(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
音波を受けて振動する振動板と、振動板に所定の間隙をおいて対向し振動板との間でコンデンサーを構成する固定電極と、固定電極の背後に形成された後部空気室を備えたコンデンサーマイクロホンユニットであって、
上記後部空気室の圧力を高める圧電ポンプを有し、
上記圧電ポンプは、静電吸引力による上記振動板の上記固定電極への変位に対応して上記後部空気室の圧力を高めることを特徴とするコンデンサーマイクロホンユニット。
【請求項２】
後部空気室に連通して後部空気室を外部に開放する空気孔と、この空気孔を開閉する圧電バルブをさらに有し、この圧電バルブが上記空気孔を閉止している状態において圧電ポンプが上記後部空気室の圧力を高めることを特徴とする請求項１記載のコンデンサーマイクロホンユニット。
【請求項３】
静電吸引力による振動板の変位量検出手段を備え、この変位量検出手段の出力信号に応じて圧電ポンプが後部空気室の圧力を高める請求項１記載のコンデンサーマイクロホンユニット。
【請求項４】
振動板の変位量検出手段は、振動板を挟み固定電極の反対側に配置された検出電極と、この検出電極と振動板との間の静電容量変化を検出する静電容量計を含む請求項３記載のコンデンサーマイクロホンユニット。
【請求項５】
前後一対のコンデンサーマイクロホンエレメントを背中合わせ状に配置し、この一対のコンデンサーマイクロホンエレメントが共通の絶縁座によって一体に保持された可変指向性マイクロホンユニットが構成され、上記絶縁座に、後部空気室と圧電バルブに連通する空気孔および後部空気室と圧電ポンプに連通する空気孔が形成されている請求項１記載のコンデンサーマイクロホンユニット。
【請求項６】
圧電ポンプは、電極間に電圧を印加することにより反曲する圧電素子と、この圧電素子を支持する圧電素子支持体を備え、圧電素子と圧電素子支持体との間に空間が形成され、この空間は後部空気室に連通する請求項１から５のいずれかに記載のコンデンサーマイクロホンユニット。
【請求項７】
コンデンサーマイクロホンユニットをマイクロホンケースに組み込んでなるコンデンサーマイクロホンであって、コンデンサーマイクロホンユニットは請求項１ないし５のいずれかに記載のコンデンサーマイクロホンユニットであるコンデンサーマイクロホン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンデンサーマイクロホンユニットおよびコンデンサーマイクロホンに関するもので、特に、静電吸引力による振動板の変位を圧縮空気でキャンセルするように構成したことを特徴とするものである。
【背景技術】
【０００２】
固定電極が振動板の片側だけにあるコンデンサーマイクロホンユニットでは、直流バイアス電圧によって発生する静電吸引力で振動板が固定電極に接近する向きに変位する。エレクトレット型コンデンサーマイクロホンユニットにおいても、固定電極が振動板の片側だけにある構造になっている場合は同様の現象が生じる。このように、振動板が変位している状態で音波が到来すると、振動板は固定電極に接近する向きには静電吸引力が作用している分動きやすいことから大きく変位し、固定電極から遠ざかる向きには変位しにくい。このように、振動板は振動の向きによって移動量が非対称であることから、電気音響変換出力信号が音波に忠実にならず、出力信号に歪みが生じる。前後一対のコンデンサーマイクロホンエレメントを背中合わせ状に配置し、この一対のコンデンサーマイクロホンエレメントが共通の絶縁座によって一体に保持された可変指向性マイクロホンユニットにおいても、一つの振動板に対してはどの片側だけに固定電極があるので、同様の問題が生じる。
【０００３】
また、コンデンサーマイクロホンの感度を高めるために、バイアス電圧を高くすることが一般に行われている。しかし、バイアス電圧を高くすると、上記のように振動板の移動量が大きくなり、この移動量の非対称性がさらに顕著になり、出力信号に歪みが生じやすくなるとともに、静電吸引力が強くなることによって、振動板が固定電極に吸着されてしまい、マイクロホンとして機能しなくなることがある。したがって、静電吸引力があっても、振動板は本来の位置にあることが望ましい。
【０００４】
コンデンサーマイクロホンにおける静電吸引力の問題に関しては従前より着目されていて、静電吸引力の影響を無くすための工夫が各種提案されている。特許文献１記載の発明は、振動板組立体の製造方法を工夫することにより、振動板が固定電極に吸着されにくい形に仕上がるようにしたものである。すなわち、片面に金属蒸着膜を有する樹脂フィルムからなる振動板は、特定の工程を経ることにより、金属蒸着膜側が凸となるような張力が加えられた状態で支持リングに支持されるようにしたものである。そして、金属蒸着膜側を固定電極とは反対側に配置して、樹脂フィルムに残っている内部応力が、バイアス電圧により固定極と振動板との間で生ずる静電吸引力に対向することができるようにしたものである。
【０００５】
特許文献２記載の発明は、エレクトレットコンデンサーマイクロホンに関するもので、振動板の中央部と対向する固定電極の中央部に貫通孔を形成してエレクトレット不存在領域とすることにより、振動板が固定電極に吸着されるのを防止するものである。
特許文献３記載の発明は、固定電極の振動板との対向面を凹状に湾曲させ、この湾曲部の最大深さ部分を振動板の最大振幅位置近傍とすることにより、振動板が固定電極に吸着されにくくしたものである。
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−３３２９３０号公報
【特許文献２】特開２００５−４５４１０号公報
【特許文献３】特開２００３−１７４６９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１ないし特許文献３の発明はいずれも、振動板とこれに対向する固定電極の中央部分を遠ざけることにより、静電吸引力による振動板の固定電極への吸着を防止しようとするものである。したがって、先に述べた従来技術の問題点と同様に、振動板が固定電極に向かって移動する場合は動きやすく、固定電極から離れる向きには動きにくく、移動量が非対称であり、電気音響変換出力信号に歪みが生じるという難点がある。
【０００８】
本発明は、振動板に静電吸引力が働いている状態であっても、振動板は固定電極との関係において本来あるべき位置にあり、振動板が音波を受けて固定電極に近づく場合と固定電極から離れる場合とで移動量の対称性を確保し、電気音響変換出力信号の歪みを防止することができるコンデンサーマイクロホンユニットおよびコンデンサーマイクロホンを提供することを目的とする。
本発明はまた、感度を高めるためにバイアス電圧を高くしても、かつ、振動板と固定電極を特別な形状にしなくても、振動板が固定電極に吸着されることを防止することができるコンデンサーマイクロホンユニットおよびコンデンサーマイクロホンを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、音波を受けて振動する振動板と、振動板に所定の間隙をおいて対向し振動板との間でコンデンサーを構成する固定電極と、固定電極の背後に形成された後部空気室を備えたコンデンサーマイクロホンユニットであって、上記後部空気室の圧力を高める圧電ポンプを有し、上記圧電ポンプは、静電吸引力による上記振動板の上記固定電極への変位に対応して上記後部空気室の圧力を高めることを最も主要な特徴とする。
後部空気室に連通して後部空気室を外部に開放する空気孔と、この空気孔を開閉する圧電バルブをさらに有し、この圧電バルブが上記空気孔を閉止している状態において圧電ポンプが上記後部空気室の圧力を高めるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１０】
振動板と固定電極との間にはバイアス電圧の印加によって静電吸着力が働き、振動板は固定電極に接近する。圧電ポンプを駆動すると、後部空気室の圧力が高まり、振動板は固定電極から離れる向きに押される。振動板が本来あるべき位置に至るように圧電ポンプによる加圧を制御する。この状態では、振動板の固定電極に接近する向きへの動きやすさと固定電極から離間する向けへの動きやすさが等しく、運動の対称性が保たれ、振動板が音波を受け、振動することによって出力される信号の歪みを無くすことができる。
また、バイアス電圧を高くした場合も、そのときの静電吸着力に対応した圧力を圧電ポンプにより後部空気室に加え、振動板を本来あるべき位置にすることができるため、マイクロホンユニットの感度を高めつつ、振動板の固定電極への吸着を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明にかかるコンデンサーマイクロホンユニットおよびコンデンサーマイクロホンの実施例について図面を参照しながら説明する。図に示す実施例は単一指向性コンデンサーマイクロホンユニットの例であるが、本発明は、無指向性コンデンサーマイクロホンユニット、その他のコンデンサーマイクロホンユニットにも適用可能である。
【００１２】
図１、図２において、符号１０，２０はそれぞれ第１、第２のコンデンサーマイクロホンエレメントを示している。第１、第２のコンデンサーマイクロホンエレメント１０，２０は絶縁座３０の介在のもとに、絶縁座３０の前後（図１において左右）両端に互いに平行をなして対称に組み立てられ、第１、第２のコンデンサーマイクロホンエレメント１０，２０が背中合わせ状に配置されている。第１のコンデンサーマイクロホンエレメント１０は、フィルム状でダイヤフラムともいわれる振動板１１を有している。振動板１１はその外周縁部がリング状の振動板保持体１２の一方の端面に固着され、振動板保持体１２によって保持されている。振動板１１は、所定の微小な間隙をおいて固定電極１３に対向している。固定電極１３は絶縁座３０に固定されている。
【００１３】
絶縁座３０は全体として円盤状の部材で、絶縁座３０の前後には２段階にわたって円形の凹陥部が形成され、この２段階の凹陥部間に段部３６，３８が形成され、また、前後端外周縁部に円形の突堤３１，３２が形成されている。絶縁座３０の前側の突堤３１の内周側には上記固定電極１３が嵌められ、固定電極１３の後端外周縁部は、絶縁座３０の上記前側の段部３６に当接している。上記突堤３１の上記段部３６からの突出寸法は固定電極１３の板厚寸法よりも小さく、したがって、固定電極１３の前部は絶縁座３０の前側に突出している。固定電極１３の前面側には薄いフィルムなどからなるリング状のスペーサ１６が重ねられ、このスペーサ１６の上には、振動板１１が振動板保持体１２で保持された状態で重ねられている。したがって、振動板１１と固定電極１３との間には、スペーサ１６の厚さ寸法に対応した微小な隙間が形成されている。図１では、振動板１１と固定電極１３を明確に区別するために、スペーサ１６の厚みを実際よりも厚く描いて、振動板１１と固定電極１３との間の隙間を実際よりも誇張している。振動板保持体１２は振動板１１を後ろ側にして配置され、振動板保持体１２の前面にはリング状の端子板１４が重ねられている。端子板１４は、内周側の一部から前方に突出した端子１４Ａを有している。
【００１４】
以上のような各部材の配置関係において、絶縁座３０の前側外周に押さえリング１５が嵌められ、絶縁座３０に一体に固定されている。押さえリング１５は前側に内向きのフランジを一体に有し、この内向きのフランジが端子板１４を後方に向かって押し、この端子板１４に加わる押圧力で、振動板保持体１２、振動板１１、固定電極１３をこの順に後方に向かって押し、固定電極１３が絶縁座３０に押圧されている。このように、各部材に加わる押圧力によって各部材が絶縁座３０に実質一体に固定されている。固定電極１３の背後には、絶縁座３０に前記凹陥部が形成されることによって後部空気室１７が形成されている。絶縁座３０の中心部には絶縁座３０を厚さ方向（前後方向）に貫通する孔３９が形成され、孔３９は後部空気室１７に連通している。孔３９には、第１のコンデンサーマイクロホンエレメント１０の後部音響抵抗体１８が配置されている。
【００１５】
前記第２のコンデンサーマイクロホンエレメント２０も、第１のコンデンサーマイクロホンエレメント１０と同様に構成されている。ただし、第１、第２のコンデンサーマイクロホンエレメント１０、２０は前後の配置関係が互いに逆向きになっているので、第２のコンデンサーマイクロホンエレメント２０に関しては、図１の右側を前、左側を後として説明する。第２のコンデンサーマイクロホンエレメント２０は、フィルム状の振動板２１を有している。振動板２１はその外周縁部がリング状の振動板保持体２２の一方の端面に固着され、振動板保持体２２によって保持されている。振動板２１は、所定の微小な間隙をおいて固定電極２３に対向している。固定電極２３は絶縁座３０に固定されている。
【００１６】
絶縁座３０の後ろ側（図１において右側）の突堤３２の内周側には上記固定電極２３が嵌められ、固定電極２３の後端外周縁部は、絶縁座３０の上記後ろ側の段部３８に当接している。上記突堤３２の上記段部３８からの突出寸法は固定電極２３の板厚寸法よりも小さく、したがって、固定電極２３の前部は絶縁座３０から突出している。固定電極２３の前面側には薄いフィルムなどからなるリング状のスペーサ２６が重ねられ、このスペーサ２６の上には、振動板２１が振動板保持体２２で保持された状態で重ねられている。したがって、振動板２１と固定電極２３との間には、スペーサ２６の厚さ寸法に対応した微小な隙間が形成されている。この隙間も実際より誇張して大きく描かれている。振動板保持体２２は振動板２１を後ろ側にして配置され、振動板保持体２２の前面にはリング状の端子板２４が重ねられている。端子板２４は、内周側の一部から前方に突出した端子２４Ａを有している。
【００１７】
以上のような各部材の配置関係において、絶縁座３０の後ろ側（図１において右側）外周に押さえリング２５が嵌められ、絶縁座３０に一体に固定されている。押さえリング２５は前側に内向きのフランジを一体に有し、この内向きのフランジが端子板２４を後方に向かって押し、この端子板２４に加わる押圧力で、振動板保持体２２、振動板２１、固定電極２３をこの順に後方に向かって押し、固定電極２３が絶縁座３０に押圧されている。このように、各部材に加わる押圧力によって各部材が絶縁座３０に実質一体に固定されている。固定電極２３の背後には、絶縁座３０に前記凹陥部が形成されることによって後部空気室２７が形成されている。後部空気室２７は前記孔３９に連通している。孔３９には、第１のコンデンサーマイクロホンエレメント２０の後部音響抵抗体２８が配置されている。
【００１８】
絶縁座３０の下部には、上記孔３９に連通する空気孔３５が絶縁座３０を半径方向に貫通して形成され、空気孔３５は絶縁座３０の下端部外周面において開口している。絶縁座３０の下端部外周面には、上記空気孔３５の開口位置に圧電素子支持体４０が固着されている。圧電素子支持体４０は断面形状が逆Ｔ字状になっている。圧電素子支持体４０はこれを上下方向に貫通しかつ絶縁座３０の空気孔３５に連通する空気孔４１を有し、空気孔４１は圧電素子支持体４０の下端面に開口している。圧電素子支持体４０の下部は前後方向（図１では左右方向）に翼状に広がっていて、この圧電素子支持体４０の下面には、前後に対をなすスペーサ４３，４３の介在のもとに圧電素子８が圧電素子支持体４０の下面と平行に取り付けられている。圧電素子支持体４０の下面と圧電素子８との間にはスペーサ４３，４３の厚さに相当する隙間が形成され、この隙間は、圧電素子支持体４０の左右両翼にこれを厚さ方向に貫通して形成された入排気孔４２，４２に連通している。
【００１９】
上記圧電素子８としては、周知のバイモルフ型振動子を用いることができる。バイモルフ型振動子は、長さ方向に伸縮する２枚の圧電素子を重ねて接合し、双方の圧電素子間に電圧をかけることにより、一方の圧電素子が伸びると他方の圧電素子が縮むように構成したものである。いずれの圧電素子も分極方向は厚さ方向である。バイモルフ型振動子にはパラレル型とシリーズ型がある。いずれにせよ、電圧をかけることにより、一方の圧電素子が伸び、他方の圧電素子が縮むことにより、圧電素子８としては図１において上または下に向かって反曲する。図１に示す圧電素子８の態様では、上に向かって反曲することにより空気孔３５の開口を閉止している。圧電素子８への電圧印加を停止すると、圧電素子８は空気孔３５の開口から離間してこれを開放する。このように、圧電素子８は空気孔３５の開口を開閉する圧電バルブを構成している。
【００２０】
図１、図２において、絶縁座３０の上部にも、前記孔３９に連通する空気孔３７が絶縁座３０を半径方向に貫通して形成され、空気孔３７は絶縁座３０の外周面上端において開口している。絶縁座３０の上端部外周面には、上記空気孔３７の開口位置に圧電素子支持体５０が固着されている。圧電素子支持体５０はこれを上下方向に貫通しかつ絶縁座３０の空気孔３７に連通する空気孔５１を有し、空気孔５１は圧電素子支持体５０の上端面に開口している。圧電素子支持体５０は断面形状がＴ字状になっていて、その上部は前後方向（図１では左右方向）に翼状に広がっている。この圧電素子支持体５０の上面には、前後に対をなすスペーサ５２，５２の介在のもとに圧電素子５が圧電素子支持体５０の下面と平行に取り付けられている。圧電素子支持体５０の上面と圧電素子５との間にはスペーサ５２，５２の厚さに相当する密閉空間５５が形成されている。この密閉空間５５は、上記圧電バルブ側の圧電素子８と圧電素子支持体４０との間に形成される空間よりも間隔が広くなっている。圧電素子５は前記圧電素子８と同様、バイモルフ型振動子を用いることができ、圧電素子５の端子間に電圧を印加すると、圧電素子支持体５０に接近する向きに反曲し、上記密閉空間５５の容積が小さくなるように構成されている。したがって、圧電素子５は圧電ポンプを構成しており、上記圧電バルブが空気孔４１の開口を閉止している状態で圧電素子５に電圧を印加することにより、空気孔５１，３７、孔３９を介して上記密閉空間５５と連通している前記振動板１１，２１の後部空気室１７、２７の圧力を高めるようになっている。
【００２１】
圧電ポンプを構成する圧電素子５の端子間には、振動板１１の位置を検出する変位量検出手段からの検出信号に応じた電圧が印加されるようになっている。上記振動板の変位量検出手段は、図１において、振動板１１の前面中央に対向して配置された静電容量検出電極６０と、静電容量計６１、さらには増幅器６２を含む。静電容量検出電極６０と振動板１１との間の静電容量は、これらの間隔に応じて変化する。振動板１１の前面はコンデンサーの電極となっているので、この電極と静電容量検出電極６０とを出力端子とし、これを静電容量計６１の入力端子に接続することにより、静電容量計６１で静電容量検出電極６０と振動板１１との間の静電容量を測定することができる。静電容量計６１の出力を増幅器６２で増幅し、その出力電圧を圧電素子５の端子間に印加するように構成されている。図１の例では、左側のコンデンサーマイクロホンエレメントの振動板の変位を検出するようになっているが、右側のコンデンサーマイクロホンエレメントの振動板の変位を検出して圧電素子５に印加するようにしてもよい。符号７０は、右側のコンデンサーマイクロホンエレメントの静電容量検出電極を示している。
【００２２】
前述のように、バイアス電圧の印加により振動板１１，２１は固定電極１３，２３側に変位する。図４は振動板１１，２１が変位した様子を示している。この変位量は上記変位量検出手段で検出される。圧電バルブを構成する圧電素子８に電圧を印加し、圧電素子８で前記空気孔４１の開口を閉止している状態において、上記変位量検出手段の検出信号に応じた電圧が圧電素子５に印加される。圧電素子５は印加電圧に応じて圧電素子支持体５０に接近する向きに反曲する。図１、図５は圧電素子５が反曲した状態を示している。この反曲により、上記のように後部空気室１７、２７の圧力を高めるため、振動板１１，２１は本来あるべき位置まで押し戻される。図５は振動板１１，２１が押し戻された状態を示している。この状態を維持させてマイクロホンユニットとして動作させると、振動板１１，２１が音波を受けて固定電極１３，２３に近づく場合と固定電極１３，２３から離れる場合とで移動量の対象性を確保することができ、電気音響変換出力信号の歪みを防止することができる。
【００２３】
また、感度を高めるためにバイアス電圧を高くすると、振動板１１，２１の変位量が大きくなるが、この変位量に応じて振動板１１，２１と固定電極１３，２３との間の静電容量が変化し、これに応じて圧電素子５に印加する電圧が高くなり、後部空気室１７、２７の圧力が高くなるため、振動板１１，２１は本来あるべき位置まで押し戻される。したがって、コンデンサーマイクロホンとしての感度を高めつつ、振動板１１，２１が固定電極１３，２３に吸着されることを防止することができる。
【００２４】
なお、図示の実施例によれば、圧電素子８に印加する電圧を制御することによって、各コンデンサーマイクロホンエレメント１０、２０の後部音響抵抗を可変とすることができる。図４はコンデンサーマイクロホンエレメント１０、２０の後部音響抵抗を高くする場合の例を示すもので、圧電素子８の端子間に直流電圧を印加することにより、圧電素子８が上記空気孔４１の開口に接近し、空気孔４１の空気流通度合いを低くしている。この状態では、各コンデンサーマイクロホンエレメント１０、２０の後部空気室１７，２７と外部との間での空気の流れが制限され、各コンデンサーマイクロホンエレメント１０、２０後部音響端子の音響抵抗は高くなる。図示の実施例は、前後一対のコンデンサーマイクロホンエレメントを背中合わせ状に配置した可変指向性マイクロホンユニットであって、上記空気孔４１を圧電素子８で閉止し、双方のエレメント１０，２０の後部音響端子の音響抵抗を最大に高めることによって、極めて低域の音波も収音することができる。
【００２５】
しかしながら、上記空気孔４１が閉止されると、外気の気圧が変動することによって、振動板１１，２１が前後の気圧差で変形するので、圧力等価が必要になる。この圧力等価は、圧電素子８に印加する直流電圧の制御により、上記空気孔４１の開口と圧電素子８との間に僅かな隙間が生じるようにするとよい。外気圧の変化は緩やかであるから、空気孔４１の開口と圧電素子８との間に僅かな隙間が生じているだけで圧力等価が行なわれるからである。
【００２６】
マイクロホンの使用条件によっては、外気圧が急激に変化することがある。例えば、風雑音、振動雑音、ドアの開閉などが行なわれると、気圧が急激に変化する。このように気圧が急激に変化した場合に、これらを適宜のセンサで検知して制御部に入力し、制御部では、圧電素子８が空気孔４１の開口を開く向きに作動するように圧電素子８に印加する電圧を制御し、周波数応答の低域限界を低下させるようにするとよい。こうすることにより、振動板１１，２１の前後の圧力等価が行なわれ、振動板１１，２１の変形を防止することができる。
【００２７】
図示の実施例は可変指向性コンデンサーマイクロホンユニットの例であるが、本発明は、一つのマイクロホンエレメントを有していて、後部空気室を密閉した無指向性コンデンサーマイクロホンユニットにも適用することができる。無指向性コンデンサーマイクロホンユニットを用いたマイクロホンを使用するときに、振動板の位置を本来あるべき位置に戻す機能を持たせるのであれば、圧電ポンプを備えていればよく、圧電バルブはあえて設ける必要はない。
【００２８】
無指向性コンデンサーマイクロホンユニットは、後部空気室が密閉されているため、外気圧が変動すると振動板の前後で気圧差を生じ、振動板が変形する。そこで、後部空気室に連通する空気孔を設け、この空気孔の外気への開口に対向させて圧電素子からなる圧電バルブを配置し、通常の使用状態では圧電素子で空気孔の開口を閉止するかまたはごく僅かずつ空気が流通できるようにしておく。振動板の前後の気圧を検出するセンサを配置し、前後の気圧差を検出すると、制御部が圧電素子に印加する直流電圧を制御するようにすれば、上記空気孔の開口を開いて振動板の前後の気圧差を解消することができる。
【００２９】
本発明に係るコンデンサーマイクロホンユニットをマイクロホンケースに組み込み、マイクロホンコネクタ、回路基板などの必要な電装品をマイクロホンケースに組み込むことによって、これまで説明してきた効果を奏するコンデンサーマイクロホンを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明にかかるコンデンサーマイクロホンユニットの実施例を示す中央縦断面図である。
【図２】上記実施例の正面図である。
【図３】上記実施例の一動作態様を示す中央縦断面図である。
【図４】上記実施例の別の動作態様を示す中央縦断面図である。
【図５】上記実施例のさらに別の動作態様を示す中央縦断面図である。
【符号の説明】
【００３１】
５    圧電ポンプを構成する圧電素子
８    圧電バルブを構成する圧電素子
１０    マイクロホンエレメント
１１    振動板
１２    振動板保持体
１３    固定電極
１７    後部空気室
２０    マイクロホンエレメント
２１    振動板
２２    振動板保持体
２３    固定電極
２７    後部空気室
３０    絶縁座
３５    空気孔
４０    圧電素子支持体
４１    空気孔
５１    空気孔
５５    密閉空間
６０    静電容量検出電極
６１    静電容量計
【図１】
0004921289.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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