(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転するベース部材と、
前記ベース部材に対して周方向に沿って自転自在に複数配設されて部品を保持する保持部と、
前記ベース部材に配設されて前記保持部を自転駆動する保持部自転駆動手段と、
前記保持部自転駆動手段を制御する保持部自転制御装置と、を備え、
受入領域において前記保持部に保持された前記部品が、前記ベース部材の回転に伴って前記受入領域から搬出領域に搬送されると共に、前記保持部の自転に伴って姿勢が整えられるようになっており、更に、
前記ベース部材を回転自在に保持した状態で動作可能に構成されるアームを備え、
前記ベース部材は、前記アームの動作により、複数の前記保持部が前記受入領域および前記搬出領域に対向状態となる運転位置と、複数の前記保持部が前記受入領域および前記搬出領域に非対向状態となって先端をまとめて側方に向かって開放する退避位置と、の間を移動自在になっていることを特徴とする、
搬送装置。
【請求項２】
前記保持部自転駆動手段は、駆動力を発生させるモータ、および前記モータの駆動力を前記保持部に伝達する伝達機構からなることを特徴とする、
請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記保持部自転駆動手段は、複数の前記保持部に対応して複数が配設されると共に、各保時部に隣接配置されることを特徴とする、
請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記保持部および前記保持部に隣接配置された前記保持部自転駆動手段は、モジュールとして前記ベース部材に対して一体的に着脱可能であることを特徴とする、
請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記保持部自転制御装置は、前記ベース部材に配設されることを特徴とする、
請求項１乃至４のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項６】
前記保持部は、前記部品を吸着する吸着ノズルを備え、
前記吸着ノズルと低圧源を繋ぐ吸引通路が、前記ベース部材の内部に形成されることを特徴とする、
請求項１乃至５のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項７】
前記吸着ノズルと前記低圧源の連通・遮断を切り替える切替バルブが、前記ベース部材に形成された吸引通路の途中に配設され、
前記切替バルブを制御するノズル切替制御装置が、前記ベース部材に配設されることを特徴とする、
請求項６に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記保持部は、自転軸方向に往復移動自在に前記ベース部材に配置され、
前記保持部を前記自転軸方向に移動させる保持部軸方向駆動手段をさらに備えることを特徴とする、
請求項１乃至７のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項９】
前記保持部軸方向駆動手段は、前記受入領域または前記搬出領域に対して前記保持部を近接離隔させるように配設され、
前記保持部は、保持部軸方向駆動手段によって前記受入領域に近接した場合に前記部品を保持し、前記搬出領域に近接した場合に保持していた前記部品を解放することを特徴とする、
請求項８に記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記保持部軸方向駆動手段は、前記受入領域または前記搬出領域から離隔する方向に前記保持部を常に付勢する内部付勢装置を備えることを特徴とする、
請求項８または９に記載の搬送装置。
【請求項１１】
前記保持部軸方向駆動手段は、前記ベース部材の外部から前記保持部の一部に外力を加える外部付勢装置を備え、前記内部付勢装置の付勢力に勝る前記外力によって前記保持部を前記受入領域または前記搬出領域に近接させることを特徴とする、
請求項８乃至１０のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項１２】
前記受入領域と前記搬出領域の間の保持姿勢撮像領域において、前記保持部に保持された前記部品を撮像する保持姿勢撮像手段をさらに備え、
前記自転制御装置は、前記保持姿勢撮像手段からの情報に基づいて前記保持部自転駆動手段を制御することを特徴とする、
請求項１乃至１１のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項１３】
前記受入領域で待機中の前記部品を撮像する待機部品撮像手段をさらに備え、
前記ベース部材に周方向に配設された複数の前記保持部の間には、前記待機部品撮像手段により前記受入領域にある前記部品を撮像するための干渉回避空間部が形成されることを特徴とする、
請求項１乃至１２のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項１４】
前記受入領域には、複数の前記部品がバルク状態又は仮整列状態で載置される受入トレイが配設され、
前記搬出領域には、複数の前記部品が整列状態で載置される整列トレイが配設され、
前記受入トレイから取り出した前記部品を、姿勢を整えた上で前記整列トレイまで搬送し、前記整列トレイ上に整列状態で載置することを特徴とする、
請求項１乃至１３のいずれかに記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は部品等を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品等の各種部品の搬送においては、直動式の搬送装置と共に回転式の搬送装置が用いられている。この内、回転式の搬送装置は、回転する略円盤状のターレットテーブル（ターンテーブル、インデックステーブル）等に部品を保持して搬送するものであり、部品の向きを変更する必要がある場合や、部品の加工組立または各種検査を搬送途中に行う場合に用いられている。（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−１５２２２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に示されるような従来の搬送装置では、搬送する部品の姿勢を調整することが考慮されていなかった。このため、従来の搬送装置では、搬送先で部品を整列状態とするためには、搬送前から部品を予め整列状態としておかなければならないという問題があった。また、搬送途中に部品の姿勢を整えて整列させる場合には、搬送経路の途中に整列装置を設けると共に、整列装置のところで搬送装置を一時停止した上で部品の姿勢を調整する必要があった。従って、部品の製造工程または検査工程のサイクルタイムが長くなり、生産効率が悪化するという問題があった。
【０００４】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、部品を予め整列させなくても、搬送途中にサイクルタイムを悪化させることなく部品の姿勢を整えることが可能な搬送装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）本発明は、回転するベース部材と、前記ベース部材に対して周方向に沿って自転自在に複数配設されて部品を保持する保持部と、前記ベース部材に配設されて前記保持部を自転駆動する保持部自転駆動手段と、前記保持部自転駆動手段を制御する保持部自転制御装置と、を備え、受入領域において前記保持部に保持された前記部品が、前記ベース部材の回転に伴って前記受入領域から搬出領域に搬送されると共に、前記保持部の自転に伴って姿勢が整えられるようになっており、更に、前記ベース部材を回転自在に保持した状態で動作可能に構成されるアームを備え、前記ベース部材は、前記アームの動作により、複数の前記保持部が前記受入領域および前記搬出領域に対向状態となる運転位置と、複数の前記保持部が前記受入領域および前記搬出領域に非対向状態となって先端をまとめて側方に向かって開放する退避位置と、の間を移動自在になっていることを特徴とする、搬送装置である。
【０００６】
（２）本発明はまた、前記保持部自転駆動手段は、駆動力を発生させるモータ、および前記モータの駆動力を前記保持部に伝達する伝達機構からなることを特徴とする、上記（１）に記載の搬送装置である。
【０００７】
（３）本発明はまた、前記保持部自転駆動手段は、複数の前記保持部に対応して複数が配設されると共に、各保時部に隣接配置されることを特徴とする、上記（１）または（２）に記載の搬送装置である。
【０００８】
（４）本発明はまた、前記保持部および前記保持部に隣接配置された前記保持部自転駆動手段は、モジュールとして前記ベース部材に対して一体的に着脱可能であることを特徴とする、上記（３）に記載の搬送装置である。
【０００９】
（５）本発明はまた、前記保持部自転制御装置は、前記ベース部材に配設されることを特徴とする、上記（１）乃至（４）のいずれかに記載の搬送装置である。
【００１０】
（６）本発明はまた、前記保持部は、前記部品を吸着する吸着ノズルを備え、前記吸着ノズルと低圧源を繋ぐ吸引通路が、前記ベース部材の内部に形成されることを特徴とする、上記（１）乃至（５）のいずれかに記載の搬送装置である。
【００１１】
（７）本発明はまた、前記吸着ノズルと前記低圧源の連通・遮断を切り替える切替バルブが、前記ベース部材に形成された吸引通路の途中に配設され、前記切替バルブを制御するノズル切替制御装置が、前記ベース部材に配設されることを特徴とする、上記（６）に記載の搬送装置である。
【００１２】
（８）本発明はまた、前記保持部は、自転軸方向に往復移動自在に前記ベース部材に配置され、前記保持部を前記自転軸方向に移動させる保持部軸方向駆動手段をさらに備えることを特徴とする、上記（１）乃至（７）のいずれかに記載の搬送装置である。
【００１３】
（９）本発明はまた、前記保持部軸方向駆動手段は、前記受入領域または前記搬出領域に対して前記保持部を近接離隔させるように配設され、前記保持部は、保持部軸方向駆動手段によって前記受入領域に近接した場合に前記部品を保持し、前記搬出領域に近接した場合に保持していた前記部品を解放することを特徴とする、上記（８）に記載の搬送装置である。
【００１４】
（１０）本発明はまた、前記保持部軸方向駆動手段は、前記受入領域または前記搬出領域から離隔する方向に前記保持部を常に付勢する内部付勢装置を備えることを特徴とする、上記（８）または（９）に記載の搬送装置である。
【００１５】
（１１）本発明はまた、前記保持部軸方向手段は、前記ベース部材の外部から前記保持部の一部に外力を加える外部付勢装置を備え、前記内部付勢装置の付勢力に勝る前記外力によって前記保持部を前記受入領域または前記搬出領域に近接させることを特徴とする、上記（８）乃至（１０）のいずれかに記載の搬送装置である。
【００１６】
（１２）本発明はまた、前記受入領域と前記搬出領域の間の保持姿勢撮像領域において、前記保持部に保持された前記部品を撮像する保持姿勢撮像手段をさらに備え、前記自転制御装置は、前記保持姿勢撮像手段からの情報に基づいて前記保持部自転駆動手段を制御することを特徴とする、上記（１）乃至（１１）のいずれかに記載の搬送装置である。
【００１７】
（１３）本発明はまた、前記受入領域で待機中の前記部品を撮像する待機部品撮像手段をさらに備え、前記ベース部材に周方向に配設された複数の前記保持部の間には、前記待機部品撮像手段により前記受入領域にある前記部品を撮像するための干渉回避空間部が形成されることを特徴とする、上記（１）乃至（１２）のいずれかに記載の搬送装置である。
【００１９】
（１４）本発明はまた、前記受入領域には、複数の前記部品がバルク状態又は仮整列状態で載置される受入トレイが配設され、前記搬出領域には、複数の前記部品が整列状態で載置される整列トレイが配設され、前記受入トレイから取り出した前記部品を、姿勢を整えた上で前記整列トレイまで搬送し、前記整列トレイ上に整列状態で載置することを特徴とする、上記（１）乃至（１３）のいずれかに記載の搬送装置である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、部品を予め整列させなくても、搬送途中にサイクルタイムを悪化させることなく部品の姿勢を整えることができるという優れた効果を奏し得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の例について詳細に説明する。
【００２２】
図１は本発明の実施の形態に係る搬送装置１の正面図であり、図２は搬送装置１の左側面図であり、図３は搬送装置１の平面図である。なお、以下の説明における各方向は、原則として搬送装置１を正面から見た場合を基準としている。
【００２３】
この搬送装置１は、部品供給装置２にバルク状態で載置された部品を取り出して整列トレイ３まで搬送し、部品を整列トレイ３上に整列状態で載置するものである。図１〜３に示されるように、搬送装置１は、基台１０と、基台１０に揺動自在に配設されたアーム２０と、アーム２０に回転自在に配設されたベース部材３０と、ベース部材の外周面に周方向に沿って配設された４つの部品保持モジュール４０と、アーム２０に配設された２つの外部付勢装置５０と、ベース部材３０を回転させるベース部材回転駆動手段６０と、基台１０上面の中央手前側に配設された保持姿勢撮像手段７０と、アーム２０を揺動させる揺動手段８０と、搬送装置１全体を制御する中央制御装置９０を有して構成されている。
【００２４】
基台１０は、略直方体状の部材である。基台１０の内部には、中央制御装置９０や、特に図示しない電源装置等が配設されている。基台１０上面の奥側端部には柱部材１１が配設されており、この柱部材１１の上端にはアーム２０を動作可能（揺動自在）に支持するアームブラケット１１ａが配設されている。本実施形態では、基台１０上面の左側部分を搬送する部品を受け入れる受入領域１２、基台１０上面の右側を部品の搬送先である搬出領域１３と設定している。また、保持姿勢撮像手段７０が配設された基台１０上面の中央手前側部分を保持姿勢撮像領域１４としている。受入領域１２には部品供給装置２が配設されており、搬出領域１３には整列トレイ３が配設されている。部品供給装置２および整列トレイ３については後述する。
【００２５】
アーム２０は、アームブラケット１１ａからベース１０の上方を手前に向けて伸びる腕状の部材である。アーム２０にはベース部材３０が回転自在に保持されると共に、ベース部材回転駆動手段６０および外部付勢装置５０が配設されている。
【００２６】
ベース部材３０は、略円盤状の部材であり、外周面に４つの部品保持モジュール４０が等間隔で配設されている。図１〜３では、部品を搬送可能な位置である運転位置にベース部材３０がある状態を示している。ベース部材３０は、運転位置において回転の中心軸が上下方向となるようにアーム２０に保持されている。そして、ベース部材３０は、運転位置において回転した場合に全ての部品保持モジュール４０が受入領域１２、搬出領域１３および保持姿勢撮像領域１４の上方を通過するように構成されている。また、運転位置においていずれかの部品保持モジュール４０が受入領域１２に対向する位置にある場合に、他の部品保持手段３２が搬出ステージ１２に対向する位置にあるように構成されている。
【００２７】
図４（ａ）はベース部材３０および部品保持モジュール４０の平面図であり、同図（ｂ）はベース部材３０および部品保持モジュール４０の断面図である。同図（ａ）に示されるように、部品保持モジュール４０は、略円筒状のベース部材３０の外周面に９０度間隔で外側に向けて突設されている。本実施形態では、このように各部品保持モジュール４０の間の部材を排除して（または切り欠いて）干渉回避空間部３１を生じるようにしている。干渉回避空間部３１の機能については、後述する。また、部品保持モジュール４０は、特に図示しないボルト等によって容易に着脱可能にベース部材３０に配設されている。
【００２８】
ベース部材３０の上面の中心には、中空軸３２が突設されている。この中空軸３２はベース部材３０の回転の中心となると共に、アーム２０に回転自在に保持される部分となっている。また、中空軸３２は、大径の外側パイプ３２ａと小径の内側パイプ３２ｂが同軸的に配設された二重構造となっている。中空軸３２の外側パイプ３２ａと内側パイプ３２ｂの間隙は、低圧源となる真空ポンプ（図示省略）と部品保持モジュール４０を繋ぐ通路の一部となっている。中空軸３２の上端部には、スイベルジョイント３３を介して真空ポンプに繋がるエア配管３４が接続されている。
【００２９】
ベース部材３０の内部には、外側パイプ３２ａと内側パイプ３２ｂの間隙と同軸的に接続された中央気室３５が中心部に形成されており、さらに、この中央気室３５から各部品保持モジュール４０に個別に接続された４つの吸引通路３６が放射状に形成されている。各吸引通路３６の途中には、部品保持モジュール４０と真空ポンプの連通・遮断を切り替える切替バルブ３７がそれぞれ配設されている。従って、本実施形態では、各部品保持モジュール４０と真空ポンプの連通・遮断を個別に切り替えることが可能となっている。本実施形態における切替バルブ３７は、ソレノイドによって弁体を移動させる電磁弁から構成されている。なお、切替バルブ３７は、電気的に駆動されるものであればその他の構成のものであってもよい。
【００３０】
ベース部材３０の内部にはさらに、切替バルブ３７を制御して後述する吸着ノズル４２ａによる部品の吸着・解放を制御する吸着ノズル切替制御装置９１、および、後述する保持部自転駆動手段４３を制御する保持部自転制御装置９２が配設されている。吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備えた制御装置である。吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２は、特に図示しない配線によって、切替バルブ３７および保持部自転駆動手段４３とそれぞれ電気的に接続されると共に、中央制御装置９０に電気的に接続されている。中央制御装置９０と吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２を繋ぐ配線は、中空軸３２先端部に配設されたスリップリング３８を介して接続されている。スリップリング３８と吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２の間の配線は、中空軸３２の内側パイプ３２ｂ内部を通されている。
【００３１】
図５（ａ）および（ｂ）は、部品保持モジュール４０の断面構造および外部付勢装置５０を示した図である。これらの図に示されるように、部品保持モジュール４０は、筺体４１と、筺体４１に自転自在に配設された保持部４２と、保持部４２を自転駆動する保持部自転駆動手段４３を有して構成されている。
【００３２】
筺体４１は、保持部４２および保持部自転駆動手段４３を内部に保持すると共に、ベース部材３０にボルト等によって着脱可能に固定された部材である。
【００３３】
保持部４２は、図の下方に向けられた先端に吸着ノズル４２ａが配設された細長い円筒状の部材である。保持部４２は、中心軸周りに回転（自転）自在であると共に、中心軸（自転軸）方向に沿って往復移動自在に筺体４１に保持されている。保持部４２の内部は吸着ノズル４２ａに繋がる吸引通路４２ｂとなっている。保持部４２の吸引通路４２ａは、特に図示しない通路およびコネクタを介してベース部材３０に配設された切替バルブ３７に接続される。
【００３４】
吸着ノズル４２ａは、運転位置においては基台１０上面に対向するように設けられている。切替バルブ３７は、真空ポンプと吸着ノズル４２ａの連通・遮断を切り替えると共に、遮断時には、吸着ノズル４２ａを大気開放状態とするように構成されている。すなわち、保持部４２は、切替バルブ３７によって真空ポンプと吸着ノズル４２ａが連通された場合に、吸着ノズル４２ａによって部品を吸引して吸着（保持）し、切替バルブ３７によって真空ポンプと吸着ノズル４２ａが遮断された場合に、吸着ノズルに保持していた部品を解放するように構成されている。
【００３５】
保持部自転駆動手段４３は、筺体４１に固定されたモータ４３ａと、モータ４３ａの回転駆動力を保持部４２に伝達する伝達機構４３ｂから構成されている。本実施形態では、モータ４３ａはステッピングモータから構成されている。モータ４３ａは、特に図示しない配線およびコネクタを介して、保持部自転制御装置９２と電気的に接続される。伝達機構４３ｂは、モータ４３ａの出力軸に固定された駆動歯車４３ｂ１、および保持部４２に同軸的に固定された従動歯車４３ｂ２からなり、モータ４３ａの回転数を所定の減速比で減速するように構成されている。なお、伝達機構４３ｂを３つ以上の歯車列から構成するようにしてもよいし、ベルト伝達機構やチェーン伝達機構等により構成するようにしてもよい。
【００３６】
保持部４２は、この保持部自転駆動手段４３に駆動されて自転する。本実施形態では、このように保持部４２を自転させることによって、吸着ノズル４２ａに吸着保持した部品の姿勢を整えるようになっている。
【００３７】
保持部４２の基端部（図の上端部）には、ブラケット４４が接続されている。ブラケット４４は、保持部４２の上端部から図の右側（ベース部材３０の中心側）に向けて配設されている。ブラケット４４は保持部４２に対して、保持部４２の中心軸周りに回転自在であるが保持部４２の中心軸方向には移動不可能に接続されている。すなわち、保持部４２が自転した場合には、ブラケット４４は回転しないが、保持部４２が中心軸（自転軸）方向に往復移動した場合には、ブラケット４４は保持部と共に往復移動するようになっている。
【００３８】
ブラケット４４は、内部付勢装置４５によって筺体４１から常に上方（アーム２０側）に向けて付勢されており、通常は図の右側端部を、筺体４１の図の右側内側面上部に設けられたストッパ４６に当接させた状態で静止している。これにより、保持部４２は、通常は図５（ａ）に示されるように、ブラケット４４と共にアーム２０側に引き寄せられた状態となる。すなわち、運転位置においては、保持部４２は通常、基台１０上面から離隔した状態となる。ブラケット４４の図の右側端部上面には、受圧部材４４ａが上方（アーム２０側）に向けて突設されている。この受圧部材４４ａは筺体４１の外部に露出しており、外部付勢装置５０は、この受圧部材４４ａに外力を加えて押圧するように構成されている。
【００３９】
外部付勢装置５０は、先端を受圧部材４４ａに向けてアーム２０に配設された細長い円筒状のガイド部材５１と、ガイド部材５１の内部に挿通された細長い棒状の押圧部材５２と、アーム２０の上面に配設されたモータ５３と、モータ５３の出力軸に固定されたカム５４を有して構成されている。押圧部材５２は、先端を受圧部材４４ａに向けると共に、基端をカム５４に接続されている。そして、モータ５３に駆動されたカム５４の回転に伴って図の上下（受圧部材４４ａに近接離隔する方向）に往復移動するように構成されている。カム５４のカムプロファイルは、搬送装置１の搬送速度等に応じて適宜に設定すればよい。
【００４０】
押圧部材５２は、受圧部材４４ａに近接する方向への移動によって、自身の先端が受圧部材４４ａに当接すると共に、内部付勢装置４５の付勢力に勝る外力を受圧部材４４ａに加える。そして、図５（ｂ）に示されるように、ブラケット４４と共に保持部４２を、保持部４２の自転軸に沿ってアーム２０から離隔する方向に移動させる。その後、カム５４の回転に伴って押圧部材５２が受圧部材４４ａから離隔する方向へ移動すると、ブラケット４４および保持部４２は、内部付勢装置４５の付勢力により、保持部４２の自転軸に沿ってアーム２０に近接する方向に移動することとなる。
【００４１】
図１〜３に戻って、本実施形態では、運転位置において受入領域１２および搬出領域１３に対向する位置にある部品保持モジュール４０の受圧部材４４ａを押圧する位置に、外部付勢装置５０がそれぞれ配設されている。従って、外部付勢装置５０は、運転位置において受入領域１２または搬出領域１３に近接する方向に保持部４２を移動させるように配設されている。また、内部付勢装置４５は、運転位置において受入領域１２または搬出領域１３から離隔する方向に常に保持部４２を付勢し、外部付勢装置５０による受圧部材４４ａへの外力が加わらなくなった場合には、受入領域１２または搬出領域１３から離隔する方向に保持部４２を移動させるように構成されている。すなわち、本発明における保持部自転軸方向駆動手段は、内部付勢装置４５および外部付勢装置５０から構成されている。
【００４２】
ベース部材回転駆動手段６０は、アーム２０の図の下面に固定され、アーム２０とターレットテーブル３０の間に位置している。本実施形態では、ベース部材回転駆動手段６０は、アーム２０に固定されるステータ、およびステータの外周を回転する筒状のロータから構成されるＤＤモータである。ステータの中心部には軸方向に貫通孔が形成されている。ベース部材３０は、この貫通孔内に中空軸３２を挿通した状態でロータに固定されている。
【００４３】
保持姿勢撮像手段７０は、本実施形態ではＣＣＤカメラから構成されている。保持姿勢撮像手段７０は、保持姿勢撮像領域１４において上方から来る光を検知可能なように配設されている。具体的には、保持姿勢撮像手段７０は、運転位置において保持姿勢撮像領域１４に対向する位置にある部品保持モジュール４０の吸着ノズル４２ａに保持された部品を下方から撮像する位置に配設されている。保持姿勢撮像手段７０は中央制御装置９０と電気的に接続されており、撮像して得られた画像情報は中央制御装置９０に送信される。
【００４４】
揺動手段８０は、モータ８２と、モータ８２の出力軸に接続されるねじ軸８４と、アーム２０に配設されるナット８６とから構成されている。モータ８２は、例えばステッピングモータであり、出力軸を上にして柱部材１１の左側面にモータブラケット８２ａを介して揺動可能に配設されている。ねじ軸８４は、外周面におねじが形成された棒状の部材であり、モータ８２の出力軸に同軸的に接続されている。ナット８６は、ねじ軸８４のおねじと螺合するめねじを備えており、ナットブラケット８８を介してアーム２０の後端上方に回動可能に配設されている。ナット８６はねじ軸８４と螺合しており、ねじ軸８４がモータ８２に駆動されて回転することにより、ねじ軸８４に沿って直線移動する。ナット８６は、アーム２０の揺動中心よりも左側に位置している。従って、ナット８６を下方に移動させることでベース部材３０を上昇させ、ナット８６を上方に移動させることでベース部材３０を下降させることができる。
【００４５】
図６は、ベース部材３０を退避位置まで移動させた状態を示した左側面図である。揺動手段８０は、部品保持モジュール４０が受入領域１２、搬出領域１３および保持姿勢撮像領域１４に対向状態となる運転位置（図２参照）と、部品保持モジュール４０が受入領域１２、搬出領域１３および保持姿勢撮像領域１４に非対向状態となる退避位置との間を、ベース部材３０を移動可能に構成されている。具体的には、揺動手段８０はアーム２０を略９０度回動させることで、ベース部材３０を運転位置から退避位置に移動させる。アーム２０の回動に伴ってナット８６およびモータ８２が回動または揺動するため、揺動手段８０は、シンプルな構成でありながらも、アーム２０をスムーズに回動させることができる。本実施形態では、退避位置に移動させることによって、ベース部材３０を基台１０から大きく引き離すと共に、ベース部材３０の下面および部品保持モジュール４０の吸着ノズル４２ａの先端を側方に向けて開放するようにしている。このようにすることで、吸着ノズル４２ａのメンテナンスや、基台１０に配設された部品供給装置２、整列トレイ３および保持姿勢撮像手段７０等のメンテナンスを容易に行うことができる。
【００４６】
図１〜３に戻って、中央制御装置９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備えた制御装置であり、外部付勢装置５０、ベース部材回転駆動手段６０および保持姿勢撮像手段７０等を直接制御すると共に、吸着ノズル切替制御装置９１および保持部自転制御装置９２に制御情報を送信して、４つの切替バルブ３７および４つの保持部自転駆動手段４３を個別に制御させる。
【００４７】
部品供給装置２は、略四角形状の受入トレイ２ａと、例えばＸ−Ｙテーブルから構成されるトレイ移動手段２ｂと、アーム２０に配設された待機部品撮像手段２ｃから構成されている。受入トレイ２ａは、トレイ移動手段２ｂ上に配設されている。トレイ移動手段２ｂは、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されている。本実施形態におけるトレイ移動手段２ｂは、図３における上下方向および左右方向に受入トレイ２ａを移動可能となっている。待機部品撮像手段２ｃは、運転位置において、受入トレイ２ａ上に載置された状態で受入領域１２にある部品を上方から撮像する位置に配設されている。待機部品撮像手段２ｃは中央制御装置９０と電気的に接続されている。
【００４８】
部品供給装置２は、図３の左側に示す供給領域１５において外部からバルク状態で受入トレイ２ａ上に載置された複数の部品を、トレイ移動手段２ｂによって受入トレイ２ａを移動させることにより、受入領域１２まで搬送する。すなわち、部品供給装置２は、部品を搬送する搬送装置としても機能するように構成されている。部品供給装置２は、複数の部品を受入領域１２まで搬送した後、待機部品撮像手段２ｃによって受入領域１２にある複数の部品を撮像し、その画像情報を中央制御装置９０に送信する。中央制御装置９０は、受信した画像情報を解析し、画像情報に含まれる複数の部品のうちの１つを適宜に選択する。そして、吸着ノズル４２ａが吸着可能な位置に選択した１つの部品を配置するようにトレイ移動手段２ｂを制御する。トレイ移動手段２ｂは、中央制御装置９０の制御に基づいて、受入トレイ２ａを移動させ、選択された部品が吸着ノズル４２ａによって適切に吸着可能となるように、その位置を整える。すなわち、部品供給装置２は、吸着ノズル４２ａに対する部品の位置を整える整列装置としても機能するように構成されている。
【００４９】
待機部品撮像手段２ｃは、受入領域１２の真上に配設されているため、受入領域１２に対抗する位置に部品保持モジュール４０がある場合には、部品保持モジュール４０に邪魔されて受入トレイ２ａ上の部品を撮像することができない。従って、待機部品撮像手段２ｃは、ベース部材３０の回転中、すなわち、受入領域１２から部品を保持した部品保持モジュール４０が保持姿勢撮像領域１４まで移動し、次の部品保持モジュール４０が受入領域１２まで到着する間に撮像を行う。２つの部品保持モジュール４０の間は、上述したように、大きく切り欠かれて部材が排除された干渉回避空間部３１となっているため、待機部品撮像手段２ｃは、干渉回避空間部３１を通して上方から受入トレイ２ａ上の部品を撮像することができる。
【００５０】
このように、本実施形態では、部品保持モジュール４０の間に干渉回避空間部３１を形成することによって、待機部品撮像手段２ｃによる受入トレイ２ａ上に載置されて受入領域１２にある部品を撮像することを可能としている。これにより、吸着ノズル４２ａに対する部品の位置を微調整することができるため、バルク状態で載置された部品であっても、適切に吸着ノズル４２ａに吸着させて、搬送することが可能となる。なお、干渉回避空間部３１は、部材を全く排除した切り欠きに限定されるものではなく、例えばガラス等の光を透過することができる部材から構成されるものであってもよい。
【００５１】
整列トレイ３は、マトリクス状に配置された複数の凹部３ａが上面に形成されたトレイであり、例えばＸ−Ｙテーブルから構成された整列トレイ移動手段３ｂ上に配設されている。整列トレイ移動手段３ｂは、図示は省略するが、モータによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成されている。本実施形態における整列トレイ移動手段３ｂは、図３における上下方向および左右方向に整列トレイ３を移動可能となっている。
【００５２】
整列トレイ移動手段３ｂは、中央制御装置９０に制御されて、搬出領域１３にある部品保持モジュール４０の吸着ノズル４２ａの真下に、複数の凹部３ａのうちの１つが順番に位置するように整列トレイ３を移動させる。すなわち、搬出領域１３において吸着ノズル４２ａから開放された部品が凹部３ａに収容された後に、次に搬送される部品が収容される凹部３ａを、次に搬出領域１３に到着する吸着ノズル４２ａの真下となる位置に配置するという動作を繰り返し、全ての凹部３ａ内に部品を収容させる。全ての凹部３ａ内に部品が収容された整列トレイ３は、例えば次の検査工程等に運ばれる。
【００５３】
次に、搬送装置１の作動について説明する。図７（ａ）〜（ｆ）は、搬送装置１の作動を示した平面図である。
【００５４】
まず、同図（ａ）に示されるように、部品供給装置２が、供給領域１５において複数の部品を載置された受入トレイ２ａを受入領域１２まで移動させる。そして、同図（ｂ）に示されるように、ベース部材３０が図の反時計回りに略９０度回転する。このとき、ベース部材３０の回転中に待機部品撮像手段２ｃが受入トレイ２ａ上の部品を撮像し、この画像情報を基にトレイ移動手段２ｂがトレイ２ｂを移動させ、選択された受入トレイ２ａ上の１つの部品を受入領域１２にある部品保持手段４０の吸着ノズル４２ａの真下に配置する。待機部品撮像手段による撮像およびトレイ移動手段２ｂによる部品位置の調整は、次の部品保持モジュール４０が受入領域１２に対抗する位置に到着するまでに行われる。
【００５５】
ベース部材３０は、略９０度回転した後に、同図（ｃ）に示されるように、所定の時間静止する。ベース部材３０が静止している間に、外部付勢装置５０が、受入領域１２にある部品保持手段４０の保持部４２を下降させ、吸着ノズル４２ａを選択された部品に近接させる。そして、切替バルブ３７が吸着ノズル４２ａと真空ポンプを連通させることにより、吸着ノズル４２ａが選択された部品を吸着して保持する。その後、外部付勢装置５０による受圧部４４ａの押圧が解除されると共に、内部付勢装置４５による付勢力によって保持部４２は、吸着ノズル４２ａに部品を保持した状態で上昇する。
【００５６】
次に、ベース部材３０は、再び略９０度回転して、同図（ｄ）に示されるように、再び所定の時間静止する。これにより、先ほどトレイ２ｂ上から取り出された部品は、保持姿勢撮像領域１４に対抗する位置に搬送される。ベース部材３０が静止している間に、保持姿勢撮像手段７０は、吸着ノズル４２ａに保持されている部品を撮像する。ベース部材３０が回転している間には、先ほどと同様に、待機部品撮像手段２ｃは受入トレイ２ａ上の部品を撮像し、トレイ移動手段２ｂは次の部品を吸着ノズル４２ａの真下に配置する。そして、ベース部材３０が静止している間には、先ほどと同様に、受入領域１２に対抗する位置にある部品保持手段４０の吸着ノズル４２ａが次の部品を吸着して保持する。
【００５７】
次に、ベース部材３０は、同図（ｅ）に示されるように、再び略９０度回転する。ベース部材３０が回転している間に、保持部自転駆動手段４３が、保持姿勢撮像手段７０によって撮像された画像情報に基づいて保持部４２を適切な角度だけ自転させ、吸着ノズル４２ａに保持された部品の姿勢を、整列トレイ３の凹部３ａ内に適切に収容されるように整える。この間にも待機部品撮像手段２ｃおよびトレイ移動手段２ｂは、上記動作を行う。
【００５８】
次に、ベース部材３０は、同図（ｆ）に示されるように、再び所定の時間静止する。先ほど姿勢を整えられた部品は、搬出領域１３に到着している。ベース部材３０が静止している間に、外部付勢装置５０が、搬出領域１３にある部品保持手段４０の保持部４２を下降させ、吸着ノズル４２ａを整列トレイ３の凹部３ａに近接させる。そして、切替バルブ３７が吸着ノズル４２ａと真空ポンプを遮断して吸着ノズル４２ａを大気開放状態とする。これにより、吸着ノズル４２ａが保持していた部品は開放されて落下し、凹部３ａに収容される。その後、外部付勢装置５０による受圧部４４ａの押圧が解除されると共に、内部付勢装置４５による付勢力によって保持部４２は、吸着ノズル４２ａに部品を保持した状態で上昇する。保持姿勢撮像手段７０は、この間に、上記同様に次の部品を撮像する。また、受入領域１２にある部品保持モジュール４０は、その次の部品を吸着ノズル４２ａに保持する。
【００５９】
次に、ベース部材３０は、再び略９０度回転する。ベース部材３０が回転している間に、整列トレイ移動手段３ｂは、次の凹部３ａを吸着ノズル４２ａの真下に配置するように、整列トレイ３を移動させる。この間にも、待機部品撮像手段２ｃ、トレイ移動手段２ｂおよび保持部自転駆動手段４３は、上記動作を行う。
【００６０】
搬送装置１は、上記動作を繰り返すことによって、受入トレイ２ａ上にバルク状態で載置された部品を１つずつ取り出して搬送し、整列トレイ３上に整列状態で載置する。搬送装置１では、受入トレイ２ａ上の部品の位置調整、および吸着ノズル４２ａに保持された部品の姿勢の調整をベース部材３０の回転中に行うため、無駄な待ち時間が発生しないようになっている。このため、搬送装置１は、バルク状態の複数の部品の中から１つの部品を適切に取り出し、且つ姿勢を整えた上で整列トレイ３まで搬送して整列状態とする動作を高速に実行することができる。
【００６１】
以上説明したように、本実施形態に係る搬送装置１は、回転するベース部材３０と、ベース部材３０に対して周方向に沿って自転自在に複数配設されて部品を保持する保持部４２と、ベース部材３０に配設されて保持部４２を自転駆動する保持部自転駆動手段４３と、保持部自転駆動手段４３を制御する保持部自転制御装置９２と、を備え、受入領域１２において保持部４２に保持された部品が、ベース部材３０の回転に伴って受入領域１２から搬出領域１３に搬送されると共に、保持部４２の自転に伴って姿勢が整えられる。
【００６２】
このため、受入領域１２において部品を予め整列させなくても、搬送途中にサイクルタイムを悪化させることなく部品の姿勢を整えた上で、搬出領域１３まで部品を搬送することができる。これにより、部品の高速搬送および高速整列が可能となり、部品の生産効率や検査効率を向上させることができる。
【００６３】
また、保持部自転駆動手段４３は、駆動力を発生させるモータ４３ａ、およびモータ４３ａの駆動力を保持部４２に伝達する伝達機構４３ｂからなる。このため、保持部４２を自転させることによる部品の姿勢の調整を高速且つ正確に行うことができる。
【００６４】
また、保持部自転駆動手段４３は、複数の保持部４２に対応して複数が配設されると共に、各保時部４２に隣接配置される。このため、シンプル且つ軽量な構成で各保持部４２の自転を個別に制御することができる。さらに、保持部４２と保持部自転駆動手段４３をモジュール化することができる。
【００６５】
また、保持部４２および保持部４２に隣接配置された保持部自転駆動手段４３は、部品保持モジュール４０としてベース部材３０に対して一体的に着脱可能である。このため、メンテナンス性を向上させることができる。
【００６６】
また、保持部自転制御装置９２は、ベース部材３０に配設されている。このため、保持部自転制御装置９２をベース部材３０の外部に配設する場合と異なり、回転するベース部材３０から外部に出る配線の数を少なくし、メンテナンス性を向上させることができる。また、スリップリング等を小型化し、回転するベース部材３０の周囲のスペース効率を向上させることが可能となる。これにより、搬送装置１をメンテナンスし易い退避位置までベース部材３０が移動可能な構造とすることができる。
【００６７】
また、保持部４２は、部品を吸着する吸着ノズル４２ａを備え、吸着ノズル４２と低圧源である真空ポンプを繋ぐ吸引通路３６が、ベース部材３０の内部に形成されている。このため、ベース部材３０の周囲に多数のエア配管およびロータリージョイントを配設する必要が無くなり、ベース部材３０をコンパクトに構成することができる。また、ベース部材３０周囲のスペースに余裕が生じると共に、エア配管の取り回しを考慮する必要が無くなるため、搬送装置１をメンテナンスし易い退避位置までベース部材３０が移動可能な構造とすることができる。
【００６８】
また、吸着ノズル４２ａと低圧源である真空ポンプの連通・遮断を切り替える切替バルブ３７が、ベース部材３０に形成された吸引通路３６の途中に配設されている。このため、吸着ノズル４２ａからなるべく近い位置に切替バルブ３７を配設することができる。これにより、切替バルブ３７と吸着ノズル４２ａの間の吸引通路が短くなるため、吸引通路および吸着ノズル４２ａ内部の圧力変化に要する時間を短くすることができる。すなわち、切替バルブ３７の切り替えに対する吸着ノズル４２ａによる部品の吸着・解放の応答速度が向上する。従って、吸着ノズル４２ａによる部品の吸着・解放を短時間で行うことが可能となるため、部品搬送のサイクルタイムを向上させることができる。
【００６９】
なお、切替バルブ３７は、保持部４２に隣接配置することが好ましい。さらに、保持部４２および保持部自転駆動手段４３に切替バルブ３７を加えてモジュール化してもよい。
【００７０】
また、切替バルブ３７を制御するノズル切替制御装置９１が、ベース部材３０に配設されている。このため、ノズル切替制御装置９１をベース部材３０の外部に配設する場合と異なり、回転するベース部材３０から外部に出る配線の数を少なくし、メンテナンス性を向上させることができる。
【００７１】
また、保持部４２は、自転軸方向に往復移動自在にベース部材３０に配置され、搬送装置１は、保持部４２を自転軸方向に移動させる保持部軸方向駆動手段をさらに備えている。このため、部品を保持する吸着ノズル４２ａを受入領域１２または搬出領域に対して近接離隔させる場合に、保持部４２のみを近接させることができる。これにより、ベース部材３０全体を受入領域１２または搬出領域１３に対して近接離隔させる場合よりも慣性の影響が小さくなることから、より高速に吸着ノズル４２ａを受入領域１２または搬出領域に対して近接離隔させることができる。すなわち、部品搬送のサイクルタイムを向上させることができる。
【００７２】
また、保持部軸方向駆動手段は、受入領域１２または搬出領域１３に対して保持部４２を近接離隔させるように配設され、保持部４２は、保持部軸方向駆動手段によって受入領域１２に近接した場合に部品を保持し、搬出領域１３に近接した場合に保持していた部品を解放する。このため、保持部４２を上昇させた状態でベース部材３０を回転させることで、基台１０上面に配設された各種部材や装置等と干渉せずに部品を搬送することができる。また、部品の組立加工や各種検査等を行う装置を、部品の搬送途中に設けた場合にも、部品の搬送を阻害しないようにすることができる。
【００７３】
また、保持部軸方向駆動手段は、受入領域１２または搬出領域１３から離隔する方向に保持部４２を常に付勢する内部付勢装置４５を備えている。このため、内部付勢装置４５を部品保持モジュール４０またはベース部材３０に配設することで、ベース部材３０の周囲のスペースに余裕を持たせることができ、メンテナンス性を向上させることができる。
【００７４】
また、保持部軸方向手段は、ベース部材３０の外部から保持部４２の一部に外力を加える外部付勢装置５０を備え、内部付勢装置４５の付勢力に勝る外力によって保持部４２を受入領域１２または搬出領域１３に近接させる。このため、保持部４２を移動させるためのアクチュエータ等をベース部材３０または部品保持モジュール４０に配設する必要がない。これにより、ベース部材３０および部品保持モジュール４０小型軽量に構成することが可能となるため、部品搬送のサイクルタイムを向上させることができる。
【００７５】
また、受入領域１２と搬出領域１３の間の保持姿勢撮像領域１４において、保持部４２に保持された部品を撮像する保持姿勢撮像手段７０をさらに備え、自転制御装置９２は、保持姿勢撮像手段７０からの情報に基づいて保持部自転駆動手段４５を制御する。このため、吸着ノズル４２ａに保持された部品の姿勢のズレを搬送途中に正確に把握することが可能となり、これに基づいて部品の姿勢を正確且つ高速に要求される姿勢まで修正することができる。
【００７６】
また、搬送装置１は、受入領域１２で待機中の部品を撮像する待機部品撮像手段２ｃをさらに備え、ベース部材３０に周方向に配設された複数の保持部４２の間には、待機部品撮像手段２ｃにより受入領域１２にある部品を撮像するための干渉回避空間部３１が形成されている。このため、ベース部材３０の回転中に、ベース部材３０または部品保持モジュール４０に邪魔されることなく、受入領域１２にある部品を撮像することができる。これにより、待機部品撮像手段２ｃが撮像した画像情報に基づいて、吸着ノズル４２ａが適切に吸着することが可能な位置に、受入領域１２にある部品の位置を修正することが可能となるため、受入トレイ２ａ上にバルク状態で載置された部品を確実に吸着、保持することができる。
【００７７】
また、搬送装置１は、ベース部材３０を回転自在に保持した状態で動作可能に構成されるアーム２０をさらに備え、ベース部材３０は、アーム２０の動作により、保持部４２が受入領域１２および搬出領域１３に対向状態となる運転位置と、保持部４２が受入領域１２および搬出領域１３に非対向状態となる退避位置との間を移動自在となっている。このため、メンテナンス時等には、ベース部材３０を基台１０上面から大きく引き離すことができる。これにより、ベース部材３０および部品保持モジュール４０だけでなく、ベース１０上面に設けられた部品供給装置２等の各種装置のメンテナンスを容易に行うことができる。
【００７８】
また、搬送装置１は、受入領域１２には、複数の部品がバルク状態で載置される受入トレイ２ａが配設され、搬出領域１３には、複数の部品が整列状態で載置される整列トレイ３が配設され、受入トレイ２ａから取り出した部品を、姿勢を整えた上で整列トレイ３まで搬送し、整列トレイ３上に整列状態で載置する。このため、バルク状態の部品を高速で整列トレイ３上で整列させることができる。これにより、部品の生産効率や検査効率を向上させることができる。
【００７９】
なお、本実施形態に係る搬送装置１は、４つの部品保持モジュール４０を備えているが、本発明はこれに限定されるものではなく、その他の個数の部品保持モジュール４０を備えるようにしてもよい。
【００８０】
また、保持部４２は、吸着ノズル４２ａを下方に向けているが、これに限定されるものではなく、吸着ノズル４２ａを側方や上方に向けるものであってもよい。さらに、保持部４２は、吸着ノズル４２ａを備えるものに限定されるものではなく、例えばエア駆動により部品を把持する構造のものであってもよい。
【００８１】
また、ベース部材３０は、運転位置において回転の中心軸が上下方向となるように配設されているが、これに限定されるものではなく、運転位置における回転の中心軸が水平方向や斜め方向となるように配設されるものであってもよい。また、ベース部材３０は、本実施形態に示される形状以外の形状であってもよい。
【００８２】
また、切替バルブ３７は、真空ポンプと吸着ノズル４２ａを遮断すると共に吸着ノズルを大気開放状態とするものに限定されるものではなく、例えば、真空ポンプと吸着ノズル４２ａを遮断すると共に吸着ノズル４２ａをコンプレッサ等の高圧源と連通させるものであってもよい。このようにすることで、吸着ノズル４２ａからの部品の解放をより高速に行うことができる場合がある。
【００８３】
また、本実施形態では、切替バルブ３７を電磁弁から構成しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、切替バルブ３７を機械的に動作させるバルブから構成してもよい。さらに、切替バルブ３７を動作させるアクチュエータやモータ等をベース部材３０の外部に備えるようにしてもよい。
【００８４】
また、部品供給装置２、整列トレイ移動手段３ｂ、保持姿勢撮像手段７０は、中央制御装置９０によって直接制御されるものに限定されるものではなく、それぞれに専用の制御装置を設けるようにしてもよい。
【００８５】
また、アーム２０は、基台１０に配設されるものに限定されるものではなく、他の部材に配設されるものや、独立して設置されるものであってもよい。さらに、アーム２０は、揺動以外の動作を可能に構成されるものであってもよい。例えば、上方に向けて直線移動した後に揺動するように、または複数の異なる回転軸を中心に揺動もしくは回動するようにアーム２０を構成してもよい。
【００８６】
また、受入領域１２、搬出領域１３および保持姿勢撮像領域１４の位置は、本実施形態において示した位置に限定されるものではなく、受入領域１２、搬出領域１３および保持姿勢撮像領域１４をその他の位置に配置するようにしてもよい。さらに、部品の加工組立や検査等を行う領域を搬送途中に設けるようにしてもよい。
【００８７】
また、ベース部材３０の回転は、９０度回転するごとに静止する間欠回転に限定されるものではなく、部品保持モジュール４０が受入領域１２、搬出領域１３および保持姿勢撮像領域１４に対抗する位置にある場合にも、ベース部材３０を低速で回転させ続けるようにしてもよい。
【００８８】
更に、本実施形態では、部品供給装置２において、部品がバルク状態で載置される場合を示したが、本発明はそれに限定されず、他の供給方法でもよい。例えば、部品供給装置がいわゆる振込装置であって、一時的に部品を整列させる整列凹部を列状に備える仮整列トレイを備えるようにしてもよい。この仮整列トレイを、上下左右に振動させたり傾斜させたりすることで、バルク状態の部品を整列凹部に整列させてから、ターレット搬送装置に部品を供給することも好ましい。
【００８９】
また、本発明において搬送される部品は、様々なものが考えられるが、特に、水晶片をに適用することが好ましい。水晶片の搬送は、外力によって損傷を受けやすいにも拘らず、製造工程の高度化によって高速搬送が求められている。従って、本実施形態のターレット搬送装置によれば、各水晶片の保持姿勢の制御を回転中に自動的に行うことが可能であるので、水晶片の損傷を低減しながらも、高速搬送を実現できる。また、各吸着ノズルが個別（独立）に回転できることから、一つの部品の姿勢制御が、他の部品の搬送に影響を与えないで済むので、確実な搬送を実現できるようになる。
【００９０】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明のターレット搬送装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
本発明は、電子機器や電子部品もしくはその他の各種物品の製造、または物流の分野において利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明の実施の形態に係る搬送装置１の正面図である。
【図２】搬送装置１の左側面図である。
【図３】搬送装置１の平面図である。
【図４】（ａ）はベース部材３０および部品保持モジュール４０の平面図であり、同図（ｂ）はベース部材３０および部品保持モジュール４０の断面図である。
【図５】（ａ）および（ｂ）部品保持モジュール４０の断面構造および外部付勢装置５０を示した図である。
【図６】ベース部材３０を退避位置まで移動させた状態を示した左側面図である。
【図７】（ａ）〜（ｆ）搬送装置１の作動を示した平面図である。
【符号の説明】
【００９３】
１・・・搬送装置
２・・・部品供給装置
２ａ・・・受入トレイ
２ｃ・・・待機部品撮像手段
３・・・整列トレイ
１２・・・受入領域
１３・・・搬出領域
１４・・・保持姿勢撮像領域
２０・・・アーム
３０・・・ベース部材
３１・・・干渉回避空間部
３６・・・吸引通路
３７・・・切替バルブ
４０・・・部品保持モジュール
４２・・・保持部
４２ａ・・・吸着ノズル
４３・・・保持部自転駆動手段
４３ａ・・・モータ
４３ｂ・・・伝達機構
４５・・・内部付勢装置
５０・・・外部付勢装置
７０・・・保持姿勢撮像手段
９１・・・ノズル切替制御装置
９２・・・保持部自転制御装置
【図１】
0004876230.tif 000002
【図２】
0004876230.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0004876230.tif 000007
【図７】
0004876230.tif 000008