(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
或る工程で生産品に対してメイン処理を施すメイン処理部と、
上記工程で生産品または上記メイン処理部に対してサブ処理を施すサブ処理部と、
上記工程へ或る生産品が搬入されてから上記メイン処理の完了までに要した第１の時間を測定し、上記工程のために予め設定されたタクトタイムから上記第１の時間を差し引いて得られた残存時間の長短に基づいて、上記サブ処理部によるサブ処理の実行を許可するか否かを判定するサブ処理実行可否判定部と、
上記サブ処理実行可否判定部の判定結果に応じて上記サブ処理が実行された場合は上記工程へ上記生産品が搬入されてから上記サブ処理の完了までに要した第２の時間の経過後、一方、上記サブ処理が実行されなかった場合は上記第１の時間の経過後、それぞれ上記タクトタイム満了よりも一定時間だけ前になるまで上記工程に上記生産品を待機させた後、上記工程から上記生産品を搬出する制御を行う制御部を備えたことを特徴とする工程管理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の工程管理装置において、
上記生産品毎にその生産品を上記サブ処理の対象とすべきか否かを表す第１の情報を記憶する第１の記憶部を備え、
上記サブ処理実行可否判定部は、上記第１の記憶部の第１の情報を参照して、上記サブ処理の対象とすべき生産品についてのみ上記サブ処理の実行を許可するか否かを判定するようになっていることを特徴とする工程管理装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の工程管理装置において、
上記生産品毎にその生産品を強制的に上記サブ処理の対象とすべきことを表す第２の情報を記憶する第２の記憶部を備え、
上記制御部は、上記第２の記憶部の第２の情報を参照して、上記生産品を強制的に上記サブ処理の対象とすべきとき、上記タクトタイムから上記第１の時間を差し引いて得られた上記残存時間の長短にかかわらず、上記サブ処理部に上記サブ処理を実行させる制御を行うことを特徴とする工程管理装置。
【請求項４】
請求項２に記載の工程管理装置において、
上記第１の記憶部は、各生産品を識別するための生産品管理番号に対応させて上記第１の情報を記憶しており、或る生産品について記憶している生産品管理番号と検索された生産品管理番号とが完全一致するとき又は予め指定された条件下で一部一致するときに上記第１の情報の参照が許可されるようになっていることを特徴とする工程管理装置。
【請求項５】
請求項３に記載の工程管理装置において、
上記第２の記憶部は、各生産品を識別するための生産品管理番号に対応させて上記第２の情報を記憶しており、或る生産品について記憶されている生産品管理番号と検索された生産品管理番号とが完全一致するとき又は予め指定された条件下で一部一致するときに上記第２の情報の参照が許可されるようになっていることを特徴とする工程管理装置。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれか一つに記載の工程管理装置において、
上記生産品毎にその生産品についての上記サブ処理部によるサブ処理の結果を記憶する第３の記憶部と、
上記各生産品についての上記サブ処理の実行時および実行後に、上記第３の記憶部を参照して上記サブ処理の結果を表示する処理結果表示部とを備えたことを特徴とする工程管理装置。
【請求項７】
或る工程で生産品に対してメイン処理を施すメイン処理部と、上記工程で生産品または上記メイン処理部に対してサブ処理を施すサブ処理部とを管理する工程管理方法であって、
上記工程へ或る生産品が搬入されてから上記メイン処理の完了までに要した第１の時間を測定し、上記工程のために予め設定されたタクトタイムから上記第１の時間を差し引いて得られた残存時間の長短に基づいて、上記サブ処理部によるサブ処理の実行を許可するか否かを判定し、
その判定結果に応じて上記サブ処理が実行された場合は上記工程へ上記生産品が搬入装置によって搬入されてから上記サブ処理の完了までに要した第２の時間の経過後、一方、上記サブ処理が実行されなかった場合は上記第１の時間の経過後、それぞれ上記タクトタイム満了よりも一定時間だけ前になるまで上記工程に上記生産品を待機させた後、上記工程から上記生産品を搬出装置によって搬出する制御を行うことを特徴とする工程管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は工程管理装置および工程管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車（車体）の製造分野では、例えば特許文献１（特開平８−３４３７４号公報）に自ライン、上流ライン、および下流ラインの生産管理情報を記憶する生産管理情報記憶手段と、生産管理情報に基づいて所定の判断基準に従ってタクト外計測の起動の適否を判定し、タクト外計測の起動信号を発生する起動制御手段と、を有して、インライン車体計測装置におけるタクト外計測の実行タイミングを制御する技術が提案されている。この技術によれば、車種別の計測数をある程度平準化しつつ、生産に影響を与えずにタクト外計測を行える場合には自動的にタクト外計測を起動させることができる。
【特許文献１】特開平８−３４３７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
自動車の製造分野では、自ラインと上流ライン、下流ラインとの間にバッファを有し、例えば上流ラインの処理完了製品がなく、上流ライン処理中の製品もなく、自ラインへの製品の搬入が一定期間ないと判断される場合や、下流ラインに未処理製品が残っていて、下流ラインが自ラインの処理完了製品を待機する状態に一定期間ならないような場合が生じる。特許文献１の技術は、このような場合に有効である。
【０００４】
しかしながら、液晶パネルなどの製造分野では、前工程から或る工程（これを「自工程」と呼ぶ。）に連続して生産品（ガラス基板など）が搬入され、自工程で処理が完了した生産品を直ちに次工程へ搬出する処理が行われる。このため、自工程と前工程、後工程の処理状況を利用してタクト外計測を挿入することが困難である。例えば、次工程の装置が停止状態であったとしても、自工程のタクトタイムを遵守する必要がある。特に、基板搬入出を同時に行う搬送ロボットを採用している場合、投入基板が投入可能な状態で、かつ、処理基板が搬出可能なタイミングでなければ、基板の搬入出が適正に行われない。このような場合、特許文献１の技術は、有効ではなく、むしろ全体として搬入出時間の増加に繋がるため、採用できないと考えられる。
【０００５】
そこで、この発明の課題は、生産品が連続して工程に搬入出される製造分野においても、生産品に対して或る処理（これを「メイン処理」と呼ぶ。）を行うとともに、タクトタイムの増加を避けながら別の処理（これを「サブ処理」と呼ぶ。）を行うことができる工程管理装置および工程管理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、この発明の工程管理装置は、
或る工程で生産品に対してメイン処理を施すメイン処理部と、
上記工程で生産品または上記メイン処理部に対してサブ処理を施すサブ処理部と、
上記工程へ或る生産品が搬入されてから上記メイン処理の完了までに要した第１の時間を測定し、上記工程のために予め設定されたタクトタイムから上記第１の時間を差し引いて得られた残存時間の長短に基づいて、上記サブ処理部によるサブ処理の実行を許可するか否かを判定するサブ処理実行可否判定部と、
上記サブ処理実行可否判定部の判定結果に応じて上記サブ処理が実行された場合は上記工程へ上記生産品が搬入されてから上記サブ処理の完了までに要した第２の時間の経過後、一方、上記サブ処理が実行されなかった場合は上記第１の時間の経過後、それぞれ上記タクトタイム満了よりも一定時間だけ前になるまで上記工程に上記生産品を待機させた後、上記工程から上記生産品を搬出する制御を行う制御部を備えたことを特徴とする。
【０００７】
ここで「生産品」とは、工程で処理を受ける対象物を指す。
【０００８】
また、「メイン処理」とは、或る工程で生産品に対して行うべき処理を意味する。例えば塗布工程における塗布処理、エッチング工程におけるエッチング処理などの本来の処理を指す。
【０００９】
また、「サブ処理」とは、上記工程で生産品またはメイン処理部に対して行うべき別の処理を意味する。例えば上記メイン処理を受けた生産品に対する計測や、上記メイン処理部に対するメンテナンスなどの補助的な処理を指す。
【００１０】
また、「タクトタイム満了よりも一定時間だけ前」における「一定時間」とは、例えば上記基板の搬出開始から搬出完了までに要する時間である。
【００１１】
この発明の工程管理装置では、サブ処理実行可否判定部は、或る工程へ或る生産品が搬入されてからメイン処理部によるメイン処理の完了までに要した第１の時間を測定し、上記工程のために予め設定されたタクトタイムから上記第１の時間を差し引いて得られた残存時間の長短に基づいて、サブ処理部によるサブ処理の実行を許可するか否かを判定する。制御部は、上記サブ処理実行可否判定部の判定結果に応じて上記サブ処理が実行された場合は上記工程へ上記生産品が搬入されてから上記サブ処理の完了までに要した第２の時間の経過後、一方、上記サブ処理が実行されなかった場合は上記第１の時間の経過後、それぞれ上記タクトタイム満了よりも一定時間だけ前になるまで上記工程に上記生産品を待機させた後、上記工程から上記生産品を搬出する制御を行う。このようにした場合、生産品が連続して工程に搬入出される製造分野においても、生産品に対して或る処理（メイン処理）を行うとともに、タクトタイムの増加を避けながら別の処理（サブ処理）を行うことができる。したがって、生産品のスループットを低下させることなく、生産品の処理を高い品質で行うことができる。この結果、生産品の製造コストの低減および信頼性の向上を図ることができる。
【００１２】
なお、上記工程への生産品の実際の搬入、上記工程からの生産品の搬出は、それぞれ、例えばメイン処理部やサブ処理部に対して生産品を相対的に移動させるような公知の搬送装置（搬入装置、搬出装置）によって実行可能である。
【００１３】
一実施形態の工程管理装置では、
上記生産品毎にその生産品を上記サブ処理の対象とすべきか否かを表す第１の情報を記憶する第１の記憶部を備え、
上記サブ処理実行可否判定部は、上記第１の記憶部の第１の情報を参照して、上記サブ処理の対象とすべき生産品についてのみ上記サブ処理の実行を許可するか否かを判定するようになっていることを特徴とする。
【００１４】
この一実施形態の工程管理装置では、上記サブ処理実行可否判定部の処理（演算）が簡単で済む。
【００１５】
一実施形態の工程管理装置では、
上記生産品毎にその生産品を強制的に上記サブ処理の対象とすべきことを表す第２の情報を記憶する第２の記憶部を備え、
上記制御部は、上記第２の記憶部の第２の情報を参照して、上記生産品を強制的に上記サブ処理の対象とすべきとき、上記タクトタイムから上記第１の時間を差し引いて得られた上記残存時間の長短にかかわらず、上記サブ処理部に上記サブ処理を実行させる制御を行うことを特徴とする。
【００１６】
この一実施形態の工程管理装置では、上記生産品を強制的に上記サブ処理の対象とすべきとき、上記サブ処理実行可否判定部による判定を行わず、上記サブ処理部に上記サブ処理を実行させることができる。したがって、処理（演算）が簡単で済む。
【００１７】
一実施形態の工程管理装置では、上記第１の記憶部は、各生産品を識別するための生産品管理番号に対応させて上記第１の情報を記憶しており、或る生産品について記憶している生産品管理番号と検索された生産品管理番号とが完全一致するとき又は予め指定された条件下で一部一致するときに上記第１の情報の参照が許可されるようになっていることを特徴とする。
【００１８】
この一実施形態の工程管理装置では、上記第１の記憶部は、或る生産品について記憶している生産品管理番号と検索された生産品管理番号とが完全一致するときだけでなく、予め指定された条件下で一部一致するときにも上記第１の情報の参照が許可されるようになっている。したがって、参照が容易になる。例えば、生産品管理番号の上位桁のみを指定して検索することで、上位桁が共通で下位桁のみが異なる一群の生産品についての情報を容易に参照できる。
【００１９】
一実施形態の工程管理装置では、上記第２の記憶部は、各生産品を識別するための生産品管理番号に対応させて上記第２の情報を記憶しており、或る生産品について記憶されている生産品管理番号と検索された生産品管理番号とが完全一致するとき又は予め指定された条件下で一部一致するときに上記第２の情報の参照が許可されるようになっていることを特徴とする。
【００２０】
この一実施形態の工程管理装置では、上記第２の記憶部は、或る生産品について記憶されている生産品管理番号と検索された生産品管理番号とが完全一致するときだけでなく、予め指定された条件下で一部一致するときにも上記第２の情報の参照が許可されるようになっている。したがって、参照が容易になる。例えば、生産品管理番号の上位桁のみを指定して検索することで、上位桁が共通で下位桁のみが異なる一群の生産品についての情報を容易に参照できる。
【００２１】
一実施形態の工程管理装置では、
上記生産品毎にその生産品についての上記サブ処理部によるサブ処理の結果を記憶する第３の記憶部と、
上記各生産品についての上記サブ処理の実行時および実行後に、上記第３の記憶部を参照して上記サブ処理の結果を表示する処理結果表示部とを備えたことを特徴とする。
【００２２】
一実施形態の工程管理装置では、上記各生産品についての上記サブ処理の実行時および実行後に、処理結果表示部が上記第３の記憶部を参照して上記サブ処理の結果を表示する。したがって、ユーザ（作業者、メンテナンス担当者を含む。）の利便性が高まる。
【００２３】
この発明の工程管理方法は、
或る工程で生産品に対してメイン処理を施すメイン処理部と、上記工程で生産品または上記メイン処理部に対してサブ処理を施すサブ処理部とを管理する工程管理方法であって、
上記工程へ或る生産品が搬入されてから上記メイン処理の完了までに要した第１の時間を測定し、上記工程のために予め設定されたタクトタイムから上記第１の時間を差し引いて得られた残存時間の長短に基づいて、上記サブ処理部によるサブ処理の実行を許可するか否かを判定し、
その判定結果に応じて上記サブ処理が実行された場合は上記工程へ上記生産品が搬入装置によって搬入されてから上記サブ処理の完了までに要した第２の時間の経過後、一方、上記サブ処理が実行されなかった場合は上記第１の時間の経過後、それぞれ上記タクトタイム満了よりも一定時間だけ前になるまで上記工程に上記生産品を待機させた後、上記工程から上記生産品を搬出装置によって搬出する制御を行うことを特徴とする。
【００２４】
この発明の工程管理方法によれば、生産品が連続して工程に搬入出される製造分野においても、生産品に対して或る処理（メイン処理）を行うとともに、タクトタイムの増加を避けながら別の処理（サブ処理）を行うことができる。したがって、生産品のスループットを低下させることなく、生産品の処理を高い品質で行うことができる。この結果、生産品の製造コストの低減および信頼性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００２６】
図１はこの発明の一実施形態の工程管理装置および工程管理方法が適用される修正装置の機構系の構成を示し、図３はその修正装置の制御系の構成を示している。
【００２７】
この修正装置は、基板上に生じた欠陥に対して、欠陥の位置等を表す既得の欠陥データに基づいて修正処理を施すための装置である。一般的に、基板上の欠陥数に応じて基板毎に修正処理に要する時間が異なる。したがって、基板の搬入出タイミングを同期させ、設定されたタクトタイムを遵守するために、工夫を要する。
【００２８】
図１に示すように、この修正装置は、概ね、定盤２０と、定盤２０の上面にＹ軸方向に往復移動可能に設けられた吸着ステージ２と、定盤２０上に固定して架設された門型構造物８と、門型構造物８上にＸ軸方向に往復移動可能に設けられたメイン処理部としての修正処理部３と、この修正処理部３に一体に取り付けられたサブ処理部としての観察カメラ４とを備えている。
【００２９】
吸着ステージ２のＸＹ平面に沿った上面には、図示しない基板搬送装置（搬入装置兼搬出装置）によって、生産品としての平板状のガラス基板１が載置かれて吸着されている。この吸着ステージ２は、図示しないスクリューシャフト等を介して主走査軸としてのＹ軸駆動モータ６と連結されている。吸着ステージ２は、Ｙ軸駆動モータ６による駆動に伴って、Ｙ軸方向に延びる図示しない一対のガイドレールに案内されて、Ｙ軸方向に往復移動する。吸着ステージ２自体は、定盤２０上で基板１の直交２軸の位置と姿勢を制御するための図示しないＸＹθ軸を備える。
【００３０】
門型構造物８は、定盤２０の上面のうち吸着ステージ２のＹ軸方向の移動経路の両側に相当する位置に立設された一対のコラム部８ａ，８ｂと、そのコラム部８ａ，８ｂの頂部に架けわたされたビーム部８ｃとを有する。ビーム部８ｃには、スライダ９がＸ軸方向に往復移動可能に取り付けられている。このスライダ９は、コラム部８ａの頂部に設けられた副走査軸としてのＸ軸駆動モータ７による駆動に伴って、Ｘ軸方向に往復移動する。
【００３１】
メイン処理部としての修正処理部３は、Ｘ軸方向に往復移動可能なスライダ９を介して門型構造物８に取り付けられている。この例では、修正処理部３は、カラーフィルタの修正処理を行うために、ガラス基板１上にカラーフィルタ材料を塗布する装置である。修正処理部３は、Ｙ軸駆動モータ６とＸ軸駆動モータ７によってＹ軸方向とＸ軸方向に移動されるとともに、塗布タイミングに合わせて図示しないノズルからカラーフィルタ材料を吐出するように、後述する主制御装置１０（図３参照）によって制御される。この制御に応じて、修正処理部３のノズルからガラス基板１上の処理目標へ向けてカラーフィルタ材料が吐出される（修正処理）。
【００３２】
サブ処理部としての観察カメラ４は、修正処理部３によるガラス基板１上の修正箇所をレビュー（点検）するために設けられている。そのため、観察カメラ４のための照明（レンズを含む）５は下方へ向けられている。観察カメラ４によって撮影された画像は、次に述べる表示装置１５（図３参照）に表示される。
【００３３】
図３に示すように、この修正装置の制御系は、主制御装置１０と、この主制御装置１０によって参照される記憶装置１１と、画像処理部１２と、ステージ制御部１３と、基板位置決め制御部１４と、この例では公知のＬＣＤ（液晶表示ディスプレイ）からなる表示装置１５とを備えている。主制御装置１０は、ＣＰＵ（中央処理ユニット）からなり、この修正装置全体の制御を行う。記憶装置１１は、この例ではハードディスクドライブからなり、必要な情報を記憶する。画像処理部１２は、観察カメラ４が撮影した画像を処理するとともに、良好な画像が得られるように照明５を制御する。ステージ制御部１３は、主走査軸としてのＹ軸駆動モータ６と副走査軸としてのＸ軸駆動モータ７とを制御する。基板位置決め制御部１４は、図示しないＸＹθ軸を介して、定盤２０上でガラス基板１の直交２軸の位置と姿勢を制御する。なお、主制御装置１０は、サブ処理実行可否判定部および制御部として働くとともに、表示装置１５と協働して処理結果表示部として働く。
【００３４】
図４は、記憶装置１１に記憶されるレビュー設定テーブルを示している。このレビュー設定テーブルは、レビューの対象と処理条件を記憶するものであり、「基板ＩＤ」欄と、第１の記憶部としての「レビュー有／無」欄と、第２の記憶部としての「強制レビュー有／無」欄と、「レビュー点数」欄とを有する。
【００３５】
「基板ＩＤ」欄には、各基板を識別するための生産品管理番号としての基板ＩＤが入力される。この例では、基板ＩＤとしてＡＡＡ００１、ＡＡＡ００２、ＡＡＡ００３、ＸＸＸ００４、ＡＢＣＸＸＸ、…が入力されている。この「基板ＩＤ」欄に入力された基板ＩＤと、残りの「レビュー有／無」欄、「強制レビュー有／無」欄、「レビュー点数」欄に入力された情報とは互いに対応付けられる。したがって、基板毎にそれらの欄に入力された情報が記憶されることになる。
【００３６】
「レビュー有／無」欄におけるレビュー「有」とは、基板搬入から修正処理完了までの時間とレビュー実行判定タイマ（後述）の値との関係に基づいてレビューの可否を判定し、レビュー可能の場合にレビューを実行させることを意味する。一方、レビュー「無」とは、処理時間に関係なく、レビューを実行しないことを意味する。レビュー「有」の場合は「１」、レビュー「無」の場合は「０」が設定される。
【００３７】
「強制レビュー有／無」欄における強制レビュー「有」とは、基板搬入から修正処理完了までの時間に関わらず、強制的にレビューを実行することを意味する。一方、強制レビュー「無」とは、そのような強制が無いことを意味する。強制レビュー「有」の場合は「１」、強制レビュー「無」の場合は「０」が設定される。
【００３８】
「レビュー点数」欄における「レビュー点数」とは、基板上でレビューすべき最大数を意味する。ここで、基板上の欠陥データの数、言い換えれば修正処理部３によって修正処理が行われた箇所（これを「修正箇所」と呼ぶ。）の数がこの欄に設定されたレビュー点数以下である場合は、基板上の全ての修正箇所についてレビューが実行される。基板上の修正箇所の数がこの欄に設定されたレビュー点数を超えている場合は、基板上の全ての修正箇所についてレビューが行われるわけではなく、その設定されたレビュー点数に制限してレビューが実行される。なお、レビューを制限する方法としては、例えば、修正箇所の先頭から設定されたレビュー点数までレビューを実行し、残りの修正箇所についてレビューを省略する方法でもよい。また、欠陥データ数に応じて、欠陥データの先頭から、１つ飛ばしや２つ飛ばしなどの間引きを行う方法でもよい。この実施形態では、後者の間引き法で行うものとする。
【００３９】
図５は、各基板毎にレビュー処理の実行を許可するか否かを判定するときに用いられる判定パラメータ設定テーブルの一例を表している。この判定パラメータ設定テーブルは、「レビュー実行判定タイマ」部と、「搬出待機タイマ」部とを有する。
【００４０】
「レビュー実行判定タイマ」部には、図１に示した修正装置へ或る基板１が搬入されてから修正処理の完了までの時間（これを「第１の時間」と呼ぶ。図６中の（Ｔ１−Ｔ０）に相当する。）と比較されるべき値（秒の単位をもつ。）が設定される。図５の例ではこの値として「６０秒」が設定されている。この「レビュー実行判定タイマ」部の設定値「６０秒」は、第１の時間が６０秒を超えている場合、たとえ図４のレビュー設定テーブルにレビュー「有」が設定されていても、レビュー処理をスキップすることを意味する。但し、図４のレビュー設定テーブルに強制レビュー「有」が設定されている場合は、第１の時間が６０秒を超えていても、強制的にレビュー処理を実行することになる。
【００４１】
また、「搬出待機タイマ」部には、レビュー処理が実行された場合は図１に示した修正装置へ或る基板１が搬入されてからレビュー処理の完了までの時間（これを「第２の時間」と呼ぶ。図６中の（Ｔ２−Ｔ０）に相当する。）、一方、レビュー処理が実行されなかった場合は上述の第１の時間と比較されるべき値（秒の単位をもつ。）が設定される。図５の例ではこの値として「１００秒」が設定されている。これにより、第２の時間または第１の時間が１００秒に満たない場合、タクトタイム満了よりも一定時間だけ前になるまで、修正装置に基板１を待機させた後、搬出することになる。
【００４２】
図４、図５の設定例では、基板ＩＤがＡＡＡ００１である基板（これを「基板ＡＡＡ００１」と呼ぶ。他の基板について同様。）については、レビュー「有」、強制レビュー「有」、レビュー点数「１０」と設定されている。この基板ＡＡＡ００１については、レビュー「有」、かつ、強制レビュー「有」であることから、第１の時間（基板搬入から修正処理完了までの時間）（Ｔ１−Ｔ０）が「レビュー実行判定タイマ」部の値６０秒を超えていても、レビュー処理が行われる。この時のレビュー点数は１０点であり、この数までレビューが行われる。また、基板ＡＡＡ００２については、レビュー「有」、強制レビュー「無」、レビュー点数「５」と設定されている。この基板ＡＡＡ００２基板については、レビュー「有」、かつ、強制レビュー「無」であることから、第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）が６０秒を超えた場合、レビュー処理は行われない。逆に、第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）が６０秒以下の場合、レビュー処理が行われる。この時のレビュー点数は５点であり、この数までレビューが行われる。また、基板ＡＡＡ００３については、レビュー「無」、強制レビュー「無」、レビュー点数「５」と設定されている。この基板ＡＡＡ００３については、レビュー「無」に設定しているため、強制レビュー設定とレビュー点数設定は無効となり、第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）に関わらず、レビュー処理は実行されない。
【００４３】
また、図４のレビュー設定テーブルにおける「基板ＩＤ」欄では、基板ＩＤを表す符号（文字や数字など）の一部に不定を表す文字「Ｘ」を使用することが許されている。これによって、或る基板について記憶されている基板ＩＤと検索された基板ＩＤとが完全一致するときだけでなく、予め指定された「Ｘ」以外の他の部分（一部）が一致するときにも、「レビュー有／無」欄、「強制レビュー有／無」欄および「レビュー点数」欄の情報の参照が許可されるようになっている。したがって、参照が容易になる。例えば、図４中に示す基板ＸＸＸ００４は、上位３桁の符号に関わらず、その下位３桁の符号（数字）「００４」と検索された基板ＩＤの下位３桁の符号とが一致すれば、情報の参照が許可されるようになっている。この基板ＸＸＸ００４については、レビュー「有」、強制レビュー「無」、レビュー点数「５」と設定されている。この基板ＸＸＸ００４については、レビュー「有」、かつ、強制レビュー「無」であることから、第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）が６０秒を超えた場合、レビュー処理は行われない。逆に、第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）が６０秒以下の場合、レビュー処理が行われる。この時のレビュー点数は５点であり、この数までレビューが行われる。また、基板ＡＢＣＸＸＸは、下位３桁の数値に関わらず、その上位３桁の符号「ＡＢＣ」と検索された基板ＩＤの上位３桁の符号とが一致すれば、情報の参照が許可されるようになっている。この基板ＡＢＣＸＸＸについては、レビュー「有」、強制レビュー「有」、レビュー点数「５」と設定されている。この基板ＡＢＣＸＸＸについては、レビュー「有」、かつ、強制レビュー「有」であることから、第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）が６０秒を超えていても、レビュー処理が行われる。この時のレビュー点数は５点であり、この数までレビューが行われる。
【００４４】
図２は、この修正装置の主制御装置１０による処理フローを示している。この処理フローを、図６のタイムチャートを参照しながら説明する。なお、図６中に示す基板搬入完了時刻Ｔ０から基板搬出完了時刻Ｔ'０までが、この修正装置のタクトタイムに相当する。この修正装置では、基板の搬入から搬出までが一定期間に設定されていて、タクトタイム（Ｔ'０−Ｔ０）は常に一定である。Ｔ３は、基板１に続く次基板を修正装置に搬入開始する時刻である。
【００４５】
図２中のステップＳ１で、前工程から或る基板１を図１に示した修正装置（つまり修正処理を行う工程）に搬入する（基板搬入処理）。この基板搬入処理では、主制御装置１０は、図示しない基板搬送装置（搬入装置兼搬出装置）を駆動して、基板１を吸着ステージ２上に搬入して載置させる。吸着ステージ２に載置された基板１は、主制御装置１０により制御された基板位置決め制御部１４によって、吸着ステージ２に吸着して固定される。
【００４６】
次にステップＳ２では、アライメント処理を行う。このアライメント処理では、基板１の上面に形成されたアライメントマークを撮像するために、主制御装置１０は、ステージ制御部１３を介して、主走査軸６と副走査軸７を制御する。これにより、観察カメラ４をアライメントマークが撮像可能な位置へ移動させる。画像処理部１２は、撮像したマーク位置を計測して、ＸＹθ軸の補正量を算出する。主制御装置１０は、その算出値に応じて基板位置決め制御部１４へ移動指令を行って、吸着ステージ２の姿勢を制御する。
【００４７】
次にステップＳ３で、主制御装置１０からの指令に基づいて、修正処理部３が吸着ステージ２上の基板１に対して修正処理を行う。この実施形態では、上流工程で得られた基板１上の欠陥を検出して得られた欠陥データを、図示しない欠陥データサーバから読み出す。主制御装置１０はその欠陥データに応じて修正処理部３及びステージ制御部１３へ処理指令を送る。具体的には、主制御装置１０は、修正処理部３をその欠陥の直上の位置へ移動させるため、欠陥データに基づいて主走査軸６と副走査軸７の絶対位置指令値あるいは相対移動指令値を算出して、ステージ制御部１３へ送る。欠陥の直上の位置に移動した修正処理部３によって、その欠陥に対して修正処理が行われる。このようにして、修正処理部３をＹ軸方向とＸ軸方向に移動させながら、基板１が有する全ての欠陥に対して修正処理が行われる。図６のタイムチャートでは、基板１に対する修正処理の完了時刻がＴ１で表されている。
【００４８】
次に図２中のステップＳ４では、主制御装置１０は記憶装置１１から図４に示したレビュー設定テーブル内の基板１に関する「レビュー有／無」欄の内容を読み取って、レビュー「有」（値１）の設定である場合は次のステップＳ５へ、レビュー「無」（値０）の設定である場合は後述のステップＳ７へ進む。
【００４９】
ステップＳ５では、主制御装置１０は、レビュー処理の可否を判定する。具体的には、主制御装置１０は、基板１が搬入されてから修正処理の完了までの時間、つまり図６中の第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）を計測する。そして、その第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）と、図５中のレビュー実行判定タイマ部の値（図５の例では「６０秒」）とを比較して、レビュー処理の可否を判定する。すなわち、第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）が６０秒以下である場合、時間的余裕があるので、レビュー処理を可と判定する。一方、第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）が６０秒を超えている場合、たとえ図４のレビュー設定テーブルにレビュー「有」が設定されていても、時間的余裕が無いため、レビュー処理を不可と判定する。但し、図４のレビュー設定テーブルに強制レビュー「有」が設定されている場合は、第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）が６０秒を超えていても、強制的にレビュー処理を可と判定する。このようにして、レビュー処理の可否が判定される。そして、レビュー処理が可能であれば次のステップＳ６へ、レビュー処理が不可であれば後述のステップＳ７へ進む。
【００５０】
ステップＳ６では、主制御装置１０は、レビュー処理のための制御を行う。具体的には、主制御装置１０は、観察カメラ４を基板１上の修正箇所の直上の位置へ移動させるため、既述の欠陥データに基づいて主走査軸６と副走査軸７の絶対位置指令値あるいは相対移動指令値を算出して、ステージ制御部１３へ送る。修正箇所の直上の位置に移動した観察カメラ４によって撮影された画像が、画像処理部１２を介して取得されて、記憶装置１１に記憶される。記憶装置１１は第３の記憶部として働いて、修正箇所の画像を保存する。このようなレビュー処理が、基板毎に設定されたレビュー点数に応じて、修正箇所毎に観察カメラ４をＹ軸方向とＸ軸方向に移動させながら、繰り返される。図６のタイムチャートでは、基板１に対するレビュー処理の完了時刻がＴ２で表されている。主制御装置１０は、基板１が搬入されてからレビュー処理完了までの時間を、第２の時間（Ｔ２−Ｔ０）として計測する。
【００５１】
ここで、主制御装置１０は、記憶装置１１に保存されたレビュー画像を、定期的に、あるいは、図示しない入力装置を介して入力された任意のタイミングで、表示装置１５の表示画面に表示させる。ユーザ（作業者、メンテナンス担当者を含む。）は、このレビュー画像を確認することにより、修正装置の状況を把握することができる。したがって、不具合の早期発見が可能となる。この結果、下流の検査工程への依存度を軽減でき、不良基板の流出を最小限にすることができる。このように、ユーザの利便性が高まる。
【００５２】
ステップＳ７では、主制御装置１０は、この修正装置から基板１を搬出するのに待機が必要であるか否かを判定する。既述のように、主制御装置１０は、基板１について、基板１が搬入されてから修正処理の完了までの時間、すなわち第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）を計測するとともに、レビュー処理が実行された場合は基板１が搬入されてからレビュー処理完了までの時間、すなわち第２の時間（Ｔ２−Ｔ０）を計測している。ここで、主制御装置１０は、基板１についてレビュー処理が実行された場合は第２の時間（Ｔ２−Ｔ０）と図５中の搬出待機タイマ部の値（図５の例では「１００秒」）とを比較して、第２の時間（Ｔ２−Ｔ０）が１００秒に満たないときは、搬出待機が必要であると判定する。そして、ステップＳ８へ進んでタイマで計測を行って、一定時間待機した後、再度ステップＳ７で判定を行う。一方、基板１についてレビュー処理が実行されなかった場合は第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）と図５中の搬出待機タイマ部の値（図５の例では「１００秒」）とを比較して、第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）が１００秒に満たないときは、搬出待機が必要であると判定する。そして、ステップＳ８へ進んでタイマで計測を行って、一定時間待機した後、再度ステップＳ７で判定を行う。このようにして、基板１が搬入されてからの経過時間が搬出待機タイマ部の値（１００秒）に達するまで、言い換えれば図６中に示したタクトタイム（Ｔ'０−Ｔ０）満了よりも一定時間（Ｔ'０−Ｔ４）だけ前になるまで、搬出待機を行う。この時間（Ｔ'０−Ｔ４）は、基板１の搬出開始から搬出完了までに要する時間に相当する。
【００５３】
その後、ステップＳ９では、主制御装置１０は、基板１をこの修正装置から排出する制御を行う（基板搬出処理）。具体的には、この基板搬出処理では、主制御装置１０は、基板位置決め制御部１４によって吸着ステージ２による基板１の吸着を解除する。続いて、主制御装置１０は、既述の図示しない基板搬送装置を駆動して、基板１を吸着ステージ２上から搬出する。これにより、基板１は、この修正装置から搬出される。
【００５４】
ここで、上述の基板搬送装置は、搬入出を同時に行う機能を備えている。ステップＳ７、及びステップＳ８で基板１の搬出待機が行われている間に、基板１に続く次基板を搬入する準備が完了した状態になっている。主制御装置１０は、基板搬送装置を駆動して基板１を搬出すると同時に次基板を搬入する処理を行う。従って、基板１の搬出処理（ステップＳ９）と次基板の搬入処理（ステップＳ１）とは、同時に実行される。このようにした場合、タクトタイムの増加を避けることができる。
【００５５】
既述のように、ステップＳ５では、基板１が搬入されてから修正処理の完了までの時間、すなわち図６中に示した第１の時間（Ｔ１−Ｔ０）と、図５中の「レビュー実行判定タイマ」部に設定された値（図５の例では「６０秒」）とを比較して、レビュー処理の可否を判定している。この判定結果に応じてレビュー処理が実行された場合、レビュー処理完了後、ステップＳ７では、レビュー処理の完了時刻Ｔ２が搬出待機タイマ部に設定された値（図５の例では「１００秒」）を超えることなく、かつ、基板１の搬出が次基板の搬入に遅れないことが望まれる。図６から分かるように、仮にレビュー処理の完了時刻Ｔ２が次基板の搬入開始時刻Ｔ３より遅延すると、次基板の搬入遅延につながり、タクトタイムの増加を引き起こすことになる。そのため、レビュー実行判定タイマ部の値およびレビュー点数は、レビュー処理の完了時刻Ｔ２を考慮して、ひいては設定されたタクトタイム（Ｔ'０−Ｔ０）を考慮して設定する必要がある。
【００５６】
例えば、レビュー実行判定タイマ部の値は、次の関係式に基づいて設定するのが望ましい。
（レビュー実行判定タイマ部の値）
＝（Ｔ'０−Ｔ０）−（Ｔ４−Ｔ０）−ＡＶ（Ｔ２−Ｔ１）
ここで、ＡＶ（Ｔ２−Ｔ１）は、（Ｔ２−Ｔ１）の平均値を意味する。
【００５７】
上の関係式を利用するために、複数の基板にわたってレビュー処理の完了時刻Ｔ２と修正処理の完了時刻Ｔ１との差（Ｔ２−Ｔ１）を計測して、その平均値ＡＶ（Ｔ２−Ｔ１）を求めて、レビュー実行判定タイマの値を設定するのが望ましい。また、一旦設定されたレビュー実行判定タイマの値を、その後の状況、つまり平均値ＡＶ（Ｔ２−Ｔ１）の推移に応じて随時変更しても良い。
【００５８】
また、搬出待機タイマ部の値は、タクトタイム（Ｔ'０−Ｔ０）から基板搬入出時間（Ｔ'０−Ｔ４）を差し引いて得られた値に設定するのが望ましい。すなわち、
（搬出待機タイマ部の設定値）＝（Ｔ'０−Ｔ０）−（Ｔ'０−Ｔ４）＝（Ｔ４−Ｔ０）
ここで、既述のように、時間（Ｔ'０−Ｔ４）は、基板１の搬出開始から搬出完了までに要する時間に相当する。
【００５９】
この実施形態では、本発明の工程管理装置および工程管理方法を、修正装置に適用した例について説明した。しかしながら、当業者ならば分かるように、本発明は、修正装置に限られず、機種や条件に応じて処理時間の違いが発生する様々な処理装置に適用可能である。
【００６０】
また、この実施形態では、メイン処理として修正処理、サブ処理としてレビュー処理を実行する場合について述べたが、これに限られるものではない。例えば、サブ処理としてメイン処理部のメンテナンス処理を行ってもよいし、メイン処理部の状態検出のための計測処理を行ってもよい。
【００６１】
以上のように、本発明によれば、生産品が連続して工程に搬入出される製造分野においても、生産品に対して或る処理（メイン処理）を行うとともに、タクトタイムの増加を避けながら別の処理（サブ処理）を行うことができる。したがって、生産品のスループットを低下させることなく、生産品の処理を高い品質で行うことができる。この結果、生産品の製造コストの低減および信頼性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】この発明の一実施形態の工程管理装置が適用される修正装置の機構系の構成を示す図である。
【図２】上記修正装置の主制御装置による処理フローを示す図である。
【図３】上記修正装置の制御系の構成を示す図である。
【図４】上記修正装置の記憶装置に記憶されるレビュー設定テーブルを示す図である。
【図５】上記修正装置の記憶装置に記憶される判定パラメータ設定テーブルを示す図である。
【図６】上記修正装置の動作のタイムチャートを示す図である。
【符号の説明】
【００６３】
１  基板
２  吸着ステージ
３  修正処理部
４  観察カメラ
１０  主制御装置
１１  記憶装置
１２  画像処理部
１３  ステージ制御部
１４  基板位置決め制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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