(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個の画素を備えた有機発光ディスプレイ装置において、
前記各画素は、各々赤色、緑色及び青色光を放出する副画素を一方向に沿って備え、
前記有機発光ディスプレイ装置の前記一方向の画素に備えられた、前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素は、各々異なる厚さを有する中間層を備えるように形成され、
前記緑色光を放出する副画素に備えられた中間層の厚さと前記青色光を放出する副画素に備えられた中間層の厚さとの和は、前記赤色光を放出する副画素に備えられた中間層の厚さと実質的に同一に形成され、
各副画素の前記中間層の蒸着を容易にしつつも、パターンの精度を向上させるように、
前記各画素の間には赤色光を放出する副画素が配され、前記赤色光を放出する副画素の両側に緑色及び青色光を放出する副画素が各々配され、
前記赤色光を放出する副画素に備えられた中間層は、前記緑色及び／または前記青色光を放出する副画素に備えられた中間層より厚く形成され、
前記中間層は、
前記一画素内で一定の厚さに形成される正孔注入層（ＨＩＬ：Ｈｏｌｅ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｌａｙｅｒ）と、
前記正孔注入層上に形成され、前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される正孔輸送層（ＨＴＬ：Ｈｏｌｅ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ｌａｙｅｒ）と、を含む
ことを特徴とする有機発光ディスプレイ装置。
【請求項２】
複数個の画素を備えた有機発光ディスプレイ装置において、
前記各画素は、各々赤色、緑色及び青色光を放出する副画素を一方向に沿って備え、
前記有機発光ディスプレイ装置の前記一方向の画素に備えられた、前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素は、各々異なる厚さを有する中間層を備えるように形成され、
前記緑色光を放出する副画素に備えられた中間層の厚さと前記青色光を放出する副画素に備えられた中間層の厚さとの和は、前記赤色光を放出する副画素に備えられた中間層の厚さと実質的に同一に形成され、
各副画素の前記中間層の蒸着を容易にしつつも、パターンの精度を向上させるように、
前記各画素の間には赤色光を放出する副画素が配され、前記赤色光を放出する副画素の両側に緑色及び青色光を放出する副画素が各々配され、
前記赤色光を放出する副画素に備えられた中間層は、前記緑色及び／または前記青色光を放出する副画素に備えられた中間層より厚く形成され、
前記中間層は、
前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される正孔注入層と、
前記正孔注入層上に形成されて前記一画素内で一定の厚さに形成される正孔輸送層とを含む
ことを特徴とする有機発光ディスプレイ装置。
【請求項３】
複数個の画素を備えた有機発光ディスプレイ装置において、
前記各画素は、各々赤色、緑色及び青色光を放出する副画素を一方向に沿って備え、
前記有機発光ディスプレイ装置の前記一方向の画素に備えられた、前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素は、各々異なる厚さを有する中間層を備えるように形成され、
前記緑色光を放出する副画素に備えられた中間層の厚さと前記青色光を放出する副画素に備えられた中間層の厚さとの和は、前記赤色光を放出する副画素に備えられた中間層の厚さと実質的に同一に形成され、
各副画素の前記中間層の蒸着を容易にしつつも、パターンの精度を向上させるように、
前記各画素の間には赤色光を放出する副画素が配され、前記赤色光を放出する副画素の両側に緑色及び青色光を放出する副画素が各々配され、
前記赤色光を放出する副画素に備えられた中間層は、前記緑色及び／または前記青色光を放出する副画素に備えられた中間層より厚く形成され、
前記中間層は、
前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される正孔注入層と、
前記正孔注入層上に形成され、前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される正孔輸送層と、を含む
ことを特徴とする有機発光ディスプレイ装置。
【請求項４】
前記一画素内に備えられた中間層は一体に形成される
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【請求項５】
前記各副画素は、
互いに対向した第１電極と第２電極と、
前記第１電極と第２電極間の前記中間層の上部または下部に形成された赤色、緑色及び青色発光層をさらに含み、
前記赤色発光層が形成された領域の前記中間層は、前記緑色発光層及び／または前記青色発光層が形成された領域の前記中間層より厚く形成される
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【請求項６】
前記有機発光ディスプレイ装置の前記一方向の画素に備えられた副画素は、各副画素が放出する光の色の配列が前記一方向に接する画素の各副画素が放出する光の色の配列と画素間を基準に互いに対称になるように備えられた
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【請求項７】
前記一方向に互いに隣接した画素において、前記隣接した画素間を基準に互いに接している２つの副画素の中間層は一体に備えられる
ことを特徴とする請求項６に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【請求項８】
前記中間層は、
前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される電子輸送層を含む
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の有機発光ディスプレイ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法に係り、さらに詳細には、中間層の蒸着を容易にしつつも、パターンの精度を向上させる有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスプレイ装置のうち、有機発光ディスプレイ装置は、視野角が広く、コントラストに優れ、かつ応答速度が速いという長所を有しており、次世代ディスプレイ装置として注目を浴びている。
【０００３】
一般的に、有機発光ディスプレイ装置は、アノードとカソードとから注入される正孔と電子とが発光層で再結合して発光する原理で色相を具現できるように、前記アノードとカソードとの間に単純に発光層を挿入した積層型を有している。しかし、このような構造では、高効率発光を得難いために、それぞれの電極と発光層との間に電子注入層、電子輸送層、正孔輸送層及び正孔注入層などの中間層を選択的に追加挿入して使用している。
【０００４】
しかし、発光層及び中間層の有機薄膜の微細パターンを形成することが実質的に非常に難しく、前記層によって赤色、緑色及び青色の発光効率が異なるために、従来の有機発光ディスプレイ装置としては満足できるほどの駆動電圧、電流密度、輝度、色純度、発光効率及び寿命などを達成することができないため、その改善が必要である。
【０００５】
一方、有機発光ディスプレイ装置は、互いに対向した第１電極及び第２電極間に発光層及び中間層を備える。この際、前記電極及び中間層は、いろいろな方法で形成されうるが、その１つの方法が蒸着である。蒸着方法を利用して有機発光ディスプレイ装置を製作するためには、薄膜形成面に、該形成される薄膜のパターンと同じパターンを有するマスクを密着させ、薄膜の材料を蒸着して所定パターンの薄膜を形成する。
【０００６】
図１Ａは、従来の有機発光ディスプレイ装置の発光層及び中間層のパターンを概略的に示す平面図であり、図１Ｂは、図１Ａの有機発光ディスプレイ装置の青色発光層を蒸着するために使われるマスクを概略的に示す平面図である。
【０００７】
図１Ａ及び図１Ｂを参照すれば、従来の有機発光ディスプレイ装置の各画素１１、１２、１３、１４は、赤色、緑色及び青色光を放出する発光層１１Ｒ、１２Ｒ、１３Ｒ、１４Ｒ、１１Ｇ、１２Ｇ、１３Ｇ、１４Ｇ、１１Ｂ、１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂを備える。各々赤色、緑色及び青色光を放出する三個の副画素が１つの画素をなす。
【０００８】
前述したようにマスクを利用した蒸着を通じて前記副画素の発光層を形成するところ、赤色、緑色及び青色のうち、いずれか１つの色光を放出する副画素、例えば、赤色光を放出する副画素の発光層を同時に蒸着を通じて形成し、次いで、緑色光を放出する副画素の発光層を同時に蒸着を通じて形成し、次いで、青色光を放出する副画素の発光層を同時に蒸着を通じて形成する。したがって、図１Ａに示されたような有機発光ディスプレイ装置の青色発光層のパターンを形成するためには、図１Ｂに示されたような開口部１１Ｂｍ、１２Ｂｍ、１３Ｂｍ、１４Ｂｍを備えるマスク１０Ｂｍを利用せねばならず、図１Ａに示されたような有機発光ディスプレイ装置の赤色及び緑色発光層のパターンを形成するためにも、図１Ｂに示されたようなマスク１０Ｂｍと同じ間隔の開口部を有するマスクを利用せねばならない。
【０００９】
また、中間層も、発光層と同じパターンで形成されるために、有機発光ディスプレイ装置の中間層のパターンを形成するためにも、図１Ｂに示されたようなマスク１０Ｂｍと同じ間隔の開口部を有するマスクを利用せねばならない。
【００１０】
ところで、高画質のディスプレイ装置を製造するために副画素間の間隔がさらに狭くなっており、これにより、前記副画素の発光層及び中間層を蒸着するためのマスクの開口部の大きさもさらに狭くなっている。すなわち、図１Ｂを参照すれば、開口部１１Ｂｍ、１２Ｂｍの大きさｌ０がさらに狭くなるものである。したがって、高画質の有機発光ディスプレイ装置を具現するためには、開口部がさらに小さな高精細なマスクの製作が必須であるが、このようなマスクの高精細化には限界があるという問題点があった。
【００１１】
また、高精細化によって、マスクのパターニング及びマスクと発光層／中間層の蒸着部分との配列などがさらに難しくなり、微小な誤差によって隣接した他の色光を放出する発光層との重複などが発生するなどの問題点があった。
【００１２】
そして、有機発光ディスプレイ装置以外の他のディスプレイ装置においても、各副画素が蒸着を通じて備えられるディスプレイ装置の場合、前記のような問題点があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、前記問題点を解決するためのものであって、各副画素の中間層の蒸着を容易にしつつも、パターンの精度を向上させるディスプレイ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、複数個の画素を備えた有機発光ディスプレイ装置において、前記各画素は、各々赤色、緑色及び青色光を放出する副画素を一方向に沿って備え、前記有機発光ディスプレイ装置の前記一方向の画素に備えられた、前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素は、各々異なる厚さを有する中間層を備えるように形成されたことを特徴とする有機発光ディスプレイ装置を提供する。
【００１５】
本発明において、前記各画素間には、赤色光を放出する副画素が配され、前記赤色光を放出する副画素の両側に緑色及び青色光を放出する副画素が各々配され、前記赤色光を放出する副画素に備えられた中間層は、前記緑色及び／または前記青色光を放出する副画素に備えられた中間層より厚く形成されうる。
【００１６】
ここで、前記緑色光を放出する副画素に備えられた中間層の厚さと前記青色光を放出する副画素に備えられた中間層の厚さの和は、前記赤色光を放出する副画素に備えられた中間層の厚さと実質的に同一に形成されうる。
【００１７】
本発明において、前記一画素内に備えられた中間層は、一体に形成されうる。
【００１８】
本発明において、前記各副画素は、互いに対向した第１電極と第２電極と、前記第１電極と第２電極との間の前記中間層の上部または下部に形成された赤色、緑色及び青色発光層をさらに含み、前記赤色発光層が形成された領域の前記中間層は、前記緑色発光層及び／または前記青色発光層が形成された領域の前記中間層より厚く形成されうる。
【００１９】
本発明において、前記有機発光ディスプレイ装置の前記一方向の画素に備えられた副画素は、各副画素が放出する光の色の配列が、前記一方向に接する画素の各副画素が放出する光の色の配列と画素間を基準に互いに対称になるように備えられうる。
【００２０】
本発明において、前記一方向に互いに隣接した画素において、前記隣接した画素間を基準に互いに接している２つの副画素の中間層は一体に備えられうる。
【００２１】
本発明において、前記中間層は、前記一画素内で一定の厚さに形成される正孔注入層（ＨＩＬ：Ｈｏｌｅ  Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ）と、前記正孔注入層上に形成されて前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される正孔輸送層（ＨＴＬ：Ｈｏｌｅ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ  Ｌａｙｅｒ）とを含むことができる。
【００２２】
本発明において、前記中間層は、前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される正孔注入層（ＨＩＬ：Ｈｏｌｅ  Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ）と、前記正孔注入層上に形成されて前記一画素内で一定の厚さに形成される正孔輸送層（ＨＴＬ：Ｈｏｌｅ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ  Ｌａｙｅｒ）を含むことができる。
【００２３】
本発明において、前記中間層は、前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される正孔注入層（ＨＩＬ：Ｈｏｌｅ  Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ）と、前記正孔注入層上に形成され、前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される正孔輸送層（ＨＴＬ：Ｈｏｌｅ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ  Ｌａｙｅｒ）を含むことができる。
【００２４】
本発明において、前記中間層は、前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される電子輸送層（ＥＴＬ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ  Ｌａｙｅｒ）を含むことができる。
【００２５】
他の側面に関する本発明は、複数個の画素を備え、前記各画素は、各々赤色、緑色及び青色光を放出する副画素を一方向に沿って備える有機発光ディスプレイ装置の製造方法において、基板の一面に第１電極を形成する段階と、前記第１電極の上部に発光層及び中間層を形成するが、前記中間層は、一部の厚さを残りの一部の厚さより厚く形成する段階と、前記発光層及び中間層の上部に第２電極を形成する段階と、を含む有機発光ディスプレイ装置の製造方法を提供する。
【００２６】
本発明において、前記中間層を形成する段階は、第１領域に中間層を形成する段階と、前記第１領域と少なくとも一部が重畳される第２領域に中間層を形成する段階と、を含むことができる。
【００２７】
ここで、前記発光層を形成する段階は、前記第１領域と前記第２領域とが重畳される領域に赤色発光層を形成しうる。
【００２８】
本発明において、前記中間層を形成する段階は、前記赤色光を放出する副画素が形成される領域と前記緑色光を放出する副画素が形成される領域とに同時に前記中間層を形成する段階と、前記赤色光を放出する副画素が形成される領域と前記青色光を放出する副画素が形成される領域とに同時に前記中間層を形成する段階を含むことができる。
【００２９】
ここで、前記赤色光を放出する副画素が形成される領域と前記緑色光を放出する副画素が形成される領域とに同時に前記中間層を形成する段階は、前記赤色光を放出する副画素が形成される領域と前記緑色光を放出する副画素が形成される領域とが一体に開口されている第１マスクで前記中間層をパターニングする段階を含むことができる。
【００３０】
そして、前記赤色光を放出する副画素が形成される領域と前記青色光を放出する副画素が形成される領域とに同時に前記中間層を形成する段階は、前記赤色光を放出する副画素が形成される領域と前記青色光を放出する副画素が形成される領域とが一体に開口されている第２マスクで前記中間層をパターニングする段階を含むことができる。
【００３１】
本発明において、前記中間層を形成する段階は、前記一画素内に備えられた中間層を一体に形成しうる。
【００３２】
本発明において、前記第１電極の上部に発光層及び中間層を形成するが、前記中間層は一部の厚さを残りの一部の厚さより厚く形成する段階は、前記第１電極の上部に、一部の厚さが残りの一部の厚さより厚くなるように中間層を形成する段階と、前記中間層の上部に発光層を形成する段階と、を含むことができる。
【００３３】
ここで、前記中間層を形成する段階は、前記第１電極の上部に一定の厚さに正孔注入層を形成する段階と、前記正孔注入層の上部に、一部の厚さを残りの一部の厚さより厚くなるように正孔輸送層を形成する段階を含むことができる。
【００３４】
ここで、前記中間層を形成する段階は、前記第１電極の上部に、一部の厚さを残りの一部の厚さより厚くなるように正孔注入層を形成する段階と、前記正孔注入層の上部に一定の厚さに正孔輸送層を形成する段階を含むことができる。
【００３５】
ここで、前記中間層を形成する段階は、前記第１電極の上部に、一部の厚さを残りの一部の厚さより厚く正孔注入層を形成する段階と、前記正孔注入層の上部に、一部の厚さを残りの一部の厚さより厚くなるように正孔輸送層を形成する段階と、を含むことができる。
【００３６】
本発明において、前記第１電極の上部に、発光層及び中間層を形成するが、前記中間層は一部の厚さを残りの一部の厚さより厚く形成する段階は、前記第１電極の上部に発光層を形成する段階と、前記発光層の上部に、一部の厚さが残りの一部の厚さより厚くなるように中間層を形成する段階を含むことができる。
【００３７】
ここで、前記中間層を形成する段階は、前記発光層の上部に、一部の厚さを残りの一部の厚さより厚くなるように電子輸送層を形成する段階を含むことができる。
【００３８】
さらに他の側面に関する本発明は、基板と、互いに対向した第１電極と第２電極と、第１電極と第２電極との間に形成される中間層及び発光層を含み、一画素には、発光色が赤色の発光層を中心にその一側には発光色が緑色の発光層が備えられ、他側には発光色が青色の発光層が備えられ、前記赤色発光層が形成された領域の中間層の厚さは前記緑色発光層が形成された領域の中間層の厚さ及び／または前記青色発光層が形成された領域の中間層の厚さより厚く形成されることを特徴とする有機発光ディスプレイ装置を提供する。
【００３９】
本発明において、前記中間層は、正孔注入層、正孔輸送層及び電子輸送層のうち、少なくとも１つを含むことができる。
【００４０】
本発明において、前記一画素内に備えられた前記中間層は一体に形成されうる。
本発明において、前記第１電極が前記基板側に備えられており、前記第１電極が反射型電極であり、前記第２電極が半透明電極または透明電極であり、前記発光層で生成された光が前記第２電極を通じて外部に取り出されうる。
【００４１】
本発明において、前記有機発光ディスプレイ装置の作動時、前記第１電極と前記第２電極との間に共振現象が発生しうる。
【発明の効果】
【００４２】
本発明のディスプレイ装置によれば、次のような効果が得られる。
【００４３】
第１に、マスク製造及び配列の難点を減少させ、これに基づいた高画質、高精細のディスプレイ装置の製造において、各副画素間の間隔が狭まることに伴う収率の下落を防止して生産コストを節減させうる。
【００４４】
第２に、前記のような構造において、前記中間層を形成するためのマスクに備えられた開口部のサイズを大きくしうる。
【００４５】
第３に、前記のような構造を採用することによって、高精細なマスクを容易に製造でき、前記マスクを利用して高画質のディスプレイ装置を製造しうる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１Ａ】従来の有機発光ディスプレイ装置の発光層及び中間層のパターンを概略的に示す平面図である。
【図１Ｂ】図１Ａの有機発光ディスプレイ装置の青色発光層を蒸着するために使われるマスクを概略的に示す平面図である。
【図２】本発明の第１実施例による有機発光ディスプレイ装置の構造を示す断面図である。
【図３Ａ】本発明の第１実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図３Ｂ】本発明の第１実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図３Ｃ】本発明の第１実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図３Ｄ】本発明の第１実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図３Ｅ】本発明の第１実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図４】有機発光ディスプレイ装置の中間層を蒸着するために使われるマスクを概略的に示す平面図である。
【図５】有機発光ディスプレイ装置の中間層を蒸着するために使われるマスクを概略的に示す平面図である。
【図６】本発明の第２実施例による有機発光ディスプレイ装置の構造を示す断面図である。
【図７Ａ】本発明の第２実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図７Ｂ】本発明の第２実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図７Ｃ】本発明の第２実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図７Ｄ】本発明の第２実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図７Ｅ】本発明の第２実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図８】本発明の第３実施例による有機発光ディスプレイ装置の構造を示す断面図である。
【図９Ａ】本発明の第３実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図９Ｂ】本発明の第３実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図９Ｃ】本発明の第３実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図９Ｄ】本発明の第３実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図９Ｅ】本発明の第３実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【図１０Ａ】本発明の第４実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の中間層のパターンを概略的に示す平面図である。
【図１０Ｂ】前記図１０Ａの有機発光ディスプレイ装置の赤色−緑色中間層を蒸着するために使われるマスクを概略的に示す平面図である。
【図１０Ｃ】前記図１０Ａの有機発光ディスプレイ装置の赤色−青色中間層を蒸着するために使われるマスクを概略的に示す平面図である。
【図１１】電界発光部の一例を示す断面図である。
【図１２】電界発光部の他の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４７】
以下、本発明を添付した図面に基づいてさらに詳細に説明する。
（第１実施例）
【００４８】
図２は、本発明の第１実施例による有機発光ディスプレイ装置の構造を示す断面図である。
【００４９】
図２を参照すれば、本発明の第１実施例に関する有機発光ディスプレイ装置は、基板１０２、第１電極１３１、絶縁膜１３２、第２電極１３４、発光層１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ及び前記発光層上／下部に形成される中間層１４１、１４２、１４３を含む。前記発光層１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ及び中間層１４１、１４２、１４３は、第１電極１３１と第２電極１３４との間に備えられる。使われた物質によって、前記発光層１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂは、赤色、緑色または青色光を放出しうる。
【００５０】
まず、基板１０２上にパターニングされた第１電極１３１が形成される。そして、第１電極１３１間に絶縁膜１３２が形成されて各画素領域が定義される。次いで、前記第１電極１３１上に正孔注入層（ＨＩＬ：Ｈｏｌｅ  Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ）１４１、正孔輸送層（ＨＴＬ：Ｈｏｌｅ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ  Ｌａｙｅｒ）１４２、発光層（ＥＭＬ：Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ）１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ、電子輸送層（ＥＴＬ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ  Ｌａｙｅｒ）１４３、電子注入層（ＥＩＬ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ、図示せず）などが単一あるいは複合構造で積層されて形成される。次いで、前記電子輸送層１４３の上部に基板全面にわたって第２電極１３４を形成する。
【００５１】
前記第１電極１３１と前記第２電極１３４とのうち、いずれか１つは反射型電極であり、他の１つは半透明電極または透明電極である。したがって、素子の駆動時、前記第１電極１３１と前記第２電極１３４との間に共振現象が発生しうる。これにより、前記有機発光ディスプレイ装置の駆動時、前記第１電極１３１と前記第２電極１３４との間の発光層１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂで発生した光が、前記第１電極１３１と前記第２電極１３４との間で共振しつつ、有機発光ディスプレイ装置の外部で取り出されるので、発光輝度及び発光効率が増加しうる。
【００５２】
さらに具体的に、前記第１電極１３１は、前記基板１０２側に備えられうる。この際、前記第１電極１３１は反射型電極であり、前記第２電極１３４は半透明電極または透明電極でありうる。したがって、前記第１電極１３１と前記第２電極１３４との間に備えられた発光層１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂから発生した光は、前記第１電極１３１と前記第２電極１３４との間で共振しつつ、前記第２電極１３４を通じて外部に、すなわち、基板の逆方向に取り出される。
【００５３】
本発明による有機発光ディスプレイ装置の中間層は、正孔注入層１４１または正孔輸送層１４２を備えることができる。または、正孔注入特性と正孔輸送特性とを同時に有する単一層でもある。
【００５４】
ここで、本発明の第１実施例による有機発光ディスプレイ装置は、正孔注入層１４１または正孔輸送層１４２を含む中間層の厚さが、赤色、緑色及び青色光を放出する副画素で互いに異なる厚さを有するように形成されることを一特徴とする。
【００５５】
詳細には、赤色光を放出する副画素で、前記正孔輸送層１４２の厚さは、１６００Åないし２２００Åでありうる。前記正孔輸送層１４２の厚さが１６００Å未満であるか、２２００Åを超過する場合、赤色発光層１１１Ｒの共振効果に適した正孔注入特性及び正孔輸送特性を持てなくて、色純度が不良となり、効率が低下しうる。また、前記正孔輸送層１４２の厚さが２２００Åを超える場合、駆動電圧が上昇しうる。
【００５６】
一方、緑色光を放出する副画素で、前記正孔輸送層１４２の厚さは、１０００Åないし１２００Åでありうる。前記正孔輸送層１４２の厚さが１０００Å未満であるか、１２００Åを超える場合、緑色発光層１１１Ｇの共振効果に適した正孔注入特性及び正孔輸送特性を持てなくて、色純度が不良となり、効率が低下しうる。また、前記正孔輸送層１４２の厚さが１２００Åを超える場合、駆動電圧が上昇しうる。
【００５７】
最後に、青色光を放出する副画素で、前記正孔輸送層１４２の厚さは、１００Åないし５００Åでありうる。前記正孔輸送層１４２の厚さが１００Å未満であるか、５００Åを超える場合、青色発光層１１１Ｂの共振効果に適した正孔注入特性及び正孔輸送特性を持てなくて、色純度が不良となり、効率が低下しうる。また、前記正孔輸送層１４２の厚さが５００Åを超える場合、駆動電圧が上昇しうる。
【００５８】
この際、赤色光を放出する領域Ｒと緑色光を放出する領域Ｇとに同時に正孔輸送層１４２を形成した後、赤色光を放出する領域Ｒと青色光を放出する領域Ｂに同時に正孔輸送層１４２を形成する。すなわち、緑色光を放出する領域Ｇと青色光を放出する領域Ｂとに正孔輸送層１４２が一回蒸着される間に、赤色光を放出する領域Ｒには、正孔輸送層１４２が二回蒸着されるので、赤色光を放出する領域Ｒの正孔輸送層１４２の厚さは、緑色光を放出する領域Ｇの正孔輸送層１４２の厚さ、及び青色光を放出する領域Ｂの正孔輸送層１４２の厚さより厚くなる。言い換えれば、赤色光を放出する領域Ｒの正孔輸送層１４２の厚さは、緑色光を放出する領域Ｇの正孔輸送層１４２の厚さと青色光を放出する領域Ｂの正孔輸送層１４２の厚さとの和と実質的に同一に形成される。また、一画素内に備えられた前記正孔輸送層１４２は一体に形成される。
【００５９】
このような本発明の一実施例に関する有機発光ディスプレイ装置によって、素子駆動時に、第１電極と第２電極との間に共振現象が発生しうるが、この際、第１電極と第２電極との間に備えられた有機層のうち、正孔輸送層は、発光層の発光カラー別に前述したような厚さを有するところ、優秀な駆動電圧、電流密度、発光輝度、色純度、発光効率及び寿命特性などを有することができる。
【００６０】
以下では、本発明の第１実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を説明する。
【００６１】
図３Ａないし図３Ｅは、本発明の第１実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【００６２】
図３Ａないし図３Ｅを参照すれば、本発明の第１実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法は、基板の一面に第１電極を形成する段階、前記第１電極の上部に、一部の厚さが残りの一部の厚さより厚くなるように中間層を形成する段階、前記中間層の上部に発光層を形成する段階及び前記発光層の上部に第２電極を形成する段階を含む。
【００６３】
まず、図３Ａに図示されたように、基板１０２上に第１電極１３１を形成する。ここで、基板１０２としては、通常の有機発光素子で使われる基板を使用するが、透明性、表面平滑性、取扱容易性及び防水性などを考慮し、ガラス基板またはプラスチック基板などが多様に使用されうる。
【００６４】
前記第１電極１３１は、伝導性に優れた金属、例えば、リチウム（Ｌｉ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム−リチウム（Ａｌ−Ｌｉ）、カルシウム（Ｃａ）、マグネシウム−インジウム（Ｍｇ−Ｉｎ）、マグネシウム−銀（Ｍｇ−Ａｇ）、カルシウム（Ｃａ）−アルミニウム（Ａｌ）またはＩＴＯ、ＩＺＯ、ＩＮ２Ｏ３のような金属酸化物を利用して、反射型電極、半透明電極または透明電極として備えられうる。前記金属及び金属酸化物のうち、２つ以上の組合わせを使用することも可能である。
【００６５】
次いで、有機層形成領域を定義する絶縁膜１３２を所定の位置に形成する。前記絶縁膜は、シリコン酸化物及び窒化物のような無機物または絶縁性有機物などを利用して蒸着法またはコーティング法など多様な方法を利用して形成されうる。
【００６６】
次いで、図３Ｂに示されたように、前記第１電極１３１及び絶縁膜１３２の上部に、一定厚さに正孔注入層１４１を形成する。前記正孔注入層１４１は、真空蒸着法、スピンコーティング法、キャスト法、ＬＢ法のような公知された多様な方法を利用して、形成されうる。
【００６７】
次いで、図３Ｃに示されたように、前記正孔注入層１４１の上部に、前記赤色光を放出する副画素が形成される領域Ｒと前記緑色光を放出する副画素が形成される領域Ｇとに同時に正孔輸送層１４２ａを形成する。引き続き、図３Ｄに示されたように、前記赤色光を放出する副画素が形成される領域Ｒと前記青色光を放出する副画素が形成される領域Ｂとに同時に正孔輸送層１４２ｂを形成する。
【００６８】
詳細には、高画質のディスプレイ装置を製造するために副画素間の間隔は次第に狭まっており、これにより、前記副画素の発光層／中間層を蒸着するためのマスクの開口部の大きさもさらに狭くなっている。したがって、高画質の有機発光ディスプレイ装置を具現するためには、開口部の大きさがさらに小さな高精細マスクの製作が必須であるところ、このようなマスクの高精細化には限界があるという問題点が存在した。
【００６９】
本発明は、このような問題点を解決するために、隣接した二副画素領域、すなわち、赤色副画素領域と緑色副画素領域、及び赤色副画素領域と青色副画素領域との中間層を共通に成膜することを特徴とする。
【００７０】
すなわち、前述したように、中間層の最適の厚さが各発光層ごとに異なるという点に着眼して、中間層の最適の厚さが最も厚い赤色光を放出する領域Ｒを中間に配置し、赤色光を放出する領域Ｒの両側に各々緑色光を放出する領域Ｇ、青色光を放出する領域Ｂを配置する。そして、赤色光を放出する領域Ｒと緑色光を放出する領域Ｇとに同時に中間層を形成した後、赤色光を放出する領域Ｒと青色光を放出する領域Ｂとに同時に中間層を形成する。すなわち、緑色光を放出する領域Ｇと青色光を放出する領域Ｂとに中間層が一回蒸着される間に、赤色光を放出する領域Ｒには、中間層が二回蒸着されるので、赤色光を放出する領域Ｒの中間層の厚さは、緑色光を放出する領域Ｇの中間層の厚さと青色光を放出する領域Ｂの中間層の厚さより厚くなる。言い換えれば、赤色光を放出する領域Ｒの厚さは、緑色光を放出する領域Ｇの中間層の厚さと青色光を放出する領域Ｂの中間層の厚さとの和と実質的に同一に形成される。
【００７１】
このために、本発明の第１実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法では、図４及び図５に示されたようなマスクを使用することを特徴とする。すなわち、図４及び図５に示されたようなマスク１１０ＲＧｍ、１１０ＲＢｍを使用する場合、前記マスク１１０ＲＧｍ、１１０ＲＢｍに備えられた各開口部１１１ＲＧｍ、１１２ＲＧｍ、１１１ＲＢｍ、１１２ＲＢｍの幅ｌ１は、従来のマスク１０Ｂｍに備えられた各開口部１１Ｂｍ、１２Ｂｍの幅ｌ０のほぼ２倍となる（図１参照）。
【００７２】
したがって、マスク製造及び配列の難点を減少させ、これを通じて、高画質、高精細のディスプレイ装置を製造するに当たって、収率の下落を防止して生産コストを節減しうる。
【００７３】
最後に、図３Ｅに示されたように、前記正孔輸送層１４２の上部に各カラー別発光層１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂを形成する。本発明の発光層材料は、特に制限されない。そして、発光層１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂの上部に電子輸送物質を真空蒸着またはスピンコーティングして電子輸送層１４３を形成する。電子輸送物質は、特に制限されず、Ａｌｑ３などを利用しうる。そして、前記電子輸送層１４３の上部に第２電極用物質を蒸着して第２電極１３４を形成する。前記第２電極用物質としては、導電性に優れた透明な金属酸化物の酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、酸化錫（ＳｎＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などが使われうる。または、リチウム（Ｌｉ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、アルミニウム−リチウム（Ａｌ−Ｌｉ）、カルシウム（Ｃａ）、マグネシウム−インジウム（Ｍｇ−Ｉｎ）、マグネシウム−銀（Ｍｇ−Ａｇ）、カルシウム（Ｃａ）−アルミニウム（Ａｌ）などを薄膜で形成することによって、反射型電極、半透明電極、または透明電極として多様に形成されうる。前記第２電極をなす物質は、前記例示された金属及び金属の組合わせに限定されないということは言うまでもない。前記第１電極及び第２電極は、各々アノード及びカソードとしての役割を果たし、その逆も可能であるということは言うまでもない。
【００７４】
このような本発明によって、中間層を形成するためのマスクに備えられた開口部を大きくし、高精細マスクを容易に製造し、前記マスクを利用して高画質のディスプレイ装置を製造しうる。
（第２実施例）
【００７５】
図６は、本発明の第２実施例による有機発光ディスプレイ装置の構造を示す断面図であり、図７Ａないし図７Ｅは、本発明の第２実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【００７６】
図６及び図７を参照すれば、本発明の第２実施例に関する有機発光ディスプレイ装置は、基板２０２、第１電極２３１、絶縁膜２３２、第２電極２３４、発光層２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂ及び前記発光層の上／下部に形成される中間層２４１、２４２、２４３を含む。前記発光層２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂ及び中間層２４１、２４２、２４３は、第１電極２３１と第２電極２３４との間に備えられる。使われた物質によって、前記発光層２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂは、赤色、緑色または青色光を放出しうる。
【００７７】
本実施形態では、正孔注入層２４１の厚さが赤色、緑色及び青色光を放出する副画素で互いに異なる厚さを有するように形成されるという点で前述した実施形態と区別される。すなわち、赤色光を放出する領域Ｒと緑色光を放出する領域Ｇとに同時に正孔注入層２４１を形成した後、赤色光を放出する領域Ｒと青色光を放出する領域Ｂとに同時に正孔注入層２４１を形成する。すなわち、緑色光を放出する領域Ｇと青色光を放出する領域Ｂとに正孔注入層２４１が一回蒸着される間、赤色光を放出する領域Ｒには、正孔注入層２４１が二回蒸着されるので、赤色光を放出する領域Ｒの正孔注入層２４１の厚さは、緑色光を放出する領域Ｇの正孔注入層２４１の厚さと青色光を放出する領域Ｂの正孔注入層２４１の厚さより厚くなる。言い換えれば、赤色光を放出する領域Ｒの正孔注入層２４１の厚さは、緑色光を放出する領域Ｇの正孔注入層２４１の厚さと青色光を放出する領域Ｂの正孔注入層２４１の厚さとの和と実質的に同一に形成される。また、一画素内に備えられた前記正孔注入層２４１は一体に形成される。
【００７８】
このために、まず、図７Ａに図示されたように、基板２０２の上部に第１電極２３１及び絶縁膜２３２を形成する。
【００７９】
次いで、図７Ｂに示されたように、第１電極２３１及び絶縁膜２３２の上部に、前記赤色光を放出する副画素が形成される領域Ｒと前記緑色光を放出する副画素が形成される領域Ｇとに同時に正孔注入層２４１ａを形成する。
【００８０】
引き続き、図７Ｃに示されたように、前記赤色光を放出する副画素が形成される領域Ｒと前記青色光を放出する副画素が形成される領域Ｂとに同時に正孔注入層２４１ｂを形成する。
【００８１】
次いで、図７Ｄに示されたように、前記正孔注入層２４１の上部に一定の厚さに正孔輸送層２４２を形成する。
【００８２】
最後に、図７Ｅに示されたように、発光層２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂ、電子輸送層２４３及び第２電極２３４を順次に形成する。
【００８３】
これにより、中間層を形成するためのマスクに備えられた開口部を大きくし、高精細マスクを容易に製造し、前記マスクを利用して高画質のディスプレイ装置を製造しうる。
【００８４】
一方、前記本発明の第１実施例では、一画素内で一定の厚さに形成される正孔注入層と、前記正孔注入層上に形成されて前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される正孔輸送層を記述しており、前記本発明の第２実施例では、赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される正孔注入層と、前記正孔注入層上に形成されて前記一画素内で一定の厚さに形成される正孔輸送層を記述しているが、本発明の思想はこれに制限されない。すなわち、前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される正孔注入層及び前記正孔注入層上に形成され、前記赤色、緑色及び青色光を放出する副画素ごとに互いに異なる厚さに形成される正孔輸送層を含む有機発光ディスプレイ装置も前述した第１及び第２実施例から導出することができる。
（第３実施例）
【００８５】
図８は、本発明の第３実施例による有機発光ディスプレイ装置の構造を示す断面図であり、図９Ａないし図９Ｅは、本発明の第３実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の製造方法を順次に示す概略的な断面図である。
【００８６】
図８及び図９を参照すれば、本発明の第３実施例に関する有機発光ディスプレイ装置は、基板３０２、第１電極３３１、絶縁膜３３２、第２電極３３４、発光層３１１Ｒ、３１１Ｇ、３１１Ｂ及び前記発光層上／下部に形成される中間層３４１、３４２、３４３を含む。前記発光層３１１Ｒ、３１１Ｇ、３１１Ｂ及び中間層３４１、３４２、３４３は、第１電極３３１と第２電極３３４との間に備えられる。使われた物質によって、前記発光層３１１Ｒ、３１１Ｇ、３１１Ｂは、赤色、緑色または青色光を放出しうる。
【００８７】
本実施形態では、電子輸送層３４３の厚さが赤色、緑色及び青色光を放出する副画素で互いに異なる厚さを有するように形成されるという点で前述した実施形態と区別される。すなわち、赤色光を放出する領域Ｒと緑色光を放出する領域Ｇとに同時に電子輸送層３４３を形成した後、赤色光を放出する領域Ｒと青色光を放出する領域Ｂとに同時に電子輸送層３４３を形成する。すなわち、緑色光を放出する領域Ｇと青色光を放出する領域Ｂとに電子輸送層３４３が一回蒸着される間、赤色光を放出する領域Ｒには電子輸送層３４３が二回蒸着されるので、赤色光を放出する領域Ｒの電子輸送層３４３の厚さは、緑色光を放出する領域Ｇの電子輸送層３４３の厚さと青色光を放出する領域Ｂの電子輸送層３４３の厚さより厚くなる。言い換えれば、赤色光を放出する領域Ｒの電子輸送層３４３の厚さは、緑色光を放出する領域Ｇの電子輸送層３４３の厚さと青色光を放出する領域Ｂの電子輸送層３４３の厚さとの和と実質的に同一に形成される。また、一画素内に備えられた前記電子輸送層３４３は一体に形成される。
【００８８】
このために、まず、図９Ａに示されたように、基板３０２の上部に第１電極３３１及び絶縁膜３３２を形成する。
【００８９】
次いで、図９Ｂに示されたように、第１電極３３１及び絶縁膜３３２の上部に一定の厚さに正孔注入層３４１及び正孔輸送層３４２を形成し、正孔輸送層３４２の上部に発光層３１１Ｒ、３１１Ｇ、３１１Ｂを形成する。
【００９０】
次いで、図９Ｃに示されたように、前記赤色光を放出する副画素が形成される領域Ｒと前記緑色光を放出する副画素が形成される領域Ｇとに同時に電子輸送層３４３ａを形成する。
【００９１】
引き続き、図９Ｄに示されたように、前記赤色光を放出する副画素が形成される領域Ｒと前記青色光を放出する副画素が形成される領域Ｂとに同時に電子輸送層３４３ｂを形成する。
【００９２】
次いで、図９Ｅに示されたように、前記電子輸送層３４３の上部に一定の厚さに第２電極３３４を形成する。
【００９３】
このような本発明によって、中間層を形成するためのマスクに備えられた開口部の大きさを大きくし、高精細マスクを容易に製造し、前記マスクを利用して高画質のディスプレイ装置を製造しうる。
（第４実施例）
【００９４】
図１０Ａは、本発明の第４実施例に関する有機発光ディスプレイ装置の中間層のパターンを概略的に示す平面図であり、図１０Ｂは、前記図１０Ａの有機発光ディスプレイ装置の赤色−緑色中間層を蒸着するために使われるマスクを概略的に示す平面図であり、図１０Ｃは、前記図１０Ａの有機発光ディスプレイ装置の赤色−青色中間層を蒸着するために使われるマスクを概略的に示す平面図である。図１０Ａは、前述したように、有機発光ディスプレイ装置の中間層のパターンを概略的に示す図面であるが、便宜上、各副画素を概略的に示す図面であるとも見なしうる。
【００９５】
本発明の第４実施例に関する有機発光ディスプレイ装置は、複数個の画素を備え、前記各画素は、赤色光を放出する副画素、緑色光を放出する副画素及び青色光を放出する副画素を一方向、例えば、図１０のｘ方向に沿って備え、前記ｘ方向の画素に備えられた副画素は、各副画素が放出する光の色の配列が、前記ｘ方向に接する画素の各副画素が放出する光の色の配列と画素間を基準に互いに対称に備えられている。すなわち、前記ｘ方向の副画素は、例えば、Ｇ、Ｒ、Ｂ、Ｂ、Ｒ、Ｇ、Ｇ、Ｒ、Ｂ、Ｂ、Ｒ、Ｇ‥‥‥のように備えられている。
【００９６】
前記のような構成において、本実施例による有機発光ディスプレイ装置が、前述した第１実施例及び第２実施例による有機発光ディスプレイ装置と異なる点は、中間層の形態である。
【００９７】
前記各副画素は、互いに対向した第１電極と第２電極、そして前記第１電極と前記第２電極との間に介在された中間層を備える。この際、本実施例による有機発光ディスプレイ装置は、前記ｘ方向に互いに隣接した画素において、前記隣接した画素間を基準に互いに接している２つの副画素の中間層が一体に備えられている。
【００９８】
以下、図１０Ａに基づいてさらに詳細に説明する。図１０Ａに示された中間層（副画素）のパターンにおいて、最上部の行（ｒｏｗ）に配された画素を図１０のｘ方向に沿って各々第１画素３１１、第２画素３１２、第３画素３１３及び第４画素３１４とすれば、前記第１画素３１１は、前記ｘ方向に沿って緑色光を放出する副画素３１１Ｇ、赤色光を放出する副画素３１１Ｒ及び青色光を放出する副画素３１１Ｂを備える。
【００９９】
そして、前記第１画素３１１と隣接した前記第２画素３１２との副画素３１２Ｂ、３１２Ｒ、３１２Ｇの配列は、前記第１画素３１１と前記第２画素３１２との間を基準に、前記第１画素３１１の副画素３１２Ｇ、３１２Ｒ、３１２Ｂの配列と対称になるように備えられる。したがって、前記第２画素３１２は、前記ｘ方向に沿って青色光を放出する副画素３１２Ｂ、赤色光を放出する副画素３１２Ｒ及び緑色光を放出する副画素３１２Ｇを備える。
【０１００】
前記のような構造において、前記第１画素３１１と前記第２画素３１２との間を基準に互いに隣接した副画素の中間層、すなわち、前記第１画素３１１の赤色光を放出する副画素と青色光を放出する副画素との中間層３１１ＲＢと、前記第２画素３１２の赤色光を放出する副画素と青色光を放出する副画素との中間層３１２ＲＢとが一体に備えられる。また、同じ構造により前記第２画素３１２と前記第３画素３１３との間を基準に互いに隣接した副画素の中間層、すなわち、前記第２画素３１２の赤色光を放出する副画素と緑色光を放出する副画素との中間層３１２ＲＧと、前記第３画素３１３の赤色光を放出する副画素と緑色光を放出する副画素との中間層３１３ＲＧが一体に備えられる。前記ｘ方向の画素において、前記のような構造が続く。
【０１０１】
前記のような構造において、前記赤色光を放出する副画素と緑色光を放出する副画素との中間層の形成時に使われるマスクは、図１０Ｂに示されたようなマスク３１０ＲＧｍであり、前記赤色光を放出する副画素と青色光を放出する副画素との中間層の形成時に使われるマスクは、図１０Ｃに示されたようなマスク３１０ＲＢｍである。図１０Ｂ及び図１０Ｃを参照すれば、各マスク３１０ＲＧｍ、３１０ＲＢｍに備えられた開口部が大きくなることが分かる。
【０１０２】
前述したように、図１Ａに示されたような従来の有機発光ディスプレイ装置の副画素の配列による中間層を蒸着するためには、図１Ｂに示されたようなマスク１０Ｂｍを使用せねばならず、図１Ｂに示されたような従来のマスクの場合、前記マスク１０Ｂｍに備えられた開口部１１Ｂｍ、１２Ｂｍの間の間隔ｌ０が狭くて、高精細化及び配列などに難点があった。
【０１０３】
しかし、図１０Ａに示されたような本実施例による有機発光ディスプレイ装置の副画素の配列による中間層を蒸着するために、図１０Ｂに示されたようなマスク３１０ＲＧｍを使用する場合、図１０Ｃに示されたように、マスク３１０ＲＢｍに備えられた各開口部の面積が従来のマスク１０Ｂｍに備えられた各開口部の面積のほぼ４倍以上となる。したがって、高画質の有機発光ディスプレイ装置を具現できる。
【０１０４】
前記のような中間層などを備える、前記実施例による電界発光ディスプレイ装置に備えられる電界発光素子の構造を図１１及び図１２を参照して簡略に説明すれば、次の通りである。
【０１０５】
前述した実施例による電界発光ディスプレイ装置に備えられる電界発光素子は基板６０２上に備えられるところ、前記基板６０２は、透明なガラス材が使われうるが、その他にも、アクリル、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリエステル、マイラー（ｍｙｌａｒ）（登録商標）、その他のプラスチック材が使われうる。
【０１０６】
電界発光素子は、多様な形態のものが適用されうるが、すなわち、単純マトリックスタイプの受動駆動型（Ｐａｓｓｉｖｅ  Ｍａｔｒｉｘ：ＰＭ）電界発光素子でも、薄膜トランジスタを備えた能動駆動型（Ａｃｔｉｖｅ  Ｍａｔｒｉｘ：ＡＭ）電界発光素子でも、本発明に適用されうる。
【０１０７】
まず、図１１は、受動駆動型（ＰＭ  ｔｙｐｅ）電界発光素子の一例を示したものであって、基板６０２上にＳｉＯ２でバッファ層６２１が形成されており、前記バッファ層６２１上に第１電極６３１が所定のパターンで形成され、前記第１電極６３１の上部に発光層６３３及び第２電極６３４が順次に形成される。前記第１電極６３１の各ライン間には、絶縁層６３２がさらに介在され、前記第２電極６３４は、前記第１電極６３１のパターンと直交するパターンで形成されうる。そして、図示していないが、第２電極６３４のパターンのために、第１電極６３１と直交するパターンで別途の絶縁層がさらに備えられうる。
【０１０８】
前記発光層６３３は、有機物または無機物で備えられ、有機物の場合には、低分子または高分子有機物で備えられうる。低分子有機物を使用する場合、正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層、電子輸送層、電子注入層などが単一あるいは複合構造で積層されて形成され、使用可能な有機材料も銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ：ｃｏｐｐｅｒ  ｐｈｔｈａｌｏｃｙａｎｉｎｅ）、Ｎ，Ｎ−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−ベンジジン（ＮＰＢ）、トリス−８−ヒドロキシキノリンアルミニウム（ｔｒｉｓ−８−ｈｙｄｒｏｘｙｑｕｉｎｏｌｉｎｅ  ａｌｕｍｉｎｕｍ、Ａｌｑ３）をはじめ、多様に適用可能である。これら低分子有機物は、前述したようなパターニングで備えられ、前述したようなマスクを利用して真空蒸着の方法で形成される。
【０１０９】
高分子有機物の場合には、通常、正孔輸送層（ＨＴＬ）及び発光層（ＥＭＬ）で備えられた構造を有することができ、この際、前記正孔輸送層としてＰＥＤＯＴを使用し、発光層でＰＰＶ（Ｐｏｌｙ−Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅｖｉｎｙｌｅｎｅ）系及びポリフルオレン系など高分子有機物質を使用する。
【０１１０】
前記第１電極６３１は、アノード電極の機能を果たし、前記第２電極６３４は、カソード電極の機能を果たす。もちろん、これら第１電極６３１と第２電極６３４の極性は逆になっても良い。
【０１１１】
前記第１電極６３１は、透明電極または反射型電極で備えられうる。透明電極として使われる時には、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ２Ｏ３で備えられ、反射型電極として使われる時には、Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｉｒ、Ｃｒ及びこれらの化合物で反射膜を形成した後、その上にＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ２Ｏ３を形成しうる。
【０１１２】
第２電極６３４も透明電極または反射型電極で備えられるが、透明電極として使われる時には、この第２電極６３４がカソード電極として使われるので、仕事関数が小さな金属、すなわち、Ｌｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ｍｇ及びこれらの化合物が有機膜６３３の方向に向かうように蒸着した後、その上にＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯまたはＩｎ２Ｏ３などの透明電極形成用の物質で補助電極やバス電極ラインを形成しうる。そして、反射型電極として使われる時には、前記Ｌｉ、Ｃａ、ＬｉＦ／Ｃａ、ＬｉＦ／Ａｌ、Ａｌ、Ｍｇ及びこれらの化合物を全面蒸着して形成する。
【０１１３】
図１２には、能動駆動型（ＡＭ  ｔｙｐｅ）電界発光素子の一例を図示した。各副画素は、図１２に示されたような少なくとも１つの薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を備える。
【０１１４】
前記薄膜トランジスタは、必ずしも図１２に示された構造にのみ限定されるものではなく、その数及び構造は、多様に変形可能である。このような能動駆動型電界発光素子をさらに詳細に説明すれば次の通りである。
【０１１５】
図１２から分かるように、ガラス基板６０２上にＳｉＯ２でバッファ層６２１が形成されており、前記バッファ層６２１の上部に前述した薄膜トランジスタが備えられる。
【０１１６】
前記薄膜トランジスタはバッファ層６２１上に形成された活性層６２２と、この活性層６２２の上部に形成されたゲート絶縁膜６２３と、ゲート絶縁膜６２３の上部のゲート電極６２４を有する。前記ゲート絶縁膜６２３の上部の所定領域には、ゲート電極６２４が形成される。前記ゲート電極６２４は、薄膜トランジスタオン／オフ信号を印加するゲートラインと連結されている。そして、前記ゲート電極６２４が形成される領域は、活性層６２２のチャンネル領域に対応する。
【０１１７】
前記ゲート電極６２４の上部には、層間絶縁膜６２５が形成され、コンタクトホールを通じてソース電極６２６とドレイン電極６２７とが各々活性層６２２のソース領域及びドレイン領域に接して形成される。
【０１１８】
ソース電極６２６及びドレイン電極６２７の上部には、ＳｉＯ２からなるパッシベーション膜６２８が形成され、前記パッシベーション膜６２８の上部には、アクリル、ポリイミドによる画素定義膜６２９が形成されている。前記パッシベーション膜６２８は、前記薄膜トランジスタを保護する保護膜の役割を果たし、その上面を平坦化させる平坦化膜の役割をも果たせる。
【０１１９】
そして、たとえ図示していないとしても、前記薄膜トランジスタには、少なくとも１つのキャパシタが連結される。そして、このような薄膜トランジスタを含む回路は、必ずしも図１２に示された例に限定されるものではなく、多様に変形可能であるということは言うまでもない。
【０１２０】
一方、前記ドレイン電極６２７に電界発光素子が連結される。前記電界発光素子の第１電極６３１は、パッシベーション膜６２８の上部に形成されており、その上部には、絶縁性画素定義膜６２９が形成されており、前記画素定義膜６２９に備えられた所定の開口部に発光層６３３などが形成される。図１２には、前記発光層６３３が前記副画素にのみ対応すべくパターニングされると図示されているが、これは各副画素の構成を説明するために、便宜上図示したものであり、前述した実施例で説明したように前記発光層６３３は隣接した副画素の発光層と一体に形成されうるということは言うまでもない。
【０１２１】
前記第１電極６３１及び第２電極６３４の材質、前記電極間に介在された発光層６３３及び前記発光層の上下部の中間層（図示せず）は、前述した受動駆動型電界発光素子と同一でありえる。
【０１２２】
基板６０２上に形成された電界発光素子は、対向部材（図示せず）により密封される。対向部材は、前記基板６０２と同一にガラスまたはプラスチック材で備えられうるが、その他に、メタルキャップなどで形成されても良い。
【０１２３】
前記のような構造の電界発光素子を備えた電界発光ディスプレイ装置において、前記ディスプレイ装置の中間層をして、前述した実施例のような構造を有させることによって、各副画素の中間層の蒸着を容易にしつつも、パターン精度を向上させる高画質の電界発光ディスプレイ装置が製造可能となる。
【０１２４】
また、前記実施例において、電界発光ディスプレイ装置の構造に基づいて、本発明を説明したが、各副画素が蒸着を通じて備えられるディスプレイ装置ならば、いかなるディスプレイ装置にも本発明が適用されうるということは言うまでもない。
【０１２５】
本発明は、図面に図示された実施例に基づいて説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これより多様な変形及び均等な他の実施例が可能であるという点を理解できるであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決まるべきである。
【産業上の利用可能性】
【０１２６】
本発明は、有機発光ディスプレイ装置及びその製造方法関連の技術分野に好適に適用されうる。
【符号の説明】
【０１２７】
１０２、２０２、３０２      基板
１１１、２１１、３１１      発光層
１３１、２３１、３３１      第１電極
１３４、２３４、３３４      第２電極
１４１、２４１、３４１      正孔注入層
１４２、２４２、３４２      正孔輸送層
１４３、２４３、３４３      電子輸送層
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
0004989669.tif 000003
【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図７Ｅ】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図９Ｄ】
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【図９Ｅ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１１】
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【図１２】
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