(57)【要約】【課題】簡易な構成で、且つ電気的に制御することなく、正逆転回転駆動される第１の被駆動軸の回転力を第２の被駆動軸に一方向回転力として伝達することができる回転伝達装置及びこれを使用した直動テーブル装置を提供する。【解決手段】正逆転駆動する回転駆動源５によって正逆回転駆動される第１の被駆動軸２と、一方向回転される第２の被駆動軸１６と、前記第１の被駆動軸の回転力を同一方向の回転力として前記第２の被駆動軸に伝達する第１の回転伝達機構２０と、前記第１の被駆動軸の回転力を逆方向の回転力として前記第２の被駆動軸に伝達する第２の回転伝達機構２１と、前記第１の回転伝達機構及び前記第２の回転伝達機構に個別に介挿された前記第２の被駆動軸を一方向に回転駆動するときに締結状態となる１方向クラッチ２０ｄ，２１ｃとを備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
正逆転駆動する回転駆動源によって正逆回転駆動される第１の被駆動軸と、１方向回転される第２の被駆動軸と、前記第１の被駆動軸の回転力を同一方向の回転力として前記第２の被駆動軸に伝達する第１の回転伝達機構と、前記第１の被駆動軸の回転力を逆方向の回転力として前記第２の被駆動軸に伝達する第２の回転伝達機構と、前記第１の回転伝達機構及び前記第２の回転伝達機構に個別に介挿された前記第２の被駆動軸を一方向に回転駆動するときに締結状態となる１方向クラッチとを備えたことを特徴とする回転伝達装置。
【請求項２】
前記第１の被駆動軸はボールねじ軸で構成され、該ボールねじ軸に螺合するナットに移動テーブルが連結されていることを特徴とする請求項１に記載の回転伝達装置。
【請求項３】
前記第２の被駆動軸は排気ファンを駆動するファン駆動軸であることを特徴とする請求項１又は２に記載の回転伝達装置。
【請求項４】
前記第１の回転伝達機構及び前記第２の回転伝達機構の何れか一方は歯車式動力伝達機構で構成され、他方はベルト式動力伝達機構で構成されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の回転伝達装置。
【請求項５】
前記第１の回転伝達機構及び前記第２の回転伝達機構の何れか一方が前記第１の被駆動軸及び前記第２の被駆動軸に個別に連結された一対のプーリと、該一対のプーリ間にオープン状態で張設された帯状体とで構成され、他方が前記第１の被駆動軸及び前記第２の被駆動軸に個別に連結された一対のプーリと、該一対のプーリ間にクロス状態で張設された帯状体とで構成されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の回転伝達装置。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか１項に記載の回転伝達装置を使用した直動テーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、正逆転駆動される被駆動軸の正逆転回転力を他の被駆動軸に１方向回転力として伝達する回転伝達装置及びこれを使用した直動テーブル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の回転駆動装置としては、１方向に回転駆動される入力軸にサンギヤを固定子、リングギヤとの間に第１ピニオンと第２ピニオンとを組み込み、回転自在に支持するキャリアを出力軸に一体化し、リングギヤに設けられたクラッチドラムとハウジングとの間に、逆転用クラッチと係合及び解除を制御する第１電磁クラッチとを組み込み、さらにクラッチドラムと出力軸との間に正転用クラッチと係合及び解除を制御する第２電磁クラッチとを組み込み、正転用クラッチの係合によって出力軸を入力軸と同方向に回転させ、逆転用クラッチの係合によって出力軸を入力軸と逆方向に回転させるようにした正逆回転切換装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００７−１９８４９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に記載の従来例にあっては、一方向に回転駆動される入力軸の回転駆動力を出力軸に正逆転駆動するように伝達することができるものであり、出力軸に電動モータを連結することにより入力軸を正逆転駆動することができるものであるが、何れにしても遊星歯車機構と、正転クラッチ及び逆転クラッチと、これら正転クラッチ及び逆転クラッチを制御する第１及び第２の電磁クラッチとを必要とするので、装置が大型化すると共に、正逆転に応じて第１及び第２の電磁クラッチを作動させる必要があり、その制御系も複雑となるという未解決の課題がある。
【０００４】
そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、簡易な構成で、且つ電気的に制御することなく、正逆転回転駆動される第１の被駆動軸の回転力を第２の被駆動軸に一方向回転力として伝達することができる回転伝達装置及びこれを使用した直動テーブル装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、請求項１に係る回転伝達装置は、正逆転駆動する回転駆動源によって正逆回転駆動される第１の被駆動軸と、一方向回転される第２の被駆動軸と、前記第１の被駆動軸の回転力を同一方向の回転力として前記第２の被駆動軸に伝達する第１の回転伝達機構と、前記第１の被駆動軸の回転力を逆方向の回転力として前記第２の被駆動軸に伝達する第２の回転伝達機構と、前記第１の回転伝達機構及び前記第２の回転伝達機構に個別に介挿された前記第２の被駆動軸を一方向に回転駆動するときに締結状態となる１方向クラッチとを備えたことを特徴としている。
【０００６】
また、請求項２に係る回転伝達装置は、請求項１に係る発明において、前記第１の被駆動軸はボールねじ軸で構成され、該ボールねじ軸に螺合するナットに移動台が連結されていることを特徴としている。
さらに、請求項３に係る回転伝達装置は、請求項１又は２に係る発明において、前記第２の被駆動軸は排気ファンを駆動するファン駆動軸であることを特徴としている。
【０００７】
さらにまた、請求項４に係る回転伝達装置は、請求項１乃至３の何れか１つに係る発明において、前記第１の回転伝達機構及び前記第２の回転伝達機構の何れか一方は歯車式動力伝達機構で構成され、他方はベルト式動力伝達機構で構成されていることを特徴としている。
なおさらに、請求項５に係る発明は、請求項１乃至３の何れか１つに係る発明において、前記第１の回転伝達機構及び前記第２の回転伝達機構の何れか一方が前記第１の被駆動軸及び前記第２の被駆動軸に個別に連結された一対のプーリと、該一対のプーリ間にオープン状態で張設された帯状体とで構成され、他方が前記第１の被駆動軸及び前記第２の被駆動軸に個別に連結された一対のプーリと、該一対のプーリ間にクロス状態で張設された帯状体とで構成されていることを特徴としている。
【０００８】
また、請求項６に係る直動テーブル装置は、請求項１乃至５の何れか１項に記載の回転伝達装置を使用したことを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、正逆転駆動される第１の被駆動軸の回転力を第２の被駆動軸に、同一方向回転力として伝達する第１の回転伝達機構と、逆方向回転力として伝達する第２の回転伝達機構とを設け、両回転力伝達機構に、前記第２の被駆動軸が一方向に回転する際に締結状態となる一方向クラッチを介挿したので、正逆転駆動される第１の被駆動軸の回転力を一方向回転力として第２の被駆動軸に伝達することができ、このための構成を簡易化することができると共に、電気的制御を行うことなく正逆回転力を一方向回転力に変換することができるという効果が得られる。
【００１０】
また、上記構成を有する回転伝達機構を使用して直動テーブル装置を構成することにより、第１の被駆動軸をねじ軸として、これに螺合するナットでテーブルを支持する移動台を往復動させ、この移動台の往復動に応じて排気ファン等の一方向回転駆動される負荷を回転駆動させることができ、直動テーブルの往復駆動と他の負荷の一方向回転駆動とを１つの回転駆動源で駆動することができ、直動テーブルと負荷とに対して個別の回転駆動源を設ける必要がなく、全体の構成を簡易化することができると共に、直動テーブルが往復動している場合のみ負荷を一方向回転駆動することができ、負荷の回転を個別に制御する必要がないという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の一実施形態を直動テーブル装置に適用した場合の一例を示す平面図、図２は図１のＡ−Ａ線上の断面図、図３は図１のＢ−Ｂ線上の断面図、図４は図２のＢ−Ｂ線上の断面図、図５は図１のＣ−Ｃ線上の断面図、図６は図１のＤ−Ｄ線上の断面図、図７は図２の側面図である。
【００１２】
図１〜図３において、ＴＤは直動テーブル装置であって、この直動テーブル装置ＴＤは例えば上面に開口部１ａを有する直方体状のケース体１を有する。このケース体１の中心軸位置に第１の被駆動軸としてのボールねじ軸２が左右両端側に配設した転がり軸受を備えた支持部３ａ及び３ｂで回転自在に支持されている。
このボールねじ軸２の左端にはカップリング４を介してケース体１の左端面１ｂの外側に固定された電動モータ５の正逆転駆動される出力軸５ａに連結されている。ここで、電動モータ５は、図２に示すように、ケーシング５ｂがケース体１の左端面１ｂに形成された透孔１ｃの外側に出力軸５ａを突出させた状態で固定されている。
【００１３】
そして、ボールねじ軸２にはボールナット６が螺合されており、このボールナット６にケース体１の開口部１ａ内に露出する移動台７が連結されている。この移動台７は、図４に示すように、ケース体１の開口部１ａに対向する下部に長手方向に沿って配設された前後一対の案内レール８ａ及び８ｂとこれら案内レール８ａ及び８ｂに案内されるスライダ９ａ及び９ｂとで構成されるリニアガイド１０によって直動案内される。
【００１４】
ここで、移動台７はケース体１の開口部１ａを形成する前後側縁に沿って延長しケース体１の上面より上方に突出する前後一対の支持部７ａ及７ｂが形成され、これら支持部７ａ及び７ｂに図４で一点鎖線図示の直動テーブル１１が載置される。そして、移動台７における支持部７ａ及び７ｂ間の左端部に、図３でとくに明らかなように、ケース体１の開口部１ａを略閉塞するシールベルト１２の一端が固定されている。このシールベルト１２の他端は、ケース体１の左側板１ｂの内部に配設された上下一対のガイドローラ１３ｕ及び１３ｄと右側板１ｄの内部に配設された上下一対のガイドローラ１４ｄ及び１４ｕとをその順に繞って移動台７の右端に固定されている。
【００１５】
一方、ケース体１の右端には、回転伝達機構収容部１５が形成され、この回転伝達機構収容部１５には、ボールねじ軸２の右端が支持部３ｂより右方に突出して右側板１ｄを貫通して延長され、このボールねじ軸２の延長部と対向する下端側に第２の被駆動軸としてのファン駆動軸１６がボールねじ軸２と平行にケース体１の右側板１ｄに配設された転がり軸受１７によって回転自在に片持ち支持されている。
【００１６】
そして、回転伝達機構収容部１５内において、ボールねじ軸２とファン駆動軸１６との間に、ボールねじ軸２の回転方向と同一方向の回転力をファン駆動軸１６に伝達する第１の回転伝達機構としてのベルト式回転力伝達機構２０と、ボールねじ軸２の回転方向と逆方向の回転力をファン駆動軸１６に伝達する第２の回転伝達機構としての歯車式回転力伝達機構２１とが配設されている。
【００１７】
ここで、ベルト式回転力伝達機構２０は、図５に示すように、ボールねじ軸２に固定された比較的大径のプーリ２０ａと、ファン駆動軸１６に固定された比較的小径のプーリ２０ｂと、両プーリ２０ａ及び２０ｂ間にオープンループに張設された無端ベルト２０ｃと、ボールねじ軸２とプーリ２０ａとの間、又はファン駆動軸１６とプーリ２０ｂとの間、この例ではファン駆動軸１６とプーリ２０ｂとの間に介挿された例えばボールねじ軸２の正転方向の回転力をファン駆動軸１６に伝達するが、ボールねじ軸２の逆転方向の回転力では滑ってファン駆動軸１６に伝達しない一方向クラッチとしてのワンウェイクラッチ２０ｄとで構成されている。このため、ベルト式回転力伝達機構２０ではボールねじ軸２の回転方向と同一方向の回転力をファン駆動軸１６に伝達可能に構成されており、ワンウェイクラッチ２０ｄによって、ボールねじ軸２を正転させたときに、その正転方向の回転力をファン駆動軸１６に加速して伝達するが、ボールねじ軸２を逆転させたときに、その逆転方向の回転力についてはファン駆動軸１６に伝達しない構成とされている。
【００１８】
また、歯車式回転力伝達機構２１は、図６に示すように、ボールねじ軸２にプーリ２０ａの右端側に取付けられた比較的大径の平歯車２１ａと、ファン駆動軸１６のプーリ２０ｂの外側に取付けられた比較的小径で、平歯車２１ａと噛合する平歯車２１ｂと、ボールねじ軸２と平歯車２１ａとの間、又はファン駆動軸１６と平歯車２０ｂとの間、この例ではファン駆動軸１６と平歯車２１ｂａとの間に介挿された例えばボールねじ軸２の逆転方向の回転力をファン駆動軸１６に伝達するが、ボールねじ軸２の正転方向の回転力では滑ってファン駆動軸１６に伝達しない一方向クラッチとしてのワンウェイクラッチ２１ｃとで構成されている。このため、歯車式回転力伝達機構２１ではボールねじ軸２の回転方向と逆方向の回転力をファン駆動軸１６に伝達可能に構成されており、ワンウェイクラッチ２１ｄによって、ボールねじ軸２を正転させたときに、その正転方向の回転力をファン駆動軸１６に伝達しないが、ボールねじ軸２を逆転させたときに、その逆転方向の回転力をファン駆動軸１６に加速して伝達する構成とされている。
【００１９】
ここで、ベルト式回転駆動機構２０のプーリ２０ａ及び２０ｂの回転数比と歯車式回転駆動機構２１の平歯車２１ａ及び２１ｂのギヤ比とが略等しく設定され、ボールねじ軸２の正逆転回転速度が一定である場合に、ファン駆動軸１６の一方向回転速度が正逆転切換時を除いて略一定の高速度となるように設定されている。
そして、ファン駆動軸１６が、その正転時にケース体１内の空気を外部に排出する排気ファン２５に連結されている。この排気ファン２５は回転伝達機構収容部１５の右端面に形成されたファン収容部２６に回転自在に配設されている。また、ケース体１内と回転伝達機構収容部１５内とが、右側板１ｄに形成された透孔２７によって連通されている。
【００２０】
次に、上記第１の実施形態の動作を説明する。
今、電動モータ５が停止しており、ボールねじ軸２、ベルト式回転伝達機構２０及び歯車式回転伝達機構２１、ファン駆動軸１６及び排気ファン２５が回転停止状態であり、移動台７が、図２に示すように、ケース体１の開口部１ａの右端側に停止しているものとする。
【００２１】
この停止状態から移動台７を左端側に移動させるには、電動モータ５を、その出力軸５ａが左端面側からみて時計方向に回転するように正転駆動する。このように、電動モータ５を正転駆動することにより、その出力軸５ａに連結されたボールねじ軸２が左端面からみて反時計方向に回転する正転状態となり、これに応じてボールナット６が左動して移動台７が左動する。
【００２２】
このとき、ボールねじ軸２の正転によってベルト式回転伝達機構２０のプーリ２０ａが左端側から見て時計方向に回転し、この時計方向の回転力が無端ベルト２０ｃによってプーリ２０ｂに伝達されて、このプーリ２０ｂが左端側から見て時計方向に回転する。このとき、プーリ２０ｂとファン駆動軸１６との間に介挿されたワンウェイクラッチ２０ｄはプーリ２０ｂの時計方向の回転に対しては滑ることなく締結状態となる。このため、プーリ２０ｂの時計方向の回転力がワンウェイクラッチ２０ｄを介してファン駆動軸１６に伝達されて、このファン駆動軸１６が時計方向に正転駆動され、これに応じて排気ファン２５が正転駆動されてケース体１内の空気を塵埃と共に右側板１ｄに形成された透孔２７を通じて吸引してケース体１外に排気する。このため、ケース体１内が負圧となることにより、ケース体１内で発生した微小な粉塵等の塵埃がケース体１の開口部１ａとシールベルト１２との隙間から上方に漏れ出すことを防止することができる。したがって、排気ファン２５から排気される塵埃を含む空気を適宜処理することにより、クリーンルーム等の発塵が問題なとなる環境でも別途内部吸引手段を設けることなく１軸テーブルの使用が可能となる。
【００２３】
ところが、歯車式回転伝達機構２１では、ボールねじ軸２の正転によって平歯車２１ａが左端側から見て時計方向に回転し、この平歯車２１ａに噛合する平歯車２１ｂは左端側から見て反時計方向に回転することになるため、この平歯車２１ｂとファン駆動軸１６との間に介挿したワンウェイクラッチ２１ｃが滑って非締結状態となり、平歯車２１の反時計方向の回転力はファン駆動軸１６に伝達されることはない。
【００２４】
その後、移動台７が所望位置に達すると、電動モータ５の回転が停止されることにより、ボールねじ軸２の正転が停止され、これに応じてボールナット６及び移動台７の左動が停止される。これと共に、ベルト式回転伝達機構２０によって正転駆動されていたファン駆動軸１６も停止して、排気ファン２５が停止する。
その後、電動モータ５を、その出力軸５ａが左端側から反時計方向に逆転させる逆転駆動状態とすると、これに応じてボールねじ軸２が左端側から見て反時計方向に逆転することにより、ボールナット６及び移動台７が右動を開始する。
【００２５】
このように、ボールねじ軸２が逆転駆動されると、ベルト式回転伝達機構２０では、プーリ２０ａが左端側から見て反時計方向に逆転駆動され、この反時計方向回転力が無端ベルト２０ｃを介してプーリ２０ｂに反時計方向の回転力として伝達される。このため、プーリ２０ｂとファン駆動軸１６との間に介挿されたワンウェイクラッチ２０ｄが滑って非締結状態となり、プーリ２０ｂの反時計方向の回転力がファン駆動軸１６に伝達されることが阻止される。
【００２６】
一方、歯車式回転伝達機構２１では、ボールねじ軸２に取付けられた平歯車２１ａが左端側から見て反時計方向に回転するが、この平歯車２１ａに噛合する平歯車２１ｂは時計方向に回転することになり、この平歯車２１ｂとファン駆動軸１６との間に介挿されたワンウェイクラッチ２１ｃは締結状態となって、平歯車２１ｂの左端から見て時計方向の回転力をファン駆動軸１６に伝達する。このため、ファン駆動軸１６が前述したボールねじ軸２の正転状態と同様に正転駆動されることになり、排気ファン２５が正転されてケース体１内の塵埃を含む空気を外部に排気する排気状態となる。
【００２７】
このように、上記第１の実施形態によると、移動台７を往復動させるボールねじ軸２を正逆転駆動した場合に、正転時にはベルト式回転伝達機構２０によってファン駆動軸１６を正転駆動し、逆転時には歯車式回転伝達機構２１でファン駆動軸１６を正転駆動することができ、移動台７の往復動と排気ファン２５の正転駆動とを一つの電動モータ５で駆動することができ、排気ファン２５用に独立した電動モータを設ける必要がなく全体の構成を簡易小型化することができる。
【００２８】
しかも、ベルト式回転伝達機構２０及び歯車式回転伝達機構２１の夫々がワンウェイクラッチ２０ｄ及び２１ｃによる機械的なクラッチを有するだけでボールねじ軸２の正逆転に応じて適宜選択されるので、電磁クラッチ等の電気的な制御系を設ける必要がなく、廉価に構成することができる。
なお、上記実施形態においては、第１の被駆動軸としてボールねじ軸２を適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、単なるねじ軸２を適用し、これにナットを螺合させるようにしてもよい。さらに、回転駆動源としては電動モータ５に限らず、油圧モータ、エンジン等の他の回転駆動源を適用することができる。
【００２９】
また、上記実施形態において、ボールねじ軸２とファン駆動軸１６との間の回転伝達装置として、ベルト式回転伝達機構２０と歯車式回転伝達機構２１とを設ける場合について説明したが、これに限定されるものではなく、図８及び図９に示すように、歯車式回転伝達機構２１を省略し、これに代えて襷掛けベルト式回転伝達機構３１を適用するようにしてもよい。すなわち、襷掛けベルト式回転伝達機構３１は、ボールねじ軸２に連結されたプーリ３１ａとファン駆動軸１６にワンウェイクラッチ３１ｄを介して連結されたプーリ３１ｂとの間に、無端ベルト３１ｃを両者間でクロスさせるクロス状態で張設された構成を有する。この襷掛けベルト式回転伝達機構３１では、ボールねじ軸２が逆転駆動されたときに、プーリ３１ｂを正転駆動して、ワンウェイクラッチ３１ｄを締結状態とし、ファン駆動軸１６を正転駆動することができる。
【００３０】
さらに、ボールねじ軸２の正逆転駆動時におけるファン駆動軸１６の回転速度に許容差を見込める場合には、ベルト式回転伝達機構２０を省略し、これに代えて、図１０に示すように、歯車式回転伝達機構２１の平歯車２１ａの外径を平歯車２１ｂと噛合しない程度に小さくし、平歯車２１ａと平歯車２１ｂとの間にアイドラ歯車２１ｄを噛合させる歯車式回転伝達機構３２を適用することもできる。この場合には、平歯車２１ａが正転したときに、アイドラ歯車２１ｄが逆転し、平歯車２１ｂが正転することになり、平歯車２１ｂの正転時にワンウェイクラッチ２１ｃを締結状態としてファン駆動軸１６を正転駆動するようにしてもよい。さらには、歯車式回転伝達機構３２と襷掛けベルト式回転伝達機構３１とを対で設けるようにしてもよい。
【００３１】
さらにまた、上記実施形態においては、ベルト式回転伝達機構２０を適用した場合について説明したが、これに代えてボールねじ軸２及びファン駆動軸１６に夫々スプロケットを配設し、これらスプロケット間に無端チェーンを巻回するようにしてもよい。
なおさらに、上記実施形態においては、ボールねじ軸２が正逆転駆動されるときに、ファン駆動軸１６を正転駆動する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、ワンウェイクラッチ２０ｄ及び２１ｃを逆転駆動時に締結状態となるように組み込むことにより、ファン駆動軸１６を逆転駆動することができる。
【００３２】
また、上記実施形態においては、歯車式回転伝達機構２１を平歯車で構成する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、はすば歯車、やまば歯車、内歯車対等を適用することができる。
さらに、上記実施形態においては、ボールねじ軸２とファン駆動軸１６とが平行である場合について説明したが、これに限定されるものではなく、両者が直交する場合にはベルト式回転伝達機構２０については無端ベルト２０ｃを捩じらすだけでよく、歯車式回転伝達機構２１についてはすぐばかさ歯車、まがりばかさ歯車、交差軸フェースギヤ、ねじ歯車等を適用することができる。
【００３３】
さらにまた、上記実施形態においては、回転伝達機構２０及び２１で増速する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、ボールねじ軸２とファン駆動軸１６とを等速駆動したり、ファン駆動軸１６を減速駆動したりすることもできる。
なおさらに、上記実施形態においては、第２の被駆動軸としてファン駆動軸１６を適用し、このファン駆動軸１６にファン２５を連結した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、図１１（ａ）及び（ｂ）に示すように、第２の被駆動軸１６に減速機構４０を介してボールねじ軸２と直交する方向に配設された搬送コンベヤ４１の駆動軸４２を連結して、搬送コンベヤ４１を一方向に回転駆動するようにしてもよい。ここで、減速機構４０は例えば被駆動軸１６に装着された小径のプーリ４０ａと駆動軸４２に装着された大径のプーリ４０ｂとこれらプーリ４０ａ及び４０ｂ間に巻装されたベルト４０ｃとで構成されているが、これに限定されるものではなく、歯車式減速機構やベルト式無段変速機構等を適用することができる。また、搬送コンベヤ４１は、駆動軸４２が一対の支柱４１ａ及び４１ｂに支持されている他、従動軸４３及び４４が同様に支柱４２ａ及び４２ｂに支持され、駆動軸４２及び従動軸４３，４４に夫々大径のローラ４５が装着され、これらローラ４５を巡って搬送無端ベルト４６が装着された構成を有する。
【００３４】
この搬送コンベヤ４１としては、上記ベルトコンベヤ形式に限定されるものではなく、フレームに所定間隔でローラを回転自在に配設し、各ローラをチェーンで連結すると共に、一つのローラを駆動軸４２に連結するようにしてローラコンベヤ形式とすることもできる。
また、搬送コンベヤ４１の搬送方向は、ボールねじ軸２と直交する方向に限定されるものではなく、傘歯車、ウォーム歯車等を使用して、ボールねじ軸２と沿う方向としたり、ボールねじ軸２に対して任意の角度の搬送方向とすることができる。
【００３５】
さらに、上記実施形態においては、本発明を１軸テーブル装置に適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、回転駆動源によって、正逆転駆動される第１の被駆動軸と、この第１の被駆動軸に連結されて正転又は逆転駆動される第２の被駆動軸とを有する構成であれば、本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明を１軸テーブル装置に適用した場合の一実施形態を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線上の断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線上の断面図である。
【図４】図２のＣ−Ｃ線上の断面図である。
【図５】図２のＤ−Ｄ線上の断面図である。
【図６】図２のＥ−Ｅ線上の断面図である。
【図７】図２の側面図である。
【図８】本発明の変形例を示す要部の断面図である。
【図９】図８のＦ−Ｆ線上の断面図である。
【図１０】歯車式回転伝達機構の他の例を示す図である。
【図１１】本発明を搬送コンベヤに適用した場合の実施形態を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線上の断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
ＴＤ…直動テーブル装置、１…ケース体、２…ボールねじ軸、３ａ，３ｂ…支持部、４…カップリング、５…電動モータ、６…ボールナット、７…移動台、１０…リニアガイド、１２…シールベルト、１５…回転伝達機構収容部、１６…ファン駆動軸、２０…ベルト式回転伝達機構、２０ａ、２０ｂ…プーリ、２０ｃ…無端ベルト、２０ｄ…ワンウェイクラッチ、２１…歯車式回転伝達機構、２１ａ，２１ｂ…平歯車、２１ｃ…ワンウェイクラッチ、２５…排気ファン、３０…襷掛けベルト式回転伝達機構、３１…歯車式回転伝達機構、４０…減速機構、４１…搬送コンベヤ
【図１】
2009133360.tif 000003
【図２】
2009133360.tif 000004
【図３】
2009133360.tif 000005
【図４】
2009133360.tif 000006
【図５】
2009133360.tif 000007
【図６】
2009133360.tif 000008
【図７】
2009133360.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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