(57)【要約】【課題】測定を迅速に実行可能な画像測定装置、画像測定方法、及び画像測定プログラムを提供する。【解決手段】画像測定装置は、所定の幅を有して線状に延び且つ所定位置に段差が設けられたリード部を有するワークの画像を測定する。画像測定装置は、リード部の画像ＩＭ１１を取得する画像取得部と、リード部の画像ＩＭ１１に基づきリード部の輪郭を含む領域（第１領域）ＡＲ１を抽出する第１抽出部と、リード部の画像ＩＭ１１に基づき段差を含む領域ＡＲ２１（第２領域）を抽出する第２抽出部と、領域ＡＲ１及び領域ＡＲ２１に基づきリード部における段差の位置ＡＲ３を特定する特定部とを備える。【選択図】図９Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の幅を有して線状に延び且つ所定位置に段差が設けられた線状部を有するワークの画像を測定する画像測定装置であって、
前記線状部の画像を取得する画像取得部と、
前記線状部の画像に基づき当該線状部の輪郭を含む第１領域を抽出する第１抽出部と、
前記線状部の画像に基づき前記段差を含む第２領域を抽出する第２抽出部と、
前記第１領域及び前記第２領域に基づき前記線状部における前記段差の位置を特定する特定部と
を備えることを特徴とする画像測定装置。
【請求項２】
前記特定部は、
前記第１領域を含む第１画像と前記第２領域を含む第２画像とによる論理積演算を行うことで第３画像を生成し、前記第１画像と前記第３画像とによる排他的論理和演算を行うことで第４画像を生成する
ことを特徴とする請求項１記載の画像測定装置。
【請求項３】
特定された前記段差の位置の少なくとも一つに測定条件を指定する測定条件指定部と、
指定された前記測定条件を全ての前記段差の位置に割り当てる測定条件割当部と
を備えることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の画像測定装置。
【請求項４】
所定の幅を有して線状に延び且つ所定位置に段差が設けられた線状部を有するワークの画像を測定する画像測定方法であって、
前記線状部の画像を取得する画像取得ステップと、
前記線状部の画像に基づき当該線状部の輪郭を含む第１領域を抽出する第１抽出ステップと、
前記線状部の画像に基づき前記段差を含む第２領域を抽出する第２抽出ステップと、
前記第１領域及び前記第２領域に基づき前記線状部における前記段差の位置を特定する特定ステップと
を備えることを特徴とする画像測定方法。
【請求項５】
所定の幅を有して線状に延び且つ所定位置に段差が設けられた線状部を有するワークの画像を測定する画像測定プログラムであって、
コンピュータに、
前記線状部の画像を取得する画像取得ステップと、
前記線状部の画像に基づき当該線状部の輪郭を含む第１領域を抽出する第１抽出ステップと、
前記線状部の画像に基づき前記段差を含む第２領域を抽出する第２抽出ステップと、
前記第１領域及び前記第２領域に基づき前記線状部における前記段差の位置を特定する特定ステップと
を実行させるための画像測定プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象（以下、ワーク）を測定する画像測定装置、画像測定方法、及び画像測定プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＣＮＣ（Computer Numerical Control)タイプの画像測定装置において、ワークの測定条件を記述したパートプログラムは、おおむね次の２つの方法を用いて作成される。一つは、測定機上に実際ワークを載置して、測定手順を画像測定装置に記憶させる方法（オンラインティーチング）である。そして、もう一つはワークの２次元ＣＡＤデータを画面上に表示させ、マウス操作等により特定領域を指定し、測定手順を画像測定装置に記憶させる方法（オフラインティーチング）である。この他、ワークの画像を複数範囲に分割して撮影した後、複数の画像を一枚に合成するとともに、各複数範囲の画像の位置関係を記録させ、その一枚に合成したワークの画像に基づき、パートプログラムを作成する技術が開示されている（特許文献１）。
【０００３】
上記のティーチングにおいて、例えば、一定形状のエッジが等方向及び等間隔に形成されたワークを対象とする場合、等間隔でエッジを測定する、所謂、ＳＴＥＰ＆ＲＥＰＥＡＴ機能を組み込めば、迅速にパートプログラムを作成して、迅速に測定を行うことが可能となる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２０３２１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、実際、多くのワークは、一定形状のエッジを複数有しているものの、全てのそれら一定形状のエッジが等方向及び等間隔に配置されているとは限らない。したがって、ＳＴＥＰ＆ＲＥＰＥＡＴ機能をワーク全体に適応可能であるケースは稀であり、多くの場合、オペレータは、ワークに対して部分的にＳＴＥＰ＆ＲＥＰＥＡＴ機能を使うか、或いは、マニュアルにより一定形状のエッジをそれぞれ個別に指定する必要があり、その測定には、未だ多くの時間を要している。
【０００６】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであって、測定を迅速に実行可能な画像測定装置、画像測定方法、及び画像測定プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る画像測定装置は、所定の幅を有して線状に延び且つ所定位置に段差が設けられた線状部を有するワークの画像を測定する画像測定装置であって、前記線状部の画像を取得する画像取得部と、前記線状部の画像に基づき当該線状部の輪郭を含む第１領域を抽出する第１抽出部と、前記線状部の画像に基づき前記段差を含む第２領域を抽出する第２抽出部と、前記第１領域及び前記第２領域に基づき前記線状部における前記段差の位置を特定する特定部とを備えることを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、画像測定装置は、線状部の画像に基づき、線状部における段差の位置を特定することができる。
【０００９】
前記特定部は、前記第１領域を含む第１画像と前記第２領域を含む第２画像とによる論理積演算を行うことで第３画像を生成し、前記第１画像と前記第３画像とによる排他的論理和演算を行うことで第４画像を生成する構成としてもよい。また、画像測定装置は、さらに、特定された前記段差の位置の少なくとも一つに測定条件を指定する測定条件指定部と、指定された前記測定条件を全ての前記段差の位置に割り当てる測定条件割当部とを備える構成であってもよい。
【００１０】
また、本発明の一態様に係る画像測定方法は、所定の幅を有して線状に延び且つ所定位置に段差が設けられた線状部を有するワークの画像を測定する画像測定方法であって、前記線状部の画像を取得する画像取得ステップと、前記線状部の画像に基づき当該線状部の輪郭を含む第１領域を抽出する第１抽出ステップと、前記線状部の画像に基づき前記段差を含む第２領域を抽出する第２抽出ステップと、前記第１領域及び前記第２領域に基づき前記線状部における前記段差の位置を特定する特定ステップとを備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の一態様に係る画像測定プログラムは、所定の幅を有して線状に延び且つ所定位置に段差が設けられた線状部を有するワークの画像を測定する画像測定プログラムであって、コンピュータに、前記線状部の画像を取得する画像取得ステップと、前記線状部の画像に基づき当該線状部の輪郭を含む第１領域を抽出する第１抽出ステップと、前記線状部の画像に基づき前記段差を含む第２領域を抽出する第２抽出ステップと、前記第１領域及び前記第２領域に基づき前記線状部における前記段差の位置を特定する特定ステップとを実行させるためのものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、測定を迅速に実行可能な画像測定装置、画像測定方法、及び画像測定プログラムを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して本発明の一実施形態に係る画像測定装置の好ましい一実施形態について説明する。
【００１４】
（一実施形態に係る画像測定装置の外観構成）
図１は、一実施形態に係る画像測定装置の機能を有する画像測定装置全体を示す斜視図である。画像測定装置は、非接触型の画像測定機１、及びこの画像測定機１を駆動制御すると共に必要なデータ処理を実行するコンピュータシステム２により構成されている。
【００１５】
画像測定機１は、次のように構成されている。即ち、架台１１上には、ワーク１２を載置する測定テーブル１３が装着されており、この測定テーブル１３は、図示しないＹ軸駆動機構によってＹ軸方向に駆動される。架台１１の両側縁中央部には上方に延びる支持アーム１４、１５が固定されており、この支持アーム１４、１５の両上端部を連結するようにＸ軸ガイド１６が固定されている。このＸ軸ガイド１６には、撮像ユニット１７が支持されている。撮像ユニット１７は、図示しないＸ軸駆動機構によってＸ軸ガイド１６に沿って駆動される。撮像ユニット１７の下端部には、ＣＣＤカメラ１８が測定テーブル１３と対向するように装着されている。また、撮像ユニット１７の内部には、図示しない照明装置及びフォーカシング機構の他、ＣＣＤカメラ１８のＺ軸方向の位置を移動させるＺ軸駆動機構と、撮影位置でのＣＣＤカメラ１８のＺ方向の位置を検知する位置センサ１９が内蔵されている。
【００１６】
コンピュータシステム２は、コンピュータ本体２１、キーボード２２、ジョイスティックボックス（以下、Ｊ／Ｓと呼ぶ）２３、マウス２４及びＣＲＴ２５を備えて構成されている。コンピュータ本体２１は、例えば図２に示すように構成されている。即ち、ＣＣＤカメラ１８から入力されるワーク１２の画像情報は、インタフェース（以下、Ｉ／Ｆと呼ぶ）３１を介して画像メモリ３２に格納される。
【００１７】
また、図示しないＣＡＤシステムにより作成されるワーク１２のＣＡＤデータは、例えば、ＣＡＤデータによるオフラインティーチングが実行される場合、Ｉ／Ｆ３３を介してＣＰＵ３５に入力され、ＣＰＵ３５で画像形式を変換された後、画像メモリ３２に格納される。画像メモリ３２に格納された画像情報は、表示制御部３６を介してＣＲＴ２５に表示される。
【００１８】
一方、キーボード２２、Ｊ／Ｓ２３、及びマウス２４から入力されるコード情報及び位置情報は、Ｉ／Ｆ３４を介してＣＰＵ３５に入力される。ＣＰＵ３５は、ＲＯＭ３７に格納されたマクロプログラム及びＨＤＤ３８からＩ／Ｆ３９を介してＲＡＭ４０に格納された測定実行プログラム、測定結果表示プログラム、パートプログラム生成プログラム、パートプログラム等に従って測定実行処理、パートプログラム作成処理、及び測定結果の表示処理等を実行する。
【００１９】
ＣＰＵ３５は、測定実行処理に従って、Ｉ／Ｆ４１を介して画像測定機１を制御する。ＨＤＤ３８は、ＣＡＤデータ、測定実行プログラム、測定結果表示プログラム、パートプログラム等を格納する記録媒体である。ＲＡＭ４０は、各種プログラムを格納する他、各種処理のワーク領域を提供する。
【００２０】
（ワーク１２の形状）
ここで、図３Ａ、図３Ｂ及び図４を参照して、本測定の対象となるワーク１２の形状について説明する。図３Ａは、ワーク１２の上面図であり、図３Ｂは、図３ＡのＡ部拡大図である。また、図４は、図３ＢのＢ−Ｂ’断面図である。
【００２１】
図３Ａ、図３Ｂ、及び図４に示すように、ワーク１２は、リードフレームであり、そのうち測定対象となるのは、所定の幅を有して線状に延びる複数のリード部（線状部）１２１である。リード部１２１は、所定位置に幅の方向に亘って形成された段差１２２を有する。段差１２２は、一定の厚みを有する金属板を押圧（コイニング）することにより形成されたものである。つまり、先端から段差１２２が設けられた位置まで、リード部１２１は、第１の厚さＴ１を有する。そして、段差１２２が設けられた位置から後方まで、リード部１２１は、第２の厚さＴ２（Ｔ２＞Ｔ１）を有する。なお、先端から段差１２２が設けられた位置までのリード部１２１の上面にて、ワイヤボンディングが行われる。
【００２２】
また、リード部１２１の表面は、先端から所定位置までメッキ加工されている。すなわち、所定位置に、「メッキが施された領域」と「メッキが施されていない領域」との境界（メッキ境界）１２３が設けられている。ここで、リード部１２１の先端から境界１２３までの長さＬ２は、リード部１２１の先端から段差１２２までの長さＬ１よりも長い。
【００２３】
（一実施形態に係る画像測定装置の機能ブロック）
次に、一実施形態に係る画像測定装置の機能ブロックについて説明する。図５は、画像測定機１及びコンピュータシステム２の構成を示す機能ブロック図である。なお、図５に示す機能は、ＨＤＤ３８から読み出した各種プログラムをＣＰＵ３５にて実行することにより実現される。
【００２４】
図５に示すように、画像取得部５１は、キーボード２２、マウス２４などの操作に基づいて、又は生成されたパートプログラムの命令に従って、ワーク１２の指定された範囲において、ＣＣＤカメラ１８を駆動させて、画像を撮影させる。撮影されたワーク１２の画像は、画像メモリ３２に供給される。ワーク画像展開部５２は、画像メモリ３２から読み出したワーク１２の画像をラスタ画像及びベクタ画像の２つの形式に変換し、再び画像メモリ３２に格納する。座標系設定部５３は、ワーク１２の画像における座標系と、ワーク１２の測定座標系とを一致させるための座標系設定を行う。
【００２５】
第１抽出部５４ａは、画像処理プラグラムの動作に従って、ワーク１２の画像のリード部（線状部）１２１の輪郭を含む領域ＡＲ１（第１領域）を抽出する。第２抽出部５４ｂは、リード部（線状部）１２１の画像に基づき段差１２２が設けられた領域ＡＲ２（第２領域）を抽出する。特定部５５は、領域ＡＲ１（第１領域）及び領域ＡＲ２（第２領域）に基づきリード部（線状部）１２１における段差１２２の位置ＡＲ３を特定する。
【００２６】
測定条件設定部５６は、後述するエッジ検出ツール等の種類を含む測定条件を設定する。パートプログラム生成部５７は、測定条件設定部５６で設定された測定条件に基づいて、特定した段差１２２の位置ＡＲ３に対して測定条件を設定して、パートプログラムファイルを生成する。生成されたパートプログラムファイルは、パートプログラム編集部５８で適宜編集処理される。生成及び編集されたパートプログラムファイルは、パートプログラム出力部５９を介してＨＤＤ３８に格納される。
【００２７】
（一実施形態に係る画像測定装置に用いられる測定ツール）
次に、図６及び図７を参照して、画像測定装置において使用される測定ツールを説明する。ここで、測定ツールとは、ＣＲＴ２５上に表示されたワークの画像に基づき、マウス操作により測定条件を決定可能とするものである。図６は最もシンプルなツール（以下、シンプルツールと呼ぶ）７１で、矢印の基端から先端の間で測定を行う。このシンプルツール７１は、中点の位置座標（Ｘ、Ｙ）と、その長さＷと、角度θとによって定義され、マウス操作のドラッグにより、ワークの画像７２の任意の箇所に配置可能である。図７は、矩形の箱形のツール（以下、ボックスツールと呼ぶ）７３で、直線画像情報７２ａの検出に適しており、中点の位置座標（Ｘ、Ｙ）と、両側の矢印の長さＷと、両側の矢印間の幅Ｈと、角度θとによって定義される。ボックスツール７３の場合、幅Ｈの中に予め設定された間隔ΔＨで、矢印の基端から先端に向かう測定が繰り返し実行される。
【００２８】
（一実施形態に係る画像測定装置による処理）
次に、図８、適宜図９Ａ、図９Ｂを参照して、上記のように構成された画像測定装置による処理について説明する。図８は、画像測定装置による処理を示すフローチャートであり、図９Ａ及び図９Ｂは、図８に示す処理を説明する図である。なお、画像測定装置の処理は、ＨＤＤ３８から読み出された各種プログラムをＣＰＵ３５が実行することにより、実現される。
【００２９】
先ず、画像取得部５１は、図９に示すように、ＣＣＤカメラ１８にてワーク１２（リード部１２１）の画像ＩＭ１１を取得する（ステップＳ１１１）。取得された画像は、白黒濃淡２５６階調の画像とする。画像ＩＭ１１には、領域ＡＲ０が表示される。領域ＡＲ０は、図９Ａに示すように、ワーク（リードフレーム）１２のリード部１２１の略全体を含む領域である。
【００３０】
続いて、第１抽出部５４ａ及び第２抽出部５４ｂは、特定条件を受け付ける（ステップＳ１１２）。この例における特定条件は、「リード部１２１の段差１２２が設けられた領域を特定させる」との条件である。
【００３１】
次に、第１抽出部５４ａは、図９Ａに示すように、リード部１２１の画像ＩＭ１１に、所定の画像処理を施して、リード部１２１の輪郭を含む領域ＡＲ１（第１領域）を抽出して、画像ＩＭ１２を生成する（ステップＳ１１３）。なお、抽出の具体的手法の例については、後述する。
【００３２】
続いて、第２抽出部５４ｂは、図９Ａに示すように、リード部１２１の画像ＩＭ１１に、所定の画像処理を施して、段差１２２を含む領域ＡＲ２１（第２領域）を抽出して、画像ＩＭ１３を生成する（ステップＳ１１４）。なお、抽出の具体的手法の例については、後述する。
【００３３】
次に、特定部５５は、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、領域ＡＲ１（第１領域）を含む画像ＩＭ１２と領域ＡＲ２１（第２領域）を含む画像ＩＭ１３とを合成して、リード部１２１における段差１２２の位置ＡＲ３を特定した画像ＩＭ１４を生成する（ステップＳ１１５）。なお、特定の具体的手法の例については、後述する。
【００３４】
続いて、測定条件設定部５６は、段差１２２の位置ＡＲ３の少なくとも一つに測定条件（上述した測定ツール）を指定する（ステップＳ１１６）。次に、測定条件設定部５６は、指定された測定条件を全ての位置ＡＲ３に割り当てる（ステップＳ１１７）。
【００３５】
そして、パートプログラム生成部５７は、位置ＡＲ３に割当られた測定ツールに基づき、設計値及び公差値を設定してパートプログラムを生成する（ステップＳ１１８）。
【００３６】
次に、図１０〜図１６を参照して、上述した図８のステップＳ１１３〜Ｓ１１５の処理について詳細に説明する。ここで、図１０は、図８のステップＳ１１３〜Ｓ１１５の処理を詳細に示すフローチャートである。図１１〜図１６は、図１０に示す処理を説明する図である。
【００３７】
先ず、第１抽出部５４ａ及び第２抽出部５４ｂは、ステップＳ１１１にて取得した画像ＩＭ１１に対してコントラスト強調処理、及びヒストグラム平坦化処理を実行し、画像ＩＭ２１を生成する（ステップＳ２１１）。ここで、ヒストグラム平坦化処理は、画像の濃淡のヒストグラムをとり、頻度の高い濃淡領域は拡大し、頻度の低い濃淡領域は縮小するような階調変換を行って、変換後のヒストグラムが一様となるようにする処理である。
【００３８】
次に、第１抽出部５４ａ、及び第２抽出部５４ｂは、図１１に示すように、ステップＳ２１１にて取得した画像ＩＭ２１に対して閉口処理を実行して、画像ＩＭ２２を生成する（ステップＳ２１２）。ここで、閉口処理とは、「モフォロジー処理（morphology processing）において、「膨張処理」の次に「収縮処理」を行う処理である。画像ＩＭ２２には、リード部１２１の全体を占める領域ＡＲａ１が表示される。
【００３９】
続いて、第１抽出部５４ａは、図１２に示すように、ステップ２１２にて取得した画像ＩＭ２２に対して輪郭線抽出処理を実行し、画像ＩＭ２３を生成する（ステップＳ２１３）。ここで、輪郭線抽出処理とは、図形の境界（輪郭線）の抽出を行う処理である。
【００４０】
次に、第１抽出部５４ａは、図１２に示すように、ステップＳ２１３にて取得した画像ＩＭ２３に対して輪郭線膨張処理を実行し、画像ＩＭ１２を生成する（ステップＳ２１４）。なお、画像ＩＭ１２は、上述したステップＳ１１３にて生成した画像と同一である。画像ＩＭ１２には、上述した領域ＡＲ１（第１領域）が表示される。
【００４１】
続いて、第２抽出部５４ｂは、ステップＳ２１１にて取得した画像ＩＭ２１に対して２値化処理を実行し、画像ＩＭ２４を生成する（ステップＳ２１５）。画像ＩＭ２４は、画像ＩＭ２１と比較して、リードフレーム１２１の段差１２２及び境界１２３が強調された画像となる。
【００４２】
次に、第２抽出部５４ｂは、図１３Ａ及び図１３Ｂに示すように、画像ＩＭ２２と画像ＩＭ２４とによる排他的論理和（ＸＯＲ）演算を行い、画像ＩＭ１３を生成する（ステップＳ２１６）。画像ＩＭ１３には、段差１２２を含む領域ＡＲ２１（第２領域）、及び境界１２３を含む領域ＡＲ２２が表示される。
【００４３】
続いて、特定部５５は、図１４Ａ及び図１４Ｂに示すように、画像ＩＭ１２と画像ＩＭ１３とによる論理積（ＡＮＤ）演算を行い、画像ＩＭ２５を生成する（ステップＳ２１７）。画像ＩＭ２５には、領域ＡＲｂ２１及び領域ＡＲｂ２２が表示される。ここで、領域ＡＲｂ２１は、領域ＡＲ１（第１領域）と領域ＡＲ２１（第２領域）との共通部分を示す。領域ＡＲｂ２２は、領域ＡＲ１（第１領域）と領域ＡＲ２２との共通部分を示す。
【００４４】
次に、特定部５５は、図１５Ａ及び図１５Ｂに示すように、画像ＩＭ１３と画像ＩＭ２５とによる排他的論理和（ＸＯＲ）演算を行い、画像ＩＭ２６を生成する（ステップＳ２１８）。画像ＩＭ２６には、領域ＡＲｃ２１、及び領域ＡＲｃ２２が表示される。ここで、領域ＡＲｃ２１は、領域ＡＲ２１に含まれ、領域ＡＲ２１と領域ＡＲｂ２１との非共通部分を示す。領域ＡＲｃ２２は、領域ＡＲ２２に含まれ、領域ＡＲ２２と領域ＡＲｂ２２との非共通部分を示す。
【００４５】
続いて、特定部５５は、図１６に示すように、画像ＩＭ２６に対してラベリング処理を実行し、画像ＩＭ２７を生成する（ステップＳ２１９）。ここで、ラベリング処理とは、２値画像の連結成分（Connected Component）ごとに異なるラベル（番号）を付ける処理である。例えば、連結した画素の閾値を「２０」とした場合、連結した画素が「２０」未満の領域は、画素の輝度をゼロとし、非表示となる。画像ＩＭ２７において、領域ＡＲｃ２２は表示されず、領域ＡＲｃ２１のみが表示される。
【００４６】
そして、特定部５５は、図１６に示すように、領域ＡＲｃ２１を含む画像ＩＭ２７に基づき位置ＡＲ３を特定した画像ＩＭ１４を生成する（ステップＳ２２０）。
【００４７】
（一実施形態に係る画像測定装置の効果）
次に、一実施形態に係る画像測定装置の効果について説明する。上記の実施形態に係る画像測定装置によれば、リード部１２１の画像ＩＭ１１に基づき、リード部１２１における段差１２２の位置ＡＲ３を一度に特定することができる。したがって、これら位置ＡＲ３に測定条件を一度に設定することにより、迅速に画像測定を行うことができる。
【００４８】
（その他実施形態）
以上、発明の一実施形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。例えば、本発明は、本実施形態に係る画像測定装置のみに限らず、さらに接触式プローブ、或いは、レーザプローブ等の非接触式プローブを備える測定装置であっても適応可能である。また、本発明は、本実施形態に係るリードフレームのリード部１２１以外の測定に対しても適応可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施形態に係る画像測定装置の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る画像測定装置におけるコンピュータ本体の構成を示すブロック図である。
【図３Ａ】ワーク１２の上面図である。
【図３Ｂ】図３ＡのＡ部拡大図である。
【図４】図３ＢのＢ−Ｂ’断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る画像測定装置の機能ブロック図である。
【図６】測定ツールの一例を示す図である。
【図７】測定ツールの一例を示す図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る画像測定装置の処理を示すフローチャートである。
【図９Ａ】図８に示す処理を説明する図である。
【図９Ｂ】図８に示す処理を説明する図である。
【図１０】図８のステップＳ１１３〜Ｓ１１５の処理を詳細に示すフローチャートである。
【図１１】図１０に示す処理を説明する図である。
【図１２】図１０に示す処理を説明する図である。
【図１３Ａ】図１０に示す処理を説明する図である。
【図１３Ｂ】図１０に示す処理を説明する図である。
【図１４Ａ】図１０に示す処理を説明する図である。
【図１４Ｂ】図１０に示す処理を説明する図である。
【図１５Ａ】図１０に示す処理を説明する図である。
【図１５Ｂ】図１０に示す処理を説明する図である。
【図１６】図１０に示す処理を説明する図である。
【符号の説明】
【００５０】
１…画像測定機、２…コンピュータシステム、３…プリンタ、１１…架台、１２…ワーク、１３…測定テーブル、１４、１５…支持アーム、１６…Ｘ軸ガイド、１７…撮像ユニット、１８…ＣＣＤカメラ、１９…位置センサ、２１…コンピュータ本体、２２…キーボード、２３…ジョイスティックボックス、２４…マウス、２５…ＣＲＴ、３１、３３、３４、３９、４１…Ｉ／Ｆ、３２…画像メモリ、３５…ＣＰＵ、３６…表示制御部、３７…ＲＯＭ、３８…ＨＤＤ、４０…ＲＡＭ、５１…画像取得部、５２…ワーク画像展開部、５３…座標系設定部、５４ａ…第１抽出部、５４ｂ…第２抽出部、５５…特定部、５６…測定条件設定部、５７…パートプログラム生成部、５８…パートプログラム編集部、５９…パートプログラム出力部。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６】
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