(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏光分岐光学系と、
波長分散型分光光学系と、
偏光変調手段とを有し、
前記偏光分岐光学系は、外部入射光を当該偏光分岐光学系で直線偏光化して前記波長分散型分光光学系へ入出力スリットを介して入射し、
前記波長分散型分光光学系は、当該波長分散型分光光学系の波長分散作用によって前記外部入射光を所定のスペクトラム光にし、
前記偏光変調手段は、前記スペクトラム光の結像位置に配設され、前記スペクトラム光に所定のリターデーションを付加して前記波長分散型分光光学系に向け反射し、
前記波長分散型分光光学系は、前記偏光変調手段で反射された光を再合波して前記入出力スリットを介して前記前記偏光分岐光学系に射出し、
前記偏光分岐光学系は、前記入出力スリットからの入射光を外部出力光路に合致する直線偏光成分を選択して当該外部出力光路へ射出し、
前記偏光変調手段は、入射側にウェッジ形状の透明媒質を有し、
前記ウェッジ形状をなす２平面の交線は、前記偏光変調手段の偏光変調素子の配列方向と略平行であり、
前記偏光変調手段は、当該偏光変調手段に入射する入射光束の中心軸に対して所定の角度傾けて配設されていることを特徴とするチューナブルフィルタ。
【請求項２】
以下の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載のチューナブルフィルタ。
θ’ｓ  ＞  θｇ
ここで、
θ’ｓ  ＝  ｓｉｎ−１（ｎ×ｓｉｎ（２×θｗ
−ｓｉｎ−１（（ｓｉｎ（θｉ＋２×θｒ））／ｎ）））
但し、
Ｎ：前記透明媒質の入射面の法線
ｎ：前記透明媒質の屈折率
また、前記透明媒質のウェッジ頂角定義断面上において、前記入射光束中の２本のマージナル光線のうち、左回りで見たとき手前にある方をｒ、先にある方をr’、前記偏光変調手段によって反射された信号光束中の２本のマージナル光線のうち、左回りで見たとき手前にある方をｒ’ｓ、前記透明媒質の入力面によって反射された前記入射光束の反射光束でゴースト光束中の２本のマージナル光線のうち、左回りで見たとき先にある方をｒｇとし、角度の符号は左回りを正にとるものとするとき、
θ’ｓ：前記透明媒質の入力面の法線Ｎから前記マージナル光線r’sへの角度
θｗ：前記透明媒質のウェッジの頂角（前記入力面から前記偏光変調素子側面への角度、符号は正となるように前記ウェッジ頂角の向きを決めるものとする）
θｉ：前記法線Ｎから前記マージナル光線ｒへの角度
θｒ：前記マージナル光線ｒから前記マージナル光線ｒ’への角度の１／２
θｇ：法線Ｎから前記マージナル光線ｒｇへの角度
【請求項３】
前記偏光変調手段は、反射型液晶アレイデバイスを含むことを特徴とする請求項１または２に記載のチューナブルフィルタ。
【請求項４】
前記透明媒質は、前記偏光変調手段の入射側に配設されるカバーガラスを兼ねていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のチューナブルフィルタ。
【請求項５】
前記透明媒質は、前記偏光変調手段の入射側に配設されたカバーガラスに接着されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のチューナブルフィルタ。
【請求項６】
前記透明媒質は、ガラスを含むことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のチューナブルフィルタ。
【請求項７】
前記入出力スリットは、前記入射光束の中心軸に対して所定の角度傾けて配設されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のチューナブルフィルタ。
【請求項８】
以下の条件を満足することを特徴とする請求項７に記載のチューナブルフィルタ。
｜θｒ’｜＜｜θｃ’｜
但し、
θｒ’：前記入出力スリットに対する前記入射光束中に含まれる任意の光線と、前記入射光束の中心軸とのなす角度
θｃ’：前記入出力スリットの入力面の法線と前記入射光束の中心軸とのなす角度
【請求項９】
請求項１から８のいずれか１項に記載のチューナブルフィルタを有することを特徴とする光源装置。
【請求項１０】
請求項１から８のいずれか１項に記載のチューナブルフィルタを有することを特徴とするスペクトル測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、任意の分光特性を実現するチューナブルフィルタとこれを用いた、光源装置、スペクトル測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
種々のスペクトル光を自由に形成するチューナブルフィルタを用い、色々なスペクトル光を射出する光源装置や、このチューナブルフィルタを用いたスペクトル測定器等が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００７−３０９７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のチューナブルフィルタでは、チューナブルフィルタを構成する光学部材からの反射光中に出力光と同じ偏光成分の迷光が発生し、出力されるスペクトル光のＳ／Ｎが低下するという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記課題に鑑みて行われたものであり、チューナブルフィルタを構成する光学部材からの迷光によるスペクトル光のＳ／Ｎの低下を防止したチューナブルフィルタと、これを用いた光源装置、これを用いたスペクトル測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明は、直線偏光の向きに応じて光の進路を選択する偏光分岐光学系と、波長分散型分光光学系と、偏光変調手段とを有し、前記偏光分岐光学系は、外部入射光を当該偏光分岐光学系で直線偏光化して前記波長分散型分光光学系へ入出力スリットを介して入射し、前記波長分散型分光光学系は、当該波長分散型分光光学系の波長分散作用によって前記外部入射光を所定のスペクトラム光にし、前記偏光変調手段は、前記スペクトラム光の結像位置に配設され、前記スペクトラム光に所定のリターデーションを付加して前記波長分散型分光光学系に向け反射し、前記波長分散型分光光学系は、前記偏光変調手段で反射された光を再合波して前記入出力スリットを介して前記前記偏光分岐光学系に射出し、前記偏光分岐光学系は、前記入出力スリットからの入射光を外部出力光路に合致する直線偏光成分を選択して当該外部出力光路へ射出し、前記偏光変調手段は、入射側にウェッジ形状の透明媒質を有し、前記ウェッジ形状をなす２平面の交線は、前記偏光変調手段の偏光変調素子の配列方向と略平行であり、前記偏光変調手段の配置は、当該偏光変調手段に入射する入射光束の中心軸に対して所定の角度傾けて配設されていることを特徴とするチューナブルフィルタ。
【０００６】
また、本発明は、前記チューナブルフィルタを有することを特徴とする光源装置を提供する。
【０００７】
また、本発明は、前記チューナブルフィルタを有することを特徴とするスペクトル測定装置を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、チューナブルフィルタを構成する光学部材からの迷光によるスペクトル光のＳ／Ｎの低下を防止したチューナブルフィルタと、これを用いた光源装置、これを用いたスペクトル測定装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態にかかるチューナブルフィルタについて図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施の形態は、発明の理解の容易化のためのものに過ぎず、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲において当業者により実施可能な付加・置換等を施すことを排除することは意図していない。
【００１０】
図１は、本発明の実施の形態にかかるチューナブルフィルタの概略構成図である。
【００１１】
図１において、光学系１０２の前側焦点位置に入射された光は、光学系１０２で略平行な光にコリメートされ偏光ビームスプリッタ１０３に入力される。
【００１２】
なお、光学系１０２の前側焦点位置には、例えばオプティカルファイバ１０１の射出端が配置され、オプティカルファイバ１０１を介して光を外部から導入することができる。
【００１３】
偏光ビームスプリッタ１０３に入射された光は、電場ベクトルが図１の紙面に略平行方向で光軸に直交する方向（図１中の矢印ａで示す）の直線偏光だけを通過させ、光学系１０４で入出力スリット２の開口部に集光される。ここで、光学系１０２、偏光ビームスプリッタ１０３、光学系１０４、及び後述する光学系１１１で偏光分岐光学系を構成している。なお、入出力スリット２は、図１の紙面に略垂直な方向に略長方形の開口が形成されている。
【００１４】
入出力スリット２の開口部から射出した光は、光学系１０６で略平行な光にコリメートされ、波長分散作用を有するグレーティング１０７に入射し、光学系１０８でスペクトラム像を形成する。光学系１０６、グレーティング１０７、及び光学系１０８で波長分散型分光光学系が構成されている。そして、スペクトラム像ができる位置に偏光変調素子である反射型液晶素子アレイデバイス１０９が配設されている。
【００１５】
反射型液晶素子アレイデバイス１０９は、液晶層１０９２と、液晶層１０９２を挟んで入射側にウェッジ形状を有するカバーガラス１（以後、単にカバーガラスと記す）と、液晶層１０９２に対してカバーガラス１と対向する位置に平面ミラー１０９３が配置されている。液晶層１０９２はカバーガラス１と平面ミラー１０９３の間に密閉されている。スペクトラム像は平面ミラー１０９３のミラー面上にできるよう反射型液晶素子アレイデバイス１０９の位置調整をする。なお、カバーガラス１の外部に接した面における表面反射以外の反射光強度は実用上無視できる。また、カバーガラス１は、ガラス以外であっても透明媒質からなるものであれば使用可能である。
【００１６】
図１では図示していないが、反射型液晶素子アレイデバイス１０９は、独立制御される偏光変調素子である複数の液晶素子が1次元的に配列されており、配列の方向はスペクトラム像の波長分散方向である図１の紙面に垂直な方向に一致している。
【００１７】
反射型液晶素子アレイデバイス１０９の１次元に配列された個々の液晶素子はドライバ１１０によってそれぞれ独立に制御され、個々の液晶素子内を往復する光は素子毎に異なるリターデーションが付加される。反射型液晶素子アレイデバイス１０９から射出した光は素子毎に、すなわち波長要素毎に異なる楕円偏光になる。
【００１８】
反射型液晶素子アレイデバイス１０９で楕円偏光化された光は、光学系１０８、グレーティング１０７、及び光学系１０６と波長分散型分光光学系内を進行する過程で波長合波作用を受け、入出力スリット２の開口部に集光される。
【００１９】
入出力スリット２の開口部から射出した光は、光学系１０４でコリメートされ、偏光ビームスプリッタ１０３に入射する。偏光ビームスプリッタ１０３の偏光分離部は、入射光の電場ベクトル（図１中の矢印ａ）と直交する方向の電場ベクトル（図１の紙面に垂直な方向、図中ｂで示す）を反射し、光学系１１１によって後側焦点位置に集光される。
【００２０】
なお、光学系１１１の後側焦点位置には、例えばオプティカルファイバ１１２の入射端が配置され、オプティカルファイバ１１２を介して外部に導出することができる。
【００２１】
このようにして、実施の形態にかかるチューナブルフィルタ１０が構成されている。
【００２２】
従来のチューナブルフィルタでは、反射型液晶アレイデバイスのカバーガラスは平行平面板であり、かつ、反射型液晶アレイデバイスは入射光を正反射するように配設されている。このように、反射型液晶アレイデバイスが配設されている場合、反射型液晶素子アレイデバイスによる変調光のうち外部へ出力される成分は反射型液晶素子アレイデバイスへの入射時の直線偏光と直交する直線偏光であり、偏光分岐光学系によって選択され外部へ出力される。
【００２３】
一方、偏光状態が光学素子によって乱されることがなければ、カバーガラス表面反射光の偏光特性は反射直前の偏光特性を保存しており、外部出力光とは直交した直線偏光のままと考えられるので、偏光分岐光学系によって出力光とは異なるポートへ廃棄され、両者が混合してしまうことはない。
【００２４】
しかしながら、波長分散型分光光学系に入射する光は直線偏光状態であるが、入射光が反射型液晶アレイデバイスに到達するときには、波長分散型分光光学系を構成するさまざまな光学素子の影響を受けて、楕円偏光化しているのが普通である。
【００２５】
したがって、波長にかかわらずカバーガラス表面反射光の一部の成分が外部出力光と同じ方向の偏光となることが避けられず外部出力口中の迷光成分となる。例えば、カバーガラスに反射防止コートが施されていても、通常は０．５〜１％程度の反射光は存在する。迷光となる偏光成分はそのまた一部ではあるが、例えばカバーガラス上にフラットな分光特性の３００ｎｍ幅の光があたっており、外部出力光は３ｎｍ幅というモノクロメータ的出力分光特性設定の場合、外部出力光はカバーガラスにあたる光の１％なのに対して、カバーガラス１０９１平均反射率を０．７５％とし、さらに迷光偏光の比率を２０％とすると、迷光はカバーガラス１０９１にあたる光の０．１５％で、外部出力光に対しては１５％にも達してしまう。この値は、スペクトル光のＳ／Ｎを低下させるのに十分な値である。
【００２６】
本実施の形態では、反射型液晶アレイデバイス１０９にウェッジ形状のカバーガラス１を配置すると共に、反射型液晶アレイデバイス１０９を入射光束の中心軸に対して所定角度傾けて配置し、上記迷光の影響を最小限にする構成としている。
【００２７】
以下、図２、図３を参照しつつ、カバーガラス１のウェッジ形状と、反射型液晶アレイデバイス１０９の傾斜角度の関係について説明する。
【００２８】
図２は、実施の形態にかかる反射型液晶アレイデバイス用ウェッジを示し、（ａ）は、ウェッジ形状のカバーガラスを配置した場合、（ｂ）は平行平板のカバーガラス上にウェッジ形状の透明媒質（例えば、ガラス）を配置した場合をそれぞれ示す。図３は、ウェッジ形状の透明媒質の入射面反射によるゴースト光束と反射型液晶アレイデバイスによって変調反射された信号光束の関係を示す図である。
【００２９】
図２において、反射型液晶アレイデバイス１０９のカバーガラス１はウェッジ形状を有し、ウェッジをなす２平面の交線は、反射型液晶アレイデバイス１０９アレイ方向と一致（図２（ａ）の紙面に垂直な方向）するよう配設されている。
【００３０】
また、図３には、カバーガラス１への入射光束Ｂｉと、反射型液晶アレイデバイス１０９の平面ミラー１０９３による入射光束Ｂｉの反射光束である信号光束Ｂｓと、カバーガラス１の入力面１００１による入射光束Ｂｉの反射光束であるゴースト光束Ｂｇの関係が図示されている。
【００３１】
図２、図３において、スネルの法則および反射の法則を適用すれば、以下の（１）式が導出される。なお、式導出の詳細は省略する。
（１）  θ’ｓ＝ｓｉｎ−１（ｎ×ｓｉｎ（２×θｗ
−ｓｉｎ−１（（ｓｉｎ（θｉ＋２×θｒ））／ｎ）））
【００３２】
ここで、Ｎはカバーガラス１の入力面の法線、ｎはカバーガラス１の屈折率を示す。
【００３３】
また、カバーガラス１の頂角定義断面上において、入射光束Ｂｉ中の２本のマージナル光線のうち、左回りで見たとき手前にある方をｒ、先にある方をｒ’、平面ミラー１０９３によって反射された信号光束Ｂｓ中の２本のマージナル光線のうち、左回りで見たとき手前にある方をｒ’ｓ、カバーガラス１の入力面１００１によって反射された入射光束Ｂｉの反射光束でゴースト光束Ｂｇ中の２本のマージナル光線のうち、左回りで見たとき先にある方をｒｇとし、角度の符号は左回りを正にとるものとするとき、θ’ｓは法線Ｎからマージナル光線ｒ’ｓへの角度、θｗはカバーガラス１の頂角（入力面１００１から対面１００２への角度であり、符号は正となるようにカバーガラス１のウェッジの頂角の向きを決めるものとする）、θｉは法線Ｎからマージナル光線ｒの角度（図３の場合、符号は負）、θｒはマージナル光線ｒからマージナル光線ｒ’への角度の１／２、θｇは法線Ｎからマージナル光線ｒｇへの角度と決める。
【００３４】
また、マージナル光線ｒとマージナル光線ｒｇとは入力面１００１による反射前後の光線であるから、
（２）  θｇ＝−θｉ
となる。
このとき、
（３）  θ’ｓ＞θｇ
であるとする。
【００３５】
この条件式（３）は、信号光束Ｂｓのマージナル光線r’sとゴースト光束Ｂｇのマージナル光線ｒｇとのなす角度が正の符号を持っているということであるが、仮にカバーガラス１の近傍で信号光束Ｂｓとゴースト光束Ｂｇの両方の光束が重なり合っていても、十分遠方に両光束を延長すればかならず両光束は分離するということを意味している。
【００３６】
したがって、（１）、（２）式を（３）式に代入することで、カバーガラス１のウェッジ角度θｗの条件式（４）が求まる。
（４）  θｗ＞（１／２）×（ｓｉｎ−１（（ｓｉｎ（θｉ＋２×θｒ））／ｎ）
−（ｓｉｎ−１（（ｓｉｎθｉ）／ｎ）））
【００３７】
本実施の形態では、条件式（４）を満たすようにカバーガラス１のウェッジ角度θｗを設定する。
【００３８】
この結果、信号光束Ｂｓとゴースト光束Ｂｇはカバーガラス１から所定距離において分離され、ゴースト光束Ｂｇが信号光束Ｂｓに混入することが防止できると共に、反射型液晶アレイデバイス１０９で所定量のリターデーションを付加することができる。
【００３９】
図２（ｂ）は、実施の形態の変形例を示す。図２（ｂ）では、反射型液晶アレイデバイス１０９が通常の平行平板ガラスのカバーガラス１０９１を有する場合を示している。この場合、カバーガラス１０９１の入射面側にウェッジ形状の透明部材、例えばガラス１を接着することで上記実施の形態と同様の効果を奏することができる。もちろん接着面における表面反射は実用上無視できる程度であることを前提としている。なお、上記実施の形態と同様の部材には同じ符号を付し説明を省略する。また、図２（ａ）に示す、法線や角度等の設定も同様であり記載を省略している。なお、ウェッジ形状の透明部材は、ガラスに限られないことは言うまでもない。
【００４０】
次に、本実施の形態におけるゴースト光束による影響の防止効果を高める更なる方法について説明する。
【００４１】
図１において、偏光分岐光学系から入出力スリット２への入射光は、入出力スリット２の入射側表面で反射され、楕円偏光化して偏光ビームスプリッタ１０３で図中のｂで示す偏光成分が反射されて光学系１１１を介して迷光として出力され、Ｓ／Ｎを悪化させる恐れがある。
【００４２】
本実施の形態では、この表面反射によるＳ／Ｎの劣化を防ぐために入出力スリット２を入射光束の中心軸に対して所定角度傾斜して配置している。以下、図４を参照しつつ詳説する。
【００４３】
図４は、実施の形態にかかるチューナブルフィルタにおける入出力スリットの例とその配置状態を示し、（ａ）は、入出力スリットがナイフエッジを対向して形成されている例を、（ｂ）は入出力スリットが平行平板ガラスに形成された金属薄膜をエッチングした例をそれぞれ示す。どちらも作用、効果は同様であり、以後の説明では図４（ａ）を代表として説明する。
【００４４】
図４（ａ）において、入出力スリット２の入射側面２ａはミラー仕上げになっており、入出力スリット２の開口部２ｂ以外の光線を反射する。なお、開口部２ｂは、図１及び図４の紙面に垂直な方向に沿って略長方形状に形成されている。そこで、入出力スリット２の入射側面２ａで反射された光が偏光ビームスプリッタ１０３に戻ることを防止するために、入出力スリット２は、入射光束の中心軸Ｘに対して所定角度傾けて配置している。
【００４５】
入出力スリット２への入射光束中に含まれる任意の光線と入射光束の中心線Ｘとのなす角度をθｒ’、入出力スリット２の入射側面の法線Ｎと入射光束の中心線Ｘとのなす角度をθｃ’としたとき、
（５）  ｜θｒ’｜＜｜θｃ’｜
を満たすよう、入出力スリット２が傾けて配置されている。この結果、入出力スリット２の入射側面２ａからの反射光線は、偏光ビームスプリッタ１０３に戻る方向とは異なる方向へ向かい、偏光ビームスプリッタに入射することが無い。
【００４６】
ここで、入出力スリット２への入射光束幅があまり大きいと反射光線の一部が十分それきれずに外部出力光に混じって出力されてしまう可能性もあるが、入出力スリット２より光源に近いところで照明範囲を制限しそのようなことがおこらないようにすればよい。本実施の形態の場合、図１のオプティカルファイバ１０１開口がその制限の役目を果たしていて、反射光線の一部が十分それきれずに外部出力光に混じって出力されてしまうことを防止している。なお、オプティカルファイバ１０１の開口に代わる開口絞りを配置しても良い。
【００４７】
図４（ｂ）は、入出力スリット２の変形例を示し、入出力スリット２が平行平板ガラス２１に形成された金属薄膜２２をエッチングして紙面に垂直な方向に略長方形の開口部２２ａを形成したものである。その他、作用効果は、図４（ａ）と同様であり説明を省略する。
【００４８】
以上述べたように、実施の形態にかかるチューナブルフィルタ１０によれば、反射型液晶素子アレイデバイス１０９のカバーガラス１をウェッジ形状とする、或いはカバーガラス１上にウェッジ形状ガラスを接着することにより、カバーガラス１の表面反射光による迷光を防止することができ、Ｓ／Ｎ比の高いスペクトル光の出力が可能なチューナブルフィルタを実現できる。
【００４９】
また、入出力スリットを入射光束の中心光軸に対して傾斜して配置することで、入出力スリット入射面の反射及び散乱光による迷光を防止し、Ｓ／Ｎ比の高いスペクトル光の出力が可能なチューナブルフィルタ実現できる。
【００５０】
次に、実施の形態にかかるチューナブルフィルタ１０を有する光源装置について説明する。
【００５１】
図５は、光源装置２００の一例を示す。チューナブルフィルタ１０の構成は図１に示す実施の形態と同様であり詳細な説明は省略する。また同様の構成には同じ符号を付し説明を省略する。
【００５２】
図５において、オプティカルファイバ１０１の入射端には、光源２０１が接続されている。光源２０１からの光はオプティカルファイバ１０１を通じて光学系１０２の前側焦点位置に配置された射出端から出力され、チューナブルフィルタ１０に導入される。その後、チューナブルフィルタ１０で所望のスペクトル光が形成され、光学系１１１の後側焦点位置に配置されたオプティカルファイバ１１２の入射端に入射される。オプティカルファイバ１１２の射出端には、例えばＣＣＤ検査装置等の、スペクトル光を用いる各種の装置２０２が接続されている。このようにして、任意のスペクトル光が出力可能な光源装置２００を構成することができる。
【００５３】
次に、実施の形態にかかるチューナブルフィルタ１０を有するスペクトル測定装置について説明する。
【００５４】
図６は、スペクトル測定装置３００の一例を示す。チューナブルフィルタ１０の構成は図１に示す実施の形態と同様であり詳細な説明は省略する。また同様の構成には同じ符号を付し説明を省略する。
【００５５】
図６において、オプティカルファイバ１０１の入射端には、被測定スペクトル光を発する各種発光源からの光を集光する集光光学系３０１が接続されている。集光光学系３０１からの光はオプティカルファイバ１０１を介してチューナブルフィルタ１０に導入される。その後、チューナブルフィルタ１０でスペクトル光に分解され、光学系１１１の後側焦点位置に配置されたオプティカルファイバ１１２の入射端に入射される。オプティカルファイバ１１２の射出端には、例えば光検出装置３０２が接続されている。このようにして、入射された光の分光特性が計測できるスペクトル測定装置３００を構成することができる。
【００５６】
以上述べたように、実施の形態にかかるチューナブルフィルタ１０を有する光源装置２００、或いはスペクトル測定装置３００を容易に構成することができる。また、高いＳ／Ｎを有するチューナブルフィルタ１０を有することで、高精度のスペクトル光を出力できる光源装置２００、或いは高精度の分光特性を有するスペクトル測定装置を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施の形態にかかるチューナブルフィルタの概略構成図である。
【図２】実施の形態にかかる反射型液晶アレイデバイス用ウェッジを示し、（ａ）は、ウェッジ形状のカバーガラスを配置した場合、（ｂ）は平行平板のカバーガラス上にウェッジ形状の透明媒質（例えば、ガラス）を配置した場合をそれぞれ示す。
【図３】ウェッジ形状の透明媒質の入射面反射によるゴースト光束と反射型液晶アレイデバイスによって変調反射された信号光束の関係を示す図である。
【図４】実施の形態にかかるチューナブルフィルタにおける入出力スリットの例とその配置状態を示し、（ａ）は、入出力スリットがナイフエッジを対向して形成されている例を、（ｂ）は入出力スリットが平行平板ガラスに形成された金属薄膜をエッチングして形成した例をそれぞれ示す。
【図５】光源装置２００の一例を示す。
【図６】スペクトル測定装置３００の一例を示す。
【符号の説明】
【００５８】
１・・・ウェッジ
２・・・入出力スリット
１０・・・チューナブルフィルタ
１０１・・・オプティカルファイバ
１０２・・・光学系
１０３・・・偏光ビームスプリッタ
１０４・・・光学系
１０６・・・コリメータ
１０７・・・グレーティング
１０８・・・カメラ
１０９・・・反射型液晶素子アレイデバイス
１１０・・・反射型液晶素子アレイデバイスドライバ
１１１・・・光学系
１１２・・・オプティカルファイバ
２００・・・光源装置
２０１・・・光源
２０２・・・計測装置
３００・・・スペクトル測定装置
３０１・・・集光光学系
３０２・・・光検出装置
１０９１・・・カバーガラス
１０９２・・・液晶層
１０９３・・・平面ミラー
【図１】
0005067188.tif 000002
【図２】
0005067188.tif 000003
【図３】
0005067188.tif 000004
【図４】
0005067188.tif 000005
【図５】
0005067188.tif 000006
【図６】
0005067188.tif 000007