(57)【要約】【課題】低コストかつ平易な方法で、ブラックマトリックスと着色画素との境界部分の盛り上がりを抑制し、高品質の画像を得ることができるカラーフィルタ及びその製造方法、ならびに、液晶表示装置を提供する。【解決手段】感光性濃色組成物層を基板上に形成し、感光性濃色組成物層を露光・現像して、上部端に対して下部端が−３．０〜＋３．０μｍに位置するブラックマトリックスパターンを形成し、これをベークすることによりブラックマトリックスを形成する工程と、ブラックマトリックス基板上に、感光性着色組成物層を形成し、これを露光・現像・ベークすることにより、該ベーク後の、前記ブラックマトリックスと重なるオーバーラップ部のブラックマトリックス幅方向における距離が１．０〜１２μｍとなるように着色パターンを形成する着色パターン形成工程と、を有するカラーフィルタの製造方法である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性濃色組成物を用いて感光性濃色組成物層を基板上に形成し、前記感光性濃色組成物層を露光し、露光後の前記感光性濃色組成物層を現像して、前記感光性濃色組成物層内の上部端から前記基板の法線方向に伸びる線と、前記感光性濃色組成物層内の下端部と、の間のブラックマトリックスの幅方向における距離が、−３．０〜＋３．０μｍに位置するブラックマトリックスパターンを形成し、形成されたブラックマトリックスパターンをベークすることによりブラックマトリックスを形成するブラックマトリックス形成工程と、
ベーク後のブラックマトリックスが形成されている前記基板上に、感光性着色組成物を用いて感光性着色組成物層を形成し、前記感光性着色組成物層を露光し、露光後の前記感光性着色組成物層を現像し、現像された前記感光性着色組成物層をベークすることにより、該ベーク後の、前記ブラックマトリックスと重なるオーバーラップ部のブラックマトリックス幅方向における距離が１．０〜１２μｍとなるように着色パターンを形成する着色パターン形成工程と、
を有するカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタであって、ブラックマトリックスと着色パターンとが重なるオーバーラップ部を有し、前記オーバーラップ部のブラックマトリックス幅方向における距離が１．０〜１２μｍであるカラーフィルタ。
【請求項３】
前記着色パターンの表面のうち、前記オーバーラップ部の基板表面から最も離れた部分と、前記オーバーラップ部以外の部分との間の基板の法線における距離が、０．５０μｍ以下であることを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタ。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ及びその製造方法、ならびに液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、液晶ディスプレイや固体撮像素子に不可欠な構成部品である。
例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用カラーフィルタは、液晶ディスプレイがＴＶ用途として用いられるようになり、従来のノートパソコン、モニター用途のものに比し、より高品位な画質が求められている。また、大型ＴＶ生産のため基板サイズが拡大しており、歩留まりの向上やコスト削減の要求が大きくなっている。
【０００３】
上記画質の向上に関し、カラーフィルタの製造の際に、ブラックマトリックスと着色画素との境界部分で着色パターンが盛り上がり、カラーフィルタが平坦とならないことが原因で画質の劣化が生ずることが問題となっていた（例えば、特許文献１、参照）。前記境界部分の盛り上がりは、コントラスト低下や色ムラなどの問題を引き起こす場合がある。
このため、従来は、画素作成後、カラーフィルタの表面を研磨したり、画素上にオーバーコート層（以下、「ＯＣ層」と称することがある）を形成することで対応していた。しかし、研磨やＯＣ層の形成を行うと、カラーフィルタの製造工程が増えてコストが高くなる。その上、研磨の場合には、カラーフィルタが傷つくなどの弊害が発生することもあり、研磨工程やＯＣ層の形成工程を省略できる方法が求められていた。
【０００４】
これに対し、ブラックマトリックスのテーパー角を小さくすることにより、前記境界部分の盛り上がりの問題を解決することが試みられている（例えば、特許文献１および特許文献２、参照）。
特許文献２では、さらに、インクジェット法によりブラックマトリックス枠内にのみ着色組成物を付与している。
【特許文献１】特開平９−１１３７２１号公報
【特許文献２】特開２００３−１６１８２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載の方法では、ブラックマトリックスに上記テーパー角を得るための工程が多く、ブラックマトリックス形成用の感光性濃色組成物を基板上に塗布乾燥後、さらにポジ型レジストを塗布し、該感光性濃色組成物とポジ型レジストとの現像速度比を調整するという手間のかかるものであった。また、テーパー角の調整だけでは着色パターンの盛り上がりの抑制効果が不十分であった。さらに、この技術は１ｍ×１ｍ以上の大型基板に対応したものではなかった。
一方、特許文献２では、インクジェット法により着色組成物を基板に付与して着色パターンを形成しているため、着色組成物の塗布・転写等により着色パターンを形成する場合に生ずるブラックマトリックスと着色パターンとが重なるオーバーラップ部での、着色パターンの盛り上がりを抑制するには適さない。むしろ、ブラックマトリックスと着色画素との境界部分で、ブラックマトリックスが着色画素よりも高くなって段差が生じ、カラーフィルタが平坦とならず、同様の画質劣化の問題が生じる場合がある。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑み、研磨やオーバーコート層設置などの工程を追加することなく、低コストかつ平易な方法で、ブラックマトリックスと着色画素との境界部分での着色パターンの盛り上がりを抑制し、高品質の画像を得ることができるカラーフィルタ及びその製造方法、ならびに、液晶表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞  感光性濃色組成物を用いて感光性濃色組成物層を基板上に形成し、前記感光性濃色組成物層を露光し、露光後の前記感光性濃色組成物層を現像して、前記感光性濃色組成物層内の上部端から前記基板の法線方向に伸びる線と、前記感光性濃色組成物層内の下端部と、の間のブラックマトリックスの幅方向における距離が、−３．０〜＋３．０μｍに位置するブラックマトリックスパターンを形成し、形成されたブラックマトリックスパターンをベークすることによりブラックマトリックスを形成するブラックマトリックス形成工程と、ベーク後のブラックマトリックスが形成されている前記基板上に、感光性着色組成物を用いて感光性着色組成物層を形成し、前記感光性着色組成物層を露光し、露光後の前記感光性着色組成物層を現像し、現像された前記感光性着色組成物層をベークすることにより、該ベーク後の、前記ブラックマトリックスと重なるオーバーラップ部のブラックマトリックス幅方向における距離が１．０〜１２μｍとなるように着色パターンを形成する着色パターン形成工程と、を有するカラーフィルタの製造方法である。
＜２＞  前記＜１＞に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタであって、ブラックマトリックスと着色パターンとが重なるオーバーラップ部を有し、前記オーバーラップ部のブラックマトリックス幅方向における距離が１．０〜１２μｍであるカラーフィルタである。
＜３＞  前記着色パターンの表面のうち、前記オーバーラップ部の基板表面から最も離れた部分と、前記オーバーラップ部以外の部分との間の基板の法線における距離が、０．５０μｍ以下であることを特徴とする前記＜２＞に記載のカラーフィルタである。
＜４＞  前記＜２＞または前記＜３＞に記載のカラーフィルタを備えた液晶表示装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、研磨やオーバーコート層設置などの工程を追加することなく、低コストかつ平易な方法で、ブラックマトリックスと着色画素との境界部分の盛り上がりを抑制し、高品質の画像を得ることができるカラーフィルタ及びその製造方法、ならびに、液晶表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法、ならびに、液晶表示装置について詳細に説明する。
【００１０】
＜カラーフィルタの製造方法＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、ブラックマトリックス形成工程と、着色パターン形成工程とを有し、必要に応じて更に他の工程を設けて構成することができる。
以下、ブラックマトリックス形成工程と、着色パターン形成工程とに分けて説明する。
【００１１】
〔ブラックマトリックス形成工程〕
本発明において、ブラックマトリックス形成工程では、少なくとも、感光性濃色組成物を用いて感光性濃色組成物層を基板上に形成し（感光性濃色組成物層形成工程）、前記感光性濃色組成物層を露光し（露光工程）、前記露光後の前記感光性濃色組成物層を現像して（現像工程）、前記感光性濃色組成物層内の上部端から前記基板の法線方向に伸びる線と、前記感光性濃色組成物層内の下端部と、の間のブラックマトリックスの幅方向における距離が、−３．０〜＋３．０μｍに位置するブラックマトリックスパターンを形成し、形成されたブラックマトリックスパターンをベークする（ベーク工程）ことによりブラックマトリックスを形成する。ブラックマトリックス形成工程は上記各工程に加え、必要に応じて、その他の工程を設けてもよい。
【００１２】
−ブラックマトリックス−
本発明において、ブラックマトリックスは、光学濃度（ＯＤ値）が２．０以上８．０以下とすることが好ましく、３．０以上８．０以下がより好ましく、さらに好ましくは４．０以上６．０以下である。光学濃度が２．０以上であると、コントラスト低下抑制等表示装置の表示品位の低下を抑制することができる。
なお、ここで言う光学濃度とは、ＩＳＯ  Ｖｉｓｕａｌ透過光学濃度をいう。ＩＳＯ  Ｖｉｓｕａｌ透過光学濃度の測定に用いることができる測定器としては、例えば、サカタインクスエンジニアリング株式会社のＸ−Ｒｉｔｅ  ３６１Ｔ（Ｖ）を挙げることができる。
また、ブラックマトリックスは線幅（着色パターン間に挟まれた、ブラックマトリックス長手方向と直交する方向における長さ）が５〜３０μｍであることが、高開口率化による明度確保の観点から好ましい。ブラックマトリックスの厚み（ブラックマトリックスの基板の法線方向における長さ）は、ブラックマトリックスと着色パターンとが重なるオーバーラップ部の盛り上がりを小さくする（好ましくは、０．５μｍ以下にする）観点から、０．２〜２．２μｍが好ましく、より好ましくは、０．２〜１．６μｍであり、さらに好ましくは０．５〜１．３μｍである。この厚みの範囲において、ブラックマトリックスが設けられた基板の凹凸、即ち、ブラックマトリックスの形成領域、非形成領域の段差が適切に維持され、ブラックマトリックス形成後にＲＧＢ等の着色パターン（着色画素）をこの上に形成する際にも精度高く形成することができる。
【００１３】
−感光性濃色組成物層形成工程−
本工程では、感光性濃色組成物を用いて感光性濃色組成物層を基板上に形成する。
本工程に用いうる基板としては、例えば、液晶表示素子等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等が挙げられる。さらに、プラスチック基板も可能である。中でも無アルカリガラスが耐薬品性や耐熱性の観点から好ましい。これらの基板は、まず、各画素を隔離するように格子状などにブラックマトリックスを形成し、格子の空いた部分に着色画素が形成される。
また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。基板は大型（おおむね１辺１ｍ以上）である方が、本発明の効果をより奏する点で好ましい。
【００１４】
基板上に感光性濃色組成物層を形成する方法としては、例えば、基板上へ感光性濃色組成物を塗布等により付与する方法がある。
基板上への感光性濃色組成物の付与方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の付与方法を適用することができる。中でもスリット塗布が精度と速さの観点で好ましい。これら塗布を行う前に紫外線や各種洗浄液で基板を洗浄することが、塗布性向上の観点から好ましい。
また、予め仮支持体上に上記付与方法によって付与して形成した塗膜を、基板上に転写する方法を適用することもできる。
転写方法に関しては特開２００６−２３６９６号公報の段落番号［００２３］、［００３６］〜［００５１］や、特開２００６−４７５９２号公報の段落番号［００９６］〜［０１０８］に記載の作製方法を本発明においても好適に用いることができる。
転写に用いるラミネータとしては、ＷＯ２００６−４２２５のＦｉｇ．２４に記載の大型二丁貼ラミネータや国際出願番号ＪＰ２００７／０６９１３２号公報に記載のラミネータを好適に用いることができる。これらのラミネータを用いることで高い生産性を得ることができる。
【００１５】
感光性濃色組成物を基板上に付与する際の厚み（例えば、塗布厚）は、形成するブラックマトリックスの厚みの設計値により、適宜調整されるが、一般的には、０．２〜２．２μｍが好ましく、０．２〜１．６μｍであることがより好ましく、０．５〜１．３μｍであることがもっとも好ましい。
【００１６】
−露光工程−
露光工程では、前記感光性濃色組成物層形成工程において形成された感光性濃色組成物層を、所定のマスクパターンを介して露光し、パターンニング（ネガ型の場合は、光照射された塗布膜部分だけを硬化）する。露光に際して用いることができる放射線としては、特に、ｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線が好ましく用いられる。照射量は５〜５００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、１０〜３００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、１０〜２００ｍＪ／ｃｍ２が最も好ましい。
露光機は、プロキシミティー方式の露光機でも、ミラープロジェクション方式でも、また、ステッパー方式でも使用可能である。
【００１７】
−現像工程−
次いで、アルカリ現像処理を行うことにより、例えば、感光性濃色組成物がネガ型の場合には、上記露光における光未照射部分を、アルカリ水溶液に溶出させ、光硬化した部分だけを残すことができる。
現像液としては、有機アルカリ現像液や無機アルカリ現像液又はその混合液が使用される。
現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−［５、４、０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられ、これらのアルカリ剤を濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄（リンス）する。
【００１８】
本発明においては、本現像工程後であって、後述のベーク工程の前において、前記感光性濃色組成物層内の上部端から前記基板の法線方向に伸びる線と、前記感光性濃色組成物層内の下端部と、の間のブラックマトリックスの幅方向における距離が、−３．０〜＋３．０μｍに位置するようにブラックマトリックスパターンを形成する。ブラックマトリックスパターンの断面形状、特に端部の断面形状は、露光、現像、および後述のプリベークの各条件により制御することができる。そこで、まず、現像工程後のブラックマトリックスパターン端部の断面形状について詳細に説明する。
尚、感光性濃色組成物層の上部端から基板の法線方向に伸びる線と、感光性濃色組成物層の下部端と、のブラックマトリックスの幅方向における距離は、逆テーパー型のときの値を「−」とする。
【００１９】
ブラックマトリックスの形成工程において、露光後の感光性濃色組成物層を現像するときに、感光性濃色組成物層の表面（基板に接しない面をいう；以下、ブラックマトリックスについても同様に称する）、及び該表面より厚み（感光性濃色組成物層の基板の法線方向における長さ）に対し３分の１以内の層内部（以下、「感光性濃色組成物層上部」と称する。ブラックマトリックスについても同様にブラックマトリックスの表面より厚みに対し３分の１以内を「ブラックマトリックス上部」と称する。）の現像の進行と、感光性濃色組成物層の裏面（基板に接する面をいう；以下、ブラックマトリックスについても同様に「ブラックマトリックスの裏面」と称する）、及び該裏面より感光性濃色組成物層の厚みに対し３分の２以内の層内部（以下、「感光性濃色組成物層下部」と称する。ブラックマトリックスについては「ブラックマトリックス下部」ともいう。）の現像の進行と、が同等の場合には、感光性濃色組成物層（ブラックマトリックス）が形成された基板を、ブラックマトリックスの幅方向に切断した場合、感光性濃色組成物層の断面形状は、例えば、図１に示すようにほぼ垂直な形状となっている。以下、感光性濃色組成物層（ブラックマトリックス）の断面形状は、ブラックマトリックスの幅方向に切断した場合の断面形状とする。
【００２０】
これに対し、感光性濃色組成物層の表面及び感光性濃色組成物層上部の現像に比べて、感光性濃色組成物層の裏面及び感光性濃色組成物下部の現像に過不足が生じることがある。現像が過多の場合には、感光性濃色組成物層下部は、えぐれた状態となり、感光性濃色組成物層（ブラックマトリックス）が形成された基板を、ブラックマトリックスの幅方向に切断した場合、感光性濃色組成物層の断面形状は、例えば、図２に示すように逆テーパーとなる。一方、現像が不足の場合には感光性濃色組成物層下部は、出っ張った状態となり、感光性濃色組成物層（ブラックマトリックス）が形成された基板を、ブラックマトリックスの幅方向に切断した場合、感光性濃色組成物層の断面形状は、例えば、図３に示すように順テーパーとなっている。
【００２１】
なお、本現像工程後であって、後述のベーク工程の前において、図２に示すような逆テーパーが大きい場合には、現像工程において上部の出っ張り部が欠けやすく、ブラックマトリックスの平面形状の欠陥を生じやすいために、逆テーパーの大きさは３μｍ以下すなわち、感光性濃色組成物層内の上部端に対して下部端が−３．０〜０μｍに位置することが望ましい。また、図３に示すような順テーパーが大きい場合には、現像不足により、感光性濃色組成物層を除去すべき部分に残渣残りが生じやすいために、順テーパーの大きさは３μｍ以下すなわち感光性濃色組成物層内の上部端に対して下部端が０〜３．０μｍに位置することが望ましい。したがって、最も望ましい形状は、前記図１に示すような感光性濃色組成物層の端部がほぼ垂直な形状である。現像後に、前記のように、ほぼ垂直な形状となり、その後のポストベーク時に熱ダレして、円弧状の断面形状となるのが好ましい。
実際には工程のばらつきなどで多少の変動があり、現像後の感光性濃色組成物層の形状が、上部端に対して下部端が−３．０〜＋３．０μｍに位置する断面形状であれば問題なく、さらに上部端に対して下部端が−２．０〜＋２．０μｍに位置する断面形状が望ましい。
【００２２】
本現像工程後であって、後述のベーク工程の前において、前記感光性濃色組成物層端を図１のような垂直な断面形状にするためには、現像条件を適切に調整することが重要であり、現像の条件を変化させることで、断面形状を調整することができる。概念的には通常良く用いられている現像条件よりもやや強い条件で現像を行うほど逆テーパーとなり、逆にやや弱い条件で現像を行うほど順テーパーとなる。
より強い条件とは、より高い温度、より長い時間、より多い流量、より高いシャワー圧などであり、逆により弱い条件とは、より低い温度、より短い時間、より少ない流量、より低いシャワー圧などでありなどが挙げられるが、中でも温度と時間の調整は特に重要である。
【００２３】
具体的には、精度よく断面形状を調整できる点から、現像温度としては２０〜３５℃が好ましく、２０〜３０℃がより好ましい。現像時間は、２０〜１２０秒が好ましく、３０〜７０秒がより好ましい。
これらのうち、現像温度と現像時間の好ましい組み合わせとしては、例えば、温度２３℃では４０〜７０秒であり、温度２５℃では３０〜６０秒であることが挙げられる。
また、シャワー圧は、ブラックマトリックスの欠けを防止できる点から、０．０１〜０．５ＭＰａが好ましく、０．０５〜０．３ＭＰａが好ましく、０．１〜０．３ＭＰａが好ましい。
【００２４】
また、断面形状をより細かく調整するためには、ブラックマトリックス形成工程に、後述するプリベーク工程を追加することが好ましい。
【００２５】
−ベーク工程−
次いで、ブラックマトリックスパターンに、ベーク処理（ポストベーク）という加熱処理を施す。ベークは、感光性濃色組成物の硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常１５０〜２６０℃の熱硬化処理を行う。
ベーク温度は、１５０〜２６０℃が好ましく、１８０〜２６０℃がより好ましく、２００〜２４０℃が最も好ましい。ベーク時間は、１０〜１５０分が好ましく、２０〜１２０分がより好ましく、３０〜９０分がもっとも好ましい。
本現像工程後に前記感光性濃色組成物層端が図１のような垂直な断面形状に近い物に対し、上記条件範囲でベークすることで、断面形状が図４に示すように円弧に近い形状に調整することができる。これは、現像後の感光性濃色組成物をベーク処理により加熱することで、感光性濃色組成物が完全に硬化する前に、一旦、粘度が低い状態になることでエッジ部が表面張力により丸められ、その後硬化することによって、上記のような形状が形成される。
【００２６】
この現像後の加熱によるエッジの丸まり易さ（以降、「熱ダレ」と称する場合がある。）は、感光性濃色組成物の組成およびプリベークや露光、現像条件によっても変化する。一般的に、感光性濃色組成物の組成比は、後述するバインダーポリマーに比べて遮光剤の濃度が低いほど熱ダレし易く、遮光剤の濃度が高いほど熱ダレし難くなる。たとえば、ベーク後膜厚が１．４μｍの時に、ＯＤ（ブラックマトリックスの光学濃度）が４．１となる遮光剤濃度が好適に使用できる。これに比べ、ベーク後膜厚が１．０μｍで、ＯＤが４．１となる遮光剤濃度では、熱ダレがおきにくい。
【００２７】
また、熱ダレを生じさせる別の手段として、モノマーの組成を工夫することが挙げられる。たとえば、特開２００４−１６３９１７号公報に記載のように、モノマーとして、３官能以上のモノマーと、２官能モノマーを混合して用いると、好適に使用できるる。
また、プリベーク温度や時間が低く短いほど熱ダレし易く、高くおよび長いほど熱ダレし難くなり、露光強度が弱いほど熱ダレし易く、強いほど熱ダレし難くなり、現像条件は弱いほど熱ダレし易く、強いほど熱ダレし難くなる傾向にある。また、ポストベーク温度はやや低く長時間かける方が熱ダレし易く、温度は高く短時間かける方が熱ダレし難くなる傾向にある。
【００２８】
図４に示すようにベーク後の平坦なブラックマトリックス表面から円弧が開始する点をＰ点とし、ブラックマトリックスの最も端（ブラックマトリックスの水平方向末端）を示すＱ点との水平方向の距離をテーパー長とすると、該テーパー長は２．０〜１５．０μｍが望ましく、さらに該テーパー長が２．５〜１０．０μｍが望ましい。なお、Ｑ点は基板に接する部分もしくはその近傍の層内下部に位置することが望ましい。
【００２９】
図５に、前記範囲のテーパー長を有するブラックマトリックスが形成された基板上に着色画素を形成した場合の断面図を示す。このように、ブラックマトリックスと着色画素とのオーバーラップ部の盛り上がりを抑制することができる。
【００３０】
ベーク処理は、現像後の感光性濃色組成物層を、上条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
【００３１】
−その他の工程−
本発明におけるブラックマトリックス形成工程には、さらに、前記感光性濃色組成物層形成工程の後であって前記露光工程の前に、プリベーク工程を加えてもよいし、前記現像工程後であって前記ベーク（ポストベーク）工程前に、必要により、形成されたブラックマトリックスを露光により硬化する工程を含んでいてもよい。
【００３２】
（プリベーク工程）
上述したように、ブラックマトリックスの現像後の断面形状を調整するためには、ブラックマトリックス形成工程における露光・現像の条件を調整することのほか、プリベーク条件を適切に調整することが好ましい。本発明におけるブラックマトリックス形成工程においては、通常良く用いられているプリベーク条件よりも、低温で行うと逆テーパーになり、高温で行うと順テーパーになる傾向がある。
具体的には、ホットプレートによりプリベークを行う場合、プリベーク温度は、６５〜１２０℃が好ましい。６５℃以上とすることで、現像工程中に感光性濃色組成物層が剥れることを防止することができ、１２０℃以下とすることで、感光性濃色組成物層下部の現像が進行する状態にすることができる。より好ましくは、７０〜１００℃であり、７５〜９０℃が最も好ましい。また、プリベーク時間は、５０〜３００秒が好ましく、９０〜２００秒がより好ましく、１００〜１８０秒がもっとも好ましい。上記条件範囲でプリベークを行うことで、感光性濃色組成物層の現像後の断面形状が調整しやすくなる。
なお、プリベークは、オーブンで行うこともでき、その場合も適宜上記と同等のプリベーク条件を設定することで、現像後の断面形状を調整することができる。
【００３３】
〔着色パターン形成工程〕
本発明において、着色パターン形成工程では、少なくとも、ベーク後の感光性濃色組成物層（ブラックマトリックス）が形成されている基板上に、感光性着色組成物を用いて感光性着色組成物層を形成し（感光性着色組成物層形成工程）、前記感光性着色組成物層を露光し（着色層露光工程）、露光後の前記感光性着色組成物層を現像し（着色層現像工程）、現像された前記感光性着色組成物層をベークすることにより（着色層ベーク工程）、該ベーク後の、前記ブラックマトリックスと重なるオーバーラップ部のブラックマトリックス幅方向における長さが１．０〜１２μｍとなるように着色パターンを形成する。着色パターン形成工程は上記各工程に加え、必要に応じて、さらにプリベーク工程などの他の工程を設けてもよい。
まず、前記「オーバーラップ」について説明する。
【００３４】
−オーバーラップ−
ブラックマトリックスが形成された基板上に、感光性着色組成物を塗布等して着色パターン（着色画素）を形成するとき、ブラックマトリックスと着色画素との間に間隙が生じないように、感光性着色組成物とブラックマトリックスとが重なり合うように、感光性着色組成物をブラックマトリックスに若干覆い被せて（オーバーラップさせて）着色画素を形成することが一般的である。本発明では、前述のブラックマトリックスの現像後の断面形状に加え、オーバーラップ部の距離を１．０〜１２μｍに調整することで高品位なカラーフィルタや液晶表示装置を得ることができる。
前記「オーバーラップ部の距離」とは、感光性着色組成物層を用いて形成される着色パターンと、ブラックマトリックスとが重なるオーバーラップ部のブラックマトリックス幅方向における距離をいう。これを、図を用いてより詳細に説明する。
【００３５】
図６は、ブラックマトリックス４が形成された基板２上に、感光性着色組成物を塗布等して感光性着色組成物層６を形成して、ブラックマトリックス４と感光性着色組成物層６とが重なったオーバーラップ部８が形成された状態を示すカラーフィルタの部分断面図である。ここにおいて、オーバーラップ部８は距離ｂの領域であり、オーバーラップ部８の距離ｂは、ブラックマトリックス４の幅方向における、感光性着色組成物層６と対峙する側の最外端Ｓと、ブラックマトリックス４に重なるように設けられた感光性着色組成物層６のブラックマトリックス４上に位置する最外端Ｔとの間の、ブラックマトリックス４の幅方向の距離として求めることができる。
実際に、オーバーラップ部８の距離ｂを求めるときは、カラーフィルタを、ブラックマトリックス４のパターンの長手方向に垂直の方向にカットし、その断面から測定することにより求めることができる。
【００３６】
前記オーバーラップ部８の距離ｂは、オーバーラップ部の盛り上がりを小さくする（好ましくは、０．５０μｍ以下にする）観点から、１．０〜１２μｍであることが好ましく、１．０〜１０μｍがより好ましく、２．０〜８．０μｍがもっとも好ましい。
また、前記オーバーラップ部８の距離ｂを１２μｍ以下とすることで、大型基板（１辺１ｍ以上）において、カラーフィルタと表示装置を安定に製造することができる。
【００３７】
オーバーラップ８の距離ｂは、感光性着色組成物層の露光パターン位置や現像条件を変化させることにより調整することができる。具体的には、露光パターンのブラックマトリックスとの重なり量を少なくするほどオーバーラップ量を少なくすることができ、現像条件を弱くするほど、例えば、現像温度を低くするほど、又は現像時間を短くするほどオーバーラップ量を大きくすることができる。
より具体的には、前記オーバーラップ部８の距離ｂを１．０〜１２μｍとするためには、露光パターンとブラックマトリックスとの重なり部分のブラックマトリックスの幅方向における距離（長さ）を、３．０〜８．０μｍに設定とすることが好ましい。また、現像温度を、２０〜３５℃とすることが好ましく、２０〜３０℃とすることがより好ましい。さらに、現像時間を、２０〜１２０秒とすることが好ましく、３０〜７０秒とすることがより好ましい。
【００３８】
上記各条件の好ましい組み合わせとしては、露光パターンとブラックマトリックスとが重なる距離を、２．０〜１０μｍとし、現像温度を、２０〜３５℃とし、さらに、現像時間を、２０〜１２０秒とする組み合わせが好ましい。
より好ましい組み合わせは、露光パターンとブラックマトリックスとが重なる距離を、３．０〜８．０μｍとし、現像温度を、２０〜３０℃とし、さらに、現像時間を、３０〜７０秒とする組み合わせである。
【００３９】
上述したように、ブラックマトリックスと感光性着色組成物層とのオーバーラップ部では、ブラックマトリックスと感光性着色組成物層とが一部重なるように、感光性着色組成物をブラックマトリックスに覆いかぶせるため、その部分が盛り上がった状態となる。このオーバーラップ部の盛り上がりの度合いを小さくすることで、液晶の配向の乱れや、光の漏れを抑制することができ、高品質の画像を得ることができる。オーバーラップ部の盛り上がりについて、図を用いて説明する。
【００４０】
図７は、ブラックマトリックス４が形成された基板２上に、感光性着色組成物を塗布等して感光性着色組成物層を形成し、露光・現像等して、着色パターン６とし、ブラックマトリックス４と着色パターン６とが重なったオーバーラップ部８に盛り上がりが生じている状態を示すカラーフィルタの部分断面図である。
前記「オーバーラップ部の盛り上がりの度合い」とは、より詳細には、着色パターン６の表面のうち、前記オーバーラップ部８の基板２表面（基板２の、ブラックマトリックス４や着色パターン６と接する面）から最も離れた部分と、前記オーバーラップ部８以外の平坦な表面部分との間の基板の法線における距離をいう。換言すると、前記「オーバーラップ部の盛り上がりの度合い」とは、基板２表面と、着色パターン６の表面のうちオーバーラップ部８の基板２表面から最も離れた部分との間の基板の法線における距離ｃから、基板２表面と、着色パターン６の表面のうちオーバーラップ部８以外の部分との間の基板の法線における距離ｄを差し引いた距離ｅをいう。
【００４１】
以下、前記オーバーラップ部の盛り上がりを、便宜上、「ツノ」といい、前記距離ｅを、「ツノの高さ」という。ツノの高さは、高品質の画像を得る点で、０．５μｍ以下が好ましく、０．４μｍ以下がさらに好ましく、０．２５μｍ以下がもっとも好ましい。このツノ高さを前記のように低く抑えることにより、カラーフィルタを作製して画像表示させた際に、液晶の配向の乱れや、光漏れを抑制することができ、高品質な画像を得ることができる。
ツノの高さは、ブラックマトリックスのベーク後の断面形状（すなわち、テーパー長）と、オーバーラップ部の距離と、ブラックマトリックスの厚みとを適宜設定することで調整することができる。
【００４２】
前記テーパー長と、オーバーラップ部８の距離ｂと、ブラックマトリックスの厚みとの好ましい組み合わせは、テーパー長２．０〜１５μｍとし、オーバーラップ部の距離を、１．０〜１２μｍとし、さらに、ブラックマトリックスの厚みを、０．２〜１．５μｍとすることが好ましい。より好ましい組み合わせは、テーパー長２．５〜１０μｍとし、オーバーラップ部８の距離ｂを、２．５〜８．５μｍとし、さらに、ブラックマトリックスの厚みを、０．５〜１．３μｍとするものである。
次に、本発明における着色パターン形成工程において行われる各種工程について述べる。
【００４３】
−感光性着色組成物層形成工程−
感光性着色組成物層形成工程では、ベーク後の感光性濃色組成物層（ブラックマトリックス）が形成されている基板上に、感光性着色組成物を用いて感光性着色組成物層を形成する。
ブラックマトリックスが形成された基板上に感光性着色組成物層を形成する方法としては、基板上に感光性濃色組成物層を形成する方法と同様の方法、すなわち、塗布方法または転写方法を用いることができる。
中でもスリットコーターなどでブラックマトリックスが形成された基板前面に感光性着色組成物を塗布する方法が、本発明の効果をよく奏することができる点で好ましい。
感光性着色組成物層の層厚は、充分な色再現領域を得、且つ充分なパネルの輝度を得るために、０．５〜３．０μｍが好ましく、１．０〜２．５μｍの範囲であることがより好ましい。
【００４４】
−着色層露光工程−
着色層露光工程では、前記感光性着色組成物層を露光する。
感光性着色組成物層の露光処理は、感光性濃色組成物層の露光工程と同様にして行うことができる。複数色の着色パターンを形成するときは、各色の所定のマスクパターンを介して、各色ごとに露光し、光照射された各色の感光性着色組成物層をパターンニング（ネガ型の場合は、硬化）することができる。
【００４５】
−着色層現像工程−
着色層現像工程では、露光後の前記感光性着色組成物層を現像する。
露光後の感光性着色組成物層の現像処理は、感光性濃色組成物層の現像工程の説明において記載した操作と同様の操作をすることができ、前記現像工程において説明した現像液を好適に用いることができる。
現像条件としては、ブラックマトリックスと着色画素とのオーバーラップ部に生じるオーバーラップ部の距離とツノの高さを調整するために、前記オーバーラップの説明において記載した現像条件にて感光性着色組成物層を現像することが好ましい。
【００４６】
−着色層ベーク工程−
着色層ベーク工程では、現像された前記感光性着色組成物層をベークする。
現像後の感光性着色組成物層をベークする方法は、前述の感光性濃色組成物層をベークするベーク工程と同様の方法を用いることができる。
なお、ＲＧＢ３色相等、複数色相の着色パターンを形成するときは、感光性着色組成物層の形成、露光、現像、及びベークのサイクルを、所望の色相数だけ繰り返してもよいし、色相ごとに感光性着色組成物層の形成、露光、及び現像を行ってから、最後に全色相分まとめてベークを行ってもよい。これにより、ブラックマトリックスと所望の色相よりなる着色画素を備えたカラーフィルタが作製される。
【００４７】
−その他の工程−
着色パターン形成工程においても、感光性着色組成物層形成工程の後であって着色層露光工程の前に、感光性着色組成物を乾燥させるために、感光性着色組成物層をプリベークする工程（着色層プリベーク工程）を設けてもよい。
感光性着色組成物層のプリベーク温度は、６０〜１４０℃が好ましく、８０〜１２０℃がより好ましい。プリベーク時間は、３０〜３００秒が好ましく、８０〜２００秒がより好ましい。
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法に用いる感光性着色組成物、および感光性濃色組成物について詳細に説明する。
【００４８】
＜感光性着色組成物＞
本発明のカラーフィルタの着色パターン形成用として用いられる感光性着色組成物は、感放射線性組成物（例えば、ネガ型の場合には、光により硬化する感放射線性組成物）であり、（Ａ−１）着色剤、（Ｂ）バインダーポリマー、（Ｃ−１）重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤、及び、（Ｅ）溶剤、を含有することが好ましく、所望により、さらに、高分子分散剤や界面活性剤などのその他の添加物を含んでいてもよい。
【００４９】
−（Ａ−１）着色剤−
着色剤は、染料・顔料系を適宜選択することができ、着色剤として使用される顔料は、無機顔料であっても、有機顔料であってもよいが、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、なるべく粒子サイズの小さいものの使用が好ましい。平均粒子サイズは、１０〜１００ｎｍであることが好ましく、さらに好ましくは、１０〜５０ｎｍの範囲である。本発明に用いられる感光性着色組成物においては、後述する高分子分散剤を用いることで、着色剤のサイズが小さい場合であっても、顔料分散性、分散安定性が良好となるため、膜厚が薄くても色純度に優れる着色画素を形成しうる。
【００５０】
着色パターン（着色画素）形成用の着色剤として用いうる無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で表される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物等を挙げることができる。
【００５１】
また、有機顔料としては、例えば、
Ｃ．Ｉ．ピグメント  イエロー  １１、  ２４、  ３１、  ５３、  ８３、  ９３、  ９９、  １０８、  １０９、  １１０、１３８、  １３９、  １４７、  １５０、  １５１、  １５４、  １５５、  １６７、  １８０、  １８５、  １９９；  Ｃ．Ｉ．ピグメント  オレンジ  ３６、  ３８、  ４３、  ７１；  Ｃ．Ｉ．ピグメント  レッド  ８１、  １０５、  １２２、  １４９、  １５０、  １５５、  １７１、  １７５、  １７６、  １７７、２０９、  ２２０、２２４、  ２４２、  ２５４、  ２５５、  ２６４、  ２７０；
Ｃ．Ｉ．ピグメント  バイオレット  １９、  ２３、  ３２、  ３７、３９；  Ｃ．Ｉ．ピグメント  ブルー  １、  ２、  １５、  １５：１、  １５：３、  １５：６、  １６、  ２２、  ６０、  ６６；
Ｃ．Ｉ．ピグメント  グリーン  ７、  ３６、  ３７；
Ｃ．Ｉ．ピグメント  ブラウン  ２５、  ２８；
Ｃ．Ｉ．ピグメント  ブラック  １
等を挙げることができる。
【００５２】
本発明においては特に限定されるものではないが、下記の顔料がより好ましい。
Ｃ．Ｉ．ピグメント  イエロー  １１、２４、１０８、１０９、１１０、１３８、１３９、１５０、１５１、１５４、１６７、１８０、１８５；
Ｃ．Ｉ．ピグメント  オレンジ  ３６、７１；
Ｃ．Ｉ．ピグメント  レッド  １２２、１５０、１７１、１７５、１７７、２０９、２２４、２４２、２５４、２５５、２６４；
Ｃ．Ｉ．ピグメント  バイオレット  １９、２３、３７；
Ｃ．Ｉ．ピグメント  ブルー  １５：１、１５：３、１５：６、１６、２２、６０、６６；
Ｃ．Ｉ．ピグメント  グリーン  ７、３６、３７；
【００５３】
これら有機顔料は、単独若しくは、色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。組合せの具体例を以下に示す。
例えば、赤色相（Ｒ）用の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独又はそれらの少なくとも一種と、ビスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料の少なくとも一種、及び／又はペリレン系赤色顔料との混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７が挙げられ、ペリレン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４が挙げられ、色再現性の点でＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９との混合が好ましい。また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、十分な色純度を得ること、及びＮＴＳＣ目標色相からのずれを抑制する観点から、１００：５〜１００：５０が好ましい。特に、前記質量比としては、１００：１０〜１００：３０の範囲が最適である。なお、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。
【００５４】
また、緑色相（Ｇ）用の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、又は、これとビスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、３７とＣ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８０又はＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５との混合が好ましい。緑顔料と黄色顔料との質量比は、十分な色純度を得ること、及びＮＴＳＣ目標色相からのずれを抑制する観点から、１００：５〜１００：１５０が好ましい。質量比としては１００：３０〜１００：１２０の範囲が特に好ましい。
【００５５】
青色相（Ｂ）用の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、１００：０〜１００：５０が好ましく、より好ましくは１００：５〜１００：３０である。
【００５６】
本発明に用いられる感光性着色組成物層中における（Ａ−１）着色剤（顔料）の含有量としては、該組成物の全固形分（質量）に対して、２５〜７５質量％が好ましく、３２〜７０質量％がより好ましい。（Ａ−１）着色剤（顔料）の含有量が前記範囲内であると、色濃度が充分で優れた色特性を確保するのに有効である。
【００５７】
−（Ｂ）バインダーポリマー−
本発明の前記感光性着色組成物は、皮膜特性向上、現像特性付与などの目的で、バインダーポリマーを含有することが好ましい。バインダーポリマーとして下記のアルカリ可溶性樹脂を用いることができる。
本発明で使用するアルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であって、分子（好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子）中に少なくとも１つのアルカリ可溶性を促進する基（例えばカルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、ヒドロキシル基など）を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。
【００５８】
上記アルカリ可溶性樹脂としてより好ましいものは、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報、特開昭５９−７１０４８号公報の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等のアクリル系共重合体のものが挙げられる。
酸価としては、１０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇ、好ましくは３０〜１８０ｍｇＫＯＨ／ｇ、更に好ましくは５０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲のものが好ましい。
【００５９】
アルカリ可溶性樹脂の具体的な構成単位については、特に（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他の単量体との共重合体が好適である。前記（メタ）アクリル酸と共重合可能な他の単量体としては、アルキル（メタ）アクリレート、アリール（メタ）アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。ここで、アルキル基及びアリール基の水素原子は、置換基で置換されていてもよい。
前記アルキル（メタ）アクリレート及びアリール（メタ）アクリレートとしては、ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ１）（ＣＯＯＲ３）  〔ここで、Ｒ１は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基を表し、Ｒ３は炭素数１〜８のアルキル基又は炭素数６〜１２のアラルキル基を表す。〕具体的にはメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、トリル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート（アルキルは炭素数１〜８のアルキル基）、ヒドロキシグリシジルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレート等を挙げることができる。
【００６０】
また、分子側鎖にポリアルキレンオキサイド鎖を有する樹脂も好ましいものである。前記ポリアルキレンオキサイド鎖としては  ポリエチレンオキシド鎖、ポリプロピレンオキシド鎖、ポリテトラメチレングリコール鎖あるいはこれらの併用も可能であり、末端は水素原子あるいは直鎖もしくは分岐のアルキル基である。
ポリエチレンオキシド鎖、ポリプロピレンオキシド鎖の繰り返し単位は１〜２０が好ましく、２〜１２がより好ましい。これらの側鎖にポリアルキレンオキサイド鎖を有するアクリル系共重合体は、例えばポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール−プロピレングリコール）モノ（メタ）アクリレートなどおよびこれらの末端ＯＨ基をアルキル封鎖した化合物、例えばメトキシポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、エトキシポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、メトキシポリ（エチレングリコール−プロピレングリコール）モノ（メタ）アクリレートなどを共重合成分とするアクリル系共重合体である。
【００６１】
前記ビニル化合物としては、ＣＨ２＝ＣＲ１Ｒ２  〔ここで、Ｒ１は水素原子又は炭素数１〜５のアルキル基を表し、Ｒ２は炭素数６〜１０の芳香族炭化水素環を表す。〕具体的には、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ−ビニルピロリドン、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等を挙げることができる。
共重合可能な他の単量体は、１種単独であるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中では特に、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体やベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他のモノマーからなる多元共重合体が好適である。
【００６２】
アクリル系樹脂は、既に述べたように、２０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲の酸価を有する。酸価が２００以下であれば、アクリル系樹脂がアルカリに対する溶解性が大きくなりすぎず、現像適正範囲（現像ラチチュード）が狭くなることを防止することができる。一方、２０以上あれば、アルカリに対する溶解性が小さくなり難いので、現像時間の長時間化を防止することができる。
また、アクリル系樹脂の重量平均分子量Ｍｗ（ＧＰＣ法で測定されたポリスチレン換算値）は、感光性着色組成物を塗布等の工程上使用しやすい粘度範囲を実現するために、また膜強度を確保するために、２，０００〜１００，０００であることが好ましく、より好ましくは３，０００〜５０，０００である。
【００６３】
また、本発明における感光性着色組成物の架橋効率を向上させるために、重合性基をアルカリ可溶性樹脂に有した樹脂を単独もしくは重合性基を有しないアルカリ可溶性樹脂と併用してもよく、アリール基、（メタ）アクリル基、アリールオキシアルキル基等を側鎖に含有したポリマー等が有用である。重合性二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂は、アルカリ現像液での現像が可能であって、さらに光硬化性と熱硬化性を備えたものである。これら重合性基を含有するポリマーの例を以下に示すが、１分子中に、ＣＯＯＨ基、ＯＨ基等のアルカリ可溶性基と炭素−炭素間不飽和結合とを含むものであれば下記に限定されない。
【００６４】
（１）予めイソシアネート基とＯＨ基を反応させ、未反応のイソシアネート基を１つ残し、かつ（メタ）アクリロイル基を少なくとも１つ含む化合物とカルボキシル基を含むアクリル樹脂との反応によって得られるウレタン変性した重合性二重結合含有アクリル樹脂、（２）カルボキシル基を含むアクリル樹脂と分子内にエポキシ基及び重合性二重結合を共に有する化合物との反応によって得られる不飽和基含有アクリル樹脂、
（３）酸ペンダント型エポキシアクリレート樹脂、
（４）ＯＨ基を含むアクリル樹脂と重合性二重結合を有する２塩基酸無水物を反応させた重合性二重結合含有アクリル樹脂。
上記のうち、特に（１）及び（２）の樹脂が好ましい。
【００６５】
具体例として、ＯＨ基を有する例えば２−ヒドロキシエチルアクリレートと、ＣＯＯＨ基を含有する例えばメタクリル酸と、これらと共重合可能なアクリル系若しくはビニル系化合物等のモノマーとの共重合体に、ＯＨ基に対し反応性を有するエポキシ環と炭素間不飽和結合基を有する化合物（例えばグリシジルアクリレートなどの化合物）を反応させて得られる化合物、等を使用できる。ＯＨ基との反応ではエポキシ環のほかに酸無水物、イソシアネート基、アクリロイル基を有する化合物も使用できる。
また、特開平６−１０２６６９号公報、特開平６−１９３８号公報に記載のエポキシ環を有する化合物にアクリル酸のような不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物に、飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる反応物も使用できる。
【００６６】
ＣＯＯＨ基のようなアルカリ可溶化基と炭素間不飽和基とを併せ持つ化合物として、例えば、ダイヤナールＮＲシリーズ（三菱レイヨン（株）製）；Ｐｈｏｔｏｍｅｒ  ６１７３（ＣＯＯＨ基含有Ｐｏｌｙｕｒｅｔｈａｎｅ  ａｃｒｙｌｉｃ  ｏｌｉｇｏｍｅｒ、Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｓｈａｍｒｏｃｋ  Ｃｏ．Ｌｔｄ．，製）；ビスコートＲ−２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業（株）製）；サイクロマーＰシリーズ、プラクセルＣＦ２００シリーズ（いずれもダイセル化学工業（株）製）；Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルサイテック（株）製）、などが挙げられる。
アルカリ可溶性樹脂の添加量としては、感光性着色組成物層の全固形分中、３〜３０質量％の範囲であることが好ましく、５〜２０質量％がより好ましい。
【００６７】
感光性着色組成物の調製時にはバインダーポリマーとして、上記アルカリ可溶性樹脂に加え、さらに下記のエポキシ樹脂も添加することが好ましい。エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型、クレゾールノボラック型、ビフェニル型、脂環式エポキシ化合物などのエポキシ環を分子中に２個以上有する化合物が挙げられる。
例えば、ビスフェノールＡ型としては、エポトートＹＤ−１１５、ＹＤ−１１８Ｔ、ＹＤ−１２７、ＹＤ−１２８、ＹＤ−１３４、ＹＤ−８１２５、ＹＤ−７０１１Ｒ、ＺＸ−１０５９、ＹＤＦ−８１７０、ＹＤＦ−１７０など（以上、東都化成（株）製）、デナコールＥＸ−１１０１、ＥＸ−１１０２、ＥＸ−１１０３など（以上、ナガセケムテックス（株）製）、プラクセルＧＬ−６１、ＧＬ−６２、Ｇ１０１、Ｇ１０２（以上、ダイセル化学工業（株）製）などが挙げられ、その他にも、これらと類似のビスフェノールＦ型、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂も使用可能なものとして挙げることができる。
【００６８】
また、Ｅｂｅｃｒｙｌ  ３７００、３７０１、６００（以上、ダイセルユーシービー（株）製）などのエポキシアクリレートも使用可能である。クレゾールノボラック型としては、エポトートＹＤＰＮ−６３８、ＹＤＰＮ−７０１、ＹＤＰＮ−７０２、ＹＤＰＮ−７０３、ＹＤＰＮ−７０４など（以上、東都化成（株）製）、デナコールＥＭ−１２５など（以上ナガセ化成製）、ビフェニル型としては３，５，３’，５’−テトラメチル−４，４’−ジグリシジルビフェニルなど、脂環式エポキシ化合物としては、セロキサイド２０２１、２０８１、２０８３、２０８５、エポリードＧＴ−３０１、ＧＴ−３０２、ＧＴ−４０１、ＧＴ−４０３、ＥＨＰＥ−３１５０（以上、ダイセル化学工業（株）製）、サントートＳＴ−３０００、ＳＴ−４０００、ＳＴ−５０８０、ＳＴ−５１００など（以上、東都化成（株）製）、Ｅｐｉｃｌｏｎ４３０、同６７３、同６９５、同８５０Ｓ、同４０３２（以上、大日本インキ化学工業（株）製）などを挙げることができる。また１，１，２，２−テトラキス（ｐ−グリシジルオキシフェニル）エタン、トリス（ｐ−グリシジルオキシフェニル）メタン、トリグリシジルトリス（ヒドロキシエチル）イソシアヌレート、ｏ−フタル酸ジグリシジルエステル、テレフタル酸ジグリシジルエステル、他にアミン型エポキシ樹脂であるエポトートＹＨ−４３４、ＹＨ−４３４Ｌ、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂の骨格中にダイマー酸を変性したグリシジルエステル等も使用できる。
【００６９】
この中で好ましいのは「分子量／エポキシ環の数」が１００以上であり、より好ましいものは１３０〜５００である。「分子量／エポキシ環の数」が小さいと硬化性が高く、硬化時の収縮が大きく、また大きすぎると硬化性が不足し、信頼性に欠けたり、平坦性が悪くなる。
具体的な好ましい化合物としては、エポトートＹＤ−１１５、１１８Ｔ、１２７、ＹＤＦ−１７０、ＹＤＰＮ−６３８、ＹＤＰＮ−７０１、プラクセルＧＬ−６１、ＧＬ−６２、３，５，３’，５’−テトラメチル−４，４’ジグリシジルビフェニル、セロキサイド２０２１、２０８１、エポリードＧＴ−３０２、ＧＴ−４０３、ＥＨＰＥ−３１５０などが挙げられる。
【００７０】
−（Ｃ−１）重合性化合物−
本発明に用いられる感光性着色組成物は、（Ｃ−１）重合性化合物を含有することが好ましい。
本発明に用いることができる重合性化合物は、少なくとも一個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも１個、好ましくは２個以上有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定無く用いることができる。これらは、例えばモノマー、プレポリマー、すなわち２量体、３量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物ならびにそれらの共重合体などの化学的形態をもつ。モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸（例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など）や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応生成物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応生成物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
【００７１】
脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、１，３−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸ＥＯ変性トリアクリレート等がある。
【００７２】
メタクリル酸エステルとしては、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、１，３−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔ｐ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔ｐ−（メタクリルオキシエトキシ）フェニル〕ジメチルメタン等がある。
【００７３】
イタコン酸エステルとしては、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、１，３−ブタンジオールジイタコネート、１，４−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。
【００７４】
その他のエステルの例として、例えば、特公昭５１−４７３３４号公報、特開昭５７−１９６２３１号公報に記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭５９−５２４０号公報、特開昭５９−５２４１号公報、特開平２−２２６１４９号公報に記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平１−１６５６１３号公報に記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。更に、前述のエステルモノマーは混合物としても使用することができる。
【００７５】
また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭５４−２１７２６号公報に記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。
【００７６】
また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭４８−４１７０８号公報中に記載されている１分子に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に、下記一般式（Ｖ）で示される水酸基を含有するビニルモノマーを付加させた１分子中に２個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。
【００７７】
ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ４）ＣＯＯＣＨ２ＣＨ（Ｒ５）ＯＨ  （Ｖ）
（ただし、Ｒ４及びＲ５は、各々独立に、Ｈ又はＣＨ３を示す。）
【００７８】
また、特開昭５１−３７１９３号公報、特公平２−３２２９３号公報、特公平２−１６７６５号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭５８−４９８６０号公報、特公昭５６−１７６５４号公報、特公昭６２−３９４１７号公報、特公昭６２−３９４１８号公報に記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭６３−２７７６５３号公報、特開昭６３−２６０９０９号公報、特開平１−１０５２３８号公報に記載される分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。
【００７９】
その他の例としては、特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報、特公昭５２−３０４９０号公報の各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭４６−４３９４６号公報、特公平１−４０３３７号公報、特公平１−４０３３６号公報に記載の特定の不飽和化合物や、特開平２−２５４９３号公報に記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、ある場合には、特開昭６１−２２０４８号公報に記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。更に日本接着協会誌ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７、３００〜３０８ページ（１９８４年）に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。
【００８０】
これらの重合性化合物について、その構造、単独使用か併用か、添加量等の使用方法の詳細は、最終的な感材の性能設計にあわせて任意に設定できる。例えば、次のような観点から選択される。
感度の点では１分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、２官能以上が好ましい。また、着色画像部すなわち、感光性着色組成物層の強度を高くするためには、３官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基（例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物）のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。硬化感度の観点から、（メタ）アクリル酸エステル構造を２個以上含有する化合物を用いることが好ましく、３個以上含有する化合物を用いることがより好ましく、４個以上含有する化合物を用いることが最も好ましい。また、硬化感度、および、未露光部の現像性の観点では、ＥＯ変性体を含有することが好ましい。また、硬化感度、および、露光部強度の観点ではウレタン結合を含有することが好ましい。
また、感光性着色組成物層中の他の成分（例えば「バインダーポリマー、開始剤、着色剤（顔料、染料等）」との相溶性、分散性に対しても、付加重合化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や、２種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、基板との密着性を向上せしめる目的で特定の構造を選択することもあり得る。
【００８１】
以上の観点より、ビスフェノールＡジアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレートＥＯ変性体、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートＥＯ変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートＥＯ変性体などが好ましいものとして挙げられ、また、市販品としては、ウレタンオリゴマーＵＡＳ−１０、ＵＡＢ−１４０（日本製紙ケミカル社製）、ＤＰＨＡ（日本化薬社製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社化学工業(株)製）が好ましい。
【００８２】
なかでも、ビスフェノールＡジアクリレートＥＯ変性体、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートＥＯ変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートＥＯ変性体などが、市販品としては、ＤＰＨＡ（日本化薬社製）、ＵＡ−３０６Ｈ、ＵＡ−３０６Ｔ、ＵＡ−３０６Ｉ、ＡＨ−６００、Ｔ−６００、ＡＩ−６００（共栄社製）がより好ましい。
【００８３】
（Ｃ−１）重合性化合物の含有量は、本発明の感光性着色性組成物層中の全固形分中、５〜５５質量％であることが好ましく、１０〜５０質量％であることがより好ましく、１５〜４５質量％であることが更に好ましい。
【００８４】
−（Ｄ）光重合開始剤−
本発明の感光性着色性組成物は、（Ｄ）光重合開始剤を含有することが好ましい。
前記光重合開始剤は、光により分解し、前記（Ｃ−１）重合性化合物の重合を開始、促進する化合物であり、波長３００〜５００ｎｍの領域に吸収を有するものであることが好ましい。また、前記光重合開始剤は、単独で、又は２種以上を併用して用いることができる。
【００８５】
前記光重合開始剤としては、例えば、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オキシムエステル化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン（オキシド）化合物が挙げられる。
【００８６】
有機ハロゲン化化合物としては、具体的には、若林等、「Ｂｕｌｌ  Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ
Ｊａｐａｎ」４２、２９２４（１９６９）、米国特許第３，９０５，８１５号明細書、特公昭４６−４６０５号公報、特開昭４８−３６２８１号公報、特開昭５５−３２０７０号公報、特開昭６０−２３９７３６号公報、特開昭６１−１６９８３５号公報、特開昭６１−１６９８３７号公報、特開昭６２−５８２４１号公報、特開昭６２−２１２４０１号公報、特開昭６３−７０２４３号公報、特開昭６３−２９８３３９号公報、Ｍ．Ｐ．Ｈｕｔｔ“Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｉｃ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ”１（Ｎｏ３），（１９７０）」筆に記載の化合物が挙げられ、特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、ｓ−トリアジン化合物が挙げられる。
【００８７】
ｓ−トリアジン化合物として、より好適には、すくなくとも一つのモノ、ジ、又はトリハロゲン置換メチル基がｓ−トリアジン環に結合したｓ−トリアジン誘導体、具体的には、例えば、２，４，６−トリス（モノクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（ジクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２―ｎ−プロピル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（α，α，β−トリクロロエチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（３，４−エポキシフェニル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−クロロフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔１−（ｐ−メトキシフェニル）−２，４−ブタジエニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−スチリル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ｉ−プロピルオキシスチリル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ナトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニルチオ−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ベンジルチオ−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−（ジエトキシカルボニルアミノ）−フェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（ジブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２−メトキシ−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【００８８】
オキシジアゾール化合物としては、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（シアノスチリル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ナフト−１−イル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−スチリル）スチリル−１，３，４−オキソジアゾールなどが挙げられる。
【００８９】
カルボニル化合物としては、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、２−メチルベンゾフェノン、３−メチルベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、４−ブロモベンゾフェノン、２−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドロキシ−２−メチルフェニルプロパノン、１−ヒドロキシ−１−メチルエチル−（ｐ−イソプロピルフェニル）ケトン、１−ヒドロキシ−１−（ｐ−ドデシルフェニル）ケトン、２−メチル−１−（４’−（メチルチオ）フェニル）−２−モルホリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２，４，６トリメチルベンゾイル−ジフェニル−フォスフィンオキシド、１，１，１−トリクロロメチル−（ｐ−ブチルフェニル）ケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン等のアセトフェノン誘導体、チオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体等を挙げることができる。
【００９０】
ケタール化合物としては、ベンジルジメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルエチルアセタールなどを挙げることができる。
【００９１】
ベンゾイン化合物としてはｍ−ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルｏ−ベンゾイルベンゾエートなどを挙げることができる。
【００９２】
アクリジン化合物としては、９−フェニルアクリジン、９−ピリジルアクリジン、９−ピラジニルアクリジン、１，２−ジ（９−アクリジニル）エタン、１，３−ジ（９−アクリジニル）プロパン、１，４−ジ（９−アクリジニル）ブタン、１，５−ジ（９−アクリジニル）ペンタン、１，６−ジ（９−アクリジニル）ヘキサン、１，７−ジ（９−アクリジニル）ヘプタン、１，８−ジ（９−アクリジニル）オクタン、１，９−ジ（９−アクリジニル）ノナン、１，１０−ジ（９−アクリジニル）デカン、１，１１−ジ（９−アクリジニル）ウンデカン、１，１２−ジ（９−アクリジニル）ドデカン等のジ（９−アクリジニル）アルカン、などを挙げることができる。
【００９３】
有機過酸化化合物としては、例えば、トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、２，２−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）ブタン、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、２，５−ジメチルヘキサン−２，５−ジハイドロパーオキサイド、１，１，３，３−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、ｔｅｒｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、２，５−オキサノイルパーオキサイド、過酸化琥珀酸、過酸化ベンゾイル、２，４−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ（３−メチル−３−メトキシブチル）パーオキシジカーボネート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシアセテート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシネオデカノエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシオクタノエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシラウレート、ターシルカーボネート、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔ−ヘキシルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｐ−イソプロピルクミルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、カルボニルジ（ｔ−ブチルパーオキシ二水素二フタレート）、カルボニルジ（ｔ−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート）等が挙げられる。
【００９４】
アゾ化合物としては、例えば、特開平８−１０８６２１号公報に記載のアゾ化合物等を挙げることができる。
【００９５】
クマリン化合物としては、例えば、３−メチル−５−アミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−クロロ−５−ジエチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−ブチル−５−ジメチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン等を挙げることができる。
【００９６】
アジド化合物としては、米国特許第２８４８３２８号明細書、米国特許第２８５２３７９号明細書ならびに米国特許第２９４０８５３号明細書に記載の有機アジド化合物、２，６−ビス（４−アジドベンジリデン）−４−エチルシクロヘキサノン（ＢＡＣ−Ｅ）等が挙げられる。
【００９７】
メタロセン化合物としては、特開昭５９−１５２３９６号公報、特開昭６１−１５１１９７号公報、特開昭６３−４１４８４号公報、特開平２−２４９号公報、特開平２−４７０５号公報、特開平５−８３５８８号公報に記載の種々のチタノセン化合物、例えば、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，６−ジフルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４−ジ−フルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４，６−トリフルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，５，６−テトラフルオロフェニ−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，６−ジフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４，６−トリフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，５，６−テトラフルオロフェニ−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニ−１−イル、特開平１−３０４４５３号公報、特開平１−１５２１０９号公報に記載の鉄−アレーン錯体等が挙げられる。
【００９８】
ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、特公平６−２９２８５号公報、米国特許第３，４７９，１８５号、同第４，３１１，７８３号、同第４，６２２，２８６号等の各明細書に記載の種々の化合物、具体的には、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ブロモフェニル））４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｍ−メトキシフェニル）ビイジダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｏ’−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ニトロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−メチルフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−トリフルオロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。
【００９９】
有機ホウ酸塩化合物としては、例えば、特開昭６２−１４３０４４号公報、特開昭６２−１５０２４２号公報、特開平９−１８８６８５号公報、特開平９−１８８６８６号公報、特開平９−１８８７１０号公報、特開２０００−１３１８３７号公報、特開２００２−１０７９１６号公報、特許第２７６４７６９号公報、特開２００２−１１６５３９号公報等の各公報、及び、Ｋｕｎｚ，Ｍａｒｔｉｎ“Ｒａｄ  Ｔｅｃｈ’９８．Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ  Ａｐｒｉｌ  １９−２２，１９９８，Ｃｈｉｃａｇｏ”等に記載される有機ホウ酸塩、特開平６−１５７６２３号公報、特開平６−１７５５６４号公報、特開平６−１７５５６１号公報に記載の有機ホウ素スルホニウム錯体或いは有機ホウ素オキソスルホニウム錯体、特開平６−１７５５５４号公報、特開平６−１７５５５３号公報に記載の有機ホウ素ヨードニウム錯体、特開平９−１８８７１０号公報に記載の有機ホウ素ホスホニウム錯体、特開平６−３４８０１１号公報、特開平７−１２８７８５号公報、特開平７−１４０５８９号公報、特開平７−３０６５２７号公報、特開平７−２９２０１４号公報等の有機ホウ素遷移金属配位錯体等が具体例として挙げられる。
【０１００】
ジスルホン化合物としては、特開昭６１−１６６５４４号公報、特開２００２−３２８４６５号公報等に記載される化合物等が挙げられる。
【０１０１】
オキシムエステル化合物としては、Ｊ．Ｃ．Ｓ．  Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ  （１９７９  ）１６５３−１６６０）、Ｊ．Ｃ．Ｓ．  Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ  （１９７９）１５６−１６２、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５）２０２−２３２、特開２０００−６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報、特表２００４−５３４７９７号公報に記載の化合物等が挙げられる。具体例としてはチバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアＯＸＥ−０１、ＯＸＥ−０２などが好適である。
【０１０２】
オニウム塩化合物としては、例えば、Ｓ．Ｉ．Ｓｃｈｌｅｓｉｎｇｅｒ，Ｐｈｏｔｏｇｒ．Ｓｃｉ．Ｅｎｇ．，１８，３８７（１９７４）、Ｔ．Ｓ．Ｂａｌ  ｅｔ  ａｌ，Ｐｏｌｙｍｅｒ，２１，４２３（１９８０）に記載のジアゾニウム塩、米国特許第４，０６９，０５５号明細書、特開平４−３６５０４９号公報等に記載のアンモニウム塩、米国特許第４，０６９，０５５号明細書、同４，０６９，０５６号明細書の各明細書に記載のホスホニウム塩、欧州特許第１０４，１４３号明細書、特開平２−１５０８４８号公報、特開平２−２９６５１４号公報の各公報に記載のヨードニウム塩などが挙げられる。
【０１０３】
本発明に好適に用いることのできるヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウム塩であり、安定性の観点から、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基等の電子供与性基で２つ以上置換されていることが好ましい。
【０１０４】
本発明に好適に用いることのできるスルホニウム塩としては、欧州特許第３７０，６９３号明細書、同３９０，２１４号明細書、同２３３，５６７号明細書、同２９７，４４３号明細書、同２９７，４４２号明細書、米国特許第４，９３３，３７７号明細書、同４，７６０，０１３号明細書、同４，７３４，４４４号明細書、同２，８３３，８２７号明細書、独国特許第２，９０４，６２６号明細書、同３，６０４，５８０号明細書、同３，６０４，５８１号明細書の各明細書に記載のスルホニウム塩が挙げられ、安定性及び感度の点から好ましくは電子吸引性基で置換されていることが好ましい。電子吸引性基としては、ハメット値が０より大きいことが好ましい。好ましい電子吸引性基としては、ハロゲン原子、カルボン酸などが挙げられる。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の１つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、３００ｎｍ以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリーロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する３００ｎｍ以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。
【０１０５】
また、オニウム塩化合物としては、Ｊ．Ｖ．Ｃｒｉｖｅｌｌｏ  ｅｔ  ａｌ，Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ，１０（６），１３０７（１９７７）、Ｊ．Ｖ．Ｃｒｉｖｅｌｌｏ
ｅｔ  ａｌ，Ｊ．Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉ．，Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｃｈｅｍ．Ｅｄ．，１７，１０４７（１９７９）に記載のセレノニウム塩、Ｃ．Ｓ．Ｗｅｎ  ｅｔ  ａｌ，Ｔｅｈ，Ｐｒｏｃ．Ｃｏｎｆ．Ｒａｄ．Ｃｕｒｉｎｇ  ＡＳＩＡ，ｐ４７８  Ｔｏｋｙｏ，Ｏｃｔ（１９８８）に記載のアルソニウム塩等のオニウム塩等が挙げられる。
【０１０６】
アシルホスフィン（オキシド）化合物としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュア８１９、ダロキュア４２６５、ダロキュアＴＰＯなどが挙げられる。
【０１０７】
（Ｄ）光重合開始剤としては、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン系化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、メタロセン化合物、オキシム系化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム系化合物、ベンゾチアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、３−アリール置換クマリン化合物からなる群より選択される化合物が好ましい。
【０１０８】
さらに好ましくは、トリハロメチルトリアジン系化合物、α−アミノケトン化合物、アシルホスフィン系化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、オキシム系化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物であり、トリハロメチルトリアジン系化合物、α−アミノケトン化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、ベンゾフェノン系化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物が最も好ましい。
【０１０９】
（Ｄ）光重合開始剤の含有量は、感光性着色組成物層中の全固形分に対し０．１〜２０質量％であることが好ましく、より好ましくは０．５〜１５質量％、特に好ましくは１〜１０質量％である。この範囲で、良好な感度とパターン形成性が得られる。
【０１１０】
−（Ｅ）溶剤−
本発明に用いられる感光性着色組成物は、一般に溶剤を用いて調製することができる。
溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、並びに３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチルなどの３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチルなど）、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピルなどの２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチルなど）、並びに、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、１，３−ブタンジオールジアセテート等；
【０１１１】
エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールｎ−プロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールｎ−ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールｎ−プロピルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールｎ−ブチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルアセテート等；
【０１１２】
ケトン類、例えばアセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等；
アルコール類、例えばエタノール、イソプロピルアルコール、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、
芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン等が挙げられる。
【０１１３】
これらのうち、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート等が好適である。
溶剤は、単独で用いる以外に２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【０１１４】
−その他の添加物−
また、本発明に用いられる感光性着色組成物には、上記成分の他に、さらに、目的に応じて種々の公知の添加剤を用いることができる。
以下、そのような添加剤について述べる。
【０１１５】
（分散剤）
本発明における感光性着色組成物は高分子分散剤を含有することが好ましい。この高分子分散剤は重量平均分子量が３，０００〜１００，０００の範囲にある樹脂である。さらに、酸価が２０〜３００ｍｇ／ｇであることが好ましい。このような特定の高分子分散剤を、以下、単に、「分散樹脂」と称する場合がある。
本発明における分散樹脂は、前記（Ａ−１）着色剤として挙げた顔料の分散剤、または、後述するブラックマトリックス形成のための感光性濃色組成物において、遮光剤（ブラックマトリックス形成用顔料）の分散剤として機能しうる化合物である。
分散樹脂は、特定の酸価を有する必要があるため、酸性基を有する高分子化合物であることが好ましい。
【０１１６】
この高分子化合物の高分子骨格としては、ビニルモノマーの重合体若しくは共重合体、エステル系ポリマー、エーテル系ポリマー、ウレタン系ポリマー、アミド系ポリマー、エポキシ系ポリマー、シリコーン系ポリマー、及びこれらの変性物、又は共重合体〔例えば、ポリエーテル／ポリウレタン共重合体、ポリエーテル／ビニルモノマーの重合体の共重合体など（ランダム共重合体、ブロック共重合体、グラフト共重合体のいずれであってもよい。）を含む。〕からなる群より選択される少なくとも一種が好ましく、ビニルモノマーの重合体若しくは共重合体、エステル系ポリマー、エーテル系ポリマー、ウレタン系ポリマー、及びこれらの変性物又は共重合体からなる群より選択される少なくとも一種がより好ましく、ビニルモノマーの重合体若しくは共重合体が特に好ましい。
【０１１７】
また、上記のような高分子骨格に酸性基の導入する方法としては、例えば、上記の高分子骨格を重合する際に酸性基を含有するモノマーを共重合する方法や、また、上記の高分子骨格を重合後に高分子反応により導入する方法が挙げられる。
酸性基を含有するモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、桂皮酸、アクリル酸ダイマー、ビニル安息香酸、スチレンスルホン酸、２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、リン酸モノ（メタ）アクリロイルエチルエステル、或いは２−ヒドロキシエチルメタクリレートなどのアルコール性水酸基含有モノマーと無水マレイン酸、無水フタル酸などの環状酸無水物等を反応させることにより得られるモノマーなどが挙げられる。
【０１１８】
更に、酸性基を有する高分子化合物は、更に、ビニルモノマー成分を共重合成分として含むものであってもよい。
前記ビニルモノマーとしては、特に制限されないが、例えば、（メタ）アクリル酸エステル類、クロトン酸エステル類、ビニルエステル類、マレイン酸ジエステル類、フマル酸ジエステル類、イタコン酸ジエステル類、（メタ）アクリルアミド類、ビニルエーテル類、ビニルアルコールのエステル類、スチレン類、（メタ）アクリロニトリルなどが好ましい。
【０１１９】
前記「酸性基」として、例えば、カルボン酸基、スルホン酸基、モノ硫酸エステル基、リン酸基、モノリン酸エステル基、ホウ酸基が好ましい例として挙げられ、カルボン酸基、スルホン酸基、モノ硫酸エステル基、リン酸基、モノリン酸エステル基がより好ましく、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基が特に好ましい。
【０１２０】
また、分散性向上のため、塩基性窒素原子を有する基を含有することも好ましい。前記塩基性窒素原子を有する基は、例えば、アミノ基（−ＮＨ２）、置換イミノ基（−ＮＨＲ８、又は−ＮＲ９Ｒ１０；ここで、Ｒ８、Ｒ９、及びＲ１０は、各々独立に、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６以上のアリール基、又は、炭素数７以上のアラルキル基を表す。）、下記化学式（ａ１）で表されるグアニジル基、又は、下記化学式（ａ２）で表されるアミジニル基などが好ましい例として挙げられる。
【０１２１】
【化１】
2009199066.tif 000002
【０１２２】
上記化学式（ａ１）中、Ｒ１１及びＲ１２は、各々独立に、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６以上のアリール基、又は、炭素数７以上のアラルキル基を表す。
上記化学式（ａ２）中、Ｒ１３及びＲ１４は、各々独立に、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数６以上のアリール基、又は、炭素数７以上のアラルキル基を表す。
【０１２３】
これらの中でも、アミノ基（−ＮＨ２）、置換イミノ基（−ＮＨＲ８、又は−ＮＲ９Ｒ１０；ここで、Ｒ８、Ｒ９、及びＲ１０は、各々独立に、炭素数１〜１０のアルキル基、フェニル基、又はベンジル基を表す。）、前記化学式（ａ１）で表されるグアニジル基〔化学式（ａ１）中、Ｒ１１及びＲ１２は各々独立に、炭素数１〜１０のアルキル基、フェニル基、又はベンジル基を表す。〕、前記化学式（ａ２）で表されるアミジニル基〔化学式（ａ２）中、Ｒ１３及びＲ１４は各々独立に、炭素数１〜１０のアルキル基、フェニル基、又はベンジル基を表す。〕などには、１〜２００個の水素原子、及び０〜２０個の硫黄原子から成り立つ基が含まれ、これらは無置換であっても置換基を更に有していてもよい。
【０１２４】
（他の分散剤）
本発明に用いられる感光性着色組成物は、分散樹脂以外に、従来から公知の分散剤（顔料分散剤）を併用することもできる。
【０１２５】
公知の分散剤（顔料分散剤）としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体〕、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
【０１２６】
高分子分散剤は顔料の表面に吸着し、再凝集を防止する様に作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。一方で、顔料誘導体は顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。
【０１２７】
本発明に用いうる公知の分散剤（顔料分散剤）の具体例としては、ＢＹＫ  Ｃｈｅｍｉｅ社製「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０７（カルボン酸エステル）、１３０（ポリアミド）、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１７０（高分子共重合物）」、ＥＦＫＡ社製「ＥＦＫＡ４０４７、４０５０、４０１０、４１６５（ポリウレタン系）、ＥＦＫＡ４３３０、４３４０（ブロック共重合体）、４４００、４４０２（変性ポリアクリレート）、５０１０（ポリエステルアミド）、６２２０（脂肪酸ポリエステル）、６７４５（フタロシアニン誘導体）、６７５０（アゾ顔料誘導体）」、味の素ファインテクノ社製「アジスパーＰＢ８２１、ＰＢ８２２」、共栄社化学社製「フローレンＴＧ−７１０（ウレタンオリゴマー）」、「ポリフローＮｏ．５０Ｅ、Ｎｏ．３００（アクリル系共重合体）」、楠本化成社製「ディスパロン＃７００４（ポリエーテルエステル）、ＤＡ−７０３−５０、ＤＡ−７０５、ＤＡ−７２５」、花王社製「エマルゲン９２０、９３０、９３５、９８５（ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル）」、「アセタミン８６（ステアリルアミンアセテート）」、ルーブリゾール社製「ソルスパース５０００（フタロシアニン誘導体）、２２０００（アゾ顔料誘導体）、１３２４０（ポリエステルアミン）、３０００、１７０００、２７０００（末端部に機能部を有する高分子）、２４０００、２８０００、３２０００、３８５００（グラフト型高分子）」、日光ケミカル社製「ニッコールＴ１０６（ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート）、ＭＹＳ−ＩＥＸ（ポリオキシエチレンモノステアレート）」等が挙げられる。
【０１２８】
上記のような公知の分散剤は、必要に応じて分散樹脂に対して、１０〜１００質量％、即ち、分散剤／分散樹脂＝１／１０〜１／１（等量）の範囲で用いることができる。
【０１２９】
（界面活性剤）
顔料濃度を大きくすると塗布液のチキソ性が一般的に大きくなるため、基板上に感光性着色組成物を塗布または転写して感光性着色組成物層（着色層塗膜）形成後の膜厚ムラを生じやすい。また特に、スリットコート法による感光性着色組成物層（着色層塗膜）形成では乾燥までに感光性着色組成物層形成用の塗布液がレベリングして均一な厚みの塗膜を形成することが重要である。このため、前記感光性着色組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。上記界面活性剤としては、特開２００３−３３７４２４号公報、特開平１１−１３３６００号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
塗布性を向上するための界面活性剤としてはノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等が添加される。
【０１３０】
ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレングリコール類、ポリオキシプロピレングリコール類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ポリオキシプロピレンアルキルエーテル類、ポリオキシプロピレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシプロピレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤が好ましい。
【０１３１】
具体的には、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキシプロピレングリコールなどのポリオキシアルキレングリコール類；ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシプロピレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシアルキレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレントリベンジルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン−プロピレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレンノニ
ルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル類；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシアルキレンジアルキルエステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレンソルビタン脂肪酸エステル類などのノニオン系界面活性剤がある。
【０１３２】
これらの具体例は、例えば、アデカプルロニックシリーズ、アデカノールシリーズ、テトロニックシリーズ（以上ＡＤＥＫＡ（株）製）、エマルゲンシリーズ、レオドールシリーズ（以上花王（株）製）、エレミノールシリーズ、ノニポールシリーズ、オクタポールシリーズ、ドデカポールシリーズ、ニューポールシリーズ（以上三洋化成（株）製）、パイオニンシリーズ（以上竹本油脂（株）製）、ニッサンノニオンシリーズ（以上日本油脂（株）製）などである。これらの市販されているものが適宜使用できる。好ましいＨＬＢ値は８〜２０、更に好ましくは１０〜１７である。
【０１３３】
フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖および側鎖の少なくともいずれかの部位にフルオロアルキルまたはフルオロアルキレン基を有する化合物を好適に用いることができる。
具体的市販品としては、例えばメガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７６、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同７８０、同７８１、同Ｒ３０、同Ｒ０８（大日本インキ（株）製）、フロラードＦＣ−１３５、同ＦＣ−１７０Ｃ、同ＦＣ−４３０、同ＦＣ−４３１（住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１、同Ｓ−１４５、同Ｓ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０２、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ−１０６（旭硝子（株）製）、エフトップＥＦ３５１、同３５２、同８０１、同８０２（ＪＥＭＣＯ（株）製）などである。
【０１３４】
シリコーン系界面活性剤としては、例えばトーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＤＣ７ＰＡ、同ＳＨ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同ＳＨ２９ＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、同ＳＨ−１９０、同ＳＨ−１９３、同ＳＺ−６０３２、同ＳＦ−８４２８、同ＤＣ−５７、同ＤＣ−１９０（以上、東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製）、ＴＳＦ−４４４０、ＴＳＦ−４３００、ＴＳＦ−４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ−４４６０、ＴＳＦ−４４５２（以上、Ｍｏｍｅｎｔｉｖｅ  Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｊａｐａｎ製）等を挙げることができる。
【０１３５】
これらの界面活性剤は、感光性着色組成物層を形成するための塗布液１００質量部に対して、好ましくは５質量部以下、より好ましくは２質量部以下で用いられる。界面活性剤の量が５質量部を超える場合は、塗布乾燥での表面あれが生じやすく平滑性が悪化しやすくなる。
【０１３６】
また、未硬化部のアルカリ溶解性を促進し、光硬化性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、有機カルボン酸、好ましくは重量平均分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行なうことができる。具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、フェノキシ酢酸、メトキシフェノキシ酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【０１３７】
（アルコキシシラン化合物）
本発明に用いられる感光性着色組成物には、基板との密着性向上といった観点から、アルコキシシラン化合物、なかでもシランカップリング剤を使用することができる。
シランカップリング剤は、無機材料と化学結合可能な加水分解性基としてアルコキシシリル基を有するものが好ましく、有機樹脂との間で相互作用もしくは結合形成して親和性を示す（メタ）アクリロイル、フェニル、メルカプト、エポキシシランであることが好ましく、その中でも（メタ）アクリロイルプロピルトリメトキシシランであることがより好ましい。
シランカップリング剤を用いる場合の添加量としては、本発明に用いられる感光性着色組成物層中の全固形分中、０．２〜５．０質量％の範囲であることが好ましく、０．５〜３．０質量％がより好ましい。
【０１３８】
（共増感剤）  本発明に用いられる感光性着色組成物は、所望により共増感剤を含有することも好ましい。本発明において共増感剤は、増感色素や開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
この様な共増感剤の例としては、アミン類、例えばＭ．  Ｒ．  Ｓａｎｄｅｒら著「Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｏｃｉｅｔｙ」第１０巻３１７３頁（１９７２）、特公昭４４−２０１８９号公報、特開昭５１−８２１０２号公報、特開昭５２−１３４６９２号公報、特開昭５９−１３８２０５号公報、特開昭６０−８４３０５号公報、特開昭６２−１８５３７号公報、特開昭６４−３３１０４号公報、Ｒｅｓｅａｒｃｈ  Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ  ３３８２５号記載の化合物等が挙げられ、具体的には、トリエタノールアミン、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ−ホルミルジメチルアニリン、ｐ−メチルチオジメチルアニリン等が挙げられる。
【０１３９】
共増感剤の別の例としては、チオール及びスルフィド類、例えば、特開昭５３−７０２号公報、特公昭５５−５００８０６号公報、特開平５−１４２７７２号公報記載のチオール化合物、特開昭５６−７５６４３号公報のジスルフィド化合物等が挙げられ、具体的には、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプト−４（３Ｈ）−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン等が挙げられる。
【０１４０】
また、共増感剤の別の例としては、アミノ酸化合物（例、Ｎ−フェニルグリシン等）、特公昭４８−４２９６５号公報記載の有機金属化合物（例、トリブチル錫アセテート等）、特公昭５５−３４４１４号公報記載の水素供与体、特開平６−３０８７２７号公報記載のイオウ化合物（例、トリチアン等）等が挙げられる。
【０１４１】
これら共増感剤の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、硬化性組成物の全固形分の質量に対し、０．１〜３０質量％の範囲が好ましく、１〜２５質量％の範囲がより好ましく、０．５〜２０質量％の範囲が更に好ましい。
【０１４２】
（重合禁止剤）
本発明においては、感光性着色組成物の製造中あるいは保存中において重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の不要な熱重合を阻止するために少量の熱重合禁止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる熱重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
【０１４３】
熱重合禁止剤の添加量は、感光性着色組成物層中の質量に対して約０．０１質量％〜約５質量％が好ましい。また必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するためにベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で感光層の表面に偏在させてもよい。高級脂肪酸誘導体の添加量は、全組成物の約０．５質量％〜約１０質量％が好ましい。
【０１４４】
（可塑剤）
さらに、本発明においては、感光性着色組成物層の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤、感光層表面のインク着肉性を向上させうる感脂化剤等を加えてもよい。
可塑剤としては例えばジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等があり、結合剤を使用した場合、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と結合剤との合計質量に対し１０質量％以下添加することができる。
【０１４５】
上述した成分を用いることで、本発明における感光性着色組成物は、高感度で硬化し、かつ、保存安定性も良好となる。また、基板への高い密着性を示す。従って、前記各種成分を含有する感光性着色組成物は、カラーフィルタに好ましく使用することができる。
【０１４６】
＜感光性濃色組成物＞
本発明に用いられる感光性濃色組成物は、（Ａ−２）遮光剤、（Ｂ）バインダーポリマー、（Ｃ−２）重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤および（Ｅ）溶剤を含有することが好ましく、必要に応じて、分散剤や界面活性剤などの他の添加剤を含有させることができる。
【０１４７】
−（Ａ−２）遮光剤−
（Ａ−２）遮光剤としては、前記（Ａ−１）着色剤のほか、カーボンブラック、チタンブラック、金属微粒子、金属酸化物、硫化物の微粒子などが挙げられる。中でも遮光性とコストのバランスに優れているカーボンブラックが特に好ましい。
これらは必要に応じて、単独又は複数種組み合わせて用いられる。例えば、カーボンブラック単独、有機顔料の混合、カーボンブラックと有機顔料の併用などである。
遮光用の材料としては従来から黒色着色剤として、可視光領域を遮蔽するように顔料を少なくとも２種以上併用して用いられてきた。これらの顔料としては、特開２００５−１７７１６号公報［００３８］〜［００４０］や、特開２００５−１７５２１号公報［００８０］〜［００８８］に記載の顔料を挙げることができ、これらの顔料を使用した遮光層の形成は特開平７−２７１０２０などに開示されている。
遮光効果をより大きくするために特開２０００−１４７２４０、特開２０００−１４３９８５、特開２００５−３３８３２８、特開２００６−１５４８４９などでは、カーボンブラック、チタンブラック、または黒鉛等が遮光材料の好適なものとして開発されてきた。本発明においては、遮光性やコストの観点から、カーボンブラックは遮光材料のひとつとして好ましいものである。
【０１４８】
カーボンブラックの例としては、ピグメント・ブラック７（カーボンブラック）が好ましい。カーボンブラックとしては、例えば、三菱化学社製のカーボンブラック＃２４００、＃２３５０、＃２３００、＃２２００、＃１０００、＃９８０、＃９７０、＃９６０、＃９５０、＃９００、＃８５０、ＭＣＦ８８、＃６５０、ＭＡ６００、ＭＡ７、ＭＡ８、ＭＡ１１、ＭＡ１００、ＭＡ２２０、ＩＬ３０Ｂ、ＩＬ３１Ｂ、ＩＬ７Ｂ、ＩＬ１１Ｂ、ＩＬ５２Ｂ、＃４０００、＃４０１０、＃５５、＃５２、＃５０、＃４７、＃４５、＃４４、＃４０、＃３３、＃３２、＃３０、＃２０、＃１０、＃５、ＣＦ９、＃３０５０、＃３１５０、＃３２５０、＃３７５０、＃３９５０、ダイヤブラックＡ、ダイヤブラックＮ２２０Ｍ、ダイヤブラックＮ２３４、ダイヤブラックＩ、ダイヤブラックＬＩ、ダイヤブラックＩＩ、ダイヤブラックＮ３３９、ダイヤブラックＳＨ、ダイヤブラックＳＨＡ、ダイヤブラックＬＨ、ダイヤブラックＨ、ダイヤブラックＨＡ、ダイヤブラックＳＦ、ダイヤブラックＮ５５０Ｍ、ダイヤブラックＥ、ダイヤブラックＧ、ダイヤブラックＲ、ダイヤブラックＮ７６０Ｍ、ダイヤブラックＬＰ；デグサ社製のカーボンブラックＣｏｌｏｒ  Ｂｌａｃｋ  ＦＷ２００、Ｃｏｌｏｒ  Ｂｌａｃｋ  ＦＷ２、Ｃｏｌｏｒ  Ｂｌａｃｋ  ＦＷ１、Ｃｏｌｏｒ  Ｂｌａｃｋ  ＦＷ１８、Ｃｏｌｏｒ  Ｂｌａｃｋ  Ｓ１７０、Ｃｏｌｏｒ  Ｂｌａｃｋ  Ｓ１６０、Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｂｌａｃｋ６、Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｂｌａｃｋ５、Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｂｌａｃｋ４、Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｂｌａｃｋ４Ａ、Ｐｒｉｎｔｅｘ  Ｕ、ＰｒｉｎｔｅｘＶ、Ｐｒｉｎｔｅｘ  １４０Ｕ、Ｐｒｉｎｔｅｘ  １４０Ｖ、Ｐｒｉｎｔｅｘ  ３５；Ｃａｂｏｔ社製のカーボンブラックＲＥＧＡＬ  ４００、ＲＥＧＡＬ  ４００Ｒ、ＲＥＧＡＬ  ＸＣ７２、ＶＵＬＣＡＮ  ＸＣ７２Ｒ、ＭＯＧＵＬ  Ｌ、ＭＯＮＡＲＣＨ  １４００、ＭＯＮＡＲＣＨ  １０００、ＢＬＡＣＫ  ＰＥＡＲＬＳ１４００；旭カーボン社製のカーボンブラックＳＵＮＢＬＡＣＫ９００、同９１０、同９３０、同９６０、同９７０等を挙げることができる。また電気抵抗を大きくするためにこれらを高分子化合物で被覆したものも好ましいものである。これらのカーボンブラックの好ましい単粒子の大きさは１０〜１００ｎｍ、より好ましくは１０〜５０ｎｍである。
【０１４９】
−（Ｃ−２）重合性化合物−
ブラックマトリックス形成用の感光性濃色組成物における（Ｃ−２）重合性化合物としては、前記感光性着色組成物において用いられた（Ｃ−１）重合性化合物も、好ましいものとして挙げられるが、特に以下に示すものが好ましい。
感光性濃色組成物における重合性化合物としては、エチレン性不飽和二重結合を２個以上有し、光の照射によって付加重合するモノマー又はオリゴマーであることが好ましい。そのようなモノマー及びオリゴマーとしては、分子中に少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で１００℃以上の化合物を挙げることができる。その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート及びフェノキシエチル（メタ）アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）シアヌレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート；トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを付加した後（メタ）アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートを挙げることができる。  
【０１５０】
また酸性多官能光硬化性化合物も好ましい化合物である。酸性多官能光硬化性化合物としては、（１）水酸基と共に３つ以上の光硬化性官能基を有するモノマー又はオリゴマーを二塩基酸無水物で変性することによりカルボキシル基を導入したもの、（２）水酸基と共に３つ以上の光硬化性官能基を有するモノマー又はオリゴマーに、グリシジル基もしくはイソシアネート基とＣＯＯＨ基とを併せ持つ化合物等を付加することによってカルボキシル基を導入したもの、あるいは（３）３つ以上の光硬化性官能基を有する芳香族化合物を濃硫酸や発煙硫酸で変性することによりスルホン酸基を導入したもの等を用いることができる。また、酸性多官能光硬化性化合物そのものであるモノマーを繰返し単位として含むオリゴマーを、酸性多官能光硬化性化合物として用いてもよい。  酸性多官能光硬化性化合物の例としては、下記一般式（ｉ）、一般式（ｉｉ）で表されるものが好ましい。なお、一般式（ｉ）及び一般式（ｉｉ）において、Ｔ又はＧがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がＲ、Ｘ及びＷに結合する。
【０１５１】
【化２】
2009199066.tif 000003
【０１５２】
一般式（ｉ）中、Ｒは、（メタ）アクリロイロキシ基を表し、Ｘは、−ＣＯＯＨ基、又は−ＯＰＯ３Ｈ２基を表す。Ｔは、オキシアルキレン基を表し、ここでアルキレン基の炭素数は１〜４である。ｎは、０〜２０である。
一般式（ｉｉ）中、Ｗは、一般式（ｉ）におけるＲ又はＸを表し、６個のＷのうち、３個以上のＷがＲである。Ｇは、一般式（ｉ）におけるＴと同義である。Ｚは、−Ｏ−又は、−ＯＣ＝ＯＮＨ（ＣＨ２）ｑＮＨＣＯＯ−を表す。ｐは０〜２０であり、ｑは１〜８で
ある。一分子内に複数存在するＷ、Ｒ、Ｔ、Ｇは、各々同一であっても、異なっていても良い。
【０１５３】
一般式（ｉ）及び一般式（ｉｉ）で表される酸性多官能光硬化性化合物の市販品としては、例えば、東亞合成（株）製のカルボキシル基含有３官能アクリレートであるＴＯ−７５６、及びカルボキシル基含有５官能アクリレートであるＴＯ−１３８２などが挙げられる。
【０１５４】
更に特公昭４８−４１７０８号公報、特公昭５０−６０３４号公報及び特開昭５１−３７１９３号公報に記載されているウレタンアクリレート類；特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報及び特公昭５２−３０４９０号公報に記載されているポリエステルアクリレート類；エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレー卜やメタクリレートを挙げることができる。これらの中で、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジぺンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジぺンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、上記カルボキシル基含有５官能アクリレートなどが好ましい。また、この他、特開平１１−１３３６００号公報に記載の「重合性化合物Ｂ」も好適なものとして挙げることができる。
【０１５５】
ブラックマトリックス形成用として用いられる感光性濃色組成物における（Ｃ−２）重合性化合物の含有量としては、感光性濃色組成物層の全固形分中、５〜５０質量％であることが好ましく、７〜４０質量％であることがより好ましく、１０〜３５質量％であることが更に好ましい。
【０１５６】
感光性濃色組成物に用いられる（Ｂ）バインダーポリマー、（Ｄ）重合開始剤、（Ｅ）溶剤、その他の添加剤などは前記した着色パターン形成用の感光性着色組成物におけるものと同様であり、好ましい含有量も同様である。
【０１５７】
＜カラーフィルタ＞
本発明のカラーフィルタは、本発明のカラーフィルタの製造方法により製造したカラーフィルタであって、ブラックマトリックスと着色パターンとが重なるオーバーラップ部を有し、前記オーバーラップ部のブラックマトリックス幅方向における距離が１．０〜１２μｍである。
上記感光性着色組成物及び感光性濃色組成物を用い、本発明のカラーフィルタの製造方法で製造した本発明のカラーフィルタは、ツノの高さが低く抑えられ、かつオーバーラップの距離も適性であり、高品位な表示を可能とするものである。前記オーバーラップ部の距離は、１．０〜１２μｍであり、前記ツノの高さは、０．５０μｍ以下であることが好ましい。
【０１５８】
＜液晶表示装置＞
本発明の液晶表示装置は、本発明のカラーフィルタを備えた液晶表示装置である。そのため、高品位の画像を表示することができる。
スペーサについては塗布による作製方法や転写による作製方法を好適に用いることができる。塗布による作製方法は工程が簡単である点で好ましい。転写による作製方法はスペーサ高さの均一性が良い点で好ましい。転写による作製方法については特開２００８−１４６０１８号公報に記載の方法が特に好ましい。
表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
【０１５９】
本発明は、中でも特に、カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については例えば「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ（共立出版（株）１９９６年発行）」に記載されている。さらに本発明はＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置や、ＳＴＮ、ＴＮ、ＶＡ、ＯＣＳ、ＦＦＳ、及びＲ−ＯＣＢ等にも適用できる。これらの方式については例えば「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−（東レリサーチセンター調査研究部門  ２００１年発行）」の４３ページに記載されている。
液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明の遮光膜付基板はこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。
これらの部材については例えば「’９４液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場（島  健太郎  （株）シーエムシー  １９９４年発行）」、「２００３液晶関連市場の現状と将来展望（下巻）（表  良吉（株）富士キメラ総研  ２００３年発行）」に記載されている。
【０１６０】
バックライトに関しては、ＳＩＤ  ｍｅｅｔｉｎｇ  Ｄｉｇｅｓｔ  １３８０（２００
５）（Ａ．Ｋｏｎｎｏ  ｅｔ．ａｌ）や、月刊デイスプレイ  ２００５年１２月号の１８
〜２４ページ  （島  康裕）、同２５〜３０ページ（八木  隆明）などに記載されている。
本発明のカラーフィルタは、従来公知の冷陰極管の三波長管と組み合わせたときに高いコントラストを実現できるが、更に赤、緑、青のＬＥＤ光源（ＲＧＢ−ＬＥＤ）をバックライトとすることによって輝度が高く、また色純度の高い色再現性の良好な液晶表示装置を提供することができる。
【０１６１】
また一方で、液晶表示装置に求められる性能は画像の応答速度の向上である。応答速度の向上のために液晶の配向速度の改良がなされている。一方セルの構造面からは液晶層の厚み低減が、コストダウン上も必要である。液晶層の厚み低減に必要なもうひとつの技術は、着色画素とブラックマトリックスの境界部分での液晶の配向乱れを小さくすることである。そのため、着色画素とブラックマトリックスとの境界部分での盛り上がり（ツノ）を小さくすることが求められる。
本発明のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタは、ブラックマトリックス形成用の感光性濃色組成物層が現像後の形状が垂直に近い断面形状とし、着色パターン（着色画素）形成用の感光性着色組成物層とブラックマトリックスとのオーバーラップ部の距離が１．０〜１２μｍであり、ツノを小さくすることができる。
【０１６２】
このように、本発明のカラーフィルタは、ツノが小さいため、前記オーバーラップ部での液晶の配向の乱れを低減することができ、画像表示した際の視認性も向上する。本発明の液晶表示装置に、本発明のカラーフィルタを用いることで、各着色画素のブラックマトリックスとの重ね合わせ部を平坦にすることができ、平坦性が良好になると液晶層を薄層化したり、透明電極ＩＴＯを敷設する前に、研磨したり、平坦化層を付与したりする必要がなくなり、工程の合理化ひいてはコストダウン、量産性に貢献できる。
【実施例】
【０１６３】
以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、試薬、割合、機器、操作等は本発明の範囲から逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、以下の実施例において、特に断りのない限り「％」および「部」は、「質量％」および「質量部」を表し、分子量とは重量平均分子量のことを示す。また、「ｗｔ％」は「質量％」を表す。
【０１６４】
（実施例１）
＜１．感光性濃色組成物の調製＞
−カーボンブラック分散液（Ｋ−１）の調製−
下記処方でカーボンブラック分散液（Ｋ−１）を調製した。
・カーボンブラック（デグッサ社製  カラーブラックＦＷ２）  ・・２６．７部
・分散剤（楠本化成製ディスパロンＤＡ７５００  酸価２６  アミン価４０）
・・・３．３部
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝７２／２８［モル比］）共重合体
（分子量３０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの５０質量％溶液）                                                  ・・・１０部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート          ・・・６０部
【０１６５】
上記各成分を３０００ｒｐｍの条件でホモジナイザーを用いて１時間撹拌した。得られた混合溶液を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いたビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて８時間微分散処理を施し、カーボンブラック分散液（Ｋ−１）を得た。
【０１６６】
得られたカーボンブラック分散液（Ｋ−１）を用いて、下記表１の処方で感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−１、ＣＫ−３、ＣＫ−４を調製した。表１中の数値は質量比を示す。
【０１６７】
【表１】
2009199066.tif 000004
【０１６８】
表１中の各成分の詳細は下記のとおりである。
・樹脂溶液Ｃ−２：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸（＝８５／１５モル比）共重合体、（Ｍｗ１００００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの５０ｗｔ％溶液）
・ＵＶ硬化性樹脂Ｃ−３：商品名サイクロマーＰ  ＡＣＡ−２５０  ダイセル化学工業（株）製〔側鎖に脂環、ＣＯＯＨ基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％）〕
・重合性化合物Ｃ−５：日本化薬（株）製  ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡと、日本化薬（株）製  ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−６８４の６０対４０（質量比）の混合物
・開始剤Ｃ−７：商品名「ＯＸＥ−０２」  チバ・スペシャルテイ・ケミカルズ社製
・界面活性剤Ｃ−８：商品名「メガファックＲ３０」  大日本インキ化学工業（株）製
・溶剤：ＰＧＭＥＡ＝プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
ＥＥＰ＝３−エトキシエチルプロピオネート
【０１６９】
＜２．塗布によるブラックマトリックスの形成＞
−感光性濃色組成物層形成工程−
得られた感光性濃色組成物ＣＫ−１を、洗浄したガラス基板（コーニング社製ミレニアム  ０．７ｍｍ厚）にスリットコーター（型番ＨＣ６０００、平田機工株式会社製）を用いて、ポストベーク後の膜厚が１．２μｍとなるようにスリットとガラス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度１２０ｍｍ／秒で塗布した。
【０１７０】
−プリベーク工程、露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、８０℃で１２０秒間加熱（プリベーク処理）を行なった後、プロキシミティ方式露光機（型番ＬＥ５５６５Ａ、株式会社日立ハイテクノロジーズ社製）を用いて、６０ｍＪ／ｃｍ２で露光した。
【０１７１】
−現像工程−
その後、水平搬送型の現像装置で現像した。すなわち、水酸化カリウム系現像液ＣＤＫ−１（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の１．０％現像液（ＣＤＫ−１を１質量部、純水を９９質量部の希釈した液、２４℃）でシャワー圧を０．１５ＭＰａに設定して、３７秒現像し、純水で洗浄し、現像後のブラックマトリックスを得た。ここで、ＳＥＭにて断面写真を撮って断面形状を確認したところ、上部端に対して下部端が約３μｍに位置する順テーパー形状であった。尚、以下の実施例、比較例についての上部端に対して下部端の位置（前記感光性濃色組成物層内の上部端から前記基板の法線方向に伸びる線と、前記感光性濃色組成物層内の下端部と、の間のブラックマトリックスの幅方向における距離、表６には「上部端〜下部端の距離」と記載。）を表６に示す。
ＳＥＭ撮影は、ブラックマトリックスの格子長辺の中央付近において、ブラックマトリックスの幅方向に、基板表面に垂直に、ブラックマトリックスを基板とともに切断して行なった。
【０１７２】
−ベーク工程−
次いで２２０℃のクリーンオーブンで４０分間ポストベーク処理し、着色画素形成領域の開口が９０μｍ×２００μｍで、ブラックマトリックスの厚みが１．２μｍで、ブラックマトリックスの線幅が約２５μｍの格子状ブラックマトリックス基板を形成した。
Ｘ−Ｒｉｔｅ  ３６１Ｔ（Ｖ）（サカタインクスエンジニアリング（株）製）を用いて、出来上がったブラックマトリックスの光学濃度（ＯＤ）を測定したところ、４．２であった。
【０１７３】
＜３．感光性着色組成物の調製＞
−  ３−１．赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１の調製−
下記処方で赤色（Ｒ）用分散液（Ｒ−１）を調製した。
・Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ２５４（ＳＥＭ観察での平均粒子径４３ｎｍ）
・・・１１部
・Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １７７（ＳＥＭ観察での平均粒子径５８ｎｍ）
・・・４部
・下記分散樹脂Ａ−３                                              ・・・５部
・分散剤（商品名：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ビックケミー社製）
（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの３０％溶液）・・・３部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
（＝７５／２５［モル比］共重合体、分子量３０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％））              ・・・９部
・溶剤Ｂ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート      ・・・６８部
【０１７４】
上記各成分を、３０００ｒｐｍの条件でホモジナイザーを用いて１時間撹拌した。得られた混合溶液を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いてビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて４時間微分散処理を施し赤色（Ｒ）用分散液（Ｒ−１）を得た。再びＳＥＭで観察すると平均粒子径は３６ｎｍであった。
【０１７５】
得られた赤色（Ｒ）用分散液（Ｒ−１）を用いて、下記処方で赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を調製した。
・赤色（Ｒ）用分散液（Ｒ−１）                                ・・・１００部
・エポキシ樹脂：（商品名ＥＨＰＥ３１５０  ダイセル化学工業社製    ・・・２部
・重合性化合物：ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物                                        ・・・８部
・重合開始剤：４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノ−フェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン    ・・・１部
・重合開始剤：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１                                                    ・・・１部
・重合開始剤：ジエチルチオキサントン                          ・・・０．５部
・重合禁止剤：ｐ−メトキシフェノール                      ・・・０．００１部
・フッ素系界面活性剤（商品名：Ｍｅｇａｆａｃ  Ｒ３０  大日本インキ化学工業社製）
・・・０．０１部
・ノニオン系界面活性剤（商品名：テトロニックＲ１５０  ＡＤＥＫＡ社製）
・・・０．２部
・溶剤：プロピレングリコールｎ−ブチルエーテルアセテート        ・・・３０部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート      ・・・１００部
上記成分を混合撹拌し、赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を得た。
【０１７６】
−  ３−２．緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１の調製−
下記処方で緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）を調製した。
・Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ３６（ＳＥＭ観察での平均粒子径４７ｎｍ）
・・・１１部
・Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１５０（ＳＥＭ観察での平均粒子径３９ｎｍ）
・・・７部
・下記分散樹脂Ａ−３                                              ・・・５部
・分散剤（商品名：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ビックケミー社製  ３０％溶液）
・・・３部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
（＝８５／１５［モル比］共重合体、分子量３０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％））          ・・・１１部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ・・・７０部
【０１７７】
上記各成分を３０００ｒｐｍの条件でホモジナイザーを用いて１時間撹拌した。得られた混合溶液を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いたビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて８時間微分散処理を施し、緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）を得た。
【０１７８】
得られた緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）を用いて、下記処方で緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１を調製した。再びＳＥＭで観察すると平均粒子径は３２ｎｍであった。
・緑色（Ｇ）用分散液（Ｇ−１）                                ・・・１００部
・エポキシ樹脂：（商品名ＥＨＰＥ３１５０  ダイセル化学工業社製）  ・・・２部
・重合性化合物：ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物                                        ・・・８部
・重合性化合物：ペンタエリスリトールのテトラ（エトキシアクリレート）
・・・２部
・重合開始剤：１，３−ビストリハロメチル−５−ベンゾオキソラントリアジン
・・・２部
・重合開始剤：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１                                                    ・・・１部
・重合開始剤：ジエチルチオキサントン                          ・・・０．５部
・重合禁止剤：ｐ−メトキシフェノール                      ・・・０．００１部
・フッ素系界面活性剤（商品名：Ｍｅｇａｆａｃ  Ｒ０８  大日本インキ化学工業社製）                                                            ・・・０．０２部
・ノニオン系界面活性剤（商品名：エマルゲンＡ−６０  花王社製）・・・０．５部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート      ・・・１２０部
・溶剤：プロピレングリコールｎ−プロピルエーテルアセテート      ・・・３０部
上記組成を混合撹拌し、緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１を得た。
【０１７９】
−  ３−３．青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１の調製−
下記処方で青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）を調製した。
・Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６（ＳＥＭ観察での平均粒子径５５ｎｍ）
・・・１４部
・Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３（ＳＥＭ観察での平均粒子径６１ｎｍ）
・・・１部
・下記分散樹脂Ａ−３                                              ・・・５部
・分散剤（商品名：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、ビックケミー社製  ３０％溶液）
・・・３部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
（＝８０／２０［モル比］共重合体、分子量３０，０００、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％））              ・・・４部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ・・・７３部
【０１８０】
上記各成分を、３０００ｒｐｍの条件でホモジナイザーを用いて１時間撹拌した。得られた混合溶液を、０．３ｍｍジルコニアビーズを用いてビーズ分散機（商品名：ディスパーマット、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製）にて４時間微分散処理を施し、青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）を得た。再びＳＥＭで観察すると平均粒子径は３９ｎｍであった。
【０１８１】
得られた青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）を用いて、下記処方で青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１を調製した。
・青色（Ｂ）用分散液（Ｂ−１）                                  ・・・１００部
・アルカリ可溶性樹脂：ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体
（＝８０／２０［モル比］共重合体、分子量３０，０００）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％））              ・・・７部
・エポキシ樹脂：（商品名セロキサイド２０８０  ダイセル化学工業社製）・・・２部
・ＵＶ硬化性樹脂：（商品名サイクロマーＰ  ＡＣＡ−２５０  ダイセル化学工業社製）
（側鎖に脂環、ＣＯＯＨ基、及びアクリロイル基のあるアクリル系共重合体、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（固形分：５０質量％）  ・・・４部
・重合性化合物：ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとペンタエリスリトールヘキサアクリレートとの混合物                                        ・・・１２部
・重合開始剤：１−（９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾル−３−イル）−１−（ｏ−アセチルオキシム）エタノン                    ・・・３部
・重合禁止剤：  ｐ−メトキシフェノール                      ・・・０．００１部
・フッ素系界面活性剤（商品名：Ｍｅｇａｆａｃ  Ｒ０８  大日本インキ化学工業社製）
・・・０．０２部
・ノニオン系界面活性剤（商品名：エマルゲンＡ−６０  花王社製）  ・・・１．０部
・溶剤：３−エトキシプロピオン酸エチル                          ・・・２０部
・溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ・・・１５０部
上記成分を混合撹拌し、青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１を得た。
【０１８２】
＜４．分散樹脂Ａ−３の合成＞
（１．連鎖移動剤Ａ３の合成）
ジペンタエリスリトールヘキサキス（３−メルカプトプロピオネート）〔ＤＰＭＰ；堺化学工業（株）製〕（下記化合物（３３））７．８３部、及び吸着部位を有し、かつ炭素−炭素二重結合を有する下記化合物（ｍ−６）４．５５部を、プロピレングリコールモノメチルエーテル２８．９０部に溶解させ、窒素気流下、７０℃に加熱した。これに、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）〔Ｖ−６５、和光純薬工業（株）製〕０．０４部を加えて３時間加熱した。更に、Ｖ−６５を０．０４部加え、窒素気流下、７０℃で３時間反応させた。室温まで冷却することで、以下に示すメルカプタン化合物（連鎖移動剤Ａ３）の３０％溶液を得た。
【０１８３】
【化３】
2009199066.tif 000005
【０１８４】
（２．分散樹脂Ａ―３の合成）
前記のようにして得られた連鎖移動剤Ａ３の３０％溶液４．９９部、メタクリル酸メチル１９．０部、及びメタクリル酸１．０部、プロピレングリコールモノメチルエーテル４．６６部の混合溶液を、窒素気流下、９０℃に加熱した。この混合溶液を攪拌しながら、２，２’−アゾビスイソ酪酸ジメチル〔Ｖ−６０１、和光純薬工業（株）製〕０．１３９部、プロピレングリコールモノメチルエーテル５．３６部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート９．４０部の混合溶液を２．５時間かけて滴下した。滴下終了してから、９０℃で２．５時間反応させた後、２，２’−アゾビスイソ酪酸ジメチル０．０４６部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４．００部の混合溶液を投入し、更に２時間反応させた。反応液にプロピレングリコールモノメチルエーテル１．５２部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２１．７部を加え、室温まで冷却することで特定分散樹脂Ａ−３（ポリスチレン換算の重量平均分子量２４０００）の溶液（特定分散樹脂３０質量％、プロピレングリコールモノメチルエーテル２１質量％、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４９質量％）を得た。
この特定分散樹脂Ａ−３の酸価は４８ｍｇ／ｇであった。分散樹脂Ａ−３の構造を以下に示す。
【０１８５】
【化４】
2009199066.tif 000006
【０１８６】
＜カラーフィルタの作製＞
−感光性着色組成物層形成工程−
得られた赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を、前記ブラックマトリックス基板のブラックマトリックス形成面側に、塗布した。具体的には、感光性濃色組成物層形成の場合と同様に、ポストベーク後の感光性着色組成物層の層厚が約２．１μｍとなるようにスリットとブラックマトリックス基板間の間隔、吐出量を調節して、塗布速度１２０ｍｍ／秒で塗布した。
【０１８７】
−着色層プリベーク工程、着色層露光工程−
次いで、ホットプレートを用いて、１００℃で１２０秒間加熱（プリベーク処理）を行なった後、プロキシミティ方式露光機（型番ＬＥ５５６５Ａ、株式会社日立ハイテクノロジーズ社製）を用いて、９０ｍＪ／ｃｍ２で露光した。
また、露光パターンと、ブラックマトリックスとの重なり（露光重なり量）が５．５μｍとなるようにマスクパターンと露光機を設定した。
【０１８８】
−着色層現像工程、着色層ベーク工程−
その後、水酸化カリウム系現像液ＣＤＫ−１（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の１．０％現像液（ＣＤＫ−１を１質量部、純水を９９質量部の希釈した液、２５℃）でシャワー圧を０．２ＭＰａに設定して、４５秒現像し、純水で洗浄した。
次いで２２０℃のクリーンオーブンで３０分間ポストベーク処理し、熱処理済みの赤色画素を形成した。
【０１８９】
次いで、上記感光性着色組成物層形成工程、着色層プリベーク工程、着色層露光工程、着色層現像工程、及び着色層ベーク工程において、赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を、緑色（Ｇ）用感光性着色組成物塗布液ＣＧ−１に代えた他は同様にして、緑色画素を形成した。さらにその後、赤色（Ｒ）用感光性着色組成物塗布液ＣＲ−１を、青色（Ｂ）用感光性着色組成物塗布液ＣＢ−１に代えた他は同様にして、青色画素を形成してカラーフィルタを得た。
【０１９０】
無作為に選んだ１０画素のＳＥＭ断面写真を撮って、感光性着色組成物層とブラックマトリックスとのオーバーラップの距離を測ったところ、算術平均は５．０μｍであった。
前記ＳＥＭ断面写真は、ブラックマトリックスの長辺の中央付近で長辺方向に直角に断面を切ってＳＥＭ撮影した。
また、接触式表面粗さ計Ｐ−１０（ケーエルエー・テンコール（株）製）を用いて、無作為に選んだ１００の着色パターンの「ツノ」の高さを測ったところ、算術平均は、０．２２μｍであった。ツノの高さ測定は、図８に示すようにして、ブラックマトリックス１０の格子長辺の中央付近で、前記ブラックマトリックス１０の幅方向（Ａ方向）に触針１２を動かして行った。
また、各色の着色パターンとブラックマトリックスとで形成されたツノの高さは、着色パターンの表面のうち、オーバーラップ部の基板表面から最も離れた部分と、オーバーラップ部以外の平坦な表面部分との間の基板の法線における距離として求めた。
【０１９１】
＜液晶表示装置の作製＞
上記より得たカラーフィルタのＲ画素、Ｇ画素、及びＢ画素並びにブラックマトリックスの上に更に、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）透明電極を、スパッタリングにより形成した。別途、対向基板としてガラス基板を用意し、同様にＩＴＯ透明電極をスパッタリングにより形成した。そして、前記ＩＴＯ透明電極上の隔壁の上方に相当する部分に柱状フォトスペーサを設け、その上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
【０１９２】
その後、カラーフィルタの着色画素群の周囲を取り囲むように設けられたブラックマトリックス外枠に相当する位置に紫外線硬化樹脂のシール剤をディスペンサ方式により塗布し、ＴＮモード用液晶を滴下して真空状態にて対向基板と貼り合わせ、貼り合わされた基板をＵＶ照射した後、熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして液晶セルを得た。この液晶セルの両面に（株）サンリッツ製の偏光板ＨＬＣ２−２５１８を貼り付け、次いで冷陰極管のバックライトを構成して前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置とした。
【０１９３】
−液晶表示装置の画質評価−
液晶表示装置に通電して各種表示画像を目視により観察し、下記の評価基準にしたがって評価した。結果は表６に示す。
〈評価基準〉
○  ：ムラが無く、表示が鮮やかで迫力があると感じる。
△  ：ムラは無いが、表示に迫力を感じない
×  ：ムラがあったり、白っぽく見えたりして、観賞に耐えない。
【０１９４】
（実施例２〜実施例１０および実施例１３〜実施例２４）
実施例１において、感光性濃色組成物塗布液（表５では濃色組成物と標記する。）ＣＫ−１を用い、ブラックマトリックス形成工程におけるプリベーク条件、及び現像条件、ならびに、着色パターン形成工程における露光重なり量を表５に示す値に代えた他は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、そのカラーフィルタを用いて、実施例１と同様にして液晶表示装置を作製した。更に実施例１と同様の評価を実施した。その結果を表６に示す。
【０１９５】
（実施例１１）
ブラックマトリックス形成を、塗布による形成から、下記に示す転写による形成に代え、露光機をより大型の基板に対応したミラープロジェクション方式の露光機（型番ＭＰＡ−８８００、キャノン株式会社製）に代えたほかは、実施例１と同様にしてカラーフィルタを作製し、該カラーフィルタを用いて液晶表示装置を作製した。更に実施例１と同様の評価を実施した。その結果を表６に示す。
【０１９６】
＜転写によるブラックマトリックスの形成＞
−感光性転写材料ＣＫ１の作製−
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体（ＰＥＴ仮支持体）の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方Ｈ１からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させて熱可塑性樹脂層を形成した。次に、前記処方Ｐ１からなる中間層用塗布液を、熱可塑性樹脂層の上にさらに塗布、乾燥させて中間層（酸素遮断膜）を形成した。この中間層上にさらに、前記感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−１を塗布し、９０度の熱気流で乾燥させて感光性樹脂層Ｋ１を形成した。さらに、この感光性樹脂層の表面に保護フィルム（厚さ１２μｍポリプロピレンフィルム）を圧着して、仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層と感光性樹脂層Ｋ１とが一体となった感光性転写材料ＣＫ１を作製した。
【０１９７】
（熱可塑性樹脂層用塗布液：処方Ｈ１）
・メタノール                                        ・・・１１．１部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート  ・・・６．３６部
・メチルエチルケトン                                ・・・５２．４部
・メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）＝５５／１１．７／４．５／２８．８、分子量＝１０万、Ｔｇ≒７０℃）                      ・・・６．８０部
・スチレン／アクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）＝６３／３７、平均分子量＝１万、Ｔｇ≒１００℃）                              ・・・１０．２部
・２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン
（新中村化学工業（株）製）                          ・・・９．１部
・前記構造物１の３０％ＭＥＫ（メチルエチルケトン）溶液・・・０．５４部
【０１９８】
以上のようにして得られた感光性転写材料ＣＫ１は、熱可塑性樹脂の乾燥膜厚が１４．６μｍであり、中間層の乾燥膜厚が１．６μｍであり、感光性樹脂層Ｋ１の乾燥膜厚が１．３μｍであった。
【０１９９】
次に、無アルカリガラス基板（以下、単に「ガラス基板」ともいう。）を、２５℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより２０秒間吹き付けながら、ナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、さらに純水でシャワー洗浄した。その後、シランカップリング液（Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン０．３質量％水溶液、商品名：ＫＢＭ６０３、信越化学工業（株）製）をシャワーにより２０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置により１００℃で２分間加熱した。
【０２００】
得られたシランカップリング処理ガラス基板に、上記より得た感光性転写材料ＣＫ１から保護フィルムを除去し、除去後に露出した感光性樹脂層Ｋ１を、その表面がシランカップリング処理ガラス基板の表面と接するように重ね合わせ、ＷＯ２００６−４２２５のＦｉｇ．２４に記載の大型二丁貼ラミネータを用いてラミネートした。ラミネートの条件（転写条件）を下記表２に示す。
【０２０１】
【表２】
2009199066.tif 000007
【０２０２】
続いて、ＰＥＴ仮支持体を、熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去した。仮支持体を剥離後、ミラープロジェクション型露光機（ＭＰＡ−８８００、キヤノン（株）製）により、露光量１００ｍＪ／ｃｍ２にてパターン露光した。
【０２０３】
次に、トリエタノールアミン系現像液（トリエタノールアミン３０％含有、商品名：Ｔ−ＰＤ２（富士フイルム（株）製）を純水で１２倍（Ｔ−ＰＤ２を１部と純水１１部の割合で混合）に希釈した液）を３０℃で２０秒間、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像し、熱可塑性樹脂層と中間層とを除去した。引き続き、このガラス基板の上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより１０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。
【０２０４】
その後、水酸化カリウム系現像液ＣＤＫ−１（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の１．０％現像液（ＣＤＫ−１を１質量部、純水を９９質量部の希釈した液、２８℃）でシャワー圧を０．１０ＭＰａに設定して、５５秒現像し、純水で洗浄した。
【０２０５】
引き続き、洗浄剤（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有；商品名：Ｔ−ＳＤ１（富士フイルム（株）製））を純水で１０倍に希釈した液を用いて３３℃で２０秒間、コーン型ノズル圧力０．０２ＭＰａにてシャワーで吹きかけ、更にやわらかいナイロン毛を有する回転ブラシにより、形成されたパターン像を擦って残渣除去を行ない、所望のブラックマトリックスパターンを得た。
ここで、ＳＥＭにて断面写真を撮って、感光性濃色組成物層の断面形状を観察したところ、テーパー長が約１．５μｍであった。前記テーパー長の測定方法は、実施例１におけるテーパー長の測定と同様にして行なった。
次いで２２０℃のクリーンオーブンで４０分間ポストベーク処理し、着色画素形成領域の開口が９０μｍ×２００μｍで、ブラックマトリックスの線幅が約２５μｍの格子状ブラックマトリックスを形成した。
【０２０６】
（実施例１２）
実施例１１において、感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−１を、下記感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−２に変更した他は実施例１１と同様にして、カラーフィルタを得、該カラーフィルタを用いて液晶表示装置を作製した。
【０２０７】
−感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−２の調製−
下記表３に記載の量の顔料分散物Ｋ−２、及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒ．ｐ．ｍ．で１０分間攪拌し、攪拌しながら、表１に記載の量のメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、バインダー２、フェノチアジン、ＤＰＨＡ液、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ビスジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３’−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、及び後記界面活性剤１（メガファックＦ−７８０−Ｆ）をはかり取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加して、温度４０℃（±２℃）で１５０ｒ．ｐ．ｍ．で３０分間攪拌することによって、感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−２を得た。
【０２０８】
【表３】
2009199066.tif 000008
【０２０９】
なお、上記表３に記載の量は質量部であり、各成分の詳細は下記に示すとおりである。（顔料分散物Ｋ−２）
・カーボンブラック（デグッサ社製  Ｎｉｐｅｘ３５）        １３．１％
・分散剤（下記化合物１）                                  ０．６５％
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比のランダム共重合物、分子量３．７万）                                    ６．７２％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ７９．５３％
【０２１０】
【化５】
2009199066.tif 000009
【０２１１】
（バインダー２）
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７８／２２）モル比のランダム共重合物、分子量３．８万）                                ・・・２７％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート      ・・・７３％
（ＤＰＨＡ液）
・日本化薬（株）製  ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ    と日本化薬（株）製  ＫＡＹＡＲＡＤ  Ｒ−６８４  の
６０対４０（質量比）の混合物                            ・・・７６％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート      ・・・２４％
【０２１２】
（実施例２５）
実施例１のブラックマトリックス形成において感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−１を塗布する際に、ベーク後のブラックマトリックス膜厚が１．５μｍになるようにスリットとガラス基板間の間隔、吐出量を調整して感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−１を塗布し、カラーフィルタの製造工程（ブラックマトリックス形成工程及び着色パターン形成工程）の各条件を表５のように変更したほかは、実施例１と同様にして、カラーフィルタを製造した。また、該カラーフィルタを用いて液晶表示装置を作製した。
【０２１３】
（実施例２６）
実施例１のブラックマトリックス形成において感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−１を、
感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−３に変更し、感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−３を塗布する際に、ベーク後のブラックマトリックス膜厚が１．８μｍになるようにスリットとガラス基板間の間隔、吐出量を調整して感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−３を塗布し、カラーフィルタの製造工程（ブラックマトリックス形成工程及び着色パターン形成工程）の各条件を表５のように変更したほかは、実施例１と同様にして、カラーフィルタを製造した。また、該カラーフィルタを用いて液晶表示装置を作製した。
【０２１４】
（実施例２７）
実施例１のブラックマトリックス形成において感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−１を塗布する際に、ベーク後のブラックマトリックス膜厚が１．０μｍになるようにスリットとガラス基板間の間隔、吐出量を調整して感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−１を塗布し、カラーフィルタの製造工程（ブラックマトリックス形成工程及び着色パターン形成工程）の各条件を表５のように変更したほかは、実施例１と同様にして、カラーフィルタを製造した。また、該カラーフィルタを用いて液晶表示装置を作製した。
【０２１５】
（実施例２８）
実施例１のブラックマトリックス形成において感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−１を、
感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−４に変更し、感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−４を塗布する際に、ベーク後のブラックマトリックス膜厚が０．７μｍになるようにスリットとガラス基板間の間隔、吐出量を調整して感光性濃色組成物塗布液ＣＫ−４を塗布し、カラーフィルタの製造工程（ブラックマトリックス形成工程及び着色パターン形成工程）の各条件を表５のように変更したほかは、実施例１と同様にして、カラーフィルタを製造した。また、該カラーフィルタを用いて液晶表示装置を作製した。
【０２１６】
（実施例２９）
実施例１３において、柱状スペーサ形成工程を以下のように変更し、ブラックマトリックスの現像条件を表５のように変更した以外は実施例１３と同様である。
−スペーサ形成工程−
前記感光性転写材料ＣＫ１の作製において、感光性樹脂組成物層Ｋ１を表４に示す処方１に変更した以外は感光性転写材料ＣＫ１の作製と同様にして、乾燥層厚４．１μｍの感光性樹脂組成物層を有するスペーサ形成用感光性転写材料を作製した。尚、表４における単位は質量部である。
【０２１７】
【表４】
2009199066.tif 000010
【０２１８】
（化合物構造Ｐ−１で表される樹脂の合成）
反応容器中に１−メトキシ−２−プロパノール（ダイセル化学工業（株）製）  ８．５７部をあらかじめ加え９０℃に昇温し、イソプロピルメタクリレート  ６．２７部、メタクリル酸  ５．１５部、アゾ系重合開始剤（和光純薬社製、Ｖ−６０１）  １部、及び１−メトキシ−２−プロパノール８．５７部からなる混合溶液を窒素ガス雰囲気下、９０℃の反応容器中に２時間かけて滴下した。滴下後４時間反応させて、アクリル樹脂溶液を得た。
次いで、前記アクリル樹脂溶液に、ハイドロキノンモノメチルエーテル  ０．０２５部、及びテトエチルアンモニウムブロマイド  ０．０８４部を加えた後、グリシジルメタクリレート  ５．４１部を２時間かけて滴下した。滴下後、空気を吹き込みながら９０℃で４時間反応させ後、固形分濃度が４５％になるように溶媒ＭＭＰＧＡＣを添加することにより調製し、不飽和基を持つ前記化合物構造Ｐ−１で表される樹脂溶液を得た。
なお、前記化合物構造Ｐ−１で表される樹脂の分子量Ｍｗは、重量平均分子量のことを示し、前記分子量の測定方法としては、ゲル浸透クロマトグラフ（ＧＰＣ）を用いて測定した。
【０２１９】
【化６】
2009199066.tif 000011
【０２２０】
（アルカリ可溶樹脂（２０）の調製）
反応容器中に１−メトキシ−２−プロパノール  ２５ｇと１−メトキシ−２−プロピルアセテート２５ｇの混合溶媒をあらかじめ加え、９０℃に昇温しスチレン３２．１ｇ、メタクリル酸３６．５ｇ、アゾ系重合開始剤（和光純薬社製、Ｖ−６０１）  ６．７３ｇ、１−メトキシ−２−プロパノール  ２５ｇ、および１−メトキシ−２−プロピルアセテート２５ｇの混合溶液を窒素ガス雰囲気下、９０℃の反応容器中に２時間かけて滴下した。滴下後４時間反応させて、アクリル樹脂溶液を得た。
次いで、前記アクリル樹脂溶液に、ハイドロキノンモノメチルエーテル０．５ｇ、及びテトエチルアンモニウムブロマイド  ０．０１５ｇを加えた後、グリシジルメタクリレート３１．３ｇを２時間かけて滴下した。滴下後、空気を吹き込みながら９０℃で４時間反応させ、アルカリ可溶樹脂溶液を得た。このアルカリ可溶樹脂（２０）溶液中の固形分は５０％であった。
【０２２１】
得られたスペーサ形成用感光性転写材料のカバーフィルムを剥離し、露出した感光性樹脂組成物層の表面を、カラーフィルタ基板に重ね合わせ、ＷＯ２００６−４２２５のＦｉｇ．２４に記載の大型二丁貼ラミネータを用いて、線圧１００Ｎ／ｃｍ、１３０℃の加圧・加熱条件下で搬送速度２ｍ／分にて貼り合わせた。その後、ＰＥＴ仮支持体を熱可塑性樹脂層との界面で剥離除去し、感光性樹脂組成物層を熱可塑性樹脂層及び中間層と共に転写した。
【０２２２】
次に、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテクノロジーズ（株）製）を用いて、マスク（画像パターンを有する石英露光マスク）と、該マスクと熱可塑性樹脂層とが向き合うように配置したカラーフィルタ基板とを略平行に垂直に立てた状態で、マスク面と感光性樹脂組成物層の中間層に接する側の表面との間の距離を１００μｍとし、マスクを介して熱可塑性樹脂層側から露光量９０ｍＪ／ｃｍ２にてプロキシミティー露光した。
【０２２３】
次に、トリエタノールアミン系現像液（商品名：Ｔ−ＰＤ２）を純水で１２倍に希釈した液）を３０℃で５０秒間、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像し、熱可塑性樹脂層と中間層とを除去した。引き続き、このガラス基板の上面にエアを吹きかけて液切りした後、純水をシャワーにより１０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄し、エアを吹きかけて基板上の液だまりを減らした。
引き続き、炭酸Ｎａ系現像液（０．３８モル／リットルの炭酸水素ナトリウム、０．４７モル／リットルの炭酸ナトリウム、５％のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、及び安定剤含有；商品名：Ｔ−ＣＤ１（富士フイルム（株）製）を純水で１０倍に希釈した液）を用いて２９℃で５０秒間、コーン型ノズル圧力０．１５ＭＰａでシャワー現像し、スペーサーのパターン像を得た。
引き続き、洗浄剤（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有；商品名：Ｔ−ＳＤ３（富士フイルム（株）製））を純水で１０倍に希釈した液を用いて３３℃で２０秒間、コーン型ノズル圧力０．０２ＭＰａにてシャワーで吹きかけ、形成されたパターン像の周辺の残渣除去を行ない、所望のスペーサーパターンを得た。
【０２２４】
次に、スペーサーパターンが設けられたカラーフィルタ基板を、２４０℃下で５０分間加熱処理を行ない（熱処理工程）、フォトスペーサーを作製した。
得られたスペーサーパターンは、直径２４μｍ、平均高さ３．６μｍの円柱状であった。尚、平均高さは、得られたスペーサ２０個を三次元表面構造解析顕微鏡（メーカー：ＺＹＧＯ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、型式：Ｎｅｗ  Ｖｉｅｗ  ５０２２）を用い、ＩＴＯの透明電極形成面から最も高い位置を測定し算術平均により求めた。
【０２２５】
（実施例３０、３１）
実施例１において、柱状スペーサ形成工程を実施例２９のように変更し、ブラックマトリックス現像条件を表５のように変更した以外は実施例１と同様。
【０２２６】
（実施例３２）
実施例１において、柱状スペーサ形成工程を実施例２９のように変更し、ブラックマトリックスの線幅が１７μｍで、露光重なり量が４．５μｍになるようにブラックマトリックスと画素のマスクパターンを変更し、ブラックマトリックス現像条件を表のように変更した以外は実施例１と同様。
【０２２７】
（実施例３３）
実施例３２において、現像装置を水平搬送型に変更した以外は実施例３２と同様。
【０２２８】
（実施例３４）
実施例３２において、現像装置を垂直搬送型に変更した以外は実施例３２と同様。
【０２２９】
（比較例１〜比較例６）
実施例１において、ブラックマトリックス形成工程におけるプリベーク条件、及び現像条件、ならびに、着色パターン形成工程における露光重なり量を表５に示す値に代えた他は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、そのカラーフィルタを用いて、実施例１と同様にして液晶表示装置を作製した。
【０２３０】
【表５】
2009199066.tif 000012
【０２３１】
表５中、「ブラックマトリックス形成工程」欄におけるプリベーク時間及び現像時間の単位は、「秒」であり、プリベーク温度及び現像温度の単位は、「℃」である。また、「着色パターン形成工程」欄における露光重なり量の単位は、「μｍ」である。
【０２３２】
上記実施例２〜実施例３４、及び比較例１〜比較例６により作製した各液晶表示装置について、実施例１と同様にして画質評価を行なった。結果を表６に示す。
【０２３３】
なお、比較例１〜比較例４においては、ブラックマトリックス現像後に残渣が発生もしくは、ブラックマトリックスの線幅が太くなり、又はブラックマトリックスが欠けたため、基板上に着色パターンを形成することができなかった。また、比較例５においては、ブラックマトリックスと画素との間に一部隙間が発生する等の白抜けが生じたため、その後の評価及び表示装置作成には適さないカラーフィルタとなった。そのため、比較例１〜５においては、ツノの高さを求めることができず、また、液晶表示装置の評価を行なうことができなかった。
【０２３４】
【表６】
2009199066.tif 000013
【０２３５】
表６中、厚み、上部端〜下部端距離、オーバーラップ、及びツノの高さの単位は、いずれも「μｍ」である。
表６からわかるように、実施例１〜実施例３４のカラーフィルタは、ツノの高さが抑えられ、これらのカラーフィルタを用いた液晶表示装置は、高品質の画質であることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【０２３６】
【図１】上端部から下端部がほぼ一致した現像後のブラックマトリックス基板の部分断面図である。
【図２】逆テーパーが生じた現像後のブラックマトリックス基板の部分断面図である。
【図３】順テーパーが生じた現像後のブラックマトリックス基板の部分断面図である。
【図４】ポストベーク処理後のブラックマトリックス基板の部分断面図である。
【図５】ポストベーク処理後のブラックマトリックス上に着色層が形成されたカラーフィルター基板の部分断面図である。
【図６】オーバーラップ部が形成されたカラーフィルタの部分断面図である。
【図７】オーバーラップ部にツノがあるカラーフィルタの部分断面図である。
【図８】ツノの高さを求めるための測定方法の概念図である。
【符号の説明】
【０２３７】
２  基板
４  ブラックマトリックス（感光性濃色組成物層）
６  着色パターン（感光性着色組成物層）
８  オーバーラップ部
【図１】
2009199066.tif 000014
【図２】
2009199066.tif 000015
【図３】
2009199066.tif 000016
【図４】
2009199066.tif 000017
【図５】
2009199066.tif 000018
【図６】
2009199066.tif 000019
【図７】
2009199066.tif 000020
【図８】
2009199066.tif 000021