(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷装置であって、
複数のビームを発生するよう構成された複数ビーム発生器アレイと、
前記複数ビームを受けるよう配置されたコリメータレンズと、
前記複数ビームが互いに一致する位置に配置された開口絞りと、
前記開口絞りからのビームを受けるよう配置されたスキャニング光学系と、
前記スキャニング光学系からのビームを受けるよう配置された記録媒体と、
前記複数ビームが互いに一致する位置に配置されたフィルタと、を有し、
前記フィルタによって前記複数ビームの各々がフィルタリングされる、印刷装置。
【請求項２】
一致する複数フーリエ面にて、前記複数ビームが互いに一致する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記フィルタが光学フィルタである、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記フィルタが振幅フィルタである、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記フィルタが位相フィルタである、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記フィルタが倍率エラーを取り除くよう構成されている、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記フィルタが回転エラーを取り除くよう構成されている、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記回転エラーは画像に間隙を形成するものである、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記フィルタは、副走査方向に平行な方向に沿って設けられた複数の半不透過性または完全不透過性バーを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記フィルタは、抑制すべき周波数の２倍に相当する位置にそれぞれ中心を有し互いに間隔をあけて配置された吸収バーと、ゼロ周波数に相当する位置に中心を有するよう配置された第１のバーとを含んで構成される、請求項１に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数ビームラスタ出力スキャナ（ＲＯＳ）を用いて受光体表面上に画像を形成するタイプの電子コピー機またはプリンタに関する。本発明は特に、ＲＯＳの光路内に設けられ、ＲＯＳ装置の運転時および／または製造時の不具合および／またはエラーを補正する、空間フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＲＯＳ技術を用いて画像を形成する際には、たとえば、ベタ領域における不均一性、線幅の膨張（line growth）、バンディング（筋ムラ）、および他の不都合な画像欠陥が生じることがある。これらの画質上の欠陥は、好ましくないものであり、結果的にＲＯＳの設計を高コストにするものである。これらの問題点を解決するために、光学フィルタリングによる低コストのバンディング低減方法が、１９８９年１１月２８日に発行されたLoceらによる「振動起因の走査ラインエラーが補正されるプリンタ」と題された米国特許第４，８８４，０８３号で紹介されている。この特許を、引用によって本願に援用する。
【０００３】
ロセ（Loce）らは、画像が印刷される媒体の動きによる影響を補正する機能を組み込んだラスタ出力スキャニング（ＲＯＳ）装置を用いた印刷装置を開示している。詳細には、振幅透過率空間フィルタが、装置の光学系の「スロースキャン（副走査）」射出瞳か、スキャニング光学系の第１フーリエ変換面かのどちらか一方に配置される。
【０００４】
【特許文献１】米国特許第４，８８４，０８３号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
昨今の多くのレーザスキャナでは、ビーム発生器の一次元または二次元アレイが用いられている。したがって、複数ビームスキャニング装置における画像形成に関わる問題点に取り組み、取り扱う画像エラー低減のための低コストの光学フィルタリング方法および装置があると望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
印刷装置に、複数のビームを発生するよう構成された複数ビーム発生器アレイが備えられる。コリメータレンズが、複数ビームを受けるように配置される。また、複数ビームが空間的に互いに一致する（coincident）位置に、開口絞りが配置される。スキャニング光学系が、開口絞りからのビームを受けるように配置され、記録媒体が、スキャニング光学系からのビームを受ける。複数ビームが空間的に互いに一致する位置にフィルタが配置され、それによって複数ビームの各々が、設けられたフィルタによってフィルタリングされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
図１Ａは、本発明の概念にしたがった複数ビームレーザスキャナ装置１０の上面図を表す。まず、複数のビーム発生素子を含み個別にアドレス可能なレーザアレイ１２が、１つのグループとして定義される複数ビーム１４を放射し、ビーム１４は、コリメータレンズ１６と、開口絞り１８と、第１のシリンダレンズ２０とを通過する。ビーム１４は、第１の曲げミラー２２に入射し、それによって、第２のシリンダレンズ２４を通過し第２の曲げミラー２６に至るように進む。これらの曲げミラーにより光路が折り畳まれる。続いてビーム１４は、３つの別個のシリンダレンズから成るシリンダレンズ群２８を通過し、回転ポリゴンミラー３０の一つのファセットを照射する。ポリゴンミラー３０が回転することによって、ビーム１４が、側方走査位置３４および３６と中央位置５０とを含む角度および位置範囲内にわたって走査される。走査されたビーム１４は、第１のスキャンレンズ３２と第２のスキャンレンズ３８とを通過し、シリンダミラー４０，４２，４４および曲げミラー４５の間を反射し、出口ウィンドウ４６の一部を通過し、記録媒体４８に至る。記録媒体４８は、一実施形態においては、受光体または電子写真ドラムであることが可能である。
【０００８】
ビーム１４は、「ファストスキャン（主走査）」方向であるスキャン方向５２に走査される。ビーム１４は、反射されて、ポリゴンミラー３０の複数の互いに隣接するファセットに入射し照射する。ポリゴンミラー３０の回転軸は、光ビーム１４が移動する面に対して直交する。ポリゴンミラー３０が回転するにつれて、ビームは、照射したファセットから反射されてスキャン角度内にわたって掃引され、フライングスポットスキャンが実施される。または、フライングスポットスキャンは、線形回折格子を組み込んだホログラフィックスキャナなどの他の適切な装置によって実施することもできる。ビーム１４は、映像入力信号に含まれた情報に従って変調されている。アレイ内の各レーザビームの出力強度プロファイルは、ガウス分布の形状またはそれに近いものである。ビーム１４は、記録媒体上に１つより多い画像形成用スポットを生じさせ、それらのスポットは、信号の画像情報に従って生成される。
【０００９】
図１Ａにおける詳細は、本発明の概念を組み入れた複数ビームレーザスキャナ装置の一実施形態を図示することを意図している。ただし、他の設計による複数ビームスキャナ装置において本発明の概念を適用することも可能であると理解すべきである。また、本発明の概念は、使用するビームの数が最少で２個の装置に適用することが可能であるが、昨今では３１個または３２個のビームを用いる複数ビーム装置が開発されており、本発明の概念はそれらの装置に適用可能である。
【００１０】
図１Ｂは、図１Ａの複数ビームスキャナ装置を単純化して示す概略図である。図１Ｂでは、コリメータ光学系によって実施されることで開口絞り１８の位置に装置のフーリエ面を形成する第１の（または被写体側の）フーリエ変換作用範囲ＦＴ１と、残りの光学系によって実施される第２の（画像側の）フーリエ変換作用範囲ＦＴ２と、装置のフーリエ面に配置され本発明の概念に従って構成された補正フィルタ５４とが特定されている。本発明の例示的実施形態では、装置のフーリエ変換面は、コリメータレンズ１６のフーリエ面である。
【００１１】
図１Ｂではさらに、ビーム発生器アレイ１２の一部である複数のビーム発生器を詳細に示す。本実施形態では単純化のために、２つのビーム発生器１２ａ，１２ｂを図示する。これらのビーム発生器は、それぞれ対応のビーム１４ａ，１４ｂをコリメータレンズ１６に向けて放射し、コリメータレンズ１６は、装置の開口絞り１８を通過するビームを集束させる。この図では、補正フィルタ５４が、開口絞り１８の直前に配置されている。したがって、開口絞り１８を通過するビームは、本発明による方法でフィルタリングが施されたものである。このように、一実施形態においてフィルタ５４は、一致する複数フーリエ面を有する複数ビームスキャニング装置においてその一致面に配置された光学フィルタである。フィルタは、振幅フィルタ、位相フィルタ、または他の適切なフィルタであることが可能である。
【００１２】
フィルタリングされたビームは、続いて、単純化のために２つのブロックとして図示された残りのスキャニング光学系２０〜４６に入射する。第１のブロックは、ポリゴンより前段であって図１Ａの部材２０〜２８で構成される光学系から成ると考えられ、第２のブロックは、ポリゴンより後段であって部材３２〜４６で構成される光学系を表すと考えられる。
【００１３】
図１Ｂのスキャニング光学系２０〜４６では、ポリゴン前の光学系２０〜２８によって、副走査方向に沿った中間画像がポリゴンミラー３０のファセット上に形成される。この中間画像は形成後に、ポリゴン後の光学系３２〜４６によって、通常１より小さい係数で倍率調整され、記録媒体４８上に中央位置ビーム５０として照射される。ポリゴン後の光学系３２〜４６は、中間画像に対してフィルタリングはせず、空間的に拡縮（scale；スケーリング）するのみである。開口面からポリゴンファセットまでの間では、フーリエ変換作用が実施される（たとえばＦＴ２）。ポリゴンファセットから受光体面までの間では、従来の画像形成が実施され、空間的に拡縮されたバージョンのフーリエ変換が実施される（たとえば、ポリゴン後の光学系の結像倍率（imaging magnification）によって空間的に拡縮されたＦＴ２）。
【００１４】
複数ビームスキャニング装置のビームのフィルタリングを考える際に提起される問題点としては、各個別ビームの経路の処理が挙げられる。特に、フィルタリング作用を確実に予測可能なものにするためには、フィルタを各ビームに対して適用する必要がある。この作用を実現するために、複数ビーム発生器アレイ１２をコリメータレンズ１６の前段側の焦点面１６ａ内に配置する。この構成によって、ビーム発生器アレイ１２とコリメータレンズ１６の後段側の焦点面１６ｂとの間に、フーリエ変換関係が成立する。この配置によって、図１Ｂに示すように全てのビームが、異なる射出角にてコリメートされるものの後段側の焦点面１６ｂで重なる。
【００１５】
したがって、開口絞り１８は後段側の焦点面１６ｂに配置され、それによって開口絞り１８は、その位置にて同時に全てのビームに対して同様に切りつめること（truncate）ができる。さらに、図１Ｂのスキャニング光学系では、開口絞り１８と受光体４８面との間にフーリエ変換関係が成立している。これらの要因によって、後段側の焦点面１６ｂすなわち開口絞り１８の位置が、補正フィルタ５４の配置場所として望ましいものとなっている。その位置では、補正フィルタ５４は全てのビームに対して平等かつ同時に作用でき、受光体面におけるそのフィルタ５４の影響は、フーリエ解析によって正確に予測可能である。
【００１６】
このように、本発明の概念が適用される装置は、発生した各ビームの瞳面が同一平面内であって互いに位置合わせされている（一致されている）複数ビームスキャニング装置である。各ビームの瞳面が全て同一平面内であって互いに位置合わせされている場合、補正フィルタ５４を適切な瞳面内（すなわち、コリメータレンズ１６の後段側の焦点面１６ｂ／開口絞り１８の位置）に配置すれば、各ビームは同一のフィルタによってフィルタリングされる。したがって、上述の装置では、装置のフーリエ面での第１のフーリエ変換ＦＴ１後には、全てのビームは空間的に一致しており、その結果、全ての各ビームが適切にフィルタリングされるか、全くフィルタリングされないかのどちらかである。
【００１７】
このように、図１Ａおよび図１Ｂの装置において各ビームは、開口では空間的に完全に重なり、ポリゴンファセットおよび記録媒体（たとえば受光体）では部分的に重なる。開口面および受光体では、干渉の影響が生じる可能性がある。また、上述の光学的構成では、フーリエ変換の関係が、（ｉ）レーザ面と開口面との間、（ｉｉ）開口面とポリゴンファセットとの間、および、（ｉｉｉ）結像倍率によって効果的にスケーリングされた状態で開口面と受光体面との間に、成立する。
【００１８】
複数ビームスキャナ装置においては、複数ビームを適切な位置でフィルタリングすることに関する問題点に加えて、単一ビームシステムでは直面しない問題点が他にも存在する。特に、単一ビームシステムや一次元システムでは生じ得ない特定の画像形成エラーが、複数ビームシステムでは生じる。それらのエラーのうちの２つとして、倍率エラーと回転エラー（これは二次元アレイシステムのみで生じる）が挙げられる。
【００１９】
たとえば図２に示すように、複数ビームアレイ５６は、個別のビーム発生器が平行四辺形パターンに配置された二次元アレイであることが可能である。このタイプの設計では、以下のような処理動作における倍率エラーが考慮に入れられている。第１のステップで、画像形成スポットアレイ全体をページ全域に掃引する。続いて、通常の動作に従って、アレイを記録媒体の次の部分へ移動させ、次の画像形成ブロックのために掃引する。ビーム発生器の倍率調整が不適切である場合、１回目の掃引によって画像形成された部分と、２回目の掃引によって画像形成された部分との間に、重複が生じる。その画像を印刷すると、重複領域に相当する箇所が意図したよりも濃くなってしまう。このタイプのエラーは、単一ビームシステムでは生じ得ない。
【００２０】
この問題を解決するために、ある空間周波数をノッチング（除去）する自動修正機能を有する種類のフィルタを用いることができる。たとえば、補正フィルタ５４は、特定の１つまたは複数の問題周波数をノッチングしつつ他の関心周波数の減損は最小限に抑えるための空間周波数フィルタとして構成される。補正フィルタ５４は、光学系のＭＴＦ（変調伝達関数）が空間周波数座標にスケーリングされた射出瞳（フーリエ面）の自動修正機能であることを定義した光物理学原理を用いることによって、特定の光学系向けに設計される。図１Ａおよび図１Ｂに示す例示的な光学的設計では、射出瞳は開口絞りの画像であり、フィルタの設計は、光学経路内で開口絞りの近くまたは開口絞りの位置に配置される、特定の自動修正機能を有する透過率フィルタ（透過性プレート上であれば）の選定に関する問題となる。または、射出瞳がたとえばポリゴンファセットミラーなどのミラー位置またはその近くに位置する場合は、フィルタの設計は、特定の自動修正機能を有する反射率フィルタの選定に関する問題となる場合もある。
【００２１】
この種類の空間フィルタは、スケーリング済みのノッチングすべき空間周波数の間隔で配置された一式のバーであって、それらのバーの幅がスケーリング済みの空間周波数より小さいか等しいものであると説明できる。スケーリング係数は、コリメータレンズの焦点距離Ｆと光の波長λとの積である。たとえば、記録媒体（画像）面において３．０４サイクル／ｍｍをノッチングしたい場合、いくつかの半不透過性または完全不透過性のバー（３，５，７，…）を、装置のフーリエ面に配置することが可能である。それらのバーは、（３．０４サイクル／ｍｍ）×（Ｆλ）の間隔で配置され、バーの幅≦（３．０４サイクル／ｍｍ）×（Ｆλ）である。バーの数を増大すると、ノッチが深いフィルタとなるが、同時に他の空間周波数における変調損失も生じる。
【００２２】
図３に、書き込まれる画像において３．０４サイクル／ｍｍを抑えるのに使用可能な、図１Ｂのフィルタ５４などの例示的フィルタの透過性６０を示す。この特定の実施形態において上記周波数を選択した理由は、特定のＶＣＳＥＬ  ＲＯＳ（Vertical Cavity Surface Emitting Laser - ROS）構成（すなわち、インタレース２、ビーム３１個、オーバーライトなし、２４００ラスタ／インチ）において、光学系の倍率エラーとして生じる可能性があるからである。図３の例では、特定の画像劣化を最小化しつつノッチングを最適化する実験計画法（ＤＯＥ）によるプロセスを通じて得られた、振幅透過率２３％を有する複数バーを詳細に示す。
【００２３】
図４に、上記特定のＶＣＳＥＬ  ＲＯＳ構成（すなわち、インタレース２、ビーム３１個、オーバーライトなし）において倍率エラーを含む状態で書き込まれた均一画像のフーリエスペクトルを示す。波形６２は、フィルタなしの装置で書き込まれた画像の周波数スペクトルにおける、倍率エラーに起因したエラーを表す。波形６４は、たとえば透過特性６０を有するフィルタなどのノッチタイプの補正フィルタを備えた装置で書き込まれた画像の周波数スペクトルにおける、倍率エラーに起因したエラーを表す。均一画像は、ゼロ周波数の箇所以外が全てゼロである周波数スペクトルを有することが理想的である。倍率エラーによって、３．０４サイクル／ｍｍおよびその高調波の箇所にバンディング成分が生じている。透過率プロファイル６０を有するノッチ補正フィルタ５４は、３．０４、６．０８、および９．１２サイクル／ｍｍにおけるバンディングの振幅を、それぞれ約３９％、３０％、および２４％低減している。
【００２４】
ノッチフィルタは、受光体に書き込まれる光スポットの形状に影響する。図５に、フィルタなしの装置で形成されたスポットの波形６６と、ノッチタイプの補正フィルタを備えた装置で形成されたスポットの波形６８とを示す。また、スポット波形６６および６８それぞれのリンギングテール６６ａおよび６８ａも示す。それらのテールのエネルギは、スポット波形６８のもののほうが大きい。スポット形状のこのような変化は、細い白線（書き込まないことによる線）のコントラストを低下させる可能性がある。倍率エラーに対処するためのノッチフィルタの設計（すなわち、図３に示す特性を有するもの）は、有益なバンディング低減作用によって、このようなマイナスの影響を相殺してバランスを達成しようとするものである。このバランスは、細い反転線（すなわち、露光された濃い背景に形成された白線または非露光線）のコントラストの低下を最小限にしようと試みることで達成される。ここで説明する設計では、細い（６４ミクロンの）白線を、保全すべき微細な特徴として設定している。図６に、フィルタを用いて得られたこの線の露光プロファイルを波形７０として表し、フィルタなしで得られたものを波形７２として表す。フィルタ付きの装置では、２５％のコントラスト低下が見られる。この程度の影響は、レーザ印刷の状況によっては、バンディングを抑制するためには妥当な妥協であると考えられる。
【００２５】
バンディング周波数ｆ0を低減するシンプルなフィルタは、以下のように表すことができる。
【００２６】
【数１】
0004934127.tif 000002
【００２７】
ここで、ａはフィルタのバーの望ましい吸収率である（たとえば、ａ＝１は完全不透過を表し、ａ＝０は、フーリエ面上の媒体の透過率に対して相対的に完全透過を表す）。Ｍは、ターゲットにおいて使用されるバーの数を定義するものであり、バー数は１＋２Ｍである。Ｆはコリメータレンズの焦点拒離であり、λはレーザダイオードによって放射された光の波長である。
【００２８】
したがって、本発明の概念の一実施形態によるフィルタは、抑制すべき周波数の２倍に相当する位置にそれぞれ中心を有し間隔をあけて配置された吸収バーと、ゼロ周波数に相当する位置に中心を有するよう配置された第１のバーとを含んで構成される。
【００２９】
倍率エラーに起因して周波数ｆmにおいて発生するバンディングを抑制する特定のフィルタは、以下のように表される。
【００３０】
【数２】
0004934127.tif 000003
【００３１】
数式（２）は、数式（１）に基づき、ｆ0＝ｆmおよびＭ＝１に設定することによって導出される。図３に示す例示的フィルタは、ａ＝０．７７、Ｍ＝１、Ｆ＝２３．３ｍｍ、λ＝７８０ｎｍ、およびｆm＝３．０４サイクル／ｍｍとしたときの数式（２）を具体化したものである。
【００３２】
上記のとおり、複数ビームシステムに特有の具体的エラーが少なくとも２つ存在する。これらのエラーには、上述の倍率エラーと、以下で説明する回転エラーが含まれる。
【００３３】
ビーム発生器の各列が斜めに角度を付けられている図２のアレイ５６などの二次元アレイ内のダイオードは、列内で極めて正確に配置されていることが多い。しかしながら、アレイ全体の回転配置（角度付け）におけるエラーによって回転エラーが生じることがあり、その結果、ビームが重複したり間隙を形成してしまったりする。エラー周波数は、プラス（たとえば重複）およびマイナス（たとえば間隙）角度の回転エラーにおいて同じである。
【００３４】
上記に関する具体例を参照して説明する。図７のダイオードアレイ７６は、斜めに並んだ４つのダイオードから成る各列を８列７８〜９２含む。ダイオード列７８〜９２からのビーム出力は、実質的に等間隔で表面９４に入射する複数ビームとなる。この等間隔は、同列内で発生したビーム間９６にも、隣接する列同士のダイオードが生成するビーム間９８にも、同様に存在する。この例では回転エラーが存在しないため、ビームは重複せず、不利な間隙も形成しない。
【００３５】
図８では、アレイ７６が、時計回り方向のプラス角度の回転エラーを含んで図示されている。この配置では、図７と同様に、同列内で発生したビームは互いに同じ間隔を維持している（たとえば９６）。しかし、回転エラーによって、前列の最後のビームと次列の最初のビームとが互いに、不都合に近づけて配置されてしまい、表面９４にてビーム重複１００が生じる。より詳細には、図８では、列７８の最後のダイオードからのビームと、列８０の最初のダイオードからのビームとが、重なる（アレイ内の残りの列においても、同様の重複が、前列の最後のダイオードと次列の最初のダイオードとによって生成されたビーム同士で起きる）。繰り返しになるが、このような重複は、アレイ全体の回転配置におけるエラーに起因して生じるものである。
【００３６】
上述し且つ図９に示すように、反時計回り方向のマイナス回転エラーは、ビーム間の間隙を不都合に大きくしてしまうことがある。前述した図と同様に図９では、同列内で発生したビームは均一な間隔を維持している（たとえば９６）。しかし、マイナス角度の回転エラーがあると、列の最後のダイオードからのビームと次列の最初のダイオードからのビームとの間にビーム間隙が生じてしまう。
【００３７】
本発明によれば、列７８と列８０のダイオードからのビーム間の不都合な干渉（重複）を抑制または除外するようフィルタを構成することができる。
【００３８】
回転によって引き起こされる重複エラーに起因して周波数ｆrにおいて発生するバンディングを抑制する特定のフィルタの透過性は、以下のように表すことができる。
【００３９】
【数３】
0004934127.tif 000004
【００４０】
一方、間隙が大きくなりすぎるエラーが生じる場合は、フィルタは、上記に従って、周波数を必要周波数出力に一致するように変更するよう設計される。そして、フィルタにノッチを挿入して、周波数信号出力１０４および１０６に、拡散周波数内で誘導されたローブまたはバンプ１０４ａ，１０６ａが含まれるようにすることで、間隙を埋める。
【００４１】
上述のとおり本発明によれば、複数ビームＲＯＳイメージャ構造において、光学フーリエ面にて周波数ドメインフィルタを用いることで、アレイ回転エラー、倍率エラー、および他のＲＯＳまたは画像形成装置のエラーなどの原因によって発生するバンディングおよび他の画像欠陥を補正する。本発明の２つの特徴として、（１）全てのビームの副走査フーリエ面が一致するように光学系が設計されることと、（２）その一致面に光学バンディング低減フィルタを配置することが挙げられる。倍率エラーに関するテストを実施した特定の設計においては、極細線（６４ミクロン）のコントラストが２５％低下するというマイナス点を伴うが、バンディングの振幅をおおよそ３９％削減できることが、シミュレーションによって示された。本発明の概念は、ビーム発生器の一次元または２次元アレイに適用される。また、前述のバンディングエラーの低減または除外に加え、フィルタは、ステッチ状欠陥（stitching defect）、ベタ領域の不均一性、線幅の膨張、ポリゴンの一回転およびその高調波におけるエラーなどの他の問題点も改善する（ステッチ状欠陥および一回転エラーは、バンディングエラーであるとも言える）。
【００４２】
上述のように、空間領域でのフィルタリングの際には、発生した各ビームにバンプが付加され、それによって問題周波数がノッチングされる。周波数領域では、バンプは、周波数が抑制される「ディボット（divot；切り取られた）」領域であると定義される。このように、複数ビーム全てが一致する一致面に、特定のターゲット周波数において低減されたＭＴＦまたは低減された周波数レスポンスを生成するフィルタが設けられる。
【００４３】
本発明で取り組んだ対象は主に周期的であったが、そうである必要はない。たとえば、フィルタのいくつかのバーを他のバーより高くまたは低く設定したり、エッジを角形にする代わりに丸みを持たせることもできる。これらは単に例であって、さらに他の異なる形態も可能であると理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１Ａ】本発明の概念を適用した複数ビームレーザスキャナ装置を示す上面図である。
【図１Ｂ】スキャニング光学系の第１フーリエ面に補正フィルタが配置された図１Ａの複数ビームレーザスキャナ装置を示す概略図である。
【図２】図１Ａおよび図１Ｂの装置で使用可能なビーム発生器アレイを示す図である。
【図３】本発明によるフィルタ透過率プロファイルを示す図である。
【図４】倍率エラーを含む状態で書き込まれた均一画像の周波数スペクトルを示す図である。
【図５】図３に示すようなフィルタを使用した場合と不使用の場合との、装置のスポット関数プロファイルを示す図である。
【図６】補正フィルタを使用した場合と不使用の場合との、反転細線（幅６４ミクロンまで）の露光プロファイルを示す図である。
【図７】回転エラーを含まないビーム発生器アレイを示す図である。
【図８】時計回り方向の回転エラーを含むビーム発生器を示す図である。
【図９】反時計回り方向の回転エラーを含むビーム発生器を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０  複数ビームレーザスキャナ装置、１２  レーザアレイ、１２ａ，１２ｂ  ビーム発生器、１４  ビーム、１６  コリメータレンズ、１８  開口絞り、４８  記録媒体、５４  補正フィルタ。
【図２】
0004934127.tif 000005
【図３】
0004934127.tif 000006
【図４】
0004934127.tif 000007
【図５】
0004934127.tif 000008
【図６】
0004934127.tif 000009
【図７】
0004934127.tif 000010
【図８】
0004934127.tif 000011
【図９】
0004934127.tif 000012
【図１Ａ】
0004934127.tif 000013
【図１Ｂ】
0004934127.tif 000014