(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルと、各ノズルに対応して液滴を吐出させる圧力を発生させる複数の圧電素子とを備え、前記複数の圧電素子は各ノズルの滴吐出特性ばらつきが許容範囲内に収まるように再分極処理されている液体吐出ヘッドにおいて、
前記複数の圧電素子は、分極感度の調整と分極電圧の調整を組み合わせて各ノズルの滴吐出特性ばらつきを許容範囲内に収める再分極処理が施され、
前記再分極処理は、
前記複数の圧電素子の内、分極電圧の印加による分極補正限界を超える滴吐出特性を有する圧電素子に対して分極感度を低減させる分極感度調整電圧を印加する分極感度の調整と、
前記分極感度の調整を行った圧電素子を含む前記複数の圧電素子に対して目標とする滴吐出特性となるように分極電圧を印加する分極電圧の調整と、を行う
処理である
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、滴吐出特性が近い２以上のノズルに対応する各圧電素子は前記分極感度の調整の量が同量に設定されたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
液滴を吐出する複数のノズルと、各ノズルに対応して液滴を吐出させる圧力を発生させる複数の圧電素子とを備え、前記複数の圧電素子は各ノズルの滴吐出特性ばらつきが許容範囲内に収まるように再分極処理されている液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記複数の圧電素子に対して、分極感度の調整と分極電圧の調整を組み合わせて各ノズルの滴吐出特性ばらつきを許容範囲内に収める再分極処理工程を行い、
前記再分極処理では、
前記複数の圧電素子の内、分極電圧の印加による分極補正限界を超える滴吐出特性を有する圧電素子に対して分極感度を低減させる分極感度調整電圧を印加する分極感度の調整と、
前記分極感度の調整を行った圧電素子を含む前記複数の圧電素子に対して目標とする滴吐出特性となるように分極電圧を印加する分極電圧の調整と、を行う
ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、前記再分極処理工程では、前記複数の圧電素子のうち所要の圧電素子に対して分極感度の調整を行った後、前記複数の圧電素子に対する分極電圧の調整を行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、滴吐出特性が近い２以上のノズルに対応する各圧電素子について分極感度調整量を同量に設定して分極感度の調整を行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、前記分極感度の調整は、ＡＣ波形よりなる分極感度調整パルスにて生成された分極感度調整電圧を印加することで行なわれることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
【請求項８】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記分極感度の調整は、ＡＣ波形よりなる分極感度調整パルスにて生成された分極感度調整電圧を印加するものであることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、前記目標とする滴吐出特性は滴吐出速度及び滴吐出質量の少なくともいずれかであることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置に関し、特に圧電素子を含む液体吐出ヘッド、同液体吐出ヘッドを製造する製造方法、同液体吐出ヘッドを備える画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、印刷装置、複写装置、画像送受信装置、これらの機能を複合した複合装置などの画像形成装置としては、例えば、液体である記録液（以下「インク」と称する。）の液滴を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを備え、媒体（以下「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、また、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。）を搬送しながら、インクを用紙に付着させて画像形成（記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる。）を行なうものがある。
【０００３】
なお、本発明において、「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出する装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与することをも意味する（広い意味：液滴を吐出させる装置という意味での液体吐出装置と同義である。）。
【０００４】
液体吐出ヘッドとしては、液滴を吐出させるノズルが連通する液室内のインクを加圧する圧力を発生するための圧力発生手段として圧電素子を備え、液室の一面を形成する弾性変形可能な部材（ダイヤフラム）を変形させ、液室内容積／圧力を変化させて液滴を吐出させるいわゆる圧電アクチュエータを用いた圧電型のインクジェット記録ヘッドが知られている。
【０００５】
そして、多数のノズルを集積したマルチノズルオンデマンド型インクジェット記録ヘッドでは、高品位な画像を高速に高信頼で記録を行うため、ノズル間でのインク滴の吐出速度や質量のばらつきを少なくすることが重要である。
【０００６】
そこで、ノズル開口を有するインク加圧室の壁をダイヤフラムで構成し、このダイヤフラムを棒状圧電素子の縦振動で押し、加圧室内インクの圧力を上昇させてインク滴を吐出させる、プッシュ型圧電素子方式のオンデマンド型インクジェット記録ヘッドにおいては、圧電素子や加圧室構成部品等の精度を上げることや、各部品の接着等による組立精度を向上させるなどの対策が従来から行われている。
【０００７】
しかしながら、このような対策では、部品のコストアップや、組み立て時間増大等の不都合を伴うことがあった。
【０００８】
そのため、圧電素子の分極状態を適正に調整することで、ノズル間の滴吐出速度や吐出滴質量のばらつきを小さくするように補正する、所謂、分極補正による方法が知られている。そして、圧電素子の分極状態を適正に調整する方法としては、補正前の低速滴吐出ノズルに比べて高速滴吐出ノズルの圧電素子に印加する分極電圧を低く調整設定する方式が簡便であることが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
この方法によれば、追加部品や回路等が不要で、ヘッド製造過程での調整費の追加だけで、インク滴の吐出速度や質量のばらつきを容易に且つ高精度に改善したインクジェット記録ヘッドが得られる。
【特許文献１】特開２００１−２７７５２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述した特許文献１に記載されているような、圧電素子の分極状態を補正前ノズルのインク滴吐出速度に応じて分極電圧を調整する分極補正による方法では、インク滴吐出速度のばらつきの大きな記録ヘッドに対しては、分極電圧の調整幅を広くする必要があるため、分極電圧が低くなりすぎる場合がある。
【００１１】
分極電圧が低くなり過ぎると、インク滴を吐出するために圧電素子に印加する駆動電圧によって、圧電素子の分極が進んでしまい、インク滴吐出駆動時間の経過に伴い、分極度の調整結果が崩れて、ノズル間吐出速度ばらつきが大きくなってしまうことになる。このため、インク滴吐出速度ばらつきの大きな記録ヘッドに対しては、耐用性のある補正ができないという課題があることが判明した。さらに、この課題はインク滴質量のばらつき補正でも同様に生じる。
【００１２】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、滴吐出駆動によって分極度の調整が崩れず、安定して滴吐出特性のばらつきの少ない滴吐出を行えるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液滴を吐出する複数のノズルと、各ノズルに対応して液滴を吐出させる圧力を発生させる複数の圧電素子とを備え、前記複数の圧電素子は各ノズルの滴吐出特性ばらつきが許容範囲内に収まるように再分極処理されている液体吐出ヘッドにおいて、
前記複数の圧電素子は、分極感度の調整と分極電圧の調整を組み合わせて各ノズルの滴吐出特性ばらつきを許容範囲内に収める再分極処理が施され、
前記再分極処理は、
前記複数の圧電素子の内、分極電圧の印加による分極補正限界を超える滴吐出特性を有する圧電素子に対して分極感度を低減させる分極感度調整電圧を印加する分極感度の調整と、
前記分極感度の調整を行った圧電素子を含む前記複数の圧電素子に対して目標とする滴吐出特性となるように分極電圧を印加する分極電圧の調整と、を行う
処理である
構成とした。
【００１５】
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、
液滴を吐出する複数のノズルと、各ノズルに対応して液滴を吐出させる圧力を発生させる複数の圧電素子とを備え、前記複数の圧電素子は各ノズルの滴吐出特性ばらつきが許容範囲内に収まるように再分極処理されている液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記複数の圧電素子に対して、分極感度の調整と分極電圧の調整を組み合わせて各ノズルの滴吐出特性ばらつきを許容範囲内に収める再分極処理工程を行い、
前記再分極処理では、
前記複数の圧電素子の内、分極電圧の印加による分極補正限界を超える滴吐出特性を有する圧電素子に対して分極感度を低減させる分極感度調整電圧を印加する分極感度の調整と、
前記分極感度の調整を行った圧電素子を含む前記複数の圧電素子に対して目標とする滴吐出特性となるように分極電圧を印加する分極電圧の調整と、を行う
構成とした。
【００１７】
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えたものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、滴吐出駆動によって分極度の調整が崩れない分極電圧で分極が行われて耐用性が向上しており、安定して滴吐出特性のばらつきの少ない滴吐出を行うことができる。
【００１９】
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、滴吐出特性のばらつきの大きなヘッドに対しても滴吐出特性のばらつきを補正することができ、分極可能なヘッド数が増大して製造歩留まりが向上し、また、部品や組み立て精度の許容範囲を緩めることができて、ヘッド製造コストを低減することができる。
【００２０】
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えるので、高品位な画像を高い信頼性で形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。図１は本発明に係る液体吐出ヘッドと本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法を適用するヘッド製造装置を説明する説明図である。
【００２２】
液体吐出ヘッドである記録ヘッド１０を製造するヘッド製造装置は、記録ヘッド１０に対してインク滴吐出特性を評価するために記録ヘッド１０を滴吐出特性評価用データに応じて駆動する信号を生成する滴吐出評価用信号源（滴吐出特性評価用信号発生手段）２０と、記録ヘッド１０の分極補正を行う分極補正信号を生成出力する分極補正信号源（分極補正信号発生手段）３０と、この製造装置全体の制御を司る処理制御装置（制御手段）４０と、記録ヘッド１０から吐出されるインク滴の吐出特性を測定する滴吐出特性測定センサ７０等を備える。さらに、記録ヘッド１０から液滴を吐出させて滴吐出特性を測定する場合に使用するために、記録ヘッド１０の前方に対向して配置された記録用紙５０と、記録用紙５０を記録ヘッド１０に対して媒体送り方向（矢示Ａ方向）に高速で相対移動させる記録用紙送り装置（手段）６０をも備えている。
【００２３】
なお、図１では説明用として記録ヘッド１０に９個のノズルが配置されている例で示しているが、実際の記録ヘッドでは、数十から数千とはるかに数が多い。
【００２４】
ここで、記録ヘッド１０の一例について図２をも参照して説明する。なお、図２は同ヘッド１０を構成する液体吐出ヘッドの要部断面斜視説明図である。
ヘッド１０は、流路ユニット１０１と、この流路ユニット１０１を保持するヘッドハウジング１０２（図１参照）と、圧電アクチュエータである圧電素子ユニット１０３とで構成される。
【００２５】
流路ユニット１０１は、図２に示すように、オリフィス板（ノズル板）１１１、流路形成板１１２及びダイヤフラム形成板１１３を順に積層して構成されている。オリフィス板１１１にはｎ個のノズル（ノズル開口）１０４が所定のピッチで並べて形成されている。流路形成板１１２は、ノズル１０４が連通する加圧室１０６、加圧室１０６にインクを導く流入口１０７、各加圧室１０６に流入口１０７を介してインクを供給する共通液室１０８を形成する凹部及び貫通穴が形成されている。ダイヤフラム形成板１１３は加圧室１０６の一面を形成する変形可能なダイヤフラム部１２０を有している。
【００２６】
圧電素子ユニット１０３は、棒状の積層型圧電素子１３０を櫛歯状に接着剤などで圧電素子支持基板１３３に固着されて構成されている。そして、ダイヤフラム部１２０の加圧室１０６と反対面に、圧電素子ユニット１０３の棒状圧電素子１３０の一端が取りつけられている。ここでは、棒状圧電素子１３０の先端部がダイヤフラム部１２０に突き当てられ、接着剤層を介してダイヤフラム部１２０に固定されている。また、圧電素子支持基板１３３の圧電素子配列方向の両側には柱状の圧電素子支持基板固定部１３４が設けられ、その底面が流路ユニット１０１に接着剤等で固定される。
【００２７】
一方、流路ユニット１０１は、前記接着固定部の近傍でヘッドハウジング１０２に接着固定され、これにより圧電素子支持基板固定部１３４の底面がヘッドハウジング１０２に対して固定されていることになる。
【００２８】
なお、棒状圧電素子１３０は、図２に示すように積層構造であり、複数の層状圧電素子１３１が層状電極１３２を介して積層されている。そして、この層状電極１３２は、１つおきに棒状圧電素子１３０の側面に形成された共通電極１３５と個別電極１３６に電気的に接続される。これらの共通電極１３５と個別電極１３６は、圧電素子支持基板１３３の表面に形成された共通電極１３５Ａと個別電極１３６Ａに接続され、更にフレキシブルケーブル１６０のフレキシブルケーブル端子１６１にそれぞれ接続される。
【００２９】
ここで、棒状圧電素子１３０の各層状圧電素子１３１は残留分極１５０を有している。この残留分極１５０は共通電極１３５と個別電極１３６間に分極電圧が印加されて形成される。この残留分極１５０の大きさは、分極電圧大きさや分極時の温度条件等の分極条件を変化させ、圧電素子の分極度を変えることで調整可能である。本実施形態では、簡単に行える方法として、分極時の温度を、常温の室温に保っておき、分極電圧を変えて分極度を調整する方法をとっている。
【００３０】
図１に戻って、このように構成された記録ヘッド１０は、フレキシブルケーブル１６０により個別電極１３６がスイッチング素子１８０を介して接地され、また、共通電極１３５は、信号切り換え回路８０を介して滴吐出評価用信号源２０又は分極補正信号源３０に接続される。
【００３１】
記録ヘッド１０のノズル開口の前方には、各ノズル１０４開口から吐出したインク滴１の吐出速度や体積を測定する滴吐出特性測定センサ７０が設置されている。これは、各ノズル１０４に１画素以上のＣＣＤセンサ素子を対応させたＣＣＤセンサアレイ等で構成される。このＣＣＤセンサアレイの各受光部にインク滴画像を結像させ、センサの出力信号の時間測定や振幅測定、あるいはセンス画素数の測定等の公知技術によって吐出速度や滴質量（滴体積）を測定する。
【００３２】
なお、滴吐出特性測定センサ７０としては、レーザ光と受光素子を対向させ、この間をインク滴が通過するのを受光素子で読み取るタイプのセンサを用いることもできる。さらに、記録ヘッド１０の一部のノズル１０４からの吐出インク滴しか同時に読み取り測定ができない場合は、全ノズル測定のためノズル列（複数のノズル１０４が並んだもの）に沿って読み取り装置を走査し順次測定することもできる。
【００３３】
また、記録媒体５０上に形成された記録ドット２を読み取る記録ドット状態読取りセンサ７５を設けて滴吐出速度や滴質量を測定することもできる。例えば、記録用紙５０上に記録ドット２の列を記録し、この記録ドット２を記録ドット状態読み取りセンサ７５によって読取り、基準記録位置からの記録ドット位置ズレを計測する。液滴の滴吐出速度が速い場合には、基準記録位置に対して記録用紙５０の下流側に、遅い場合は上流側に液滴が着弾して記録ドット２が形成されるため、基準記録位置からのズレ量を計測することで、液滴の滴吐出速度が測定される。また、液滴の体積（滴質量）は記録ドット２の大きさや記録濃度を読み取り、計測することができる。
【００３４】
また、滴吐出評価用信号源２０、分極補正信号源３０、信号切り換え回路８０、ノズル切り換え回路９０、用紙送り装置６０、滴吐出特性測定センサ７０等各部は、処理制御装置４０に接続され、処理制御装置４０によって制御される。
【００３５】
滴吐出評価用信号源２０は、インク滴吐出評価用データ信号を作成する滴吐出評価用信号データ信号作成回路２０１と、記録ヘッド１０の圧電素子１３０を駆動する駆動データを作成する駆動データ信号作成回路２０２と、インク滴を吐出させるノズルに対応する圧電素子を選択する吐出ノズル選択信号を作成する吐出ノズル選択信号作成回路２０３と、圧電素子１３０を駆動する駆動パルスを発生する駆動パルス発生回路２０４を備えており、駆動パルスの波形は台形波形等が使用可能である。
【００３６】
分極補正信号源３０は、各ノズル１０４に対応する圧電素子１３０の分極感度を調整する信号を発生するために、分極感度の調整値を計算する分極感度調整値計算部３０１と、圧電素子１３０の分極感度を調整する信号（分極感度調整信号）を印加するノズル１０４を選択するため、ノズル切り換え回路９０を駆動する信号（分極感度調整ノズル選択信号）を作成する分極感度調整ノズル選択信号作成回路３０２と、該選択されたノズル１０４の圧電素子１３０に印加する分極感度調整信号（パルス）を発生する分極感度調整パルス発生回路３０３を備える。
【００３７】
また、各ノズル１０４の圧電素子１３０を分極する信号を発生するために、分極電圧を計算する分極電圧計算部３０５と、分極電圧信号を印加するノズルを選択するため、ノズル切り換え回路９０を駆動する信号（分極ノズル選択信号）を作成する分極ノズル選択信号作成回路３０６と、選択されたノズル１０４の圧電素子１３０に印加する分極用の信号（分極パルス）を発生する分極パルス発生回路３０７を備える。ここで、分極感度調整パルスの波形はＡＣ波形、分極パルスの波形は台形波形等が使用可能である。
【００３８】
処理制御装置４０は、分極補正工程の制御を行う分極補正工程制御部４１と、記録ヘッド１０からの液滴吐出を制御する記録制御部４２と、分極補正信号源３０の制御及び分極補正における評価を行う滴吐出特性評価制御部４０３を備えている。
【００３９】
なお、滴吐出評価用信号源２０、分極補正信号源３０、処理制御装置４０は、ハード的に必ずしも独立している必要はなく、同一のコンピュータシステムのＣＰＵやメモリ等のリソースを共有して構成することができる。
【００４０】
次に、このように構成したヘッド製造装置における記録ヘッドのインク滴吐出特性評価動作について説明する。
まず、図示しない上位装置（例えば、パーソナルコンピュータ）からのインク滴吐出特性評価用信号入力データが滴吐出評価用信号源２０に入力され、この入力に応じて、滴吐出評価用データ信号作成回路２０１で滴吐出評価用データ信号が作成され、この信号を受けて駆動データ信号作成回路２０２で駆動データ信号が作成される。この駆動データ信号を受けて、吐出ノズル選択信号作成回路２０３で吐出ノズル選択信号が作成される。
【００４１】
そして、この吐出ノズル選択信号作成回路２０３からの吐出ノズル選択信号はノズル切り換え回路９０に与えられて、吐出ノズル選択信号によってノズル切り換え回路９０のスイッチング素子アレイ１８０を構成する所望のスイッチング素子１８０ｓが接地に対してＯＮ／ＯＦＦ制御される。
【００４２】
一方、信号切り換え回路８０は滴吐出特性評価を行うときには駆動パルス発生回路２０４側に切り換わっているので、駆動パルス発生回路２０４から発生された駆動パルスは信号切り換え回路８０を介して記録ヘッド１０の圧電素子１３０の共通電極１３５に印加される。
【００４３】
これにより、スイッチング素子アレイ１８０のうちのＯＮ状態になったスイッチング素子１８０ｓに対応する圧電素子１３０には駆動パルスが印加されて駆動され、駆動された圧電素子１３０によってダイヤフラム１２０を介して加圧室１０６の体積が変化してノズル１０４からインク滴１が吐出される。
【００４４】
そして、処理制御部４０によって滴吐出特性測定センサ７０を制御して、記録ヘッド１０の各ノズル１０４から吐出されたインク滴１の滴吐出速度や滴質量を測定し、この結果は分極補正信号源３０に与えられる。
【００４５】
また、滴吐出特性を記録状態で評価する場合には、吐出したインク滴１を矢示Ａ方向に移動する記録用紙５０に着弾させて記録ドット２を形成させる。このような記録動作により記録用紙５０上に記録ドット２の集合からなる画像を形成させ、この画像での記録ドット位置の情報から滴吐出速度特性を、また記録ドット２の大きさや濃度から滴質量特性を評価する。
【００４６】
次に、記録ヘッド１の圧電素子１３０に対する分極処理動作について説明する。
圧電素子１３０の分極感度調整及び分極時には、分極補正信号源３０が駆動され、分極感度調整ノズル選択信号作成回路３０２あるいは分極ノズル選択信号作成回路３０６からの選択信号が、ノズル切り換え回路８０を介してスイッチング素子アレイ１８０の各スイッチング素子１８０ｓをＯＮ／ＯＦＦ制御する。そして、分極対象となる圧電素子１３０の個別電極１３６に繋がれたスイッチング素子１８０ｓがＯＮになり接地される。一方、圧電素子１３０の共通電極１３５は、分極感度調整パルス発生回路３０３及び分極パルス発生回路３０７に接続されているので、ＯＮ状態のスイッチング素子１８０ｓに繋がれた圧電素子１３０には分極感度調整パルス又は分極パルスが印加される。これにより、圧電素子１３０の分極感度調整と分極電圧調整が行われる。
【００４７】
この場合、図１の説明図において、各ノズル１０４の下方に伸びる点線はインク滴１の飛翔軌跡である。この点線の矢印先端に位置する丸印のインク滴１の位置は、圧電素子１３０に駆動信号電圧（駆動パルス）が印加され、ノズル１０４からインク滴１が吐出されてから、一定時間後の飛翔位置を示している。また、白丸「○」が本発明における再分極処理実施前（以下「本発明実施前」という。）の飛翔位置であり、黒丸「●」が本発明実施後の飛翔位置である。黒丸のみの記載は本発明実施前後の飛翔位置が等しいことを示している。また、白丸「○」を横方向に繋ぐ点線は、本発明実施前における前記飛翔位置のばらつきの状態を分かり易くする参照用の線であり、実線は本発明実施後の同様の参照用の線である。
【００４８】
ここで、図４には、横軸にノズル番号（ノズル１０４の番号、以下、図１で左から第１ノズル、第２ノズル…第９ノズルと表記し、図１では丸付き数字で示している。）をとり、縦軸に滴吐出速度をとって、各ノズル１０４に対応する圧電素子駆動電圧が２５Ｖである場合の、分極補正前のノズル間での滴吐出速度のばらつき特性例を示したものである。ノズル番号は図１の記録ヘッド１０のノズル１０４に対応している。図４（Ａ），（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）のグラフ中に記載の、ノズル番号１〜９の各ノズル１０４の滴吐出速度データプロットを横方向に繋ぐ破線は、本発明実施前におけるノズル間吐出ばらつきの状態を分かり易く示す参照用の線であり、またこの破線に対応する実線は、本発明実施後の同様の参照用の線である。
【００４９】
この図４（Ａ）のグラフから分かるように、本発明実施前の記録ヘッド１０のノズル間滴吐出速度は、６ｍ／ｓ近辺を中心に約４〜９ｍ／ｓの幅でばらついている。この滴吐出速度ばらつきは、記録用紙５０への着弾位置をばらつかせ、記録装置（画像形成装置）の記録品質を劣化させる。第１ノズル、第３ノズルの滴吐出速度は約６ｍ／ｓであり、ほぼ同じ値になっている。したがって、図１に示すように滴吐出方向での飛翔位置も近い。これに対し、第４、第５、第８ノズルの滴吐出速度は６ｍ／ｓを超えており、第１、第３ノズルよりも速い。そのため、これら第４、第５、第８ノズルによるインク滴の飛翔位置は第１、第３ノズルからのインク滴の飛翔位置より記録媒体５０に近い位置になる。逆に、第２、第６、第７、第９ノズルの滴吐出速度は６ｍ／ｓより遅く、したがって、これらの第２、第６、第７、第９ノズルによるインク滴の飛翔位置は第１、第３ノズルからのインク滴の飛翔位置よりノズル開口に近い（記録ヘッド１０に近い）位置になる。
【００５０】
記録時には、記録用紙５０を記録ヘッド１０に対して移動させながらインク滴１を着弾させて記録するので、記録用紙５０への着弾位置は、図１のインク滴飛翔位置のばらつきに対応してばらつき、記録画像品位を劣化させることになる。したがって、装置の記録品質を確保するためには、ノズル間におけるインク滴吐出速度ばらつきをできるだけ小さくすることが必要になる。
【００５１】
そこで、本発明では、以下に説明するように、各圧電素子１３０に所定の分極感度調整電圧と再分極電圧を適正に印加して、精度良く分極補正を行い、上述した図３に示す例における第１〜第９ノズルの全てのノズル１０４の滴吐出速度を図４（Ａ）に（ｂ）で示すように、例えば６．０±０．２ｍ/ｓ程度以下のばらつき範囲内に揃えるようにしている。
【００５２】
本発明による再分極処理（分極補正）動作の詳細について図３に示すフロー図とともに、上述した図４のほか図５の滴吐出速度特性グラフも参照しながら説明する。
ここでの分極補正は、図３に示すように、前処理工程、分極感度調整工程、分極電圧印加調整工程、後処理工程を含み、この一連の工程は、処理制御装置４０が滴吐出評価用信号源２０や分極信号源３０等各部を制御することで実行される。なお、以下では、図１の記録ヘッド１０を構成する第１〜第９ノズルの全ノズルが補正対象ノズルであり、これらノズルのノズル間速度ばらつき特性が補正前に図４（Ａ）に（ａ）で示す場合を例にして説明する。
【００５３】
先ず、前処理工程では、全ノズルに対応する圧電素子１３０について、一旦分極を消極する。その後、分極パルス発生回路３０７によって、圧電素子１３０に印加可能な最大の分極電圧（最大許容分極電圧）、例えば９０Ｖの分極パルスを出力して、各ノズルに対応する圧電素子１３０を分極する。なお、最大許容分極電圧は圧電素子１３０の素材や層厚などから決められる。
【００５４】
そして、この最大許容分極電圧で分極した状態で、全ノズル１０４に対応する圧電素子１３０を吐出駆動し、滴吐出速度が最も遅いノズル１０４、図４（Ａ）の例では第６ノズルが目標速度６ｍ／ｓになるような駆動電圧、例えば２７Ｖを基準吐出駆動電圧として設定する。このときの第１〜第９ノズル間の滴吐出速度ばらつき特性は、図４（Ｂ）のグラフ（ｂ）で示すようになる。これにより、第６ノズル以外の他のノズルの圧電素子１３０を９０Ｖ以下の適値分極電圧で再分極することで、滴吐出速度特性を減速できるので、全てのノズルの滴吐出速度を目標速度ばらつき（６±０．２ｍ/ｓ）の範囲内に調整できることになる。
【００５５】
ところが、滴吐出速度が速すぎるノズルに対する補正では、目標速度に補正するための分極電圧が低くなりすぎ、記録時の滴吐出駆動信号による駆動に対する耐用性がなくなってしまい、このことから、分極補正可能な補正対象記録ヘッドが制限されることになってしまう。
【００５６】
そこで、前処理工程に続いて、分極感度調整工程を行って、圧電素子の分極感度の調整を行うようにしている。この分極感度調整工程では、分極感度調整が必要なノズルを抽出して、抽出した各ノズル用の分極感度調整電圧を計算し、計算した電圧値の分極感度調整パルスを抽出したノズルの各圧電素子に印加する。
【００５７】
具体的には、所定の滴吐出速度を分極補正限界滴吐出速度とする。例えば図４（Ｃ）に示すように９．６ｍ／ｓを分極補正限界滴吐出速度としてこれよりも速い滴吐出速度のノズルを抽出すると、この例では、第４、第５ノズルがこの分極補正限界滴吐出速度を超えるノズルにあたる。そして、この抽出したノズルに対し分極感度調整パルス発生回路３０３からの分極感度を低減するための分極感度調整パルス（電圧）を印加する。
【００５８】
これにより、分極補正限界滴吐出速度９．６ｍ／ｓを超える滴吐出速度の第４、第５ノズルに対応する圧電素子１３０の分極感度を低減させる。そして、図４（Ｃ）の（ｂ）で示すように、最大許容分極電圧で分極しても、滴吐出速度が分極補正限界滴吐出速度を上回らないように第４、第５ノズルの圧電素子１３０の分極感度の低減を行う。この分極感度低減のための分極感度調整パルスの電圧値は、分極感度調整値計算部３０１で決定され、分極感度調整ノズル選択信号作成回路３０２で選択された第４、第５ノズルに印加される。
【００５９】
次に、分極電圧印加調整工程では、全ノズルを消極後、各ノズルについて滴吐出速度が６ｍ／ｓに達するような分極電圧を、分極電圧計算部３０５で求め、この計算結果に基づいた電圧値の分極パルスを分極パルス発生回路３０７から発生させて圧電素子１３０に印加し、図４（Ｄ）に示すように各ノズルの滴滴吐出速度を６ｍ／ｓ近辺に設定し、ノズル間の滴吐出速度ばらつきを減少させるように分極補正する。
【００６０】
なお、図１の記録ヘッド１０の圧電素子１３０の右横に記載した記号「Ｙ」、「Ｎ」と数字「６２」、「７７」…「６０」、「７３」は、以上の本発明に係る分極補正において、各ノズルに作用させて分極感度調整パルス印加の有無（「Ｙ」が印加、「Ｎ」が非印加）と、分極パルスの電圧値を示している。この図１から分かるように、第４，第５ノズルは、滴滴吐出速度が高速であるにもかかわらず、これらより低速の第８ノズルよりも高めの分極電圧になっている。これは、第４、第５ノズルは分極感度が低く調整設定されたことによる。
【００６１】
分極パルス印加による補正後は、後処理工程として、各ノズルに対応する圧電素子１３０をエイジング駆動する。これにより、分極状態が安定し、実使用中の滴吐出特性の変動を抑えることができる。
【００６２】
次に、図５を参照して、本発明による分極補正の原理について、第２〜第８ノズルを例にとってより詳細に説明する。
図５（Ｂ）に示すグラフは上述した図４（Ｃ）、（Ｄ）で示した第２〜第８ノズルについての滴吐出速度ばらつきグラフと同一である。図５（Ａ）に示すグラフは、横軸に分極電圧をとり、縦軸にインク滴吐出速度をとって、各ノズル別の分極感度特性を示したグラフであり、枠付き数字４、８、４‘、３、２は、それぞれ、分極感度補正前の第４ノズル、第８ノズル、そして分極感度補正後の第４ノズル、第３ノズル、第２ノズルの分極感度特性カーブを示している。また、各ノズルの補正前の滴吐出速度は、分極電圧が最大の分極電圧９０Ｖで分極した時の速度になっている。
【００６３】
第２ノズルは、枠付き数字２で示すカーブの分極感度特性であるので、７７Ｖ程度で再分極すれば、目標の６ｍ／ｓ近辺に補正可能である。同様に、第３ノズルは、６２Ｖの分極電圧で補正できる。これに対し、第４ノズルを目標の６ｍ／ｓに補正するには、このままでは分極電圧を最低許容限度分極電圧５０Ｖ以下に調整設定する必要がある。これに対し、本実施形態に使用した圧電素子１３０では、５０Ｖ以下の分極電圧で再分極した圧電素子は、分極電圧が低くなりすぎ、記録時の滴吐出駆動パルス信号での駆動に対する耐用性がなく、補正した速度値から変化してしまう。第８ノズルは、分極感度特性カーブから、ちょうどこの最低許容限度分極電圧５０Ｖに設定することで目標の６ｍに設定することが可能である。
【００６４】
したがって、第８ノズルの分極電圧９０Ｖでの滴吐出速度９．６ｍ／ｓ、即ち、６ｍ／ｓからの速度変動率が６０％増の速度が分極補正限界滴吐出速度となる。なお、図５（Ｂ）に示すように、第５ノズルの滴吐出速度も第４ノズルと同様に分極補正限界滴吐出速度を超えており、分極電圧補正だけでは最低許容限度分極電圧５０Ｖ以上の分極電圧に設定できない。
【００６５】
そこで、分極補正限界滴吐出速度を超える滴吐出速度のノズルを抽出し、このノズルの圧電素子に分極感度調整パルス（電圧）を印加し、分極感度を減衰させる。この結果、例えば、第４ノズルの圧電素子の分極特性カーブを分極特性カーブ４’のように調整設定する。これにより、分極電圧９０Ｖの滴吐出速度も分極補正限界滴吐出速度以下に設定できる。この分極感度調整設定後の圧電素子を６ｍ／ｓに補正する分極電圧は５５Ｖと、最低許容限度分極電圧５０Ｖより大きな分極電圧に設定可能になるので、耐久性の確保が可能となる。第５ノズルについても、同様に、分極感度調整設定後に再分極することで耐久性を確保して補正を行うことが可能である。
【００６６】
なお、ここでは、第４、第５ノズルに、同一電圧、波形の分極感度調整パルスを印加して、分極感度を低下させているが、各ノズルの滴吐出速度に応じて分極感度調整パルスの設定を変えても良い。即ち、分極補正限界滴吐出速度を大きく超えるノズルに対しては分極感度調整パルスの電圧を大きくし、あるいは、印加パルス数を増加させ、分極感度をより大きく低下調整してもよい。これにより、本発明で補正可能な分極補正前のヘッドのノズル間滴吐出速度ばらつき範囲を更に拡大することができるようになる。
【００６７】
また、分極補正限界滴吐出速度を超えるノズルについて、超える大きさに応じて複数のグループにグループ化し、各グループ毎に分極感度調整パルスを一定にして、同一グループのノズルに対応する圧電素子に繋がるスイッチング素子１８０ｓをＯＮ状態にし、分極感度調整パルスを印加し、ほぼ同時に分極感度調整を行うようにすることで、分極感度調整での工程に要する時間を節約して生産性を向上させることができる。
【００６８】
また、分極電圧印加調整工程では、１つのノズルについて、目標滴吐出速度に達するまで複数の工程で分極補正を完了させ、次のノズルの分極補正を行う所謂、逐次分極補正する方式をとることができる。また、分極度を補正する分極補正工程を、補正対象の全てのノズルについて並行して処理する、並列進行型分極補正方式をとることもでき、本発明はこの分極電圧印加調整工程の方式によって限定されるものではない。
【００６９】
このように、複数の圧電素子に対して、分極感度の調整と分極電圧の調整を組み合わせて各ノズルの滴吐出特性ばらつきを許容範囲内に収める再分極処理工程を行うことによって、滴吐出特性のばらつきの大きなヘッドに対しても滴吐出駆動によって分極度の調整が崩れない分極電圧で分極を行って滴吐出特性のばらつきを低減することができ、分極可能なヘッド数を増大することできて、製造歩留まりが向上し、また、部品や組み立て精度の許容範囲を緩めることができて、ヘッド製造コストを低減することができる。
【００７０】
この場合、上述したように、複数の圧電素子の内の所要の圧電素子に対して分極感度の調整を行った後、複数の圧電素子に対する分極電圧の調整を行うことによって、分極電圧の低電圧化を防止することができる。また、滴吐出特性が近い２以上のノズルに対応する各圧電素子について分極感度調整量を同量に設定して分極感度の調整を行うことによって、分極処理の簡略化を図ることができる。さらに、分極感度の調整は圧電素子に分極感度調整電圧を印加して行うことによって、簡単に分極感度を調整することができる。
【００７１】
また、複数の圧電素子は、分極感度の調整と分極電圧の調整を組み合わせた再分極処理が施されて、各ノズルの滴吐出特性ばらつきが予め定めた許容範囲内に収まっている構成とすることによって、滴吐出駆動によって分極度の調整が崩れない分極電圧で分極が行われて耐用性が向上しており、安定して滴吐出特性のばらつきの少ない滴吐出を行うことができるようになる。
【００７２】
これによって、このような液体吐出ヘッドを備えるインクジェット記録装置などの画像形成装置は、安定して滴吐出特性ばらつきの少ない滴吐出を行うことができて、高品位画像を安定して記録することができるようになる。
【００７３】
次に、本発明の他の実施形態について図６を参照して説明する。
本実施形態は、前記実施形態では滴吐出特性補正として、滴吐出速度の補正を行う例で説明したが、ここでは、滴吐出速度を滴吐出質量に置き換えることで、同様に、ノズル間の滴吐出質量のばらつき補正も行うようにした例である。
【００７４】
図６（Ａ２）のグラフは、１２８個のノズルを有する記録ヘッドの、第１ノズルから第１２８ノズルまでの滴吐出速度の特性の一例を示している。この記録ヘッドでは第１５ノズルの滴吐出速度が最も遅く、第５５ノズルの滴吐出速度が最も速い。そして、滴吐出速度ばらつき幅は、最も遅い６ｍ／ｓの第１５ノズルを基準にすると、３５％程度で、この範囲内で滴吐出速度がばらついている。
【００７５】
図６（Ａ１）のグラフは、分極電圧を横軸にとり、縦軸にインク滴吐出速度をとって、第１５ノズルと第５５ノズルの分極感度特性カーブを示したものである（いずれも前述したように枠付き数字１５、５５を付して区別する。）。第１５ノズルは分極電圧が９０Ｖで６ｍ／ｓであり、第５５ノズルも分極電圧を最低許容限度分極電圧５０Ｖに調整設定すれば目標の６ｍ／ｓに補正でき、第１ノズル〜第１２８ノズルの全ノズルを分極電圧補正のみで６ｍ／ｓの滴吐出速度（の許容範囲内）に補正する対応が可能である。
【００７６】
一方、図６（Ｂ２）のグラフは、同記録ヘッドの第１ノズルから第１２８ノズルまでの滴吐出質量（単に「滴質量」ともいう。）特性を示したものである。第１５ノズルは滴吐出質量が最も小さく、第５５ノズルは滴質量が最も大きい。その、重量ばらつき幅は最も質量の小さな第１５ノズルの２０ｎｇ基準で、３２％の範囲でばらついている。
【００７７】
図６（Ｂ１）のグラフは、分極電圧を横軸にとり、縦軸にインク滴質量をとって、第１５ノズル、第３４ノズルと第５５ノズルの分極感度質量特性カーブを示したものである。第１５ノズルは分極電圧が９０Ｖで２０ｎｇであり、第５５ノズルは９０Ｖで３８ｎｇである。そして、第５５ノズルの分極感度質量特性カーブから分かるように、第５５ノズルは分極電圧が最低許容限度分極電圧５０Ｖに補正しても３０ｎｇにしか減少せず、目標の２０ｎｇに補正するには最低許容限度分極電圧５０Ｖをかなり下回ってしまうことが分かる。
【００７８】
このように分極電圧調整による質量の調整可能幅は、滴吐出速度の調整可能幅よりもかなり小さい。５０Ｖ〜９０Ｖの分極電圧調整による速度調整幅は、図６（Ａ１）に示すように３５％程度あるのに対して、質量調整幅は１８％程度しかない。したがって、第１〜第３４ノズルと、第９３〜第１２８ノズルは、分極電圧の調整で２０ｎｇ近辺に補正可能であるが、第３５ノズル〜第９２ノズルは充分目標値まで補正できない。
【００７９】
そこで、本発明を適用して、第３５〜第９２ノズルについては、圧電素子に分極感度調整パルス（電圧）を印加して分極感度特性を低下させる。これにより、滴吐出質量を分極補正限界滴吐出質量以下にでき、第３５〜第９２ノズルの質量バラツキを図６（Ｂ２）に太実線で示すように調整設定して、１８％以内に抑えることができる。
【００８０】
これにより、補正前に滴吐出質量が最大であった第５５ノズルの分極感度質量特性カーブは、図６（Ｂ１）に数字５５を付して示す特性から数字５５’を付して示す特性のようになる。
【００８１】
そして、引き続いて分極電圧を５３Ｖに調整することで目標の２０ｎｇ近辺に補正することが可能になる。第３５〜第９２ノズル中の他のノズルも同様の感度低減補正により、分極電圧の調整で２０ｎｇ近辺に補正可能であり、全ノズルを目標の２０ｎｇ近辺（許容範囲内）に補正することができる。
【００８２】
このように従来の分極電圧補正では充分に対応できなかった滴吐出質量補正にも対応可能になり、ノズル間での滴吐出質量のばらつきを減少させることができる。また、インク滴吐出質量補正とインク滴吐出速度補正の両方に付いて、用途に応じて適正に設定することも可能である。
【００８３】
次に、本発明の更に他の実施形態について図７を参照して説明する。
本実施形態は、記録ヘッドの耐用性マージンを拡大するために、分極補正電圧を高めに設定するようにした実施形態である。つまり、図７に示す例は、前記実施形態における図５に相当し、相違点は、分極感度低減を実行するノズルを増加させ、分極感度調整後の滴滴吐出速度ばらつきを小さく抑えて、６５〜９０Ｖとより高い分極電圧領域での補正を可能にした点にある。
【００８４】
すなわち、図５に示す例では、第２〜第８ノズルまでのノズルについて、６ｍ／ｓを基準として６０％程度高い分極補正限界滴吐出速度を超える第４、第５ノズルを抽出し、これらの第４、第５ノズルの圧電素子の分極感度を低減することで、４０％程度減速を行うようにしている。このため、第８ノズルは、分極補正限界滴吐出速度に近いものの、分極感度低減は行わないで、６ｍ／ｓへの補正は分極電圧の調整だけで行っているので、分極電圧を５０Ｖに調整設定する必要がある。
【００８５】
これに対して、図７に示す例では、第２〜第８ノズルまでのノズルについて、滴滴吐出速度に応じて、グループＧｒ１、Ｇｒ２、Ｇｒ３の３グループに分け、分極補正限界滴吐出速度以下の速度領域でもグループＧｒ２として分極感度低減するようにしている。即ち、グループＧｒ１は目標速度６ｍ／ｓに対して３０％程度高い滴吐出速度までのノズルであり、第２、第６、第７ノズルが該当し、これらのノズルについては分極感度低減調整を行わない。これに対し、グループＧｒ２は目標速度に対して３０〜６０％程度高い滴吐出速度のノズルであり、第３、第８ノズルが該当するが、これらのノズルについては１．８ｍ／ｓ程度減速するように感度調整が行われる。そして、グループＧｒ３は目標速度に対して６０〜９０％程度高い滴吐出速度のノズルで、第４、第５ノズルがこのグループになるが、これらに対しては３．６ｍ／ｓ程度減速するように分極感度調整が行われる。
【００８６】
したがって、分極感度低減調整を行った後の全ノズルの滴吐出速度が、グループＧｒ１の滴吐出速度領域、即ち目標速度に対して３０％程度まで高い滴吐出速度領域に入ることになる。例えば、最も速い第４ノズルの分極感度特性カーブは枠付き数字４’で示す特性となり、分極電圧の補正電圧値は６８Ｖ程度となる。グループＧｒ２の滴吐出速度上限に位置する第８ノズルは、分極感度特性カーブが枠付き数字８’で示す特性となり、分極電圧の補正電圧値は６５Ｖ程度になる。グループＧｒ２の滴吐出速度下限に位置する第３ノズルは、分極感度特性カーブが枠付き数字３’で示す特性となり、分極電圧の補正電圧値は８５Ｖ程度になる。
【００８７】
このように、本実施形態によれば、分極電圧の調整設定値を前記実施形態の５０Ｖよりも高い６５Ｖ以上に設定することができるようになり、記録時の滴吐出駆動信号に対する耐用性のマージンは分極電圧の調整設定値を５０Ｖに設定した場合（図５に示す例）よりも大きくなる。
【００８８】
この場合、グループの数を増加させ、分極感度低減調整が行えるノズルを増やし、分極感度調整処理後の滴吐出特性ばらつきを小さくするほど、分極電圧を高い電圧領域に設定することができる。
【００８９】
そして、分極電圧を高い電圧領域に設定して分極補正すると、耐用性を考慮した記録時の滴吐出電圧最大許容値も大きくなる。また、記録ヘッドの動作環境における温度許容値も高くでき、耐用性マージンをより拡大することができる。
【００９０】
なお、分極感度調整と分極電圧調整の併用での分極補正処理を行う例で説明したが、分極電圧を９０Ｖ近辺に設定して、分極感度調整のみで目的とすると滴吐出特性に分極補正することも可能で、本実施形態の極端な場合に当たる。特に、目標特性範囲が広いときには、この方法をとることができる。一方、分極感度調整は、分極電圧調整に比べて精度を上げた調整に時間を要するため、前述したように両者を併用し、分極感度調整後に分極電圧調整する方が、高精度ヘッドの生産性を上げて製造することが可能になる。
【００９１】
以上の実施形態における分極補正工程において、分極を消極するために圧電素子に印加する消極信号の印加が分極感度特性に影響を与えるときには、この影響度を考慮して分極感度調整信号の条件を設定すればよい。また、消極信号を分極感度調整信号として兼用することもできる。
【００９２】
本発明に係る液体吐出ヘッドで構成する記録ヘッドは、シリアル走査型インクジェット記録装置やライン走査型インクジェット記録装置に好適である。シリアル走査型インクジェット記録装置では、記録ヘッドのオリフィス面を記録媒体に対向させて設置し、該記録ヘッドを記録媒体の送り方向と交叉する方向に、インク滴を記録信号に応じて吐出しながら移動（主走査）させて一行分を記録し、その後、記録媒体を所定量紙送り（副走査）し、続いて次の行の画像を主走査して記録する。この主走査と副走査を繰り返して画像を記録する。また、ライン走査型インクジェット記録装置では、１又は複数の短尺ヘッドによって記録媒体幅相当のノズル列を有するフルライン型記録ヘッドを構成し、記録媒体を搬送しながら、インク滴を記録信号に応じて吐出させて記録媒体上に画像を記録する。
【００９３】
このような本発明に係る液体吐出ヘッドを記録ヘッドに備えるインクジェット記録装置によれば、高品位画像を高速で印刷することが可能になる。
【００９４】
なお、上記実施形態においては、記録媒体にインクで記録するためのインクジェット記録ヘッドとその製造方法、及びその記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置で説明したが、これに限定されるものではなく、前述したように、生産物にマーキングしたり、塗膜したりする等のための液体吐出ヘッドとその製造方法、及びその液体吐出ヘッドを搭載した工業用液体分配装置などの画像形成装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明に係る液体吐出ヘッドである記録ヘッドと本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法を適用するヘッド製造装置を説明する説明図である。
【図２】図１の記録ヘッドの一例を示す部分拡大斜視説明図である。
【図３】本発明の第１実施形態における分極補正動作の説明に供するフロー図である。
【図４】同じく分極補正動作の具体例の説明に供する説明図である。
【図５】同じく分極補正動作の原理のより詳細な説明に供する説明図である。
【図６】本発明の他の実施形態の説明に供する説明図である。
【図７】本発明の更に他の実施形態の説明に供する説明図である。
【符号の説明】
【００９６】
１…インク滴
２…記録ドット
１０…記録ヘッド
２０…滴吐出評価用信号源
３０…分極補正信号源
４０…処理制御部
５０…記録用紙（媒体）
６０…媒体送り装置
７０…滴吐出特性測定センサ
７５…記録ドット状態読み取りセンサ
８０…信号切り換え回路
９０…ノズル切り換え回路
１０１…流路ユニット
１０２…ヘッドハウジング
１０３…圧電素子ユニット
１０４…ノズル
１０６…インク加圧室
１０８…共通液室
１１１…オリフィス板（ノズル板）
１１２…流路形成板
１１３…ダイヤフラム形成板
１２０…ダイヤフラム
１３０…圧電素子
１３１…層状圧電素子
１３２…層状電極
１３３…圧電素子支持基板
１３４…圧電素子支持基板固定部
１３５…共通電極
１３６…個別電極
１６０…フレキシブルケーブル
１６１…フレキシブルケーブル端子
１８０…スイッチング素子アレイ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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