(57)【要約】 【課題】  被貼付シートに反りがあっても浮きを生じさせることなく貼付シートを貼り付けることができる貼付治具を提供する。【解決手段】  ハンド本体１１には、真空室１４が形成され、真空室１４と外部とを隔てる隔壁の一部である支持壁１３に複数の支持壁吸引孔１６が形成される。複数の支持壁吸引孔１６は、各単位領域ある支持壁吸引孔１６の孔の面積の合計が、支持壁１３の中央部より周縁部のほうが広くなるように配置される。ハンド本体１１に固着される弾性体１２には、吸着面から支持壁１３に形成される支持壁吸引孔１６のそれぞれに連通する複数の弾性体吸引孔１７が形成される。弾性体１２の吸着面は、湾曲しており、弾性体１２の厚みが、吸着面の中央部が周縁部よりも厚くなる凸形状の曲面になるように構成される。弾性体１２は、配管１５によって真空室１４内の気体が排気されると、吸着面に遮光両面粘着シート２５を吸着させる。【選択図】      図１
2009154946.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貼付シート材を、被貼付シート材を収納する収納部に貼り付けるための貼付治具であって、
通気性を有し、弾性のある板状の弾性部材と、
中空部が形成され、中空部と外部とを隔てる隔壁の一部である固着壁に弾性部材を固着し、固着壁に中空部に連通する複数の孔が設けられる基材と、
中空部に連通し、中空部内の気体を排気するための配管部とを含み、
前記弾性部材は、配管部によって中空部内の気体が排気されたとき、貼付シート材を吸着可能な吸着面を有し、
前記複数の孔は、固着壁を予め定める広さの領域に分割した場合、各領域にある孔の面積の合計が、固着壁の中央部よりも周縁部が広くなるように配置されることを特徴とする貼付治具。
【請求項２】
前記弾性部材は、前記吸着面の中央部から周縁部に至る方向に分割され、前記吸着面の中央部にある分割された弾性部材に比べて周縁部にある分割された弾性部材の通気性が高いことを特徴とする請求項１に記載の貼付治具。
【請求項３】
前記固着壁は、弾性を有する薄板状の固着部材によって形成され、
前記中空部に配置され、固着部材の中央部を前記弾性部材に臨む方向に押圧する押圧部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の貼付治具。
【請求項４】
前記押圧部は、球体または棒状体であることを特徴とする請求項３に記載の貼付治具。
【請求項５】
前記吸着面は、平面または曲面であり、前記配管部によって前記中空部の気体を排気して、前記貼付シート材を前記吸着面で吸着したとき、前記吸着面の中央部が凸状の曲面となることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の貼付治具。
【請求項６】
前記吸着面は、前記配管部によって前記中空部の気体を排気して、前記貼付シート材を前記吸着面で吸着したとき、前記吸着面の中央部で前記吸着面に接する平面に垂直な方向で、前記貼付シート材と前記収納部に収納される被貼付シート材との距離が、前記吸着面の中央部から離れるに従い大きくなる形状であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の貼付治具。
【請求項７】
前記貼付シート材は、矩形形状であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の貼付治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートなどを貼り付ける貼付治具に関し、特に、携帯電話機などに用いられる液晶表示装置を構成するバックライトユニットの組み立てにおいて遮光両面テープを貼り付ける貼付治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話機などに使用されるバックライトユニットは、フレームの下面に反射板が貼り付けられ、その上に導光板および光学シートが配置される。そして、光学シートの上面に一方にセパレータが付いた状態の遮光両面テープが貼り付けられる。さらに、導光板の所定の側面に、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）などの発光体が取り付けられることによって形成される。
【０００３】
遮光両面テープは、遮光性を有し、かつ表裏両面ともに粘着性を有し額縁形状である。この遮光両面テープの一方の粘着面側は、光学シートの外周に位置するように、少なくともフレームの内壁側の周囲に形成される棚形状部に貼り付けられる。そして、遮光両面テープの他方の粘着面側には、液晶パネルが貼り付けられる。バックライト組立時に遮光両面テープは、液晶パネル貼付側にはセパレータを付けた状態で扱う。
【０００４】
このバックライトユニットの組み立て工程、特に、フレームに光学シートを挿入した後に遮光両面テープを貼り付ける工程では、貼り合せ面に空気が入り込んで浮きが生じることを回避するために、遮光両面テープの中央部から順次端面方向に貼り付ける方法が最も適している。
【０００５】
たとえば基板の表面にフィルムを貼り付ける従来の技術として、フィルム貼付装置がある。このフィルム貼付装置は、基板を収容して保持する基板収容凹部を備えた基板保持治具と、貼り付けるフィルムを吸着して保持するフィルム貼付ヘッドとを用いる。基板収容凹部に収容された基板とフィルム貼付ヘッドで吸着して保持したフィルムとを、所定の隙間を開けて互いに対面させた状態で、基板収容凹部内の気体を排気することによって、フィルムの中央部を膨出させる。
【０００６】
そして、その膨出部分の中央部から基板の中央部へのフィルムの貼り付けを開始し、そのフィルムと基板との間に存在する気体を排除しながら、最終的にフィルム貼付ヘッドによるフィルムの外周部の吸着を解除して、フィルムの外周部を基板の外周に貼り付ける。他の実施例であるフィルム貼付ヘッドは、中央部が高くなった弾性体を配設し、気体を排気することによって、フィルム中央部の膨出を促進させることを併用する（たとえば特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−９５２３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した従来の技術を用いて、フレームに光学シートを挿入した後で遮光両面テープを貼り付ける場合、フレームを前述の基板収容凹部内に収納保持し、かつ弾性体が配設されたフィルム貼付ヘッドを使用して光学シートを吸着保持する。そして、遮光両面テープを光学シートの上からフレームに貼り付けるとき、基板収容凹部とフィルム貼付ヘッドとを対面させた状態で排気する。すなわち、上述した従来の技術は、基板収容凹部とフィルム貼付ヘッドとを対面させた状態にする度に、毎回排気しなければならず、排気時間が長く掛かり数秒単位の量産には対応することはできない。さらに、排気するための排気手段が必要になるので、製品へのコストアップにもつながる。
【０００９】
フィルム貼付ヘッドに配設される弾性体は、基板収容凹部内を排気して初めて、中央部から膨出するようになっている。すなわち、フレームに光学シートを挿入する場合、フィルム貼付ヘッドに吸着保持された遮光両面テープは平坦状態であるので、光学シートが反っていると、反った光学シートの遮光両面テープ側に最も近い部分から遮光両面テープに接触していくため、光学シートの位置ずれするなどして貼り付いてしまう。したがって、貼り付きが完了した段階では、光学シートの位置ずれや光学シートと遮光両面テープとの間に浮きが生じるなどの不良が発生する。
【００１０】
また、遮光両面テープを吸着した状態で弾性体の中央部が凸形状になるように構成し、弾性体に接するフィルムが弾性体の凸形状に沿って変形するようにしても、遮光両面テープを吸着する吸着部がフラットであるので、吸着部に吸着された遮光両面テープは平坦となる。すなわち、弾性体と吸着部との繋ぎの部分で、遮光両面テープに折れ曲がりが生じるので、光学シートに貼り付けた場合に、その繋ぎの部分で浮きが生じてしまうという問題がある。
【００１１】
本発明の目的は、光学シートに反りがあっても浮きを生じさせることなく遮光両面テープによって光学シートを貼り付けることができる貼付治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、貼付シート材を、被貼付シート材を収納する収納部に貼り付けるための貼付治具であって、
通気性を有し、弾性のある板状の弾性部材と、
中空部が形成され、中空部と外部とを隔てる隔壁の一部である固着壁に弾性部材を固着し、固着壁に中空部に連通する複数の孔が設けられる基材と、
中空部に連通し、中空部内の気体を排気するための配管部とを含み、
前記弾性部材は、配管部によって中空部内の気体が排気されたとき、貼付シート材を吸着可能な吸着面を有し、
前記複数の孔は、固着壁を予め定める広さの領域に分割した場合、各領域にある孔の面積の合計が、固着壁の中央部よりも周縁部が広くなるように配置されることを特徴とするである。
【００１３】
また本発明は、前記弾性部材は、前記吸着面の中央部から周縁部に至る方向に分割され、前記吸着面の中央部にある分割された弾性部材に比べて周縁部にある分割された弾性部材の通気性が高いことを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、前記固着壁は、弾性を有する薄板状の固着部材によって形成され、
前記中空部に配置され、固着部材の中央部を前記弾性部材に臨む方向に押圧する押圧部をさらに含むことを特徴とする。
【００１５】
また本発明は、前記押圧部は、球体または棒状体であることを特徴とする。
また本発明は、前記吸着面は、平面または曲面であり、前記配管部によって前記中空部の気体を排気して、前記貼付シート材を前記吸着面で吸着したとき、前記吸着面の中央部が凸状の曲面となることを特徴とする。
【００１６】
また本発明は、前記吸着面は、前記配管部によって前記中空部の気体を排気して、前記貼付シート材を前記吸着面で吸着したとき、前記吸着面の中央部で前記吸着面に接する平面に垂直な方向で、前記貼付シート材と前記収納部に収納される被貼付シート材との距離が、前記吸着面の中央部から離れるに従い大きくなる形状であることを特徴とする。
また本発明は、前記貼付シート材は、矩形形状であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、貼付シート材を、被貼付シート材を収納する収納部に貼り付けるにあたって、弾性部材は、通気性を有し、弾性のある板形状であり、中空部が形成される基材によって、中空部と外部とを隔てる隔壁の一部である固着壁に弾性部材が固着され、固着壁に中空部に連通する複数の孔が設けられ、中空部に連通する配管部によって、中空部内の気体が排気され、前記弾性部材によって、配管部によって中空部内の気体が排気されたとき、吸着面によって貼付シート材が吸着される。そして、前記複数の孔は、固着壁を予め定める広さの領域に分割した場合、各領域にある孔の面積の合計が、固着壁の中央部より周縁部が広くなるように配置される。
【００１８】
したがって、吸着面の周縁部が中央部よりも吸着力が強くなり、すなわち弾性体の収縮率は中央部よりも周縁部が高くなり、弾性体は吸着面の中央部が凸形状となるので、被貼付シート材に反りがあっても浮きを生じさせることなく貼付シート材を貼り付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は、本発明の実施の第１の形態である粘着性シート材貼付用ハンド１の構造の一例を示す図である。貼付治具である粘着性シート材貼付用ハンド１は、矩形形状の貼付シート材である粘着シート材を吸着して、被貼付シート材を収容するフレームに貼り付けるための治具である。以下「シート材」のことを単に「シート」という。
【００２０】
図１（ａ）は、吸着された粘着性シートの中央部で粘着性シートに接する平面に直交し、粘着性シートの矩形形状の１辺に平行で、かつ粘着シートの中心部を通る平面で切断した切断面を示す図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）に示した切断面に直交する平面で切断した切断面を示す図である。
【００２１】
粘着性シート材貼付用ハンド１は、ハンド本体１１、弾性体１２および配管１５を含んで構成される。基材であるハンド本体１１は、たとえばアルミニウム合金などの軽量で高剛性の材料などの材料によって構成される。ハンド本体１１には、中空部である真空室１４が形成され、真空室１４と外部とを隔てる隔壁の一部の固着壁である支持壁１３に弾性体１２を固着する。支持壁１３には、真空室１４に連通する複数の孔である支持壁吸引孔１６が形成される。複数の支持壁吸引孔１６は、固着壁を予め定める広さの領域である単位領域に分割した場合、各単位領域にある孔の面積の合計が、支持壁１３の中央部より周縁部のほうが広くなるように配置される。
【００２２】
弾性部材である弾性体１２は、たとえばウレタン、ゴム、ポロンなどの材料によって構成される。弾性体１２には、粘着シートを吸着するための吸着面とハンド本体１１の固着壁に固着される面との間を、吸着面から支持壁１３に形成される支持壁吸引孔１６のそれぞれに連通する複数の弾性体吸引孔１７が形成される。弾性体吸引孔１７の孔の大きさは、対応する支持壁吸引孔１６の孔の大きさと同じである。弾性体吸引孔１７によって、弾性体１２の通気性を実現している。
【００２３】
弾性体１２の吸着面は、図１（ａ）に示すように、ハンド本体１１から突き出た配管１５の方向で湾曲しており、図１（ｂ）に示すように、その方向に直交する方向では、湾曲していない。すなわち吸着面は、ハンド本体１１から突き出た配管１５の方向で、弾性体１２の厚みが、吸着面の中央部が端面部つまり周縁部よりも厚くなる凸形状の曲面になるように構成される。
【００２４】
配管部である配管１５は、真空室１４内の気体を排気するための配管であり、真空室１４に連通し、外部にある図示しない真空ポンプに接続される。
【００２５】
図２は、支持壁１３に設けられる支持壁吸引孔１６の例を示す図である。図２（ａ）は、単位領域当たりの支持壁吸引孔１６の数は同じであるが、支持壁１３の中央部の支持壁吸引孔１６の孔の大きさよりも端面部、つまり周縁部の支持壁吸引孔１６の孔の大きさを大きくした例である。図２（ｂ）は、各支持壁吸引孔１６の孔の大きさは同じであるが、単位領域当たりの支持壁吸引孔１６の数を、支持壁１３の中央部よりも端面部のほうを多くした例である。いずれの例も、単位領域ごとにある支持壁吸引孔１６の孔の面積の合計は、支持壁１３の中央部よりも端面部が広くなるように配置されている。
【００２６】
図３は、バックライトユニット２０の構造の一例を示す図である。図３（ａ）は、バックライトユニット２０を構成要素ごとに分解した分解図であり、図３（ｂ）は、組み立てられたバックライトユニット２０を、図３（ａ）に示した切断線面Ａ−Ａから見た断面図である。
【００２７】
バックライトユニット２０は、たとえば携帯電話機などに用いられる液晶表示装置を構成するバックライトユニットである。バックライトユニット２０は、フレーム２１、反射板２２、導光版２３、シート群２４、遮光両面粘着シート２５および発光体２６を含んで構成される。
【００２８】
収納部であるフレーム２１は、反射板２２、導光版２３、シート群２４および遮光両面粘着シート２５を支持するフレームである。フレーム２１には、最下層に反射板２２が配置され、反射板２２の上に導光版２３、シート群２４および遮光両面粘着シート２５がこの順序で配置される。フレーム２１には、発光体２６を収納する収納部が形成される。反射板２２は、導光版２３からの光をシート群２４の方向に反射する。導光版２３は、フレーム２１に収納される発光体２６から出射する光をシート群２４の方向に導く。
【００２９】
シート群２４は、拡散シートおよびレンズシートなどを含む複数の種類のシートから構成される。遮光両面粘着シート２５は、周縁部が粘着性を有しており、シート群２４の周縁部をフレーム２１の枠に押さえるように、フレーム２１の額縁棚２１ａに貼り付けられる。発光体２６は、光を出射する光源である。
【００３０】
図４は、遮光両面粘着シート２５およびフレーム２１の形状の一例を示す図である。図４（ａ）は、遮光両面粘着シート２５の形状が矩形形状であることを示す。図４（ｂ）は、フレーム２１の形状が、遮光両面粘着シート２５の形状に対応する矩形形状であることを示す。フレーム２１の内壁側に、反射板２２、導光版２３、シート群２４および遮光両面粘着シート２５を支持するための額縁棚２１ａが設けられている。
【００３１】
図５は、遮光両面粘着シート２５の詳細な構成の一例を示す図である。図５（ａ）は、台紙３１に貼り付けられている遮光両面粘着シート２５の断面図であり、図５（ｂ）は、台紙３１に貼り付けられている遮光両面粘着シート２５を、遮光両面粘着シート２５が貼り付けられている台紙３１の表面側から見た図である。
【００３２】
遮光両面粘着シート２５は、たとえば遮光性を有する遮光両面粘着シート２５ｂの１面に保護シート２５ｃが貼り付けられたシートである。保護シート２５ｃは、遮光両面粘着シート２５ｂの面のうち１つの面の表面を覆い、遮光両面粘着シート２５ｂを保護する。
【００３３】
遮光両面粘着シート２５ｂの周縁部２６ａは、遮光両面粘着シート２５ｂの面のうち保護シート２５ｃで覆われる面とは異なる面が強粘着性を有している。遮光両面粘着シート２５は、ロール供給される台紙３１上に、一定間隔で、強粘着性を有する面が微粘着で貼り付けられて形成される。微粘着は、台紙３１の材質を、周縁部２６ａの強粘着性が微粘着状態になる材質の材料を選択することによって実現される。
【００３４】
図６は、遮光両面粘着シート２５を吸着する吸着保持工程の一例を示す図である。図６（ａ）は、粘着性シート材貼付用ハンド（以下単に「ハンド」ともいう）１が遮光両面粘着シート２５の吸着を開始した状態である。遮光両面粘着シート２５が形成された台紙３１は、ローラ４２によって方向ｆに移動する。図示しないセンサよって遮光両面粘着シート２５がハンド１の下であって、かつ転写台４１の予め設定された位置、たとえばハンド１の中央部が遮光両面粘着シート２５の中央部に一致する位置にきたことが検出されると、ローラ４２は停止する。
【００３５】
ハンド１は、図示しないＺステージなどの機構によって昇降する。ハンド１がＺステージによって下降され、ハンド１の弾性体１２が遮光両面粘着シート２５に接触すると、図示しない真空ポンプが作動し、弾性体１２の弾性体吸引孔１７によって吸引を開始する。弾性体吸引孔１７が吸引を開始すると、弾性体１２の吸着面の中央部は、遮光両面粘着シート２５の中央部を吸着し、弾性体１２に対する遮光両面粘着シート２５の相対位置が定まる。
【００３６】
図６（ｂ）は、ハンド１が遮光両面粘着シート２５を途中まで吸着した状態である。図６（ａ）に示した状態からハンド１がさらに下降すると、弾性体１２の吸着面の平坦部が吸着面の周縁部に広がる。弾性体１２が遮光両面粘着シート２５の前面に覆いかぶさるように平坦になると、遮光両面粘着シート２５の全領域が完全に吸着される。図６（ｃ）は、ハンド１が遮光両面粘着シート２５全体の吸着を完了した直後の状態である。
【００３７】
図６（ｄ）は、遮光両面粘着シート２５が台紙３１からハンド１に移り終わった状態である。図６（ｃ）に示した状態からハンド１を上昇させると、遮光両面粘着シート２５と台紙３１とは微粘着状態であり、ハンド１の吸着力のほうが勝るので、遮光両面粘着シート２５は、その周縁部から中央部の方向に、台紙３１からハンド１に移る。そして、ハンド１を予め設定された高さ、たとえばハンド１を後述する貼付台５１に移動するとき他の物と接触しない高さまで上昇させると、遮光両面粘着シート２５は、完全にハンド１に移り、ハンド１に吸着された状態になる。
【００３８】
ハンド１の弾性体１２の吸着面の曲面は、遮光両面粘着シート２５を吸着する前の状態では、図６（ａ）に示す曲率Ｒ１であるが、遮光両面粘着シート２５を吸着し終わった状態では、曲率の値が曲率Ｒ１よりも小さい曲率Ｒ２となり、弾性体１２の厚みも薄くなる。
【００３９】
図７は、遮光両面粘着シート２５を吸着する吸着保持工程の他の例を示す図である。図７（ａ）は、ハンド１を台紙３１の移動に同期させて移動しながら遮光両面粘着シート２５を吸着する例を示す。ハンド１は、転写台４１ａ上で、遮光両面粘着シート２５の吸着を開始し、台紙３１の移動に同期して移動しながら遮光両面粘着シート２５を吸着する。そして、ナイフエッジ４３で遮光両面粘着シート２５を剥がしながら、遮光両面粘着シート２５を台紙３１からハンド１に移す。
【００４０】
図７（ｂ）は、ハンド１が遮光両面粘着シート２５を吸着する開始位置をナイフエッジ４３の位置にした例である。転写台４１ｂは、遮光両面粘着シート２５の一部が台紙３１から剥がされた位置に設けられ、遮光両面粘着シート２５は、遮光両面粘着シート２５の一部が台紙３１から剥がされて転写台４１ｂ上に突き出した位置で、換言すると、遮光両面粘着シート２５がナイフエッジ４３および転写台４１ｂの位置にあるときに、ハンド１に移される。
【００４１】
図８は、遮光両面粘着シート２５を貼り付ける貼付工程の一例を示す図である。図８（ａ）は、ハンド１が遮光両面粘着シート２５の貼り付けを開始した状態である。貼付台５１には、フレーム２１の位置決めのための位置決めピン５２が設けられ、フレーム２１は、位置決めピン５２によって決まる位置に載置される。遮光両面粘着シート２５を吸着したハンド１がフレーム２１の上方に移動し、予め定める位置、たとえばハンド１の中央部がフレーム２１の中央部に一致する位置で停止する。
【００４２】
そして、遮光両面粘着シート２５を吸着したハンド１を下降させると、遮光両面粘着シート２５が、シート群２４の中央部に接触する。シート群２４は、は、予めフレーム２１に収納されているが、そのカールつまり反りのために端面部つまり周縁部が浮いた状態になっている。以下、反りの割合を曲率Ｒ３で近似する。反りの曲率Ｒ３は、遮光両面粘着シート２５を吸着した弾性体１２の吸着面の曲率Ｒ２よりも大きいので、遮光両面粘着シート２５とシート群２４との距離は、中央部から端面部つまり周縁部に近づくに従い大きくなる。したがって、遮光両面粘着シート２５とシート群２４とが中央部で接触しても、端面部は接触することはない。
【００４３】
図８（ｂ）は、ハンド１が遮光両面粘着シート２５を途中まで貼り付けた状態である。図８（ａ）に示した状態からハンド１がさらに下降すると、遮光両面粘着シート２５の平坦部がシート群２４の端面部つまり周縁部、さらにフレーム２１の額縁棚２１ａに広がり、換言すると、遮光両面粘着シート２５との粘着領域がシート群２４の中央部から端面部そして額縁棚２１ａへと広がる。
【００４４】
図８（ｃ）は、遮光両面粘着シート２５の平坦部がシート群２４およびフレーム２１の額縁棚２１ａの全面になった状態、すなわち遮光両面粘着シート２５全体が貼り付けられた状態を示す。遮光両面粘着シート２５の周縁部２６ａは強粘着性を有しているので、遮光両面粘着シート２５は、シート群２４の周縁部およびフレーム２１の額縁棚２１ａに貼り付く。シート群２４の周縁部に遮光両面粘着シート２５が粘着しないように、遮光両面粘着シート２５の周縁部２６ａの領域を調整しておけば、フレーム２１の額縁棚２１ａにのみ、遮光両面粘着シート２５を貼り付けることも可能である。
【００４５】
図８（ｄ）は、遮光両面粘着シート２５がシート群２４の周縁部およびフレーム２１の額縁棚２１ａに貼り付けられ、ハンド１から離れた状態を示す。図８（ｃ）に示した状態で、真空ポンプを停止し、遮光両面粘着シート２５のハンド１への吸着を解除すると、ハンド１が遮光両面粘着シート２５を吸着する力よりも、遮光両面粘着シート２５がフレーム２１の額縁棚２１ａに粘着される力が大きくなる。その状態でハンド１を上昇させると、遮光両面粘着シート２５は、ハンド１から離れ、フレーム２１の額縁棚２１ａに粘着された状態となり、貼付工程は終了する。貼付工程の後、遮光両面粘着シート２５の保護シート２５ｃが剥がされ、その上に液晶パネルが貼り付けられる。
【００４６】
図９は、本発明の実施の第２の形態である粘着性シート材貼付用ハンド２の構造の一例を示す図である。貼付治具である粘着性シート材貼付用ハンド２は、円形形状の貼付シート材である粘着シートを吸着して、被貼付シート材を収容するフレームに貼り付けるための治具である。
【００４７】
図９（ａ）は、吸着された粘着性シートの中央部で粘着性シートに接する平面に直交し、かつ粘着シートの中心部を通る平面で切断した切断面を示す図である。図９（ｂ）は、図９（ａ）に示した切断面に直交する平面で切断した切断面を示す図である。
【００４８】
粘着性シート材貼付用ハンド２は、ハンド本体２１１、弾性体２１２および配管２１５を含んで構成される。ハンド本体２１１および配管２１５は、それぞれ図１に示したハンド本体１１および配管１５と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。
【００４９】
弾性部材である弾性体２１２は、図１に示した弾性体１２と、吸着面の形状のみが異なる。以下、図１に示した弾性体１２と異なる吸着面の形状についてのみ説明し、吸着面の形状以外については図１に示した弾性体１２と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。弾性体２１２の吸着面は、円形形状の粘着シートに対応する円形形状である。したがって、図９（ａ）に示した方向および図９（ｂ）に示した方向のいずれの方向にも湾曲している。すなわち、吸着面は、弾性体１２の厚みが、吸着面の中央部が端面部つまり周縁部よりも厚くなる凸形状の曲面になるように構成され、球冠状の曲面である。
【００５０】
支持壁１３に設けられる支持壁吸引孔１６は、単位領域ごとにある孔の面積の合計が、図９（ｂ）に示す方向でも、支持壁１３の中央部より周縁部のほうが広くなるように配置される。
【００５１】
図１０は、粘着性シートおよびフレームの形状の他の例を示す図である。図１０（ａ）は、粘着性シート２２５の形状が円形形状であることを示し、図１０（ｂ）は、フレーム２２１の形状が、粘着性シート２２５の形状に対応する円形形状であることを示す。フレーム２２１の内壁側に、粘着シート２２５を支持するための円形縁棚２２１ａが設けられる。
【００５２】
円形形状の粘着シート２２５は、弾性体２１２の吸着面の中央部が端面部つまり周縁部よりも凸状の高さが高くなっているので、粘着シート２２５の周縁部にしわが発生し易い。したがって、粘着性シート材貼付用ハンド２は、凸形状の高さが低く、しわが発生しにくい場合に適用することができる。図１に示した粘着性シート材貼付用ハンド１は、粘着性シート材貼付用ハンド２のようにしわが発生しないので、凸形状の高さに限定されることなく使用することができる。
【００５３】
このように、図４（ａ）に示した遮光両面粘着シート２５は、矩形形状であるので、弾性体１２の吸着面が凸状であっても、遮光両面粘着シート２５を吸着したときに、図１０（ａ）に示した円形形状の貼付シート材で発生するしわの発生を回避することができる。
【００５４】
図１１は、本発明の実施の第３の形態である粘着性シート材貼付用ハンド３の構造の一例を示す図である。貼付治具である粘着性シート材貼付用ハンド３は、矩形形状の貼付シート材である粘着シートを吸着して、被貼付シート材を収容するフレームに貼り付けるための治具である。
【００５５】
図１１（ａ）は、吸着された遮光両面粘着シート２５の中央部で遮光両面粘着シート２５に接する平面に直交し、遮光両面粘着シート２５の矩形形状の１辺に平行で、かつ遮光両面粘着シート２５の中心部を通る平面で切断した切断面を示す図である。図１１（ｂ）は、遮光両面粘着シート２５を吸着した状態での弾性体３１２の形状を示す図である。
【００５６】
粘着性シート材貼付用ハンド３は、ハンド本体３１１、弾性体３１２および配管３１５を含んで構成される。ハンド本体３１１および配管３１５は、それぞれ図１に示したハンド本体１１および配管１５と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。
【００５７】
弾性部材である弾性体３１２は、たとえばスポンジなどの通気性のある材料によって構成される。弾性体３１２は、吸着面の中央部から周縁部に至る方向に、分割領域３１２ａ〜３１２ｎに分割され、分割領域３１２ａの通気性が最も低く、中央部から周縁部に近づくに従い通気性が高くなり、分割領域３１２ｎの通気性が最も高い。弾性体３１２の吸着面の形状は、図１に示した弾性体１２の吸着面の形状と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。
【００５８】
弾性体３１２の中央部から端面部つまり周縁部に近づくに従い吸着力が強くなり、遮光両面粘着シート２５を吸着したときに、弾性体３１２の厚さはＬ１からＬ２と薄くなるが、相対的に中央部の凸形状の高さが高くなり、曲率が小さくなる。
【００５９】
このように、弾性体３１２は、前記吸着面の中央部から周縁部に至る方向に分割され、前記吸着面の中央部にある分割された弾性体３１２ａより周縁部にある分割された弾性体３１２ｎのほうが通気性が高いので、吸着面の周縁部のほうが中央部よりも吸着力がさらに強くなり、すなわち弾性体３１２の収縮率は中央部よりも周縁部のほうがさらに高くなり、弾性体３１２は吸着面の中央部がより高さのある凸形状となるので、シート群２４に反りがあってもより確実に浮きを生じさせることなく遮光両面粘着シート２５を貼り付けることができる。
【００６０】
図１２は、本発明の実施の第４の形態である粘着性シート材貼付用ハンド４の構造の一例を示す図である。貼付治具である粘着性シート材貼付用ハンド４は、矩形形状の貼付シート材である粘着シートを吸着して、被貼付シート材を収容するフレームに貼り付けるための治具である。
【００６１】
図１２（ａ）は、吸着された遮光両面粘着シート２５の中央部で遮光両面粘着シート２５に接する平面に直交し、遮光両面粘着シート２５の矩形形状の１辺に平行で、かつ遮光両面粘着シート２５の中心部を通る平面で切断した切断面を示す図である。図１２（ｂ）は、遮光両面粘着シート２５を吸着した状態での弾性体４１２の形状を示す図である。
【００６２】
粘着性シート材貼付用ハンド４は、ハンド本体４１１、弾性体４１２および配管４１５を含んで構成される。配管４１５は、図１に示した配管１５と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。
【００６３】
基材であるハンド本体４１１は、図１に示したハンド本体１１と、支持壁吸引孔のみが異なる。以下、図１に示したハンド本体１１と異なる支持壁吸引孔についてのみ説明し、支持壁吸引孔以外については図１に示した弾性体１２と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。支持壁吸引孔４１６は、支持壁４１３の周縁部にのみ設けられ、中央部には設けられない。
【００６４】
弾性部材である弾性体４１２は、たとえばスポンジなどの通気性のある材料によって構成され、通気性は弾性体４１２のいずれの部位でも同じ通気性を有する。弾性体４１２の吸着面の中央部では吸着力は、ほぼゼロであり、端面部つまり周縁部に近づくに従い大きくなる。したがって、遮光両面粘着シート２５を吸着したときに、弾性体４１２の厚さはＬ３からＬ４と薄くなるが、相対的に中央部の凸形状の高さが高くなり、曲率が小さくなる。
【００６５】
図１３は、本発明の実施の第５の形態である粘着性シート材貼付用ハンド５の構造の一例を示す図である。貼付治具である粘着性シート材貼付用ハンド５は、矩形形状の貼付シート材である粘着シートを吸着して、被貼付シート材を収容するフレームに貼り付けるための治具である。
【００６６】
図１３（ａ）は、吸着された遮光両面粘着シート２５の中央部で遮光両面粘着シート２５に接する平面に直交し、遮光両面粘着シート２５の矩形形状の１辺に平行で、かつ遮光両面粘着シート２５の中心部を通る平面で切断した切断面を示す図である。図１３（ｂ）は、遮光両面粘着シート２５を吸着した状態での弾性体５１２の形状を示す図である。
【００６７】
粘着性シート材貼付用ハンド５は、ハンド本体５１１、弾性体５１２および配管５１５を含んで構成される。配管５１５は、図１に示した配管１５と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。ハンド本体５１１は、図１２に示したハンド本体４１１と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。
【００６８】
弾性部材である弾性体５１２は、中央部と周辺部とに分割され、中央部は、たとえば通気性のないゴムによって構成され、周辺部は、たとえばスポンジなどの通気性のある材料によって構成される。周辺部の通気性は、いずれの部位でも同じ通気性を有する。弾性体５１２の吸着面の中央部では吸着力は、ゼロであり、周辺部にのみ吸着力が発生する。したがって、遮光両面粘着シート２５を吸着したときに、弾性体５１２の厚さはＬ５からＬ６と薄くなるが、相対的に中央部の凸形状の高さが高くなり、曲率が小さくなる。
【００６９】
図１２に示した粘着性シート材貼付用ハンド４の弾性体４１２は、全体が通気性を有するので、中央部から端面部に吸引される空気が流れ、周辺部の吸着力が低下する。図１３に示した粘着性シート材貼付用ハンド５のように、遮光両面粘着シート２５を周辺部のみで吸着するほうが、吸着力を発生させるための電力を小さくすることができ、真空ポンプの小型化を図ることができる。
【００７０】
図１１〜図１３に示した弾性体の側面は、テープあるいはシール材を用いて空気が漏れないように、気密処理を施す。
【００７１】
図１４は、本発明の実施の第６の形態である粘着性シート材貼付用ハンド６の構造の一例を示す図である。貼付治具である粘着性シート材貼付用ハンド６は、矩形形状の貼付シート材である粘着シートを吸着して、被貼付シート材を収容するフレームに貼り付けるための治具である。
【００７２】
図１４（ａ）は、吸着された遮光両面粘着シート２５の中央部で遮光両面粘着シート２５に接する平面に直交し、遮光両面粘着シート２５の矩形形状の１辺に平行で、かつ遮光両面粘着シート２５の中心部を通る平面で切断した切断面を示す図である。図１４（ｂ）は、遮光両面粘着シート２５を吸着し、押し下げ棒６２５を下降させた状態での弾性体６１２の形状を示す図である。
【００７３】
粘着性シート材貼付用ハンド６は、ハンド本体６１１、弾性体６１２、配管６１５、シャフトホルダ６２０、シャフト６２１、吊り下げ部材６２２、シリンダ６２３、シリンダロッド６２４、押し下げ棒６２５、Ｏリング６２６およびシール６２７を含んで構成される。配管６１５は、図１に示した配管１５と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。
【００７４】
基材であるハンド本体６１１は、たとえばアルミニウム合金などの軽量で高剛性の材料によって構成される。ハンド本体６１１には、中空部である真空室６１４が形成され、真空室６１４と外部とを隔てる隔壁の一部の固着壁である支持壁６１３に弾性体６１２を固着する。固着壁である支持壁６１３は、たとえばばね製の薄板材によって構成される。支持壁６１３には、真空室６１４に連通する複数の孔である支持壁吸引孔６１６が形成される。複数の支持壁吸引孔６１６は、支持壁６１３の周縁部にのみ設けられ、中央部には設けられない。
【００７５】
弾性部材である弾性体６１２は、たとえばウレタン、ゴム、ポロンなどによって構成される。弾性体６１２には、遮光両面粘着シート２５を吸着するための吸着面とハンド本体６１１の支持壁６１３に固着される面との間を、吸着面から支持壁６１３に形成される支持壁吸引孔６１６のそれぞれに連通する複数の弾性体吸引孔６１７が形成される。弾性体吸引孔６１７の孔の大きさは、対応する支持壁吸引孔６１６の孔の大きさと同じである。弾性体吸引孔６１７によって、弾性体６１２の通気性を実現している。
【００７６】
シャフトホルダ６２０は、支持壁６１３の真空室６１４側に取り付けられ、シャフト６２１を保持する。シャフト６２１は、吊り下げ部材６２２の一端を支持する。吊り下げ部材６２２は、中央部がばね部によって構成され、一端がシャフト６２１によってそのシャフト６２１の周囲を抱くように回転可能に支持され、他端が真空室６１４の内壁に取り付けられる。
【００７７】
シリンダ６２３は、真空室６１４の上側で、かつハンド本体６１１の外周面に取り付けられ、シリンダロッド６２４を昇降させる。シリンダロッド６２４は、真空室６１４内に挿入されており、シリンダ６２３によって昇降する。押圧部である押し下げ棒６２５は、シリンダロッド６２４の先端部に設けられ、シリンダロッド６２４の下降に伴い、支持壁６１３を押し下げ、シリンダロッド６２４の上昇に伴い、支持壁６１３を元の状態に復帰させる。粘着性シートの形状が、矩形形状ではなく、円形形状のときは、押し下げ棒６２５は、球体とする。
【００７８】
Ｏ−リング６２６は、シリンダロッド６２４が昇降しても、真空室６１４の減圧状態を保持する。シール６２７は、支持壁６１３の真空室６１４側に固定され、シール６２７の一部を真空室６１４の側面に押し付けつることによって、支持壁６１３がたわむ範囲内で、真空室６１４内の減圧状態を維持することができるように形成される。
【００７９】
ハンド６を用いて遮光両面粘着シート２５を吸着する吸着保持工程では、弾性体６１４の吸着面全体が平坦になった状態で、図示しない真空ポンプを作動させ、遮光両面粘着シート２５を吸着する。そして、ハンド６を上昇させて、遮光両面粘着シート２５を台紙３１から剥がし、ハンド６に移す。
【００８０】
遮光両面粘着シート２５がハンド６に完全に移ると、シリンダ６２３を作動させてシリンダロッド６２４を下降させ、押し下げ棒６２５によって支持壁６１３を押し下げる。ハンド６に吸着された遮光両面粘着シート２５の曲率は、フレーム２１に収納されるシート群２４の曲率よりも大きい値になり、シート群２４に反りがあっても、浮きを生じることなく遮光両面粘着シート２５をフレーム２１に貼り付けることができる。この場合、遮光両面粘着シート２５は弾性体６１２の吸着面とともに左右対称に変形しており、遮光両面粘着シート２５の中央位置は、曲率を持たせる前後で変化しない。よって所定の位置に貼付を行うことができる。
【００８１】
ハンド６を用いて遮光両面粘着シート２５を貼り付ける貼付工程では、ハンド６を下降させて、ハンド６に吸着された遮光両面粘着シート２５の中央部を、フレーム２１に収容されたシート群２４に接触させた後、シリンダ６を作動して押し下げ棒６２５を上昇させつつ、ハンド６を下降させる。すると、遮光両面粘着シート２５とシート群２４との接触部分が中央部から端面部つまり周縁部に広がる。弾性体６１２の吸着面は、押し下げ棒６２５が支持壁６１３に接触しない状態で、曲率１程度の凸形状であるので、押し下げ棒６２５が支持壁６１３から離れても、吸着面の周縁部は、フレーム２１の額縁棚２１ａから離れた状態である。ハンド６をさらに下降させ、弾性体６１２の吸着面全体が平坦に変形した状態で、真空ポンプを停止し、遮光両面粘着シート２５の吸着を解除し、遮光両面粘着シート２５のフレーム２１への貼り付けを完了する。
【００８２】
図１５は、本発明の実施の第７の形態である粘着性シート材貼付用ハンド７の構造の一例を示す図である。貼付治具である粘着性シート材貼付用ハンド７は、矩形形状の貼付シート材である粘着シートを吸着して、被貼付シート材を収容するフレームに貼り付けるための治具である。
【００８３】
図１５（ａ）は、吸着された遮光両面粘着シート２５の中央部で遮光両面粘着シート２５に接する平面に直交し、遮光両面粘着シート２５の矩形形状の１辺に平行で、かつ遮光両面粘着シート２５の中心部を通る平面で切断した切断面を示す図である。図１５（ｂ）は、遮光両面粘着シート２５を吸着し、膨張部７２５を膨張させた状態での弾性体７１２の形状を示す図である。
【００８４】
粘着性シート材貼付用ハンド７は、ハンド本体７１１、弾性体７１２、配管７１５、シャフトホルダ７２０、シャフト７２１、吊り下げ部材７２２、エアー供給管７２４、膨張部７２５およびシール７２７を含んで構成される。配管６１５は、図１に示した配管１５と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。
【００８５】
ハンド本体７１１、弾性体７１２、配管７１５、シャフトホルダ７２０、シャフト７２１、吊り下げ部材７２２およびシール７２７は、それぞれ図１４に示したハンド本体６１１、弾性体６１２、配管６１５、シャフトホルダ６２０、シャフト６２１、吊り下げ部材６２２およびシール６２７と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。
【００８６】
エアー供給管７２４は、膨張部７２５にエアーを供給あるいは膨張部７２５からエアーを排気する。押圧部である膨張部７２５は、エアー供給管７２４によってエアーを供給されると、膨張して支持壁７１４を押し下げ、エアー供給管７２４によってエアーが排気されると、元の状態に収縮して支持壁７１４から離れる。
【００８７】
エアー供給管７２４および膨張部７２５は、図１４に示したシリンダ６２３、シリンダロッド６２４および押し下げ棒６２５と同じ働きをする。ハンド７を用いて、遮光両面粘着シート２５を吸着する吸着保持工程、および遮光両面粘着シート２５を貼り付ける貼付工程は、それぞれハンド６を用いて、遮光両面粘着シート２５を吸着する吸着保持工程、および遮光両面粘着シート２５を貼り付ける貼付工程と同様であり、重複を避けるために説明は省略する。
【００８８】
このように、粘着性シート材貼付用ハンド６については、支持壁６１３は、弾性を有する薄板状のばね製の薄板材によって形成され、真空室６１４に配置される押し下げ棒６２５によって、ばね製の薄板材の中央部が弾性体６１２に臨む方向に押圧されるので、遮光両面粘着シート２５の吸着時には、押し下げ棒６２５による押圧をしないことによって、吸着面の凸形状を低くことができ、遮光両面粘着シート２５の吸着を容易にすることができる。さらに、遮光両面粘着シート２５の貼付時には、押し下げ棒６２５によって押圧することによって、吸着面の凸形状の中央部の高さを高くすることができ、シート群２４に反りがあっても浮きを生じさせることなく遮光両面粘着シート２５を貼り付けることができる。粘着性シート材貼付用ハンド７についても、粘着性シート材貼付用ハンド６と同じ効果がある。
【００８９】
さらに、粘着性シート材貼付用ハンド６については、押し下げ棒６２５は、球体または棒状体であるので、押し下げ棒６２５によって押圧したとき、弾性体６１２は、吸着面の周縁部から中央部に近づくに従い、連続的に凸形状の高さが増す。したがって、吸着される遮光両面粘着シート２５も周縁部から中央部に近づくに従い連続的に凸形状の高さが増すので、シート群２４に反りがあってもより確実に浮きを生じさせることなく遮光両面粘着シート２５を貼り付けることができる。粘着性シート材貼付用ハンド７についても、粘着性シート材貼付用ハンド６と同じ効果がある。
【００９０】
図１６は、粘着性シート材貼付用ハンドの他の例を示す図である。図１６に示すいずれの粘着性シート材貼付用ハンドも、弾性体の吸着面は、遮光両面粘着シート２５を吸着しない状態で平面である。
【００９１】
図１６（ａ）は、図１に示したハンド１の弾性体１２の吸着面を平面にした弾性体１２ａを有するハンド１ａの例である。図１６（ｂ）は、図１２に示したハンド４の弾性体４１２の吸着面を平面にした弾性体４１２ａを有するハンド４ａの例である。図１６（ｃ）は、図１３に示したハンド５の弾性体５１２の吸着面を平面にした弾性体５１２ａを有するハンド５ａの例である。図１６（ｄ）は、図１４に示したハンド３の弾性体３１２の吸着面を平面にした弾性体３１２ａを有するハンド３ａの例である。図１６（ｅ）は、図１４に示したハンド６の弾性体６１２の吸着面を平面にした弾性体６１２ａを有するハンド６ａの例である。
【００９２】
弾性体１２ａ，４１２ａ，５１２ａ，３１２ａ，６１２ａの吸着面は、平面であっても、中央部から端面部つまり周縁部への弾性体の硬度、支持壁および弾性体に形成される吸引孔の数あるいは大きさ、または通気性の高低などを選定することによって、中央部から端面部つまり周縁部へ至る吸着力を適宜設定することができる。したがって、遮光両面粘着シート２５を吸着した場合に、弾性体の吸着面を、図１１（ｂ）〜図１５（ｂ）に示した弾性体の吸着面と同様に、中央部が端面部つまり周縁部よりも高くなる凸形状にすることができ、反りのあるシート群２４に対して浮きを生じることなく、遮光両面粘着シート２５を貼り付けることができる。
【００９３】
図１７は、本発明の実施の第８の形態である粘着性シート材貼付用ハンド８の構造の一例を示す図である。貼付治具である粘着性シート材貼付用ハンド８は、矩形形状の貼付シート材である粘着シートを吸着して、被貼付シート材を収容するフレームに貼り付けるための治具である。
【００９４】
図１７は、吸着された遮光両面粘着シート２５の中央部で遮光両面粘着シート２５に接する平面に直交し、遮光両面粘着シート２５の矩形形状の１辺に平行で、かつ遮光両面粘着シート２５の中心部を通る平面で切断した切断面を示す図である。粘着性シート材貼付用ハンド８は、ハンド本体８１１、弾性体８１２および配管８１５を含んで構成される。ハンド本体８１１および配管８１５は、それぞれ図１に示したハンド本体１１および配管１５と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。
【００９５】
弾性部材である弾性体８１２は、図１に示した弾性体１２と、吸着面の形状のみが異なる。以下、図１に示した弾性体１２と異なる吸着面の形状についてのみ説明し、吸着面の形状以外については図１に示した弾性体１２と同じであり、重複を避けるために説明は省略する。
【００９６】
図１に示した例では、遮光両面粘着シート２５を吸着しない状態での弾性体１２の吸着面の曲率をＲ１とし、シート群２４の反りの曲率をＲ３とし、ともに円筒の一部をなす曲面であるとしたが、遮光両面粘着シート２５を吸着しない状態での弾性体１２の吸着面およびシート群２４の反りは、円筒の一部をなす曲面でなくてもよい。
【００９７】
図１７に示した例では、遮光両面粘着シート２５を吸着しない状態での弾性体１２の吸着面およびシート群２４の反りは、遮光両面粘着シート２５の中央部に接する平面に直交する方向で、遮光両面粘着シート２５を吸着しない状態での弾性体１２の吸着面とシート群２４との距離Ｙが、遮光両面粘着シート２５の中央部に接する平面の方向で、遮光両面粘着シート２５の中心部からの距離Ｘの増加とともに増加する凸形状であればよい。すなわち、弾性体８１２の吸着面に吸着された遮光両面粘着シート２５は、シート群２４の中央部から端面部の方向に平坦になって貼り付いていくので、遮光両面粘着シート２５の端面部が先にシート群２４に貼り付くことはない。
【００９８】
このように、粘着性シート材貼付用ハンド１については、前記吸着面は、平面または曲面であり、配管１５によって真空室１４の気体を排気して、遮光両面粘着シート２５を前記吸着面で吸着したとき、前記吸着面の中央部が凸状の曲面となるので、遮光両面粘着シート２５の吸着時には、吸着面を凸形状としないことができ、遮光両面粘着シート２５の吸着を容易にすることができ、さらに、遮光両面粘着シート２５の貼り付け時には、吸着面を凸形状とすることができ、シート群２４に反りがあっても、浮きを生じさせることなく遮光両面粘着シート２５を貼り付けることができる。粘着性シート材貼付用ハンド２〜８についても、粘着性シート材貼付用ハンド１と同じ効果がある。
【００９９】
さらに、粘着性シート材貼付用ハンド１については、前記吸着面は、配管１５によって真空室１４の気体を排気して、遮光両面粘着シート２５を前記吸着面で吸着したとき、前記吸着面の中央部で前記吸着面に接する平面に垂直な方向で、遮光両面粘着シート２５とフレーム２１に収納されるシート群２４との距離が、前記吸着面の中央部から離れるに従い大きくなる形状であるので、遮光両面粘着シート２５を吸着したとき、弾性体１２の吸着面の形状が球冠状の凸形状でなくても、反りがあるシート群２４に浮きを生じさせることなく遮光両面粘着シート２５を貼り付けることができる。粘着性シート材貼付用ハンド２〜８についても、粘着性シート材貼付用ハンド１と同じ効果がある。
【０１００】
図１８は、粘着性シート材貼付用ハンド１とシート群２４の反りを抑えるばね部材６１を併用する例を示す図である。貼付台４１には、シート群２４の周縁部をクランプするばね部材６１を回転自在に支持する回転シリンダ６２が、貼付台４１の両側に取り付けられている。回転シリンダ６２の回転によって、ばね部材６１は、シート群２４の周縁部をクランプし、あるいはクランプを解除する。
【０１０１】
シート群２４がフレーム２１に収納されると、回転シリンダ６２を回転させ、ばね部材６１によってシート群２４の周縁部をクランプし、シート群２４の反りを抑える。そして、遮光両面粘着シート２５を吸着したハンド１を下降させ、遮光両面粘着シート２５をシート群２４の中央部から周縁部の方向に平坦化して貼り付ける。
【０１０２】
ハンド１に吸着された遮光両面粘着シート２５がばね部材６１に接触する直前に、回転シリンダ６２を逆方向に回転させ、ばね部材６１によるシート群２４のクランプ状態を解除し、ばね部材６１が遮光両面粘着シート２５およびハンド１に接触しない位置まで、ばね部材６１を退避する。そして、ハンド１をさらに下降させ、遮光両面粘着シート２５全体をフレーム２１の額縁棚２１ａに貼り付ける。
【０１０３】
上述した実施の形態では、バックライトユニットを構成する遮光両面粘着シート２５の貼り付けの例を示したが、バックライトユニットに限定されるものではなく、反りのある被貼付シートに、粘着シートなどの貼付シートを貼り付ける形態であれば適用可能である。
【０１０４】
このように、粘着性シート材貼付用ハンド１については、遮光両面粘着シート２５を、シート群２４を収納するフレーム２１に貼り付けるにあたって、弾性体１２は、通気性を有し、弾性のある板形状であり、真空室１４が形成されるハンド本体１１によって、真空室１４と外部とを隔てる隔壁の一部である支持壁１３に弾性体１２が固着され、支持壁１３に真空室１４に連通する複数の支持壁吸引孔１６が設けられ、真空室１４に連通する配管１５によって、真空室１４内の気体が排気され、弾性体１２によって、配管１５によって真空室１４内の気体が排気されたとき、板形状の面のうちの１つの吸着面で遮光両面粘着シート２５が吸着される。そして、前記複数の支持壁吸引孔１６は、支持壁１３を単位領域に分割した場合、各領域にある支持壁吸引孔１６の孔の面積の合計が、支持壁１３の中央部より周縁部のほうが広くなるように配置される。
【０１０５】
したがって、吸着面の周縁部のほうが中央部よりも吸着力が強くなり、すなわち弾性体１２の収縮率は中央部よりも周縁部のほうが高くなり、弾性体１２は吸着面の中央部が凸形状となるので、シート群２４に反りがあっても浮きを生じさせることなく、遮光両面粘着シート２５を貼り付けることができる。粘着性シート材貼付用ハンド２〜８についても、粘着性シート材貼付用ハンド１と同じ効果がある。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】本発明の実施の第１の形態である粘着性シート材貼付用ハンド１の構造の一例を示す図である。
【図２】支持壁１３に設けられる支持壁吸引孔１６の例を示す図である。
【図３】バックライトユニット２０の構造の一例を示す図である。
【図４】遮光両面粘着シート２５およびフレーム２１の形状の一例を示す図である。
【図５】遮光両面粘着シート２５の詳細な構成の一例を示す図である。
【図６】遮光両面粘着シート２５を吸着する吸着保持工程の一例を示す図である。
【図７】遮光両面粘着シート２５を吸着する吸着保持工程の他の例を示す図である。
【図８】遮光両面粘着シート２５を貼り付ける貼付工程の一例を示す図である。
【図９】本発明の実施の第２の形態である粘着性シート材貼付用ハンド２の構造の一例を示す図である。
【図１０】粘着性シートおよびフレームの形状の他の例を示す図である。
【図１１】本発明の実施の第３の形態である粘着性シート材貼付用ハンド３の構造の一例を示す図である。
【図１２】本発明の実施の第４の形態である粘着性シート材貼付用ハンド４の構造の一例を示す図である。
【図１３】本発明の実施の第５の形態である粘着性シート材貼付用ハンド５の構造の一例を示す図である。
【図１４】本発明の実施の第６の形態である粘着性シート材貼付用ハンド６の構造の一例を示す図である。
【図１５】本発明の実施の第７の形態である粘着性シート材貼付用ハンド７の構造の一例を示す図である。
【図１６】粘着性シート材貼付用ハンドの他の例を示す図である。
【図１７】本発明の実施の第８の形態である粘着性シート材貼付用ハンド８の構造の一例を示す図である。
【図１８】粘着性シート材貼付用ハンド１とシート群２４の反りを抑えるばね部材６１を併用する例を示す図である。
【符号の説明】
【０１０７】
１〜８  粘着性シート材貼付用ハンド
１１，２１１，３１１，４１１，５１１，６１１，７１１，８１１  ハンド本体
１２，２１２，３１２，４１２，５１２，６１２，７１２，８１２  弾性体
１３，２１３，３１３，４１３，５１３，６１３，７１３，８１３  支持壁
１４，２１４，３１４，４１４，５１４，６１４，７１４，８１４  真空室
１５，２１５，３１５，４１５，５１５，６１５，７１５，８１５  配管
１６，２１６，３１６，４１６，５１６，６１６，７１６，８１６  支持壁吸引孔
１７，２１７，６１７，７１７  弾性体吸引孔
２０  バックライトユニット
２１  フレーム
２１ａ  額縁棚
２２  反射板
２３  導光版
２４  シート群
２５  粘着性シート
２５ｂ  遮光両面テープ
２５ｃ  保護シート
２６  発光体
３１  台紙
４１  転写台
４２  ローラ
４３  ナイフエッジ
５１  貼付台
５２  位置決めピン
６１  ばね部材
６２  回転シリンダ
２２１  円形フレーム
２２１ａ  円形縁棚
２２５  円形粘着シート
６２０，７２０  シャフトホルダ
６２１，７２１  シャフト
６２２，７２２  吊り下げ部材
６２３  シリンダ
６２４  シリンダロッド
６２５  押し下げ棒
６２６  Ｏリング
６２７，７２７  シール
７２４  エアー供給管
７２５  膨張部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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