(57)【要約】【課題】デバイスの品質の低下を抑制できる液滴吐出方法を提供する。【解決手段】液滴吐出方法は、基板上の隔壁によって規定される凹部の開口と液滴吐出口とが対向する第１状態で、凹部に、液滴吐出口より液滴を供給する第１動作と、第１動作後、開口と液滴吐出口とが対向しない第２状態に変化させる第２動作と、第２動作後、第１状態に変化させて、液滴が供給された凹部に、液滴吐出口より液滴を供給する第３動作とを含む。第３動作において供給する液滴の大きさが、第１動作において供給する液滴の大きさより、小さくなるように、液滴の大きさが調整される。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の隔壁によって規定される凹部の開口と液滴吐出口とが対向する第１状態で、前記凹部に、前記液滴吐出口より液滴を供給する第１動作と、
前記第１動作後、前記開口と前記液滴吐出口とが対向しない第２状態に変化させる第２動作と、
前記第２動作後、前記第１状態に変化させて、前記液滴が供給された前記凹部に、前記液滴吐出口より液滴を供給する第３動作と、を含み、
前記第３動作において供給する液滴の大きさが、前記第１動作において供給する液滴の大きさより、小さくなるように、前記液滴の大きさを調整する液滴吐出方法。
【請求項２】
前記第１状態及び前記第２状態の一方から他方への変化は、前記基板の表面とほぼ平行な所定面内の第１方向に関する前記液滴吐出口と前記基板との相対移動による請求項１記載の液滴吐出方法。
【請求項３】
前記液滴を供給するために駆動する駆動素子に所定の駆動信号が供給され、
前記液滴の大きさの調整は、前記駆動信号の調整を含む請求項１又は２記載の液滴吐出方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項記載の液滴吐出方法を用いて液滴を供給する工程を含むデバイスの製造方法。
【請求項５】
前記デバイスは、カラーフィルタを含む請求項４記載の製造方法。
【請求項６】
液滴を供給可能な液滴吐出口を有する液滴吐出ヘッドと、
隔壁によって規定される凹部が設けられた基板を支持するステージと、
前記凹部の開口と前記液滴吐出口とが対向する第１状態及び対向しない第２状態の一方から他方へ変化するように、前記液滴吐出ヘッドと前記ステージとを相対移動可能な駆動装置と、
前記第１状態で、第１の大きさの液滴を前記凹部に供給し、前記第２状態に変化させた後、前記第１状態で、前記第１の大きさより小さい第２の大きさの液滴が前記凹部に供給されるように、前記液滴吐出ヘッドを制御する制御装置と、を備える液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項６記載の液滴吐出装置を用いるデバイスの製造方法。
【請求項８】
前記デバイスは、カラーフィルタを含む請求項７記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法、液滴吐出装置、及びデバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
デバイスの製造方法の一つとして液滴吐出法が知られている。液滴吐出法は、液滴吐出装置の液滴吐出口より、デバイスを形成するためのインクの滴（液滴）を基板上に供給する。液滴吐出法では、基板上に隔壁（バンク）によって規定される凹部が形成され、その凹部に液滴が供給される。下記特許文献には、液滴吐出法に関する技術の一例が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１５９７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
例えばカラーフィルタを液滴吐出法で製造する際、カラーフィルタを形成するためのインクで凹部を満たすために、凹部に対する液滴供給動作を複数回実行する場合がある。液滴が既に供給された凹部に液滴が供給されると、インクが凹部から溢れ出る可能性がある。その結果、製造されるデバイスの品質が低下する可能性がある。
【０００４】
本発明は、デバイスの品質の低下を抑制できる液滴吐出方法及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。また本発明は、品質の低下を抑制できるデバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１態様に従えば、基板上の隔壁によって規定される凹部の開口と液滴吐出口とが対向する第１状態で、前記凹部に、前記液滴吐出口より液滴を供給する第１動作と、前記第１動作後、前記開口と前記液滴吐出口とが対向しない第２状態に変化させる第２動作と、前記第２動作後、前記第１状態に変化させて、前記液滴が供給された前記凹部に、前記液滴吐出口より液滴を供給する第３動作と、を含み、前記第３動作において供給する液滴の大きさが、前記第１動作において供給する液滴の大きさより、小さくなるように、前記液滴の大きさを調整する液滴吐出方法が提供される。
【０００６】
本発明の第１の態様によれば、第１動作で凹部に液滴を供給し、第２状態を経た後、その凹部をインクで満たすために、第１状態において液滴が既に供給された凹部に、第３動作で液滴を供給する際、第３動作において供給する液滴の大きさを、第１動作において供給した液滴の大きさより小さくすることで、インクが凹部から溢れ出ることを抑制することができる。したがって、製造されるデバイスの品質の低下を抑制できる。
【０００７】
第１状態及び第２状態の一方から他方への変化は、基板の表面とほぼ平行な所定面内の第１方向に関する液滴吐出口と基板との相対移動によることとしてもよい。これにより、例えば基板上の複数の凹部のそれぞれに液滴を効率良く供給できる。
【０００８】
駆動素子に所定の駆動信号が供給されることによって液滴が供給される際、その駆動信号を調整することによって、液滴の大きさの調整を実行できる。
【０００９】
本発明の第２の態様に従えば、第１の態様の液滴吐出方法を用いて液滴を供給する工程を含むデバイスの製造方法が提供される。
【００１０】
本発明の第２の態様によれば、インクが凹部から溢れ出ることを抑制してデバイスを製造できる。したがって、製造されるデバイスの品質の低下を抑制できる。また、デバイスとしてカラーフィルタを製造する場合、インクが凹部から溢れ出ることが抑制されているので、各色のインクが混ざり合うことが抑制される。したがって、製造されるカラーフィルタの品質の低下を抑制できる。
【００１１】
本発明の第３の態様に従えば、液滴を供給可能な液滴吐出口を有する液滴吐出ヘッドと、隔壁によって規定される凹部が設けられた基板を支持するステージと、前記凹部の開口と前記液滴吐出口とが対向する第１状態及び対向しない第２状態の一方から他方へ変化するように、前記液滴吐出ヘッドと前記ステージとを相対移動可能な駆動装置と、前記第１状態で、第１の大きさの液滴を前記凹部に供給し、前記第２状態に変化させた後、前記第１状態で、前記第１の大きさより小さい第２の大きさの液滴が前記凹部に供給されるように、前記液滴吐出ヘッドを制御する制御装置と、を備える液滴吐出装置が提供される。
【００１２】
本発明の第３の態様によれば、第１状態で凹部の第１の大きさの液滴を供給し、第２状態を経た後、その凹部をインクで満たすために、液滴が既に供給された凹部に第１の大きさより小さい第２の大きさの液滴を供給することによって、インクが凹部から溢れ出ることを抑制することができる。したがって、製造されるデバイスの品質の低下を抑制できる。
【００１３】
本発明の第４の態様に従えば、第３の態様の液滴吐出装置を用いるデバイスの製造方法が提供される。
【００１４】
本発明の第４の態様によれば、インクが凹部から溢れ出ることを抑制してデバイスを製造できる。したがって、製造されるデバイスの品質の低下を抑制できる。また、デバイスとしてカラーフィルタを製造する場合、インクが凹部から溢れ出ることが抑制されているので、各色のインクが混ざり合うことが抑制される。したがって、製造されるカラーフィルタの品質の低下を抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。
【００１６】
図１は、本実施形態に係る液滴吐出装置１の一例を示す斜視図、図２は、液滴吐出ヘッド３を下側から見た平面図、図３は、液滴吐出ヘッド３の構造の一例を説明するための断面図、図４は、ステージ４の側面図である。
【００１７】
図１、図２、図３、及び図４において、液滴吐出装置１は、液滴Ｄを供給可能な液滴吐出口２を有する液滴吐出ヘッド３と、液滴Ｄが供給される基板Ｐを支持するステージ４と、液滴吐出ヘッド３を移動する第１駆動ユニット５と、ステージ４を移動する第２駆動ユニット６と、液滴吐出装置１全体の動作を制御する制御装置７とを備えている。
【００１８】
液滴吐出ヘッド３は、インクの液滴Ｄを吐出する液滴吐出口２が形成された吐出面（ノズル形成面）８を有する。本実施形態において、吐出面８は、ＸＹ平面とほぼ平行である。また、本実施形態においては、吐出面８の外形は、Ｘ軸方向に長いほぼ長方形である。液滴吐出口２は、吐出面８において、Ｘ軸方向に複数配置されている。
【００１９】
図３に示すように、液滴吐出ヘッド３は、ヘッド本体９と、ヘッド本体９の下端に配置されたプレート部材（ノズルプレート）１０とを有する。液滴吐出口２は、プレート部材１０に形成されている。プレート部材１０は、上下方向に貫通する孔を複数有する。液滴吐出口２は、その孔の下端に配置されている。吐出面８は、プレート部材１０に配置されている。
【００２０】
また、液滴吐出ヘッド３は、プレート部材１０（液滴吐出口２）の上方に形成されたキャビティ１１と、キャビティ１１の上方に配置された可撓性の振動板（膜）１２と、振動板１２の上方に配置されたピエゾ素子１３とを有する。キャビティ１１は、複数の液滴吐出口２のそれぞれに対応するように複数形成されている。すなわち、キャビティ１１は、液滴吐出口２毎に配置されている。キャビティ１１は、流路を介してインク供給源（不図示）と接続される。キャビティ１１は、インク供給源からのインクを収容し、液滴吐出口２に供給する。振動板１２は、上下方向に振動することによって、キャビティ１１の圧力（容積）を変動可能である。ピエゾ素子１３は、振動板１２を上下方向に振動可能である。ピエゾ素子１３は、複数の液滴吐出口２のそれぞれに対応するように複数配置されている。すなわち、ピエゾ素子１３は、液滴吐出口２毎に配置されている。ピエゾ素子１３は、制御装置７からの駆動信号に基づいて振動板１２を振動させ、キャビティ１１の圧力を変動させることによって、液滴吐出口２よりインクの液滴Ｄを吐出させる。
【００２１】
すなわち、本実施形態の液滴吐出ヘッド３は、ピエゾ素子（圧電素子）１３に所定の駆動信号を供給して、そのピエゾ素子１３を変形させることによって、インクを収容したキャビディ（空間）１１の圧力を可撓性の振動板１２を介して変動させ、その圧力の変動を利用して、液滴吐出口２よりインクの液滴Ｄを吐出する、いわゆる電気機械変換方式の吐出ヘッドである。
【００２２】
第１駆動ユニット５は、液滴吐出ヘッド３を移動可能である。第１駆動ユニット５は、液滴吐出ヘッド３を支持する支持機構５Ａと、支持機構５Ａに支持された液滴吐出ヘッド３を移動可能なアクチュエータ５Ｂとを含む。第１駆動ユニット５は、液滴吐出ヘッド３を、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向の６つの方向に移動可能である。
【００２３】
ステージ４は、液滴Ｄが供給される基板Ｐを支持して移動可能である。本実施形態において、ステージ４は、ベース部材１４上を移動可能な可動部材１５と、可動部材１５に搭載され、基板Ｐを保持するホルダ部材１６とを備えている。ホルダ部材１６は、基板Ｐの表面とＸＹ平面とがほぼ平行となるように、基板Ｐを保持する。
【００２４】
ベース部材１４の支持面１４Ｇと対向する可動部材１５の下面には、エアベアリングが形成されている。可動部材１５は、エアベアリングにより、支持面１４Ｇに非接触で支持される。支持面１４Ｇには、可動部材１５の移動をガイドするガイド部材１７が配置されている。本実施形態において、ガイド部材１７は、Ｙ軸方向に長い。可動部材１５の下面には、ガイド部材１７を配置可能な凹部１８が形成されている。可動部材１５の凹部１８の内面は、ガイド部材１７と対向する。
【００２５】
第２駆動ユニット６は、ベース部材１４に対して可動部材１５を移動可能な第１駆動装置６Ａと、可動部材１５に対してホルダ部材１６を移動可能な第２駆動装置６Ｂとを含む。本実施形態において、第１駆動装置６Ａは、リニアモータを含み、ガイド部材１７に配置された固定子１９と、凹部１８の内面に配置された可動子２０とを有する。固定子１９及び可動子２０を含む第１駆動装置６Ａは、可動部材１５をＹ軸方向に移動可能である。また、可動部材１５のＹ軸方向への移動に伴って、その可動部材１５に搭載されているホルダ部材１６（基板Ｐ）も、可動部材１５と一緒にＹ軸方向に移動する。
【００２６】
第２駆動装置６Ｂは、可動部材１５とホルダ部材１６との間に配置された複数のアクチュエータ２１を含む。アクチュエータ２１は、例えばピエゾ素子を含む。制御装置７は、複数のアクチュエータ２１を含む第２駆動装置６Ｂを制御することによって、可動部材１５上で、基板Ｐを保持したホルダ部材１６を移動（微動）可能である。本実施形態においては、基板Ｐを保持したホルダ部材１６は、第２駆動装置６Ｂによって、可動部材１５上で、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向の６つの方向に移動（微動）可能である。
【００２７】
本実施形態においては、液滴吐出ヘッド３の吐出面８は、下側（−Ｚ側）に向いている。液滴吐出ヘッド３からの液滴Ｄが吐出（供給）される基板Ｐの表面は、液滴吐出ヘッド３の吐出面８と対向するように、上側（＋Ｚ側）に向いている。ステージ４は、基板Ｐの表面と液滴吐出ヘッド３の吐出面８とが対向するように、基板Ｐを保持する。
【００２８】
本実施形態においては、制御装置７は、ステージ４に保持された基板Ｐを液滴吐出ヘッド３の液滴吐出口２に対してＹ軸方向に移動しつつ、液滴吐出口２より液滴Ｄを吐出して、その液滴Ｄを基板Ｐに供給する。
【００２９】
本実施形態において、制御装置７は、例えば特開２００１−５８４３３号公報に開示されているように、ピエゾ素子１３に供給する駆動信号を調整して、液滴吐出口２から吐出される液滴Ｄの大きさ、及び液滴吐出口２から吐出される液滴Ｄの時間間隔の少なくとも一方を調整可能である。液滴Ｄの大きさは、液滴Ｄの量、体積を含む。吐出される液滴Ｄの時間間隔は、液滴吐出口２から液滴Ｄが供給される時間間隔を含み、吐出周波数を含む。
【００３０】
制御装置７は、複数のピエゾ素子１３のそれぞれに所定の駆動信号を供給して、その駆動信号に応じた大きさの液滴Ｄを、所定の時間間隔で、複数の液滴吐出口２のそれぞれより吐出可能である。
【００３１】
図５は、駆動信号波形の一例を示すタイミングチャートである。図５において、横軸は、時間、縦軸は、ピエゾ素子１３に印加する電圧である。制御装置７は、図５に示すような駆動信号波形に基づいて、ピエゾ素子１３に電圧を印加することによって、その駆動信号波形に応じた大きさの液滴Ｄを、所定の時間間隔で、液滴吐出口２より吐出させることができる。制御装置７は、電圧Ｖを調整することによって、液滴吐出口２から吐出される液滴Ｄの大きさを調整可能であり、電圧を印加するタイミング（時間間隔）Ｔを調整することによって、液滴吐出口２から吐出される液滴Ｄの時間間隔を調整可能である。
【００３２】
次に、図６を参照して、基板Ｐについて説明する。基板Ｐは、デバイスを製造するための基板である。本実施形態においては、基板Ｐに液滴Ｄを供給して、カラーフィルタを形成する場合を例にして説明する。
【００３３】
図６（Ａ）は、基板Ｐを示す平面図、図６（Ｂ）は、基板Ｐの一部を示す側断面図であり、図６（Ａ）のＡ−Ａ線断面図に相当する。図６に示すように、基板Ｐ上には、隔壁（バンク）２２によって規定される凹部２３が設けられている。凹部２３は、その上端に開口２４を有する。
【００３４】
本実施形態において、基板Ｐは、例えばガラス基板である。なお、基板Ｐが、プラスチック等で形成されてもよい。隔壁２２は、合成樹脂製である。本実施形態において、隔壁２２は、カラーフィルタのブラックマトリクスとして機能する。
【００３５】
隔壁２２は、例えば基板Ｐ上に合成樹脂の膜を形成するコーティング処理と、露光処理、現像処理、及びエッチング処理を含むフォトリソグラフィ処理とを含む工程により形成可能である。
【００３６】
隔壁２２によって規定される凹部２３は、基板Ｐの表面と平行なＸＹ平面内において、マトリクス状に配置されている。また、本実施においては、凹部２３の開口２４は、ＸＹ平面内において、長辺エッジ２４Ｘ及び短辺エッジ２４Ｙを有する略長方形である。本実施形態において、長辺エッジ２４Ｘは、Ｘ軸方向とほぼ平行であり、短辺エッジ２４Ｙは、Ｙ軸方向とほぼ平行である。
【００３７】
次に、上述の液滴吐出装置１を用いて、カラーフィルタを製造する方法の一例について説明する。本実施形態においては、基板Ｐ上の凹部２３に、液滴吐出ヘッド３の液滴吐出口２より、カラーフィルタを製造するためのインクの液滴Ｄを供給して、カラーフィルタを製造する。
【００３８】
液滴吐出ヘッド３から吐出された液滴Ｄを基板Ｐ上の凹部２３に供給するために、制御装置７は、図７（Ａ）に示すように、第２駆動ユニット６を制御してステージ４を移動して、液滴吐出ヘッド３の吐出面８と対向する位置に、ステージ４に保持されている基板Ｐの＋Ｙ側の端部を配置する。また、制御装置７は、第１駆動ユニット５及び第２駆動ユニット６の少なくとも一方を用いて、吐出面８の液滴吐出口２から吐出された液滴Ｄが基板Ｐの凹部２３に供給されるように、液滴吐出ヘッド３の吐出面８とステージ４に保持されている基板Ｐの表面との間の距離（プラテンギャップ）、液滴吐出ヘッド３の吐出面８とステージ４に保持されている基板Ｐの表面との傾斜方向（θＸ、θＹ方向）の位置関係、及び回転方向（θＺ方向）の位置関係を調整する。制御装置７は、第１駆動ユニット５及び第２駆動ユニット６の少なくとも一方を用いて、液滴吐出ヘッド３の吐出面８と基板Ｐの表面とがほぼ平行となるように、且つ、プラテンギャップが所定の値になるように、液滴吐出ヘッド３の吐出面８とステージ４に保持されている基板Ｐの表面との位置関係を調整する。
【００３９】
そして、制御装置７は、第２駆動ユニット６を制御して、ステージ４に保持された基板Ｐを液滴吐出ヘッド３の液滴吐出口２に対してＹ軸方向に移動しつつ、液滴吐出ヘッド３の液滴吐出口２より、基板Ｐ上の凹部２３に液滴Ｄを吐出（供給）する。すなわち、制御装置７は、液滴吐出ヘッド３と基板Ｐとの位置関係が、図７（Ａ）に示す状態から、図７（Ｂ）に示す状態へ変化するように基板ＰをＹ軸方向に移動しつつ、液滴吐出口２より、基板Ｐ上の複数の凹部２３に液滴Ｄを供給する。
【００４０】
本実施形態においては、制御装置７は、ステージ４の基板Ｐを液滴吐出ヘッド３の液滴吐出口２に対してＹ軸方向に移動しつつ液滴吐出口２より基板Ｐ上の凹部２３に液滴Ｄを吐出（供給）する動作を複数回繰り返す。本実施形態においては、基板Ｐを＋Ｙ方向に移動しつつ液滴Ｄを吐出する動作と、基板Ｐを−Ｙ方向に移動しつつ液滴Ｄを吐出する動作とを複数回繰り返す。
【００４１】
一例として、本実施形態においては、制御装置７は、ステージ４の基板Ｐを液滴吐出ヘッド３の液滴吐出口２に対してＹ軸方向に移動しつつ液滴吐出口２より基板Ｐに液滴Ｄを吐出（供給）する動作を４回繰り返す。
【００４２】
ここで、以下の説明において、Ｙ軸方向に関する基板Ｐの一方の端部と液滴吐出ヘッド３の吐出面８とが対向する状態から、Ｙ軸方向に関する基板Ｐの他方の端部と液滴吐出ヘッド３の吐出面８とが対向する状態へ変化するように基板ＰをＹ軸方向に移動しつつ、液滴吐出口２より、基板Ｐ上の複数の凹部２３に液滴Ｄを供給する動作を適宜、パス動作、と称する。
【００４３】
したがって、本実施形態においては、制御装置７は、パス動作を４回実行して、凹部２３に対する液滴供給動作を複数回実行する。パス動作を複数回繰り返すことによって、凹部２３はインクで十分に満たされる。
【００４４】
本実施形態においては、第１回目のパス動作において、基板Ｐ上の凹部２３に、その凹部２３の開口２４と対向する液滴吐出口２から液滴Ｄが供給される。その後、液滴吐出口２に対する基板ＰのＹ軸方向への移動により、第１回目のパス動作において液滴Ｄが供給された凹部２３の開口２４は、第２回目のパス動作において液滴Ｄが供給されるまでの間、液滴吐出口２と対向しない状態となる。そして、第２回目のパス動作において、その凹部２３に、その凹部２３の開口２４と対向する液滴吐出口２から液滴Ｄが供給される。その後、液滴吐出口２に対する基板ＰのＹ軸方向への移動により、第２回目のパス動作において液滴Ｄが供給された凹部２３の開口２４は、第３回目のパス動作において液滴Ｄが供給されるまでの間、液滴吐出口２と対向しない状態となる。そして、第３回目のパス動作において、その凹部２３に、その凹部２３の開口２４と対向する液滴吐出口２から液滴Ｄが供給される。その後、液滴吐出口２に対する基板ＰのＹ軸方向への移動により、第３回目のパス動作において液滴Ｄが供給された凹部２３の開口２４は、第４回目のパス動作において液滴Ｄが供給されるまでの間、液滴吐出口２と対向しない状態となる。そして、第４回目のパス動作において、その凹部２３に、その凹部２３の開口２４と対向する液滴吐出口２から液滴Ｄが供給される。
【００４５】
このように、本実施形態においては、制御装置７は、第１駆動ユニット５及び第２駆動ユニット６の少なくとも一方を調整して、凹部２３の開口２４と液滴吐出口２とが対向する状態、及び対向しない状態の一方から他方へ変化するように、液滴吐出ヘッド３とステージ４とを相対的に移動する。
【００４６】
そして、本実施形態においては、制御装置７は、基板Ｐ上の隔壁２２によって規定される凹部２３の開口２４と液滴吐出口２とが対向する第１状態で、凹部２３に、液滴吐出口２より液滴Ｄを供給する第１回目のパス動作と、第１回目のパス動作後、凹部２３の開口２４と液滴吐出口２とが対向しない第２状態に変化させる動作と、その動作後、凹部２３の開口２４と液滴吐出口２とが対向する第１状態に変化させて、第１回目のパス動作において液滴Ｄが供給された凹部２３に、液滴吐出口２より液滴Ｄを供給する第２回目のパス動作とを実行する。
【００４７】
さらに、制御装置７は、第２回目のパス動作後、凹部２３の開口２４と液滴吐出口２とが対向しない第２状態に変化させる動作と、その動作後、凹部２３の開口２４と液滴吐出口２とが対向する第１状態に変化させて、第２回目のパス動作において液滴Ｄが供給された凹部２３に、液滴吐出口２より液滴Ｄを供給する第３回目のパス動作と、第３回目のパス動作後、凹部２３の開口２４と液滴吐出口２とが対向しない第２状態に変化させる動作と、その動作後、凹部２３の開口２４と液滴吐出口２とが対向する第１状態に変化させて、第３回目のパス動作において液滴Ｄが供給された凹部２３に、液滴吐出口２より液滴Ｄを供給する第４回目のパス動作とを実行する。
【００４８】
本実施形態においては、制御装置７は、例えば第２回目のパス動作において凹部２３に供給する液滴Ｄの大きさが、第１回目のパス動作において凹部２３に供給された液滴Ｄの大きさより、小さくなるように、液滴Ｄの大きさを調整する。
【００４９】
また、本実施形態においては、制御装置７は、例えば第３回目のパス動作において凹部２３に供給する液滴Ｄの大きさが、第２回目のパス動作において凹部２３に供給された液滴Ｄの大きさより、小さくなるように、液滴Ｄの大きさを調整する。
【００５０】
また、本実施形態においては、制御装置７は、例えば第４回目のパス動作において凹部２３に供給する液滴Ｄの大きさが、第３回目のパス動作において凹部２３に供給された液滴Ｄの大きさより、小さくなるように、液滴Ｄの供給位置を調整する。
【００５１】
図８は、第１〜第４回目のパス動作と、それら第１〜第４回目のパス動作のそれぞれにおいて凹部２３に供給される液滴Ｄの大きさを説明するための模式図である。図８（Ａ）は、第１回目のパス動作において凹部２３に供給される液滴Ｄの大きさを示す図、図８（Ｂ）は、第２回目のパス動作において凹部２３に供給される液滴Ｄの大きさを示す図、図８（Ｃ）は、第３回目のパス動作において凹部２３に供給される液滴Ｄの大きさを示す図、図８（Ｄ）は、第４回目のパス動作において凹部２３に供給される液滴Ｄの大きさを示す図である。
【００５２】
図８に示すように、制御装置７は、第１〜第４回目のパス動作のそれぞれにおいて、液滴Ｄの大きさを徐々に小さくする。
【００５３】
本実施形態において、制御装置７は、液滴Ｄの供給位置を規定する複数のピクセルによって、凹部２３を含む基板Ｐの表面を予め区画する。そして、制御装置７は、それら複数のピクセルにおける液滴Ｄを供給する第１ピクセルの配列情報、及び／又は液滴Ｄを供給しない第２ピクセルの配列情報、所謂ビットマップデータを予め作成する。制御装置７は、そのビットマップデータに基づいて、凹部２３の所望の位置に液滴Ｄを供給する。
【００５４】
制御装置７は、凹部２３の開口２４と液滴吐出口２とが対向する第１状態で、凹部２３に第１の大きさの液滴Ｄを供給し、凹部２３の開口２４と液滴吐出口２とが対向しない第２状態に変化させた後、凹部２３の開口２４と液滴吐出口２とが対向する第１状態で、第１の大きさの液滴Ｄが供給された凹部２３に、第１の大きさより小さい第２の大きさの液滴Ｄが供給されるように、液滴吐出ヘッド３の液滴供給動作を制御する。
【００５５】
なお、本実施形態においては、長辺エッジ２４ＸのサイズＬｘは、約６００μｍであり、短辺エッジ２４ＹのサイズＬｙは、約２００μｍである。また、液滴Ｄのサイズ（直径）φは、約３０μｍである。
【００５６】
本実施形態においては、液滴Ｄの大きさの調整は、ピエゾ素子１３に供給する駆動信号の調整を含む。すなわち、制御装置７は、ピエゾ素子１３に印加する電圧Ｖを調整することによって、液滴吐出口２から吐出される液滴Ｄの大きさを調整する。
【００５７】
本実施形態においては、制御装置７は、第１回目のパス動作において、液滴吐出口２から第１の大きさの液滴Ｄが供給されるように、ピエゾ素子１２に第１の電圧Ｖ１を印加し、第２回目のパス動作において、液滴吐出口２から第１の大きさより小さい第２の大きさの液滴Ｄが供給されるように、ピエゾ素子１２に第２の電圧Ｖ２を印加し、第３回目のパス動作において、液滴吐出口２から第２の大きさより小さい第３の大きさの液滴Ｄが供給されるように、ピエゾ素子１２に第３の電圧Ｖ３を印加し、第４回目のパス動作において、液滴吐出口２から第３の大きさより小さい第４の大きさの液滴Ｄが供給されるように、ピエゾ素子１２に第４の電圧Ｖ４を印加する。そして、制御装置７は、第１〜第４回目のパス動作において、基板ＰをＹ軸方向に移動しながら、ビットマップデータにより設定された第１ピクセルに対して液滴Ｄを供給する。
【００５８】
本実施形態によれば、第１回目のパス動作で凹部２３に液滴Ｄを供給し、その液滴Ｄが既に供給された凹部２３に、第２回目のパス動作で液滴Ｄを供給する際、第１回目のパス動作において供給した液滴Ｄの大きさより小さい液滴を供給することで、インクが凹部２３から溢れ出ることを抑制することができる。液滴Ｄ（インク）が既に存在する凹部２３に対して、大きい液滴Ｄが供給されると、インクが凹部２３から溢れ出る現象が発生する可能性が高くなる。本実施形態のように、基板Ｐ上に液滴Ｄを供給することによってカラーフィルタを製造する場合、凹部２３からインクが溢れ出ると、各色のインクが混ざり合い、製造されるカラーフィルタの品質が低下する可能性がある。
【００５９】
本実施形態によれば、インクが凹部２３から溢れ出ることが抑制されているので、製造されるカラーフィルタの品質の低下を抑制できる。
【００６０】
なお、一回のパス動作において、凹部２３に複数の液滴Ｄを供給する際、図９に示すように、それら複数の液滴Ｄの大きさが異なってもよい。
【００６１】
なお、上述の実施形態においては、第１回目のパス動作、第２回目のパス動作、第３回目のパス動作、及び第４回目のパス動作において、液滴Ｄの大きさが除々に小さくなる場合について説明したが、例えば、第１、第２、第３回目のパス動作のそれぞれにおいて供給する液滴Ｄの大きさをほぼ同じにして、第４回目のパス動作において供給する液滴Ｄの大きさのみを小さくしてもよい。
【００６２】
なお、上述の実施形態においては、デバイスとしてカラーフィルタを製造する場合を例にして説明したが、隔壁によって規定される凹部に液滴を供給することによってデバイスを製造する際に、上述の各実施形態で説明した装置及び方法を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本実施形態に係る液滴吐出装置の一例を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係る液滴吐出ヘッドを下側から見た平面図である。
【図３】本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構造の一例を説明するための断面図である。
【図４】本実施形態に係るステージの側面図である。
【図５】本実施形態に係る駆動信号波形の一例を示すタイミングチャートである。
【図６】本実施形態に係る基板の一例を示す図である。
【図７】本実施形態に係る液滴吐出方法の一例を説明するための模式図である。
【図８】本実施形態に係る液滴吐出方法の一例を説明するための模式図である。
【図９】本実施形態に係る液滴吐出方法の一例を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００６４】
１…液滴吐出装置、２…液滴吐出口、３…液滴吐出ヘッド、４…ステージ、５…第１駆動ユニット、６…第２駆動ユニット、２２…隔壁、２３…凹部、２４…開口、２４Ｘ…長辺エッジ、２４Ｙ…短辺エッジ、Ｄ…液滴、Ｐ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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