(57)【要約】      （修正有）【課題】ソフト層を有するディスクリート型垂直磁気記録媒体においてソフト層に生ずる磁区によるノイズを効果的に抑制をなし得る記録媒体を提供する。【解決手段】記録媒体が第１上部層４、第１下部層２および両層を反強磁性的に結合する第１中間層３を有し、第１下部層は第１上部層より保磁力が低い第２上部層２−３および第２下部層２−１と両層を反強磁性的に結合する第２中間層２−２とを有する。情報が記録される第１のトラック領域と、前記第１のトラック領域に隣接する第２のトラック領域との間の領域において、前記第１の上部層４が除去されている。【選択図】図５
2009277299.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の上部層と、
前記第１の上部層の下部に設けられた第１の下部層と、
前記第１の上部層と前記第１の下部層との間に設けられ、前記第１の上部層と前記第１の下部層とを磁気的に結合させる第１の中間層と
を有し、
前記第１の下部層は、第２の上部層と、
前記第２の上部層の下部に設けられた第２の中間層と、
前記第２の中間層の下部に設けられた第２の下部層と
を有し、       
前記第１の上部層の保磁力は前記第２の上部層および第２の下部層の各々よりも高く、
前記第２の上部層と前記第２の下部層とが前記第２の中間層を介して反強磁性的に結合されていることを特徴とする
磁気記録媒体。
【請求項２】
情報が記録される第１のトラック領域と、前記第１のトラック領域に隣接する第２のトラック領域との間の領域において、前記第１の上部層が除去されていることを特徴とする
請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項３】
情報が記録される第１のトラック領域と、前記第１のトラック領域に隣接する第２のトラック領域との間の領域において、前記第１の上部層に代えて非磁性材料が設けられたことを特徴とする
請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項４】
情報が記録される第１のトラック領域と、前記第１のトラック領域に隣接する第２のトラック領域との間の領域において、前記第１の上部層に代えて保護層が設けられ、前記保護層は更に前記第１のトラック領域および第２のトラック領域においては前記第１の上部層の上部に設けられることを特徴とする
請求項１に記載の磁気記録媒体。
【請求項５】
前記第２の上部層および第２の下部層の保磁力が前記第１の上部層の保磁力の１／３以下であることを特徴とする請求項１乃至４のうちの何れかに一項に記載の磁気記録媒体。
【請求項６】
前記請求項１乃至５のうちの何れか一項に記載の磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体に対し磁気的に情報を記録しあるいは前記磁気記録媒体に記録された情報を磁気的に再生する磁気ヘッドと
を有する磁気記憶装置。
【請求項７】
第２の下部層と、前記第２の下部層の上部に設けられる第２の中間層と、前記第２の中間層の上部に設けられる第２の上部層と
を順次積層して第１の下部層を形成するステップと
前記第１の下部層と、前記第１の下部層の上部に設けられる第１の中間層と、前記第１の中間層の上部に設けられる第１の上部層とを順次積層するステップとを有し、
前記第１の中間層は、前記第１の上部層と前記第１の下部層との間に設けられ、前記第１の上部層と前記第１の下部層とを磁気的に結合させる構成とされ、
前記第１の下部層は、前記第２の上部層および第２の下部層の各々の保磁力が前記第１の上部層の保磁力よりも低く、前記第２の上部層と前記第２の下部層とが前記第２の中間層を介して反強磁性的に結合される
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項８】
情報が記録される第１のトラック領域と、前記第１のトラック領域に隣接する第２のトラック領域との間の領域において、前記第１の上部層を除去するステップを有することを特徴とする
請求項７に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項９】
情報が記録される第１のトラック領域と、前記第１のトラック領域に隣接する第２のトラック領域との間の領域において、前記第１の上部層に代えて非磁性材料を設けるステップを有することを特徴とする
請求項７に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１０】
情報が記録される第１のトラック領域と、前記第１のトラック領域に隣接する第２のトラック領域との間の領域において、前記第１の上部層に代えて保護層を設け、前記第１のトラック領域および第２のトラック領域においては前記第１の上部層の上部に前記保護層を設けるステップを有することを特徴とする
請求項７に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気記録媒体、磁気記憶装置および磁気記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばコンピュータ等の外部情報記録装置として広く用いられているハードディスク装置の磁気記録媒体としていわゆるディスクリート・トラック方式のものが提案されている。同方式の磁気記録媒体の構成によれば、当該磁気記録媒体から生ずるノイズを低減することができる。
【０００３】
ハードディスク装置においては、記録再生用の磁気ヘッド（以下単に磁気ヘッドと称する）により磁気記録媒体に形成された同心円状のトラック上に情報を磁気的に書き込む。ここでデータトラックの幅が極めて微小になった場合磁気ヘッドからの漏れ磁場により隣接するデータトラックの記録情報が消去され、あるいは同情報から得られる信号劣化を引き起こす場合が想定される。またこのような磁気記録媒体から信号を読み出す過程においては、隣接するデータトラックからの漏れ磁場がノイズとして検出され、読み取りのエラーを生じる場合が想定される。
【０００４】
このようにハードディスク装置では、記録密度を増大させるためデータトラック幅を狭小化する必要があるが、その結果いわゆるトラッククロストークの問題が顕在化する事態が想定される。
【０００５】
このような問題を解決する方法として上記ディスクリート・トラック方式による磁気記録媒体が提案されている。同方式によれば、それぞれ隣接するデータトラックの間にガードトラックを設けることで隣接するトラック間のトラッククロストークを低減することを図る。
【特許文献１】特開平２００３−１６６２１号公報
【特許文献２】特開昭６２−２３９３１４号公報
【特許文献３】特開２００２−２０３３０６号公報
【特許文献４】特許第３４２１６３２号
【非特許文献１】東北大学、高橋研究室ホームページ（http://www.takahashi.ecei.tohoku.ac.jp/docs/research/perp.htm）
【非特許文献２】雑誌「富士通」、２００７年１月号第５３乃至６０頁「超高密度垂直磁気記録技術」
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
磁気記録媒体において生ずるノイズを効果的に低減し得る構成の磁気記録媒体、同磁気記録媒体を使用した磁気記憶装置および同磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
磁気記録媒体は第１の上部層と、第１の上部層の下部に設けられた第１の下部層と、第１の上部層と第１の下部層との間に設けられ、第１の上部層と第１の下部層とを磁気的に結合させる第１の中間層とを有する。ここで第１の下部層は、第２の上部層と、第２の上部層の下部に設けられた第２の中間層と、第２の中間層の下部に設けられた第２の下部層とを有する。また第１の上部層の保磁力は第２の上部層および第２の下部層の各々の保持力より高い。更に第２の上部層と第２の下部層とが第２の中間層を介して反強磁性的に結合される。
【０００８】
このように第１の下部層において第２の上部層と第２の下部層とが第２の中間層を介して反強磁性的に結合される。その結果当該第１の下部層における磁区の発生が効果的に抑制され、当該磁気記録媒体を使用した磁気記憶装置からＳ／Ｎが良好な信号を得ることが可能となる。
【発明の効果】
【０００９】
上記磁気記録媒体によれば、いわゆるＥＣＣ（Ｅｘｃｈａｎｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｃｏｍｏｓｉｔｅ、以下同様）方式の磁気記録媒体の構成に対しディスクリート・トラック方式を適用した場合でもＳ／Ｎの良好な信号を得ることが可能な磁気記録媒体を提供し得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に実施例の構成を詳細に説明する。
【００１１】
図１は実施例の磁気記録媒体の一部分の構成を示す断面図である。同図に示す如く、実施例の磁気記録媒体は、下部軟磁性層１，その上部に設けられた記録層５および更にその上部に設けられた保護層６を含む積層構造を有する。この磁気記録媒体は垂直磁気記録媒体であり、図１に示す如く、ディスクリート・トラック方式が適用されている。すなわち、記録トラックＤＴ間にガードトラックＧＴを設けた構成とされる。
【００１２】
ここで上記したＥＣＣ方式の垂直磁気記録媒体は、保磁力の異なる２つの磁性層（ハード層とソフト層）とこれらを結合する交換結合制御層とからなる記録層を有する。保磁力の低いソフト層では記録ヘッドからの磁場で容易に磁化方向が反転し、その磁化回転が交換結合制御層を介して保磁力の高いハード層に伝わり、ハード層は比較的容易に磁化回転する。この構成により熱的安定性を確保しつつ記録磁界を低減し、サイドイレースを抑制することが可能となる。
【００１３】
上記の如く記録トラックＤＴ間にガードトラックＧＴを設ける構造を実現するためには、ガードトラックＧＴの部分において記録層５の少なくとも一部分を除去する必要がある。ここで当該磁気記録媒体はハードディスク装置において用いられるものであるが、ハードディスク装置のような磁気ディスク装置ではいわゆる浮上型の磁気ヘッドを用いる。上記の如くガードトラックＧＴを設けるために記録層５の少なくとも一部分を除去した場合、当該磁気記憶媒体の表面においてガードトラックＧＴの部分が溝状にくぼんでしまう。このように磁気記録媒体の表面にくぼんだ箇所が存在すると、それによって磁気ヘッドの浮上特性が乱されることが想定される。またこのくぼんだ箇所に微細な塵埃がトラップされ磁気ヘッドに衝突するなどの問題も想定される。
【００１４】
このような問題を解決するための方策として、ガードトラックＧＴの部分を平坦化することが考えられる。具体的にはアルミナなどの非磁性材料でくぼんだ箇所を埋め込むことで平坦化することが考えられるが、その場合磁気記録媒体の製造工程が複雑化することが考えられる。ここで浮上型の磁気ヘッドを用いた場合磁気記録媒体の浮上隙間は１０ｎｍ以下とされているが、ナノメートルのオーダーで凹凸をなくす（平坦化する）ことは、技術的にも極めて難しく複雑なプロセスが要されるものと考えられる。
【００１５】
実施例ではこの問題を解決する構成を有する。すなわち図１に示される如く、上記記録層５を上層の上部ハード層４、中間の交換結合制御層３、下層の下部ソフト層２で形成する。そしてガードトラックＧＴの部分において、この上部ハード層４のみをイオンミル等で削除する。ここで、ガードトラックＧＴの部分を形成するために上記の如く上部ハード層４のみを除去した場合、結果的にガードトラックＧＴの部分に残された下部ソフト層２が磁気的に不安定な状態になると考えられる。その結果下部ソフト層２において磁区が生じ、その結果当該磁気記録媒体からの記録情報の読み取り時、磁気ヘッドにノイズが侵入することが想定される。そのような場合、当該ノイズにより、磁気ヘッドによって読み取られた情報に誤りが混入する可能性が生ずる。
【００１６】
このように実施例では、ハードディスク装置における磁気記録媒体として、上記の如く、上部ハード層４、交換結合制御層３、下部ソフト層２から構成されるいわゆる複合型の記録層５を設ける。そして更に、下部ソフト層２が、図５とともに後述するように、下部ソフト層２中の交換結合制御層２―２と、これをはさむ２層のソフト層２−１，２−３を有する。ここでこれら２層のソフト層、すなわち下部ソフト層２中の下部ソフト層２−１および下部ソフト層２中の上部ソフト層２―２は、各々軟磁性層で形成される。このような構成において、交換結合制御層２―２の膜厚を調整することで下部ソフト層２中の下部ソフト層２−１および上部ソフト層２―２が相互に反強磁性に結合される。
【００１７】
またこの実施例では、図１に示される如く、ガードトラックＧＴの部分が上部ハード層４を有さず、交換結合層３と下部ソフト層２のみで構成される。すなわち、図１において、記録トラックＤＴの部分は上から保護層６，上部ハード層４、交換結合制御層３，下部ソフト層２および下部軟磁性層１の積層構造を有する。これに対しガードトラックＧＴの部分では上部ハード層４が当該磁気記録媒体の製造工程において除去される。その結果ガードトラックＧＴの部分は、上から保護層６，交換結合制御層３，下部ソフト層２および下部軟磁性層１の積層構造を有する。なおガードトラックＧＴの部分中、上記の如く上部ハード層４が除去された部分には、ＳｉＯ２やＡｌ２Ｏ３などの非磁性材料の層９が設けられる（図２に示す実施例１の場合）か、あるいは直接保護層６が設けられる（図７に示す実施例２の場合）構成とすることが可能である。
【００１８】
実施例では、上記の如く記録トラックＤＴにはさまれたガードトラックＧＴの部分の上部ハード層４を除去する場合、イオンミリング法等による真空プロセスで上部ハード層４を除去することが可能である。そしてこのように上部ハード層４が除去された部分に対し、上記の如く非磁性材料を充填して平坦化する（実施例１）ことが可能である。
【００１９】
また実施例では、上記の如くガードトラックＧＴの部分の上部ハード層４をイオンミリング法等による真空プロセスで除去する場合、当該除去後に平坦化の処理を行わず、直接オーバーコート膜（すなわち保護層６、以下同様）を形成してもよい（実施例２）。
【００２０】
また実施例では、上記の如く、最上部にオーバーコート膜（すなわち保護層６）を形成することが可能である。
【００２１】
また実施例では、上記下部ソフト層２中のソフト層２−１，２―３の保磁力を上部ハード層４の保磁力の１／３（あるいは１／３以下）にすることが可能である。
【００２２】
また他の実施例として、上記の構成を有する磁気記録媒体を用いた磁気ディスク装置を形成することも可能である。
【００２３】
以下に実施例によるハードディスク装置用の磁気記録媒体の構成につき詳細に説明する。
【００２４】
ここでハードディスク装置における記録方式は垂直磁気記録方式が一般的となっている。また近年、上記ＥＣＣ方式の磁気記録媒体が開発されている。実施例ではこのＥＣＣ方式の基本概念に基づき、その上層に保持力の大きい記録層（すなわち上部ハード層４）を設け下層に比較的保磁力の低い層（すなわち下部ソフト層２）を設ける。そしてこれら上部ハード層４及び下部ソフト層２とが、Ｒｕ等の導電性薄膜の構成を有する交換結合制御層３で結合される。交換結合制御層３としての導電性薄膜の膜厚を調整することにより、上部カード層４と下部ソフト層２とが適度に磁気結合させる。その結果、低い記録磁界で情報が記録可能な優れた磁気記録媒体が得られる。
【００２５】
実施例は、簡単なプロセスで製造でき、製造性が良くかつ低コストのディスクリート・トラック方式の磁気記録媒体の新しい構造およびその製造方法に係る。
【００２６】
すなわち実施例による磁気記録媒体はディスクリート・トラック方式（データトラック分離方式ともいう。以下同様）のハードディスク装置用の磁気記録媒体であり、上部ハード層４および下部ソフト層２と、これらに挟まれた、Ｒｕ等の導電性薄膜の構成を有する交換結合制御層３で構成された記録層５を有する。また図５に示される如く、下部ソフト層２が更に、交換結合制御層２−２と、これをはさむ下部ソフト層２−１および上部ソフト層２−３により形成される。この下部ソフト層２では、その交換結合制御層２―２の膜厚の最適化を行うことにより、下部ソフト層２−１と上部ソフト層２−３とを、相互に反強磁性的に結合させる。このように下部ソフト層２−１および上部ソフト層２−３の磁化が互いに反対方向に結合されることにより、当該下部ソフト層２を有する記録層５中、下部ソフト層２からの磁区の発生を抑圧し得る。その結果記録層５の下部ソフト層２からのノイズの発生を低減することが可能となり、Ｓ／Ｎの良い信号を得ることが出来るハードディスク装置用の磁気記録媒体を提供し得る。
【００２７】
また図２とともに後述するように、このような構成の複合型の記録層５において、図２（ｇ）に示される如く、記録トラックＤＴに挟まれたガードトラックＧＴの部分が上部ハード層４を有さず、下部ソフト層２および交換結合制御層３のみの構成とすることが可能である。ここで当該下部ソフト層２は上記の如く、交換結合制御層２−２とこれをはさむ上下２層の軟磁性層、すなわち下部ソフト層２−１および上部ソフト層２−３により形成されている。そしてこの交換結合制御層２―２の膜厚の最適化により下部ソフト層２−１および上部ソフト層２−３が相互に反強磁性的に結合される。
【００２８】
この構成によるハードディスク装置用の磁気記録媒体では上記の如く上部ハード層４、交換結合制御層３および下部ソフト層２から構成される複合型の記録層５において、図２（ｇ）に示される如く、ガードトラックＧＴの部分が上部ハード層４を有さない。このようにガードトラックＧＴの部分が信号を記録するハード層４を有さないため、隣接トラッック間のクロストークが効果的に低減され得る。
【００２９】
ここで図２（ｇ）に示される如く上記ガードトラックＧＴの部分は上部ハード層４を有さず、交換結合制御層３および下部ソフト層２のみで構成されている。このため図３，４とともに後述するように、磁区が形成されやすくなりノイズの発生が想定される。この問題の解決のため実施例では上記の如く、下部ソフト層２を、図５に示される如く、交換結合制御層２−２とこれをはさむ下部ソフト層２−１および上部ソフト層２−３で形成する。ここでは交換結合制御層２−２の膜厚を最適化することで下部ソフト層２−１および上部ソフト層２−３を相互に反強磁性的に結合をさせる。このような下部ソフト層２の構成を以下交換結合型ソフト層構成と称する。このような交換結合型ソフト層構成の導入により、ガードトラックＧＴの部分において下部ソフト層２からのノイズの発生を大幅に低減させることができる。その結果Ｓ／Ｎの良い信号を得ることが可能なディスクリート・トラック型ハードディスク装置用の磁気記録媒体を提供し得る。
【００３０】
またこのような構成の複合型の記録層５において、記録トラックＤＴに挟まれたガードトラックＧＴの部分の上部ハード層４を図２（ｃ）に示される如くイオンミリング等のプロセスで削除し、図２（ｅ）に示される如く非磁性材料９を充填し、図２（ｆ）に示される如く平坦化することができる（実施例１）。ここで上部ハード層４と下部ソフト層２との間の交換結合制御層３としては、Ｒｕ等の導電性薄膜を用いることができる。上記の如くガードトラックＧＴの部分において上部ハード層４を削除する際、上部ハード層４をエッチングし、更に交換結合制御層３としてのＲｕ層の部分が若干残るまでエッチングしても差し支えない。更に上記の如く、図２（ｅ）、（ｆ）に示されるように、このようにしてエッチングにより除去された部分をＳｉＯ２やＡｌ２Ｏ３などの非磁性材料の層９で埋め込んだ上で表面を平坦化することができる（実施例１）。
【００３１】
この構成によるディスクリート・トラック方式のハードディスク装置用の磁気記録媒体は上記の如く、図２（ｇ）に示されるような、上部・下部の２層の記録層２，４と、これらに挟まれた導電体からなる交換結合制御層３とで構成された記録層５を有する。ここでは図２（ｃ）に示される如く、上層の上部ハード層４（５〜１０ｎｍ）のみをエッチングで除去する。ここで記録トラックＤＴを分離するためのガードトラックＧＴの部分のグルーブの部分を形成するために上層の上部ソフト層４だけをエッチングで除去する際、交換結合制御層３としてのＲｕ層をエッチストップとして使用可能である。その場合製造プロセスの容易化が図れる。
【００３２】
また図２の構成では、ガードトラックＧＴの部分において上部ハード層４が除去される結果、記録トラックＤＴの部分との間に段差が生じる。図２の構成では上記の如くＳｉＯ２やＡｌ２Ｏ３などの非磁性材料の層９で埋めた上で、図２（ｆ）に示される如く、表面を平坦化する。その結果表面の平坦度が高い磁気記録媒体を提供し得、磁気ヘッドの浮上特性が良好となる。その結果信頼性の高いハードディスク装置を実現できる。また図２の構成の場合、上記の如くガードトラックＧＴの部分において上部ハード層４を除去する際のエッチングの量は極めて少なく、またその後非磁性材料の層９で埋め込む場合の埋め込み量も極めて少量ですむ。
【００３３】
またこのような構成の複合型の記録層５において、図７とともに後述する実施例２の場合のように、記録トラックＤＴに挟まれたガードトラックＧＴの部分において図７（ｃ）に示される如く上部ハード層４をイオンミリング法等による真空プロセスで削除した後、図７（ｅ）に示される如く、平坦化せずに直接にオーバーコート膜（すなわち保護層６）を形成することも可能である。上部ハード層４は磁気記録媒体の記録密度の増大を図るために薄膜化する必要があり、具体的には５〜１０ｎｍ程度とされる。上記図７（ｅ）に示されるような構成では当該上部ハード層４の有無に起因する段差が生ずるが、上記の如く上部ハード層４が薄膜化されることにより当該段差が緩和される。実施例２による磁気記録媒体の場合、上記段差は磁気ヘッドの浮上量を考慮すると許容可能な程度に収まるものと考えられる。
【００３４】
このように図７の構成では上部ハード層４の除去後に非磁性材料の層を充填せずに直接最上部にオーバーコート層（すなわち保護層、以下同様）６を形成することで実用性の高い磁気記録媒体を提供し得る。すなわちガードトラックＧＴの部分の段差を非磁性材料の層で埋めるプロセスおよびその後表面を平坦化するプロセスを省略し得るため、きわめて製造性の高いディスクリート・トラック型ハードディスク装置用の磁気記録媒体を実現できる。
【００３５】
上記各構成の磁気記録媒体における下部ソフト層２は、上部ハード層４に比べその保磁力が低減され、具体的には例えば下部ソフト層２の保磁力を上部ハード層４の保磁力の1／３以下にすることができる。
【００３６】
以下に図１，図２とともに、実施例１のディスクリート・トラック型ハードディスク装置用の磁気記録媒体の製造方法について説明する。
【００３７】
ここで磁気記録媒体をそのトラックに直交する断面で見た状態を示す図１に示されるように、ディスクリート・トラック型ハードディスク装置用の磁気記録媒体では記録層５がデータトラックＤＴ毎にガードトラックＧＴで分断される。このようなディスクリート・トラック型ハードディスク装置用の磁気記録媒体を工業的に製造するために、例えばナノインプリントと呼ばれる技術を用いることができる。具体的には、まず下部軟磁性層１と、下部ソフト層２、交換結合制御層３および上部ハード層４が積層された記録層５とが積層された媒体を製造する。ここで当該媒体は、別途製造方法を後述する記録層５の製造を除き、周知の方法にて製造し得る。次にこのようにして製造された媒体にレジン層７を塗布する。そしてこのようにしてレジン層７が塗布された媒体に対し、図２（ａ）に示される如く、所望のガードトラックＧＴの形状を模したモールド８を使用して加圧する。このようにして、媒体上に塗布されたレジン層７のガードトラックＧＴの部分に相当する部分にくぼみを形成する。
【００３８】
次に図２（ｂ）、（ｃ）に示される如く、このレジン層７をマスクとして、イオンミリング法等による真空プロセスで上部ハード層４を除去する。さらに図２（ｄ）に示される如く、反応性イオンミリング法等により、残ったレジン層７を除去する。さらにこの上から、ＳｉＯ２やＡｌ２Ｏ３などの非磁性材料の層９を、スパッタ法等で生成する（図２（ｅ））。さらにイオンミリング法等による真空プロセスを使用し、表面を平坦化する（図２（ｆ））。さらに、最上部にＤＬＣ（ダイヤモンドライク・カーボン、以下同様）等で形成された、硬くて薄い層であるオーバーコート層６を形成する（図２（ｇ））。
【００３９】
上記実施例１における記録層５では、上層の保持力の大きい記録層（上部ハード層）４と、下層の比較的保磁力の低い層（下部ソフト層）５とが、Ｒｕ等の導電性薄膜（交換結合制御層）３で結合される。更に上記の如く、図５に示されるように、下層の下部ソフト層２が更に、交換結合制御層２―２とこれをはさむ下部ソフト層２―１および上部祖仏層２−３により形成される。そしてこの交換結合制御層２―２の膜厚を調整することにより、これら下部ソフト層２―１および上部祖仏層２−３を反強磁性結合させる。すなわち記録層５の下部ソフト層２が上記交換結合型ソフト層構成を有する。
【００４０】
ここで記録層５の下部ソフト層２が単純な軟磁性層の構成であった場合、図３に示される如く、上部ハード層４が除去されたガードトラックＧＴの部分において磁区が発生し（図４において断面図を示す）、これが磁気ヘッドに対するノイズの発生源となり得る。実施例１によれば上記の如く記録層５の下部ソフト層２が交換結合型ソフト層構成を有する。その結果図６に示される如く、その交換結合制御層２−２の作用により、下部ソフト層２−１および上部ソフト層２―３が互いに逆方向に磁化されて反強磁性磁性結合する。その結果記録層５の下部ソフト層２における磁区の発生が抑圧される。
【００４１】
すなわち上記の如く、実施例１によるディスクリート・トラック方式のハードディスク装置用の磁気記録媒体では、ガードトラックＧＴの構成を得るため、記録層５の上部ハード層４をガードトラックＧＴの部分につき除去する（図２（ｃ））。この工程では上層の上部ハード層４のみをエッチングで除去し、さらに反応性イオンミリング法等で残ったレジン層７を除去する（図２（ｄ））。その後ＳｉＯ２やＡｌ２Ｏ３などの非磁性材料の層９をスパッタにより生成する（図２（ｅ））。このようにして上記の如く上部ハード層４がガードトラックＧＴの部分につき除去されて形成された溝（グルーブ）が埋められる。さらにイオンミリング法等による真空プロセスによって表面が平坦化される（図２（ｆ））。さらに最上部にＤＬＣ（ダイヤモンドライク・カーボン）等の硬くて薄い層でオーバーコート層６が形成される。
【００４２】
次に実施例２の磁気記録媒体の製造方法につき図７とともに説明する。図７中、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の各工程は、実施例１の磁気記録媒体の製造方法を説明する図２における（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の各工程と同様の構成を有するため、適宜重複する説明を省略する。
【００４３】
実施例２によるディスクリート・トラック方式のハードディスク装置用の磁気記録媒体では、ガードトラックＧＴの構成を得るために記録層５の上部ハード層４をガードトラックＧＴの部分につき除去する工程を以下に述べる。この工程において、実施例１の場合同様、５〜１０ｎｍという薄い上層の上部ハード層４のみをエッチングし、さらに反応性イオンミリング法等で残ったレジン層７を除去する（図７（ｃ）、（ｄ））。実施例２の磁気記録媒体の製造方法は、その後にＳｉＯ２やＡｌ２Ｏ３などの非磁性材料の層９をスパッタで生成して溝を埋め込む一連の工程を含まない。すなわち実施例２の磁気記録媒体の製造方法では、その後直接最上部にＤＬＣ（ダイヤモンドライク・カーボン）等による、硬くて薄いオーバーコート層６を形成する（図７（ｅ））。実施例２の磁気記録媒体の製造方法ではまた、イオンミリング法等による真空プロセスで表面を平坦化する工程も省略し得る。その結果実用的なディスクリート・トラック型ハードディスク装置用の磁気記録媒体の製造方法を提供し得る。
【００４４】
以下に上記実施例１あるいは実施例２による磁気記録媒体における記録層５の製造方法の説明を行う。
【００４５】
記録層５を構成するソフト層、すなわち下部ソフト層２に含まれる下部ソフト層２−１および上部ソフト層２−３としては、パーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ）等の膜を用いることも出来る。あるいは当該記録層５から得られる信号のＳＮを向上するため、コバルト−クロム（Ｃｏ−Ｃｒ）系の低保磁力合金とＳｉＯ２やＴｉＯ２等の非磁性材料とを同時にスパッタしてこれらを形成することも可能である。すなわち下部ソフト層２に含まれる下部ソフト層２−１および上部ソフト層２−３として、いわゆるグラニュラー薄膜が推奨される。
【００４６】
また記録層５の交換結合制御層３あるいは記録層５の下部ソフト層２中の交換結合制御層２−２は、Ｒｕ等の導電性膜を１ｎｍ程度の厚さで製膜することで生成することができる。この場合の膜厚の制御により、記録層５の交換結合制御層３の場合には、これを挟む下部ソフト層２および上部ハード層４の間の交換結合の強さが最適化される。同様に下部ソフト層２の交換結合制御層２−２の場合には、その膜厚の制御により、これを挟む下部ソフト層２―１および上部ソフト層２−３の間の交換結合の強さが最適化される。この膜厚は、交換結合制御層の材料によって異なる値を最適値とすることが可能である。
【００４７】
また上部ハード層４も、例えば、上記下部ソフト層２−１および上部ソフト層２−３と同様にコバルト−クロム（Ｃｏ−Ｃｒ）系の材料で形成することができる。特に上部ハード層４は、高保磁力が得られる合金組成の材料とＳｉＯ２やＴｉＯ２等の非磁性材料とを同時にスパッタすることで生成される、いわゆるグラニュラー薄膜で形成することができる。
【００４８】
次に上記実施例１あるいは実施例２による磁気記録媒体における最上層のオーバーコート層６の製造方法の説明を行う。
【００４９】
オーバーコート層６は完成された磁気記録媒体を傷や腐食から保護するためのものであり、ＤＬＣ膜と称されるダイヤモンド結合を有するカーボンで形成することができる。オーバーコート層６はスパッタリング等で生成することが可能である。またこれに代えてＲＦバイアスＥＣＲプラズマＣＶＤ法により原料ガスにエチレンを使用して生成することもできる。このＲＦバイアスＥＣＲプラズマＣＶＤ法によれば、硬度，耐磨耗性，耐腐食性，耐電圧特性，耐絶縁性および化学的安定性などに優れた性質を持つオーバーコート層を生成可能である。
【００５０】
次に上記実施例１あるいは実施例２による磁気記録媒体を使用した磁気記憶装置（すなわちハードディスク装置、以下同様）の実施例（すなわち実施例３）を図８及び図９と共に説明する。図８は、実施例３による磁気記憶装置の要部を示す断面図であり、図９は、実施例３による磁気記憶装置の要部を示す平面図である。
【００５１】
図８及び図９に示すように、磁気記憶装置では、ハウジング１３内に、モータ１４、ハブ１５、複数の磁気記録媒体１６、複数の磁気ヘッド１７、複数のサスペンション１８、複数のアーム１９及びアクチュエータユニット２０が設けられている。磁気記録媒体１６は、モータ１４により回転されるハブ１５に取り付けられている。磁気ヘッド１７は、ＭＲヘッドやＧＭＲヘッド等の再生ヘッドと、インダクティブヘッド等の記録ヘッドとからなる。各磁気ヘッド１７は、対応するアーム１９の先端にサスペンション１８を介して取り付けられている。アーム１９はアクチュエータユニット２０により駆動される。この磁気記憶装置の基本構成自体は周知であり、その詳細な説明は省略する。
【００５２】
実施例３による磁気記憶装置はその磁気記録媒体１６に特徴を有する。各磁気記録媒体１６は図１乃至７と共に説明した上記実施例１あるいは実施例２の磁気記録媒体の構造を有する。ここで磁気記録媒体１６の数は図８に示した３枚の場合に限定されず、１枚でも、２枚又は４枚以上であっても良い。
【００５３】
また磁気記憶装置の基本構成は、図８及び図９に示すものに限定されるものではない。又、磁気記録媒体は磁気ディスクに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】実施例１の磁気記録媒体の断面図である。
【図２】実施例１の磁気記録媒体の製造方法を説明するための図である。
【図３】ガードトラックにおける磁区の発生について説明するための図（その１）である。
【図４】ガードトラックにおける磁区の発生について説明するための図（その２）である。
【図５】実施例１の磁気記録媒体における記録層の構成を説明するための断面図である。
【図６】実施例１を適用した場合のガードトラックにおける磁区の発生について説明するための図である。
【図７】実施例２の磁気記録媒体の製造方法を説明するための図である。
【図８】実施例３の磁気記憶装置を説明するための断面図である。
【図９】実施例３の磁気記憶装置を説明するための平面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  下部軟磁性層
２  下部ソフト層（第１の下部層）
２−１  （下部ソフト層２中の）下部ソフト層（第２の下部層）
２−２  （下部ソフト層２中の）交換結合制御層（第２の中間層）
２−３  （下部ソフト層２中の）上部ソフト層（第２の上部層）
３  交換結合制御層（第１の中間層）
４  上部ハード層（第１の上部層）
５  記録層
６  保護層（オーバーコート層）
ＤＴ  データトラック
ＧＴ  ガードトラック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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