(57)【要約】【課題】既設の製造ラインへの適用を可能にすることが目的とされる。【解決手段】Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を用いて物品の検査を行う装置であって、照射部１２と、受光部１３と、本体１１と、支持部１４とを備える。照射部１２は、物品ＰにＸ線を照射する。受光部１３は、物品Ｐを透過したＸ線を受光する。本体１１には、Ｘ線の照射位置Ｐ１へと物品Ｐを搬送する搬送機構１６を取り付けることができる。支持部１４は、受光部１３を支持し、本体１１に対して上下に移動可能である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を用いて物品の検査を行う装置であって、
前記物品に前記Ｘ線を照射する照射部と、
前記物品を透過したＸ線を受光する受光部と、
前記Ｘ線の照射位置へと前記物品を搬送する搬送機構を取り付けることができる本体と、
前記受光部を支持し、前記本体に対して上下に移動可能な支持部と
を備える、Ｘ線検査装置。
【請求項２】
前記支持部とは異なる部材であって、前記照射部から発せられたＸ線が前記支持部の下側へと伝播することを遮る遮蔽部材を、前記本体及び前記支持部の少なくともいずれか一方に取り付けることができる、請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記本体及び前記支持部の少なくともいずれか一方に取り付けられた状態にある前記遮蔽部材は、水平面に対して斜めに傾いた面を有する、請求項２記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記搬送機構は搬送用ローラを有し、
前記搬送用ローラは、前記照射部と前記受光部とを通る直線上の、前記受光部に対して前記照射部とは反対側の位置において、前記本体及び前記支持部の少なくともいずれか一方に取り付けることができる、
請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記本体を支える脚を更に備え、
前記脚は、水平面に対して斜めに傾いた上面を有する、
請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記支持部は、上端部を有し下側に開口部が設けられた筐体と、前記開口部の開閉が自在である扉とを有し、
前記上端部には、前記開口部から挿入された前記受光部を吊り下げた状態で取り付けることができる、
請求項１乃至請求項５記載のいずれか一つに記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＸ線検査装置に関し、特に製造ラインでの物品の検査に用いられるものに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、製造された物品中に異物が混入していないかどうかや、物品に欠損が生じていないかどうかなどの不良を検査するために、Ｘ線検査装置が用いられている。具体的にＸ線検査装置は、物品にＸ線を照射する照射部と、物品を透過したＸ線を受光する受光部と、Ｘ線の照射位置まで物品を搬送する搬送機構とを備えている。そして、Ｘ線検査装置は、受光部で受光したＸ線に基づいて、物品の不良を検査する。かかるＸ線検査装置は、例えば以下に示す特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開２００６−１８９４６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来のＸ線検査装置には搬送機構が備えられているため、製造ラインにＸ線検査装置を導入する場合は予め、搬送用のコンベアの途中に、Ｘ線検査装置を設置するためのスペースを確保する必要があった。このため、搬送用のコンベアが既に設置されており、かかるスペースを確保することが困難な場合には、従来のＸ線検査装置は用いることができなかった。
【０００４】
本発明は上述した事情に鑑みて成されたものであり、既設の製造ラインへの適用を可能にすることが目的とされる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第１の発明にかかるＸ線検査装置は、Ｘ線を用いて物品の検査を行う装置であって、照射部と、受光部と、本体と、支持部とを備える。照射部は、物品にＸ線を照射する。受光部は、物品を透過したＸ線を受光する。本体には、Ｘ線の照射位置へと物品を搬送する搬送機構を取り付けることができる。支持部は、受光部を支持し、本体に対して上下に移動可能である。
【０００６】
第１の発明にかかるＸ線検査装置によれば、Ｘ線の照射位置まで物品を搬送する搬送機構の取付け、及び既設の搬送機構への適用のいずれもが可能である。具体的には、搬送機構を取り付ける場合は、本体に搬送機構を取り付けて、搬送機構の搬送ベルトの直下に受光部を配置すべく支持部を上に移動させる。既設の搬送機構に適用する場合は、本体に搬送機構を取り付けず、かつ支持部を下に移動させて受光部を既設の搬送機構の直下に配置する。
【０００７】
第２の発明にかかるＸ線検査装置は、第１の発明にかかるＸ線検査装置であって、遮蔽部材を、本体及び支持部の少なくともいずれか一方に取り付けることができる。遮蔽部材は、支持部とは異なる部材であって、照射部から発せられたＸ線が支持部の下側へと伝播することを遮る。
【０００８】
第２の発明にかかるＸ線検査装置によれば、遮蔽部材を取り付けることで、Ｘ線検査装置の下側へのＸ線の漏洩を防止することができる。
【０００９】
第３の発明にかかるＸ線検査装置は、第２の発明にかかるＸ線検査装置であって、本体及び支持部の少なくともいずれか一方に取り付けられた状態にある遮蔽部材は、水平面に対して斜めに傾いた面を有する。
【００１０】
第３の発明にかかるＸ線検査装置によれば、遮蔽部材のかかる面が斜めに傾いているので、かかる面で反射されるＸ線の多くが、Ｘ線検査装置の内部空間の方に向かう。よって、Ｘ線検査装置の外部へのＸ線の漏洩を効率良く防止することができる。
【００１１】
第４の発明にかかるＸ線検査装置は、第１乃至第３の発明のいずれか一つにかかるＸ線検査装置であって、搬送機構は搬送用ローラを有する。搬送用ローラは、照射部と受光部とを通る直線上の、受光部に対して照射部とは反対側の位置において、本体及び支持部の少なくともいずれか一方に取り付けることができる。
【００１２】
第４の発明にかかるＸ線検査装置によれば、Ｘ線の強度が高い照射部と受光部とを通る直線上に、搬送用ローラを取り付けることで、照射部から発するＸ線の強度を高めても、受光部を透過したＸ線がＸ線検査装置の下側に漏洩することがない。よって、Ｘ線の強度を高めて、不良の検査の精度を高めることができる。
【００１３】
第５の発明にかかるＸ線検査装置は、第１乃至第４の発明のいずれか一つにかかるＸ線検査装置であって、本体を支える脚を更に備える。脚は、水平面に対して斜めに傾いた上面を有する。
【００１４】
第５の発明にかかるＸ線検査装置によれば、脚の上面でＸ線を反射することができる。しかも、上面が斜めに傾いているので、反射されるＸ線の多くが、Ｘ線検査装置の内部空間の方に向かう。よって、Ｘ線検査装置の外部へのＸ線の漏洩を効率良く防止することができる。
【００１５】
第６の発明にかかるＸ線検査装置は、第１乃至第５の発明のいずれか一つにかかるＸ線検査装置であって、支持部は、上端部を有し下側に開口部が設けられた筐体と、開口部の開閉が自在である扉とを有する。上端部には、開口部から挿入された受光部を吊り下げた状態で取り付けることができる。
【００１６】
第６の発明にかかるＸ線検査装置によれば、下側からのアプローチにより、受光部を支持部に取り付けたり、支持部から受光部を取り外したりすることができる。よって、受光部の取付け及び取外しが容易である。しかも、上端部に吊り下げた状態で受光部を取り付けるので、受光部の取付けに必要な取付部材（ネジなど）の数を少なくすることができ、以って受光部の取付けが容易となる。更には、受光部が筐体の上端部に取り付けられるので、受光部と照射位置との距離を小さくすることができ、以って強度の高いＸ線を受光部で受光することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明にかかるＸ線検査装置によれば、Ｘ線の照射位置まで物品を搬送する搬送機構の取付け、及び既設の搬送機構への適用のいずれもが可能である。具体的には、搬送機構を取り付ける場合は、本体に搬送機構を取り付けて、搬送機構の搬送ベルトの直下に受光部を配置すべく支持部を上に移動させる。既設の搬送機構に適用する場合は、本体に搬送機構を取り付けず、かつ支持部を下に移動させて受光部を既設の搬送機構の直下に配置する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
１．Ｘ線検査装置の構造
図１は、本発明の実施の形態にかかるＸ線検査装置１を概念的に示す前面図である。なお図１では、Ｘ線検査装置１の前面のカバーは取り外されている。
【００１９】
Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を用いて物品Ｐの検査を行う装置であって、本体１１、シールドボックス１１１、照射部１２、受光部１３、支持部１４及び遮蔽カーテン１５を備える。図１では、Ｘ線検査装置１に取り付けられた搬送機構１６も示されている。
【００２０】
＜本体＞
本体１１には、Ｘ線が照射される内部空間Ｓ１と、通路Ｗ１，Ｗ２とが設けられている。通路Ｗ１は、外部から内部空間Ｓ１への物品Ｐの搬入に用いられる。通路Ｗ２は、内部空間Ｓ１から外部への物品Ｐの搬出に用いられる。なお、かかる物品Ｐの搬入及び搬出は、搬送機構１６によって行われる。
【００２１】
＜照射部＞
照射部１２は、内部空間Ｓ１の上側に位置し、Ｘ線を物品Ｐに照射することができる。具体的には、照射部１２で発せられたＸ線は、照射部１２の下側に配置されたスリット１２１を通って、内部空間Ｓ１内の照射位置Ｐ１にある物品Ｐに達する。Ｘ線がスリット１２１を通ることで、照射部１２から照射位置Ｐ１へと向かうＸ線の指向性が高まる。
【００２２】
＜シールドボックス＞
シールドボックス１１１は、Ｘ線を遮蔽することができる筐体であって、本体１１の上に載置されている。シールドボックス１１１の内部には、照射部１２が配設されている。シールドボックス１１１によれば、照射部１２から発せられたＸ線が本体１１の上側で漏洩するのを、防止することができる。
【００２３】
＜受光部＞
受光部１３は、例えばラインセンサであって、照射位置Ｐ１の下側に位置する。受光部１３は、物品Ｐに照射されたＸ線のうち物品Ｐを透過したものを受光する。
【００２４】
そして、受光部１３で受光したＸ線の画像を、例えば画像処理部で処理することで、物品Ｐの不良を検査する。上述したようにスリット１２１を通ったＸ線の指向性は高いので、受光部１３で受光されたＸ線の画像にはノイズがほとんど生じず、以って高い精度で不良を検出することができる。
【００２５】
＜支持部＞
支持部１４は、取外し可能な状態で本体１１に取り付けられている。支持部１４は、本体１１に対して上下に移動可能であって、受光部１３を支持する。以下、支持部１４の上下の移動及び受光部１３の支持について具体的に説明する。
【００２６】
Ａ．支持部の上下の移動
図２及び図３は、図1に示される支持部１４の本体１１への取付け部分１４１を拡大して示した図である。なお図２及び図３は、取付け部分１４１を横（搬送方向９０（図１））から見た図である。
【００２７】
取付け部分１４１には、ネジ留め用の孔１４１１，１４１２がそれぞれ二つずつ設けられている。本体１１には、ネジ留め用の孔１１２が二つ設けられている。
【００２８】
一方の孔１１２には、一方の孔１４１１及び一方の孔１４１２が対応し、他方の孔１１２には、他方の孔１４１１及び他方の孔１４１２が対応する。そして、同じ孔１１２に対応する孔１４１１，１４１２については、孔１４１１の方が孔１４１２によりも高い位置に設けられている。
【００２９】
図２は、支持部１４が、本体１１に対して上に移動した状態で本体１１に取り付けられた場合を示す。具体的には、孔１４１２の位置を孔１１２の位置に合わせて、孔１４１２及び孔１１２にネジ１４２を螺合させる。これにより、本体１１に対する支持部１４の位置が高くなる。
【００３０】
図３は、支持部１４が、本体１１に対して下に移動した状態で本体１１に取り付けられた場合を示す。具体的には、孔１４１１の位置を孔１１２の位置に合わせて、孔１４１１及び孔１１２にネジ１４２を螺合させる。これにより、本体１１に対する支持部１４の位置が低くなる。
【００３１】
Ｂ．受光部の支持
図４及び図５はそれぞれ、支持部１４を前面及び側面から見た図である。支持部１４は、筐体１４３と扉１４４とを有する（図４）。筐体１４３は、上端部１４３１を有し、下側に開口部１４３２が設けられている。扉１４４は筐体１４３に取り付けられており、開口部１４３２の開閉が自在である。
【００３２】
上端部１４３１には、受光部１３を吊り下げた状態で取り付けることができる（図５）。具体的には、受光部１３は、固定部材１３１に固定されている。固定部材１３１には、一方の端部１３１ａに突起１３１１が設けられている。上端部１４３１には部材１４３３が、本体１１に近い位置で取り付けられている。部材１４３３には、突起１３１１を引っ掛けるための孔１４３４が設けられている。
【００３３】
受光部１３の支持部１４への取り付け方について説明する。まず、支持部１４の扉１４４を開ける（図４）。そして、開口部１４３２から筐体１４３の内部へと、受光部１３が固定された固定部材１３１を、一方の端１３１ａの方から挿入する。
【００３４】
その後、固定部材１３１の突起１３１１を、部材１４３３の孔１４３４に引っ掛ける。そして、固定部材１３１の他方の端部１３１ｂを上へと持ち上げて、端部１３１ｂを上端部１４３１にネジ等で固定する。
【００３５】
上述した支持部１４によれば、下側からのアプローチにより、受光部１３を支持部１４に取り付けたり、支持部１４から受光部１３を取り外したりすることができる。よって、受光部１３の取付け及び取外しが容易である。しかも、上端部１４３１に吊り下げた状態で受光部１３を取り付けるので、受光部１３の取付けに必要な取付部材（ネジなど）の数を少なくすることができ、以って受光部１３の取付けが容易となる。
【００３６】
更には、受光部１３が筐体１４３の上端部１４３１に取り付けられるので、受光部１３と照射位置Ｐ１との距離Ｌ１（図１）を小さくすることができ、以って強度の高いＸ線を受光部１３で受光することができる。
【００３７】
なお、従来のＸ線検査装置では、受光部１３の取付けには、ネジなどの取付部材が多く用いられていた。よって、受光部１３の取付けや取外しが煩雑であった。
【００３８】
＜搬送機構＞
Ａ．搬送機構の構成
搬送機構１６は、本体１１に取り付けることができる。本体１１に取り付けられた搬送機構１６について、図１を用いて説明する。なお、Ｘ線検査装置１について、搬送機構１６を取り付ける前の状態を図６に示す。
【００３９】
搬送機構１６は、回転ローラ１６１１〜１６１３、駆動ローラ１６２、搬送ベルト１６３、及び搬送台１６４１，１６４２を有する。
【００４０】
搬送台１６４１，１６４２はそれぞれ、支持部１４の両側に配置されている。具体的には、搬送台１６４１は、支持部１４に対して下流側の位置で、本体１１及び支持部１４の少なくともいずれか一方に取り付けられている。搬送台１６４２は、支持部１４に対して上流側の位置で、本体１１及び支持部１４の少なくともいずれか一方に取り付けられている。なお、上流及び下流という表現は、物品Ｐの搬送方向９０について用いている。
【００４１】
搬送台１６４１，１６４２には、Ｘ線の透過を妨げる遮蔽部材を採用することが好ましい。これにより、照射部１２から発せられたＸ線の、支持部１４の下側の空間への伝播を遮ることができる。
【００４２】
回転ローラ１６１１は搬送台１６４１に回転自在に支持されている。回転ローラ１６１２は、搬送台１６４２に回転自在に支持されている。
【００４３】
回転ローラ１６１３は、支持部１４によって回転自在に支持されている。具体的には回転ローラ１６１３は、扉１４４に固定された支持部材１４４１によって支持されている（図４）。
【００４４】
搬送ベルト１６３は、回転ローラ１６１１〜１６１３に掛けられる。具体的には、回転ローラ１６１１〜１６１３の各々は、搬送ベルト１６３が三角形状を呈するように、搬送ベルト１６３を内周側から支持する。
【００４５】
このとき、回転ローラ１６１１は、搬送ベルト１６３のうち物品Ｐを載せて搬送する部分１６３ａの下流端を形成する。回転ローラ１６１２は、部分１６３ａの上流端を形成する。
【００４６】
駆動ローラ１６２は、本体１１に取り付けられており、搬送ベルト１６３に駆動力を与えることができる。駆動ローラ１６２で搬送ベルト１６３に駆動力を与えることで、搬送ベルト１６３は回転する。これにより、搬送ベルト１６３（部分１６３ａ）に載せられた物品Ｐを、搬送方向９０へと搬送することができる。
【００４７】
なお、回転ローラ１６１１〜１６１３及び駆動ローラ１６２のそれぞれが、搬送を担う部材であることに鑑みれば、これらを搬送用ローラと把握することができる。
【００４８】
Ｂ．搬送機構と受光部との位置関係
本体１１に搬送機構１６を取り付けた場合には、搬送ベルト１６３の部分１６３ａの直下に支持部１４を配置すべく、支持部１４は、本体１１に対して上に移動した状態で本体１１に取り付けられる（図１及び図２）。
【００４９】
これにより、照射位置Ｐ１と受光部１３との距離Ｌ１を小さくすることができ、以って強度の高いＸ線を受光部１３で受光することができる。強度の高いＸ線を受光することで、Ｘ線の画像が鮮明になり、以って物品の不良の検査の精度を高めることができる。
【００５０】
受光部１３で受光されるＸ線の強度を高めるという観点からは、筐体１４３の上端部１４３１に受光部１３を取り付けることを好ましい（図５）。
【００５１】
＜遮蔽カーテン＞
遮蔽カーテン１５は、通路Ｗ１，Ｗ２のそれぞれに吊り下げられている。図１では、通路Ｗ１，Ｗ２のそれぞれに、遮蔽カーテン１５が二つずつ配設されている。遮蔽カーテン１５を通路Ｗ１，Ｗ２に吊り下げることで、通路Ｗ１，Ｗ２を通ってＸ線が漏洩することを防止できる。
【００５２】
２．Ｘ線検査装置の特徴
上述したＸ線検査装置１によれば、物品Ｐの照射位置Ｐ１への搬送には、本体１１に取り付けた搬送機構１６を用いることに代えて、コンベアなどの既設の搬送機構を用いることができる。すなわち、搬送機構１６が取り付けられる前のＸ線検査装置１（図６）を用いて、既設のコンベアを流れる物品Ｐの検査を行うことができる。具体的に図７を用いて説明する。
【００５３】
図７は、既設の搬送機構３に適用されたＸ線検査装置１を概念的に示す図である。かかるＸ線検査装置１では、支持部１４は、本体１１に対して下に移動した状態で本体１１に取り付けられる（図３）。
【００５４】
かかるＸ線検査装置１によれば、支持部１４を本体１１に対して下に移動させているので、支持部１４は、Ｘ線検査装置１を既設の搬送機構３に設置する際の妨げにならない。すなわち、Ｘ線検査装置１を既設の搬送機構３に適用した場合、支持部１４は既設の搬送機構３の下側に位置する。
【００５５】
しかも、支持部１４を本体１１に対して下に移動させているので、スリット１２１から照射位置Ｐ１までの距離Ｌ２を縮めることなく、既設の搬送機構３を配置することができる。よって、既設の搬送機構３を用いても、搬送機構１６を取り付けた場合に検査できる物品Ｐと同程度の大きさの物品Ｐの検査が可能である。
【００５６】
Ｘ線の照射位置Ｐ１では、図８に示されるように既設の搬送機構３に切れ目３１を設けることが好ましい。これは、物品Ｐを透過したＸ線の強度が、既設の搬送機構３によって著しく低下するのを回避するためである。なお、図８では、搬送機構３に切れ目３１を設けたことによる強度の低下を、継ぎ部材３２によって補っている。
【００５７】
既設の搬送機構３を用いる場合、支持部１４を下に移動させるので照射位置Ｐ１から受光部１３までの距離Ｌ１が、搬送機構１６を取り付けた場合（図１）に比べて大きくなる（図７）。距離Ｌ１が大きくなると、受光部１３で受光されるＸ線の強度が低下してしまい、Ｘ線の画像が不鮮明になるおそれがある。
【００５８】
しかし、下に移動させた支持部１４を搬送機構３の直下に配置することで、距離Ｌ１の増大を抑え、以ってＸ線の強度の低下を防止することができる。
【００５９】
３．変形例
＜変形例１＞
図９は、既設の搬送機構３に適用されるＸ線検査装置１の変形例を示す図である。かかるＸ線検査装置１は、Ｘ線の透過を妨げる遮蔽部材４１，４２を更に備える。
【００６０】
遮蔽部材４１は、支持部１４の上流側の位置で、本体１１及び支持部１４の少なくともいずれか一方に取り付けることができる。遮蔽部材４２は、支持部１４の下流側の位置で、本体１１及び支持部１４の少なくともいずれか一方に取り付けることができる。
【００６１】
図１０は、取り付けられた遮蔽部材４１（４２）を、搬送方向９０から見た図である。かかる遮蔽部材４１（４２）は、上に向かって凹状を呈している。
【００６２】
遮蔽部材４１，４２が取り付けられたＸ線検査装置１では、遮蔽部材４１，４２によって、照射部１２から発せられたＸ線の、支持部１４の下側の空間への伝播が遮られる。よって、Ｘ線検査装置１の下側へのＸ線の漏洩を防止することができる。
【００６３】
支持部１４の下側へのＸ線の漏洩を防止するという観点からは、取り付けられた遮蔽部材４１，４２は、図９に示されるように、水平面に対して斜めに傾いた面４１ａ，４２ａを有することが好ましい。
【００６４】
これにより、面４１ａ，４２ａで反射されるＸ線の多くが、Ｘ線検査装置１の内部空間Ｓ１の方に向かう。よって、Ｘ線検査装置１の外部へのＸ線の漏洩を効率良く防止することができる。
【００６５】
＜変形例２＞
Ｘ線検査装置１の回転ローラ１６１３は、図１に示されるように配置されることが好ましい。つまり、回転ローラ１６１３は、照射部１２と受光部１３とを通る直線９１上の、受光部１３に対して照射部１２とは反対側の位置で、支持部１４に取り付けられる。
【００６６】
これにより、照射部１２から発するＸ線の強度を高めても、受光部１３を透過したＸ線がＸ線検査装置１の下側に漏洩することがない。よって、Ｘ線の強度を高めて、不良の検査の精度を高めることができる。
【００６７】
なお、従来のＸ線検査装置では、照射部１２と受光部１３とを通る直線９１上に搬送用ローラが配置されていなかった。このため、照射部１２から発するＸ線の強度を高めると、直線９１上を伝播するＸ線は受光部１３を透過して、Ｘ線検査装置の外部に漏れ出すおそれがあった。よって、Ｘ線の強度をあまり高めることができず、以って不良の精度を高めることが困難であった。
【００６８】
上述したＸ線検査装置１では、回転ローラ１６１３は、支持部１４に取り付けられているが、本体１１に取り付けられても良い。
【００６９】
＜変形例３＞
上述したＸ線検査装置１では、取付け部分１４１のネジ留めの位置を変えることで、支持部１４の上下を可能にしているが、他の方法で支持部１４の上下を可能にしても良い。例えば、ボールネジや、シリンダ、電磁アクチュエータなどを採用することができる。シリンダには、油圧式のものや、空気圧式のものが採用できる。
【００７０】
＜変形例４＞
Ｘ線検査装置１は、本体を支える脚１７を更に備える（図１）。脚１７は、上面１７ａを有する。脚１７の上面１７ａは、図１に示されるように、水平面に対して斜めに傾いている。
【００７１】
本変形例にかかるＸ線検査装置１によれば、上面１７ａでＸ線を反射することができる。しかも、上面１７ａが水平面に対して斜めに傾いているので、反射されるＸ線の多くが、Ｘ線検査装置１の内部空間Ｓ１の方に向かう。よって、Ｘ線検査装置１の外部へのＸ線の漏洩を効率良く防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施の形態にかかるＸ線検査装置を概念的に示す図である。
【図２】支持部の本体への取り付け部分を拡大して示す図である。
【図３】支持部の本体への取り付け部分を拡大して示す図である。
【図４】支持部を前面から見た図である。
【図５】支持部を側面から見た図である。
【図６】Ｘ線検査装置について搬送機構を取り付ける前の状態を示す図である。
【図７】既設の搬送機構に適用されたＸ線検査装置を概念的に示す図である。
【図８】切れ目を設けた既設の搬送機構を概念的に示す図である。
【図９】変形例１にかかるＸ線検査装置を概念的に示す図である。
【図１０】遮蔽部材を搬送方向から見た図である。
【符号の説明】
【００７３】
１  Ｘ線検査装置
１１  本体
１２  照射部
１３  受光部
１４  支持部
１６  搬送機構
１７  脚
１７ａ  上面
４１，４２  遮蔽部材
４１ａ，４２ａ  面
９１  直線
１４３  筐体
１４４  扉
１４３１  上端部
１４３２  開口部
１６１３  回転ローラ（搬送用ローラ）
Ｐ  物品
Ｐ１  照射位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2009133638.tif 000009
【図８】
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【図９】
2009133638.tif 000011
【図１０】
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