(57)【要約】【課題】基板を正確かつ迅速に高密度で梱包することができる梱包方法を提供する。【解決手段】梱包方法は、基板５０に吸着可能な吸着部２５を有し基板を吸着保持可能な搬送装置２０を用い、鉛直方向に沿って延びる収納領域６５へ、基板を収納する方法である。梱包方法は、基板の少なくとも一側領域に吸着部を吸着させ、基板を吸着保持する工程と、基板の反りを評価する工程と、鉛直方向に沿った上面視において基板が収納領域内へ位置するように、収納領域の上方へ基板を位置決めする工程と、基板を前記収納領域へ搬送する工程と、を備える。基板の反りは、一側領域の吸着部によって吸着された部分が鉛直方向に沿うようにして基板が保持されている状態で、評価される。【選択図】図１
2009200247.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に吸着可能な吸着部を有し前記基板を吸着保持可能な搬送装置を用い、鉛直方向に沿って延びる収納領域へ、前記基板を収納する梱包方法において、
前記基板の一方の面のうちの少なくとも前記基板の一側の縁部近傍の一側領域に前記吸着部を吸着させ、前記基板を吸着保持する工程と、
前記基板が、前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして、前記搬送装置によって保持されている状態で、前記基板の反りを評価する工程と、
鉛直方向に沿った上面視において前記吸着部に吸着された基板が前記収納領域内へ位置するように、反りの評価結果に基づき、前記収納領域の上方へ前記基板を位置決めする工程と、
前記吸着部を鉛直方向に沿って下向きに移動させ、前記基板を前記収納領域へ搬送する工程と、を備える
ことを特徴とする梱包方法。
【請求項２】
前記基板を吸着保持する工程において、各々が長手方向を有する複数の吸着片であって前記長手方向に直交する方向に間隔を空けて配列された複数の吸着片を含む吸着部を、前記吸着片の長手方向が前記基板の一側から前記一側とは反対の側となる前記基板の他側へ向けて延びるようにして、前記基板に吸着させ、
前記基板が前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして保持されている状態において、前記吸着片の長手方向は鉛直方向に沿っている
ことを特徴とする請求項１に記載の梱包方法。
【請求項３】
前記基板の反りを評価する工程において、前記基板は静止している
ことを特徴とする請求項１または２に記載の梱包方法。
【請求項４】
前記基板の反りを評価する工程において、評価される反りは、前記基板が前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして保持されている状態における、前記基板の垂直方向に沿った曲がりと、前記基板が前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして保持されている状態における、前記基板の水平方向に沿った曲がりと、の少なくともいずれか一方である
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の梱包方法。
【請求項５】
前記基板の反りを評価する工程において、前記一側とは鉛直方向に沿った反対側となる前記基板の他側の縁部または縁部近傍の前記吸着部に対する相対位置を測定することにより、前記基板の反りを評価する
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の梱包方法。
【請求項６】
前記基板を前記収納領域の上方へ位置決めする工程において、水平方向に沿った移動、水平方向と平行な軸を中心とした回転、および、鉛直方向と平行な軸を中心とした回転のうちの少なくとも一つを前記基板に対して行うことにより、鉛直方向に沿った上面視において、前記基板が前記収納領域内に位置するようにする
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の梱包方法。
【請求項７】
前記基板の反りを評価する工程において、前記収納領域の大きさを考慮して前記基板の反りが大きすぎるか否かが判断され、
反りが大きすぎると判断されなかった基板のみが前記収納領域に搬送されるようになる
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の梱包方法。
【請求項８】
並列配置された複数の収納領域を含む収納箱を水平方向に移動させて、当該収納箱に含まれる収納領域のうちの次に基板を収納されるべき収納領域を所定の位置に配置する工程を、さらに備える
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の梱包方法。
【請求項９】
前記基板は、板状部材と、板状部材の片側の面上に形成されたリブと、を有するプラズマディスプレイパネルの背面板であり、
前記基板の一方の面は、前記板状部材の前記片側の面とは反対側の他方の面である
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の梱包方法。
【請求項１０】
鉛直方向に沿って延びる収納領域へ基板を収納する梱包装置であって、
前記基板の一方の面のうちの少なくとも前記基板の一側の縁部近傍の一側領域に吸着可能な吸着部を有し、前記基板を吸着保持して搬送可能な搬送装置と、
前記基板の前記一側領域のうちの前記吸着部によって吸着された部分が鉛直方向に沿うようにして前記搬送装置によって吸着保持された状態における前記基板の反りを、検出するための検出手段と、
前記搬送装置および前記検出手段に接続された制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
鉛直方向に沿った上面視において前記吸着部に吸着された基板が前記収納領域内へ位置するように、前記検出手段の検出結果に基づき、前記収納領域の上方へ前記基板を位置決めし、
その後、前記吸着部を鉛直方向に沿って下向きに移動させ、前記基板を前記収納領域へ搬送する
ように前記搬送装置を制御する
ことを特徴とする梱包装置。
【請求項１１】
前記吸着部は、各々が長手方向を有する複数の吸着片であって、前記長手方向に直交する方向に間隔を空けて配列された複数の吸着片を含み、
前記吸着部は、前記吸着片の長手方向が前記基板の一側から前記一側とは反対の側となる前記基板の他側へ向けて延びるようにして、前記基板に吸着するように構成され、
前記検出手段によって前記基板の反りを検出する際に、前記基板が前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして前記搬送装置によって吸着保持された状態で、前記吸着片の長手方向は鉛直方向に沿うように構成されている
ことを特徴とする請求項１０に記載の梱包装置。
【請求項１２】
前記検出手段によって前記基板の反りを検出する際に、前記搬送手段が前記基板を静止させるよう、前記制御装置は前記搬送装置を制御する
ことを特徴とする請求項１０または１１に記載の梱包装置。
【請求項１３】
前記検出手段は、前記基板が前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして保持されている状態における、前記基板の垂直方向に沿った曲がりと、前記基板が前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして保持されている状態における、前記基板の水平方向に沿った曲がりと、の少なくともいずれか一方の検出をするように構成されている
ことを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか一項に記載の梱包装置。
【請求項１４】
前記検出手段は、前記一側とは鉛直方向に沿った反対側となる前記基板の他側の縁部または縁部近傍の位置を検出する検出センサを有する
ことを特徴とする請求項１０乃至１３のいずれか一項に記載の梱包装置。
【請求項１５】
前記搬送装置が、前記基板を前記収納領域の上方へ位置決めする際に、水平方向に沿った移動、水平方向と平行な軸を中心とした回転、および、鉛直方向と平行な軸を中心とした回転のうちの少なくとも一つを前記基板に対して行い、鉛直方向に沿った上面視において前記基板が前記収納領域内に位置するよう、前記制御装置は前記搬送装置を制御する
ことを特徴とする請求項１０乃至１４のいずれか一項に記載の梱包装置。
【請求項１６】
前記制御装置は、前記収納領域の大きさを考慮して前記基板の反りが大きすぎるか否かを判断し、反りが大きすぎると判断されなかった基板のみが前記収納領域に搬送されるように前記搬送装置を制御する
ことを特徴とする請求項１０乃至１５のいずれか一項に記載の梱包装置。
【請求項１７】
並列配置された複数の収納領域を含む収納箱を水平方向に移動させて、当該収納箱に含まれる収納領域のうちの次に基板を収納されるべき収納領域を所定の位置に配置する移送手段を、さらに備える
ことを特徴とする請求項１０乃至１６のいずれか一項に記載の梱包装置。
【請求項１８】
前記基板は、板状部材と、板状部材の片側の面上に形成されたリブと、を有するプラズマディスプレイパネルの背面板であり、
前記基板の一方の面は、前記板状部材の前記片側の面とは反対側の他方の面である
ことを特徴とする請求項１０乃至１７のいずれか一項に記載の梱包装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を所定の収納領域へ収納することによって基板を梱包する梱包方法および梱包装置に係り、とりわけ、基板を正確かつ迅速に高密度で梱包することができる梱包方法および梱包装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１に開示されているように、基板（板状の部材）を搬送して収納位置に収納（梱包）する方法および装置が知られている。
【０００３】
特許文献１に開示された方法および装置において、基板（ウエハ）は、その板面が水平方向に沿うようにして搬送され、収納箱（ウエハキャリア）内の所定の収納位置に収納されるようになっている。また、特許文献１に開示された方法および装置においては、基板の搬送中に、水平姿勢に維持された基板の撓み量を測定するとともに、測定された撓み量に応じて基板の鉛直方向位置を収納領域に対して調整するようになっている。これにより、基板と収納箱との衝突を防止することができる。
【特許文献１】特開平１１−２５１４０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、昨今、種々の技術分野で用いられる基板について、大型化が進んでいる。とりわけ、フラットパネルディスプレイに用いられる基板類、例えばプラズマディスプレイパネルの背面板等においては、大型化が急速に進んでいる。
【０００５】
特許文献１に開示された方法および装置を用いて大型化された基板を取り扱う場合、基板の撓み量が全体的に大きくなってしまう。また、搬送中に基板が振動してしまい、基板の撓み量を正確に測定することができなくなる。
【０００６】
基板の撓み量が大きくなると、基板を収納する際に、収納領域の壁面に基板を衝突させて基板を破損させやすくなり、さらには、収納領域に基板を収納することができなくなる。また、撓み量の測定が正確でない場合にも、良品の基板を撓み量が大きすぎる不良品として廃棄することになってしまったり、基板を収納する際に、収納領域の壁面に基板を衝突させて基板を破損させてしまったりする虞がある。その一方で、基板の撓み量を正確に測定するため、基板の振動が十分に減衰した後に基板の撓み量を測定すると、一枚の基板を梱包するのに要する時間が極めて長くなってしまう。
【０００７】
このような不具合を解消するためには、基板が収納されるべき収納領域の間口を広げなればならない。この場合、基板が低密度に梱包（収納）されることになり、基板を梱包した梱包体が嵩張ってしまうという別の不具合が生じてしまう。
【０００８】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、基板を正確かつ迅速に高密度で梱包することができる梱包方法および梱包装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による梱包方法は、基板に吸着可能な吸着部を有し前記基板を吸着保持可能な搬送装置を用い、鉛直方向に沿って延びる収納領域へ、前記基板を収納する梱包方法にであって、前記基板の一方の面のうちの少なくとも前記基板の一側の縁部近傍の一側領域に前記吸着部を吸着させ、前記基板を吸着保持する工程と、前記基板が、前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして、前記搬送装置によって保持されている状態で、前記基板の反りを評価する工程と、鉛直方向に沿った上面視において前記吸着部に吸着された基板が前記収納領域内へ位置するように、反りの評価結果に基づき、前記収納領域の上方へ前記基板を位置決めする工程と、前記吸着部を鉛直方向に沿って下向きに移動させ、前記基板を前記収納領域へ搬送する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明による梱包方法の前記基板を吸着保持する工程において、各々が長手方向を有する複数の吸着片であって前記長手方向に直交する方向に間隔を空けて配列された複数の吸着片を含む吸着部を、前記吸着片の長手方向が前記基板の一側から前記一側とは反対の側となる前記基板の他側へ向けて延びるようにして、前記基板に吸着させ、前記基板が前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして保持されている状態において、前記吸着片の長手方向は鉛直方向に沿っているようにしてもよい。
【００１１】
また、本発明による梱包方法の前記基板の反りを評価する工程において、前記基板は静止しているようにしてもよい。
【００１２】
さらに、本発明による梱包方法の前記基板の反りを評価する工程において、評価される反りは、前記基板が前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして保持されている状態における、前記基板の垂直方向に沿った曲がりと、前記基板が前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして保持されている状態における、前記基板の水平方向に沿った曲がりと、の少なくともいずれか一方であるようにしてもよい。
【００１３】
さらに、本発明による梱包方法の前記基板の反りを評価する工程において、前記一側とは鉛直方向に沿った反対側となる前記基板の他側の縁部または縁部近傍の前記吸着部に対する相対位置を測定することにより、前記基板の反りを評価するようにしてもよい。
【００１４】
さらに、本発明による梱包方法の前記基板を前記収納領域の上方へ位置決めする工程において、水平方向に沿った移動、水平方向と平行な軸を中心とした回転、および、鉛直方向と平行な軸を中心とした回転のうちの少なくとも一つを前記基板に対して行うことにより、鉛直方向に沿った上面視において、前記基板が前記収納領域内に位置するようにしてもよい。
【００１５】
さらに、本発明による梱包方法の前記基板の反りを評価する工程において、前記収納領域の大きさを考慮して前記基板の反りが大きすぎるか否かが判断され、反りが大きすぎると判断されなかった基板のみが前記収納領域に搬送されるようにしてもよい。
【００１６】
さらに、本発明による梱包方法が、並列配置された複数の収納領域を含む収納箱を水平方向に移動させて、当該収納箱に含まれる収納領域のうちの次に基板を収納されるべき収納領域を所定の位置に配置する工程を、さらに備えるようにしてもよい。
【００１７】
さらに、本発明による梱包方法において、前記基板は、板状部材と、板状部材の片側の面上に形成されたリブと、を有するプラズマディスプレイパネルの背面板であり、前記基板の一方の面は、前記板状部材の前記片側の面とは反対側の他方の面であるようにしてもよい。
【００１８】
本発明による梱包装置は、鉛直方向に沿って延びる収納領域へ基板を収納する梱包装置であって、前記基板の一方の面のうちの少なくとも前記基板の一側の縁部近傍の一側領域に吸着可能な吸着部を有し、前記基板を吸着保持して搬送可能な搬送装置と、前記基板の前記一側領域のうちの前記吸着部によって吸着された部分が鉛直方向に沿うようにして前記搬送装置によって吸着保持された状態における前記基板の反りを、検出するための検出手段と、前記搬送装置および前記検出手段に接続された制御装置と、を備え、前記制御装置は、鉛直方向に沿った上面視において前記吸着部に吸着された基板が前記収納領域内へ位置するように、前記検出手段の検出結果に基づき、前記収納領域の上方へ前記基板を位置決めし、その後、前記吸着部を鉛直方向に沿って下向きに移動させ、前記基板を前記収納領域へ搬送するように前記搬送装置を制御することを特徴とする。
【００１９】
本発明による梱包装置において、前記吸着部は、各々が長手方向を有する複数の吸着片であって、前記長手方向に直交する方向に間隔を空けて配列された複数の吸着片を含み、前記吸着部は、前記吸着片の長手方向が前記基板の一側から前記一側とは反対の側となる前記基板の他側へ向けて延びるようにして、前記基板に吸着するように構成され、前記検出手段によって前記基板の反りを検出する際に、前記基板が前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして前記搬送装置によって吸着保持された状態で、前記吸着片の長手方向は鉛直方向に沿うように構成されていてもよい。
【００２０】
また、本発明による梱包装置において、前記検出手段によって前記基板の反りを検出する際に、前記搬送手段が前記基板を静止させるよう、前記制御装置は前記搬送装置を制御してもよい。
【００２１】
さらに、本発明による梱包装置において、前記検出手段は、前記基板が前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして保持されている状態における、前記基板の垂直方向に沿った曲がりと、前記基板が前記一側領域の前記吸着部によって吸着された部分において鉛直方向に沿うようにして保持されている状態における、前記基板の水平方向に沿った曲がりと、の少なくともいずれか一方の検出をするように構成されていてもよい。
【００２２】
さらに、本発明による梱包装置において、前記検出手段は、前記一側とは鉛直方向に沿った反対側となる前記基板の他側の縁部または縁部近傍の位置を検出する検出センサを有するようにしてもよい。
【００２３】
さらに、本発明による梱包装置において、前記搬送装置が、前記基板を前記収納領域の上方へ位置決めする際に、水平方向に沿った移動、水平方向と平行な軸を中心とした回転、および、鉛直方向と平行な軸を中心とした回転のうちの少なくとも一つを前記基板に対して行い、鉛直方向に沿った上面視において前記基板が前記収納領域内に位置するよう、前記制御装置は前記搬送装置を制御してもよい。
【００２４】
さらに、本発明による梱包装置において、前記制御装置は、前記収納領域の大きさを考慮して前記基板の反りが大きすぎるか否かを判断し、反りが大きすぎると判断されなかった基板のみが前記収納領域に搬送されるように前記搬送装置を制御してもよい。
【００２５】
さらに、本発明による梱包装置が、並列配置された複数の収納領域を含む収納箱を水平方向に移動させて、当該収納箱に含まれる収納領域のうちの次に基板を収納されるべき収納領域を所定の位置に配置する移送手段を、さらに備えるようにしてもよい。
【００２６】
さらに、本発明による梱包装置において、前記基板は、板状部材と、板状部材の片側の面上に形成されたリブと、を有するプラズマディスプレイパネルの背面板であり、前記基板の一方の面は、前記板状部材の前記片側の面とは反対側の他方の面であるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、基板を正確かつ迅速に高密度で梱包することができる。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさ便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００２９】
以下の本実施の形態においては、プラズマディスプレイパネル（以下において「ＰＤＰ」とも呼ぶ）の背面板を収納箱（梱包箱）の各収納領域に収納して梱包する例について説明する。ただし、ＰＤＰの背面板への適用に限られず、ＰＤＰの背面板以外の基板を梱包する場合についても本発明を適用することができる。なお、ＰＤＰの背面板については、種々の先行文献、例えば特開平１０−３２１１４８号公報に記載されており、ここでは詳細な説明を省略する。
【００３０】
図１乃至図９は本発明による梱包方法および検査装置の一実施の形態を説明するための図である。このうち図１は梱包装置の概略構成を示す斜視図であり、図２乃至図５は基板の変形量を測定する方法を説明する図であり、図６および図７は基板を位置決めする方法を説明するための斜視図であり、図８は基板を収納する状態を示す図であり、図９は収納領域を有する収納箱を示す斜視図である。
【００３１】
図１乃至図９に示すように、梱包装置１０は、基板５０に吸着可能な吸着部２５を有し、当該基板５０を吸着保持して搬送可能な搬送装置２０と、基板５０の吸着部２５によって吸着された部分が鉛直方向に沿うようにして搬送装置２０によって吸着保持された状態で、基板５０の反りを検出するための検出手段１５と、搬送装置２０および検出手段１５に接続された制御装置３０（図１以外では図示を省略）と、を備えている。この梱包装置１０は、収納箱６０の各収納領域に基板５０を収納して梱包するようになっている。
【００３２】
上述したように、基板５０は、ＰＤＰ用背面板であり、通常、ガラス基板を含む板状部材と、板状部材の片方の面上に形成されたリブと、を有している。通常、ＰＤＰを含む表示装置（典型的には、プラズマテレビ）の画像表示領域が四角形形状であることにともなって、基板５０も四角形形状（長方形形状）となっている。なお、上述したように、プラズマディスプレイパネル用背面板の詳細については、例えば特開平１０−３２１１４８号公報を参照されたい。
【００３３】
図１に示すように、搬送装置２０は、基部２１と、基部２１の端部にその一端を連結された第１アーム２２と、第１アーム２２の他端にその一端を連結された第２アーム２３と、をさらに有している。第２アーム２３の他端には、吸着部２５が連結されている。第１アーム２２は、鉛直方向と平行な軸１８ａを中心として基部２１に対して回動（回転）可能となっている。また、第１アーム２２は、水平方向と平行な軸１８ｂを中心として基部２１に対して揺動（回動）可能となっている。第２アーム２３は、水平方向と平行な軸１８ｃを中心として第１アーム２２に対して揺動（回動）可能となっている。吸着部２５は、水平方向と平行な軸１８ｄを中心として第２アーム２３に対して揺動（回動）可能となっている。また、吸着部２５は、第２アーム２３に対する揺動軸１８ｄに直交する軸１８ｅを中心として回動（回転）可能となっている。
【００３４】
本実施の形態において、図１に示すように、吸着部２５は、二つの吸着片２６，２７（第１吸着部材２６および第２吸着部材２７）を含んでいる。各吸着片２６，２７は、細長状に延び、長手方向を有している。二つの吸着片２６，２７は、互いの長手方向が平行となるよう、長手方向に直交する方向に間隔を空けて配列されている。図３に示すように、各吸着片２６，２７は、両端がふさがれた四角筒状に形成されており、各吸着片２６，２７の内部は、吸引機構２９に連通している。また、各吸着片２６，２７の基板５０と対面するようになる面には、多数の吸着孔２６，２７ａが形成されている。多数の吸着孔２６，２７ａは、各吸着片２６，２７の長手方向に沿って規則的（図示する例では等間隔）に配列されている。
【００３５】
吸着部２５は、基板５０の一方の面５０ａに吸着するようになっている。上述したように、ＰＤＰ用背面板である基板５０は、通常、板状部材と、板状部材の片側の面から突出するリブと、を有している。そして、吸着部２５は、板状部材の片側の面とは反対側の、リブが形成されていない平坦面（基板５０の一方の面）５０ａに吸着するようになる。
【００３６】
また、図３によく示されているように、長手方向に延びる吸着片２６，２７は、基板５０の一方の面５０ａに吸着した際、基板５０の板面に沿って、基板５０の一側の縁部５０ｂから、一側とは反対側の他側へ向けて延びる。したがって、吸着部２５は、基板５０の一方の面５０ａのうちの少なくとも基板５０の一側の縁部５０ｂ近傍の一側領域５１に吸着するようになる。本実施の形態においては、図３に示すように、吸着部２５の吸着片２６，２７は、基板の一側縁部５０ｂから一側縁部５０ｂに対向する他側縁部５０ｃへ向けて基板５０上を延び、一側縁部５０ｂと他側縁部５０ｃとを結ぶ方向において、一側縁部５０ｂと他側縁部５０ｃとの間の広い範囲の領域に吸着するようになる。
【００３７】
吸着部２５は、基板５０へ吸着することによって、基板５０の曲がりやねじれ等の反り変形を矯正する機能を発揮するようになる。したがって、図３に示すように、吸引機構２９の能力が許す限りにおいて、吸着部２５が一側縁部５０ｂから他側縁部５０ｃへ向けて基板５０上を延びる長さＬは、一側縁部５０ｂと他側縁部５０ｃとを結ぶ方向における基板５０の全長Ｌａに対し、大きく設定されていることが好ましい。
【００３８】
以上のような搬送装置２０は制御装置３０に接続されており、搬送装置２０の動作は制御装置３０によって制御されるようになっている。
【００３９】
次に、検出手段１５について説明する。上述したように、検出手段１５は、基板５０の吸着部２５によって吸着された部分が鉛直方向に沿うようにして搬送装置２０によって吸着保持された状態で、基板５０の反りを検出するために用いられる。ここで、「反り」とは、基板５０の平板状からの曲がりやねじれ等の変形を指す。したがって、「反り」には、例えば、四角形形状からなる基板のいずれかの縁部と平行な方向を中心とした基板の板面の曲がり等が含まれる。
【００４０】
図１に示すように、検出手段１５は、搬送装置２０の基部２１に保持された検出センサ１６と、検出センサ１６に接続されたコントローラ１７（図１以外では図示を省略）と、を有している。検出センサ１６は、搬送装置２０の基部２１に対して固定されている。コントローラ１７は、検出センサ１６からの検出信号を受けて、この信号を処理する。そして、コントローラによって処理された処理データに基づき、基板５０の反りが特定されるようになる。図１に示すように、コントローラ１７は制御装置３０に接続され、コントローラ１７によって導出された処理データは制御装置３０に送信されるようになっている。
【００４１】
図２に示すように、本実施の形態において、検出手段１５は、搬送装置２０が基板５０を静止させた状態で、当該基板５０について反りを検出する。そして、搬送装置２０が検査されるべき基板５０を所定の位置に静止状態に保持することにより、検出手段１５の検出センサ１６は、基板５０の板面上の所定位置に対面するようになる。具体的には、図３乃至図５に示すように、検出センサ１６は、基板５０の他側縁部５０ｃ、および、他側縁部５０ｃ近傍の他側領域５２内の一部分に対面するようになる。
【００４２】
ところで、検出センサ１６に対面する位置へ配置された基板５０は、一側縁部５０ｂと他側縁部５０ｃとを結ぶ方向が鉛直方向に沿うように、搬送装置２０によって保持される。すなわち、基板５０の反りを評価する際、搬送装置２０の吸着片２６，２７の長手方向は、鉛直方向の沿うようになる。なお、このとき、基板５０の一側縁部５０ｂが鉛直方向上方に位置し、基板５０の他側縁部５０ｃが鉛直方向下方に位置するようにして、基板５０は位置決めされる。
【００４３】
本実施の形態において、検出手段１５は、検出センサ１６と対面する他側縁部５０ｃまたは他側領域５２の、吸着部２５に対する相対位置を検出することができるように構成されている。図示する例において、検出センサ１６は、基板５０の他側縁部５０ｃに沿って延びている。そして、検出センサ１６は、当該検出センサ１６の位置を基準として、基板５０の他側縁部５０ｃまたは他側領域５２の位置（さらには輪郭）を検出することができるように構成されている。このような検出センサ１６は、市販されているレーザ型や超音波型の変位センサによって構成され得る。
【００４４】
ところで、上述したように、基板５０は、梱包装置１０によって、収納箱（梱包箱）６０の収納領域６５内へ収納されて梱包される。ここで、収納箱６０について説明しておく。図９に示すように、収納箱６０は、箱本体６１と、箱本体６１内に配置された仕切部材６２と、を有している。箱本体６１は、一面が開放された直方体の輪郭を有している。仕切部材６２は、箱本体６１の対向する一対の側面のそれぞれから異なる側面へ向けて延び出ている。そして、互いに向かい合う一対の仕切部材６２によって、箱本体６１内の空間が区分けされ、箱本体６１内に複数の収納領域６５が画定されている。
【００４５】
すなわち、収納箱６０は、基板５０を収納すべき収納領域６５を複数含んでおり、複数枚の基板５０を同時に収納可能に構成されている。本実施の形態において、基板５０は、その板面が互いに向かい合うようにして、並べて収納箱６０内に収納されるようになっている。そして、収納領域６５に基板５０が収納されると、仕切部材６２は、基板５０の板面のうちの水平方向における両縁部の領域に対面するようになる。
【００４６】
また、本実施の形態において、箱本体６１と仕切部材６２とが一体的に構成されている。このような箱本体６１および仕切部材６２は、例えば、緩衝作用を有する材料（一例として、発砲スチロール）から構成され得る。
【００４７】
図１に示すように、梱包時の配置において、また、その後の通常の取り扱いにおいて、収納箱６０は、各収納領域６５が鉛直方向に延びるようにして、配置される。したがって、収納箱６０内に梱包された基板５０は、その板面が略垂直方向に延びるようにして、縦置き収納される。つまり、各仕切部材６２は鉛直方向に沿って延びるようになっている。
【００４８】
次に、以上のような構成からなる梱包装置１０を用いて基板５０を梱包する方法の一実施の形態について説明する。
【００４９】
図１乃至図８に示すように、本実施の形態において、梱包方法は、基板５０を搬送装置２０によって吸着保持する工程と、吸着保持した基板５０について反りを評価する工程と、反りの評価結果に基づいて収納領域６５の鉛直方向上方に基板５０を位置決めする工程と、基板５０を鉛直方向下向きに搬送して収納領域６５に収納する工程と、を備えている。以下、各工程について詳述していく。
【００５０】
まず、搬送装置２０によって基板５０を保持する工程について詳述する。図１に示すように、梱包対象となる基板（ＰＤＰ用背面板）５０が、搬送装置２０の近傍に配置された搬送ライン７５上を流れてくる。制御装置３０からの制御信号に基づき、搬送装置の２０の吸着部２５が基板５０の一方の面５０ａへ対面する位置へ移動する。そして、吸引機構２９が動作し、吸着部２５が基板５０の一方の面に吸着する。
【００５１】
上述したように、吸着部２５は、各々が長手方向を有する複数の吸着片２６，２７であって長手方向に直交する方向に間隔を空けて配列された複数の吸着片２６，２７を含んでいる。そして、吸着部２５が基板５０へ吸着した際、各吸着片２６，２７は、基板５０の一方の面５０ａ上を、基板５０の一側から一側とは反対の側となる基板５０の他側へ向けて延びるようになる。したがって、吸着部２５は、基板５０の一方の面５０ａのうちの少なくとも一側縁部５０ｂ近傍の一側領域５１に吸着する。また、図３に示すように、吸着片２６，２７は、基板５０の一側縁部５０ｂから他側縁部５０ｃまでの長さの大部分を占める長さを有している。このような吸着片２６，２７が基板５０に吸着することにより、基板５０の板面に沿った領域のうちの、少なくとも吸着部２５によって吸着された部分に生じていた反りが、矯正されるようになる。
【００５２】
このようにして、吸着部２５が基板５０に吸着した後、搬送装置２０は基板５０を搬送ライン７５から持ち上げ、基板５０を吸着保持するようになる。
【００５３】
次に、吸着保持した基板５０について反りを評価する工程について説明する。搬送装置２０によって吸着保持された基板５０は、検出手段１５を用いて反りの大きさを評価される。本実施の形態において、基板５０の反りは、検出手段１５の検出センサ１６に対面する位置（反り評価位置）へ保持され、静止した状態で、評価されるようになる。さらに詳細には、基板５０の反りは、基板５０のうちの吸着部２５によって吸着された部分が鉛直方向に沿うようにして保持されている状態で、評価される。したがって、基板５０の反りが評価される際、基板５０を吸着保持する吸着部２５の吸着片２６，２７は、その長手方向が鉛直方向に沿うようにして、配置されている。とりわけ、本実施の形態においては、図３および図４に示すように、基板５０の一側領域５１が鉛直方向上方に位置し、基板５０の他側領域５２が鉛直方向下方に位置するようにして、基板５０が保持される。
【００５４】
このように基板５０の板面が略鉛直方向に沿う姿勢で基板５０を保持する場合、基板５０の自重によって、基板５０の搬送にともなった基板５０の振動を短時間で減衰させ、所定の位置において基板５０を短時間で静止させることができる。また、この点からすると、基板５０が搬送ライン７５から反り検査位置へ搬送される際にも、その板面が略鉛直方向に沿う姿勢で基板５０を搬送することが好ましい。この場合、基板５０の自重によって、搬送にともなって生じる基板５０の振動の発生自体を大幅に抑制することができるからである。
【００５５】
次に、検出手段１５の検出センサ１６に対面する位置（反り評価位置）に静止した状態で保持された基板５０に対し、検出手段１５を用いて反りの大きさが評価される。具体的には、図４および図５に点線矢印で示すように、検査手段１５の検出センサ１６から、基板５０の対面する部分に向けて信号波が送信される。この信号波は、基板５０において反射し、再び検出センサ１６によって受信される。検出手段１５のコントローラ１７は、検出センサ１６によって受信された信号波を解析し、基板５０の他側縁部５０ｃまたは基板５０の他側領域５２の検出センサ１６に対する相対位置を特定する。
【００５６】
ここで、基板５０の反りを測定する際、基板５０に吸着した吸着部２５は一定の位置に配置される。つまり、基板５０の反りを測定する際、基板５０に吸着する吸着部２５と検出センサとの相対位置は、常に、一定となる。したがって、コントローラ１７は、基板５０の他側縁部５０ｃまたは基板５０の他側領域５２の吸着部２５に対する相対位置を特定することができる。この結果、図４に示すように、基板５０の吸着部２５によって吸着された部分が鉛直方向に沿うようにして保持されている状態における、基板５０の垂直方向に沿った曲がりの大きさＣｖを測定することが可能となる。
【００５７】
また、図５に示すように、検出センサ１６は、基板５０の他側縁部５０ｃに沿って延びている。したがって、他側縁部５０ｃに沿った各位置において、基板５０の位置を特定していくことができる。この結果、図５に示すように、基板５０の吸着部２５によって吸着された部分が鉛直方向に沿うようにして保持されている状態における、基板５０の他側縁部５０ｃまたは他側領域５２での水平方向に沿った基板５０の曲がりの大きさＣｈを測定することが可能となる。なお、図５には、鉛直方向に沿った基板５０の一側縁部５０ｂの射影が示されている。
【００５８】
次に、反りの評価結果に基づいて収納領域６５の鉛直方向上方に基板５０を位置決めする工程について説明する。図６に示すように、反りの大きさを評価された基板５０は、まず、搬送装置２０によって、当該基板５０が収納されるべき収納領域６５の上方へ移動される。その後、基板５０は、当該収納領域６５の鉛直方向上方において、当該収納領域６５に対して位置決めされる。具体的には、図７に示すように、鉛直方向に沿った上面視において吸着部２５に吸着された基板５０が収納領域６５内に入り込むように、制御装置３０は、反りの測定結果に基づき、搬送装置２０の吸着部２５を移動させる。
【００５９】
なお、鉛直方向に沿った上面視における収納領域６５内において、吸着部２５に吸着された基板５０は種々の方法で位置決めされ得る。例えば、図６に示すように、基板５０は、収納領域６５の上方において、水平方向に沿って移動させられ（矢印Ａ）、あるいは、水平方向と平行な軸を中心として回転させられ（矢印Ｂ）、あるいは、鉛直方向と平行な軸を中心として回転させられ（矢印Ｃ）、あるいは、これらの動作の組み合わせにより、収納領域６５の上方で位置決めされる。
【００６０】
ところで、上述した反りを評価する工程において、収納領域６５の大きさを考慮して基板５０の反りの大きさが大きすぎるか否かが判断されている。そして、基板５０の反りの大きさが大きすぎて、上面視において当該基板５０が一つの収納領域６５に入りきらない場合には、当該基板５０は本工程（基板５０を位置決めする工程）に持ち込まれない。すなわち、制御装置３０は、位置決めすることにより上面視において一つの収納領域６５に入り得ると判断された基板５０のみが、収納箱６０の収納領域の上方に搬送されてくるように、搬送装置２０を制御する。
【００６１】
次に、基板５０を鉛直方向下向きに搬送して収納領域６５に収納する工程について説明する。上述したように、基板５０は、上面視において収納領域６５内に入り込むように、収納領域６５の鉛直方向上方で位置決めされている。したがって、位置決めされた基板５０を収納箱６０に対してそのまま鉛直方向下向きに相対移動させると、収納領域６５を画定する仕切部材６２に基板５０を衝突させることなく、基板５０を収納領域６５内に搬送することができる。
【００６２】
なお、図７および図８に示すように、基板５０の一方の面の吸着した吸着部２５は、一対の仕切部材６２の間を移動するようになっている。すなわち、収納領域６５を画定する壁面のうちの、基板５０に吸着した吸着部２５の移動経路に相当する部分が、排除されている。このような実施の形態によれば、搬送装置２０の構成に応じて、基板５０の形状に応じた大きさよりも収納領域６５を大きく設計しておく必要がない。したがって、収納領域６５を狭く設定し、基板５０を高密度で梱包することが可能となる。これにより、梱包に必要とされるスペースを小型化することができ、梱包された基板５０の保管や輸送等の取り扱いを低コスト化することができる。
【００６３】
以上のようにして、梱包装置１０を用いて一枚の基板５０を鉛直方向に延びる収納領域６５に収納して梱包することができる。そして、同様の方法により、次に梱包されるべき基板５０を梱包装置１０により収納領域６５に梱包していくことができる。
【００６４】
以上のような本実施の形態によれば、基板５０を吸着保持する搬送装置２０の基板５０に吸着した吸着部２５を鉛直方向に沿って下向きに移動させ、基板５０を収納箱６０の収納領域６５内へ搬送するようになっている。つまり、基板５０の板面が略鉛直方向に沿うようにして基板５０を鉛直方向下方に移動させ、鉛直方向に沿って延びる仕切部材６２によって画定された収納領域６５へ基板５０を収納するようになっている。したがって、基板５０を収納領域６５へ収納する際に、基板５０の自重によって基板５０の反りを自動的に矯正することができるようになる。また本実施の形態においては、基板５０を収納領域６５内へ収納する前に基板５０の反りを評価し、評価結果に応じて、鉛直方向に沿った上面視における収納領域６５に対する基板５０の相対位置を適切に位置決めするようになっている。これらのことから、鉛直方向に沿った上面視における収納領域６５の面積を小さくし、収納領域６５の省スペース化を図ることができる。
【００６５】
また、搬送装置２０に吸着保持されて搬送される基板５０は、その板面が略鉛直方向に沿う姿勢をとっている。したがって、基板５０の自重によって、基板５０の振動は大幅に抑制されるようになる。このように基板５０の振動が大幅に抑制されるので、基板５０を収納領域６５内に収納する際に、収納領域６５を画定する要素（本実施の形態においては、仕切部材６２）へ基板５０が衝突し、基板５０を破損させてしまうことを大幅に抑制することができる。これにより、基板５０の歩留まりを向上させることができるとともに、通常繰り返して利用される収納箱６０の寿命を延ばすことが可能となる。また、基板５０が静止した状態で基板５０の反りを評価することが可能となり、基板５０の反りを正確に評価することができる。したがって、収納領域６５を画定する要素へ基板５０が衝突してしまうことをさらに抑制することができる。また、基板５０が収納領域６５に収納され得るか否かを正確に判断することができ、これにより、基板５０の歩留まりを向上させることができる。
【００６６】
以上のことから、本実施の形態によれば、基板５０を正確かつ迅速に高密度で梱包することができる。
【００６７】
また、本実施の形態によれば、各々が長手方向を有する複数の吸着片２６，２７であって長手方向に直交する方向に間隔を空けて配列された複数の吸着片２６，２７を含む吸着部２５を、吸着片２６，２７の長手方向が基板５０の一側から他側へ向けて延びるようにして、基板５０に吸着させている。また、基板５０の反りを評価する際に、基板５０に吸着した吸着片２６，２７は、その長手方向が鉛直方向に沿うようにして、配置されている。このような本実施の形態によれば、吸着部２５が基板５０の反りを矯正する機能を有するようになる。また、基板５０へ振動が発生することを抑制することもできる。この結果、鉛直方向に沿った上面視における収納領域６５の面積をさらに小さくし、収納領域６５のさらなる省スペース化を図ることができる。
【００６８】
さらに、本実施の形態によれば、基板５０の反りを評価する際に、収納領域６５の大きさを考慮して基板５０の反りが大きすぎるか否かが判断される。そして、反りが大きすぎると判断されなかった基板５０のみが収納領域６５に搬送されるようになる。一方、反りが大きすぎると判断された基板５０は、例えば、廃棄される。このような本実施の形態によれば、反りが大きすぎる基板５０は、収納領域６５に収納されることがない。したがって、収納領域６５の大きさを適切な大きさに設定し、収納され得る基板５０の割合を高く維持すること、および、基板５０を近接配置して高密度に梱包すること、の両立を図ることができる。
【００６９】
なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、変形の一例について説明する。
【００７０】
例えば、図６に二点鎖線で示すように、梱包装置１０が、並列配置された複数の収納領域６５を含む収納箱６０を水平方向に移動させる移送手段４０を、さらに備えるようにしてもよい。このような梱包装置１０を用いた場合、収納箱６０の一つの収納領域６５に基板５０が収納されると、次に収納されるべき基板５０の搬送、反り評価または位置決めと並行して、収納箱６０に含まれる収納領域６５のうちの次に基板５０を収納されるべき収納領域６５が上面視において一定の位置に位置するよう、移送手段４０が収納箱６０を水平移動させることができる。このような例によれば、搬送装置２０の構成および制御を簡単化することができる。なお、このような移送手段４０としては、図６に二点差線で示すように収納箱６０を直線状に搬送する装置（例えば、いわゆるコンベア）を用いることができる。あるいは、収納箱６０を下方から支持した状態で回転可能なターンテーブルを有し、収納箱６０を曲線状に搬送する装置を、移送手段として用いることもできる。
【００７１】
また、上述した実施の形態において、基板５０が静止した状態で基板５０の反りが評価されるようになっている例を示したが、これに限られず、基板５０の搬送中に基板５０の反りを評価するようにしてもよい。
【００７２】
さらに、上述した実施の形態において、検出手段１５が、基板５０の他側縁部５０ｃまたは他側領域５２に対向する位置に配置された検出センサ１６を有する例を示した。この例において、検出センサ１６は、基板５０の他側縁部５０ｃまたは他側領域５２の吸着部２５に対する相対位置を検出するセンサとして機能する。しかしながら、基板５０の反りを評価可能な検出手段１５の構成は、上述の実施の形態で説明した構成に限られず、既知の種々の構成を採用することができる。例えば、図３に二点鎖線で示すように、検出センサ１６が、基板５０の一側縁部以外の縁部に対面する位置に配置されるようにしてもよいし、または、上述した検出センサ１６が、鉛直方向に沿って走査するようにしてもよい。これらの例によれば、基板５０の反りをより詳細に把握することができるようになる。また、基板５０の四隅に対面する位置のみに検出センサ１６を配置するようにしてもよい。さらに、検出センサ１６として変位センサが用いられる例を示したが、これに限られず、他の種類のセンサが検出センサ１６として用いられてもよい。
【００７３】
さらに、上述した実施の形態において、吸着部２５が並列配置された二つの細長状の吸着片２６，２７を有する例を示したが、これに限られず、吸着部２５が異なる構成を有していていもよい。例えば、吸着部２５が一つの吸着片のみを有していてもよいし、三つ以上の吸着片を有していてもよい。さらに、吸着部２５が、細長状以外の形状を有した吸着片を有するようにしてもよい。
【００７４】
さらに、上述した実施の形態において、搬送装置２０が、基部２１と、第１アーム２２と、第２アーム２３と、吸着部２５と、を有するように構成された例を示した。しかしながら、このような構成は単なる例示であって、種々の既知な搬送装置を用いることが可能である。
【００７５】
さらに、上述した実施の形態において、検出手段１５が、検出センサ１６と、検出センサ１６の検出信号を処理するコントローラ１７と、を有するように構成された例を示した。しかしながら、このような構成は単なる例示であって、適宜変更することが可能である。例えば、コントローラ１７が制御装置３０に組み込まれ、制御装置３０の一部分をなすようにしてもよい。
【００７６】
さらに、上述した実施の形態において、主に図９を参照しながら収納箱６０の一例を説明したが、これに限られず、種々の構成を有した収納箱の鉛直方向の延びる収納領域６５内に基板５０を収納するようにしてもよい。例えば、上述した実施の形態において、収納箱６０の箱本体６１と仕切部材６２とが一体的に構成されている例を示したが、これに限られず、箱本体６１と仕切部材６２とが別体として別の材料から構成されていてもよい。また、収納箱６０が、例えば木や段ボール紙からなる枠材をさらに有し、枠材内に箱本体６１が収容されているようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】図１は、本発明による梱包装置の一実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１に対応する斜視図であって、基板の反りを評価する際の状態を示す斜視図である。
【図３】図３は、図２に示された状態における基板の平面図であって、吸着部による基板の吸着方法および検出手段による基板の反りの評価方法を説明するための図である。
【図４】図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図であって、吸着部による基板の吸着方法および検出手段による基板の反りの評価方法を説明するための図である。
【図５】図５は、図３のＶ−Ｖ線に沿った断面図であって、検出手段による基板の反りの評価方法を説明するための図である。
【図６】図６は、図１に対応する斜視図であって、基板の位置決め方法を説明するための図である。
【図７】図７は、鉛直方向に沿った上面視において、基板の位置決め方法を説明するための上面図である。
【図８】図８は、図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った断面図であって、基板を収納領域へ収納する方法を説明するための図である。
【図９】図９は、並列配置された複数の収納領域を有する収納箱を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７８】
１０  梱包装置
１５  検出手段
１６  検出センサ
１７  コントローラ
２０  搬送装置
２５  吸着部
２６，２７  吸着片
３０  制御装置
４０  移送手段
５０  基板
５０ａ  一方の面
５０ｂ  一側縁部
５０ｃ  他側縁部
５１  一側領域
５２  他側領域
６０  収納箱
６５  収納領域
【図１】
2009200247.tif 000003
【図２】
2009200247.tif 000004
【図３】
2009200247.tif 000005
【図４】
2009200247.tif 000006
【図５】
2009200247.tif 000007
【図６】
2009200247.tif 000008
【図７】
2009200247.tif 000009
【図８】
2009200247.tif 000010
【図９】
2009200247.tif 000011