(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体中の液滴の落下速度を計測する計測手段と、前記計測手段によって計測された落下速度と予め測定してある前記液滴の密度及び前記気体の粘性係数とに基づいて液滴量を算出する算出手段とを備え、前記液滴の落下速度が一定である位置に、前記計測手段の測定領域が定められていて、
かつ複数の前記液滴のうち、計測対象の液滴を取り出す機構を備えることを特徴とする液滴量測定装置。
【請求項２】
前記液滴の進路に直交する方向に電界を生じさせる電界発生手段を前記液滴の進路で前記測定領域の前に備えることを特徴とする請求項１記載の液滴量測定装置。
【請求項３】
前記液滴を蒸発させるレーザを照射する照射手段を備え、前記レーザの集光部が前記液滴の進路で前記測定領域の前にあることを特徴とする請求項１記載の液滴量測定装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項記載の液滴量測定装置と、前記液滴量測定装置の測定結果に基づいてインクジェットプリンタのインク液滴の吐出量を調整する調整装置とを備えることを特徴とするインクジェットプリンタの製造システム。
【請求項５】
気体中の液滴の落下速度を前記液滴の落下速度が一定である位置にて計測し、計測した落下速度と予め測定してある前記液滴の密度及び前記気体の粘性係数とに基づいて液滴量を算出するにあたり、
複数の前記液滴のうち、計測対象の液滴を取り出したのち、取り出した前記液滴の落下速度を計測することを特徴とする液滴量測定方法。
【請求項６】
前記液滴の進路に直交する方向に電界を生じさせ、前記進路から取り出された液滴の落下速度を計測することを特徴とする請求項５記載の液滴量測定方法。
【請求項７】
前記液滴を蒸発させるレーザを照射し、非計測対象の液滴を蒸発した後に計測対象の液滴の落下速度を計測することを特徴とする請求項５記載の液滴量測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴量測定方法、液滴量測定装置及びそれを備えたインクジェットプリンタの製造システムに関し、特に、インクジェットプリンタより吐出されたインク液滴の液滴量測定方法、液滴量測定装置及びそれを備えたインクジェットプリンタの製造システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、インクジェットプリンタなどの液滴吐出装置は、液体吐出記録ヘッド（以下、記録ヘッドと記載）の吐出口から吐出した液滴を、紙やＯＨＰシート等の記録媒体に着弾させることで画像を形成していた。
【０００３】
液滴吐出装置は、高精細かつ高画質化が求められており、吐出された液滴量にばらつきがあると、濃度むらやカラー画像における色調ずれ等の影響を及ぼし、高精細かつ高画質化の妨げとなる。
【０００４】
こうした問題を解決するためには、液滴吐出ヘッドの液滴吐出特性の解析を行う必要があり、液滴量に関しては吐出液滴１滴１滴の量のばらつきを測定することが求められてきた。
【０００５】
しかし、液滴は、液滴径が２０μｍ、量で４ｐｌ程度と微小であることから、液滴１滴の量を測定するのは困難である。このため、以下説明するような手法が採用されていた。
【０００６】
（従来技術１）
予めインクタンクの質量を測定しておき、その後規定のヘッド駆動を行わせ、さらにそのインクタンクの質量を測定することにより、ヘッド駆動動作前後の液滴質量差から平均的な液滴吐出量を算出していた。
【０００７】
（従来技術２）
染料の含まれる液滴をガラス基板上に形成した透明受容層上に着弾させ、その着弾滴部に光を照射し、透過した光量の計測値から着弾液滴内に含まれる染料の量を見積もる。そして液適量とそれに含まれる染料の量との比が既知であるとし液滴量を算出していた。
【０００８】
（従来技術３）
特開平５−１４９８６９号公報に記載のように、液滴の飛翔像をカメラ等で撮影し、撮影画像を画像処理しその画像の大きさから液滴量を算出していた。
【０００９】
（従来技術４）
特開２０００−１５３６０３号公報に記載のように、所定の深さと幅とを持つシャーレ形態の媒体に吐出液滴を受け、天板で覆う。天板に押しつぶされ変形した液滴のサイズを測定し、その測定値に基づいて、液滴量を算出していた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来技術１は、あくまで算出するのは多数滴の平均値であり、１滴１滴の液滴量ではない。そのため、液滴間のばらつきや過渡的な液適量の変化を測定することはできない。
【００１１】
従来技術２は、液滴を受ける受容層の表面エネルギーむら等のばらつきが、液滴の受容層内での広がり方に影響を与えるので、透過光量を計測するセンサを高精度にする必要がある。またこの方法では、光を吸収しない透明液滴や光の透過量が極端に落ちる顔料インク等には適用できない。また高速で連続的に吐出される液滴量を測定しようとすると、図１３に示すように基板に着弾した液滴と液滴とがつながり、１滴毎の液適量を測定することができない場合がある。
【００１２】
従来技術３は、照明の方法、つまり照明光の強さや向き等により撮像される液滴の大きさが変ってしまう。またこの方法では液滴径から量を算出するので、量の誤差は測定する径の誤差の３／２乗に比例し、径の測定誤差を小さく抑えないと量の誤差が大きくなる場合がある。
【００１３】
従来技術４は、基板のたわみや表面むらのため、液滴を挟む受容基板と天板面との間隔をばらつきなく一定にするのは難しい。さらに両面のぬれの状態もばらつきなく一定にすることは難しいため、測定に誤差が生じてしまう。さらに高速で連続的に吐出される液滴量を測定しようとすると、図１３に示すように基板に着弾した液滴と液滴とがつながり、１滴毎の液適量を測定することができない場合がある。
【００１４】
そこで、本発明は、吐出液滴の１滴１滴の量を精度よく計測する吐出液滴測定装置を提供することを課題とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の液滴量測定装置は、気体中の液滴の落下速度を計測する計測手段と、前記計測手段によって計測された落下速度と予め測定してある前記液滴の密度及び前記気体の粘性係数とに基づいて液滴量を算出する算出手段とを備えることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明のインクジェットプリンタの製造システムは、液滴量測定装置と、前記液滴量測定装置の測定結果に基づいてインクジェットプリンタのインク液滴の吐出量を調整する調整装置とを備えることを特徴とする。
【００１７】
さらに、本発明の液滴量測定方法は、気体中の液滴の落下速度を計測し、計測した落下速度と予め測定してある前記液滴の密度及び前記気体の粘性係数とに基づいて液滴量を算出することを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。
【００１９】
（実施形態１）
「構成の説明」
図１は、本発明の実施形態１の液体吐出記録ヘッドの液滴測定装置の概略構成図である。図２は、図１のブロック図である。図１，図２に示すように本実施形態の液滴測定装置は、液滴１を例えば水平方向に吐出する液体吐出記録ヘッド（以下、「ヘッド」と称する。）２と、ヘッド２を駆動するヘッドコントローラ２１と、ヘッド２から吐出された液滴１を撮像するカメラ３と、液滴１を照明する照明光源５と、カメラ３に取り付けられた拡大レンズ４と、カメラ３からの画像に基づいて液滴１の落下速度を計測することにより液滴１の量を算出するパーソナルコンピュータなどの情報処理装置６とを示している。
【００２０】
ヘッド２は、ヘッドコントローラ２１の指令に従って電気熱変換体により液滴１に熱を加え、インクの一部を発泡させその発泡の作用力により、オリフィスプレートに開いたノズルからインクを吐出させるタイプのものを用いている。ノズルの数は６４個から１４０８個までさまざまなタイプが生産されており、いずれを用いてもよいが、本実施形態では１２８個のものを用いている。
【００２１】
また、ヘッド２は、吐出口のオリフィス面が垂直になるように設置して液滴１が水平方向に吐出するようにしている。これは、液滴１が斜めに吐出すれば、液滴１の移動ベクトルをベクトル分解し、鉛直方向の成分を算出する作業が必要になり面倒だからである。
【００２２】
ヘッド２の吐出周波数は１０ｋＨｚほどまで上げることができるが、ここでは、液滴１相互の影響により雰囲気内の気体による抵抗が減少しないように、５Ｈｚ程度としている。
【００２３】
カメラ３は、例えばコダック製のメガプラス（商標名）を用い、それに５倍の拡大レンズ４を装着している。カメラ３で撮像された液滴１の画像は、情報処理装置６に送られる。
【００２４】
照明光源５は、例えば菅原研究所製のナノパルスライト（商標名）を使用し、ライトガイドを通して照明光が、観察光学系の光軸上にあり、液滴通過領域を通過して観察光学部に入るように設置している。照明による雰囲気温度の上昇を抑えるため、照明光はライトガイドを出射後、赤外カットフィルターを通して液滴１に照射するようにしている。
【００２５】
情報処理装置６は、カメラ３で撮像された液滴１の画像から液滴位置と、照明光源５の発光時間とに基づいて液滴１の速度を算出し、その算出結果に基づいて液滴１の量を測定する。
【００２６】
また、定速度後の液滴１の落下速度を測定するため、液滴１の測定領域がヘッド２の吐出口から５０〜７０ｍｍ下に位置するよう、観察系全体を設置している。
【００２７】
さらに、液滴１の進路は、気流の乱れ等の外乱を防ぐためアクリル板で覆っている。アクリル板内に湿度計測機能が付属している加湿器を設置し、アクリル板内の雰囲気を相対湿度が７０％程度になるように制御する。
【００２８】
なお相対湿度が５０％より低いと、吐出された液滴の一部が飛翔中に蒸発することが観察されている。また相対湿度が９０％より高いと、ヘッド２の吐出口に水蒸気が凝結し、吐出する液滴量に誤差を及ぼしたり、吐出方向を変動させる悪影響を及ぼす。
【００２９】
また、アクリル板内には温度計を設置し、温度が例えば２５℃になるように制御する。
【００３０】
「動作の説明」
図３は、図１のヘッド２の駆動、照明光源５の閃光、カメラ３の露光のタイミング図である。カメラ３の露光する毎に、照明光源５をオンして閃光を行う。カメラ３の露光及び閃光は、１滴の液滴１につき例えば３０Ｈｚの周波数で４パルス分駆動する。
【００３１】
なお、図３に示すタイミングの制御は、図１，図２に示すように、情報処理装置６に接続されている制御部によって行っており、カメラ３、ヘッド２、照明光源５のそれぞれに制御信号を同期合わせして出力している。
【００３２】
また、測定前に、カメラ３で露光等を４回行う際の１回目で、モニタの上方に液滴１が位置するように設定したり、カメラ３上方であって液滴１の経路に液滴１の通過を検知するセンサを設け、このセンサの検知結果に基づいて１回目の駆動のトリガ信号を生成するようにしている。
【００３３】
また、ヘッド２から吐出された液滴１は、測定領域に達するまでにかかる時間にほとんどバラツキがなくほぼ一定になる。そのため、一連の実験を何時間にもわたって行うことでもなければ、情報処理装置６の画面に表示される液滴１の画像が一つになるほど、液滴１のスピードが速くならない。
【００３４】
カメラ３で撮像された画像データは、情報処理装置６のメモリに記憶される。画像データをメモリから読み出し、画像処理ソフトなどにより液滴１の重心位置座標を算出する。
【００３５】
なお、実際の測定に先だって、所定の間隔の格子パターンを描いたガラス基板を測定領域に設置した状態で、カメラ３により撮像を行い、画像上の画素単位での格子間隔と、ガラス基板上での実際の格子間隔とから、画像データの１画素が実空間でどれだけの長さに相当するかというキャリブレーションを行っておく。
【００３６】
このキャリブレーションデータは情報処理装置６に記憶しておき、画像処理により液滴重心位置が算出される際に用いる。連続する複数の画像データに対して液滴重心位置を算出し、その重心位置の差を撮影された時刻の差で割ることで速度が求められる。
【００３７】
液滴１はヘッド２から水平に吐出されると、１０ｍｍほどほぼ直進し、その後垂直に落下する軌道を描く。測定視野が１．８ｍｍ角で液滴１の落下速度は、およそ１２ｍｍ／ｓほどのため、撮影周波数を３０Ｈｚとすることで１滴あたり３枚か４枚の画像を取得できる。
【００３８】
液滴の落下速度は、最低２枚の画像があれば上記方法で求めることができる。１滴あたり３枚か４枚の画像を取得できた場合は、そのうち２枚の画像を複数の組み合わせで選択し、その選択した２枚の画像から求めた落下速度の平均をとり、それを計測した液滴の落下速度とする。
【００３９】
実際に、後述する数式（１）〜数式（３）より計算される液滴１の直径は、約φ２０μｍになる。
【００４０】
ところで、ヘッド２から吐出させた液滴１の水平方向の移動速度は、雰囲気内の気体による抵抗により減少し、やがて０になる。また、重力の影響により鉛直方向にも液滴１は移動するが、一定時間後に重力と雰囲気内の気体による抵抗とが釣り合い、液滴１の大きさに応じた一定速度になる。その後、落下速度ｖを測定する。
【００４１】
ちなみに、液滴１を水平方向に向けて吐出すると、水平方向及び鉛直方向とも液滴の落下速度ｖの変化具合を支配する時定数は同じであるため、水平方向も鉛直方向も速度が一定とみなせる速度になるのにかかる時間は同等と考えられる。
【００４２】
ここで、液滴１の落下速度ｖは、液滴１の密度をρ、重力加速度をｇ、気体の粘性係数をη、液滴１の半径をａ、抗力係数をＣｄ、レイノルズ数をＲｅとしたときに、以下の数式（１）〜（３）を用いて算出することが可能であり、ひいては液滴１の半径ａを算出することができる。
【００４３】
Ｃｄ＝８ａｇ／３ｖ2  …（１）
Ｃｄ＝ｆ（Ｒｅ）     …（２）
Ｒｅ＝２ａｖρ／η   …（３）
また、レイノルズ数Ｒｅが１以下の場合には、一定速度後の液滴の落下速度ｖは、液滴質量をｍとすると、ストークスの法則により、以下の数式（４）が成り立つ。
【００４４】
ｖ＝ｍｇ／６πηａ   …（４）
落下速度ｖを測定し、液滴１の密度と気体の粘性係数を前もって求めておけば、数式（１）〜（３）あるいは数式（４）より液滴半径ａが求まる点に着目して１滴毎の液滴１の量を測定する。
【００４５】
本実施形態では液滴１として水を用いたため、液滴１の密度は１ｇ／ｃｍ3である。また気体の粘性係数は、例えば２５℃の空気中では１８．２×１０-6Ｐａ・Ｓである。
【００４６】
なお、数式（１）〜（４）は、球状の物体に対して成り立つ。液滴吐出直後の液滴の形状は球ではなく弾丸状だが、液滴１の表面張力の作用で吐出後１００μｓ以内には球になるので、その後にカメラ３で液滴１の画像を撮像するようにしている。
【００４７】
（実施形態２）
図４は、本発明の実施形態２の液体吐出記録ヘッドの液滴測定装置の概略構成図である。図５は、図４のブロック図である。図４，図５には、ヘッド２から吐出される液滴１の間隔が狭いときに液滴１の進路に直交する方向に電界を生じさせるワイヤ電極７と、ワイヤ電極７に電力を供給する給電回路２０と、給電回路２０による電界を生じさせていないときの液滴１を収納するガター８と、液滴１の水平方向の移動を制御する偏向板９とを示している。なお、図４，図５では、図１，図２に示した部分と同様の部分には同一符号を付している。
【００４８】
また、ワイヤ電極７とヘッド２とは、２つのワイヤ電極７間の真ん中を液滴１が通過するように、位置合わせしてある。
【００４９】
実施形態１で説明したように、数式（３），数式（４）には、雰囲気内の気体による粘性抵抗係数ηが含まれている。そのため、ヘッド２の吐出周波数が小さい場合は、液滴１間の間隔が広いため、ある液滴１が移動することで生じた雰囲気内の気体による乱れが、次に吐出された液滴１の移動に影響を与えることはない。
【００５０】
しかし、ヘッド２の吐出周波数が大きい場合は、液滴１間の間隔が狭いため、ある液滴１が移動することで生じた雰囲気内の気体による乱れが、次に吐出された液滴１の移動に影響を与えることがある。
【００５１】
ところで、ヘッド２から吐出された液滴１は帯電しているので、給電回路２０によってワイヤ電極７に電圧を印加したときに、ちょうどワイヤ電極７間を通過する液滴１が偏向する。
【００５２】
そこで、本実施形態では、ヘッド２から吐出される液滴１の間隔が狭いときに、ワイヤ電極７によって液滴１の進路に直交する方向に電界を生じさせ、偏向板９側に進路が変更された液滴１をカメラ３で撮像することによって、液滴１の量を測定するようにしている。
【００５３】
なお、ワイヤ電極７に電圧を印加していないときには、液滴１はガター８に回収される。
【００５４】
図６は、図４のヘッド２の駆動、カメラ３の露光、照明光源５の閃光、ワイヤ電極７の電圧印加のタイミング図である。図６に示すように、給電回路２０から一時的にワイヤ電極７に例えば２．４ｋＶで２０μｓ間電圧を印加し、液滴１の中のいくつかを偏向させ、実施形態１と同様のタイミングでカメラ３の露光、照明光源５の閃光を行う。
【００５５】
ちなみに、ヘッド２を１０ｋＨｚで駆動しながら、ワイヤ電極７に５Ｈｚの周波数で図５のように電圧を印加すると、液滴１の間隔は２ｍになり、互いに影響しあうこともなく、雰囲気内の気体による粘性抵抗係数ηも実施形態１と同様に一定と考えることができる。
【００５６】
さらに、本実施形態では液滴１の進路に、観察系の光学軸と鉛直軸に直角に弱い定常電磁場を生じさせている。具体的には、ヘッド２の吐出口より水平方向に１０ｍｍ程度離したところに偏向板９を相互に数１００ｍｍ離して配置し、これらの１００Ｖ程度の電圧をかけている。
【００５７】
この電場域に液滴１が入ると、液滴１は静電力により水平方向にひかれ、真下ではなく斜め下に移動する。よって落下速度ｖを算出する際には、実施形態１の場合のように規定時間内に移動した液滴１の距離から計算するのではなく、移動距離の垂直成分を用いて計算をする。
【００５８】
これは、電場をかけないことで、液滴１が時折外乱の影響を受けて進路が斜めになって落下速度ｖの計測ができなくなることを防止するためである。
【００５９】
（実施形態３）
図７は、本発明の実施形態３の液体吐出記録ヘッドの液滴測定装置の一例を示す概略構成図である。図８は、図７のブロック図である。図７，図８には、吐出された液滴１のいくつかを蒸発させるレーザ光を出射する数Ｗ級のグリーン連続発光レーザなどのレーザ１０と、レーザ１０から発せられたレーザ光を変調する音響光学変調器（ＡＯＭ）１１と、ＡＯＭ１１で変調されたレーザ光を反射する反射ミラー１２と、反射ミラー１２の反射光を集める縮小レンズ１３と、縮小レンズ１３によって集められた反射光を液滴１に照射する集光部１４とを示している。
【００６０】
なお、図７，図８において図４，図５と同様の部分には同一符号を付しているが、本実施形態では、ヘッド２を、吐出した液滴１の直径が平均φが３０μｍで、ノズルの数が６４個のヘッドを用いている。また、液滴１の画像がきちんと取り込めるようにヘッド２とカメラ３との位置合わせしている。
【００６１】
図９は、図７の集光部１４付近の上面図である。図９に示すように、液滴１の進路と集光レンズ１３を通過した反射光の光路とは直交するようにしている。一方、液滴１の進路と集光部１４の中心を結ぶ線とは直交しないようにして液滴１の進路を反射光が数往復するようにしている。
【００６２】
図１０は、図７のヘッド２の駆動、カメラ３の露光、照明光源５の閃光、ＡＯＭ１１の駆動のタイミング図である。実施形態２と同様に、１回のカメラ露光時間内に、１回閃光を行い、カメラ３及び照明光源５は１滴の液滴１につき３０Ｈｚの周波数で４パルス分駆動する。
【００６３】
なお、測定前には、実施形態１と同様に、ＡＯＭ１１の駆動信号、カメラ３の露光信号及び照明光源５の閃光制御信号のタイミングを調整している。
【００６４】
ヘッド２から吐出された液滴１は、レーザ光の集光部１４を通過する際に、レーザ光を吸収して蒸発する。一方、例えば５Ｈｚの周波数で、１回当たりの偏向時間が５０μｓになるように外部パルスを入力してＡＯＭ１１を駆動し、レーザ光を偏向する。
【００６５】
レーザ光が偏向されると、液滴１の軌道上には達しないので、その間の液滴１は、レーザ光を吸収することなく進行する。このように進行した液滴１の落下速度ｖを、実施形態２と同様の手法により測定する。
【００６６】
（実施形態４）
本発明の実施形態４では、カラーフィルタの製造装置に係る液滴測定装置と、液滴測定装置の測定結果に基づいてカラーフィルタの製造装置の液滴の吐出量を調整する調整装置である制御部を有する情報処理装置６とを備えた製造システムについて説明する。
【００６７】
図１１は、本発明の実施形態４の製造システムの模式的な構成図である。図１１には、カラーフィルタが形成される基板の載置される印字領域１５と、液滴量の測定を行う測定領域１６と、印字領域１５と測定領域１６との間でヘッド２を搬送する搬送機構１８と、印字領域１５に基板を搬入する搬入口１７と、計測領域１６内での計測時の外乱を少なくするためのシャッター１９とを示している。なお、図１１において図１で示した部分と同様の部分には同一符号を付している。
【００６８】
図１２は、図１１の動作を示すフローチャートである。ヘッド２は、通常時には、印字領域１６に備えられている高精度ステージに載置されている。この状態で、システムの電源が投入されたり、ユーザの指示があると、これらを契機にヘッド２が計測領域１６に搬送機構１８によって搬送される（ステップＳ１）。
【００６９】
計測領域１６では、まず、ヘッド２の各ノズルを順次選択する（ステップＳ２）。
【００７０】
そして、実施形態１等で説明したような手法によって選択したノズルから液滴を吐出させて、その量を測定する（ステップＳ３）。
【００７１】
つぎに、計測結果に基づいて、吐出される液滴量が所定の設計範囲内にあるかどうかを判別する（ステップＳ４）。
【００７２】
判別の結果、吐出される液滴量が所定の設計範囲内にない場合には、それを是正するように、ヘッド２の駆動電圧などの駆動パラメータを情報処理装置６の制御部によって調整する（ステップＳ５）。
【００７３】
具体的には、測定された液滴量が所定設計値より小さければ、駆動電圧を大きくし、逆に設計値より大きければ、駆動電圧を小さくする。
【００７４】
それから、調整時のデータを情報処理装置６内のメモリに記憶する（ステップＳ６）。
【００７５】
そして、ヘッド２の全てのノズルの液滴量の計測が終了したか判別される（ステップＳ７）。
【００７６】
全てのノズルの液滴量の計測が終了していなければ、ステップＳ２に戻り、終了していればヘッド２を印字領域１５に戻す（ステップＳ８）。
【００７７】
液滴量が調整されたヘッド２によってカラーフィルタの印字を行うときには、情報処理装置６でメモリ内のデータを読み出して、そのデータに従ってヘッド２を駆動する。
【００７８】
なお、本実施形態では、カラーフィルタの製造装置を例に説明したが、液滴を吐出するヘッドを備えていればこれに限定されず、実施形態１等で説明したようにインクジェットプリンタの製造装置や、電子放出素子の製造装置にも適用することができる。
【００７９】
（実施形態５）
本実施形態では、本発明の計測方法及び装置を利用することで、高精度なヘッドをより効率良く生産する方法を説明する。
【００８０】
生産されたヘッドは、上記説明してきた計測方法及び装置により全ノズルの液滴量測定がなされる。そのデータはLAN等によりリアルタイムで工場の各工程部に送信される。
【００８１】
規格外の液滴量が計測された場合は、各工程内の検査結果と併せて解析され、不良原因の早期探索がなされる。例えば、あるヘッドの一部のノズルで吐出量が規定以上に大きいという計測結果が得られると、そのヘッドノズルの径や、そのヘッドノズルに対応する熱変換素子の抵抗値が調べられる。
【００８２】
そこで例えば、吐出量が規定以上に大きいノズルのノズル径が、設計値よりも大きかった場合は、ノズル形成工程において製造パラメータの再チェックがなされ、設計規定値のノズル径が製造できるようにノズル形成工程の調整がなされる。こうした最終製品から各製造工程へ計測データのフィードバックをかけることで、高精度なヘッドをより効率良くできる。また製品立ち上げ時の歩留まり向上を早めることができる。
【００８３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、吐出液滴の１滴１滴の量を精度よく計測し、その計測結果に基づいて液体吐出装置の吐出量の解析が可能となるので、吐出された液滴量のばらつきがなくなるように調整することによって、形成する画像を高詳細かつ高画質にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１の液体吐出記録ヘッドの液滴測定装置の概略構成図である。
【図２】図１のブロック図である。
【図３】図１のヘッド２の駆動、カメラ３の露光、照明光源５の閃光のタイミング図である。
【図４】本発明の実施形態２の液体吐出記録ヘッドの液滴測定装置の概略構成図である。
【図５】図４のブロック図である。
【図６】図４のヘッド２の駆動、カメラ３の露光、照明光源５の閃光、ワイヤ電極７の電圧印加のタイミング図である。
【図７】本発明の実施形態３の液体吐出記録ヘッドの液滴測定装置の一例を示す概略構成図である。
【図８】図７のブロック図である。
【図９】図７の集光部１４付近の上面図である。
【図１０】図７のヘッド２の駆動、カメラ３の露光、照明光源５の閃光、ＡＯＭ１１の駆動のタイミング図である。
【図１１】本発明の実施形態４の製造システムの模式的な構成図である。
【図１２】図１１の動作を示すフローチャートである。
【図１３】従来技術に係る液滴の状態を示す図である。
【符号の説明】
１  液滴
２  ヘッド
３  カメラ
４  拡大レンズ
５  照明光源
６  情報処理装置
７  ワイヤ電極
８  ガター
９  偏向板
１０  レーザ
１１  ＡＯＭ
１２  反射ミラー
１３  縮小レンズ
１４  集光部
１５  印字領域
１６  測定領域
１７  搬入口
１８  搬送機構
１９  シャッター
２０  給電回路
２１  ヘッドコントローラ
【図１】
0004865155.tif 000002
【図２】
0004865155.tif 000003
【図３】
0004865155.tif 000004
【図４】
0004865155.tif 000005
【図５】
0004865155.tif 000006
【図６】
0004865155.tif 000007
【図７】
0004865155.tif 000008
【図８】
0004865155.tif 000009
【図９】
0004865155.tif 000010
【図１０】
0004865155.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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