(57)【要約】【課題】パターン再現性に優れたブラックマトリクスを得るための黒色感光性樹脂組成物及びそれを用いたブラックマトリクスの製造法及びカラーフィルタ並びに液晶表示装置を提供することを目的とする。【解決手段】少なくとも光重合性モノマーと、樹脂バインダーと、重合開始剤と、黒色顔料と、溶剤と、を含有してなる黒色感光性樹脂組成物であって、前記重合開始剤が、アセトフェノン系光重合開始剤、スルホニウム有機ホウ素錯体及びオキソスルホニウム有機ホウ素錯体から選ばれるすくなくとも一つを含有している黒色感光性樹脂組成物を透明基板１１上に塗布して、黒色感光層２１を形成し、露光波長２５４ｎｍの遠紫外線を用いてパターン露光し、現像等のパターニング処理を行って、パターン再現性に優れたブラックマトリクス２１ａを得る。【選択図】図３
2009003330.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも光重合性モノマーと、樹脂バインダーと、重合開始剤と、黒色顔料と、溶剤と、を含有してなる黒色感光性樹脂組成物であって、
前記重合開始剤が、アセトフェノン系光重合開始剤、スルホニウム有機ホウ素錯体及びオキソスルホニウム有機ホウ素錯体から選ばれるすくなくとも一つを含有していることを特徴とする黒色感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記重合開始剤は、最大吸収波長が３３０ｎｍ以下の重合開始剤を少なくとも一つ含有していることを特徴とする請求項１に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項３】
透明基板上に請求項１または２に記載の黒色感光性樹脂組成物を用いて黒色感光層を形成し、パターン露光、現像等のパターニング処理を行ってブラックマトリクスを形成することを特徴とするブラックマトリクスの製造方法。
【請求項４】
前記パターン露光に使用する露光光が、波長２５４ｎｍの遠紫外線であることを特徴とする請求項３に記載のブラックマトリクスの製造方法。
【請求項５】
請求項３または４に記載のブラックマトリクスの製造方法にて作製された線幅が５μｍ以下のブラックマトリックスと、少なくとも２色以上の透明着色画素とからなることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項６】
請求項５に記載のカラーフィルタを備える液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、黒色感光性樹脂組成物及びそれを用いたブラックマトリクスの製造法及びカラーフィルタ並びに液晶表示装置に関し、特に、パターン再現性に優れた黒色感光性樹脂組成物及びそれを用いたブラックマトリクスに関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー液晶表示装置４００は、一般に、図７に示すように、カラーフィルタ基板３００とアレイ基板１１０との間に液晶８１を封入し、両側に偏光膜９１とアレイ基板１１０の背面にバックライト１２０を設けたもので、透明電極２１とアレイ基板１１０側の電極との間に画素ごとに電圧を印加して光の透過・不透過を制御して、その透過光を表示光として画面表示する。
【０００３】
カラーフィルタ基板３００は、図６に示すように、透明基板１１上に、ブラックマトリクス２２、透明赤色画素３４Ｒ、透明緑色画素３５Ｇ、透明青色画素３６Ｂ、オーバーコート層４２及び透明電極５２が形成されたものである。
【０００４】
カラーフィルタ基板３００のブラックマトリクス２２の形成方法には種々の方法が知られているが、一般的な方法のひとつは、ネガ型黒色感光性樹脂組成物を用いて形成した黒色感光層をプロキシミティーアライナーによる近接露光方式等でパターン露光、現像して形成するフォトリソ工程が一般的である。
さらに、このブラックマトリクス２２を形成した透明基板１１に各色の着色感光性樹脂組成物にて着色感光層を形成し、フォトリソ工程のパターニング処理を順次繰り返すことにより、３色の透明赤色画素３４Ｒ、透明緑色画素３５Ｇ、透明青色画素３６Ｂを形成し、カラーフィルタ基板を作製する。
【０００５】
また、液晶表示装置は、表示光としてアレイ基板１１０の背面に配置したバックライト１２０などの光源の光を利用する装置と、屋外光などの外光を反射させて表示光として利用する装置とに大別される。前者は透過型液晶表示装置と呼ばれ、明るい画面表示が可能である反面、装置内部に光源を内蔵する必要があることから、その消費電力が大きい。他方、後者は反射型液晶表示装置と呼ばれ、消費電力が少ない反面、外光の少ない屋内などにおいては明るい表示画面を得ることが困難である。
【０００６】
このため、透過型液晶表示装置の利点と反射型液晶表示装置の利点とを生かして、屋内では内蔵光源の光を表示光として用いて明るい画面表示を行うと共に、屋外では外光を利用して電力消費を防ぐ液晶表示装置が提案されており、このような装置は半透過型液晶表示装置と呼ばれている。そして、このような半透過型液晶表示装置は、携帯電話やデジタルスチルカメラなどのモバイル機器の表示装置として既に実用化されている。
【０００７】
近年、モバイル機器はさらに情報端末やテレビ視聴端末として用途を広げており、これらの表示装置として、より高解像度、高輝度、低消費電力性であることが求められている。特に解像度に関して言えば、例えば２．４インチ型の携帯電話で従来の解像度がＱＶＧＡ（３２０×２４０画素）であったものが、ＶＧＡ（６４０×４８０画素）の解像度となった場合、透明赤色画素３４Ｒ、透明緑色画素３５Ｇ、透明青色画素３６Ｂの画素幅が約７５μｍから約２５μｍにまで狭くなることになる。透明赤色画素３４Ｒ、透明緑色画素３５Ｇ、透明青色画素３６Ｂの画素幅に占めるブラックマトリクス２２の線幅の割合が多くなると、開口率が低下し表示画面が暗くなることから、ブラックマトリクス２２の線幅を出来る限り細くする必要があるが、パターンを忠実に再現したフォトマスクを介して紫外線を照射して露光しても、そのフォトマスクの遮光パターンの端部から回折光が発生し、ネガ型の黒色感光層が感光されることで解像度が悪くなってしまうため、ブラックマトリクス２２の線幅としては６μm程度で使用されることが多かった。
【０００８】
一般に、回折光の強度は透過光（０次回折光）の光強度より小さいので、この強度差を利用して線幅を正確に制御する方法も考えられる。すなわち、ネガ型の黒色感光層に対する露光量の常用対数を横軸とし、現像後残膜率を縦軸としてプロットして得られた露光感度曲線では、立ち上がりの角度θの正接ｔａｎθが大きいほど、現像後の露光部と未露光部のコントラストが大きくなり、従って、その解像度が向上することが記載されている（例えば、非特許文献１及び非特許文献２参照）。
そして、この原理を利用して、必要最小限の露光量で露光すれば、ネガ型の黒色感光層は、透過光（０次回折光）にのみ感光し、これより強度の弱い回折光には感光しない。そして、これを現像すれば、露光部と非露光部とで残膜率が異なるブラックマトリクス２２を形成することができ、したがって、解像性の良好なパターンを正確に形成することが可能になると考えられる。
【０００９】
他方、プロキシミティーアライナーによる近接露光方式において、解像度（Ｒ）は露光波長（λ）と露光ギャップ（Ｄ）の積の平方根に比例（Ｒ∝√（λ・Ｄ））することが知られており、露光ギャップを狭くすることでもパターンを正確に形成できると考えられる。すなわち、透明基板１１に塗布した黒色感光層と、フォトマスクとの間隔を通常の数十〜数百μｍからさらに近づけて露光することで、フォトマスクのパターンを忠実に再現でき、細線化したブラックマトリクス２１を正確に形成することが可能になると考えられる。
【非特許文献１】最新高分子材料・技術総覧」、３７（１９８８）石川ら：テック出版
【非特許文献２】サイエンスフォーラム「有機エレクトロニクス材料」、１５（１９８６）谷口ら
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、本発明者の検討によれば、以上のようなｔａｎθの制御だけでは、５μｍ以下の線幅のブラックマトリクス２２を正確に形成することは困難であった。
また、露光ギャップを狭くする方法は、マスク破損や共通欠陥などの歩留まり低下につながるため、数十μｍまでが限界であるとされており、５μｍ以下の解像性良好なブラックマトリクスを安定して得るのは困難であるという問題を有している。
【００１１】
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、パターン再現性（例えば、線幅５μｍ以下）に優れたブラックマトリクスを得るための黒色感光性樹脂組成物及びそれを用いたブラックマトリクスの製造法及びカラーフィルタ並びに液晶表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、少なくとも光重合性モノマーと、樹脂バインダーと、重合開始剤と、黒色顔料と、溶剤と、を含有してなる黒色感光性樹脂組成物であって、
前記重合開始剤が、アセトフェノン系光重合開始剤、スルホニウム有機ホウ素錯体及びオキソスルホニウム有機ホウ素錯体から選ばれるすくなくとも一つを含有していることを特徴とする黒色感光性樹脂組成物としたものである。
【００１３】
また、請求項２においては、前記重合開始剤は、最大吸収波長が３３０ｎｍ以下の重合開始剤を少なくとも一つ含有していることを特徴とする請求項１に記載の黒色感光性樹脂組成物としたものである。
【００１４】
また、請求項３においては、透明基板上に請求項１または２に記載の黒色感光性樹脂組成物を用いて黒色感光層を形成し、パターン露光、現像等のパターニング処理を行ってブラックマトリクスを形成することを特徴とするブラックマトリクスの製造方法としたものである。
【００１５】
また、請求項４においては、前記パターン露光に使用する露光光が、波長２５４ｎｍの遠紫外線であることを特徴とする請求項３に記載のブラックマトリクスの製造方法としたものである。
【００１６】
また、請求項５においては、請求項３または４に記載のブラックマトリクスの製造方法にて作製された線幅が５μｍ以下のブラックマトリックスと、少なくとも２色以上の透明着色画素とからなることを特徴とするカラーフィルタとしたものである。
【００１７】
さらにまた、請求項６においては、請求項５に記載のカラーフィルタを備える液晶表示装置としたものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の黒色感光性樹脂組成物を用いて黒色感光層を形成し、波長２５４ｎｍの遠紫外線でパターン露光するため、露光感度やパターンの断面形状を損なわずにパターン形成することができ、しかも、プロキシミティーアライナーによる近接露光方式で適正露光ギャップを確保しても回折光の影響を軽減できることから、５μｍ以下の線幅のブラックマトリックスを精度良く、安定して形成することが可能となる。
このことから、高解像度・高精細なカラーフィルタ基板及び液晶表示装置を製造できるという効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
請求項１に係る発明は、少なくとも光重合性モノマーと、樹脂バインダーと、重合開始剤と、黒色顔料と、溶剤と、を含有してなる黒色感光性樹脂組成物からなり、前記重合開始剤に、アセトフェノン系光重合開始剤、スルホニウム有機ホウ素錯体及びオキソスルホニウム有機ホウ素錯体から選ばれるすくなくとも一つを含有している黒色感光性樹脂組成物である。
この他、重合禁止剤を含有することが望ましい。また、分散剤、光増感剤、連鎖移動剤などの添加剤を含有するものであっても良い。
【００２０】
請求項２に係る発明は、前記重合開始剤は最大吸収波長が３３０ｎｍ以下の重合開始剤を少なくとも一つ含有していることである。この最大吸収波長は、該黒色感光性樹脂組成物を基材に塗布して得られる黒色感光層の分光スペクトルを、紫外可視分光光度計などの光度計を用いて計測することにより、容易に実験的に求めることができる。
前記重合開始剤は、最大吸収波長が３３０ｎｍ以下の重合開始剤を少なくとも一つ含有するため、従来の３６５ｎｍ（以下ｉ線と称する）を中心とする露光輝線より短波長の光で硬化させることができ、強度の弱い回折光による硬化が低減できることから、露光ギャップを狭くすることなく解像度を向上させることが可能となる。そして、このため、５μｍ以下の線幅を有するブラックマトリックスを精度良く形成することが可能となる。
【００２１】
なお、ハイドロキノン又はメトキノンから成る重合禁止剤を添加することによって、前
記γ（コントラスト）及び現像後残膜率０％となる露光量を制御することが可能である。
【００２２】
以下、本発明の黒色感光性樹脂組成物を構成する各成分について説明する。
〔光重合成モノマー〕
光重合性モノマーは、パターン露光の際の露光光によって重合し、黒色感光性樹脂組成物を塗布して得られる黒色感光層を現像液不溶性に変化させるものである。一般には、ラジカルにより重合が誘起されるモノマーである。
このような光重合性モノマーとしては、水酸基を有する（メタ）アクリレートと多官能イソシアネートを反応させて得られる多官能ウレタンアクリレートを用いることができる。
【００２３】
水酸基を有する（メタ）アクリレートとしては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールエチレンオキサイド変性ペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールプロピレンオキサイド変性ペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールカプロカラクトン変性ペンタ（メタ）アクリレート、グリセロールアクリレートメタクリレート、グリセロールジメタクリレート、２−ヒドロキシ−３−アクリロイルプロピルメタクリレート、エポキシ基含有化合物とカルボキシ（メタ）アクリレートの反応物、水酸基含有ポリオールポリアクリレート等が挙げられる。
【００２４】
また、多官能イソシアネートとしては、トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ポリイソシアネート等が挙げられる。
【００２５】
なお、本発明の黒色感光性樹脂組成物において、現像性、基板上に塗布し乾燥させた後のタック性、組成物の安定性の観点から、光重合性モノマーの含有量は、組成物の総量１００重量％に対して２０重量％以下であることが好ましい。また、露光感度、得られるパターンの解像性及び耐溶剤性の観点から、１重量％以上であることが好ましい。
〔樹脂バインダー〕
樹脂バインダーは、未露光の黒色感光性樹脂組成物の塗布膜を透明基板に接着させて固定すると共に、現像の際に現像液に溶解するものである。感光性のない樹脂であっても良いし、感光性のある樹脂であっても良い。
【００２６】
現在、現像液としては、環境に対する影響の少ないアルカリ現像液が多く使用されている。このため、樹脂バインダーとしてアルカリ可溶型の樹脂を使用することが望ましい。例えば、カルボキシル基、スルホン基等の酸性官能基を有する非感光性樹脂である。このような非感光性樹脂としては、アクリル樹脂、α−オレフィン−（無水）マレイン酸共重体、スチレン−（無水）マレイン酸共重合体、スチレン−スチレンスルホン酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、イソブチレン−（無水）マレイン酸共重合体等が挙げられる。好ましくは、アクリル樹脂、α−オレフィン−（無水）マレイン酸共重合体、スチレン−スチレンスルホン酸共重合体である。これらの中でも特に、アクリル樹脂は耐熱性、透明性が高いことから、好適に用いられる。また、重量平均分子量が１０００〜５０万、好ましくは５０００〜１０万の樹脂が好ましく使用できる。
【００２７】
また、感光性樹脂としては、反応性官能基を有する線状高分子に、この反応性官能基と反応可能な置換基を有する（メタ）アクリル化合物、ケイヒ酸等を反応させて、エチレン不飽和二重結合を該線状高分子に導入した樹脂が挙げられる。また、反応性官能基を有する（メタ）アクリル化合物、ケイヒ酸等に、この反応性官能基と反応可能な置換基を有する線状高分子を反応させて、エチレン不飽和二重結合を該線状高分子に導入した樹脂が挙
げられる。前記反応性官能基としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等が例示でき、この反応性官能基と反応可能な置換基としては、イソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基等を例示できる。
【００２８】
また、スチレン−無水マレイン酸共重合物やα−オレフィン−無水マレイン酸共重合物等の酸無水物を含む線状高分子を、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート等の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物によりハーフエステル化したものも、感光性樹脂として使用できる。
これら感光性樹脂は、重量平均分子量が５０００〜１０万のものが好適である。
〔黒色顔料〕
黒色顔料としては、アゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンツイミダゾロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリノン系等の有機顔料の他に種々の無機顔料等も利用可能である。
また、黒色顔料としてカーボンブラックを用いる場合、平均粒径１μｍ以下、好ましくは０．５μｍ以下に分散して用いるのが好ましい。
【００２９】
黒色顔料の含有量は、特に限定されるものではないが、通常、光重合性ポリマーに対して５０〜１５０重量％程度が好ましい。
また、黒色顔料を使用する場合には、この顔料を分散させるための分散剤を含有させることが望ましい。分散剤としては、界面活性剤、顔料の中間体、染料の中間体、ソルスパース等が使用される。分散剤の添加量は特に限定されるものではないが、顔料の配合量１００重量％に対して、１〜１０重量％とすることが好ましい。
〔重合開始剤〕
重合開始剤としては、アセトフェノン系光重合開始剤、もしくはスルホニウム有機ホウ素錯体またはオキソスルホニウム有機ホウ素錯体が好適に使用できる。アセトフェノン系光重合開始剤の具体例としては、ジエトキシアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−ジクロロアセトフェノン、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン等が挙げられる。スルホニウム有機ホウ素錯体またはオキソスルホニウム有機ホウ素錯体等は、下記式（１）で表されるものである。
【００３０】
【化１】
2009003330.tif 000003
式（１）において、Ｒ1は、ベンジル基、置換されたベンジル基、フェナシル基、置換されたフェナシル基、アリールオキシ基、置換されたアリールオキシ基、アルケニル基、置換されたアルケニル基から選ばれる基を表し、Ｒ2およびＲ3は、それぞれ独立に、Ｒ1を構成できる基と同じ基か、またはアルキル基、置換されたアルキル基、アリール基、置換されたアリール基、アラルキル基、置換されたアラルキル基、アルキニル基、置換されたアルキニル基、脂環基、置換された脂環基、アルコキシ基、置換されたアルコキシ基、アルキルチオ基、置換されたアルキルチオ基、アミノ基、置換されたアミノ基、またはＲ2とＲ3が相互に結合した環状構造を表し、Ｒ4は酸素原子または孤立電子対を表し、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8は、それぞれ独立に、アルキル基、置換されたアルキル基、アリール基、置換されたアリール基、アラルキル基、置換されたアラルキル基、アルキニル基、置換されたアルキニル基を表す（但し、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7およびＲ8の全てが、アリール基または置換されたアリール基となることはない。）］
また、本発明の黒色感光性樹脂組成物を用いて黒色感光層を形成し、パターン露光する際、露光波長に２００ｎｍから３００ｎｍの露光強度比が高い遠紫外線が好ましく用いら
れることから、前記重合開始剤の最大吸収波長も、露光波長に合わせて３３０ｎｍ以下であるものが露光感度が高く好適に用いられる。
最大吸収波長が３３０ｎｍ以下であるアセトフェノン系光重合開始剤の例としては、２−（４−メチルベンジル）−２−（ジメチルアミノ）−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オンなどが、最大吸収波長が３３０ｎｍ以下であるスルホニウム有機ホウ素錯体またはオキソスルホニウム有機ホウ素錯体の例としては、ジメチル（２−オキソ−２−フェニルエチル）スルフォニウムブチルトリフェニルボレート、ジメチル（２−オキソ−２−（４−ジメチルアミノフェニル）−エチル）スルフォニウムブチルトリフェニルボレートなどが例示できる。
【００３１】
また、このアセトフェノン系光重合開始剤、もしくはスルホニウム有機ホウ素錯体またはオキソスルホニウム有機ホウ素錯体に加えて、他の重合開始剤を併用することもできる。このような重合開始剤としては、例えば、オキシムエステル系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサンソン系化合物、トリアジン系化合物、ホスフィン系化合物、キノン系化合物、カルバゾール系化合物、イミダゾール系化合物、チタノセン系化合物等が挙げられる。
【００３２】
また、オキシムエステル系化合物としては、１，２−オクタンジオン，１−〔４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）〕、Ｏ−（アセチル）−Ｎ−（１−フェニル−２−オキソ−２−（４’−メトキシ−ナフチル）エチリデン）ヒドロキシルアミンである。
【００３３】
ベンゾイン系化合物としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等を例示できる。
【００３４】
ベンゾフェノン系化合物としては、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド等を例示できる。
【００３５】
チオキサンソン系化合物としては、チオキサンソン、２−クロルチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソン等を例示できる。
【００３６】
トリアジン系化合物としては、２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリルｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル−（ピペロニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジン等を例示できる。
【００３７】
ホスフィン系化合物としては、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等を例示できる。
【００３８】
また、キノン系化合物としては、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等を例示できる。
【００３９】
重合開始剤の使用量は、感光性着色組成物の全固形分量を基準として０．５〜５０重量％が好ましく、より好ましくは３〜３０重量％である。
【００４０】
また、本発明の黒色感光性樹脂組成物には、重合開始剤に加えて光増感剤を添加することが好ましい。
光増感剤としては、アミン系化合物を例示することができる。例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノン等である。
【００４１】
また、α−アシロキシムエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、４，４’−ジエチルイソフタロフェノン、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン等を増感剤として使用することもできる。
【００４２】
これら増感剤の使用量は、光重合開始剤と増感剤の合計量を基準として０．５〜６０重量％が好ましく、より好ましくは３〜４０重量％である。
【００４３】
また、本発明の黒色感光性樹脂組成物には、重合禁止剤を添加することができる。この重合禁止剤の種類と添加量に応じて、前記γ（コントラスト）と現像後残膜率０となる露光量とを制御できる点で、その添加は重要である。
【００４４】
重合禁止剤としては、ハイドロキノン、メトキノン等が好ましく使用できる。
また、これに加えて、ピロガロール、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、塩化第一銅、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール等を使用することもできる。
【００４５】
重合禁止剤の使用量としては、感光性黒色組成物の全固形分量を基準として０．００１〜０．０５０重量％が好ましい。０．００１重量％以下では重合禁止剤の添加効果が不十分であり、０．０５０重量％を越えると感度の低下が生じ、逆効果である。
【００４６】
また、本発明の黒色感光性樹脂組成物には、連鎖移動剤としての働きをする多官能チオールを含有させることができる。
多官能チオールは、チオール基を２個以上有する化合物であればよく、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、１，４−ブタンジオールビスチオプロピオネート、１，４−ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス（３−メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、１，４−ジメチルメルカプトベンゼン、２、４、６−トリメルカプト−ｓ−トリアジン、２−（Ｎ，Ｎ−ジブチルアミノ）−４，６−ジメルカプト−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【００４７】
多官能チオールの使用量は、黒色組成物の全固形分量を基準として０．１〜３０重量％が好ましく、より好ましくは１〜２０重量％である。０．１重量％未満では多官能チオールの添加効果が不充分であり、３０重量％を越えると感度が高すぎて逆に解像度が低下する。
〔溶剤〕
溶剤は、透明基板上への均一な塗布を可能とすると共に、黒色組成物を均一に分散させる機能を有するものである。溶剤としては、水、有機溶剤等が利用できる。有機溶剤としては、シクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−ｎアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤等が挙げられる。
【００４８】
次に、上記光重合性モノマー、樹脂バインダー、顔料、分散剤及び溶剤等を用いて黒色感光性樹脂組成物を作製する黒色感光性樹脂組成物の調整方法について説明する。
本発明の黒色感光性樹脂組成物は以下の（１）〜（４）のいずれかの方法により調製することができる。
【００４９】
（１）光重合性モノマー又は樹脂バインダー、あるいはその両者を溶剤に溶解した溶液に、顔料と分散剤を予め混合して調製した顔料組成物を添加して分散させ、残りの成分を添加する。
【００５０】
（２）光重合性モノマー又は樹脂バインダー、あるいはその両者を溶剤に溶解した溶液に、顔料と分散剤を別々に添加して分散させた後、残りの成分を添加する。
【００５１】
（３）光重合性モノマー又は樹脂バインダー、あるいはその両者を溶剤に溶解した溶液に、顔料を分散させた後、顔料分散剤を添加した後、残りの成分を添加する。
【００５２】
（４）光重合性モノマー又は樹脂バインダー、あるいはその両者を溶剤に溶解した溶液を２種類調製し、顔料と分散剤を予め別々に分散させてから、これらを混合し、残りの成分を添加する。なお、顔料と分散剤のうち一方は溶剤にのみ分散させても良い。
【００５３】
ここで、顔料や分散剤の分散は、三本ロールミル、二本ロールミル、サンドミル、ニーダー、ディゾルバー、ハイスピードミキサー、ホモミキサー、アトライター等の各種分散装置を用いて行うことができる。
【００５４】
また、顔料と分散剤を予め混合して顔料組成物を調製する場合、粉末の顔料と粉末の分散剤を単に混合するだけでも良いが、（ａ）ニーダー、ロール、アトライター、スーパーミル等の各種粉砕機により機械的に混合する、（ｂ）顔料を溶剤に分散させた後、分散剤を含む溶液を添加し、顔料表面に分散剤を吸着させる、（ｃ）硫酸等の強い溶解力を持つ溶媒に顔料と分散剤を共溶解した後、水等の貧溶媒を用いて共沈させるなどの混合方法を採用することができる。
【００５５】
上記光重合性モノマー、樹脂バインダー、重合開始剤、顔料、分散剤及び溶剤等を用いて黒色感光性樹脂組成物を作製し、重合開始剤として、セトフェノン系光重合開始剤、スルホニウム有機ホウ素錯体及びオキソスルホニウム有機ホウ素錯体から選ばれるすくなくとも一つを含有し、最大吸収波長が３３０ｎｍ以下の重合開始剤を少なくとも一つ含有させることにより、パターン露光の露光波長として、２５４ｎｍの遠紫外線で硬化させるこ
とができ、強度の弱い回折光による硬化が低減できることから、露光ギャップを狭くすることなく解像度を向上させることが可能となり、５μｍ以下の線幅を有するブラックマトリックスを精度良く形成することが可能となる。
【００５６】
以下、上記黒色感光性樹脂組成物を用いて黒色感光層を形成し、パターン露光、現像等のパターニング処理を行ってブラックマトリクスを形成する本発明のブラックマトリクスの製造方法について説明する。
図３（ａ）〜（ｂ）は、本発明の黒色感光性樹脂組成物を用いて黒色感光層を形成し、パターン露光、現像等のパターニング処理を行ってブラックマトリクスを形成する本発明のブラックマトリクスの製造方法の一例を示す模式構成断面図である。
【００５７】
まず、透明基板１１上に黒色感光性樹脂組成物を塗布し、予備乾燥して黒色感光層２１を形成する（図３（ａ）参照）。
ここで、透明基板１１としては、ガラス基板が好適で、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンフタレート等の樹脂基板を使用することもできる。
また、塗布方法としては、スプレーコート法、スピンコート法、ロールコート等が利用できる。
【００５８】
次に、フォトマスクを用いて黒色感光層２１をパターン露光し、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス２１ａを形成し、透明基板１１上の所定位置にブラックマトリクス２１ａが形成されたブラックマトリクス基板１０を作製する（図３（ｂ）参照）。
パターン露光はプロキシミティーアライナーによる近接露光方式が好適である。
ここで、パターン露光に使用する露光光は、請求項４に記載したように、露光波長２５４ｎｍの遠紫外線を使用する。この露光波長２５４ｎｍは、製造が容易で安価に入手できる高圧水銀ランプの輝線である。
露光波長２５４ｎｍの遠紫外線を用いてパターン露光することにより、プロキシミティーアライナーによる近接露光方式で適正露光ギャップを確保しても回折光の影響を軽減できることから、５μｍ以下の線幅のブラックマトリックスを精度良く形成することが可能となる。
【００５９】
なお、パターン露光に先立ち、黒色感光層２１上に水溶性樹脂あるいはアルカリ水溶性樹脂（例えばポリビニルアルコールや水溶性アクリル樹脂等）の溶液を塗布しても良い。これら樹脂の塗布によって、雰囲気中の酸素による重合阻害を抑制することができ、黒色感光層２１の感度を向上させることができる。
【００６０】
また、現像処理に使用する現像液としては、アルカリ水溶液又は有機アルカリ溶液等のアルカリ現像液が使用できる。アルカリ水溶液としては、炭酸ソーダ、苛性ソーダ等が例示でき、有機アルカリ溶液としては、ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン等が例示できる。また、必要に応じて消泡剤や界面活性剤が添加することができる。
【００６１】
以下、透明基板１１上の所定位置にブラックマトリクス２１ａが形成されたブラックマトリクス基板１０を用いて、透明赤色画素、透明緑色画素、透明青色画素等の透明着色画素を形成した本発明のカラーフィルタについて説明する。
図４（ａ）〜（ｄ）及び図５（ｅ）〜（ｇ）は、透明基板１１上の所定位置にブラックマトリクス２１ａが形成されたブラックマトリクス基板１０を用いて、透明赤色画素、透明緑色画素、透明青色画素等の透明着色画素を形成したカラーフィルタ基板の製造方法の一例を工程順に示す模式構成断面図である。
【００６２】
まず、透明基板１１上の所定位置にブラックマトリクス２１ａが形成されたブラックマ
トリクス基板１０上に、アクリル系の感光性樹脂に赤色顔料（例えば、ジアントラキノン系顔料）を分散した赤色レジストをスピンナー等にて塗布して、赤色感光層を形成し、所定のフォトマスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、透明赤色画素３１Ｒを形成する（図４（ａ）参照）。
【００６３】
次に、ブラックマトリクス２１ａ及び透明赤色画素３１Ｒが形成された透明基板１１上にアクリル系の感光性樹脂に緑色顔料（例えば、フタロシアニングリーン系顔料）を分散した緑色レジストをスピンナー等にて塗布して緑色感光層を形成し、所定のフォトマスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、透明緑色画素３２Ｇを形成する（図４（ｂ）参照）。
【００６４】
次に、ブラックマトリクス２１ａ、透明赤色画素３１Ｒ及び透明緑色画素３２Ｇが形成された透明基板１１上にアクリル系の感光性樹脂に青色顔料（例えば、フタロシアニンブルー系顔料）を分散した青色レジストをスピンナー等にて塗布して青色感光層を形成し、所定のフォトマスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、透明青色画素３３Ｂを形成する（図４（ｃ）参照）。
【００６５】
次に、ブラックマトリクス２１ａ、透明赤色画素３１Ｒ、透明緑色画素３２Ｇ及び透明青色画素３３Ｂが形成された透明基板１１上に、スピンナー等を用いてアクリル系の樹脂溶液を塗布し、加熱硬化してオーバーコート層４１を形成する（図４（ｄ）参照）。
【００６６】
次に、酸化インジウム錫系の合金ターゲットをスパッタリングして、オーバーコート層４１上に透明導電膜を成膜し、透明電極５１を形成する（図５（ｅ）参照）。
【００６７】
次に、透明電極５１上に、スピンナー等を用いてアクリル系のクリアレジストを塗布して感光層を形成し、所定のフォトマスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、加熱硬化して、配向制御突起６１を形成する（図５（ｆ）参照）。
【００６８】
さらに、ブラックマトリクス２１ａ、透明赤色画素３１Ｒ、透明緑色画素３２Ｇ、透明青色画素３３Ｂ、オーバーコート層４１、透明電極５１、配向制御突起５１が形成された透明基板１１上に、スピンナー等を用いてアクリル系のクリアレジストを塗布して感光層を形成し、所定のフォトマスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、加熱硬化して、スペーサー７１を形成する。
以上の工程で、透明基板１１上の所定位置に５μｍ以下のブラックマトリクス２１ａが形成されたブラックマトリクス基板１０上に透明赤色画素３１Ｒ、透明緑色画素３２Ｇ、透明青色画素３３Ｂ、オーバーコート層４１、透明電極５１、配向制御突起５１及びスペーサー７１を形成したカラーフィルタ基板１００を得ることができる（図５（ｇ）参照）。
【００６９】
上記カラーフィルタ基板１００とアレイ基板１１０との間に液晶８１を封入し、両側に偏光膜９１と、アレイ基板１１０の背面にバックライト１２０とを設けることにより、本発明の液晶表示装置２００を得ることができる（図２参照）。
【００７０】
以下、本発明の黒色感光性樹脂組成物及びそれを用いたブラックマトリクスの製造法について実施例にて詳細に説明する。
【実施例１】
【００７１】
まず、下記に示す組成比で配合された材料を混合攪拌し、本発明の黒色感光性樹脂組成物（Ａ）（固形分中の顔料濃度：４０重量部）を作製した。
カーボンブラック分散液：ＥＸ−２８０６（御国色素製）          ２５．６９重量部
樹脂：Ｖ２５９−ＭＥ（新日鐵化学社製）（固形分56.1重量部）      ６．７４重量部
モノマー：ＤＰＨＡ（日本化薬社製）                              １．１８重量部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ２８．８２重量部
エチル−３−エトキシプロピオネート                      ３５．９８重量部
レベリング剤：ＢＹＫ−３３０（ビックケミー社製）                １．００重量部
重合開始剤：Ｉｒｇ３７９（最大吸収波長：３２２ｎｍ）            ０．５９重量部
ここで、重合開始剤：Ｉｒｇ３７９は、アセトフェノン系で、「２−（４−メチルベンジル）−２−（ジメチルアミノ）−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン」である。
【００７２】
次に、ガラス基板からなる透明基板１１上に、上記黒色感光性樹脂組成物（Ａ）をスピンコート法により塗布し、７０℃で１５分のプリベークを行って、１．３μｍ厚の感光層２１を形成した（図３（ａ）参照）。
【００７３】
次に、露光光源に遠紫外線（２５４ｎｍ）を使用したプロキシミティー露光機を用いて、４μｍの細線パターンをパターン露光し、１．２５質量％の炭酸ナトリウム溶液を用いてシャワー現像、水洗した後、２３０℃で２０分間加熱処理をしてブラックマトリクス２１ａを形成し、ガラス基板からなる透明基板１１上に、ブラックマトリクス２１ａが形成されたブラックマトリクス基板１０（Ａ）を作製した（図３（ｂ）参照）。
パターン露光にあたっては、あらかじめ露光量を変えたサンプルを作製し、露光感度曲線を求め、残膜率が８０％以上になる最小露光量を適正露光量として設定した。
【実施例２】
【００７４】
まず、下記に示す組成比で配合された材料を混合攪拌し、本発明の黒色感光性樹脂組成物（Ｂ）（固形分中の顔料濃度：４０重量部）を作製した。
カーボンブラック分散液：ＥＸ−２８０６（御国色素製）          ２５．６９重量部
樹脂：Ｖ２５９−ＭＥ（新日鐵化学社製）（固形分56.1重量部）      ６．７４重量部
モノマー：ＤＰＨＡ（日本化薬社製）                              １．１８重量部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ２８．８２重量部
エチル−３−エトキシプロピオネート                      ３５．９８重量部
レベリング剤：ＢＹＫ−３３０（ビックケミー社製）                １．００重量部
重合開始剤：Ｉｒｇ９０７（最大吸収波長：３０７ｎｍ）            ０．５９重量部
ここで、重合開始剤：Ｉｒｇ９０７は、アセトフェノン系で「２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン」である。
【００７５】
次に、ガラス基板からなる透明基板１１上に、上記黒色感光性樹脂組成物（Ｂ）をスピンコート法により塗布し、７０℃で１５分のプリベークを行って、１．３μｍ厚の感光層２１を形成した（図３（ａ）参照）。
【００７６】
次に、露光光源に遠紫外線（２５４ｎｍ）を使用したプロキシミティー露光機を用いて、４μｍの細線パターンをパターン露光し、１．２５質量％の炭酸ナトリウム溶液を用いてシャワー現像、水洗した後、２３０℃で２０分間加熱処理をしてブラックマトリクス２１ａを形成し、ガラス基板からなる透明基板１１上に、ブラックマトリクス２１ａが形成されたブラックマトリクス基板１０（Ｂ）を作製した（図３（ｂ）参照）。
パターン露光にあたっては、あらかじめ露光量を変えたサンプルを作製し、露光感度曲線を求め、残膜率が８０％以上になる最小露光量を適正露光量として設定した。
【実施例３】
【００７７】
まず、下記に示す組成比で配合された材料を混合攪拌し、本発明の黒色感光性樹脂組成物（Ｃ）（固形分中の顔料濃度：４０重量部）を作製した。
カーボンブラック分散液：ＥＸ−２８０６（御国色素製）          ２５．６９重量部
樹脂：Ｖ２５９−ＭＥ（新日鐵化学社製）（固形分56.1重量部）      ６．７４重量部
モノマー：ＤＰＨＡ（日本化薬社製）                              １．１８重量部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ２８．８２重量部
エチル−３−エトキシプロピオネート                      ３５．９８重量部
レベリング剤：ＢＹＫ−３３０（ビックケミー社製）                １．００重量部
重合開始剤：ＴＲＧ２７１（最大吸収波長：２３９ｎｍ）            ０．５９重量部
ここで、重合開始剤：ＴＲＧ２７１は、スルホニウム有機ホウ素錯体系で「ジメチル（２−オキソ−２−フェニルエチル）スルフォニウムブチルトリフェニルボレート」である。
【００７８】
次に、ガラス基板からなる透明基板１１上に、上記黒色感光性樹脂組成物（Ｃ）をスピンコート法により塗布し、７０℃で１５分のプリベークを行って、１．３μｍ厚の感光層２１を形成した（図３（ａ）参照）。
【００７９】
次に、露光光源に遠紫外線（２５４ｎｍ）を使用したプロキシミティー露光機を用いて、４μｍの細線パターンをパターン露光し、１．２５質量％の炭酸ナトリウム溶液を用いてシャワー現像、水洗した後、２３０℃で２０分間加熱処理をしてブラックマトリクス２１ａを形成し、ガラス基板からなる透明基板１１上に、ブラックマトリクス２１ａが形成されたブラックマトリクス基板１０（Ｃ）を作製した（図３（ｂ）参照）。
パターン露光にあたっては、あらかじめ露光量を変えたサンプルを作製し、露光感度曲線を求め、残膜率が８０％以上になる最小露光量を適正露光量として設定した。
【実施例４】
【００８０】
実施例４は、比較のための比較例である。
まず、下記に示す組成比で配合された材料を混合攪拌し、比較例の黒色感光性樹脂組成物（Ｄ）（固形分中の顔料濃度：４０重量部）を作製した。
カーボンブラック分散液：ＥＸ−２８０６（御国色素製）          ２５．６９重量部
樹脂：Ｖ２５９−ＭＥ（新日鐵化学社製）（固形分56.1重量部）      ６．７４重量部
モノマー：ＤＰＨＡ（日本化薬社製）                              １．１８重量部
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ２８．８２重量部
エチル−３−エトキシプロピオネート                      ３５．９８重量部
レベリング剤：ＢＹＫ−３３０（ビックケミー社製）                １．００重量部
重合開始剤：ＴＲＧ２７８（最大吸収波長：３５７ｎｍ）            ０．５９重量部
ここで、重合開始剤：ＴＲＧ２７８は、スルホニウム有機ホウ素錯体系で「ジメチル（２−オキソ−２−（４−ジメチルアミノフェニル）−エチル）スルフォニウムブチルトリフェニルボレート」である。
【００８１】
次に、ガラス基板からなる透明基板１１上に、上記黒色感光性樹脂組成物（Ｄ）をスピンコート法により塗布し、７０℃で１５分のプリベークを行って、１．３μｍ厚の感光層２１を形成した（図３（ａ）参照）。
【００８２】
次に、露光光源に遠紫外線（２５４ｎｍ）を使用したプロキシミティー露光機を用いて、４μｍの細線パターンをパターン露光し、１．２５質量％の炭酸ナトリウム溶液を用いてシャワー現像、水洗した後、２３０℃で２０分間加熱処理をしてブラックマトリクス２１ａを形成し、ガラス基板からなる透明基板１１上に、ブラックマトリクス２１ａが形成されたブラックマトリクス基板１０（Ｄ）を作製した（図３（ｂ）参照）。
パターン露光にあたっては、あらかじめ露光量を変えたサンプルを作製し、露光感度曲線を求め、残膜率が８０％以上になる最小露光量を適正露光量として設定した。
【００８３】
上記実施例１〜実施例４で得られたブラックマトリクス基板１０（Ａ）〜（Ｄ）のブラックマトリクスのパターン再現性を光学顕微鏡で、断面形状評価を走査型電子顕微鏡（Ｓ
ＥＭ）でそれぞれ評価した。評価結果を表１に示す。
【００８４】
【表１】
2009003330.tif 000004
表１からも分かるように、最大吸収波長が３３０ｎｍ以下の重合開始剤を配合して作製した黒色感光性樹脂組成物を用いた実施例１〜３のブラックマトリクスは、４μｍのブラックマトリクスが再現されており、パターン再現性、断面形状とも良好な結果が得られた。
これに対し、最大吸収波長が３３０ｎｍ以上（３５７ｎｍ）の重合開始剤を配合して作製した黒色感光性樹脂組成物を用いた実施例４（比較例）のブラックマトリクスは、４μｍのブラックマトリクスの線幅バラツキがあり、パターン再現性、断面形状とも良好な結果を得ることができなかった。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明のカラーフィルタの一実施例を示す模式構成断面図である。
【図２】本発明の液晶表示装置の一実施例を示す模式構成断面図である。
【図３】（ａ）〜（ｂ）は、本発明の黒色感光性樹脂組成物を用いたブラックマトリクスの製造方法の一実施例を工程順に示す模式構成断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の黒色感光性樹脂組成物を用いて形成されたブラックマトリクス基板を用いて作製するカラーフィルタの製造方法の工程の一部を示す模式構成断面図である。
【図５】（ｅ）〜（ｇ）は、本発明の黒色感光性樹脂組成物を用いて形成されたブラックマトリクス基板を用いて作製するカラーフィルタの製造方法の工程の一部を示す模式構成断面図である。
【図６】カラーフィルタの一例を示す模式構成断面図である。
【図７】液晶表示装置の一例を示す模式構成断面図である。
【符号の説明】
【００８６】
１０……ブラックマトリクス基板
１１……透明基板
２１……黒色感光層
２１ａ、２２……ブラックマトリクス
３１Ｒ、３４Ｒ……透明赤色画素
３２Ｇ、３５Ｇ……透明緑色画素
３３Ｂ、３６Ｂ……透明青色画素
４１、４２……オーバーコート層
５１、５２……透明電極
６１……配向突起
７１……スペーサー
８１……液晶
９１……偏光膜
１００、３００……カラーフィルタ基板
１１１……アレイ基板
１２０……バックライト
２００……液晶表示装置
４００……カラー液晶表示装置
【図１】
2009003330.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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