(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着剤を収容する粘着剤収容部と転写板の転写面とが摺接しながら相対的に水平移動することにより該転写面上に粘着剤膜を形成し、この粘着剤膜に転写対象物を浸漬させて該転写対象物に粘着剤を転写する粘着剤転写装置において、
前記粘着剤収容部は一対のゲートを備え、該一対のゲートは前記粘着剤収容部を前記転写板の移動方向に２分する中心面に対して対称に配置されており、さらに該ゲートを前記転写板の移動方向と直交する水平方向の回転軸を中心に回転させることにより、その下端部と転写面との間に隙間を設けることができ、その隙間の高さに応じた厚さの粘着剤膜を形成でき、
さらに、前記ゲートが転写板の移動方向と平行な鉛直面で分割されているとともに、分割された該ゲートをそれぞれ転写板の移動方向に移動させて固定することができ、前記回転軸回りの回転角度が同じであっても、分割された該ゲートのそれぞれの下端部と転写面との間の隙間の高さを異ならせることができることを特徴とする粘着剤転写装置。
【請求項２】
前記一対のゲートのそれぞれの下端部が前記転写面に当接することにより、前記粘着剤収容部が密閉した状態となることを特徴とする請求項１に記載の粘着剤転写装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装装置において、フラックス、半田ペースト、導電性接着剤等の粘着剤を供給して電子部品に粘着剤を転写させる粘着剤転写装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を基板に実装するに際しては、フラックス、半田ペースト、導電性接着剤等の粘着剤を電子部品に転写させた後、基板に実装することが多い。例えば、半田バンプを有する電子部品を基板に実装する際には、実装する前に、半田の接合性を向上させる目的で、ペースト状のフラックスを電子部品のバンプに転写させることが一般的に行われている。
【０００３】
電子部品のバンプへのフラックスの転写は、ペースト状のフラックスを膜状に供給する転写装置を用いて行われる。具体的には、該転写装置によって供給されたフラックス膜に電子部品のバンプを接触させて、フラックスを転写させる。
【０００４】
粘着剤膜を供給する転写装置は、例えば特許文献１および２に記載されている。特許文献１および２に記載の転写装置は、転写テーブルとスキージユニットとが相対的に水平方向に往復移動することで、転写テーブル上に粘着剤膜を形成する。成膜用スキージと掻き取り用スキージとで構成されたスキージユニットがそれぞれのスキージの中間点を回転中心として揺動（回転）動作を行い、成膜工程において転写テーブルが移動する時は成膜用スキージが回転下降して転写テーブルと摺接し、掻き取り工程において転写テーブルが移動する時は掻き取り用スキージが転写テーブルと摺接して、転写テーブルが往復する毎に新たに粘着剤膜を形成することができる。粘着剤膜の厚さは、転写テーブルの成膜凹部の深さまたは成膜用スキージ下端部の切り欠きの高さに応じて決定され、成膜工程時に成膜用スキージ下端部と転写テーブル上面とが摺接して相対的に移動することにより、所定の厚さの粘着剤膜が供給される。
【０００５】
また、粘着剤膜を供給する転写装置は、例えば特許文献３にも記載されている。特許文献３に記載の転写装置は、転写テーブルと２つの成膜用スキージを備えたスキージユニットとで構成されており、転写テーブルをスキージユニットに対して相対的に水平移動させ、スキージ部材により粘着剤を延展し、スキージ部材の下端部と転写テーブルの塗膜形成面との隙間の高さに応じた厚さで、粘着剤膜を形成する。２つのスキージは転写テーブルの移動方向に直角な方向で互いに平行に配置され、それぞれが単独で昇降可能となっており、スキージ部材の下端部と転写テーブルの塗膜形成面との隙間の高さが調整できるようになっている。また、塗膜形成面にスキージ下端部を摺接させて転写テーブルを移動させて、転写作業後の粘着剤膜を掻き取ることも可能である。
【０００６】
粘着剤膜を形成する際には、スキージ部材の下端部と転写テーブルの塗膜形成面との隙間の高さを、形成する粘着剤膜の厚さに応じた幅になるように昇降機構により調整して、所定の厚さの粘着剤膜を形成する。転写テーブルの移動の途中でスキージ部材の位置を上下方向に移動して隙間の高さを変えることで、転写テーブルの移動方向に、異なる厚さの粘着剤膜を転写テーブルの塗膜形成面上に形成することができる。
【０００７】
転写作業後の粘着剤膜を掻き取る際には、スキージ部材の位置を下降させ、塗膜形成面にスキージ部材の下端部を摺接させる。そして、粘着剤膜形成時とは反対方向に転写テーブルを移動させることで、転写後の荒れた粘着剤膜を回収することができる。
【０００８】
また、２つのスキージ部材の昇降動作を制御することにより、転写テーブルをどちらの移動方向に移動させた場合でも、粘着剤膜の形成および転写作業後の粘着剤膜の掻き取りを行うことができる。
【０００９】
【特許文献１】特開２００４−３３０２６１号公報
【特許文献２】特開２００７−２５０７３０号公報
【特許文献３】特開２００７−３０５７２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
部品実装装置による実装作業において、同一の基板に異なる種類の部品を実装する場合がある。実装する部品の種類が変われば、転写する粘着剤（フラックス、半田ペースト、導電性接着剤等）の適正量は異なる。このため、粘着剤膜を供給する転写装置は、異なる任意の厚さの粘着剤膜を同時に供給できることが好ましい。
【００１１】
しかしながら、特許文献１および２に記載の転写装置では、粘着剤膜を形成する際、スキージ部材の下端部を転写テーブル上面と摺接させるので、粘着剤膜を形成する際のスキージ部材の高さ位置は固定されている。このため、形成される粘着剤膜の厚さは、摺接部を基準として転写テーブルの凹部の深さまたは成膜用スキージ下端部の切り欠きの高さにより決定されてしまう。したがって、膜厚を変更する場合は、凹部深さの異なる転写テーブルまたは切り欠き高さの異なる成膜用スキージに取り替える必要があり、部品の交換が必要であり、異なる任意の厚さの粘着剤膜を同時に供給することができず、大きさの異なる電子部品への対応には制約がある。
【００１２】
これに対し、特許文献３に記載の転写装置は、膜厚を変更する際、部品の交換が不要である。
【００１３】
しかしながら、特許文献３に記載の転写装置は、掻き取り動作においては塗膜形成面にスキージ下端部を摺接させて、塗膜形成面上の粘着剤を回収しているので、スキージ下端部は全長に亘り塗膜形成面と接触する必要があり、直線形状でなければならない。このため、転写テーブルの移動方向と直角方向では同一の厚さの粘着剤膜を形成することしかできない。
【００１４】
実装する部品の種類が多い場合には、それぞれに対応した厚さの粘着剤膜を用意する必要があるが、特許文献３に記載の転写装置では、転写テーブルの移動方向での膜厚変更にしか対応できないため、同時に形成可能な粘着剤膜の厚さの種類は少なくなり、多くの種類の膜厚に対応するためには、転写装置を複数用意する必要がある。なお、スキージ下端部に段差を付ければ、異なる膜厚を、転写テーブルの移動方向と直角方向に形成することが可能であるが、掻き取り動作時において、スキージ全幅で塗膜形成面と摺接することができなくなり、段差部では塗膜形成面上の粘着剤を掻き取ることができなくなってしまう。
【００１５】
また、特許文献１〜３に記載の転写装置においては、掻き取り工程で回収された粘着剤は常に外気にさらされており、粘着剤の劣化が進み易い。
【００１６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであって、部品を交換することなく、形成する粘着剤膜の厚さを変更することができる粘着剤転写装置を提供することを第１の課題とする。
【００１７】
また、転写テーブルの移動方向だけでなく、転写テーブルの移動方向と直角方向についても粘着剤膜の厚さを変更することができる粘着剤転写装置を提供することを第２の課題とする。
【００１８】
さらに、掻き取り工程で回収された粘着剤を密閉状態で保存することができる粘着剤転写装置を提供することを第３の課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明に係る粘着剤転写装置は、粘着剤を収容する粘着剤収容部と転写板の転写面とが摺接しながら相対的に水平移動することにより該転写面上に粘着剤膜を形成し、この粘着剤膜に転写対象物を浸漬させて該転写対象物に粘着剤を転写する粘着剤転写装置において、前記粘着剤収容部は一対のゲートを備え、該一対のゲートは前記粘着剤収容部を前記転写板の移動方向に２分する中心面に対して対称に配置されており、さらに該ゲートを前記転写板の移動方向と直交する水平方向の回転軸を中心に回転させることにより、その下端部と転写面との間に隙間を設けることができ、その隙間の高さに応じた厚さの粘着剤膜を形成でき、さらに、前記ゲートが転写板の移動方向と平行な鉛直面で分割されているとともに、分割された該ゲートをそれぞれ転写板の移動方向に移動させて固定することができ、前記回転軸回りの回転角度が同じであっても、分割された該ゲートのそれぞれの下端部と転写面との間の隙間の高さを異ならせることができることを特徴とする粘着剤転写装置であり、前記第１および第２の課題を解決することができる。
【００２３】
さらに、前記一対のゲートのそれぞれの下端部が前記転写面に当接することにより、前記粘着剤収容部が密閉した状態となることが好ましく、この場合の粘着剤転写装置は、前記第３の課題を解決することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、粘着剤収容部は一対のゲートを備え、該一対のゲートは該粘着剤収容部を転写板の移動方向に２分する中心面に対して対称に配置されているので、前記転写板が移動する両方向に粘着剤膜を形成できる。また、前記ゲートを前記転写板の移動方向と直交する水平方向の回転軸を中心に回転させることによりその下端部と転写面との間に隙間を設けることができ、その隙間の高さに応じた厚さの粘着剤膜を形成でき、膜厚を変更する場合も、凹部深さの異なる転写テーブルまたは切り欠き高さの異なる成膜用スキージに取り替える必要がない。
また、前記ゲートを転写板の移動方向と平行な鉛直面で分割するとともに、分割した該ゲートをそれぞれ転写板の移動方向に移動して固定し、前記回転軸回りの回転角度が同じであっても、分割した該ゲートのそれぞれの下端部と転写面との間の隙間の高さを異ならせることができるようにしているので、転写板の移動方向だけでなく、それと直角方向についても異なる厚さの粘着剤膜を形成でき、粘着剤の転写量の異なる複数の電子部品に対して対応しやすい。
前記一対のゲートのそれぞれの下端部が前記転写面に当接することにより、前記粘着剤収容部が密閉した状態となるようにした場合、該粘着剤収容部に収容する粘着剤の劣化を抑制することができる。
【００２５】
また、前記ゲートの前記回転軸回りの回転角度を制御することにより、前記隙間の高さを任意に設定することができるようにした場合、任意の厚さの粘着剤膜を形成できるので、粘着剤の転写量の異なる複数の電子部品に対しても対応しやすい。
【００２６】
また、前記転写板の移動途中で前記ゲートの前記回転軸回りの回転角度を変更することにより、該転写板の移動方向において異なる厚さの粘着剤膜を形成できるようにした場合、粘着剤の転写量の異なる複数の電子部品に対してより対応しやすくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態について詳細に説明する。
【００３０】
図１は、本発明に係る実施形態の粘着剤転写装置１０を示す平面図であり、図２は、図１のＩＩ方向から見た側面図であり、図３は、図１のＩＩＩ方向から見た側面図であり、図４は、図１のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【００３１】
粘着剤転写装置１０は、転写装置フレーム１２と、転写板駆動部１４と、転写板１６と、粘着剤収容部１８と、ゲート駆動部２０と、ゲート角度検出部２２とからなる。
【００３２】
転写装置フレーム１２は、底板１２Ａと、側方支持部材１２Ｂとからなる。底板１２Ａは、粘着剤転写装置１０の土台であり、その上面に転写板駆動部１４が据え付けられている。側方支持部材１２Ｂは板状の部材で、下端部が底板１２Ａに連結固定されて立設されており、後述するモータ５０Ａ、５０Ｂや角度検出器６０Ａ、６０Ｂが外側面に取り付けられているとともに、後述するブラケット軸４２、４４の軸受けとなっている。
【００３３】
転写板駆動部１４は、転写板１６を水平方向（図１及び図２のＸ方向）に駆動する役割を有する。転写板駆動部１４は、転写板駆動ベルト１４Ａと、転写板駆動モータ１４Ｂと、駆動プーリ１４Ｃと、プーリ１４Ｄとを有してなり、転写装置フレーム１２の底板１２Ａの上面に据え付けられている。
【００３４】
転写板１６は、その上面である転写面１６Ａに粘着剤膜を形成させる板状体である。転写板１６は、その下面に設けられた連結部１６Ｂを介して、転写板駆動部１４の転写板移動ベルト１４Ａ上に固定されており、転写板駆動部１４によって駆動され、水平方向に移動することによって、転写面１６Ａに粘着剤膜が形成される。転写板１６の上面の転写面１６Ａの縁部には、漏れた粘着剤を回収する転写板溝１６Ｃが設けられている。
【００３５】
粘着剤収容部１８は、対向する一対の側壁３０と、上面部材３２と、右ゲート３４と、左ゲート３６と、右ゲートブラケット３８と、左ゲートブラケット４０と、右ゲートブラケット軸（回転軸）４２と、左ゲートブラケット軸（回転軸）４４と、を有してなり、それらの構成要素によって形成された内部空間４６に粘着剤１が収容される。
【００３６】
右ゲート３４および左ゲート３６は、後述のように、ブラケット軸（回転軸）４２、４４を中心として回転するが、その際、右ゲート３４および左ゲート３６の両側面は、側壁３０の内面と摺動するようになっている。また、図４に示すように、右ゲート３４（第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂ）および左ゲート３６（第１左ゲート３６Ａおよび第２左ゲート３６Ｂ）の回転角度がゼロになると、その壁部３４Ａ１、３４Ｂ１、３６Ａ１、３６Ｂ１の下端部が転写板１６の転写面１６Ａに当接し、壁部３４Ａ１、３４Ｂ１、３６Ａ１、３６Ｂ１の下端部と転写面１６Ａとの間の隙間がなくなるとともに、その天井部３４Ａ２、３４Ｂ２、３６Ａ２、３６Ｂ２の先端部の上面が上面部材３２の下面に当接し、天井部３４Ａ２、３４Ｂ２、３６Ａ２、３６Ｂ２の先端部の上面と上面部材３２の下面との間の隙間がなくなり、粘着剤収容部１８の内部空間４６は密閉状態となる。
【００３７】
粘着剤の転写作業を行わない時には、右ゲート３４および左ゲート３６の回転角度はゼロであり、粘着剤収容部１８の内部空間４６は直方体形状の密閉空間となっており、粘着剤１は該密閉空間の中に収容され、粘着剤１の劣化が防止される。
【００３８】
上面部材３２が載置される側壁３０の中央部は、上面部材３２が載置される領域だけ上部に突出しており、その突出量は右ゲート３４および左ゲート３６の天井部３４Ａ２、３４Ｂ２、３６Ａ２、３６Ｂ２の高さの半分程度である。側壁３０をこのような形状とすることにより、右ゲートブラケット３８および左ゲートブラケット４０は、側壁３０にぶつからずにブラケット軸４２、４４の回りを円滑に回転することができる。
【００３９】
右ゲート３４は、転写板１６の移動方向と平行な鉛直面で２等分されており、第１右ゲート３４Ａと、第２右ゲート３４Ｂとに分割されている。第１右ゲート３４Ａは、壁部３４Ａ１と天井部３４Ａ２とからなり、断面がＬ字型の部材である。同様に、第２右ゲート３４Ｂは、壁部３４Ｂ１と天井部３４Ｂ２とからなり、断面がＬ字型の部材である。第１右ゲート３４Ａと、第２右ゲート３４Ｂとの隣り合う両側面は密着しつつ摺動できるようになっている。
【００４０】
左ゲート３６は、右ゲート３４と同様に、転写板１６の移動方向と平行な鉛直面で２等分されており、第１左ゲート３６Ａと、第２左ゲート３６Ｂとに分割されている。第１左ゲート３６Ａは、壁部３６Ａ１と天井部３６Ａ２とからなり、断面がＬ字型の部材である。同様に、第２左ゲート３６Ｂは、壁部３６Ｂ１と天井部３６Ｂ２とからなり、断面がＬ字型の部材である。第１左ゲート３６Ａと、第２左ゲート３６Ｂとの隣り合う両側面は密着しつつ摺動できるようになっている。左ゲート３６は、右ゲート３４とは対称に配置されている。
【００４１】
右ゲート３４（第１右ゲート３４Ａ、第２右ゲート３４Ｂ）は、後述するように、右ゲートブラケット３８に取り付け固定されて、右ゲートブラケット軸４２を中心として回転し、壁部３４Ａ１、３４Ｂ１の下端部と転写板１６の転写面１６Ａとの間に所定の隙間を設ける。該隙間が設けられた状態で転写板１６が右方向に移動すると、該隙間の高さに応じた厚さの粘着剤膜２Ａ（図９参照）が転写板１６の転写面１６Ａ上に形成される。
【００４２】
同様に、左ゲート３６（第１左ゲート３６Ａ、第２左ゲート３６Ｂ）は、後述するように、左ゲートブラケット４０に取り付け固定されて、左ゲートブラケット軸４４を中心として回転し、壁部３６Ａ１、３６Ｂ１の下端部と転写板１６の転写面１６Ａとの間に所定の隙間を設ける。該隙間が設けられた状態で転写板１６が左方向に移動すると、該隙間の高さに応じた厚さの粘着剤膜２Ｃ（図１０参照）が転写板１６の転写面１６Ａ上に形成される。
【００４３】
右ゲートブラケット３８は、その下面に右ゲート３４（第１右ゲート３４Ａ、第２右ゲート３４Ｂ）の天井部３４Ａ２を連結固定して、右ゲートブラケット軸（回転軸）４２を中心として右ゲート３４を回転させる役割を有する。図２〜図４に示すように、右ゲートブラケット３８の両端部には下方に突出した下方突出部３８Ａが設けられており、下方突出部３８Ａの先端部付近には右ゲートブラケット軸（回転軸）４２がそれぞれ取り付け固定されている。一対の右ゲートブラケット軸４２は、それぞれ側方支持部材１２Ｂの貫通孔（軸受け）に挿通されて回転可能に支持されており、右ゲートブラケット３８は一対の右ゲートブラケット軸４２を中心として回転するようになっている。また、一対の右ゲートブラケット軸４２のうちの一方の先端にはウォームホイール５６Ａが取り付け固定されている。後述するように、ウォームホイール５６Ａは、ゲート駆動部２０から回転駆動力を供給されて回転し、右ゲートブラケット軸４２を回転させ、右ゲート３４を右ゲートブラケット軸４２回りに回転させる。また、一対の右ゲートブラケット軸４２のうち他方の先端部にはブラケット軸ギア６８Ａが取り付け固定されている。後述するように、ブラケット軸ギア６８Ａは、角度検出器６０Ａの回転軸６２Ａの先端部に取り付け固定された角度検出器ギア６４Ａと係合しており、右ゲート３４の右ゲートブラケット軸４２回りの回転角度が角度検出器６０Ａに伝達されるようになっている。
【００４４】
同様に、左ゲートブラケット４０は、その下面に左ゲート３６（第１左ゲート３６Ａ、第２左ゲート３６Ｂ）の天井部３６Ａ２、３６Ｂ２を連結固定して、左ゲートブラケット軸（回転軸）４４を中心として左ゲート３６を回転させる役割を有する。図２〜図４に示すように、左ゲートブラケット４０の両端部には下方に突出した下方突出部４０Ａが設けられており、下方突出部４０Ａの先端部付近には左ゲートブラケット軸（回転軸）４４がそれぞれ取り付け固定されている。一対の左ゲートブラケット軸４４は、それぞれ側方支持部材１２Ｂの貫通孔（軸受け）に挿通されて回転可能に支持されており、左ゲートブラケット４０は一対の左ゲートブラケット軸４４を中心として回転するようになっている。また、一対の左ゲートブラケット軸４４のうちの一方の先端にはウォームホイール５６Ｂが取り付け固定されている。後述するように、ウォームホイール５６Ｂは、ゲート駆動部２０から回転駆動力を供給されて回転し、左ゲートブラケット軸４４を回転させ、左ゲート３６を左ゲートブラケット軸４４回りに回転させる。また、一対の左ゲートブラケット軸４４のうちの他方の先端部にはブラケット軸ギア６８Ｂが取り付け固定されている。後述するように、ブラケット軸ギア６８Ｂは、角度検出器６０Ｂの回転軸６２Ｂの先端部に取り付け固定された角度検出器ギア（図示せず）と係合しており、左ゲート３６の左ゲートブラケット軸４４回りの回転角度が角度検出器６０Ｂに伝達されるようになっている。
【００４５】
また、右ゲートブラケット３８は、下方突出部３８Ａと直交する方向に突出（回転角度ゼロの状態で水平方向に突出）した取付突出部３８Ｂ、３８Ｃが、両端部からそれぞれその長さの３分の１程度の位置に設けられている。取付突出部３８Ｂ、３８Ｃには長孔３８Ｂ１、３８Ｃ１が設けられている。長孔３８Ｂ１、３８Ｃ１を挿通するねじ３８Ｂ２、３８Ｃ２が、それぞれ、第１右ゲート３４Ａ、第２右ゲート３４Ｂの天井部３４Ａ１、３４Ｂ１の上面に設けられたネジ穴（図示せず）に螺合することで、右ゲートブラケット３８の下面に第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂが取り付け固定される。
【００４６】
同様に、左ゲートブラケット４０は、下方突出部４０Ａと直交する方向に突出した取付突出部４０Ｂ、４０Ｃが、両端部からそれぞれその長さの３分の１程度の位置に設けられている。取付突出部４０Ｂ、４０Ｃには長孔４０Ｂ１、４０Ｃ１が設けられている。長孔４０Ｂ１、４０Ｃ１を挿通するねじ４０Ｂ２、４０Ｃ２が、それぞれ、第１左ゲート３６Ａ、第２左ゲート３６Ｂの天井部３６Ａ１、３６Ｂ１の上面に設けられたネジ穴（図示せず）に螺合することで、左ゲートブラケット４０の下面に第１左ゲート３６Ａおよび第２左ゲート３６Ｂが取り付け固定される。
【００４７】
このようにして、右ゲート３４（第１右ゲート３４Ａ、第２右ゲート３４Ｂ）および左ゲート３６（第１左ゲート３６Ａ、第２左ゲート３６Ｂ）が右ゲートブラケット３８および左ゲートブラケット４０に取り付け固定されると、ブラケット軸（回転軸）４２、４４を中心として右ゲート３４および左ゲート３６は回転することができ、この回転角度により、ゲート３４、３６下端部と転写面１６Ａとの間の隙間の高さを設定することができる。
【００４８】
ここで、右ゲート３４の場合、長孔３８Ｂ１、３８Ｃ１内でのねじ３８Ｂ２、３８Ｃ２による固定位置を変更することで、第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂの固定位置を、転写板１６の移動方向にずらすことができる。これにより、図５（Ｂ）に示すように、同一の回転角度βであっても、第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂの壁部３４Ａ１、３４Ｂ１の下端部と、転写板１６の転写面１６Ａとの間の隙間の高さＺ１、Ｚ２を異ならせるようにすることができる。
【００４９】
同様に、左ゲート３６の場合、長孔４０Ｂ１、４０Ｃ１内でのねじ４０Ｂ２、４０Ｃ２による固定位置を変更することで、第１左ゲート３６Ａおよび第２左ゲート３６Ｂの固定位置を、転写板１６の移動方向にずらすことができる。これにより、同一の回転角度であっても、第１左ゲート３６Ａおよび第２左ゲート３６Ｂの壁部３６Ａ１、３６Ｂ１の下端部と、転写板１６の転写面１６Ａとの間の隙間の高さを異ならせるようにすることができる。
【００５０】
図５（Ａ）は、第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂの固定位置を、転写板１６の移動方向で揃えた場合であり、それぞれの隙間の高さＺ１、Ｚ２は、同じ値となる。
【００５１】
図５（Ｂ）は、転写板１６の移動方向で異ならせた場合であり、第２右ゲート３４Ｂの固定位置を第１右ゲート３４Ａよりもずらし量ｄだけ右方向にずらしており、同一の回転角度βで回転させた場合でも、生じる隙間の高さＺ１、Ｚ２は異なる値となり、その差Ｙ＝Ｚ２−Ｚ１だけ、第２右ゲート３４Ｂによる隙間の高さの方が高くなっている。このため、図６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第１右ゲート３４Ａにより形成される粘着剤膜２Ａ（膜厚ｔa）よりも、第２右ゲート３４Ｂにより形成される粘着剤膜２Ｂ（膜厚ｔb）の方が厚くなっている。一方、第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂを閉じた状態では、ゲート３４Ａ、３４Ｂの下端部はどちらも同じ高さに戻るので、該下端部と転写面１６Ａとの間は閉じられた状態となる。
【００５２】
このように、本実施形態では、第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂの固定位置を、転写板１６の移動方向にずらすことができることにより、形成する粘着剤膜の厚さを、転写板１６の移動方向とは直交する方向に異ならせることができ、さらに、ずらし量ｄを調整することにより、形成する粘着剤膜の厚さを調整することもできる。また、同様に、第１左ゲート３６Ａおよび第２左ゲート３６Ｂの固定位置を、転写板１６の移動方向にずらすことができることにより、形成する粘着剤膜の厚さを、転写板１６の移動方向とは直交する方向に異ならせることができ、さらに、ずらし量ｄを調整することにより、形成する粘着剤膜の厚さを調整することもできる。
【００５３】
一方、第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂを閉じた状態では、ゲート３４Ａ、３４Ｂの下端部はどちらも同じ高さに戻り、該下端部と転写面１６Ａとの間は閉じられた状態となり、第１左ゲート３６Ａおよび第２左ゲート３６Ｂを閉じた状態では、ゲート３６Ａ、３６Ｂの下端部はどちらも同じ高さに戻るので、該下端部と転写面１６Ａとの間は閉じられた状態となる。このため、第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂの固定位置を転写板１６の移動方向にずらしても、また、第１左ゲート３６Ａおよび第２左ゲート３６Ｂの固定位置を転写板１６の移動方向にずらしても、ゲート３４または３６を閉じた状態では、ゲート３４または３６下端部と転写面１６Ａとの間は閉じられた状態となるので、成膜時とは反対方向に転写板１６を移動させることで、転写面１６Ａ上の粘着剤膜を回収することができる。
【００５４】
また、成膜動作時に転写板の移動途中でゲートの角度を変更すれば、移動方向においても異なる厚さの粘着剤膜を形成することができる。図７（Ａ）〜（Ｃ）は、２分割した右ゲート３４（第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂ）を使用し、かつ、転写板１６の移動の途中で１回ゲート角度位置を変更して成膜動作を行っている各段階を模式的に示す断面図である。
【００５５】
まず、図７（Ａ）に示すように、右ゲート３４（第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂ）の開き角度をγ１として転写板１６を矢印方向に移動させて粘着剤膜２Ａ１、２Ｂ１の成膜を行い、次に、図７（Ｂ）に示すように、いったん転写板１６の移動を停止して、右ゲート３４（第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂ）の開き角度をγ２（γ１＜γ２）に変更する。次に、図７（Ｃ）に示すように、この開き角度γ２を維持した状態で、転写板１６を矢印方向に移動させて粘着剤膜２Ａ２、２Ｂ２の成膜を行う。このようにすることで、図８に示すように、４種類の厚さの粘着剤膜２Ａ１、２Ａ２、２Ｂ１、２Ｂ２を形成することができる。これにより、大きさの異なる４種類の電子部品５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄに対応した厚さの４種類の粘着剤膜２Ａ１、２Ａ２、２Ｂ１、２Ｂ２を提供することができる。
【００５６】
ゲート駆動部２０は、ゲートモータ５０Ａ、５０Ｂと、そのモータ軸５２Ａ、５２Ｂと、ウォーム５４Ａ、５４Ｂと、ウォームホイール５６Ａ、５６Ｂと、を有してなり、右ゲート３４および左ゲート３６を、右ゲートブラケット軸４２および左ゲートブラケット軸４４を中心として回転させる駆動力を粘着剤収容部１８のゲート３４、３６に供給する役割を有する。ゲートモータ５０Ａ、モータ軸５２Ａ、ウォーム５４Ａ、ウォームホイール５６Ａは、右ゲート３４を回転させる駆動力を供給する部位であり、ゲートモータ５０Ｂ、モータ軸５２Ｂ、ウォーム５４Ｂ、ウォームホイール５６Ｂは、左ゲート３６を回転させる駆動力を供給する部位である。ゲートモータ５０Ａ、５０Ｂは、側方支持部材１２Ｂの外側面に取り付け固定されており、モータ軸５２Ａ、５２Ｂの先端部は側方支持部材１２Ｂの天井突出部１２Ｂ１の下面に回転可能に取り付けられている。
【００５７】
ゲートモータ５０Ａ、５０Ｂのモータ軸５２Ａ、５２Ｂには、ウォーム５４Ａ、５４Ｂが取り付け固定されている。ウォーム５４Ａ、５４Ｂは、ウォームホイール５６Ａ、５６Ｂと係合しており、ゲートモータ５０Ａの回転駆動力は、モータ軸５２Ａ、ウォーム５４Ａ、ウォームホイール５６Ａを介して右ゲートブラケット軸４２に伝達され、右ゲートブラケット軸４２が回転し、ゲートモータ５０Ｂの回転駆動力は、モータ軸５２Ｂ、ウォーム５４Ｂ、ウォームホイール５６Ｂを介して左ゲートブラケット軸４４に伝達され、左ゲートブラケット軸４４が回転する。
【００５８】
右ゲートブラケット軸４２の回転とともに、右ゲートブラケット３８およびそれに取り付け固定された右ゲート３４が回転し、右ゲート３４の壁部３４Ａの下端部と転写板１６の転写面１６Ａとの間に所定の隙間が設けられ、左ゲートブラケット軸４４の回転とともに、左ゲートブラケット４０およびそれに取り付け固定された左ゲート３６が回転し、左ゲート３６の壁部３６Ａの下端部と転写板１６の転写面１６Ａとの間に所定の隙間が設けられる。
【００５９】
ゲート角度検出部２２は、角度検出器６０Ａ、６０Ｂと、その回転軸６２Ａ、６２Ｂと、その先端部に取り付け固定された角度検出器ギア６４Ａ、図示せぬ角度検出器ギアと、支持ブラケット６６Ａ、６６Ｂと、ブラケット軸ギア６８Ａ、６８Ｂを有してなり、右ゲート３４および左ゲート３６の回転角度を計測する役割を有する。角度検出器６０Ａ、回転軸６２Ａ、ギア６４Ａ、支持ブラケット６６Ａ、ブラケット軸ギア６８Ａは、右ゲート３４の回転角度を計測するための部位であり、角度検出器６０Ｂ、回転軸６２Ｂ、図示せぬ角度検出器ギア、支持ブラケット６６Ｂ、ブラケット軸ギア６８Ｂは、左ゲート３６の回転角度を計測するための部位である。
【００６０】
角度検出器６０Ａ、６０Ｂは、支持ブラケット６６Ａ、６６Ｂを介して、側方支持部材１２Ｂの外側面に取り付け固定されている。角度検出器６０Ａの回転軸６２Ａに取り付けられた角度検出器ギア６４Ａは、右ゲートブラケット軸４２に固定されたブラケット軸ギア６８Ａと係合している。角度検出器６０Ｂの回転軸６２Ｂに取り付けられた角度検出器ギア（図示せず）は、左ゲートブラケット軸４４に固定されたブラケット軸ギア６８Ｂと係合している。右ゲート３４の右ゲートブラケット軸４２回りの角度位置は、ブラケット軸ギア６８Ａ、角度検出器ギア６４Ａ、回転軸６２Ａを介して角度検出器６０Ａに伝達され、右ゲート３４の角度位置が検出される。左ゲート３６の左ゲートブラケット軸４４回りの角度位置は、ブラケット軸ギア６８Ｂ、角度検出器ギア（図示せず）、回転軸６２Ｂを介して角度検出器６０Ｂに伝達され、左ゲート３６の角度位置が検出される。計測された角度位置はゲート制御部（図示せず）に送られてフィードバック制御されて、右ゲート３４および左ゲート３６の角度位置が正確に制御される。
【００６１】
次に、本実施形態に係る粘着剤転写装置１０の動作について説明する。
【００６２】
図９（Ａ）〜（Ｃ）は、右ゲート３４で粘着剤膜２Ａを形成して転写作業を行った後、転写作業後の粘着剤膜２Ａを回収する動作を行っている各段階を模式的に示す断面図である。なお、第１右ゲート３４Ａと第２右ゲート３４Ｂは、右ゲートブラケット３８にずれなく取り付けられているものとし（図５（Ａ）の状態）、図９（Ａ）〜（Ｃ）の説明では、第１右ゲート３４Ａと第２右ゲート３４Ｂを区別せず、右ゲート３４として説明する。
【００６３】
粘着剤１の転写作業の開始前、転写板１６は図９（Ａ）の位置に待機しており、このとき、右ゲート３４および左ゲート３６はどちらも閉じており、粘着剤１は、粘着剤収容部１８の内部空間４６の中に密閉状態で収容されている。
【００６４】
図９（Ａ）の待機位置（粘着剤収容部１８が転写板１６の右端に位置している状態）から粘着剤１の膜２Ａを形成（成膜動作）する時は、右ゲートブラケット軸４２を中心に右ゲート３４を回転させ、右ゲート３４の角度を所定の角度α１で保持する。これにより、図９（Ｂ）に示すように、右ゲート３４下端部と転写板１６の転写面１６Ａとの間に隙間Ｓができる。図９（Ｂ）の矢印方向へ転写板１６が移動すると、隙間Ｓの幅に応じた厚さｔの粘着剤膜２Ａが転写面１６Ａ上に形成される。粘着剤膜２Ａの厚さｔは、転写される電子部品７２のバンプ７２Ａの大きさに応じて設定する。
【００６５】
成膜動作が完了し、転写板１６が停止すると、図９（Ｂ）に示すように、ノズル７０に吸着された電子部品７２が転写位置へ移動し、転写面１６Ａまで下降して、粘着剤１をバンプ７２Ａへ転写する。バンプ７２Ａへの転写を行うと、粘着剤膜２Ａの表面にはバンプの痕が残るので、次の転写作業のために粘着剤膜を新たに形成する必要がある。そこで、左ゲート３６を閉じた状態で、転写板１６を戻り方向（図９（Ｃ）の矢印方向）へ移動させて、図９（Ｃ）に示すように、粘着剤膜２Ａを粘着剤収容部１８の内部空間４６へ回収する。この時、粘着剤膜２Ａの回収の妨げとならないように、右ゲート３４は角度α２（α２＞α１）まで回転してさらに隙間Ｓを開く。転写板が戻り方向（図９（Ｃ）の矢印方向）へ移動しても、左ゲート３６は閉じているので、粘着剤膜２Ａは粘着剤収容部１８の内部空間４６内に収容される。左ゲート３６を閉じた状態で、転写板１６が図９（Ａ）の位置まで移動して、右ゲート３４を閉じると、粘着剤収容部１８の内部空間４６は元の密閉状態になる。
【００６６】
図１０（Ａ）の待機位置（粘着剤収容部１８が転写板１６の左端に位置している状態）から粘着剤１の膜２Ｃを形成（成膜動作）する時は、図１０（Ｂ）に示すように、左ゲートブラケット軸４４を中心に左ゲート３６を回転させ、左ゲート３６を所定の角度位置で保持した状態で、転写板１６を図１０（Ｂ）の矢印方向へ移動させる。これにより、移動方向の転写面１６Ａ上に粘着剤膜２Ｃが形成される。
【００６７】
また、図１１（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、ゲートの角度位置を制御し、転写板１６を往復動作させれば、交互に転写面１６Ａ上に新しい粘着剤膜を形成することもできる。
【００６８】
図１１（Ａ）は、粘着剤収容部１８の密閉状態の内部空間４６に粘着剤１が収容された状態である。この図１１（Ａ）の状態から、図１１（Ｂ）に示すように、右ゲート３４（第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂ）の回転角度をγ１として転写板１６を矢印方向に移動させて、粘着剤膜２Ａ１、２Ａ２の形成を行う。そして、形成した粘着剤膜２Ａ１、２Ａ２に対して転写作業を行う。
【００６９】
次に、図１１（Ｃ）に示すように、右ゲート３４（第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂ）の回転角度をγ１よりも大きいγ２に変更して転写後の粘着剤膜２Ａ１、２Ａ２の回収をしやすくするとともに、左ゲート３６（第１左ゲート３６Ａおよび第２左ゲート３６Ｂ）の回転角度をγ３とする。そして、反対方向に転写板１６を移動させて、転写後の粘着剤膜２Ａ１、２Ａ２の回収を行いつつ、反対側に、新たに粘着剤膜２Ｃ１、２Ｃ２の形成を行う。そして、形成した粘着剤膜２Ｃ１、２Ｃ２に対して転写作業を行う。
【００７０】
次に、図１１（Ｄ）に示すように、左ゲート３６（第１左ゲート３６Ａおよび第２左ゲート３６Ｂ）の回転角度をγ３よりも大きいγ４に変更して転写後の粘着剤膜２Ｃ１、２Ｃ２の回収をしやすくするとともに、右ゲート３４（第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂ）の回転角度をγ１とする。そして、矢印方向に転写板１６を移動させて、転写後の粘着剤膜２Ｃ１、２Ｃ２の回収を行いつつ、反対側に、再び粘着剤膜２Ａ１、２Ａ２の形成を行う。
【００７１】
図１１（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、ゲートの角度を制御し、転写板１６を往復動作させて、交互に転写面１６Ａ上に新しい粘着剤膜を形成することにより、転写後の粘着剤膜を回収しつつ、新たに粘着剤膜を形成することができ、粘着剤膜の形成を効率的に行うことができる。
【００７２】
以上説明したように、本発明に係る実施形態の粘着剤転写装置１０は、ゲート３４、３６を回転動作させ所定の角度に保持して、転写面１６Ａとの隙間Ｓを調整する構造としたので、必要とされる膜厚に応じた回転角度にゲート３４、３６を設定することにより、任意の厚さの粘着剤膜を形成することができる。
【００７３】
また、成膜のための転写板１６の移動途中にゲート３４、３６の回転角度を変更することにより、転写板１６の一方向への１回の移動で、転写板１６の移動方向において異なる厚さの粘着剤膜を転写面１６Ａ上に形成することができ、大きさの異なる複数の電子部品のバンプにも対応しやすい。
【００７４】
また、ゲート３４、３６を回転させて転写面１６Ａとの隙間Ｓを調整できる構造としたので、ゲート３４、３６を幅方向に分割し、分割したゲート３４同士、分割したゲート３６同士を、転写板１６の移動方向にお互いにずらして取り付け固定すると、ゲートの幅方向（転写板１６の移動方向と直角方向）において分割数と同じ数の異なる厚さの粘着剤膜を形成することができ、大きさの異なる複数の電子部品のバンプにも対応しやすい。
【００７５】
さらに、ゲート３４、３６を幅方向に分割し、分割したゲート３４同士、分割したゲート３６同士を、転写板１６の移動方向にお互いにずらして取り付け固定するとともに、成膜のための転写板１６の移動途中にゲート３４、３６の角度位置を変更することにより、転写板１６の一方向への１回の移動で、より多くの厚さの粘着剤膜を転写面１６Ａ上に形成することができ、大きさの異なる複数の電子部品のバンプにより対応しやすくなる。
【００７６】
また、分割したゲート３４同士、分割したゲート３６同士を、転写板１６の移動方向にお互いにずらして取り付け固定して、幅方向に異なる厚さの粘着剤膜を形成しても、ゲート３４、３６の回転角度をゼロにもどすことにより、掻き取り工程においては、分割したゲート３４全ての下端部、分割したゲート３６全ての下端部が転写面１６Ａと当接するので、転写後の粘着剤膜を確実に回収することができる。
【００７７】
また、右ゲート３４（第１右ゲート３４Ａおよび第２右ゲート３４Ｂ）および左ゲート３６（第１左ゲート３６Ａおよび第２左ゲート３６Ｂ）の角度位置がゼロになると、その壁部３４Ａ１、３４Ｂ１、３６Ａ１、３６Ｂ１の下端部が転写板１６の転写面１６Ａに当接し、壁部３４Ａ１、３４Ｂ１、３６Ａ１、３６Ｂ１の下端部と転写面１６Ａとの間の隙間がなくなるとともに、その天井部３４Ａ２、３４Ｂ２、３６Ａ２、３６Ｂ２の先端部の上面が上面部材３２の下面に当接し、天井部３４Ａ２、３４Ｂ２、３６Ａ２、３６Ｂ２の先端部の上面と上面部材３２の下面との間の隙間がなくなり、粘着剤収容部１８の内部空間４６は密閉状態となるので、粘着剤収容部１８に収容される粘着剤１の劣化は抑制される。
【００７８】
なお、以上説明した本発明の実施形態に係る粘着剤転写装置１０では、ゲート３４、３６の分割数は２であったが、ゲート３４、３６の分割数は２に限定されず、３以上にしてもよく、ゲート３４、３６の分割数を増やせば、異なる厚さの粘着剤膜をゲート３４、３６の幅方向（転写板１６の移動方向と直角方向）に形成することができる。また、ゲート３４、３６の角度位置を変更する回数は１回に限定されず、２回以上にしてもよく、ゲート３４、３６の角度位置を変更する回数を増やせば、異なる厚さの粘着剤膜を転写板１６の移動方向に多数形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明に係る実施形態の粘着剤転写装置を示す平面図
【図２】図１のＩＩ方向から見た側面図
【図３】図１のＩＩＩ方向から見た側面図
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ線断面図
【図５】前記粘着剤転写装置において、（Ａ）第１右ゲートおよび第２右ゲートの固定位置を転写板の移動方向で揃えた場合の右ゲートの拡大側面図、（Ｂ）第１右ゲートおよび第２右ゲートの固定位置を転写板の移動方向で異ならせた場合の右ゲートの拡大側面図
【図６】（Ａ）第２右ゲートの固定位置を第１右ゲートよりも距離ｄだけ右方向にずらして成膜を行ったときの平面図、（Ｂ）同じく側面図、（Ｃ）図６（Ａ）のＣ−Ｃ線断面図
【図７】２分割した右ゲート（第１右ゲートおよび第２右ゲート）を使用し、かつ、転写板の移動の途中で１回ゲート角度位置を変更して成膜動作を行っている各段階を模式的に示す断面図
【図８】図７（Ｃ）の平面図
【図９】右ゲートで粘着剤膜を形成して転写作業を行った後、転写作業後の粘着剤膜を回収する動作を行っている各段階を模式的に示す断面図
【図１０】待機位置（粘着剤収容部が転写板の左端に位置している状態）から粘着剤の膜を形成（成膜動作）する各段階を模式的に示す断面図
【図１１】ゲートの角度を制御し、転写板を往復動作させて、交互に転写面上に新しい粘着剤膜を形成することにより、転写後の粘着剤膜を回収しつつ、粘着剤膜の形成を行っている各段階を模式的に示す断面図
【符号の説明】
【００８０】
１…粘着剤
２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ａ１、２Ａ２、２Ｂ１、２Ｂ２、２Ｃ１、２Ｃ２…粘着剤膜
５Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ…電子部品
１０…粘着剤転写装置
１２…転写装置フレーム
１２Ａ…底板
１２Ｂ…側方支持部材
１２Ｂ１…天井突出部
１４…転写板駆動部
１４Ａ…転写板駆動ベルト
１４Ｂ…転写板駆動モータ
１４Ｃ…駆動プーリ
１４Ｄ…プーリ
１６…転写板
１６Ａ…転写面
１６Ｂ…連結部
１６Ｃ…転写板溝
１８…粘着剤収容部
２０…ゲート駆動部
２２…ゲート角度検出部
３０…側壁
３２…上面部材
３４…右ゲート（ゲート）
３４Ａ…第１右ゲート
３４Ｂ…第２右ゲート
３４Ａ１、３４Ｂ１…壁部
３４Ａ２、３４Ｂ２…天井部
３６…左ゲート（ゲート）
３６Ａ…第１左ゲート
３６Ｂ…第２左ゲート
３６Ａ１、３６Ｂ１…壁部
３６Ａ２、３６Ｂ２…天井部
３８…右ゲートブラケット
３８Ａ…下方突出部
３８Ｂ、３８Ｃ…突出部
３８Ｂ１、３８Ｃ１…長孔
３８Ｃ１、３８Ｃ２…ねじ
４０…左ゲートブラケット
４０Ａ…下方突出部
４０Ｂ、４０Ｃ…突出部
４０Ｂ１、４０Ｃ１…長孔
４０Ｂ２、４０Ｃ２…ねじ
４２…右ゲートブラケット軸
４４…左ゲートブラケット軸
４６…内部空間
５０Ａ、５０Ｂ…ゲートモータ
５２Ａ、５２Ｂ…モータ軸
５４Ａ、５４Ｂ…ウォーム
５６Ａ、５６Ｂ…ウォームホイール
６０Ａ、６０Ｂ…角度検出器
６２Ａ、６２Ｂ…回転軸
６４Ａ…角度検出器ギア
６６Ａ、６６Ｂ…支持ブラケット
６８Ａ、６８Ｂ…ブラケット軸ギア
７０…ノズル
７２…電子部品
７２Ａ…バンプ
ｄ…ずらし量
Ｓ…隙間
ｔ、ｔa、ｔb…膜厚
Ｙ…差
Ｚ１、Ｚ２…隙間の高さ
α１、α２、β、γ１、γ２、γ３、γ４…回転角度
【図１】
0005100496.tif 000002
【図２】
0005100496.tif 000003
【図３】
0005100496.tif 000004
【図４】
0005100496.tif 000005
【図５】
0005100496.tif 000006
【図６】
0005100496.tif 000007
【図７】
0005100496.tif 000008
【図８】
0005100496.tif 000009
【図９】
0005100496.tif 000010
【図１０】
0005100496.tif 000011
【図１１】
0005100496.tif 000012