(57)【要約】【課題】被処理材の表面を均質かつ効率的に処理することができると共に、処理コストをこれまでのものに比べて低減することができるオゾン水処理装置を提供する。【解決手段】被処理材Ｗを内部空間Ｓに収容するための収容筐体１１を少なくとも備え、該収容筐体１１の前記内部空間Ｓにオゾン水ＯＷを流入させることにより被処理材Ｗの表面にオゾン水処理を行うための装置であって、収容筐体１１は、内部空間Ｓが分割されるように構成された複数の分割枠体１１ａ，１１ｂからなり、各分割枠体１１ａ，１１ｂは、各分割枠体により内部空間Ｓを形成する際に被処理材Ｗの表面形状に追従しながら被処理材Ｗを挟持可能であり、かつ、オゾン水ＯＷが内部に浸透可能な高分子材１２を備えてなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理材を内部空間に収容するための収容筐体を少なくとも備え、該収容筐体の前記内部空間にオゾン水を流入させることにより前記被処理材の表面にオゾン水処理を行うための装置であって、
前記収容筐体は、前記内部空間が分割されるように構成された複数の分割枠体からなり、
該各分割枠体は、該各分割枠体により前記内部空間を形成する際に前記被処理材の表面形状に追従しながら前記被処理材を挟持可能であり、かつ、前記オゾン水が内部に浸透可能である高分子材を備えることを特徴とするオゾン水処理装置。
【請求項２】
前記収容筐体は、前記内部空間が密閉空間となるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のオゾン水処理装置。
【請求項３】
前記高分子材は、発泡樹脂、または、発泡エラストマーからなることを特徴とする請求項１又は２に記載のオゾン水処理装置。
【請求項４】
前記高分子材は、気孔率が６０体積％以上であり、かつ、平均気孔径が１００μｍ以下の材料からなることを特徴とする請求項３に記載のオゾン水処理装置。
【請求項５】
被処理材を収容筐体の内部空間に収容し、該内部空間にオゾン水を流入させることにより前記被処理材の表面にオゾン水処理を行う方法であって、
前記オゾン水が内部に浸透可能な高分子材を、前記被処理材の表面形状に追従するように前記被処理材に接触させ、該接触した状態を保持しながら前記高分子材と共に前記被処理材を前記収容筐体の内部空間に収容する工程と、
前記高分子材の内部にオゾン水が浸透するように、前記収容筐体の内部空間内に前記オゾン水を充填し、前記被処理材の表面にオゾン水を接触させる工程と、
を少なくとも含むことを特徴とするオゾン水処理方法。
【請求項６】
前記接触工程において、前記収容筐体の前記内部空間を密閉空間にすることを特徴とする請求項５に記載のオゾン水処理方法。
【請求項７】
前記収容工程において、前記内部空間内で、前記被処理材の表面が前記高分子材により加圧されるように、前記被処理材を収容することを特徴とする請求項５又は６に記載のオゾン水処理方法。
【請求項８】
前記高分子材として、発泡樹脂または発泡エラストマーを用いることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載のオゾン水処理方法。
【請求項９】
前記高分子材として、気孔率が６０体積％以上であり、かつ、平均気孔径が１００μｍ以下の材料を用いることを特徴とする請求項８に記載のオゾン水処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、オゾン水に被処理材を接触させることにより被処理材の表面のオゾン水処理を行なうための装置及びその方法に係り、特に、安価かつ効率的にオゾン水処理を行うことができる装置及びその方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から基材表面の鍍金付着性の向上、被膜の付着強度の向上等を目的として、基材の表面改質のために、基材表面に対してオゾン水処理を行うことがある。具体的には、基材である被処理材へのオゾン水処理は、図３に示すオゾン水処理装置を用いて行われる。
【０００３】
まず、酸素ガス、窒素ガス、及び炭素ガスをオゾンガス生成装置７１に供給し、オゾンガスを生成する。次に、生成されたオゾンガス及び水を吸収塔７２に送り、吸収塔７２内でオゾンガスを水に溶存させオゾン水を精製する。
【０００４】
そして、処理槽８０内に被処理材を配置すると共に吸収塔７２からオゾン水を処理槽８０に供給し、図４に示すように、処理槽８０内のオゾン水に被処理材Ｗを浸漬させる。この際に、処理槽８０内でオゾン水が被処理材Ｗの表面に接触するので、被処理材Ｗの表面はオゾン水処理されることになる。さらに、処理槽８０の処理後の液は放散塔７３に送られ、オゾンガスと水と廃液に分離され、再利用可能なオゾンガスと水は回収される。一方、廃液は、廃液タンク７４に搬送後、所定の処理を行って排水される。
【０００５】
また、別のオゾン水処理方法として、例えば、前記処理槽のオゾン水に被処理材を浸漬する代わりに、図５に示すように、オゾン水が流通するヘッター管９１に取り付けられたノズル９２を介してオゾン水を被処理材Ｗの表面に噴霧することにより、被処理材Ｗの表面にオゾン水処理を行う装置９０が提案されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−２１５６１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、図３に示すオゾン水処理装置を用いた場合には、図４に示すように、処理槽８０は、処理槽８０の供給口８１からオゾン水を供給して槽内に流し、排出口８２から処理後のオゾン水を排出するよう構成されている。処理槽８０を用いて被処理材Ｗの処理を行った場合には、被処理材Ｗに接触したオゾンにより、被処理材Ｗの表面を改質することになる。
【０００７】
しかし、オゾン水のオゾンは表面改質以外に自己分解して消費されると同時にオゾン水からオゾンが揮発するため、処理槽８０内のオゾン水の上流から下流に進むに従ってオゾンの濃度は低下する。この結果、処理槽８０内のオゾン水の流れ方向に沿って、被処理材Ｗの表面処理にばらつきが発生することがある。また、前記オゾン濃度の低下に伴い、表面処理の処理時間もかかるばかりでなく、有毒であるオゾンガスの揮発によりオゾンガスを排気するシステムも必要となる。さら、表面改質に寄与するオゾンは、被処理材近傍に存在するオゾンのみであり、その他大部分のオゾンが溶存したオゾン水は、排出口から排出されることになる。
【０００８】
また、特許文献１に係る装置９０を用いて、オゾン水処理を行った場合も同様に、オゾン水を被処理材に吹き付ける際に、オゾン水からオゾンが揮発してしまうことがある。この結果、オゾン水のオゾン濃度の低下に伴い処理時間がかかるとともに、オゾンガスを排気するシステムも必要となる。さらに、ノズルを介してオゾン水を吹き付けるので、オゾン水の吹き付け方向が決まってしまうため、複雑な形状の被処理材の表面に均一にオゾン水を噴霧することは難しく、オゾン水処理可能な被処理材の形状に制限が課される場合もあった。
【０００９】
本発明は、上記する問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、たとえ複雑な表面形状の被処理材に対しても、ばらつきなく均質かつ効率的にオゾン水処理することができると共に、処理コストをこれまでのものに比べて低減することができるオゾン水処理装置及びオゾン水処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決すべく、本発明に係るオゾン水処理装置は、被処理材を内部空間に収容するための収容筐体を少なくとも備え、該収容筐体の前記内部空間にオゾン水を流入させることにより前記被処理材の表面にオゾン水処理を行うための装置であって、前記収容筐体は、前記内部空間が分割されるように構成された複数の分割枠体からなり、該各分割枠体は、該各分割枠体により前記内部空間を形成する際に前記被処理材の表面形状に追従しながら前記被処理材を挟持可能であり、かつ、前記オゾン水が内部に浸透可能である高分子材を備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明に係るオゾン水処理装置によれば、分割枠体が形成する内部空間に相当する部位に前記高分子材を設けることにより、分割枠体から収容筐体の組み立て時に、分割枠体により形成された内部空間のうち余分な空間（被処理材以外の空間）にも高分子材を配置することができる。この結果、内部空間に流し込むべきオゾン水の使用量を削減することができる。また収容筐体の内部空間において、高分子材は、被処理材の表面形状に追従して変形し、内部にオゾン水を浸透させることができる。この結果、たとえ被処理材の表面が複雑な形状であっても、その表面に均一にオゾン水による表面処理（オゾン水処理）を行うことができる。
【００１２】
本発明に係るオゾン水処理装置は、前記収容筐体が、前記内部空間が密閉空間となるように構成されていることがより好ましい。本発明によれば、分割枠体により収容筐体を形成した際に、収容筐体の内部空間が密閉空間となるので、オゾンが溶存したときの圧力を保持したまま内部空間にオゾン水を充填させることができ、オゾン水からのオゾンの揮発を抑制し、大気への拡散も予防できる。この結果、オゾン濃度の低下を抑えて処理時間の短縮を行うことができるばかりでなく、有毒なオゾンガスを排気するようなシステムを設けなくてもよい。さらに、オゾン水処理後に、内部空間内に純水等を流し込むことにより、オゾン水を収容枠体から排出することができるので、作業環境の安全性を確保することができる。
【００１３】
本発明でいう「高分子材」は、例えば、繊維の集合体、多孔質の樹脂等を挙げることができ、前記被処理材の表面形状に追従しながら変形して被処理材を把持可能であり、かつ、オゾン水が内部に浸透可能であれば特に限定されるものではない。より好ましくは、本発明に係るオゾン水処理装置は、前記高分子材が、発泡樹脂からなる。本発明によれば、高分子材に発泡樹脂を用いることにより、その内部に効率良くオゾン水を浸透させることができ、表面に均一に高分子材を接触させることができ、均質なオゾン水処理が可能となる。このような、発泡樹脂の素材としては、ポリエチレン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、またはポリエステル樹脂等を挙げることができ、オゾン水に接触した場合にであっても、変質しないものがより好ましい。
【００１４】
また、別の態様では、前記高分子材は、発泡エラストマーからなることがより好ましい。本発明によれば、発泡エラストマーを用いることにより、被処理材の表面を加圧状態でオゾン水を接触させることができるので、処理効率をさらに高めることができる。このような発泡エラストマーの素材としては、ウレタンゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム、フッ素ゴム、ニトリルゴム、またはイソプロピレンゴム等を挙げることができ、オゾン水に接触した場合であっても、機械的特性が安定しているものがより好ましい。
【００１５】
また、前記発泡樹脂又は発泡エラストマーなどの多孔質状の高分子材を用いた場合には、前記高分子材は、気孔率が６０体積％以上であり、かつ、平均気孔径が１００μｍ以下の材料からなることがより好ましい。
【００１６】
本発明によれば、前記気孔率、及び前記平均気孔径の高分子材を用いることにより、より好適にオゾン水処理を行うことができる。すなわち、気孔率が前記範囲未満である場合には、高分子材に接触する被処理材の面積が増え、浸透したオゾン水に接触する被処理材の面積が減るので、処理ムラが発生するおそれがある。また、気孔率の上限値は、９５体積％以下が好ましい。これよりも多い割合の気孔率を有する高分子材は製造し難く、また、オゾン水の使用量の削減効果も充分得られない。
【００１７】
また、高分子材の平均気孔径が、１００μｍよりも大きい場合には、気孔数が少なくなるため、気孔同士の間隔が大きくなり、処理ムラが発生し易くなる。平均気孔径の下限値は、０．１μｍ以上である。この範囲より小さい高分子樹脂材を製作することは難しい。
【００１８】
また、前記高分子材が、伸び率が６０％以上であり、かつ、５０％圧縮硬さが０．０１ｋｇｆ／ｃｍ２以上の材料からなることがより好ましい。前記伸び率及び前記圧縮硬さを満たすことにより、さらに好適にオゾン水処理を行うことができる。すなわち、伸び率が前記範囲未満である場合には、被処理材の表面形状に高分子材を追従させ難くなる。また、伸び率の上限値は、２８０％以下であることがより好ましい。２８０％よりも大きい場合には、高分子材としての形状を保つことが難しい。
【００１９】
また、高分子材の５０％圧縮硬さが前記範囲未満である場合には、高分子材の強度不足のため、高分子材は被処理材の表面形状に追従する際に破壊してしまう。また、５０％圧縮硬さの上限値は、５ｋｇｆ／ｃｍ２以下である。すなわち、これよりも大きい場合には、被処理材に表面形状に追従し難く、追従させた場合には被処理材の表面に作用する圧力が大きくなってしまう。なお、本発明にいう５０％圧縮硬さとは、高分子材に５０％の圧縮ひずみを加える際に必要な応力（圧力）をいう。
【００２０】
本発明として、被処理材の表面に好適にオゾン水処理を行う方法についてもさらに開示する。本発明に係るオゾン水処理方法は、被処理材を収容筐体の内部空間に収容し、該内部空間にオゾン水を流入させることにより前記被処理材の表面にオゾン水処理を行う方法であって、前記オゾン水が内部に浸透可能な高分子材を、前記被処理材の表面形状に追従するように前記被処理材に接触させ、該接触した状態を保持しながら前記高分子材と共に前記被処理材を前記収容筐体の内部空間に収容する工程と、前記高分子材の内部にオゾン水が浸透するように、前記収容筐体の内部空間内に前記オゾン水を充填し、前記被処理材の表面にオゾン水を接触させる工程と、を少なくとも含むことを特徴とする。
【００２１】
本発明に係るオゾン水処理方法によれば、上述したように、被処理材を収容した収容筐体の余剰空間に高分子材を配置することができるので、オゾン水の使用量を低減することができる。さらに、高分子材が、被処理材の表面形状に追従しながら変形するので、たとえ複雑な表面を有した被処理材であっても、その表面に均質にオゾン水処理をすることができる。本発明に係る収容工程において、高分子材を被処理材に接触させて、高分子材と被処理材とを収容筐体内に収容するが、収容方法としては、前述したように複数の分割枠体に高分子材を配置して分割枠体から収容筐体を組み立てる際に、前記接触と収容を同時に行ってもよく、また、被処理材を囲繞するように高分子材を被処理材に接触させ、この接触状態の被処理材と高分子材を収容筐体に収容してもよい。
【００２２】
また、本発明に係るオゾン水処理方法は、前記接触工程において、前記収容筐体の前記内部空間を密閉空間にすることがより好ましい。本発明によれば、内部空間を密閉空間にすることで、オゾンの揮発によるオゾン濃度の低下を抑制し、効率良くオゾン水処理を行うことができる。また、オゾン水処理後の内部空間に純水を流すことにより、内部空間内のオゾン水を純水に入れ替え、被処理材の表面を洗浄することができるので、オゾンガスによる作業危険性を回避することができる。また、密閉空間に流入させるオゾン水に加圧されたオゾン水を用いることも可能であり、オゾンの溶け込み量も増やすことができ、より処理効率を向上させることができる。
【００２３】
前記収容工程において、前記内部空間内で、前記被処理材の表面が前記高分子材により加圧されるように、前記被処理材を収容することがより好ましい。本発明によれば、被処理材の表面を加圧状態でオゾン水を接触させるので、オゾン水処理効率をさらに高めることができる。
【００２４】
前記高分子材として、発泡樹脂または発泡エラストマーを用いることがより好ましく、前記高分子材として、気孔率が６０体積％以上であり、かつ、平均気孔径が１００μｍ以下の材料を用いることがより好ましい。また、前記高分子材として、伸び率が６０％以上であり、かつ、５０％圧縮硬さが０．０１ｋｇｆ／ｃｍ２以上の材料を用いることがより好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、たとえ複雑な表面形状の被処理材に対しても、ばらつきなく均質かつ効率的にオゾン水による表面処理（オゾン水処理）を行うことができると共に、処理コストをこれまでのものに比べて低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下に、図面を参照して、本発明に係るオゾン水処理装置の一実施形態に基づいて説明する。
【００２７】
図１は、本実施形態に係るオゾン水処理装置の要部であるオゾン水処理部を示した図であり、（ａ）は、被処理材の収容前のオゾン水処理部の模式図であり、（ｂ）は、被処理材の収容後のオゾン水処理部の模式図を示している。なお、図４に示すように、先に示したオゾン水処理装置の各構成機器は同じであり、本実施形態では、オゾン水処理槽８０の代わりにオゾン水処理部１０を設けた点が相違するので、それ以外の構成機器については、その説明を省略する。
【００２８】
図１（ａ），（ｂ）に示すように、本実施形態に係るオゾン水処理部１０は、被処理材Ｗを内部空間Ｓに収容するための収容筐体１１を少なくとも備えている。具体的には、収容筐体１１は、半割り構造となっており、図１（ｂ）の収容筐体１１の組み立て時の内部空間Ｓが分割されるように構成された２つの分割枠体１１ａ，１１ｂを備えている。なお、分割枠体１１ａ，１１ｂは、ポリテトラフルオロエチレンなど、オゾン水に接触しても変質することがない材質からなることが好ましい。
【００２９】
図１（ａ）に示すように、各分割枠体１１ａ，１１ｂは、図中の白矢印方向に移動させることにより、図１（ｂ）に示すように、収容筐体１１が形成可能なように対向配置されており、このような移動をすべく駆動装置（図示せず）に連結されている。さらに、各分割枠体１１ａ，１１ｂは、収容筐体１１の内部空間Ｓの一部に相当する空間に、高分子材１２が配置されている。高分子材１２は、各分割枠体１１ａ，１１ｂにより、内部空間Ｓを形成する際に、被処理材Ｗの凹凸の表面形状に追従しながら変形し、被処理材Ｗを挟持可能であり、さらに、オゾン水が内部に浸透可能である部材である。例えば、このような高分子材１２の材質としては、ポリエチレン発泡体、シリコーン発泡体等を挙げることができる。
【００３０】
また、各分割枠体１１ａ，１１ｂは、オゾン水を内部空間Ｓに充填するための配管１６ａ，１６ｂに連結されており、さらに、この配管１６ａ，１６ｂは、配管１６ａから配管１６ｂに向かって純水が流れるように切換バルブ（図示ぜず）に接続されている。さらに、各分割枠体１１ａ，１１ｂは、内部空間Ｓの形成時に分割枠体１１ａ，１１ｂが当接する部分に、シリコーン製のパッキン１３が配設されている。このように、パッキン１３を設けることにより、各分割枠体１１ａ，１１ｂにより形成された内部空間Ｓは、密閉空間となる。
【００３１】
オゾン水処理部１０は、分割枠体１１ａ，１１ｂの間に、被処理材Ｗを取付けるための取付け部１５を有した冶具１４をさらに備えており、該冶具１４は、取り付けられた被処理材Ｗを挟持可能な位置に配置可能なように構成されている。
【００３２】
上述したオゾン水処理装置を用いて、図２に示すような被処理材Ｗのオゾン水処理を行う方法について以下に示す。図２は、図１に示すオゾン水処理部を用いたオゾン水処理方法を説明するための図であり、（ａ）は、被処理材を冶具に取付ける工程を示した図であり、（ｂ）は、被処理材を収容筐体の内部に収容する工程を示した図であり、（ｃ）は、被処理材の表面にオゾン水を接触させる工程を示した図であり、（ｄ）は、被処理材の洗浄工程を示した図である。
【００３３】
図２（ａ）に示すように、冶具１４の取付け部１５に被処理材Ｗを取付け、分割枠体１１ａ，１１ｂの間に、被処理材Ｗが挟持可能な位置に、冶具１４を配置する。次に、図２（ｂ）に示すように、分割枠体１１ａ，１１ｂを組み立てて一体化にして収容筐体１１となるように、図中矢印の方向に分割枠体１１ａ，１１ｂを移動させる。このとき、各分割枠体１１ａ，１１ｂに配置された高分子材１２が、被処理材Ｗの凹凸の表面形状に追従するように変形し、被処理材Ｗの表面が加圧され、被処理材Ｗは収容筐体１１の内部空間Ｓに収容される。
【００３４】
このように分割枠体１１ａ，１１ｂの内部空間Ｓに相当する部位に前記高分子材１２を設けることにより、分割枠体１１ａ，１１ｂから収容筐体１１を組み立て時に、分割枠体により形成された内部空間Ｓのうち余分な空間（被処理材以外の空間）にも高分子材１２を配置することができるので、後述する図２（ｃ）に示す内部空間Ｓに流し込むべきオゾン水ＯＷの使用量を削減することができる。さらに、分割枠体１１ａ、１１ｂの当接する部分にパッキン１３が配置されているので、上部は冶具１４を挟んで該パッキン１３は押し潰され、その他の部分はパッキン同士が押し潰されえて、収容筐体１１の内部空間Ｓは、密閉空間となる。
【００３５】
そして、図２（ｃ）に示すように、配管１６ａ，１６ｂから、収容筐体１１の内部空間（密閉空間）Ｓにオゾン水ＯＷを充填する。具体的には、高分子材１２の内部にオゾン水に浸透するように、前記収容筐体１１の内部空間Ｓにオゾン水ＯＷを充填し、被処理材Ｗの表面にオゾン水を接触させる。このように、内部空間Ｓを密閉空間にし、オゾンが溶存したときの圧力を保持したまま内部空間Ｓにオゾン水ＯＷを充填させることにより、オゾン水ＯＷからのオゾンの揮発を抑制し、大気へのオゾン拡散も防止できる。また、被処理材Ｗの表面が複雑な形状であっても、その表面は高分子材１２により押圧されるので、均一にオゾン水処理をすることができるばかりでなく、単なる浸漬によるオゾン水処理に比べ、より効率の良いオゾン水処理をすることができる。
【００３６】
そして、被処理材Ｗの表面のオゾン水処理が完了した後、収容筐体１１の一方の配管１６ａから純水Ｗａを内部空間Ｓに導入すると共に、他方の配管１６ｂから内部空間Ｓ内のオゾン水ＯＷと純水Ｗａを排出し、被処理材Ｗの表面を純水により洗浄する。このようにして、有毒なオゾンを揮発させることなくオゾン水処理部１０近傍においてオゾン水ＯＷを放散塔７３に送ることができるので、作業安全性を確保することができる。
【実施例】
【００３７】
本発明を以下の実施例に基づき説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるべきものではない。
［実施例１］
図１に示すようなオゾン水処理部を備えたオゾン水処理装置を用いて、オゾン水処理を行った。具体的には、幅５００ｍｍ×長さ１００ｍｍ×高さ５００ｍｍのポリテトラフルオロエチレンの分割枠体を準備し、該分割枠体に高分子材として、気孔率８０％、平均気孔径３０μｍ、伸び率２００％、５０％圧縮硬さ１．１ｋｇｆ／ｃｍ２のポリエチレン発泡材（発泡樹脂）を配置した。
【００３８】
さらに、被処理材として深さ３０ｍｍ、アスペクト比１のスリットを有するＡＢＳ成形品（幅２００ｍｍ）を塩化ビニル冶具に取付けて固定した。次に、一対の分割枠体を移動させて、被処理材の表面形状に高分子材を追従するように変形させながら、１ｋｇｆ／ｃｍ２の圧力で、被処理材を押圧し、収容筐体内に、被処理材を収容した。
【００３９】
そして、配管から密閉された内部空間に、濃度６０ｐｐｍ、温度３０℃のオゾン水を流した後、０．１Ｌ／ｍｉｎのオゾン水を流し、１分間保持し、オゾン水を排出した。このときのオゾン水の濃度を測定した。この結果を表１に示す。そして、純水を内部空間に２Ｌ／分で２分流した後、分割枠体を分離し、ＡＢＳ成形品を取り出した。その後、無電解ニッケルめっき法により、被処理材のオゾン水処理表面にニッケルめっきを施した。この結果を、表１に示す。
【００４０】
【表１】
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【００４１】
［実施例２］
実施例１と同じようにして、被処理材の表面にオゾン水処理を行った。実施例１と相違する点は、高分子材に、気孔率６０体積％、平均気孔径１００μｍ、伸び率６０％、５０％圧縮硬さ５ｋｇｆ／ｃｍ２のシリコーン発泡材（発泡エラストマー）を用いた点と、オゾン水処理を行う被処理材として、深さ１５ｍｍ、アスペクト比０．５のスリットを有するＡＢＳ成形品（幅２００ｍｍ）を用いた点である。そして、実施例１と同じように、被処理材の表面にニッケルめっきを施した。この結果を表１に示す。
【００４２】
［実施例３］
実施例１と同じようにして、被処理材の表面にオゾン水処理を行った。実施例１と相違する点は、高分子材に、気孔率９５体積％、平均気孔径０．１μｍ、伸び率２８０％、５０％圧縮硬さ０．０１ｋｇｆ／ｃｍ２のポリエステル発泡材（発泡樹脂）を用いた点と、オゾン水処理を行う被処理材として、深さ６０ｍｍ、アスペクト比２のスリットを有するＡＢＳ成形品（幅２００ｍｍ）を用いた点である。そして、実施例１と同じように、被処理材の表面にニッケルめっきを施した。この結果を表１に示す。
【００４３】
［実施例４］
実施例１と同じようにして、被処理材の表面にオゾン水処理を行った。実施例１と相違する点は、高分子材に、気孔率５０体積％、平均気孔径３０μｍ、伸び率１２０％、５０％圧縮硬さ１．５ｋｇｆ／ｃｍ２のポリエチレン発泡材（発泡樹脂）を用いた点である。そして、実施例１と同じように、被処理材の表面にニッケルめっきを施した。この結果を表１に示す。
【００４４】
［実施例５］
実施例１と同じようにして、被処理材の表面にオゾン水処理を行った。実施例１と相違する点は、高分子材に、気孔率７０体積％、平均気孔径１８０μｍ、伸び率１８０％、５０％圧縮硬さ１．２ｋｇｆ／ｃｍ２のポリエチレン発泡材（発泡樹脂）を用いた点である。そして、実施例１と同じように、被処理材の表面にニッケルめっきを施した。この結果を表１に示す。
【００４５】
［比較例１］
図４に示す装置を用いて、実施例１と同じ被処理材のオゾン水処理を行った。具体的には、６０ｐｐｍ、３０℃のオゾン水を貯蔵した水槽内に実施例１と同じ被処理材を１分間浸漬した。その後、処理後の被処理材を２分間純水で洗浄した。そして、実施例１と同じように、被処理材の表面にニッケルめっきを施した。この結果を表１に示す。
【００４６】
［比較例２］
図５に示す装置を用いて、実施例１と同じ被処理材のオゾン水処理を行った。具体的には、６０ｐｐｍ、３０℃のオゾン水を１分間被処理材に噴霧した。そして、実施例１と同じように、被処理材の表面にニッケルめっきを施した。この結果を表１に示す。
【００４７】
［比較例３］
比較例２と同じようにして、オゾン水処理を行った。比較例２と相違する点は、被処理材に噴霧する時間を８分間にした点である。そして、実施例１と同じようにして、被処理材の表面にニッケルめっきを施した。この結果を表１に示す。
【００４８】
［結果及び考察］
実施例１〜３の被処理材には均一にニッケル皮膜が形成されていた。実施例４及び５は、オゾン水処理を行った表面が均一ではなかったため（表面改質がまだら状に施されたため）、めっきに斑点模様があったものの、ニッケル皮膜が形成されていた。これは、オゾン水処理された表面に、ニッケルめっきが析出したからであると考えられる。
【００４９】
なお、実施例４の場合には、高分子材の気孔率が６０体積％範囲未満であるので、高分子材に接触する被処理材の面積が増え、浸透したオゾン水に接触する被処理材の面積が減るので、処理ムラが発生したと考えられる。また、実施例５の場合には、高分子材の平均気孔径が１００μｍよりも大きいため、気孔数が少なくなり、気孔同士の間隔が大きくなり、処理ムラが発生したと考えられる。このことから、高分子材は、気孔率が６０体積％以上であり、かつ、平均気孔径が１００μｍ以下の材料からなることがより好ましいといえる。
【００５０】
また、比較例１〜３は、実施例１〜５に比べて、被処理材の表面のオゾン水処理が充分になされていない。比較例１，２の場合には、メッキが析出しなかったことから、処理時間が短いため表面のオゾン水処理が充分出なかったと考えられる。また、比較例３の場合には、被処理材の凹部のエッジ部にメッキが未着であったことから、被処理材の表面の細部までオゾン水を充分に噴霧できなかったと考えられる。また、比較例１〜３が、実施例１に比べて、処理後のオゾン濃度が低かったのは、揮発又は自己分解したオゾンの割合が多いためであると考えられる。このことから、実施例１〜５は、比較例１〜３に比べて、短時間でオゾン水処理が可能であり、オゾン水処理の効率が高いといえる。
【００５１】
以上、本発明の実施の形態を図面を用いて詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更があっても、それらは本発明に含まれるものである。
【００５２】
例えば、本実施形態では、分割枠体として２つの分割枠体としたが、高分子材を配置し、被処理材を把持するように収容筐体を形成することができるのであれば、その分割数は特に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本実施形態に係るオゾン水処理装置の要部であるオゾン水処理部を示した模式図であり、（ａ）は、被処理材の収容前のオゾン水処理部の模式図であり、（ｂ）は、被処理材の収容後のオゾン水処理部の模式図。
【図２】図１に示すオゾン水処理部を用いたオゾン水処理方法を説明するための図であり、（ａ）は、被処理材を冶具に取付ける工程を示した図であり、（ｂ）は、被処理材を収容筐体の内部に収容する工程を示した図であり、（ｃ）は、被処理材の表面にオゾン水を接触させる工程を示した図であり、（ｄ）は、被処理材の洗浄工程を示した図。
【図３】従来のオゾン水処理装置の全体構成図。
【図４】図３に示すオゾン水処理装置のオゾン水処理槽の模式図。
【図５】従来の吹き付けタイプのオゾン水処理装置を説明するための図。
【符号の説明】
【００５４】
１０：オゾン水処理部、１１：収容筐体、１１ａ，１１ｂ：分割枠体、１２高分子材、１３：パッキン、１４：冶具、１５取付け部、１６ａ，１６ｂ：配管、ＯＷ：オゾン水、Ｓ：内部空間、Ｗ：被処理材、Ｗａ：純水、７１：オゾンガス生成装置、７２：吸収塔、７３：放散塔、７４：廃液タンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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