(57)【要約】      （修正有）【課題】スライダ等の微小部材の取り付け及び取り外し作業が容易でとなる技術を提供する。【解決手段】基台１０１の上に液体１０８を滴下してから、その上に、微小部材１０５を配置する。微小部材と基台の間の液体の吸着力によって、微小部材を基台の上にクランプすることができる。クランプを解除する場合には、基台を加熱し、液体を気化される。それによって、液体による吸着力が消失する。【選択図】図２
2009259306.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小部材を配置するための基台と、該基台を加熱するためのヒータと、を有するクランプ装置において、前記微小部材を前記基台の上にクランプする場合には、前記基台の上に液体を滴下してから前記微小部材を前記基台の上に配置し、前記微小部材と前記基台の間の前記液体の吸着力によって、前記微小部材を前記基台の上にクランプし、前記微小部材を前記基台の上から取り外す場合には、前記ヒータによって前記基台を加熱して前記液体を気化させるように構成されているクランプ装置。
【請求項２】
請求項１記載のクランプ装置において、前記液体は水であることを特徴とするクランプ装置。
【請求項３】
磁気ヘッドが装着されたスライダを配置することができる基台と、前記スライダが前記基台の上に配置されたとき前記スライダに接触することができる接続部材と、前記接続部材に接続された配線と、を有するクランプ装置において、
前記スライダが前記基台の上に配置されているとき、前記磁気ヘッドは前記接続部材を経由して前記配線に接続されるように構成され、前記微小部材と前記基台の間に液体の薄膜が挿入され、前記微小部材は、前記液体の吸着力によって、前記基台の上にクランプされるように構成されていることを特徴とするクランプ装置。
【請求項４】
請求項３記載のクランプ装置において、前記基台を加熱するためのヒータが設けられ、前記微小部材を前記基台の上から取り外す場合には、前記ヒータによって前記基台を加熱して前記液体を気化させるように構成されているクランプ装置。
【請求項５】
請求項３記載のクランプ装置において、前記液体は水であることを特徴とするクランプ装置。
【請求項６】
請求項３記載のクランプ装置において、前記接続部材の前記スライダに接触する面は、弾性変形可能であることを特徴とするクランプ装置。
【請求項７】
請求項３記載のクランプ装置において、前記接続部材は前記基台より離れて配置されていることを特徴とするクランプ装置。
【請求項８】
請求項３記載のクランプ装置において、前記スライダの平面寸法は、前記基台の平面寸法より大きいことを特徴とするクランプ装置。
【請求項９】
請求項４記載のクランプ装置において、前記スライダを前記基台の上に案内するためのガイドが設けられ、該ガイドは、前記スライダが前記基台の上に配置される前に、前記スライダに係合する傾斜面を有することを特徴とするクランプ装置。
【請求項１０】
基台の上に液体を滴下する滴下ステップと、
前記液体が滴下された基台の上に磁気ヘッドが装着されたスライダを配置するスライダ配置ステップと、
を有するクランプ方法。
【請求項１１】
請求項１０記載のクランプ方法において、前記スライダを前記基台より取り外すときには、前記基台を加熱して前記液体を気化させる気化ステップと、
前記基台より前記微小部材を取り出すステップと、
を有するクランプ方法。
【請求項１２】
請求項１０記載のクランプ方法において、前記液体は水であることを特徴とするクランプ方法。
【請求項１３】
請求項１０記載のクランプ方法において、前記スライダ配置ステップにおいて、前記スライダを、前記基台に隣接した接続部材に接触するように前記基台の上に配置することを特徴とするクランプ方法。
【請求項１４】
請求項１０記載のクランプ装置において、前記スライダの平面寸法は、前記基台の平面寸法より大きいことを特徴とするクランプ方法。
【請求項１５】
ディスクを回転駆動するためのディスク駆動機構と、検査対象の磁気ヘッドが装着されたスライダを前記ディスクに係合させるスライダ駆動機構とを有するスライダ検査装置において、
前記スライダ駆動機構は、前記スライダをクランプするクランプ機構と、該クランプ機構を支持するサスペンションと、該サスペンションを支持するアームと、該アームを駆動するアクチュエータと、を有し、
前記クランプ機構は、前記スライダを配置することができる基台と、前記スライダが前記基台の上に配置されたとき前記磁気ヘッドに接触することができる接続部材と、前記接続部材に接続された配線と、を有し、
前記スライダが前記基台の上に配置されているとき、前記磁気ヘッドは前記接続部材を経由して前記配線に接続されるように構成され、前記微小部材と前記基台の間に液体の薄膜が挿入され、前記微小部材は、前記液体の吸着力によって、前記基台の上にクランプされるように構成されていることを特徴とするスライダ検査装置。
【請求項１６】
請求項１５記載のスライダ検査装置において、前記基台を加熱するためのヒータが設けられ、前記微小部材を前記基台の上から取り外す場合には、前記ヒータによって前記基台を加熱して前記液体を気化させるように構成されているスライダ検査装置。
【請求項１７】
請求項１５記載のスライダ検査装置において、前記スライダ駆動機構は、前記クランプ機構を支持するジンバルを有し、該ジンバルは前記サスペンションの先端に装着され、前記サスペンションは、前記ジンバルに装着された前記クランプ機構の前記基台に対応した位置にディンプルを有することを特徴とするスライダ検査装置。
【請求項１８】
ディスクを回転駆動するためのディスク駆動機構と、検査対象の磁気ヘッドが装着されたスライダを前記ディスクに係合させるスライダ駆動機構と、前記スライダを前記スライダ駆動機構に搬送するスライダ搬送機構と、を有するスライダ検査システムにおいて、
前記スライダ駆動機構は、前記スライダをクランプするクランプ機構と、該クランプ機構を支持するサスペンションと、該サスペンションを支持するアームと、該アームを駆動するアクチュエータと、を有し、
前記クランプ機構は、前記スライダを配置することができる基台と、前記スライダが前記基台の上に配置されたとき前記磁気ヘッドに接触することができる接続部材と、前記接続部材に接続された配線と、を有し、
前記スライダが前記基台の上に配置されているとき、前記磁気ヘッドは前記接続部材を経由して前記配線に接続されるように構成され、前記微小部材と前記基台の間に液体の薄膜が挿入され、前記微小部材は、前記液体の吸着力によって、前記基台の上にクランプするように構成されていることを特徴とするスライダ検査システム。
【請求項１９】
請求項１８記載のスライダ検査システムにおいて、前記スライダ搬送機構は、前記スライダを吸着する吸着機構を備えた搬送部材と、該搬送部材を３軸方向に駆動する駆動機構と、を有し、前記搬送部材は、前記液体を滴下する液体ノズルを有することを特徴とするスライダ検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スライダを検査するためのスライダ検査装置に関し、特に、磁気ヘッドを備えたスライダを検査するためのスライダ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク等の磁気記録媒体のデータの読み取り／書き込みに磁気ヘッドが使用される。磁気ヘッドの製造工程では、検査装置を用いて、磁気ヘッドの検査を行う。この検査では、回転する磁気ディスクに磁気ヘッドを係合させて、ディスク表面からの浮上特性、ディスクとの間でのデータの読み取り／書き込み機能を試験する。
【０００３】
磁気ヘッドは、スライダと称する部材の先端に装着される。通常、スライダとは、このように、磁気ヘッドが装着された部材を意味する。また、磁気ヘッドの検査装置は、スライダ検査装置と称される。
【０００４】
従来、磁気ヘッドの検査を行うとき、サスペンションにスライダを固定してスライダ組立体を形成し、このスライダ組立体を、検査装置に装着していた。従って、磁気ヘッドが不良のとき、磁気ヘッド及びそれが装着されたスライダばかりでなく、サスペンションも廃棄した。即ち、磁気ヘッドが不良であると、スライダの製作費と共に、サスペンションの製造費、スライダ組立体の組立費が無駄になる。磁気ヘッドの不良率が高い場合には、これらの費用の無駄が大きくなる。
【０００５】
ＷＯ２００５−００６３３２号公報に記載されたスライダ試験機では、スライダをサスペンションに配置しないで、スライダを直接試験機に装着する。従って、不良品が検出されたとき、スライダの製作費は無駄になるが、サスペンションの製造費、スライダ組立体の組立費は無駄にならない。
【０００６】
【特許文献１】ＷＯ２００５−００６３３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ＷＯ２００５−００６３３２号公報に記載されたスライダ試験機は、スライダを板ばねによって固定するように構成されている。そのため、スライダの取り付け及び取り外し作業が容易ではなかった。
【０００８】
本発明の目的は、スライダ等の微小部材の取り付け及び取り外し作業が容易でとなる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によると、基台の上に液体を滴下してから、その上に、微小部材を配置する。微小部材と基台の間の液体の吸着力によって、微小部材を基台の上にクランプすることができる。クランプを解除する場合には、基台を加熱し、液体を気化される。それによって、液体による吸着力が消失する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によると、スライダ等の微小部材の取り付け及び取り外しが容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の複数の実施形態について図を用いて説明する。各実施形態図における同一符号は同一物または相当物を示す。
【００１２】
図１及び図２を参照して、本発明のクランプ機構の第１の例を説明する。本例のクランプ機構は、基台１０１と接続部材１０２を有する。基台１０１には、図示しないヒータが内蔵されている。図１は、基台１０１上にスライダが配置されていない状態を示し、図２は、基台１０１上にスライダ１０５が配置されている状態を示す。基台１０１とスライダ１０５の間に液体１０８の薄い膜が挿入されている。基台１０１の寸法は、スライダ１０５の寸法より小さい。従って、スライダ１０５を基台１０１の上に載せたとき、スライダ１０５は基台１０１より外側に突出する。図２に示すように、基台１０１と接続部材１０２は距離Ｌだけ離れている。
【００１３】
図２に示すように、スライダ１０５の上面１０５ｂの先端には、磁気ヘッド１０６が装着されている。スライダ１０５の前面１０５ａには、磁気ヘッド１０６の端子が露出している。
【００１４】
接続部材１０２の接触面１０２ａは、スライダ１０５の磁気ヘッド１０６の端子と接触している。接続部材１０２は導電性を有する材料によって形成される。従って、磁気ヘッド１０６の端子と接続部材１０２は、スライダ１０５の前面１０５と接続部材１０２の接触面１０２ａの間の接触によって、電気的に接続されている。ここでは、接続部材１０２が導電性を有する材料によって形成される場合を説明したが、接続部材１０２の接触面１０２ａのみが導電性を有する材料によって形成されてもよい。
【００１５】
基台１０１と接続部材１０２に配線１０３が接続されている。磁気ヘッド１０６の端子は、接続部材１０２を介して、配線１０３に接続されている。基台１０１に内蔵されたヒータは、配線１０３に接続されている。本例では、基台１０１と配線１０３は、ジンバル１０４の上に装着されている。
【００１６】
次にスライダ１０５をクランプする方法を説明する。まず基台１０１の上面に、液体１０８を滴下又は塗布する。次に、基台１０１の上面にスライダ１０５を配置する。液体１０８の薄膜は、基台１０１の上面とスライダ１０５の下面の間にて広がる。図２では、液体１０８の薄膜の厚さは、誇張して描かれている。液体１０８薄膜の厚さは、実際はサブミクロンオーダーである。基台１０１の側面へ液体が濡れ広がることを防止するために、液体の量は微量である。図２に示すように、接続部材１０２と基台１０１の間は、距離Ｌだけ離れている。従って、液体１０８が濡れ広がっても接続部材１０２を濡らすことが回避される。
【００１７】
液体１０８の薄い膜は、スライダ１０５と基台１０１の間で液化橋力を発生する。液化橋力については、後に、図３を参照して説明する。この液化橋力によって、スライダ１０５は基台１０１上にクランプされる。
【００１８】
基台１０１上にスライダ１０５を配置するとき、スライダ１０５の前面１０５ａを接続部材１０２に押し付けながら配置することが望ましい。磁気ヘッド１０６の端子の高さはばらつきを有することがある。そのため、磁気ヘッド１０６の端子と接続部材１０２の接触面１０２ａの間で接触不良が起きる可能性がある。そこで、接触不良を回避するために、接続部材１０２の接触面１０２ａは、弾性変形が可能であるように構成されている。例えば、接触面１０２ａを弾性変形可能な部材によって形成してもよく、又は、接触面１０２ａにバネを設けて、接触面１０２ａがバネの弾性変形によって可動であるように構成してもよい。
【００１９】
次にスライダ１０５のクランプの解除方法を説明する。基台１０１に内蔵されたヒータを起動する。ヒータによって、基台１０１の温度が上昇する。それによって液体１０８は、気化する。液体１０８が気化すると、液化橋力が消失する。従って、スライダ１０５のクランプが解除される。スライダ１０５を基台１０１から容易に取り外すことができる。
【００２０】
液体１０８は、水であり、好ましくは純水である。純水は、気化したとき、固体が残らない。液体１０８は、気化したとき、固体が残らないなら、どのような液体でもよい。
【００２１】
本例のクランプ機構は、液化橋力によってスライダ１０５を基台１０１上にクランプする。また、液１０８を気化させることにより、液化橋力を消去し、スライダ１０５を基台１０１からクランプ解除する。従って、本例のクランプ機構は、機械的機構を用いない。そのため、クランプ機構の構造を簡単化できる。
【００２２】
図１および図２を参照して説明したクランプ機構では、磁気ヘッド１０６が装着されたスライダ１０５を基台１０１上にクランプする場合を説明した。しかしながら本例のクランプ機構は、液化橋力を利用してクランプすることができるなら、どのような装置又は機構にも利用可能である。
【００２３】
但し、液化橋力の大きさは、限界がある。従って、本例のクランプ機構は、磁気ヘッドを備えたスライダのように比較的微小部材をクランプするのに好適である。
【００２４】
図３を参照して、水の液化橋力を説明する。液化橋力は、スライダ１０５と基台１０１の間の液体の吸着力である。一般に、２つの面の間に液体の薄膜が存在すると、２つの面が互いに吸着されることが知られている。ここでは、２つの面を吸着する力を、液化橋力と称する。液化橋力の大きさは、２つの面の表面粗さ、２つの面の間の距離、２つの面の間の液量等の条件によって変化する。図３は水の液化橋力を示し、横軸は水の量Ｖ（リットル）、縦軸は液化橋力ＦＬ（ｍＮ）である。尚、このグラフは、スライダ１０５の寸法が０．８５×０．７０×０．２３ｍｍ、基台１０１の寸法が０．６０×０．５０ｍｍ、基台１０１の表面粗さＲａが１．０の条件で求めた。本例では、水の量が１×１０−７リットルの場合に最も高い液化橋力を示す。
【００２５】
図４は、本発明のクランプ機構をジンバル１０４の上に装着した状態を示す。ジンバル１０４は、矩形の本体１０４ｃからなり、本体１０４ｃには、孔１０４ｂが形成されている。この孔１０４ｂ内に、片持ち支持された装着部１０４ａが配置されている。この装着部１０４ａに、基台１０１と接続部材１０２が装着されている。接続部材１０２の上にスライダ１０５がクランプされている。ジンバル１０４は複数の溶接点１０４ｄにて、サスペンション１０７（図５）に溶接される。
【００２６】
図５は、ジンバル１０４を、サスペンション１０７の先端部に装着した状態を示す。図４に示したように、ジンバル１０４は、溶接点１０４ｄにて、サスペンション１０７の先端部に装着される。サスペンション１０７には、半球形状のディンプル１０７ｄが形成されている。ディンプル１０７ｄは、基台１０１の下方に配置されている。サスペンション１０７の弾性力は、ディンプル１０７ｄを経由して、ジンバル１０４の装着部１０４ａに伝達される。従って、ジンバル１０４の装着部１０４ａに装着された基台１０１及びその上のスライダ１０５は、ディンプル１０７ｄを経由した押し付け力によって、図５にて上方に押し付けられる。この押し付け力によって、磁気ヘッドは、ディスクの表面に押し付けられる。
【００２７】
ディンプル１０７ｄは半球形状を有するから、ジンバル１０４の装着部１０４ａと点接触する。従って、ディンプル１０７ｄは、基台１０１及びその上のスライダ１０５に、図５にて上方への押し付け力を与えるが、基台１０１及びその上のスライダ１０５の揺動を妨げない。サスペンション１０７から、ディンプル１０７ｄを経由して、基台１０１及びその上のスライダ１０５を押し付ける力は、サスペンション１０７の弾性力又は復元力により得る。
【００２８】
図６は、サスペンション１０７の構成の例を示す。サスペンション１０７は先端部１０７ａと、固定部１０７ｂを有する。先端部１０７ａは、固定部１０７ｂに対して傾斜している。即ち、サスペンション１０７は、先端部１０７ａと固定部１０７ｂの境界の塑性変形部１０７ｃにて、塑性変形されている。こうして、先端部１０７ａを固定部１０７ｂに対して傾斜するように塑性変形させることにより、サスペンション１０７の弾性力が生成される。スライダ１０５がディスク（図示省略）に押し付けられているとき、サスペンション１０７は略水平になる。即ち、先端部１０７ａと固定部１０７ｂは略一直線となる。このとき、先端部１０７ａの弾性変形によって生じる弾性力が、スライダ１０５をディスクに押し付ける力となる。
【００２９】
図７を参照して、本発明によるスライダ検査装置の例を説明する。本例のスライダ検査装置は、１つのディスク駆動機構２０２と複数のスライダ駆動機構２０３、２０４を有する。スライダ駆動機構２０３は、アーム１１３、微動アクチュエータ１１４、及び、粗動アクチュエータ１１５を有する。アーム１１３の先端には、サスペンション１０７が固定されている。即ち、サスペンション１０７の固定部１０７ｂは、アーム１１３に固定されている。サスペンション１０７の先端部１０７ａには、本発明によるクランプ機構が装着されている。クランプ機構によってスライダ１０５がクランプされている。
【００３０】
アーム１１３は、微動アクチュエータ１１４に固定されている。微動アクチュエータ１４は、粗動アクチュエータ１１５に固定されている。微動アクチュエータ１１４は、図中の矢印Ｒ方向に駆動可能である。また、粗動アクチュエータ１１５も図中の矢印Ｒ方向に駆動可能である。尚、粗動アクチュエータ１１５に、矢印Ｒに直交する方向に駆動可能な機構を付加してもよい。
【００３１】
ディスク駆動機構２０２は、スピンドル１１２を有する。ディスク１１１はスピンドル１１２に固定されている。スピンドル１１２はディスク１１１を回転駆動可能である。
【００３２】
ロード動作とアンロード動作を説明する。ロード動作及びアンロード動作は、ロード／アンロード機構（図示省略）により行う。ロード動作は、スライダ１０５に装着された磁気ヘッドをディスク１１１の表面に係合させる動作である。今、スライダ１０５はディスク１１１より離れているものとする。先ず、サスペンション１０７の先端部１０７ａと固定部１０７ｂが略一直線となるように、サスペンション１０７を変形させる。次に、粗動アクチュエータ１１５及び微動アクチュエータ１１４によりスライダ１０５をディスク１１１の下方に移動させる。最後に、サスペンション１０７の変形を開放する。それによって、サスペンション１０７の先端部１０７ａは、ディス１１１に垂直な方向に移動する。スライダ１０５に装着された磁気ヘッドは、ディスク１１１の表面に押し付けられる。
【００３３】
アンロード動作は、スライダ１０５をディスク１１１から離れさせる動作である。サスペンション１０７を変形させ、サスペンション１０７の先端部１０７ａを、ディスク１１１に垂直な方向に、ディスクから離れる方向に移動させる。次に、粗動アクチュエータ１１５及び微動アクチュエータ１１４によりスライダ１０５をディスク１１１から離れる方向に移動させる。
【００３４】
図８を参照して本発明によるスライダ検査システムを説明する。本例のスライダ検査システムは、ベース２０１を有する。ベース２０１の上には、１つのディスク駆動機構２０２と４つのスライダ駆動機構２０３、２０４、２０５、２０６とスライダ搬送機構２１０が設けられている。本例のスライダ検査システムは、４つのスライダ駆動機構を有するから、４個のスライダを同時に検査することが可能である。ベース２０１の上には、検査対象のスライダ１０５が待機するトレイ２０７が装着されている。ディスク駆動機構２０２と４つのスライダ駆動機構２０３、２０４、２０５、２０６の各々は、図７を参照して説明した。
【００３５】
スライダ搬送機構２１０は、搬送ベース２１１、ｘ搬送部材２１２、ｙ搬送部材２１３及びｚ搬送部材２１４を有する。ｘ搬送部材２１２は、搬送ベース２１１に対して相対的に矢印Ａ方向に移動可能である。ｙ搬送部材２１３は、ｘ搬送部材２１２に対して相対的に矢印Ｂ方向に移動可能である。ｚ搬送部材２１４は、ｙ搬送部材２１３に対して相対的に矢印Ｃ方向に移動可能である。ｚ搬送部材２１４の下端には、スライダ１０５を吸引する吸着機構が設けられている。この吸着機構については図９を参照して説明する。
【００３６】
スライダ搬送機構２１０によって、検査対象のスライダをクランプ機構に装着する動作を説明する。検査対象のスライダ１０５はトレイ２０７に置かれている。ｘ搬送部材２１２、ｙ搬送部材２１３及びｚ搬送部材２１４を移動させて、ｚ搬送部材２１４をトレイ２０７の上方に配置する。ｚ搬送部材２１４を下方に、即ち、矢印Ｃ方向に移動させ、ｚ搬送部材２１４の下端の吸着機構をスライダ１０５に接近させる。次に、吸着機構によってスライダ１０５を吸着する。ｘ搬送部材２１２、ｙ搬送部材２１３及びｚ搬送部材２１４を移動させて、ｚ搬送部材２１４を、スライダ駆動機構のサスペンション１０７の先端の基台１０１の上方に配置させる。次に、ｚ搬送部材２１４を下方に、即ち、矢印Ｃ方向に移動させ、スライダ１０５を基台１０１の上方に配置する。基台１０１の上に液を滴下する。吸着機構を解除して、スライダ１０５を基台１０１の上に配置する。
【００３７】
こうして、スライダ搬送機構２１０によって、検査対象のスライダがクランプ機構に装着されたら、磁気ヘッドの検査を実行する。磁気ヘッドの検査方法は、図７を参照して説明した。
【００３８】
スライダ搬送機構２１０によって、検査対象のスライダをクランプ機構から取り外す動作を説明する。先ず、基台１０１に内蔵されたヒータにより基台１０１を加熱する。それによって、スライダ１０５と基台１０１の間の液を気化させる。次に、ｘ搬送部材２１２、ｙ搬送部材２１３及びｚ搬送部材２１４を移動させて、ｚ搬送部材２１４をスライダ１０５の上方に配置させる。ｚ搬送部材２１４を下方に、即ち、矢印Ｃ方向に移動させ、ｚ搬送部材２１４の下端の吸着機構をスライダ１０５に接近させる。次に、吸着機構によってスライダ１０５を吸着する。ｘ搬送部材２１２、ｙ搬送部材２１３及びｚ搬送部材２１４を移動させて、ｚ搬送部材２１４を、所定の搬送位置に移動させる。吸着機構を解除して、スライダ１０５を搬送位置に配置する。
【００３９】
ここでは、液を気化させてから、ｚ搬送部材２１４をスライダ１０５の上方に移動させたが、ｚ搬送部材２１４をスライダ１０５の上方に移動させてから、液を気化させてもよい。
【００４０】
図９を参照して、ｚ搬送部材２１４の下端に設けられた吸着機構及び液体ノズルを説明する。ｚ搬送部材２１４の下端には、エアピンセット２１５と液体ノズル２１６が設けられている。エアピンセット２１５は、スライダ１０５を吸引して保持する吸着機能を提供する。エアピンセット２１５は、図示しない真空装置又は排気装置に接続されている。エアピンセット２１５の吸着機能は当業者に既知であり、ここでは詳細に説明しない。液体ノズル２１６は、所定の量を液体を滴下することができる。
【００４１】
以上のように、本例のクランプ機構では、スライダ１０５のクランプ及びクランプ解除に、機械的動作は必要としない。そのため、スライダの取り付け及び取り外し作業が容易である。
【００４２】
図１０を参照して、本発明のクランプ機構の第２の例を説明する。本例のスライダクランプ機構は、スライダ１０５を基台１０１に正確に配置するためのガイド１１０が設けられている。スライダ搬送機構２１０によって、検査対象のスライダを基台１０１に正確に配置するには、スライダ搬送機構２１０を正確に制御する必要がある。スライダ搬送機構２１０の制御精度が低い場合でも、ガイド１１０を設けることによって、スライダ１０５を基台１０１に正確に配置することができる。
【００４３】
本例のガイド１１０は、２つの足を有するＵ字形の形状を有する。２つの足の端部の内側には、傾斜面１１０ａが設けられている。２つの足の両端の間の幅Ｄは、スライダ１０５の幅よりもわずかに大きい。スライダ１０５を基台１０１上に配置する場合、先ず、スライダ１０５をガイド１１０の２つの足の間に配置する。次に、スライダ１０５を、矢印Ｅ方向に移動させる。スライダ１０５の角部が、ガイド１１０の傾斜面１１０ａに接触する。スライダ１０５を、矢印Ｅ方向に、更に移動させると、スライダ１０５は、ガイド１１０の傾斜面１１０ａによって案内され、基台１０１の上に正確に配置される。
【００４４】
以上本発明の例を説明したが、本発明は上述の例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載されたい発明の範囲にて様々な変更が可能であることは当業者によって容易に理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明のクランプ機構の第１の例を示す斜視図である。
【図２】本発明のクランプ機構の第１の例を示す側面図である。
【図３】本発明のクランプ機構の第１の例の液化橋力を示す図である。
【図４】本発明のクランプ機構の第１の例を配置したジンバルの例を示す図である。
【図５】本発明のクランプ機構の第１の例を配置したジンバルを配置したサスペンションの例の一部を示す図である。
【図６】本発明のクランプ機構の第１の例を配置したジンバルを配置したサスペンションの例を示す図である。
【図７】本発明のクランプ機構の第１の例を用いたスライダ検査装置の例の一部を示す図である。
【図８】本発明のクランプ機構の第１の例を用いたスライダ検査システムの例を示す図である。
【図９】本発明のクランプ機構の第１の例を用いたスライダ検査システムの例の一部を示す拡大図である。
【図１０】本発明のクランプ機構の第２の例を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０１…基台、１０２…接続部材、１０３…配線、１０４…ジンバル、１０４ａ…装着部、１０４ｂ…孔、１０４ｃ…本体、１０４ｄ…溶接点、１０５…スライダ、１０６…磁気ヘッド、１０７…サスペンション、１０７ａ…先端部、１０７ｂ…固定部、１０７ｃ…塑性変形部、１０７ｄ…ディンプル、１０８…液体、１１０…ガイド、１１０ａ…傾斜面、１１１…ディスク、１１２…スピンドル、１１３…アーム、１１４…微動アクチュエータ、１１５…粗動アクチュエータ、２０１…ベース、２０２…ディスク駆動機構、２０３、２０４、２０５、２０６…スライダ駆動機構、２０７…トレイ、２１０…スライダ搬送機構、２１１…搬送ベース、２１２…ｘ搬送部材、２１３…ｙ搬送部材、２１４…ｚ搬送部材、２１５…エアピンセット、２１６…液体ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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