(57)【要約】【課題】露光対象箇所の積算照度を正確に、かつ簡単に計測することができる「露光用照度計測装置」を提供すること。【解決手段】露光用照度計測装置１０は、光源１１と、該光源から照射された光を変調する空間光変調素子（ＤＭＤ）１２と、このＤＭＤから出射された光をすべて入射する集光レンズ１３と、該集光レンズを通して収束された光が入射される単一の光電変換素子（ＰＤ）１４と、コントローラ１７とを備える。このコントローラ１７により、ＰＤ１４の光検出信号から、ＤＭＤ１２を使用して光照射されるべき露光面の当該箇所の積算照度（露光装置において露光を行うのに必要とされる光量のデータ）を算出する。【選択図】図１
2009003173.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光装置において露光を行うのに必要とされる光量のデータを取得するよう適応された露光用照度計測装置であって、
光源と、
該光源から照射された光を変調する空間光変調素子と、
該空間光変調素子から出射された光をすべて入射する集光レンズと、
該集光レンズを通して収束された光が入射される単一の光電変換素子と、
該光電変換素子の光検出信号から、前記空間光変調素子を使用して光照射されるべき露光面の当該箇所の積算照度を算出する制御手段とを備えたことを特徴とする露光用照度計測装置。
【請求項２】
前記露光用照度計測装置が、露光対象物を支持するステージと露光ヘッドとが相対的に移動可能に配置された露光装置に組み込まれて使用されるときに、
前記光源及び空間光変調素子は、前記露光ヘッドに設けられ、
前記集光レンズ及び光電変換素子は、前記ステージ上で前記露光対象物が搭載される領域とは別の領域に配置されることを特徴とする請求項１に記載の露光用照度計測装置。
【請求項３】
前記光源、空間光変調素子、集光レンズ、光電変換素子及び制御手段を１ユニットとして複数のユニットを備え、
該複数のユニットにおける複数の露光ヘッドが、前記露光対象物に対し、当該露光ヘッドによる帯状の露光対象領域が隣接する露光ヘッドによる帯状の露光対象領域と部分的に重なるように所定間隔ずらして配列されていることを特徴とする請求項２に記載の露光用照度計測装置。
【請求項４】
前記空間光変調素子は、それぞれ制御信号に応答して反射面の角度が変更可能な複数のマイクロミラーが基板上にマトリクス状に配列されて構成されたマイクロミラーデバイスであることを特徴とする請求項１に記載の露光用照度計測装置。
【請求項５】
前記空間光変調素子は、それぞれ制御信号に応答して透過光を遮断可能な複数の液晶セルが基板上にマトリクス状に配列されて構成された液晶シャッターアレイであることを特徴とする請求項１に記載の露光用照度計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターンマスクを使用せずに露光処理を行う技術に関し、特に、空間光変調素子を使用して露光処理を行う装置において、その露光を行うのに必要とされる光量のデータを取得するよう適応された露光用照度計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＤＭＤ(Digital Micro-mirror Device）やＬＣＤ（Liquid Crystal Device ）等の空間光変調素子を使用して、画像データに応じて変調された光ビームで画像露光を行う装置が種々提案されている。例えば、ＤＭＤは、米国テキサス・インスツルメンツ社が開発したマイクロミラーによる光・電子集積デバイスの商標であり、数十万個以上のマイクロミラーをＣＭＯＳのＳＲＡＭセル上に集積し、光源からの光を反射させてその反射光の向きを制御する反射型光変調デバイスである。このＤＭＤのＳＲＡＭセルにデジタル信号が書き込まれると、そのデジタル信号によって個々のマイクロミラーが電気機械的に制御され、所定の角度で互いにぶつからないように傾く。このとき、画像を映し出すのに必要な部分のマイクロミラーは「オン」状態に傾き、必要でない部分のマイクロミラーは「オフ」状態に傾く。従って、ミラー面に光を当てると、「オン」状態のマイクロミラーに当たった光だけが所定の方向に反射される。
【０００３】
このように所定の方向に反射された光は露光処理に利用することができ、例えば、特許文献１にその一例が記載されている。この特許文献１に記載された露光装置では、露光すべきパターンに対応したパターンデータを作成し、これを電気信号としてＤＭＤに入力して、各ミラーをパターンデータに応じて傾動させ、各ミラー面に光を照射して各々の反射光をレジストに投影することで、パターンデータに対応した形状に露光させている。
【０００４】
このようなＤＭＤを露光面に沿って一定の方向に走査することで、その走査線に沿った露光が行われる。ＤＭＤのマイクロミラーは、一般に各行の並び方向と各列の並び方向とが直交するようマトリクス状に配列されているので、実際の露光に際しては、このようなＤＭＤを走査方向に対して傾斜させて配置している。かかる走査の態様により、走査時に走査線の間隔が密になり、また、異なるマイクロミラー列により同じ走査線上が重ねて露光（多重露光）されるため、解像度が上がり、高精細な露光が実現できるからである。かかる多重露光に関連する技術は、例えば、特許文献２に記載されている。
【０００５】
また、このようなＤＭＤを用いた露光装置においては、その露光を行うのに必要とされる光量、すなわち、ＤＭＤを使用して光照射されるべき露光面の当該箇所の積算照度をあらかじめ計測しておき、その計測した光量（データ）に基づいて露光処理を行うのが一般的である。その露光対象箇所の積算照度を検出する場合、従来の技術では、図７に例示するように、１個のＤＭＤ１に対応して複数個のフォトダイオード（以下、単に「ＰＤ」ともいう）がアレイ状に配列されたＰＤアレイ２を用いて、ＤＭＤ１の各マイクロミラーから出射された光を各ＰＤで検出し、各ＰＤで検出された光量に応じたアナログ信号（光検出信号）をスイッチ３で順次切替選択し、選択された光検出信号をアンプ４を通して増幅し、Ａ／Ｄ変換器５を通してデジタル信号に変換した後、コントローラ６において、各ＰＤで検出された照度の合計の照度から、当該露光対象箇所に照射される光の積算照度を求めていた。
【０００６】
なお、図７の例では説明の簡単化のため、ＤＭＤ１が１個の場合を示しているが、実際には複数個のＤＭＤが所定の配列形態で配置されており、各ＤＭＤ毎に、それぞれ図７に示したような接続形態でＰＤアレイ２が設けられている。
【特許文献１】特開平１０−１１２５７９号公報
【特許文献２】特開２００４−９５９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したように従来のＤＭＤを用いた露光装置においては、あらかじめ露光対象箇所の積算照度を計測しておく必要がある（図７）。
【０００８】
しかしながら、図７に例示したように、ＤＭＤ１から出射された光をＰＤアレイ２の各ＰＤに入射させるに際し、ＰＤアレイ２を構成するＰＤの設置個数と比べてＤＭＤ１を構成するミラーの設置個数の方がはるかに多いため、各ＰＤのＤＭＤ１に対する配置関係によっては、ＤＭＤ１の各ミラーで反射された光がすべて（洩れなく）各ＰＤに入射されるとは限らない。つまり、ＤＭＤ１の各ミラーで反射された光のうち一部の光（図７において「ＮＤ」で示す光）が、いずれのＰＤの受光面にも入射されずに、ＰＤ間の隙間を通して洩れてしまうといった不都合が起こり得る。この洩れた光は、本来はいずれかのＰＤで検出されるべき光量であるが、その検出されなかった光量分だけ、当該露光対象箇所の積算照度に誤差（ばらつき）が生じてしまう。
【０００９】
つまり、従来のように１個のＤＭＤに対して複数個のＰＤ（ＰＤアレイ）が設けられた装置構成では、露光面の当該箇所（露光エリア）に当たる積算照度を正確に計測することができないといった課題があった。
【００１０】
また、露光対象物を支持するステージとＤＭＤを内蔵した露光ヘッドとが相対移動可能に配置された露光装置において、ＤＭＤの移動に伴い当該ＤＭＤの左端部近傍のミラーと右端部近傍のミラーによる合計の照度が必要となるエリア（例えば、図６（ａ）においてＳＴ２、ＳＴ３で示す部分）、あるいは、隣合ったＤＭＤ間において一方のＤＭＤの右端部近傍のミラーと他方のＤＭＤの左端部近傍のミラーによる合計の照度が必要となるエリア（例えば、図６（ｂ）においてＳＴ１で示す部分）においては、走査方向に対するＤＭＤの位置ずれや当該ＤＭＤに対する各ＰＤの位置合わせのずれ等に起因して、当該エリアの積算照度にばらつきが生じてしまうという問題もあった。このように合計の照度が必要となるエリア（ＳＴ１、ＳＴ２、ＳＴ３）を、以下の記述では便宜上、「スティッチエリア」ともいう。
【００１１】
また、従来の構成（図７）では、ＤＭＤ１を構成する各マイクロミラーのうち１個が壊れていても、露光対象箇所の積算照度を検出するのが困難であった。例えば、ＤＭＤ１のいずれか１個のミラーを「オン」状態にしたときに、そのミラーが、いずれのＰＤにも検出されない光（図７において「ＮＤ」で示す光）を反射させるような位置に配列されている場合には、正常に機能しているにもかかわらずその反射光が検出されないため、その分の光量が本来積算されるべき照度に反映されないことになる。
【００１２】
また、露光対象箇所の積算照度を正確に計測するためには、コントローラ６において、ＰＤアレイ２内の各ＰＤ間の照度のばらつきを補正し、かつ、各々のＤＭＤ１に対応する各ＰＤアレイ２間の照度のばらつきも補正する必要があり、補正処理が困難であった。
【００１３】
本発明は、かかる従来技術における課題に鑑み創作されたもので、露光対象箇所の積算照度を正確に、かつ簡単に計測することができる露光用照度計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の従来技術の課題を解決するため、本発明によれば、露光装置において露光を行うのに必要とされる光量のデータを取得するよう適応された露光用照度計測装置であって、光源と、該光源から照射された光を変調する空間光変調素子と、該空間光変調素子から出射された光をすべて入射する集光レンズと、該集光レンズを通して収束された光が入射される単一の光電変換素子と、該光電変換素子の光検出信号から、前記空間光変調素子を使用して光照射されるべき露光面の当該箇所の積算照度を算出する制御手段とを備えたことを特徴とする露光用照度計測装置が提供される。
【００１５】
本発明に係る露光用照度計測装置によれば、空間光変調素子（例えば、ＤＭＤ）から出射された光はすべて集光レンズに入射されるようになっているので、従来技術（図７）に見られたような、ＤＭＤの各ミラーで反射された光のうち一部の光がＰＤアレイ内のＰＤ間の隙間を通して洩れてしまうといった不都合は発生しない。つまり、集光レンズを通して、空間光変調素子の各画素部（ＤＭＤの場合、各マイクロミラー）で反射された光を洩れなく検出することができるので、当該露光対象箇所の積算照度に誤差（ばらつき）が生じることはなく、当該箇所に当たる光の積算照度を正確に計測することが可能となる。
【００１６】
また、従来技術（図７）では、ＰＤアレイ内の各ＰＤで検出された信号をスイッチで順次切り替えてコントローラに取り込み、各ＰＤによる照度を合計して当該箇所の積算照度を求めていたため、その積算照度の計測に時間がかかるといった不都合があったが、本発明では、ＰＤアレイの代わりに集光レンズを使用しているので、空間光変調素子を使用して光照射されるべき当該露光対象箇所の積算照度を簡単に計測することができる。
【００１７】
本発明に係る露光用照度計測装置の他の構成上の特徴及びそれに基づく有利な利点等については、後述する発明の実施の形態を参照しながら詳細に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しながら説明する。
【００１９】
図１は本発明の一実施形態に係る露光用照度計測装置の構成を一部模式的に示したものである。本実施形態の露光用照度計測装置１０は、後述するように露光対象物を支持するステージと、入射された光を画像データに応じて変調する空間光変調素子を備えた露光ヘッドとが相対的に移動可能に配置された露光装置に組み込まれて使用されることを前提としている。
【００２０】
本実施形態に係る露光用照度計測装置１０は、図示のように光源ユニット１１と、空間光変調素子としてのデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）１２と、集光レンズ１３と、光電変換素子としてのフォトダイオード（ＰＤ）１４と、このＰＤ１４で検出された光量に応じたアナログ信号（光検出信号）を増幅するアンプ１５と、このアンプ１５を通して増幅された光検出信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器１６と、このＡ／Ｄ変換器１６から出力されたデジタル信号を処理するコントローラ１７とを備えている。さらに、１１〜１７の各部材を１ユニットとして複数（後述する露光ヘッドの設置個数に対応した数）のユニットを備え、各ユニットは並列的に設けられている。さらに、各コントローラ１７で処理された信号はメインコントローラ１８に入力され、このメインコントローラ１８によって各ユニット（露光用照度計測装置１０）が制御されるようになっている。１１〜１４の各部材、各コントローラ１７及びメインコントローラ１８の構成、動作等については後で説明する。
【００２１】
次に、本装置１０を組み込んだ露光装置について、図２に示す構成（外観）を参照しながら説明する。
【００２２】
図示のように露光装置５０は、配線基板等の露光対象物５１を表面に吸着して保持する平板状のステージ５２を備えている。４本の脚部５３に支持された厚い板状の支持台５４の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド５５が設置されており、ステージ５２は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド５５によって往復移動可能に支持されている。また、この露光装置５０には、ステージ５２をガイド５５に沿って駆動するためのステージ駆動部（後述）が設けられている。
【００２３】
支持台５４の中央部には、ステージ５２の移動経路を跨ぐように「コ」の字状のゲート５６が設けられており、このゲート５６の各々の端部は、支持台５４の両側面に固定されている。このゲート５６を挟んで一方の側にはスキャナ５７が設けられ、他方の側には露光対象物５１の移動方向の端部（先端及び後端）を検知する複数（図示の例では２個）の検知センサ５８が設けられている。スキャナ５７及び検知センサ５８はゲート５６にそれぞれ取り付けられて、ステージ５２の移動経路の上方に固定配置されている。つまり、露光対象物５１を支持するステージ５２と、露光対象物５１を走査するスキャナ５７とは、互いに相対移動可能に設けられている。なお、スキャナ５７及び検知センサ５８は、これらを制御する制御部（後述）に接続されており、後述する露光ヘッドによって露光する際に所定のタイミングで露光され得るように制御される。
【００２４】
さらに、ステージ５２上で露光対象物５１が搭載される領域とは別の領域（図示の例では、ステージ５２上で左側の端部）に、本発明を特徴付ける集光レンズ１３が配置されている。集光レンズ１３は、後述する露光ヘッドの設置個数に対応して設けられている。各集光レンズ１３は、ステージ５２の移動によってそれぞれ対応する露光ヘッドが位置合わせされるように配置されている。さらに、図２には示していないが、各集光レンズ１３の光出射側には、それぞれ対応する集光レンズ１３を通して収束された光を検出するためのフォトダイオード（ＰＤ）が１個設けられている。
【００２５】
スキャナ５７は、図３及び図４（ｂ）に示すように、ほぼマトリクス状に配列された複数の露光ヘッドＨＤを備えている。図示の例では、３行５列のマトリクス状に配列された１４個の露光ヘッドＨＤｍｎ（ｍ＝１〜３、ｎ＝１〜５）を備えている。ただし、露光対象物５１の幅との関係で、３行目には４個の露光ヘッドＨＤ３１〜ＨＤ３４が配置されている。各露光ヘッドＨＤ（ＨＤｍｎ）には、後述するように光源ユニット１１及びＤＭＤ１２が設けられている。各露光ヘッドＨＤ（ＨＤｍｎ）による露光エリアＡ（Ａｍｎ）は、図示のように副走査方向を短辺とする矩形状で、かつ、副走査方向に対して所定の角度で傾斜している。そして、ステージ５２の移動に伴い、露光対象物５１には各露光ヘッドＨＤ毎に帯状の露光済み領域Ｂが形成される。
【００２６】
また、図４（ａ），（ｂ）に示すように、各行の露光ヘッドＨＤ１１〜ＨＤ１５、ＨＤ２１〜ＨＤ２５、ＨＤ３１〜ＨＤ３４の各々は、帯状の露光済み領域Ｂ（ハッチングで示す部分）がそれぞれ隣接する露光済み領域Ｂと部分的に重なるように、配列方向に所定間隔ずらして配置されている。各露光済み領域Ｂの部分的に重なっている領域は、スティッチエリアＳＴ１、ＳＴ２、ＳＴ３に相当する。かかる配置形態とすることにより、例えば、１行目の露光エリアＡ１１と露光エリアＡ１２との間の露光できない部分は、２行目の露光エリアＡ２１と３行目の露光エリアＡ３１とによって露光することができる。２行目以降についても同様である。つまり、主走査方向（副走査方向と直交する方向）に配列された複数の露光ヘッドＨＤ１１〜ＨＤ１５、ＨＤ２１〜ＨＤ２５、ＨＤ３１〜ＨＤ３４の間の繋ぎ目（スティッチエリア）を微少量の露光位置制御によって段差無く繋ぐことができる。
【００２７】
次に、露光用照度計測装置１０（図１）を組み込んだ露光装置５０（図２）における電気的な構成について、図５に示すブロック構成を参照しながら説明する。
【００２８】
図５において、２０は露光装置５０（図２）全体を制御する制御部を示し、図１に示した各コントローラ１７及びメインコントローラ１８を含んでいる。この制御部２０には、入力画像データに基づいて露光用の２値の画像データ（露光画像データ）を作成する画像データ作成部２１と、この画像データ作成部２１で作成された画像データを一時的に格納する画像バッファ２２と、この画像バッファ２２の画像データに基づいてＤＭＤ１２の駆動を制御するＤＭＤドライバ２３と、発光源としてのレーザダイオード（ＬＤ）を備えた光源ユニット１１の駆動を制御するＬＤドライバ２４と、ステージ５２の移動を制御するステージ駆動部２５と、ステージ５２の位置及び変位量（露光ヘッドＨＤとステージ５２の相対的な位置ずれ）を測定する位置測定部２６とが接続されている。
【００２９】
露光ヘッドＨＤは、図示のように光源ユニット１１とＤＭＤ１２を内蔵している。光源ユニット１１は、複数の発光源（ＬＤ）が二次元状に配列されたＬＤアレイの形態で構成されており、各ＬＤから発光される光量は、制御部２０からの制御に基づいてＬＤドライバ２４により個々に制御されるようになっている。ＤＭＤ１２は、上述したように複数のマイクロミラーが基板上にマトリクス状に配列されて構成されており、各ミラー（画素に相当）は、制御部２０からＤＭＤドライバ２３を介して供給される制御信号に応答してそのミラー面（反射面）の角度が個々に制御（光変調）されるようになっている。ＤＭＤドライバ２３は、図示はしないがデータ処理部とミラー駆動制御部とを備えており、このデータ処理部では、画像バッファ２２から入力された画像データに基づいて、各露光ヘッドＨＤ（図３、図４）毎に当該ＤＭＤ１２の制御すべき領域内の各マイクロミラーを駆動制御する制御信号を生成する。ミラー駆動制御部では、この生成された制御信号に基づき、各露光ヘッドＨＤ毎に当該ＤＭＤ１２の各マイクロミラーの反射面の角度を「オン」状態又は「オフ」状態に制御する。
【００３０】
さらに、制御部２０からの制御に基づきステージ駆動部２５によって移動制御されるステージ５２には、上述したように、その所定の領域（露光対象物５１（図２）が搭載される領域とは別の領域）に集光レンズ１３が配置されている。集光レンズ１３は、露光ヘッドＨＤ（図３）の設置個数に対応して設けられており、ステージ５２の移動によってそれぞれ対応する露光ヘッドが位置合わせされるように配置されている。これにより、当該露光ヘッドＨＤに内蔵されたＤＭＤ１２から出射された光がすべて入射されるようになっている。つまり、集光レンズ１３は、当該ＤＭＤ１２を構成する個々のマイクロミラーで反射された光を洩れなく検出することができる。
【００３１】
さらに、各集光レンズ１３の光出射側（ステージ５２内）には、それぞれフォトダイオード（ＰＤ）１４が１個ずつ設けられている。これにより、各ＰＤ１４は、それぞれ対応する集光レンズ１３を通して収束された光を検出し、その検出した光量に応じたアナログ信号（光検出信号）を出力する。
【００３２】
各ＰＤ１４から出力された光検出信号は、それぞれアンプ１５（図１）を通して増幅され、Ａ／Ｄ変換器１６を通してデジタル信号に変換された後、制御部２０内の各コントローラ１７に入力される。コントローラ１７は、一般的なマイクロプロセッサ等と同様の機能ブロック（ＣＰＵ等の演算ユニットやメモリ等）を備えており、本発明に関連する処理として、対応するＰＤ１４で検出された光量に応じた信号（光検出信号）から、対応するＤＭＤ１２を使用して光照射されるべき露光面の当該箇所の積算照度を算出する。この算出にあたり、演算ユニットでは、あらかじめ当該箇所の積算照度として作成しておいた所望の基準値と比較し、その比較に基づいて差分に応じた補正値を計算する。このようにして補正値が反映された積算照度のデータは、メインコントローラ１８（制御部２０内）に入力される。
【００３３】
メインコントローラ１８は、各コントローラ１７と同様にＣＰＵ等の演算ユニットやメモリ等を備えており、さらに、各コントローラ１７で算出された当該露光対象箇所の積算照度を画面表示させるための表示ユニット（図示せず）も備えている。メインコントローラ１８は、基本的には露光装置５０（図２）全体を制御するためのものであり、特に本発明に関連する処理として、各コントローラ１７で算出された積算照度のデータに基づき、ＬＤドライバ２４を介して各光源ユニット１１の光照射量（各ＬＤの発光光量）制御すると共に、露光情報に応じて各ＤＭＤ１２の光変調状態をそれぞれ変化させる制御信号を生成し、各制御信号により、ＤＭＤドライバ２３を介して各ミラー（画素に相当）を個々に制御（光変調）する。
【００３４】
以上説明したように、本実施形態に係る露光用照度計測装置１０によれば（図１、図５参照）、空間光変調素子としてのＤＭＤ１２から出射された光はすべて集光レンズ１３に入射されるようになっており、従来技術（図７）に見られたような不都合（ＤＭＤの各ミラーで反射された光のうち一部の光がＰＤアレイ内のＰＤ間の隙間を通して洩れてしまうといった不都合）は発生しないので、集光レンズ１３及びその対応するＰＤ１４により、ＤＭＤ１２の各マイクロミラーで反射された光を洩れなく検出することができる。これにより、ＤＭＤ１２を使用して光照射されるべき露光面の当該箇所の積算照度に誤差（ばらつき）が生じることはないので、当該箇所に当たる光の積算照度を正確に計測することが可能となる。
【００３５】
また、従来技術（図７）では、ＰＤアレイ内の各ＰＤで検出された信号をスイッチで順次切り替えてコントローラに取り込んだ信号から各ＰＤの照度を合計して当該箇所の積算照度を求めていたため、その積算照度の計測に時間がかかるといった不都合があったが、本実施形態に係る装置構成（図１）では、従来のＰＤアレイに代えて集光レンズ１３を使用しているので、当該露光対象箇所の積算照度を簡単に計測することができる。
【００３６】
また、ステージ５２に対する露光ヘッドＨＤ（ＤＭＤ１２）の相対移動に伴い当該ＤＭＤのみでスティッチエリアの積算照度を計測する場合（例えば、図６（ａ）に示すようなスティッチエリアＳＴ２、ＳＴ３の積算照度を計測する場合）や、隣合ったＤＭＤを使用して同じスティッチエリアの積算照度を計測する場合（例えば、図６（ｂ）に示すようなスティッチエリアＳＴ１の積算照度を計測する場合）においても、上記の構成（集光レンズ１３及びその対応するＰＤ１４）により、当該エリアの積算照度にばらつきが生じることはないので、当該エリアに当たる光の積算照度を正確に計測することができる。
【００３７】
また、従来技術（図７）では、ＤＭＤを構成する各ミラーのうち１個が壊れていて常に光を出射している状態となっても、当該故障を検出するのが困難であった。これに対し、本実施形態では、上述した集光レンズ１３及びその対応するＰＤ１４の組合せにより、ＤＭＤ１２を構成する各ミラーのうち１個が壊れていても、全消灯状態で当該故障箇所による出射照度を検出することで、当該故障を検出することができる。
【００３８】
また、従来技術（図７）では、ＰＤアレイ内の各ＰＤ間の照度のばらつきと各ＤＭＤに対応する各ＰＤアレイ間の照度のばらつきの両方を補正する必要があったが、本実施形態では、上記の構成（集光レンズ１３及びその対応するＰＤ１４）により、各ＤＭＤ１２に対応する各ＰＤ１４間の照度のばらつきのみを補正することで、正確な積算照度の計測が可能となる。
【００３９】
なお、上述した実施形態では、空間光変調素子としてＤＭＤ１２を用いた場合を例にとって説明したが、本発明の要旨（空間光変調素子から出射された光をすべて集光レンズに入射させ、該集光レンズを通して収束された光を単一の光電変換素子（ＰＤ）で検出すること）からも明らかなように、空間光変調素子の形態がＤＭＤに限定されないことはもちろんである。要は、入射された光を画像データに応じて光変調し、その変調された光を出射する機能を備えた素子であれば十分である。例えば、液晶シャッターアレイ等の透過型空間光変調素子を用いることも可能である。この液晶シャッターアレイでは、それぞれ制御信号に応答して透過光を遮断可能な複数の液晶セル（画素部）が基板上にマトリクス状に配列されて構成されている。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施形態に係る露光用照度計測装置の構成を一部模式的に示すブロック図である。
【図２】図１の装置を組み込んだ露光装置の外観を示す斜視図である。
【図３】図２の露光装置におけるスキャナの構成を示す斜視図である。
【図４】図３における各露光ヘッドによる露光エリアの配列と露光領域との関係を示す図である。
【図５】図２の露光装置における電気的な構成を示すブロック図である。
【図６】図１の露光用照度計測装置によって得られる効果の一例を説明するための図である。
【図７】従来の露光装置における露光用照度計測に係る問題点を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０…露光用照度計測装置、
１１…光源ユニット、
１２…ＤＭＤ（空間光変調素子）、
１３…集光レンズ、
１４…ＰＤ（光電変換素子）、
１７…コントローラ（制御手段）、
２０…制御部（各コントローラ／メインコントローラ）、
５０…露光装置、
５１…露光対象物、
５２…ステージ、
５７…スキャナ、
Ａ（Ａｍｎ）…露光エリア、
Ｂ…露光済み領域、
ＨＤ（ＨＤｍｎ）…露光ヘッド、
ＳＴ１，ＳＴ２，ＳＴ３…スティッチエリア。
【図１】
2009003173.tif 000003
【図２】
2009003173.tif 000004
【図３】
2009003173.tif 000005
【図４】
2009003173.tif 000006
【図５】
2009003173.tif 000007
【図６】
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【図７】
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