(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート部材表面に付着した塵を除去するシート部材の塵除去装置であって、
前記シート部材表面との間に０．１〜１．０ｍｍの間隙を設けて前記シート部材の一方面及び他方の面に対向するように配置され、マトリクス状に配置された多数の孔からシート部材表面に向けて高圧の空気を噴出して前記間隙に前記シート部材表面に沿って速度５ｍ／ｓ以上の空気流を生成する互いに平行な一対の空気噴出面と、
前記空気噴出面の孔に向けて圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、
を備え、
一方の前記空気噴出面の孔と他方の前記空気噴出面の孔とは互いに対向し、かつ前記孔は前記空気噴出面に対して直角に形成されている、ことを特徴とするシート部材の塵除去装置。
【請求項２】
シート部材を搬送する搬送手段と、前記搬送手段により搬送された前記シート部材を画像として読み取る画像読取手段と、前記画像読取手段により読み取られた画像を処理して欠陥部位を検出する検出手段と、を備えたシート部材検査装置であって、
前記画像読取手段よりも、シート部材搬送方向上流側に、請求項１に記載のシート部材の塵除去装置を設けたことを特徴とするシート部材検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シート部材の塵除去装置、及びシート部材検査装置に関し、特に、シート部材表面に付着した塵を確実に除去することのできるシート部材の塵除去装置、及びシート部材検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
写真用フィルム、印刷用フィルム、パターン（配線）の形成されたフィルムやテープ状の基板、半導体製造用のマスク、ウエハー等のシート部材表面の塵は、これらシート状部材にとっては品質の低下を招く不用のもの、即ち異物であり、種々の方法によって除去されてきた。
【０００３】
また、上記シート部材の欠陥を検査するために、テレビカメラでシート部材を撮影し、画像処理を行って欠陥を検出する方法が考えられている。
【０００４】
しかしながら、シート部材の表面に、塵等が付着していると、塵を欠陥として判断してしまう問題がある。
【０００５】
そこで、シート部材の表面を撮影する前に、表面の塵を除去する必要がある。
【０００６】
従来、写真用フィルム、印刷用フィルム、パターン（配線）の形成されたフィルムやテープ状の基板、半導体製造用のマスク、ウエハー等のシート部材の表面に付着した塵を除去する塵除去装置としては、粘着性を有するローラをフィルム表面に接触させて塵を除去する装置や、イオン風により塵を除去する装置がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記粘着性を有するローラを用いた塵除去装置では、ローラの粘着力の低下により塵除去性能が低下するため、定期的にローラの清掃や交換等のメインテナンスが必要となる問題がある。
【０００８】
また、イオン風により塵を除去する塵除去装置では、塵が帯電しなければ効果が無く、また強固に付着した塵を除去することが出来ない問題がある。
【０００９】
本発明は上記事実を考慮し、面倒なメインテナンスを必要とせず、シート部材の表面に付着した塵を確実にすることのできるシート部材の塵除去装置を提供することが第１の目的である。
【００１０】
また、第２の目的は、シート部材表面の塵を読取手段で読み取る前に除去し、シート部材の欠陥部位の判断ミスを誘発することの無いシート部材検査装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、シート部材表面に付着した塵を除去するシート部材の塵除去装置であって、前記シート部材表面との間に０．１〜１．０ｍｍの間隙を設けて前記シート部材の一方面及び他方の面に対向するように配置され、マトリクス状に配置された多数の孔からシート部材表面に向けて高圧の空気を噴出して前記間隙に前記シート部材表面に沿って速度５ｍ／ｓ以上の空気流を生成する互いに平行な一対の空気噴出面と、前記空気噴出面の孔に向けて圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、を備え、一方の前記空気噴出面の孔と他方の前記空気噴出面の孔とは互いに対向し、かつ前記孔は前記空気噴出面に対して直角に形成されている、ことを特徴としている。
【００１２】
請求項１に記載のシート部材の塵除去装置では、圧縮空気供給手段から供給された高圧の空気が、マトリクス状に配置された多数の孔を介して空気噴出面とシート部材表面との間の０．１〜１．０ｍｍの狭い間隙内に噴出される。
【００１３】
空気噴出面とシート部材表面の間に形成される狭い間隙、即ち、面と面の間に形成される狭い間隙内に高圧の空気を噴出するので、孔から噴出された空気は、狭い間隙内をシート部材表面に沿って５ｍ／ｓ以上の高速で流れ、シート部材表面に強固に付着した塵であっても、狭い間隙の外へと吹き飛ばして除去することができる。
【００１４】
なお、空気噴出面の孔の正面を横切るようにシート部材を搬送することにより、長尺状のシート部材を連続して処理することが出来る。
【００１５】
【００１６】
【００１７】
シート部材表面に沿って流れる空気の速度を５ｍ／ｓ以上としたので、シート部材表面に付着した塵を確実に除去することが出来る。
【００１８】
なお、シート部材表面に沿って流れる空気の速度は、３０ｍ／ｓ以上とすることが好ましく、５０ｍ／ｓ以上とすることが更に好ましい。
【００１９】
【００２０】
一対の空気噴出面の間にシート部材を通過させることにより、シート部材の両面の塵を除去することが出来る。
【００２１】
また、一方の空気噴出面の孔と、他方の空気噴出面の孔とが互いに対向しているので、一対の空気噴出面の中間位置にシート部材を非接触で安定した状態で通過させることができる。
【００２２】
【００２３】
【００２４】
【００２５】
【００２６】
【００２７】
【００２８】
【００２９】
【００３０】
請求項２に記載の発明は、シート部材を搬送する搬送手段と、前記搬送手段により搬送された前記シート部材を画像として読み取る画像読取手段と、前記画像読取手段により読み取られた画像を処理して欠陥部位を検出する検出手段と、を備えたシート部材検査装置であって、前記画像読取手段よりも、シート部材搬送方向上流側に、請求項１に記載のシート部材の塵除去装置を設けたことを特徴としている。
【００３１】
請求項２に記載のシート部材検査装置では、搬送手段でシート部材を搬送しながら、読取手段によりシート部材表面を読み取り、読み取った画像を検出手段が画像処理して欠陥部位を検出することができる。
【００３２】
ここで、読取手段で読み取る前に、シート部材表面の塵をシート部材の塵除去装置で除去するので、塵によって欠陥部位の判断ミスを誘発することが無くなる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
［実施形態］
以下、図１乃至図５を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００３４】
図２に示すように、検査装置８は、多数のパッケージパターンが繰り返し形成されたＣＳＰテープ１２とスペーサテープ１４とを共に巻き取ってロール状に形成したＣＳＰロール１０ａを保持する供給側リールハンドラー２０と、ＣＳＰロール１０ａから引き出されたＣＳＰテープ１２の搬送経路を形成するＣＳＰテープ搬送用ローラ（第１のローラ２２、第２のローラ２４、第３のローラ２６、第４のローラ２８、第５のローラ３０）と、ＣＳＰテープ１２と共に引き出されたスペーサテープ１４をＣＳＰテープ１２とは別の搬送経路で搬送するスペーサテープ搬送用ローラ３４、３６と、ＣＳＰテープ１２の表面に付着した塵を除去する塵除去装置３８、搬送中のＣＳＰテープ１２に対して光を照明する照明装置（光源５０、照明光学系５２）と、照明された位置のＣＳＰテープ１２を画像として取り込むＣＣＤカメラ４０と、ＣＣＤカメラ４０からの画像情報に基づいて画像処理を行ってパッケージパターンの欠陥を検出するコンピュータ４２と、欠陥有りと検知されたパッケージパターンの予め定めた位置に穿孔するパンチ装置５４と、コンピュータ４２からの情報に基づいてパンチ装置５４の穿孔動作を制御する制御部４６と、検査終了後のＣＳＰテープ１２を他の搬送経路で搬送されたスペーサテープ１４と共に巻き取ってロール状のＣＳＰロール１０ｂとする巻取側リールハンドラー３２とを備えている。
【００３５】
このような構成の検査装置８において、ＣＳＰロール１０ａから引き出されたＣＳＰテープ１２は、第１のローラ２２から第２のローラ２４に搬送され、第２のローラ２４と第３のローラ２６及び第４のローラ２８とによって平坦な状態で搬送される。
【００３６】
このとき、欠陥のあるパッケージパターンの検出と、検出されたパッケージパターンに対するマーキングとが施される（詳細は後述する）。
【００３７】
その後、第５のローラ３０を介して巻取側リールハンドラー３２により別の搬送経路で搬送されたスペーサテープ１４と対となって巻き取られ、ロール状にされる。
【００３８】
第２のローラ２４と第３のローラ２６との間には、ＣＣＤカメラ４０が配置されており、また、ＣＣＤカメラ４０の後段である第３のローラ２６と第４のローラ２８との間にはパンチ装置５４が配置されている。
【００３９】
ＣＣＤカメラ４０の読取位置には、光源５０からの光を集光する照明光学系５２により光がＣＣＤカメラ４０と同じ側から照明されている。
【００４０】
ＣＣＤカメラ４０は、上記読取位置を反射した光を画像データとして読み取り、コンピュータ４２に出力する。
【００４１】
コンピュータ４２は、予めプログラムされた演算により入力された画像データが正常なパッケージパターンを読み取ったものか、欠陥のあるパッケージパターンを読み取ったものかを判断する。
【００４２】
コンピュータ４２がパッケージパターンに欠陥があると判断すると、コンピュータ４２は欠陥のあるパッケージパターンの位置を制御部４６に出力する。
【００４３】
制御部４６は、入力された位置情報に基づき、欠陥有りと判断されたパッケージパターンがパンチ装置５４の下方に配置された時にパンチ装置５４に穿孔指示を出し、例えば、パッケージパターンの対向する２隅や４隅などのように、パッケージパターンの予め決定した箇所を穿孔して目印となる孔を形成する。
（塵除去装置）
ＣＣＤカメラ４０よりもＣＳＰテープ１２の搬送方向上流側には、塵除去装置３８を構成するノズル６０が配置されている。
【００４４】
ノズル６０はＣＳＰテープ１２の幅方向に沿って長い角柱形状を呈しており、上下方向中間部分に、ＣＳＰテープ１２が通過可能なスリット６２が形成されている。
【００４５】
図１に示すように、ノズル６０は内部が中空であり、互いに平行なスリット６２の上壁面６２Ａ及び下壁面６２Ｂには、図１，４に示すように中空部分に連通する多数の小孔６４がマトリクス状に形成されている。
【００４６】
なお、上壁面６２Ａ及び下壁面６２Ｂが、各々本発明の空気噴出面に相当する。
【００４７】
図３に示すように、ノズル６０は配管６６を介してフィルター６８及びエアーコンプレッサー７０に接続されている。
【００４８】
ここで、上壁面６２ＡとＣＳＰテープ１２との間に形成される狭い空間の厚みｔ及び下壁面６２ＢとＣＳＰテープ１２との間に形成される狭い空間の厚みｔは、０．１〜１．０ｍｍ程度である（図５参照）。
【００４９】
また、本実施形態の小孔６４の径は０．８ｍｍであり、上壁面６２Ａの小孔６４と、下壁面６２Ｂの小孔６４とは２０μｍの精度で対向している。
（作用）
次に、本実施形態の作用を説明する。
【００５０】
この検査装置８では、ＣＳＰテープ１２のパッケージパターンをＣＣＤカメラ４０により読み取り、得られる画像データをコンピュータで画像処理してパターン欠陥があるかないか判断し、パターン欠陥が有ると判断した場合には、ＣＣＤカメラの後段に配置したパンチ装置により対応するパッケージパターンに対して孔を形成するため、その後の処理工程においてパターン欠陥のあるパッケージを他と区別することができる。
【００５１】
また、ＣＣＤカメラ４０で読み取る直前で、ＣＳＰテープ１２は、ノズル６０のスリット６２内を通過する。
【００５２】
ノズル６０の小孔６４からは高圧の空気が噴出され、噴出された空気はスリット６２内をＣＳＰテープ１２の表面に沿って高速で流れ、スリット６２外へ排出される。
【００５３】
本実施形態では、噴出された空気が図５の矢印Ａで示すように、ＣＳＰテープ１２の表面に沿って、ＣＳＰテープ１２の搬送方向上流側及び下流側（矢印Ｂ方向）に高速で流れる。
【００５４】
ＣＳＰテープ１２の表面に付着していた塵は、スリット６２内を通過する際に、ＣＳＰテープ１２の表面に沿って流れる高速の空気で吹き飛ばされ除去される。
【００５５】
スリット６２内を通過した後のＣＳＰテープ１２の表面には塵が付着していないので、ＣＣＤカメラ４０は、塵の付着していないＣＳＰテープ１２を読み取ることができ、付着した塵をパターン欠陥として認識する判断ミスを犯すことが無くなる。
【００５６】
また、上の小孔６４と下の小孔６４とを互いに対向させているので、スリット６２の中間位置にＣＳＰテープ１２を非接触で安定した状態で通過させることができる。
【００５７】
なお、ＣＳＰテープ１２の表面に付着した塵を確実に吹き飛ばすには、ＣＳＰテープ１２の表面に沿って流れる空気（図５の矢印Ａ）の速度は、５ｍ／ｓ以上が好ましく、３０ｍ／ｓ以上が更に好ましく、５０ｍ／ｓ以上がより一層好ましい。
【００５８】
また、図５に示すように、上壁面６２Ａ及び下壁面６２Ｂの幅（テープ搬送方向の幅）Ｗ、即ち、ＣＳＰテープ１２の表面に沿って流れる空気流の長さは、１０ｍｍ以上、好ましくは３０ｍｍ以上である。
【００５９】
上記幅Ｗは大きい方が、高速で流れる空気とＣＳＰテープ１２との接触時間が長くなり、塵の除去性能が向上する。
【００６０】
なお、図６に示すように、ノズル６０のスリット６２内部にＣＳＰテープ１２を送りこむローラ７２をノズル６０に設けても良い。
［第１の参考例］
次に、参考例を説明する。なお、第１の実施形態と同一構成には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００６１】
この例では、図７及び図８に示すように、ＣＳＰテープ１２は複数の回転するローラ７４によって水平に搬送され、所定のローラ７４の真上にノズル６０が接近して配置されている。
【００６２】
参考例のノズル６０は、第１の実施形態のノズル６０の上半分の部分で構成されている。
【００６３】
ノズル６０には、後述する制御装置７６によって駆動を制御されるソレノイド等のアクチュエータ７８が連結されている。このアクチュエータ７８はノズル６０を上下方向に移動することができる。
【００６４】
また、ノズル６０よりもＣＳＰテープ１２の搬送方向上流側には、光学式の距離計測器８０が配置されている。
【００６５】
距離計測器８０は、距離計測器８０からＣＳＰテープ１２の上面までの距離を測定し、距離検出信号を制御装置７６に出力する。
【００６６】
制御装置７６は、距離計測器８０で計測した距離が、予め設定した値以下であるか否かを判断し、予め設定した値以下の場合には、アクチュエータ７８を制御してノズル６０を一定時間上方に移動する。
【００６７】
参考例では、厚みのある部材８２が表面に装着されたＣＳＰテープ１２を搬送する場合に、上記部材８２がノズル６０に接触しないようにＣＳＰテープ１２を搬送することができる。
［第２の参考例］
次に、第２の参考例を説明する。なお、第１の参考例と同一構成には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００６８】
図９（Ａ），（Ｂ）に示すように、本参考例のノズル６０は、第１の参考例のノズル６０の変形例であり、ノズル６０の上壁面６２Ａには、ＣＳＰテープ１２の搬送方向とは直交方向（図９（Ａ）の紙面裏表方向）に延びる絞り形成壁面８４が、ＣＳＰテープ１２の搬送方向に沿って間隔を開けて複数形成されている。
【００６９】
なお、本参考例では、複数の小孔６４が上壁面６２Ａの中央部分に一列に形成されているが、複数の小孔６４の代わりに細長いスリットを形成しても良い。
【００７０】
本参考例では、上壁面６２Ａの中央部分に形成された小孔６４から圧縮空気が噴出されると、前述した参考例と同様に、上壁面６２ＡとＣＳＰテープ１２との間ではＣＳＰテープ１２の表面に沿って、ＣＳＰテープ１２の搬送方向上流側及び下流側（矢印Ｂ方向）に高速で流れるが、絞り形成壁面８４の端部とＣＳＰテープ１２との間では、他の部分に比較して空気の流路断面積が小さくなるので、風速を増大させることができる。
【００７１】
また、本参考例では、ノズル壁面とＣＳＰテープ１２との間隔を全体的に狭くするのに比べて、空気の流路抵抗を減少することができる。
【００７２】
なお、上記実施形態では、検査装置８に塵除去装置３８を組み込んだ例を説明したが、本発明はこれに限らず、塵除去装置３８は、例えば、写真フィルムの画像を印画紙に焼き付ける露光装置等に用いることもでき、また、装置に組み込まずに単独で用いても良い。
【００７３】
また、上記実施形態では、塵除去装置３８でＣＳＰテープ１２の塵を除去する例を示したが、本発明はこれに限らず、例えば、ＬＳＩ等を製造する際に用いるマスク、ウエハー、写真フィルム、印刷用フィルム、ガラス板、金属板等の他のシート状部材の塵除去を行うことも出来るのは勿論である。
【００７４】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１のシート部材の塵除去装置によれば、両側のシート部材表面に強固に付着した塵であっても、吹き飛ばして除去することが出来る、という優れた効果を有する。
【００７５】
【００７６】
【００７７】
【００７８】
【００７９】
また、請求項２に記載のシート部材検査装置によれば、塵によって判断ミスを誘発することが無くなる、という優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  ノズルのテープ幅方向の縦断面図である。
【図２】  本発明の一実施の形態にかかる検査装置の概略構成図である。
【図３】  塵除去装置の概略構成図である。
【図４】  ノズルの下壁面の正面図である。
【図５】  ノズルのテープ搬送方向の縦断面図である。
【図６】  他の実施形態に係るノズルのテープ幅方向の縦断面図である。
【図７】  第１の参考例に係るシート部材の塵除去装置のノズルのテープ幅方向の縦断面図である。
【図８】  第１の参考例に係るシート部材の塵除去装置の概略構成図である。
【図９】  （Ａ）は第２の参考例に係るシート部材の塵除去装置のノズルのテープ搬送方向の縦断面図であり、（Ｂ）はノズルの上壁面の正面図である。
【符号の説明】
８      検査装置（シート部材検査装置）
１２      ＣＳＰテープ（シート部材）
２０      供給側リールハンドラー（搬送手段）
２２      第１のローラ（搬送手段）
２４      第２のローラ（搬送手段）
２６      第３のローラ（搬送手段）
２８      第４のローラ（搬送手段）
３０      第５のローラ（搬送手段）
３２      巻取側リールハンドラー（搬送手段）
３８      塵除去装置（シート部材の塵除去装置）
４０      ＣＣＤカメラ（画像読取手段）
４２      コンピュータ（検出手段）
６０      ノズル
６２Ａ    上壁面（空気噴出面）
６２Ｂ    下壁面（空気噴出面）
６４      小孔
７０      エアーコンプレッサー（圧縮空気供給手段）
７６      制御装置
【図１】
0004876265.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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