(57)【要約】【課題】傾斜処理の現像にて、ガラス基板のサイズが大型化しも、面内現像均一性の良好な現像方法、現像装置を提供する。【解決手段】ガラス基板１の傾斜上部（山側）ａ側に吐出する現像液の吐出量を、傾斜下部（谷側）ｂ側に吐出する現像液の吐出量１００％に対して１０〜５０％とする。山側の上端から谷側の下端に向かって、吐出量が漸増する。水洗水の吐出角度θを、ガラス基板の搬送方向に対向する方向へ２０〜５０度の角度とする。山側の上端から谷側の下端に向かって、吐出角度が漸増する。【選択図】図６
2009008886.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態でガラス基板の表面への現像液の吐出による現像、及び水洗水の吐出による水洗を行う現像方法において、前記ガラス基板の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出量を、傾斜下部（谷側）側に吐出する現像液の吐出量１００％に対して１０〜５０％とすることを特徴とする現像方法。
【請求項２】
前記ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって、現像液の吐出量が漸増することを特徴とする請求項１記載の現像方法。
【請求項３】
ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態でガラス基板の表面への現像液の吐出による現像、及び水洗水の吐出による水洗を行う現像方法において、前記水洗水の吐出角度を、ガラス基板の幅方向の垂線を基準としてガラス基板の搬送方向に対向する方向へ２０〜５０度の角度とすることを特徴とする現像方法。
【請求項４】
前記ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって、水洗水の吐出角度が漸増することを特徴とする請求項３記載の現像方法。
【請求項５】
ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態でガラス基板の表面への現像液の吐出による現像、及び水洗水の吐出による水洗を行う現像装置において、前記ガラス基板の傾斜上部（山側）側に現像液を吐出する現像スプレイのスプレイノズルの数を、傾斜下部（谷側）側に現像液を吐出する現像スプレイのスプレイノズルの数１００％に対して１０〜５０％とすることを特徴とする現像装置。
【請求項６】
前記ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって、スプレイノズルの数が漸増することを特徴とする請求項５記載の現像装置。
【請求項７】
ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態でガラス基板の表面への現像液の吐出による現像、及び水洗水の吐出による水洗を行う現像装置において、前記水洗水を吐出する水洗シャワーの吐出口の角度を、ガラス基板の幅方向の垂線を基準としてガラス基板の搬送方向に対向する方向へ２０〜５０度の角度とすることを特徴とする現像装置。
【請求項８】
前記ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって、吐出口の角度が漸増することを特徴とする請求項７記載の現像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ製造の現像に関するものであり、特に、ガラス基板の傾斜処理による現像方法において、ガラス基板のサイズが、例えば、２１６０×２４６０ｍｍへと大型化しても、面内現像均一性の良好な液晶表示装置用カラーフィルタを製造することのできる現像方法、及び現像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置用カラーフィルタの製造に用いられる現像装置としては、ガラス基板を枚葉で水平搬送してウエット処理を行う現像装置が広く用いられてきた。
しかし、マザーガラスのサイズが大型化するにつれ、スプレイノズルの揺動とガラス基板の揺動によってガラス基板上の液置換効率、すなわち、ガラス基板上の液をガラス基板外へ払い落とす際に十分な効率を得ることは次第に困難なものとなってきた。また、液置換効率の悪化は純水置換における純水使用量の増加を招いていた。
【０００３】
このため、第５世代（ガラス基板のサイズ、例えば、１１００×１３００ｍｍ）以上の大型ガラス基板でのカラーフィルタの製造に用いられる現像装置としては、ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態を保ったままでウエット処理を行う現像装置が用いられるようになった。
ガラス基板を傾斜処理すると、重力による液流がガラス基板上に生じ、基本的にはガラス基板上の液滞留がなくなり、現像液の置換効率、及び純水の置換効率が向上したものとなる。
【０００４】
図１は、傾斜処理を行う現像装置の一例を示す平面図である。図１に示すように、この現像装置（１０）は、現像を行う現像チャンバー（２０）と水洗を行う水洗チャンバー（３０）で構成されている。
ガラス基板（図示せず）は、図１中、矢印で示すように、現像装置（１０）の左方から搬送され、現像チャンバー（２０）にて現像、水洗チャンバー（３０）にて水洗が行われ、次工程へと搬送される。
【０００５】
図２は、現像チャンバー（２０）の内部における現像スプレイ（２３）とガラス基板（１）の関係を説明する平面図である。また、図３は、図２中、白太矢印で示す方向からの搬送ローラー（２４）と現像スプレイ（２３）とガラス基板（１）の関係を説明する側面図である。図３中、白太矢印で示す方向からの上面が、図２に相当する。
【０００６】
図２及び図３に示すように、搬送ローラー（２４）は、ガラス基板（１）の搬送方向の幅方向に傾斜して設けられている。図２中、左方から搬送ローラー（２４）に搬送されたガラス基板（１）は、搬送されるガラス基板（１）の幅方向の左辺を傾斜上部（山側）（ａ）とし、右辺を傾斜下部（谷側）（ｂ）として傾斜搬送され、傾斜状態を保ったまま処理が行われる例である。この傾斜角度（θ）は、１０°〜１５°程度のものである。
【０００７】
現像スプレイ（２３）は、ガラス基板（１）の搬送路の上方に複数個、その長手方向を搬送方向と直角にして設けられている。また、現像スプレイ（２３）は、その長手方向が搬送ローラー（２４）の軸方向と平行である。すなわち、搬送ローラー（２４）の傾斜角度（θ）と同一の傾斜角度で設けられている。
現像スプレイ（２３）は、マニホールド（２１）とスプレイノズル（２２）で構成されており、スプレイノズル（２２）はマニホールド（２１）の下面の長手方向に複数個設けられているが、説明上、図２では実線で表している。
現像スプレイ（２３）は、傾斜搬送されてくるガラス基板（１）の表面に向け、スプレイノズル（２２）から現像液を吐出し、現像が行われる。
【０００８】
現像を傾斜処理で行うことによって、図３に矢印で示すように、ガラス基板（１）の表面に吐出された現像液は、ガラス基板上に滞留することはなくなり、現像液は傾斜下部（谷側）（ｂ）へ流れ、ガラス基板の表面には常に新しい現像液が供給される。
これにより、現像時間は短縮され、また、面内現像均一性（面内線幅均一性）は向上したものとなる。
【０００９】
図４は、水洗チャンバー（３０）の内部における搬送ローラー（３４）と水洗シャワー（３３）とガラス基板（１）の関係を説明する側面図である。また、図５は、図４中、白太矢印で示す方向からの側面図である。
図４及び図５に示すように、搬送ローラー（３４）は、図３に示す前記搬送ローラー（２４）と同様に、ガラス基板（１）の搬送方向の幅方向に傾斜して設けられている。  
【００１０】
水洗シャワー（３３）は、ガラス基板（１）の搬送路の上方に設けられている。水洗シャワー（３３）は、その長手方向を搬送ローラー（３４）の軸方向と平行にして、すなわち、搬送ローラー（３４）の傾斜角度（θ）と同一の傾斜角度で設けられている。マニホールド（３１）の下面の長手方向に設けられた吐出口（３２）は、マニホールド（３１）の真下面に設けられており、純水はガラス基板（１）の表面に対して垂直に吐出する。
【００１１】
現像直後に現像チャンバー（２０）から傾斜搬送されてくるガラス基板（１）の表面に向け吐出口（３２）から純水を吐出し水洗が行われる。
水洗を傾斜処理で行うことによって、ガラス基板の表面に付着した現像液を速やかに純水に置き換えることができる。つまり、置換水洗となる。
現像液を効率よく純水に置換することによって、現像が設定された時間以上に進行するのを防ぎ、面内現像均一性（面内線幅均一性）は向上したものとなる。
【００１２】
しかしながら、液晶表示装置用カラーフィルタを製造するマザーガラスのサイズが更に大型化して、第８世代（ガラス基板のサイズ、例えば、２１６０×２４６０ｍｍ）の大型ガラス基板になると、従来の構造による現像装置を用いたのでは、面内現像均一性（面内線幅均一性）を保つことが困難なものとなってきた。
【００１３】
これは、ガラス基板の第８世代への大型化により、ガラス基板の幅方向の現像液の置換効率が悪化し、ガラス基板の幅方向の傾斜上部（山側）と傾斜下部（谷側）とで線幅バラツキが大きくなったためと推量されている。
また、ガラス基板の長さ方向（搬送方向）の純水の置換効率が悪化し、ガラス基板の長さ方向（搬送方向）前部と後部とで線幅バラツキが大きくなったためと推量されている。
【特許文献１】特開平８−１２０４６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態のまま現像及び水洗を行う現像方法において、ガラス基板のサイズが、例えば、１１００×１３００ｍｍから２１６０×２４６０ｍｍへと大型化しても、面内現像均一性（面内線幅均一性）の良好な液晶表示装置用カラーフィルタを製造することのできる現像方法を提供することを課題とする。
【００１５】
また、本発明は、ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態のまま現像及び水洗を行う現像装置において、ガラス基板のサイズが、例えば、１１００×１３００ｍｍから２１６０×２４６０ｍｍへと大型化しても、面内現像均一性（面内線幅均一性）の良好な液晶表示装置用カラーフィルタを製造することのできる現像装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明における第一の発明は、ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態でガラス基板の表面への現像液の吐出による現像、及び水洗水の吐出による水洗を行う現像方法において、前記ガラス基板の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出量を、傾斜下部（谷側）側に吐出する現像液の吐出量１００％に対して１０〜５０％とすることを特徴とする現像方法である。
【００１７】
また、本発明は、上記発明による現像方法において、前記ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって、現像液の吐出量が漸増することを特徴とする現像方法である。
【００１８】
本発明における第二の発明は、ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態でガラス基板の表面への現像液の吐出による現像、及び水洗水の吐出による水洗を行う現像方法において、前記水洗水の吐出角度を、ガラス基板の幅方向の垂線を基準としてガラス基板の搬送方向に対向する方向へ２０〜５０度の角度とすることを特徴とする現像方法である。
【００１９】
また、本発明は、上記発明による現像方法において、前記ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって、水洗水の吐出角度が漸増することを特徴とする現像方法である。                          
【００２０】
本発明における第三の発明は、ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態でガラス基板の表面への現像液の吐出による現像、及び水洗水の吐出による水洗を行う現像装置において、前記ガラス基板の傾斜上部（山側）側に現像液を吐出する現像スプレイのスプレイノズルの数を、傾斜下部（谷側）側に現像液を吐出する現像スプレイのスプレイノズルの数１００％に対して１０〜５０％とすることを特徴とする現像装置である。
【００２１】
また、本発明は、上記発明による現像装置において、前記ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって、スプレイノズルの数が漸増することを特徴とする現像装置である。
【００２２】
本発明における第四の発明は、ガラス基板を搬送方向と直角の幅方向に傾斜搬送して、傾斜状態でガラス基板の表面への現像液の吐出による現像、及び水洗水の吐出による水洗を行う現像装置において、前記水洗水を吐出する水洗シャワーの吐出口の角度を、ガラス基板の幅方向の垂線を基準としてガラス基板の搬送方向に対向する方向へ２０〜５０度の角度とすることを特徴とする現像装置である。
【００２３】
また、本発明は、上記発明による現像装置において、前記ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって、吐出口の角度が漸増することを特徴とする現像装置である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明における第一の発明は、ガラス基板を傾斜処理する現像方法において、ガラス基
板の傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出量を、傾斜下部（谷側）側に吐出する現像液の吐出量１００％に対して１０〜５０％とするので、ガラス基板のサイズが、例えば、１１００×１３００ｍｍから２１６０×２４６０ｍｍへと大型化しても、面内現像均一性（面内線幅均一性）の良好な液晶表示装置用カラーフィルタを製造することのできる現像方法となる。
また、本発明は、上記現像方法において、ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって、現像液の吐出量が漸増するので、面内線幅均一性がより良好な現像方法となる。
【００２５】
本発明における第二の発明は、ガラス基板を傾斜処理する現像方法において、水洗水の吐出角度を、ガラス基板の幅方向の垂線を基準としてガラス基板の搬送方向に対向する方向へ２０〜５０度の角度とするので、ガラス基板のサイズが、例えば、１１００×１３００ｍｍから２１６０×２４６０ｍｍへと大型化しても、面内現像均一性（面内線幅均一性）の良好な液晶表示装置用カラーフィルタを製造することのできる現像方法となる。
また、本発明は、上記現像方法において、ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって、水洗水の吐出角度が漸増するので、面内線幅均一性がより良好な現像方法となる。
【００２６】
本発明における第三の発明は、ガラス基板を傾斜処理する現像装置において、ガラス基板の傾斜上部（山側）側に現像液を吐出する現像スプレイのスプレイノズルの数を、傾斜下部（谷側）側に現像液を吐出する現像スプレイのスプレイノズルの数１００％に対して１０〜５０％とするので、ガラス基板のサイズが、例えば、１１００×１３００ｍｍから２１６０×２４６０ｍｍへと大型化しても、面内現像均一性（面内線幅均一性）の良好な液晶表示装置用カラーフィルタを製造することのできる現像装置となる。
また、本発明は、上記現像装置において、ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって、スプレイノズルの数が漸増するので、面内線幅均一性がより良好な現像装置となる。
【００２７】
本発明における第四の発明は、ガラス基板を傾斜処理する現像装置において、水洗水を吐出する水洗シャワーの吐出口の角度を、ガラス基板の幅方向の垂線を基準としてガラス基板の搬送方向に対向する方向へ２０〜５０度の角度とするので、ガラス基板のサイズが、例えば、１１００×１３００ｍｍから２１６０×２４６０ｍｍへと大型化しても、面内現像均一性（面内線幅均一性）の良好な液晶表示装置用カラーフィルタを製造することのできる現像装置となる。
また、本発明は、上記現像装置において、ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって、吐出口の角度が漸増するので、面内線幅均一性がより良好な現像装置となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
本発明者は、ガラス基板が第８世代へと大型化することにより、ガラス基板の幅方向の現像液の置換効率が悪化し、ガラス基板の幅方向の傾斜上部（山側）と傾斜下部（谷側）とで線幅バラツキが大きくなる状態を精査した結果、ガラス基板の幅方向が大きくなると、傾斜下部（谷側）には傾斜上部（山側）から流れてきた現像液が液膜として滞留し、新たに吐出された現像液がガラス基板の表面にあたりにくい状況にあることを見出した。
【００２９】
また、現像チャンバー（２０）から搬送されてくるガラス基板の長さ方向（搬送方向）前部には、持ち出された現像液が滞留し易いために、純水の置換効率が低下し、ガラス基板前部は、後部に比べ現像が進行してしまう傾向にあり、ガラス基板の長さ方向（搬送方向）が大きくなると、この前部と後部の差が顕著になることを見出した。
【００３０】
図６は、第一の発明である請求項１に係わる現像方法において用いられる現像装置、すなわち、請求項５に係わる現像装置の一例の、現像チャンバー（２０）内部における現像スプレイ（４３）とガラス基板（１）の関係を説明する平面図である。図６に示すように、現像スプレイ（４３）は、ガラス基板（１）の搬送路の上方に複数個、その長手方向を搬送方向と直角にして設けられている。また、現像スプレイは、その長手方向が搬送ローラーの軸方向と平行である。すなわち、搬送ローラーの傾斜角度と同一の傾斜角度で設けられている。
【００３１】
現像スプレイ（４３）は、左現像スプレイ（４３Ｌ）と右現像スプレイ（４３Ｒ）で構成されている。左現像スプレイ（４３Ｌ）はガラス基板（１）の傾斜上部（山側）側に対応し、右現像スプレイ（４３Ｒ）はガラス基板（１）の傾斜下部（谷側）側に対応している。
左現像スプレイ（４３Ｌ）のマニホールド（２１）の下面の長手方向に複数個設けられているスプレイノズル（２２）の数は、右現像スプレイ（４３Ｒ）のマニホールド（２１）の下面の長手方向に複数個設けられているスプレイノズル（２２）の数の５０％の例である。すなわち、傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出量を、傾斜下部（谷側）側に吐出する現像液の吐出量１００％に対して５０％としたものである。
【００３２】
本発明における現像スプレイ（４３）を用いることによって、傾斜上部（山側）側に吐出する現像液の吐出量が減少し、傾斜上部（山側）側の現像効率が減少する。これにより、傾斜上部（山側）側の現像効率は傾斜下部（谷側）側の現像効率と略同等のものに近づき、ガラス基板（１）の幅方向の傾斜上部（山側）と傾斜下部（谷側）とで線幅バラツキは小さなものとなる。
【００３３】
具体的には、図６に示す現像スプレイ（４３）を用いることによって、ガラス基板の線幅バラツキは２０％程度小さなものが得られている。表１に示すように、図２に示す従来の現像スプレイ（２３）を用いた際のガラス基板の線幅バラツキ（３σ）は、３σ＝０．７６μｍであったものが、現像スプレイ（４３）を用いた実施例１にては、３σ＝０．５９μｍに向上したものが得られている。
尚、使用したガラス基板は、図１０に示すように、幅（Ｗ）２１６０×長さ（Ｌ）２４６０ｍｍのサイズのものであり、測定点はｐ〜ｔの５ヵ所である。
【００３４】
【表１】
2009008886.tif 000003
【００３５】
図７は、請求項２に係わる現像方法において用いられる現像装置、すなわち、請求項６に係わる現像装置の一例の、現像チャンバー（２０）内部における現像スプレイ（６３）とガラス基板（１）の関係を説明する平面図である。
図７に示すように、現像スプレイ（６３）には、マニホールド（２１）の下面の長手方向にスプレイノズル（２２）が複数個設けられている。スプレイノズル（２２）はガラス基板（１）の傾斜上部（山側）（ａ）の上端から傾斜下部（谷側）（ｂ）の下端に向かって、その数が漸増するように設けられている。
【００３６】
このような現像スプレイ（６３）を用いることによって、ガラス基板（１）の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって吐出される現像液が漸増し、現像効率は上端から下端に向かって漸増される。
つまり、上端から下端に向かうガラス基板の幅方向の全域にわたって現像効率が均一なものとなる。これによりガラス基板（１）の幅方向の傾斜上部（山側）と傾斜下部（谷側）とで線幅バラツキは略解消されたものとなる。
【００３７】
図８は、第二の発明である請求項３に係わる現像方法において用いられる現像装置、す
なわち、請求項７に係わる現像装置の一例の、水洗チャンバー（３０）内部における水洗シャワー（５３）とガラス基板（１）の関係を説明する平面図である。図８に示すように、水洗シャワー（５３）は、ガラス基板（１）の搬送路の上方に設けられている。水洗シャワー（５３）は、その長手方向を搬送ローラーの軸方向と平行にして、すなわち、搬送ローラーの傾斜角度と同一の傾斜角度で設けられている。マニホールド（３１）の下面の長手方向に設けられた吐出口（３２）が設けられている。
【００３８】
本発明における水洗シャワー（５３）は、水洗水を吐出する水洗シャワーの吐出口（３２）の角度（θ２）を、ガラス基板（１）の幅方向の垂線を基準としてガラス基板の搬送方向に対向する方向へ２０〜５０度の角度としている。この吐出口（３２）の角度（θ２）は、複数個ある水洗シャワー（５３）のすべてのマニホールド（３１）に一律に設けられている。
【００３９】
本発明における水洗シャワー（５３）を用いることによって、現像直後に水洗チャンバー（３０）に搬送されてきたガラス基板（１）上の現像液が純水と置換され易くなり、現像液の滞留は減少される。これにより、ガラス基板（１）の長さ方向（搬送方向）前部と後部とで線幅バラツキが小さなものとなる。
【００４０】
具体的には、図８に示す水洗シャワー（５３）を用いることによって、ガラス基板の線幅バラツキは１５％程度小さなものが得られている。表２に示すように、図５に示す従来の水洗シャワー（３３）を用いた際のガラス基板の線幅バラツキ（３σ）は、３σ＝０．７６μｍであったものが、水洗シャワー（５３）を用いた実施例２にては、３σ＝０．６６μｍに向上したものが得られている。
尚、水洗シャワーの吐出口（３２）の角度（θ２）は３０度とした。使用したガラス基板は、図１０に示すように、幅（Ｗ）２１６０×長さ（Ｌ）２４６０ｍｍのサイズのものであり、測定点はｐ〜ｔの５ヵ所である。
【００４１】
【表２】
2009008886.tif 000004
【００４２】
図９は、請求項４に係わる現像方法において用いられる現像装置、すなわち、請求項８に係わる現像装置の一例の、水洗チャンバー（３０）内部における水洗シャワー（７３）とガラス基板（１）の関係を説明する平面図である。
図９（ａ）は、ガラス基板（１）の傾斜上部（山側）の上端に対応した吐出口（３２）の角度（θ３）、例えば、２０度を表しており、また図９（ｂ）は、傾斜下部（谷側）の下端に対応した吐出口（３２）の角度（θ４）、例えば、５０度を表している。水洗水の吐出角度は、ガラス基板の傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって漸増している。
【００４３】
このような水洗シャワー（７３）を用いることによって、現像直後に水洗チャンバー（３０）に搬送されてきたガラス基板（１）上の現像液の純水による置換は、傾斜上部（山側）の上端から傾斜下部（谷側）の下端に向かって漸増して置換され易くなり、ガラス基板（１）の幅方向における純水置換に起因する線幅バラツキは略解消されたものとなる。
【００４４】
表３は、請求項１に係わる現像方法と、請求項３に係わる現像方法を併用した現像方法における具体的な効果を説明するものである。表３に示すように、両現像方法を併用することにより、ガラス基板の線幅バラツキは３０％程度小さなものが得られている。
従来のガラス基板の線幅バラツキ（３σ）は、３σ＝０．７６μｍであったものが、両現像方法を併用した実施例３にては、３σ＝０．５４μｍに向上したものが得られている。
【００４５】
【表３】
2009008886.tif 000005
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】傾斜処理を行う現像装置の一例を示す平面図である。
【図２】現像チャンバーの内部における現像スプレイとガラス基板の関係を説明する平面図である。
【図３】図２中、白太矢印で示す方向からの搬送ローラーと現像スプレイとガラス基板の関係を説明する側面図である。
【図４】水洗チャンバーの内部における搬送ローラーと水洗シャワーとガラス基板の関係を説明する側面図である。
【図５】図４中、白太矢印で示す方向からの側面図である。
【図６】請求項５に係わる現像装置の一例の、現像チャンバー内部における現像スプレイとガラス基板の関係を説明する平面図である。
【図７】請求項６に係わる現像装置の一例の、現像チャンバー内部における現像スプレイとガラス基板の関係を説明する平面図である。
【図８】請求項７に係わる現像装置の一例の、水洗チャンバー内部における水洗シャワーとガラス基板の関係を説明する平面図である。
【図９】請求項８に係わる現像装置の一例の、水洗チャンバー内部における水洗シャワーとガラス基板の関係を説明する平面図である。
【図１０】ガラス基板の測定点の説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
１・・・ガラス基板
１０・・・現像装置
２０・・・現像チャンバー
２１、３１・・・マニホールド
２２・・・スプレイノズル
２３・・・現像スプレイ
２４、３４・・・搬送ローラー
３０・・・水洗チャンバー
３２・・・吐出口
３３・・・水洗シャワー
４３、６３・・・本発明における現像スプレイ
５３、７３・・・本発明における水洗シャワー
【図１】
2009008886.tif 000006
【図２】
2009008886.tif 000007
【図３】
2009008886.tif 000008
【図４】
2009008886.tif 000009
【図５】
2009008886.tif 000010
【図６】
2009008886.tif 000011
【図７】
2009008886.tif 000012
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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