(57)【要約】【課題】記録素子部分は書込み時にコイルで発生する熱により突出するが、再生素子部分を突出させる手段がない。また、熱アシスト記録を行う際のレーザー光を利用して発熱させると、突出量やタイミングを任意に制御することができない。【解決手段】再生素子近傍に、光吸収部材９１と熱膨張部材を形成し、光吸収部材９１に光を照射することで再生素子２２を突出させる。或いは記録素子近傍と再生素子２２近傍に、各々吸収する光の波長が異なる光吸収部材９０，９１と熱膨張部材を形成し、照射する光の波長・強度を切り替えることで、記録素子と再生素子２２それぞれの突出量を個別に任意に制御する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録素子と、再生素子と、前記記録素子と前記再生素子との中間よりも前記再生素子側に設けた光吸収部材と、前記光吸収部材に光を照射する光源とを備えたヘッドスライダ。
【請求項２】
前記光源からの光を前記光吸収部材に導く導波路を備えた請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項３】
前記光源からの光をヘッドスライダ外部に照射する光発生素子と、前記光源からの光を前記光発生素子に導く第二の導波路とを備えた請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項４】
前記光源からの光を前記光吸収部材に導く導波路と、前記光源からの光をヘッドスライダ外部に照射する光発生素子と、前記光源からの光を前記光発生素子に導く第二の導波路と、この第二の導波路中に設けられた第二の光吸収部材とを備えた請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項５】
前記光源は複数波長の光を選択し、或いは同時に照射し、
前記光吸収部材と前記第二の光吸収部材とは、それぞれ異なる波長の光を吸収する部材で構成される請求項４に記載のヘッドスライダ。
【請求項６】
前記光の偏光を変える偏光変換素子と、偏光により光の透過と反射を切り替える偏向分光素子とを前記光源と前記光吸収部材及び前記第二の光吸収部材との間に備え、前記偏光を変えることにより何れか一方の前記光吸収部材に前記光を照射する請求項４に記載のヘッドスライダ。
【請求項７】
前記光源を移動させることにより、前記光吸収部材或いは前記第二の光吸収部材の何れか一方に前記光を照射する請求項４に記載のヘッドスライダ。
【請求項８】
前記光源と前記光吸収部材及び前記第二の光吸収部材との間に可動ミラーを備え、この可動ミラーを可動させることにより、何れか一方の前記光吸収部材に前記光を照射する請求項４に記載のヘッドスライダ。
【請求項９】
前記記録素子と前記再生素子との中間よりも前記再生素子側にコイルを備えた請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項１０】
前記光は赤外域の波長レーザー光である請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項１１】
前記第二の導波路に導かれた光の一部は、前記第二の光吸収部材に吸収され、その他はヘッドスライダ外部に照射される請求項４に記載のヘッドスライダ。
【請求項１２】
情報を記録する媒体と、
前記媒体に情報を記録する記録素子と、前記媒体に記録された情報を再生する再生素子と、前記記録素子と前記再生素子との中間よりも前記再生素子側に設けた光吸収部材とを備えたヘッドスライダと、
前記光吸収部材に光を照射する光源と、
前記ヘッドスライダを前記媒体上で位置決めし、前記媒体に情報を記録し且つ前記媒体から情報を再生し、前記光源を制御するコントローラとを備えたディスク装置。
【請求項１３】
前記ヘッドスライダは、前記光源と前記光吸収部材とを結ぶ第一の導波路と、前記記録素子と前記再生素子との中間よりも前記記録素子側に設けた第二の導波路とを備えた請求項１２に記載のディスク装置。
【請求項１４】
前記ヘッドスライダは、波長に応じて前記光を第一の導波路或いは前記第二の導波路へと導く分光器を備え、
前記コントローラは、前記ディスクから情報を再生するときは、前記分光器が前記第一の導波路へ導く波長の光を前記光源から照射する請求項１３に記載のディスク装置。
【請求項１５】
前記光源は、第一、第二及び第三の波長の光を照射し、
前記光吸収部材は、前記第一の波長の光を吸収する部材から構成され、
前記第二の導波路は、前記ヘッドスライダの前記媒体側の面に貫通し、前記第二の波長の光を吸収し前記第三の波長の光を透過する部材からなる第二の光吸収部材を備え、
前記分光器は、前記第一の波長の光を前記第一の導波路へ導き、前記第二及び前記第三の波長の光を前記第二の導波路に導き、
前記コントローラは、前記ディスクに情報を記録するときは、前記第二及び前記第三の波長の光を前記光源から照射する請求項１４に記載のディスク装置。
【請求項１６】
前記光源は、第一及び第二の波長の光を照射し、
前記光吸収部材は、前記第一の波長の光を吸収する部材から構成され、
前記第二の導波路は、前記ヘッドスライダの前記媒体側の面に貫通し、前記第二の波長の光の一部を吸収し一部を透過する部材からなる第二の光吸収部材を備え、
前記分光器は、前記第一の波長の光を前記第一の導波路へ導き、前記第二の波長の光を前記第二の導波路に導き、
前記コントローラは、前記ディスクに情報を記録するときは、前記第二の波長の光を前記光源から照射する請求項１４に記載のディスク装置。
【請求項１７】
前記ヘッドスライダは、前記光源と前記第一の導波路及び前記第二の導波路との間に設けた前記光の偏光を変える偏光変換素子と、偏光に応じて前記光を前記第一の導波路或いは前記第二の導波路とに導く偏向分光素子とを備え、
前記コントローラは、前記ディスクから情報を再生するときは、前記偏向分光素子が前記光を前記第一の導波路に導く偏光となるよう偏光変換素子を切り替える請求項１４に記載のディスク装置。
【請求項１８】
前記ヘッドスライダは、前記記録素子と前記再生素子との中間よりも前記再生素子側にコイルを備え、
前記コントローラは、前記ディスクから情報を再生するときは、前記コイルに電流を流す請求項１３に記載のディスク装置。
【請求項１９】
前記ヘッドスライダが前記光源を備えた請求項１３に記載のディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱膨張を利用して浮上量を調整するヘッドスライダ及びディスク装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄膜コイルに通電させることで発生するジュール熱を利用してヘッド部を突出させ、ヘッド（ヘッド部中の素子部）とディスクのスペースを近づける技術（Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｆｌｙｉｎｇ−ｈｅｉｇｈｔ  Ｃｏｎｔｒｏｌ、以下ＴＦＣ）が実用化されている。しかし、このＴＦＣではヘッド部の広範囲な部分が突出するため、最下点にしたい箇所（素子部分）のみを突出させることが難しい。
【０００３】
また、ディスク装置の一例である磁気ディスク装置の面記録密度を高める技術として熱アシスト記録の研究開発が進められている。この熱アシスト記録では、ディスク上の微小な記録領域を瞬間的に高温にする手段として、近接場光を利用することが検討されている。近接場光を発生させるには、レーザー光を磁気ヘッドの記録磁極近傍に配置した近接場光学素子に導入する必要がある。近接場光学素子に達したレーザー光はその一部が近接場光に変換され、ディスク上の記録領域を加熱するが、大部分は近接場光学素子で熱になり、磁極近傍が熱膨張により局所的に突出する。
【０００４】
このことを考慮して、熱アシスト記録における近接場光学素子での発熱を利用して、磁気ヘッドを突出させて磁気スペーシングを近づけることが考えられる。これに係わる従来技術として、例えば特許文献１に記載のものがある。この文献に開示された熱アシスト磁気記録ヘッドでは、記録磁極と近接場発生部との間に線膨張係数の高い材料からなる熱膨張層を設け、レーザー光を近接場発生部に導入する際に発生する熱を利用して記録ヘッド部を局所的に突出させている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１９３９０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来技術には、次のような課題が存在する。
【０００７】
この上記従来技術では、熱アシスト記録を行う際のレーザー光を利用して発熱させているため、熱膨張層への入力は必然的に書込みに同期する。すなわち、突出量やタイミングを任意に制御することができない。更には読み出しの際に再生素子部分を突出させることも出来ない。
【０００８】
本発明は、記録時の記録素子部分だけでなく、再生時の再生素子部分も突出可能で、かつ、記録素子及び再生素子の突出量を制御することも可能な技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るヘッドスライダは、記録素子と、再生素子と、記録素子と再生素子との中間よりも再生素子側に設けた光吸収部材と、光吸収部材に光を照射する光源とを備える。
【００１０】
そして好ましくは、光源からの光を光吸収部材に導く導波路と、光源からの光をヘッドスライダ外部に照射する光発生素子と、光源からの光を光発生素子に導く第二の導波路と、第二の導波路中に設けられた第二の光吸収部材とを備える。
【００１１】
また、本発明に係るディスク装置は、情報を記録する媒体と、媒体に情報を記録する記録素子と、媒体に記録された情報を再生する再生素子と、記録素子と再生素子との中間よりも再生素子側に設けた光吸収部材とを備えたヘッドスライダと、光吸収部材に光を照射する光源と、ヘッドスライダを媒体上で位置決めし、媒体に情報を記録し且つ媒体から情報を再生し、光源を制御するコントローラとを備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、２波長レーザーを用い、各々の波長の光を吸収して熱に変換する光吸収部材を記録素子と再生素子の近傍に配置し、適宜レーザー波長を切り替えることで、記録素子近傍と再生素子近傍を個別に突出させることが可能となる。また、レーザーパワーを制御することで、突出量を制御することも可能となる。また、プリズムを適当な場所に配置することで、光吸収部材の配置場所の自由度が広がり、さらに任意の箇所を突出させることが可能となる。
【００１３】
また、１波長レーザーを用いた場合でも、結晶セルと偏光ビームスプリッタの利用、または、可動光源の利用、または、可動ミラーの利用、ＴＦＣとの併用、ビームスプリッタの利用により、記録素子部分だけでなく再生素子部分も突出可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下本発明を適用した実施例について、図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は、磁気ヘッドの浮上量調整手段を適用した磁気ディスク装置の内部を示す斜視図である。図１において、情報を記録する媒体である磁気ディスク１は回転可能に支持されている。磁気ディスク１に情報を記録し或いは磁気ディスク１から情報を再生する磁気ヘッド２を具備するスライダ（ヘッドスライダ）３は、磁気ディスク１の記録面上を所定の間隔で浮上している。スライダ３はサスペンション４に支持されており、サスペンション４はキャリッジアーム５に支持されている。キャリッジアーム５はピボット６を回転軸として揺動可能に支持されている。コントローラ（図示せず）は、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）７によりキャリッジアーム５を揺動させることで、回転する磁気ディスク１に対して磁気ヘッド２を所望のトラック上に位置決めし、情報の記録、再生を行う。
【００１６】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例１を図２により説明する。
【００１７】
図２は本実施例１を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。２つ以上の波長のレーザー光を出すレーザーモジュール８０側か磁気ヘッド２側にレンズ（図示せず）を配置し、レーザーモジュール８０はコントローラからの命令に従い磁気ヘッド２の主要材であるＡｌ２Ｏ３に対して透明な赤外域の波長Ｘと波長Ｙのレーザー光を発振する。
【００１８】
磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に設けられた光吸収部材９１は、波長Ｘの光は透過し波長Ｙの光を吸収して熱に変換する材料で構成し、光吸収部材９１よりも第一のシールド３０と第二のシールド３１とに挟まれた再生素子２２近傍に設けられた光吸収部材９０は、波長Ｙの光は透過し波長Ｘの光を吸収して熱に変換する材料で構成する。そして、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに熱膨張しやすい部材を配置（図示せず）することで、これら吸収部材９０、光吸収部材９１を効率よく突出させることができる。
【００１９】
本実施形態に使用する光吸収部材９１の一例として、波長が数百nmのレーザー光を使用する場合には表面を黒くした金属、それよりも長い波長のレーザー光を使用する場合にはセラミックスが挙げられる。また、熱膨張しやすい部材とは線膨張率の高い部材のことであり、本実施形態に用いる部材の一例として、アルミニウムが挙げられる。
【００２０】
レーザーモジュール８０から波長Ｘのレーザー光を照射した場合、レーザー光は光吸収部材９０で吸収され熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより磁気ヘッドが膨張し、浮上面（磁気ディスク１に対向する側の面）は図２に示す二点鎖線１００のように記録磁極２０の先端を含む箇所が突出する。
【００２１】
レーザーモジュール８０から波長Ｙのレーザー光を照射した場合、レーザー光は光吸収部材９０を透過し、光吸収部材９１で吸収され熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより記録素子２２近傍が膨張し、浮上面は図２に示す一点鎖線１０１のように記録素子２２近傍が突出する。よってコントローラは、磁気ディスク１に情報を記録する際には波長Ｙのレーザー光を、磁気ディスク１から情報を再生する際には波長Ｘのレーザー光を照射するようにレーザーモジュール８０を制御する。レーザーモジュール８０自体が記録か再生かに応じて、何れの波長のレーザー光を照射するかを判断してもよい。
【００２２】
尚、レーザーモジュール８０から記録素子近傍まで導波路２４を形成し、照射されたレーザー光の一部をこの導波路２４に導き、導波路２４の先端に配置した近接場光発生素子２３から外部の磁気ディスク１に照射することにより、熱アシスト記録に使用することも可能である。また、記録素子近傍には光吸収部材９０を配置せず、再生素子部分にのみ光吸収部材９１を備えることにより、記録素子側に照射された光は熱アシストのみに使用する構成とすることも可能である。
【００２３】
本実施例によれば、複数波長レーザーを用い、コントローラはレーザーモジュール８０から照射されるレーザー光の波長を切り替えることで、記録素子部分と再生素子２２部分を選択的に突出させることが可能となる。また、各々の波長のレーザーパワーを制御することで、突出量を調整することも可能である。また、記録素子はコイル２１の発熱で膨張することを利用して突出させ、再生素子２２のみ光を利用して突出させる構成としてもよい。
【００２４】
本実施例では、レーザーモジュール８０を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーモジュール８０は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【００２５】
また、本実施例では、光吸収部材９１を導波路２４内に設けたが、再生素子２２を突出させる光吸収部材９０よりも記録素子に近い位置であれば、磁気ヘッド２内の何れの場所に設けても良い。また、レンズの代わりに反射板を用いてレーザー光が光吸収部材に集光するようにしても良い。
【００２６】
また、本実施例では、記録素子と再生素子２２とのスキューによる距離を広げないために、導波路２４は記録素子の流出端側に備えている。しかし、熱アシストの効果を大きくすることを優先して、記録素子の流入端側、つまり記録素子と再生素子２２との間に導波路２４を備えても良い。浮上面に対して傾けてレーザー光を照射する近接場光発生素子２３を用い、磁気ヘッド２の幅方向にずらして導波路２４を備えることにより、記録素子と再生素子２２とのスキューによる距離を広げずに記録素子の流入端側に導波路２４を備えることもできる。
【実施例２】
【００２７】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例２を図３により説明する。
【００２８】
図３は本実施例２を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。異なる２つの波長のレーザー光を発振する光源のレーザーモジュール８０から発振されたレーザー光は、分光器であるプリズム９２を通り、照射されたレーザー光の波長により、導波路２４ａ、または、導波路２４ｂに導かれる。
【００２９】
導波路２４ａに導かれたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に配置された光吸収部材９０に達し熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより記録素子近傍が膨張し、浮上面は図３に示す一点鎖線１０２のように記録磁極２０の先端が突出する。
【００３０】
導波路２４ｂに導かれたレーザー光は、プリズム９３と第一のシールドと第二のシールドとの間に設けられた導波路２４ｃを通り、磁気ヘッド２内の再生素子２２近傍に配置された光吸収部材９１に達し熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより再生素子２２近傍が膨張し、浮上面は図３に示す二点鎖線１０３のように再生素子２２近傍が突出する。
【００３１】
また、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００３２】
本実施例によれば、複数波長レーザーを用い、コントローラが記録か再生かに応じて、レーザーモジュール８０から照射されるレーザー光の波長を切り替えることで、記録素子部分と再生素子２２部分を選択的に突出させることが可能となる。また、各々の波長のレーザーパワーを制御することで、突出量を調整することも可能である。また、プリズムを適当な場所に配置することで、光吸収部材の配置場所の自由度が広がり、さらに任意の箇所を突出させることが可能となる。
【００３３】
複数波長として、記録素子突出用として光吸収部材９０に吸収される波長Ｘ、再生素子２２突出用として光吸収部材９１に吸収される波長Ｙ、熱アシスト用として光吸収部材９０で吸収されず近接場光発生素子２３から照射される波長Ｚの３波長を用いてもよいし、光吸収部材９０に吸収されないレーザー光を近接場光発生素子２３から照射して熱アシスト記録に用いる構成とすれば、記録素子突出用兼熱アシスト用の波長Ｘ’と再生素子２２突出用の波長Ｙ’との２波長としてもよい。
【００３４】
また、導波路２４ａを浮上面に貫通させてその先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーモジュール８０から光吸収部材９０を透過する波長のレーザー光を発振できるようにすれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。一方導波路２４ｂは、非貫通としてレーザー光がディスクに照射されないようにすることが望ましい。
【００３５】
また、本実施例では、レーザーモジュール８０を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーモジュール８０は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。尚、レーザーモジュール８０が、突出すべき素子に応じて波長を制御するのではなく、複数の波長を持つレーザーを絶えず発振し、レーザーモジュール８０と各光吸収部材との間の導波路に、波長Ｘの光のみを通すフィルタと波長Ｙの光のみを通すフィルタとを備え、これらフィルタのＯＮ／ＯＦＦをコントローラが切り替えることで、任意の側の素子近傍を突出させても良い。或いは、プリズム９２の代わりに波長Ｙの光のみを通すフィルタを備え、このフィルタで反射するその他の波長の光を光吸収部材９０に導き、波長Ｘで記録素子近傍を膨張させ、そのほかの波長で熱アシスト記録を行ってもよい。
【００３６】
また、本実施例では、導波路２４ｂから導波路２４ｃにレーザー光を導く手段としてプリズム９３を使用しているが、ミラー等の光学素子であっても構わないし、局率を持たし導波路２４ｂと導波路２４ｃを直接繋いでも構わない。光学素子を分光器に使用した場合には、１波長でも記録素子と再生素子２２の突出量を個別に制御することが可能であるし、２波長で素子の突出と熱アシスト記録を併用することも可能である。
【００３７】
尚、記録素子近傍には光吸収部材９０を配置せず、再生素子部分にのみ光吸収部材９１を備えることにより、記録素子側に照射された光は熱アシストのみに使用する構成とすることも可能である。
【実施例３】
【００３８】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例３を図４により説明する。
【００３９】
図４は本実施例３を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。光源のレーザーダイオード８１から発振されたレーザー光は、偏光変換素子である結晶セル９４と導波路２４ａを通り、偏向分光素子である偏光ビームスプリッタ９５に達する。尚、本明細書においてレーザーダイオードとは、一つの波長のレーザー光を出す装置を示し、レーザーモジュールとは、２つ以上の波長のレーザー光を出す装置を示している。
【００４０】
コントローラが結晶セル９４のＯＮとＯＦＦを切り替えると、偏光ビームスプリッタ９５に達するレーザー光の偏光（ｐ偏光、ｓ偏光）が変わり、その偏光によりレーザー光は導波路２４ｂ、または、導波路２４ｃに導かれる。
【００４１】
導波路２４ｂに導かれたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に配置された光吸収部材９０に達し熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより記録素子近傍が膨張し、浮上面は図４に示す一点鎖線１０４のように記録磁極２０の先端が突出する。
【００４２】
導波路２４ｃに導かれたレーザー光は、プリズム９６と導波路２４ｄを通り、磁気ヘッド２内の再生素子２２近傍に配置された光吸収部材９１に達し熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより再生素子２２近傍が膨張し、浮上面は図４に示す二点鎖線１０５のように再生素子２２近傍が突出する。
【００４３】
また、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００４４】
本実施例によれば、コントローラが記録か再生かに応じて結晶セル９４のＯＮとＯＦＦを切り替えることにより、短波長レーザーを用いて記録素子部分と再生素子部分を選択的に突出させることが可能となる。また、レーザーダイオード８１の入力パワーを制御することで、突出量を調整することも可能である。尚、偏光ビームスプリッタ９５の代わりに偏光フィルタを光吸収部材９０及び光吸収部材９１の光源側に備えても良い。
【００４５】
また、光吸収部材９０及び光吸収部材９１の光源側に特定の波長を通過・遮断するフィルタを備え、レーザーダイオード８１の代わりに、異なる２つの波長のレーザー光を発振するレーザーモジュールを用いることによって、何れか一方を選択的に突出させることも可能となる。
【００４６】
或いは、導波路２４ｂの先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーダイオード８１の代わりに、異なる２つの波長のレーザー光を発振するレーザーモジュールを用いて、一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０、または、光吸収部材９１に吸収され、もう一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０を透過するようにすれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。
【００４７】
本実施例では、磁気ヘッド２内に導波路２４ａ、導波路２４ｂ、導波路２４ｃ、導波路２４ｄを形成しているが、例えば、レーザーモジュール８０側か磁気ヘッド２側にレンズを配置し、磁気ヘッド２の主要材であるＡｌ２Ｏ３に対して透明な赤外域の波長レーザー光を用いれば、導波路２４ａ、導波路２４ｂ、導波路２４ｃが無くても同様な効果が得られる。
【００４８】
また、本実施例では、レーザーダイオード８１を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーダイオード８１は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【実施例４】
【００４９】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例４を図５により説明する。
【００５０】
図５は本実施例２を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。コントローラがレーザーダイオード８１を揺動させることにより、レーザーダイオード８１から発振されたレーザー光は導波路２４ａ、または、導波路２４ｂに導かれる。
【００５１】
導波路２４ａに導かれたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に配置された光吸収部材９０に達し熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより記録素子近傍が膨張し、浮上面は図３に示す一点鎖線１０６のように記録磁極２０の先端が突出する。
【００５２】
導波路２４ｂに導かれたレーザー光は、磁気ヘッド２内の再生素子２２近傍に配置された光吸収部材９１に達し熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより再生素子２２近傍が膨張し、浮上面は図５に示す二点鎖線１０７のように再生素子２２近傍が突出する。
【００５３】
また、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００５４】
本実施例によれば、レーザーダイオード８１を揺動させることで、記録素子部分と再生素子２２部分を選択的に突出させることが可能となる。また、レーザーパワーを制御することで、突出量を調整することも可能である。
【００５５】
また、導波路２４ａの先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーダイオード８１の代わりに、異なる２つの波長のレーザー光を発振するレーザーモジュールを用いて、一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０、または、光吸収部材９１に吸収され、もう一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０を透過するようにすれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。
【００５６】
本実施例では、磁気ヘッド２内に導波路２４ａ、導波路２４ｂを形成しているが、例えば、レーザーダイオード８１側か磁気ヘッド２側にレンズを配置し、磁気ヘッド２の主要材であるＡｌ２Ｏ３に対して透明な赤外域の波長レーザー光を用いれば、導波路２４ａ、導波路２４ｂが無くても同様な効果が得られる。
【００５７】
また、本実施例では、レーザーダイオード８１を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーダイオード８１は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【００５８】
また、本実施例では、曲線部分がある導波路２４ｂにより光吸収部材９１までレーザー光を導いているが、直線の導波路と、ミラー、プリズム等の光学素子を用いても構わない。
【００５９】
また、本実施例では、レーザーダイオード８１を揺動させているが、直線的に動かした場合でも同様な効果が得られる。
【実施例５】
【００６０】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例５を図６により説明する。
【００６１】
図６は本実施例５を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。レーザーダイオード８１から発振されたレーザー光は、導波路２４ａを通り可動ミラー９７に達する。
【００６２】
コントローラが可動ミラー９７を揺動させることにより、レーザー光は導波路２４ｂ、または、導波路２４ｃに導かれる。
【００６３】
導波路２４ｂに導かれたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に配置された光吸収部材９０に達し熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより記録素子近傍が膨張し、浮上面は図６に示す一点鎖線１０８のように記録磁極２０の先端が突出する。
【００６４】
導波路２４ｃに導かれたレーザー光は、ミラー９８と導波路２４ｄを通り、磁気ヘッド２内の再生素子２２近傍に配置された光吸収部材９１に達し熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより再生素子２２近傍が膨張し、浮上面は図６に示す二点鎖線１０９のように再生素子２２近傍が突出する。
【００６５】
また、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００６６】
本実施例によれば、可動ミラー９７を揺動させることで、記録素子部分と再生素子部分を選択的に突出させることが可能となる。また、レーザーダイオード８１の入力パワーを制御することで、突出量を調整することも可能である。
【００６７】
また、導波路２４ｂの先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーダイオード８１の代わりに、異なる２つの波長のレーザー光を発振するレーザーモジュールを用いて、一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０、及び、光吸収部材９１に吸収され、もう一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０を透過するようにすれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。
【００６８】
本実施例では、磁気ヘッド２内に導波路２４ａ、導波路２４ｂ、導波路２４ｃ、導波路２４ｄを形成しているが、例えば、レーザーモジュール８０側か磁気ヘッド２側にレンズを配置し、磁気ヘッド２の主要材であるＡｌ２Ｏ３に対して透明な赤外域の波長レーザー光を用いれば、導波路２４ａ、導波路２４ｂ、導波路２４ｃが無くても同様な効果が得られる。
【００６９】
また、本実施例では、レーザーダイオード８１を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーダイオード８１は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【００７０】
また、本実施例では、導波路２４ｃと導波路２４ｄを、ミラー９８を介して繋いでいるが、曲線的に導波路２４ｃと導波路２４ｄを直接繋いでも構わない。
【００７１】
また、本実施例では、可動ミラー９７を揺動させているが、直線的に動かした場合でも同様な効果が得られる。
【実施例６】
【００７２】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例６を図７により説明する。
【００７３】
図７は本実施例６を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。レーザーダイオード８１から照射されたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に形成された導波路２４を通り光吸収部材９０に達し、吸収され熱に変換される。
【００７４】
光吸収部材９０が発熱することにより磁気ヘッドが膨張し、浮上面は図７に示す一点鎖線１１０のように記録磁極先端が突出する。
【００７５】
一方、コントローラが磁気ヘッド内のコイル２６に通電し発熱させることで、磁気ヘッドが膨張し、浮上面は図７に示す二点鎖線１１１のように、再生素子２２、及び、記録磁極先端を含む箇所が突出する。
【００７６】
また、光吸収部材９０、コイル２６のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００７７】
本実施例によれば、レーザーダイオード８１の発振とコイル２６の通電をコントローラが切り替えることで、記録素子部分と再生素子部分を選択的に突出させることが可能となる。また、コントローラがレーザーパワーとコイル２６に入力する電流を制御することで、突出量を調整することも可能である。
【００７８】
また、導波路２４の先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーダイオード８１の代わりに、異なる２つの波長のレーザー光を発振するレーザーモジュールを用いて、一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０に吸収され、もう一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０を透過するようにすれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。
【００７９】
本実施例では、磁気ヘッド２内に導波路２４を形成しているが、例えば、レーザーダイオード８１側か磁気ヘッド２側にレンズを配置し、磁気ヘッド２の主要材であるＡｌ２Ｏ３に対して透明な赤外域の波長レーザー光を用いれば、導波路２４が無くても同様な効果が得られる。
【００８０】
また、本実施例では、レーザーダイオード８１を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーモジュール８０は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【実施例７】
【００８１】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例７を図８により説明する。
【００８２】
図８は本実施例７を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。レーザーダイオード８１から発振されたレーザー光は、ビームスプリッタ９８に達する。
【００８３】
ビームスプリッタは、その内部に透過/反射層を備えるによりビームスプリッタ９８に達したレーザー光は、一部が導波路２４ｂに導かれ、残りが導波路２４ｃに導かれる。透過/反射層の透過率の割合を設定することにより、導波路２４ｂ、２４ｃそれぞれに導かれる割合を任意の値に設定することが可能である。
【００８４】
導波路２４ｂに導かれたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に配置された光吸収部材９０に達し熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより記録素子近傍が膨張し、浮上面は図８に示す一点鎖線１１２のように記録磁極２０の先端が突出する。
【００８５】
導波路２４ｃに導かれたレーザー光は、ミラー９８と導波路２４ｄを通り、磁気ヘッド２内の再生素子２２近傍に配置された光吸収部材９１に達し熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより再生素子２２近傍が膨張し、浮上面は図８に示す二点鎖線１１３のように再生素子２２近傍が突出する。
【００８６】
また、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００８７】
本実施例によれば、レーザーダイオード８１の入力パワーを制御することで、突出量を調整することが可能である。
【００８８】
また、導波路２４ｂの先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーダイオード８１の代わりに、異なる２つの波長のレーザー光を発振するレーザーモジュールを用いて、一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０、または、光吸収部材９１に吸収され、もう一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０を透過するようにすれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。
【００８９】
本実施例では、磁気ヘッド２内に導波路２４ａ、導波路２４ｂ、導波路２４ｃ、導波路２４ｄを形成しているが、例えば、レーザーダイオード８１側、または磁気ヘッド２側にレンズを配置し、磁気ヘッド２の主要材であるＡｌ２Ｏ３に対して透明な赤外域の波長レーザー光を用いれば、導波路２４ａ、導波路２４ｂ、導波路２４ｃ、波路２４ｄが無くても同様な効果が得られる。
【００９０】
また、本実施例では、レーザーダイオード８１を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーダイオード８１は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【００９１】
また、本実施例では、導波路２４ｃと導波路２４ｄを、ミラー９８を介して繋いでいるが、曲線的に導波路２４ｃと導波路２４ｄを直接繋いでも構わない。
【実施例８】
【００９２】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例８を図９により説明する。
【００９３】
図９は本実施例８を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。波長Ｘと波長Ｙのレーザー光を発振する光源のレーザーモジュール８０から照射されたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に形成された導波路２４を通り、波長Ｙの光は透過し波長Ｘの光を吸収して熱に変換する光吸収部材９０と、波長Ｘの光は透過し波長Ｙの光を吸収して熱に変換する光吸収部材９１に到達する。近接場光発生素子２３から発光するレーザー光で温めたところに磁界を加えてデータを書き込むため、記録素子と近接場光発生素子２３と近づけることが望ましい。そのため図９では、記録磁極２０と導波路２４とが接している。この観点からは、加工が難しくなるものの、導波路２４を記録磁極２０の内部に備えてもよい。一方光の損失の観点からは、記録磁極２０と導波路２４とは離れている事が望ましい。
【００９４】
コントローラがレーザーモジュールから波長Ｘのレーザー光を照射した場合、レーザー光は光吸収部材９０で吸収され熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより磁気ヘッドが膨張し、浮上面（磁気ディスク１に対向する側の面）は図９に示す一点鎖線１１５のように記録磁極先端が突出する。
【００９５】
レーザーモジュールから波長Ｙのレーザー光を照射した場合、レーザー光は光吸収部材９０を透過し、光吸収部材９１で吸収され熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより磁気ヘッドが膨張し、浮上面（磁気ディスク１に対向する側の面）は図９に示す二点鎖線１１４のように再生素子２２と記録磁極２０の先端を含む箇所が突出する。
【００９６】
また、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００９７】
本実施例によれば、複数波長レーザーを用い、レーザーモジュール８０から照射されるレーザー光の波長を切り替えることで、記録素子部分と再生素子部分を選択的に突出させることが可能となる。また、各々の波長のレーザーパワーを制御することで、突出量を調整することも可能である。
【００９８】
また、導波路２４を浮上面に貫通させてその先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーモジュール８０から光吸収部材９０と光吸収部材９１のどちらも透過する波長のレーザー光を発振すれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。
【００９９】
また、本実施例では、レーザーモジュール８０を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーモジュール８０は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【０１００】
また、各実施例においては、コントローラが記録と再生とに応じて、レーザーモジュール８０或いはレーザーダイオード８１から照射する光の波長を切り替えたり、結晶セル９４のＯＮとＯＦＦを切り替えたり、レーザーダイオード８１を揺動させたり、可動ミラー９７を揺動させたり、レーザーダイオード８１の発振とコイル２６の通電を切り替えたりしたが、レーザーモジュール８０或いはレーザーダイオード８１、結晶セル９４、可動ミラー９７、コイル２６自体が命令を受け取ることにより記録か再生かを判断して、自ら切り替え等を行っても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】本発明を適用する磁気ディスク装置の内部を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例１の構成を示す断面図である。
【図３】本発明の実施例２の構成を示す断面図である。
【図４】本発明の実施例３の構成を示す断面図である。
【図５】本発明の実施例４の構成を示す断面図である。
【図６】本発明の実施例５の構成を示す断面図である。
【図７】本発明の実施例６の構成を示す断面図である。
【図８】本発明の実施例７の構成を示す断面図である。
【図９】本発明の実施例８の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１０２】
１…ディスク、２…磁気ヘッド、３…スライダ母材、４…サスペンション、５…キャリッジアーム、６…ピボット、７…ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）、２０…記録磁極、２１…記録コイル、２２…再生素子、２３…近接場光学素子、２４，２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ…導波路、２５…ステップ、２６…流出端パッド、２７…負圧ポケット、２８…導波路、２９…近接場光発生素子、３０…第一のシールド、３１…第二のシールド、８０…レーザーモジュール、８１…レーザーダイオード、９０，９１…光吸収部材、９２…プリズム、９３…プリズム、９４…結晶セル、９５…偏光ビームスプリッタ、９６…ミラー、９７…可動ミラー、９８…ビームスプリッタ。
【図１】
2009259359.tif 000003
【図２】
2009259359.tif 000004
【図３】
2009259359.tif 000005
【図４】
2009259359.tif 000006
【図５】
2009259359.tif 000007
【図６】
2009259359.tif 000008
【図７】
2009259359.tif 000009
【図８】
2009259359.tif 000010
【図９】
2009259359.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成21年2月3日(2009.2.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱膨張を利用して浮上量を調整するヘッドスライダ及びディスク装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄膜コイルに通電させることで発生するジュール熱を利用してヘッド部を突出させ、ヘッド（ヘッド部中の素子部）とディスクのスペースを近づける技術（Ｔｈｅｒｍａｌ  Ｆｌｙｉｎｇ−ｈｅｉｇｈｔ  Ｃｏｎｔｒｏｌ、以下ＴＦＣ）が実用化されている。しかし、このＴＦＣではヘッド部の広範囲な部分が突出するため、最下点にしたい箇所（素子部分）のみを突出させることが難しい。
【０００３】
また、ディスク装置の一例である磁気ディスク装置の面記録密度を高める技術として熱アシスト記録の研究開発が進められている。この熱アシスト記録では、ディスク上の微小な記録領域を瞬間的に高温にする手段として、近接場光を利用することが検討されている。近接場光を発生させるには、レーザー光を磁気ヘッドの記録磁極近傍に配置した近接場光学素子に導入する必要がある。近接場光学素子に達したレーザー光はその一部が近接場光に変換され、ディスク上の記録領域を加熱するが、大部分は近接場光学素子で熱になり、磁極近傍が熱膨張により局所的に突出する。
【０００４】
このことを考慮して、熱アシスト記録における近接場光学素子での発熱を利用して、磁気ヘッドを突出させて磁気スペーシングを近づけることが考えられる。これに係わる従来技術として、例えば特許文献１に記載のものがある。この文献に開示された熱アシスト磁気記録ヘッドでは、記録磁極と近接場発生部との間に線膨張係数の高い材料からなる熱膨張層を設け、レーザー光を近接場発生部に導入する際に発生する熱を利用して記録ヘッド部を局所的に突出させている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１９３９０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来技術には、次のような課題が存在する。
【０００７】
この上記従来技術では、熱アシスト記録を行う際のレーザー光を利用して発熱させているため、熱膨張層への入力は必然的に書込みに同期する。すなわち、突出量やタイミングを任意に制御することができない。更には読み出しの際に再生素子部分を突出させることも出来ない。
【０００８】
本発明は、記録時の記録素子部分だけでなく、再生時の再生素子部分も突出可能で、かつ、記録素子及び再生素子の突出量を制御することも可能な技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るヘッドスライダは、記録素子と、再生素子と、記録素子と再生素子との中間よりも再生素子側に設けた光吸収部材と、光吸収部材に光を照射する光源とを備える。
【００１０】
そして好ましくは、光源からの光を光吸収部材に導く導波路と、光源からの光をヘッドスライダ外部に照射する光発生素子と、光源からの光を光発生素子に導く第二の導波路と、第二の導波路中に設けられた第二の光吸収部材とを備える。
【００１１】
また、本発明に係るディスク装置は、情報を記録する媒体と、媒体に情報を記録する記録素子と、媒体に記録された情報を再生する再生素子と、記録素子と再生素子との中間よりも再生素子側に設けた光吸収部材とを備えたヘッドスライダと、光吸収部材に光を照射する光源と、ヘッドスライダを媒体上で位置決めし、媒体に情報を記録し且つ媒体から情報を再生し、光源を制御するコントローラとを備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、２波長レーザーを用い、各々の波長の光を吸収して熱に変換する光吸収部材を記録素子と再生素子の近傍に配置し、適宜レーザー波長を切り替えることで、記録素子近傍と再生素子近傍を個別に突出させることが可能となる。また、レーザーパワーを制御することで、突出量を制御することも可能となる。また、プリズムを適当な場所に配置することで、光吸収部材の配置場所の自由度が広がり、さらに任意の箇所を突出させることが可能となる。
【００１３】
また、１波長レーザーを用いた場合でも、結晶セルと偏光ビームスプリッタの利用、または、可動光源の利用、または、可動ミラーの利用、ＴＦＣとの併用、ビームスプリッタの利用により、記録素子部分だけでなく再生素子部分も突出可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下本発明を適用した実施例について、図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は、磁気ヘッドの浮上量調整手段を適用した磁気ディスク装置の内部を示す斜視図である。図１において、情報を記録する媒体である磁気ディスク１は回転可能に支持されている。磁気ディスク１に情報を記録し或いは磁気ディスク１から情報を再生する磁気ヘッド２を具備するスライダ（ヘッドスライダ）３は、磁気ディスク１の記録面上を所定の間隔で浮上している。スライダ３はサスペンション４に支持されており、サスペンション４はキャリッジアーム５に支持されている。キャリッジアーム５はピボット６を回転軸として揺動可能に支持されている。コントローラ（図示せず）は、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）７によりキャリッジアーム５を揺動させることで、回転する磁気ディスク１に対して磁気ヘッド２を所望のトラック上に位置決めし、情報の記録、再生を行う。
【００１６】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例１を図２により説明する。
【００１７】
図２は本実施例１を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。２つ以上の波長のレーザー光を出すレーザーモジュール８０側か磁気ヘッド２側にレンズ（図示せず）を配置し、レーザーモジュール８０はコントローラからの命令に従い磁気ヘッド２の主要材であるＡｌ２Ｏ３に対して透明な赤外域の波長Ｘと波長Ｙのレーザー光を発振する。
【００１８】
磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に設けられた光吸収部材９０は、波長Ｘの光は透過し波長Ｙの光を吸収して熱に変換する材料で構成し、光吸収部材９０よりも第一のシールド３０と第二のシールド３１とに挟まれた再生素子２２近傍に設けられた光吸収部材９１は、波長Ｙの光は透過し波長Ｘの光を吸収して熱に変換する材料で構成する。そして、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに熱膨張しやすい部材を配置（図示せず）することで、これら吸収部材９０、光吸収部材９１を効率よく突出させることができる。
【００１９】
本実施形態に使用する光吸収部材の一例として、波長が数百nmのレーザー光を使用する場合には表面を黒くした金属、それよりも長い波長のレーザー光を使用する場合にはセラミックスが挙げられる。また、熱膨張しやすい部材とは線膨張率の高い部材のことであり、本実施形態に用いる部材の一例として、アルミニウムが挙げられる。
【００２０】
レーザーモジュール８０から波長Ｘのレーザー光を照射した場合、レーザー光は光吸収部材９１で吸収され熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより磁気ヘッドが膨張し、浮上面（磁気ディスク１に対向する側の面）は図２に示す二点鎖線１００のように再生素子２２の先端を含む箇所が突出する。
【００２１】
レーザーモジュール８０から波長Ｙのレーザー光を照射した場合、レーザー光は光吸収部材９１を透過し、光吸収部材９０で吸収され熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより記録磁極２０近傍が膨張し、浮上面は図２に示す一点鎖線１０１のように記録磁極２０近傍が突出する。よってコントローラは、磁気ディスク１に情報を記録する際には波長Ｙのレーザー光を、磁気ディスク１から情報を再生する際には波長Ｘのレーザー光を照射するようにレーザーモジュール８０を制御する。レーザーモジュール８０自体が記録か再生かに応じて、何れの波長のレーザー光を照射するかを判断してもよい。
【００２２】
尚、レーザーモジュール８０から記録素子近傍まで導波路２４を形成し、照射されたレーザー光の一部をこの導波路２４に導き、導波路２４の先端に配置した近接場光発生素子２３から外部の磁気ディスク１に照射することにより、熱アシスト記録に使用することも可能である。また、記録素子近傍には光吸収部材９０を配置せず、再生素子部分にのみ光吸収部材９１を備えることにより、記録素子側に照射された光は熱アシストのみに使用する構成とすることも可能である。
【００２３】
本実施例によれば、複数波長レーザーを用い、コントローラはレーザーモジュール８０から照射されるレーザー光の波長を切り替えることで、記録素子部分と再生素子２２部分を選択的に突出させることが可能となる。また、各々の波長のレーザーパワーを制御することで、突出量を調整することも可能である。また、記録素子はコイル２１の発熱で膨張することを利用して突出させ、再生素子２２のみ光を利用して突出させる構成としてもよい。
【００２４】
本実施例では、レーザーモジュール８０を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーモジュール８０は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【００２５】
また、本実施例では、光吸収部材９０を導波路２４内に設けたが、再生素子２２を突出させる光吸収部材９１よりも記録素子に近い位置であれば、磁気ヘッド２内の何れの場所に設けても良い。また、レンズの代わりに反射板を用いてレーザー光が光吸収部材に集光するようにしても良い。
【００２６】
また、本実施例では、記録素子と再生素子２２とのスキューによる距離を広げないために、導波路２４は記録素子の流出端側に備えている。しかし、熱アシストの効果を大きくすることを優先して、記録素子の流入端側、つまり記録素子と再生素子２２との間に導波路２４を備えても良い。浮上面に対して傾けてレーザー光を照射する近接場光発生素子２３を用い、磁気ヘッド２の幅方向にずらして導波路２４を備えることにより、記録素子と再生素子２２とのスキューによる距離を広げずに記録素子の流入端側に導波路２４を備えることもできる。
【実施例２】
【００２７】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例２を図３により説明する。
【００２８】
図３は本実施例２を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。異なる２つの波長のレーザー光を発振する光源のレーザーモジュール８０から発振されたレーザー光は、分光器であるプリズム９２を通り、照射されたレーザー光の波長により、導波路２４ａ、または、導波路２４ｂに導かれる。
【００２９】
導波路２４ａに導かれたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に配置された光吸収部材９０に達し熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより記録素子近傍が膨張し、浮上面は図３に示す一点鎖線１０２のように記録磁極２０の先端が突出する。
【００３０】
導波路２４ｂに導かれたレーザー光は、プリズム９３と第一のシールドと第二のシールドとの間に設けられた導波路２４ｃを通り、磁気ヘッド２内の再生素子２２近傍に配置された光吸収部材９１に達し熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより再生素子２２近傍が膨張し、浮上面は図３に示す二点鎖線１０３のように再生素子２２近傍が突出する。
【００３１】
また、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００３２】
本実施例によれば、複数波長レーザーを用い、コントローラが記録か再生かに応じて、レーザーモジュール８０から照射されるレーザー光の波長を切り替えることで、記録素子部分と再生素子２２部分を選択的に突出させることが可能となる。また、各々の波長のレーザーパワーを制御することで、突出量を調整することも可能である。また、プリズムを適当な場所に配置することで、光吸収部材の配置場所の自由度が広がり、さらに任意の箇所を突出させることが可能となる。
【００３３】
複数波長として、記録素子突出用として光吸収部材９０に吸収される波長Ｘ、再生素子２２突出用として光吸収部材９１に吸収される波長Ｙ、熱アシスト用として光吸収部材９０で吸収されず近接場光発生素子２３から照射される波長Ｚの３波長を用いてもよいし、光吸収部材９０に吸収されないレーザー光を近接場光発生素子２３から照射して熱アシスト記録に用いる構成とすれば、記録素子突出用兼熱アシスト用の波長Ｘ’と再生素子２２突出用の波長Ｙ’との２波長としてもよい。
【００３４】
また、導波路２４ａを浮上面に貫通させてその先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーモジュール８０から光吸収部材９０を透過する波長のレーザー光を発振できるようにすれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。一方導波路２４ｂは、非貫通としてレーザー光がディスクに照射されないようにすることが望ましい。
【００３５】
また、本実施例では、レーザーモジュール８０を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーモジュール８０は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。尚、レーザーモジュール８０が、突出すべき素子に応じて波長を制御するのではなく、複数の波長を持つレーザーを絶えず発振し、レーザーモジュール８０と各光吸収部材との間の導波路に、波長Ｘの光のみを通すフィルタと波長Ｙの光のみを通すフィルタとを備え、これらフィルタのＯＮ／ＯＦＦをコントローラが切り替えることで、任意の側の素子近傍を突出させても良い。或いは、プリズム９２の代わりに波長Ｙの光のみを通すフィルタを備え、このフィルタで反射するその他の波長の光を光吸収部材９０に導き、波長Ｘで記録素子近傍を膨張させ、そのほかの波長で熱アシスト記録を行ってもよい。
【００３６】
また、本実施例では、導波路２４ｂから導波路２４ｃにレーザー光を導く手段としてプリズム９３を使用しているが、ミラー等の光学素子であっても構わないし、局率を持たし導波路２４ｂと導波路２４ｃを直接繋いでも構わない。光学素子を分光器に使用した場合には、１波長でも記録素子と再生素子２２の突出量を個別に制御することが可能であるし、２波長で素子の突出と熱アシスト記録を併用することも可能である。
【００３７】
尚、記録素子近傍には光吸収部材９０を配置せず、再生素子部分にのみ光吸収部材９１を備えることにより、記録素子側に照射された光は熱アシストのみに使用する構成とすることも可能である。
【実施例３】
【００３８】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例３を図４により説明する。
【００３９】
図４は本実施例３を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。光源のレーザーダイオード８１から発振されたレーザー光は、偏光変換素子である結晶セル９４と導波路２４ａを通り、偏光分光素子である偏光ビームスプリッタ９５に達する。尚、本明細書においてレーザーダイオードとは、一つの波長のレーザー光を出す装置を示し、レーザーモジュールとは、２つ以上の波長のレーザー光を出す装置を示している。
【００４０】
コントローラが結晶セル９４のＯＮとＯＦＦを切り替えると、偏光ビームスプリッタ９５に達するレーザー光の偏光（ｐ偏光、ｓ偏光）が変わり、その偏光によりレーザー光は導波路２４ｂ、または、導波路２４ｃに導かれる。
【００４１】
導波路２４ｂに導かれたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に配置された光吸収部材９０に達し熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより記録素子近傍が膨張し、浮上面は図４に示す一点鎖線１０４のように記録磁極２０の先端が突出する。
【００４２】
導波路２４ｃに導かれたレーザー光は、ミラー９６と導波路２４ｄを通り、磁気ヘッド２内の再生素子２２近傍に配置された光吸収部材９１に達し熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより再生素子２２近傍が膨張し、浮上面は図４に示す二点鎖線１０５のように再生素子２２近傍が突出する。
【００４３】
また、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００４４】
本実施例によれば、コントローラが記録か再生かに応じて結晶セル９４のＯＮとＯＦＦを切り替えることにより、短波長レーザーを用いて記録素子部分と再生素子部分を選択的に突出させることが可能となる。また、レーザーダイオード８１の入力パワーを制御することで、突出量を調整することも可能である。尚、偏光ビームスプリッタ９５の代わりに偏光フィルタを光吸収部材９０及び光吸収部材９１の光源側に備えても良い。
【００４５】
また、光吸収部材９０及び光吸収部材９１の光源側に特定の波長を通過・遮断するフィルタを備え、レーザーダイオード８１の代わりに、異なる２つの波長のレーザー光を発振するレーザーモジュールを用いることによって、何れか一方を選択的に突出させることも可能となる。
【００４６】
或いは、導波路２４ｂの先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーダイオード８１の代わりに、異なる２つの波長のレーザー光を発振するレーザーモジュールを用いて、一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０、または、光吸収部材９１に吸収され、もう一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０を透過するようにすれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。
【００４７】
本実施例では、磁気ヘッド２内に導波路２４ａ、導波路２４ｂ、導波路２４ｃ、導波路２４ｄを形成しているが、例えば、レーザーモジュール８０側か磁気ヘッド２側にレンズを配置し、磁気ヘッド２の主要材であるＡｌ２Ｏ３に対して透明な赤外域の波長レーザー光を用いれば、導波路２４ａ、導波路２４ｂ、導波路２４ｃが無くても同様な効果が得られる。
【００４８】
また、本実施例では、レーザーダイオード８１を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーダイオード８１は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【実施例４】
【００４９】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例４を図５により説明する。
【００５０】
図５は本実施例４を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。コントローラがレーザーダイオード８１を揺動させることにより、レーザーダイオード８１から発振されたレーザー光は導波路２４ａ、または、導波路２４ｂに導かれる。
【００５１】
導波路２４ａに導かれたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に配置された光吸収部材９０に達し熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより記録素子近傍が膨張し、浮上面は図５に示す一点鎖線１０６のように記録磁極２０の先端が突出する。
【００５２】
導波路２４ｂに導かれたレーザー光は、磁気ヘッド２内の再生素子２２近傍に配置された光吸収部材９１に達し熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより再生素子２２近傍が膨張し、浮上面は図５に示す二点鎖線１０７のように再生素子２２近傍が突出する。
【００５３】
また、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００５４】
本実施例によれば、レーザーダイオード８１を揺動させることで、記録素子部分と再生素子２２部分を選択的に突出させることが可能となる。また、レーザーパワーを制御することで、突出量を調整することも可能である。
【００５５】
また、導波路２４ａの先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーダイオード８１の代わりに、異なる２つの波長のレーザー光を発振するレーザーモジュールを用いて、一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０、または、光吸収部材９１に吸収され、もう一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０を透過するようにすれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。
【００５６】
本実施例では、磁気ヘッド２内に導波路２４ａ、導波路２４ｂを形成しているが、例えば、レーザーダイオード８１側か磁気ヘッド２側にレンズを配置し、磁気ヘッド２の主要材であるＡｌ２Ｏ３に対して透明な赤外域の波長レーザー光を用いれば、導波路２４ａ、導波路２４ｂが無くても同様な効果が得られる。
【００５７】
また、本実施例では、レーザーダイオード８１を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーダイオード８１は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【００５８】
また、本実施例では、曲線部分がある導波路２４ｂにより光吸収部材９１までレーザー光を導いているが、直線の導波路と、ミラー、プリズム等の光学素子を用いても構わない。
【００５９】
また、本実施例では、レーザーダイオード８１を揺動させているが、直線的に動かした場合でも同様な効果が得られる。
【実施例５】
【００６０】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例５を図６により説明する。
【００６１】
図６は本実施例５を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。レーザーダイオード８１から発振されたレーザー光は、導波路２４ａを通り可動ミラー９７に達する。
【００６２】
コントローラが可動ミラー９７を揺動させることにより、レーザー光は導波路２４ｂ、または、導波路２４ｃに導かれる。
【００６３】
導波路２４ｂに導かれたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に配置された光吸収部材９０に達し熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより記録素子近傍が膨張し、浮上面は図６に示す一点鎖線１０８のように記録磁極２０の先端が突出する。
【００６４】
導波路２４ｃに導かれたレーザー光は、ミラー９８と導波路２４ｄを通り、磁気ヘッド２内の再生素子２２近傍に配置された光吸収部材９１に達し熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより再生素子２２近傍が膨張し、浮上面は図６に示す二点鎖線１０９のように再生素子２２近傍が突出する。
【００６５】
また、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００６６】
本実施例によれば、可動ミラー９７を揺動させることで、記録素子部分と再生素子部分を選択的に突出させることが可能となる。また、レーザーダイオード８１の入力パワーを制御することで、突出量を調整することも可能である。
【００６７】
また、導波路２４ｂの先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーダイオード８１の代わりに、異なる２つの波長のレーザー光を発振するレーザーモジュールを用いて、一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０、及び、光吸収部材９１に吸収され、もう一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０を透過するようにすれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。
【００６８】
本実施例では、磁気ヘッド２内に導波路２４ａ、導波路２４ｂ、導波路２４ｃ、導波路２４ｄを形成しているが、例えば、レーザーダイオード８１側か磁気ヘッド２側にレンズを配置し、磁気ヘッド２の主要材であるＡｌ２Ｏ３に対して透明な赤外域の波長レーザー光を用いれば、導波路２４ａ、導波路２４ｂ、導波路２４ｃが無くても同様な効果が得られる。
【００６９】
また、本実施例では、レーザーダイオード８１を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーダイオード８１は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【００７０】
また、本実施例では、導波路２４ｃと導波路２４ｄを、ミラー９８を介して繋いでいるが、曲線的に導波路２４ｃと導波路２４ｄを直接繋いでも構わない。
【００７１】
また、本実施例では、可動ミラー９７を揺動させているが、直線的に動かした場合でも同様な効果が得られる。
【実施例６】
【００７２】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例６を図７により説明する。
【００７３】
図７は本実施例６を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。レーザーダイオード８１から照射されたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に形成された導波路２４を通り光吸収部材９０に達し、吸収され熱に変換される。
【００７４】
光吸収部材９０が発熱することにより磁気ヘッドが膨張し、浮上面は図７に示す一点鎖線１１０のように記録磁極先端が突出する。
【００７５】
一方、コントローラが磁気ヘッド内のコイル２６に通電し発熱させることで、磁気ヘッドが膨張し、浮上面は図７に示す二点鎖線１１１のように、再生素子２２、及び、記録磁極先端を含む箇所が突出する。
【００７６】
また、光吸収部材９０、コイル２６のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００７７】
本実施例によれば、レーザーダイオード８１の発振とコイル２６の通電をコントローラが切り替えることで、記録素子部分と再生素子部分を選択的に突出させることが可能となる。また、コントローラがレーザーパワーとコイル２６に入力する電流を制御することで、突出量を調整することも可能である。
【００７８】
また、導波路２４の先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーダイオード８１の代わりに、異なる２つの波長のレーザー光を発振するレーザーモジュールを用いて、一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０に吸収され、もう一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０を透過するようにすれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。
【００７９】
本実施例では、磁気ヘッド２内に導波路２４を形成しているが、例えば、レーザーダイオード８１側か磁気ヘッド２側にレンズを配置し、磁気ヘッド２の主要材であるＡｌ２Ｏ３に対して透明な赤外域の波長レーザー光を用いれば、導波路２４が無くても同様な効果が得られる。
【００８０】
また、本実施例では、レーザーダイオード８１を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーダイオード８１は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【実施例７】
【００８１】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例７を図８により説明する。
【００８２】
図８は本実施例７を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。レーザーダイオード８１から発振されたレーザー光は、ビームスプリッタ９８に達する。
【００８３】
内部に透過/反射層を備えたビームスプリッタ９８に達したレーザー光は、一部が導波路２４ｂに導かれ、残りが導波路２４ｃに導かれる。透過/反射層の透過率の割合を設定することにより、導波路２４ｂ、２４ｃそれぞれに導かれる割合を任意の値に設定することが可能である。
【００８４】
導波路２４ｂに導かれたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に配置された光吸収部材９０に達し熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより記録素子近傍が膨張し、浮上面は図８に示す一点鎖線１１２のように記録磁極２０の先端が突出する。
【００８５】
導波路２４ｃに導かれたレーザー光は、ミラー９６と導波路２４ｄを通り、磁気ヘッド２内の再生素子２２近傍に配置された光吸収部材９１に達し熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより再生素子２２近傍が膨張し、浮上面は図８に示す二点鎖線１１３のように再生素子２２近傍が突出する。
【００８６】
また、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００８７】
本実施例によれば、レーザーダイオード８１の入力パワーを制御することで、突出量を調整することが可能である。
【００８８】
また、導波路２４ｂの先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーダイオード８１の代わりに、異なる２つの波長のレーザー光を発振するレーザーモジュールを用いて、一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０、または、光吸収部材９１に吸収され、もう一方の波長のレーザー光は光吸収部材９０を透過するようにすれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。
【００８９】
本実施例では、磁気ヘッド２内に導波路２４ａ、導波路２４ｂ、導波路２４ｃ、導波路２４ｄを形成しているが、例えば、レーザーダイオード８１側、または磁気ヘッド２側にレンズを配置し、磁気ヘッド２の主要材であるＡｌ２Ｏ３に対して透明な赤外域の波長レーザー光を用いれば、導波路２４ａ、導波路２４ｂ、導波路２４ｃ、波路２４ｄが無くても同様な効果が得られる。
【００９０】
また、本実施例では、レーザーダイオード８１を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーダイオード８１は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【００９１】
また、本実施例では、導波路２４ｃと導波路２４ｄを、ミラー９８を介して繋いでいるが、曲線的に導波路２４ｃと導波路２４ｄを直接繋いでも構わない。
【実施例８】
【００９２】
磁気ヘッドの浮上量調整の実施例８を図９により説明する。
【００９３】
図９は本実施例８を適用した、ヘッド・サスペンション・アセンブリのスライダ３近傍の長手方向の断面図である。波長Ｘと波長Ｙのレーザー光を発振する光源のレーザーモジュール８０から照射されたレーザー光は、磁気ヘッド２内の記録磁極２０とコイル２１から成る記録素子近傍に形成された導波路２４を通り、波長Ｙの光は透過し波長Ｘの光を吸収して熱に変換する光吸収部材９０と、波長Ｘの光は透過し波長Ｙの光を吸収して熱に変換する光吸収部材９１に到達する。近接場光発生素子２３から発光するレーザー光で温めたところに磁界を加えてデータを書き込むため、記録素子と近接場光発生素子２３と近づけることが望ましい。そのため図９では、記録磁極２０と導波路２４とが接している。この観点からは、加工が難しくなるものの、導波路２４を記録磁極２０の内部に備えてもよい。一方光の損失の観点からは、記録磁極２０と導波路２４とは離れている事が望ましい。
【００９４】
コントローラがレーザーモジュール８０から波長Ｘのレーザー光を照射した場合、レーザー光は光吸収部材９１を透過し、光吸収部材９０で吸収され熱に変換される。光吸収部材９０が発熱することにより磁気ヘッドが膨張し、浮上面（磁気ディスク１に対向する側の面）は図９に示す一点鎖線１１５のように記録磁極先端が突出する。
【００９５】
レーザーモジュールから波長Ｙのレーザー光を照射した場合、レーザー光は光吸収部材９１で吸収され熱に変換される。光吸収部材９１が発熱することにより磁気ヘッドが膨張し、浮上面（磁気ディスク１に対向する側の面）は図９に示す二点鎖線１１４のように再生素子２２と記録磁極２０の先端を含む箇所が突出する。
【００９６】
また、光吸収部材９０、光吸収部材９１のまわりに発熱膨張しやすい部材を配置することで、効率よく突出させることができる。
【００９７】
本実施例によれば、複数波長レーザーを用い、レーザーモジュール８０から照射されるレーザー光の波長を切り替えることで、記録素子部分と再生素子部分を選択的に突出させることが可能となる。また、各々の波長のレーザーパワーを制御することで、突出量を調整することも可能である。
【００９８】
また、導波路２４を浮上面に貫通させてその先端に近接場光発生素子２３を配置し、レーザーモジュール８０から光吸収部材９０と光吸収部材９１のどちらも透過する波長のレーザー光を発振すれば、熱アシスト記録との併用も可能となる。
【００９９】
また、本実施例では、レーザーモジュール８０を磁気ヘッド２の上に配置しているが、レーザーモジュール８０は磁気ヘッド２の内部に配置しても構わないし、スライダ３から離れた場所に配置しても構わない。
【０１００】
また、各実施例においては、コントローラが記録と再生とに応じて、レーザーモジュール８０或いはレーザーダイオード８１から照射する光の波長を切り替えたり、結晶セル９４のＯＮとＯＦＦを切り替えたり、レーザーダイオード８１を揺動させたり、可動ミラー９７を揺動させたり、レーザーダイオード８１の発振とコイル２６の通電を切り替えたりしたが、レーザーモジュール８０或いはレーザーダイオード８１、結晶セル９４、可動ミラー９７、コイル２６自体が命令を受け取ることにより記録か再生かを判断して、自ら切り替え等を行っても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】本発明を適用する磁気ディスク装置の内部を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例１の構成を示す断面図である。
【図３】本発明の実施例２の構成を示す断面図である。
【図４】本発明の実施例３の構成を示す断面図である。
【図５】本発明の実施例４の構成を示す断面図である。
【図６】本発明の実施例５の構成を示す断面図である。
【図７】本発明の実施例６の構成を示す断面図である。
【図８】本発明の実施例７の構成を示す断面図である。
【図９】本発明の実施例８の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１０２】
１…ディスク、２…磁気ヘッド、３…スライダ母材、４…サスペンション、５…キャリッジアーム、６…ピボット、７…ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）、２０…記録磁極、２１…記録コイル、２２…再生素子、２３…近接場光発生素子、２４，２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ…導波路、２５…ステップ、２６…流出端パッド、２７…負圧ポケット、３０…第一のシールド、３１…第二のシールド、８０…レーザーモジュール、８１…レーザーダイオード、９０，９１…光吸収部材、９２…プリズム、９３…プリズム、９４…結晶セル、９５…偏光ビームスプリッタ、９６…ミラー、９７…可動ミラー、９８…ビームスプリッタ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2009259359.tif 000012