(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光面接続用バスバー電極を受光面に有する太陽電池セルと、前記バスバー電極に重ねて接続されかつリボン状の金属線からなるインターコネクタとを備え、
前記インターコネクタの前記バスバー電極と重なる部分は、幅方向に一定の反りを有する形状であり、
前記バスバー電極の前記インターコネクタと重なる部分は、前記幅方向に一定の反りを有する形状と同じ形状を有することを特徴とするインターコネクタ付き太陽電池セル。
【請求項２】
前記太陽電池セルは、前記バスバー電極を一対備え、
前記バスバー電極の対は、反りの方向が前記太陽電池セルの中心線に対して対称になるように配置されている請求項１に記載のインターコネクタ付き太陽電池セル。
【請求項３】
線材供給リールからリボン状のインターコネクタ線材を引き出す引出工程と、引き出されたインターコネクタ線材を接続単位長に切断してインターコネクタを形成する切断工程と、前記インターコネクタを太陽電池セルの受光面に設けられた受光面接続用バスバー電極に重ねて接続する接続工程を備え、
前記インターコネクタ線材は、前記引出工程において幅方向に一定の反りを有する形状に矯正され、
前記インターコネクタの前記バスバー電極と重なる部分は、前記幅方向に一定の反りを有する形状を有し、
前記バスバー電極の前記インターコネクタと重なる部分は、前記幅方向に一定の反りを有する形状と同じ形状を有することを特徴とするインターコネクタ付き太陽電池セルの製造方法。
【請求項４】
前記インターコネクタ線材の矯正は、一対の位置決めローラと、前記位置決めローラよりも下流側に配置された矯正ローラとによって行われ、
前記位置決めローラの対は、前記インターコネクタ線材を挟持して前記インターコネクタ線材の位置決めを行うように構成され、
前記矯正ローラは、前記インターコネクタ線材の側面に当接して前記インターコネクタ線材に幅方向に力が加わる位置に配置されている請求項３に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インターコネクタ付き太陽電池セル及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図９（ａ）〜（ｃ）を用いて従来の太陽電池セル１０について説明する。図９（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、従来の太陽電池セルの構造を示す平面図（受光面図），側面図及び裏面図である。
【０００３】
太陽電池セル１０は、ｐｎ接合を有する半導体基板１と、半導体基板１の受光面側に形成された反射防止膜３と、反射防止膜３を貫通して半導体基板１に電気的に接続するように形成された受光面接続用バスバー電極５及び受光面集電電極７と、半導体基板１の裏面側に形成されたアルミニウム電極９及び裏面接続用バスバー電極１１とを備える。
図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように、太陽電池セル１０の受光面接続用バスバー電極５上にインターコネクタ１３を重ね、その状態でインターコネクタ１３の表面のハンダを溶融させることによって、インターコネクタ１３をバスバー電極５に接続してインターコネクタ付き太陽電池セルを得ることができる。
さらに、図１１（ａ）〜（ｃ）に示すように、隣接する太陽電池セル１０をインターコネクタ１３で接続することによって太陽電池セル列を得ることができる。
【０００４】
ところで、インターコネクタ１３は、一般に、インターコネクタ線材を巻いてある線材供給リールからインターコネクタ線材を引き出し、引き出したインターコネクタ線材を接続単位長に切断することによって得られる。
【０００５】
線材供給リールに巻かれていたインターコネクタ線材には一般に厚さ方向及び幅方向に不規則な癖がついており、このため、インターコネクタ１３にも同様の不規則な癖がついている。このままでは、インターコネクタ１３をバスバー電極に重ねた際にインターコネクタ１３がバスバー電極から浮いたりずれたりする場合がある。このような問題を防ぐために、特許文献１では、インターコネクタ線材に対して張力を加えることによってインターコネクタ線材の癖を除去した後にインターコネクタ線材の切断を行ってインターコネクタを得ている。
【特許文献１】特開２００３−２９８０９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１の方法ではインターコネクタ線材に張力を加えた際にインターコネクタ線材が塑性変形により硬化するので、得られるインターコネクタも硬化している。このような硬化したインターコネクタを半導体基板に接続すると、インターコネクタと半導体基板の間の線膨張係数の差異に起因して接続部に生じる応力がインターコネクタの伸縮によって緩和されず、このため半導体基板に強い応力が加わって基板割れが生じやすくなる。近年、コストダウン等のために半導体基板が薄型化されており、基板割れの問題はますます深刻になっている。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、基板割れの発生を抑制することができるインターコネクタ付き太陽電池セルを提供するものである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００８】
本発明のインターコネクタ付き太陽電池セルは、受光面接続用バスバー電極を受光面に有する太陽電池セルと、前記バスバー電極に接続されたインターコネクタとを備え、前記インターコネクタは、幅方向に一定の反りを有する形状であり、前記バスバー電極は、前記インターコネクタの反りに合わせた形状であることを特徴とする。
【０００９】
本発明では、インターコネクタを幅方向に一定の反りを有する形状に矯正し、バスバー電極の形状をインターコネクタの反りに合わせた形状とし、幅方向に同形状に反ったインターコネクタとバスバー電極を接続する。
一般に、リールやボビンによる不規則な巻き癖を、直線に矯正するには強い張力を必要とする。しかし、一定の反りに矯正する場合は強い張力をかける必要が無く、インターコネクタが硬くなりにくくなる。従って、本発明によれば、インターコネクタの硬化を抑制することができるので、インターコネクタと半導体基板の間の線膨張係数の差異に起因して接続部に生じる応力がインターコネクタの伸縮によって緩和され、これによって基板割れの発生が抑制される。また、バスバー電極の形状をインターコネクタの反りに合わせた形状としているので、バスバー電極を幅を太くしなくてもバスバー電極からはみださないようにインターコネクタをバスバー電極に接続することができる。
また、本発明によれば、半導体基板の薄型化が可能であり、製造コストを低減することができる。
さらに、本発明によれば、温度サイクル等に対する信頼性も向上するため、低コストで信頼性の高い太陽電池モジュールを提供することが可能となる。
以下、本発明の種々の実施形態等を例示する。
【００１０】
前記太陽電池セルは、前記バスバー電極を一対備え、前記バスバー電極の対は、反りの方向が前記太陽電池セルの中心線に対して対称になるように配置されていてもよい。この構成により、インターコネクタによって太陽電池セルに加わえられる応力が対称となるため、太陽電池セルが歪むことが抑制される。
【００１１】
また、本発明は、線材供給リールからインターコネクタ線材を引き出す引出工程と、引き出されたインターコネクタ線材を接続単位長に切断してインターコネクタを形成する切断工程と、前記インターコネクタを太陽電池セルの受光面に設けられた受光面接続用バスバー電極に接続する接続工程を備え、前記インターコネクタ線材は、前記引出工程において幅方向に一定の反りを有する形状に矯正され、前記バスバー電極は、前記インターコネクタの反りに合わせた形状であることを特徴とするインターコネクタ付き太陽電池セルの製造方法も提供する。この構成により、不規則な巻き癖を持ったインターコネクタ線材に一定の反りをつけ、一定の反りを有する形状のインターコネクタをバスバー電極に接続することが可能となる。
【００１２】
前記インターコネクタ線材の矯正は、一対の位置決めローラと、前記位置決めローラよりも下流側に配置された矯正ローラとによって行われ、前記位置決めローラの対は、前記インターコネクタ線材を挟持して前記インターコネクタ線材の位置決めを行うように構成され、前記矯正ローラは、前記インターコネクタ線材の側面に当接して前記インターコネクタ線材に幅方向に力が加わる位置に配置されていてもよい。この場合、インターコネクタ線材に容易かつ確実に幅方向の反りを設けることができる。
ここで示した実施形態等は互いに組み合わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下，本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。図面や以下の記述中で示す内容は，例示であって，本発明の範囲は，図面や以下の記述中で示すものに限定されない。
【００１４】
１．インターコネクタ付き太陽電池セル
図１（ａ）〜（ｃ），図２（ａ）〜（ｃ）及び図３を用いて本発明の一実施形態のインターコネクタ付き太陽電池セルについて説明する。図１（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、本実施形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの構成を示す平面図（受光面図），側面図及び裏面図である。図２（ａ）〜（ｃ）は、図１（ａ）〜（ｃ）から太陽電池セルを抜き出した図であり、図３は、図１（ａ）の太陽電池セルとインターコネクタを分離した図である。
【００１５】
本実施形態のインターコネクタ付き太陽電池セルは、受光面接続用バスバー電極５を受光面に有する太陽電池セル１０と、受光面接続用バスバー電極５に接続されたインターコネクタ１３とを備え、インターコネクタ１３は、幅方向に一定の反りを有する形状であり、受光面接続用バスバー電極５は、インターコネクタ１３の反りに合わせた形状である。
以下、詳細に説明する。
【００１６】
１−１．太陽電池セル
まず、太陽電池セル１０について説明する。
【００１７】
太陽電池セル１０は、受光面接続用バスバー電極５を受光面に有するものであればその構成は特に限定されない。
【００１８】
一例では、太陽電池セル１０は、図２（ａ）〜（ｃ）に示すように、ｐｎ接合を有する半導体基板１と、半導体基板１の受光面側に形成された反射防止膜３と、反射防止膜３を貫通して半導体基板１に電気的に接続するように形成された受光面接続用バスバー電極５及び受光面集電電極７と、半導体基板１の裏面側に形成されたアルミニウム電極９及び裏面接続用バスバー電極１１とを備える。
このような構成の太陽電池セル１０は、以下に示す方法によって製造することができる。以下、各工程について詳細に説明する。
【００１９】
（１）ｐｎ接合を有する半導体基板の作製工程
ｐｎ接合を有する半導体基板１は、例えば、ｐ型半導体基板にｎ型層を形成するか、ｎ型半導体基板にｐ型層を形成することによって作製することができる。半導体の種類は特に限定されないが、例えば、単結晶又は多結晶シリコンである。ｐｎ接合を形成する前に基板表面をエッチングしてもよい。これによって、インゴットからの切断時に発生したダメージ層を除去したり、微細な凹凸構造を形成して反射率を低減したりすることができる。
【００２０】
以下、ｐｎ接合を有する半導体基板１を作製するための具体的な方法の一例について詳細に説明する。
まず、たとえばワイヤーソーなどを用いて、多結晶のｐ型シリコンインゴットを幅１５５ｍｍ×長さ１５５ｍｍ×厚さ２００μｍ程度の平板状に切り出すことによってｐ型シリコン基板を得る。ｐ型シリコン基板の表面にはワイヤーソーなどによってダメージ層が形成される。次に、このｐ型シリコン基板をフッ酸と硝酸と水からなる酸溶液に浸漬させてエッチングを施すことにより、ｐ型シリコン基板の表面のダメージ層を除去するとともに微細な凹凸を形成する。なお、基板は単結晶シリコン基板であってもよく、エッチングはＫＯＨ又はＮａＯＨとＩＰＡを用いたアルカリ異方性エッチングであってもよい。
次いで、ｐｎ接合分離を目的として、ｐ型シリコン基板の裏面の周縁部にシリコンおよびチタンを含む溶液からなるマスク材をスピンコータにより塗布する。
次に、拡散源として、ｐ型シリコン基板の受光面の全面にＰ2Ｏ5を含むドーパント液をスピンコータにより塗布する。このｐ型シリコン基板を拡散炉で８００〜９００℃程度に加熱することによって、ｐ型シリコン基板の受光面に表面抵抗率が約５０Ωの不純物拡散層であるｎ型拡散層を形成する。
次に、このｐ型シリコン基板をフッ酸に浸漬させることで、上記のマスク膜と、ドーパント液が加熱されて生じたＰＳＧ（リンシリケートガラス）層とを除去する。
以上の工程により、ｐｎ接合を有する半導体基板１が作製される。
【００２１】
（２）反射防止膜形成工程
次に、半導体基板１の受光面側に反射防止膜３を形成する。反射防止膜３は、例えば、厚さ６０ｎｍ〜９０ｎｍの窒化シリコン膜からなり、例えば、プラズマＣＶＤ法を用いて形成することができる。
【００２２】
（３）電極形成工程
次に、半導体基板１の裏面側及び受光面側に電極用ペーストを印刷・乾燥・焼成することによって電極を形成して太陽電池セル１０の製造を完了する。
本工程により、裏面側にはアルミニウム電極９及び裏面接続用バスバー電極１１が形成され、受光面側には受光面接続用バスバー電極５及び受光面集電電極７が形成される。受光面接続用バスバー電極５は、幅方向に一定の反りに矯正されたインターコネクタ１３を接続できるように、インターコネクタ１３と同じ形状に形成する。
【００２３】
以下、具体的な方法の一例について詳細に説明する。
まず、スクリーン印刷法により、半導体基板１の裏面の裏面接続用バスバー電極１１を形成する位置に銀ペーストを印刷し、１５０〜２００℃程度で乾燥する。次に、この銀ペーストと一部が重なるように、裏面集電用アルミ電極９を形成する位置にアルミペーストをスクリーン印刷法により印刷し、１５０〜２００℃程度で乾燥する。次に、スクリーン印刷法により、受光面接続用バスバー電極５および受光面集電電極７を形成する位置に銀ペーストを印刷し、１５０〜２００℃程度で乾燥する。
次に、７００〜７５０℃程度で焼成を行う。この焼成により、裏面側にはアルミニウム電極９及び裏面接続用バスバー電極１１が形成され、受光面側には受光面接続用バスバー電極５及び受光面集電電極７が形成される。
焼成の際に受光面の銀ペーストは、反射防止膜３をファイヤースルーして、半導体基板１のｎ型拡散層にオーミックコンタクトする。また、焼成の際に裏面のアルミペーストと半導体基板１との間に共晶反応が起こって、半導体基板１の裏面側にｐ型不純物であるアルミを多量に含んだｐ＋層が形成される。ｐ＋層は、ＢＳＦ（Back Surface Field；裏面電界）層と呼ばれ、裏面近傍にｐｐ＋層の障壁を形成し、ｐ型基板内で生成された少数キャリアのうち、裏面に向かうものが反射され、アルミニウム電極９部分で再結合しなくなって、ｐｎ接合部に到達するものが増加し、光電流を増加させる。さらに、ｐｐ＋層間のエネルギー差が開放電圧の増大をもたらす。なお、アルミニウム電極９とｐ＋層の間には、アルミニウムとシリコンの合金層が形成される
【００２４】
１−２．インターコネクタ
次に、インターコネクタ１３について説明する。
インターコネクタ１３は、受光面接続用バスバー電極５に接続可能であり且つ幅方向に一定の（規則的な）反りを有する形状を有するものであれば、その構成や材質は特に限定されない。インターコネクタ１３は、図３に示すように、受光面接続用バスバー電極５に接続される。
【００２５】
インターコネクタ１３は、例えば、ハンダコーティングされたリボン状の金属線からなる。金属線の材料としては、Ａｕ，Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｔｉなどの金属又はこれらの合金が挙げられ、Ｃｕが好ましい。金属線の形状は、特に限定されないが、例えば、幅１〜３ｍｍ程度，厚さ１００〜３００μｍ程度である。ハンダコーティングは、金属線の全面に施すことが好ましく、その厚さは、特に限定されないが、例えば、２０〜６０μｍ程度である。従って、インターコネクタ１３の全体の厚さは、例えば、１００〜３００μｍ＋４０〜１２０μｍ程度である。
【００２６】
インターコネクタ１３の反り量は、特に限定されないが、１％以下が好ましい。反り量が大きすぎると、インターコネクタ長が長くなる為、配線抵抗損失による特性低下があるからである。ここで、インターコネクタ１３の反り量は、（インターコネクタ１３の直線からのずれ）／（インターコネクタ１３の長さ）で定義される。「インターコネクタ１３の直線からのずれ」とは、図３の寸法Ａを意味する。一例では、インターコネクタ１３の長さが１５０ｍｍの場合に直線からのずれが１ｍｍである。この場合、反り量は、（１／１５０）≒６．７％である。
【００２７】
１−３．インターコネクタの作製及び太陽電池セルへの接続
次に、図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ）〜（ｄ）を用いて幅方向に一定の反りを有するインターコネクタ１３を作製し、作製したインターコネクタ１３を太陽電池セル１０に接続する方法について説明する。図４（ａ），（ｂ）は、それぞれ、インターコネクタ１３の作製及び太陽電池セル１０への接続を実施するための装置の構成を示す平面図及び側面図である。図５（ａ）〜（ｄ）は、インターコネクタ線材３７を接続単位長に切断してインターコネクタ１３を形成する切断工程を説明するための図４（ｂ）に示す側面図である。
【００２８】
図４（ａ），（ｂ）に示す装置は、インターコネクタ線材３７を巻いてある線材供給リール３６と、線材供給リール３６から供給されるインターコネクタ線材３７の進行方向を転換する戻しローラ３４及び転換ローラ３５と、インターコネクタ線材３７を一定の反りに矯正する矯正部３１と、矯正部３１の下流側に配置されインターコネクタ線材３７を切断時に保持する規制チャック３８と、インターコネクタ線材３７を接続単位長に切断するカッタ３９と、インターコネクタ線材３７の引き出し及び切断したインターコネクタ１３の移送を行う移送チャック４０と、切断したインターコネクタ１３を回転させる移送チャック回転部４１と、隣接する太陽電池セル１０を加熱して互いに接続する為の接続処理部(不図示)を備える。
【００２９】
インターコネクタ線材３７は、例えば、ハンダコーティングされたリボン状の金属線からなる。金属線の材料としては、Ａｕ，Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｔｉなどの金属又はこれらの合金が挙げられ、Ｃｕが好ましい。金属線の形状は、特に限定されないが、例えば、幅１〜３ｍｍ程度，厚さ１００〜３００μｍ程度である。ハンダコーティングは、金属線の全面に施すことが好ましく、その厚さは、特に限定されないが、例えば、２０〜６０μｍ程度である。従って、インターコネクタ１３の全体の厚さは、例えば、１００〜３００μｍ＋４０〜１２０μｍ程度である。
【００３０】
線材供給リール３６は、インターコネクタ線材３７を巻いてあることから、限られた範囲に長い距離のインターコネクタ線材３７を収容することが可能である。線材供給リール３６は、支持部（図示せず）によって回転自在な状態で支持されているため、インターコネクタ線材３７の引き出し動作に応じて回転する。線材供給リール３６は、回転軸が横方向（図４（ｂ）において紙面に対して垂直方向）になるように配置されている。
【００３１】
戻しローラ３４及び転換ローラ３５は、線材供給リール３６から供給されたインターコネクタ線材３７にテンションをかけ、進行方向を水平方向に転換して加工可能な状態にする。また、これらのローラによってインターコネクタ線材３７の厚さ方向の癖が取り除かれる。
戻しローラ３４は、矯正部３１よりも低い位置において、回転軸が線材供給リール３６の回転軸に対して平行になるように配置されており、インターコネクタ線材３７の上面に当接している。一方、転換ローラ３５は、線材接触部位が矯正部３１の線材接触部位と同じ高さになる位置において、回転軸が線材供給リール３６の回転軸に対して平行になるように配置されており、インターコネクタ線材３７の下面に当接している。
【００３２】
矯正部３１は、インターコネクタ線材３７を挟持する一対の位置決めローラ３３と、位置決めローラ３３よりも下流側に配置された矯正ローラ３２とで構成される。
【００３３】
位置決めローラ３３は、インターコネクタ線材３７を挟持してインターコネクタ線材３７の位置決めを行うものであれば、その構成は特に限定されないが、インターコネクタ線材３７の幅方向と厚さ方向の位置決めを同時に行うことができるように構成されていることが好ましい。
位置決めローラ３３は、インターコネクタ線材３７が通過する部位に溝を有していることが好ましく、その溝の高さは、インターコネクタ線材３７の厚さと実質的に等しいことが好ましい。この場合、厚さ方向の位置決めを確実に行うことができるからである。
また、位置決めローラ３３の溝の深さは、インターコネクタ線材３７の幅の１／４〜１／２倍であることが好ましく、一方の位置決めローラ３３の溝の底面と他方の位置決めローラ３３の溝の底面の間の距離がインターコネクタ線材３７の幅に実質的に等しいことが好ましい。この場合、幅方向の位置決めを確実に行うことができるからである。
位置決めローラ３３の直径は、小さすぎると新たな変形を発生させる可能性があり、大きすぎると位置決め機能を果たさなくなる可能性があるので、１０〜１００ｍｍ程度であることが好ましい。
【００３４】
矯正ローラ３２は、インターコネクタ線材３７の側面に当接してインターコネクタ線材３７に幅方向の力が加わる位置に配置される。矯正ローラ３２によって、インターコネクタ線材３７は、幅方向に円弧状一定の反りを有する形状に矯正される。矯正後のインターコネクタ線材３７の反りの程度は、矯正ローラ３２の位置を調節することによって調節可能である。具体的には矯正ローラ３２を図４（ａ）の矢印Ｘ方向に移動させるとインターコネクタ線材３７の反りの程度が小さくなり、矯正ローラ３２を図４（ａ）の矢印Ｙ方向にインターコネクタ線材３７の反りの程度が大きくなる。従って、矯正ローラ３２の位置を適宜移動させることによってインターコネクタ線材３７を所望の程度の反りを有する形状に矯正することができる。
矯正ローラ３２は、インターコネクタ線材３７に当接する部位に溝を有していることが好ましく、その溝の高さは、インターコネクタ線材３７の厚さと実質的に等しいことが好ましい。矯正ローラ３２の溝の深さは、インターコネクタ線材３７の幅の１／２〜２倍であることが好ましい。このような溝を有する場合、インターコネクタ線材３７の位置が厚さ方向にずれにくいので幅方向の力がインターコネクタ線材３７に加わりやすいからである。
矯正ローラ３２の直径は、小さすぎると新たな変形を発生させる可能性があり、大きすぎると矯正機能を果たさなくなる可能性があるので、１０〜１００ｍｍ程度であることが好ましい。
【００３５】
幅方向に一定の反りを有する形状に矯正されたインターコネクタ線材３７は、図５（ａ）〜（ｄ）に示す方法で接続単位長に切断することができ、この工程によって幅方向に一定の反りを有する形状のインターコネクタ１３が形成される。
【００３６】
ここで、図５（ａ）〜（ｄ）を用いてインターコネクタ線材３７を切断してインターコネクタ１３を形成する工程をさらに詳しく説明する。
まず、図５（ａ）に示す初期状態では、インターコネクタ線材３７は、先端が少し突出した状態で規制チャック３８によって保持されている。この状態で、移送チャック４０が図５（ａ）の矢印の方向に移動して、インターコネクタ線材３７の突出部分を保持する。なお、図４に示す３つの移送チャック４０のうち規制チャック３８から最も離れた位置にある移送チャック４０がインターコネクタ線材３７の突出部分を保持する。残りの移送チャック４０は邪魔にならない位置に退避している（不図示）。
【００３７】
次に、図５（ｂ）に示すように、規制チャック３８がインターコネクタ線材３７を解放すると共に移送チャック４０が図５（ｂ）の矢印方向に移動してインターコネクタ線材３７を引き出す。この引き出し工程の際に、インターコネクタ線材３７が一定の反りを有する形状に矯正される。
【００３８】
次に、図５（ｃ）に示すように、規制チャック３８と３つの移送チャック４０とでインターコネクタ線材３７を保持し、その状態でカッタ３９を用いてインターコネクタ線材３７を接続単位長に切断する。切断された部分がインターコネクタ１３となる。インターコネクタ線材３７は、規制チャック３８とカッタ３９との距離の分だけ規制チャック３８から突出した状態で規制チャック３８によって保持され、図５（ａ）に示す初期状態となる。
【００３９】
次に、図５（ｄ）に示すようにインターコネクタ１３を移送チャック４０で吸着する。ここまでの工程によって図４（ａ），（ｂ）に示す状態が得られる。
次に、複数の移送チャック４０とこれを回転させる駆動部とで構成される移送チャック回転部４１により、太陽電池セル１０の受光面接続用バスバー電極５の位置に合わせてインターコネクタ１３を回転し、受光面接続用バスバー電極５にインターコネクタ１３を重ねる。この時、インターコネクタ１３と受光面接続用バスバー電極５の位置合せはＣＣＤカメラによる自動アライメントによって行ってもよい。
【００４０】
次に、インターコネクタ１３をピンで押え、その状態でインターコネクタ１３を加熱してインターコネクタ１３表面のハンダを溶融させることによってインターコネクタ１３を受光面接続用バスバー電極５に接続（ハンダ接合）する。
以上の工程により、図１（ａ）〜（ｃ）に示すインターコネクタ付き太陽電池セルが得られる。
【００４１】
２．太陽電池セル列，太陽電池モジュール
上記実施形態のインターコネクタ付き太陽電池セルのインターコネクタ１３の接続されていない側の一端を隣接する太陽電池セル１０の裏面接続用バスバー電極１１に接続させることによって図６（ａ）〜（ｃ）に示すような複数のインターコネクタ付き太陽電池セルが直列接続された太陽電池セル列が得られる。
【００４２】
さらに、太陽電池セル列を交互に並列に並べ、バスバーインターコネクタで接続（電気的には直列接続）し、ガラスと裏面保護フィルムの間に配線後の太陽電池セル列を樹脂（例：ＥＶＡ（エチレンビニルアセテート共重合体））で封入することによって太陽電池モジュールを作製することができる。
【００４３】
３．その他の実施形態
上記実施形態ではバスバー電極５の対は同じ方向の反りを有しているが、バスバー電極５の対は、図７に示すように、反りの方向が太陽電池セル１０の中心線Ｘに対して対称になっていてもよい。この場合、図７に示すような互いに反対向きの反りを有するインターコネクタ１３をバスバー電極５に接続する。互いに反対向きの反りを有するインターコネクタ１３は、図８に示すように、インターコネクタ線材３７の一方の側面に当接する矯正ローラ３２を有する装置と、インターコネクタ線材３７の他方の側面に当接する矯正ローラ３２を有する装置を用いて作製することができる。このような実施形態では、インターコネクタ１３による応力が対称に加えられるため半導体基板の歪みが抑制され、歩留まりを向上させることができる。
【００４４】
また、上記実施形態では裏面接続用バスバー電極１１は直線状の形状を有しているが、裏面接続用バスバー電極１１は、インターコネクタ１３の反りに合わせた形状を有していてもよい。この場合、裏面接続用バスバー電極１１の幅を太くすることなく裏面接続用バスバー電極１１にインターコネクタ１３を確実に接続することができる。
【００４５】
以上の実施形態で示した種々の特徴は，互いに組み合わせることができる。１つの実施形態中に複数の特徴が含まれている場合，そのうちの１又は複数個の特徴を適宜抜き出して，単独で又は組み合わせて，本発明に採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】図１（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、本発明の一実施形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの構成を示す平面図，側面図及び裏面図である。
【図２】図２（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、図１（ａ）〜（ｃ）から太陽電池セルを抜き出した図である。
【図３】図１（ａ）の太陽電池セルとインターコネクタを分離した図である。
【図４】図４（ａ），（ｂ）は、それぞれ、インターコネクタの形成及び太陽電池セルへの接続を実施するための装置の構成を示す平面図及び側面図である。
【図５】図５（ａ）〜（ｄ）は、インターコネクタ線材を接続単位長に切断してインターコネクタを形成する切断工程を説明するための図４（ｂ）に示す側面図である。
【図６】図６（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、本発明の一実施形態のインターコネクタ付き太陽電池セルを互いに接続してなる太陽電池セル列の構成を示す平面図，側面図及び裏面図である。
【図７】本発明の別の実施形態のインターコネクタ付き太陽電池セルの太陽電池セルとインターコネクタを分離した図である。
【図８】図７の実施形態でのインターコネクタの形成及び太陽電池セルへの接続を実施するための装置の構成を示す。
【図９】図９（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、従来の太陽電池セルの構造を示す平面図，側面図及び裏面図である。
【図１０】図１０（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、図９（ａ）〜（ｃ）の太陽電池セルにインターコネクタを取り付けてなるインターコネクタ付き太陽電池セルの構成を示す平面図，側面図及び裏面図である。
【図１１】図１１（ａ）〜（ｃ）は、図１０（ａ）〜（ｃ）のインターコネクタ付き太陽電池セルを互いに接続してなる太陽電池セル列の構成を示す平面図，側面図及び裏面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１：半導体基板  ３：反射防止膜  ５：受光面接続用バスバー電極  ７：受光面集電電極  ９：アルミニウム電極  １１：裏面接続用バスバー電極  １３：インターコネクタ  ３１：矯正部  ３２：矯正ローラ  ３３：位置決めローラ  ３４：戻しローラ  ３５：転換ローラ  ３６：線材供給リール  ３７：インターコネクタ線材  ３８：規制チャック  ３９：カッタ  ４０：移送チャック  ４１：移送チャック回転部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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