(57)【要約】【課題】飛散した液状体がキャッピング装置の接触部に付着してノズル面と接触部との間に液状体が介在すると、接触部がノズル面に密着することができなくなる。この結果、内部空間の密閉度が下がり、内部空間に所望する負圧が発生しないために、ノズルが確実にクリーニングされず、ノズルの吐出回復処理ができない。【解決手段】接触部５１の接触面５１ｓを清掃する清掃手段が設けられている。清掃手段は、布などの繊維材料やスポンジなどの多孔質材料を表面に有する部材で形成されたローラー７５と、このローラー７５を保持しつつ図面左右方向に移動させる移動部材７０、およびこの移動部材７０を移動駆動するモータＭ２とを有している。モータＭ２は、制御部１０の制御によって動作し、移動部材７０を図中白抜き矢印で示したように左右方向に移動する。このとき、ローラー７５は接触面５１ｓ上を所定の係合量Ｄで移動して、接触面５１ｓをクリーニングする。【選択図】図３
2009202075.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル面に形成されたノズルを覆うキャッピング装置であって、
前記ノズル面に接触して内部空間を形成する接触面を有する接触部と、
前記接触面を清掃部材を用いて清掃する清掃手段と、
を備えたことを特徴とするキャッピング装置。
【請求項２】
請求項１に記載のキャッピング装置であって、
前記清掃手段は、
前記清掃部材を前記接触面に当接状態で移動させる移動手段を含むことを特徴とするキャッピング装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のキャッピング装置であって、
前記清掃手段は、前記清掃部材に前記接触面を洗浄する洗浄液を含浸させる含浸手段を含むことを特徴とするキャッピング装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載のキャッピング装置であって、
ノズルの吐出回復処理の終了によって前記接触面が前記ノズル面から離れた後、直ちに前記接触面を清掃するように前記清掃手段を制御する制御部を備えたことを特徴とするキャッピング装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載のキャッピング装置と、
ノズルから液状体を吐出する吐出手段と、
を備えた液状体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャッピング装置およびこのキャッピング装置を備えた液状体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、機能性材料を含む液状体をヘッドに配設されたノズルから基板に対して吐出し、吐出された液状体を固化して薄膜を形成する方法が提案されている。形成する薄膜の代表的な例としては、例えば、カラーフィルタや有機ＥＬパネルの発光層、金属配線などが挙げられる。
【０００３】
このような方法を用いた場合、良好に薄膜を形成するためには、予め定められた量の液状体が、ノズルから確実に基板に吐出されることが要求される。そうでないと、例えば吐出された液状体によって形成される薄膜の厚さにバラツキが生じ、その結果特性バラツキが生じて均質な薄膜形成が阻害されてしまうことになるからである。
【０００４】
そこで、ノズルをキャッピング装置（あるいはキャッピング手段）を用いてクリーニングして、ノズルから確実に液状体が吐出できるよう回復させる吐出回復処理が従来から行われている。キャッピング装置は、周知のように、ノズルが形成されたノズル面を弾性ゴムなどで形成された接触部によって覆い、覆うことによって形成される内部空間を負圧にしてノズルから液状体を吸引することでノズルをクリーニングする装置である。このため、キャッピング装置がノズル面から離れて内部空間の負圧が解除されるとき発生する大気流に起因して、この内部空間に貯留された液状体が周囲に飛散し、種々の障害を引き起こす課題がある。
【０００５】
そこで、例えば特許文献１には、内部空間に貯留された液状体が周囲に飛散する度合いを大幅に低減する技術が開示されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１３８５３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示された技術を用いた場合であっても、液状体の飛散が低減されるものの、飛散した液状体がキャッピング装置の接触部に付着することが生ずる。このとき、接触部に付着した液状体がノズル面との接触面に介在すると、接触面がノズル面に対して密着することができなくなる。この結果、内部空間の密閉度が下がり、内部空間に所望する負圧が発生しないために、ノズルが確実にクリーニングされず、ノズルの吐出回復処理を行えないという課題が生ずる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するために行われたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］ノズル面に形成されたノズルを覆うキャッピング装置であって、前記ノズル面に接触して内部空間を形成する接触面を有する接触部と、前記接触面を清掃部材を用いて清掃する清掃手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、キャッピング装置は、ノズル面と接触する接触面を清掃することができるので、接触部がノズル面に接触して形成する内部空間を、高い密閉度で形成することができる。この結果、内部空間に所望する負圧が発生することになり、吐出回復処理を確実に行うことが可能となる。
【００１１】
［適用例２］上記キャッピング装置であって、前記清掃手段は、前記清掃部材を前記接触面に当接状態で移動させる移動手段を含むことを特徴とする。
【００１２】
この構成によれば、清掃部材によって接触面を払拭して清掃することができるので、接触面に液状体が残留する確率が低くなる。従って、接触部がノズル面を密着状態で覆う確率が高くなり、内部空間に所望する負圧を発生させることができる。この結果、吐出回復処理を確実に行うことが可能となる。
【００１３】
［適用例３］上記キャッピング装置であって、前記清掃手段は、前記清掃部材に前記接触面を洗浄する洗浄液を含浸させる含浸手段を含むことを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、接触面を洗浄液によって清掃することができるので、接触面に付着する液状体を容易に取り除くことができ、接触面に液状体が残留する確率が低くなる。
【００１５】
［適用例４］上記キャッピング装置であって、ノズルの吐出回復処理の終了によって前記接触面が前記ノズル面から離れた後、直ちに前記接触面を清掃するように前記清掃手段を制御する制御部を備えたことを特徴とする。
【００１６】
通常液状体は、時間の経過とともに固化し付着面との吸着力が増す。そこで、この構成によれば、吐出回復処理直後すなわち液状体の吸着力が増す前に接触面を清掃するので、接触面に付着する液状体を容易に取り除くことができる。
【００１７】
［適用例５］上記記載のキャッピング装置と、ノズルから液状体を吐出する吐出手段と、を備えた液状体吐出装置。
【００１８】
この装置によれば、吐出回復処理が確実に行われたノズルから、液状体を吐出することができる。従って、液状体が吐出しなかったり吐出量が少なかったりといった吐出不良が生じ難い信頼性の高い液状体吐出装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した一実施形態について図１を用いて説明する。図１は、キャッピング装置５０を備えた液状体吐出装置１００の概略構成図である。液状体吐出装置１００は、所定の機能液を含む液状体を、ノズルが設けられたヘッド２０から、吐出対象物としての基板Ｋに吐出して、所定の文字、図柄、画像等を描画する装置である。
【００２０】
図１に示すように、液状体吐出装置１００は、直線的に設けられた一対のガイドレール１０１と、ガイドレール１０１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により１つの直線軸方向（これを本実施形態ではＹ軸方向とする）に移動する移動台１０３を備えている。移動台１０３上には、基板Ｋを載置するための載置テーブル１０５が設けられている。基板Ｋは、載置テーブル１０５に吸着固定されるようになっている。
【００２１】
載置テーブル１０５に対して移動台１０３と反対側の上方向には、所定の距離をおいて一対のガイドレール１０２が設けられている。ガイドレール１０２は１つの直線軸方向（これを本実施形態ではＸ軸方向とする）を呈するように設けられている。
【００２２】
そして、液状体吐出装置１００には、この一対のガイドレール１０２に沿って移動するキャリッジ２００が備えられている。すなわち、キャリッジ２００は、その両側にキャリッジ２００と一体若しくは別体でキャリッジ移動台１１２が設けられ、ガイドレール１０２の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（いずれも図示せず）により、Ｘ軸方向に沿って移動可能に構成されている。
【００２３】
キャリッジ２００には、その下方向側に所定の配列方向を呈するように設けられた複数のノズルと、ノズル毎に液状体を吐出する吐出機構とが形成されたヘッド２０が備えられている。そして、図示しない液状体供給機構からキャリッジ２００に供給された液状体は、キャリッジ２００内に形成された図示しない流路を経由してヘッド２０に供給され、吐出機構によって各ノズルから液滴として吐出する。
【００２４】
移動台１０３のＹ軸方向の移動つまり基板ＫのＹ軸方向の移動制御、キャリッジ２００に設けられたキャリッジ移動台１１２のＸ軸方向の移動つまりキャリッジ２００のＸ軸方向の移動制御、およびヘッド２０に形成された吐出機構の駆動制御つまり液状体の吐出制御は、制御部１０によって行われる。制御部１０は、所謂コンピュータ機能を有し、所定のプログラムに基づいてこれらの処理を実行する。
【００２５】
ここで、ノズルについて、図２を用いて説明する。図２は、ヘッド２０に設けられたノズルを示す模式図であり、図１においてキャリッジの下方向から見た状態を示したものである。なお、ここでは図面上下方向をＸ軸方向として図示している。
【００２６】
図示するように、ヘッド２０には、ノズルが略直線状に複数個並んだノズル列が２列設けられ、その配列方向はＸ軸方向と一致している。なお、ノズル列は２列に限らず１列や３列以上設けられていてもよいし、配列方向もＸ軸方向に対して傾いているなど、必ずしもＸ軸方向と一致しなくても差し支えない。
【００２７】
設けられた各ノズル列において、前述したようにノズル毎に吐出機構がヘッド２０内にそれぞれ形成され、この吐出機構が液状体に圧力を発生させて所定量の液状体をノズルから吐出するように構成されている。もとより、吐出機構は、総てのノズルについて同様な構造を有している。
【００２８】
吐出機構は、図２の吹出し部に示した構造を有し、圧電素子２を駆動体（アクチュエータ）とするものである。すなわち、圧電素子２は、その両端の電極ＣＯＭとＧＮＤとの間に所定の電圧波形が印加されると、電歪性によって収縮あるいは伸長変形し、振動板３を矢印方向に撓ませて流路途中に形成された加圧室４に存在する液状体を加圧する。この結果、加圧された液状体は、ヘッド２０の底面部材８の外表面（これをノズル面と称す）に微小開口５を有するように設けられたノズルから、液滴９として吐出されるのである。なお、吐出機構は、例えば、駆動体として加熱素子を用いた所謂サーマル方式などを採用することもできる。
【００２９】
ところで、ノズルは、その開口５の面積が小さいため、液状体に含まれる溶媒成分の蒸発に起因する液状体粘度の上昇や、インクの固化、塵埃の付着、さらには気泡の混入などによりノズル開口に目詰まりを発生し、吐出不良を起こすという問題を抱えている。
【００３０】
そこで、図１に戻り、液状体吐出装置１００は、ヘッド２０のノズルをクリーニングするためのキャッピング装置５０を備えている。キャッピング装置５０は、制御部１０の制御によって動作し、ホルダ５２に設けられた略矩形形状の接触部５１が、白抜き矢印で示したようにヘッド２０に対して上昇して、ノズル列を囲みながら（図２の二点鎖線参照）ノズル面を覆う。そして、ノズル面を覆うことによって形成される内部空間を負圧にすることでノズルから液状体を吸引して、ノズルの吐出回復処理を行う装置である。そして、本実施形態におけるキャッピング装置５０には、接触部５１を清掃する図示しない清掃手段が構成されている。
【００３１】
次に、この清掃手段を含め、本実施形態におけるキャッピング装置５０を、図３を用いて詳しく説明する。図３は、キャッピング装置５０をＸ軸方向から見た状態で示した模式図である。ノズル面と接触する接触部５１は弾性変形する材料で形成され、図示するように、ホルダ５２の上面よりヘッド２０の方向に突出するようにホルダ５２に取り付けられている。そして、ホルダ５２の上面側には、接触部５１によって囲まれた領域内に、液状体を吸収する吸収材５３が設置されている。一方、ホルダ５２の下面側には吸収材５３に吸収された液状体を排出する排出口５５が形成されている。
【００３２】
排出口５５には、排出される液状体の流路となるチューブ５６が繋がれている。そして、吸収材５３に吸収された液状体は、チューブ５６の流路途中に設けられたポンプＰによって生成された負圧によって、チューブ５６内を流通して廃タンク５９に排出される。なお、ポンプＰは、チューブ５６をローラーで押しつぶしながら一定方向に回転する方式やダイヤフラム方式など、周知な方式のポンプを用いることができる。
【００３３】
ホルダ５２は、モータＭ１の動作によって移動する部材６０によって、図中白抜き矢印で示したように上下方向に昇降し、図中二点鎖線で示したようにヘッド２０の下面つまりノズル面に、接触部５１が当接したり離れたりするように構成されている。モータＭ１は、制御部１０の制御によって動作する。
【００３４】
ホルダ５２が上昇し、接触部５１がノズル面に当接して接触した状態では、ノズル面と接触する接触面５１ｓがノズル面との間の界面を封止する。従って、接触部５１によって囲まれた内部空間は封止空間となることから、ポンプＰの駆動によって内部空間を確実に負圧状態にすることができ、この結果、ノズル開口の液状体を強制的に吸引排出させてノズル開口の目詰まりを解消させることができる。なお、この封止空間は、ヘッド２０のノズル面に設けられた複数のノズル開口において、液状体の乾燥を抑制することも可能である。
【００３５】
そこで、キャッピング装置５０には、封止空間を確実に形成するために、接触部５１の接触面５１ｓを清掃する清掃手段が設けられている。清掃手段は、布などの繊維材料やスポンジなどの多孔質材料を表面に有する部材で形成されたローラー７５と、このローラー７５を保持しつつ図面左右方向に移動する移動部材７０、およびこの移動部材７０を移動駆動するモータＭ２とを有している。ローラー７５は請求項記載の清掃部材に、移動部材７０とモータＭ２とは請求項記載の移動手段に、それぞれ相当する。
【００３６】
モータＭ２は、制御部１０の制御によって動作し、移動部材７０を図中白抜き矢印で示したように図面左右方向に移動する。つまり、ローラー７５は、モータＭ２の動作のよって左右方向に移動する。このとき、移動部材７０の移動に伴って、ローラー７５は図中二点鎖線にて示したように、接触面５１ｓ上を所定の係合量Ｄ（Ｄ≧０）で移動するように構成されている。この結果、接触面５１ｓは、ローラー７５に払拭されてクリーニングされる。
【００３７】
さらに、キャッピング装置５０には、ローラー７５によるクリーニングを行う際、接触面５１ｓを洗浄する洗浄液をローラー７５に含浸させる含浸手段が設けられている。含浸手段は、洗浄液８５を収容するとともに、収容した洗浄液８５を流出するための流路管８２が形成された収容容器８１と、流路管８２の途中に形成されたバルブＶ１と、から構成される。もとより、洗浄液８５は、液状体吐出装置１００において使用される液状体に適した液（例えば有機性溶剤）が用いられる。
【００３８】
バルブＶ１は、その開閉状態が制御部１０によって制御されるバルブ（例えば、電磁バルブ）であって、ローラー７５の移動開始前の状態において所定の期間「開」状態に制御され、流路管８２から洗浄液８５を所定量流出させてローラー７５に含浸させる。なお、流路管８２は、ローラー７５の上方に位置し、図示しないがローラー７５の長手方向に対して所定の幅に渡って洗浄液８５を滴下できるように構成されている。
【００３９】
次に、キャッピング装置５０を制御する制御部１０について、図４に示したブロック図を用いて説明する。制御部１０は、図４に示したように、バスラインで相互に接続されたＣＰＵ１１とメモリ１２、および昇降制御信号生成回路１３、移動制御信号生成回路１４、バルブ制御信号生成回路１５、ポンプ制御信号生成回路１６を有している。これらの昇降制御信号生成回路１３、移動制御信号生成回路１４、バルブ制御信号生成回路１５、ポンプ制御信号生成回路１６の各出力信号は、必要に応じて図示しないインターフェースを介し、ホルダ５２を昇降するためのモータＭ１、ローラー７５を左右に移動するためのモータＭ２、流路管８２の途中に形成されたバルブＶ１、チューブ５６の流路途中に設けられたポンプＰに、それぞれ所定の電気信号として出力されるようになっている。
【００４０】
ＣＰＵ１１は、メモリ１２に格納された処理プログラムを読み出し、昇降制御信号生成回路１３、移動制御信号生成回路１４、バルブ制御信号生成回路１５、ポンプ制御信号生成回路１６をそれぞれ制御することによってノズルのクリーニング処理を行い、キャッピング装置５０の制御部として機能する。もとより、制御部１０は、液状体吐出装置１００の制御部として機能する場合は、図１において説明したように、基板ＫのＹ軸方向の移動制御、キャリッジ２００のＸ軸方向の移動制御、およびノズルからの液状体の吐出制御を行う。
【００４１】
それでは、本実施形態のキャッピング装置５０が行うクリーニング処理について、図５に示した処理フローチャートに従って説明する。この処理は、例えば、液状体吐出装置１００の長時間の休止後に吐出を再開する場合や、ユーザが吐出不良を認識して吐出回復処理を命令するデータを入力した場合などにおいて、制御部１０に入力されるクリーニング処理開始命令によって開始される。
【００４２】
この処理が開始されると、まずステップＳ１０１にて、ヘッドをクリーニング位置に移動する処理を行う。ＣＰＵ１１は、ガイドレール１０２におけるキャリッジ２００の位置が、接触部５１によってノズルが封止されるクリーニング位置になるように、その移動量を演算する。そして、演算した移動量に応じ、キャリッジ移動台１１２を駆動してキャリッジ２００をＸ軸方向に移動する。
【００４３】
次に、ステップＳ１０２にて、ノズルをキャッピングする処理を行う。ＣＰＵ１１は、昇降制御信号生成回路１３を制御してモータＭ１の駆動信号を生成し、生成した駆動信号をモータＭ１に出力することによって動作させる。モータＭ１の動作は、ホルダ５２が上昇し、接触部５１がノズル面に当接してノズルを封止状態で覆う、つまりキャッピングするまで行われる。このとき、接触部５１によって囲まれた内部空間は封止空間となる。
【００４４】
次に、ステップＳ１０３にて、ノズルのクリーニング処理を行う。ＣＰＵ１１は、ポンプ制御信号生成回路１６を制御して、ポンプＰの駆動信号を生成し、生成した駆動信号をポンプＰに出力することによって所定の時間ポンプＰを動作させ、封止空間を負圧にすることによって、前述したノズルの吐出回復処理（クリーニング処理）を行う。
【００４５】
次に、ステップＳ１０４にて、キャッピングの解除処理を行う。ＣＰＵ１１は、昇降制御信号生成回路１３を制御してモータＭ１の駆動信号を生成し、生成した駆動信号をモータＭ１に出力することによって動作させる。モータＭ１の動作は、ホルダ５２が下降し、接触部５１が上昇前の位置になるまで行われる。この処理において、封止空間の負圧が解除されるため、前述したように、吸収材５３に付着あるいは吸収されていた液状体が、大気の動きに伴って飛散して拡散し、接触面５１ｓ上に付着するのである。
【００４６】
そこで、このように接触面５１ｓに付着した液状体を取り除くために、まず次のステップＳ１０５にて、ローラーに洗浄液を含浸する処理を行う。ＣＰＵ１１は、バルブ制御信号生成回路１５を制御して、バルブＶ１の開閉信号を生成し、生成した開閉信号をバルブＶ１に出力することによって所定の時間バルブＶ１を開放させ、洗浄液８５をローラー７５に含浸させる。
【００４７】
次に、ステップＳ１０６にて、ローラーを移動する処理を行う。ＣＰＵ１１は、移動制御信号生成回路１４を制御してモータＭ２の駆動信号を生成し、生成した駆動信号をモータＭ２に出力することによって動作させ、移動部材７０を矢印で示したように往復移動させる。従って、移動部材７０に保持されたローラー７５は、接触部５１におけるノズル面との接触面５１ｓが、洗浄液８５が含浸したローラー７５によって払拭清掃される。この結果、接触面５１ｓから、付着した液状体が取り除かれる。
【００４８】
ここで、ステップＳ１０４の処理開始とステップＳ１０６の処理開始との間は出来るだけ短いことが好ましい。こうすることによって、接触面５１ｓに液状体が付着してからローラー７５によって払拭されるまでの時間が短くなるので、液状体の乾燥固化が進まない状態にて液状体を払拭して清掃できる。従って、液状体を接触面５１ｓから容易に取り除くことができる確率が高くなる。
【００４９】
また、ステップＳ１０５の処理は、次のステップＳ１０６の処理に先んじて行われることが好ましい。ちなみに、本実施形態では、直前の処理ステップＳ１０４と並行して行われる。こうすることで、ローラー７５への洗浄液８５の含浸からローラー７５の移動処理までの時間が短くなるので、洗浄液８５の含浸からローラー７５が接触面５１ｓを払拭するまでの間における洗浄液８５の蒸発量が少なく抑えられる。
【００５０】
次に、ステップＳ１０７にて、ヘッドを元の位置に移動する処理を行う。ＣＰＵ１１は、ステップＳ１０１にて移動した移動量分、キャリッジ移動台１１２を駆動してキャリッジ２００をＸ軸方向に逆移動する。こうして、ヘッドは、吐出回復処理が行われた後に元の位置に戻るので、以降、吐出回復処理が確実に行われたノズルから、継続して液状体を安定吐出することができる液状体吐出装置１００となる。従って、液状体が吐出しなかったり吐出量が少なかったりといった吐出不良が生じ難い信頼性の高い液状体吐出装置を提供することが可能となる。
【００５１】
上述したように、本実施形態のキャッピング装置５０によれば、接触部５１におけるノズル面との接触面５１ｓが、洗浄液８５を含浸したローラー７５によって払拭される。この結果、接触面５１ｓから、付着した液状体が取り除かれる確率が高くなる。
【００５２】
以上、本発明について、一実施形態を用いて説明したが、本発明はこうした実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において様々な形態で実施し得ることは勿論である。以下変形例を挙げて説明する。
【００５３】
（変形例）
上記実施形態では、清掃部材となるローラー７５を、モータＭ２および移動部材７０からなる移動手段で移動し、接触面５１ｓを払拭して清掃することとしたが、特にこれに限るものでないことは勿論である。例えば、移動手段を有しない清掃部材を用いて、接触面５１ｓ上を払拭しないで清掃することとしても差し支えない。こうすれば移動手段に関する構成要素をキャッピング装置５０内に形成する必要がないので、キャッピング装置の構成が容易になる。
【００５４】
本変形例について図６を用いて説明する。図６は、キャッピング装置５０をＹ軸方向から見た状態で示した模式図である。図示するように、ノズル面と接触する接触部５１の上方向には、接触面５１ｓを清掃する清掃手段が形成されている。清掃手段は、多孔質性の部材からなる略平板形状を有する清掃板４０がプレート４１に固着されたものである。そして、プレート４１の略中央部には開口部が形成され、ここに滴下された洗浄液８５が清掃板４０に含浸するようになっている。
【００５５】
この清掃手段は、ヘッド２０のＸ軸方向における移動によって押され、Ｘ軸方向に沿って図面右から左方向に移動するように構成されている。すなわち、クリーニング処理のために接触部５１の上方向に図面右側から移動してくるヘッド２０によって押され、図中二点鎖線で示したように、図面左側に移動する。そして、移動後の位置において、プレート４１の開口部に洗浄液８５が滴下され、清掃板４０に含浸する。
【００５６】
その後、ノズルのクリーニング処理が終了して、ヘッド２０が元の位置に戻ると、ヘッド２０によって押されていた清掃手段は、バネ４５の作用により、Ｘ軸方向に沿って図面左から右方向に移動して元の位置に戻るように構成されている。このように、モータＭ２等からなる移動手段を用いることなくキャッピング装置５０が構成されている。
【００５７】
本変形例において、図６に示したその他の構成要素（例えば、モータＭ１、ポンプＰ、バルブＶ１）およびその動作は、上記実施形態と同様であり、既に図３において説明しているのでここでは説明を省略し、クリーニング処理の違いについて説明する。
【００５８】
本変形例における処理について、図７のフローチャートを用いて説明する。なお、図７において、図５に示した処理と同じ処理については同じ符号を付している。従って、ここでは、同じ処理ステップについての説明を省略し、異なる処理ステップであるステップＳ１０５ａと、ステップＳ１０８について以下説明する。
【００５９】
ステップＳ１０５ａでは、清掃板に洗浄液を含浸する処理を行う。ＣＰＵ１１は、バルブ制御信号生成回路１５を制御して、バルブＶ１の開閉信号を生成し、生成した開閉信号をバルブＶ１に出力することによって所定の時間バルブＶ１を開放させ、洗浄液８５を清掃板４０に含浸させる。
【００６０】
ステップＳ１０８では、接触面を上昇移動する処理を行う。ＣＰＵ１１は、昇降制御信号生成回路１３を制御してモータＭ１の駆動信号を生成し、生成した駆動信号をモータＭ１に出力することによって動作させる。モータＭ１の動作は、ホルダ５２が上昇し、接触面５１ｓが清掃板４０に当接するまで行われる。こうして、接触面５１ｓの清掃は、接触面５１ｓが清掃板４０に上昇して押し付けられることによって行われ、クリーニング処理が終了する。
【００６１】
なお、ステップＳ１０５ａの処理は、基本的に次のステップＳ１０７の処理に先んじて行われるものであるが、直前の処理ステップＳ１０４と並行して行われることが好ましい。こうすることで、清掃板４０への洗浄液８５の含浸からステップＳ１０８の処理までの時間が短くなるので、洗浄液８５の含浸から清掃板４０が接触面５１ｓに当接するまでの間における洗浄液８５の蒸発量が少なく抑えられる。
【００６２】
（その他の変形例）
上記実施形態または変形例では、含浸手段を設け、洗浄液８５を清掃部材（ローラー７５または清掃板４０）に含浸させるようにしたが、これに限るものでないことは勿論である。例えば、清掃部材が洗浄液８５を用いることなく液状体を取り除くことが出来る場合は、含浸手段が不要である。このような場合、含浸手段をキャッピング装置５０に設けないこととしてもよい。こうすれば、キャッピング装置５０を簡略化できる。
【００６３】
また、上記実施形態では、接触部５１にノズル面と接触する接触面５１ｓが予め形成されていることとして説明したが、これに限るものでないことは勿論である。接触部５１が弾性を有する材料で形成されている場合、接触面５１ｓは接触部５１の材質や形状、あるいは接触部５１がノズル面に当接する圧力などによって、その変形具合が異なるためにノズル面との接触面５１ｓは変化する。従って、接触面５１ｓは、この圧力に応じて定まる面とすることが好ましい。もとより、接触部５１が弾性を有しない剛性材料で形成されている場合は、接触部５１に予め接触面５１ｓを形成することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の一実施形態で、キャッピング装置を備えた液状体吐出装置の概略構成を示す斜視図。
【図２】ヘッドに設けられたノズルを示す模式図。
【図３】本実施形態のキャッピング装置の構成を示す模式図。
【図４】制御部の機能を説明するためのブロック図。
【図５】本実施形態のキャッピング装置が行う処理ステップを示すフローチャート。
【図６】変形例のキャッピング装置の構成を示す模式図。
【図７】変形例で、キャッピング装置が行う処理ステップを示すフローチャート。
【符号の説明】
【００６５】
１０…制御部、１１…ＣＰＵ、１２…メモリ、１３…昇降制御信号生成回路、１４…移動制御信号生成回路、１５…バルブ制御信号生成回路、１６…ポンプ制御信号生成回路、２０…ヘッド、４０…清掃板、４１…プレート、４５…バネ、５０…キャッピング装置、５１…接触部、５１ｓ…接触面、５２…ホルダ、５３…吸収材、５５…排出口、５６…チューブ、５９…廃タンク、６０…部材、７０…移動部材、７５…ローラー、８１…収容容器、８２…流路管、８５…洗浄液、１００…液状体吐出装置、１０１…ガイドレール、１０２…ガイドレール、１０３…移動台、１０５…載置テーブル、１１２…キャリッジ移動台。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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