(57)【要約】【課題】密閉型筐体を対象とする有機ガスの透過性を的確に評価することができる有機ガスの透過性評価方法を提供することを目的とする。【解決手段】磁気ディスク装置１３の内部と外部にそれぞれ有機ガス成分を吸着する有機ガス吸着材２０および有機ガス吸着材２１を配置し、加熱恒温槽１１を用いて磁気ディスク装置１３を配置したガラス容器１２を加熱することでシリコーン液の蒸発により有機ガスを発生させ、有機ガス吸着材２０により吸着した有機ガス成分量と有機ガス吸着材２１に吸着した有機ガス成分量とを測定／分析し、これら有機ガス吸着材２０により吸着した有機ガス成分量と有機ガス吸着材２１により吸着した有機ガス成分量との比率により磁気ディスク装置１３を対象とする有機ガスの透過性を評価する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉型筐体内に侵入する有機ガスの透過性を評価する有機ガスの透過性評価方法であって、
前記密閉型筐体内に有機ガス成分を吸着する第１の吸着材を配置し、当該密閉型筐体の外方に密閉型筐体外に存在する有機ガス成分を吸着する第２の吸着材を配置する有機ガス吸着材配置工程と、
前記密閉型筐体の周囲を密閉する容器内に有機ガス成分を含む液体を滴下し、加熱恒温槽を用いて前記容器を加熱することにより前記液体を蒸発させ有機ガスを発生させる有機ガス生成工程と、
前記第１の吸着材により吸着した有機ガス成分量と前記第２の吸着材により吸着した有機ガス成分量とを測定し分析する吸着量分析工程と、
前記吸着量分析工程により分析された前記第１の吸着材により吸着した有機ガス成分量と前記第２の吸着材により吸着した有機ガス成分量との比率により有機ガスの透過性を評価する有機ガス透過性評価工程と、
を含むことを特徴とする有機ガスの透過性評価方法。
【請求項２】
前記密閉型筐体を構成する外装カバーに形成された有機ガスを通過可能な通孔には粘着シールが貼着されることを特徴とする請求項１に記載の有機ガスの透過性評価方法。
【請求項３】
前記有機ガス成分を吸着する第１の吸着材および前記第２の吸着材の材料は、多孔質高分子材料であることを特徴とする請求項１または２に記載の有機ガスの透過性評価方法。
【請求項４】
前記有機ガス成分を含む液体は、ジメチルシリコーン類に属するオクタメチルシクロテトラシロキサンまたはオルガノシランであることを特徴とする請求項１、２または３に記載の有機ガスの透過性評価方法。
【請求項５】
前記密閉型筐体は、磁気記憶装置であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一つに記載の有機ガスの透過性評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、密閉型筐体内に侵入する有機ガスの透過性を評価する有機ガスの透過性評価方法に関し、特に、密閉型筐体を対象とする有機ガスの透過性を的確に評価することができる有機ガスの透過性評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、磁気ディスク装置の内部には、磁気ディスクに対してデータをリード／ライトする磁気ヘッドや磁気ヘッドを支持するヘッドサスペンション、磁気ディスクを回転させるスピンドルモータなどの駆動部を備えており、これらの部品は塵や埃などの混入を防止すべく外装カバーにより密閉された状態で筐体内に収納されている。ところで、このように密閉構造となっている磁気ディスク装置の場合、塵や埃など以外に外部から有機ガスが侵入する場合がある。
【０００３】
ここで、有機ガスのうちシリコーンガスなどが磁気ディスク装置の内部に多量に侵入した場合には、ヘッドクラッシュなどの障害を引き起こす事があるため、このような磁気ディスク装置を対象として、有機ガスの透過性を予めガス捕集装置やガス分析装置などを使用して分析することが行なわれている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００４】
この種の有機ガスなどのガス透過性試験としては、ガス差圧法（ＪＩＳＫ７１２６）による透過性試験などが一般的に適用されている。また、有機ガス以外では、カップ法（ＪＩＳＺ０２０８）や湿度センサー法（ＪＩＳＫ７１２９）による水蒸気の透過性評価方法などが一般的に適用されている。
【０００５】
ここで、カップ法による水蒸気の透過性評価方法について簡単に説明する。図９は、水蒸気の透過性評価方法(カップ法)の概要を説明する説明図である。すなわち、図９に示すように、カップ法は、カップ１の上面（開口部２）をプラスチックやゴムのシート、フィルムなどの試験片３により塞ぐとともに、このカップ１の内部に水蒸気を吸湿する吸湿材４（塩化カルシュウム材）を配置し、さらに、このカップ１を恒温恒湿槽５（温度４０/２５℃、湿度９０%ＲＨに保持）により加熱することで、吸湿材４の質量増加分（試験片３透過した水蒸気量）を測定し、これにより、試験片３対象とした水蒸気の透過量を求める方法である。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１４１８７２号公報
【特許文献２】特開２０００−２０９５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上述したように、磁気ディスク装置を対象として、有機ガスの透過性を予め透過性試験などにより分析することが必要とされているが、カップ法による水蒸気の透過性評価方法で使用する吸湿材ではシリコーンなどの有機ガスを吸着することができないという問題がある。また、恒温恒湿槽５を使用した場合には、水蒸気を対象とすることはできるが、有機ガスの場合には、この有機ガスの濃度を調整できないという問題がある。また、ガス透過性試験の場合、試験対象がフィルムやシートに適した方法であり、磁気ディスク装置などのような密閉筺体からなる構造体に適用するのは困難であるうえ、磁気ディスク装置本体を分解したり改造するなどの工程が必要となるため評価方法としては不適当であるという問題がある。
【０００８】
そこで、この発明は、上述した従来技術の課題を解決するためになされたものであり、
評価対象となる磁気ディスク装置を改造することなく製品形態のままで、的確にシリコーンなどの有機ガスの透過性を評価することができる有機ガスの透過性評価方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
有機ガスの透過性を評価する有機ガスの透過性評価方法は、前記密閉型筐体内に有機ガス成分を吸着する第１の吸着材を配置し、当該密閉型筐体の外方に密閉型筐体外に存在する有機ガス成分を吸着する第２の吸着材を配置する有機ガス吸着材配置工程と、前記密閉型筐体の周囲を密閉する容器内に有機ガス成分を含む液体を滴下し、加熱恒温槽を用いて前記容器を加熱することにより前記液体を蒸発させ有機ガスを発生させる有機ガス生成工程と、前記第１の吸着材により吸着した有機ガス成分量と前記第２の吸着材により吸着した有機ガス成分量とを測定し分析する吸着量分析工程と、前記吸着量分析工程により分析された前記第１の吸着材により吸着した有機ガス成分量と前記第２の吸着材により吸着した有機ガス成分量との比率により有機ガスの透過性を評価する有機ガス透過性評価工程と、を含む。
【発明の効果】
【００１０】
有機ガスの透過性評価方法は、有機ガス吸着材配置工程により密閉型筐体内に有機ガス成分を吸着する第１の吸着材を配置し、当該密閉型筐体の外方に密閉型筐体外に存在する有機ガス成分を吸着する第２の吸着材を配置し、有機ガス生成工程により密閉型筐体の周囲を密閉する容器内に有機ガス成分を含む液体を滴下し、加熱恒温槽を用いて容器を加熱することにより液体を蒸発させ有機ガスを発生させ、吸着量分析工程により第１の吸着材により吸着した有機ガス成分量と第２の吸着材に吸着した有機ガス成分量とを測定し分析し、有機ガス透過性評価工程により第１の吸着材により吸着した有機ガス成分量と第２の吸着材により吸着した有機ガス成分量との比率により有機ガスの透過性を評価することで、密閉型筐体内に侵入する有機ガスの透過性を評価するので、筺体を改造することなく製品形態のままで、的確にシリコーンガスの透過性を評価することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に添付図面を参照し、本発明の有機ガスの透過性評価方法に係る実施例について詳細に説明する。図１は、有機ガスの透過性評価方法の概要および特徴を説明する説明図である。なお、以下では、本発明に係る磁気ディスク装置の概要および特徴を説明した後に、有機ガスの透過性評価方法による作業工程、有機ガスの透過性評価方法の手順について詳細に説明することとする。なお、以下に示す実施例によりこの発明が限定されるものではない。
【実施例】
【００１２】
［有機ガスの透過性評価方法の概要および特徴］
まず最初に、本発明に係る有機ガスの透過性評価方法の概要および特徴を説明する。図１は、本発明に係る有機ガスの透過性評価方法の概要および特徴を説明するための説明図である。同図に示すように、磁気ディスク装置１３を対象とする有機ガスの透過性評価方法は、加熱恒温槽１１と、この加熱恒温槽１１の内部に設けるガラス容器１２と、シリコーンなどの有機ガスを吸着するための２個の有機ガス吸着材２０、２１とを用いて行なわれる。
【００１３】
ここで、本実施例では、図１に示すように、従来行なっていた水蒸気の透過性評価で使用される吸湿材の代わりに加熱脱着により吸着量を測定できる２個の有機ガス吸着材を用いるとともに、これら有機ガス吸着材２０、２１を磁気ディスク装置１３の内部と外部とにそれぞれ配置することにより、環境存在量と磁気ディスク装置1３内への侵入量との比（有機ガスの透過率α）を求めることができるようにしたものである。このように、有機ガスの吸着材を磁気ディスク装置１３の内部以外に磁気ディスク装置１３の外部にも配置する事により、環境存在量のうちガス環境形成容器（ガラス容器１２）の内壁や磁気ディスク装置１３に付着して有機ガスの透過に寄与しない部分を除外することができるようにしている。
【００１４】
すなわち、同図に示すように、２個の有機ガス吸着材２０、２１のうち有機ガス吸着材２０は、磁気ディスク装置１３のほぼ中央部に配設され、一方の有機ガス吸着材２１は、磁気ディスク装置１３の外部であってガラス容器１２の内部の所定位置に配設されている。なお、これら有機ガス吸着材２０、２１は、ポーラスポリマービーズなどの多孔質高分子材であり、同じ大きさで同種類（同一の製品）の吸着材（例えば、スペルコ社製のＴｅｎａｘ ＴＡ２０／３０ｍｅｓｈ）を使用する。これら有機ガス吸着材２０、２１は、シリコーンやフタル酸エステルなどの有機ガスを吸着することができる。また、加熱処理した場合でも例えば、約２５０℃でも分解することなく、これら有機ガス吸着材２０、２１で吸着したほぼ全吸着量を脱離することができる。
【００１５】
加熱恒温槽１１は、ガラス容器１２の外部からこのガラス容器１２内および磁気ディスク装置１３の周囲を加熱させるために設けられている。また、この加熱恒温槽１１は、温度計と連動したスイッチやサーモスタットによりＯＮ／ＯＦＦされるように電熱器（図示せず）などの加熱装置に取り付けられている。
【００１６】
ＧＣ−ＭＳ分析装置３０は、分離分析装置であるガスクロマトグラフと定性分析装置である質量分析計とを組み合わせたガスクロマトグラフ質量分析法(ＧＣ−ＭＳ)を使用することで正確に物質の質量を分析する装置である。
【００１７】
そして、図１に示すように、有機ガスの透過性評価方法を行なう場合には、磁気ディスク装置１３をガラス容器１２の内部に配置した状態で、ガラス容器１２内にシリコーン液を滴下し、この磁気ディスク装置１３を収納したガラス容器１２を加熱恒温槽１１に入れた状態で所定時間加熱する。すなわち、加熱恒温槽１１による加熱によりシリコーン液は、蒸発し、この蒸発により生成されたシリコーンガスは、ガラス容器１２内に配置された有機ガス吸着材２１に吸着されることとなる。また、磁気ディスク装置１３の外装カバーを透過したシリコーンガスは、この磁気ディスク装置１３の内部に配置された有機ガス吸着材２０に吸着されるため、これら２個の有機ガス吸着材２０、２１による有機ガスの吸着量を、ＧＣ−ＭＳ分析装置３０で測定し分析することにより有機ガスの透過性を評価する構成としている。
【００１８】
具体的には、有機ガス吸着材２０により吸着した有機ガス成分量と有機ガス吸着材２１に吸着した有機ガス成分量とをＧＣ−ＭＳ分析装置３０で分析し、有機ガス吸着材２０により吸着した有機ガス成分量と有機ガス吸着材２１により吸着した有機ガス成分量との比率（有機ガスの透過率α）に基づいて、有機ガスの透過性を評価する。
【００１９】
［有機ガスの透過性評価方法による作業工程のフローチャート］
図２は、有機ガスの透過性評価方法を行なう場合の作業工程の手順を示すフローチャートである。すなわち、同図のフローチャートに示すように、先ず、磁気ディスク装置１３の内部に、この磁気ディスク装置１３の内部に侵入する有機ガスを吸着するための有機ガス吸着材２０を配置する第１の有機ガス吸着材配置工程を行い（ステップＳ１）、次に、ガラス容器１２の内部に有機ガス吸着材２１を配置する第２の有機ガス吸着材配置工程を行う（ステップＳ２）。前述したように、有機ガス吸着材２１は、磁気ディスク装置１３の外部に存在する有機ガスを吸着するために設けられる。
【００２０】
次に、シリコーン液を滴下し、加熱恒温槽１１を用いてガラス容器１２および磁気ディスク装置１３を加熱する有機ガス生成工程を行い（ステップＳ３）、次に、有機ガス吸着材２０と有機ガス吸着材２１とにより吸着された有機ガス成分を脱離させる有機ガス成分脱離工程を行い（ステップＳ４）、次に、有機ガス成分脱離工程により脱離された有機ガス成分を分析する有機ガス成分分析工程を行う（ステップＳ５）。そして、最後に有機ガス成分分析工程により分析された測定データに基づいて、有機ガスの透過性（有機ガスの透過率α）を評価する有機ガス透過性評価工程を行なう（ステップＳ６）。なお、この有機ガスの透過性（有機ガスの透過率α）を算出する詳細については、後述する。
【００２１】
ここで、本実施例の場合、有機ガスの透過性評価方法を行なう場合は、図２に示すフローチャートに基づいて、人手により実施することとしているが、人手ではなく作業ロボットなどを利用して、この有機ガスの透過性評価方法を行なうようにしてもよい。
【００２２】
[有機ガスの透過性評価方法の手順]
次に、図３〜図６を参照して、有機ガスの透過性評価方法の手順を説明する。図３〜図６は、有機ガスの透過性評価方法を順に説明する図である。すなわち、先ず、図３に示すように、磁気ディスク装置１３の外装カバー（図示せず）を開けて磁気ディスク装置１３の内部（ほぼ中央位置）に有機ガス吸着材２０（Ｔｅｎａｘ ＴＡ２０／３０ｍｅｓｈ）を入れてカバーを閉じる。この状態で、磁気ディスク装置１３の密閉度を確認する。有機ガス吸着材２０はティーバッグ用の袋に詰めたものなどを使用することができる。このように、磁気ディスク装置１３の内部に有機ガス吸着材２０を配置したならば、この磁気ディスク装置１３をガラス容器１２の蓋カバー（図示せず）を開けて、このガラス容器１２の内部（ほぼ中央位置）に配置する。
【００２３】
次に、図４に示すように、磁気ディスク装置１３が内部に配置されたガラス容器１２の中に、磁気ディスク装置１３の内部に配置した有機ガス吸着材２０と同様の有機ガス吸着材２１を入れ所定の位置に配置する。そして、ガラス容器１２の底板に石英ウール（図示せず）を置き、マイクロシリンジの先端を石英ウールに当接させた状態でシリコーン液を所定量注入する。
【００２４】
ここで、シリコーン液には、撥水性、潤滑性に優れたジメチルシリコーン類（シリコーン樹脂から発生するシロキサンガスの主成分）に属するオクタメチルシクロテトラシロキサンを使用する。なお、シリコーン液としては、このオクタメチルシクロテトラシロキサン以外にも、磁気ディスク装置１３に対する悪影響が強いシランカップリング剤として使用されるオルガノシランを使用することもできる。
【００２５】
次に、図５に示すように、ガラス容器１２の蓋カバーを閉め、このガラス容器１２を６０℃の加熱恒温槽１１に入れた状態で所定時間（例えば、２４時間）加熱する。これにより、ガラス容器１２内に滴下されたシリコーン液（オクタメチルシクロテトラシロキサン）がガス化し、この有機ガスがガラス容器１２内部に充満することとなり、この有機ガスが有機ガス吸着材２１に吸着される。また、磁気ディスク装置１３の外装カバーを通過した有機ガスの一部が有機ガス吸着材２０に吸着される。
【００２６】
次に、図６に示すように、ガラス容器１２を室温まで冷却後、２個の有機ガス吸着材２０、２１をそれぞれガラス容器１２と磁気ディスク装置１３の内部から回収し、２５０℃で加熱脱離し（シリコーン吸収量を抽出）、この脱離したシリコーンをＧＣ−ＭＳ分析装置３０によりシリコーン吸着量を測定する。
【００２７】
具体的に説明すると、有機ガス吸着材２０により吸着した有機ガス成分量と、有機ガス吸着材２１に吸着した有機ガス成分量との比を算出する。
【００２８】
すなわち、磁気ディスク装置１３を対象とするシリコーン透過率αは、有機ガス吸着材２０によるシリコーンガス吸着量をＭ１とし、有機ガス吸着材２１によるシリコーンガス吸着量をＭ２とした場合に、（有機ガス吸着材２０のシリコーンガス吸着量Ｍ１／有機ガス吸着材２１のシリコーンガス吸着量Ｍ２）×１００で算出することができる。この場合、シリコーン透過率αの値が大きい程、磁気ディスク装置１３の内部に侵入する有機ガス量が多いこととなり、筐体である磁気ディスク装置１３の密閉状態が悪いということとなる。
【００２９】
次に、図７は、カバーガスケット２２を対象とする有機ガスの透過性評価方法を説明する説明図である。すなわち、上述した有機ガスの透過性評価方法の場合、磁気ディスク装置１３全体を対象とする有機ガス透過性を評価する方法である。すなわち、磁気ディスク装置１３を構成する外装カバー１３ａに形成された通孔１５を通じて、有機ガスが侵入することから、この場合は、磁気ディスク装置１３全体を対象とする有機ガスの透過性評価となる。そこで、磁気ディスク装置１３全体の有機ガス透過性評価ではなく、例えば、磁気ディスク装置１３の密閉部材（機構）であるカバーガスケット２２を対象とする有機ガスの透過性を評価する場合は、磁気ディスク装置１３の呼吸フィルタ１６およびこの磁気ディスク装置１３内の吸湿または吸着剤ユニット（図示せず）を除去し、磁気ディスク装置１３の外装カバー１３ａに形成された通孔１５を粘着シール２３で塞閉することにより実施することができる。
【００３０】
図８は、タイプ別の磁気ディスク装置による有機ガスの透過性を比較する説明図である。同図の例では、２０ＧモデルのＡタイプ、Ｂタイプ、Ｃタイプと４０ＧモデルのＤタイプ、Ｅタイプ、Ｆタイプ、Ｇタイプと８０ＧモデルのＨタイプ、Ｉタイプ、Ｊタイプ、Ｋタイプ、Ｌタイプ、Ｍタイプの磁気ディスク装置による有機ガスの透過性を透過率データ（％）として示している。この図８に示すように、４０Ｇモデルの磁気ディスク装置の場合、他のモデルよりも、透過率（実機評価モード）が平均して良好であることがわかる。従って、この４０Ｇモデルの磁気ディスク装置に使用されている外装組み付け構造やカバーガスケットなどの材料が良好とされる評価基準モデルとなる。
【００３１】
ここで、本実施例に示した有機ガスの透過性評価方法を用いて、シリコーンガスによる障害が発生した磁気ディスク装置の機種を評価した結果、磁気ディスク装置を構成する筐体の密閉度や水蒸気透過性は他機種と遜色無いにもかかわらず、シリコーンガス透過率が１桁近く大きい事が確認された。これは、シリコーンガスがガスケットのゴム材と親和性が高く、ゴム材に溶け込むことにより内部に侵入しやすいためと推定される。すなわち、本発明の有機ガスの透過性評価方法により、磁気ディスク装置１３の外部環境範囲に存在するシリコーンなどの有機ガスが、磁気ディスク装置１３の内部に侵入する際の有機ガスの透過性を的確に評価することができ、これによって、磁気ディスク装置におけるヘッドクラッシュなどの障害を未然に防止する評価基準とすることができる。
【００３２】
以上説明したように、本実施例の有機ガスの透過性評価方法では、磁気ディスク装置１３の内部と外部にそれぞれ有機ガス成分を吸着する有機ガス吸着材２０および有機ガス吸着材２１を配置し、加熱恒温槽１１を用いて磁気ディスク装置１３を配置したガラス容器１２を加熱することでシリコーン液の蒸発により有機ガスを発生させ、有機ガス吸着材２０により吸着した有機ガス成分量と有機ガス吸着材２１に吸着した有機ガス成分量とを測定／分析し、これら有機ガス吸着材２０により吸着した有機ガス成分量と有機ガス吸着材２１により吸着した有機ガス成分量との比率により磁気ディスク装置１３を対象とする有機ガスの透過性を評価するので、筺体を改造することなく製品形態のままで、的確に有機ガスの透過性評価を実施することができる。
【００３３】
以上の実施例を含む実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
【００３４】
（付記１）密閉型筐体内に侵入する有機ガスの透過性を評価する有機ガスの透過性評価方法であって、
前記密閉型筐体内に有機ガス成分を吸着する第１の吸着材を配置し、当該密閉型筐体の外方に密閉型筐体外に存在する有機ガス成分を吸着する第２の吸着材を配置する有機ガス吸着材配置工程と、
前記密閉型筐体の周囲を密閉する容器内に有機ガス成分を含む液体を滴下し、加熱恒温槽を用いて前記容器を加熱することにより前記液体を蒸発させ有機ガスを発生させる有機ガス生成工程と、
前記第１の吸着材により吸着した有機ガス成分量と前記第２の吸着材により吸着した有機ガス成分量とを測定し分析する吸着量分析工程と、
前記吸着量分析工程により分析された前記第１の吸着材により吸着した有機ガス成分量と前記第２の吸着材により吸着した有機ガス成分量との比率により有機ガスの透過性を評価する有機ガス透過性評価工程と、
を含むことを特徴とする有機ガスの透過性評価方法。
【００３５】
（付記２）前記密閉型筐体を構成する外装カバーに形成された有機ガスを通過可能な通孔には粘着シールが貼着されることを特徴とする付記１に記載の有機ガスの透過性評価方法。
【００３６】
（付記３）前記有機ガス成分を吸着する第１の吸着材および前記第２の吸着材の材料は、形状および大きさが同一であることを特徴とする付記１または２に記載の有機ガスの透過性評価方法。
【００３７】
（付記４）前記有機ガス成分を吸着する第１の吸着材および前記第２の吸着材の材料は、多孔質高分子材料であることを特徴とする付記１、２または３に記載の有機ガスの透過性評価方法。
【００３８】
（付記５）前記有機ガス成分を吸着する第１の吸着材および前記第２の吸着材の材料は、ポーラスポリマービーズであることを特徴とする付記１、２または３に記載の有機ガスの透過性評価方法。
【００３９】
（付記６）前記有機ガス成分を含む液体は、ジメチルシリコーン類に属するオクタメチルシクロテトラシロキサンまたはオルガノシランであることを特徴とする付記１から５のいずれか一つに記載の有機ガスの透過性評価方法。
【００４０】
（付記７）前記密閉型筐体は、磁気記憶装置であることを特徴とする付記１から６のいずれか一つに記載の有機ガスの透過性評価方法。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、有機ガスの透過性評価方法を行なう場合に有用であり、密閉型筐体内に侵入する有機ガスの透過性を評価する有機ガスの透過性評価方法に関し、特に、有機ガスの透過性を的確に評価することができる有機ガスの透過性評価方法として効果的である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】実施例に係る有機ガスの透過性評価方法の概要を説明する説明図である。
【図２】図１の有機ガスの透過性評価方法の手順を説明するフローチャートである。
【図３】図１の有機ガスの透過性評価方法の手順を説明する説明図である（その１）。
【図４】図１の有機ガスの透過性評価方法の手順を説明する説明図である（その２）。
【図５】図１の有機ガスの透過性評価方法の手順を説明する説明図である（その３）。
【図６】図１の有機ガスの透過性評価方法の手順を説明する説明図である（その４）。
【図７】カバーガスケットを対象とする有機ガスの透過性評価方法を説明する説明図である。
【図８】タイプ別の磁気ディスク装置による有機ガスの透過性を比較する説明図である。
【図９】従来の水蒸気の透過性評価方法の概要を説明する説明図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  カップ
２  開口部
３  試験片
４  吸湿材
５  恒温恒湿槽
１１  加熱恒温槽
１２  ガラス容器
１３  磁気ディスク装置
１３ａ  外装カバー
１５  通孔
１６  呼吸フィルタ
２０、２１  有機ガス吸着材
２２  カバーガスケット
２３  貼着シール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2009199650.tif 000006
【図５】
2009199650.tif 000007
【図６】
2009199650.tif 000008
【図７】
2009199650.tif 000009
【図８】
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【図９】
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