(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造装置であって、
端末からの排他要求に基づき当該端末のみの操作制御を受け付ける専有状態に設定し、前記専有状態にあることを他の端末に通知し、かつ、前記専有状態にある場合でも前記操作制御に影響のない他の端末からの要求を受け付ける排他制御手段を有することを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】
前記要求は専有の予約またはロットの仕掛けを含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項３】
露光装置であることを特徴とする請求項１に記載の半導体製造装置。
【請求項４】
半導体製造装置の制御方法であって、
端末からの排他要求に基づき当該端末のみの操作制御を受け付ける専有状態に設定し、前記専有状態にあることを他の端末に通知し、かつ、前記専有状態にある場合でも前記操作制御に影響のない他の端末からの要求を受け付けることを特徴とする制御方法。
【請求項５】
前記要求は専有の予約またはロットの仕掛けを含むことを特徴とする請求項４に記載の制御方法。
【請求項６】
前記半導体製造装置は露光装置であることを特徴とする請求項４に記載の制御方法。
【請求項７】
請求項４または５に記載の制御方法の手順をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項８】
請求項４または５に記載の制御方法の手順をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置及びその制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体露光システムでは、半導体露光装置毎に一台ずつ設けられている端末である操作パネルからのオペレータの操作、もしくは半導体露光装置から離れた場所にある端末であるホストからの通信による遠隔操作のいずれかの制御や、装置状態の監視することが可能である。
【０００３】
ホストからの遠隔操作を行う場合には、半導体露光装置に設けられている操作パネルからの操作を禁止し、同様に、操作パネルから操作を行う場合には、ホストとの通信を切断することにより、使用する端末以外の端末による操作を排他していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の半導体露光システムでは、以下に示すような問題がある。
【０００５】
ホストから半導体露光装置を制御している最中に、当該装置上にある操作パネルから別の操作を行いたいことがある。ところが、このとき当該装置は排他状態にあるため、ほとんどの操作が禁止されている。この場合、操作を強行するには、先ず当該装置とホストとの通信を切断してから操作を行うことになるが、ホストとの通信を切断すると、それ以降に再接続するまでホストヘの状態通知も行われなくなる。
【０００６】
通常、ホストは半導体露光装置との通信が切断されている間には当該装置の状態を認識できないため、新たなロットを仕掛けることが不可能となる。したがって、ホストとの通信を切断して所望の作業を行う場合、実際には露光操作と並行して処理することが可能な作業でも停止せざるを得なくなる。よって、全体的に処理に時間がかかる。
【０００７】
上記の問題は、半導体露光装置を遠隔操作するホストが複数設けられている場合に、特に顕著となる。
ホストを複数設ける場合、更に上記の問題以外にも、例えば装置操作に影響を及ぼさない、即ち排他を要しない処理を複数の端末から制御可能とした場合、当該装置の状態変化が自身の端末から制御したことによるものか否かの判断ができない、もしくは自身の操作が終了したか否かが認識できないという問題が発生する。
【０００８】
そこで本発明は、半導体装置の製造を効率良く行うことを可能とする半導体製造装置及びその制御方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体製造装置は、端末からの排他要求に基づき当該端末のみの操作制御を受け付ける専有状態に設定し、前記専有状態にあることを他の端末に通知し、かつ、前記専有状態にある場合でも前記操作制御に影響のない他の端末からの要求を受け付ける排他制御手段を有することを特徴とする。
本発明の半導体製造装置の一態様では、前記要求は専有の予約またはロットの仕掛けを含む。
本発明の半導体製造装置の一態様では、当該半導体製造装置は露光装置である。
本発明の半導体製造装置の制御方法は、端末からの排他要求に基づき当該端末のみの操作制御を受け付ける専有状態に設定し、前記専有状態にあることを他の端末に通知し、かつ、前記専有状態にある場合でも前記操作制御に影響のない他の端末からの要求を受け付けることを特徴とする。
本発明の半導体製造装置の制御方法の一態様では、前記要求は専有の予約またはロットの仕掛けを含む。
本発明の半導体製造装置の制御方法の一態様では、当該半導体製造装置は露光装置である。
本発明の記録媒体は、前記制御方法の手順をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能なものである。
本発明のプログラムは、前記制御方法の手順をコンピュータに実行させるためのものである。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を半導体露光装置を含む半導体露光システムに適用した好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００３０】
図１は、本発明の一実施形態に係る半導体露光システムを表す模式図である。
この半導体露光システムは、同図に示すように、レチクルに描画された所定パターンを光学的に半導体ウェーハ面に露光して転写するステッパーとして機能する半導体露光装置１０１と、当該装置１０１上に設けられた操作パネルである端末１０２と、当該装置１０１から離間した場所の設けられ、当該装置１０１を遠隔操作するためのホストである端末１０３，１０４，１０５とを含み構成されている。
【００３１】
半導体露光装置１０１は、端末１０２，１０３，１０４，１０５のうち、ある端末からの排他要求に基づき当該装置１０１に対する当該端末のみの操作制御を受け付ける専有状態に設定するとともに、当該装置１０１が専有状態にあることを他の端末に通知する排他制御機構１１１を備えている。
【００３２】
この排他制御機構１１１は、当該装置１０１が専有状態に移行した時、専有状態が解除された時、もしくは操作を指示された時に現在当該装置１０１を専有している端末、その操作者、現在行っている操作、及び装置状態を他の全ての端末に対して通知し、表示する。
【００３３】
更に、排他制御機構１１１は、半導体製造装置１０１を専有している端末からの排他解除要求に基づき、他の全ての端末からの排他要求を受け付ける解放状態に設定する。また、当該装置１０１が専有状態にある場合でも、その他の端末からの当該装置１０１の操作制御に無影響な要求についてはこれを受け付ける構成とされている。
【００３４】
更に、排他制御機構１１１は、当該装置１０１が専有状態にある場合に、その他の端末からの当該装置１０１の専有予約を受け付ける。また、当該装置１０１が専有状態にある場合でも、事前に設定された特定の操作者が使用する端末からの要求があれば、専有状態を無視して当該装置１０１の操作制御を受け付ける構成とされている。
【００３５】
この半導体露光システムにおいては、半導体露光装置１０１と端末１０３，１０４，１０５とは回線１０６によって接続され、排他制御機構１１１の制御のもとで通信が行われる。また、当該装置１０１上に設けられている端末１０２も他の端末と同様に装置内部の回線によって排他制御機構１１１の制御のもとで装置１０１と通信が行われる。
【００３６】
それぞれの端末は、装置１０１に対してメッセージという単位で情報を送信し、装置１０１は前記情報にしたがって処理を行う。また、装置１０１も自身の状態変化等のイベントが起こった場合には、メッセージにより自身に接続されているそれぞれの端末へ情報を送信する。
【００３７】
この構成において、実際に装置１０１とこれに接続されている端末１０２，１０３，１０４，１０５との間でやり取りされるメッセージのシーケンスを図２に示す。ここで、破線が回線内を流れるメッセージを表している。
また、図３，４，５には装置１０１内での処理フロー（装置の制御方法）の詳細を示す。これらの図を参考にして、本実施形態に係る半導体露光システムの動作を説明する。
【００３８】
ステップ３０１において、ある端末からロック要求メッセージ２０５もしくは２０９を受信すると、ステップ３０２に示すように装置１０１が別の端末によって既にロックされているかどうかを調べる。ロックされていなかった場合は、ステップ３０４において装置１０１をロックし、ステップ３０５でロック状態通知メッセージ（２０６，２０７，２０８）を、装置１０１に接続されている全ての端末へ送信する。既にロックされていた場合は、ステップ３０３においてロック要求拒否メッセージ２１０を、ロック要求メッセージを送信してきた端末に対し送信する。
【００３９】
ステップ４０１において、ある端末から操作要求メッセージ２１１もしくは２１３を受信すると、ステップ４０２に示すように装置１０１が別の端末によって既にロックされているかどうかを調べる。ロックされていなかった場合は、ステップ４０４においてロック状態通知メッセージ（２１４，２１５，２１６）を、装置１０１に接続されている全ての端末へ送信し、ステップ４０５で要求された処理を実行する。既にロックされていた場合は、ステップ４０３において操作要求拒否メッセージ２１２を、操作要求メッセージを送信してきた端末に対し送信する。
【００４０】
ステップ５０１において、ある端末からロック解除要求メッセージ２１７を受信すると、ステップ５０２でロック解除要求メッセージ２１７を送信した端末が現在装置１０１をロックしている端末かどうかを調べる。ロック解除要求メッセージ２１７を送信した端末が現在装置１０１をロックしている端末だった場合、ステップ５０４のように装置１０１のロックを解除し、ステップ５０５でロック状態通知メッセージ（２１８，２１９，２２０）を装置１０１に接続されている全ての端末へ送信する。また、ロック解除要求メッセージ２１７。を送信した端末が現在装置１０１をロックしている端末でない場合、ステップ５０３において、ロック解除要求拒否メッセージを、ロック解除要求メッセージを送信してきた端末に対して送信する。
【００４１】
以上説明したように、本実施形態の半導体露光システムによれば、半導体露光装置１０１から離れたところにある複数の端末、もしくは装置１０１上にある端末から複数の操作者が当該装置１０１を有効に利用することができる。
【００４２】
例えば、一つの端末を複数の装置１０１に接続し、それぞれの装置１０１を識別することができれば、装置１０１の状態監視や、操作が端末を選ぶことなく可能になり、かつ、メンテナンス機能や装置状態の監視機能等を持った様々な端末を接続することが可能になる。
【００４３】
また、実際に装置１０１を操作している端末以外の端末にいる操作者もしくはホストが混乱することを避けることができる。また、メンテナンス等で装置１０１上の端末から装置を専有している最中にも、ホストからロットを仕掛けることが可能とする。
【００４４】
なお、本実施形態では、半導体露光装置を含む半導体露光システムについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明は、半導体露光システムのみならず、半導体露光装置をその構成要素として含む半導体製造装置を操作制御する半導体製造システムに適用される。勿論、半導体製造装置のみならず、これを構成する個々の構成要素、例えば、マスク作製装置、エッチング・スパッタ・ＣＶＤ装置、半導体露光装置、ウェーハ洗浄装置、チップ作製装置、チップ検査装置等のうちの少なくとも１つ以上を操作制御する半導体システムにも適用可能である。
【００４５】
また、上述した本実施形態による半導体露光システムを構成する各機能、及び半導体製造装置の制御方法を構成する各ステップは、コンピュータのＲＡＭやＲＯＭなどに記憶されたプログラムが動作することによって実現できる。このプログラム及び当該プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体は本発明の実施形態に含まれる。
【００４６】
具体的に、前記プログラムは、例えばＣＤ−ＲＯＭのような記録媒体に記録し、或いは各種伝送媒体を介し、コンピュータに提供される。前記プログラムを記録する記録媒体としては、ＣＤ−ＲＯＭ以外に、フレキシブルディスク、ハードディスク、磁気テープ、光磁気ディスク、不揮発性メモリカード等を用いることができる。他方、上記プログラムの伝送媒体としては、プログラム情報を搬送波として伝搬させて供給するためのコンピュータネットワーク（ＬＡＮ、インターネットの等のＷＡＮ、無線通信ネットワーク等）システムにおける通信媒体（光ファイバ等の有線回線や無線回線等）を用いることができる。
【００４７】
また、コンピュータが供給されたプログラムを実行することにより上述の実施形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムがコンピュータにおいて稼働しているＯＳ（オペレーティングシステム）あるいは他のアプリケーションソフト等と共同して上述の実施形態の機能が実現される場合や、供給されたプログラムの処理の全てあるいは一部がコンピュータの機能拡張ボードや機能拡張ユニットにより行われて上述の実施形態の機能が実現される場合も、かかるプログラムは本発明の実施形態に含まれる。
【００４８】
例えば、図６は、一般的なパーソナルユーザ端末装置の内部構成を示す模式図である。この図６において、１２００はコンピュータＰＣである。ＰＣ１２００は、ＣＰＵ１２０１を備え、ＲＯＭ１２０２またはハードディスク（ＨＤ）１２１１に記憶された、あるいはフレキシブルディスクドライブ（ＦＤ）１２１２より供給されるデバイス制御ソフトウェアを実行し、システムバス１２０４に接続される各デバイスを総括的に制御する。
【００４９】
【発明の効果】
本発明によれば、半導体装置の製造を効率良く行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る半導体露光システムを示すブロック図である。
【図２】本発明の実施形態に係る半導体露光システムにおいて、半導体露光装置とこれを制御する端末とのメッセージのやり取りを示す模式図である。
【図３】図１における半導体露光システム内で行われる処理のフローチャートである。
【図４】図１における半導体露光システム内で行われる処理のフローチャートである。
【図５】図１における半導体露光システム内で行われる処理のフローチャートである。
【図６】一般的なパーソナルユーザ端末装置の内部構成を示す模式図である。
【符号の説明】
１０１：半導体露光装置
１０２〜１０５：端末
１０６：回線
２０５〜２２０：半導体露光装置と端末間でやり取りするメッセージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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