(57)【要約】【課題】構造が簡単で光の利用効率が高い光ヘッドを提供する。【解決手段】光導波路を備えたスライダと、光源からの光を前記光導波路に偏向する斜面が先端部に設けられた光ファイバと、を備え、前記光ファイバは、樹脂に覆われて前記スライダに固定されており、前記斜面は外部に露出している。【選択図】図４
2009217880.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光導波路を備えたスライダと、
光源からの光を前記光導波路に偏向する斜面が先端部に設けられた光ファイバと、を備え、
前記光ファイバは、樹脂に覆われて前記スライダに固定されており、前記斜面は外部に露出していることを特徴とする光ヘッド。
【請求項２】
前記樹脂は、樹脂接着剤であることを特徴とする請求項１に記載の光ヘッド。
【請求項３】
前記樹脂接着剤は、紫外線硬化型接着剤であることを特徴とする請求項２に記載の光ヘッド。
【請求項４】
光導波路を備えたスライダと前記光導波路に光を導く光ファイバとが樹脂接着剤により固定されて形成される光ヘッドの製造方法であって、
前記スライダが並列に配置される窪みと、
前記窪みに配置された前記スライダが備えている前記光導波路の上方であって、前記光ファイバを平行に配置する位置決め溝と、
前記スライダの上に前記樹脂接着剤を溜める、一部が取り外し可能な枠と、を備えた成形治具を用い、
前記光導波路の位置を一方向に揃えて前記スライダを前記窪みに配置する工程と、
前記位置決め溝に前記光ファイバを位置決めし、前記スライダの上に該光ファイバを配置する工程と、
前記光ファイバが配置された前記スライダの上に前記樹脂接着剤を滴下して、該光ファイバを該樹脂接着剤で覆う工程と、
滴下した前記樹脂接着剤を硬化させ、前記スライダに前記光ファイバを固定する工程と、
前記スライダに前記光ファイバを固定した後、前記成形治具の前記枠の一部を取り外して前記光ファイバの前記光導波路側の端部を露出させる工程と、
露出した前記端部を研磨し、該端部に前記光導波路に光を偏向する斜面を形成する工程と、
前記樹脂接着剤により固定された前記スライダと前記光ファイバから前記成形治具を取り外す工程と、
前記スライダと該スライダに前記樹脂接着剤で接着された前記光ファイバとを一組として、個々に切断し分離する工程と、を有することを特徴とする光ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記樹脂接着剤は、紫外線硬化型接着剤であることを特徴とする請求項４に記載の光ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記光ファイバを前記位置決め溝に位置決めした状態において、前記位置決め溝は、前記窪みに配置された各々の前記スライダの両側に設けられていることを特徴とする請求項４または５に記載の光ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ヘッド及び光ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録方式では、記録密度が高くなると磁気ビットが外部温度等の影響を顕著に受けるようになる。このため高い保磁力を有する記録媒体が必要になるが、そのような記録媒体を使用すると記録時に必要な磁界も大きくなる。記録ヘッドによって発生する磁界は飽和磁束密度によって上限が決まるが、その値は材料限界に近づいており飛躍的な増大は望めない。そこで、記録時に局所的に加熱して磁気軟化を生じさせ、保磁力が小さくなった状態で記録し、その後に加熱を止めて自然冷却することにより、記録した磁気ビットの安定性を保証する方式が提案されている。この方式は熱アシスト磁気記録方式と呼ばれている。
【０００３】
熱アシスト磁気記録方式では、記録媒体の加熱を瞬間的に行うことが望ましい。また、加熱する機構と記録媒体とが接触することは許されない。このため、加熱は光の吸収を利用して行われるのが一般的であり、加熱に光を用いる方式は光アシスト式と呼ばれている。光アシスト式で超高密度記録を行う場合、近接場光を利用する光記録ヘッドが利用されており、その例を以下に示す。
【０００４】
（１）特許文献１に記載の光記録ヘッドは、ミラー基板、開口基板と、光ファイバからなっている。ミラー基板には斜面が形成され、この斜面にＡｌを蒸着したミラー面がある。また、ミラー基板にはＶ溝が形成されており、Ｖ溝に光ファイバが固定接着されている。開口基板はＳｉＯ2から成り、上面にマイクロレンズが形成されている。開口基板の底面には空気浮上のためのスライダと、その間に近接場光発生微小構造が形成されている。スライダ底面で規定される平面上に微小構造の先端が位置する。光ファイバからの出射光はミラー面で略９０°折り曲げられて反射され、マイクロレンズに入射し、このレンズで集光されて、微小構造に照射される。
【０００５】
（２）特許文献２に記載の光記録ヘッドは、可とう性を有する略棒状のコア及びこれを囲むクラッドを備えた光導波路に、反射面及び微小な開口部を持つ遮光膜を備えている。反射面は、コア内を伝搬する光をクラッドを透過する方向に反射するためのもので、コアの軸方向に対して４５度の角度で切断された光導波路の一端面からなっている。遮光膜は、光の透過を遮断するためのもので、反射面で反射された光が透過する部位を中心とするクラッド表面に形成されている。開口部は、近接場光を発生するためのもので、反射面で反射された光が透過する部位に対応する遮光膜の一部を、使用する光の波長よりも小さく除去して形成されている。反射面から反射された光が到達する部位に窪みを形成し集光レンズを設けたり、反射面から反射された光が到達する部位のクラッド中にクラッドとは屈折率の異なる球状、半球状、回転楕円体状若しくは回転放物面状の領域を設けているものもある。
【０００６】
特許文献２に記載の光記録ヘッドの製造方法として、以下が記載されている。光記録ヘッドを形成する上での基礎となる基板として表面にＡＢＳ面等の形状が形成されたＳｉ基板を用いる。Ｓｉ基板の上に、クラッド材料の第１層、コア材料の層、クラッド材料の第２層を積層して光導波路を形成している。クラッド材料の第１層の形成途中で、開口部の形成の位置にクラッド材料とは屈折率が異なるビーズ玉状のレンズを埋めることでコアからの光を十分に開口部に集光するためのマイクロレンズを構成している。クラッド材料の第２層を形成した後、コアの軸方向に対して４５度の角度で切断して反射面を形成している。
【０００７】
光導波路を構成するコアの軸方向に対して４５度の角度で切断して反射面を形成している例として、例えば光データリンク部品がある（特許文献３参照）。複数の短尺の光ファイバを所定の間隔で並べ、透明な樹脂で光ファイバを樹脂内に埋設一体化する。この後、一方の端面を傾斜した反射面となるように光ファイバを樹脂と共に研磨し、他方の端面は、別途用意される光コネクタの端面と接続可能な接合面となるように光ファイバを樹脂と共に研磨している。光ファイバを埋設一体化する樹脂を形成する際に、反射面より偏向された光が樹脂を透過する位置に、光データリンク部品と光結合する光素子（受光素子又は発光素子）に対して集光作用する突起を形成している。
【特許文献１】特開２００３−６９１３号公報
【特許文献２】特開２０００−２１５４９４号公報
【特許文献３】特開２００６−１５４３３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に記載の光記録ヘッドは、光ファイバからの射出光を近接場光発生微小構造に集光させて到達させるために、Ａｌの蒸着膜による偏向素子とマイクロレンズによる集光素子を備えている。偏向素子及び集光素子の製造に手間がかかる上に、これらの素子の光損失が大きいため、微小構造付近での近接場光の発生に寄与する光の利用効率の向上に上記の集光効果が十分に寄与しない。また、マイクロレンズの光軸がスライダの浮上方向と略平行となる構成のため、光記録ヘッドの全体を小さくすることができない。
【０００９】
特許文献２に記載の光記録ヘッドは、以下の構造である。可とう性を有する略棒状のコア及びこれを囲むクラッドを備えた光導波路に、（１）一端面側に反射面とする斜め構造、媒体上に浮上する面、（２）集光のための集光レンズやクラッドと屈折率の異なる領域、（３）近接場を生じさせる遮光膜における微小開口を備えている。このため、光導波路の構造が複雑であるため製造が容易でない。また、金属製遮光膜の微小開口による近接場光発生は、例えば三角形の形状をした平面状金属散乱体を平面基板上に形成したプローブに比較して光の利用効率が低い。
【００１０】
特許文献３に記載の光データリンク部品は、光ファイバの端面で反射した光を射出位置に形成した突起により集光可能な部品としているが、近接場光発生や記録媒体面に対して浮上する構成に関しては言及されていない。
【００１１】
本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、構造が簡単で光の利用効率が高い光ヘッド、及びこの光ヘッドを容易に製造する光ヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題は、以下の構成により解決される。
【００１３】
１．  光導波路を備えたスライダと、
光源からの光を前記光導波路に偏向する斜面が先端部に設けられた光ファイバと、を備え、
前記光ファイバは、樹脂に覆われて前記スライダに固定されており、前記斜面は外部に露出していることを特徴とする光ヘッド。
【００１４】
２．  前記樹脂は、樹脂接着剤であることを特徴とする１に記載の光ヘッド。
【００１５】
３．  前記樹脂接着剤は、紫外線硬化型接着剤であることを特徴とする２に記載の光ヘッド。
【００１６】
４．  光導波路を備えたスライダと前記光導波路に光を導く光ファイバとが樹脂接着剤により固定されて形成される光ヘッドの製造方法であって、
前記スライダが並列に配置される窪みと、
前記窪みに配置された前記スライダが備えている前記光導波路の上方であって、前記光ファイバを平行に配置する位置決め溝と、
前記スライダの上に前記樹脂接着剤を溜める、一部が取り外し可能な枠と、を備えた成形治具を用い、
前記光導波路の位置を一方向に揃えて前記スライダを前記窪みに配置する工程と、
前記位置決め溝に前記光ファイバを位置決めし、前記スライダの上に該光ファイバを配置する工程と、
前記光ファイバが配置された前記スライダの上に前記樹脂接着剤を滴下して、該光ファイバを該樹脂接着剤で覆う工程と、
滴下した前記樹脂接着剤を硬化させ、前記スライダに前記光ファイバを固定する工程と、
前記スライダに前記光ファイバを固定した後、前記成形治具の前記枠の一部を取り外して前記光ファイバの前記光導波路側の端部を露出させる工程と、
露出した前記端部を研磨し、該端部に前記光導波路に光を偏向する斜面を形成する工程と、
前記樹脂接着剤により固定された前記スライダと前記光ファイバから前記成形治具を取り外す工程と、
前記スライダと該スライダに前記樹脂接着剤で接着された前記光ファイバとを一組として、個々に切断し分離する工程と、を有することを特徴とする光ヘッドの製造方法。
【００１７】
５．  前記樹脂接着剤は、紫外線硬化型接着剤であることを特徴とする４に記載の光ヘッドの製造方法。
【００１８】
６．  前記光ファイバを前記位置決め溝に位置決めした状態において、前記位置決め溝は、前記窪みに配置された各々の前記スライダの両側に設けられていることを特徴とする４または５に記載の光ヘッドの製造方法。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の光ヘッド及び光ヘッドの製造方法によれば、構造が簡単で光の利用効率が高く製造を容易とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限らない。以下、本発明に係わる光ヘッドに磁気記録素子を有する光アシスト式磁気記録ヘッドとそれを備えた光記録装置等を図を参照しつつ説明する。尚、各実施形態の相互で同一の部分や相当する部分には同一の符号を付して重複の説明を適宜省略する。
【００２１】
図１に光アシスト式磁気記録ヘッドを搭載した光記録装置（例えばハードディスク装置）の概略構成例を示す。この光記録装置１００は、以下（１）〜（６）を筐体１の中に備えている。
（１）記録用のディスク（記録媒体）２
（２）支軸５を支点として矢印Ａの方向（トラッキング方向）に回転可能に設けられたサスペンション４
（３）サスペンション４に取り付けられたトラッキング用アクチュエータ６
（４）サスペンション４の先端に取り付けられた光アシスト式磁気記録ヘッド３（以下、光ヘッド３と称する。）
（５）ディスク２を矢印Ｂの方向に回転させるモータ（図示しない）
（６）トラッキング用アクチュエータ６、モータ及び記録等の制御を行う制御部７
こうした光記録装置１００は、光ヘッド３がディスク２の上で浮上しながら相対的に移動しうるように構成されている。
【００２２】
図２は、光ヘッド３の一例の側面図を示している。図３は、図２の光ヘッド３をＤで示す矢印の方向から光ファイバ１１と光導波路１６の配置関係を模式的に示している。図４は、サスペンション４を省略して、光ヘッド３の斜視図を示している。以下、これらの図を用いながら光ヘッド３に関して説明する。
【００２３】
光ヘッド３は、ディスク２に対する情報記録に光を利用する光ヘッドであって、光ヘッド３は、例えば近赤外レーザーを光源とする光を導光する光ファイバ１１とディスク２の上を浮上して相対移動するスライダ１５を備え、スライダ１５は、光導波路１６、磁気記録部１７及び磁気再生部１８を備えている。光導波路１６はディスク２の被記録部分を近赤外レーザー光でスポット加熱し、磁気記録部１７はディスク２の被記録部分に対して磁気情報の書き込みを行い、磁気再生部１８はディスク２に記録されている磁気情報の読み取りを行う。
【００２４】
尚、図２のスライダ１５には、ディスク２の記録領域の進入側から退出側（図の→方向）にかけて、磁気再生部１８、光導波路１６、磁気記録部１７の順にこれらが配置されているが、配置順はこれに限らない。光導波路１６の退出側直後に磁気記録部１７が位置すればよいので、例えば、光導波路１６、磁気記録部１７、磁気再生部１８の順に配置してもよい。尚、以降の説明では、磁気記録部１７、磁気再生部１８の説明を省く。
【００２５】
光ファイバ１１の光を射出する側の端部は、樹脂接着剤２１により光ファイバ１１が覆われてスライダ１５に固定されている。この端部の端面には、樹脂接着剤２１から露出した斜面が形成されている。この斜面が光を偏向する反射面２２となって、導光した光ＯＰをスライダ１５の方向に偏向する。光ファイバ１１で導光された光ＯＰは、クラッドを伝搬し光ファイバ１１から射出し、スライダ１５に設けられた光導波路１６の上端面に光スポットを形成する。この形成された光スポットは、光導波路１６で導波されて光ヘッド３からディスク２に向けて射出される。
【００２６】
スライダ１５は、ディスク２の面に対向する下面とこれに平行な上面を有し、この上面に光ファイバ１１が設けられ、下面と上面とに端面を有し、これら両面に対し概垂直に光導波路１６を備えている。
【００２７】
スライダ１５に固定された光ファイバ１１の射出側の端には斜め４５°にカットされ研磨されて反射面２２となる斜面を備えている。反射面２２で偏向された光は、光導波路１６の入射端面にほぼ垂直に入射する。反射面２２は、後で説明する樹脂接着剤で覆われないで露出しており、空気との屈折率の差による全反射を利用した内面反射面としている。
【００２８】
光導波路１６に入射する光の方向は、光導波路１６の入射面に対してほぼ垂直であることが好ましい。垂直方向から傾くにつれて光導波路１６で導波する効率が悪くなり、入射角（入射面に垂直な法線からの角度）が５°程度のほぼ垂直とすることで効率よく光を導波することができる。光ファイバ１１の外形がスライダ１５の上面に接した状態で固定され、反射面２２の角度を４５°としているため、反射面２２に入射し反射した光は、光導波路１６の入射面にほぼ垂直に入射する。
【００２９】
反射面２２で偏向され光ファイバ１１のクラッド部分を伝搬した光は光導波路１６に結合されるが、クラッド部分を伝搬する光は反射面２２からは発散光となり、徐々にビーム径が広がる。この広がりの程度は、伝播距離が光ファイバ１１の概半径（例えば、６２．５μｍ）と短いため、例えば図２、図３で示す構成では、光ファイバ１１が導光した光のビーム径が１０μｍであれば、光導波路１６に結合される際のビーム径の広がりは１２μｍ程度であり、光ファイバ１１と光導波路１６の光結合の損失は実用上問題とならない。
【００３０】
光ファイバ１１の切断面の外形は一般的に円形状であり、この円柱状の光ファイバ１１が樹脂で覆われ埋設された状態でスライダ１５に固定されている。このため、スライダ１５の上面の平坦面と光ファイバ１１の外形の円形とで形成される隙間には樹脂で埋められている。樹脂の屈折率は空気より大きく、光ファイバ１１のクラッドの屈折率に近い値の樹脂でこの空間を埋めることで、反射面２２で反射してクラッド部分を伝搬する光が光ファイバ１１の外周部で散乱されることなく、スライダ１５の光導波路１６に効率よく導かれる。樹脂としては、例えばアクリル系やエポキシ系の屈折率が１．３〜１．５程度の公知の光学部品用の樹脂接着剤が挙げられる。
【００３１】
スライダ１５は浮上しながらディスク２に対して相対的に移動するが、ディスク２に付着したごみや、媒体に欠陥がある場合には接触する可能性がある。その場合に発生する摩耗を低減するため、スライダ１５の材質には耐摩耗性の高い硬質の材料を用いることが望ましい。例えば、Ａｌ2Ｏ3を含むセラミック材料、例えばＡｌＴｉＣやジルコニア、ＴｉＮなどを用いれば良い。また、摩耗防止処理として、スライダ１５のディスク２側の面に耐摩耗性を増すために表面処理を行っても良い。例えば、ＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ）被膜を用いると、近赤外光の透過率も高く、ダイヤモンドに次ぐＨｖ＝３０００以上の硬度が得られる。
【００３２】
また、スライダ１５のディスク２と対峙する面には、浮上特性向上のための空気ベアリング面（ＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）面とも称する。）を有している。
【００３３】
このように、光ヘッド３は、端部の斜面を反射面２２とする光ファイバ１１、光導波路１６を備えたスライダ１５及びスライダ１５に光ファイバ１１を固定する樹脂接着剤２１で構成される簡単な構造のため小型であり、また、光路を構成する部品が少ないため光損失が少ないため光の利用効率が高い。また、光ヘッド３の厚みは、スライダ１５の厚み、光ファイバ１１の直径及び固定のための樹脂接着剤２１の厚みの他、これらの間に介在するものもなく薄くできる。このため、記録容量を大きくするために、複数のディスク２の間に光ヘッド３を備えている図１に示すような光記録装置１００を薄くすることができる。
【００３４】
これまで説明した光ヘッド３を製造する方法に関して図５、図６、図７の製造工程を示す図に沿って説明する。
【００３５】
図５（ａ）に示す第１の成形治具５１を用意する。第１の成形治具５１には、直方体形状のスライダ１５を並べて嵌め込む窪み５１ａを５個備えている。窪み５１ａの位置は、後で説明する溝５１ｂと所定の関係で対応している。この窪み５１ａに、光導波路１６、磁気記録部１７及び磁気再生部１８を備えているスライダ１５を、光導波路１６の位置を一定方向に揃えて嵌め込む。
【００３６】
第１の成形治具５１にスライダ１５を配置した後、図５（ｂ）に示すように、第１の成形治具５１を第２の成形治具５２に嵌め込む。これにより、第１の成形治具５１に並べられたスライダ１５の上に、これらスライダ１５を囲み後述する滴下して樹脂接着剤を溜めるための枠Ｗが形成される。光ヘッド３を製造する成形治具を第１の成形治具５１と第２の成形治具５２との２体構成にすることにより、後述する研磨の際にスライダ１５等を第１の成形治具５１に保持した状態で行うことができるため、研磨等の加工を高精度で効率よく行うことができる。
【００３７】
スライダ１５を設けた第１の成形治具５１と第２の成形治具５２を嵌め合わせた後、図５（ｃ）に示すようにスライダ１５の上に光ファイバ１１を配置する。窪み５１ａに対応して、第１の成形治具５１の上面に溝５１ｂ、第２の成形治具５２の上面に溝５２ｂがそれぞれ設けてある。溝５１ｂ及び溝５２ｂは、その断面形状がＶ字形状しており、窪み５１ａに配置したスライダ１５が備えている光導波路１６の位置に合わせて光ファイバ１１を配置するための位置決め溝である。また、溝５１ｂ及び溝５２ｂの深さは、配置した光ファイバ１１の円筒状の外周がスライダ１５の上面に接する深さとしている。
【００３８】
光ファイバ１１を溝５１ｂ及び溝５２ｂの両者の溝に沿わせ架け渡して配置すると、光ファイバ１１は、その真下に、窪み５１ａに配置したスライダ１５が備えている光導波路１６の入射面が位置するように的確に位置決めされる。溝５１ｂ及び溝５２ｂの断面形状は、Ｖ字形状に限定されないが、外形が円筒状の光ファイバ１１の位置決めが容易にできるので好ましい。
【００３９】
溝５１ｂ及び溝５２ｂの両者の溝に架け渡してスライダ１５の上に光ファイバ１１を配置した後、図６（ａ）に示すように、押さえ部材５３、５４でもって、溝５１ｂ及び溝５２ｂの開口側を覆い、光ファイバ１１を第１の成形治具５１、第２の成形治具５２それぞれに押さえつけて固定する。
【００４０】
押さえ部材５３、５４のそれぞれ溝５１ｂ及び溝５２ｂに対向する面には、光ファイバ１１を押さえるためのＶ溝に沿った形状のゴム等の弾性部材（図示しない）が設けてある。この弾性部材により、光ファイバ１１が移動しないようにスライダ１５に接した状態で第１の成形治具５１、第２の成形治具５２に固定される。また、弾性部材により、押さえ部材５３、５４と光ファイバ１１が設けられている溝５１ｂ及び溝５２ｂとで形成される略３角形状の空間が埋められる。このため、後述のスライダ１５の上に光ファイバ１１を固定する樹脂接着剤を滴下する際に、第１の成形治具５１と第２の成形治具５２とを嵌め合わせて形成される枠Ｗから樹脂接着剤が流出しない。
【００４１】
押さえ部材５３、５４に取り付ける弾性部材は、後述の樹脂接着剤としてＵＶ硬化樹脂を用いる場合、耐ＵＶ性のゴム等が好ましいがこれに限定されない。
【００４２】
次に、スライダ１５と光ファイバ１１とを固定するための樹脂接着剤を第１の成形治具５１と第２の成形治具５２とで形成した枠Ｗ内に滴下する。滴下する樹脂接着剤は、熱硬化接着剤、紫外線硬化接着剤等が挙げられるが、これらに限定されない。適量の樹脂接着剤を枠Ｗ内に滴下した後、図６（ｂ）に示すように、滴下した樹脂接着剤が隅々まで行き渡るように、例えば下面に離型剤を塗布した押さえ部材５５で樹脂接着剤２１を押さえた状態で、熱または紫外線を用いて樹脂接着剤を硬化させる。樹脂接着剤の硬化により、光ファイバ１１とスライダ１５とが上記で説明した所定の位置で固定され一体化される。
【００４３】
光ヘッド３には熱に耐えられない電気部品が集積される場合がある。このような場合、使用する樹脂接着剤は、紫外線硬化接着剤が好ましい。紫外線硬化接着剤を用いる場合、押さえ部材５５は紫外線を透過する透明板とする。硬化後の樹脂接着剤の屈折率は、光ファイバ１１の外周側面と接着剤間のフレネル反射を抑えるために、光ファイバ１１の屈折率（１．４〜１．５）と同じ若しくは近いことが望ましい。また、樹脂接着剤の硬化後の熱膨張率は、温度変化によって発生する光ファイバ１１とスライダ１５の熱膨張の差により生じる両者間の熱応力を緩和するために、光ファイバ１１の材料の熱膨張率とスライダ１５の材料の熱膨張率の中間であることが望ましい。
【００４４】
樹脂接着剤２１が硬化した後、図６（ｃ）に示すように、押さえ部材５４、５５、第２の成形治具５２を取り除き、更に押さえ部材５３に代えて固化した樹脂接着剤２１の部分も押さえる押さえ部材５６を設ける。押さえ部材５６は、後で説明する光ファイバ１１の端面研磨が容易にできるように斜面５６ａが設けてある。
【００４５】
図７（ａ）に示すように、樹脂接着剤２１で一体化されたスライダ１５と光ファイバ１１とが押さえ部材５６で第１の成形治具５１に固定された状態で、樹脂接着剤２１と共に、光導波路１６側の光ファイバ１１の端面を研磨して反射面２２となる４５度の斜面を形成する。このように、スライダ１５と光ファイバ１１とが一体化され第１の成形治具５１に固定された状態で研磨して斜面を形成するため、各光ファイバ１１に形成される斜面は精度にばらつきがなく安定して良好な平坦面とすることができる。
【００４６】
反射面２２は、樹脂接着剤２１から露出した状態となるため、空気との屈折率差による全反射を利用した内面反射面となる。また、反射面２２はスライダ１５の上面に対して４５度の角度を持たせているため、光ファイバ１１に導入された光は、この反射面２２で偏向され、光ファイバ１１の直下に位置している光導波路１６の入射面にほぼ垂直に入射することができる。
【００４７】
図７（ａ）に示す状態から、押さえ部材５６、第１の成形治具５１を取り除くことにより、図７（ｂ）に示す複数のスライダ１５それぞれに光ファイバ１１が樹脂接着剤２１で固定された成形品Ｓを得ることができる。この成形品Ｓからスライダ１５と光ファイバ１１とを一組として個々に例えばダイシングソー等により切断して分離することにより図７（ｃ）に示す光ヘッド３を得る。
【００４８】
上記で説明した光ヘッド３の製造方法において、スライダ１５の取り扱いの別例として以下がある。スライダ１５は、例えばＡｌＴｉＣ基板の上に磁気再生部、光導波路、磁気記録部を順次積層して複数個同時に形成した後、所定の大きさに切断し分離することにより得ることができる。ここで、図８に示すスライダ群１５Ａようにスライダ１５の複数個（図中では５個）が分離されない帯状態のまま、これまで説明した図５（ａ）に示す第１の成形治具５１にスライダ１５を配置した代わりに第１の成形治具６１の窪み６１ａにスライダ群１５Ａを配置する。以降は、図５（ｂ）、（ｃ）、図６（ａ）〜（ｃ）、図７（ａ）に示して説明した内容と同様に、スライダ群１５Ａに光ファイバ１１を樹脂接着剤で固定し、光ファイバ１１の端部に斜面を設ける。その後、図７（ｂ）に示す段階で、樹脂接着剤２１を切断、分離して個々の光ヘッド３にする際に、スライダ１５を分離するように切断して図７（ｃ）に示す光ヘッド３を得る。このようにすることにより、スライダの取り扱いが容易となり、スライダの切断や成形治具へ並べる手間を省くことができ、製造効率をより良好にすることができる。
【００４９】
また、上記で説明した光ヘッド３の製造方法において、成形治具の別例として以下がある。図５（ｂ）に示す第２の成形治具５２には、第１の成形治具５１と同様な光ファイバ１１の位置決め用の溝５２ｂが設けてある。このようにスライダ１５の両側に位置決め用の溝があることにより、光導波路１６の上方に光ファイバ１１の位置決めをより確実に行うことができるが、以下のように簡略化してもよい。
【００５０】
第１の成形治具５１に代わり、図９に示す溝５１ｂより長い溝７１ｂが設けてある第１の成形治具７１を用意する。長い溝７１ｂにより、配置する光ファイバ１１の先端の位置がスライダ１５が備えている光導波路１６の位置よりずれることなく配置できるようにする。これにより、第２の成形治具７２においては、光ファイバ１１の位置決め用の溝を省略している。光ファイバ１１を配置する際は、光ファイバ１１を第１の成形治具５１の溝５１ｂに沿って配置した後、第２の成形治具の第１の成形治具５１に対向する壁面に突き当てる。この状態で押さえ部材５３により光ファイバ１１を第１の成形治具７１に固定し、以下図６（ａ）〜（ｃ）、図７（ａ）〜（ｃ）と同様にすればよい。
【００５１】
これまで説明した光ヘッド３の製造方法によれば、複数の光ファイバをスライダの上に成形用治具を用いて配置し固定した後、光導波路に光を偏向する光ファイバの端部に設ける斜面を形成している。このため、光導波路と光ファイバとの位置関係を所定の関係にすることが容易であり、また、光ファイバをスライダに十分に固定した状態で斜面を形成することができるため、斜面を精度良く加工することができ、又製造バラツキを抑えることができる。このため、光ヘッドの個々の性能がばらつくことなく安定した性能を備えている。従って、構造が簡単で小型の光ヘッド３を効率よく製造することができる。
【００５２】
これまでの説明では、樹脂接着剤で成形する樹脂部分の形状を台形状としているが、この形状に限定されない。例えば、組み立て時の取り扱い、サスペンションの取り付け、光ヘッドしての稼働時における空気抵抗の影響等考慮した形状としてもよい。
【００５３】
また、例えば光ヘッドを大量に搬送したい場合、製造工程において、図７（ｂ）に示す複数のスライダ１５それぞれに光ファイバ１１が樹脂で固定された成形品Ｓの状態で一旦留めておいて、搬送後に個々の光ヘッドを切断して分離するようにしてもよい。このようにすることで、光ヘッド部品の搬送や搬送時の取り扱いを容易とすることができる。
【００５４】
これまで説明した光ヘッドは、ディスク２に対する情報記録に光を利用する光アシスト式磁気記録ヘッドであるが、記録媒体に対する情報記録に光を利用する光ヘッドであって、磁気再生部１８と磁気記録部１７を有しない、例えば、近接場光記録、相変化記録等の記録を行う光記録ヘッドとすることができる。また、光ヘッドは、近接場光を発生する微小な金属構造体（プラズモンプローブとも称する。）を光導波路１６の光射出位置又はその近傍に設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】光アシスト式磁気記録ヘッドを搭載した光記録装置の概略構成の例を示す図である。
【図２】光ヘッドの一例の側面図を示している。
【図３】光ヘッドの一例の記録媒体の流出側からみた正面図を示している。
【図４】光ヘッドの一例の斜視図を示している。
【図５】光ヘッドの製造工程を説明する図である。
【図６】光ヘッドの製造工程を説明する図である。
【図７】光ヘッドの製造工程を説明する図である。
【図８】光ヘッドの製造工程において、成形治具にスライダを配置する例を示す図である。
【図９】光ヘッドの製造工程において使用する成形治具の別の例を示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  筐体
２  ディスク
３  光ヘッド
４  サスペンション
１１  光ファイバ
２１  樹脂接着剤
１５  スライダ
１６  光導波路
１７  磁気記録部
１８  磁気再生部
２２  反射面
５１、６１、７１  第１の成形治具
５１ａ、６１ａ  窪み
５１ｂ、５２ｂ、７１ｂ  溝
５２、７２  第２の成形治具
５３、５４、５５、５６  押さえ部材
Ｓ  成形品
Ｗ  枠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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