(57)【要約】【課題】効率的な使用予約と、その使用予約に対応した使用実態を確実に把握できる半導体装置の分析解析装置の使用管理システム、及び、使用管理機能付き半導体装置の分析解析装置を提供する。【解決手段】コンピュータ端末３０は、ネットワーク２０を介して管理コンピュータ１０から送信されたデータベース１０Ｄの予約状況情報を表示し、その予約状況情報を基にユーザーによって入力された予約希望情報、及びそれに対応してユーザーによって入力された使用記録情報を、管理コンピュータ１０に送信してデータベース１０Ｄに格納する。管理コンピュータ１０は、予約希望情報を基に予約状況情報を更新し、また、データベース１０Ｄに格納された使用記録情報の集合を、コンピュータ端末３０からの要求に応じてコンピュータ端末３０に送信する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータネットワークによって半導体装置の分析解析装置の使用を管理する使用管理システムであって、
ネットワークを介して互いに接続された管理コンピュータ及びコンピュータ端末と、前記半導体装置の分析解析装置の予約状況情報が格納され前記管理コンピュータに接続されたデータベースと、を備え、
前記コンピュータ端末は、前記管理コンピュータから送信された前記データベースの前記予約状況情報を表示し、その予約状況情報を基にユーザーによって入力された予約希望情報、及び前記予約希望情報に対応して前記ユーザーによって入力された使用記録情報を、前記管理コンピュータに送信して前記データベースに格納し、
前記管理コンピュータは、前記予約希望情報を基に前記予約状況情報を更新して前記コンピュータ端末に送信し、また、前記データベースに格納された前記使用記録情報の集合を、前記コンピュータ端末からの要求に応じて前記コンピュータ端末に送信することを特徴とする半導体装置の分析解析装置の使用管理システム。
【請求項２】
前記管理コンピュータは、前記コンピュータ端末に入力されたＩＤ情報によって前記ユーザーを識別し、前記使用記録情報を前記コンピュータ端末に入力していない前記ユーザーに対して、設定されたレベルに応じて予約可能な時間を制限することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の分析解析装置の使用管理システム。
【請求項３】
前記管理コンピュータは、前記コンピュータ端末に入力されたＩＤ情報によって前記ユーザーを識別し、前記使用記録情報を前記コンピュータ端末に入力していない前記ユーザーに対して、設定されたレベルに応じて警告メッセージを前記コンピュータ端末に表示して通知することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の半導体装置の分析解析装置の使用管理システム。
【請求項４】
前記管理コンピュータは、前記コンピュータ端末に入力されたＩＤ情報によって特定の管理者を識別し、前記管理者によって前記設定が変更されることを特徴とする請求項２または請求項３に記載の半導体装置の分析解析装置の使用管理システム。
【請求項５】
前記管理コンピュータは、前記コンピュータ端末に入力されたＩＤ情報によって特定の管理者を識別し、前記ユーザーの予約希望情報よりも優先させて、前記管理者の予約希望情報を基に前記予約状況情報を更新することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の半導体装置の分析解析装置の使用管理システム。
【請求項６】
前記管理コンピュータは、前記使用記録情報の集合を前記コンピュータ端末にファイル出力することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の半導体装置の分析解析装置の使用管理システム。
【請求項７】
前記管理コンピュータは、前記使用記録情報の集合をグラフ化して前記コンピュータ端末に表示することを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の半導体装置の分析解析装置の使用管理システム。
【請求項８】
前記使用記録情報は、前記半導体装置の分析解析装置の実際の使用時間を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の半導体装置の分析解析装置の使用管理システム。
【請求項９】
前記使用記録情報は、前記半導体装置の分析解析装置の実際の使用状況に関する情報を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の半導体装置の分析解析装置の使用管理システム。
【請求項１０】
コンピュータネットワークによって使用が管理される半導体装置の分析解析装置であって、
ネットワークを介して互いに接続された管理コンピュータ及びコンピュータ端末と、前記半導体装置の分析解析装置の予約状況情報が格納され前記管理コンピュータに接続されたデータベースと、を備え、
前記コンピュータ端末は、前記管理コンピュータから送信された前記データベースの前記予約状況情報を表示し、その予約状況情報を基にユーザーによって入力された予約希望情報、及び前記予約希望情報に対応して前記ユーザーによって入力された使用記録情報を、前記管理コンピュータに送信して前記データベースに格納し、
前記管理コンピュータは、前記予約希望情報を基に前記予約状況情報を更新して前記コンピュータ端末に送信し、また、前記データベースに格納された前記使用記録情報の集合を、前記コンピュータ端末からの要求に応じて前記コンピュータ端末に送信することを特徴とする使用管理機能付き半導体装置の分析解析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多数のユーザーに共有される装置の使用管理システムに関し、特に、半導体装置の分析解析装置の使用管理システム、及び、使用管理機能付き半導体装置の分析解析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体装置の製造装置の１つである分析解析装置として、ＬＳＩテスターやＦＩＢ（Focused Ion Beam）リペア装置等が知られている。これらの分析解析装置は高額かつ大規模であり、１つの分析解析装置は複数のユーザーに使用される。また、異なる複数の機種の分析解析装置が必要である場合、それらを１つの事業所に集中して配置することは経済的に困難であるため、これらの分析解析装置は、その所有者である半導体メーカーに属する複数の事業所に分散して配置されている。
【０００３】
各事業所のユーザーが分析解析装置を使用するためには、そのたびに、希望する分析解析装置の所在を調べる必要があり、また、使用可能時間について、その分析解析装置が配置された事業所の担当者に確認をとる必要があった。また、分析解析装置を使用するためには、予約用紙に希望項目を記入し、さらに、その予約用紙を担当者が集計し、使用の可否を連絡するといった煩雑な作業が行われていた。
【０００４】
そこで、効率よく分析解析装置を運用するため、複数のユーザーの使用状況を管理するスケジューリング方法等の使用管理システムが用いられている。
【０００５】
半導体の製造装置の使用にかかるスケジューリング方法については、例えば特許文献１に記載されている。
【特許文献１】特開平１０―１３５０９６公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の半導体の分析解析装置の使用管理システムでは、効率的なユーザーの使用予約を可能にするものの、分析解析装置の使用実態については、正確に把握できていなかった。例えば、あるユーザーが使用を予約した時間と、そのユーザーによる実際の分析解析装置の使用時間は、必ずしも一致するものではなく、そうした情報は管理者に正確には伝わっていなかった。
【０００７】
このような分析解析装置の使用実態にかかる情報は、分析解析装置に対するメンテナンスや投資のタイミングを決定する管理者にとって、極めて重要であるにもかかわらず、正確に取得することは困難であった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、コンピュータネットワークによって半導体装置の分析解析装置の使用を管理する使用管理システムであって、ネットワークを介して互いに接続された管理コンピュータ及びコンピュータ端末と、半導体装置の分析解析装置の予約状況情報が格納され管理コンピュータに接続されたデータベースと、を備え、コンピュータ端末は、管理コンピュータから送信されたデータベースの予約状況情報を表示し、その予約状況情報を基にユーザーによって入力された予約希望情報、及び予約希望情報に対応してユーザーによって入力された使用記録情報を、管理コンピュータに送信してデータベースに格納し、管理コンピュータは、予約希望情報を基に予約状況情報を更新してコンピュータ端末に送信し、また、データベースに格納された使用記録情報の集合を、コンピュータ端末からの要求に応じてコンピュータ端末に送信することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、上記構成において、管理コンピュータは、コンピュータ端末に入力されたＩＤ情報によってユーザーを識別し、使用記録情報をコンピュータ端末に入力していないユーザーに対して、設定されたレベルに応じて予約可能な時間を制限することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、上記構成において、管理コンピュータは、コンピュータ端末に入力されたＩＤ情報によってユーザーを識別し、使用記録情報をコンピュータ端末に入力していないユーザーに対して、設定された警告メッセージをコンピュータ端末に表示して通知することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、上記構成において、管理コンピュータは、コンピュータ端末に入力されたＩＤ情報によって特定の管理者を識別し、管理者によって設定が変更されることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、上記構成において、管理コンピュータは、コンピュータ端末に入力されたＩＤ情報によって特定の管理者を識別し、管理者の予約希望情報をユーザーの予約希望情報よりも優先させて予約状況情報を更新することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、上記構成において、管理コンピュータは、使用記録情報の集合をファイル出力することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、上記構成において、管理コンピュータは、使用記録情報の集合をグラフ化してコンピュータ端末に表示することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、上記構成において、使用記録情報は、半導体装置の分析解析装置の実際の使用時間を含むことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、上記構成において、使用記録情報は、半導体装置の分析解析装置の実際の使用状況に関する情報を含むことを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、コンピュータネットワークによって使用が管理される半導体装置の分析解析装置、即ち使用管理機能付き半導体装置の分析解析装置であって、ネットワークを介して互いに接続された管理コンピュータ及びコンピュータ端末と、半導体装置の分析解析装置の予約状況情報が格納され管理コンピュータに接続されたデータベースと、を備え、コンピュータ端末は、管理コンピュータから送信されたデータベースの予約状況情報を表示し、その予約状況情報を基にユーザーによって入力された予約希望情報、及び予約希望情報に対応してユーザーによって入力された使用記録情報を、管理コンピュータに送信してデータベースに格納し、管理コンピュータは、予約希望情報を基に予約状況情報を更新してコンピュータ端末に送信し、また、データベースに格納された使用記録情報の集合を、コンピュータ端末からの要求に応じてコンピュータ端末に送信することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の半導体装置の分析解析装置の使用管理システム、及び、使用管理機能付き半導体装置の分析解析装置によれば、分析解析装置の効率的な使用予約を行うと共に、その使用実態を確実に把握することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の実施形態による半導体装置の分析解析装置の使用管理システムについて説明する。ここで、半導体装置の分析解析装置は、例えばＬＳＩテスターやＦＩＢリペア装置である。これらの分析解析装置は高額かつ大規模であり、１つの分析解析装置は複数のユーザーに使用される。また、異なる複数の機種の分析解析装置が必要である場合、それらを１つの事業所に集中して配置することは経済的に困難であるため、これらの分析解析装置は、その所有者である半導体メーカーに属する複数の事業所に分散して配置される。
【００２０】
最初に、この使用管理システムのシステム構成について、図１のシステム構成図を参照して説明する。この使用管理システムでは、サーバに相当する管理コンピュータ１０に、データベース１０Ｄが接続されている。データベース１０Ｄには、半導体装置の分析解析装置の予約状況情報が格納されている。この予約状況情報は、予約したユーザーの所属部者、氏名、連絡先等を含むユーザーのＩＤ情報と、そのユーザーによって予約された日付、開始時間、及び終了時間等を含む予約時間情報と、そのユーザーによって予約された機種名を含む機種情報と、予約のキャンセル待ち情報とを含む。また、データベース１０Ｄには、各事業所に配置された全ての分析解析装置、あるいは、それらの分析解析装置のうち使用可能なものに関する装置情報が格納されている。装置情報は、分析解析装置の機種名、所在事業所名、及びスペックを含む。
【００２１】
また、管理コンピュータ１０は、インターネットやＬＡＮ等のネットワーク２０を介して、複数のコンピュータ端末３０と接続されている。これらのコンピュータ端末３０は、管理コンピュータ１０のクライアントに相当するものであり、それぞれ、分析解析装置を使用する複数のユーザー、及び使用管理システムの管理者に対して、入力装置及び表示装置として機能する。
【００２２】
以下に、この使用管理システムにより実行される処理のフローについて、図２乃至図４のフロー図を参照して説明する。図３及び図４は、それぞれ、図３に含まれる２つのサブルーチン、即ち、ユーザー入力処理、及び管理者入力処理のフローを示している。また、図５乃至図１０は、以下に説明する処理でコンピュータ端末３０に表示される表示画面の一例である。これらの表示画面は、図５乃至図１０に限定されず、要旨を逸脱しない範囲で変更できる。
【００２３】
最初に、図２のステップＳ１において、ユーザー又は管理者がコンピュータ端末３０から管理コンピュータ１０にアクセスすると、コンピュータ端末３０は、管理コンピュータ１０から送信されたデータベース１０Ｄの装置情報を表示する。図示しないが、この表示画面には、各分析解析装置の機種名を示したセルが配置されている。この装置情報を基に、ユーザー又は管理者が希望する機種のセルを、クリック等により選択すると、ステップＳ２において、対応した機種に関する予約状況表示処理が行われる。
【００２４】
この予約状況表示処理では、コンピュータ端末３０は、管理コンピュータ１０から送信されたデータベース１０Ｄの予約状況情報を閲覧モード（即ち、ログイン前の状態）として表示する。
【００２５】
この予約状況情報は、ステップＳ１で選択された機種のみに対応した予約状況情報であり、例えば図５に示したような表示画面である。この表示画面には、時系列に沿って単位時間で分割された複数の時間セル５１が配置されている。
【００２６】
既に経過した時間に対応する時間セル５１と、未だに経過していない時間に対応する時間セル５１は、互いに異なる色のセルで表示されているため、そもそも予約の対象とはなり得ない時間帯について、視認しやすくなっている。
【００２７】
また、既に予約されている時間セル５１Ｒには、予約したユーザー又は管理者の氏名や所属部署等のＩＤ情報の一部または全てが表示されており、その時間セルは、他の時間セルよりも視認しやすい色で表示されている。
【００２８】
また、例えば時間セル５１，５１Ｒとは別に、一定の期間、例えば１週間毎のキャンセル待ち件数が表示されたキャンセル待ちセル５２が表示されている。
【００２９】
ユーザー又は管理者は、この予約状況情報を基に、あるいは必要に応じて、さらに処理を続行するかを判断し、続行する場合にはステップＳ３のログインを行い、続行しない場合には管理コンピュータへのアクセスを終了する。ログインは、コンピュータ端末３０において、例えば図５の表示画面で、ログインアイコン５３のクリック等により開始される。ユーザー又は管理者は、コンピュータ端末３０において、不図示のログイン画面でＩＤ情報を入力する。
【００３０】
ＩＤ情報は、ユーザー又は管理者の氏名、所属部署、連絡先（内線電話番号、電子メールアドレス等）、及び氏名コード等を含む。このＩＤ情報は、管理コンピュータ１０によって識別される。ここで、入力されたＩＤ情報が、ユーザー又は管理者として予めデータベースに登録されているＩＤ情報と一致しない場合、管理コンピュータ１０は、その旨をコンピュータ端末３０に表示して、再度、ステップＳ２と同様に、予約状況情報を閲覧モードでコンピュータ端末３０に表示する。
【００３１】
入力されたＩＤ情報が、管理者ではないユーザーとしてデータベース１０Ｄに登録されているＩＤ情報と一致する場合、管理コンピュータ１０は、ユーザーモードとして、その入力者のログインを許可し、ステップＳ４のユーザー入力処理を行う。一方、入力されたＩＤ情報が、管理者としてデータベース１０Ｄに登録されているＩＤ情報と一致する場合、管理コンピュータ１０は、管理者モードとして、その入力者のログインを許可し、ステップＳ５の管理者入力処理を行う。
【００３２】
ステップＳ４のユーザー入力処理あるいはステップＳ５の管理者入力処理が行われた後は、管理者又はユーザーの希望に応じてログアウトすることにより、一連の処理を終了する。
【００３３】
以下に、ステップＳ４のユーザー入力処理について、図３のフロー図を参照して説明する。このユーザー入力処理では、まず、コンピュータ端末３０は、管理コンピュータ１０から送信されたデータベース１０Ｄの予約状況情報を、ユーザーログインモード（即ち、ユーザーによって、さらなる入力処理が可能となるモード）として表示する。
【００３４】
次に、図３のステップＳ４−１において、ユーザーは、コンピュータ端末３０に表示された予約状況情報を基に、自分の希望する日付の時間帯に予約が可能か否かを確認して、希望する日付の時間帯が空いていれば、その日付の時間帯の最初の時間（即ち開始時間）に対応した時間セル５１を、クリック等により選択する。ここで、選択された時間セル５１が、未だに経過していない時間に対応する場合、ステップＳ４−２の予約入力処理が開始される。一方、既に経過した時間に対応する時間セルであって、そのユーザーが過去に予約した時間セル５１Ｒが選択された場合、ステップＳ４−３の使用記録入力処理が開始される。
【００３５】
以下に、ステップＳ４−２の予約入力処理について説明する。この予約入力処理では、時間セル５１が選択されると、管理コンピュータ１０は、その時間セル５１に対応した日付において、予約に必要な入力項目が設けられた表示画面を、例えば図６に示すように、コンピュータ端末３０に表示する。予約に必要な入力項目は、少なくとも、具体的な予約の開始時間及び終了時間を含む。さらに、プロセスの名称、優先度、機種名や他の項目が入力項目として設けられてもよい。ユーザーは、これらの入力項目をコンピュータ端末３０において入力し、例えば登録アイコンのクリック等により確定する。以降、これらの入力項目、及びその日付を含む情報を、予約希望情報と呼ぶことにする。確定された予約希望情報は、コンピュータ端末３０によって管理コンピュータ１０に送信される。
【００３６】
管理コンピュータ１０は、データベース１０Ｄの予約状況情報と送信された予約希望情報を基に、その開始時間と終了時間によって予約が可能であると判断した場合には、その時間帯を予約済みであるものとして、データベース１０Ｄの予約状況情報を更新し、更新された予約状況情報をコンピュータ端末３０に送信して表示させる。その際、コンピュータ端末３０では、予約された時間セル５１Ｒには、予約したユーザーのＩＤ情報の一部又は全てが表示される。予約された時間セル５１Ｒは、必要に応じて、予約希望情報に含まれる優先度に応じた特定の色によって表示されてもよい。
【００３７】
一方、ユーザーの誤入力等によって、予約不可能な時間帯を示す予約希望情報が入力されている場合には、管理コンピュータ１０は、エラーメッセージを対応するコンピュータ端末３０に送信して表示させ、再度、その日付で予約に必要な入力項目が設けられた表示画面を、コンピュータ端末３０に表示する。
【００３８】
以下に、選択された時間セルが既に経過した時間に対応する場合に行われるステップＳ４−３の使用記録入力処理について説明する。この使用記録入力処理では、ステップＳ４−２の予約入力処理で分析解析装置を予約したユーザーが、その分析解析装置の使用後に、その分析解析装置を実際にどのように使用したかを示す情報、即ち使用記録情報をコンピュータ端末３０に入力し、コンピュータ端末３０は、その使用記録情報を管理コンピュータ１０に送信する。
【００３９】
具体的には、まず、予約された分析解析装置に対応して、その使用記録情報の記録項目を有した表示画面、例えば図７のような表示画面が、管理コンピュータ１０によってコンピュータ端末３０に表示される。使用記録情報の記録項目は、少なくとも、その分析解析装置の使用時間を含む。その他の使用記録情報の記録項目としては、例えば、プロセスの名称、優先度、加工用途、サンプル数、ＣＡＤリンクの有無、配線層数、カット数、デポ長、絶縁膜蒸着の箇所の数、トラブルなどの管理者への連絡事項が含まれる。これらの使用記録情報の記録項目は、必要に応じて、管理者によって上記以外の項目を含むように設定されてもよい。
【００４０】
この分析解析装置を予約して使用したユーザーは、上記使用記録情報の各記録項目をコンピュータ端末３０に入力し、例えば登録アイコンのクリック等により管理コンピュータ１０に送信する。管理コンピュータ１０は、これらの使用実態に関する情報をデータベース１０Ｄに格納する。
【００４１】
一方、図３のステップＳ４−１において、ユーザーは、コンピュータ端末３０に表示された予約状況情報を基に、自分の希望する日付の時間帯に予約が可能か否かを確認した際、希望する日付の時間帯が空いていない場合、キャンセル待ちセル５２をクリック等により選択して、ステップＳ４−４のキャンセル待ち入力処理を行うことができる。このキャンセル待ち入力処理では、管理コンピュータ１０は、コンピュータ端末３０にキャンセル待ち件数を表示し、ユーザーは、コンピュータ端末３０に予約希望時間等のキャンセル待ち情報を入力し、管理コンピュータ１０に送信する。これに対して、管理コンピュータ１０は、キャンセル待ち情報を、データベース１０Ｄの予約状況情報とマッチングさせて格納する。
【００４２】
他のユーザーによる予約のキャンセルが発生した場合には、その旨を、管理コンピュータ１０が、キャンセル待ち情報を入力したユーザーに対して、自動的に電子メール等によりコンピュータ端末３０を通して通知する。その後、ユーザーは、上記と同様にステップＳ４−２の予約入力処理を行う。
【００４３】
なお、予約をキャンセルする場合には、そのユーザーが、コンピュータ端末３０において、予約した時間セル５１Ｒをクリック等により選択すると、管理コンピュータ１０によって、ステップＳ４−２の予約入力処理と同様の図６の表示画面が、既に入力された予約希望情報と共にコンピュータ端末３０に表示される。予約をキャンセルするユーザーは、その表示画面において、削除アイコンのクリック等により、そこに表示された予約をキャンセルする旨を、管理コンピュータ１０に送信する。
【００４４】
以下に、ステップＳ３のログインで入力されたＩＤ情報が、管理者としてデータベース１０Ｄに登録されているＩＤ情報と一致する場合、即ちステップＳ５の管理者入力処理について、図４のフロー図を参照して説明する。
【００４５】
この管理者入力処理では、まず、コンピュータ端末３０は、管理コンピュータ１０から送信されたデータベース１０Ｄの予約状況情報を、管理者ログインモード（即ち、管理者によって、さらなる入力処理が可能となるモード）として表示する。ここでは、さらに、管理者が行える複数の処理を選択できるアイコンが表示され、管理者は、ステップＳ５−１で、そのアイコンのクリック等により、複数の処理のうちいずれか１つの処理を選択する。管理コンピュータ１０はこれを判別して、選択された処理を実行する。管理者が行える処理は、予約入力処理Ｓ５−２、ファイル出力処理Ｓ５−３、統計出力Ｓ５−４、及びシステム設定処理Ｓ５−５を含み、必要に応じて、上記以外の処理が追加される。
【００４６】
管理者が行うステップＳ５−２の予約入力処理は、ステップＳ４のユーザー入力処理におけるステップＳ４−２の予約入力処理と同様であるが、さらに、管理者は、コンピュータ端末３０を介して、ユーザーが既に予約した時間帯を取り消すことが可能であり、ユーザーよりも優先的に予約を行うことができる。
【００４７】
ステップＳ５−３のファイル出力処理では、管理コンピュータ１０は、ステップＳ４−３の使用記録入力処理でデータベース１０Ｄに格納された使用記録情報の集合を、管理者によって設定された期間及び記録項目別に編集してファイル化し、例えば、図８の表示画面のように、選択可能な統計ファイル群として、コンピュータ端末３０にそれらのファイル名を表示する。この表示画面を基に、管理者が所望のファイル名を選択して実行アイコンのクリック等により指定すると、あるいは、他の方法でコンピュータ端末３０を介して所望のファイル名を指定すると、管理コンピュータ１０が、そのファイル名に対応した統計ファイルをコンピュータ端末３０にファイル出力する。出力されるファイルの１つの例としては、設定された期間における、ある分析解析装置の使用時間と、使用したユーザーの所属部署との関係を示すテーブルである。
【００４８】
こうして統計ファイルがファイル出力されることにより、管理者は、コンピュータ端末３０に出力された１つの統計ファイル、あるいは複数の統計ファイルを、管理者の好みの表計算ソフトウェアに取り込んで編集し、さらに、管理者の好みのグラフ機能を用いて、多様な観点でグラフ化し、多様な統計的な解析を行うことができる。
【００４９】
ここで、コンピュータ端末３０に出力された統計ファイルは、より多様なアプリケーションソフトに取り込めるような汎用性のあるファイル形式、例えばＣＳＶ形式で生成されることが好ましい。
【００５０】
ステップＳ５−４の統計出力処理では、上記ステップＳ５−３のようなファイル出力によらず、管理コンピュータ１０が、管理者に設定された期間及び記録項目で編集した統計ファイルを、コンピュータ端末３０に直接グラフ化して出力する。具体的には、コンピュータ端末３０には、例えば図９に示すような表示画面が表示され、管理者が、コンピュータ端末３０に集計期間と集計項目（即ち使用記録情報の記録項目）を入力し、実行アイコンのクリック等により確定すると、管理コンピュータ１０は、その指定に応じたグラフをコンピュータ端末３０に表示する。図の例では、ある分析解析装置に関して、指定された集計期間における月毎の使用時間が示されている。
【００５１】
ステップＳ５−５のシステム設定処理では、管理者は、使用管理システムのシステム設定として、コンピュータ端末３０を介して、例えば図１０のような表示画面の各項目を入力して登録アイコンのクリック等により確定し、管理コンピュータ１０の設定を行う。
【００５２】
このシステム設定の特徴として、管理者は、分析解析装置を予約して使用したにもかかわらずステップＳ４−３で使用記録情報の入力を怠ったユーザーに対して、使用記録情報の未入力についての予防措置、及び制裁措置を設定することができる。
【００５３】
具体的に述べると、管理者は、使用記録情報の入力の有無を調べる対象となる期間、例えばその開始期間を設定する。この期間において、使用記録情報の入力を怠ったユーザーが管理コンピュータ１０によって特定される。使用記録情報の入力を怠ったユーザーの特定は、管理コンピュータ１０がデータベース１０Ｄを参照し、使用記録情報が対応して存在しない予約希望情報を調べることにより行われる。
【００５４】
使用記録情報の入力を怠ったユーザーに対して、管理者は、警告レベルを設定して、そのレベルに応じた警告メッセージを通知することができる。この警告メッセージの通知は、使用記録情報の入力を怠ったユーザーが、その入力を完了するまで通知される。これにより、使用記録情報の未入力に対する予防措置が講じられることになる。この警告メッセージは、管理コンピュータ１０によって、そのユーザーのＩＤ情報に含まれる電子メールアドレスを送信先として自動送信される電子メールと、そのユーザーがログインした後の予約状況情報の表示画面のいずれか一方、あるいは両方を用いて通知される。警告レベルが最も低く設定された場合には、警告メッセージの通知は省略されてもよい。
【００５５】
さらに、使用記録情報の入力を怠ったユーザーに対して、管理者は、予約の制限レベルを設定して、そのレベルに応じた予約制限を課すことができる。この予約制限では、予約可能な時間に関する制限の他に、予約回数に関する制限、優先度に関する制限等、様々な観点による制限を設定することができる。
【００５６】
この予約制限は、ユーザーに対して業務の遂行を制限するものであることから、使用記録情報の未入力に対する制裁措置となり、その後の予約及び使用において、使用記録情報の未入力を抑止することができる。
【００５７】
また、このシステム設定では、分析解析装置の故障やメンテナンスによる稼動の停止等を考慮して、管理者の判断により、全てのユーザーに対して予約時間の制限を課すこともできる。その予約時間の制限にかかる詳細な設定としては、例えは使用できる最長の時間、時間帯、曜日等が設定される。なお、この予約時間の制限にかかる詳細な設定は、上述した使用記録情報の入力を怠ったユーザーに対する予約の制限レベルとして設定されるものであってもよい。
【００５８】
また、他の設定事項について述べると、管理者は、自身のパスワードを、ステップＳ３のログインで入力するＩＤ情報の全て、即ち、氏名、所属部署、連絡先（内線電話番号、電子メールアドレス等）、及び氏名コード等の全ての入力項目を任意のパスワード群として登録及び変更することができる。これにより、他のユーザーによるなりすまし等の不正アクセスを確実に抑止できる。
【００５９】
また、管理者は、予約希望情報に含まれる部署名を、予め予約が想定される登録済み部署名として設定しておくことで、ステップＳ４−３の使用記録処理において、使用記録情報に含まれる部署名を正規化することができる。
【００６０】
また、管理者は、他の管理者の電子メールのアドレスを登録しておくことにより、ステップＳ４−３の使用記録処理でユーザーに入力された使用記録情報に含まれるトラブル等の連絡事項を、他の管理者に自動的に送信することができる。
【００６１】
上述した使用管理システムによれば、使用記録入力処理が行われ、さらに、使用記録情報の入力を怠ったユーザーに対して、使用記録情報の未入力に対する予防措置及び制裁措置をとることができる。これにより、この使用管理システムでは、分析解析装置の効率的な使用予約を行うばかりでなく、分析解析装置の使用実態を確実に把握することができる。結果として、管理者は、分析解析装置に対するメンテナンスや、分析解析装置の新規購入にかかる投資のタイミングを決定する有用な情報を、確実に得ることが可能となる。
【００６２】
さらにいえば、本発明の他の実施形態として、上述した使用管理システムの機能が付加された分析解析装置によっても、上記と同様の効果を得ることができる。即ち、図１１に示すように、ネットワーク２０を介してコンピュータ端末３０と接続される管理コンピュータ１０が、分析解析装置１００に組み込まれていてもよい。
【００６３】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、要旨を逸脱しない範囲で変更することができる。
【００６４】
例えば、管理コンピュータ１０は、上記以外の機能を有した処理、例えば管理者から全てのユーザーに対する連絡事項の告知処理を行ってもよい。
【００６５】
また、管理者は、階層のことなる複数の管理者、例えば上位管理者と下位管理者を含み、上位管理者は、下位管理者よりも優先して上記予約入力処理やシステム設定処理を行うことができるものとしてもよい。この場合、所定のメンテナンス業者を上位管理者として登録し、そのメンテナンス業者によって、メンテナンス作業にかかる予約の制限を最優先して、分析解析装置の使用が管理されるものであってもよい。
【００６６】
また、半導体装置の分析解析装置は、上記ＬＳＩテスターやＦＩＢリペア装置に限定されず、それ以外の分析解析装置、例えば、レーザー顕微鏡、原子間力顕微鏡（Atomic Force Microscope）、走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope）、透過型電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope）、走査型プローブ顕微鏡（Scanning Probe Microscope）、走査型トンネル顕微鏡（Scanning Tunneling Microscope）等であってもよい。さらにいえば、使用管理の対象は、管理者またはユーザーによって予約及び使用されるものであれば、分析解析装置以外の装置、即ち、測定装置、製造装置等であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施形態による半導体装置の分析解析装置の使用管理システムを示すシステム構成図である。
【図２】本発明の実施形態による半導体装置の分析解析装置の使用管理システムによって実行される処理のフロー図である。
【図３】本発明の実施形態による半導体装置の分析解析装置の使用管理システムによって実行される処理のフロー図である。
【図４】本発明の実施形態による半導体装置の分析解析装置の使用管理システムによって実行される処理のフロー図である。
【図５】本発明の実施形態による半導体装置の分析解析装置の使用管理システムで表示される予約状況情報の表示画面である。
【図６】本発明の実施形態による半導体装置の分析解析装置の使用管理システムで表示される予約入力処理の表示画面である。
【図７】本発明の実施形態による半導体装置の分析解析装置の使用管理システムで表示される使用記憶入力処理の表示画面である。
【図８】本発明の実施形態による半導体装置の分析解析装置の使用管理システムで表示されるファイル出力処理の表示画面である。
【図９】本発明の実施形態による半導体装置の分析解析装置の使用管理システムで表示される統計出力処理の表示画面である。
【図１０】本発明の実施形態による半導体装置の分析解析装置の使用管理システムで表示されるシステム設定処理の表示画面である。
【図１１】本発明の実施形態による使用管理機能付き半導体装置の分析解析装置を示すシステム構成図である。
【符号の説明】
【００６８】
１０  管理コンピュータ      ２０  ネットワーク
３０  コンピュータ端末      ５１，５１Ｒ  時間セル
５２  キャンセル待ちセル    １００  分析解析装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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