(57)【要約】【課題】高い安全性および生産性を有する液滴塗布装置を提供すること。【解決手段】本発明の液滴塗布装置１０は、被塗布物６に液滴を吐出する吐出部１ａと、上記被塗布物６を載置する吸着ステージ２と、上記吐出部１ａと上記吸着ステージ２とを相対的に移動させる駆動部３ａおよび３ｂと、排気口４ａを有し、かつ上記吐出部１ａからの液滴を受ける液滴受け部４と、上記液滴受け部４にある気体を吸引する吸引部５とを備え、上記吐出部１ａと上記液滴受け部４とが対向するとき、上記排気口４ａと上記吸引部５とが略密接する。【選択図】図１
2009061403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被塗布物に液滴を吐出する吐出部と、
上記被塗布物を載置する載置台と、
上記吐出部と上記載置台とを相対的に移動させる駆動部と、
排気口を有し、かつ上記吐出部からの液滴を受ける液滴受け部と、
上記液滴受け部にある気体を吸引する吸引部と
を備え、
上記吐出部と上記液滴受け部とが対向するとき、上記排気口と上記吸引部とが略密接する
ことを特徴とする液滴塗布装置。
【請求項２】
上記液滴受け部が、上記液滴受け部が被塗布物を載置する位置の外側に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴塗布装置。
【請求項３】
上記液滴受け部が、上記載置台における被塗布物を載置する位置の外側に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴塗布装置。
【請求項４】
複数の上記吸引部を備え、
上記載置台が停止しているとき、さらに上記排気口と上記吸引部とが略密接する
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液滴塗布装置。
【請求項５】
上記排気口および上記吸引部は、互いに略密接する部分の周囲を取り巻く鍔を有していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液滴塗布装置。
【請求項６】
上記吸引部が有する、上記排気口から気体を吸引する開口部は、上記載置台が移動する方向と平行なスリット状に形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の液滴塗布装置。
【請求項７】
上記スリットが有する幅は、上記液滴受け部からの排気が移動する上流から下流に向かうにしたがって、略連続的に広がっていることを特徴とする請求項６に記載の液滴塗布装置。
【請求項８】
略密接している上記排気口と上記吸引部との間には、０．５ｍｍ〜１０ｍｍの間隔があることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の液滴塗布装置。
【請求項９】
上記液滴受け部を移動させる駆動部を、さらに備えていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の液滴塗布装置。
【請求項１０】
被塗布物に液滴を吐出する吐出部と、
上記被塗布物を載置する載置台と、
上記吐出部と上記載置台とを相対的に移動させる駆動部と、
排気口を有し、かつ上記吐出部からの液滴を受ける液滴受け部と、
上記液滴受け部にある気体を吸引する吸引部とを備える液滴塗布装置において、
上記吐出部と上記液滴受け部とが対向するとき、上記排気口と上記吸引部とを略密接させることによって上記液滴受け部の気体を排出する
ことを特徴とする液滴塗布装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物に液滴を塗布する液滴塗布装置および液滴塗布装置の制御方法に関し、より詳細には、インクジェット方式の液滴塗布装置および液滴塗布装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
媒体（被塗布物）上に液滴（インク）を吐出する液滴塗布装置としては、インクの吐出方式としてインクジェット方式が採用されているインクジェット装置が知られている。インクジェット装置において、インクは、ヘッドに形成された複数のインク吐出口（ノズル）を介して被塗布物に吐出される。
【０００３】
インクジェット装置は、被塗布物に対して多数かつ微量のインクを連続的に吐出するための装置である。このため、インクジェット装置においては、複数のノズルのそれぞれが、吐出不良（不吐出、異常な形状を有するインクの吐出、およびインクの吐出方向のずれ）を起こすことなく、適切にインクを吐出することが重要である。ノズルが、吐出不良を起こさずに、被塗布物にインクを塗布する（着弾させる）ためには、ノズルにおけるインクの形状、吐出後のインクの形状、およびインクの吐出（飛翔）方向が重要である。ノズルにおけるインクの形状、吐出後のインクの形状、およびインクの吐出（飛翔）方向は、インクの状態、ノズルとその周辺とが有する状態、ならびに周囲の環境など種々の要因から影響を受ける。
【０００４】
インクの状態とは、例えば、インクが有する表面張力、粘度、温度および汚れの程度などである。ノズルとその周辺とが有する状態とは、例えば、ノズルとその周辺とが有する形状、材質、ぬれ性、汚れの程度、ならびにノズルの移動方向および移動速度などである。周囲の環境とは、例えば、インクジェット装置の振動、温度およびノズルと被塗布物との間における空気の流動などである。
【０００５】
上述のように、ノズルが適切にインクを吐出するためには、さまざまな要因を考慮する必要がある。しかし、ノズルによるインクの吐出を安定化させるための技術として、被塗布物にインクを吐出する直前に、捨て吐出を実施する。捨て吐出とは、被塗布物または被塗布物以外の対象物に対して連続的にインクを吐出する、予備的なインクの吐出である。
【０００６】
特許文献１には、メディア（被塗布物）を搬送する搬送部に、予備吐出（捨て吐出）された液体（インク）を通過させるための予備吐出用孔が形成された液体噴射装置について記載されている。また、特許文献１には、予備吐出された液体を予備吐出部から吸引するための吸引ポンプについても記載されている。
【０００７】
さらに、特許文献２には、機能液（インク）吸収材が平坦になるように係止されたラッシング（捨て吐出）ユニットについて記載されている。また、特許文献２には、ラッシングユニットの底面に形成した排液開口を介して機能液を吸引する機能液吸収手段についても記載されている。
【特許文献１】特開２００６−１５９５５６号公報（平成１８年６月２２日公開）
【特許文献２】特開２００６−７５７７２号公報（平成１８年３月２３日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、従来の技術には、インクに含まれている、人体に有害な揮発性成分を除去または低減する方法に関して考慮されていない。このため、従来の技術を利用した場合、インクに含まれる揮発性成分が有する毒性や臭気によって、作業環境を悪化させるおそれがある。すなわち、従来の技術は、安全性に問題がある。特に、微小なインクを大量に捨て吐出する際には、作業環境中に高濃度の揮発性成分が飛散するので、作業員の安全を確保する、または作業環境を改善する対策が求められる。
【０００９】
上記対策として、有害な揮発性成分を吸引しないように作業員に保護具を着用させた場合、上記保護具が作業の妨げになって、作業効率が低下する。また、上記対策として、排気ダクトを用いて作業環境の全体から揮発性成分を排気する場合、膨大な排気風量を有する設備が必要になる。よって、多大な設備投資と設置期間とを要する上、ランニングコストが増大する。すなわち、生産性の低下よおび製造コストの増大を招く。また、液滴塗布装置に排気ダクトを取り付ける場合に、確実に揮発性成分を排気するためには、捨て吐出のインクの受け口の近傍に排気ダクトを設ける必要がある。具体的には、インクの受け口に排気ダクトを接続する。ここで、受け口と排気ダクトとを接続すると、通常、被塗布物を搬送するための動力に負荷が加わる。被塗布物にインクを塗布することによって精密なパターンを形成する場合、被塗布物を搬送する速度などを精密に制御する必要がある。このとき、排気ダクトが与える動力への抵抗（負荷）は、被塗布物の精密な搬送に悪影響を及ぼす。すなわち、所望の被塗布物の製造を妨げ、生産性の低下につながる。
【００１０】
ここで、特許文献１または２には、吸引したインクを確実にタンクなどに回収することが記載されている。しかし、特許文献１または２の技術は、タンクの気密性など揮発性成分の漏洩について何ら考慮されていないため、上記対策として利用することができない。
【００１１】
さらに、特許文献１または２の技術においては、種々の原因から生じる気流によって捨て吐出したインクの小滴が飛散して、インクジェットヘッドにインクの小滴が付着するおそれがある。つまり、捨て吐出によってインクジェットヘッドの状態が悪化して、被塗布物に対して適切なインク吐出ができなくなる場合がある。なお、種々の原因から生じる気流とは、例えば、サーマルクリーンチャンバーを用いて、約数百ｍ３／分の空気を装置の上部から噴射したときに生じる気流などである。
【００１２】
さらに、特許文献２に記載の技術のように、吸収材にインクを吸収させる場合、多量のインクを吐出すると吸収材の吸収能やポンプによる吸引能を超えてしまうおそれがある。このとき、吸収材に衝突したインクの飛散を抑制することができない。つまり、インクジェットヘッドが汚染されるおそれがある。さらに、インクのミスト（サテライト）がフラッシングユニットの周辺に飛散しないように、吸収材をインクジェットヘッドに近づけると、インクジェットヘッドの汚染のおそれが増大する。
【００１３】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、高い安全性および生産性を有する液滴塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するために、本発明の液滴塗布装置は、
被塗布物に液滴を吐出する吐出部と、
上記被塗布物を載置する載置台と、
上記吐出部と上記載置台とを相対的に移動させる駆動部と、
排気口を有し、かつ上記吐出部からの液滴を受ける液滴受け部と、
上記液滴受け部にある気体を吸引する吸引部と
を備え、
上記吐出部と上記液滴受け部とが対向するとき、上記排気口と上記吸引部とが略密接する。
【００１５】
上記構成において、吐出部と液滴受け部とが対向するとき、排気口と吸引部とが略密接する。言い換えると、吐出部と液滴受け部とが対向して、捨て吐出の準備が整っている、または捨て吐出が行われている状態になると、排気口と吸引部とが略密接する。“排気口と吸引部とが略密接する”とは、排気口と吸引部の吸引口とが、非常に短い間隔（例えば、数ｍｍ）を隔てて対向することを意味している。排気口と吸引部とが略密接することによって、捨て吐出によって液滴受け部に吐出された液滴（インクなど）から発生する揮発性成分は、排気口を介して吸引部に吸い出される。なお、排気口と吸引部とが略密接しているため、吸引部によって単位時間当たりに吸引される気体の量は、単位時間当たりに排気口から排気される気体の量とほぼ等しい。以上のことから、捨て吐出時に発生する揮発性成分の内、液滴塗布装置の周囲に拡散する量が減少する。このため、液滴塗布装置を設置した空間にいる作業員の安全が確保される。
【００１６】
ここで、液滴受け部の吐出部と対向する側には、捨て吐出時の液滴を受け容れるための開口部がある。上述のように、捨て吐出の準備が整っている、または捨て吐出が行われている状態になると、液滴受け部の排気口から気体が吸い出される。このため、液滴受け部の上記開口部から周囲の空気が流れ込む。この空気の流れに導かれて、捨て吐出された液滴から生じる微量の飛沫は、インクジェットヘッドや他の部材に付着することなく、液滴受け部に回収される。つまり、捨て吐出時においてインクジェットヘッドに液滴の成分が付着することを抑制する。よって、インクジェットヘッドの汚染による液滴の吐出不良が抑制されるので、液滴塗布装置の生産性が向上する。
【００１７】
さらに、上述のように、排気口と吸引部とは、非常に短い間隔を空けて対向している。言い換えると、排気口と吸引部とは接触していない。このため、例えば、載置台に接続された液滴受け部を移動させる場合には、駆動部は、液滴受け部と載置台とを移動させる動力を発生させればよい。もし、排気口と吸引部とが接触している、または接続されている場合には、駆動部が発生する動力を大きくしなければならない。つまり、排気口と吸引部との摩擦、または増加した吸引部の重量に見合うだけの動力を発生する駆動部を用いなければならない。ただし、大きな動力を発生する駆動部は、通常、振動が大きくなる傾向にある。よって、被塗布物に精密なパターンを形成する場合には、駆動部によって載置台やインクジェットヘッドの移動を厳密に制御することが困難になる。また、発生する動力が小さい駆動部を用いると、駆動部に過剰な負荷が加わる。この状態の液滴塗布装置を繰り返して作動させたときには、駆動部が停止したり、故障したりすることが考えられる。まとめると、排気口と吸引部とが非常に短い間隔を空けて対向しているため、大きな動力を発生する駆動部を採用する必要がない上、駆動部に加わる負荷を小さく抑えることができる。よって、従来と同様の性能を有する駆動部を用いて、精密なかつ安定した動作を達成することができる。
【００１８】
以上のことから、上記構成を有することによって、高い安全性および生産性を有する液滴塗布装置を提供することができるという効果を奏する。
【００１９】
また、本発明の液滴塗布装置において、
上記液滴受け部が、上記被塗布物を載置する位置の外側に形成されていてもよい。
【００２０】
また、本発明の液滴塗布装置において、
上記液滴受け部が、上記載置台における被塗布物を載置する領域の外側に形成されていてもよい。
【００２１】
液滴受け部が、被塗布物を載置する位置の外側、または載置台における被塗布物を載置する領域の外側に形成されていれば、液滴の捨て吐出と被塗布物への液滴の吐出とを別個の動作として行うことができる。
【００２２】
また、本発明の液滴塗布装置において、
複数の上記吸引部を備え、
上記載置台が停止しているとき、さらに上記排気口と上記吸引部とが略密接することが好ましい。
【００２３】
“載置台が停止しているとき”とは、例えば、載置台に被塗布物を載置するとき、およびインクジェットヘッドのメンテナンス（クリーニング）のときなどである。つまり、上記構成によって、捨て吐出のときに加えて、上述のような状態において液滴受け部を排気するということである。
【００２４】
人体に有害な液滴の揮発性成分には、沸点の高いものも含まれる場合がある。沸点の高い揮発性成分は、捨て吐出が終了した後においても徐々に蒸発して液滴塗布装置の周囲に拡散する。よって、捨て吐出のときに加えて、載置台に被塗布物を載置するとき、およびインクジェットヘッドのメンテナンス（クリーニング）のときに液滴受け部の中の気体を排気することによって、さらに液滴塗布装置を設置した空間にいる作業員の安全が確保される。
【００２５】
さらに、液滴には顔料などの固形成分が含まれている。液滴受け部に回収された液滴から揮発性成分が蒸発すると、液滴の固形成分からなる微粒子が液滴受け部から飛散し易くなる。飛散した上記微粒子が、例えば、被塗布物やインクジェットヘッドに付着すると、被塗布物の汚染やインクジェットヘッドの吐出不良の原因になる。結果として、液滴塗布装置によって液滴が塗布された被塗布物の良品率が低下する。よって、捨て吐出のとき以外にも液滴受け部の排気を行えば、乾燥した固形成分は、液滴受け部から飛散することなく、吸引部に吸引される。つまり、固形成分の付着に起因する良品率の低下を抑制することができる。
【００２６】
上記構成を有することによって、液滴塗布装置の安全性および生産性を、さらに向上させることができる。
【００２７】
また、本発明の液滴塗布装置において、
上記排気口および上記吸引部は、互いに略密接する部分の周囲を取り巻く鍔を有していることが好ましい。
【００２８】
上記構成において、排気口の鍔と吸引部の鍔とは、非常に短い間隔（数ｍｍ）を隔てて対向している。このため、吸引部によって気体を吸引するとき、２つの鍔の外側から吸引部の開口部にまで空気が到達するためには、２つの鍔の間にある非常に狭い隙間を通過しなければならない。例えば、排気口および吸引部の開口部の直径を数ｃｍに設定すれば、２つの鍔の隙間からはほとんど空気が侵入せずに、排気口からの気体を効率的に吸引部によって吸引することができる。上記構成によって、液滴受け部の中の気体をより効率的に排気することができる。
【００２９】
また、本発明の液滴塗布装置において
上記吸引部が有する、上記排気口から気体を吸引する開口部は、上記載置台が移動する方向と平行なスリット状に形成されていることが好ましい。
【００３０】
例えば、液滴受け部が載置台に接続されている場合や、液滴受け部が載置台を移動させる駆動部によって移動する場合には、液滴受け部と載置台との移動方向は同じである。このような場合には、吸引部の開口部が載置台の移動方向に平行なスリット状であれば、液滴受け部は、移動しながら吸引部によって排気される。例えば、吸引部が捨て吐出のときの液滴受け部および捨て吐出の後の液滴受け部と略密接するように、吸引部を液滴受け部の移動方向に沿って伸ばした形状にすればよい。これによって、捨て吐出のときとその後とにおいて液滴受け部が排気されるので、より確実に揮発性成分の拡散を抑制することができる。さらに、吸引部を液滴受け部の移動領域の全域に沿って伸ばした形状にすれば、液滴受け部が常に排気されるので、揮発性成分の拡散だけでなく、固体成分の飛散も、さらに抑制することができる。
【００３１】
また、本発明の液滴塗布装置において、
上記スリットが有する幅は、上記液滴受け部からの排気が移動する上流から下流に向かうにしたがって、略連続的に広がっていることが好ましい。
【００３２】
例えば、吸引部は、気体を吸引するための動力（ファンやポンプなど）などに接続されている。つまり、吸引部によって吸引された気体（排気）は、スリットの端部（上流）から上記動力（下流）に向かって移動する。よって、上記構成を言い換えれば、スリットの幅は、排気が移動する上流ほど狭く、かつ排気が移動する下流ほど広い。
【００３３】
スリットの内、動力から遠い位置においては、上記動力によって生じる吸引力が小さくなる。よって、スリットの内の上記動力から離れている位置ほど、単位時間当たりに吸引する気体の量が少ない。上記構成によって、スリットの全体における吸引力を均等にすることができる。
【００３４】
また、本発明の液滴塗布装置において、
略密接している上記排気口と上記吸引部との間には、０．５ｍｍ〜１０ｍｍの間隔があることが好ましい。
【００３５】
上記間隔が０．５ｍｍ未満の場合には、排気口と吸引部との接触を確実に防止するために、互いに略密接する排気口および吸引部の部分が有する形状を精密に形成する必要が生じる。一方、上記間隔が１０ｍｍを超える場合、吸引部と液滴受け部との隙間から空気が侵入し易くなるため、吸引部は液滴受け部から効率的に気体を吸引することが困難になる場合がある。また、吸引部に接続する動力（排気装置）の種類や性能、および吸引部から動力までを繋ぐ配管の直径に制限を受け易くなる。
【００３６】
上記構成によって、容易に排気口と吸引部との接触を防止し、かつ液滴受け部から十分な量の気体を排気することができる。さらに、排気口および吸引部の形状や液滴受け部を排気するための構成について選択する自由度が高い。
【００３７】
また、本発明の液滴塗布装置において、
上記液滴受け部を移動させる駆動部を、さらに備えていることが好ましい。
【００３８】
上記構成を有することによって、液滴受け部の重量が大きい場合であっても、載置台と吐出部とを相対的に移動させる駆動部への負荷を軽減することができる。
【００３９】
上記課題を解決するために、本発明の液滴塗布装置は、
被塗布物に液滴を吐出する吐出部と、
上記被塗布物を載置する載置台と、
上記吐出部と上記載置台とを相対的に移動させる駆動部と、
排気口を有し、かつ上記吐出部からの液滴を受ける液滴受け部と、
上記液滴受け部にある気体を吸引する吸引部とを備え、
上記液滴受け部が被塗布物を載置する位置の外側に形成されている液滴塗布装置において、
上記吐出部と上記液滴受け部とが対向するとき、上記排気口と上記吸引部とを略密接させることによって上記液滴受け部の気体を排出する。
【００４０】
排気口と吸引部とが略密接することによって、捨て吐出によって液滴受け部に吐出された液滴（インクなど）から発生する揮発性成分は、排気口を介して吸引部に吸い出される。よって、捨て吐出時に発生する揮発性成分の内、液滴塗布装置の周囲に拡散する量が減少する。このため、液滴塗布装置を設置した空間にいる作業員の安全が確保される。
【００４１】
上述のように、液滴受け部の吐出部と対向する側には、捨て吐出時の液滴を受け容れるための開口部がある。また、捨て吐出時において液滴受け部の排気口から気体が吸い出される。このため、液滴受け部の上記開口部から周囲の空気が流れ込む。この空気の流れに導かれて、捨て吐出された液滴から生じる微量の飛沫は、インクジェットヘッドや他の部材に付着することなく、液滴受け部に回収される。よって、インクジェットヘッドの汚染による液滴の吐出不良が抑制されるので、液滴塗布装置の生産性が向上する。
【００４２】
さらに、上述のように、排気口と吸引部とは接触していない。このため、動力の大きい駆動部を使用する必要がない。よって、大きな動力を発生する駆動部を使用した場合に生じ易い駆動部の振動に関する問題を考慮する必要がない。また、駆動部に過剰な負荷が加わることがないので、駆動部の停止や故障などの問題も生じない。よって、従来と同様の性能を有する駆動部を用いて、精密なかつ安定した動作を達成することができる。
【００４３】
よって、上述の液滴塗布装置と同様の効果を奏する。
【発明の効果】
【００４４】
以上のように、本発明によれば、捨て吐出時に液滴受け部の排気口と吸引部とが略密着することによって、液滴受け部にある気体が吸引部によって排気される。よって、捨て吐出時における液滴に含まれる揮発性成分の拡散、および液滴から生じる微量の飛沫の飛散を、被塗布物の搬送精度を低下させることなく、抑制することができる。すなわち、高い安全性および生産性を有し、かつ精密なパターン形成が可能な液滴塗布装置を提供することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
本発明に係る実施形態について、図１〜図１０を参照して説明する。以下の説明において同一の部材および構成要素のそれぞれには、同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同様である。従ってそれらについての詳細な説明は繰り返さない。
【００４６】
〔実施の形態１〕
本発明に係る一実施形態のインクジェット装置１０および１０’について、図１〜図６を用いて以下に説明する。図１は、本実施形態に係るインクジェット装置１０の構成を示す平面図である。図２は、図１のＡ−Ａ’から見たインクジェット装置１０の構成を示す断面図である。図３は、図１のインクジェット装置１０の捨て吐出時における各構成の位置関係を示す平面図である。図４は、図３のＡ−Ａ’から見たインクジェット装置１０の捨て吐出時における各構成の位置関係を示す断面図である。図５は、図１の変形例であるインクジェット装置１０’の構成を示す平面図である。図６は、図５のＢ−Ｂ’から見たインクジェット装置１０’の構成を示す断面図である。
【００４７】
（インクジェット装置１０）
図１および図２に示すように、インクジェット装置（液滴塗布装置）１０は、被塗布物６にインク（液滴）を吐出するインクジェットヘッド１ａを備えるインクジェットヘッドユニット１と、被塗布物６を載置する吸着ステージ２（載置台）と、インクジェットヘッドユニット１と吸着ステージ２とを相対的に移動させる駆動部３と、排気口４ａを有し、かつインクジェットヘッド１ａからのインクを受けるインク捨て部４（液滴受け部）と、インク捨て部４にある気体を吸引する排気枝管５（吸引部）を備えている。排気枝管５は、排気ダクト１１ａおよび排気ファン１１ｂからなる排気部１１に接続されている。吸着ステージ２とインク捨て部４とが接続され、モータ３ａ、ボールねじ３ｂおよび稼動ナット３ｃからなる駆動部３は、稼動ナット３ｃにおいて吸着ステージ２と接続されている。インクジェットヘッドユニット１の一端には、インクジェットヘッド１ａが形成され、他の一端はガントリ１３に接続されている。駆動部３、排気部１１およびガントリ１３のそれぞれは、定番１２上に形成されており、定番１２上には、さらにインクジェットヘッド１ａのメンテナンスを行うメンテナンスユニット１４が形成されている。
【００４８】
インクジェット装置１０は、インクジェットヘッド１ａから被塗布物６にインクを吐出することによって、被塗布物６上に所望のパターンを形成するための装置である。インクジェット装置１０が備えている各構成の機能や動作の詳細について、以下に説明する。
【００４９】
（インクジェットヘッドユニット１）
インクジェットヘッドユニット１は、ガントリ１３に固定されており、インクの吐出口であるノズルが形成されたインクジェットヘッド１ａを備えている。インクジェットヘッド１ａは、吸着ステージ２上に載置された被塗布物６、およびインク捨て部４と対向するようにインクジェットヘッドユニット１に取り付けられている。インクジェットヘッド１ａは、インク捨て部４と対向するときインク捨て部４にインクを吐出して捨て吐出を行い、被塗布物６と対向するとき被塗布物６上にインクを吐出して所望のパターンを形成する。
【００５０】
インクジェットヘッドユニット１としては、インクジェット方式によってインクを吐出する従来公知のインクジェットヘッドユニットを使用すればよい。インクジェットヘッド１ａによるインクの吐出量、吐出のタイミングおよび吐出を行うノズルの決定などは、インクジェットヘッドユニット１をコンピュータに接続して、コンピュータによって制御してもよい。
【００５１】
（吸着ステージ２）
吸着ステージ２は、上述のように、被塗布物６を載置する台である。吸着ステージ２上には真空吸着部が形成されており、被塗布物６は、上記真空吸着部によって吸着ステージ２に吸着固定される。また、吸着ステージ２には、ロボットなどの搬入装置（図示せず）によって搬入される被塗布物６を受取るための、ピンおよび昇降部などが形成されていてもよい。吸着ステージ２は、次の（駆動部３）の項において説明する駆動部３の駆動によって移動する。したがって、吸着ステージ２は、被塗布物６をインクジェットヘッドユニット１の真下に移動させるための構成でもある。例えば、吸着ステージ２がＬＭ（Ｌｉｎｅａｒ  Ｍｏｔｉｏｎ）ガイドやエアスライドなどに接続されていれば、移動時における吸着ステージ２のずれを防止することができる。吸着ステージ２が、ずれることなく、安定して移動することによって、インクジェットヘッド１ａは、被塗布物６の所望の位置に対して正確にインクを塗布することができる。
【００５２】
被塗布物６の特定の位置に対して正確にインクを塗布したい場合、吸着ステージ２上における被塗布物６の状態（インクジェットヘッド１ａに対する角度や吸着ステージ２上の位置）を最適化する必要がある。上記最適化のために、アライメントマークが付与された被塗布物６を用いて、被塗布物６のインクジェットヘッド１ａに対する角度や吸着ステージ２上の位置を確認および調整してもよい。また、被塗布物６の端部をモニターすることによって、被塗布物６のインクジェットヘッド１ａに対する角度や吸着ステージ２上の位置を確認および調整してもよい。また、吸着ステージ２の端部と被塗布物６の端部とを特定の位置関係にする接触式のアライメントを行ってもよい。吐出する位置に規定がない場合には、これらのアライメント動作は不要となる。
【００５３】
（駆動部３）
駆動部３は、上述のように、モータ３ａ、ボールねじ３ｂおよび稼動ナット３ｃから構成されている。モータ３ａの回転はボールねじ３ｂに伝わり、ボールねじ３ｂの回転によって稼動ナット３ｃは、図２における紙面の右方向または左方向に移動する。稼動ナット３ｃが吸着ステージ２と固定されているので、モータ３ａの回転によって吸着ステージ２を、右方向または左方向に移動させることができる。よって、モータ３ａの回転速度によって吸着ステージ２の移動速度が、モータ３ａの回転数によって吸着ステージ２の移動距離が制御される。吸着ステージ２の移動速度および移動距離をより高い精度において制御するために、吸着ステージ２の移動速度および移動距離を正確に測定する測定手段をさらに形成してもよい。このとき、上記測定手段からの信号に基づいて、モータ３ａの回転速度および回転数を、適宜変更すればよい。モータ３ａの振動が被塗布物６に対する所望のパターンの形成の妨げになる場合や、吸着ステージ２を高速に移動させる必要がある場合には、駆動部３としてリニアモータを使用してもよい。
【００５４】
（インク捨て部４）
インク捨て部４は、ビスなどによって吸着ステージ２に固定されている。このため、インク捨て部４は、駆動部３に接続された吸着ステージ２と一緒に移動する。図１の状態を例に説明すると、吸着ステージ２は、被塗布物６をインクジェットヘッド１ａの真下に位置させるために、紙面の右側に移動する。図２に示すように、被塗布物６がインクジェットヘッド１ａの真下に位置する（被塗布物６にインクを塗布する）直前に、インク捨て部４がインクジェットヘッド１ａの真下に移動する（インク捨て部４とインクジェットヘッド１ａとが対向する）。
【００５５】
ここで、インクジェットヘッド１ａは、通常、被塗布物６に対するインクの吐出を行う前に、メンテナンスユニット１４によってメンテナンス（クリーニング）される。上記メンテナンスによって、インクジェットヘッド１ａは、インクを適切に吐出し得る好適な状態になる。インクジェットヘッド１ａは、被塗布物６がインクジェットヘッド１ａの真下に移動してくるまでの間に周囲の空気に曝されている。インクジェットヘッド１ａは、空気に曝されている時間が長いと、吐出不良を起こしやすくなる。このため、インクジェットヘッド１ａの吐出不良を防止するために、被塗布物６にインクを塗布する直前に捨て吐出が行われる。吐出不良とは、例えば、インクの不吐出やインクの吐出方向のずれなどである。インク捨て部４は、捨て吐出時のインクを受け容れるための、図１の紙面の手前側にインクの受け容れ口（図示せず）を有している。
【００５６】
捨て吐出の有効性を示す一例として、インク捨て部４を用いて捨て吐出を行った場合の吐出不良の発生頻度について調べた結果を以下に示す。以下の結果は、本実施形態のインクジェット装置１０とは構成が異なるインクジェット装置を用いて、捨て吐出時に吐出したインクの数と吐出不良の発生頻度との関連について調べたものである。上記インクジェット装置は、インク受け部に排気口４ａが形成されていないこと、および排気部１１を備えていないことが、インクジェット装置１０とは異なる。
【００５７】
まず、メンテナンスユニット１４を用いてインクジェットヘッド１ａのメンテナンスを行った。インクジェットヘッド１ａのメンテナンス後から３０秒後に、捨て吐出を行わずに、３００個のノズルを用いて被塗布物６に対してインクの吐出を行った。その結果、インクの不吐出を起こしたノズルは２個であり、インクの吐出方向にずれを生じたノズルは１０個であった。
【００５８】
一方、先ほどと同様に、インクジェットヘッド１ａのメンテナンス後から３０秒後に、５０００個のインクを吐出した後に、被塗布物６に対するインクの吐出を行った。使用したノズルの数は、３００個である。その結果、インクの不吐出を起こした０個であり、インクの吐出方向のずれが生じたノズルは１個であった。さらに、捨て吐出時に吐出したインクの数を１００００個に増やしたところ、インクの不吐出を起こした０個であり、インクの吐出方向のずれが生じたノズルは０個であった。
【００５９】
以上のように、被塗布物６への吐出の前に捨て吐出を行うことによって、吐出不良を起こすノズルが減少する、またはなくなる。
【００６０】
さらに、捨て吐出を行った後に被塗布物６にインクを吐出するという動作を繰り返し行ったときに、ノズルが吐出不良を起こすか否かを確かめた。その結果を以下に示す。
【００６１】
上記インクジェット装置を用いて以下の動作：
（１）メンテナンスユニット１４によるインクジェットヘッド１ａのメンテナンス；
（２）３００個のノズルを用いた、インク受け部に対するインクの吐出；および
（３）３００個のノズルを用いた、被塗布物６へのインクの吐出
を繰り返して行った。なお、（２）において、インク受け部に１００００個のインクを吐出した。この結果、（１）〜（３）を１サイクルとすると、１〜１９サイクル目までは、吐出不良を起こすノズルは０個であった。しかし、２０サイクル目において、インクの吐出方向のずれが生じたノズルは１個であった。さらに繰り返して上記動作を行った結果として、２０サイクルに１回の割合において、インクの吐出方向にずれを生じるノズルが１個見つかった。被塗布物６に対する捨て吐出を行っても、上述のような動作を繰り返すことによって、ノズルが吐出不良を起こすのは、インクの吐出時にインク滴と同時にインクの飛沫が発生するためである。
【００６２】
ここで、図１に示すように、インク捨て部４の側面には、インク捨て部４の中の気体を排気する排気口４ａが形成されている。捨て吐出時にインク捨て部４にインクが吐出されると、上記インクから揮発性成分の一部が蒸発する。蒸発した揮発性成分には、人体に有害な種々の物質が含まれている。排気口４ａは、蒸発した有害な揮発性成分をインク捨て部４から排気するために形成されている。さらに、排気口４ａから排気された気体と同じ体積の空気が、インク捨て部４のインクの受け容れ口から流入する。この空気の流れによって、インクの吐出時に発生するインクの飛沫は、インク捨て部４に引き込まれる。排気口４ａを介してインク捨て部４内の気体を排気すること、およびインク捨て部４にインクの飛沫を回収することの詳細については、次の（排気枝管５）の項において説明する。
【００６３】
上述のように、インクジェット装置１０において、インク捨て部４は吸着ステージ２に固定されているので、インクジェット装置１０は、駆動部３を１つ備えていればよい。よって、インクジェット装置１０は、複数の駆動部３を備えているインクジェット装置と比較して、コストを削減することができる。
【００６４】
ここで、インク捨て部４が大きな重量を有しているとき、吸着ステージ２にインク捨て部４を固定すると、モータ３ａおよびボールねじ３ｂに過剰な負荷が加わる場合がある。このような場合には、図５および図６に示すように、インク捨て部４用の移動軸５１を、さらに備えるインクジェット装置１０’のような構成に変更してもよい。なお、移動軸５１は、専用の駆動部に接続されている。
【００６５】
（排気枝管５）
排気枝管５は、上述のように、排気ファン１１ａおよび排気ダクト１１ｂからなる排気部１１に接続されている。排気枝管５および排気ダクト１１ｂの内部は中空である。すなわち、排気枝管５、排気ダクト１１ｂおよび排気ファン１１ａは、両端に開口部を有する一繋がりのパイプと表現することもできる。排気枝管５が有している、図１における下側（図２における紙面の手前側）にある開口部は、上記パイプの一端の開口部である。また、排気ファン１１ａは、上記パイプにおける他の一端の開口部である。よって、排気ファン１１ａが回転することによって、排気ダクト１１ｂ内の気体が所望の場所へ排出され、かつ排気枝管５の開口部から気体が吸引される。よって、排気枝管５の開口部とインク捨て部４の排気口４ａとが対向しているとき、インク捨て部４内の気体が排気枝管５から吸引される。
【００６６】
図３および図４を参照して、排気枝管５の開口部とインク捨て部４の排気口４ａとが対向している状態について説明する。
【００６７】
図３および図４に示すように、図１の状態と比較して、吸着ステージ２が紙面の右側に移動している。吸着ステージ２とともにインク捨て部４も右側に移動し、インク捨て部４はインクジェットヘッドユニット１の真下に位置している。このとき、被塗布物６に対してインクを適切に吐出するために、インクジェットヘッド１ａは、多量のインクをインク捨て部４に吐出する。
【００６８】
また、インク捨て部４はインクジェットヘッド１ａの真下に位置しているとき、インク捨て部４の排気口４ａと排気枝管５とが略密接している。言い換えると、排気口４ａと排気枝管５とが狭い間隔（例えば、数ｍｍ）を空けて対向している。上述のように、排気ファン１１ａが回転していれば、排気枝管５の開口部は気体を吸引している。よって、排気枝管５は、狭い間隔を空けて対向している排気口４ａを介して、インク捨て部４内の気体を吸引する。なお、排気口４ａと排気枝管５との間には僅かな隙間があるだけなので、排気枝管５は、その隙間から周囲の空気をほとんど吸引することなく、効率的にインク捨て部４内の気体を吸引することができる。つまり、排気枝管５と排気口４ａとが略密接することによって、インク捨て部４内を効率的に排気することができる。よって、（インク捨て部４）の項において説明したように、捨て吐出時に発生するインクの有害な揮発性成分は、インクジェット装置１０の周囲に拡散しない。
【００６９】
以上のように、排気枝管５と排気口４ａとが略密接することによって、捨て吐出時に発生するインクの有害な揮発性成分が、インクジェット装置１０の周囲に拡散しない。よって、インクジェット装置１０を設置した空間における作業員の安全を確保することができる。なお、インクに含まれる有害な揮発性成分としては、例えば、アセトン、キシレン、トルエン、ベンゼン、テトラヒドロフラン、およびイソプロピルアルコールのような揮発性を有する有機物などが挙げられる。
【００７０】
さらに、排気枝管５がインク捨て部４内の気体を吸引すると、当然、インク捨て部４のインクの受け容れ口には、周囲から空気が流れ込む。つまり、インクの受け容れ口は、排気口４ａと排気枝管５とが略密接するとき、周囲の空気を吸引する吸引口として機能する。上述のように、インクジェット装置１０において排気口４ａと排気枝管５とが略密接するのは、インクジェットヘッド１ａとインク捨て部４とが対向しているとき（捨て吐出時）である。つまり、捨て吐出時には、インク捨て部４は、周囲の空気とともに周囲に存在する微粒子を吸い集めている。ここで、上述のように、インクジェットヘッド１ａがインクを吐出すると、インク滴と吐出の勢いなどによって飛び散ったインクの飛沫とが生じる。このインクの飛沫は、インク滴のように一定の方向に飛ぶわけではない。よって、インクの飛沫がインクジェットヘッド１ａに付着する場合がある。インクの吐出を繰り返した結果として、インクの飛沫がインクジェットヘッド１ａに何度も付着すると、付着した飛沫は吐出不良の原因になる場合がある。上述のように、捨て吐出時には、インク捨て部４が周囲の空気とともに周囲に存在する微粒子を吸い集めているので、小さなインクの飛沫は、インク捨て部４に回収される。すなわち、インクジェット装置１０において、捨て吐出時に排気口４ａと排気枝管５とが略密接するので、繰り返してインクを吐出したときに生じるインクの吐出不良を抑制する。
【００７１】
ここで、蒸発した揮発性成分の排気およびインクの飛沫の飛散を防止するためには、排気ファンを用いて作業環境の空気を作業環境外に排気すればよい。また、排気ファン１１ａとしては、通常、シロッコ型ファンを使用する。シロッコ型ファンは、大きな排気風量を有しているが、接続する排気ダクト１１ｂの内径が小さいと、大きな負圧を掛けることができない。シロッコ型ファンを使用して、大きな負圧を掛けるためには、１００ｍｍ以上の内径を有する排気ダクト１１ｂを使用する必要がある。例えば、インク受け２部を常に排気するために排気ダクト１１ｂと排気口４ａとを接続した場合には、排気ダクト１１ｂが太いために、駆動部３に過剰な負荷が加わる。結果として、異常な加熱によるモータ３ａの停止や破損、およびボールねじ３ｂの回転の阻害によって、吸着ステージ２の適切な移動を妨げる（正常な移動範囲からずれるなど）おそれがある。
【００７２】
また、駆動部３の停止などを回避するために大きな動力を生じる駆動部３を用いた場合には、ランニングコストが増大し、かつ駆動部３の振動が大きくなる。駆動部３の振動が大きくなると、吸着ステージ２上の被塗布物６の振動も大きくなる。よって、被塗布物６の所望の位置に対して厳密にインクを塗布することが困難になる。つまり、動力の大きい駆動部３は、被塗布物６上に精密なパターンを形成する場合には、不向きである。
【００７３】
さらに、作業環境の空気を作業環境外に排気する方法として、排気ダクト１１ｂを用いることなく、定番１２を含む装置全体を、外装によって覆った状態において排気する方法がある。しかし、この方法を用いた場合、外装の内部の気体を十分に排気するにためには、大きな排気風量が要求される。大きな排気風量を実現するためには、大型の排気ファン１１ａを使用することや、電力の消費量が大きい排気ファン１１ａを使用する必要がある。これらの場合、装置の大型化やランニングコストの増大に繋がる。
【００７４】
一方において、上述のように、インクジェット装置１０において、排気口４ａと排気枝管５とは、捨て吐出時に狭い間隔を空けて対向する。また、インクジェット装置１０において、排気口４ａと排気枝管５とは、捨て吐出時を除いて対向しない。つまり、インクジェット装置１０において、排気口４ａと排気枝管５とは、常に接触していない。よって、駆動部３は、吸着ステージ２、インク捨て部４および被塗布物６のみを移動させる。言い換えると、駆動部３の駆動は、インク捨て部４内の空気を排気する構成（排気枝管５および排気部１１）から抵抗を受けない。このため、駆動部３には、従来の構成と比較しても、余分な負荷がかからない。まとめると、排気口４ａと排気枝管５とが常に接触していないので、インクジェット装置１０は、ランニングコストの増大を回避し、さらに精密かつ安定した動作を実現することができる。
【００７５】
ここで、インク捨て部４の排気、および排気口４ａと排気枝管５とが接触しないことの有効性を示す一例として、２種類のインクジェット装置を用いて、インクジェット装置を設置した空間のアセトン濃度とモータの動作について調べた。２種類のインクジェット装置として、インク捨て部４と排気ファン１１ａとがジャバラ管を介して接続されているインクジェット装置、および本実施形態のインクジェット装置１０を用いた。
【００７６】
まず、インクジェット装置１０を用いて、排気ファン１１ａを作動させずに、インク捨て部４に１０００滴のアセトンを吐出した。この結果、１０００滴のアセトンを吐出した後に、インクジェット装置１０の周囲の３ｍ×３ｍ×２ｍの空間において、２００ｐｐｍの濃度のアセトンが検出された。
【００７７】
次に、インク捨て部を常に排気するために、ジャバラ管を用いてインク捨て部と排気ファン１１ａとを接続したインクジェット装置を用いて、インク捨て部に１０００滴のアセトンを吐出下。この結果、１０００滴のアセトンを吐出した後に、上記インクジェット装置の周囲の３ｍ×３ｍ×２ｍの空間において、１０ｐｐｍ以下の濃度のアセトンが検出された。さらに、アセトンの吐出と、被塗布物の搬入位置から被塗布物へのインクの塗布が終了する位置まで、吸着ステージを移動させるという動作とを１０回繰り返して行った。その結果、上記インクジェット装置は、モータ３ａは、吸着ステージおよびインク捨て部の重量に加えて、インク捨て部に接続されたジャバラ管による抵抗が加わったため、過剰な負荷によって異常に加熱して停止した。
【００７８】
最後に、排気口４ａと排気枝管５との間に２ｍｍの隙間を設けたインクジェット装置１０を用いて、１０００滴のアセトンをインク捨て部４に吐出した。この結果、１０００滴のアセトンを吐出した後に、上記インクジェット装置の周囲の３ｍ×３ｍ×２ｍの空間において、１０ｐｐｍ以下の濃度のアセトンが検出された。さらに、アセトンの吐出と、被塗布物の搬入位置から被塗布物へのインクの塗布が終了する位置まで、吸着ステージを移動させるという動作とを１０回繰り返して行った。その結果、モータ３ａは正常に動作し続け、かつ繰り返してさらに動作した。
【００７９】
以上のように、インクジェット装置１０において、排気口４ａと排気枝管５とを略密接させることによって、捨て吐出時に蒸発する揮発性成分の濃度は、作業員の安全を十分に確保する程度にまで低下する。さらに、インクジェット装置１０を繰り返し動作させても、モータ３ａを含む駆動部３に過剰な負荷が掛からない。
【００８０】
（排気口４ａおよび排気枝管５の開口部）
インク捨て部４内の気体を効率的に排気するという観点から、排気口４ａと排気枝管５の開口部とが有する面積は、同じであることが好ましい。他の構成の形状や形成位置に干渉を受ける場合には、排気口４ａと排気枝管５の開口部のどちらか一方の面積を小さくしてもよい。ただし、排気口４ａと上記開口部とが有する面積の差が大きくなると、インク捨て部４を排気する能力が極端に低下する。よって、排気口４ａと上記開口部とが有する面積の差は、可能な限り小さくすることが好ましい。より詳細には、排気口４ａと上記開口部とが有する面積の比は、５６．２５％以上であることが好ましい。一方の面積が他方の面積の５６．２５％未満である場合、上述のように、インク捨て部４を排気する能力が極端に低下してしまう。
【００８１】
排気口４ａと排気枝管５とが接触しない状態において、十分な排気風量を確保するには、排気に用いられる排気ファン１１ａの能力を考慮する必要がある。排気ファン１１ａとしては、通常、大きな排気風量を有し、かつ高い負圧（低圧）を掛けることが難しいファンを使用する。よって、排気口４ａと排気枝管５との間にある隙間によって形成されるオリフィス部の抵抗が小さくても、上記隙間の大きさ、および排気口４ａと上記開口部とが有する面積は、上記オリフィス部における気体の流量に影響を与える。以下にこの詳細について説明する。
【００８２】
例えば、排気口４ａおよび排気枝管５の開口部が有する直径が１００ｍｍであり、かつ隙間の大きさが５ｍｍであるとき、上述のような能力を有する排気ファン１１ａを使用すると、排気枝管５を通過する気体の流量の８０％以上を、排気口４ａを通過した気体が占める。すなわち、排気ファン１１ａの排気能の使用効率が、インク捨て部４の排気に関して、８０％以上であると言える。排気ファン１１ａの排気能の使用効率が８０％以上であれば、捨て吐出時におけるインクの揮発性成分を十分に捕集することができる。
【００８３】
ここで、排気ファン１１ａとして、大きな排気風量を有し、かつ高い負圧を掛けることができるターボファンなどを使用した場合には、隙間の大きさが５ｍｍもあると、排気枝管５の開口部を通過する気体の流量の内、排気口４ａを通過した気体が占める割合は約５０％にまで低下する。つまり、排気ファン１１ａの排気能の使用効率は、インク捨て部４の排気に関して、約５０％である。よって、十分にインク捨て部４内の揮発性成分を捕集するためには、隙間の大きさを２ｍｍ以下にする必要がある。なお、隙間の大きさが２ｍｍ以下であっても、排気口４ａと排気枝管５とが接触していなければ、モータ３ａに負荷が加わることがないので、吸着ステージ２の正常な移動の妨げにはならない。
【００８４】
以上のように、排気口４ａと排気枝管５との間の間隔は、排気口４ａと排気枝管５の開口部とが有する直径（およびそれらの差異）や排気ファン１１ａの種類などに応じて決定する必要がある。このため、略密接している排気口４ａと排気枝管５との間には、０．５ｍｍ〜１０ｍｍの間隔があることが好ましい。上記間隔が０．５ｍｍ未満の場合には、排気口と吸引部との接触を確実に防止するために、互いに略密接する排気口および吸引部の部分が有する形状を精密に形成する必要が生じる。一方、上記間隔が１０ｍｍを超える場合、吸引部と液滴受け部との隙間から空気が侵入し易くなるため、吸引部は液滴受け部から効率的に気体を吸引することが困難になる場合がある。また、吸引部に接続する動力（排気装置）の種類や性能、および吸引部から動力までを繋ぐ配管の直径に制限を受け易くなる。なお、液滴塗布装置を設計する場合において、略密接している排気口４ａと排気枝管５との間の間隔は、通常、３ｍｍに設定される。
【００８５】
（排気部１１）
排気部１１は、上述のように、排気枝管５と接続された排気ダクト１１ｂ、および排気ダクト１１ｂ内の気体を吸い出す排気ファン１１ａからなる。排気ダクト１１ｂとしては、内部の気体が外部に漏れないような中空構造を有するものであればよい。また、排気ダクト１１ｂは、従来公知の材料から構成することができる。ただし、排気ダクト１１ｂ内の中空の断面積（円形の中空であれば内径）は、排気ファン１１ａの性能に応じて、適宜変更する必要がある。排気ファン１１ａとしては、シロッコ型ファンやターボファンなどの翼の回転によって、気体を一定の方向へ移動させる構成であればよい。なお、排気部１１の内、気体を排出するための構成としては、排気ファン１１ａの他にポンプによって気体を吸引する構成を用いてもよい。
【００８６】
（被塗布物６）
被塗布物６は、インクの塗布によって所望のパターンを形成する略平面を有するものであればよい。被塗布物６としては、例えば、プリント基板、太陽電池、大規模集積回路が形成された基板、紙、および平板状の高分子化合物などが挙げられる。インクジェット装置１０によってパターンが形成された被塗布物６としては、例えば、ＰＤＰ（ｐｌａｓｍａ  ｄｉｓｐｌａｙ  ｐａｎｅｌ）、液晶表示素子、有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子、無機ＥＬ素子、およびＳＥＤ（ｓｕｒｆａｃｅ−ｃｏｎｄｉｔｉｏｎ  ｅｌｅｃｔｒｏｎ−ｅｍｉｔｔｅｒ  ｄｉｓｐｌａｙ）などの表示素子が挙げられる。
【００８７】
〔実施の形態２〕
本発明に係る一実施形態のインクジェット装置７０について、図７および図８を用いて以下に説明する。図７は、インクジェット装置１０の変形例であるインクジェット装置７０の構成を示す平面図である。図８は、図７のＣ−Ｃ’から見たインクジェット装置７０の構成を示す断面図である。インクジェット装置７０とインクジェット装置１０とは、多くの点において共通している。このため、本実施形態においては、インクジェット装置７０とインクジェット装置１０との相違点についてのみ説明する。
【００８８】
図７および図８に示すように、インクジェット装置７０は、被塗布物６にインクを吐出するインクジェットヘッド１ａを備えるインクジェットヘッドユニット１と、被塗布物６を載置する吸着ステージ２と、インクジェットヘッドユニット１と吸着ステージ２とを相対的に移動させる駆動部３と、排気口４ａを有し、かつインクジェットヘッド１ａからのインクを受けるインク捨て部４と、インク捨て部４にある気体を吸引する２つの排気枝管５および５’を備えている。排気枝管５は、排気ダクト１１ａおよび排気ファン１１ｂからなる排気部１１に接続されている。吸着ステージ２とインク捨て部４とが接続され、モータ３ａ、ボールねじ３ｂおよび稼動ナット３ｃからなる駆動部３は、稼動ナット３ｃにおいて吸着ステージ２と接続されている。インクジェットヘッドユニット１の一端には、インクジェットヘッド１ａが形成され、他の一端はガントリ１３に接続されている。駆動部３、排気部１１およびガントリ１３のそれぞれは、定番１２上に形成されており、定番１２上には、さらにインクジェットヘッド１ａのメンテナンスを行うメンテナンスユニット１４が形成されている。排気口４ａおよび排気枝管５には、排気口４ａと排気枝管５との対向面のそれぞれを取り囲むように鍔４ｂおよび５ａが形成されている。つまり、インクジェット装置７０とインクジェット装置１０とは、排気枝管が形成されている数が異なる。
【００８９】
（排気枝管５）の項において例示したような揮発性の高い有機物のすべては、捨て吐出時に蒸発するわけではない。また、インクは、（排気枝管５）の項において例示したような揮発性の高い有機物以外にも、１００℃を超える沸点を有する低揮発性の揮発性成分を含んでいる場合もある。低揮発性の揮発性成分としては、ブチルカルビトールアセテート（ＢＣＴＡＣ）、塩化セチルトリメチルアンモニウム（ＣＴＡＣ）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、およびグリセリンなどが挙げられる。さらに、インクは、顔料などの固形成分を含んでいる場合もある。
【００９０】
捨て吐出時においてのみ、排気枝管５を用いてインク捨て部４の排気を行った場合、捨て吐出時以外においてインク捨て部４にあるインクから揮発性成分が蒸発し、作業環境に拡散する。特に、インクが上述のような低揮発性の揮発性成分を含んでいる場合、捨て吐出時以外において、蒸発した有害な揮発性成分が、大量に作業環境中に拡散する。
【００９１】
また、インクが顔料などの固形成分を含んでいる場合、揮発性成分の蒸発によって上記固形成分が、インク捨て部４から飛散し易くなる。飛散した上記固形成分が、被塗布物６やインクジェットヘッド１ａに付着すると、インクを塗布した被塗布物６の汚染やインクジェットヘッド１ａの吐出不良という不具合が生じる。
【００９２】
よって、捨て吐出時以外においても、インク捨て部４を排気することが好ましい。インク捨て部４の排気は、例えば、吸着ステージ２が停止しているときなどに行われる。吸着ステージ２が停止しているときとしては、メンテナンスユニット１４によるインクジェットヘッド１ａのメンテナンスを行うとき、被塗布物６のアラインメントを行っているとき、および被塗布物６を搬入するときなどである。吸着ステージ２が停止しているときにインク受け部４の排気を行うとは、上述のようなときに排気口４ａと排気枝管５’とが略密接している状態を意味する。すなわち、排気枝管５’は、上述のようなときに排気口４ａと略密接するような位置に形成されていればよい。
【００９３】
以上のように、インクジェット装置７０は、複数の排気枝管５および５’を備えていることによって、インクジェット装置８０を設置した空間における作業員の安全性がさらに高まり、かつ被塗布物６の汚染やインクの吐出不良を抑制する。
【００９４】
〔実施の形態３〕
本発明に係る一実施形態のインクジェット装置９０について、図９を用いて以下に説明する。図９は、インクジェット装置１０’の変形例であるインクジェット装置９０の構成を示す平面図である。インクジェット装置９０とインクジェット装置１０’とは、多くの点において共通している。このため、本実施形態においては、インクジェット装置９０とインクジェット装置１０’との相違点についてのみ説明する。
【００９５】
図９に示すように、インクジェット装置９０は、被塗布物６にインクを吐出するインクジェットヘッド１ａを備えるインクジェットヘッドユニット１と、被塗布物６を載置する吸着ステージ２と、インクジェットヘッドユニット１と吸着ステージ２とを相対的に移動させる駆動部３と、排気口４ａを有し、かつインクジェットヘッド１ａからのインクを受けるインク捨て部４と、インク捨て部４にある気体を吸引する排気枝管５を備えている。排気枝管５は、排気ダクト１１ａおよび排気ファン１１ｂからなる排気部１１に接続されている。モータ３ａ、ボールねじ３ｂおよび稼動ナット３ｃからなる駆動部３は、稼動ナット３ｃにおいて吸着ステージ２と接続されている。インク捨て部４は、専用の駆動部と連結している移動軸５１に接続されている。インクジェットヘッドユニット１の一端には、インクジェットヘッド１ａが形成され、他の一端はガントリ１３に接続されている。駆動部３、排気部１１およびガントリ１３のそれぞれは、定番１２上に形成されており、定番１２上には、さらにインクジェットヘッド１ａのメンテナンスを行うメンテナンスユニット１４が形成されている。排気口４ａおよび排気枝管５には、排気口４ａと排気枝管５との対向面のそれぞれを取り囲むように鍔４ｂおよび５ａが形成されている。つまり、インクジェット装置９０とインクジェット装置１０’とは、排気口４ａおよび排気枝管５のそれぞれに鍔４ｂおよび５ａが形成されている点において異なる。
【００９６】
実施の形態１において説明したように、捨て吐出時に排気口４ａと排気枝管５とが略密接すれば、インク受け部４を十分に排気することができる。ここで、インクジェット装置９０は、排気口４ａの排気枝管５との対向面の周りに鍔４ｂをさらに有し、かつ排気枝管５の排気孔４ａとの対向面の周りに鍔５ａをさらに有している。排気口４ａの鍔４ｂと排気枝管５の鍔５ａとは、わずかな間隔を空けて対向する。よって、排気枝管５から気体を吸引するとき、排気口４ａおよび排気枝管５の周囲にある空気が排気枝管５の開口部に達するまでの距離が長くなる。さらに、上記空気は、２つの鍔４ｂおよび５ａの間にある非常に狭い隙間を通過しなければならない。よって、排気口４ａおよび排気枝管５の周囲にある空気は、ほとんど排気枝管５の開口部にまで達することがない。つまり、排気枝管５の開口部を通過する気体の内、排気孔４ａを通過した気体が占める割合が高くなる。インク受け部４から排気される気体の排気風量が増大すると言い換えることもできる。よって、インク受け部４の排気効率が向上する。
【００９７】
〔実施の形態４〕
本発明に係る一実施形態のインクジェット装置１００について、図１０を用いて以下に説明する。図１０は、インクジェット装置１０’の他の変形例であるインクジェット装置１００の構成を示す平面図である。インクジェット装置１００とインクジェット装置１０’とは、多くの点において共通している。このため、本実施形態においては、インクジェット装置１００とインクジェット装置１０’との相違点についてのみ説明する。
【００９８】
図１０に示すように、インクジェット装置１００は、インクジェット装置１０は、被塗布物６にインクを吐出するインクジェットヘッド１ａを備えるインクジェットヘッドユニット１と、被塗布物６を載置する吸着ステージ２と、インクジェットヘッドユニット１と吸着ステージ２とを相対的に移動させる駆動部３と、排気口４ａを有し、かつインクジェットヘッド１ａからのインクを受けるインク捨て部４と、インク捨て部４にある気体を吸引する排気枝管５’’を備えている。排気枝管５’’は、排気ダクト１１ａおよび排気ファン１１ｂからなる排気部１１に接続されている。また、排気枝管５’’は、インク捨て部４が移動する領域の全体に伸びており、かつスリット状の開口部を有している。モータ３ａ、ボールねじ３ｂおよび稼動ナット３ｃからなる駆動部３は、稼動ナット３ｃにおいて吸着ステージ２と接続されている。インク捨て部４は、移動軸５１と接続されている。インクジェットヘッドユニット１の一端には、インクジェットヘッド１ａが形成され、他の一端はガントリ１３に接続されている。駆動部３、排気部１１およびガントリ１３のそれぞれは、定番１２上に形成されており、定番１２上には、さらにインクジェットヘッド１ａのメンテナンスを行うメンテナンスユニット１４が形成されている。排気口４ａおよび排気枝管５には、排気口４ａと排気枝管５との対向面のそれぞれを取り囲むように鍔４ｂおよび５ａが形成されている。つまり、インクジェット装置１００とインクジェット装置１０’とは、排気枝管の形状が異なる。
【００９９】
インクジェット装置１００において、上述のように、排気枝管５’’は排気ダクト１１ｂの長さ方向に伸びている。また、排気枝管５’’の排気口４ａの対向面には、スリット状の開口部が形成されている。つまり、インクジェット装置１００において、排気口４ａと排気枝管５’’とは、常に略密接している。よって、排気枝管５’’は、常にインク捨て部４内の気体を排気することができる。このため、インクジェット装置１００は、インクが主成分として水から構成されているため、揮発性成分（例えば、有機物）の蒸発量が少ない場合、および揮発性成分が有する沸点が３００℃以上であるため、常温においてほとんど蒸発しない場合などに適している。
【０１００】
なお、排気枝管５’’が有するスリット状の開口部の幅は、排気ファン１１ａから離れるにしたがって、狭くなっていることが好ましい。排気枝管５’’が有するスリット状の開口部の幅は、インク捨て部４からの排気が排気ダクト１１ｂ内を移動する上流から下流に向かうにしたがって、広がっていることが好ましいと言い換えることができる。例えば、スリットの幅が一定である場合、排気ファン１１ａから最も離れた位置における排気風量が最も小さく、排気ファン１１ａから最も近い位置における排気風量が最も大きい。つまり、排気ファン１１ａから最も離れた位置における、排気枝管５’’のインク捨て部４内の気体の排気効率が極端に低下する。スリット状の上記開口部の幅が、排気ファン１１ａに近づくにしたがって広がっているため、排気枝管５’’の全体において、インク捨て部４内の気体の排気風量を比較的に均一化することができる。
【０１０１】
（その他の構成）
本発明は、以下の構成によっても実現可能である。
【０１０２】
（第１の構成）
被記録物に対して液滴を吐出する液滴吐出部と、
被記録物を載置する載置台と、
液滴吐出部と載置台とを相対的に移動させる移動機構と、
を備えた液滴塗布装置において、
被記録物の載置領域外に液滴受け部を設けており、
少なくとも吐出部から液滴受け部に液滴が吐出される時に、排気ダクトが液滴受け部に略密接して、液滴受け部が排気される液滴塗布装置。
【０１０３】
（第２の構成）
被記録物に対して液滴を吐出する液滴吐出部と、
被記録物を載置する載置台と、
液滴吐出部と載置台とを相対的に移動させる移動機構と、
を備えた液滴塗布装置において、
載置台に被記録物の載置領域外に液滴受け部を設けており、
少なくとも吐出部から液滴受け部に液滴が吐出される時に、排気ダクトが滴受け部に略密接して、液滴受け部が排気される液滴塗布装置。
【０１０４】
（第３の構成）
被記録物に対して液滴を吐出する液滴吐出部と、
被記録物を載置する載置台と、
液滴吐出部と載置台とを相対的に移動させる移動機構と、
を備えた液滴塗布装置において、
被記録物の載置領域外に液滴受け部を設けており、
少なくとも吐出部から液滴受け部に液滴が吐出される時、および載置台の移動が停止している時に、排気ダクトが液滴受け部に略密接して、液滴受け部が排気される液滴塗布装置。
【０１０５】
（第４の構成）
上記液滴受け部と上記排気ダクトとが略密接する部分の構造には、鍔が設けてある第１〜第３の構成のいずれか１つに係る液滴塗布装置。
【０１０６】
（第５の構成）
上記液滴受け部と上記排気ダクトとが略密接する部分の構造は、液滴受け部の移動領域全体に対して、上記排気ダクトにスリットが設けられている第１〜第３の構成のいずれか１つに係る液滴塗布装置。
【０１０７】
（第６の構成）
排気ダクトに設けられた上記スリットが、排気風の流れ方向の上流側から下流側に略連続的に変化するスリット幅である第５の構成に係る液滴塗布装置。
【産業上の利用可能性】
【０１０８】
本発明によれば、インクジェット装置の搬送精度を低下させることなく、安全性および生産性を高めることができる。よって、精密機器の製造用や印刷物の作製用のインクジェット装置など幅広い分野に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェット装置の構成を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’から見たインクジェット装置の構成を示す断面図である。
【図３】図１のインクジェット装置の捨て吐出時における各構成の位置関係を示す平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ’から見たインクジェット装置の捨て吐出時における各構成の位置関係を示す断面図である。
【図５】図１の変形例の構成を示す平面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ’から見たインクジェット装置の構成を示す断面図である。
【図７】図１の他の変形例の構成を示す平面図である。
【図８】図７のＣ−Ｃ’から見たインクジェット装置の構成を示す断面図である。
【図９】図６の変形例の構成を示す平面図である。
【図１０】図６の他の変形例の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【０１１０】
１      インクジェットヘッドユニット（吐出部）
２      吸着ステージ（載置台）
３      駆動部
４      インク受け部（液滴受け部）
４ａ    排気口
４ｂ    鍔（排気口の鍔）
５      排気枝管（吸引部）
５      鍔（吸引部の鍔）
５’    排気枝管（吸引部）
５’’  排気枝管（吸引部）
６      媒体（被塗布物）
１０    インクジェット装置（液滴塗布装置）
１０’  インクジェット装置（液滴塗布装置）
７０    インクジェット装置（液滴塗布装置）
９０    インクジェット装置（液滴塗布装置）
１００  インクジェット装置（液滴塗布装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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