(57)【要約】【課題】ワイヤーソーによる切断能力の低下を抑制する。【解決手段】ローラ１１、１２の溝１１ａ、１２ａの底部をローラ１１、１２の回転軸心に対して多角形とする。これにより、ワイヤー２を走行する際に、ローラ１１、１２の下方位置における溝１１ａ、１２ａの底部からローラ１１、１２の回転軸までの距離がローラ１１、１２の回転に伴って変化する。このため、ワイヤー２に対して上下方向の振動を与えることが可能となり、インゴット４の切断溝４ａの底部とワイヤー２との間に間欠的に隙間を形成することができる。したがって、インゴット４に形成された切断溝４ａにスラリ４０に含まれたダイヤ砥粒４０ａが入り難くなることを防止できると共に、切断溝４ａからの切断屑の排出性が低下することを防止でき、ワイヤーソー装置１による切断能力が低下することを抑制することが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の溝を備えた回転可能な溝付きのローラ（１１、１２）を少なくとも２つ備え、該ローラ（１１、１２）の間にワイヤー（２）を張設し、該２つのローラ（１１、１２）の間に配置された前記ワイヤー（２）を炭化珪素のインゴット（４）に押し当てた状態で前記ローラ（１１、１２）の回転に基づいて前記ワイヤー（２）を走行させると共に、前記ワイヤー（２）に対して砥粒（４０ａ）が含まれたスラリ（４０）を供給することにより、前記ワイヤー（２）にて前記インゴット（４）を基板状に切断するワイヤーによる炭化珪素基板の製造方法において、
前記２つのローラ（１１、１２）のうち少なくとも一方について、該ローラ（１１、１２）に備えられる前記ワイヤー（２）を巻き付ける周方向のワイヤ保持溝（１１ａ、１２ａ）の底部を複数の稜線により構成することで、該底部の形状を回転軸心方向から見て多角形とし、
前記ワイヤー（２）を走行させて前記インゴット（４）の切断する際に、前記ワイヤ保持溝（１１ａ、１２ａ）の底部の形状が回転軸心に対して多角形とされた前記ローラ（１１、１２）が回転することで、前記ワイヤー（２）を前記インゴット（４）の切断方向と平行な方向に振動させることを特徴とするワイヤーによる炭化珪素基板の製造方法。
【請求項２】
複数の溝を備えた回転可能な溝付きのローラ（１１、１２）を少なくとも２つ備え、該ローラ（１１、１２）の間にワイヤー（２）を張設し、該２つのローラ（１１、１２）の間に配置された前記ワイヤー（２）を炭化珪素のインゴット（４）に押し当てた状態で前記ローラ（１１、１２）の回転に基づいて前記ワイヤー（２）を走行させると共に、前記ワイヤー（２）に対して砥粒（４０ａ）が含まれたスラリ（４０）を供給することにより、前記ワイヤー（２）にて前記インゴット（４）を基板状に切断するワイヤーによる炭化珪素基板の製造方法において、
前記２つのローラ（１１、１２）のうち少なくとも一方について、該ローラ（１１、１２）に備えられる前記ワイヤー（２）を巻き付ける周方向のワイヤ保持溝（１１ａ、１２ａ）の底部を回転軸心方向から見て、該回転軸心に対して偏心させた円形の一部と稜線とにより構成される形状とし、
前記ワイヤー（２）を走行させて前記インゴット（４）の切断する際に、前記溝（１１ａ、１２ａ）の底部が回転軸心に対して偏心させた円形の一部と稜線とにより構成された前記ローラ（１１、１２）が回転することで、前記ワイヤー（２）を前記インゴット（４）の切断方向と平行な方向に振動させることを特徴とするワイヤーによる炭化珪素基板の製造方法。
【請求項３】
前記稜線が前記インゴット（４）を押し付ける側を向いているときに、前記２つのローラ（１１、１２）の間のワイヤー（２）が前記２つのローラ（１１、１２）の配列方向と平行となるように前記２つのローラ（１１、１２）を配置することを特徴とする請求項１または２に記載の炭化珪素基板の製造方法。
【請求項４】
前記稜線の境界となる頂角が前記インゴット（４）を押し付ける側を向いているときに、前記２つのローラ（１１、１２）の間のワイヤー（２）が前記２つのローラ（１１、１２）の配列方向と平行となるように前記２つのローラ（１１、１２）を配置することを特徴とする請求項１または２に記載の炭化珪素基板の製造方法。
【請求項５】
前記２つのローラ（１１、１２）における前記ワイヤ保持溝（１１ａ、１２ａ）の前記稜線の境界となる頂角はＲ形状とされていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の炭化珪素基板の製造方法。
【請求項６】
前記ワイヤー（２）を走行させて前記インゴット（４）の切断する際に、前記２つのローラ（１１、１２）を同じ位相で回転させることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載のワイヤーによる炭化珪素基板の製造方法。
【請求項７】
前記ワイヤー（２）を走行させて前記インゴット（４）の切断する際に、前記２つのローラ（１１、１２）を異なる位相で回転させることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載のワイヤーによる炭化珪素基板の製造方法。
【請求項８】
複数の溝を備えた回転可能な溝付きのローラ（１１、１２）を少なくとも２つと、
前記２つのローラ（１１、１２）多角形の角度や稜線の長さ、数を変更することで、間隙を作るサイクルのタミングを変更することが可能になるの間に張設されたワイヤー（２）と、
前記ワイヤー（２）に対して砥粒（４０ａ）が含まれたスラリ（４０）を供給するスラリ供給装置（４１）と、を備え、
前記２つのローラ（１１、１２）の間に配置された前記ワイヤー（２）を炭化珪素のインゴット（４）に押し当てた状態で前記ローラ（１１、１２）の回転に基づいて前記ワイヤー（２）を走行させると共に、前記スラリ供給装置（４１）にて前記ワイヤー（２）に対して前記スラリ（４０）を供給することにより、前記ワイヤー（２）にて前記インゴット（４）を基板状に切断する炭化珪素基板製造用のワイヤーソー装置において、
前記２つのローラ（１１、１２）のうち少なくとも一方は、該ローラ（１１、１２）に備えられる前記ワイヤー（２）を巻き付ける周方向のワイヤ保持溝（１１ａ、１２ａ）の底部を複数の稜線により構成することで、該底部の形状を回転軸心方向から見て多角形とされていることを特徴とする炭化珪素基板用のワイヤーソー装置。
【請求項９】
複数の溝を備えた回転可能な溝付きのローラ（１１、１２）を少なくとも２つと、
前記２つのローラ（１１、１２）の間に張設されたワイヤー（２）と、
前記ワイヤー（２）に対して砥粒（４０ａ）が含まれたスラリ（４０）を供給するスラリ供給装置（４１）と、を備え、
前記２つのローラ（１１、１２）の間に配置された前記ワイヤー（２）を炭化珪素のインゴット（４）に押し当てた状態で前記ローラ（１１、１２）の回転に基づいて前記ワイヤー（２）を走行させると共に、前記スラリ供給装置（４１）にて前記ワイヤー（２）に対して前記スラリ（４０）を供給することにより、前記ワイヤー（２）にて前記インゴット（４）を基板状に切断する炭化珪素基板製造用のワイヤーソー装置において、
前記２つのローラ（１１、１２）のうち少なくとも一方は、該ローラ（１１、１２）に備えられる前記ワイヤー（２）を巻き付ける周方向のワイヤ保持溝（１１ａ、１２ａ）の底部を回転軸心方向から見て、該回転軸心に対して偏心させた円形の一部と稜線とにより構成される形状とされていることを特徴とする炭化珪素基板用のワイヤーソー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、張設したワイヤーを移動させつつ炭化珪素（以下、ＳｉＣという）のインゴットの切断してＳｉＣ基板の製造を行うワイヤーによるＳｉＣ基板の製造方法およびＳｉＣ基板用のワイヤーソー装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＳｉＣ単結晶のインゴットを切断してＳｉＣ基板を製造する場合、例えば特許文献１に示されるようにワイヤーソー装置が用いられている。具体的には、ワイヤーソー装置は、複数のローラに対してワイヤーを複数回巻き付けることでワイヤーが複数列に張設されたワイヤー列を構成しており、ローラの回転によってワイヤー列を一方向走行または往復走行させると共に、ワイヤーにダイヤ砥粒を混ぜたスラリを掛けることで、ＳｉＣ単結晶のインゴットに押し付けたワイヤー列にて複数枚のＳｉＣ基板を製造している。
【特許文献１】特開昭６０−１７２４６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、切断の進行と共にインゴットに形成された切断溝にスラリに含まれたダイヤ砥粒が入りにくくなると共に、切断溝からの切断屑の排出性が低下し、ワイヤーソー装置による切断能力が低下するという問題がある。これに対し、特許文献１に示される装置では、ローラを偏心回転させるという構造が採用されているが、ローラを偏心回転させるための設備が大掛かりであり、コスト的にも実現が難しく、汎用性に乏しい。
【０００４】
本発明は上記点に鑑みて、汎用性があり、かつ、ワイヤーソーによる切断能力の向上を図れるワイヤーソーによるＳｉＣ基板の製造方法およびＳｉＣインゴット切断用ワイヤーソー装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明では、複数の溝を備えた回転可能な溝付きのローラ（１１、１２）を少なくとも２つ備え、該ローラ（１１、１２）の間にワイヤー（２）を張設し、該２つのローラ（１１、１２）の間に配置されたワイヤー（２）を炭化珪素のインゴット（４）に押し当てた状態でローラ（１１、１２）の回転に基づいてワイヤー（２）を走行させると共に、ワイヤー（２）に対して砥粒（４０ａ）が含まれたスラリ（４０）を供給することにより、ワイヤー（２）にてインゴット（４）を基板状に切断するワイヤーによる炭化珪素基板の製造方法において、２つのローラ（１１、１２）のうち少なくとも一方について、該ローラ（１１、１２）に備えられるワイヤー（２）を巻き付ける周方向のワイヤ保持溝（１１ａ、１２ａ）の底部を複数の稜線により構成することで、該底部の形状を回転軸心方向から見て多角形とし、ワイヤー（２）を走行させてインゴット（４）の切断する際に、ワイヤ保持溝（１１ａ、１２ａ）の底部の形状が回転軸心に対して多角形とされたローラ（１１、１２）が回転することで、ワイヤー（２）をインゴット（４）の切断方向と平行な方向に振動させることを第１の特徴としている。
【０００６】
このように、ローラ（１１、１２）の溝（１１ａ、１２ａ）の底部がローラ（１１、１２）の回転軸心に対して多角形となるようにしているため、ワイヤー（２）を走行する際に、ローラ（１１、１２）のうち切断方向の先端位置、例えば下方位置における溝（１１ａ、１２ａ）の底部からローラ（１１、１２）の回転軸までの距離がローラ（１１、１２）の回転に伴って変化する。このため、ワイヤー（２）をインゴット（４）の切断方向と平行な方向に移動させられることで振動させられ、インゴット（４）の切断溝（４ａ）の底部とワイヤー（２）との間に間欠的に隙間を形成することができる。そして、溝（１１ａ、１２ａ）の底部を多角形としているため、ローラ（１１、１２）が一回転する間に複数回ワイヤー（２）を上下方向に振動させることが可能となる。これにより、インゴット（４）に形成された切断溝（４ａ）にスラリ（４０）に含まれた砥粒（４０ａ）が入り難くなることを防止できると共に、切断溝（４ａ）からの切断屑の排出性が低下することを防止でき、ワイヤーソー装置による切断能力を向上させることが可能となる。
【０００７】
また、本発明では、２つのローラ（１１、１２）のうち少なくとも一方について、該ローラ（１１、１２）に備えられるワイヤー（２）を巻き付ける周方向のワイヤ保持溝（１１ａ、１２ａ）の底部を回転軸心方向から見て、該回転軸心に対して偏心させた円形の一部と稜線とにより構成される形状とし、ワイヤー（２）を走行させてインゴット（４）の切断する際に、溝（１１ａ、１２ａ）の底部が回転軸心に対して偏心させた円形の一部と稜線とにより構成されたローラ（１１、１２）が回転することで、ワイヤー（２）をインゴット（４）の切断方向と平行な方向に振動させることを第２の特徴としている。
【０００８】
このように、ローラ（１１、１２）の溝（１１ａ、１２ａ）の底部を回転軸心に対して偏心させた円形の一部と稜線とにより構成される形状であれば、一定接切断を行った後に、極短時間のタイミングでスラリーを侵入させるとともに、切り屑を排出させる効果を与えることができる。
【０００９】
このような本発明の第１、第２の特徴において、稜線がインゴット（４）を押し付ける側を向いているときに、２つのローラ（１１、１２）の間のワイヤー（２）が２つのローラ（１１、１２）の配列方向と平行となるように２つのローラ（１１、１２）を配置することができる。このようにすれば、２つのローラ（１１、１２）が更に回転して稜線が２つのローラ（１１、１２）の配列方向と平行な位置から移動したときに、稜線に沿ってワイヤー（２）の張設状態が変わり、ワイヤー（２）をインゴット（４）の切り込み方向に作用させることができる。
【００１０】
同様に、稜線の境界となる頂角がインゴット（４）を押し付ける側を向いているときに、２つのローラ（１１、１２）の間のワイヤーが２つのローラ（１１、１２）の配列方向と平行となるように２つのローラ（１１、１２）を配置することもできる。このようにすれば、２つのローラ（１１、１２）が更に回転して頂角が２つのローラ（１１、１２）の配列方向と平行な位置から移動したときに、頂角を構成する稜線に沿ってワイヤー（２）の張設状態が変わり、ワイヤー（２）をスラリ（４０）の侵入方向に作用させることができる。
【００１１】
また、このような本発明の第１、第２の特徴において、ワイヤー（２）を走行させてインゴット（４）の切断する際に、２つのローラ（１１、１２）を同じ位相で回転させる様にしても良いし、２つのローラ（１１、１２）を異なる位相で回転させるようにしても良い。
【００１２】
例えば、第１の特徴においては、片側にしか空間ができないため、比較的加工性が良い材料に適している。また、第２の特徴においては、被加工材とワイヤの間に完全な空間ができるため、ワイヤの高速走行によりスラリーを確実に切断面に侵入させることが可能になり、切り屑も確実に排出される効果がある。
【００１３】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
【００１５】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態で用いるワイヤーソー装置１の模式的な斜視図である。ワイヤーソー装置１は、図１の紙面上下方向が天地方向と対応するように配置されている。
【００１６】
図１に示すように、三角形状に配置した３つの溝付ローラ（以下、単にローラという）１１〜１３に、一本の磁性金属材料線等のワイヤー２を螺旋状に巻き付けてあり、３つのローラ１１〜１３のうちの２つのローラ１１、１２の間に、複数列に並べられたワイヤー列２０を形成している。このワイヤー列２０にて基板形成用のＳｉＣ単結晶のインゴット４の切断が行われ、インゴット４の切断中に、紙面右側をワイヤー２の供給側、紙面左側をワイヤー２の回収側として、ワイヤー２の磨耗量を考慮して新線が常に供給されるようになっている。
【００１７】
また、３つのローラ１１〜１３のうちの残りの１つのローラ１３はモータ３によって回転させられるようになっており、このローラ１２が回転させられることにより、ワイヤー２が高速で往復走行させられる。すなわち、３つのローラ１１〜１３のうちのワイヤー列２０の両側に位置する２つのローラ１１、１２は、これら各ローラ１１、１２の支持軸３１、３２の中心軸を回転軸として回転自在とされており、ローラ１３がモータ３によって回転させられると、ローラ１１、１２もワイヤー２の走行に応じて回転させられるようになっている。
【００１８】
図２は、ローラ１１をワイヤー２が巻き付けられる溝１１ａにおいて切断したときの断面模式図である。なお、図２ではローラ１１の断面模式図を示したが、ローラ１２の溝１２ａも同様の構成とされている。溝１１ａ、１２ａはローラ１１、１２の周方向に沿って形成されているが、ローラ１１、１２の回転軸心に対する溝１１ａ、１２ａの底部の形状（ローラ１１、１２の回転軸方向から見たときの溝１１ａ、１２ａの底部の形状）を多角形状としている。すなわち、ローラ１１、１２の回転軸心に対する溝１１ａ、１２ａの底部の形状は、ローラ１１、１２の回転軸から溝１１ａ、１２ａの底部までの距離が一定となる円形状ではなく、異なる距離となる形状とされている。ローラ１１、１２の回転軸心に対する溝１１ａ、１２ａの底部までの距離は、最大距離となる箇所と最小距離となる箇所との差が例えば数ｍｍ程度となるように設定されている。
【００１９】
このような構成とする場合、図３（ａ）に示すように、稜線がインゴット４を押し付ける側を向いているときに、２つのローラ１１、１２の間のワイヤー２が水平方向（２つのローラ１１、１２の配列方向）と平行となるように２つのローラ１１、１２を配置することができる。このようにすれば、２つのローラ１１、１２が更に回転して稜線が２つのローラ１１、１２の配列方向と平行な位置から移動したときに、稜線に沿ってワイヤー２の張設状態が変わり、ワイヤー２をインゴット４の切り込み方向に作用させることができる。
【００２０】
同様に、図３（ｂ）に示されるように、稜線の境界となる頂角がインゴット４を押し付ける側を向いているときに、２つのローラ１１、１２の間のワイヤーが２つのローラ１１、１２の配列方向と平行となるように２つのローラ１１、１２を配置することもできる。このようにすれば、２つのローラ１１、１２が更に回転して頂角が２つのローラ１１、１２の配列方向と平行な位置から移動したときに、頂角を構成する稜線に沿ってワイヤー２の張設状態が変わり、ワイヤー２をスラリ４０の侵入方向に作用させることができる。
【００２１】
また、図１に示すように、ワイヤー列２０の下方には、インゴット４を配置するための台座５が備えられ、この台座５に対して接着部材（図示せず）を介してインゴット４が固定され、台座５の上でインゴット４の切断が行われる。
【００２２】
そして、ワイヤー２が走行した状態で、ワイヤー列２０に対して砥粒を混ぜたスラリ４０をワイヤー列２０の上方（インゴット４と反対側）に配置したスラリ供給装置４１から供給しながら、台座５を矢印Ｋの方向に移動してワイヤー列２０とインゴット４とを押し当てて切断溝を深く形成していく。そして、インゴット４の直径分切断することによりインゴット４から、例えば厚さ１．０ｍｍ程度以下のＳｉＣ単結晶基板を製造することができる。
【００２３】
図４は、ＳｉＣ単結晶のインゴット４の切断工程中の様子を示した部分拡大図である。この図に示すように、インゴット４の切断中に、切断溝４ａ中にスラリ４０に含まれたダイヤ砥粒４０ａが入り込み、ワイヤー列２０を走行することで、ワイヤー２と切断溝４ａの底部との間に入り込んだダイヤ砥粒４０ａにて切断を促進させながらインゴット４を切断する。
【００２４】
このようなＳｉＣ単結晶のインゴット４の切断工程において、上述したようにローラ１１、１２の溝１１ａ、１２ａの底部がローラ１１、１２の回転軸心に対して多角形となるようにしているため、ワイヤー２を走行する際に、ローラ１１、１２の下方位置における溝１１ａ、１２ａの底部からローラ１１、１２の回転軸までの距離がローラ１１、１２の回転に伴って変化する。このため、ワイヤー２をインゴット４の切断方向と平行な方向、つまり上下方向に移動させることでワイヤー２に対して上下方向に振動を与えることが可能となり、インゴット４の切断溝４ａの底部とワイヤー２との間に間欠的に隙間を形成することができる。そして、溝１１ａ、１２ａの底部を多角形としているため、ローラ１１、１２が一回転する間に複数回ワイヤー２を上下方向に振動させることが可能となる。これにより、インゴット４に形成された切断溝４ａにスラリ４０に含まれたダイヤ砥粒４０ａが入り難くなることを防止できると共に、切断溝４ａからの切断屑の排出性が低下することを防止でき、ワイヤーソー装置１による切断能力が低下することを抑制することが可能となる。
【００２５】
また、本実施形態では、ローラ１１、１２の溝１１ａ、１２ａの底部からローラ１１、１２の回転軸までの距離を一定にせずに変化させることにより、ワイヤー２を上下方向に振動させている。ワイヤー２を上下方向に振動させるだけであれば、ローラ１１、１２の回転軸自体を偏心駆動させるという方法もあるが、このような方法とするとワイヤーソー装置１の構造が複雑になり、設備費が高くなるし、ワイヤーソー装置１の稼動の自由度が乏しくなるという問題がある。これに対し、本実施形態のワイヤーソー装置１によれば、単にローラ１１、１２の溝１１ａ、１２ａの形状のみによってワイヤー２を上下方向に振動させられるため、ワイヤーソー装置１の構造の簡略化を図れると共に、設備費の削減、ワイヤーソー装置１の稼動の自由度の制限の抑制を図ることが可能となる。
【００２６】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態のワイヤーソー装置１は、第１実施形態に対してローラ１１、１２の溝１１ａ、１２ａの底部の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、上記第１実施形態と異なる点についてのみ説明する。
【００２７】
図５は、ローラ１１をワイヤー２が巻き付けられる溝１１ａにおいて切断したときの断面模式図である。なお、図５ではローラ１１の断面模式図を示したが、ローラ１２の溝１２ａも同様の構成とされている。
【００２８】
上記第１実施形態では、図２に示したように、ローラ１１、１２の回転軸心に対する溝１１ａ、１２ａの底部の形状を多角形状としているが、本実施形態では、ローラ１１、１２の回転軸心に対する溝１１ａ、１２ａの底部の形状を基本的には円形とし、円形の一部を平坦とした稜線を含む形状としている。つまり、溝１１ａ、１２ａの底部は、円弧と稜線とにより構成されている。そして、溝１１ａ、１２ａの底部により構成される円の中心をローラ１１、１２の回転軸から偏心させている。
【００２９】
なお、本実施形態では溝１１ａ、１２ａの底部が円の一部と稜線とにより構成されるようにしたが、稜線がインゴット４を押し付ける側を向いているときにワイヤー２が水平となるようにしたり、稜線の境界（稜線と円の一部との境界）との境界となる頂角がインゴット４を押し付ける側を向いているときにワイヤー２が水平を向くようにすることができることに関しては、第１実施形態と同様である。
【００３０】
このような構成では、溝１１ａ、１２ａの底部にて形成される円形がローラ１１、１２の回転軸から偏心させられているため、ワイヤー２を走行する際に、ローラ１１、１２の下方位置における溝１１ａ、１２ａの底部からローラ１１、１２の回転軸までの距離がローラ１１、１２の回転に伴って変化する。このため、ワイヤー２を上下方向に移動させることでワイヤー２に対して上下方向に振動を与えることが可能となり、インゴット４の切断溝４ａの底部とワイヤー２との間に間欠的に隙間を形成することができる。さらに、溝１１ａ、１２ａの底部が稜線を含んだ形状となっているため、ローラ１１、１２が一回転する間に複数回ワイヤー２を上下方向に振動させることが可能となる。これにより、第１実施形態と同様の効果を得ることが可能となる。
【００３１】
なお、本実施形態において、多角形の角度や稜線の長さ、数を適宜変更可能であり、これらを変更することで、間隙を作るサイクルのタミングを変更することが可能になる。
【００３２】
（他の実施形態）
上記各実施形態のワイヤーソー装置１は、ワイヤー列２０をインゴット４に押し当てるためのローラ１１、１２がモータ３にて駆動されるローラ１３の回転に同期して同じ位相で回転する構成となっているが、ローラ１１、１２もモータ駆動が為されるようにすることで異なる位相で回転するようにしても良い。また、ローラ１１、１２をリンク機構にて結合し、互いに位相が反転するような構造としても良い。
【００３３】
また、上記各実施形態では、ローラ１１、１２の溝１１ａ、１２ａを共に同じ形状とする場合について説明したが、異なる形状としても構わない。この場合、溝１１ａ、１２ａのうち少なくとも一方の底部の形状が多角形もしくは円弧と稜線にて構成されるようにすれば良い。
【００３４】
また、上記各実施形態では、３つのローラ１１〜１３を用いる場合について説明したが、ローラの数は単なる例示であり、これよりも多くのローラを用いても構わない。
【００３５】
また、上記各実施形態では、台座５に搭載したインゴット４をワイヤー列２０側に移動させることでワイヤー列２０にてインゴット４が押し付けられるようにしたが、ワイヤー列２０に対してインゴット４が相対的に移動させられれば良く、ワイヤー列２０側を移動させても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１実施形態にかかるワイヤーソー装置１の模式的な斜視図である。
【図２】ローラ１１をワイヤー２が巻き付けられる溝１１ａにおいて切断したときの断面模式図である。
【図３】（ａ）は、稜線とワイヤー２の張設状態の関係を示した断面模式図であり、（ｂ）は、稜線の境界となる頂角とワイヤー２の張設状態の関係を示した断面模式図である。
【図４】ＳｉＣ単結晶のインゴット４の切断工程中の様子を示した部分拡大図である。
【図５】本発明の第２実施形態にかかるワイヤーソー装置１のローラ１１をワイヤー２が巻き付けられる溝１１ａにおいて切断したときの断面模式図である。
【符号の説明】
【００３７】
１…ワイヤーソー装置１、２…ワイヤー、３…モータ、４…インゴット、４ａ…切断溝、５…台座、１１〜１３…ローラ、１１ａ、１２ａ…溝、２０…ワイヤー列、３１、３２…支持軸、４０…スラリ、４０ａ…ダイヤ砥粒、４１…スラリ供給装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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