(57)【要約】【課題】  レーザ加工用治具において、レーザ光によるダメージを受け難く高寿命とすること。【解決手段】  固体レーザ光Ｌにより加工される被加工物Ｗを載置するレーザ加工用治具１であって、台座部２と、該台座部２上に設置され被加工物Ｗを載置する金属パッド部３と、を備え、該金属パッド部３が、固体レーザ光Ｌの波長以下の面精度を有している。これにより、固体レーザ光Ｌに対する反射率が大幅に向上し、固体レーザ光Ｌの照射によるダメージを受け難くなって高寿命化を図ることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体レーザ光により加工される被加工物を載置するレーザ加工用治具であって、
台座部と、
該台座部上に設置され前記被加工物を載置する金属パッド部と、を備え、
該金属パッド部が、前記固体レーザ光の波長以下の面精度を有していることを特徴とするレーザ加工用治具。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ加工用治具において、
前記金属パッド部が、前記台座部上に貼り付けられた金属箔であることを特徴とするレーザ加工用治具。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のレーザ加工用治具において、
前記金属パッド部が、Ａｌ，Ａｇ又はＣｕ系の金属材料で形成されていることを特徴とするレーザ加工用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体レーザ光を用いて被加工物を加工する際に被加工物を載置するレーザ加工用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＹＡＧレーザ光等を用いて被加工物を加工する場合、被加工物を吸着固定する治具が用いられている。例えば、特許文献１に示すように、半導体ウェハである被加工物を接着して固定する固定シート部材と、該固定シート部材を載置して吸着固定する載置台と、を備えたレーザ加工装置が提案されている。このレーザ加工装置では、レーザ光の透過率の高いガラス等の材料で固定シート部材を形成していると共に、Ｃｕ（銅）やＡｌ（アルミニウム）等のレーザ光を反射する材質で載置台を形成している。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１６４５３５号公報（段落番号００３６〜００４０）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の技術においても、以下の課題が残されている。
すなわち、上記特許文献１に記載の技術では、レーザ光を反射する材質としてＣｕやＡｌ等の金属材料を載置台に採用しているが、被加工物及び固定シート部材を貫通したレーザ光が載置台に照射されると、反射率の高い金属材料で形成されていてもダメージを受けて凹凸が生じてしまい、繰り返しの使用で生じたダメージによる凹凸によって吸着が効かなくなってしまう不都合があった。このため、吸着不良によるレーザ加工機械の停止が頻繁に起こり、レーザ加工の生産性が低下してしまうと共に、寿命が短い載置台を頻繁に交換する必要があり、メンテナンス性に劣るという問題があった。
【０００５】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、レーザ光によるダメージを受け難く高寿命であるレーザ加工用治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明のレーザ加工用治具は、固体レーザ光により加工される被加工物を載置するレーザ加工用治具であって、台座部と、該台座部上に設置され前記被加工物を載置する金属パッド部と、を備え、該金属パッド部が、前記固体レーザ光の波長以下の面精度を有していることを特徴とする。
【０００７】
このレーザ加工用治具では、金属パッド部が固定レーザ光の反射率が顕著に高くなる固体レーザ光の波長以下の面精度を有しているので、固体レーザ光の反射率が大幅に向上し、固体レーザ光の照射によるダメージを受け難くなって高寿命化を図ることができる。
【０００８】
また、本発明のレーザ加工用治具は、前記金属パッド部が、前記台座部上に貼り付けられた金属箔であることを特徴とする。すなわち、このレーザ加工用治具では、金属パッド部が高い面精度を容易に得ることが可能な金属箔であるので、高反射率化と部材コストの低減化とを図ることができる。
【０００９】
また、本発明のレーザ加工用治具は、前記金属パッド部が、Ａｌ（アルミニウム），Ａｇ（銀）又はＣｕ（銅）系の金属材料で形成されていることを特徴とする。すなわち、このレーザ加工用治具では、金属パッド部が、金属材料の中でも固体レーザ光の波長に対する反射率が高いＡｌ，Ａｇ又はＣｕ系の金属材料で形成されているので、より高い反射率が得られ、寿命を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明のレーザ加工用治具によれば、金属パッド部が固体レーザ光の波長以下の面精度を有しているので、固体レーザ光に対する反射率が大幅に向上し、固体レーザ光の照射によるダメージを受け難くなって高寿命化を図ることができる。このため、吸着エラーによる機械停止が起こり難くなり、レーザ加工の生産性を向上させることができると共に、部品の交換頻度が少なくなり、装置のメンテナンスも容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係るレーザ加工用治具の一実施形態を、図１を参照しながら説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能又は認識容易な大きさとするために縮尺を適宜変更している。
【００１２】
本実施形態におけるレーザ加工用治具１は、図１に示すように、固体レーザ光Ｌにより加工される被加工物Ｗを載置するレーザ加工用治具であって、台座部２と、該台座部２上に設置され被加工物Ｗを載置する金属パッド部３と、を備えている。
上記固体レーザ光Ｌは、例えば固体レーザであるＮｄ：ＹＡＧレーザ、Ｎｄ：ＹＬＦレーザ又はＮｄ：ＹＶＯ４レーザ等の基本波又は該基本波の高調波が採用される。
【００１３】
上記被加工物Ｗは、例えばセラミックス、合金又は樹脂等で形成されたワークである。
上記台座部２は、被加工物Ｗの載置面が平坦面とされ、複数の吸引孔２ａが載置面に開口して形成されたワークホルダーである。上記複数の吸引孔２ａは、ポンプ等の吸引源（図示略）に接続されている。また、この台座部２は、熱伝導率の高い金属又は合金で形成されることが好ましく、例えばＣｕ系の金属材料で形成されている。
【００１４】
上記金属パッド部３は、台座部２上にアクリル系樹脂等の粘着剤からなる粘着層４で貼り付けられている。
該金属パッド部３は、固体レーザ光Ｌの波長以下の面精度（凹凸の最高点から最低点までの高低差）を有しているＡｌ，Ａｇ又はＣｕ系の金属材料で形成された金属箔である。なお、金属パッド部３を構成する金属材料としては、反射率が低下する場合があるため、合金でない方が好ましい。
本実施形態では、例えば、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの基本波（波長１０６４ｎｍ）を固体レーザ光Ｌとして採用し、１μｍ以下の面精度にまで表面が研磨されている。
【００１５】
また、上記金属パッド部３及び粘着層４には、各吸引孔２ａに個別に連通した複数の貫通孔３ａが形成されている。
金属パッド部３の厚さは、例えば５〜１００μｍ程度に設定され、粘着層４の厚さは、例えば５〜５０μｍ程度に設定される。
このレーザ加工用治具１では、レーザ加工の繰り返しのレーザ加工により金属パッド部３の表面に凹凸ができ、吸着不良が発生した場合、金属パッド部３を粘着層４から剥がして新しいものと交換する。なお、金属パッド部３は、粘着層４を用いずに台座部２から分離可能な構造として着脱可能に取り付けても構わない。
【００１６】
このように本実施形態のレーザ加工用治具１では、金属パッド部３が固体レーザ光Ｌの反射率が顕著に高くなる固体レーザ光Ｌの波長以下の面精度を有しているので、固体レーザ光Ｌの反射率が大幅に向上し、固体レーザ光Ｌの照射によるダメージを受け難くなって高寿命化を図ることができる。
【００１７】
特に、金属パッド部３が、金属材料の中でも固体レーザ光Ｌの波長（約１μｍ以下）に対する反射率が高いＡｌ，Ａｇ又はＣｕ系の金属材料で形成されているので、より高い反射率が得られ、寿命を向上させることができる。
また、金属パッド部３が高い面精度を容易に得ることが可能な金属箔であるので、高反射率化と部材コストの低減化とを図ることができる。
【実施例】
【００１８】
次に、本発明に係るレーザ加工用治具を、実施例により図２を参照して具体的に説明する。
【００１９】
上記本実施形態のレーザ加工用治具１を用いて、金属パッド部３の面粗さ（面精度）と反射率及び被加工物Ｗの吸着エラー発生までの加工ワーク（被加工物）数とについて実際にレーザ加工を行って調べた結果を図２に示す。なお、固体レーザ光Ｌとしては、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの基本波である波長１０６４ｎｍのレーザ光を用いた。
【００２０】
この図からわかるように、金属パッド部３の面粗さ（面精度）が１μｍ以下では、８５％以上の高い反射率を得ていると共に、吸着エラー発生までの加工ワーク数が大幅に多くなっていることがわかる。すなわち、面精度１μｍ以下の金属パッド部３では、非常に高い反射率であるため、１つの金属パッド部３で交換せずに多くのレーザ加工を繰り返し行うことができ、高い寿命を有していることがわかる。
【００２１】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係るレーザ加工用治具の一実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明に係るレーザ加工用治具の実施例において、金属パッド部の面粗さ（面精度）と反射率及び被加工物の吸着エラー発生までの加工ワーク数との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００２３】
１…レーザ加工用治具、２…台座部、３…金属パッド部、４…粘着層、Ｌ…固体レーザ光、Ｗ…被加工物
【図１】
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【図２】
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