(57)【要約】【課題】加速度等の大きさに関する錘の作用を向上させ、小型で高いセンサ感度を発揮するＳＡＷＳＡＷセンサを実現する。【解決手段】ＳＡＷセンサ１１は、厚板支持部１６ａとそれから延長する薄板部１６ｃとその反対側に設けられた厚板部１６ｂとを有する圧電基板１４にＳＡＷ共振子１５を形成したＳＡＷセンサ素子１３を、ベース１２に厚板支持部を接着剤１７で固定して片持ちに支持する。圧電基板の厚板部上下面には、厚板部から支持部側に向けて延出する部分を有する錘２１，２２が一体に接合されている。錘と厚板部との接合部は、圧電基板の長さ方向に厚板部の長さの１／２以上の長さを有し、かつその中心位置が厚板部の中心よりも遠い側に位置するように設ける。【選択図】図１
2009243983.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部、前記支持部から延長する薄板部、及び前記薄板部を挟んで前記支持部の反対側に設けられた厚板部を有する圧電基板と、前記圧電基板の前記薄板部上に形成され、弾性表面波（ＳＡＷ）を励振するためのＩＤＴと、前記圧電基板の前記厚板部の上面及び下面の少なくとも一方に一体に接合した錘とを備え、
前記薄板部及び前記厚板部を浮かせて前記支持部をベースに固定して、前記厚板部が前記薄板部を撓ませながら変位し得るように、前記圧電基板を支持すると、前記ＳＡＷの振動変位の向きと前記厚板部の変位による前記薄板部の撓みによって該薄板部表面に生じる引張応力又は圧縮応力の作用方向とが整合するように、前記ＩＤＴが配置され、
前記錘が、前記厚板部から前記支持部側に向けて延出する部分を有することを特徴とする弾性表面波センサ素子。
【請求項２】
前記圧電基板が矩形平板状をなし、その一方の長さ方向端部に前記支持部を、他方の長さ方向端部に前記厚板部を、前記支持部と前記厚板部との間に前記薄板部を有することを特徴とする請求項１記載の弾性表面波センサ素子。
【請求項３】
前記圧電基板が矩形平板状をなし、その両方の長さ方向端部にそれぞれ前記支持部を、長さ方向の中央に前記厚板部を、前記各支持部と前記厚板部との間にそれぞれ前記薄板部を有し、前記各薄板部にそれぞれ前記ＩＤＴを配置したことを特徴とする請求項１記載の弾性表面波センサ素子。
【請求項４】
前記圧電基板が矩形平板状をなし、その中央に前記支持部を、外周に沿って矩形枠状の前記厚板部を、前記支持部と前記厚板部との間に前記薄板部を有し、前記薄板部に前記圧電基板の縦横各辺の中心線に沿って前記ＩＤＴを配置したことを特徴とする請求項１記載の弾性表面波センサ素子。
【請求項５】
前記錘と前記厚板部との接合部が、前記薄板部が前記支持部から延長する方向を長さ方向として、前記厚板部の長さの１／２以上の長さを有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の弾性表面波センサ素子。
【請求項６】
前記錘と前記厚板部との接合部が、前記薄板部が前記支持部から延長する方向において、その中心位置を前記厚板部の中心位置よりも遠い側に配置したことを特徴とする請求項２又は４記載の弾性表面波センサ素子。
【請求項７】
前記錘と前記厚板部との接合体の重心位置を、前記圧電基板の厚さ方向において前記薄板部の中心位置に一致させたことを特徴とする請求項２記載の弾性表面波センサ素子。
【請求項８】
前記錘と前記厚板部との接合体の重心位置を、前記圧電基板の厚さ方向において前記薄板部の中心位置からずらしたことを特徴とする請求項３又は４記載の弾性表面波センサ素子。
【請求項９】
前記錘の延出する部分が、少なくとも部分的に前記圧電基板の平面方向の外側に配置されることを特徴とする請求項２又は３記載の弾性表面波センサ素子。
【請求項１０】
前記ＩＤＴが弾性表面波共振子を構成するように、前記ＳＡＷ伝搬方向に沿って前記ＩＤＴの両側に配置した反射器を更に有することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか記載の弾性表面波センサ素子。
【請求項１１】
前記ＩＤＴが、弾性表面波フィルタを構成するように少なくとも２つの交差指電極対からなることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか記載の弾性表面波センサ素子。
【請求項１２】
請求項１乃至１１のいずれかに記載の弾性表面波センサ素子と、前記弾性表面波素子を前記圧電基板の前記支持部において固定支持するためのベースとを備えることを特徴とする請弾性表面波センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電基板上に形成したＩＤＴ（すだれ状トランスデューサ）により励振される弾性表面波（ＳＡＷ）を利用して、加速度、外力、変位等を検出する弾性表面波センサ及びそれに使用するための弾性表面波センサ素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＳＡＷを利用して加速度、外力又は変位等を測定する様々なセンサが提案されている。例えば、圧電材料からなる長板状のビームを片持ちに支持し、該ビームの表裏両面にそれぞれＳＡＷを励振する送信電極及び受信電極と増幅器とからなる発振器を設けた構成の外力センサが知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
この外力センサは、前記ビームが外力の作用により撓むと、その表面に生じた歪みによりＳＡＷの伝搬速度が変化して両発振器の発振周波数が変化するので、それら発振周波数の差をローパスフィルタで取り出して、外力の大きさを測定する。前記外力センサのビームは、外力を効率良く歪に変換するために、先端部の両面に２個の直方体状のおもりが接着されている。更に特許文献１には、ビームを両端で保持し、かつその中央部におもりを接着した外力センサが記載されている。
【０００４】
また、水晶基板からなるカンチレバーの上下各面にＳＡＷ共振器を形成し、かつ該カンチレバーの一端を固定しかつ他端をフリーにして重りを装着し、該ＳＡＷ共振器の形成面に伸び歪み又は圧縮歪みを生じさせるようにした傾斜センサが知られている（例えば、特許文献２を参照）。同様に、片持ち梁形状の感知部材の両面にＳＡＷ共振器を構成し、該感知部材の一端を支持しかつ他端に重りを装着して、加速度や傾斜角を測定可能にした外力測定器が知られている（例えば、特許文献３を参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平２−２２８５３０号公報
【特許文献２】特開平５−１４１９６９号公報
【特許文献３】特開平９−３１８４６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図１１（Ａ）、（Ｂ）は、加速度センサとして使用される従来の一般的なＳＡＷセンサの構成を例示している。このＳＡＷセンサ１は、水平なベース２に支持されたＳＡＷセンサ素子３を備える。ＳＡＷセンサ素子３は、水晶等からなる矩形平板状の圧電基板４とその上側主面に形成されたＳＡＷ共振子５とを有する。圧電基板４は、一方の長さ方向端部４ａ側に厚板支持部６ａと、反対側の長さ方向端部４ｂ側に厚板部６ｂと、それらの間の中央領域の下面に凹部を形成して設けた薄板部６ｃとを有する。ＳＡＷセンサ素子３は、圧電基板４の厚板支持部６ａをベース２に接着剤７で固定しかつ厚板部６ｂ及び薄板部６ｃをベース２にから浮かせて、概ね水平に片持ちに支持される。
【０００７】
ＳＡＷ共振子５は、ＳＡＷ伝搬方向に沿って１対の交差指電極８ａ，８ｂからなるＩＤＴ８とその両側に各１つの反射器９，９とを有する。ＩＤＴ８及び反射器９，９は、該ＩＤＴにより励振するＳＡＷの伝搬方向を圧電基板４の長さ方向に整合させて配置されている。ＩＤＴ８の交差指電極８ａ，８ｂは、それぞれバスバーから引き出した配線を介して厚板支持部６ａ上の電極パッド１０ａ，１０ｂに接続されている。
【０００８】
ＳＡＷセンサ素子３の主面に関して垂直下向きに加速度が作用すると、自由端側の厚板部６ｂが錘として、薄板部６ｃを下方へ撓ませながら下向きに変位する。これにより、薄板部６ｃの上側主面には、圧電基板４の長さ方向に引張応力が発生し、下面には圧縮応力が発生する。加速度が逆向きに作用すると、厚板部６ｂが薄板部６ｃを上方へ撓ませながら上向きに変位する。これにより、薄板部６ｃの上側主面には、前記圧電基板の長さ方向に圧縮応力が発生し、下面には引張応力が発生する。薄板部６ｃ上側主面の引張又は圧縮応力によるＳＡＷ伝搬速度の変化が、ＳＡＷセンサ１から出力される発振周波数の変化として検出され、それを演算処理して外力Ｆの大きさ及び／又は向きを測定する。
【０００９】
同じ大きさの加速度に対する薄板部６ｃの撓みが大きいほど、ＳＡＷセンサの感度は高くなる。そのためには、錘の質量を大きくする必要があるが、上記特許文献に記載されるような直方体状の錘では、その厚さ方向、長さ方向及び／又は幅方向の寸法が大きくなって、ＳＡＷセンサ素子及びセンサ全体が大型化するという問題を生じる。
【００１０】
そこで本発明は、かかる知見に基づいてなされたものであり、その目的は、測定しようとする物理量、例えば加速度、外力、変位等の大きさに関する錘の作用を向上させて、できる限り小型で高いセンサ感度を発揮し得るＳＡＷセンサ素子、及びそれを用いたＳＡＷセンサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によれば、上記目的を達成するために、支持部、該支持部から延長する薄板部、及び該薄板部を挟んで支持部の反対側に設けられた厚板部を有する圧電基板と、該圧電基板の薄板部上に形成され、ＳＡＷを励振するためのＩＤＴと、圧電基板の厚板部の上面及び下面少なくとも一方に一体に接合した錘とを備え、薄板部及び厚板部を浮かせて支持部をベースに固定して、厚板部が薄板部を撓ませながら変位し得るように、圧電基板を支持すると、ＳＡＷの振動変位の向きと厚板部の変位による薄板部の撓みによって該薄板部表面に生じる引張応力又は圧縮応力の作用方向とが整合するように、ＩＤＴが配置され、錘が厚板部から支持部側に向けて延出する部分を有するＳＡＷセンサ素子が提供される。
【００１２】
このように錘を設けることによって、ＳＡＷセンサ素子の寸法を薄板部の延長方向及び圧電基板の厚さ方向に過大にすることなく、錘の質量を大きくすることができる。ＳＡＷセンサ素子に加速度や外力等が作用すると、圧電基板の厚板部と錘とが一体となって変位することにより、薄板部をより大きく撓ませて、その表面により大きな引張応力又は圧縮応力を発生させるので、センサ感度が向上する。更に、錘の延出部分に作用する力が、錘と厚板部との接合部を支点としてモーメントを発生させるので、薄板部にはより大きな力が作用することになる。この結果、ＳＡＷセンサ素子を不必要に大型化することなく、センサ感度を大幅に向上させることができ、小型で高感度なＳＡＷセンサが実現される。
【００１３】
或る実施例では、圧電基板が、一方の長さ方向端部に支持部を、他方の長さ方向端部に厚板部を、支持部と厚板部との間に薄板部を有する矩形平板状をなすことにより、圧電基板の主面に垂直な方向に作用する加速度等を検出する１軸方向のＳＡＷセンサに適した高感度なＳＡＷセンサ素子が得られる。
【００１４】
別の実施例では、圧電基板が、両方の長さ方向端部にそれぞれ支持部を、長さ方向の中央に厚板部を、各支持部と厚板部との間にそれぞれ薄板部を有する矩形平板状をなし、各薄板部にそれぞれＩＤＴを配置することにより、圧電基板の主面に垂直な方向及び長さ方向に作用する加速度等を検出する２軸方向のＳＡＷセンサに適した高感度なＳＡＷセンサ素子が得られる。
【００１５】
更に別の実施例では、圧電基板が、その中央に支持部と、外周に沿って矩形枠状の厚板部と、支持部と厚板部との間に薄板部を有する矩形平板状をなし、薄板部に圧電基板の長さ方向及び幅方向の中心線に沿って複数のＩＤＴを配置することにより、圧電基板の主面に垂直な方向、長さ方向及び幅方向に作用する加速度等を検出する３軸方向のＳＡＷセンサに適した高感度なＳＡＷセンサ素子が得られる。
【００１６】
或る実施例では、錘と厚板部との接合部が、薄板部の延長方向を長さ方向として、厚板部の長さの１／２以上の長さを有することにより、同じ質量の錘について薄板部により大きな力を作用させることができ、センサ感度が更に向上する。
【００１７】
別の実施例では、錘と厚板部との接合部が、薄板部の延長方向において、その中心位置を厚板部の中心位置よりも遠い側に配置することにより、同じ質量の錘について薄板部により大きな力を作用させることができ、センサ感度が更に向上する。
【００１８】
或る実施例では、錘と厚板部との接合体の重心位置を、圧電基板の厚さ方向において薄板部の中心位置に一致させることにより、圧電基板に対して薄板部の延長方向に作用する加速度等の感度を無くし又は低下させることができる。従って、これを１軸方向のＳＡＷセンサに適用した場合に、圧電基板の主面に垂直な方向に作用する加速度等をより高精度に検出することができる。
【００１９】
別の実施例では、錘と厚板部との接合体の重心位置を、圧電基板の厚さ方向において薄板部の中心位置からずらすことにより、圧電基板の主面に垂直な方向の感度だけでなく、薄板部の延長方向に作用する加速度等の感度を向上させることができる。従って、これを２軸方向のＳＡＷセンサに適用した場合に、圧電基板に対して薄板部の延長方向に作用する加速度等をより高精度に検出することができる。また、これを３軸方向のＳＡＷセンサに適用した場合には、圧電基板の平面において薄板部の延長方向及びそれに直交する向きに作用する加速度等をより高精度に検出することができる。
【００２０】
また、別の実施例では、錘の延出部分が、少なくとも部分的に圧電基板の平面方向にその外側に配置されることにより、該錘の延出部分が、大きく振れても、圧電基板や該圧電基板に接続されたボンディングワイヤに接触又は衝突する虞が無い。従って、非常に大きな加速度や力が作用しても、圧電基板や錘が損傷したり破損する虞が無く、衝撃等に対して強い耐久性を有するＳＡＷセンサが実現される。しかも、錘の寸法を圧電基板の平面方向に大きくとることにより、錘の質量を大きくできるので、ＳＡＷセンサ素子の厚さ方向の寸法を大きくすることなく、センサ感度を更に高めることができる。
【００２１】
或る実施例では、ＩＤＴがその両側にＳＡＷ伝搬方向に沿って配置した反射器と共に、ＳＡＷ共振子を構成する。また、ＩＤＴは少なくとも２つの交差指電極対からなり、ＳＡＷフィルタを構成することができる。
【００２２】
本発明の別の側面によれば、上述した本発明のＳＡＷセンサ素子と、これを圧電基板の支持部において固定支持するためのベースとを備えるＳＡＷセンサが提供される。これにより、できる限り小型で高いセンサ感度を発揮し得るＳＡＷセンサが実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、添付図面を参照しつつ、本発明の好適な実施例を詳細に説明する。各図において、同一又は類似の構成要素には、同一又は類似の参照符号を付して表示する。
【００２４】
図１（Ａ）、（Ｂ）は、本発明によるＳＡＷセンサの第１実施例の構成を概略的に示している。本実施例のＳＡＷセンサ１１は、水平なベース１２に支持されたＳＡＷセンサ素子１３を備える。ＳＡＷセンサ素子１３は、例えば水晶材料からなる矩形平板状の圧電基板１４と、その上側主面に形成されたＳＡＷ共振子１５とを有する。
【００２５】
圧電基板１４は、一方の長さ方向端部１４ａに厚板支持部１６ａを、反対側の長さ方向端部１４ｂに厚板部１６ｂを、それらの間の中央領域に下面に凹部を形成して設けた薄板部１６ｃを有する。ＳＡＷセンサ素子１３は、圧電基板１４の厚板支持部１６ａをベース１２に接着剤１７で固定して、概ね水平に片持ちに支持される。これにより厚板部１６ｂは、薄板部１６ｃと共にベース１２から浮かせて、かつ前記薄板部を撓ませるように上下に変位可能な状態に保持される。本実施例では、厚板支持部１６ａを厚板部１６ｂと同じ厚さに形成したが、異なる厚さに例えば薄板部１６ｃと同じ厚さにすることもでき、別個の支持部材を用いてベース１２に固定することができる。
【００２６】
ＳＡＷ共振子１５は、圧電基板１４の薄板部１６ｃの上側主面に形成される。前記ＳＡＷ共振子は、１対の交差指電極１８ａ，１８ｂからなるＩＤＴ１８と、その両側にそれぞれ反射器９，９とを、該ＩＤＴにより励振されるＳＡＷの伝搬方向に沿って有する。前記ＩＤＴは、圧電基板１４の長さ方向にＳＡＷ伝搬方向を整合させて配置する。従って、ＳＡＷの振動変位の向きは、厚板部１６ｂの変位により薄板部１６ｃが撓んだときに該薄板部表面に生じる引張応力又は圧縮応力の作用方向と一致する。ＩＤＴ１８の各交差指電極１８ａ，１８ｂは、それぞれバスバーから引き出した配線を介して厚板支持部１６ａ上の電極パッド２０ａ，２０ｂに接続されている。
【００２７】
厚板部１６ｃの上面及び下面には、それぞれ矩形平板状の錘２１，２２が接着剤２３，２４で一体に接合されている。錘２１，２２は、その厚板支持部１６ａとは反対側の端部を厚板部１６ｂの長手方向端部１４ｂに揃えて配置し、前記圧電基板の長さ方向に沿って該厚板部から前記厚板支持部側へ延出する部分を有する。これにより、ＳＡＷセンサ素子１３の長さ寸法を大きくすることなく、厚さ及び幅寸法を僅かに大きくするだけで、前記錘と厚板部とを合計した錘全体の質量を大幅に増加させることができる。本実施例では、前記各錘の延出部分が、該厚板部の長さと略同じ長さを有し、薄板部１６ｃの上面及び下面と僅かな空隙を挟んで対向しつつその中央位置を越えて延出している。
【００２８】
錘２１，２２は、同一の形状及び寸法を有し、同じ材料で同じ重さに形成されている。前記錘は、その質量に対して寸法をできり限り小さくするように、金属材料のように高密度な材料で形成することが好ましい。別の実施例では、例えば低融点ガラス、はんだ等の金属ろう材、金属バンプのような接着剤以外の接合手段を用いて、又は、水晶と金属との陽極接合、金属接合材を介在させた超音波接合、スポット溶接、共晶接合、若しくは金属間化合物形成接合、水晶からなる錘との直接接合等、従来から公知の様々な方法を用いて、前記錘と厚板部とを接合することができる。
【００２９】
圧電基板１４の長さ方向、幅方向及び厚さ方向をそれぞれＸ，Ｙ，Ｚ方向として、加速度等による外力がＺ方向に、該圧電基板の主面に関して垂直下向きに作用する場合を考える。ＳＡＷセンサ素子１３は、厚板部１６ｂと錘２１，２２との接合体が一体となって下向きに変位し、薄板部１６ｃを下方へ大きく撓ませる。更に、錘２１，２２の前記延出部分に作用する力が、前記錘と厚板部との接合部を支点としてモーメントを発生させるので、前記薄板部にはより大きな力が作用し、より大きな撓みを生じさせる。
【００３０】
これにより、前記薄板部の上側主面には、圧電基板１４の長さ方向即ちＸ方向に引張応力が発生し、かつ下面には圧縮応力が発生する。外力が逆向きに前記圧電基板の主面に関して垂直上向きに作用すると、ＳＡＷセンサ素子１３は、同様に厚板部１６ｂと錘２１，２２との接合体が一体となって上向きに変位し、薄板部１６ｃを上方へ大きく撓ませる。これにより、前記薄板部の上側主面には、圧電基板１４の長さ方向即ちＸ方向に圧縮応力が発生し、かつ下面には引張応力が発生する。尚、厚板部１６ｂの上下表面に、実質的に薄板部１６ｃの撓みに影響するような引張又は圧縮応力は発生しない。
【００３１】
薄板部１６ｃの上側主面を伝搬するＳＡＷの速度は、該主面に発生する引張応力又は圧縮応力及びその大きさにより変化する。ＳＡＷセンサ１１は、図示しない発振回路によりＳＡＷ共振子１５の共振周波数に基づく所定の周波数を発振させる。ＳＡＷセンサ素子１３に外力が全く作用しない無負荷状態における発振周波数を基準として、外力が作用している負荷状態での発振周波数との差分（及び／又は和分）を取り出して演算処理することにより、作用した外力の大きさ及び／又は向きが測定される。
【００３２】
本願発明者は、図１のＳＡＷセンサ素子１３において、同じ大きさの加速度が作用した場合に、薄板部１６ｃの撓みによりその上側表面に生じる最大応力を錘２１，２２の長さ寸法に関連してシミュレーションした。圧電基板１４の全長４mm、幅１．１mm、厚板部１６ｂの長さを１．３mm、厚板支持部１６ａの長さを１mmに設定した。その結果を図２に示す。同図から、前記錘の長さ寸法が厚板部１６ｂよりも長くなって、薄板部１６ｃの範囲に延出するに連れて、最大応力が大きくなり、それだけセンサ感度が向上することが確認された。
【００３３】
また、本実施例では、錘２１，２２は、厚板部１６ｂとの接合部即ち接着剤２３，２４の長さ寸法が、該厚板部の長さ寸法に対して１／２を超える割合に、より具体的には約２／３に設定される。本願発明者は、図１のＳＡＷセンサ素子１３において、同じ大きさの加速度が作用した場合に、薄板部１６ｃの撓みによりその上側表面に生じる最大応力を、厚板部１６ｂに対する前記接合部の長さ寸法比に関連してシミュレーションした。尚、前記接合部は、その中心位置を長さ方向に厚板部１６ｂの中心に一致させて配置した。
【００３４】
その結果を図３に示す。同図から、前記長さ方向において厚板部１６ｂに対する前記接合部の割合が大きくなるほど、最大応力が大きくなり、それだけセンサ感度が向上することが確認された。そして、得られた最大応力の値から判断して、前記接合部の長さ寸法を厚板部の長さ寸法の１／２以上に設定することが好ましい。特に、厚板部の全面で前記錘を接合すると最も好ましいことが分かる。
【００３５】
更に本願発明者は、図１のＳＡＷセンサ素子１３において、同じ大きさの加速度が作用した場合に、薄板部１６ｃの撓みによりその上側表面に生じる最大応力が、接合部の厚板部上における長さ方向の位置によってどのように変化するかをシミュレーションした。図４は、上述したように接合部の厚板部１６ｂとの長さ寸法比を約２／３に設定し、長手方向端部１４ｂ側において前記接合部の端部を厚板部１６ｂの端部に揃えた場合を■点で、長さ方向に前記接合部の中心位置を前記厚板部の中心に一致させた場合を●点で、薄板部１６ｃ側において前記接合部の端部を前記厚板部の端部に揃えた場合を▲点で、それぞれ示している。同図から、前記接合部を自由端側に、即ちその中心位置を前記厚板部の中心位置よりも遠い側に配置するほど、最大応力が大きくなり、それだけセンサ感度が向上することが確認された。
【００３６】
図５（Ａ）、（Ｂ）は、第１実施例の変形例によるＳＡＷセンサの構成を概略的に示している。本実施例のＳＡＷセンサ３１は、圧電基板１４の厚板部１６ｂの下面に接合された錘３２が、上面側の錘２１よりも薄くかつ長さ寸法の短い矩形平板からなる。これにより、Ｚ軸方向即ち圧電基板１４の主面に関して垂直方向に、前記厚板部と錘２１，３２との接合体の重心位置Ｐ１が、薄板部１６ｃの厚さ中心と一致するように調整される。
【００３７】
図１の実施例では、厚板部１６ｂの上下各面に同じ形状、寸法、質量の錘２１，２２を接合したので、それらの接合体の重心位置が薄板部１６ｃの厚さ中心と一致せず、それより下側にくると思われる。そのため、Ｘ軸方向即ち圧電基板１４の長さ方向に作用する加速度によって、厚板部１６ｂが薄板部１６ｃを撓ませるように変位する虞がある。本実施例によれば、このようなＸ軸方向の他軸感度を実質的に解消し又は少なくとも改善することができる。従って、より高精度な一軸方向のＳＡＷセンサが実現される。
【００３８】
図６（Ａ）〜（Ｃ）は、第１実施例の別の変形例によるＳＡＷセンサの構成を概略的に示している。本実施例のＳＡＷセンサ４１は、圧電基板１４の厚板部１６ｂの上面に平面コ字形の錘４２が接合され、かつ前記厚板部下面の錘は省略されている。錘４２は、前記厚板部上面に接合された中央部４２ａと、該中央部から圧電基板１４の幅方向両側にその外側へ張り出した側部４２ｂ，４２ｂとを有する。両側部４２ｂ，４２ｂは、それぞれ圧電基板１４の側辺に沿って長さ方向に、薄板部１６ｃを越えて長さ方向端部１４ａの先まで延出している。別の実施例では、錘４２の側部４２ｂ，４２ｂを反対側に、即ち圧電基板１４の長さ方向端部１４ｂにより先に延出させることができる。
【００３９】
錘４２は、図１の第１実施例のように圧電基板１４の上側主面に対向する部分が無いので、その両側部４２ｂ，４２ｂが大きく振れても、前記圧電基板や該圧電基板のボンディングパッド２０ａ，２０ｂに接続されたボンディングワイヤ４３，４３に接触又は衝突する虞が無い。従って、非常に大きな加速度や力が作用しても、圧電基板や配線、錘が損傷したり破損する虞が無いので、衝撃等に対する耐久性に優れたＳＡＷセンサが実現される。しかも、錘４２の側部４２ｂ，４２ｂに作用する力が、前記厚板部に接合された中央部４２ａ側を支点としてモーメントを発生させるので、前記薄板部にはより大きな力が作用し、より大きな撓みを生じさせる。このように錘４２の寸法を圧電基板の平面方向に大きくとることにより、ＳＡＷセンサ素子１３の厚さ方向の寸法を大きくすることなく、センサ感度を更に高めることができる。
【００４０】
更に本実施例の錘４２は、図６（Ｃ）に示すように、両側部４２ｂ，４２ｂが圧電基板１４の下面よりも下側に厚く形成されている。これにより、Ｚ軸方向即ち圧電基板１４の主面に関して垂直方向に、前記厚板部と錘２１，４２との接合体の重心位置Ｐ２を、薄板部１６ｃの厚さ中心と一致するように調整することができる。従って、Ｘ軸方向の他軸感度、圧電基板１４の長さ方向に作用する加速度に対する感度を実質的に解消し又は少なくとも改善することができ、より高精度な一軸方向のＳＡＷセンサが実現される。
【００４１】
図７（Ａ）は、第１実施例の圧電基板１４の変形例を示している。本実施例の圧電基板は、厚板部１６ｂの下面に形成された凹部１４ｃを有する。図示していないが、前記厚板部下面に接合する錘の接合面には、凹部１４ｃに対応する形状寸法の凸部が設けられる。この凸部を凹部１４ｃに嵌合することにより、前記錘を厚板部１６ｂ下面の所望の位置に正確に位置決めすることができる。これにより、ＳＡＷセンサの製造において、作業効率を改善しかつ歩留まりを向上させ、量産性を高めることができる。また、厚板部１６ｂの上面に錘を接合する場合には、該上面に前記凹部を設けることができる。
【００４２】
図８（Ａ）、（Ｂ）は、本発明によるＳＡＷセンサの第２実施例の構成を概略的に示している。本実施例のＳＡＷセンサ５１は、加速度等の外力をＺ方向、Ｘ方向の２軸方向に検出するためのもので、水平なベース５２に支持されたＳＡＷセンサ素子５３を備える。ＳＡＷセンサ素子５３は、例えば水晶材料からなる矩形平板状の圧電基板５４と、その上側主面に形成された２つのＳＡＷ共振子５５１，５５２とを有する。
【００４３】
圧電基板５４は、両方の長さ方向端部５４ａ，５４ｂにそれぞれ厚板支持部５６ａ，５６ａを、長さ方向の中央に厚板部５６ｂを、該厚板部と前記各厚板支持部との間にそれぞれ下面に凹部を形成して設けた薄板部５６１ｃ，５６２ｃを有する。ＳＡＷセンサ素子５３は、前記圧電基板の厚板支持部５６ａ，５６ａをベース５２にそれぞれ接着剤５７，５７で固定して、概ね水平に支持される。厚板部５６ｂは、両薄板部５６１ｃ，５６２ｃと共にベース５２から浮かせて、かつ前記両薄板部を撓ませるように変位可能な状態に保持される。各厚板支持部５６ａ，５６ａは、必ずしも前記厚板部と同じ厚さに形成しなくても良く、異なる厚さに例えば前記薄板部と同じ厚さに形成し、その上下から別個の支持部材で挟むように固定することもできる。
【００４４】
前記圧電基板の各薄板部５６１ｃ，５６２ｃには、それぞれ１つのＳＡＷ共振子５５１，５５２が形成されている。前記ＳＡＷ共振子は、それぞれＳＡＷの伝搬方向に沿って１対の交差指電極からなるＩＤＴ５８１，５８２と、その両側に各１つの反射器５９１，５９１，５９２，５９２とを有する。前記各ＩＤＴは、圧電基板５４の長さ方向にＳＡＷ伝搬方向を整合させて配置する。従って、ＳＡＷの振動変位の向きは、厚板部５６ｂの変位により前記薄板部が撓んだときに該薄板部表面に生じる引張応力又は圧縮応力の作用方向と一致する。ＩＤＴ５８１，５８２の前記各交差指電極は、それぞれバスバーから引き出した配線を介して、近接する前記各厚板支持部上の電極パッド６０１，６０２に接続されている。
【００４５】
厚板部５６ｂの上面には、平板状の錘６１が接着剤６２で一体に接合されている。錘６１は、その質量に対して寸法をできり限り小さくするように、金属材料のように高密度な材料で形成することが好ましい。別の実施例では、例えば低融点ガラス、はんだ等の金属ろう材、金属バンプのような接着剤以外の接合手段を用いて、又は、水晶と金属との陽極接合、金属接合材を介在させた超音波接合、スポット溶接、共晶接合、若しくは金属間化合物形成接合、水晶からなる錘との直接接合等、従来から公知の様々な方法を用いて、前記錘と厚板部とを接合することができる。
【００４６】
錘６１は、厚板部５６ｂ上面に接合された中央部６１ａと、該中央部から圧電基板５４の長さ方向端部５４ａ，５４ｂに向けて延出する部分６１１ｂ，６１２ｂとを有する。前記両延出部分は、それぞれ薄板部５６１ｃ，５６２ｃと僅かな空隙を挟んで対向しつつ、それを越えて厚板支持部５６ａ，５６ａの上方まで延出している。これにより、ＳＡＷセンサ素子５３の長さ寸法を大きくすることなく、厚さ寸法を僅かに大きくするだけで、前記錘と厚板部とを合計した錘全体の質量を大幅に増加させることができる。
【００４７】
錘６１と厚板部５６ｂとの接合部即ち接着剤６２は、その長さ寸法が前記厚板部の長さの１／２を越えるように設ける。本実施例の場合、前記接合部は、長さ方向に左右双方の薄板部５６１ｃ，５６２ｃから均等に遠くなるように設定すると、その中心位置が厚板部５６ｂの長さの中心位置と一致するように配置される。また、厚板部５６ｂと錘６１との接合体の重心位置Ｐ３が、薄板部５６１ｃ，５６２ｃの厚さ中心よりも上方へずらして設けられている。
【００４８】
圧電基板５４の長さ方向、幅方向及び厚さ方向をそれぞれＸ，Ｙ，Ｚ方向として、加速度等による外力がＺ方向に作用する場合を考える。外力が前記圧電基板の主面に対して垂直方向上向きに作用すると、ＳＡＷセンサ素子５３は、両薄板部５６１ｃ，２６２ｃを上向き凸に撓ませながら、前記厚板部が上方へ変位する。その結果、前記各薄板部には、上面に引張応力が圧電基板５４の長さ方向即ちＸ方向に発生し、かつ下面に圧縮応力が発生する。外力が逆向きに垂直方向下向きに作用すると、ＳＡＷセンサ素子５３は、前記両薄板部を下向き凸に撓ませながら、前記厚板部が下方へ変位する。その結果、前記各薄板部には、上面に圧縮応力がＸ方向に発生し、かつ下面に引張応力が発生する。
【００４９】
次に、加速度等による外力がＸ方向に作用する場合を考える。上述したように、厚板部５６ｂと錘６１との接合体の重心位置Ｐ３が、前記薄板部の厚さ中心よりも上方へずらした高さ位置に設けられている。従って、外力が図中左方に即ち−Ｘ方向に作用すると、ＳＡＷセンサ素子５３は、前記厚板部が反時計回りに変位し、前記圧電基板の図中左側の薄板部５６１ｃを下向き凸にかつ右側の薄板部５６２ｃを上向き凸に撓ませる。その結果、一方の薄板部５６１ｃの上面には、Ｘ方向に圧縮応力が発生し、下面には引張応力が発生する。他方の薄板部５６２ｃの上面には、Ｘ方向に引張応力が発生し、下面には圧縮応力が発生する。
【００５０】
外力が逆向きに、図中右方に即ち＋Ｘ方向に作用すると、ＳＡＷセンサ素子５３は、前記厚板部が時計回りに変位し、図中左側の薄板部５６１ｃを上向き凸にかつ右側の薄板部５６２ｃを下向き凸に撓ませる。その結果、一方の薄板部５６１ｃの上面には、Ｘ方向に引張応力が発生し、下面には圧縮応力が発生する。また、他方の薄板部５６２ｃの上面には、Ｘ方向に引張応力が発生し、下面には圧縮応力が発生する。
【００５１】
更に、錘６１の延出部分６１１ｂ，６１２ｂの両端に作用する力が、前記厚板部に接合された中央部６１ａ側を支点としてモーメントを発生させる。その結果、前記各薄板部にはより大きな力が作用し、より大きな撓みが生じるので、その表面には、より大きな引張応力又は圧縮応力が発生する。
【００５２】
また、別の実施例では、厚板部５６ｂと錘６１との接合体の重心Ｐ３の高さ位置を前記両薄板部の厚さ中心よりも下方にずらすように、錘６１を形成しかつ前記厚板部と接合することもできる。その場合、Ｘ方向の外力による前記厚板部の変位及び前記各薄板部の撓みは本実施例と逆向きになる。
【００５３】
いずれの場合も、前記錘と厚板部とを合計した錘全体の質量を大幅に増加させることができる。その結果、前記各薄板部には、同じ大きさの外力に対してより大きな撓みが生じるので、センサ感度が向上する。また、錘６１を接合した厚板部５６ｂの上下表面に、前記各薄板部の撓みに実質的に影響を及ぼすような引張又は圧縮応力は発生しない。
【００５４】
本実施例において、薄板部５６１ｃ，５６２ｃの上面を伝搬するＳＡＷの速度は、該主面に発生する引張応力又は圧縮応力及びその大きさにより変化する。ＳＡＷセンサ５１は、図示しない発振回路により各ＳＡＷ共振子５５１，５５２の共振周波数に基づいて２つの発振周波数を出力する。これらの発振周波数は、外力が全く作用しない無負荷状態における発振周波数を基準として、前記薄板部表面に引張応力が作用すると、低周波側に即ち−側にシフトし、圧縮応力が作用すると、高周波側に即ち＋側にシフトする。
【００５５】
従って、圧電基板５４に作用する外力の向きは、両ＳＡＷ共振子５５１，５５２からの発振周波数が−側にシフトすると、＋Ｚ方向であると判定され、＋側にシフトすると、−Ｚ方向であると判定される。また、前記厚板部への外力の向きは、図中左側のＳＡＷ共振子５５１からの発振周波数が−側にシフトしかつ右側のＳＡＷ共振子５５２からの発振周波数が＋側にシフトすると、−Ｘ方向であると判定され、左側のＳＡＷ共振子５５１からの発振周波数が＋側にシフトしかつ右側のＳＡＷ共振子５５２からの発振周波数が−側にシフトすると、＋Ｘ方向であると判定される。
【００５６】
更に、圧電基板５４に作用する外力の大きさは、外力が作用している負荷状態において各ＳＡＷ共振子５５１，５５２からの発振周波数を取り出し、それぞれ無負荷状態での発振周波数との差分及び／又は和分を演算処理することにより、測定することができる。
【００５７】
本実施例によれば、単に前記錘と厚板部とを合計した錘全体の質量を増加させただけでなく、上述したように錘６１を中央部６１ａから圧電基板５４の両方の長さ方向端部に向けて薄板部５６１ｃ，５６２ｃを越えて更に前記厚板支持部の上方まで延出させ、かつ厚板部５６ｂに対する前記接合部の長さ寸法を１／２以上に設定したので、同じ大きさの外力に対して前記薄板部がより大きく撓むようになる。その結果、Ｚ軸方向及びＸ軸方向双方のセンサ感度を向上させた２軸方向のＳＡＷセンサが実現される。
【００５８】
別の実施例では、錘６１は、延出部分６１１ｂ，６１２ｂの両端を分厚く形成することができる。これにより、前記延出部分の両端に作用する力は、前記厚板部に接合された中央部６１ａ側を支点として、より大きな慣性モーメントを発生させる。従って、前記各薄板部には更に大きな力が作用して、より大きな撓みが生じるので、更にＳＡＷセンサの感度を向上させることができる。
【００５９】
図９（Ａ）、（Ｂ）は、第２実施例のＳＡＷセンサの変形例を概略的に示している。本実施例のＳＡＷセンサ７１は、圧電基板５４の厚板部５６ｂの上面に平面Ｈ字形の錘７２が接着剤７３で一体に接合されている。錘７２は、前記厚板部上面に接合された中央部７２ａと、該中央部から圧電基板５４の幅方向の外側に張り出した側部７２ｂ，７２ｂとを有する。両側部７２ｂ，７２ｂは、それぞれ前記中央部から圧電基板１４の側辺に沿って長さ方向両側に、各薄板部５６１ｃ，５６２ｃを越えて厚板支持部５６ａ，５６ａまで延出している。
【００６０】
錘７２は、図８の第２実施例のように圧電基板５４の上側主面に対向する部分が無いので、両側部７２ｂ，７２ｂが大きく振れても、前記圧電基板や該圧電基板のボンディングパッド６０１，６０２に接続されたボンディングワイヤ（図示せず）に接触又は衝突する虞が無い。従って、非常に大きな加速度や力が作用しても、圧電基板や配線、錘が損傷したり破損する虞が無いので、衝撃等に対する耐久性に優れたＳＡＷセンサが実現される。
【００６１】
更に、錘７２の前記側部に作用する力が、前記厚板部に接合された中央部７２ａ側を支点としてモーメントを発生させるので、前記薄板部にはより大きな力が作用し、より大きな撓みを生じさせる。このように錘７２の寸法を圧電基板の平面方向に大きくとることにより、ＳＡＷセンサ素子７３の厚さ方向の寸法を大きくすることなく、センサ感度を更に高めることができる。
【００６２】
図１０（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明によるＳＡＷセンサの第３実施例の構成を概略的に示している。本実施例のＳＡＷセンサ８１は、加速度等の外力をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の３軸方向に検出するためのもので、水平なベース８２に支持されたＳＡＷセンサ素子８３を備える。ＳＡＷセンサ素子８３は、例えば水晶材料からなる矩形平板状の圧電基板８４と、その上側主面に形成された４つのＳＡＷ共振子８５１，８５２，８５３，８５４とを有する。
【００６３】
圧電基板８４は、中心位置に設けられた矩形の厚板支持部８６ａと、外周に沿って所定幅の矩形枠状をなす厚板部８６ｂと、それらの間の領域に下面側を凹ませて形成した薄板部８６ｃとを有する。薄板部８６ｃは、圧電基板８４の厚板部８６ｂと厚板支持部８６ａとの間に貫通部分８４ａを形成して、該圧電基板の長さ方向及び幅方向の中心線に沿って十字状に形成されている。前記薄板部には、それぞれ１つのＳＡＷ共振子８５１，８５２，８５３，８５４が配置されている。
【００６４】
ＳＡＷセンサ素子８３は、圧電基板８４の厚板支持部８６ａをベース８２に接着剤８７で固定して支持される。これにより厚板部８６ｂは、薄板部８６ｃと共にベース８２から浮かせて、かつ前記薄板部を撓ませるように上下に変位可能な状態に保持される。本実施例では、厚板支持部８６ａを厚板部８６ｂと同じ厚さに形成したが、異なる厚さに例えば薄板部８６ｃと同じ厚さにすることができ、別個の支持部材を用いてベース８２に固定することもできる。
【００６５】
圧電基板８４の上面には、矩形平板状の錘８８が一体に接合されている。錘８８の下面には、その外周に沿って所定幅の突出部８９が矩形枠状に形成され、これを接着剤で厚板部８６ｂ上面に接合している。錘８８と厚板部８６ｂとの接合体の重心位置Ｐ４は、薄板部８６ｃの厚さ中心よりも上方の高さ位置に設けられている。
【００６６】
圧電基板８４にＺ方向の外力が作用すると、ＳＡＷセンサ素子８３は、矩形枠状の厚板部８６ｂ全体が上下方向に変位する。その結果、全部の前記ＳＡＷ共振子からの発振周波数が同じ向きにシフトする。作用する外力の大きさは、全部又はいくつかの前記ＳＡＷ共振子からの発振周波数を、外力が作用している負荷状態において取り出し、それぞれ無負荷状態での発振周波数との差分及び／又は和分を演算処理することにより算出することができる。
【００６７】
図１０（Ｂ）において、外力が図中左方に即ち−Ｘ方向に作用すると、ＳＡＷセンサ素子８３は、厚板部８６ｂのＸ方向両端部分が厚板支持部８６ａを支点に時計回りに変位して、薄板部８６ｃの図中右側即ち＋Ｘ方向側の部分を上向き凸に、図中左側即ち−Ｘ方向側の部分を下向き凸に撓ませる。これにより、薄板部８６ｃの＋Ｘ方向側部分の上側主面には、圧電基板８４の長さ方向即ちＸ方向に引張応力が発生し、−Ｘ方向側部分の上側主面には、Ｘ方向に圧縮応力が発生する。
【００６８】
外力が逆向きに、図中右方に即ち＋Ｘ方向に作用すると、ＳＡＷセンサ素子８３は、厚板部８６ｂのＸ方向両端部分が厚板支持部８６ａを支点に反時計回りに変位して、薄板部８６ｃの図中右側即ち＋Ｘ方向側の部分を下向き凸に、図中左側即ち−Ｘ方向側の部分を上向き凸に撓ませる。これにより、薄板部８６ｃの＋Ｘ方向側部分の上側主面には、圧電基板８４の長さ方向即ちＸ方向に圧縮応力が発生し、−Ｘ方向側部分の上側主面には、Ｘ方向に引張応力が発生する。
【００６９】
Ｙ方向の外力が作用する場合、ＳＡＷセンサ素子８３には、Ｘ方向の外力が作用した場合と同様の変形が生じる。即ち、図１０（Ｃ）において、外力が−Ｙ方向に作用すると、ＳＡＷセンサ素子８３は、厚板部８６ｂのＹ方向両端部分が厚板支持部８６ａを支点に時計回りに変位して、薄板部８６ｃの図中右側即ち＋Ｙ方向側の部分を上向き凸に、−Ｙ方向側の部分を下向き凸に撓ませる。これにより、薄板部８６ｃの＋Ｙ方向側部分の上側主面には、圧電基板８４の長さ方向即ちＹ方向に引張応力が発生し、−Ｙ方向側部分の上側主面には、Ｙ方向に圧縮応力が発生する。
【００７０】
外力が逆向きに＋Ｙ方向に作用すると、ＳＡＷセンサ素子８３は、厚板部８６ｂのＹ方向両端部分が厚板支持部８６ａを支点に反時計回りに変位して、薄板部８６ｃの図中右側即ち＋Ｙ方向側の部分を下向き凸に、−Ｙ方向側の部分を上向き凸に撓ませる。これにより、薄板部８６ｃの＋Ｙ方向側部分の上側主面には、圧電基板８４の幅方向即ちＹ方向に圧縮応力が発生し、−Ｙ方向側部分の上側主面には、Ｙ方向に引張応力が発生する。
【００７１】
その結果、外力がＸ方向又はＹ方向に作用する場合には、圧電基板８４の長さ方向又は幅方向に前記厚板支持部を挟んで一方の側から出力される発振周波数と他方の側から出力される発振周波数とは、互いに逆向きにシフトする。Ｘ方向又はＹ方向に作用する外力の大きさは、それによりＸ方向又はＹ方向に撓みを生じる薄板部８６ｃの領域に配置された前記ＳＡＷ共振子からの発振周波数を取り出すことによって算出することができる。本実施例によれば、このようにＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の３軸方向について、加速度等を精度良く検出することができる。
【００７２】
本実施例においても、単に前記錘と厚板部とを合計した錘全体の質量を増加させただけでなく、上述したように錘８８が厚板部８６ｂから薄板部８６ｃ及び中央の厚板支持部８６ａと対向するように延出し、かつ厚板部８６ｂに対する突出部８９の幅寸法を１／２以上に設定したので、同じ大きさの外力に対して前記薄板部がより大きく撓むように作用する。その結果、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のセンサ感度を向上させた３軸方向のＳＡＷセンサが実現される。
【００７３】
上記各実施例のＳＡＷ共振子は、１対の交差指電極からなる１つのＩＤＴとその両側の反射器とからなる１ポート型であるが、これに限定するものではない。別の実施例では、例えば各１対の交差指電極からなる２つのＩＤＴをＳＡＷ伝搬方向に配置しかつそれらの両側に反射器を設けた２ポート型のＳＡＷ共振子を用いることができる。更に別の実施例では、トランスバーサル型のＳＡＷフィルタを用いて、所定の周波数を発振させることができる。更に、圧電基板の薄板部に形成するＩＤＴは、ＳＡＷセンサの用途及び／又は使用条件に対応して、上記実施例以外の様々な配置又は構成を採用することができる。
【００７４】
本発明は、上記実施例に限定されるものでなく、その技術的範囲内で様々な変形又は変更を加えて実施することができる。例えば、ＳＡＷセンサ素子の圧電基板には、リチウムタンタレートやリチウムナイオベート等、水晶以外の様々な公知の圧電材料を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】（Ａ）図は本発明によるＳＡＷセンサの第１実施例を示す概略平面図、（Ｂ）図はその側面図。
【図２】第１実施例のＳＡＷセンサ素子において、薄板部の撓みによりその表面に生じる最大応力を錘の長さ方向の寸法に関連して示す線図。
【図３】第１実施例のＳＡＷセンサ素子において、薄板部の撓みによりその表面に生じる最大応力を、長さ方向における厚板部と接合部との寸法比に関連して示す線図。
【図４】第１実施例のＳＡＷセンサ素子において、薄板部の撓みによりその表面に生じる最大応力を、接合部の厚板部上における長さ方向の位置に関連して示す線図。
【図５】（Ａ）図は第１実施例の変形例を示す概略平面図、（Ｂ）図はその側面図。
【図６】（Ａ）図は第１実施例の別の変形例を示す概略平面図、（Ｂ）図はその側面図、（Ｃ）図は圧電基板の自由端側から見た端面図。
【図７】（Ａ）図は第１実施例の圧電基板の変形例を示す部分断面側面図。
【図８】（Ａ）図は本発明によるＳＡＷセンサの第２実施例を示す概略平面図、（Ｂ）図はその側面図。
【図９】（Ａ）図は第２実施例の変形例を示す概略平面図、（Ｂ）図はその側面図。
【図１０】（Ａ）図は本発明によるＳＡＷセンサの第３実施例を示す概略平面図、（Ｂ）図はそのＸb−Ｘb線における断面図、（Ｃ）図はＸc−Ｘc線における断面図。
【図１１】（Ａ）図は従来の一般的なＳＡＷセンサを示す概略平面図、（Ｂ）図はその側面図。
【符号の説明】
【００７６】
１，１１，３１，４１，５１，７１，８１…ＳＡＷセンサ、２，１２，５２，７２…ベース、３，１３，５３，８３…ＳＡＷセンサ素子、４，１４，５４，８４…圧電基板、４ａ，４ｂ，１４ａ，１４ｂ，５４ａ，５４ｂ…長さ方向端部、５，１５，５５１，５５２，８５１，８５２，８５３，８５４…ＳＡＷ共振子、６ａ，１６ａ，５６ａ，８６ａ…厚板支持部、６ｂ，１６ｂ，５６ｂ，８６ｂ…厚板部、６ｃ，１６ｃ，５６１ｃ，５６２ｃ，８６ｃ…薄板部、７，１７，２３，２４，６２，８７…接着剤、８，１８，５８１，５８２，８５１，８５２，８５３，８５４…ＩＤＴ、８ａ，８ｂ，１８ａ，１８ｂ…交差指電極、９，１９，５９１，５９２…反射器、１０ａ，１０ｂ，２０ａ，２０ｂ，６０１，６０２…電極パッド、２１，２２，３２，４２，６１，７２，８８…錘、４２ａ，６１ａ，７２ａ…中央部、４２ｂ，７２ｂ…側部、６１１ｂ，６１２ｂ…延出部分、８４ａ…貫通部分。
【図１】
2009243983.tif 000003
【図２】
2009243983.tif 000004
【図３】
2009243983.tif 000005
【図４】
2009243983.tif 000006
【図５】
2009243983.tif 000007
【図６】
2009243983.tif 000008
【図７】
2009243983.tif 000009
【図８】
2009243983.tif 000010
【図９】
2009243983.tif 000011
【図１０】
2009243983.tif 000012
【図１１】
2009243983.tif 000013