(57)【要約】      （修正有）【課題】機械の構造的変更や部材の個体差がある場合においても、昇降量の精度を維持することが可能な搬送走行車を提供する。【解決手段】天井走行車５は、所定の領域にＦＯＵＰ４を搬送するものであって、走行部と保持部６０と昇降部６１とを備えている。走行部は、レール３に沿って走行する。保持部６０は、ＦＯＵＰ４を保持する。昇降部６１は、保持部６０を吊り下げるベルト５９を含む。昇降部６１は、走行部に搭載され、保持部６０を昇降させる。ベルト５９は目盛りを有する。昇降部６１は、ベルト５９の目盛りに基づいて保持部６０の昇降位置を測定する。【選択図】図４
2009292644.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の領域に被搬送物を搬送する搬送走行車であって、
所定の搬送路に沿って走行する走行部と、
前記被搬送物を保持する保持部と、
前記保持部を吊り下げ、目盛りを有する懸架材と、前記目盛りを読み取るセンサ部と、を含み、前記走行部に搭載され、前記センサ部の出力に基づいて前記保持部を昇降させる昇降部と、
を備える搬送走行車。
【請求項２】
前記昇降部は、前記懸架材の送り出し量に対応する回転量を測定するエンコーダをさらに有し、
前記エンコーダの出力値を前記センサ部の出力に基づいて補正する、
請求項１に記載の搬送走行車。
【請求項３】
前記懸架材は、前記被搬送物が載置場所に到達する昇降量に対応する位置にのみ前記目盛りを有する、
請求項１または２に記載の搬送走行車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送走行車、特に、懸架材を介して被搬送物を吊り下げる機構を備える搬送走行車に関する。
【背景技術】
【０００２】
工場では、被搬送物を搬送するために、所定の軌道上を自動的に走行する搬送走行車が採用されている。
【０００３】
この搬送走行車は、例えば、天井に設けられたレールに沿って走行する。そして、搬送走行車は、被搬送物を下方の所定の領域に載置するために、被搬送物を昇降させる昇降機構を備えている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
昇降機構は、被搬送物を保持する部材を吊り下げるベルトと、このベルトを巻回するドラムと、ベルトの送り出しに合わせて回転するプーリと、このプーリの回転量を計測するエンコーダとを備えている。そして、ホスト（コンピュータやユーザ）から指示された指令値に従って、ドラムが回転してベルトの送り出し量が決定される。
【特許文献１】特開２００３−３０６２９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような搬送走行車では、ベルトの太さやドラムの径の長さなどの機械的構造が変更されると、その都度、エンコーダ値を測定して設定しなおさなければならなかったり、ドラムやプーリなどの部材の個体差によって昇降量に誤差が生じてしまったりするという問題がある。
【０００６】
本発明の課題は、機械の構造的変更や部材の個体差がある場合においても、昇降量の精度を維持することが可能な搬送走行車を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る搬送走行車は、所定の領域に被搬送物を搬送する搬送走行車であって、走行部と保持部と昇降部とを備えている。走行部は、所定の搬送路に沿って走行する。保持部は、被搬送物を保持する。昇降部は、保持部を吊り下げ、目盛りを有している懸架材と、目盛りを読み取るセンサ部と、を含む。昇降部は、走行部に搭載され、センサ部の出力に基づいて保持部を昇降させる。
【０００８】
この搬送走行車によれば、昇降部は、センサ部によって懸架材に設けられている目盛りを読み取り、保持部の昇降位置を正確に測定することができる。その結果、保持部の昇降量を正確に制御することが可能になる。特に、昇降部を構成する部材の個体差に影響されずに保持部の昇降量を調整することができる。例えば、懸架材がドラムなどに巻回されており、その巻出し量によって昇降量が決まる場合などは、ドラムの径の個体差などによって昇降量に差が生じることを防ぐことが可能になる。
【０００９】
この結果、簡易な構成によっても自動的かつ正確に被搬送物を所望の場所に搬送することが可能になる。
【００１０】
昇降部が、エンコーダをさらに有することが好ましい。エンコーダは、懸架材の送り出し量に対応する回転量を測定する。搬送走行車は、エンコーダの出力値をセンサ部の出力に基づいて補正する。
【００１１】
この場合、懸架材に設けられている目盛りに基づいて保持部の昇降位置を正確に測定することができ、それにより、懸架材の送り出し量に対応するエンコーダのパルス数などの値を正確に知ることができる。
【００１２】
懸架材が、被搬送物が載置場所に到達する昇降量に対応する位置にのみ目盛りを有していることが好ましい。
【００１３】
この場合、懸架材の全ての領域に目盛りを設ける必要がなく、簡易な構成にすることが可能になる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る搬送走行車によると、機械の構造的変更や部材の個体差がある場合においても、昇降量の精度を維持することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（第１実施形態）
本発明の一実施形態に係る天井走行車５を含む天井走行車システム１について、図１から図１０を用いて説明する。
【００１６】
（１）天井走行車システム１
図１は、給電線を用いた非接触給電方式による天井走行車システム１の模式図である。天井走行車システム１は、半導体工場などのクリーンルームなどに設けられ、後述するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）４を搬送する。天井走行車システム１は、主に、レール３と、レール３に沿って走行する天井走行車５とを有している。
【００１７】
ここで、半導体工場内の構成について説明する。半導体工場内には、複数のベイ（工程毎に設けられている複数の装置群）が設けられている。また、所定の距離を隔てて設置されている複数のベイ同士間においてＦＯＵＰ４を搬送するためにインターベイルート５１が設けられている。またさらに、各ベイは、イントラベイルート５３を有している。なお、各ルート５１，５３はレール３により構成されている。
【００１８】
また、イントラベイルート５３に沿って半導体処理装置などの複数の処理装置５５，５５が配置されている。さらに、処理装置５５の近傍には、ロードポート５７が設けられている。ロードポート５７は、ＦＯＵＰ４の載置場所であって、イントラベイルート５３の直下に設けられている。以上の構成において、天井走行車５はレール３に沿って走行してロードポート５７間でＦＯＵＰ４を搬送する。
【００１９】
また、ＦＯＵＰ４は、内部に複数の半導体ウェハを収容しており、前面に開閉自在の蓋が設けられている。ＦＯＵＰ４の上部にはフランジ４９が設けられており、フランジ４９はチャック機構７６でチャックされている。
【００２０】
（２）レール３
レール３は、図２に示すように、複数の支柱７によって天井９から吊り下げられている。レール３は、主に、走行レール１１と、走行レール１１の下部に設けられた給電レール１３とを有している。
【００２１】
（ａ）走行レール１１
走行レール１１は、例えばアルミ製であり、図３に示すように、断面視逆Ｕ字状に構成されており、上面部１１ａと、両側面部１１ｂとを有している。両側面部１１ｂの下には、内側に延びる一対の第１走行面１１ｃが形成されている。さらに、両側面部１１ｂの内側面の上部には第２走行面１１ｄが形成され、上面部１１ａの下側面に第３走行面１１ｅが形成されている。
【００２２】
（ｂ）給電レール１３
給電レール１３は、走行レール１１の下部両側に設けられた一対の給電線ホルダ１５，１５から主に構成されている。給電線ホルダ１５，１５には、銅線などの導電線を絶縁材料で被覆したリッツ線からなる一対の給電線１７，１７が配置されている。給電線１７の一端には電力供給装置（図示せず）が設けられ、一対の給電線１７，１７に高周波電流が供給されるようになっている。
【００２３】
（３）天井走行車５
天井走行車５は、主に、走行部２１と、受電部２３と、昇降駆動部２５とを有している。走行部２１は、走行レール１１内に配置され、レール３上を走行するための機構である。受電部２３は、給電レール１３内に配置され、一対の給電線１７，１７から電力を供給されるための機構である。昇降駆動部２５は、給電レール１３の下方に配置され、ＦＯＵＰ４を保持する保持部６０と、この保持部６０を上下に昇降させるための昇降部６１とを備えている。
【００２４】
（ａ）走行部２１
走行部２１は、主に、走行レール１１内に配置されており、一対の第１ガイド輪１８，１８と、一対の第２ガイド輪１９，１９と、走行駆動輪２０と、モータ２２とを有している。一対の第１ガイド輪１８，１８は、走行部２１の下部両側に配置され、左右方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第１ガイド輪１８，１８は、走行レール１１の第１走行面１１ｃ上に載置されている。
【００２５】
第２ガイド輪１９，１９は、走行部２１の上部両側に配置され、鉛直方向に延びる車軸に回転自在に支持されている。第２ガイド輪１９，１９は、走行レール１１の第２走行面１１ｄをガイド面として、水平方向（進行方向の左右方向）における位置ズレを防止している。
【００２６】
走行駆動輪２０は、走行部２１の略中央に配置され、走行レール１１の第３走行面１１ｅに、スプリングなどを含む押圧手段により押圧されている。走行駆動輪２０は、モータ２２によって駆動される。その結果、天井走行車５はレール３上を走行する。
【００２７】
（ｂ）受電部２３
受電部２３は、一対の給電線１７，１７から電力を得るための一対のピックアップユニット２７を有している。具体的には、一対のピックアップユニット２７は、給電レール１３内で左右に並んで配置されている。各ピックアップユニット２７は、断面が略Ｅ字型をしたフェライト製のコア２９と、コア２９に巻かれたピックアップコイル３１とを有している。具体的には、コア２９は、両側の突出部２９ａと、その間の中央の突出部２９ｂとを有しており、ピックアップコイル３１は中央の突出部２９ｂに巻かれている。
【００２８】
給電線ホルダ１５に保持された一対の給電線１７，１７が、両側の突出部２９ａと中央の突出部２９ｂとの間に、それぞれ配置されている。この一対の給電線１７，１７に高周波電流を流すことによって発生する磁界がピックアップコイル３１に作用して、ピックアップコイル３１に誘導電流が発生する。このようにして、一対の給電線１７，１７からピックアップユニット２７に非接触で電力を供給し、走行用のモータ２２を駆動したり、制御機器に電力を供給したりする。このように給電レール１３の一対の給電線１７，１７と天井走行車５の受電部２３とによって、非接触給電部３３が構成されている。
【００２９】
（ｃ）昇降駆動部２５
昇降駆動部（ホイスト）２５は、図２および図４に示すように、ＦＯＵＰ４を保持するための保持部６０と、この保持部６０を昇降するための昇降部６１と、を備えている。
【００３０】
保持部６０は、主に、チャック機構７６と昇降台４３を備えている。
昇降台４３は、板状の部材であって、その上面側は４本のベルト５９の一方の端部に連結している。つまり、昇降台４３はベルト５９によって昇降部６１から吊り下げられている。
【００３１】
チャック機構７６は、ＦＯＵＰ４を保持するための機構である。チャック機構７６の複数の係止部がＦＯＵＰ４の上面に設けられているフランジ４９に係合することで、ＦＯＵＰ４を持ち上げることができる。また、昇降部６１の動作によって保持部６０が所定の高さまで降下し、ＦＯＵＰ４の下面がロードポート５７に到達すると、上記係止部がフランジ４９を開放する。
【００３２】
昇降部６１は、主に、本体フレーム３５と、横送り部３７と、θドライブ３９と、ホイスト本体４１と、を備えている。
【００３３】
本体フレーム３５は、受電部２３の下部に固定された部材である。また、本体フレーム３５は走行部２１の進行方向における前側と後側とに、落下防止カバー４５，４７を含んでいる。
【００３４】
横送り部３７は、θドライブ３９、ホイスト本体４１および昇降台４３を、例えば側方に横送りし、走行レール１１の側方に設けられているサイドバッファ（図示せず）との間で、ＦＯＵＰ４を受け渡しすることができる。
【００３５】
θドライブ３９は、ホイスト本体４１を水平面内で回動させて、ＦＯＵＰ４の受け渡しを容易にする。
【００３６】
ホイスト本体４１は、図５および図６に示すように、昇降台４３を昇降させるための昇降手段として、支持台６２と、プーリ６３と、ドラム６４と、ベルト５９と、光電センサ６６と、制御部６７とを備えている。プーリ６３とドラム６４とベルト５９と光電センサ６６は一組として構成されており、支持台６２には合計四組が配置されている。
【００３７】
支持台６２は、平板状の部材であって、本体フレーム３５の内側に水平に固定されて設けられている。この支持台６２の上面側には、上述のプーリ６３やドラム６４などの各部材が設置されている。
【００３８】
ドラム６４は、円柱状の部材であって、その外周面上にベルト５９を巻回する。ドラム６４は、このドラム６４の軸に動力的に接続されているドラム駆動モータ６８を有している。ドラム駆動モータ６８は、例えば、ステッピングモータであり、制御部６７によって制御されるドラム６４の回転駆動源である。つまり、ドラム６４は、支持台６２の上面に設けられている軸支持部材６９に回転自在に支持されており、かつ、ドラム駆動モータ６８と連結している。
【００３９】
プーリ６３は、円柱状の部材であって、その外周面には凹凸が形成されている。この凹凸は、ベルト５９の一方の面７７に設けられている凹凸と互いに係止することで噛み合うように形成されている。プーリ６３は、図５に示すような上面視において、ドラム６４よりも支持台６２の中心に対して外側に配置されている。このプーリ６３の軸は、ドラム６４の軸と平行に設けられている。また、プーリ６３は、支持台６２の上面に設けられている軸支持部材７０に回転自在に支持されている。
【００４０】
ベルト５９は、帯状であって、一方の端部はドラム６４に取り付けられている。また、ベルト５９の他方の端部は保持部６０に取り付けられている。つまり、ベルト５９によって保持部６０が吊り下げられており、このベルト５９の送り出し量によって保持部６０の昇降量が決定する。また、ベルト５９は、プーリ６３に当接する側の面７７に凹凸を有している。この凹凸は、上述のようにプーリ６３の凹凸と噛み合うように形成されている。つまり、ベルト５９の凹凸の凸部分（条部分）とプーリ６３の凹部分とが嵌り合いながらベルト５９が送り出される。換言すれば、ベルト５９の送り出しによってプーリ６３が回転する。これにより、プーリ６３の回転とベルト５９の送り出しとがずれることを防止することができる。
【００４１】
また、ベルト５９は、図７に示すように、他方の面７１（凹凸が形成されている面７７とは反対側の面）に目盛り７２を有している。この目盛り７２は、ベルト５９の面７１の表面が白色に染められており、この白地に黒色の指標７３がこのベルト５９の長手方向に対して垂直に設けられているものである。また、この指標７３はベルト５９の長手方向に沿って５ｍｍ間隔で設けられている。
【００４２】
光電センサ６６は、図８に示すように、光を出射する投光部７４と光を検出する受光部７５とを有する、いわゆる反射型光電センサである。光電センサ６６は、ホイスト本体４１内に配置され、図６に示すように、ベルト５９がプーリ６３から送り出される部分の測定を行うように配置されている。具体的には、光電センサ６６の投光部７４および受光部７５は、ベルト５９における目盛り７２を有する側の面７１に所定の隙間を介して対向して設置されている。投光部７４が所定の波長範囲の光を投光して、受光部７５がベルト５９から反射された光を受光する。このようにして、光電センサ６６は、受光部７５が検出する光の光量の変化によって、検出物体の表面状態を検出する。
【００４３】
ここで、上述のように、目盛り７２は、白地に黒色の指標７３を設けることによって形成されているため、面７１に対する反射光は、反射する領域によってその光量に差が生じることになる。つまり、白地の領域で反射された反射光は、光量が高く、黒い指標７３で反射された反射光は光量が低い。このため、ベルト５９が送り出されると投光部７４から出射された光は、白色と黒色との反射面に交互に反射されることになる。したがって、光電センサ６６から出力されるアナログ信号Ａ１は、図９に示すように、光量の増減が繰り返されることを示す信号になる。そして、このアナログ信号Ａ１は、Ａ／Ｄコンバータによってデジタル信号Ｐ１に変換されて制御部６７に送信される。
【００４４】
ここで、アナログ信号Ａ１からデジタル信号Ｐ１への変換は、アナログ信号Ａ１が所定の閾値Ａｔを下回るか否かによって変換される。具体的には、Ａ１≧Ａｔである場合は、Ｐ１が０になるように変換され、Ａ１＜Ａｔである場合は、Ｐ１が１になるように変換される。
【００４５】
このような構成により、光電センサ６６は非接触の検出器であるため、目盛り７２や光電センサ６６自体の損傷を防ぐことが可能になる。また、光電センサ６６は、検出距離が比較的長いため、設置場所に自由度を持たせることが可能になる。また、光電センサ６６は、検出領域を投射光のスポット径によって調節可能であり、かつ応答速度が速いため、精度の高い検出が可能になる。
【００４６】
制御部６７は、光電センサ６６から出力された信号を上記Ａ／Ｄコンバータを介してデジタル信号Ｐ１として受信する。制御部６７は、デジタル信号Ｐ１に基づいて、ベルト５９の送り出し量を算出する。つまり、この算出結果によって保持部６０の初期位置からの変位量（どれだけ昇降したか）が特定される。そして、特定された変位量と予め記憶している所定の昇降量とを比較してドラム駆動モータ６８の制御を行う。
【００４７】
この光電センサ６６の出力に基づくドラム駆動モータ６８の制御について、図１０を用いて説明する。
【００４８】
まず、天井走行車５がＦＯＵＰ４をロードポート５７の上方で停止する。その後、ドラム駆動モータ６８が駆動することによって後述のステップＳ１〜ステップＳ７が実行されることによって所定の高さでＦＯＵＰ４を保持した保持部６０が停止する。そして、チャック機構７６のチャックが解除されることによって、ＦＯＵＰ４が天井走行車から開放されてロードポート５７に載置される。以下にステップＳ１〜Ｓ７について説明する。
【００４９】
ステップＳ１では、天井走行車５が所定の位置に到達すると、制御部６７は、ドラム駆動モータ６８に対し、ベルト５９が送り出される方向に回転させる信号（回転信号）を出力する。
【００５０】
ステップＳ２では、制御部６７は、光電センサ６６から出力された信号がＡ／Ｄコンバータを介してデジタル化されたデジタル信号Ｐ１を受信する。
【００５１】
ステップＳ３では、ステップＳ２において受信したデジタル信号Ｐ１が１であるか否かの判定を行う。そして、デジタル信号Ｐ１が１である場合は、ステップＳ４に進み、１でない場合、すなわち０である場合は、ステップＳ２に戻る。
【００５２】
ステップＳ４では、ｎ＝ｎ＋１の演算を行う。ただしｎ＝０，１，２・・・である。
ステップＳ５では、Ｌ＝ｎ×５（ｍｍ）の演算を行う。
【００５３】
ステップＳ６では、ステップＳ５で算出されたＬが予め記憶されている所定の昇降量（ここでは、５００（ｍｍ））以上であるか否かを判定する。そして、Ｌが５００以上であれば、ステップＳ７に進み、Ｌが５００に満たない場合は、ステップＳ２に戻る。
【００５４】
ステップＳ７では、ドラム駆動モータ６８を停止させる信号（停止信号）を出力する。
以上のようにドラム駆動モータ６８を制御することによって、簡易な構成によっても保持部６０の正確な昇降を行うことが可能になる。特に、このように、ベルト５９の目盛り７２を基準にして保持部６０の昇降を行うことによって、プーリ６３などの部材のサイズに個体差がある場合であっても、正確な昇降量を維持することが可能になる。
【００５５】
また、制御部６７は、天井走行車５からロードポート５７までの距離がそれぞれ異なっている場合（例えば、ロードポート５７ごとの高さがそれぞれ異なる場合）、その距離（高さ）に対応する昇降量をそれぞれ記憶していてもよい。
これにより、従来よりも正確に、被搬送物の搬送および載置を行うことが可能になる。
【００５６】
（第２実施形態）
次に、図１１及び図１２を用いて本発明の第２実施形態を説明する。
【００５７】
ホイスト本体４１内の基本的な構成は前記実施形態と同様である。ただし、本実施形態では、さらにエンコーダ６５が設けられている。
【００５８】
エンコーダ６５は、プーリ６３の回転量を計測するためのものであって、プーリ６３の軸と同軸上に配置されている。つまり、エンコーダ６５がプーリ６３の回転量を計測することによって、ベルト５９の送り出し量（長さ）を検出することができる。ここで検出されたプーリ６３の回転量は、制御部６７に出力される。
【００５９】
この実施形態では、エンコーダ６５によって、ベルト５９の送り出し量が検出され、それに基づいて制御部６７がドラム駆動モータ６８を制御する。
【００６０】
このような装置では、制御部６７が、装置の作動開始前に、エンコーダ６５からのパルスとベルト５９の送り出し量の対応を取る較正作業を行う。その較正作業として、前述のように、ベルト５９の目盛りを読み取ることでベルト５９の正確な送り出し量を測定しつつ、同時にその動作の際にエンコーダ６５から得られたパルス数を測定する。以上により、パルス数とベルト５９の送り出し量との正確な関係が得られ、それを記憶部に保存する。以後、制御部６７は、上記の対応関係に基づいて、ベルト５９の送り出し量を精度良く制御できる。これにより、ＦＯＵＰ４の載置場所の高さを正確に求めることが可能になる。すなわち、ＦＯＵＰ４を載置場所に載置したときのベルト５９の送り出し量とエンコーダ６５の出力との関係を対応付けることによって、制御部６７に記憶されているパラメータなどを載置場所の実際の高さなどに正確に一致するように補正することができる。
【００６１】
以上のように、ベルト５９に設けられた目盛りを読み取ることで、簡単な方法でエンコーダ６５のエンコーダ値の初期較正が可能である。また、装置の動作開始後に、簡単な方法でエンコーダ６５の補正が可能である。
【００６２】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００６３】
前記実施形態では、ベルト（懸架材）が有する目盛りは、その表面を白地に染めたうえで黒色の指標を設ける例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、目盛りは、帯状の懸架材を磁性材料によって形成し、その長手方向に沿ってＮ極とＳ極とに交互に磁着したものであってもよい。この場合、この目盛りを読み取るセンサ部は、磁力計などであればよい。
【００６４】
また、ベルトの凸部分を目盛りとしてこの凸部分の数をカウントする構成であってもよい。
【００６５】
このような構成によっても、上記実施形態と同様の効果を奏することが可能である。
前記実施形態では、ベルトの目盛りを読み取るセンサ部として光電センサを用いる例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、ＣＣＤカメラを用いる画像解析によって目盛りを読み取るセンサであってもよい。
【００６６】
このような構成によっても、上記実施形態と同様の効果を奏することが可能である。
前記実施形態では、ベルトの目盛りを読み取るセンサ部として反射型の光電センサを用いる例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。例えば透過型の光電センサを用いてもよい。
【００６７】
このような構成によっても、上記実施形態と同様の効果を奏することが可能である。
前記実施形態では、ベルトの長手方向全体に目盛りが形成されている例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００６８】
例えば、保持部を１ｍ降下させた場所が載置領域である場合、懸架材は、保持部との連結部から１ｍの距離の近傍（例えば、１ｍ±１０ｃｍまでの領域）にのみ目盛りが設けられているものであってもよい。また、例えば、保持部が載置領域に到達する懸架材の送り出し長さを中心に±１０％までの領域にのみ、目盛りが設けられていてもよい。
【００６９】
これにより、懸架材の全ての領域に目盛りを設ける必要がなく、簡易な構成にすることが可能になる。
【００７０】
前記実施形態では、天井走行車システムを説明したが、本発明は床上走行車等の他の軌道走行車システムにも適用可能である。
【００７１】
前記実施形態では、半導体製造工場のクリーンルーム内の走行車システムを説明したが、本発明は他の種類の工場にも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明は、軌道上を走行する走行車システムに広く適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】クリーンルーム内の天井走行車システムの概略を示す模式図。
【図２】天井走行車システム及び天井走行車の部分側面図。
【図３】レール内の縦断面概略図。
【図４】天井走行車システム及び天井走行車の部分側面図。
【図５】天井走行車のホイスト本体を示す上面視平面図。
【図６】天井走行車のホイスト本体を示す側面視平面図。
【図７】ベルトが有する目盛りを示す側面視平面図。
【図８】ホイスト本体の構成を示すブロック図。
【図９】光電センサが出力するアナログ信号を示す図。
【図１０】制御部の光電センサからの出力に基づく処理を示すフローチャート。
【図１１】第２実施形態における天井走行車のホイスト本体を示す上面視平面図。
【図１２】第２実施形態におけるホイスト本体の構成を示すブロック図。
【符号の説明】
【００７４】
１      天井走行車システム
３      レール
４      ＦＯＵＰ
５      天井走行車（搬送走行車）
７      支柱
９      天井
１１    走行レール
１３    給電レール
１５    給電線ホルダ
１７    給電線
１８    第１ガイド輪
１９    第２ガイド輪
２０    走行駆動輪
２１    走行部
２２    モータ
２３    受電部
２５    昇降駆動部
２７    ピックアップユニット
２９    コア
３１    ピックアップコイル
３３    非接触給電部
３５    本体フレーム
３７    横送り部
３９    θドライブ
４１    ホイスト本体
４３    昇降台
４５    落下防止カバー
４７    落下防止カバー
４９    フランジ
５１    インターベイルート
５３    イントラベイルート
５５    処理装置
５７    ロードポート
５９    ベルト（懸架材）
６０    保持部
６１    昇降部
６２    支持台
６３    プーリ
６４    ドラム
６５    エンコーダ
６６    光電センサ（センサ部）
６７    制御部
６８    ドラム駆動モータ
６９    軸支持部材
７０    軸支持部材
７１    面
７２    目盛り
７３    指標
７４    投光部
７５    受光部
７６    チャック機構
７７    面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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