(57)【要約】【課題】  高い解像度で薄い印刷膜を形成することのできる耐久性の高いスクリーンマスクを提供する。【解決手段】  スクリーンマスク１０は、インキ供給層２４、インキ保持層２６、および印刷パターン層２８が積層されているから、上面側に供給されたインキ３８は、インキ供給層２４を通してインキ保持層２６に供給され、更に、そのインキ保持層２６から印刷パターン層２８に供給され、その印刷パターン層２８から被印刷面４４に転写される。形成される印刷膜４６の平面形状は印刷パターン層２８に設けられたインキ吐出孔３６の平面形状に倣ったものとなるので、インキ供給層２４のインキ供給孔３２は、そのインキ吐出孔３６よりも大きい任意の大きさで設けることができる。そのため、線径が40(μm)程度と太い印刷用スクリーン２２を用いることができ、高い耐久性を確保しながら高解像度を得ることができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面側に供給されたインキを裏面側から押し出してその裏面に開口するインキ吐出孔の平面形状に倣った印刷膜を被印刷面に形成するためのスクリーンマスクであって、
メッシュスクリーンに固着され且つ前記インキ吐出孔よりも大きいインキ供給孔をそのインキ吐出孔に対応する位置に厚み方向に貫通して備えるインキ供給層と、
前記インキ供給層の下面に固着され且つ前記インキ供給孔に連通する多数の細孔を厚み方向に貫通して備えるインキ保持層と、
前記インキ保持層の下面に固着され且つ前記多数の細孔に連通する前記インキ吐出孔を厚み方向に貫通して備える印刷パターン層と
を、含むことを特徴とするスクリーンマスク。
【請求項２】
前記インキ保持層は、前記インキ供給層の厚さ寸法の1/8〜1/4の厚さ寸法を備えるものである請求項１のスクリーンマスク。
【請求項３】
前記インキ保持層は、前記メッシュスクリーンの目開き寸法よりも小さい細孔径を有するものである請求項１または請求項２のスクリーンマスク。
【請求項４】
前記インキ保持層は、前記インキ吐出孔が形成されている印刷領域内における細孔容積が、前記印刷膜の形成に必要なインキ量よりも大きいものである請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載のスクリーンマスク。
【請求項５】
前記インキ保持層は、押圧力に従って厚み方向に弾性的に変形させられることによって内部に蓄えた前記インキを前記印刷パターン層側に吐出するものである請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載のスクリーンマスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷に用いられるスクリーンマスクに関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷法に用いられるスクリーンマスクは、版枠に張設したメッシュスクリーンに樹脂等を固着してその開口を所定の平面形状で塞いだもので、スクリーン印刷法では、その樹脂等が固着されていない開口部からインキを押し出して、被印刷面にその開口部の平面形状に倣った印刷膜を転写形成する(例えば特許文献１、２を参照)。このような印刷膜形成において、機器や部品の小型化に伴って解像度(すなわち最小線幅および間隔)を可及的に高めることや、貴金属が用いられる膜の厚さ寸法を可及的に薄くすることが望まれている。
【特許文献１】特開平０８−１７４９８２号公報
【特許文献２】特開２００１−１１３８１０号公報
【特許文献３】特開２００１−０２６１７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記のようなスクリーン印刷法において、形成し得る印刷膜の解像度は、スクリーンマスクを構成するメッシュスクリーンの目開き寸法に依存する。また、形成される印刷膜の厚さ寸法は、そのメッシュスクリーンの厚さ寸法に依存する。メッシュスクリーンの繊維の線径を一定に保ったまま開口部の幅寸法を小さくすると、その幅寸法が小さくなるほど開口部内で繊維の占める面積割合が増大してインキ押し出しが困難になるから、開口部形状に倣った印刷膜を形成できる開口幅寸法の下限値は繊維の線径に応じて決まる。この下限値を下回るとインキが押し出されない部分が生じて所望する印刷膜が得られなくなる。繊維の線径はメッシュスクリーンの目開き寸法に応じて定められており、目開き寸法が大きくなるほど線径が太くなるので、解像度は実質的に目開き寸法で決まることになる。また、スクリーン印刷では開口部内に押し込まれたインキが被印刷面に転写されるから、印刷膜の厚さ寸法はその開口部の厚さ寸法に略一致する。その開口部はメッシュスクリーンに樹脂等が固着されることによって構成されるので、その厚さ寸法はメッシュスクリーンの厚さ寸法よりも僅かに厚いものとなる。
【０００４】
そのため、印刷膜の解像度を高め或いは膜厚を薄くするためには、目開き寸法が小さく線径の細いメッシュスクリーンを用いればよい。線径が細くなれば、メッシュスクリーンの厚さ寸法が薄くなるので膜厚を薄くできる。しかしながら、メッシュスクリーンの線径が細くなるほど、機械的強度が低下する。スクリーン印刷を施すに際しては、例えば、被印刷面から僅かに離れた位置に前記スクリーンマスクを配置し、その中央部の印刷領域にインキを供給して、スクリーンマスク上で、ウレタンゴム等から成るスキージを印刷面に向かって押圧しつつ一方向に送る。線径を細くすることで機械的強度が不十分になると、このような印刷時に作用する応力によってメッシュスクリーンが伸び易くなり延いては破断し易くなる。したがって、耐久性を考慮すると線径の細いメッシュスクリーンを用いることはできない。
【０００５】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的は、高い解像度で薄い印刷膜を形成することのできる耐久性の高いスクリーンマスクを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
斯かる目的を達成するため、本発明の要旨とするところは、表面側に供給されたインキを裏面側から押し出してその裏面に開口するインキ吐出孔の平面形状に倣った印刷膜を被印刷面に形成するためのスクリーンマスクであって、(ａ)メッシュスクリーンに固着され且つ前記インキ吐出孔よりも大きいインキ供給孔をそのインキ吐出孔に対応する位置に厚み方向に貫通して備えるインキ供給層と、(ｂ)前記インキ供給層の下面に固着され且つ前記インキ供給孔に連通する多数の細孔を厚み方向に貫通して備えるインキ保持層と、(ｃ)前記インキ保持層の下面に固着され且つ前記多数の細孔に連通する前記インキ吐出孔を厚み方向に貫通して備える印刷パターン層とを、含むことにある。
【発明の効果】
【０００７】
このようにすれば、スクリーンマスクは、表面側からインキ供給層、インキ保持層、および印刷パターン層が積層されているから、その表面側に供給されたインキは、インキ供給層を通してインキ保持層に供給され、更に、そのインキ保持層から印刷パターン層に供給され、その印刷パターン層から被印刷面に転写される。このとき、印刷膜の平面形状は印刷パターン層に設けられたインキ吐出孔の平面形状に倣ったものとなるので、インキ供給層のインキ供給孔は、そのインキ吐出孔よりも大きい任意の大きさで設けることができる。すなわち、高解像度の印刷膜を形成するためにそのインキ吐出孔が小さくされる場合にもインキ供給孔を大きな寸法に保つことができる。メッシュスクリーンの目開き寸法および線径は形成しようとするインキ供給孔の大きさに応じて定められることから、線径が太く且つ目開き寸法が大きいメッシュスクリーンを用いることができるため、高い耐久性を確保しながら高解像度を得ることができる。また、印刷パターン層は、多数の細孔を備えた多孔質のインキ保持層の下面に固着されていることから、インキ供給層上に供給されたインキのうちインキ保持層を通して印刷パターン層のインキ吐出孔内に押し出されたインキだけが被印刷面に転写される。そのため、形成される印刷膜の厚さ寸法は、印刷パターン層の厚さ寸法に略一致するから、その印刷パターン層の厚さ寸法を適宜定めることで、所望する薄い膜厚の印刷膜を得ることができる。以上により、高い解像度で薄い印刷膜を形成することのできる耐久性の高いスクリーンマスクが得られる。
【０００８】
なお、本願においてインキ供給孔はインキ吐出孔よりも大きいものであれば、適宜の形態で設けられるもので特に限定されない。例えば、(１)インキ供給孔の開口縁がインキ吐出孔のそれよりも外側に位置するもの、(２)複数のインキ吐出孔がインキ供給孔の一つの開口内に位置するもの、等が挙げられる。上記(２)の態様では、最も外側のインキ供給孔の開口縁はインキ吐出孔と同一位置かそれよりも僅かに内側であってもよい。また、(１)の態様のより具体的な例としては、例えば、インキ吐出孔よりもインキ供給孔の線幅を太くしたもの、孔径を大きくしたものなどが挙げられる。
【０００９】
ここで、好適には、前記インキ保持層は、前記インキ供給層の厚さ寸法の1/8〜1/4の厚さ寸法を備えるものである。このようにすれば、印刷パターン層に適度な量のインキを容易に供給することができる。十分な量のインキを供給するためには、インキ保持層の厚さ寸法がインキ供給層の厚さ寸法の1/8以上であることが好ましい。また、供給量が過多になって被印刷面に転写されたインキににじみが生じることを抑制するためには1/4以下であることが好ましい。
【００１０】
また、好適には、前記インキ保持層は、前記メッシュスクリーンの目開き寸法よりも小さい細孔径を有するものである。このようにすれば、インキ供給層上に供給されたインキが容易且つ十分にインキ保持層に供給される。インキ保持層には、前記印刷パターン層のインキ吐出孔にインキを一様に供給できることが要求されるから、その細孔の大きさがインキ吐出孔に比較して十分に小さいことが望ましい。メッシュスクリーンに固着されたインキ供給層には、このような細孔を備えたインキ保持層に十分にインキを供給できることが望まれるから、メッシュスクリーンは目開き寸法が細孔径に対して大きい方が好ましい。
【００１１】
しかも、インキ保持層が十分に小さい細孔径を備えていれば、低粘性のインキであっても非押圧状態ではインキ保持層から垂れ落ち難くなる。そのため、被印刷面上におけるインキの流動が十分に小さい範囲で粘度の低いインキを用いることができるので、スキージの移動速度やメッシュスクリーンの張力などの印刷条件の適正範囲が拡大して印刷が容易になる利点もある。
【００１２】
また、好適には、前記インキ保持層は、前記インキ吐出孔が形成されている印刷領域内における細孔容積が、前記印刷膜の形成に必要なインキ量よりも大きいものである。このようにすれば、必要量のインキがインキ保持層に蓄えられるため、インキ吐出孔にインキが供給され易くなるので、解像度の一層高い印刷膜を得ることができる。なお、印刷時にはインキ供給層の上に供給されたインキがインキ保持層に順次に補充されるため、その細孔容積が必要インキ量よりも小さい場合にも印刷は可能である。しかしながら、インキ保持層に十分な量のインキが蓄えられていれば、インキ吐出孔を一層細くしてもインキを容易に供給できるため、解像度を一層高めることができる。
【００１３】
また、好適には、前記インキ保持層は、押圧力に従って厚み方向に弾性的に変形させられることによって内部に蓄えた前記インキを前記印刷パターン層側に吐出するものである。このようにすれば、印刷時にスキージでスクリーンマスクを被印刷面に向かって押圧すると、前記印刷パターン層がその被印刷面に押し付けられた状態でインキ保持層が押し縮められるため、インキ保持層から印刷パターン層のインキ吐出孔内にインキが吐出させられて被印刷面に転写される。インキ保持層へは、スキージングに先立つコーティングの際にインキが供給されることから、インキ保持層が弾性的に変形し得ない場合に比較して弱い押圧力で、所望の平面形状および厚さ寸法を備えた印刷膜を形成できる。
【００１４】
また、好適には、前記インキ保持層は、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルホン、ポリエチレンテレフタラート、アクリル、塩化ビニル、ＡＢＳ、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレンのうちの一種から成るものである。これらは何れも多孔質に構成すれば、スキージで押圧することで容易に弾性変形して細孔内に保持したインキを吐出し得るから、インキ保持層の構成材料として好適である。
【００１５】
また、好適には、前記インキ保持層は、ウレタンゴムよりも硬い材料を用いて多孔質に構成されることによってウレタンゴム製スキージで押圧された際に弾性変形させられるものである。このようにすれば、本発明のスクリーンマスクを用いてスクリーン印刷を施すに際して、一般的なウレタンゴム製スキージを用い得る。すなわち、インキ保持層の材料自体が十分な硬さを備えているので、非押圧状態ではその形状を保つことができ、且つ、多孔質体はスキージで押圧されると容易に弾性変形させられるから、非押圧状態ではインキを保持し且つスキージで押圧されたときにはそのインキが容易に吐出され、好適に印刷膜が形成される。
【００１６】
また、好適には、前記スクリーンマスクは、所定の版枠に固着したメッシュスクリーンの一面に感光性樹脂乳剤を塗布する第１乳剤塗布工程と、その感光性樹脂乳剤を露光および現像することにより、前記インキ供給孔を有する前記インキ供給層を形成する露光現像工程と、そのインキ供給層の下面に感光性樹脂乳剤を塗布する第２乳剤塗布工程と、そのインキ供給層の下面に多孔質フィルムを貼り着けるフィルム貼着工程と、そのインキ供給層の下面に塗布された感光性樹脂乳剤を光硬化させることによって前記多孔質フィルムをそのインキ供給層に接着してインキ保持層を形成する接着工程と、そのインキ保持層の下面に感光性樹脂乳剤を塗布する第３乳剤塗布工程と、その感光性樹脂乳剤を露光および現像することにより、前記インキ吐出孔を有する前記印刷パターン層を形成するパターン形成工程とを、含む工程によって製造されるものである。本発明のスクリーンマスクは、このような簡便な方法で製造することができる。
【００１７】
なお、上記の第３乳剤塗布工程は、パターン形成層を形成するための樹脂フィルムを貼り着けるものであってもよい。樹脂フィルムが接着剤層を備えている場合には、その接着剤層でインキ保持層に接着することができるが、そのような接着剤層を備えていない場合には、インキ保持層の下面に感光性樹脂乳剤を塗布してこれを接着剤層として利用すればよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の実施例において図は適宜簡略化或いは変形されており、各部の寸法比および形状等は必ずしも正確に描かれていない。
【００１９】
図１は本発明の一実施例のスクリーンマスク１０の全体を示す斜視図、図２はそのスクリーンマスク１０の断面構造を説明するための模式図である。スクリーンマスク１０は、例えば、センサ、チップ抵抗、キャパシタ等の導体パターンを形成するためのスクリーン印刷に用いられるもので、対辺が互いに平行な四辺により囲まれた矩形を成すアルミニウムや軽合金等の軽量金属材料製の版枠１２と、エポキシ樹脂等の接着剤１４を用いてその版枠１２の一面に固着されたメッシュスクリーン１６(以下、単にスクリーン１６という)とを備えている。
【００２０】
上記のスクリーン１６は、その周縁部を構成する矩形枠状の支持スクリーン１８と、その支持スクリーン１８の裏面内周端部に外周端部をエポキシ樹脂等の接着剤２０によって接着された矩形の印刷用スクリーン２２とを備えている。すなわち、スクリーンマスク１０は、スクリーン１６が支持スクリーン１８および印刷用スクリーン２２から成るコンビネーション版で、スクリーン１６は、上記の支持スクリーン１８の外周端部において版枠１２に接着されている。
【００２１】
上記の支持スクリーン１８は、例えばテトロンやナイロン等の合成樹脂製の細線を縦糸および横糸として織られたメッシュ（網）であり、例えば２５０メッシュ（＃２５０）程度のものが用いられる。また、印刷用スクリーン２２は、例えばステンレス鋼等の金属製の細線を同様にして織ったメッシュであり、例えば２００〜５００メッシュ程度、例えば、線径が40(μm)程度で目開き寸法が80〜90(μm)程度の２００メッシュ（＃２００）程度のものが用いられる。したがって、スクリーン１６は、容易に弾性変形させられる支持スクリーン１８と、相対的に剛性が高く変形し難い印刷用スクリーン２２とから構成されている。また、スクリーン１６を構成する２つのメッシュが何れも線径の太いものが用いられていることから、スクリーンマスク１０は高い耐久性を備えている。これら支持スクリーン１８および印刷用スクリーン２２は、例えば0.8〜0.85(mm)程度の張力(例えば、(株)トープロテック社製のＳＴＧ−７５Ｇ型テンションゲージを用いた測定値)を付与された状態で版枠１２に接着されている。
【００２２】
また、印刷用スクリーン２２が設けられているスクリーン１６の内周部には、インキ供給層２４，インキ保持層２６，および印刷パターン層２８が、版枠１２側から順に積層形成されている。図３に、印刷用スクリーン２２の断面構造を模式的に示す。インキ供給層２４は、印刷用スクリーン２２に樹脂膜３０が例えば20〜100(μm)程度の厚さ寸法で固着されたもので、印刷用スクリーン２２の中央部、すなわち支持スクリーン１８の内周端よりも十分に内側の印刷領域Ａ(図１参照)には、所定の平面形状を有するインキ供給孔３２を備えている。インキ供給孔３２の開口幅寸法は例えば200(μm)程度である。すなわち、印刷用スクリーン２２の目開き寸法はインキ供給孔３２の開口幅寸法よりも小さくなっている。上記樹脂膜３０は、印刷時においてインキを透過させないレジスト層として機能するもので、感光性樹脂が露光されることにより重合させられて機械的強度が高められている。
【００２３】
また、前記インキ保持層２６は、例えばインキ供給層２４の厚さ寸法の1/10〜1/4程度、すなわち2〜20(μm)程度の厚さ寸法を備えたポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルサルホン等の樹脂膜から成るものである。この樹脂膜は両面間に連通する多数の微細孔を備えたスポンジ状の多孔膜で、微細孔の細孔径は平均値で0.5〜5(μm)程度の範囲内にある。したがって、インキ保持層２６の細孔径は、印刷用スクリーン２２の目開き寸法に比較して十分に小さい大きさになっている。また、インキ保持層２６を構成する樹脂膜の空隙率は70〜80(％)程度、引張強さは3〜9(MPa)程度、引張伸度は7〜14(％)程度、ガラス転移点は200〜300(℃)程度、通気度はJIS P8117に規定する透気抵抗度(ガーレー)で10秒未満である。
【００２４】
また、インキ保持層２６を構成する樹脂の硬さは、例えばロックウェルＥスケールで70〜94程度である。JIS−A硬さで50〜90程度のウレタンゴムに比較すると、空隙を持たない緻密体相互の比較では、インキ保持層２６の構成樹脂の方が硬く、荷重変形量はウレタンゴム製のスキージに比較して小さい。しかしながら、インキ保持層２６は、上述したように高い空隙率の多孔膜により構成されているから、スクリーン印刷に用いられるウレタンゴム製のスキージによって押圧されると容易に弾性的に押し縮められる性質を備えている。
【００２５】
また、前記印刷パターン層２８は、例えば厚さ寸法が0.1〜5(μm)程度の範囲内の樹脂膜３４から成るもので、前記印刷領域Ａ内には、所定の平面形状を有するインキ吐出孔３６を備えている。インキ吐出孔３６は、形成しようとする印刷膜形状に応じた平面形状および線幅で設けられているもので、開口幅寸法の最小値は5〜50(μm)の範囲内、例えば30(μm)程度で、相互間隔の最小値は5〜50(μm)の範囲内、例えば30(μm)程度である。すなわち、インキ吐出孔３６は、インキ供給孔２４の開口幅寸法よりも小さく且つインキ保持層２６の細孔径よりも大きい開口幅寸法を備えている。この樹脂膜３４も、前記樹脂膜３０と同様に感光性樹脂が露光により重合させられることで形成されている。
【００２６】
前記インキ保持層２６の厚さ寸法は、その細孔容積が上記のインキ吐出孔３６の容積以上になるように定められている。印刷時には、インキ吐出孔３６に満たされたインキが被印刷面に転写されるから、一回の印刷に必要なインキ量はインキ吐出孔３６の容積に一致する。したがって、インキ保持層２６の厚さ寸法は、その細孔容積が一回の印刷に必要なインキ量以上になるように定められている。
【００２７】
以上のように構成されたスクリーンマスク１０は、例えば、前記版枠１２にスクリーン１６を張り付けた後、図４に示される工程に従って製造される。なお、スクリーン１６の張り付け方法については、従来から用いられている一般的なコンビネーション版と同様であり、本発明の理解には必要ではないので説明を省略する。
【００２８】
先ず、エマルジョン塗布(１)工程Ｐ１では、前記印刷用スクリーン２２の全面に感光性樹脂乳剤を塗布する。塗布厚みは前記インキ供給層２４の厚さ寸法が得られるように適宜定められる。感光性樹脂乳剤は特に限定されず、公知の種々のものの中から耐刷性等を考慮して選択すればよい。次いで、露光・現像(１)工程Ｐ２では、塗布した感光性樹脂乳剤を前記インキ供給孔３２を形成するための露光マスクを用いて露光し、現像処理を施す。これにより、例えば未露光部分が除去されて前記インキ供給層２４が形成される。本実施例においては、これら２工程がインキ供給層形成工程に対応する。
【００２９】
次いで、エマルジョン塗布(２)工程Ｐ３では、上記インキ供給層２４の形成に用いたものと同一の感光性樹脂乳剤を、そのインキ供給層２４の下面全面に塗布する。次いで、多孔質フィルム貼着工程Ｐ４では、例えばポリアミドイミド等から成る多孔膜をインキ供給層２４の下面に貼り着ける。上記の感光性樹脂乳剤はこの多孔膜を貼り着けるための接着剤として塗布されるもので、塗布厚みは多孔膜を確実に貼り着けることのできる範囲で薄くすることが好ましい。次いで、接着(光硬化)工程Ｐ５では、多孔膜上から光を照射することによって感光性樹脂乳剤を硬化させ、その多孔膜をインキ供給層２４に固着する。これにより、前記インキ保持層２６が形成される。本実施例においては、これら３工程がインキ保持層形成工程に対応する。
【００３０】
次いで、エマルジョン塗布(３)工程Ｐ６では、前記インキ供給層２４の形成に用いたものと同一の感光性樹脂乳剤をインキ保持層２６の下面全面に塗布する。塗布厚みは前記印刷パターン層２８の厚さ寸法が得られるように適宜定められる。次いで、露光・現像(２)工程Ｐ７では、前記インキ吐出孔３６を形成するための露光マスクを用いて露光し、現像処理を施す。これにより、例えば未露光部分が除去されて前記印刷パターン層２８が形成され、前記スクリーンマスク１０が得られる。
【００３１】
図５は、上記のスクリーンマスク１０を用いた印刷方法を説明するための模式図である。図５(ａ)は、インキ３８をスクリーンマスク１０上に供給し、スクレーパ４０を一方向(図においては左方向)へ送ることによって、そのインキ３８をスクリーンマスク１０にコーティングする段階を示している。インキ３８は、インキ供給層２４の樹脂膜３０上に僅かな厚みで残されつつインキ供給孔３２内に充填される。インキ供給孔３２内に送り込まれたインキ３８は、インキ保持層２６の細孔内に浸透し、その細孔もインキで満たされる。図５(ａ)〜(ｄ)においては、塗布されたインキ３８に左上がりの斜線でハッチングを施しており、インキ保持層２６のハッチングが施された範囲にインキ３８が充填されている。
【００３２】
図５(ｂ)は、図示の範囲でコーティングが完了した段階を示している。インキ３８は、インキ供給孔３２内に充填されると共に、インキ保持層２６のうちそのインキ供給孔３２内に位置する部分にも充填されている。インキ供給孔３２は、このようにインキ保持層２６にインキ３８を供給するために設けられている。
【００３３】
図５(ｃ)は、上記のようにしてコーティングが完了した後、スキージ４２でスクリーンマスク１０を被印刷面４４に向かって押圧しつつそのスキージ４２を一方向(図においては右方向)へ送ることによって、その被印刷面４４にインキ３８を塗布する段階を示している。スキージ４４は、例えばポリエーテル系或いはポリエステル系のウレタンゴムから成る平型スキージで、JIS-A硬さが50〜90程度、引張強さが25〜50(MPa)程度、伸びが460〜800(％)程度、300％引張応力が3〜15(MPa)程度の物性を備えている。スキージ４２でスクリーンマスク１０を押し下げると、多孔膜から成るインキ保持層２６は、図示するようにその厚み方向に押し縮められる。そのため、そのインキ保持層２６内に充填されていたインキ３８は、印刷パターン層２８のインキ吐出孔３６内に押し出される。図５(ｃ)では、左側に位置するインキ供給孔３２の下側に設けられているインキ吐出孔３６内にインキ３８が押し出されているが、スキージ４２を右方向に移動させていくと、インキ保持層２６内のインキ３８が順次にインキ吐出孔３６内に押し出されることとなる。
【００３４】
図５(ｄ)は、スキージングが完了してスクリーンマスク１０が被印刷面４４から離隔した段階を示している。被印刷面４４には、インキ吐出孔３６内に押し出されたインキ３８が転写されることにより、そのインキ吐出孔３６の平面形状に倣った例えば幅寸法の最小値が30(μm)程度、間隔の最小値が30(μm)程度の平面形状の印刷膜４６が形成されている。印刷膜４６の厚さ寸法は、インキ吐出孔３６の深さ寸法すなわち印刷パターン層２８の厚さ寸法に略一致し、例えば5(μm)程度である。このように、本実施例によれば、高解像度且つ薄い印刷膜４６を容易に得ることができる。
【００３５】
上述したように、本実施例においては、スクリーンマスク１０は、上面側からインキ供給層２４、インキ保持層２６、および印刷パターン層２８が積層されているから、その上面側に供給されたインキ３８は、インキ供給層２４を通してインキ保持層２６に供給され、更に、そのインキ保持層２６から印刷パターン層２８に供給され、その印刷パターン層２８から被印刷面４４に転写される。このとき、形成される印刷膜４６の平面形状は印刷パターン層２８に設けられたインキ吐出孔３６の平面形状に倣ったものとなるので、インキ供給層２４のインキ供給孔３２は、そのインキ吐出孔３６よりも大きい任意の大きさで設けることができる。すなわち、高解像度の印刷膜４６を形成するためにそのインキ吐出孔３６の開口幅寸法が前述したように30(μm)程度と小さくされる場合にも、インキ供給孔３２を大きな寸法に保つことができる。印刷用スクリーン２２の目開き寸法および線径は形成しようとするインキ供給孔３２の大きさに応じて定められることから、前述したように線径が40(μm)程度と太く且つ目開き寸法が80〜90(μm)程度と大きい印刷用スクリーン２２を用いることができるため、高い耐久性を確保しながら高解像度を得ることができる。
【００３６】
また、印刷パターン層２８は、多数の細孔を備えた多孔質のインキ保持層２６の下面に固着されていることから、インキ供給層２４上に供給されたインキ３８のうちインキ保持層２６を通して印刷パターン層２８のインキ吐出孔３６内に押し出されたインキ３８だけが被印刷面４４に転写される。そのため、形成される印刷膜４６の厚さ寸法は、印刷パターン層２８の厚さ寸法に略一致するから、その印刷パターン層２８の厚さ寸法を適宜定めることで、前述したように例えば5(μm)程度の薄い膜厚の印刷膜４６を得ることができる。以上により、高い解像度で薄い印刷膜４６を形成することのできる耐久性の高いスクリーンマスク１０が得られる。
【００３７】
すなわち、本実施例においては、印刷膜４６の平面形状が印刷パターン層２８に設けられたインキ吐出孔３６に倣うことから、インキ供給層２４は、その印刷膜４６の平面形状に直接的に影響を及ぼすことはない。このように、本実施例のインキ供給層２４は、高解像度の印刷膜４６を形成するためのスクリーンマスク１０において、インキ保持層２６を経由した印刷パターン層２８へのインキ３８の供給と、スクリーンマスク１０の機械的強度を確保する機能に特化しているので、解像度や膜厚に影響を与えることなく、必要な機械的強度を得るための適宜の線径のメッシュを用いることができ、高い耐久性と、高解像度および薄い膜厚とを同時に実現することが可能となっている。
【００３８】
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施でき、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施例のスクリーンマスクの全体を示す斜視図である。
【図２】図１のスクリーンマスクの断面構造を説明する模式図である。
【図３】図２の一部を拡大してスクリーンマスクの各層を詳しく示す図である。
【図４】図１のスクリーンマスクの製造方法を説明するための工程図である。
【図５】(ａ)〜(ｄ)は、図１のスクリーンマスクを用いたスクリーン印刷方法を説明する図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０：スクリーンマスク、１２：版枠、１４：接着剤、１６：メッシュスクリーン、１８：支持スクリーン、２０：接着剤、２２：印刷用スクリーン、２４：インキ供給層、２６：インキ保持層、２８：印刷パターン層、３０：樹脂膜、３２：インキ供給孔、３４：樹脂膜、３６：インキ吐出孔、３８：インキ、４０：スクレーパ、４２：スキージ、４４：被印刷面、４６：印刷膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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