(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
その胴体（１０４）が所定寸法の固体の誘電物質で構成される導波管（１０３）を設け、
前記導波管は、対向側面（１０３Ａ、１０３Ｂ）とその対向面と垂直の対向側面（１０３Ｃ、１０３Ｄ）で形成され、閉じた空洞部（１０５）を、前記側面（１０３Ａ）から胴体（１０４）側へ懸吊して設け、
前記導波管は、所定作動周波数・強度のマイクロ波エネルギ放射の供給源（１１５）に連結して設け、
前記所定寸法および所定周波数は、少なくとも一つのエネルギ最大点を有する少なくとも一つの共振モードで前記導波管が共振するように選択され、前記マイクロ波エネルギが前記共振導波管によってバルブに導かれると発光プラズマを生成する気体充填材（１０８）を含有するバルブ（１０７）を、前記空洞部に設け、
前記導波管および前記バルブは一体的に構成され、
前記所定周波数は、０．５〜３０ＧＨｚであり、
前記導波管の少なくとも一辺の寸法は、前記所定周波数の半波長の整数倍であることを特徴とする誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項２】
前記導波管（１０３）は、金属材料からなる外被覆を備えたことを特徴とする請求項１に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項３】
前記バルブ（１０７）は、内面（１１０）を有する外壁（１０９）と、
前記空胴部（１０５）を包含するウィンドウとを備えたことを特徴とする請求項１に記載の誘体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項４】
前記ウィンドウ（１１１）は、プラズマによる放出光を透過することを特徴とする請求項３に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項５】
前記ウィンドウ（１１１）は、サファイヤを含むことを特徴とする請求項３に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項６】
さらに、マイクロ波供給部（１１７）を前記導波管（１０３）と前記供給源（１１５）とを連結して設けたことを特徴とする請求項１に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項７】
前記固体誘電物質の比誘電率は、２．０を超えることを特徴とする請求項１に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項８】
前記バルブ外壁（１０９）の内面（１１０）は、プラズマによる放出光を少なくとも部分的に反射することを特徴とする請求項３に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項９】
前記バルブ外壁（１０９）の内面（１１０）は、ウィンドウ（１１１）側へ光を反射する形状であることを特徴とする請求項３に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項１０】
前記バルブ外壁（１０９）は、誘電物質であることを特徴とする請求項３に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項１１】
前記導波管（１０３）及び／又は前記バルブ外壁（１０９）を構成する誘電物質は、セラミックであることを特徴とする請求項１０に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項１２】
前記バルブ外壁（１０９）は、前記バルブ（１０７）を前記導波管の胴体（１０４）から熱的に分離することを特徴とする請求項３に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項１３】
前記外壁（１０９）および前記ウィンドウ（１１１）は、熱膨張係数がほぼ等しいことを特徴とする請求項３に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項１４】
複数の放熱器（１２５）を前記対向側面（１０３Ａ、１０３Ｃ、１０３Ｄ）に設けたことを特徴とする請求項２に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項１５】
前記対向側面（１０３Ａ、１０３Ｂ）は、ほぼ前記対向側面（１０３Ｃ、１０３Ｄ）と直角であるとともに、前記導波管（１０３）は、矩形プリズム形状であることを特徴とする請求項１に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項１６】
前記導波管（１０３／５１７、５２７、５３７）は、円筒プリズム形状であることを特徴とする請求項１に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１／５１０、５２０、５３０）。
【請求項１７】
前記導波管（１０３）は、球形状であることを特徴とする請求項１に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項１８】
さらに、供給源（１１５）からのマイクロ波エネルギを前記導波管（１０３）に伝達するマイクロ波供給部（１１７）を設け、前記導波管の前記供給部により一定の圧力を維持する積極的圧力機構（１２１）を設けたことを特徴とする請求項１に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項１９】
前記供給源（１１５）は、前記導波管の胴体（１０４）および前記バルブ（１０７）とは熱的に分離されることを特徴とする請求項１に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項２０】
前記気体充填材（１０８）は、希ガスおよびハロゲン化金属を含むことを特徴とする請求項１に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項２１】
さらに、隙間（１１６）を供給源（１１５）および導波管（１０３）の間に設け、そこに断熱材を設けたことを特徴とする請求項１に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項２２】
前記隙間（１１６）は、真空であることを特徴とする請求項２１に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項２３】
前記導波管（１０３）は少なくとも一つの最大共振点を有するモードで共振するとともに、前記バルブ（１０７）および前記供給部（１１７）は、それぞれエネルギ最大点直近に設けたことを特徴とする請求項６に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項２４】
前記導波管（１０３）は、少なくとも二つのエネルギ最大点を有するモードで共振し、前記マイクロ波供給部（１１７）および前記バルブ（１０７）は、別のエネルギ最大点に配置されることを特徴とする請求項６に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項２５】
さらに、第２マイクロ波供給部（４３４）を設け、前記導波管（１０３／４３７）は、少なくとも一つのエネルギ最大点を有するモードで共振し、前記マイクロ波供給部（１１７／４３３）とバルブ空胴部（４３５）を有する前記バルブ（１０７）とは、それぞれエネルギ最大点直近に設けたことを特徴とする請求項６に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１／４３０）。
【請求項２６】
さらに、供給源（１１５）を設けたことを特徴とする請求項１に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項２７】
前記ウィンドウ（１１１）および前記バルブ外壁（１０９）は前記気体充填材（１０８）を含有するバルブエンベロープ（１２７）を形成し、前記外壁は前記ウィンドウと密封連結され、
前記外壁の熱膨張係数は、前記ウィンドウの熱膨張係数とほぼ等しく、前記外壁（１０９）の前記内面（１１０）は、プラズマにより発光される光を前記ウィンドウ側へ導く形状となっていることを特徴とする請求項３に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１）。
【請求項２８】
さらに、第２供給源（４３４）を設け前記ウィンドウ（１１１）および前記バルブ外壁（１０９）は前記気体充填材（１０８）を含有するバルブ空洞部（４３５）を形成し、
前記外壁は前記ウィンドウと密封連結され、前記外壁の熱膨張係数は、前記ウィンドウの熱膨張係数とほぼ等しく、前記外壁（１０９）の前記内面（１１０）は、プラズマにより発光される光を前記ウィンドウ側へ導く形状となっていることを特徴とする請求項３に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１／４３０）。
【請求項２９】
前記導波管（１０３／４３７）は、少なくとも三つのエネルギ最大点を有するモードで共振し、前記マイクロ波供給部（１１７／４３３、４３４）とバルブ空胴部（４３５）は、それぞれ異なるエネルギ最大点直近に設けたことを特徴とする請求項２８に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（１０１／４３０）。
【請求項３０】
所定寸法の誘電体導波管（６１１）を設け、第１および第２マイクロ波供給部（６１３、６１５）を、前記導波管と、少なくとも一つのエネルギ最大点を有する少なくとも一つの共振モードで前記導波管が共振するマイクロ波エネルギを発する供給源（６１７）との間に連結して設け、
前記マイクロ波の周波数は、０．５〜３０ＧＨｚであり、
前記導波管の少なくとも一辺の寸法は、前記マイクロ波の周波数の半波長の整数倍であり、
フィードバック手段（６１２）を、前記供給部（６１５）と前記供給源（６１７）との間に連結して設け、前記マイクロ波エネルギが前記共振導波管によってバルブ空洞部に導かれると発光プラズマを生成する気体充填材（１０８）を含有するバルブ空洞部（６１９）を設け、
前記導波管および前記バルブ空洞部は一体的に構成されることを特徴とする誘電体導波管を有するプラズマランプ（６１０）。
【請求項３１】
前記供給部（６１５）は導波管（６１１）を探査し、即座に電界の振幅および位相のサンプルをとり、前記サンプリング情報をフィードバック手段（６１２）を経て供給源（６１７）に提供し、
前記供給源は、前記導波管内の共振エネルギを増幅し、少なくとも一つの導波管の共振モードを維持するよう作動周波数を動的に調整し、前記ランプ（６１０）を誘電共振オシレータモードで動作させ、
前記供給部（６１３、６１５）とバルブ空胴部（６１９）は、それぞれエネルギ最大点直近に設けたことを特徴とする請求項３０に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（６１０）。
【請求項３２】
所定寸法の誘電体導波管（４４７）を設け、少なくとも一つのマイクロ波供給部（４４３）を、前記導波管と、少なくとも一つのエネルギ最大点を有する少なくとも一つの共振モードで前記導波管が共振するマイクロ波エネルギを発する供給源（６１７）との間に連結して設け、
前記マイクロ波の周波数は、０．５〜３０ＧＨｚであり、
前記導波管の少なくとも一辺の寸法は、前記マイクロ波の周波数の半波長の整数倍であり、
前記マイクロ波エネルギが前記共振導波管によって各バルブ空洞部に導かれると発光プラズマを生成する気体充填材（１０８）をそれぞれ含有する第１、第２バルブ空洞部（４４５、４４６）を設け、
前記導波管および前記第１、第２バルブ空洞部は一体的に構成されることを特徴とする誘電体導波管を有するプラズマランプ（４４０）。
【請求項３３】
前記供給部（４４３）と前記第１、第２バルブ空胴部（４４５、４４６）は、それぞれエネルギ最大点直近に設けたことを特徴とする請求項３２に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプ（４４０）。
【請求項３４】
（ａ）周波数と強度が特徴のマイクロ波エネルギを、その胴体が所定寸法の固体誘電物質
で構成される導波管に導くステップであって、
前記導波管は、外面と、その外面から前記導体側に懸吊する空洞部とを有しており、前記周波数および寸法は、少なくとも一つのエネルギ最大点を有する少なくとも一つの共振モードで前記導波管が共振するように選択されるステップと、
（ｂ）前記共振エネルギを前記空胴部とウィンドウで形成される気体充填材を含有するエンベロープに導くステップと、
（ｃ）発光の原因となる共振エネルギと前記気体充填材とを相互反応させてプラズマを生成するステップとで構成され、
前記マイクロ波の周波数は、０．５〜３０ＧＨｚであり、
前記導波管の少なくとも一辺の寸法は、前記マイクロ波の周波数の半波長の整数倍であ
ることを特徴とする誘電体導波管を有するプラズマランプの発光方法。
【請求項３５】
さらに、前記ウィンドウを通じて放出した前記光を導くステップを備えたことを特徴とする請求項３４に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプの発光方法。
【請求項３６】
さらに、プラズマによって生じた熱を前記外面から放熱するステップを備えたことを特徴とする請求項３４に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプの発光方法。
【請求項３７】
（ｄ）前記導波管内のマイクロ波エネルギの振幅および位相のサンプルをとるステップと、
（ｅ）サンプルの対象の前記エネルギが最大となるまで前記マイクロ波エネルギの周波数を調整するステップとを備えたことを特徴とする請求項３４に記載の誘電体導波管を有するプラズマランプの発光方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明の技術分野は、光を発する装置および方法に関するものであり、より具体的には、無電極プラズマランプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本出願は、米国仮出願「プラズマランプ」（２０００年７月３１日出願、第６０／２２２０２８号）、および米国出願「誘電体導波管を有するプラズマランプ」（２００１年３月１５日出願、第０９／８０９７１８号）に対する優先権を主張するものであって、その両者を参照のため本明細書に引用する。
【０００３】
【特許文献１】
米国特許第４、９５４、７５５号（リンチ等）
【特許文献２】
米国特許第４、９７５、６２５号（リンチ等）
【特許文献３】
米国特許第４、９７８、８９１号（ユリー等）
【特許文献４】
米国特許第５、０２１、７０４号（ウォルター等）
【特許文献５】
米国特許第５、４４８、１３５号（シンプソン）
【特許文献６】
米国特許第５、５９４、３０３号（シンプソン）
【特許文献７】
米国特許第５、８４１、２４２号（シンプソン等）
【特許文献８】
米国特許第５、９１０、７１０号（シンプソン）
【特許文献９】
米国特許第６、０３１、３３３号（シンプソン）
【０００４】
無電極プラズマランプは、点状の明るく白い光源となる。無電極プラズマランプは電極を用いないので、多くの場合、他のランプより寿命が長い。従来技術による無電極プラズマランプは、共通した特長を有している。例えば、米国特許第４，９５４，７５５号（リンチ等）、第４，９７５，６２５号（リンチ等）、第４，９７８，８９１号（ユリー等）、第５，０２１，７０４号（ウォルター等）、第５，４４８，１３５号（シンプソン）、第５，５９４，３０３号（シンプソン）、第５，８４１，２４２号（シンプソン等）、第５，９１０，７１０号（シンプソン）、第６，０３１，３３３号（シンプソン）がその例であり、参照のため本明細書に引用する。プラズマランプでは、ランプバルブを囲む空洞部にマイクロ波エネルギを導く。ランプバルブは、プラズマを生成して発光する混合物質を含有している。
【０００５】
これらの特許によるプラズマランプは、電極ランプよりも明るく寿命が永く安定した光源を提供することを目的としている。多くの応用場面において、より明るく小型で安価で信頼性があり長寿命で安定性のある光源が望まれてきたが、そのような光源は、本発明以前には実現されなかった。かかる応用場面には、例えば、街灯や緊急用車両への応用がある。非常に明るく低コストで耐久性がある光源が必要とされている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術において、気体が充填された無電極プラズマランプの空胴部は、部分的には金属メッシュで製造される。金属メッシュは、空胴部内にマイクロ波エネルギを含むとともに多量の可視光を放出することから用いられる。マイクロ波エネルギは、一般的に磁電管あるいはソリッドステート電子装置によって生成され、一つ以上導波管を通じて空胴部に導かれる。気体充填の空胴部に導かれると、所定周波数のマイクロ波エネルギが共振する。実際の共振周波数は、空胴部の形状やサイズに左右される。記載の誘電体導プラズマランプを作動させるための周波数には許容範囲があるが、実際には１〜１０ＧＨｚのマイクロ波周波数に限定される。
【０００７】
空洞部において共振状態を作り出す必要があるので、空胴部は、記載の誘電体導プラズマランプ電力に用いられるマイクロ波エネルギ波長の半分より小さくてはならない。そのため、空胴およびプラズマランプ自体のサイズは下限がある。しかしながら種々の応用（例えば高解像度のモニタ、高照度ランプ、プロジェクタＴＶ）においては、かなり大きなサイズとなる必要である。したがってプラズマランプにおいては、従来技術のような空洞部の最小限サイズに拘束されない必要がある。
【０００８】
従来技術においては、バルブは、一般的に空胴部内においてマイクロ波エネルギによって作られる電界の最大点に配置される。マイクロ波と干渉すると記載の誘電体導プラズマランプの効率を減少させるので、バルブの支持体は、共振マイクロ波と干渉しなサイズ・組成物であるのが好ましい。そこで、一般的にバルブは石英から作られる。しかし、プラズマ温度が摂氏数千度となって石英壁温が１０００度付近になりうるため、石英バルブは破損しやすい。さらに、石英バルブは、長期間にわたる機械的安定度や光学的・電気的性質の観点からみて不安定である。したがって、上記問題を解決できるのみならず長期にわたってそのスペクトル特性が安定している光源の需要がある。
【０００９】
従来のプラズマランプにおいては、バルブは一般的に、発光体と結合した希ガス、硫黄およびセレンを含む第２元素あるいは化合物、硫黄もしくはセレンを含む化合物、または一ハロゲン化金属を包含する。バルブの内容物を強度のマイクロ波エネルギに曝すと、希ガスがプラズマになる。プラズマ内の自由電子によって、バルブ内の発光体が励起される。発光体が低電子状態に戻ると、エネルギが放出される。発光スペクトラムはバルブ内の発光体の特性に左右される。発光体は可視光を発するものが通常選択される。
【００１０】
上記タイプのプラズマランプにおいては、希ガスをプラズマにするため強度のマイクロ波が要求される。しかし、プラズマを発生させ維持するエネルギの半分以上が熱として失われ、熱損失の問題が生じる。バルブにホットスポットが発生し、記載の誘電体導プラズマランプの効率に影響を及ぼす。そのホットスポットを減少させるため、記載の誘電体導プラズマランプを回転させ記載の誘電体導プラズマランプ内のプラズマ分配効率を改善する方法や、記載の誘電体導プラズマランプの大気流を吹つける方法が提案されてきた。しかし、これらの方法では別の構造が加わるため、そのサイズ・コストが増加することになる。したがって、より少ないエネルギでプラズマを発生・維持でき、また放熱のための付加構造が少ないプラズマランプの必要がある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
そこで、この発明は、上述不都合を除去するために、その胴体（１０４）が所定寸法の固体の誘電物質で構成される導波管（１０３）を設け、前記導波管は、対向側面（１０３Ａ、１０３Ｂ）とその対向面と垂直の対向側面（１０３Ｃ、１０３Ｄ）で形成され、閉じた空洞部（１０５）を、前記側面（１０３Ａ）から胴体（１０４）側へ懸吊して設け、前記導波管は、所定作動周波数・強度のマイクロ波エネルギ放射の供給源（１１５）に連結して設け、前記所定寸法および所定周波数は、少なくとも一つのエネルギ最大点を有する少なくとも一つの共振モードで前記導波管が共振するように選択され、前記マイクロ波エネルギが前記共振導波管によってバルブに導かれると発光プラズマを生成する気体充填材（１０８）を含有するバルブ（１０７）を、前記空洞部に設け、前記導波管および前記バルブは一体的に構成されることを特徴とする。
【００１２】
また、所定寸法の誘電体導波管（６１１）を設け、第１および第２マイクロ波供給部（６１３、６１５）を、前記導波管と、少なくとも一つのエネルギ最大点を有する少なくとも一つの共振モードで前記導波管が共振するマイクロ波エネルギを発する供給源（６１７）との間に連結して設け、フィードバック手段（６１２）を、前記供給部（６１５）と前記供給源（６１７）との間に連結して設け、前記マイクロ波エネルギが前記共振導波管によってバルブ空洞部に導かれると発光プラズマを生成する気体充填材（１０８）を含有するバルブ空洞部（６１９）を設け、前記導波管および前記バルブ空洞部は一体的に構成されることを特徴とする。
【００１３】
更に、所定寸法の誘電体導波管（４４７）を設け、少なくとも一つのマイクロ波供給部（４４３）を、前記導波管と、少なくとも一つのエネルギ最大点を有する少なくとも一つの共振モードで前記導波管が共振するマイクロ波エネルギを発する供給源（６１７）との間に連結して設け、前記マイクロ波エネルギが前記共振導波管によって各バルブ空洞部に導かれると発光プラズマを生成する気体充填材（１０８）をそれぞれ含有する第１、第２バルブ空洞部（４４５、４４６）を設け、前記導波管および前記第１、第２バルブ空洞部は一体的に構成されることを特徴とする。
【００１４】
更にまた、
（ａ）周波数と強度が特徴のマイクロ波エネルギを、その胴体が所定寸法の固体誘電物質で構成される導波管に導くステップであって、前記導波管は、外面と、その外面から前記導体側に懸吊する空洞部とを有しており、前記周波数および寸法は、少なくとも一つのエネルギ最大点を有する少なくとも一つの共振モードで前記導波管が共振するように選択されるステップと、
（ｂ）前記共振エネルギを前記空胴部とウィンドウで形成される気体充填材を含有するエンベロープに導くステップと、
（ｃ）発光の原因となる共振エネルギと前記気体充填材とを相互反応させてプラズマを生成するステップとで構成されることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明は、例えば、より明るく、スペクトルが安定し、よりエネルギ効率が高く、ランプ全体サイズがより小型であり、寿命が長いという点で、背景技術よりも有利な無電極プラズマランプを提供するものである。本発明は、空気充填の共振空胴部を備えた導波管ではなく、その胴体が空気よりも誘電率が高くほぼ固体の誘電物質からなる導波管を用いたものである。誘電率が高く「誘電体導波管」は背景技術の導波管よりもかなり小型に構成できるので、これまでサイズのため使用不可能あるいは非実用的であった多くの場面に応用使用できる。
【００１５】
本発明の一態様として、ランプにおいては、導波管の胴体がほぼ固体の誘電物質からなり、空胴部が胴体側に延長している部位から懸吊している側面を有している。導波管は、マイクロ波エネルギの供給源に連結される。その供給源の動作周波数および胴体寸法は、導波管が一つ以上の最大エネルギ点を有する一つ以上の共振モードで共振するように選択される。さらにランプは、気体充填材を含有する空胴部にバルブを備えている。気体充填材は、マイクロ波エネルギが共振導波管によってバルブに伝導されるときに発光プラズマを生成する。導波管およびバルブは、単一構造に一体的に組み込まれる。
【００１６】
本発明の別の態様として、ランプには誘電体導波管を設け、導波管とマイクロ波エネルギ供給源との間に二つのマイクロ波供給部を連結して設けている。供給源の動作周波数および導波管の寸法は、導波管が一つ以上の最大エネルギ点を有する一つ以上の共振モードで共振するように選択される。さらに、ランプは、フィードバック手段を一つの供給部とエネルギ供給源の間に連結して設けている。さらにランプは、気体充填材を含有する空胴部にバルブを備えている。気体充填材は、マイクロ波エネルギが共振導波管によってバルブに伝導されるときに発光プラズマを生成する。導波管およびバルブは、単一構造に一体的に組み込まれる。フィードバック手段に連結される供給部は、導波管を探査し、即座に場振幅および位相のサンプルをとり、このサンプル情報をフィードバック手段を経て供給源に提供する。その供給源は、共振エネルギを増幅するとともに動的に動作周波数を調整し、導波管内の少なくとも一つの共振モードを維持することで、ランプが誘電共振オシレータモードで動作するようにする。
【００１７】
さらに、本発明の別の態様では、ランプに、誘電体導波管を設け、少なくとも一つのマイクロ波供給部を導波管とマイクロ波エネルギの供給源との間の連結して設けている。供給源の動作周波数および導波管の寸法は、導波管が一つ以上の最大エネルギ点を有する一つ以上の共振モードで共振するように選択される。さらにランプは、気体充填材を含有する空胴部にバルブを備えている。気体充填材は、マイクロ波エネルギが共振導波管によってバルブに伝導されるときに発光プラズマを生成する。導波管およびバルブは、単一構造に一体的に組み込まれる。
【００１８】
またさらに、本発明の別の態様では、本発明による発光方法は、（ａ）固体の誘電物質で構成される胴体と外面と外面から懸吊する空胴部とを有する導波管にマイクロ波エネルギを導くステップであって、前記導波管は、少なくとも一つのエネルギ最大点を有する少なくとも一つの共振モードで共振している前記ステップと、（ｂ）前記空胴部と気体充填材を含むウィンドウとで定まる共振エネルギをエンベロープに導くステップと、（ｃ）共振プラズマと前記気体充填材とを相互作用させて発光させるというプラズマを生成するステップと、（ｄ）前記導波管内のマイクロ波エネルギ振幅と位相のサンプルをとるステップと、（ｅ）前記サンプルの対象のエネルギが最大となるようマイクロ波周波数を調整するステップとからなる。
【００１９】
【実施例】
図１は、誘電体導波管一体型プラズマランプ１０１の好適な実施例を示すものである。誘電体導波管一体型プラズマランプ１０１は、マイクロ波供給源１１５と、胴体が固体の誘電物質で構成される導波管１０３と、それら放射線供給源１１５と導波管１０３とを連結するマイクロ波供給部１１７とで構成される。導波管１０３は、対向側面１０３Ａ・１０３と、それらの側面と直角の対向側面１０３Ｃ・１０３Ｄとで画定される。ここで使用している「導波管」とは、少なくとも部分的に電磁エネルギを閉じ込める特性・目的を有する装置を指す。ここで使用している「誘電体導波管」とは、その胴体が固体の誘電物質で構成される導波管を指す。さらに、誘電体導波管一体型プラズマランプ１０１は、バルブ１０７を導波管１０３の対向側面１０３Ａ近傍かつ供給部１１７の反対側に設け、所定作動振動数・強度のマイクロ波エネルギを受けるとプラズマを生成して発光する希ガスおよび発光体を含む気体充填材１０８を含有している。
【００２０】
供給源１１５は、供給部１１７を経て導波管１０３にマイクロ波エネルギを送る。導波管は、マイクロ波エネルギを封入するとともに、マイクロ波エネルギを対向側面１０３Ａから胴体１０４側へ懸吊する閉じた空胴部１０５およびバルブ１０７に導くものである。このマイクロ波エネルギは、希ガス原子を解放し、プラズマを生成する。この自由電子は、発光体を励起する。発光体が脱励起すると発光する。以下明らかになるが、ここに開示される誘電体導波管一体型プラズマランプの形態のそれぞれ異なる実施例は、より明るく、スペクトルが安定し、エネルギ効率が高く、ランプサイズ全体が小さくなり、長寿命であるといった点で、背景技術のプラズマランプよりも有利である。
【００２１】
図１のマイクロ波供給源１１５は、ソリッドステート電子装置として概略的に示されているが、クライストロンやマグネトロンといった一般的に知られたその他装置も、０．５〜３０ＧＨｚで作動するならばマイクロ波供給源として用いることができる。マイクロ波供給源１１５として好ましい振動数範囲は、約０．５〜約１０ＧＨｚである。
【００２２】
マイクロ波供給源１１５の熱感度によるが、マイクロ波供給源は、動作中には通常約７００℃〜約１０００℃に至るバルブ１０７と熱的に分離してもよい。バルブ１０７をマイクロ波供給源１１５と熱的に分離すると、高熱による供給源１１５劣化回避の利点が生じる。そのマイクロ波供給源１１５を熱分離するには、マイクロ波供給源１１５と導波管１０３との間の所定空間１１６を占めるように絶縁体や真空隙間を用いるといったように、一般的に知られた方法でなすことができる。もし空間１１６を設けた場合、適切なマイクロ波供給部は、マイクロ波供給源１１５と導波管１０３とに連結するように使用する。
【００２３】
図１のように、マイクロ波供給源１１５から導波管１０３にマイクロ波エネルギを供給する供給部１１７には、同軸探針を設けるのが好ましい。ただし、一般に知られた種々の型の、例えばマイクロストリップ線路やフィン線路構造といったマイクロ波供給部を用いてもよい。
【００２４】
熱、振動、老化あるいは衝撃といった考慮すべき要因があるので、誘電物質にマイクロ波エネルギを供給するにあたっては、接触機構１２１を用いて供給部１１７と導波管１０３とを接触継続させるのが好ましい。接触機構１２１は、導波管の供給部による圧力を一定にし、マイクロ波エネルギが導波管１０３に導かれずマイクロ波供給部１１７を通じて後ろに反射される可能性を最小にする。定圧にする際には、接触機構１２１は、加熱や衝撃で生じるマイクロ波供給部１１７や導波管１０３の小さな寸法変化を補うように機能する。接触機構１２１は、図１のようなバネを付加した装置でよいが、ベローズ型装置や定圧を連続維持して着実にマイクロ波エネルギを伝導できるその他の一般的な装置でよい。
【００２５】
供給部１１７と導波管１０３とを連結する場合には、金属材料１２３を供給部１１７との接触点で導波管１０３に直接重ねて密接に接触させるのが好ましい。この金属材料１２３は、連結の妨げとなる隙間を排除するものであり、金、銀あるいはプラチナで構成されるのが好ましいが、その他の導電材料を用いてもよい。金属材料１２３は従来技術の方法で重ねてよく、例えば金属材料１２３を液体として堆積しそれを炉で燃焼して固接する方法がある。
【００２６】
図１の導波管１０３は矩形プリズム形状であるが、円筒プリズム形状や球形状、あるいは電磁シミュレーション機器で共振周波数が定まりマイクロ波エネルギを供給部１１７からバルブ１０７へ効率よく導くことができる複雑で不規則な形状でもよい。導波管の実際の寸法は、マイクロ波エネルギの作動周波数や導波管胴体１０４の誘電率に応じて変更してよい。
【００２７】
好適な一実施態様においては、導波管胴体の容量は、約１２，５００ｍｍ３であり、誘電率は約９であり、また動作周波数は約２．４ＧＨｚである。この導波管胴体は、背景技術によるプラズマランプの導波管よりかなり小型である。したがって、本発明の導波管のサイズが小型であるため、以前のサイズ限界を克服でき導波管をより幅広く種々の応用に用いることができることから、従来技術よりかなり進歩している。さらに誘電率が高い材料を用いる場合、導波管をより小型になしうる。小型化による目に見える利点以外については、より高出力密度・少損失を達成し得、ランプ点灯が容易になることがあげられる。
【００２８】
その形状やサイズとは関係なく、導波管の胴体１０４は、例えば以下のような特性を有する固体の誘電物質を含んでいる。すなわち（１）約２を超える比誘電率、（２）約０．０１以下の損失正接、（３）約２００℃を超える故障温度の耐熱衝撃性、（４）約２００キロボルト／インチを越える直流破壊限界値、（５）約１０−５／℃未満の熱膨張係数、（６）ゼロのあるいは僅かにマイナスの誘電率の温度係数、（７）好適な温度範囲（約−８０℃〜約１０００℃まで）にわたる化学量安定性、（８）約２Ｗ／ｍＫ（ワット／ミリケルビン）の熱伝導率がその特性である。
【００２９】
アルミナ、ジルコニア、チタン酸塩、これらの変形・組合せを含む一定のセラミックは、上記の特性を満たしうるものであり、それらの電気的・熱機械的性質により使用可能である。あるいは、誘電物質はシリコーン油でもよい。好ましくは、胴体１０４は、かなりの熱量を有し熱の分配・放出を補助するとともに、供給源１１５とバルブ１０７とを熱的に分離している。
【００３０】
図２Ａに示すように、誘電体導波管一体型プラズマランプ２００は、その胴体２０４が固体誘電物質で構成される導波管２０３と、側面２０３Ａと、側面２０３Ａから胴体２０４側に懸吊する閉じた空胴部２０５とを備えている。バルブ２０７は、空胴部内に配置される。さらに、プラズマランプ２００には、マイクロ波供給部２０９が空胴部２０５の向かい側に設けられている。好ましくは、バルブ２０７は、マイクロ波エネルギの電界が最大となる供給部２０９と同一平面上に設けられている。電界が最大となる部位は導波管２０３で複数あるところ、バルブおよびバルブ空胴部をある最大点に配置し、供給部をその他の最大点に配置してもよい。供給部およびバルブを最大電界部位に配置することで、バルブへ伝わるエネルギ量が最大になる。
【００３１】
図２Ｂに示すように、誘電体導波管一体型プラズマランプ２２０の胴体２２４は、固体誘電物質で構成される本体２２４Ａを備えている。さらに、胴体２２４は、本体２２４Ａから外側へ突出し閉じた空胴部２２５を形成する凸形状部２２４Ｂを備えている。プラズマランプ２００と同様に、バルブ２２７は空胴部２２５内かつマイクロ波供給部２２１の反対側に配置される。プラズマランプ２００とは対照的に、バルブ２２７は、導波管２２３内の一つ以上の電界の最大点で供給部２２１の平面以外の平面に配置してもよい。
【００３２】
図１に戻るが、導波管１０３の側面１０３Ａ、１０３Ｂ、１０３Ｃ、１０４Ｄは、側面１０３Ａから空胴１０５を形成する胴体１０４側に懸吊する面を除いては、作動周波数範囲のマイクロ波を反射するように薄い金属被覆１１９でコーティングされている。金属被覆の全体反射率によって、導波管内のエネルギレベルが定まる。より多くのエネルギが導波管内に貯留されればされるほど、プラズマランプ１０１の効率がより高くなる。また、好ましくは金属被覆１１９によって、感知しにくい程の放射漏れを抑制するとともに、迷走するマイクロ波電界をかなり減少する。
【００３３】
プラズマランプ１０１を動作するマイクロ波の波長よりかなり短くすることで、マイクロ波のバルブ空胴部１０５からの漏れは、かなり減少する。例えば、空胴部を密封するウィンドウの対角長さは、（自由空間で）用いられるマイクロ波の波長の半分よりかなり短くなる必要がある。
【００３４】
さらに図１によると、バルブ１０７は、外壁１０９、内面１１０、およびウィンドウ１１１で構成される。あるいは、空洞部壁はバルブの外壁として作用する。バルブ１０７の構成部品は、例えばセラミックやサファイヤといった少なくとも一つの誘電物質を含むのが好ましい。本発明の一形態においては、バルブのセラミックは、導波管の胴体１０４に用いる材料と同じものである。バルブ１０７には、誘電物質が好適である。なぜなら、バルブ１０７が導波管胴体１０４で囲まれ、また誘電物質がマイクロ波エネルギとバルブ１０７の気体充填材１０８とが容易に結合するように補助するからである。
【００３５】
図１において、外壁１０９はシール１１３を用いてウィンドウ１１１と連結し、気体充填材１０８を含有するバルブエンベロープ１２７を形成する。プラズマ生成気体は、希ガスである。発光体は、数多くの元素や周知の化合物の一つで構成される蒸気である。その周知の化合物としては、例えばイオウ、セレニウム、イオウまたはセレニウムを含む化合物、あるいは例えば臭化インジウム（ＩｎＢｒ３）といったハロゲン化金属の一つがあげられる。
【００３６】
気体充填材をバルブ１０７内に封じ込めるため、シール１１３は気密シールであるのが好ましい。外壁１０９は、その白色、温度安定度、低有孔率、熱膨張係数から、アルミナで構成されるのが好ましい。ただし、そのような性質を一つ以上有するその他の物質でもよい。好ましくは、外壁１０９は、空胴部１０５からウィンドウ１１１への光反射量を最大限にする輪郭形状となる。例えば、外壁１０９は放物線の形状となっている。ただし、ウィンドウ１１１へ光を導くことを容易にするその他の形状の壁を用いてもよい。
【００３７】
ウィンドウ１１１は、その光輝部透過率のためおよびその熱膨張係数がアルミナの熱膨張係数とかなり合致するため、サファイヤで構成される。あるいは、光透過率や熱膨張係数の性質が同様の他の物質をウィンドウ１１１に用いてもよい。あるいは、ウィンドウ１１１は、放出光を集中するレンズとなっている。
【００３８】
上記のように、動作の際にバルブ１０７の温度は約１０００℃にまで至る。そのような状況下では、胴体１０４は、バルブ１０７の放熱器（ヒートシンク）として作用する。プラズマランプ１０１の種々の構成要素に対する熱負荷や熱誘発圧力を減少することによって、プラズマランプの寿命は典型的な背景技術による無電極ランプの寿命以上に延びる。図１のように、複数の放熱フィン１２５を側面１０３Ａ・１０３Ｃ・１０３Ｄに配置することによって、熱を効果的に放出できる。プラズマランプ２２０（図２Ｂを参照のこと）において、空胴部２２５が胴体２２４の主要部分２２４Ａから離れて延伸する。それにより、複数の放熱フィン２２２をバルブ２２７近傍に配置して熱が効果的に放出される。
【００３９】
あるいは、導波管の胴体１０４は、一般的に高温では安定しない例えばチタン酸塩といった誘電体である。その実施態様においては、胴体とバルブとの間に熱障壁を介在して設けることで、導波管１０３がバルブ１０７で発生する熱から遮蔽される。あるいは、外壁１０９は、熱障壁として作用するＮＺＰセラミック（ＮａＺｒ２（ＰＯ４）３）のような低熱伝導率の物質を含有している。
【００４０】
図３Ａおよび図３Ｂは、真空の隙間が熱障壁としての作用する、誘電体導波管一体型プラズマランプ３００を示すものである。図３Ａに示すように、プラズマランプ３００のバルブ３１３は、バルブ空胴部３１５内に配置され、真空の隙間３１７によって導波管３１１の導体３１２とは分離している。その隙間の間隔は、マイクロ波伝播特性や、導波管胴体３１２およびバルブ３１３に用いる材料強度に応じて異なる。真空によって、バルブと導波管との間の熱伝達が最小限になる。
【００４１】
図３Ｂは、バルブ３１３、バルブ空胴部３１５、隙間３１７の拡大図である。隙間３１７の境界は、導波管３１１、バルブ支持体３１９、バルブ３１３によって画定される。バルブ支持体３１９は導波管３１１を密封するとともに、バルブ空洞部３１５の端に沿って延長する。バルブ支持体３１９は、バルブ３１３からの熱を放出を容易にするため高熱伝導率の材料、例えばアルミナで構成される。
【００４２】
バルブ３１３を配置する際に隙間３１７内を真空にするため、アクセスシール３２１は支持体３１９に埋め込んで設けている。バルブ３１３は、バルブ支持体３１９で支持されるとともに、それを密封する。ひとたび隙間３１７が真空になると、バルブ３１３と導波管３１１との熱伝達は、かなり減少する。
【００４３】
好ましくはプラズマランプ１０１、２００、２２０、３００は、０．５〜１０ＧＨｚのマイクロ波周波数で作動する。この動作周波数は、導波管のサイズ・形状による一つ以上の共振モード（波動形態）を励起するよう予め選択され、それにより導波管内において一つ以上の最大電界を確立する。共振空胴として用いる場合、導波管の少なくとも一辺の寸法は、半波長の整数倍であるのが好ましい。
【００４４】
図４Ａ〜４Ｃは、それぞれ異なる共振モードで動作する３つの誘電体導波管一体型プラズマランプ（４１０、４２０、４３０）の実施例を示すものである。それぞれの図面は、それぞれの共振モードで作動している誘電体導波管一体型プラズマランプ１０１、２２０、２２０、３００を示している。図４Ａにおいて、プラズマランプ４１０は第１共振モード４１１で作動しており、矩形プリズム形状の導波管４１７の一軸の長さは、マイクロ波エネルギ波長の半分となっている。図４Ｂにおいて、プラズマランプ４２０は共振モード４２１で作動しており、矩形プリズム形状の導波管４２７の軸の長さは、マイクロ波エネルギ波長と同じになっている。図４Ｃにおいて、プラズマランプ４３０は共振モード４３１で作動しており、矩形プリズム形状の導波管４３７の一軸の長さは、マイクロ波エネルギ波長の２分の３となっている。プラズマランプ４３０には、導波管へエネルギを供給する二つの供給部４３３、４３４を設けている。これら供給部４３３、４３４は、単一のマイクロ波供給源と連結してもよく、また供給源を分離してそれぞれに連結してもよい。さらにプラズマランプ４１０、４２０、４３０は、バルブ空胴部４１５、４２５、４３５を備えている。ここで使用している「バルブ空胴部」とは、閉じた空胴部とその空胴部内のバルブとの組合わせを指すものであり、所定作動周波数・強度のマイクロ波エネルギを受けるとプラズマを生成して発光する希ガス及び発光体を含む気体充填材を含有している。
【００４５】
プラズマランプ４１０、４２０、４３０において、各バルブ空胴部４１５、４２５、４３５、および各供給部４１３、４２３、（４３３、４３４）は、それぞれ導波管４１７、４２７、４３７において電界が最大となる位置に配置されるのが好ましい。ただし、バルブ空胴部および供給部は、必ずしも同一平面上に配置する必要はない。
【００４６】
図４Ｄはプラズマランプ４４０を示すものであり、導波管４４７にマイクロ波エネルギを供給する単一のエネルギ供給部４４３と、第１、第２バルブ空胴部４４５・４４６とは、導波管４４７においてそれぞれ電界が最大となる位置に設けている。図４Ｄは、各共振モードで動作するプラズマランプ１０１、２００、２２０、３００を示すものであるが、二つのバルブ空胴部を有するためプラズマランプが改変されている。
【００４７】
図５Ａ〜５Ｃは、誘電体導波管一体型プラズマランプ５１０、５２０、５３０が示されており、導波管５１７、５２７、５３７は円筒プリズム形状であり、それぞれ異なった共振モードで作動する。これらの図面は、各共振モードで動作するプラズマランプ１０１、２００、２２０、３００を示すものであるが、波動管が円筒形状であるためプラズマランプが改変されている。それぞれのプラズマランプにおいて、円筒の高さは、その直径より低い。その直径は、導波管内で共振するエネルギの半波長の最低次数のほぼ整数倍である。円筒の寸法をそのように限定すると、最低共振モードは円筒の高さに左右されないようになり、円筒の直径が導波管内におけるエネルギの基本波形モードを決定づけることになる。円筒の高さは、例えばサイズや熱損失の必要に応じて、最適化されている。図５Ａにおいては、マイクロ波供給部５１３は、第０種ベッセルモード（ｚｅｒｏｅｔｈ  ｏｒｄｅｒ  Ｂｅｓｓｅｌ  ｍｏｄｅ）５１１が最大となるバルブ空胴５１５のすぐ向かい側に配置される。図５Ｂにおいては、円筒導波管５２７の直径はほぼ１波長であり、第１種ベッセルモード５２１が励起される。供給部５２３は、電界が最大となる位置に設けられ、バルブ空胴部５２５の斜め向かいに配置されている。図５Ｃにおいては、円筒導波管５３７の直径はほぼ半波長の３倍であり、エネルギを導波管に供給する供給部５３３、５３４が配置されるところに二つの電界最大点がある。バルブ空胴５３５は、左右対称の二つの供給部間に配置される。通常、円筒状の導波管を有するプラズマランプにおいては、空胴部および供給部は、好ましくは導波管において電界が最大となる位置に配置される。
【００４８】
誘電体導波管を用いると、いくつか点で有利である。第１に、導波管導体を用いてバルブ内で発生する熱を放出できる。第２に、現在使用されている気体空洞部を備えたプラズマランプの場合よりも、誘電体導波管内の方がより高出力密度を達成できる。導波管に用いられる物質の誘電率によるが、誘電体導波管のエネルギ密度は、背景技術によるプラズマランプの空洞導波管におけるエネルギ密度より多少あるいはかなり高い。
【００４９】
ここで図１に戻ると、プラズマランプ１０１の導波管１０３内の高共振エネルギは、導波管の高いＱ値（Ｑは動作周波数と共振の周波数幅との比である）に対応し、それにより、マイクロ波エネルギの空胴１０５への漏れがほとんど感知されなくなる。空胴部１０５の漏れが多いと、エンベロープ１２７内の希ガスの準安定状態が破壊され、第１自由電子が生成される。自由電子の発振エネルギは、Ｉλ２と表される（Ｉはマイクロ波エネルギの循環強度であり、λは波長である）。したがって、マイクロ波エネルギが強ければ強いほど、自由電子の発振エネルギがより強度になる。気体のイオン化ポテンシャル、電子−中性衝撃より大きい発振エネルギにすることにより、プラズマ密度を有効に達成できる。
【００５０】
ひとたびプラズマランプ１０１でプラズマ生成されエネルギが吸収されると、プラズマの伝導率と吸収特性のため導波管の上記Ｑ値が減少する。Ｑ値の減少は、一般に導波管のインピーダンスの変化によるものである。プラズマ生成後において、バルブ空胴のプラズマによりバルブ空胴が共振エネルギを吸収しやすくなり、導波管の全体インピーダンスが変化する。このインピーダンス変化は、導波管の全体反射率を減少させることになる。供給部の反射率を波管の減少した反射率近傍に適合させることによって、プラズマ生成後でも十分に高いＱ値を得ることができ、プラズマが維持される。従って、エネルギ源へと戻る純反射率は、比較的低くなる。
【００５１】
プラズマによって吸収されるエネルギの多くは、最終的には熱として現れ、バルブの温度が１０００℃近くになりうる。また前述のように導波管を放熱器として用いる場合、その熱膨張のために導波管の寸法が変化しうる。もし導波管が膨張すると導波管内で共振するマイクロ波の周波数が変化し、共振が失われる。共振を維持するためには、導波管の少なくとも一辺の寸法は、マイクロ波供給源で発生するマイクロ波半波長の整数倍とならなければならない。
【００５２】
この寸法変化を補う本発明実施のプラズマランプの態様としては、導波管胴体の誘電物質の屈折率の温度係数が、熱膨張の係数とほぼ等しくかつ反対符号となっている。加熱による寸法変化は、屈折率の変化によって相殺され、共振モードが中断される可能性を減少する。そのような物質には、チタン酸塩がある。あるいは、加熱による寸法変化は、導波管の壁をテーパ状にして補うこともできる。
【００５３】
図６は、誘電共振オシレータモードで作動するプラズマランプ６１０を概略的に示すものであり、第１、第２マイクロ波供給部６１３、６１５は、誘電体導波管６１１（上記の形状のいずれの形状でもよい）とマイクロ波エネルギ源６１７とを連結している。エネルギ源６１７は、高ゲイン高出力の広帯域となっており、プラズマを放出可能である。さらに、プラズマランプ６１０は、バルブ空胴部６１９を備えている。
【００５４】
第１供給部６１３は、上記の他の発明形態通りに作動する。第２供給部６１５が導波管６１１を探査し、即座に電界（振幅や位相情報を含む）のサンプルをとり、フィードバックとしてその電界情報サンプルをエネルギ源６１７あるいは増幅器の入力側６１７Ａに提供する。導波管を探査する際に、第２供給部６１５が迷走する周波数のフィルタリングを行なうよう作用し、導波管内には共振周波数だけが残るようにする。
【００５５】
好ましくは、第１供給部６１３、第２供給部６１５、バルブ空胴部６１９は、それぞれ導波管６１１において電界が最大となる位置に配置される。第２供給部６１５により提供されるサンプル情報を用いて、エネルギ源６１７が導波管内の共振エネルギを増幅する。エネルギ源６１７はその出力周波数を調整し、一つ以上の導波管内の共振モードを動的に維持する。その完全な構造により、共振オシレータを構成する。このように、プラズマ生成による周波数の変化、熱による波動管寸法の変化、および熱効果による誘電率の変化を自動補正し、ランプの連続作動を可能にする。
【００５６】
また誘電共振オシレータモードにより、プラズマランプ６１０は、電源オフの後でも即時の再供給能力を有するようになる。前述のように、作動中の熱によって生じる熱膨張および／または誘電率の変化のために、導波管６１１の共振周波数が変化しうる。プラズマランプ６１０を運転停止すると、熱がゆっくり放出され、導波管の共振周波数が瞬間的に変化する。
【００５７】
しかし上記のように、共振オシレータモードのエネルギ源６１７が、導波管６１１の共振周波数の変化を自動的に補う。そのため、エネルギ源６１７が必要な帯域を有するとすれば、導波管６１１の始動特性に関係なく、エネルギ源６１７が自動的に補い、導波管６１１内の共振を達成する。このようにエネルギ源は、直ちに最適プラズマ生成周波数でプラズマランプにエネルギを供給する。
【００５８】
本発明の種々の実施態様が明らかになったが、本明細書による発明概念から逸脱せずに追加変更をなしうることは当業者にとって明らかである。したがって、本発明を本明細書に記載の態様に限定する意図はない。本発明は、全ての変更態様、同等構造、代替構造をカバーし、請求項に示される本発明の範囲に含まれることを意図している。
【００５９】
【発明の効果】
以上詳細に説明した如くこの本発明によれば、より明るく、スペクトルが安定し、よりエネルギ効率が高く、ランプ全体サイズがより小型であり、寿命が長いという点で、背景技術よりも有利な無電極プラズマランプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  誘電体導波管一体型プラズマランプの断面図であり、導波管の胴体は固体の誘電物質からなり、発光プラズマを含有するバルブを一体化している。
【図２Ａ】  別の実施例による誘電体導波管一体型プラズマランプ形態の断面図である。
【図２Ｂ】  別の実施例による誘電体導波管一体型プラズマランプ形態の断面図である。
【図３Ａ】  さらに別の実施例によるプラズマランプ形態の断面図であり、バルブは導波管とは熱的に分離されている。
【図３Ｂ】  図３Ａの拡大図である。
【図４Ａ】  矩形プリズム形状の誘電体導波管内における、異なる共振モードを示す図である。
【図４Ｂ】  矩形プリズム形状の誘電体導波管内における、異なる共振モードを示す図である。
【図４Ｃ】  矩形プリズム形状の誘電体導波管内における、異なる共振モードを示す図である。
【図４Ｄ】  矩形プリズム形状の誘電体導波管内における、異なる共振モードを示す図である。
【図５Ａ】  円筒（円筒）プリズム形状の円筒誘電体導波管内における、異なる共振モードを示す図である。
【図５Ｂ】  円筒（円筒）プリズム形状の円筒誘電体導波管内における、異なる共振モードを示す図である。
【図５Ｃ】  円筒（円筒）プリズム形状の円筒誘電体導波管内における、異なる共振モードを示す図である。
【図６】  誘電体導波管一体型プラズマランプの形態を示す図であり、フィードバック機構は、導波管電界を探査する供給部による情報をマイクロ波供給源に提供し、導波管内で共振するモードを動的に維持する。
【符号の説明】
１０１  誘電体導波管一体型プラズマランプ
１０３  導波管
１０５  空胴部
１０７  バルブ
１１５  マイクロ波供給源
１１７  マイクロ波供給部
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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