(57)【要約】【課題】光ディスクなどの円盤状ディスクの検査を容易に複数回実行することができるディスクの検査装置を提供する。【解決手段】円盤状ディスクＨの中央に設けられた中心孔ＣＨをスピンドル１１上部のディスク吸着固定面１２に設けられたテーパードコーン１３に嵌合してディスクを検査する装置であって、垂直に立設されたシャフト２６と、シャフトに上下動自在に取り付けられディスクをテーパードコーン上に搬送・投入するディスクローダー２０と、テーパードコーンに嵌合してディスク吸着固定面に固着されたディスクの下面を吸着固定するエアー吸着部１８と、を有する。【選択図】 図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに嵌合してディスクを検査する装置であって、
垂直に立設されたシャフトと、
該シャフトに上下動自在に取り付けられディスクを該テーパードコーン上に搬送・投入するディスクローダーと、
該テーパードコーンに嵌合して該ディスク吸着固定面に固着されたディスクの下面を吸着固定するエアー吸着部と、を有することを特徴とするディスク検査装置。
【請求項２】
前記テーパードコーンに搬送・投入されたディスクの上面に圧縮エアーを噴射して、ディスクの中心孔を前記テーパードコーンに嵌合させるエアー噴射手段を設けたことを特徴とする請求項１のディスク検査装置。
【請求項３】
前記ディスクローダーの基端に連接して、ディスクローダーを水平方向に回動させる回動軸が設けられ、該回動軸を介して該ディスクローダーが上下動自在に前記シャフト取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２のディスク検査装置。
【請求項４】
ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに嵌合してディスクを検査するディスク検査方法であって、
前回検査したディスクを、該ディスクの嵌合を一旦解除しスピンドルを回転させディスクとの相対的嵌合位置を変えた状態で、再度ディスクの中心孔をテーパードコーンに嵌合させ、ディスクの検査開始位置を前回と異なる位置とし、その異なる位置を検査開始位置としてさらにディスクの検査を実行し、同一ディスクに対して複数回の検査をすることを特徴とするディスク検査方法。
【請求項５】
ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに嵌合してディスクを検査するディスク検査方法であって、
シャフトに上下動自在に取り付けられたディスクローダーによってディスクを該テーパードコーン上に搬送・投入し、該ディスク吸着固定面に固着されたディスクの下面をエアー吸着部によってディスクをディスク吸着固定面に吸着固定するとともに該中心孔を該テーパードコーンに嵌合させ、ディスクの検査を実行し、該ディスクをディスクローダーによって持ち上げてテーパードコーンとの嵌合を一旦解除し、スピンドルを回転させ、ディスクとの相対的嵌合位置を変えた状態で、ディスクローダーを下降させて再度ディスクの中心孔をテーパードコーンに嵌合させ、ディスクの検査開始位置を前回と異なる位置とし、その異なる位置を検査開始位置としてさらにディスクの検査をし、同一ディスクに対して複数回の検査をすることを特徴とするディスク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＤ、ＤＶＤ、ＨＤ−ＤＶＤ、Ｂｌｕ−ｒａｙなどの円盤状ディスクの検査装置及び検査方法に関し、さらに詳細には、ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドルのテーパードコーンに嵌合してディスクの偏芯量などを検査をするディスク検査装置及びディスクの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ディスクなどのディスクの良否を判定する際、再生ジッター値が重要となる。再生ジッター値とは、光ディスクに記録されたデータ再生時の電気信号の時間的揺らぎの指標であって、これが大きくなると記録したデータを正しく再生することができない。その原因として、光ディスクそのものの張り合わせに微妙なズレが生じ、光ディスクの回転の偏芯量の増加となって現れ、これが原因でデータを再生することができなくなる。
【０００３】
従来、これらの光ディスク製品の品質を損なう偏芯欠陥は、光ピックアップを使用したオプチカルスタイラス法などにより評価されている。
さらに、これらの検査方法を改良するものとして、例えば特許文献１には、光ピックアップを備え、トラッキングサーボを固定しながらフォーカスサーボのみ動作させ、得られたトラッキングエラー信号（ＴＥＳ信号）から、クロストラックの周波数変位量を検出する偏芯量計測装置及びそれを用いた偏芯量計測方法等の技術が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００４／０４９３２１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記特許文献１に記載の光ディスク検査装置は、光ディスクがディスク吸着固定面に装着する際に、光ディスクの中央部に形成された中心孔にスピンドルのセンタリング部を嵌合させる際における力のアンバランスなどによって光ディスクが正しく固着されずに、その測定精度を適正に確保できないという問題があった。
【０００６】
すなわち従来の装置において、光ディスクのクランプ面を吸着して行うが、ディスクがテーパードコーンに沿うことなく投入されて、スピンドル軸に対して適正にセンタリングされない場合があった。
【０００７】
本発明は前記従来の課題を解決するためになされたもので、光ディスクなどの円盤状ディスクの検査を容易に複数回実行することができるディスクの検査装置を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、光ディスクなどの円盤状ディスクをディスク吸着固定面に装着して、ディスクの検査を複数回容易に実行して、ディスクの固着に起因する測定誤差を解消することができるディスクの検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のディスク検査装置は、以下のような特徴を有する。
（１）円盤状ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに嵌合してディスクを検査する装置であって、垂直に立設されたシャフトと、該シャフトに上下動自在に取り付けられディスクを該テーパードコーン上に搬送・投入するディスクローダーと、該テーパードコーンに嵌合して該ディスク吸着固定面に固着されたディスクの下面を吸着固定するエアー吸着部と、を有する。
（２）前記（１）において、前記テーパードコーンに搬送・投入されたディスクの上面に圧縮エアーを噴射して、ディスクの中心孔を前記テーパードコーンに嵌合させるエアー噴射手段を設けている。
（３）前記（１）又は（２）において、前記ディスクローダーの基端に連接して、ディスクローダーを水平方向に回動させる回動軸が設けられ、該回動軸を介して該ディスクローダーが上下動自在に前記シャフト取り付けられている。
【０００９】
また、本発明のディスク検査方法は、以下のような特徴を有する。
（４）ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに嵌合してディスクを検査するディスク検査方法であって、前回検査したディスクを、該ディスクの嵌合を一旦解除しスピンドルを回転させディスクとの相対的嵌合位置を変えた状態で、再度ディスクの中心孔をテーパードコーンに嵌合させ、ディスクの検査開始位置を前回と異なる位置とし、その異なる位置を検査開始位置としてさらにディスクの検査を実行し、同一ディスクに対して複数回の検査をすることを特徴とする。
（５）ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに嵌合してディスクを検査するディスク検査方法であって、シャフトに上下動自在に取り付けられたディスクローダーによってディスクを該テーパードコーン上に搬送・投入し、該ディスク吸着固定面に固着されたディスクの下面をエアー吸着部によってディスクをディスク吸着固定面に吸着固定するとともに該中心孔を該テーパードコーンに嵌合させ、ディスクの検査を実行し、該ディスクをディスクローダーによって持ち上げてテーパードコーンとの嵌合を一旦解除し、スピンドルを回転させ、ディスクとの相対的嵌合位置を変えた状態で、ディスクローダーを下降させて再度ディスクの中心孔をテーパードコーンに嵌合させ、ディスクの検査開始位置を前回と異なる位置とし、その異なる位置を検査開始位置としてさらにディスクの検査をし、同一ディスクに対して複数回の検査をすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のディスク検査装置によれば、光ディスクなどの円盤状ディスクの検査を容易に複数回実行することができる。
また、本発明のディスクの検査方法によれば、光ディスクなどの円盤状ディスクをディスク吸着固定面に装着して、ディスクの検査を複数回容易に実行して、ディスクの固着に起因する測定誤差を解消することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本実施形態の光ディスク（以下の説明では、ディスクとして光ディスクを例にとって説明する）の検査装置は、垂直に立設されたシャフトにシャフト受け部を介してディスクローダーを上下動自在に取り付けており、このディスクローダーが検査対象となる円盤状の光ディスクを、スピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーン上に搬送・投入し、光ディスクの中央に設けられた中心孔をそのテーパードコーンに嵌合して光ディスクをディスク吸着固定面に吸着固定するようになっている。
さらに、エアー吸着部によってディスク吸着固定面に固着された光ディスクの下面を吸着固定する吸着孔をディスク吸着固定面に設けている。
【００１２】
スピンドル（回転軸）は、その上部に、上方の直径が小さく下方は大径の円錐型のテーパードコーン（ソフトクリームを入れる円錐形のウエハースの容器のような形状）を備えており、このテーパードコーンの軸芯とスピンドルの軸芯とを一致させており、光ディスクの中央の設けられた中央孔にテーパードコーンを嵌合させることにより光ディスクのセンタリングメカニズム機能を備えている。
【００１３】
スピンドルの下部には、スピンドル回転用のＤＣモーター及びロータリーエンコーダがスピンドルと一体的に設けられており、スピンドルの回転や回転速度、回転角の位置制御などを行う。
【００１４】
エアー吸着部は、スピンドル上部のテーパードコーンに嵌合した光ディスクの下面を吸着固定するための吸着孔を、ディスク吸着固定面に開口して備えている。この吸着孔はディスク吸着固定面の中央を中心としてディスク吸着固定面に円周状に配置され、吸引ポンプなどの減圧手段によって吸着孔から空気を吸引して光ディスクをディスク吸着固定面に固定保持するようになっている。
光ディスクの中央に設けられた中心孔をテーパードコーンに嵌合した後、エアー吸着部によって、光ディスクをディスク検査装置のディスク吸着固定面に吸着固定することによって、光ディスクをその正規位置に確実かつ迅速に保持させてその測定精度を確保することができる。
【００１５】
さらに、本実施形態の光ディスク検査装置は、テーパードコーンに搬送・投入されたディスクの上面に圧縮エアーを噴射して、ディスクの中心孔をテーパードコーンに確実に嵌合させることができるように、エアー噴射手段を備えている。このエアー噴射手段は、スピンドル上部のディスク吸着固定面上部に、ディスク吸着固定面に対向する位置に、ディスク吸着固定面に向けて設けられている。
【００１６】
本実施形態の光ディスク検査装置は、光ディスクをディスク吸着固定面上部に搬送して投入するためのディスクローダーを設けているが、このディスクローダーは、その基端に連接して回動軸が設けられ、ディスクローダーを水平方向に回動させる回動機構を備えている。
さらに、この基端に連接した回動軸をシャフト受け部を介してシャフトに取り付けることによって、ディスクローダーはシャフトの回転に伴って上下動可能となっており、ディスクを、ディスク吸着固定面上部に固着すること、ディスクの繰り返し検査時の上下動、検査終了後にはディスク吸着固定面から取り外すことなどを、制御部からの制御によって実行できるようになっている。
なお、シャフトに代えて、エアーシリンダ等の伸縮機構にディスクローダーを取り付けることによっても上下動可能とすることができる。
【００１７】
次に、以上のような構成を有した本実施形態の光ディスク検査装置を用いた光ディスクの検査方法について説明する。
まず、光ディスクを載置したディスクローダーを、その基端に連接した回動軸を回動させてディスク吸着固定面の上部に搬送する。そして、シャフトを回動させてシャフト受け部を下げてシャフト受け部に連接された回動軸に取り付けられているディスクローダーを下降させ、ディスクローダーに載置されている光ディスクをディスク吸着固定面に固着する。この場合、光ディスクの中央に設けられた中心孔をスピンドル上部のディスク吸着固定面に設けられたテーパードコーンに挿入した後、エアー噴射手段のエアー噴射ノズルから光ディスクの上面に圧縮エアーを噴射して、光ディスクの中心孔をテーパードコーンに確実に嵌合させる。
そして、ディスク吸着固定面に固着された光ディスクの下面をエアー吸着部によって吸着固定し、レーザ照射測定部によって光ディスクの検査が開始される。
【００１８】
１回目のディスク検査を終了すると、エアー吸着部の吸引を一旦停止させて光ディスクの吸着固定を解除し、ディスク固着後ディスク吸着固定面下方に待機させていたディスクローダーを再上昇させて、検査済みの光ディスクを一旦持ち上げる。そして、光ディスクを持ち上げた状態でスピンドルを所定角度（例えば６０度）回転させ前回ディスクと嵌合したスピンドルの位置を相対的に変え、ディスクローダーを再下降させて、一旦持ち上げていた光ディスクの中心孔をテーパードコーンに再度嵌合させて、エアー吸着部によって光ディスクを再吸着固定し、ディスクの検査開始位置を前回検査と異なる位置としてさらにディスクの再検査を実行する。
このようにディスクを持ち上げて検査開始位置を前回検査と異なる位置とし、複数回のディスク検査を繰り返す。同一ディスクに対して検査開始位置を異なる位置として複数回の検査をすることによって、ディスク装着の不具合から生ずる誤差を除いた安定した検査結果を得ることができる。
【００１９】
なお、ディスクローダーは、ロボットアームなどの公知手段を用いることもできる。また、ディスクローダー、エアー吸着部、エアー噴射手段、レーザ照射測定部などによるディスク検査の一連の実行は、光ディスク検査装置全体を管理する制御部によって制御され、光ディスク検査装置の検査システムが一連のフローによりプログラム処理されるようになっている。
【００２０】
（実施の形態）
図１は本発明の実施形態に係るディスク検査装置の模式的斜視図であり、図２はその側面図である。図１、図２に示すように、本実施形態のディスク検査装置１０は、ディスク吸着固定面１２のテーパードコーン１３に嵌合吸着固定させた光ディスクＨに、ＤＣモータ４２でスピンドル１１を回転させながら、光ピックアップ４１から得られた４分割ダイオード信号を接続した光ピックアップ制御部４０で得られたフォーカスエラー信号（ＦＥ信号）と、トラッキングサーボを固定しながら得られたトラッキングエラー信号（ＴＥＳ信号）から、クロストラックの周波数変位量を検出して光ディスクＨの偏芯量などの特性データを取得する検査装置である。
【００２１】
実施形態のディスク検査装置は、検査対象たる光ディスクＨを載置してテーパードコーン１３上に搬送するためのディスクローダー２０を備え、ディスクローダー２０からテーパードコーン１３に投入された光ディスクＨの上面に圧縮エアーを噴射するためのエアー噴射手段３０と、ディスク吸着固定面１２に固着された光ディスクＨの下面を吸着固定するためのエアー吸着部１８と、光ディスク検査装置１１全体を制御する制御部５０と、を有している。
【００２２】
本実施の形態では、光ディスクを載置して実行する光ディスクのロード（投入）及びアンロード（取り出し）などの搬送は、ディスクローダー２０の基端２１に連接された回動軸２２を中心にして、ディスクローダー２０を水平方向に首振り回動させるロータリードロワー方式を採用する。回動軸２２の回動は、下方に設置した駆動モータ２３に接続したスクリューネジ２４に噛み合わせたギア２５を回動させることで実現できる。なお、本実施形態では、ディスクのロード及びアンロードについては、ディスク検査装置１０全体を制御する制御部５０からの指令に基づき一連の動作の中で実行されるが、イジェクトボタンなどのスイッチを設けることにより、実行することもできる。
【００２３】
エアー噴射手段３０は、そのエアー噴射ノズル３１がディスク吸着固定面１２のテーパードコーン１３に装着されたディスクＨの上方約８０ｍｍの位置に配設され、エアー噴射ノズル３１はその直径が約６０ｍｍの水平円周上を３等分する位置に１基ずつ３基がそれぞれ下向きに配設されている。このエアー噴射手段３０には、図示しないエアーコンプレッサなどの空圧源から直径約４ｍｍのエアーチューブ３２を介して約０．５ＭＰａの圧縮空気が供給される。また、エアー噴射手段３０の先端にはワンタッチで着脱可能なワンタッチ継手を介してＭ３規格のねじなどを備えたノズル３１が取り付けられるようにして、エアー回路のメンテナンスを容易にすることもできる。
なお、エアー噴射ノズル３１は、ディスクに対し均等に噴射圧を加えられるように、ディスクの中心孔ＣＨに対向して、円周を等角（１２０度）に配分した位置に３個を配設している。
【００２４】
エアー吸着部１８は、テーパードコーン１３の下部から水平に延設されたディスク吸着固定面１２に、円周方向に等角に配分して（１２０度）吸着孔１９が設けられ、吸引ポンプ１７を駆動させて吸着孔１９からエアーを吸引して、光ディスクＨをディスク吸着固定面１２上に吸着固定するようになっている。エアー吸着部１８の吸着力としては、例えば２ニュートン程度のものが好適に採用される。
【００２５】
エアー噴射手段３０、エアー吸着部１８には、それぞれのエアー噴射量／吸着量を制御するための電磁バルブＶが接続されており、制御部５０を介して所定のタイミングでその開閉動作が行われるようになっている。
【００２６】
制御部５０は、ディスクローダー２０の移動（回動、上下動）や光ディスクＨの交換などの動きを制御する。また、制御部５０は、レーザー照射測定部４０を制御して、ディスク吸着固定面１２に装着されてスピンドル１１を介して回転される光ディスＨにレーザー光を照射し、この光ディスクＨからの反射光をビームスプリッタやコリメートレンズなどを介して受光部で検知し、この反射データに基づいて、光ディスクＨの偏芯量や外観などに関わる情報を取得する。
【００２７】
光ピックアップ制御部４０は、光ピックアップ４１から半導体レーザスポット光を光ディスクＨに照射させ、光ディスクＨからの反射光を４分割ダイオードで受光し、その信号をピックアップアンプで増幅し、フォーカスエラー信号（ＦＥ信号）、トラッキングエラー信号（ＴＥＳ信号）を生成する。この際、光ディスクＨの持つ固有の面振れに対してはフォーカスサーボを動作させ、固有の偏芯に対してはトラッキング制御を行わず、得られたトラッキングエラー信号（ＴＥＳ信号）を周波数変換し、この信号から偏芯量を算出するようになっている。
【００２８】
こうして、光ピックアップを使用し、光ディスクＨ固有のフォーカスエラー信号（ＦＥ信号）、トラッキングエラー信号（ＴＥＳ信号）を求め、このトラッキングエラー信号（ＴＥＳ信号）を周波数変換し、更に計測精度を高めるため曲線補間するなどして偏芯量として算出し、光ディスクＨの偏芯量検査の際に用いられる。
【００２９】
次に、図３〜図６を用いて本実施形態に係るディスク検査方法について説明する。
図３は本実施形態に係るディスク検査装置におけるディスク搬入状態を示す側面図であり、図４はディスク嵌合状態を示す側面図であり、図５はディスクの再持ち上げ状態を示す側面図である。図６は本実施形態に係るディスク検査方法を示す部分模式的側面図である。
最初のステップを示す図３では、ディスクローダー２０によってディスク検査装置への光ディスクＨの搬入が行われる。光ディスクＨを載置したディスクローダー２０は、シャフト２６の上端位置（図３の上昇位置）において、スピンドル１１の上部位置に下降させて位置づけられる（図６（ａ）参照）。
【００３０】
次のステップでは、シャフト回転モータ２７によってシャフト２６を回転させて、シャフト受け部２８を下げることにより、光ディスクＨを載置した状態でディスクローダー２０をさらに下降させ、光ディスクＨをテーパードコーン１３に投入する。このとき、光ディスクＨの中央孔ＣＨがテーパードコーン１３の途中に引っかかり、ディスク吸着固定面１２に対して傾斜した状態に保持されることがある（図６（ｂ）参照）。
【００３１】
次のステップでは、エアー噴射手段３０に連接する電磁バルブＶを操作して、エアーノズル３１から光ディスクＨの上面へエアー噴射を開始する。これによって、テーパードコーン１３の途中に仮置き状態にされていた光ディスクＨは図６（ｃ）に示すように、ディスク吸着固定面１２まで押下げられ、光ディスクＨの中央孔ＣＨがテーパードコーン１３に嵌合する。
【００３２】
次に、制御部５０は、ディスク吸着固定面１２に設けられた吸着孔１９からエアーを吸入するため、エアー吸着部１８の電磁バルブＶを開放させる吸着指令を出力する。これによって、光ディスクＨの吸着がディスク吸着固定面１２への吸着が開始される。そして、エアー吸着部１８に設けた真空センサにより、光ディスクＨがディスク吸着固定面１２に確実に吸着固定されたかを否かを確認し、制御部５０ヘ光ディスクＨ吸着固定ＯＫ／ＮＧ信号を出力する。
【００３３】
光ディスクＨの吸着固定状態がＯＫの場合は、光ピックアップ制御部４０を介して光ピックアップ４１が制御された光ディスクＨの検査を開始する（図６（ｄ）参照）。
【００３４】
第１回目の検査を終了すると、ディスクＨをディスクローダー２０によって持ち上げてテーパードコーン１３との嵌合を一旦解除する（図６（ｅ）参照）。そして、スピンドル１１を、下部に設けられたＤＣモータ４２とエンコーダ４３を用いて６０度回転させて、ディスクＨとの相対的嵌合位置を変えた状態で、ディスクローダー２０を下降させて再度ディスクＨの中心孔ＣＨをテーパードコーン１３に嵌合させる。この場合、ディスクの検査開始位置を前回と異なる位置となり、その異なる位置を検査開始位置としてさらにディスクの検査をする。このような検査を同一ディスクに対して複数回実行する。
【００３５】
複数回の検査が終了すると、システム制御部５０は、検査が終わった光ディスクＨを取り出す為に、検査中下方に待機させていたディスクローダー２０（図４参照）をディスク吸着固定面１２に固着された光ディスクＨの位置まで再上昇させて、光ディスクＨをディスクローダー２０上に保持（図５の上昇位置、図６（ｅ）参照）すると同時に、エアー吸着部１８に吸着解除信号を出力する。続いて、ディスクローダー２０をさらに取り出し位置（図３の上昇位置参照）まで上昇させ、回動軸２２を回動させて光ディスクＨの水平方向に振って光ディスクＨ搬出を行う。
なお、本発明は以上説明したように、スピンドル上部のテーパードコーンに投入された光ディスクの下面をディスク吸着固定面に確実に固着させて行う光ディスクの検査にあたって、異なる検査開始位置から複数回の検査をすることを要旨とするものであって、本実施の形態のものに限定されるものではない。例えば本実施の形態では、一度の回転角度を６０度で６回検査して１枚のディスクを複数回の検査をしているが、一度の回転角度を９０度や４５度として複数回の検査を実行するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明のディスク検査装置は、スピンドル上部のテーパードコーンに投入された光ディスクの下面をディスク吸着固定面に確実に固着させて行う光ディスクの検査にあたって、異なる検査開始位置から複数回の検査をすることができ、偏芯量検査に適用して、自動アベレージング作業を高速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】ディスク検査装置の模式斜視図である。
【図２】ディスク検査装置の側面図である。
【図３】本実施形態に係るディスク検査装置におけるディスク搬入状態を示す側面図である。
【図４】ディスク嵌合状態を示す側面図である。
【図５】ディスクの再持ち上げ状態を示す側面図である。
【図６】本実施形態に係るディスク検査方法を示す部分模式的側面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０  ディスク検査装置
１１  スピンドル
１２  ディスク吸着固定面
１３  テーパードコーン
１７  吸引ポンプ
１８  エアー吸着部
１９  吸着孔
２０  ディスクローダー
２１  ディスクローダーの基端
２２  回動軸
２３  駆動モータ
２４  スクリューネジ
２５  ギア
２６  シャフト
２７  シャフト回転モータ
２８  シャフト受け部
３０  エアー噴射手段
３１  エアー噴射ノズル
３２  エアーチューブ
４０  光ピックアップ制御部
４１  光ピックアップ
４２  ＤＣモータ
４３  エンコーダ
５０  システム制御部
Ｈ  光ディスク
Ｖ  電磁バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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