受部と連動する液滴吐出ヘッドを移動させる。そして、液滴吐出ヘッドと重量測定部との距離を変更可能となっている。従って、カバー受部を移動する装置と液滴吐出ヘッドを移動する装置とを別に備える装置に比べて簡便な装置とすることができる。
【００３９】
［適用例１６］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記横風防止部と前記カバー受部の少なくとも一方において、前記カバー受部と接近する場所は、弾性部を有することを特徴とする。
【００４０】
この液滴吐出装置によれば、この重量測定部の横風防止部とカバー受部との間に、弾性部が配置される。横風防止部がカバー受部と接近するとき、横風防止部がカバー受部と接触することがある。このとき、弾性部が変形するので、横風防止部及びカバー受部が振動することを防止している。そして、横風防止部の振動が容器に伝播することにより、容器が振動して、液状体の重量測定値が変動することを防止している。その結果、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【００４１】
［適用例１７］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記重量測定部は、複数の前記容器を備え、１つの前記横風防止部は１つの前記容器を囲んで形成されていることを特徴とする。
【００４２】
この液滴吐出装置によれば、１つの液滴吐出ヘッドが１つの容器に吐出するとき、１つの横風防止部が１つの容器を覆うことにより、各横風防止部は、容器の形状に合わせた形状にすることができる。そして、各液滴吐出ヘッド及び横風防止部は、確実に、容器を覆うことができる。その結果、重量測定部は、流動する気流の影響を受けずに測定することができる為、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【００４３】
［適用例１８］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記重量測定部は、複数の前記容器を備え、１つの前記横風防止部は複数の前記容器を囲んで形成されていることを特徴とする。
【００４４】
この液滴吐出装置によれば、１つの横風防止部が複数の容器を覆うことにより、液滴吐出ヘッドの個数に比べて少ない個数の横風防止部にて、容器を覆うことができる。その結果、簡便な構成にすることができる。
【００４５】
［適用例１９］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記重量測定部は、複数の前記容器を備え、前記横風防止部は、１つの前記容器を囲んで形成されている前記横風防止部と、複数の前記容器を囲んで形成されている前記横風防止部と、を有し、少なくとも１つの前記容器は、複数の前記横風防止部に囲まれて配置されることを特徴とする。
【００４６】
この液滴吐出装置によれば、１つの容器を複数の横風防止部で囲っている。従って、液滴吐出ヘッドと横風防止部にて容器を覆うとき、１つの容器を１つの横風防止部で覆うときに比べて、容器に流動する気流が接することを確実に防止できる。その結果、重量測定部は、流動する気流の影響を受けずに測定することができる為、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【００４７】
［適用例２０］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記容器と近い場所に、吐出液受部を備えることを特徴とする。
【００４８】
この液滴吐出装置によれば、１つのキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが搭載されており、一部のキャリッジのノズルから測定用に吐出しているとき、待機する液滴吐出ヘッドから吐出液受部に液滴を吐出することができる。そして、待機中の液滴吐出ヘッドのノズルが乾燥することを防止することができる。
【００４９】
［適用例２１］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記重量測定部を収容するチャンバと、前記チャンバ内に温度調整された気体を送風する気体制御装置を備えることを特徴とする。
【００５０】
この液滴吐出装置によれば、重量測定部の周囲には、温度調整された気体が流動しているので、重量測定部の温度が管理されている。従って、重量測定部は温度の影響を受け難い状態にて、液状体の重量を測定する為、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【００５１】
［適用例２２］
本適用例にかかる重量測定方法は、液滴吐出ヘッドから液状体を容器に吐出する吐出工程と、前記容器を前記液滴吐出ヘッド、横風防止部、カバー受部にて覆うカバー設置工程と、前記液状体の重量を測定する測定工程と、前記容器と前記液滴吐出ヘッドとを所定の間隔で離すカバー除去工程とを有し、前記測定工程では、前記液滴吐出ヘッド、前記横風防止部、前記カバー受部を用いて、前記容器の上部及び前記液滴吐出ヘッドの側面から流動して前記容器に接触する気流の少なくとも一部を遮断して、前記重量を測定することを特徴とする。
【００５２】
この重量測定方法によれば、カバー設置工程において、容器の上部と液滴吐出ヘッドの側面から容器に向かって流動する気流が、液滴吐出ヘッド、横風防止部、カバー受部により覆われる。従って、流動する気流が容器に接触することにより、液状体の重量測定値が変動することを防止できる。その結果、精度良く液状体の重量を測定することができる。
【００５３】
［適用例２３］
本適用例にかかる液状体の吐出方法は、ワークに液状体をノズルから液滴にして吐出する液状体の吐出方法であって、液滴吐出ヘッドから液状体を容器に吐出する吐出工程と、前記容器を前記液滴吐出ヘッド、横風防止部、カバー受部にて覆うカバー設置工程と、前記液状体の重量を測定する測定工程と、前記容器と前記液滴吐出ヘッドとを所定の間隔で離すカバー除去工程と、吐出量を調整する調整工程と、前記ワークに前記液滴を吐出する塗布工程と、を有し、前記測定工程では、前記液滴吐出ヘッド、前記横風防止部、前記カバー受部を用いて、前記容器の上部及び前記液滴吐出ヘッドの側面から流動して前記容器に接触する気流の少なくとも一部を遮断して、前記重量を測定することを特徴とする。
【００５４】
この液状体の吐出方法によれば、流動する気流が容器に接触することにより、液状体の重量測定値が変動することを防止できる。従って、精度良く液状体の重量を測定することができる。そして、精度良く測定された測定値に基づいて吐出量を調整した後、塗布する為、精度の良い吐出量の液滴を吐出して塗布することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５５】
以下、気流の影響を受けずに、機能液の重量測定を行う実施形態について図面に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
（第１の実施形態）
本実施形態では、液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて吐出した機能液を測定する場合の特徴的な例について図１〜図８に従って説明する。
【００５６】
最初に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置１について図１〜図５に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【００５７】
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１により、機能液が吐出され塗布される。図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２が備えられている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００５８】
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール３が同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、案内レール３に対応する図示しない直動機構を備えた移動部としてのステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３に沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
【００５９】
さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３と平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。
【００６０】
そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面６にワークとしての基板７を載置すると、基板チャック機構によって、その基板７が載置面６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００６１】
基台２のＸ方向両側には、支持台８ａ，８ｂが各々対に立設され、その支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。案内部材９は、Ｘ方向と反対の方向に延在して形成され、案内部材９の端には、支持台８ｃが立設されている。そして、支持台８ａ〜支持台８ｃが、案内部材９を支えるようになっている。
【００６２】
案内部材９の上側には、Ｘ方向に延びる一対の案内レール１０がＸ方向全幅にわたり凸設されている。案内レール１０に沿って移動可能に配置される移動部としてのキャリッジ１１は、８個のキャリッジから構成され、各キャリッジ１１は直動機構を備え、各キャリッジ１１が個別に移動可能となっている。その直動機構は、例えば案内レール１０に沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ１１が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材９の側面には、副走査位置検出装置１２が配置され、各キャリッジ１１の位置が計測可能となっている。
【００６３】
キャリッジ１１の下側（ステージ４側）には、ヘッドユニット１３とヘッドユニット１３を昇降させる移動部としての昇降装置１４が配置され、ヘッドユニット１３の下面には液滴吐出ヘッド１５が凸設されている。一方、キャリッジ１１の上側には、収容タンク１６が配設され、収容タンク１６と液滴吐出ヘッド１５とが図示しないチューブにより接続されている。そして、チューブは収容タンク１６に収容された機能液を液滴吐出ヘッド１５に供給可能にしている。
【００６４】
支持台８ａと支持台８ｃとの間には、保守台１７が配置され、保守台１７の上面１７ａには、ワイピングユニット１８及びキャッピングユニット１９が配置されている。そして、キャリッジ１１が移動することにより、液滴吐出ヘッド１５がワイピングユニット１８又はキャッピングユニット１９と対向する場所へ移動可能となっている。
【００６５】
ワイピングユニット１８は、液滴吐出ヘッド１５において、ノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、液滴吐出ヘッド１５において、基板７と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基板７とが接触して、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。
【００６６】
さらに、ノズル周辺に液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と吐出する液滴とが接触して、吐出する液滴の軌道が曲がることがある。このとき、塗布する場所が、塗布する予定の場所と異なってしまう。ワイピングユニット１８は、ノズルプレートを拭くことにより、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。
【００６７】
キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１５に蓋をする機能と、液滴吐出ヘッド１５の機能液を吸引する機能とを有する装置である。液滴吐出ヘッド１５から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、液滴吐出ヘッド１５に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１５に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。
【００６８】
さらに、液滴吐出ヘッド１５の内部に固形物が混入して、液滴を吐出できなくなったとき、液滴吐出ヘッド１５の内部の機能液と固形物とを吸引して、除去する。そして、ノズルの目詰まりを解消するようになっている。
【００６９】
基台２の上側であって、ステージ４の片側の一方（図中右側）には、移動部としての保守ステージ２２が配置され、保守ステージ２２の上面２２ａには、吐出液受部としての第１フラッシングユニット２３、吐出液受部としての第２フラッシングユニット２４、重量測定部としての重量測定装置２５が配置されている。
【００７０】
保守ステージ２２は、案内レール３上に位置し、ステージ４と同様の直動機構を備えている。そして、主走査位置検出装置５を用いて位置を検出し、直動機構で移動することにより、所望の場所に移動し、停止することが可能となっている。そして、保守ステージ２２が、案内レール３に沿って移動することにより、液滴吐出ヘッド１５と対向する場所に、第１フラッシングユニット２３、第２フラッシングユニット２４、重量測定装置２５が配置可能となっている。
【００７１】
第１フラッシングユニット２３及び第２フラッシングユニット２４は、液滴吐出ヘッド１５内の流路を洗浄するとき、液滴吐出ヘッド１５から吐出する液滴を受ける装置である。液滴吐出ヘッド１５内の機能液が揮発するとき、機能液の粘度が高くなるので、吐出し難くなる。この場合に、粘度の高くなった機能液を液滴吐出ヘッド１５から排除するため、液滴吐出ヘッド１５から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能を第１フラッシングユニット２３及び第２フラッシングユニット２４が行っている。
【００７２】
重量測定装置２５には、電子天秤が１６台設置され、各電子天秤には、受皿が配置されている。電子天秤は、Ｘ方向に一列に配列して設置されている。そして、液滴が、液滴吐出ヘッド１５から受皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を測定するようになっている。受皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受皿の外に出ないようになっている。この電子天秤は、液滴吐出ヘッド１５が液滴を吐出する前後で、受皿の重量を測定する。そして、吐出前後における受皿の重量の差分を演算することにより、吐出する液滴の重量を測定可能となっている。
【００７３】
重量測定装置２５の両側には、第１フラッシングユニット２３と第２フラッシングユニット２４とが配置されている。そして、一部の液滴吐出ヘッド１５が受皿に吐出する間、他の液滴吐出ヘッド１５は、第１フラッシングユニット２３又は、第２フラッシングユニット２４と対向する場所に位置して、液滴を吐出することが可能となっている。
【００７４】
液滴吐出装置１は、四隅に支柱２６を備え、上部（図中上側）に、気体制御装置としての空気制御装置２７を備えている。空気制御装置２７は、ファン、フィルタ、冷暖房装置、湿度調整装置などを備えている。ファン（送風機）は、工場内の空気を取り込んで、フィルタを通過することにより、空気内の塵や埃を除去し、清浄化された空気を供給する。
【００７５】
冷暖房装置は、液滴吐出装置１の雰囲気温度を所定の温度範囲に保持するように、供給する空気の温度を制御する装置である。湿度調整装置は、液滴吐出装置１の雰囲気湿度を所定の湿度範囲に保持するように、空気を除湿、又は加湿して供給する空気の湿度を制御する装置である。
【００７６】
４本の支柱２６の間には、シート２８が配置され、空気の流れを遮断するようになっている。空気制御装置２７から供給される空気は、空気制御装置２７から床２９に向かって（図中Ｚ方向の反対方向）流れ、シート２８に囲まれる空間内の塵や埃は、床２９に向かって流動する。それにより、基板７に塵や埃が付着し難くなっている。
【００７７】
さらに、シート２８が、チャンバ３０を形成し、チャンバ３０の内と外との空気の流れを制限することにより、チャンバ３０内の温度及び湿度を、チャンバ３０の外から影響され難くしている。そして、空気制御装置２７がチャンバ３０の温度及び湿度を制御し易くなっている。
【００７８】
図２（ａ）は、ヘッドユニットを示す模式平面図である。図２（ａ）に示すように、１個のヘッドユニット１３には、液滴吐出ヘッド１５が３個で１つの列に配列して、Ｙ方向に対して斜めに配置して形成され、この列が２列配置されている。そして、液滴吐出ヘッド１５の表面には、ノズルプレート３１が配置され、ノズルプレート３１には、ノズル３２が複数、形成されている。ノズル３２の数は、吐出するパターンと基板７の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート３１には、ノズル３２の配列が２列形成され、各列には１５個のノズル３２が配置されている。
【００７９】
各液滴吐出ヘッド１５の周囲には、横風防止部としての個別横風防止部３３が配置されている。そして、左右に並んで配置されている一対の個別横風防止部３３を囲むように横風防止部としての外側横風防止部３４が配置されている。従って、１つの液滴吐出ヘッド１５は個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４に囲まれて配置されている。
【００８０】
図２（ｂ）は、ヘッドユニットを示す要部模式断面図であり、図２（ａ）に示すヘッドユニット１３をＡ−Ａ’方向から見て、一部を断面で示している。図２（ｂ）に示すように、ヘッドユニット１３は、ベース板３５を備えている。ベース板３５の上側には、昇降装置１４が配置されており、ヘッドユニット１３が、Ｚ方向に上下動するための機構が収納されている。
【００８１】
ベース板３５の下側には、支持部３７を介して駆動回路基板３８が配置されている。そして、駆動回路基板３８の下側には、ヘッド駆動回路３９が配置されている。さらに、ベース板３５には、支持部４０を介して、ヘッド取付板４１が配置され、ヘッド取付板４１の下面には、液滴吐出ヘッド１５、個別横風防止部３３、外側横風防止部３４が配置されている。そして、液滴吐出ヘッド１５の下側の面１５ａ、個別横風防止部３３の下側の面３３ａ、外側横風防止部３４の下側の面３４ａはそれぞれ略同じ面となるように配置されている。ヘッド駆動回路３９と液滴吐出ヘッド１５とは、図示しないケーブルにより接続され、ヘッド駆動回路３９が出力する駆動信号が、液滴吐出ヘッド１５に入力されるようになっている。
【００８２】
ベース板３５の下側には、供給装置４２が配置され、収容タンク１６と供給装置４２との間、及び、供給装置４２と液滴吐出ヘッド１５との間は、図示しないチューブにより接続されている。そして、収容タンク１６から供給される機能液が、供給装置４２により液滴吐出ヘッド１５に供給されるようになっている。
【００８３】
図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１５は、ノズルプレート３１を備え、ノズルプレート３１には、ノズル３２が形成されている。ノズルプレート３１の上側であって、ノズル３２と相対する位置には、ノズル３２と連通するキャビティ４３が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１５のキャビティ４３には、収容タンク１６に貯留されている液状体としての機能液４４が供給される。
【００８４】
キャビティ４３の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ４３内の容積を拡大縮小する振動板４５と、上下方向に伸縮して振動板４５を振動させる圧電素子４６が配設されている。圧電素子４６が上下方向に伸縮して振動板４５を加圧して振動し、振動板４５がキャビティ４３内の容積を拡大縮小してキャビティ４３を加圧する。それにより、キャビティ４３内の圧力が変動し、キャビティ４３内に供給された機能液４４は、ノズル３２を通って吐出されるようになっている。
【００８５】
そして、液滴吐出ヘッド１５が圧電素子４６を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子４６が伸張して、振動板４５がキャビティ４３内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１５のノズル３２からは、縮小した容積分の機能液４４が液滴４７として吐出される。
【００８６】
図３は、横風防止部の構造を説明するための要部模式断面図である。図３において、保守ステージ２２が移動することにより、液滴吐出ヘッド１５が重量測定装置２５と対向する場所に位置している。液滴吐出ヘッド１５の周囲に配置されている個別横風防止部３３の下側には、弾性材料などからなる弾性部３３ｂが配置されている。弾性材料は、弾力性と耐久性とがある材料であれば良く、本実施形態では例えばシリコンゴムを採用している。個別横風防止部３３の周囲に配置されている外側横風防止部３４の下側には、弾性部３３ｂと同様な弾性材料などからなる弾性部３４ｂが配置されている。
【００８７】
保守ステージ２２上には複数の部屋に区画されている略矩形な箱状の支持部５０が配置されている。支持部５０の内部の中央に区画された部屋５０ａには、１６個の電子天秤５１が配置され、電子天秤５１の上側には、容器としての受皿５２が配置されている。受皿５２は、側面と底面とからなる略矩形な箱状の容器であり、受皿５２の上面には、吸収体５３が配置されている。そして、電子天秤５１は、受皿５２の内部にある機能液４４と吸収体５３に吸収されている機能液４４とを合わせた機能液４４の重量を測定可能となっている。
【００８８】
支持部５０のカバー受部としての上面５０ｂにおいて、受皿５２が配置されている場所には、孔が形成されているので、吸収体５３を通して受皿５２の内部に機能液４４を入れることが可能となっている。
【００８９】
重量測定装置２５の図中左側には、第１フラッシングユニット２３が配置されている。第１フラッシングユニット２３は、支持部５０に区画される部屋５０ｃと、その上部に配置される吸収体５４などにより構成される。液滴吐出ヘッド１５が液滴４７を吐出するとき、吐出された液滴４７は、吸収体５４に吸収された後、滴下して部屋５０ｃに蓄積される。
【００９０】
重量測定装置２５の図中右側には、第２フラッシングユニット２４が配置されている。第２フラッシングユニット２４は、支持部５０に区画される部屋５０ｄと、その上部に配置される吸収体５５などにより構成される。液滴吐出ヘッド１５が液滴４７を吐出するとき、吐出された液滴４７は、吸収体５５に吸収された後、滴下して部屋５０ｄに蓄積される。
【００９１】
液滴吐出ヘッド１５が下降するとき、個別横風防止部３３の弾性部３３ｂ及び外側横風防止部３４の弾性部３４ｂが支持部５０の上面５０ｂと接触する。このとき、第１フラッシングユニット２３の吸収体５４及び第２フラッシングユニット２４の吸収体５５は上面５０ｂより下側に配置されているので、弾性部３３ｂ及び弾性部３４ｂは吸収体５４及び吸収体５５と接触しないようになっている。従って、吸収体５４及び吸収体５５に機能液４４が染み込んでいるときにも、機能液４４は弾性部３３ｂ及び弾性部３４ｂに付着しない。
【００９２】
図４は、保守ステージの部分模式平面図である。図４に示すように、支持部５０の中央には、重量測定装置２５が配列して配置されている。そして、重量測定装置２５のＹ方向には、重量測定装置２５を挟んで、第１フラッシングユニット２３及び第２フラッシングユニット２４が配置されている。図中液滴吐出ヘッド１５、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４が２点鎖線で記載されている。
【００９３】
液滴吐出ヘッド１５が重量測定装置２５の吸収体５３と対向する場所に位置するとき、その液滴吐出ヘッド１５を囲む個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４は、支持部５０の上面５０ｂと対向する場所に位置する。そして、液滴吐出ヘッド１５が下降するとき、受皿５２及び吸収体５３は、支持部５０の上面５０ｂ、液滴吐出ヘッド１５、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４によって覆われるようになっている。
【００９４】
図５は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図５において、液滴吐出装置１はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）５８と、各種情報を記憶するメモリ５９とを有する。
【００９５】
主走査駆動装置６０、主走査位置検出装置５、副走査駆動装置６１、副走査位置検出装置１２、ヘッド駆動回路６２、昇降装置１４、ヘッドユニット位置検出装置６３は、入出力インターフェース６４及びデータバス６５を介してＣＰＵ５８に接続されている。さらに、入力装置６６、ディスプレイ装置６７、ワイピングユニット１８、キャッピングユニット１９、重量測定装置２５、第１フラッシングユニット２３、第２フラッシングユニット２４も入出力インターフェース６４及びデータバス６５を介してＣＰＵ５８に接続されている。同じく、保守ステージ２２を駆動する保守ステージ駆動装置６８及び、保守ステージ２２の位置を検出する主走査位置検出装置５も入出力インターフェース６４及びデータバス６５を介してＣＰＵ５８に接続されている。
【００９６】
主走査駆動装置６０は、ステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置６１は、キャリッジ１１の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５が、ステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置６０がステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１２が、キャリッジ１１の位置を認識し、副走査駆動装置６１が、キャリッジ１１の移動を制御することにより、キャリッジ１１を所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。ヘッド駆動回路６２は、液滴吐出ヘッド１５を駆動する回路であり、液滴吐出ヘッド１５の圧電素子４６を制御駆動するためのノズル駆動信号を出力する回路である。昇降装置１４は、ヘッドユニット１３の昇降移動を制御する装置であり、ヘッドユニット位置検出装置６３がヘッドユニット１３におけるＺ方向の位置を認識し、昇降装置１４がヘッドユニット１３の移動を制御することにより、ヘッドユニット１３所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。
【００９７】
入力装置６６は、液滴４７を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板７に液滴４７を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ装置６７は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレイ装置６７に表示される情報を基に、入力装置６６を用いて操作を行う。
【００９８】
重量測定装置２５は、電子天秤５１及び受皿５２を備え、液滴吐出ヘッド１５が吐出する液滴４７と、液滴４７を受ける受皿５２との重量を測定する装置である。液滴４７が吐出される前後の受皿５２の重量を測定して、測定値をＣＰＵ５８に送信する。
【００９９】
保守ステージ駆動装置６８は、第１フラッシングユニット２３、第２フラッシングユニット２４、重量測定装置２５を液滴吐出ヘッド１５と対向する場所に位置するように、保守ステージ２２を移動する装置である。そして、主走査位置検出装置５が、保守ステージ２２の位置を検出した後、保守ステージ駆動装置６８が保守ステージ２２を移動することにより、所望の装置又はユニットが、確実に、液滴吐出ヘッド１５と対向する場所に、移動可能となっている。
【０１００】
メモリ５９は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト６９を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板７内における吐出位置の座標データである吐出位置データ７０を記憶するための記憶領域も設定される。
【０１０１】
他にも、ノズル３６から吐出される液滴４７の重量を測定するときに、圧電素子４６を駆動する測定用駆動データ７１を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、重量測定装置２５が測定した液滴４７の重量測定データ７２を記憶するための記憶領域が設定される。
【０１０２】
さらに、吐出量を調整するときに目標とする調整目標データ７３を記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ５８のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【０１０３】
ＣＰＵ５８は、メモリ５９内に記憶されたプログラムソフト６９に従って、基板７における表面の所定位置に機能液を液滴４７にして吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部７４を有する。さらに、液滴吐出ヘッド１５を洗浄するタイミングを演算する洗浄演算部７５や、ヘッドユニット１３を上下動するタイミングの制御を行うヘッド昇降制御演算部７６を有する。
【０１０４】
他に、液滴吐出ヘッド１５によって液滴４７を吐出するための演算を行う吐出演算部７７などを有する。吐出演算部７７を詳しく分割すれば、吐出演算部７７は、基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部７８を有する。加えて、吐出演算部７７は、液滴吐出ヘッド１５を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部７９を有する。さらに、吐出演算部７７は液滴吐出ヘッド１５内に複数あるノズルの内、どのノズルを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部８０等といった各種の機能演算部を有する。
【０１０５】
（塗布方法）
次に、上述した液滴吐出装置１を使って、液滴吐出ヘッドが吐出する機能液の重量を測定して塗布する製造方法について図６〜図８にて説明する。図６は、液滴吐出ヘッドの吐出量を測定及び調整して塗布する製造工程を示すフローチャートである。図７は、液滴吐出ヘッドの吐出量を測定及び調整して塗布する製造方法を説明する図である。
【０１０６】
図６のフローチャートにおいて、ステップＳ１は、吐出工程に相当し、重量測定装置の受皿に液滴を吐出する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は、カバー設置工程に相当し、液滴吐出ヘッドを受皿に近づけることにより、受皿をカバーする工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３は、測定工程に相当し、吐出された液状体の重量を測定した後、一滴あたりの吐出量を算出する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は、カバー除去工程に相当し、液滴吐出ヘッドを受皿から遠ざける工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は、未測定ヘッドの有無確認工程に相当し、測定していない液滴吐出ヘッドの有無を確認する工程である。測定していない液滴吐出ヘッドがあるとき（未測定ヘッド有りのとき）、ステップＳ１に移行する。測定していない液滴吐出ヘッドが無いとき（未測定ヘッド無しのとき）、ステップＳ６に移行する。ステップＳ６は、調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を目標吐出量に近づけるように、吐出量を調整する工程である。次にステップＳ７に移行する。ステップＳ７は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して、塗布する工程である。以上のステップにより液滴吐出ヘッドの吐出量を測定及び調整して塗布する製造工程を終了する。
【０１０７】
次に、図７を用いて、図６に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。図７（ａ）〜図７（ｃ）はステップＳ１に対応する図である。図７（ａ）に示すように、キャリッジ１１及び保守ステージ２２を移動して、吐出量を測定する予定の液滴吐出ヘッド１５を、受皿５２と対向する場所に移動する。そして、図７（ｂ）に示すように、昇降装置１４を駆動してヘッド取付板４１を受皿５２に近づける。個別横風防止部３３の弾性部３３ｂ及び外側横風防止部３４の弾性部３４ｂが支持部５０の上面５０ｂに接するまで、昇降装置１４はヘッド取付板４１を降下させる。このとき、受皿５２は、液滴吐出ヘッド１５、ヘッド取付板４１、個別横風防止部３３、外側横風防止部３４、支持部５０によって覆われる。従って、支持部５０の周囲に流れる気流が、受皿５２に接しないようになっている。
【０１０８】
受皿５２が液滴吐出ヘッド１５等により覆われている状態にて、電子天秤５１が受皿５２、吸収体５３及び受皿５２の底に溜まっている機能液４４の重量を測定する。次に、昇降装置１４がヘッド取付板４１を上昇させることにより、液滴吐出ヘッド１５と受皿５２の吸収体５３との距離を所望の距離にする。そして、図７（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１５のノズル３２から所定の回数の液滴４７を吐出する。吐出回数は電子天秤５１の測定分解能と要求する測定精度により設定すれば良い。本実施形態においては、例えば、１０００回の吐出回数を採用している。吐出される液滴４７は、吸収体５３に吸収された後、受皿５２の内部に滴下する。そして、受皿５２の底に機能液４４が蓄積される。このとき、第１フラッシングユニット２３及び第２フラッシングユニット２４と対向する場所に位置する液滴吐出ヘッド１５は、所定の時間間隔で、液滴４７を吸収体５３又は吸収体５４に吐出する。そして、ノズル３２の内部における機能液４４の溶媒が揮発することにより、機能液４４の粘度が上昇することを防止している。
【０１０９】
次に、ステップＳ２では、図７（ｂ）に示すように、昇降装置１４がヘッド取付板４１を下降させる。そして、受皿５２を液滴吐出ヘッド１５等で覆う。次に、ステップＳ３において、受皿５２が液滴吐出ヘッド１５等で覆われた状態にて、電子天秤５１が受皿５２、吸収体５３及び受皿５２の底に溜まっている機能液４４の重量を測定する。従って、支持部５０の周囲に流れる気流が、受皿５２に接しない状態において、機能液４４の重量を測定することが可能となっている。そして、測定した重量測定値を、吐出回数にて除算することにより、一回の吐出で吐出する吐出量を算出する。そして、算出した吐出量の値をメモリ５９に重量測定データ７２として格納する。
【０１１０】
次に、ステップＳ４において、図７（ａ）に示すように、昇降装置１４がヘッド取付板４１を上昇させる。個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４が支持部５０と離れるので、液滴吐出ヘッド１５は、支持部５０に対してＸＹ方向に移動可能となる。
【０１１１】
ステップＳ５において、吐出量の測定が済んでいない液滴吐出ヘッド１５を検索する。測定が済んでいる液滴吐出ヘッド１５の重量測定データ７２は、メモリ５９に格納されているので、重量測定データ７２の格納されていない液滴吐出ヘッド１５を調べることにより、測定が済んでいない液滴吐出ヘッド１５を検索する。そして、測定が済んでいない液滴吐出ヘッド１５があるとき、次に吐出量を測定する液滴吐出ヘッド１５を決定する。決定した液滴吐出ヘッド１５に対して、ステップＳ１からステップＳ５を繰り返して実施する。
【０１１２】
ステップＳ６において、メモリ５９に格納された重量測定データ７２と調整目標データ７３とを比較する。そして、各液滴吐出ヘッド１５の圧電素子４６を駆動する駆動電圧を変更する。駆動電圧が大きい程、吐出量が多くなる関係がある。そして、重量測定データ７２と調整目標データ７３との差の吐出量に相当する電圧分の駆動電圧を増減することにより、各液滴吐出ヘッド１５が吐出する吐出量が、調整目標データ７３に接近するようにする。
【０１１３】
図７（ｄ）はステップＳ７に対応する図である。図７（ｄ）に示すように、吐出演算部７７は、主走査駆動装置６０及び副走査駆動装置６１を駆動して、液滴吐出ヘッド１５を基板７と対向する場所に移動する。そして、メモリ５９に格納されている吐出位置データ７０により指示された場所に、液滴４７を吐出して、機能液４４を塗布する。予定したパターンの塗布ができたところで、液滴吐出ヘッドの吐出量を測定及び調整して塗布する製造工程を終了する。
【０１１４】
図８は、吐出量の測定値の変動を説明するグラフである。図８（ａ）は、比較例であって、横風防止部がない防風カバーを備える液滴吐出装置において、保守ステージが重量測定装置を移動した後、重量測定装置が測定する受皿及び液滴の重量の変動を示している。そして、図８（ｂ）は、本実施形態において、液滴吐出ヘッド１５、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４等により、受皿５２を覆って測定するときに、重量測定装置２５が測定する受皿５２及び液滴４７の重量の変動を示している。
【０１１５】
図８（ａ）及び図８（ｂ）において、横軸は時間８３の経過を示し、縦軸は電子天秤５１が測定する重量８４を示している。図８（ａ）において、測定値推移線８５は、受皿と対向する場所に横風防止部のない防風カバーを配置した直後から、電子天秤が測定する重量８４の推移を示している。測定値推移線８５は、防風カバーを配置後、徐々に振幅が減衰し、約１２秒後に安定している。そして、重量測定演算部７４は、測定値推移線８５が安定した後に、重量８４を測定する。
【０１１６】
図８（ｂ）において、測定値推移線８６は、受皿５２に液滴４７を吐出した後、液滴吐出ヘッド１５、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４等により、受皿５２を覆った直後から、重量測定装置２５が測定する重量８４の推移を示している。測定値推移線８６は、受皿５２を覆った後、徐々に振幅が減衰し、約３秒後に安定している。そして、重量測定演算部７４は、測定値推移線８６が安定した後に、重量８４を測定する。尚、振幅が減衰して安定する時間は、装置の構成及び設計により変わるので、受皿５２が振動し難い設計にするのが好ましい。
【０１１７】
防風カバーに横風防止部がないとき、防風カバーと受皿との間から流れる気流が受皿５２に接触するので、受皿５２が振動し易くなっている。一方、液滴吐出ヘッド１５の周囲に個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４があるとき、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４と支持部５０との間から受皿５２に気流が入り込まないので、受皿５２が振動し難くなっている。そして、重量測定装置２５の測定値は、横風防止部がないときに比べて、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４があるときの方が早く安定する。さらに、安定した後の測定値の変動も小さくなり、精度良く測定することが可能となっている。
【０１１８】
さらに、比較例において、測定用吐出をした後、保守ステージ２２が移動及び停止をするとき、受皿５２に加速度が加わるので、受皿５２が振動する。そして、受皿５２の振動が安定するまで時間がかかるので、測定する工程の前に待機工程が必要となっている。
【０１１９】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４が気体の流れを遮断することにより、支持部５０の周囲を流動する気流が受皿５２に流動して、受皿５２に接触することを防止している。従って、受皿５２に流動する気流が接触することにより、機能液４４の重量８４が変動することを防止している。その結果、精度良く機能液４４の吐出量を測定することができる。
【０１２０】
（２）比較例に示す防風カバーを備えるとき、重量測定装置を防風カバーと対向する場所に移動する移動工程と、移動に伴なって、振動する容器の振動が停止するまで待機する待機工程とが必要となる。本実施形態によれば、この移動工程と待機工程とが不要となる為、生産性良く機能液４４の吐出量を測定することができる。
【０１２１】
（３）本実施形態によれば、昇降装置１４が個別横風防止部３３の弾性部３３ｂ及び外側横風防止部３４の弾性部３４ｂと支持部５０の上面５０ｂとの距離を変えることが可能となっている。そして、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４と上面５０ｂとの距離を小さくすることにより、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４と上面５０ｂとの間を気流が通り難くすることができる。従って、気流が受皿５２に接し難くなる為、受皿５２が気流により振動することを防止することができる。その結果、精度良く機能液４４の吐出量を測定することができる。
【０１２２】
（４）本実施形態によれば、昇降装置１４は個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４と連動して液滴吐出ヘッド１５を移動させる。そして、液滴吐出ヘッド１５と重量測定装置２５との距離を変更可能となっている。従って、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４を移動する装置と液滴吐出ヘッド１５を移動する装置とを別に備える装置に比べて簡便な装置とすることができる。
【０１２３】
（５）本実施形態によれば、個別横風防止部３３の下側の面３３ａと外側横風防止部３４の下側の面３４ａと液滴吐出ヘッド１５の下側の面１５ａとは略同じ平面に形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１５と基板７との距離を制御するとき、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４が基板７と接触することがない。従って、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４が基板７に塗布された機能液４４に接触しない為、液滴吐出装置１は、品質良く描画することができる。
【０１２４】
（６）本実施形態によれば、弾性部３３ｂが個別横風防止部３３に配置され、弾性部３４ｂが外側横風防止部３４に配置されている。個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４が支持部５０の上面５０ｂと接近するとき、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４が上面５０ｂと接触することがある。このとき、弾性部３３ｂ及び弾性部３４ｂが変形するので、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４及び支持部５０が振動することを防止している。そして、支持部５０の振動が受皿５２に伝播することにより、受皿５２が振動して、機能液４４の重量測定値が変動することを防止している。その結果、精度良く機能液４４の重量を測定することができる。
【０１２５】
（７）本実施形態によれば、１つの個別横風防止部３３が１つの液滴吐出ヘッド１５を覆うように配置するとき、個別横風防止部３３は、各受皿５２の形状に合わせた形状に形成することができる。そして、各液滴吐出ヘッド１５及び個別横風防止部３３は、確実に、受皿５２を覆うことができる。その結果、重量測定装置２５は、流動する気流の影響を受けずに測定することができる為、精度良く機能液４４の吐出量を測定することができる。
【０１２６】
（８）本実施形態によれば、１つの外側横風防止部３４が２つの液滴吐出ヘッド１５を覆うことにより、液滴吐出ヘッド１５の個数に比べて少ない個数の外側横風防止部３４にて、液滴吐出ヘッド１５を覆うことができる。その結果、簡便な構成にすることができる。
【０１２７】
（９）本実施形態によれば、１つの液滴吐出ヘッド１５を個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４で囲っている。従って、液滴吐出ヘッド１５と個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４にて受皿５２を覆うとき、１つの液滴吐出ヘッド１５を個別横風防止部３３だけで覆うときに比べて、受皿５２に流動する気流が接することを確実に防止できる。その結果、重量測定装置２５は、流動する気流の影響を受けずに測定することができる為、精度良く機能液４４の重量を測定することができる。
【０１２８】
（１０）本実施形態によれば、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４は、支持部５０の上面５０ｂと対向する場所で昇降動作をする。そして、第１フラッシングユニット２３の吸収体５４及び第２フラッシングユニット２４の吸収体５５は、上面５０ｂより凹んだ場所に配置される。個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４は、機能液４４が付着し難い場所と近接又は接触することにより、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４に機能液４４が付着し難くすることができる。従って、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４が機能液４４により腐食されることを防止することができる。
【０１２９】
（１１）本実施形態によれば、重量測定装置２５の周囲には、温度調整された気体が流動しているので、重量測定装置２５の温度が管理されている。従って、重量測定装置２５は温度の影響を受け難い状態にて、機能液４４の重量を測定する為、精度良く機能液４４の重量を測定することができる。
【０１３０】
（１２）本実施形態によれば、精度良く測定された測定値に基づいて吐出量を調整した後、塗布する為、精度の良い吐出量の液滴４７を吐出して塗布することができる。
【０１３１】
（第２の実施形態）
次に、本実施形態では、液滴吐出ヘッドが横風防止部より凸状に配置された液滴吐出装置の特徴的な例について図９に従って説明する。図９は、横風防止部の構造を説明するための要部模式断面図である。図９（ａ）は、液滴吐出ヘッドが重量測定装置と離れているときを示し、図９（ｂ）は、液滴吐出ヘッドが重量測定装置に近づいているときを示している。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッド１５が横風防止部より凸状に配置されている点にある。
【０１３２】
すなわち、本実施形態では、図９（ａ）に示すように、ヘッドユニット９０はヘッド取付板４１を備えている。ヘッド取付板４１には液滴吐出ヘッド１５、横風防止部としての個別横風防止部９１及び横風防止部としての外側横風防止部９２が配置されている。個別横風防止部９１は１つの液滴吐出ヘッド１５を囲んで配置され、外側横風防止部９２は一対の個別横風防止部９１を囲んで配置されている。個別横風防止部９１の下面９１ａ及び外側横風防止部９２の下面９２ａは液滴吐出ヘッド１５の下側の面１５ａより上側になるように形成されている。この下面９１ａは、弾性部９１ｂの下側の面であり、下面９２ａは、弾性部９２ｂの下側の面である。つまり、液滴吐出ヘッド１５は個別横風防止部９１及び外側横風防止部９２より凸状に形成されている。そして、個別横風防止部９１の下側は、弾性材料などからなる弾性部９１ｂが配置され、外側横風防止部９２の下側は、弾性材料などからなる弾性部９２ｂが配置されている。
【０１３３】
保守ステージ２２上には複数の部屋に区画されている略矩形な箱状の支持部９３が配置され、支持部９３の中央に区画された部屋９３ａには重量測定装置２５が配置されている。重量測定装置２５は、電子天秤５１と電子天秤５１の上側に受皿５２を備えている。そして、受皿５２の上側には吸収体５３が配置されている。この吸収体５３は支持部９３の上面９３ｄに対して凹状に配置されている。図中左側には吐出液受部としての第１フラッシングユニット９４が配置され、支持部９３によって区画された部屋９３ｂの上側に吸収体５４が配置されている。同様に、図中右側には吐出液受部としての第２フラッシングユニット９５が配置され、支持部９３によって区画された部屋９３ｃの上側に吸収体５５が配置されている。
【０１３４】
個別横風防止部９１及び外側横風防止部９２と対向する場所には、支持部９３の上面９３ｄが形成されている。液滴吐出ヘッド１５の下側の面１５ａと個別横風防止部９１及び外側横風防止部９２の下面９１ａ及び下面９２ａとの距離を段差９６とする。そして、支持部９３の上面９３ｄと吸収体５３の上面５３ａとの距離を段差９７とする。このとき、段差９７は段差９６より大きな段差となるように形成されている。
【０１３５】
図９（ｂ）に示すように、昇降装置１４がヘッドユニット９０を下降するとき、個別横風防止部９１及び外側横風防止部９２が支持部９３の上面９３ｄに接近する。そして、個別横風防止部９１の下面９１ａ及び外側横風防止部９２の下面９２ａが支持部９３の上面９３ｄと接触するときにも、液滴吐出ヘッド１５の下側の面１５ａと下面９１ａ及び下面９２ａとが接触しないように配置されている。従って、吸収体５３に染み込んだ機能液４４は液滴吐出ヘッド１５の下側の面１５ａに付着しない。
【０１３６】
上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態の効果（１）〜効果（１２）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、液滴吐出ヘッド１５の下側の面１５ａに機能液４４が付着することがある。このとき、ワイピングユニット１８が面１５ａに付着した機能液４４を拭き取る。そして、個別横風防止部９１及び外側横風防止部９２より液滴吐出ヘッド１５が凸状に配置されているので、個別横風防止部９１及び外側横風防止部９２を擦らずに液滴吐出ヘッド１５を拭くことができる。従って、個別横風防止部９１及び外側横風防止部９２を擦って損傷を与える事無く、液滴吐出ヘッド１５を保守することができる。
【０１３７】
（第３の実施形態）
次に、本実施形態では、重量測定装置の受皿の周囲に横風防止部が配置された液滴吐出装置の特徴的な例について図１０に従って説明する。図１０は、横風防止部の構造を説明するための要部模式断面図である。図１０（ａ）は、液滴吐出ヘッドが重量測定装置と離れているときを示し、図１０（ｂ）は、液滴吐出ヘッドが重量測定装置に近づいているときを示している。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、横風防止部が重量測定装置の受皿の周囲に配置された点にある。
【０１３８】
すなわち、本実施形態では、図１０（ａ）に示すように、ヘッドユニット１００はヘッド取付板４１を備えている。ヘッド取付板４１には液滴吐出ヘッド１５が配置されている。
【０１３９】
保守ステージ２２上には複数の部屋に区画されている略矩形な箱状の支持部５０が配置され、支持部５０の中央に区画された部屋５０ａには重量測定装置２５が配置されている。重量測定装置２５は、電子天秤５１と電子天秤５１の上側に受皿５２を備えている。そして、受皿５２の上側には吸収体５３が配置されている。図中左側には第１フラッシングユニット２３が配置され、図中右側には第２フラッシングユニット９５が配置されている。
【０１４０】
支持部５０の上面５０ｂには、横風防止部としての個別横風防止部１０１及び横風防止部としての外側横風防止部１０２が配置されている。個別横風防止部１０１は１つの受皿５２を囲んで配置され、外側横風防止部１０２は一対の個別横風防止部１０１を囲んで配置されている。個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２は図４に示す個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４と同様の場所に配置される。そして、個別横風防止部１０１の上側は、弾性材料などからなる弾性部１０１ａが配置され、外側横風防止部１０２の上側は、弾性材料などからなる弾性部１０２ａが配置されている。
【０１４１】
図１０（ｂ）に示すように、昇降装置１４がヘッドユニット１００を下降するとき、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２がヘッド取付板４１のカバー受部としての下面４１ａに接近する。このとき、受皿５２は、液滴吐出ヘッド１５、ヘッド取付板４１、個別横風防止部１０１、外側横風防止部１０２、支持部５０によって覆われる。従って、支持部５０の周囲に流れる気流が、受皿５２に接しないようになっている。
【０１４２】
上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態の効果（２）及び効果（１１）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２が気体の流れを遮断することにより、支持部５０の周囲を流動する気流が受皿５２に流動して、受皿５２に接触することを防止している。従って、受皿５２に流動する気流が接触することにより、機能液４４の重量８４が変動することを防止している。その結果、精度良く機能液４４の吐出量を測定することができる。
【０１４３】
（２）本実施形態によれば、昇降装置１４が個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２とヘッド取付板４１の下面４１ａとの距離を変えることが可能となっている。そして、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２と下面４１ａとの距離を小さくすることにより、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２と下面４１ａとの間を気流が通り難くすることができる。従って、気流が受皿５２に接し難くなる為、受皿５２が気流により振動することを防止することができる為、精度良く機能液４４の吐出量を測定することができる。
【０１４４】
（３）本実施形態によれば、昇降装置１４はヘッド取付板４１の下面４１ａと連動して液滴吐出ヘッド１５を移動させる。そして、液滴吐出ヘッド１５と重量測定装置２５との距離を変更可能となっている。従って、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２と対向する場所を移動する装置と液滴吐出ヘッド１５を移動する装置とを別に備える場合に比べて簡便な装置とすることができる。
【０１４５】
（４）本実施形態によれば、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２がヘッド取付板４１の下面４１ａと接近するとき、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２と下面４１ａ横風防止部とが接触することがある。このとき、弾性部１０１ａ及び弾性部１０２ａが変形するので、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２及びヘッド取付板４１が振動することを防止している。そして、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２の振動が受皿５２に伝播することにより、受皿５２が振動して、機能液４４の重量測定値が変動することを防止している。その結果、精度良く機能液４４の重量を測定することができる。
【０１４６】
（５）本実施形態によれば、１つの個別横風防止部１０１が１つの受皿５２を覆うように配置するとき、個別横風防止部１０１は、各受皿５２の形状に合わせた形状に形成することができる。そして、各液滴吐出ヘッド１５及び個別横風防止部１０１は、確実に、受皿５２を覆うことができる。その結果、重量測定装置２５は、流動する気流の影響を受けずに測定することができる為、精度良く機能液４４の吐出量を測定することができる。
【０１４７】
（６）本実施形態によれば、１つの外側横風防止部１０２が２つの受皿５２を覆っている。従って、１つの受皿５２を１つの個別横風防止部１０１で覆うときに比べて、少ない個数の外側横風防止部１０２にて、受皿５２を覆うことができる。その結果、簡便な構成にすることができる。
【０１４８】
（７）本実施形態によれば、１つの受皿５２を個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２で囲っている。従って、液滴吐出ヘッド１５、ヘッド取付板４１、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２にて受皿５２を覆うとき、外側横風防止部１０２を用いずに覆うときに比べて、受皿５２に流動する気流が接することを確実に防止できる。その結果、重量測定装置２５は、流動する気流の影響を受けずに測定することができる為、精度良く機能液４４の重量を測定することができる。
【０１４９】
尚、実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
第１の実施形態において、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４と液滴吐出ヘッド１５とを連動して昇降したが、液滴吐出ヘッド１５を昇降せずに個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４のみ昇降しても良い。ヘッドユニット１３に比べて個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４は軽量なので、昇降に要するエネルギを少なくすることができる。
【０１５０】
（変形例２）
第１の実施形態において、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４と液滴吐出ヘッド１５とを連動して昇降したが、支持部５０の上面５０ｂの部分を支持部５０とは別に昇降可能にしても良い。つまり、支持部５０側に昇降装置を設けて、受皿５２の周囲の部材を昇降装置により昇降動作をするようにしても良い。昇降装置を保守ステージ２２に配置して、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４と対向する部分のみ昇降させることにより、昇降する部分を軽量化して昇降に要するエネルギを少なくすることができる。
【０１５１】
（変形例３）
第１の実施形態において、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４に弾性部３３ｂ及び弾性部３４ｂを配置したが、弾性部材を支持部５０の上面５０ｂに配置しても良い。このとき、１つの部材で、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４の両方に対応できるように配置できるので、簡便な構成にすることができる。
【０１５２】
（変形例４）
第１の実施形態において、個別横風防止部３３及び外側横風防止部３４を用いて、受皿５２を覆ったが、さらに全体を覆う全体横風防止部を備えても良い。つまり、外側横風防止部３４の外側に、６個の液滴吐出ヘッド１５を囲んだ全体横風防止部を備える。そして、個別横風防止部３３、外側横風防止部３４、全体横風防止部を用いて受皿５２を覆っても良い。さらに、気流を遮断することができる。
【０１５３】
（変形例５）
第１の実施形態において、液滴吐出ヘッド１５から第１フラッシングユニット２３又は第２フラッシングユニット２４に吐出する暖機駆動を行った後、吐出量測定を行っても良い。そして、液滴吐出ヘッド１５を暖機駆動することにより、液滴吐出ヘッド１５の温度が所定の温度になっているときの吐出量を測定する。このとき、受皿５２と第１フラッシングユニット２３及び第２フラッシングユニット２４とが近い場所にあることから、液滴吐出ヘッド１５の温度が下降しない間に、液滴吐出ヘッド１５を受皿５２と対向する場所に移動して、測定を開始することができる。
【０１５４】
（変形例６）
第３の実施形態において、昇降装置１４が液滴吐出ヘッド１５を昇降して、受皿５２を覆ったが、液滴吐出ヘッド１５を固定して、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２を昇降させても良い。つまり、支持部５０側に昇降装置を設けて、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２を昇降装置により昇降動作をするようにしても良い。
昇降装置を保守ステージ２２に配置して、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２のみ昇降させることにより、昇降する部分を軽量化して昇降に要するエネルギを少なくすることができる。
【０１５５】
（変形例７）
第３の実施形態において、ヘッド取付板４１の下面４１ａと液滴吐出ヘッド１５とを連動して昇降したが、液滴吐出ヘッド１５を昇降せずに、ヘッド取付板４１において、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２と対向する場所のみ昇降させても良い。つまり、ヘッドユニット１００に昇降装置を設け、この昇降装置は個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２と対向する場所のみ昇降可能とする。ヘッドユニット１００全体を昇降する場合に比べて個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２と対向する場所のみ昇降させることは、移動する部材を軽量にすることが可能なので、昇降に要するエネルギを少なくすることができる。
【０１５６】
（変形例８）
第３の実施形態において、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２に弾性部１０１ａ及び弾性部１０２ａを配置したが、弾性部１０１ａ及び弾性部１０２ａをヘッド取付板４１に配置しても良い。このとき、１つの部材で、個別横風防止部１０１及び外側横風防止部１０２の両方に対応できるように配置できるので、簡便な構成にすることができる。
【０１５７】
（変形例９）
第１の実施形態〜第３の実施形態では、キャビティ４３を加圧する加圧手段に、圧電素子４６を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板４５を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ４３内にヒータ配線を配置して、ヒータ配線を加熱することにより、機能液４４を気化させたり、機能液４４に含む気体を膨張させたりして加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板４５を変形させて、加圧しても良い。
【０１５８】
（変形例１０）
第１の実施形態においては、ステージ４、キャリッジ１１、昇降装置１４、保守ステージ２２の駆動機構にネジ式直動機構を用いたが、これに限らず直動する機構であれば良い。例えば、リニアモータ、カム式の直動機構、リンク式の直動機構を採用しても良い。
【０１５９】
（変形例１１）
第１の実施形態においては、チャンバ３０の内部に空気を流動していたが、他の気体でも良い。例えば、窒素ガス、アルゴンガス等、吐出する機能液４４及び基板７に必要とさせる環境にて実施して良い。同様な効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１６０】
【図１】第１の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は、ヘッドユニットを示す模式平面図、（ｂ）は、ヘッドユニットを示す要部模式断面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図３】横風防止部の構造を説明するための要部模式断面図。
【図４】保守ステージの部分模式平面図。
【図５】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図６】液滴吐出ヘッドの吐出量を測定及び調整して塗布する製造工程を示すフローチャート。
【図７】液滴吐出ヘッドの吐出量を測定及び調整して塗布する製造方法を説明する図。
【図８】吐出量の測定値の変動を説明するグラフ。
【図９】第２の実施形態に係る横風防止部の構造を説明するための要部模式断面図。
【図１０】第３の実施形態に係る横風防止部の構造を説明するための要部模式断面図。
【符号の説明】
【０１６１】
１…液滴吐出装置、４…移動部としてのステージ、７…ワークとしての基板、１１…移動部としてのキャリッジ、１４…移動部としての昇降装置、１５…液滴吐出ヘッド、２２…移動部としての保守ステージ、２３，９４…吐出液受部としての第１フラッシングユニット、２４，９５…吐出液受部としての第２フラッシングユニット、２５…重量測定部としての重量測定装置、２７…気体制御装置としての空気制御装置、３０…チャンバ、３３，９１，１０１…横風防止部としての個別横風防止部、３３ｂ，３４ｂ，９１ｂ，９２ｂ，１０１ａ，１０２ａ…弾性部、３４，９２，１０２…横風防止部としての外側横風防止部、４１ａ…カバー受部としての下面、４４…液状体としての機能液、５０ｂ…カバー受部としての上面、５２…容器としての受皿。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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