(57)【要約】      （修正有）【課題】さまざまな大きさおよび形状の物体を支持し、検査する真空テーブルおよび方法を提供する。【解決手段】真空テーブルは、平坦な上面と第１の組の穴とを含む真空プレート１０と、空気が吸引される少なくとも１つの空洞部を含む支持要素３０と、支持要素３０と真空プレート１０の間に位置決めされた交換可能アダプタ２０とを備え、交換可能アダプタ２０が第２の組の穴を含み、第２の組の穴が、第１の組の穴の対応する穴よりも実質的に小さく、第２の組の穴と第１の組の穴が少なくとも部分的に重なり合い、真空プレート１０が交換可能アダプタ２０よりも実質的に厚い。【選択図】図１
2009028888.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦な上面と第１の組の穴とを備える真空プレートと、
空気が吸引される少なくとも１つの空洞部を備える支持要素と、
前記支持要素と前記真空プレートの間に位置決めされた交換可能なアダプタと
を備える真空テーブルであって、前記交換可能なアダプタが第２の組の穴を備え、前記第２の組の穴が、前記第１の組の穴の対応する穴よりも実質的に小さく、前記第２の組の穴と前記第１の組の穴が少なくとも部分的に重なり合い、前記真空プレートが前記交換可能なアダプタよりも実質的に厚い、
真空テーブル。
【請求項２】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が円形を有する、請求項１に記載の真空テーブル。
【請求項３】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が細長い溝穴の形状を有する、請求項１に記載の真空テーブル。
【請求項４】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が、互いに関して方向付けられている複数の細長い溝穴を備える、請求項１に記載の真空テーブル。
【請求項５】
前記交換可能なアダプタから別の交換可能なアダプタへの迅速な交換を可能にするように、前記真空プレートが前記支持要素に取外し可能に接続された、請求項１に記載の真空テーブル。
【請求項６】
前記真空プレートが前記支持要素に締め付けられたとき、前記真空プレートが、前記平坦な上面の平面度に実質的に影響することなく、前記交換可能なアダプタをまっすぐにする、請求項１に記載の真空テーブル。
【請求項７】
前記支持要素が複数の空洞部を備えており、各空洞部が異なる真空通路に結合されている、請求項１に記載の真空テーブル。
【請求項８】
前記第１の組の穴の大きさが前記真空プレートの厚みに比例し、前記第２の組の穴の大きさが前記交換可能なアダプタの厚みに比例する、請求項１に記載の真空テーブル。
【請求項９】
前記第２の組の穴の大きさが、前記真空テーブル上に配置される物体に関連した真空条件に応じて選択される、請求項１に記載の真空テーブル。
【請求項１０】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が、前記真空プレート上に配置された物体によって覆われていない穴を通した空気漏れを低減させるような形状に形成された、請求項１に記載の真空テーブル。
【請求項１１】
前記真空プレートが、前記真空プレート上に配置された物体を前記物体の光学検査の間保持する、結合されたホルダーである、請求項１に記載の真空テーブル。
【請求項１２】
物体を支持する方法であって、
一群の交換可能なアダプタの中から、前記物体の特性に応じて、交換可能なアダプタを選択する工程と、
前記選択された交換可能なアダプタを真空プレートと支持要素の間に配置する工程であって、前記真空プレートが平坦な上面と第１の組の穴とを備えており、前記支持要素が、空気が吸引される少なくとも１つの空洞部を備え、前記選択された交換可能なアダプタが第２の組の穴を備え、前記第２の組の穴が、前記第１の組の穴の対応する穴より実質的に小さく、前記第２の組の穴と前記第１の組の穴が少なくとも部分的に重なり合い、前記真空プレートが前記交換可能なアダプタより実質的に厚い、工程と、
前記真空プレート上に前記物体を配置し、前記第１および第２の組の穴を通して空気を吸引する工程と
を備える方法。
【請求項１３】
異なる交換可能なアダプタが、これらの前記穴を通した異なるレベルの空気流を可能にし、前記選択する工程が、前記真空プレート上に前記物体が配置された後に前記物体によって覆われないと予想される前記交換可能なアダプタの穴を通した所望の空気漏れレベルに応じて行われる、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
異なる交換可能なアダプタの穴が異なる大きさを有し、前記選択する工程が前記穴の大きさに応じて行なわれる、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
異なる交換可能なアダプタの穴が異なる大きさを有し、選択された交換可能なアダプタの穴の大きさが、前記物体の大きさおよび前記物体の下面の平面度に反比例する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
異なる交換可能なアダプタの穴が異なる大きさを有し、前記選択する工程が、前記真空プレート上に配置される物体に関連した真空条件に応じて行われる、請求項１２に記載の方法。
【請求項１７】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が円形を有する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１８】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が細長い溝穴の形状を有する、請求項１２に記載の方法。
【請求項１９】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が、互いに関して方向付けられている複数の細長い溝穴を備える、請求項１２に記載の方法。
【請求項２０】
前記交換可能なアダプタから別の交換可能なアダプタへの迅速な交換を可能にするように、前記真空プレートが前記支持要素に取外し可能に接続された、請求項１２に記載の方法。
【請求項２１】
前記真空プレートが前記支持要素に締め付けられたとき、前記真空プレートによって、前記平坦な上面の平面度に実質的に影響することなく、前記選択された交換可能なアダプタをまっすぐにする工程を備える、請求項１２に記載の方法。
【請求項２２】
前記第１の組の穴の大きさが前記真空プレートの厚みに比例し、前記第２の組の穴の大きさが前記交換可能なアダプタの厚みに比例する、請求項１２に記載の方法。
【請求項２３】
検査装置に物体を取り付ける方法であって、
複数の穴を含む真空プレートに真空を導入するようになされた真空要素を提供し、且つ、前記真空プレートを通る空気流を低減させるように形状および大きさが決められた開口を備えるアダプタを提供する工程と、
前記真空プレート上に物体を配置する工程と、
真空を導入することによって前記真空プレートに前記物体を取り付ける工程と
を備える方法。
【請求項２４】
前記アダプタが交換可能なアダプタであり、前記開口が、真空プレートの対応する穴より実質的に小さく、前記開口と前記穴が少なくとも部分的に重なり合い、前記真空プレートが前記アダプタより実質的に厚い、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
複数の開口が円形を有する、請求項２３に記載の方法。
【請求項２６】
複数の開口が細長い溝穴の形状を有する、請求項２３に記載の方法。
【請求項２７】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が、これらの穴の上部に物体が配置されていないときに、これらの穴の近傍に乱流を生じさせるように形状および大きさが決められている、請求項１に記載の真空テーブル。
【請求項２８】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が、前記真空プレートと前記真空プレート上に配置された物体との間に空気の層流を生じさせるように形状および大きさが決められている、請求項１に記載の真空テーブル。
【請求項２９】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が、これらの穴の上部に物体が配置されていないときに、これらの穴の近傍に乱流を生じさせるように形状および大きさが決められている、請求項１２に記載の方法。
【請求項３０】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が、前記真空プレートと前記真空プレート上に配置された物体との間に空気の層流を生じさせるように形状および大きさが決められている、請求項１２に記載の方法。
【請求項３１】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が、これらの穴の上部に物体が配置されていないときに、これらの穴の近傍に乱流を生じさせるように形状および大きさが決められている、請求項２３に記載の方法。
【請求項３２】
前記第２の組の穴のうち複数の穴が、前記真空プレートと前記真空プレート上に配置された物体との間に空気の層流を生じさせるように形状および大きさが決められている、請求項２３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空テーブルおよび物体を支持する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
（関連出願）
本出願は、参照によって本明細書に組み込まれる２００７年４月１５日に出願された米国仮特許出願第６０／９１１８９２号の優先権を主張するものである。
【０００３】
高解像度検査装置によって走査される物体は、走査工程の間、適切に保持されなければならない。これらの物体は平坦なプレート（フラットプレート）上に置かれ、物体とフラットプレートとの間に真空を与えることによって保持される。
【０００４】
このフラットプレートは剛性材料から作られており、非常に平坦な上面を有していなければならない。
非常に平坦な上面を有するフラットプレートを製造するためには、フラットプレートが厚くなければならない。このフラットプレートの厚みは、フラットプレートに形成することができる穴の最小サイズおよび形状に限界を課す。これらの限界は、これらの穴の形成に使用されるドリルの強度に限界があることを反映したものである。換言すると、非常に細いドリルは、剛性材料から作られた非常に厚いフラットプレートを貫通することができない。
【０００５】
真空状態は、フラットプレートの穴を通して空気を吸引することによって形成することができる。（いったんプレート上に置かれた）物体によって覆われた穴は、物体に吸引力を加える。物体によって覆われていない穴は真空漏れを生じさせる。
【０００６】
このような穴を通じた真空漏れを低減させる必要がある。検査装置が、同じ大きさおよび形状の物体を検査することが予想される場合には、物体によって覆われない穴の数を減らす（さらには物体によって覆われない穴をなくす）ように、プレートを設計することができる。
【０００７】
多くの場合、単一の検査装置がさまざまな大きさおよび形状の物体を検査することが求められる。
さまざまな大きさおよび形状の物体を検査する真空テーブルおよび方法を提供する必要がある。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
平坦な上面と第１の組の穴とを含む真空プレートと、空気が吸引される少なくとも１つの空洞部を備える支持要素と、支持要素と真空プレートの間に位置決めされた交換可能なアダプタとを備え、交換可能なアダプタが第２の組の穴を備え、第２の組の穴が、第１の組の穴の対応する穴よりも実質的に小さく、第２の組の穴と第１の組の穴が少なくとも部分的に重なり合い、真空プレートが交換可能なアダプタよりも実質的に厚い、真空テーブル。
【０００９】
物体を支持する方法であって、一群の交換可能なアダプタの中から物体の特性に応じて交換可能なアダプタを選択する工程と、選択された交換可能なアダプタを真空プレートと支持要素の間に配置する工程であって、真空プレートが平坦な上面と第１の組の穴とを備えており、支持要素が、空気が吸引される少なくとも１つの空洞部を備え、選択された交換可能なアダプタが第２の組の穴を備え、第２の組の穴が、第１の組の穴の対応する穴よりも実質的に小さく、第２の組の穴と第１の組の穴が少なくとも部分的に重なり合い、真空プレートが交換可能なアダプタよりも実質的に厚い工程と、真空プレート上に物体を配置し、第１および第２の組の穴を通して空気を吸引する工程とを含む方法。
【００１０】
検査装置に物体を取り付ける方法であって、複数の穴を含む真空プレートに真空を導入するようになされた真空要素を提供し、真空プレートを通る空気流を低減させるように形状および大きさが決められた開口を備えるアダプタを提供する工程と、真空プレート上に物体を配置する工程と、真空を導入することによって真空プレートに物体を取り付ける工程とを備える方法。
【００１１】
本発明は、添付図面に関して記述された以下の詳細な説明からより完全に理解される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
各種図面は一定の尺度では描かれていないことに留意されたい。さらに、説明を単純にするため、一部の図面は、示された要素の一部の特徴を含まない。
プレート（真空プレートとも呼ばれる）は非常に平坦な上面を有し、電気回路などの物体を支持することができる。電気回路は、プリント回路板、複数のプリント回路板の組合せなどであってよい。
【００１３】
真空プレートは、真空プレート上に置かれる物体の大きさおよび形状に応じて形状および大きさが決められた小さな穴を有することができる交換可能なアダプタの後に（の上に）配置される。より小さな物体は、交換可能なアダプタのより小さな領域に分散させられた複数の穴を含む交換可能なアダプタを要求することができる。より小さな大きさの穴は、よりなめらかな下面を有する物体を支持装置が支持するときに使用することができる。穴の大きさとは、その穴断面の１つまたは複数の寸法を指すことに留意されたい。穴の大きさは、穴の面積、円形の穴の直径、スリット形の細長い穴の長さなどを指すことがある。
【００１４】
交換可能なアダプタの穴は、細長い溝穴として、または（部分的に重なり合う）複数の細長い溝穴の組合せとして形成することができる。これらの形状は、これらの穴が覆われていないときにこれらの穴の近くに形成される乱気流によって、真空漏れを低減させる。したがって、このような形状は、真空プレート上に置かれた物体によって覆われていない穴を通した空気漏れを低減させる。
【００１５】
真空プレートおよび交換可能なアダプタは、支持要素（本体とも称される）に取外し可能に（例えばねじによって）接続され、したがって、これらの取外し、ならびに交換可能なアダプタの迅速な交換が可能である。
【００１６】
一群の交換可能なアダプタを提供することができる。交換可能なアダプタは互いに穴の位置が異なることができ、さらにまたはあるいは、穴の大きさが異なることができる。有利には、穴の形状が、交換可能なアダプタごとに異なることができる。
【００１７】
交換可能なアダプタの各々は物体と接触せず、真空プレートの上面ほど平坦である必要がないため、各交換可能なアダプタは真空プレートよりもかなり薄くすることができる。非常に薄い交換可能なアダプタは小さな穴、さらには非常に小さな穴を含むことができる。交換可能なアダプタは、交換可能なアダプタを真空プレートと支持要素の間に配置し、真空プレートを支持要素に締め付ける（または固定する）ことによってまっすぐにすることができる。
【００１８】
物体の形状および大きさに応じて配置され及び大きさが決められた穴を有する交換可能なアダプタを使用することによって、真空漏れを低減させることができ、その結果、エネルギーの節約につながる。さらにまたはあるいは、小さな穴、さらには非常に小さな穴を使用することによって、真空漏れを低減させることができ、その結果、エネルギーの節約につながる。
【００１９】
交換可能なアダプタの穴を物体の形状および大きさに適合させることによって、真空テーブルによって発生するノイズレベルが低減される。
交換可能なアダプタは、ステンレス鋼や他の金属などの耐久性のある材料から製造することができる。交換可能なアダプタは薄く、したがってそれに小さな穴を形成することができる。
【００２０】
有利には、第２の組の穴が、物体が穴の上部に存在するときには層流を可能にし、物体が穴の上部に置かれていない場合には、それらの穴の近傍に（それらの穴を通じた真空漏れを制限するように）乱流を発生させるような形状および大きさに形成される。
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態に基づく検査装置の一部分８の分解図である。
この検査装置は、光学系、画像処理装置、機械式ステージなどを含むことができる。機械式ステージは、真空テーブル、特に支持要素３０に接続することができる。この検査装置は、部分８上に置かれた物体を走査することができる。物体は、真空を含むさまざまな手段によって真空プレート１０に取り付けられる。
【００２２】
真空プレート１０（主真空プレートとも称される）は、平坦な上面と第１の組の穴とを有する。真空プレート１０はさらに、複数のねじ１２を挿入することができる固定用穴を含むことができる。これらのねじは、真空プレート１０および交換可能アダプタ２０を支持要素３０（本体とも称される）に取外し可能に接続するのを助ける。図１はさらに、物体と真空プレート１０の位置を整合させるようになされた位置合せ要素１４を示す。
【００２３】
交換可能アダプタ２０（金属シートとも称される）は、第２の組の穴を構成することができる複数の穴を含む。交換可能アダプタ２０はさらに固定用穴を含むことができる。
真空プレート１０は交換可能アダプタ２０よりも厚く、平坦な下面を有する。支持要素３０は、交換可能アダプタ２０よりもかなり薄く、交換可能アダプタ２０の縁部を支持する（凹み３２の底部に位置する平坦な枠３３などの）平坦な部分を有することができる。交換可能アダプタ２０がこの平坦な部分の上であって真空プレート１０の下の位置に置かれ、真空プレート１０が支持要素３０に締め付けられると、交換可能アダプタ２０は、平坦な上面の平面度に実質的な影響を及ぼすこともなく、まっすぐにされる（ｓｔｒａｉｇｈｔｅｎｅｄ）。
【００２４】
支持要素３０は、（支持要素３０の底部に接続された長方形のプレート４０に画定された吸引口４２などの）複数の吸引口を含む。支持要素３０は、これを通じて空気を吸引することができる１つまたは複数の空洞部３１を有する。交換可能アダプタ２０は、平坦な枠３３上に置かれ、１つまたは複数の空洞部３１を覆う。交換可能アダプタ２０および少なくとも真空プレート１０の一部は、凹み３２の中に位置する。
【００２５】
真空漏れを低減させるため、支持要素３０は、それぞれがそれ自体の真空を受け入れる複数の空洞部を含むことができる。これらの空洞部は、物体の予想される大きさおよび形状に応じた真空を受け入れる。
【００２６】
これらの空洞部からの空気の吸引では、真空プレート１０の第１の組の穴および交換可能アダプタ２０の第２の組の穴を通して空気が吸引される。交換可能アダプタ２０の穴は、真空プレート１０の穴よりも小さく、さらには真空プレート１０の穴よりもかなり小さく、これらの穴を通した全体の空気の流れを制限する。
【００２７】
第２の組の穴は、第１の組の穴の対応する穴よりも実質的に小さい。第２の組の穴と第１の組の穴は少なくとも部分的に重なり合う。
図２ａは、真空プレート１０上に物体が置かれていないときに第２の穴２８の近傍に形成される乱流を示す。これらの乱流は、第２の穴２８を通り抜ける空気流を低減させる。
【００２８】
図２ｂは、物体８の上面と真空プレート１０との間の層状空気流を示す（２本の破線の水平矢印によって示されている）。この流れは、真空プレート１０に対して物体８を保持するのを助ける。
【００２９】
図３ａは、交換可能アダプタ２０における横方向の第２の穴２８の上部に位置決めされた第１のプレートの円形の第１の穴１８を示す。第１の穴１８は第２の穴２８よりもかなり大きく、そのため、第１の穴１８を通った空気流は、より小さな第２の穴２８によって制限される。第２の穴２８は第１の穴１８の中央に位置決めされているが、必ずしもそうでなくてもよい。
【００３０】
図３ｂは、交換可能アダプタ２０における縦方向の第２の穴２８’の上部に位置決めされた第１のプレートの円形の第１の穴１８を示す。第１の穴１８は第２の穴２８’よりもかなり大きく、そのため、第１の穴１８を通った空気流は、より小さな第２の穴２８’によって制限される。第２の穴２８’は第１の穴１８の中央に位置決めされているが、必ずしもそうでなくてもよい。
【００３１】
図３ｃは、交換可能アダプタ２０における一対の縦方向の第２の穴２８”および一対の横方向の第２の穴２８”の上部に位置決めされた第１プレートの円形の第１の穴１８を示す。これらの穴は互いのすぐ近くに位置するが、重なり合ってはいない。これらの穴は、十字形に似た配列で配置されている。第１の穴１８は第２の穴２８”の各々よりもかなり大きく、そのため、第１の穴１８を通った空気流は、より小さな第２の穴２８”によって制限される。
【００３２】
第２の組の穴の全てが同じ形状および大きさを有することができるが、そうでなくてもよく、第２の組の穴はさまざまな形状の穴を含むことができ、さらにまたはあるいは、さまざまな大きさの穴を含むことができる。
【００３３】
第２の組の穴の複数の穴は円の形状を有することができ、細長い溝穴の形状を有することができ、または互いに関してある向きに配置された複数の細長い溝穴の組合せを有することができる。これらの複数の細長い溝穴は、部分的に重なり合って、十字、花などの形状を形成することができる。
【００３４】
（真空プレート１０に形成された）第１の組の穴の大きさは真空プレート１０の厚みに比例し、（交換可能アダプタ２０に形成された）第２の組の穴の大きさは交換可能アダプタ２０の厚みに比例する。交換可能アダプタ２０はかなり薄いため、かなり小さな穴を含むことができる。
【００３５】
交換可能アダプタ２０は、一群の交換可能アダプタの中から、物体の特性に応じて選択することができる。この特性は、物体の大きさ、物体の形状、物体の平面度またはこれらの組合せとすることができる。この特性は、真空プレート１０上への物体の配置に関連した真空条件に影響を及ぼす。例えば、より小さな物体は、真空漏れを制限するために、より少ない数の穴を有する交換可能アダプタを要求し、またはより小さな領域に分散させられた穴を有する交換可能アダプタを必要とし、あるいはより小さな穴を有する交換可能アダプタを必要とすることができる。他の例では、より平坦な下面を有する物体は、より小さな穴を必要とすることができる。これは、より小さな（ｌｏｗｅｒ）空気流によって、そのより平坦な下面に十分な真空を提供することができるためである。
【００３６】
図４は、本発明の一実施形態による方法１００を示す。
方法１００は、複数の穴を含む真空プレートに真空を導入するように適合された真空要素を提供し、真空プレートを通り抜ける空気流を低減させるような形状および大きさに形成された複数の開口（穴）を画定するアダプタを提供する段階１１０から始まる。有利には、このアダプタが交換可能アダプタであり、アダプタの開口が、真空プレートの対応する穴よりも実質的に小さく、開口と対応する穴とが少なくとも部分的に重なり合い、真空プレートがアダプタよりも実質的に厚い。
【００３７】
有利には、複数の開口が円形を有する。
有利には、複数の開口が細長い溝穴の形状を有する。
有利には、複数の開口が、互いに関してある向きに配置された複数の細長い溝穴を含む。
【００３８】
段階１１０に続いて、真空プレート上に物体を配置する段階１２０が実行される。
段階１２０に続いて、真空を導入することによって真空プレートに物体を取り付ける段階１３０が実行される。
【００３９】
図５は、本発明の一実施形態による方法２００を示す。
方法２００は、一群の交換可能アダプタの中から物体の特性に応じて交換可能アダプタを選択する段階２１０から始まる。
【００４０】
有利には、異なる交換可能アダプタが、それらの穴を通じた、異なるレベルの空気流を可能にする。段階２１０は、真空プレート上に物体が置かれた後に物体によって覆われないと予想される交換可能アダプタの穴を通した所望の空気漏れレベルに応じて実行される。
【００４１】
有利には、異なる交換可能アダプタの穴が異なる大きさを有する。段階２１０は、穴の大きさに応じて実行される。
有利には、異なる交換可能アダプタの穴が異なる大きさを有する。選択された交換可能アダプタの穴の大きさは、物体の大きさおよび物体の下面の平面度に反比例する。
【００４２】
有利には、異なる交換可能アダプタの穴が異なる大きさを有する。段階２１０は、真空プレート上に置かれる物体に関連した真空条件に応じて実行される。
有利には、第２の組の穴の複数の穴が円形を有する。
【００４３】
有利には、第２の組の穴の複数の穴が細長い溝穴の形状を有する。
有利には、第２の組の穴の複数の穴が、互いに関してある向きに配置された複数の細長い溝穴を含む。
【００４４】
有利には、第１の組の穴の大きさが真空プレートの厚みに比例し、第２の組の穴の大きさが交換可能アダプタの厚みに比例する。
段階２１０に続いて、選択された交換可能アダプタを真空プレートと支持要素の間に置く段階２２０が実行される。真空プレートは、平坦な上面と第１の組の穴とを含む。支持要素は、これを通して空気が吸引される少なくとも１つの空洞部を含む。選択された交換可能アダプタは第２の組の穴を含む。第２の組の穴は、第１の組の穴の対応する穴よりも実質的に小さい。第２の組の穴と第１の組の穴は少なくとも部分的に重なり合う。真空プレートは交換可能アダプタよりも実質的に厚い。
【００４５】
有利には、その交換可能アダプタから別の交換可能アダプタへの迅速な交換を可能にするように、真空プレートが支持要素に取外し可能に接続される。
有利には、段階２２０が、真空プレートが支持要素に締め付けられたときに、真空プレートによって、選択された交換可能アダプタを、平坦な上面の平面度に実質的に影響を及ぼすことなくまっすぐにすることを含む。
【００４６】
段階２２０に続いて、真空プレート上に物体を置き、第１および第２の組の穴を通して空気を吸引する段階２３０が実行される。
当業者には、請求の発明の趣旨および範囲を逸脱しない本明細書に記載された内容の変形、変更および他の実施態様が思い浮かぶであろう。したがって、本発明は、上記の例示的な説明によっては定義されず、前記特許請求項の趣旨および範囲によって定義される。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態による支持装置の分解図である。
【図２ａ】本発明の一実施形態による真空プレートおよび交換可能なアダプタの一部分の断面図である。
【図２ｂ】本発明の一実施形態による真空プレートおよび交換可能なアダプタの一部分の断面図である。
【図３ａ】本発明の一実施形態による穴を示す図である。
【図３ｂ】本発明の他の実施形態による穴を示す図である。
【図３ｃ】本発明の他の実施形態による穴を示す図である。
【図４】検査装置に物体を取り付ける本発明の一実施形態による方法を示す図である。
【図５】本発明の一実施形態による方法を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
８  検査装置の一部分
１０  真空プレート
１２  ねじ
１４  位置合せ要素
１８  第１の穴
２０  交換可能アダプタ
２８  第２の穴
２８’  第２の穴
２８”  第２の穴
３０  支持要素
３１  支持要素の空洞部
３２  支持要素の凹み
３３  支持要素の平坦な枠
４０  長方形のプレート
４２  吸引口
【図２ａ】
2009028888.tif 000003
【図２ｂ】
2009028888.tif 000004
【図３ａ】
2009028888.tif 000005
【図３ｂ】
2009028888.tif 000006
【図３ｃ】
2009028888.tif 000007
【図４】
2009028888.tif 000008
【図５】
2009028888.tif 000009
【図１】
2009028888.tif 000010
【外国語明細書】
2009028888000001.pdf