(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともブラックマトリクスを作製するためのブラックマトリクス作製手段（１０）と、赤色フィルタを作製するための赤色フィルタ作製手段（２０）と、緑色フィルタを作製するための緑色フィルタ作製手段（３０）と、青色フィルタを作製するための青色フィルタ作製手段（４０）と、透明電極を作製するための透明電極作製手段（５０）と、スペーサーを作製するためのスペーサー作製手段（６０）と、工程管理システム（７０）と、からなるカラーフィルタ基板の製造システムであって、ブラックマトリクスを作製するためのブラックマトリクス作製手段（１０）は処理設備（１１）〜（１ｎ）を、赤色フィルタを作製するための赤色フィルタ作製手段（２０）は処理設備（２１）〜（２ｎ）を、緑色フィルタを作製するための緑色フィルタ作製手段（３０）は処理設備（３１）〜（３ｎ）を、青色フィルタを作製するための作製手段（４０）は処理設備（４１）〜（４ｎ）を、透明電極を作製するための透明電極作製手段（５０）は処理設備（５１）〜（５ｎ）を、スペーサーを作製するためのスペーサー作製手段（６０）は処理設備（６１）〜（６ｎ）を、それぞれ有し、前記それぞれの処理設備間にはカラーフィルタ基板を搬送するための搬送ユニットを備えており、前記工程管理システム（７０）では、カラーフィルタ基板には基板コードを、前記作製手段には作製手段コードを、処理設備には処理設備コードを付与し、前記作製手段コードと前記処理設備コードに対しては処理が行われたか否かを示す識別コードが付与された基板仕上がり処理フラグを用いてカラーフィルタ基板の製造工程の工程管理を行うとともに、前記それぞれの処理設備の入口に前記カラーフィルタ基板の基板コードを読み取るとともに、作成手段コードと設備コードとともに工程管理システムに送信し、工程管理システムでは基板仕上がり処理フラグと照合してその処理設備で処理される基板か否かの判断処理を行うようにしたことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ基板の製造システムに関し、特に、製造工程の仕上がり状況を示す基板仕上がり処理フラグ用いてカラーフィルタ基板の製造工程の工程管理を行うカラーフィルタ基板の製造システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、大型カラーテレビ、ノートパソコン、携帯用電子機器の増加に伴い、液晶ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの需要の増加はめざましいものがある。
これらカラー液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタ基板は、パターン精度、分光特性、欠陥レベルに対しても高度のものが要求されており、これらの品質をクリアーするためには、徹底したカラーフィルタ基板の製造工程管理が望まれている。
【０００３】
カラーフィルタ基板の製造工程は、ブラックマトリクス作製工程、赤色、緑色、青色フィルタの作製工程、透明電極の作製工程、スペーサー作製工程に分かれている。
上記各工程に配置された処理設備での処理実績は、製造システムの履歴データとしては管理されているが、次工程製造設備へ基板を移動する時、もしくは各製造設備間に基板を途中投入する際の「処理可能、不可のデータ」の制御用データとしては活用されていない。
【０００４】
カラーフィルタ基板の製造工程管理の一例として、カラーフィルタ製造装置に設けられたセンサの検出するデータ、欠陥検査装置による欠陥結果、及びコード読み取り装置からの出力をホストコンピュータにより集中的に管理することにより、カラーフィルタの製品品質を集中的に監視するカラーフィルタ製造装置の集中監視システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
上記カラーフィルタ製造装置の集中監視システムでは、製造条件や製品の良否状態を詳細に、かつ総合的にホストコンピュータで集中監視することで、大幅な収率向上、信頼性の高い品質保証を実現可能であるとしている。
【０００６】
上記カラーフィルタ製造装置の集中監視システムでは、製造条件や製品の良否状態を詳細にホストコンピュータで集中監視することで、製品毎の品質管理が可能となり、製品の品質を向上することができる。また、製品１枚毎の製造条件と良否判定が対応付けられているので、製品に異常が発生した際の原因を容易に特定することができ、将来的な収率向上が可能としている。
【０００７】
しかしながら、上記のカラーフィルタ製造装置の集中監視システムでは、ホストコンピュータで製造条件や製品の良否状態を詳細に集中監視し、ホストコンピュータでデータを集約しているため、後で分析、解析することで、製品１枚毎の製造条件と良否判定が対応付けは可能であるが、製造工程中に基板毎の工程管理に結びつけることは難しい。
【０００８】
現状のカラーフィルタ基板の生産システムでは、基板処理中に途中設備から処理基板を抜き取り、オフラインで処理して再度下流の設備に再投入するようなことが発生する。
図１３に示すように、処理設備２にて処理された基板Aをユニット３にて抜き取り、他の場所に移動して検査等のオフライン処理を行う場合がある。オフライン処理された基板Ａ’を工程ラインへ復帰させるためには、処理設備２の下流加工設備である処理設備３の前のユニット５から途中再投入を行う必要がある。
【０００９】
しかしながら、実際は、オフライン処理された基板Ａ’を検査設備へ再投入したり、ユ
ニット１へ再投入するような再投入ミスが発生する。
現状の製造システムでは、これらの再投入ミスを防止することは難しいという問題を有している。
【特許文献１】特開平１１−１３３２２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、カラーフィルタ基板を製造するカラーフィルタ基板の製造ラインにおいて、基板処理中に途中工程の処理設備から処理基板を抜き取り、オフラインで処理して再度下流の設備に再投入する場合、確実に再投入ができるカラーフィルタ基板の製造システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、少なくともブラックマトリクスを作製するためのブラックマトリクス作製手段（１０）と、赤色フィルタを作製するための赤色フィルタ作製手段（２０）と、緑色フィルタを作製するための緑色
フィルタ作製手段（３０）と、青色フィルタを作製するための青色フィルタ作製手段（４０）と、透明電極を作製するための透明電極作製手段（５０）と、スペーサーを作製するためのスペーサー作製手段（６０）と、工程管理システム（７０）と、からなるカラーフィルタ基板の製造システムであって、ブラックマトリクスを作製するためのブラックマトリクス作製手段（１０）は処理設備（１１）〜（１ｎ）を、赤色フィルタを作製するための赤色フィルタ作製手段（２０）は処理設備（２１）〜（２ｎ）を、緑色フィルタを作製するための緑色フィルタ作製手段（３０）は処理設備（３１）〜（３ｎ）を、青色フィルタを作製するための作製手段（４０）は処理設備（４１）〜（４ｎ）を、透明電極を作製するための透明電極作製手段（５０）は処理設備（５１）〜（５ｎ）を、スペーサーを作製するためのスペーサー作製手段（６０）は処理設備（６１）〜（６ｎ）を、それぞれ有し、前記それぞれの処理設備間にはカラーフィルタ基板を搬送するための搬送ユニットを備えており、前記工程管理システム（７０）では、カラーフィルタ基板には基板コードを、前記作製手段には作製手段コードを、処理設備には処理設備コードを付与し、前記作製手段コードと前記処理設備コードに対しては処理が行われたか否かを示す識別コードが付与された基板仕上がり処理フラグを用いてカラーフィルタ基板の製造工程の工程管理を行うとともに、前記それぞれの処理設備の入口に前記カラーフィルタ基板の基板コードを読み取るとともに、作成手段コードと設備コードとともに工程管理システムに送信し、工程管理システムでは基板仕上がり処理フラグと照合してその処理設備で処理される基板か否かの判断処理を行うようにしたことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造システムとしたものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のカラーフィルタ基板の製造システムでは、基板仕上がり処理フラグを用いて工程管理を行うことにより、途中設備からの基板の抜き取り、投入などの作業を頻繁に行うカラーフィルタ基板の製造ラインにおいて、基板の２重工程処理、スルー処理を確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態につき説明する。
図１は、本発明のカラーフィルタ基板の製造システムの一実施例を示す模式構成図である。
本発明のカラーフィルタ基板の製造システムは、ブラックマトリクス作製手段１０と、赤色フィルタ作製手段２０と、緑色フィルタ作製手段３０と、青色フィルタ作製手段４０と、透明電極作製手段５０と、スペーサー作製手段６０と、工程管理システム７０と、から構成されており、ブラックマトリクスを作製するためのブラックマトリクス作製手段１０は処理設備１１〜１ｎを、赤色フィルタを作製するための赤色フィルタ作製手段２０は処理設備２１〜２ｎを、緑色フィルタを作製するための緑色フィルタ作製手段３０は処理設備３１〜３ｎを、青色フィルタを作製するための作製手段４０は処理設備４１〜４ｎを、透明電極を作製するための透明電極作製手段５０は処理設備５１〜５ｎを、スペーサーを作製するためのスペーサー作製手段６０は処理設備６１〜６ｎを、それぞれ有し、前記それぞれの処理設備間にはカラーフィルタ基板を搬送するための搬送ユニットを備えており、前記工程管理システム７０では、カラーフィルタ基板には基板コードを、前記作製手段には作製手段コードを、処理設備には処理設備コードを付与し、前記作製手段コード及び前記処理設備コードに対しては処理が行われたか否かを示す識別コードが付与された基板仕上がり処理フラグを用いてカラーフィルタ基板の製造工程の工程管理を行うようにしたものである。
ここで、各処理設備に付与されたｎは、２〜９の整数を表す。
【００１４】
本発明のカラーフィルタ基板の製造システムでは、ストッカー設備からのカセット搬送による基板投入時、または途中設備からの基板投入において、各処理設備の入り口で、基板仕上がり処理フラグに付与された処理設備コードの識別コードの確認作業を工程管理システム７０にて行うようにしている。
基板仕上がり処理フラグに付与された作製手段コード、処理設備コード及び識別コードは、品名、基板コードに対応したコードデータとして工程管理システム７０に格納されており、その都度、コードの変換処理、判断処理が行われる。
そのため、もし工程処理済基板が処理設備に搬送されようとすると、直ちに警告を発したり、工程処理済基板をその処理設備から排除するような処置をとることができる。
【００１５】
以下、本発明のカラーフィルタ基板の製造ステムの概要について説明する。
カラーフィルタ基板の製造工程は、ブラックマトリクス作製手段１０と、赤色フィルタ作製手段２０と、緑色フィルタ作製手段３０と、青色フィルタ作製手段４０と、透明電極作製手段５０と、スペーサー作製手段６０と、からなり、各作製手段毎に、自動化製造ラインが組まれており、各自動化製造ライン毎にストッカー設備からのカセット搬送による基板投入が行われ、各処理設備間を搬送ユニットにより基板が搬送され、工程処理が実施される。
【００１６】
ブラックマトリクスを作製するためのブラックマトリクス作製手段１０では、例えば、処理設備１１として基板投入装置（カセット）を、処理設備１２としてレジスト塗布装置を、処理設備１３として露光装置を、処理設備１４として現像装置を、処理設備１５としてポストベーク装置を、処理設備１６として検査装置を、処理設備１７として基板収納装置（カセット）を、挙げることができ、これらの処理設備は工程管理システム７０で管理、制御され、各処理設備間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
【００１７】
赤色フィルタを作製するための赤色フィルタ作製手段２０では、例えば、処理設備２１としてレジスト塗布装置を、処理設備２２として露光装置を、処理設備２３として現像装置を、処理設備２４としてポストベーク装置を、処理設備２５として検査装置を、処理設備２６として基板収納装置（カセット）を、挙げることができ、これらの処理設備は工程管理システム７０で管理、制御され、各処理設備間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
【００１８】
緑色フィルタを作製するための緑色フィルタ作製手段３０では、例えば、処理設備３１としてレジスト塗布装置を、処理設備３２として露光装置を、処理設備３３として現像装置を、処理設備３４としてポストベーク装置を、処理設備３５として検査装置を、処理設備３６として基板収納装置（カセット）を、挙げることができ、これらの処理設備は工程管理システム７０で管理、制御され、各処理設備間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
【００１９】
青色フィルタを作製するための青色フィルタ作製手段４０では、例えば、処理設備４１としてレジスト塗布装置を、処理設備４２として露光装置を、処理設備４３として現像装置を、処理設備４４としてポストベーク装置を、処理設備４５として検査装置を、処理設備４６として基板収納装置（カセット）を、挙げることができ、これらの処理設備は工程管理システム７０で管理、制御され、各処理設備間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
【００２０】
透明電極を作製するための透明電極作製手段５０では、例えば、処理設備５１として透明電極成膜装置を、処理設備５２として検査装置を、処理設備５３として基板収納装置（カセット）を、挙げることができ、これらの処理設備は工程管理システム７０で管理、制御され、各処理設備間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
【００２１】
スペーサーを作製するためのスペーサー作製手段６０では、例えば、処理設備６１としてレジスト塗布装置を、処理設備６２として露光装置を、処理設備６３として現像装置を、処理設備６４としてポストベーク装置を、処理設備６５として検査装置を、処理設備６６として基板収納装置（カセット）を、挙げることができ、これらの処理設備は工程管理システム７０で管理、制御され、各処理設備間は搬送ユニットで基板の受け渡しを行っている。
【００２２】
以下、本発明のカラーフィルタ基板の製造システムについて説明する。
図２は、ブラックマトリクス作製工程における処理設備の配置例を示す説明図である。
まず、個々の基板に品名ＡＢＣと、基板コードＸＹＺが印字、タグ等で付与される。
基板コードＸＹＺに対して作製手段１０、２０、３０、４０、５０、６０の識別コードに０が、処理設備コード１１〜６７の識別コードに０が付与された基板仕上がり処理フラグが基板コード毎に作製される。基板仕上がり処理フラグの一例を図３に示す。
ここで、処理設備で処理されていない基板は識別コードが０と、処理された基板は識別コードが１と表示される。この識別コードの０、１によって、各処理設備で処理された否かの区別を行う。図３の基板仕上がり処理フラグは、まだ何の処理もされていないので、識別コードは０である。
【００２３】
次に、基板仕上がり処理フラグが付与された基板は、基板投入装置（カセット）からなる処理設備１１の入り口で品名と基板コードとが読み取られ、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード１１の識別コードに１が付与されて（図４（ａ）参照）、基板投入装置（カセット）１１に収納される。
【００２４】
次に、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード１１の識別コードに１が付与された基板は、搬送ユニットにて搬送されて、レジスト塗布装置からなる処理設備１２の入り口で、基板仕上がり処理フラグの作製手段コード及び処理設備コードの識別コードが読み込まれて、処理設備１２で処理される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード１２の識別コードが１に書き換えられて（図４（ｂ）参照）、処理設備１２によるレジスト塗布処理、プレベーク処理が行われ、レジスト塗布基板が作製される。
【００２５】
次に、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード１１及び処理設備コード１２の識別コードに１が付与された基板は、搬送ユニットにて搬送されて、露光装置からなる処理設備１３の入り口で、品名コードと基板コードが読み込まれ、基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとが処理設備１３で処理される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード１３の識別コードに１が付与されて（図５（ａ）参照）、処理設備１３によるパターン露光処理が行われ、パターン露光基板が作製される。
【００２６】
次に、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード１１、処理設備コード１２及び処理設備コード１３の識別コードに１が付与された基板は、搬送ユニットにて搬送されて、現像装置からなる処理設備１４の入り口で、品名コードと基板コードが読み込まれ、基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとが処理設備１４で処理される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード１４の識別コードに１が付与されて（図５（ｂ）参照）、処理設備１４による現像処理が行われ、ブラックマトリクスパターンが形成された基板が作製される。
【００２７】
次に、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード１１、処理設備コード１２、処理設備コード１３及び処理設備コード１４の識別コードに１が付与された基板は、搬送ユニットにて搬送されて、ポストベーク装置からなる処理設備１５の入り口で、品名コードと基板コードが読み込まれ、基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとが処理設備１５で処理される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード１５の識別コードに１が付与されて（図６（ａ）参照）、処理設備１５によるポストベーク処理が行われ、ブラックマトリクスパターン基板が作製される。
【００２８】
次に、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード１１、処理設備コード１２、処理設備コード１３、処理設備コード１４及び処理設備コード１５の識別コードに１が付与された基板は、搬送ユニットにて搬送されて、検査装置からなる処理設備１６の入り口で、品名コードと基板コードが読み込まれ、基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードのそれぞれの識別コードとが処理設備１６で処理される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード１６の識別コードに１が付与されて（図６（ｂ）参照）、処理設備１６による検査処理が行われ、検査済みのブラックマトリクスパターン基板が作製される。
【００２９】
次に、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード１１、処理設備コード１２、処理設備コード１３、処理設備コード１４、処理設備コード１５及び理設備コード１６の識別コードに１が付与された基板は、搬送ユニットにて搬送されて、基板収納装置（カセット）からなる処理設備１７の入り口で、品名コードと基板コードが読み込まれ、基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードのそれぞれの識別コードとが処理設備１７に収納される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの作製手段コード１０及び処理設備コード１７の識別コードに１が付与されて（図７参照）、基板収納装置（カセット）１７への基板収納が行われ、ブラックマトリクス作製手段１０の各製造工程が終了した基板が収納された基板収納装置（カセット）１７はストッカー設備に収納される。
ここで、ブラックマトリクス作製手段１０の各製造工程が終了したので、図7に示すような、作製手段コード１０及び処理設備コード１１〜１７の識別コードが１になった基板仕上がり処理フラグが作製される。
この一連の識別コードの変換作業と判断作業は、工程管理システム７０と各処理設備との間でのやり取りが行われ、基板仕上がり処理フラグのデータは、工程管理システム７０に格納されている。そのため、端末装置により、品名と基板コードを入力すれば、どの工程まで終了したかが即時に表示される。
【００３０】
以下、赤色フィルタ作製手段２０の基板仕上がり処理フラグの各処理設備の識別コードの読み込みと、識別コードの書き換えは、上記と同じなので詳細な説明は省略し、最初と最後の工程の基板仕上がり処理フラグの状況説明にとどめる。
ブラックマトリクス作製手段１０の各製造工程が終了した基板が収納された基板収納装置（カセット）１７は、ストッカー設備より赤色フィルタ作製手段２０の処理設備２１の前にセットされる。作製手段コード１０及び処理設備コード１１〜１７の識別コードが１になった基板仕上がり処理フラグを有する基板は、搬送ユニットにて搬送されて、レジスト塗布装置からなる処理設備２１の入口で、品名コードと基板コードが読み込まれ、基板仕
上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとが処理設備２１で処理される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード２１の識別コードに１が付与されて（図８（ａ）参照）、処理設備２１による赤色レジスト塗布処理、プレベーク処理が行われ、赤色レジスト塗布基板が作製される。
【００３１】
以下、露光装置からなる処理設備２２の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コード及び処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備２２によるパターン露光と、現像装置からなる処理設備２３の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備２３による現像処理と、ポストベーク装置からなる処理設備２４の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備２４によるポストベーク処理と、検査装置からなる処理設備２５の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備２５による検査処理と、基板収納装置（カセット）からなる処理設備２６の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、が順次実施され、図８（ｂ）に示すような基板仕上がり処理フラグを有する途中工程のカラーフィルタ基板が基板収納装置（カセット）２６へ収納される。
さらに、途中工程のカラーフィルタ基板が収納された基板収納装置（カセット）２６がストッカー設備にロードされる。
【００３２】
赤色フィルタ作製手段２０の各製造工程が終了した基板が収納された基板収納装置（カセット）２６は、ストッカー設備より緑色フィルタ作製手段３０の処理設備３１の手前にセットされる。作製手段コード１０、２０及び処理設備コード１１〜１７、２１〜２６の識別コードが１になった基板仕上がり処理フラグを有する基板は、搬送ユニットにて搬送されて、レジスト塗布装置からなる処理設備３１の入口で、品名コードと基板コードが読み込まれ、基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとが処理設備３１で処理される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード３１の識別コードに１が付与されて（図９（ａ）参照）、処理設備３１による緑色レジスト塗布、プレベーク処理が行われ、緑色レジスト塗布基板が作製される。
【００３３】
以下、露光装置からなる処理設備３２の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備３２によるパターン露光と、現像装置からなる処理設備３３の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備３３による現像処理と、ポストベーク装置からなる処理設備３４の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備３４によるポストベーク処理と、検査装置からなる処理設備３５の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備３５による検査処理と、基板収納装置（カセット）からなる処理設備３６の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、が順次実施され、図９（ｂ）に示すような基板仕上がり処理フラグを有する途中工程のカラーフィルタ基板が基板収納装置（カセット）３６へ収納される。
さらに、途中工程のカラーフィルタ基板が収納された基板収納装置（カセット）３６がストッカー設備にロードされる。
【００３４】
緑色フィルタ作製手段３０の各製造工程が終了した基板が収納された基板収納装置（カセット）３６は、ストッカー設備より青色フィルタ作製手段４０の処理設備４１の手前にセットされる。作製手段コード１０、２０、３０及び処理設備コード１１〜１７、２１〜２６、３１〜３６の識別コードが１になった基板仕上がり処理フラグを有する基板は、搬送ユニットにて搬送されて、レジスト塗布装置からなる処理設備４１の入口で、品名コー
ドと基板コードが読み込まれ、基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとが処理設備４１で処理される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード４１の識別コードに１が付与されて（図１０（ａ）参照）、処理設備４１による青色レジスト塗布、プレベーク処理が行われ、青色レジスト塗布基板が作製される。
【００３５】
以下、露光装置からなる処理設備４２の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備４２によるパターン露光と、現像装置からなる処理設備４３の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備４３による現像処理と、ポストベーク装置からなる処理設備４４の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備４４によるポストベーク処理と、検査装置からなる処理設備４５の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備４５による検査処理と、基板収納装置（カセット）からなる処理設備４６の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、が順次実施され、図１０（ｂ）に示すような基板仕上がり処理フラグを有する途中工程のカラーフィルタ基板が基板収納装置（カセット）４６へ収納される。
さらに、途中工程のカラーフィルタ基板が収納された基板収納装置（カセット）４６はストッカー設備にロードされる。
【００３６】
青色フィルタ作製手段４０の各製造工程が終了した基板が収納された基板収納装置（カセット）４６は、ストッカー設備より透明電極作製手段５０の処理設備５１の手前にセットされる。作製手段コード１０、２０、３０、４０及び処理設備コード１１〜１７、２１〜２６、３１〜３６、４１〜４６の識別コードが１になった基板仕上がり処理フラグを有する基板は、搬送ユニットにて搬送されて、透明電極成膜装置からなる処理設備５１の入口で、品名コードと基板コードが読み込まれ、基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとが処理設備５１で処理される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード５１の識別コードに１が付与されて（図１１（ａ）参照）、処理設備５１による透明電極の成膜処理が行われる。
【００３７】
以下、検査装置からなる処理設備５２の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備５２による検査処理と、基板収納装置（カセット）からなる処理設備５３の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、が順次実施され、図１１（ｂ）に示すような基板仕上がり処理フラグを有する途中工程のカラーフィルタ基板が基板収納装置（カセット）５３へ収納される。
さらに、透明電極が形成された途中工程のカラーフィルタ基板が収納された基板収納装置（カセット）５３はストッカー設備にロードされる。
【００３８】
透明電極作製手段５０の各製造工程が終了した基板が収納された基板収納装置（カセット）５３は、ストッカー設備よりスペーサー作製手段６０の処理設備５１の手前にセットされる。作製手段コード１０、２０、３０、４０、５０及び処理設備コード１１〜１７、２１〜２６、３１〜３６、４１〜４６、５１〜５３の識別コードが１になった基板仕上がり処理フラグを有する基板は、搬送ユニットにて搬送されて、レジスト塗布装置からなる処理設備６１の入口で基品名コードと基板コードが読み込まれ、板仕上がりフラッグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとが読み込まれて、処理設備６１で処理される基板であると判断されると、基板仕上がり処理フラグの処理設備コード６１の識別コードに１が付与されて（図１２（ａ）参照）、処理設備６１によるレジスト塗布、プレベーク処理が行われ、レジスト塗布基板が作製される。
【００３９】
以下、露光装置からなる処理設備６２の入り口で品名コードと基板コードが読み込まれ、基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備６２によるパターン露光と、現像装置からなる処理設備６３の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備６３による現像処理と、ポストベーク装置からなる処理設備６４の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備６４によるポストベーク処理と、検査装置からなる処理設備６５の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、処理設備６５による検査処理と、基板収納装置（カセット）からなる処理設備６６の入り口での基板仕上がり処理フラグの作製手段コードと処理設備コードの識別コードとの判断処理と、が順次実施され、図１２（ｂ）に示すような基板仕上がり処理フラグを有するカラーフィルタ基板が基板収納装置（カセット）６６へ収納される。
【００４０】
上記したように、カラーフィルタ基板の製造システムでは、基板仕上がり処理フラグに設けられた識別コードを製造工程毎に確認しながら進めていくため、基板の２重工程処理、スルー処理を皆無にすることができる。
また、基板処理中に途中の処理設備から処理基板を抜き取り、オフラインで処理して再度下流の処理設備に再投入するようなことがあっても、確実に、決められた下流の処理設備に再投入することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明のカラーフィルタ基板の製造システムの一実施例を示す模式構成図である。
【図２】ブラックマトリクス作製手段における処理設備の配置の一例を示す説明図である。
【図３】工程処理前の基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。
【図４】（ａ）は、ブラックマトリクス作製手段１０の処理設備１１での処理が終わった基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。（ｂ）は、ブラックマトリクス作製手段１０の処理設備１１、１２での処理が終わった基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。
【図５】（ａ）は、ブラックマトリクス作製手段１０の処理設備１１、１２，１３での処理が終わった基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。（ｂ）は、ブラックマトリクス作製手段１０の処理設備１１、１２、１３，１４での処理が終わった基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。
【図６】（ａ）は、ブラックマトリクス作製手段１０の処理設備１１、１２，１３、１４，１５での処理が終わった基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。（ｂ）は、ブラックマトリクス作製手段１０の処理設備１１、１２、１３，１４、１５、１６での処理が終わった基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。
【図７】ブラックマトリクス作製手段１０の全処理設備による処理が終わった基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。
【図８】（ａ）は、赤色フィルタ作製手段２０の処理設備２１での処理が終わった基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。（ｂ）は、赤色フィルタ作製手段２０の全処理設備による処理が終了した基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。
【図９】（ａ）は、緑色フィルタ作製手段３０の処理設備３１での処理が終わった基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。（ｂ）は、赤色フィルタ作製手段３０の全処理設備による処理が終了した基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。
【図１０】（ａ）は、青色フィルタ作製手段４０の処理設備４１での処理が終わった基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。（ｂ）は、青色フィルタ作製手段４０の全処理設備による処理が終了した基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。
【図１１】（ａ）は、透明電極作製手段５０の処理設備５１での処理が終わった基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。（ｂ）は、透明電極作製手段５０の全処理設備による処理が終了した基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。
【図１２】（ａ）は、スペーサー作製手段６０の処理設備６１での処理が終わった基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。（ｂ）は、スペーサー作製手段６０の全処理設備による処理が終了した基板仕上がり処理フラグの一例を示す説明図である。
【図１３】カラーフィルタ基板の生産システムにおける処理設備の配置の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４２】
１０……ブラックマトリクス作製手段
１１、１２、１３、１４、１５、１６……処理設備
２０……赤色フィルタ作製手段
２１、２２、２３、２４、２５、２６……処理設備
３０……緑色フィルタ作製手段
３１、３２、３３、３４、３５、３６……処理設備
４０……青色フィルタ作製手段
４１、４２、４３、４４、４５、４６……処理設備
５０……透明電極作製手段
５１、５２、５３……処理設備
６０……スペーサー作製手段
６１、６２、６３、６４、６５、６６……処理設備
７０……工程管理システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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