(57)【要約】【課題】複雑な構成となる像及び瞳の共役関係を保ったズーム系とすることなく、ズーミングによる瞳面の移動に対処する手段を設けた照明装置及びこの照明装置を備えたズーム顕微鏡を提供する。【解決手段】標本面１０ａから順に、対物レンズ１１と、開口絞り１２と、アフォーカルズーム系１３とを有するズーム顕微鏡３０に設けられ、アフォーカルズーム系１３、開口絞り１２及び対物レンズ１１を介して標本面１０ａに照明光を照射する照明装置２０を、アフォーカルズーム系１３から光源側に向かって順に、結像レンズ１５と、瞳位置補正光学系１６と、光源１８とから構成し、瞳位置補正光学系１６が、アフォーカルズーム系１３のズーミングによって生じる照明光学系の光源側に生じる射出瞳の位置変化を補正する。【選択図】図１
2009008701.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
標本面から順に、対物レンズと、アフォーカルズーム系とを有し、前記アフォーカルズーム系の標本面側に前記対物レンズの瞳が位置するズーム顕微鏡に設けられ、前記アフォーカルズーム系及び前記対物レンズを介して前記標本面に照明光を照射する照明装置であって、
前記アフォーカルズーム系から光源側に向かって順に、
結像レンズと、
瞳位置補正光学系と、
光源と、を有し、
前記瞳位置補正光学系が、前記アフォーカルズーム系のズーミングによって生じる照明光学系の光源側に形成される射出瞳の位置変化を補正するように構成された照明装置。
【請求項２】
前記瞳位置補正光学系が、
前記標本面側から順に、
負の屈折力を有する第１レンズと、
光軸に沿って移動可能な正の屈折力を有する第２レンズと、
光軸に沿って移動可能な正の屈折力を有する第３レンズと、から構成され、
前記アフォーカルズーム系のズーミングに応じて前記第２レンズ及び前記第３レンズを光軸に沿って移動させ前記射出瞳の位置変化を補正するように構成された請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記瞳位置補正光学系が、
前記標本面側から順に、
光軸に沿って移動可能な正の屈折力を有する可動レンズと、
拡散板と、から構成され、
前記アフォーカルズーム系のズーミングに応じて前記可動レンズを移動させて前記射出瞳の位置変化を補正するように構成された請求項１に記載の照明装置。
【請求項４】
標本面から順に
対物レンズと、
アフォーカルズーム系と、
結像レンズと、
請求項１〜３いずれか一項に記載の瞳位置補正光学系と、
光源と、を有し、
前記対物レンズの瞳が前記アフォーカルズーム系の標本面側に位置し、
前記瞳位置補正光学系が、ズーミングによって生じる照明光学系の光源側に形成される射出瞳の位置変化を補正するように構成されたズーム顕微鏡。
【請求項５】
前記対物レンズの瞳が、前記アフォーカルズーム系の標本面側に設けられた開口絞りである請求項４に記載のズーム顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、同軸落射型の照明装置、及び、この照明装置を備えたズーム顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般にズーム光学系はズーミングに際し、標本面と像面位置の共役関係（以後「像面の共役関係」という）は維持されるが、瞳位置の共役関係は変化してしまうという現象が生じる。例えば、対物レンズの像側でアフォーカルズーム系の標本面側に開口絞りを有するズーム顕微鏡の場合、像面の共役関係は当然保たれるが、同時に瞳面の共役関係も保つのは装置の構成上極めて困難であり、瞳面の共役関係は変化するのはやむを得ない現象となる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００６−１７８４４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述のように、ズーム系においては、ズーミングに際し像面の共役関係が保たれるのは当然であるが、光学系を構成する際のもう一つの重要な要素である瞳面の共役関係は移動するのが一般である。ズーム系と観察用鏡筒部の間に配置される反射照明装置の場合、ズーミングによる瞳移動は照明状態に影響を与えてしまい好ましくない。即ち、ズーム系を含む装置を構成する上で、ズーミングにより像面と共に瞳面の共役関係も保たれ、入射瞳位置も射出瞳位置も変化しないのが理想である。しかしながら、像面及び瞳面の双方の共役関係を保ったままのズーム系を構成しようとすると、大きなスペースと複雑な機構及び光学系とが必要になるという課題がある。特にズーム系の標本面側に固定開口絞りを有する顕微鏡の場合、ズーム系の中に開口絞りがある場合に比べて射出瞳面の移動は大きくなりがちである。
【０００４】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、複雑な構成となる像及び瞳の共役関係を保ったズーム系とすることなく、ズーミングによる瞳面の移動に対処する手段を設けた照明装置を提供することを目的とし、さらに、この照明装置を備えたズーム顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するために、本発明に係る照明装置は、標本面から順に、対物レンズと、アフォーカルズーム系とを有し、アフォーカルズーム系の標本面側に対物レンズの瞳（例えば、実施形態における開口絞り１２）が位置するズーム顕微鏡に設けられ、アフォーカルズーム系及び対物レンズを介して標本面に照明光を照射する照明装置であって、アフォーカルズーム系から光源側に向かって順に、結像レンズと、瞳位置補正光学系と、光源と、を有し、瞳位置補正光学系が、ズーミングによって生じる照明光学系の光源側に形成される射出瞳の位置変化を補正するように構成される。
【０００６】
このような本発明に係る照明装置において、瞳位置補正光学系が、標本面側から順に、負の屈折力を有する第１レンズと、光軸に沿って移動可能な正の屈折力を有する第２レンズと、光軸に沿って移動可能な正の屈折力を有する第３レンズと、から構成され、アフォーカルズーム系のズーミングに応じて第２レンズ及び第３レンズを光軸に沿って移動させ射出瞳の位置変化を補正するように構成されることが好ましい。
【０００７】
あるいは、瞳位置補正光学系が、標本面側から順に、光軸に沿って移動可能な正の屈折力を有する可動レンズと、拡散板と、から構成され、アフォーカルズーム系のズーミングに応じて可動レンズを移動させて射出瞳の位置変化を補正するように構成されることが好ましい。
【０００８】
また、本発明に係るズーム顕微鏡は、標本面から順に、対物レンズと、アフォーカルズーム系と、結像レンズと、上述の瞳位置補正光学系のいずれかと、光源と、を有し、対物レンズの瞳がアフォーカルズーム系の標本面側に位置し、瞳位置補正光学系が、ズーミングによって生じる照明光学系の光源側に形成される射出瞳の位置変化を補正するように構成される。
【０００９】
なお、このような本発明に係るズーム顕微鏡は、対物レンズの瞳を、アフォーカルズーム系の標本側に設けられた開口絞りと一致させることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る照明装置及びズーム顕微鏡を以上のように構成すると、複雑な構成となる像及び瞳の共役関係を同時に保ったズーム系とすることなく、ズーミングによる瞳面の移動を瞳位置補正光学系により補正することで、ズーム倍率に依らずケーラー照明を実現することができ、標本面に対して効率よく照明を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図１を用いて、反射照明装置を備えたズーム顕微鏡の構成について説明する。このズーム顕微鏡３０は、標本面１０ａから順に、対物レンズ１１、開口絞り１２、アフォーカルズーム系１３、及び、結像レンズ（第二対物レンズ）１４が光軸上に並んで構成されており、アフォーカルズーム系１３と第二対物レンズ１４との間に反射照明装置２０が配置されている。ここで、反射照明装置２０は、光ファイバ等から構成される光源１８、拡散板Ｇ６及び可動レンズＧ５からなる瞳位置補正光学系１６、視野絞り（視野絞り面１０ｃ）、結像レンズ１５、並びに、ハーフミラー１９がこの順で光軸上に並んで構成されており、ズーム顕微鏡３０の光学系の光軸と反射照明装置２０の光学系の光軸とが直交し、これらの光軸が直交する位置にハーフミラー１９が位置するように配置されている。なお、このような構成のズーム顕微鏡３０においては、アフォーカルズーム系１３のズーミングによる瞳位置移動のため、クリティカル照明状態に近づく状況、即ち、瞳位置補正光学系の可動レンズＧ５だけでは、瞳面位置の完全な補正ができない状況が生じるため、上記拡散板Ｇ６が、光源１８のファイバ面の構造を見えなくするために設けられている。
【００１２】
光源１８から放射された光は瞳位置補正光学系１６の拡散板Ｇ６で拡散され、可動レンズＧ５により視野絞り面１０ｃを一様に通過して結像レンズ１５により平行光束に変換され、ハーフミラー１９に入射する。ハーフミラー１９は、一部の光を反射し、残りの光を透過する光学部材であり、このハーフミラー１９で反射された光は、アフォーカルズーム系１３及び開口絞り１２を通過して対物レンズ１１で集光され、標本面１０ａに照射される。そして、この標本面１０ａで反射した光は、対物レンズ１１、開口絞り１２及びアフォーカルズーム系１３を通過して平行光束になり、ハーフミラー１９に入射して一部の光が反射され、残りの光が透過し、透過した光が第二対物レンズ１４で集光されて、像面１０ｂに標本面１０ａの像が結像される。
【００１３】
このようなズーム顕微鏡３０において、アフォーカルズーム系１３及び結像レンズ１５による開口絞り１２の共役関係を考える。このとき、開口絞り１２のアフォーカルズーム系１３及び結像レンズ１５による像位置がアフォーカルズーム系１３のズーム倍率に依らず視野絞り面１０ｃから同じ位置にあれば、可動レンズＧ５を介して光源１８の光源面（光ファイバ面又は拡散板面）と一致し、いわゆるケーラー照明となり良好な照明を行うことができる。ところが、一般にズーミングにより開口絞り１２の像位置は移動してしまう。例えば、低倍側が１倍で、８倍のズーム比を有するズーム顕微鏡の場合、ズーム倍率が１倍のときの開口絞り１２の像位置が視野絞り面１０ｃを起点として光源方向に４０ｍｍとなるときに、ズーム倍率が８倍のときには４００ｍｍとなるものがある。そのため、可動レンズＧ５が固定のとき、図２に示した光線の通り方から判るように、ズーム倍率の変化により開口絞り１２の像位置が変化するため、実際に使用する光源面（ファイバ面）ＬＳの位置（大きさ方向）と、開口絞り１２のアフォーカルズーム系１３から可動レンズＧ５に到る光学系による像である照明光学系の射出瞳位置とが大きく異なることになる。
【００１４】
このように、照明装置を構成する光学系の設計においては、射出瞳位置の変化を考慮しながら対処する必要がある。ズーミングによる射出瞳位置変化の影響により、照明装置としてはケーラー照明に近い場合からクリティカル照明に近い場合までどちらとも言えない中間の状態を含めて変化してしまう。従って、光源には、配光角特性の一様性及び発光面の一様性の双方が求められる。ケーラー照明では発光面の一様性は必ずしも必要なく、クリティカル照明では角度特性の一様性は必ずしも必要でないが、ズーミングの状態によっては中間的な状況となるため双方が必要となる。
【００１５】
そこでこのズーム顕微鏡３０に用いられている反射照明装置２０は、アフォーカルズーム系１３の倍率に応じて瞳位置補正光学系１６の可動レンズ（図１においては可動レンズＧ５）を光軸に沿って移動させることにより、瞳位置がほぼ一定となる補正を行うように構成されている。具体的には、コントローラ４０を設け、このコントローラ４０がアフォーカルズーム系１３の倍率を設定するとともに、その倍率に応じて瞳位置補正光学系１６の可動レンズＧ５を移動させるように構成されている。
【実施例】
【００１６】
以下に、瞳位置補正光学系の具体的な実施例について説明するが、その前に、この瞳位置補正光学系で瞳位置が補正されるアフォーカルズーム系１３について説明する。このアフォーカルズーム系１３は、一例として図３に示すように、開口絞り面ＳＰ（上述の開口絞り１２に相当）側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１と両凸レンズＬ２とが貼り合わされたレンズ及び物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３からなる第１レンズ群Ｇ１と、両凹レンズＬ４、両凸レンズＬ５と両凹レンズＬ６とが貼り合わされたレンズ及び両凹レンズＬ７からなる第２レンズ群Ｇ２と、両凸レンズＬ８及び両凸レンズＬ９と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１０とが貼り合わされたレンズからなる第３レンズ群Ｇ３と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１２とが貼り合わされたレンズからなる第４レンズ群Ｇ４と、鏡筒胴付面ＰＬから構成され、第２レンズ群Ｇ２及び第３レンズ群Ｇ３を光軸に沿って移動させることにより、ズーム倍率（アフォーカル倍率）を変更可能に構成されている。
【００１７】
表１にこのアフォーカルズーム系１３における各レンズの諸元を示す。この表１において、ｍは面番号を示し、ｒはレンズ面の曲率半径を示し、ｄはレンズ面の間隔を示し、νｄは各レンズ硝材のアッベ数を示し、ｎｄはｄ線に対する屈折率を示しており、後述する瞳位置補正光学系の諸元においても同様である。また、ｆはこのアフォーカルズーム系１３全体の焦点距離を示している。ここで、この表１における面番号ｍに示す１〜２６はこのアフォーカルズーム系１３に関するものであり、図３における符号１〜２２に対応している。なお、この表１には、上述の図３に示していない結像レンズ１５及び視野絞り面ＦＳ（図１の視野絞り面１０ｃに相当）の諸元値も含んでおり、面番号２３〜２５が結像レンズ１５に対応し、面番号２６が視野絞り面ＦＳに対応する。
【００１８】
また、以下のすべての諸元値において掲載されている焦点距離ｆ、曲率半径ｒ、面間隔ｄその他の長さの単位は、特記の無い場合一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「ｍｍ」に限定されることはなく、他の適当な単位を用いることもできる。
【００１９】
（表１）
ｍ        ｒ            ｄ        νｄ      ｎｄ
d0
1        ∞         15.0000                            ＳＰ
2      120.1967      2.0000     39.57     1.80440      Ｌ１
3       48.7980      3.0000     82.56     1.49782      Ｌ２
4     -509.0866      0.5000
5       50.4610      3.0000     82.56     1.49782      Ｌ３
6     3179.8129        d1
7     -108.0082      1.5000     35.71     1.90265      Ｌ４
8       25.8194      2.0000
9       32.8474      3.5000     23.78     1.84666      Ｌ５
10      -19.0003      1.0000     60.29     1.62041      Ｌ６
11       31.8448      1.5000
12      -25.9839      1.5000     35.71     1.90265      Ｌ７
13      228.2515        d2
14      838.2380      6.0000     82.56     1.49782      Ｌ８
15      -31.9728      0.2000
16      136.9685      6.0000     82.56     1.49782      Ｌ９
17      -39.2120      2.0000     28.55     1.79504      Ｌ１０
18      -92.0449        d3
19     -339.8016      5.5000     36.24     1.62004      Ｌ１１
20      -40.8020      1.5000     39.57     1.80440      Ｌ１２
21     -124.4210      8.017
22        ∞         50.0000                            ＰＬ
23       93.0000      8.0000     60.29     1.62041      結像レンズ１５
24      -39.0000      3.0000     35.28     1.74950
25     -110.0000     96.0000
26        ∞            Bf                              ＦＳ
（可変データ）
ズーム１倍時    ズーム７．５倍時
ｆ      100.0000        750.0000
d0        0.0000          0.0000
d1        2.6024         60.3676
d2       22.8372          2.5051
d3       43.3588          5.9257
Bf       37.5000        476.0000
【００２０】
この表１に示されるように、アフォーカルズーム光学系１３の物体側１５ｍｍの位置に開口絞り面ＳＰが配置されているとき、この開口絞りのアフォーカルズーム光学系１３及び結像レンズ１５による像位置は、アフォーカルズーム光学系１３の焦点距離ｆが１００ｍｍ（１倍に相当）のとき、視野絞りＦＳの後方３７．５ｍｍ（Ｂｆ）の位置に形成され、アフォーカルズーム光学系１３の焦点距離ｆが７５０ｍｍ（７．５倍に相当）のとき、視野絞りＦＳの後方４７６．０ｍｍ（Ｂｆ）の位置に形成される。
【００２１】
（第１実施例）
図４は、第１実施例に係る瞳位置補正光学系１６を示すものであり、この構成は図１における可動レンズＧ５をアフォーカルズーム系１３のズーム倍率に応じて光軸方向に移動可能とし、射出瞳位置を光源１８の光源面ＬＳと一致或いは極力近づけるようにしたものである。図４に示す矢印の基端側が、アフォーカルズーム系１３が低倍端（例えば１倍）にあるときの可動レンズＧ５の位置を示し、この矢印の先端側が、アフォーカルズーム系１３が高倍端（例えば７．５倍）にあるときの可動レンズＧ５の位置を示している。以下の表２にこの瞳位置補正光学系１６における各レンズの諸元値を示すが、面番号ｍに示す１〜４は、図４に示す符号１〜４に対応している。なお、この表２においては、アフォーカルズーム系１３の倍率が１倍のときと７．５倍のときの諸元を示している。
【００２２】
（表２）
ズーム１倍時
ｍ        ｒ            ｄ        νｄ      ｎｄ
d0=-37.500
1        ∞         39.0000                            ＦＳ
2       21.0000      3.0000     64.10     1.51680      Ｇ５
3      -21.0000      4.0000
4        ∞        -10.0000                            ＬＳ
ズーム７．５倍時
ｍ        ｒ            ｄ        νｄ      ｎｄ
d0=-476.000
1        ∞         24.0000                            ＦＳ
2       21.0000      3.0000     64.10     1.51680      Ｇ５
3      -21.0000     19.0000
4        ∞          0.0000                            ＬＳ
【００２３】
この表２に示すように、アフォーカルズーム光学系１３のズーム倍率が１倍のときは、視野絞り面ＦＳ（面番号１）の後方３９ｍｍの位置に可動レンズＧ５（面番号２，３）が配置され、光源面ＬＳ（面番号４）の前方１０ｍｍ（ＬＳより−１０ｍｍ）のところに開口絞り１２の像、即ち、射出瞳が形成されている。一方、ズーム倍率が７．５倍のときは、視野絞り面ＦＳの後方２４ｍｍの位置に可動レンズＧ５が配置され、光源面ＬＳと、開口絞り１２の像（射出瞳）とは完全に重なっている。図５にズーム倍率が１倍のときとズーム倍率が７．５倍のときの瞳位置補正光学系１６の光束の状態を示す。この図５からも明らかなように、アフォーカルズーム光学系１３のズーム倍率が１倍のときは光源面ＬＳと上述の射出瞳位置と１０ｍｍずれており、完全に補正できてはいないが、ズーム倍率が７．５倍のときは光源面ＬＳと射出瞳位置は完全に重なりこの瞳位置補正光学系１６により補正されている。そのため、この第１実施例に係る瞳位置補正光学系１６を用いると、アフォーカルズーム光学系１３のズーム倍率によらずほぼケーラー照明状態となり、光源面ＬＳ（ファイバ面）の輝度分布に依らず良好な照明を得ることができる。なお、この第１実施例においては、上述のように、ズーム倍率が１倍の時は瞳位置を完全に補正することができないため、拡散板Ｇ６を設けることが好ましい。
【００２４】
（第２実施例）
図６は、第２実施例に係る瞳位置補正光学系１７を示しており、物体側かから順に、両凹レンズからなる第１レンズＧ７と、両凸レンズからなる第２レンズＧ８と、両凸レンズからなる第３レンズＧ９の３群で構成される。この瞳位置補正光学系１７も、上述の第１実施例と同様に視野絞り面１０ｃと光源１８との間に配置されるものであり、第１レンズＧ７は固定し、アフォーカルズーム光学系１３のズーム倍率に応じて第２レンズＧ８及び第３レンズＧ９を互いに逆方向に光軸に沿って移動させて射出瞳位置を光源面ＬＳと一致させるようにしたものである。なお、この図６においても、矢印の基端側が、アフォーカルズーム系１３が低倍端（例えば１倍）にあるときの第２及び第３レンズＧ８，Ｇ９の位置を示し、この矢印の先端側が、アフォーカルズーム系１３が高倍端（例えば７．５倍）にあるときの第２及び第３レンズＧ８，Ｇ９の位置を示している。以下の表３にこの瞳位置補正光学系１７における各レンズの諸元値を示すが、面番号ｍに示す１〜８は、図６に示す符号１〜８に対応している。なお、この表３においても、アフォーカルズーム系１３の倍率が１倍のときと７．５倍のときの諸元を示している。
【００２５】
（表３）
ズーム１倍時
ｍ        ｒ            ｄ        νｄ      ｎｄ
d0=-37.500
1        ∞         10.0000                            ＦＳ
2      -24.0000      2.0000     53.88     1.71300      Ｇ７
3       24.0000      1.0000
4      370.0000      3.0000     53.88     1.71300      Ｇ８
5      -27.0000     35.5000
6       27.0000      3.0000     53.88     1.71300      Ｇ９
7     -370.0000     22.5000
8        ∞          0.0000                            ＬＳ
ズーム７．５倍時
ｍ        ｒ            ｄ        νｄ      ｎｄ
d0=-476.000
1        ∞         10.0000                            ＦＳ
2      -24.0000      2.0000     53.88     1.71300      Ｇ７
3       24.0000      8.0000
4      370.0000      3.0000     53.88     1.71300      Ｇ８
5      -27.0000      3.0000
6       27.0000      3.0000     53.88     1.71300      Ｇ９
7     -370.0000     48.0000
8        ∞          0.0000                            ＬＳ
【００２６】
この表３に示すように、アフォーカルズーム光学系１３のズーム倍率が１倍のときは、視野絞り面ＦＳ（面番号１）の後方１０ｍｍの位置に第１レンズＧ７（面番号２，３）が配置され、この第１レンズＧ７の後方１ｍｍの位置に第２レンズＧ８（面番号４，５）が配置され、さらにこの第２レンズＧ８の後方３５．５ｍｍの位置に第３レンズＧ９（面番号６，７）が配置される。一方、ズーム倍率が７．５倍のときは、同様に視野絞り面ＦＳの後方１０ｍｍの位置に第１レンズＧ７が配置され、この第１レンズＧ７の後方８ｍｍの位置に第２レンズＧ８が配置され、さらにこの第２レンズＧ８の後方３ｍｍの位置に第３レンズＧ９が配置される。そして、どちらのズームポジションでも光源面ＬＳ（面番号８）と射出瞳位置は、瞳共役位置に完全に重なっている。図７にズーム倍率が１倍のときと７．５倍のときの瞳位置補正光学系１７の光束の状態を示す。この図５からも明らかなように、この第２実施例に係る瞳位置補正光学系１７を用いると、アフォーカルズーム光学系１３のズーム倍率によらずケーラー照明状態となり、光源面ＬＳ（ファイバ面）の輝度分布に依らず良好な照明を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】ズーム顕微鏡の構成を示す説明図である。
【図２】アフォーカルズーム光学系の倍率の変化による射出瞳位置の変化を示す説明図であり、（ａ）はズーム１倍のときを示し、（ｂ）はズーム７．５倍のときを示す。
【図３】アフォーカルズーム光学系のレンズ構成示す断面図である。
【図４】第１実施例に係る瞳位置補正光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図５】上記第１実施例に係る瞳位置補正光学系よる射出瞳位置の状態を示す説明図であり、（ａ）はズーム１倍のときを示し、（ｂ）はズーム７．５倍のときを示す。
【図６】第２実施例に係る瞳位置補正光学系のレンズ構成を示す断面図である。
【図７】上記第２実施例に係る瞳位置補正光学系よる射出瞳位置の状態を示す説明図であり、（ａ）はズーム１倍のときを示し、（ｂ）はズーム７．５倍のときを示す。
【符号の説明】
【００２８】
１０ａ  標本面    １０ｃ  視野絞り面    １１  対物レンズ
１２  開口絞り（対物レンズの瞳）    １３  アフォーカルズーム系
１５  反射照明系結像レンズ    １６，１７  瞳位置補正光学系    １８  光源
２０  照明装置    ３０  ズーム顕微鏡    Ｇ５  可動レンズ    Ｇ６  拡散板
Ｇ７  第１レンズ    Ｇ８  第２レンズ    Ｇ９  第３レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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