(57)【要約】【課題】無駄なエネルギーを用いずに効率よく湿度の調整が可能な温湿度調整装置を提供する。【解決手段】圧縮機１８で圧縮されて送り出される熱媒体が分配器２０に加熱回路に分配され、分配器２０によって加熱回路側に分配された熱媒体の残余部が分配される冷却回路と、加熱器１６及び冷却器１４を通過する気体が通過可能な位置に配置された気化フィルター１１と、気化フィルター１１に水分を供給する水分供給手段１５と、分配器２０を制御し、加熱回路と冷却回路とに分配される熱媒体の分配比率を調整して、加熱回路の加熱器１４と冷却回路の冷却器１４とを通過する気体を所定温度に制御する温度制御部２２と、水分供給手段１５を制御し、気化フィルター１１に供給される水分量を調整して、加熱器１４と冷却器１６とを通過する気体を所定湿度に制御する湿度制御部２７とを具備する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮機で圧縮されて送り出される熱媒体が分配器によって分配され、加熱器（凝縮器）、膨張弁、外部熱源である外部熱媒体から吸熱する蒸発器、圧縮機の順に循環される加熱回路と、
前記分配器によって加熱回路側に分配された熱媒体の残余部が分配され、外部熱源である外部熱媒体へ熱を放出する凝縮器、膨張弁、冷却器（蒸発器）、圧縮機の順に循環される冷却回路と、
前記加熱器及び前記冷却器を通過する気体が通過可能な位置に配置された気化フィルターと、
該気化フィルターに水分を供給する水分供給手段と、
前記分配器を制御し、前記加熱回路と前記冷却回路とに分配される熱媒体の分配比率を調整して、前記加熱回路の凝縮器と前記冷却回路の蒸発器とを通過する気体を所定温度に制御する温度制御部と、
前記水分供給手段を制御し、気化フィルターに供給される水分量を調整して、前記加熱器と前記冷却器とを通過する気体を所定湿度に制御する湿度制御部とを具備することを特徴とする温湿度調整装置。
【請求項２】
前記加熱器及び前記冷却器を通過した気体の出口温度を検出する温度センサと、
前記加熱器及び前記冷却器を通過した気体の出口湿度を検出する湿度センサとを具備し、
前記温度制御部は、前記温度センサで検出される温度が、予め設定された出口温度となるように前記分配器による分配比率を制御し、
前記湿度制御部は、前記湿度センサで検出される温度が、予め設定された出口湿度となるように前記水分供給手段が供給する水分量を制御することを特徴とする請求項１記載の温湿度調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は温湿度調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、半導体装置の製造工程等の精密加工分野では、その殆どが温度及び湿度が制御されたクリーンルーム内に設置されている。
しかし、近年、精密加工分野でも、従来よりも更に加工精度の高い精密加工等が要求される工程が出現しつつある。
かかる高い精密加工等が要求される工程では、通常、クリーンルームの温度変化よりも更に小さな温度変化の環境であることが要求される。このため、高い精密加工等が要求される工程は、精密な温度管理がなされている空間ユニット内に設けられる。
【０００３】
このような空間ユニットの温度調整に用いられる温度調整装置としては、図５に示すような温度調整装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
図５に示す温度調整装置には、圧縮機１００、三方弁１０２、凝縮器１０４、膨張弁１０６、冷却器１０８及び加熱器１１０が設けられており、冷却器１０８を具備する冷却流路と加熱器１１０を具備する加熱流路とが設けられている。
かかる冷却器１０８と加熱器１１０とによって、ファン１１２から吹き出す温度調整対象の空気流の温度が調整される。
【０００４】
この図５に示す温度調整装置では、圧縮機１００で圧縮された高温の熱媒体を三方弁１０２によって、冷却流路と加熱流路とに分配する。冷却流路側に分配された高温の熱媒体は、凝縮器１０４で冷却される。この冷却された熱媒体は、膨張弁１０６によって断熱的に膨張されて冷却され、冷却器１０８に供給される。冷却器１０８では、ファン１１２から吹き出す温度調整対象の空気流を冷却しつつ吸熱して昇温された熱媒体は圧縮機１００に供給される。
【０００５】
一方、加熱流路側に分配された高温の熱媒体は加熱器１１０に供給され、冷却器１０８で冷却された温度調整対象の空気流を加熱して所望の温度に調整する。この様に、加熱器１１０において、温度調整対象の空気流を加熱しつつ放熱して降温された熱媒体は、膨張弁１０６及び冷却器１０８を通過して圧縮機１００に供給される。
【０００６】
【特許文献１】特開昭５１−９７０４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図５に示す温度調整装置では、圧縮機１００で圧縮された高温の熱媒体の全量が膨張弁１０６を通過して断熱的に膨張されて冷却され、冷却器１０８に供給されるため、ファン１１２から吹き出す温度調整対象の空気流を冷却する冷却エネルギー量は一定である。
一方、三方弁１０２によって加熱流路側に分配する高温の熱媒体の流量を調整することによって、冷却器１０８で冷却された温度調整対象の空気流に対する加熱器１１０での加熱量を調整できる。
【０００８】
したがって、冷却器１０８及び加熱器１１０を通過する温度調整対象の空気流の温度を調整でき、空間ユニット内の温度管理を狭い温度範囲で行うことは可能である。
しかし、図５に示す温度調整装置では、圧縮機１００で圧縮された高温の熱媒体の全量が膨張弁１０６を通過して断熱的に膨張されて冷却され、冷却器１０８に供給されるため、ファン１１２から吹き出す温度調整対象の空気流に対する温度調整は、専ら加熱器１１０に供給する圧縮機１００で圧縮された高温の熱媒体の再加熱によって行われる。
【０００９】
このように、図５に示す温度調整装置で採用された温度制御方式では、加熱に使用した熱媒体も冷却流路に流すため、加熱できる熱量は圧縮機の動力による熱量のみとなり、冷却器１０８及び加熱器１１０に対する負荷変動への対応が困難である。
このため、冷却器１０８及び加熱器１１０を通過する温度調整対象の空気流の設定温度を大幅に高くする場合、温度調整対象の空気流の温度が設定温度に到達しなかったり、設定温度に到達するまでに著しく時間がかかることがある。
さらに、図５に示す温度調整装置では、冷却器１０８及び加熱器１１０を通過する温度調整対象の空気流の湿度を調整する湿度調整機能が設けられておらず、空気流に湿度調整を施すことはできない。
【００１０】
このような、図５に示す温度調整装置の加熱量不足を補うと共に、空気流に湿度調整を施すべく、図６に示す温湿度調整装置の様に、加熱器１１０の出口側に水蒸気を噴霧する複数の噴霧ノズル１１４，１１４・・を設け、噴霧ノズル１１４，１１４・・の各々に水蒸気を供給する加熱蒸気発生装置１１６を設けることが考えられる。
【００１１】
しかし、図６に示す温湿度調整装置では、電気ヒータやボイラーなどの手段を用いて水蒸気を発生させており、このためのエネルギーが無駄である。また、電気ヒータやボイラーで単に水蒸気を発生させる場合、使用するエネルギー量のわりに気化の効率が悪いという課題がある。
【００１２】
そこで、本発明は、上記課題を解決すべくなされ、その目的とするところは、無駄なエネルギーを用いずに効率よく湿度の調整が可能な温湿度調整装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明にかかる温湿度調整装置によれば、圧縮機で圧縮されて送り出される熱媒体が分配器によって分配され、加熱器（凝縮器）、膨張弁、外部熱源である外部熱媒体から吸熱する蒸発器、圧縮機の順に循環される加熱回路と、前記分配器によって加熱回路側に分配された熱媒体の残余部が分配され、外部熱源である外部熱媒体へ熱を放出する凝縮器、膨張弁、冷却器（蒸発器）、圧縮機の順に循環される冷却回路と、前記加熱器及び前記冷却器を通過する気体が通過可能な位置に配置された気化フィルターと、該気化フィルターに水分を供給する水分供給手段と、前記分配器を制御し、前記加熱回路と前記冷却回路とに分配される熱媒体の分配比率を調整して、前記加熱回路の凝縮器と前記冷却回路の蒸発器とを通過する気体を所定温度に制御する温度制御部と、前記水分供給手段を制御し、気化フィルターに供給される水分量を調整して、前記加熱器と前記冷却器とを通過する気体を所定湿度に制御する湿度制御部とを具備することを特徴としている。
この構成を採用することによって、気化フィルターに供給された水分が気化するので、従来のように水蒸気発生用の加熱手段を設ける必要がない。また、気化効率も良い。
【００１４】
また、前記加熱器及び前記冷却器を通過した気体の出口温度を検出する温度センサと、前記加熱器及び前記冷却器を通過した気体の出口湿度を検出する湿度センサとを具備し、前記温度制御部は、前記温度センサで検出される温度が、予め設定された出口温度となるように前記分配器による分配比率を制御し、前記湿度制御部は、前記湿度センサで検出される温度が、予め設定された出口湿度となるように前記水分供給手段が供給する水分量を制御することを特徴としてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の温湿度調整装置では、水分を気化させるためのエネルギー消費を抑え、効率よく温湿度の調整が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明に係る温湿度調整装置の一例を説明する概略図を図１に示す。
図１に示す温湿度調整装置５２には、温度及び湿度が調整されたクリーンルーム内に設置された空間ユニット１０内に、ファン１２によって吸込んだ気体としての空気の温度及び湿度を調整する加熱器１４、冷却器１６、水分供給手段１５および気化フィルター１１が設けられている。なお、空間ユニット１０内に吸引される空気流の入口側に冷却器１６が、その下流に加熱器１４が配設されている。冷却器１６と加熱器１４との間に、水分供給手段１５および気化フィルター１１が配置されている。
【００１７】
加熱回路は、圧縮機１８から送り出される熱媒体の一部が分配器２０により分配され、加熱器（凝縮器）１４、膨張弁３４、蒸発器（吸熱器）３２、圧縮機１８の順に熱媒体が循環されるように構成される。
【００１８】
冷却回路は、加熱回路と圧縮機１８が共通に用いられており、圧縮機１８から送り出される熱媒体の加熱回路へ分配された分の残余部が分配器２０により分配され、凝縮器２６、膨張弁２８、第１冷却器（蒸発器）１６、圧縮機１８の順に循環されるように構成される。
加熱回路および冷却回路を流通する熱媒体としては、例えばプロパン、イソブタンやシクロペンタン等の炭化水素、フロン類、アンモニア、炭酸ガスがある。
【００１９】
水分供給手段１５は、気化フィルター１１の上方に配置され、気化フィルター１１の上部から常時水をかけ続ける。水分供給手段１５は、気化フィルター１１に水分を含ませることができれば良く、水分を噴霧する必要はないので、ノズルではなく、単なる蛇口状に形成されていればよい。また、噴霧させるためのエア供給手段などの必要もない。
この水分供給手段１５には、水タンク１７に貯留されている純水がポンプ１９及び水供給配管２１に設けられた制御弁２３を経由して供給される。
【００２０】
かかる水タンク１７には、配管３３を経由して供給された通常水を純水器３５に供給して得た純水が貯留されている。この水タンク１７の純水の貯留量は、純水供給配管３７に設けられた制御弁３９によって一定に保持されている。
【００２１】
また、本実施形態における分配器２０は比例三方弁が採用されている。
熱媒体は、分配器としての比例三方弁２０によって、加熱器１４が設けられた加熱回路側と冷却器１６が設けられた冷却回路側とに分配される。
この比例三方弁２０では、加熱回路側に分配する高温の熱媒体と冷却回路側に分配する高温の熱媒体との合計量が圧縮機１８から吐出された高温の熱媒体量と等しくなるように分配する。
【００２２】
比例三方弁２０は、温度制御部２２によって制御されている。この温度制御部２２では、空間ユニット１０の空気吹出口に設けられた温度センサ２４によって測定された測定温度と設定された設定温度（操作者が図示しない入力スイッチを操作することによって温度制御部２２に入力された温度）とを比較し、測定温度が設定温度と一致するように、加熱回路側と冷却回路側とに分配する高温の熱媒体の分配比率を実質的に連続して変更し、空間ユニット１０内に吸込まれた空気を所定温度に調整する。
この「実質的に連続して変更」とは、比例三方弁２０をステップ制御で駆動するとき、微視的には比例三方弁２０がステップ的に駆動されているものの、全体的には連続して駆動されている場合を含む意味である。
【００２３】
温度制御部２２に設定する設定温度は、上述したように任意に設定できるようにしてもよいし、予め温度制御部２２内の記憶手段に記憶させておいてもよい。更に、図１に示す温度センサ２４は、空気流の吹出口側に設置されているが、ファン１２の吸入側に設置してもよく、吹出口側及び吸入側の両方に設けてもよい。
【００２４】
また、水分供給手段１５から気化フィルターへ供給される純水量は、湿度制御部２７によって制御されている。この湿度制御部２７では、空間ユニット１０の空気吹出口に設けられた湿度センサ２９によって測定された測定湿度と設定された設定湿度（操作者が図示しない入力スイッチを操作することによって湿度制御部２７に入力された湿度）とを比較し、測定湿度が設定湿度と一致するように制御弁２３を調整し、気化フィルター１１に供給する水分量を調整することによって、空間ユニット１０内に吸込まれた空気を所定湿度に調整する。
【００２５】
かかる湿度制御部２７に設定する設定湿度は、上述したように任意に設定できるようにしてもよいし、予め湿度制御部２７の記憶手段に記憶させておいてもよい。更に、図１に示す湿度センサ２９は、空気流の吹出口側に設置されているが、ファン１２の吸入側に設置してもよく、吹出口側及び吸入側の両方に設けてもよい。
【００２６】
水分供給手段１５から供給された水は、気化フィルター１１に浸透する。気化フィルター１１は、セラミック等の材質で構成され、蜂の巣状または網目状に形成されており、多量の水分を含むことができる。このような構造の気化フィルター１１は、水分を容易に気化させることができ、気化フィルター１１を通過する空気に水分を供給する。
【００２７】
気化フィルター１１の下方には、水タンク１７に接続された水受け９９が配置されている。水受け９９は、気化フィルター１１を通って気化せずに下方に落下した水を貯留し、この貯留した水を再度使用できるように水タンク１７に戻す機能を有している。
また、水受け９９は、加熱器１４の下方にも延びている。
【００２８】
以下、加熱回路の加熱サイクルと冷却回路の冷却サイクルについて説明する。
比例三方弁２０によって加熱回路側に分配された高温の熱媒体は、加熱器１４に直接供給され、空間ユニット１０内に吸引されて冷却器１６で冷却された空気流を加熱して所定温度に調整する。その際に、高温の熱媒体は放熱して冷却されて凝縮液を含む熱媒体となる。
【００２９】
一方、冷却回路側に分配された高温の熱媒体は、凝縮器２６によって冷却されてから膨張弁２８によって断熱的に膨張して更に冷却（例えば、１０℃に冷却）される。冷却された熱媒体は、冷却器１６に供給され、空間ユニット１０内に吸込まれた空気流を冷却する。
【００３０】
このような冷却回路の凝縮器２６には、加熱器１４側に分配された高温の熱媒体を冷却する冷却用として配管３０を経由して、外部から加熱又は冷却されることなく供給された外部熱媒体として冷却水が供給されている。かかる冷却水は、凝縮器２６内で７０℃程度の熱媒体によって３０℃程度に加熱されて配管３１から吐出される。この配管３１から吐出される冷却水は、ヒートポンプの吸熱手段としての吸熱器３２に加熱源として供給される。
【００３１】
加熱回路の吸熱器３２には、加熱器１４で放熱した熱媒体を、膨張弁３４によって断熱的に膨張して更に冷却した１０℃程度の熱媒体が供給されている。このため、吸熱器３２では、凝縮器２６で吸熱して３０℃程度に昇温された冷却水と１０℃程度に冷却された熱媒体との温度差に基づいて、熱媒体が冷却水から吸熱できる。
【００３２】
吸熱器３２で冷却水から吸熱して昇温された熱媒体は、アキュームレータ３６を経由して圧縮機１８に供給される。このアキュームレータ３６には、冷却器１６に供給されて空間ユニット１０内に吸込まれた空気流から吸熱した熱媒体も供給される。かかるアキュームレータ３６は、液体成分を貯めてガス成分のみを圧縮機１８に再供給できるタイプのアキュームレータであるため、確実に熱媒体のガス成分のみを圧縮機１８に供給できる。
【００３３】
このアキュームレータ３６としては、蓄圧器用タイプのアキュームレータを用いることができる。
尚、アキュームレータ３６を設置しなくても、吸熱器３２で空気流から吸熱して昇温された熱媒体と、冷却器１６に供給されて空間ユニット１０内に吸込まれた気体から吸熱した熱媒体とを合流して、圧縮機１８に再供給できればよい。
【００３４】
ところで、加熱器１４で放熱した熱媒体を、膨張弁３４によって断熱的に膨張して冷却しているが、膨張弁３４での断熱膨張による冷却では、熱媒体と外部との間での熱のやり取りはない。このため、断熱的に冷却された熱媒体は、外部から凝縮器２６を経由して吸熱器３２に供給された外部熱媒体としての冷却水から吸熱できる。
【００３５】
従って、圧縮機１８から吐出される高温の熱媒体には、圧縮機１８による圧縮動力エネルギーに、ヒートポンプとしての吸熱器３２によって外部から供給された冷却水より吸熱したエネルギーを加えることができる。
更に、温湿度調整装置５２では、外部から供給された冷却水が凝縮器２６を経由して吸熱器３２に供給されており、凝縮器２６で除去した高温の熱媒体から除去したエネルギーの一部も、圧縮機１８から吐出される高温の熱媒体に加えることができ、加熱回路の加熱能力を向上できる。
【００３６】
この様に、温湿度調整装置５２では、その加熱回路の加熱能力をヒートポンプの設置によって向上でき、且つ比例三方弁２０によって加熱回路側に分配する高温の熱媒体と冷却回路側に分配する高温の熱媒体との分配比率を、空間ユニット１０内の温度に応じて実質的に連続して変更できる。
このため、温湿度調整装置５２では、加熱回路及び冷却回路に高温の熱媒体が常時供給されており、加熱回路の加熱器１４と冷却回路の冷却器１６とを通過する温湿度調整対象の空気流の微小な負荷変動は、加熱回路と冷却回路とに分配する高温の熱媒体の分配比率を比例三方弁２０によって直ちに微小調整することによって迅速に対応でき、応答性を向上できる。
【００３７】
また、温湿度調整装置５２の様に、加熱器１４の空気入口側に気化フィルター１１を設け、この気化フィルター１１に純水を供給することにより、空気中の湿度を所定値に維持できる。更に、クリーンルーム内の空気を循環すると、循環空気はクリーンルーム内の装置の発熱等によって加熱されるが、気化フィルター１１を循環空気が通過することで除熱されるため、冷却器１６に対する負荷を小さくできる。
その結果、加熱流路の冷却器１６、気化フィルター１１及び加熱器１４を通過する温湿度調整対象の空気流の温度及び湿度を設定値に対して高精度に制御でき、図１に示す空間ユニット１０の温度変化及び湿度変化を小さくでき、精密加工が要求される工程を設置できる。
【００３８】
温湿度調整装置５２では、上述した様に、加熱回路の加熱能力が向上され、且つ加熱回路と冷却回路とを含む流路のうち、分配器としての比例三方弁２０から冷却器１６及び吸熱器３２の各々を通過した熱媒体がアキュームレータ３６で合流されるまでの加熱回路を含む回路と冷却回路を含む回路との各々が、回路的に独立して設けられている。このため、加熱器１４と冷却器１６とを通過する温湿度調整対象の空気流の設定温度を大幅に高くする場合でも、比例三方弁２０によって高温の熱媒体の分配比率を冷却回路よりも加熱回路に分配する分配比率を大幅に高くして、温湿度調整対象の空気流を所定温度に迅速に調整できる。
【００３９】
かかる空気流の温度調整の際にも、空気流の湿度を設定湿度に調整するように、湿度制御部２７は気化フィルター１１に供給する水分供給手段１５からの純水の供給量を調整する。
更に、温湿度調整装置５２では、加熱回路の加熱能力が向上され、加熱蒸気発生装置等の他の水分供給手段や加熱手段を用いることを要しないため、図６に示す加熱蒸気発生装置１１６を設けた温湿度調整装置に比較して、大幅な省エネルギーを図ることができる。
【００４０】
以上、説明してきた温湿度調整装置５２では、凝縮器２６に冷却水を供給する配管３０に、冷媒制御手段としての制御弁４０が設けられている。この制御弁４０は、圧縮機１８の吐出圧が一定となるように制御されている。かかる制御弁４０は、図２に示す様に、冷却水の流路内に設けられた弁部４０ａの開口部を開閉する弁体４０ｂを具備する棒状部が設けられている。この棒状部は、その先端面が当接するバネ４０ｃによって弁体４０ｂが弁部４０ａの開口部を閉じる方向に付勢されている。また、棒状部の他端面は、圧縮機１８から吐出された熱媒体の圧力が供給されるベローズ４０ｄに当接し、棒状部をバネ４０ｃの付勢力に抗して弁部４０ａの開口部を開放する方向に弁体４０ｂを付勢している。
【００４１】
このため、圧縮機１８の吐出圧がバネ４０ｃの付勢力以上となったとき、ベローズ４０ｄによって弁体４０ｄが弁部４０ａの開口部を開放する方向に移動し、凝縮器２６に供給される冷却水量が増加して、凝縮器２６の冷却能力が向上される。この様に、凝縮器２６の冷却能力が向上されて、圧縮機１８の吐出圧が低下する。
他方、圧縮機１８の吐出圧がバネ４０ｃの付勢力以下となったとき、弁体４０ｄが弁部４０ａの開口部を閉じる方向に移動し、凝縮器２６に供給される冷却水量が減少して、凝縮器２６の冷却能力が低下する。このため、圧縮機１８の吐出圧が高くなる。
この様に、圧縮機１８の吐出圧を一定に保持することによって、温湿度調整装置を安定して運転できる。また、凝縮器２６に冷却水量が必要以上に供給され、系外に排出されないように調整できる。
【００４２】
また、温湿度調整装置５２に用いた分配手段としての比例三方弁２０に代えて、図３に示す様に、２個の二方弁としての二方弁３８ａ，３８ｂを用いることができる。２個の二方弁３８ａ，３８ｂの各々は、温度制御部２２によって制御されている。かかる温度制御部２２によって、二方弁３８ａ，３８ｂの各々の開度を調整し、圧縮機１８で圧縮・加熱された気体状の高温の熱媒体を加熱回路と冷却回路とに分配する分配比率を実質的に連続して調整し、加熱器１４と冷却器１６とを通過する空気流を所定温度に制御する。
その際に、加熱器１４側に分配する高温の熱媒体量と冷却器１６側に分配する高温の熱媒体量との合計量が、圧縮機１８から吐出された高温の熱媒体量と等しくなるように、二方弁３８ａ，３８ｂの開度を調整して連続的に比例分配される。
【００４３】
図４に示す様に、二方弁３８ａ，３８ｂの各々におけるバルブ開度と流量との関係は直線状でない。このため、温度制御部２２では、図４に示す二方弁３８ａ，３８ｂの各々についての流量特性データを保持し、温度制御部２２からは、二方弁３８ａ，３８ｂの各流量特性に基づいて各二方弁３８ａ，３８ｂへの開度信号を発信する。
【００４４】
なお、上述した実施形態では、外部熱媒体として配管３０から供給される冷却水は、水分供給手段１５へ供給させる水の配管から分岐しているものであるが、冷却水としては、配管３３とは異なる系統の配管から供給されるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明に係る温湿度調整装置の第１の実施形態を説明する概略図である。
【図２】制御弁４０の内部構造を説明する説明図である。
【図３】他の分配手段を説明する説明図である。
【図４】分配手段で用いる二方弁の流量特性を示すグラフである。
【図５】従来の温度調整装置を説明する概略図である。
【図６】従来の温度調整装置を温湿度調整装置に改良した改良例を説明する概略図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０  空間ユニット
１１  気化フィルター
１２  ファン
１４  加熱器
１５  水分供給手段
１６  冷却器
１７  水タンク
１８  圧縮機
１９  ポンプ
２０  分配器（比例三方弁）
２１  水供給配管
２２  温度制御部
２３，３９，４０  制御弁
２４  温度センサ
３０，３１，３３  配管
２６  凝縮器
２７  湿度制御部
２８  膨張弁
２９  湿度センサ
３２  吸熱器
３４  膨張弁
３５  純水器
３６  アキュームレータ
３７  純水供給配管
３８ａ，３８ｂ  二方弁
５２  温湿度調整装置
９９  水受け
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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