(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の位置から第２の位置へディスクを搬送途中に前記ディスクを反転するディスク反転搬送機構において、
前記第１の位置から第２の位置まで設けられたレールと
このレール上を移動する移動台と、
前記レールに沿って設けられコロあるいはピンが係合するカム面とそしてこのカム面の途中に前記コロあるいはピンが落ち込む溝とを有する板カムと、
前記移動台に設けられ前記ディスクをチャックするチャック機構と、
前記移動台に設けられクランク軸と前記コロあるいはピンをクランクピンとして有し前記チャック機構が結合され前記クランク軸の回動に応じて前記チャック機構を回動させるクランクとを備え、
前記移動台の移動に応じて前記コロあるいはピンが前記溝に落ち込こみ、前記溝から抜け出すことで前記クランク軸を回動させて前記チャック機構を回動して前記ディスクを反転させるディスク反転搬送機構。
【請求項２】
前記コロあるいはピンは、前記移動台が前記溝の位置を通過することで前記コロあるいはピンが上下動して前記クランク軸の中心を回転中心として実質的に１８０°回転する請求項１記載のディスク反転搬送機構。
【請求項３】
前記カム面は水平面であり、前記溝は縦溝であって、前記コロあるいはピンは自重で前記縦溝に落ち込むものであり、前記移動台は、前記第１の位置と前記第２の位置との間を往復移動する請求項２記載のディスク反転搬送機構。
【請求項４】
前記クランクピンはコロであり、前記ディスクは磁気ディスクあるいはそのサブストレートであり、前記チャック機構は、上下方向に開閉するチャックを有し、前記磁気ディスクあるいはそのサブストレートの内周をチャックして前記ディスクを水平に保持する請求項３記載のディスク反転搬送機構。
【請求項５】
前記ディスクは磁気ディスクであり、前記チャックは、下側に位置する第１のチャックと上側に位置する第２のチャックとからなり、前記第１のチャックがハンドリングロボットから前記磁気ディスクを受けて所定の位置まで持ち上げて前記第２のチャックとの間で持ち上げた前記磁気ディスクをチャックする請求項４記載のディスク反転搬送機構。
【請求項６】
前記磁気ディスクは、前記第１のチャックと前記第２のチャックにより前記クランク軸の中心の位置に対応する高さに保持される請求項５記載のディスク反転搬送機構。
【請求項７】
前記請求項１乃至６のうちのいずれか１項記載のディスク反転搬送機構と表面側のディスク検査の第１のスピンドルと裏面側のディスク検査の第２のスピンドルとを有し、前記ディスク反転搬送機構は、前記第１のスピンドルから外された検査が終了した前記ディスクを前記第２のスピンドル側へと移送するディスク検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ディスク反転搬送機構およびこれを利用したディスク検査装置に関し、詳しくは、ディスクを反転する際のタイミング制御が不要で、小型の磁気ディスクの表裏面の検査効率を向上させることができ、検査装置が小型化できるようなディスク反転搬送機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
情報記録に使用される磁気ディスク（以下単にディスク）は、表面の欠陥や記録媒体の性能などの良否がディスク検査装置により検査されている。その検査装置は、検査対象となる未検査のディスクを収容した未検査用カセットからディスクを取出して検査装置のスピンドルに装着してこれを回転させて、まず、ディスクの表面側を検査し、これが終了すると、ディスク反転機構によりディスクを反転して裏面側の検査をして表裏検査済みのディスクを検査済み用カセットに収容する。
この種のディスク検査装置は、未検査用と検査済み用の両カセットとスピンドルとの間で、ディスクの搬送、反転を効率的に行うために、ハンドリングロボットを使用した種々のディスク搬送装置を備えている。それらのうちターンテーブル上に複数のスピンドルを配置してターンテーブルの周囲に検査ステージとディスク反転機構とを設けてターンテーブルを所定の角度回転させてディスクを反転させ、連続的にディスクの表裏を検査するディスク検査装置が公知である（特許文献１）。
また、ディスク反転機構としては、スピンドルに装着されたディスクの外周をディスクチャック機構によりチャックして、チャックしたディスクをスピンドルの頭部より上へ移動させ、楕円カムを利用して正確に１８０゜チャック部分を回転させて反転させた後にディスクを降ろしてスピンドルに再装着するディスク反転機構が公知である（特許文献２）。
【０００３】
ところで、ハードディスク装置（ＨＤＤ）は、現在では自動車製品や家電製品、音響製品の分野にまで浸透し、２．５インチから１．８インチに、さらには１．０インチ以下のハードディスク駆動装置が各種製品に内蔵され、使用されている。
ハードディスク駆動装置は、さらに小型化される傾向にあって、しかも、ハードディスク駆動装置自体の製品単価は低下しかつ多量のハードディスク駆動装置をコストダウンして製造することが製造メーカに要求されている。そのため、ディスク検査装置にあっても多量のディスクを効率よく検査でき、しかも検査装置を小型化せよとの要請がある。
ディスクの検査効率を向上し、検査装置を小型化するために、ディスクの表裏を検査するスピンドルをそれぞれに個別に設けて、表面側と裏面側のスピンドルをそれぞれ切換えて検査をするディスク検査システムを出願人は、日本出願特開２００６−２６０６７５号として出願している（特許文献３）。
【特許文献１】特開平１０−１４３８６１号公報
【特許文献２】特開２０００−３１５３２０号公報
【特許文献３】特開２００６−２６０６７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献３の発明は、ディスクの検査中に、１個手前に表面側の検査が終了したディスクを表面側検査の第１のスピンドルから裏面側検査の第２のスピンドルへ搬送している。そして、この搬送途中でディスク反転機構によりディスクを反転する構成を採用している。
この場合、搬送中にディスクが反転できる利点はあるが、特許文献１，２に記載されているようなディスク反転機構を設けると、ディスクチャック機構のほかに、ディスクを反転駆動するための反転駆動機構、反転駆動回路、そして搬送装置とがそれぞれに必要になる欠点がある。
しかも、検査装置を小型化するためには、移動機構上にディスク反転機構を設けることが考えられが、そのようにすると移動機構が大きくなる上に、ディスク反転機構に対する反転動作のための電気的な接続、そしてディスクを反転する際のタイミング制御が移動機構の制御とともに必要になる。
【０００５】
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、ディスクを反転する際のディスク反転搬送機構に対するタイミング制御が不要で、ディスクの表裏面の検査効率を向上させることができ、ディスク検査装置の小型化が可能なディスク反転搬送機構を提供することにある。
この発明の他の目的は、ディスクの表裏面検査を効率よく行うことができ、かつ小型化が可能なディスク検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的を達成するためのこの発明のディスク反転搬送機構あるいはこれを利用したディスク検査装置の構成は、第１の位置から第２の位置へディスクを搬送途中にディスクを反転するディスク反転搬送機構において、
第１の位置から第２の位置まで設けられたレールと、このレール上を移動する移動台と、レールに沿って設けられコロあるいはピンが係合するカム面とそしてこのカム面の途中にコロあるいはピンが落ち込む溝とを有する板カムと、移動台に設けられクランク軸と前記コロあるいはピンをクランクピンとして有しチャック機構が結合されクランク軸の回動に応じてチャック機構を回動させるクランクとを備えていて、
移動台の移動に応じてコロあるいはピンが溝に落ち込こみ、溝から抜け出すことでクランク軸を回動させてチャック機構を回動してディスクを反転させるものである。
【発明の効果】
【０００７】
上記したこの発明のディスク反転搬送機構あるいはディスク検査装置にあっては、コロあるいはピン（以下コロで代表）をクランクピンとしたクランクと、コロを上下動させる溝付き板カムとを設けて、移動台の移動に応じてコロを移動させてコロを板カムの溝に落とし込み、溝から抜くことで、コロを上下動させる。このコロの上下動でクランク軸を半回転してチャック機構を回転させてディスクを反転させる。
そこで、この発明のディスク反転搬送機構は、移動機構の移動台にクランクとチャック機構とを設け、さらにレールに沿って板カムを設けるだけで済む。別途反転のための駆動機構等を設ける必要はないので移動機構を小型化できる。その上に、電気的にチャックを反転させる駆動制御も、ディスク搬送過程での反転のタイミング制御も不要になる。
その結果、この発明は、小型のディスクの検査を効率よく行うことができ、小型のディスク反転送搬送機構およびこれを利用した小型なディスク検査装置を容易に実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１は、この発明を適用したディスク反転搬送機構の一実施例の斜視図、図２は、ディスク反転搬送機構のディスク反転動作の説明図、図３は、ディスク検査装置の全体的な動作の説明図、そして図４は、ディスクチャックの状態を説明するディスクチャック機構の正面図である。
図３において、１０はディスク搬送機構であって、中央に表面検査光学系８が設けられ、その周囲にはディスクのハンドリング経路が設けられている。点Ｐ2の位置に表面側のディスク検査のスピンドル６（以下表面検査のスピンドル６）が配置されている。また、点Ｐ5の位置には裏面側のディスク検査のスピンドル７（以下裏面検査のスピンドル７）が配置されている。
なお、図では、点Ｐ5の位置に配置された裏面検査のスピンドル７が表面検査光学系８の下に移動した状態が示されている。この状態は、スピンドル７のディスク９がディスク検査位置に設定され、検査中の状態にある。
【０００９】
点Ｐ2の位置に配置される表面検査のスピンドル６と、点Ｐ5の位置に配置される裏面検査のスピンドル７とは、交互に表面検査光学系８の下に位置付けられて、それぞれに装着されたディスク９がここの位置で回転する。このディスク９の回転下でそれぞれのディスク９が表面検査光学系８により光学的にディスク９の欠陥検出が行われ、ディスク９が検査される。表面検査光学系８の下にディスク９を交互に移動してディスク検査位置に位置決めするために、点Ｐ2の位置と点Ｐ5の位置とに橋渡されたレール（図示せず）が設けられ、このレール上を表面検査のスピンドル６と裏面検査のスピンドル７とが交互に表面検査光学系８の下まで移動する。
なお、スピンドル６，７がレール上を移動する機構は、後述するレール３とリニア移動機構２と同様な構造のものであり、ここでの発明がディスク反転にあるので後述する説明をもってその説明は割愛する。
【００１０】
表面検査光学系８において、８ａは、レーザ投光光学系であり、８ｂは、受光素子（ＡＰＤ）である。受光素子８ｂにより受光された散乱光に応じて検出された欠陥についての電気信号がＡ／Ｄ変換回路等（図示せず）を介してディスク検査装置の制御装置（図示せず）に送出されて、ディスク９の欠陥検査が行われる。
なお、受光素子８ｂの前に置かれる受光光学系は図では省略してある。
図中、点Ｐ1の位置はディスクロード位置である。この位置でディスク搬送機構１０のローダハンドリングロボット（図示せず）が、カセットからディスクを取出すディスクハンドリングロボット（図示せず）からディスク９を受ける。
点Ｐ3の位置は、点Ｐ2の位置に配置された表面検査のスピンドル６から表面検査済みのディスク９を前記のローダハンドリングロボットが受けてそれをディスク反転搬送機構１（図１参照）に受渡す位置である。また、このローダハンドリングロボットは、点Ｐ1の位置でロードされた未検査のディスク９を点Ｐ２の位置に移送して点Ｐ2の位置に配置された表面検査のスピンドル６にそのディスク９を装着する。
【００１１】
点Ｐ4の位置は、ディスク反転搬送機構１（図１参照）により反転されたディスク９をディスク搬送機構１０のアンローダハンドリングロボット（図示せず）に受渡す位置である。アンローダハンドリングロボットは、点Ｐ4の位置から点Ｐ5の位置に反転されたディスク９を移送して点Ｐ5の位置に配置された裏面検査のスピンドル７にそのディスク９を装着する。
点Ｐ6の位置はディスクアンロード位置である。この位置で、アンローダハンドリングロボットが点Ｐ5の位置に配置された裏面側検査済みのディスク９を裏面検査のスピンドル７から受けて、カセットへディスクを収納するディスクハンドリングロボット（図示せず）へ受渡す。
このようなディスクハンドリング処理をするハンドリングロボットとこのハンドリングロボットを有するディスク検査装置の詳細については前記した特許文献３に記載されている。ここでの発明は、このディスクのハンドリング処理ではないため、上記の説明で止め、図では省略してある。
なお、図示はしていないが、ローダハンドリングロボットとアンローダハンドリングロボットとはそれぞれディスクを外周でチャックするチャック機構をそのハンドとして有し、それぞれにカセットへのディスク受渡し位置に対してロード位置・アンロード位置に対して前進・後退の動作をする。
【００１２】
ディスク搬送機構１０のディスク９のハンドリング動作について図３を参照して簡単に説明すると、まず、ローダハンドリングロボットが前進位置（図３のステップ(5)の移動）で新しいディスク９を点Ｐ1の位置（ディスク供給位置）でディスクハンドリングロボットから受ける。ディスク供給位置にあるディスク９は、ローダハンドリングロボットの後退（図３のステップ(1)の移動）により表面検査のスピンドル６に点Ｐ2の位置で装着される。
このとき、表面検査のスピンドル６に装着されている表面欠陥検査済みのディスク９は、この後退と同時にあるいは別の先行するタイミングでスピンドル６から外されてローダハンドリングロボットの後退（ステップ(1)の移動）により点Ｐ3の位置に移動する。これにより検査済みのディスク９は、図１に示すディスク反転搬送機構１が待機している点Ｐ3の位置で反転搬送機構１に受渡される。
【００１３】
点Ｐ2の位置にある表面検査のスピンドル６に装着されたディスク９は、スピンドル切換駆動（ステップ(2)の移動）によりスピンドル６が表面検査光学系８の下に移動することで検査位置に設定されれる。このときには、裏面検査のスピンドル７は、表面検査光学系８の下からこれの初期位置である点Ｐ5の位置に戻される（ステップ(2)の移動）。なお、このときのスピンドル切換動作は、裏面検査のスピンドル７に装着されたディスク９の検査が完了した後のタイミングで行われる。
表面検査のスピンドル６に装着されたディスク９の表面検査が終了するとこのタイミングでスピンドル切換動作（ステップ(3)の移動）が行われ、これにより表面検査のスピンドル６が表面検査光学系８の下の検査位置から初期位置（点Ｐ2）に戻る。このとき、ディスクの裏面側を検査するためのスピンドル７に装着されたディスク９は、表面検査光学系８の下に裏面検査のスピンドル７が移動して検査位置に設定されれる（ステップ(3)の移動）。
【００１４】
一方、点Ｐ3の位置においてディスク反転搬送機構１（図１参照）が受取ったディスク９は、ディスク反転搬送機構１の搬送（ステップ(4)の移動）によりディスク検査中に反転されて点Ｐ3の位置から裏面検査側のディスク受渡し位置点Ｐ4まで移送される。
ディスク検査の時間は、ディスク反転搬送機構１のディスク反転移送の時間よりも長い。しかも、ここでは、２枚のディスクを検査するまでの時間があるので、スピンドルに装着されたディスク９の表面検査が終了するより前にディスク反転搬送機構１により反転されたディスク９は、裏面検査のスピンドル７側の点Ｐ4の位置に到達して裏面検査のスピンドル７に受渡される。さらに、スピンドル６に装着されたディスク９の検査中にディスク反転搬送機構１は、元の初期位置Ｐ3まで戻ることができる。言い換えれば、反転搬送機構１は検査中に往復移動をすることができる。
【００１５】
アンローダハンドリングロボットは、後退（ステップ(5)の移動に対して逆方向の移動）してディスク反転搬送機構１から反転されたディスク９を点Ｐ4の位置で受ける。裏面検査のスピンドル７に装着されたディスク９の表面検査が終了すると、裏面検査のスピンドル７は、表面検査光学系８の下から前記したスピンドル切換動作でこれの初期位置である点Ｐ5の位置に戻される（ステップ(2)の移動）。ここで、アンローダハンドリングロボットが前進（ステップ(5)の移動）する。このステップ(2)の移動のときには同時に初期位置（点Ｐ5）にある裏面側検査済みのディスク９が裏面検査のスピンドル７から外されて、そのディスク９がアンローダハンドリングロボットによりディスク排出位置である点Ｐ6の位置へと移送される。
一方、点Ｐ4の位置においてディスク反転搬送機構１が保持する反転されたディスク９は、この前進（ステップ(5)の移動）と同時にあるいはステップ(5)の移動後のタイミングでアンローダハンドリングロボットの前進によりディスク反転搬送機構１から受渡されて初期位置（点Ｐ5）にある裏面検査のスピンドル７に装着される。
【００１６】
図１は、このようなディスク搬送中にディスクを反転させるこの発明を適用したディスク反転搬送機構の一実施例の斜視図である。
ディスク反転搬送機構１は、リニア移動機構２を有し、点Ｐ3の位置と点Ｐ4の位置との間を往復する。そのために点Ｐ3の位置と点Ｐ4の位置とに渡って設けられたレール３上を移動し、ディスク９を点Ｐ3の位置から点Ｐ4の位置へと運ぶ。そして、アンローダハンドリングロボットに反転したディスク９を点Ｐ4の位置で受渡した後に点Ｐ3の位置へと戻る。
ディスクチャック機構４は、図１、図４に示すように、ハンド４４を有し、ハンド４４は、内周狭持のチャック４１、４２とチャック４１、４２を開閉支持するチャック支持部４３とからなる。チャック支持部４３にはチャックを上下方向に開閉するための開閉溝４５（図４参照）が設けられ、チャック支持部４３の内部には開閉駆動機構が設けられている。
【００１７】
図４に示すように、チャック４１、４２の先端には、ディスク９の中心開口の内周に係合する狭持円板４１ａ，４１ｂがそれぞれ設けられている。
なお、図４は、断面でディスク９をディスクチャック機構４がチャックした状態の説明図である。
ディスク９は、狭持円板４１ａ，４１ｂによりディスク９の中央開口内周が狭持されてチャックされる。狭持円板４１ａ，４１ｂは、ディスク９の中央開口より少し径が大きく、外周が斜めに面取りがされている。
図１に戻り、リニア移動機構２は、ディスクチャック機構４を載置する移動台２１と、この移動台２１の上部に固定されたブラケット２２、そして軸２３をクランク軸として有するクランク２４とからなる。移動台２１は、レール３との関係がリニアモータ構造とされて駆動され、点Ｐ3と点Ｐ4の位置の間を移動する。
【００１８】
軸２３は、ブラケット２２に回転可能に嵌合してこれを貫通している。クランク２４はクランクアーム２４ｂを有している。クランクアーム２４ｂは、軸２３をクランク軸としてコロ（カムフォロア）２４ａをクランクピンとしてこれらをその端部で結合する。コロ２４ａは、クランクアーム２４ｂの先端側に回転可能に固定され、クランクアーム２４ｂの後端側の孔には、軸２３の後端側の端部が埋め込まれて軸２３がクランクアーム２４ｂに固定されている。その結果、コロ２４ａとクランクアーム２４ｂと軸２３とがクランクとして一体化されている。ブラケット２２を貫通した軸２３の先端側の端部は、チャック支持部４３にこれの中心位置でこれと一体的に固定されている。
なお、チャック支持部４３は起立し、これに対してクランクアーム２４ｂは、カム５のカム面５ａとコロ２４ａとが係合することで、図示するように垂直方向に対して時計方向に９０゜回転した位置で水平になっている。
また、コロがピンである場合には必ずしも回転可能にクランクアーム２４ｂに取付けられている必要はない。
【００１９】
カム５は、レール３に沿って点Ｐ3の位置から点Ｐ4の位置まで設けられた板カムである。これは、水平に設けられた平坦なカム面５ａとこれの途中に設けられたカム溝５ｂとを有している。カム溝５ｂは、点Ｐ3の位置と点Ｐ4の位置の途中に、例えば、点Ｐ3の位置と点Ｐ4の位置との中点の位置に設けられた縦溝である。コロ２４ａは、移動第２１の移動とともにカム面５ａに係合して回転して移動しこのカム溝５ｂに自重で落ち込む。縦溝の幅はコロ２４ａの外径より大きい。
なお、コロ２４ａは、カム溝５ｂに確実に落ち込むように自重以上の力でカム面５ａに接触係合するようにばね等によりカム面５ａに対して垂直方向に多少の付勢がなされていてもよい。
これにより、クランク２４のコロ２４ａは、リニア移動機構２の移動台２１の移動とともに板カム４のカム面４ａに係合してカム面４ａ上を転がり、これに沿って移動し、コロ２４ａがカム溝５ｂの位置にくると、コロ２４ａがカム溝５ｂに落ちてクランクアーム２４ｂが軸２３を中心として回転し、さらに移動台２１が移動することでカム溝５ｂに落ちたコロ２４ａはカム溝５ｂから引き出される。このときのコロ２４ａの上下動によりクランクアーム２４ｂが回動する。このクランクアーム２４ｂの回転に応じて軸２３が回転してチャック支持部４３を回転させる。それにより、チャックされたディスク９も軸２３を中心として半回転することになる。
【００２０】
その関係を示すのが、図２（ａ）〜（ｇ）である。図２（ａ）〜（ｇ）は、ディスク反転動作の説明図である。なお、図２（ａ）〜（ｇ）は板カム５の長さを短くして反転動作に関係あるカム溝５ｂの部分を中心に示してある。また、説明の都合上、クランク２４の動作が見えるようにするために軸２３を中心としてブラケット２２等は省略してある。
以下で説明するディスクのチャックは、チャック４１、４２の上下動の動作だけである。そこで、ディスクチャックについて制御装置による駆動処理のフローチャート等についてはここでは割愛する。
ディスク９は、ローダハンドリングロボットにより外周チャックされて点Ｐ3の位置に搬送される。この点Ｐ3の位置でディスクチャック機構４の前側（図４参照）からローダハンドリングロボットによりディスクチャック機構４の開いたチャック４１、４２との間に挿入される（図２（ａ）参照）。
【００２１】
次に、下側のチャック４２が上昇してローダハンドリングロボットからディスク９を受けてディスク９を支持する（図２（ｂ）参照）。一方、ローダハンドリングロボットはディスクのチャックを解除してディスクチャック機構４から待避する。ローダハンドリングロボットが待避すると、下側のチャック４２がさらに上昇して同時に少し降下したチャック４１との間でディスク９が狭持される（図２（ｃ）参照，図４参照）。これにより、ディスク９は、板カム４の上面より高いた位置で水平に保持される。チャックの上下動量は各図のチャック脇に描いた矢印を参照。
このチャック４１、４２によりディスク９が保持される高さは、軸２３の中心の高さに一致している。このときのディスク９のチャックは、下側のチャック４２の上昇がディスク昇降機構を兼ねるので、特別なディスク昇降機構が不要になる。なお、軸２３の中心の高さは、ディスクを反転させる関係でディスク９の半径距離よりも高い位置にある。
【００２２】
リニア移動機構２の移動台２１が点Ｐ3の位置から点Ｐ4の位置へ向って移動すると、コロ２４ａは、板カム５のカム面５ａを転がりながら移動し（図２（ｄ）参照）、やがて、移動台２１がカム溝５ｂの位置へ来たときに、コロ２４ａは、自重でこのカム溝５ｂへと落ち込んでいく（図２（ｅ）参照）。これにより、軸２３が回動を開始して、同時にディスク９も回動する。さらに、移動台２１が点Ｐ4の位置方向へと移動し続けると、コロ２４ａは、カム溝５ｂの底を通過してここを通り抜けて（図２（ｆ）参照）、カム溝５ｂをすり抜けて板カム５のカム面５ａを回転しながら移動していく（図２（ｇ）参照）。
ここで、図２（ｄ）においては、コロ２４ａが移動台２１の移動方向の先のカム面５ａと係合することで、図示するように、クランクアーム２４ｂは水平に保持されている。これに対して図２（ｇ）では、コロ２４ａが移動台２１の後ろ側のカム面５ａと係合してクランクアーム２４ｂは水平になっている。図２（ｇ）では、クランクアーム２４ｂは、図２（ｄ）とは反対側であり、コロ２４ａの位置が図２（ｄ）と図２（ｇ）では軸２３の中心を回転中心として実質的に１８０°回転している。その結果、移動台２１がカム溝５ｂの位置を通過することでコロ２４ａが１８０°回転してチャック４１、４２により水平にチャックされて保持されたディスク９が反転する。
なお、カム溝５ｂの底は、コロ２４ａの落ちる最下点か、これよりさらに低い位置にある。また、コロ２４ａの位置を前記のように１８０°回転させなくても、所定の角度だけ回動させて、この回動に応じてギア等を介して軸２３を１８０°回転させることも可能である。この場合には、ディスク９を保持したときにクランクアーム２４ｂが水平になっている必要はない。
ところで、コロ２４ａをピンに換えたときにはカム面５ａをピンは転がらずに摺動して移動していくことになる。
【００２３】
さて、図２（ｄ）から図２（ｇ）までの移動過程では、ディスクチャック機構４が時計方向に半回転してディスク９の表裏が反転して点Ｐ3の位置から点Ｐ4の位置へディスク９が移送される。点Ｐ4に到達したディスク９は、前記とは逆に図２（ｃ）から図２（ａ）の過程を経てチャックされたディスク９が開放される。この開放されたディスク９をローダハンドリングロボットが点Ｐ4において外周チャックして受取り、ディスク９が点Ｐ4から点Ｐ5へと移送される。このとき、ディスクチャック機構４は、点Ｐ4の位置から点Ｐ3の位置へと戻る。
移動台２１が逆に点Ｐ4の位置から点Ｐ3の位置へ戻るときには、ディスクチャック機構４は、図２（ｇ）から図２（ｄ）までの移動過程を経て前記とは逆に反時計方向にコロ２４ａが１８０°回転して元の状態に戻り、チャック４１、４２も点Ｐ3の位置では図２（ａ）に示すような元の状態になる。
移動台２１が前記のような往復移動をすることで、ディスク反転機構１は、移動機構と一体化されてディスクの反転動作を繰り返すことが可能となる。しかも、電気的にチャックを反転させる駆動機構も反転するタイミングの制御も不要である。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
以上説明してきたが、実施例では、ディスク９はチャック４により水平にチャックされて保持されている。しかし、ディスク９の反転は、移動台２１の移動に応じて軸２３をコロ２４ａあるいはピンが１８０°あるいは所定の角度回転すればよいので、チャック４がディスク９をチャックする角度とは関係ない。したがって、この発明は、必ずしもディスク９がチャック４に水平にチャックされていなくてもよい。
また、実施例のコロは、カムフォロアとなっていて、これが係合する溝は、垂直溝になっているが、垂直溝に限定されるものではない。この溝は、クランクアームが回転できる深さで移動方向に垂直な軸において左右対称の溝であれば、例えば、Ｖ溝等であってもよい。
なお、実施例で示すコロは、溝に係合してチャック機構の軸２３を回転させれば済むものであるので、回転体のコロではなく、説明してきたように単なるピンであってもよい。
【００２５】
また、実施例のディスク反転機構は、ディスクを内周でチャックしているが、ハンドリングロボットと競合しない限り、ディスクを外周でチャックしてもよい。
さらに、実施例では、ディスク反転機構が反転するディスクについて磁気ディスクを中心に説明してきたが、この発明は、磁気ディスクのサブストレートを始めとして、磁気ディスク以外の円板のディスク反転機構に対して適用できることはもちろんである。
また、実施例ではディスクの表裏面を順次検査するディスク検査装置におけるディスク反転搬送機構について説明しているが、この発明のディスク反転搬送機構は、ディスク検査装置に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、この発明を適用したディスク反転搬送機構の一実施例の斜視図である。
【図２】図２は、ディスク反転搬送機構のディスク反転動作の説明図である。
【図３】図３は、ディスク検査装置の全体的な動作の説明図である。
【図４】図４は、ディスクチャックの状態を説明するディスクチャック機構の正面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１…ディスク反転搬送機構、２…リニア移動機構、３…レール、
４…ディスクチャック機構、５…板カム、
６…表面側のディスク検査のスピンドル、
７…裏面側のディスク検査のスピンドル、
８…表面検査光学系、
９…ディスク、１０…ディスク搬送機構、
２１…移動台、２２…ブラケット、
２３…軸、２４…クランク。
【図１】
0004886734.tif 000002
【図２】
0004886734.tif 000003
【図３】
0004886734.tif 000004
【図４】
0004886734.tif 000005