(57)【要約】【課題】少ない電力で強い磁界を広い範囲に均等に発生させることができる磁界印加装置を提供する。【解決手段】横断面がコの字形状をした２個のコアの凹部が互いに対向する向きで互いに結合した位置と、離れた位置を移動自在に構成されている。結合した位置においては、コの字形状の略平行２辺の一辺は、その先端が互いに接触しており、もう一辺は、接触せず近接している。これにより、小さな電力で強い磁界を発生させることが可能になる。また、この近接した辺の先端に磁界印加対象物を設置することにより、長い棒状の磁界印加対象物の広い範囲に均等に強い磁界を印加することができる。これにより、磁界を印加して抵抗を測定する場合に、一度に多くの素子の測定が可能となる。【選択図】図１
2009199684.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
横断面がコの字形状をした２個のコアと、
前記コアがコイルを構成するように、前記コアの一方、または、両方に巻かれた巻き線と、
前記巻き線に接続され、前記巻き線に電流を供給する電流供給手段と、
２個の前記コアが互いに接近するように、あるいは、互いに離れるように、前記コアを移動させる移動手段と、
を備え、
前記コアは、前記移動手段によって、互いの凹部が対向する向きで結合して一体になる位置である結合位置と、互いに離れた位置である離隔位置との間で移動可能であり、
前記結合位置においては、前記コアのコの字形状を構成する略平行２辺のうちの一方の辺の先端同士が互いに接触し、もう一方の辺の先端である非接触端同士は接触せずに近接した位置にあり、
磁界を印加する対象である対象物は、前記非接触端に設置され、磁界が前記対象物に印加されるように構成されたこと、
を特徴する磁界印加装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁界印加装置であって、
前記対象物と電気的に接続可能な電極と、前記対象物の特性を測定するための装置に接続されたプローブを当てるための電極と、を有したプローブ基板を備え、
前記プローブ基板は、前記コアを構成するコの字形状の略平行２辺のうちの前記非接触端を備えた辺のうち、凹部を構成する面と対向する面上に設置されていること、
を特徴とする磁界印加装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の磁界印加装置を用いた磁界印加状態での抵抗値測定方法であって、
前記移動手段によって前記コアを離隔位置に移動させ、
前記対象物を、前記非接触端に設置するともに、前記対象物と電気的に接続された前記プローブ基板を前記対象物が設置された前記コアの辺上に設置し、
前記移動手段によって前記コアを前記結合位置に移動させ、
前記プローブ基板上の前記電極に抵抗測定装置のプローブを接触させ、
前記電流供給手段により、磁界を前記対象物に印加して、
前記抵抗測定装置で抵抗値を測定することを特徴とする磁界印加状態での抵抗値測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッド用の素子やＭＲセンサ素子などの磁界印加時の特性試験が必要なものに対して磁界を印加するための磁界印加装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、磁気ヘッド用の素子やＭＲセンサ素子などのように磁界印加時の特性試験が必要なものについては、図３に示すような磁界印加装置を使用し特性試験を行っていた。
【０００３】
図３は、従来の磁界印加装置の概略構成を示した図である。図３に示すように、従来の磁界印加装置は、コイル３１と、磁界印加対象物固定治具３３と、電流供給手段３５とから構成されている。コイル３１は、Ｃ字形状のコア３７と、巻き線３９とから構成されている。
【０００４】
磁界を印加する対象物が、例えば複数個の磁気ヘッド素子が棒状に並んだ部材４３の場合について説明すると、棒状の部材４３を磁界印加対象物固定治具に設置する。磁界印加対象の素子がＣ字形状のコア３７の切り欠き部に配置されるように、磁界印加対象物固定治具３３を移動させる。
【０００５】
図示しない抵抗測定装置に接続されたプローブ４１を磁界印加対象の素子の電極に接触させ、電流供給手段３５によって電流をコイル３１に供給し、磁界を素子に印加するとともに、図示しない抵抗測定装置によって、磁界が印加された状態の素子の抵抗値を測定する。従来は、このようにして磁界印加対象物に磁界を印加していた。
【０００６】
また、磁界を印加して磁気抵抗効果素子の良否を判断することができる磁気ヘッドの検査装置として、「磁気ヘッドの検査方法及びその装置」（特許文献１）が提案されている。
【０００７】
特許文献１に開示されている磁気ヘッドの検査装置は、磁気抵抗効果素子の各パッドに電気的に接触可能になされたプローブ手段と、磁気抵抗効果素子の面に平行であって少なくとも２つの異なる方向に第１の磁界と第２の磁界を印加する磁界付与手段と、磁気抵抗効果素子の抵抗値を検出する抵抗検出手段と、抵抗値に基づいて良否の判定を行う判定手段とを備えている。これにより、簡単な構成で磁気抵抗効果素子の良否を容易に判断することができるとしている。
【特許文献１】特開平９−１９０６１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の磁界印加装置では、Ｃ字形状のコアの切り欠き部において磁界印加対象物に磁界を印加していたので、コアの形状上磁界を印加できる範囲が狭かった。また、特許文献１に記載された磁界印加装置においても、磁界付与手段が、磁界を均一に印加できる範囲が狭かった。
【０００９】
このため、一度に多数の素子に同時に磁界を印加することができず、磁界印加対象素子をずらして切り欠き部に配置させ、かつ、プローブも当て直して素子の抵抗値を測定する必要があった。よって、測定に多くの時間を必要とし、素子を頻繁に移動させるので、素子を破損させる恐れも高かった。
【００１０】
また、コアの切り欠き部に磁界印加対象物が固定された磁界印加対象物固定治具を配置するので、切り欠き部のギャップを小さくすることができず、そのため、強い磁界を印加するためには、大きな電力が必要であった。
【００１１】
特許文献１に記載された磁界印加装置においても、磁界付与手段は、磁界印加対象の基板と、プローブカードを挟んで配置されているので、磁界付与手段のギャップを小さくすることができず、強い磁界を印加するためには、大きな電力が必要であった。
【００１２】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、少ない電力で強い磁界を広い範囲に均等に発生させることができる磁界印加装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の課題は、下記の各発明によって解決することができる。
即ち、本発明の磁界印加装置は、横断面がコの字形状をした２個のコアと、前記コアがコイルを構成するように、前記コアの一方、または、両方に巻かれた巻き線と、前記巻き線に接続され、前記巻き線に電流を供給する電流供給手段と、２個の前記コアが互いに接近するように、あるいは、互いに離れるように、前記コアを移動させる移動手段と、を備え、前記コアは、互いの凹部が対向する向きで結合して一体になる位置である結合位置と、互いに離れた位置である離隔位置と、が前記移動手段によって移動可能に構成され、前記結合位置においては、前記コアのコの字形状を構成する略平行２辺のうちの一方の辺の先端同士が互いに接触し、もう一方の辺の先端である非接触端同士は接触せずに近接した位置にあり、磁界を印加する対象である対象物は、前記非接触端に設置され、磁界が前記対象物印加されるように構成されたことを主要な特徴としている。
【００１４】
これにより、コアのギャップを小さくすることができるので、少ない電力で強い磁界を広い範囲に発生させることができる。よって、一度に、多くの素子に均等に強い磁界を印加することが可能となり、多くの素子を同時に測定することも可能となり、素子１個あたりの測定時間を短くすることが可能となる。
【００１５】
一度に多くの素子に磁界印加が可能なので、素子を頻繁に磁界の中へ移動させる必要が無くなり、素子の破損を防ぐことができる。更に、コアを離隔位置に移動させることにより、磁界印加対象物の装着や取り外しが容易となる。
【００１６】
また、本発明の磁界印加装置は、前記対象物と電気的に接続可能な電極と、前記対象物の特性を測定するための装置に接続されたプローブを当てるための電極と、を有したプローブ基板を備え、前記プローブ基板は、前記コアを構成するコの字形状の略平行２辺のうちの前記非接触端を備えた辺のうち、凹部を構成する面と対向する面上に設置されていることを主要な特徴としている。
【００１７】
これにより、プローブをプローブ基板の電極に当てれば磁界印加対象物とプローブが電気的に接続されるので、プローブを直接磁界印加対象物に当てるのよりもプローブと磁界印加対象物との接続が容易となる。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明の磁界印加装置によれば、コアのギャップを小さくすることができるので、少ない電力で強い磁界を広い範囲に発生させることができる。
よって、一度に、多くの素子に均等に強い磁界を印加することが可能となり、多くの素子を同時に測定することも可能となり、素子１個あたりの測定時間を短くすることが可能となる。
【００１９】
また、一度に多くの素子に磁界印加が可能なので、素子を頻繁に磁界の中へ移動させる必要が無くなり、素子の破損を防ぐことができる。更に、コアを離隔位置に移動させることにより、磁界印加対象物の装着や取り外しが容易となる。
【００２０】
更に、プローブをプローブ基板の電極に当てれば磁界印加対象物とプローブが電気的に接続されるので、プローブを直接磁界印加対象物に当てるのよりもプローブと磁界印加対象物との接続が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の磁界印加装置を実施するための最良の形態を詳細に説明する。
【００２２】
＜構成＞
本発明の一実施形態に係る磁界印加装置の構成について図を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る磁界印加装置の概略構成図である。図１（Ａ）は、コイルを引き離したときの磁界印加装置の概略構成図であり、図１（Ｂ）は、コイルを突き合わせたときの磁界印加装置の概略構成図である。
【００２３】
図１に示すように、本発明の磁界印加装置は、コイル１と、分離コア２と、ワーク３と、電流供給手段４と、から構成されている。電流供給手段４は、コイル１と電気的に接続されており、コイル１に電流を供給することにより、コイル１に磁界を発生させる。
【００２４】
ワーク３は、磁界印加対象物７と、プローブ基板８とから構成されており、コの字形状をした分離コア２の開口端部に設置されている。ここで、分離コア２あるいはコア５のコの字形状の平行２辺のうちの一辺を開口端部と呼称し、前記一辺の先端を開口端部先端と呼称する。
【００２５】
磁界印加対象物７は、分離コア２の開口端部先端に配置され、プローブ基板８は、開口端部に配置されている。磁界印加対象物７と、プローブ基板８の電極とは、ワイヤボンディングによって電気的に接続されているが、電気的接続手段としては、ワイヤボンディングに限らず、電気的接続のため一般に使用されている任意の方法を採用することができる。
【００２６】
図２は、磁界印加対象物の概略図である。図２（イ）は、磁界印加対象物全体の概略図である。図２（ロ）は、図２（イ）のＡ部を拡大した図である。図２に示すように、磁界印加対象物７としては、例えば基板から切り出した棒状部材であって、まだチップに切断されていない状態である、複数の磁気ヘッドが棒状に形成されているものなどがある。磁界印加対象物７としては、磁気ヘッドに限るものではなく、特性試験、信頼性試験、その他の試験等のために磁界を印加する必要のある材料、素子等何でも使用することができる。
【００２７】
図１に戻って、プローブ基板８は、基板上に電極が形成されたもので、図示されていない測定装置と磁界印加対象物７とを電気的に接続するための仲立ちをするものである。即ち、磁界印加対象物７に直接プローブを当てるのは、磁界印加対象物７の位置、大きさ、磁界印加対象物７の電極の位置、大きさ等によっては困難な場合がある。その場合に、プローブ基板８を仲立ちにすることにより、プローブをプローブ基板８に形成された電極に接触させればよいので、磁界印加対象物７と、測定装置との電気的な接続が容易となる。
【００２８】
コイル１は、コア５と、巻き線６と、から構成されている。
分離コア２及びコア５の材料としては、一般的にコイルのコアに使用されるフェライト等の任意の材料を使用することができる。巻き線６の材料としては、一般的にコイルの巻き線に使用される銅線などの任意の材料を使用することができる。巻き線６は、コア５に巻かれている。ここで、巻き線６は、コア５ではなく分離コア２に巻いても良いし、両方に巻いても良い。
【００２９】
コア５、分離コア２ともにコの字形状をなしており、コア５と分離コア２とは、凹部が互いに対向する向きで、互いに離れた状態（図１（Ａ））と、互いに結合した状態（図１（Ｂ））とを取ることができる。前記互いに結合した状態（図１（Ｂ））では、コア５の片方の開口端部先端と分離コア２のワーク３が設置されていない側の開口端部先端とが接触し突き当たった状態で配置されており、コア５のもう一方の開口端部先端と分離コア２のワーク３が設置されている側の開口端部先端とは、互いに接触せず極めて狭いギャップを開けて近接した状態で配置されている。
【００３０】
前記互いに離れた状態（図１（Ａ））では、ワーク３、特に磁界印加対象物７の分離コア２への取り付けが容易となる。また、前記互いに結合した状態（図１（Ｂ））では、分離コア２の開口端とコア５の開口端とのギャップが極めて狭く、かつ、その狭いギャップに磁界印加対象物７が設置されているので、少ない電力による強磁界の発生が可能になると同時に、その発生した強磁界を磁界印加対象物７に印加することが可能となる。
【００３１】
＜動作＞
次に、本発明の一実施形態に係る磁界印加装置の動作について、図１を参照して説明する。
コイル１と、分離コア２とを図示しないコア移動手段によって引き離すことによって、磁界印加装置のコアを互いに離れた状態（図１（Ａ））にする。コア移動手段としては、レールとスライダーを用いたものを使用することができるが、それに限定されずボールネジを使用することもできるし、その他、物をスライド、移動させるのに用いられるものならば何でも採用することができる。
【００３２】
また、移動させる駆動源としては、バネにより駆動して移動させても、モータで駆動して移動させても、手動により移動させても良く、通常用いられる駆動手段なら何でも採用することができる。この状態でワーク３を分離コア２の片方の開口端部に設置する。この際、磁界印加対象物７は、開口端部先端に設置し、プローブ基板８は、開口端部に設置する。
【００３３】
次に、分離コア２を図示しないコア移動手段によって移動させて、コア５の片方の開口端部先端と、分離コア２のワーク３が設置されていない側の開口端部先端と、を突き当てて、コアが互いに結合した状態（図１（Ｂ））にする。
【００３４】
この状態で、図示しない抵抗測定装置と接続された図示しないプローブをプローブ基板８の電極に接触させる。
続いて、電流供給手段によりコイル１に電流が供給され磁界印加装置は磁界を磁界印加対象物７に印加し、磁界の印加によって変化した抵抗値を図示しない抵抗測定装置によって測定する。
【００３５】
このように、磁界印加対象物７をコアの極めて狭いギャップで挟み込むことができるので、少ない電力により、強い磁界を磁界印加対象物７に印加することができる。
また、開口端部先端の長手方向の長さを長く取ることができるので、棒状の磁界印加対象物７の貼付が容易であるとともに、棒状の磁界印加対象物７を構成するどの素子に対しても均一な磁界を印加することができる。即ち、どの素子に対しても均一な磁界を印加することができるので、同時に測定できる素子数を多くすることができる。
【００３６】
以上、本発明の磁界印加装置について、具体的な実施の形態を示して説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。当業者であれば、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、上記実施形態における磁界印加装置の構成及び機能に様々な変更・改良を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明の磁界印加装置は、磁気ヘッド素子、ＭＲセンサ、磁気センサー等、磁界を印加して測定が必要な分野においては、どの分野でも利用することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態に係る磁界印加装置の概略構成図である。
【図２】磁界印加対象物の概略図である。
【図３】従来の磁気印加装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００３９】
１      コイル
２      分離コア
３      ワーク
４      電流供給手段
５      コア
６      巻き線
７      磁界印加対象物
８      プローブ基板
３１    コイル
３３    磁界印加対象物固定治具
３５    電流供給手段
３７    コア
３９    巻き線
４１    プローブ
４３    部材
【図１】
2009199684.tif 000003
【図２】
2009199684.tif 000004
【図３】
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