(57)【要約】【課題】ハースからの浮きを防いでハースライナーの冷却効果を保つことができる真空蒸着装置を得る。【解決手段】ハース１４に設けられた窪み２４に、ハースライナー１２が装着される。ハースライナー１２の側面に凸部２６が設けられている。ハース１４の窪み２４の側面に、ハースライナー１２の凸部２６が入る凹部２８が設けられている。凹部２８は、窪み２４の開口から下方に延びた第１の凹部２８ａと、第１の凹部２８ａの下端から横方向に延びた第２の凹部２８ｂとを有する。ハースライナー１２の凸部２６がハース１４の第２の凹部２８ｂに入った状態で、ハースライナー１２の底面とハース１４の窪み２４の底面の間隔が所定の値より小さくなる。【選択図】図２
2009293093.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着材料が入れられるハースライナーと、
前記ハースライナーが装着される窪みが設けられたハースと、
前記ハースライナー内の前記蒸着材料に電子ビームを照射して加熱する電子銃とを備え、
前記ハースライナーの側面に凸部が設けられ、
前記ハースの前記窪みの側面に、前記ハースライナーの前記凸部が入る凹部が設けられ、
前記凹部は、前記窪みの開口から下方に延びた第１の凹部と、前記第１の凹部の下端から横方向に延びた第２の凹部とを有し、
前記ハースライナーの前記凸部が前記ハースの前記第２の凹部に入った状態で、前記ハースライナーの底面と前記ハースの前記窪みの底面の間隔が所定の値より小さくなることを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項２】
蒸着材料が入れられるハースライナーと、
前記ハースライナーが装着される窪みが設けられたハースと、
前記ハースライナー内の前記蒸着材料に電子ビームを照射して加熱する電子銃とを備え、
前記ハースライナーの上面に、前記ハースライナーの外側横方向に延びる第１の凸部が設けられ、
前記ハースの前記窪みの開口に、前記ハースライナーの前記第１の凸部が入る切り欠きが設けられ、
前記ハースの前記切り欠きの上部に、前記窪みの内側横方向に延びる第２の凸部が設けられ、
前記ハースライナーの前記第１の凸部が前記ハースの前記第２の凸部の下側に位置した状態で、前記ハースライナーの底面と前記ハースの前記窪みの底面の間隔が所定の値より小さくなることを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項３】
蒸着材料が入れられるハースライナーと、
前記ハースライナーが装着される窪みが設けられたハースと、
前記ハースライナー内の前記蒸着材料に電子ビームを照射して加熱する電子銃とを備え、
前記ハースライナーの底面に凹部が設けられ、
前記ハースの前記窪みの底面に、前記ハースライナーの前記凹部に嵌合する凸部が設けられていることを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項４】
蒸着材料が入れられるハースライナーと、
前記ハースライナーが装着される窪みが設けられたハースと、
前記ハースライナー内の前記蒸着材料に電子ビームを照射して加熱する電子銃とを備え、
前記ハースライナーの側面にＯＫラインとＮＧラインが設けられ、
前記ハースライナーの底面と前記ハースの前記窪みの底面が接触した状態で、前記ハースの前記窪みの上端と前記ハースライナーの前記ＯＫラインが重なり、
前記ＮＧラインは、前記ＯＫラインより所定の間隔を開けて下側に設けられていることを特徴とする真空蒸着装置。
【請求項５】
蒸着材料が入れられるハースライナーと、
前記ハースライナーが装着される窪みが設けられたハースと、
前記ハースライナー内の前記蒸着材料に電子ビームを照射して加熱する電子銃とを備え、
前記ハースライナーの側面と前記ハースの前記窪みの側面は、互いに嵌合するネジ状に形成されていることを特徴とする真空蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハースの窪みにハースライナーを装着した真空蒸着装置に関し、特にハースからの浮きを防いでハースライナーの冷却効果を保つことができる真空蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機物や金属などの蒸着材料からなる蒸着層を基板上に形成するために真空蒸着装置が用いられる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−２０９１２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
図１２は、従来の真空蒸着装置の要部を拡大した断面図である。ハースライナー１２には蒸着材料２２が入れられる。ハース１４に設けられた窪み２４に、ハースライナー１２が装着される。
【０００４】
従来の真空蒸着装置の動作について説明する。図１３に示すように、ハースライナー１２内の蒸着材料２２に電子ビームを照射して加熱し、蒸着材料２２の溶かし込みを行う。蒸着可能状態になった時点でシャッター１８を開くと、蒸発した蒸着材料２２が基板（不図示）に向かって飛散して基板上に蒸着する。この際にハースライナー１２が高温となるため、ハース１４にハースライナー１２を接触させることでハースライナー１２を冷却している。
【０００５】
蒸着を行うと、図１４に示すように、ハース１４の窪み２４の上部側面に蒸着物１００が付着する。蒸着が終わった後に、ハース１４からハースライナー１２を取り外し、蒸着物１００を除去（清掃）する。その後、ハースライナー１２に蒸着材料２２を入れ、ハース１４の窪み２４にハースライナー１２を装着して、次回の蒸着を行う。
【０００６】
蒸着物１００を除去する際に、図１５に示すように、ハース１４の窪み２４内に除去物（異物２００）が落ちる場合がある。このままハースライナー１２を装着すると、ハースライナー１２がハース１４から浮いて、ハースライナー１２の冷却効果が低下する。この状態で蒸着を開始すると、ハースライナー１２の溶解や蒸着材料２２の破裂が起こり、蒸着装置へのダメージが大きく、かつ蒸着膜の品質にも悪影響を及ぼすという問題があった。
【０００７】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、ハースからの浮きを防いでハースライナーの冷却効果を保つことができる真空蒸着装置を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、蒸着材料が入れられるハースライナーと、前記ハースライナーが装着される窪みが設けられたハースと、前記ハースライナー内の前記蒸着材料に電子ビームを照射して加熱する電子銃とを備え、前記ハースライナーの側面に凸部が設けられ、前記ハースの前記窪みの側面に、前記ハースライナーの前記凸部が入る凹部が設けられ、前記凹部は、前記窪みの開口から下方に延びた第１の凹部と、前記第１の凹部の下端から横方向に延びた第２の凹部とを有し、前記ハースライナーの前記凸部が前記ハースの前記第２の凹部に入った状態で、前記ハースライナーの底面と前記ハースの前記窪みの底面の間隔が所定の値より小さくなることを特徴とする真空蒸着装置である。
【０００９】
第２の発明は、蒸着材料が入れられるハースライナーと、前記ハースライナーが装着される窪みが設けられたハースと、前記ハースライナー内の前記蒸着材料に電子ビームを照射して加熱する電子銃とを備え、前記ハースライナーの上面に、前記ハースライナーの外側横方向に延びる第１の凸部が設けられ、前記ハースの前記窪みの開口に、前記ハースライナーの前記第１の凸部が入る切り欠きが設けられ、前記ハースの前記切り欠きの上部に、前記窪みの内側横方向に延びる第２の凸部が設けられ、前記ハースライナーの前記第１の凸部が前記ハースの前記第２の凸部の下側に位置した状態で、前記ハースライナーの底面と前記ハースの前記窪みの底面の間隔が所定の値より小さくなることを特徴とする真空蒸着装置である。
【００１０】
第３の発明は、蒸着材料が入れられるハースライナーと、前記ハースライナーが装着される窪みが設けられたハースと、前記ハースライナー内の前記蒸着材料に電子ビームを照射して加熱する電子銃とを備え、前記ハースライナーの底面に凹部が設けられ、前記ハースの前記窪みの底面に、前記ハースライナーの前記凹部に嵌合する凸部が設けられていることを特徴とする真空蒸着装置である。
【００１１】
第４の発明は、蒸着材料が入れられるハースライナーと、前記ハースライナーが装着される窪みが設けられたハースと、前記ハースライナー内の前記蒸着材料に電子ビームを照射して加熱する電子銃とを備え、前記ハースライナーの側面にＯＫラインとＮＧラインが設けられ、前記ハースライナーの底面と前記ハースの前記窪みの底面が接触した状態で、前記ハースの前記窪みの上端と前記ハースライナーの前記ＯＫラインが重なり、前記ＮＧラインは、前記ＯＫラインより所定の間隔を開けて下側に設けられていることを特徴とする真空蒸着装置である。
【００１２】
第５の発明は、蒸着材料が入れられるハースライナーと、前記ハースライナーが装着される窪みが設けられたハースと、前記ハースライナー内の前記蒸着材料に電子ビームを照射して加熱する電子銃とを備え、前記ハースライナーの側面と前記ハースの前記窪みの側面は、互いに嵌合するネジ状に形成されていることを特徴とする真空蒸着装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明により、ハースからの浮きを防いでハースライナーの冷却効果を保つことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る真空蒸着装置を示す図である。真空槽１０内に、ハースライナー１２と、ハース１４と、電子銃１６と、シャッター１８が設けられている。蒸着が行われる基板２０も真空槽１０内に配置される。ハースライナー１２には蒸着材料２２が入れられる。電子銃１６は、ハースライナー１２内の蒸着材料２２に電子ビームを照射して加熱する。シャッター１８は、基板２０とハースライナー１２との間に設けられている。
【００１５】
図２は、本発明の実施の形態１に係る真空蒸着装置の要部を拡大した断面図であり、図３は斜視図である。ハース１４に設けられた窪み２４に、ハースライナー１２が装着される。ハースライナー１２の側面に凸部２６が設けられている。ハース１４の窪み２４の側面に、ハースライナー１２の凸部２６が入る凹部２８が設けられている。
【００１６】
凹部２８は、窪み２４の開口から下方に延びた第１の凹部２８ａと、第１の凹部２８ａの下端から横方向に延びた第２の凹部２８ｂとを有するＬ字形状である。ハースライナー１２の凸部２６がハース１４の第２の凹部２８ｂに入った状態で、ハースライナー１２の底面とハース１４の窪み２４の底面の間隔が所定の値（例えば直径０．１ｍｍ）より小さくなる。
【００１７】
また、ハースライナー１２の上面に溝３０が設けられている。そして、この溝３０に専用の回転治具を挿入することで、ハースライナー１２をハース１４に装着する際にハースライナー１２を回転しやすくなる。
【００１８】
また、ハースライナー１２の上面とハース１４の窪み２４には、両者のはめ込みが完了した状態において重なる位置に三角マーク３２ａ，３２ｂがそれぞれ設けられている。この三角マーク３２ａ，３２ｂが重なっているかどうかを見れば、はめ込みの完了を確認することができる。
【００１９】
以上説明したようにハースライナー１２とハース１４の装着方式は「はめ込み式」である。これにより、ハースライナー１２とハース１４の間に異物（例えば直径０．２ｍｍ）が噛んだ場合はハースライナー１２がハース１４へはまらないため、異物検出が可能である。従って、ハース１４からの浮きを防いでハースライナー１２の冷却効果を保つことができる。
【００２０】
実施の形態２．
図４は、本発明の実施の形態２に係る真空蒸着装置の要部を拡大した断面図であり、図５は斜視図である。ハースライナー１２とハース１４以外の構成は実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
【００２１】
ハースライナー１２の上面に、ハースライナー１２の外側横方向に延びる第１の凸部３４が設けられている。ハース１４の窪み２４の開口に、ハースライナー１２の第１の凸部３４が入る切り欠き３６が設けられている。ハース１４の切り欠き３６の上部に、窪み２４の内側横方向に延びる第２の凸部３８が設けられている。ハースライナー１２の第１の凸部３４がハース１４の第２の凸部３８の下側に位置した状態で、ハースライナー１２の底面とハース１４の窪み２４の底面の間隔が所定の値（例えば直径０．１ｍｍ）より小さくなる。
【００２２】
このようにハースライナー１２とハース１４の装着方式は実施の形態１と同様に「はめ込み式」である。これにより実施の形態１と同様の効果を得ることができる。そして、実施の形態１と異なり、専用の回転治具を必要としない。
【００２３】
実施の形態３．
図６は、本発明の実施の形態３に係る真空蒸着装置の要部を拡大した断面図であり、図７は斜視図である。ハースライナー１２とハース１４以外の構成は実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
【００２４】
ハースライナー１２の底面に凹部４０が設けられている。ハース１４の窪み２４の底面に、ハースライナー１２の凹部４０に嵌合する凸部４２が設けられている。凹部４０の深さと凸部４２の高さはそれぞれ０．１ｍｍより小さい。
【００２５】
このようにハースライナー１２とハース１４の装着方式は「はめ込み式」である。これにより、ハースライナー１２とハース１４の間に異物（例えば直径０．２ｍｍ）が噛んだ場合はハースライナー１２がハース１４へはまらず、ハースライナー１２が固定されずに回転するため、異物検出が可能である。従って、ハース１４からの浮きを防いでハースライナー１２の冷却効果を保つことができる。
【００２６】
実施の形態４．
図８は、本発明の実施の形態４に係る真空蒸着装置の要部を拡大した斜視図である。ハースライナー１２とハース１４以外の構成は実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
【００２７】
ハースライナー１２の側面にＯＫライン４４とＮＧライン４６が設けられている。ＮＧライン４６は、ＯＫライン４４より所定の間隔（例えば０．１ｍｍ）を開けて下側に設けられている。
【００２８】
図９に示すように、ハースライナー１２の底面とハース１４の窪み２４の底面が接触した状態で、ハース１４の窪み２４の上端とハースライナー１２のＯＫライン４４が重なる。
【００２９】
一方、ハースライナー１２とハース１４の間に異物（例えば直径０．２ｍｍ）が噛んだ場合は、図１０に示すように、ハース１４の窪み２４の上端からハースライナー１２のＮＧライン４６が出るため、目視により容易に異物検出が可能である。従って、ハース１４からの浮きを防いでハースライナー１２の冷却効果を保つことができる。
【００３０】
実施の形態５．
図１１は、本発明の実施の形態５に係る真空蒸着装置の要部を拡大した断面図である。ハースライナー１２とハース１４以外の構成は実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。
【００３１】
ハースライナー１２の側面とハース１４の窪み２４の側面は、互いに嵌合するネジ状に形成されている。従って、ハースライナー１２は雄ネジ、ハース１４は雌ネジであり、両者の装着方式は「ネジ込み式」である。
【００３２】
以上の構成により、ハースライナー１２とハース１４の間に異物が噛んだ場合でも両者を強制的に接触させることができるため、ハース１４からの浮きを防いでハースライナー１２の冷却効果を保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の形態１に係る真空蒸着装置を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る真空蒸着装置の要部を拡大した断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る真空蒸着装置の要部を拡大した斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係る真空蒸着装置の要部を拡大した断面図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る真空蒸着装置の要部を拡大した斜視図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係る真空蒸着装置の要部を拡大した断面図である。
【図７】本発明の実施の形態３に係る真空蒸着装置の要部を拡大した斜視図である。
【図８】本発明の実施の形態４に係る真空蒸着装置の要部を拡大した斜視図である。
【図９】本発明の実施の形態４に係る真空蒸着装置の要部を拡大した斜視図である。
【図１０】本発明の実施の形態４に係る真空蒸着装置の要部を拡大した斜視図である。
【図１１】本発明の実施の形態５に係る真空蒸着装置の要部を拡大した断面図である。
【図１２】従来の真空蒸着装置の要部を拡大した断面図である。
【図１３】従来の真空蒸着装置の要部を拡大した断面図である。
【図１４】従来の真空蒸着装置の要部を拡大した断面図である。
【図１５】従来の真空蒸着装置の要部を拡大した断面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１２  ハースライナー
１４  ハース
１６  電子銃
２２  蒸着材料
２４  窪み
２６  凸部
２８  凹部
２８ａ  第１の凹部
２８ｂ  第２の凹部
３４  第１の凸部
３６  切り欠き
３８  第２の凸部
４０  凹部
４２  凸部
４４  ＯＫライン
４６  ＮＧライン
【図１】
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【図２】
2009293093.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2009293093.tif 000014
【図１３】
2009293093.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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