(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともブラックマトリクスを作製するための工程管理システム（１０）と、赤色フィルタを作製するための工程管理システム（２０）と、緑色フィルタを作製するための工程管理システム（３０）と、青色フィルタを作製するための工程管理システム（４０）と、透明電極を作製するための工程管理システム（５０）と、スペーサーを作製するための工程管理システム（６０）と、カラーフィルタ基板の検査を行う工程管理システム（７０）と、各工程管理システムを統括管理する製造管理システム（１００）と、からなるカラーフィルタ基板の製造工程管理システムであって、前記工程管理システムには、ＰＬＣ（ProgrammingLogicController）を搭載した少なくとも１つの工程内装置と前記工程内装置間に配置された搬送ユニットとを有しており、前記製造管理システム（１００）と前記工程管理システムと工程内装置と搬送ユニットとはＬＡＮで接続され、前記工程内装置間を基板が移動する際、前記工程装置内の入り口で、基板に付与された基板コード、前記各工程内装置で付与された履歴データと、を工程管理システムと工程内装置との間で確認し、前記工程装置内の出口で、基板に付与された基板コード、前記各工程内装置毎に付与された識別コードと、前記各工程内装置で付与された履歴データと、を工程管理システムと工程内装置との間で確認しながらカラーフィルタ基板の製造工程管理を行うことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造工程管理システム。
【請求項２】
前記各工程内装置の出口では、工程内装置で予め設定された設定データと工程内装置で実施された履歴データとが合致するか否かの確認作業を行うことを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ基板の製造工程管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ基板の製造工程管理システムに関し、特に、カラーフィルタ基板の各工程内装置で予め設定された設定データと工程内装置で実施された履歴データとが合致するか否かの確認作業を行うカラーフィルタ基板の製造工程管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、大型カラーテレビ、ノートパソコン、携帯用電子機器の増加に伴い、液晶ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの需要の増加はめざましいものがある。
これらカラー液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタ基板は、パターン精度、分光特性、欠陥レベルに対しても高度のものが要求されており、これらの品質をクリアーするためには、徹底したカラーフィルタ基板の製造工程管理が望まれている。
【０００３】
カラーフィルタ基板の製造工程管理は、工程内に投入される時点で、ライン管理システムにより、基板1枚1枚に発行された識別コードと判定、制御データにより管理している。発行された基板データは、装置から装置への基板受け渡し時に基板データを装置間で受け渡し、装置から報告された基板データを上位システムが受渡基板情報として管理している。
【０００４】
カラーフィルタ基板の製造工程管理の一例として、カラーフィルタ製造装置に設けられたセンサの検出するデータ、欠陥検査装置による欠陥結果、及びコード読み取り装置からの出力をホストコンピュータにより集中的に管理することにより、カラーフィルタの製品品質を集中的に監視するカラーフィルタ製造装置の集中監視システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
上記カラーフィルタ製造装置の集中監視システムでは、製造条件や製品の良否状態を詳細に、かつ総合的にホストコンピュータで集中監視することで、大幅な収率向上、信頼性の高い品質保証を実現可能であるとしている。
【０００６】
上記カラーフィルタ製造装置の集中監視システムでは、製造条件や製品の良否状態を詳細にホストコンピュータで集中監視することで、製品毎の品質管理が可能となり、製品の品質を向上することができる。また、製品１枚毎の製造条件と良否判定が対応付けられているので、製品に異常が発生した際の原因を容易に特定することができ、将来的な収率向上が可能としている。
【０００７】
しかしながら、上記のカラーフィルタ製造装置の集中監視システムでは、ホストコンピュータで製造条件や製品の良否状態を詳細に集中監視し、ホストコンピュータでデータを集約しているため、後で分析、解析することで、製品１枚毎の製造条件と良否判定が対応付けは可能であるが、製造工程中に基板毎の工程管理に結びつけることが難しいという問題を有している。
【特許文献１】特開平１１−１３３２２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、カラーフィルタ基板を製造する際に、各工程で処理の終わった基板を確実に次工程へ渡すことができるカラーフィルタ基板の製
造工程管理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、少なくともブラックマトリクスを作製するための工程管理システム（１０）と、赤色フィルタを作製するための工程管理システム（２０）と、緑色フィルタを作製するための工程管理システム（３０）と、青色フィルタを作製するための工程管理システム（４０）と、透明電極を作製するための工程管理システム（５０）と、スペーサーを作製するための工程管理システム
（６０）と、カラーフィルタ基板の検査を行う工程管理システム（７０）と、各工程管理システムを統括管理する製造管理システム（１００）と、からなるカラーフィルタ基板の製造工程管理システムであって、前記工程管理システムには、ＰＬＣ（ProgrammingLogicController）を搭載した少なくとも１つの工程内装置と前記工程内装置間に配置された搬送ユニットとを有しており、前記製造管理システム（１００）と前記工程管理システムと工程内装置と搬送ユニットとはＬＡＮで接続され、前記工程内装置間を基板が移動する際、前記工程装置内の入り口で、基板に付与された基板コード、前記各工程内装置で付与された履歴データと、を工程管理システムと工程内装置との間で確認し、前記工程装置内の出口で、基板に付与された基板コード、前記各工程内装置毎に付与された識別コードと、前記各工程内装置で付与された履歴データと、を工程管理システムと工程内装置との間で確認しながらカラーフィルタ基板の製造工程管理を行うことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造工程管理システムとしたものである。
【００１０】
また、請求項２においては、前記各工程内装置の出口では、工程内装置で予め設定された設定データと工程内装置で実施された履歴データとが合致するか否かの確認作業を行うことを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムとしたものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムは、工程管理システムの工程内装置毎に工程内装置の入り口と出口で、基板コード、識別コード、履歴コードの確認作業を進めながら製造工程の管理を行うので、各工程で処理の終わった基板を確実に次工程へ渡すことができる。
また、途中工程で抜き取ったカラーフィルタ基板を再投入する際にも、必ず基板情報が投入工程で確認できるため、工程を飛ばすようなこともなく、確実な工程処理が可能となる。
さらに、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムの製造管理システムには、製造条件や製品の良否状態が保存されているため、後で分析、解析処理することにより、製品１枚毎の製造条件と良否判定の対応付けが可能となり、将来的な収率向上につなげることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
図１は、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムの一実施例を示す模式構成図である。図２は、カラーフィルタ基板の製造工程のフローの一例を示す説明図である。本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムは、ブラックマトリクスを作製するための工程管理システム１０と、赤色フィルタを作製するための工程管理システム２０と、緑色フィルタを作製するための工程管理システム３０と、青色フィルタを作製するための工程管理システム４０と、透明電極（ＩＴＯ）を作製するための工程管理システム５０と、スペーサーを作製するための工程管理システム６０と、カラーフィルタ基板の検査を行う検査管理システム７０と、各工程管理システムを統括する製造管理システム１００と、から構成されており、各工程管理システムには、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した少なくとも１つの工程内装置と前記工程内装置間に配置された搬送ユニットとを有しており、前記製造管理システム１００と前記工程管理システムと工程内装置と搬送ユニットとはＬＡＮで接続されている。
【００１３】
カラーフィルタ基板の製造工程管理システムでは、前記工程内装置間を基板が移動する際、前記工程内装置内の入り口と出口で、基板に付与された基板コードと識別コードと、前記各工程内装置で付与された履歴データと、を工程管理システムと工程内装置との間で確認しながらカラーフィルタ基板の製造工程管理を行うようにしたものである。
【００１４】
以下、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムの概要について説明する。カラーフィルタ基板の製造工程は、図２に示すように、ブラックマトリクス製造工程と、赤色フィルタ（Ｒ）製造工程と、緑色フィルタ（Ｇ）製造工程と、青色フィルタ（Ｂ）製造工程と、透明電極（ＩＴＯ）製造工程と、スペーサー（ＰＳ）製造工程と、からなり、各製造工程単位毎に、自動化製造ラインが組まれており、各自動化製造ライン毎に工程管理が実施されている。
【００１５】
ブラックマトリクスを作製するための工程管理システム１０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、レジスト塗布装置と、露光装置と、現像装置と、ポストベーク装置と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、これらの工程内装置は工程管理システム１０で管理、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
【００１６】
赤色フィルタを作製するための工程管理システム２０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、レジスト塗布装置と、露光装置と、現像装置と、ポストベーク装置と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、これらの工程内装置は工程管理システム２０で管理、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
【００１７】
緑色フィルタを作製するための工程管理システム３０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、レジスト塗布装置と、露光装置と、現像装置と、ポストベーク装置と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、これらの工程内装置は工程管理システム３０で管理、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
【００１８】
青色フィルタを作製するための工程管理システム４０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、レジスト塗布装置と、露光装置と、現像装置と、ポストベーク装置と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、これらの工程内装置は工程管理システム４０で管理、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
【００１９】
透明電極（ＩＴＯ）を作製するための工程管理システム５０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、透明電極（ＩＴＯ）成膜装置と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、これらの工程内装置は工程管理システム５０で管理、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
【００２０】
スペーサーを作製するための工程管理システム６０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、レジスト塗布装置と、露光装置と、現像装置と、ポストベーク装置と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、これらの工程内装置は工程管理システム６０で管理
、制御されている。各工程内装置間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
【００２１】
カラーフィルタ基板の検査を行う工程管理システム７０では、ＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した工程内装置として、例えば、基板投入装置（カセット）と、検査装置と、基板収納装置（カセット）と、を有しており、上記製造工程で作製されたカラーフィルタ基板の品質をチェックするための検査を行うもので、ここで、カラーフィルタ基板の良、不良が決定される。
【００２２】
以下図２に示す、カラーフィルタ基板の製造工程にしたがって、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムについて説明する。
まず、基板の受け入れを行い、個々の基板に基板コードが製造管理システム１００より付与され、基板に印字され、所定の枚数予めとロット番号が設定された基板投入装置（カセット）に収納されて、ロボット等でブラックマトリクスを作製工程の基板投入装置（カセット）にセットされる。
製造管理システム１００より各工程管理システムに、これから投入される基板コードと投入順序とが伝達される。
【００２３】
次に、ブラックマトリクスを作製する工程管理システム１０では、基板が収納された基板投入装置（カセット）が工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載したレジスト塗布装置にセットされる。レジスト塗布装置のＰＬＣ（Programming Logic Controller）には、基板コードと投入順序が設定されているので、レジスト塗布装置の入り口で、基板コードの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、レジストの塗布処理が行われる。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、レジスト塗布装置の識別コードとレジスト塗布装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ１１が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、レジスト塗布装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ１１と、工程管理システム１０で予め設定された基板コード、レジスト塗布装置の識別コード、レジスト塗布装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム１０とレジスト塗布装置の間で行い、一致すれば、次の露光装置へ搬送される。
【００２４】
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した露光装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、露光装置によるパターン露光が行われる。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、露光装置の識別コードと露光装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ１２が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、露光装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ１２と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対する露光装置の識別コード、露光装置で処理される履歴コードからなる設定データの確認作業を工程管理システム１０と露光装置の間で行い、一致すれば、次の現像装置へ搬送される。
【００２５】
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した現像装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、現像装置による現像処理が行われる。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、現像装置の識別コードと現像装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ１３が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、現像装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデ
ータ１３と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対する現像装置の識別コード、現像装置で処理される履歴コードの設定データの確認作業を工程管理システム１０と現像装置の間で行い、一致すれば、次のポストベーク装置へ搬送される。
【００２６】
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載したポストベーク装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、ポストベーク装置によるポストベーク処理が行われ、ブラックマトリクス基板が作製される。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、ポストベーク装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ１４が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、ポストベーク装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ１４と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対するポストベーク装置の識別コード、ポストベーク装置で処理される履歴コードからなる設定データの確認作業を工程管理システム１０とポストベーク装置の間で行い、一致すれば、次の検査装置へ搬送される。
【００２７】
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した検査装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、検査装置による検査処理が行われる。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、検査装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ１５が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、検査装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ１５と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対する検査装置の識別コード、検査装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム１０と検査装置との間で行い、一致すれば、次の基板収納装置（カセット）へ収納される。ここで、フラッグデータ１５の履歴データには、ブラックマトリクス基板の検査結果が格納されているので、不良と判断されるブラックマトリクス基板はこの時点で排除することもできる。
【００２８】
次に、赤色フィルタを作製する工程管理システム２０では、ブラックマトリクス基板が収納された基板収納装置（カセット）がセットされ、基板投入装置（カセット）からＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載したレジスト塗布装置に基板が送り込まれる。レジスト塗布装置のＰＬＣ（Programming Logic Controller）には、基板コードと投入順序が設定されているので、レジスト塗布装置の入り口で、フラッグデータ１６の基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、レジスト塗布、プレベークの処理が行われる。
ここで、工程管理システム２０では、基板コードに対して、レジスト塗布装置の識別コードとレジスト塗布装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ２１が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、レジスト塗布装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ２１と、工程管理システム２０で予め設定された基板コード、レジスト塗布装置の識別コード、レジスト塗布装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム２０とレジスト塗布装置の間で行い、一致すれば、次の露光装置へ搬送される。
【００２９】
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した露光装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、露光装置によるパターン露光が行われる。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、露光装置の識別コードと露光装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ２２が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、露光装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ２２と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対する露光装置の識別コード、露光装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム２０と露光装置の間で行い、一致すれば、次の現像装置へ搬送される。
【００３０】
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した現像装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、現像装置による現像処理が行われる。
ここで、工程管理システム２０では、基板コードに対して、現像装置の識別コードと現像装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ２３が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、現像装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ２３と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対する現像装置の識別コード、現像装置で処理される履歴コードからなる設定データの確認作業を工程管理システム２０と現像装置の間で行い、一致すれば、次のポストベーク装置へ搬送される。
【００３１】
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載したポストベーク装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、ポストベーク装置によるポストベーク処理が行われ、赤色フィルタ基板が作製される。
ここで、工程管理システム１０では、基板コードに対して、ポストベーク装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ２４が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、ポストベーク装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ２４と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対するポストベーク装置の識別コード、ポストベーク装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム２０とポストベーク装置の間で行い、一致すれば、次の検査装置へ搬送される。
【００３２】
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した検査装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、検査装置による検査処理が行われる。
ここで、工程管理システム２０では、基板コードに対して、検査装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ２５が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、検査装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ２５と、工程管理システム１０で予め設定された基板コードに対する検査装置の識別コード、検査装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム２０と検査装置との間で行い、一致すれば、次の基板収納装置（カセット）へ収納される。ここで、フラッグデータ２５の履歴データには、赤色フィルタ基板の検査結果が格納されているので、不良と判断される赤色フィルタ基板はこの時点で排除することもできる。
【００３３】
次に、緑色フィルタを作製する工程管理システム３０及び青色フィルタを作製する工程管理システム４０では、上記赤色フィルタを作製する工程管理システム２０と同じであるので、詳細な説明は省略するが、それぞれ、フラッグデータ３１〜３５、フラッグデータ４１〜４５が作製されて、基板コード、識別コード、履歴コードとの確認作業が行われる
。
【００３４】
次に、透明電極（ＩＴＯ）を作製する工程管理システム５０では、赤色、緑色、青色フィルタが形成された基板が収納された基板収納装置（カセット）がセットされ、基板投入装置（カセット）からＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した透明電極（ＩＴＯ）成膜装置に基板が送り込まれる。透明電極（ＩＴＯ）成膜装置のＰＬＣ（Programming Logic Controller）には、基板コードと投入順序が設定されているので、透明電極（ＩＴＯ）成膜装置の入り口で、フラッグデータ４６の基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、透明電極（ＩＴＯ）の成膜処理が行われる。
ここで、工程管理システム５０では、基板コードに対して、透明電極（ＩＴＯ）成膜装置の識別コードと透明電極（ＩＴＯ）成膜装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ５１が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、透明電極（ＩＴＯ）成膜装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ５１と、工程管理システム５０で予め設定された基板コード、透明電極（ＩＴＯ）成膜装置の識別コード、透明電極（ＩＴＯ）成膜装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム５０と透明電極（ＩＴＯ）成膜装置の間で行い、一致すれば、次の検査装置へ搬送される。
【００３５】
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した検査装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、検査装置による検査が行われる。
ここで、工程管理システム５０では、基板コードに対して、検査装置の識別コードと検査装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ５２が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、検査装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ５２と、工程管理システム５０で予め設定された基板コードに対する検査装置の識別コード、検査装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム５０と検査装置の間で行い、一致すれば、次の基板収納装置（カセット）へ収納される。
ここで、フラッグデータ５２の履歴データには、透明電極（ＩＴＯ）の検査結果が格納されているので、不良と判断される透明電極（ＩＴＯ）基板はこの時点で排除することもできる。
【００３６】
次に、スペーサーを作製する工程管理システム６０では、赤色、緑色、青色フィルタ及び透明電極（ＩＴＯ）が形成された基板が収納された基板収納装置（カセット）がセットされ、基板投入装置（カセット）からＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載したレジスト塗布装置に基板が送り込まれる。レジスト塗布装置のＰＬＣ（Programming Logic Controller）には、基板コードと投入順序が設定されているので、レジスト塗布装置の入り口で、フラッグデータ５３の基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、レジスト塗布、プレベークの処理が行われる。
ここで、工程管理システム６０では、基板コードに対して、レジスト塗布装置の識別コードとレジスト塗布装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ６１が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、レジスト塗布装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ６１と、工程管理システム６０で予め設定された基板コード、レジスト塗布装置の識別コード、レジスト塗布装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム２０とレジスト塗布装置の間で行い、一致すれば、次の露光装置へ搬送される。
【００３７】
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した露光装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、露光装置によるパターン露光が行われる。
ここで、工程管理システム６０では、基板コードに対して、露光装置の識別コードと露光装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ６２が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、露光装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ６２と、工程管理システム６０で予め設定された基板コードに対する露光装置の識別コード、露光装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム６０と露光装置の間で行い、一致すれば、次の現像装置へ搬送される。
【００３８】
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した現像装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、現像装置による現像処理が行われる。
ここで、工程管理システム６０では、基板コードに対して、現像装置の識別コードと現像装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ６３が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、現像装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ６３と、工程管理システム６０で予め設定された基板コードに対する現像装置の識別コード、現像装置で処理される履歴コードからなる設定データの確認作業を工程管理システム６０と現像装置の間で行い、一致すれば、次のポストベーク装置へ搬送される。
【００３９】
次に、工程内装置の一つであるＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載したポストベーク装置の入り口で、基板コードと履歴コードとの確認を行い、投入されるべき基板であると判断されると、ポストベーク装置によるポストベーク処理が行われ、スペーサーが形成されたカラーフィルタ基板が作製される。
ここで、工程管理システム６０では、基板コードに対して、ポストベーク装置の識別コードとポストベーク装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ６４が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、ポストベーク装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ６４と、工程管理システム６０で予め設定された基板コードに対するポストベーク装置の識別コード、ポストベーク装置で処理される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム６０とポストベーク装置の間で行い、一致すれば、基板収納装置（カセット）へ収納される。
【００４０】
次に、カラーフィルタ基板の検査を行う工程管理システム７０では、カラーフィルタ基板が収納された基板収納装置（カセット）がセットされ、基板投入装置（カセット）からＰＬＣ（Programming Logic Controller）を搭載した検査装置に基板が送り込まれる。検査装置のＰＬＣ（Programming Logic Controller）には、基板コードと投入順序が設定されているので、検査装置の入り口で、フラッグデータ６４の基板コードと履歴コードとの確認を行い、検査されるべき基板であると判断されると、カラーフィルタ基板の検査処理が行われる。
ここで、工程管理システム７０では、基板コードに対して、検査装置の識別コードと検査装置で処理された履歴コードが付与されたフラッグデータ７１が作製され、製造管理システム１００に格納される。
さらに、検査装置の出口では、基板コード、識別コード、履歴コードからなるフラッグデータ７１と、工程管理システム７０で予め設定された基板コード、検査装置の識別コード、検査装置で検査される履歴コードからなる設定データとの確認作業を工程管理システム７０と検査装置との間で行い、一致すれば、次の基板収納装置（カセット）へ収納される。ここで、フラッグデータ７１の履歴データには、カラーフィルタ基板の検査結果が格納されているので、不良と判断されるカラーフィルタ基板はこの時点で排除することもできる。
【００４１】
上記したように、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムは、工程管理システムの工程内装置毎に工程内装置の入り口と出口で、基板コード、識別コード、履歴コードの確認作業を進めながら製造工程の管理を行うので、各工程で処理の終わった基板を確実に次工程へ渡すことができる。
また、途中工程で抜き取ったカラーフィルタ基板を再投入する際にも、必ず基板情報が投入工程で確認できるため、工程を飛ばすようなこともなく、確実な工程処理が可能となる。
さらに、本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムの製造管理システムには、製造条件や製品の良否状態が保存されているため、後で分析、解析処理することにより、製品１枚毎の製造条件と良否判定の対応付けが可能となり、将来的な収率向上につなげることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明のカラーフィルタ基板の製造工程管理システムの一実施例を示す模式構成図である。
【図２】カラーフィルタ基板の製造フローの一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０、２０、３０、４０、５０、６０、７０……工程管理システム
１００……製造管理システム
【図１】
0005067137.tif 000002
【図２】
0005067137.tif 000003