(57)【要約】【課題】  検査点に対して安定して接触することが可能な基板検査治具及び基板検査方法の提供。【解決手段】  被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と電気的に接続される電極部と該被検査基板の配線パターンに設けられる複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査治具であって、先端が前記検査点に導通接触されるとともに後端が前記電極部に導通接触され、可撓性及び導電性を有する棒状の接触子と、前記接触子の先端を前記検査点に案内する孔部を有する上板部と、該接触子の後端を前記電極部へ案内する孔部を有する下板部を備える保持体を具備し、前記検査点と前記電極部で前記接触子が圧接されて、該接触子が所定の湾曲形状となる際に、該接触子が該検査点表面を擦りながら移動する。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と電気的に接続される電極部と該被検査基板の配線パターンに設けられる複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査治具であって、
先端が前記検査点に導通接触されるとともに後端が前記電極部に導通接触され、可撓性及び導電性を有する棒状の接触子と、
前記接触子の先端を前記検査点に案内する孔部を有する上板部と、該接触子の後端を前記電極部へ案内する孔部を有する下板部を備える保持体を具備し、
前記検査点と前記電極部で前記接触子が圧接されて、該接触子が所定の湾曲形状となる際に、該接触子の先端が該検査点表面を擦りながら移動することを特徴とする基板検査治具。
【請求項２】
前記上板部の孔部は、前記接触子が圧接されて湾曲形状となる場合に、前記接触子を傾斜して保持していることを特徴とする請求項１記載の基板検査治具。
【請求項３】
前記接触子は、前記上板部の孔部を形成する周面の点対称位置となる二点で保持されていることを特徴とする請求項２記載の基板検査治具。
【請求項４】
前記上板部と前記下板部は、高さ方向に所定空間を有して平行に配置され、
前記上板部の孔部と前記下板部の孔部は、高さ方向に対して直角方向に相対的にシフトさせて配置され、
前記接触子の先端が、該上板部の孔部を形成する側面に当接されて保持されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板検査治具。
【請求項５】
前記上板部の厚みが、前記接触子の傾斜量を制御していることを特徴とする請求項２記載の基板検査治具。
【請求項６】
前記接触子の前記上板部の孔部から突出する突出量が、前記移動量を制御していることを特徴とする請求項２記載の基板検査治具。
【請求項７】
被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と電気的に接続される電極部と該被検査基板の配線パターンに設けられる複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査治具を用いる基板検査方法であって、
前記基板検査治具は、
先端が前記検査点に導通接触されるとともに後端が前記電極部に導通接触され、可撓性及び導電性を有する棒状の接触子と、
前記接触子の先端を前記検査点に案内する孔部を有する上板部と、該接触子の後端を前記電極部へ案内する孔部を有する下板部を備える保持体を具備してなり、
前記基板検査治具の接触子を検査点に導通接触させる際に、該接触子を検査点と電極部で圧接して所定の湾曲形状に形成するとともに、該接触子の先端が該検査点表面を擦りながら移動させることを特徴とする基板検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査治具及び基板検査方法に関し、より詳しくは、検査点に対して安定して接触することが可能な基板検査治具及び基板検査方法に関する。
尚、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や半導体ウェハなどに形成される電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」という。
【背景技術】
【０００２】
従来から、回路基板などの基板上の配線パターンによって、その回路基板に搭載されるIC等の半導体や抵抗器などの電気・電子部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回路配線基板、或いは、半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに設けられた所定の検査点間の抵抗値を測定して、その良否の判定が行われている。
具体的なその良否の判定方法は、各検査点に、電流供給用端子及び／又は電圧測定用端子を当接させ、電流供給用端子からは検査点に測定用電流を供給するとともに、検査点に当接させた電圧測定用端子間に生じた電圧を測定し、供給される電流と測定された電圧を用いることにより抵抗値を算出することによって行われる。
【０００３】
このように抵抗値を算出するために、各検査点に導通接触させる導電性の接触子を複数備えてなる基板検査治具の技術が多数提案されている。
例えば、特許文献１には、複数のプローブ（接触子）が備えられ、その複数の接触子の先端を各検査点に導通接触させる技術が開示されており、各接触子を用いて、電流や電圧を供給したり、電圧や電流を検出したりする。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−９０４１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、被検査基板の検査対象である配線パターン（検査点）の表面は、時間経過とともに酸化膜で被われてしまうため、接触子を検査点に接触させた場合に、その酸化膜の影響を受けて、正確な抵抗値検査ができないことがあった。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、酸化膜の影響を受けることなく、正確な抵抗値を算出することを可能とする基板検査治具を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載の発明は、被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と電気的に接続される電極部と該被検査基板の配線パターンに設けられる複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査治具であって、先端が前記検査点に導通接触されるとともに後端が前記電極部に導通接触され、可撓性及び導電性を有する棒状の接触子と、前記接触子の先端を前記検査点に案内する孔部を有する上板部と、該接触子の後端を前記電極部へ案内する孔部を有する下板部を備える保持体を具備し、前記検査点と前記電極部で前記接触子が圧接されて、該接触子が所定の湾曲形状となる際に、該接触子の先端が該検査点表面を擦りながら移動することを特徴とする基板検査治具を提供する。
請求項２記載の発明は、前記上板部の孔部は、前記接触子が圧接されて湾曲形状となる場合に、前記接触子を傾斜して保持していることを特徴とする請求項１記載の基板検査治具を提供する。
請求項３記載の発明は、前記接触子は、前記上板部の孔部を形成する周面の点対称位置となる二点で保持されていることを特徴とする請求項２記載の基板検査治具を提供する。
請求項４記載の発明は、前記上板部と前記下板部は、高さ方向に所定空間を有して平行に配置され、前記上板部の孔部と前記下板部の孔部は、高さ方向に対して直角方向に相対的にシフトさせて配置され、前記接触子の先端が、該上板部の孔部を形成する側面に当接されて保持されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板検査治具を提供する。
請求項５記載の発明は、前記上板部の厚みが、前記接触子の傾斜量を制御していることを特徴とする請求項２記載の基板検査治具を提供する。
請求項６記載の発明は、前記接触子の前記上板部の孔部から突出する突出量が、前記移動量を制御していることを特徴とする請求項２記載の基板検査治具を提供する。
請求項７記載の発明は、被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と電気的に接続される電極部と該被検査基板の配線パターンに設けられる複数の検査点との間の電気的導通を得るための基板検査治具を用いる基板検査方法であって、前記基板検査治具は、先端が前記検査点に導通接触されるとともに後端が前記電極部に導通接触され、可撓性及び導電性を有する棒状の接触子と、前記接触子の先端を前記検査点に案内する孔部を有する上板部と、該接触子の後端を前記電極部へ案内する孔部を有する下板部を備える保持体を具備してなり、前記基板検査治具の接触子を検査点に導通接触させる際に、該接触子を検査点と電極部で圧接して所定の湾曲形状に形成するとともに、該接触子の先端が該検査点表面を擦りながら移動させることを特徴とする基板検査方法を提供する。
これらの発明を提供することによって、上記課題を悉く解決する。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１記載の発明によれば、検査点と電極部で接触子が圧接されて、該接触子が所定の湾曲形状となる際に、該接触子が該検査点表面を擦りながら移動することになるので、接触子を検査点に導通接触させる際に、検査点の表面を接触子の先端部が擦りながら移動することになる。このため、検査点表面の酸化膜を接触子が擦り破ることができ、検査点と接触子を直接的に接触させることができる。このように検査点と接触子を直接的に接触させることができるので、酸化膜などの影響による抵抗値の誤差を予防することができる。
請求項２記載の発明によれば、上板部の孔部が、接触子が圧接されて湾曲形状となる場合に、前記接触子を傾斜して保持しているので、検査点が移動する移動方向の移動量を、移動方向と直角方向の移動量に変換することができる。このため、検査点の移送による接触子の押込み量を、検査点表面を移動する移動量に効果的に変換することができる。
請求項３記載の発明によれば、接触子が、上板部の孔部の点対称位置となる二点で保持されているので、接触子を確実に傾斜させて保持することができる。このため、複雑な構成を有することなく、接触子を押し込む押込み量を移動量に容易に変換することができる。
請求項４記載の発明によれば、上板部と下板部は、高さ方向に所定空間を有して平行に配置され、上板部の孔部と前記下板部の孔部は、高さ方向に対して直角方向に相対的にシフトさせて配置され、接触子の先端が、該上板部の孔部を形成する側面に当接されて保持されているので、接触子が検査点に接触された際に、まず、接触子が上板部の孔部に傾斜して保持されるように、接触子が移動することになる。このため、接触子は検査点表面を一定方向に擦りながら移動することになり、酸化膜を擦り破ることができる。
また、更に検査点が接触子を押し込むと、接触子が上板部の孔部に傾斜して保持されることになり、一定方向とは逆方向に接触子が検査点表面を擦りながら移動することになる。このため、検査点による押込み量を利用して、接触子の先端が検査点表面を一定方向と逆方向と二方向で移動（往復移動）することになり、効果的に検査点の表面を擦りながら移動することができる。
請求項５記載の発明によれば、上板部の厚みが、接触子の傾斜量を制御しているので、この傾斜量が検査点表面を移動する接触子の先端の移動量を制御することができるため、上板部の厚みで移動量を制御することができる。
請求項６記載の発明によれば、接触子の上板部の孔部から突出する突出量が、移動量を制御することができる。
請求項７記載の発明によれば、基板検査治具を用いて基板の検査を行う場合に、検査点と電極部で接触子が圧接されて、該接触子が所定の湾曲形状となる際に、該接触子が該検査点表面を擦りながら移動することになる。このため、接触子を検査点に導通接触させる際に、検査点の表面を接触子の先端が擦りながら移動することになる。この結果、検査点表面の酸化膜を接触子が擦り破ることができ、検査点と接触子を直接的に接触させることができる。このように検査点と接触子を直接的に接触させることができるので、酸化膜などの影響による抵抗値の誤差を予防することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
本発明に係る一実施形態の基板検査治具１は、複数の接触子２、これら接触子２を多針状に保持する保持体３、この保持体３を支持するとともに接触子２と接触して導通状態となる電極部４１を有する接続電極体４、検出される電気信号を処理する検査信号処理部５、及び接触子２検査信号処理部５を接続するワイヤーケーブル５１を示している。
接触子２は、被検査基板に形成される配線パターンの各検査点に接触する端子である。接続電極体４は、接触子２により被検査基板に設けられる検査点間のピッチを大きくして検査信号処理部５へと導通接触を行うことを可能とするピッチ変換の役割を担っている。
接続電極体４は、保持体３の配置側に接触子２と電気的に接続する電極部４１を有している。
【０００９】
基板検査治具１は、基板検査治具ヘッド１１を有している（図２参照）。この基板検査治具ヘッド１１は、上記の複数の接触子２と保持体３を有している。
図２は、基板検査治具ヘッドの一実施形態を示しており、（ａ）は斜視図を示し、（ｂ）は側面図を示している。この図２で示される如く、基板検査治具ヘッド１１は、複数の接触子２を保持体３により保持している。
【００１０】
接触子２は、その一方の端部２ａが複数の検査点の一つに圧接されるとともに、他方の端部２ｂが電極部４１に圧接される。このように各端部（先端部２ａ、後端部２ｂ）が検査点と電極部に圧接されることになるので、この接触子２を介して検査点と電極部を導通させることができる。
この接触子２は、導電性を有するとともに可撓性を有する棒状に形成されている。この接触子２は、図２（ａ）で示す如く、多針状に配置される。
【００１１】
この接触子２は、その外周には絶縁層となる絶縁被覆２１が被覆されている。この絶縁被覆２１は、棒状の導電部の両端（先端部２ａと後端部２ｂ）を除いた部分を被覆している。
接触子２の検査点に圧接される先端部２ａ側の絶縁被覆が除かれた部分は、接触子２が保持体３に保持された場合に、後述する上板部３１と下板部３２の間に形成される空間に、その絶縁被覆の境界が配置される（例えば、図３では、絶縁被覆２ｃが上板部３１の孔部３２よりも下側に配置されている）。
接触子２の電極部に圧接される後端部２ｂ側の絶縁被覆が除かれた部分は、特に限定されず、保持体３の下板部３２が有する孔部（図示せず）の内部に配置されてもよいし、この孔部よりも内側（上板部３１と下板部３２の間に形成される空間）に配置されるように形成されてもよい。
【００１２】
この接触子２は、例えば、タングステン（W）やベリリウム銅（CuBe）の素材を用いることができる。または、絶縁被覆２１は、テフロン（登録商標）やポリウレタンの素材を用いることができる。
接触子２は、上記の素材のような可撓性を有した素材で形成されるため、弾力性を有している。このため、接触子２が検査点と電極部に圧接された際には、この接触子２が湾曲して撓むことになり、この結果、接触子２が検査点と電極部を押圧する加重が働くことになる。
【００１３】
接触子２の両端部又は他方端部２ｂは、その先端を、例えば半球面のような曲面に形成されていることができる。このように形成することにより、検査点又は電極部の接触面に対して高い位置精度を持って接触させることができるからである。このように曲面（球面）形状とすることにより電極部４１へ確実に且つ安定して接触することが可能となるからである。
【００１４】
保持体３は、上板部３１と下板部３２を有して形成されている。この上板部３１と下板部３２は、所定間隔を有して配置され、両板部の空間内で接触子２が撓むことが可能となっている。
上板部３１は、絶縁性の素材から形成されている。この上板部３１は、接触子２の先端部２ａを検査点に案内する孔部（先端孔部３１１）を有している。この先端孔部３１１は、少なくとも接触子２が挿通することのできる大きさを有している。
この上板部３１は、所定の厚みを有しており、この厚みと先端孔部３１１の径を設定することによって、接触子２の先端部２ａを安定的に検査点に接触される。
【００１５】
下板部３２は、絶縁性の素材から形成されている。この下板部３２は、接触子２の後端部２ｂを電極部に案内する孔部（後端孔部３２１）を有している。この後端孔部３２１は、接触子２よりも僅かに大きい形状（少なくとも接触子２が挿通することのできる大きさ）を有している。
【００１６】
上板部３１と下板部３２は、支柱３３を介して、所定間隔を有して平行に配置されている。この上板部３１と下板部３２の間のこの空間内で、接触子２が撓む（バックルする）ことになる。
図２（ｂ）で示される基板検査治具ヘッド１１の保持体３は、上板部３１と下板部３２が二枚の板部材で形成されているが、特に限定されるものではなく、一枚で形成されてもよいし、三枚以上の板部材で形成されてもよい。
【００１７】
上板部３１の先端孔部３１１と下板部３２の後端孔部は、接触子の先端部２ａと後端部２ｂを保持するため、一対の組を形成している。この一対の孔部が、接触子２の先端部２ａを所定の検査点へ案内し、後端部２ｂを所定の電極部へ案内し、検査点と電極部を導電状態とする。
先端孔部３１１と後端孔部３２１は、夫々上板部３１と下板部３２の板部材の厚み方向に沿う方向（板部材の表面に対して直角方向）の円柱状に形成されているが、後述するような接触子２の動きを妨げないのであれば、板部材の表面に対して傾斜して形成することもできる。
尚、先端孔部３１１は、板部材の厚み方向に沿う方向に形成されることが好ましい。これは、接触子２が検査点に対して傾斜して保持されるため、先端孔部３１１の側周面により、接触子２が保持されることができるためである。
【００１８】
上板部３１と下板部３２の対応する孔部３１１，３２１は、図３で示される如く、上板部３１又は下板部３２に対して直角方向（図３の直線Ｂ方向）から平行方向（図３の左右方向）にずれて配置されていることが好ましい。図３では、上板部３１の先端孔部３１１と後端孔部３２１が、直線Ｂに対して傾斜して配置される直線Ａの直線上に配置されている。
このように一対の孔部が傾斜方向に配置されることになると、接触子２を孔部３１１，３２１に取り付けた場合に、接触子２が湾曲して保持されることになる（図３（ｂ）参照）。
このように接触子２が、先端孔部３１１と後端孔部３２１に保持される場合には、図３（ａ）で示される如く、接触子２は、先端孔部３１１内では、傾斜側と反対側の上板部３１の先端孔部３１１の側面に押し当てられることになる。
【００１９】
本発明にかかる基板検査治具１は、接触子２を湾曲させることにより、接触子２の両端部２ａ，２ｂに軸長方向外向きの押圧力を生じさせ、接触子２の両端部に接触する電極部と検査点へ所定の加重を生じさせる。
このとき、接触子２を撓ませるために、両端又はいずれか一方方向から長軸方向内側へ向かって押圧することになる。そして、接触子２の長軸方向の長さを段々と短くすることによって、接触子２の撓み量が段々と大きくなり、所定の押圧力を生じさせるまで、長軸方向の長さを短く変化させている。
【００２０】
本発明の基板検査治具１では、電極部と検査点による圧接を行うことで、接触子２の長軸方向の長さを短くし、接触子２が所定の加重を両先端に印加するための撓み状態となるまでの間に、検査点に接触した接触子２が、検査点の表面を擦る動きを行うように制御することを目的としている。
このように、接触子２が所定加重を印加するための撓み状態となるまで又は撓み状態になりながら、接触子２の先端部２ａを検査点の表面を擦りながら移動させることにより、検査点の表面に形成される酸化膜を擦り破り、接触子２が所定の加重を有する際（所定の撓み状態となる際）には、検査点の表面の酸化膜を擦り破って、接触子２の先端部２ａが検査点に接触していることを可能にする。
【００２１】
本発明にかかる基板検査治具１は、接触子２が所定加重を有するために撓む際に、接触子２の長軸方向の長さが短くなるとともに、接触子２の先端部２ａが短軸方向（検査点表面方向）に移動する。
この先端部２ａの短軸方向の移動によって、検査点の表面が擦れることになり、検査点の酸化膜を擦り破ることになる。
【００２２】
接触子２が短軸方向の移動を可能とするために、例えば、後述する機構を例示することができる。
上板部３１の先端孔部３１１は、接触子２が挿入された場合であっても、接触子２の短軸方向（検査点表面に対して平行方向）に移動することができるように、接触子２を挿通した場合でも所定のクリアランス（間隙/遊び）を有している。
この間隙が、接触子２が短軸方向に移動することを可能にしている。これは、先端部２ａが検査点に当接して押圧される際に、接触子２は先端孔部３１１の側周面で、基板の検査点に対して傾斜して保持されることになる。
接触子２が検査点に対して傾斜して接触する場合、接触子２が長軸方向（検査点表面に対して直角方向）に移動すると、接触子２が短軸方向（検査点表面に対して平行方向）に移動することになる。
【００２３】
本発明に係る基板検査治具１の具体的な動作を、図４を用いて説明する。尚、この図４では、先端孔部３１１と後端孔部３２１が、シフト状態で接触子２を保持しているため、検査点が接触子２に接触し始めてから接触子２が先端孔部３１１内に安定的に保持されるまでの間と、その後の先端孔部３１１で安定的に保持されて所定湾曲形状となるまで更に検査点が接触子２押し込むまでの間との二つの間で、接触子２の先端部２ａが相違する方向で検査点表面上を移動する。
なお、この相違する方向は、一定方向とその逆方向と相対的な方向の関係を有している。
【００２４】
上板部３１の先端孔部３１１と下板部３２の後端孔部３２１に接触子２を装着した場合、接触子２が湾曲して保持されることになる。このとき、図４（ａ）で示される如く、接触子２は上板部３１の傾斜方向とは逆側の側面（図４（ａ）では紙面に向かって右側の側面）に当接して保持されている。
次に、例えば、検査点Ｐ１を有する基板Ｐ２が、図４（ｂ）のＺ方向に向かって移動（搬送）されると、検査点Ｐが接触子２に接触し始めた瞬間から、接触子２が＋Ｘ方向に移動する。接触子２が＋Ｘ方向に移動すると、接触子２が検査点Ｐ１の表面を擦りながら移動することになる。このため、検査点Ｐ１表面の酸化膜を擦り取ることになり、検査点Ｐ１と接触子２が確実に接触することになる。
【００２５】
また更に、基板ＰがＺ方向に搬送されると、接触子２は、上板部３１に左右方向から固定されているため、接触子２が上板部３１と下板部３２の間の空間に押し込められるように、更なる湾曲形状となる。このため、接触子２は、図４（ｃ）で示される如く、上板部３１の二点Ｓ１，Ｓ２により保持されることになる。この二点は、上板部３１の先端孔部３１１の点対称位置に位置する点であり、接触子２は少なくともこの二点で上板部３１の先端孔部３１１を形成する周面に当接することになる。
尚、この二点は、上板部３１の先端孔部３１１の周面で上板部３１の表面付近と裏面付近に位置取りされる（図４（ｃ）参照）。
【００２６】
接触子２が、先端孔部３１１の点対称位置にある二点で保持されることになり、接触子２の傾斜量が一定していることになるので、基板Ｐ２がＺ方向に移動して接触子２を押圧すると、接触子２は点対称位置の二点で（傾斜量一定で）保持されたまま下方向に移動することになる。このとき、検査点Ｐ１に接触する接触子２は、−Ｘ方向に移動することになる。このため、接触子２の先端部２ａは、検査点Ｐ２の表面を-Ｘ方向に擦りながら移動することになる。つまり、接触子２は検査点Ｐ１表面の酸化膜を擦り取ることになり、検査点Ｐ１と接触子２が確実に接触することになる。
【００２７】
ここで、上板部３１の先端孔部３１１が、接触子２の先端部２ａが検査点表面（短軸方向）を移動する移動量を制御する方法を説明する。
上記の説明の如く、本発明にかかる基板検査治具１は、接触子２を電極部と検査点で圧接されて所定加重を得るための湾曲形状とされる際に、接触子２が湾曲形状に形成されるとともに、検査点表面を接触子２の先端部２ａが擦りながら移動するようになっている。
このため、上板部３１の厚みが、接触子２を保持する傾斜量（傾斜角度）を設定している。例えば、図４（ｃ）では、元々点線位置に配置されていた接触子２が、基板Ｐ２の検査点Ｐ１による押し込み（Ｚ方向の移動）により、接触子２が図４（ｃ）の実線の位置まで移動している。このとき、接触子２は上板部３１の先端孔部３１１に保持されながらＺ方向に移動される。この際に、接触子２は先端孔部３１１の二点Ｓ１，Ｓ２に保持されるが、この二点は、上板部３１の厚みにより設定されることになる。
【００２８】
押し込まれる接触子２は、この傾斜量に応じて、-Ｘ方向の移動量が設定されることになる。例えば、厚みが薄くなれば傾斜量大きくなり、Ｚ方向の押し込み量からの−Ｘ方向への移動量が大きくなり、厚みが厚くなれば傾斜量が小さくなり、Ｚ方向の押し込み量からの−Ｘ方向への移動量が小さくなる。
【００２９】
また、接触子２の上板部３１の先端孔部３１１から突出する突出量（突出長さ）が、検査点表面を移動するＸ方向の移動量を制御することができる。
これは、例えば、図４（ｃ）の点線で示される元々の接触子２の位置が、紙面で示されるよりも高い位置（−Ｚ方向）に配置されることになり、接触子２を押し込む量が大きくなるため、相対的にＺ方向の押し込み量が大きくなる。このため、Ｚ方向の押し込み量が大きくなれば、Ｘ方向の移動量も大きくなる。
【００３０】
接触子２がＸ方向を移動する移動量は、上記の如く、上板部３１の厚み、先端孔部３１１からの接触子２の突出量、及び先端孔部３１１と接触子２とのクリアランスを適宜調整することで、所望する移動量に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係る基板検査治具の構成を示す概略図である。
【図２】本発明に係る基板検査治具ヘッドの一実施形態を示す。
【図３】本発明に係る基板検査治具ヘッドの断面図を示し、（ａ）は各板部の孔部の配置位置を示しており、（ｂ）は各板部の孔部に接触子が装着された様子を示す。
【図４】本発明に係る基板検査治具の上板部の先端孔部に装着された接触子の動作を示しており、（ａ）は接触子が基板の検査点に接触する前の状態を示し、（ｂ）は接触子が検査点に接触した直後の様子を示し、（ｃ）は検査点から接触子が押し込まれ、接触子が所定湾曲形状になる場合の様子を示している。
【符号の説明】
【００３２】
１・・・・基板検査治具
２・・・・接触子
３・・・・保持体
３１・・・上板部
３１１・・先端孔部
３２・・・下板部
３２１・・後端孔部
【図１】
2009008516.tif 000003
【図２】
2009008516.tif 000004
【図３】
2009008516.tif 000005
【図４】
2009008516.tif 000006