(57)【要約】【課題】均一な膜厚を得ることができる液滴塗布方法及び液滴塗布装置を提供する。【解決手段】液滴塗布方法において、塗布対象物の塗布面に向けて溶媒を液滴として吐出し、塗布面に液滴を着弾させ、塗布面上に溶媒の蒸気雰囲気を生成する工程（ステップＳ１）と、蒸気雰囲気が生成された塗布面に向けて溶液を液滴として吐出し、塗布面に液滴を着弾させる工程（ステップＳ２）とを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布対象物の塗布面に向けて溶媒を液滴として吐出し、前記塗布面に前記液滴を着弾させ、前記塗布面上に前記溶媒の蒸気雰囲気を生成する工程と、
前記蒸気雰囲気が生成された前記塗布面に向けて溶液を液滴として吐出し、前記塗布面に前記液滴を着弾させる工程と、
を有することを特徴とする液滴塗布方法。
【請求項２】
前記塗布面は、複数の画素領域に区分されており、
前記生成する工程では、前記画素領域に前記溶媒の液滴を着弾させ、
前記着弾させる工程では、前記溶媒の液滴が着弾した前記画素領域に前記溶液の液滴を着弾させることを特徴とする請求項１記載の液滴塗布方法。
【請求項３】
異なる種類の複数の溶液毎に前記生成する工程と前記着弾させる工程とを繰り返す工程を有することを特徴とする請求項２記載の液滴塗布方法。
【請求項４】
塗布対象物に向けて溶液を吐出孔から液滴として吐出する塗布ヘッドと、
前記塗布対象物に向けて溶媒を吐出孔から液滴として吐出する溶媒塗布ヘッドと、
前記塗布対象物の塗布面に向けて、前記塗布面上に前記溶媒の蒸気雰囲気を生成するための前記溶媒を前記溶媒塗布ヘッドから吐出させる手段と、
前記蒸気雰囲気が生成された前記塗布面に向けて前記溶液を前記塗布ヘッドから吐出させる手段と、
を備えることを特徴とする液滴塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布対象物に液滴を吐出して塗布する液滴塗布方法及び液滴塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴塗布装置は、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置、電子放出表示装置及びプラズマ表示装置等の表示装置や半導体装置等を製造する場合、例えば、カラーフィルタを形成する場合（例えば、特許文献１参照）、あるいは、ガラス基板や半導体ウェハ等の基板に配向膜やレジスト等の機能性薄膜を形成する場合等に用いられている。
【０００３】
このような液滴塗布装置は、基板等の塗布対象物に向けてインク等の溶液を複数の吐出孔（ノズル）からそれぞれ液滴として吐出（噴射）する塗布ヘッドを備えている。この液滴塗布ヘッドは、その塗布ヘッドと塗布対象物とを相対移動させながら、塗布ヘッドにより塗布対象物の塗布面に複数の液滴を順次着弾させ、所定の塗布パターンを形成する。
【０００４】
この塗布工程の後、ホットプレート等を用いて各液滴を乾燥させる乾燥工程が行われ、複数の薄膜が塗布面に形成される。各液滴（溶液）の溶媒成分は塗布面に着弾した後から蒸発を始めるため、ホットプレート等による乾燥工程を行う前にほぼ蒸発してしまう。このとき、着弾直後の液滴乾燥の進行が乾燥後の膜の厚さ（膜厚）に大きな影響を与えている。したがって、膜内で均一な膜厚を得るためには、その液滴乾燥の進行を制御する必要がある。
【特許文献１】特開平９−２３０１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、着弾直後の液滴乾燥の進行を制御することは難しく、均一な膜厚を得ることは困難である。通常、塗布面に着弾した液滴から順次溶媒が蒸発するため、塗布面上に生成される溶媒の蒸気雰囲気（溶媒雰囲気）の濃度も徐々に高くなっていく。このため、溶媒の蒸気雰囲気の濃度が低い領域、すなわち溶液の乾燥に影響を与える溶媒が雰囲気中に十分に無い領域では、膜の断面形状が凸形状に盛り上がり、膜厚が不均一になってしまう。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、均一な膜厚を得ることができる液滴塗布方法及び液滴塗布装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の実施の形態に係る第１の特徴は、液滴塗布方法において、塗布対象物の塗布面に向けて溶媒を液滴として吐出し、塗布面に液滴を着弾させ、前記塗布面上に溶媒の蒸気雰囲気を生成する工程と、蒸気雰囲気が生成された塗布面に向けて溶液を液滴として吐出し、塗布面に液滴を着弾させる工程とを有することである。
【０００８】
本発明の実施の形態に係る第２の特徴は、液滴塗布装置において、塗布対象物に向けて溶液を吐出孔から液滴として吐出する塗布ヘッドと、塗布対象物に向けて溶媒を吐出孔から液滴として吐出する溶媒塗布ヘッドと、塗布対象物の塗布面に向けて、塗布面上に溶媒の蒸気雰囲気を生成するための溶媒を溶媒塗布ヘッドから吐出させる手段と、蒸気雰囲気が生成された塗布面に向けて溶液を塗布ヘッドから吐出させる手段とを備えることである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、均一な膜厚を得ることができる液滴塗布方法及び液滴塗布装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。
【００１１】
図１に示すように、本発明の実施の形態に係る液滴塗布装置１は、塗布対象物である基板Ｋが水平状態（図１中、Ｘ軸方向とそれに直交するＹ軸方向に沿う状態）で載置される移動テーブル２と、その移動テーブル２を保持してＹ軸方向に移動させるＹ軸移動機構３と、そのＹ軸移動機構３を介して移動テーブル２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構４と、移動テーブル２上の基板Ｋに向けてインク等の溶液を液滴Ｅ１として吐出する複数の塗布ヘッド５と、移動テーブル２上の基板Ｋに向けて溶媒を液滴Ｅ２として吐出する溶媒塗布ヘッド６と、各塗布ヘッド５に溶液を供給するための溶液タンク７と、溶媒塗布ヘッド６に溶媒を供給するための溶媒タンク８と、それらのＹ軸移動機構３、Ｘ軸移動機構４、各塗布ヘッド５及び溶媒塗布ヘッド６等を制御する制御部９とを備えている。
【００１２】
移動テーブル２は、Ｙ軸移動機構３上に積層され、Ｙ軸方向に移動可能に設けられている。この移動テーブル２はＹ軸移動機構３によりＹ軸方向に移動する。なお、移動テーブル２には、基板Ｋが自重により載置されるが、これに限るものではなく、例えば、その基板Ｋを保持するため、静電チャックや吸着チャック等の機構を設けるようにしてもよい。このような移動テーブル２の端部には、各塗布ヘッド５の吐出を安定させるための吐出安定部２ａが設けられている。この吐出安定部２ａは、各塗布ヘッド５のダミー吐出用の受皿、及び各塗布ヘッド５の吐出面をワイプするワイプブレード等を有している。
【００１３】
Ｙ軸移動機構３は、移動テーブル２をＹ軸方向に案内して移動させる移動機構である。このＹ軸移動機構３は制御部９に電気的に接続されており、その駆動が制御部９により制御される。なお、Ｙ軸移動機構３としては、例えば、リニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構等を用いる。
【００１４】
Ｘ軸移動機構４は、Ｙ軸移動機構３をＸ軸方向に案内して移動させる移動機構である。このＸ軸移動機構４は制御部９に電気的に接続されており、その駆動が制御部９により制御される。なお、Ｘ軸移動機構４としては、例えば、リニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構等を用いる。
【００１５】
塗布ヘッド５は、インク等の溶液を複数の吐出孔（ノズル）Ｎ１からそれぞれ液滴Ｅ１として吐出するインクジェットヘッドである。溶液は、その溶液を収容する溶液タンク７から供給される。この塗布ヘッド５は、液滴Ｅ１を吐出するための各吐出孔Ｎ１にそれぞれ対応する複数の圧電素子（図示せず）を内蔵している。各吐出孔Ｎ１は、所定のピッチ（間隔）で直線状に並べて塗布ヘッド５の吐出面に形成されている。例えば、吐出孔Ｎ１の数は数十個から数百個程度であり、吐出孔Ｎ１の直径は数μｍから数十μｍ程度であり、さらに、吐出孔Ｎ１のピッチは数十μｍから数百μｍ程度である。
【００１６】
この塗布ヘッド５は制御部９に電気的に接続されており、その駆動が制御部９により制御される。塗布ヘッド５は、各圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて各吐出孔Ｎ１から液滴（インク滴）Ｅ１を吐出する。この溶液は、基板Ｋ上に残留物として残留する溶質と、その溶質を溶解（分散）させる溶媒とにより構成されている。この溶媒は例えば揮発性を有している。ここで、例えば、溶液であるインクは、顔料、溶剤（インク溶剤）、分散剤及び添加剤等の各種の成分により構成されている。本発明の実施の形態では、赤色、緑色及び青色の３種類のインクを用いる。この場合には、溶液タンク７は、色毎の３つのタンクを有しており、各色の溶液が赤色用、緑色用及び青色用の各々の塗布ヘッド５にそれぞれ供給される。
【００１７】
さらに、塗布ヘッド５は、回転機構（図示せず）によりθ方向（図１中、ＸＹ平面に沿う回転方向）に回転可能に設けられている。この塗布ヘッド５は、回転機構により、相対移動する基板Ｋの相対移動方向に対して所定の傾斜角度だけ傾けられ、その状態で塗布を行う。なお、Ｙ軸方向に相対移動する基板Ｋに対して塗布を行う場合には、塗布ヘッド５の傾斜角度を変更することによって、Ｘ軸方向の液滴Ｅ１の塗布ピッチを調整することができる。また、液滴Ｅ１の吐出周波数（吐出タイミング）を変更することによって、Ｙ軸方向の塗布ピッチを調整することができる。
【００１８】
溶媒塗布ヘッド６は、塗布ヘッド５と同じ構成であり、溶媒を複数の吐出孔（ノズル）Ｎ２からそれぞれ液滴Ｅ２として吐出する塗布ヘッドである。溶媒は、その溶媒を収容する溶媒タンク８から供給される。溶媒塗布ヘッド６は、液滴Ｅ２を吐出するための各吐出孔Ｎ２にそれぞれ対応する複数の圧電素子（図示せず）を内蔵している。各吐出孔Ｎ２は、所定のピッチ（間隔）で直線状に並べて吐出面に形成されている。例えば、吐出孔Ｎ２の数は数十個から数百個程度であり、吐出孔Ｎ２の直径は数μｍから数十μｍ程度であり、さらに、吐出孔Ｎ２のピッチは数十μｍから数百μｍ程度である。
【００１９】
この溶媒塗布ヘッド６は制御部９に電気的に接続されており、その駆動が制御部９により制御される。溶媒塗布ヘッド６は、各圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて各吐出孔Ｎ２から液滴Ｅ２を吐出する。ここで、溶媒としては、例えば、溶液タンク７に貯留された溶液に含まれる溶媒と同じ種類の溶媒を用いる。
【００２０】
さらに、溶媒塗布ヘッド６は、回転機構（図示せず）によりθ方向（図１中、ＸＹ平面に沿う回転方向）に回転可能に設けられている。この溶媒塗布ヘッド６は、回転機構により、相対移動する基板Ｋの相対移動方向に対して所定の傾斜角度だけ傾けられ、その状態で塗布を行う。なお、Ｙ軸方向に相対移動する基板Ｋに対して塗布を行う場合には、溶媒塗布ヘッド６の傾斜角度を変更することによって、Ｘ軸方向の液滴Ｅ２の塗布ピッチを調整することができる。また、液滴Ｅ２の吐出周波数（吐出タイミング）を変更することによって、Ｙ軸方向の塗布ピッチを調整することができる。
【００２１】
制御部９は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータと、塗布に関する塗布情報や各種のプログラム等を記憶する記憶部と（いずれも図示せず）を備えている。塗布情報は、ドットパターン等の所定の塗布パターンや、塗布ヘッド５及び溶媒塗布ヘッド６の傾斜角度、塗布ヘッド５及び溶媒塗布ヘッド６の吐出周波数、基板Ｋの移動速度に関する情報等を含んでいる。なお、制御部９は、後述するように、基板Ｋの塗布面Ｋａに向けて、塗布面Ｋａ上に溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１を生成するための溶媒を溶媒塗布ヘッド６から吐出させる手段及び蒸気雰囲気Ｆ１が生成された塗布面Ｋａに向けて溶液を塗布ヘッド６から吐出させる手段として機能する。
【００２２】
次に、前述の液滴塗布装置１が行う塗布動作（液滴塗布方法）について説明する。なお、液滴塗布装置１の制御部９が各種のプログラムに基づいて塗布処理を実行する。
【００２３】
ここで、基板Ｋの塗布面Ｋａには、格子状の凸部としてのブラックマトリクスＢＭが形成されている（図３乃至図６参照）。このブラックマトリクスＢＭは、カラーフィルタの赤色、緑色及び青色の各画素を囲む格子状の黒色部分である。なお、ブラックマトリクスＢＭは撥インク性（撥溶液性）を有するように処理されている。また、溶液は、赤色、緑色及び青色の順番で、基板Ｋの塗布面Ｋａ、すなわちブラックマトリクスＢＭで囲まれた複数の凹部の各々の底面（複数の画素領域）に塗布される。
【００２４】
図２に示すように、制御部９は、溶媒塗布ヘッド６により基板Ｋの塗布面Ｋａに向けて、溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１を生成するための溶媒を吐出する（ステップＳ１）。すなわち、制御部９は、Ｙ軸移動機構３及びＸ軸移動機構４を制御し、溶媒塗布ヘッド６を基板Ｋの塗布面Ｋａに対向する塗布開始位置に位置付け、さらに、Ｙ軸移動機構３を制御し、移動テーブル２をＹ軸方向に移動させながら、溶媒塗布ヘッド６を制御してその溶媒塗布ヘッド６に溶媒を吐出させ、移動テーブル２上の基板Ｋの塗布面Ｋａの全面に亘って各液滴Ｅ２を塗布する。例えば、基板Ｋに赤色のインクを塗布する場合には、ブラックマトリクスＢＭにより囲まれた各画素領域のうち赤インクを塗布すべき画素領域に対して液滴Ｅ２をそれぞれ塗布する。
【００２５】
これに応じて、溶媒塗布ヘッド６は、Ｙ軸方向に移動する基板Ｋの塗布面Ｋａに向けて各液滴Ｅ２を吐出して塗布面Ｋａに着弾させる。このとき、各液滴Ｅ２は、塗布面ＫａにおけるブラックマトリクスＢＭにより囲まれた各画素領域のほぼ中央付近にそれぞれ着弾するように吐出される。これにより、図３に示すように、各液滴Ｅ２は、塗布面ＫａにおけるブラックマトリクスＢＭにより囲まれた各画素領域のほぼ中央付近にそれぞれ着弾する。
【００２６】
次いで、制御部９は、基板Ｋの塗布面Ｋａに対する溶媒の塗布後、例えば１分から２分程度の所定時間が経過したか否かを判断し（ステップＳ２）、所定時間が経過するまでステップＳ２の判定を繰り返す（ステップＳ２のＮＯ）。このとき、塗布面Ｋａ上に着弾した各液滴（溶媒）はその揮発性により蒸発する。これにより、図４に示すように、溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１が基板Ｋの塗布面Ｋａ上にその全面に亘って生成される。詳しくは、溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１は、塗布面Ｋａの上方の空間領域、すなわち蒸発した溶媒が後工程における液滴Ｅ１の乾燥に影響を与えることが可能な空間領域に広がって生成される。
【００２７】
その後、所定時間が経過したと判断した場合には（ステップＳ２のＹＥＳ）、塗布ヘッド５により基板Ｋの塗布面Ｋａに向けて溶液を吐出する（ステップＳ３）。すなわち、制御部９は、Ｙ軸移動機構３及びＸ軸移動機構４を制御し、塗布ヘッド５を基板Ｋの塗布面Ｋａに対向する塗布開始位置に位置付け、さらに、Ｙ軸移動機構３を制御し、移動テーブル２をＹ軸方向に移動させながら、塗布ヘッド５を制御してその塗布ヘッド５に溶液を吐出させ、移動テーブル２上の基板Ｋの塗布面Ｋａの全面に亘って各液滴Ｅ１を塗布する。
【００２８】
この溶液の吐出は、ステップＳ１で塗布面Ｋａに塗布された溶媒の液滴Ｅ２が完全に蒸発し終えた後のタイミングで行っても、蒸発し終える前のタイミングで行ってもどちらでもよい。例えば、塗布面Ｋａが溶媒で湿った状態で溶液を塗布面Ｋａに塗布した場合には、塗布面Ｋａの親水性が向上し、溶液が塗布面Ｋａ上で濡れ広がりやすくなるので、ブラックマトリクスＢＭで囲まれた凹部（画素領域）で溶液の膜厚の均一性が向上する。
【００２９】
これに応じて、塗布ヘッド５は、Ｙ軸方向に移動する基板Ｋの塗布面Ｋａに向けて各液滴Ｅ１を吐出して塗布面Ｋａに着弾させる。このとき、各液滴Ｅ１は、塗布面ＫａにおけるブラックマトリクスＢＭにより囲まれた各画素領域にそれぞれ着弾するように吐出される。これにより、図５に示すように、各液滴Ｅ１は、溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１が生成された塗布面ＫａにおけるブラックマトリクスＢＭにより囲まれた各画素領域にそれぞれ着弾する。その後、液滴（溶液）Ｅ１に含まれる溶媒が蒸発し、図６に示すように、膜厚が均一である膜Ｍ１が形成される。ここで、その液滴Ｅ１の乾燥進行時には、基板Ｋの塗布面Ｋａの全面に亘って形成された溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１により溶媒蒸気が着弾後の液滴Ｅ１に十分に供給されるので、着弾した各液滴Ｅ１の乾燥速度のばらつきが防止され、膜厚が均一になるように乾燥する。
【００３０】
次いで、制御部９は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）毎に塗布が完了したか否かを判断し（ステップＳ４）、赤色、緑色及び青色毎の塗布が完了するまでステップＳ１からステップＳ４の処理を繰り返す（ステップＳ４のＮＯ）。すなわち、赤色用の塗布ヘッド５により基板Ｋに対する赤インク（溶液）の塗布が完了した場合には、次に、緑色用の塗布ヘッド５により前述と同様に基板Ｋに対する緑インク（溶液）の塗布が行われ、その塗布が完了した場合には、次に、青色用の塗布ヘッド５により前述と同様に基板Ｋに対する青インクの塗布が行われる。その後、赤色、緑色及び青色毎の塗布が完了したと判断した場合には（ステップＳ４のＹＥＳ）、処理を終了する。これにより、基板Ｋに対する液滴塗布が完了する。
【００３１】
このような塗布動作では、基板Ｋの塗布面Ｋａに向けて溶媒を液滴Ｅ２として吐出し、その塗布面Ｋａに液滴Ｅ２を着弾させ、溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１を生成し（生成工程）、その蒸気雰囲気Ｆ１の生成後に、蒸気雰囲気Ｆ１が生成された塗布面Ｋａに向けて溶液を液滴Ｅ１として吐出し、その塗布面Ｋａに液滴Ｅ１を着弾させる（塗布工程）。
【００３２】
これにより、基板Ｋの塗布面Ｋａに対する溶液の塗布前に、その塗布面Ｋａ上に溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１が生成される（図４参照）。すなわち、後工程における液滴Ｅ１の乾燥に影響を与える溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１が十分に生成される。その後、溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１が生成された状態の塗布面Ｋａに溶液が塗布される。この溶液は液滴Ｅ１として塗布面Ｋａに着弾し、その液滴Ｅ１の乾燥進行時に溶媒蒸気が着弾後の液滴Ｅ１に十分に供給されるので、液滴Ｅ１はその膜厚が均一になるように乾燥する。このようにして、着弾直後の液滴乾燥の進行により膜Ｍ１が凸形状になり、膜厚が不均一になることが防止されるので、均一な膜Ｍ１の厚さ（膜厚）を得ることができる。このように膜内における膜Ｍ１の厚さが均一になるので、膜厚の不均一に起因する着色ムラ（例えば、筋ムラ）を防止することが可能になるので、カラーフィルタ等の液晶表示パネルの品質を向上させることができる。
【００３３】
また、前述の塗布動作では、溶液を塗布しようとする塗布面Ｋａ上の画素領域毎に溶媒の液滴Ｅ２を同量ずつ塗布するようにした。同量の溶媒の液滴Ｅ２からは、ほぼ同量の溶媒蒸気が生じるため、溶液を塗布すべき画素領域間で溶媒の蒸気雰囲気はほぼ均一に形成されるので、基板Ｋ上に形成される溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１の濃度分布のムラを防止することができる。したがって、溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１の濃度分布のムラに起因する溶液の各液滴Ｅ１の乾燥速度のばらつきが防止され、均一な厚さ（膜厚）を得ることができる。
【００３４】
以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、基板Ｋの塗布面Ｋａに向けて溶媒を液滴Ｅ２として吐出し、塗布面Ｋａに液滴Ｅ２を着弾させ、溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１を生成し、その後、その蒸気雰囲気Ｆ１が生成された塗布面Ｋａに向けて溶液を液滴Ｅ１として吐出し、塗布面Ｋａに液滴Ｅ１を着弾させることによって、基板Ｋの塗布面Ｋａに対する溶液の塗布前に、基板Ｋの塗布面Ｋａ上に溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１が生成され、その蒸気雰囲気Ｆ１が塗布面Ｋａ上に存在する状態で溶液が塗布される。これにより、液滴（溶液）Ｅ１の乾燥進行時には、溶媒蒸気がその液滴Ｅ１に十分に供給され、液滴Ｅ１はその膜厚が均一になるように乾燥するので、均一な膜Ｍ１の厚さ（膜厚）を得ることができる。
【００３５】
また、塗布面Ｋａは複数の画素領域に区分されており、溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１を生成する工程では、溶液の液滴を着弾させる工程でその液滴を着弾させる画素領域に溶媒の液滴を着弾させ、液滴Ｅ１を着弾させる工程では、溶媒の液滴が着弾した画素領域に溶液の液滴を着弾させることから、溶液の塗布対象となる画素領域上に確実に溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１を生成することが可能になるので、均一な膜Ｍ１の厚さ（膜厚）を確実に得ることができる。
【００３６】
さらに、異なる種類の複数の溶液毎に前述の生成する工程と前述の着弾させる工程とを繰り返すことから、異なる種類の溶液として例えば赤色、緑色及び青色のインクを用いてカラーフィルタ等の液晶表示パネルを製造することができる。この場合でも、溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１を生成する工程では、溶液の液滴を着弾させる工程でその液滴を着弾させる画素領域に溶媒の液滴を着弾させる。したがって、異なる種類の溶液を用いた場合でも、溶液の塗布対象となる画素領域上に確実に溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１を生成することが可能になるので、均一な膜Ｍ１の厚さ（膜厚）を確実に得ることができる。
【００３７】
（他の実施の形態）
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。
【００３８】
例えば、前述の実施の形態においては、塗布ヘッド５及び溶媒塗布ヘッド６に対して基板Ｋを移動させるようにしているが、これに限るものではなく、基板Ｋに対して塗布ヘッド５及び溶媒塗布ヘッド６を移動させるようにしてもよく、要は、基板Ｋと塗布ヘッド５及び溶媒塗布ヘッド６とを相対移動させるようにすればよい。
【００３９】
また、前述の本実施の形態においては、複数の吐出孔Ｎ１を有する塗布ヘッド５及び複数の吐出孔Ｎ２を有する溶媒塗布ヘッド６を用いているが、これに限るものではなく、例えば、１つの吐出孔Ｎ１を有する塗布ヘッド５及び１つの吐出孔Ｎ２を有する溶媒塗布ヘッド６を用いるようにしてもよい。この１つの吐出孔Ｎ１を有する塗布ヘッド５及び溶媒塗布ヘッド６としては、例えばディスペンサ等に用いられるヘッドも使用可能である。
【００４０】
さらに、前述の本実施の形態においては、溶液に含まれる溶媒と同じ種類の溶媒を用いて溶媒の蒸気雰囲気Ｆ１を生成しているが、これに限るものではなく、例えば、他の種類の溶媒を用いるようにしてもよい。
【００４１】
加えて、前述の実施の形態においては、赤色、緑色及び青色の順番で溶媒及び溶液を塗布する例で説明しているが、これに限るものではなく、例えば、赤色、緑色及び青色の全色に対応させて塗布面Ｋａに溶媒を塗布し、その後、赤色、緑色及び青色の順番で溶液を塗布するようにしてもよい。
【００４２】
最後に、前述の実施の形態においては、各種の数値を挙げているが、それらの数値は例示であり、限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施の一形態に係る液滴塗布装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１に示す液滴塗布装置が行う塗布動作の流れを示すフローチャートである。
【図３】図２に示す塗布動作による液滴塗布を説明するための第１の工程説明図である。
【図４】図２に示す塗布動作による液滴塗布を説明するための第２の工程説明図である。
【図５】図２に示す塗布動作による液滴塗布を説明するための第３の工程説明図である。
【図６】図２に示す塗布動作による液滴塗布を説明するための第４の工程説明図である。
【符号の説明】
【００４４】
１          液滴塗布装置
５          塗布ヘッド
６          溶媒塗布ヘッド
Ｅ１        液滴（溶液）
Ｅ２        液滴（溶媒）
Ｆ１        溶媒の蒸気雰囲気
Ｋ          塗布対象物（基板）
Ｋａ        塗布面
Ｎ１        吐出孔
Ｎ２        吐出孔
【図１】
2009022876.tif 000003
【図２】
2009022876.tif 000004
【図３】
2009022876.tif 000005
【図４】
2009022876.tif 000006
【図５】
2009022876.tif 000007
【図６】
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