(57)【要約】【課題】生産装置への搬送物の供給が途切れることを可及的に少なくできる搬送制御方法及び搬送制御装置を提供する。【解決手段】生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰｎ、生産装置群に対応して設けられた搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢｋ及び仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎを備えた搬送システム２０において搬送元の仕掛棚ＢＵＦｊ−１から搬送先の仕掛棚ＢＵＦｊへの搬送物の搬送を制御する搬送制御方法を実施する搬送制御装置１０は、生産情報記憶手段と、仕掛棚情報記憶手段と、生産能力算出手段と、搬送決定手段とを備え、搬送決定手段は、全仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎの仕掛数に対する下流側仕掛棚ＢＵＦｊ〜ＢＵＦｎの仕掛数の比率が全生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍの生産能力に対する下流側生産装置ＭＣＮｉ〜ＭＣＮｍの生産能力の比率（閾値ＴＨｊ）以下であれば、搬送元の仕掛棚ＢＵＦｊ−１から搬送物を搬出することを決定する。【選択図】図５
2009217623.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物に所定の生産処理を行う一又は複数の生産装置からなる複数群の生産装置群と、前記複数群の生産装置群に対して搬送物を搬送するために該複数群の生産装置群に対応して設けられた一又は複数の搬送装置と、前記複数群の生産装置群への搬送物の搬送に先立って該搬送物を格納するために該複数群の生産装置群に対応して設けられた仕掛棚とを備えた搬送システムにおいて搬送元の仕掛棚から搬送先の仕掛棚への搬送物の搬送を制御する搬送制御方法であって、
前記生産装置毎の処理時間及び前記生産装置毎の該生産装置の稼働中又は停止中を示す稼働状態情報を記憶する生産情報記憶ステップと、
前記仕掛棚毎の仕掛数を記憶する仕掛棚情報記憶ステップと、
前記生産情報記憶ステップにて記憶された前記生産装置毎の前記処理時間及び前記生産装置毎の前記稼働状態情報に基づき、前記生産装置毎の生産能力を算出する生産能力算出ステップと、
前記生産能力算出ステップで算出した前記生産装置毎の生産能力に関し該生産装置毎の生産能力を合計した全生産装置の生産能力に対する搬送先以降の生産装置毎の生産能力を合計した下流側生産装置の生産能力の比率を閾値とし、前記仕掛棚情報記憶ステップにて記憶された前記仕掛棚毎の仕掛数に関し該仕掛棚毎の仕掛数を合計した全仕掛棚の仕掛数に対する搬送先以降の仕掛棚毎の仕掛数を合計した下流側仕掛棚の仕掛数の比率が前記閾値以下であれば、前記搬送元の仕掛棚から搬送物を搬出することを決定する搬送決定ステップと
を含むことを特徴とする搬送制御方法。
【請求項２】
搬送物に所定の生産処理を行う一又は複数の生産装置からなる複数群の生産装置群と、前記複数群の生産装置群に対して搬送物を搬送するために該複数群の生産装置群に対応して設けられた一又は複数の搬送装置と、前記複数群の生産装置群への搬送物の搬送に先立って該搬送物を格納するために該複数群の生産装置群に対応して設けられた仕掛棚とを備えた搬送システムにおいて搬送元の仕掛棚から搬送先の仕掛棚への搬送物の搬送を制御する搬送制御装置であって、
前記生産装置毎の処理時間及び前記生産装置毎の該生産装置の稼働中又は停止中を示す稼働状態情報を記憶する生産情報記憶手段と、
前記仕掛棚毎の仕掛数を記憶する仕掛棚情報記憶手段と、
前記生産情報記憶手段にて記憶された前記生産装置毎の前記処理時間及び前記生産装置毎の前記稼働状態情報に基づき、前記生産装置毎の生産能力を算出する生産能力算出手段と、
前記生産能力算出手段で算出した前記生産装置毎の生産能力に関し該生産装置毎の生産能力を合計した全生産装置の生産能力に対する搬送先以降の生産装置毎の生産能力を合計した下流側生産装置の生産能力の比率を閾値とし、前記仕掛棚情報記憶手段にて記憶された前記仕掛棚毎の仕掛数に関し該仕掛棚毎の仕掛数を合計した全仕掛棚の仕掛数に対する搬送先以降の仕掛棚毎の仕掛数を合計した下流側仕掛棚の仕掛数の比率が前記閾値以下であれば、前記搬送元の仕掛棚から搬送物を搬出することを決定する搬送決定手段と
を備えることを特徴とする搬送制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送制御方法及び搬送制御装置、特に、搬送物を生産処理する同種の生産装置が複数含まれる搬送システムにおいて生産装置前の各仕掛棚の仕掛数を制限する際に、搬送元の仕掛棚から搬送先の仕掛棚に向けて搬送物を搬送するか否かを決定する搬送制御方法及び搬送制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
搬送物を搬送して該搬送物に所定の生産処理を行う従来の搬送システムにおいて、搬送される搬送物の一例として、半導体デバイスを製造する際に用いられる基板（より具体的にはウエハ）を挙げることができる。以下、搬送物の一例としてウエハを用いた半導体デバイスを製造する場合について説明する。
【０００３】
この半導体デバイスは、ウエハに対して、洗浄や成膜、レジストコーティング、露光及びエッチングといった一連の製造工程を、定められた層の数だけ繰り返し行って、配線や回路素子を形成することで製造される。その後、ウエハを分断することで、最終的に半導体チップとなる。
【０００４】
これらの製造工程は、例えば、該各製造工程の処理内容別に設置された複数の生産装置によってそれぞれ実施される。
【０００５】
すなわち、所定の生産装置によって第１製造工程を終えた複数のウエハは、該複数のウエハを格納するカセットに移される。このカセットは、カセット搬送用搬送装置によって第１製造工程から複数の棚を保有したカセット仕掛棚に搬送され、このカセット仕掛棚にて保管される。
【０００６】
そして、第１製造工程を終えた複数のウエハに対して第２製造工程を実施する。このとき、カセット仕掛棚に搬送されたカセットは、カセット搬送用搬送装置によってカセット仕掛棚から第２製造工程における搬送システムのポートへ搬送される。この搬送システムでは、ポートに搬送されたカセットからウエハを１枚ずつ（枚葉）取り出し、ウエハ搬送用搬送装置を経由して、複数の生産装置の中の何れかで生産処理を行う。処理終了後は、処理されたウエハを再び同じカセットへ格納する。そして、処理されたウエハを格納したカセットを第２製造工程における搬送システムのポートからカセット搬送用搬送装置によって第３製造工程へ搬送する。この第３製造工程へのカセットの搬送のために空いた第２製造工程のポートには、第１製造工程を終えた複数のウエハを格納した別のカセットを搬送し、同様に生産処理を行う。
【０００７】
このような搬送制御の従来例として、下記特許文献１に示す如く、工程毎にウエハの個数に閾値を設定し、この閾値を満足するように搬送手段を制御することにより、生産のリードタイムと稼働率とのバランスを最適化するものが提案されている。
【特許文献１】特開２００４−２９５１９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、特許文献１に記載の従来技術（以下、第１の従来技術という）の搬送制御では、次のような問題がある。図１１は、第１の従来技術の問題点を説明するための一製造工程を示すウエハの流れに沿ったブロック図である。
【０００９】
図１１に示す製造工程では、搬送システム２０’と、搬送システム２０’へウエハを搬送する搬送装置１２０’とが配置されている。
【００１０】
搬送システム２０’は、ウエハに所定の生産処理を順次行う複数（ここでは４台）の生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４と、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４にウエハを順次搬送する１台の搬送装置ＲＧＶと、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４へのウエハの搬送に先立って該ウエハを格納する１台の仕掛棚ＢＵＦとを備えている。仕掛棚ＢＵＦは、ウエハ搬送方向Ｗにおいて生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４の上流側に設置されており、各生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４で生産処理するウエハを格納するものである。
【００１１】
この搬送システム２０’では、搬送装置１２０’は、仕掛棚ＢＵＦが空いていれば、前工程の装置Ｘで生産処理されたウエハを仕掛棚ＢＵＦへ搬送する。
【００１２】
搬送システム２０’において、搬送装置ＲＧＶは、仕掛棚ＢＵＦに格納されているウエハを該仕掛棚ＢＵＦから生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４へ搬送する。そして、ウエハを搬送した生産装置での該ウエハへの生産処理終了後に、該生産装置に対し仕掛棚ＢＵＦから次のウエハを搬送する。
【００１３】
このような搬送システム２０’を制御する搬送制御では、処理前のウエハを仕掛棚ＢＵＦから生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４へ搬送し、該生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４で処理後のウエハと入れ替えるまでの間、該生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４が待機状態となる。
【００１４】
すなわち、第１の従来技術の搬送制御では、処理前のウエハを保有する仕掛棚ＢＵＦは生産装置前に設置されているので、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４は、仕掛棚ＢＵＦから搬送される処理前のウエハを処理後のウエハと入れ替えるまでの時間が、ウエハの到着待ち時間になる。従って、かかる搬送制御は、ウエハを１枚ずつ搬送する枚葉搬送の生産装置には適していない。特に、仕掛棚ＢＵＦから搬送距離が長い場所に設置されている生産装置ＭＣＮ２〜ＭＣＮ４では処理前後のウエハの入れ替え時間がそれだけ長くなる。
【００１５】
これに対し別の搬送制御の従来例として、図１３から図１５にそれぞれ示すような第２から第４の従来技術のものがある。以下、図１２にて図１３から図１５に示す搬送制御に共通する全体的な動作を説明した後、第２から第４の従来技術の問題点を説明する。
【００１６】
図１２は、図１３から図１５の搬送制御に共通する全体的な動作を説明するための一製造工程を示すシステムレイアウトの一例である。
【００１７】
図１２に示す一製造工程においては、ウエハに所定の生産処理を行う一又は複数の生産装置からなる複数群（ここでは３グループ）の生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ３へウエハを搬送して生産処理を行う搬送システム２０と、複数のウエハを格納したカセットを保管するカセット仕掛棚１１０と、搬送システム２０に接続したポート１３０と、ポート１３０とカセット仕掛棚１１０との間でカセットを搬送するカセット搬送装置１２０と、ポート１３０に搬送されたカセットから処理前のウエハを搬送システム２０に向けて搬出すると共に搬送システム２０で生産処理した処理後のウエハをカセットへ搬入する入替え搬送装置１４０とが配置されている。
【００１８】
搬送システム２０は、複数（ここでは３台）の搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢ３と、複数（ここでは４台）の生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４と、複数（ここでは３台）の仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３とを備えている。
【００１９】
生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４は、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ３に対してそれぞれ一又は複数（ここでは１台：１台：２台）にこの順に割り当てられており、搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢ３にて搬送されてくるウエハに所定の生産処理を行うようになっている。詳しくは、生産装置ＭＣＮ１は生産装置群ＧＲＰ１に、生産装置ＭＣＮ２は生産装置群ＧＲＰ２に、また生産装置ＭＣＮ３，ＭＣＮ４は生産装置群ＧＲＰ３にそれぞれ割り当てられている。搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢ３は、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ３に対応してそれぞれ一又は複数（ここでは１台ずつ）設けられており、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ３に対してウエハを搬送するようになっている。仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３は、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ３に対応して１台ずつ設けられており、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ３へのウエハの搬送に先立って該ウエハを格納するようになっている。すなわち、仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３は、それぞれ、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ３の直前に設置されている。
【００２０】
なお、搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢ３には、搬送装置を識別するための識別情報（ここでは「Ｒｏｂ１」〜「Ｒｏｂ３」といった個々の装置を識別するための搬送装置名）が割り当てられている。生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４には、生産装置を識別するための識別情報（ここでは「Ｍｃｎ１」〜「Ｍｃｎ４」といった個々の装置を識別するための生産装置名）が割り当てられている。また、仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３には、仕掛棚を識別するための識別情報（ここでは「Ｂｕｆ１」〜「Ｂｕｆ３」といった個々の装置を識別するための仕掛棚名）が割り当てられている。
【００２１】
詳しくは、搬送装置ＲＯＢ１は、仕掛棚ＢＵＦ１からのウエハを生産装置ＭＣＮ１及び仕掛棚ＢＵＦ２に搬送するようになっている。搬送装置ＲＯＢ２は、仕掛棚ＢＵＦ２からのウエハを生産装置ＭＣＮ２及び仕掛棚ＢＵＦ３に搬送するようになっている。また、搬送装置ＲＯＢ３は、仕掛棚ＢＵＦ３からのウエハを生産装置ＭＣＮ３，ＭＣＮ４及び入替え搬送装置１４０に搬送するようになっている。なお、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４は、いずれもウエハを生産処理する同じ種類のものとされている。
【００２２】
以上説明した製造工程では、先ず、カセット仕掛棚１１０に保管されているカセット１８１〜１８４がカセット搬送装置１２０によってポート１３０に順次搬送されてくる。図１２では、ロットＡカセット１８１と、ロットＢカセット１８２とがこの順でポート１３０に搬送され、ロットＣカセット１８３及びロットＤカセット１８４がカセット仕掛棚１１０に格納されている状態を示している。
【００２３】
次に、ポート１３０に搬送されたロットＡカセット１８１内のウエハは、入替え搬送装置１４０によって一枚ずつ取り出され、仕掛棚ＢＵＦ１へ搬送される。仕掛棚ＢＵＦ１へ搬送されたウエハは、搬送装置ＲＯＢ１によって、生産装置ＭＣＮ１もしくは仕掛棚ＢＵＦ２へ搬送される。仕掛棚ＢＵＦ２へ搬送されたウエハは、搬送装置ＲＯＢ２によって、生産装置ＭＣＮ２もしくは仕掛棚ＢＵＦ３へ搬送される。仕掛棚ＢＵＦ３へ搬送されたウエハは、搬送装置ＲＯＢ３によって、生産装置ＭＣＮ３もしくは生産装置ＭＣＮ４へ搬送される。こうして、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４の何れかで生産処理されたウエハは、以降の搬送装置によって入替え搬送装置１４０へ搬送され、さらに、入替え搬送装置１４０でポート１３０のロットＡカセット１８１へ搬送される。
【００２４】
入替え搬送装置１４０では、ロットＡカセット１８１内の全てのウエハが仕掛棚ＢＵＦ１へ搬送し終わると、続いて、ロットＢカセット１８２内のウエハが取り出され、仕掛棚ＢＵＦ１へ搬送される。
【００２５】
また、ロットＡカセット１８１に処理後のウエハが全て戻ってくると、ロットＡカセット１８１は、カセット搬送装置１２０によって、ポート１３０から搬出され、次の製造工程へと搬送される。そして、次の製造工程へのロットＡカセット１８１の搬送のためにポート１３０の空いた場所には、カセット仕掛棚１１０に保管されているロットＣカセット１８３がカセット搬送装置１２０によって搬送される。
【００２６】
以上説明した搬送システム２０は、搬送制御装置によって、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ３毎に設置した仕掛棚ＢＵＦ１，ＢＵＦ２間及び仕掛棚ＢＵＦ２，ＢＵＦ３間でウエハの枚葉搬送が制御される。
【００２７】
図１３は、第２の従来技術の問題点を説明するための一製造工程を示すウエハの流れに沿ったブロック図である。
【００２８】
図１３に示す第２の従来技術では、前記搬送制御装置は、前工程処理後の複数のウエハを格納したカセットが、ポート１３０に到着後、入替え搬送装置１４０によってカセットからウエハを１枚ずつ（枚葉）取り出し、最初の仕掛棚ＢＵＦ１へ投入する際に、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４毎に処理枚数の偏りがないように、処理する生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４を順番に割り付けて仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３へ搬送するようになっている。この搬送制御によって、ウエハは、割り付けた生産装置の仕掛棚へ搬送される。すなわち、仕掛棚ＢＵＦ１は、生産装置ＭＣＮ１に割り付けたウエハの仕掛棚とされ、仕掛棚ＢＵＦ２は、生産装置ＭＣＮ２に割り付けたウエハの仕掛棚とされ、また、仕掛棚ＢＵＦ３は、生産装置ＭＣＮ３，ＭＣＮ４に割り付けたウエハの仕掛棚とされる。
【００２９】
ところが、この第２の従来技術の搬送制御では、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４が正常に稼働している場合は問題ないが、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４の少なくとも１台が故障などで停止した場合に、停止した生産装置に割り付けられたウエハは待機状態になる。待機状態のウエハは、故障などが解消されて停止した生産装置が稼働状態にならない限り、カセットへの戻ることができなくなるので、このウエハのロットと、同じロットのカセットは、ポート１３０で待機状態になる。したがって、次に処理を行うカセットのポート１３０への搬送ができなくなり、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４で処理するウエハが途切れてしまうという問題点がある。
【００３０】
図１４は、第３の従来技術の問題点を説明するための一製造工程を示すウエハの流れに沿ったブロック図である。また、図１５は、第４の従来技術の問題点を説明するための一製造工程を示すウエハの流れに沿ったブロック図である。
【００３１】
図１４に示す第３の従来技術では、前記搬送制御装置は、前工程処理後の複数のウエハを格納したカセットが、ポート１３０に到着後、入替え搬送装置１４０によってカセットからウエハを１枚ずつ（枚葉）取り出し、最初の仕掛棚ＢＵＦ１が空いていれば、該仕掛棚ＢＵＦ１へ搬送する。各仕掛棚に搬送されたウエハは、搬送装置を経由して処理中でない生産装置の空き状態と、次の仕掛棚の空き状態を確認しながら搬送するようになっている。例えば、処理装置の最寄りの仕掛棚が空いていれば、該仕掛棚にウエハを搬送する。すなわち、
（ａ）前工程処理後のウエハについて、仕掛棚ＢＵＦ１が空いていれば仕掛棚ＢＵＦ１へ搬送する。
（ｂ）仕掛棚ＢＵＦ１に搬送されたウエハについて、生産装置ＭＣＮ１が処理中でないならば、該生産装置ＭＣＮ１へ搬送する一方、生産装置ＭＣＮ１が処理中かつ次の仕掛棚ＢＵＦ２の棚が空いていれば、次の仕掛棚ＢＵＦ２へ搬送する。言わば、仕掛棚ＢＵＦ１は、生産装置ＭＣＮ１の処理待機及び次の仕掛棚ＢＵＦ２の空き待機のウエハの仕掛棚とされる。
（ｃ）仕掛棚ＢＵＦ２に搬送されたウエハについて、生産装置ＭＣＮ２が処理中でないならば、該生産装置ＭＣＮ２へ搬送する一方、生産装置ＭＣＮ２が処理中かつ次の仕掛棚ＢＵＦ３の棚が空いていれば、次の仕掛棚ＢＵＦ３へ搬送する。言わば、仕掛棚ＢＵＦ２は、生産装置ＭＣＮ２の処理待機及び次の仕掛棚ＢＵＦ３の空き待機のウエハの仕掛棚とされる。
（ｄ）仕掛棚ＢＵＦ３に搬送されたウエハについて、生産装置ＭＣＮ３及び生産装置ＭＣＮ４の少なくとも一方が処理中でないならば、処理中でない生産装置へ搬送する。一方、生産装置ＭＣＮ３及び生産装置ＭＣＮ４の双方が処理中であれば、仕掛棚ＢＵＦ３で待機する。言わば、仕掛棚ＢＵＦ２は、生産装置ＭＣＮ３及び生産装置ＭＣＮ４の処理待機のウエハの仕掛棚とされる。
【００３２】
図１５に示す第４の従来技術では、基本制御は第３の従来技術の搬送制御と同様であり、前記（ａ）〜（ｄ）の搬送制御に加えて、次の（ｅ）及び（ｆ）の搬送制御を行う。すなわち、
（ｅ）仕掛棚ＢＵＦ２に搬送されたウエハについて、生産装置ＭＣＮ１が処理中でなくかつ仕掛棚ＢＵＦ１の仕掛より古いウエハであれば、生産装置ＭＣＮ１へ搬送して該生産装置ＭＣＮ１で処理する。
（ｆ）仕掛棚ＢＵＦ３に搬送されたウエハについて、生産装置ＭＣＮ２が処理中でなくかつ仕掛棚ＢＵＦ２の仕掛より古いウエハであれば、生産装置ＭＣＮ２へ搬送して該生産装置ＭＣＮ２で処理する。
【００３３】
第３及び第４の従来技術の搬送制御では、前記の搬送制御によって、各生産装置へのウエハの供給を同一ロット内において途切れないようにすることができる。
【００３４】
ところが、これら第３及び第４の従来技術の搬送制御では、ロットＡと次のロットＢとの繋ぎ目において、最初のロットＡのウエハが仕掛棚ＢＵＦ１を越えて仕掛棚ＢＵＦ２及び仕掛棚ＢＵＦ３に搬送され、次のロットＢのウエハが、仕掛棚ＢＵＦ１を経由して生産装置ＭＣＮ１に搬送されると、仕掛棚ＢＵＦ２及び仕掛棚ＢＵＦ３に搬送されていたロットＡのウエハよりも先に処理が終了してしまう。そうすると、ロットＡのカセット１８１は、ポート１３０で待機状態になり、次に処理を行うロットＣのカセット１８３のポート１３０への搬送ができなくなり、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４で処理するウエハが途切れてしまうという問題点がある。
【００３５】
本発明は、かかる問題点を解決すべく創案されたもので、その目的は、生産装置への搬送物の供給が途切れることを可及的に少なくできる搬送制御方法及び搬送制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３６】
本発明は、前記課題を解決するために、次の搬送制御方法及び搬送制御装置を提供する。
（１）搬送制御方法
搬送物に所定の生産処理を行う一又は複数の生産装置からなる複数群の生産装置群と、前記複数群の生産装置群に対して搬送物を搬送するために該複数群の生産装置群に対応して設けられた一又は複数の搬送装置と、前記複数群の生産装置群への搬送物の搬送に先立って該搬送物を格納するために該複数群の生産装置群に対応して設けられた仕掛棚とを備えた搬送システムにおいて搬送元の仕掛棚から搬送先の仕掛棚への搬送物の搬送を制御する搬送制御方法であって、前記生産装置毎の処理時間及び前記生産装置毎の該生産装置の稼働中又は停止中を示す稼働状態情報を記憶する生産情報記憶ステップと、前記仕掛棚毎の仕掛数を記憶する仕掛棚情報記憶ステップと、前記生産情報記憶ステップにて記憶された前記生産装置毎の前記処理時間及び前記生産装置毎の前記稼働状態情報に基づき、前記生産装置毎の生産能力を算出する生産能力算出ステップと、前記生産能力算出ステップで算出した前記生産装置毎の生産能力に関し該生産装置毎の生産能力を合計した全生産装置の生産能力に対する搬送先以降の生産装置毎の生産能力を合計した下流側生産装置の生産能力の比率を閾値とし、前記仕掛棚情報記憶ステップにて記憶された前記仕掛棚毎の仕掛数に関し該仕掛棚毎の仕掛数を合計した全仕掛棚の仕掛数に対する搬送先以降の仕掛棚毎の仕掛数を合計した下流側仕掛棚の仕掛数の比率が前記閾値以下であれば、前記搬送元の仕掛棚から搬送物を搬出することを決定する搬送決定ステップとを含むことを特徴とする搬送制御方法。
（２）搬送制御装置
搬送物に所定の生産処理を行う一又は複数の生産装置からなる複数群の生産装置群と、前記複数群の生産装置群に対して搬送物を搬送するために該複数群の生産装置群に対応して設けられた一又は複数の搬送装置と、前記複数群の生産装置群への搬送物の搬送に先立って該搬送物を格納するために該複数群の生産装置群に対応して設けられた仕掛棚とを備えた搬送システムにおいて搬送元の仕掛棚から搬送先の仕掛棚への搬送物の搬送を制御する搬送制御装置であって、前記生産装置毎の処理時間及び前記生産装置毎の該生産装置の稼働中又は停止中を示す稼働状態情報を記憶する生産情報記憶手段と、前記仕掛棚毎の仕掛数を記憶する仕掛棚情報記憶手段と、前記生産情報記憶手段にて記憶された前記生産装置毎の前記処理時間及び前記生産装置毎の前記稼働状態情報に基づき、前記生産装置毎の生産能力を算出する生産能力算出手段と、前記生産能力算出手段で算出した前記生産装置毎の生産能力に関し該生産装置毎の生産能力を合計した全生産装置の生産能力に対する搬送先以降の生産装置毎の生産能力を合計した下流側生産装置の生産能力の比率を閾値とし、前記仕掛棚情報記憶手段にて記憶された前記仕掛棚毎の仕掛数に関し該仕掛棚毎の仕掛数を合計した全仕掛棚の仕掛数に対する搬送先以降の仕掛棚毎の仕掛数を合計した下流側仕掛棚の仕掛数の比率が前記閾値以下であれば、前記搬送元の仕掛棚から搬送物を搬出することを決定する搬送決定手段とを備えることを特徴とする搬送制御装置。
【００３７】
本発明に適用される搬送システムでは、前記複数の生産装置群に前記一又は複数の生産装置が割り当てられている。そして、前記生産装置群に対して搬送物を前記搬送装置によって搬送し、前記生産装置群の前記搬送装置によって搬送物に前記所定の生産処理を行う。このとき、前記生産装置群への搬送物の搬送に先立って該生産装置群に対応して設けられた仕掛棚によって該搬送物を格納する。
【００３８】
かかる搬送システムにおいて、本発明では、先ず、前記生産装置毎の処理時間及び前記生産装置毎の該生産装置の稼働中又は停止中を示す稼働状態情報を記憶すると共に、前記仕掛棚毎の仕掛数を記憶する。次に、該記憶された前記生産装置毎の前記処理時間及び前記生産装置毎の前記稼働状態情報に基づき、前記生産装置毎の生産能力を算出する。
【００３９】
こうして算出した前記生産装置毎の生産能力を合計した前記全生産装置の生産能力に対する搬送先以降の生産装置毎の生産能力を合計した前記下流側生産装置の生産能力の比率を閾値とする。そして、前記記憶された前記仕掛棚毎の仕掛数を合計した前記全仕掛棚の仕掛数に対する搬送先以降の仕掛棚毎の仕掛数を合計した前記下流側仕掛棚の仕掛数の比率が前記閾値以下であれば、前記搬送元の仕掛棚から搬送物を搬出することを決定する。
【００４０】
このように本発明によれば、前記全仕掛棚の仕掛数に対する前記下流側仕掛棚の仕掛数の比率が、前記閾値以下のときに、前記搬送元の仕掛棚から搬送物を搬出することを決定するので、生産装置への搬送物の供給が途切れることを可及的に少なくすることができる。例えば、前記した第２の従来技術の如く、生産装置が停止しても処理する搬送物が途切れることがなく、また、前記した第３及び第４の従来技術の如く、カセットから投入された搬送物の順序が逆転することがなく、カセットから投入された搬送物と同じ順序で、可能な限り該カセットへ戻すように制御することができ、それだけ、処理後のカセットの出庫が遅れないようにして、次に処理する搬送物のカセットを搬送できるようにすることができる。
【発明の効果】
【００４１】
以上説明したように、本発明によると、生産装置への搬送物の供給が途切れることを可及的に少なくできる搬送制御方法及び搬送制御装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施の形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
【００４３】
図１は、本発明に係る搬送制御方法を実施する搬送制御装置を適用した搬送システムのシステム構成の一例を示す説明図である。
【００４４】
なお、本実施の形態においては、搬送物をウエハとして半導体デバイスを製造する半導体デバイスの一製造工程において用いられる搬送システムを例に挙げて説明を行うものとする。
【００４５】
この製造工程において使用される搬送システム２０は、複数の搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢｋ（ｋは２以上の整数）と、複数の生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍ（ｍは２以上の整数）と、複数の仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎ（ｎは２以上の整数：ｎ≦ｋ、ｎ≦ｍ）とを備えている。
【００４６】
搬送システム２０は、例えば、ＬＡＮ（Local Area Network）やインターネットといったネットワーク２４を介して、搬送制御装置１０と接続されている。
【００４７】
生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍは、複数群の生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰｎに対して一又は複数に割り当てられており、ウエハに所定の生産処理を行うためのものである。
【００４８】
搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢｋは、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰｎに対応してそれぞれ一又は複数設けられており、該生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰｎに対してウエハを順次搬送するためのものである。すなわち、搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢｋは、対応する生産装置群の生産装置及び次の生産装置群の仕掛棚にウエハを搬送するものである。
【００４９】
仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎは、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰｎに対応してそれぞれ一つずつ設けられており、各生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰｎへのウエハの搬送に先立って該ウエハを格納するもためのものである。詳しくは、仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎは、仕掛りウエハを保管する複数の棚を保有している。このうち、最後の仕掛棚ＢＵＦｎを除く仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎ−１は、対応する生産装置群の生産装置の生産処理中での処理待ち及び搬送先の仕掛棚の空き待ち仕掛棚とされ、最後の仕掛棚ＢＵＦｎは、対応する生産装置群の生産装置の生産処理中での処理待ち仕掛棚とされる。なお、ここでは、各仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎに設けられた複数の棚は、いずれもウエハ一つ分を保管するものとされている。
＜搬送制御装置１０の構成について＞
本実施形態に係る搬送制御装置１０は、搬送システム２０において仕掛棚間でウエハの搬送を制御するようになっており、搬送指示部１２、生産装置管理部１３及び仕掛棚管理部１４を備えている。そして、搬送指示部１２は、生産能力算出手段と、搬送決定手段とを備えている。生産装置管理部１３は、生産情報記憶手段を備えている。また、仕掛棚管理部１４は、仕掛棚情報記憶手段を備えている。
【００５０】
前記生産情報記憶手段は、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍ毎の処理時間Ｔ１〜Ｔｍ及び生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍ毎の稼働中又は停止中を示す稼働状態情報Ｑ１〜Ｑｍを記憶するようになっている。前記仕掛棚情報記憶手段は、仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎ毎の棚数Ｐ１〜Ｐｎ及び仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎ毎の仕掛数Ｒ１〜Ｒｎを記憶するようになっている。前記生産能力算出手段は、前記生産情報記憶手段にて記憶された生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍ毎の処理時間Ｔ１〜Ｔｍ及び生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍ毎の稼働状態情報Ｑ１〜Ｑｍに基づき、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍ毎の生産能力Ｅ１〜Ｅｍを算出するようになっている。そして、前記搬送決定手段は、前記仕掛棚情報記憶手段にて記憶された搬送先の仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎの仕掛数Ｒ１〜Ｒｎが前記仕掛棚情報記憶手段にて記憶された搬送先の仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎの棚数Ｐ１〜Ｐｎより小さいときに、次の処理を行う。
【００５１】
すなわち、前記搬送決定手段は、下記式１で算出された値を閾値ＴＨ１〜ＴＨｎとするようになっている。
（閾値）＝（下流側生産装置の生産能力）／（全生産装置の生産能力）…式１
ここで、「全生産装置の生産能力」は、前記生産能力算出手段で算出した生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍ毎の生産能力Ｅ１〜Ｅｍを合計した値である。また、「下流側生産装置の生産能力」は、前記生産能力算出手段で算出した生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍ毎の生産能力Ｅ１〜Ｅｍに関し搬送先の生産装置群ＧＲＰｊ（ｊは２以上ｎ以下の整数）以降の生産装置ＭＣＮｉ（ｉは２以上ｍ以下の整数）〜ＭＣＮｍ毎の生産能力Ｅｉ〜Ｅｍを合計した値である。なお、添え字の「ｉ」は、例えば、搬送先の生産装置群ＧＲＰｊにおける稼働中の生産装置のうち、符号の添え字番号が最も若い生産装置が生産装置ＭＣＮ２である場合には“２”となり、生産装置ＭＣＮ３である場合には“３”となる。閾値ＴＨｊは、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰｎ毎、すなわち生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰｎに対応する仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎ毎に設定される。
【００５２】
さらに、前記搬送決定手段は、下記式２の関係を満たせば、搬送元の仕掛棚ＢＵＦｊ−１から搬送先の（次の）仕掛棚ＢＵＦｊへウエハを搬送することを決定するようになっている。なお、添え字の「ｊ」は、例えば、搬送先の仕掛棚が仕掛棚ＢＵＦ２である場合には“２”となり、仕掛棚ＢＵＦ３である場合には“３”となる。
（下流側仕掛棚の仕掛数）／（全仕掛棚の仕掛数）≦（閾値）…式２
ここで、「全仕掛棚の仕掛数」は、前記仕掛棚情報記憶手段にて記憶された仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎ毎の仕掛数Ｒ１〜Ｒｎを合計した値である。また、「下流側仕掛棚の仕掛数」は、搬送先以降の仕掛棚ＢＵＦｊ〜ＢＵＦｎ毎の仕掛数Ｒｊ〜Ｒｎを合計した値である。
【００５３】
さらに、前記搬送決定手段は、搬送元の生産装置群ＧＲＰｊ−１を構成する全ての生産装置が故障等によって停止状態になったときに、対応する搬送元の仕掛棚ＢＵＦｊ−１にウエハがある場合での該搬送元の仕掛棚ＢＵＦｊ−１もしくは該搬送元の仕掛棚ＢＵＦｊ−１よりウエハ搬送方向Ｗにおいて一つ上流側の仕掛棚ＢＵＦｊ−２のウエハを搬送先の仕掛棚ＢＵＦｊへ搬送するようになっている。
【００５４】
詳しくは、搬送制御装置１０は、工程使用装置定義領域１１ａ、生産装置情報領域１１ｂ及び仕掛棚情報領域１１ｃから構成されるデータベース１１を搭載している。工程使用装置定義領域１１ａには、工程使用装置定義テーブルが格納されている。生産装置情報領域１１ｂには、生産装置情報テーブルが格納されている。また、仕掛棚情報領域１１ｃには、仕掛棚情報テーブルが格納されている。そして、前記生産情報記憶手段は、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍの生産処理に要する処理時間Ｔ１〜Ｔｍと、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍの故障などにより停止している状態を停止フラグ（ここでは“０”）とし稼働している状態を稼働フラグ（ここでは“１”）とする稼働状態情報Ｑ１〜Ｑｍとを生産装置情報領域１１ｂの前記生産装置情報テーブルに格納する。また、前記仕掛棚情報記憶手段は、仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎにおける棚の数である棚数Ｐ１〜Ｐｎと、仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎに対するウエハの搬入もしくは搬出に基づく仕掛数Ｒ１〜Ｒｎとを仕掛棚情報領域１１ｃの前記仕掛棚情報テーブルに格納する。
【００５５】
なお、これらの領域を記憶するデータベース１１は、物理的に単一の記憶装置に搭載する必要はなく、異なる複数の記憶装置に分散して配置されたデータベースによって実現してもよい。
【００５６】
生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍは、各生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰｎに少なくとも１つ割り当てられており、ウエハが生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰｎの順に各生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍを通過すると同時に、このウエハに対して生産処理が施されることによって半導体デバイスが完成するようになっている。このとき、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍで生産処理されるウエハは、該ウエハを搬送する搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢｋ及び仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎを経由する。
【００５７】
搬送指示部１２は、搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢｋに対して、各ウエハを生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍもしくは仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎへ搬送するか否かを指示するものである。
【００５８】
生産装置管理部１３は、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍに対して、ウエハの生産処理を指示するものである。この指示によって、ウエハは保管されている仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎから、搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢｋを経由して、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍに搬送され、ここで所定の生産処理が実施される。また、生産装置管理部１３は、各生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍが稼働しているか否かを監視しており、前記生産装置情報テーブルに格納されている稼働状態情報Ｑ１〜Ｑｍを随時更新する。
【００５９】
仕掛棚管理部１４は、各仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎの仕掛数Ｒ１〜Ｒｎを監視しており、前記仕掛棚情報テーブルに格納されている仕掛数Ｒ１〜Ｒｎを随時更新する。
【００６０】
なお、前記生産情報記憶手段は、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍの合計台数及び生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍを識別するための生産装置識別情報をさらに記憶するようになっている。詳しくは、前記生産情報記憶手段は、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍの台数を合計した合計台数「ｍ」と、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍの生産装置名「Ｍｃｎ１」〜「Ｍｃｎｍ」を工程使用装置定義領域１１ａの前記工程使用装置定義テーブルに格納する。
＜搬送制御装置１０の処理手順について＞
次に、図１に示す搬送制御装置１０の処理手順について、図１２に示す製造工程の搬送システム２０に適用した場合を例にとって図２から図９を参照しながら以下に説明する。なお、図１２に示す製造工程の全体的な動作については、既に説明した通りであり、ここでは説明を省略する。
【００６１】
先ず、工程使用装置定義領域１１ａに格納されている工程使用装置定義テーブルの詳細について、図２を参照しつつ説明する。図２は、工程使用装置定義領域１１ａに格納されている製造工程単位の工程装置情報３００の詳細内容の一例を示す説明図である。
【００６２】
工程装置情報３００には、製造工程を識別するための識別情報（ここでは工程番号）３０１と、この製造工程を処理するために使用する生産装置の台数３０２と、前記生産装置の合計台数３０２と、生産装置を識別するための識別情報（ここでは生産装置名）３０３〜３０６とが含まれている。生産装置名３０３〜３０６の「Ｍｃｎ１」〜「Ｍｃｎ４」は、図１２でウエハ搬送方向Ｗ上流から順番に配置された生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４にそれぞれ割り当てたものである。工程装置情報３００は予め定義されているものとする。
【００６３】
また、生産装置情報領域１１ｂに格納されている生産装置情報テーブルの詳細について、図３を参照しつつ説明する。図３は、生産装置情報領域１１ｂに格納されている生産装置単位の生産装置情報４００の詳細内容の一例を示す説明図である。
【００６４】
生産装置情報４００には、工程装置情報３００で示している生産装置名３０１と同じ生産装置名４０１と、生産装置名４０１の仕掛棚としてウエハを保管する仕掛棚名４０２と、生産装置名４０１の個々のウエハ１枚を処理するのに要する処理時間Ｔと、生産装置名４０１の個々の稼働状態情報Ｑと、生産装置名４０１の個々の１時間当りの生産枚数（生産能力）Ｅとが含まれている。仕掛棚名４０２の「Ｂｕｆ１」，「Ｂｕｆ２」，「Ｂｕｆ３」は、図１２でウエハ搬送方向Ｗ上流から順番に配置された生産装置群ＧＲＰ１（生産装置ＭＣＮ１），生産装置群ＧＲＰ２（生産装置ＭＣＮ２），生産装置群ＧＲＰ３（生産装置ＭＣＮ３，ＭＣＮ４）に対応する仕掛棚ＢＵＦ１，ＢＵＦ２，ＢＵＦ３にそれぞれ割り当てたものである。
【００６５】
稼働状態情報Ｑは、現在の生産装置の稼働状態Ｑ（“０”が停止中、“１”が稼働中）を示しており、生産装置管理部１３によって、常に更新される。
【００６６】
時間当りの生産枚数Ｅは、次の計算式で計算した値を示すものであり、稼働状態Ｑが更新される毎に算出される。ここでは、１時間当りの生産枚数で考えるとして、生産枚数Ｅ［枚／時間］は、下記式３で算出できる。
３６００［秒／時間］／（処理時間Ｔ［秒／枚］）＊（稼働状態情報Ｑ）…式３
生産装置名４０１の「Ｍｃｎ１」（生産装置ＭＣＮ１）の時間当りの生産枚数Ｅ１は、処理時間Ｔ１が１００［秒／枚］、稼働状態情報Ｑ１が“１”（稼働中）であるので、前記式３に代入すると、
３６００［秒／時間］／１００［秒／枚］＊１＝３６［枚／時間］
となる。同様に、生産装置名４０１の「Ｍｃｎ２」〜「Ｍｃｎ４」（生産装置ＭＣＮ２〜ＭＣＮ４）の時間当りの生産枚数Ｅ２〜Ｅ４が、それぞれ、前記式３で算出できる。ここでは、生産装置名４０１の「Ｍｃｎ２」〜「Ｍｃｎ４」（生産装置ＭＣＮ２〜ＭＣＮ４）の処理時間Ｔ２〜Ｔ４が全て１００［秒／枚］かつ稼働状態情報Ｑ２〜Ｑ４が全て“１”（稼働中）である。これを前記式３に代入すると、生産装置名４０１の「Ｍｃｎ２」〜「Ｍｃｎ４」（生産装置ＭＣＮ２〜ＭＣＮ４）の時間当りの生産枚数Ｅ２〜Ｅ４は、全て３６［枚／時間］となる。ここでは、処理時間Ｔ１〜Ｔ４を全て１００［秒／枚］としたが、処理時間はこれに限定されるものではない。
【００６７】
さらに、仕掛棚情報領域１１ｃに格納されている仕掛棚情報テーブルについて、図４を参照しつつ説明する。図４は、仕掛棚情報領域１１ｃに格納されている仕掛棚情報５００の詳細内容の一例を示す説明図である。
【００６８】
仕掛棚情報５００には、生産装置情報４００で示している仕掛棚名４０２と同じ仕掛棚名５０１と、仕掛棚名５０１の個々の棚数Ｐと、仕掛棚名５０１の個々のウエハの仕掛数Ｒと、搬送先の仕掛棚への搬送を判定する閾値ＴＨとが含まれている。棚数Ｐは、一つのウエハを保管する棚の数量である。仕掛数Ｒは、現在の仕掛棚に保管されているウエハの数量を示しており、仕掛棚管理部１４によって、常に更新される。
【００６９】
閾値ＴＨは、次の計算式で計算した値を示すものであり、仕掛数Ｒが更新される毎に算出される。但し、ウエハの投入口である仕掛棚ＢＵＦ１には閾値ＴＨ１の設定はない。
（閾値ＴＨｊ）＝（生産枚数Ｅｉ〜Ｅｍの合計）／（生産枚数Ｅ１〜Ｅｍの合計）…式４
但し、ｉは、搬送先の生産装置群ＧＲＰｊにおける稼働中の生産装置のうち、符号の添え字番号が最も若い生産装置に付されている添え字番号に対応する値を意味する。
【００７０】
仕掛棚名５０１の「Ｂｕｆ２」（仕掛棚ＢＵＦ２）の閾値ＴＨ２は、式４から
（３６＋３６＋３６）／（３６＋３６＋３６＋３６）＝３／４＝０．７５
となる。
【００７１】
また、仕掛棚名５０１の「Ｂｕｆ３」（仕掛棚ＢＵＦ３）の閾値ＴＨ３は、式４から
（３６＋３６）／（３６＋３６＋３６＋３６）＝１／２＝０．５
となる。
【００７２】
図１２に示す製造工程では、先ず、入替え搬送装置１４０でポート１３０に搬送されたカセットからウエハを取り出すと、該ウエハが仕掛棚ＢＵＦ１の前で搬送待ち状態になる。ここで、搬送指示部１２が、搬送元の入替え搬送装置１４０から、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ１への搬送を判断する。以下、図５に示すフローチャートに沿って図６を参照しつつ説明する。
【００７３】
図５は、図１に示す搬送制御装置１０によって実施される搬送制御方法のフローチャートの一例を示す図である。また、図６は、図１に示す搬送制御装置１０を適用した図１２の搬送システム１０を示すウエハの流れに沿ったブロック図である。なお、ここでは、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ３の全ての生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４が稼働している場合について説明する。この搬送制御は、各仕掛棚間で行うことができる。
【００７４】
搬送制御装置１０の搬送制御において、図５に示すように、ステップＳ１では、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ１の仕掛数Ｒ１が、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ１の棚数Ｐ１より小さいか否かを判断する。ここで、仕掛棚ＢＵＦ１の棚数Ｐ１は、図４に示す仕掛棚情報５００における仕掛棚名「Ｂｕｆ１」（仕掛棚ＢＵＦ１）の棚数“４”を参照し、仕掛棚ＢＵＦ１の仕掛数Ｒ１は、図４に示す掛棚情報５００における仕掛棚名「Ｂｕｆ１」（仕掛棚ＢＵＦ１）の仕掛数“２”を参照する。
【００７５】
ステップＳ１で、仕掛数Ｒ１が棚数Ｐ１と等しい（仕掛棚がウエハで一杯）と判断した場合は、搬送先の仕掛ＢＵＦ１の棚が空くまで待機状態となる。例えば、仕掛棚管理部１４は、仕掛棚ＢＵＦ１からのウエハの搬出・搬入状況（仕掛数）を監視しており、ウエハが搬出された（棚が空いた）ことを察知すると、搬送指示部１２に対して、搬送判別（ステップＳ１の判別）を行うように指示する。一方、仕掛数Ｒ１が棚数Ｐ１より小さい（仕掛棚が空いている）と判断した場合は、ステップＳ２の処理を行う。ここでは、仕掛数Ｒ１が棚数Ｐ１より小さい（仕掛棚ＢＵＦ１の棚に空きがある）と判断して、ステップＳ２の処理を行う。
【００７６】
ステップＳ２では、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ１に閾値ＴＨ１が設定されているか否かの判断を行う。ここで、仕掛棚ＢＵＦ１の閾値ＴＨ１は、図４に示す仕掛棚情報５００における仕掛棚名「Ｂｕｆ１」（仕掛棚ＢＵＦ１）の閾値ＴＨ１を参照する。ステップＳ２で、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ１に閾値ＴＨ１が設定されていないと判断した場合は、ステップＳ５の処理を行う。一方、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ１に閾値ＴＨ１が設定されていると判断した場合は、ステップＳ３の処理を行う。ここでは、仕掛棚ＢＵＦ１は投入口であり、仕掛棚ＢＵＦ１の閾値ＴＨ１は設定されていないと判断して、ステップＳ５の処理を行う。
【００７７】
ステップＳ５では、搬送指示部１２は、入替え搬送装置１４０に対して、ウエハを仕掛棚ＢＵＦ１へ搬送するように指示し、ステップＳ８へ進む。このとき、仕掛棚管理部１４は、ウエハが仕掛棚ＢＵＦ１へ到着すると、図４に示す仕掛棚情報５００における仕掛棚名「Ｂｕｆ１」（仕掛棚ＢＵＦ１）の仕掛数Ｒ１に１を加算する。ステップＳ８では、搬送処理が終了であるか否か判断し、搬送処理が継続する場合にはステップＳ１へ戻る。
【００７８】
仕掛棚ＢＵＦ２は、生産装置ＭＣＮ２の生産装置群ＧＲＰ２に対応する仕掛棚であり、全生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４は稼働中なので、本製造工程Ａの全仕掛数の１／４［生産装置ＭＣＮ２の生産能力（＝３６）］／［全生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４の生産能力（＝３６＋３６＋３６＋３６）］以下を搬送する（図６参照）。その後、仕掛棚ＢＵＦ１のウエハが、生産装置ＭＣＮ１での処理待ちもしくは次の仕掛棚ＢＵＦ２への搬送待ち状態になる。ここで、搬送指示部１２が、搬送元の仕掛棚ＢＵＦ１から、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２への搬送を判別する（ステップＳ１）。
【００７９】
すなわち、ステップＳ１では、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２の仕掛数Ｒ２が、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２の棚数Ｐ２より小さいか否かを判断する。ここで、仕掛棚ＢＵＦ２の棚数Ｐ２は、図４の仕掛棚情報５００の仕掛棚名「Ｂｕｆ２」欄の棚数「４」を参照し、仕掛棚ＢＵＦ２の仕掛数Ｒ２は、図４の仕掛棚情報５００の仕掛棚名「Ｂｕｆ２」欄の仕掛数「１」を参照する。ここでは、仕掛数Ｒ２が棚数Ｐ２より小さい（仕掛棚ＢＵＦ２の棚に空きがある）と判断して、ステップＳ２の処理を行う。
【００８０】
ステップＳ２では、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２に閾値ＴＨ２が設定されているか否かの判断をする。ここで、仕掛棚ＢＵＦ２に閾値ＴＨ２は、図４の仕掛棚情報５００の仕掛棚名「Ｂｕｆ２」欄の閾値「０．７５」を参照する。ここでは、閾値ＴＨ２が設定されているので、ステップＳ３の処理を行う。
【００８１】
ステップＳ３では、前記式２の条件を満たすか否かを判断する。すなわち、全仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３の仕掛数Ｒ１〜Ｒ３を合計した全仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３の仕掛数に対する搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２を含むウエハ搬送方向Ｗ下流側の仕掛棚ＢＵＦ２〜ＢＵＦ４の仕掛数Ｒ２〜Ｒ４を合計した下流側仕掛棚ＢＵＦ２〜ＢＵＦ３の仕掛数の比率が、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２の閾値ＴＨ２以下であるか否かを判断する。ここで、仕掛棚ＢＵＦ１，ＢＵＦ２，ＢＵＦ３の仕掛数Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３は、図４の仕掛棚情報５００の仕掛棚名「Ｂｕｆ１」，「Ｂｕｆ２」，「Ｂｕｆ３」欄の仕掛数「２」，「１」，「４」を参照する。
【００８２】
全仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３の仕掛数に対する下流側仕掛棚ＢＵＦ２〜ＢＵＦ３の仕掛数の比率が、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２の閾値ＴＨ２より大きいと判断した場合は、搬送先の仕掛ＢＵＦ２に対して、ウエハの搬送が実施されるまで待機状態となる。一方、全仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３の仕掛数に対する下流側仕掛棚ＢＵＦ２〜ＢＵＦ３の仕掛数の比率が、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２の閾値ＴＨ２以下と判断した場合は、ステップＳ４の処理を行う。ここでは、全仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３の仕掛数は（２＋１＋４）＝７、下流側仕掛棚ＢＵＦ２，ＢＵＦ３の仕掛数は（１＋４）＝５となり、全仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３の仕掛数に対する下流側仕掛棚ＢＵＦ２，ＢＵＦ３の仕掛数の比率は（５／７）＝０．７１となる。従って、この比率（０．７１）が、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２の閾値ＴＨ２（０．７５）以下であるとして、ステップＳ４の処理を行う。
【００８３】
ステップＳ４では、搬送元の仕掛棚ＢＵＦ１に対応する生産装置群ＧＲＰ１を構成する全ての生産装置ＭＣＮ１が、停止状態であるか否かを判断する。ここで、図３の生産装置情報４００の生産装置名「Ｍｃｎ１」欄の稼働状態情報Ｑ１を参照する。この稼働状態情報Ｑ１が「０」の場合、生産装置ＭＣＮ１が停止中と判断して、次の処理はステップＳ７となる。一方、稼働状態情報Ｑ１が「１」の場合、生産装置ＭＣＮ１が稼働中と判断して、次の処理はステップＳ６となる。ここでは、稼働状態情報Ｑ１が「１」であるので、ステップＳ６の処理を行う。
【００８４】
ステップＳ６では、搬送指示部１２は、搬送装置ＲＯＢ１に対して、ウエハを搬送元の仕掛棚ＢＵＦ１から、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２へ搬送するように指示し、ステップＳ７へ進む。そうすると、搬送装置ＲＯＢ１は、仕掛棚ＢＵＦ１の仕掛の中から古いウエハ（但し、次に生産装置ＭＣＮ１で処理予定のウエハを除く）を仕掛棚ＢＵＦ２へ搬送する。仕掛棚管理部１４は、ウエハが仕掛棚ＢＵＦ１から搬出されると、図４の仕掛棚情報５００の仕掛棚名「Ｂｕｆ１」（仕掛棚ＢＵＦ１）の仕掛数Ｒ１に対して１を減算する一方、ウエハが仕掛棚ＢＵＦ２へ到着すると、仕掛棚情報５００の仕掛棚名「Ｂｕｆ２」（仕掛棚ＢＵＦ２）の仕掛数Ｒ２に１を加算する。
【００８５】
仕掛棚ＢＵＦ３は、生産装置ＭＣＮ３，４の生産装置群ＧＲＰ３に対応する仕掛棚であり、全生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４は稼働中なので、本製造工程Ａの全仕掛数の２／４［生産装置ＭＣＮ３，ＭＣＮ４の生産能力（＝３６＋３６）］／［全生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４の生産能力（＝３６＋３６＋３６＋３６）］以下を搬送する（図６参照）。その後、仕掛棚ＢＵＦ２にウエハが到着すると、搬送指示部１２が、搬送元の仕掛棚ＢＵＦ２から、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ３への搬送を判別する（ステップＳ１）。
【００８６】
すなわち、ステップＳ１では、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ３の仕掛数Ｒ３が、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ３の棚数Ｐ３より小さいか否かを判断する。ここで、仕掛棚ＢＵＦ３の棚数Ｐ３は、図４の仕掛棚情報５００の仕掛棚名「Ｂｕｆ３」欄の棚数「４」を参照し、仕掛棚ＢＵＦ３の仕掛数Ｒ３は、図４の仕掛棚情報５００の仕掛棚名「Ｂｕｆ３」欄の仕掛数「４」を参照する。ここでは、仕掛数Ｒ３が棚数Ｐ３と同じ（仕掛棚ＢＵＦ３の棚に空きがない）と判断して、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ３に対して、ウエハの搬送が実施されるまで待機状態となる。
【００８７】
次に、搬送元の生産装置群の全ての生産装置（ここでは生産装置群ＧＲＰ２の生産装置ＭＣＮ２）が、故障等によって停止状態になった場合について説明する。
【００８８】
図７は、生産装置情報領域１１ｂに格納されている生産装置単位の生産装置情報４００の詳細内容の他の例を示す説明図である。図８は、仕掛棚情報領域１１ｃに格納されている仕掛棚情報５００の詳細内容の他の例を示す説明図である。また、図９は、図１に示す搬送制御装置１０を適用した図１２の搬送システム１０を示すウエハの流れに沿ったブロック図である。なお、図９では、生産装置（ここでは生産装置ＭＣＮ２）の停止状態を網掛けで示している。
【００８９】
図３の生産装置情報４００の生産装置名「Ｍｃｎ２」欄の稼働状態情報Ｑ２が稼働「１」から停止「０」に更新されると、図７に示すように、生産装置情報４００の生産装置名「Ｍｃｎ２」欄の稼働状態情報Ｑ２が「０」となると同時に、時間当たりの生産枚数Ｅ２は、前記式３より
３６００［秒／時間］／１００［秒／枚］＊０＝０［枚／時間］
となる。
【００９０】
一方、図８の仕掛棚情報５００では、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２の閾値ＴＨ２は、前記式４から
（０＋３６＋３６）／（３６＋０＋３６＋３６）＝２／３＝０．６７
となる。
【００９１】
また、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ３の閾値ＴＨ３は、前記式４から
（３６＋３６）／（３６＋３６＋３６）＝２／３＝０．６７
となる。
【００９２】
仕掛棚ＢＵＦ２は、生産装置ＭＣＮ２の生産装置群ＧＲＰ２に対応する仕掛棚であり、生産装置ＭＣＮ２は停止中なので、本製造工程Ａの全仕掛数の２／３［生産装置ＭＣＮ３，ＭＣＮ４の生産能力（＝３６＋３６）］／［全生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４の生産能力（＝３６＋３６＋３６）］以下を搬送する（図９参照）。その後、仕掛棚ＢＵＦ１のウエハが、生産装置ＭＣＮ１での処理待ちもしくは次の仕掛棚ＢＵＦ２への搬送待ち状態になる。ここで、搬送指示部１２が、搬送元の仕掛棚ＢＵＦ１から、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２への搬送を判別する（ステップＳ１）。
【００９３】
すなわち、ステップＳ１では、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２の仕掛数Ｒ２が、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２の棚数Ｐ２より小さいか否かを判断する。ここでは、仕掛数Ｒ２が棚数Ｐ２より小さい（仕掛棚ＢＵＦ２の棚に空きがある）と判断して、ステップＳ２の処理を行う。
【００９４】
ステップＳ２では、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２に閾値ＴＨ２が設定されているか否かの判断をする。ここでは、閾値ＴＨ２が設定されているので、ステップＳ３の処理を行う。
【００９５】
ステップＳ３では、前記式２の条件を満たすか否かを判断する。ここでは、全仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３の仕掛数は（２＋２＋３）＝７、下流側仕掛棚ＢＵＦ２，ＢＵＦ３の仕掛数は（２＋３）＝５となり、全仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３の仕掛数に対する下流側仕掛棚ＢＵＦ２，ＢＵＦ３の仕掛数の比率は（５／７）＝０．７１となる。従って、この比率（０．７１）が、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２の閾値ＴＨ２（０．６７）より大きいとして、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２に対して、ウエハの搬送が実施されるまで待機状態となる。一方、全仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３の仕掛数に対する下流側仕掛棚ＢＵＦ２，ＢＵＦ３の仕掛数の比率が搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２の閾値ＴＨ２以下になると、ステップＳ４の処理を行う。
【００９６】
ステップＳ４では、搬送元の仕掛棚ＢＵＦ１に対応する生産装置群ＧＲＰ１を構成する全ての生産装置ＭＣＮ１が、停止状態であるか否かを判断する。ここでは、図７の生産装置情報４００の生産装置名「Ｍｃｎ１」欄の稼働状態情報Ｑ１が「１」であるので、ステップＳ６の処理を行う。
【００９７】
ステップＳ６では、搬送指示部１２は、搬送装置ＲＯＢ１に対して、ウエハを搬送元の仕掛棚ＢＵＦ１から、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ２へ搬送するように指示し、ステップＳ８へ進む。そうすると、搬送装置ＲＯＢ１は、仕掛棚ＢＵＦ１の仕掛の中から古いウエハ（但し、次に生産装置ＭＣＮ１で処理予定のウエハを除く）を仕掛棚ＢＵＦ２へ搬送する。仕掛棚管理部１４は、ウエハが仕掛棚ＢＵＦ１から搬出されると、図８の仕掛棚情報５００の仕掛棚名「Ｂｕｆ１」（仕掛棚ＢＵＦ１）の仕掛数Ｒ１に対して１を減算する一方、ウエハが仕掛棚ＢＵＦ２へ到着すると、仕掛棚情報５００の仕掛棚名「Ｂｕｆ２」（仕掛棚ＢＵＦ２）の仕掛数Ｒ２に１を加算する。
【００９８】
仕掛棚ＢＵＦ３は、生産装置ＭＣＮ３，４の生産装置群ＧＲＰ３に対応する仕掛棚であり、搬送元の生産装置群ＧＲＰ２の生産装置ＭＣＮ２は停止中なので、本製造工程Ａの全仕掛数の２／３［生産装置ＭＣＮ３，ＭＣＮ４の生産能力（＝３６＋３６）］／［全生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４の生産能力（＝３６＋３６＋３６）］以下を搬送する（図９参照）。その後、仕掛棚ＢＵＦ２にウエハが到着すると、搬送指示部１２が、搬送元の仕掛棚ＢＵＦ２から、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ３への搬送を判別する（ステップＳ１）。
【００９９】
すなわち、ステップＳ１では、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ３の仕掛数Ｒ３が、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ３の棚数Ｐ３より小さいか否かを判断する。ここでは、仕掛数Ｒ３が棚数Ｐ３より小さい（仕掛棚ＢＵＦ３の棚に空きがある）と判断して、ステップＳ２の処理を行う。
【０１００】
ステップＳ２では、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ３に閾値ＴＨ３が設定されているか否かの判断をする。ここでは、閾値ＴＨ３が設定されているので、ステップＳ３の処理を行う。
【０１０１】
ステップＳ３では、前記式２の条件を満たすか否かを判断する。ここでは、全仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３の仕掛数は（２＋２＋３）＝７、下流側仕掛棚ＢＵＦ３の仕掛数は「３」となり、全仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ３の仕掛数に対する下流側仕掛棚ＢＵＦ３の仕掛数の比率は（３／７）＝０．４３となる。従って、この比率（０．４３）が、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ３の閾値ＴＨ３（０．６７）以下として、ステップＳ４の処理を行う。
【０１０２】
ステップＳ４では、搬送元の仕掛棚ＢＵＦ２に対応する生産装置群ＧＲＰ２を構成する全ての生産装置ＭＣＮ２が、停止状態であるか否かを判断する。ここでは、図７の生産装置情報４００の生産装置名「Ｍｃｎ２」欄の稼働状態情報Ｑ２が「０」であるので、ステップＳ７の処理を行う。
【０１０３】
ステップＳ７では、搬送指示部１２は、搬送装置ＲＯＢ２もしくはそれより前の搬送装置ＲＯＢ１に対して、ウエハを搬送元の仕掛棚ＢＵＦ２もしくはそれより前の仕掛棚ＢＵＦ１から、搬送先の仕掛棚ＢＵＦ３へ搬送するように指示し、ステップＳ８へ進む。そうすると、搬送装置ＲＯＢ２もしくはそれより前の搬送装置ＲＯＢ１は、搬送元の仕掛棚ＢＵＦ２（生産装置ＭＣＮ２が停止直後で仕掛がある場合）もしくはそれより前の仕掛棚ＢＵＦ１の仕掛の中から古いウエハ（但し、次に生産装置ＭＣＮ１で処理予定のウエハを除く）を仕掛棚ＢＵＦ３へ搬送する。仕掛棚管理部１４は、ウエハが仕掛棚ＢＵＦ２もしくは仕掛棚ＢＵＦ１から搬出されると、図８の仕掛棚情報５００の仕掛棚ＢＵＦ２の仕掛数Ｒ２もしくは仕掛棚ＢＵＦ１の仕掛数Ｒ１に対して１を減算する一方、ウエハが仕掛棚ＢＵＦ３へ到着すると、仕掛棚情報５００の仕掛棚ＢＵＦ３の仕掛数Ｒ３に１を加算する。
【０１０４】
本発明の実施形態に係る搬送制御装置１０によれば、前述したように生産装置前の仕掛棚へ搬送するウエハを制御することで、ポート１３０でカセットが待機する時間を短くすることができ、これにより、次に処理するウエハのカセットを搬送できるようにして、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４へのウエハの供給を効率的に行うことができる。
＜他の実施形態について＞
次に、本発明の実施形態に係る搬送制御装置１０を図１２に示す搬送システム２０の他の例に適用した場合について説明する。
【０１０５】
図１０は、図１２において搬送システム２０の他の例を使用した一製造工程を示すシステムレイアウトの一例である。図１０において、図１２に示す要素と実質的に同じ作用構成を示す要素には同一符号を付している。以下、図１２の製造工程とは異なる点を中心に説明する。
【０１０６】
図１２に示す一製造工程においては、三つの工程ａ，ｂ，ｃに配置され、ウエハに所定の生産処理を行う一又は複数の生産装置からなる４グループの生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ４へウエハを搬送して生産処理を行う搬送システム２０ａと、４０枚のウエハを格納したカセットを保管するカセット仕掛棚１１０と、搬送システム２０ａに接続したポート１３０と、ポート１３０とカセット仕掛棚１１０との間でカセットを搬送するカセット搬送装置１２０と、ポート１３０に搬送されたカセットから処理前のウエハを搬送システム２０ａに向けて搬出すると共に搬送システム２０ａで生産処理した処理後のウエハをカセットへ搬入する入替え搬送装置１４０とが配置されている。
【０１０７】
搬送システム２０ａは、生産装置群ＧＲＰ１，ＧＲＰ２を有する工程ｂと、生産装置群ＧＲＰ３，ＧＲＰ４を有する工程ｃとにおいて、５台の搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢ５と、７台の生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ７と、４台の仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ４とを備えている。
【０１０８】
生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ７は、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ４に対してそれぞれ一又は複数（ここでは２台：２台：１台：２台）にこの順に割り当てられており、搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢ５にて搬送されてくるウエハに所定の生産処理を行うようになっている。詳しくは、生産装置ＭＣＮ１，ＭＣＮ２は生産装置群ＧＲＰ１に、生産装置ＭＣＮ３，ＭＣＮ４は生産装置群ＧＲＰ２にそれぞれ割り当てられている。また生産装置ＭＣＮ５は生産装置群ＧＲＰ３に、生産装置ＭＣＮ６，ＭＣＮ７は生産装置群ＧＲＰ４にそれぞれ割り当てられている。搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢ５は、４グループの生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ４に対応してそれぞれ一又は複数（ここでは２台：１台：１台：１台）にこの順で割り当てられており、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ４に対してウエハを搬送するようになっている。詳しくは、搬送装置ＲＯＢ１，ＲＯＢ２は生産装置群ＧＲＰ１に、搬送装置ＲＯＢ３は生産装置群ＧＲＰ２にそれぞれ割り当てられている。また搬送装置ＲＯＢ４は生産装置群ＧＲＰ３に、搬送装置ＲＯＢ５は生産装置群ＧＲＰ４にそれぞれ割り当てられている。仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ４は、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ４に対応して一つずつ設けられており、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ４へのウエハの搬送に先立って該ウエハを格納するようになっている。すなわち、仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ４は、それぞれ、生産装置群ＧＲＰ１〜ＧＲＰ４の直前に設置されている。
【０１０９】
なお、搬送装置ＲＯＢ１〜ＲＯＢ５には、搬送装置を識別するための識別情報（ここでは「Ｒｏｂ１」〜「Ｒｏｂ５」といった個々の装置を識別するための搬送装置名）が割り当てられている。生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ７には、生産装置を識別するための識別情報（ここでは「Ｍｃｎ１」〜「Ｍｃｎ７」といった個々の装置を識別するための生産装置名）が割り当てられている。また、仕掛棚ＢＵＦ１〜ＢＵＦ４には、仕掛棚を識別するための識別情報（ここでは「Ｂｕｆ１」〜「Ｂｕｆ４」といった個々の装置を識別するための仕掛棚名）が割り当てられている。
【０１１０】
詳しくは、搬送装置ＲＯＢ１は、仕掛棚ＢＵＦ１からのウエハを生産装置ＭＣＮ１，ＭＣＮ２に搬送すると共に生産装置ＭＣＮ１，ＭＣＮ２からのウエハを仕掛棚ＢＵＦ１に搬送するようになっている。搬送装置ＲＯＢ２は、仕掛棚ＢＵＦ１からのウエハを仕掛棚ＢＵＦ２に搬送するようになっている。搬送装置ＲＯＢ３は、仕掛棚ＢＵＦ２からのウエハを生産装置ＭＣＮ３，ＭＣＮ４及び仕掛棚ＢＵＦ３に搬送するようになっている。搬送装置ＲＯＢ４は、仕掛棚ＢＵＦ３からのウエハを生産装置ＭＣＮ５及び仕掛棚ＢＵＦ４に搬送するようになっている。また、搬送装置ＲＯＢ５は、仕掛棚ＢＵＦ４からのウエハを生産装置ＭＣＮ６，ＭＣＮ７及び入替え搬送装置１４０に搬送するようになっている。
【０１１１】
そして、工程ｂには、生産装置群ＧＲＰ１（生産装置ＭＣＮ１，ＭＣＮ２）及びそれに付随する構成（仕掛棚ＢＵＦ１、搬送装置ＲＯＢ１，ＲＯＢ２）と、生産装置群ＧＲＰ２（生産装置ＭＣＮ３，ＭＣＮ４）及びそれに付随する構成（仕掛棚ＢＵＦ２、搬送装置ＲＯＢ３）とが設けられている。また、工程ｃには、生産装置群ＧＲＰ３（生産装置ＭＣＮ５）及びそれに付随する構成（仕掛棚ＢＵＦ３、搬送装置ＲＯＢ４）と、生産装置群ＧＲＰ４（生産装置ＭＣＮ６，ＭＣＮ７）及びそれに付随する構成（仕掛棚ＢＵＦ４、搬送装置ＲＯＢ５）と設けられている。なお、工程ａには、ウエハに前記所定の処理を行う生産装置ＭＣＮ０と、生産装置ＭＣＮ０及び仕掛棚ＢＵＦ１の間でウエハを搬送する搬送装置ＲＯＢ０とが設けられている。搬送装置ＲＯＢ０には「Ｒｏｂ０」といった搬送装置を識別するための搬送装置名が割り当てられている。また、生産装置ＭＣＮ０には「Ｍｃｎ０」といった生産装置を識別するための生産装置名が割り当てられている。
【０１１２】
搬送システム２０ａではウエハを工程ａ，ｂ，ｃの順で処理をする。この処理にあたって、工程ａの生産装置ＭＣＮ０ではウエハを５５秒で処理をすることができる。工程ｂの生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ４ではウエハを２０５秒で処理をすることができる。工程ｃの生産装置ＭＣＮ５〜ＭＣＮ７ではウエハを１８０秒で処理をすることができる。工程ｃで処理するウエハの比率は７０％とされている。
【０１１３】
以上説明した製造工程では、先ず、カセット仕掛棚１１０に保管されているカセット１８１〜１８５がカセット搬送装置１２０によってポート１３０に順次搬送されてくる。図１０では、ロットＡカセット１８１と、ロットＢカセット１８２と、ロットＣカセット１８３とがこの順でポート１３０に搬送された状態を示している。また、このとき、搬送システム２０ａで処理が終了したロットＡのウエハを格納するための空カセット１８６もカセット仕掛棚１１０から搬送されている。
【０１１４】
次に、ポート１３０に搬送されたロットＡカセット１８１内のウエハは、入替え搬送装置１４０によって一枚ずつ取り出され、生産装置ＭＣＮ０へ搬送される。生産装置ＭＣＮ０で処理されたウエハは、搬送装置ＲＯＢ０によって、仕掛棚ＢＵＦ１に搬送される。仕掛棚ＢＵＦ１にはウエハを１０枚格納できる。
【０１１５】
仕掛棚ＢＵＦ１に搬送されたウエハは、搬送装置ＲＯＢ１によって、生産装置ＭＣＮ１もしくは生産装置ＭＣＮ２に搬送されるか、或いは搬送装置ＲＯＢ２によって仕掛棚ＢＵＦ２に搬送される。仕掛棚ＢＵＦ２にはウエハを１０枚格納できる。仕掛棚ＢＵＦ２に搬送されたウエハは、搬送装置ＲＯＢ３によって、生産装置ＭＣＮ３もしくは生産装置ＭＣＮ４もしくは仕掛棚ＢＵＦ３に搬送される。仕掛棚ＢＵＦ３にはウエハを１０枚格納できる。
【０１１６】
仕掛棚ＢＵＦ３に搬送されたウエハのうち７０％は工程Ｃの処理を行う（生産装置ＭＣＮ５〜ＭＣＮ７で処理する）。
【０１１７】
仕掛棚ＢＵＦ３に搬送されたウエハは、搬送装置ＲＯＢ４によって生産装置ＭＣＮ５もしくは仕掛棚ＢＵＦ４に搬送される。仕掛棚ＢＵＦ４にはウエハを１０枚格納できる。
【０１１８】
仕掛棚ＢＵＦ４に搬送されたウエハは、搬送装置ＲＯＢ５によって生産装置ＭＣＮ６もしくは生産装置ＭＣＮ７に搬送される。
【０１１９】
こうして、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ７の何れかで生産処理されたウエハは、以降の搬送装置によって入替え搬送装置１４０へ搬送される。
【０１２０】
生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ７にて生産処理した後のロットＡのウエハは、さらに、入替え搬送装置１４０によって、ポート１３０で待機している空カセット１８６へ搬送される。
【０１２１】
入替え搬送装置１４０では、ロットＡカセット１８１内の全てのウエハが生産装置ＭＣＮ０へ搬送し終わると、続いて、ロットＢカセット１８２内のウエハが取り出され、生産装置ＭＣＮ０へ搬送される。ロットＡカセット１８１内の全てのウエハが生産装置ＭＣＮ０へ搬送し終わると、カセット１８１は空カセットとして、処理後のロットＢのウエハが格納される。
【０１２２】
また、空カセット１８６に処理後のロットＡのウエハが全て戻ってくると、カセット１８６は、カセット搬送装置１２０によって、ポート１３０から搬出され、次の製造工程へと搬送される。そして、次の製造工程へのカセット１８６の搬送のためにポート１３０の空いた場所には、カセット仕掛棚１１０に保管されているロットＤカセット１８４がカセット搬送装置１２０によって搬送される。このときのカセット１８６が搬出されてから、ロットＤカセット１８４が搬送されてくるまでの時間は３０分である。
【０１２３】
以上説明した搬送システム２０ａについても、本発明の実施形態に係る搬送制御装置１０を適用することで、ポート１３０でカセットが待機する時間を短くすることができ、これにより、次に処理するウエハのカセットを搬送できるようにして、生産装置ＭＣＮ１〜ＭＣＮ７へのウエハの供給を効率的に行うことができる。
【０１２４】
この搬送システム２０ａの構成において、前記した第３の従来技術の搬送制御では、１日の平均処理枚数が１４００枚であったが、本発明の実施形態に係る搬送制御を工程Ｃで用いると、１日の平均処理枚数が１４１２枚となることが確認できた。
【０１２５】
なお、本発明に係る搬送制御方法を実施する搬送制御装置を適用する搬送システムとして、ここでは、ウエハを用いた半導体デバイスの製造工程に使用される搬送システムについて例示したが、このような半導体デバイスの製造工程の搬送システムに限定されず、例えば、液晶パネルなど基板の製造工程の搬送システムにも適用可能である。要するに、本発明に係る搬送制御装置は、一又は複数の生産装置からなる複数群の生産装置群と、前記複数群の生産装置群に対して搬送物を搬送するために該複数群の生産装置群に対応して設けられた一又は複数の搬送装置と、前記複数群の生産装置群への搬送物の搬送に先立って該搬送物を格納するために該複数群の生産装置群に対応して設けられた仕掛棚とを配置したようなレイアウトの搬送システムであれば、搬送物は半導体デバイスを製造するウエハや液晶パネルなどの基板に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【０１２６】
【図１】本発明に係る搬送制御方法を実施する搬送制御装置を適用した搬送システムのシステム構成の一例を示す説明図である。
【図２】工程使用装置定義領域に格納されている製造工程単位の工程装置情報の詳細内容の一例を示す説明図である。
【図３】生産装置情報領域に格納されている生産装置単位の生産装置情報の詳細内容の一例を示す説明図である。
【図４】仕掛棚情報領域に格納されている仕掛棚情報の詳細内容の一例を示す説明図である。
【図５】図１に示す搬送制御装置によって実施される搬送制御方法のフローチャートの一例を示す図である。
【図６】図１に示す搬送制御装置を適用した図１２の搬送システムを示すウエハの流れに沿ったブロック図である。
【図７】生産装置情報領域に格納されている生産装置単位の生産装置情報の詳細内容の他の例を示す説明図である。
【図８】仕掛棚情報領域に格納されている仕掛棚情報の詳細内容の他の例を示す説明図である。
【図９】図１に示す搬送制御装置を適用した図１２の搬送システムを示すウエハの流れに沿ったブロック図である。
【図１０】図１２において搬送システムの他の例を使用した一製造工程を示すシステムレイアウトの一例である。
【図１１】第１の従来技術の問題点を説明するための一製造工程を示すウエハの流れに沿ったブロック図である。
【図１２】図１３から図１５の搬送制御に共通する全体的な動作を説明するための一製造工程を示すシステムレイアウトの一例である。
【図１３】第２の従来技術の問題点を説明するための一製造工程を示すウエハの流れに沿ったブロック図である。
【図１４】第３の従来技術の問題点を説明するための一製造工程を示すウエハの流れに沿ったブロック図である。
【図１５】第４の従来技術の問題点を説明するための一製造工程を示すウエハの流れに沿ったブロック図である。
【符号の説明】
【０１２７】
１０                搬送制御装置
１１                データベース
１１ａ              工程使用装置定義領域
１１ｂ              生産装置情報領域
１１ｃ              仕掛棚情報領域
１２                搬送指示部（生産能力算出手段及び搬送決定手段の一例）
１３                生産装置管理部（生産情報記憶手段の一例）
１４                仕掛棚管理部（仕掛棚情報記憶手段の一例）
２０，２０ａ        搬送システム
２４                ネットワーク
ＢＵＦ１〜ＢＵＦｎ  仕掛棚
ＧＲＰ１〜ＧＲＰｎ  生産装置群
ＭＣＮ１〜ＭＣＮｍ  生産装置
Ｑ１〜Ｑｍ          稼働状態情報
Ｒ１〜Ｒｎ          仕掛数
ＲＯＢ１〜ＲＯＢｋ  搬送装置
Ｔ１〜Ｔｍ          処理時間
ＴＨ１〜ＴＨｎ      閾値
【図１】
2009217623.tif 000003
【図２】
2009217623.tif 000004
【図３】
2009217623.tif 000005
【図４】
2009217623.tif 000006
【図５】
2009217623.tif 000007
【図６】
2009217623.tif 000008
【図７】
2009217623.tif 000009
【図８】
2009217623.tif 000010
【図９】
2009217623.tif 000011
【図１０】
2009217623.tif 000012
【図１１】
2009217623.tif 000013
【図１２】
2009217623.tif 000014
【図１３】
2009217623.tif 000015
【図１４】
2009217623.tif 000016
【図１５】
2009217623.tif 000017