(57)【要約】【課題】半導体プロセスに関連する情報について適切な権限を設定する。【解決手段】サーバ装置１０は、半導体プロセスに関連するプロセス関連情報が記憶されるプロセス関連情報記憶部１１と、プロセス関連情報に関する処理の権限に関する権限情報が記憶される権限情報記憶部１２と、プロセス関連情報に関する所望の処理を要求する処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部１４と、処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を、権限情報を用いて行う許否判断部１５と、処理要求情報に応じた処理の実行が許可された場合に、その処理要求情報に応じた処理を実行し、処理要求情報に応じた処理の実行が許可されなかった場合に、その処理要求情報に応じた処理を実行しない処理実行部１７と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記半導体プロセスに関連する情報であるプロセス関連情報が記憶されるプロセス関連情報記憶部と、
前記プロセス関連情報に関する処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部と、
前記プロセス関連情報に関する所望の処理を要求する情報である処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部と、
前記処理要求情報受付部が受け付けた処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を、前記権限情報を用いて行う許否判断部と、
前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可された場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行し、前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可されなかった場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行しない処理実行部と、を備えたサーバ装置。
【請求項２】
前記許否判断部による判断結果を示す情報である判断結果情報を出力する出力部をさらに備えた、請求項１記載のサーバ装置。
【請求項３】
前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、ユーザを識別する情報であるユーザ識別情報とが対応付けられており、
ユーザ識別情報を受け付けるユーザ識別情報受付部をさらに備え、
前記許否判断部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行う、請求項１または請求項２記載のサーバ装置。
【請求項４】
前記処理要求情報を入力するための画面である処理要求情報入力画面を出力する画面出力部をさらに備え、
前記画面出力部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報に対応付けられている権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できない処理要求情報入力画面を出力する、請求項３記載のサーバ装置。
【請求項５】
前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、複数のユーザを含むグループを識別する情報であるグループ識別情報とが対応付けられており、
ユーザ識別情報を受け付けるユーザ識別情報受付部をさらに備え、
前記許否判断部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行う、請求項１または請求項２記載のサーバ装置。
【請求項６】
前記処理要求情報を入力するための画面である処理要求情報入力画面を出力する画面出力部をさらに備え、
前記画面出力部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられている権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できない処理要求情報入力画面を出力する、請求項５記載のサーバ装置。
【請求項７】
前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、前記プロセス関連情報を識別する情報であるプロセス関連情報識別情報とが対応付けられており、
前記処理要求情報には、処理を要求するプロセス関連情報のプロセス関連情報識別情報が含まれており、
前記許否判断部は、前記処理要求情報に含まれるプロセス関連情報識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行う、請求項１から請求項６のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項８】
前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、前記プロセス関連情報の部分を識別する情報である部分識別情報とが対応付けられており、
前記処理要求情報には、処理を要求するプロセス関連情報の部分の部分識別情報が含まれており、
前記許否判断部は、前記処理要求情報に含まれる部分識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行う、請求項１から請求項６のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項９】
前記プロセス関連情報に関する処理は、当該プロセス関連情報の読み出しの処理、当該プロセス関連情報への書き込みの処理、当該プロセス関連情報の削除の処理、及び、当該プロセス関連情報の実行の処理の少なくともいずれかの処理である、請求項１から請求項８のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項１０】
前記プロセス関連情報は、前記製造装置で用いられるレシピである、請求項１から請求項９のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項１１】
前記プロセス関連情報は、前記製造装置で用いられるパラメータである、請求項１から請求項９のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項１２】
前記プロセス関連情報と、当該プロセス関連情報に対応する権限情報とは、一体の情報として構成されている、請求項１から請求項１１のいずれか記載のサーバ装置。
【請求項１３】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成する製造装置であって、
前記半導体プロセスに関連する情報であるプロセス関連情報が記憶されるプロセス関連情報記憶部と、
前記プロセス関連情報に関する処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部と、
前記プロセス関連情報に関する所望の処理を要求する情報である処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部と、
前記処理要求情報受付部が受け付けた処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を、前記権限情報を用いて行う許否判断部と、
前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可された場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行し、前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可されなかった場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行しない処理実行部と、を備えた製造装置。
【請求項１４】
前記許否判断部による判断結果を示す情報である判断結果情報を出力する出力部をさらに備えた、請求項１３記載の製造装置。
【請求項１５】
前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、ユーザを識別する情報であるユーザ識別情報とが対応付けられており、
ユーザ識別情報を受け付けるユーザ識別情報受付部をさらに備え、
前記許否判断部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行う、請求項１３または請求項１４記載の製造装置。
【請求項１６】
前記処理要求情報を入力するための画面である処理要求情報入力画面を出力する画面出力部をさらに備え、
前記画面出力部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報に対応付けられている権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できない処理要求情報入力画面を出力する、請求項１５記載の製造装置。
【請求項１７】
前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、複数のユーザを含むグループを識別する情報であるグループ識別情報とが対応付けられており、
ユーザ識別情報を受け付けるユーザ識別情報受付部をさらに備え、
前記許否判断部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行う、請求項１３または請求項１４記載の製造装置。
【請求項１８】
前記処理要求情報を入力するための画面である処理要求情報入力画面を出力する画面出力部をさらに備え、
前記画面出力部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられている権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できない処理要求情報入力画面を出力する、請求項１７記載の製造装置。
【請求項１９】
前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、前記プロセス関連情報を識別する情報であるプロセス関連情報識別情報とが対応付けられており、
前記処理要求情報には、処理を要求するプロセス関連情報のプロセス関連情報識別情報が含まれており、
前記許否判断部は、前記処理要求情報に含まれるプロセス関連情報識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行う、請求項１３から請求項１８のいずれか記載の製造装置。
【請求項２０】
前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、前記プロセス関連情報の部分を識別する情報である部分識別情報とが対応付けられており、
前記処理要求情報には、処理を要求するプロセス関連情報の部分の部分識別情報が含まれており、
前記許否判断部は、前記処理要求情報に含まれる部分識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行う、請求項１３から請求項１８のいずれか記載の製造装置。
【請求項２１】
前記プロセス関連情報に関する処理は、当該プロセス関連情報の読み出しの処理、当該プロセス関連情報への書き込みの処理、当該プロセス関連情報の削除の処理、及び、当該プロセス関連情報の実行の処理の少なくともいずれかの処理である、請求項１３から請求項２０のいずれか記載の製造装置。
【請求項２２】
前記プロセス関連情報は、前記製造装置で用いられるレシピである、請求項１３から請求項２１のいずれか記載の製造装置。
【請求項２３】
前記プロセス関連情報は、前記製造装置で用いられるパラメータである、請求項１３から請求項２１のいずれか記載の製造装置。
【請求項２４】
前記プロセス関連情報と、当該プロセス関連情報に対応する権限情報とは、一体の情報として構成されている、請求項１３から請求項２３のいずれか記載の製造装置。
【請求項２５】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置で用いられる情報処理方法であって、
前記半導体プロセスに関連する情報であるプロセス関連情報が記憶されるプロセス関連情報記憶部で記憶されているプロセス関連情報に関する所望の処理を要求する情報である処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付ステップと、
前記処理要求情報受付ステップで受け付けた処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を、前記プロセス関連情報に関する処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部で記憶されている権限情報を用いて行う許否判断ステップと、
前記許否判断ステップで前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可された場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行し、前記許否判断ステップで前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可されなかった場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行しない処理実行ステップと、を備えた情報処理方法。
【請求項２６】
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成する製造装置で用いられる情報処理方法であって、
前記半導体プロセスに関連する情報であるプロセス関連情報が記憶されるプロセス関連情報記憶部で記憶されているプロセス関連情報に関する所望の処理を要求する情報である処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付ステップと、
前記処理要求情報受付ステップで受け付けた処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を、前記プロセス関連情報に関する処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部で記憶されている権限情報を用いて行う許否判断ステップと、
前記許否判断ステップで前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可された場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行し、前記許否判断ステップで前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可されなかった場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行しない処理実行ステップと、を備えた情報処理方法。
【請求項２７】
コンピュータを、
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置として機能させるためのプログラムであって、
前記半導体プロセスに関連する情報であるプロセス関連情報が記憶されるプロセス関連情報記憶部で記憶されているプロセス関連情報に関する所望の処理を要求する情報である処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部と、
前記処理要求情報受付部が受け付けた処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を、前記プロセス関連情報に関する処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部で記憶されている権限情報を用いて行う許否判断部と、
前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可された場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行し、前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可されなかった場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行しない処理実行部として機能させるためのプログラム。
【請求項２８】
コンピュータを、
被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成する製造装置として機能させるためのプログラムであって、
前記半導体プロセスに関連する情報であるプロセス関連情報が記憶されるプロセス関連情報記憶部で記憶されているプロセス関連情報に関する所望の処理を要求する情報である処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部と、
前記処理要求情報受付部が受け付けた処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を、前記プロセス関連情報に関する処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部で記憶されている権限情報を用いて行う許否判断部と、
前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可された場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行し、前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可されなかった場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行しない処理実行部として機能させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置を有する群管理システムにおいて、半導体プロセスに関連するプロセス関連情報に関する処理の実行の許否を判断するサーバ装置や製造装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置を操作する際に、ユーザ認証を行うことによって、不特定多数の者による操作を制限し、その結果、機密漏洩等を防止することができていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、関連する技術として、いわゆるバッチ式縦型熱処理装置が知られていた（特許文献２、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００２−２７５６７号公報
【特許文献２】特開平７−２９７２５７号公報
【特許文献３】特開２００２−２５９９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、半導体製造装置等の被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う製造装置が、通信回線に接続されて用いられるようになってきている。そのような状況においても、ユーザ認証等を行うことによって、正当な権限を有するユーザにのみ、データへのアクセスや処理の実行等を許可することがセキュリティー上必要である。ユーザ認証等を行わない場合には、例えば、正当な権限を有しないユーザが、データ等へのアクセスを行うことによって、ノウハウが流出してしまうおそれがあるからである。また、ユーザ認証等を行わない場合には、例えば、正当な権限を有しないユーザが、半導体製造装置等のパラメータ等を改変することによって、半導体製造装置等において不具合が発生し、甚大な被害の生じるおそれがあるからである。
【０００５】
しかしながら、前述の特許文献１に記載されているように、接続時に認証処理を行うだけでは、例えば、全てのユーザに対して一律に接続の可否を設定することしかできないという問題がある。
【０００６】
また、半導体プロセスを行う製造装置において、特に重要な情報は、そのプロセスに関するレシピやパラメータ等の情報である。したがって、そのようなプロセスに関する情報について、適切に保護したいという課外があった。
【０００７】
一般的にいえば、従来は画一的な権限の設定しかできず、細かい権限の設定をすることができないという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、半導体プロセスに関連する情報について適切な権限を設定することができうるサーバ装置や製造装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明によるサーバ装置は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置であって、前記半導体プロセスに関連する情報であるプロセス関連情報が記憶されるプロセス関連情報記憶部と、前記プロセス関連情報に関する処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部と、前記プロセス関連情報に関する所望の処理を要求する情報である処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部と、前記処理要求情報受付部が受け付けた処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を、前記権限情報を用いて行う許否判断部と、前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可された場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行し、前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可されなかった場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行しない処理実行部と、を備えたものである。
【００１０】
このような構成により、プロセス関連情報の処理について、適宜、権限を設定することができる。その結果、例えば、プロセス関連情報が不用意に漏洩するような事態を回避することができうる。
【００１１】
また、本発明によるサーバ装置では、前記許否判断部による判断結果を示す情報である判断結果情報を出力する出力部をさらに備えてもよい。
【００１２】
このような構成により、例えば、処理要求情報の入力を行ったユーザが、その出力された判断結果情報を見ることによって、処理の実行の要求が許可されたのか、あるいは、拒否されたのかを知ることができるようになる。
【００１３】
また、本発明によるサーバ装置では、前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、ユーザを識別する情報であるユーザ識別情報とが対応付けられており、ユーザ識別情報を受け付けるユーザ識別情報受付部をさらに備え、前記許否判断部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行ってもよい。
このような構成により、ユーザごとに、権限を管理することが可能になる。
【００１４】
また、本発明によるサーバ装置では、前記処理要求情報を入力するための画面である処理要求情報入力画面を出力する画面出力部をさらに備え、前記画面出力部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報に対応付けられている権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できない処理要求情報入力画面を出力してもよい。
【００１５】
このような構成により、例えば、許可されない処理に対する処理要求情報が入力できないようにすることができる。また、例えば、処理要求情報入力画面において、権限のないことが示される処理に関する入力インターフェース（例えば、ボタン等）がグレーアウトされることによって、処理要求情報入力画面を見たユーザは、自らが実行できる処理と、実行できない処理を容易に区別することができるようになる。
【００１６】
また、本発明によるサーバ装置では、前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、複数のユーザを含むグループを識別する情報であるグループ識別情報とが対応付けられており、ユーザ識別情報を受け付けるユーザ識別情報受付部をさらに備え、前記許否判断部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行ってもよい。
このような構成により、ユーザのグループごとに、権限を管理することが可能となる。
【００１７】
また、本発明によるサーバ装置では、前記処理要求情報を入力するための画面である処理要求情報入力画面を出力する画面出力部をさらに備え、前記画面出力部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられている権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できない処理要求情報入力画面を出力してもよい。
このような構成により、例えば、許可されない処理に対する処理要求情報が入力できないようにすることができる。
【００１８】
また、本発明によるサーバ装置では、前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、前記プロセス関連情報を識別する情報であるプロセス関連情報識別情報とが対応付けられており、前記処理要求情報には、処理を要求するプロセス関連情報のプロセス関連情報識別情報が含まれており、前記許否判断部は、前記処理要求情報に含まれるプロセス関連情報識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行ってもよい。
このような構成により、プロセス関連情報ごとに、権限を管理することが可能となる。
【００１９】
また、本発明によるサーバ装置では、前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、前記プロセス関連情報の部分を識別する情報である部分識別情報とが対応付けられており、前記処理要求情報には、処理を要求するプロセス関連情報の部分の部分識別情報が含まれており、前記許否判断部は、前記処理要求情報に含まれる部分識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行ってもよい。
このような構成により、プロセス関連情報の部分ごとに、権限を管理することが可能となる。
【００２０】
また、本発明によるサーバ装置では、前記プロセス関連情報に関する処理は、当該プロセス関連情報の読み出しの処理、当該プロセス関連情報への書き込みの処理、当該プロセス関連情報の削除の処理、及び、当該プロセス関連情報の実行の処理の少なくともいずれかの処理であってもよい。
【００２１】
このような構成により、プロセス関連情報の読み出しの処理や、プロセス関連情報への書き込みの処理、プロセス関連情報の削除の処理、プロセス関連情報の実行の処理のうちの少なくともいずれかについて、処理の実行の権限を管理することが可能となる。
【００２２】
また、本発明によるサーバ装置では、前記プロセス関連情報は、前記製造装置で用いられるレシピであってもよく、前記製造装置で用いられるパラメータであってもよい。
このような構成により、製造装置で用いられるレシピやパラメータに関する処理について、権限を管理することが可能となる。
【００２３】
また、本発明によるサーバ装置では、前記プロセス関連情報と、当該プロセス関連情報に対応する権限情報とは、一体の情報として構成されていてもよい。
【００２４】
このような構成により、プロセス関連情報がコピーされることなどによって流通していく場合にも、そのプロセス関連情報の権限情報を、そのプロセス関連情報と一緒に流通させることができ、その権限情報を用いた権限の管理が可能となる。
【００２５】
本発明による製造装置は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成する製造装置であって、前記半導体プロセスに関連する情報であるプロセス関連情報が記憶されるプロセス関連情報記憶部と、前記プロセス関連情報に関する処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部と、前記プロセス関連情報に関する所望の処理を要求する情報である処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部と、前記処理要求情報受付部が受け付けた処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を、前記権限情報を用いて行う許否判断部と、前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可された場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行し、前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可されなかった場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行しない処理実行部と、を備えたものである。
【００２６】
このような構成により、プロセス関連情報の処理について、適宜、権限を設定することができる。その結果、例えば、プロセス関連情報が不用意に漏洩するような事態を回避することができうる。
【００２７】
また、本発明による製造装置では、前記許否判断部による判断結果を示す情報である判断結果情報を出力する出力部をさらに備えてもよい。
【００２８】
このような構成により、例えば、処理要求情報の入力を行ったユーザが、その出力された判断結果情報を見ることによって、処理の実行の要求が許可されたのか、あるいは、拒否されたのかを知ることができるようになる。
【００２９】
また、本発明による製造装置では、前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、ユーザを識別する情報であるユーザ識別情報とが対応付けられており、ユーザ識別情報を受け付けるユーザ識別情報受付部をさらに備え、前記許否判断部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行ってもよい。
このような構成により、ユーザごとに、権限を管理することが可能になる。
【００３０】
また、本発明による製造装置では、前記処理要求情報を入力するための画面である処理要求情報入力画面を出力する画面出力部をさらに備え、前記画面出力部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報に対応付けられている権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できない処理要求情報入力画面を出力してもよい。
このような構成により、例えば、許可されない処理に対する処理要求情報が入力できないようにすることができる。
【００３１】
また、本発明による製造装置では、前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、複数のユーザを含むグループを識別する情報であるグループ識別情報とが対応付けられており、ユーザ識別情報を受け付けるユーザ識別情報受付部をさらに備え、前記許否判断部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行ってもよい。
このような構成により、ユーザのグループごとに、権限を管理することが可能となる。
【００３２】
また、本発明による製造装置では、前記処理要求情報を入力するための画面である処理要求情報入力画面を出力する画面出力部をさらに備え、前記画面出力部は、前記ユーザ識別情報受付部が受け付けたユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられている権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できない処理要求情報入力画面を出力してもよい。
このような構成により、例えば、許可されない処理に対する処理要求情報が入力できないようにすることができる。
【００３３】
また、本発明による製造装置では、前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、前記プロセス関連情報を識別する情報であるプロセス関連情報識別情報とが対応付けられており、前記処理要求情報には、処理を要求するプロセス関連情報のプロセス関連情報識別情報が含まれており、前記許否判断部は、前記処理要求情報に含まれるプロセス関連情報識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行ってもよい。
このような構成により、プロセス関連情報ごとに、権限を管理することが可能となる。
【００３４】
また、本発明による製造装置では、前記権限情報記憶部では、前記権限情報と、前記プロセス関連情報の部分を識別する情報である部分識別情報とが対応付けられており、前記処理要求情報には、処理を要求するプロセス関連情報の部分の部分識別情報が含まれており、前記許否判断部は、前記処理要求情報に含まれる部分識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、前記許否の判断を行ってもよい。
このような構成により、プロセス関連情報の部分ごとに、権限を管理することが可能となる。
【００３５】
また、本発明による製造装置では、前記プロセス関連情報に関する処理は、当該プロセス関連情報の読み出しの処理、当該プロセス関連情報への書き込みの処理、当該プロセス関連情報の削除の処理、及び、当該プロセス関連情報の実行の処理の少なくともいずれかの処理であってもよい。
【００３６】
このような構成により、プロセス関連情報の読み出しの処理や、プロセス関連情報への書き込みの処理、プロセス関連情報の削除の処理、プロセス関連情報の実行の処理のうちの少なくともいずれかについて、処理の実行の権限を管理することが可能となる。
【００３７】
また、本発明による製造装置では、前記プロセス関連情報は、前記製造装置で用いられるレシピであってもよく、前記製造装置で用いられるパラメータであってもよい。
このような構成により、製造装置で用いられるレシピやパラメータに関する処理について、権限を管理することが可能となる。
【００３８】
また、本発明による製造装置では、前記プロセス関連情報と、当該プロセス関連情報に対応する権限情報とは、一体の情報として構成されていてもよい。
【００３９】
このような構成により、プロセス関連情報がコピーされることなどによって流通していく場合にも、そのプロセス関連情報の権限情報を、そのプロセス関連情報と一緒に流通させることができ、その権限情報を用いた権限の管理が可能となる。
【発明の効果】
【００４０】
本発明によるサーバ装置等によれば、半導体プロセスに関連する情報について適切な権限を設定することができうるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下、本発明による群管理システムについて、実施の形態を用いて説明する。なお、以下の実施の形態において、同じ符号を付した構成要素及びステップは同一または相当するものであり、再度の説明を省略することがある。
【００４２】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施の形態による群管理システムの構成を示すブロック図である。図１において、本実施の形態による群管理システムは、サーバ装置１０と、クライアント装置２０と、Ｎ個の製造装置３０とを備える。ここで、Ｎは、１または２以上の整数である。群管理システムにおいて、サーバ装置１０、クライアント装置２０、１以上の製造装置３０は、有線または無線の通信回線を介して互いに通信可能なように接続されている。その通信回線は、例えば、インターネットやイントラネット、公衆電話回線網等である。
【００４３】
サーバ装置１０は、権限に関する情報である権限情報を保持しており、その権限情報を用いて処理の実行に関する許否の判断を行う。このサーバ装置１０の詳細については後述する。また、サーバ装置１０は、１以上の製造装置３０における各種の測定情報を格納可能なものである。また、サーバ装置１０は、クライアント装置２０や製造装置３０からの要求に応じて処理を実行し、その処理結果を適宜、クライアント装置２０や製造装置３０に送信してもよい。
【００４４】
クライアント装置２０は、サーバ装置１０あるいは製造装置３０に対する各種の処理を要求する。また、クライアント装置２０は、それらの処理の要求に対する処理結果を受け付ける。
【００４５】
製造装置３０は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う装置である。製造装置３０は、例えば、半導体製造装置や、液晶パネル製造装置、有機ＥＬディスプレイ製造装置、プラズマ表示パネル製造装置等である。被処理基板は、例えば、半導体ウエハやＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）基板等である。ＦＰＤ基板は、例えば、ガラス基板等である。なお、製造装置３０が実行する被処理基板に対する所定の半導体プロセスは、少なくとも半導体に関するプロセスを含むものであれば、その前工程や後工程等を含んでもよく、あるいは、含まなくてもよい。製造装置３０が被処理基板に対して行う処理は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等であってもよい。
【００４６】
製造装置３０は、例えば、上述の特許文献２、または特許文献３等におけるバッチ式縦型熱処理装置である。製造装置３０の例を図２に示す。製造装置３０は、ローディング室として、他の室に対して密閉可能になされ、不活性雰囲気としてＮ２ガスが供給・真空引き可能になされたいわゆるロードロック室構造になされた装置である。製造装置３０は、被処理体であるウエハＷに所定の処理を施す処理室であるプロセスチューブａと、このプロセスチューブ（処理室）ａに対して多数枚、例えば１００枚のウエハＷを収納した保持体としてのウエハボート（保持対）ｆを挿脱する移送機構ｇを備えたローディング室としてのロードロック室ｈと、このロードロック室ｈに対してウエハＷを搬出入する搬出入室ａｂと、この搬出入室ａｂに形成されたカセット収容容器用ポートａｃと、このポートａｃに載置されたカセット収容容器ａｄを搬出入室ａｂ内に取り込む取り込み手段ａｅと、取り込んだカセット収容容器ａｄを一時的に保管する容器保管ステージａｆと、カセット収容容器ａｄ内に収容されたカセットＣを取り出すカセット取り出しステージａｇと、搬出入室ａｂ内にてカセット収容容器ａｄの受け渡しを行う容器移載手段ａｈと、ロードロック室ｈと搬出入室ａｂとの間に配置されるウエハボートｆを収容する保持体収容室ａｉとで主要部が構成されている。なお、図２の製造装置３０の例における、その他の部位、及び動作については、公知技術（特許文献２参照）であるので詳細な説明は省略する。また、製造装置３０を構成するチャンバーとして、特許文献３の図１におけるチャンバーが好適である。また、製造装置３０は、図２で示される以外のものであってもよいことは言うまでもない。また、製造装置３０は、例えば、被処理基板に対する所定の半導体プロセスに関する情報であるレシピを保持しており、そのレシピを用いてプロセス制御等を実行する。
【００４７】
次に、本実施の形態によるサーバ装置１０、クライアント装置２０の構成について、図３、図４のブロック図を用いて説明する。なお、図３、図４のブロック図では、本実施の形態による群管理システムにおいて特徴的な部分のみを明記しており、その他の部分は省略しているが、サーバ装置１０、クライアント装置２０は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスに関する処理を実行する構成、例えば、サーバ装置１０において、製造装置３０における製造工程での温度や圧力等を製造装置３０から受信する構成等を有していてもよい。
【００４８】
図３は、本実施の形態によるサーバ装置１０の構成を示すブロック図である。図３において、本実施の形態によるサーバ装置１０は、プロセス関連情報記憶部１１と、権限情報記憶部１２と、ユーザ識別情報受付部１３と、処理要求情報受付部１４と、許否判断部１５と、出力部１６と、処理実行部１７と、画面出力部１８とを備える。
【００４９】
プロセス関連情報記憶部１１では、１または２以上のプロセス関連情報が記憶される。プロセス関連情報は、半導体プロセスに関連する情報であり、例えば、製造装置３０で用いられるレシピであってもよく、製造装置３０で用いられるパラメータであってもよく、半導体プロセスに関連するその他の情報であってもよい。レシピは、例えば、半導体プロセスの条件（例えば、処理時間やプロセスガスの種類等）の条件を決めるためなどに用いられる情報である。パラメータは、例えば、製造装置３０の動作のために必要な数値（例えば、設定温度の設定下限や設定上限を示す数値等）等を示す情報である。
【００５０】
プロセス関連情報記憶部１１にプロセス関連情報が記憶される過程は問わない。例えば、記録媒体を介してプロセス関連情報がプロセス関連情報記憶部１１で記憶されるようになってもよく、通信回線等を介して送信されたプロセス関連情報がプロセス関連情報記憶部１１で記憶されるようになってもよく、あるいは、入力デバイスを介して入力されたプロセス関連情報がプロセス関連情報記憶部１１で記憶されるようになってもよい。プロセス関連情報記憶部１１での記憶は、ＲＡＭ等における一時的な記憶でもよく、あるいは、長期的な記憶でもよい。プロセス関連情報記憶部１１は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。
【００５１】
権限情報記憶部１２では、権限情報が記憶される。権限情報は、プロセス関連情報に関する処理についての権限に関する情報である。この権限情報によって、プロセス関連情報に関する処理を実行することができるかどうかが示されることになる。「処理」とは、群管理システムにおける各種の処理であり、例えば、プロセス関連情報の読み出しの処理、プロセス関連情報への書き込みの処理、プロセス関連情報の削除の処理、及び、プロセス関連情報の実行の処理の少なくともいずれかの処理であってもよい。プロセス関連情報の実行の処理とは、例えば、プロセス関連情報を用いて、半導体プロセスを実行すること、あるいは、半導体プロセスが実行されるようにすることであってもよい。すなわち、サーバ装置１０におけるプロセス関連情報の実行の処理とは、例えば、半導体プロセスのために製造装置３０にプロセス関連情報を送信することなどであってもよく、サーバ装置１０が主体的に製造装置３０に対してプロセス関連情報を用いた半導体プロセスを実行するように制御することなどであってもよい。
【００５２】
また、権限情報記憶部１２では、権限情報と、ユーザを識別する情報であるユーザ識別情報とが対応付けられていてもよい。この場合には、処理の実行を要求するユーザごとに権限を管理することができる。また、この場合には、権限情報記憶部１２において、権限情報と、ユーザ識別情報とを対応付けて有する情報が記憶されていることになる。権限情報と、ユーザ識別情報とが対応付けられているとは、ユーザ識別情報を用いて、そのユーザ識別情報と対応付けられている権限情報を取得できればよい、という意味である。
【００５３】
また、権限情報記憶部１２では、権限情報と、複数のユーザを含むグループを識別する情報であるグループ識別情報とが対応付けられていてもよい。この場合には、処理の実行を要求するグループごとに権限を管理することができる。また、この場合には、権限情報記憶部１２において、権限情報と、グループ識別情報とを対応付けて有する情報が記憶されていることになる。権限情報と、グループ識別情報とが対応付けられているとは、グループ識別情報を用いて、そのグループ識別情報と対応付けられている権限情報を取得できればよい、という意味である。この場合に、ユーザ識別情報と、当該ユーザ識別情報で識別されるユーザを含むグループを識別するグループ識別情報とを対応付ける情報が権限情報記憶部１２や、その他の図示しない記録媒体等において記憶されていてもよい。また、この場合に、ユーザ識別情報の一部に、グループ識別情報が含まれていてもよい。例えば、ユーザ識別情報が「Ｇ００１−００１」である場合に、はじめの４桁「Ｇ００１」がグループ識別情報であってもよい。
【００５４】
また、権限情報記憶部１２では、権限情報と、プロセス関連情報を識別する情報であるプロセス関連情報識別情報とが対応付けられていてもよい。この場合には、処理の実行が要求されるプロセス関連情報ごとに権限を管理することができる。また、この場合には、権限情報記憶部１２において、権限情報と、プロセス関連情報識別情報とを対応付けて有する情報が記憶されていることになる。権限情報と、プロセス関連情報識別情報とが対応付けられているとは、プロセス関連情報識別情報を用いて、そのプロセス関連情報識別情報と対応付けられている権限情報を取得できればよい、という意味である。
【００５５】
また、権限情報記憶部１２では、権限情報と、プロセス関連情報の部分を識別する情報である部分識別情報とが対応付けられていてもよい。この場合には、処理の実行が要求されるプロセス関連情報の部分ごとに権限を管理することができる。また、この場合には、権限情報記憶部１２において、権限情報と、部分識別情報とを対応付けて有する情報が記憶されていることになる。権限情報と、部分識別情報とが対応付けられているとは、部分識別情報を用いて、その部分識別情報と対応付けられている権限情報を取得できればよい、という意味である。部分識別情報は、プロセス関連情報を識別する情報と、プロセス関連情報における部分を特定する情報とから構成されてもよく、あるいは、そうでなくてもよい。
【００５６】
また、権限情報記憶部１２では、権限情報と、装置を識別する情報である装置識別情報や、装置のグループを識別する情報である装置グループ識別情報とが対応付けられていてもよい。この場合には、処理の実行が要求される装置や、装置のグループごとに権限を管理することができる。また、この場合には、権限情報記憶部１２において、権限情報と、装置識別情報や装置グループ識別情報とを対応付けて有する情報が記憶されていることになる。権限情報と、装置識別情報等とが対応付けられているとは、装置識別情報等を用いて、その装置識別情報等と対応付けられている権限情報を取得できればよい、という意味である。
【００５７】
また、権限情報は、これら以外の情報と対応付けられていてもよい。また、権限情報記憶部１２に権限情報等が記憶される過程は問わない。例えば、記録媒体を介して情報が権限情報記憶部１２で記憶されるようになってもよく、通信回線等を介して送信された権限情報等が権限情報記憶部１２で記憶されるようになってもよく、あるいは、入力デバイスを介して入力された権限情報等が権限情報記憶部１２で記憶されるようになってもよい。権限情報記憶部１２での記憶は、ＲＡＭ等における一時的な記憶でもよく、あるいは、長期的な記憶でもよい。権限情報記憶部１２は、所定の記録媒体（例えば、半導体メモリや磁気ディスク、光ディスクなど）によって実現されうる。
【００５８】
ユーザ識別情報受付部１３は、ユーザを識別する情報であるユーザ識別情報を受け付ける。このユーザ識別情報は、後述する許否判断部１５が権限の有無を判断するユーザを識別するものである。ユーザ識別情報受付部１３は、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力されたユーザ識別情報を受け付けてもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信されたユーザ識別情報を受信してもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出されたユーザ識別情報を受け付けてもよい。本実施の形態では、クライアント装置２０から送信されたユーザ識別情報が受信されるものとする。なお、ユーザ識別情報受付部１３は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、ユーザ識別情報受付部１３は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００５９】
処理要求情報受付部１４は、処理要求情報を受け付ける。処理要求情報は、プロセス関連情報に関する所望の処理を要求する情報である。この処理要求情報には、処理を要求するプロセス関連情報のプロセス関連情報識別情報が含まれていてもよく、あるいは、含まれていなくてもよい。また、この処理要求情報には、処理を要求するプロセス関連情報の部分の部分識別情報が含まれていてもよく、あるいは、含まれていなくてもよい。また、この処理要求情報には、処理の実行が要求される装置を識別する装置識別情報や、装置のグループを識別する装置グループ識別情報が含まれていてもよく、あるいは、含まれていなくてもよい。
【００６０】
処理要求情報受付部１４は、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された処理要求情報を受け付けてもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された処理要求情報を受信してもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出された処理要求情報を受け付けてもよい。本実施の形態では、クライアント装置２０から送信された処理要求情報が受信されるものとする。なお、処理要求情報受付部１４は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、処理要求情報受付部１４は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００６１】
なお、ユーザ識別情報の受け付けと、処理要求情報の受け付けとは、同時になされてもよく（例えば、ユーザ識別情報と、処理要求情報が同時に入力や送信された場合など）、別々になされてもよい（例えば、ログイン処理時にユーザ識別情報を受け付け、その後に処理要求情報を受け付ける場合など）。
【００６２】
許否判断部１５は、処理要求情報受付部１４が受け付けた処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を行う。許否判断部１５は、その許否の判断を、権限情報記憶部１２で記憶されている権限情報等を用いて行う。許否判断部１５は、ユーザ識別情報受付部１３によってユーザ識別情報が受け付けられる場合に、そのユーザ識別情報に対応付けられている権限情報や、そのユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、許否の判断を行ってもよい。また、許否判断部１５は、処理要求情報にプロセス関連情報識別情報や、部分識別情報が含まれる場合に、そのプロセス関連情報識別情報や、部分識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、許否の判断を行ってもよい。また、許否判断部１５は、処理要求情報に装置識別情報や、装置グループ識別情報が含まれる場合に、その装置識別情報や、装置グループ識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、許否の判断を行ってもよい。許否判断部１５による許否の判断は、結果として許否の結果が分かるのであれば、その内容を問わない。例えば、許否判断部１５は、許可するかどうかを判断してもよく（この場合には、許可されないことが拒否されたことになる）、拒否するかどうかを判断してもよく（この場合には、拒否されないことが許可されたことになる）、許可するか、拒否するかの両方を判断してもよい。許否の判断の具体的な方法については後述する。
【００６３】
出力部１６は、許否判断部１５による判断結果を示す情報である判断結果情報を出力する。この判断結果情報は、出力部１６以外の構成要素によって構成されたものであってもよく、あるいは、出力部１６が構成したものであってもよい。ここで、この出力は、例えば、表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）への表示でもよく、所定の機器への通信回線を介した送信でもよく、プリンタによる印刷でもよく、スピーカによる音声出力でもよく、記録媒体への蓄積でもよく、他の構成要素への引き渡しでもよい。本実施の形態では、判断結果情報がクライアント装置２０に送信されるものとする。なお、出力部１６は、出力を行うデバイス（例えば、表示デバイスやプリンタなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、出力部１６は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは、それらのデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００６４】
処理実行部１７は、許否判断部１５によって処理要求情報に応じた処理の実行が許可された場合に、その処理要求情報に応じた処理を実行する。処理実行部１７は、許否判断部１５によって処理要求情報に応じた処理の実行が許可されなかった場合に、その処理要求情報に応じた処理を実行しない。この処理は、プロセス関連情報記憶部１１において記憶されているプロセス関連情報に関する処理である。
【００６５】
画面出力部１８は、処理要求情報入力画面を出力する。処理要求情報入力画面は、処理要求情報を入力するための画面である。この処理要求情報入力画面において、例えば、処理対象となるプロセス関連情報と、その処理内容とが入力されることによって、処理要求情報が入力されることになる。
【００６６】
画面出力部１８は、ユーザ識別情報受付部１３が受け付けたユーザ識別情報に対応付けられている権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できない処理要求情報入力画面を出力してもよい。また、画面出力部１８は、ユーザ識別情報受付部１３が受け付けたユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられている権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できない処理要求情報入力画面を出力してもよい。権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できないとは、権限情報によって権限のないことが示される処理に対応するプロセス関連情報が表示されないことであってもよく、権限情報によって権限のないことが示される処理に対応する処理内容が表示されないことであってもよく、権限情報によって権限のないことが示される処理に対応するプロセス関連情報や、処理内容が表示されるが、ボタンのクリックや、情報の選択等が行われないようになっていてもよい。また、権限情報によって権限のないことが示される処理に対応するプロセス関連情報や処理内容がグレーアウトされてもよい。また、「権限のないことが示される処理」とは、権限情報によって拒否されている処理であってもよく、許可されていない処理であってもよい。
【００６７】
ここで、この出力は、例えば、表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）への表示でもよく、所定の機器への通信回線を介した送信でもよく、記録媒体への蓄積でもよく、他の構成要素への引き渡しでもよい。例えば、通信回線を介した送信や、記録媒体への蓄積、他の構成要素への引き渡しが行われる場合であっても、出力された処理要求情報入力画面は、最終的に表示デバイスによって表示されるものとする。本実施の形態では、処理要求情報入力画面がクライアント装置２０に送信されるものとする。なお、画面出力部１８は、出力を行うデバイス（例えば、表示デバイスやプリンタなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、画面出力部１８は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは、それらのデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００６８】
なお、プロセス関連情報記憶部１１と、権限情報記憶部１２とは、同一の記録媒体によって実現されてもよく、あるいは、別々の記録媒体によって実現されてもよい。前者の場合には、例えば、プロセス関連情報を記憶している領域がプロセス関連情報記憶部１１となり、権限情報等を記憶している領域が権限情報記憶部１２となる。
【００６９】
図４は、本実施の形態によるクライアント装置２０の構成を示すブロック図である。図４において、本実施の形態によるクライアント装置２０は、入力受付部２１と、ユーザ識別情報送信部２２と、処理要求情報送信部２３と、画面受信部２４と、判断結果情報受信部２５と、表示部２６と、処理部２７とを備える。
【００７０】
入力受付部２１は、クライアント装置２０を操作するユーザからの入力を受け付ける。その入力は、例えば、ユーザ識別情報や、処理要求情報に関する入力等である。入力受付部２１は、例えば、入力デバイス（例えば、キーボードやマウス、タッチパネルなど）から入力された情報を受け付けてもよく、有線もしくは無線の通信回線を介して送信された情報を受信してもよく、所定の記録媒体（例えば、光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）から読み出された情報を受け付けてもよい。本実施の形態では、入力デバイスからの入力が受け付けられるものとする。なお、入力受付部２１は、受け付けを行うためのデバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、入力受付部２１は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは所定のデバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００７１】
ユーザ識別情報送信部２２は、入力受付部２１が受け付けたユーザ識別情報をサーバ装置１０に送信する。なお、ユーザ識別情報送信部２２は、送信を行うための送信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、ユーザ識別情報送信部２２は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは送信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００７２】
処理要求情報送信部２３は、入力受付部２１が受け付けた処理要求情報をサーバ装置１０に送信する。この処理要求情報は、例えば、その全てが入力受付部２１で受け付けられたものであってもよく、あるいは、一部が後述する画面受信部２４が受信した処理要求情報入力画面に含まれる情報であり、一部が入力受付部２１で受け付けられたものであってもよい。なお、処理要求情報送信部２３は、送信を行うための送信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、処理要求情報送信部２３は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは送信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００７３】
画面受信部２４は、サーバ装置１０から送信された処理要求情報入力画面を受信する。なお、画面受信部２４は、受信を行うための有線または無線の受信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、画面受信部２４は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは受信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００７４】
判断結果情報受信部２５は、サーバ装置１０から送信された判断結果情報を受信する。なお、判断結果情報受信部２５は、受信を行うための有線または無線の受信デバイス（例えば、モデムやネットワークカードなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよいまた、判断結果情報受信部２５は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは受信デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００７５】
表示部２６は、画面受信部２４が受信した処理要求情報入力画面や、判断結果情報受信部２５が受信した判断結果情報を表示する。なお、表示部２６は、それらの表示を行う表示デバイス（例えば、ＣＲＴや液晶ディスプレイなど）を含んでもよく、あるいは含まなくてもよい。また、表示部２６は、ハードウェアによって実現されてもよく、あるいは表示デバイスを駆動するドライバ等のソフトウェアによって実現されてもよい。
【００７６】
処理部２７は、判断結果情報受信部２５が受信した判断結果情報によって、処理要求情報によって要求された処理の実行が許可されることが示される場合に、その処理の実行に関する処理を行う。例えば、要求される処理がプロセス関連情報に書き込みをする処理である場合には、処理部２７は、その書き込みを行う情報を受け付けたり、その情報をサーバ装置１０に送信したりする処理が実行されるように、必要な制御等を行ってもよい。
【００７７】
本実施の形態では、クライアント装置２０から処理要求情報や、ユーザ識別情報が送信され、クライアント装置２０に判断結果情報や、処理要求情報入力画面が送信される場合について説明するが、それらの情報の送受信は、製造装置３０によってなされてもよいことは前述の通りである。そのような場合に、製造装置３０は、図４で示されるクライアント装置２０と同様の構成要素を有してもよい。なお、本実施の形態では、製造装置３０の詳細な説明は省略する。
【００７８】
次に、本実施の形態による群管理システムの動作について、フローチャートを用いて説明する。図５は、サーバ装置１０の動作を示すフローチャートである。
【００７９】
（ステップＳ１０１）ユーザ識別情報受付部１３は、ユーザ識別情報を受け付けたかどうか判断する。そして、受け付けた場合には、ステップＳ１０２に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０３に進む。
【００８０】
（ステップＳ１０２）許否判断部１５は、ユーザ識別情報受付部１３が受け付けたユーザ識別情報を図示しない記録媒体で一時的に記憶する。そして、ステップＳ１０１に戻る。
【００８１】
（ステップＳ１０３）画面出力部１８は、処理要求情報入力画面を出力するかどうか判断する。そして、出力する場合には、ステップＳ１０４に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０１に戻る。画面出力部１８は、例えば、処理要求情報入力画面を出力する旨のユーザからの指示を受け付けた場合に、処理要求情報入力画面を出力すると判断してもよく、あるいは、許否判断部１５において、ユーザ識別情報が記憶された場合に、処理要求情報入力画面を出力すると判断してもよい。
【００８２】
（ステップＳ１０４）画面出力部１８は、処理要求情報入力画面を構成する。画面出力部１８は、例えば、ユーザ識別情報受付部１３が受け付けたユーザ識別情報に対応付けられている権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できない処理要求情報入力画面を構成してもよく、そのユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応付けられている権限情報によって権限のないことが示される処理に対する処理要求情報を入力できない処理要求情報入力画面を構成してもよい。
【００８３】
（ステップＳ１０５）画面出力部１８は、構成した処理要求情報入力画面を出力する。
【００８４】
（ステップＳ１０６）処理要求情報受付部１４は、処理要求情報を受け付けたかどうか判断する。そして、受け付けた場合には、ステップＳ１０７に進み、そうでない場合には、受け付けるまでステップＳ１０６の処理を繰り返す。なお、処理要求情報入力画面が出力されてから所定の時間が経過しても処理要求情報が受け付けられない場合には、タイムアウトであるとして、ステップＳ１０１に戻ってもよい。
【００８５】
（ステップＳ１０７）許否判断部１５は、処理要求情報受付部１４が受け付けた処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を、権限情報を用いて行う。この処理の詳細については、図６のフローチャートを用いて後述する。
【００８６】
（ステップＳ１０８）出力部１６は、許否判断部１５による判断結果を示す判断結果情報を出力する。
【００８７】
（ステップＳ１０９）処理実行部１７は、許否判断部１５によって、処理要求情報に応じた処理の実行が可能と判断されたかどうか判断する。そして、可能と判断された場合には、ステップＳ１１０に進み、そうでない場合には、ステップＳ１０１に戻る。
【００８８】
（ステップＳ１１０）処理実行部１７は、処理要求情報受付部１４が受け付けた処理要求情報に応じた処理を実行する。そして、ステップＳ１０１に戻る。
【００８９】
なお、図５のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【００９０】
図６は、図５のフローチャートにおける許否判断（ステップＳ１０７）の処理の詳細の一例を示すフローチャートである。なお、このフローチャートの説明において、権限情報は、ユーザ識別情報とグループ識別情報とに対応付けられているものとする。そして、許否判断部１５は、ユーザ識別情報受付部１３で受け付けられたユーザ識別情報に対応する権限情報と、そのユーザ識別情報で識別されるユーザの含まれるグループのグループ識別情報に対応する権限情報とを用いて、処理要求情報で要求される処理に関する許否判断を行うものとする。その許否判断において、図７で示されるように、ユーザ識別情報に対応する権限情報と、グループ識別情報に対応する権限情報との少なくとも一方が許可であることを示しており、そのいずれもが拒否であることを示していない場合に、許可であると判断するものとする。一方、その許否判断において、図７で示されるように、ユーザ識別情報に対応する権限情報と、グループ識別情報に対応する権限情報との少なくとも一方が拒否であることを示している場合、及び両者において許可・拒否が設定されていない場合に、不許可であると判断するものとする。このように許否の判断をすることにより、ユーザ識別情報に対応する権限情報とグループ識別情報に対応する権限情報との条件のうち、ユーザにとって厳しい方の条件で判断を行うこととなり、より安全性の高い判断を行うことができうる。
【００９１】
（ステップＳ２０１）許否判断部１５は、ユーザ識別情報受付部１３が受け付けたユーザ識別情報と対応付けられている権限情報が「拒否」であるかどうか判断する。そして、拒否である場合には、ステップＳ２０６に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０２に進む。
【００９２】
（ステップＳ２０２）許否判断部１５は、ユーザ識別情報受付部１３が受け付けたユーザ識別情報で識別されるユーザが含まれるグループのグループ識別情報と対応付けられているグループ権限情報が「拒否」であるかどうか判断する。そして、拒否である場合には、ステップＳ２０６に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０３に進む。
【００９３】
（ステップＳ２０３）許否判断部１５は、ユーザ識別情報受付部１３が受け付けたユーザ識別情報と対応付けられている権限情報が「許可」であるかどうか判断する。そして、許可である場合には、ステップＳ２０５に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０４に進む。
【００９４】
（ステップＳ２０４）許否判断部１５は、ユーザ識別情報受付部１３が受け付けたユーザ識別情報で識別されるユーザが含まれるグループのグループ識別情報と対応付けられているグループ権限情報が「許可」であるかどうか判断する。そして、許可である場合には、ステップＳ２０５に進み、そうでない場合には、ステップＳ２０６に進む。
【００９５】
（ステップＳ２０５）許否判断部１５は、処理の実行が許可されていると判断する。そして、図５のフローチャートに戻る。
【００９６】
（ステップＳ２０６）許否判断部１５は、処理の実行が許可されていないと判断する。そして、図５のフローチャートに戻る。
【００９７】
なお、この図６のフローチャートは一例であって、図７で示される判断がなされるのであれば、図６で示される以外のフローチャートであってもよいことは言うまでもない。また、ユーザ識別情報に対応する権限情報と、グループ識別情報に対応する権限情報の両方を用いない場合、あるいは、権限情報に含まれる他の情報を用いる場合にも、図６で示される以外のフローチャートによって、許否判断の処理を行ってもよいことは言うまでもない。
【００９８】
また、この図６のフローチャートにおいて、処理要求情報に処理を要求するプロセス関連情報を識別するプロセス関連情報識別情報や、プロセス関連情報の部分を識別する部分識別情報が含まれる場合には、許否判断部１５は、そのプロセス関連情報識別情報や、部分識別情報に対応付けられている権限情報を用いて、許否判断の処理を行ってもよい。
【００９９】
図８は、クライアント装置２０の動作を示すフローチャートである。
【０１００】
（ステップＳ３０１）入力受付部２１は、ユーザ識別情報を受け付けたかどうか判断する。そして、ユーザ識別情報を受け付けた場合には、ステップＳ３０２に進み、そうでない場合には、ステップＳ３０３に進む。
【０１０１】
（ステップＳ３０２）ユーザ識別情報送信部２２は、入力受付部２１が受け付けたユーザ識別情報をサーバ装置１０に送信する。そして、ステップＳ３０１に戻る。
【０１０２】
（ステップＳ３０３）画面受信部２４は、処理要求情報入力画面を受信したかどうか判断する。そして、受信した場合には、ステップＳ３０４に進み、そうでない場合には、ステップＳ３０１に戻る。
【０１０３】
（ステップＳ３０４）表示部２６は、画面受信部２４が受信した処理要求情報入力画面を表示する。
【０１０４】
（ステップＳ３０５）入力受付部２１は、表示された処理要求情報入力画面に対する入力を受け付けたかどうか判断する。そして、入力を受け付けた場合には、ステップＳ３０６に進み、そうでない場合には、入力を受け付けるまでステップＳ３０５の処理を繰り返す。なお、処理要求情報入力画面が表示されてから所定の時間が経過しても入力が受け付けられない場合には、タイムアウトであるとして、ステップＳ３０１に戻ってもよい。
【０１０５】
（ステップＳ３０６）処理要求情報送信部２３は、入力受付部２１が受け付けた処理要求情報入力画面に対する入力を用いて、処理要求情報を構成し、その処理要求情報をサーバ装置１０に送信する。その処理要求情報の構成の際に、処理要求情報送信部２３は、画面受信部２４が受信した処理要求情報入力画面の情報を用いてもよい。
【０１０６】
（ステップＳ３０７）判断結果情報受信部２５は、判断結果情報を受信したかどうか判断する。そして、受信した場合には、ステップＳ３０８に進み、そうでない場合には、判断結果情報を受信するまで、ステップＳ３０７の処理を繰り返す。なお、処理要求情報が送信されてから所定の時間が経過しても判断結果情報が受け付けられない場合には、タイムアウトであるとして、ステップＳ３０１に戻ってもよい。
【０１０７】
（ステップＳ３０８）表示部２６は、判断結果情報受信部２５が受信した判断結果情報を表示する。
【０１０８】
（ステップＳ３０９）処理部２７は、判断結果情報によって、処理の実行が許可されたかどうか判断する。そして、許可された場合には、ステップＳ３１０に進み、そうでない場合には、ステップＳ３０１に戻る。
【０１０９】
（ステップＳ３１０）処理部２７は、処理要求情報によって要求された処理の実行に必要な処理を行う。そして、ステップＳ３０１に戻る。
なお、図８のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【０１１０】
次に、本実施の形態による群管理システムの動作について、具体例を用いて説明する。
この具体例において、プロセス関連情報記憶部１１では、図９で示されるプロセス関連情報が記憶されているものとする。図９で示されるプロセス関連情報において、プロセス関連情報識別情報と、名称と、その他の情報とが対応付けられている。名称は、プロセス関連情報の名称である。また、その他の情報は、例えば、レシピやパラメータ等の有する具体的な情報や、プロセス関連情報の最終更新年月日等であってもよい。
【０１１１】
また、この具体例において、権限情報記憶部１２では、図１０〜図１２で示される情報が記憶されているものとする。
【０１１２】
図１０は、ユーザ・グループ対応情報の一例を示す図である。ユーザ・グループ対応情報では、ユーザ識別情報と、グループ識別情報とが対応付けられている。この情報によって、あるユーザが、どのグループに属しているのかを知ることができる。例えば、図１０で示されるユーザ・グループ対応情報の１番目のレコードによって、ユーザ識別情報Ｕ００１で識別されるユーザ（このユーザを「ユーザＵ００１」と呼ぶこともある。他のユーザについても同様であるとする）が、グループ識別情報Ｇ００１，Ｇ００２で識別される２コのグループに属していることが分かる。
【０１１３】
図１１は、ユーザ識別情報と、プロセス関連情報識別情報と、権限情報とを対応付ける情報の一例を示す図である。この情報によって、あるユーザが、あるプロセス関連情報について、どのような権限を有しているのかを知ることができる。権限情報の４桁の数字は、「読み出し（ｒ）」「書き込み（ｗ）」「削除（ｄ）」「実行（ｘ）」の許否をそれぞれ示すものである。「１」は許可を示し、「０」は拒否を示す。例えば、図１１の１番目のレコードの権限情報は「１１１１」であるため、ユーザＵ００１は、プロセス関連情報識別情報Ｐ００１で識別されるプロセス関連情報について、「読み出し」「書き込み」「削除」「実行」が許可されていることが示される。なお、パラメータについては、「実行」という概念がないとも考えられ得るため、その実行の許否は意味がないとしてもよい。
【０１１４】
図１２は、グループ識別情報と、プロセス関連情報識別情報と、権限情報とを対応付ける情報の一例を示す図である。この情報によって、あるグループに属するユーザが、あるプロセス関連情報について、どのような権限を有しているのかを知ることができる。権限情報は、図１１の場合と同様であるとする。例えば、図１２の１番目のレコードの権限情報は「１１０１」であるため、グループ識別情報Ｇ００１で識別されるグループに属するユーザは、プロセス関連情報識別情報Ｐ００１で識別されるプロセス関連情報について、「読み出し」「書き込み」「実行」が許可されており、「削除」が拒否されていることが示される。
【０１１５】
また、この具体例において、画面出力部１８は、全ての処理に対する処理要求情報を入力できる処理要求情報入力画面を出力するものとする。
【０１１６】
まず、ユーザＵ００１がクライアント装置２０を操作して、ログイン画面を表示させたとする。そして、図１３で示されるログイン画面において、ユーザ識別情報「Ｕ００１」と、パスワードとを入力して、「ＯＫ」ボタンをクリックしたとする。すると、入力受付部２１において、ユーザ識別情報等が受け付けられ（ステップＳ３０１）、ユーザ識別情報送信部２２は、そのユーザ識別情報とパスワードとをサーバ装置１０に送信する（ステップＳ３０２）。
【０１１７】
クライアント装置２０から送信されたユーザ識別情報とパスワードとは、サーバ装置１０のユーザ識別情報受付部１３で受け付けられ（ステップＳ１０１）、図示しない認証部によって正当であると認証されたとする。すると、許否判断部１５は、そのユーザ識別情報Ｕ００１を図示しない記録媒体で一時的に記憶する（ステップＳ１０２）。
【０１１８】
また、画面出力部１８は、許否判断部１５においてユーザ識別情報が記憶されたことを検知すると、処理要求情報入力画面を構成すると判断して、その処理要求情報入力画面を構成する（ステップＳ１０３，Ｓ１０４）。その処理要求情報入力画面は、プロセス関連情報記憶部１１で記憶されている全てのプロセス関連情報を選択可能であり、それらのプロセス関連情報について、「読み出し」「書き込み」「削除」「実行」の各処理を選択可能であるとする。その処理要求情報入力画面は、画面出力部１８によって、ユーザ識別情報受付部１３が受け付けたユーザ識別情報等の送信元であるクライアント装置２０に送信される（ステップＳ１０５）。
【０１１９】
サーバ装置１０から送信された処理要求情報入力画面は、クライアント装置２０の画面受信部２４で受信され、表示部２６によって表示される（ステップＳ３０３，Ｓ３０４）。その表示された処理要求情報入力画面において、図１４で示されるように、ユーザＵ００１が処理対象として「レシピ００１（Ｐ００１）」を選択したとする。また、処理内容として、「削除」を選択したとする。そして、ユーザＵ００１が「ＯＫ」ボタンをクリックすると、入力受付部２１によって、処理対象が「レシピ００１（Ｐ００１）」であり、処理内容が「削除」である旨が受け付けられる（ステップＳ３０５）。そして、処理要求情報送信部２３によって、その処理対象「レシピ００１（Ｐ００１）」の括弧内の情報であるプロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」と、処理を示す「削除」とを含む処理要求情報が構成され、その処理要求情報がサーバ装置１０に送信される（ステップＳ３０６）。
【０１２０】
クライアント装置２０から送信された処理要求情報は、サーバ装置１０の処理要求情報受付部１４で受け付けられ、その処理要求情報に含まれるプロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」と、処理を示す「削除」とが許否判断部１５と、処理実行部１７とに渡される（ステップＳ１０６）。処理実行部１７は、受け取ったプロセス関連情報識別情報等を、図示しない記録媒体において一時的に記憶しているものとする。
【０１２１】
許否判断部１５は、プロセス関連情報識別情報等を受け取ると、それらを用いた許否の判断を行う（ステップＳ１０７）。具体的には、許否判断部１５は、あらかじめ一時的に記憶しているユーザ識別情報「Ｕ００１」と、受け取ったプロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」とを検索キーとして、図１１で示されるテーブルを検索し、それらに対応する権限情報「１１１１」を特定する。そして、その権限情報の左から３桁目が「１」であるため、ユーザに関する権限情報が「拒否」でないと判断する（ステップＳ２０１）。
【０１２２】
また、許否判断部１５は、あらかじめ一時的に記憶しているユーザ識別情報「Ｕ００１」を検索キーとして、図１０で示される情報を検索し、そのユーザ識別情報「Ｕ００１」に対応するグループ識別情報「Ｇ００１」「Ｇ００２」を取得する。そして、取得したグループ識別情報「Ｇ００１」と、受け取ったプロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」とを検索キーとして、図１２で示されるテーブルを検索し、それらに対応する権限情報「１１０１」を特定する。そして、その権限情報の左から３桁目が「０」であるため、グループに関する権限情報が「拒否」であると判断する（ステップＳ２０２）。なお、この具体例では、ユーザが２以上のグループに属する際に、そのうちの一のグループに対応する権限情報で「拒否」であることが示される場合には、その２以上のグループについて、権限情報が「拒否」であると判断されるものとする（すなわち、ステップＳ２０２において、拒否と判断される）。また、この具体例では、ユーザが２以上のグループに属する際に、そのうちの一のグループに対応する権限情報で「許可」であることが示されており、かつ、その２以上の全てのグループに対応する権限情報で「拒否」であることが示されていない場合には、その２以上のグループについて、権限情報が「許可」であると判断されるものとする（すなわち、ステップＳ２０４において、許可と判断される）。ここでは、グループ識別情報「Ｇ００１」に対応する権限情報「１１０１」によって、「拒否」と判断された結果、許否判断部１５は、処理の実行が許可されていないと判断する（ステップＳ２０６）。
【０１２３】
許否判断部１５は、判断結果を示す「拒否」と、その判断対象となったプロセス関連情報を識別するプロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」と、処理を示す「削除」とを出力部１６に渡す。すると、出力部１６は、図示しない経路を介してプロセス関連情報記憶部１１にアクセスし、そのプロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」に対応する名称「レシピ００１」を取得する。そして、出力部１６は、「レシピ００１」の「削除」が「拒否」された旨を示す判断結果情報を構成し、クライアント装置２０に送信する（ステップＳ１０８）。また、処理実行部１７は、許否判断部１５によって処理の実行が拒否されたと判断し、プロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」を「削除」する処理を実行しない（ステップＳ１０９，Ｓ１１０）。
【０１２４】
サーバ装置１０から送信された判断結果情報は、クライアント装置２０の判断結果情報受信部２５で受信され、表示部２６に渡される（ステップＳ３０７）。表示部２６は、図１５で示されるように、その判断結果情報を表示する。この表示を見ることによって、ユーザＵ００１は、所望の処理の実行が拒否されたことを知ることができる。
【０１２５】
なお、ここで、処理の実行が許可される場合についても簡単に説明する。ユーザＵ００１がプロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」で識別されるプロセス関連情報の「読み出し」を処理要求情報によって要求したとする。すると、図１１で示されるように、ユーザＵ００１がプロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」で識別されるプロセス関連情報の「読み出し」を実行することが拒否されておらず（ステップＳ２０１）、また、図１２で示されるように、グループ識別情報「Ｇ００１」「Ｇ００２」で識別されるグループの両方についても、プロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」で識別されるプロセス関連情報の「読み出し」を実行することが拒否されていない（ステップＳ２０２）。また、図１１で示されるように、ユーザＵ００１がプロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」で識別されるプロセス関連情報の「読み出し」を実行することが許可されているため（ステップＳ２０３）、許否判断部１５は、プロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」で識別されるプロセス関連情報の「読み出し」が許可されていると判断する（ステップＳ２０５）。そして、上述の説明と同様に、判断結果情報がクライアント装置２０に送信され（ステップＳ１０８）、処理実行部１７は、プロセス関連情報識別情報「Ｐ００１」で識別されるプロセス関連情報の「読み出し」を実行する（ステップＳ１０９，Ｓ１１０）。その読み出されたプロセス関連情報は、図示しない送信部によって、クライアント装置２０に送信され、クライアント装置２０の図示しない受信部によって受信されて、表示部２６によって表示されてもよい。
【０１２６】
また、この具体例では、画面出力部１８が全ての処理に対する処理要求情報を入力できる処理要求情報入力画面を出力する場合について説明したが、前述のように、画面出力部１８は、ユーザ識別情報受付部１３が受け付けたユーザが処理の権限を有しない処理や、そのユーザの含まれるグループが処理の権限を有しない処理を入力できない処理要求情報入力画面を出力してもよい。例えば、上述の具体例の場合には、図１６で示されるように、「削除」の処理がグレーアウトされるようにしてもよい。なお、ユーザが処理の権限を有しない処理や、そのユーザの含まれるグループが処理の権限を有しない処理を入力できない処理要求情報入力画面を出力する場合には、一般的に、その処理要求情報入力画面を用いて入力された処理要求情報については、許可される可能性が高いと考えられ得る。したがって、ユーザが処理の権限を有しない処理や、そのユーザの含まれるグループが処理の権限を有しない処理を入力できない処理要求情報入力画面を出力した場合には、判断結果情報を出力しないようにしてもよい。すなわち、ユーザが処理の権限を有しない処理や、そのユーザの含まれるグループが処理の権限を有しない処理を入力できない処理要求情報入力画面の出力と、判断結果情報の出力とは、それらの一方が選択的になされてもよい。
【０１２７】
また、この具体例では、ユーザがプロセス関連情報の単位で処理対象を選択する場合について説明したが、前述のように、プロセス関連情報の部分の単位で処理対象を選択できるようにしてもよい。例えば、権限情報記憶部１２において、図１７で示されるように、部分識別情報に対応付けられた権限情報が記憶されており、その部分識別情報で識別されるプロセス関連情報の部分ごとに、処理の実行の許否判断を行ってもよい。この許否判断は、プロセス関連情報識別情報が部分識別情報となる以外、前述の具体例での説明と同様である。なお、この場合には、例えば、図１８で示されるように、処理要求情報入力画面において、処理対象をプロセス関連情報の部分ごとに選択できるようにしてもよい。
【０１２８】
また、この具体例では、権限情報において、「読み出し」等の各処理について、許可「１」あるいは拒否「０」のいずれかの設定を行う場合について説明したが、許可・拒否を決めていない設定を行うことができるようにしてもよい。例えば、許可・拒否を決めていない場合には、「２」を設定するようにしてもよい。
【０１２９】
また、この具体例では、処理対象に対する処理として、「読み出し」「書き込み」「削除」「実行」の４種類について説明したが、それ以外の処理についても許否の設定を行うことができるようにしてもよい。また、それらのうちの任意の１〜３種類の処理について許否の設定を行うだけであってもよい。
【０１３０】
また、この具体例では、ユーザのグループが設定されている場合について説明したが、このグループは、ユーザの属性に応じて設定されていることが好適である。一般的に、ユーザの属性ごとに、付与される権限が設定されるからである。例えば、製造装置３０を運転するユーザのグループとして、オペレータ（Ｏｐｅｒａｔｏｒ）のグループが設定されてもよく、製造装置３０を調整するユーザのグループとして、保守管理者（Ｍａｉｎｔａｉｎｅｒ）のグループが設定されてもよく、製造装置３０の販売者のサービスエンジニアのグループとして、サービス（Ｓｅｒｖｉｃｅ）のグループが設定されてもよい。
【０１３１】
以上のように、本実施の形態による群管理システムによれば、ユーザごと、プロセス関連情報やプロセス関連情報の部分ごと、処理の内容ごとに処理の実行の権限を設定することができ、より細かいユーザ権限の設定が可能となる。このように、細かく処理の実行の権限を管理することができる結果として、変更や削除等の処理が行われてはならないプロセス関連情報については、そのような処理が行われないように設定することができ、セキュリティーを向上させることができる。一方、接続時の認証処理を行うだけではないため、従来であれば、その接続時の認証処理において正当であると認証されないようなユーザについても、プロセス関連情報を見ることだけは許可される、というように、一部の処理が許可される可能性があり、ユーザの満足度や利便性が高められうることになる。したがって、プロセス関連情報についての安全性を高めながら、ユーザの満足度や利便性を高めることができうる群管理システムとなりうる。
【０１３２】
なお、前述のように、本実施の形態では、クライアント装置２０から処理要求情報の送信等が行われる場合について説明したが、本実施の形態において説明したクライアント装置２０と同じ動作を、製造装置３０において行うようにしてもよい。
【０１３３】
また、本実施の形態による群管理システムにおけるサーバ装置１０は、図３の構成で示されるように、権限の管理と許否判断とをするだけのものであってもよい。したがって、群管理システムにおけるその他の処理、例えば、クライアント装置２０等の要求に応じて処理を実行し、その処理結果をクライアント装置２０に送信する処理や、１以上の製造装置３０から送信された各種の測定情報を蓄積する処理等を行うサーバ装置が、サーバ装置１０以外に設けられていてもよい。
【０１３４】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２による群管理システムについて、図面を参照しながら説明する。本実施の形態による群管理システムでは、製造装置において、プロセス関連情報に関する処理の実行の許否判断を行うものである。
【０１３５】
本実施の形態による群管理システムも、実施の形態１と同様に、図１で示されるものである。なお、製造装置３０以外の構成及び動作は、実施の形態１と同様であってもよく（この場合には、サーバ装置１０、及び製造装置３０の両方において、権限の判断が行われることになる）、あるいは、サーバ装置１０は、プロセス関連情報に関する処理の実行の許否判断を行わないものであってもよい（この場合には、製造装置３０においてのみ、権限の判断が行われることになる）。
【０１３６】
図１９は、本実施の形態による製造装置３０の構成を示すブロック図である。本実施の形態による製造装置３０は、プロセス関連情報記憶部１１と、権限情報記憶部１２と、ユーザ識別情報受付部１３と、処理要求情報受付部１４と、許否判断部１５と、出力部１６と、処理実行部１７と、画面出力部１８とを備える。なお、図１９のブロック図では、本実施の形態による群管理システムにおいて特徴的な部分のみを明記しており、その他の部分は省略しているが、製造装置３０は、被処理基板に対する所定の半導体プロセスに関する処理を実行する構成、例えば、製造工程での温度や圧力等をサーバ装置１０に送信する構成等を有していてもよい。また、製造装置３０の各構成要素は、実施の形態１で説明したサーバ装置１０の各構成要素と同様のものであり、それらの詳細な説明を省略する。
【０１３７】
なお、本実施の形態による製造装置３０は、クライアント装置２０からユーザ識別情報や、処理要求情報を受信してもよく、サーバ装置１０からユーザ識別情報や、処理要求情報を受信してもよく、あるいは、製造装置３０に接続された入力デバイス等を介して入力されたユーザ識別情報や、処理要求情報を受け付けてもよい。
【０１３８】
以上のように、本実施の形態による群管理システムによれば、ユーザごと、プロセス関連情報やプロセス関連情報の部分ごと、処理の内容ごとに処理の実行の権限を設定することができ、より細かいユーザ権限の設定が可能となる。このように、細かく処理の実行の権限を管理することができる結果として、変更や削除等の処理が行われてはならないプロセス関連情報については、そのような処理が行われないように設定することができ、セキュリティーを向上させることができる。一方、接続時の認証処理を行うだけではないため、従来であれば、その接続時の認証処理において正当であると認証されないようなユーザについても、プロセス関連情報を見ることだけは許可される、というように、一部の処理が許可される可能性があり、ユーザの満足度や利便性が高められうることになる。したがって、プロセス関連情報についての安全性を高めながら、ユーザの満足度や利便性を高めることができうる群管理システムとなりうる。
【０１３９】
なお、本実施の形態において、サーバ装置１０が実施の形態１で説明したものである場合には、サーバ装置１０で管理している権限情報を、製造装置３０に送信するようにしてもよい。そのようにすることで、群管理システム全体として、同じ権限情報を用いた判断を行うことができるようになりうる。そのような場合に、いつサーバ装置１０から製造装置３０に権限情報を送信されるかは問わない。例えば、権限情報が定期的に送信されてもよく、サーバ装置１０において権限情報が更新された時に送信されてもよく、製造装置３０から送信された送信要求がサーバ装置１０で受信された時に送信されてもよい。なお、その送信要求は、製造装置３０において拒否の判断を行う際に、その製造装置３０からサーバ装置１０に送信されてもよい。
【０１４０】
また、上記各実施の形態において、プロセス関連情報と、権限情報とが別個に管理されている場合について説明したが、プロセス関連情報と、そのプロセス関連情報に対応する権限情報とは、一体の情報として構成されていてもよい。その場合には、例えば、レシピのヘッダ等に、そのレシピに関する権限情報が含まれていてもよい。このようにすることによって、プロセス関連情報をコピーすることなどによって移動した場合に、権限情報も自動的に移動されることになり、プロセス関連情報のみが権限情報と独立して流通する事態を回避することができうる。
【０１４１】
また、上記各実施の形態において、許否判断部１５が許可の判断をした場合には、許否判断部１５から処理実行部１７に、処理を実行可能とする鍵を示す情報である鍵情報が渡されるようにしてもよい。この鍵情報を用いることによって、処理実行部１７は、所望の処理を実行できるようになる。
【０１４２】
また、上記各実施の形態による群管理システムを構成するサーバ装置１０、クライアント装置２０、製造装置３０が上記各実施の形態で説明した以外の構成要素を有していてもよいことは言うまでもない。
【０１４３】
また、上記各実施の形態において、プロセス関連情報が製造装置３０で用いられるレシピやパラメータである場合について主に説明したが、前述のように、プロセス関連情報は、製造装置３０における半導体プロセスに関連するその他の情報であってもよい。
【０１４４】
また、上記各実施の形態では、権限情報が、プロセス関連情報識別情報や、部分識別情報に対応付けられている場合について説明したが、そうでなくてもよい。権限情報がプロセス関連情報識別情報や、部分識別情報に対応付けられていない場合には、権限情報は、例えば、全てのプロセス関連情報について同じであってもよい。
【０１４５】
また、上記各実施の形態では、権限情報が、ユーザ識別情報や、グループ識別情報に対応付けられている場合について説明したが、そうでなくてもよい。権限情報がユーザ識別情報や、グループ識別情報に対応付けられていない場合には、権限情報は、例えば、全てのユーザについて同じであってもよい。この場合には、サーバ装置１０や製造装置３０は、ユーザ識別情報受付部１３を備えていなくてもよい。
【０１４６】
また、上記各実施の形態では、許否判断部１５による判断結果を示す判断結果情報が出力される場合について説明したが、そうでなくてもよい。判断結果情報が出力されない場合には、サーバ装置１０や製造装置３０は、出力部１６を備えていなくてもよい。
【０１４７】
また、上記各実施の形態では、画面出力部１８が処理要求情報入力画面を出力する場合について説明したが、そうでなくてもよい。画面出力部１８が処理要求情報入力画面を出力しない場合には、サーバ装置１０や製造装置３０は、画面出力部１８を備えていなくてもよい。
【０１４８】
また、上記実施の形態において、各処理または各機能は、単一の装置または単一のシステムによって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置または複数のシステムによって分散処理されることによって実現されてもよい。
【０１４９】
また、上記実施の形態において、各構成要素が実行する処理に関係する情報、例えば、各構成要素が受け付けたり、取得したり、選択したり、生成したり、送信したり、受信したりした情報や、各構成要素が処理で用いるしきい値や数式、アドレス等の情報等は、上記説明で明記していない場合であっても、図示しない記録媒体において、一時的に、あるいは長期にわたって保持されていてもよい。また、その図示しない記録媒体への情報の蓄積を、各構成要素、あるいは、図示しない蓄積部が行ってもよい。また、その図示しない記録媒体からの情報の読み出しを、各構成要素、あるいは、図示しない読み出し部が行ってもよい。
【０１５０】
また、上記実施の形態において、各構成要素等で用いられる情報、例えば、プロセス関連情報や、権限情報などの情報や、各構成要素が処理で用いるしきい値やアドレス、各種の設定値等の情報がユーザによって変更されてもよい場合には、上記説明で明記していない場合であっても、ユーザが適宜、それらの情報を変更できるようにしてもよく、あるいは、そうでなくてもよい。それらの情報をユーザが変更可能な場合には、その変更は、例えば、ユーザからの変更指示を受け付ける図示しない受付部と、その変更指示に応じて情報を変更する図示しない変更部とによって実現されてもよい。その図示しない受付部による変更指示の受け付けは、例えば、入力デバイスからの受け付けでもよく、通信回線を介して送信された情報の受信でもよく、所定の記録媒体から読み出された情報の受け付けでもよい。
【０１５１】
また、上記実施の形態において、サーバ装置１０や製造装置３０に含まれる２以上の構成要素が通信デバイスや入力デバイス等を有する場合に、２以上の構成要素が物理的に単一のデバイスを有してもよく、あるいは、別々のデバイスを有してもよい。
【０１５２】
また、上記実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。なお、上記実施の形態におけるサーバ装置１０を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータを、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成するサーバ装置として機能させるためのプログラムであって、前記半導体プロセスに関連する情報であるプロセス関連情報が記憶されるプロセス関連情報記憶部で記憶されているプロセス関連情報に関する所望の処理を要求する情報である処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部と、前記処理要求情報受付部が受け付けた処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を、前記プロセス関連情報に関する処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部で記憶されている権限情報を用いて行う許否判断部と、前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可された場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行し、前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可されなかった場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行しない処理実行部として機能させるためのものである。
【０１５３】
また、上記実施の形態における製造装置３０を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータを、被処理基板に対する所定の半導体プロセスを行う１以上の製造装置と、当該１以上の製造装置と接続されているサーバ装置とを備えた群管理システムを構成する製造装置として機能させるためのプログラムであって、前記半導体プロセスに関連する情報であるプロセス関連情報が記憶されるプロセス関連情報記憶部で記憶されているプロセス関連情報に関する所望の処理を要求する情報である処理要求情報を受け付ける処理要求情報受付部と、前記処理要求情報受付部が受け付けた処理要求情報に応じた処理の実行の許否の判断を、前記プロセス関連情報に関する処理についての権限に関する情報である権限情報が記憶される権限情報記憶部で記憶されている権限情報を用いて行う許否判断部と、前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可された場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行し、前記許否判断部によって前記処理要求情報に応じた処理の実行が許可されなかった場合に、当該処理要求情報に応じた処理を実行しない処理実行部として機能させるためのものである。
【０１５４】
なお、上記プログラムにおいて、上記プログラムが実現する機能には、ハードウェアでしか実現できない機能は含まれない。例えば、情報を取得する取得部や、情報を出力する出力部などにおけるモデムやインターフェースカードなどのハードウェアでしか実現できない機能は、上記プログラムが実現する機能には少なくとも含まれない。
【０１５５】
また、このプログラムは、サーバなどからダウンロードされることによって実行されてもよく、所定の記録媒体（例えば、ＣＤ−ＲＯＭなどの光ディスクや磁気ディスク、半導体メモリなど）に記録されたプログラムが読み出されることによって実行されてもよい。また、このプログラムは、プログラムプロダクトを構成するプログラムとして用いられてもよい。
【０１５６】
また、このプログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
【０１５７】
図２０は、上記プログラムを実行して、上記実施の形態によるサーバ装置１０や製造装置３０を実現するコンピュータの外観の一例を示す模式図である。上記実施の形態は、コンピュータハードウェア及びその上で実行されるコンピュータプログラムによって実現されうる。
【０１５８】
図２０において、コンピュータシステム９００は、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ  Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）ドライブ９０５、ＦＤ（Ｆｌｏｐｐｙ（登録商標）  Ｄｉｓｋ）ドライブ９０６を含むコンピュータ９０１と、キーボード９０２と、マウス９０３と、モニタ９０４とを備える。
【０１５９】
図２１は、コンピュータシステム９００の内部構成を示す図である。図２１において、コンピュータ９０１は、ＣＤ−ＲＯＭドライブ９０５、ＦＤドライブ９０６に加えて、ＭＰＵ（Ｍｉｃｒｏ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）９１１と、ブートアッププログラム等のプログラムを記憶するためのＲＯＭ９１２と、ＭＰＵ９１１に接続され、アプリケーションプログラムの命令を一時的に記憶すると共に、一時記憶空間を提供するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）９１３と、アプリケーションプログラム、システムプログラム、及びデータを記憶するハードディスク９１４と、ＭＰＵ９１１、ＲＯＭ９１２等を相互に接続するバス９１５とを備える。なお、コンピュータ９０１は、ＬＡＮへの接続を提供する図示しないネットワークカードを含んでいてもよい。
【０１６０】
コンピュータシステム９００に、上記実施の形態によるサーバ装置１０や製造装置３０の機能を実行させるプログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ９２１、またはＦＤ９２２に記憶されて、ＣＤ−ＲＯＭドライブ９０５、またはＦＤドライブ９０６に挿入され、ハードディスク９１４に転送されてもよい。これに代えて、そのプログラムは、図示しないネットワークを介してコンピュータ９０１に送信され、ハードディスク９１４に記憶されてもよい。プログラムは実行の際にＲＡＭ９１３にロードされる。なお、プログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ９２１やＦＤ９２２、またはネットワークから直接、ロードされてもよい。
【０１６１】
プログラムは、コンピュータ９０１に、上記実施の形態によるサーバ装置１０や製造装置３０の機能を実行させるオペレーティングシステム（ＯＳ）、またはサードパーティプログラム等を必ずしも含んでいなくてもよい。プログラムは、制御された態様で適切な機能（モジュール）を呼び出し、所望の結果が得られるようにする命令の部分のみを含んでいてもよい。コンピュータシステム９００がどのように動作するのかについては周知であり、詳細な説明は省略する。
【０１６２】
また、本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１６３】
以上より、本発明によるサーバ装置等によれば、権限情報を用いてプロセス関連情報に関する処理についての権限を判断し、その判断結果を用いてプロセス関連情報に関する処理を行うことができ、被処理基板に対する半導体プロセスを行う製造装置を備えた群管理システムにおいて有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１６４】
【図１】本発明の実施の形態１による群管理システムの構成を示すブロック図
【図２】同実施の形態による製造装置の一例を示す図
【図３】同実施の形態によるサーバ装置の構成を示すブロック図
【図４】同実施の形態によるクライアント装置の構成を示すブロック図
【図５】同実施の形態によるサーバ装置の動作を示すフローチャート
【図６】同実施の形態によるサーバ装置の動作を示すフローチャート
【図７】同実施の形態における許否判断について説明するための図
【図８】同実施の形態によるクライアント装置の動作を示すフローチャート
【図９】同実施の形態におけるプロセス関連情報の一例を示す図
【図１０】同実施の形態におけるユーザ・グループ対応情報の一例を示す図
【図１１】同実施の形態における権限情報等の一例を示す図
【図１２】同実施の形態における権限情報等の一例を示す図
【図１３】同実施の形態における表示の一例を示す図
【図１４】同実施の形態における表示の一例を示す図
【図１５】同実施の形態における表示の一例を示す図
【図１６】同実施の形態における表示の一例を示す図
【図１７】同実施の形態における権限情報等の一例を示す図
【図１８】同実施の形態における表示の一例を示す図
【図１９】本発明の実施の形態２による製造装置３０の構成を示すブロック図
【図２０】上記各実施の形態におけるコンピュータシステムの外観一例を示す模式図
【図２１】上記各実施の形態におけるコンピュータシステムの構成の一例を示す図
【符号の説明】
【０１６５】
１０  サーバ装置
１１  プロセス関連情報記憶部
１２  権限情報記憶部
１３  ユーザ識別情報受付部
１４  処理要求情報受付部
１５  許否判断部
１６  出力部
１７  処理実行部
１８  画面出力部
２０  クライアント装置
２１  入力受付部
２２  ユーザ識別情報送信部
２３  処理要求情報送信部
２４  画面受信部
２５  判断結果情報受信部
２６  表示部
２７  処理部
３０  製造装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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