(57)【要約】【課題】検査時間を短縮することができる半導体検査装置を提供する。【解決手段】本半導体検査装置は、半導体装置１０９に互いに異なる角度で互いに異なる色の照射光を照射する複数の光源１０５〜１０７と、それぞれが互いに異なる色の光を検出して検出信号を生成し、かつ半導体装置１０９が反射した反射光を検出する複数のラインセンサ１０２ａ〜１０２ｃと、ラインセンサ１０２ａ〜１０２ｃそれぞれの検出信号を処理することにより、ラインセンサ１０２ａ〜１０２ｃ別に画像データを生成する画像処理部１０４とを備える。光源１０５〜１０７が発光する光の色の組み合わせと、ラインセンサ１０２ａ〜１０２ｃが検出する色の組み合わせが同じである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能であり、半導体装置を載置するステージと、
前記ステージ上の半導体装置に互いに異なる角度で互いに異なる色の照射光を照射する複数の光源と、
それぞれが互いに異なる色の光を検出して検出信号を生成し、かつ前記半導体装置が反射した反射光を検出する複数のラインセンサと、
前記複数のラインセンサそれぞれの検出信号を処理することにより、前記複数のラインセンサ別に画像データを生成する画像処理部と、
を備え、
前記複数の光源が発光する光の色の組み合わせと、前記複数のラインセンサが検出する色の組み合わせが同じである半導体検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体検査装置において、
前記複数のラインセンサは並んで配置されている半導体検査装置。
【請求項３】
ステージ上の半導体装置に互いに異なる角度で互いに異なる色の照射光を照射する複数の光源と、それぞれが互いに異なる色の光を検出し、かつ検出する色の組み合わせが前記複数の光源と同じである複数のラインセンサとを設け、
前記複数のラインセンサと前記ステージの相対位置を移動させる間、前記複数の光源が前記半導体装置に照射光を照射し、かつ前記複数のラインセンサが、前記半導体装置が反射した反射光を検出して検出信号を生成し、
前記複数のラインセンサそれぞれの検出信号を処理することにより、前記複数のラインセンサ別に画像データを生成する半導体装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査時間を短縮することができる半導体検査装置及び半導体装置の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置は、不良品検出のための外観検査が行われる。半導体装置の外観検査に関連する技術として、例えば特許文献１に記載の技術がある。この技術は、半導体デバイスを回路基板に実装するときのリード等を検査する装置に関しており、同一のリードに四種類の照明光を照射して得られる四種類の画像を一つの撮像手段が同時に撮像するものである。撮像手段はラインセンサであり、４つの領域で互いに異なる画像を結像する。４種類の照射光は、同軸落射照明と、２つの斜方照明と、スリット光照明である。２つの斜方照明は、リードを互いに異なる側面に光を照射するものであり、それぞれ赤色光及び青色光である。斜方照明の２つの光学系には、それぞれ赤色光を選択的に反射するフィルタ及び青色光を選択的に反射するフィルタが含まれる。
【特許文献１】特開平５−３４０７２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上記した技術では、一つのラインセンサを複数の領域に区分けしているため、解像度を低下させない場合、一回のスキャンで撮像できる範囲が狭くなる。このため、検査対象の全体画像を得るためには、複数回検査対象をスキャンする必要があり、検査時間が長くなっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明によれば、移動可能であり、半導体装置を載置するステージと、
前記ステージ上の半導体装置に互いに異なる角度で互いに異なる色の照射光を照射する複数の光源と、
それぞれが互いに異なる色の光を検出して検出信号を生成し、かつ前記半導体装置が反射した反射光を検出する複数のラインセンサと、
前記複数のラインセンサそれぞれの検出信号を処理することにより、前記複数のラインセンサ別に画像データを生成する画像処理部と、
を備え、
前記複数の光源が発光する光の色の組み合わせと、前記複数のラインセンサが検出する色の組み合わせが同じである半導体検査装置が提供される。
【０００５】
この発明によれば、前記複数の光源の光の色の組み合わせと、前記複数のラインセンサが検出する色の組み合わせは同じである。このため、前記画像処理部が生成する複数の画像データは、それぞれ前記複数の光源のいずれかに対応した画像データになる。このため、１回のスキャンで複数種類の全体画像を得ることができる。従って、検査時間を短縮することができる。
【０００６】
本発明によれば、ステージ上の半導体装置に互いに異なる角度で互いに異なる色の照射光を照射する複数の光源と、それぞれが互いに異なる色の光を検出し、かつ検出する色の組み合わせが前記複数の光源と同じである複数のラインセンサとを設け、
前記複数のラインセンサと前記ステージの相対位置を移動させる間、前記複数の光源が前記半導体装置に照射光を照射し、かつ前記複数のラインセンサが、前記半導体装置が反射した反射光を検出して検出信号を生成し、
前記複数のラインセンサそれぞれの検出信号を処理することにより、前記複数のラインセンサ別に画像データを生成する半導体装置の検査方法が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、検査時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。図１は、本実施の形態にかかる外観検査装置の構成を示す斜視概略図である。この外観検査装置は、ステージ１０８、同軸照射照明１０５（光源）、斜方照明１０６（光源）、側方照明１０７（光源）、ラインセンサーカメラ１０１、及び画像処理部１０４を備える。ステージ１０８は移動可能であり、かつ半導体装置１０９を載置する。同軸照射照明１０５、斜方照明１０６、及び側方照明１０７は、ステージ１０８上の半導体装置１０９に互いに異なる角度で互いに異なる色の照射光を照射する。ラインセンサーカメラ１０１は、半導体装置１０９が反射した反射光を検出する複数のラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃを有する。ラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃは、それぞれが互いに異なる色の光を検出して検出信号を生成する。画像処理部１０４は、ラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃそれぞれの検出信号を処理することにより、ラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ別に画像データを生成する。
【０００９】
同軸照射照明１０５、斜方照明１０６、及び側方照明１０７の光の色の組み合わせと、ラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃが検出する色の組み合わせは同じである。このため、画像処理部１０４が生成する複数の画像データは、それぞれ同軸照射照明１０５（光源）、斜方照明１０６（光源）、及び側方照明１０７（光源）のいずれかに対応した画像データになる。このため、１回のスキャンで複数種類の全体画像を得ることができる。従って、検査時間を短縮することができる。以下、詳細に説明する。
【００１０】
図１に示す外観検査装置は、さらに、レンズ１０３を備える。レンズ１０３は、同軸照射照明１０５、斜方照明１０６、及び側方照明１０７と、ラインセンサーカメラ１０１の間に位置している。
【００１１】
同軸照射照明１０５、斜方照明１０６、及び側方照明１０７は、それぞれ光源として例えばＬＥＤを有している。同軸照射照明１０５、斜方照明１０６、及び側方照明１０７の光源は、互いに異なる色の光（例えば赤、青、緑）を発する。同軸照射照明１０５、斜方照明１０６、及び側方照明１０７は、内部にハーフミラーを有する。これらの照明において、光源の光は、このハーフミラーを通って半導体装置１０９に照射する。そして、半導体装置１０９からの反射光は、ハーフミラーをスルーした後、レンズ１０３を介してラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃのすべてに入射する。
【００１２】
ラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃは、並んで配置されており、互いに平行である。ラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃは、それぞれ、１列にＮビットのＣＣＤ素子が並んだ構成を有している。ラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃは、半導体装置１０９を１スキャンで撮像するのに必要な長さを有している。ラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃのＣＣＤ素子の表面には、互いに異なる色のカラーフィルターが付いている。カラーフィルターの色の組み合わせは、同軸照射照明１０５、斜方照明１０６、及び側方照明１０７の光源が発光する光の色の組み合わせ（例えば赤、青、緑）と同じである。カラーフィルターは、その色の成分の光のみを透過する。このため、ラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃは、互いに異なる照明からの光が半導体装置１０９に反射されることにより生成した光を検出する。
【００１３】
例えば、同軸照射照明１０５の光源が青色の光を発光し、斜方照明１０６が緑色の光を発光し、側方照明１０７が赤色の光を発光するとする。また、ラインセンサ１０２ａが青色の光を検出し、ラインセンサ１０２ｂが緑色の光を検出し、ラインセンサ１０２ｃが赤色の光を検出するとする。この場合、ラインセンサ１０２ａは、同軸照射照明１０５による照射光を半導体装置１０９が反射することにより生成した光を検出する。また、ラインセンサ１０２ｂは、斜方照明１０６による照射光を半導体装置１０９が反射することにより生成した光を検出する。また、ラインセンサ１０２ｃは、側方照明１０７による照射光を半導体装置１０９が反射することにより生成した光を検出する。
【００１４】
そして、半導体装置１０９の外観検査を行う場合、ステージ１０８は、半導体装置１０９を載置した状態で、ラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃに交わる方向（例えば直交する方向）に定速で移動する。この間、同軸照射照明１０５、斜方照明１０６、及び側方照明１０７は光をステージ１０８に向けて照射し続け、ラインセンサーカメラ１０１のラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃは検出信号を画像処理部１０４に出力し続ける。
【００１５】
そしてステージ１０８が一回移動すると、画像処理部１０４は、それぞれラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃそれぞれ別の２次元の画像データを生成する。これら３つの画像データは、同軸照射照明１０５、斜方照明１０６、及び側方照明１０７それぞれに対応しており、互いに異なる条件による半導体装置の全体画像を示している。
【００１６】
以上、本実施形態によれば、同軸照射照明１０５、斜方照明１０６、及び側方照明１０７は、ステージ１０８上の半導体装置１０９に互いに異なる角度で互いに異なる色の照射光を照射する。ラインセンサーカメラ１０１のラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃは、それぞれが互いに異なる色の光を検出する。このため、一回のスキャンで撮像できる範囲が狭くならず、１回のスキャンで複数種類の全体画像を得ることができる。従って、検査時間を短縮することができる。
【００１７】
また、ラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃは並んで配置されているため、同軸照射照明１０５、斜方照明１０６、及び側方照明１０７それぞれの光の反射光を同一の光学系に集約することができる。このため、外観検査装置が大型化せず、かつ製造コストを低減できる。また、光学系の増加を抑制できるため、光学系のセッティング及び調整に必要な労力を削減できる。
【００１８】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。例えば上記した実施形態ではステージ１０８を移動させていたが、ステージ１０８を固定してラインセンサ１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ、同軸照射照明１０５、斜方照明１０６、及び側方照明１０７を移動させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施の形態にかかる外観検査装置の構成を示す斜視概略図である。
【符号の説明】
【００２０】
１０１ ラインセンサーカメラ
１０２ａ ラインセンサ
１０２ｂ ラインセンサ
１０２ｃ ラインセンサ
１０３ レンズ
１０４ 画像処理部
１０５ 同軸照射照明
１０６ 斜方照明
１０７ 側方照明
１０８ ステージ
１０９ 半導体装置
【図１】
2009277718.tif 000003