(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の透磁率を有し、入力される電気信号に応じて磁束を発生させる磁束発生部を備え、この磁束に応じて変位し台座部に設置された可動部が、流路形成部に設けた気体を噴出する気体噴出部に対向配置され、前記可動部の変位に応じて前記気体噴出部に供給される気体を気体出力部に得る電空変換モジュールにおいて、
前記気体噴出部と前記台座部の熱膨張した分の長さが異なり、この長さの異なる分が、前記透磁率の温度変化に基づく前記可動部と前記気体噴出部との間隙の変化分に等しいことを特徴とする電空変換モジュール。
【請求項２】
前記台座部は前記可動部に対し前記気体噴出部側に設けたことを特徴とする請求項１に記載の電空変換モジュール。
【請求項３】
前記台座部は前記可動部に対し前記気体噴出部の反対側に設けたことを特徴とする請求項１に記載の電空変換モジュール。
【請求項４】
前記気体噴出部は合成樹脂であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の電空変換モジュール。
【請求項５】
前記台座部は磁石であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の電空変換モジュール。
【請求項６】
入力される電気信号に応じた気体圧力を出力する電空変換モジュールを備えた電空変換器において、
前記電空変換モジュールは、
所定の透磁率を有し、前記電気信号に応じて磁束を発生させる磁束発生部を備え、この磁束に応じて変位し台座部に設置された可動部が、流路形成部に設けた気体を噴出する気体噴出部に対向配置され、前記可動部の変位に応じて前記気体噴出部に供給される気体を気体出力部に得て、さらに前記気体噴出部と前記台座部の熱膨張した分の長さが異なり、この長さの異なる分が、前記透磁率の温度変化に基づく前記可動部と前記気体噴出部との間隙の変化分に等しい、
ことを特徴とする電空変換器。
【請求項７】
入力される電気信号に応じた気体圧力を出力する電空変換モジュールを備え、前記気体圧力によりバルブを動作させるバルブポジショナにおいて、
前記電空変換モジュールは、
所定の透磁率を有し、前記電気信号に応じて磁束を発生させる磁束発生部を備え、この磁束に応じて変位し台座部に設置された可動部が、流路形成部に設けた気体を噴出する気体噴出部に対向配置され、前記可動部の変位に応じて前記気体噴出部に供給される気体を気体出力部に得て、さらに前記気体噴出部と前記台座部の熱膨張した分の長さが異なり、この長さの異なる分が、前記透磁率の温度変化に基づく前記可動部と前記気体噴出部との間隙の変化分に等しい、
ことを特徴とするバルブポジショナ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電空変換モジュールに関し、特に、温度補償された電空変換モジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
入力された電気信号を気体（空気）の圧力に変換する電空変換モジュールについて、下記の特許文献１の図４で開示されており、以下に、この図を参照して電空変換モジュールの構成および動作について説明する。なお、括弧内の符号は、この図の符号を表す。
【０００３】
この電空変換モジュールに入力された電気信号はコイル（５）を流れ磁束を発生させ、この磁束および磁石によりダイアフラムスプリング（３）が応力を受けて変位する。
【０００４】
一方、ダイアフラムスプリング（３）に対向して設けられたノズル（２）には気体（空気）が供給され、この気体（空気）は、ノズル（２）の先端部分とダイアフラムスプリング（３）の間隙を通り大気中に噴出される。この間隙は気体（空気）の流れの抵抗となり、ノズル（２）内部の気体（空気）が外部に出力され所定の容積を有する室に流入することにより、この室内に圧力が発生する。
【０００５】
ダイアフラムスプリング（３）が変位し、ノズル（２）の先端部分とダイアフラムスプリング（３）の間隙が変化することにより、気体（空気）の流れの抵抗が変化して室内の気体（空気）の圧力が変化する。このようにして、電空変換モジュールは、入力された電気信号に応じた気体（空気）の圧力を得ることができる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−３２９４８８号公報
【特許文献２】特開平７−１１０００２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
電空変換モジュールの周囲温度が変化した場合、コイル（５）を巻いている磁性材（コア）の透磁率が変化して発生磁束が変化する他、磁石の透磁率も変化する。これにより、ダイアフラムスプリング（３）の位置が変化するとともに、ノズル（２）の先端部分とダイアフラムスプリング（３）の間隙が変化するため、入力された電気信号が一定であるにも関わらず前記室内の気体（空気）の圧力が変化する。すなわち、電空変換モジュールは、周囲温度の変化に伴い前記室内の気体（空気）の圧力が変化してしまう。
【０００８】
本発明の目的は、周囲温度変化に伴う気体の圧力変化を抑制する電空変換モジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような目的を達成するために、請求項１の発明は、
所定の透磁率を有し、入力される電気信号に応じて磁束を発生させる磁束発生部を備え、この磁束に応じて変位し台座部に設置された可動部が、流路形成部に設けた気体を噴出する気体噴出部に対向配置され、前記可動部の変位に応じて前記気体噴出部に供給される気体を気体出力部に得る電空変換モジュールにおいて、
前記気体噴出部と前記台座部の熱膨張した分の長さが異なり、この長さの異なる分が、前記透磁率の温度変化に基づく前記可動部と前記気体噴出部との間隙の変化分に等しいことを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１に記載の発明において、
前記台座部は前記可動部に対し前記気体噴出部側に設けたことを特徴とする。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１に記載の発明において、
前記台座部は前記可動部に対し前記気体噴出部の反対側に設けたことを特徴とする。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項１から３のいずれか一項に記載の発明において、
前記気体噴出部は合成樹脂であることを特徴とする。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項１から４のいずれか一項に記載の発明において、
前記台座部は磁石であることを特徴とする。
【００１４】
請求項６の発明は、
入力される電気信号に応じた気体圧力を出力する電空変換モジュールを備えた電空変換器において、
前記電空変換モジュールは、
所定の透磁率を有し、前記電気信号に応じて磁束を発生させる磁束発生部を備え、この磁束に応じて変位し台座部に設置された可動部が、流路形成部に設けた気体を噴出する気体噴出部に対向配置され、前記可動部の変位に応じて前記気体噴出部に供給される気体を気体出力部に得て、さらに前記気体噴出部と前記台座部の熱膨張した分の長さが異なり、この長さの異なる分が、前記透磁率の温度変化に基づく前記可動部と前記気体噴出部との間隙の変化分に等しい、
ことを特徴とする。
【００１５】
請求項７の発明は、
入力される電気信号に応じた気体圧力を出力する電空変換モジュールを備え、前記気体圧力によりバルブを動作させるバルブポジショナにおいて、
前記電空変換モジュールは、
所定の透磁率を有し、前記電気信号に応じて磁束を発生させる磁束発生部を備え、この磁束に応じて変位し台座部に設置された可動部が、流路形成部に設けた気体を噴出する気体噴出部に対向配置され、前記可動部の変位に応じて前記気体噴出部に供給される気体を気体出力部に得て、さらに前記気体噴出部と前記台座部の熱膨張した分の長さが異なり、この長さの異なる分が、前記透磁率の温度変化に基づく前記可動部と前記気体噴出部との間隙の変化分に等しい、
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、熱膨張した分の長さが互いに異なる構成部分を設け、この長さの異なる分が、透磁率の温度変化に基づく可動部と気体噴出部との間隙の変化分に等しいことにより、周囲温度変化に伴う気体の圧力変化を抑制する電空変換モジュールを実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
［第１の実施例］
図１は、本発明を適用した電空変換モジュール１００の断面図であり、これを用いて第１の実施例を説明する。
【００１８】
本実施例の電空変換モジュール１００は、熱膨張の長さが互いに異なる気体噴出部１４と台座部４０、４１を設けることにより、周囲温度変化に伴う気体（出力）Ｇｏｕｔの圧力変化を抑制するものである。
【００１９】
図１において、電空変換モジュール１００は、流路形成部１０、気体噴出部１４、可動部２０、可動操作部３０、台座部４０、４１およびハウジング５０などを備えている。
【００２０】
流路形成部１０は、流路１２、絞り１３および気体噴出部１４などを設けており、流路形成部１０の内部に形成された流路１２は、開口した気体供給部１１から絞り１３、気体噴出部１４の内部を通り、気体噴出部１４の先端部分において開口している。例えば、このような形状を有するものとしてノズルがある。
【００２１】
また、流路１２は、絞り１３と気体噴出部１４の先端部分との間で分岐しており、分岐した流路１２は、気体出力部１５において電空変換モジュール１００の外部に開口している。そして、気体出力部１５は、外部に設けられた気体流入室１１０に管１１１を介して接続されている。
【００２２】
可動部２０は、気体噴出部１４の先端部分に対向配置され、可動部２０の両端は、気体噴出部１４側の流路形成部１０の面上に設けられた台座部４０、４１に設置されている。すなわち、台座部４０、４１は、可動部２０に対し気体噴出部１４側に設けられている。なお、例えば、可動部２０は、金属製の薄い板状またはダイアフラム形状を有し、台座部４０、４１は磁石から構成される。
【００２３】
保持部３１に保持された可動操作部３０は、可動部２０に対し気体噴出部１４の反対側側（図１の紙面において可動部２０の右側）に設けられ、電気信号を入力する端子Ｔ１００、Ｔ１０１が接続されている。なお、可動操作部３０は、例えば、コイルから構成される。
【００２４】
ハウジング５０は、流路形成部１０とともに、気体噴出部１４、可動部２０、可動操作部３０、台座部４０、４１などを囲っている。
【００２５】
つぎに、電空変換モジュール１００が、入力された電気信号を気体に変換する動作について説明する。
【００２６】
コイルから構成される可動操作部３０は、端子Ｔ１００、Ｔ１０１を介して電気信号を入力され磁束を発生して、磁石から構成される台座部４０、４１および発生磁束により、可動部２０が応力を受けて変位する。
【００２７】
電気信号には例えば電流信号があり、入力される電流が増加するとともに磁束が増加する。そして、可動部２０の中間部分が、対向する気体噴出部１４の先端部分へ台座部４０、４１を支点にして近ずくとともに、気体噴出部１４の先端部分と可動部２０の間隙が狭くなる。
【００２８】
一方、可動部２０に対向した気体噴出部１４を設けた流路形成部１０には、気体供給部１１から気体（供給）Ｇｓｕｐが供給され、この気体は、絞り１３、気体噴出部１４の内部を通り、気体噴出部１４の先端部分と可動部２０の間隙を通り大気中に噴出される。
【００２９】
この間隙は気体の流れの抵抗として働き、分岐した流路１２を通り気体出力部１５から出力される気体（出力）Ｇｏｕｔが、所定の容積を有する気体流入室１１０へ流入することにより、この室内に圧力が発生する。
【００３０】
可動部２０が変位し、気体噴出部１４の先端部分と可動部２０の間隙が変化することにより、気体の噴出量および気体の流れの抵抗が変化して気体流入室１１０内の気体の圧力が変化する。
【００３１】
このようにして、電空変換モジュール１００は、入力された電気信号に応じた気体の圧力を得ることができる。例えば、入力される電流が増加する場合、気体噴出部１４の先端部分と可動部２０の間隙が狭くなり、気体の噴出量が減少し気体の流れの抵抗が増加するため、気体流入室１１０内の気体の圧力は増加する。一方、入力される電流が減少する場合、気体噴出部１４の先端部分と可動部２０の間隙が広くなり、気体の噴出量が増加し気体の流れの抵抗が減少するため、気体流入室１１０内の気体の圧力は減少する。
【００３２】
つぎに、電空変換モジュール１００の周囲温度が上昇したときの動作について説明する。
【００３３】
周囲温度が上昇した場合、可動操作部３０においてコイルを巻いている磁性材（コア）の透磁率が減少して発生磁束が減少する他、台座部４０、４１の磁石の透磁率も減少する。これにより、可動部２０の気体噴出部１４側への変位量が減少して、気体噴出部１４の先端部分と可動部２０の間隙が広くなり、気体流入室１１０内の気体の圧力は減少する。
【００３４】
一方、気体噴出部１４が周囲温度の上昇により熱膨張した場合には、間隙は狭くなり気体の圧力は増加する。また、台座部４０、４１が熱膨張した場合には、間隙は広くなり気体の圧力は減少する。
【００３５】
ここで、透磁率の減少による、気体噴出部１４の先端部分と可動部２０の間隙の増加分をＥ（ｍｍ）（ミリメートル）とする。また、気体噴出部１４の高さをＡ（ｍｍ）、台座部４０、４１の高さをＢ（ｍｍ）（図１参照）、気体噴出部１４の線膨張係数をＣ（／℃／ｍｍ）、台座部４０、４１の線膨張係数をＤ（／℃／ｍｍ）、周囲温度の上昇分をΔＴ（℃）とする。
【００３６】
そして、気体噴出部１４の熱膨張の長さが、透磁率の減少による間隙の増加分Ｅ（ｍｍ）と台座部４０、４１の熱膨張の長さとの合計に等しくなれば、周囲温度が上昇した場合でも、可動部２０の位置は変化せず、気体噴出部１４の先端部分と可動部２０の間隙も変化しないため、気体の圧力変化は発生しない。
【００３７】
具体的には、気体噴出部１４の熱膨張の長さＹはＡｘΔＴｘＣ、台座部４０、４１の熱膨張の長さＺはＢｘΔＴｘＤとなる（ｘは乗算を表す）。
【００３８】
そして、気体噴出部１４の熱膨張の長さＹと台座部４０、４１の熱膨張の長さＺが互いに異なり、下記式（１）のようになれば、気体の圧力変化は発生しない。
【００３９】
ＡｘΔＴｘＣ＝Ｅ＋ＢｘΔＴｘＤ        （１）
【００４０】
例えば、気体噴出部１４の材質は、合成樹脂の一つであるポリフェニレンスルフィド（以下、「ＰＰＳ」という）とすると、線膨張係数Ｃは６９ｘ１０−６となる。また、台座部４０、４１が磁石の場合、この線膨張係数Ｄは、鉄の線膨張係数と考えると１１．６ｘ１０−６となる。
【００４１】
例えば、台座部４０、４１の高さＢを８ｍｍ、透磁率の減少による間隙の増加分Ｅを０．０４ｍｍおよび周囲温度の上昇分ΔＴを９５℃として、これらの値を式（１）に代入して気体噴出部１４の高さＡを求めると、気体噴出部１４の高さＡを約７．４４ｍｍとすることにより気体の圧力変化は殆ど無くすことができる。
【００４２】
なお、気体噴出部１４の材質はＰＰＳ以外の合成樹脂、台座部４０、４１は磁石以外の材質であっても、同様の考え方により気体の圧力変化は殆ど無くすことができる。
【００４３】
つぎに、台座部４０、４１が、図１に示す可動部２０と流路形成部１０との間ではなく、可動部２０と保持部３１との間に設けた場合について説明する。すなわち、台座部４０、４１は、可動部２０に対し気体噴出部１４の反対側に設けられる。
【００４４】
この設置場所を変更したことによる相違点は、周囲温度が上昇して台座部４０、４１が熱膨張した場合、気体噴出部１４の先端部分と可動部２０の間隙は狭くなり気体の圧力は増加することである。そして、気体噴出部１４の熱膨張の長さＹと台座部４０、４１の熱膨張の長さＺが互いに異なり又は同じであって、下記式（２）のようになれば、気体の圧力変化は発生しない。
【００４５】
ＡｘΔＴｘＣ＋ＢｘΔＴｘＤ＝Ｅ        （２）
【００４６】
前述した値を式（２）に代入して気体噴出部１４の高さＡを求めると、気体噴出部１４の高さＡは約４．７５ｍｍとすればよい。
【００４７】
また、可動操作部３０は、入力される電気信号を変位に変換する電気変位変換部（図示しない）であってもよく、例えば機械的な力平衡式のものがある。電気変位変換部の変位は、弾性体などの伝達部（図示しない）を介して可動部２０に伝達し、可動部２０を変位させる。
【００４８】
ここで、伝達部がバネの場合、周囲温度が上昇しバネが熱膨張することにより、気体噴出部１４の先端部分と可動部２０の間隙は減少し、気体の圧力は増加する。なお、この間隙の減少分をＦ（ｍｍ）とする。そして、気体噴出部１４の熱膨張の長さＹと台座部４０、４１の熱膨張の長さＺが互いに異なり、下記式（３）のようになれば、気体の圧力変化は発生しない。
【００４９】
ＡｘΔＴｘＣ＋Ｆ＝ＢｘΔＴｘＤ        （３）
【００５０】
なお、台座部４０、４１は、いずれか一方により可動部２０を片持ち梁のように支持してもよい。また、電空変換モジュール１００が、工業計器のように爆発性ガスの存在する場所に設置される場合には、気体（供給）Ｇｓｕｐは空気であることが好ましい。
【００５１】
本実施例において、気体噴出部１４と台座部４０、４１の熱膨張の長さが互いに異なることにより、周囲温度変化に伴う気体の圧力変化を抑制する電空変換モジュールを実現できる。
【００５２】
また、本発明を適用しない電空変換モジュールは、周囲温度が上昇したとき、前述したように磁性材の透磁率が減少し気体の圧力は減少するため、所定温度に保たれた部屋において製造を行う必要がある。しかし、本実施例では、所定温度に保たれた部屋を必要とせず、容易に製造を行うことができる。
【００５３】
［第２の実施例］
図２は、本発明を適用した電空変換器２００のブロック図であり、これを用いて第２の実施例を説明する。
【００５４】
本実施例は、電空変換器２００に、図１の電空変換モジュール１００を用いることにより、電空変換器２００を安定に動作させるものである。
【００５５】
図２において、電空変換器２００は、端子Ｔ２００を介して入力された電気信号に対応した気体の圧力を出力するものである。なお、電気信号には例えば電流信号があり、これには４〜２０ｍＡの範囲内のものがある。
【００５６】
電空変換器２００は、電空変換モジュール１００、制御部２１０および圧力検知部２２０を備え、電空変換モジュール１００の出力は外部の気体流入室２５０に接続されている。なお、電空変換モジュール１００は、第１の実施例において説明したので詳細な説明を省略する。
【００５７】
端子Ｔ２００を介して入力された電気信号は、設定信号Ｅｓ１として制御部２１０に入力され、制御部２１０は、後述する圧力検知部２２０の圧力検出信号Ｅｐｒを受け取る。
【００５８】
制御部２１０は、設定信号Ｅｓ１と圧力検出信号Ｅｐｒの偏差に対し制御演算を行い、制御演算をした後の信号を制御信号Ｅｃｏｎ１として電空変換モジュール１００へ出力する。なお、制御演算には、例えば、比例制御（Ｐ制御）、積分制御（Ｉ制御）、微分制御（Ｄ制御）またはこれらの組み合わせ（例えばＰＩＤ制御）の演算がある。
【００５９】
制御信号Ｅｃｏｎ１を入力された電空変換モジュール１００は、制御信号Ｅｃｏｎ１に対応した気体（出力）Ｇｏｕｔを、所定の容積を有する気体流入室２５０に流入することにより、この室内に圧力が発生する。
【００６０】
圧力検知部２２０は、この圧力を受け取り、圧力に対応した電気信号を圧力検出信号Ｅｐｒとして制御部２１０へ出力する。なお、圧力検知部２２０には、例えば、ピエゾ抵抗式または振動式の半導体圧力センサがある。
【００６１】
そして、制御部２１０は、前述した制御演算を行い、圧力検出信号Ｅｐｒを設定信号Ｅｓ１に一致させるように制御する。これにより、電空変換器２００は、入力された電気信号に対応した気体の圧力を得ることができる。
【００６２】
ここで、本発明を適用しない電空変換モジュールを用いた場合、周囲温度が上昇したとき、前述したように磁性材の透磁率が減少し気体流入室２５０内の気体の圧力は減少する。このとき、設定信号Ｅｓ１と圧力検出信号Ｅｐｒの偏差が大きくなるため、制御部２１０は、制御信号Ｅｃｏｎ１を増加し気体の圧力を増加して、圧力検出信号Ｅｐｒを設定信号Ｅｓ１に一致させるように制御する。
【００６３】
しかし、電空変換器２００が、プロセス制御で使用される２線式計器の場合がある。入力される電流が４ｍＡのとき、制御部２１０は、この電流値を超えて制御信号Ｅｃｏｎ１を増加することができず、気体流入室２５０内の気体の圧力は減少したままとなることがある。
【００６４】
一方、本発明を適用した電空変換モジュール１００を用いた場合、周囲温度が上昇したとき気体の圧力は変化しないので、制御部２１０は、圧力検出信号Ｅｐｒを設定信号Ｅｓ１に一致させる制御を安定して行うことができる。
【００６５】
本実施例によって、電空変換器２００は、電空変換モジュール１００を用いることにより、周囲温度変化に伴う気体の圧力変化を抑制して、安定した動作を行うことができる。
【００６６】
［第３の実施例］
図３は、本発明を適用したバルブポジショナ３００のブロック図であり、これを用いて第３の実施例を説明する。
【００６７】
本実施例は、バルブポジショナ３００に、図１の電空変換モジュール１００を用いることにより、バルブポジショナ３００を安定に動作させるものである。
【００６８】
図３において、バルブポジショナ３００は、端子Ｔ３００を介して入力された電気信号に対応したバルブ４００の開度を得るものである。
【００６９】
バルブポジショナ３００は、電空変換モジュール１００、制御部３１０および開度検知部３２０を備え、電空変換モジュール１００の出力は外部のバルブ４００に接続されている。なお、電空変換モジュール１００は、第１の実施例において説明したので詳細な説明を省略する。
【００７０】
端子Ｔ３００を介して入力された電気信号は、設定信号Ｅｓ２として制御部３１０に入力され、制御部３１０は、後述する開度検知部３２０の開度検出信号Ｅｐｏｓを受け取る。
【００７１】
制御部３１０は、設定信号Ｅｓ２と開度検出信号Ｅｐｏｓの偏差に対し制御演算を行い、制御演算をした後の信号を制御信号Ｅｃｏｎ２として電空変換モジュール１００へ出力する。なお、制御演算には、例えばＰＩＤ制御などの演算がある。
【００７２】
制御信号Ｅｃｏｎ２を入力された電空変換モジュール１００は、制御信号Ｅｃｏｎ２に対応して気体（出力）Ｇｏｕｔを、バルブ４００のダイアフラム室４３０に流入することにより、この室内に圧力が発生する。
【００７３】
バルブ４００がグローブ弁の場合、この圧力に対応して上下に動作するバルブステム４１０の位置は、バルブ４００を流れる流体Ｆｄの流路の開度を決定する。そして、この開度に対応したバルブステム４１０の位置は開度伝達部４２０を介して開度検知部３２０に入力され、開度検知部３２０は、開度に対応した電気信号を開度検出信号Ｅｐｏｓとして制御部３１０へ出力する。なお、開度検知部３２０には、例えば、ポテンショメータまたは圧電素子がある。
【００７４】
そして、制御部３１０は、前述した制御演算を行い、開度検出信号Ｅｐｏｓを設定信号Ｅｓ２に一致させるように制御する。これにより、バルブポジショナ３００は、入力された電気信号に対応したバルブ４００の開度を得ることができる。
【００７５】
ここで、本発明を適用しない電空変換モジュールを用いた場合、周囲温度が上昇したとき、前述したように磁性材の透磁率が減少しダイアフラム室４３０内の気体の圧力は減少する。このとき、設定信号Ｅｓ２と開度検出信号Ｅｐｏｓの偏差が大きくなるため、制御部３１０は、制御信号Ｅｃｏｎ２を増加し気体の圧力を増加して、開度検出信号Ｅｐｏｓを設定信号Ｅｓ２に一致させるように制御する。
【００７６】
しかし、バルブポジショナ３００が、プロセス制御で使用される２線式計器の場合がある。入力される電流が４ｍＡのとき、制御部３１０は、この電流値を超えて制御信号Ｅｃｏｎ２を増加することができず、ダイアフラム室４３０内の気体の圧力は減少したままで、入力される電流信号に対応した開度にすることができないことがある。
【００７７】
一方、本発明を適用した電空変換モジュール１００を用いた場合、周囲温度が上昇したとき気体の圧力は変化しないので、制御部３１０は、開度検出信号Ｅｐｏｓを設定信号Ｅｓ２に一致させる制御を安定して行うことができる。
【００７８】
本実施例によって、バルブポジショナ３００は、電空変換モジュール１００を用いることにより、周囲温度変化に伴う気体の圧力変化を抑制して、安定した動作を行うことができる。
【００７９】
なお、本発明は、前述の実施例に限定されることなく、その本質を逸脱しない範囲で、さらに多くの変更および変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明を適用した電空変換モジュール１００の断面図である。
【図２】本発明を適用した電空変換器２００のブロック図である。
【図３】本発明を適用したバルブポジショナ３００のブロック図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０  流路形成部
１２  流路
１４  気体噴出部
２０  可動部
３０  可動操作部
４０、４１  台座部
５０  ハウジング
１００  電空変換モジュール
２００  電空変換器
３００  バルブポジショナ
【図１】
0005029896.tif 000002
【図２】
0005029896.tif 000003
【図３】
0005029896.tif 000004