(57)【要約】【課題】有機溶剤回収装置から分離され排出される排水を河川等環境中に排出しない有機溶剤含有ガス処理システムを提供すること。  【解決手段】吸着材を充填した吸着槽を備えた有機溶剤吸脱着装置に、有機溶剤を含有する被処理ガスを導入し、有機溶剤を該吸着槽で吸着処理して有機溶剤濃度が減少した処理済みガスを排出し、該吸着槽における吸着処理が完了した後に、前記有機溶剤吸脱着装置へスチームを導入し、吸着材から有機溶剤を脱着し、それによって吸着材を再生する有機溶剤吸脱着装置と、有機溶剤吸脱着装置における吸着材の再生の際に発生する有機溶剤含有水蒸気を液化し、分離排水と有機溶剤に分離し、有機溶剤を回収する有機溶剤分離装置とからなる有機溶剤回収装置と、該有機溶剤回収装置における有機溶剤分離装置により分離し排出される分離排水をクーリングタワーに導入し、該排水を冷却水として再利用する有機溶剤含有ガス処理システム。【選択図】図１
2009273975.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着材を充填した吸着槽を備えた有機溶剤吸脱着装置に、有機溶剤を含有する被処理ガスを導入し、有機溶剤を該吸着槽で吸着処理して有機溶剤濃度が減少した処理済みガスを排出し、該吸着槽における吸着処理が完了した後に、前記有機溶剤吸脱着装置へスチームを導入し、吸着材から有機溶剤を脱着し、それによって吸着材を再生する有機溶剤吸脱着装置と、有機溶剤吸脱着装置における吸着材の再生の際に発生する有機溶剤含有水蒸気を液化し、分離排水と有機溶剤に分離し、有機溶剤を回収する有機溶剤分離装置とからなる有機溶剤回収装置と、
該有機溶剤回収装置における有機溶剤分離装置により分離し排出される分離排水をクーリングタワーに導入し、該排水を冷却水として再利用する有機溶剤含有ガス処理システム。
【請求項２】
有機溶剤分離装置から排出された分離排水をクーリングタワーに導入する前に、排水中の有機溶剤成分を除去する水処理手段として、排水中の有機溶剤を揮発除去する曝気槽を備えた請求項１に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【請求項３】
有機溶剤分離装置から排出された分離排水をクーリングタワーに導入する前に、排水中の有機溶剤成分を除去する水処理手段として、排水中の有機溶剤を含有する水を吸着素子に通流させて該吸着素子に有機溶剤を吸着させる吸着工程と、該吸着素子に高温の加熱ガスを通気させて該吸着素子に吸着された有機溶剤を脱着する脱着工程とを交互に行う吸脱着式水処理装置である請求項１に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【請求項４】
有機溶剤分離装置から排出された分離排水をクーリングタワーに導入する前に、排水中の有機溶剤成分を除去する水処理手段として、排水中の有機溶剤を揮発除去する曝気槽の下流に、排水中の有機溶剤を含有する水を吸着素子に通流させて該吸着素子に有機溶剤を吸着させる吸着工程と、該吸着素子に高温の加熱ガスを通気させて該吸着素子に吸着された有機溶剤を脱着する脱着工程とを交互に行う吸脱着式水処理装置を備える請求項１に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【請求項５】
前記水処理手段において、排水中から除去した有機溶剤ガスを該有機溶剤吸脱着装置の入口に戻すラインを備える請求項２〜４のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【請求項６】
前記水処理手段の下流にｐＨ を調整するための中和槽を備える請求項２〜５のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機溶剤を含有する被処理ガスから有機溶剤を回収し、その分離排水を処理する有機溶剤含有ガス処理システムに関し、特に各種工場、研究施設等から排出される有機溶剤を含有した産業排ガスの浄化に用いられる有機溶剤含有ガス処理システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機溶剤含有ガス処理システムにおける有機溶剤吸脱着装置としては、活性炭素材で被処理ガスの有機溶剤を吸着する１対の吸着槽と、各吸着槽に対する被処理ガス供給手段と脱着用ガス供給手段とを設け、前記吸着槽に被処理ガスを供給する吸着処理装置と脱着用ガスを供給する脱着処理状態とに切り替える切り替え手段を設けて構成されている。
【０００３】
また、上記の有機溶剤吸脱着装置の吸着材は、粒状活性炭や活性炭素繊維、ゼオライト、シリカゲルなどが使用されている。特に活性炭素繊維は低濃度の有機ガスを吸着する機能に優れ、古くから吸着材として使われている。たとえば、活性炭素繊維を支持体に固定し、または自己支持にて円筒状に構成し、芯材内にたて型に配設した装置が提案されている（例えば、特許文献１〜５参照）。これらは、いずれも、活性炭素繊維を格納している芯材に蒸気を噴出し、活性炭素繊維に吸着された有機物を脱着させるものである。該脱着された有機溶剤含有水蒸気を有機溶剤分離装置に導入し、凝縮して有機溶剤と水を分離して有機溶剤を回収する装置から構成されている。
【０００４】
前記有機溶剤分離装置で分離された排水は有機溶剤が含有しているため、そのまま河川等へ放流することができないことから、排水処理装置を設けて処理を行っている。排水処理装置として排水中の有機溶剤を揮発させて除去する曝気槽など有効な手法が開発されているが（例えば特許文献６参照）、最終的には排水を河川等に放流する必要があった。
【０００５】
【特許文献１】特開昭５１−３８２７８号公報
【特許文献２】特公昭６４−１１３２６号公報
【特許文献３】実公平７−２０２８号公報
【特許文献４】実公平７−２０２９号公報
【特許文献５】実公平７−２０３０号公報
【特許文献６】特開平２−１６９０８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、従来技術の課題を背景になされたもので、有機溶剤回収装置から分離され排出される排水を河川等環境中に排出しない有機溶剤含有ガス処理システムを提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、従来技術の課題を解決するため、鋭意検討した結果、ついに本発明を完成するに至った。即ち本発明は以下の通りである。
【０００８】
１．吸着材を充填した吸着槽を備えた有機溶剤吸脱着装置に、有機溶剤を含有する被処理ガスを導入し、有機溶剤を該吸着槽で吸着処理して有機溶剤濃度が減少した処理済みガスを排出し、該吸着槽における吸着処理が完了した後に、前記有機溶剤吸脱着装置へスチームを導入し、吸着材から有機溶剤を脱着し、それによって吸着材を再生する有機溶剤吸脱着装置と、有機溶剤吸脱着装置における吸着材の再生の際に発生する有機溶剤含有水蒸気を液化し、分離排水と有機溶剤に分離し、有機溶剤を回収する有機溶剤分離装置とからなる有機溶剤回収装置と、
該有機溶剤回収装置における有機溶剤分離装置により分離し排出される分離排水をクーリングタワーに導入し、該排水を冷却水として再利用する有機溶剤含有ガス処理システム。
【０００９】
２．有機溶剤分離装置から排出された分離排水をクーリングタワーに導入する前に、排水中の有機溶剤成分を除去する水処理手段として、排水中の有機溶剤を揮発除去する曝気槽を備えた上記１に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【００１０】
３．有機溶剤分離装置から排出された分離排水をクーリングタワーに導入する前に、排水中の有機溶剤成分を除去する水処理手段として、排水中の有機溶剤を含有する水を吸着素子に通流させて該吸着素子に有機溶剤を吸着させる吸着工程と、該吸着素子に高温の加熱ガスを通気させて該吸着素子に吸着された有機溶剤を脱着する脱着工程とを交互に行う吸脱着式水処理装置である上記１に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【００１１】
４．有機溶剤分離装置から排出された分離排水をクーリングタワーに導入する前に、排水中の有機溶剤成分を除去する水処理手段として、排水中の有機溶剤を揮発除去する曝気槽の下流に、排水中の有機溶剤を含有する水を吸着素子に通流させて該吸着素子に有機溶剤を吸着させる吸着工程と、該吸着素子に高温の加熱ガスを通気させて該吸着素子に吸着された有機溶剤を脱着する脱着工程とを交互に行う吸脱着式水処理装置を備える上記１に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【００１２】
５．前記水処理手段において、排水中から除去した有機溶剤ガスを該有機溶剤吸脱着装置の入口に戻すラインを備える上記２〜４のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【００１３】
６．前記水処理手段の下流にｐＨ を調整するための中和槽を備える上記２〜５のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【発明の効果】
【００１４】
本発明による有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤回収装置から分離排出される有機溶剤含有排水をクーリングタワーに導入することで、排水を排出しないシステムとすることを実現しただけでなく、有機溶剤含有水蒸気を凝縮するための有機溶剤分離装置のコンデンサーに必要な冷却水を排水から製造することができる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の実施形態の例を２つ挙げて説明する。始めに図１にて説明する。被処理ガス１１を吸着送風機１２にて有機溶剤吸脱着装置１０に導入する。導入された被処理ガスは吸着槽１３に送られ、吸着材１４を通過する際に被処理ガス中の有機溶剤を吸着除去して処理出口から清浄空気１６として排出される。
一方で、脱着用スチーム１５により脱着された有機溶剤含有水蒸気１７は、有機溶剤分離装置２０に送られコンデンサー２１で液化され分離排水２２と回収液（有機溶剤）２３に分離される。分離された有機溶剤を含有した分離排水２２は、曝気槽３１に導入されて有機溶剤を揮発除去し、揮発除去後の排水は中和槽３２に導入されて中和し、最後にクーリングタワー３３に導入され、排水から冷却水を製造し、冷却水導入ライン３５を通してコンデンサー２１に冷却水を導入する。
さらに、曝気槽から揮発した有機溶剤含有空気を戻りガスライン３４を通じて有機溶剤吸脱着装置１０の入口である被処理ガス１１に戻すシステムである。
【００１６】
次に図２について説明する。被処理ガス１１を吸着送風機１２にて有機溶剤吸脱着装置１０に導入する。導入された被処理ガスは吸着槽１３に送られ、吸着材１４を通過する際に被処理ガス中の有機溶剤を吸着除去して処理出口から清浄空気１６として排出される。
一方で、脱着用スチーム１５により脱着された有機溶剤含有水蒸気１７は、有機溶剤分離装置２０に送られコンデンサー２１で液化され分離排水２２と回収液（有機溶剤）２３に分離される。分離された有機溶剤を含有した分離排水２２は、曝気槽３１に導入されて有機溶剤を揮発除去する。曝気槽３１で処理後の排水は吸脱着式有機溶剤含有水処理装置４０に導入され、吸着材４１に導入され有機溶剤を吸着除去し、処理した排水は中和槽３２に導入され、中和後クーリングタワー３３に導入される。クーリングタワーで排水から製造した冷却水は冷却水導入ライン３５を通じて有機溶剤分離装置２０におけるコンデンサー２１に供給する。
他方、パージ空気供給送風機４４で空気を供給して、吸着後の吸着材４１に付着している水をパージ処理し、その水は戻り水ラインを通じて吸着材４１の入口に戻す。パージ処理後に脱着ガス供給送風機４２と脱着ガス用ヒーター４３にて加熱空気で脱着する。曝気槽３１で揮発された有機溶剤含有空気と吸脱着式有機溶剤含有水処理装置４０で脱着された有機溶剤含有空気は戻りガスラインを通じて有機溶剤吸脱着装置１０の入口である被処理ガス１１に戻すシステムである。
【００１７】
本発明にかかる有機溶剤吸脱着装置の吸着材は、粒状活性炭、活性炭素繊維、ゼオライト、シリカゲルなど特に限定されるものではないが、特に活性炭素繊維が好ましい。かかる吸着材における活性炭素繊維は粒状活性炭と比較して吸着速度が速く、低濃度の有機ガスを吸着する機能に優れているためである。
【００１８】
本発明にかかるクーリングタワーは、開放式、密閉式と特に限定されるものではないが、排水量によって最適なクーリングタワーを選定することが好ましい。また、開放式を採用したときのクーリングタワーの構造も然りで、排水量によって角型か丸型か最適な形状を選定することが好ましい。更に、クーリングタワーによって排水から製造された冷却水の使用に関して特に限定されるものではないが、有機溶剤分離装置におけるコンデンサーに使用することが好ましい。
【００１９】
本発明にかかる有機溶剤回収装置とクーリングタワーの中間に設置する排水処理装置は、曝気式、吸着交換フィルターユニット式、吸脱着処理式、活性汚泥式と特に限定されるものではないが、曝気式および／または吸脱着処理式水処理装置が好ましい。有機溶剤を高濃度で含有する場合が多いため、吸着交換フィルターユニットは交換頻度が多くなり、活性汚泥式では設置スペースを広く必要になるからである。
【００２０】
曝気式排水処理装置において、有機溶剤の揮発を促進させるために加熱することが好ましい。このとき、熱交換器等を使用することで、有機溶剤回収装置から脱着した有機溶剤含有水蒸気の潜熱または顕熱を曝気槽中の排水の加熱源として利用することが経済的により好ましい。
【００２１】
吸脱着処理式排水処理装置の吸着材は、粒状、粉体状、ハニカム状の活性炭やゼオライトやシリカゲルや活性アルミナ等が挙げられるが、特に活性炭素繊維を用いた連続吸脱着方式の排水処理装置であることが好ましい。つまり、活性炭素繊維は表面にミクロ孔を有する事と繊維状構造であることで水との接触効率が高いためで、特に水中の有機溶剤の吸着速度が速くなり、他の構造に比べて極めて高い除去効率を発現でき、更に高効率処理のために導入するパージ工程においてガスの流通により吸着素子表面の水滴を除去する際にも、容易に水滴の除去が可能となるからである。
【００２２】
有機溶剤回収装置とクーリングタワーの中間に設置する排水処理装置において、曝気式および／または吸脱着式水処理装置の下流に中和槽を設けることが好ましい。曝気式および／または吸脱着式水処理装置から排出される排水のｐＨは酸性であることから、中和することでクーリングタワーや配管の腐食を抑制することができるためである。
【００２３】
前記排水処理装置において、戻りガスラインを通じて揮発または脱着された有機溶剤含有空気を有機溶剤吸脱着装置の入口に戻すことが好ましい。発生した有機溶剤含有空気から更に有機溶剤を回収することができ効率的だからである。
【００２４】
本発明にかかる有機溶剤処理システムにおいて、処理可能な有機溶剤は酢酸エチル、酢酸メチル、酢酸ブチル、メチルエチルケトン、メチルブチルケトン、ヘプタノン、アセトン、トルエン、キシレン、ＰＧＭＥＡ、ＰＧＭＥ、メタノール、エタノール、プロパノール等特に限定されるものではなく、その混合物であっても例外ではない。
【００２５】
本発明にかかる有機溶剤処理システムにおけるクーリングタワーから排出される空気において、微量濃度の有機溶剤が含有している場合、有機溶剤濃縮装置を用いてクーリングタワーから排出される空気中の有機溶剤を濃縮し、有機溶剤吸脱着装置の入口に戻すことが好ましい。図３は有機溶剤含有ガス濃縮処理システムの原理を示したものである。同図において、大風量・低濃度のＶＯＣ含有ガス中の有機溶剤を吸着するための有機溶剤濃縮処理装置５０は、回転中心軸５６まわりに回転可能な円筒形のケース５１を有しており、このケース５１内にＶＯＣを吸着するためのハニカム構造（連通路を中心軸方向に向けている）からなる吸着材５５が収納され全体として筒状吸着体を構成している。吸着材５５はＶＯＣ含有ガスの成分に応じて、活性炭素繊維やゼオライトペーパー等が適宜選択される。筒状吸着体が回転する移動経路上には吸着部５３と脱着部５７が区画されており、吸着材５５がそれら吸着部５３と脱着部５７とを交互に通過するようになっている。上記吸着部５３には、例えば工場内で発生したＶＯＣ含有ガスを導入するためのＶＯＣ含有ガス供給管５２と、濃縮処理装置５０の吸着材５５によって浄化された清浄空気を工場へ送り出すための浄化空気送出管５４が設けられている。また、脱着部５７には、ＶＯＣを吸着した吸着材５５に対し例えば１８０℃の高温乾燥空気、すなわち脱着用加熱空気を吹き付けるための脱着用空気供給管５８が設けられており、脱着用加熱空気の風量がＶＯＣ含有ガスの風量の１／２〜１／５０程度に設定されていることにより脱着されるガスが濃縮されるようになっている。
【実施例】
【００２６】
以下、実施例によりさらに本発明を詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
なお、評価は下記の方法によりおこなった。
（酢酸エチル、酢酸、エタノール、トルエン溶剤濃度評価）
入口・出口の水濃度をガスクロマトグラフ法により分析し測定した。
（除去率）
除去率（％）＝（装置入口ガス濃度−装置出口ガス濃度）／装置入口ガス濃度×１００
【００２７】
＜実施例１＞
酢酸エチル２０００ｐｐｍ含む４０℃の被処理ガス１１を、有機溶剤吸脱着装置１０に導入した。その際に風量１００Ｎｍ３／分で吸着送風機１２より吸着槽１３に送風し、吸着槽で吸着材１４として平均細孔径１７．４Å、ＢＥＴ比表面積１６５０ｍ２／ｇ、全細孔容積０．６６ｃｍ３／ｇの活性炭素繊維を使用し、９分間吸着を行い、清浄空気１６を排出した。その際の清浄空気１６の酢酸エチル濃度は２０ｐｐｍであり、９９％の除去率で処理できた。その後自動ダンパーで吸着槽１３への送風を封鎖し、次に吸着槽の活性炭素繊維に脱着用スチーム１５を噴出した。この処置と同時に別の吸着槽の自動ダンパーを開放し、今度はこの吸着槽で酢酸エチルガスの吸着処理を行った。この吸着と脱着の操作を繰り返し実施した。
【００２８】
有機溶剤吸脱着装置１０から得られた有機溶剤含有水蒸気１７を、有機溶剤分離装置２０に送りコンデンサー２１で冷却し、酢酸エチル主体の回収液２３と酢酸エチルが微量に含まれた分離排水２２を得た。分離排水の酢酸エチル濃度は６９００ｐｐｍ、酢酸濃度は２４００ｐｐｍ、エタノール濃度は１９００ｐｐｍで水量は３１０ｋｇ／ｈｒの量であった。
【００２９】
この分離排水２２を曝気槽３１に導入した。曝気槽中の排水は７０℃に加温し、エアレーションを行った。曝気槽３１で処理した排水の濃度は酢酸エチル１５ｐｐｍ、酢酸５０ｐｐｍ、エタノール２５ｐｐｍと除去率９９％以上にて処理できた。また、この際に揮発した溶剤ガスは戻りガスライン３４を通じて有機溶剤吸脱着装置１０の入口である被処理ガス１１に戻した。
【００３０】
次に、曝気槽３１に導入された排水を中和槽３２に導入し、ｐＨを３．５から７まで中和した。その後、クーリングタワー３３に排水を導入し、排水から冷却水を製造し、コンデンサー２１に製造した冷却水を冷却水導入ライン３５より導入した。このとき、コンデンサー２１に必要な冷却水１９ｍ３／ｈｒの内で、補給冷却水として必要な１ｍ３／ｈｒの冷却水の２８％にあたる２８０ｋｇ／ｈｒをクーリングタワーから供給することができた。
【００３１】
本実施例の有機溶剤含有ガス処理システムは、１００時間後でも有機溶剤回収装置の除去率、水処理装置の除去率共に９０〜９９％の効率で処理が可能であった。吸着と脱着を連続して行い処理するため、性能低下がなく安定して高い効率で処理ができる。更に、排水を冷却水として利用することができるため、経済的に効率的であるだけでなく、排水を環境中に排出しない利点も付加することができた。
【００３２】
＜実施例２＞
トルエン２５００ｐｐｍ含む３０℃の被処理ガス１１を、有機溶剤吸脱着装置１０に導入した。その際に風量１００Ｎｍ３／分で吸着送風機１２より吸着槽１３に送風し、吸着槽で吸着材１４として平均細孔径１７．４Å、ＢＥＴ比表面積１６５０ｍ２／ｇ、全細孔容積０．６６ｃｍ３／ｇの活性炭素繊維を使用し、８分間吸着を行い、清浄空気１６を排出した。その際の清浄空気１６のトルエン濃度は２５ｐｐｍであり、９９％の除去率で処理できた。その後自動ダンパーで吸着槽１３への送風を封鎖し、次に吸着槽の活性炭素繊維に脱着用スチーム１５を噴出した。この処置と同時に別の吸着槽の自動ダンパーを開放し、今度はこの吸着槽でトルエンガスの吸着処理を行った。この吸着と脱着の操作を繰り返し実施した。
【００３３】
有機溶剤吸脱着装置１０から得られた有機溶剤含有水蒸気１７を、有機溶剤分離装置２０に送りコンデンサー２１で冷却し、トルエン主体の回収液２３とトルエンが微量に含まれた分離排水２２を得た。分離排水の酢酸エチル濃度は２０００ｐｐｍで水量は３１０ｋｇ／ｈｒの量であった。
【００３４】
この分離排水２２を曝気槽３１に導入した。曝気槽中の排水は７０℃に加温し、エアレーションを行った。曝気槽３１で処理した排水の濃度はトルエン２０ｐｐｍ以下と除去率９９％以上にて処理できた。また、この際に揮発した溶剤ガスは戻りガスライン３４を通じて有機溶剤吸脱着装置１０の入口である被処理ガス１１に戻した。
【００３５】
次に、曝気槽３１に導入された排水を中和槽３２に導入し、ｐＨを７に中和した。その後、クーリングタワー３３に排水を導入し、排水から冷却水を製造し、コンデンサー２１に製造した冷却水を冷却水導入ライン３５より導入した。このとき、コンデンサー２１に必要な冷却水１９ｍ３／ｈｒの内で、補給冷却水として必要な１ｍ３／ｈｒの冷却水の２８％にあたる２８０ｋｇ／ｈｒをクーリングタワーから供給することができた。
【００３６】
本実施例の有機溶剤含有ガス処理システムは、１００時間後でも有機溶剤回収装置の除去率、水処理装置の除去率共に９０〜９９％の効率で処理が可能であった。吸着と脱着を連続して行い処理するため、性能低下がなく安定して高い効率で処理ができる。更に、排水を冷却水として利用することができるため、経済的に効率的であるだけでなく、排水を環境中に排出しない利点も付加することができた。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明の有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤回収装置から排出される分離排水の連続浄化、並びに排水の冷却水化による無排水システムを実現した。基本的に吸着材の交換が必要なく、多量有害有機物質を高効率且つ安定に除去することができる処理装置であるため、設備増大を必要とせずに、吸着材交換作業を省略でき、コスト低減、有害物質安定除去でき、特に研究所や工場等の幅広い分野に利用することができ、産業界に寄与することが大である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の好ましい一形態の例である、有機溶剤含有ガス処理システムである。
【図２】本発明の好ましい一形態の例である、有機溶剤含有ガス処理システムである。
【図３】有機溶剤含有ガス濃縮処理システムの一例である。
【符号の説明】
【００３９】
１０  有機溶剤吸脱着装置
１１  被処理ガス
１２  吸着送風機
１３  吸着槽
１４  吸着材
１５  脱着用スチーム
１６  清浄空気
１７  脱着後の有機溶剤含有水蒸気
２０  有機溶剤分離装置
２１  コンデンサー
２２  分離排水
２３  回収液（有機溶剤）
３１  曝気槽
３２  中和槽
３３  クーリングタワー
３４  戻りガスライン
３５  冷却水導入ライン
３６  戻り冷却水ライン
４０  吸脱着式有機溶剤含有排水処理装置
４１  吸着材
４２  脱着ガス供給送風機
４３  脱着ガス用ヒーター
４４  パージ空気供給送風機
４５  戻り水ライン
５０  有機溶剤濃縮処理装置
５１  回転可能な円筒形のケース
５２  ＶＯＣ含有ガス供給管
５３  吸着部
５４  浄化空気送出管
５５  吸着材
５６  回転中心軸
５７  脱着部
５８  脱着用空気供給管
【図３】
2009273975.tif 000003
【図１】
2009273975.tif 000004
【図２】
2009273975.tif 000005