(57)【要約】【課題】ワークへのパターンの描画作業において、改行動作を行うための待ち時間の短縮を図り、生産性を向上させる。【解決手段】ワークＷと液滴吐出ヘッド１０iとを対向させ相対的に移動させることによって、前記ワークＷ上に液状体を吐出する液滴吐出方法であって、前記ワークＷを第１方向に沿って移動させながら、前記ワークＷに前記液滴吐出ヘッド１０iから前記液状体を吐出する第１の吐出工程と、前記ワークＷと前記液滴吐出ヘッド１０iとを、前記第１方向と略直交する第２方向に沿ってそれぞれ相反する向きに移動させる移動工程とを有する。【選択図】図１
2009022816.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と液滴吐出ヘッドとを対向させ相対的に移動させることによって、前記基板上に液状体を吐出する液滴吐出方法であって、
前記基板を第１方向に沿って移動させながら、前記基板に前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出する第１の吐出工程と、
前記基板と前記液滴吐出ヘッドとを、前記第１方向と略直交する第２方向に沿ってそれぞれ相反する向きに移動させる移動工程と、を含むことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
前記基板上には、矩形に形成された前記液状体が吐出される複数の被吐出部が設けられ、前記複数の被吐出部は、複数のグループにグループ分けされており、
前記第１の吐出工程は、前記基板を前記第１方向に沿って第１の向きに移動させながら、前記複数のグループの内の１つのグループに属する前記被吐出部に、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出する工程を含み、
前記移動工程の後に、前記基板を、前記第１方向に沿って前記第１の向きとは逆向きである第２の向きに移動させながら、前記１つのグループとは異なるグループに属する前記被吐出部に、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出する第２の吐出工程をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出方法。
【請求項３】
前記基板と前記液滴吐出ヘッドとが前記第２方向に沿って相反する向きに移動する移動量の合計は、前記被吐出部の前記第２方向に沿ったピッチの整数倍であることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出方法。
【請求項４】
前記基板の前記第２方向に沿って移動する移動量と、前記液滴吐出ヘッドの前記第２方向に沿って移動する移動量とを配分するデータテーブルを有し、
前記基板の前記第２方向に沿って移動する移動速度と、前記液滴吐出ヘッドの前記第２方向に沿って移動する移動速度との組合せによって、
前記データテーブルからデータを読み込み、前記基板の前記第２方向に沿って移動する移動量と、前記液滴吐出ヘッドの前記第２方向に沿って移動する移動量との配分を決定することを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出方法。
【請求項５】
前記第１の吐出工程および前記第２の吐出工程は、各工程の終わりに前記基板を停止させるための減速工程を含み、
前記移動工程は、前記減速工程内において開始されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項６】
前記第１の吐出工程および前記第２の吐出工程は、各工程の終わりに前記基板を停止させるための減速工程を含み、
前記移動工程は、前記減速工程内において開始され、終了することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項７】
前記第１の吐出工程および前記第２の吐出工程は、各工程の始めに前記基板を動かすための加速工程を含み、
前記移動工程は、前記加速工程内において終了されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項８】
前記第１の吐出工程および前記第２の吐出工程は、各工程の始めに前記基板を動かすための加速工程と、各工程の終わりに前記基板を停止させるための減速工程とを含み、
前記移動工程は、前記減速工程内において開始され前記加速工程内において終了されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液滴吐出方法。
【請求項９】
基板と液滴吐出ヘッドとを対向させて相対的に移動させながら、前記基板上に液状体を吐出する液滴吐出装置であって、
前記基板を載置するテーブルと、
前記テーブルを第１方向に移動させる第１のテーブル移動部と、
前記テーブルを前記第１方向と略直交する第２方向に移動させる第２のテーブル移動部と、
複数の前記液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジと、
前記キャリッジを前記第２方向に移動させるキャリッジ移動部とを備え、
前記第１のテーブル移動部により前記基板を前記第１方向に沿って移動させ、前記液滴吐出ヘッドから前記基板の第１の被吐出部に前記液状体を吐出して、
前記基板と前記液滴吐出ヘッドとを、前記第１方向と略直交する前記第２方向に沿ってそれぞれ相反する向きに移動させ改行を行うことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板と液滴吐出ヘッドとを対向させて、基板上に液状体を吐出する液滴吐出方法および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置等のカラーフィルタ、配向膜等の成膜などの分野に液滴吐出装置が利用されている。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。液滴吐出装置では、これらのノズルから液状体を液滴として吐出することにより、基板等からなるワーク上に液状体からなるパターンの描画を行う。
【０００３】
近年、表示装置は大型化が進んでおり、それに伴い表示装置に用いられるワークも大型化が進んでいる。そのため、ワークに対して効率よくパターンの描画を行うことが重要になってきている。ワークに液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出してパターンの描画を行う液滴吐出装置として、複数の液滴吐出ヘッドが搭載された複数のキャリッジを位置決めして、ワークを第１方向および第１方向と略直交する第２方向に移動させてパターンの描画を行う液滴吐出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１８７７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述の液滴吐出装置は、ワークを第１方向に往復移動させながら液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画し、往復移動の間にワークを第２方向に移動させることにより改行動作を行っている。その結果、ワークへのパターンの描画作業において、改行動作を行うための待ち時間が生じてしまう。そのため、ワークへのパターンの描画時間が長くなってしまい、生産性を向上させることが困難であるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
（適用例１）基板と液滴吐出ヘッドとを対向させ相対的に移動させることによって、前記基板上に液状体を吐出する液滴吐出方法であって、前記基板を第１方向に沿って移動させながら、前記基板に前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出する第１の吐出工程と、前記基板と前記液滴吐出ヘッドとを、前記第１方向と略直交する第２方向に沿ってそれぞれ相反する向きに移動させる移動工程と、を含むことを特徴とする液滴吐出方法。
【０００８】
この構成によれば、改行動作において、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出しながら基板を移動させる描画方向である第１方向と略直交する改行方向である第２方向に沿って、基板と液滴吐出ヘッドとを、それぞれ相反する向きに移動させることにより、改行を行うことができる。すなわち、基板と液滴吐出ヘッドとを同時に相反する方向に移動させることにより、改行時間の短縮を図ることができる。その結果、生産性を向上させやすくすることができる。
【０００９】
（適用例２）前記基板上には、矩形に形成された前記液状体が吐出される複数の被吐出部が設けられ、前記複数の被吐出部は、複数のグループにグループ分けされており、前記第１の吐出工程は、前記基板を前記第１方向に沿って第１の向きに移動させながら、前記複数のグループの内の１つのグループに属する前記被吐出部に、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出する工程を含み、前記移動工程の後に、前記基板を、前記第１方向に沿って前記第１の向きとは逆向きである第２の向きに移動させながら、前記１つのグループとは異なるグループに属する前記被吐出部に、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出する第２の吐出工程をさらに含むことを特徴とする上記液滴吐出方法。
【００１０】
この構成によれば、複数のグループにグループ分けされた被吐出部ごとに液状体を吐出する場合においても、基板と液滴吐出ヘッドとを、改行方向である第２方向に沿って相反する向きに移動させ、改行することができる。そのため、改行時間の短縮を図ることができる。その結果、生産性を向上させやすくすることができる。
【００１１】
（適用例３）前記基板と前記液滴吐出ヘッドとが前記第２方向に沿って相反する向きに移動する移動量の合計は、前記被吐出部の前記第２方向に沿ったピッチの整数倍であることを特徴とする上記液滴吐出方法。
【００１２】
この構成によれば、改行動作において基板に形成された被吐出部と液滴吐出ヘッドとの位置合わせを行いやすくなる。その結果、生産性を向上させやすくすることができる。
【００１３】
（適用例４）前記基板の前記第２方向に沿って移動する移動量と、前記液滴吐出ヘッドの前記第２方向に沿って移動する移動量とを配分するデータテーブルを有し、前記基板の前記第２方向に沿って移動する移動速度と、前記液滴吐出ヘッドの前記第２方向に沿って移動する移動速度との組合せによって、前記データテーブルからデータを読み込み、前記基板の前記第２方向に沿って移動する移動量と、前記液滴吐出ヘッドの前記第２方向に沿って移動する移動量との配分を決定することを特徴とする上記液滴吐出方法。
【００１４】
この構成によれば、基板の改行方向である第２方向への移動速度と、液滴吐出ヘッドの第２方向への移動速度とによって、基板の第２方向への移動量と、液滴吐出ヘッドの第２方向への移動量との配分を決定することができる。そのため、基板の移動速度と液滴吐出ヘッドの移動速度とを比較し、改行動作時間をより短くすることが可能な基板と液滴吐出ヘッドとの移動量の配分を選択することができる。その結果、改行時間の短縮を図ることができ、生産性を向上させやすくすることができる。
【００１５】
（適用例５）前記第１の吐出工程および前記第２の吐出工程は、各工程の終わりに前記基板を停止させるための減速工程を含み、前記移動工程は、前記減速工程内において開始されることを特徴とする上記液滴吐出方法。
【００１６】
（適用例６）前記第１の吐出工程および前記第２の吐出工程は、各工程の終わりに前記基板を停止させるための減速工程を含み、前記移動工程は、前記減速工程内において開始され、終了することを特徴とする上記液滴吐出方法。
【００１７】
（適用例７）前記第１の吐出工程および前記第２の吐出工程は、各工程の始めに前記基板を動かすための加速工程を含み、前記移動工程は、前記加速工程内において終了されることを特徴とする上記液滴吐出方法。
【００１８】
（適用例８）前記第１の吐出工程および前記第２の吐出工程は、各工程の始めに前記基板を動かすための加速工程と、各工程の終わりに前記基板を停止させるための減速工程とを含み、前記移動工程は、前記減速工程内において開始され前記加速工程内において終了されることを特徴とする上記液滴吐出方法。
【００１９】
これらの構成によれば、第１の吐出工程および第２の吐出工程における基板の第１方向への移動の加減速工程において、基板および液滴吐出ヘッドを第２方向に移動させる改行動作を開始もしくは終了させることができる。液滴吐出ヘッドからの液滴吐出は、基板の第１方向への等速移動の間に行われるため、基板の吐出作業の精度に影響を与えることを低減できるとともに、改行待ち時間をさらに短縮させやすくすることができる。
【００２０】
（適用例９）基板と液滴吐出ヘッドとを対向させて相対的に移動させながら、前記基板上に液状体を吐出する液滴吐出装置であって、前記基板を載置するテーブルと、前記テーブルを第１方向に移動させる第１のテーブル移動部と、前記テーブルを前記第１方向と略直交する第２方向に移動させる第２のテーブル移動部と、複数の前記液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジと、前記キャリッジを前記第２方向に移動させるキャリッジ移動部とを備え、前記第１のテーブル移動部により前記基板を前記第１方向に沿って移動させ、前記液滴吐出ヘッドから前記基板の第１の被吐出部に前記液状体を吐出して、前記基板と前記液滴吐出ヘッドとを、前記第１方向と略直交する前記第２方向に沿ってそれぞれ相反する向きに移動させ改行を行うことを特徴とする液滴吐出装置。
【００２１】
この構成によれば、改行動作において、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出しながら基板を移動させる描画方向である第１方向と略直交する改行方向である第２方向に沿って、基板と液滴吐出ヘッドとを、それぞれ相反する向きに移動させることにより、改行を行うことができる。すなわち、基板と液滴吐出ヘッドとを同時に相反する方向に移動させることにより、改行時間の短縮を図ることができる。その結果、生産性を向上させやすくすることができる液滴吐出装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、実施形態を図面に基づいて説明する。以下の説明で参照する図では、説明および図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００２３】
（第１実施形態）
（液状体吐出装置の全体構成について）
まず、第１実施形態における液滴吐出装置を、図１を参照して説明する。図１は液滴吐出装置の構成を示す図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は正面図、図１（ｃ）は側面図である。
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、キャリッジ１０２と、キャリッジ搬送機構１０４と、テーブル１０６と、第１のテーブル搬送機構１０８と、第２のテーブル搬送機構１１０と、制御部１１２と、基台１１４とを備えている。
【００２４】
この液滴吐出装置１００は、キャリッジ１０２と、テーブル１０６との相対位置を変化させつつ、キャリッジ１０２に搭載された複数の液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出して、テーブル１０６に搭載されたワークＷに液状体で所望のパターンを形成するものである。なお、図中の第１方向としてのＹ方向はテーブル１０６の主走査方向を示し、第２方向としてのＸ方向はキャリッジ１０２の移動方向およびテーブル１０６の副走査方向を示し、Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。
【００２５】
このような液滴吐出装置１００は、例えば、各種の表示装置のカラー表示を可能にするカラーフィルタの製造に適用され得る。例えば、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造する場合は、液滴吐出装置１００の各々の液滴吐出ヘッドから、赤、緑および青の３色の液状体のいずれかをワークＷに液滴として吐出して、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントのパターンを描画する。
【００２６】
ここで、液滴吐出装置１００の各構成について説明する。
基台１１４は、例えば、平板状の石材などの熱膨張係数が小さい材料から形成されており、Ｙ方向に一定の幅を有し、Ｘ方向に沿って延びるように４本の脚部１１６に支持されている。また、基台１１４のＺ方向の下部には、制御部１１２が設けられている。
【００２７】
第１のテーブル搬送機構１０８は、ベース１１８と、２つのリニアモータ１２０とを有している。ベース１１８は、平板状に形成され、基台１１４のＺ方向上面に固定されている。ベース１１８のＺ方向上面には、２つのリニアモータ１２０がＹ方向に沿って平行に配置されている。
【００２８】
第２のテーブル搬送機構１１０は、スライド部材１２２と、２つのリニアモータ１２４とを有している。スライド部材１２２は、平板状に形成され、ベース１１８に配置された２つのリニアモータ１２０の上方に配設されている。スライド部材１２２のＺ方向上面には、２つのリニアモータ１２４がＸ方向に沿って平行に配置されている。
【００２９】
テーブル１０６は、平板状の部材であり、Ｚ方向上面にワークＷを着脱可能に保持する載置面１０６Ａを有している。テーブル１０６は、スライド部材１２２に配置された２つのリニアモータ１２４の上方に配設されている。
【００３０】
リニアモータ１２０は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子はベース１１８に、可動子はスライド部材１２２に設けられている。第１のテーブル搬送機構１０８は、制御部１１２からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル１０６を第１方向であるＹ方向に往復移動させることができる。
【００３１】
リニアモータ１２４は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子はスライド部材１２２に、可動子はテーブル１０６に設けられている。第２のテーブル搬送機構１１０は、制御部１１２からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、テーブル１０６を第２方向であるＸ方向に往復移動させることができる。
【００３２】
図１に示すように、キャリッジ搬送機構１０４は、２つのリニアモータ１２６と、４本の支柱１２８とを備えている。リニアモータ１２６のそれぞれは、第２のテーブル搬送機構１１０に配置されたテーブル１０６に対してＺ方向に空間を有する状態でＸ方向に延びるように、２本の支柱１２８に支持され互いに平行に配設されている。
【００３３】
キャリッジ１０２は、複数の液滴吐出ヘッド１０が搭載されており、液滴吐出ヘッド１０側がＺ方向下方、すなわち、テーブル１０６に載置されたワークＷの上面に対向するように、２つのリニアモータ１２６のＺ方向上方に配設されている。リニアモータ１２６は、図示しない固定子と可動子を有しており、固定子は支柱１２８に支持され、可動子はキャリッジ１０２に設けられている。キャリッジ搬送機構１０４は、制御部１１２からの指令に基づいて可動子のコイルが通電されることにより、キャリッジ１０２を第２方向であるＸ方向に往復移動させることができる。
【００３４】
（液滴吐出ヘッドの構成について）
次に、液滴吐出ヘッドについて、図２を参照して説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの全体構成を示す図である。図２に示すように、液滴吐出ヘッド１０は、液状体導入部１２と、ヘッド基板１４と、ヘッド本体１６と、コネクタ２０とを備えている。
【００３５】
液状体導入部１２は、方形に形成され、２連の接続針２２を有し、ヘッド基板１４の一面に設けられている。ヘッド基板１４は、長手方向の長さが液状体導入部１２の長手方向の長さより長い長方形の板状に形成され、液状体導入部１２が設けられている面に、さらに２個のコネクタ２０が設けられている。ヘッド本体１６は、方形に形成され、液状体導入部１２が設けられている面とは反対側のヘッド基板１４の面に、液状体導入部１２と対峙するように設けられている。
【００３６】
ヘッド本体１６は、液状体導入部１２に連なるポンプ部１７と、ポンプ部１７に連なるノズルプレート１８と、を有している。ノズルプレート１８のノズル面１８ａには、複数のノズル１９が形成されている。複数のノズル１９は、ノズル面１８ａに所定のピッチ間隔を有して互いに平行な２本のノズル列を形成している。
【００３７】
ポンプ部１７には、圧電素子が設けられており、当該圧電素子を駆動することによって、液状体導入部１２から供給されてきた液状体をノズル１９から液滴として吐出する。１つのノズル１９に対応して１つの圧電素子が設けられており、それぞれのノズル１９ごとに独立して液滴を吐出することができる。
【００３８】
（キャリッジの構成について）
キャリッジ１０２を、図３を参照して説明する。図３はキャリッジの下面から見た図である。図３中のＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一の方向を示す。
キャリッジ１０２は、１２個の液滴吐出ヘッド１０i（ｉは、１〜１２の整数）と、液状体貯留部２４と、電装ユニット２６とを有している。図１（ａ）に示すように、液状体貯留部２４と電装ユニット２６とは、キャリッジ１０２のＺ方向上面側に搭載されている。キャリッジ１０２のＺ方向下面には１２個の液滴吐出ヘッド１０iが設けられている。
【００３９】
液状体貯留部２４は、液滴吐出ヘッド１０iに供給される液状体を貯留している。電装ユニット２６は、制御部１１２の指令により液滴吐出ヘッド１０iの圧電素子に電圧を供給して、圧電素子を駆動する。
【００４０】
図３に示すように、１２個の液滴吐出ヘッド１０iは、４個ずつに三分され、Ｙ方向に所定の間隔をあけてヘッド列１５ａ，１５ｂ，１５ｃを形成している。ヘッド列１５ａは、液滴吐出ヘッド１０1，１０4，１０7，１０10からなり、Ｘ方向に沿って延びるように構成されている。ヘッド列１５ｂは、液滴吐出ヘッド１０2，１０5，１０8，１０11からなり、Ｘ方向に沿って延びるように構成されている。ヘッド列１５ｃは、液滴吐出ヘッド１０3，１０6，１０9，１０12からなり、Ｘ方向に沿って延びるように構成されている。
このとき、隣り合う液滴吐出ヘッド１０iのＸ方向のピッチＲはノズルプレート１８のＸ方向の長さとほぼ同じになっている。そのため、図３中のＹ方向から見たとき、１２個の液滴吐出ヘッド１０iのノズル１９は重ならないように配置されている。
【００４１】
上記構成を有する液滴吐出装置１００は、キャリッジ１０２と、テーブル１０６との相対位置を変化させつつ、キャリッジ１０２に搭載された複数の液滴吐出ヘッド１０iから液状体を液滴として吐出して、テーブル１０６に搭載されたワークＷに所望のパターンを形成する。そして、吐出された液状体を乾燥等により固化して、パターン化された様々な機能性膜を形成することができる。
【００４２】
（液滴吐出方法について）
上記の構成を有する液滴吐出装置１００における液滴吐出方法を、図４から図８を参照して説明する。図４は、液滴吐出方法の流れを示す図であり、図５はワークＷと液滴吐出ヘッドの関係を示す図である。図６は第１の塗布工程の終了状態を示す図、図７は第２の塗布工程の終了状態を示す図、図８は第３の塗布工程の終了状態を示す図である。
【００４３】
なお、以下の説明は、液滴吐出装置１００を用いて、赤、緑および青の３色のカラーフィルタを製造する場合を例にとり説明する。また、以降の動作は、液滴吐出装置１００の制御部１１２からの指令に基づいて行われる。
【００４４】
前述のキャリッジ１０２に搭載された液状体貯留部２４は、赤、緑および青の３色カラーフィルタのフィルタエレメントを製造する赤、緑および青の３色の液状体を貯留している。そして、キャリッジ１０２に搭載されたヘッド列１５ａに属する液滴吐出ヘッド１０1，１０4，１０7，１０10は、赤の液状体が供給され赤の液状体を吐出することができる。ヘッド列１５ｂに属する液滴吐出ヘッド１０2，１０5，１０8，１０11は、緑の液状体が供給され緑の液状体を吐出することができる。ヘッド列１５ｃに属する液滴吐出ヘッド１０3，１０6，１０9，１０12は、青の液状体が供給され青の液状体を吐出することができる。
【００４５】
図４に示すステップＳ１の基板セット工程において、ワークＷを液滴吐出装置１００のテーブル１０６にセットする。
図５に示すように、ワークＷは、表示装置のカラー表示を可能にするカラーフィルタ用の基板であり、矩形に形成された複数の被吐出部Ｂjkがマトリックス状に形成されている。なお、被吐出部ＢjkのｊはＸ方向の列番を示す１以上の整数であり、ｋはＹ方向の行番を示す１以上の整数である。本実施形態においては、ｊは９までの整数を採用しているがこれに限定されない。
被吐出部Ｂjkは、例えば、バンク３０によってＸ方向に長さＬ、Ｙ方向に長さＭの矩形に区切られ、隣り合う被吐出部ＢjkとのピッチはＸ方向にＰ、Ｙ方向にＱになるように形成されている。
【００４６】
ここで、キャリッジ１０２に配置された液滴吐出ヘッド１０iと、ワークＷの被吐出部Ｂjkの位置合わせを行う。具体的には、第１のテーブル搬送機構１０８によりＹ方向にテーブル１０６を移動させたとき、キャリッジ１０２に搭載された液滴吐出ヘッド１０4が、テーブル１０６に搭載されたワークＷの被吐出部Ｂ1kの列に対応するように、キャリッジ搬送機構１０４によりキャリッジ１０２をＸ方向に移動させて位置決めを行う。
【００４７】
このとき、各被吐出部ＢjkのＸ方向のピッチＰと複数の液滴吐出ヘッド１０iのＸ方向のピッチＲとをほぼ同一にすることが好ましい。このような構成にすることにより、被吐出部Ｂ1kの列とキャリッジ１０２に搭載された液滴吐出ヘッド１０4との位置合わせを行うだけで、液滴吐出ヘッド１０5〜１０12と被吐出部Ｂ2k〜Ｂ9k列までの位置合わせを行うことができる。
【００４８】
ステップＳ２において、第１吐出工程としての第１塗布工程を実施する。
第１のテーブル搬送機構１０８により、テーブル１０６に搭載されたワークＷを図６中Ｙ方向の第１の向きである（＋）方向に移動させながら、各液滴吐出ヘッド１０iから赤、緑および青のいずれかの液状体を、Ｙ方向２つおきに位置する吐出対象の被吐出部Ｂjkに吐出する。その結果、図６に示すように、Ｘ方向、Ｙ方向とも２つおきに位置する被吐出部Ｂjkに所定の液状体が塗布される。本工程を実施することにより、第１グループとしての全被吐出部Ｂjkの３分の１の被吐出部Ｂjkの集合に、液状体が塗布される。
【００４９】
なお、図６中、液滴吐出ヘッド１０4，１０7，１０10により、赤の液状体が塗布された被吐出部Ｂjkは網掛けで示し、液滴吐出ヘッド１０5，１０8，１０11により、緑の液状体が塗布された被吐出部Ｂjkは右上がりの斜線で示し、液滴吐出ヘッド１０6，１０9，１０12により、青の液状体が塗布された被吐出部Ｂjkは右下がりの斜線で示している。また、以降の図７および図８においても同様である。
【００５０】
ステップＳ３において、改行工程としての第１改行工程を実施する。
第２のテーブル搬送機構１１０とキャリッジ搬送機構１０４とを同時に動作させ、第２のテーブル搬送機構１１０によりテーブル１０６に搭載されたワークＷを図５中Ｘ方向（−）側に移動させ、キャリッジ搬送機構１０４によりキャリッジ１０２をＸ方向（＋）側に移動させる。このとき、ワークＷとキャリッジ１０２との移動量の合計が、各被吐出部ＢjkのＸ方向のピッチＰとほぼ等しくなるように、ワークＷとキャリッジ１０２とを移動させる。上述のように移動させると、図７に示すように、被吐出部Ｂ1kの列にキャリッジ１０２に搭載された液滴吐出ヘッド１０3が対応する。
【００５１】
ステップＳ４において、第２吐出工程としての第２塗布工程を実施する。
第１のテーブル搬送機構１０８により、テーブル１０６に搭載されたワークＷを図６中Ｙ方向の第２の向きである（−）方向に移動させながら、各液滴吐出ヘッド１０iから、第１塗布工程で液状体が吐出されていない吐出対象の被吐出部Ｂjkに、Ｙ方向２つおきに赤、緑および青のいずれかの液状体を吐出する。その結果、図７に示すように、Ｘ方向、Ｙ方向とも２つおきに位置する被吐出部Ｂjkに所定の液状体が塗布される。第２塗布工程を実施することにより、第２グループとしての全被吐出部Ｂjkの３分の１の被吐出部Ｂjkの集合に、液状体が塗布される。その結果、ワークＷの全被吐出部Ｂjkのうち３分の２の被吐出部Ｂjkに液状体が塗布される。
【００５２】
ステップＳ５において、改行工程としての第２改行工程を実施する。
第２のテーブル搬送機構１１０とキャリッジ搬送機構１０４とを同時に動作させ、第２のテーブル搬送機構１１０により、テーブル１０６に搭載されたワークＷを図７中Ｘ方向の（−）方向に移動させ、キャリッジ搬送機構１０４によりキャリッジ１０２をＸ方向の（＋）方向に移動させる。このとき、ワークＷとキャリッジ１０２との移動量の合計が、各被吐出部ＢjkのＸ方向のピッチＰとほぼ等しくなるように、ワークＷとキャリッジ１０２とを移動させる。上述のように移動させると、図８に示すように、被吐出部Ｂ1kの列にキャリッジ１０２に搭載された液滴吐出ヘッド１０2が対応する。
【００５３】
ステップＳ６において、第１吐出工程としての第３塗布工程を実施する。
第１のテーブル搬送機構１０８によりテーブル１０６に搭載されたワークＷを図６中Ｙ方向の第１の向きである（＋）方向に移動させながら、各液滴吐出ヘッド１０iから、第１塗布工程および第２塗布工程で液状体が吐出されていない吐出対象の被吐出部Ｂjkに、Ｙ方向２つおきに赤、緑および青のいずれかの液状体を吐出する。その結果、図８に示すように、Ｘ方向、Ｙ方向とも２つおきに位置する被吐出部Ｂjkに所定の液状体が塗布される。第３塗布工程を実施することにより、第３グループとしての全被吐出部Ｂjkの３分の１の被吐出部Ｂjkの集合に液状体が塗布される。その結果、ワークＷの全被吐出部Ｂjkに液状体が塗布され、液滴吐出装置１００における液状体塗布工程が終了する。
【００５４】
なお、本実施形態においては、ステップＳ２の第１塗布工程で塗布された第１グループの被吐出部Ｂjkの集合と、ステップＳ４の第２塗布工程で塗布された第２グループの被吐出部Ｂjkの集合と、ステップＳ６の第３塗布工程で塗布された第３グループの被吐出部Ｂjkの集合とが、グループ分けされたそれぞれのグループに対応する。
【００５５】
（ワークの移動量とキャリッジの移動量との配分について）
次に、改行動作である、第２方向に移動するワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量との配分について、図９を参照して説明する。図９は、ワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量との配分を決定するためのデータテーブルを示す図である。
【００５６】
液滴吐出装置１００の制御部１１２には、ワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量とを配分するデータが格納されたデータテーブルを有している。図９に示すように、ワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量との配分は、例えば、改行方向であるＸ方向（第２方向）に移動するテーブル移動速度Ｖｔn（ｎは１以上の整数）と、同じく第２方向に移動するキャリッジ移動速度Ｖｃu（ｕは１以上の整数）とによって１０％刻みに配分されている。
【００５７】
ワークＷが載置されるテーブル１０６は、ワークＷが大型化するに従って大型化し重量が重くなる。そのため、一定の速度に到達するまでの加速時間および停止させるための減速時間が長く必要になる傾向にある。
また、キャリッジ１０２には、液状体貯留部２４および液滴吐出ヘッド１０iが搭載されている。そのため、キャリッジ１０２を移動させるときは、キャリッジ１０２の移動時の振動や衝撃が、液状体貯留部２４の液状体供給状態および液滴吐出ヘッド１０iの液滴吐出特性に影響を与える可能性がある。
【００５８】
そのため、ワークＷの仕様および製造するカラーフィルタの要求仕様等に基づいて、Ｘ方向に移動するテーブル移動速度Ｖｔnとキャリッジ移動速度Ｖｃuとの最適な組合せが選択される。このテーブル移動速度Ｖｔnとキャリッジ移動速度Ｖｃuとは、液滴吐出装置１００の制御部１１２により制御される。
すなわち、液滴吐出装置１００は、ワークＷの大きさ、第２のテーブル搬送機構１１０を含めた重量、液滴の打ち込み密度等の組合せにより、最適なテーブル移動速度Ｖｔnを選択しワークＷを移動させる。また、液滴吐出装置１００は、キャリッジ１０２の移動時の振動や衝撃が、液滴吐出ヘッド１０iの液滴吐出特性に影響を極力与えない最適なキャリッジ移動速度Ｖｃuを選択しキャリッジ１０２を移動させる。
【００５９】
制御部１１２は、このＸ方向へのテーブル移動速度Ｖｔnとキャリッジ移動速度Ｖｃuとを認識し、データテーブルからテーブル移動速度Ｖｔnとキャリッジ移動速度Ｖｃuとの組合せに対応するワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量との配分比を読み出す。
例えば、テーブル移動速度ＶｔnがＶｔ8でありキャリッジ移動速度ＶｃuがＶｃ8である場合は、図９に示すデータテーブルからワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量との配分比７：３が読み出される。
【００６０】
そして、第２のテーブル搬送機構１１０によりテーブル１０６に搭載されたワークＷを、ワークＷとキャリッジ１０２との全移動量の３／１０の移動量だけＸ方向の（−）方向に移動させ、キャリッジ搬送機構１０４によりキャリッジ１０２を、ワークＷとキャリッジ１０２との全移動量の７／１０の移動量だけＸ方向の（＋）方向に移動させる。
【００６１】
このようにして、テーブル移動速度Ｖｔnとキャリッジ移動速度Ｖｃuとの組合せにより、改行動作である、Ｘ方向に移動するワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量との配分が決定される。
【００６２】
なお、本実施形態では、Ｘ方向へ移動するテーブル移動速度Ｖｔnとキャリッジ移動速度Ｖｃuとの組合せにより、改行動作のワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量との配分が決定される場合を例にとり説明したが、これに限定されない。Ｙ方向に移動するテーブルの移動速度をテーブル移動速度Ｖｇn（ｎは１以上の整数）とし、テーブル移動速度Ｖｇnとテーブル移動速度Ｖｔnとキャリッジ移動速度Ｖｃuとの３つの組合せから、改行動作のワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量との配分を決定しても良い。また、ワークＷの大きさ、重量および液滴の打ち込み密度等ワークＷの仕様や製造するカラーフィルタの要求仕様等に基づいて、改行動作のワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量との配分を決定しても良い。
【００６３】
また、液滴吐出装置１００に液滴吐出ヘッド１０iから吐出された液滴の着弾位置等を検出する検出部を設け、当該検出部で検出された着弾位置データに基づいて、改行動作のワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量との配分を決定しても良い。パラメータとして様々な応用例が考えられる。
【００６４】
以下、本第１実施形態の効果を記載する。
（１）前述の液滴吐出装置１００を用いた液滴吐出方法によれば、各塗布工程の間の改行工程において、テーブル１０６に載置されたワークＷを、第２のテーブル搬送機構１１０により、改行方向であるＸ方向の（−）方向に移動させ、同時にキャリッジ１０２に搭載された液滴吐出ヘッド１０iをキャリッジ搬送機構１０４により、改行方向であるＸ方向の（＋）方向に移動させることによって改行を行うことができる。そのため、ワークＷのみを改行方向に移動させ改行を行う従来の液滴吐出方法に比較して、改行時間を短縮することが可能になる。その結果、生産性を向上させやすくすることができる。
【００６５】
（２）この液滴吐出方法によれば、改行のためのワークＷとキャリッジ１０２との移動量の合計が、ワークＷに形成された被吐出部ＢjkのピッチＰとほぼ等しくなっている。
そのため、被吐出部Ｂjkとキャリッジ１０２に搭載された液滴吐出ヘッド１０iとの位置合わせを容易に行うことができる。
【００６６】
（３）この液滴吐出方法によれば、採用されたテーブル移動速度Ｖｔnとキャリッジ移動速度Ｖｃuとの組合せにより、データテーブルに基づいて、第２方向に移動するワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量との配分が決定される。テーブル移動速度Ｖｔnとキャリッジ移動速度Ｖｃuとは、ワークＷの重量、サイズ等の仕様、および製造されるカラーフィルタの要求仕様を満足するための液滴吐出ヘッド１０の吐出特性の確保条件等に基づいて、それぞれ最適な速度が選択される。そのため、液滴吐出ヘッド１０iの液滴吐出特性に影響を極力与えない範囲で、ワークＷの移動量とキャリッジ１０２の移動量との配分が決定され、より短い改行時間を実現できる。本効果は、改行のための移動量が大きければ大きいほど顕著な効果が期待できる。
【００６７】
（４）この液滴吐出方法によれば、各塗布工程の間の改行工程において、ワークＷを改行方向であるＸ方向の（−）方向に移動させ、キャリッジ１０２を改行方向であるＸ方向の（＋）方向に移動させることによって改行を行うことができる。そのため、ワークＷのみを改行方向に移動させ改行を行う従来の液滴吐出方法に比較して、大型のワークＷを搭載したテーブル１０６の移動範囲を低減することができる。その結果、液滴吐出装置１００のＸ方向のサイズを小さくすることが可能になり、装置が大型化するのを防止できる。
【００６８】
（５）この液滴吐出方法によれば、各塗布工程の間の改行工程において、キャリッジ１０２に搭載された複数の液滴吐出ヘッド１０iと電装ユニット２６とを改行方向であるＸ方向に移動させる。そのため、複数の液滴吐出ヘッド１０iとおよび電装ユニット２６内部の駆動用基板から発生する熱を冷却することができ、液滴吐出ヘッド１０iおよび電装ユニット２６の温度上昇を防止することができる。その結果、温度上昇による液滴吐出ヘッド１０iの吐出ばらつきを低減させやすくすることができる。
【００６９】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態を図１０を参照して説明する。図１０は、第２実施形態にかかる液滴吐出方法の改行動作を説明する図である。なお、この第２実施形態においては、前記第１実施形態と同じ構成部材および同じ工程についてはその符号を等しくし、その詳細な説明を省略する。
【００７０】
第２実施形態にかかる液滴吐出方法は、いわゆる複数塗布であって、第１実施形態における各々の塗布工程において赤、緑もしくは青の液状体が塗布された被吐出部Ｂjkに対して、１回目の塗布に使用された液滴吐出ヘッド１０iとは異なる液滴吐出ヘッド１０iを配して、同一色の液状体を再度塗布する方法である。
【００７１】
第１実施形態における第１塗布工程（ステップＳ２）が終了した状態を示す図６に対して、第３の改行工程を実施する。第３の改行工程は、第２のテーブル搬送機構１１０とキャリッジ搬送機構１０４とを同時に動作させ、第２のテーブル搬送機構１１０によりテーブル１０６に搭載されたワークＷを図５中Ｘ方向（−）側に移動させ、キャリッジ搬送機構１０４によりキャリッジ１０２をＸ方向（＋）側に移動させる。このとき、ワークＷとキャリッジ１０２との移動量の合計が、各被吐出部ＢjkのＸ方向のピッチＰの３倍となるように、ワークＷとキャリッジ１０２とを移動させる。上述のように移動させると、図１０に示すように、被吐出部Ｂ1kの列にキャリッジ１０２に搭載された液滴吐出ヘッド１０1が対応する。
【００７２】
次いで、第１のテーブル搬送機構１０８によりテーブル１０６に搭載されたワークＷを図６中Ｙ方向の第２の向きである（−）方向に移動させながら、各液滴吐出ヘッド１０iから、第１塗布工程で液状体が吐出された被吐出部Ｂjkに、同一色の液状体を再度吐出する。このようにすることにより、被吐出部Ｂjkの２度塗りが実施される。
【００７３】
なお、３度塗りを実施する場合は、第２のテーブル搬送機構１１０とキャリッジ搬送機構１０４とを同時に動作させ、第２のテーブル搬送機構１１０によりテーブル１０６に搭載されたワークＷを図５中Ｘ方向の（＋）側に移動させ、キャリッジ搬送機構１０４によりキャリッジ１０２をＸ方向の（−）側に移動させる。このとき、ワークＷとキャリッジ１０２との移動量の合計が、各被吐出部ＢjkのＸ方向のピッチＰの６倍となるように、ワークＷとキャリッジ１０２とを移動させる。上述のように移動させると、被吐出部Ｂ1kの列にキャリッジ１０２に搭載された液滴吐出ヘッド１０7が対応する。
【００７４】
以下、第２実施形態の効果を記載する。
（１）この液滴吐出方法によれば、ワークＷとキャリッジ１０２とが改行方向であるＸ方向の相反する向きに移動する移動量の合計として、被吐出部ＢjkのＸ方向のピッチＰの３倍もしくは６倍移動させることにより、同一な被吐出部Ｂ1kに同一種の液状体を複数回塗布することができる。そのため、例え液滴吐出ヘッド１０iに吐出性能のばらつきがあったとしても、異なった吐出ヘッドで複数回塗布することにより、ばらつきが分散され、均一な塗膜を形成することができる。
なお、移動量の合計は、液滴吐出ヘッド１０iのピッチＲと被吐出部ＢjkとのピッチＰとの関係、または、塗布回数により、任意に変更可能である。
【００７５】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態を、図１１および前述の図４を参照して説明する。図１１は、第３実施形態にかかる改行動作を説明する図であり、液滴吐出装置１００のカラーフィルタ製造工程において、ワークＷが載置されたテーブル１０６がＸ方向およびＹ方向に移動する速度変化とキャリッジ１０２がＸ方向に移動する速度変化を示している。なお、この第３実施形態においては、前記第１実施形態もしくは第２実施形態と同じ構成部材および同じ工程についてはその符号を等しくし、その詳細な説明を省略する。
【００７６】
図１１中、横軸は時間ｔを縦軸は速度ｖを表しており、実線はテーブル１０６のＹ方向への移動速度Ｖｇを、破線はテーブル１０６のＸ方向への移動速度Ｖｔを、一点鎖線はキャリッジ１０２のＸ方向への移動速度Ｖｃを表している。
図１１に示す原点（０，０）は、図４に示すステップＳ１での液滴吐出ヘッド１０iとワークＷの被吐出部Ｂjkの位置合わせ状態を示す。また、図１１に示す時間ｔS2はステップＳ２の所要時間を、時間ｔS3はステップＳ３の所要時間を、時間ｔS4はステップＳ４の所要時間を、時間ｔS5はステップＳ５の所要時間を、時間ｔS6はステップＳ６の所要時間を表している。
【００７７】
まず、テーブル１０６のＹ方向への動作について説明する。
テーブル１０６は、ステップＳ２の第１塗布工程において、停止位置であるステップＳ１の位置から、第１のテーブル搬送機構１０８によりＹ方向の（＋）方向に移動し、液滴の塗布終了後に停止する。すなわち、テーブル１０６の移動速度Ｖｇは、図１１に示すように、加速区間ｔａで加速され速度を増し、速度ＶＧに達し、等速区間ｔｂで速度ＶＧを保ち、その後減速区間ｔｃで減速され停止する。液滴吐出ヘッド１０iからの液状体の吐出はこの等速区間ｔｂで行われる。
【００７８】
次いで、第１の改行工程であるステップＳ３が実施され、ステップＳ４の第２塗布工程に移る。ステップＳ３の第１の改行工程については後述する。
【００７９】
ステップＳ４の第２塗布工程において、テーブル１０６は、ステップＳ２での停止位置から、第１のテーブル搬送機構１０８によりＹ方向の（−）方向に移動し、液滴の塗布終了後に停止する。すなわち、テーブル１０６の移動速度Ｖｇは、図１１に示すように、加速区間ｔａで加速され速度を増し、速度ＶＧに達し、等速区間ｔｂで速度ＶＧを保ち、その後減速区間ｔｃで減速され停止する。液滴吐出ヘッド１０iからの液状体の吐出はこの等速区間ｔｂで行われる。
【００８０】
次いで、第２の改行工程であるステップＳ５が実施され、ステップＳ６の第３塗布工程に移る。ステップＳ５の第２の改行工程については後述する。
【００８１】
ステップＳ６の第３塗布工程において、テーブル１０６は、ステップＳ４での停止位置から、第１のテーブル搬送機構１０８によりＹ方向の（＋）方向に移動し、液滴の塗布終了後に停止する。すなわち、テーブル１０６の移動速度Ｖｇは、図１１に示すように、加速区間ｔａで加速され速度を増し、速度ＶＧに達し、等速区間ｔｂで速度ＶＧを保ち、その後減速区間ｔｃで減速され停止する。液滴吐出ヘッド１０iからの液状体の吐出はこの等速区間ｔｂで行われる。
【００８２】
ここで、改行動作であるテーブル１０６のＸ方向への動作およびキャリッジ１０２のＸ方向への動作について説明する。
ステップＳ３の第１の改行工程において、テーブル１０６は、停止位置であるステップＳ１の位置から、第２のテーブル搬送機構１１０によりＸ方向の（−）方向に移動し、キャリッジ１０２は、キャリッジ搬送機構１０４によりＸ方向の（＋）方向に移動する。
【００８３】
図１１に示すように、テーブル１０６は、ステップＳ２の減速区間ｔｃの区間内で移動を開始し、所定の移動量を移動した後、ステップＳ４の加速区間ｔａの区間内に移動を終了する。すなわち、テーブル１０６の移動速度Ｖｔは、加速区間ｔａで加速され速度を増し、速度ＶＴに達し、減速区間ｔｃで減速され停止する。同じく、キャリッジ１０２は、ステップＳ２の減速区間ｔｃの区間内で移動を開始し、所定の移動量を移動した後、ステップＳ４の加速区間ｔａの区間内に移動を終了する。すなわち、キャリッジ１０２の移動速度Ｖｃは、加速区間ｔａで加速され速度を増し、速度ＶＣに達し、減速区間ｔｃで減速され停止する。
【００８４】
ステップＳ５の第２の改行工程において、テーブル１０６は、ステップＳ４の位置から、第２のテーブル搬送機構１１０によりＸ方向の（−）方向に移動し、キャリッジ１０２は、キャリッジ搬送機構１０４によりＸ方向の（＋）方向に移動する。
【００８５】
図１１に示すように、ステップＳ３の第１の改行工程と同様に、テーブル１０６は、ステップＳ４の減速区間ｔｃの区間内で移動を開始し、所定の移動量を移動した後、ステップＳ６の加速区間ｔａの区間内に移動を終了する。同じく、キャリッジ１０２は、ステップＳ４の減速区間ｔｃの区間内で移動を開始し、所定の移動量を移動した後、ステップＳ６の加速区間ｔａの区間内に移動を終了する。
【００８６】
本実施形態では、テーブル１０６、キャリッジ１０２ともに、減速区間ｔｃで移動を開始し、加速区間ｔａで移動を終了する場合を例にとり説明したが、これに限定されない。例えば、移動速度を速くできる場合、移動量が少ない場合もしくは加減速区間が長い場合は、減速区間ｔｃで移動を開始し同じ減速区間ｔｃで移動を終了しても良いし、加速区間ｔａで移動を開始し同じ加速区間ｔａで移動を終了しても良い。テーブル１０６の移動速度Ｖｔ，Ｖｇおよびキャリッジ１０２の移動速度Ｖｃ、もしくは、テーブル１０６およびキャリッジ１０２の移動量等によって、任意に選択でき得る。
【００８７】
以下、第３実施形態の効果を記載する。
（１）この液滴吐出方法によれば、ワークＷの塗布工程でのテーブル１０６のＹ方向への移動区間の内、液滴吐出ヘッド１０iから液状体を吐出する等速区間ｔｂ以外の加速区間ｔａおよび減速区間ｔｃとにおいて、改行動作を開始し終了することができる。そのため、液滴吐出ヘッド１０iからの液滴吐出の精度に影響を与えることなく、改行待ち時間を短縮させやすくすることができる。
【００８８】
なお、上述した実施形態に限定されず、種々の変形や改良を加えて実施することが可能である。変形例を以下に述べる。
【００８９】
（変形例１）本実施形態では、１つのキャリッジ１０２に１２個の液滴吐出ヘッド１０i（ｉは、１〜１２の整数）と、１つの液状体貯留部２４と、１つの電装ユニット２６とが搭載されている場合を例にとり説明したがこれに限定されない。
【００９０】
複数の液滴吐出ヘッド１０iの数は１２個に限定されず複数個備えていれば良い。また、変形例１のキャリッジ２０２を示す図である図１２に示すように、複数のキャリッジ２０２と複数の液状体貯留部３４と複数の電装ユニット３６とを備え、そのキャリッジ２０２ごとに、例えば複数の液滴吐出ヘッド１０iを等分した数だけ液滴吐出ヘッド１０iを搭載し、その液滴吐出ヘッド１０iに対応する液状体貯留部３４と電装ユニット３６とを個別に搭載していても良い。
【００９１】
このように構成することにより、改行工程において必要なキャリッジ２０２のみを移動させることができる。そのため、改行時におけるキャリッジ２０２の移動をさらに簡便にすることが可能になる。
【００９２】
（変形例２）本実施形態では、各被吐出部ＢjkのＸ方向のピッチＰと液滴吐出ヘッド１０iのＸ方向のピッチＲとはほぼ同一に設定した場合を例にとり説明したが、これに限定されない。変形例２にかかる被吐出部Ｄjkと液滴吐出ヘッド１０iの関係を示す図である図１３に示すように、１つの液滴吐出ヘッド１０iのＸ方向の液滴吐出範囲に複数の被吐出部Ｄjkを対応させても良い。このように構成することにより、赤、緑および青の３色カラーフィルタのフィルタエレメントを微細に形成することができ、高精細な表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側面図。
【図２】液滴吐出ヘッドの全体構成を示す図。
【図３】キャリッジを下面から見た図。
【図４】液滴吐出方法の流れを示す図。
【図５】ワークと液滴吐出ヘッドの関係を示す図。
【図６】第１の塗布工程の終了状態を示す図。
【図７】第２の塗布工程の終了状態を示す図。
【図８】第３の塗布工程の終了状態を示す図。
【図９】ワークの移動量とキャリッジの移動量とのデータテーブル。
【図１０】第２実施形態にかかる液滴吐出方法の改行動作を説明する図。
【図１１】第３実施形態にかかる改行動作を説明する図。
【図１２】変形例１にかかるキャリッジを示す図。
【図１３】変形例２にかかる被吐出部と液滴吐出ヘッドの関係を示す図。
【符号の説明】
【００９４】
Ｗ…ワーク、Ｂjk，Ｄjk…被吐出部、１０i…液滴吐出ヘッド、１９…ノズル、１００…液滴吐出装置、１０２，２０２…キャリッジ、１０４…キャリッジ搬送機構、１０６…テーブル、１０８…第１のテーブル搬送機構、１１０…第２のテーブル搬送機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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