(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記組成式（１）で表される複合酸化物を主成分として含む、ことを特徴とする圧電磁器。
（Ｐｂ１−βＭｅβ）α［（Ｃｕ１／３Ｎｂ２／３）ａＴｉｂＺｒｃ］Ｏ３  …（１）
［但し、式（１）中、Ｍｅは、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａからなる群より選ばれる少なくとも１種の元素であり、α、β、ａ、ｂ及びｃは、下記式（２）、（３）、（４）、（５）、（６）及び（７）で表される条件を満たす値である。
０．９９≦α≦１．００５  …（２）
０．００５≦β≦０．１  …（３）
０．００５≦ａ≦０．１０  …（４）
０．４０≦ｂ≦０．５０  …（５）
０．４０≦ｃ≦０．５８  …（６）
ａ＋ｂ＋ｃ＝１  …（７）］
【請求項２】
請求項１記載の圧電磁器からなる圧電層と、
Ａｇの含有割合が８５質量％以上である電極層と、
を備えることを特徴とする積層型圧電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電磁器及びこれを用いた積層型圧電素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子は、アクチュエータ、トランス、超音波モータ等に広範な電子部品に用いられている。このような圧電素子に用いられる圧電磁器に対しては、圧電特性、特に圧電歪定数が大きいことが求められる。このような特性を満たす圧電磁器としては、例えば、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）、ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３）、亜鉛・ニオブ酸鉛（Ｐｂ（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３）等の複合酸化物により構成されるものや、これらの複合酸化物の元素を一部置換した複合酸化物により構成されるものが知られている。
【０００３】
例えば、（Ｐｂ１−ｘＭｘ）ｎ｛Ａ１ｙＡ２（１−ｙ）｝ＴｉｂＺｒｃＯ３の組成式において、Ｍ、Ａ１、Ａ２等として種々の元素を有する圧電セラミックス（圧電磁器）が開示されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３８７４２２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の圧電磁器は、高特性を得るためには高温で焼成されたものである必要があった。そのため、例えば、圧電磁器の原料組成物（圧電磁器組成物）と内部電極とを同時に焼成して積層型の圧電素子を製造する場合には、高温焼成にも耐え得る高い融点を有する貴金属（Ｐｔ、Ｐｄ等）を用いる必要があった。
【０００５】
しかしながら、これらの内部電極の材料は極めて高価であるため、近年、種々の電子部品に適用されつつある積層型圧電素子の低価格化を阻む大きな要因となっていた。低価格化のためには、貴金属を比較的安価なＡｇ等に置き換えることが望ましいが、Ａｇは貴金属に比べて低融点であるため、Ａｇの含有割合が多くなるほど焼成できる温度が低くなり、そのため、十分な圧電特性が得られなくなる傾向にあった。上述した特許文献１に記載された圧電磁器も、Ａｇの含有割合が高い内部電極との同時焼成のため低い焼成温度とした場合、十分に焼成されずに圧電特性が低くなる場合が多く、より確実に低温での焼成が可能な組成を有する圧電磁器が求められている。
【０００６】
そこで、本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、Ａｇの含有割合が高い内部電極を同時焼成した場合であっても十分な圧電特性が得られる圧電磁器を提供することを目的とする。本発明はまた、このような圧電磁器からなる圧電層を備える積層型圧電素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意研究を行った結果、チタン酸鉛（ＰＴ）−ジルコン酸鉛（ＰＺ）の圧電磁器において、組成中に更に特定の第３成分が含まれるような組成とすることで、低温焼成であっても十分な圧電特性が得られることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【０００８】
すなわち、本発明の圧電磁器は、下記組成式（１）で表される複合酸化物を主成分として含むことを特徴とする。
（Ｐｂ１−βＭｅβ）α［（Ｃｕ１／３Ｎｂ２／３）ａＴｉｂＺｒｃ］Ｏ３  …（１）
［但し、式（１）中、Ｍｅは、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａからなる群より選ばれる少なくとも１種の元素であり、α、β、ａ、ｂ及びｃは、下記式（２）、（３）、（４）、（５）、（６）及び（７）で表される条件を満たす値である。
０．９９≦α≦１．００５  …（２）
０．００５≦β≦０．１  …（３）
０．００５≦ａ≦０．１０  …（４）
０．４０≦ｂ≦０．５０  …（５）
０．４０≦ｃ≦０．５８  …（６）
ａ＋ｂ＋ｃ＝１  …（７）］
【０００９】
上記本発明の圧電磁器は、ＰＴ−ＰＺ系の組成に、更にＣｕ及びＮｂという特定の組み合わせの元素が加えられた主組成を有しており、しかも、これらの元素が上記のような特定の組成比となるように含まれている。そのため、低温焼成、具体的には、Ａｇの含有割合が８５％を超える内部電極と同時焼成が可能な程度の低温焼成により形成されたものであっても、十分な圧電特性（特に圧電歪定数）を有するものとなる。したがって、このような圧電磁器によれば、内部電極のＡｇの含有割合が高いため安価であり、しかも十分な圧電特性を有する積層型圧電素子が得られるようになる。
【００１０】
また、本発明は、上記本発明の圧電磁器からなる圧電層と、Ａｇの含有割合が８５質量％以上である電極（内部電極）層とを備える積層型圧電素子を提供する。かかる本発明の積層型圧電素子は、Ａｇの含有割合が８５質量％であるため安価であり、且つ、このような電極層との同時焼成により形成されたとしても、上記本発明の圧電磁器からなる圧電層を備えるため、優れた圧電特性を発揮し得るものとなる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、Ａｇの含有割合が高い内部電極を同時焼成した場合であっても十分な圧電特性が得られる圧電磁器を提供することが可能となる。また、本発明によれば、このような圧電磁器からなる圧電層を備える積層型圧電素子を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について説明する。
【００１３】
図１は、好適な実施形態に係る積層型圧電素子の断面構成を模式的に示す図である。図１に示すように、積層型圧電素子１０は、内部電極１ａ及び内部電極１ｂが交互に配置されており、且つ、内部電極１ａと内部電極１ｂとの間に圧電層２が挟まれた積層構造を有している。また、この積層構造の最外層には、保護層３ａ及び保護層３ｂが設けられている。さらに、この積層構造の積層方向に沿う両端面には、一対の外部電極４が設けられている。内部電極１ａと内部電極１ｂとは、それぞれ異なる側の外部電極４に接続されている。
【００１４】
このような構成を有する積層型圧電素子１０において、圧電層２の厚さは、１〜２００μｍであると好ましく、２０〜１５０μｍであるとより好ましく、５０〜１００μｍであると更に好ましい。また、内部電極１ａ及び内部電極１ｂの厚さは、０．５〜２０μｍであると好ましく、１．０〜１０μｍであるとより好ましい。
【００１５】
内部電極１ａ，１ｂは、積層型圧電素子の内部電極として用いられる材料からなるものであれば特に制限されず、例えば、Ａｇ、Ｐｄ、ＰｔやＡｇを含む合金等から構成される。特に、本実施形態の積層型圧電素子１０においては、内部電極１ａ，１ｂは、Ａｇを８５質量％以上含む材料からなることが好ましく、具体的には、Ａｇを８５質量％以上含む合金（例えば、Ａｇ−Ｐｄ合金、Ａｇ−Ｐｔ合金等）、又は、Ａｇ単体からなるものが好ましい。本実施形態の積層型圧電素子１０は、圧電層２が後述するような圧電磁器から形成されるものであるため、このようなＡｇの割合が高い内部電極１ａ，１ｂの材料であっても同時焼成が可能となる。
【００１６】
一方、圧電層２は、特定の組成を有する圧電磁器から構成される。以下、圧電層２の構成材料として好適な圧電磁器について説明する。
【００１７】
本実施形態の圧電磁器は、下記組成式（１）で表される複合酸化物を主成分として含むものである。
（Ｐｂ１−βＭｅβ）α［（Ｃｕ１／３Ｎｂ２／３）ａＴｉｂＺｒｃ］Ｏ３  …（１）
［但し、式（１）中、Ｍｅは、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａからなる群より選ばれる少なくとも１種の元素であり、α、β、ａ、ｂ及びｃは、下記式（２）、（３）、（４）、（５）、（６）及び（７）で表される条件を満たす値である。
０．９９≦α≦１．００５  …（２）
０≦β≦０．１  …（３）
０．００５≦ａ≦０．１０  …（４）
０．４０≦ｂ≦０．５０  …（５）
０．４０≦ｃ≦０．５８  …（６）
ａ＋ｂ＋ｃ＝１  …（７）］
【００１８】
この主成分である複合酸化物は、いわゆるペロブスカイト構造を有している。上記式（１）で表される複合酸化物におけるＰｂ及びＭｅは、ペロブスカイト構造のＡサイトに位置している。一方、Ｃｕ、Ｎｂ、Ｔｉ、Ｚｒは、ペロブスカイト構造のＢサイトに位置している。本実施形態の圧電磁器においては、組成物の総量中、主成分である上記式（１）で表される複合酸化物が９５質量％以上含まれることが好ましく、９８．０〜９９．９質量％含まれることがより好ましい。このような割合で複合酸化物が含まれることで、十分な圧電特性（特に圧電歪定数）が得られるようになる。
【００１９】
上記式（１）で表される複合酸化物におけるＡサイト元素の割合を示すαは、０．９９≦ａ≦１．００５である。このＡサイト元素の割合αが０．９９未満であるか１．００５を超えると、圧電歪定数が低下する。低温での焼成がなされた場合であっても良好な圧電歪定数を得る観点から、Ａサイト元素の割合αは０．９９３≦ａ≦１．００２であると好ましく、０．９９６≦ａ≦１．０００であるとより好ましい。
【００２０】
上記式（１）で表される複合酸化物において、Ａサイト元素であるＰｂの一部は、Ｍｅで表される元素（Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ）によって置換されていてもよい。かかる置換により、圧電歪定数を更に向上することができる場合がある。ただし、この置換量が多すぎると、圧電歪定数がむしろ低下する傾向にある。したがって、Ｍｅによる置換量βは、０．１以下であり、０．００５≦β≦０．０８であるとより好ましく、０．００７≦β≦０．０５であると更に好ましい。なお、Ｍｅで表される置換元素は、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａのうちの複数種類であってもよい。この場合、各元素の置換量の合計が上述したβの値を満たすことが好ましい。
【００２１】
上記式（１）で表される複合酸化物におけるＢサイト元素のうち、Ｃｕ及びＮｂの割合を表すａは、０．０１≦ａ≦０．１０である。このａは、焼成温度に影響を与え、この値が０．０１未満である場合は、低い焼成温度では十分な圧電特性が得られなくなる。一方、０．１０を超えると、強誘電性の低いＰｂ（Ｃｕ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３の比率が高くなるので、圧電特性が低下する。低い焼成温度で十分な焼結性を得る観点からは、ＣｕとＮｂの割合ａは、０．００７≦ａ≦０．０７であると好ましく、０．０１≦ａ≦０．０５であると更に好ましい。
【００２２】
また、Ｂサイト元素のうち、Ｔｉの割合であるｂ及びＺｒの割合であるｃは、それぞれ良好な圧電歪定数を得る観点から、次のような範囲となる。すなわち、Ｔｉの割合ｂは、０．４０≦ｂ≦０．５０である。Ｚｒの割合ｃは、０．４０≦ｃ≦０．５８である。Ｔｉ及びＺｒの割合をこれらの範囲内に設定することで、モルフォトロピック相境界（ＭＰＢ）付近において、大きな圧電歪定数を得ることができる。このような効果を更に良好に得るためには、Ｔｉの割合ｂは０．４３≦ｂ≦０．４８であると好ましく、０．４５≦ｂ≦０．４７であると更に好ましい。一方、Ｚｒの割合ｃは、０．４７≦ｃ≦０．５４であるとより好ましく、０．５１≦ｃ≦０．５３であると更に好ましい。
【００２３】
本実施形態の圧電磁器は、上述した組成を有する複合酸化物を主成分として含有するものであるが、必要に応じて、低温焼成等の特性を低下させない範囲で、その他の副成分を更に含んでいてもよい。ただし、上記複合酸化物は、副成分を含まなくても、それ自体が低温焼成された場合に十分な圧電特性を発揮し得るものである。
【００２４】
圧電磁器に含まれていてもよい副成分としては、例えば、Ｔａ、Ｓｂ、Ｎｂ、Ｗ、Ｓｎ、Ｄｙ、Ｇｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｙ、Ｂｉ、Ｖ、Ｈｆ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔｂ、Ｈｏ、Ｔｍ等の金属元素の酸化物等が挙げられる。これらは、複数種類が組み合わされて含まれていてもよい。
【００２５】
次に、上述した構成を有する積層型圧電素子１０の製造方法について説明する。
【００２６】
まず、圧電層２を得るための圧電磁器の主成分である複合酸化物の出発原料を準備し、所望の組成の複合酸化物が得られるようにそれぞれ秤量する。出発原料としては、複合酸化物の各構成元素の酸化物や、焼成によりこれらの酸化物に変化し得る炭酸塩又はシュウ酸塩等の粉末が挙げられる。酸化物としては、具体的には、ＰｂＯ、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、ＣｕＯ、Ｎｂ２Ｏ５、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＣａＯ等が挙げられる。出発原料の粉末としては、平均粒径０．５〜１０μｍ程度のものが好ましい。
【００２７】
また、圧電磁器が上記複合酸化物に加えて副成分を更に含む場合は、副成分の出発原料をこの複合酸化物の出発原料に加えてもよい。副成分の出発原料としては、上述したような金属元素の酸化物等が挙げられる。なお、副成分の出発原料は、後述する仮焼後に加えルこともできる。
【００２８】
次いで、これらの出発原料を混合し、必要に応じて湿式粉砕及び混合を行うことにより、原料混合物を得る。このような湿式粉砕及び混合は、例えば、ボールミルを用いて行うことができる。
【００２９】
それから、この原料混合物を乾燥し、例えば、７５０〜９５０℃の温度、１〜６時間の条件で加熱処理を施すことにより、仮焼成する。この仮焼成は、大気中で行ってもよく、大気中よりも酸素分圧の高い雰囲気又は純酸素雰囲気で行ってもよい。得られた仮焼成物をボールミル等により湿式粉砕及び混合して、主成分及び必要に応じて副成分を含む仮焼成粉を得る。このような仮焼成により、主成分の出発原料から複合酸化物が形成され、焼成によって圧電磁器を形成することができる圧電磁器組成物が得られる。この圧電磁器組成物は、焼成後の圧電磁器とほぼ同様の組成を有するものである。
【００３０】
次いで、このようにして得られた圧電磁器組成物に、有機バインダー、有機溶剤、有機可塑剤等を加えてボールミル等により２０時間程度の混合を行うことで、圧電ペーストを得る。
【００３１】
また、このような圧電ペーストとともに、内部電極１ａ，１ｂを形成するための電極ペーストを準備する。電極ペーストは、例えば、上述したような内部電極１ａ，１ｂの構成金属の粉末に、バインダー、有機溶剤等を加えて得られるものである。電極ペースト中の金属の含有量は、４０質量％以上とすることが好ましく、５０〜６０質量％とすることがより好ましい。この金属の含有量が４０質量％未満であると、得られる内部電極１ａ，１ｂの導電性が不十分となるおそれがある。
【００３２】
それから、圧電ペーストを、例えばドクターブレード法によって、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製等のベースフィルム上に塗布して、圧電層２を形成するための圧電グリーンシートを得る。次いで、この圧電グリーンシート上に、スクリーン印刷法等により電極ペーストを塗布して、圧電グリーンシート上に電極ペースト層が形成された積層シートを得る。この際、電極ペースト層は、内部電極１ａ，１ｂの形状に対応して形成させる。
【００３３】
その後、得られた積層シートを、電極ペースト層と圧電グリーンシートとが交互に配置されるように複数重ねるとともに、このようにして得られた積層構造の上下に、保護層３ａ，３ｂとなる圧電グリーンシートを更に重ねて、グリーンチップを得る。なお、グリーンチップの製造方法は必ずしもこれに限定されず、圧電ペーストと電極ペーストとを交互に繰り返し塗布するようにしてもよい。
【００３４】
このようにして得られたグリーンチップに対して、所定の加熱を行うことで、各ペース途中に含まれていたバインダーや有機溶媒を除去する脱バインダーを行う。脱バインダーは、圧電ペースト中の圧電磁器組成物の焼成が進行しない程度の条件で行うことが好ましく、例えば、３００〜６５０℃、０．５〜５０時間程度で行うことができる。
【００３５】
その後、脱バインダー後のグリーンチップに対し、例えば密閉された容器中で焼成処理（本焼成）を行う。この本焼成処理において、圧電グリーンシート（圧電グリーンシート中の圧電磁器組成物）及び電極ペースト層が同時に焼成され、圧電グリーンシートから圧電磁器により構成される圧電層２が、電極ペースト層から内部電極１ａ，１ｂがそれぞれ形成される。また、グリーンチップの最外層に積層した圧電グリーンシートから、保護層３ａ，３ｂが形成される。
【００３６】
この本焼成における焼成温度は、９００〜１０５０℃であると好ましく、９００〜１０００℃であるとより好ましく、９１０〜９７０℃であると更に好ましい。圧電グリーンシートに含まれる圧電磁器組成物は、上述したような特定の組成を有していることから、このように従来よりも低く、Ａｇの割合が高い内部電極の同時焼成が可能な焼成温度であっても十分に焼結し、優れた圧電特性（特に高い圧電歪定数）が得られるようになる。
【００３７】
そして、焼成後の積層体における積層方向に沿う２つの端面（内部電極１ａ，１ｂが露出している端面）に、必要に応じてバレル研磨やサンドブラスト等の研磨処理を施した後、外部電極４をそれぞれ焼き付ける。具体的には、外部電極４を構成する金属及び有機バインダー等を含む外部電極用ペーストを、積層体の上記端面に塗布した後、これを焼成する。なお、外部電極４は、焼付けのほか、スパッタリング、蒸着、無電解めっき等の方法によって形成してもよい。このようにして、図１に示す構造を有する積層型圧電素子１０が得られる。
【００３８】
以上、本発明の好適な実施形態に係る圧電磁器組成物、圧電磁器及び積層型圧電素子について説明したが、本発明は必ずしもこれらの実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更してもよい。
【実施例】
【００３９】
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００４０】
［実施例Ａ；Ｃｕ元素による効果］
（実施例１−１、比較例１−１〜１−１０）
まず、主成分である（Ｐｂ１−βＭｅ１β）α［（Ｍｅ２１／３Ｎｂ２／３）ａＴｉｂＺｒｃ］Ｏ３（１）で表される複合酸化物の出発原料を準備した。すなわち、主成分の原料として、ＰｂＯ粉末、Ｍｅ１の原料粉末、Ｍｅ２の原料粉末、Ｎｂ２Ｏ５粉末、ＴｉＯ２粉末及びＺｒＯ２粉末を用意し、これらを下記表１の組成となるように秤量した。なお、実施例Ａでは、Ｍｅ１としてはＳｒ、また、Ｍｅ２としては表２に示す各元素を用いて、表１に示す各種の圧電磁器を得るための原料組成物をそれぞれ調製した。Ｍｅ１又はＭｅ２元素の原料としては、これらの元素の酸化物を用いた。
【００４１】
次いで、各原料組成物を、ボールミルを用いて１６時間湿式混合した後、大気中にて７００〜９００℃で２時間仮焼成した。得られた仮焼物を微粉砕した後、ボールミルを用いて１６時間湿式粉砕して、仮焼成粉（圧電磁器組成物）を得た。これを乾燥した後、バインダーとしてアクリル系樹脂を加えて造粒し、１軸プレス成形機を用いて約４４５ＭＰａの圧力で直径１７ｍｍ、厚さ１ｍｍの円板状の成形体を得た。
【００４２】
成形後、得られた成形体に熱処理を行って脱バインダー処理を施した後、９５０℃で２時間の熱処理を施すことにより本焼成を行い、圧電磁器を形成した。そして、得られた焼結体の両面に、Ａｇ粉末を含むＡｇペーストを印刷して３５０℃で焼き付け、さらに１２０℃のシリコーンオイル中で３ｋＶの電界を１５分間印加し、分極処理を行った。これにより、各原料組成物を用いて得られた圧電定数ｄ３３測定用のサンプルを得た。
【００４３】
そして、このようにして作製した各サンプルについて、ｄ３３メーター（中国科学院声学研究所製ｄ３３メーター；ＭＯＤＥＬ  ＺＪ−３Ｄ）を用いて圧電歪定数ｄ３３を測定した。各サンプルを用いて得られた結果を表１に示す。なお、表１中、「評価ＮＧ」は、焼結が著しく悪かったため、ｄ３３の測定ができなかったことを意味している。
【００４４】
【表１】
0005035076.tif 000002
【００４５】
表１より、Ｍｅ２元素としてＣｕを含む圧電磁器は、Ａｇからなる内部電極との同時焼成が可能である９５０℃での焼成を行った場合、Ｃｕ以外の金属（Ｚｎ、Ｍｇ、Ｆｅ、Ｓｂ、Ｓｎ、Ｙｂ、Ｉｎ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｃｒ）用いた圧電磁器と比べて、高い圧電歪定数を有していることが確認された。
【００４６】
［実施例Ｂ；複合酸化物の組成による影響の評価］
（実施例２−１〜２−４、比較例１−１〜２−２）
圧電磁器を構成する複合酸化物の組成を、表２に示すように変化させたこと、具体的には、Ａサイト元素の割合αを各種変化させたこと以外は、実施例Ａと同様にして各種の圧電定数ｄ３３測定用のサンプルを作製し、同様にこれらのｄ３３を測定した。得られた結果を表２に示す。
【００４７】
【表２】
0005035076.tif 000003
【００４８】
表２より、複合酸化物のＡサイト元素の割合αが、本発明の範囲内であった実施例のサンプルは、Ａｇからなる内部電極との同時焼成が可能である９５０℃での焼成を行った場合、この割合αが本発明の範囲外であった比較例のサンプルに比べて、高い圧電歪定数が得られることが確認された。
【００４９】
（実施例３−１〜３−４、比較例３−１）
圧電磁器を構成する複合酸化物の組成を、表３に示すように変化させたこと、具体的には、Ａサイト元素であるＰｂの置換元素であるＭｅ１（Ｓｒ）の置換量βを各種変化させたこと以外は、実施例Ａと同様にして各種の圧電定数ｄ３３測定用のサンプルを作製し、同様にこれらのｄ３３を測定した。得られた結果を表３に示す。
【００５０】
【表３】
0005035076.tif 000004
【００５１】
表３より、Ａサイト元素であるＰｂのＭｅ元素（Ｓｒ）による置換量βが、本発明の範囲内であった実施例のサンプルは、Ａｇからなる内部電極との同時焼成が可能な９５０℃での焼成を行った場合、この置換量βが本発明の範囲外であった比較例のサンプルに比べて、高い圧電歪定数が得られることが確認された。
【００５２】
（実施例４−１〜４−８、比較例４−１〜４−４）
圧電磁器を構成する複合酸化物の組成を、表４に示すように変化させたこと、具体的には、Ｂサイト元素であるＣｕ及びＮｂの割合ａ、Ｔｉの割合ｂ、Ｚｒの割合ｃをそれぞれ変化させたこと以外は、実施例Ａと同様にして各種の圧電定数ｄ３３測定用のサンプルを作製し、同様にこれらのｄ３３を測定した。得られた結果を表４に示す。
【００５３】
【表４】
0005035076.tif 000005
【００５４】
表４より、Ｂサイト元素であるＣｕ及びＮｂの割合ａ、Ｔｉの割合ｂ、Ｚｒの割合ｃが、本発明の範囲内であった実施例のサンプルは、Ａｇからなる内部電極との同時焼成が可能な９５０℃での焼成を行った場合、これらの割合が本発明の範囲外であった比較例のサンプルに比べて、高い圧電歪定数が得られることが確認された。
【００５５】
（実施例５−１〜５−３）
圧電磁器を構成する複合酸化物の組成を、表５に示すように変化させたこと、具体的には、複合酸化物におけるＭｅ１元素をＳｒに代えてＣａ又はＳｒとしたこと以外は、実施例Ａと同様にして各種の圧電定数ｄ３３測定用のサンプルを作製し、同様にこれらのｄ３３を測定した。得られた結果を表５に示す。
【００５６】
【表５】
0005035076.tif 000006
【００５７】
表５より、主成分である複合酸化物のＡサイト元素であるＭｅとして、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａを用いた場合、Ａｇからなる内部電極との同時焼成が可能な９５０℃での焼成を行っても、十分に高い圧電歪定数が得られることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】好適な実施形態に係る積層型圧電素子の断面構成を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００５９】
１ａ，１ｂ…内部電極、２…圧電層、３ａ，３ｂ…保護層、４…外部電極、１０…積層型圧電素子。
【図１】
0005035076.tif 000007