(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ブロック（１０）と、前記第１ブロックと対向する第２ブロック（２０）と、前記第１ブロックと前記第２ブロックの間に位置する樹脂製の中間ブロック（３０）とを備え、前記中間ブロックは前記第１ブロックから前記第２ブロックに向けて貫通するチャンバ部（４０）を有するボディ本体（１Ａ）において、
前記第１ブロックと前記中間ブロックを固定する第１固定部材（７０）と、
前記第２ブロックと前記中間ブロックを固定する第２固定部材（８０）と、
前記第１ブロックに前記第１固定部材が貫通する貫通孔（１１１）を設けた第１補強部材（１１０）と、
前記中間ブロックに前記第１固定部材が貫通する貫通孔（１２１）を設けた第２補強部材（１２０）及び前記第２固定部材が貫通する貫通孔（１３１）を設けた第３補強部材（１３０）と、
前記第２ブロックに前記第２固定部材が貫通する貫通孔（１４１）を設けた第４補強部材（１４０）とを備え、
前記第２補強部材を前記中間ブロックが前記第１ブロックと接する側となる第１当接面（３１）に配置し、前記第１当接面に設けた第１折り曲げ部（１０１）を介して前記第２補強部材を前記中間ブロックに係合させると共に、前記第２補強部材の貫通孔と前記第１補強部材の貫通孔同士を同一直線上に揃え、
前記第３補強部材を前記中間ブロックが前記第２ブロックと接する側となる第２当接面（３２）に配置し、前記第２当接面に設けた第２折り曲げ部（１０２）を介して前記第３補強部材を前記中間ブロックと係合させると共に、前記第３補強部材の貫通孔と前記第４補強部材の貫通孔同士を同一直線上に揃え、
前記第１固定部材が前記第１補強部材の貫通孔を貫通し前記第２補強部材の貫通孔と固定して前記第１ブロックと前記中間ブロックを接続し、同時に、前記第２固定部材が前記第４補強部材の貫通孔を貫通し前記第３補強部材の貫通孔と固定して前記第２ブロックと前記中間ブロックを接続して、
前記第１ブロックと、前記中間ブロックと、前記第２ブロックとを一体に固定し前記ボディ本体を構成する
ことを特徴とするボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項２】
前記中間ブロックにおける前記チャンバ部に第１ダイヤフラム部（５０）及び第２ダイヤフラム部（６０）が収容され、前記第１ダイヤフラム部及び前記第２ダイヤフラム部は連結部（４５）により互いに連結され、前記連結部は前記チャンバ部内に進退自在に配置されており、
前記第１ダイヤフラム部は前記第１ブロックと前記中間ブロックの間に挟持され、前記第２ダイヤフラム部は前記第２ブロックと前記中間ブロックの間に挟持されている請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項３】
前記第１ブロックに前記第１補強部材を収容する第１補強部材収容部（１５）が形成されていると共に、前記第２ブロックに前記第４補強部材を収容する第４補強部材収容部（２５）が形成されている請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項４】
前記第１固定部材及び前記第２固定部材がボルト体であって、
前記第１固定部材と前記第２補強部材との固定並びに前記第２固定部材と前記第３補強部材との固定はナットを介して行われる請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項５】
前記第１固定部材及び前記第２固定部材がボルト体であって、
前記第２補強部材は前記ボルト体からなる前記第１固定部材と螺合するねじ溝部（１２２）を有し、前記第１補強部材の貫通孔と前記第２補強部材のねじ溝部が同一直線上に位置していると共に、
前記第３補強部材は前記ボルト体からなる前記第２固定部材と螺合するねじ溝部（１３２）を有し、前記第４補強部材の貫通孔と前記第３補強部材のねじ溝部が同一直線上に位置している請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項６】
前記第１補強部材、前記第２補強部材、前記第３補強部材、及び前記第４補強部材のそれぞれの貫通孔を同一直線上に揃えて、これらの貫通孔を貫通する補助固定部材（９０）が備えられている請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項７】
前記補助固定部材がボルト体である請求項６に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項８】
前記第１補強部材、前記第２補強部材、前記第３補強部材、前記第４補強部材のいずれもが環形状である請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項９】
前記樹脂製の中間ブロックがポリテトラフルオロエチレンからなる請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項１０】
前記第１ダイヤフラム部、または前記第２ダイヤフラム部の少なくともいずれかにシール部材が圧着されている請求項２に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項１１】
前記ボディ本体が圧力制御弁である請求項２に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項１２】
前記ボディ本体がダイヤフラムポンプである請求項２に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のブロックを積層して形成するボディ本体において、各ブロック間同士を強力に固定するボディ本体のブロック間固定構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のブロックを積層して構成されるボディ本体５００は、図１５のとおり、上から順に第１ブロック５０１、中間ブロック５０３、第２ブロック５０２となる。従来、ボディ本体を一体化する場合、接続ボルト５１１を第１ブロック側から挿入して中間ブロック５０３を貫通し第２ブロック側に備えられたナット５１２と係合させ、同様に、接続ボルト５１１を第２ブロック側から挿入して中間ブロック５０３を貫通し第１ブロック側に備えられたナット５１２と係合させ、各ブロック同士を接続、固定していた。このような固定構造は構造体製品において一般的であり、ボディ本体を有する構造体の製品として広く採用されている。例えば、流量コントロールバルブ（特許文献１参照）、背圧制御弁（特許文献２参照）、またはダイヤフラムポンプ（特許文献３のインジェクター参照）等の構造体製品である。
【０００３】
各特許文献に開示の構造体製品は、主にシリコンウエハーや基板の洗浄設備等の半導体製造における流体供給分野に用いられ、例えば、超純水をはじめ、フッ酸等の薬液の供給、圧送ラインに接続される。この供給、圧送ラインには腐蝕の影響を受け難いフッ素樹脂素材が用いられる。そこで、同様に耐腐蝕性を考慮して前記の各構造体製品には、フッ素樹脂素材が多用される。
【０００４】
半導体製造分野において、ウエハー洗浄効率の改善、薬剤の溶解度調整から高温水、水蒸気等の高温、高圧の流体圧送への対応が今まで以上に求められている。そのため、構造体製品は高温流体に曝露される過酷な使用条件も想定しなけらばならない。特に、１８０℃を超える高温度域での使用にも耐えられることが求められている。ところが、ＰＴＦＥ等の軟質のフッ素樹脂は切削加工には向くものの線膨張係数が大きく、高温流体の流入時の加熱、同流体の流入停止時の冷却に晒されるうちに変形しやすくなる。これはクリープ（ｃｒｅｅｐ）と称され、構造体製品の歪みを助長し、内部構造の気密性を低下させて流通される流体の清浄度への影響が指摘される。また、構造体製品から製造設備内に流体成分が漏洩すると、他の機器への影響も懸念される。
【０００５】
従来例の図１５に示す構造から理解されるように、ボディ本体５００は接続ボルト５１１とナット５１２によるブロック間の固定であるため、ボディ本体の固定を強固にしようとする場合、ボルトの数を増やしてブロック同士を締め付けていた。しかし、ボルト−ナットの使用では、自明ながらナットとボルト頭部との締結であるため締め付けに作用する面積は少ない。そのため、ボディ本体の全てのボルトを締結したとしても、ブロック間の密着性能を十分に得ることができないおそれがある。また、構造体製品の形状によっては、ボルトの取り付け部位に制約を受けることも多く、単純に取り付け本数の増加のみでは高温環境下での使用に対処しきれない場合もある。
【０００６】
構造体製品自体が小型であれば、温度変化によるブロックの変形（クリープ）は少なくほとんど問題化しない。しかし、構造体製品自体が大きくなると、その内部を流通する流量も増して内部の受圧部分の影響も大きくなる点も無視できない。単にボルト−ナットによる締結では、前述の問題点に加え樹脂製ブロックの変形（クリープ）によりナットあるいはボルトの頭部がブロック内に食い込み応力集中に伴う亀裂を引き起こしやすい点も指摘される。そこで、特に高温度域の使用時において樹脂製ブロックに生じる熱変形に対処するべく、ブロック同士を固定する構造の改良が切望されている。
【特許文献１】特許第２６７１１８３号公報
【特許文献２】特許第３４６７４３８号公報
【特許文献３】特許第３４９７８３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は前記の点に鑑みなされたものであり、ブロック同士を組み合わせて一体にする構造体において、単にボルト−ナットのみによるブロック同士の固定に代えて各ブロック間を強固かつ安定に固定して、内部を流通する高温流体の影響を受けた温度変化に伴うブロックの変形を極力回避可能とするボディ本体におけるブロック間固定構造を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、請求項１の発明は、第１ブロック（１０）と、前記第１ブロックと対向する第２ブロック（２０）と、前記第１ブロックと前記第２ブロックの間に位置する樹脂製の中間ブロック（３０）とを備え、前記中間ブロックは前記第１ブロックから前記第２ブロックに向けて貫通するチャンバ部（４０）を有するボディ本体（１Ａ）において、前記第１ブロックと前記中間ブロックを固定する第１固定部材（７０）と、前記第２ブロックと前記中間ブロックを固定する第２固定部材（８０）と、前記第１ブロックに前記第１固定部材が貫通する貫通孔（１１１）を設けた第１補強部材（１１０）と、前記中間ブロックに前記第１固定部材が貫通する貫通孔（１２１）を設けた第２補強部材（１２０）及び前記第２固定部材が貫通する貫通孔（１３１）を設けた第３補強部材（１３０）と、前記第２ブロックに前記第２固定部材が貫通する貫通孔（１４１）を設けた第４補強部材（１４０）とを備え、前記第２補強部材を前記中間ブロックが前記第１ブロックと接する側となる第１当接面（３１）に配置し、前記第１当接面に設けた第１折り曲げ部（１０１）を介して前記第２補強部材を前記中間ブロックに係合させると共に、前記第２補強部材の貫通孔と前記第１補強部材の貫通孔同士を同一直線上に揃え、前記第３補強部材を前記中間ブロックが前記第２ブロックと接する側となる第２当接面（３２）に配置し、前記第２当接面に設けた第２折り曲げ部（１０２）を介して前記第３補強部材を前記中間ブロックと係合させると共に、前記第３補強部材の貫通孔と前記第４補強部材の貫通孔同士を同一直線上に揃え、前記第１固定部材が前記第１補強部材の貫通孔を貫通し前記第２補強部材の貫通孔と固定して前記第１ブロックと前記中間ブロックを接続し、同時に、前記第２固定部材が前記第４補強部材の貫通孔を貫通し前記第３補強部材の貫通孔と固定して前記第２ブロックと前記中間ブロックを接続して、前記第１ブロックと、前記中間ブロックと、前記第２ブロックとを一体に固定し前記ボディ本体を構成することを特徴とするボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【０００９】
請求項２の発明は、前記中間ブロックにおける前記チャンバ部に第１ダイヤフラム部（５０）及び第２ダイヤフラム部（６０）が収容され、前記第１ダイヤフラム部及び前記第２ダイヤフラム部は連結部（４５）により互いに連結され、前記連結部は前記チャンバ部内に進退自在に配置されており、前記第１ダイヤフラム部は前記第１ブロックと前記中間ブロックの間に挟持され、前記第２ダイヤフラム部は前記第２ブロックと前記中間ブロックの間に挟持されている請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１０】
請求項３の発明は、前記第１ブロックに前記第１補強部材を収容する第１補強部材収容部（１５）が形成されていると共に、前記第２ブロックに前記第４補強部材を収容する第４補強部材収容部（２５）が形成されている請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１１】
請求項４の発明は、前記第１固定部材及び前記第２固定部材がボルト体であって、前記第１固定部材と前記第２補強部材との固定並びに前記第２固定部材と前記第３補強部材との固定はナットを介して行われる請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１２】
請求項５の発明は、前記第１固定部材及び前記第２固定部材がボルト体であって、前記第２補強部材は前記ボルト体からなる前記第１固定部材と螺合するねじ溝部（１２２）を有し、前記第１補強部材の貫通孔と前記第２補強部材のねじ溝部が同一直線上に位置していると共に、前記第３補強部材は前記ボルト体からなる前記第２固定部材と螺合するねじ溝部（１３２）を有し、前記第４補強部材の貫通孔と前記第３補強部材のねじ溝部が同一直線上に位置している請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１３】
請求項６の発明は、前記第１補強部材、前記第２補強部材、前記第３補強部材、及び前記第４補強部材のそれぞれの貫通孔を同一直線上に揃えて、これらの貫通孔を貫通する補助固定部材（９０）が備えられている請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１４】
請求項７の発明は、前記補助固定部材がボルト体である請求項６に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１５】
請求項８の発明は、前記第１補強部材、前記第２補強部材、前記第３補強部材、前記第４補強部材のいずれもが環形状である請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１６】
請求項９の発明は、前記樹脂製の中間ブロックがポリテトラフルオロエチレンからなる請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１７】
請求項１０の発明は、前記第１ダイヤフラム部、または前記第２ダイヤフラム部の少なくともいずれかにシール部材が圧着されている請求項２に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１８】
請求項１１の発明は、前記ボディ本体が圧力制御弁である請求項２に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１９】
請求項１２の発明は、前記ボディ本体がダイヤフラムポンプである請求項２に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、第１ブロックと、前記第１ブロックと対向する第２ブロックと、前記第１ブロックと前記第２ブロックの間に位置する樹脂製の中間ブロックとを備え、前記中間ブロックは前記第１ブロックから前記第２ブロックに向けて貫通するチャンバ部を有するボディ本体において、前記第１ブロックと前記中間ブロックを固定する第１固定部材と、前記第２ブロックと前記中間ブロックを固定する第２固定部材と、前記第１ブロックに前記第１固定部材が貫通する貫通孔を設けた第１補強部材と、前記中間ブロックに前記第１固定部材が貫通する貫通孔を設けた第２補強部材及び前記第２固定部材が貫通する貫通孔を設けた第３補強部材と、前記第２ブロックに前記第２固定部材が貫通する貫通孔を設けた第４補強部材とを備え、前記第２補強部材を前記中間ブロックが前記第１ブロックと接する側となる第１当接面に配置し、前記第１当接面に設けた第１折り曲げ部を介して前記第２補強部材を前記中間ブロックに係合させると共に、前記第２補強部材の貫通孔と前記第１補強部材の貫通孔同士を同一直線上に揃え、前記第３補強部材を前記中間ブロックが前記第２ブロックと接する側となる第２当接面に配置し、前記第２当接面に設けた第２折り曲げ部を介して前記第３補強部材を前記中間ブロックと係合させると共に、前記第３補強部材の貫通孔と前記第４補強部材の貫通孔同士を同一直線上に揃え、前記第１固定部材が前記第１補強部材の貫通孔を貫通し前記第２補強部材の貫通孔と固定して前記第１ブロックと前記中間ブロックを接続し、同時に、前記第２固定部材が前記第４補強部材の貫通孔を貫通し前記第３補強部材の貫通孔と固定して前記第２ブロックと前記中間ブロックを接続して、前記第１ブロックと、前記中間ブロックと、前記第２ブロックとを一体に固定し前記ボディ本体を構成するため、ブロック同士を組み合わせて一体にする構造体において、単にボルト−ナットのみによるブロック同士の固定に代えて、第１ないし第４補強部材はそれぞれ面として第１ブロック、中間ブロック、第２ブロックに圧着するため、各ブロック間を強固かつ安定に固定し、内部を流通する高温流体の影響を受けた温度変化に伴うブロックの変形を極力回避可能とすることができる。
【００２１】
加えて、中間ブロックに直接折り曲げ部を介して第２補強部材、第３補強部材が係合されているため、中間ブロック自体も二方向から補強されることとなり、中間ブロックに生じるクリープの改善効果がいっそう高まる。
【００２２】
請求項２の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記中間ブロックにおける前記チャンバ部に第１ダイヤフラム部及び第２ダイヤフラム部が収容され、前記第１ダイヤフラム部及び前記第２ダイヤフラム部は連結部により互いに連結され、前記連結部は前記チャンバ部内に進退自在に配置されており、前記第１ダイヤフラム部は前記第１ブロックと前記中間ブロックの間に挟持され、前記第２ダイヤフラム部は前記第２ブロックと前記中間ブロックの間に挟持されているため、流体供給分野に用いられるボディ本体のブロック同士の固定に適応させることができる。
【００２３】
請求項３の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記第１ブロックに前記第１補強部材を収容する第１補強部材収容部が形成されていると共に、前記第２ブロックに前記第４補強部材を収容する第４補強部材収容部が形成されているため、第１補強部材と第２補強部材との間の距離、並びに第４補強部材と第３補強部材との間の距離を短くすることができる。そこで、各補強部材同士の間に挟まれる樹脂製のブロックの厚みを少なくして、相対的に樹脂製ブロックに生じるクリープを低減することができる。
【００２４】
請求項４の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記第１固定部材及び前記第２固定部材がボルト体であって、前記第１固定部材と前記第２補強部材との固定並びに前記第２固定部材と前記第３補強部材との固定はナットを介して行われるため、補強部材の加工を簡便にできると共に、ボルト体である固定部材と補強部材との固定が円滑かつ容易となる。
【００２５】
請求項５の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記第１固定部材及び前記第２固定部材がボルト体であって、前記第２補強部材は前記ボルト体からなる前記第１固定部材と螺合するねじ溝部を有し、前記第１補強部材の貫通孔と前記第２補強部材のねじ溝部が同一直線上に位置していると共に、前記第３補強部材は前記ボルト体からなる前記第２固定部材と螺合するねじ溝部を有し、前記第４補強部材の貫通孔と前記第３補強部材のねじ溝部が同一直線上に位置しているため、固定構造に要する部品数を少なくできると共に、ボルト体である固定部材と補強部材との固定が円滑かつ容易となる。
【００２６】
請求項６の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記第１補強部材、前記第２補強部材、前記第３補強部材、及び前記第４補強部材のそれぞれの貫通孔を同一直線上に揃えて、これらの貫通孔を貫通する補助固定部材が備えられているため、第１補強部材から第４補強部材にかけての補強部材同士の固定をより強固にすると共に、第１ブロック、中間ブロック、第２ブロックの一体化を補助することができる。
【００２７】
請求項７の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項６の発明において、前記補助固定部材がボルト体であるため、補強部材との固定が円滑かつ容易となる。
【００２８】
請求項８の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記第１補強部材、前記第２補強部材、前記第３補強部材、前記第４補強部材のいずれもが環形状であるため、ボディ本体内部の構造を加味して構造強度を維持することができる。
【００２９】
請求項９の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記樹脂製の中間ブロックがポリテトラフルオロエチレンからなるため、耐蝕性、耐薬品性や高温耐性を有すると共に、粘性が強く、切削加工に適している。特に、当該ボディ本体におけるブロック間固定構造を用いることにより、ポリテトラフルオロエチレン製の中間ブロックに生じるクリープによる歪みの影響は、両補強部材を介し面としての上下方向から押圧されることにより抑制可能となる。
【００３０】
請求項１０の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項２の発明において、前記第１ダイヤフラム部、または前記第２ダイヤフラム部の少なくともいずれかにシール部材が圧着されているため、ダイヤフラムと各ブロックとの密着性は高まり、チャンバ内の気密性が向上する。
【００３１】
請求項１１の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項２の発明において、前記ボディ本体が圧力制御弁であるため、流体圧力を一定化する用途のボディ本体における流通する高温流体の影響を受けた温度変化に伴うブロックの変形を極力回避可能とすることができる。
【００３２】
請求項１２の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項２の発明において、前記ボディ本体がダイヤフラムポンプであるため、流体を供給する用途のボディ本体における流通する高温流体の影響を受けた温度変化に伴うブロックの変形を極力回避可能とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説明する。
図１は本発明の第１実施例に係るボディ本体の側面視縦断面図、図２は第１実施例のボディ本体の側面視部分断面図、図３は図１の主要部分拡大図、図４は第１実施例のボディ本体の上面図、図５は補強部材と中間ブロックの係合を示す概略断面図、図６は固定部材及び補強部材の取り付け状態を示す部分斜視図、図７は固定部材及び補強部材の取り付け状態を示す別例の部分斜視図、図８は第２実施例に係るボディ本体の側面視部分断面図、図９は第２実施例のボディ本体の側面視部分断面図、図１０は第３実施例に係るボディ本体の側面視縦断面図、図１１は第３実施例のボディ本体の側面視部分断面図、図１２は第３実施例のボディ本体の正面図である。
【００３４】
本発明のボディ本体は、流体供給分野に用いられ、半導体製造設備における超純水、水蒸気や薬液等の流体の供給、圧送ライン（図示せず）に接続される。そこでボディ本体に各種流体を導入して流量制御、流体圧力の安定化、流体圧送を行う装置として用いられる。このようなボディ本体に組み込まれているブロック間固定構造とは、二のブロックの間にさらに他のブロックが介在されている複数のブロックを積層したボディ本体において、これらの各ブロック同士を固定するための構造である。
【００３５】
図１ないし図４に示す第１実施例のボディ本体１Ａは、請求項１１の発明に規定するように、ブロック間固定構造を圧力制御弁に適用した例である。開示の圧力制御弁とは、流入側（上流側）の圧力変動に対応して流出側（下流側）の圧力変動を平坦化して、流量を一定にする流量コントロールバルブである。はじめに圧力制御弁の構造を説明し、続いて本発明のボディ本体におけるブロック間固定構造を説明する。
【００３６】
図１の側面視縦断面図から把握されるように、ボディ本体１Ａにおいては、第１ブロック１０と、この第１ブロックと対向する第２ブロック２０と、第１ブロックと第２ブロックとの間に挟まれるようにして中間ブロック３０が位置している。中間ブロック３０には、第１ブロック１０から第２ブロック２０に向けて貫通するチャンバ部４０が形成されている。図１の符号Ｉ，ＩＩの部分は後述する本発明のブロック間固定構造Ｘ１である。
【００３７】
ボディ本体１Ａは流体の流量制御、流体圧力の安定化を目的とするため、請求項２の発明に規定するように、第１ダイヤフラム部５０及び第２ダイヤフラム部６０が中間ブロック３０内に形成されたチャンバ部４０に収容される。第１ダイヤフラム部５０及び第２ダイヤフラム部６０は連結部４５により互いに連結される。連結部４５はチャンバ部４０の内部を連結部の連結方向に進退自在に配置されている。また、第１ダイヤフラム部５０は第１ブロック１０と中間ブロック３０の間に、第２ダイヤフラム部６０も第２ブロック２０と中間ブロック３０の間に挟持される。
【００３８】
より詳しく述べると、第１ダイヤフラム部５０は薄肉可動部５１と外周部５２とからなり、第１ダイヤフラム部５０の外周部５２は第１ブロック１０と中間ブロック３０に挟まれてボディ本体１Ａに固定され、チャンバ部４０に収容される。チャンバ部４０において、第１ダイヤフラム部５０を挟んで第１ブロック１０寄りとなる空間は第１加圧室１１、同じく中間ブロック寄りとなる空間は第１チャンバ４０ｐとして区画される。
【００３９】
同様に、第２ダイヤフラム部６０は薄肉可動部６１と外周部６２とからなり、第２ダイヤフラム部６０の外周部６２は第２ブロック２０と中間ブロック３０に挟まれてボディ本体１Ａに固定され、チャンバ部４０に収容される。チャンバ部４０において、第２ダイヤフラム部６０を挟んで第２ブロック２０寄りとなる空間は第２加圧室２１、同じく中間ブロック寄りとなる空間は第２チャンバ４０ｑとして区画される。
【００４０】
図示の例によると、請求項１０の発明にも規定するように、第１ダイヤフラム部５０を挟持する両ブロックの間に第１シール部材１９が圧着され、さらに、第２ダイヤフラム部６０を挟持する両ブロックの間に第２シール部材２９が圧着されている。シール部材はフッ素樹脂ゴム、シリコーンゴム等の耐薬品性の樹脂素材からなるＯリングあるいは角リングである。シール部材を介在させることにより、ダイヤフラム部と各ブロックとの密着性が高まり、チャンバ内の気密性が向上する。
【００４１】
第１ダイヤフラム部５０及び第２ダイヤフラム部６０を連結する連結部４５には弁部４６が備えられる。弁部４６はチャンバ部４０を狭小とする弁座３５を開閉する。符号４７は弁機構体であり、第１ダイヤフラム部５０、第２ダイヤフラム部６０、及び連結部４５により構成される。
【００４２】
中間ブロック３０内において、一次側（上流側）に流体Ｆを受け入れる流入部４１が設けられ、第２チャンバ４０ｑに接続される。また、二次側（下流側）に流体Ｆを送り出す流出部４２が設けられ、流出部４２は第１チャンバ４０ｐに接続される。流体Ｆは流入部４１から第２チャンバ４０ｑに流入し、チャンバ部４０を狭小とする弁座３５を通過して第１チャンバ４０ｐに流入して流出部４２からボディ本体外部へ流出する。さらに、中間ブロック３０の流入部４１側に流入側接続部３８、流出部４２側に流出側接続部３９が備えられ、流体の供給、圧送ライン（図示せず）に管路接続される。
【００４３】
圧力制御弁であるボディ本体１Ａには、第１加圧室１１または第２加圧室２１のいずれかあるいは両方に加圧手段２が備えられる。図示の加圧手段２は、電空レギュレーターの下で制御される調圧気体３であり、第１加圧室１１に接続される。第１ダイヤフラム部５０（弁機構体４７）は、調圧気体３により常時中間ブロック３０の内部方向に押し下げられる。第２加圧室２１では加圧手段としてばね２２が設けられている。第２ダイヤフラム部６０（弁機構体４７）は、ばね２２により常時中間ブロック３０の内部方向に押し上げられる。
【００４４】
ここで、ボディ本体１Ａの圧力制御弁としての作用を簡単に説明する。一次側（上流側）となる流入部４１の圧力変動は、第２ダイヤフラム部６０及び第１ダイヤフラム部５０に対する背圧（中間ブロックから離れる外向きの圧力）の変動として現れる。このとき、前出のばね２２や調圧気体３による一定の内向き（中間ブロックに押し込む向き）の設定圧力と、一次側の外向きの変動圧力は均衡を保とうとして、弁機構体４７を移動させる。弁機構体４７（連結部４５）の進退動作により弁部４６と弁座３５との距離は変化し、弁座３５の開口量は変化して二次側に通過する流体の流量は制御される。
【００４５】
図中の符号１２は調圧気体のための給気ポート、１３は調圧気体の排気ポート、２３は第２加圧室２１内の空気の流出入を行う呼吸路である。なお、加圧手段の別例として、ステッピングモータとボールネジの組み合わせ、ソレノイド構造（電磁石）等の利用も可能である。
【００４６】
ボディ本体を流通する流体は、超純水の他に、酸性、塩基性等の高腐蝕性の流体であり、さらにはこれらの高温流体、水蒸気等も含まれる。そこで、各部材はＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＦＡ（パーフルオロアルコキシアルカン）、ＦＥＰ（パーフルオロエチレンプロペンコポリマー）、ＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド）等の耐蝕性、耐薬品性に優れ、高温耐性も併せ持つフッ素樹脂により成形される。以下順次述べる各実施例のボディ本体も同様のフッ素樹脂よりなる。
【００４７】
特に、ボディ本体に組み込まれている樹脂製の中間ブロック３０は、請求項９の発明に規定するように、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）から形成される。ＰＴＦＥは前記の耐蝕性、耐薬品性や高温耐性を有すると共に、粘性が強く、切削加工に適している。そのため、中間ブロック内部のチャンバ部、流入部、流出部等の加工は容易である。とりわけ、多品種少量生産に向く。
【００４８】
ただし、背景技術にて述べたとおり、ＰＴＦＥは線膨張係数が大きく高温流体の流入とその停止に伴う温度変化を繰り返しているうちにクリープ（ｃｒｅｅｐ）と称される変形を起こしやすくなる。そこで、開示のブロック間固定構造Ｘ１のとおり、第１固定部材７０、第２固定部材８０を備えると共に、第１補強部材１１０、第２補強部材１２０、第３補強部材１３０、第４補強部材１４０を備えることとした。
【００４９】
図１に加え図２の側面視部分断面図も用い、補強部材と固定部材の構造を述べる。図２において、部分Ａ*はボディ本体１Ａの側面を示し、部分Ａ#は側面視の断面を示す。部分Ａ*の補強部材及び固定部材は破線で表し、部分Ａ#の補強部材及び固定部材は二点鎖線で表している。
【００５０】
ボディ本体１Ａには、ブロック間の固定部材として、第１ブロック１０と中間ブロック３０との固定に用いる第１固定部材７０、及び第２ブロック２０と中間ブロック３０との固定に用いる第２固定部材９０が備えられる。図示の実施例おいては、請求項３の発明に規定するように、第１ブロック１０には第１補強部材収容部１５が形成され、この中に第１補強部材１１０は収容される。また、第２ブロック２０にも第４補強部材収容部２５が形成され、この中に第４補強部材１４０は収容される。符号１５１は第１蓋部材であり第１補強部材収容部１５を封止し、１５２は第２蓋部材であり第４補強部材収容部を封止する。
【００５１】
中間ブロック３０と第１ブロック１０との当接部位は第１当接面３１となる。第２補強部材１２０は第１当接面３１に配置されていると共に、同第１当接面３１に設けられた第１折り曲げ部１０１を介して中間ブロック３０に係合される。また、中間ブロック３０と第２ブロック２０との当接部位は第２当接面３２となる。第３補強部材１３０は第２当接面３２に配置されていると共に、同第２当接面３２に設けられた第２折り曲げ部１０２を介して中間ブロック３０に係合される。そこで、第１補強部材１１０と第２補強部材１２０に第１固定部材７０が挿入されて両補強部材は固定される。また、第３補強部材１３０と第４補強部材１４０に第２固定部材８０が挿入されて両補強部材は固定される。
【００５２】
図２に示すとおり、第１補強部材１１０には第１固定部材７０が貫通する貫通孔１１１、第２補強部材１２０にも第１固定部材７０が貫通する貫通孔１２１が設けられている。同じく、第４補強部材１４０には第２固定部材８０が貫通する貫通孔１４１、第３補強部材にも第２固定部材８０が貫通する貫通孔１３１が設けられている。図示のブロック間固定構造Ｘ１からよくわかるように、第１補強部材１１０及び第２補強部材１２０の両貫通孔１１１，１２１に対して第１固定部材７０は垂直に挿通され、第４補強部材１４０及び第３補強部材１３０の両貫通孔１４１，１３１に対して第２固定部材８０は垂直に挿通される。
【００５３】
つまり、補強部材の貫通孔同士は、同一直線上に揃えられた配置となる。互いの補強部材の貫通孔同士は最短距離となり、固定部材の挿通が容易となるためである。固定部材は補強部材と接合できる限り適宜であり、例えばリベット等を用いることもできる。なお、実施例では後記するように、第１，第２固定部材を共にボルト体としている。
【００５４】
さらに、図示の実施例によると、請求項６の発明に規定するように、第１補強部材１１０、第２補強部材１２０、第３補強部材１３０、第４補強部材１４０のそれぞれの貫通孔１１１’，１２１’，１３１’，１４１’は同一直線上に揃えられ、これらの貫通孔を一度に貫通する補助固定部材９０も備えられる。この補助固定部材９０としては、リベット等の他に、請求項７の発明に規定するようにボルト体である。
【００５５】
図３を用いさらにブロック間固定構造Ｘ１を詳細について説明する。図３（ａ）は図１のＩ部分、図３（ｂ）は図１のＩＩ部分の要部拡大図に対応する。同図（ａ）から把握されるように、中間ブロック３０の第１当接面３１において、第２補強部材１２０は中間ブロックの内部寄りに掘り下げられた第２補強部材収容部３６に収容される。第２補強部材１２０の上面部分に略鉤状をしている第１折り曲げ部１０１の一部が覆い被さり、第２補強部材１２０は第２補強部材収容部の底面３６ｂに引き寄せられて密着する。同様に、同図（ｂ）から把握されるように、中間ブロック３０の第２当接面３２において、第３補強部材１３０は中間ブロックの内部寄りに掘り下げられた第３補強部材収容部３７に収容される。第３補強部材１３０の上面部分に略鉤状をしている第２折り曲げ部１０２の一部が覆い被さり、第３補強部材１３０は第３補強部材収容部の底面３７ｂに引き寄せられて密着する。
【００５６】
ここで、第１固定部材７０が、第１ブロック１０の第１補強部材収容部１５内に収容されている第１補強部材１１０の貫通孔１１１を貫通して中間ブロック３０に係合されている第２補強部材１２０の貫通孔１２１と接続することによって、第１ブロック１０と中間ブロック３０は第１固定部材７０により接続される。また、第２固定部材８０が、第２ブロック２０の第４補強部材収容部２５内に収容されている第４補強部材１４０の貫通孔１４１を貫通して中間ブロック３０に係合されている第３補強部材１３０の貫通孔１３１と接続されることによって、第２ブロック２０と中間ブロック３０は第２固定部材８０により接続される。こうして、第１ブロック、中間ブロック、第２ブロックは一体に固定され、ボディ本体が構成される。
【００５７】
図示の実施例において、第１，第２固定部材は共にボルト体としており、符号７３，８３はボルト溝部（ねじ山部）、７４，８４はボルト頭部、ｗａはワッシャであり、１２２，１３２は後述するねじ溝部である。第１ブロック１０には第１固定部材７０が挿通のために通過する通過部１７、第２ブロック２０には第２固定部材８０が挿通のために通過する通過部２７が形成され、中間ブロック３０には固定部材の先端が補強部材を突き抜けることもあるため空間部１８，２８が形成されている。符号１６は第１補強部材収容部の底面、２６は第１補強部材収容部の底面である。
【００５８】
中間ブロック３０においては、その一方側（図示では上方）から第２補強部材１２０、加えて他方側（図示では下方）から第３補強部材により補強される（図１ないし３参照）。この２個の補強部材による二方向からの補強を伴うため、樹脂製の中間ブロック３０に生じるクリープは改善される。さらに、第１補強部材１１０による押圧を伴って第１ブロックが中間ブロックの一方側（上方）から密着し、かつ、第４補強部材１４０による押圧を伴って第２ブロックが中間ブロックの他方側（下方）から密着している。従って、中間ブロック３０の双方側から同時に押圧されるため、中間ブロック３０に生じる歪みはさらに低減され、クリープはより生じにくくなる。
【００５９】
特に、実施例によると、第１補強部材１１０は第１補強部材収容部１５内に掘り下げられるようにして収容されるため、第１補強部材１１０と第２補強部材１２０との間の距離は短くなる。同様に、第４補強部材１４０は第４補強部材収容部２５内に掘り下げられるようにして収容されるため、第４補強部材１４０と第３補強部材１３０との間の距離も短くなる。このようにすると、各補強部材同士の間に挟まれる樹脂製のブロックの厚みを少なく（薄く）することができ、相対的に樹脂製ブロックに生じるクリープの低減に効果を発揮する。そこで、第１，第２固定部材７０，８０を介して固定される各補強部材間の歪みを極力抑制した状態のままでブロック間の固定に用いることができる。
【００６０】
開示のボディ本体のブロック間固定構造Ｘ１によると、例えば中間ブロックの他に第１ブロック及び第２ブロックも共にＰＴＦＥ製とした際、樹脂製のボディ本体を流通する流体の影響による温度変化に伴って樹脂製のボディ本体に生じるクリープの低減に効果を上げる。つまり、中間ブロックを補強する第２，第３補強部材に加えて、第１，第４補強部材を備えることにより、第１ブロック−中間ブロック−第２ブロックの組み合わせでこれらの各ブロックは強制的に二方向（実施例では上下方向）から押圧され一体に固定される構造となるためである。
【００６１】
図４はボディ本体１Ａの第１ブロック１０側の上面図であり、説明のため第１蓋部材１５１を外した状態である。図示のとおり、第１補強部材１１０は環形状である。これまでの図示から容易に理解され、また、請求項８の発明に規定するように、第１補強部材、第２補強部材、第３補強部材、第４補強部材のいずれもが同形でありかつ環形状である。いずれの補強部材も環形状とすることにより、ボディ本体内部の構造を加味して、円盤状のダイヤフラム部をその外周から均等に押さえ、ダイヤフラム部とブロックとの圧着、ブロック間の締め付けを強固にすることができる。その結果、クリープによって生じたブロックの変形はより低減され、中間ブロック内を流通する流体がブロック同士の接合部位から漏出するおそれを減らすことができる。なお、第２ブロック側の下面部分も図４の場合と同様となるため、図示、説明を省略する。
【００６２】
図５は中間ブロックに補強部材を取り付ける際の概略を示す。第２補強部材、第３補強部材は共に同形であるため、第２補強部材を例に説明する。図５（ａ）では、中間ブロック３０の第２補強部材収容部３６に第２補強部材１２０が収容され、第２補強部材はいったん底面３６ｂに配置される。続いて固定部１００は適宜の治具（図示せず）によって第２補強部材方向（太矢印方向参照）に折り曲げられる。そこで、同図（ｂ）のとおり、固定部１００は完全に折り曲げられて第２補強部材１２０の上面部１２０ｕに被さる。こうして、鉤状の第１折り曲げ部１０１が形成され、第２補強部材１２０は中間ブロック３０の第１当接面３１側（第２補強部材収容部３６）へ密着、固定（係合）される。同図（ｃ）にあるように、中間ブロックの第１当接面３１には第１ダイヤフラム５０、第１シール部材１９、第１ブロック１０、第１補強部材１１０が順次配置される。
【００６３】
この後、図３（ａ）参照のとおり、ボルト体である第１固定部材７０が第１補強部材１１０と第２補強部材１２０を貫通して、第２補強部材１２０のねじ溝部１２２と螺着する。図５からわかるように、第２補強部材１２０に固定部１００が折り曲げられて第１折り曲げ部１０１が被さるため、第２補強部材１２０が第１折り曲げ部１０１と接する部位は面取りされて面取部１２９としており、第１折り曲げ部１０１と第２補強部材１２０の互いの密着力を高めている。むろん、中間ブロックと第３補強部材との係合は上記の説明と同様となるため、図示及び説明を省略する。
【００６４】
ブロック間固定構造Ｘ１における固定部材と補強部材との接続、固定の様子について、図６を用いて説明する。図６では把握容易のため各ブロックを外した状態で固定部材、補助固定部材、補強部材（部分）のみを示す。請求項５の発明に規定するとおり、第１固定部材７０、第２固定部材８０は共にボルト体である。また、請求項７の発明に規定するとおり、補助固定部材９０もボルト体である。符号９３はボルト溝部、９４はボルト頭部、ｗａはワッシャである。固定部材、補助固定部材としてボルト体を採用することにより、ブロック同士の固定、取り外しは容易となり作業性は高まる。
【００６５】
図６からわかるように、ボルト体である第１固定部材７０は、第１補強部材１１０の貫通孔１１１を貫通後、第２補強部材１２０の貫通孔１２１に形成されたねじ溝部１２２（ねじ山部）と螺合する。そして、第１，第２補強部材同士は固定される。また、ボルト体である第２固定部材８０も、第４補強部材１４０の貫通孔１４１を貫通後、第３補強部材１３０の貫通孔１３１に形成されたねじ溝部１３２（ねじ山部）と螺合する。そして、第３，第４補強部材同士は固定される。図示の位置関係のとおり、第１（第４）補強部材の貫通孔１１１（１４１）と第２（第３）補強部材のねじ溝部１２２（１３２）は同一直線上の配置である。従って、固定部材（ボルト体）による固定、ねじ止めが円滑となる。また、固定構造に要する部品数が少なくなる。なお、ボルト体はねじを含む。
【００６６】
図６と併せて前出の図１、図３が参照されるように、第１固定部材７０のねじ締めが強まるほど、第１補強部材１１０と第２補強部材１２０の距離は狭まる。結果的に、両補強部材の間に挟まれている第１ブロック１０は中間ブロック側へ密着し、互いのブロック同士は強固に固定される。また、第２固定部材８０のねじ締めが強まるほど、第４補強部材１４０と第３補強部材１３０の距離は狭まり、両補強部材の間に挟まれている第２ブロック２０は中間ブロック側へ密着する。
【００６７】
この発明においては、第２補強部材１２０は第１折り曲げ部１０１により、第３補強部材１３０は第２折り曲げ部１０２を介して中間ブロック３０に係合、固定されており、同中間ブロックから、第２補強部材、第３補強部材は容易に脱離しない。従って、第２補強部材及び第３補強部材は、第１補強部材、第４補強部材を伴って第１，第２固定部材で固定する際のいわゆる足場となり得る。そこで、第１ブロック１０の中間ブロック３０側への密着、並びに第２ブロック２０の中間ブロック３０側への密着をいっそう強力とすることができる。
【００６８】
さらに、図６のブロック間固定構造Ｘ１では、第１，第２固定部材７０，８０を貫通させるための貫通孔１１１，１２１，１３１，１４１とは別に、各補強部材１１０，１２０，１３０，１４０の全てに貫通孔１１１’，１２１’，１３１’，１４１’が同一直線上に揃えて設けられている。そこで、補助固定部材９０によってこれら全ての貫通孔を一度に貫通可能としている。図示においては、第１補強部材１１０の貫通孔に当該補助固定部材と螺合可能なねじ溝部１１２’が形成され、第４補強部材１４０の貫通孔にも当該補助固定部材と螺合可能なねじ溝部１４２’が形成される。第４補強部材１４０側から挿入された補助補強部材９０は、第３，第２補強部材を順に貫通して、第１補強部材のねじ溝部１１２’と螺着し固定される。同様に、第１補強部材１１０側から挿入された補助補強部材９０は、第２，第３補強部材を順に貫通して、第４補強部材のねじ溝部１４２’と螺着し固定される。こうして、補助固定部材は、第１補強部材から第４補強部材にかけての補強部材同士の固定をより強固にして、ボディ本体を構成する第１ブロック、中間ブロック、第２ブロックの一体化を補助している。
【００６９】
背景技術にて示した図１５の従来例のブロック間固定構造ではボルト頭部とナットを用いた狭い面積による押圧であった。しかし、実施例において図示し説明するとおり、いずれの補強部材も面として、第１ブロック、中間ブロック、第２ブロックに圧着する。このため、ブロック同士は、個々の固定部材（ボルト体）のねじ締めにより補強部材全体として均等な力で押圧を受ける。ゆえに、高温の流体を流通・停止させた際の熱変化に伴って樹脂製の中間ブロックに生じるクリープによる歪みの影響は、補強部材を介した面として押圧により抑制される。
【００７０】
図７は補強部材と固定部材の取り付けの別例としてブロック間固定構造Ｘ２を示す。請求項４の発明に規定するように、第１固定部材７０及び第２固定部材８０は前記と同様にボルト体である。この例では、第１固定部材７０と第２補強部材１２０との固定並びに第２固定部材８０と第３補強部材１３０との固定は、いずれもナット９５を介して行われる。また、補助固定部材９０と第１，第４補強部材との固定にもナット９５が用いられる。図示からも理解されるように、ボルト溝部７３，８３，９３の螺合をナット９５に委ねるため、補強部材にねじ溝部を設ける必要はなく、単に貫通孔のみでよい。従って、補強部材の加工が簡便となる。必要に応じて、ナットを補強部材に溶接しておくこともできる。
【００７１】
各図に示した第１ないし第４補強部材１１０，１２０，１３０，１４０、第１，第２固定部材７０，８０、補助固定部材９０の材質は適宜金属製であり、例えば、ＳＳ４００、ＳＵＳ３０４等である。図１から把握されるように、チャンバ部を流通する流体とこれらの部材は接触することはない。ゆえに、補強部材や固定部材が腐蝕されることもなく、また、部材の腐蝕により流体の清浄度を下げるおそれも生じにくい。
【００７２】
図８及び図９に開示の第２実施例のボディ本体１Ｂは、別形態の圧力制御弁に前記のブロック間固定構造Ｘ１を適用した例である。例示の圧力制御弁とは、流出側（下流側）の圧力変動の影響を極力回避して流入側（上流側）の流体を所定の圧力状態に制御可能とする背圧制御弁である。簡単に構造を説明する。なお、図１と共通となる箇所は同一符号である。
【００７３】
圧力制御弁（背圧制御弁）のボディ本体１Ｂでは、第１ブロック１０、中間ブロック３０、第２ブロック２０の順に積み重ねられ、中間ブロック３０にはチャンバ部４０が形成されている。第１ダイヤフラム５０ｂは薄肉可動部５１ｂと外周部５２ｂとからなり、第１ブロック１０と中間ブロック３０との間に外周部５２ｂが挟持され固定されている。第２ダイヤフラム６０ｂも薄肉可動部６１ｂと外周部６２ｂとからなり、第２ブロック２０と中間ブロック３０との間に外周部６２ｂが挟持され固定されている。第１ダイヤフラム５０ｂ及び第２ダイヤフラム６０ｂは連結部４５ｂにより互いに連結される。これら両ダイヤフラムと連結部により弁機構体４７ｂは構成され、チャンバ部の内部を進退自在に配置される。
【００７４】
次にボディ本体１Ｂ内の流体の流通と併せて弁機構体４７ｂの動作を説明する。第１ダイヤフラム５０ｂは調圧気体３（加圧手段２）の付勢を受けて常時中間ブロック３０の内部方向に押し下げられている。図示してはいないものの、弁部４６ｂは弁座３５に着座している。また、第２ダイヤフラム６０ｂもばね２２により上向きに付勢される。
【００７５】
上流側の流体流量が増加して圧力が増すと、流入側接続部３８、流入部４１を経て第１チャンバ４０ｐに流入した流体Ｆの圧力を受けて、第１ダイヤフラム５０ｂは調圧気体３の付勢に抗して上昇する。そこで、第１ダイヤフラム部５０ｂと連動して連結部４５ｂ（弁機構体４７ｂ）も一体に上昇する。図８のとおり、弁部４６ｂは弁座３５から離れて第１チャンバ４０ｐから第２チャンバ４０ｑへ通り抜ける流路が開かれる。よって、流体Ｆは第２チャンバ４０ｑ、流出部４２、流出側接続部３９を経てボディ本体の外部に流出する。なお、第１ダイヤフラム部５０ｂの薄肉可動部５１ｂ（ダイヤフラム有効径）は、第２ダイヤフラム部６０ｂの薄肉可動部６１ｂ（ダイヤフラム有効径）よりも大きいため、流入側の圧力変動に対する感度は良くなる。
【００７６】
図９の側面視部分断面図において、部分Ｂ*は圧力制御弁のボディ本体１Ｂの側面を示し、部分Ｂ#は側面視の断面を示す。部分Ｂ*の補強部材及び固定部材は破線で表し、部分Ｂ#の補強部材及び固定部材は二点鎖線で表している。この場合も前記と同様に、ボディ本体１Ｂにおけるブロック間の固定部材として、第１ブロック１０と中間ブロック３０との固定に用いる第１固定部材７０、及び第２ブロック２０と中間ブロック３０との固定に用いる第２固定部材９０が備えられる。第１ブロック１０には第１補強部材収容部１５が形成され、第１補強部材１１０は収容される。第２ブロック２０にも第４補強部材収容部２５が形成され、第４補強部材１４０は収容される。また、第２補強部材１２０は中間ブロック３０の第１当接面３１に設けられた第１折り曲げ部１０１を介して同中間ブロックに係合され、同様に、第３補強部材４０も第２当接面３２に設けられた第２折り曲げ部１０２を介して同中間ブロックに係合される。これら第１，第２，第３，第４補強部材には、それぞれ貫通孔１１１，１２１，１３１，１４１が設けられている。
【００７７】
第１，第２固定部材７０，８０は共にボルト体である。第１固定部材７０は、第１補強部材１１０の貫通孔１１１を貫通して第２補強部材１２０の貫通孔に形成されたねじ溝部１２２と螺合する。同様に、第２固定部材８０は、第４補強部材１４０の貫通孔１４１を貫通して第３補強部材１３０の貫通孔に形成されたねじ溝部１３２と螺合する。そこで、第１ブロック１０と中間ブロック３０との固定、第２ブロック２０と中間ブロック３０との固定が完了し、全てのブロックは一体化する。さらに、この実施例のボディ本体１Ｂにあっては、補助固定部材９０も備えられる。補助固定部材９０は貫通孔１１１’，１２１’，１３１’，１４１’を一度に貫通し、第１補強部材１１０の貫通孔に形成されたねじ溝部１１２’、第４補強部材１４０の貫通孔に形成されたねじ溝部１４２’と螺合する。ボディ本体１Ｂにブロック間固定構造Ｘ１を適用した際の作用並びに効果は、前述のボディ本体１Ａの場合と同様である。
【００７８】
図１０ないし図１２に開示の第３実施例のボディ本体１Ｃは、請求項１２の発明に規定するように、ダイヤフラムポンプである。このボディ本体に前記のブロック間固定構造Ｘ１を適用した例である。はじめに図１０を用いてダイヤフラムポンプであるボディ本体１Ｃの構造を説明する。
【００７９】
ダイヤフラムポンプであるボディ体１Ｃは、第１ブロック１０、中間ブロック３０、第２ブロック２０の順に重ねられる。第１，第２ブロックに挟まれた中間ブロックにその内部を第１ブロックから第２ブロックへ貫通するチャンバ部４０が形成されている。第１ダイヤフラム部５０ｃは薄肉可動部５１ｃと外周部５２ｃとからなり、その外周部５２ｃはシール部材１９ｃを介して第１ブロック１０と中間ブロック３０の間に挟持、固定されている。第２ダイヤフラム部６０ｃは薄肉可動部６１ｃと外周部６２ｃとからなり、その外周部６２ｃはシール部材２９ｃを介して第２ブロック２０と中間ブロック３０の間に挟持、固定されている。
【００８０】
第１ダイヤフラム部５０ｃと第２ダイヤフラム部６０ｃは連結部４５ｃにより互いに連結される。両ダイヤフラム部と連結部により与圧機構体４８は構成され、チャンバ部４０の内部を往復動作自在に配置される。図示のダイヤフラム部の配置から理解されるとおり、チャンバ部４０において、第１ダイヤフラム部５０ｃを挟んで第１ブロック１０寄りとなる空間は第１チャンバ４０ｕ、中間ブロック寄りとなる空間は第１加圧室１１ｕとして区画される。同様に、第２ダイヤフラム部６０ｃを挟んで第２ブロック２０寄りとなる空間は第２チャンバ４０ｖ、中間ブロック寄りとなる空間は第２加圧室２１ｖとして区画される。
【００８１】
ダイヤフラムポンプのボディ体１Ｃの内部には、圧送される流体Ｆの第１外側流入部３１３、第２外側流入部３３１、前記の第１外側流入部と第２外側流入部を連通する接続流入部３２１とを備えるボディ内部流入部３１０、及び流体Ｆの第１外側流出部３１４、第２外側流出部３３２、前記の第１外側流出部と第２外側流出部を連通する接続流出部３２２とを備えるボディ内部流出部３２０が配される。第１チャンバ４０ｕには、第１外側流入部と連通する第１吸込部３４１、第１外側流出部と連通する第１吐出部３４２が形成され、第２チャンバ４０ｖには、第２外側流入部と連通する第２吸込部３５１、第２外側流出部と連通する第２吐出部３５２が形成される。
【００８２】
さらに、第１外側流入部３１３と第１吸込部３４１の間に介装され第１吸込部３４１方向に被圧送流体Ｆを流通可能とする第１吸込用逆止弁３６１、第１吐出部３４２と第１外側流出部３１４の間に介装され第１外側流出部３１４方向に被圧送流体Ｆを流通可能とする第１吐出用逆止弁３６６、第２外側流入部３３１と第２吸込部３５１の間に介装され第２吸込部３５１方向に被圧送流体Ｆを流通可能とする第２吸込用逆止弁３７１、第２吐出部３５２と第２外側流出部３３２の間に介装され第２外側流出部３３２方向に流体Ｆを流通可能とする第２吐出用逆止弁３７６が備えられている。
【００８３】
実施例の逆止弁３６１，３６６，３７１，３７６は、円筒体の一側の面（上面部）に十字形状の溝が形成された構造である（図示せず）。なお、ダイヤフラムポンプ内に備えられる逆止弁は被圧送流体の逆流を阻止できる構造であれば実施例の構造に限定されない。
【００８４】
第１ブロック１０の一側（ボディ本体下側）には、流体Ｆをボディ本体内へ流入させるための第１流入口３１１が設けられ、第１外側流入部３１３に接続される。第１ブロック１０内の他側（ボディ本体上側）には、流体Ｆをボディ本体外へ流出させるための第１流出口３１２が設けられ、第１外側流出部３１４に接続される。第２ブロック２０の一側（ボディ本体下側）にも、流体Ｆをボディ本体内へ流入させるための第２流入口３３３が設けられ、第２外側流入部３３１に接続される。第２ブロック２０内の他側（ボディ本体上側）にも、流体Ｆをボディ本体外へ流出させるための第２流出口３３４が設けられ、第２外側流出部３３２に接続される。
【００８５】
中間ブロック３０には、第１作動流体流出入部３９１及び第２作動流体流出入部３９２が形成されている。第１作動流体流出入部３９１を流出入する作動流体ａにより、第１ダイヤフラム部５０ｃの膨張は制御される。同様に、第２作動流体流出入部３９２を流出入する作動流体ａにより、第２ダイヤフラム部６０ｃの膨張も制御される。
【００８６】
当該実施例において、第１ダイヤフラム部５０ｃ及び第２ダイヤフラム部６０ｃは連結部４５ｃにより接続されており、互いのダイヤフラムの挙動は連動する構成となっている。そのため、一方のダイヤフラム部の背後から作動流体が流入すると、当該ダイヤフラムは付勢されて膨張し当該ダイヤフラムを収容するチャンバ内の流体を吐出する（図１０の第１ダイヤフラム部５０ｃ、第１チャンバ４０ｕ参照）。また、他方のダイヤフラム部は連結部を通じて一方のダイヤフラムに引き寄せられると共にダイヤフラムの背後から付勢していた作動流体の流出が始まる。この結果として、他方のダイヤフラムを収容しているチャンバ内へ被圧送流体（流体Ｆ）の流入が始まる（図１０の第２ダイヤフラム部６０ｃ、第２チャンバ４０ｖ参照）。
【００８７】
第３実施例のボディ本体１Ｃのダイヤフラムポンプにあっては、作動停止の後、作動開始時の脈動の不安定化を抑制するため、第１ダイヤフラム部５０ｃ及び第２ダイヤフラム部６０ｃの膨張、収縮のストレスの均衡化が図られている。具体的には、第１ブロック１０には第１薄肉部４１０が形成され、第１ばね４１２の付勢を受ける第１付勢ブロック４１１が収容される。第２ブロック２０にも、第２薄肉部４２０が形成され、第２ばね４２２の付勢を受ける第２付勢ブロック４２１が収容される。図中、符号４１３は第１付勢ブロックの動きを円滑にするために空気が出入りする第１呼吸路、４１４は第１ブロック蓋部、４２３は第２付勢ブロックの動きを円滑にするために空気が出入りする第２呼吸路、４２４は第２ブロック蓋部である。
【００８８】
作動停止後、第１付勢ブロック４１１が第１薄肉部４１０を第１チャンバ４０ｕ方向に押圧すると共に、同等の押圧力で第２付勢ブロック４２１が第２薄肉部４２０を第２チャンバ４０ｖ方向に押圧することにより、第１ダイヤフラム部５０ｃ及び第２ダイヤフラム部６０ｃはそれぞれの薄肉部からの押圧を均しく受ける。こうして両ダイヤフラム部の膨張、収縮のストレスは均等となり、双方のダイヤフラム部は互いに同形状状態となる。
【００８９】
なお、ダイヤフラムポンプの作動を停止させると、被圧送流体Ｆの流通圧力が低下して両チャンバ内の圧力が一定となる。すると、ダイヤフラム部を形成する樹脂自体の弾性力により、第１ダイヤフラム部及び第２ダイヤフラム部の膨張、収縮のストレスは均衡し、互いに同形状状態となる。従って、図示実施例のような第１付勢ブロック、第２付勢ブロック等のダイヤフラムの位置状態を均衡させる手段を省略することも可能である。
【００９０】
既述のとおり、ダイヤフラムポンプの内部に被圧送流体を流通可能とする内部流路（ボディ内部流入部３１０、ボディ内部流出部３２０）が形成される。当該ダイヤフラムポンプの構造によると、第１外側流入部３１３または第２外側流入部３３１のいずれかから流入する流体は、第１チャンバ４０ｕもしくは第２チャンバ４０ｖのいずれかに流入可能となる。同様に、第１チャンバ４０ｕもしくは第２チャンバ４０ｖのいずれかから流出（吐出）される流体は、第１外側流出部３１４または第２外側流出部３３２のいずれかを経由してダイヤフラムポンプ外に流出可能となる。図示の例では、第１流出口３１２、第２流入口３３３は封止され、第１外側流入部３１３（第１流入口３１１）から流入した流体は第２外側流出部３３２（第２流出口３３４）からボディ本体外に流出する。
【００９１】
図１１の側面視部分断面図において、部分Ｃ*はダイヤフラムポンプのボディ本体１Ｃの側面を示し、部分Ｃ#は側面視の断面を示す。部分Ｃ*の補強部材、固定部材、及び補助固定部材は破線で表し、部分Ｃ#の補強部材、固定部材、及び補助固定部材は二点鎖線で表している。図１２はボディ本体１Ｃの第１ブロック１０側の正面図であり、説明のため第１蓋部材１５１ｃを外した状態である。
【００９２】
図１０、図１１から把握されるように、ボディ本体１Ｃにおけるブロック間の固定部材として、第１ブロック１０と中間ブロック３０との固定に用いる第１固定部材７０、及び第２ブロック２０と中間ブロック３０との固定に用いる第２固定部材８０が備えられる。第１ブロック１０には第１補強部材収容部１５ｃが形成され、第１補強部材１１０は収容される。第２ブロック２０にも第４補強部材収容部２５ｃが形成され、第４補強部材１４０は収容される。第１補強部材収容部１５ｃは第１蓋部材１５１ｃにより密封され、第４補強部材収容部２５ｃは第２蓋部材１５２ｃにより密封される。また、第２補強部材１２０は中間ブロック３０の第１当接面３１ｃに設けられた第１折り曲げ部１０１を介して同中間ブロックに係合され、同様に、第３補強部材４０も第２当接面３２ｃに設けられた第２折り曲げ部１０２を介して同中間ブロックに係合される。これら第１，第２，第３，第４補強部材には、それぞれ貫通孔１１１，１２１，１３１，１４１が設けられている。
【００９３】
既述のブロック間固定構造と同じく第１，第２固定部材７０，８０は共にボルト体である。第１固定部材７０は、第１補強部材１１０の貫通孔１１１を貫通して第２補強部材１２０の貫通孔に形成されたねじ溝部１２２と螺合する。同様に、第２固定部材８０は、第４補強部材１４０の貫通孔１４１を貫通して第３補強部材１３０の貫通孔に形成されたねじ溝部１３２と螺合する。そこで、第１ブロック１０と中間ブロック３０との固定、第２ブロック２０と中間ブロック３０との固定が完了し、全てのブロックは一体化する。さらに、この実施例のボディ本体１Ｃにあっても、補助固定部材９０が備えられる。補助固定部材９０は貫通孔１１１’，１２１’，１３１’，１４１’を一度に貫通し、第１補強部材１１０の貫通孔に形成されたねじ溝部１１２’、第４補強部材１４０の貫通孔に形成されたねじ溝部１４２’と螺合する。ボディ本体１Ｃにブロック間固定構造Ｘ１を適用した際の作用並びに効果は、前述のボディ本体１Ａの場合と同様となる。
【００９４】
続いて示す図１２から把握されるとおり、実施例のボディ本体１Ｃのダイヤフラムポンプにおいても、第１補強部材１１０は環形状からなり、第２，第３，第４補強部材１２０，１３０，１４０も全て第１補強部材１１０と同形の環形状である（図示省略）。環形状とすることにより、当該ダイヤフラムポンプ内の円盤状のダイヤフラム部をその外周から押さえ、ダイヤフラム部とブロックとの圧着、ブロック間の締め付けを強固にすることができる。
【００９５】
図示のダイヤフラムポンプによると、各チャンバに流体を導くための内部流路（ボディ内部流入部３１０、ボディ内部流出部３２０）に加えて、第１吸込部３４１、第１吐出部３４２、第２吸込部３５１、第２吐出部３５２が形成される。このため、両ダイヤフラム部付近において環形状の補強部材を伴ってブロック間を固定する際、前記の両吸込部、両吐出部を回避する必要がある。そこで、各補強部材を貫通する固定部材（補助固定部材）は、第１吸込部３４１、第１吐出部３４２、第２吸込部３５１、第２吐出部３５２に接触しない配置とした。例えば、図１２のように、第１吸込部３４１、第１吐出部３４２と重なる位置には固定部材７０（補助固定部材９０）を配置していない。このような場合であっても、両吸込部、両吐出部付近は補強部材同士により均等な圧着を受けるため、ブロック間の固定に影響を与えること無く各ブロックとも良好に一体化される。
【００９６】
以上詳述の本発明のブロック間固定構造は、上記実施例として開示の構成に必ずしも限られるものではない。発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を付加して実施することができることは言うまでもない。例えば、圧力制御弁、ダイヤフラムポンプにブロック間固定構造Ｘ１に代えてナットを使用するＸ２を適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本発明の第１実施例に係るボディ本体の側面視縦断面図である。
【図２】第１実施例のボディ本体の側面視部分断面図である。
【図３】図１の主要部分拡大図である。
【図４】第１実施例のボディ本体の上面図である。
【図５】補強部材と中間ブロックの係合を示す概略断面図である。
【図６】固定部材及び補強部材の取り付け状態を示す部分斜視図である。
【図７】固定部材及び補強部材の取り付け状態を示す別例の部分斜視図である。
【図８】第２実施例に係るボディ本体の側面視部分断面図である。
【図９】第２実施例のボディ本体の側面視部分断面図である。
【図１０】第３実施例に係るボディ本体の側面視縦断面図である。
【図１１】第３実施例のボディ本体の側面視部分断面図である。
【図１２】第３実施例のボディ本体の正面図である。
【図１３】従来のボディ本体におけるブロック間固定構造を示した切り欠き側面図である。
【符号の説明】
【００９８】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ    ボディ本体
１０    第１ブロック
１５    第１補強部材収容部
１９    第１シール部材
２０    第２ブロック
２５    第４補強部材収容部
２９    第２シール部材
３０    中間ブロック
３１    第１当接面
３２    第２当接面
３６    第２補強部材収容部
３７    第３補強部材収容部
４０    チャンバ部
４５    連結部
５０    第１ダイヤフラム部
６０    第２ダイヤフラム部
７０    第１固定部材
８０    第２固定部材
９０    補助固定部材
１０１  第１折り曲げ部
１０２  第２折り曲げ部
１１０  第１補強部材
１１１  貫通孔
１２０  第２補強部材
１２１  貫通孔
１２２  ねじ溝部
１３０  第３補強部材
１３１  貫通孔
１３２  ねじ溝部
１４０  第４補強部材
１４１  貫通孔
Ｘ１，Ｘ２  ブロック間固定構造
【図１】
0005039509.tif 000002
【図２】
0005039509.tif 000003
【図３】
0005039509.tif 000004
【図４】
0005039509.tif 000005
【図５】
0005039509.tif 000006
【図６】
0005039509.tif 000007
【図７】
0005039509.tif 000008
【図８】
0005039509.tif 000009
【図９】
0005039509.tif 000010
【図１０】
0005039509.tif 000011
【図１１】
0005039509.tif 000012
【図１２】
0005039509.tif 000013
【図１３】
0005039509.tif 000014