(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端に開口部を有し基板を収納する容器本体と、開口部を閉鎖する蓋体とを有し、前記容器本体の内部と外部とを連通する貫通孔が設けられている基板収納容器であって、前記貫通孔には、フィルタを備えた通気部材を収納保持するハウジング部材が取り付けられていて、該ハウジング部材が、相互に係合する螺子溝を有する保持筒および固定筒からなり、回転方向に回転されて基板収納容器に取り付けられていて、前記保持筒が、一端部に格子状の窓とリング状のフランジを有し、他端に開口が形成された中空の円筒形をなしており、前記固定筒が、一端に開口が設けられ、他端にはリング状のフランジ部を有し、筒底の中央に形成される貫通孔とを有する円筒形をなしており、前記保持筒と前記固定筒との内側には、フィルタを備えた通気部材が係止されており、該ハウジング部材が回転方向に緩むことを防止する手段が設けられ、該緩み防止手段が、前記保持筒および前記固定筒のそれぞれの対向当接面に間隔を空けて設けられる複数の緩み防止突起が設けられ、該緩み防止突起が、締め付け方向に緩い第一の傾斜面をなし、逆の方向には前記第一の傾斜面よりも角度が大きい第二の傾斜面をなしており、これらの緩み防止突起が相互に噛み合うことにより緩み防止機能が発揮され、締め付け方向に相対する保持筒の第一の傾斜面の角度と固定筒の第一の傾斜面の角度とが異なる角度に形成されていて、面接触しないことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記通気部材が一方向弁である請求項１に記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハやマスクガラス等の基板を収納する基板収納容器の内部と外部とを連通する貫通孔に設けられる、フィルタないし弁体（何れかを意味させる場合には、通気部材ともいう）を収容するためのハウジング部材の回転方向の緩み防止機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を収納し、蓋体により密封される基板収納容器（例えば、特許文献１参照）は、基板を工場間で輸送したり、基板に加工や処理を行う工程内で搬送したり、保管したりするために使用されている。こうした基板収納容器には、内部と外部とを連通する連通部が設けられており、連通部には、例えばフィルタが設けられて、密封状態の基板収納容器から蓋体を開ける時の真空吸着を防止していた。また、連通部に基板収納容器内部の気体をドライエアーや不活性ガスと置換するための開閉バルブが設けられることもあり、この場合は、基板表面の酸化やレジストの余分な重合を防止するなど、収納される基板の表面の品質を維持するのに役立っている。
こうした基板収納容器は、一定期間の使用後に洗浄されて、繰り返して使用される。
【０００３】
この場合、フィルタや開閉バルブは、螺子溝で相互に結合される固定筒と保持筒（以下、両者を併せてハウジング部材ということがある）とで形成される内部空間内に通気部材が内蔵されて、連通部に収納保持される。
しかしながら、基板収納容器は、工程内の高速搬送時や天井搬送の高さからＬＰ装置へ下降される時、また、工場間で輸送する時、等に加速度や振動を受けるし、定期的に洗浄及ぴ乾燥がなされるので、熱履歴を定期的に受けることとなる。これらの外的要因により、連通部に設けられるハウジング部材の係止部が、回転方向に緩んでしまい、基板収納容器のシール性を損ねて、内部に収納した基板を汚染したり、ひどい場合は、ハウジング部品が抜け落ちたりする危険もあった。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１４６６７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、基板収納容器の貫通孔（連通部）に収納保持されるハウジング部材が、移送・保管等の際の加速度や振動、また、洗浄乾燥の際の熱履歴等によっても、ハウジング部材の螺刻部が緩まない構造とした基板収納容器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記した問題点を解決するために成されたものであり、本発明の基板収納容器は、一端に開口部を有し基板を収納する容器本体と、開口部を閉鎖する蓋体とを有し、前記容器本体の内部と外部とを連通する貫通孔が設けられている基板収納容器１であって、前記貫通孔には、フィルタを備えた通気部材を収納保持するハウジング部材が取り付けられていて、該ハウジング部材が、相互に係合する螺子溝を有する保持筒および固定筒からなり、回転方向に回転されて基板収納容器に取り付けられていて、前記保持筒が、一端部に格子状の窓とリング状のフランジを有し、他端に開口が形成された中空の円筒形をなしており、前記固定筒が、一端に開口が設けられ、他端にはリング状のフランジ部を有し、筒底の中央に形成される貫通孔とを有する円筒形をなしており、前記保持筒と前記固定筒との内側には、フィルタを備えた通気部材が係止されており、該ハウジング部材が回転方向に緩むことを防止する手段が設けられ、該緩み防止手段が、前記保持筒および前記固定筒のそれぞれの対向当接面に間隔を空けて設けられる複数の緩み防止突起が設けられ、該緩み防止突起が、締め付け方向に緩い第一の傾斜面をなし、逆の方向には前記第一の傾斜面よりも角度が大きい第二の傾斜面をなしており、これらの緩み防止突起が相互に噛み合うことにより緩み防止機能が発揮され、締め付け方向に相対する保持筒の第一の傾斜面の角度と固定筒の第一の傾斜面の角度とが異なる角度に形成されていて、面接触しないことを特徴とする。
【０００７】
また、前記通気部材が一方向弁であることが好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、基板収納容器の連通部に取り付けられるハウジング部材の緩みを効果的に防止するものであり、緩み防止手段を設けることで、搬送時や洗浄乾燥時にハウジング部材が緩む事が無く、基板を汚染させずに安全に搬送、保管可能な基板収納容器を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の基板収納容器は、容器本体にカセットを収納し、上部の開口を蓋体で閉鎖するものや、底部に設けられるドア上にカセットを載置して、ドーム状の本体を被せて封止するもの、容盟本体内部に基板を水平に支持可能な基板支持溝が形成されていて、正面の開口をドアで閉鎖するものあるいはその他の形態であっても良い。
貫通孔（通気部）には、基板収納容器内外の圧力差を解消するためのフィルタや、一方向弁を備え基板収納容密内部の気体を不活性な気体やドライエアーで置換する開閉バルブが、取り付けられる。こうした貫通孔（通気部）は、容器本体及び／又は蓋体に１又は複数箇所に設けられる。
基板収納容器に収納される基板は、１又は複数枚であってよく、通常は、円板状の２５枚又は２６枚の基板を収納可能に形成される。
【００１０】
以下、図面を使って本発明の好ましい実施の形態を説明する。
本発明の一実施の形態の基板収納容器１は、図１〜図２に示すように、一端に開口を有し、１又は複数枚の基板Ｗ（図示せず）を水平状態で垂直方向に整列させて収納する容器本体２と、容器本体２の開口を着脱自在に閉鎖する蓋体３とからなり、図示例では、容器本体２の底部に、容器本体２に対する気体の流通を制御する、一対のハウジング部材４が配置されている。このハウジング部材４には、開閉弁バルブが収納されている。この複数の開閉弁バルブのうち一方には、容器本体２の内部ヘガスを導入する一方向弁５（図３）が、他方には、容器本体２の内部のガスを排気する一方向弁６（図７）が設けられている。
このとき、ガス導入用の一方向弁５を備えたハウジング部材４とガス排出用の一方向弁６を備えたハウジング部材４は、収納する基板Ｗが容器本体２の底面に投影される領域の外側に設けるのが好ましい。
【００１１】
容器本体２は、例えば炭素繊維や導電性ポリマーなどが添加され導電性が付与されたポリカーボネート樹脂を使用して、図１に示すように、一端が開口したフロントオープンボックスタイプとして形成されている。容器本体２の内部の相対する側壁には、図示は省略するが、基板Ｗの側部周縁を支持する支持部材が垂直方向に一定間隔で設けられている。
また、容器本体２の底部には、基板収納容器の種類を外部から検知したり、加工装置に搭載されるときの位置決めと固定を行う部材を備え略台形状に形成されるボトムプレート７が取り付け部材を介して装着されている。ボトムプレート７には、通例どおり、識別用の部材を取り付ける複数の貫通孔と、位置決め部材８、容器本体２を固定するためのクランプ穴が形成されている。
【００１２】
容器本体２の天井をなす略正方形をした天板部の外面には、詳細は略すが、通例どおり、天板部と垂直方向に延びる支柱部及びその先端の取り付け部とからなる、ロボティックハンドルが脱着自在に装着され、このロボティックハンドルがＯＨＴ（オーバーヘッドホイストトランスファー）と呼ばれる自動の天井搬送機に保持され、工程内及び工程間の搬送に使用される。また、容器本体２の開口正面には、蓋体３嵌合用のリム部（図示省略）が一体に形成され、このリム部の内面の上下面には、蓋体３係止用の係止溝が複数形成されている。
【００１３】
蓋体３は、図１に示すように、四隅が丸く湾曲した略矩形に形成され、内側には、図示しない係止機構が配置されていて、この係止機構の先端の係止爪９が蓋体３の周壁に設けられた出没穴から突出されて、リム部の係止溝に嵌入し、容器本体２と蓋体３とを嵌合させて開口部を閉鎖する。蓋体３の周壁には、容器本体２との間にシールを形成するエンドレス形状のガスケット部材が取り付けられている。また、蓋体３の裏面には容器本体２に収納された基板Ｗを所定のピッチで上下方向に水平に整列させて接触し支持するフロントリテーナが装着されている。
なお、容器本体２、ボトムプレート７、ロボティックハンドル、蓋体３は、ポリカーボネート・ポリエ一テルエ一テルケトン、ポリエーテルイミド、環状オレフィン樹脂（ＣＯＰ）などの熱可塑性樹脂、あるいはこれらの熱可塑性樹脂に導電性を付与したものから形成される。
【００１４】
ハウジング部材４は、図３に展開斜視図として示すように、容器本体２の貫通孔１０及びその周縁に設けた周縁リム１１に下方から嵌入されて気体を流通させる固定筒１２と、貫通孔１０にシール用のシール部材１３を介して上方から嵌入され、上方から着脱自在に固定筒１２と螺嵌される保持筒１４と、保持筒１４の内周壁に取り付けられ、保持筒１４との間にフィルタ１５を保持する中蓋筒１６と、これら固定筒１２と保持筒１４との間に内蔵される中蓋筒１６の開口の一端と接触する一方向弁５と、この一方向弁５を一方から押圧して変形させる弾性部材１７とからなる。一方向弁５は、固定筒１２から保持筒１４にかけて気体が一方向に流れるように制御している。
【００１５】
固定筒１２は、例えばポリカーボネート、ボリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂を使用して、基本的には、一端に開口を有する有底円筒形状に形成され、内周面には取り付け用の螺子溝１８（図４）が螺刻形成されている。この固定筒１２の一端は、円筒に囲まれた開口が形成されていて、円筒の先端には、緩み防止手段となる第一の緩み防止突起１９が、円周方向の８箇所に均等に分割されて設けられている。また、他端となる底部の中心には、気体流通用の丸い通気口２０（図３）が形成され、底部の外周面には半径外方向に伸びるリング状のフランジ２１が周設されており、周縁リム１１の開口周縁部に接触する。フランジ２１には、フランジ面から突出する突起２２が４箇所に形成されていて、固定筒１２を締め付ける際の滑り止や、パージ装置とのドッキングの際の位置決めなどに利用される。
【００１６】
固定筒１２に設けられる第一の緩み防止突起１９は、円筒の終端から突出する突起として形成されていて、円筒内周に形成される螺刻（１８）を締め付ける方向の突起の斜面が緩やかな傾斜面２３（突起の傾斜面が水平面となす角度が３０°〜６０°）に形成されていて、他の方向がこれよりも大きな角度（ほぼ９０°）の傾斜角度となる急な急斜面２４であるように、左右非対称に形成されている。
保持筒１４は、例えばポリカーボネート、ポリエ一テルイミド、ポリエ一テルエ一テルケトン等の熱可塑性樹脂を使用して、基本的には、一端（底部側）に開口を有する円筒形に形成され、開口と相対する他端（上面側）には、気体流通用の区画リブ２５（図５）が格子状又は放射状に配設された通気口２６を備えている。この区画リブ２５の裏面には、フィルタ１５（図３）を収納する収納部が形成される。
【００１７】
また、保持筒１４の上部外周面には、半径外方向に伸びるリング状のフランジ２７が周設され、このフランジ２７の内面が貫通孔１０の開口周縁に接触する。また、フランジ面から突出する突起２８（図５）が四箇所形成されていて、締め付け時の逆回転防止等に利用できる。
保持筒１４の外周面には、取付用の螺子溝２９が螺刻形成され、この螺子溝２９が固定筒１２の螺子溝１８と螺合する。ここで、螺子溝２９が形成される終端部には、螺子溝２９が形成されている方向に突出する第二の緩み防止突起３０（図５、図６）が１箇所以上に形成されていて、固定筒１２を締め付けるときに、固定筒１２の一端に形成された第一の緩み防止突起１９の緩い傾斜面２３と、相対向する側に、これと異なる角度の緩い傾斜面３１（３０°〜６０°）が形成されている。また、保持筒１４の外周面と貫通孔１０の周面との間に介在されるシール部材３３（図３）は、容器本体２に対する外気の侵入や容器本体２からの気体の漏れを有効に防止する。
【００１８】
導入側の一方向弁５は、熱可塑性樹脂を使用して断面コの字形の平面略円形に形成され、固定筒１２の内底面に嵌入搭載されて、丸い通気口２０を被覆し、保持筒１４の内周面との間に気体の流路となる僅かな隙間を形成している。一方向弁５の中央部には、位置ずれ防止用の係合部となる凸部３４と、対となる円周状リブ３５（一方向弁６の例が図７に示されている）が形成されている。
この一方向弁５の材料としては、ポリエチレンやポリプロピレン、ポリカーボネート、環状ポリオレフィン樹脂あるいは熱可塑性ポリエステル系エラストマー等の各種熱可塑性エラストマー材料があげられる。
一方向弁５の、固定筒１２の開口周縁部あるいは中筒蓋１６の開口端部と接触する部分には、これらによって抑圧可能なシール部材１３、３６が装着されている。シール部材１３、３３、３６は、フッ素ゴム、ＮＢＲゴム、ウレタンゴム、ＥＰＤＭゴム、シリコーンゴム等の材料から形成される。また、これらの材料からなる芯材部の表面にフッ素シリコーンを被覆したり、コーティングしたりしても良い。
【００１９】
一方向弁５は、ガス導入バルブとして利用されるときには、保持筒１４と一方向弁５の一方との間に配設される弾性部材１７によって固定筒１２の通気口２０を封止するように、一方向弁５の他方のシール面が固定筒１２に押圧されるように、組み立てられて使用される。
ガス導入バルブ（一方向弁５）は、供給される不活性ガスの圧力により、弾性部材が圧縮されることで、バルブ内部に流路が形成されて、基板収納容器の内部へ不活性ガスを供給する。
排気側の一方向弁６がガス排気バルブとして利用される場合には、図７に示すように、図３に示した弾性部材１７と一方向弁５とを上下逆に配置して、固定筒１２と一方向弁５の他方の画に設けられる弾性部材１７によって、一方向弁６の一方のシール面が中蓋筒１６の開口端部に接触するように押圧されている。排気バルプは、基板収納容器の内部に不活性ガスが供給されて内圧が高まるか、排気バルブの外側から負圧をかけることで、弾性部材１７を圧縮することができるので、基板収納容器の外部への流路が形成されて、基板収納容器の内部の気体を排気できる。
【００２０】
一般に、容器本体２に設けられる２又は４個の貫通孔１０の半数には、ガス導入用の一方向弁５を備えたハウジング部材４が取り付けられ、残りの半数の貫通孔１０には、ガス排気用の一方向弁６を備えたハウジング部材４が取り付けれる。
弾性部材１７は、ＳＵＳなどの金属スプリングや樹脂製のスプリングを用いることができる。また、弾性部材１７は、各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂等から形成される板バネを使用することもできる。その他、弾力性を有する合成樹脂の発泡体、各種ゴムや熱可塑性エラストマーからなる支柱部材を用いることもできる。ここで金属部品を使用するときには、表面を樹脂でコーティングすることが好ましい。
【００２１】
中蓋筒１６は、例えばポリカーボネート、ポリエ一テルイミド、ポリエーテルエ一テルケトン等の熱可塑性樹脂を使用して、基本的には、一端（底部側）に開口を有する円筒形に形成され、開口と相対する他端（上面側）には、気体流通用の複数の通気口２６（図３）を区画する区画リブ３７（図５）が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブ３７の上面には、フィルタ１５が搭載保持される。また、中蓋筒１６は、保持筒１４の内部上方との間にシールを確保するシール部材１３を備えている。中蓋筒１６の内面中央には、一方向弁５、６を組み立てるときや、一方向弁５、６が可動するときの位置ずれを防止するために、対になる円筒状リブ３５が突出形成されていて、一方向弁５、６に設けられる係合部となる凸部３４と嵌合する。
【００２２】
フィルタ１５は、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂等からなる多孔質膜、ガラス繊維等からなる分子濾過フィルタ、活性炭繊維等の濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタ等から選択されてなり、これらが保持筒１４と中蓋筒１６の区画リブ３７との間に狭持された状態で、単数あるいは複数枚挿入され、中蓋筒１６の通気路を被覆する。これらのフィルタ１５の表面と裏面には、ポリエチレンやポリプロピレン等からなり、保持筒１４の円筒状の枠体３８を連結するように形成された格子状のリブ３９および中蓋筒１６の円筒状の枠体４０を連結するように形成された格子状のリブ４１（図３・図７では物の陰になって見えない）によって狭持される。同種類のフィルタを複数枚使用しても良いが、異なる性質のフィルタを組み合わせると、パーティクル等の有機物汚染を防止できて好ましい。
【００２３】
次に、上記したハウジング部材４を組み立てて容器本体２に取り付けることについて説明をする。
先ず、容器本体２の内側から保持筒１４を貫通孔１０に挿入し、保持筒１４の内側壁に形成される凹部４２と、フィルタを備えた中蓋筒１６の外周壁に形成される係止爪９とを係合させて、保持筒と中蓋筒とを一体化させる。次に固定筒１２に弾性部材１７、一方向弁５、又は一方向弁６を所定の順番で配置する。容器の外側に露出する保持筒１４の螺子溝２９（図５）と固定筒１２の内側面に形成される螺子溝１８とを噛み合わせて、反時計回りに回転させていくと、保持筒の最後の螺子溝２９に形成される第二の緩み防止突起３０（図６）が、固定筒１２の一端に形成される第一の緩み防止突起１９と、それぞれの緩い傾斜面２２と３１とが接触し、これを乗り越えた状態となり、保持筒１４の一端のフランジ２７（図５）は、容器本体２の貫通孔１０の上側外辺と、固定筒１２の他端のフランジ２１（図４）は、容器本体２の貫通孔１０を下側に延長する筒状部の先端周縁リム１１（図３）と接触するので、これらのハウジング部材４が容器本体２に固定される。
【００２４】
また、締め付け時の抵抗を少なくするために、緩い傾斜面２３、３１を異なる角度（例えば、４５°と３０°）とすることで、緩み防止突起同士が面接触することを防止でき、摩耗や締め付け時の負荷を低減できる。また、第一の緩み防止突起１９と第二の緩み防止突起３０を締め付けたときの突起の先端のオーバーラップ量を０．２ｍｍ〜１．０ｍｍとしておくことが好ましい。
前記緩み防止突起のオーバーラップ量が０．２ｍｍ以上だと、緩み防止機能が十分に発揮できて好ましく、１ｍｍ以下では、擦れによる摩耗を防止できるし、締め付けの負荷を低減できる。
第一の緩み防止突起１９と第二の緩み防止突起３０の先端には、微少Ｒ（０．０５〜０．８ｍｍ）を設けておくことが、摩耗を低減し、締め付け時の負荷を低減させるには、さらに好ましい。
【００２５】
本発明のこの実施の形態では、ハウジング部材４を構成する固定筒１２と保持筒１４との２つがそれぞれ緩み防止突起１９、３０を備え、これらをかみ合わせることで、容器本体２に固定していて、緩み方向に回転する場合は、互いの突起の急角度の傾斜面２４、３２同士がぶつかるようになるので、振動や熱履歴による衝撃があっても容易にこれを乗り越えることはできないので、ハウジング部材４が緩むことを効果的に防止できる。
図７は、図３に示す実施の形態において、一方向弁の向きを逆にして、気体の通過可能方向を逆にする実施の形態を示すもので、詳細な説明は省略する。
【００２６】
図８は、別の実施の形態を示すものであり、基板収納容器の圧力差を解消して、蓋体の開閉を容易にするためのフィルタ４３を備えたハウジング部材４４（固定筒４５、保持筒４６）を表している。この場合、ハウジング部材４４は、一方向弁は含まずに、固定筒４５と、保持筒４６と、中蓋筒４７と、保持筒４６と中蓋筒４７との間に挟まれて保持されるフィルタ４３とからなり、先述の実施の形態と同様の緩み防止手段を固定筒４５、保持筒４６に有していて（詳細は省略する）、同様の効果が得られる。
こうしたフィルタ内蔵のハウジング部材４４は、基板収納容器の容器本体２及び／又は蓋体の複数箇所に設けられて使用できる。
【００２７】
図９〜図１１は、さらに別の実施形態であり、ハウジング部材は、図９に示すように、一端に放射状のリブによって、通気口が区画された開口端部が設けられ、他端には開口端部と、開口端部の外壁に設けられる係止爪４９を備えた中空の略円筒形をしたカートリッジ４８として形成されていて、内部には、上記した実施形態のような、フィルタ保持部材やバルブ部材をシール部材を介して係合させて内蔵可能であり、一端から他端にかけて、基板収納容器内外を通気可能に形成されている。カートリッジの他端の外壁には、係止爪４９が半径方向に複数突出していて、図１０、図１１に示すように、容器本体底部に設けられるボトムプレートに設けられる貫通穴５４の切欠き５２に挿入され、回転されることで、容器本体２とボトムプレート５３間に、カートリッジ４８が挟まれて保持される。
図１１は、本実施形態のカートリッジを貫通穴に挿入した状態を示す説明的切断立面図であり、カートリッジ４８をボトムプレート５３の貫通穴５４に挿入し、係止爪４９をボトムプレート５３の貫通穴５４に設けられる切欠き５２を通過させて、ハウジングを所定の方向に回転させて係止爪４９がボトムプレート５３の上面に接触させ、さらに回転させてボトムプレート５３の上面に形成されている緩み防止突起５６を超えさせて、固定させることができる。また、係止爪４９下面に突起受容溝（図示省略）を形成し、これらを係合させることで固定しても良い。
緩み防止突起５６は、カートリッジの回転方向に少なくとも一対が対角線上に配設される。また、回転されて係止されるカートリッジの係止爪を半径方向の両側から挟むようにさらなる緩み防止突起を係止爪の幅以上の間隔を空けて設けることができる。
なお、５５はフィルタ保持部材である。
係止爪４９とボトムプレート５３とが接触する面の少なくとも一方には、傾斜面が形成されることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の基板収納容器の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態の基板収納容器の底面図である。
【図３】本発明の一実施の形態のハウジング部材別の使用状態を表す展開斜視図である。
【図４】本発明の一実施の形態の固定筒を表す斜視図である。
【図５】本発明の一実施の形態の保持筒を表す斜視図である。
【図６】本発明の一実施の形態の固定筒と保持筒を噛み合わせた状態を表す側面図である。
【図７】本発明の他の実施の形態のハウジング部材別の使用状態を表す展開斜視図である。
【図８】本発明の別の実施形態のハウジング部材を表す展開斜視図である。
【図９】本発明のさらに別の実施形態で、ハウジング部材として一端に放射状のリブが設けられた開口端部を備えた中空の円筒形をしたカートリッジを用いた例を表す説明斜視図である。
【図１０】本発明のさらに別の実施形態における緩み防止機構におけるボトムプレートとカートリッジとの係合関係を示す説明平面図である。
【図１１】本発明のさらに別の実施形態のおける緩み防止機構を示す説明的切断立面図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  基板収納容器
２  容器本体
３  蓋体
４  ハウジング部材
５  一方向弁（導入側）
６  一方向弁（排気側）
７  ボトムプレート
８  位置決め部材
９  係止爪
１０  貫通孔
１１  周縁リム
１２  固定筒
１３  シール部材
１４  保持筒
１５  フィルタ
１６  中蓋筒
１７  弾性部材
１８  （固定筒１２の）螺子溝
１９  第一の緩み防止突起
２０  （丸い）通気口
２１  （リング状の）フランジ
２２  突起
２３  緩やかな傾斜面
２４  急な傾斜面
２５  （気体流通用の）区画リブ
２６  通気口
２７  （リング状の）フランジ
２８  （フランジ２７の面から突出する）突起
２９  （保持筒１４の）（取付用の）螺子溝
３０  第二の緩み防止突起
３１  平行な傾斜面（緩やかな傾斜面）
３２  角度の大きな傾斜面（急な傾斜面）
３３  シール部材
３４  （位置ずれ防止用の係合部となる）凸部
３５  （位置ずれ防止用の係合部となる）円周状リブ
３６  シール部材
３７  （中蓋筒１６の）区画リブ
３８  （保持筒１４の）円筒状の枠体
３９  （円筒状の枠体３８を連結する）格子状のリブ
４０  （中蓋筒１６の）円筒状の枠体
４１  （円筒状の枠体４０を連結する）格子状のリブ
４２  （保持筒１４の内側壁に形成される）凹部
４３  フィルタ
４４  ハウジング部材
４５  固定筒
４６  保持筒
４７  中蓋筒
４８  （さらに別の実施形態のハウジング部材としての）カートリッジ
４９  係止爪
５０  貫通孔
５１  リブ
５２  切欠き
５３  ボトムプレート
５４  貫通穴
５５  フィルタ保持部材
５６  緩み防止突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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