(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、
供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、
エッチング工程の後に、前記積層体から前記樹脂製シートを除去する工程と、を備え、
前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂シートが分離されていく
ことを特徴とする蒸着マスクの製造方法。
【請求項２】
前記積層体は、前記他方向に沿って供給される
ことを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項３】
前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成され、これにより、多面付可能な蒸着マスクが製造される
ことを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項４】
前記積層体を供給する工程において、ＵＶ光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射して、前記金属製シートと前記樹脂製シートとを分離させる
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項５】
前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給する
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
【請求項６】
蒸着マスクと、蒸着マスクと固定されたフレームと、を備えた蒸着マスク装置の製造方法において、
樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、
供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、
エッチング工程の後に、前記積層体の前記金属製シートに前記フレームを取り付ける工程と、
前記フレームを取り付けられた前記積層体から前記樹脂製シートを除去する工程と、を備え、
前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂シートが分離されていく
ことを特徴とする蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項７】
蒸着マスクと、蒸着マスクと固定されたフレームと、を備えた蒸着マスク装置の製造方法において、
樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、
供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、
エッチング工程の後に、前記積層体から前記樹脂製シートを除去する工程と、
前記樹脂製シートを除去した後に、前記金属製シートに前記フレームを取り付ける工程と、を備え、
前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂シートが分離されていく
ことを特徴とする蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項８】
前記積層体は、前記他方向に沿って供給される
ことを特徴とする請求項６または７に記載の蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項９】
前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成され、これにより、多面付可能な蒸着マスク配置が製造される
ことを特徴とする請求項６乃至８のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項１０】
前記積層体を供給する工程において、ＵＶ光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、接着層にＵＶ光を照射して、金属製シートと樹脂製シートとを分離させる
ことを特徴とする請求項６乃至９のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項１１】
前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給する
ことを特徴とする請求項６乃至１０のいずれか一項に記載の蒸着マスク装置の製造方法。
【請求項１２】
多数の孔を形成された蒸着マスクに用いられるシート状部材を製造する蒸着マスク用シート状部材の製造方法において、
樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、
供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、
エッチング工程の後に、前記積層体から前記樹脂製シートを除去する工程と、を備え、
前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂シートが分離されていく
ことを特徴とする蒸着マスク用シート状部材の製造方法。
【請求項１３】
前記積層体は、前記他方向に沿って供給される
ことを特徴とする請求項１２に記載の蒸着マスク用シート状部材の製造方法。
【請求項１４】
前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成され、これにより、多面付可能な蒸着マスクに用いられるシート状部材が製造される
ことを特徴とする請求項１２または１３に記載の蒸着マスク用シート状部材の製造方法。
【請求項１５】
前記積層体を供給する工程において、ＵＶ光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給され、
前記樹脂製シートを除去する工程において、接着層にＵＶ光を照射して、金属製シートと樹脂製シートとを分離させる
ことを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の蒸着マスク用シート状部材の製造方法。
【請求項１６】
前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給する
ことを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか一項に記載の蒸着マスク用シート状部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクに係り、とりわけ、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる蒸着マスクに関する。
【０００２】
また、本発明は、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクを備えた蒸着マスク装置に係り、とりわけ、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる蒸着マスクを備えた蒸着マスク装置に関する。
【０００３】
さらに、本発明は、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクを製造する方法に係り、とりわけ、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる蒸着マスクの製造方法に関する。
【０００４】
さらに、本発明は、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクを備えた蒸着マスク装置を製造する方法に係り、とりわけ、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる蒸着マスクを備えた蒸着マスク装置の製造方法に関する。
【０００５】
さらに、本発明は、所望のパターンで蒸着を行うために用いられる蒸着マスクに用いられるシート状部材を製造する方法に係り、とりわけ、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる蒸着マスク用のシート状部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００６】
従来、所望のパターンで配列された孔を含む蒸着用マスクを用い、所望のパターンで薄膜を形成する方法が知られている。そして、昨今においては、例えば有機ＥＬ表示装置の製造時において有機材料を基板上に蒸着する場合等、蒸着によって極めて高精細なパターニングを行うことが強く要望されている。
【０００７】
なお、このような蒸着用マスクは、一般的に、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって金属板に孔を形成することにより、製造され得る（例えば、特許文献１）。また、エッチングによって金属板に孔を形成する場合、金属板の両方の側の面からエッチングする方法と、金属板の一方の側の面からのみエッチングする方法とがある。
【特許文献１】特開２００４−３９３１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、エッチングによって作製された蒸着マスクを用いた場合、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができないという不具合がある。この不具合の原因について調査研究を行ったところ、以下のことが確認された。
【０００９】
フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングにおいては、金属板のうちのレジスト膜で覆われていない領域から浸食が開始される。その後、浸食は、金属板の厚さ方向のみに進むのではなく、金属板の板面に沿った方向にも進む。したがって、エッチングによって先細りした孔が形成されていく。このため、金属板２の両方の側の面からエッチングを行った場合、図１１に示すように、金属板２の厚さ方向の端部以外において孔２ａ内に最も断面積（開孔面積）が小さくなる張り出し部３が形成されるようになる。そして、このような蒸着マスク１を用いて蒸着を行った場合、基板４のうちの張り出し部３の裏側に対応する領域に成膜される蒸着膜５の膜厚は安定しない。この結果、蒸着パターンの縁部がぼやけてしまう（蒸着パターンの輪郭がはっきりしない）。またそもそも、孔内に形成される張り出し部の位置や断面形状を制御すること自体が困難である。以上のことから、金属板を両方の側の面からエッチングした場合、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができない。
【００１０】
一方、金属板を上方側の面のみからエッチング処理した場合、浸食によって形成された先細り孔に、既に浸食に用いられ浸食能力が低くなったエッチング液が残留する。その後、金属板の孔が下方側の面に達した時、それまで孔内に残留していたエッチング液が下方の面から流れ出て、浸食能力の高いフレッシュなエッチング液が形成された孔内に流れ込む。このとき、断面積（開孔面積）が小さくなる孔内の下方側の領域において液圧が高くなり、孔内の下方側の領域がフレッシュなエッチング液により激しく浸食される。この結果、金属板の両側からエッチングした場合と同様に、孔内に張り出し部が形成されてしまう。
【００１１】
また、レジスト膜７を介して金属板６を下方側の面のみからエッチングした場合、図１２に示すように、浸食によって形成された先細り孔６ａが金属板６を貫通すると、上側面の孔周囲に、エッチング液８が残留することがある。結果として、残留したエッチング液によって金属板が上方側の面からも浸食が進み、金属板の両側からエッチングした場合と同様に、孔内に張り出し部が形成されてしまう。
【００１２】
これらのことから、金属板を一方側の面のみからエッチングした場合も、蒸着パターンの縁部がぼやけてしまう（蒸着パターンの輪郭がはっきりしない）。またそもそも、金属板を一方の面側からエッチングする場合、孔が貫通されてエッチング液が流れ込みはじめる際に発生する圧力により、孔の断面形状がだれてしまうことがある。そして、この場合、孔を所望の形状で精度良く形成すること自体が困難となる。この現象は、上述した高精細なパターニングを行うための蒸着マスクにおいて、より顕著となる。以上のことから、金属板を一方側の面のみからエッチングした場合も、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができない。
【００１３】
そして、本発明は、これらの知見に基づくものであって、極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを提供することを目的とする。
【００１４】
また、本発明は、極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを備えた蒸着マスク装置を提供することを目的とする。
【００１５】
さらに、本発明は、極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを製造する蒸着マスクの製造方法を提供することを目的とする。
【００１６】
さらに、本発明は、極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクを備えた蒸着マスク装置を製造する蒸着マスク装置の製造方法を提供することを目的とする。
【００１７】
さらに、本発明は、極めて高精細なパターニングを行うことを可能とする蒸着マスクに用いられるシート状部材を製造する蒸着マスク用シート状部材の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明による蒸着マスクの製造方法は、樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、エッチング工程の後に、前記積層体から前記樹脂製シートを除去する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１９】
本発明による蒸着マスクの製造方法において、前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成されるようにしてもよい。このような蒸着マスクの製造方法の前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂シートが分離されていくようにしてもよい。また、このような蒸着マスクの製造方法において、前記積層体は、前記他方向に沿って供給されるようにしてもよい。
【００２０】
また、本発明による蒸着マスクの製造方法の前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成され、これにより、多面付可能な蒸着マスクが製造されるようにしてもよい。
【００２１】
さらに、本発明による蒸着マスクの製造方法の前記積層体を供給する工程において、ＵＶ光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給され、前記樹脂製シートを除去する工程において、前記樹脂製シートにＵＶ光を照射して、前記金属製シートと前記樹脂製シートとを分離させるようにしてもよい。
【００２２】
さらに、本発明による蒸着マスクの製造方法の前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給するようにしてもよい。
【００２３】
本発明による蒸着マスクは、上述したいずれかの製造方法によって製造された蒸着マスクであって、前記蒸着マスクの一方の面から他方の面に向け、前記蒸着マスクに形成された孔の断面積がしだい小さくなっていくことを特徴とする。
【００２４】
本発明による蒸着マスクにおいて、蒸着マスクのシート面に直交する断面において、前記孔の前記一方の面側の端部および前記他方の面側の端部を結ぶ直線と、前記他方の面と、によってなされる角度が、６０°以下であるようにしてもよい。
【００２５】
本発明による蒸着マスク装置は、上述したいずれかの製造方法によって製造された蒸着マスクと、前記蒸着マスクと固定されたフレームと、を備え、前記蒸着マスクの一方の面から他方の面に向け、前記蒸着マスクに形成された孔の断面積がしだい小さくなっていくことを特徴とする。
【００２６】
本発明による蒸着マスク装置において、蒸着マスクのシート面に直交する断面において、前記孔の前記一方の面側の端部および前記他方の面側の端部を結ぶ直線と、前記他方の面と、によってなされる角度が、６０°以下であるようにしてもよい。
【００２７】
本発明による第１の蒸着マスク装置の製造方法は、蒸着マスクと蒸着マスクに固定されたフレームとを備えた蒸着マスク装置の製造方法であって、樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、エッチング工程の後に、前記積層体の前記金属製シートに前記フレームを取り付ける工程と、前記フレームを取り付けられた前記積層体から前記樹脂製シートを除去する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２８】
本発明による第２の蒸着マスク装置の製造方法は、蒸着マスクと蒸着マスクに固定されたフレームとを備えた蒸着マスク装置の製造方法であって、樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、エッチング工程の後に、前記積層体から前記樹脂製シートを除去する工程と、前記樹脂製シートを除去した後に、前記金属製シートに前記フレームを取り付ける工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２９】
本発明による第１または第２の蒸着マスク装置の製造方法の前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成されるようにしてもよい。このような蒸着マスク装置の製造方法の前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂シートが分離されていくようにしてもよい。また、このような蒸着マスク装置の製造方法において、前記積層体は、前記他方向に沿って供給されるようにしてもよい。
【００３０】
また、本発明による第１または第２の蒸着マスク装置の製造方法の前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成され、これにより、多面付可能な蒸着マスク配置が製造されるようにしてもよい。
【００３１】
さらに、本発明による第１または第２の蒸着マスク装置の製造方法の前記積層体を供給する工程において、ＵＶ光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給され、前記樹脂製シートを除去する工程において、接着層にＵＶ光を照射して、金属製シートと樹脂製シートとを分離させるようにしてもよい。
【００３２】
さらに、本発明による第１または第２の蒸着マスク装置の製造方法の前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給するようにしてもよい。
【００３３】
本発明による蒸着マスク用シート状部材の製造方法は、多数の孔を形成された蒸着マスクに用いられるシート状部材を製造する蒸着マスク用シート状部材の製造方法であって、樹脂製シートと、前記樹脂製シート上に積層された金属製シートと、を有する積層体を供給する工程と、供給される積層体をエッチングして、金属製シートに多数の孔を形成する工程と、エッチング工程の後に、前記積層体から前記樹脂製シートを除去する工程と、を備えたことを特徴とする。
【００３４】
本発明による蒸着マスク用シート状部材の製造方法の前記積層体をエッチングする工程において、一方向に沿って並べて配列された多数の孔であって、各々が前記一方向に直交する他方向に沿って延びる多数の孔が形成されるようにしてもよい。このような蒸着マスク用シート状部材の製造方法の前記樹脂製シートを除去する工程において、前記他方向に沿って、前記金属製シートと前記樹脂シートが分離されていくようにしてもよい。また、このような蒸着マスク用シート状部材の製造方法において、前記積層体は、前記他方向に沿って供給されるようにしてもよい。
【００３５】
また、本発明による蒸着マスク用シート状部材の製造方法の前記積層体をエッチングする工程において、所定のパターンで複数の孔が配置された有孔領域が金属製シートに複数形成され、これにより、多面付可能な蒸着マスクに用いられるシート状部材が製造されるようにしてもよい。
【００３６】
さらに、本発明による蒸着マスク用シート状部材の製造方法の前記積層体を供給する工程において、ＵＶ光を照射されると前記金属製シートに対する接合力が低下するようになされた樹脂製シートを含む積層体が供給され、前記樹脂製シートを除去する工程において、接着層にＵＶ光を照射して、金属製シートと樹脂製シートとを分離させるようにしてもよい。
【００３７】
さらに、本発明による蒸着マスク用シート状部材の製造方法の前記積層体を供給する工程において、前記積層体を巻き取った巻体を巻き戻して、帯状に延びる積層体を供給するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によれば、一方の面から他方の面に向けて断面積がしだい小さくなっていくとともに他方の面における形状が高精度に形成された蒸着マスクが得られる。したがって、この蒸着マスクによれば、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、図１乃至図１０を参照して本発明による蒸着マスク、蒸着マスク装置、蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク装置の製造方法、および、蒸着マスク用シート状部材の製造方法の一実施の形態について説明する。ここで図１乃至図１０は本発明の一実施の形態を説明するための図である。なお、以下の実施の形態では、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に有機発光材料を所望のパターンでガラス基板上にパターニングするために用いられる蒸着マスク（蒸着用のメタルマスク）、蒸着マスク装置、蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク装置の製造方法、および、蒸着マスク用シート状部材を例にあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる蒸着マスク（蒸着用のメタルマスク）、蒸着マスク装置、蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク装置の製造方法、および、蒸着マスク用シート状部材に対し、本発明を適用することができる。
【００４０】
まず最初に、本発明による蒸着マスクの製造方法および蒸着マスク装置の製造方法により製造され得る蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の一例について、主に図１乃至図５を参照して説明する。ここで図１は蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の一例を示す斜視図であり、図２は蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図である。
【００４１】
図１乃至図４に示すように、本実施の形態における蒸着マスク装置１０は、矩形状の金属製シートからなる蒸着マスク２０と、蒸着マスク２０の周縁部の取り付けられたフレーム１５と、を備えている。蒸着マスク２０は、多数の孔２５（図４参照）を形成された金属製のシート状部材からなっている。この蒸着マスク装置１０は、図２に示すように、蒸着マスク２０がガラス基板４２に対面するようにして、蒸着装置４０内に支持される。蒸着装置４０内には、この蒸着マスク装置１０を挟んだガラス基板４２の下方に、蒸着材料（一例として、有機発光材料）４８を収容するるつぼ４４と、るつぼ４４を加熱するヒータ４６とが配置されている。るつぼ４４内の蒸着材料４８は、ヒータ４６からの加熱により、気化または昇華してガラス基板４２の表面に付着するようになる。上述したように、蒸着マスク２０には多数の孔２５が形成されており、蒸着材料４８はこの孔２５を介してガラス基板４２に付着する。この結果、蒸着マスク２０の孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料４８がガラス基板４２の表面に成膜される。
【００４２】
図１に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク２０は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。蒸着マスク２０は、孔２５が形成された有孔領域２２と、孔２５が形成されておらず、有孔領域２２の周囲を取り囲む領域を占める無孔領域２３と、を有している。図１に示すように、各有孔領域２２は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。
【００４３】
本実施の形態において、複数の有孔領域２２は、蒸着マスク２０の一辺と平行な一方向に沿って所定の間隔を空けて配置されるとともに、前記一方向と直交する他方向に沿って所定の間隔を空けて配置されている。本実施の形態において、一つの有孔領域２２が一つの有機ＥＬディスプレイ装置に対応するようになっている。すなわち、図１に示された蒸着マスク装置１０（蒸着マスク２０）によれば、多面付蒸着が可能となっている。
【００４４】
また、図１および図３に示すように、各有孔領域２２に設けられた複数の孔２５は、当該有孔領域２２において、一方向に沿って等間隔をあけて並べて配置されている。また、各孔２５は、前記一方向に直交する他方向と平行に、有孔領域２２の一端から他端まで細長く延びている。また、図４に示すように、シート状からなる蒸着マスク２０の一方の面２０ａから他方の面２０ｂに向け、金属製シート３４のシート面に沿った断面における各孔２５の断面積がしだい小さくなっていく。ここで、図３は、蒸着マスク２０を一方の面２０ａ側から示す部分平面図であり、図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図である。
【００４５】
ところで、図５に示すように、蒸着マスク装置１０は蒸着装置４０に収容された場合、蒸着マスク２０の一方の面２０ａが蒸着材料４８を保持したるつぼ４４に対面し、蒸着マスク２０の他方の面２０ｂがガラス基板４２に対面する。すなわち、図５に示すように、蒸着材料４８は次第に断面積が小さくなっていく孔２５を通過してガラス基板４２に付着する。図５に示すように、蒸着材料４８はるつぼ４４からガラス基板４２に向けて直線的に移動せず、ガラス基板４２の板面に対して斜めに移動することもある。このとき、孔２５の断面形状が図５の点線で示す輪郭を有していたとすると、斜めに移動する蒸着材料４８は、蒸着マスク２０に付着してガラス基板４２まで到達しない。
【００４６】
すなわち、蒸着材料の利用効率（成膜効率：ガラス基板４２に付着する割合）を高めて高価な蒸着材料を節約するためには、蒸着マスク２０のシート面に直交する断面（図５の断面）において、一方の面２０ａ側の孔２５の端部および他方の面２０ｂ側の孔２５の端部を結ぶ直線Ｌと、他方の面２０ｂと、によってなされる角度θが小さい方がよい。ただし、ガラス基板４２への垂線に対して大きな角度をなすようにしてガラス基板４２に向けて移動する蒸着材料の割合は少ない。そして、前述の直線Ｌが他方の面２０ｂに対してなす角度θが６０°以下となっていれば、蒸着材料の利用効率は十分な値となる。
【００４７】
なお、角度θを小さくしていくと、図５に二点鎖線で示すように、隣り合う孔２５の壁面同士が接続されるようになる。しかしながら、蒸着マスク２０の強度を考慮すると、隣り合う孔２５の壁面同士は接続されていないことが好ましく、一方の面２０ａにおいて隣り合う孔２５の間に５μｍ以上の平坦な面が形成されていることがさらに好ましい。
【００４８】
すなわち、直線Ｌが他方の面２０ｂに対してなす角度θは、一方の面２０ａにおいて孔２５の間に５μｍ以上の平坦な面が形成されるようになる角度以上であって、６０℃以下であることが好ましい。
【００４９】
上述したように、本実施の形態では、孔２５が各有孔領域２２において等間隔に配置されている。一例として、蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）が携帯電話やデジタルカメラ等のディスプレイ（２〜３インチ程度）を作製するために用いられる場合、孔２５の配列ピッチＰ（図４参照）は、８４μｍ（３００ｐｐｉ）以上２５４μｍ（１００ｐｐｉ）以下程度とすることができる。なお、カラー表示を行いたい場合には、孔２５の配列方向（前述の一方向）に沿って蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）とガラス基板４２とを少しずつ相対移動させ、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に蒸着させていってもよい。また、蒸着マスク２０（蒸着マスク装置１０）が携帯電話のディスプレイを作製するために用いられる場合、各孔２５の配列方向（上述の一方向）に沿った幅（スリット幅）Ｗは、２８μｍ以上８４μｍ以下程度とすることができる。
【００５０】
一方、蒸着マスク装置１０のフレーム１５は、矩形状の蒸着マスク２０の周縁部に取り付けられている。フレーム１５は、蒸着マスク２０が撓んでしまうことがないように蒸着マスクを張った状態に保持する。蒸着マスク２０とフレーム１５とは、例えばスポット溶接により互いに対して固定されている。
【００５１】
蒸着マスク装置１０は、高温雰囲気となる蒸着装置４０の内部に保持される。したがって、蒸着マスク２０およびフレーム１５は、蒸着フレームの撓みや熱応力の発生を防止するため、熱膨張率が低い同一の材料によって作製されていることが好ましい。このような材料として、例えば、３６％Ｎｉインバー材を用いることができる。
【００５２】
次に、このような蒸着マスク２０および蒸着マスク装置１０の製造方法について、主に図６乃至図９を用いて説明する。このうち図６は、蒸着マスクの製造方法を説明するための図である。
【００５３】
図６に示すように、本実施の形態における蒸着マスクの製造方法は、樹脂製シート３２と樹脂製シート３２上に積層された金属製シート３４とを有する積層体３０を供給する工程と、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングを積層体３０の金属製シート３４に施して、金属製シート３４に多数の孔２５を形成する工程と、エッチング工程の後に、積層体３０から樹脂製シート３２を除去する工程と、を含んでいる。
【００５４】
図６に示すように、本実施の形態においては、積層体３０を供給コア３１に巻き取った積層体の巻体２９が準備される。そして、この供給コア３１が回転して巻体２９が巻き戻されることにより、図６に示すように帯状に延びる積層体３０が供給される。ここで、積層体３０は、金属製シート３４が下方に位置するとともに樹脂製シート３２が上方に位置するようにして、供給される。
【００５５】
なお、積層体３０の金属製シート３４は、以下に説明するように孔２５を形成されて蒸着マスク２０をなすようになる。したがって、上述したように、金属製シート３４は、例えば３６％Ｎｉインバー材からなる。ただし、これに限られず、ステンレス、銅、鉄、アルミニウムからなるシートを金属製シート３４として用いることも可能である。
【００５６】
一方、樹脂製シート３２としては、例えば、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有するポリエチレンテレフタレートやポリプロピレンからなるシートを用いることができる。本実施の形態においては、ＵＶ光を照射されると金属製シート３４に対する接合力が低下するようになされた樹脂製シート３２が用いられている。具体的には、樹脂製シート３２が、ポリエチレンテレフタレートからなる基材シート３２ａと、基材シート３２ａ上に積層されるとともに金属製シート３４と対面するＵＶ剥離層３２ｂと、を有するようにすることができる（図７および図８参照）。
【００５７】
ここでＵＶ剥離層３２ｂとは、当初は粘着力を有し、基材シート３２ａと金属製シート３４とを接着するものの、ＵＶ光を照射されると照射された部分の粘着力が低下するようになっている層である。例えば、ＵＶ光が照射されると、照射された部分が硬化して金属製シート３４に対する接合力が低下するようになっている。このようなＵＶ剥離層３２ｂは、例えば、アクリル系ＵＶ再剥離型接着剤から形成することができる。
【００５８】
供給された積層体３０はエッチング装置（エッチング手段）５０によってエッチング処理を施される。具体的には、まず、積層体３０の金属製シート３４の面上（図７の紙面における下側の面上）に感光性レジスト材料を塗布し、金属製シート３４上にレジスト膜３６を形成する。次に、レジスト膜３６のうちの除去したい領域に光を透過させないようにしたガラス乾板３７を準備し、ガラス乾板３７をレジスト膜３６上に配置する。
【００５９】
その後、図７に示すように、レジスト膜３６をガラス乾板３７越しに露光し、さらにレジスト膜３６を現像する。以上のようにして、積層体３０の金属製シート３４上にレジストパターン３６ａが形成される。
【００６０】
なお、ガラス乾板３７のうちの除去すべきレジスト膜３６に対面する領域を黒色にしておき、露光光として可視光を用いるようにしてもよい。この場合、黒色部分で可視光が吸収されることにより、レジスト膜３６の除去すべき領域には光が入射せず、レジスト膜３６が金属製シート３４上に定着しない。一方、レジスト膜３６の除去すべきでない領域には光が入射して、当該領域におけるレジスト膜３６が金属製シート３４上に定着する。定着していないレジスト膜３６は、例えば湯洗によって除去される。
【００６１】
次に、図８に示すように、金属製シート３４上に形成されたレジストパターン３６ａをマスクとして、積層体３０をエッチング液（例えば塩化第二鉄溶液）３８でエッチングする。本実施の形態において、エッチング液３８は、搬送される積層体３０の下方に配置されたエッチング装置５０のノズル５１から、レジストパターン３６ａ越しに金属製シート３４の一方の面３４ａに向けて噴射される。このとき、図８に点線で示すように、金属製シート３４のうちのレジストパターン３６ａによって覆われていない領域で、エッチング液による浸食が始まる。その後、浸食は、金属製シート３４の厚み方向だけでなく、金属製シート３４のシート面に沿った方向にも進んでいく。以上のようにして、エッチング液による浸食が金属製シート３４の一方の面３４ａから他方の面３４ｂまで進み、金属製シート３４を貫通する孔２５が形成される。
【００６２】
その後、積層体３０上のレジストパターン３６ａを除去し、さらに積層体３０を水洗いする。このようにして、樹脂製シート３２上に、多数の孔２５が形成された金属製シート３４からなる蒸着マスク用シート状部材１８が得られる。
【００６３】
ところで、樹脂製シート３２が設けられていなかったとすると、上述したように、金属製シート３４が貫通されて孔２５が形成された後に、金属製シート３４の他方の面３４ｂ側にエッチング液が滞留してしまい、孔２５の形状および大きさが安定しないといった不具合が生じ得る。しかしながら、本実施の形態によれば、金属製シート３４を貫通する孔２５が形成されたとしても、この孔２５は上方側を樹脂製シート３２によって覆われている。したがって、従来の方法において生じていた不具合を確実に回避することができる。この結果、金属製シート３４は一方の面３４ａ側のみから浸食が進み、金属製シート３４に形成された孔２５の断面積は、一方の面３４ａ，２０ａから他方の面３４ｂ，２０ｂに向けて徐々に小さくなっていくようになる。また、所望の開孔面積（平面視における孔２５の面積）を有した孔２５を精度良く形成することができる。
【００６４】
その後、このようにエッチングされた積層体３０は、当該積層体３０を狭持した状態で回転する一対の搬送ローラ５７，５７により、除去装置（除去手段）５４内に搬送される。なお、この搬送ローラ５７，５７の回転によって積層体３０に作用するテンション（引っ張り力）を介し、上述した供給コア３１が回転させられ、巻体２９から積層体３０が供給されるようになっている。
【００６５】
また、本実施の形態においては、金属製シート３４が樹脂製シート３２によって支持および補強されている。したがって、積層体３０の搬送時に、孔２５と孔２５との間に作用する応力によって、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりするといった不具合を格段に抑制することができる。この結果、エッチング工程において金属製シート３４に形成された微細な孔２５の形状をその後に損なってしまうといった不具合を回避することができる。
【００６６】
なお、上述したように配列方向と直交する方向に沿って細長く延びる孔２５を形成する場合、孔２５が延びる方向（上述した他方向）と、積層体３０が供給される方向（積層体が搬送される方向）とが略平行となっていることが好ましい。この場合、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりすることを効果的に防止することができる。
【００６７】
図９に示すように、本実施の形態における除去装置５４は、搬送ローラ５７の下流側に設けられたＵＶ光照射手段５５を有している。ＵＶ光照射手段５５は、積層体３０の移動経路に沿って設けられ、積層体３０を樹脂製シート３２側から覆うシェード５５ａと、シェード５５ａ内に配置されたＵＶ光源５５ｂと、を有している。そして、搬送される積層体３０は樹脂製シート３２側からＵＶ光を照射され、樹脂製シート３２の基材シート３２ａを透過するＵＶ光によって、基材シート３２ａと蒸着マスク２０（金属製シート３４）とを接着するＵＶ剥離層３２ｂの接着力が大幅に弱められる。この結果、積層体３０をなす樹脂製シート３２と金属製シート３４（蒸着マスク２０）とが分離可能となり、図９に示すように、樹脂製シート３２が、金属製シート３４から剥がされ、巻取コア５８に巻き取られていく。
【００６８】
なお、樹脂製シート３２を金属製シート３４から引き剥がす方向が、金属製シート３４に形成された孔２５が延びる方向（上述した他方向）と平行であることが好ましい。このような方向に沿って樹脂製シート３２を金属製シート３４から分離させる場合、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間が切断されてしまったり、孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分がからまったりすることを効果的に防止することができる。
【００６９】
このようにして、多数の孔２５が形成された金属製シート３４が得られ、切断装置（切断手段）５９によって所定の長さに切断していくことにより、枚葉状の蒸着マスク２０が得られる。そして、各蒸着マスク２０に対してフレーム１５を取り付けることにより、蒸着マスク装置１０が得られる。なお、フレーム１５は、蒸着マスク２０の一方の面２０ａに取り付けられてもよいし、蒸着マスク２０の他方の面２０ｂに取り付けられてもよい。
【００７０】
以上のように本実施の形態によれば、樹脂製シート３２上に積層された金属製シート３４に対して処理がなされていく。したがって、金属製シート３４を一方の面３４ａ側からのみエッチングして、金属製シート３４を貫通する孔２５を形成することができる。この場合、孔２５は金属製シート３４を貫通するものの、金属製シート３４の他方の面３４ｂ側に位置する孔２５の端部は、樹脂製シート３２によって覆われている。すなわち、孔２５は積層体３０を貫通していないので、上述した従来の不具合を回避することができ、これにより、一方の面２０ａから他方の面２０ｂに向けてしだいに断面積が小さくなっていく孔２５が形成された蒸着マスク２０を得ることができる。また、高精細なパターンで開孔した蒸着マスク２０を精度良く作製することもできる。このような蒸着マスク２０によれば、高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる。
【００７１】
したがって、このようにして得られた蒸着マスク２０は、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に例えば有機発光材料を所望のパターンでガラス基板４２上にパターニングするために用いられる蒸着マスク（蒸着用のメタルマスク）に非常に適している。
【００７２】
また、本実施の形態によれば、孔２５を形成した後の搬送時に、積層体３０のうちの金属製シート３４に作用するテンション（引っ張り力）を著しく低下させ、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間を切断するように作用する応力、および、金属製シート３４の孔２５と孔２５との間を線状に延びる部分をからまらせるように作用する応力の発生を著しく低減させることができる。したがって、蒸着マスク２０に精度良く形成された孔を、その後の工程において破損させてしまうことを防止することができる。
【００７３】
さらに、本実施の形態によれば、積層体３０を供給する工程において、積層体３０を巻き取った巻体２９を巻き戻して、帯状に延びる積層体３０を供給する。このような巻体２９は安価に入手可能であり、しかも取り扱い上の都合が非常に良い。
【００７４】
なお、上述した実施の形態に関し、本発明の要旨の範囲内で種々の変更が可能である。以下、変形例の一例について説明する。
【００７５】
上述した実施の形態においては、樹脂製シート３２にＵＶ光を照射して、樹脂製シート３２を積層体３０から除去する例を示したが、樹脂製シート３２の除去方法はこれに限られない。例えば、積層体３０を加熱炉（除去手段）に送り込み、積層体３０の樹脂製シート３２を燃焼させて、積層体３０から樹脂製シート３２を除去するようにしてもよい。樹脂製シート３２を燃焼させて除去する場合、簡易な装置を用いた簡易な方法により、金属製シート３４（蒸着マスク２０）に形成された孔２５に影響を及ぼすことなく、金属製シート３４から樹脂製シート３２を分離させることができる。なお、樹脂製シート３２を燃焼させて除去する場合、ＵＶ光を照射されることによって金属製シート３４に対する接合力が低下するようになされた樹脂製シート３２を用いる必要はない。
【００７６】
また、上述した実施の形態においては、樹脂製シート３２と金属製シート３４とが予め積層された積層体３０を準備して供給する例を示したが、これに限られない。例えば、帯状に延びる金属製シート３４を供給するとともに帯状に延びる樹脂製シート３２を供給し、供給される金属製シート３４と樹脂製シート３２とを接合して積層体３０を作製し、順次作製されていく積層体３０に対して上述した処理を施していくようにしてもよい。あるいは、帯状に延びる金属製シート３４を供給するとともに供給される金属製シート３４上に枚葉状の樹脂製シート３２を積層していき、金属製シート３４のうちの枚葉状の樹脂製シート３２を積層された部分（積層体３０）に対して上述した処理を順次施していくようにしてもよい。あるいは、帯状に延びる樹脂製シート３２を供給するとともに供給される樹脂製シート３２上に枚葉状の金属製シート３４を積層していき、樹脂製シート３４上に積層された枚葉状の金属製シート３４を積層された部分（積層体３０）に対して上述した処理を順次施していくようにしてもよい。
【００７７】
さらに、上述した実施の形態において、金属製シート３４に孔２５を形成し、さらに、樹脂製シート３２を金属製シート３４から分離させた後に、金属製シート３４を切断装置５９によって所定の長さに切断する例を示したが、これに限られない。例えば、金属製シート３４を切断する工程を、金属製シート３４に孔２５を形成する前に行ってもよいし、さらには、金属製シート３４に孔２５を形成した後であって樹脂製シート３２を金属製シート３４から分離させる前に行ってもよい。樹脂製シート３２を金属製シート３４から分離させる前に、金属製シート３４を所定の長さに切断する場合、樹脂製シート３２を切断しきらない程度に積層体３０をハーフカットして金属製シート３４のみを切断するようにしてもよいし、あるいは、金属製シート３４を含む積層体３０全体を所定の長さに切断するようにしてもよい。さらに、エッチングによって孔２５を形成する工程中に、金属製シート３４を所定の長さに縁切りするようにエッチングしてもよい。すなわち、エッチングによって孔２５を形成する際に、エッチングにより金属製シート３４を所定の長さに分離させるようにしてもよい。この場合、別途に金属製シート３４を所定の長さに切断する手間を省くことができ、蒸着マスク２０を高い生産効率で安価に製造することができる。
【００７８】
さらに、上述した実施の形態において、蒸着マスク２０を所定の長さに切断する例を示したが、これに限られない。多数の孔２５が形成された金属製シート３４を切断せずに蒸着マスク用シート状部材１８として取り扱うようにしてもよい。例えば、図１０に示すように、多数の孔２５が形成された金属製シート３４からなる蒸着マスク用シート状部材１８を、切断することなく、巻取コア１９に巻き取り、蒸着マスク用シート状部材１８の巻体１８ａとして取り扱う（出荷等）ようにしてもよい。なお、蒸着マスク用シート状部材１８も本件の保護対象である。
【００７９】
さらに、上述した実施の形態においては、所定の長さに切断された蒸着マスク２０に対してフレーム１５を取り付ける例を示したが、これに限られない。例えば、樹脂製シート３４を除去した後であって所定の長さに切断される前の金属製シート３４に対してフレーム１５を取り付けるようにしてもよい。あるいは、孔２５を形成した後であって樹脂製シート３４を除去する前の金属製シート３４に対してフレーム１５を取り付けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】図１は、本発明による蒸着マスクおよび蒸着マスク装置の一実施の形態を示す図である。
【図２】図２は、図１に示された蒸着マスクおよび蒸着マスク装置を用いて蒸着する方法を説明するための図である。
【図３】図３は、図１に示された蒸着マスクを示す部分平面図である。
【図４】図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面における断面図である。
【図５】図５は、蒸着マスクの作用を説明するための図である。
【図６】図６は、本発明による蒸着マスクの製造方法および蒸着マスク装置の製造方法の一実施の形態を説明するための図である。
【図７】図７は、積層体（金属製シート）にレジストパターンを形成する方法を説明するための図である。
【図８】図８は、積層体（金属製シート）をエッチングする方法を説明するための図である。
【図９】図９は、積層体から樹脂製シートを除去する方法を説明するための図である。
【図１０】図１０は、図６に対応する図であって、蒸着マスク用シート状部材の製造方法を説明するための図である。
【図１１】図１１は、図５に対応する図であって、両側からエッチングされた金属板からなる蒸着マスクを用いて蒸着する方法を説明するための図である。
【図１２】図１２は、図８に対応する図であって、下方側の面から金属板をエッチングして蒸着マスクを製造する方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０  蒸着マスク装置
１５  フレーム
１８  蒸着マスク用シート状部材
２０  蒸着マスク
２０ａ  一方の面
２０ｂ  他方の面
２２  有孔領域
２３  無孔領域
２５  孔
２９  巻体
３０  積層体
３２  樹脂製シート
３４  金属製シート
Ｌ  直線
θ  角度
【図１】
0004985227.tif 000002
【図２】
0004985227.tif 000003
【図３】
0004985227.tif 000004
【図４】
0004985227.tif 000005
【図５】
0004985227.tif 000006
【図６】
0004985227.tif 000007
【図７】
0004985227.tif 000008
【図８】
0004985227.tif 000009
【図９】
0004985227.tif 000010
【図１０】
0004985227.tif 000011
【図１１】
0004985227.tif 000012
【図１２】
0004985227.tif 000013