(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリカガラスよりなる放電容器の内表面に、シリカ粒子を主成分とする粒子堆積体により構成された拡散反射による紫外線反射層が形成されたエキシマランプにおいて、
前記紫外線反射層の内表面には、粒子の形態が失われて一体の連続した膜状領域として構成された不純ガス透過抑制領域が形成されており、
前記不純ガス透過抑制領域が、シリカ粒子が溶融されて一体化された溶融固化領域よりなることを特徴とするエキシマランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、紫外線を照射することによって洗浄処理、成膜処理、あるいはアッシング処理などの表面処理を被処理体に行うために好適に用いられるエキシマランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば金属、ガラスおよびその他の材料よりなる被処理体に、例えば波長２００ｎｍ以下の真空紫外光を照射することにより、当該真空紫外光およびこれにより生成されるオゾンの作用によって被処理体の表面処理、例えば洗浄処理、成膜処理、アッシング処理を行う技術が開発され、実用化されている。
【０００３】
真空紫外光を照射する装置としては、例えば、エキシマ放電によってエキシマ分子を形成し、当該エキシマ分子から放射される光を利用するエキシマランプを光源として具えてなるものが用いられており、このようなエキシマランプにおいては、より高強度の紫外線を効率よく放射するために多くの試みがなされている。
具体的には、放電容器の内部に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填されて放電空間が形成されてなるエキシマランプにおいて、放電容器の内表面に、紫外線反射膜を形成することが行われており、例えば、紫外線反射膜を、紫外線に対する屈折率の高い微小粒子、例えばシリカ、アルミナ、フッ化マグネシウム、フッ化カルシウム、フッ化リチウム、酸化マグネシウムなどを積層させることにより形成する技術が開示されている（特許文献１参照）。
このエキシマランプにおいては、放電容器の一部に、紫外線反射膜が形成されていないことにより放電空間内で発生した紫外線を出射する光出射窓（光出射部）が形成されている。
【０００４】
このような構成のエキシマランプにおいては、放電容器内で発生した紫外線のうち光出射窓に向かって直接放射されない紫外線が紫外線反射膜に入射されて紫外線反射膜を構成する微小粒子の粒界において拡散反射されて、すなわち、複数の微小粒子の表面での屈折、反射が繰り返し行われて、光出射窓から出射され、これにより、紫外線を効率よく放射できる。
【０００５】
一方、紫外線を放射するランプにおいては、放電容器（バルブ）を構成する材料として例えばシリカガラスが広く用いられている。従って、紫外線反射膜を構成する微小粒子としては、放電容器を構成するシリカガラスとの熱膨張率の差をなくして、あるいは、極めて小さくして紫外線反射膜のシリカガラスに対する付着性を高くするために、放電容器と同じ材質のシリカ粒子またはシリカ粒子に他の材質の微小粒子を混合したシリカ粒子を主成分とする微小粒子によって形成されることが好ましい。
【０００６】
以上のようなエキシマランプを紫外線処理装置に組み込んで紫外線照射処理を行う場合には、エキシマランプの温度が高くなりすぎると、エキシマ放電の発光効率が低下するため、通常、例えば管壁負荷が０．８Ｗ／ｃｍ2 より小さくなるランプ入力電力で使用される。ここに、管壁負荷とは、ランプ入力電力を電極面積に相当する放電容器内面の面積で割った値である。
【０００７】
【特許文献１】特許第３５８０２３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
而して、シリカ粒子を主成分とする紫外線反射膜を備えたエキシマランプにおいては、長時間の間点灯させていると、照度維持率が経時的に徐々に低下するため、例えば洗浄処理などの表面処理を行う場合において、一定の照度で処理をしようとしても、エキシマランプの処理能力が点灯時間とともに変化するという、問題が起こる。
【０００９】
このような問題が生ずる理由としては、放電空間内に充填された放電用ガス中に不純ガスが混入するためであると考えられる。
不純ガスは、主に、酸素、水素、一酸化炭素、水等の分子ガスであるが、これらの不純ガスが、例えばシリカガラスよりなる放電容器（ガラスバルブ）の表面に吸着されており、放電空間内において生成される放電プラズマにさらされて加熱されることによって放電空間内に放出される。特に、紫外線反射膜が微小粒子から構成されている場合には、実質的に平坦な放電容器の表面よりも表面積が大きくなるため、より多くの不純ガスが吸着されていると考えられ、このような問題が生じやすい。
そして、紫外線反射膜の内部に位置される微小粒子から放出される不純ガスは、積層（堆積）された粒子間の狭い隙間を通って、隙間を形成する粒子に対して、不純ガスの付着、再放出が繰り返されながら、紫外線反射膜の表面近傍にまで移動することになるが、紫外線反射膜の表面から放電空間内に放出されるまでに比較的長い時間を要し、ランプ点灯中の長時間の間にわたって不純ガスが放出され続けることになる。
【００１０】
一方、ランプ製造工程においては、放電容器（ガラスバルブ）の表面に吸着された不純ガスを除去するために、いわゆる「温排気」という処理が行われる。この処理は、バルブ形成材料の内部に紫外線反射膜を形成した後、バルブ形成材料に形成された排気管を真空装置に接続し、バルブ形成材料を加熱することによりバルブ形成材料の表面に吸着されている不純ガスをバルブ形成材料の内部の空気と共に排気する工程である。
不純ガスを除去するために必要とされる温排気に要する時間は、紫外線反射膜が形成されていないエキシマランプであれば、数時間程度であるのに対して、微小粒子の堆積体により構成された紫外線反射膜が形成されたエキシマランプ、特にサイズの大きなエキシマランプにおいては、上述したように、より多くの不純ガスが吸着されているおそれがあることから、長時間の温排気を行うことが必要となる場合がある。
しかしながら、このような長時間の温排気は、コストがかかると共に不可能であるため、実際には、数時間〜数十時間程度の温排気しか行われておらず、十分な不純ガスの除去が行われていないのが実情である。
【００１１】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、紫外線反射層を備えてなり、長時間点灯された場合であっても、照度の低下の程度が小さく抑制され、真空紫外光を効率よく出射することのできるエキシマランプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のエキシマランプは、シリカガラスよりなる放電容器の内表面に、シリカ粒子を主成分とする粒子堆積体により構成された拡散反射による紫外線反射層が形成されたエキシマランプにおいて、
前記紫外線反射層の内表面には、粒子の形態が失われて一体の連続した膜状領域として構成された不純ガス透過抑制領域が形成されており、
前記不純ガス透過抑制領域が、シリカ粒子が溶融されて一体化された溶融固化領域よりなることを特徴とする。
ここに、「シリカ粒子を主成分とする」とは、紫外線反射層に含まれるシリカ粒子の割合が５０ｗｔ％以上であることをいう。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のエキシマランプによれば、シリカ粒子を主成分とする粒子堆積体よりなる紫外線反射層の内表面に、シリカ粒子の形態が失われて一体の連続した膜状領域として構成された不純ガス透過抑制領域が形成されていることにより、紫外線反射層の内表面部分においては、隣接する粒子間の隙間が消失された状態とされているので、不純ガスが放電空間内に放出されるその程度を小さく抑制することができ、従って、エキシマランプを長時間点灯させた場合であっても、照度の低下を小さく抑制することができ、真空紫外光を効率よく出射することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は、本発明のエキシマランプの一例における構成の概略を示す説明用断面図であって、（ａ）放電容器の長手方向に沿った断面を示す断面図、（ｂ）（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。
このエキシマランプ１０は、両端が気密に封止されて内部に放電空間Ｓが形成された、断面矩形状の中空長尺状の放電容器１１を備えており、この放電容器１１の内部には、放電用ガスとして、例えばキセノンガスなどの希ガスが封入されている。
放電容器１１は、真空紫外光を良好に透過するシリカガラス、例えば合成石英ガラスよりなる。
【００１６】
放電容器１１における長辺面の外表面には、一対の格子状の電極、すなわち、高電圧給電電極として機能する一方の電極１５および接地電極として機能する他方の電極１６が長尺な方向に伸びるよう対向して配置されており、これにより、一対の電極１５，１６間に誘電体である放電容器１１が介在された状態とされている。
このような電極は、例えば、金属よりなる電極材料を放電容器１１にペースト塗布することにより、あるいは、プリント印刷することによって形成することができる。
【００１７】
このエキシマランプ１０においては、一方の電極１５に点灯電力が供給されると、放電容器１１の壁を介して両電極１５，１６間に放電が生成され、これにより、エキシマ分子が形成されると共にこのエキシマ分子から例えば波長１７０ｎｍ付近にピーク値を有する真空紫外光が放射されるエキシマ放電が生ずるが、このエキシマ放電によって発生する真空紫外光を効率良く利用するために、放電容器１１の内表面に、紫外線反射層２０が設けられている。
紫外線反射層２０は、例えば、放電容器１１における長辺面の、高電圧給電電極として機能する一方の電極１５に対応する内表面領域とこの領域に連続する短辺面の内表面領域の一部にわたって形成されており、放電容器１１における長辺面の、接地電極として機能する他方の電極１６に対応する内表面領域において紫外線反射層２０が形成されていないことによって光出射窓（光出射部）１８が構成されている。
【００１８】
紫外線反射層２０は、シリカ粒子を主成分とする粒子堆積体により構成されており、シリカ粒子のみからなるものであっても、シリカ粒子に、例えばアルミナ粒子およびその他の紫外線に対して高い屈折率を有する微小粒子が混在されてなるものであってもよい。
【００１９】
紫外線反射層２０の構造について具体的に説明すると、紫外線反射層２０は、その内表面における少なくとも一部に形成された、例えばシリカ粒子が溶融されることによりその形態が失われて一体の連続した膜状領域として構成された溶融固化領域と、シリカ粒子の形態が維持されて粒界が形成された状態でシリカ粒子が積層されてなる粒子積層領域と、シリカ粒子の形態が維持されたものと溶融されたものとが混在する遷移領域とを有してなる。
溶融固化領域においては、隣接するシリカ粒子間の隙間が消失した状態とされており、これにより、不純ガス透過抑制領域が形成されている。
【００２０】
紫外線反射層２０の厚みは、例えば１０〜１０００μｍであることが好ましい。
また、溶融固化領域の厚みは、例えば０．１〜５μｍであることが好ましく、より好ましくは０．５〜３μｍである。
溶融固化領域の厚みが過小である場合には、十分な不純ガス放出抑制効果を得ることが困難となり、溶融固化領域の厚みが過大である場合には、紫外線反射層２０の反射率が低下して紫外線を効率よく出射することが困難となる。
【００２１】
この紫外線反射層２０は、放電容器１１内で発生した真空紫外線のうち光出射窓１８に向かって直接放射されずに紫外線反射層２０に入射される真空紫外線を「拡散反射」させる機能を有する。
すなわち、紫外線反射層２０に入射される真空紫外線が、シリカ粒子が溶融されて粒界が消失した状態とされた溶融固化領域を透過し、その後、粒子積層領域におけるシリカ粒子に到達した真空紫外光の一部がシリカ粒子の表面で反射されると共に他の一部が屈折してシリカ粒子の内部に入射され、さらに、シリカ粒子の内部に入射される光の多くが透過（一部が吸収）され、再び、出射される際に屈折される、このような反射、屈折が粒子積層領域を構成するシリカ粒子による粒界において繰り返し起こり、再び、溶融固化領域を透過して出射される。
【００２２】
紫外線反射層２０を構成するシリカ粒子は、ガラス状態のものであっても、結晶状態のものであっても、いずれの状態のものであってもよいが、ガラス状態のものを用いることが好ましく、例えばシリカガラスを粉末状に細かい粒子としたものなどを用いることができる。
【００２３】
シリカ粒子は、以下のように定義される粒子径が例えば０．０１〜２０μｍの範囲内にあるものであって、中心粒径（数平均粒子径のピーク値）が、例えば０．１〜１０μｍであるものが好ましく、より好ましくは０．３〜３μｍであるものである。
シリカ粒子の「粒子径」とは、紫外線反射層２０をその表面に対して垂直方向に破断したときの破断面における、厚み方向におけるおよそ中間の位置を観察範囲として、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によって拡大投影像を取得し、この拡大投影像における任意の粒子を一定方向の２本の平行線で挟んだときの当該平行線の間隔であるフェレー（Ｆｅｒｅｔ）径をいう。
また、中心粒径を有するシリカ粒子の割合が５０％以上であることが好ましい。
シリカ粒子の「中心粒径」とは、上記のようして得られる各粒子の粒子径についての最大値と最小値との粒子径の範囲を、例えば０．１μｍの範囲で、複数の区分例えば１５区分程度に分け、それぞれの区分に属する粒子の個数（度数）が最大となる区分の中心値をいう。
【００２４】
紫外線反射層２０を構成材料として用いられるその他の微小粒子については、上記のように定義される粒子径が例えば０．１〜１０μｍの範囲内にあるものであって、中心粒径（数平均粒子径のピーク値）が、例えば０．１〜３μｍであり、中心粒径を有する粒子の割合が例えば５０％以上であるものであることが好ましい。
【００２５】
シリカ粒子およびその他の微小粒子が、真空紫外光の波長と同程度である上記範囲の粒子径を有するものであることにより、真空紫外光を効率よく拡散反射させることができる。
【００２６】
以下、上記紫外線反射層２０の形成方法について説明する。
先ず、例えば「流下法」と呼ばれる方法により、放電容器形成材料の内表面における所定の領域に、シリカ粒子を主成分とする粒子堆積層を形成する。すなわち、水とＰＥＯ樹脂（ポリエチレンオキサイド）を組み合わせた粘性を有する溶剤に、シリカ粒子、または、シリカ粒子およびその他の紫外線に対して高い屈折率を有する微小粒子を混ぜて分散液を調製し、この分散液を放電容器形成材料内に流し込むことにより、放電容器形成材料の内表面における所定の領域に付着させた後、乾燥、焼成することにより水とＰＥＯ樹脂を蒸発させ、これにより、粒子堆積層を形成することができる。ここに、焼成温度は、例えば５００〜１１００℃とされる。
紫外線反射層２０を形成するに際して用いられるシリカ粒子の製造は、固相法、液相法、気相法のいずれの方法も利用することができるが、これらのうちでも、サブミクロン、ミクロンサイズの粒子を確実に得ることができることから、気相法、特に化学蒸着法（ＣＶＤ）が好ましい。
具体的には、例えば、シリカ粒子は、塩化ケイ素と酸素を９００〜１０００℃で反応させることにより、合成することができ、粒子径は、原料濃度、反応場での圧力、反応温度を制御することにより調整することができる。
【００２７】
得られた粒子堆積層においては、図２−Ａに示すように、シリカ粒子、または、シリカ粒子およびその他の微小粒子は出発材料の形態、例えば球形状が実質的に維持された状態とされている。ここに、「実質的に」としたのは、上述したように、粒子堆積層を形成するに際して高温で加熱する処理が行われるため、シリカ粒子のごく一部においてシリカ粒子同士の接触部の接合が生じる場合があるためである。
【００２８】
次いで、得られた粒子堆積層の内表面部分におけるシリカ粒子のみを溶融させて溶融固化領域を形成する「溶融固化処理」を行う。
この溶融固化処理は、例えば粒子堆積層が形成された放電容器材料全体を単に高温で加熱するのであれば、粒子堆積層を構成するすべてのシリカ粒子が溶融されて粒界が消失されてしまい、得られる紫外線反射層の拡散反射による反射機能が得られなくなるため、例えば、定格点灯時におけるランプ入力電力（例えば紫外線処理装置の光源として用いられる場合におけるランプ入力電力）より高いランプ入力電力で、所定時間の間連続点灯させることにより、放電プラズマの熱によって粒子堆積層の内表面部分におけるシリカ粒子のみを溶融させるものである。
ここで述べている「シリカ粒子が溶融した状態」とは、シリカ粒子の出発材料形状が失われて形状が無定形となり、隣接するシリカ粒子同士の接合箇所が明らかに判別されることをいう。
溶融固化処理の処理条件（ランプ点灯条件）は、例えば、ランプ入力電力が管壁負荷が１．５〜３Ｗ／ｃｍ2 となる大きさであり、点灯時間が１〜５０時間である。
【００２９】
このような溶融固化処理が行われることにより、図２−Ｂに示すように、放電プラズマの作用を受けた粒子堆積層の内表面部分におけるシリカ粒子が溶融されて一体の連続した膜状領域として構成された、すなわち、シリカ粒子間の隙間が消失された状態とされた溶融固化領域が形成されると共に、放電プラズマの作用を受けない粒子堆積層の内部部分におけるシリカ粒子の形態が維持されて粒界が維持された粒子積層領域が形成され、これにより、上記紫外線反射層２０が形成される。
溶融固化領域が形成された箇所においては、紫外線反射層２０の内部（粒子積層層領域における粒子間の隙間）と放電空間とが連通しなくなり、不純ガス放出抑制効果が得られる。
なお、放電プラズマの作用を受けない箇所においては、溶融固化領域は形成されないが、当該箇所は、エキシマランプの使用時においても放電プラズマにさらされて加熱されることがないので、実用上問題はない。
【００３０】
上記溶融固化処理は、ランプ製造工程における温排気後、放電容器形成材料を封止する前に、あるいは、放電用ガスを注入して放電容器形成材料を封止した後に、行うことができるが、温排気後、放電容器形成材料を封止する前に行うことが好ましい。この理由は、温排気が行われてから、放電容器形成材料が封止された後に行う場合には、不純ガスを十分に除去するために温排気を長時間行うことが必要となり、温排気が不十分であると、放電プラズマにより粒子堆積層の表面に吸着された不純ガスが放出されるおそれがあるからである。
溶融固化処理を温排気後に行う場合には、粒子堆積層が形成された放電容器材料が真空装置に接続された状態（温排気が行われた後の状態）において、放電用ガスを放電容器形成材料内に注入し、真空装置との接続部のバルブ（弁）を閉めた状態において、上記溶融固化処理が行われ、その後、バルブを開けて放電容器材料内のガスを再び排気した後、新たな放電用ガスを注入して放電容器形成材料が封止される。
なお、溶融固化処理を行うために設けられる電極は、そのままランプ完成後の製品として用いてもよく、もしくは、溶融固化処理終了後に電極を取り外して、新たに別の電極を取り付けてもよい。
【００３１】
而して、上記構成のエキシマランプ１０によれば、シリカ粒子を主成分とする粒子堆積体よりなる紫外線反射層２０の内表面に、シリカ粒子が例えば溶融されることによりその形態が失われて一体の連続した膜状領域として構成された溶融固化領域よりなる不純ガス透過抑制領域が形成されていることにより、紫外線反射層２０の内表面部分においては、隣接する粒子間の隙間が消失された状態とされているので、不純ガスが放電空間内に放出されるその程度を小さく抑制することができ、従って、エキシマランプ１０を長時間点灯させた場合であっても、照度低下の程度を小さく抑制することができ、真空紫外光を効率よく出射することができる。
【００３２】
以下、本発明の効果を確認するために行った実験例を示す。
＜実験例＞
図１（ａ）、（ｂ）に示す構成に従って、紫外線反射層の構成材料が下記表１に従って変更されたことの他は同一の構成を有する２種類のエキシマランプ（以下、「ランプ１」，「ランプ２」とする。）を作製した。ランプ１およびランプ２の基本構成は以下に示す通りである。
〔エキシマランプの基本構成〕
放電容器は、材質がシリカガラスであって、寸法が１５×４２×３５０ｍｍ、肉厚が２．５ｍｍであるものである。
放電容器内に封入される放電用ガスは、キセノンガスであり、その封入量は４０ｋＰａである。
高電圧供給電極および接地電極の寸法は、３０×３００ｍｍである。
紫外線反射層は、先ず、粒子堆積層を、流下法によって、焼成温度を１１００℃として、４０μｍの厚さで放電容器形成材料における一方の長辺面の内表面領域とこの領域に連続する短辺面の内表面領域の一部にわたって形成し、温排気後に、放電容器材料を真空装置に接続した状態において、適量のキセノンガスを放電容器形成材料内に注入し、真空装置との接続部のバルブ（弁）を閉めた状態において、管壁負荷が２．５Ｗ／ｃｍ2 となるランプ入力電力で１５時間連続点灯させる溶融固化処理を行うことにより、得られたものであり、溶融固化領域の厚さが２μｍ程度である。
【００３３】
また、紫外線反射層を形成するに際して溶融固化処理を行わなかったこと、すなわち、紫外線反射層が粒子堆積層により構成されていることの他はランプ１と同様の構成を有する比較用のエキシマランプ（以下、「比較用ランプ１」とする。）を作製した。
【００３４】
以上において、シリカ粒子およびアルミナ粒子の粒子径は、出発材料の粒子径ではなく、紫外線反射層の粒子積層領域における粒子径であって、シリカ粒子の粒子径およびアルミナ粒子の粒子径は、日立製電界放射型走査電子顕微鏡「Ｓ４１００」を用いて、加速電圧を２０ｋＶとし、拡大投影像における観察倍率を、粒子径が０．０５〜１μｍである粒子については２００００倍、粒子径が１〜１０μｍである粒子については２０００倍として、測定した。
【００３５】
【表１】
0005050824.tif 000002
【００３６】
ランプ１，ランプ２および比較用ランプ１の各々について、放電容器の管壁負荷が０．８Ｗ／ｃｍ2 となる条件で点灯させ、点灯直後と、一定の管壁負荷で５００時間連続点灯させた後における、波長１５０〜２００ｎｍの波長域のキセノンエキシマ光の照度を測定し、照度変化（初期照度との相対値）、すなわち、〔（５００時間点灯後の発光強度）／（点灯直後の発光強度）〕を算出した。結果を下記表２に示す。
照度測定は、図３に示すように、アルミニウム製容器３０の内部に配置されたセラミックス製の支持台３１上に、エキシマランプ１０を固定すると共に、エキシマランプ１０の表面から１ｍｍ離れた位置において、エキシマランプ１０に対向するよう紫外線照度計３５を固定し、アルミニウム製容器３０の内部雰囲気を窒素で置換した状態において、エキシマランプ１０の電極１５，１６間に６．０ｋＶの交流高電圧を印加することにより、放電容器１１の内部に放電を発生させ、他方の電極（接地電極）１６の網目を介して放射されるキセノンエキシマ光の照度を測定した。
【００３７】
【表２】
0005050824.tif 000003
【００３８】
以上の結果より、溶融固化領域が形成された紫外線反射層を備えたランプ１およびランプ２によれば、照度低下の程度を小さく抑制すること、すなわち、９５％以上の高い照度維持率を得ることができ、紫外光を長時間の間にわたって効率よく出射することができることが確認された。
これに対して、比較用ランプ１においては、製品の規格として要求される場合がある、例えば９０％以上の照度維持率を得ることができないことが確認された。この理由は、発光色としてＸｅＯの可視緑色の光が確認できたことから、エキシマランプが長時間点灯されてエキシマランプの温度が高温となることによって、不純ガスが放電空間内に放出され、エキシマ分子による発光効率を低下させたためであると考えられる。
【００３９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、紫外線反射層は、その内表面の全域に不純ガス透過抑制領域が形成されたものである必要はなく、一部の領域にのみ形成されたものであっても、不純ガス放出抑制効果を得ることができる。
また、紫外線反射層における不純ガス透過抑制領域は、適宜の溶剤によってシリカ粒子が化学的に溶融されて一体の膜状領域として構成されてなるものであってもよい。
【００４０】
さらに、本発明は、上記構成のエキシマランプに限定されるものではなく、図４に示すような、二重管構造のエキシマランプや、図５に示すような、いわゆる「角型」のエキシマランプにも適用することができる。
図４に示すエキシマランプ５０は、シリカガラスよりなる円筒状の外側管５２と、この外側管５２内においてその管軸に沿って配置された、当該外側管５２の内径より小さい外径を有する例えばシリカガラスよりなる円筒状の内側管５３とを有し、外側管５２と内側管５３とが両端部において溶融接合されて外側管５２と内側管５３との間に環状の放電空間Ｓが形成されてなる二重管構造の放電容器５１を備えており、例えば金属よりなる一方の電極（高電圧供給電極）５５が内側管５３の内周面に密接して設けられていると共に、例えば金網などの導電性材料よりなる他方の電極５６が外側管５２の外周面に密接して設けられており、放電空間Ｓ内に、例えばキセノンガスなどのエキシマ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されて、構成されている。
このような構成のエキシマランプ５０においては、例えば放電容器５１の内側管５３の内表面における全周にわたって上記紫外線反射層２０が設けられると共に、外側管５２の内表面に、光出射窓（光出射部）５８を形成する一部分の領域を除いてシリカ粒子とアルミナ粒子とからなる紫外線反射層２０が設けられる。
このような構成のエキシマランプ５０の一構成例を示すと、外側管５２の内径が２４ｍｍ、内側管５３の外径が１６ｍｍ、全長が３５０ｍｍ、肉厚が１ｍｍである。
【００４１】
また、図５に示すエキシマランプ４０は、例えば合成シリカガラスよりなる断面長方形の放電容器４１を備えてなり、放電容器４１の互いに対向する一対の壁の外表面に金属よりなる一対の外側電極４５，４５が放電容器４１の管軸方向に延びるように配設されると共に、放電用ガスである例えばキセノンガスが放電容器４１内に充填されている。
このような構成のエキシマランプ４０においては、放電容器４１の内表面における、各々の外側電極４５，４５に対応する領域およびこれらの領域に連続する一方の内面領域にわたって、上記紫外線反射層２０が設けられ、紫外線反射層２０が設けられていないことにより光出射窓（光出射部）４４が形成されている。
このような構成のエキシマランプ４０の一構成例を示すと、放電容器の寸法が１４×３４×１５０ｍｍ、肉厚が２．５ｍｍである。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明のエキシマランプの一例における構成の概略を示す説明用断面図であって、（ａ）放電容器の長手方向に沿った断面を示す断面図、（ｂ）（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図２−Ａ】本発明のエキシマランプにおける紫外線反射層の形成工程において、溶融固化処理が行われる前の粒子堆積層の表面を示す電子顕微鏡写真である。
【図２−Ｂ】本発明のエキシマランプにおける紫外線反射層の形成工程において、溶融固化処理が行われた後の粒子堆積層の表面を示す電子顕微鏡写真である。
【図３】実験例におけるエキシマランプの照度の測定方法を説明するための断面図である。
【図４】本発明のエキシマランプの他の例における構成の概略を示す説明用断面図であって、（ａ）放電容器の長手方向に沿った断面を示す断面図、（ｂ）（ａ）におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】本発明のエキシマランプのさらに他の例における構成の概略を示す説明用断面図であって、（ａ）放電容器の長手方向に沿った断面を示す断面図、（ｂ）（ａ）におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０  エキシマランプ
１１  放電容器
１５  一方の電極（高電圧供給電極）
１６  他方の電極（接地電極）
１８  光出射窓（光出射部）
２０  紫外線反射層
３０  アルミニウム製容器
３１  支持台
３５  紫外線照度計
４０  エキシマランプ
４１  放電容器
４４  光出射窓（光出射部）
４５  外側電極
５０  エキシマランプ
５１  放電容器
５２  外側管
５３  内側管
５５  一方の電極（高電圧供給電極）
５６  他方の電極
５８  光出射窓（光出射部）
Ｓ  放電空間
【図１】
0005050824.tif 000004
【図３】
0005050824.tif 000005
【図４】
0005050824.tif 000006
【図５】
0005050824.tif 000007
【図２−Ａ】
0005050824.tif 000008
【図２−Ｂ】
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