(57)【要約】【課題】液滴噴射面の噴射口周囲領域を確実に保護するとともに、液滴噴射面から脱落しにくい保護構造を備えた、液滴噴射装置、及び、その製造方法を提供すること。【解決手段】インクジェットヘッドは、液滴を噴射するノズル５４の噴射口５４ａが配置された液滴噴射面３ａを有し、この液滴噴射面３ａの噴射口５４ａの近傍位置には、液滴噴射面３ａに開口し、且つ、その液滴噴射面３ａよりも奥部における孔径が開口部よりも大きい、充填孔６６が形成されている。そして、この充填孔６６内に流動性材料が充填されるとともに、充填孔６６の開口部から一部突出した状態で流動性材料が固化することにより、液滴噴射面３ａから突出した凸部６５が形成されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を噴射するノズルの噴射口が配置された液滴噴射面と、
前記液滴噴射面の前記噴射口の近傍に形成され、前記液滴噴射面から突出する凸部とを備えた液滴噴射装置であって、
前記凸部は、前記液滴噴射面に開口し、且つ、その液滴噴射面よりも奥部における孔径が開口部の孔径よりも大きい充填孔内に充填され前記充填孔の開口部から一部突出した流動性材料が固化することにより形成されていることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項２】
前記液滴噴射面には、複数の前記ノズルが一方向に配列され、
複数の前記凸部が、前記ノズルの列と平行な方向に沿って、互いに適当間隔空けて配列されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項３】
前記ノズルが形成されるとともにその表面が前記液滴噴射面となるノズルプレートを含み、前記ノズルに連通する流路孔が形成された複数枚の流路形成プレートの積層体を有し、
前記充填孔は、少なくとも、前記ノズルプレートの前記ノズルの近傍位置に形成された第１貫通孔と、前記ノズルプレートとは別の前記流路形成プレートに形成され、前記第１貫通孔に連通するとともにこの第１貫通孔よりも径の大きい第２貫通孔とで構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴噴射装置。
【請求項４】
前記流動性材料が、光硬化性樹脂であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液滴噴射装置。
【請求項５】
前記流動性材料が、ハンダであることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液滴噴射装置。
【請求項６】
液滴を噴射するノズルの噴射口が配置された液滴噴射面を有する液滴噴射装置の製造方法であって、
前記液滴噴射面の前記噴射口の近傍位置に、前記液滴噴射面に開口し、且つ、その液滴噴射面よりも奥部における孔径が開口部よりも大きい、充填孔を形成する充填孔形成工程と、
前記充填孔内に、流動性材料を、前記充填孔の開口部から一部突出した状態となるように充填する充填工程と、
前記充填孔に充填された流動性材料を固化させて、前記液滴噴射面から突出した凸部を形成する固化工程と、
を備えていることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法。
【請求項７】
前記液滴噴射装置が、前記ノズルが形成されるとともにその表面が前記液滴噴射面となるノズルプレートを含む、複数枚の流路形成プレートの積層体を有するものであり、
前記充填孔形成工程において、前記ノズルプレートの前記ノズルの近傍位置に第１貫通孔を形成するとともに、このノズルプレートとは別の前記流路形成プレートに前記第１貫通孔よりも径の大きい第２貫通孔を形成し、
前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とが連通するように、前記複数枚の流路形成プレートを積層させることにより、前記積層体に、少なくとも前記第１貫通孔と前記第２貫通孔からなる前記充填孔を形成することを特徴とする請求項６に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項８】
前記別の流路形成プレートの少なくとも一方の面に、この流路形成プレートを他の流路形成プレートと接着剤で接合するときに生じる余剰接着剤を逃すための、逃し溝を形成し、
さらに、前記別の流路形成プレートに、前記第２貫通孔と前記逃し溝とを連通させる連通溝を形成することを特徴とする請求項７に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項９】
前記ノズルプレートは、光透過性を有する材料で形成されており、
前記充填工程において、前記充填孔内に、流動性を有する光硬化性樹脂を充填し、
前記固化工程において、前記液滴噴射面側から前記光硬化性樹脂に光を照射して、前記光硬化性樹脂を固化させることを特徴とする請求項７又は８に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を噴射する液滴噴射装置、及び、液滴噴射装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液滴噴射面に設けられた多数のノズルの噴射口から、所定の方向に搬送される印刷用紙等の印刷媒体に対してインクの液滴を噴射する、インクジェットヘッドが知られている。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドの液滴噴射面において、ノズルの噴射口周囲領域にインクが付着していると、次にノズルから噴射される液滴が、噴射口周囲に付着したインクの表面張力によって噴射口の径方向に引っ張られ、噴射方向（液滴の飛翔方向）が正規の方向（ノズル軸線方向）から傾いてしまうという問題が生じる。そこで、一般的なインクジェットヘッドの液滴噴射面には、ノズルの周囲にインクが付着するのを防止するための、撥液膜が形成されている。
【０００４】
ところで、通常は、液滴噴射面に対して所定距離（例えば、１〜２ｍｍ）離間した位置において印刷用紙は搬送されることから、正常な用紙搬送状態では印刷用紙が液滴噴射面に接触することは考えられないが、例えば、印刷中に紙ジャムが発生して印刷用紙が浮き上がった場合などに、印刷用紙が液滴噴射面に接触して撥液膜に傷がつく虞がある。あるいは、外部からの異物が液滴噴射面に接触することによって撥液膜が損傷することも考えられる。そこで、特許文献１には、ノズルの噴射口の周囲領域に形成された撥液膜をさらに保護するための構成が提案されている。
【０００５】
特許文献１のインクジェットヘッドは、多数のノズルが形成されたノズルプレートを備えており、このノズルプレートの、多数のノズルの噴射口が配置された面が液滴噴射面となっている。この液滴噴射面には、その全面にわたって撥液膜（撥インク膜）が形成されている。さらに、この撥液膜の表面には、噴射口の周囲領域を囲むように、フォトレジスト材からなる保護膜（凸部と称されている）が形成されている。このように、噴射口の周囲領域に設けられた撥液膜が保護膜に囲まれることによって、印刷用紙が噴射口周囲の撥液膜に接触することが防止される。
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−２６４１４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、前記特許文献１のインクジェットヘッドにおいては、フォトレジスト材からなる保護膜は、撥液膜の表面に付着しているだけの状態である。そのため、紙ジャムが生じて印刷用紙が保護膜に接触して、保護膜に面方向の外力が作用したときに、保護膜が液滴噴射面から容易に剥離して脱落してしまう虞がある。
【０００８】
本発明の目的は、液滴噴射面の噴射口周囲領域を確実に保護するとともに、液滴噴射面から脱落しにくい保護構造を備えた、液滴噴射装置、及び、その製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明の液滴噴射装置は、液滴を噴射するノズルの噴射口が配置された液滴噴射面と、前記液滴噴射面の前記噴射口の近傍に形成され、前記液滴噴射面にから突出する凸部とを備えた液滴噴射装置であって、前記凸部は、前記液滴噴射面に開口し、且つ、その液滴噴射面よりも奥部における孔径が開口部の孔径よりも大きい充填孔内に充填され前記充填孔の開口部から一部突出した流動性材料が固化することにより形成されていることを特徴とするものである。
【００１０】
この構成によれば、液滴噴射面の噴射口の近傍位置に凸部が設けられることにより、液滴噴射面の噴射口周囲領域が保護され、この周囲領域の損傷が防止され、この凸部は、液滴噴射面よりも奥部において孔径が広くなった形状を有する充填孔の内部に、流動性材料が充填された後に、流動性材料が固化することにより形成される。ここで、充填孔への充填時には、流動性材料は、孔径の小さな開口部から孔径の大きな奥部まで入り込むことができるため、この流動性材料が固化することによって得られた凸部は、充填孔から抜けにくくなり、液滴噴射面から凸部が脱落しにくい。
【００１１】
第２の発明の液滴噴射装置は、前記第１の発明において、前記液滴噴射面には、複数の前記ノズルが一方向に配列され、複数の前記凸部が、前記ノズルの列と平行な方向に沿って、互いに適当間隔空けて配列されていることを特徴とするものである。
【００１２】
液滴噴射面のノズル周囲領域の保護という観点からは、ノズル列の側方に凸部が連続して設けられていることが好ましいが、その場合には、流動性材料が充填される充填孔がノズル列方向に連続することになり、この充填孔が形成された部分において装置本体の剛性が大きく低下してしまう。本発明においては、複数の凸部が、ノズル列と平行な方向に沿って間隔を空けて配置されるため、本体の剛性の低下を抑えつつ、ノズル周囲領域の十分な保護も実現できる。
【００１３】
第３の発明の液滴噴射装置は、前記第１又は第２の発明において、前記ノズルが形成されるとともにその表面が前記液滴噴射面となるノズルプレートを含み、前記ノズルに連通する流路孔が形成された複数枚の流路形成プレートの積層体を有し、
前記充填孔は、少なくとも、前記ノズルプレートの前記ノズルの近傍位置に形成された第１貫通孔と、前記ノズルプレートとは別の前記流路形成プレートに形成され、前記第１貫通孔に連通するとともにこの第１貫通孔よりも径の大きい第２貫通孔とで構成されていることを特徴とするものである。
【００１４】
液滴噴射面に設けられる充填孔が、ノズルプレートに形成された孔径の小さな第１貫通孔と、このノズルプレートとは別の流路形成プレートに形成された孔径の大きな第２貫通孔とで構成されることで、この充填孔は、奥部において開口部よりも孔径が大きい形状となる。この構成によれば、複数枚の流路形成プレートに形成する貫通孔の孔径を変えて、これらのプレートを積層させるだけで、複雑形状の充填孔を容易に形成することができる。
【００１５】
尚、本発明の充填孔は、開口部から奥部に向けて連続的に径が拡大するテーパー状の孔であってもよいし、プレート境界において孔径が急激に変化する段差部分を有する孔であってもよい。特に、充填孔が段差部分を有する孔である場合には、凸部の脱落防止効果が高くなる。
【００１６】
第４の発明の液滴噴射装置は、前記第１〜第３の何れかの発明において、前記流動性材料が、光硬化性樹脂であることを特徴とするものである。
【００１７】
この構成によれば、液滴噴射面側から光を照射するだけで流動性材料を固化させることができ、固化が容易である。また、液滴噴射面を構成する部分を、光透過性を有する材料（透明又は半透明の材料）で形成すれば、充填孔が奥部に向かうほど径が大きくなる孔であっても、奥部まで光を到達させることができるため、充填孔内に充填された流動性材料を、孔内部の隅々に至るまで確実に固化させることができる。
【００１８】
第５の発明の液滴噴射装置は、前記第１〜第３の何れかの発明において、前記流動性材料が、ハンダであることを特徴とするものである。
【００１９】
凸部が金属製のハンダからなる場合には凸部の剛性が高くなるために、外部から多少の衝撃が作用しても変形しにくい。また、衝撃によって液滴噴射面から脱落するということも生じにくい。従って、ノズルの噴射口周囲領域をより確実に保護できる。
【００２０】
第６の発明の液滴噴射装置の製造方法は、液滴を噴射するノズルの噴射口が配置された液滴噴射面を有する液滴噴射装置の製造方法であって、
前記液滴噴射面の前記噴射口の近傍位置に、前記液滴噴射面に開口し、且つ、その液滴噴射面よりも奥部における孔径が開口部よりも大きい、充填孔を形成する充填孔形成工程と、前記充填孔内に、流動性材料を、前記充填孔の開口部から一部突出した状態となるように充填する充填工程と、前記充填孔に充填された流動性材料を固化させて、前記液滴噴射面から突出した凸部を形成する固化工程とを備えていることを特徴とするものである。
【００２１】
本発明によれば、液滴噴射面の噴射口の近傍位置に凸部を設けることにより、液滴噴射面の噴射口周囲領域が保護されるため、この周囲領域の損傷が防止される。また、この凸部は、奥部において孔径が大きくなる充填孔の内部に、流動性材料を充填した後に、この流動性材料を固化させることにより形成する。ここで、充填孔への充填時には、流動性材料は、孔径の小さな開口部から孔径の大きな奥部まで入り込むことができるため、この流動性材料を固化させることによって得られた凸部は、充填孔から抜けにくくなり、液滴噴射面から凸部が脱落しにくくなる。
【００２２】
第７の発明の液滴噴射装置の製造方法は、前記第６の発明において、前記液滴噴射装置が、前記ノズルが形成されるとともにその表面が前記液滴噴射面となるノズルプレートを含む、複数枚の流路形成プレートの積層体を有するものであり、
前記充填孔形成工程において、前記ノズルプレートの前記ノズルの近傍位置に第１貫通孔を形成するとともに、このノズルプレートとは別の前記流路形成プレートに前記第１貫通孔よりも径の大きい第２貫通孔を形成し、
前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とが連通するように、前記複数枚の流路形成プレートを積層させることにより、前記積層体に、少なくとも前記第１貫通孔と前記第２貫通孔からなる前記充填孔を形成することを特徴とするものである。
【００２３】
液滴噴射面に設けられる充填孔が、ノズルプレートに形成された孔径の小さな第１貫通孔と、このノズルプレートとは別の流路形成プレートに形成された孔径の大きな第２貫通孔とで構成されることで、充填孔は、奥部において開口部よりも孔径が大きい形状となる。つまり、複数枚の流路形成プレートに形成する貫通孔の孔径を変えて、これらのプレートを積層させるだけで、複雑形状の充填孔を容易に形成することができる。
【００２４】
第８の発明の液滴噴射装置の製造方法は、前記第７の発明において、前記別の流路形成プレートの少なくとも一方の面に、この流路形成プレートを他の流路形成プレートと接着剤で接合するときに生じる余剰接着剤を逃すための、逃し溝を形成し、さらに、前記別の流路形成プレートに、前記第２貫通孔と前記逃し溝とを連通させる連通溝を形成することを特徴とするものである。
【００２５】
第２貫通孔が形成された流路形成プレートを他の流路形成プレートと接着剤で接合する際に発生した余剰接着剤は、この流路形成プレートの一方の面に形成された逃し溝へ逃される。さらに、この逃し溝は第２貫通孔に連なり、流動性材料が充填される前の状態では、第２貫通孔は第１貫通孔を介して大気に連通している。そのため、逃し溝に余剰接着剤が多量に流入した場合に、逃し溝だけでは逃しきれない分を充填孔へ逃すことができる。
【００２６】
第９の発明の液滴噴射装置の製造方法は、前記ノズルプレートは、光透過性を有する材料で形成されており、前記充填工程において、前記充填孔内に、流動性を有する光硬化性樹脂を充填し、前記固化工程において、前記液滴噴射面側から前記光硬化性樹脂に光を照射して、前記光硬化性樹脂を固化させることを特徴とするものである。
【００２７】
このように、ノズルプレートが光透過性を有する（透明又は半透明である）場合には、充填孔が奥部において径が大きい形状であっても、液滴噴射面側から照射された光が充填孔の内部まで到達できるため、光硬化性樹脂からなる流動性材料を、孔内部の隅々に至るまで確実に固化させることができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、液滴噴射面の噴射口の近傍位置に凸部が設けられることにより、液滴噴射面の噴射口周囲領域が保護され、この周囲領域の損傷が防止される。また、この凸部は、液滴噴射面よりも奥部において孔径が広くなった形状を有する充填孔の内部に、流動性材料が充填された後に、流動性材料が固化することにより形成される。ここで、充填孔への充填時には、流動性材料は、孔径の小さな開口部から孔径の大きな奥部まで入り込むことができるため、この流動性材料が固化することによって得られた凸部は、充填孔から抜けにくくなり、液滴噴射面から凸部が脱落しにくい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、印刷用紙に所望の文字や画像等を記録（印刷）するプリンタに用いられるインクジェットヘッドに、本発明を適用したものである。
【００３０】
図１は、本実施形態に係るプリンタの概略構成を示す平面図である。図１に示すように、プリンタ１は、一方向に沿って往復移動可能に構成されたキャリッジ２と、このキャリッジ２に搭載されたインクジェットヘッド３（液滴噴射装置）、及び、サブタンク４ａ〜４ｄと、インクを貯留するインクカートリッジ５ａ〜５ｄと等を備えている。
【００３１】
キャリッジ２は、図１の左右方向（走査方向）に平行に延びる２本のガイド軸１７に沿って往復移動可能に構成されている。また、キャリッジ２には、無端ベルト１８が連結されており、キャリッジ駆動モータ１９によって無端ベルト１８が走行駆動されたときに、キャリッジ２は、無端ベルト１８の走行に伴って左右方向に移動するようになっている。
【００３２】
このキャリッジ２には、インクジェットヘッド３と４つのサブタンク４ａ〜４ｄが搭載されている。インクジェットヘッド３の下面（図１の紙面向こう側の面）は、多数の液滴噴射用ノズル５４（図２参照）の噴射口５４ａが配置された、液滴噴射面３ａ（図４）となっている。また、４つのサブタンク４ａ〜４ｄは、走査方向に沿って並べて配置されており、これら４つのサブタンク４ａ〜４ｄにはチューブジョイント２０が一体的に設けられている。そして、チューブジョイント２０に連結された可撓性のチューブ１１によって、４つのサブタンク４ａ〜４ｄと４つのインクカートリッジ５ａ〜５ｄとがそれぞれ接続されている。
【００３３】
４つのインクカートリッジ５ａ〜５ｄには、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタの、４色のインクがそれぞれ貯留されており、これらのインクカートリッジ５ａ〜５ｄは、ホルダ１０に着脱自在に装着されている。
【００３４】
４つのインクカートリッジ５ａ〜５ｄに貯留された４色のインクは、４本のチューブ１１を介して４つのサブタンク４ａ〜４ｄに供給され、サブタンク４ａ〜４ｄにおいて一時的に貯留された後、インクジェットヘッド３に供給される。そして、インクジェットヘッド３は、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動しつつ、その下面に設けられた多数のノズル５４（図２参照）から、搬送機構６により図１の下方（紙送り方向）に搬送される印刷用紙Ｐにインクの液滴を噴射する。
【００３５】
搬送機構６は、インクジェットヘッド３よりも紙送り方向上流側に配置された給紙ローラ２５と、インクジェットヘッド３よりも紙送り方向下流側に配置された排紙ローラ２６とを有する。給紙ローラ２５と排紙ローラ２６は、それぞれ、給紙モータ２７と排紙モータ２８により回転駆動される。そして、この搬送機構６は、給紙ローラ２５により、印刷用紙Ｐを図１の上方からインクジェットヘッド３に供給するとともに、排紙ローラ２６により、インクジェットヘッド３によって画像や文字等が記録された印刷用紙Ｐを図１の下方へ排出するように構成されている。
【００３６】
次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２はインクジェットヘッドの分解斜視図、図３はインクジェットヘッドの上面の一部拡大図、図４はインクジェットヘッドの下面（液滴噴射面）の一部拡大図、図５は図３のV-V線断面図である。尚、以下のインクジェットヘッド３の説明においては、図２における上下方向（プレートの積層方向）を上下方向と定義する。
【００３７】
図２〜図５に示すように、インクジェットヘッド３は、多数のノズル５４や圧力室５３を含むインク流路が形成された流路ユニット３１と、この流路ユニット３１の上面に配置され、圧力室５３内のインクにノズル５４から噴射させるためのエネルギーを付与する圧電アクチュエータ３２とを備えている。
【００３８】
（流路ユニットの構成）
流路ユニット３１は、キャビティプレート４１、ベースプレート４２、アパーチャプレート４３、２枚のマニホールドプレート４４，４５、ダンパープレート４６、カバープレート４７、及び、ノズルプレート４８の、計８枚のプレート４１〜４８（流路形成プレート）の積層体からなる。８枚のプレート４１〜４８のうち、最下層のノズルプレート４８は、ポリイミド等の合成樹脂材料で形成され、残り７枚のプレート４１〜４７は、それぞれ、ステンレス板やニッケル合金鋼板などの金属プレートとなっている。
【００３９】
また、８枚のプレート４１〜４８は、接着剤により互いに接合されている。尚、図５に示すように、ノズルプレート４８を除く７枚のプレート４１〜４７の下面には、接着剤で接合する際に生じた余剰接着剤を逃して、インク流路を形成する孔に流入するのを防止するための、逃し溝４１ａ〜４７ａがそれぞれ形成されている。
【００４０】
流路ユニット３１には、前述した４つのサブタンク４ａ〜４ｄにそれぞれ接続される４つのインク供給孔５０ａ，５０ｂ，５０ｃと、これら４つのインク供給孔５０ａ〜５０ｃに連通したマニホールド流路５１（マニホールド形成孔５１ａ，５１ｂ）とが設けられ、さらに、マニホールド流路５１から分岐して、アパーチャ５２、及び、圧力室５３を介してノズル５４に至る個別インク流路が多数設けられている。
【００４１】
一方、最上層に位置するキャビティプレート４１には、複数の圧力室５３が貫通形成されている。各圧力室５３は、走査方向を長手方向とする略矩形の平面形状を有し、その上側に圧電アクチュエータ３２と下側のベースプレート４２とが積層されたときに、圧力室５３が形成される。そして、複数の圧力室５３は紙送り方向に配列されて、５列の圧力室列をなしている。尚、５列の圧力室列のうち、２列は使用頻度の最も高いブラックインクが供給される圧力室５３の列であり、残りの３列は、イエロー、シアン、マゼンタの３色カラーインクがそれぞれ供給される圧力室５３の列である。さらに、キャビティプレート４１の紙送り方向の一端部（図２における左側の端部）には、サブタンク４ａ〜４ｄから供給された４色のインクをマニホールド流路５１に供給する４つのインク供給孔５０ａが走査方向に並んで形成されている。
【００４２】
ベースプレート４２には、圧力室５３の長手方向の両端部にそれぞれ連通する貫通孔５６，５７と、インク供給孔５０ａに連通するインク供給孔５０ｂが形成されている。
【００４３】
アパーチャプレート４３には、ベースプレート４２の貫通孔５６に連通するとともに圧力室５３の長手方向に沿って延びる、絞り流路としてのアパーチャ５２と、貫通孔５７に連通する貫通孔５８と、インク供給孔５０ｂに連通するインク供給孔５０ｃがそれぞれ形成されている。
【００４４】
マニホールドプレート４４，４５には、紙送り方向に延在し、それぞれマニホールド流路５１（共通液室）の一部をなすマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂが、圧力室５３の列に対応して５つずつ形成されている。そして、これら２種類のマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂが上下に重なった状態で、アパーチャプレート４３とダンパープレート４６によって上下両側から塞がれることにより、マニホールド流路５１が形成される。尚、流路ユニット３１に設けられた５つのマニホールド流路５１のうち、２つはブラックインク用の２列の圧力室列に対応し、残り３つのマニホールド流路５１は、カラーインク用の３列の圧力室列に対応している。また、図２に示すように、マニホールド流路５１を形成する２種類のマニホールド形成孔５１ａ，５１ｂは、アパーチャプレート４３のインク供給孔５０ｃと重なる位置まで延設されて、インク供給孔５０ｃに連通している。さらに、２枚のマニホールドプレート４４，４５には、アパーチャプレート４３の貫通孔５８に連なる貫通孔５９，６０がそれぞれ形成されている。
【００４５】
ダンパープレート４６の下面の、平面視で５つのマニホールド流路５１とそれぞれ重なる位置には、ハーフエッチングにより凹部６１が形成されている。つまり、ダンパープレート４６は、凹部６１が形成された部分において厚みが局所的に薄くなっており、この薄肉部分が、マニホールド流路５１内の圧力変動を減衰させるダンパー部として働く。また、ダンパープレート４６には、マニホールドプレート４５の貫通孔６０に連なる貫通孔６２も形成されている。カバープレート４７には、ダンパープレート４６の貫通孔６２に連通する貫通孔６３が形成されている。
【００４６】
最下層のノズルプレート４８には、カバープレート４７の貫通孔６３に連通するノズル５４が、紙送り方向に配列して穿設されているとともに、走査方向に５列並べて配置されている。そして、このノズルプレート４８の下面は、複数のノズル５４の噴射口５４ａが配置されて、複数の噴射口５４ａから対向する印刷用紙Ｐに対してそれぞれ液滴を噴射する液滴噴射面３ａとなっている。尚、５列のノズル列のうち、２列は使用頻度の最も高いブラックインクを噴射するノズル列であり、残りの３列のノズル列は、３色のカラーインク（シアン、マゼンタ、イエロー）をそれぞれ噴射するノズル列である。
【００４７】
以上説明した８枚のプレート４１〜４８が積層した状態で接合されることにより、流路ユニット３１内に、インク供給孔５０ａからマニホールド流路５１に至るインク流路と、マニホールド流路５１から分岐してアパーチャ５２及び圧力室５３を経由してノズル５４に至る、多数の個別インク流路が形成されている。
【００４８】
ところで、図４、図５に示すように、ノズルプレート４８の下面（液滴噴射面３ａ）には、フッ素系樹脂からなる撥液膜６４が全面的に形成されている。これにより、液滴噴射面３ａの撥液性が高まり、ノズル５４の噴射口５４ａから噴射されたインクが、その噴射口５４ａの周囲に滞留しにくくなる。
【００４９】
しかし、紙ジャム時に印刷用紙Ｐが浮き上がって液滴噴射面３ａに接触するなどして、噴射口５４ａの周囲領域に形成された撥液膜６４に傷が生じると、撥液膜６４の撥液性が低下して、噴射口５４ａの周囲にインクが付着しやすくなる。また、噴射口５４の開口縁に傷が生じる場合にも、液滴の噴射が不安定になりやすい。そこで、本実施形態のインクジェットヘッド３には、噴射口５４ａの周囲領域の、撥液膜６４や噴射口５４の開口縁を保護するための構成が付加されている。
【００５０】
（撥液膜保護構造）
図４、図５に示すように、流路ユニット３１の下面（液滴噴射面３ａ）には、紙送り方向（図３の上下方向）に延びるノズル５４（噴射口５４ａ）の列に対して、走査方向（図３の左右方向）に関して近接した位置に、液滴噴射面３ａからそれぞれ突出した複数の凸部６５が紙送り方向に間隔を空けて配列されている。また、図４に示すように、走査方向に隣接する２列のノズル列に対して、対応する２列の凸部６５が、２列のノズル列を挟むように走査方向両側にそれぞれ配置されている。さらに、ノズル５４と凸部６５は紙送り方向に関して同じ間隔で配列されており、１つのノズル５４の噴射口５４ａと、これに対応する凸部６５とが、走査方向に並んで配置されている。このように、走査方向両側に配置された２列の凸部６５の列により、それら凸部６５の列に挟まれた領域（２列の噴射口５４ａの周囲領域）に形成された撥液膜６４が保護される。従って、インクジェットヘッド３が印刷用紙Ｐに対して走査方向に移動する際に、印刷用紙Ｐが２列の噴射口５４ａの周囲領域に接触するのが、凸部６５の列によって阻止される。また、凸部６５に印刷用紙Ｐが接触して、その端部や一部分が跳ねたりした場合でも、凸部６５が噴射口５４ａのすぐ近傍に位置しているため、少なくとも噴射口５４周辺付近に接触する危険性を抑制することができる。
【００５１】
各々の凸部６５の構造についてさらに詳細に説明する。図６（ａ）は、流路ユニットのノズル近傍部における一部拡大断面図、（ｂ）は図６（ａ）のＢ−Ｂ矢視図（ダンパープレート４６の下面図）である。図５、図６に示すように、流路ユニット３１の下部には、液滴噴射面３ａに開口した充填孔６６が形成されている。さらに、この充填孔６６は、３枚のプレート４６〜４８にわたって形成されている。即ち、ノズルプレート４８のノズル５４の近傍位置に貫通孔８１が形成されるとともに、ノズルプレート４８よりも上層のカバープレート４７とダンパープレート４６に、ノズルプレート４８の貫通孔８１に連通する貫通孔８２，８３がそれぞれ形成されている。そして、３枚のプレート４６〜４８が積層されたときに３つの貫通孔８１〜８３が連通することによって、１つの充填孔６６が構成される。
【００５２】
また、３つの貫通孔８１〜８３は、液滴噴射面３ａから離れる側（奥側）に位置するものほど孔径が大きくなっている。即ち、ノズルプレート４８の貫通孔８１、カバープレート４７の貫通孔８２、ダンパープレート４６の貫通孔８３の順に孔径が大きくなっている。従って、３つの貫通孔８１〜８３からなる充填孔６６は、液滴噴射面３ａよりも奥部における孔径が開口部よりも大きい孔となっている。また、本実施形態では、３つの貫通孔８１〜８３は、それぞれ、孔の軸方向に関して径が一定の円柱状の孔であることから、３枚のプレート４６〜４８の境界位置において、充填孔６６の内面には、孔径が急激に変化する段差部分が生じている。
【００５３】
充填孔６６がこのような構成であると、３枚のプレート４６〜４８に設けられる貫通孔８１〜８３の孔径を変えて、プレート４６〜４８を積層させるだけで、複雑な形状の充填孔６６を容易に形成することができる。尚、３つの貫通孔８１〜８３のうち、ノズルプレート４８に形成される貫通孔８１が本願発明における第１貫通孔に相当し、これよりも孔径の大きい２つの貫通孔８２，８３が本願発明における第２貫通孔に相当する。
【００５４】
この充填孔６６には、光硬化性樹脂からなる流動性の充填材６７が充填される。充填材６７として使用できる光硬化性樹脂は、特に限定されるものではなく、一般に知られている様々な種類の樹脂材料の中から、流動性や作業性などを考慮して仕様に合わせて適宜選択することができる。このとき、図６（ａ）に示すように、流動性を有する充填材６７は、その表面張力により充填孔６６の開口部において外側に膨らみ、液滴噴射面３ａから突出した状態となるように充填される。その後、液滴噴射面３ａ側から光（例えば、紫外線）が照射されることにより、充填孔６６に充填された充填材６７が固化することで、液滴噴射面３ａから突出した凸部６５が形成される。
【００５５】
ここで、流動性を有する充填材６７は、孔径の小さな開口部から孔径の大きな奥部まで入り込むことができるため、この充填材６７が固化することによって得られた凸部６５は充填孔６６から抜けにくくなり、凸部６５の突出部分に外力が作用しても液滴噴射面３ａから凸部６５が脱落しにくい。また、図６（ａ）に示すように、充填孔６６が、プレート境界で孔径が急激に変化する段差部分を有する孔であるため、凸部６５を形成する充填材６７が充填孔６６の内部の段差部分でひっかかり、より一層、凸部６５が充填孔６６から抜けにくくなる。
また、凸部６５の先端部は、印刷用紙Ｐなどが接触したときに欠けやすくなるため、充填孔６６の開口部から外側に膨らんだ断面視円弧状となっているのがよい。また、撥液膜６４が充填孔６６の開口部縁部まで設けられているのがよいため、凸部６５の先端部は、開口部から鉛直方向の下向きに突出し、撥液膜６４上に広がらない程度に充填材６７が充填されるのがよい。
【００５６】
尚、噴射口５４ａの周囲領域の撥液膜６４を確実に保護するという観点からは、ノズル列の側方において、凸部６５がノズル列方向に連続して設けられていることが好ましいが、その場合には、充填材６７が充填される充填孔６６が、ノズル列方向に連続したスリット状に形成されることになり、この充填孔６６が形成された部分において流路ユニット３１の剛性が大きく低下してしまう。しかし、本実施形態においては、図４に示すように、複数の凸部６５が、ノズル列と平行な方向に沿って間隔を空けて配置されることで、流路ユニット３１の剛性の低下を抑えつつ、ノズル５４の周囲領域の撥液膜を保護することが可能となっている。また、複数の凸部６５は、ノズル５４の配列方向（紙送り方向）に関して離散的に配置されつつも、対応するノズル５４の噴射口５４ａと走査方向に並んでいることから、インクジェットヘッド３が走査方向に移動する際に、印刷用紙Ｐが、走査方向からノズル５４の周囲領域の撥液膜６４に接触することが、凸部６５によって確実に阻止される。さらに、インクジェットヘッド３の印刷動作が終了し、インクジェットヘッド内の気泡や増粘したインクなどを吸引したり、強制排出させたりする所謂メンテナンス動作において、液滴噴射面３ａに残った排出したインクをワイプ部材で除去するワイピング動作が行われるときに、複数の凸部６５が、ノズル列方向に連続して設けられていると、インクがその凸部と液滴噴射面３ａとの境界部分に溜まりやすく、次回の印刷動作時において、印字面を汚したりする可能性がある。しかしながら、凸部６５が離散されて配置されている場合、離間した凸部６５の間を廃インクが通過することができるため、液滴噴射面３ａと凸部６５との境界部分に残留するインクを少なくすることができる。
【００５７】
また、図６（ｂ）に示すように、充填孔６６の一部を構成する貫通孔が形成されるダンパープレート４６の下面には、先にも少し述べたように、各プレートの下面に接着剤を塗布してプレートを積層接合する時に、インク流路の一部を構成する貫通孔６２（流路孔）に余剰接着剤が流入するのを防止するための、接着剤の逃し溝４６ａが形成されている。さらに、このダンパープレート４６の下面には、逃し溝４６ａと、充填孔６６を構成する貫通孔８３とを連通させる、連通溝４６ｂが形成されている。これにより、逃し溝４６ａで逃しきれなかった余剰接着剤を、連通溝４６ｂを介して貫通孔８３（充填孔６６）へ逃すことが可能となっている。尚、ダンパープレート４６の代わりに、カバープレート４７の下面に、貫通孔８２と逃し溝４７ａとを連通させる連通溝が形成されてもよい。あるいは、ダンパープレート４６とカバープレート４７の両方に、このような連通溝が形成されてもよい。なお、逃し溝４６ａと連通溝は、各プレートの下面側に接着剤を塗布されるため、下面側に形成されているが、各プレートの上面側に接着剤を塗布して積層接合されている時には、上面側に形成される。
【００５８】
（圧電アクチュエータの構成）
次に、圧電アクチュエータ３２について説明する。図２、図５に示すように、圧電アクチュエータ３２は、複数の圧力室５３を覆うように流路ユニット３１の上面に接合された振動板７０と、この振動板７０の上面に配置された圧電層７１と、圧電層７１の上面に配置された複数の個別電極７２と、圧電層７１の下面に配置された共通電極７３とを備えている。
【００５９】
振動板７０と圧電層７１は、共に、圧電材料（例えば、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料）により、略矩形の平面形状を有するシート状に形成されている。そして、振動板７０と圧電層７１は、互いに積層された状態で、流路ユニット３１上面に複数の圧力室５３を覆うように連続的に配置されている。また、上層に位置する圧電層７１は、予めその厚み方向に分極されている。一方、振動板７０は、圧電層７１とは違って分極処理は施されていない。
【００６０】
複数の個別電極７２は、それぞれ、圧力室５３よりも一回り小さい略矩形の平面形状を有し、圧電層７１の上面の、複数の圧力室５３の略中央部と対向する領域に配置されている。また、共通電極７３は、振動板７０と圧電層７１の間において、それらの表面のほぼ全域にわたって形成されている。
【００６１】
図２に示すように、圧電アクチュエータ３２の圧電層７１の上面には、本体側の基板から送信された印字データに従って、圧電アクチュエータ３２を駆動するドライバＩＣ８０が実装されている。このドライバＩＣ８０は、前述した複数の個別電極７２と、圧電層７１の上面に形成された配線を介して接続されている。そして、このドライバＩＣ８０から、複数の個別電極７２のそれぞれに対して、所定の駆動電位とグランド電位の一方が選択的に付与されるようになっている。一方、共通電極７３は、ドライバＩＣ８０内のグランド線に接続されることにより、常にグランド電位に保持されている。尚、ドライバＩＣ８０は、フレキシブル配線基板（ＦＰＣ）等に実装され、そのフレキシブル配線基板が圧電アクチュエータ３２と電気的かつ機械的に接合されて、本体側と接続されていてもよい。
【００６２】
このように、振動板７０と圧電層７１は、共に、全ての圧力室５３を共通に覆うように配置された、圧電材料からなる層であるが、上層に位置する圧電層７１は、圧力室５３と対向する領域において個別電極７２と共通電極７３に上下両側から挟まれた構成となっている。即ち、この圧電層７１は、個別電極７２に所定の駆動電位が付与されたときに、厚み方向の電界が印加されて圧電歪みが生じる、活性層として働く。一方、下層に位置する振動板７０は、個別電極７２と共通電極７３に挟まれた構成となっておらず、この振動板７０は、圧電材料で構成されているものの、実際には圧電歪みが生じない非活性層である。
【００６３】
以上の圧電アクチュエータ３２の、インク噴射時における動作について説明する。
ドライバＩＣ８０から、ある個別電極７２に対して駆動電位が付与されると、この駆動電位が付与された個別電極７２と、グランド電位に保持されている共通電極７３との間に電位差が生じ、これらの電極７２，７３間に挟まれた圧電層７１の部分に厚み方向に電界が印加される。この電界の方向は圧電層７１の分極方向と平行であるので、この圧電層７１は、電界が印加された部分において厚み方向に伸びて面方向に収縮する。一方、非活性層である振動板７０は、圧力室５３の周囲領域においてキャビティプレート４１に固定されていることから、上層の圧電層７１が面方向に収縮することによって、下層の振動板７０は、圧力室５３と対向する領域において、圧力室５３側に凸となるように変形する（ユニモルフ変形）。このとき、圧力室５３の容積が減少することから、その内部のインクの圧力が上昇し、圧力室５３に連通するノズル５４からインクの液滴が吐出される。
【００６４】
次に、インクジェットヘッド３の製造方法について説明する。尚、本実施形態においては、図７（ａ）に示すように、流路ユニット３１と圧電アクチュエータ３２とを、それぞれ別々の工程で作製し、その後で、図７（ｂ）に示すように、流路ユニット３１の上面に圧電アクチュエータ３２を接着することによって、インクジェットヘッド３を製造している。
【００６５】
（流路ユニット作製工程）
最初に、流路ユニット３１の作製工程について主に図８を参照して説明する。まず、流路ユニット３１を構成する８枚のプレート４１〜４８のそれぞれに、ノズル５４、圧力室５３、アパーチャ５２、マニホールド５１等のインク流路となる孔を形成する。
【００６６】
ここで、ポリイミド等の合成樹脂材料で形成されたノズルプレート４８については、加工精度の高いレーザー加工等によって複数のノズル５４を穿設する。一方、７枚の金属プレート４１〜４７については、エッチングやプレス等によって、圧力室５３、アパーチャ５２、マニホールド５１等となる孔を形成する。
【００６７】
このとき、同時に、ノズルプレート４８、カバープレート４７、及び、ダンパープレート４６の、３枚のプレートに、開口部よりも奥部において孔径が大きい充填孔６６となる、３種類の貫通孔８１，８２，８３をそれぞれ形成する（充填孔形成工程）。ノズルプレート４８に形成される貫通孔８１は、ノズル５４と同時にレーザー加工等によって形成されるのが効率的であるが、貫通孔８１は、加工精度があまり必要ではないためこの方法に限らない。また、７枚のプレート４１〜４７に余剰接着剤を逃すための逃し溝４１ａ〜４７ａを形成する。尚、逃し溝４１ａ〜４７ａは、プレート４１〜４７が積層された状態で大気に連通するように構成される。さらに、ダンパープレート４６には、逃し溝４６ａと貫通孔８３とを連通させる連通溝４６ｂ（図６（ｂ）参照）を形成する。
【００６８】
次に、７枚のプレート４１〜４７の接合面（下面）に、エポキシ系の熱硬化性接着剤を塗布してから、図８（ａ）に示すように、それらの内部にマニホールド流路５１や多数の個別インク流路が形成されるように、ノズルプレート４８に対して７枚のプレート４１〜４７を積層させる。さらに、所定の接着剤硬化温度以上の温度条件下で８枚のプレート４１〜４８を積層方向に加圧し、これら８枚のプレート４１〜４８を接着剤により接合する。なお、接着剤は、７枚のプレート４２〜４８の接合面（上面）に塗布してから、８枚のプレート４１〜４８を順に積層させてもよい。また、ノズルプレート４８と、貫通孔８２と貫通孔６３とがエッチング等で予め形成されたカバープレート４７とを接着剤により積層接合させ、貫通孔８２、６３を介してレーザー加工によりノズルプレート４８にノズル孔５４と貫通孔８１を穿設したものに対し、他の６枚のプレート４１〜４６を積層接合させてもよい。
【００６９】
ここで、プレート４１〜４８の接合時に発生した余剰接着剤は、大気に連通した状態の逃し溝４１ａ〜４７ａに逃されることで、インク流路を形成する各孔に流入する接着剤の量が抑制される。さらに、図６（ｂ）に示すように、ダンパープレート４６の下面には、逃し溝４６ａだけでなく、この逃し溝４６ａと、充填孔６６の一部を構成する貫通孔８３とを連通させる、連通溝４６ｂも形成されている。また、この段階では、充填孔６６にはまだ充填材６７（図８（ｃ）参照）が充填されておらず、貫通孔８３は貫通孔８１，８２を介して大気に連通している。そのため、逃し溝４６ａに余剰接着剤が多量に流入した場合でも、この逃し溝４６ａだけでは逃しきれない分を、連通溝４６ｂを介して充填孔６６へ逃すことが可能になる。
【００７０】
次に、図８（ｂ）に示すように、液滴噴射面３ａとなるノズルプレート４８の下面に、フッ素系樹脂等を塗布することにより、ノズルプレート４８の下面全域に撥液膜６４を形成する。
【００７１】
次に、図８（ｃ）に示すように、ディスペンサーで注入したり、ヘラ等で押し込むなどして、充填孔６６内に、光硬化性樹脂からなる流動性充填材６７を充填する（充填工程）。この充填工程では、その表面張力によって流動性充填材６７が充填孔６６の開口部から一部突出した状態となるように、充填材６７を充填する。このとき、充填材６７は流動性を有することから、液滴噴射面３ａ側の、孔径の小さい貫通孔８１の開口部から、奥側に位置する孔径の大きな貫通孔８２，８３の内部の隅々まで、充填材６７を行き渡らせることができる。
【００７２】
そして、充填孔６６に充填された充填材６７に対して液滴噴射面３ａ側から光（例えば、紫外線）を照射して、光硬化性樹脂からなる充填材６７を固化させる（固化工程）。ここで、充填孔６６は開口部から奥部に向かうほど孔径が大きくなっているが、開口部から入射した光は孔の内部で回折しつつ広がるため、孔径の大きい奥部に充填された充填材６７にも光は照射される。このように、充填孔６６に充填される充填材６７が流動性を有する光硬化性樹脂である場合には、光を照射するだけで充填材６７を固化させることができ、固化工程が容易になる。さらに、ノズルプレート４８が、光透過性を有する材料（透明又は半透明の材料）で形成されていると、液滴噴射面３ａ側から照射された光が一層充填孔６６の内部まで到達しやすくなり、光硬化性樹脂からなる充填材６７を確実に固化させることができる。
なお、撥液膜６４は、予め液滴噴射面３ａとなるノズルプレート４８の下面に、フッ素系樹脂等を塗布されたノズルプレート４８を用意し、それをレーザー加工等で貫通孔８１や噴射口５４を形成するようにしたのち、他のプレートと積層接合させるようにしてもよい。
【００７３】
（圧電アクチュエータ作製工程）
次に、圧電アクチュエータ３２の作製工程について説明する。まず、未焼成のグリーンシートを２枚用意し、圧電層７１（活性層）となる一方のグリーンシートの両面に、複数の個別電極７２と共通電極７３をそれぞれスクリーン印刷等の方法により形成する。次に、図７（ａ）に示すように、振動板７０及び圧電層７１となる２枚のグリーンシートを、共通電極７３が両者の間に挟まれるように重ねてから、２枚のグリーンシートを高温で焼成することにより、圧電アクチュエータ３２を得る。
【００７４】
（アクチュエータ接着工程）
最後に、図７（ｂ）に示すように、流路ユニット作製工程で得られた流路ユニット３１の、キャビティプレート４１の上面に、圧電アクチュエータ作製工程で得られた圧電アクチュエータ３２を、接着剤で接合する。これにより、流路ユニット３１と圧電アクチュエータ３２を備えたインクジェットヘッド３の製造工程が完了する。
【００７５】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記変更形態と同様の構成については、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００７６】
（変更形態１）
前記実施形態では、３枚のプレート４６〜４８にそれぞれ形成された３つの貫通孔８１〜８３の孔径が全て異なっていたが、貫通孔８１〜８３の孔径を全て異ならせる必要はない。即ち、充填孔６６から凸部６５が抜けにくくするには、少なくとも２種類の径の異なる部分が充填孔６６内に存在すればよい。従って、例えば、図９に示すように、開口側（液滴噴射面３ａ側）の２つの貫通孔８１，８２は同径で、最も奥に位置する貫通孔８３の孔径のみだけが大きくなっていてもよい。
【００７７】
（変更形態２）
図１０に示すように、３枚のプレート４６〜４８にそれぞれ形成された３つの貫通孔８１〜８３が、奥側ほど径が大きくなるテーパー状の孔であり、３つの貫通孔８１〜８３からなる充填孔６６の孔径が、奥部に向かうほど連続的に径が大きくなっていてもよい。
【００７８】
（変更形態３）
充填材６７が充填される充填孔が、３枚のプレート４６〜４８にわたって形成されている必要は必ずしもなく、図１１に示すように、充填孔が、ノズルプレート４８とカバープレート４７にそれぞれ形成された、孔径の異なる２つの貫通孔８１，８２で構成されていてもよい。あるいは、充填孔６６が４枚以上のプレートにそれぞれ形成された４以上の貫通孔で構成されてもよい。
【００７９】
（変更形態４）
図１２に示すように、充填孔６６が形成される複数枚のプレート（図では３枚のプレート４６〜４８）のうち、最も奥側に位置するプレート（図ではダンパープレート４６）に形成される孔８３は、このプレートを貫通する孔である必要はなく、凹状の孔であってもよい。
【００８０】
（変更形態５）
さらに、充填孔は２枚以上のプレートにわたって形成される必要も特になく、図１３に示すように、ノズル５４を含むインク流路が形成された１つの流路形成部材９０に、開口部よりも奥部において孔径が大きくなった充填孔６６が形成されてもよい。
【００８１】
（変更形態６）
充填孔に充填される流動性の充填材としては、前述した光硬化性樹脂に限られず、充填時には流動性を有し、充填後に固化させることが可能なものであれば、他の材料で構成されたものを使用できる。例えば、２００℃弱の温度で溶融状態となる、金属合金からなるハンダを用いてもよい。このようにハンダを用いて凸部６５を形成する場合には、溶融状態のハンダを、開口部から一部突出するように充填孔６６に充填した後に（充填工程）、常温で所定時間放置することでハンダを固化させる（固化工程）。このように、凸部６５が金属製のハンダからなる場合には、凸部自体の剛性が高くなるために、外部から多少の衝撃が作用しても変形しにくい。また、その衝撃によって凸部６５が液滴噴射面３ａから脱落するということも生じにくい。従って、噴射口５４ａの周囲領域をより確実に保護できる。
【００８２】
また、特に、前記実施形態のように、充填孔６６の少なくとも一部が形成されるプレート（前記実施形態におけるカバープレート４７とダンパープレート４６）が金属製のプレートである場合には、これらのプレートとハンダとが一体化されるため、固化したハンダからなる凸部６５が、充填孔６６から一層脱落しにくくなる。
【００８３】
（変更形態７）
ノズル５４の噴射口５４ａの周囲領域における撥液膜６４を確実に保護するには、前記実施形態のように、噴射口５４に対して走査方向に近接した位置にのみ凸部６５が設けられているのではなく、それ以外の方向に対して近接した位置にも凸部６５が設けられていることが好ましい。例えば、図１４に示すように、１つのノズル５４の噴射口５４ａの近傍に、この噴射口５４ａを走査方向と紙送り方向の両方から挟みこむように、４つの凸部６５が設けられてもよい。
【００８４】
（変更形態８）
前記実施形態では、一方向に配列されたノズル５４と同数の凸部６５が、ノズル５４と同じ間隔で配列されているが（図４参照）、凸部の数及び配列間隔は適宜変更することができる。例えば、図１５に示すように、隣接する２つのノズル５４に対して、ノズル５４の配列方向に延在する１つの凸部６５Ａが対応して設けられてもよい。
【００８５】
（変更形態９）
図１６に示すように、ノズル５４の配列方向と平行に、複数のノズル５４の噴射口５４ａにわたって凸部６５Ｂが連続して延在していてもよい。但し、この場合には、凸部６５Ｂを形成するための充填材が充填される充填孔６６がスリット状に延在することになり、凸部が離散的に配置された構成と比べて流路ユニット３１の剛性が低くなるため、図示しない別の領域において流路ユニット３１の剛性を高める工夫がなされていることが好ましい。
【００８６】
以上、本発明の実施の形態として、ノズルからインクの液滴を噴射させるインクジェットヘッドに本発明を適用した例を挙げて説明したが、本発明の適用対象は、このようなインクジェットヘッドに限られるものではない。即ち、インク以外の液体、例えば、薬液や化学溶液等の様々な液体をその用途に応じて対象に噴射する、種々の液滴噴射装置に本発明を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本実施形態に係るインクジェットプリンタの概略平面図である。
【図２】インクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図３】インクジェットヘッドの上面の一部拡大図である。
【図４】インクジェットヘッドの下面（液滴噴射面）の一部拡大図である。
【図５】図４のV-V線断面図である。
【図６】（ａ）は、流路ユニットのノズル近傍部における一部拡大断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ矢視図（ダンパープレートの下面図）である。
【図７】インクジェットヘッドの製造工程を示す図であり、（ａ）は流路ユニットと圧電アクチュエータの接着前の状態を示す図、（ｂ）は接着後の状態を示す図である。
【図８】流路ユニット作製工程を示す図であり、（ａ）はプレート接合工程、（ｂ）は撥液膜形成工程、（ｃ）は充填工程及び固化工程をそれぞれ示す。
【図９】変更形態１に係る流路ユニットの、ノズル近傍部における一部拡大断面図である。
【図１０】変更形態２に係る流路ユニットの、ノズル近傍部における一部拡大断面図である。
【図１１】変更形態３に係る流路ユニットの、ノズル近傍部における一部拡大断面図である。
【図１２】変更形態４に係る流路ユニットの、ノズル近傍部における一部拡大断面図である。
【図１３】変更形態５に係る流路ユニットの、ノズル近傍部における一部拡大断面図である。
【図１４】変更形態７に係る流路ユニットの液滴噴射面の一部拡大図である。
【図１５】変更形態８に係る流路ユニットの液滴噴射面の一部拡大図である。
【図１６】変更形態９に係る流路ユニットの液滴噴射面の一部拡大図である。
【符号の説明】
【００８８】
３  インクジェットヘッド
４６  ダンパープレート
４６ａ  逃し溝
４６ｂ  連通溝
４７  カバープレート
４８  ノズルプレート
５４  ノズル
５４ａ  噴射口
６５，６５Ａ，６５Ｂ  凸部
６６  充填孔
６７  充填材
８１  貫通孔（第１貫通孔）
８２，８３  貫通孔（第２貫通孔）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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