(57)【要約】【課題】光散乱層の膜厚を厚くしても、反射部領域の着色層と透過部領域の着色層との間に膜厚バラツキが生じない半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】透明基板１１上に、ブラックマトリクス２１と、透過部赤色層５１Ｒｔと反射部赤色層５１Ｒｒとからなる赤色画素５１Ｒと、透過部緑色層５２Ｇｔと反射部緑色層５２Ｇｒとからなる緑色画素５２Ｇと、透過部青色層５３Ｂｔと反射部青色層５３Ｂｒとからなる青色画素５３Ｂと、反射部赤色層５１Ｒｒ、反射部緑色層５２Ｇｒ及び反射部青色層５３Ｂｒ上に光散乱層３１と、透過部赤色層５１Ｒｔ、透過部緑色層５２Ｇｔ及び透過部青色層５３Ｂｔ上にそれぞれ段差調整層４１とを形成して、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ１００を作製する。【選択図】図１
2009008714.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上に、少なくともブラックマトリクスと、透過部着色層と反射部着色層とからなる複数の着色画素と、光散乱層と、を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、
前記光散乱層は前記反射部着色層上に設けられており、前記透過部着色層と前記光散乱層との間で生じた膜厚段差を調整するために、前記透過部着色層上に膜厚段差調整層を設けたことを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ。
【請求項２】
前記光散乱層の膜厚が、２．０〜５．０μｍの範囲に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ。
【請求項３】
前記光散乱層は、樹脂中に屈折率の異なる粒子（フィラー）を分散させた粒子（フィラー）分散樹脂溶液を塗膜形成して作製されており、
粒子径が２．０〜４．０μｍの前記粒子（フィラー）を用いたことを特徴とする請求項1または２に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ。
【請求項４】
少なくとも、
（ａ）透明基板上に、ブラックマトリクスを形成する工程と、
（ｂ）ブラックマトリクス間に透過部着色層と反射部着色層とからなる複数の着色画素を形成する工程と、
（ｃ）前記反射部着色層上に光散乱層を形成する工程と、
（ｄ）前記透過部着色層上に膜厚段差調整層を形成する工程と、
を具備することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタに関し、特に、光散乱層と段差調整層とを有する透過型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は自発光型の表示装置ではないので、その表示には他からの光を必要とし、例えば、液晶パネルの後方にバックライトを設け、後方からの光によって表示を行っている。
このような液晶表示装置は透過型液晶表示装置と称され、主に屋内で使用されるのが一般的である。
これに対し、液晶パネルの後部に反射層を設けた反射型液晶表示装置があり、周囲からの外光によって表示を行っている。これは、主に屋外のような非常に明るい環境下で使用される。
【０００３】
最近、透過型液晶表示装置と反射型液晶表示装置の両機能を１台の液晶表示装置に取り込んだ半透過型液晶表示装置が開発されている。
この半透過型液晶表示装置は、屋外のような非常に明るい環境下でも、屋内のような暗い環境下でも用いることができるもので、モバイル機器に用いられる液晶表示装置として期待されている液晶表示装置である。
【０００４】
半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、着色画素が反射部着色層と透過部着色層とから構成されており、反射部着色層上に反射板から反射した光を散乱させるための光散乱層が必要とされている。
この光散乱層は、液晶パネルの外側に散乱フィルムを貼付する方式と、液晶パネル内のカラーフィルタの反射部着色層上に設ける方式がある。
【０００５】
光散乱層は、樹脂中に屈折率の異なる粒子（フィラー）を分散させたもので、粒子（フィラー）と樹脂との屈折率差によって、反射光を散乱させる働きを持たせている。
着色画素の反射部着色層上に光散乱層を設ける方式は、反射光を反射板に近い位置で散乱させることにより、液晶パネルの外側に散乱フィルムを貼付する方式と比較して、半透過型液晶表示装置の反射表示部のコントラストを向上させる効果がある。
【０００６】
半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの一例として、図５に示すような半透過型液晶表示装置用カラーフィルタが提案されている。（例えば、特許文献１参照）。
半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ３００は、透明基板１１上に、ブラックマトリクス２２、光散乱層３２、平坦化層４３、赤色画素６１R、緑色画素６２G、青色画素６３Bが形成されており、光散乱層３２は、着色画素（赤色画素６１R、緑色画素６２G、青色画素６３B）の反射部赤色層６１Rｒ、反射部緑色層６２Gｒ、反射部青色層６３Bｒの下部に形成されている。
【０００７】
上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ３００の作製方法について説明する。
【０００８】
まず、ガラス基板等からなる透明基板１１上に黒色感光性樹脂溶液を塗布して感光層を形成し、パターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス２２を形成する（図６（ａ）参照）。
【０００９】
次に、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂等の感光性樹脂中にシリカ等のフィラーを分散
した感光性樹脂溶液をスピンナー等の塗布手段に塗布し、感光性樹脂層を形成し、パターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、反射部着色層領域に相当する部分の透明基板１１上に光散乱層３２を形成する（図６（ｂ）参照）。
【００１０】
次に、透明基板１１と光散乱層３２との間に生じた段差を埋めるために、透明樹脂溶液を塗布して、平坦化層４３を形成する（図６（ｃ）参照）。
この平坦化層４３の厚さは、パネル化した際の反射部着色層と透過部着色層とのパネルギャップの値になるように設定する。
【００１１】
次に、ブラックマトリクス２２、光散乱層３２及び平坦化層４３が形成された透明基板１１上に、感光性樹脂に赤色顔料を分散した赤色レジストを塗布、予備乾燥して、赤色感光層を形成し、フォトマスクを介してパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行い、反射部領域の光散乱層３２上に反射部赤色層６１Ｒｒが、透過部領域の平坦化層４３上に透過部赤色層６１Ｒｔがそれぞれ形成された赤色画素６１Ｒを形成する（図６（ｄ）参照）。
【００１２】
次に、ブラックマトリクス２２、光散乱層３２、平坦化層４３及び赤色画素６１Ｒが形成された透明基板１１上に、感光性樹脂に緑色顔料を分散した緑色レジストを塗布、予備乾燥して、緑色感光層を形成し、フォトマスクを介してパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行い、反射部領域の光散乱層３２上に反射部緑色層６２Gｒが、透過部領域の平坦化層４３上に透過部緑色層６２Gｔが形成された緑色画素６２Gを形成する（図７（ｅ）参照）。
【００１３】
次に、ブラックマトリクス２２、光散乱層３２、平坦化層４３、赤色画素６１Ｒ及び緑色画素６２Ｇが形成された透明基板１１上に、感光性樹脂に青色顔料を分散した青色レジストを塗布、予備乾燥して、青色感光層を形成し、フォトマスクを介してパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行い、反射部領域の光散乱層３２上に反射部青色層６３Ｂｒが、透過部領域の平坦化層４３上に透過部青色層６３Ｂｔが形成された青色画素６３Ｂを形成し、透明基板１１上に、ブラックマトリクス２２、光散乱層３２、平坦化層４３、赤色画素６１Ｒ、緑色画素６２Ｇ及び赤色画素６１Ｒが形成された半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ３００を得る（図７（ｆ）参照）。
【００１４】
一般に半透過型液晶表示装置では、透過部と反射部のギャップ差が２μｍ程度になるように設定されているため、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ３００では、反射部着色画素面と透過部着色画素面の膜厚差が２μｍ程度になるようにしなくてはならない。
半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ３００では、光散乱層３２を最初に形成し、平坦化層４３、赤色画素６１Ｒ、緑色画素６２Ｇ及び青色画素６３Bを順次形成していくため、反射部着色画素面と透過部着色画素面の膜厚差を２μｍ程確保するためには、平坦化層４３を形成した時点で、光散乱層３２と平坦化層４３との膜厚差は２μｍ程確保しなければならない。
【００１５】
光散乱層３２と平坦化層４３との膜厚差を２μｍ程確保した状態で着色画素を形成しようとすると、着色レジストを塗布して、着色感光層を形成する際、反射部領域の着色層と透過部領域の着色層との間に膜厚バラツキが生じ、反射部着色層と透過部着色層との分光透過率特性にバラツキが発生するという問題を有している。
【００１６】
また、上記の光散乱層では、膜厚を厚くできないため、パネル化した際、見る角度によって、色が変化するという問題を有している。
【特許文献１】特開２００３−１５６６１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、光散乱層の膜厚を厚くしても、反射部領域の着色層と透過部領域の着色層との間に膜厚バラツキが生じない半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、透明基板上に、少なくともブラックマトリクスと、透過部着色層と反射部着色層とからなる複数の着色画素と、光散乱層と、を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、
前記光散乱層は前記反射部着色層上に設けられており、前記透過部着色層と前記光散乱層との間で生じた膜厚段差を調整するために、前記透過部着色層上に膜厚段差調整層を設けたことを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタとしたものである。
【００１９】
また、請求項２においては、前記光散乱層の膜厚が、２．０〜５．０μｍの範囲に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタとしたものである。
【００２０】
また、請求項３においては、前記光散乱層は、樹脂中に屈折率の異なる粒子（フィラー）を分散させた粒子（フィラー）分散溶液を塗膜形成して作製されており、
粒子径が２．０〜４．０μｍの前記粒子（フィラー）を用いたことを特徴とする請求項1または２に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタとしたものである。
【００２１】
また、請求項４においては、少なくとも、
（ａ）透明基板上に、ブラックマトリクスを形成する工程と、
（ｂ）ブラックマトリクス間に透過部着色層と反射部着色層とからなる複数の着色画素を形成する工程と、
（ｃ）前記反射部着色層上に光散乱層を形成する工程と、
（ｄ）前記透過部着色層上に膜厚段差調整層を形成する工程と、
を具備することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法としたものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、最初に透過部着色層と反射部着色層とからなる複数の着色画素を形成し、反射部着色層上に光散乱層を形成し、光散乱層と透過部着色層と間に生じた膜厚段差を埋めるための段差調整層を設けているため、光散乱層の膜厚を厚く設定でき、パネル化後の見る角度によって生じる色変化を防止することができる。
また、最初に透過部着色層と反射部着色層とからなる複数の着色画素を形成するため、透過部着色層と反射部着色層の膜厚バラツキを抑えることができ、表示品位に優れた半透過型液晶表示装置を得ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
図１（ａ）は、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの一実施例を示す模式構成図である。
図１（ｂ）は、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの他の実施例を示す模式構成図である。
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ１００は、透明基板１１上に、ブラック
マトリクス２１と、透過部赤色層５１Ｒｔと反射部赤色層５１Ｒｒとからなる赤色画素５１Ｒと、透過部緑色層５２Ｇｔと反射部緑色層５２Ｇｒとからなる緑色画素５２Ｇと、透過部青色層５３Ｂｔと反射部青色層５３Ｂｒとからなる青色画素５３Ｂと、反射部赤色層５１Ｒｒ、反射部緑色層５２Ｇｒ及び反射部青色層５３Ｂｒ上に光散乱層３１と、透過部赤色層５１Ｒｔ、透過部緑色層５２Ｇｔ及び透過部青色層５３Ｂｔ上にそれぞれ段差調整層４１と、透明電極（特に、図示せず）と、スペーサー（特に、図示せず）とが形成されたものである。
【００２４】
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ２００は、透明基板１１上に、ブラックマトリクス２１と、透過部赤色層５１Ｒｔと反射部赤色層５１Ｒｒとからなる赤色画素５１Ｒと、透過部緑色層５２Ｇｔと反射部緑色層５２Ｇｒとからなる緑色画素５２Ｇと、透過部青色層５３Ｂｔと反射部青色層５３Ｂｒとからなる青色画素５３Ｂと、反射部赤色層５１Ｒｒ、反射部緑色層５２Ｇｒ及び反射部青色層５３Ｂｒ上に光散乱層３１と、透過部赤色層５１Ｒｔ、透過部緑色層５２Ｇｔ及び透過部青色層５３Ｂｔ上にそれぞれ段差調整層４２と、透明電極（特に、図示せず）と、スペーサー（特に、図示せず）とが形成されたものである。
【００２５】
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、ブラックマトリクス２１を形成した後、透過部赤色層５１Ｒｔと反射部赤色層５１Ｒｒとからなる赤色画素５１Ｒと、透過部緑色層５２Ｇｔと反射部緑色層５２Ｇｒとからなる緑色画素５２Ｇと、透過部青色層５３Ｂｔと反射部青色層５３Ｂｒとからなる青色画素５３Ｂとを形成し、光散乱層３１及び段差調整層４１を形成していくため、着色画素内の透過部着色層と反射部着色層の膜厚バラツキがしょうじないことと、光散乱層３１の膜厚範囲を広く設定できることと、光散乱層３１を設けることで生じた膜厚段差を段差調整層４１、４２で調整しているため、透過部着色層上の段差調整層と反射部着色層上の光散乱層との膜厚差を精度良く制御できることが特徴である。
【００２６】
請求項２に係る発明では、光散乱層３１の膜厚を、２．０〜５．０μｍの範囲に設定することにより、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを用いてパネル化した際、見る角度によって、色が変化するという現象を防止している。
【００２７】
請求項３に係る発明では、光散乱層３１の膜厚を２．０〜５．０μｍの範囲に設定するために、粒子径が２．０〜４．０μｍの粒子（フィラー）を用いて粒子（フィラー）分散樹脂溶液を作成するようにしたものである。
【００２８】
請求項４に係る本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法について説明する。
図２（ａ）〜（ｄ）及び図３（ｅ）〜（ｆ）は、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ１００の製造方法の一実施例を示す模式構成断面図である。
まず、ガラス基板等からなる透明基板１１上にアクリル系の感光性樹脂にカーボンブラック等の黒色顔料を分散した黒色感光性樹脂をスピンナー等にて塗布し、予備乾燥して黒色感光性樹脂層を形成し、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス２１を形成する（図２（ａ）参照）。
ここで、透明基板１１としては、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス等のガラス基板及びプラスチックフィルム等が利用できる。
【００２９】
次に、アクリル系の感光性樹脂に赤色顔料を分散した赤色感光性樹脂溶液をスピンナー等にてブラックマトリクス２１が形成された透明基板１１上に塗布し、予備乾燥して赤色感光性樹脂層を形成し、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、透過部赤色層５１Ｒｔと反射部赤色層５１Ｒｒとからなる赤色画素
５１Ｒを形成する（図２（ｂ）参照）。
ここで、反射部赤色層５１Ｒｒには、入射光と反射光の２回透過光にて目的の色特性を満足させるための所定サイズのスルーホールを設けている。
【００３０】
次に、アクリル系の感光性樹脂に緑色顔料を分散した緑色感光性樹脂溶液をスピンナー等にてブラックマトリクス２１及び赤色画素５１Ｒが形成された透明基板１１上に塗布し、予備乾燥して緑色感光性樹脂層を形成し、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、透過部緑色層５２Ｇｔと反射部緑色層５２Ｇｒとからなる緑色画素５２Ｇを形成する（図２（ｃ）参照）。
ここで、反射部緑色層５２Ｇｒには、入射光と反射光の２回透過光にて目的の色特性を満足させるための所定サイズのスルーホールを設けている。
【００３１】
次に、アクリル系の感光性樹脂に青色顔料を分散した青色感光性樹脂溶液をスピンナー等にて、ブラックマトリクス２１、赤色画素５１Ｒ及び緑色画素５２Ｇが形成された透明基板１１上に塗布し、予備乾燥して青色感光性樹脂層を形成し、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、透過部青色層５３Ｂｔと反射部青色層５３Ｂｒとからなる青色画素５３Ｂを形成する（図２（ｄ）参照）。
ここで、反射部青色層５３Ｂｒには、入射光と反射光の２回透過光にて目的の色特性を満足させるための所定サイズのスルーホールを設けている。
【００３２】
次に、感光性を有する透明樹脂溶液中に粒子（フィラー）を分散させた感光性樹脂溶液を作製し、ブラックマトリクス２１、赤色画素５１Ｒ、緑色画素５２Ｇ及び青色画素５３Ｂが形成された透明基板１１上に、スピンナー等により塗布し、予備乾燥して粒子（フィラー）感光層を形成し、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、各着色画素の反射部赤色層５１Ｒｒ、反射部緑色層５２Ｇｒ及び反射部青色層５３Ｂｒ上に所定膜厚の光散乱層３１を形成する（図３（ｅ）参照）。
ここで、光散乱層３１の膜厚としては、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを用いてパネル化した際、見る角度によって、色が変化するという現象を防止するために、２．０〜５．０μｍの範囲に設定するのが好ましい。
【００３３】
粒子（フィラー）としては、無機物から成る微粒子及び有機ポリマーから成る微粒子があげられる。特に、非晶質であるという点からは有機ポリマー微粒子が好ましいが、無機物微粒子であっても、非晶質であれば問題ない。
また、粒子（フィラー）としては、非晶質微粒子であることが好ましく、結晶質であると光学的異方性を帯びると考えられ、光散乱に対しては好ましいものではない。
【００３４】
粒子（フィラー）は、例えば、無機物微粒子であれば、シリカやアルミナの酸化物等の球状の非晶質微粒子が、有機ポリマー微粒子であれば、アクリル微粒子やスチレンアクリル微粒子及びその架橋体、メラミン−ホルマリン縮合物、（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（ペルフルオロアルコキシ樹脂）、ＦＥＰ（テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体）、ＰＶＤＦ（ポリフルオロビニリデン）、ＥＴＦＥ（エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体）等の含フッ素ポリマー、シリコン樹脂微粒子等があげられる。そのなかでも、屈折率が１．５未満の架橋アクリル樹脂微粒子、及び屈折率が１．４２〜１．４５のシリカ粒子あるいはシリコン樹脂微粒子が特に好ましい。
【００３５】
粒子（フィラー）の粒子径としては、２．０〜５．０μｍ厚の光散乱層３１を実現するためには、粒子径が２．０〜４．０μｍの粒子（フィラー）を使用するのが好ましい。
【００３６】
粒子（フィラー）を分散させる透明樹脂としては、可視光線透過率が高く、また液晶表示装置の製造工程中における熱処理や薬品処理に対する十分な耐性を具備するものが望ま
しく、感光性と現像性とを有するアクリル系樹脂やエポキシ系樹脂が利用できる。また、熱硬化性樹脂や紫外線硬化型樹脂を利用することも可能である。
【００３７】
次に、感光性樹脂溶液を、ブラックマトリクス２１、赤色画素３１Ｒ、緑色画素３２Ｇ、青色画素５３Ｂ及び光散乱層３１が形成された透明基板１１上にスピンナー等にて塗布し、所定厚の感光層を形成し、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、各着色画素の透過部赤色層５１Ｒｔ、透過部緑色層５２Ｇｔ及び透過部青色層５３Ｂｔ上に所定膜厚の段差調整層４１を形成する（図３（ｆ）参照）。
【００３８】
ここで、段差調整層４１の膜厚は、図４に示すように、光散乱層３１の膜厚をＴ1、段差調整層４１の膜厚をＴ2、光散乱層３１の膜厚Ｔ1と段差調整層４１の膜厚Ｔ2との膜厚差をＴ3としたとき、膜厚差Ｔ3がほぼ２μｍとなるような膜厚に設定する。
例えば、光散乱層３１の膜厚Ｔ1が４μｍで形成されていたとすると、４−２＝２μｍ厚の段差調整層４１を形成してやればよい。
光散乱層３１の膜厚Ｔ1と段差調整層４１の膜厚Ｔ2との膜厚差Ｔ3は、液晶パネル化した際の最適のギャップ差を示すもので、一般的には、２μｍと言われているが、液晶パネルによっては最適のギャップ差２μｍが変動することもある。
【００３９】
最後に、透明電極、スペーサー（特に、図示せず）を公知の方法で形成して、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ１００を得ることができる。
【００４０】
本発明の本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ２００の製造方法について説明する。
透明基板１１上にブラックマトリクス２１、赤色画素３１Ｒ、緑色画素３２Ｇ、青色画素５３Ｂ及び光散乱層３１を形成する工程までは、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ１００の製造方法と同じなので省略する。
まず、ブラックマトリクス２１、赤色画素３１Ｒ、緑色画素３２Ｇ、青色画素５３Ｂ及び光散乱層３１が形成された透明基板１１上に、透明樹脂からなる樹脂溶液をスピンナー等により塗布して、塗膜を形成し、予備乾燥、硬化して段差調整層４２を形成する（図１（ｂ）参照）。
段差調整層４２の膜厚は、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ１００で説明したように、光散乱層３１の膜厚と、段差調整層４２の膜厚との膜厚差がほぼ２μｍとなるように設定する。
【００４１】
この段差調整層４２の形成方法は、一般にオーバーコートと呼ばれる塗布方式で塗膜形成を行うため、樹脂溶液に使用する透明樹脂として広範囲の樹脂が選択できることである。
樹脂溶液に使用する透明樹脂としては、可視光線透過率が高く、また液晶表示装置の製造工程中における熱処理や薬品処理に対する十分な耐性を具備するものが望ましく、例えば、屈折率の高い樹脂としてエポキシ変性アクリル樹脂、フローレン樹脂、ポリイミド樹脂が、また屈折率の低い樹脂としてフッ素変性アクリル樹脂、シリコン変性アクリル樹脂が適用できる。その他アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、シリコン樹脂等が使用できる。
【００４２】
最後に、透明電極、スペーサー（特に、図示せず）を公知の方法で形成して、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ２００を得ることができる（図１（ｂ）参照）。
【００４３】
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、最初に透過部着色層と反射部着色層とからなる複数の着色画素を形成し、反射部着色層上に光散乱層を形成し、光散乱層と
透過部着色層と間に生じた膜厚段差を埋めるための段差調整層を設けているため、光散乱層の膜厚を厚く設定でき、パネル化後の見る角度によって生じる色変化を防止することができる。
また、最初に透過部着色層と反射部着色層とからなる複数の着色画素を形成するため、透過部着色層と反射部着色層の膜厚バラツキを抑えることができ、表示品位に優れた半透過型液晶表示装置を得ることが可能となる。
【００４４】
以下実施例により本発明を詳細に説明する。
【実施例１】
【００４５】
アクリル系の感光性樹脂にカーボンブラックを分散した黒色感光性樹脂溶液をガラス基板からなる透明基板１１上にスピンナー等により塗布し、予備乾燥して、黒色感光性樹脂層を形成した。さらに、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス２１を形成した（図２（ａ）参照）。
【００４６】
次に、アクリル系の感光性樹脂に赤色顔料（例えば、ジアントラキノン系顔料）を分散した赤色感光性樹脂溶液をブラックマトリクス２１が形成された透明基板１１上にスピンナー等を用いて塗布し、赤色感光性樹脂層を形成した。さらに、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等のパターニング処理を行って、透過部赤色層５１Ｒｔと２５μｍスルーホール付の反射部赤色層５１Ｒｒとからなる１．５μｍ厚の赤色画素５１Ｒを形成した（図２（ｂ）参照）。
【００４７】
次に、アクリル系の感光性樹脂に緑色顔料（例えば、フタロシアニングリーン系顔料）を分散した緑色感光性樹脂溶液をスピンナー等にてブラックマトリクス２１及び赤色画素５１Ｒが形成された透明基板１１上に塗布し、予備乾燥して緑色感光性樹脂層を形成した。さらに、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、透過部緑色層５２Ｇｔと２５μｍスルーホール付の反射部緑色層５２Ｇｒとからなる１．５μｍ厚の緑色画素５２Ｇを形成した（図２（ｃ）参照）。
【００４８】
次に、アクリル系の感光性樹脂に青色顔料（例えば、フタロシアニンブルー系顔料）を分散した青色感光性樹脂溶液をスピンナー等にて、ブラックマトリクス２１、赤色画素５１Ｒ及び緑色画素５２Ｇが形成された透明基板１１上に塗布し、予備乾燥して青色感光性樹脂層を形成し、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、透過部青色層５３Ｂｔと２５μｍスルーホール付の反射部青色層５３Ｂｒとからなる１．５μｍ厚の青色画素５３Ｂを形成した（図２（ｄ）参照）。
【００４９】
次に、アクリル系の感光性樹脂に粒子径２．５μｍのシリコン樹脂からなる粒子（フィラー）を分散させた感光性樹脂溶液を作製し、ブラックマトリクス２１、赤色画素５１Ｒ、緑色画素５２Ｇ及び青色画素５３Ｂが形成された透明基板１１上に、スピンナー等により塗布し、予備乾燥して粒子（フィラー）感光層を形成し、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、反射部赤色層５１Ｒｒ、反射部緑色層５２Ｇｒ及び反射部青色層５３Ｂｒ上に３．５μｍ厚の光散乱層３１を形成した（図３（ｅ）参照）。
【００５０】
次に、アクリル系の感光性樹脂溶液を、ブラックマトリクス２１、赤色画素３１Ｒ、緑色画素３２Ｇ、青色画素５３Ｂ及び光散乱層３１が形成された透明基板１１上にスピンナー等にて塗布し、所定厚の感光層を形成し、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、透過部赤色層５１Ｒｔ、透過部緑色層５２Ｇｔ及び透過部青色層５３Ｂｔ上に１．５μｍ厚の段差調整層４１を形成した（図３（ｆ）参照）。
【００５１】
次に、酸化インジウム−錫系の合金ターゲットをスパッタリングして、光散乱層３１及び段差調整層４１上に酸化インジウム錫からなる透明電極（特に、図示せず）を形成した。
【００５２】
最後に、アクリル系のクリアレジストをスピンナー等により塗布して、予備乾燥して感光層を形成し、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、所定の位置にスペーサー（特に、図示せず）を形成し、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ１００を得た。
【実施例２】
【００５３】
実施例1と同様な工程で、ガラス基板からなる透明基板１１上に、ブラックマトリクス２１と、透過部赤色層５１Ｒｔと１．８μｍスルーホール付の反射部赤色層５１Ｒｒとからなる１．５μｍ厚の赤色画素５１Ｒと、透過部緑色層５２Ｇｔと１．８μｍスルーホール付の反射部緑色層５２Ｇｒとからなる１．５μｍ厚の緑色画素５２Ｇと、透過部青色層５３Ｂｔと１．８μｍスルーホール付の反射部青色層５３Ｂｒとからなる１．５μｍ厚の青色画素５３Ｂと、反射部赤色層５１Ｒｒ、反射部緑色層５２Ｇｒ及び反射部青色層５３Ｂｒ上に３．５μｍ厚の光散乱層３１とをそれぞれ形成した。
【００５４】
次に、アクリル系の樹脂溶液を、ブラックマトリクス２１、赤色画素３１Ｒ、緑色画素３２Ｇ、青色画素５３Ｂ及び光散乱層３１が形成された透明基板１１上にスピンナー等にて塗布し、予備乾燥、加熱硬化して、２μｍ厚の段差調整層４２を形成した（図１（ｂ）参照）。
【００５５】
次に、酸化インジウム−錫系の合金ターゲットをスパッタリングして、段差調整層４２上に酸化インジウム錫からなる透明電極（特に、図示せず）を形成した。
【００５６】
最後に、アクリル系のクリアレジストをスピンナー等により塗布して、予備乾燥して感光層を形成し、所定の露光マスクを使ってパターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、所定の位置にスペーサー（特に、図示せず）を形成し、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ２００を得た（図１（ｂ）参照）。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】（ａ）は、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの一実施例を示す模式構成断面図である。（ｂ）は、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの他の実施例を示す模式構成断面図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一実施例の工程の一部を示す模式構成断面図である。
【図３】（ｅ）〜（ｆ）は、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一実施例の工程の一部を示す模式構成断面図である。
【図４】光拡散層と段差調整層との膜厚差を説明するための部分拡大模式構成断面図である。
【図５】従来の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの一例を示す模式構成断面図である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は、従来の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の工程の一部を示す模式構成断面図である。
【図７】（ｅ）〜（ｆ）は、従来の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の工程の一部を示す模式構成断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１１……透明基板
２１、２２……ブラックマトリクス
３１、３２……光拡散層
４１、４２……膜厚段差調整層
４３……平坦化層
５１Ｒ、６１Ｒ……赤色画素
５１Ｒｔ、６１Ｒｔ……透過部赤色層
５１Ｒｒ、６１Ｒｒ……反射部赤色層
５２Ｇ、６２Ｇ……緑色画素
５２Ｇｔ、６２Ｇｔ……透過部緑色層
５２Ｇｒ、６２Ｇｒ……反射部緑色層
５３Ｂ、６３Ｂ……青色画素
５３Ｂｔ、６３Ｂｔ……透過部青色層
５３Ｂｒ、６３Ｂｒ……反射部青色層
１００、２００、３００……半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ
Ｔ1……光拡散層の膜厚
Ｔ2……膜厚段差調整層の膜厚
Ｔ3……光拡散層の膜厚Ｔ1と膜厚段差調整層の膜厚Ｔ2との膜厚差
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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