(57)【要約】【課題】テーブル部上に載置する基板収納用トレイの個数が増加しても、昇降ユニットの駆動系が大掛かりにならず、基板移載装置が占める容積の増大しない基板移載装置を提供する。【解決手段】１）積重された基板収納用トレイ１０を水平搬送するコンベアＣＶ、２）ａ）最上部の基板収納用トレイのみを保持して上方に取りはずし、ｂ）水平搬送し、下降させて、収納されたガラス基板を基板収納用トレイから支持ピン３４上に取り出し移載し、空となった基板収納用トレイを架台５１上に載置するトレイ搬送ユニット８０、３）支持ピンが垂直に備え、空となった基板収納用トレイを載置する架台５１、４）支持ピン上のガラス基板を水平搬送するロボットＲＢが設けられていること。【選択図】図９
2009292595.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納されたガラス基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿通されるように複数の通孔部が底部に設けられた基板収納用トレイから収納されたガラス基板を取り出すことのできる基板移載装置において、
１）前記ガラス基板が収納されて上下方向に積重された状態の複数の基板収納用トレイを水平搬送するコンベア、
２）ａ）該積重された状態の複数の基板収納用トレイの最上部の基板収納用トレイのみを保持して上方に取りはずし、
ｂ）該基板収納用トレイを支持ピンの上方に水平搬送し、該基板収納用トレイを下降させて、収納されたガラス基板を基板収納用トレイから複数の支持ピン上に取り出して移載し、ガラス基板を複数の支持ピン上に水平状態で保持させ、
ｃ）更に該基板収納用トレイを下降させて、空となった基板収納用トレイを架台上に載置するトレイ搬送ユニット、
３）前記複数の支持ピンが上面から上方に向かって垂直に備えられており、空となった基板収納用トレイが上下方向に積重された状態にその上面に載置される架台、
４）前記複数の支持ピン上に水平状態で保持されたガラス基板を下方から掬い上げて水平搬送するロボットが設けられていることを特徴とする基板移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタのガラス基板を基板収納用トレイ内から取り出すため、及び、基板収納用トレイ内に収納するために使用される基板移載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特開２００４−１８６２４９には、液晶表示装置用カラーフィルタのガラス基板がそれぞれ収納されて上下方向に積重された複数の基板収納用トレイの各々から、ガラス基板を効率よく取り出すことができ、また、ガラス基板が取り出された空の基板収納用トレイを効率よく上下方向に積重することができる基板移載装置が開示されている。
【０００３】
図１は、上記基板移載装置にて用いられる基板収納用トレイ（１０）の一例を示す平面図、図２は、図１のＡ−Ａ線での断面図である。この基板収納用トレイ（１０）は、液晶表示装置用カラーフィルタに使用される長方形状のガラス基板、特に、一辺が１．３ｍ以上であって、厚さが０．７ｍｍ以下のガラス基板を収容して輸送するために用いられる。
【０００４】
基板収納用トレイ（１０）は、樹脂によって長方形状トレイに一体的に成形されており、輸送するガラス基板（２０）が、水平状態で載置される長方形状の底部（１１）と、底部（１１）の全周にわたる側縁部に上方に突出するように設けられた枠部（１２）とを有している。
【０００５】
底部（１１）は、収納されるガラス基板（２０）よりも一廻り大きな長方形状であって、底部（１１）の上面にガラス基板（２０）が載置される。底部（１１）の四隅の近傍には、四角形状の通孔部（１５）が形成され、また、底部（１１）の各四隅の中間位置にも、及び底部（１１）の中央部にも通孔部（１５）が形成されている。
【０００６】
底部（１１）に設けられた各通孔部（１５）は、底部（１１）の上面に載置されたガラス基板（２０）を基板収納用トレイ（１０）から取り出すための支持ピンが、底部（１１）の下方から挿通されるように設けたものである。
枠部（１２）は、底部（１１）の側縁部の全周にわたって、例えば、底部（１１）の上面から５ｍｍ程度に突出して設けられており、底部（１１）の上面に載置されたガラス基板（２０）を水平方向に適当な間隔をあけた状態で、全周にわたって取り囲むようになっている。
【０００７】
枠部（１２）の上部には、フランジ状に突出する係合部（１３）がその全周にわたって設けられている。この係合部（１３）は、断面形状が長方形状であり、基板収納用トレイ（１０）を所定位置に搬送する際のチャッキング用の爪部が、この係合部（１３）に係合するようになっている。
係合部（１３）の上面と、枠部（１２）の上部との間には、段差が形成されており、この段差が上下に積重される基板収納用トレイ（１０）の位置決め部（１４）となる。
【０００８】
図３に示すように、ガラス基板（２０）が収納された基板収納用トレイ（１０）は、上下に複数が積重された状態で輸送される。この際は、上記係合部（１３）の上面と、枠部（１２）の上部との間の段差である位置決め部（１４）に、枠部（１２）の下端部が係合した状態になり、上下方向に積重された基板収納用トレイ（１０）同士は、水平方向に相互に位置ズレを起こすことはない。
また、上下方向に基板収納用トレイ（１０）の複数が積重された状態では、上下の係合部
（１３）間に適当な間隔（Ｄ）が形成され、この部分で、上記チャッキング用の爪部が係合部（１３）と係合する。
【０００９】
図４は、このような基板収納用トレイ（１０）に収納されたガラス基板（２０）を取り出すために使用される基板移置装置の一例を示す断面図である。図４は基板移置装置の部分断面図である。
【００１０】
この基板移置装置（３０）は、上下方向に積重された複数の基板収納用トレイ（１０）を、図４中、左右から保持するように設けられたトレイ保持ユニット（３２）と、このトレイ保持ユニット（３２）による保持が解除された基板収納用トレイ（１０）が載置されて昇降するように設けられた昇降台（３３）と、この昇降台（３３）のテーブル部（３３ａ）を上下方向に挿通するように垂直に配置された支持ピン（３４）とを有している。
この支持ピン（３４）は、テーブル部（３３ａ）を上下方向に挿通するとともに、テーブル部（３３ａ）上に載置された基板収納用トレイ（１０）の通孔部（１５）を上下方向に挿通する。昇降台（３３）のテーブル部（３３ａ）は格子状である。
【００１１】
図４〜図８は、基板移置装置（３０）が基板収納用トレイ（１０）に収納されたガラス基板（２０）を取り出す動作を説明するための図である。
図４は、説明上、ガラス基板（２０）が収納された基板収納用トレイ（１０）が上下に３個積重された状態を例示したものである。
【００１２】
図４は、昇降台（３３）のテーブル部（３３ａ）上に載置された３個の基板収納用トレイ（（１０−１）〜（１０−３））の内、最下部の基板収納用トレイ（１０−１）以外の基板収納用トレイ（（１０−２）、（１０−３））が左右のトレイ保持ユニット（３２）に設けられた係合爪部（３６）に各々係合されるように、すなわち、上下方向に積重された３個の基板収納用トレイ（（１０−１）〜（１０−３））の内、最下部の基板収納用トレイ（１０−１）のみが係合されないように、昇降台（３３）の高さが調整された段階を表したものである。
【００１３】
そして、次の段階で、図４中、矢印で示すように、左右のトレイ保持ユニット（３２）が相互に接近するように移動する。これにより、最下部の基板収納用トレイ（１０−１）以外の基板収納用トレイ（（１０−２）、（１０−３））の係合部が係合爪部（３６）によって各々係合された状態になり、トレイ保持ユニット（３２）に保持される。また、最下部の基板収納用トレイ（１０−１）は、トレイ保持ユニット（３２）に保持されることなく、テーブル部（３３ａ）上に載置された状態を維持する。
【００１４】
このような状態で、昇降台（３３）が下降することによって、テーブル部（３３ａ）上に載置された最下部の基板収納用トレイ（１０−１）は、テーブル部（３３ａ）と一体となって下降する。この昇降台（３３）の下降に伴って、各支持ピン（３４）は昇降台（３３）の格子状のテーブル部（３３ａ）を挿通し、最下部の基板収納用トレイ（１０−１）の底部に設けられた各通孔部（１５）内に挿通される。
【００１５】
昇降台（３３）が更に下降すると、図５に示すように、各支持ピン（３４）の上端部が、最下部の基板収納用トレイ（１０−１）に収納されたガラス基板（２０）の裏面に当接し、ガラス基板（２０）は各支持ピン（３４）によって最下部の基板収納用トレイ（１０−１）の底部（１１）から持ち上げられる。
各支持ピン（３４）の上端部が最下部の基板収納用トレイ（１０−１）の上方に突き出た状態になり、ガラス基板（２０）が所定の高さに到達した段階で昇降台（３３）の下降は停止する。ガラス基板（２０）は各支持ピン（３４）上で水平状態に保持される。
【００１６】
支持ピン（３４）上で水平状態に保持されたガラス基板（２０）は、吸着ハンドなどの搬送手段によって支持ピン（３４）上から取り出され、所定の位置まで搬送される。
【００１７】
支持ピン（３４）上で保持されたガラス基板（２０）が搬出されると、昇降台（３３）は上昇し、空の状態となった最下部の基板収納用トレイ（１０−１）は、トレイ保持ユニット（３２）によって保持されていた基板収納用トレイ（１０−２）に当接する。この状態で昇降台（３３）は上昇を停止する。図６中、矢印（ａ）は、この際の昇降台（３３）の上昇を表したものである。
【００１８】
次に、トレイ保持ユニット（３２）は、相互に離間するように移動し（図６中、矢印（ｂ））、基板収納用トレイ（（１０−２）、（１０−３））の係合状態が解除され、テーブル部（３３ａ）上に載置されている空の最下部の基板収納用トレイ（１０−１）上に、基板収納用トレイ（（１０−２）、（１０−３））が積重された状態になる。図６に示すように、最下部の基板収納用トレイ（１０−１）にはガラス基板（２０）は収納されておらず、基板収納用トレイ（（１０−２）、（１０−３））には各々ガラス基板（２０）が収納されている。
【００１９】
次に、図７に示すように、昇降台（３３）は１個の基板収納用トレイに相当する分だけ下降する。最下部の基板収納用トレイ（１０−１）と、その上側の基板収納用トレイ（（１０−２）、（１０−３））は、テーブル部（３３ａ）上で積重された状態にある。この下降は、最上部の基板収納用トレイ（１０−３）がトレイ保持ユニット（３２）の係合爪部（３６）によって係合されるように、昇降台（３３）の高さを調整するための下降である。
【００２０】
次に、トレイ保持ユニット（３２）が相互に接近するように移動し、最上部の基板収納用トレイ（１０−３）は係合爪部（３６）によって係合され、また、最下部の基板収納用トレイ（１０−１）と、その上側の基板収納用トレイ（１０−２）は、テーブル（３３ａ）上に載置される状態になる。図８中、矢印（ａ）は、この際の接近する移動を示したものである。
【００２１】
このような状態になると、昇降台（３３）は下降する（図８中、矢印（ｂ））。この下降に伴い、最下部の基板収納用トレイ（１０−１）と、その上側の基板収納用トレイ（１０−２）は下降し、各支持ピン（３４）が格子状のテーブル部（３３ａ）を挿通して、最下部の基板収納用トレイ（１０−１）と、基板収納用トレイ（１０−２）の通孔部（１５）を順に挿通する。
【００２２】
次に、更に昇降台（３３）が下降することによって、図８に示すように、各支持ピン（３４）の上端部が上側の基板収納用トレイ（１０−２）内に収納されているガラス基板（２０）の裏側に当接して、そのガラス基板（２０）を所定の高さに持ち上げた状態に保持する。これにより、ガラス基板（２０）は、各支持ピン（３４）によって、２段に積重された上側の基板収納用トレイ（１０−２）の底部（１１）から上方に取り出され、基板収納用トレイ（１０−２）の上方の所定の高さに水平な状態に保持される。
【００２３】
次に、昇降台（３３）の下降が停止すると、各支持ピン（３４）の上に水平な状態で保持されたガラス基板（２０）は、吸着ハンドなどの搬送手段によって取り出され、所定の位置まで搬送される。これにより、テーブル部（３３ａ）上にはガラス基板（２０）が収納されていない２個の基板収納用トレイ（（１０−１）、（１０−２））が上下に積重された状態になる。
【００２４】
以後、同様の動作を繰り返すことによって、トレイ保持ユニット（３２）によって保持
された、ガラス基板（２０）が収納されている基板収納用トレイ（１０−３）が、昇降台（３３）のテーブル部（３３ａ）上に載置されている空の基板収納用トレイ（（１０−１）〜（１０−２））上に順次に積重され、昇降台（３３）が下降することによって、その基板収納用トレイ内に収納されたガラス基板（２０）は各支持ピン（３４）によって水平な状態で取り出される。
【００２５】
このようにして、ガラス基板（２０）が収納されて上下方向に積重された状態の複数の基板収納用トレイにおける、最下部の基板収納用トレイから順にガラス基板（２０）が取り出されて、取り出されたガラス基板（２０）が搬送されることにより、昇降台（３３）のテーブル部（３３ａ）上には、ガラス基板（２０）が収納されていない空の基板収納用トレイが、上下方向に積重された状態で残ることになる。
【００２６】
この基板移載装置は、このように、ガラス基板（２０）が収納されて上下方向に積重された基板収納用トレイから、ガラス基板（２０）を効率よく取り出すことができる。しかも、上下方向に積重された基板収納用トレイを、上下方向に分離してガラス基板（２０）を取り出しているために、装置全体が占める床面積を小さくすることができる。
【００２７】
また、この基板移載装置では、このように、上下方向に積重された基板収納用トレイ内に収納されたガラス基板（２０）を取り出す場合に限らず、上述した動作とは逆の動作を順に実施することにより、ガラス基板（２０）が収納されない状態で上下方向に積重された基板収納用トレイ内に、ガラス基板（２０）を収納することもできる。
【００２８】
しかし、この基板移載装置には、基板収納用トレイ（１０）を載置した状態の昇降台（３３）を昇降するための昇降ユニット（図示せず）が設けられているが、ガラス基板（２０）を収容して輸送する際の基板収納用トレイ（１０）の梱包形態が、例えば、上下方向に６０個を積重するといった個数になり、また、昇降台（３３）のテーブル部（３３ａ）上に載置する基板収納用トレイ（１０）の個数が、同様に上下方向に６０個といった個数になると、昇降台（３３）を昇降するための昇降ユニットの駆動系が相応に大掛かりなものとなるといった問題がある。
【００２９】
また、昇降台（３３）のテーブル部（３３ａ）上に載置する基板収納用トレイ（１０）の個数が、上下方向に６０個といった個数になると、積重した状態で載置された基板収納用トレイ（１０）の高さは２ｍ以上のものとなる。このことは、テーブル部（３３ａ）及び基板収納用トレイ（１０）を挿通する支持ピン（３４）の高さは２ｍ以上のものとなることである。
【００３０】
このような、高さは２ｍ以上の支持ピン（３４）を垂直に設けた際の基板移載装置の構造や配置、及び移載のためにガラス基板（２０）が搬送される基板移載装置内での動線を考慮して、作業場の床下に相応の深さの空間を設け、この空間に支持ピン（３４）を配置するといった方策がとられている。
この方策は、作業場で基板移載装置が占有するクリーンルームの容積の増大をもたらし、初期投資額及び維持費が増加するといった問題がある。
【特許文献１】特開２００４−１８６２４９号公報
【特許文献２】特開平１０−２８７３８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３１】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、液晶表示装置用カラーフィ
ルタのガラス基板を基板収納用トレイ内から取り出すため、及び、基板収納用トレイ内に収納するために使用される基板移載装置において、ガラス基板を収容して輸送する際の基板収納用トレイの梱包形態が、例えば、上下方向に６０個を積重するといった個数になり、テーブル部上に載置する基板収納用トレイの個数が同様に増加しても、昇降ユニットの駆動系が大掛かりなものとならず、また、ガラス基板を基板収納用トレイの底部より取り出す支持ピンの高さが、例えば、２ｍ以上のものとなっても、床下に相応の深さの空間を設けることなく、すなわち、作業場で基板移載装置が占有するクリーンルームの容積の増大をもたらすことのない基板移載装置を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００３２】
本発明は、収納されたガラス基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿通されるように複数の通孔部が底部に設けられた基板収納用トレイから収納されたガラス基板を取り出すことのできる基板移載装置において、
１）前記ガラス基板が収納されて上下方向に積重された状態の複数の基板収納用トレイを水平搬送するコンベア、
２）ａ）該積重された状態の複数の基板収納用トレイの最上部の基板収納用トレイのみを保持して上方に取りはずし、
ｂ）該基板収納用トレイを支持ピンの上方に水平搬送し、該基板収納用トレイを下降させて、収納されたガラス基板を基板収納用トレイから複数の支持ピン上に取り出して移載し、ガラス基板を複数の支持ピン上に水平状態で保持させ、
ｃ）更に該基板収納用トレイを下降させて、空となった基板収納用トレイを架台上に載置するトレイ搬送ユニット、
３）前記複数の支持ピンが上面から上方に向かって垂直に備えられており、空となった基板収納用トレイが上下方向に積重された状態にその上面に載置される架台、
４）前記複数の支持ピン上に水平状態で保持されたガラス基板を下方から掬い上げて水平搬送するロボットが設けられていることを特徴とする基板移載装置である。
【発明の効果】
【００３３】
本発明は、１）ガラス基板が収納されて上下方向に積重された状態の複数の基板収納用トレイを水平搬送するコンベア、２）ａ）積重された状態の複数の基板収納用トレイの最上部の基板収納用トレイのみを保持して上方に取りはずし、ｂ）基板収納用トレイを支持ピンの上方に水平搬送し、基板収納用トレイを下降させて、収納されたガラス基板を基板収納用トレイから複数の支持ピン上に取り出して移載し、ガラス基板を複数の支持ピン上に水平状態で保持させ、ｃ）更に該基板収納用トレイを下降させて、空となった基板収納用トレイを架台上に載置するトレイ搬送ユニット、３）複数の支持ピンが上面から上方に向かって垂直に備えられており、空となった基板収納用トレイが上下方向に積重された状態にその上面に載置される架台、４）複数の支持ピン上に水平状態で保持されたガラス基板を下方から掬い上げて水平搬送するロボットが設けられているので、ガラス基板を収容して輸送する際の基板収納用トレイの梱包形態が、例えば、上下方向に６０個を積重するといった個数になり、テーブル部上に載置する基板収納用トレイの個数が同様に増加しても、昇降ユニットの駆動系が大掛かりなものとならず、また、ガラス基板を基板収納用トレイの底部より取り出す支持ピンの高さが、例えば、２ｍ以上のものとなっても、床下に相応の深さの空間を設けることなく、すなわち、作業場で基板移載装置が占有するクリーンルームの容積の増大をもたらすことのない基板移載装置となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図９は、本発明による基板移載装置の一例を示す側面図である。本発明による基板移載装置は、前記図１〜図３に示す基板収納用トレイ（１０）のように、収納されたガラス基板（２０）を上方に持ち上げる支持ピンが挿通されるように複数の通孔部（１５）が底部に
設けられた基板収納用トレイから収納されたガラス基板を取り出すことができ、また、空の基板収納用トレイにガラス基板を収納することができる基板移載装置である。
【００３５】
図９に示すように、基板移載装置は、コンベア（ＣＶ）、取り外し／積み重ね部（４０）、移載／積み重ね部（５０）、及びロボット（ＲＢ）で構成されている。コンベア（ＣＶ）は、上下方向に積重された状態の複数の基板収納用トレイを水平搬送する。
図９中、矢印（ａ）で示す水平搬送は、ガラス基板を基板収納用トレイから取り出す際の、ガラス基板が収納された基板収納用トレイを取り外し／積み重ね部（４０）に搬入する搬送、空となった基板収納用トレイを取り外し／積み重ね部（４０）から搬出する搬送である。
また、空の基板収納用トレイにガラス基板を収納する際の、空の基板収納用トレイを取り外し／積み重ね部（４０）に搬入する搬送、ガラス基板が収納された基板収納用トレイを取り外し／積み重ね部（４０）から搬出する搬送である。
【００３６】
図９に示す取り外し／積み重ね部（４０）は、コンベア（ＣＶ）の末端部を取り外し／積み重ね部としたものである。取り外し／積み重ね部（４０）には、トレイ搬送ユニット（８０）が設けられている。図９には、パレット（４１）上に積重された状態の複数の基板収納用トレイが搬入された状態が示されている。
【００３７】
移載／積み重ね部（５０）には、上面から上方に向かって複数の支持ピン（３４）が垂直に備えられた架台（５１）が設けられている。複数の支持ピン（３４）は、トレイ搬送ユニット（８０）によって搬送されてきた基板収納用トレイに収納されたガラス基板を、その上端部で水平状態に保持する。
また、架台（５１）の上面には、空となった基板収納用トレイが上下方向に順次に積重される。図９には、空となった基板収納用トレイが架台（５１）上に積重されていない状態が示されている。
【００３８】
ロボット（ＲＢ）は、基板移載装置がガラス基板を基板収納用トレイから取り出す際には、複数の支持ピン（３４）上に水平状態で保持されたガラス基板を搬出する。また、基板移載装置が空の基板収納用トレイにガラス基板を収納する際には、複数の支持ピン（３４）上に水平状態でガラス基板を載置する。
【００３９】
図１０は、トレイ搬送ユニット（８０）の一例を示す平面図、図１１及び図１２は、図１０のＢ−Ｂ線での断面図である。このトレイ搬送ユニット（８０）は、図１に示す基板収納用トレイ（１０）を保持して搬送するために用いられる。
トレイ搬送ユニット（８０）は、長方形の枠状のものであり、枠部（８１）と開口部（８２）で構成されている。開口部（８２）は、保持される基板収納用トレイ（１０）よりも一廻り大きな長方形状であって、開口部（８２）内に基板収納用トレイ（１０）が保持される。
【００４０】
図１１に示すように、枠部（８１）の断面形状は長方形状であり、枠部（８１）の下面には、基板収納用トレイ（１０）を保持し、所定位置に搬送する際のチャッキング用の係合爪部（８３）が設けられている。係合爪部（８３）は枠部（８１）の全周にわたって設けられている。
図１１は、係合爪部（８３）が開口部（８２）へ突出し、基板収納用トレイ（１０）の係合部（１３）を係合し、トレイ搬送ユニット（８０）が基板収納用トレイ（１０）を保持した状態を示したものである。また、図１２は、係合爪部（８３）が枠部（８１）に引き込み、係合部（１３）の係合を解除し、トレイ搬送ユニット（８０）は基板収納用トレイ（１０）を保持しない状態を示したものである。
【００４１】
トレイ搬送ユニット（８０）は、ガラス基板を基板収納用トレイから取り出す際には、取り外し／積み重ね部（４０）に搬入された、積重された状態の複数の基板収納用トレイの最上部の基板収納用トレイのみを保持して上方に取りはずし、基板収納用トレイを移載／積み重ね部（５０）に水平搬送し、基板収納用トレイを下降させてガラス基板を複数の支持ピン上に移載し、更に基板収納用トレイを下降させて、空となった基板収納用トレイを架台上に載置する。
尚、図９にては、基板収納用トレイ（１０）を保持して搬送するトレイ搬送ユニット（８０）を駆動する駆動機構は省略してある。
【００４２】
図１３〜図１８は、基板移置装置が基板収納用トレイ（１０）に収納されたガラス基板（２０）を取り出す動作を説明するための図である。
図１３は、ガラス基板が収納されて上下方向に積重された状態の複数の基板収納用トレイが取り外し／積み重ね部（４０）に搬入され、トレイ搬送ユニット（８０）が最上部の基板収納用トレイを保持し、上方に取りはずすために下降を開始した段階を示したものである。
【００４３】
この下降時には、トレイ搬送ユニット（８０）の枠部（８１）に設けられた係合爪部（８３）は引き込みの状態になっている。従って、下降に際しては、基板収納用トレイ（１０）の外周部と枠部（８１）の係合爪部（８３）とは干渉することなく、開口部（８２）内に基板収納用トレイ（１０）を収容させることができる。トレイ搬送ユニット（８０）は下降して、図１２に示すように、開口部（８２）内に基板収納用トレイ（１０）を収容させた後に、図１１に示すように、係合爪部（８３）を開口部（８２）へ突出させ基板収納用トレイ（１０）の係合部（１３）を係合爪部（８３）にて係合する。
【００４４】
図１４は、トレイ搬送ユニット（８０）が最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）のみを保持して上昇し、上方に取りはずした段階を示したものである。この上昇は、図１５に示すように、最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）を移載／積み重ね部（５０）へ水平搬送の際に、最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）と複数の支持ピン（３４）が干渉しないように、所定の高さに到達すると停止する。
【００４５】
図１５は、トレイ搬送ユニット（８０）が最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）を保持した状態で、複数の支持ピン（３４）の上方に水平搬送した段階を示したものである。複数の支持ピン（３４）の各々の上方に、最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）の底部に設けられている複数の通孔部（１５）の各々を位置させ、基板収納用トレイ（１０ａ）の下降によって、各々の通孔部（１５）に各々の支持ピン（３４）が挿通するように、所定の位置に搬送する。
【００４６】
図１６は、図１５に示す状態で、最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）を下降させている段階を示したものである。最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）の下降に伴って、複数の支持ピン（３４）の上端部は、最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）に収納されたガラス基板（２０）の裏面に当接し、ガラス基板（２０）は複数の支持ピン（３４）によって底部から持ち上げられ、複数の支持ピン上に取り出され移載される。ガラス基板（２０）は複数の支持ピン（３４）上に水平状態で保持される。  
空となった最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）を更に下降させ、架台（５１）上に空となった最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）を載置する。
【００４７】
架台（５１）上に空となった最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）を載置した後、トレイ搬送ユニット（８０）の枠部（８１）に設けられた係合爪部（８３）を引き込め、空となった最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）の係合部（１３）と係合爪部（８３）の係合
を解除し、トレイ搬送ユニット（８０）は空となった最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）を保持しない状態となる。
【００４８】
図１７は、空となった最上部の基板収納用トレイ（１０ａ）を架台（５１）上に載置した後に、トレイ搬送ユニット（８０）は上昇し、図１３に示す位置に戻る段階を示したものである。
ロボット（ＲＢ）は、  図１８に示すように、複数の支持ピン（３４）上に水平状態で保持されたガラス基板（２０）を下方から掬い上げて処理工程へと水平搬送する。
【００４９】
以降、トレイ搬送ユニット（８０）は繰り返した動作を行い、取り外し／積み重ね部（４０）に搬入された、積重された状態の複数の基板収納用トレイの次の最上部の基板収納用トレイを保持し、上方に取りはずし、移載／積み重ね部（５０）においてガラス基板（２０）を複数の支持ピン（３４）上に移載し、空となった基板収納用トレイ（１０）を架台（５１）上に載置する。
【００５０】
次に、パレット上の全ての基板収納用トレイ（１０）内に収納されたガラス基板（２０）が移載され、ロボットによって搬出され、空となった基板収納用トレイが架台上に載置された段階で、トレイ搬送ユニット（８０）の上記とは逆の動作によって、架台（５１）上に積重して載置された空となった基板収納用トレイは、全て取り外し／積み重ね部（４０）のパレット上に戻される。空となった基板収納用トレイは、コンベア（ＣＶ）によって搬出される。
【００５１】
上述するように、本発明による基板移載装置は、図４に示す従来の基板移載装置のような、上下方向に積重した複数の基板収納用トレイを昇降させる昇降ユニットを有しないので、ガラス基板を収容して輸送する際の基板収納用トレイの梱包形態が、例えば、上下方向に６０個を積重するといった個数になっても、駆動系は大掛かりなものとならず、また、支持ピンの高さが、例えば、２ｍ以上のものとなっても、床下に相応の深さの空間を設けることない。従って、作業場で基板移載装置が占有するクリーンルームの容積の増大をもたらすことのない基板移載装置である。
【００５２】
また、本発明による基板移載装置は、ガラス基板を基板収納用トレイ内から取り出すための基板移載装置であるが、また、基板収納用トレイ内にガラス基板を収納するために使用される基板移載装置である。基板収納用トレイ内にガラス基板を収納する際の動作は、例えば、以下のようなものである。
１）コンベア（ＣＶ）にて、パレット上に積重された空の基板収納用トレイを取り外し／積み重ね部（４０）に搬入する。
２）トレイ搬送ユニット（８０）は、最上部の空の基板収納用トレイから順に移載／積み重ね部（５０）の架台（５１）上に積重して、全ての空の基板収納用トレイを載置する。３）ロボット（ＲＢ）は、ガラス基板を複数の支持ピン（３４）上に載置する。
４）トレイ搬送ユニット（８０）は、移載／積み重ね部（５０）の架台（５１）上の最上部の空の基板収納用トレイを保持して上昇し、複数の支持ピン（３４）上のガラス基板を掬いあげるようにして空の基板収納用トレイに移載し収納する。
５）トレイ搬送ユニット（８０）は、ガラス基板を収納した基板収納用トレイを取り外し／積み重ね部（４０）のパレット上に移載する。
６）上記３）、４）、５）を繰り返して、全ての空の基板収納用トレイにガラス基板を収納し、パレット上に積重する。
７）コンベア（ＣＶ）にて、パレット上に積重されたガラス基板を収納した基板収納用トレイを取り外し／積み重ね部（４０）から搬出する。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】基板移載装置にて用いられる基板収納用トレイの一例を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線での断面図である。
【図３】基板収納用トレイが上下に複数が積重された状態の説明図である。
【図４】基板移置装置の一例の部分断面図である。
【図５】基板移置装置が基板収納用トレイに収納されたガラス基板を取り出す動作を説明するための図である。
【図６】基板移置装置が基板収納用トレイに収納されたガラス基板を取り出す動作を説明するための図である。
【図７】基板移置装置が基板収納用トレイに収納されたガラス基板を取り出す動作を説明するための図である。
【図８】基板移置装置が基板収納用トレイに収納されたガラス基板を取り出す動作を説明するための図である。
【図９】本発明による基板移載装置の一例を示す側面図である。
【図１０】トレイ搬送ユニットの一例を示す平面図である。
【図１１】図１０のＢ−Ｂ線での係合した断面図である。
【図１２】図１０のＢ−Ｂ線での係合を解除した断面図である。
【図１３】基板移置装置が基板収納用トレイに収納されたガラス基板を取り出す動作を説明するための図である。
【図１４】基板移置装置が基板収納用トレイに収納されたガラス基板を取り出す動作を説明するための図である。
【図１５】基板移置装置が基板収納用トレイに収納されたガラス基板を取り出す動作を説明するための図である。
【図１６】基板移置装置が基板収納用トレイに収納されたガラス基板を取り出す動作を説明するための図である。
【図１７】基板移置装置が基板収納用トレイに収納されたガラス基板を取り出す動作を説明するための図である。
【図１８】基板移置装置が基板収納用トレイに収納されたガラス基板を取り出す動作を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５４】
１０・・・基板収納用トレイ
１２・・・枠部
１３・・・係合部
１５・・・通孔部
２０・・・ガラス基板
３０・・・基板移置装置
３２・・・トレイ保持ユニット
３３・・・昇降台
３４・・・支持ピン
３６・・・係合爪部
４０・・・取り外し／積み重ね部
４１・・・パレット
５０・・・移載／積み重ね部
５１・・・架台
８０・・・トレイ搬送ユニット
８１・・・枠部
８２・・・開口部
８３・・・係合爪部
ＣＶ・・・コンベア
ＲＢ・・・ロボット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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