(57)【要約】【課題】フィルム上に粘着された気体吸着部材の剥離性を向上し、気体吸着部材の自動ピックアップに対応できる気体吸着部材付きフィルムを提供することを目的とする。【解決手段】電子機器に内包される気体吸着部材２を有し、複数の該気体吸着部材２がフィルム１上に一定の間隔をおいて粘着剤３により粘着され、前記フィルム１から前記気体吸着部材２を順次剥離し供給できる気体吸着部材２付きフィルム１であって、前記粘着剤３は部分的に塗布されている状態とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子機器に内包される気体吸着部材を有し、複数の該気体吸着部材がフィルム上に一定の間隔をおいて粘着剤により粘着され、前記フィルムから前記気体吸着部材を順次剥離し供給できる気体吸着部材付きフィルムであって、前記粘着剤は部分的に塗布されていることを特徴とする気体吸着部材付きフィルム。
【請求項２】
前記気体吸着部材と前記フィルムとの間に、粘着基材シートを更に有し、該粘着基材シートの第一の表面に前記粘着剤が部分的に塗布されており、前記第一の表面とは反対側である第二の表面に、より広い領域または全面において粘着剤が塗布されている請求項１に記載の気体吸着部材付きフィルム。
【請求項３】
前記粘着基材シートの第一の表面側が前記フィルム側に粘着し、第二の表面側が前記気体吸着部材側に粘着している請求項２に記載の気体吸着部材付きフィルム。
【請求項４】
部分的に塗布された前記粘着剤がアクリル系粘着剤である請求項１〜３のいずれかに記載の気体吸着部材付きフィルム。
【請求項５】
部分的に塗布された前記粘着剤がドット状に塗布されたものである請求項１〜４のいずれかに記載の気体吸着部材付きフィルム。
【請求項６】
部分的に塗布された前記粘着剤がストライプ状に塗布されたものである請求項１〜４のいずれかに記載の気体吸着部材付きフィルム。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の気体吸着部材付きフィルムから気体吸着部材を剥がし取り、該気体吸着部材を電子機器の内部に装着することを特徴とする電子機器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明らは、気体吸着部材付きフィルム及びこのフィルムを用いた電子機器の製造方法に関するものである。気体吸着部材が用いられる電子機器としては、例えば、有機ＥＬ表示装置やハードディスクドライブなどが挙げられる。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ素子を用いた有機ＥＬ表示装置やハードディスクドライブなど、湿度や酸性ガス、有機ガスによって劣化する虞のある電子機器類の内部には、水蒸気や有害ガス等を吸着する機能を有する気体吸着部材が使用されている。例えば、特許文献１には、有機ＥＬ素子の水分等による経時劣化を回避すべく、有機ＥＬ素子を収納した密閉容器内に、吸着剤を配置することにより、該容器内の水分やその他有機ＥＬ素子の劣化を引き起こすガスを吸着除去する気体吸着部材が記載されている。
【０００３】
このような気体吸着部材を有機ＥＬ素子の製造ラインに供給する場合、気体吸着部材は、生産性向上のため、基材がテープ状のＰＥＴフィルムで構成される剥離ライナーの上に、剥離ライナーの長さ方向に多数連続的に粘着（仮着）された状態で供給される。両面テープにより剥離ライナーに粘着された各気体吸着部材は、エア吸引装置により剥離ライナーからピックアップされ、順次、有機ＥＬ素子に組み込まれていく。
【０００４】
特許文献２には、気体吸着部材の供給例ではないが、剥離シートＳからラベルＬをピックアップし、被着体Ｗに装着する方法について記載されている。特許文献２の図４には、鋭角のエッジ部を有するピールプレート６０を剥離シートＳの裏面から押し当てながら剥離シートＳを走行させることにより、ラベルＬの先端を剥離シートＳから浮き上がらせ、浮き上がった部分を契機として吸引装置６１によりラベルＬをピックアップする様子が示されている。有機ＥＬ素子の製造ラインにおいても、同様の構成により、気体吸着部材をピックアップする。
【特許文献１】特開２００２−２８０１６６号公報（図１等）
【特許文献２】特開２００６−８２８１２号公報（図４等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記製造ラインにおいて、気体吸着部材がピールプレート６０のエッジ部を通過しても気体吸着部材の先端部が浮き上がらず、剥離シートＳが剥離ライナーに粘着したままの状態となってしまう（特許文献２の図５参照）。このような状態では、ピックアップの成功確率が落ちてしまい、生産タクトが低下したり、歩留まりが低下する原因となってしまう。
【０００６】
ピックアップ装置の例ではないが、剥離性を高めるために、粘着剤の粘着性を小さくする技術も知られている（例えば、特開２００４−９１５４６号公報や、特開２００５−１４６０８０号公報参照）。しかしながら、本発明者らの検討によると、粘着剤の粘着性を単に小さくするだけでは、剥離ライナー上に整然と配列させていた気体吸着部材が梱包時などに位置ずれを起こしてしまい、自動ピックアップには適応できない状態になってしまう。
【０００７】
そこで、本発明は、剥離ライナー上では一定の粘着力を発揮して気体吸着部材を適切な位置に確実に粘着させつつも、ピールプレート通過時には、気体吸着部材の先端を確実に浮き上がらせる状態とし、気体吸着部材を良好にピックアップすることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を進めた。その結果、現状の気体吸着部材の成形方法は、刃物による打ち抜き法であるため、刃物が気体吸着部材を貫通し、剥離ライナー表面に刃物の打痕が形成され、この際、剥離ライナーと気体吸着部材との間にある粘着剤が刃物に巻き込まれることにより、剥離ライナーの打痕内にくい込み、そのため、気体吸着部材の外周部で剥離ライナーとの固着が特に高くなっていることを見出した。そして、気体吸着部材の面積に対して粘着剤の塗布面積を小さくすることにより、すなわち、粘着剤の塗布を部分的とすることにより、剥離ライナーの打痕内に侵入する粘着剤の量を減らし、気体吸着部材外周部の剥離性を従来よりも高くする（剥がれやすくする）ことができるのではないかと考え、本発明を完成した。
【０００９】
上記目的を達成し得た本発明の気体吸着部材付きフィルムは、
電子機器に内包される気体吸着部材を有し、複数の該気体吸着部材がフィルム上に一定の間隔をおいて粘着剤により粘着され、前記フィルムから前記気体吸着部材を順次剥離し供給できる気体吸着部材付きフィルムであって、前記粘着剤は部分的に塗布されているものである。
【００１０】
上記気体吸着部材付きフィルムにおいて、
気体吸着部材と前記フィルムとの間に、粘着基材シートを更に有し、該粘着基材シートの第一の表面に前記粘着剤が部分的に塗布されており、前記第一の表面とは反対側である第二の表面に、より広い領域または全面において粘着剤が塗布されていることが推奨される。
【００１１】
上記気体吸着部材付きフィルムにおいて、
前記粘着基材シートの第一の表面側が前記フィルム側に粘着し、第二の表面側が前記気体吸着部材側に粘着していることが推奨される。
【００１２】
上記気体吸着部材付きフィルムにおいて、
部分的に塗布された前記粘着剤がアクリル系粘着剤であることが推奨される。
【００１３】
上記気体吸着部材付きフィルムにおいて、
部分的に塗布された前記粘着剤がドット状に塗布されていてもよい。
【００１４】
上記気体吸着部材付きフィルムにおいて、
部分的に塗布された前記粘着剤がストライプ状に塗布されていてもよい。
【００１５】
上記目的を達成し得た本発明の電子機器の製造方法は、
上記の気体吸着部材付きフィルムから気体吸着部材を剥がし取り、該気体吸着部材を電子機器の内部に装着するものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明により、フィルムである剥離ライナー上では一定の粘着力を発揮して気体吸着部材を適切な位置に確実に粘着させつつも、ピールプレート等の通過時には、気体吸着部材の先端を確実に浮き上がらせる状態とし、気体吸着部材を良好にピックアップすることが可能となり、ピックアップの成功確率が向上する。その結果、電子装置の生産タクトの向上や歩留まりの向上を実現することができる。
【００１７】
また、本発明に斯かる気体吸着部材付きフィルムを用いて気体吸着部材を電子機器内部に装着した場合、気体吸着部材とその被粘着物との間に噛み込む空気の量は少ないため、気体吸着部材を薄型化することができる。厚みの膨らみは薄型化が求められる有機ＥＬ素子においては貼付後の厚さ許容値を満たさず、有機ＥＬ素子との接触による素子破壊にもつながる恐れがあり、本発明はこの点においても有機ＥＬ素子の生産タクトの向上、生産歩留りの向上に寄与するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態における気体吸着部材付きフィルムについて、図面を参照しながら説明する。
【００１９】
（１）気体吸着部材付きフィルムの構成
図１は、本実施の形態における気体吸着部材付きフィルムの一例の断面を示すものである。図１において、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）基材から構成されるフィルム（以下、剥離ライナーともいう）１上に複数の気体吸着部材２が粘着剤３を介して粘着されている。気体吸着部材２は、大きなシート状物の気体吸着部材を剥離ライナー１上に形成した後に、刃物を押打し、不要な部分を剥がし取ることによって必要な部分のみを残す方法により形成される。粘着剤３は、粘着基材シート４の第一の表面に塗布されたものであり、第一の表面とは反対側である粘着基材シート４の第二の表面に粘着剤５が塗布されている。粘着剤３、粘着基材シート４、粘着剤５は、両面テープ６を構成している。
【００２０】
剥離ライナー１の表面であって、気体吸着部材２の外周部には、気体吸着部材を刃物で打ち抜く際の打痕７が残っている場合が多い。打痕７の深さは調整することは可能であるが、刃物が剥離ライナー１の表面に到達しない場合には、打ち抜き不良となってしまう。
【００２１】
図２は、剥離ライナー１側から見た平面図であり、粘着剤３は、粘着基材シート４の第一の表面にドット状に塗布されていることを示すものである。
【００２２】
図３は、他の実施の形態における粘着基材シート４の平面図であり、粘着剤３がストライプ状に塗布されている場合の例を示すものである。
【００２３】
（２）気体吸着部材
気体吸着部材２としては、水分又は電子機器に有害なガスを吸着する機能を有する限り種々の吸着部材を使用でき、好ましくは気体吸着剤をバインダーで結合したものが使用できる。バインダーを用いれば、気体吸着剤粉の発生を簡便に低減でき、電子機器を汚染する虞がない。
【００２４】
バインダーとしては、樹脂（特に熱可塑性樹脂）などの固体バインダーを使用するのが好ましく、特に電気絶縁性に優れた樹脂、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリビニリデンフルオライド、ポリビニルフルオライドなどのフッ素系樹脂；エチレン系不飽和単量体の単独又は共重合体（テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、エチレン−テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体等）などのポリオレフィン系樹脂の粉末材料が好適に使用できる。中でもポリテトラフルオロエチレン樹脂が好ましい。ポリテトラフルオロエチレン樹脂は、耐熱性、耐薬品性に優れており、さらにはこの樹脂のファインパウダーを気体吸着剤と混合してシート化すると、シートが多孔質化するために気体吸着剤の吸着特性が阻害されない。
【００２５】
気体吸着剤とは、化学的、物理的、あるいは化学物理的な作用で雰囲気中の気体を除去するもののことを意味する。気体吸着剤には、空気中の水蒸気及び／又は酸性ガス（ＳＯｘ、ＮＯｘ、ＨＣｌ等））を除去するものが含まれる。また気体吸着剤は、多孔質体であることが好ましい。
【００２６】
気体吸着剤のうち好ましく用いる化学吸着剤としては、アルカリ金属酸化物（Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ等）、アルカリ土類金属酸化物（ＣａＯ、ＭｇＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ等）、金属ハロゲン化物（ＣａＣｌ２、ＭｇＣｌ２、ＣｒＣｌ２、ＦｅＣｌ２、ＮｉＣｌ２等）、金属硫酸塩（ＣａＳＯ４、ＭｇＳＯ４、ＦｅＳＯ４、ＮｉＳＯ４、等）、過塩素酸塩（ＫＣｌＯ４、ＮａＣｌＯ４、Ｆｅ（ＣｌＯ４）２、Ｃｏ（ＣｌＯ４）２、Ｃａ（ＣｌＯ４）２、Ｍｇ（ＣｌＯ４）２、Ｂａ（ＣｌＯ４）２、Ｍｎ（ＣｌＯ４）２等）等が挙げられる。前記化学吸着剤を単独で用いても、１種または２種以上の混合物を用いても良い。アルカリ土類金属酸化物、金属ハロゲン化物、金属硫酸塩などは水分除去に好適に使用できる。
【００２７】
特に、酸化バリウム、酸化ストロンチウム、酸化カルシウム及び硫酸カルシウムの中から選ばれる少なくとも１種を含む化学吸着剤の使用が好ましい。これらの吸着剤は、特に吸湿速度が速い。また、化学反応による吸着であるため分解温度以下の温度では吸着質を脱着しないという特徴を有する。
【００２８】
吸湿性吸着剤のうち物理吸着剤としては、活性炭、ゼオライト、アルミナ、ボリア、チタニア、シリカゲル、セピオライト、活性白土等を例示できる。物理吸着剤は、加熱や減圧等により比較的容易に吸着質を脱着させることができ、再生利用しやすい点で優れている。
【００２９】
本実施の形態においては、好ましくは化学吸着剤と物理吸着剤との混合物を用いる。数種の化学吸着剤と物理吸着剤を組み合わせることで、数種の吸着質に対する吸着性能を持たせることができる。また、反応速度や吸湿容量の異なる化学吸着剤と物理吸着剤を組み合わせることで吸着性能の即効性と持続性を発揮できる。また物理吸着剤として、例えば活性炭を用いることで気体吸着剤に黒色系の着色を施すことができ、ピックアップの際のセンサー検知に有効であるという利点がある。化学吸着剤と物理吸着剤（特に活性炭）を混合する場合、活性炭の割合は、化学吸着剤１００質量部に対して、例えば、０．１〜３０質量部、好ましくは１〜２０質量部である。
【００３０】
本実施の形態で用いる気体吸着剤は、酸素吸着剤であってもよい。酸素吸着剤としては、従来公知の各種のもの、例えば、金属や金属酸化物の粉末、特に、鉄粉や酸化鉄（ＦｅＯ）の粉末を用いることができる。酸素吸着剤は、単独で使用してもよく、前記吸湿性吸着剤（特に化学吸着剤）と組み合わせて使用してもよい。酸素吸着剤と化学吸着剤とを組み合わせる場合、酸素吸着剤量は、化学吸着剤１００質量部に対して、例えば、０．１〜５０質量部、好ましくは１〜３０質量部程度である。
【００３１】
本実施の形態において用いる気体吸着剤は、通常、粉体である。気体吸着剤の平均粒径は、気体吸着部材２の厚さを考慮して決定するのが推奨される。平均粒径は、レーザー回折式の粒度分布測定装置（島津製作所製のＳＡＬＤ−２０００）を用いて測定した。この場合、吸着剤の平均粒径は、気体吸着部材２の厚さに対して、例えば、３／４以下、好ましくは２／３以下である。気体吸着部材２の厚さに対して粒径が大きすぎる場合は気体吸着部材２の表面の平滑性を失い、厚さばらつきに大きく影響してしまうからである。
【００３２】
気体吸着剤の平均粒径の下限値は、特に制約されないが、通常１０μｍ程度である。本発明で好適に使用する気体吸着剤（酸化バリウム、酸化ストロンチウム、酸化カルシウム、硫酸カルシウム等の化学吸着剤）の平均粒径は、前記範囲と異なっていてよく、例えば、０．１〜５００μｍ、好ましくは１〜３００μｍである。
【００３３】
バインダーと気体吸着剤の混合比は、これらの種類に応じて適宜設定できる。例えば、バインダー樹脂と気体吸着剤の混合質量比（バインダー樹脂：気体吸着剤）は、２：９８〜９０：１０、好ましくは４：９６〜８０：２０の範囲とすることが好ましい。２：９８よりもバインダー樹脂の配合比が小さいと気体吸着部材２をシート化することができず、また、９０：１０よりもバインダー樹脂の配合比が大きいと気体吸着部材２の吸着性能が不十分となる。
【００３４】
気体吸着部材２の厚さは、例えば、０．０２〜２ｍｍ、好ましくは０．０５〜０．５ｍｍである。気体吸着部材２の厚さが０．０２ｍｍよりも薄いと、気体吸着剤の充填量が不足するようになり、又、製造上の取扱いが困難となる。一方、気体吸着部材２の厚さが２ｍｍよりも厚いと、材料コストが高くなる。又、気体吸着部材２を有機ＥＬ素子に装着する場合には、素子全体を厚くする必要があるため、携帯電話やモバイル端末、ポータブルオーディオプレーヤーなど小型化が要求される用途に適さない。
【００３５】
気体吸着部材２の平面的形状は、特に限定されず、気体吸着部材２を装着する場所（例えば、有機ＥＬ素子の封止部材の内側表面）の形状や大きさに合わせて適宜決定すればよい。気体吸着部材（気体吸着シート）２の装着には、接着剤を用いた接着、熱可塑性樹脂を用いた融着、粘着材を用いた粘着等、適宜の方法を用いることができるが、粘着材を用いる方法が、簡便で作業性に優れるため好ましい。
【００３６】
なお、吸湿性吸着剤とバインダー樹脂を混合してシート状に成形する方法の一例としては、特開２００３−３２０２１５号公報記載の製法が適用できる。ただし、特に左記方法に限定される訳ではなく、要するに吸着性能を確保した上でシート状に成形できればよく、従来公知の方法が適宜用いられる。
【００３７】
（３）粘着剤
本実施の形態における粘着剤３としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤等、従来公知のものが適宜使用できるが、アクリル系粘着剤が耐熱性に優れており好ましく用いられる。粘着剤３の耐熱温度（被着体に対して粘着性を保持できる温度）は、例えば、８０℃以上、好ましくは１２０℃以上である。耐熱温度が８０℃未満では、使用時の熱負荷によって気体吸着部材２が剥れてしまう場合がある。
【００３８】
粘着剤３を形成する層の厚さは５００μｍ以下とすることが好ましい。厚さが５００μｍを超えると、材料コストが高くなる。又、有機ＥＬ素子に使用する場合には、素子全体の厚さが厚くなるため、携帯電話やモバイル端末、ポータブルオーディオプレーヤーなど小型化が要求される用途に適さない。
【００３９】
（４）粘着剤の塗布領域
本発明の粘着剤３は部分的に塗布（パターン塗布）されている。部分的な塗布であれば、図２に示すドット形状、図３に示すストライプ形状などの形状に限定されず、種々のパターン（好ましくは規則的な繰り返しパターン）で塗布される。ドット形状に塗布する場合、各ドットの形状は、丸型、四角形、多角形状、文字形状、幾何学形状のいずれであってもよく、各形状の配列は任意であってよい。ドットの形状や各形状の配列は、インクジェットやスクリーン印刷やグラビア印刷などの各種の印刷手法を用いることができる。ストライプ形状に塗布する場合、ストライプを構成する各線は、直線、平面内で蛇行する波型等から適宜選択し使用すればよい。塗布面積の割合は、製造環境、使用環境における温度領域全般で、気体吸着部材２を支持できる粘着力を有する範囲で設定すればよいが、好ましくは、粘着基材シート４の面積の０．５％以上、８０％以下、さらに好ましくは、粘着基材シート４の面積の５％以上、７０％以下とする。
【００４０】
（５）両面テープ
両面テープ６には、ポリエステルやポリイミド等により構成される粘着基材シート４、その表裏に、部分的に塗布された粘着剤３、全面的に塗布された粘着剤５で構成される３層構造のものを用いても良い。粘着剤３と粘着剤５には、基本的には同じ材料のものを使用してもよいし、異なる材料のものを使用してもよい。粘着基材シート４を用いることにより適度な腰が出るため、製造時の取扱い性が向上する。両面テープ６は、部分的に塗布された粘着剤３を剥離ライナー１側に貼り付けて使用するのがよい。
【００４１】
（６）剥離ライナー
本実施の形態における剥離ライナー１は、薄い気体吸着部材２を保管、運搬する役割を担うものである。剥離ライナー１の基材としては少なくとも片面あるいは両面がシリコーン系離型剤で処理されたＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムが好ましい。ＰＥＴ以外に選択し得る材料としては、例えば、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン、ポリカーボネート等の樹脂フィルム、グラシン紙、上質紙、コート紙、含浸紙、合成紙などの紙、アルミニウム、ステンレススチール等の金属箔などが挙げられる。
【００４２】
剥離ライナー１の厚さは、例えば、１０〜１００μｍ、好ましくは２５〜５０μｍである。なお、基材の表面には、離型剤や粘着剤との接着性を向上させるため、コロナ放電処理、プラズマ処理、フレームプラズマ処理などを施してもよく、プライマー層などを設けてもよい。プライマー層としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、スチレン系共重合体、ポリエステル、ポリウレタン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンイミン、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、これらの変性物などの高分子材料（所謂アンカーコート剤）を使用することが出来る。
【００４３】
（７）気体吸着部材付きフィルムの使用例
図４〜図９は、本実施の形態における気体吸着部材付きフィルムである剥離ライナー１から気体吸着部材２をピックアップする工程を示すものであるが、ここで説明する使用例は、あくまで例示であってこれに限定されるものではなく、本発明の主旨に沿う範囲で種々変更を加えて実施することができる。以下、気体吸着部材付きフィルムの使用例、乃至は電子装置の製造方法について図４〜図９に従い順を追って説明する。
【００４４】
図４に示すように、複数の気体吸着部材２が剥離ライナー１に粘着（仮着）された状態で図面の左側に向かって順次送給されてくる。剥離ライナー１には、常に張力が加えられており、緩みはない。剥離ライナー１は、鋭角に形成されたナイフエッジ８で図面右下方向に折り返される。本実施の形態において、ナイフエッジ８の鋭角部は、６０度以下であることが好ましい。
【００４５】
このとき、気体吸着部材２に塗布された接着剤３（図１参照）は、全面的ではなく部分的に塗布されているために、剥離ライナー１の打痕７内にくい込んでいる接着剤３の量は少ない。そのため、気体吸着部材２の先頭部分は剥離ライナー１の折り返しに伴って剥離ライナー１から剥がれ易い。剥がれた先頭部分を以後、「ピックアップ先端部」と記載する。
【００４６】
このような剥がれ作用を考慮すると、接着剤３の塗布を部分的（本実施の形態では、ドット状）とする必要があるのは、必ずしも気体吸着部材２の全面ではなく、気体吸着部材２の外周領域、或いは、先頭領域において部分的（ドット状等）であれば足りることが分かる。
【００４７】
また、気体吸着部材２の先頭端がナイフエッジ８の端部に達してから気体吸着部材２を更に１〜１．５ｍｍ程度進ませた状態で剥離ライナー１の送給を一時停止すると、気体吸着部材２が持つ弾性力により、先端部が剥離ライナー１から剥がれ、より確実にピックアップ先端部を形成すことができる。
【００４８】
次に、図５に示すように、空気の吸引により目的物を吸着し他の場所へ移動させることのできる吸着ヘッド９により、気体吸着部材２を吸着する。ここで、少なくともピックアップ先端部を吸着するようにする。気体吸着部材２の残りの部分の吸着及び引き剥がしを容易にするためである。
【００４９】
次に、図６に示すように、吸着ヘッド９の位置はそのままで、ナイフエッジ８を図面右側に移動（後退）させる。この動作により、気体吸着部材２の残りの部分が引き剥がされ、粘着基材シート４や粘着剤３とともに、気体吸着部材２は、剥離ライナー１から吸着ヘッド９へ完全に移行する。
【００５０】
次に、図７に示すように、吸着ヘッド９は、気体吸着部材２を吸着したままで気体吸着部材２を装着すべき電子機器の構成部材（図示せず：例えば有機ＥＬ素子）まで搬送し、気体吸着部材２を所定の場所に装着する。
【００５１】
最後に、図８に示すように、図面右側に後退させていたナイフエッジ８を再び図面左側方向へ移動（前進）させ、かつ張力を作用させつつ剥離ライナー１を送給することによって、図９に示すように、図４と同じ状態に戻る。これにより、１枚の気体吸着部材２を剥がし、吸着ヘッド９により気体吸着部材２を所定の場所に装着する一連の作業が完結する。
【００５２】
気体吸着部材２が内部に装着された電子機器構成部材からは、その後、公知の方法によって有機ＥＬ表示装置やその他の電子機器が製造される。
【００５３】
以上説明したように、本発明にかかる気体吸着部材付きフィルムは、粘着剤３が部分的に塗布されているため、気体吸着部材２の外周部がフィルム１から剥がれやすい構造となっている。
【００５４】
また、気体吸着部材２とフィルム１との間に粘着基材シート４を用い、粘着基材シート４の第一の表面に前記粘着剤３を部分的に塗布し、第一の表面とは反対側である第二の表面に、より広い領域または全面において粘着剤５を塗布する構成とすれば、粘着剤３の取り扱い性が向上すると共に、第一の表面と第二の表面の粘着力の差から、剥離作業を安定的に行なうことができる。
【００５５】
この場合、粘着基材シート４の第一の表面側をフィルム１側とし、第二の表面側を気体吸着部材２側とするのが好ましい。フィルム１を折り曲げることにより気体吸着部材２を剥離する場合に有利である。
【００５６】
次に、本実施の形態にかかる粘着剤の剥離不良率等に関して行った試験の内容、およびその結果について説明する。
【００５７】
（ｉ）粘着強度
試験に用いた各種の粘着剤の接着力の違いを確認するため、図１０に示す試験機を用いて引張試験を行った。図１０において、引張治具１０上に固定用両面テープ１１を介して、被着面の材料として想定される金属板１２が固定されている。金属板１２に、厚さ１２μｍのＰＥＴフィルムで芯材が構成される粘着テープ１４をロールで加圧しながら貼り付け、その後、この粘着テープ１４を引張治具１５により鉛直方向に剥がす際の引張強度を測定した。詳細な試験条件は、下記の通りであり、試験結果は他の試験結果と共に、後掲の表１に記載する。なお、表１中「粘着強度」の欄の単位「Ｎ／ｍｍ」は、粘着テープ１４の幅１ｍｍ当たりの粘着強度を示すものである。本試験では、幅２０ｍｍの粘着テープ１４を使用したので、図１０の試験において実際に計測された引張強度の値を２０で除した値が粘着強度として算出される。
【００５８】
粘着テープ：
粘着テープα：感圧型粘着剤（商品名：ＳＫダイン、綜研化学（株）製をドット状に塗布（塗布厚１８μｍ））
粘着テープβ：感圧型粘着剤（商品名：コーポニール（登録商標）、日本合成化学工業（株）製）を全面的に塗布（塗布厚９μｍ））
粘着テープγ：感圧型粘着剤（商品名：ＳＫダイン、綜研化学（株）製を全面的に塗布（塗布厚１８μｍ））
粘着条件：金属板１２に粘着テープ１４を貼り、恒温恒湿室で、２３℃、湿度５０％の条件で２４時間保管
剥離環境温度：２５℃
引張試験機：東洋精機製作所製（ＳＴＲＯＧＲＡＰＨ  ＶＥ５Ｄ）
サンプル数：６
加圧：テスター産業のＪＩＳ規格適合ロール
剥離速度：５０ｍｍ／分
【００５９】
（ｉｉ）剥離不良率
各種粘着剤の剥離不良率の違いを確認するため、図４に示す機構の装置を用いて剥離試験を行った。図４において、本実施の形態にかかる気体吸着部材２付きの剥離ライナー１が繰り出され、ナイフエッジ８（エッジ角６０度）を経て、剥離ライナー１は矢印方向に搬送される。剥離ライナー１に与えられる張力は０．８ｋｇ重である。その他の詳細な試験条件は、下記の通りである。試験結果は、表１に示す。
【００６０】
剥離ライナーの厚さ：５０μｍ
気体吸着部材の厚さ：１２５μｍ
サンプル数：１００００
【００６１】
【表１】
2009039603.tif 000003
【００６２】
表１から分かるように、粘着テープβは、粘着テープγよりも粘着強度を落としたものであるが、剥離不良率は殆ど改善していない（剥離不良率が下がっていない）。一方、粘着剤の塗布領域がドット状である粘着テープαを用いた場合は、粘着剤の塗布領域が全面である粘着テープβ、粘着テープγの場合よりも剥離不良率が顕著に改善されている。
【００６３】
（ｉｉｉ）気泡発生率
気体吸着部材２が粘着された粘着テープ（α〜γ）を、被着面の材料の一つとして想定されるガラス板１３（図示せず）に粘着させ、ガラス板１３と粘着テープ（α〜γ）との間に噛み込まれている気泡の有無をガラス板１３越しに確認したところ、表１に示すように、粘着テープβ、粘着テープγの場合は気泡が確認されたが、粘着テープαの場合には気泡は確認されなかった。参考のため、図１１（ａ）に、ガラス板１３に粘着した粘着テープαをガラス板１３側から撮影した写真、図１１（ｂ）に、ガラス板１３に粘着した粘着テープβをガラス板１３側から撮影した写真をそれぞれ示す。粘着テープαは、ガラス板１３と隙間なく粘着されていることが分かるが、粘着テープβは、ガラス板１３との間に気泡が存在することが確認される。以上のことから、本実施の形態にかかる粘着テープにより、被着体との間に発生しやすい気泡を防止できることが確認された。
【００６４】
（ｉｖ）打痕内の状態確認
本実施の形態にかかる剥離ライナー１の表面状態、特に打痕７付近の状態を反射型電子顕微鏡で観察した。図１２は、粘着剤３が粘着基材シート４の全面に塗布された従来のものを用い、剥離ライナー１上に打ち抜き前の気体吸着部材２を粘着させ、気体吸着部材２を打ち抜いた後、剥離ライナー１上の打痕７の状態を反射型電子顕微鏡にて観察したものである。但し、剥離ライナー１の最表面は、シリコーン系離型剤で処理されている。図１２から、打痕７に粘着剤が侵入していることが分かる。
【００６５】
これに対して、図１３及び図１４は、粘着剤３が粘着基材シート４にドット状に塗布されたものを用い、剥離ライナー１上に打ち抜き前の気体吸着部材２を粘着させ、気体吸着部材２を打ち抜いた後、剥離ライナー１上の打痕７の状態を反射型電子顕微鏡にて観察したものである。図１３及び図１４では、打痕７には、粘着剤が侵入していない。
【００６６】
以上のことから、剥離ライナー１と気体吸着部材２との間に用いる粘着剤３の塗布領域を部分的とすることにより、打痕７内への粘着剤３の侵入が防止でき、これにより気体吸着部材２の剥離不良率を低減することができたものと考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】図１は、本発明の実施の形態にかかる気体吸着部材付きフィルムの概略断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態にかかる気体吸着部材付きフィルムの概略平面図である。
【図３】図３は、本発明の他の実施の形態にかかる気体吸着部材付きフィルムの概略平面図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態にかかる気体吸着部材を剥がす工程を説明する工程断面図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態にかかる気体吸着部材を剥がす工程を説明する工程断面図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態にかかる気体吸着部材を剥がす工程を説明する工程断面図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態にかかる気体吸着部材を剥がす工程を説明する工程断面図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態にかかる気体吸着部材を剥がす工程を説明する工程断面図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態にかかる気体吸着部材を剥がす工程を説明する工程断面図である。
【図１０】図１０は、引張強度を測定するための試験機構を示すものである。
【図１１】（ａ）は、粘着テープαをガラス板１３側から撮影した写真、（ｂ）は、粘着テープβをガラス板１３側から撮影した写真である。
【図１２】図１２は、剥離ライナー表面の反射型電子顕微鏡写真である。
【図１３】図１３は、剥離ライナー表面の反射型電子顕微鏡写真である。
【図１４】図１４は、剥離ライナー表面の反射型電子顕微鏡写真である。
【符号の説明】
【００６８】
１  フィルム（剥離ライナー）
２  気体吸着部材（気体吸着シート）
３  粘着剤
４  粘着基材シート
５  粘着剤
６  両面テープ
７  打痕
８  ナイフエッジ
９  吸着ヘッド
１０  引張治具
１１  固定用両面テープ
１２  金属板
１３  ガラス板
１４  粘着テープ
１５  引張治具
【図４】
2009039603.tif 000004
【図５】
2009039603.tif 000005
【図６】
2009039603.tif 000006
【図７】
2009039603.tif 000007
【図８】
2009039603.tif 000008
【図９】
2009039603.tif 000009
【図１０】
2009039603.tif 000010
【図１】
2009039603.tif 000011
【図２】
2009039603.tif 000012
【図３】
2009039603.tif 000013
【図１１】
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【図１２】
2009039603.tif 000015
【図１３】
2009039603.tif 000016
【図１４】
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