(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
望ましいウエハ位置に対するウエハの未知のオフセット量を決定するための方法であって、
エンドエフェクタを使用して第１の位置からウエハを取り出す取出動作と、
前記取り出されたウエハが、前記第１の位置から１組のセンサを通過するように搬送されて、センサデータを生成するように、前記エンドエフェクタを動かす移動動作と、
未知のオフセットの近似値を決定するために、最適化プログラムを使用してセンサデータを処理する処理動作とを備え、
ウエハに未知のオフセットが存在する場合は、前記取り出しの動作の結果、前記取り出されたウエハが、前記エンドエフェクタ上におけるその望ましい位置からずれて配置され、前記望ましいウエハ位置は、ウエハ処理モジュール内の位置であって、ターゲット座標によって特定され、
前記処理動作は、
前記移動中のウエハが前記センサのうち特定の１センサに前記センサデータを生成させる前記各センサの各実効位置を、前記望ましいウエハ位置に中心を有する座標系の前記中心から前記各センサの各実効位置に至るベクトルの形で表現し、
前記処理動作は各ベクトルの先端と対応するウエハエッジとの距離の二乗の和に従って、前記未知のオフセットの近似値を決定し、
前記方法はさらに、
前記決定された未知のオフセット近似値に従って、変更後のターゲット座標を定義するために前記ターゲット座標を変更する変更動作と、
前記未知のオフセットを補正するために、前記エンドエフェクタが、前記ウエハ処理モジュール内における前記変更後のターゲット座標に前記取り出されたウエハを配置するようにする動作とを備える、
方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法であって、さらに、
エンドエフェクタの動きを制御するロボットを用意することを含む前記移動動作と、
前記取り出されたウエハによって、前記センサの１つが前記センサデータの１項目を生成するたびに、前記センサデータが、前記エンドエフェクタの位置を示す一連の個々の信号として生成されるように位置し、前記第１の位置に隣接する前記１組のセンサを用意する動作と
を備える方法。
【請求項３】
請求項１記載の方法であって、前記表現は１組の前記ベクトルをもたらし、
前記ウエハは半径「Ｒ」を有し、
前記座標系はＸ軸およびＹ軸を有し、
前記１組のベクトルを「ｒpi」とし、ｉは１〜４であり、前記各ベクトル「ｒpi」は第１の成分「ｒpix」および第２の成分「ｒpiy」を有し、
前記未知のオフセットを、前記座標系内で「ｅx」および「ｅy」で識別される成分を有する「ｅ」として定義し、各ベクトルの先端と隣接するウエハエッジとを一致させるために、前記座標系の前記中心を前記ウエハが設置された際の前記ウエハの中心に向けて延伸し、前記一致は、各ベクトルの先端と前記隣接するウエハエッジとの距離の二乗の和の関数を最小にする前記成分「ｅx」および「ｅy」の値を決定することによって示され、最小化するべき前記関数は、次式：
【数１】
0004880115.tif 000015
によって与えられる動作と
を備える方法。
【請求項４】
請求項３記載の方法であって、
前記処理動作はさらに、各ベクトル「ｒpi」に対応する１対の前記第１および第２のそれぞれの成分「ｒpix」および「ｒpiy」を使用して、前記式を解くことによって実行され、
前記方法はさらに、複数の値「ｅx」および「ｅy」を代入することにより、最小値の「Ｆ」が得られるまで繰り返し「Ｆ」について解く動作
を備える方法。
【請求項５】
請求項４記載の方法であって、
前記望ましいウエハ位置は、ウエハ処理モジュール内の位置であり、変更後のターゲット座標によって識別され、さらに、
前記「Ｆ」の最小値に対応する前記値「ｅx」および「ｅy」を使用して、前記オフセット「ｅ」の近似値を識別する動作と、
前記決定された未知のオフセット「ｅ」の近似値に従って、変更後のターゲット座標を定義するために前記ターゲット座標を変更する動作と
を備える方法。
【請求項６】
請求項５記載の方法であって、さらに、
前記未知のオフセット「ｅ」を補正するために、前記エンドエフェクタが、前記変更後のターゲット座標の前記ウエハ処理モジュール内に、前記取り出されたウエハを配置するように仕向ける動作
を備える方法。
【請求項７】
ウエハハンドリングシステム内において、望ましいウエハ位置に対するウエハの未知のオフセット量を決定するための方法であって、
エンドエフェクタを有したロボットを使用して、前記ウエハをサポートし、前記ウエハハンドリングシステムの特定のファセットに隣接する１組のセンサを通過するように前記ウエハを移動させて、センサデータを生成する動作と、
前記特定のファセットに対する各センサの実効位置を示す、校正後のセンサ位置データを用意する動作と、
前記未知のオフセットの近似値を決定するために、最適化プログラムを使用して前記センサデータおよび前記センサ位置データを処理する処理動作であって、前記ロボットの軸に中心を有した第１の座標系における各センサ位置ベクトルを決定し、前記第１の座標系における各センサ位置ベクトルを用いて前記ウエハの前記望ましいウエハ位置に中心を有した第２の座標系の前記中心を起点とする各校正後のセンサ位置ベクトルを決定し、前記第２の座標系では、各ウエハエッジ位置に至る前記各校正後のセンサ位置ベクトルの１つが、センサデータの１項目が生成された時点における前記ロボット位置に対応し、前記決定では、前記校正後のセンサ位置データおよび前記センサデータが使用される処理動作とを備え、
前記処理動作は各ベクトルの先端と前記対応するウエハエッジとの距離の二乗の和に従って、前記未知のオフセットの近似値を決定する、
方法。
【請求項８】
請求項７記載の方法であって、
前記センサ位置ベクトルは「ｒpi」で識別され、「ｉ」は、センサデータの４つの項目に対応する値１、２、３、４を有し、前記対応する４つのベクトル「ｒpi」は、前記第２の座標系において「Ｘ」軸および「Ｙ」軸成分を有し、さらに、
前記センサ位置ベクトルに前記４つのウエハエッジ位置を最も良く適合させる前記ウエハの最良適合位置を決定する、前記最適化プログラムを処理し、前記最良適合位置は、次式：
【数２】
0004880115.tif 000016
の解を最適化することによって得られ、
前記処理は、１、２、３、４に相当する各「ｉ」の値に対して前記式を解き、
「Ｒ」は前記ウエハの半径であり、前記第２の座標系において、前記「ｒpix」は「ｒpi」の「Ｘ」軸成分であり、前記「ｒpiy」は「ｒpi」の「Ｙ」軸成分であり、「ｅx」は、前記未知のオフセットの近似において選択された「Ｘ」軸成分であり、「ｅy」は、前記未知のオフセットの近似において選択された「Ｙ」成分であり、前記最適化は、二次元のシンプレックスアルゴリズムを使用して実行されること
を備える方法。
【請求項９】
請求項７記載の方法であって、さらに、
各ベクトルの先端と前記対応するウエハエッジとの距離の二乗の和に従って、前記未知のオフセットの近似値を決定する動作
を備える方法。
【請求項１０】
請求項７記載の方法であって、
未知のオフセットが存在する場合は、前記エンドエフェクタ上にサポートされた前記ウエハが、前記取り出されたウエハの前記エンドエフェクタ上における望ましい位置からずれて配置され、前記ロボットは、前記ロボットが前記処理モジュール内の前記望ましいウエハ位置に前記ウエハを配置する際の通常の移動先である、名目上のターゲット位置を有し、前記名目上のターゲット位置は、名目上のターゲット座標を有し、前記方法はさらに、
前記決定された未知のオフセット近似値に従って、前記ロボットに対する前記名目上のターゲット座標を調整後のターゲット座標に変更する動作と、
前記ロボットが、前記サポートされたウエハを、前記ウエハハンドリングシステム内で前記調整後のターゲット座標によって決定される位置に配置するように仕向けることにより、前記ウエハを、ほぼ前記望ましいウエハ位置に配置する動作
を備える方法。
【請求項１１】
望ましいウエハ位置に対するウエハの未知のオフセット量を決定するためのコンピュータであって、
前記ウエハが、エンドエフェクタによって第１の位置から取り出されるように仕向ける第１の動作と、
前記エンドエフェクタが、前記取り出されたウエハを、前記第１の位置から１組のセンサを通過するように移動および搬送して、センサデータを生成するように仕向ける第２の動作と、
前記未知のオフセットの近似値を決定するために、最適化プログラムを使用して前記センサデータを処理する動作とを実行し、
ウエハに未知のオフセットが存在する場合、前記第１の動作は、前記取り出されたウエハが前記エンドエフェクタ上におけるその望ましい位置からずれて配置される結果を生じ、前記望ましいウエハ位置は、ウエハ処理モジュール内の位置であって、変更後のターゲット座標によって特定され、前記コンピュータはさらに、
前記決定された未知のオフセット近似値に従って、変更後のターゲット座標を定義するために前記ターゲット座標を変更する動作と、
前記未知のオフセットを補正するために、前記エンドエフェクタが、前記ウエハ処理モジュール内における前記変更後のターゲット座標に前記取り出されたウエハを配置するように仕向ける第３の動作と
を実行するようにプログラムされ
前記処理動作は、前記移動中のウエハが前記センサのうち特定の１センサに前記センサデータを生成させる前記各センサの各実効位置を、前記望ましいウエハ位置に中心を有する座標系の前記中心から前記各センサの各実効位置に至るベクトルの形で表現する、
コンピュータ。
【請求項１２】
請求項１１記載のコンピュータであって、前記表現は１組の前記ベクトルをもたらし、
前記ウエハは半径「Ｒ」を有し、
前記座標系はＸ軸およびＹ軸を有し、
前記１組のベクトルは「ｒpi」として識別され、ｉは１〜４であり、前記各ベクトル「ｒpi」は第１の成分「ｒpix」および第２の成分「ｒpiy」を有し、
前記未知のオフセットを、前記座標系内で「ｅx」および「ｅy」で識別される成分を有する「ｅ」として定義し、各ベクトルの先端と隣接するウエハエッジとを一致させるために、前記座標系の前記中心を前記ウエハが設置された際の前記ウエハの中心に向けて延伸し、前記一致は、各ベクトルの先端と前記隣接するウエハエッジとの距離の二乗の和の関数を最小にする前記成分「ｅx」および「ｅy」の値を決定することによって示され、最小化するべき前記関数は、次式：
【数３】
0004880115.tif 000017
によって与えられる動作と
を実行するようにプログラムされているコンピュータ。
【請求項１３】
請求項１２記載のコンピュータであって、
前記処理動作はさらに、各ベクトル「ｒpi」に対応する１対の前記第１および第２のそれぞれの成分「ｒpix」および「ｒpiy」を使用し、前記式を解くことによって実行され、
前記コンピュータはさらに、複数の値「ｅx」および「ｅy」を代入することにより、最小値の「Ｆ」が得られるまで繰り返し「Ｆ」について解く動作
を実行するようにプログラムされているコンピュータ。
【請求項１４】
請求項１３記載のコンピュータであって、
前記望ましいウエハ位置は、ウエハ処理モジュール内の位置であり、変更後のターゲット座標によって識別され、
前記「Ｆ」の最小値に対応する前記値「ｅx」および「ｅy」を使用して、前記オフセット「ｅ」の近似値を識別する動作と、
前記決定された未知のオフセット「ｅ」の近似値に従って、変更後のターゲット座標を定義するために前記ターゲット座標を変更する動作と
を実行するようにプログラムされているコンピュータ。
【請求項１５】
請求項１４記載のコンピュータであって、
前記未知のオフセット「ｅ」を補正するために、前記エンドエフェクタが、前記変更後のターゲット座標の前記ウエハ処理モジュール内に、前記取り出されたウエハを配置するように仕向ける動作
を実行するようにプログラムされているコンピュータ。
【請求項１６】
ウエハハンドリングシステム内において、望ましいウエハ位置に対するウエハの未知のオフセット量を決定するためのコンピュータであって、
エンドエフェクタを有したロボットを使用して、前記ウエハをサポートし、前記ウエハハンドリングシステムの特定のファセットに隣接する１組のセンサを通過するように前記ウエハを移動させて、センサデータを生成する動作と、
前記特定のファセットに対する各センサの前記実効位置を示す、校正後のセンサ位置データを用意する動作と、
前記未知のオフセットの近似値を決定するために、最適化プログラムを使用して前記センサデータおよび前記センサ位置データを処理する処理動作とを実行するようにプログラムされており、
前記処理動作は、前記ロボットの軸に中心を有した第１の座標系における各センサ位置ベクトルを決定し、前記第１の座標系における各センサ位置ベクトルを用いて前記ウエハの前記望ましいウエハ位置に中心を有した第２の座標系の前記中心を起点とする各校正後のセンサ位置ベクトルを決定し、前記第２の座標系では、各ウエハエッジ位置に至る前記各校正後のセンサ位置ベクトルの１つが、センサデータの１項目が生成された時点における前記ロボット位置に対応し、前記決定では、前記校正後のセンサ位置データおよび前記センサデータが使用され、
前記校正後のセンサ位置ベクトルは「ｒpi」で識別され、「ｉ」は、センサデータの４つの項目に対応する値１、２、３、４を有し、前記対応する４つのベクトル「ｒpi」は、前記第２の座標系において「Ｘ」軸および「Ｙ」軸成分を有し、前記最適化プログラムの処理は、前記センサ位置ベクトルに前記４つのウエハエッジ位置を最も良く適合させる前記ウエハの最良適合位置を決定し、
前記処理動作は、各最良適合位置と前記対応するウエハエッジとの距離の二乗の和に従って、前記未知のオフセットの近似値を決定する
コンピュータ。
【請求項１７】
請求項１６記載のコンピュータであって、
前記最良適合位置は、次式：
【数４】
0004880115.tif 000018
の解を最適化することによって得られ、前記処理は、１、２、３、４に相当する各「ｉ」の値に対して前記式を解き、
「Ｒ」は前記ウエハの半径であり、前記第２の座標系において、前記「ｒpix」は「ｒpi」の「Ｘ」軸成分であり、前記「ｒpiy」は「ｒpi」の「Ｙ」軸成分であり、「ｅx」は、前記未知のオフセットの近似において選択された「Ｘ」軸成分であり、「ｅy」は、前記未知のオフセットの近似において選択された「Ｙ」成分であり、前記最適化は、二次元のシンプレックスアルゴリズムを使用して実行されるコンピュータ。
【請求項１８】
請求項１６記載のコンピュータであって、
未知のオフセットが存在する場合は、前記エンドエフェクタ上にサポートされた前記ウエハが、前記取り出されたウエハの前記エンドエフェクタ上における望ましい位置からずれて配置され、前記ロボットは、前記ロボットが前記処理モジュール内の前記望ましいウエハ位置に前記ウエハを配置する際の通常の移動先である、名目上のターゲット位置を有し、前記名目上のターゲット位置は、名目上のターゲット座標を有し、
前記決定された未知のオフセット近似値に従って、前記ロボットに対する前記名目上のターゲット座標を調整後のターゲット座標に変更する動作と、
前記ロボットが、前記サポートされたウエハを、前記ウエハハンドリングシステム内で前記調整後のターゲット座標によって決定される位置に配置するように仕向けることにより、前記ウエハを、ほぼ前記望ましいウエハ位置に配置する動作と
を実行するようにプログラムされた、コンピュータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に、半導体プロセッサ装置のモジュール間でウエハを移動させることに関し、特に、ウエハを運ぶサポートブレードによって個々のウエハをダイナミックアライメントすることに関する。ここで、ダイナミックアライメントの装置および方法は、モジュールにおける、ウエハの望ましい位置に関するウエハのオフセット近似値の決定を、最適化プログラムのステートメントとして定義するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造では、処理チャンバを相互に接続させて、接続されたチャンバ間でウエハまたは基板を移送等できるようにする。このような移送は、例えば、接続されたチャンバの隣接した側壁に提供されたスロットまたはポートを通してウエハを移送する、搬送モジュールによって行われる。搬送モジュールは、一般に、半導体エッチングシステム、材料堆積システム、フラットパネルディスプレイエッチングシステムを含む、種々のウエハ処理モジュールとの連携のもとで使用される。清浄度および高処理精度への要求が増すにつれて、処理工程中および処理工程間における人的介入を減らす必要が増してきている。この必要は、中間的なウエハ処理装置として作動する真空搬送モジュール（通常は例えば真空状態などの減圧状態で維持される）の実装によって、部分的に解決されてきた。真空搬送モジュールは、例えば、ウエハが保管される１つまたはそれ以上のクリーンルーム保管設備と、ウエハが実際に処理される、すなわち例えばエッチングされたり堆積を施されたりする複数のウエハ処理モジュールとの間に、物理的に設置することができる。このように、ウエハの処理が必要な場合には、搬送モジュール内に設置されたロボットアームを利用し、選択されたウエハを保管設備から取り出して、それを複数の処理モジュールの１つに配置することができる。
【０００３】
当業者には周知のように、複数の保管設備および処理モジュールの間でウエハを「移送する」搬送モジュールの配置は、「クラスタツール構造」システムと称されることが多い。図１は、半導体工程における代表的なクラスタ構造１００を示した図であり、真空搬送モジュール１０６に接続された様々なチャンバが描かれている。真空搬送モジュール１０６は、様々な組立て工程の実行のために個々に最適化された、３つの処理モジュール１０８ａ〜１０８ｃに結合された状態で示されている。例えば、処理モジュール１０８ａ〜１０８ｃは、変圧器結合プラズマ（ＴＣＰ）基板エッチング、層の堆積、および／またはスパッタリングを実行するために実装されても良い。
【０００４】
真空搬送モジュール１０６には、ウエハを真空搬送モジュール１０６に導入するために実装されたロードロック１０４が接続されている。ロードロック１０４は、ウエハが保管されるクリーンルーム１０２に結合されていて良い。ロードロック１０４は、取り出しおよび供給の機構である以外に、真空搬送モジュール１０６とクリーンルーム１０２の間における可変圧インタフェースとしても機能する。従って、クリーンルーム１０２を大気圧に保持する一方で、真空搬送モジュール１０６を定圧（例えば真空）に維持することができる。
【０００５】
清浄度および高処理精度への要求が増すに伴い、ロボットを使用したウエハの移送によって、処理工程中および処理工程間における人的介入が低減された。このような移送は、例えば、クリーンルーム１０２からロードロック１０４でも、ロードロック１０４から真空搬送モジュール１０６でも、真空搬送モジュール１０６から処理モジュール１０８ａでも良い。このようなロボットの使用によって、個々のウエハへの人的接触が大幅に低減されたが、一方では、ロボットを使用してウエハを移送するにあたって問題が生じた。例えばクリーンルームでは、カセットからウエハを抜き取って、それをロードロック１０４に提供されたフィンガ上に配置するために、ロボットのブレードが使用される。しかしながら、ウエハの中心は、フィンガに対して正確に配置されていない可能性がある。その結果、真空搬送モジュール１０６のロボットのブレードでロードロック１０４のフィンガからウエハを抜き取る際に、ウエハの中心がブレードの中心に対して適切に設置または位置決めされない可能性がある。ウエハ中心対ブレード中心のこの不適切なアライメントは、「ウエハ−ブレードのミスアライメント」とも、または単に「ウエハのミスアライメント」とも呼ばれ、ロボットが「拡張」動作を実行するのに伴って発生するものである。この「拡張」動作では、例えば、ブレード（およびブレードによって運ばれるウエハ）が処理モジュールのスロットを通って移動することにより、処理モジュール１０８ａのピン上にウエハが配置される。
【０００６】
ウエハが代表的な処理モジュール１０８ａに最初に配置された際に、ウエハ対ブレードが適切に位置決めされていた場合でも、そしてウエハが、代表的な処理モジュール１０８ａにおける処理中に適切に位置決めされていた場合でも、適切なアライメントが妨げられる可能性はある。例えば、代表的な処理モジュール１０８ａで一般に使用される静電チャックは、処理の完了後でも完全に放電されなかった残留静電場を有し得る。この状況では、処理されたウエハが、チャックから突然取り外される可能性がある。その結果、処理されたウエハをチャックから抜き取るロボットブレードに対し、ウエハが不適切に位置付けられる。従って、真空搬送モジュール１０６のロボットのブレードでチャックから処理後のウエハを抜き取る際に、ウエハの中心がブレードの中心に対して適切に設置されない、すなわち適切に位置決めされない可能性がある。このウエハのミスアライメントは、ロボットが、ブレード（およびブレードによって運ばれるウエハ）を処理モジュール１０８ａのスロットを通して移動させる「撤回」動作を実行するのに伴って発生する。このようなウエハのミスアライメントは、ウエハが別の処理モジュール１０８ｂまたはロードロック１０４に配置される次の拡張動作中でも発生し得る。
【０００７】
拡張動作以前の上述したウエハミスアライメント（ウエハが処理モジュール１０８ａのピンに置かれる時点まで持続し得る）と、撤回動作以前の上述したウエハミスアライメント（ウエハが別の処理モジュール１０８ｂまたはロードロック１０４に置かれる次の拡張動作の間中持続し得る）とによって、ウエハは、モジュール１０８ａもしくはモジュール１０８ｂのピン上またはロードロック１０４内において、望ましい位置からずれて配置される結果となる。
【０００８】
ウエハミスアライメントおよびその結果として生じるオフセットは、ウエハ処理の誤差の要因となるため、当然避けるべきである。また、ロボットがモジュール間でウエハを移送するのに要する時間（「ウエハ移送期間」）がウエハに処理を実行することができない時間である、すなわちウエハ移送期間が無駄な時間であることは、明らかである。したがって、このようなウエハミスアライメントの量をモニタリングし、ウエハ移送期間を増加させることなくこのようなモニタリングを実行するという、いまだ充足されていないニーズが存在する。ウエハミスアライメントの量をモニタリングするか、またはこのようなウエハのオフセット量を決定する態様の１つは、オフセットを計算するのに必要な時間（「オフセット計算期間」）である。ウエハ移送期間の増加を避け、しかもウエハが望ましい位置に置かれるより前にこのようなウエハのオフセット量を十分なオフセット精度で決定するためには、オフセット計算期間がウエハ移送期間内の一定期間に過ぎない必要がある。
【０００９】
ウエハを、１つの真空搬送モジュール１０６から（へと）例えば１０８ａで表される最大６つの処理モジュールへと（から）移送し得ることが、ウエハのミスアライメントのモニタリングのような問題を複雑にしている。これまでは、ウエハがロボットのブレードに対して適切に位置決めされているか否かを決定するのに、隣接したモジュール間で多数のセンサを使用する試みが含まれていた。ウエハの移送経路を挟んで相対するセンサは、ウエハの移送経路に対して対称的に設置されていた。対称的に配置された相対するセンサは、出力信号を同時に生成するものであるため、各センサに１つずつデータプロセッサを提供する必要があった。これらの要素（すなわち、６つの処理モジュールに真空搬送モジュールを加えて使用し得ることと、対称的に配置された相対するセンサを１モジュールあたり多数使用することと、１センサあたり１つのデータプロセッサを使用すること）を組み合わせることによって、クラスタツール構造の複雑さが増し、高価なプロセッサが多数必要とされるようになる。より費用効率が高いクラスタツール構造を提供する必要も考慮すると、各センサに個別にデータプロセッサを組み込むことによって、システムが法外に高価になることがわかる。
【００１０】
より費用効率が高いクラスタツール構造を提供する別の態様は、スルービームセンサ等のセンサを受信するアパチャを提供するために、モジュールおよびロードロックをマシニングするコストに関する。例えば、ロボットに対してより正確にセンサを設置するために、このようなマシニングの精度の向上を図ると、それに伴ってこのような精密マシニングのコストが増大する。したがって、センサのアパチャをマシニングするのに必要な精度を、センサを使用してなされた検出精度を犠牲にすることなく引き下げられるような、方法が必要とされている。
【００１１】
このようなスルービームセンサの使用は、ウエハのミスアライメントをモニタリングする装置を設計する際にも問題を生じる。例えば、ウエハがこのようなスルービームセンサの光ビームを通過して、このビームを遮断する場合は、ビームの遮断を示すパルスをセンサが出力するまでに、ある一定の期間（待ち時間）が必要である。ウエハがセンサに相対して移動しているため、センサの目的がウエハの位置を決定することにある場合は、ウエハは、出力パルスが生成された時点（待ち時間の終了時）で、ビームが遮断された時の位置からすでに移動してしまっている。待ち時間は、スルービームセンサの使用にあたって誤差を生じる原因となる。したがって、スルービームセンサの待ち時間を要因とする誤差を低減する方法も必要とされている。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
以上からわかるように、ウエハ搬送期間を増加させることなく（例えば、モジュール間またはロードロック間におけるウエハの移送速度を低下させることなく、そしてウエハを望ましい位置まで移送するのに必要な時間の合計を増加させることなく）、ウエハが搬送されている間に作動するような、ウエハアライメントのための方法および装置が必要とされている。このような方法および装置は、オフセット計算期間がウエハ移送期間より長くなるのを回避するべきであるうえ、かなり改善された精度でウエハのオフセットを決定できるべきでもある。さらに、１センサあたりのデータプロセッサの数を減少させて、クラスタツール構造全体でウエハミスアライメントの決定に使用されるデータプロセッサの総数を減少させるべきである。また、このような方法および装置は、センサのアパチャをマシニングする際に必要とされる精度を、センサを使用してなされる検知の精度を犠牲にすることなしに引き下げられることが望ましい。望ましい方法および装置の別の態様は、スルービームセンサを使用してウエハアライメントを決定する際に、待ち時間が原因で生じる誤差を低減することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】
概して本発明は、ウエハを運ぶサポートブレードを各ウエハのダイナミックアライメントに提供することによって、これらのニーズを満たすものである。ダイナミックアライメントの装置および方法は、サポートブレード上におけるウエハの望ましい位置に対するウエハのオフセット近似値の決定を定義するものであり、この決定は、最適化プログラムのステートメントによって表される。このオフセット近似値の決定のタスクを最適化プログラムに関して記述することによって、オフセット近似値を計算するのに必要なオフセット計算期間を、ウエハ移送期間内に効果的に維持し、オフセットの正確な値に首尾良く収束する可能性を、非最適化プログラムを使用した場合よりも高くすることができる。
【００１４】
本発明の１つの態様は、望ましい位置に対するウエハの未知のオフセット量を決定するための方法および装置であり、ウエハは、エンドエフェクタの使用によって第１の位置から取り出され、エンドエフェクタは、取り出されたウエハを第１の位置から１組のセンサを通過して移送するように移動して、センサデータを作成する。最適化プログラムを使用してセンサデータを処理することによって、この態様は、未知のオフセット近似値の決定に必要とされるオフセット計算期間を、ウエハ移送期間より短い時間に効果的に維持することができる。最適化プログラムが最も好ましいシンプレックスアルゴリズムである場合は、オフセット近似値がオフセット計算期間内に決定される可能性が非常に高く、そのうえ、決定されたオフセット近似値が、例えば幾何学的プログラムとして非最適化プログラムを使用して得られるそれよりもかなり正確になる可能性も、やはり非常に高い。
【００１５】
本発明の別の態様は、ウエハの未知のオフセットに関し、その結果、取り出しの動作は、取り出されたウエハをエンドエフェクタ上における取り出されたウエハの望ましい位置からずれて配置する。望ましい位置が、エンドエフェクタの通常の移動先であるもとのターゲット座標に対応する場合、このもとのターゲット座標が、オフセットの近似値を補正するように変更される。するとエンドエフェクタは、未知のオフセットおよびミスアライメントを補正するために、取り出されたウエハを変更後のターゲット座標に配置する。
【００１６】
本発明のさらなる態様は、望ましいウエハ位置に中心を有した座標系において、未知のオフセットを「ｅ」と定義する。未知のオフセット「ｅ」は、座標系の中心からずれたウエハの中心に至る成分「ｅx」および「ｅy」を有する。処理動作では、移動中のウエハが特定の１センサにセンサデータを作成させるときに、センサデータを、座標系の中心から各センサの有効位置に至るベクトルの形で表す。このような表示の結果、ベクトルの組は「ｒp」で表され、「ｉ」は１〜４で変化し、各ベクトル「ｒpi」は第１成分「ｒpix」および第２の成分「ｒpiy」を有する。本発明では、ベクトル「ｒpi」によって定義される、各ベクトルとそれに隣接したウエハエッジとの距離の二乗の和を最小にするように、成分「ｅx」および「ｅy」の値を決定する。最小化されるべき関数は、次式で表される。
【００１７】
【数５】
0004880115.tif 000002
【００１８】
ここで、ウエハは、ウエハの中心からエッジまでの半径「Ｒ」を有する。
【００１９】
本発明の別の態様では、複数の値「ｅx」および「ｅy」を代入して、「Ｆ」の最小値が得られるまで繰り返し「Ｆ」について解き、上記の式で定義された「Ｆ」の最小値を決定することによって、処理動作をさらに実行する。
【００２０】
本発明のさらに別の態様は、ウエハハンドリングシステム内の望ましい位置に対するウエハの未知のオフセット量を決定する方法に関する。この態様では、エンドエフェクタを有したロボットを使用して、ウエハハンドリングシステムの特定のファセットに隣接した１組のセンサを通過してウエハを移動し、ウエハをサポートすることにより、センサトリガデータを生成する。特定のファセットに対する各センサの有効位置を示すために、校正されたセンサ位置データが用意される。未知のオフセット近似値を決定するために、センサトリガデータと、エンドエフェクタの対応位置と、センサ位置データとの処理が、最適化プログラムを使用して実行される。
【００２１】
本発明の関連の態様では、処理動作が、ブレード上のウエハの望ましい位置に中心を有した座標系において、ウエハエッジの位置ベクトル（「ｒpi」として識別される）を決定する。処理動作は、キャリブレーション工程で定義されるセンサ位置と、各センサがトリガされたときのロボットブレード位置とを使用して、ベクトル「ｒpi」を決定する。上述した決定では、校正後のセンサ位置データと、ロボットブレード位置と、センサトリガデータとが使用される。
【００２２】
本発明のさらなる関連の態様では、処理動作における記号「ｉ」が、センサトリガデータの４つの項目を表す値１、２、３、４を有しており、対応する４つのベクトル「ｒpi」は、それぞれ「Ｘ」軸成分および「Ｙ」軸成分を有する。最適化プログラムによる処理は、４つのウエハエッジ位置に最も良く適合するウエハの位置を決定するものであり、この最良適合位置は、上記の式の解を最適化することによって得られ、「Ｒ」はウエハの半径であり、「ｒpix」は「ｒpi」の「Ｘ」軸成分であり、「ｒpiy」は「ｒpi」の「Ｙ」軸成分であり、「ｅx」は未知のオフセット近似値の選択された「Ｘ」軸成分であり、「ｅy」は未知のオフセット近似値の選択された「Ｙ」成分であり、そして最適化は、二次元のシンプレックスアルゴリズムを使用して実行される。
【００２３】
本発明のさらなる態様は、望ましいウエハ位置に対するウエハの未知のオフセット量を決定するためのコンピュータに関する。コンピュータは、ウエハを、エンドエフェクタによって第１の位置から取り出されるように仕向ける第１の動作を含む、一連の動作を実行するようにプログラムされている。また、センサＤかを生成するために、取り出されたウエハを第１の位置から１組のセンサを通過して移動させ、移送させるように、エンドエフェクタを仕向ける第２の動作もある。プログラムは最後に、未知のオフセット近似値を決定するために、最適化プログラムを使用してセンサデータを処理する。
【００２４】
このようなウエハのオフセット量を決定する上述した態様において、オフセット計算期間は、ウエハ移送期間よりも短いのが通常であり、ウエハ移送期間よりもかなり短いのが通常である。幾何学的（非最適化の）技術と比べ、最適化プログラムでは、オフセットに対して決定される値の誤差がかなり少ない。
【００２５】
本発明の原理を例示した添付図面との関連で行う以下の詳細な説明から、本発明のその他の態様および利点が明らかになる。
【００２６】
同一の参照番号が同一の構造要素を意味する添付図面との関連で行う以下の詳細な説明から、本発明を容易に理解することが可能となる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
本発明は、ウエハ移送期間を増加させることなしに（例えば、モジュール間またはロードロック間におけるウエハの移送速度を低下させたり、ウエハを望ましい位置まで移送するのに必要な時間の合計を増加させたりすることなしに）、ウエハが搬送されている間に作動する、ウエハアライメントに関して説明を行う。このウエハアライメントは、オフセット計算期間がウエハ移送期間より長くなるのを回避するだけでなく、修正するべきミスアライメントの量を決定する計算によって、ウエハのオフセットをかなり改善された精度で決定する。また、本発明の実施例は、望ましい位置からのウエハオフセットの未知の量の近似値を決定するために、最適化プログラムの使用によってセンサデータがどのように処理されるかに関して説明される。本発明はさらに、ウエハオフセットの近似値を使用して、例えばロボットが処理モジュール内でウエハを配置する位置のターゲット座標を変更するものとして説明され、この変更量は、最適化プログラムを使用して計算されるオフセットの近似値に基づくものである。この変更を、ウエハがエンドエフェクタで運ばれるのに伴って行うことにより、ウエハが置かれようとしている位置を、オフセットの補正のために修正する。
【００２８】
しかしながら、当業者には明らかなように、本発明は、これらの詳説の一部または全てを特定しなくても実施することが可能である。そのほか、本発明が不明瞭にならないため、周知の工程動作については詳細には説明していない。
【００２９】
図２Ａによれば、本発明は一般に、真空搬送モジュール２０２と、少なくとも１つのロードロック２０４（またはウエハ搬送格納装置）と、基板またはウエハ２０８を１つまたはそれ以上のカセット２１０からロードロック２０４へと移送するための常圧搬送モジュール２０６と、を備えた半導体処理クラスタツール構造システム２００として開示される。好ましくは、２つの隣接したロードロック２０４が、真空搬送モジュール２０２の２つの隣接した側壁にそれぞれ１つずつ提供されると良い。また、常圧搬送モジュール２０６は、少なくとも２つのカセット２１０と、回転の固定軸２１４上に設けられたフロントエンドロボット２１２と、ウエハアライナ２１６とを備える。アライナ２１６は、ウエハがクラスタ構造２００に移動する前にウエハの望ましい位置を発見するのに使用される。各ロードロック２０４は、ウエハが移送される際に通るロードロックポート２２０を備えたウエハ受け取り面２１８を有する。各ポート２２０は、ゲートバルブまたはドア２２２によって閉じられる。フロントエンドロボット２１２は、ポート２２０の中心に合わせて且つ面２１８に垂直に配置されたロードロックウエハ移送軸２２４に沿って、ポート２２０を通ってウエハ２０８を移送する。フロントエンドロボット２１２は、ロードロック２０４のフィンガ２２６上にウエハ２０８を配置する。
【００３０】
ウエハ２０８は、ロードロック２０４から真空搬送モジュール２０２へと移送される。図２Ｂおよび２Ｃによると、モジュール２０２は、中心軸２３０に組み込まれた真空移送ロボット２２８を備えている。モジュール２０２は、６つのウエハ移送面２３２を有し、そのそれぞれに、例えばデュアルスロットバルブ２３８のゲートバルブまたはドア２３６によって閉じられるポート２３４が提供されている。面２３２のうちの２つはロードロック２０４とモジュール２０２の間にあり、面２３２のうち代表的な４つはそれぞれ４つの処理モジュールまたはチャンバ２４０に対して提供されている。
【００３１】
あるロードロック２０４から処理モジュール２４０のうちの１つへと至るウエハ２０８の動きを考慮し、真空移送ロボット２２８は、ロードロック２０４のフィンガ２２６からウエハ２０８を選出する。撤回動作において、ロボット２２８は、それぞれのポート２３４の中心に合わされ且つそれぞれの面２３２に垂直である入来ウエハ移送経路２４２に沿って、ポート２３４を通って選出ウエハ２０８を移動させる。真空移送ロボット２２８は、ウエハ２０８を先ずは経路２４２上の真空搬送モジュール２０２に移動させ、次いで、ウエハ２０８の処理のために識別された処理モジュール２４０の、それぞれのポート２３４および面２３２の中心に合わせて配置された、第２のウエハ移送経路２４４に沿って移動させる。拡張動作において、ロボット２２８は、ウエハ２０８を識別された処理モジュール２４０のポート２３４の中にそしてそこを通って第２の経路２４４に沿って移動させる。ロボット２２８は、識別された処理モジュール２４０のピン２４６上にウエハを配置する。処理モジュール２４０における動作が完了すると、ロボット２２８はピン２４６からウエハ２０８を選出する。撤回動作において、ロボット２２８は、ウエハ２０８ポート２３４の中にそしてそこを通って第２の経路２４４に沿って移動させて、真空搬送モジュール２０２に戻す。
【００３２】
搬送されるウエハ２０８の例として、図２Ａはカセット２１０を示し、それは、直線状のエッジ２５２と曲線状のエッジ２５４とを有した第１のウエハ２０８Ｆ（左側のカセット２１０にある）と、刻み目２５８が入った曲線状のエッジ２５６を有した第２のウエハ２０８Ｎ（右側のカセット２１０にある）とをサポートしている。フロントエンドロボット２１２は、カセット２１０の１つから適切なウエハ２０８Ｆまたは２０８Ｎを選出し、そのウエハ２０８をウエハアライナ２１６の中に配置する。ウエハアライナ２１６は、後ほど説明するように、選択された方向にウエハ２０８を配置する。すると、フロントエンドロボット２１２は、方向付けられたウエハ２０８をアライナ２１６から選出し、その方向付けられたウエハ２０８Ｆまたは２０８Ｎを、ロードロックポート２２０を通してロードロック２０４へと移送して、フィンガ２２６上に配置する。
【００３３】
アライナ２１６による方向付けの動作の結果、フィンガ２２６上に配置された方向付けられたウエハ２０８は、ウエハの中心２６０と、この中心２６０と交差するＸウエハ軸およびＹウエハ軸とに関連した複数の望ましい方向のうちの１方向に、直線状のエッジ２５２または刻み目２５８を有する。図２Ｂには、ウエハ２０８Ｎが配置される方向の１つが、真空搬送ロボット２２８のブレード２６２またはエンドエフェクタ２６２によってサポートされたウエハ２０８Ｎ（点線で示される）とともに示されている。Ｙウエハ軸は、ウエハの中心２６０が時計の中心にある場合に、例えば正午および６時の位置を通ると考えることができる。このことを考慮した結果、ウエハ２０８Ｎの代表的な望ましい方向は、刻み目２５８が９時の位置にくるようにウエハ２０８Ｎをウエハ中心２６０で回転させた状態で描かれている。ウエハ２０８Ｎおよび２０８Ｆの望ましい方向では、その刻み目２５８または直線状のエッジ２５２が、それぞれウエハ中心２６０に対して正午、３時、６時、または９時のうち任意の方向を向いていることがわかる。
【００３４】
別のウエハ２０８は、直線状のエッジ２５２または刻み目２５８以外の物理的特性を有していても良い。例えばクラスタツール構造システム２００は、様々な直径の処理ウエハ２０８に適用される。様々な直径のウエハの処理が可能ではあるが、ここでは、例えば直径が２００ｍｍおよび３００ｍｍのウエハ２０８との関連のもとで本発明を説明することにする。
【００３５】
特定の製造状況では、直線状のエッジ２５２または刻み目２５８が、ウエハ中心２６０に対して特定の方向に向いている。方向付けられたウエハ２０８の中心２６０には、上述したような方向以外にも、ブレードまたはエンドエフェクタ２６２のブレード中心２６４に対する理想的な位置が存在する。図２Ｂにおいて、このような理想的な位置は、ウエハ中心２６０およびブレード中心２６４が、ブレード２６２の縦軸２６６と同延であるウエハ２０８のＹ軸と同位置にくるように示されている。図２Ｂでは、この理想的な位置にあるウエハ２０８が、点線で描かれた円状のディスクとして示されている。しかしながら、上述したような要素（例えば静電チャックの性能および取り扱い）を含む幾つかの理由が原因で、ウエハ２０８が、その中心２６０がブレード中心２６４とずれた状態でブレード２６２上に配置されることがある。このズレは、図２Ｃにおいて点線によるウエハ２８０Ｎとして示されている。このズレは、上述した「ウエハとブレードのミスアライメント」および「ウエハのミスアライメント」に相当する。ウエハのミスアライメントは、ウエハ中心２６０がブレード中心２６４から離れていることによって特徴付けられる。このような開きは、ウエハ２０８のＸ軸方向またはＹ軸方向の一方向または両方向で生じる可能性があり、図２Ｃでは、ウエハ中心２６０が図２Ｂの場合よりΔＸ分だけ左方に、そしてΔＹ分だけ上方にずれた両方向のズレが示されている。
【００３６】
ブレード２６２が処理チャンバ２４０のピン２４６へとウエハ２０８を運ぶため、ウエハ２０８の中心２６０の位置は、ブレード中心２６４に対してのみ決定されれば良く、クラスタツール構造システム２００の他のあらゆる装置に対しては決定されなくて良いことがわかる。例えば、ある特定のウエハ２０８が搬送されている場合に、ウエハのミスアライメントの量および方向に関する決定がなされると、ロボット２２８は、ブレード２６２の位置を制御し、次いで特定のウエハ２０８の位置を制御することにより、ブレード２６２が特定のウエハ２０８を処理モジュール２４０のピン２４６上に配置する際の、ウエハのミスアライメントを排除する。ウエハのミスアライメントが排除されると、処理モジュール２４０においてウエハを正確に処理することが可能となる。
【００３７】
図２Ｂでは、真空搬送ロボット２２８のブレード２６２が、真空処理モジュール２４０内に存在する状態で示されている。例として、ロードロック２０４のフィンガ２２６が、ブレード２６２上に重ねて描かれた長方形として示されている。ブレード２６２は、ロードロック２０４における選出動作中にロードロックフィンガ２２６との接触を回避できる形状に、そして処理モジュール２４０のウエハサポートピン２４６との接触を回避できる形状に、成形されている。この形状では、ピン２４６の間に空間２７０を提供することにより、ブレード２６２が、ウエハのミスアライメントが存在するか否かを決定する以下の動作を妨害しないようにしている。
【００３８】
図３Ａおよび３Ｃは、真空搬送モジュール２０２のフェイス２３２の部分平面図であり、本発明に従ったダイナミックアライメントシステム２７２の概略を示している。ここで言う「ダイナミックアライメント」とは、本装置および方法を表す用語であり、ブレード２６２が、ウエハ２０８を例えば真空搬送モジュール２０２から処理モジュール２４０の１つへとポート２３４の１つを通して移動させるか、または処理モジュール２４０から真空搬送モジュール２０２へとポート２３４の１つを通して移動させるのに伴って、ブレード２６２の中心２６４に対するウエハ２０８の中心２６０の位置を決定するものである。各フェイス２３２と、選択された物理的特性として特定の直径を有した各タイプのウエハ２０８に対し、システム２７２は２つのセンサ２７４を備えている。直径が２００ｍｍおよび３００ｍｍのウエハ２０８に対応するシステム２７２では、各フェイス２３２が、図３Ａおよび３Ｃにおいてセンサ２７４−１として表されるセンサ２７４と、センサ２７４−２および２７４−３として表されるさらに２つのセンサ２７４のうちの１つと、を有する。
【００３９】
図３Ｆでは、簡単のためセンサ２７４が２つ（すなわち直径が２００ｍｍのウエハ２０８〜２００に対応する２つのセンサ）のみ示されているのに対し、図３Ａ、３Ｃ、および３Ｅでは、３つのセンサ２７４−１、２７４−２、および２７４−３が示されている。第１のセンサ２７４−１は、フェイス２３２で定義される面に平行な平面内で、そのフェイス２３２に隣接したポート２３４の横軸であるセンサ位置決め軸２７６上に設けられている。
【００４０】
図３Ｂは、ポート２３４を通って移動するウエハ２０８Ｎ−２００の平面図であり、ウエハ２０８のエッジ２５４または２９６がそれぞれのセンサ２７４−１または２７４−２をトリガする継続的な時間ｔ１ｂ、ｔ２ｂ、ｔ１ｍ、およびｔ２ｍが示されている。図３Ｂは、第１のセンサ２７４−１がウエハ搬送経路２４４から第１の距離２７８だけ離れていることを示すために、図３Ａと並べて示されている。ウエハ２０８−２００に対して使用するため、第２のセンサ２７４−２もやはり、フェイス２３２で定義される面に平行な平面内でセンサ位置決め軸２７６上に設けられている。第２のセンサ２７４−２は、ウエハ搬送経路２４４から第２の距離２８０だけ離れている。ウエハ２０８−３００に対して使用するために、第３のセンサ２７４−３が、フェイス２３２で定義される面に平行な平面内でセンサ位置決め軸２７６上に設けられている。第３のセンサ２７４−３は、ウエハ搬送経路２４４から第３の距離２８２だけ離れている。
【００４１】
このように間隔を設けることにより、各センサ２７４は、経路２４４を移動するそれぞれのウエハ２０８を、拡張動作または撤回動作のいずれの場合でも感知できる位置に、それぞれ配置される。センサ２７４によるウエハ２０８の感知は、複数フェイスのうち１つのフェイス２３２の立面図である図３Ｅに示されており、ポート２３４およびセンサ２７４が、センサ位置決め軸２７６に沿って間隔をおいて配置されている。各センサ２７４は、各センサ２７４のなかで最も高価なコンポーネントの数を最小限に抑えるように設計された複合スルービームセンサであることが好ましい。各センサ２７４に対し、センサ２７４の位置を決定するコンポーネントには、ポート２３４下方のビームトランスミッタ部位２７４Ｔと、ポート上方のビームレシーバ部位２７４Ｒとが含まれる。各ビームトランスミッタ部位２７４Ｔは、フェイス２３２のうちポート２３４を取り囲む部位にマシニングされたアパチャ２８３内に設けられている。後ほど説明するように、ブレード２６２の中心２６４に対するウエハ２０８の中心２６０の位置を検知する際の精度を低下させなくても、アパチャ２８３を配置する精度を、（±０．０５０インチ）内のように比較的低く抑えることが可能である。ビームトランスミッタ部位２７４Ｔは、入来光ファイバケーブル２７４ＣＩから光ビーム２８４を受け取り、その光ビーム２８４を、レンズを使用してポート２３４を横切らせて上向きに方向付ける。図３Ｅには、レンズと、ポート２３４上方に加工された対応アパチャ２３４内に設けられた出力光ファイバケーブル２７４ＣＯとを備えたビームレシーバ部位２７４Ｒの１つが示されている。
【００４２】
このような背景から、図面の簡略化のため図３Ｆでは、「２７４ＣＯ」として表された点線が、入力光ファイバケーブル２７４ＣＩと出力光ファイバケーブル２７４ＣＯの両方を表すことが理解できる。また、アパチャ２８３の位置が正確にわからないと、対応するビームトランスミッタ部位２７４Ｔの位置や、このようなアパチャ２８３で受け取る対応するビームレシーバ部位２７４Ｒの位置を、正確に知ることができないことが理解できる。その結果、センサ２７４の位置を正確に知ることができない。
【００４３】
図３Ｇには、各センサ２７４が、上述したセンサ位置のコンポーネント以外のコンポーネントを備えていることが示されている。このようなコンポーネントの１つは、それぞれの入力光ファイバケーブル２７４ＣＩに光ビーム２８４を供給するエミッタ２８５Ｅを有したセンサボディ２８５である。センサボディ２８５は、それぞれの出力光ファイバケーブル２７４ＣＯからビーム２８４を受け取る光検出器２８５Ｄも備えている。検出器２８５Ｄは、ケーブル２７４ＣＯから入来する光ビーム２８４を、その入来光ビーム２８４の光度に比例するアナログ信号に変換する。アナログ信号は、アナログ信号の値が閾値に到達するたびにデジタル信号に変換される。デジタル信号は、センサ２７４のセンサボディ２８５の出力であり、遷移信号２８６と称される。ウエハ２０８がポート２３４に移動する前に、ビーム２８４がレシーバ部位２７４Ｒで受け取られて検出器２８５Ｄに送られ、定常状態を生じる。図３Ｅおよび３Ｆでは、ウエハ２０８が、トランスミッタ部位２７４Ｔとレシーバ部位２７４Ｒの出力光ファイバケーブル２７４ＣＯとの間をブレード２６２によって移動させられて、センサ２７４のビーム２８４を遮断した様子が示されている。このとき遷移が生じ、センサ２７４のセンサボディ２８５が、この例で遮断を示す２８６Ｂに指定された遷移信号２８６を生成する。逆の見方をすれば、ウエハ２０８がトランスミッタ部位２７４Ｔとレシーバ部位２７４Ｒの間をブレード２６２によって移動させられて、ビーム２８４を遮断した後は、ウエハ２０８がブレード２６２によって移動されてポート２３４を完全に通りぬけ、ビーム２８４がこれ以上は遮断されない地点に到達するまで、別の定常状態が持続する。この時点では、ビーム２８４は形成されたと見なされて別の遷移を生じ、センサ２７４のセンサボディ２８５が、図３Ｆで形成を示す２８６Ｍとして示された別の遷移信号を生成する。図３Ｆおよび３Ｇでは、遷移信号２８６Ｂおよび２８６Ｍが、センサボディ２８５からセンサマルチプレックス（多重送信）カード２８８へと送信される様子が示されている。カード２８８は、ロボットコントローラ２９０の入力ポート２８９に接続されている。
【００４４】
ウエハ２０８が、センサ２７４で感知される際も感知された後も移動を続けるため、センサ２７４は応答時間の短いセンサであることが好ましい。例えば、モデル番号Ｄ１２ＳＰ６ＦＰＹのバナ−ブランドのセンサを使用して、５０マイクロセカンドの応答時間を得ても良い。また、トランスミッタ部位２７４Ｔおよびレシーバ部位２７４Ｒでは、長さの異なる光ファイバケーブル２７４ＣＩおよび２７４ＣＯを通常は使用するため、光学距離はセンサ２７４ごとに異なる。さらに、センサ２７４には製作公差がある。このような経路の長さおよび公差を補償するために、センサに対して適切な利得調整が行われる。
【００４５】
センサ２７４が３つであってもセンサボディ２８５を２つのみ提供することによって、システム２７２のコストを引き下げることができる。より詳しく言うと、直径が２００ｍｍのウエハ２０８−２００を処理する場合は、第１のセンサ２７４−１に対し、ケーブル２７４ＣＩおよび２７４ＣＯのそれぞれの一端が、第１のセンサ２７４−１に対応するアパチャ２８３のそれぞれ１つに光学的に実装される。図３Ｇでは、このようなケーブル２７４ＣＯおよび２７４ＣＩのもう一端が、第１のセンサ２７４−１に対応するセンサボディ２８５（センサボディ２８５−１を参照のこと）のそれぞれのエミッタ２８５Ｅ−１および検出器２８５Ｄ−１に、光学的に実装された様子が示されている。
【００４６】
第２のセンサ２７４−２に対しては、各ケーブル２７４ＣＩおよび２７４ＣＯの一端が、第２のセンサ２７４−２に対応するアパチャ２８３のそれぞれ１つに光学的に実装される。このようなケーブル２７４ＣＯおよび２７４ＣＩのもう一端は、第１のセンサ２７４−１に対応するセンサボディ２８５（センサボディ２８５−２を参照のこと）のそれぞれのエミッタ２８５Ｅ−２および検出器２８５Ｄ−２に、光学的に実装される。第２のセンサ２７４−２での使用を示すため、これらのケーブルを２７４ＣＩ−２および２７４ＣＯ−２で表すことにする。
【００４７】
図３Ｅでは、直径が３００ｍｍのウエハ２０８−３００を処理する場合に、第２のセンサ２７４−２のアパチャ２８３で使用されるケーブル２７４ＣＩ−２および２７４ＣＯ−２の一端が移動および再配置されて、第３のセンサ２７４−３に対応するアパチャ２８３のそれぞれ１つに光学的に実装される様子（図３Ｅにおいて点線で示されたケーブル２７４ＣＩ−３および２７４ＣＯ−３を参照のこと）が示されている。図３Ｇでは、ケーブル２７４ＣＩ−２および２７４ＣＯ−２のもう一端が、センサボディ２８５−２のそれぞれのエミッタ２８５Ｅ−２および検出器２８５Ｄ−２に光学的に実装されたままの状態が示されている。しかしながら、ケーブル２７４ＣＩ−２および２７４ＣＯ−２が再配置されたこのようなセンサボディ２８５−２が第３のセンサボディとして機能することを明らかにするために、図３Ｇでは、このような第３のセンサボディを２８５−３で表して点線で示した。また、再配置されたケーブル２７４ＣＩ−２および２７４ＣＯ−２を、点線で示して２７４ＣＩ−３および２７４ＣＯ−３で表した。また、ケーブル２７４ＣＩ−３に接続されたエミッタ２８５−２を点線で示して２８５Ｅ−３で表し、ケーブル２７４ＣＯ−３に接続された検出器２８５−２を点線で示して２８５−３で表した。
【００４８】
１つのセンサボディ２８５でこれら２つの機能を提供することにより、実質的に高コストのコンポーネント（センサボディ２８５）の数を各フェイス２３２ごとに１つずつ減らし、６フェイス構造のシステム２００で６つのセンサ２７４を不要にする。
【００４９】
図４Ａおよび４Ｂは、センサ２７４がそれぞれ独自の待ち時間Ｌ、すなわち遷移を遮断するための待ち時間（ＬＢ）と、遷移を形成するための待ち時間（ＬＭ）とを有することによる効果を示している。図４Ａは、ウエハ２０８の拡張動作を示している。上述した待ち時間ＬＢは、経路２４４を移動してポート２３４を通るウエハ２０８がセンサ２７４で感知されるのに伴ってビーム２８４が遮断される、第１の時間ｔ１ｂから開始する。図４Ｂによれば、この時間ＬＢは後の時間ｔ１ｂＡＰＰで終了する。時間ｔ１ｂＡＰＰでは、遷移信号２８６Ｂがロボットコントローラ２９０の入力ポート２８９に到達し、この遷移信号２８６Ｂに応じてロボットコントローラ２９０が、レジスタ２９２におけるロボット２２８の位置を表すものとして後ほど説明するデータを格納する。遷移信号２８６Ｂは、ウエハ２０８によるビーム２８４の遮断がセンサ２７４によって感知されたことを示す。「ｔ１ｂＡＰＰ」で使用される「ＡＰＰ」は、センサ２７４が視位置にある時間を示している。
【００５０】
経路２４４に沿ったウエハ２０８の動きに関し、図３Ｂ、３Ｄ、４Ａ、および４Ｂは、待ち時間ＬＢを例えば、センサ２７４が（ビーム２８４が遮断されるのに応じて）「始動（トリップ）」された時間ｔ１ｂと、ロボット２２８が格納された位置を表すデータである時間ｔ１ｂＡＰＰと、の間に存在する時間遅延の有限量として表している。時間ｔ１ｂからｔ１ｂＡＰＰにいたる時間遅延の間にウエハ２０８が移動することから、後の時間ｔ１ｂＡＰＰでは、センサ２７４のビーム２８４を遮断したウエハの前縁２５４または２５６は、もはやセンサ２７４の真上にはない。時間遅延が反復可能であり、この時間遅延に対するロボットブレード２６２（およびウエハ２０８）の速度が比較的一定であるため、この遅延から誤差が生じるのを排除することができる。図４Ｂは、遮断の遷移におけるウエハミスアライメントの決定を目的としたセンサ２７４の位置として、センサ２７４の視位置ＸＹＢＡＰＰを使用することによって、上述したような排除がなされることを示している。
【００５１】
ここで、待ち時間ＬＭもまた、センサ２７４が（ビーム２８４が形成されるのに応じて）「始動（トリップ）」された時間ｔ１ｍと、ロボット２２８が格納された位置を表すデータである時間ｔ１ｍＡＰＰと、の間に存在する時間遅延の有限量であることがわかる。時間ｔ１ｍからｔ１ｍＡＰＰにいたる時間遅延の間にウエハ２０８が移動することから、後の時間ｔ１ｍＡＰＰでは、センサ２７４のビーム２８４を形成したウエハの後縁２９６は、もはやセンサ２７４の真上にはない。時間遅延が反復可能であり、この時間遅延に対するロボットブレード２６２（およびウエハ２０８）の速度が比較的一定であるため、この遅延から誤差が生じるのを排除することができる。このような排除は、形成の遷移におけるウエハミスアライメントの決定を目的としたセンサ２７４の位置として、センサ２７４の視位置ＸＹＭＡＰＰを使用することによってなされる。
【００５２】
視位置ＸＹＢＡＰＰは、センサ２７４が無限に高速で、ロボット位置を表すデータが実際のシステムと同時に（すなわち時間ｔ１ｂＡＰＰに）レジスタ２９２に格納される場合に、センサ２７４が有する直交座標系における位置である。視位置ＸＹＭＡＰＰは図４Ｂに示されていないが、センサ２７４が無限に高速で、遷移信号２８６が実際のシステムと同時に（すなわち時間ｔ１ｍＡＰＰ）にロボットコントローラ２９０に到達した場合にセンサ２７４が有する直交座標系における位置である。
【００５３】
次に説明するキャリブレーション工程は、拡張および撤回の各動作に対し、センサ２７４の視位置ＸＹＢＡＰＰおよびＸＹＭＡＰＰをそれぞれ決定するのに使用される。
【００５４】
本発明に従って、遮断および形成によるそれぞれの遷移における各センサ２７４のそれぞれの待ち時間ＬＢおよびＬＭが、軸２７６に沿ったそれぞれのセンサ２７４−１、２７４−２、および２７４−３の間隔に対する距離２７８、２８０、および２８２のそれぞれの値の選択において考慮される。これは、図３Ｂおよび図３Ｄの平面図に示されており、それぞれ直径が２００ｍｍのウエハ２０８Ｎ−２００および直径が３００ｍｍのウエハ２０８Ｎ−３００が水平方向に（図３Ｂおよび３Ｄでは、時間の増加が下向きに測定されるように上向きに）移動する様子を示している。また、遮断および形成による遷移は点２９２で示されている。例えば点２９２−２ｂは、第１のセンサ２７４−１の第１のビーム２８４−１がウエハ２０８−２００のエッジ２５４で遮断される時間ｔ２ｂに対応する。時間ｔ１ｂＡＰＰは、待ち時間ＬＢの終了と、ロボットの位置を表すデータがレジスタ２９２に格納される時間とを表したものであり、点２９２−２ｂで表される第２の遮断遷移の時間ｔｂ２より前に生じるものとして示されている。図３Ｂでは、第２のセンサ２７４−２のビーム２８４−２が、直径が２００ｍｍのウエハ２０８−２００のエッジ２５４によって先ず遮断される。距離２７８および２８０が経路２４４に対して非対称である場合、ロボットの位置を表すデータは、時間ｔｂ２で生じる第２のビーム遮断（点２９２−２ｂで表される）より前にレジスタ２９２に格納される。
【００５５】
形成による遷移の例として、点２９４−１ｍは、ウエハ２０８−２００のエッジ２５４の後部２９６が第１のセンサ２７４−１を通過した後に第１のセンサ２７４−１の第１のビーム２８４−１が初めて形成される、時間ｔ１ｍに対応している。時間ｔ１ｍＡＰＰは、待ち時間ＬＭの終了と、ロボットの位置を表すデータがレジスタ２９２に格納される時間とを表したものであり、点２９４−２ｍで表される形成遷移の時間ｔｂｍより前に生じるものとして示されている。このように、距離２７８および２８０が経路２４４に対して非対称であることから、ロボットの位置を表すデータは、時間ｔｂｍで生じる第２のビーム形成（点２９４−２ｍで表される）より前に格納される。
【００５６】
図３Ｄは、直径が３００ｍｍのウエハ２０８−３００に関する同様な状況を示している。ただし、第１のセンサ２７４−１のビーム２８４−１が先ず時間ｔ１ｂで遮断され（点２９２−１ｂ）、次に第３のセンサ２７４−３のビーム２８４−３が時間ｔ２ｂで遮断され（点２９２−２ｂ）、次いで第３のセンサ２７４−３のビームが時間ｔ１ｍで形成され（点２９４−１ｍ）、そして第１のセンサ２７４−１のビーム２８４が時間ｔ２ｍで形成される（点２９４−２ｍ）点が異なる。
【００５７】
図３Ｆと関連して上述されているように、真空搬送モジュール２０２を、代表的な６つの処理モジュール２４０と共に使用しても良い。ウエハ２０８が、これら処理モジュール２４０のうち任意モジュールの任意フェイス２３２のポート２３４を通って搬送され得ることから、これらのフェイス２３２のそれぞれに、図３Ａおよび３Ｃで示される３つのセンサ２７４が提供される。したがって、ウエハ２０８の任意の搬送において、任意の処理モジュール２４０から遷移信号２８６の出力を生成することが可能となる。
【００５８】
図５は、排他的ＯＲゲート３０４の配列の形をとった論理回路３０２を示した概略図である。各排他的ＯＲゲート３０４の出力３０６は、入力３０８の両方ではなくどちらか片方がアクティブの場合にアクティブである。つまり、出力３０６は、入力３０８が互いに異なる場合にアクティブとなる。回路３０２は６対の入力３０８を有しており、これは、代表的な６つの処理モジュール２４０の６つのフェイス２３２それぞれの２つのアクティブセンサ２７４からの出力を表している。入力の１つ３０８−１は、第１の真空モジュール２４０−１の第１のセンサ２７４−１からの出力に対応し、別の入力３０８−２は、第１の真空モジュール２４０−１の第２のセンサ２７４−２からの出力に対応する。他の５つのモジュール２４０−２〜２４０−６に対しても、同様にして入力３０８−１および３０８−２をそれぞれ提供することができる。
【００５９】
モジュール２４０のうち１つのモジュールのみへの入力３０８−１または３０８−２のうち、一方のみへの入力遷移信号２８６に応じ、論理回路３０２がメイン出力３１２上にシングル信号３１０を生成する。図６（Ａ）〜図６（Ｃ）は、入力センサ２７４−１または２７４−２の任意の一方がいずれの方向に遷移した場合であっても、シングル信号３１０が論理値０から論理値１へと遷移する様子を示している。図６（Ａ）および６（Ｂ）は、待ち時間Ｌが排除された後、ウエハ２０８の移動によってビーム２８４が遮断または形成される際に、ビーム２８４の遷移が発生する時間を示している。図６（Ｃ）は、同様な時間において、ビーム２８４の遮断または形成の結果としての種々の遷移信号２８６に応じて論理回路３０２から出力される、２値出力としての信号３１０を示している。図６（Ａ）および６（Ｂ）では、ウエハ２０８が移動中の時間をＴ軸（左から右の方向が時間の増加を示す）上に、レシーバ部位２７４Ｒに照射されるビーム２８４の量（遮断された場合は０、形成された場合は１００％）をＢ軸（下から上の方向が光度の増加を示す）上に、それぞれ示している。
【００６０】
起こり得るウエハのミスアライメントを決定する代表的な手続きにおいて、時間ｔ０のとき、ウエハ２０８Ｎ−２００は経路２４４上をポート２３４に向かって制御速度で移動している。センサビーム２８４−１および２８４−２は共に遮断されておらず、いずれのレシーバ部位２７４Ｒも、ビーム２８４−１および２８４−２をそれぞれ１００％受光している。さらに、遷移が示されていないため、メイン信号３１０の値はメイン出力３１２で論理値０として現れている。
【００６１】
センサ２７４−２の視位置に対応する時間ｔ１ｂＡＰＰ（やはり図３Ｂに図示されている）では、第２のセンサ２７４−２がビーム２８４−２を遮断するウエハ２０８−２００の前縁２５４によって、ビームの遷移が生じる。第２のセンサ２７４−２のビーム２８４−２は、図６（Ａ）において低光度への移行として示されており、その結果として遷移信号２８６が高位に移行し（一方の入力３０８−１が別の入力３０８−２と異なるように）、３１０−１ではメイン出力信号３１０が２値の１に移行してこの遷移を表す。図６（Ｂ）は、第１のセンサ２７４−１のビーム２８４−１の光度が１００％で持続することを示している。ビーム２８４−１が遷移しないため、遷移信号２８６は存在せず、ウエハ２０８は制御速度での移動を続ける。
【００６２】
時間ｔ２ｂＡＰＰでは、ウエハ２０８Ｎ−２００の前縁２５４が第１のセンサ２７４−１のビーム２８４−１を遮断し、ビームの遷移を生じる。第２のセンサ２７４−２のビーム２８４−２が低光度で維持されて、ウエハ２０８Ｎ−２００が均一の速度で移動を続ける一方で、第１のセンサ２７４−１のビーム２８４−１は、低光度に移行するものとして示されている。その結果、第１のセンサ２７４−１からの遷移信号２８６が正となる。第２のセンサ２７４−２では遷移は感知されず、入力３０８−２が入力３０８−１と異なることから、３１０−２ではメイン出力信号３１０が逆に２値の０に移行してこの遷移を表す。第１および第２センサ２７４−１および２７４−２のビーム２８４−１および２８４−２の光度はそれぞれ低く維持されて、別の遷移信号２８６が生じることはなく、ウエハ２０８Ｎ−２００は均一の速度で移動を続ける。
【００６３】
時間ｔ１ｍＡＰＰは、形成による遷移のための第１のセンサ２７４−１の視位置ＹＭＡＰＰに対応する。時間ｔ１ｍＡＰＰでは、ウエハ２０８Ｎ−２００の後縁２９６が第１のセンサ２７４−１のビーム２８４−１を形成し、その結果としてビームの遷移が生じる。第１のセンサ２７４−１からの結果としての遷移信号２８６が、入力の１つ３０８−１に割り当てられるため、メイン出力信号３１０は、３１０−３で逆に２値の０に移行してこの遷移を表す。第２のセンサ２７４−２のビーム２８４−２が低光度で維持されて、ウエハ２０８が均一の速度で移動を続ける一方で、第１のセンサ２７４−１のビーム２８４−１は１００％に移行することが示されている。
【００６４】
時間ｔ２ｍＡＰＰは、遷移形成のための、第２のセンサ２７４−２の視位置ＹＭＡＰＰに対応する。時間ｔ２ｍＡＰＰでは、ウエハ２０８Ｎ−２００の後縁２９６が第２のセンサ２７４−２のビーム２８４−２を形成し、その結果としてビームの遷移を生じる。第２のセンサ２７４−２からの結果としての遷移信号２８６が、入力の１つ３０８−２に割り当てられるため、メイン出力信号３１０は、３１０−４で逆に２値の０に移行してこの遷移を表す。第１のセンサ２７４−１のビーム２８４−１が１００％で維持されて、ウエハ２０８Ｎ−２００が均一の速度で移動を続ける一方で、第２のセンサ２７４−２のビーム２８４−２は１００％に移行することが示されている。この時点で、ウエハミスアライメントを決定するためのウエハ２０８Ｎ−２００の移動が完了し、システム２７２は、ブレード２６２の中心２６４に対するウエハ２０８Ｎ−２００の中心２６０の位置を表すデータの処理を待つばかりとなる。
【００６５】
各モジュール２４０の各センサ２７４の正確な位置に関するデータと共に、図５および６（Ｃ）との関連で説明したメイン出力信号３１０を使用する。詳しく言うと、各センサ２７４の正確な位置を、メイン出力信号３１０の遷移３１０−１、３１０−２、および３１０−３ごとに知ることができる。この位置データは、既知の物理的特性を有したキャリブレーションウエハ２０８Ｃを使用するキャリブレーション方法によって提供される。例えば、図７に示されたキャリブレーションウエハ２０８Ｃは、直径が２００ｍｍで、底部に突起３２０を有する。突起３２０は、ブレード２６２の空きスペースまたはポケット２７０（図２Ｂ）にぴったり嵌るように形成されている。また、キャリブレーション方法を使用すると、ロボット２２８に対するセンサ２７４の厳密な位置に関するデータを提供する際に、上述した装置の一定の特性が考慮されることが保証される。例えば、ロボット２２８の軸２３０の位置が、モジュール２０２ごとに異なる可能性がある。また、モジュール２０２または２０４ごとに待ち時間ＬＢおよびＬＭが異なり、特定のセンサ２７４の空間における有効位置が、実際の位置とわずかに異なる可能性もある。
【００６６】
キャリブレーション方法は、拡張動作または撤回動作が実行されるか否かを識別し、校正される特定のモジュール２４０を識別する動作から開始する。次に、突起３２０をポケット２７０にぴったり嵌め込んで、キャリブレーションウエハ２０８Ｃをブレード２６２でクランプする動作が続く。すると、ロボット２２８は、「取り込み機能を装備する」ように命令される。これで、システム２７２がセンサ２７４の動作を行う準備が整う。次の動作では、ロボットは、校正されている特定モジュール２４０のポート２３４から撤回することにより、移動するように命令される。移動中は、半径Ｒおよび角度シータ（Ｔ）の値が、センサ２７４からの遷移信号２８６に基づいてデータ記録動作によって記録される。
【００６７】
図８には、撤回におけるＲおよびＴの代表的な値が示されている。図８において、最初の３つのエントリは、ウエハ２０８Ｃに応じて生成されたのではないため重要でなく、エントリ４〜７は、ウエハ２０８Ｃがセンサ２７４を通過した際に生成されたため重要である。ロボット２２８がウエハ２０８Ｃを一定の高さで移動させるため、代表的なデータは、ウエハ２０８Ｃの高さ、すなわち「Ｚ」値が同じ値で維持されることを示す。代表的なデータは、モジュール２４０のフェイス２３２が、第１のセンサ２７４−１がウエハの移動経路２４４から距離２７８だけ離れた位置に配置され、第２のセンサ２７４−２がその経路２４４から距離２８０だけ離れた位置に配置される、図３Ｂと同様であることを表す。距離２７８が距離２８０より大きいため、図３Ｂに示されるように、第２のセンサ２７４−２が第１および最後の遷移信号２８６（データエントリ４および７に対応する）を生成し、第１のセンサ２７４−１が第２および第３の遷移信号２８６（データエントリ５および６に対応する）を生成する。
【００６８】
図８に示されるように、シータの値の変動は僅か０．００５度であり重要ではない。シータの値の変動が、通常のあらゆる拡張または撤回において小さいことから、キャリブレーションの工程では平均値を使用するものとする。この例における平均値は３５８．９４０度である。
【００６９】
拡張においても同様な値のＲおよびＴが得られることは無論であり、簡単のためここでは図示しない。拡張における最初の４つのエントリは、ウエハ２０８Ｃがセンサ２７４を通過するのに応じてそれらが生成されたため重要であり、後半３つのエントリ５〜７は重要でない。ロボット２２８がウエハ２０８Ｃを一定の高さで移動させるため、代表的な拡張データはやはり、ウエハ２０８Ｃの高さ、すなわち「Ｚ」値が同じ値で維持されることを示す。代表的なデータはまた、モジュール２４０のフェイス２３２が、第１のセンサ２７４−１がウエハの移動経路２４４から距離２７８だけ離れた位置に配置され、第２のセンサ２７４−２がその経路２４４から距離２８０だけ離れた位置に配置される、図３Ｂと同様であることも表す。距離２７８が距離２８０より大きいため、図３Ｂに示されるように、第２のセンサ２７４−２が第１および最後の遷移信号２８６（データエントリ１および４に対応する）を生成し、第１のセンサ２７４−１が第２および第３の遷移信号２８６（データエントリ２および３に対応する）を生成する。
【００７０】
図９（Ａ）および９（Ｂ）は、経路２４４に沿ったキャリブレーションディスク２０８の４つの部位を示している。図９（Ａ）において、位置Ｂ−２のウエハ２０８は、センサ２７４−２のビーム２８４−２を遮断しているところである。位置Ｍ−２のウエハ２０８は、センサ２７４−２のビーム２８４−２を形成しているところである。図９（Ｂ）において、位置Ｂ−１のウエハ２０８はセンサ２７４−１のビーム２８４−１を遮断しているところであり、位置Ｍ−１ではビーム２８４−１を形成しているところである。したがって、図９（Ａ）および９（Ｂ）では、ウエハ２０８の前縁および後縁のそれぞれが、各ビーム２８４の遷移を引き起こしている。この情報を、ウエハの半径（Ｒ）、およびセンサ２７４が遷移した際のロボット２２８の位置に関する知識と共に使用することによって、センサの位置（アパチャ２８３の中心）を決定することが可能となる。最初および最後の遷移と図８におけるデータとを考慮すると、ビーム２８４が最初に遮断された際とビーム２８４が再形成された際の、ウエハ中心２６０位置の間の差は、５１３．２１０−３６３．１０６または１５０．１０４ミリメートル（５．９０９６インチ）である。図９（Ａ）によれば、この距離は２ａである。したがって、ａの値は、ウエハ中心間の距離の半分かまたは２．９５４８インチである。Ｒの値はウエハの半径であり、１００ｍｍまたは３．９３７０インチである。センサ２７４への距離ｂは、次式から得ることができる。
【００７１】
【数６】
0004880115.tif 000003
ここで、
【００７２】
【数７】
0004880115.tif 000004
である。
【００７３】
ａおよびＲが既知となれば、センサの位置をグローバルな値として表すことができる。例えば、センサの位置に対する半径ＲSを、次式から得ることができる。
【００７４】
【数８】
0004880115.tif 000005
【００７５】
ここで、ＲTは、低位置にあるウエハの獲得値である。センサに対する角度θSは、次式から得ることができる。
【００７６】
【数９】
0004880115.tif 000006
【００７７】
ここで、θTは経路の平均角度（シータの値）である。±は、センサ２７４が経路２４４のどちら側にあるかによって決定される。センサ２７４が左側にある場合はマイナス、センサ２７４が右側にある場合はプラスである。
【００７８】
キャリブレーションを行う結果、極座標におけるセンサ２７４−１および２７４−２の位置は、拡張および撤回の各動作に対して、そして中心２６４を含むロボット２２８の極座標系に関して、そしてセンサ２７４の特定の取り決め（すなわち間隔２７８、２８０、および２８２）に対して、正確に決定される。
【００７９】
第３のセンサ２７４−３に関しても、同様なキャリブレーションが実行される。上述したように、センサ２７４−１、２７４−２、および２７４−３の位置を表すデータがレジスタ２９２に格納される。このようなセンサの正確な位置を使用することができるため、遷移（例えば３１０−１）のために信号３１０がロボットコントローラ２９０に出力されるたびに、信号３１０は、ウエハ２０８のエッジ２５４、２５６、および２９６のうち１つの位置を示す。ロボットコントローラ２９０は、このような各信号３１０に応じて、信号３１０で表される遷移の発生時におけるブレード２６２の位置を表すデータを格納する。ブレード位置データは、ロボットモータ３２４で駆動されるエンコーダ３２２から出力されて、レジスタ２９２に格納される。ウエハのアライメント動作が完了したら、コントローラ２９０は、（センサ位置および対応するブレード位置によって表される）複合データをシステムコントローラ３２６に転送する。システムコントローラ３２６は、ブレード２６２の中心２６４に対するウエハ２０８の中心２６０の位置表示を提供する１つのデータプロセッサとして機能する。
【００８０】
すると、ウエハの搬送時間を増加させることなく、すなわちモジュール２０２もしくは２４０またはロードロック２０４の間におけるウエハ２０８の制御速度または移送速度を低下させることなく、ウエハ２０８が搬送されている間に作動するような、ウエハアライメント装置および方法が、システム２７２およびその関連の方法によって提供されることがわかる。このような方法および装置では、同一フェイス２３２のセンサ２７４、３つあたり１つのプロセッサ（コントローラ３２６）のみを必要とすることにより、センサ２７４、１つあたりのデータプロセッサの数を減らす。間隔２７８，２８０，２８２および回路３０２によって、クラスタツール構造２００全体で、ウエハミスアライメントの決定のために必要とされるプロセッサは１つのみである。上述したようなキャリブレーション工程によって、このような方法および装置は、センサ２７４のアパチャ２８３の位置付けに必要とされるマシニング精度を、センサ２７４を使用してなされる検知の精度を犠牲にすることなく低減することもできる。上述したように、スルービームセンサ２７４を使用してウエハミスアライメントを決定する際に誤差を生じる原因となる、待ち時間ＬＢおよびＬＭを排除することもできる。
【００８１】
次に、表１を参照する。表１は、上述した様々なデータを説明の効率化のために体系付けたものである。
【００８２】
【表１】
0004880115.tif 000007
【００８３】
表１のデータである項目１は、「センサの遷移時におけるエンドエフェクタの位置を表す」ものとして説明される。例えば、このような「遷移時」の１つは、遷移信号２８６Ｂがロボットコントローラ２９０の入力ポート２８９に到達した上述した代表的な時間ｔ１ｂＡＰＰに対応している。２つの代表的な遷移信号２８６Ｂのそれぞれに応じ、ロボットコントローラ２９０は、特定の遷移信号２８６Ｂの時点におけるロボット２２８の位置を表すデータをレジスタ２９２に格納する。同様に、２つの代表的な遷移信号２８６Ｍの時点において、ロボットコントローラ２９０は、特定の遷移信号２８６Ｍの時点におけるロボット２２８の位置を表すデータをレジスタ２９２に格納する。ウエハアライメントの動きがいったん完了すると、コントローラ２９０は、複合データ（センサ位置、および対応するブレード位置、すなわち遷移時のロボット２２８の位置によって表される）をシステムコントローラ３２６に伝送する。表１のデータである項目２は、「エンドエフェクタが拡張または撤回動作のいずれの動作で移動しているかを示すデータ」として説明される。このデータは、移動が始まった時点におけるロボットの位置と、その移動先のターゲット位置とに関する知識によって、獲得することができる。
【００８４】
表１のデータである項目３は、「拡張動作における校正後のセンサ位置データ」として説明される。表１のデータである項目４は、「撤回動作における校正後のセンサ位置データ」として説明される。これらのデータは、３つのセンサ２７４−１、２７４−２、２７４−３を、それぞれの拡張および撤回動作に対して校正した結果として得られる上述したデータである。センサ２７４−１、２７４−２、２７４−３の位置を表すこのデータは、拡張および撤回のそれぞれの動作に対して個々にレジスタ２９２に格納される。このような正確なセンサ位置が利用可能であるため、信号３１０が遷移（例えば３１０−１）のためにロボットコントローラ２９０に出力されるたびに、その信号３１０は、ウエハ２０８のエッジ２５４、２５６、２９６のうち１つのエッジの位置を示す。
【００８５】
表１のデータである項目５は、「ウエハの半径を示すデータ」として説明される。このデータは、例えば２００ｍｍまたは３００ｍｍの直径など、扱われている特定のウエハ２０８のサイズから得られる。
【００８６】
ウエハ２０８のオフセットの近似値の決定について説明する前置きとして、図２Ｂと、方向付けられたウエハ２０８の中心２６０の、ブレード２６２のブレード中心２６４に対する理想的な位置に関する上記の記述とを参照する。図２Ｂに示されるように、ウエハ中心２６０とブレード中心２６４は同じ位置にあり、ウエハ２０８のＹ軸はブレード２６２の縦軸２６６と同延である。理想的な位置にあるウエハ２０８は、図２Ｂにおいて、円状の点線によって定義されるディスクとして示されている。このような理想的な位置は、例えば、ロードロック２０４内または処理モジュール２４０内におけるウエハ２０８の望ましい位置に対応している。ウエハ２０８のこのような望ましい位置は、例えば処理モジュール２４０を、ウエハ２０８の正確な処理のために設計した結果として得られる位置である。システムコントローラ３２６は、望ましいウエハ位置の座標系におけるもとのターゲット座標ＸおよびＹの形でウエハ２０８の望ましい位置を識別する。
【００８７】
上記した理由（例えば静電気のチャックに伴う問題）により、ウエハ２０８は、モジュール２４０内またはロードロック２０４内において、望ましい位置以外の位置に配置されることがある。その結果、ロボット２２８がエンドエフェクタまたはブレード２６２でウエハ２０８を取り出す際に、ウエハ２０８がブレード２６２上でずれて配置されることになる。図２Ｃを見ると、ずれて配置されたウエハ２０８の中心２６０が、ブレード中心２６４と揃っておらず（図２Ｃの点線を参照のこと）、この状態は、「ウエハのミスアライメント」として上述されている。ウエハ２０８−エンドエフェクタ２６２間のこのミスアライメントは、図２ＣでΔＸおよびΔＹとして示される間隔のように、ウエハ２０８のＸ軸方向およびＹ軸方向の一方向または両方向への間隔によって定義される。
【００８８】
このような背景を念頭におくと、上述されたウエハのオフセットは、ウエハ２０８が、その取り出し時にモジュール２４０内またはロードロック２０４内で望ましい位置以外の位置に配置されるような状況であることが理解される。このようなオフセットは、上述したように、撤回動作で決定されるミスアライメントを結果としてもたらす。
【００８９】
同様に、他の理由により、例えばウエハ２０８が（ロボット２２８の制御下にあるエンドエフェクタ２６２によって）次の処理モジュール２４０へと搬送される拡張動作の最中には、上述したウエハ２０８−エンドエフェクタ２６２間のミスアライメントが存在し得る。ウエハ２０８が、ミスアライメントの補正なしに次の処理モジュール２４０に設置されると、ウエハ２０８が望ましい位置に設置されず、処理の誤差が生じる可能性がある。つまり、望ましいウエハ位置の座標系のターゲット座標ＸおよびＹで表すと、ウエハ２０８の配置は、「ｅx」成分および「ｅy」成分を有した誤差ｅを有する。上述したように、このようなミスアライメントは拡張動作によって決定される。
【００９０】
撤回または拡張動作のいずれかの最中にミスアライメントを決定する場合は、ウエハ２０８が（例えばウエハ２０８を配置するべきモジュール２４０に向かって）移動している最中に、ミスアライメントの近似値のこの決定により、意図通りの結果を得ることができる。その結果、決定によって、ウエハ２０８がモジュール２４０内の望ましい位置に到達するより前に決定された近似オフセットの量を補正できるように（すなわち実質的に排除するように）、エンドエフェクタ２６２（およびその上のウエハ２０８）を動かすように、ロボット２２８を制御することが可能となる。このような補正は、エンドエフェクタ２６２およびウエハ２０８の通常の移動先であるもとのターゲット座標を変更し、エンドエフェクタ２６２およびウエハ２０８のオフセット時の移動先である変更後のターゲット座標を提供することによってなされる。変更後のターゲット座標は、誤差「ｅ」とほぼ等しい量だけもとのターゲット座標と異なり、誤差「ｅ」は例えば、上述したミスアライメント（図２Ｃ）の一部として決定され得る「ｅx」成分および「ｅy」成分のうち可能なものを含んでいる。変更後のターゲット座標が提供されると、ロボット２２８は、ウエハ２０８がほぼ望ましい位置に配置されるように、ウエハ２０８を変更後のターゲット座標に配置する。
【００９１】
図１０は、一般的なプログラム４００の動作を示したフローチャートである。このプログラムは、本発明によるダイナミックアライメントの装置および方法とともに作動することによって、例えば、モジュール１０８ｂ内のウエハ２０８の望ましい位置に対するウエハ２０８のオフセットの近似値の決定を、最適化問題のステートメントとして定義する。動作４０２では、ウエハ２０８が、ロボット２２８の制御下で動くエンドエフェクタ２６２を使用して取り出される。記述的な目的のため、ウエハ２０８のこの取り出し時に、ウエハ２０８が、モジュール２４０内またはロードロック２０４内で望ましい位置以外に設置されていると仮定する。上述したように、このようなオフセットは、撤回動作で決定される上述したミスアライメントをもたらす。
【００９２】
動作４０４ではセンサ２７４が装着される（are armed）、つまり、センサ２７４を通過するウエハ２０８の後ほどの動きが感知されて、その結果として生じる遷移信号２８６が処理される。
【００９３】
動作４０６では、適切なものとしてのエンドエフェクタ２６２が、ウエハ２０８の直径に従って作動する２つのセンサ２７４を通過し、ポート２３４を通って拡張または撤回するように、ロボット２２８を作動させる。センサ２７４に対するウエハ２０８のこの動きは、２つの遷移信号２８６Ｂおよび２つの遷移信号２８６Ｍを処理用のデータとして得る、次の動作４０８に続く。より詳しく言うと、図１１は、Ｘ軸とＹ軸の交点で示される中心４１０をそれぞれ有したベクトル「ｒs1」、「ｒs2」、および「ｒw1」を示した概要図である。中心４１０と、これらＸ軸およびＹ軸とで、グローバルなロボット座標系が定義される。ロボットの定位置（線ＲＨを参照のこと）は、Ｘ軸から角度αの位置に示されている。図１１はまた、ウエハ２０８が、軸２４４に沿ってポート２３４を通ってセンサ２７４に対して移動する際に、ブレード中心４１２上のウエハ２０８の望ましい位置に中心を有する、ベクトル「ｒp1」を示している。図１１はまた、複数の面２３２の１つにインストールされた３つのセンサ２７４−１、２７４−２、２７４−３を示している。図示されたウエハ２０８の直径に基づくと、この例では、２つのセンサ２７４−１および２７４−２のみが作動している。動作４２０では、遷移信号２８６Ｂおよび２８６Ｍに基づいたデータを使用して、遷移時におけるエンドエフェクタ２６２の位置を表すデータを得る。上述したように、ポート２３４を通るウエハ２０８の動きによって、センサ２７４−１および２７４−２の遷移が４回引き起こされる。センサ２７４−１、２７４−２、２７４−３の位置を表すデータは、レジスタ２９２に格納されている。このような正確なセンサ位置が利用可能であるため、信号３１０が遷移（例えば、３１０−１）のためにロボットコントローラ２９０に出力されるたびに、その信号３１０は、ウエハ２０８のエッジ２５４、２５６、２９６のうち１つのエッジの位置を示すことができる。このような各信号３１０に応じ、ロボットコントローラ２９０は、その信号３１０によって表される遷移時におけるエンドエフェクタ２６２の位置を表すデータを格納する。動作４２０は、エンドエフェクタの位置データ（ロボットモータ３２４が駆動するエンコーダ３２２によって出力される）がレジスタ２９２に格納された時点で完了する。
【００９４】
動作４２２では、ウエハアライメントの動きが完了し、コントローラ２９０が、複合データ（センサ位置および対応するエンドエフェクタ位置によって表される）をシステムコントローラ３２６に伝送する。上述したように、システムコントローラ３２６はデータプロセッサとして機能し、以下で述べる処理を提供するように作動する。
【００９５】
動作４２４は、例えば処理モジュールにおける望ましい位置に対するウエハ２０８のオフセットの近似値の決定を、最適化問題のステートメントとして定義する。最適化問題のこのステートメントは、次式（１）によって記述される。
【００９６】
【数１０】
0004880115.tif 000008
【００９７】
式（１）に含まれる記号の説明を以下で行う。
【００９８】
動作４２６では、ウエハ２０８のオフセットの近似値を決定するために、標準的な最適化動作が実行される。動作４２６の詳細は、以下で説明する図１２Ａおよび１２Ｂに示されている。
【００９９】
動作４２８では、ウエハ２０８はエンドエフェクタ２６２によって動かされる。移動中は、変更後のターゲット座標を提供するエンドエフェクタ２６２のもとのターゲット座標を変更するために、動作４２６で得られたオフセットが使用される。変更後のターゲット座標は、誤差「ｅ」とほぼ等しい量だけもとのターゲット座標と異なる。誤差「ｅ」は、上述した式（１）に記された成分「ｅx」および「ｅy」を有する。この変更後のターゲット座標の用意は、例えばポート２３４を通るウエハ２０８の動き、またはポート２３４を通ってさらに処理モジュール２４０内へと至るウエハ２０８の動きの速度を減少させることなく行われて、ロボット２２８がウエハ２０８を変更後のターゲット座標に配置するとすぐに、ウエハ２０８がほぼ望ましい位置に配置されるようにして、一般的なプログラム４００を終了する。
【０１００】
図１２Ａおよび１２Ｂは、センサトリガデータおよび校正後のセンサ位置データを含む表１からのデータを、最適化プログラムの解を計算するにあたって処理する、動作４２６のサブ動作を、２つで合わせて示したフローチャートである。サブ動作４３０では、表１からの上記データがシステムコントローラまたはプロセッサ３２６に入力される。次いで動作４２６は、表１からのデータ入力である項目１をＡＳＣＩＩ文字から倍精度表示の値へと変換する、サブ動作４３２に移行する。次いで動作４２６は、ウエハの動きが拡張動作であるか否かを決定する、サブ動作４３４に移行する。この決定は、表１からのデータである項目２の考察に基づいてなされる。ウエハの動きが拡張動作であると決定された場合、動作はサブ動作４３６に移行し、それ以外の場合はサブ動作４３８に移行する。次いで動作４２６は、表１の項目３または項目４のデータがそれぞれさらなる処理での使用のために読み出される、サブ動作４３６および４３８のうち、適切なサブ動作へと移行する。
【０１０１】
次いで動作４２６は、現在実行されているのが拡張動作または撤回動作のいずれであるかに従って、サブ動作４４０および４４２のうち適切なサブ動作へと移行する。例えば、サブ動作４４２（撤回動作）に関する図８には、最後４つの取得位置が長方形で示されており、４つのベクトル「ｒw1」、「ｒw2」、「ｒw3」、および「ｒw4」を定義するエンドエフェクタ位置アレイへの、これら４つの位置の割り当てが示されている。同様の割り当てが拡張動作に対してもなされるが、ここでは図８に示される最初４つの取得位置がエンドエフェクタ位置アレイに割り当てられる。
【０１０２】
サブ動作４４０または４４２のいずれかが実行されると、動作４２６はサブ動作４４４に移行する。図１１に示されるように、４回のセンサ遷移（図８における４つの取得位置に対応する）のそれぞれに対し、ベクトルｒwiによってウエハのおおよその中心４１２が与えられる。ベクトルｒwiは、ロボット定位置ＲＨから時計回りに測定された長さおよび角度θとしてロボットレジスタ２９２に格納される。このとき、ベクトルｒwiはロボットレジスタ２９２からコンピュータ３２６まで移送される。図示された特定の直径を有するウエハ２０８に使用される２つのセンサ２７４−１および２７４−２のうち、一方のセンサはウエハ中心４１２が通る経路２４４により近く（この例ではセンサ２７４−２を参照）、もう一方のセンサはウエハ中心４１２からさらに離れている（センサ２７４−１を参照）。各センサ２７４は、ベクトル「ｒsj」によって空間内に位置付けられている。上述したように、センサ２７４の位置は上述した校正手続きによって決定され、その手続きの結果として生じるデータは表１からの入力である項目３および４である。図１１では、センサ２７４−２がウエハ中心４１２の最も近くに示されており、最初に遮断されて、ウエハ２０８がポート２３４を通り抜けた後に最後に再形成される。別の例として、センサ２７４−１が中心４１２の最も近くにある場合は、以下のそれぞれの式（２）、（３）、（４）、および（５）が書かれる。
【０１０３】
【数１１】
0004880115.tif 000009
【０１０４】
ベクトルｒsjおよびｒwiの値は、ロボット定位置ＲＨからの大きさおよび角度として知られる。
【０１０５】
ベクトル「ｒwi」を考慮して、動作４２６は、ウエハの中心４１２の名目上の経路を決定するサブ動作４４４へと移行する。ロボット２２８が拡張または撤回のいずれかのモードで移動するため、ウエハ中心４１２は、移送モジュール２０６の中心４１０から面２３２を通って放射状に広がる直線（例えば線２４４）をたどるはずである。したがって、ベクトル「ｒwi」の全ては、ロボット定位置ＲＨから全て同じ角度にあるべきである。しかしながら、この直線２４４は、ロボットサーボ（図示せず）の作動が原因で僅かに変動する可能性がある。変動は、非常に小さいため無視できると仮定されて、平均値が使用される。ウエハ中心４１２の名目上の経路２４４に対する角度は、次の式（６）によって与えられる。
【０１０６】
【数１２】
0004880115.tif 000010
【０１０７】
ここで、θwiは、ロボット定位置ＲＨから名目上のウエハ中心４１２までの角度である。角度θwavgは、コンピュータ３２６に格納される。
【０１０８】
次いで動作４２６は、名目上のウエハ中心４１２の経路２４４に最も近いセンサ２７４を定義するために、サブ動作４４６（図１２Ｂ）に移行する。サブ動作４４６は先ず、名目上のウエハ中心４１２の経路２４４と、センサ２７４を位置付ける各ベクトル「ｒsj」との間の角度を定義する。これらの角度は、以下のそれぞれの式（７）および（８）によって与えられる。
【０１０９】
【数１３】
0004880115.tif 000011
【０１１０】
ここで、θs1およびθs2は、ロボット定位置ＲＨからセンサ位置ベクトルｒsjまでの角度である。これら２つの角度のうち小さい角度によって、名目上のウエハの中心４１２の経路に最も近いセンサ２７４が決定される。
【０１１１】
次いで動作４２６は、図１１で定義されるように、中心４１２に中心を合わせたロボットエンドエフェクタ座標系におけるウエハエッジの位置を決定するために、サブ動作４４８に移行する。サブ動作４４８は、定義された角度θ1およびθ2を、どちらの角度がより小さいかに従って使用する。θ1＜θ2であるならば、以下のそれぞれの式（９）、（１０）、（１１）、（１２）、（１３）、（１４）、（１５）、（１６）によって表される変換が使用される。
【０１１２】
【数１４】
0004880115.tif 000012
【０１１３】
θ2＜θ1であるならば、以下のそれぞれの式（１７）、（１８）、（１９）、（２０）、（２１）、（２２）、（２３）、（２４）によって表される変換が使用される。
【０１１４】
【数１５】
0004880115.tif 000013
【０１１５】
サブ動作４４８の結果として、ウエハ中心４１２から、それぞれのセンサ２７４−１または２７４−２を遮断または形成するウエハ２０８のエッジ２５４、２５６、２９６の４つの部分にそれぞれ至るベクトルとして、ベクトルｒpiが定義される。これらのベクトルｒp1のうち代表的な１つが、図１１で、例えばこのようなセンサ２７４−２の遮断時にセンサ２７４−２に至るものとして示されている。これらのベクトルｒpiが定義されたら、次に図１３を参照する。図１３は、例えば処理モジュール２４０内の望ましい位置に配置されたウエハ２０８の位置に中心４５０を有した、ターゲット座標系を示したものである。図１３では、ウエハ２０８が２つのセンサ２７４−１および２７４−２に対して移動するのに伴って、このような中心４５０からウエハ２０８のエッジ２５４、２５６、または２９６の部分の位置へと至るベクトルｒp1、ｒp2、ｒp3、ｒp4として、これら４つのベクトルｒpiを示している。このような位置は、それぞれのベクトルｒp1、ｒp2、ｒp3、ｒp4に対応する点２５１−１〜２５１−４によって示される。
【０１１６】
次いで動作４２６は、最適化プログラムが呼び出されるサブ動作４５２に移行する。サブ動作４５２では、ベクトルｒp1、ｒp2、ｒp3、ｒp4として示される４つのベクトルｒpiによって定義された、４点２５１−１〜２５１−４が参照される。ベクトルｒp1、ｒp2、ｒp3、ｒp4によって定義されるこれらの４点２５１−１〜２５１−４は、ウエハのエッジ部分２５４、２５６、または２９６がセンサ２７４−１および２７４−２の遷移を引き起こす際の、ウエハ２０８のエッジ部分２５４、２５６、または２９６の実際の位置を識別するものである。サブ動作４５２は、ベクトルｒp1、ｒp2、ｒp3、ｒp4によって定義された４点２５１−１〜２５１−４にウエハが最も良く適合する場合の、ウエハ中心の位置ｅを見つける。例えば、位置ｅにある代表的な「最良適合」ウエハ２０８のエッジ２５４が、図１３の点線で示されている。サブ動作４５２は、この問題を最適化問題のステートメントすなわち最適化問題の呼び出しとして定義することによって、このような発見を達成するものである。サブ動作４５２は、この最適化問題を二次元の最適化問題として展開する。最良適合問題のステートメントは、「ウエハ２０８のエッジ２５４がベクトルｒp1、ｒp2、ｒp3、ｒp4で定義されるそれら４点ｐ1、ｐ2、ｐ3、ｐ4に最も良く適合するような、ウエハの中心位置ｅを見つけよ」である。その目標は、各ベクトルｒpiとウエハエッジ（例えばエッジ２５４）との距離の二乗の和を最小にする成分ｅxおよびｅyを決定することにある。最小化されるべき関数は、次の式（１）によって与えられる。
【０１１７】
【数１６】
0004880115.tif 000014
【０１１８】
ここで、Ｒはウエハの半径である。
【０１１９】
多くの最適化プログラムが、最小化工程を実行して最良適合の最適化問題を解くのに適している。例えば、徹底検索（exhaustive search）などの最適化アルゴリズムが好ましい。より好ましいのは、ニュートン・ラフソンアルゴリズムなどの勾配ベースのアルゴリズムである。最も好ましいのは、最小化工程を実行するためのネルダーミードシンプレックスなどの、非勾配ベースのアルゴリズムである。
【０１２０】
ネルダーミードシンプレックスを使用した最小化工程の実行を考慮して、このシンプレックスを多次元に適用することができる。図１３に２つの座標軸ＸおよびＹが示されているという点から、上述したダイナミックアライメントの状況は、二次元問題として述べられていることがわかる。したがって、以下ではネルダーミードシンプレックスを２次元で説明する。
【０１２１】
エンドエフェクタ２６２上のウエハ２０８の位置は、ｅxおよびｅyによって記述される。ｅxとｅyのどんな組み合わせに対しても、ウエハ２０８のエッジ２５４の位置と、遷移時（すなわちベクトルｒp1、ｒp2、ｒp3、ｒp4によって示される）におけるセンサ２７４の相対位置との間には、いくらかの誤差Ｆが存在する。図１４Ａおよび１４Ｂは、あらゆる値のｅxおよびｅyに関連づけられた誤差Ｆが、シンプレックスの計算に続いてプロットされるのに伴って形成された、三次元表面４６０を示したものである。最良適合問題は、最小の誤差Ｆを得るｅxおよびｅyの値を求めることを目標とする。最小の誤差Ｆは、表面４６０上の最低点４６２で表される。「収束」という用語は、アルゴリズムの計算が完了に向かうことを示すのに使用され、この完了によって、表面４６０上の最低点４６２で表される最小誤差Ｆを得るｅxおよびｅyの値が見つけられる。
【０１２２】
ネルダーミードシンプレックスによる処理は、以下の通りである。先ず、３組の座標値ｅxおよびｅyが任意に選出される。値を選択する有効なアプローチの例として、ｅxおよびｅyが値（０，０）を有する組を１つ選択し、ｅxおよびｅyが値（０，Δ）を有する第２の組を１つ選択し、ｅxおよびｅyが値（Δ,０）を有する第３の組を１つ選択することが挙げられる。デルタの値は、０．０１０インチのように非常に小さい。座標値を選択するこのアプローチは、ウエハ２０８が経路２４４を移動して、ウエハ２０８が、望ましい位置に配置されるように、一般に非常に中心に近くにあるかあるいはそこに位置されていると見なしている。
【０１２３】
ｅxおよびｅyの選択された値を式２５に代入し、「ｉ」の値として１〜４を代入すると、１組あたり１つずつで結果として３つの誤差Ｆが得られる。Ｆの値は常に正の数である。
【０１２４】
３組の座標を選択して処理すると、３つの点または頂点ｐ1、ｐ2、ｐ3が得られ、図１４Ａおよび１４Ｂに示される幾何学図形４６４が形成される。ネルダーミードシンプレックスの最適化アルゴリズムで処理される場合、幾何学図形４６４は「シンプレックス」と呼ばれる。この二次元問題において、シンプレックス４６４は三角形である。誤差Ｆを決定するために、シンプレックス４６４の頂点ｐ1、ｐ2、ｐ3がそれぞれ評価される。最大誤差Ｆを有した頂点ｐ2は、４６６として識別されて、この最大誤差の点４６６を三角形４６４の底辺４６８に対して反射させることによって移動される。点４６６の移動および反射は、「反転」と呼ぶことができ、新しい点４６６Ｎ１を定義することによって、次の三角形４６４Ｎ１が形成される。次の三角形４６４Ｎ１の新しい点４６６Ｎ１の座標を式２５に代入し、「ｉ」の値として１〜４を代入すると、新しい点４６６Ｎ１に対応する誤差Ｆが結果として得られる。また、最大誤差Ｆを識別するために、次の三角形４６４Ｎ１の３組の座標にそれぞれ対応する誤差Ｆの値が評価される。
【０１２５】
評価および反転工程を含む計算のサイクルは、結果として得られる３つの点４６６（点ｐ1、ｐ2、ｐ3から得られる）のうち、表面４６０上で他の点より著しく低い点が全くなくなるまで、または誤差Ｆの値を改善できる（減少させる）反射を行うことができなくなるまで繰り返される。図１４Ｂに示される標準的な方法では、例えば頂点４６６Ｎに対して点ｐ1dおよびｐ3dなどの頂点を選択することにより、三角形４６４のサイズを小型化する。挿入、計算、評価、および反転の工程は、すべての誤差が０．０００５インチなどの特定の許容誤差以内になるまで続けられる。許容誤差は例えば、処理モジュール２４０内の望ましい位置にウエハ２０８を配置する際の、望ましい精度に対応する。望ましい値を有した点（例えば恐らくｐ1、ｐ3、ｐ2newのうちのいずれか）は、表面４６０の底辺または最低点４６２であり、ベクトルｒp1、ｒp2、ｒp3、ｒp4によって定義される４点ｐ1、ｐ2、ｐ3にウエハ２０８のエッジ２５４を最も良く適合させるウエハの中心位置ｅを定義する、座標ｅxおよびｅyを有する。したがって、上で提起された問題の解が得られ、最適化アルゴリズム処理の収束が得られる。
【０１２６】
上述したように、望ましいウエハ位置座標系のターゲット座標ＸおよびＹで表されるこの解によって、ウエハ２０８の配置が、座標ｅxおよびｅyを有した誤差ｅを有するものとして決定される。サブ動作４７０では、近似誤差「ｅ」が戻される。
【０１２７】
誤差「ｅ」が決定されて戻された後、プログラム４２６は、ロボット２２８の制御を可能とするサブ動作４７２を続行することにより、ウエハ２０８がモジュール２４０内の望ましい位置に到達する前に、決定されたオフセットｅの近似値を補正する（すなわち実質的に排除する）ように、エンドエフェクタ２６２（そしてその上のウエハ２０８）を動かす。サブ動作４７２では、エンドエフェクタ２６２およびウエハ２０８の名目上の移動先であるもとのターゲット座標を変更し、変更されたターゲット座標を提供することによって、このような補正を行う。次にプログラム４２６は、エンドエフェクタ２６２およびウエハ２０８を変更後の座標に移動させるようにロボット２２８を仕向ける、サブ動作４７４に移行する。上述したように、変更後のターゲット座標は、例えば座標ｅxおよびｅyによって定義される誤差「ｅ」とほぼ等しい量だけもとのターゲット座標と異なる。変更後のターゲット座標が提供されると、ウエハ２０８がほぼ望ましい位置に配置されるように、ロボット２２８がウエハ２０８を変更後のターゲット座標に配置して、サブ動作４７４を完了し、動作４２６が終了する。
【０１２８】
以上では、誤差ｅをオフセットの「近似値」として説明するものとする。このような用語は、各ベクトルｒpiとウエハエッジ２５４との距離の二乗の和を最小化する議論において、上記許容誤差を参照したことを考慮して使用されるものである。先に述べたとおり、幾何学的タイプの非最適化プログラムでは、ウエハのオフセット値を十分な精度で提供しない。例えば代表的な特定の許容誤差である０．０００５インチ以内のような、本発明による上述したウエハのオフセットの精度に対して、幾何学的タイプの非最適化プログラムでは、実質的により低レベルの精度を与える（例えば、典型的なレベルの測定誤差が存在する場合で０．０２０インチ）。
【０１２９】
上述したように、多くの最適化プログラムが、最小化工程を実行して最良適合の最適化問題を解くのに適している。適切な最適化プログラムの選択では、以下の点が考慮される。
【０１３０】
一般に、良く知られた最適化プログラムでは、ウエハのオフセット精度が、非最適化プログラムで得られる誤差よりも著しく小さい特定の許容誤差内で提供される。また以下で述べるように、このような最適化プログラムでは、オフセット計算期間がウエハ移送期間より十分に短いのが通常である。このことを考慮すると、適切な最適化プログラムの選択では、非収束の可能性と、もしあるとすればオフセット計算期間における初期の非収束の効果とを、考慮することができる。上述した最良適合の問題に関し、勾配プログラムまたはシンプレックスプログラムを使用する場合は、非収束の可能性が非常に低いが、勾配プログラムを使用する場合の非収束の可能性は、シンプレックスプログラムを使用する場合のそれよりも大きい。つまり、シンプレックスプログラムは、勾配プログラムと比べて非収束の可能性が低い。勾配プログラムを使用する際の非収束の例として、最良適合問題を解くにあたり、多次元形状の計算が、底辺を定義する際に極小点が求まらない状態でしばしば進行することが挙げられる。その代わり勾配検索法の計算は、形の周りを円状に進行して、形の底辺に到達しない。
【０１３１】
最適化プログラムの選択において考慮されるもう１つの要素は、デルタの値が０．０１０インチのように非常に小さい場合における、上述した座標値選択アプローチに関する。上述したように、座標の初期値としては、ゼロ値を含むものが選択される。勾配アプローチが選択され、上述したようなゼロ値を含む座標の初期値を使用しても計算が収束しない場合は、第２の（またはそれ以降の）組の初期座標を選択することができる（例えば、１回目または２回目の非収束発生時に選択されるようにプログラムする）。上述した座標値選択へのこの２工程（またはそれ以上の）アプローチを使用すると、第２組（またはそれ以降）の初期座標を使用したさらなる再計算を含む計算期間の合計が、やはりウエハ移送期間よりも短くなることが決定される。この場合、勾配アルゴリズムは収束し、著しく改善されたオフセット値を、例えば代表的な特定の許容誤差０．０００５インチ以内で提供することができる。
【０１３２】
例えば、問題にしている特定の最良適合の最適化問題に対し、このような２工程またはそれ以上の座標値選択アプローチを使用しても、勾配アルゴリズムがウエハ移送期間以内に収束できないと決定された場合は、最も好ましいアルゴリズムであるネルダーミードシンプレックス最適化アルゴリズムが使用される。他の理由により、ネルダーミードシンプレックス最適化アルゴリズムの方が好ましい場合もある。上で述べたように、勾配プログラムを使用した場合の非収束の可能性は、シンプレックスプログラムを使用した場合よりも大きい。したがって、ネルダーミードシンプレックス最適化アルゴリズムを使用した場合の所要時間（すなわちオフセット計算期間）が、ウエハ移送期間より長くなる可能性は小さい。したがって、ネルダーミードシンプレックス最適化アルゴリズムを使用した場合は、ウエハ移送期間内に収束に達することができない可能性が遥かに小さく、必要な精度のオフセットが得られる前にオフセット計算が停止する可能性も遥かに小さい。
【０１３３】
上述した最小化では、容易に（例えば、ウエハ移送期間よりかなり短い期間内で）許容誤差内の誤差Ｆの最小値に到達できるため、本発明が、オフセット計算期間をウエハ移送期間より短く維持するにあたって直面する困難は、比較的少ない。例えば、許容できる許容誤差が代表的な０．０００５インチよりも小さい場合は、もう１計算サイクル分だけ処理が繰り返される（例えば三角形４６４のサイズを小さくする）。徹底的な勾配プログラムと比べ、シンプレックスアルゴリズムを使用した場合は、このような最良適合問題の処理が、ウエハ移送期間内で誤差Ｆの最小値を決定する結果となる可能性が最も高い。
【０１３４】
以上では、理解を明確にする目的で本発明を詳細に説明したが、添付した特許請求の範囲の範囲内で、一定の変更および修正を加えられることは明らかである。したがって、上述した本実施例は、例示を目的としたものであって限定的ではなく、本発明は、ここで取り上げた詳説に限定されず、添付した特許請求の範囲の範囲および同等物の範囲内で変更され得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】真空搬送モジュールに接続された常圧移送モジュールを示す、従来技術による代表的な半導体工程のクラスタツール構造であって、真空搬送モジュールへの移送のためにロードロックがウエハを受け取っている。
【図２Ａ】本発明に従った半導体工程のクラスタツール構造を示した平面図であり、固定軸上での回転のため、そして真空搬送モジュールにウエハを運び込むブレードを搬送するために搭載された、真空搬送モジュールロボットが示されている。
【図２Ｂ】ブレードに適切に揃えられたウエハを運ぶブレードの平面図である。
【図２Ｃ】ブレードに適切に揃えられていないウエハを運ぶブレードの平面図であり、本発明に従って決定されるウエハのミスアライメントが示されている。
【図３Ａ】クラスタツール構造の真空搬送モジュールの１フェイスを部分的に示した平面図であり、本発明に従ったダイナミックアライメントのためのシステムの概略を部分的に示しており、直径が２００ｍｍのウエハに使用される第２のセンサが示されている。
【図３Ｂ】直径が２００ｍｍのウエハの平面図であり、図３Ａに示されたセンサのビームをウエハが遮断および形成する時間が示されている。
【図３Ｃ】クラスタツール構造の真空搬送モジュールのフェイスの同一部分を示した平面図であり、本発明に従ったダイナミックアライメントのためのシステムの概略を部分的に示しており、直径が３００ｍｍのウエハに使用される第３のセンサが示されている。
【図３Ｄ】直径が３００ｍｍのウエハの平面図であり、図３Ｃに示されたセンサのビームをウエハが遮断および形成する時間が示されている。
【図３Ｅ】複数フェイスのうち１つのフェイスのポートを示した立面図であり、ウエハが遮断および形成する光ビームを供給する光ファイバケーブルを有した３つのセンサが示されている。
【図３Ｆ】クラスタツール構造システムの平面図であり、１フェイスあたり２つのセンサと、遮断および形成による各遷移に対応する遷移信号を生成するビームレシーバに接続された光ファイバケーブルとが示されている。
【図３Ｇ】遷移信号を受信してこれらの信号をロボットコントローラに供給するカードを示した概略図である。
【図４Ａ】センサの待ち、およびこのような待ちが原因で生じる誤差を排除するためにセンサの視位置がどのように決定されるかを示した概略図である。
【図４Ｂ】センサの待ち、およびこのような待ちが原因で生じる誤差を排除するためにセンサの視位置がどのように決定されるかを示した概略図である。
【図５】ビーム１回の遮断あたり１つの出力信号を提供し、ビーム１回の形成あたり１つの出力を提供する、論理回路の概略図である。
【図６】２つのセンサにおけるビームの遮断および形成のタイミングを、論理回路からの１つの出力信号にそれぞれ関連付ける図である。
【図７】センサの位置を正確に決定するためにキャリブレーション工程で使用されるキャリブレーションウエハの底面図である。
【図８】キャリブレーション工程の結果として得られる代表的なデータを示した図である。
【図９】ウエハ経路の右側にあるセンサビームに対するウエハの、キャリブレーション工程中における位置を示した図であり、図９（Ａ）はウエハ経路の右側にあるセンサビームに対するウエハ位置を示し、図９（Ｂ）はウエハ経路の左側にあるセンサビームに対するウエハ位置を示す。
【図１０】本発明の動作を示したフローチャートであり、ダイナミックアライメント装置および方法が、モジュール内におけるウエハの望ましい位置に対するウエハのオフセット近似値の決定を、最適化問題のステートメントとして定義している。
【図１１】ロボットの回転中心に起点を有したベクトルと、ウエハがセンサに対して移動する際にウエハの中心に起点を有したベクトルと、を示した概要図である。
【図１２Ａ】図１２Ｂとともに、センサトリガデータおよび校正後のセンサ位置データを、最適化問題を解く計算に使用するために処理する動作を示したフローチャートである。
【図１２Ｂ】図１２Ａとともに、センサトリガデータおよび校正後のセンサ位置データを、最適化問題を解く計算に使用するために処理する動作を示したフローチャートである。
【図１３】例えば処理モジュール内で望ましい位置に置かれたウエハの位置に、中心を有した座標系を示した図であり、このような中心から、望ましい位置からオフセットされたウエハの中心に至る、ベクトルｅが示されている。
【図１４Ａ】最適化問題を記述した式の処理中に定義される三次元表面を示した図であり、この処理では、誤差値の計算に三角形の頂点の値が使用される。
【図１４Ｂ】最適化問題を記述した式の処理中に定義される三次元表面を示した図であり、この処理では、誤差値の計算に三角形の頂点の値が使用される。
【符号の説明】
１００…代表的なクラスタ構造
１０２…クリーンルーム
１０４…ロードロック
１０６…真空搬送モジュール
１０８ａ、１０８ｂ、１０８ｃ…処理モジュール
２００…クラスタツール構造システム
２０２…真空搬送モジュール
２０４…ロードロック
２０６…常圧搬送モジュール
２０８…基板またはウエハ
２０８Ｆ…第１のウエハ
２０８Ｎ…第２のウエハ
２０８Ｃ…キャリブレーションウエハ
２０８−２００…直径が２００ｍｍのウエハ
２０８−３００…直径が３００ｍｍのウエハ
２１０…カセット
２１２…フロントエンドロボット
２１４…固定回転軸
２１６…ウエハアライナ
２１８…ウエハ受け取り面
２２０…ロードロックポート
２２２…ゲートバルブまたはドア
２２４…ロードロックウエハ移送軸
２２６…フィンガ
２２８…真空移送ロボット
２３０…中心軸
２３２…ウエハ移送面
２３４…ポート
２３６…ゲートバルブまたはドア
２３８…デュアルスロットバルブ
２４０…処理モジュールまたはチャンバ
２４２…入来ウエハ移送経路
２４４…第２のウエハ移送経路
２４６…ピン
２５１−１、２５１−２、２５１−３、２５１−４…ベクトルｒp1、ｒp2、ｒp3、ｒp4によって定義された点
２５２…直線状のエッジ
２５４…曲線状のエッジまたは前縁
２５６…刻み目が入った曲線状のエッジまたは前縁
２５８…刻み目
２６０…ウエハの中心
２６２…ロボットのブレード
２６４…ブレードの中心
２６６…ブレードの縦軸
２７０…空間またはポケット
２７２…ダイナミックアライメントシステム
２７４…センサ
２７４−１…第１のセンサ
２７４−２…第２のセンサ
２７４−３…第３のセンサ
２７４Ｔ…ビームトランスミッタ部位
２７４Ｒ…ビームレシーバ部位
２７４ＣＩ…入来光ファイバケーブル
２７４ＣＯ…出力光ファイバケーブル
２７６…センサ位置決め軸
２７８…第１の距離
２８０…第２の距離
２８２…第３の距離
２８３…アパチャ
２８４…光ビーム
２８５…センサボディ
２８５Ｄ…光検出器
２８５Ｅ…エミッタ
２８６…遷移信号
２８６Ｂ…遮断を示す遷移信号
２８６Ｍ…形成を示す遷移信号
２８８…マルチプレックスカード
２８９…入力ポート
２９０…ロボットコントローラ
２９２…レジスタ
２９６…ウエハのエッジまたは後縁
３０２…論理回路
３０４…排他的ＯＲゲート
３０６…排他的ＯＲゲートの出力
３０８…排他的ＯＲゲートの入力
３１０…シングル信号
３１０−１、３１０−２、３１０−３…遷移
３１２…メイン出力
３２０…突起
３２２…エンコーダ
３２４…ロボットモータ
３２６…システムコントローラ
４１０…Ｘ軸とＹ軸の交点
４１２…ウエハのおおよその中心
４６０…三次元表面
４６２…最低点
４６４…シンプレックス
４６６…最大誤差の頂点
４６６Ｎ…４６６の反転後の点
４６８…底辺
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
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【図３Ｆ】
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【図３Ｇ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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