(57)【要約】【課題】サーボ信号記録部間におけるサーボ信号のばらつきを低減することができる磁気ヘッド装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の一形態に係る磁気ヘッド装置１Ａは、直流消去信号記録用の第１の磁気ヘッド１０Ａと、サーボ信号記録用の第２の磁気ヘッド２０Ａと、接合層３０とを具備する。第１の磁気ヘッドは、一方向に沿って交互に配置された複数の第１の磁性コア１００及び複数の第１の非磁性コア１１０と、第１の磁性コアに個々に巻回された励磁用の第１のコイル５１とを有する。第２の磁気ヘッド２０Ａは、第２の磁性コア２００と、第２の磁性コアに巻回された励磁用の第２のコイル５２とを有する。接合層３０は、非磁性材料でなり、第１の磁気ヘッド１０Ａと第２の磁気ヘッド２０Ａとを一体的に接合する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に沿って交互に配置された複数の第１の磁性コア及び第１の非磁性コアと、前記第１の磁性コアに個々に巻回された励磁用の第１のコイルとを有し、前記第１の磁性コアによって磁気記録媒体のサーボ信号記録部に対して直流消去信号を記録する第１の磁気ヘッドと、
前記サーボ信号記録部に前記直流消去信号とは逆方向の信号磁界によりサーボ信号を記録する第２の磁性コアと、前記第２の磁性コアに巻回された励磁用の第２のコイルとを有する第２の磁気ヘッドと、
前記第１の磁気ヘッドと前記第２の磁気ヘッドとを一体的に接合する非磁性材料でなる接合層と
を具備する磁気ヘッド装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気ヘッド装置であって、
前記第１の磁性コアは、前記磁気記録媒体と摺動する第１の摺動面を有し、
前記第２の磁性コアは、前記磁気記録媒体と摺動する第２の摺動面を有し、
前記接合層は、前記第１の摺動面と前記第２の摺動面とが同一平面上に位置するように前記第１の磁気ヘッドと前記第２の磁気ヘッドとを相互に接合する
磁気ヘッド装置。
【請求項３】
請求項２に記載の磁気ヘッド装置であって、
前記複数の第１の磁性コアは、前記第１の摺動面に、前記直流消去用の信号磁界を形成するための第１のギャップをそれぞれ有し、
前記第２の磁性コアは、前記一方向と直交する方向に関して前記第１のギャップと対応するように前記第２の摺動面にそれぞれ配置された、前記サーボ信号用の信号磁界を形成するための複数の第２のギャップを有する
磁気ヘッド装置。
【請求項４】
請求項３に記載の磁気ヘッド装置であって、
前記第１の磁性コアは、
前記第１のギャップを有する磁性フロントコア部と、
前記磁性フロントコア部と接合され前記第１のコイルが巻回された磁性バックコア部とを有し、
前記第１の非磁性コアは、
前記磁性フロントコア部と隣接して接合された非磁性フロントコア部と、
前記非磁性フロントコア部と前記磁性バックコア部とにそれぞれ接合された非磁性バックコア部とを有する
磁気ヘッド装置。
【請求項５】
請求項３に記載の磁気ヘッド装置であって、
前記第１の磁性コアは、
前記第１のギャップを有する磁性フロントコア部と、
前記磁性フロントコア部と接合された磁性バックコア部と、
前記磁性バックコア部と接合され前記第１のコイルが巻回された磁性補助コア部とを有し、
前記第１の非磁性コアは、
前記磁性フロントコア部と隣接して接合された非磁性フロントコア部と、
前記非磁性フロントコア部と前記磁性バックコア部とにそれぞれ接合された非磁性バックコア部とを有する
磁気ヘッド装置。
【請求項６】
請求項３に記載の磁気ヘッド装置であって、
前記第２の磁気ヘッドは、
前記第２のギャップの形成位置に対応して分割された複数の前記第２の磁性コアと、
前記複数の第２の磁性コアの間に配置された複数の第２の非磁性コアとを有する
磁気ヘッド装置。
【請求項７】
磁気記録媒体のサーボ信号記録部に対して直流消去用の信号磁界を形成するための第１のギャップを含む第１の磁気ヘッドと、前記サーボ信号記録部に対してサーボ信号記録用の信号磁界を前記直流消去用の信号磁界とは逆方向に形成するための第２のギャップを含む第２の磁気ヘッドとを有する磁気ヘッド装置の製造方法であって、
第１の磁性フロントコア部と非磁性フロントコア部とが一方向にそれぞれ複数交互に配置された第１の接合体と、前記一方向に延在する第２の磁性フロントコア部とを、前記一方向と交差する方向に複数交互に接合することでフロントコアブロックを作製し、
前記フロントコアブロックの前記第１の磁性フロントコア部の表面に前記第１のギャップを形成し、
前記フロントコアブロックの前記第２の磁性フロントコア部の表面に前記第２のギャップを形成し、
第１の磁性バックコア部と非磁性バックコア部とが前記一方向にそれぞれ複数交互に配置された第２の接合体と、前記一方向に延在する第２の磁性バックコア部とを、前記一方向と交差する方向に複数交互に接合することでバックコアブロックを作製し、
前記フロントコアブロックと前記バックコアブロックとを相互に接合することで、第３の接合体を作製し、
相互に隣接する前記第１の接合体及び前記第２の磁性フロントコア部を組として、前記第３の接合体を前記組ごとに個片化し、
前記複数の第１の磁性バックコア部と前記第２の磁性バックコア部とに対してそれぞれ励磁用のコイルを巻回することで、前記第１の磁気ヘッド及び前記第２の磁気ヘッドを作製する
磁気ヘッド装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の磁気ヘッド装置の製造方法であって、
前記複数の第１の磁性バックコア部に対する前記コイルの巻回は、前記コイルが個々に巻回された複数の磁性補助コア部を前記第１の磁性バックコア部にそれぞれ接合する
磁気ヘッド装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行する磁気記録媒体のサーボ信号記録部に対して直流消去信号を記録した後、その直流消去信号とは逆方向の信号磁界により上記サーボ信号記録部にサーボ信号を記録する磁気ヘッド装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、コンピュータ用バックアップ装置など、磁気記録媒体（磁気テープ）に記録するデータの容量と転送レートが益々高くなっている。このため、記録再生ヘッドは、定められたトラックを高速、かつ、正確にトレースしなければならない。また、記録再生ヘッドは、トラック間を高速に移動し、特定のトラックの特定の位置に瞬時に移動する必要がある。
【０００３】
この動作を安定させる方法として、予め磁気テープにサーボ信号を書き込み、そのサーボ信号を読み込んだサーボ専用再生ヘッドの信号を基に磁気テープ上の位置を検出し、記録再生ヘッドを安定して走行させる方法がある（下記特許文献１参照）。
【０００４】
このサーボ信号の出力が低い場合、記録再生ヘッドの位置を適正に制御することができず、甚だしい場合は、サーボ専用再生ヘッドがサーボ信号を見失ってしまうことがある。このため、サーボ信号記録部に対して直流消去を行った後、サーボ信号の信号記録領域に上記直流消去とは逆方向の磁界により記録を行うことで、サーボ信号の再生時に高い再生出力を得る方法が知られている（下記特許文献２参照）。これにより、サーボ信号の再生をより正確かつ迅速に行うことが可能となり、今後の更なる磁気信号の高記録密度化に対応することができるようになる。
【０００５】
サーボ信号を書き込む磁気ヘッド（以下「サーボ信号記録ヘッド」ともいう。）は、例えば下記特許文献１、３、４に示されているように、高透磁率の磁性材料によって形成された磁気コアに対して、コイルが巻回されることによって構成されている。このような磁気ヘッドは、磁気コアとコイルとの電磁誘導を利用して磁気記録媒体に対する記録を行うことから、電磁誘導型（インダクティブ型）の磁気ヘッドと称されている。
【０００６】
また、近年、磁気記録の分野においては、磁気記録媒体の小型化及び大容量化のために、磁気信号の高記録密度がより一層進められており、微細の磁気信号を正確に記録再生することが要求されている。そのため、例えば、磁気信号を記録する磁性層に用いる磁性粉としての強磁性金属粉末を塗料化してベースフィルム上に塗布したメタルテープや、強磁性金属材料をベースフィルム上に直接蒸着させた蒸着テープなどのような高抗磁力を示す磁気記録媒体が広く利用されるようになってきている。
【０００７】
そして、これらの高抗磁力を示す磁気記録媒体に記録することを可能とするために、例えば、Ｆｅ系合金、Ｆｅ−Ｔａ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ系合金等のような高透磁率を示すとともに高い飽和磁束密度を示す金属磁性材料を例えばフェライト材と組み合わせた磁気ヘッドが提案されている。例えば下記特許文献１、３、４には、金属磁性材料とフェライト材を組み合わせたサーボ信号記録ヘッドが示されている。
【０００８】
また、サーボ信号記録ヘッドには、磁気テープと摺動する面（以下「摺動面」ともいう。）に、複数の傾きが異なる空隙部（ギャップ部）が所定の間隔をもって配置されている。ギャップ部は、非磁性材料からなるもので構成されている。また、非磁性材を覆うように金属膜を各種法によって付着させると、ギャップ部の強度が高くなることも周知の事実である。このギャップ部は、古くから使われている一般的な写真印刷法を使用することで作製することができる。
【０００９】
また、このサーボ信号記録ヘッドの摺動面は、磁気テープとの良好な接触状態を得るため、レンズ研磨装置等を使って、平坦な鏡面仕上げが施されている。
【００１０】
【特許文献１】特許第３１５８０１５号公報
【特許文献２】特開２００５−１６６２３０号公報
【特許文献３】特表２００２−５３８５６５号公報
【特許文献４】特開２００２−１７０２０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記特許文献２に記載の構成では、磁気テープ上のサーボ信号記録部において、消去ヘッドで直流消去信号を記録した領域と、記録ヘッドでサーボ信号を記録した領域との間にずれが発生し易い。このため、サーボ信号再生時に高い再生出力を安定して得ることができないという問題がある。
【００１２】
また、同一ヘッド内の複数のギャップ部によって記録された複数のサーボバンド間で、サーボ信号の再生出力にばらつきが生じるという問題がある。特に、磁気テープの幅方向の両端部に位置するサーボバンドの再生出力は、テープの中央部に位置するサーボバンドの再生出力に比べて低く、最大で１ｄＢ程度のばらつきがある。
【００１３】
サーボ再生出力のばらつきの原因は、テープエッジからのエアの巻き込みやテープのカッピング等による、ヘッド摺動面と磁気テープの間のスペーシングロスにあると考えられる。このスペーシングロスの発生により、テープ幅方向の両端部に位置するサーボバンドとそれ以外のサーボバンドの間で直流消去信号の記録効率にばらつきが生じる。したがって、全てのサーボバンド間にわたり均一なサーボ信号を安定に得ることが非常に困難である。
【００１４】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、サーボ信号記録部間におけるサーボ信号のばらつきを低減することができる磁気ヘッド装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の一形態に係る磁気ヘッド装置は、第１の磁気ヘッドと、第２の磁気ヘッドと、接合層とを具備する。
前記第１の磁気ヘッドは、一方向に沿って交互に配置された複数の第１の磁性コア及び複数の第１の非磁性コアと、前記第１の磁性コアに個々に巻回された励磁用の第１のコイルとを有する。そして、前記第１の磁気ヘッドは、前記第１の磁性コアによって磁気記録媒体のサーボ信号記録部に対して直流消去信号を記録する。
前記第２の磁気ヘッドは、前記サーボ信号記録部に前記直流消去信号とは逆方向の信号磁界によりサーボ信号を記録する第２の磁性コアと、前記第２の磁性コアに巻回された励磁用の第２のコイルとを有する。
前記接合層は、非磁性材料でなり、前記第１の磁気ヘッドと前記第２の磁気ヘッドとを一体的に接合する。
【００１６】
前記磁気ヘッド装置は、複数の第１の磁性コアに対して励磁用の第１のコイルが各々巻回された直流消去用の第１の磁気ヘッドを備えている。したがって、磁気記録媒体への直流消去量を個々のサーボ信号記録部に対して個別に制御することが可能なる。これにより、サーボ信号記録部間におけるサーボ信号のばらつきを低減することが可能となる。その結果、全てのサーボバンド間にわたり均一かつ高出力のサーボ信号を安定に得ることが可能となる。
【００１７】
前記第１及び第２の磁性コアは、前記磁気記録媒体と摺動する第１及び第２の摺動面をそれぞれ有していてもよい。この場合、前記接合層は、前記第１の摺動面と前記第２の摺動面とが同一平面上に位置するように前記第１及び第２の磁気ヘッドとを相互に接合する。
これにより、第１及び第２の摺動面をともに磁気記録媒体の走行面と同一平面上に形成することができる。よって、磁気記録媒体のサーボバンドに対する直流消去効率とサーボ信号記録効率を安定化させることが可能となる。
【００１８】
前記複数の第１の磁性コアは、前記第１の摺動面に、前記直流消去用の信号磁界を形成するための第１のギャップをそれぞれ有していてもよい。この場合、前記第２の磁性コアは、前記一方向と直交する方向に関して前記第１のギャップと対応するように前記第２の摺動面にそれぞれ配置された、前記サーボ信号用の信号磁界を形成するための複数の第２のギャップを有する。
これにより、第１の磁気ヘッドで直流消去信号を記録した領域と、第２の磁気ヘッドでサーボ信号を記録した領域との間にずれが発生することを防止できる。
【００１９】
前記第１の磁性コアは、前記第１のギャップを有する磁性フロントコア部と、前記磁性フロントコア部と接合され前記第１のコイルが巻回された磁性バックコア部とを有していてもよい。この場合、前記第１の非磁性コアは、前記磁性フロントコア部と隣接して接合された非磁性フロントコア部と、前記非磁性フロントコア部と前記磁性バックコア部とにそれぞれ接合された非磁性バックコア部とを有する。
これにより、磁性フロントコア部と非磁性フロントコア部との接合体からなる第１の接合体と、磁性バックコア部と非磁性バックコア部との接合体からなる第２の接合体とによって、第１の磁気ヘッドを構成することができる。このため、第１の磁気ヘッドの製造工程の複雑化を回避することが可能となる。
【００２０】
上記とは別に、前記第１の磁性コアは、前記第１のギャップを有する磁性フロントコア部と、前記磁性フロントコア部と接合された磁性バックコア部と、前記磁性バックコア部と接合され前記第１のコイルが巻回された磁性補助コア部とを有していてもよい。この場合、前記第１の非磁性コアは、前記磁性フロントコア部と隣接して接合された非磁性フロントコア部と、前記非磁性フロントコア部と前記磁性バックコア部とにそれぞれ接合された非磁性バックコア部とを有する。
これにより、上記の効果に加えて、第１の磁気ヘッドに対して第２のコイルの巻回工程作業の容易化を図ることができる。
【００２１】
前記第２の磁気ヘッドは、前記第２のギャップの形成位置に対応して分割された複数の前記第２の磁性コアと、前記複数の第２の磁性コアの間に配置された複数の第２の非磁性コアとを有していてもよい。
これにより、第１の磁気ヘッドだけでなく、第２の磁気ヘッドに関しても各サーボ信号記録部に対するサーボ信号の記録出力を個別に制御することが可能となる。したがって、サーボ信号記録部間におけるサーボ信号のばらつきを更に低減することが可能となる。
【００２２】
一方、本発明の他の形態に係る磁気ヘッド装置の製造方法は、磁気記録媒体のサーボ信号記録部に対して直流消去用の信号磁界を形成するための第１のギャップを含む第１の磁気ヘッドと、前記サーボ信号記録部に対してサーボ信号記録用の信号磁界を前記直流消去用の信号磁界とは逆方向に形成するための第２のギャップを含む第２の磁気ヘッドとを有する磁気ヘッド装置の製造方法である。
フロントコアブロックは、第１の磁性フロントコア部と非磁性フロントコア部とが一方向にそれぞれ複数交互に配置された第１の接合体と、前記一方向に延在する第２の磁性フロントコア部とを、前記一方向と交差する方向に複数交互に接合することで作製される。
前記第１のギャップは、前記フロントコアブロックの前記第１の磁性フロントコア部の表面に形成される。前記第２のギャップは、前記フロントコアブロックの前記第２の磁性フロントコア部の表面に形成される。
バックコアブロックは、第１の磁性バックコア部と非磁性バックコア部とが前記一方向にそれぞれ複数交互に配置された第２の接合体と、前記一方向に延在する第２の磁性バックコア部とを、前記一方向と交差する方向に複数交互に接合することで作製される。
第３の接合体は、前記フロントコアブロックと前記バックコアブロックとを相互に接合することで作製される。
前記第３の接合体は、相互に隣接する前記第１の接合体及び前記第２の磁性フロントコア部を組として、前記組ごとに個片化される。
前記第１の磁気ヘッド及び前記第２の磁気ヘッドは、前記複数の第１の磁性バックコア部と前記第２の磁性バックコア部とに対してそれぞれ励磁用のコイルを巻回することで作製される。
【００２３】
上記磁気ヘッド装置の製造方法によれば、直流消去信号を個別に制御することができる第１の磁気ヘッドを備えた磁気ヘッド装置を作製することができる。これにより、サーボ信号記録部間におけるサーボ信号のばらつきを低減することが可能となる。
【００２４】
前記複数の第１の磁性バックコア部に対する前記コイルの巻回は、前記コイルが個々に巻回された複数の磁性補助コア部を前記第１の磁性バックコア部にそれぞれ接合するようにしてもよい。
これにより、第１の磁気ヘッドを構成する励磁用のコイルの取り付け作業性を高めることが可能となる。
【発明の効果】
【００２５】
以上のように、本発明によれば、サーボ信号記録部間におけるサーボ信号のばらつきを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
【００２７】
［磁気テープの記録パターン］
図１は、本発明の実施の形態に係る磁気ヘッド装置によって磁気テープ６０（磁気記録媒体）の磁性面に形成される記録パターンの一例を示す模式図である。図示する磁気テープ６０は、データ信号を記録する複数のデータバンド部（Data Band ０〜３）と、サーボ信号を記録する複数のサーボバンド部（Servo Band ０〜４））とを有するリニアテープで構成されている。
【００２８】
磁気テープ６０は、テープ長手方向に延在する複数のデータトラックＴａを有している。データバンド部は、データトラックＴａに形成されている。各データトラックＴａは、２つのサーボバンド部に挟まれた形で形成されている。
【００２９】
磁気テープ６０は、テープ長手方向に延在する複数のサーボトラックＴｒを有している。サーボバンド部（サーボ信号記録部）は、サーボトラックＴｒに形成されている。図１に示すように、磁気テープが４本のデータトラックＴａを有する場合は、５本のサーボトラックＴｒが形成される。
【００３０】
サーボバンド部には、所定パターンのサーボ信号がテープ長手方向に記録されている。サーボ信号の記録パターンは種々のものを用いることができる。図１に示した例においては、サーボ信号は、所定角度で傾斜する４本のパターン群Ｓ４ａと、当該パターン群Ｓ４ａと逆方向に同じ角度で傾斜する４本のパターン群Ｓ４ｂとを有している。また、サーボ信号は、所定角度で傾斜する５本のパターン群Ｓ５ａと、当該パターン群Ｓ５ａと逆方向に同じ角度で傾斜する５本のパターン群Ｓ５ｂとを有している。これらパターン群Ｓ４ａ、Ｓ４ｂ、Ｓ５ａ及びＳ５ｂからなる組をテープ長手方向に繰り返すことで、サーボ信号が構成されている。
【００３１】
上記サーボ信号は、本実施の形態に係る磁気ヘッド装置を含むサーボ信号記録装置によって、磁気テープ６０のサーボバンド部（サーボトラックＴｒ）に記録される。以下、このサーボ信号記録装置について説明する。
【００３２】
図２は、サーボ信号記録装置の概略構成図である。図示するサーボ信号記録装置７０は、サーボ信号が記録されるべき磁気テープ６０を巻き出す供給部７１と、サーボ信号の記録用ヘッドユニット１と、サーボ信号の再生用ヘッド７３と、サーボ信号が記録された磁気テープ６０を巻き取る巻取り部７２とを有している。再生用ヘッド７３は、インダクティブ型磁気ヘッドで構成されている。
【００３３】
記録用ヘッドユニット（以下単に「磁気ヘッドユニット」ともいう。）１は、供給部７１から巻き出された磁気テープ６０のサーボバンド部にサーボ信号を記録するためのものである。磁気ヘッドユニット１は、本実施の形態に係る磁気ヘッド装置の一具体例である。
【００３４】
磁気ヘッドユニット１は、磁気テープ６０の各サーボバンド部に対して直流消去用の信号磁界を形成するための第１の磁気ヘッド１０と、上記各サーボバンド部に対してサーボ信号記録用の信号磁界を形成するための第２の磁気ヘッド２０とを備えている。第２の磁気ヘッド２０は、直流消去用の信号磁界とは逆方向にサーボ信号記録用の信号磁界を形成する。
【００３５】
以下、このヘッドユニット１の具体的構成について説明する。
【００３６】
（第１の実施の形態）
［磁気ヘッドユニット１Ａの構成］
図３は、本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドユニット１Ａ（磁気ヘッド装置）の全体構成を示す斜視図である。磁気ヘッドユニット１Ａは、直流消去用の磁気ヘッド１０Ａと、サーボ信号記録用の磁気ヘッド２０Ａとの一体化構造を有している。
【００３７】
磁気ヘッド１０Ａは、図２に示した第１の磁気ヘッド１０に相当し、磁気ヘッド２０Ａは、図２に示した第２の磁気ヘッド２０に相当する。図３においては、第１の磁気ヘッドと第２の磁気ヘッドの左右が逆に描かれている。ここで、Ｘ軸方向は磁気テープの走行方向であり、Ｙ軸方向は磁気テープの幅方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸及びＹ軸にそれぞれ直交する方向を示している。
【００３８】
第１の磁気ヘッド１０Ａは、複数の磁性コア１００（第１の磁性コア）と非磁性コア１１０（第１の非磁性コア）との接合構造を有している。磁性コア１００と非磁性コア１１０は、Ｙ軸方向に交互に複数配置されており、磁気ヘッド１０Ａの長手方向（Ｙ軸方向）の両端は非磁性コア１１０が位置している。図３の例では、磁気ヘッド１０Ａは、５個の磁性コア１００と、６個の非磁性コア１１０とを有している。
【００３９】
磁性コア１００の配置間隔、すなわち、非磁性コア１１０のＹ軸方向の長さは、磁気テープ６０のサーボバンド部の配列間隔に対応して決定される。ここで、磁気ヘッド１０Ａの長手方向の両端に位置する非磁性コア１１０は、その他の非磁性コア１１０に比べて、そのＹ軸方向の長さを異ならせているが、当該長さを全ての非磁性コア１１０において同等に設定してもよい。
【００４０】
磁性コア１００は、Ｚ軸方向に分割された２つのコア半体の接合体でなる。第１のコア半体は、テープ摺動面側となるフロントコア部１０１（（第１の）磁性フロントコア部）であり、第２のコア半体は、当該テープ摺動面とは反対側となるバックコア部１０２（（第１の）磁性バックコア部）である。
【００４１】
同様に、非磁性コア１１０は、Ｚ軸方向に分割された２つのコア半体でなる。第１のコア半体は、テープ摺動面側となるフロントコア部１１１（非磁性フロントコア部）であり、第２のコア半体は、当該テープ摺動面とは反対側となるバックコア部１１２（非磁性バックコア部）である。
【００４２】
磁性コア１００のフロントコア部１０１の表面は、磁気テープ６０と摺動するテープ摺動面（第１の摺動面）を構成している。非磁性コア１１０のフロントコア部１１１の表面も同様にテープ摺動面（第１の摺動面）を構成しており、このテープ摺動面は、磁性コア１００の上記テープ摺動面と同一平面（ＸＹ平面）上に位置している。
【００４３】
一方、第２の磁気ヘッド２０Ａは、Ｙ軸方向に延在する磁性コア２００（第２の磁性コア）を有している。磁性コア２００は、Ｚ軸方向に分割された２つのコア半体でなる。第１のコア半体は、テープ摺動面側となるフロントコア部２０１（第２の磁性フロントコア部）であり、第２のコア半体は、当該テープ摺動面とは反対側となるバックコア部２０２（第２の磁性バックコア部）である。
【００４４】
磁性コア１００、２００のフロントコア部１０１、２０１及びバックコア部１０２、２０２を構成する材料としては、例えば、単結晶フェライトや多結晶フェライトなどの磁性材料を用いることができる。フェライト材料としては、例えば、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライトなどが挙げられる。
【００４５】
磁性コア１００のテープ摺動面は、金属磁性膜１０３で構成されている。同様に、磁性コア２００のテープ摺動面は、金属磁性膜２０３で構成されている。金属磁性膜１０３、２０３は、例えば、Ｆｅ系微結晶、あるいはＮｉＦｅ等これに類似した高飽和磁束密度を有する他の軟磁性合金でなり、厚さは数μｍである。
【００４６】
非磁性コア１１０のフロントコア部１１１及びバックコア部１１２は、磁性コア１００との接合時に熱処理が施されること、更には、金属磁性膜１０３、２０３の磁気特性確保のために４００℃〜６００℃の熱処理が施されること等を考慮して、熱膨張率が磁性コア１００及び金属磁性膜１０３、２０３の熱膨張率と同等の材料が選択される。具体的に、ＢａＯ−ＴｉＯ２セラミックス、ＣａＯ−ＴｉＯ２系セラミックス、熱膨張率がフェライト材に近いガラスセラミックス等を用いることができる。
【００４７】
非磁性コア１１０のテープ摺動面は、非磁性硬質膜１１３で構成されている。この非磁性硬質膜１１３は、例えば二酸化珪素（ＳｉＯ２）膜で構成され、金属磁性膜１０３と同等の厚みで形成されている。
【００４８】
また、磁気ヘッドユニット１Ａは、第１の磁気ヘッド１０Ａと第２の磁気ヘッド２０Ａとを相互に接合する接合層３０を備えている。接合層３０は、第１の磁気ヘッド１０Ａのフロントコア部１０１、２０１と、第２の磁気ヘッド２０Ａのフロントコア部２０１との間を接合するフロント側接合部３０１と、第１の磁気ヘッド１０Ａのバックコア部１０２、１１２と、第２の磁気ヘッド２０Ａのバックコア部２０２との間を接合するバック側接合部３０２とを有している。
【００４９】
接合層３０は、非磁性材料で構成されている。本実施の形態では、磁性コア１００、２００にフェライト材が用いられることから、熱膨張率がフェライト材のそれに近い非磁性材料、例えば、ＢａＯ−ＴｉＯ２系セラミックス、ＣａＯ−ＴｉＯ２系セラミックス、ガラスセラミックス等を用いることができる。
【００５０】
磁性コア２００のフロントコア部２０１の表面は、磁気テープ６０と摺動するテープ摺動面（第２の摺動面）を構成している。接合層３０は、磁性コア１００のテープ摺動面（第１の摺動面）と磁性コア２００のテープ摺動面とが同一平面（ＸＹ平面）上に位置するように、第１の磁気ヘッド１０Ａと第２の磁気ヘッド２０Ａとを相互に接合している。
【００５１】
図４は、第１の接合部３０１で一体化された磁性コア１００、２００のフロントコア部１０１、２０１のＹ軸方向から見た正面図である。
【００５２】
第１の接着層３０１の形成位置に対応するテープ摺動面の所定領域には、磁性コア１００側の金属磁性膜１０３と磁性コア２００側の金属磁性膜２０３との間を相互に分離する分離溝４０が形成されている。また、フロントコア部１０１、２０１の隅部にはテーパ面４１がそれぞれ形成されている。テーパ面４１は、磁気ヘッドユニット１Ａのエッジ部から磁気テープ６０を保護する機能、あるいは磁気テープ６０のテープ摺動面への進入をガイドする機能を有している。
【００５３】
第１の磁性コア１００のテープ摺動面には、磁気テープ６０のサーボバンド部に対して直流消去用の信号磁界を形成するためのギャップ１０４（第１のギャップ）が形成されている。第２の磁性コア２００のテープ摺動面には、磁気テープ６０のサーボバンド部に対してサーボ信号記録用の信号磁界を形成するためのギャップ２０４（第２のギャップ）が形成されている。これらのギャップ１０４、２０４は、フロントコア１０１、２０１のそれぞれのギャップ形成領域に配置された非磁性層４２の上に形成されている。ギャップ１０４、２０４は、金属磁性膜１０３、２０３の表面から非磁性層４２の表面に達する深さで形成されている。
【００５４】
図１に示すように、直流消去用の信号磁界を形成するための第１のギャップ１０４は、テープ幅方向（Ｙ軸方向）に平行な直線パターンでなる。また、サーボ信号記録用の信号磁界を形成するための第２のギャップ２０４は、テープ幅方向に関して対称な一対の傾斜パターンでなる。これらギャップ１０４、２０４は、非磁性層４２の上に形成された非磁性材料のパターン構造体で構成されている。
【００５５】
図５は、第１のギャップ１０４及び第２のギャップ２０４の拡大平面図である。第１のギャップ１０４と第２のギャップ２０４は、磁気テープ６０の走行方向（Ｘ軸方向）に関して互いに対応する位置に形成されている。これにより、磁気テープ６０の同一サーボトラックＴｒに対して第１及び第２のギャップ１０４、２０４がトレースすることが可能となる。ＬＴＯ（リニアテープオープン）フォーマットの場合、直流消去信号記録用の第１のギャップ１０４の幅は１９４μｍ、サーボ信号記録用の第２のギャップ２０４の幅は１８６μｍとすることができる。
【００５６】
さらに、磁気ヘッドユニット１Ａは、第１の磁性コア１００を励磁するための第１のコイル５１と、第２の磁性コア２００を励磁するための第２のコイル５２とを備えている。
【００５７】
第１のコイル５１は、第１の磁気ヘッド１０Ａを構成する個々の磁性コア１００のバックコア部１０２にそれぞれ巻回されている。これら磁性コア１００のバックコア部１０２は、フロントコア部１０１側が開口された巻線溝１０２ａを有する四角柱状のフェライトブロックでそれぞれ構成されている。第１のコイル５１は、それぞれのバックコア部１０２の巻線溝１０２ａに巻回されている。
【００５８】
なお、第１の磁気ヘッド１０Ａを構成する個々の非磁性コア１１０のバックコア部１１２は、接合層３０側とは反対側に開口された巻線溝１１２ａを有する四角柱状のセラミックブロックで構成されている。これら非磁性コア１１０のバックコア部１１２は、そのフロントコア部１１１と磁性コア１００のバックコア部１０２にそれぞれ一体接合されている。
【００５９】
第２のコイル５２は、第２の磁気ヘッド２０Ａを構成する磁性コア２００のバックコア部２０２に巻回されている。この磁性コア２００のバックコア部２０２は、フロントコア部２０１側が開口された巻線溝２０２ａを有する四角柱状のフェライトブロックで構成されている。第２のコイル５２は、バックコア部２０２の巻線溝２０２ａに巻回されている。
【００６０】
本実施の形態の磁気ヘッドユニット１Ａは以上のように構成される。次に、この磁気ヘッドユニット１Ａの製造方法について図６〜図２２を参照して説明する。
【００６１】
［フロントコアブロックの作製］
まず、図６に示すように、第１の磁気ヘッド１０Ａ用の磁性フロントコア部１０１及び非磁性フロントコア部１１１を構成する磁性フェライト片Ｍ１と非磁性セラミックス片Ｎ１をそれぞれ複数個用意する。これらの接合面は、あらかじめポリッシング等により平坦化しておく。
【００６２】
次に、図７（Ａ）に示すようにフェライト片Ｍ１とセラミックス片Ｎ１を交互に複数配列した後、図７（Ｂ）に示すようにフェライト片Ｍ１とセラミックス片Ｎ１とを接合一体化することで、複合ブロックＷＦ１（第１の接合体）を形成する。セラミックス片Ｎ１としては、フェライト片Ｍ１と同等の熱膨張率を有する各種セラミックス材料が用いられる。
【００６３】
接合については、双方の接合面に蒸着法やスパッタリング法により金属薄膜を形成した後、金属薄膜どうしを突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させる低温金属拡散接合法を用いることができる。あるいは、双方の接合面に蒸着法やスパッタリング法によりガラス薄膜を形成した後、ガラス薄膜どうしを突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させるガラス熱圧着接合法を用いることができる。また、セラミックス片Ｎ１にガラスセラミックスを用いた場合は、セラミックス片Ｎ１とフェライト片Ｍ１を直接突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させる熱圧着接合法を用いてもよい。
【００６４】
続いて、図８に示すように、接合用材料としての非磁性接合片Ｗ１を用意する。また、図９に示すように、第２の磁気ヘッド１０Ｂ用の磁性フロントコア部２０１を構成する磁性フェライトブロック２０Ｆを用意する。非磁性接合片Ｗ１としては、フェライト片Ｍ１と同等の熱膨張率を有する各種セラミックス材料が用いられる。非磁性接合片Ｗ１及びフェライトブロック２０Ｆの接合面は、ポリッシング等により平坦化される。
【００６５】
そして、図１０に示すように、フェライトブロック２０Ｆ、接合片Ｗ１、フェライトブロック２０Ｆ、接合片Ｗ１、複合ブロックＷＦ１、接合片Ｗ１及び複合ブロックＷＦ１の順に配列し、それを組とするフロントコアブロック２Ａを複数組連続して並べる。配列された各ブロックは相互に接合されて一体化される。これによりフロントコア基板Ｓ１が作製される。
【００６６】
接合については、双方の接合面に蒸着法やスパッタリング法により金属薄膜を形成した後、金属薄膜どうしを突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させる低温金属拡散接合法を用いることができる。あるいは、双方の接合面に蒸着法やスパッタリング法によりガラス薄膜を形成した後、ガラス薄膜どうしを突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させるガラス熱圧着接合法を用いることができる。また、接合片Ｗ１にガラスセラミックスを用いた場合は、加熱と加圧を同時に行い接合させる熱圧着接合法を用いてもよい。
【００６７】
次に、フロントコア基板Ｓ１の一方の主面Ｓａが平坦となるようにポリッシング等により研磨する。そして、図１１に示すように、複合ブロックＷＦ１のフェライト片Ｍ１及びフェライトブロック２０Ｆ上に金属磁性膜３を形成する。その後、フェライト片Ｍ１上には第１のギャップ１０４を、また、フェライトブロック２０Ｆ上には第２のギャップ２０４をそれぞれ形成する。
【００６８】
詳しくは、まずフロントコア基板Ｓ１の主面Ｓａのほぼ全面に二酸化珪素等の非磁性硬質膜１１３（図３）をスパッタリング法、蒸着法等により形成した後、当該非磁性硬質膜１１３上にレジスト材料層の均一の厚さでムラなく形成する。次いで、ギャップ１０４、２０４と、セラミックス片Ｎ１の上面に対応する領域とが開放されたパターンが施されているマスクを用いて露光する。その後、このフロントコア基板Ｓ１を現像液に所定の時間浸し、上記マスクに従った不必要なレジストを溶解除去し、必要な形状のレジストパターンのみを残す。次いで、リアクティブイオンエッチング法あるいはイオンエッチング法によって、レジストパターンで被覆されていない不必要な非磁性硬質膜１１３を除去する。その後、レジストパターンを除去することで、ギャップ１０４、２０４の形成領域及びセラミックス片Ｎ１の表面に非磁性硬質膜１１３が形成される。次いで、フロントコア基板Ｓ１の表面Ｓａに、スパッタリング法、蒸着法、めっき法等によって高飽和磁束密度を有する金属磁性膜３を形成する。その後、フロントコア基板Ｓ１に熱処理を施すことにより、金属磁性膜３について良好な軟磁気特性を得る。また、金属磁性膜３は、フロントコア基板Ｓ１上の非磁性硬質膜パターンにも形成され、当該非磁性硬質膜の厚みに相当する段差が発生するため、金属磁性膜３の形成後、その表面を上記非磁性硬質膜が露出するまで、バフ研磨あるいはレンズ研磨等によって均一に削る。
【００６９】
次に、図１２に示すように、第１の磁気ヘッド１０Ａ側のフロントコア部１０１と第２の磁気ヘッド２０Ａ側のフロントコア部２０１との間の磁気的干渉を阻止するため、分離溝４０を形成する。これにより、第１のギャップ１０４が属する金属磁性膜１０３と、第２のギャップ２０４が属する金属磁性膜２０３とが、相互に分離される。また、この分離溝４０の形成と同時に又は別に、上述したテーパ面４１（肩落とし溝）４１を形成する。
【００７０】
なお、一対の複合ブロックＷＦ１とその間に配置された接合片Ｗ１とにより第１の磁性フロントコア部１０１が形成され、当該接合片Ｗ１はギャップ１０４の下地となる非磁性層４２（図４）に相当する。また、一対のフェライトブロック２０Ｆとその間に配置された接合片Ｗ１とにより第２の磁性フロントコア部２０１が形成され、当該接合片Ｗ１はギャップ２０４の下地となる非磁性層４２（図４）に相当する。また、第１の磁性フロントコア部１０１と第２の磁性フロントコア部２０１の間に配置された接合片Ｗ１は、フロント側接合部３０１（図４）に相当する。
【００７１】
続いて、図１３に示すように、フロントコア基板Ｓ１の表裏を反転させ、フロントコア基板Ｓ１のもう一方側の主面Ｓｂに巻線溝４３を形成する。その後、当該主面Ｓｂの巻線溝４３以外の領域であるバックコア部との接合面をポリッシング等により平坦に研磨する。なお、後工程でバックコア部との接合用の金属膜を形成することから、当該接合面の表面粗さ（Ｒａ）は、例えば１０ｎｍ以下とすることが好ましい。
【００７２】
次に、図１４に示すように、フロントコア基板Ｓ１の上記接合面に、金属の蒸着膜１２を形成する。蒸着膜１２は、第１、第２の金属膜１２ａ、１２ｂからなる２層構造とすることができる。第１の金属膜１２ａは、フロントコア基板Ｓ１と第２の金属膜１２ｂとの密着性を確保するためのものであり、例えば、厚さ５０ｎｍ程度のＣｒまたはＴｉからなる蒸着膜である。また、第２の金属膜１２ｂは、金属磁性膜１０３、２０３の熱処理温度以下の温度で拡散接合可能な金属薄膜であり、例えば、厚さ１０〜２００ｎｍ程度のＡｕまたはＰｔからなる蒸着膜である。
【００７３】
［バックコアブロックの作製］
続いて、バックコアブロックの作製手順について説明する。バックコアブロックは、上述したフロントコアブロックとは別に作製される。
【００７４】
まず、図１５（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第１の磁気ヘッド１０Ａ用の磁性バックコア部１０２及び非磁性バックコア部１１２をそれぞれ複数個用意する。これらの接合面は、あらかじめポリッシング等により平坦化しておく。
【００７５】
次に、図１６（Ａ）に示す姿勢で磁性バックコア部１０２（第１の磁性バックコア部）と非磁性バックコア部１１２とを交互に複数配列した後、図１６（Ｂ）に示すように磁性バックコア部１０２と非磁性バックコア部１１２とを接合一体化することで、複合ブロックＷＢ１（第２の接合体）を形成する。
【００７６】
接合については、双方の接合面に蒸着法やスパッタリング法により金属薄膜を形成した後、金属薄膜どうしを突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させる低温金属拡散接合法を用いることができる。あるいは、双方の接合面に蒸着法やスパッタリング法によりガラス薄膜を形成した後、ガラス薄膜どうしを突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させるガラス熱圧着接合法を用いることができる。また、非磁性バックコア部１１２にガラスセラミックスを用いた場合は、非磁性バックコア部１１２と磁性バックコア部１０２を直接突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させる熱圧着接合法を用いてもよい。
【００７７】
続いて、図１７（Ａ）、（Ｂ）に示すように、接合用材料としての非磁性接合片Ｗ２と、第２の磁気ヘッド１０Ｂ用の磁性バックコア部２０２を用意する。非磁性接合片Ｗ２としては、フェライトコア１０２、２０２と同等の熱膨張率を有する各種セラミックス材料が用いられる。非磁性接合片Ｗ２及び磁性バックコア部２０２の接合面は、ポリッシング等により平坦化される。
【００７８】
そして、図１８に示すように、磁性バックコア部２０２（第２の磁性バックコア部）、接合片Ｗ２及び複合ブロックＷＢ１の順に配列し、それを組とするバックコアブロック２Ｂを複数組連続して並べる。配列された各ブロックは相互に接合されて一体化される。これによりバックコア基板Ｓ２が作製される。
【００７９】
接合については、双方の接合面に蒸着法やスパッタリング法により金属薄膜を形成した後、金属薄膜どうしを突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させる低温金属拡散接合法を用いることができる。あるいは、双方の接合面に蒸着法やスパッタリング法によりガラス薄膜を形成した後、ガラス薄膜どうしを突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させるガラス熱圧着接合法を用いることができる。また、接合片Ｗ２にガラスセラミックスを用いた場合は、加熱と加圧を同時に行い接合させる熱圧着接合法を用いてもよい。
【００８０】
次に、バックコア基板Ｓ２の２つの主面が平坦となるようにポリッシング等により研磨する。そして、図１９に示すように、フロントコア基板Ｓ１との接合面となるバックコア基板Ｓ２の主面Ｓｃに、金属の蒸着膜２２を形成する。接合面Ｓｃの表面粗さ（Ｒａ）は、例えば１０ｎｍ以下とすることが好ましい。
【００８１】
蒸着膜２２は、第１、第２の金属膜２２ａ、２２ｂからなる２層構造とすることができる。第１の金属膜２２ａは、バックコア基板Ｓ２と第２の金属膜２２ｂとの密着性を確保するためのものであり、例えば、厚さ５０ｎｍ程度のＣｒまたはＴｉからなる蒸着膜である。また、第２の金属膜２２ｂは、金属磁性膜１０３、２０３の熱処理温度以下の温度で拡散接合可能な金属薄膜であり、例えば、厚さ１０〜２００ｎｍ程度のＡｕまたはＰｔからなる蒸着膜である。
【００８２】
以上のようにして、バックコア基板Ｓ２が作製される。
なお、複合ブロックＷＢ１と磁性バックコア部２０２の間に配置された接合片Ｗ２は、バック側接合部３０２（図４）に相当する。
【００８３】
次に、上述のようにして作製されたフロントコア基板Ｓ１とバックコア基板Ｓ２とを相互に接合する。
【００８４】
この接合工程では、図２０に示すように、フロントコア基板Ｓ１の接合面に形成した蒸着膜１２とバックコア基板Ｓ２の接合面に形成した蒸着膜２２とが相互に向かい合わされる。そして、フロントコア基板Ｓ１の巻線溝４３と、バックコア基板Ｓ２の巻線溝１０２ａ（１１２ａ）、２０２ａとが相互に位置合わせされた後、蒸着膜１２と蒸着膜２２とが密着される。接合法は、例えば、低温金属拡散接合法を用いることができる。
【００８５】
ここで、低温金属拡散接合法は、加圧と加熱を同時に行うことで、蒸着膜１２の第２の金属膜１２ｂと蒸着膜２２の第２の金属膜２２ｂの構成原子を相互拡散させて接合する方法である。具体的には、第２の金属膜１２ｂ、２２ｂがＡｕ膜で構成される場合、加圧力１０〜２０ＭＰａ、加熱温度１５０〜３００℃、処理時間数分〜数時間で接合が可能である。
【００８６】
以上のようにして、フロントコアブロック２Ａとバックコアブロック２Ｂとの接合体（第３の接合体）が、複数組同時に作製される。
【００８７】
続いて、図２１及び図２２に示すように、作製されたフロントコア基板Ｓ１及びバックコア基板Ｓ２の接合体を上記コアブロックの組ごとに個片化する。個片化には、ダイサーやグラインダーツール等を用いることができる。
【００８８】
最後に、第１の磁性コア１００の個々のバックコア部１０２に励磁用の第１のコイル５１がそれぞれ巻回されることで、直流消去用の第１の磁気ヘッド１０Ａが作製される。また、第２の磁性コア２００のバックコア部２０２に励磁用の第２のコイル５２が巻回されることで、サーボ信号形成用の第２の磁気ヘッド２０Ａが作製される。そして、以上のようにして、第１及び第２の磁気ヘッド１０Ａ及び２０Ａが一体接合された磁気ヘッドユニット１Ａが作製される。
【００８９】
上述のように、本実施の形態の磁気ヘッドユニット１Ａは、複数の第１の磁性コア１００に対して励磁用の第１のコイル５１が各々巻回された直流消去用の第１の磁気ヘッド１０Ａを備えている。したがって、磁気テープ６０への直流消去量を個々のサーボ信号記録部に対して個別に制御することが可能なる。これにより、サーボ信号記録部間におけるサーボ信号のばらつきを低減することが可能となる。その結果、全てのサーボバンド間にわたり均一かつ高出力のサーボ信号を安定に得ることが可能となる。
【００９０】
また、本実施の形態の磁気ヘッドユニット１Ａにおいては、第１の磁気ヘッド１０Ａ及び第２の磁気ヘッド２０Ａは、接合層３０によって、第１及び第２の磁性コア１００、２００のテープ摺動面が同一平面上に位置するように接合されている。つまり、第１及び第２の磁気ヘッド１０Ａ、２０Ａのテープ摺動面は、磁気記録媒体の走行面と同一平面上に形成される。これにより、磁気テープ６０のサーボバンドに対する直流消去効率とサーボ信号記録効率を安定化させることが可能となる。
【００９１】
また、本実施の形態の磁気ヘッドユニット１Ａにおいては、直流消去信号形成用の第１のギャップ１０４と、サーボ信号形成用の第２のギャップ２０４とは、磁気テープ６０の幅方向と直交する方向に関して相互に対応するように配置されている。これにより、磁気テープ６０において、第１の磁気ヘッド１０Ａで直流消去信号を記録した領域と、第２の磁気ヘッド２０Ａでサーボ信号を記録した領域との間にずれが発生することを防止できる。
【００９２】
また、本実施の形態の磁気ヘッドユニット１Ａにおいて、第１の磁性コア１００は、第１のギャップ１０４を有する磁性フロントコア部１０１と、磁性フロントコア部１０１と接合され第１のコイル５１が巻回された磁性バックコア部１０２とを有している。そして、非磁性コア１１０は、磁性フロントコア部１０１と隣接して接合された非磁性フロントコア部１１１と、非磁性フロントコア部１１１と磁性バックコア部１０２とにそれぞれ接合された非磁性バックコア部１１２とを有する。これにより、磁性フロントコア部１０１と非磁性フロントコア部１１１との接合体からなる第１の接合体（複合ブロックＷＦ１）と、磁性バックコア部１０２と非磁性バックコア部１１２との接合体からなる第２の接合体（複合ブロックＷＢ１）とによって、第１の磁気ヘッド１０Ａを構成することができる。このため、第１の磁気ヘッド１０Ａの製造工程の複雑化を回避することが可能となる。
【００９３】
本発明者らは、上述した磁気ヘッドユニット１Ａの製造方法に従い、１／２インチ幅磁気テープに、図１に示す記録パターンを書き込む磁気ヘッドユニット１Ａを、以下に示す条件で作製した。
（１）金属磁性膜１０４、２０４：Ｆｅ−Ｔａ系微結晶膜
（２）磁気コア１００、２００：単結晶フェライト
（３）非磁性コア１１０、接合層３０：ガラスセラミックス
（４）フロントコア基板Ｓ１とバックコア基板Ｓ２の間の蒸着膜１２ｂ、２２ｂ：Ａｕ膜（厚さ１００ｎｍ）
（５）直流消去信号記録用ギャップ１０４の幅：１９４μｍ
（６）サーボ信号記録用ギャップ２０４の幅：１８６μｍ
【００９４】
以上の条件で作製した磁気ヘッドユニット１Ａを、図２に示すサーボ信号記録装置７０の記録用ヘッドユニット１として取り付けた。この磁気ヘッドユニット１ＡにてＬＴＯフォーマット用１／２インチ幅磁気テープ６０に直流消去信号とサーボ記録信号を記録した。そして、再生用ヘッド７３にてサーボバンド毎の再生出力を確認しながら、サーボバンド間の出力差がなくなるようにサーボバンド毎に直流消去量の調整を行った。その結果、図２３に示すように、同一ヘッド内のサーボバンド間の再生出力が、０．１ｄＢのばらつきで安定して得られることが確認された。
【００９５】
比較として、図２４に示す構成の記録用ヘッドユニット１Ｒを作製した。この記録用ヘッドユニット１Ｒは、直流消去信号記録用のギャップ１０４Ｒを有する第１の磁気ヘッド１０Ｒと、サーボ信号記録用のギャップ２０４Ｒを有する第２の磁気ヘッド２０Ｒとを備える。第１、第２の磁気ヘッド１０Ｒ、２０Ｒは、接合層３０によって相互に接合されている。第１の磁気ヘッド１０Ｒには励磁用の第１のコイル５１Ｒが巻回されており、第２の磁気ヘッド２０Ｒには励磁用の第２のコイル５２Ｒが巻回されている。
【００９６】
図２４に示す記録用ヘッドユニット１Ｒにおいて、直流消去用の信号磁界を形成するための複数のギャップ１０４Ｒは共通の磁性フロントコア１０１Ｒ上に形成されている。すなわち、直流消去信号記録用の第１の磁気ヘッド１０Ｒは、サーボバンド毎に直流消去量の調整を行うことはできず、全てのサーボバンドに対して共通に直流消去量を調整できる構成にすぎない。
【００９７】
サーボ信号記録装置７０の記録用ヘッドユニット１に代えて当該記録用ヘッドユニット１Ｒを用いて磁気テープ６０のサーボバンド部にサーボ信号を記録した。そして、上述の実験例と同様に、再生用ヘッド７３によってサーボバンド間の再生出力を確認したところ、図２５に示すような結果が得られた。図２５に示すように、同一ヘッド内のサーボバンド間の再生出力のばらつきが１．１ｄＢであることが確認された。
【００９８】
以上のように、本実施の形態の磁気ヘッドユニット１Ａによれば、サーボバンド間の再生出力のばらつきを大幅に低減できることが確認された。特に、磁気テープのエッジ部側に位置するサーボバンド部の信号出力の低下を抑えることが可能となる。これにより、当該磁気テープのより高精度なトラッキング制御を実現することが可能となる。
【００９９】
（第２の実施の形態）
［磁気ヘッドユニット１Ｂの構成］
図２６は、本発明の他の実施の形態に係る磁気ヘッドユニット１Ｂ（磁気ヘッド装置）の全体構成を示す斜視図である。図２６において図３と対応する部分については同一の符号を付している。磁気ヘッドユニット１Ｂは、直流消去用の磁気ヘッド１０Ｂと、サーボ信号記録用の磁気ヘッド２０Ａとの一体化構造を有している。
【０１００】
磁気ヘッド１０Ｂは、図２に示した第１の磁気ヘッド１０に相当し、磁気ヘッド２０Ａは、図２に示した第２の磁気ヘッド２０に相当する。図２６においては、第１の磁気ヘッドと第２の磁気ヘッドの左右が逆に描かれている。ここで、Ｘ軸方向は磁気テープの走行方向であり、Ｙ軸方向は磁気テープの幅方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸及びＹ軸にそれぞれ直交する方向を示している。
【０１０１】
第１の磁気ヘッド１０Ｂは、複数の磁性コア１２０（第１の磁性コア）と非磁性コア１３０（第１の非磁性コア）との接合構造を有している。磁性コア１２０と非磁性コア１３０は、Ｙ軸方向に交互に複数配置されており、磁気ヘッド１０Ｂの長手方向（Ｙ軸方向）の両端は非磁性コア１３０が位置している。図２６の例では、磁気ヘッド１０Ｂは、５個の磁性コア１２０と、６個の非磁性コア１３０とを有している。
【０１０２】
磁性コア１２０の配置間隔、すなわち、非磁性コア１３０のＹ軸方向の長さは、磁気テープ６０のサーボバンド部の配列間隔に対応して決定される。ここで、磁気ヘッド１０Ｂの長手方向の両端に位置する非磁性コア１３０は、その他の非磁性コア１３０に比べて、そのＹ軸方向の長さを異ならせているが、当該長さを全ての非磁性コア１３０において同等に設定してもよい。
【０１０３】
磁性コア１２０は、Ｚ軸方向に分割された３つのコア半体の接合体でなる。第１のコア半体は、テープ摺動面側となるフロントコア部１２１（（第１の）磁性フロントコア部）であり、第２のコア半体は、フロントコア部１２１のテープ摺動面側とは反対側に接合されたバックコア部１２２（（第１の）磁性バックコア部）である。第３のコア半体は、バックコア部１２２に接合された補助コア部１２３（磁性補助コア部）である。
【０１０４】
同様に、非磁性コア１３０は、Ｚ軸方向に分割された２つのコア半体でなる。一方のコア半体は、テープ摺動面側となるフロントコア部１３１（非磁性フロントコア部）であり、他方のコア半体は、当該テープ摺動面とは反対側となるバックコア部１３２（非磁性バックコア部）である。
【０１０５】
磁性コア１２０のフロントコア部１２１の表面は、磁気テープ６０と摺動するテープ摺動面（第１の摺動面）を構成している。非磁性コア１３０のフロントコア部１３１の表面も同様にテープ摺動面（第１の摺動面）を構成しており、このテープ摺動面は、磁性コア１２０の上記テープ摺動面と同一平面（ＸＹ平面）上に位置している。
【０１０６】
一方、第２の磁気ヘッド２０Ａは、Ｙ軸方向に延在する磁性コア２００（第２の磁性コア）を有している。磁性コア２００は、Ｚ軸方向に分割された２つのコア半体でなる。一方のコア半体は、テープ摺動面側となるフロントコア部２０１（第２の磁性フロントコア部）であり、他方のコア半体は、当該テープ摺動面とは反対側となるバックコア部２０２（第２の磁性バックコア部）である。
【０１０７】
磁性コア１２０、２００のフロントコア部１２１、２０１、バックコア部１２２、２０２及び補助コア部１２３を構成する材料としては、例えば、単結晶フェライトや多結晶フェライトなどの磁性材料を用いることができる。フェライト材料としては、例えば、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライトなどが挙げられる。
【０１０８】
磁性コア１２０のテープ摺動面は、金属磁性膜１０３で構成されている。同様に、磁性コア２００のテープ摺動面は、金属磁性膜２０３で構成されている。金属磁性膜１０３、２０３は、例えば、Ｆｅ系微結晶、あるいはＮｉＦｅ等これに類似した高飽和磁束密度を有する他の軟磁性合金でなり、厚さは数μｍである。
【０１０９】
非磁性コア１３０のフロントコア部１３１及びバックコア部１３２は、磁性コア１２０との接合時に熱処理が施されること、更には、金属磁性膜１０３、２０３の磁気特性確保のために４００℃〜６００℃の熱処理が施されること等を考慮して、熱膨張率が磁性コア１２０及び金属磁性膜１０３、２０３の熱膨張率と同等の材料が選択される。具体的に、ＢａＯ−ＴｉＯ２セラミックス、ＣａＯ−ＴｉＯ２系セラミックス、熱膨張率がフェライト材に近いガラスセラミックス等を用いることができる。
【０１１０】
非磁性コア１３０のテープ摺動面は、非磁性硬質膜１１３で構成されている。この非磁性硬質膜１１３は、例えば二酸化珪素（ＳｉＯ２）膜で構成され、金属磁性膜１０３と同等の厚みで形成されている。
【０１１１】
また、磁気ヘッドユニット１Ｂは、第１の磁気ヘッド１０Ｂと第２の磁気ヘッド２０Ａとを相互に接合する接合層３０を備えている。接合層３０は、第１の磁気ヘッド１０Ｂのフロントコア部１２１、２０１と、第２の磁気ヘッド２０Ａのフロントコア部２０１との間を接合するフロント側接合部３０１と、第１の磁気ヘッド１０Ｂのバックコア部１２２、１１２と、第２の磁気ヘッド２０Ａのバックコア部２０２との間を接合するバック側接合部３０２とを有している。
【０１１２】
接合層３０は、非磁性材料で構成されている。本実施の形態では、磁性コア１２０、２００にフェライト材が用いられることから、熱膨張率がフェライト材のそれに近い非磁性材料、例えば、ＢａＯ−ＴｉＯ２系セラミックス、ＣａＯ−ＴｉＯ２系セラミックス、ガラスセラミックス等を用いることができる。
【０１１３】
磁性コア２００のフロントコア部２０１の表面は、磁気テープ６０と摺動するテープ摺動面（第２の摺動面）を構成している。接合層３０は、磁性コア１２０のテープ摺動面（第１の摺動面）と磁性コア２００のテープ摺動面とが同一平面（ＸＹ平面）上に位置するように、第１の磁気ヘッド１０Ｂと第２の磁気ヘッド２０Ａとを相互に接合している。
【０１１４】
図２７は、第１の接合部３０１で一体化された磁性コア１２０、２００のフロントコア部１２１、２０１のＹ軸方向から見た正面図である。
【０１１５】
第１の接着層３０１の形成位置に対応するテープ摺動面の所定領域には、磁性コア１００側の金属磁性膜１０３と磁性コア２００側の金属磁性膜２０３との間を相互に分離する分離溝４０が形成されている。また、フロントコア部１２１、２０１の隅部にはテーパ面４１がそれぞれ形成されている。テーパ面４１は、磁気ヘッドユニット１Ｂのエッジ部から磁気テープ６０を保護する機能、あるいは磁気テープ６０のテープ摺動面への進入をガイドする機能を有している。
【０１１６】
第１の磁性コア１２０のテープ摺動面には、磁気テープ６０のサーボバンド部に対して直流消去用の信号磁界を形成するためのギャップ１０４（第１のギャップ）が形成されている。第２の磁性コア２００のテープ摺動面には、磁気テープ６０のサーボバンド部に対してサーボ信号記録用の信号磁界を形成するためのギャップ２０４（第２のギャップ）が形成されている。これらのギャップ１０４、２０４は、フロントコア１２１、２０１のそれぞれのギャップ形成領域に配置された非磁性層４２の上に形成されている。ギャップ１０４、２０４は、金属磁性膜１０３、２０３の表面から非磁性層４２の表面に達する深さで形成されている。
【０１１７】
図１に示すように、直流消去用の信号磁界を形成するための第１のギャップ１０４は、テープ幅方向（Ｙ軸方向）に平行な直線パターンでなる。また、サーボ信号記録用の信号磁界を形成するための第２のギャップ２０４は、テープ幅方向に関して対称な一対の傾斜パターンでなる。これらギャップ１０４、２０４は、非磁性層４２の上に形成された非磁性材料のパターン構造体で構成されている。
【０１１８】
第１のギャップ１０４と第２のギャップ２０４は、磁気テープ６０の走行方向（Ｘ軸方向）に関して互いに対応する位置に形成されている。これにより、磁気テープ６０の同一サーボトラックＴｒに対して第１及び第２のギャップ１０４、２０４がトレースすることが可能となる。ＬＴＯ（リニアテープオープン）フォーマットの場合、直流消去信号記録用の第１のギャップ１０４の幅は１９４μｍ、サーボ信号記録用の第２のギャップ２０４の幅は１８６μｍとすることができる。
【０１１９】
さらに、磁気ヘッドユニット１Ｂは、第１の磁性コア１２０を励磁するための第１のコイル５１と、第２の磁性コア２００を励磁するための第２のコイル５２とを備えている。
【０１２０】
第１のコイル５１は、第１の磁気ヘッド１０Ｂを構成する個々の磁性コア１２０の補助コア部１２３にそれぞれ巻回されている。これら磁性コア１２０の補助コア部１２３は、バックコア部１２２側が開口された巻線溝１２３ａ（図３５）を有する四角柱状のフェライトブロックでそれぞれ構成されている。第１のコイル５１は、それぞれの補助コア部１２３の巻線溝１２３ａに巻回されている。
【０１２１】
磁性コア１２０のバックコア部１２２の形状は、フロントコア部１２１と補助コア部１２３との間で磁気回路を形成することができる形状であれば特に制限されない。本実施の形態では、一対の角柱状のフェライトブロックでバックコア部１２２が構成されている（図２９）。
【０１２２】
また、第１の磁気ヘッド１０Ｂを構成する個々の非磁性コア１３０のバックコア部１３２は、四角柱状のセラミックブロックで構成されている。これら非磁性コア１１０のバックコア部１３２は、そのフロントコア部１３１と磁性コア１２０のバックコア部１２２にそれぞれ一体接合されている。
【０１２３】
第２のコイル５２は、第２の磁気ヘッド２０Ａを構成する磁性コア２００のバックコア部２０２に巻回されている。この磁性コア２００のバックコア部２０２は、フロントコア部２０１側が開口された巻線溝２０２ａを有する四角柱状のフェライトブロックで構成されている。第２のコイル５２は、バックコア部２０２の巻線溝２０２ａに巻回されている。
【０１２４】
本実施の形態の磁気ヘッドユニット１Ｂは以上のように構成される。次に、この磁気ヘッドユニット１Ｂの製造方法について図２８〜図３７を参照して説明する。
【０１２５】
［フロントコアブロックの作製］
まず、磁気ヘッドユニット１Ｂのフロントコアブロックを作製する。なお、このフロントコアブロックの作製は、図６〜図２２を参照して説明したフロントコア基板Ｓ１の作製手順と同一の工程を経て作製されるので、その説明は省略する。
【０１２６】
［バックコアブロックの作製］
続いて、バックコアブロックの作製手順について説明する。バックコアブロックは、上述したフロントコアブロックとは別に作製される。
【０１２７】
まず、図２８に示すように、第１の磁気ヘッド１０Ｂ用の磁性バックコア部１２２及び非磁性バックコア部１３２をそれぞれ複数個用意する。これらの接合面は、あらかじめポリッシング等により平坦化しておく。
【０１２８】
次に、図２９（Ａ）に示す姿勢で磁性バックコア部１２２（第１の磁性バックコア部）と非磁性バックコア部１３２とを交互に複数配列した後、図２９（Ｂ）に示すように磁性バックコア部１２２と非磁性バックコア部１１２とを接合一体化することで、複合ブロックＷＢ２（第２の接合体）を形成する。
【０１２９】
接合については、双方の接合面に蒸着法やスパッタリング法により金属薄膜を形成した後、金属薄膜どうしを突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させる低温金属拡散接合法を用いることができる。あるいは、双方の接合面に蒸着法やスパッタリング法によりガラス薄膜を形成した後、ガラス薄膜どうしを突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させるガラス熱圧着接合法を用いることができる。また、非磁性バックコア部１３２にガラスセラミックスを用いた場合は、非磁性バックコア部１３２と磁性バックコア部１２２を直接突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させる熱圧着接合法を用いてもよい。
【０１３０】
続いて、接合用材料としての非磁性接合片Ｗ２と、第２の磁気ヘッド１０Ｂ用の磁性バックコア部２０２を用意する。非磁性接合片Ｗ２としては、フェライトコア１２２、２０２と同等の熱膨張率を有する各種セラミックス材料が用いられる。非磁性接合片Ｗ２及び磁性バックコア部２０２の接合面は、ポリッシング等により平坦化される。
【０１３１】
そして、図３０に示すように、磁性バックコア部２０２（第２の磁性バックコア部）、接合片Ｗ２及び複合ブロックＷＢ２の順に配列し、それを組とするバックコアブロック２Ｂを複数組連続して並べる。配列された各ブロックは相互に接合されて一体化される。これによりバックコア基板Ｓ２が作製される。
【０１３２】
接合については、双方の接合面に蒸着法やスパッタリング法により金属薄膜を形成した後、金属薄膜どうしを突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させる低温金属拡散接合法を用いることができる。あるいは、双方の接合面に蒸着法やスパッタリング法によりガラス薄膜を形成した後、ガラス薄膜どうしを突き合わせ、加熱と加圧を同時に行い接合させるガラス熱圧着接合法を用いることができる。また、接合片Ｗ２にガラスセラミックスを用いた場合は、加熱と加圧を同時に行い接合させる熱圧着接合法を用いてもよい。
【０１３３】
次に、バックコア基板Ｓ２の２つの主面が平坦となるようにポリッシング等により研磨する。そして、図３１に示すように、フロントコア基板Ｓ１との接合面となるバックコア基板Ｓ２の主面Ｓｃに、金属の蒸着膜２２を形成する。接合面Ｓｃの表面粗さ（Ｒａ）は、例えば１０ｎｍ以下とすることが好ましい。
【０１３４】
蒸着膜２２は、第１、第２の金属膜２２ａ、２２ｂからなる２層構造とすることができる。第１の金属膜２２ａは、バックコア基板Ｓ２と第２の金属膜２２ｂとの密着性を確保するためのものであり、例えば、厚さ５０ｎｍ程度のＣｒまたはＴｉからなる蒸着膜である。また、第２の金属膜２２ｂは、金属磁性膜１０３、２０３の熱処理温度以下の温度で拡散接合可能な金属薄膜であり、例えば、厚さ１０〜２００ｎｍ程度のＡｕまたはＰｔからなる蒸着膜である。
【０１３５】
以上のようにして、バックコア基板Ｓ２が作製される。
なお、複合ブロックＷＢ２と磁性バックコア部２０２の間に配置された接合片Ｗ２は、バック側接合部３０２（図４）に相当する。
【０１３６】
次に、上述のようにして作製されたフロントコア基板Ｓ１とバックコア基板Ｓ２とを相互に接合する。
【０１３７】
この接合工程では、図３２に示すように、フロントコア基板Ｓ１の接合面に形成した蒸着膜１２とバックコア基板Ｓ２の接合面に形成した蒸着膜２２とが相互に向かい合わされる。そして、フロントコア基板Ｓ１の巻線溝４３と、バックコア基板Ｓ２の巻線溝２０２ａとが相互に位置合わせされた後、蒸着膜１２と蒸着膜２２とが密着される。接合法は、例えば、低温金属拡散接合法を用いることができる。
【０１３８】
ここで、低温金属拡散接合法は、加圧と加熱を同時に行うことで、蒸着膜１２の第２の金属膜１２ｂと蒸着膜２２の第２の金属膜２２ｂの構成原子を相互拡散させて接合する方法である。具体的には、第２の金属膜１２ｂ、２２ｂがＡｕ膜で構成される場合、加圧力１０〜２０ＭＰａ、加熱温度１５０〜３００℃、処理時間数分〜数時間で接合が可能である。
【０１３９】
以上のようにして、フロントコアブロック２Ａとバックコアブロック２Ｂとの接合体（第３の接合体）が、複数組同時に作製される。
【０１４０】
続いて、図３３及び図３４に示すように、作製されたフロントコア基板Ｓ１及びバックコア基板Ｓ２の接合体を上記コアブロックの組ごとに個片化する。個片化には、ダイサーやグラインダーツール等を用いることができる。
【０１４１】
次に、図３５に示すように、磁性コア１２０の補助ブロック部１２３を準備する。補助ブロック部１２３は、バックコア部１２２側に巻線溝１２３ａを有する。補助コア部１２３のバックコア部１２２との接合面は、ポリッシング等により平坦化しておく。そして、図３６に示すように、この補助コア部１２３の巻線溝１２３ａに磁気ヘッド１０Ｂを励磁するための第１のコイル５１を巻回する。
【０１４２】
最後に、図３７に示すように、第１の磁性コア１２０の個々のバックコア部１２２に、第１のコイル５１が巻回された補助コア部１２３をそれぞれ接合することで、直流消去用の第１の磁気ヘッド１０Ａが作製される。また、第２の磁性コア２００のバックコア部２０２に励磁用の第２のコイル５２が巻回されることで、サーボ信号形成用の第２の磁気ヘッド２０Ａが作製される。そして、以上のようにして、第１及び第２の磁気ヘッド１０Ｂ及び２０Ａが一体接合された磁気ヘッドユニット１Ｂが作製される。
【０１４３】
上述のように、本実施の形態の磁気ヘッドユニット１Ｂは、複数の第１の磁性コア１２０に対して励磁用の第１のコイル５１が各々巻回された直流消去用の第１の磁気ヘッド１０Ｂを備えている。したがって、磁気テープ６０への直流消去量を個々のサーボ信号記録部に対して個別に制御することが可能なる。これにより、サーボ信号記録部間におけるサーボ信号のばらつきを低減することが可能となる。その結果、全てのサーボバンド間にわたり均一かつ高出力のサーボ信号を安定に得ることが可能となる。
【０１４４】
また、本実施の形態の磁気ヘッドユニット１Ｂにおいては、第１の磁気ヘッド１０Ｂ及び第２の磁気ヘッド２０Ａは、接合層３０によって、第１及び第２の磁性コア１２０、２００のテープ摺動面が同一平面上に位置するように接合されている。つまり、第１及び第２の磁気ヘッド１０Ｂ、２０Ａのテープ摺動面は、磁気記録媒体の走行面と同一平面上に形成される。これにより、磁気テープ６０のサーボバンドに対する直流消去効率とサーボ信号記録効率を安定化させることが可能となる。
【０１４５】
また、本実施の形態の磁気ヘッドユニット１Ｂにおいては、直流消去信号形成用の第１のギャップ１０４と、サーボ信号形成用の第２のギャップ２０４とは、磁気テープ６０の幅方向と直交する方向に関して相互に対応するように配置されている。これにより、磁気テープ６０において、第１の磁気ヘッド１０Ｂで直流消去信号を記録した領域と、第２の磁気ヘッド２０Ａでサーボ信号を記録した領域との間にずれが発生することを防止できる。
【０１４６】
また、本実施の形態の磁気ヘッドユニット１Ｂにおいて、第１の磁性コア１２０は、第１のギャップ１０４を有する磁性フロントコア部１２１と、磁性フロントコア部１０１と接合された磁性バックコア部１２２と、磁性バックコア部１２２と接合され第１のコイル５１が巻回された磁性補助コア部１２３とを有している。そして、非磁性コア１３０は、磁性フロントコア部１２１と隣接して接合された非磁性フロントコア部１３１と、非磁性フロントコア部１３１と磁性バックコア部１２２とにそれぞれ接合された非磁性バックコア部１３２とを有する。
【０１４７】
これにより、磁性フロントコア部１２１と非磁性フロントコア部１３１との接合体からなる第１の接合体（複合ブロックＷＦ１）と、磁性バックコア部１２２と非磁性バックコア部１３２との接合体からなる第２の接合体（複合ブロックＷＢ２）とによって、第１の磁気ヘッド１０Ｂを構成することができる。このため、第１の磁気ヘッド１０Ｂの製造工程の複雑化を回避することが可能となる。また、磁性コア１２０に対するコイル５１の巻回作業性を高めること可能となる。
【０１４８】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【０１４９】
例えば以上の実施の形態では、直流消去信号記録用の第１の磁気ヘッド１０Ａ、１０Ｂは、サーボバンド部毎に信号出力を個別に調整可能なように複数の磁性コア１００、１２０で構成された。この構成に加えて、図３８に示すように、サーボ信号記録用の第２の磁気ヘッド２０Ａについても同様に、サーボバンド部毎に信号出力を個別に調整可能なように複数の磁性コア２２０で構成することも可能である。第２の磁気ヘッド２０Ｂは、サーボ信号記録用の信号磁界を形成するギャップ２０４の形成位置に対応してＹ軸方向に分割配置された複数の磁性コア２２０（第２の磁性コア）と、複数の磁性コア２２０の間に配置された複数の非磁性コア２３０（第２の非磁性コア）とを有する。
【０１５０】
磁性コア２２０は、第１の磁気ヘッド１０Ｂの磁性コア１２０と同様の構成を有している。すなわち、磁性コア２２０のテープ摺動面は金属磁性膜２０３で構成され、非磁性コア２３０のテープ摺動面は非磁性硬質膜２１３で構成されている。そして、図示する磁性コア２２０は、フロントコア部２２１と、バックコア部（図示されていない）と、補助コア部２２３とを有し、励磁用の第２のコイル５２は、補助コア部２２３に巻回されている。勿論、補助コア部２２３を省略して、コイル５２を上記バックコア部に巻回してもよい。
【０１５１】
以上のように構成される磁気ヘッドユニット１Ｃは、磁気テープの各サーボバンド部に対して、直流消去信号の記録だけでなく、サーボ信号の記録をも個別に制御することが可能である。これにより、サーボバンド部間におけるサーボ信号のばらつきを更に低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０１５２】
【図１】本発明の実施の形態に係る磁気ヘッド装置によって磁気記録媒体の磁性面に形成される記録パターンの一例を示す模式図である。
【図２】サーボ信号記録装置の概略構成図である。
【図３】本発明の一実施の形態による磁気ヘッド装置の構成を示す全体斜視図である。
【図４】図３の磁気ヘッド装置のフロントコア部を示す正面図である。
【図５】図３の磁気ヘッド装置のテープ摺動面に形成された第１のギャップと第２のギャップを示す平面図である。
【図６】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、第１の磁気ヘッドのフロントコアを構成する磁性材料及び非磁性材料を示す概略斜視図である。
【図７】図６に示す各種材料の接合方法を説明する概略斜視図である。
【図８】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、ブロック相互間を接合する接合材料を示す概略斜視図である。
【図９】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、第２の磁気ヘッドのフロントコアを構成する磁性材料を示す概略斜視図である。
【図１０】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、上記磁気ヘッド装置のフロントコアの製造工程を示す概略斜視図である。
【図１１】図１０に示したフロントコアの要部正面図である。
【図１２】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、上記磁気ヘッド装置のフロントコアの製造工程を示す要部正面図である。
【図１３】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、上記磁気ヘッド装置のフロントコアの製造工程を示す要部正面図である。
【図１４】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、上記磁気ヘッド装置のフロントコアの製造工程を示す要部正面図である。
【図１５】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、第１の磁気ヘッドのバックコアを構成する磁性材料及び非磁性材料を示す概略斜視図である。
【図１６】図１５に示す各種材料の接合方法を説明する概略斜視図である。
【図１７】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、ブロック相互間を接合する接合材料及び第２の磁気ヘッドのバックコアを構成する磁性材料を示す概略斜視図である。
【図１８】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、上記磁気ヘッド装置のバックコアの製造工程を示す概略斜視図である。
【図１９】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、上記磁気ヘッド装置のバックコアの製造工程を示す要部正面図である。
【図２０】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、上記磁気ヘッド装置のフロントコアとバックコアとの接合工程を示す要部正面図である。
【図２１】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、上記フロントコアとバックコアとの接合体を個片化する工程を説明する要部正面図である。
【図２２】図３に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、個片化された上記接合体を示す全体斜視図である。
【図２３】本発明の実施の形態に係る磁気ヘッド装置を用いて磁気記録媒体の各サーボバンド部にサーボ信号を記録したときの、当該サーボバンド部間におけるサーボ信号の再生のばらつきを示す一実験結果である。
【図２４】比較例に係る磁気ヘッド装置の構成を示す全体斜視図である。
【図２５】図２４に示す磁気ヘッド装置を用いて磁気記録媒体の各サーボバンド部にサーボ信号を記録したときの、当該サーボバンド部間におけるサーボ信号の再生出力のばらつきを示す一実験結果である。
【図２６】本発明の他の実施の形態による磁気ヘッド装置の構成を示す全体斜視図である。
【図２７】図２６の磁気ヘッド装置のフロントコア部を示す正面図である。
【図２８】図２６に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、第１の磁気ヘッドのフロントコアを構成する磁性材料及び非磁性材料を示す概略斜視図である。
【図２９】図２８に示す各種材料の接合方法を説明する概略斜視図である。
【図３０】図２６に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、上記磁気ヘッド装置のバックコアの製造工程を示す概略斜視図である。
【図３１】図２６に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、上記磁気ヘッド装置のバックコアの製造工程を示す要部正面図である。
【図３２】図２６に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、上記磁気ヘッド装置のフロントコアとバックコアとの接合工程を示す要部正面図である。
【図３３】図２６に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、上記フロントコアとバックコアとの接合体を個片化する工程を説明する要部正面図である。
【図３４】図２６に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、個片化された上記接合体を示す全体斜視図である。
【図３５】図２６に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、第１の磁気ヘッドの補助コアを構成する磁性材料を示す概略斜視図である。
【図３６】図３５の補助コアに励磁用の第２のコイルを巻回した状態を示す概略斜視図である。
【図３７】図２６に示す磁気ヘッド装置の製造方法を説明する一工程図であり、図３６の補助コアを第１の磁気ヘッドのバックコア部に接合する工程を示す概略斜視図である。
【図３８】本発明に係る磁気ヘッド装置の構成の変形例を示す全体斜視図である。
【符号の説明】
【０１５３】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ…磁気ヘッドユニット（磁気ヘッド装置）
２Ａ…フロントコアブロック
２Ｂ…バックコアブロック
１０、１０Ａ、１０Ｂ…第１の磁気ヘッド（直流消去信号記録用磁気ヘッド）
２０、２０Ａ、２０Ｂ…第２の磁気ヘッド（サーボ信号記録用磁気ヘッド）
３０…接合層
５１、５２…コイル
６０…磁気テープ（磁気記録媒体）
７０…サーボ信号記録装置
１０３、２０３…金属磁性膜
１０４、２０４…ギャップ
１００、１２０、２００、２２０…磁性コア
１０１、１２１、２０１、２２１…磁性フロントコア部
１０２、１２２、２０２…磁性バックコア部
１１０、１３０、２１０、２３０…非磁性コア
１１１、１３１、２３１…非磁性フロントコア部
１１２、１３２、２３２…非磁性バックコア部
１２３…補助コア部
Ｓ１…フロントコア基板
Ｓ２…バックコア基板
Ｗ１、Ｗ２…接合材料
ＷＢ１…複合ブロック（第１の接合体）
ＷＢ２…複合ブロック（第２の接合体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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