(57)【要約】【課題】光信号の入出力に伴い発生する反射光を抑制し、結合損失を低減する。【解決手段】少なくとも一方が開口した筐体と、光を透過し、筐体の開口部を塞いで密封するガラス蓋と、受光面または発光面をガラス蓋と対向させて固定された光素子を含むパッケージと、光導波路と光機能素子とが集積された平面光波回路とを含む光モジュールにおいて、平面光波回路の光導波路の入出力端面に、パッケージのガラス蓋が接合され、光素子の受光面または発光面と光導波路とが光学的に結合され、光導波路の入出力端面における光伝播方向が、光素子の受光面または発光面の鉛直方向に対して傾いている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方が開口した筐体と、光を透過し、前記筐体の開口部を塞いで密封するガラス蓋と、受光面または発光面を前記ガラス蓋と対向させて固定された光素子を含むパッケージと、光導波路と光機能素子とが集積された平面光波回路とを含む光モジュールにおいて、
前記平面光波回路の前記光導波路の入出力端面に、前記パッケージの前記ガラス蓋が接合され、前記光素子の受光面または発光面と前記光導波路とが光学的に結合され、
前記光導波路の入出力端面における光伝播方向が、前記光素子の受光面または発光面の鉛直方向に対して、傾いていることを特徴とする光モジュール。
【請求項２】
前記平面光波回路の水平面内において、前記光導波路の入出力端面における光伝播方向が、前記光素子の受光面または発光面の鉛直方向に対して、傾いていることを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
【請求項３】
前記平面光波回路に垂直な面内において、前記光導波路の入出力端面における光伝播方向が、前記光素子の受光面または発光面の鉛直方向に対して、傾いていることを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
【請求項４】
前記平面光波回路の光導波路の入出力端面を含む端部に、スポットサイズ変換器が集積されていることを特徴とする請求項１、２または３に記載の光モジュール。
【請求項５】
前記平面光波回路は、アレイ導波路回折格子型光合分波器であり、
前記アレイ導波路回折格子型光合分波器の複数の入力導波路または複数の出力導波路のいずれかと、前記光素子の複数の受光面または発光面の各々とが光学的に結合されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の光モジュール。
【請求項６】
前記アレイ導波路回折格子型光合分波器は、
第１入力導波路および複数の第２出力導波路と結合する第１スラブ導波路と、
複数の第１出力導波路および第２入力導波路と結合する第２スラブ導波路と、
前記第１スラブ導波路と前記第２スラブ導波路とを接続するアレイ導波路とを含み、
前記第１入力導波路と前記第１出力導波路との間に構成される第１光合分波機能と、前記第２入力導波路と前記第２出力導波路との間に構成される第２光合分波機能とを有することを特徴とする請求項５に記載の光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に光ファイバ通信に用いられる光モジュールに関し、より詳細には、反射減衰量を低減し、光素子と導波路との結合損失を低減した光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光ファイバ伝送の普及に伴い、様々な光信号処理機能を実現するための技術が必要とされている。また、多数の光素子を高密度に集積する技術が求められている。この様な技術として、平面光波回路（以下、ＰＬＣという）が知られている。ＰＬＣは、主にシリコン基板または石英基板上に、光信号を伝播させるコアとクラッドとから構成される光導波路と光機能素子とを集積した光回路である。ＰＬＣは、生産性、信頼性が高く、集積化、高機能化の点で優れている。ＰＬＣと、ＬＤなどの発光素子、ＰＤなどの受光素子とを多数高密度に集積した光モジュールの開発が活性化している。
【０００３】
図１に、従来の光モジュールの構成を示す。光モジュール１は、ＰＬＣ３０、ＰＤパッケージ４０およびコネクタ５２が配置されたプリント基板５０を、筐体９の内部に収容している。一例として、ＰＬＣ３０には、光機能素子としてアレイ導波路回折格子型光合分波器（以下、ＡＷＧという）が形成されている。ＡＷＧは、光ファイバ２に接続された入力導波路３３と結合する入力スラブ導波路３４と、出力導波路３７と結合する出力スラブ導波路３６と、入力スラブ導波路３４と出力スラブ導波路３６とを接続するアレイ導波路３５から構成されている。
【０００４】
ＡＷＧの出力導波路３７の端面、すなわちＰＬＣ３０の端面には、ＰＤパッケージ４０が接合されている。光モジュール１は、光パワーモニタであり、光ファイバ２から入力された波長分割多重信号を、ＡＷＧにより、個々の波長の光信号に分波し、ＰＤパッケージ４０に収容されている個々のＰＤの受光面で受光させる。
【０００５】
図２に、従来のＰＤパッケージの構成を示す。ＰＤパッケージ４０は、複数の受光面４４を有するＰＤアレイ４３を、セラミック筐体４１の内部に収容している。セラミック筐体４１とガラス蓋４２とは半田で接続され、ＰＤアレイ４３が気密封止されている。ＰＤアレイ４３は、電気的に接続された電気配線４５を介して、筐体４１外部の他の素子と接続される。ＰＤパッケージ４０は、チップスケールパッケージ型ＰＤアレイと呼ばれ、ＣＡＮパッケージのＰＤを複数並べたＰＤアレイモジュールと比較して、非常に小型であり、低コストで多数のＰＤを集積できる技術として注目されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
図３に、従来の光モジュールにおけるＰＬＣとＰＤパッケージとの接続方法を示す。図３は、図１のＡ−Ａ′における断面図を示している。ＰＬＣ３０は、基板３２上に光導波路層３１を有し、光導波路層３１にＡＷＧが形成されている。ＡＷＧの出力導波路３７ａ，３７ｂの端面は、垂直に研磨され、ＰＤパッケージ４０のガラス蓋４２と、ＵＶ接着剤により接合されている。ＰＤアレイ４３と電気的に接続された電気配線４５は、筐体４１の外部まで引き出されており、リードピン４６が取り付けられている。電気配線４５またはリードピン４６は、プリント基板５０上に形成した電気配線５１を介して、コネクタ５２と電気的に接続されている。
【０００７】
図４は、ＰＬＣとＰＤパッケージの接続部の拡大図である。ＰＬＣ３０に形成されたＡＷＧの出力導波路３７と、ＰＤパッケージ４０に収容されたＰＤアレイ４３の受光面４４とが、光学的に結合している。
【０００８】
以上述べたように、例えば、図２に示したように、８チャンネルのＰＤアレイ４３を収容したＰＤパッケージ４０を、図１に示したように、６個実装することにより、４８チャンネルの光パワーモニタを構成することができる。多チャンネルの光パワーモニタを、１つの光モジュールに収容することで、非常に小型にでき、簡易に製造することができる。
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−１２８５１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来の光モジュール１は、図４に示したように、出力導波路３７の光伝播方向（図中の太い破線）と、ＰＤアレイ４３の受光面４４の鉛直方向（図中の細い破線）とが一致している。そのため、出力導波路３７から出射された光が、ガラス蓋４２に入射する際に、媒質の屈折率の不連続により反射光が生じる。反射光の一部は、出力導波路３７と再結合して戻り光となる。戻り光が生じると、反射減衰量が大きくなり、光モジュールの特性を劣化させるという問題があった。従って、出力導波路３７の端面とガラス蓋４２との接続面で生じる戻り光を抑制する必要があった。
【００１１】
また、出力導波路３７から出射された光は、回折により広がりつつＰＤアレイ４３の受光面４４に到達する。その結果、ＰＤとの結合損失が大きくなるといった問題があった。例えば、光導波路層３１におけるコアとクラッドの比屈折率差１．５％、コアサイズ４．５μｍ×４．５μｍの場合、スポットサイズは３．３μｍ×３．３μｍ程度となる。ＰＤアレイ４３の受光面４４の受光径を８０μｍとする。このとき、出力導波路３７から出射された光が、数百μｍの距離を伝播して、受光面４４に到達すると、約２．５ｄＢもの結合損失が見積もられる。
【００１２】
光パワーモニタとして機能させる場合には、できるだけ受光感度を高めたいため、このような結合損失を低減する必要がある。そこで、出力導波路３７の端面と受光面４４との間に、ビーム径を絞るためのレンズを挿入する方法が採用される。しかしながら、レンズの挿入は、部材点数の増大を招くばかりか、光軸を調芯する工程が複雑になるため、組み立て工数の増大を招くといった問題があった。さらに、多チャンネル化が求められる光モジュールにおいては、組み立てコストの増大は計り知れない。
【００１３】
一方、ＰＤパッケージ４０に代えて、ＬＤアレイを収容するＬＤパッケージを光モジュールに適用することも考えられる。この場合には、ＬＤから出射した光は、ガラス蓋４２を透過し、ＰＬＣ３０の導波路に入射する際に、媒質の屈折率の不連続により反射戻り光が生じる。反射戻り光は、ＬＤと再結合し、ＬＤの発振スペクトルを不安定にしたり、光出力パワーの変動を引き起こすという問題があった。反射戻り光は、光モジュールの特性劣化の要因のひとつとなるため、導波路端面とガラス蓋４２との接続面で生じる反射光を抑制する必要があった。
【００１４】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、光信号の入出力に伴い発生する反射光を抑制し、結合損失を低減した光モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、このような目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、少なくとも一方が開口した筐体と、光を透過し、前記筐体の開口部を塞いで密封するガラス蓋と、受光面または発光面を前記ガラス蓋と対向させて固定された光素子を含むパッケージと、光導波路と光機能素子とが集積された平面光波回路とを含む光モジュールにおいて、前記平面光波回路の前記光導波路の入出力端面に、前記パッケージの前記ガラス蓋が接合され、前記光素子の受光面または発光面と前記光導波路とが光学的に結合され、前記光導波路の入出力端面における光伝播方向が、前記光素子の受光面または発光面の鉛直方向に対して、傾いていることを特徴とする。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光モジュールにおいて、前記平面光波回路の水平面内において、前記光導波路の入出力端面における光伝播方向が、前記光素子の受光面または発光面の鉛直方向に対して、傾いていることを特徴とする。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の光モジュールにおいて、前記平面光波回路に垂直な面内において、前記光導波路の入出力端面における光伝播方向が、前記光素子の受光面または発光面の鉛直方向に対して、傾いていることを特徴とする。
【００１８】
請求項４に記載の発明は、請求項１、２または３に記載の光モジュールにおいて、前記平面光波回路の光導波路の入出力端面を含む端部に、スポットサイズ変換器が集積されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれかに記載の前記平面光波回路は、アレイ導波路回折格子型光合分波器であり、前記アレイ導波路回折格子型光合分波器の複数の入力導波路または複数の出力導波路のいずれかと、前記光素子の複数の受光面または発光面の各々とが光学的に結合されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の前記アレイ導波路回折格子型光合分波器は、第１入力導波路および複数の第２出力導波路と結合する第１スラブ導波路と、複数の第１出力導波路および第２入力導波路と結合する第２スラブ導波路と、前記第１スラブ導波路と前記第２スラブ導波路とを接続するアレイ導波路とを含み、前記第１入力導波路と前記第１出力導波路との間に構成される第１光合分波機能と、前記第２入力導波路と前記第２出力導波路との間に構成される第２光合分波機能とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したように、本発明によれば、光素子の受光面または発光面と平面光波回路の光導波路とが光学的に結合され、光導波路の入出力端面における光伝播方向が、光素子の受光面または発光面の鉛直方向に対して傾いているので、光信号の入出力に伴い発生する反射光を抑制し、結合損失を低減することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、同じ機能の部材には、同じ符号を付して説明する。
【実施例１】
【００２３】
図５に、本発明の実施例１にかかる光モジュールの構成を示す。光モジュール１は、４８チャンネルの光パワーモニタであり、４８本の出力導波路３７を有するＡＷＧが形成されたＰＬＣ３０を有する。ＰＬＣ３０の端面には、８チャンネルのＰＤアレイ４３を収容したＰＤパッケージ４０が６個接合されている。光ファイバ２から入力された４８波の波長分割多重信号を、ＡＷＧにより、個々の波長の光信号に分波し、ＰＤパッケージ４０に収容されている個々のＰＤの受光面で受光させる。
【００２４】
図６は、実施例１にかかるＰＬＣとＰＤパッケージの接続部の拡大図である。ＰＬＣ３０に形成されたＡＷＧの出力導波路３７と、ＰＤパッケージ４０に収容されたＰＤアレイ４３の受光面４４とが、光学的に結合している。従来の光モジュールと異なる点は、出力導波路３７のレイアウト配置である。出力導波路３７の光伝播方向（図中の太い破線）が、ＰＤアレイ４３の受光面４４の鉛直方向（図中の細い破線）に対して、ＰＬＣ３０の水平面内において、傾いて配置されている。
【００２５】
この傾きの角度を、４〜１２度とすることで、出力導波路３７の端面とガラス蓋４２との接続面で生じる反射光の出力導波路３７への再結合を低減することができる。例えば、傾き角を８度にすることにより、従来の光モジュールでは−２５ｄＢ程度であった反射減衰量を、−３５ｄＢ以下に低減することができる。
【実施例２】
【００２６】
図７に、本発明の実施例２にかかる光モジュールの構成を示す。光モジュール１は、４８チャンネルの光パワーモニタであり、４８本の出力導波路３７を有するＡＷＧが形成されたＰＬＣ３０を有する。ＰＬＣ３０の端面には、８チャンネルのＰＤアレイ４３を収容したＰＤパッケージ４０が６個接合されている。光ファイバ２から入力された４８波の波長分割多重信号を、ＡＷＧにより、個々の波長の光信号に分波し、ＰＤパッケージ４０に収容されている個々のＰＤの受光面で受光させる。
【００２７】
図８に、実施例２にかかるＰＬＣとＰＤパッケージとの接続方法を示す。図８は、図７のＢ−Ｂ′における断面図を示している。ＰＬＣ３０は、基板３２上に光導波路層３１を有し、光導波路層３１にＡＷＧが形成されている。ＡＷＧの出力導波路３７ａ，３７ｂの端面は、ＰＬＣ３０の鉛直方向において傾斜面が形成され、研磨されている。傾斜面は、基板３２の底面に対して９０度未満の角度である。ＰＤパッケージ４０のガラス蓋４２は、この傾斜面に沿ってＵＶ接着剤により接合されている。すなわち、出力導波路３７の光伝播方向（図中の太い破線）が、ＰＤアレイ４３の受光面４４の鉛直方向（図中の細い破線）に対して、傾いて配置されている。
【００２８】
ＰＬＣ３０の鉛直方向からの傾きの角度を、４〜１２度とすることで、出力導波路３７の端面とガラス蓋４２との接続面で生じる反射光の出力導波路３７への再結合を低減することができる。例えば、傾き角を８度にすることにより、従来の光モジュールでは−２５ｄＢ程度であった反射減衰量を、−３５ｄＢ以下に低減することができる。
【００２９】
実施例１においては、ＰＬＣ３０の水平面内において傾けた出力光導波路３７の方向が、ＰＤアレイ４３の受光面４４の整列方向と一致する。従って、出力導波路３７から出射された光が、受光面４４に斜めに入射することにより、ＰＤ間のクロストークが劣化する。実施例２によれば、ＰＤアレイ４３の受光面４４の整列方向とは垂直な方向に傾いているので、実施例１と比較して、クロストークを抑制することができる。
【実施例３】
【００３０】
図９に、実施例３にかかるＰＬＣとＰＤパッケージとの接続方法を示す。光モジュール１の構成は、実施例２と同じである。図９は、図７のＢ−Ｂ′における断面図を示している。ＰＬＣ３０は、基板３２上に光導波路層３１を有し、光導波路層３１にＡＷＧが形成されている。ＡＷＧの出力導波路３７ａ，３７ｂの端面は、ＰＬＣ３０の鉛直方向において傾斜面が形成され、研磨されている。傾斜面は、基板３２の底面に対して９０度を超える角度である。ＰＤパッケージ４０のガラス蓋４２は、この傾斜面に沿ってＵＶ接着剤により接合されている。すなわち、出力導波路３７の光伝播方向（図中の太い破線）が、ＰＤアレイ４３の受光面４４の鉛直方向（図中の細い破線）に対して、傾いて配置されている。
【００３１】
実施例２と同様に、ＰＬＣ３０の鉛直方向からの傾きの角度を、４〜１２度とすることで、出力導波路３７の端面とガラス蓋４２との接続面で生じる反射光の出力導波路３７への再結合を低減することができる。また、実施例３によれば、ＰＤアレイ４３の受光面４４の整列方向とは垂直な方向に傾いているので、実施例１と比較して、クロストークを抑制することができる。
【００３２】
このように、出力導波路３７の端面の傾斜面の方向は、どちらであっても良い。ＰＬＣの導波路の端面を斜めに研磨する方法は、従来のＰＬＣと光ファイバを接続する場合に導入される工程を応用するだけで良いため、特に新たな工程開発を行なう必要はない。
【実施例４】
【００３３】
図１０は、実施例４にかかるＰＬＣとＰＤパッケージの接続部の拡大図である。光モジュール１の構成は、実施例１と同じである。ＰＬＣ３０に形成されたＡＷＧの出力導波路３７と、ＰＤパッケージ４０に収容されたＰＤアレイ４３の受光面４４とが、光学的に結合している。実施例１の光モジュールと異なる点は、出力導波路３７の端面を含む端部において、スポットサイズ変換器３８を集積している点である。スポットサイズ変換器３８は、出力導波路３７のコアの横幅をテーパにして徐々に拡大した構成を有している。
【００３４】
上述したように、例えば、光導波路層３１におけるコアとクラッドの比屈折率差１．５％、コアサイズ４．５μｍ×４．５μｍの場合、スポットサイズは３．３μｍ×３．３μｍ程度となる。スポットサイズ変換器３８により、コアの横幅を１０００μｍのテーパ長にわたって、徐々に２０μｍ程までに広げると、スポットサイズを３．５μｍ×７．５μｍ程度にすることができる。ＰＤアレイ４３の受光面４４の受光径を８０μｍとする。このとき、出力導波路３７から出射された光が、数百μｍの距離を伝播して、受光面４４に到達すると、約１ｄＢの結合損失となる。従って、従来の光モジュールと比較して、１．５ｄＢ程度の結合損失を低減することができる。実施例４によれば、反射減衰量の低減とともに、結合損失も低減することができる。
【００３５】
実施例４では、コアの横幅をテーパにして徐々に拡大する場合を述べたが、コアの横幅をテーパにして徐々に狭めていくことによりスポットサイズを拡大してもよい。また、コアの厚さをテーパにして徐々に拡大してもよいし、コアの厚さをテーパにして徐々に薄くしていくことによりスポットサイズを拡大してもよい。さらに、これらの組み合わせでもよいし、公知の波面整合法により設計したスポットサイズ変換器を適用してもよい。
【００３６】
また、スポットサイズ変換器３８を、実施例２および３に適用することができ、反射減衰量の低減とともに、結合損失も低減することができる。このようなスポットサイズ変換器３８は、ＰＬＣを形成するプロセスにおいて、同時に集積することができる。従って、従来のレンズを用いた光モジュールと比較して、部材点数を減らすことができ、組み立て工数を低減することができる。
【実施例５】
【００３７】
図１１に、本発明の実施例５にかかる光モジュールの構成を示す。光モジュール１０は、ＰＬＣ３００、ＰＤパッケージ４００およびコネクタ５２が配置されたプリント基板５０を、筐体９の内部に収容している。一例として、ＰＬＣ３００には、光機能素子としてＡＷＧが形成されている。光モジュール１０は、ＰＬＣに形成された１つのＡＷＧを共用する２つの光パワーモニタ機能を集積している。第１の光パワーモニタにおいて、光ファイバ２ａから入力された波長分割多重信号は、第１の入力導波路３３ａから入力され、ＡＷＧで個々の波長の光信号に分波され、第１の出力導波路３７ａからＰＤパッケージ４００ａに収容されている個々のＰＤの受光面で受光される。また、第２の光パワーモニタにおいて、光ファイバ２ｂから入力された波長分割多重信号は、第２の入力導波路３３ｂから入力され、ＡＷＧで個々の波長の光信号に分波され、第２の出力導波路３７ｂからＰＤパッケージ４００ｂに収容されている個々のＰＤの受光面で受光される。
【００３８】
ここでは、２４チャンネルのＰＤアレイを収容したＰＤパッケージ４００ａ，４００ｂを、４個実装することにより、４８チャンネルの光パワーモニタを２台構成することができる。多チャンネルの光パワーモニタ２台を、１つの光モジュールに収容することで、非常に小型にでき、簡易に製造することができる。
【００３９】
ＰＬＣ３００とＰＤパッケージ４００の接続部は、実施例１に示したように、出力導波路３７ａ，３７ｂの光伝播方向が、ＰＤアレイの受光面の鉛直方向に対して、ＰＬＣ３００の水平面内において、傾いて配置されている。また、実施例２，３に示したように、ＰＬＣ３００に垂直な面内において、出力導波路３７ａ，３７ｂの光伝播方向が、ＰＤアレイの受光面の鉛直方向に対して、傾いて配置するようにしてもよい。このようにして、反射減衰量を十分に低減したり、クロストークを抑制することができる。
【００４０】
従来の光モジュールでは、第１の光パワーモニタの出力導波路３７ａとＰＤパッケージ４００ａとの接続面で生じる反射光が、第２の光パワーモニタの出力導波路３７ｂに再結合し、ノイズとなって第２の光パワーモニタの受光特性を劣化させてしまう。逆に、第２の光パワーモニタの反射光が、第１の光パワーモニタの受光特性を劣化させてしまう。
【００４１】
しかしながら、上述した実施例１〜３の構成を適用することにより、反射減衰量を十分に低減したり、クロストークを抑制することができる。また、上述した実施例４の構成を適用することにより、結合損失を低減することができる。さらに、１つのＡＷＧで２台の光パワーモニタを集積できるので、部材点数の削減、光回路の占有面積の削減、組み立て工程数の削減、システム構成の簡略化などにより、コストの低減を図ることができる。
【実施例６】
【００４２】
実施例１〜５では、光パワーモニタとしての機能を有する光モジュールについて説明した。筐体９に収容された光素子として、ＰＤパッケージ４０，４００を用いたが、これをＬＤパッケージに置き換えることにより、光送信器としての機能を有する光モジュールとすることができる。例えば、図５に示したＰＤパッケージ４０をＬＤパッケージに置き換えたとする。図６に示したように、ＬＤアレイの発光面から出射した光が、ガラス蓋４２を透過し、ＰＬＣ３０の導波路に入射する際に生じる反射戻り光は、ＬＤアレイの発光面に再結合しない。従って、ＬＤの発振スペクトル、光出力パワーの変動を一層抑制することができ、光モジュールの特性を向上させることができる。
【００４３】
このように、筐体９に収容される光素子については、なんら限定されるものではなく、導波路端面とガラス蓋４２との接続面で生じる反射光を抑制し、反射減衰量を低減することができる。また、ＰＬＣ３０に形成される光機能素子についても、ＡＷＧに限定されるものではなく、例えば、光スイッチ、光変調器などを形成することもできる。本願発明は、ＰＬＣに形成される光機能素子と、ＰＬＣと接続される光素子とを集積する光モジュールに広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】従来の光モジュールの構成を示す平面図である。
【図２】従来のＰＤパッケージの構成を示す斜視図である。
【図３】従来の光モジュールにおけるＰＬＣとＰＤパッケージとの接続方法を示す断面図である。
【図４】ＰＬＣとＰＤパッケージの接続部の拡大図である。
【図５】本発明の実施例１にかかる光モジュールの構成を示す平面図である。
【図６】実施例１にかかるＰＬＣとＰＤパッケージの接続部の拡大図である。
【図７】本発明の実施例２にかかる光モジュールの構成を示す平面図である。
【図８】実施例２にかかるＰＬＣとＰＤパッケージとの接続方法を示す断面図である。
【図９】実施例３にかかるＰＬＣとＰＤパッケージとの接続方法を示す断面図である。
【図１０】実施例４にかかるＰＬＣとＰＤパッケージの接続部の拡大図である。
【図１１】本発明の実施例５にかかる光モジュールの構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１，１０  光モジュール
９  筐体
３０，３００  ＰＬＣ
３１  光導波路層
３２  基板
３３  入力導波路
３４  入力スラブ導波路
３５  アレイ導波路
３６  出力スラブ導波路
３７  出力導波路
３８  スポットサイズ変換器
４０，４００  ＰＤパッケージ
４１  セラミック筐体
４２  ガラス蓋
４３  ＰＤアレイ
４４  受光面
４５，５１  電気配線
４６  リードピン
５０  プリント基板
５２  コネクタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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