(57)【要約】【課題】液体樹脂を注入する場合に、短時間で真空引きできる注入装置。【解決手段】表面を互いに向き合わせ且つ互いに間隔をおいて重ね合わされた一対のウエハの周縁を気密に封止する封止部材と、封止部材と気密に結合し、液体樹脂を収容する気密容器と、一対のウエハに挟まれた空間を排気する排気部とを備え、封止部材は、空間を気密容器内に開放する開放部を有し、封止部材および気密容器を気密に結合した状態で空間内および気密容器内を減圧した後に、一対のウエハの周縁のうち開放部内に露出した部分を液体樹脂に接触させることにより、液体樹脂を空間に注入する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面を互いに向き合わせ且つ互いに間隔をおいて重ね合わされた一対のウエハの周縁を気密に封止する封止部材と、
前記封止部材と気密に結合し、液体樹脂を収容する気密容器と、
前記一対のウエハに挟まれた空間を排気する排気部と
を備え、
前記封止部材は、前記空間を前記気密容器内に開放する開放部を有し、
前記封止部材および前記気密容器を気密に結合した状態で前記空間内および前記気密容器内を減圧した後に、前記一対のウエハの前記周縁のうち前記開放部内に露出した部分を前記液体樹脂に接触させることにより、前記液体樹脂を前記空間に注入する液体樹脂注入装置。
【請求項２】
前記気密容器において、前記液体樹脂の液面を上昇させて、前記一対のウエハの前記前記開放部内に露出した部分を前記液体樹脂に接触させる昇降部を更に有する請求項１に記載の液体樹脂注入装置。
【請求項３】
前記封止部材は、前記一対のウエハの裏面を露出させる開口を有する請求項１に記載の液体樹脂注入装置。
【請求項４】
前記封止部材は、前記一対のウエハの裏面を加熱する加熱部を更に有する請求項３に記載の液体樹脂注入装置。
【請求項５】
前記封止部材は、前記一対のウエハの裏面を覆うカバー部を有する請求項１に記載の液体樹脂注入装置。
【請求項６】
前記カバー部は、前記一対のウエハの裏面を加熱する加熱部を含む請求項５に記載の液体樹脂注入装置。
【請求項７】
前記カバー部は前記一対のウエハの裏面を気密に覆い、前記空間が減圧された場合に、前記裏面に面した空間も減圧される請求項５に記載の液体樹脂注入装置。
【請求項８】
前記封止部材および前記気密容器を結合した場合に、前記一対のウエハは、前記液体樹脂の液面に対して直立する請求項１から請求７までのいずれか１項に記載の液体樹脂注入装置。
【請求項９】
前記気密容器は、前記気密容器を真空源または圧力源に連通させる圧力結合部を有する請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載の液体樹脂注入装置。
【請求項１０】
前記気密容器は、前記一対のウエハの体積と、前記一対のウエハに挟まれた領域の体積とを合わせた体積よりも小さな容量を有する請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載の液体樹脂注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体樹脂注入装置に関する。より詳細には、半導体素子が形成されたウエハ等を貼り合わせる場合に、当該ウエハの間隙に液体樹脂を注入する液体樹脂注入装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の実効的な実装密度を向上させる技術のひとつとして、チップを積層する構造がある。パッケージング前のチップを積層した積層チップ半導体モジュールは、実装密度の向上に止まらず、チップ相互の配線を短縮することにより処理を高速化できる。
【０００３】
積層チップ半導体モジュールを製造する場合には、ウエハ単位で接合した後にチップを切り分ける手順が採られる場合がある。下記の特許文献１には、メッキバンプを有するシリコンウエハとベース基板とを接着剤により貼り合わせた後に分割する半導体装置の製造方法が記載されている。また、下記の特許文献２には、重ね合わせたウエハの合わせ面を真空環境下で液剤に接触させて樹脂を注入することが記載されている。更に、下記の特許文献３に記載には、重ね合わせたウエハの間に樹脂を注入する場合に、ウエハ間で樹脂に空泡が生じないように液体樹脂を予め脱泡することが記載される。
【特許文献１】特開平１０−０２７８２７号公報
【特許文献２】特開２００６−２０３０８４号公報
【特許文献３】特開２００６−０４９４４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
積層ウエハにおけるウエハの間隙は数μｍから十数μｍ程度であり、そこに注入される樹脂の容積も数ｃｃに過ぎない。一方、積層ウエハの直径は２００ｍｍから３００ｍｍに及び、今後は更に大きくなる場合があり得る。従って、真空環境下で積層ウエハに液体樹脂を注入する場合には、積層ウエハの直径に見合った大きな真空槽が用いられる。このため、真空槽を所要の真空度まで減圧する排気作業には多大な時間が費やされる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
そこで、上記課題を解決すべく、本発明により、表面を互いに向き合わせ且つ互いに間隔をおいて重ね合わされた一対のウエハの周縁を気密に封止する封止部材と、封止部材と気密に結合し、液体樹脂を収容する気密容器と、一対のウエハに挟まれた空間を排気する排気部とを備え、封止部材は、空間を気密容器内に開放する開放部を有し、封止部材および気密容器を気密に結合した状態で空間内および気密容器内を減圧した後に、一対のウエハの周縁のうち開放部内に露出した部分を液体樹脂に接触させることにより、液体樹脂を空間に注入する液体樹脂注入装置が提供される。
【０００６】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となり得る。
【０００７】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決に必須であるとは限らない。
【実施例１】
【０００８】
図１は、注入装置１００の正面図である。また、図２は、注入装置１００の側面図である。注入装置１００は、排気部１１０、封止部材１２０、封止プレート１３０および気密容器１４０を備える。また、この実施形態に係る注入装置１００には、表面を互いに対向させて積層された一対のウエハからなる積層ウエハ１９０が装入されている。
【０００９】
気密容器１４０は、立方体の気密な容器であり、側面に一対の継ぎ手１４２、１４４を有する。継ぎ手１１２は気密容器１４０の内部に連通すると共に、圧力管を脱着できる。これにより、気密容器１４０の内部を外部の真空源または圧力源に連通させることができる。
【００１０】
封止プレート１３０は平坦な板状の部材であり、止めネジ１５０により気密容器１４０に固定され、気密容器１４０の上面を気密に封止する。また、封止プレート１３０は、気密容器１４０に対して脱着できる。更に、封止プレート１３０は、封止部材１２０を支持する。
【００１１】
封止部材１２０は、環状の形状を有し、積層ウエハ１９０を内側に保持する。また、封止部材１２０は、封止プレート１３０に支持されて、気密容器１４０の上方に直立する。封止部材１２０の内側には、積層ウエハ１９０を形成するウエハ１９２の裏面が現れている。
【００１２】
このように、封止部材１２０は、積層ウエハ１９０の裏面を露出させる開口を有してもよい。これにより、最小限の材料で封止部材１２０を形成できる。また、積層ウエハ１９０の裏面が外部から観察できるので、積層ウエハ１９０の状態が監視しながら液体樹脂を注入できる。
【００１３】
封止部材１２０の上端には、排気部１１０が形成される。排気部１１０は、上端に継ぎ手１１２を有する。継ぎ手１１２は圧力管を脱着でき、封止部材１２０の内部を外部の真空源に連通させることができる。すなわち、排気部１１０は、積層ウエハ１９０の上端を真空源に連通させる連通部を構成する。
【００１４】
図３は、液体樹脂注入装置１００の分解図である。なお、図１および図２と共通な構成要素には共通の参照番号を付して重複する説明を省く。
【００１５】
排気部１１０および封止部材１２０は、積層ウエハ１９０を保持した状態を保ったまま、封止プレート１３０から取り外すことができる。図示のように封止部材１２０は円弧の端部を直線的に結合した環状の形状を有する。また、積層ウエハ１９０の下端を露出させる開放部１１９を下端に有する。開放部１１９においては、積層ウエハ１９０の周縁部も露出する。
【００１６】
なお、図示の例では、積層ウエハ１９０のオリエンテーションフラット（オリフラ）が開放部１１９の内側に露出するように封止部材１２０が装着される。これにより、封止部材１２０および積層ウエハ１９０の機密性を良好に保つことができるが、このような配置に限定されるわけではない。
【００１７】
封止プレート１３０は、止めネジ１５０を抜くことにより、気密容器１４０から取り外すことができる。これにより、気密容器１４０の上面を開放させることができる。
【００１８】
気密容器１４０の上面縁部には、封止プレート１３０および気密容器１４０の密着性を確実にする目的で、Ｏリング１４６が設けられる。また、気密容器１４０は、内部に気密室１４１を有する。
【００１９】
気密室１４１は、側面に装着された一対の継ぎ手１４２、１４４と連通する。また、気密室１４１の床面には昇降部１６０が装備される。昇降部１６０は、気密室１４１の床面に固定されたシリンダ１６２と、シリンダ１６２内を上下に摺動するピストン１６４とを含む。
【００２０】
昇降部１６０の上には、開口容器１７０が搭載される。開口容器１７０は、上面の開放された皿状の容器であり、液体樹脂１７２を収容する。なお、液体樹脂１７２は、例えば、液体状の熱硬化性樹脂であり、積層ウエハ１９０の狭小な間隙に注入するという目的に鑑みて特に低粘度のものが選択される。
【００２１】
図４は、封止部材１２０の構造を示す水平断面図である。また、図４は、図３に矢印Ｘで示す箇所の断面を示す。
【００２２】
積層ウエハ１９０は、表面を向き合わせて接合された一対のウエハ１９２を含む。ウエハ１９２の各々には、フォトリソグラフィ等により、既に素子、回路等を含むデバイス１９４が形成されている。このため、ウエハ１９２の各々の表面は平坦ではなく、積層ウエハ１９０の内部においては、両ウエハ１９２の間に空間が生じている。
【００２３】
なお、積層ウエハ１９０の構造がこれに限られるわけではなく、一方のウエハ１９２が未加工の平坦なウエハ１９２である場合、シリコンウエハと化合物半導体ウエハ等の異種のウエハ１９２が組み合わされる場合、ウエハ１９２の裏面も研磨等の加工がされている場合等、種々の場合があり得る。また、積層されたウエハ１９２自体が、個々に積層ウエハ１９０である場合もある。
【００２４】
積層ウエハ１９０の端面には、シール部材１２６が当接する。シール部材１２６は弾性を有し、封止部材１２０および積層ウエハ１９０の間を気密に封止する。なお、シール部材１２６は、積層ウエハ１９０に予め単独で装着され、シール部材１２６付きの積層ウエハ１９０に対して封止部材１２０を装着する手順で組み立ててもよい。これにより、積層ウエハ１９０の端面を保護すると共に、取り扱いが容易になる。
【００２５】
封止部材１２０は、外枠部１２２、内枠部１２４および止めネジ１５０を含む。外枠部１２２は、シール部材１２６を介して積層ウエハ１９０の側面に外側から当接する側壁と、積層ウエハ１９０が厚さ方向に脱落することを防止するリブ部とを組み合わせた形状を有する。
【００２６】
内枠部１２４は、止めネジ１５０により外枠部１２２に対して固定され、積層ウエハ１９０が、厚さ方向上方に脱落することを防止する。換言すれば、止めネジ１５０を抜いて内枠部１２４を取り外すことにより、シール部材１２６および積層ウエハ１９０は、封止部材１２０から脱着自在となる。
【００２７】
図５は、封止部材１２０の構造を示す垂直断面図である。また、図５は、図３に矢印Ｙで示す箇所の断面を示す。なお、積層ウエハ１９０、シール部材１２６および封止部材１２０の構造は、図４に示した構造と略同じなので、共通する部分については重複する説明を省く。
【００２８】
この断面においては、封止部材１２０の上方に、排気部１１０が配される。排気部１１０は、上端の継ぎ手１１２から下方に向かって貫通する排気孔１１４を有する。排気孔１１４は、外枠部１２２を貫通する排気孔１２９と、シール部材１２６を貫通する排気孔１２７とに連通する。
【００２９】
シール部材１２６の排気孔１２７は、積層ウエハ１９０におけるウエハ１９２の合わせ面に向かって開口している。これにより、積層ウエハ１９０の内部の間隙を、継ぎ手１１２に接続された圧力管を介して真空源等に接続できる。
【００３０】
図６は、液体樹脂注入装置１００の部分断面図である。なお、以下の説明において、ここまでに説明したものと同じ部材には共通の参照番号を付して、重複する説明を省く。
【００３１】
液体樹脂注入装置１００において、積層ウエハ１９０は、封止部材１２０に保持される。封止部材１２０は、封止プレート１３０に装着される。封止プレート１３０は、止めネジ１５０により気密容器１４０に固定される。
【００３２】
これにより、積層ウエハ１９０の内部の間隙は、開放部１１９において気密容器１４０内部の気密室１４１に連通すると共に、外部からは気密に遮断される。ただし、積層ウエハ１９０の間隙は、排気孔１１４、１２７、１２９を介して、継ぎ手１１２に連通する。また、積層ウエハ１９０のオリエンテーションフラットは、気密室１４１の内部で最下端に位置している。
【００３３】
一方、気密室１４１の内部では、液体樹脂１７２を収容した開口容器１７０が、昇降部１６０に搭載される。液体樹脂１７２の液面を点線Ｂにより示す。また、昇降部１６０においては、ピストン１６４がシリンダ１６２に引き込まれて開口容器１７０は降下している。これにより、液体樹脂１７２の液面は、積層ウエハ１９０の下端よりも更に下方に位置する。
【００３４】
従って、継ぎ手１４２、１４４の一方を閉鎖し、他方を真空源に連通させることにより、気密室１４１の内部を減圧して、液体樹脂１７２を脱気できる。この場合、気密室１４１は、昇降部１６０および開口容器１７０を収容する容積があれば足り、積層ウエハ１９０全体を含む空間を減圧しなくてもよい。従って、脱気に要する時間は短い。
【００３５】
このように、気密容器１４０は、気密室１４１を真空源または圧力源に連通させる継ぎ手１４２、１４４を有してもよい。これにより、液体樹脂１７２を効率よく脱気できる。
【００３６】
図７は、液体樹脂注入装置１００の部分断面図であり、昇降部１６０を動作させて、開口容器１７０を上昇させた状態を示す。図示のように、開口容器１７０が上昇すると、液体樹脂１７２の液面も上昇して、気密室１４１に露出した積層ウエハ１９０の下端が液体樹脂１７２に浸漬される。
【００３７】
このように、気密室１４１において、液体樹脂１７２の液面を上昇させて、積層ウエハ１９０の他端を液体樹脂１７２に浸漬させる昇降部１６０を更に有してもよい。これにより、相対的に大きな積層ウエハ１９０を移動させることなく、積層ウエハ１９０の露出部分を液体樹脂１７２に浸漬させることができる。
【００３８】
なお、積層ウエハ１９０の露出部分に現れる積層ウエハ１９０の間隙が、余すことなく液体樹脂１７２の液面下に沈むことが望ましいので、封止部材１２０の下端近傍も、液体樹脂１７２に浸漬される。しかしながら、硬化前の液体樹脂１７２は容易に拭き取ることができるので差し支えない。また、封止部材１２０の清掃を容易にする目的で、封止部材１２０の表面を、液体樹脂１７２に対する接着性の低い材料で被覆することも好ましい。
【００３９】
また、封止部材１２０および気密容器１４０を結合した場合に、積層ウエハ１９０は、液体樹脂１７２の液面に対して直立してもよい。これにより、液体樹脂１７２に浸漬される積層ウエハ１９０の表面積が小さくなるので、不要な液体樹脂を除去する作業が容易になる。
【００４０】
更に、この実施形態では、液体樹脂１７２を収容した開口容器１７０を上昇させることにより液体樹脂１７２の液面を上昇させたが、液面を操作する構造がこれに限られるわけではない。例えば、気密室１４１に直接に収容された液体樹脂１７２に対して何らかの部材を沈めることにより液面を上昇させる構造等、他の構造を任意に選択し得る。
【００４１】
図８は、液体樹脂注入装置１００の排気系の構造を模式的に示す図である。液体樹脂注入装置１００に設けられた３つの継ぎ手１１２、１４２、１４４のうち、封止部材１２０の上端に装着された継ぎ手１１２と、気密容器１４０に装着された一方の継ぎ手１４４が、それぞれ排気バルブ２１０、２２０を介して、ドライポンプ２４０に結合される。継ぎ手１１２および排気バルブ２１０の間、および継ぎ手１４４および排気バルブ２２０の間には、それぞれ、真空計２１２、２２２が配される。
【００４２】
このような構造により、ドライポンプ２４０を動作させた状態で排気バルブ２１０を開放することにより、積層ウエハ１９０の間隙を真空引きすることができる。また、真空引きがどの程度実行されたかについては、真空計２１２で監視できる。
【００４３】
また、ドライポンプ２４０を動作させた状態で排気バルブ２２０を開放することにより、気密室１４１の内部を真空引きできる。真空引きの進行状態は、真空計２２２により監視できる。
【００４４】
一方、気密容器１４０の他方の継ぎ手１４２は、ベントバルブ２３０を介して大気に連通される。従って、気密容器１４０の内部が減圧されている場合に、ベントバルブ２３０が開放されると、継ぎ手１４２を介して大気が気密室１４１に導入される。なお、気密室１４１内部の汚染を防止する目的で、ベントバルブ２３０および大気の間にフィルタ等を設けてもよい。
【００４５】
図９は、液体樹脂１７２を積層ウエハ１９０に注入の手順を示す流れ図である。積層ウエハ１９０に液体樹脂１７２を注入する作業が開始されると、封止部材１２０および気密容器１４０を所定の設定温度に維持する制御が開始される（ステップＳ１０１）。
【００４６】
設定温度は、液体樹脂１７２の粘性を低下させつつ、硬化は開始させない範囲に決定される。換言すれば、使用する液体樹脂１７２の特性に応じて設定温度が決定される。設定温度を維持する機構は、後述するように液体樹脂注入装置１００に設けることもできる。
【００４７】
次に、液体樹脂１７２を開口容器１７０に充填する（ステップＳ１０２）。このとき、液体樹脂１７２の液面が高いほど後述の作業は容易になるが、積層ウエハ１９０を浸漬させた場合に、開口容器１７０から液体樹脂１７２が溢れない範囲に止めることが好ましい。こうして液体樹脂１７２を収容した開口容器１７０は、昇降部１６０に搭載される。昇降部１６０のピストン１６４は最下位置にある。
【００４８】
続いて、液体樹脂１７２を注入する積層ウエハ１９０に、封止部材１２０を装着する（ステップＳ１０３）。封止部材１２０を装着する場合は、まず、積層ウエハ１９０に対してシール部材１２６を装着し、シール部材１２６付きの積層ウエハ１９０を外枠部１２２に装入する。このとき、シール部材１２６の排気孔１２７が、封止部材１２０の排気孔１２９に連通するように留意する。更に、内枠部１２４を外枠部１２２に装着して、止めネジ１５０により締結する。
【００４９】
更に、封止プレート１３０を封止部材１２０に装着し、更に、封止部材１２０および封止プレート１３０の組立体を、気密容器１４０に取り付ける（ステップＳ１０４）。こうして、図６に示した状態が形成される。
【００５０】
次に、ドライポンプ２４０の運転を開始し（ステップＳ１０５）、ドライポンプ２４０の動作が定常状態になったところで、排気バルブ２１０、２２０を開放する（ステップＳ１０６）。このとき、ベントバルブ２３０は閉鎖されている。これにより、積層ウエハ１９０の間隙および気密室１４１の内部の気体が排気される。
【００５１】
気密室１４１内の減圧により、液体樹脂１７２の脱泡が開始される（ステップＳ１０７）。脱泡の進捗状況は、既知にデータに基づいて処理時間に応じて完了してもよい。また、真空計２２２を監視して、気密室１４１が液体樹脂１７２の所定の飽和蒸気圧に達したことをもって完了してもよい（ステップＳ１０８）。
【００５２】
また、液体樹脂１７２の脱泡が完了したら、気密室１４１に連通する排気バルブ２２０は閉鎖する（ステップＳ１０９）。これにより、気密室１４１内は、液体樹脂１７２の飽和蒸気圧で安定する。一方、封止部材１２０に連通する排気バルブ２１０は開放した状態を継続する。これにより、積層ウエハ１９０の内部は、やがて、気密室１４１の内部に等しいかより低い圧力になる。
【００５３】
次に、昇降部１６０を動作させて、開口容器１７０を上昇させる（ステップＳ１１０）。これにより、気密室１４１に露出した積層ウエハ１９０の下端が、液体樹脂１７２に浸漬される。
【００５４】
更に、上記の状態を維持したまま、ベントバルブ２３０を開放する（ステップＳ１１１）。これにより大気が流入する気密室１４１内は、大気圧に向かって真空度が低下してゆく。この状態は、真空計２２２により監視できる。
【００５５】
また、気密室１４１が大気圧に向かって昇圧される一方、積層ウエハ１９０の内部は、上端の排気孔１１４を介してドライポンプ２４０に引かれている。これにより、積層ウエハ１９０の下端から、液体樹脂１７２が積層ウエハ１９０の内部に注入される。こうして、積層ウエハ１９０の内部の間隙に隈なく液体樹脂１７２が充填された場合は、排気バルブ２１０を閉鎖して、液体樹脂１７２の注入を終了させる（ステップＳ１１２）。なお、液体樹脂１７２が充填されたか否かの確認は、液体樹脂１７２の注入量等を監視してもよい。また、液体樹脂１７２の注入を一定の条件で繰り返し実行する場合は、既知の所要時間により液体樹脂１７２の注入を終了してもよい。
【００５６】
こうして、表面を互いに向き合わせ且つ互いに間隔をおいて重ね合わされた一対のウエハ１９２の周縁を気密に封止する封止部材１２０と、封止部材１２０と気密に結合し、液液体樹脂１７２を収容する気密容器１４０と、一対のウエハ１９２に挟まれた空間を排気する排気部１１０とを備え、封止部材１２０は、空間を気密容器１４０内に開放する開放部１１９を有し、封止部材１２０および気密容器１４０を気密に結合した状態で空間内および気密容器１４０内を減圧した後に、積層ウエハ１９０の周縁のうち開放部１１９内に露出した部分を液体樹脂１７２に接触させることにより、液体樹脂１７２を空間に注入する液体樹脂注入装置１００が形成される。これにより、積層ウエハ１９０内部を排気する場合に、積層ウエハ１９０の外側を排気しなくてもよい。
【００５７】
また、気密室１４１の容量は、間隙を含む積層ウエハ１９０の体積よりも小さくすることができる。これにより、液体樹脂１７２を注入する場合に求められる排気量を著しく低減できる。従って、気密室１４１を減圧する場合に求められる作業時間も削減でき、積層ウエハ１９０を用いたデバイスを製造する場合のスループットが向上される。
【００５８】
なお、積層ウエハ１９０の周縁のうち開放部１１９内に露出した部分を液体樹脂１７２に接触させる場合、当該部分に開口する空間を余すことなく液体樹脂１７２に沈めることが好ましい。これにより、ベントバルブ２３０が開放されて大気圧が印加された液体樹脂１７２が、効率よくウエハ１９２の間に注入される。
【００５９】
図１０は、封止部材１２０の他の構造を示す断面図である。なお、この封止部材１２０は、以下に説明する部分を除くと、これまでに示した封止部材１２０と同じ構造を有する。他の実施形態と同じ構成要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。
【００６０】
図示のように、この封止部材１２０は加熱部１２３を有する。加熱部１２３は、封止部材１２０により保持された積層ウエハ１９０の裏面と平行に、ブリッジ部材１２１により支持される。ブリッジ部材１２１は、封止部材１２０の外枠部１２２または内枠部１２４と、加熱部１２３の背面とを結合する。
【００６１】
このような構造により、加熱部１２３は、外枠部１２２または内枠部１２４と一体に取り扱うことができると共に、ウエハ１９２の裏面直近で積層ウエハ１９０を加熱するので、積層ウエハ１９０の温度を精度よく制御できる。また、加熱部１２３および積層ウエハ１９０の間には、熱を媒介する大気が入り込んでいるので、真空槽内で加熱する場合に比較して効率よく熱を伝えることができる。なお、加熱部１２３としては、電熱線の他、赤外線ランプ等を有するものも使用できる。
【００６２】
このように、封止部材１２０は、積層ウエハ１９０の裏面を加熱する加熱部１２３を更に有してもよい。これにより、非真空雰囲気で、積層ウエハ１９０を効率よく加熱できる。また、用途に応じて加熱部１２３を交換できるので、適切な種類、特性、容量の加熱部１２３を用いることができる。
【００６３】
図１１は、封止部材１２０のまた他の構造を示す断面図である。なお、この封止部材１２０も、以下に説明する部分を除くと、これまでに示した封止部材１２０と同じ構造を有する。他の実施形態と同じ構成要素には同じ参照番号を付して重複する説明を省く。
【００６４】
図示のように、この封止部材１２０は、保持した積層ウエハ１９０の裏面を覆うカバー部１２５を有する。カバー部は、封止部材１２０および積層ウエハ１９０の背面と共に方位した空間を気密に封止する。
【００６５】
このように、封止部材１２０は、積層ウエハ１９０の裏面を覆うカバー部１２５を有してもよい。これにより、積層ウエハ１９０の裏面を、外部からの接触等から保護できる。
【００６６】
また、カバー部１２５は、上記空間の内外を連通させる貫通孔を有する継ぎ手１２８をそれぞれが備える。これにより、継ぎ手１２８を介して、積層ウエハ１９０の裏面が面する空間を、真空源等に連通させることができる。
【００６７】
このように、カバー部１２５は積層ウエハ１９０の裏面を気密に覆い、積層ウエハ１９０の空間が減圧された場合に、裏面に面した空間も減圧されてもよい。これにより、積層ウエハ１９０の裏面に沿った僅かな空間を減圧して、表裏の圧力差により積層ウエハ１９０に応力が作用することを防止できる。
【００６８】
更に、この封止部材１２０は、カバー部１２５の内側に加熱部１２３を有する。加熱部１２３は、積層ウエハ１９０の裏面、封止部材１２０の内面およびカバー部１２５の内面により画成された空間で熱を発生するので、積層ウエハ１９０を効率よく加熱できる。
【００６９】
このように、カバー部１２５は、積層ウエハ１９０の裏面を加熱する加熱部１２３を含んでもよい。これにより、外部への放熱を遮断して、積層ウエハ１９０を効率よく加熱できる。また、加熱部１２３への外部からの接触を防止できる。
【００７０】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。また、上記実施の形態に、多様な変更または改良を加え得ることは当業者に明らかである。更に、その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】液体樹脂注入装置１００の正面図である。
【図２】液体樹脂注入装置１００の側面図である。
【図３】液体樹脂注入装置１００の分解図である。
【図４】封止部材１２０の構造を示す水平断面図である。
【図５】封止部材１２０の構造を示す垂直断面図である。
【図６】液体樹脂注入装置１００の部分断面図である。
【図７】液体樹脂注入装置１００の部分断面図である。
【図８】液体樹脂注入装置１００の排気系を模式的に示す図である。
【図９】液体樹脂１７２注入の手順を示す流れ図である。
【図１０】封止部材１２０の他の構造を示す断面図である。
【図１１】封止部材１２０のまた他の構造を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１００  注入装置、１１０  排気部、１１２、１４２、１４４、１２８  継ぎ手、１１４、１２７、１２９  排気孔、１１９  開放部、１２０  封止部材、１２１  ブリッジ部材、１２２  外枠部、１２３  加熱部、１２４  内枠部、１２５  カバー部、１２６  シール部材、１３０  封止プレート、１４０  気密容器、１４６  Ｏリング、１４１  気密室、１５０  止めネジ、１６０  昇降部、１６２  シリンダ、１６４  ピストン、１７０  開口容器、１７２  液体樹脂、１９０  積層ウエハ、１９２  ウエハ、１９４  デバイス、２１０、２２０  排気バルブ、２１２、２２２  真空計、２３０  ベントバルブ、２４０  ドライポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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