(57)【要約】【課題】材料ロスを低減でき、再生及び／又は記録時の光学特性の優れた、均一な膜厚の層を有する光情報記録媒体の製造方法及び製造装置並びに光情報記録媒体を提供することを目的とする。【解決手段】基板上に情報層とカバー層とが積層された１層の光情報記録媒体の製造方法であって、前記カバー層は、前記基板の上方に設けられた吐出口からスプレー方式により液状材料を吐出して塗布する塗布工程により形成されることを特徴とする。【選択図】図２３
2009199639.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に情報層とカバー層とが積層された１層の光情報記録媒体の製造方法であって、
前記カバー層は、前記基板の上方に設けられた吐出口からスプレー方式により液状材料を吐出して塗布する塗布工程により形成されることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
基板上に情報層と前記情報層を分離する中間層とが交互に積層され、最上層にカバー層が積層された２層以上の光情報記録媒体の製造方法であって、
前記中間層及び／又は前記カバー層は、前記基板の上方に設けられた吐出口からスプレー方式により液状材料を吐出して塗布する塗布工程により形成されることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記情報層は、０．８以上の開口数のレンズを用いて記録及び／又は再生されることを特徴とする請求項１又は２記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記塗布工程において、前記吐出口を前記基板の中心部から周縁部へ螺旋状に移動させながら、前記液状材料を吐出して塗布することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記塗布工程において、前記基板を回転させながら前記液状材料を吐出して塗布することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記塗布工程において、前記基板の中心に設けられた貫通穴にセンターキャップを嵌合させ、前記センターキャップ上から前記液状材料を吐出して塗布を開始することを特徴とする請求項４又は５記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記吐出口は、扁平形状であり、前記吐出口の塗布範囲は、前記基板の外径よりも大きく、前記吐出口を前記基板に対して直線状に移動させることにより前記液状材料を吐出して塗布することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項８】
前記基板の中心部に設けられている貫通穴にセンターキャップを嵌合させてから前記液状材料を吐出して塗布を開始することを特徴とする請求項７記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項９】
前記吐出口は、扁平形状であることを特徴とする請求項１乃至６の何れか一項記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１０】
前記塗布工程において、前記吐出口から前記液状材料を間欠的に吐出して塗布することを特徴とする請求項１乃至９の何れか一項記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１１】
前記塗布工程において、前記吐出口から前記液状材料を渦巻状のエアー流を用いて吐出して塗布することを特徴とする請求項１乃至１０の何れか一項記載の光情報記録媒体の製造方法。
【請求項１２】
請求項１乃至１１の何れか一項記載の光情報記録媒体の製造方法によって製造された光情報記録媒体。
【請求項１３】
スプレー方式により液状材料を吐出する吐出口を有する光情報記録媒体の製造装置であって、
請求項１−１１の何れか一項記載の光情報記録媒体の製造方法を用いて、前記光情報記録媒体を構成する基板上に前記吐出口から前記液状材料を吐出し塗布することが可能であることを特徴とする光情報記録媒体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スプレー方式により基板上に層を形成する工程を有する光情報記録媒体の製造方法及び製造装置並びに光情報記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、基板の情報層が形成された側から光を照射することにより、情報信号の再生及び／又は記録を行うようにした高密度の光情報記録媒体が提案されている。図１は、基板の情報層が形成された側から光を照射することにより情報信号の再生及び／又は記録を行うようにした２層構造の光情報記録媒体の構成を例示する断面図である。図１において、１０は光情報記録媒体、１１は基板、１２は反射層及び／又は記録層、１３は中間層、１４は第２反射層及び／又は第２記録層、１５はカバー層、１６はレーザ光、１７は対物レンズを示している。
【０００３】
図１に示す光情報記録媒体１０において、基板１１は、厚さが約１．１ｍｍで、例えば、ポリカーボネート等を射出成形することにより作製され、一方の面に公知のピット及び／又は案内溝が設けられた構造を有する。反射層及び／又は記録層１２、中間層１３、第２反射層及び／又は第２記録層１４、カバー層１５は、基板１１のピット及び／又は案内溝上に順次積層されている。
【０００４】
反射層及び／又は記録層１２と第２反射層及び／又は第２記録層１４とはアルミ合金等からなる情報層である。第２反射層及び／又は第２記録層１４は、レーザ光１６から見て奥側の反射層及び／又は記録層１２への再生及び／又は記録を可能とするために、光を半透過するような層構成となっている。反射層及び／又は記録層１２の厚さは、例えば、２０ｎｍであり、第２反射層及び／又は第２記録層１４の厚さは、例えば、８ｎｍである。
【０００５】
中間層１３は、反射層及び／又は記録層１２と第２反射層及び／又は第２記録層１４とを分離する層であり、中間層１３の表面には、紫外線硬化樹脂等を用いた２Ｐ転写法等により、基板と同様にピット及び／又は案内溝が形成され、その厚さは、例えば、２５μｍである。
【０００６】
カバー層１５は、光透過性の紫外線硬化樹脂等から形成され、その厚さは、例えば、７５μｍである。光源（図示せず）から出射されたレーザ光１６は、対物レンズ１７により集光され、カバー層１５を通して、反射層及び／又は記録層１２、又は、第２反射層及び／又は第２記録層１４に照射される。以下、反射層及び／又は記録層を、必要に応じて情報層と呼ぶ。
【０００７】
図２は、光情報記録媒体を構成する基板の外観を例示する模式図である。同図中、図１と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。１１ａはセンターホール、１１ｂはクランプ部を示している。図1に示すような光情報記録媒体１０を構成する基板１１は、一般的に、図２に示すような、中心に貫通穴であるセンターホール１１ａを有する円形形状からなり、センターホール１１ａ周辺部の所定の領域には、基板１１が光情報記録媒体１０として完成され、情報記録再生装置（図示せず）に装着される際にクランプされるクランプ部１１ｂを有する。
【０００８】
図１に示すような、高密度の光情報記録媒体では、基板１１上に均一な膜厚のカバー層１５を形成することが必要である。そこで、スピンコート法により、紫外線硬化樹脂（レジン）を基板１１上に均一に塗布し、硬化させることで、均一な膜厚を有するカバー層１５を基板１１上に形成する方法が提案されている。
【０００９】
以下、図３から図１５を参照しながら、２層構造の光情報記録媒体１０におけるスピンコート法による中間層１３及びカバー層１５の形成方法について説明する。図３は、スピンコート法により基板上に層形成する際に用いられるセンターキャップ２５を例示する図である。図３（ａ）は断面図、図３（ｂ）は正面図、図３（ｃ）は底面図である。図３に示すセンターキャップ２５は、基板１１のセンターホール１１ａに嵌合される嵌合部２５ｃと、嵌合部２５ｃと同心的に設けられ、嵌合部２５ｃが基板１１のセンターホール１１ａに嵌合された際に、基板１１と平行となり、かつ、嵌合部２５ｃよりも径が大きい円環形状の平面からなる端面２５ｅを有する傘状部２５ｂと、傘状部２５ｂの上部に傘状部２５ｂと同心的に設けられた円柱状の突起部２５ａとを有する。
【００１０】
又、基板１１と当接する部分である端面２５ｅは全面が平坦な円環形状の平面部になっている。なお、センターキャップ２５の端面２５ｅが基板１１と当接する場合に、ごくわずかの隙間を生ずるが、そのような場合も含めて当接と表現する。
【００１１】
図４から図１５は、２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図である。図４から図１５において、図１乃至図３と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。始めに、図４に示すように、アルミ合金等を反射層及び／又は記録層１２としてスパッタした基板１１のセンターホール１１ａを基板位置決め部２２に嵌め合わせるようにして、回転可能な載置台である回転テーブル２１上に載置する。そして、図３に示すセンターキャップ２５の嵌合部２５ｃを基板１１のセンターホール１１ａに嵌め合わせる。
【００１２】
次いで、図５に示すように、基板１１の中心部に、紫外線硬化樹脂３３を塗布した後、回転テーブル２１を回転させる。これにより、図６に示すように、基板１１上に均一膜厚の紫外線硬化樹脂３３からなる中間層１３が形成される。次いで、図７に示すように、センターキャップ２５を上方向に移動する。そして、図８に示すように、中間層１３に、下面３４ｂに所定のピット及び／又は案内溝が形成されている透明なスタンパ３４を載せ、図９に示すように、所定のピット及び／又は案内溝を転写しながら、スタンパ３４の上面３４ａの上方から紫外線３５を照射させて、図１０に示すように、スタンパ３４を上方向に移動することにより、所定のピット及び／又は案内溝のある中間層１３が形成される。
【００１３】
更に、中間層１３上にアルミ合金等をスパッタして第２反射層及び／又は第２記録層１４を形成した後、図１１に示すように、再度、基板１１のセンターホール１１ａを基板位置決め部２２に嵌め合わせるようにして、回転テーブル２１上に載置し、センターキャップ２５の嵌合部２５ｃを基板１１のセンターホール１１ａに嵌め合わせる。
【００１４】
次いで、図１２に示すように、基板１１の中心部に、紫外線硬化樹脂３３を塗布した後、回転テーブル２１を回転させることにより、図１３に示すように、基板１１上に均一膜厚の紫外線硬化樹脂３３からなるカバー層１５が形成される。次いで、図１４に示すように、センターキャップ２５を上方向に移動し取り外す。次いで、図１５に示すように、紫外線硬化樹脂３３の上方から紫外線３５を照射させて、紫外線硬化樹脂３３を硬化させることで、紫外線硬化樹脂３３からなるカバー層１５が形成され、２層構造の光情報記録媒体１０が完成する（例えば、特許文献１、２参照）。
【００１５】
又、従来の光情報記録媒体の製造方法の他の例として、ベルトコンベア上に載せた光情報記録媒体を構成する複数の基板上に、紫外線硬化樹脂をスプレーによって同時に吹き付け、複数の基板上に同時に保護膜を形成する方法が提案されている。ここでいう保護膜とは、オーバーコートもしくはハードコートであり、光情報記録媒体の製造工程の簡略化や紫外線硬化樹脂の節約を目的として、スプレーを用いてオーバーコートもしくはハードコートを形成する発明である（例えば、特許文献３、４参照）。
【特許文献１】特開平１１−２１３４５９号公報
【特許文献２】特開２００４−９５１０８号公報
【特許文献３】特開平０７−２０１０９２号公報
【特許文献４】特開平０８−０３６７８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかしながら、図４から図１５に示した２層構造の光情報記録媒体１０の従来の製造方法では、図１３を拡大した図１６に示すように、中間層１３及びカバー層１５の形成に際し、センターキャップ２５上に液状の紫外線硬化樹脂３３を垂らすと、センターキャップ２５の端面２５ｅと基板１１とのわずかな隙間Ｔ１に毛管現象により液状の紫外線硬化樹脂３３が染み込むため、回転テーブル２１を回転させた後、液状の紫外線硬化樹脂３３に紫外線３５を照射させて液状の紫外線硬化樹脂３３を硬化させると、図１５を拡大した図１７に示すように、中間層１３及びカバー層１５について、基板１１のクランプ部１１ｂ上に、わずかな凹凸部１３ａ及び１５ａが形成され、又、クランプ部１１ｂの周辺部（センターキャップ２５の端部）に凸部１３ｂ及び１５ｂが形成される場合がある。
【００１７】
クランプ部１１ｂの周辺部（センターキャップ２５の端部）に形成された中間層１３の凸部１３ｂは、カバー層１５の形成に悪影響を及ぼす。凸部１３ｂが形成された中間層１３上に、アルミ合金等をスパッタして第２反射層及び／又は第２記録層１４を形成した後に、中間層１３を形成する際に用いたものと同じセンターキャップ２５を用いて図１２に示すようにセンターキャップ２５上に紫外線硬化樹脂３３を滴下し、図１３に示すように回転させて振り切ると、紫外線硬化樹脂３３は、クランプ部１１ｂの周辺部（センターキャップ２５の端部）に形成された凸部１３ｂの影響を直接受け、均一に広がらないため、カバー層１５には、図１８に示すような多数の放射状の線状欠陥３６が発生し、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化をもたらすという問題があった。
【００１８】
又、図４〜図１５に示すスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法では、紫外線硬化樹脂３３を回転によって振り切るため、吐出した紫外線硬化樹脂３３のうちの多くは中間層１３及びカバー層１５とはならず、振り切られて廃液ドレンに流れていく結果となり、大きな材料ロスが発生するという問題があった。
【００１９】
一方、ベルトコンベア上に載せた光情報記録媒体を構成する複数の基板上に、紫外線硬化樹脂をスプレーによって同時に吹き付けることで保護膜を形成する方法は、生産性が高く、材料ロスを小さくすることができるが、複数の基板上に同時に膜が形成されるため、膜厚分布の正確な制御が困難であり、均一な膜厚が高いレベルで要求されないオーバーコートもしくはハードコートには適しているが、高密度の光情報記録媒体を構成する基板１１上に、例えば２５μｍの膜厚の中間層１３や７５μｍ〜１００μｍの膜厚のカバー層１５を±数μｍ程度の膜厚分布に制御し、均一な膜厚の中間層１３やカバー層１５を形成することが要求される高密度の光情報記録媒体の製造方法には用いることができないという問題があった。
【００２０】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、材料ロスを低減でき、再生及び／又は記録時の光学特性の優れた、均一な膜厚の層を有する光情報記録媒体の製造方法及び製造装置並びに光情報記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記目的を達成するため、第１の発明は、基板上に情報層とカバー層とが積層された１層の光情報記録媒体の製造方法であって、前記カバー層は、前記基板の上方に設けられた吐出口からスプレー方式により液状材料を吐出して塗布する塗布工程により形成されることを特徴とする。
【００２２】
第２の発明は、基板上に情報層と前記情報層を分離する中間層とが交互に積層され、最上層にカバー層が積層された２層以上の光情報記録媒体の製造方法であって、前記中間層及び／又は前記カバー層は、前記基板の上方に設けられた吐出口からスプレー方式により液状材料を吐出して塗布する塗布工程により形成されることを特徴とする。
【００２３】
第３の発明は、請求項１乃至１１の何れか一項記載の光情報記録媒体の製造方法によって製造された光情報記録媒体であることを特徴とする。
【００２４】
第４の発明は、スプレー方式により液状材料を吐出する吐出口を有する光情報記録媒体の製造装置であって、請求項１−１１の何れか一項記載の光情報記録媒体の製造方法を用いて、前記光情報記録媒体を構成する基板上に前記吐出口から前記液状材料を吐出し塗布することが可能であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、材料ロスを低減でき、再生及び／又は記録時の光学特性の優れた、均一な膜厚の層を有する光情報記録媒体の製造方法及び製造装置並びに光情報記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態の説明を行う。なお、本発明に係る光情報記録媒体の製造方法及び製造装置は、例えば、ＢＤ−Ｒ等の追記型の光情報記録媒体、例えば、ＢＤ−ＲＥ等の書き換え型の光情報記録媒体、例えば、ＢＤ−ＲＯＭ等の再生専用の光情報記録媒体に適用することができるが、本実施例では再生専用の光情報記録媒体を例にとって説明する。
【００２７】
〈実施例１〉
図１９は、本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００を例示する断面図である。図１９に示す光情報記録媒体１００において、基板１１０は、厚さが約１．１ｍｍで、ポリカーボネートを射出成形することにより作製され、一方の面に公知のピットが設けられた構造を有する。基板１１０の外観は、図２に示す基板１１の外観と同様であるため図示は省略するが、基板１１０は、中心に貫通穴であるセンターホール１１０ａを有する円形形状からなり、センターホール１１０ａ周辺部の所定の領域には、基板１１０が光情報記録媒体１００として完成され、情報記録再生装置に装着される際にクランプされるクランプ部１１０ｂを有する。
【００２８】
反射層１２０、中間層１３０、第２反射層１４０、カバー層１５０は、基板１１０のピット上に順次積層されている。反射層１２０と第２反射層１４０とはアルミ合金等からなる情報層である。第２反射層１４０は、レーザ光１６０から見て奥側の反射層１２０の再生を可能とするために、光を半透過するような層構成となっている。反射層１２０の厚さは、例えば、２０ｎｍであり、第２反射層１４０の厚さは、例えば、８ｎｍである。
【００２９】
中間層１３０の表面には、紫外線硬化樹脂を用いた２Ｐ転写法により、基板１１０と同様にピットが形成されている。中間層１３０の厚さは、例えば、２５μｍである。カバー層１５０は、光透過性の紫外線硬化樹脂から形成され、その厚さは、例えば、７５μｍである。光源（図示せず）から出射されたレーザ光１６０は、対物レンズ１７０により集光され、カバー層１５０を通して、反射層１２０又は第２反射層１４０に照射される。
【００３０】
例えば、Ｂｌｕ-ｒａｙ Ｄｉｓｃ規格等の、開口数（ＮＡ）の大きな光学系を用いる方式においては、記録再生光であるレーザ光１６０を従来のように基板１１０側からではなく、７５〜１００μｍ程度の厚さに設定された光透過層を通して照射するように設計されている。これは、光情報記録媒体の面が、光学ピックアップ（図示せず）の光軸に対して垂直からずれる角度（いわゆるチルト角、光源の波長の逆数と対物レンズの開口数の積の２乗に比例する）により発生する収差が、ＮＡが大きいほど、又、光透過層が厚いほど大きくなるためである。
【００３１】
すなわち、高ＮＡ化に伴い、チルト角により発生する収差が大きくなったので、光透過層で発生する収差を極力低減するために、光透過層の厚さを薄くしている。このような、記録再生光であるレーザ光１６０から見て、最手前の情報層に設けられた光透過層を、一般的にカバー層と呼ぶ。
【００３２】
高密度記録方式の光情報記録媒体１００の情報層に記録された情報の読み取りには開口数（ＮＡ）の大きな光学系を用いるため、カバー層１５０の表面の僅かな凹凸やカバー層１５０内の僅かな気泡の存在によっても再生信号の大幅な劣化につながることから、反射層１２０等を覆うカバー層１５０の表面は傾斜のない平滑面に形成され、カバー層１５０内には気泡が確実に残存しない形態に構成されている。
【００３３】
更に、反射層１２０等における情報を正確に読み取ることができるように、カバー層１５０表面から第２反射層１４０までの距離（カバー層１５０の厚さ）Ｔ２は、従来の光情報記録媒体（例えばＤＶＤ）における情報読み取り面側の基板の厚さ０．６ｍｍに比べると非常に薄く、レーザ光１６０の波長（４０５ｎｍ）、対物レンズ１７０の開口数（０．８５）、カバー層１５０の屈折率（約１．５）に対応した所定値（７５μｍ）で、カバー層１５０の内周と外周における膜厚差が３μｍ以下という高精度に形成されている。
【００３４】
図２０は、本発明に係る光情報記録媒体１００の製造装置２００の概略の構成を模式的に例示する正面図である。図２１は、本発明に係る光情報記録媒体１００の製造装置２００における紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０の動作可能範囲を模式的に例示する平面図である。図２０を参照するに、本発明に係る光情報記録媒体１００の製造装置２００は、回転テーブル２１０と、基板位置決め部２２０と、回転軸２３０と、駆動モータ２４０と、センターキャップ２５と、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０と、紫外線（ＵＶ）照射機２７０とを有するスプレーコーティング用装置である。
【００３５】
回転テーブル２１０は、例えば、アルミニウム等の金属からなる反射層１２０が積層形成された基板１１０（図示せず）のセンターホール１１０ａ（図示せず）を基板位置決め部２２０に嵌め合わせるようにして載置し、基板１１０を下方から支持する。又、回転テーブル２１０は、回転軸２３０を介して、駆動モータ２４０と接続されており、駆動モータ２４０の回転に従って、例えば、３万ｒｐｍ程度の回転数で高速回転する。センターキャップ２５は、Ｚ方向に移動可能に構成されており、Ｚ−方向に移動することにより、回転テーブル２１０上に載置された基板１１０（図示せず）のセンターホール１１０ａ（図示せず）と嵌合可能な状態で配設されている。
【００３６】
紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０は、スプレー方式により紫外線硬化樹脂を吐出供給するノズル（吐出口）であり、回転テーブル２１０の上方に接近動作可能な状態で配設されている。紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０は、着脱可能な構造となっており、必要に応じ、スプレー方式に対応した略円筒形状のノズルや扁平形状のノズル等を適宜選択することができる。
【００３７】
又、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０は、図２１（ａ）に示すように、回転テーブル２１０の上方を、回転テーブル２１０と平行に矢印２２５に沿って直線状に移動可能に構成されている。又、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０は、図２１（ｂ）に示すように、回転テーブル２１０の上方を、回転テーブル２１０と平行に矢印２２６に沿って、回転テーブル２１０の中心部から周縁部へ、又は、回転テーブル２１０の周縁部から中心部へ螺旋状に移動可能に構成されている。紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０を矢印２２５に沿って直線状に移動させるか、矢印２２６に沿って螺旋状に移動させるかは適宜選択することができる。
【００３８】
紫外線（ＵＶ）照射機２７０は、紫外線硬化樹脂を硬化させるための照射機であり、回転テーブル２１０の上方に接近動作可能な状態で配設されている。又、本発明に係る光情報記録媒体１００の製造装置２００は、吸気通路及び吸気孔からなる吸着機構（図示せず）を有し、回転テーブル２１０上に載置された基板１１０を吸着固定保持する。
【００３９】
図２２から図３１を用いて、本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明する。同図中、図１９乃至図２１と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。始めに、ピットを形成したスタンパを用いてポリカーボネート等のプラスチック樹脂を射出成形や加圧成形等して、ピットを転写した基板１１０を作製する。次いで、基板１１０のピットの凹凸形成面にスパッタ法や真空蒸着法等によりアルミニウム等を積層し、記録反射膜である反射層１２０を形成する。又、センターキャップ２５を用意する。
【００４０】
次いで、図２２に示すように、基板１１０のセンターホール１１０ａを基板位置決め部２２０に嵌め合わせるようにして、回転テーブル２１０上に載置し、吸気通路（図示せず）を介して吸気孔に負圧を作用させ、回転テーブル２１０上に載置された基板１１０を吸着固定保持する。そして、中間層１３０形成用センターキャップ２５の嵌合部２５ｃを基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌め合わせる。
【００４１】
次いで、図２３に示すように、駆動モータ２４０（図示せず）を作動させ、回転テーブル２１０を所定の回転数で回転させて、センターキャップ２５の傘状部２５ｂの外側から、中間層１３０の形成材料である液状の紫外線硬化樹脂３３０を、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０にてスプレー方式で吐出し塗布を始める。更に、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０を図２１（ｂ）に示す矢印２２６のように、回転テーブル２１０の上方を、回転テーブル２１０と平行に螺旋状に移動させながら吐出を継続し、図２４に示すように、反射層１２０上に紫外線硬化樹脂３３０からなる均一な中間層１３０を形成する。その後、センターキャップ２５を取り除く。
【００４２】
次いで、図２５に示すように、中間層１３０に、下面３４０ｂに所定のピットが形成されている光透過スタンパ３４０を載せ、図２６に示すように、ピットを転写しながら、スタンパ３４０の上面３４０ａの上方から、紫外線（ＵＶ）照射機２７０（図示せず）により紫外線３５０を照射し、紫外線硬化樹脂３３０を硬化させて、図２７に示すように、スタンパ３４０を上方向に移動することにより、ピットの凹凸のある中間層１３０を形成する。
【００４３】
更に、中間層１３０上にスパッタ法等により、アルミニウム等を光が一部透過するほどの薄さで積層して第２反射層１４０を形成した後、図２８に示すように、再度、基板１１０のセンターホール１１０ａを基板位置決め部２２０に嵌め合わせるようにして、回転テーブル２１０上に載置し、センターキャップ２５を基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌め合わせる。
【００４４】
次いで、図２９に示すように、駆動モータ２４０（図示せず）を作動させ、回転テーブル２１０を所定の回転数で回転させて、センターキャップ２５の傘状部２５ｂの外側から、カバー層１５０の形成材料である液状の紫外線硬化樹脂３３０を、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０にてスプレー方式で吐出し塗布を始める。
【００４５】
更に、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０を図２１（ｂ）に示す矢印２２６のように、回転テーブル２１０の上方を、回転テーブル２１０と平行に螺旋状に移動させながら吐出を継続し、図３０に示すように、第２反射層１４０上に紫外線硬化樹脂３３０からなる均一なカバー層１５０を形成する。その後、センターキャップ２５を取り除く。
【００４６】
次いで、図３１に示すように、紫外線硬化樹脂３３０からなる均一なカバー層１５０の上方から紫外線（ＵＶ）照射機２７０（図示せず）により、紫外線３５０を照射し、紫外線硬化樹脂３３０を硬化させ、カバー層１５０を形成することで、本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００が完成する。
【００４７】
図４〜図１５に示すスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法では、紫外線硬化樹脂３３を回転によって振り切るため、塗布した紫外線硬化樹脂３３のうちの多くは中間層１３及びカバー層１５とはならず、振り切られて廃液ドレンに流れていく結果とり、大きな材料ロスが発生していた。本発明によれば、スプレー方式により、必要な面積分だけの紫外線硬化樹脂３３０を吐出し塗布することが可能となり、材料ロスを大幅に低減することができる。
【００４８】
図３２は、図３０における基板１１０のクランプ部１１０ｂの周辺部を拡大した図である。図３２において、図３０と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。液状の紫外線硬化樹脂３３０を紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０にてスプレー方式で吐出し塗布する方法により、必要な面積分だけの紫外線硬化樹脂３３０を吐出し塗布することが可能となったため、基板１１０のクランプ部１１０ｂへの毛管現象による液状の紫外線硬化樹脂３３０の染み込みがなくなった。
【００４９】
そのため、図３２に示すように、中間層１３０及びカバー層１５０に、図１６及び図１７に示すような基板１１０のクランプ部１１０ｂ上の凹凸部、及び、クランプ部１１０ｂの周辺部の凸部は形成されなくなった。又、クランプ部１１０ｂの周辺部の凸部が形成されないため、図１８に示すような放射状の線状欠陥３６も発生しなくなった。
【００５０】
表１に、従来のスピンコート法、及び、実施例１のスプレー方式で形成したカバー層１５０の内外周膜厚差及び周内膜厚差を比較した結果を示す。
【００５１】
【表１】
2009199639.tif 000003
表１に示すように、実施例１のスプレー方式で形成されたカバー層１５０は、従来のスピンコート法で形成されたカバー層１５０に比べて、内外周膜厚差及び周内膜厚差ともに大幅に改善されていることが確認された。なお、中間層１３０に関してもカバー層１５０と同様な結果であった。このように、スプレー方式で中間層１３０及びカバー層１５０を形成することにより、従来のスピンコート法に比べて、膜厚がより均質な層を形成することができる。
【００５２】
本発明の実施例１によれば、スプレー方式により中間層１３０及びカバー層１５０を形成することにより、材料ロスを低減できるとともに、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に凹凸部が形成されないため、光情報記録媒体１００が情報記録再生装置に装着される際に、傾いて装着されず、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等のチルト特性の悪化を防止することができる。又、放射状の線状欠陥３６が発生しないため、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。又、スピンコート法に比べて、均一な膜厚の層を形成することができる。
【００５３】
〈実施例２〉
実施例２では、実施例１と同様の方法で、スプレー方式により中間層１３０及びカバー層１５０を形成した。ただし、実施例１のように液状の紫外線硬化樹脂３３０を紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０にてスプレー方式で連続的に吐出し塗布するのではなく（以下、連続的に吐出し塗布する方式を「連続ススプレー方式」とする）、間欠的に吐出し塗布した点が実施例１とは異なる（以下、間欠的に吐出し塗布する方式を「パルススプレー方式」とする）。図３３は、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０を制御するパルス波形を例示する図である。
【００５４】
液状の紫外線硬化樹脂３３０をパルススプレー方式で間欠的に吐出することは、例えば、本発明に係るスプレーコーティング用装置を、液状の紫外線硬化樹脂３３０が電磁弁を介して紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０に供給される構造とし、電磁弁を制御するコントローラを設け、コントローラが図３３に示すパルス波形に基づいて電磁弁を制御し、一定時間間隔で電磁弁を開閉することにより実現できる。
【００５５】
図３３に示すパルス波形の'Ｈ'レベル時に電磁弁が開き、液状の紫外線硬化樹脂３３０が吐出するとすれば、図３３（ｂ）から（ａ）のように'Ｈ'レベル時の時間ＴHを相対的に短くすることにより容易に吐出する量を減らすことができる。又、図３３（ｂ）から（ｃ）のように'Ｈ'レベル時の時間ＴHを相対的に長くすることにより容易に吐出する量を増やすことができる。
【００５６】
又、パルス波形の周期Ｔを変更しても構わない。'Ｈ'レベル時の時間ＴHを変えずに周期Ｔを長くすることにより、容易に吐出する量を減らすことができる。パルススプレー方式では、'Ｈ'レベル時の時間ＴHや周期Ｔを、使用する材料や形成する膜厚等によって適宜設定することで吐出量を精度よく制御できるため、連続スプレー方式に比べて、膜厚が均質な層を形成することができる。
【００５７】
表２に、実施例１の連続スプレー方式、及び、実施例２のパルススプレー方式で形成したカバー層１５０の内外周膜厚差及び周内膜厚差を比較した結果を示す。なお、実施例２では、'Ｈ'レベル時の時間ＴH＝５０ｍｓ、周期Ｔ＝１００ｍｓとした。
【００５８】
【表２】
2009199639.tif 000004
表２に示すように、実施例２のパルススプレー方式で形成したカバー層１５０は、実施例１の連続スプレー方式で形成したカバー層１５０に比べて、内外周膜厚差及び周内膜厚差ともに更に改善されていることが確認された。なお、中間層１３０に関してもカバー層１５０と同様な結果であった。又、実施例２のパルススプレー方式では、実施例１の連続スプレー方式に比べて、紫外線硬化樹脂３３０の使用量を１５%以上低減できることが確認された。
【００５９】
本発明の実施例２によれば、図３３に示すようなパルス波形により吐出量を制御し、液状の紫外線硬化樹脂３３０を間欠的に吐出し塗布するパルススプレー方式で、中間層１３０及びカバー層１５０を形成することにより、実施例１で用いた連続スプレー方式に比べて、更に均一な膜厚の層を形成することができる。
【００６０】
又、本発明の実施例２によれば、実施例１と同様に、スプレー方式により中間層１３０及びカバー層１５０を形成することにより、材料ロスを低減できるとともに、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に凹凸部が形成されないため、光情報記録媒体１００が情報記録再生装置に装着される際に、傾いて装着されず、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等のチルト特性の悪化を防止することができる。又、放射状の線状欠陥３６が発生しないため、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００６１】
〈実施例３〉
実施例３では、実施例１と同様の方法で、スプレー方式により中間層１３０及びカバー層１５０を形成した。ただし、渦巻状のエアー流を用いて紫外線硬化樹脂３３０を吐出し塗布した点が実施例１とは事なる。図３４は、渦巻状のエアー流を模式的に例示する図である。同図中、図１９〜図３３と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。図３４において、２６１は渦巻状のエアー流に対応した紫外線硬化樹脂供給ノズル、４００は渦巻状のエアー流を示している。
【００６２】
紫外線硬化樹脂供給ノズル２６１は、例えば、エアーを旋回させる旋回流発生部を有し、旋回流発生部に液状の紫外線硬化樹脂３３０を通過させることにより、旋回流のエネルギーにより液状の紫外線硬化樹脂３３０を細かな液滴にし、ノズルの先端から渦巻状のエアー流４００とともに円錐状の噴射形状で吐出する。渦巻状のエアー流４００を用いて紫外線硬化樹脂３３０を吐出し塗布することより、薄膜から厚膜までの広い膜厚範囲に適用できる汎用性のある成膜が可能となった。
【００６３】
表３に、実施例１の連続スプレー方式、及び、実施例３の渦巻状のエアー流を用いたスプレー方式で形成したカバー層１５０の内外周膜厚差及び周内膜厚差を比較した結果を示す。
【００６４】
【表３】
2009199639.tif 000005
表３に示すように、実施例３の渦巻状のエアー流を用いたスプレー方式で形成したカバー層１５０は、実施例１の連続スプレー方式で形成したカバー層１５０に比べて、内外周膜厚差及び周内膜厚差ともに更に改善されていることが確認された。なお、中間層１３０に関してもカバー層１５０と同様な結果であった。
【００６５】
本発明の実施例３によれば、図３４に示すような渦巻状のエアー流４００を用いたスプレー方式で、中間層１３０及びカバー層１５０を形成することにより、実施例１で用いた連続スプレー方式に比べて、更に均一な膜厚の層を形成することができる。
【００６６】
又、本発明の実施例３によれば、実施例１と同様に、スプレー方式により中間層１３０及びカバー層１５０を形成することにより、材料ロスを低減できるとともに、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に凹凸部が形成されないため、光情報記録媒体１００が情報記録再生装置に装着される際に、傾いて装着されず、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等のチルト特性の悪化を防止することができる。又、放射状の線状欠陥３６が発生しないため、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００６７】
〈実施例４〉
実施例４では、実施例１と同様の方法で、スプレー方式により中間層１３０及びカバー層１５０を形成した。ただし、扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズルを用いて紫外線硬化樹脂３３０を吐出し塗布した点が実施例１とは異なる。図３５は、扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズルを模式的に例示する図である。同図中、図１９〜図３４と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。図３５において、２６２は扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズルを示している。扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズル２６２の幅は、例えば、１〜２ｃｍ程度である。
【００６８】
扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズル２６２を用いることにより、その塗布パターン端部の切れが良好になり、紫外線硬化樹脂３３０の見切り塗布が可能となった。又、実施例１〜３では、図２３及び図２９に示す工程において、センターキャップ２５を用い、センターキャップ２５の傘状部２５ｂの外側から、液状の紫外線硬化樹脂３３０を、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０等にてスプレー方式で吐出し塗布を始めた。
【００６９】
しかし、実施例４の扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズル２６２を用いたスプレー方式では、見切り塗布が可能となり、又、液の飛散がほとんどなくなったため、最初に塗布される部分である内周側の端部が所定の部分からはみ出さないように塗布することが可能となり、基板１１０のセンターホール１１０ａに嵌合させるセンターキャップ２５等のマスクが必要なくなった。更に、周辺環境に対する液の飛散もほとんどなくなるため、対環境性能が高い塗布方法であることが確認された。
【００７０】
表４に、実施例１の連続スプレー方式、及び、実施例４の扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズルを用いたスプレー方式で形成したカバー層１５０の内外周膜厚差及び周内膜厚差を比較した結果を示す。
【００７１】
【表４】
2009199639.tif 000006
表４に示すように、実施例４の扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズル２６２を用いたスプレー方式で形成したカバー層１５０は、実施例１の連続スプレー方式で形成したカバー層１５０に比べて、内外周膜厚差及び周内膜厚差ともに更に改善されていることが確認された。なお、中間層１３０に関してもカバー層１５０と同様な結果であった。
【００７２】
本発明の実施例４によれば、図３５に示すような扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズル２６２を用いたスプレー方式で、中間層１３０及びカバー層１５０を形成することにより、実施例１で用いた連続スプレー方式に比べて、更に均一な膜厚の層を形成することができる。
【００７３】
又、本発明の実施例４によれば、実施例１と同様に、スプレー方式により中間層１３０及びカバー層１５０を形成することにより、材料ロスを低減できるとともに、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に凹凸部が形成されないため、光情報記録媒体１００が情報記録再生装置に装着される際に、傾いて装着されず、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等のチルト特性の悪化を防止することができる。又、放射状の線状欠陥３６が発生しないため、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００７４】
〈実施例５〉
実施例５では、実施例１と同様の方法で、スプレー方式により中間層１３０及びカバー層１５０を形成した。ただし、実施例１では、センターキャップ２５の傘状部２５ｂの外側から、中間層１３０又はカバー層１５０の形成材料である液状の紫外線硬化樹脂３３０を、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０にてスプレー方式で吐出し塗布を始めたが、実施例５では、センターキャップ２５の傘状部２５ｂの上側から、中間層１３０又はカバー層１５０の形成材料である液状の紫外線硬化樹脂３３０を、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０にてスプレー方式で吐出し塗布を始めた点が実施例１とは異なる。
【００７５】
図３６は、実施例１の方法で紫外線硬化樹脂を螺旋状に塗布する様子を模式的に示す図である。同図中、図１９〜図３５と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。図３６において、４０１は塗布開始位置、４０２は塗布重なり部分を示している。
【００７６】
実施例１のように、センターキャップ２５の傘状部２５ｂの外側から、中間層１３０又はカバー層１５０の形成材料である液状の紫外線硬化樹脂３３０を、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０にてスプレー方式で吐出し塗布を始める場合には、図３６に示すように、塗布開始位置４０１から塗布を開始して１周目の終わりに塗布エリアが重なる塗布重なり部分４０２が必ず生じ、塗布重なり部分４０２の膜厚がその他の部分の膜厚よりも厚くなり、膜厚が均一でない部分が生じる。
【００７７】
図３７は、実施例５の方法で紫外線硬化樹脂を螺旋状に塗布する様子を模式的に示す図である。同図中、図１９〜図３６と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。図３７において、４０３は塗布開始位置を示している。実施例１の場合と異なり、実施例５では、図３７に示すように、予め基板１１０のセンターホール１１０ａにセンターキャップ２５を嵌合させ、センターキャップ２５の傘状部２５ｂの上側から、中間層１３０又はカバー層１５０の形成材料である液状の紫外線硬化樹脂３３０を、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０にてスプレー方式で吐出し塗布を始めた。
【００７８】
これにより、図３６に示すような塗布重なり部分４０２が基板１１０上に生じないため、基板１１０の内周から外周まで膜厚が均一な層を形成することができる。これは、中間層１３０にもカバー層１５０にも当てはまることである。
【００７９】
本発明の実施例５によれば、図３７に示すように、予め基板１１０のセンターホール１１０ａにセンターキャップ２５を嵌合させ、センターキャップ２５の傘状部２５ｂの上側から、中間層１３０又はカバー層１５０の形成材料である液状の紫外線硬化樹脂３３０を、紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０にてスプレー方式で吐出し塗布を始めることにより、実施例１で用いた連続スプレー方式に比べて、更に均一な膜厚の層を形成することができる。
【００８０】
又、本発明の実施例５によれば、実施例１と同様に、スプレー方式により中間層１３０及びカバー層１５０を形成することにより、材料ロスを低減できるとともに、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に凹凸部が形成されないため、光情報記録媒体１００が情報記録再生装置に装着される際に、傾いて装着されず、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等のチルト特性の悪化を防止することができる。又、放射状の線状欠陥３６が発生しないため、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００８１】
〈実施例６〉
実施例６では、実施例１と同様の方法で、スプレー方式により中間層１３０及びカバー層１５０を形成した。ただし、基板１１０の外径よりも大きな塗布範囲を有する幅広の扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズルを用いて紫外線硬化樹脂３３０を吐出し塗布した点と、紫外線硬化樹脂供給ノズルを図２１（ｂ）に示すように、回転テーブル２１０の上方を、回転テーブル２１０と平行に矢印２２６に沿って螺旋状に移動させたのではなく、図２１（ａ）に示すように、回転テーブル２１０の上方を、回転テーブル２１０と平行に矢印２２５に沿って直線状に一度だけ移動させた点が実施例１とは異なる。
【００８２】
図３８は、幅広の扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズルを模式的に例示する図である。同図中、図１９〜図３７と同一部品については、同一符号を付し、その説明は省略する。図３８において、２６３は幅広の扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズルを示している。図３８に示すように、扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズル２６３は、基板１１０の外径よりも大きな塗布範囲を有する。
【００８３】
表５に、実施例１の連続スプレー方式、及び、実施例６の幅広の扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズルを用いたスプレー方式で形成したカバー層１５０の内外周膜厚差及び周内膜厚差を比較した結果を示す。
【００８４】
【表５】
2009199639.tif 000007
表５に示すように、実施例６の幅広の扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズル２６３を用いたスプレー方式で形成したカバー層１５０は、実施例１の連続スプレー方式で形成したカバー層１５０に比べて、内外周膜厚差及び周内膜厚差ともに更に改善されていることが確認された。又、実施例２〜実施例５の方式と比較しても、よりいっそう均一な膜厚の層を形成できることが確認された。なお、中間層１３０に関してもカバー層１５０と同様な結果であった。
【００８５】
図２１（ｂ）に示すような螺旋状の塗布では、塗布プログラムを慎重に決定しても、重なる部分がある程度生じるが、実施例６のように基板１１０上を幅広の扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズル２６３を直線状に一度だけ移動させる方法では、重なる部分が生じないため、よりいっそう膜厚が均一な層を形成できる。
【００８６】
本発明の実施例６によれば、図３８に示すように、基板１１０上を、基板１１０の外径よりも大きな塗布範囲を有する幅広の扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズル２６３を直線状に一度だけ移動させることにより、実施例１〜５で用いたスプレー方式に比べて、よりいっそう均一な膜厚の層を形成することができる。
【００８７】
又、本発明の実施例６によれば、実施例１と同様に、スプレー方式により中間層１３０及びカバー層１５０を形成することにより、材料ロスを低減できるとともに、基板１１０のクランプ部１１０ｂ上に凹凸部が形成されないため、光情報記録媒体１００が情報記録再生装置に装着される際に、傾いて装着されず、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等のチルト特性の悪化を防止することができる。又、放射状の線状欠陥３６が発生しないため、再生及び／又は記録時のジッター、エラーレート等の光学特性の悪化を防止することができる。
【００８８】
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【００８９】
例えば、本発明の各実施例では、２層構造の光情報記録媒体に中間層及びカバー層を形成する例を示したが、３層以上の構造の光情報記録媒体に中間層及びカバー層を形成する場合や、１層構造の光情報記録媒体にカバー層を形成する場合にも、本発明を適用することができる。なお、１層、２層等は、光情報記録媒体の有する情報層の数を示している。
【００９０】
又、本発明は、スプレー方式により基板上に層を形成するものであれば、光情報記録媒体以外にも適用可能である。
【００９１】
又、本発明において、スプレー方式により形成する層は、カバー層、中間層以外の層でも構わない。
【００９２】
又、本発明の各実施例におけるスプレー方式を適宜組み合わせることも可能である。例えば、実施例２のパルススプレー方式と、実施例３の渦巻状のエアー流を用いたスプレー方式や実施例４の扁平形状のノズルを用いたスプレー方式等は、適宜組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】基板の情報層が形成された側から光を照射することにより情報信号の再生及び／又は記録を行うようにした２層構造の光情報記録媒体の構成を例示する断面図である。
【図２】光情報記録媒体を構成する基板の外観を例示する模式図である。
【図３】スピンコート法により基板上に層形成する際に用いられるセンターキャップ２５を例示する図である。
【図４】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その１）である。
【図５】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その２）である。
【図６】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その３）である。
【図７】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その４）である。
【図８】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その５）である。
【図９】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その６）である。
【図１０】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その７）である。
【図１１】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その８）である。
【図１２】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その９）である。
【図１３】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その１０）である。
【図１４】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その１１）である。
【図１５】２層構造の光情報記録媒体１０においてスピンコート法により中間層１３及びカバー層１５を形成する従来の方法について説明するための断面図（その１２）である。
【図１６】図１３における基板１１のクランプ部１１ｂの周辺部を拡大した図である。
【図１７】図１５における基板１１のクランプ部１１ｂの周辺部を拡大した図である。
【図１８】放射状の線状欠陥３６について説明するための図である。
【図１９】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００を例示する断面図である。
【図２０】本発明に係る光情報記録媒体１００の製造装置２００の概略の構成を例示する模式図である。
【図２１】本発明に係る光情報記録媒体１００の製造装置２００における紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０の動作可能範囲を模式的に例示する平面図である。
【図２２】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その１）である。
【図２３】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その２）である。
【図２４】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その３）である。
【図２５】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その４）である。
【図２６】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その５）である。
【図２７】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その６）である。
【図２８】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その７）である。
【図２９】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その８）である。
【図３０】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その９）である。
【図３１】本発明の実施例１に係る光情報記録媒体１００の製造方法について説明するための断面図（その１０）である。
【図３２】図３０における基板１１０のクランプ部１１０ｂの周辺部を拡大した図である。
【図３３】紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０を制御するパルス波形を例示する図である。
【図３４】渦巻状のエアー流を模式的に例示する図である。
【図３５】扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズルを模式的に例示する図である。
【図３６】実施例１の方法で紫外線硬化樹脂を螺旋状に塗布する様子を模式的に示す図である。
【図３７】実施例５の方法で紫外線硬化樹脂を螺旋状に塗布する様子を模式的に示す図である。
【図３８】幅広の扁平形状の紫外線硬化樹脂供給ノズルを模式的に例示する図である。
【符号の説明】
【００９４】
１０、１００  光情報記録媒体
１１、１１０  基板
１１ａ、１１０ａ  センターホール
１１ｂ、１１０ｂ  クランプ部
１２  反射層及び／又は記録層
１３、１３０  中間層
１３ａ  中間層の凹凸部
１３ｂ  中間層の凸部
１４  第２反射層及び／又は第２記録層
１５、１５０  カバー層
１５ａ  カバー層の凹凸部
１５ｂ  カバー層の凸部
１６、１６０  レーザ光
１７、１７０  対物レンズ
２１、２１０  回転テーブル
２２、２２０  基板位置決め部
２５  センターキャップ
２５ａ  突起部
２５ｂ  傘状部
２５ｃ  嵌合部
２５ｅ  端面
３３、３３０  紫外線硬化樹脂
３４、３４０  スタンパ
３４ａ、３４０ａ  スタンパ３４の上面
３４ｂ、３４０ｂ  スタンパ３４の下面
３５、３５０  紫外線
３６  線状欠陥
１２０  反射層
１４０  第２反射層
２００  製造装置
２２５，２２６  紫外線硬化樹脂供給ノズル２６０の移動方向
２３０  回転軸
２４０  駆動モータ
２６０，２６１，２６２，２６３  紫外線硬化樹脂供給ノズル
２７０  紫外線（ＵＶ）照射機
４０１，４０３  塗布開始位置
４０２  塗布重なり部分
Ｔ  周期
ＴH  'Ｈ'レベル時の時間
Ｔ１、Ｔ２  厚さ
【図１】
2009199639.tif 000008
【図２】
2009199639.tif 000009
【図３】
2009199639.tif 000010
【図４】
2009199639.tif 000011
【図５】
2009199639.tif 000012
【図６】
2009199639.tif 000013
【図７】
2009199639.tif 000014
【図８】
2009199639.tif 000015
【図９】
2009199639.tif 000016
【図１０】
2009199639.tif 000017
【図１１】
2009199639.tif 000018
【図１２】
2009199639.tif 000019
【図１３】
2009199639.tif 000020
【図１４】
2009199639.tif 000021
【図１５】
2009199639.tif 000022
【図１６】
2009199639.tif 000023
【図１７】
2009199639.tif 000024
【図１８】
2009199639.tif 000025
【図１９】
2009199639.tif 000026
【図２０】
2009199639.tif 000027
【図２１】
2009199639.tif 000028
【図２２】
2009199639.tif 000029
【図２３】
2009199639.tif 000030
【図２４】
2009199639.tif 000031
【図２５】
2009199639.tif 000032
【図２６】
2009199639.tif 000033
【図２７】
2009199639.tif 000034
【図２８】
2009199639.tif 000035
【図２９】
2009199639.tif 000036
【図３０】
2009199639.tif 000037
【図３１】
2009199639.tif 000038
【図３２】
2009199639.tif 000039
【図３３】
2009199639.tif 000040
【図３４】
2009199639.tif 000041
【図３５】
2009199639.tif 000042
【図３６】
2009199639.tif 000043
【図３７】
2009199639.tif 000044
【図３８】
2009199639.tif 000045