(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流入口およびこれに連通する流入室を有する流入ハウジング、流出口およびこれに連通する流出室を有する流出ハウジング、ならびに、前記流入ハウジングと前記流出ハウジングに挟みこまれるように配置されるシート状のフィルタとを具備する濾過器であって、前記流入室内または前記流出室内に、該フィルタを該フィルタと垂直方向に支持する支持機構と、弾性機能により前記流入室内または前記流出室内における自己の位置を規制する保持機構とを有する支持保持具を複数有し、前記流入室内に第１の支持保持具、および前記流出室内に第２の支持保持具を有することを特徴とする濾過器。
【請求項２】
前記保持機構は、前記フィルタに対し、前記フィルタと垂直方向に力を加える機能を有することを特徴とする請求項１に記載の濾過器。
【請求項３】
前記支持保持具は、前記フィルタまたは前記フィルタを支持するスクリーンに接し、前記フィルタと垂直方向の前記フィルタの位置を規制する第１部材と、前記流入室内または前記流出室内に接し、前記フィルタと平行方向の自己の位置を規制する第２部材とを有することを特徴とする請求項１または２に記載の濾過器。
【請求項４】
前記第１部材は、管状で該管の側面に開口部を有することを特徴とする請求項３に記載の濾過器。
【請求項５】
前記第１部材は、該管の内面の短径が前記流入口または前記流出口の外接円の直径より大きいことを特徴とする請求項４に記載の濾過器。
【請求項６】
前記第２部材は、線形の部材からなり、前記第１部材に接続し、前記流入室内または前期流出室内に接することを特徴とする請求項４または５に記載の濾過器。
【請求項７】
塗液を貯蔵する塗液容器とこれに連通する口金を有する塗布装置であって、前記塗液容器と前記口金の間に請求項１〜６のいずれかに記載の濾過器を備えることを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗液の濾過に適した濾過器、およびこれを備えた塗布装置に関するものであり、特に、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略称することもある）、液晶ディスプレイ用カラーフィルター（以下、ＬＣＭと略称することもある）、光学フィルター、プリント基板、集積回路、半導体等の製造分野に使用されるものであり、これらの分野に用いられる塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
様々な方式で多様化するディスプレイの中で注目されているものの一つに、大型で薄型軽量化が可能なＰＤＰがある。ＰＤＰは、前面板と背面板の間に形成された放電空間内で放電を生じさせ、この放電によりキセノンガスから波長１４７ｎｍを中心とする紫外線が生じて、この紫外線が蛍光体を励起することによって表示が可能となる。赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に発光する蛍光体を塗り分けた放電セルを駆動回路によって発光させることにより、フルカラー表示に対応できる。
【０００３】
このＰＤＰにおいて、最近活発に開発が進められている交流（ＡＣ）型プラズマディスプレイは、表示電極／誘電体層／保護層を形成した前面ガラス板と、アドレス電極／誘電体層／リブ層／蛍光体層を形成した背面ガラス板とを貼り合わせ、ストライプ状あるいは格子状の隔壁で仕切られた放電空間内にＨｅ−Ｘｅ、または、Ｎｅ−Ｘｅの混合ガスを封入した構造を有している。Ｒ、Ｇ、Ｂの各蛍光体層は、粉末状の蛍光体粒子を主成分とする蛍光体ペーストが、背面板に形成された色毎に一方向に延びる隔壁、またはこのような隔壁とこれに直交する補助隔壁により形成された凹部に充填されてなる。このような構造のものを高い生産性と高品質で製造するには、蛍光体を一定のパターン状に塗り分ける塗布技術が重要となる。
【０００４】
この蛍光体ペーストの塗布方法として、一般にスクリーン印刷法が用いられているが、近年は塗液の使用効率が高いことや安価で塗布が容易なことから、複数の吐出孔を有する口金を使用し、この口金を背面板と対向させ、相対的に移動させながら、塗液を凹部に充填する方法が提案、検討されている（特許文献１参照）。
【０００５】
この塗布方法が用いられる塗布装置では、濾過器で異物を除去した後のペーストを口金に送り、基板に塗布することが一般に行われる。ペーストにおける異物の具体例としては、ペーストの製造工程や、口金への送液過程で混入するパーティクル、凝集した蛍光体粒子や、ゲル化したバインダー樹脂などがあげられる。
【０００６】
通常、蛍光体ペーストに限らず、塗液に混入した異物の除去に用いられるフィルタとしては、ポリプロピレン、ポリエチレン、四フッ化エチレン等の樹脂や、樹脂よりもヤング率が高いステンレス繊維を用いた焼結金属をシート状にしたもの、またはそのシート状のものをさらにプリーツ状または巻き物状にしたものなどが挙げられる。
【０００７】
それらの中でも、シート状のフィルタを用いた濾過器は構造が比較的簡単であり、少量の液体であっても濾過することができることから、塗液の濾過に好ましく用いられている。このような濾過器は、例えば特許文献２に示すような、２つのハウジング部材と、これに挟み込まれるようにフィルタ、さらにフィルタを支持するスクリーンを下流側、もしくは、上流側と下流側の両方にフィルタに隣接して配置する構成が一般的となっている。
【０００８】
濾過の過程において、フィルタには多大な圧力がかかる。したがって、特に高粘度の塗液を短時間で濾過する場合、前記のようなシート状のフィルタを用いた濾過器では、その圧力により、フィルタやスクリーンが変形してフィルタの目（開口部）が広がり濾過性能が低下したり、フィルタが破断して濾過されない塗液が生じたり、また、スクリーンが破断することによってパーティクルが発生し被塗布材の不良が増加すると共にフィルタやスクリーンの交換が必要となり、経済的、時間的な損失が発生する問題があった。これを回避すべく、スクリーンの厚みを増して強固にすることが考えられるが、スクリーンにおける圧力損失が増大するため、濾過時間の短縮はますます困難になる上、スクリーンの厚みが変わることで濾過器自体の構造の見直しも必要となる。また、フィルタ自体の強度をあげることも考えられるが、フィルタの改良や変更は、本来所望する濾過性能が得られなくなる可能性があるため適当ではない。
【０００９】
そこで、フィルタやスクリーンの変形を抑制する手段として、特許文献３に示すような、スクリーンの下流側に支持枠を設けることが考えられる。しかし、この支持枠は、組み立て後の運搬中や通液中に、支持枠自身が動き、濾過器のハウジングやスクリーンとの間で摩擦が生じ、支持枠やハウジング、スクリーンが摩耗することにより、新たなパーティクルを発生することがある。また、この支持枠は、濾過器内での流れの障害となるため、濾過性能の低下を引き起こすと共に、濾過器内に滞留部を形成し、塗液を濾過器内に充填する際の塗液内への空気の混入や、長時間の使用による滞留箇所での蛍光体粉末などの凝集、など塗液の不良となる問題を引き起こす場合があった。
【特許文献１】特開平１０−２７５４３号公報
【特許文献２】特開２００２−２３３７１０号公報
【特許文献３】実開平２−１２５７２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、シート状のフィルタを用いた濾過器であって、高粘度の塗液を短時間で濾過する場合でも該濾過器の持つ濾過性能を維持したままでフィルタやそれに隣接するスクリーンの変形を防止し、新たなパーティクルを発生しない濾過器、およびこれを備えた塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明は、流入口およびこれに連通する流入室を有する流入ハウジング、流出口およびこれに連通する流出室を有する流出ハウジング、ならびに、前記流入ハウジングと前記流出ハウジングに挟みこまれるように配置されるシート状のフィルタとを具備する濾過器であって、前記流入室内または前記流出室内に、該フィルタを該フィルタと垂直方向に支持する支持機構と、弾性機能により前記流入室内または前記流出室内における自己の位置を規制する保持機構とを有する支持保持具を複数有し、前記流入室内に第１の支持保持具、および前記流出室内に第２の支持保持具を有することを特徴とする濾過器を提供する。
【００１３】
また、前記保持機構は、前記フィルタに対し、前記フィルタと垂直方向に力を加える機能を有することが好ましい。
【００１５】
また、前記支持保持具は、前記フィルタまたは前記フィルタを支持するスクリーンに接し、前記フィルタと垂直方向の前記フィルタの位置を規制する第１部材と、前記流入室内または前期流出室内に接し、前記フィルタと平行方向の自己の位置を規制する第２部材とを有することが好ましい。
【００１６】
また、前記第１部材は、管状で該管の側面に開口部を有することが好ましい。
【００１７】
また、前記第１部材は、該管の内面の短径が前記流入口または前記流出口の外接円の直径より大きいことが好ましい。
【００１８】
また、前記第２部材は、線形の部材からなり、前記第１部材に接続し、前記流入室内または前期流出室内に接することが好ましい。
【００１９】
また、本発明は、塗液を貯蔵する塗液容器とこれに連通する口金を有する塗布装置であって、前記塗液容器と前記口金の間に前期濾過器を備えることを特徴とする塗布装置を提供する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、濾過器内のフィルタにかかる圧力の向きに応じて、流入室内または流出室内に支持保持具を具備し、支持保持具が有するフィルタと垂直方向に支持する支持機構によって、シート状のフィルタの変形や破断を防止することができ、濾過器が持つ濾過性能を維持することができる。また、支持保持具が有する、弾性機能により流入室内または流出室内における自己の位置を規制する保持機構によって、運搬中や通液中であっても支持保持具自身は動かないため、摩擦に伴う摩耗による新たなパーティクルは発生しない。
【００２１】
また、流入室内に第１の支持保持具、および流出室内に第２の支持保持具を有することにより、使用中にフィルタに加わる圧力の方向が変わるような使用形態であっても、フィルタの変形や破断を防止でき、かつ、摩耗による新たなパーティクルは発生しない。
【００２２】
さらに、保持機構が、フィルタに対して、フィルタと垂直方向に力を加える機能を有することによって、特にフィルタと垂直方向での支持保持具の動きを抑制でき、フィルタと平行方向に力を加える機能を有することによって、特にフィルタと平行方向での支持保持具の動きを抑制できる。
【００２３】
また、支持保持具が、フィルタに接して、フィルタと垂直方向のフィルタの位置を規制する第１部材と、流入室内または流出室内に接し、フィルタと平行方向の自己の位置を規制する第２部材とを有することで、支持機構と保持機構を有する支持保持具を、簡潔かつ容易に構成できる。
【００２４】
また、第１部材が、管状で該管の側面に開口部を有することにより、フィルタと垂直方向の流れの障害にならないと共に、フィルタと平行方向の流れの障害となることも抑制できることから、濾過性能の低下や支持保持具による滞留部の形成も抑制できる。
【００２５】
また、第１部材が、該管の内面の短径が流入口または流出口の外接円の直径より大きいことにより、特に流入口や流出口付近での流れの障害とならないため、濾過器内の流れを円滑にし、支持保持具による濾過性能の低下を抑制できる。
【００２６】
また、第２部材が、線形の部材からなることにより、第２部材が濾過器内の流れの障害とはならずに支持保持具に所望の弾性機能を付与することができ、また、第１部材に接続し、流入室内または流出室内に接することにより、第１部材と第２部材の流入室内または流出室内での位置関係をより確実に規制することができる。
【００２７】
さらに、塗液を貯蔵する塗液容器とこれに連通する口金を有する塗布装置であって塗液容器と口金の間に、前記濾過器を備えることにより、該濾過器の持つ濾過性能を維持したままで、フィルタやそれに隣接するスクリーンの変形を防止し、摩耗による新たなパーティクルを発生しない。そのため、口金に塗液を供給する際や、口金から塗液を塗布する際の圧力がフィルタに加わった場合でも塗液の不良を発生しない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照して説明する。但し、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２９】
図１には、本発明の一実施態様に係る濾過器１の断面図を示す。濾過器１は、流入ハウジング６と流出ハウジング７にて、異物を捕捉するシート状のフィルタ８と、これに隣接して配置したスクリーン９を挟み込むようにして構成している。また同時に、液漏れを防止するＯリング１０を、流入ハウジング６、流出ハウジング７、およびフィルタ８に接するようにして挟み込んでいる。また、濾過器１は、流入ハウジング６が有する流入室４内には第１の支持保持具２０を、流出ハウジング７が有する流出室５内には第２の支持保持具２５を具備している。
【００３０】
流入ハウジング６は、流入口２と流入室４を有する。流入口２は、濾過前の被濾過流体が濾過器１内に流入するための入口であり、流入室４は、流入口２と連通し、フィルタ８と接触する。ここで、流入室４および流出室５がフィルタ８と接するフィルタの領域を有効濾過領域とする。流入室４は、図１に示す濾過器１においては略円筒形状であるが、流入口２から流入した被濾過流体が滞留することなく流れ、かつフィルタ８の有効濾過領域まで円滑に拡げられるような形状であれば良い。例えば、流入口２から濾過有効領域にむかって徐々に拡がるような略円錐台状であってもよく、図１に示すような限りではない。
【００３１】
ここで、有効濾過領域とは、濾過器１内で、被濾過流体を濾過することのできる領域を指し、フィルタ８の流入ハウジング６と流出ハウジング７に挟み込まれている部分は含まない。そのため、流入室４と流出室５とで、フィルタ８と接するフィルタ８の領域が異なる場合、それらの接するフィルタ８の領域の小さいほうの領域が有効濾過領域となる。しかし、この場合、被濾過流体は流入室４内または流出室５内で滞留する可能性があるため、流入室４および流出室５がフィルタ８と接触するフィルタ８の領域は略同一であることが好ましい。なお、被濾過流体とは、濾過の対象となる流体のことであり、例えば、塗液や血液、汚泥等のことであるが、これに限られたものではない。
【００３２】
流出ハウジング７は、流出口３と流出室５を有する。流出口３は、濾過後の被濾過流体が濾過器１外に流出するための出口であり、流出室５は、流出口３と連通し、フィルタ８と接する。流出室５は、図１に示す濾過器１においては略円筒形状であるが、フィルタ８を通過した直後の有効濾過領域にある被濾過流体が滞留することなく流れ、かつ流出口３に向かって円滑に狭められるような形状であれば良い。例えば、濾過有効領域から流出口３にむかって徐々に狭まるような略円錐台状であってもよく、図１に示すような限りではない。
【００３３】
濾過器１の流入口２および流出口３の位置はフィルタ８中央の垂線上にあり、またそれらの向きはフィルタ８と垂直方向になっている。流入口２および流出口３の位置や向きは、濾過器１への他の機器や配管との接続によりいずれであっても構わないが、被濾過流体が滞留しないようにすることが良い。例えば、流入室４や流出室５が略円錐台状である場合、流入口２や流出口３は、流入室４や流出室５のフィルタ８と最も離れた位置に連通することが好ましいが、ここに示す限りではない。
【００３４】
流入ハウジング６と流出ハウジング７に挟み込まれるように配置するシート状のフィルタ８として使用可能なものは、ポリプロピレン、ポリエチレン、四フッ化エチレン、グラスファイバー等の樹脂の織布、不織布や、多孔質セラミック、ステンレス繊維を用いた焼結金属等があるが、被濾過流体の特性や、濾過器１の使用条件により、選定すればよく、ここに示した以外のものを使用してもよい。また、フィルタ８の濾過精度は、被濾過流体より捕捉したい異物の粒径により選定すればよく、特に制限はない。
【００３５】
図１に示す濾過器１には、フィルタ８に隣接して、多数の孔を設けたプレート状のスクリーン９を配置している。このスクリーン９は、フィルタ８の特性や濾過器１の使用条件等により、必要に応じて配置すればよい。例えば、フィルタ８が軟質で、容易に変形しやすいものであったり、組み立て時に流入ハウジング６、または流出ハウジング７へのセッティングが困難であったりすれば、配置すればよく、その使用の要否に特に制限はない。またその形状は、多数の孔を設けたプレート状のもの以外にも、多数の棒状部材により構成されたものなど、塗液を自由に通過させることができるものであればよい。
【００３６】
濾過器１は、液漏れを防止するためにＯリング１０を使用している。このような液漏れ防止用のＯリングには、例えば、ニトリルゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム、アクリルゴムなどの材質が使用されるが、被濾過流体の特性や、濾過器１の使用条件により選定すればよく、ここに示した以外のものを使用してもよい。また、濾過器１は、液漏れ防止用にＯリング１０を用いているが、漏れを防止することが可能であれば、他の液漏れ防止材や、封止材などを用いてもよく、特に制限はない。
【００３７】
図１に示す濾過器１において、被濾過流体が濾過器１に流入してから流出するまでの流れを説明する。被濾過流体は、流入口２より濾過器１内に流入した後、流入室４内に流れ、有効濾過領域にまで拡げられ、フィルタ８と接触する。そして、フィルタ８を通過するときに、フィルタ８にて異物が除去される。異物除去後の被濾過流体は、スクリーン９を通過し、流出室５内で有効濾過領域より狭められた後に流出口３に流れ、流出口３を通じて濾過器１より流出する。
【００３８】
図２には、図１に示す濾過器１に具備され、本発明の一実施態様に係る第１の支持保持具２０の濾過器１の流出口３側から見た正面図を、図３には、その側面図を示す。なお、図２、図３に示す第１の支持保持具２０は、濾過器１に具備される前の状態である。
【００３９】
図２、図３に示す第１の支持保持具２０は、第１部材２１と第２部材２２を有し、１つの第１部材２１と、８つの第２部材２２より構成される。この第１の支持保持具２０の第１部材２１は管状であり、図１に示す通り、その両端部で、フィルタ８と流入室４内に接することにより、フィルタ８と垂直方向でのフィルタ８の位置を規制すると共に、フィルタ８を支持する支持機構となる。
【００４０】
第１部材２１がフィルタ８と接する位置は、フィルタ８の変形を抑制できるならば、いずれの位置でも構わないが、好ましくは応力が集中するフィルタ８の中央付近、さらに好ましくは、フィルタ８中央から有効濾過領域の長径方向で、中央より長半径の１／３付近の位置が好ましい。なお、長径とは、対象となる領域の外接円の直径、長半径は、対象となる領域の外接円の半径を意味する。
【００４１】
また、第１部材２１が流入室４内と接する位置は、フィルタ８と垂直方向に力が加わったときに、これに抗することが可能な場所であればよいが、流入口２付近での被濾過流体の流れの障害とならないように、流入口２とは接しないことが好ましい。
【００４２】
図１において、第１部材２１はフィルタ８と環状に接触しているが、フィルタ８の変形を抑制できるならば環状に接触しなくてもよく、複数の点で接触してもよい。また、第１部材２１は流入室４内と環状に接触しているが、フィルタ８と垂直方向に力が加わったときに、これに抗することが可能であれば、環状に接触しなくてもよく、複数の点で接触してもよい。
【００４３】
第１部材２１は管状であり、この形状により、第１部材２１はフィルタ８と垂直方向の流れの障害とならないようにすることができる。図２、図３に示す第１部材２１は、断面が円形であるが、フィルタ８や流入口２、流入室４の形状などにより、楕円形や多角形などいずれの形状であってもよく、好ましくは上述したフィルタ８や流入室４内との接触を考慮するのがよい。
【００４４】
第１部材２１の内面の短径は、流入口２より流入する被濾過流体の流れの障害とならないような大きさであることがよく、流入口２の外接円の直径よりも大きいことが好ましい。なお、短径とは、対象となる領域の内接円の直径を意味する。また、管状である第１部材２１の厚みは、フィルタ８と垂直方向の流れの障害とならず、かつ、上述した支持機構としての役割を果たすことができる強度を保持できるものであれば、いずれでもよい。
【００４５】
また、第１部材２１は、側面に開口部を有することにより、フィルタ８と平行方向の流れの障害にならないようにすることができる。この開口部の形や大きさは、フィルタ８と平行方向の流れの障害にならず、かつ、第１部材２１が上述した支持機構としての役割を果たすことができる強度を保持できるものであれば、いずれでもよい。
【００４６】
図２、図３に示す第１の支持保持具２０の第２部材２２は、線形で略直線状の部材からなり、管状である第１部材２１側面の両端部付近にそれぞれ４つずつ接続し、放射状に４方向に向かって伸びており、濾過器１に具備した際、その端が略円筒形状である流入室４内側面と接触する。この４方向に伸びた第２部材２２により、第１の支持保持具２０は、流入室４内でのフィルタ８と平行方向の自己の位置を規制することができる。流入室４内での第１部材２１の好ましい位置は、上述した通りであるため、第２部材２２は、第１部材２１がその位置に配置されるように構成すればよい。なお、第１部材２１と第２部材２２との接続位置は、いずれであっても構わない。
【００４７】
第１の支持保持具２０は、４方向に向かって伸びる８つの第２部材２２にて流入室４内での位置を規制しているが、例えば、流入室４の形状が略三角形のような形状の場合、３方向に伸びる少なくとも３つの第２部材２２があれば、フィルタ８と平行方向での自己の位置を規制することができるので、第２部材２２の向く方向やその数も含め、その位置の規制方法はここに挙げたものに限らない。
【００４８】
第１の支持保持具２０の第２部材２２は、断面が略円形の線形の部材であり、その断面形状により被濾過流体の流れの障害とならないようにすることができる。第２部材２２は、被濾過流体の流れの障害にならないようなものがよく、線形の部材からなることが好ましく、更に好ましくは、その断面が略円形であることがよい。また、第２部材２２は略直線状であるが、第１の支持保持具２０が自己の位置を規制することができればどのような形状でもよく、例えば、途中で折れ曲がったような形状であったり、弧状であってもよい。さらに、第２部材２２はその端で流入室４内と接触しているが、第１の支持保持具２０が自己の位置を規制することができれば、流入室４内との第２部材２２の接触位置はいずれでもよい。例えば、第２部材２２が弧状である場合、その端以外で流入室４内と接触することもでき、第２部材２２の流入室４内との接触位置は、ここに示す限りではない。
【００４９】
ここで、第１部材２１側面に接続する８つの第２部材２２は、図３に示す通り、濾過器１に具備する前の状態において、第１部材２１側面の流入口２側に接続する４つの第２部材２２がフィルタ８と平行方向に伸びているのに対して、第１部材２１側面の流出口３側に接続する４つの第２部材２２は、フィルタ８と平行方向に伸びてはおらず、流出口３側に傾いている。一方、第１の支持保持具２０が濾過器１に具備された状態での第２部材２２は、図１に示す通り、全てフィルタ８と平行方向に向いている。つまり、第１の支持保持具２０は、線形の第２部材２２の第１部材２１との接続の向きにより、フィルタ８と垂直方向に、組み立て時には変形するが、力の加わらない状態ではもとに戻る、弾性機能が付与されている。この弾性機能は、濾過器１を組み立てたときに、フィルタ８に対してフィルタ８と垂直方向に力を加え、その反力により流入室４に対してもフィルタ８と垂直方向の力を加える。したがって、第１の支持保持具２０は、フィルタ８と流入室４に対してフィルタ８と垂直方向で、弾性機能による互いに逆向きに働く力を加えることにより、流入室４内における自己の位置を規制する保持機構を有することができる。なお、第１の支持保持具２０が有する弾性機能による力、つまり弾性力は、流入室４内において第１の支持保持具２０が自己の位置を規制できる程度の大きさであればよく、流入室４やフィルタ８、スクリーン９を変形させない程度の大きさであればよい。
【００５０】
図２、図３に示す第１の支持保持具２０の濾過器１への取り付け向きは、上述の通り、弾性機能による力の作用がフィルタ８と垂直方向で互いに逆向きに作用することから、濾過器１への取り付け向きを反転させ、図３中の流出口３側を流入口２側となるように、流入室４に具備してもよい。また、第１の支持保持具２０は、第１部材２１と、第１部材２１側面の流出口３側に接続する第２部材２２の構成により弾性機能を有するようにしているが、第１部材２１と、第１部材２１側面の流入口２側に接続する第２部材２２の構成により弾性機能を有するようにしてもよい。
【００５１】
図２、図３に示す第１の支持保持具２０は、第１部材２１と第２部材２２の構成により弾性機能を有するようにしているが、例えば、第２部材２２を途中で折れ曲がったような形状や弧状にして、第２部材２２自身が弾性機能を有するような形状にしてもよい。また、第１部材２１と第２部材２２に加えて、弾性機能により流入室４内における自己の位置を規制する保持機構となる第３部材を有してもよい。さらに、管状の第１部材２１が、フィルタ８と垂直方向の位置を規制することが可能であれば、第１部材２１に弾性機能を付与してもよく、弾性機能を付与する方法は、ここに示す限りではない。
【００５２】
上述の通り、第１の支持保持具２０は、第１部材２１と第２部材２２を有することで、第１部材２１により支持機構を有し、第１部材２１と第２部材２２との構成により、弾性機能による保持機構を有することが簡潔かつ容易にできる。
【００５３】
図４には、図１に示す濾過器１に具備され、本発明の一実施態様に係る第２の支持保持具２５の濾過器１の流出口３側からみた正面図を、図５には、その側面図を示す。なお、図４、図５に示す第２の支持保持具２５は、濾過器１に具備される前の状態である。
【００５４】
図４、図５に示す第２の支持保持具２５は、第１部材２６と第２部材２７を有し、１つの第１部材２６と、４つの第２部材２７より構成される。この第２の支持保持具２５の第１部材２６は管状であり、図１に示す通り、その両端部で、スクリーン９と流出室５内に接することにより、フィルタ８と垂直方向でのスクリーン９と、これに隣接するフィルタ８の位置を規制すると共に、スクリーン９およびフィルタ８を支持する支持機構となる。
【００５５】
第１部材２６がスクリーン９と接する位置は、スクリーン９およびフィルタ８の変形を抑制できるならば、いずれの位置でも構わないが、好ましくは応力が集中するスクリーン９およびフィルタ８の中央付近、さらに好ましくは、スクリーン９およびフィルタ８の中央から有効濾過領域の長径方向で、中央より長半径の１／３付近の位置が好ましい。
【００５６】
また、第１部材２６が流出室５内と接する位置は、フィルタ８と垂直方向に力が加わったときに、これに抗することが可能な場所であればよいが、流出口３付近での被濾過流体の流れの障害とならないように、流出口３とは接しないことが好ましい。
【００５７】
図１において、第１部材２６はスクリーン９と環状に接触しているが、スクリーン９およびフィルタ８の変形を抑制できるならば環状に接触しなくてもよく、複数の点で接触してもよい。一方、図１において、第１部材２６は流出室５内と４点で接触しているが、フィルタ８と垂直方向に力が加わったときにこれに抗することが可能であれば、特に問題はない。
【００５８】
第１部材２６は管状であり、この形状により、第１部材２６はフィルタ８と垂直方向の流れの障害とならないようにすることができる。図４、図５に示す第１部材２６は、断面が円形であるが、フィルタ８や流出口３、流出室５の形状などにより、楕円形や多角形などいずれの形状であってもよく、好ましくは上述したスクリーン９や流出室５内との接触を考慮するのがよい。
【００５９】
第１部材２６の内面の短径は、流出口３より流出する被濾過流体の流れの障害とならないような大きさであることがよく、流出口３の外接円の直径よりも大きいことが好ましい。また、管状である第１部材２６の厚みは、フィルタ８と垂直方向の流れの障害とならず、かつ、上述した支持機構としての役割を果たすことができる強度を保持できるものであれば、いずれでもよい。
【００６０】
また、第１部材２６は、側面に開口部を有することにより、フィルタ８と平行方向の流れの障害にならないようにすることができる。この第１部材２６は、開口部が側面端部まで開口しているため、流出室５内の、特に壁近傍の被濾過流体は流出口３に向かって流れやすい。この開口部の形や大きさは、フィルタ８と平行方向の流れの障害にならず、かつ、第１部材２６が上述した支持機構としての役割を果たすことができる強度を保持できるものであればいずれでもよく、この第２の支持保持具２５の第１部材２６のように、開口部が第１部材２６側面の端部まで拡がっていてもよいが、これに限ったものではない。
【００６１】
図４、図５に示す第２の支持保持具２５の第２部材２７は、線形で略直線状の部材からなり、管状である第１部材２６側面の端部付近で接続し、放射状に４方向に向かって伸びており、濾過器１に具備した際、その端が略円筒形状である流出室５内側面と接触する。この４方向に伸びた第２部材２７により、第２の支持保持具２５は、流出室５内での、フィルタ８と平行方向の自己の位置を規制することができる。流出室５内での第１部材２６の好ましい位置は、上述したとおりであるため、第２部材２７は、第１部材２６がその位置に配置されるように構成すればよい。なお、第１部材２６と第２部材２７との接続位置は、いずれであっても構わない。
【００６２】
第２の支持保持具２５は、４方向に向かって伸びる４つの第２部材２７にて流出室５内での位置を規制しているが、例えば、流出室５の形状が略三角形のような形状の場合、３方向に伸びる少なくとも３つの第２部材２７があれば、フィルタ８と平行方向での自己の位置を規制することができるので、第２部材２７の向く方向やその数も含め、その位置の規制方法はここに挙げたものに限らない。
【００６３】
第２の支持保持具２５の第２部材２７は、断面が略円形の線形の部材であり、その断面形状により被濾過流体の流れの障害とならないようにすることができる。第２部材２７は、被濾過流体の流れの障害にならないようなものがよく、線形の部材からなることが好ましく、更に好ましくは、その断面が略円形であることがよい。また、第２部材２７は略直線状であるが、第２の支持保持具２５が自己の位置を規制することができればどのような形状でもよく、例えば、途中で折れ曲がったような形状であったり、弧状であってもよい。さらに、第２部材２７はその端で流出室５内と接触しているが、第２の支持保持具２５が自己の位置を規制することができれば、流出室５内との第２部材２７の接触位置はいずれでもよい。例えば、第２部材２７が弧状である場合、その端以外で流出室５内と接触することもでき、第２部材２７の流出室５内との接触位置は、ここに示す限りではない。
【００６４】
ここで、第１部材２６側面に接続する４つの第２部材２７は、図５に示す通り、濾過器１に具備する前の状態において、フィルタ８と平行方向から流出口３側に傾き、その先端は第１部材２６の流出口３側の端面よりも上側まで延びている。一方、第２の支持保持具２５が図１の濾過器１に具備された状態での第２部材２７の先端は、第１部材２６が流出室５と接触する、第１部材２６の流出口３側の端面と同一面上にある。つまり、第２の支持保持具２５は、線形の第２部材２７の第１部材２６との接続の向きにより、フィルタ８と垂直方向に、組み立て時には変形するが、力の加わらない状態ではもとに戻る、弾性機能が付与されている。この弾性機能は、濾過器１を組み立てたときに、流出室５に対してフィルタ８と垂直方向に力を加え、その反力によりスクリーン９およびフィルタ８に対しても、フィルタ８と垂直方向の力を加える。したがって、第２の支持保持具２５は、スクリーン９およびフィルタ８と流出室５に対してフィルタ８と垂直方向で、弾性機能による互いに逆向きに働く力を加えることにより、流出室５内における第２の支持保持具２５自身の位置を規制する保持機構を有することができる。なお、第２の支持保持具２５が有する弾性機能による力、つまり弾性力は、流出室５内における第２の支持保持具２５自身の位置を規制できる程度の大きさであればよく、流出室５やフィルタ８、スクリーン９を変形させない程度の大きさであればよい。
【００６５】
図４、図５に示す第２の支持保持具２５の濾過器１への取り付け向きは、上述の通り、弾性機能による力の作用がフィルタ８と垂直方向で互いに逆向きに作用することから、濾過器１への取り付け向きを反転させ、図５中の流出口３側を流入口２側となるように、流出室５に具備してもよい。また、第２の支持保持具２５は、第１部材２６の流入口２側に第２部材２７を接続し、第２部材２７を流出口３側に傾けることで弾性機能を有するようにしているが、上述の通り、弾性機能による力の作用はフィルタ８と垂直方向で、互いに逆向きに作用することから、第２部材２７を流入口２側に傾けることで弾性機能を有するようにしてもよい。
【００６６】
図４、図５に示す第２の支持保持具２５は、第１部材２６と第２部材２７の構成により弾性機能を有するようにしているが、例えば、第２部材２７を途中で折れ曲がったような形状や弧状にして、第２部材２７自身が弾性機能を有するような形状にしてもよい。また、第１部材２６と第２部材２７に加えて、弾性機能により流出室５内における自己の位置を規制する保持機構となる第３部材を有してもよい。さらに、管状の第１部材２６が、フィルタ８と垂直方向の位置を規制することが可能であれば、第１部材２６に弾性機能を付与してもよく、弾性機能を付与する方法は、ここに示す限りではない。
【００６７】
上述の通り、第２の支持保持具２５は、第１部材２６と第２部材２７を有することで、第１部材２６により支持機構を有し、第１部材２６と第２部材２７との構成により、弾性機能による保持機構を有することが簡潔かつ容易にできる。
【００６８】
第１の支持保持具２０、および第２の支持保持具２５の材質は、被濾過流体に対する耐食性や、濾過器１組み立て時に、流入ハウジング６や流出ハウジング７、フィルタ８、スクリーン９が変形しないようなものを選定すればよく、例えば、ステンレスやチタン、アルミニウムなどの金属や、ポリエチレンやポリプロピレン、ナイロン、アクリルなどの樹脂などが挙げられるが、これに限ったものではない。
【００６９】
なお、図１の濾過器１に具備された第１の支持保持具２０、第２の支持保持具２５は、それぞれ大きさなどを変更することで、第１の支持保持具を第２の支持保持具として、第２の支持保持具を第１の支持保持具としても構わない。
【００７０】
本発明に係る濾過器は、上述の通り、フィルタや隣接するスクリーンの変形を防止できるため、被濾過流体を濾過するときに加わる該濾過器への圧力が、該濾過器の流入ハウジングや流出ハウジングの耐圧以下になるのであれば、濾過する被濾過流体の粘度は、特に規定されない。
【００７１】
次に、濾過器に具備される支持保持具の他の好ましい形態を示すが、支持保持具はこれに何ら限るものではない。
【００７２】
図６には、本発明の他の一実施態様に係る、他の濾過器３１の断面図を示す。また、図７は、図６に示す濾過器３１に具備され、本発明の一実施態様に係る他の好ましい形態の第１の支持保持具５０の濾過器３１の流出口３３側からみた正面図を、図８には、その側面図を示す。なお、図７、図８に示す第１の支持保持具５０は、濾過器３１に具備される前の状態である。
【００７３】
図７、図８に示す第１の支持保持具５０は、第１部材５１と第２部材５２を有し、１つの第１部材５１と、８つの第２部材５２より構成される。ここで、第１部材５１の側面に接続する８つの第２部材５２は、図７に示す通り、濾過器３１に具備する前の状態において、第１部材５１側面の流入口３２側の４つの第２部材５２がフィルタ３８と平行方向に伸びているのに対して、第１部材５１側面の流出口３３側に接続する４つの第２部材５２は、第１部材５１側面に接続する付近ではフィルタ３８と平行方向に伸びているが、途中で曲がって、流入口３２側に傾いている。この曲がった４つの第２部材５２の先端の外接円は、略円筒形状である流入室３４内側面の内接円よりも大きい。しかし、図６に示す通り、第１の支持保持具５０を濾過器３１に具備したときは、曲がった４つの第２部材５２は略円筒形状である流入室３４内側面に接する。つまり、第１の支持保持具５０は、線形の第２部材５２の形状により、フィルタ３８と平行方向に、組み立て時には変形するが、力の加わらない状態ではもとに戻る、弾性機能が付与されている。この弾性機能は、濾過器３１を組み立てたときに、流入室３４に対して、放射状の４方向でフィルタ３８と平行方向に力を加える。したがって、第１の支持保持具５０は、流入室３４に対してフィルタ３８と平行方向で、弾性機能による互いに逆向きに働く力を加えることにより、流入室３４内における自己の位置を規制する保持機構を有することができる。なお、第１の支持保持具５０が有する弾性機能における力、つまり弾性力は、流入室３４内において第１の支持保持具５０が自己の位置を規制できればよく、流入室３４を変形させない強さであればよい。
【００７４】
第１の支持保持具５０の濾過器３１への取り付け向きは、上述の通り、弾性機能による力の作用がフィルタ３８と平行方向で、互いに逆向きに作用することから、濾過器３１への取り付け向きを反転させ、図８中の流出口３３側を流入口３２側となるように、流入室３４に具備してもよい。また、第１の支持保持具５０は、第１部材５１と、第１部材５１側面の流出口３３側に接続する第２部材５２の形状により弾性機能を有するようにしているが、第１部材５１と、第１部材５１側面の流入口３２側に接続する第２部材５２の形状により弾性機能を有するようにしてもよい。
【００７５】
図７、図８に示す第１の支持保持具５０は、第２部材５２を途中で折れ曲がったような形状にすることにより弾性機能を有するようにしているが、例えば、第２部材５２の形状を弧状にしてもよく、これに限らない。また、第１の支持保持具５０は、第１部材５１と第２部材５２の構成により、フィルタ３８と平行方向に弾性機能を有するようにしてもよい。さらに、第１部材５１と第２部材５２に加えて、弾性機能により流入室３４内における自己の位置を規制する保持機構となる第３部材を有してもよく、弾性機能を付与する方法は、ここに示す限りではない。
【００７６】
次に、本発明に係る濾過器を備えた塗布装置について、図面を参照して説明する。以下に示す塗布装置は、たとえば、プラズマディスプレイパネル用部材における蛍光体塗布工程に特に好ましく適用することができるものである。すなわち、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３種類のいずれかの色に発光する蛍光体粉末を含む蛍光体ペーストをプラズマディスプレイパネル用の凹凸基板に塗布する際に好適に用いることができる。
【００７７】
図９に示す塗布装置６０は、本発明に係る濾過器１と、蛍光体ペーストなどの塗液を貯蔵する塗液容器６２と、基板６３を固定するテーブル６４と、基板６３に塗液６１を塗布する口金６５と、テーブル６４と口金６５とを３次元的に相対移動させる移動手段（図示しない）とを備える。
【００７８】
塗布する基板がプラズマディスプレイの背面板の場合、口金は、基板上に形成された所望の全ての溝に対して１回、または複数回の塗布動作で塗布を完了するために、吐出孔が略一直線状に配列して設けられていることが好ましい。プラズマディスプレイの背面板の場合、Ｒ、Ｇ、Ｂいずれか１色の蛍光体粉末を含んだ塗液を塗布することが好ましく、その場合、口金には塗布回数と、塗布する溝に対応した数、ピッチで吐出孔が設けられる。
【００７９】
口金６５は内部に塗液６１を溜めるマニホールド部６７を有し、塗液６１を供給するための配管６８が接続され、この配管６８の反対側先には、本発明に係る濾過器１、および塗液の供給をコントロールする開閉バルブ６９を介して塗液容器６２が接続される。また、口金６５には、吐出孔６６から塗液６１を吐出させるための加圧気体を供給する配管７０が接続され、この配管７０の反対側先は加圧気体の切換バルブ７１を介して、一方は所望圧力の加圧気体源７３に接続され、他の一方は大気に開放されている。
【００８０】
塗液容器６２には、口金６５に塗液６１を供給するための加圧気体を供給する配管７０が接続され、この配管７０の反対側先は加圧気体の切換バルブ７２を介して、一方は所望圧力の加圧気体源７３に接続され、他の一方は大気に開放されている。
【００８１】
図９に示す塗布装置６０において、口金６５への塗液供給は、切換バルブ７１を大気開放にした状態で切換バルブ７２を加圧気体源７３に接続して塗液容器６２内を加圧し、開閉バルブ６９を開くことにより行われる。
【００８２】
塗液容器６２より流れ出た塗液は、配管６８を通じて濾過器１内に流入し、捕捉したい異物の粒径に応じて選定されたフィルタ８により、異物が除去される。このとき、本発明に係る濾過器１内に流入した塗液は、第１の支持保持具２０により流れを阻害されることなくフィルタ８に向かうことができる。そして、フィルタ８を通過する際に、フィルタ８およびスクリーン９には多大な圧力が加わるが、第２の支持保持具２５により、フィルタ８やスクリーン９は変形することがない。濾過後の塗液は、第２の支持保持具２５により流れが阻害されることもなく、円滑に濾過器１より流出する。また、この間、第１の支持保持具２０、および第２の支持保持具２５は、塗液の流れにより動くことはない。そして、濾過器１を流出した塗液は、口金６５内に、口金６５のマニホールド部６７上部に空間を残す形で所定量が貯えられる。
【００８３】
塗布装置６０において、塗液６１の塗布は、塗液容器６２から口金６５のマニホールド部６７内に塗液６１を所定の量に達するまで供給した後に、口金６５の下方で基板６３を積載したテーブル６４を所定の方向に移動、または基板６３の上方で、口金６５を所定の方向に移動させて、その間に、口金６５から塗液６１を吐出し、基板６３上に塗液６１を塗布する。
【００８４】
塗液６１の吐出および停止は、開閉バルブ６９を閉じた状態で切換バルブ７１を加圧気体源７３に切り換えて、マニホールド部６７上部の空間に加圧気体を供給することにより行われる。このとき、口金６５と接続した濾過器１には、塗液供給の方向とは反対の向きで、フィルタ８、およびスクリーン９に多大な圧力がかかる。しかし、本発明に係る濾過器１は第１の支持保持具２０を具備するため、フィルタ８およびスクリーン９が変形することはない。
【００８５】
なお通常、ＰＤＰ蛍光体塗布工程に用いられる蛍光体ペーストは、数千〜十数万ｍＰａ・ｓと、非常に高粘度であるが、そのような高粘度の塗液を使用しても問題はない。
【００８６】
以上のように、本発明に係る濾過器、およびこれを備えた塗布装置は、濾過器の持つ濾過性能を維持したままで、フィルタやそれに隣接するスクリーンの変形を防止し、新たなパーティクルを発生せず、また、塗液内への空気の混入や、塗液の凝集などの塗液の不良も発生させない。
【実施例】
【００８７】
次に、本発明の実施の形態に従って、プラズマディスプレイ背面板に塗液を塗布した場合の実施例を示す。
【００８８】
実施例１
被塗布材は、サイズ９９０×６００ｍｍ、アライメント間隔９７０×５８０ｍｍ、被塗布材面には高さ０．１２ｍｍで頂部の幅０．０５ｍｍのリブが、ピッチ０．３ｍｍ（溝幅０．２５ｍｍ）で３０９７本形成されたものを用いた。また、塗液は粘度５０Ｐａ・ｓの赤色の蛍光体粉末を含む蛍光体ペーストを使用した。
【００８９】
本発明の塗布装置として、図９に示す塗布装置６０、口金６５（ステンレス製のもの）を用いた。
【００９０】
濾過器１は、図１に示す形状を有するものを用いた。流入室４は略円筒形状であって、内径１２２ｍｍ、高さ１３ｍｍであり、流出室５は略円筒形状であって、内径１２２ｍｍ、高さ８．５ｍｍであった。なお、流入室４および流出室５の内面は平滑であり、略円筒形状の端部は滑らかに湾曲している。流入口２および流出口３は、内径１５ｍｍである。また、流入ハウジング６および流出ハウジング７の材料は、ＳＵＳ３０４である。これに挟み込まれるフィルタ８は、材料がＳＵＳ３１６の焼結金属で、直径１４１、濾過精度０．０４ｍｍである。また、フィルタ８に隣接するスクリーン９は、孔径０．５ｍｍの孔が多数開口しており、その材料はＳＵＳ３０４であった。さらに、Ｏリング１０は、ＪＩＳ  Ｂ２４０１（２００５年度）の呼び番号Ｐ１３２で、材料はシリコンである。
【００９１】
濾過器１の流入室４に具備する第１の支持保持具２０は、第１部材２１、第２部材２２共に直径２ｍｍのＳＵＳ３０４の線材より構成されている。
【００９２】
第１の支持保持具２０の第１部材２１は、円管形状で、上記線材にて構成される直径４４ｍｍの２つの円を、高さ１２．５ｍｍとなるようにつないでその形状を成している。第１部材２１側面の両端には、第２部材２２として、長さ３９ｍｍの線材が４本ずつ、放射状の４方向に接続している。このうち、第１部材２１側面の流入口２側に接続する４本の第２部材２２は、第１部材２１端面と平行に接続している。もう一方の、第１部材２１側面の流出口３側に接続する４本の第２部材２２は、第１部材２１端面と平行ではなく流出口３側に傾いて第１部材２１と接続していて、第１部材２１端面の平行方向と、角度にして流出口３側に４度傾いている。
【００９３】
濾過器１の流出室５に具備する第２の支持保持具２５は、第１部材２６が、直径４４ｍｍで厚さ３ｍｍ、高さ６ｍｍの円管形状で、第２部材２７は、直径３ｍｍの線材からなり、共に材質はＳＵＳ３０４である。
【００９４】
第２の支持保持具２５の第１部材２６側面には、放射状の４方向に開口部を有し、該開口部は第１部材２６側面の流出口３側の端部にまで及んでいる。また、第１部材２６側面の流入口２側には、放射状の４方向に、長さ４０ｍｍの第２部材２７を接続している。第２部材２７は、第１部材２６端面と平行ではなく、流出口３側に傾いて第１部材２６と接続していて、第１部材２６端面の平行方向と、角度にして流出口３側に１５度傾いている。
【００９５】
上記の、第１の支持保持具２０、第２の支持保持具２５を具備した濾過器１を、図９に示す塗布装置６０に適用した。
【００９６】
塗液の塗布はまず、口金６５に塗液を供給する。塗液の供給は、０．３５ＭＰａの圧力をかけた塗液容器６２から送り出されて、開いた開閉バルブ６９を通過し、濾過器１で異物を除去した塗液が、口金６５のマニホールド部６７内に吐出孔６６からの液面高さが２５ｍｍになるまで行う。それから、開閉バルブ６９を閉じ、口金６５内に０．７ＭＰａの圧力を付与することで、口金６５から塗液６１を吐出して、基板６３に塗布した。これを１０００回繰り返したが、塗液の供給時間は一定に保たれ、また、塗布後の基板６３に異物が混入することもなく塗布できた。
【００９７】
この蛍光体ペーストを塗布した基板６３を乾燥すると、隔壁により形成された凹部に蛍光体層が形成され、プラズマディスプレイ背面板が完成した。
【００９８】
また、ここに使用した濾過器１を分解して観察したところ、フィルタ８やスクリーン９に変形は見られず、また、流入室４内や流出室５内、フィルタ８、スクリーン９と、第１の支持保持具２０、第２の支持保持具２５との摩擦による摩耗の跡もなく、新たなパーティクルが発生していないことを確認した。
比較例１
第１、第２の支持保持具を具備していない図１の濾過器１を図９に示す塗布装置６０に適用し、上記と同様に塗布を実施した。
【００９９】
その結果、吐出孔６６に異物がつまり、基板６３に塗液６１が塗布されていない不良が発生した。
【０１００】
濾過器１を分解して観察したところ、フィルタ８やスクリーン９が、流入室４側に最大１０ｍｍ程度、膨らむように変形し、流入ハウジング６と流出ハウジング７に挟み込まれた付近のスクリーン９が破断している箇所があった。
比較例２
図１に示す濾過器１で、図１０、図１１に示す、従来の濾過器に具備されていた支持枠８０を流入室４に具備したものを、図９に示す塗布装置６０に適用し、上記と同様に塗布を実施した。図１０は、支持枠８０を濾過器１の流出口３側から見た図であり、図１１は支持枠８０を側面からみた図である。なお、支持枠８０は、円管形状であり、側面に開口部があり、図１に示す濾過器１に具備した際、流入室４とフィルタ８とに接する。
【０１０１】
その結果、塗布した基板６３に、異物の混入や、塗液６１が塗布されていない箇所があるなどの不良が発生した。
【０１０２】
濾過器１を分解して観察したところ、フィルタ８やスクリーン９が、流出室５側に最大３ｍｍ程度膨らむように変形していた。また、流入室４内に、支持枠８０との接触部付近で擦れたような跡があることから、パーティクルが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【０１０３】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの塗布装置に限らず、液晶ディスプレイ用カラーフィルターの塗布装置などにも応用することができ、その応用範囲がこれらに限られるものではない。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の一実施態様に係る濾過器の断面図である。
【図２】図１に示す濾過器に具備され、本発明の一実施態様に係る第１の支持保持具の濾過器の流出口側からみた正面図である。
【図３】図１に示す濾過器に具備される、本発明の一実施態様に係る第１の支持保持具の側面図である。
【図４】図１に示す濾過器に具備され、本発明の一実施態様に係る第２の支持保持具の濾過器の流出口側からみた正面図である。
【図５】図１に示す濾過器に具備される、本発明の一実施態様に係る第２の支持保持具の側面図である。
【図６】本発明の他の一実施態様に係る他の濾過器の断面図である。
【図７】本発明の一実施態様に係る他の好ましい形態の第１の支持保持具の濾過器の流出口側からみた正面図である。
【図８】本発明の一実施態様に係る他の好ましい形態の第１の支持保持具の側面図である。
【図９】本発明の濾過器を備えた塗布装置の概略構成図である。
【図１０】従来の濾過器が具備する支持枠の、流入口側からみた図である。
【図１１】従来の濾過器が具備する支持枠の、側面からみた図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１    濾過器
２    流入口
３    流出口
４    流入室
５    流出室
６    流入ハウジング
７    流出ハウジング
８    フィルタ
９    スクリーン
１０    Ｏリング
２０    第１の支持保持具
２１    第１部材
２２    第２部材
２５    第２の支持保持具
２６    第１部材
２７    第２部材
３１    濾過器
３２    流入口
３３    流出口
３４    流入室
３５    流出室
３６    流入ハウジング
３７    流出ハウジング
３８    フィルタ
３９    スクリーン
４０    Ｏリング
５０    第１の支持保持具
５１    第１部材
５２    第２部材
６０    塗布装置
６１    塗液
６２    塗液容器
６３    基板
６４    テーブル
６５    口金
６６    吐出孔
６７    マニホールド部
６８    配管
６９    開閉バルブ
７０    配管
７１    切換バルブ
７２    切換バルブ
７３    加圧気体源
８０    支持枠
【図１】
0004962374.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0004962374.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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