(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス繊維を主体繊維とした濾材において、該ガラス繊維の表面にアルキルケテンダイマーを付着形成させたことを特徴とするエアフィルタ用濾材。
【請求項２】
前記濾材はガラス繊維の接着のためにバインダー樹脂を含有し、且つ該バインダー樹脂とアルキルケテンダイマーの固形分重量比は１００／１〜１００／３０であることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項３】
ガラス繊維を主体繊維とした濾材において、未反応物、反応副生物、添加物の低分子量成分に由来するアウトガスの発生を低減するために、アルキルケテンダイマーを前記ガラス繊維の表面に付着形成させたことを特徴とするエアフィルタ用濾材。
【請求項４】
前記濾材はガラス繊維の接着のためにバインダー樹脂を含有し、且つ該バインダー樹脂とアルキルケテンダイマーを固形分重量比１００／１〜１００／３０で、前記ガラス繊維の表面に付着形成させたことを特徴とする請求項３記載のエアフィルタ用濾材。
【請求項５】
前記アルキルケテンダイマーは、構造式１におけるＲｍがＣｍＨ２ｍ＋１（ｍ≧１４）、且つＲｎがＣｎＨ２ｎ＋１（ｎ≧１４）であることを特徴とする請求項３又は４記載のエアフィルタ用濾材。
【構造式１】
0004895463.tif 000008
【請求項６】
ガラス繊維を主とする原料繊維を分散させたスラリーを湿式抄紙することによって湿紙を形成させる工程と、アルキルケテンダイマーを分散させた水溶液中又はバインダー樹脂とアルキルケテンダイマーを固形分重量比１００／１〜１００／３０で添加した混合液中に該湿紙を浸漬させるか、あるいはアルキルケテンダイマーを分散させた水溶液又はバインダー樹脂とアルキルケテンダイマーを固形分重量比１００／１〜１００／３０で添加した混合液を該湿紙に対し塗布あるいは霧吹きすることによって、該ガラス繊維表面にアルキルケテンダイマーを付着形成させる工程と、該ガラス繊維表面にアルキルケテンダイマーを付着形成させた湿紙を乾燥させる工程を有することを特徴とするアウトガス発生の低減が可能なエアフィルタ用濾材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明はエアフィルタ用濾材、特に半導体、液晶、バイオ・食品工業関係のクリーンルーム、クリーンベンチ等あるいはビル空調用エアフィルタ、空気清浄機用途などに使用されるエアフィルタ用濾材及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【背景技術】
半導体工場等のクリーンルームで使用されるエアフィルタ用濾材には通常必要に応じ、撥水性が付与される。ここで本発明における撥水性とは、ＭＩＬ−ＳＴＤ−２８２の測定法で規定されるものである。
【０００３】
濾材に撥水性を付与する目的としては、濾材をエアフィルタユニットに加工する際に使用するシール剤やホットメルト等のしみ込みを防ぐことや、濾材面に水がかかったり、温度変化により水分が結露したりした場合でも、そのまま濾材を利用できるようにすることなどが挙げられる。また、海塩粒子が多く存在するような環境下においては、捕集された塩分の潮解を防ぐため高撥水性を有する濾材が必要とされている。
【０００４】
ＭＩＬ規格においては、ＨＥＰＡ濾材の撥水性は５０８ｍｍＨ２Ｏ以上と規定されている。ただし、ＨＥＰＡ濾材全てがこの規格に準拠しているわけではなく、その使用状況により、適切な撥水性が設定される。また、１次側フィルタやビル空調用に使用される中性能濾材については特に撥水性の規定は無いが、前記の理由で撥水性が必要とされる場合があることは言うまでもない。
【０００５】
従来ガラス繊維を主体繊維とするエアフィルタ濾材への撥水性付与の方法としては、シリコーン樹脂の使用（特開平２−１７５９９７号公報）、あるいはフッ素樹脂とシリコーン樹脂の併用（特開平２−４１４９９号公報）などの方法が提案されている。
【０００６】
一方、近年の半導体製造工程ではＬＳＩの集積度向上に伴い、クリーンルームを構成するエアフィルタやその他構成部材から発生するｎｇ／ｍ３オーダーの微量ガス成分（以下アウトガスという）がシリコーンウエハーに付着し、半導体製品の歩留を下げる原因となり、大きな問題となっている。ここで問題とされるアウトガスの成分は、シリコーンウエハーに付着しやすい極性物質一般であるが、その中でも特に、低分子環状シロキサン類、可塑剤等に使用されるフタル酸エステル化合物、難燃剤等に使用されるリン酸エステル化合物、酸化防止剤等に使用されるフェノール系化合物などが問題視されている。
【０００７】
ところが、シリコーン系樹脂で構成される撥水剤、あるいはフッ素系樹脂で構成される撥水剤には、製造時の未反応物、反応副生物、添加物等の低分子量成分に由来する、前記の問題成分が多く含まれており、これらが濾材から通風使用時にアウトガスとして発生するため、その改善が要望されていた。
【０００８】
この問題を解決する手段として、非シリコーン系のパラフィンワックス系撥水剤を使用する方法（ＷＯ９７／０４８５１）が提案されているが、パラフィンワックスはかなり疎水性の強い物質であり、親水性のガラス繊維を湿式抄紙した濾材に付着させようとする場合、濾材上に均一に分布させることが難しく、撥水性を付与させるためにはかなり多くの量が必要となる。また、ここで撥水性の向上を目的に、撥水剤の使用量を多くした場合には、バインダー樹脂のガラス繊維の接着を阻害することによる濾材の強度低下等の問題が発生する。さらに、パラフィンワックス系撥水剤においても炭化水素類がアウトガスとして発生するため、前記問題成分に比べシリコーンウエハーへの付着率が低いとはいえ、付着すれば半導体の製品歩留を低下させるため、その量の低減が望まれていた。
【０００９】
【発明の開示】
本発明者らは、シール剤やホットメルト等の濾材へのしみ込みを防ぎ、濾材面に水がかかったり温度変化により水分が結露したりした場合でもそのまま濾材を利用でき、または海塩粒子が多く存在するような環境下においても捕集された塩分の潮解を防ぐことができる高撥水性を有する濾材を提供するため、さらには通風使用時に発生するアウトガス量が少なく十分な強度を有する濾材を提供するため鋭意研究を行なった結果、ガラス繊維を主体繊維とした濾材において、ガラス繊維の表面にアルキルケテンダイマーを付着形成させることにより従来品と比較し極めて特徴的なエアフィルタ用濾材が得られることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【００１０】
本発明の課題は、ガラス繊維を主体繊維とする濾材において、ガラス繊維の表面にアルキルケテンダイマーを付着形成させることで、通風使用時に発生するアウトガス量が少なく、かつ、ビル空調用、半導体工場等用途を問わず、高い撥水性と十分な強度を有するエアフィルタ用濾材を提供することである。
【００１１】
また本発明の課題は、アルキルケテンダイマーの種類をさらに規定することでアウトガス量をより少なくしたエアフィルタ用濾材を提供することである。
【００１２】
さらに本発明の課題は、上記のエアフィルタ濾材の合理的な製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するための解決手段は下記の通りである。すなわち、請求項１記載の発明は、ガラス繊維を主体繊維とした濾材において、該ガラス繊維の表面にアルキルケテンダイマーを付着形成させたことを特徴とするエアフィルタ用濾材である。
【００１４】
請求項２記載の発明は、前記濾材はガラス繊維の接着のためにバインダー樹脂を含有し、且つ該バインダー樹脂とアルキルケテンダイマーの固形分重量比は１００／１〜１００／３０であることを特徴とする請求項１記載のエアフィルタ用濾材である。
【００１５】
請求項３記載の発明は、ガラス繊維を主体繊維とした濾材において、未反応物、反応副生物、添加物の低分子量成分に由来するアウトガスの発生を低減するために、アルキルケテンダイマーを前記ガラス繊維の表面に付着形成させたことを特徴とするエアフィルタ用濾材である。
【００１６】
請求項４記載の発明は、前記濾材はガラス繊維の接着のためにバインダー樹脂を含有し、且つ該バインダー樹脂とアルキルケテンダイマーを固形分重量比１００／１〜１００／３０で、前記ガラス繊維の表面に付着形成させたことを特徴とする請求項３記載のエアフィルタ用濾材である。
【００１７】
請求項５記載の発明は、前記アルキルケテンダイマーは、構造式１におけるＲｍがＣｍＨ２ｍ＋１（ｍ≧１４）、且つＲｎがＣｎＨ２ｎ＋１（ｎ≧１４）であることを特徴とする請求項３又は４記載のエアフィルタ用濾材である。
【構造式１】
【００１８】
0004895463.tif 000002
【００１９】
請求項６記載の発明は、ガラス繊維を主とする原料繊維を分散させたスラリーを湿式抄紙することによって湿紙を形成させる工程と、アルキルケテンダイマーを分散させた水溶液中又はバインダー樹脂とアルキルケテンダイマーを固形分重量比１００／１〜１００／３０で添加した混合液中に該湿紙を浸漬させるか、あるいはアルキルケテンダイマーを分散させた水溶液又はバインダー樹脂とアルキルケテンダイマーを固形分重量比１００／１〜１００／３０で添加した混合液を該湿紙に対し塗布あるいは霧吹きすることによって、該ガラス繊維表面にアルキルケテンダイマーを付着形成させる工程と、該ガラス繊維表面にアルキルケテンダイマーを付着形成させた湿紙を乾燥させる工程を有することを特徴とするアウトガス発生の低減が可能なエアフィルタ用濾材の製造方法である。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１〜４記載の発明によれば、撥水剤として使用する分子量の大きいアルキルケテンダイマーがほとんど揮発性を有さないため、通風時に発生するアウトガス量が極めて少ないエアフィルタ用濾材を提供することができた。さらに分散性のよいアルキルケテンダイマーによって、少量の添加においてもシリコーン樹脂やフッ素樹脂と同等もしくはそれ以上の高い撥水性を付与させることができた。
【００２１】
請求項５記載の発明によれば、特にアウトガス発生量の低いエアフィルタ用濾材を提供することができた。
【００２２】
請求項６記載の発明によれば、ガラス繊維表面にアルキルケテンダイマーを均一に付着形成させることができるので、少量のアルキルケテンダイマーの添加でシリコーン樹脂やフッ素樹脂と同等もしくはそれ以上の高い撥水性を有し、かつ十分な強度を有するエアフィルタ用濾材の製造方法を提供することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明で主体繊維として使用するガラス繊維は、必要とされる濾過性能やその他物性に応じて、種々の繊維径や繊維長を有する極細ガラス繊維やチョップドガラス繊維の中から自由に選ぶことができる。また、半導体工程の汚染を防止する目的で、ローボロンガラス繊維やシリカガラス繊維を使用することもできる。さらに副資材として、天然繊維や有機合成繊維などをガラス繊維中に配合しても差し支えない。
【００２４】
本発明で使用するアルキルケテンダイマーは、木材パルプを主体繊維とする紙において、インキのしみ込みを防止するサイズ剤として広く使用されているものであり、例えば炭素数１６のパルミチン酸、あるいは炭素数１８のステアリン酸を原料として、酸塩化物を経由して、これら脂肪酸を反応させて二量体のアルキルケテンダイマーとしたものであり、構造式２により表される。
【構造式２】
【００２５】
0004895463.tif 000003
【構造式３】
【００２６】
0004895463.tif 000004
【００２７】
このようにして得られたアルキルケテンダイマーの分子量は少なくとも４７６以上となり、また副生成物として数％存在する構造式３で表される酸無水物は分子量４９４以上となる。これらの成分はともに高分子量であるため、アウトガスとして発生する可能性はきわめて低い。
【００２８】
また本発明に係るアルキルケテンダイマーは、構造式２のＲで表記した部分が、Ｃ１８Ｈ３７またはＣ２０Ｈ４１である構造のものも含む。なお、この場合の副生成物は、構造式３においてＲがＣ１８Ｈ３７またはＣ２０Ｈ４１である構造のものとなる。
【００２９】
本発明に係るアルキルケテンダイマーは、構造式４を用いて一般式として表記することができる。
【構造式４】
【００３０】
0004895463.tif 000005
【００３１】
構造式２を用いて例示したアルキルケテンダイマーは、構造式４において、ｍ、ｎ＝１４または１６の場合ということが言え、構造式２のＲで表記した部分が、Ｃ１８Ｈ３７またはＣ２０Ｈ４１である構造のアルキルケテンダイマーは、構造式４においてｍ、ｎ＝１８または２０の場合ということが言える。
【００３２】
本発明に係るアルキルケテンダイマーは、ｍ及びｎがいずれの正整数の場合も含む。但し、ｍ及びｎがそれぞれ１４以上の正整数であることが好ましい。ｍ及びｎがそれぞれ１４以上のＲｍとＲｎを有するアルキルケテンダイマーは、分子量が大きく、アウトガス発生量をより低くすることが出来るからである。一方、ｍ及びｎの上限については特に制限はない。但し、アルキルケテンダイマーの製造コストの観点から、ｍ及びｎが２２以下であることが現実的である。勿論、ｍ及びｎが２２より大きくなれば分子量がさらに大きくなり、アウトガス発生量をより低くすることが可能である。
【００３３】
アルキルケテンダイマーがサイズ効果を発現する機構としては、アルキルケテンダイマーがパルプ繊維を構成するセルロースの水酸基に共有結合的に反応することにより定着するものと考えられている。ところが、アルキルケテンダイマーをガラス繊維に付与させる場合には、ガラス表面での共有結合的な反応は起こりにくいものと考えられる。むしろこの場合においては、アルキルケテンダイマーが通常の疎水性物質と比較した場合かなり親水性であるために、湿式抄紙した親水性のガラス繊維表面に凝集することなく、均一に分布させることが可能であり、そのため、少量の添加においても高い撥水性を付与させることができるものと考えられる。
【００３４】
従来、アルキルケテンダイマーが、紙のサイズ性発現の目的以外に使用されている例はほとんどないが、前記アルキルケテンダイマーとガラス繊維の吸着機構を利用することにより、ガラス繊維濾材に高い撥水性を付与できた。これまで、ガラス繊維濾材への撥水性付与のために、シリコーン樹脂またはフッ素樹脂が広く用いられてきた理由として、それら樹脂の化学構造に由来する撥水性能の高さが挙げられるが、本発明によれば、炭化水素類でも基材の表面に均一に分布させることにより、シリコーン樹脂やフッ素樹脂と同等もしくはそれ以上の撥水性を付与させることが可能である。
【００３５】
次に本発明のエアフィルタ用濾材の製造方法について説明する。まず、湿紙を形成させる工程について説明する。スラリーは、ガラス繊維を主とする原料繊維を水中にパルパー等を用いて分散させて形成させる。ここで、ガラス繊維の分散性を向上するために硫酸や塩酸を添加しｐＨを２〜４程度に調製する、あるいは、中性条件下においては分散剤を添加することが好ましい。このスラリーを抄紙機において抄紙し、湿紙を形成させる。
【００３６】
次にガラス繊維表面にアルキルケテンダイマーを付着形成させる工程について説明する。アルキルケテンダイマーおよびバインダー樹脂の付与の方法としては、スラリー中にあらかじめ添加する方法、あるいは湿紙を形成後の乾燥前または乾燥後にアルキルケテンダイマーおよびバインダー樹脂を付着させる方法が使用できるが、使用量を低減し、効率よく撥水性や強度を発現させるためには、湿紙形成後に付着させる方法が好ましい。特に好ましい方法としては、アルキルケテンダイマーとバインダー樹脂の混合液を湿紙に対して浸漬し付与する方法、あるいは湿紙に対して塗布や霧吹きすることにより付与する方法が挙げられる。これらの付与の際には、アルキルケテンダイマーとバインダー樹脂を別の工程で付与する方法と、アルキルケテンダイマーとバインダー樹脂を混合し同時に付与する方法があるが、どちらの方法を用いても構わない。
【００３７】
強度を持たせるためにアルキルケテンダイマーとともに付与するバインダー樹脂としては、アクリル樹脂、酢酸ビニル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられる。
【００３８】
バインダー樹脂とアルキルケテンダイマーの紙中での比率は、固形分重量比で１００／１〜１００／３０とするのが好ましい。アルキルケテンダイマーの固形分重量比が、１００／１よりも少ないと十分な撥水性が得られず、また、１００／３０よりも多いとバインダー樹脂による繊維の接着を阻害し、強度低下を引き起こす。
【００３９】
なお、バインダー樹脂を添加せずガラス繊維表面にアルキルケテンダイマーのみを付着させて濾材を形成させた場合においても、特に濾材強度が要求されない限りにおいては使用に耐え得る。このときアルキルケテンダイマーのみの付与の方法としては、上記と同様にスラリー中にあらかじめ添加する方法、あるいは湿紙を形成後の乾燥前または乾燥後にアルキルケテンダイマーを付着させる方法が使用できる。使用量を低減し、効率よく撥水性を発現させるためには、湿紙形成後に付着させる方法が好ましい。特に好ましい方法としては、アルキルケテンダイマーの水分散液を湿紙に対して浸漬し付与する方法、あるいは湿紙に対して塗布や霧吹きすることにより付与する方法が挙げられる。
【００４０】
次に、湿紙を乾燥させる工程について説明する。以上の工程を経た後、熱風乾燥機やロータリードライヤー等を用いシートを乾燥させ、濾材を得る。ここで、十分な撥水性発現のためには、乾燥温度を１１０℃以上とすることが望ましい。
【実施例】
【００４１】
実施例および比較例により本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれにより何ら限定されるものではない。
【実施例１】
【００４２】
平均繊維径０．６５μｍの極細ガラス繊維６０重量％、平均繊維径２．７０μｍの極細ガラス繊維３５重量％、平均繊維径６μｍのチョップドガラス繊維５重量％を、濃度０．５％、硫酸酸性ｐＨ２．５でパルパーで離解した。次いで手抄筒を用いて抄紙して湿紙を得た。次に、バインダー液組成が、アクリル系ラテックス（商品名：ボンコートＡＮ−１５５，製造元：大日本インキ化学工業（株））とアルキルケテンダイマー（商品名：ＡＳ２６３、製造元：日本ＰＭＣ（株）、構造式４においてｍ、ｎ＝１４または１６）を固形分重量比１００／１０となるように混合したバインダー液を湿紙に付与し、その後１３０℃のドライヤーで乾燥し、目付重量７０ｇ／ｍ２、バインダー組成物固形分付着量５．５重量％のＨＥＰＡ濾材を得た。
【実施例２】
【００４３】
平均繊維径０．６５μｍの極細ガラス繊維２５重量％，平均繊維径２．７０μｍの極細ガラス繊維５５重量％、平均繊維径６μｍのチョップドガラス繊維２０重量％を、実施例１と同様に抄紙し、以下同様にして、実施例１と同じバインダー液を付与、乾燥し、目付重量７０ｇ／ｍ２、バインダー組成物固形分付着量５．３重量％の中性能濾材を得た。
【実施例３】
【００４４】
バインダー液組成が、アクリル系ラテックス（商品名：ボンコートＡＮ−１５５，製造元：大日本インキ化学工業（株））と高分子量タイプのアルキルケテンダイマー（合成品、製造元：日本ＰＭＣ（株）、構造式４においてｍ、ｎ＝１８または２０）を固形分重量比１００／１０となるように混合したバインダー液を用いて、その他は実施例１と同様にして、目付重量７０ｇ／ｍ２、バインダー組成物固形分付着量５．６重量％のＨＥＰＡ濾材を得た。
【実施例４】
【００４５】
バインダー液組成が実施例３と同様のものを付与した以外は実施例２と同様にして、目付重量７０ｇ／ｍ２、バインダー組成物固形分付着量５．４重量％の中性能濾材を得た。
【比較例１】
【００４６】
バインダー液組成が、アクリル系ラテックス（商品名：ボンコートＡＮ−１５５，製造元：大日本インキ化学工業（株））とパラフィンワックス系撥水剤（商品名：ペトロックスＰ−２００，製造元：明成化学工業（株））を固形分重量比１００／１０となるように混合したバインダー液を用いて、その他は実施例１と同様にして、目付重量７０ｇ／ｍ２、バインダー組成物固形分付着量５．５重量％のＨＥＰＡ濾材を得た。
【比較例２】
【００４７】
バインダー液組成が、アクリル系ラテックス（商品名：ボンコートＡＮ−１５５，製造元：大日本インキ化学工業（株））とパラフィンワックス系撥水剤（商品名：ペトロックスＰ−２００，製造元：明成化学工業（株））を固形分重量比１００／５０となるように混合したバインダー液を用いて、その他は実施例１と同様にして、目付重量７０ｇ／ｍ２、バインダー組成物固形分付着量５．６重量％のＨＥＰＡ濾材を得た。
【比較例３】
【００４８】
バインダー液組成が、アクリル系ラテックス（商品名：ボンコートＡＮ−１５５，製造元：大日本インキ化学工業（株））とシリコーン系撥水剤（商品名：ＳＭ７０２５，製造元：東レダウコーニングシリコーン（株））を固形分重量比１００／１０となるように混合したバインダー液を用いて、その他は実施例１と同様にして、目付重量７０ｇ／ｍ２、バインダー組成物固形分付着量５．４重量％のＨＥＰＡ濾材を得た。
【比較例４】
【００４９】
バインダー液組成が、アクリル系ラテックス（商品名：ボンコートＡＮ−１５５，製造元：大日本インキ化学工業（株））とフッ素系撥水剤（商品名：ライトガードＦＲＧ−１，製造元：共栄社化学（株））を固形分重量比１００／１０となるように混合したバインダー液を用いて、その他は実施例１と同様にして、目付重量７０ｇ／ｍ２、バインダー組成物固形分付着量５．５重量％のＨＥＰＡ濾材を得た。
【比較例５】
【００５０】
バインダー液組成が、アクリル系ラテックス（商品名：ボンコートＡＮ−１５５，製造元：大日本インキ化学工業（株））とパラフィンワックス系撥水剤（商品名：ペトロックスＰ−２００，製造元：明成化学工業（株））を固形分重量比１００／１０となるように混合したバインダー液を用いて、その他は実施例２と同様にして、目付重量７０ｇ／ｍ２、バインダー組成物固形分付着量５．５重量％の中性能濾材を得た。
【００５１】
実施例および比較例の分析は下記の方法で行った。
撥水性は、ＭＩＬ−ＳＴＤ−２８２に準拠して測定した。
引張強度は、ＪＩＳ Ｐ８１１３に準拠して測定した。
層間剥離強度は、Ｊ．ＴＡＰＰＩ紙パルプ試験方法Ｎｏ．１８に準拠して測定した。
圧力損失は、有効面積１００ｃｍ２の濾紙に面風速５．３ｃｍ／秒で通過させた時の差圧を、マノメーターを用いて測定した。
ＤＯＰ捕集効率は、ラスキンノズルで発生させた多分散ＤＯＰ粒子を含む空気を、有効面積１００ｃｍ２の濾紙に面風速５．３ｃｍ／秒で通過させた時のＤＯＰ捕集効率を、レーザーパーティクルカウンターを用いて測定した。なお、対象粒径は０．３〜０．４μｍとした。
アウトガス発生量は、試料約１ｇを不活性ガス気流中で、８０℃×１時間加熱し、試料から発生したアウトガスを吸着剤で捕集濃縮した後、ＧＣ−ＭＳで測定した。この時のアウトガス発生量をトルエン検量線によって相対的に評価した。
【００５２】
実施例１と実施例３および比較例１〜４のＨＥＰＡ濾材での評価結果は、表１の通りとなった。
【表１】
【００５３】
0004895463.tif 000006
【００５４】
パラフィンワックス系撥水剤を添加した比較例１においては、アルキルケテンダイマーを添加した実施例１又は実施例３に比べ、撥水剤の使用量が同一であるにもかかわらず、撥水性が非常に低い。
【００５５】
パラフィンワックス系撥水剤の添加量を５倍増量した比較例２においては、実施例１又は実施例３にはおよばないものの撥水性の向上がみられている。しかし、アクリルラテックスのバインダー効果を阻害するため引張強度と層間剥離強度が大きく低下している。このような強度物性の低下が起こると、通風時の破れやプリーツ加工時の層間剥離を引き起こす原因となる。また添加量を増量したためにパラフィンワックスからのアウトガス量も増加している。
【００５６】
シリコーン系撥水剤を添加した比較例３、およびフッ素系撥水剤を添加した比較例４においては、ともに物性面においては十分な濾材性能が得られたが、撥水剤から発生するアウトガス量が非常に多く、半導体工程のクリーンルーム用途では、製品歩留りを低下させる原因となる可能性がある。
【００５７】
実施例１及び３は、撥水性が高く、引張強度や層間剥離強度が強く、圧力損失やＤＯＰ捕集効率によって示されるフィルタ特性も性能が良い。さらに、アウトガス発生量は、各比較例と比較すると低い。特に高分子量タイプのアルキルケテンダイマー（構造式４においてｍ、ｎ＝１８または２０）を用いた実施例３は、アウトガス発生量が非常に低い。
【００５８】
実施例２と実施例４および比較例５の中性能濾材での評価結果は、表２の通りとなった。
【表２】
【００５９】
0004895463.tif 000007
【００６０】
中性能濾材においてもＨＥＰＡ濾材の場合と同様の結果であり、アルキルケテンダイマーを添加した実施例２及び４においては、同一量のパラフィンワックス系撥水剤を添加した比較例５に比べ、非常に高い撥水性を示した。さらに実施例２及び４は、引張強度や層間剥離強度が強く、圧力損失やＤＯＰ捕集効率によって示されるフィルタ特性も性能が良い。さらに、アウトガス発生量は、比較例５と比較すると低い。特に高分子量タイプのアルキルケテンダイマー（構造式４においてｍ、ｎ＝１８または２０）を用いた実施例４は、アウトガス発生量が非常に低い。