(57)【要約】【課題】工程の繰り返しや戻し処理の都度、シーケンスラダーを一巡する必要がなく、シーケンスラダーの作成や編集が簡単な、シーケンスラダーのステップ処理方法とそのプログラムを提供することにある。【解決手段】順次処理する場合、制御処理部１１は、順次処理部７０と変数値増加処理部８０とを制御し、順次処理部７０が発生した工程開始出力信号を、入出力部１３を介して各搬送機構に送信し、スキップ処理する場合、制御処理部１１は、順次処理部７０と変数値増加処理部８０とスキップ処理部９０とを制御し、順次処理部７０が発生した工程開始出力信号を、入出力部１３を介して各搬送機構に送信する。【選択図】      図４
2009140340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子機器の部品、材料の洗浄処理を行う洗浄処理装置を制御するシーケンスラダーのステップ処理方法であって、
前記洗浄処理装置は、制御部と、所定の工程を実行する被制御部とを有し、
前記制御部は、制御処理部と、記憶部と、入出力部とを有し、
前記制御処理部は、シーケンスラダー回路で構成される順次処理部と、変数値増加処理部とスキップ処理部とを有し、
全工程を順次処理する場合、前記制御処理部は、前記洗浄処理装置が起動されると、前記記憶部から読み出した予め記憶されていたシーケンスラダーにより前記順次処理部と前記変数値増加処理部とを制御し、前記順次処理部が発生した工程開始出力信号を、前記入出力部を介して前記被制御部に送信し、
全工程の任意の工程をスキップする場合、前記制御処理部は、スキップ命令信号を受信すると、前記記憶部から読み出した予め記憶されていた前記シーケンスラダーにより前記順次処理部と前記変数値増加処理部と前記スキップ処理部とを制御し、前記順次処理部が発生した工程開始出力信号を、前記入出力部を介して前記被制御部に送信することを特徴とするシーケンスラダーのステップ処理方法。
【請求項２】
前記順次処理部は、工程条件設定手段と初期変数設定転送手段と工程定数照合転送手段と工程開始信号出力手段とを有し、
前記変数値増加処理部は、前記工程条件設定手段と変数値増加手段とリセット手段とを有し、
前記スキップ処理部は、前記工程条件設定手段と前記工程開始信号出力手段と工程変数設定転送手段とを有し、
前記工程条件設定手段は、シーケンスラダー回路から成ることを特徴とする請求項１に記載のシーケンスラダーのステップ処理方法。
【請求項３】
電子機器の部品、材料の洗浄処理を行う洗浄処理装置を制御するシーケンスラダープログラムであって、
前記洗浄処理装置は、制御部と、所定の工程を実行する被制御部とを有し、
前記制御部は、制御処理部と、記憶部と、入出力部とを有し、
前記制御処理部は、シーケンスラダー回路で構成される順次処理部と、変数値増加処理部とスキップ処理部とを有し、
全工程を順次処理する場合、前記制御処理部は、前記洗浄処理装置が起動されると、前記記憶部から読み出した予め記憶されていたシーケンスラダーにより前記順次処理部と前記変数値増加処理部とを制御し、前記順次処理部が発生した工程開始出力信号を、前記入出力部を介して前記被制御部に送信し、
全工程の任意の工程をスキップする場合、前記制御処理部は、スキップ命令信号を受信すると、前記記憶部から読み出した予め記憶されていた前記シーケンスラダーにより前記順次処理部と前記変数値増加処理部と前記スキップ処理部とを制御し、前記順次処理部が発生した工程開始出力信号を、前記入出力部を介して前記被制御部に送信する、
前記シーケンスラダーを前記記憶部に記述することを特徴とするシーケンスラダープログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器の部品、材料の洗浄処理を行う洗浄処理装置において、所定の工程を実行する被制御部の制御に係り、詳しくは、被制御部を制御するシーケンスラダーのステップ処理方法とそのプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は、洗浄処理装置の構成を示すブロック図である。図４において、洗浄処理装置１００は、制御部１０及び被制御部１５を有している。制御部１０は、制御処理部１１、記憶部１２及び入出力部１３を有している。被制御部１５は、入口搬送機構２０、入口機構２５、第１〜第３搬送機構３０、４０、５０、第１〜第３洗浄処理槽３５、４５、５５、出口搬送機構６０及び出口機構６５を有している。
【０００３】
従来の制御部１０の制御処理部１１は、工程条件設定手段と自己保持手段と工程開始信号出力手段を有しており、これらの手段を用いた周知のラダー回路からなるシーケンスラダーに従って、洗浄処理工程に必要な被制御部１５の処理のステップを実行する。記憶部１２には、処理目的に応じた所定のシーケンスラダーが、予め記憶されている。次に、被制御部１５が、制御部１０の制御処理部１１により制御されて、洗浄処理装置１００の主工程の１つである搬送工程を実行する動作について説明する。
【０００４】
図５は、洗浄処理装置の搬送工程動作を示すシーケンス図である。図４を基に図５において、入口搬送機構２０の位置にワーク６７を掴むハンド（図示されず）が静止している状態で、ワーク６７が入口機構２５に投入される（ステップＳ０）。洗浄処理装置１００の操作パネル（図示せず）の電源がオンされると、ハンドは下降を開始する（ステップＳ１）。ハンドが下降を完了すると、ハンドはワーク６７の掴みを開始する（ステップＳ２）。ハンドがワーク６７を掴み終えると、上昇を開始する（ステップＳ３）。
【０００５】
ハンドが上昇を完了すると、横移動を開始する（ステップＳ４）。ハンドが第１搬送機構３０に到達すると、第１洗浄処理槽３５に向けて下降を開始する（ステップＳ５）。ハンドが下降を完了すると洗浄処理が開始され、洗浄処理が終了すると、ハンドは上昇を開始する（ステップＳ６）。第２、第３洗浄処理槽４５、５５においても、ステップＳ４〜Ｓ６と同様の工程が、ステップＳ７〜Ｓ１２の工程において行なわれる。
【０００６】
第３洗浄処理槽５５においてステップＳ１２の工程が終了し、ハンドが上昇を完了すると、横移動を開始する（ステップＳ１３）。ハンドが出口搬送機構６０に到達すると、出口機構６５に向けて下降を開始する（ステップＳ１４）。ハンドが下降を完了すると、ワーク６７の放しを開始する（ステップＳ１５）。ハンドが放しを完了すると上昇を開始し、ワーク６７は取り出される（ステップＳ１６）。ハンドが上昇を完了すると、横移動を開始し、入口搬送機構２０の位置に戻り工程を終了する（ステップＳ１７、Ｓ１８）。次に、この一連の工程とシーケンスラダーとの関係を説明する。
【０００７】
図６は、ラダー回路からなる洗浄処理装置の全工程を示す従来のシーケンスラダー図である。各ラダー回路は、工程条件設定手段と自己保持手段と工程開始信号出力手段とからなっている。例えば図６の最初のラダー回路において、工程条件設定手段は、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１から工程開始信号を出力し、自己保持手段であるノーマリーオフのａ接点ｓ１をオンするため、電源が投入されたことを示す感知信号を受信してオンするａ接点ｐ０と、ワーク６７が投入されたことを示す感知信号を受信してオンするａ接点ｐ１と、工程が終了したことを示す感知信号を受信してオフするノーマリーオンのｂ接点／ｓ１８との直列回路から成り立っている。
【０００８】
このラダー回路からなるシーケンスラダーは、図４に示される記憶部１２に予め記憶されている。従ってこの工程は、洗浄処理装置１００の操作パネルの電源がオンされると、制御部１０の制御処理部１１が、記憶部１２からこのシーケンスラダーを読み出し、入出力部１３からａ接点ｐ０及びａ接点ｐ１をオンする感知信号を受信すると工程条件設定手段の直列回路をつなげ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１から工程開始信号を出力してａ接点ｓ１をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１から出力される工程開始信号が自己保持されて、完了する。次に図６において、このシーケンスラダーを基に図５のシーケンスが進む様子を、ステップ毎に説明する。
【０００９】
図６において、図４に示される洗浄処理装置１００に電源が投入されると、制御処理部１１が、記憶部１２から図６のシーケンスラダーを読み出す。また、ワーク６７が入口機構２５に投入され、続いて電源が投入されると、センサ（図示せず）がこれらを感知して、感知信号を出力する。これらの感知信号は、入出力部１３を介して制御処理部１１に送信される。制御処理部１１は、これを受信して、ａ接点ｐ０及びａ接点ｐ１をオンし、工程条件設定手段の直列回路をつなげ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１から工程開始信号を入出力部１３を介して入口搬送機構２０へ出力すると共に、ａ接点ｓ１をオンして自己保持し、且つ、工程開始信号出力手段ＯＵＴ２の工程条件設定手段のａ接点ｓ１をオンすると、ハンドは下降を開始する（ステップＳ０、Ｓ１）。
【００１０】
ハンドが下降を完了すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ２をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴ２から工程開始信号を入口搬送機構２０へ出力すると共に、ａ接点ｓ２をオンして自己保持し、且つ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ３の工程条件設定手段のａ接点ｓ２をオンすると、ハンドはワーク６７の掴みを開始する（ステップＳ２）。ハンドがワーク６７を掴み終えると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ３をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴ２から工程開始信号を、入口搬送機構２０へ出力すると共に、ａ接点ｓ３をオンして自己保持し、且つ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ４の工程条件設定手段のａ接点ｓ３をオンすると、ハンドが上昇を開始する（ステップＳ３）。
【００１１】
ハンドが上昇を完了すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ４をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴ４から工程開始信号を入口搬送機構２０へ出力すると共に、ａ接点ｓ４をオンして自己保持し、且つ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ５の工程条件設定手段のａ接点ｓ４をオンすると、ハンドは横移動を開始する（ステップＳ４）。ハンドが第１搬送機構３０に到達すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ５をオンし、工程開始信号出力手段ＯＵＴ５から工程開始信号を第１搬送機構３０へ出力すると共に、ａ接点ｓ５をオンして自己保持し、且つ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ６の工程条件設定手段のａ接点ｓ５をオンすると、ハンドは第１洗浄処理槽３５に向けて下降を開始する（ステップＳ５）。
【００１２】
ハンドが下降を完了すると洗浄処理が開始され、洗浄処理が終了すると、センサがこれらを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ６をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴ６から工程開始信号を第１搬送機構３０へ出力すると共に、ａ接点ｓ６をオンして自己保持し、且つ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ７工程条件設定手段のａ接点ｓ６をオンすると、ハンドは上昇を開始する（ステップＳ６）。第２、第３洗浄処理槽４５、５５において、ステップＳ４〜Ｓ６と同様の工程がステップＳ７〜Ｓ１２の工程において行なわれ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ７〜１２から工程開始信号が出力される。
【００１３】
第３洗浄処理槽５５においてステップＳ１２の工程が終了し、ハンドが上昇を完了すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ１３をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１３から工程開始信号を第３搬送機構５０へ出力すると共に、ａ接点ｓ１３をオンして自己保持し、且つ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１４工程条件設定手段のａ接点ｓ１３をオンすると、ハンドは横移動を開始する（ステップＳ１３）。ハンドが出口搬送機構６０に到達すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ１４をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１４から工程開始信号を出口搬送機構６０へ出力すると共に、ａ接点ｓ１４をオンして自己保持し、且つ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１５の工程条件設定手段のａ接点ｓ１４をオンすると、ハンドは出口機構６５に向けて下降を開始する（ステップＳ１４）。
【００１４】
ハンドが下降を完了すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ１５をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１５から工程開始信号を出口搬送機構６０へ出力すると共に、ａ接点ｓ１５をオンして自己保持し、且つ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１６の工程条件設定手段のａ接点ｓ１５をオンすると、ハンドはワーク６７の放しを開始する（ステップＳ１５）。ハンドが放しを完了するとセンサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ１６をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１６から工程開始信号を出力してａ接点ｓ１６をオンして自己保持し、且つ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１７の工程条件設定手段のａ接点ｓ１６をオンすると、ハンドは上昇を開始し、ワーク６７は取り出される（ステップＳ１６）。
【００１５】
ハンドが上昇を完了すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ１７をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１７から工程開始信号を出口搬送機構６０へ出力すると共に、ａ接点ｓ１７をオンして自己保持し、且つ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１８の工程条件設定手段のａ接点ｓ１７をオンすると、ハンドは横移動を開始する（ステップＳ１７）。ハンドが入口搬送機構２０の位置に戻り、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ１８をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１８から工程開始信号を入口搬送機構２０へ出力すると共に、ａ接点ｓ１８をオンして自己保持し、且つ、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１の工程条件設定手段のｂ接点／ｓ１８をオフして工程を終了する（ステップＳ１８）。次に、図６のシーケンスラダーにおいて、任意の洗浄処理工程をスキップするためのシーケンスラダーについて説明する。
【００１６】
図７は、第１〜第３洗浄処理槽を任意にスキップする従来のスキップシーケンスラダー図である。図７において、第１〜第３洗浄処理槽３５、４５、５５を任意にスキップするため、工程条件設定手段に各洗浄処理槽のスキップ命令信号を受けてオンするａ接点ｓｋ１〜３が、それぞれ工程開始信号出力手段のＯＵＴＡ〜Ｃに接続されている。また、第１洗浄処理槽３５をスキップするため、工程開始信号出力手段のＯＵＴ７の工程条件設定手段に、ａ接点Ａ、ｓ３、ｐ４及びｂ接点／Ｂが追加されている。第２洗浄処理槽４５を任意にスキップするため、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１０の工程条件設定手段に、ａ接点Ａ、Ｂ、ｓ３、ｓ６、ｐ４、ｐ７及びｂ接点／Ｃが追加されている。さらに、第３洗浄処理槽５５を任意にスキップするため、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１３の工程条件設定手段に、ａ接点Ａ〜Ｃ、ａ接点ｓ３、ｓ６、ｓ９、ｐ４、ｐ７、ｐ１０が追加されている。次に、第１〜第３洗浄処理槽３５、４５、５５をスキップする場合を説明する。
【００１７】
再び図７において、洗浄処理装置１００の操作パネルから第１洗浄処理槽３５のスキップ命令が入力されると、制御処理部１１はこの信号を受信し、ａ接点ｓｋ１をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴＡから工程開始信号を出力してａ接点Ａをオンする。これにより、ハンドが図５のステップＳ３を終了すると、ｂ接点／ＡがオフしておりＯＵＴ４の工程には移行しなく、ａ接点ｐ４、ｓ３、Ａの接点がオンし、ｂ接点／Ｂがオンしており、工程開始信号出力手段のＯＵＴ７からは工程開始信号が出力されているため、ハンドはステップＳ７に入ると判断し、横移動を開始することで、第１洗浄処理槽３５がスキップされる。スキップしない場合はステップＳ４、５、６のシーケンスに入る。
【００１８】
洗浄処理装置１００の操作パネルから第２洗浄処理槽４５のスキップ命令が入力されると、制御処理部１１はこの信号を受信し、ａ接点ｓｋ２をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴＢから工程開始信号を出力してａ接点Ｂをオンする。これにより、ハンドがステップＳ６を終了すると、ｂ接点／ＢがオフしておりＯＵＴ７の工程には移行しなく、ａ接点ｐ７、ｓ６、Ｂの接点がオンし、ｂ接点／Ｃがオンしており、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１０からは工程開始信号が出力されているため、ハンドはステップＳ１０に入ると判断し、横移動を開始することで、第２洗浄処理槽４５がスキップされる。スキップしない場合はステップＳ７、８、９のシーケンスに入る。
【００１９】
洗浄処理装置１００の操作パネルから第３洗浄処理槽５５のスキップ命令が入力されると、制御処理部１１はこの信号を受信し、ａ接点ｓｋ３をオンし、工程開始信号出力手段のＯＵＴＣから工程開始信号を出力してａ接点Ｃをオンする。これにより、ハンドがステップＳ９を終了すると、ｂ接点／ＣがオフしておりＯＵＴ１０の工程には移行しなく、ａ接点ｐ１０、ｓ９、Ｃの接点がオンしており、工程開始信号出力手段のＯＵＴ１３からは工程開始信号が出力されているため、ハンドはステップＳ１３に入ると判断し、横移動を開始することで、第３洗浄処理槽５５がスキップされる。スキップしない場合はステップＳ１０、１１、１２のシーケンスに入る。
【００２０】
このように、スキップする工程からは不要な信号が出ないようにして、次の工程に進ませている。このため、スキップ動作がなく全工程を進める条件と、スキップする工程の組み合わせを考慮した条件とを、スキップする工程の工程条件設定手段に全て取り込んでラダー回路を組む必要があり、非常に複雑なラダー回路となる。また所定の工程区間を繰り返したい場合や、前の工程に戻りたい場合は、後の工程を全てスキップし、工程終了の条件を不成立としてシーケンスラダーを最初に戻し、再び所定の工程までスキップさせる必要がある。このように、工程の繰り返しや戻しの都度シーケンスラダーを一巡するため、表の作成や編集が複雑となり、工程数が多くなればなる程、困難となる。
【００２１】
特許文献１には、基板処理開始前に、各リソースの使用タイミングを予めタイムテーブルとして作成し、マスタースレーブ間の通信遅れ時間を見込んでリソースの処理工程に係るコマンドの発行タイミングを早め、且つ、リソースの処理工程に補正時間を付加し、通信時間及びリソースの処理工程の実行時間に起因するタイムテーブルとの時間ずれを、補正時間を用いて調整する基板処理装置のスケジュール作成・実行方法について記載がある。
【特許文献１】特開２００３−９９１１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、工程の繰り返しや戻し処理の都度、シーケンスラダーを一巡する必要がなく、シーケンスラダーの作成や編集が簡単な、シーケンスラダーのステップ処理方法とそのプログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明のシーケンスラダーのステップ処理方法は、電子機器の部品、材料の洗浄処理を行う洗浄処理装置を制御するシーケンスラダーのステップ処理方法であって、洗浄処理装置は、制御部と、所定の工程を実行する被制御部とを有し、制御部は、制御処理部と、記憶部と、入出力部とを有し、制御処理部は、シーケンスラダー回路で構成される順次処理部と、変数値増加処理部とスキップ処理部とを有し、全工程を順次処理する場合、制御処理部は、洗浄処理装置が起動されると、記憶部から読み出した予め記憶されていたシーケンスラダーにより順次処理部と変数値増加処理部とを制御し、順次処理部が発生した工程開始出力信号を、入出力部を介して被制御部に送信し、全工程の任意の工程をスキップする場合、制御処理部は、スキップ命令信号を受信すると、記憶部から読み出した予め記憶されていたシーケンスラダーにより順次処理部と変数値増加処理部とスキップ処理部とを制御し、順次処理部が発生した工程開始出力信号を、入出力部を介して被制御部に送信することを特徴とする。
【００２４】
本発明のシーケンスラダーのステップ処理方法の順次処理部は、工程条件設定手段と初期変数設定転送手段と工程定数照合転送手段と工程開始信号出力手段とを有し、変数値増加処理部は、工程条件設定手段と変数値増加手段とリセット手段とを有し、スキップ処理部は、工程条件設定手段と工程開始信号出力手段と変数設定転送手段とを有し、工程条件設定手段は、シーケンスラダー回路から成ることを特徴とする。
【００２５】
本発明のシーケンスラダープログラムは、電子機器の部品、材料の洗浄処理を行う洗浄処理装置を制御するシーケンスラダープログラムであって、洗浄処理装置は、制御部と、所定の工程を実行する被制御部とを有し、制御部は、制御処理部と、記憶部と、入出力部とを有し、制御処理部は、シーケンスラダー回路で構成される順次処理部と、変数値増加処理部とスキップ処理部とを有し、全工程を順次処理する場合、制御処理部は、洗浄処理装置が起動されると、記憶部から読み出した予め記憶されていたシーケンスラダーにより順次処理部と変数値増加処理部とを制御し、順次処理部が発生した工程開始出力信号を、入出力部を介して被制御部に送信し、全工程の任意の工程をスキップする場合、制御処理部は、スキップ命令信号を受信すると、記憶部から読み出した予め記憶されていたシーケンスラダーにより順次処理部と変数値増加処理部とスキップ処理部とを制御し、順次処理部が発生した工程開始出力信号を、入出力部を介して被制御部に送信する、シーケンスラダーを記憶部に記述することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、工程の繰り返しや戻し処理の都度、シーケンスラダーを一巡する必要がなく、シーケンスラダーの作成や編集が簡単なシーケンスラダーのステップ処理方法とそのプログラムを提供することができる。これにより、シーケンスが停止するなどのトラブルに対して工程把握が容易となるため、迅速に原因の解明を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明の実施の形態について、図を用いて説明する。図４は、洗浄処理装置の構成を示すブロック図であり、構成について既に説明した重複部分は省略する。制御部１０の制御処理部１１は、順次処理部７０と、変数値増加処理部８０と、スキップ処理部９０とを有している。順次処理部７０は、工程条件設定手段７２と初期変数設定転送手段７４と工程定数照合転送手段７６と工程開始信号出力手段７８とを有している。変数値増加処理部８０は、工程条件設定手段７２と変数値増加手段８５とリセット手段８７とを有している。スキップ処理部９０は、工程条件設定手段７２と工程開始信号出力手段７８と工程変数設定転送手段９５とを有している。工程条件設定手段７２は、シーケンスラダー回路から成っている。次に、従来と同様に、洗浄処理装置１００の主工程の１つである搬送工程を実行する動作について説明するが、本発明は、洗浄処理装置の全ての工程処理の制御に適用され得る。
【００２８】
洗浄処理装置１００の搬送工程を順次処理する場合、制御処理部１１は、入口機構２５にワークが投入され且つ操作パネル（図示せず）から電源が投入されるとこれらの信号を受信し、記憶部１２に予め記憶されていたシーケンスラダーを読み出し、そのシーケンスラダーを基に順次処理部７０と変数値増加処理部８０とを制御し、順次処理部７０が発生した工程開始出力信号を、入出力部１３を介して各搬送機構に送信し搬送工程の順次処理を行う。
【００２９】
搬送工程の任意の工程をスキップする場合、制御処理部１１は、操作パネルにスキップ命令が入力されるとそのスキップ命令信号を受信し、記憶部１２に予め記憶されていたシーケンスラダーを読み出し、そのシーケンスラダーを基に順次処理部７０と変数値増加処理部８０とスキップ処理部９０とを制御し、順次処理部７０が発生した工程開始出力信号を、入出力部１３を介して各搬送機構に送信して任意の工程のスキップ処理を行う。次にこれらの動作の詳細を説明する。
【００３０】
図５は、洗浄処理装置の搬送工程動作を示すシーケンス図であり、シーケンスについては既に説明したため省略する。図２は、本発明による洗浄処理装置の搬送工程を示す順次処理部のシーケンスラダー図である。図２において、制御処理部１１の順次処理部７０の工程条件設定手段７２は、電源が投入されたことを示す感知信号を受信してオンするａ接点ｐ０と、ワーク６７が投入されたことを示す感知信号を受信してオンするａ接点ｐ１とを有している。初期変数設定転送手段７４は、変数Ｄ０に定数Ｋ１の値を代入し、定数Ｋ１を具備する工程定数照合転送手段７６に転送する要素ｍｋ１を有している。工程定数照合転送手段７６は、定数Ｋ１〜１８と変数Ｄ０とを照合し一致するか否かを判断する要素ｋｄ１〜ｋｄ１８を有している。工程開始信号出力手段７８は、工程定数照合転送手段７６での一致に応答して工程開始信号を出力する要素ＯＵＴ１〜ＯＵＴ１８を有している。
【００３１】
図３は、本発明による洗浄処理装置の全工程を動作させるための変数値増加処理部のシーケンスラダー図である。図３において、制御処理部１１の変数値増加処理部８０の工程条件設定手段７２は、各工程の開始を示す工程開始信号を受信してオンするａ接点ｓ１〜ｓ１８と、各工程が完了したことを示す感知信号を受信してオンするａ接点ｐ２〜ｐ１８とを有している。変数値増加手段８５は、変数Ｄ０の値に１を加える要素ｉｎｃ１０を有している。リセット手段８７は、変数Ｄ０の値を０にリセットする要素ｒｓｔ１０を有している。
【００３２】
図４に示される洗浄処理装置１００に電源が投入されると、制御処理部１１は、記憶部１２から図２、図３のシーケンスラダーを読み出す。また、ワーク６７が入口機構２５に投入され、続いて電源が投入されると、センサ（図示せず）がこれらを感知して、感知信号を出力する。これらの感知信号は、入出力部１３を介して制御処理部１１に送信される。
【００３３】
図２において、制御処理部１１は、これを受信して、ａ接点ｐ０及びａ接点ｐ１をオンし、工程条件設定手段７２の直列回路をつなげ、初期変数設定転送手段７４のｍｋ１の変数Ｄ０に定数Ｋ１の値１を代入し、定数Ｋ１を具備する工程定数照合転送手段７６のｋｄ１へ転送し、工程定数照合転送手段７６のｋｄ１において、定数Ｋ１の値１と変数Ｄ０の値１とが一致すると、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ１から工程開始信号を入出力部１３を介して入口搬送機構２０へ出力すると共に、図３のシーケンスラダーのａ接点ｓ１をオンすると、ハンドは下降を開始する（図５のステップＳ０、Ｓ１）。
【００３４】
ハンドが下降を完了すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信して図３のａ接点ｐ２をオンし、直列回路がつながると変数値増加手段８５のｉｎｃ１０の変数Ｄ０の値に１を加え２とする。これにより、図２の工程定数照合転送手段７６の変数Ｄ０の値も２となり、工程定数照合転送手段７６のｋｄ２において定数Ｋ２の値２と変数Ｄ０の値２とが一致し、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ２から工程開始信号を入口搬送機構２０へ出力すると共に、図３のａ接点ｓ２をオンすると、ハンドはワーク６７の掴みを開始する（ステップＳ２）。
【００３５】
ハンドがワーク６７を掴み終えると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ３をオンし、変数値増加手段８５のｉｎｃ１０の変数Ｄ０の値に１を加え３とすると、ｋｄ３において定数Ｋ３の値３と変数Ｄ０の値３とが一致し、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ３から工程開始信号を入口搬送機構２０へ出力すると共に、ａ接点ｓ３をオンすると、ハンドが上昇を開始する（ステップＳ３）。
【００３６】
ハンドが上昇を完了すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ４をオンし、変数値増加手段８５のｉｎｃ１０の変数Ｄ０の値に１を加え４とすると、ｋｄ４において定数Ｋ４の値４と変数Ｄ０の値４とが一致し、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ４から工程開始信号を入口搬送機構２０へ出力すると共に、ａ接点ｓ４をオンすると、ハンドは横移動を開始する（ステップＳ４）。
【００３７】
ハンドが第１搬送機構３０に到達すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ５をオンし、変数値増加手段８５のｉｎｃ１０の変数Ｄ０の値に１を加え５とすると、ｋｄ５において定数Ｋ５の値５と変数Ｄ０の値５とが一致し、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ５から工程開始信号を第１搬送機構３０へ出力すると共に、ａ接点ｓ５をオンすると、ハンドは第１洗浄処理槽３５に向けて下降を開始する（ステップＳ５）。
【００３８】
ハンドが下降を完了すると洗浄処理が開始され、洗浄処理が終了すると、センサがこれらを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ６をオンし、変数値増加手段８５のｉｎｃ１０の変数Ｄ０の値に１を加え６とすると、ｋｄ６において定数Ｋ６の値６と変数Ｄ０の値６とが一致し、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ６から工程開始信号を第１搬送機構３０へ出力すると共に、ａ接点ｓ６をオンすると、ハンドは上昇を開始する（ステップＳ６）。第２、第３洗浄処理槽４５、５５において、ステップＳ４〜Ｓ６と同様の工程がステップＳ７〜Ｓ１２の工程において行なわれ、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ７〜１２から工程開始信号が出力される。
【００３９】
第３洗浄処理槽５５においてステップＳ１２の工程が終了し、ハンドが上昇を完了すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ１３をオンし、変数値増加手段８５のｉｎｃ１０の変数Ｄ０の値に１を加え１３とすると、ｋｄ１３において定数Ｋ１３の値１３と変数Ｄ０の値１３とが一致し、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ１３から工程開始信号を第３搬送機構５０へ出力すると共に、ａ接点ｓ１３をオンすると、ハンドは横移動を開始する（ステップＳ１３）。
【００４０】
ハンドが出口搬送機構６０に到達すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ１４をオンし、変数値増加手段８５のｉｎｃ１０の変数Ｄ０の値に１を加え１４とすると、ｋｄ１４において定数Ｋ１４の値１４と変数Ｄ０の値１４とが一致し、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ１４から工程開始信号を出口搬送機構６０へ出力すると共に、ａ接点ｓ１４をオンすると、ハンドは出口機構６５に向けて下降を開始する（ステップＳ１４）。
【００４１】
ハンドが下降を完了すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ１５をオンし、変数値増加手段８５のｉｎｃ１０の変数Ｄ０の値に１を加え１５とすると、ｋｄ１５において定数Ｋ１５の値１５と変数Ｄ０の値１５とが一致し、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ１５から工程開始信号を出口搬送機構６０へ出力すると共に、ａ接点ｓ１４をオンすると、ハンドはワーク６７の放しを開始する（ステップＳ１５）。
【００４２】
ハンドが放しを完了するとセンサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ１６をオンし、要素ｉｎｃ１０の変数Ｄ０の値に１を加え１６とすると、ｋｄ１６において定数Ｋ１６の値１６と変数Ｄ０の値１６とが一致し、工程開始信号出力手段ＯＵＴ１６から工程開始信号を出口搬送機構６０へ出力すると共に、ａ接点ｓ１６をオンすると、ハンドは上昇を開始しワーク６７は取り出される（ステップＳ１６）。
【００４３】
ハンドが上昇を完了すると、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ１７をオンし、変数値増加手段８５のｉｎｃ１０の変数Ｄ０の値に１を加え１７とすると、ｋｄ１７において定数Ｋ１７の値１７と変数Ｄ０の値１７とが一致し、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ１７から工程開始信号を出口搬送機構６０へ出力すると共に、ａ接点ｓ１７をオンすると、ハンドは横移動を開始する（ステップＳ１７）。
【００４４】
ハンドが入口搬送機構２０の位置に戻り、センサがこれを感知して、感知信号を出力する。制御処理部１１はこれを受信してａ接点ｐ１８をオンし、変数値増加手段８５のｉｎｃ１０の変数Ｄ０の値に１を加え１８とすると、ｋｄ１８において定数Ｋ１８の値１８と変数Ｄ０の値１８とが一致し、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ１８から工程開始信号を入口搬送機構２０へ出力すると共に、ａ接点ｓ１８をオンすると、リセット手段８７の要素ｒｓｔ１０は、全ての変数Ｄ０の値を０にリセットし工程を終了する（ステップＳ１８）。次に、任意の洗浄処理工程をスキップするためのシーケンスラダーについて説明する。
【００４５】
図１は、本発明による洗浄処理装置の洗浄処理槽を任意にスキップできるスキップシーケンスラダー図である。図１において、図５の第１〜第３洗浄処理槽３５、４５、５５を任意にスキップするため、制御処理部１１のスキップ処理部９０の工程条件設定手段７２は、工程開始信号に応じてオンするａ接点ｓ３、ｓ６、ｓ９、Ａ〜Ｃ、工程終了信号に応じてオンするａ接点ｐ４、ｐ７、ｐ１０、工程開始信号に応じてオフするｂ接点／Ｂ、／Ｃ、及びスキップ命令信号に応じてオンするａ接点ｓｋ１〜ｓｋ３を有している。工程開始信号出力手段７８は、スキップ命令信号に応じてオンするａ接点ｓｋ１〜ｓｋ３に応答して工程開始信号を出力する要素ＯＵＴＡ〜ＯＵＴＣを有している。工程変数設定転送手段９５は、変数Ｄ０に定数Ｋ７、Ｋ１０、Ｋ１３のいずれかの値を代入し、定数Ｋ７、Ｋ１０、Ｋ１３を具備する図２の工程定数照合転送手段７６に転送する要素ｍｋ７、ｍｋ１０及びｍｋ１３を有している。次に、図５の第１〜第３洗浄処理槽３５、４５、５５をスキップする場合について説明する。
【００４６】
洗浄処理装置１００の操作パネルから第１洗浄処理槽３５のスキップ命令が入力されると、制御処理部１１は、この信号を受信してａ接点ｓｋ１をオンし、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴＡから工程開始信号を出力して、既にオンしているａ接点ｓ３、ｐ４、及びｂ接点／Ｂと直列接続されているａ接点Ａをオンする。これにより直列回路がつながると、工程変数設定転送手段９５のｍｋ７の変数Ｄ０に定数Ｋ７の値７を代入し、定数Ｋ７を具備する図２の工程定数照合転送手段７６のｋｄ７に転送し、工程定数照合転送手段７６のｋｄ７において、定数Ｋ７の値７と変数Ｄ０の値７とが一致すると、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ７から工程開始信号を入出力部１３を介して入口搬送機構２０へ出力すると共に、図３のシーケンスラダーのａ接点ｓ７をオンする。
【００４７】
これによりハンドが図５のステップＳ３を終了すると、Ｓ７に横移動を開始することで、第１洗浄処理槽３５がスキップされる。スキップしない場合は、ステップＳ４、５、６のシーケンスに入る。
【００４８】
洗浄処理装置１００の操作パネルから第２洗浄処理槽４５のスキップ命令が入力されると、制御処理部１１はこの信号を受信し、ａ接点ｓｋ２をオンし、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴＢから工程開始信号を出力して、既にオンしているａ接点ｓ３、ｐ４、Ａ及びｂ接点／Ｃと直列接続されているａ接点Ｂをオンする。これにより直列回路がつながると、工程変数設定転送手段９５のｍｋ１０の変数Ｄ０に定数Ｋ１０の値１０を代入し、定数Ｋ１０を具備する図２の工程定数照合転送手段７６のｋｄ１０に転送し、工程定数照合転送手段７６のｋｄ１０において、定数Ｋ１０の値１０と変数Ｄ０の値１０とが一致すると、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ１０から工程開始信号を入出力部１３を介して入力搬送機構２０又は第１搬送機構３０へ出力すると共に、図３のシーケンスラダーのａ接点ｓ１０をオンする。
【００４９】
ハンドがステップＳ６を終了すると、Ｓ１０に横移動を開始することで、第２洗浄処理槽４５がスキップされる。Ｓ３を終了時点で、第１洗浄処理槽３５と第２洗浄処理槽４５のスキップ命令が入力された場合も、Ｓ１０に横移動を開始することで、第１洗浄処理槽３５と第２洗浄処理槽４５をスキップさせる。スキップしない場合は、ステップＳ７、８、９のシーケンスに入る。
【００５０】
洗浄処理装置１００の操作パネルから第３洗浄処理槽５５のスキップ命令が入力されると、制御処理部１１はこの信号を受信し、ａ接点ｓｋ３をオンし、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴＣから工程開始信号を出力して、既にオンしているａ接点ｓ３、ｐ４、Ａ及びＢと直列接続されているａ接点Ｃをオンする。これにより直列回路がつながると、工程変数設定転送手段９５のｍｋ１３の変数Ｄ０に定数Ｋ１３の値１３を代入し、定数Ｋ１３を具備する図２の工程定数照合転送手段７６のｋｄ１３に転送し、工程定数照合転送手段７６のｋｄ１３において、定数Ｋ１３の値１３と変数Ｄ０の値１３とが一致すると、工程開始信号出力手段７８のＯＵＴ１３から工程開始信号を入出力部１３を介して入口搬送機構２０又は第１搬送機構３０又は第２搬送機構４０へ出力すると共に、図３のシーケンスラダーのａ接点ｓ１３をオンする。
【００５１】
ハンドがステップＳ９を終了すると、Ｓ１３に横移動を開始することで、第３洗浄処理槽５５がスキップされる。Ｓ３を終了時点で、第１洗浄処理槽３５と第２洗浄処理槽４５と第３洗浄処理槽５５のスキップ命令が入力された場合も、Ｓ１３に横移動を開始することで、第１洗浄処理槽３５から第３洗浄処理槽５５をスキップさせる。Ｓ６を終了時点で、第２洗浄処理槽４５と第３洗浄処理槽５５のスキップ命令が入力された場合も、Ｓ１３に横移動を開始することで、第２洗浄処理槽４５と第３洗浄処理槽５５をスキップさせる。スキップしない場合は、ステップＳ１０、１１、１２のシーケンスに入る。
【００５２】
以上説明したように本発明によれば、制御処理部の変数値増加処理部と工程定数照合転送手段とにより、工程のスキップ先を自由に設定し、工程を継続することができるため、簡単なラダー回路によりシーケンスラダーを組むことができる。また所定の工程区間を繰り返したい場合や前の工程に戻りたい場合、後の工程を全てスキップし工程終了の条件を不成立としてハンドを最初に戻す必要がなくなり、工程数が多くなってもシーケンスラダーの作成や編集が複雑になることがない。これにより、シーケンスが停止するなどのトラブルに対して工程把握が容易となるため、迅速に原因の解明を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明による洗浄処理装置の工程を任意にスキップできるスキップシーケンスラダー図。
【図２】本発明の洗浄処理装置の全工程を示す順次処理部のシーケンスラダー図。
【図３】本発明による洗浄処理装置の全工程を動作させるための変数値増加処理部のシーケンスラダー図。
【図４】洗浄処理装置の構成を示すブロック図。
【図５】洗浄処理装置の各工程動作を示すシーケンス図。
【図６】洗浄処理装置の全工程を示す従来のシーケンスラダー図。
【図７】洗浄処理槽を任意にスキップする従来のスキップシーケンスラダー図。
【符号の説明】
【００５４】
１０  制御部
１１  制御処理部
１２  記憶部
１３  入出力部
１５  被制御部
２０  入口搬送機構
２５  入口機構
３０  第１搬送機構
３５  第１洗浄処理槽
４０  第２搬送機構
４５  第２洗浄処理槽
５０  第３搬送機構
５５  第３洗浄処理槽
６０  出口搬送機構
６５  出口機構
６７  ワーク
７０  順次処理部
７２  工程条件設定手段
７４  初期変数設定転送手段
７６  工程定数照合転送手段
７８  工程開始信号出力手段
８０  変数値増加処理部
８５  変数値増加手段
８７  リセット手段
９０  スキップ処理部
９５  工程変数設定転送手段
１００  基板洗浄装置
Ｓ０〜Ｓ１８  各ステップ
ｓ１〜ｓ１８  ａ接点
ｐ０〜ｐ１８  ａ接点
ｓｋ１〜ｓｋ３  ａ接点
／Ａ、／Ｂ、／Ｃ、／ｓ１８  ｂ接点
ＯＵＴ１〜１８  工程開始信号出力手段の各要素
ｍｋ１  初期変数設定転送手段の要素
ｍｋ７、ｍｋ１０、ｍｋ１３  工程変数設定転送手段の各要素
ｋｄ１〜ｋｄ１８  工程定数照合転送手段の各要素
ｉｎｃ１０  変数値増加手段の要素
ｒｓｔ１０  リセット手段の要素
Ｋ１〜Ｋ１８  定数
Ｄ０  変数
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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