(57)【要約】【課題】プローブの径が小さくなっても、容易な組立が可能となる検査冶具を提供すること。【解決手段】検査冶具１は、検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔が形成される先端側支持体２と、先端側支持体２に対して所定の隙間Ｓを介して配置され、先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して傾斜するプローブ案内方向を有する後端側挿通孔が形成される後端側支持体３と、先端が検査対象側において出没可能となるように先端側挿通孔に挿通される先端側部分および後端側挿通孔に挿通される後端側部分を有するプローブ５とを備え、プローブ５の先端側部分は、後端側部分に対して後端側挿通孔のプローブ案内方向に傾斜する側にずれた位置に配置されている。この検査冶具１では、後端側支持体３の厚さＴ２が、先端側支持体２と後端側支持体３との隙間Ｓよりも大きくなっている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔が形成される先端側支持体と、
上記先端側支持体に対して所定の隙間を介して配置され、上記先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して傾斜するプローブ案内方向を有する後端側挿通孔が形成される後端側支持体と、
先端が上記検査対象側において出没可能となるように上記先端側挿通孔に挿通される先端側部分および上記後端側挿通孔に挿通される後端側部分を有するプローブとを備え、
上記プローブの上記先端側部分は、上記後端側部分に対して上記後端側挿通孔のプローブ案内方向に傾斜する側にずれた位置に配置され、
上記後端側支持体の厚さは、上記先端側支持体と上記後端側支持体との隙間よりも大きくなっていることを特徴とする検査冶具。
【請求項２】
前記プローブの径は、４０μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の検査冶具。
【請求項３】
請求項１または２記載の検査冶具と、前記プローブの前記後端側部分に当接する電極に導電接続される電気的検査手段とを備えることを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板や電子部品等の電気的検査に用いられる検査冶具およびこの検査冶具を備える検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、回路基板の配線パターンやＩＣ等の集積回路の短絡や断線等の異常を発見するための電気的検査には、検査対象に導電接触する複数のプローブを備える検査冶具が使用されている。この種の検査冶具として、複数のプローブの先端側部分を支持する先端側支持体と、先端側支持体の後方に隙間を介して配置され複数のプローブの後端側部分を支持する後端側支持体と、後端側支持体の後方に配置されプローブの後端側部分に当接する電極とを備える検査冶具が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載の検査冶具では、先端側支持体に、検査対象に対向する対向面に直交する方向に先端側挿通孔が形成され、後端側支持体に、先端側挿通孔の形成方向に対して傾斜する方向に後端側挿通孔が形成されている。後端側挿通孔は、この後端側挿通孔に挿通されたプローブの先端側が先端側挿通孔に向かうように、先端側挿通孔に対して傾斜している。
【０００４】
この検査冶具では、複数のプローブの先端部が検査対象に当接したときに、先端側支持板と後端側支持板との隙間に配置されるプローブの中間部分が屈曲する。また、プローブの中間部分が屈曲することで、検査対象に対して全てのプローブが適度な接触圧で同時に接触する。
【０００５】
また、この検査冶具の組立時には、後端側支持体の後方からプローブが差し込まれる。後端側支持体の後方から差し込まれたプローブの先端側は、後端側挿入孔に沿って先端側挿通孔に向かう斜め方向に案内されるとともに、後端側挿入孔に支持された状態で、先端側支持体と後端側支持体との間の隙間を通過する。また、先端側支持体と後端側支持体との間の隙間を通過したプローブの先端側は、先端側支持体に到達し、先端側挿通孔に挿通される。
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３３８０６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年、検査対象となる回路基板の配線パターンの複雑化や集積回路の高集積化等に伴って、検査冶具のプローブの配置ピッチが狭くなってきている。このプローブ配置の狭ピッチ化に伴いプローブの径も小さくする必要性が生じている。たとえば、プローブの径を３０μｍといった小さな径にする必要性が生じている。
【０００８】
しかしながら、プローブの径が小さくなると、プローブの剛性が低下する。そのため、特許文献１に記載のように、後端側支持体の後方から斜め方向にプローブを差し込んで検査冶具を組み立てる場合に、プローブの先端側が後端側挿入孔に支持されていても、先端側支持体と後端側支持体との間の隙間を通過したプローブの先端側が先端側挿通孔に適切に挿通されないといった事態が生じうる。その結果、プローブの径が小さくなると、後端側支持体の後方からプローブを斜め方向に差し込んで組立を行う検査冶具においては、その組立が困難となる事態が生じうる。
【０００９】
そこで、本発明の課題は、プローブの径が小さくなっても、容易な組立が可能となる検査冶具およびこの検査冶具を備える検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、本発明の検査冶具は、検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔が形成される先端側支持体と、先端側支持体に対して所定の隙間を介して配置され、先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して傾斜するプローブ案内方向を有する後端側挿通孔が形成される後端側支持体と、先端が検査対象側において出没可能となるように先端側挿通孔に挿通される先端側部分および後端側挿通孔に挿通される後端側部分を有するプローブとを備え、プローブの先端側部分は、後端側部分に対して後端側挿通孔のプローブ案内方向に傾斜する側にずれた位置に配置され、後端側支持体の厚さは、先端側支持体と後端側支持体との隙間よりも大きくなっていることを特徴とする。
【００１１】
本発明の検査冶具では、後端側挿通孔のプローブ案内方向が先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して傾斜し、プローブの先端側部分が後端側部分に対して後端側挿通孔のプローブ案内方向の傾斜した側にずれた位置に配置されている。そのため、後端側挿通孔のプローブ案内方向と、装着すべきプローブの傾斜方向とが一致する。また、本発明の検査冶具では、後端側支持体の厚さが、先端側支持体と後端側支持体との隙間よりも大きくなっている。そのため、プローブの装着時には、隙間を通過しているプローブの先端側部分の長さよりも後端側挿通孔によって支持されるプローブの支持部分の長さの方が長くなる。したがって、プローブの径が小さくなっても、プローブの先端側部分が先端側挿通孔に挿通されるように、プローブを後端側挿通孔で支持することが可能になる。その結果、後端側支持体の後方から斜め方向へプローブを容易に差し込むことが可能となり、検査冶具の容易な組立が可能になる。
【００１２】
本発明において、プローブの径は、たとえば、４０μｍ以下である。プローブの径が４０μｍ以下である場合には、特に上述の問題が生じやすくなるが、本発明の構成を採用することで、上述の問題を解消することが可能になる。
【００１３】
本発明の検査治具は、プローブの後端側部分に当接する電極に導電接続される電気的検査手段を備える検査装置に用いることができる。この検査装置では、検査冶具の容易な組立が可能になるため、検査装置の組立も可能になる。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように、本発明の検査冶具および検査装置では、容易な組立が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１６】
（検査冶具の構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる検査冶具１を示す概略斜視図である。図２は、図１に示す検査冶具１の縦断面図である。図３は、図１に示す先端側支持体２の断面構造を示す拡大断面図である。図４は、図１に示す後端側支持体３の断面構造を示す拡大断面図である。図５は、図２に示すプローブ５の後端部位５ｆと電極７との導電接触状態を示す拡大斜視図である。
【００１７】
本形態の検査冶具１は、後述のように、プリント配線基板や半導体集積回路等の検査対象Ｗの電気的検査を行う検査装置３０に搭載されて使用される（図６参照）。この検査冶具１は、図１、図２に示すように、先端側支持体２と、先端側支持体２に対して所定の隙間Ｓを介して配置される後端側支持体３とを備えている。先端側支持体２と後端側支持体３とは、４本の支持柱４で連結固定されている。すなわち、支持柱４によって、先端側支持体２と後端側支持体３との間には、隙間Ｓに相当する空間が形成されている。
【００１８】
先端側支持体２および後端側支持体３はそれぞれ板状に構成され、それらの表面が相互に平行になるように配置されている。また、先端側支持体２および後端側支持体３には複数のプローブ５が挿通されている。プローブ５の先端は先端側支持体２の表面上で僅かに突出している。たとえば、プローブ５の先端は、先端側支持体２の表面から１００μｍ〜２００μｍ突出している。なお、先端側支持体２の表面からのプローブ５の先端の突出量は、１００μｍ以下（たとえば、５０μｍ）であっても良い。
【００１９】
後端側支持体３の後方には電極支持体６が取り付けられている。電極支持体６には、図２に示すように、プローブ５に導電接触する複数の電極７が固定されている。なお、図２では、プローブ５および電極７が１つのみ図示されているが、実際には複数のプローブ５および電極７が平面方向（すなわち、先端側支持体２、後端側支持体３の表面に沿った方向）に配列されている。また、図２では、先端側支持体２、後端側支持体３にそれぞれ形成される後述の先端側挿通孔１３および後端側挿通孔２０の図示も省略している。
【００２０】
プローブ５は、タングステン、ハイス鋼（ＳＫＨ）、ベリリウム銅（Ｂｅ−Ｃｕ）等の金属その他の導電体で形成されるとともに、屈曲可能な弾性を有するワイヤ状に形成されている。本形態のプローブ５は、上記のような導電体で構成される導電ワイヤ５ａと、この導電ワイヤ５ａの外周面を覆う絶縁被覆５ｂとを備えている。絶縁被覆５ｂは、合成樹脂等の絶縁体で形成されている。なお、絶縁被覆５ｂは、導電ワイヤ５ａの表面に絶縁塗装を施すことによって形成される絶縁被膜であっても良い。
【００２１】
本形態のプローブ５の径は非常に小さい。たとえば、プローブ５の径は３０μｍあるいは４０μｍである。また、プローブ５の長さはたとえば、２０ｍｍである。なお、プローブ５の径は３０μｍ未満であっても良いし、４０μｍを超えるものであっても良い。また、プローブ５の長さは２０ｍｍ未満のものであっても良いし、２０ｍｍを超えるものであっても良い。たとえば、プローブ５の長さは３０ｍｍであっても良い。
【００２２】
図３、図４に示すように、プローブ５の先端側部分５ｃおよび後端側部分５ｄでは、導電ワイヤ５ａが露出した状態となっている。また、プローブ５の先端部位５ｅや後端部位５ｆは、図示のように球面状に形成されている。なお、先端部位５ｅや後端部位５ｆの表面には、導電接触特性（コンタクト性）を高めたり維持したりするための表面層がメッキ等によって形成されていることが好ましい。このような表面層として、ニッケル層上に金、パラジウム、ロジウム等の層を積層したメッキ層等が挙げられる。
【００２３】
先端側支持体２は、検査対象が配置される側（図示上側）から順に複数（本形態では３枚）の支持板１０、１１、１２が積層されて構成されている。これらの支持板１０〜１２はボルト等の固定手段によって互いに固定されている。図３に示すように、各支持板１０、１１、１２にはそれぞれ貫通孔１０ａ、１１ａ、１２ａが形成されている。これらの貫通孔１０ａ、１１ａ、１２ａによって、プローブ５の先端側部分５ｃが挿通される１つの先端側挿通孔１３が構成されている。
【００２４】
先端側挿通孔１３は、先端側支持体２の検査対象に対向する対向面（図示上側の表面）２ａに直交するプローブ５の案内方向（図示上下方向）を有している。すなわち、先端側挿通孔１３は、対向面２ａに直交する方向に形成されている。そのため、検査対象の表面に対して垂直にプローブ５を接触させることができ、検査対象に損傷を与えることなく、安定したコンタクト抵抗を得ることができる。この先端側挿通孔１３は、検査冶具１が有するプローブ５の数だけ形成されている。また、先端側挿通孔１３は、検査対象に形成されるテスト用パターンの配置に対応するように配置されている。
【００２５】
３つの貫通孔１０ａ、１１ａ、１２ａは同心状に形成されている。具体的には、貫通孔１０ａは、小径孔１０ｂと小径孔１０ｂより大径の大径孔１０ｃとから構成され、貫通孔１２ａは、小径孔１２ｂと小径孔１２ｂより大径の大径孔１２ｃとから構成されている。また、小径孔１０ｂと小径孔１２ｂとは、導電ワイヤ５ａの外径よりも若干大きく、かつ、絶縁被覆５ｂの部分のプローブ５の外径よりも若干小さな内径で形成されている。
【００２６】
プローブ５の先端側の絶縁被覆５ｂの端縁５ｇは、図３に示すように、先端側挿通孔１３の小径孔１２ｂよりも後方に配置されている。また、上述のように、小径孔１２ｂは、絶縁被覆５ｂの部分のプローブ５の外径よりも若干小さな内径で形成されている。そのため、絶縁被覆５ｂの端縁５ｇは、小径孔１２ｂの開ロ縁１２ｄに当接可能となっている。すなわち、端縁５ｇと開ロ縁１２ｄとは、プローブ５が検査対象側に抜け落ちることを防止するための抜け止め部となっている。
【００２７】
後端側支持体３は、先端側支持体２側から順に複数（本形態では５枚）の支持板１５、１６、１７、１８、１９が積層されて構成されている。これらの支持板１５〜１９はボルト等の固定手段によって互いに固定されている。図４に示すように、各支持板１５〜１９にはそれぞれ貫通孔１５ａ、１６ａ、１７ａ、１８ａ、１９ａが形成されている。これらの貫通孔１５ａ〜１９ａによって、プローブ５の後端側部分５ｄが挿通される１つの後端側挿通孔２０が構成されている。
【００２８】
後端側挿通孔２０は、先端側挿通孔１３のプローブ案内方向（すなわち、対向面２ａの直交方向）に対して傾斜したプローブ案内方向Ｖを有している。すなわち、５つの貫通孔１５ａ〜１９ａは、それぞれの中心が少しずつずれた状態で形成されており、後端側挿通孔２０の全体が対向面２ａの直交方向に対して傾斜している。具体的には、図４に示すように、貫通孔１５ａ〜１９ａの順でその中心が図示右方向に少しずつずれた状態で、５つの貫通孔１５ａ〜１９ａが形成されている。そのため、プローブ案内方向Ｖは、後端側支持体３の表面と直交する法線ｎに対して図４の反時計方向に角度θだけ傾斜している。また、後端側挿通孔２０は、検査冶具１が有するプローブ５の数だけ形成されている。
【００２９】
貫通孔１５ａは、小径孔１５ｂと小径孔１５ｂより大径の大径孔１５ｃとから構成されている。同様に、貫通孔１６ａは、小径孔１６ｂと大径孔１６ｃとから構成され、貫通孔１７ａは、小径孔１７ｂと大径孔１７ｃとから構成され、貫通孔１８ａは、小径孔１８ｂと大径孔１８ｃとから構成され、貫通孔１９ａは、小径孔１９ｂと大径孔１９ｃとから構成されている。小径孔１９ｂは、導電ワイヤ５ａの外径よりも若干大きく、かつ、絶縁被覆５ｂの部分のプローブ５の外径よりも若干小さな内径で形成され、小径孔１５ｂ〜１８ｂは、絶縁被膜５ｂが形成された部分のプローブ５の外径よりも若干大きな内径で形成されている。
【００３０】
各プローブ５では、先端側挿通孔１３に挿通された先端側部分５ｃが後端側挿通孔２０に挿通された後端側部分５ｄよりも後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖの傾斜方向にずれた位置に配置されている。すなわち、あるプローブ５の先端側部分５ｃが挿通される先端側挿通孔１３の後端側の開口位置（すなわち、支持板１２の貫通孔１２ａの開ロ位置）は、図４に示すように、そのプローブ５の後端側部分５ｄが挿通される後端側挿通孔２０から見て、後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖの傾斜側に配置されている。
【００３１】
なお、後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖの傾斜の方向は、全ての後端側挿通孔２０において同一であっても良いし、同一でなくても良い。
【００３２】
プローブ５の後端部位５ｆは、上述のように球面状に形成されている。そのため、傾斜するプローブ案内方向Ｖを有する後端側挿通孔２０に沿ってプローブ５の後端側部分５ｄが傾斜しても、図５に示すように、後端部位５ｆと電極７の表面７ａの導電接触状態には影響を及ぼさない。
【００３３】
電極支持体６は、図２に示すように、複数の電極１６を埋設した支持板２２、２３と、電極７に導電接続される配線２４を保持する支持板２５とが積層されて構成されている。配線２４は後述する検査装置３０の制御部３１に接続される。また、電極支持体６は後端側支持体３に対してボルト等の固定手段によって着脱可能に固定されている。
【００３４】
本形態の検査冶具１では、図２に示すように、先端側支持体２と後端側支持体３との隙間Ｓよりも後端側支持体３の厚さＴ２が大きくなっている。たとえば、プローブ５の径が３０μｍであり、プローブ５の長さが２０ｍｍであるときには、隙間Ｓは６．６ｍｍとなっており、厚さＴ２は１０ｍｍとなっている。また、本形態では、先端側支持体２の厚さＴ１は隙間Ｓより小さくなっている。たとえば、上記の条件に加え、先端側支持体２の表面からのプローブ５の先端の突出量が１００μｍである場合には、先端側支持体２の厚さＴ１は３．３ｍｍとなっている。
【００３５】
以上のように構成された検査冶具１では、先端側支持体２と後端側支持体３との間にあるプローブ５の中間部分は、後端側挿通孔２０に沿って後端側部分５ｄが傾斜した方向に傾斜して伸び、そのまま先端側挿通孔１３に挿通された状態となる。そのため、プローブ５の先端部位５ｅが検査対象に当接して押し込まれると、傾斜姿勢にあったプローブ５の中間部分は容易に撓む（屈曲する）。このときの中間部分の撓み方向は、プローブ５の傾斜方向に応じた方向となる。
【００３６】
また、以上のように構成された検査冶具１は、以下のように組み立てられる。すなわち、まず、支持柱４によって先端側支持体２と後端側支持体３とを連結固定する。
【００３７】
その後、複数のプローブ５を先端側支持体２と後端側支持体５とに挿通する。具体的には、支持板１９が取り外された状態の後端側支持体３の後方から、先端側の絶縁被覆５ｂの端縁５ｇが小径孔１２ｂの開ロ縁１２ｄに当接するまで、プローブ５を差し込む。すなわち、プローブ５の先端部分５ｅが、後端側挿通孔２０、先端側支持体２と後端側支持体３との間の空間および先端側挿通孔１３を順次通過するように、プローブ５を差し込む。その後、支持板１９を固定する。なお、小径孔１９ｂを、絶縁被覆５ｂの部分のプローブ５の外径よりも大きな内径で形成し、支持板１９が取り付けられた状態の後端側支持体３の後方から、プローブ５を挿通しても良い。
【００３８】
その後、電極支持体６を後端側支持体３に固定して、検査冶具１が完成する。
【００３９】
（検査装置の構成）
図６は、図１に示す検査冶具１を搭載した検査装置３０を示す概略構成図である。
【００４０】
本形態の検査冶具１は、図６に示すように、プリント配線基板や半導体集積回路の検査対象Ｗの電気的検査（具体的には、断線や短絡等の検査）を行う検査装置３０に搭載されて使用される。本形態の検査装置３０は、微細ピッチで形成されるテスト用パターンを有し携帯電話等に搭載される微細な半導体集積回路（たとえば、１０ｍｍ〜１５ｍｍ角で形成される半導体集積回路）の電気的検査に適している。また、この検査装置３０では、一度に複数の半導体集積回路の電気的検査を行うことが可能になっている。
【００４１】
図６に示すように、検査装置３０は、検査対象Ｗの導通状態を判定する検査回路を含む電気的検査手段としての制御部３１と、制御部３１に接続される駆動部３２と、駆動部３２によって駆動される検査機構３３とを備えている。
【００４２】
検査機構３３は、検査冶具１が取り付けられる第１支持盤３４と、第１支持盤３４に対向配置される第２支持盤３５と、第１支持盤３４と第２支持盤３５とを相対的に接離可能に移動させる移動機構３６とを備えている。移動機構３６は、ボールネジ機構や油圧機構等によって構成され、駆動部３２によって駆動される。
【００４３】
第１支持盤３４に取付固定された検査冶具１の電極７は配線２４を介して配線３７に接続され、配線３７を介して制御部３１に導電接続されている。また、第２支持盤３５上には検査対象Ｗが位置決めされた状態で載置される。そして、制御部３１の制御信号によって駆動部３２が移動機構３６を駆動し、第１支持盤３４が第２支持盤３５に向けて接近し、所定圧力で検査冶具１を検査対象Ｗに押し付ける。検査冶具１を検査対象Ｗに押し付けると、検査冶具１の各プローブ５が検査対象Ｗに接触し導通する。この状態で、制御部３１が配線３７を介して検査冶具１に対して所定の信号を供給したり、検査冶具１で検出した電位等を受け取ったりすることで、検査対象Ｗの電気的試験が行われる。
【００４４】
（本形態の効果）
以上説明したように、本形態では、後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖが先端側挿通孔１３のプローブ案内方向に対して傾斜し、プローブ５の先端側部分５ｅが後端側部分５ｆに対して後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖの傾斜した側にずれた位置に配置されている。そのため、後端側挿通孔２０のプローブ案内方向Ｖと、組立時に装着すべきプローブ５の傾斜方向とが一致する。
【００４５】
また、後端側支持体３の厚さＴ２が、先端側支持体２と後端側支持体３との隙間Ｓよりも大きくなっている。そのため、プローブ５の装着時には、隙間Ｓを通過しているプローブ５の先端側部分５ｅの長さよりも後端側挿通孔５ｆによって支持されるプローブ５の支持部分の長さの方が長くなる。したがって、たとえば、プローブ５の径が４０μｍ以下の小さなものであっても、プローブ５の先端側部分５ｅが先端側挿通孔１３に適切に挿通されるように、後端側挿通孔２０でプローブ３を支持することができる。
【００４６】
以上から、本形態では、プローブ５を後端側支持体３の後方から容易に差し込むことができる。その結果、本形態では、検査冶具１の容易な組立が可能になる。また、検査装置３０の容易な組立も可能になる。
【００４７】
また、本形態では、先端側支持体２と後端側支持体３との隙間Ｓが後端側支持体３の厚さＴ２よりも小さくなっており、隙間Ｓは比較的小さくなっている。そのため、隙間Ｓでのプローブ５の撓み量を少なくすることができる。その結果、プローブ５の径が小さい場合であっても、検査対象に対して適切な荷重でプローブ５を接触させることができる。
【００４８】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形可能である。
【００４９】
上述した形態では、５枚の支持板１５〜１９によって後端側支持体３が構成されている。この他にもたとえば、後端側支持体３は、４枚以下の支持板によって構成されても良いし、６枚以上の支持板によって構成されても良い。同様に、上述した形態では、３枚の支持板１０〜１２によって先端側支持体３が構成されているが、２枚以下の支持板あるいは４枚以上の支持板によって先端側支持体３が構成されても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態にかかる検査冶具を示す概略斜視図である。
【図２】図１に示す検査冶具の縦断面図である。
【図３】図１に示す先端側支持体の断面構造を示す拡大断面図である。
【図４】図１に示す後端側支持体の断面構造を示す拡大断面図である。
【図５】図２に示すプローブの後端部位と電極との導電接触状態を示す拡大斜視図である。
【図６】図１に示す検査冶具を搭載した検査装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  検査冶具
２  先端側支持体
３  後端側支持体
５  プローブ
５ｃ  先端側部分
５ｄ  後端側部分
７  電極
１３  先端側挿通孔
２０  後端側挿通孔
３０  検査装置
３１  制御部（電気的検査手段）
Ｓ  隙間
Ｔ２  後端側支持体の厚さ
Ｖ  プローブ案内方向
Ｗ  検査対象
【図１】
2009008585.tif 000003
【図２】
2009008585.tif 000004
【図３】
2009008585.tif 000005
【図４】
2009008585.tif 000006
【図５】
2009008585.tif 000007
【図６】
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