(57)【要約】【課題】二酸化炭素の排出量を管理する二酸化炭素排出量管理装置を提供する。【解決手段】拠点内の装置から排出される二酸化炭素排出量を管理する拠点毎の二酸化炭素排出量管理装置が、入力された装置毎の使用電力量を二酸化炭素量換算値に基づいて装置毎の二酸化炭素排出量に換算する装置二酸化炭素排出量換算部と、装置二酸化炭素排出量換算部が換算した二酸化炭素排出量を予め定められた装置群毎に装置群二酸化炭素排出量として合算して算出する装置群二酸化炭素排出量算出部と、装置群二酸化炭素排出量算出部が算出した装置群毎の装置群二酸化炭素排出量と、予め定められた装置群毎の二酸化炭素排出量の管理値との差を装置群毎に算出し該算出した差に基づいて装置群毎の二酸化炭素排出量の合否を判定する装置群判定部と、装置群判定部が算出した装置群毎の差を合算し該合算した値に基づいて、拠点の二酸化炭素排出量の合否を判定する拠点判定部とを有する。【選択図】図１
2009199495.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
拠点内の装置から排出される二酸化炭素排出量を管理する前記拠点毎の二酸化炭素排出量管理装置であって、
入力された装置毎の使用電力量を二酸化炭素量換算値に基づいて、前記装置毎の二酸化炭素排出量に換算する装置二酸化炭素排出量換算部と、
装置二酸化炭素排出量換算部が換算した二酸化炭素排出量を、予め定められた装置群毎に装置群二酸化炭素排出量として合算して算出する装置群二酸化炭素排出量算出部と、
前記装置群二酸化炭素排出量算出部が算出した装置群毎の装置群二酸化炭素排出量と、予め定められた装置群毎の二酸化炭素排出量の管理値との差を装置群毎に算出し、該算出した差に基づいて前記装置群毎の二酸化炭素排出量の合否を判定する装置群判定部と、
前記装置群判定部が算出した装置群毎の差を合算し、該合算した値に基づいて、前記拠点の二酸化炭素排出量の合否を判定する拠点判定部と、
を有することを特徴とする二酸化炭素排出量管理装置。
【請求項２】
前記拠点がウエハーを用いた製品を生成する拠点であり、
前記二酸化炭素排出量管理装置が、
前記拠点で生産されるウエハーの単位面積あたりの二酸化炭素排出量の履歴が記憶される二酸化炭素排出量履歴記憶部と、
前記装置群二酸化炭素排出量算出部が算出した装置群二酸化炭素排出量、または前記拠点判定部が算出した拠点の二酸化炭素排出量と、予め記憶されているウエハーの面積の情報とに基づいて、前記ウエハーの単位面積あたりの二酸化炭素排出量を算出し、該算出した二酸化炭素排出量を前記二酸化炭素排出量履歴記憶部に記憶させる二酸化炭素排出量推移比較部と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の二酸化炭素排出量管理装置。
【請求項３】
前記装置二酸化炭素排出量換算部が換算した装置毎の二酸化炭素排出量に基づいて、前記装置群内において二酸化炭素排出量の少ない順に、前記装置の順位付けをする装置群内装置順序付部、
を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の二酸化炭素排出量管理装置。
【請求項４】
前記装置群内装置順序付部による順位付けに基づいて、前記同一の装置群内において二酸化炭素排出量が少なかった装置を選択する優先装置選択部、
を有することを特徴とする請求項３のいずれかに記載の二酸化炭素排出量管理装置。
【請求項５】
前記装置群内装置順序付部による順位付けに基づいて、前記同一の装置群内において二酸化炭素排出量が少なかった装置を選択して、生産ラインを生成する生産ライン生成部、
を有することを特徴とする請求項３または請求項４に記載の二酸化炭素排出量管理装置。
【請求項６】
拠点内の装置から排出される二酸化炭素排出量を管理する前記拠点毎の二酸化炭素排出量管理装置と、前記二酸化炭素排出量と接続されている二酸化炭素排量統括管理装置とを有する二酸化炭素排出量統合管理システムであって、
前記二酸化炭素排出量管理装置のそれぞれが、
入力された装置毎の使用電力量を二酸化炭素量換算値に基づいて、前記装置毎の二酸化炭素排出量に換算する装置二酸化炭素排出量換算部と、
装置二酸化炭素排出量換算部が換算した二酸化炭素排出量を、予め定められた装置群毎に装置群二酸化炭素排出量として合算して算出する装置群二酸化炭素排出量算出部と、
前記装置群二酸化炭素排出量算出部が算出した装置群毎の装置群二酸化炭素排出量と、予め定められた装置群毎の二酸化炭素排出量の管理値との差を装置群毎に算出し、該算出した差に基づいて前記装置群毎の二酸化炭素排出量の合否を判定する装置群判定部と、
前記装置群判定部が算出した装置群毎の差を合算し、該合算した値に基づいて、前記拠点の二酸化炭素排出量の合否を判定し、前記合算した値を拠点合算値として出力する拠点判定部と、
を有し、
前記二酸化炭素排量統括管理装置が、
前記拠点判定部から入力された拠点合算値が拠点毎に入力され、該入力された拠点合算値を合算し、該合算した拠点合算値に基づいて、全ての拠点についての二酸化炭素排出量の合否を判定する全拠点判定部、
を有することを特徴とする二酸化炭素排出量統合管理システム。
【請求項７】
前記二酸化炭素排量統括管理装置が、
前記全拠点判定部が判定した結果を配信する配信部、
を有することを特徴とする請求項６に記載の二酸化炭素排出量統合管理システム。
【請求項８】
拠点内の装置から排出される二酸化炭素排出量を管理する前記拠点毎の二酸化炭素排出量管理装置において用いられる二酸化炭素排出量管理方法であって、
入力された装置毎の使用電力量を二酸化炭素量換算値に基づいて、前記装置毎の二酸化炭素排出量に換算する装置二酸化炭素排出量換算手順と、
装置二酸化炭素排出量換算手順で換算した二酸化炭素排出量を、予め定められた装置群毎に装置群二酸化炭素排出量として合算して算出する装置群二酸化炭素排出量算出手順と、
前記装置群二酸化炭素排出量算出手順で算出した装置群毎の装置群二酸化炭素排出量と、予め定められた装置群毎の二酸化炭素排出量の管理値との差を装置群毎に算出し、該算出した差に基づいて前記装置群毎の二酸化炭素排出量の合否を判定する装置群判定手順と、
前記装置群判定手順で算出した装置群毎の差を合算し、該合算した値に基づいて、前記拠点の二酸化炭素排出量の合否を判定する拠点判定手順と、
を有することを特徴とする二酸化炭素排出量管理装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、環境問題として注目されている二酸化炭素（CO2）を管理する技術に関し、事業所などの拠点の装置から排出されるCO2を管理する二酸化炭素排出量管理装置、二酸化炭素排出量統合管理システム、および、二酸化炭素排出量管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、エネルギーを管理するシステムが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−２５１００７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここで、近年、地球温暖化問題などの環境問題が注目され、企業においても、事業所などの拠点から排出される二酸化炭素の排出量が問題とされてきている。ここでいう事業所とは，たとえば、工場、製作所などである。しかしながら、特許文献１に示すエネルギー管理システムにあっては、エネルギーは管理できるものの、二酸化炭素の排出量を管理は出来ないという問題があった。
【０００４】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、二酸化炭素の排出量を管理する二酸化炭素排出量管理装置、二酸化炭素排出量統合管理システム、および、二酸化炭素排出量管理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明は上述した課題を解決するためになされたもので、拠点内の装置から排出される二酸化炭素排出量を管理する前記拠点毎の二酸化炭素排出量管理装置であって、入力された装置毎の使用電力量を二酸化炭素量換算値に基づいて、前記装置毎の二酸化炭素排出量に換算する装置二酸化炭素排出量換算部と、装置二酸化炭素排出量換算部が換算した二酸化炭素排出量を、予め定められた装置群毎に装置群二酸化炭素排出量として合算して算出する装置群二酸化炭素排出量算出部と、前記装置群二酸化炭素排出量算出部が算出した装置群毎の装置群二酸化炭素排出量と、予め定められた装置群毎の二酸化炭素排出量の管理値との差を装置群毎に算出し、該算出した差に基づいて前記装置群毎の二酸化炭素排出量の合否を判定する装置群判定部と、前記装置群判定部が算出した装置群毎の差を合算し、該合算した値に基づいて、前記拠点の二酸化炭素排出量の合否を判定する拠点判定部と、を有することを特徴とする二酸化炭素排出量管理装置である。
【０００６】
この発明によれば、装置毎の使用電力量を、二酸化炭素排出量に換算し、換算した二酸化炭素排出量を予め定められた装置群毎に管理することにより、拠点における装置の二酸化炭素排出量が管理しやすくなり、二酸化炭素排出量の改善がしやすくなるという効果を奏する。
【０００７】
また、この発明は、前記拠点がウエハーを用いた製品を生成する拠点であり、前記二酸化炭素排出量管理装置が、前記拠点で生産されるウエハーの単位面積あたりの二酸化炭素排出量の履歴が記憶される二酸化炭素排出量履歴記憶部と、前記装置群二酸化炭素排出量算出部が算出した装置群二酸化炭素排出量、または前記拠点判定部が算出した拠点の二酸化炭素排出量と、予め記憶されているウエハーの面積の情報とに基づいて、前記ウエハーの単位面積あたりの二酸化炭素排出量を算出し、該算出した二酸化炭素排出量を前記二酸化炭素排出量履歴記憶部に記憶させる二酸化炭素排出量推移比較部と、を有することを特徴とする二酸化炭素排出量管理装置である。
【０００８】
この発明によれば、ウエハー単位に二酸化炭素排出量を管理することが可能となり、より二酸化炭素排出量の改善がしやすくなるという効果を奏する。
【０００９】
また、この発明は、前記装置二酸化炭素排出量換算部が換算した装置毎の二酸化炭素排出量に基づいて、前記装置群内において二酸化炭素排出量の少ない順に、前記装置の順位付けをする装置群内装置順序付部、を有することを特徴とする二酸化炭素排出量管理装置である。
【００１０】
この発明によれば、装置群内において二酸化炭素排出量の少ない順に、順位付けをすることにより、装置から排出される二酸化炭素排出量の少ない順に装置を管理し、使用することが可能となる効果を奏する。
【００１１】
また、この発明は、前記装置群内装置順序付部による順位付けに基づいて、前記同一の装置群内において二酸化炭素排出量が少なかった装置を選択する優先装置選択部、を有することを特徴とする二酸化炭素排出量管理装置である。
【００１２】
この発明によれば、装置群内において二酸化炭素排出量の少ない順に、装置を選択することにより、拠点全体として二酸化炭素排出量を少なくすることができるという効果を奏する。
【００１３】
また、この発明は、前記装置群内装置順序付部による順位付けに基づいて、前記同一の装置群内において二酸化炭素排出量が少なかった装置を選択して、生産ラインを生成する生産ライン生成部、を有することを特徴とする二酸化炭素排出量管理装置である。
【００１４】
この発明によれば、装置群内において二酸化炭素排出量の少ない順に、装置を選択して生産ラインを生成することにより、拠点における生産ラインとして二酸化炭素排出量を少なくすることができるという効果を奏する。
【００１５】
また、この発明は、拠点内の装置から排出される二酸化炭素排出量を管理する前記拠点毎の二酸化炭素排出量管理装置と、前記二酸化炭素排出量と接続されている二酸化炭素排量統括管理装置とを有する二酸化炭素排出量統合管理システムであって、前記二酸化炭素排出量管理装置のそれぞれが、入力された装置毎の使用電力量を二酸化炭素量換算値に基づいて、前記装置毎の二酸化炭素排出量に換算する装置二酸化炭素排出量換算部と、装置二酸化炭素排出量換算部が換算した二酸化炭素排出量を、予め定められた装置群毎に装置群二酸化炭素排出量として合算して算出する装置群二酸化炭素排出量算出部と、前記装置群二酸化炭素排出量算出部が算出した装置群毎の装置群二酸化炭素排出量と、予め定められた装置群毎の二酸化炭素排出量の管理値との差を装置群毎に算出し、該算出した差に基づいて前記装置群毎の二酸化炭素排出量の合否を判定する装置群判定部と、前記装置群判定部が算出した装置群毎の差を合算し、該合算した値に基づいて、前記拠点の二酸化炭素排出量の合否を判定し、前記合算した値を拠点合算値として出力する拠点判定部と、を有し、前記二酸化炭素排量統括管理装置が、前記拠点判定部から入力された拠点合算値が拠点毎に入力され、該入力された拠点合算値を合算し、該合算した拠点合算値に基づいて、全ての拠点についての二酸化炭素排出量の合否を判定する全拠点判定部、を有することを特徴とする二酸化炭素排出量統合管理システムである。
【００１６】
この発明によれば、装置毎の使用電力量を、二酸化炭素排出量に換算し、換算した二酸化炭素排出量を予め定められた装置群毎に管理することにより、拠点における装置の二酸化炭素排出量が管理しやすくなり、二酸化炭素排出量の改善がしやすくなるという効果を奏するとともに、全拠点における二酸化炭素排出量を管理することができるという効果を奏する。
【００１７】
また、この発明は、前記二酸化炭素排量統括管理装置が、前記全拠点判定部が判定した結果を配信する配信部、を有することを特徴とする二酸化炭素排出量統合管理システムである。
【００１８】
この発明によれば、全拠点における二酸化炭素排量の結果を配信して閲覧可能にすることにより、人々に、更なる二酸化炭素排量の削減を意識させることができるという効果を奏する。
【００１９】
また、この発明は、拠点内の装置から排出される二酸化炭素排出量を管理する前記拠点毎の二酸化炭素排出量管理装置において用いられる二酸化炭素排出量管理方法であって、入力された装置毎の使用電力量を二酸化炭素量換算値に基づいて、前記装置毎の二酸化炭素排出量に換算する装置二酸化炭素排出量換算手順と、装置二酸化炭素排出量換算手順で換算した二酸化炭素排出量を、予め定められた装置群毎に装置群二酸化炭素排出量として合算して算出する装置群二酸化炭素排出量算出手順と、前記装置群二酸化炭素排出量算出手順で算出した装置群毎の装置群二酸化炭素排出量と、予め定められた装置群毎の二酸化炭素排出量の管理値との差を装置群毎に算出し、該算出した差に基づいて前記装置群毎の二酸化炭素排出量の合否を判定する装置群判定手順と、前記装置群判定手順で算出した装置群毎の差を合算し、該合算した値に基づいて、前記拠点の二酸化炭素排出量の合否を判定する拠点判定手順と、を有することを特徴とする二酸化炭素排出量管理装方法である。
【００２０】
この発明によれば、装置から排出される二酸化炭素の排出量を管理できるという効果を奏する。また、装置から排出される二酸化炭素を、装置群毎に、また、拠点毎に管理するため、より二酸化炭素の排出量の管理がしやすくなるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は、この発明の一実施形態による二酸化炭素排出量統合管理システムの機能を示す概略ブロック図である。ここでは、企業が、複数の生産拠点（拠点１、２、３・・・ｎ（ここで、ｎは自然数））を有しており、生産拠点毎に二酸化炭素排出量管理装置１が設置してある。また、全ての生産拠点の二酸化炭素排出量管理装置１は、二酸化炭素排量統括管理装置２に通信網を介して接続されている。二酸化炭素排量統括管理装置２は、拠点１、２、３・・・ｎのいずれかに設置されていてもよいし、他の場所に設置されていてもよい。なお、ここでは、生産拠点として、ウエハーを用いた半導体装置を生産する生産拠点を例にして説明する。
【００２２】
また、それぞれの生産拠点は、生産装置を複数台有している。この生産装置には、それぞれに、その使用電力量を計測する電力量計測装置３が、備えられている。また、この電力量計測装置３は、計測した使用電力量を、自拠点に設置されている二酸化炭素排出量管理装置１に拠点内の通信網を介して出力する。なお、上記の通信網とは、たとえば、インターネット網やローカルネットワーク網である。
【００２３】
次に、図２を用いて、二酸化炭素排出量統合管理システムの構成について説明する。二酸化炭素排出量管理装置１は、図２に示すように、電力量入力部１０１と、装置CO2排出量換算部１０２と、装置群CO2排出量算出部１０３と、装置群判定部１０４と、拠点判定部１０５と、CO2排出量推移比較部１１１と、装置群内装置順序付部１１２と、優先装置選択部１１３と、生産ライン生成部１１４と、装置分類情報記憶部１６１と、装置群管理値記憶部１６２と、装置CO2排出量記憶部１７１と、装置群CO2排出量記憶部１７２と、装置群判定結果記憶部１７３と、拠点判定結果記憶部１７４と、生産物情報記憶部１６３と、CO2排出量履歴記憶部１８１と、を有する。また、二酸化炭素排量統括管理装置２は、図２に示すように、入力部２０１と、全拠点判定部２０２と、配信部２０３と、全拠点記憶部２１１と、を有する。
【００２４】
＜二酸化炭素排出量管理装置１＞
次に、図１と図２とを用いて、二酸化炭素排出量管理装置１の構成の詳細およびその動作について説明する。まず、電力量入力部１０１に、電力量計測装置３が計測した装置毎の使用電力量の計測値が入力される。たとえば、電力量入力部１０１には、装置を識別する装置識別情報と使用電力量とが関連付けた情報が入力される。
【００２５】
次に、装置CO2排出量換算部１０２が、電力量入力部１０１に入力された使用電力量をCO2換算値に基づき、CO2排出量に換算し、装置毎の排出量として、装置CO2排出量記憶部１７１に記憶させる。例えば、装置CO2排出量換算部１０２は、使用電力量にCO2換算値を乗じた値をCO2排出量として算出し、算出したCO2排出量と装置識別情報とを関連付けて、装置CO2排出量記憶部１７１に記憶させる。なお、このCO2換算値とは、使用電力量をCO2排出量に換算するための、予め定められた係数である。
【００２６】
次に、装置群CO2排出量算出部１０３は、装置CO2排出量換算部１０２が換算したCO2排出量を、予め定められた装置群毎に装置群CO2排出量として合算して算出し、算出した装置群CO2排出量を装置群CO2排出量記憶部１７２に記憶させる。
【００２７】
ここで、装置分類情報記憶部１６１には、装置識別情報と、装置群を識別する装置群識別情報とが、関連付けて予め記憶されている（図３参照）。たとえば、装置群CO2排出量算出部１０３は、装置分類情報記憶部１６１に関連付けて記憶されている装置識別情報と装置群識別情報とに基づいて、装置CO2排出量換算部１０２が換算したCO2排出量を、装置群毎にCO2排出量を合算して算出し、算出したCO2排出量を装置識別情報と関連付けて装置群CO2排出量記憶部１７２に記憶させる。
【００２８】
なお、図３においては、装置群識別情報と装置識別情報とに対応する装置群の名称と装置の名称とを表記している。この装置群と装置との区分は、装置が消費する電力量ないしCO2排出量に基づいて、同じ程度の電力量またはCO2排出量になるような装置が、同一の装置群となるように予め区分されている。または、同じような処理を行う装置が、同一の装置群となるように予め区分されている。または、管理者が管理する装置が、同一の装置群となるように予め区分されている。
このように装置を装置群に区分することにより、電力量ないしCO2排出量が同じ程度の装置群内で、装置同士のCO2排出量を比較することにより、CO2排出量の改善がしやすくなる。また、同じような処理の中での、装置のCO2排出量を比較ができる。また、管理者が、自己が管理する装置のCO2排出量を管理がしやすくなる。
【００２９】
この装置群CO2排出量算出部１０３により、たとえば、図１の拠点１において、符号Ａで示す判定表（以降、判定表と称する）の「CO2排出量（Ｘ）」の欄を参照。この結果、ウエット装置群のCO2排出量が、30ton-CO2、スパッタ装置群90ton-CO2・・・などが算出される。
【００３０】
ここで、装置群管理値記憶部１６２には、それぞれの装置群に対するCO2排出量の管理値が予め定められている（判定表の「管理値（Ｙ）」を参照）。たとえば、装置群管理値記憶部１６２には、装置群識別情報と管理値とが関連付けて予め記憶されている。なお、この管理値を合算した値は、拠点の排出規制量と一致している。
【００３１】
次に、装置群判定部１０４は、装置群CO2排出量算出部１０３が算出した装置群CO2排出量と装置群管理値記憶部１６２から読み出した管理値との差を装置群ごと算出して比較し、算出した差に基づいて、装置群ごとにCO2排出量の合否を判定し、算出した差と判定結果とを装置群識別情報と関連付けて装置群判定結果記憶部１７３に記憶させる。たとえば、装置群判定部１０４は、管理値より装置群CO2排出量が下回った装置群には合格を示す記号“○”、上回った装置群には不合格を示す記号“×”を出力して、判定する（たとえば、判定表の「Ｚ＝Ｘ−Ｙ」および「判定」の欄を参考）。
【００３２】
次に、拠点判定部１０５は、拠点の最終的なCO2排出量をトータル的に判定する。この拠点判定部１０５は、装置から排出されたCO2排出量が、拠点に対して予め定められているCO2排出量の基準値を、下回ったのか上回ったのかを判定し、判定した結果を拠点判定結果記憶部１７４に記憶させる（たとえば、判定表の拠点に対する「判定」を参照）。例えば、拠点判定部１０５は、装置群判定部１０４が算出した装置群毎の差を合算し、その値が、０以下である場合には、合格を示す記号“◎”、０以下でない場合には、不合格を示す記号“×”と、判定する。
また、拠点判定部１０５は、装置群毎の差を合算した値と判定結果とを、二酸化炭素排量統括管理装置２に通信網を介して出力する。
【００３３】
上記の二酸化炭素排出量管理装置１の処理が各拠点においてなされ、各拠点の二酸化炭素排出量管理装置１から二酸化炭素排量統括管理装置２へ、装置群毎の差を合算した値と判定結果とを、二酸化炭素排量統括管理装置２に通信網を介して出力される。
【００３４】
＜二酸化炭素排量統括管理装置２＞
次に、二酸化炭素排量統括管理装置２の入力部２０１に、CO2排出量が、各拠点の二酸化炭素排出量管理装置１から入力される。
次に、二酸化炭素排量統括管理装置２の全拠点判定部２０２は、各拠点の二酸化炭素排出量管理装置１から入力されたCO2排出量を合算し、合算したCO2排出量の値により、全社として排出するCO2排出量を、トータル的に判定する。例えば、この判定は、CO2排出量が下回ったか上回ったかで行い、合算した値の符号が、マイナスなら合格を示す記号“◎”、プラスなら不合格を示す記号“×”として、全拠点記憶部２１１に記憶させる（図１の符号Ｂで示す全拠点に対する判定結果を参照）。
【００３５】
その後、配信部２０３は、全拠点記憶部２１１に記憶された全拠点のCO2排出量の判定結果、たとえば、マイナスになったCO2排出量、プラスになったCO2排出量を、社内のイントラネットを通じて公開する。これにより、社内における、更なるCO2排出削減の奮起が期待される。また、装置群、又は個々の装置毎のデータは拠点内のイントラネットにて公開し、CO2排出量削減対策につなげるターゲットの一助として活用する。
【００３６】
また、配信部２０３は、インターネットを通じて、公に開示することもできる。マイナスCO2排出量やプラスCO2排出量は、京都議定書による目標値（-６％削減目標）や産業界の目標値、法的（省エネ法１％削減）要求等、様々であることから、それぞれの要求排出量と自社のCO2排出量とを比較して算出する。
この公表の仕方は、インターネット上の自社のホームページにて開示しても良いし、県庁，国レベルの届出に必要な書類へ報告する形を取っても良い。データを開示する場合は、責任者の許可を必要とし自動送信は行わない。
【００３７】
＜二酸化炭素排出量管理装置１＞
なお、二酸化炭素排出量管理装置１の、CO2排出量推移比較部１１１と、装置群内装置順序付部１１２と、生産ライン生成部１１４とは、一定の期間毎に、または、人の操作により、次に説明するそれぞれの処理を実行する。
【００３８】
生産物情報記憶部１６３には、ウエハーの大きさの情報（面積や直径など）が予め記憶されている。CO2排出量推移比較部１１１は、装置群CO2排出量算出部１０３が算出した装置群毎の装置群CO2排出量、または、装置群CO2排出量記憶部１７２から読み出した装置群毎の装置群CO2排出量と、生産物情報記憶部１６３から読み出したウエハーの大きさの情報とに基づいて、ウエハーの単位面積あたりのCO2排出量を算出し、算出したウエハーの単位面積あたりのCO2排出量の履歴を、CO2排出量履歴記憶部１８１に記憶させる。
【００３９】
このCO2排出量履歴記憶部１８１に記憶されているCO2排出量の履歴を参照することにより、単位面積あたりのCO2排出量が前年比で悪化しているのか改善されているかという判定を行うことが可能である。特に、生産ラインに投入するウエハーの大きさには違いがあることから、生産ラインの改善に効果的である。なお、拠点によっては、ウエハー単位面積あたりのCO2排出量にて判定する拠点もあれば、製品個数あたりのCO2排出量により判断するようにしてもよい。
【００４０】
装置群内装置順序付部１１２は、装置CO2排出量換算部１０２が換算した装置毎のCO2排出量、または、装置CO2排出量記憶部１７１に記憶されている装置毎のCO2排出量と、装置分類情報記憶部１６１に関連付けて記憶されている装置識別情報と装置群識別情報とに基づいて、同一の装置群内で、CO2排出量の少ない順に装置（装置識別情報）の順位付けを行い、少ないCO2排出量順に装置の順位付けを行う。この装置群内装置順序付部１１２は、たとえば、個々の生産装置のCO2排出量結果により、同一装置内でCO2排出量にばらつきが生じることから、少ないCO2排出量順に装置の順位付けを行う。
【００４１】
優先装置選択部１１３は、装置群内装置順序付部１１２が順位付けをした同一の装置群内におけるCO2排出量順に基づいて、同一の装置群内におけるCO2排出量が少なかった装置を選択し、該選択した装置に対して、優先的に生産物を投入する指令を出力する。この優先装置選択部１１３は、拠点において製品の生産をするにあたり、CO2排出量が少なかった装置に対して、優先的に生産物を投入する指令を、生産ラインを管理する装置に出力する、または、作業員が見るモニタなどの表示装置に出力する。
【００４２】
生産ライン生成部１１４は、装置群内装置順序付部１１２が順位付けをした同一の装置群内における少ないCO2排出量順に、ラインを生成する。たとえば、生産ライン生成部１１４は、それぞれの装置群よりCO2排出量が少ない装置を選び出し最小の排出量となる生産ラインを構築し、そのラインに優先的に生産物を投入するよう指令を出すことができる。この生産ライン生成部１１４は、生産したラインの情報を、生産ラインを管理する装置に出力する、または、モニタなどの表示装置に出力して作業員に指示する。また、生産ライン生成部１１４は、生産物を装置に投入する指令の判断として、過去１ヶ月間、３ヶ月間、６ヶ月間、１２ヶ月間の蓄積データから（データの蓄積期間は任意）CO2排出量が少ない装置を選択してもよい。
【００４３】
＜二酸化炭素排出量統合管理システム＞
以上、図１と図２とを用いて説明したように、本実施形態による二酸化炭素排出量統合管理システムは、生産装置を複数台所持する拠点において、CO2排出量を装置群毎に管理し、管理値を上回った装置群は下回った装置群が補填して拠点での良し悪しを判定する。
【００４４】
つまり、本実施形態による二酸化炭素排出量統合管理システムにおいては、生産装置が使用した電力量をCO2排出量に換算し、このCO2排出量にて管理する。
また、本実施形態による二酸化炭素排出量統合管理システムにおいては、同じ系統の装置を区分して装置群としてCO2排出量を管理する。また、装置群のCO2排出量結果は管理値に対して下回ったのか上回ったのかにより良し悪しを判定する。最終的には、拠点として管理値に対してCO2排出量が下回ったのか上回ったのかを判断する。
なお、本実施形態による二酸化炭素排出量統合管理システムにおいては、拠点内においてCO2排出量が管理値に対して上回った装置群があっても下回った装置群があれば、その下回ったCO2排出量を補填し、拠点をトータル的にみて下回ったのか上回ったのかを判定する。
【００４５】
また、二酸化炭素排出量統合管理システムは、その機能として、複数の生産装置からCO2排出量が少ない装置を選定しCO2排出量が最小となるラインを自動で構築し生産の指令を出す機能を有している。
【００４６】
また、二酸化炭素排出量統合管理システムは、生産装置を複数台所持している拠点において、予め区分された装置群毎にCO2排出量を把握し管理する。また、この判定方法として、CO2排出量が下回った装置群（又は拠点）が上回った装置群（又は拠点）に対して補填を行い拠点（又は全社）の良し悪しを判断する。また、CO2排出量を最も抑えることができるような生産ラインを自動で構築し生産を行う。
【００４７】
また、最適データを抽出して、運用形態の決定に用いることが可能である。これにより、それぞれの装置群の中でCO2排出量が少ない装置を選択し、CO2排出量が最小となる生産ラインを構築し二酸化炭素排出量統合管理システムが生産の指令を出すことが可能である。
【００４８】
また、CO2排出量を減らし環境に配慮した生産ラインを自動で構築、運用することによって、コスト的にも有効な拠点となる。これは、エネルギーを使わないということは、エネルギーに対するお金がかからないことを意味し、経費削減の効果もある。
また、使用電力量を示すのではなくCO2排出量として公開することにより、削減への奮起（排出の抑制）につながる。また、装置群毎に管理することにより削減へのターゲットを絞り込み易いという効果がある。
【００４９】
以上に説明したように、本実施形態による二酸化炭素排出量統合管理システムにより、次の効果を奏する。
・環境負荷の程度を社内外に分かりやすいCO2排出量にて管理でき認知できる。
・社内において省エネ対策を施す装置群を絞り込み易くなる。
・CO2排出量を抑えた生産ラインを構築できる。
【００５０】
なお、装置分類情報記憶部１６１、装置群管理値記憶部１６２、生産物情報記憶部１６３、装置CO2排出量記憶部１７１、装置群CO2排出量記憶部１７２、装置群判定結果記憶部１７３、拠点判定結果記憶部１７４、または、全拠点記憶部２１１である記憶部は、ハードディスク装置や光磁気ディスク装置、フラッシュメモリ等の不揮発性のメモリや、ＣＤ−ＲＯＭ等の読み出しのみが可能な記憶媒体、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）のような揮発性のメモリ、あるいはこれらの組み合わせにより構成されるものとする。
【００５１】
なお、図２における二酸化炭素排出量管理装置１および二酸化炭素排量統括管理装置２の各構成（上記の記憶部以外の各構成）は専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、メモリおよびマイクロプロセッサにより実現させるものであってもよい。なお、この構成は専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、この構成はメモリおよびＣＰＵ（中央演算装置）により構成され、この構成の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。
【００５２】
また、図１または図２における二酸化炭素排出量管理装置１または二酸化炭素排量統括管理装置２の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより二酸化炭素排出量管理装置１または二酸化炭素排量統括管理装置２の処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。
【００５３】
また、「コンピュータシステム」は、ＷＷＷシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
【００５４】
以上、この発明の実施形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】この発明の一実施形態による二酸化炭素排出量統合管理システムの構成を示すブロック図である。
【図２】二酸化炭素排出量統合管理システムの一例としての構成を示すブロック図である。
【図３】一例としての、装置と装置群との対応を示す対応表である。
【符号の説明】
【００５６】
１…二酸化炭素排出量管理装置、２…二酸化炭素排量統括管理装置、１０１…電力量入力部、１０２…装置CO2排出量換算部、１０３…装置群CO2排出量算出部、１０４…装置群判定部、１０５…拠点判定部、１１１…CO2排出量推移比較部、１１２…装置群内装置順序付部、１１３…優先装置選択部、１１４…生産ライン生成部、１６１…装置分類情報記憶部、１６２…装置群管理値記憶部、１６３…生産物情報記憶部、１７１…装置CO2排出量記憶部、１７２…装置群CO2排出量記憶部、１７３…装置群判定結果記憶部、１７４…拠点判定結果記憶部、１８１…CO2排出量履歴記憶部、２０１…入力部、２０２…全拠点判定部、２０３…配信部、２１１…全拠点記憶部
【図１】
2009199495.tif 000003
【図２】
2009199495.tif 000004
【図３】
2009199495.tif 000005