(57)【要約】【課題】洗浄装置の洗浄液が回転ブラシの回転軸を介して洗浄槽の外部に漏れ出すことを防止し、回転ブラシに回転駆動トルクを与えている回転機構、及びモーターの電気配線等への障害を無くする回転ブラシ支持機構を提供する。【解決手段】Ｏリング溝１８を具備し回転ブラシ軸２２に固定される上部カバー１４と、洗浄装置の洗浄槽の底部１０に固定される下部カバー１２と、エアー注入口２０−１とエアー放出溝２０−２とを具備し下部カバー１２に固定されるエアー注入カバー１６とを有し、上部カバー１４は、下部カバー１２とエアー注入カバー１６との間に挿入された位置で回転し、エアー注入口２０−１から注入されたエアーは、エアー放出溝２０−２から放出されて、上部カバー１４とエアー注入カバー１６との間隙を充満する。【選択図】      図１
2009028684.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転ブラシを有する洗浄装置の回転ブラシ軸の支持機構であって、
Ｏリング溝を具備し前記回転ブラシ軸に固定される上部カバーと、前記洗浄装置の洗浄槽の底部に固定される下部カバーと、エアー注入口とエアー放出溝とを具備し前記下部カバーに固定されるエアー注入カバーとを有し、
前記上部カバーは、前記下部カバーと前記エアー注入カバーとの間に挿入された位置で回転し、
前記エアー注入口から注入されたエアーは、前記エアー放出溝から放出されて、前記上部カバーと前記エアー注入カバーとの間隙を充満することを特徴とする回転ブラシ支持機構。
【請求項２】
回転ブラシを有する洗浄装置の回転ブラシ軸の支持機構であって、
Ｏリング溝を具備し前記回転ブラシ軸に固定される上部カバーと、Ｆ型洗浄液溜め溝を具備し前記洗浄装置の洗浄槽の底部に固定される下部カバーとを有し、
前記上部カバーは、前記下部カバーの前記洗浄液溜め溝に挿入された位置で回転し、
洗浄液は、前記挿入された前記上部カバーの端部が浸るよう前記液溜め溝に溜まることを特徴とする回転ブラシ支持機構。
【請求項３】
回転ブラシを有する洗浄装置の回転ブラシ軸の支持機構であって、
一端に前記回転ブラシを他端に永久磁石を具備した前記回転ブラシ軸を固定する回転ブラシ軸固定部と、一端にモーターを他端に永久磁石を具備した回転駆動軸を固定する回転駆動軸固定部とを有し、
前記回転ブラシ軸固定部と前記回転駆動軸固定部とは、前記洗浄装置の洗浄槽の底部を挟んで前記永久磁石が互いに対向するよう、前記回転ブラシ軸と前記回転駆動軸とを可回転支持することを特徴とする回転ブラシ支持機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク型回転ブラシを有する洗浄装置に係り、詳しくは、回転ブラシの回転ブラシ軸を支持する支持機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板等の洗浄に使用されるディスク型回転ブラシを用いた洗浄装置において、ディスク型回転ブラシは、洗浄槽の上部と底部の両方に設置され、ガイドローラーで搬入されたガラス基板の上下面を、回転ブラシにより挟み込んで洗浄する構成となっている。この場合、底部の回転ブラシは、洗浄装置の洗浄槽の底部を貫通して設置され、洗浄槽の外部に設置されるモーターから回転駆動トルクを得ている。
【０００３】
このため、洗浄中に基板洗浄液が回転ブラシの回転ブラシ軸を介して洗浄槽の外部に漏れ出し、回転ブラシに回転駆動トルクを与えている回転機構、及びモーターの電気配線等に障害を発生する要因となっていた。特許文献１には、ガラス基板１を表裏面から挟んだ状態で移動を許容する複数の上ローラＲ１と下ローラＲ２と、ガラス基板面１ａを洗浄する回転ブラシ４とを設け、上ローラＲ１と下ローラＲ２との内の少なくとも何れかを、ガラス基板１の厚み方向に沿って出退自在な出退ローラ６に形成する旨の記載がある。
【特許文献１】特開２０００−２９００４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、洗浄装置の洗浄液が回転ブラシの回転ブラシ軸を介して洗浄槽の外部に漏れ出すことを防止し、回転ブラシに回転駆動トルクを与えている回転機構、及びモーターの電気配線等への障害を無くする回転ブラシ支持機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の回転ブラシ支持機構は、回転ブラシを有する洗浄装置の回転ブラシ軸の支持機構であって、Ｏリング溝を具備し回転ブラシ軸に固定される上部カバーと、洗浄装置の洗浄槽の底部に固定される下部カバーと、エアー注入口とエアー放出溝とを具備し下部カバーに固定されるエアー注入カバーとを有し、上部カバーは、下部カバーとエアー注入カバーとの間に挿入された位置で回転し、エアー注入口から注入されたエアーは、エアー放出溝から放出されて、上部カバーとエアー注入カバーとの間隙を充満することを特徴とする。
【０００６】
本発明の回転ブラシ支持機構は、回転ブラシを有する洗浄装置の回転ブラシ軸の支持機構であって、Ｏリング溝を具備し回転ブラシ軸に固定される上部カバーと、Ｆ型洗浄液溜め溝を具備し洗浄装置の洗浄槽の底部に固定される下部カバーとを有し、上部カバーは、下部カバーの洗浄液溜め溝に挿入された位置で回転し、洗浄液は、挿入された上部カバーの端部が浸るよう液溜め溝に溜まることを特徴とする。
【０００７】
本発明の回転ブラシ支持機構は、回転ブラシを有する洗浄装置の回転ブラシ軸の支持機構であって、一端に回転ブラシを他端に永久磁石を具備した回転ブラシ軸を固定する回転ブラシ軸固定部と、一端にモーターを他端に永久磁石を具備した回転駆動軸を固定する回転駆動軸固定部とを有し、回転ブラシ軸固定部と回転駆動軸固定部とは、洗浄装置の洗浄槽の底部を挟んで永久磁石が互いに対向するよう、回転ブラシ軸と回転駆動軸とを可回転支持することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、洗浄装置の洗浄液が回転ブラシの回転ブラシ軸を介して洗浄槽の外部に漏れ出すことを防止し、回転ブラシに回転駆動トルクを与えている回転機構、及びモーターの電気配線等への障害を無くすことができる。このため、本発明の回転ブラシ支持機構を装備することにより、洗浄液の漏洩に起因するブラシ回転に関するトラブルが無くなり、メンテナンスが容易な洗浄装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明による回転ブラシ支持機構の第１の実施例を示す構成断面図である。図１において、本発明による第１の実施例の回転ブラシ支持機構は、上部カバー１４と下部カバー１２とエアー注入カバー１６とから成る。下部カバー１２は、洗浄装置の洗浄槽の底部１０に固定され、エアー注入カバー１６は、下部カバー１２に固定されている。上部カバー１４は、回転ブラシ軸２２に密着挿入されて固定され、且つ、Ｏリング溝１８のＯリングにより、回転ブラシ軸２２との完全な気密性が保たれている。
【００１０】
一端に回転ブラシ２４を具備した回転ブラシ軸２２の他端は、周知の方法により回転トルクが伝達されるよう、洗浄槽の底部１０を貫通して外部に設置されたモーター２６に接続されている。また、回転ブラシ軸２２は、モーター２６に接続される途中に具備されるベアリングが洗浄槽の底部１０の平面に対して平行に固定されることにより（図示されず）、洗浄槽の底部１０の平面に対して直立を保っている。このベアリングの固定は、上部カバー１４の端部がエアー注入カバー１６と下部カバー１２との間にあってエアー注入カバー１６とは僅かな間隙を保ち、且つ、安定な回転ができるよう、位置及び高さの調整が行われて固定されている。
【００１１】
エアー注入カバー１６のエアー注入口２０−１から供給されたエアーは、エアー注入カバー１６と上部カバー１４との僅かな間隙を充満するよう、エアー放出溝２０−２から放出される。このように、Ｏリングと、エアーの放出とにより、回転ブラシ軸２２が洗浄槽の底部１０を貫通している部分から、洗浄液が漏洩することを防止することができる。
【００１２】
図２は、本発明による回転ブラシ支持機構の第２の実施例を示す構成断面図である。図２において、本発明による第２の実施例の回転ブラシ支持機構は、上部カバー１４とＦ型洗浄液溜め溝２８を具備する下部カバー１２とから成る。下部カバー１２は、洗浄装置の洗浄槽の底部１０に固定されている。上部カバー１４は、回転ブラシ軸２２に密着挿入されて固定され、且つ、Ｏリング溝１８のＯリングにより、回転ブラシ軸２２との完全な気密性が保たれている。
【００１３】
一端に回転ブラシ２４を具備した回転ブラシ軸２２の他端は、図１の場合と同様、外部に設置されたモーター２６に接続され、モーター２６に接続される途中に具備されるベアリングが洗浄槽の底部１０の平面に対して平行に固定されることにより、洗浄槽の底部１０の平面に対して直立を保っている。このベアリングの固定は、上部カバー１４の端部が下部カバー１２のＦ型洗浄液溜め溝２８に挿入された位置にあって、且つ、安定な回転ができるよう、位置及び高さの調整が行われて固定されている。
【００１４】
洗浄工程中、洗浄液（斜線部）が、Ｆ型洗浄液溜め溝２８に溜まる。Ｆ型洗浄液溜め溝２８の外側の壁が内側に比べ低いため、洗浄液は、外側の壁から洗浄槽の底部１０に向けて溢れ出し、回転ブラシ軸２２が洗浄槽の底部１０を貫通している部分から外に漏れ出すことはない。このように、ＯリングとＦ型洗浄液溜め溝２８とにより、回転ブラシ軸２２が洗浄槽の底部１０を貫通している部分から洗浄液が漏洩することを防止することができる。
【００１５】
図３は、本発明による回転ブラシ支持機構の第３の実施例を示す構成断面図である。図３において、本発明による第３の実施例の回転ブラシ支持機構は、一端に回転ブラシ２４を他端に永久磁石３０−２を具備した回転ブラシ軸２２−２を固定する回転ブラシ軸固定ベアリング３２−２を有する回転ブラシ軸固定部３４−２と、一端にモーター２６を他端に永久磁石３０−１を具備した回転駆動軸２２−１を固定する回転駆動軸固定ベアリング３２−１を有する回転駆動軸固定部とから成っている。
【００１６】
回転ブラシ軸固定部３４−２と回転駆動軸固定部３４−１とは、洗浄装置の洗浄槽の底部１０を挟んで永久磁石３０−１、２が互いに対向するよう、回転ブラシ軸２２−２と回転駆動軸２２−１とを回転ブラシ軸固定ベアリング３２−２と回転駆動軸固定ベアリング３２−１とにより可回転支持する。これにより、回転ブラシ軸２２が洗浄槽の底部１０を貫通する部分をなくすることが可能となり、洗浄液が漏洩することを防止することができる。
【００１７】
以上説明したように本発明は、洗浄装置の洗浄液が回転ブラシの回転ブラシ軸を介して洗浄槽の外部に漏れ出すことを防止し、回転ブラシに回転駆動トルクを与えている回転機構、及びモーターの電気配線等への障害を無くすことができる。このため、本発明の回転ブラシ支持機構を装備することにより、洗浄液の漏洩によるブラシ回転に関するトラブルが無くなり、メンテナンスが容易な洗浄装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明による回転ブラシ支持機構の第１の実施例を示す構成断面図。
【図２】本発明による回転ブラシ支持機構の第２の実施例を示す構成断面図。
【図３】本発明による回転ブラシ支持機構の第３の実施例を示す構成断面図。
【符号の説明】
【００１９】
１０  洗浄装置の洗浄槽の底部
１２  下部カバー
１４  上部カバー
１６  エアー注入カバー
１８  Ｏリング溝
２０−１  エアー注入口
２０−２  エアー放出溝
２２  回転ブラシ軸
２２−１  回転駆動軸
２２−２  回転ブラシ軸
２４  回転ブラシ
２６  モーター
２８  Ｆ型洗浄液溜め溝
３０−１、２  永久磁石
３２−１  回転駆動軸固定ベアリング
３２−２  回転ブラシ軸固定ベアリング
３４−１  回転駆動軸固定部
３４−２  回転ブラシ軸固定部
【図１】
2009028684.tif 000003
【図２】
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【図３】
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