(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に探針を有するカンチレバーを備えた原子間力顕微鏡を用いたナノ気泡の判定方法であって、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定し、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに対象物がナノ気泡であると判定することを特徴とするナノ気泡の判定方法。
【請求項２】
対象物の体積の経時変化を測定し、対象物の体積が減少したときに対象物がナノ気泡であると判定することを特徴とする請求項１記載のナノ気泡の判定方法。
【請求項３】
探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を測定し、変位率が０．０５Ｎ／ｍ以下のときに対象物がナノ気泡であると判定することを特徴とする請求項１又は２記載のナノ気泡の判定方法。
【請求項４】
先端に探針を有するカンチレバーを備えた原子間力顕微鏡からなるナノ気泡の判定装置であって、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定する変位測定手段と、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに、対象物がナノ気泡であると判定する判定手段を備えたことを特徴とするナノ気泡の判定装置。
【請求項５】
対象物の体積の経時変化を測定する体積測定手段を備え、前記判定手段は、対象物の体積が減少したときに対象物がナノ気泡であると判定するように構成されたことを特徴とする請求項４記載のナノ気泡の判定装置。
【請求項６】
探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を測定する変位率測定手段を備え、前記判定手段は、変位率が０．０５Ｎ／ｍ以下のときに対象物がナノ気泡であると判定するように構成されたことを特徴とする請求項４又は５記載のナノ気泡の判定装置。
【請求項７】
前記探針とナノ気泡を光学的に拡大して観察するためのレンズが設けられ、前記レンズの周囲には、気体飽和水を循環させるための循環路が形成されたことを特徴とする請求項４〜６のいずれかに記載のナノ気泡の判定装置。
【請求項８】
基板表面の汚染又は欠陥の検査に使用されることを特徴とする請求項４〜７のいずれかに記載のナノ気泡の判定装置。
【請求項９】
先端に探針を有するカンチレバーを備えた原子間力顕微鏡からなるナノ気泡の判定装置に用いられるプログラムであって、コンピュータを、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定する変位測定手段と、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに、対象物がナノ気泡であると判定する判定手段として機能させるためのプログラム。
【請求項１０】
コンピュータを、対象物の体積の経時変化を測定する体積測定手段と、対象物の体積が減少したときに対象物がナノ気泡であると判定する判定手段として機能させるための請求項９記載のプログラム。
【請求項１１】
コンピュータを、探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を測定する変位率測定手段と、変位率が０．０５Ｎ／ｍ以下のときに対象物がナノ気泡であると判定する判定手段として機能させるための請求項９又は１０記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、原子間力顕微鏡を用いたナノ気泡の判別方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ＭＥＭＳ、半導体、液晶などのナノデバイスの製造工程中のウエットプロセスにおいて基板上に付着したナノサイズの気泡、すなわちナノ気泡は、デバイスの欠陥の原因となる。このため、ナノ気泡の発生をいかに制御するかということが重要となっており、そのためにはナノ気泡を正確に判別することのできる技術が必要とされている。
【０００３】
ナノ気泡を判別する方法についての研究は盛んに行われており、例えば、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を用いて形状からナノ気泡を判別しようとする方法が検討されている。しかし、ナノ気泡はマクロな気泡とは異なった性質を有し、平坦な形状を有することが報告されており（非特許文献１）、形状からナノ気泡とその他の異物を判別することは非常に困難であった。
【０００４】
また、原子間力顕微鏡の探針を対象物に押し込む凝集挙動解析によって相互作用力を測定してナノ気泡とその他の異物を判別することも考えられるが、その対象物がゲルやグラフト重合体などのような非常に柔らかい物質の場合は、ナノ気泡との判別が困難であった。
【０００５】
また、液中ではゼータ電位による斥力が働くために、原子間力顕微鏡の探針と判別の対象物の間に働く相互作用斥力を測定することによってナノ気泡とその他の異物を判別することはできなかった。
【非特許文献１】Lijuan Zhang, et al., Langmuir 2006, 22, 8109-8113.
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のように、原子間力顕微鏡を用いてナノ気泡を確実にその他の異物から判別することは困難であった。
【０００７】
そこで、本発明は、原子間力顕微鏡を用いてナノ気泡を確実にその他の異物から判別することのできる、新たな判別方法及びその装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のナノ気泡の判別方法は、先端に探針を有するカンチレバーを備えた原子間力顕微鏡を用いたナノ気泡の判定方法であって、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定し、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに対象物がナノ気泡であると判定することを特徴とする。
【０００９】
また、対象物の体積の経時変化を測定し、対象物の体積が減少したときに対象物がナノ気泡であると判定することを特徴とする。
【００１０】
さらに、探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を測定し、変位率が０．０５Ｎ／ｍ以下のときに対象物がナノ気泡であると判定することを特徴とする。
【００１１】
本発明のナノ気泡の判定装置は、先端に探針を有するカンチレバーを備えた原子間力顕微鏡からなるナノ気泡の判定装置であって、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定する変位測定手段と、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに、対象物がナノ気泡であると判定する判定手段を備えたことを特徴とする。
【００１２】
また、対象物の体積の経時変化を測定する体積測定手段を備え、前記判定手段は、対象物の体積が減少したときに対象物がナノ気泡であると判定するように構成されたことを特徴とする。
【００１３】
また、探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を測定する変位率測定手段を備え、前記判定手段は、変位率が０．０５Ｎ／ｍ以下のときに対象物がナノ気泡であると判定するように構成されたことを特徴とする。
【００１４】
また、前記探針とナノ気泡を光学的に拡大して観察するためのレンズが設けられ、前記レンズの周囲には、気体飽和水を循環させるための循環路が形成されたことを特徴とする。
【００１５】
さらに、基板表面の汚染又は欠陥の検査に使用されることを特徴とする。
【００１６】
本発明のプログラムは、先端に探針を有するカンチレバーを備えた原子間力顕微鏡からなるナノ気泡の判定装置に用いられるプログラムであって、コンピュータを、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定する変位測定手段と、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに、対象物がナノ気泡であると判定する判定手段として機能させる。
【００１７】
また、コンピュータを、対象物の体積の経時変化を測定する体積測定手段と、対象物の体積が減少したときに対象物がナノ気泡であると判定する判定手段として機能させる。
【００１８】
さらに、コンピュータを、探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を測定する変位率測定手段と、変位率が０．０５Ｎ／ｍ以下のときに対象物がナノ気泡であると判定する判定手段として機能させる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のナノ気泡の判別方法及びその装置によれば、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定し、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに対象物がナノ気泡であると判定することによって、ナノ気泡とその他の異物を判別することができる。
【００２０】
また、対象物の体積の経時変化を測定し、対象物の体積が減少したときに対象物がナノ気泡であると判定することによって、確実にナノ気泡とその他の異物を判別することができる。
【００２１】
さらに、探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を測定し、変位率が０．０５Ｎ／ｍ以下のときに対象物がナノ気泡であると判定することによって、より確実にナノ気泡とその他の異物を判別することができる。
【００２２】
したがって、ナノデバイスの製造工程中のウエットプロセスにおいて発生する欠陥を除去するためのナノ気泡の挙動解析に貢献することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明のナノ気泡の判別方法及びその装置の実施例について図面を参照しながら説明する。なお、本発明は、下記の実施例に限定されるものではなく、種々の変形実施が可能である。
【実施例１】
【００２４】
原子間力顕微鏡を用いて、基板上に付着した液中気泡を観察した。具体的には、ＡｒＦレジスト基板上に二酸化炭素が飽和した水を滴下し、光学顕微鏡でも観察することができるマイクロ気泡を基板上に発生させてこれを原子間力顕微鏡で観察した。なお、ＡｒＦレジスト基板としては、Ｓｉ（１００）単結晶基板上にＡｒＦレジストを２０００ｒｐｍ、６０秒でスピンコートし、１３０℃のホットプレートで９０秒の熱処理を行ったものを用いた。
【００２５】
原子間力顕微鏡による観察には、先端にＳｉ３Ｎ４製の探針を有するカンチレバーを用いた。カンチレバーのバネ定数は０．０８２Ｎ／ｍ、探針の先端の曲率半径は８ｎｍであった。
【００２６】
気泡の観察例として、図１（ａ）に原子間力顕微鏡のカンチレバー付近のマイクロ気泡の光学顕微鏡像、図１（ｂ）にコンタクトモードによる原子間力顕微鏡像を示す。また、このときの原子間力顕微鏡による観察領域を図１（ｃ）に示す。なお、図１（ｂ）の「液中」と示された平らな部分においては、探針は液中を走査している。
【００２７】
以下、ナノ気泡の判別方法について詳細に説明する。
【００２８】
（１）対象物の体積の経時変化の測定による判別
直径１０μｍのマイクロ気泡の形状の経時変化を原子間力顕微鏡を用いて観察した。その結果を図２に示す。図２（ａ）は基板上に水を滴下してから４分２０秒後の気泡の像である。なお、原子間力顕微鏡で走査する前の光学顕微鏡による観察では球形であったが、コンタクトモードの原子力間顕微鏡による走査により図２（ａ）中の右側に掃き寄せられて変形した。このときの探針による走査力は０．０５３ｎＮであった。
【００２９】
基板上に水を滴下してから４時間３８分後、４時間５１分後、５時間６分後の気泡の像をそれぞれ図２（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す。時間の経過にしたがって気泡が小さくなっていくのが観察された。このように、液中の気泡は溶解し、時間の経過とともに体積が減少する。
【００３０】
したがって、対象物の体積の経時変化を測定し、対象物の体積が減少したときに対象物がナノ気泡であると判定することができる。
【００３１】
（２）カンチレバーの先端の変位率の測定による判別
探針を気泡の気液界面に近づけたときのフォースカーブ、すなわち探針の先端と気泡表面の間の距離と、探針に働く力の関係を測定した。測定結果を図３（ａ）に示す。なお、図３（ａ）中、横軸が探針と気泡表面の距離、縦軸が探針に働く力、すなわち相互作用力である。
【００３２】
以下、図３（ａ）のフォースカーブと、図３（ｂ）のカンチレバーの変形の様子を示す模式図に基づいて、探針と気液表面の間の相互作用力の変化について４つの領域に分けて説明する。
【００３３】
探針と気泡表面の距離が大きい領域１において、相互作用力はほぼ一定の値を示し、特に変化は見られなかった。探針と気泡表面の距離が小さくなる領域２において、探針と気泡表面の間に斥力が働いた。探針が気泡表面に接触する領域３において、探針は気泡に引き込まれた。さらに探針が気泡内に挿入される領域４において、探針に斥力が働いた。なお、この斥力はラプラス力、すなわちメニスカス力によるものであると考えられる。
【００３４】
比較のために、探針をＡｒＦレジスト基板に近づけたときのフォースカーブを上記と同様に測定した。測定結果を図４（ａ）に示し、図４（ｂ）にカンチレバーの変形の様子を示す。探針と基板表面の距離が大きい領域１において、相互作用力はほぼ一定の値を示した。探針と基板表面の距離が小さくなる領域２において、探針と基板表面の間に斥力が働いた。この斥力は、基板上の電気二重層のゼータ電位によるものである。探針が基板表面に接触する直前の領域３において、探針が基板表面に引き寄せられた。この引力は、ファンデルワールス力によるものである。なお、さらに探針が基板表面に近づくと探針の先端の原子と基板表面の分子との電子軌道の重なりによって斥力が発生する。探針が基板表面に接触した後の領域４において、探針の先端が基板表面と接触した状態のまま相互作用力の値が急激に上昇した。
【００３５】
つぎに、探針を気泡表面に近づけたときのフォースカーブと、探針をＡｒＦレジスト基板に近づけたときのフォースカーブを、探針のアプローチ速度を変えてそれぞれ複数回測定し、探針を気泡表面、又は基板表面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率、すなわち、図３（ａ）、図４（ａ）の領域４における傾きを求めた。その結果を図５に示す。
【００３６】
気泡上で得られたカンチレバーの変位率は０．０１３２〜０．０３１９Ｎ／ｍであり、非常に柔らかい物体であることを示した。一方、ＡｒＦレジスト基板上で得られたカンチレバーンの変位率はカンチレバーのバネ定数の０．０８２Ｎ／ｍに近い値をとり、硬い物体であることを示した。
【００３７】
したがって、対象物上のカンチレバーの変位率を測定し、変位率が小さいとき、例えば０．０５Ｎ／ｍ以下のときに対象物がナノ気泡であると判定することができる。
【００３８】
（３）カンチレバーの先端の変位の測定による判別
カンチレバーを上下に振動させながら探針の先端を気泡の斜面に押し当てて、その際のカンチレバーの先端のたわみ方向とねじれ方向の変位の経時変化を測定した。測定結果を図６に示す。図６（ａ）は、たわみ方向の変位を示し、探針が気泡に押し当てられたときに変位の値がマイナス側、気泡から離れるときに変位の値がプラス側となっている。図６（ｂ）は、ねじれ方向の変位を示し、時間軸は図６（ａ）と対応している。そして、図６（ｂ）中、変位の値が大きいほどカンチレバーのねじれが大きく、探針が傾いていることを示している。
【００３９】
図６に示す測定結果から、探針を気泡の斜面に押し当てると、カンチレバーは、探針が気泡の中心部分に向くように、すなわち探針が気泡の斜面と直交する向きに変位することが確認された。この様子を模式的に図７に示す。これは、探針の側面と気泡が接する角度に起因するラプラス力、すなわちメニスカス力によるモーメントのためであると考えられる。すなわち、探針の側面と気泡が接する角度を垂直にする向きにラプラス力が働くためであると考えられる。そして、この現象は気泡特有の現象であると考えられる。対象物が固体の場合は固体表面によって探針が弾かれ、気泡の場合とは逆向きのねじれが生じるためである。
【００４０】
したがって、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定し、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに対象物がナノ気泡であると判定することができる。
【００４１】
（４）本発明のナノ気泡の判別方法について
本発明のナノ気泡の判別方法は、上記の３つの判別方法のうち、カンチレバーの先端の変位の測定による判別を基礎におく。すなわち、先端に探針を有するカンチレバーを備えた原子間力顕微鏡を用いたナノ気泡の判定方法であって、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定し、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに対象物がナノ気泡であると判定する。したがって、ナノ気泡とその他の異物を確実に判別することができる。
【００４２】
そして、より確実に判別を行うために、対象物の体積の経時変化を測定し、対象物の体積が減少したときに対象物がナノ気泡であると判定してもよい。さらに確実に判別を行うために、探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を測定し、変位率が０．０５Ｎ／ｍ以下のときに対象物がナノ気泡であると判定してもよい。
【００４３】
また、本発明のナノ気泡の判別方法によれば、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際に、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位しなかった場合において、探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率が０．０５Ｎ／ｍ以下のときは、対象物がゲルやグラフト重合体などの柔らかい固体であると判定することができる。
【００４４】
さらに、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際に、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位しなかった場合において、探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率が０．０５Ｎ／ｍを超えるときは、対象物がナノ微粒子などの硬い固体であると判定することができる。
【００４５】
対象物がナノ気泡、ゲルやグラフと重合体などの柔らかい固体、ナノ微粒子などの硬い固体のいずれであるかを判断するための基準を図８にまとめる。
【実施例２】
【００４６】
本実施例のナノ気泡の判別装置について説明する。なお、本実施例のナノ気泡の判別装置は、先端に探針を有するカンチレバーを備えた原子間力顕微鏡から構成されるが、原子間力顕微鏡の構成については従来のものと同様であるのでその説明を省略する。
【００４７】
本実施例のナノ気泡の判別装置１は、先端に探針を有するカンチレバーを備えた原子間力顕微鏡からなるナノ気泡の判定装置である。そして、図９に示すように、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定する変位測定手段３と、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに、対象物がナノ気泡であると判定する判定手段２を備えている。
【００４８】
変位測定手段３は、カンチレバーの動作を制御し、カンチレバーの先端の変位を測定するように構成されている。
【００４９】
判定手段２は、変位測定手段３からの測定データを基に、対象物がナノ気泡であるか否かを判定するように構成されている。
【００５０】
また、本実施例のナノ気泡の判別装置１は、対象物の体積の経時変化を測定する体積測定手段４を備え、前記判定手段２は、対象物の体積が減少したときに対象物がナノ気泡であると判定するように構成されている。
【００５１】
体積測定手段４は、カンチレバーで対象物を所定の時間間隔で走査して、それぞれの時点における対象物の体積を測定するように構成されている。
【００５２】
判定手段２は、体積測定手段４からの測定データを基に、対象物がナノ気泡であるか否かを判定するように構成されている。
【００５３】
さらに、本実施例のナノ気泡の判定装置１は、探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を測定する変位率測定手段５を備え、前記判定手段２は、変位率が０．０５Ｎ／ｍ以下のときに対象物がナノ気泡であると判定するように構成されている。
【００５４】
変位率測定手段５は、カンチレバーの動作を制御し、カンチレバーの先端の変位率を測定するように構成されている。
【００５５】
判定手段２は、変位率測定手段５からの測定データを基に、対象物がナノ気泡であるか否かを判定するように構成されている。
【実施例３】
【００５６】
本実施例のプログラムについて説明する。本実施例のプログラムは、コンピュータを、判定手段２、変位測定手段３、体積測定手段４、変位率測定手段５として機能させるためのプログラムである。
【００５７】
図１０に示すように、ステップＳ１において、探針の先端を対象物の斜面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位を測定する。そして、ステップＳ２において、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位したときに、ステップＳ３に進む。ステップＳ２において、探針が対象物の斜面と直交する向きにカンチレバーの先端が変位しないときは、対象物がナノ気泡ではないと判定する。
【００５８】
つぎに、ステップＳ３において、対象物の体積の経時変化を測定する。そして、ステップＳ４において、対象物の体積が減少したときに、ステップＳ５に進む。ステップＳ４において、対象物の体積が減少しないときは、対象物がナノ気泡ではないと判定する。
【００５９】
さらに、ステップＳ５において、探針の先端を対象物に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を測定する。そして、ステップＳ５において、変位率が０．０５Ｎ／ｍ以下のときに、ステップＳ７において、対象物がナノ気泡であると判定する。ステップＳ５において、変位率が０．０５Ｎ／ｍを超えるときは、対象物がナノ気泡ではないと判定する。
【００６０】
このプログラムは、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して提供されることができる。
【実施例４】
【００６１】
本発明のナノ気泡の判別方法及びその装置は、ガラスや半導体などの基板表面の汚染や欠陥の検査に使用することができる。以下、本発明のナノ気泡の判定装置を基板表面の欠陥検査装置として用いた例について説明する。
【００６２】
図１１において、11は原子間力顕微鏡のカンチレバーであり、その先端には探針12が設けられている。カンチレバー11の上方には、カンチレバーとナノ気泡18を光学的に拡大して観察するためのレンズ13が設けられている。レンズ13の周囲には、気体飽和水19を循環させるための循環路14が形成されている。そして、循環路14から気体飽和水19を供給、吸引して、レンズ13とガラスや半導体などの基板15との間にメニスカスを形成するようになっている。
【００６３】
つぎに、作用について説明する。基板15に有機汚染16やナノ欠陥17があると、その部分にナノ気泡18が選択的に発生する。このナノ気泡18を本発明の方法により判別する。なお、気泡飽和水19を循環させることによって、気泡の発生が促進されるようになっている。また、基板15よりも低温の気体飽和水19を循環させることで、ナノ気泡18の発生を促進させることができる。
【００６４】
以上のように、本実施例のナノ気泡の判定装置は、前記探針12とナノ気泡18を光学的に拡大して観察するためのレンズ13が設けられ、前記レンズ13の周囲には、気体飽和水19を循環させるための循環路14が形成されている。このナノ気泡の判定装置を基板15上で走査させることで、気泡の発生分布を調べることができる。その結果、基板15表面の汚染や欠陥を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】原子間力顕微鏡のカンチレバー付近のマイクロ気泡の光学顕微鏡像（ａ）、コンタクトモードによる原子間力顕微鏡像（ｂ）、原子間力顕微鏡による観察領域を示す模式図（ｃ）である。
【図２】マイクロ気泡の形状の経時変化を示す原子間力顕微鏡像である。
【図３】探針を気泡の気液界面に近づけたときの相互作用力を示すグラフ（ａ）、カンチレバーの変形の様子を示す模式図（ｂ）である。
【図４】探針をＡｒＦレジスト基板に近づけたときの相互作用力を示すグラフ（ａ）、カンチレバーの変形の様子を示す模式図（ｂ）である。
【図５】探針を気泡表面、又は基板表面に押し当てた際のカンチレバーの先端の変位率を示すグラフである。
【図６】カンチレバーの先端のたわみ方向の変位の経時変化を示すグラフ（ａ）、ねじれ方向の変位の経時変化を示すグラフ（ｂ）である。
【図７】探針を気泡の斜面に押し当てたときの様子を示す模式図である。
【図８】対象物がナノ気泡、ゲルやグラフと重合体などの柔らかい固体、ナノ微粒子などの硬い固体のいずれであるかを判断するための基準を示す表である。
【図９】本発明のナノ気泡の判別装置の一実施例を示すブロック図である。
【図１０】本発明のプログラムの一実施例を示すフロー図である。
【図１１】本発明のナノ気泡の判別装置の一実施例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６６】
２  判定手段
３  変位測定手段
４  体積測定手段
５  変位率測定手段
12  探針
13  レンズ
14  循環路
18  ナノ気泡
19  気体飽和水
【図９】
0005013320.tif 000002
【図１０】
0005013320.tif 000003
【図１】
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【図２】
0005013320.tif 000005
【図３】
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【図４】
0005013320.tif 000007
【図５】
0005013320.tif 000008
【図６】
0005013320.tif 000009
【図７】
0005013320.tif 000010
【図８】
0005013320.tif 000011
【図１１】
0005013320.tif 000012