(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、前記基台に設けられた受台と、少なくとも平面方向に移動可能な駆動用圧電素子を有し前記基台上に設けられた駆動手段と、前記駆動手段に支持され前記各駆動用圧電素子の伸縮により先端が前記受台の上面よりも上、下に移動する支持足とを有する駆動ユニットを備え、前記受台上に載置され上面に被保持物を保持する可動ステージを、前記支持足の先端の移動に伴い前記受台上から持ち上げて移動し、前記可動ステージを所定の位置に位置決めする位置決め装置において、
前記駆動ユニットが、前記各駆動用圧電素子の下方であって前記基台上に設けられて前記各駆動用圧電素子を前記基台に対して同時に昇降させる第１の昇降用圧電素子と、前記基台の下方に設けられて前記基台を昇降させる第２の昇降用圧電素子とを備え、前記被保持物を接触対象と接触させる際の平行調整時に、前記第１の昇降用圧電素子が使用され、前記被保持物を前記接触対象と接触させて加圧する際の平行調整時に、前記第２の昇降用圧電素子が使用される
ことを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
前記駆動ユニットが、高さ方向の移動も兼ねる少なくとも３個の前記駆動用圧電素子を有することを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記駆動ユニットを複数備えることを特徴とする請求項１または２に記載の位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、被保持物を保持する可動ステージを所定の位置に高精度に位置決めする位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被保持物を保持する可動ステージを所定の位置に高精度に位置決めする位置決め装置として、特許文献１に記載のものがある。この種の位置決め装置では、可動ステージの駆動源として複数個の圧電素子を使用し、各圧電素子により支持される支持足の先端を、各圧電素子の伸縮によって三次元の任意方向に移動させ、支持足にいわゆるウォーキング動作をさせることで可動ステージを所定の位置に移動させて位置決めしている。
【０００３】
具体的には、各圧電素子の伸長変位によって支持足の先端が受台の上面よりも上方に突出するように支持足を上動させ、これにより受台上に載置されている可動ステージを一旦受台から可動ステージを持ち上げ、この状態から今度は各圧電素子を適宜伸縮させて支持足を一方向に移動させて可動ステージも平行移動させ、その後各圧電素子の圧縮変位によって支持足の先端が受台の上面よりも下方に沈むように支持足を下動させ、これにより可動ステージを再び受台上に載置するとともに、支持足を元の位置に復帰させ、このような動作の繰り返しによって、可動ステージを所定の位置まで移動させて、最終的には可動ステージに保持された半導体ウエハなどの被保持物を所定位置に位置決めするようになっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−９６０５７号公報（段落００３７および図１１〜図１４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、可動ステージを効率よく移動させるためには、可動ステージを受台から所定量持ち上げて（浮かせて）移動させる必要があり、そのためには支持足の先端を受台の上面よりも上方に突出させる量として最低限の突出量が必要となる。具体的には、半導体ウエハを可動ステージにより保持する場合には、支持足の突出量として数μｍ（例えば、４μｍなど）必要である。
【０００６】
しかし、上記した従来の位置決め装置に使用される圧電素子は小型であってその伸縮量には限界があることから、支持足の突出量も制限されてしまい、可動ステージの受台からの持ち上げ量として所望値を確保することが難しく、上記したように半導体ウエハを可動ステージにより保持する例では、４μｍに満たないこともあり、そのような場合には受台の上面を計測しながら研磨するなどして相対的な持ち上げ量を所望値に調整しているのが現状であり、非常に繁雑であった。
【０００７】
また、各圧電素子自体の変位量は限られているため、限られた各圧電素子の変位量の範囲内でしか可動ステージを精度良く移動させることができず、可動ステージの高精度での移動範囲も必然的に制限されるという不都合もあった。
【０００８】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、支持足の突出量として十分な量を確保できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記した目的を達成するために、本発明にかかる位置決め装置は、基台と、前記基台に設けられた受台と、少なくとも平面方向に移動可能な駆動用圧電素子を有し前記基台上に設けられた駆動手段と、前記駆動手段に支持され前記各駆動用圧電素子の伸縮により先端が前記受台の上面よりも上、下に移動する支持足とを有する駆動ユニットを備え、前記受台上に載置され上面に被保持物を保持する可動ステージを、前記支持足の先端の移動に伴い前記受台上から持ち上げて移動し、前記可動ステージを所定の位置に位置決めする位置決め装置において、前記駆動ユニットが、前記各駆動用圧電素子の下方であって前記基台上に設けられて前記各駆動用圧電素子を前記基台に対して同時に昇降させる第１の昇降用圧電素子と、前記基台の下方に設けられて前記基台を昇降させる第２の昇降用圧電素子とを備え、前記被保持物を接触対象と接触させる際の平行調整時に、前記第１の昇降用圧電素子が使用され、前記被保持物を前記接触対象と接触させて加圧する際の平行調整時に、前記第２の昇降用圧電素子が使用されることを特徴としている（請求項１）。
このようにすると、接触時の位置ずれを回避したり、加圧時の荷重を均一にするためには、数μｍ以内の微妙な平行調整が必要となるが、第２の昇降用圧電素子を使用することで可能となる。また、加圧時には支持足は下降して受台で支持しているため、基台下との２段構成とすることで接触時の平行調整と加圧時の平行調整を分離独立して調整することが可能となり好ましい。
【００１０】
また、本発明では、前記駆動ユニットが、高さ方向の移動も兼ねる少なくとも３個の前記昇降用圧電素子を有することを特徴としている（請求項２）。
【００１２】
また、本発明では、前記駆動ユニットを複数備えることを特徴としている（請求項３）。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に係る発明によれば、駆動ユニットにおいて、各駆動用圧電素子の下方に各駆動用圧電素子を同時に昇降させる昇降用圧電素子を設けたため、昇降用圧電素子の伸縮によって各駆動用圧電素子を同時に昇降させることができ、各駆動用圧電素子の伸縮量の不足を昇降用圧電素子の昇降によって補うことができる。したがって、従来のように支持足の受台からの突出量を確保するために受台上面を計測しながら研磨するなどの無駄な作業が不要になる。
また、前記昇降用圧電素子が、第１の昇降用圧電素子として前記基台上に設けられ、前記基台の下方には第２の昇降用圧電素子が設けられ、前記被保持物を接触対象と接触させる際の平行調整時に、前記第１の昇降用圧電素子が使用され、前記被保持物を前記接触対象と接触させて加圧する際の平行調整時に、前記第２の昇降用圧電素子が使用されるようにすると、被保持物を接触対象と接触させる際には、位置ずれを防ぐために平行調整が必要になり、第１の昇降用圧電素子を使用すると当該接触時の位置ずれを防止できる一方、被保持物を接触対象と接触させる際には、均一荷重をかけるために平行調整が必要になり、第２の昇降用圧電素子を使用することで加圧時に均一荷重をかけることができる。
【００１４】
請求項２に係る発明によれば、駆動ユニットが、高さ方向の移動も兼ねる少なくとも３個の前記駆動用圧電素子を有するため、各駆動用圧電素子により水平方向と高さ方向の両方向への駆動が可能になり、より高さ方向に余裕ができる。
【００１６】
請求項３に係る発明によれば駆動ユニットを複数備えたため、各駆動ユニットの支持足の動きを協調させることにより、可動ステージを任意の方向に移動させることができ、被保持物を所定の位置に精度よく位置合わせすることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の一実施形態について図１ないし図５を参照して説明する。図１および図２は位置決め装置を示す正面図および一部の平面図、図３および図４は位置決め装置のウォーキング動作の説明図である。
【００１８】
本実施形態における位置決め装置１は、図１、図２に示すように構成されている。すなわち、図１、図２に示すように平板状の基台３上に昇降用圧電素子５が配設され、この昇降用圧電素子５上に下部連結体７を介して３個の駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃが連結され、これら駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃ上には上部連結体１１を介して上下方向に長尺の支持足１３が連結、支持されている。ここで、各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃおよび上部連結体１１によりピエゾ駆動手段１５が構成されている。
【００１９】
また、基台３には受台１７が立設され、この受台１７の上部中央の開口１７ａを支持足１３が昇降するようになっており、支持足１３は各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃの上下方向への伸縮によって、支持足１３の先端（上端）が受台１７の上面よりも上、下に移動する。そして、基台３、受台１７、昇降用圧電素子５、下部連結体７、ピエゾ駆動手段１５および支持足１３が一体となった駆動ユニット１９が形成され、例えば図５に示すように、３個の駆動ユニット１９が図５に示すようにほぼ円周上に配列されて位置決め装置１が構成される。
【００２０】
さらに、受台１７の上面には、半導体ウエハなどの被保持物を保持する例えば円板状の可動ステージ２１が載置され、支持足１３の先端の移動に伴い、可動ステージ２１が受台１７上から持ち上げられて移動されるようになっており、複数の駆動ユニット１９の支持足１３が協調して動くことにより、可動ステージ２１が所定方向に移動（回転も含む）されて可動ステージ２１に保持された半導体ウエハ等の被保持物が所定の位置に位置決めされる。
【００２１】
駆動ユニット１９の動作を簡単に説明すると、各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃに制御装置（図示せず）により電圧を印加して各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃを上方へ伸長変位させて支持足１３の先端を受台１７の上面よりも上方に突出させる。これにより、受台１７上の可動ステージ２１を一旦受台１７から持ち上げ、この状態から制御装置による各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃへの印加電圧を制御して各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃを適宜伸縮させ、支持足１３を例えば一方向に移動させて可動ステージ２１を平行移動させる。その後、各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃに伸長時とは逆の電圧印加により圧縮変位させ、これにより支持足１３の先端を受台１７の上面よりも下方に沈ませて支持足１３を下動させ、可動ステージ２１を再び受台１７上に載置する一方、支持足１３を元の位置に復帰させ、このような動作を繰り返して可動ステージ２１を所定の位置まで移動させ、可動ステージ２１に保持された半導体ウエハなどの被保持物を所定位置に位置決めするのである。このとき、各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃの伸縮により各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃのの先端が水平方向と高さ方向に移動し、支持足１３の先端が水平方向および高さ方向に移動可能となっている。また、圧電素子の配置構成としては平面方向と高さ方向を分離した構成であってもよい。
【００２２】
位置決め装置１の駆動ユニット１９を上記のように構成すれば、受台１７と支持足１３との距離を近づけることができ、コンパクトな構成とすることができる。また、受台１７と支持足１３との距離を小さくすることができるため、ピエゾ駆動手段１５を駆動して支持足１３により可動ステージ２１を受台１７から持ち上げるときに、可動ステージ２１の受台１７との接触面のうねりや凹凸による影響を最も小さくすることができる。
【００２３】
なお、各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃは電圧が印加されることにより伸縮する素子のことであって、その材質はどのようなものであってもよい。また、駆動ユニット１９は、可動ステージ２１が載置されてその荷重を支持する受台１７を備えているため、各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃと連結された支持足１３のみで可動ステージ２１を支持する場合に比べ、可動ステージ２１に加えられる圧力に対する耐久性を向上させることができる。
【００２４】
次に、位置決め装置１における駆動ユニット１９ウォーキング動作について図３ないし図５を参照して説明する。
【００２５】
まず、駆動ユニット１９の動作を詳述すると、図３および図４に示すように、支持足１３の先端が受台１７の上面よりも下方に沈んだ状態を初期状態として、制御装置から各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃのそれぞれに任意に電圧印加し、可動ステージ２１を移動させる矢印Ｄの方向と反対方向に支持足１３を傾ける（図３、図４のステップＳ１）。
【００２６】
続いて、支持足１３を傾けた状態で各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃを伸長変位させて支持足１３の先端を受台１７の上面よりも上方に突出させ、支持足１３により可動ステージ２１を持ち上げて可動ステージ２１を受台１７から浮上させる（図３、図４のステップＳ２）。そして、支持足１３の先端により可動ステージ２１を持ち上げた状態で、制御装置による印加電圧を制御して各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃを変位させ、支持足１３の先端を矢印Ｄの方向に傾けることで可動ステージ２１を矢印Ｄの方向に移動させる（図３、図４のステップＳ３）。
【００２７】
その後、制御装置による印加電圧を制御して各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃを圧縮変位させて支持足１３の先端を受台１７の上面よりも下方に沈み込ませ（図３、図４のステップＳ４）、さらに支持足１３の傾きを初期状態に戻すと、１回のウォーキング動作が終了することとなる（図３、図４のステップＳ５）。
【００２８】
次に、このような位置決め装置１の各駆動ユニット１９のウォーキング動作により位置決めされる可動ステージ２１の位置決め動作について図５を参照して説明する。図５に示すように、位置決め装置１を構成する３個の駆動ユニット１９のウォーキング動作を適宜組み合わせることにより、可動ステージ２１のＸ、Ｙ、θ（回転）方向への移動および、３方向への移動を組合わせた位置決め動作を行なうことができる。例えば、図５（ａ)に示すように、各駆動ユニット１９の支持足１３を同時に同じＸ方向に移動させると、可動ステージ２１をＸ方向に移動させることができ、同図（ｂ)に示すように、各駆動ユニット１９の支持足１３を同時に同じＹ方向に移動させると、可動ステージ２１をＹ方向に移動させることができ、同図（ｃ)に示すように、各駆動ユニット１９の支持足１３を同時に円板状の可動ステージ２１の円周の接線方向にそれぞれ移動させると、可動ステージ２１をθ方向に回転移動させることができ、各駆動ユニット１９の支持足１３の移動方向を逆にすると、可動ステージ２１をθ方向と逆方向に回転させることができる。
【００２９】
なお、必要に応じて、制御装置による各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃへの電圧印加時に、各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃの収縮動作におけるクリープ特性を、目標とする各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃの伸縮量に対する目標電圧に対し、一旦オーバーシュートさせて目標電圧に戻すクリープ補正動作を行なうのが望ましい。こうすると、各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃを最終の目標変位に精度よくかつ迅速に制御することが可能になり、各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃを用いた位置決め装置１の応答性を改善できて高速でかつ高精度な位置決めを行なうことができる。
【００３０】
以上のように、本実施形態によれば、各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃの下方に各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃを同時に昇降させる昇降用圧電素子５を設けたため、昇降用圧電素子５の伸縮によって各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃを同時に昇降させることができ、各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃの伸縮量の不足を昇降用圧電素子５の昇降によって補うことが可能になり、従来のように支持足の受台からの突出量を確保するために受台上面を計測しながら研磨するなどの無駄な作業が不要になる。
【００３１】
また、受台１７と、一足の支持足１３を有する駆動ユニット１９により、ウォーキング動作を実行可能であるため、ウォーキング動作を実行するのに支持足１３が２本必要であった従来の構成に比べ、装置のコンパクト化および製造コストの抑制を図ることができる。
【００３２】
なお、支持足１３が２足であれば、支持足１３の可動ステージ２１への支持の切換時に、両方の支持足１３は揺動中であるので支持足１３と可動ステージ２１との間で滑りが生じ、その結果、位置ずれをが生じるため、目的とする動作を得られなかった。しかしながら、上記した構成とすれば、支持足１３が１足でウォーキング動作が可能となるため、支持足１３と可動ステージ２１との間での滑りの発生を抑制でき、目的とする可動ステージ２１の移動を行なうことが可能となる。
【００３３】
また、図５に示すように、位置決め装置１として、駆動ユニット１９を任意の円周上に位置するように３個備えれば、９個の駆動用圧電素子により可動ステージ２１の全ての方向への移動が可能となり、装置のコンパクト化およびコストの抑制を図ることが可能になる。
【００３４】
さらに、３個の駆動ユニット１９が有する支持足１３の３つの先端により任意の平面が規定されるため、可動ステージ２１の支持足１３との接触面が平面であれば、ウォーキング動作中であっても、可動ステージ２１と支持足１３とは常に接触することとなるため、可動ステージ２１と支持足１３との間の滑りを抑制でき、非常に好ましい。
【００３５】
また、上記した位置決め装置１は、各駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃを有する駆動ユニット１９による高精度な位置制御と、受台１７による高耐荷重性とを兼ね備えたものである。また、駆動ユニット１９を、任意の円周上に配置することで可動ステージ２１の中央部分を切り欠いて穴を開けることができ、可動ステージ２１に載置された種々のウエハやチップ、またはナノインプリント用の転写型などの位置決め対象物を下部からＩＲカメラ等の認識手段で認識したり、エッチングの為に露光処理したりできるので好ましい。なお、可動ステージ２１に、メカニカルなチャッキング方式の保持手段や、静電チャックによる保持手段を設け、載置された位置決め対象物を保持するようにしてもよい。
【００３６】
上記した駆動ユニット１９の変形例について、図６ないし図１２を参照して説明する。
【００３７】
（第１変形例）
まず、第１変形例を示す図６について説明する。この第１変形例では、図６に示すように、基台３に上下方向に伸縮可能に立設された補助昇降用圧電素子２５を介して受台１７を設けており、基台３、補助昇降用圧電素子２５、受台１７、昇降用圧電素子５、下部連結体７、ピエゾ駆動手段１５および支持足１３が一体となった駆動ユニット１９１を構成している。
【００３８】
このような構成とすれば、上記したウォーキング動作において、支持足１３の受台１７の外側への出現時に、上記した昇降用圧電素子５だけでなく補助昇降用圧電素子２５をも縮小させれば、支持足１３の先端を受台１７の外側へさらに突出できるため、可動ステージ２１の移動量を大きくすることができる。
【００３９】
（第２変形例）
図７は駆動ユニット１９の第２変形例を示す図である。第２変形例では、同図に示すように、上記した実施形態における駆動ユニット１９（例えば、図１参照）の基台３の下方に上下方向に伸縮可能な補助昇降用圧電素子２７を設けており、基台３、受台１７、昇降用圧電素子５、下部連結体７、ピエゾ駆動手段１５、支持足１３および補助昇降用圧電素子２５、が一体となった駆動ユニット１９２を構成している。
【００４０】
このように構成すると、上記した昇降用圧電素子５を第１の昇降用圧電素子とし、補助昇降用圧電素子２７を第２の昇降用圧電素子として、例えば接合において、可動ステージ２１上の被保持物と基板などの接触対象と接触させる際には、両者の位置ずれを防ぐ必要があるため、第１の昇降用圧電素子である昇降用圧電素子５により被保持物と接触対象との平行調整を行えば、効果的に平行調整できて位置ずれを防止できる。一方、被保持物を接触対象と接触させる際には、均一荷重をかけるために平行調整が必要になり、第２の昇降用圧電素子である補助昇降用圧電素子２７により被保持物と接触対象との平行調整を行えば、加圧時の平行調整を効果的に行なって均一荷重をかけることができる。このとき、接触時の位置ずれを回避したり、加圧時の荷重を均一にするためには、数μｍ以内の微妙な平行調整が必要となるが、本昇降用圧電素子を使用することで可能となる。また、加圧時には支持足は下降して受台で支持しているため、基台下との２段構成とすることで接触時の平行調整と加圧時の平行調整を分離独立して調整することが可能となり好ましい。
【００４１】
（第３変形例）
図８は駆動ユニット１９の第３変形例を示す図である。第３変形例では、同図に示すように、受台１７とピエゾ駆動手段１５とを近接配置して駆動ユニット１９３を形成しており、受台１７と支持足１３との距離を近づけることができ、可動ステージのうねりや凹凸を原因として支持足１３が可動ステージと非接触状態となるのを防止できる。また、受台１７と支持足１３との高さの関係を調整しやすい。
【００４２】
（第４変形例）
図９は駆動ユニット１９の第４変形例を示す。第４変形例では、同図に示すように、基台３に上下方向に伸縮可能に立設された補助昇降用圧電素子２９を介して受台１７を設けており、基台３、補助昇降用圧電素子２９、受台１７、昇降用圧電素子５、下部連結体７、ピエゾ駆動手段１５および支持足１３が一体となった駆動ユニット１９４を構成している。
【００４３】
このような構成とすれば、上記したウォーキング動作において、支持足１３の先端が受台１７よりも高くなる時（可動ステージ２１の浮上時）に、上記した昇降用圧電素子５だけでなく補助昇降用圧電素子２９をも縮小させれば、支持足１３の先端を受台１７より上方へさらに突出できるため、可動ステージ２１の移動量を大きくすることができる。
【００４４】
（第５変形例）
図１０は駆動ユニット１９の第５変形例を示す。第５変形例では、同図に示すように、上記した第３変形例における駆動ユニット１９３（図８参照)の下方に上下方向に伸縮可能な補助昇降用圧電素子３０を設けており、基台３、受台１７、昇降用圧電素子５、下部連結体７、ピエゾ駆動手段１５、支持足１３および補助昇降用圧電素子３０が一体となった駆動ユニット１９５を構成している。また、本構成では、昇降用圧電素子が基台３の上下で２段構成となっているため、接触時の平行調整と加圧時の平行調整を分離独立して調整することが可能となる。
【００４５】
（第６変形例）
図１１は駆動ユニット１９の第６変形例を示す図である。第６変形例では、同図に示すように、図７の第２変形例における駆動ユニット１９２の補助昇降用圧電素子２５の下方に、圧力検出手段３３を介して粗動調整部３５を配置し、駆動ユニット１９６を構成している。このような構成の駆動ユニット１９６によれば、粗動調整部３５を適宜調整することにより、圧力検出手段３３よりも上のユニット上部を大きく相対移動させることができる。
【００４６】
（第７変形例）
図１２は駆動ユニット１９の第７変形例を示す図である。第７変形例では、同図に示すように、受台１７が基台３ほぼ中央に配設され、その周辺部に昇降用圧電素子３７ａ，３７ｂ，３７ｃ、駆動用圧電素子９ａ，９ｂ，９ｃおよび支持足１３を配設し、駆動ユニット１９７を構成している。このような構成としても、上記した駆動ユニット１９と同様の作用効果を奏することができる。
【００４７】
なお、第１〜７変形例を含め１つの支持足１３と受台１７の構成を示したが、受台１７の代わりに各構成での足の組み合わせからなる２足以上の構成としても構わない。
【００４８】
また、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行なうことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明に係る位置決め装置における一部の一実施形態の正面図である。
【図２】本発明に係る位置決め装置における一部の一実施形態の平面図である。
【図３】駆動ユニットによるウォーキング動作の説明図である。
【図４】駆動ユニットによるウォーキング動作の説明図である。
【図５】位置決め装置の位置決め動作の説明図である。
【図６】駆動ユニットの第１変形例を示す図である。
【図７】駆動ユニットの第２変形例を示す図である。
【図８】駆動ユニットの第３変形例を示す図である。
【図９】駆動ユニットの第４変形例を示す図である。
【図１０】駆動ユニットの第５変形例を示す図である。
【図１１】駆動ユニットの第６変形例を示す図である。
【図１２】駆動ユニットの第７変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
３…基台
５…昇降用圧電素子
９ａ，９ｂ，９ｃ…駆動用圧電素子
１３…支持足
１５…ピエゾ駆動手段
１７…受台
１９，１９１，１９２，１９３，１９４，１９５，１９６，１９７…駆動ユニット
２１…可動ステージ
２７…補助昇降用圧電素子
【図１】
0005073540.tif 000002
【図２】
0005073540.tif 000003
【図３】
0005073540.tif 000004
【図４】
0005073540.tif 000005
【図５】
0005073540.tif 000006
【図６】
0005073540.tif 000007
【図７】
0005073540.tif 000008
【図８】
0005073540.tif 000009
【図９】
0005073540.tif 000010
【図１０】
0005073540.tif 000011
【図１１】
0005073540.tif 000012
【図１２】
0005073540.tif 000013