(57)【要約】【課題】アーマチュアブロックの耐衝撃性を向上させたマイクロリレーを提供することにある。【解決手段】マイクロリレーでは、平面視長方形状の可動接点基台３４が、可動接点基台３４を長手方向の両端部それぞれに一端部が連結された支持片（可動接点基台支持手段）３５ａの他端部に可動接点（図示せず）と固定接点１４との接圧を設定するための接圧ばね３５ｂを介して連結されている。また、アーマチュアブロック３は、一端部がアーマチュア３０に連結され他端部が可動接点基台３４に連結される補強ばね３１０を有し、接圧ばね３５ｂと可動接点基台３０ａとから構成される部分の可動接点基台３４の長手方向および短手方向の剛性を高めている。【選択図】図１
2009277591.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁石装置を収納する収納部が形成され且つ厚み方向の一表面側に２対の固定接点が設けられたベース基板と、ベース基板の前記一表面側に固着される枠状のフレーム部およびフレーム部の内側に配置されて支持ばねを介してフレーム部に揺動自在に支持され電磁石装置により駆動されるアーマチュアおよび前記一表面とは直交する方向に揺動するアーマチュアの両端部とフレーム部との間に配設された２つの可動接点基台に保持され互いに異なる１対の固定接点に接離する可動接点を有するアーマチュアブロックと、アーマチュアブロックにおけるベース基板とは反対側で周部がフレーム部に固着されたカバーとを備え、可動接点基台は、アーマチュアの厚み方向およびアーマチュアの両端部の並び方向に直交する規定方向を長手方向とし且つアーマチュアの両端部の並び方向を短手方向として配置され、アーマチュアの両端部それぞれに連結され一部が可動接点基台の長手方向の両端側に配置される可動接点基台支持手段に可動接点と固定接点との接圧を設定するための２つの接圧ばねを介して連結され、アーマチュアと可動接点基台支持手段とのいずれか一方に一端部が連結されるとともに他端部が可動接点基台に連結されてなり各接圧ばねと可動接点基台とから構成される部分の可動接点基台の前記長手方向および前記短手方向の剛性を高める補強ばねが設けられてなることを特徴とするマイクロリレー。
【請求項２】
前記可動接点基台支持手段は、前記アーマチュアの前記両端部それぞれに連結され前記可動接点基台の前記長手方向における両端側で前記アーマチュアの前記両端部の並び方向に沿って前記アーマチュアの前記両端部それぞれから延設された２つの支持片で構成され、前記補強ばねは、前記一端部が前記アーマチュアに連結され前記他端部が前記可動接点基台に連結されてなることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【請求項３】
前記可動接点基台支持手段は、前記アーマチュアの前記両端部それぞれに連結され前記可動接点基台に対して前記可動接点基台の前記長手方向における両端側と前記アーマチュアとは反対側を取り囲む形で配置される支持部で構成され、前記補強ばねは、前記一端部が支持部に連結され前記他端部が前記可動接点基台に連結されてなることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【請求項４】
前記可動接点基台の前記カバー側への変位量を規制するためのストッパが、前記アーマチュアの前記両端部それぞれに連結され前記可動接点基台に対して前記カバー側で一部が前記可動接点基台に対向する形で形成されてなることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のマイクロリレー。
【請求項５】
前記可動接点基台の前記カバー側への変位量を規制するためのストッパが、前記支持部に連結され前記可動接点基台に対して前記カバー側で一部が前記可動接点基台に対向する形で形成されてなることを特徴とする請求項３記載のマイクロリレー。
【請求項６】
前記可動接点基台支持手段は、前記アーマチュアの前記両端部それぞれに連結され前記可動接点基台に対して前記可動接点基台の前記長手方向の両側と前記アーマチュアとは反対側を取り囲む形で配置される支持部で構成され、前記補強ばねは、前記一端部が前記アーマチュアに連結され前記他端部が前記可動接点基台に連結されてなり、前記可動接点基台の前記カバー側への変位量を規制するためのストッパが、支持部に連結され前記カバー側で一部が前記可動接点基台に対向する形で形成されてなることを特徴とする請求項１記載のマイクロリレー。
【請求項７】
前記接圧ばねは、前記可動接点基台支持手段と前記可動接点基台とに連結される両端部の間の部位が前記アーマチュアの前記厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成されてなるものであって、前記接圧ばねの前記可動接点基台の前記短手方向の両端間の幅が前記可動接点基台に近づくほど狭くなる形状に形成してなることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のマイクロリレー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロリレーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電磁石の電磁力を利用してアーマチュアを駆動し接点を開閉するようにしたマイクロリレーが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ここにおいて、上記特許文献１には、例えば、図１６に示すように、電磁石装置２が収納される収納部が形成され且つ厚み方向の一表面側に各１対の固定接点１４が設けられた直方体状のベース基板１と、ベース基板１の前記一表面側に固着される矩形枠状のフレーム部３１およびフレーム部３１の内側に配置されて４つの支持ばね３２を介してフレーム部３１に揺動自在に支持され電磁石装置２により駆動される平面視長方形状のアーマチュア３０および前記一表面とは直交する方向に揺動するアーマチュア３０の両端部に連結された平面視長方形状の可動接点基台３４に保持される形で配置され固定接点１４に接離する可動接点（図示せず）を有するアーマチュアブロック３’と、アーマチュアブロック３’におけるベース基板１とは反対側で周部がフレーム部３１に固着されたカバー４とを備えるマイクロリレーが提案されている。ここで、可動接点基台３４は、ベース基板１の１対の固定接点１４の並設方向を長手方向として配置されている。なお、ベース基板１は、中央部に収納孔（図示せず）が貫設されており、ベース基板１の前記一表面側には、当該収納孔を閉塞する蓋体１７が固着されており、収納孔の内周面と蓋体１７とで囲まれた空間が電磁石装置２を収納する収納部を構成している。また、アーマチュアブロック３’のアーマチュア３０は、長手方向の中央部におけるベース基板１の前記一表面に対向する面に支点突起（図示せず）が突設されており、当該支点突起を支点として長手方向の両端部が揺動する。
【０００４】
ここで、アーマチュアブロック３’の可動接点基台３４は、アーマチュア３０の短手方向の両側面それぞれに一端側が連結されアーマチュア３０の長手方向に沿って延出する可動接点基台支持手段である２つのＬ字状の支持片３５ａの他端側に可動接点３９と固定接点１４との接圧を設定する接圧ばね３５ｂを介して連結され、アーマチュア３０の短手方向における両側から支持されている。
【特許文献１】特開２００６−２１００１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図１６に示した構成のマイクロリレーでは、可動接点基台３４を可動接点基台３４の長手方向における両端側から接圧ばね３５ｂを介して支持しているのみであり、マイクロリレーが落下等した場合に、アーマチュアブロック３’に対して可動接点基台３４の長手方向或いは短手方向に衝撃が加わると、可動接点基台３４が可動接点基台３４の長手方向および短手方向に変位し、可動接点基台３４と接圧ばね３５ｂとの間、或いは接圧ばね３５ｂと支持片３５ａとの間が破断するおそれがあった。
【０００６】
本願発明は、上記事由に鑑みてなされたものであり、その目的は、アーマチュアブロックの耐衝撃性を向上させたマイクロリレーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１の発明は、電磁石装置を収納する収納部が形成され且つ厚み方向の一表面側に２対の固定接点が設けられたベース基板と、ベース基板の前記一表面側に固着される枠状のフレーム部およびフレーム部の内側に配置されて支持ばねを介してフレーム部に揺動自在に支持され電磁石装置により駆動されるアーマチュアおよび前記一表面とは直交する方向に揺動するアーマチュアの両端部とフレーム部との間に配設された２つの可動接点基台に保持され互いに異なる１対の固定接点に接離する可動接点を有するアーマチュアブロックと、アーマチュアブロックにおけるベース基板とは反対側で周部がフレーム部に固着されたカバーとを備え、可動接点基台は、アーマチュアの厚み方向およびアーマチュアの両端部の並び方向に直交する規定方向を長手方向とし且つアーマチュアの両端部の並び方向を短手方向として配置され、アーマチュアの両端部それぞれに連結され一部が可動接点基台の長手方向の両端側に配置される可動接点基台支持手段に可動接点と固定接点との接圧を設定するための２つの接圧ばねを介して連結され、アーマチュアと可動接点基台支持手段とのいずれか一方に一端部が連結されるとともに他端部が可動接点基台に連結されてなり各接圧ばねと可動接点基台とから構成される部分の可動接点基台の前記長手方向および前記短手方向の剛性を高める補強ばねが設けられてなることを特徴とする。
【０００８】
この発明によれば、各接圧ばねと可動接点基台とから構成される部分の可動接点基台の長手方向および短手方向の剛性を高める補強ばねを設けてあるので、可動接点基台の長手方向および短手方向への衝撃を受けたときの可動接点基台の変位量を小さくすることができるから、可動接点基台と可動接点基台支持手段とに連結される接圧ばねの両端部が破断するのを防止することができ、アーマチュアブロックの耐衝撃性を向上させることができる。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記可動接点基台支持手段は、前記アーマチュアの前記両端部それぞれに連結され前記可動接点基台の前記長手方向における両端側で前記アーマチュアの前記両端部の並び方向に沿って前記アーマチュアの前記両端部それぞれから延設された２つの支持片で構成され、前記補強ばねは、前記一端部が前記アーマチュアに連結され前記他端部が前記可動接点基台に連結されてなることを特徴とする。
【００１０】
この発明によれば、前記補強ばねを前記アーマチュアと前記可動接点基台との間に設けてあるので、特に前記可動接点基台の前記短手方向への衝撃を受けたときの前記可動接点基台の変位量を小さくすることができるから、前記可動接点基台と支持片とに連結される前記接圧ばねの両端部が破断するのを防止することができ、前記アーマチュアブロックの耐衝撃性を向上させることができる。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１の発明において、前記可動接点基台支持手段は、前記アーマチュアの前記両端部それぞれに連結され前記可動接点基台に対して前記可動接点基台の前記長手方向における両端側と前記アーマチュアとは反対側を取り囲む形で配置される支持部で構成され、前記補強ばねは、前記一端部が支持部に連結され前記他端部が前記可動接点基台に連結されてなることを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、前記補強ばねを支持部と前記可動接点基台との間に設けてあるので、特に前記可動接点基台の前記短手方向への衝撃を受けたときの前記可動接点基台の変位量を小さくすることができるから、前記可動接点基台と支持部とに連結される前記接圧ばねの両端部が破断するのを防止することができ、前記アーマチュアブロックの耐衝撃性を向上させることができる。
【００１３】
請求項４の発明は、請求項１乃至請求項３の発明において、前記可動接点基台の前記カバー側への変位量を規制するためのストッパが、前記アーマチュアの前記両端部それぞれに連結され前記可動接点基台に対して前記カバー側で一部が前記可動接点基台に対向する形で形成されてなることを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、一部が前記可動接点基台に当接することで前記可動接点基台の前記カバー側への変位量を規制するストッパが、前記アーマチュアの前記両端部それぞれに連結され前記可動接点基台に対して前記カバー側で一部が前記可動接点基台に対向する形で形成されているので、前記可動接点基台の前記カバー側への変位量を規制することができるから、前記可動接点基台と前記支持部とに連結される前記接圧ばねの両端部が破断するのを防止することができ、前記アーマチュアブロックの耐衝撃性を向上させることができる。
【００１５】
請求項５の発明は、請求項３の発明において、前記可動接点基台の前記カバー側への変位量を規制するためのストッパが、前記支持部に連結され前記可動接点基台に対して前記カバー側で一部が前記可動接点基台に対向する形で形成されてなることを特徴とする。
【００１６】
この発明によれば、一部が前記可動接点基台に当接することで前記可動接点基台の前記カバー側への変位量を規制するストッパが、前記支持部に連結され前記可動接点基台に対して前記カバー側で一部が前記可動接点基台に対向する形で形成されているので、前記可動接点基台の前記カバー側への変位量を規制することができるから、前記可動接点基台と前記支持部とに連結される前記接圧ばねの両端部が破断するのを防止することができ、前記アーマチュアブロックの耐衝撃性を向上させることができる。
【００１７】
請求項６の発明は、請求項１の発明において、前記可動接点基台支持手段は、前記アーマチュアの前記両端部それぞれに連結され前記可動接点基台に対して前記可動接点基台の前記長手方向の両側と前記アーマチュアとは反対側を取り囲む形で配置される支持部で構成され、前記補強ばねは、前記一端部が前記アーマチュアに連結され前記他端部が前記可動接点基台に連結されてなり、前記可動接点基台の前記カバー側への変位量を規制するためのストッパが、支持部に連結され前記カバー側で一部が前記可動接点基台に対向する形で形成されてなることを特徴とする。
【００１８】
この発明によれば、一部が前記可動接点基台に当接することで前記可動接点基台の前記カバー側への変位量を規制するストッパが、支持部に連結され前記カバー側で一部が前記可動接点基台に対向する形で形成されているので、前記可動接点基台の前記カバー側への変位量を規制することができるから、前記可動接点基台と支持部とに連結される前記接圧ばねの両端部が破断するのを防止することができ、前記アーマチュアブロックの耐衝撃性を向上させることができる。
【００１９】
請求項７の発明は、請求項１乃至請求項６の発明において、前記接圧ばねは、前記可動接点基台支持手段と前記可動接点基台とに連結される両端部の間の部位が前記アーマチュアの前記厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成されてなるものであって、前記接圧ばねの前記可動接点基台の前記短手方向の両端間の幅が前記可動接点基台に近づくほど狭くなる形状に形成してなることを特徴とする。
【００２０】
この発明によれば、前記接圧ばねは、平面形状において前記可動接点基台支持手段と前記可動接点基台とに連結される両端部の間の部位が前記アーマチュアの前記厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成されてなるものであって、前記接圧ばねの前記可動接点基台の前記短手方向の幅が前記可動接点基台に近づくほど狭くなる形状に形成されてなることにより、前記可動接点基台に前記可動接点基台の前記短手方向への衝撃が加わり、前記可動接点基台部が前記アーマチュアに近づく方向へ変位しても前記接圧ばねの一部が前記アーマチュアに接触することを防止し、前記接圧ばねが破損するのを防止することができる。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１の発明によれば、接圧ばねと可動接点基台とから構成される部分の可動接点基台の長手方向および短手方向の剛性を高める補強ばねを設けることにより、可動接点基台の長手方向および短手方向への衝撃を受けたときの前記可動接点基台の変位量を小さくすることができるから、可動接点基台と可動接点基台支持手段とに連結される接圧ばねの両端部が破断するのを防止することができ、アーマチュアブロックの耐衝撃性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
（実施形態１）
以下、本実施形態のマイクロリレーについて図１乃至図４に基づいて説明する。
【００２３】
本実施形態のマイクロリレーは、電磁石装置２が収納される収納部が形成され且つ厚み方向の一表面側に各１対の固定接点１４が設けられた直方体状のベース基板１と、ベース基板１の前記一表面側に固着される矩形枠状のフレーム部３１およびフレーム部３１の内側に配置されて４つの支持ばね３２を介してフレーム部３１に揺動自在に支持され電磁石装置２により駆動される平面視長方形状のアーマチュア３０および前記一表面とは直交する方向に揺動するアーマチュア３０の両端部に連結された平面視長方形状の可動接点基台３４，３４に保持される形で配置され各１対の固定接点１４に接離する後述の可動接点３９を有するアーマチュアブロック３と、アーマチュアブロック３におけるベース基板１とは反対側で周部がフレーム部３１に固着されたカバー４とを備える。
【００２４】
ベース基板１は、パイレックス（登録商標）のような耐熱ガラスにより形成され、中央部に厚み方向に貫通し電磁石装置２を収納する収納孔１６が貫設され、長手方向の両端部それぞれには厚み方向に貫通し開口面が円形状の３つのスルーホール１０が短手方向に等間隔で貫設されている。なお、スルーホール１０は、ベース基板１における後述の固定接点が設けられる一表面から他表面に近づくにつれて徐々に開口面積が大きくなるテーパ形状に形成されている。
【００２５】
ベース基板１の一表面側に設けられた各１対の固定接点１４は、ベース基板１の長手方向の両端部においてベース基板１の短手方向の両端側に離間して形成された２つのスルーホール１０の間で上記短手方向に並設されており、上記短手方向において隣り合うスルーホール１０の周縁と導電パターン１８を介して電気的に接続されている。ここに、固定接点１４の材料としては、例えば、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｐｔ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｕ、又はこれらの合金などの導電性材料を採用すればよい。なお、上述のスルーホール１０および収納孔１６は、例えば、サンドブラスト法やエッチング法などによって形成すればよく、固定接点１４は、例えば、めっき法、蒸着法、スパッタ法などによって形成すればよい。
【００２６】
また、ベース基板１の上記一表面側には、収納孔１６を閉塞するシリコン薄膜からなる蓋体１７が固着されている。即ち、電磁石装置２は、後述のヨーク２０の両脚片２０ｂ，２０ｂの各先端面が蓋体１７と対向する形で収納孔１６に挿入される。なお、本実施形態では、収納孔１６の内周面と蓋体１７とで囲まれる空間が電磁石装置２を収納する収納部を構成している。なお、蓋体１７は、シリコン基板をエッチング又は研磨によって薄膜化することにより形成したシリコン薄膜により構成されている。また、蓋体１７は、シリコン薄膜に限らず、ガラス基板をエッチングや研磨などで薄膜化することにより形成したガラス薄膜により構成してもよい。
【００２７】
また、収納孔１６は、ベース基板１の上記一表面から上記他表面に近づくにつれて徐々に開口面積が大きくなるテーパ形状となっており、ベース基板１の他表面側から電磁石装置２を挿入し易く、且つ、ベース基板１の上記一表面における収納孔１６の開口面積を比較的小さくすることができる。
【００２８】
電磁石装置２におけるヨーク２０は、図１に示すように、２つのコイル２２，２２が直接巻回される細長の矩形板状のコイル巻回部２０ａと、コイル巻回部２０ａの長手方向の両端部それぞれからアーマチュア３０に近づく向きに延設されコイル２２，２２への励磁電流に応じて互いの先端面が異極に励磁される一対の脚片２０ｂ，２０ｂと、ヨーク２０の両脚片２０ｂ，２０ｂの間でコイル巻回部２０ａの長手方向の中央部に重ねて配置された矩形板状の永久磁石２１とを備えている。なお、ヨーク２０は、電磁軟鉄などの鉄板を曲げ加工、鋳造加工、プレス加工などにより加工することによって形成されており、両脚片２０ｂ，２０ｂの断面が矩形状に形成されている。ここで、電磁石装置２は、２つのコイル２２，２２に励磁電流を通電したときに電磁力を発生するものであり、当該電磁力によって後述のアーマチュア３０に固着された磁性体からなる磁性体部３０ｂ（図３参照）を吸引することができる。
【００２９】
永久磁石２１は、コイル巻回部２０ａとの重ね方向（厚み方向）の両面それぞれの磁極面２１ａ，２１ｂが異極に着磁されており、磁極面２１ｂがヨーク２０のコイル巻回部２０ａに当接し、他方の磁極面２１ａがヨーク２０の両脚片２０ｂ，２０ｂの先端面と同一平面上に位置するように厚み寸法を設定してある。なお、各コイル２２，２２はそれぞれ、永久磁石２１とヨーク２０の脚片２０ｂ，２０ｂとによってコイル巻回部２０ａの長手方向への移動が規制される。
【００３０】
アーマチュアブロック３は、図１および図３に示すように、シリコン基板からなる半導体基板を半導体微細加工プロセスにより加工することによって形成され、枠状（矩形枠状）のフレーム部３１と、フレーム部３１の内側に配置される矩形板状のアーマチュア３０と、アーマチュア３０をフレーム部３１に対して揺動自在に支持する４つの支持ばね３２と、アーマチュア３０の長手方向の両端側に配設され可動接点３９を保持する２つの可動接点基台３４と、各可動接点基台３４と可動接点基台支持手段である後述の４つの支持片３５ａとに連結される４つの接圧ばね３５ｂとを備え、フレーム部３１がベース基板１の前記一表面側に固着される。
【００３１】
アーマチュア３０は、矩形板状の可動基台３０ａと、可動基台３０ａにおけるベース基板１との対向面に固着された磁性体（例えば、軟鉄、電磁ステンレス、パーマロイなど）からなる矩形板状の磁性体部３０ｂとから構成されている。ここで、可動基台３０ａはフレーム部３１よりも薄肉であり、アーマチュア３０の厚み寸法は、アーマチュアブロック３とベース基板１とを固着した状態においてアーマチュア３０の磁性体部３０ｂと蓋体１７との間に空隙が形成されるように設定されている。
【００３２】
可動基台３０ａは、短手方向の両側縁の中央部から矩形状の突片３６が連続一体に延設され、フレーム部３１の内周面において突片３６に対応する部位からも矩形状の突片３７が連続一体に延設されている。即ち、可動基台３０ａから延設された突片３６とフレーム部３１から延設された突片３７とは互いの先端面同士が対向している。ここに、可動基台３０ａから延設された各突片３６の先端面には凸部３６ａが形成されており、フレーム部３１から延設された各突片３７の線端面には、凸部３６ａが入り込む凹部３７ａが形成されている。従って、凸部３６ａが凹部３７ａの内周面に当接することでフレーム部３１の厚み方向に直交する面内におけるアーマチュア３０の移動が規制される。なお、アーマチュア３０の同一の側縁側に配設される２つの支持ばね３２は、突片３６の両側に位置している。また、可動基台３０ａには、図３に示すように、ベース基板１との対向面にアーマチュア３０の揺動の支点となる支点突起５８，５８が形成されており、アーマチュアブロック３がベース基板１に固着された状態で、支点突起５８，５８の先端部がベース基板１の上記一表面に当接している。更に、可動基台３０ａの長手方向の両端部それぞれにおける短手方向の中央部には、凹部３１０ａが形成されている。
【００３３】
また、可動基台３０ａの４隅から短手方向の両側に向かって矩形板状のストッパ基台部３８が延設され、ストッパ基台部３８においてベース基板１との対向面には、アーマチュア３０の揺動範囲を規制するストッパ部５９（図３参照）が形成されている。このストッパ部５９は、ベース基板１の上記一表面と接触することによりアーマチュア３０の変位量を制限する。しかして、磁性体部３０ｂと蓋体１７とが接触することを回避することができるので、磁性体部３０ｂ又は蓋体１７が破損するのを防止することができる。
【００３４】
支持ばね３２は、図１および図３に示すように、可動基台３０ａの短手方向の両側面側で可動基台３０ａの長手方向に離間した２箇所に形成されている。各支持ばね３２は、一端部が可動基台３０ａに連続一体に連結され他端部がフレーム部３１の内周面に連続一体に連結されている。なお、支持ばね３２は、平面形状において上記一端部と上記他端部との間の部位を同一面内で蛇行した形状に形成することにより長さ寸法を長くしてあり、アーマチュア３０が揺動する際に支持ばね３２に発生する応力を分散させることができ、各支持ばね３２が破損するのを防止することができる。
【００３５】
可動接点３９は、導電性材料で形成され、図３に示すように、アーマチュア３０の長手方向の両端側に配設された後述の可動接点基台３４におけるベース基板１との対向面に固着されている。ここで、アーマチュアブロック３がベース基板１に接合された状態では、可動接点３９の先端がべース基板１の前記一表面に形成された各１対の固定接点１４に対向している。
【００３６】
可動接点基台３４は、平面視長方形状に形成され、アーマチュア３０の両端部とフレーム部３１との間に、アーマチュア３０の厚み方向およびアーマチュア３０の両端部の並び方向に直交する規定方向を長手方向とし、且つアーマチュア３０の両端部の並び方向を短手方向として配置されている。また、可動接点基台３４は、ベース基板１の１対の固定接点１４の並設方向を長手方向として配置されている。また、可動接点基台３４は、一端部がアーマチュア３０の短手方向の両側面と連続一体に連結されアーマチュア３０の長手方向に沿って延出する可動接点基台を支持するための可動接点基台支持手段である２つのＬ字状の支持片３５ａの他端部に接圧ばね３５ｂを介して連結され、可動接点基台３４は、アーマチュア３０の短手方向において両側から支持されている。
【００３７】
接圧ばね３５ｂは、可動接点支持手段である支持片３５ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向とは直交する面内で蛇行した形状に形成されている。しかして、接圧ばね３５ｂの長さを適当な長さとして接圧ばね３５ｂのばね力を適宜設定することにより、固定接点１４と可動接点３９との接点圧を所望の大きさに設定することができるので、固定接点１４と可動接点３９との接触信頼性を向上させることができる。
【００３８】
カバー４は、パイレックス（登録商標）のような耐熱ガラスで形成されており、図１に示すように、アーマチュアブロック３との対向面にアーマチュア３０の揺動空間を確保する凹所（図示せず）が形成されている。
【００３９】
次に、本実施形態のマイクロリレーの動作について説明する。
【００４０】
本実施形態のマイクロリレーでは、コイル２２，２２への通電が行われると、磁化の向きに応じて磁性体部３０ｂの長手方向の一端部がヨーク２０の一方の脚片２０ｂに吸引されてアーマチュア３０が揺動しアーマチュア３０の一端側の可動接点基台３４に固着された可動接点３９が対向する１対の固定接点１４，１４に所定の接圧で接触する（つまり、１対の固定接点１４，１４間が可動接点３９を介して短絡される）。この状態で通電を停止しても、永久磁石２１の発生する磁束により、吸引力が維持され、そのままの状態が保持される。
【００４１】
また、コイル２２，２２への通電方向を逆向きにすると、アーマチュア３０の一部を構成する磁性体部３０ｂがヨーク２０の他方の脚片２０ｂに吸引されてアーマチュア３０が揺動しアーマチュア３０の他端側の可動接点基台３４に保持された可動接点３９が対向する１対の固定接点１４，１４に所定の接点圧で接触する。この状態で通電を停止しても、永久磁石２１の発生する磁束により、吸引力が維持され、そのままの状態が保持される。
【００４２】
ところで、アーマチュアブロック３は、図１，３，４に示すように、平面形状において両端部の間の部位が蛇行した形状に形成された補強ばね３１０を有する。
【００４３】
補強ばね３１０は、一端部が可動接点基台３４に連結され他端部がアーマチュア３０の一部を構成する可動基台３０ａに連結され、接圧ばね３５ｂと可動接点基台３４とから構成される部分の可動接点基台３４の長手方向および短手方向の剛性を高めている。なお、補強ばね３１０は、上述の可動基台３０ａの長手方向の両端面における短手方向の中央部に形成された凹部３１０ａの底面に連続一体に連結されている。
【００４４】
しかして、本実施形態のマイクロリレーでは、上述の補強ばね３１０を設けてあるので、例えば落下等により可動接点基台３４の短手方向への衝撃を受けたときの可動接点基台３４の変位量を小さくすることができるので、可動接点基台３４と支持片３５ａとに連結される接圧ばね３５ｂの両端部が破断するのを防止することができる。つまり、アーマチュアブロック３の耐衝撃性を向上させることができる。
【００４５】
（実施形態２）
ところで、実施形態１のマイクロリレー（図４参照）では、接圧ばね３５ｂが支持片３５ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成され、接圧ばね３５ｂにおける可動接点基台３４の短手方向の幅が、可動接点基台３４の短手方向の幅よりも大きく形成されている。従って、例えば、落下等により可動接点基台３４に対してアーマチュア３０に近づく方向の衝撃が加わり、可動接点基台３４がアーマチュア３０に近づく方向に規定の大きさだけ変位したときに、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との接続部分近傍がアーマチュア３０に接触するおそれがある。
【００４６】
これに対して、本実施形態のマイクロリレーにおける接圧ばね３５ｂの平面形状は、図５に示すように、支持片３５ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成されてなるものであって、接圧ばね３５ｂの可動接点基台３４の短手方向の両端間の幅が可動接点基台３４に近づくほど狭くなる形状に形成されている。ここで、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との連結部分近傍では、接圧ばね３５ｂにおける可動接点基台３４の短手方向の幅が、可動接点基台３４の短手方向の幅よりも小さくなるように形成されている。
【００４７】
しかして、本実施形態のマイクロリレーでは、上述のように可動接点基台３４がアーマチュア３０に近づく方向に前記規定の大きさだけ変位したときに、接圧ばね３５ｂの一部（特に、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との連結部分近傍）がアーマチュア３０に接触するのを防ぐことにより、接圧ばね３５ｂが破損するのを防止することができる。
【００４８】
（実施形態３）
本実施形態のマイクロリレーの基本構成は、実施形態１と略同じであり、図６に示すように、可動接点基台支持手段である支持部３５２は、アーマチュア３０の長手方向の両端部それぞれに連結され、可動接点基台３４に対して可動接点基台３４の長手方向における両端側とアーマチュア３０とは反対側を取り囲む形で配置されてなるものであって、補強ばね３１０は、一端部が支持部３５２に連結され他端部が可動接点基台３４に連結されてなる点が相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
【００４９】
ここで、支持部３５２は、図６に示すように、一端部が可動基台部３０ａの長手方向の両端部において短手方向の両側に延設されたアーマチュア３０の一部を構成する２つのストッパ基台部３８と連続一体に連結され可動基台部の長手方向の両端側に延出した２つの脚部３５２ａと、２つの支持部３５２ａの他端部間に設けられる中央部３５２ｂとから構成される。即ち、支持部３５２は、可動接点基台３４に対して可動接点基台３４の長手方向における両端側とアーマチュア３０とは反対側を取り囲む形で配設されている。ここで、可動接点基台３４は、支持部３５２の脚部３５２ａに接圧ばね３５ｂを介して連結されアーマチュア３０の短手方向において両側から支持されている。
【００５０】
補強ばね３１０は、一端部が可動接点基台３４に連結され他端部が支持部３５２の中央部３５２ｂに連結され、接圧ばね３５ｂと可動接点基台３４とから構成される部分の可動接点基台３４の長手方向および短手方向の剛性を高めている。
【００５１】
しかして、本実施形態のマイクロリレーでは、上述の補強ばね３１０を設けてあるので、例えば、落下等により可動接点基台３４の短手方向への衝撃を受けたときの可動接点基台３４の変位量を小さくすることができるから、可動接点基台３４と支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａとに連結される接圧ばね３５ｂの両端部が破断するのを防止することができる。つまり、アーマチュアブロック３の耐衝撃性を向上させることができる。
【００５２】
（実施形態４）
ところで、実施形態３のマイクロリレー（図６参照）では、接圧ばね３５ｂが支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成され、接圧ばね３５ｂにおける可動接点基台３４の短手方向の幅が、可動接点基台３４の短手方向の幅よりも大きく形成されている。従って、例えば、落下等により可動接点基台３４に対してアーマチュア３０に近づく方向の衝撃が加わり、可動接点基台３４がアーマチュア３０に近づく方向に規定の大きさだけ変位したときに、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との接続部分近傍がアーマチュア３０に接触するおそれがある。
【００５３】
これに対して、本実施形態のマイクロリレーにおける接圧ばね３５ｂの平面形状は、図７に示すように、支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成されてなるものであって、接圧ばね３５ｂの可動接点基台３４の短手方向の両端間の幅が可動接点基台３４に近づくほど狭くなる形状に形成されている。ここで、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との連結部分近傍では、接圧ばね３５ｂにおける可動接点基台３４の短手方向の幅が、可動接点基台３４の短手方向の幅よりも小さくなるように形成されている。
【００５４】
しかして、本実施形態のマイクロリレーでは、上述のように可動接点基台３４がアーマチュア３０に近づく方向に前記規定の大きさだけ変位したときに、接圧ばね３５ｂの一部（特に、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との連結部分近傍）がアーマチュア３０に接触するのを防ぐことにより、接圧ばね３５ｂが破損するのを防止することができる。
【００５５】
（実施形態５）
ところで、実施形態１に示した構成のマイクロリレーでは、可動接点基台３４がアーマチュア３０の厚み方向に直交する方向から２本の接圧ばね３５ｂと一本の補強ばね３１０とを介して支持されているのみであり、アーマチュア３０の厚み方向への衝撃に対しては剛性が比較的低く、例えば、落下等により、アーマチュア３０の厚み方向へ過度の衝撃が加わると、可動接点基台３４がカバー４側へ大きく変位して可動接点基台３４と支持片３５ａとに連結される接圧ばね３５ｂの両端部が破断するおそれがあった。
【００５６】
本実施形態のマイクロリレーの基本構成は、実施形態１と略同じであり、図８（ａ），（ｂ）に示すように、アーマチュアブロック３が可動接点基台３４のアーマチュア３０の厚み方向への変位量を規制するためのストッパ３１１を備える点が相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
【００５７】
補強ばね３１０は、一端部が可動接点基台３４に連結され他端部がアーマチュア３０の一部を構成する可動基台３０ａの凹部３１０ａに連結され、接圧ばね３５ｂと可動接点基台３４とから構成される部分の可動接点基台３４の長手方向と短手方向の剛性を高めている。
【００５８】
ストッパ３１１は、一端部がアーマチュア３０の一部を構成する可動基台３０ａの長手方向の両端部それぞれに連続一体に連結されアーマチュア３０の厚み方向においてベース基板１とは反対側に突出する立上げ部３１１ａの他端部から、可動基台３０ａの一表面に平行し可動基台３０ａの両端側に向かって延出する矩形板状の延出部３１１ｂとを有する。延出部３１１ｂは、可動接点基台３４をカバー４側から覆う形で形成されている。即ち、ストッパ３１１は、アーマチュア３０の両端部それぞれに連結され、可動接点基台３４に対してカバー４側で延出部３１１ｂの一部が可動接点基台３４に対向する形で形成されている。従って、ストッパ３１１は、延出部３１１ｂの一部が可動接点基台３４に当接することで可動接点基台３４のカバー４側への変位量を規制している。ここで、アーマチュアブロック３に衝撃が加わっていない状態では、可動接点基台３４と延出部３１１ｂとの間には隙間が形成され、可動接点基台３４が当該隙間の大きさに相当する量だけアーマチュア３０の厚み方向へ変位可能となっている。なお、ストッパ３１１は、例えば、ポリシリコンまたはポリイミド等の材料からなり、表面マイクロマシニング技術を用いて形成されている。
【００５９】
しかして、本実施形態のマイクロリレーでは、上述の補強ばね３１０とストッパ３１１とを設けてあるので、例えば、落下等により可動接点基台３４の短手方向への衝撃を受けたときの可動接点基台３４の変位量を小さくすることができるとともに、カバー４側へ衝撃を受けたときの可動接点基台３４の変位量も小さくすることができるから、可動接点基台３４と支持片３５ａとに連結される接圧ばね３５ｂの両端部が破断するのを防止することができる。つまり、アーマチュアブロック３の耐衝撃性を向上させることができる。
【００６０】
（実施形態６）
ところで、実施形態５のマイクロリレー（図８参照）では、接圧ばね３５ｂが支持片３５ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成され、接圧ばね３５ｂにおける可動接点基台３４の短手方向の幅が、可動接点基台３４の短手方向の幅よりも大きく形成されている。従って、例えば、落下等により可動接点基台３４に対してアーマチュア３０に近づく方向の衝撃が加わり、可動接点基台３４がアーマチュア３０に近づく方向に規定の大きさ以上変位したときに、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との接続部分近傍がアーマチュア３０に接触するおそれがある。
【００６１】
これに対して、本実施形態のマイクロリレーにおける接圧ばね３５ｂの平面形状は、図９に示すように、支持片３５ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成され、可動接点基台３４の短手方向の幅が可動接点基台３４に近づくほど狭くなる形状に形成されている。ここで、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との連結部分近傍では、接圧ばね３５ｂにおける可動接点基台３４の短手方向の幅が、可動接点基台３４の短手方向の幅よりも小さくなるように形成されている。
【００６２】
しかして、本実施形態のマイクロリレーでは、上述のように可動接点基台３４がアーマチュア３０に近づく方向に前記規定の大きさだけ変位したときに、接圧ばね３５ｂの一部（特に、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との連結部分近傍）がアーマチュア３０に接触するのを防ぐことにより、接圧ばね３５ｂが破損するのを防止することができる。
【００６３】
（実施形態７）
本実施形態のマイクロリレーの基本構成は、実施形態１と略同じであり、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、アーマチュア３０の一部を構成する可動基台３０ａの長手方向の両端部に可動接点基台支持手段である支持部３５２が形成され、可動接点基台３４が支持部３５２に接圧ばね３５ｂおよび補強ばね３１０を介して連結されるものであって、アーマチュアブロック３が可動接点基台３４のアーマチュア３０の厚み方向への変位量を規制するためのストッパ３１１を備える点が相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
【００６４】
ここで、支持部３５２は、図６に示す構成と同様に、可動接点基台３４に対して可動接点基台３４の長手方向における両端側とアーマチュア３０とは反対側を取り囲む形で配設され、可動接点基台３４が支持部３５２の脚部３５２ａに接圧ばね３５ｂを介して連結されアーマチュア３０の短手方向において両側から支持されている。
【００６５】
補強ばね３１０は、一端部が可動接点基台３４に連結され他端部が支持部３５２の中央部３５２ｂに連結され、接圧ばね３５ｂと可動接点基台３４とから構成される部分の可動接点基台３４の長手方向と短手方向の剛性を高めている。
【００６６】
ストッパ３１１は、図８（ａ），（ｂ）に示す構成と同様に、アーマチュア３０の両端部それぞれに連結され、可動接点基台３４に対してカバー４側で延出部３１１ｂの一部が可動接点基台３４に対向する形で形成されている。従って、ストッパ３１１は、延出部３１１ｂの一部が可動接点基台３４に当接することで可動接点基台３４のカバー４側への変位量を規制している。
【００６７】
しかして、本実施形態のマイクロリレーでは、上述の補強ばね３１０とストッパ３１１とを設けてあるので、例えば、落下等により可動接点基台３４の短手方向への衝撃を受けたときの可動接点基台３４の変位量を小さくすることができるとともに、カバー４側へ衝撃を受けたときの可動接点基台３４の変位量を小さくすることができるので、可動接点基台３４と支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａとに連結される接圧ばね３５ｂの両端部が破断するのを防止することができる。つまり、アーマチュアブロック３の耐衝撃性を向上させることができる。
【００６８】
（実施形態８）
ところで、実施形態７のマイクロリレー（図１０参照）では、接圧ばね３５ｂが支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成され、接圧ばね３５ｂにおける可動接点基台３４の短手方向の幅が、可動接点基台３４の短手方向の幅よりも大きく形成されている。従って、例えば、落下等により可動接点基台３４に対してアーマチュア３０に近づく方向の衝撃が加わり、可動接点基台３４がアーマチュア３０に近づく方向に規定の大きさ以上変位したときに、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との接続部分近傍がアーマチュア３０に接触するおそれがある。
【００６９】
これに対して、本実施形態におけるマイクロリレーの接圧ばね３５ｂの平面形状は、図１１に示すように、支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成され、可動接点基台３４の短手方向の幅が可動接点基台３４に近づくほど狭くなる形状に形成されている。ここで、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との連結部分近傍では、接圧ばね３５ｂにおける可動接点基台３４の短手方向の幅が、可動接点基台３４の短手方向の幅よりも小さくなるように形成されている。
【００７０】
しかして、本実施形態のマイクロリレーでは、上述のように可動接点基台３４がアーマチュア３０に近づく方向に前記規定の大きさだけ変位したときに、接圧ばね３５ｂの一部（特に、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との連結部分近傍）がアーマチュア３０に接触するのを防ぐことにより、接圧ばね３５ｂが破損するのを防止することができる。
【００７１】
（実施形態９）
本実施形態のマイクロリレーの基本構成は、実施形態１と略同じであり、図１２（ａ），（ｂ）に示すように、アーマチュア３０の一部を構成する可動基台３０ａの長手方向の両端部に支持部３５２が形成され、可動接点基台３４が可動接点基台支持手段である支持部３５２に接圧ばね３５ｂを介して連結されるものであって、アーマチュアブロック３に可動接点基台３４のアーマチュア３０の厚み方向への変位量を規制するためのストッパ３１１を備える点が相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
【００７２】
ここで、支持部３５２は、図６に示す構成と同様に、可動接点基台３４に対して可動接点基台３４の長手方向における両端側とアーマチュア３０とは反対側を取り囲む形で配設され、可動接点基台３４が支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａに接圧ばね３５ｂを介して連結されアーマチュア３０の短手方向において両側から支持されている。
【００７３】
補強ばね３１０は、一端部が可動接点基台３４に連結され他端部が支持部３５２の一部を構成する中央部３５２ｂに連結され、接圧ばね３５ｂと可動接点基台３４とから構成される部分の可動接点基台３４の長手方向と短手方向の剛性を高めている。
【００７４】
ストッパ３１１は、一端部が支持部３５２の中央部３５２ｂに連結されアーマチュア３０の厚み方向においてベース基板１とは反対側に突出する立上げ部３１１ａと、立上げ部３１１ａの他端部から可動基台３０ａの一表面に平行し可動基台３０ａに向かって延出する矩形板状の延出部３１１ｂとを有する。ここで、延出部３１１ｂは、可動接点基台３４を覆う形で形成されている。即ち、ストッパ３１０は、支持部３５２の中央部３５２ｂに連結され、可動接点基台３４に対してカバー４側で一部が可動接点基台３４に対向する形で形成されている。従って、ストッパ３１１は、一部が可動接点基台３４に当接することで可動接点基台３４のカバー４側への変位量を規制している。
【００７５】
しかして、本実施形態のマイクロリレーでは、上述の補強ばね３１０とストッパ３１１とを設けてあるので、例えば、落下等により可動接点基台３４の短手方向への衝撃を受けたときの可動接点基台３４の変位量を小さくすることができるとともに、カバー４側へ衝撃を受けたときの可動接点基台３４の変位量も小さくすることができるので、可動接点基台３４と支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａとに連結される接圧ばね３５ｂの両端部が破断するのを防止することができる。つまり、アーマチュアブロック３の耐衝撃性を向上させることができる。
【００７６】
（実施形態１０）
ところで、実施形態９のマイクロリレー（図１２参照）では、接圧ばね３５ｂが支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成され、接圧ばね３５ｂにおける可動接点基台３４の短手方向の幅が、可動接点基台３４の短手方向の幅よりも大きく形成されている。従って、例えば、落下等により可動接点基台３４に対してアーマチュア３０に近づく方向の衝撃が加わり、可動接点基台３４がアーマチュア３０に近づく方向に規定の大きさだけ変位したときに、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との接続部分近傍がアーマチュア３０に接触するおそれがある。
【００７７】
これに対して、本実施形態のマイクロリレーにおける接圧ばね３５ｂの平面形状は、図１３に示すように、支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成され、可動接点基台３４の短手方向の幅が可動接点基台３４に近づくほど狭くなる形状に形成されている。ここで、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との連結部分近傍では、接圧ばね３５ｂにおける可動接点基台３４の短手方向の幅が、可動接点基台３４の短手方向の幅よりも小さくなるように形成されている。
【００７８】
しかして、本実施形態のマイクロリレーでは、上述のように可動接点基台３４がアーマチュア３０に近づく方向に前記規定の大きさだけ変位したときに、接圧ばね３５ｂの一部（特に、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との連結部分近傍）がアーマチュア３０に接触するのを防ぐことにより、接圧ばね３５ｂが破損するのを防止することができる。
【００７９】
（実施形態１１）
本実施形態のマイクロリレーの基本構成は、実施形態１と略同じであり、図１４（ａ），（ｂ）に示すように、アーマチュア３０の一部を構成する可動基台３０ａの長手方向の両端部に可動接点基台支持手段である支持部３５２が形成され、可動接点基台３４が支持部３５２に接圧ばね３５ｂを介して連結されるとともに、アーマチュア３０の一部を構成する可動基台３０ａに補強ばね３１０を介して連結されるものであって、アーマチュアブロック３に可動接点基台３４のアーマチュア３０の厚み方向への変位量を規制するためのストッパ３１１を備える点が相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
【００８０】
ここで、支持部３５２は、図６に示す構成と同様に、可動接点基台３４に対して可動接点基台３４の長手方向における両端側とアーマチュア３０とは反対側を取り囲む形で配設され、可動接点基台３４が支持部３５２の脚部３５２ａに接圧ばね３５ｂを介して連結されアーマチュア３０の短手方向において両側から支持されている。
【００８１】
補強ばね３１０は、一端部が可動接点基台３４に連結され他端部がアーマチュア３０の一部を構成する可動基台３０ａの凹部３１０ａに連結され、接圧ばね３５ｂと可動接点基台３４とから構成される部分の可動接点基台３４の長手方向と短手方向の剛性を高めている。
【００８２】
ストッパ３１１は、図１２に示す構成と同様に、支持部３５２の中央部３５２ｂに連結され、可動接点基台３４に対して可動接点３９が固着される側とは反対側で一部が可動接点基台３４に対向する形で形成されている。従って、ストッパ３１１は、一部が可動接点基台３４に当接することで可動接点基台３４のカバー４側への変位量を規制している。
【００８３】
しかして、本実施形態のマイクロリレーでは、上述の補強ばね３１０とストッパ３１１とを設けてあるので、例えば、落下等により可動接点基台３４の短手方向への衝撃を受けたときの可動接点基台３４の変位量を小さくすることができるとともに、カバー４側へ衝撃を受けたときの可動接点基台３４の変位量も小さくすることができるので、可動接点基台３４と支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａとに連結される接圧ばね３５ｂの両端部が破断するのを防止することができる。つまり、アーマチュアブロック３の耐衝撃性を向上させることができる。
【００８４】
（実施形態１２）
ところで、実施形態１１のマイクロリレー（図１４参照）では、接圧ばね３５ｂが支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成され、接圧ばね３５ｂにおける可動接点基台３４の短手方向の幅が可動接点基台３４の短手方向の幅よりも大きく形成されている。従って、例えば、落下等により可動接点基台３４に対してアーマチュア３０に近づく方向の衝撃が加わり、可動接点基台３４がアーマチュア３０に近づく方向に規定の大きさだけ変位したときに、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との接続部分近傍がアーマチュア３０に接触するおそれがある。
【００８５】
これに対して、本実施形態のマイクロリレーにおける接圧ばね３５ｂの平面形状は、図１５に示すように、支持部３５２の一部を構成する脚部３５２ａと可動接点基台３４とに連結される両端部の間の部位がアーマチュア３０の厚み方向に直交する面内で蛇行した形状に形成されるとともに、可動接点基台３４の短手方向の幅が可動接点基台３４に近づくほど狭くなる形状に形成されている。ここで、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との連結部分近傍では、接圧ばね３５ｂにおける可動接点基台３４の短手方向の幅が、可動接点基台３４の短手方向の幅よりも小さくなるように形成されている。
【００８６】
しかして、本実施形態のマイクロリレーでは、上述のように可動接点基台３４がアーマチュア３０に近づく方向に前記規定の大きさだけ変位したときに、接圧ばね３５ｂの一部（特に、接圧ばね３５ｂのうち可動接点基台３４との連結部分近傍）がアーマチュア３０に接触するのを防ぐことにより、接圧ばね３５ｂが破損するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】実施形態１のマイクロリレーの分解斜視図である。
【図２】同上のベース基板側から見た斜視図である。
【図３】同上のアーマチュアブロックの分解斜視図である。
【図４】同上の要部概略平面図である。
【図５】実施形態２のマイクロリレーの要部概略平面図である。
【図６】実施形態３のマイクロリレーの要部概略平面図である。
【図７】実施形態４のマイクロリレーの要部概略平面図である。
【図８】実施形態５のマイクロリレーを示し、（ａ）は要部概略平面図、（ｂ）は要部概略側面図である。
【図９】実施形態６のマイクロリレーを示し、（ａ）は要部概略平面図、（ｂ）は要部概略側面図である。
【図１０】実施形態７のマイクロリレーを示し、（ａ）は要部概略平面図、（ｂ）は要部概略側面図である。
【図１１】実施形態８のマイクロリレーを示し、（ａ）は要部概略平面図、（ｂ）は要部概略側面図である。
【図１２】実施形態９のマイクロリレーを示し、（ａ）は要部概略平面図、（ｂ）は要部概略側面図である。
【図１３】実施形態１０のマイクロリレーを示し、（ａ）は要部概略平面図、（ｂ）は要部概略側面図である。
【図１４】実施形態１１のマイクロリレーを示し、（ａ）は要部概略平面図、（ｂ）は要部概略側面図である。
【図１５】実施形態１２のマイクロリレーを示し、（ａ）は要部概略平面図、（ｂ）は要部概略側面図である。
【図１６】従来例の分解斜視図である。
【符号の説明】
【００８８】
１    ベース基板
２    電磁石装置
３    アーマチュアブロック
４    カバー
１４  固定接点
３０  アーマチュア
３１  フレーム部
３２  支持ばね
３４  可動接点基台
３５ａ  支持片（可動接点基台支持手段）
３５ｂ  接圧ばね
３９  可動接点
３１０  補強ばね
３１１  ストッパ
３５２  支持部（可動接点基台支持手段）
【図１】
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【図２】
2009277591.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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