(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定流体を流すための流路を形成する流体管を加振するための加振器と、
前記流体管の流路に沿って互いに離間して設けられ、前記流体管の振動の状態を検出する第１および第２の検出器と、
前記流体管の両方の端部を前記振動に対する固定端となるように支持する支持部材と、
前記第１および第２の検出器により検出される各振動の状態の相対量に基づき前記流体管の流路を通る測定流体の質量流量を算出する算出手段を有する流量計において、
前記流体管は、
前記支持部材に固定された両方の端部の間に軸線が直線である直管部と軸線が曲がった曲がり部とを備えた略Ｕ字状の形状を有し、
内周面が前記流路に接するフッ素系樹脂製の内管と、
前記内管の少なくとも前記直管部の外周面を包む整列して並べられた繊維および該整列して並べられた繊維間に密着した状態で硬化した樹脂を有し、弾性率が前記内管よりも大きい外管とからなることを特徴とする、流量計。
【請求項２】
前記加振器と、前記第１及び第２の検出器が、前記流体管の直管部に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の流量計。
【請求項３】
前記直管部及び曲がり部の双方が前記内管および外管で形成されている請求項１または２に記載の流量計。
【請求項４】
前記曲がり部において、前記繊維の長手方向が前記流体管の軸線に対し斜めに設定されている請求項１から３のいずれかに記載の流量計。
【請求項５】
前記曲がり部の内側および外側の双方において、前記流体管の軸線に沿って配置された繊維が存在しないことを特徴とする請求項４の流量計。
【請求項６】
前記曲がり部において、当該曲がり部の内側の前記繊維の単位表面積当たりの本数が、当該曲がり部の外側の前記繊維の単位表面積当たりの本数よりも大きいことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の流量計。
【請求項７】
前記曲がり部において前記繊維と前記流体管の軸線とがなす角は、前記曲がり部の内側の方が当該曲がり部の外側よりも大きいことを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の流量計。
【請求項８】
前記直管部が前記内管および外管で形成され、前記曲がり部が前記外管で覆われていない内管で形成されている請求項１または２に記載の流量計。
【請求項９】
前記繊維が前記内管の外周を包む織物状に組まれており、前記織物状に組まれた繊維間に当該繊維に密着した状態で前記樹脂が硬化している請求項１〜８のいずれかに記載の流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配管を強制的に加振することで、配管を流れる流体の質量流量に比例して働く力いわゆるコリオリの力を発生させて、配管の上流側と下流側での振動の位相差を検出し、当該質量流量を求めるコリオリ式の質量流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
コリオリ式の流量計は、計測対象の流体を通過させる流体管を、加振器で強制的に加振し、流体の質量の流量に応じて、流路の上流側と下流側とに発生する振動の位相差を検出し、前記位相差から質量流量を求める。
【０００３】
コリオリ式の流量計は、効率よく振動を発生させるために、梁としての流路管の固有振動数で加振するのが一般的である。この流路管の固有振動数を決定する主な要素は、流路管材料の弾性率（縦弾性係数（ヤング率））と流路管の形状であり、金属製の管は、この弾性率が温度的に安定で、形状が経年的に安定するため、コリオリ式の流量計の流路管として多用されている。
【０００４】
一方、金属を腐食するような流体を測定対象とする場合、あるいは、金属イオンの測定流体への溶出を嫌う場合、金属製の流路管の内側の面に耐薬処理を施す必要があり、その一例として流体管の内周面にフッ素樹脂コーティングを施したものが知られている（特許文献１）。この特許文献１の発明では、管径が細い場合、コーティングが困難であり、特に、曲がり部がある場合には困難度合いが増す。
【特許文献１】実開昭６４−１５９２１号（フロントページ）
【０００５】
また、別の要請として、フッ素樹脂コーティングは、厚膜化が困難であることと、確実にコーティングが施されたかの確認が困難であるため、流路内への金属イオンの溶出の懸念を払拭できないことから、管材料として、金属を一切使用して欲しくないという要請がある。そこで、フッ素系樹脂のみで構成された流路管（ＰＦＡチューブ）が提案されている（特許文献２）。
【特許文献２】ＷＯ  ９７／４４６４０
【０００６】
しかし、フッ素系樹脂のみで流体管を構成している場合には、温度による弾性率の変化や経年的なクリープ現象のおそれがある。コリオリ式の質量流量計は、その原理上、流体管の振動させて測定を行うが、弾性率の変化は、その振動に影響を与えるため質量流量の正確な測定を阻害するおそれがある。
【０００７】
また、ＰＦＡチューブの場合、流路内を流れる流体が薬品の場合、薬品がチューブを透過して、水蒸気やアンモニア等の雰囲気ガスと薬品とが反応する。この反応生成物が、チューブ外表面に析出し、チューブの機械的強度を低下させる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、耐薬性があり、かつ、金属イオンの溶出のおそれが無く、しかも、流路管の細径化が可能で、更には温度変化に対して安定した測定が可能で経年的な劣化の影響を低減可能なコリオリ式の流量計を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明は、測定流体を流すための流路を形成する流体管を加振するための加振器と、前記流体管の流路に沿って互いに離間して設けられ、前記流体管の変位を検出する第１および第２の検出器と、前記第１および第２の検出器により検出される各変位の相対量に基づき前記流体管の流路を通る測定流体の質量流量を算出する算出手段を有する流量計において、前記流体管は、内周面が前記流路に接するフッ素系樹脂製の内管と、前記内管の外周面を包む整列して並べられた繊維および該整列して並べられた繊維間に密着した状態で硬化した樹脂を有し、弾性率が前記内管よりも大きい外管とからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明においては、流体管の内管がフッ素系樹脂で形成されているから薬品により腐食されにくい。
特に、内管が外管により被覆されているので、フッ素系樹脂からなる内管を透過した薬品が水蒸気やアンモニア等の雰囲気ガスに触れるおそれがない。そのため、内管の劣化が進行しにくく、耐薬品性に優れている。
また、前記内管の外側には、樹脂および非金属繊維からなる外管が配置されているので、金属イオンが溶出するおそれがない。
【００１１】
また、弾性率の大きい外管は繊維間に樹脂が密着して硬化した、いわゆる繊維強化樹脂であるから、流体管の剛性がフッ素系樹脂で形成された管に比べ飛躍的に増大するだけでなく、前記繊維により強化されているので、温度による弾性率の変化や経年的なクリープ現象が大幅に低減可能である。
そのため、温度変化に対しても安定した測定が可能で、かつ、経年的な測定精度の劣化を低減可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明において、前記流体管は前記２つの検出器の間に軸線が曲がった曲がり部や、軸線が直線である直管部を包含していてもよい。
【００１３】
前記２つの検出器の間において、前記流体管を略Ｕ字状に形成し、支持部材がＵ字状の流体管の両端が振動の固定端となるように支持し、つまり、片持梁様にして支持すると、前記流体管が直管の場合に比べ、少ない加振力で大きな振動振幅が得られる。その結果、振動の位相差を算出する際のＳ／Ｎ比が改善され、測定精度の向上がはかりやすくなる。
【００１４】
本発明の１つの好適な実施例では、前記直管部および曲がり部の双方を前記内管および外管で形成する。
この場合、流体管の直管部および曲がり部の双方について剛性の向上などの利点が得られる。
【００１５】
この場合、更に好ましい実施例では、前記曲がり部において、前記繊維の長手方向が前記流体管の軸線に対し斜めに設定（配向）されている。つまり、繊維を螺旋状に配向するのが好ましい。
【００１６】
曲がり部を製造時に形成するには、樹脂が未硬化の状態（プリプレグ）や樹脂を塗布していない状態において、繊維を巻いた内管を屈曲させるのであるが、この際、流体管の軸線と平行な繊維は曲がり部の内側において縮み、一方、曲がり部の外側において伸びる必要がある。しかし、繊維が軸線に平行であると繊維は伸縮しにくいので、この屈曲時に切れたり、あるいは、竹が割れるように変形する。
【００１７】
これに対し、流体管の軸線に対して斜めに配向された繊維は、屈曲時に曲がり部において配向角を変えながら移動することができる。以下、これについて図４〜図６を用いて説明する。
【００１８】
今、図４（ｂ）のように、繊維が第１の螺旋方向に沿った第１繊維Ｆ１と第２の螺旋方向に沿った第２繊維Ｆ２とを包含する場合、前記繊維Ｆ１，Ｆ２を含む直管を屈曲させて図５（ａ）の曲がり部Ｃを形成すると、この図から分かるように、図５（ｃ）の曲がり部Ｃの内側ＩＮは縮み、一方、図５（ｂ）の曲がり部Ｃの外側ＯＵＴは伸びる。
【００１９】
ここで、説明を分かり易くするために、前記第１繊維Ｆ１と第２繊維Ｆ２を分けて図６（ａ），（ｄ）に図示する。
図４（ｂ）の第１または第２の螺旋方向に沿った繊維Ｆ１，Ｆ２は、管全体を曲げようとすると、前記外側の伸びに対応するために、軸線Ｌｃと繊維Ｆ１，Ｆ２とのなす角（以下、「配向角」という）θが、図６（ｂ），（ｅ）に示すように、直管部Ｓ１〜Ｓ３に比べ小さくなる。
【００２０】
一方、図４（ｂ）の第１または第２の螺旋方向に沿った繊維Ｆ１，Ｆ２は、管全体を曲げようとすると、前記内側の縮みに対応するために、前記配向角θが、図６（ｃ），（ｆ）に示すように、直管部Ｓ１〜Ｓ３に比べ大きくなる。
【００２１】
すなわち、前記曲がり部Ｃにおいて前記配向角θは、前記曲がり部Ｃの内側ＩＮの方が当該曲がり部Ｃの外側ＯＵＴよりも大きい。
【００２２】
このような配向角θの変化に伴い、図６および図５から分かるように、前記曲がり部Ｃにおいて、当該曲がり部Ｃの内側ＩＮの前記繊維Ｆ１，Ｆ２の単位表面積当たりの本数が、当該曲がり部Ｃの外側ＯＵＴの前記繊維Ｆ１，Ｆ２の単位表面積当たりの方数よりも大きくなる。
【００２３】
また、前記管の屈曲を許容するためには、曲がり部の内側および外側の双方に前記流体管の軸線に沿って配置された繊維が存在しないのが更に好ましい。
なお、屈曲の前後において伸びも縮みもしない図５（ａ）の一点鎖線で示す部分（軸線Ｌｃに平行な位置）には、前記流体管の軸線に沿って配置された繊維が配置されていても前記屈曲の妨げとはならない。
【００２４】
本発明の別の好適な実施例では、前記直管部が前記内管および外管で形成され、前記曲がり部が前記外管で覆われていない内管で形成されている。
この場合、直管部は弾性率の大きい外管で補強されているから、流体管全体の剛性は向上する。一方、曲がり部は外管で覆われていないから、製造時に内管のみを屈曲させればよいので、繊維が切れたりしないから、製造が可能となる。
【００２５】
本発明において、繊維は外管の樹脂を強化する強化材であり、したがって、外管は繊維強化複合材料である。
【００２６】
樹脂としては熱硬化性樹脂を一般的に使用できるが、紫外線硬化樹脂や２液性などの化学反応型硬化樹脂を採用してもよい。
熱硬化性樹脂としては、たとえば、エポキシや不飽和ポリエステル、ビスマレイミド、ポリイミドなどの樹脂を用いることができる。これらの樹脂の内、エポキシは高強度、高耐熱で耐薬品性が高く、加工性にも優れているので、好適に採用することができる。
【００２７】
一方、繊維としては、非金属繊維が好ましく、たとえば、ガラスの他に、炭素、アラミド、ボロンを採用することができる。炭素繊維は強度が大きく、一方、ガラス繊維は炭素繊維よりも強度は小さいが流体管の曲げ加工時に折れにくく、安価である。
なお、測定流体による金属腐食は問題となるものの、金属イオンの溶出が問題とならない場合などには金属製の繊維を用いることもできる。特に、流体管が細く、コーティングが完全に施されたかの確認が困難な場合などには効果的である。
【００２８】
本発明の好適な実施例では、前記繊維が前記内管の外周を包む織物状に組まれており、前記織物状に組まれた繊維間に当該繊維に密着した状態で前記樹脂が硬化している。
織物状に組まれた繊維は、繊維が整列する２方向に外管の強度を向上させる。
【００２９】
本発明において、「織物状に組まれた」とは、たて糸とよこ糸を組み合わせて、織機で織ったような構造を意味し、たとえば朱子織、斜文織、平織などの織構造を採用することができる。
未硬化樹脂中に繊維が配置されたプリプレグを内管に巻いて流体管を製造する場合、流体管の曲げ加工時には、未硬化の熱硬化性樹脂内を繊維が移動する必要があるので、繊維構造としては平織のような、しっかりした織物よりもルーズな朱子織が好ましい。
なお、「整列して並べられた」とは、「織物状に組まれた」に加え、繊維同士が樹脂中において略平行に配列されているものも含む。
【００３０】
なお、内管を形成するフッ素系樹脂としては、たとえば、ペルフルオロアルコキシ（ＰＦＡ）を採用することができる。
【００３１】
前記第１および第２の検出器の各被検出素子は前記外管に固定されているのが好ましい。
フッ素系樹脂製の内管よりも前記フッ素系以外の樹脂からなる外管の方が被検出素子の固定が容易である。
【実施例】
【００３２】
実施例１
以下、本発明の実施例１を図１〜図７を用いて説明する。本発明の要部の説明に先立ってコリオリ式の質量流量計の構造および原理等について説明する。
【００３３】
図１において、略Ｕ字型の流体管１は、第１〜第３直管部Ｓ１〜Ｓ３と、２つの曲がり部Ｃとを備え、計測対象の測定流体１００の流路１０（図４）を形成する。前記測定流体１００は、前記流体管１の第１直管部Ｓ１から導入され曲がり部Ｃ，第３直管部Ｓ３および曲がり部Ｃを通って第２直管部Ｓ２から導出される。
【００３４】
前記第１および第２直管部Ｓ１，２の端は、つまり、略Ｕ字型の流体管１の両端は、壁部１０１に固定されている。これを構造力学的な観点から見ると、支持部材である壁部１０１が、流体管１の両端が後述する加振器２の加振による振動に対し固定端となるように支持し、つまり、流体管１は片持梁の状態で支持されていると同様の構造になる。その結果、図３（ａ）の模式図に示すように、壁部１０１に挿入された両端、つまり、加振による振動の固定端もしくはその近傍を軸に撓むことが可能である。
【００３５】
図１において、前記流体管１における中間部分には、つまり、第３直管部Ｓ３には、加振器２が設けられている。前記加振器２は、第３直管部Ｓ３に固定された永久磁石２１と、ベース１０２上に固定された電磁駆動用コイル２２とからなる。永久磁石２１は電磁駆動用コイル２２内に挿入されており、加振回路３４により電磁駆動用コイル２２に交番する電流を流すことで、流体管１を加振する。
【００３６】
一方、第１および第２直管部Ｓ１，Ｓ２には、それぞれ、第１および第２の検出器２Ａ，２Ｂが配置されている。すなわち、前記第１および第２検出器２Ａ，２Ｂは、流体管１の流路１０に沿った第３直管部の上流側と下流側とに互いに離間して配置されている。図１の各検出器２Ａ，２Ｂは、周知の電磁ピックアップからなり、永久磁石からなる被検出素子２３がコイル２４内を往復移動することにより流体管１の鉛直方向の振動状態の一つである振動の速度を検出する。
図２において、前記第１検出器２Ａにより検出された振動の速度に関する信号は、検出回路３３を経て、マイコン３の算出手段３２に送信されるとともに、加振回路３４に送信される。加振回路３４は、正帰還がかかるように前記第１検出器２Ａにより検出された振動の速度に関する信号の大きさと正負の向きに応じた電流を加振器２を構成する電磁駆動用コイル２２に供給する。このとき、加振に対し振動が減衰しにくい振動数である流体管１の特定の固有振動数で正帰還がかかり、発振状態を作り出すことで、基本の固有振動数での振動を一定レベルで持続させることができる。なお、前記第１検出器２Ａの配置および正帰還の正負の向きなどを調整することで、複数存在する流体管１の固有振動数のうちから、選択的に、特定の高次の周波数で流体管１の振動を持続させるすることができる。
【００３７】
基本の固有周波数で加振するように設定した場合、前記加振により流体管１は図３（ａ）の一点鎖線Ｌ１、実線Ｌ０および二点鎖線Ｌ２の順に上下に撓みながら振動する。
【００３８】
一方、前記加振と測定流体１００（図１）の流れによって、流体管１には、いわゆるコリオリの力が作用し、図３（ｂ）のように流体管１が捩れながら上下に撓み振動する。
【００３９】
コリオリの力の大きさは、流体管１内を流れる流体の質量、その速度および励振する角速度に比例し、力の方向は流体の運動方向（速度ベクトル）と、流体管１を励振する角速度のベクトル積の方向に一致する。また、流体管１における流体の入側と出側とでは流体の流れ方向が反対となるので、第１および第２直管部Ｓ１，Ｓ２に作用する力が上下反対となり、そのため、コリオリ力によって流体管１に捩りのトルクが発生する。このトルクは励振周波数と同一の周波数で変化し、その振幅値と流体の質量流量とは所定の関係になる。
【００４０】
前記加振による図３（ａ）の流体管１の撓みと、前記コリオリの力による図３（ｂ）の流体管１の捩れは、重畳されるのであるが、図２のマイコン３の算出手段３２は前記捩りの振幅の位相つまり前記各検出器２Ａ，２Ｂで検出した各振動の情報である各位置における振動の速度信号の位相差に基づき、流体管１の流路１０を通る測定流体１００の質量を算出する。
【００４１】
図４（ａ）において、流体管１は流路１０に接する内管１１と、前記内管１１の外周面に積層された外管１２とからなる。前記内管１１はフッ素系樹脂製で、押し出し成型されてなる。
【００４２】
前記外管１２は、たとえば未硬化のエポキシ樹脂にガラス繊維が配置されたプリプレグを前記内管１１の外周に巻き付けて硬化させてなるもので、弾性率が内管１１よりも大きい。すなわち、外管１２は内管１１の外周面１３に整列して並べられた繊維Ｆ１，Ｆ２と該繊維Ｆ１，Ｆ２を内管１１に固着あるいは押圧固定可能に形成させるための樹脂（マトリクス）１５を有する。ここで、未硬化のエポキシ樹脂とは、例えば、流動性の低い、いわゆる、半硬化状態のものを含み、半硬化状態（未硬化）のエポキシ樹脂は温度を常温よりも高く硬化温度よりも低い温度に保つことで樹脂が軟化し加工性が向上する。半硬化状態のエポキシ樹脂は、熱硬化性の樹脂であるため温度を所定の硬化温度以上に保つことで完全硬化状態となる。この硬化温度は、内管１１の材料であるフッ素系樹脂の最高連続使用温度よりも低い。これにより、内管１１の形状を維持したまま外管１２の形成が可能となる。一方、一般に熱可塑性樹脂に流動性を持たせるための温度は、フッ素系樹脂の最高連続使用温度よりも高いため、例えば、成型された内管１１に射出成型等により外管１２の形成することは困難である。
【００４３】
前記繊維Ｆ１，Ｆ２と樹脂１５は、内管１１を覆うと共に包んだ状態となっている。図１の前記被検出素子（永久磁石）２３や永久磁石２１は前記直管部Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３の外管１２  （図４）に固定具を介して固着されている。
【００４４】
本実施例においては、たとえば、図４（ｂ）および図７（ａ），（ｂ），（ｃ）に示すように、前記繊維Ｆが前記内管１１の外周を包む織物状に組まれており、前記織物状に組まれた繊維Ｆ間に当該繊維Ｆに密着した状態で図４（ａ）の前記樹脂１５が硬化している。なお、本実施例では図７（ａ）の朱子織りが採用されており、互いに交差する第１および第２の螺旋方向に延びる繊維Ｆ１，Ｆ２が織物状に組まれている。
【００４５】
本実施例では、図１の各直管部Ｓ１〜Ｓ３および曲がり部Ｃの全てが前記内管１１および外管１２で形成されている。前記各直管部Ｓ１〜Ｓ３および曲がり部Ｃにおいて、図５（ａ）に示すように、各繊維Ｆの長手方向が流体管１の軸線Ｌｃに対し斜めに設定されている。
【００４６】
一方、各直管部Ｓ１〜Ｓ３および曲がり部Ｃにおいて、長手方向が流体管１の軸線Ｌｃに沿って配置された繊維は存在しない。
【００４７】
本発明において製造方法は限定されないが、前記流体管１の製造方法としてシートワインディング工法を採用した例について説明する。
【００４８】
まず、図４の内管１１にプリプレグのシートが所定の厚みとなるように巻き付ける。この状態でプリプレグのエポキシ樹脂の粘度が下がる温度まで昇温させた後、手作業でＵ字状に曲げるための予備成型を行う。
【００４９】
この予備成型の際に、図５（ａ）の曲がり部Ｃの外側ＯＵＴでは管が伸び、一方、曲がり部Ｃの内側ＩＮでは管が縮むのであるが、前記外側ＯＵＴの伸びに対応するために繊維Ｆ１，Ｆ２が未硬化の樹脂中を移動し、外側ＯＵＴでは配向角θが小さくなり、一方、内側ＩＮの縮みに対応するために内側ＩＮでは配向角θが大きくなる。
【００５０】
このような配向角θの変化に伴い、図６および図５から分かるように、前記曲がり部Ｃにおいて、当該曲がり部Ｃの内側ＩＮの前記繊維Ｆ１，Ｆ２の単位表面積当たりの本数は、当該曲がり部Ｃの外側ＯＵＴの前記繊維Ｆ１，Ｆ２の単位表面積当たりの方数よりも大きくなる。
【００５１】
前記予備成型後、Ｕ字状に曲げた管を金型内にセットし、型締めした状態で、所定時間、加圧加熱し、プリプレグのシートを硬化させる。硬化後、金型から管を取り出す。
前記加圧力により、図４の外管１２の繊維が内管１１の外周面１３を押圧する形状にするとともにエポキシ樹脂により外周面１３を押圧する形状を保持するように固定する。この結果、内管１１と外管１２とが一体となった状態が安定する。つまり、内管１１と外管１２との間に生じる摩擦力が大きくなり、内管１１の抜けやズレが防止される。
【００５２】
ところで、本実施例では作図を容易にするために、直管部Ｓ１〜Ｓ３における配向角θを４５°に設定し図示したが、配向角θは曲がり部Ｃにおいて０°および９０°でなければよく、管を曲げた際に繊維Ｆ１，Ｆ２の移動を許容し得る角度であればよい。
【００５３】
前記実施例では織物状に組まれた繊維Ｆ１，Ｆ２を採用したが、繊維Ｆ１，Ｆ２は各々別々のプリプレグに平行に配列されたものを用いてもよい。この場合、２つの繊維Ｆ１，Ｆ２のなす角は９０°である必要はない。また、１つの螺旋方向にのみ繊維を設けてもよい。
【００５４】
前記シートワインディング工法においては、織物状に組んだシートに熱硬化性樹脂を含浸  （繊維の周りに樹脂を入り込ませること）したプリプレグを用いたが、繊維を網状に形成したブレードを用いてもよい。
【００５５】
つぎに、前記ブレードを用いたブレーディング工法について説明する。
本ブレーディング工法においては、筒状で、かつ、網状のブレード５０と呼ばれる織物状の材料を用いる。このブレード５０は、繊維Ｆ１，Ｆ２による織物状である。
【００５６】
まず、図８（ａ）のように、ブレード５０内に内管１１となるフッ素系樹脂製の直管を挿入する。ついで、図８（ｂ）のようにブレード５０と共に内管１１を所定の形状に屈曲させる。その後、紫外線硬化樹脂ないし化学反応型の樹脂を塗布ないし浸漬して、ブレード５０に付着させた後、紫外線または化学反応により樹脂を硬化させる。
【００５７】
実施例２
図９（ａ）〜（ｄ）は実施例２を示す。
【００５８】
前記実施例１ではＵ字状の流体管１の曲がり部Ｃおよび直管部Ｓ１〜Ｓ３の全てが内管１１および外管１２で形成されていたが、本実施例では、直管部Ｓ１〜Ｓ３が内管１１および外管１２で形成され、曲がり部Ｃが内管１１で形成されている。
【００５９】
この場合、曲がり部Ｃについては内管１１のみで形成されていてもよいが、曲がり部Ｃについては繊維Ｆ１，Ｆ２を有していないエポキシ樹脂等で被覆してもよい。エポキシ樹脂等で被覆することにより、流体管１の剛性や耐薬品性が向上する。
【００６０】
また、前記直管部Ｓ１〜Ｓ３の繊維については、図９（ｂ）のように２つの螺旋方向に繊維Ｆ１，Ｆ２が配向されていてもよいし、図９（ｃ）のように、１つの螺旋方向にのみ繊維Ｆ１のみが整列して配向されていてもよい。
【００６１】
更に、図９（ｄ）のように、直管部Ｓ１〜Ｓ３の曲げ剛性を高めるために直管部Ｓ１〜Ｓ３の軸線に平行に繊維Ｆ１を配向してもよい。この場合、直管部Ｓ１〜Ｓ３は曲げないので繊維Ｆ１は屈曲を妨げないからである。なお、図９（ｄ）のように繊維Ｆ１を配向すると、つまり、配向角０°の場合、他の配向角の場合に比べ管の曲げ剛性が高まる。
【００６２】
実施例３
図１０は実施例３を示す。
【００６３】
図１のように、前記実施例１，２では２つの検出器２Ａ，２Ｂの間に曲がり部Ｃを包含していたが、図１０のように、２つの検出器２Ａ，２Ｂの間に曲がり部Ｃを有していなくてもよい。
【００６４】
なお、前記各実施例では２層である場合について説明したが、流体管は３層以上であってもよい。
たとえば、図４の外管１２の外側を他の樹脂等で被覆して、接着性や外観を改善したり、あるいは、被検出素子の固着力を高めてもよい。
一方、図４の内管１１と外管１２との間に他の樹脂等を介挿してもよい。たとえば、内管１１と外管１２との接着性を改善するために、両者に対し親和性の良い下地材（プライマ）を介挿してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明はいわゆるコリオリ式の質量流量計に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の流量計の実施例１を示す概略斜視図である。
【図２】同概略構成図である。
【図３】流量計の原理を示す斜視図である。
【図４】（ａ）は流体管の拡大断面図、（ｂ）は繊維の配向を示す模式的な側面図である。
【図５】曲がり部における繊維の配向およびかさ密度を模式的に示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は外側面図、（ｃ）は内側面図である。
【図６】（ａ），（ｄ）は同平面図、（ｂ），（ｅ）は同外側面図、（ｃ），（ｆ）は同内側面図である。
【図７】織構造の例を示す平面図である。
【図８】製造方法の一例を示す斜視図および平面図である。
【図９】実施例２を示す流量計の概略平面図および繊維の配向を模式的に示す平面図である。
【図１０】実施例３を示す流量計の概略平面図である。
【符号の説明】
【００６７】
１：流体管
１０：流路
１１：内管
１２：外管
１３：外周面
２：加振器
２Ａ：第１の検出器
２Ｂ：第２の検出器
３２：算出手段
Ｆ１，Ｆ２：繊維
Ｌｃ：軸線
Ｃ：曲がり部
ＩＮ：内側
ＯＵＴ：外側
Ｓ：直管部
θ：（配向）角
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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