(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のローラ間に第１ベルトが巻回されてなる第１コンベアを上面に有する固定部と、
前記第１ベルトの下側部分に固定され、前記第１ベルトから上方に延びる支持部材と、
前記支持部材に支持されて前記固定部の上方に配置され、かつ一対のローラ間に第２ベルトが巻回されてなる第２コンベアを上面に有する第１可動部と、
前記第２ベルトの上側部分に固定されて前記第１可動部の上方に配置され、搬送物を載置可能な第２可動部とを有し、
前記第２ベルトは、前記第１ベルトと平行でかつ前記第１ベルトの上側部分に対向し、その対向部分の一部が互いに固定され、
前記第１可動部は、前記第１ベルトの進退方向に沿って前記固定部に対し摺動可能であり、前記第２可動部は、前記第２ベルトの進退方向に沿って前記第１可動部に対し摺動可能であり、
前記第１可動部が前記固定部に対し距離Ｌだけ摺動したとき、前記第２可動部は前記第１可動部に対し距離２Ｌだけ摺動し、前記第２可動部が前記固定部に対して距離３Ｌだけ摺動可能な搬送装置。
【請求項２】
前記第２可動部の上面に、別の前記搬送装置の固定部が固定されている請求項１記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、物品を所定位置から移動運搬する搬送手段として、コンベア、電動又はエアシリンダ、多関節ロボット等が用いられている。しかし、外気を遮断した空間内でガラス基板等の精密部品を搬送する必要がある有機ＥＬディスプレイパネル等の生産工程においては、従来の搬送手段では次のような問題がある。
まず、コンベアは、搬送先まで広範囲に設置する必要があり、生産ライン等の限られたスペースに設置することが難しい。又、有機ＥＬディスプレイパネル等の生産では、搬送先である次工程に搬送装置の一部が残ったままであると、次工程での処理プロセスが搬送装置に施され、搬送装置が前工程に戻った際に前工程での処理に影響を与えることがある。そのため、有機ＥＬディスプレイパネル等の搬送装置は、搬送先に搬送後に搬送装置全体が元の位置に戻る必要があるが、コンベアはこの条件を満足しない。さらに、コンベアのベルトやコロが搬送物に当接してキズ等を生じたり、搬送時の振動が大きいという問題もある。
又、シリンダは、外筒と同じ長さのピストンが進退する構造上、搬送距離が長くなるとシリンダも長くなり、設置スペースが大きくなる。
多関節ロボットは汎用性が高いが、構造が複雑で高価である。
【０００３】
このようなことから、不動部から可動部が摺動突出し、可動部上の物品を移動・搬送するコンパクトで簡易な構造が提案されている（特許文献参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開2004-238137号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した特許文献１記載の技術は、不動部上に可動部を１個以上載置し、可動部を前方に順次繰り出すことで、搬送距離を増やすようになっている。例えば、不動部上に可動部を３個載置した場合、各可動部を繰り出すことで、繰り出し量の３倍の距離を移動（搬送）することができる（特許文献１の図３）。
本発明は、この技術をさらに改良し、２個の可動部を固定部上に載置するだけで、繰り出し量の３倍の距離を移動（搬送）可能な機構を提案するものであり、同じ搬送距離で可動部の個数が特許文献１記載の技術より少なくなるので、構造をさらに簡易にしてコストダウンが図られる。
すなわち本発明は、搬送距離が大きく、かつ構造が簡易で低コストな搬送装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明の搬送装置は、一対のローラ間に第１ベルトが巻回されてなる第１コンベアを上面に有する固定部と、前記第１ベルトの下側部分に固定され、前記第１ベルトから上方に延びる支持部材と、前記支持部材に支持されて前記固定部の上方に配置され、かつ一対のローラ間に第２ベルトが巻回されてなる第２コンベアを上面に有する第１可動部と、前記第２ベルトの上側部分に固定されて前記第１可動部の上方に配置され、搬送物を載置可能な第２可動部とを有し、前記第２ベルトは、前記第１ベルトと平行でかつ前記第１ベルトの上側部分に対向し、その対向部分の一部が互いに固定され、前記第１可動部は、前記第１ベルトの進退方向に沿って前記固定部に対し摺動可能であり、前記第２可動部は、前記第２ベルトの進退方向に沿って前記第１可動部に対し摺動可能であり、前記第１可動部が前記固定部に対し距離Ｌだけ摺動したとき、前記第２可動部は前記第１可動部に対し距離２Ｌだけ摺動し、前記第２可動部が前記固定部に対して距離３Ｌ摺動可能である。
このような構成とすると、第１ベルトの下側部分をＬだけ前進させると第１可動部がＬだけ前進し、第１ベルトの上側部分がＬだけ後退する。しかしながら、第２ベルトから見ると、第１可動部が相対的に前進した分だけ、第１ベルトと繋がっている第２ベルト下側の後退量が増えて２Ｌ（Ｌ＋Ｌ）となる。従って、第２ベルトの上側部分に固定されている第２可動部は、第１可動部に対して２Ｌだけ前進し、固定部に対しては合計３Ｌ（Ｌ＋２Ｌ）だけ前進することになる。
【０００７】
前記第２可動部の上面に、別の前記搬送装置の固定部が固定されていてもよい。
このような構成とすると、下側搬送装置の第２可動部上の搬送装置においても上記した第１コンベアの繰り出し量の３倍の移動量が第２可動部に生じるため、合計６倍の移動量を生じさせることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、搬送距離が大きく、かつ構造が簡易で低コストな搬送装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る搬送装置を含む製造ラインの斜視図である。この図において、有機ＥＬディスプレイパネルの製造ラインは、パネルとなるガラス基板１００を搬送する搬送チャンバー３００と、ドアバルブ５００を介して搬送チャンバー３００に隣接するプロセスチャンバー４００とを備えている。搬送チャンバー３００内には本発明の実施形態に係る搬送装置５０が配置され、搬送装置５０の上部には前工程で所定寸法に切り出したガラス基板１００が載置されている。搬送装置５０は、搬送チャンバーの出口３１０からガラス基板１００をプロセスチャンバー４００に搬送し、プロセスチャンバー４００内の基板受け取り機構４１０に渡すようになっている。そして、プロセスチャンバー４００内で基板受け取り機構４１０上に載置されたガラス基板１００に対し、画素や各種膜の成膜や封止等のプロセス処理が施される。
プロセスチャンバー４００内では、例えば真空蒸着等が施されるため、ガラス基板１００搬送後に搬送装置５０はプロセスチャンバー４００から搬送チャンバー３００内に完全に戻っている必要がある。
【００１０】
搬送装置５０は、搬送チャンバー３００に固定される矩形板状の固定部２と、固定部２の上方に配置される矩形板状の第１可動部３と、第１可動部３の上方に配置される矩形板状の第２可動部４とを備え、第２可動部４上に搬送物（ガラス基板）１００が載置されている。
固定部２の上面には長手方向に沿って第１コンベア２０が設置され、第１コンベア２０の図示しないベルトの下側部分に箱型の支持部材６が固定され、支持部材６は固定部２の上方に延びている。そして、第１可動部３の下面が支持部材６の上面に支持されている。又、固定部２上面には第１コンベア２０に沿い、かつ第１コンベア２０の両側に第１レール２４が配置され、支持部材６の下面が第１レール２４上に載置されて第１レール２４に沿って摺動可能になっている。
従って、駆動ギヤ３２０の駆動により、第１コンベア２０が固定部２の長手方向に沿って進退すると、第１可動部３が第１コンベア２０の進退方向に摺動するようになっている。
【００１１】
又、第１可動部３の上面には、第１コンベア２０と平行でかつ第１コンベア２０の上側にかぶさるように第２コンベア３０が設置され、第２コンベア３０の図示しないベルトの上側部分に第２可動部４の下面が固定されている。さらに、第１可動部３の上面には第２コンベア３０に沿い、かつ第２コンベア３０の両側に第２レール３４が配置され、第２可動部４の下面が第２レール３４上に載置されて第２レール３４に沿って摺動可能になっている。
従って、駆動ギヤ３２０の駆動により、第２コンベア３０が第１可動部３の長手方向に沿って進退すると、第２可動部４が第２コンベア３０の進退方向に摺動するようになっている。
【００１２】
第１コンベア２０及び第２コンベア３０の進退方向は、搬送チャンバー３００からプロセスチャンバー４００へのガラス基板１００の搬送方向Ｔに一致するので、第１コンベア２０及び第２コンベア３０の進退によって第１可動部３及び第２可動部４が摺動し、ガラス基板１００が搬送される。又、第１コンベア２０及び第２コンベア３０が元の位置に戻ると、第２可動部４は完全に搬送チャンバー３００内の初期位置に戻り、プロセスチャンバー４００内に残らないようになっている。
【００１３】
次に、図２を参照して本発明の実施形態に係る搬送装置５０の詳細な構成について説明する。図２において、第１コンベア２０は、一対のローラ２１、２２間に第１ベルト２３が巻回されてなり、第１ベルト２３の下側部分の右端に支持部材６の下面が固定されている。ローラ２１、２２はそれぞれ支持脚２１ａ、２２ａに軸支されている。
又、第２コンベア３０は、一対のローラ３１、３２間に第２ベルト３３が巻回されてなり、第２ベルト３３の下側部分の左端は、固定部材８を介して第１ベルト２３の上側部分の左端に互いに固定されている。さらに、第２ベルト３３の上側部分の右端は、取付け部材３５を介して第２可動部４の下面に固定されている。ローラ３１、３２はそれぞれ支持脚３１ａ、３２ａに軸支されている。
なお、第２ベルト３３が第１ベルト２３に近接して対向するよう、第１可動部３における第２コンベア３０の配置部分に矩形状の切り抜き３ｈが形成され、第２ベルト３３の進退を邪魔しないようになっている。
【００１４】
第１ベルト２３及び第２ベルト３３は、例えばスチールベルト、樹脂製ベルトとすることができる。又、第１ベルト２３と支持部材６の固定、第２ベルト３３と第２可動部４の固定、及び第１ベルト２３と第２ベルト３３の固定は、ボルト等で行うことができるがこれに限られない。
又、支持部材６は第１ベルト２３との固定位置から第１ベルト２３の両側端より外側に水平に延びた後、上方に立ち上がるアーム部６ａを形成し、アーム部６ａ上端に第１可動部３の下面が支持されている。従って、支持部材６が第１ベルト２の進退を邪魔しないようになっている。
【００１５】
図３は、図２のＩＩＩ-ＩＩＩ線に沿う断面図である。この図において、支持部材６下面の２つの脚６ｂに凹部が設けられ、この凹部が第１レール２４に被さるようになっている。同様に、第２可動部４下面の２つの脚４ｂに凹部が設けられ、この凹部が第２レール３４に被さるようになっている。上記各凹部には、例えばローラ又はベアリングが配置され、各レールとの転がり摩擦を低減し、スムースな摺動を行えるようになっている。
なお、第１ベルト２３と第２ベルト３３は固定部材８で固定されているので、ローラ２１、２２のいずれか、又は第1可動部３の側面を駆動ギヤ３２０で駆動させると、第１ベルト２３の進退に応じて第２ベルト３３が進退する。従って、ローラ３１、３２の駆動を制御する必要はない。
【００１６】
図４は、第１コンベア２０、第２コンベア３０の進退に伴って、第１可動部３及び第２可動部４が進退（摺動）する状態を示す工程図である。なお、図４において、左方向への移動を「前進」、右方向への移動を「後退」と適宜称する。
まず、初期位置で、支持部材６が第１コンベア２０の右端に位置し、固定部材８が第１コンベア２０の左端に位置し、取付け部材３５が第２コンベア３０の右端に位置している。このときの位置を基準とする（図４（ａ））。
次に、第１コンベア２０を駆動させ、第１ベルト２３の下側部分が左にＬ／２だけ前進するようにする（図４（ｂ））。このとき、第１ベルト２３の下側部分の前進につれて支持部材６及び第１可動部３がＬ／２だけ前進する。一方、第１ベルト２３の上側部分は右にＬ／２だけ後退するので、固定部材８もＬ／２後退する。しかしながら、第１ベルト２３の下側部分の前進につれて固定部材８で固定されている第１可動部３がＬ／２前進したため、第２ベルト３３の上側は元の位置からL（第1可動部３の移動距離の２倍）だけ左に前進することになる。従って、第２ベルト３３の上側部分に固定されている取付け部材３５(及び第２可動部４)は、Ｌだけ前進することになる。
【００１７】
つまり、第１ベルト２３をＬ／２だけ駆動させると、第１可動部３がＬ／２前進すると共に、第２ベルト３３がＬだけ進退することに起因して第２可動部４が第１可動部３上でＬだけ相対的に前進するので、第２可動部４は固定部２に対して３／２Ｌ（Ｌ／２＋Ｌ）前進することになる。さらに第１ベルト２３を駆動量Ｌだけ駆動すると、上記と同様の議論により、第２可動部４は固定部２に対して３Ｌだけ前進する（図４（ｃ））。
このように、２個の可動部を固定部上に載置するだけで、最上部の第２可動部は、第１コンベアの繰り出し量（駆動量）Ｌの３倍の移動（搬送）量が得られる。
【００１８】
又、本発明において、第２可動部の上面に、本発明に係る別の搬送装置の固定部を固定してもよい。このようにすると、下側搬送装置の第２可動部上の搬送装置においても上記した第１コンベアの繰り出し量Ｌの３倍の移動量が第２可動部に生じるため、合計として６倍の移動量を生じさせることができる。さらに、搬送装置を３台以上積層してもよい。
【００１９】
本発明は上記した実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送装置を含む製造ラインの斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る搬送装置の構成の斜視図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】第１可動部及び第２可動部が摺動する状態を示す工程図である。
【符号の説明】
【００２１】
２                          固定部
３                          第１可動部
４                          第２可動部
６                          支持部材
２０                        第１コンベア
２１、２２                  ローラ
２３                        第１ベルト
３０                        第２コンベア
３１、３２                  ローラ
３３                        第２ベルト
５０                        搬送装置
１００                      搬送物（ガラス基板）
【図１】
0005111144.tif 000002
【図２】
0005111144.tif 000003
【図３】
0005111144.tif 000004
【図４】
0005111144.tif 000005