(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、該支持体上に形成された感光層とを有する電子写真感光体であって、
当該電子写真感光体の最表面層の表面は、凹凸形状を有し、
該最表面層の表面は、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−２００１で定義される粗さ曲線の切断レベル差をＲδｃ、粗さ曲線要素の平均長さをＲＳｍとしたとき、
０．０２μｍ≦ＲＳｍ≦０．２９μｍ、且つ、０．１０≦ＲＳｍ／Ｒδｃ≦２．００の関係を満たすことを特徴とする電子写真感光体。
【請求項２】
前記のＲＳｍ／Ｒδｃは、０．１０以上０．５７以下である、請求項１に記載の電子写真感光体。
【請求項３】
前記凹凸形状は、レーザーアブレーション加工によって形成されたものである、請求項１又は２に記載の電子写真感光体。
【請求項４】
支持体と、該支持体上に形成された感光層とを有する電子写真感光体と；
該電子写真感光体を帯電する帯電手段と；
帯電された該電子写真感光体に単色光によって静電潜像を形成する露光手段と；
該静電潜像をトナーによって現像し、トナー像を形成する現像手段と；
該電子写真感光体の表面に形成されたトナー像を転写材に転写する転写手段と；
を少なくとも有する電子写真装置において、
該電子写真感光体の最表面層の表面は、凹凸形状を有し、
該最表面層の表面は、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−２００１で定義される粗さ曲線の切断レベル差をＲδｃ、粗さ曲線要素の平均長さをＲＳｍとしたとき、０．０２μｍ≦ＲＳｍ≦０．６０μｍ、且つ、０．１０≦ＲＳｍ／Ｒδｃ≦２．００の関係を満たし、
該単色光の波長をλとしたとき、該ＲＳｍと該λとが、λ／４０≦ＲＳｍ≦λ／１．４の関係を満たすことを特徴とする電子写真装置。
【請求項５】
前記ＲＳｍは、０．０２μｍ以上０．２９μｍ以下である、請求項４に記載の電子写真装置。
【請求項６】
前記のＲＳｍ／Ｒδｃは、０．１０以上０．５７以下である、請求項４又は５に記載の電子写真装置。
【請求項７】
前記凹凸形状は、レーザーアブレーション加工によって形成されたものである、請求項４乃至６のいずれか一項に記載の電子写真装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子写真感光体及びこの電子写真感光体を用いた電子写真装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子写真感光体は、基本的には、帯電及び光を用いた露光により潜像を形成する感光層と、その感光層を設けるための支持体としての基体からなっている。なかでも、低価格及び高生産性の利点から、感光層として有機材料を用いた有機電子写真感光体が広く普及している。
【０００３】
このように潜像を形成する方式を採用する電子写真装置のうち、潜像の形成にレーザービームを像露光用の光源として使用する電子写真装置においては、潜像に干渉縞模様が現れるという問題がある。これは、感光層において吸収しきれなかったビーム光が基体で反射し、感光層の表面まで到達して再度反射を起こすことが原因とされている。
【０００４】
特許文献１及び２は、潜像に干渉縞が生じることを防ぐことを目的として、基体を粗面化させ、基体からの正反射成分を低減させた電子写真感光体を開示する。また、特許文献３及び４は、感光層と支持体との間に、拡散反射層ないし、粗面化された反射層を設けた電子写真感光体を開示する。また、特許文献３、５、６及び７は、感光層の内部に光散乱物質を混入させた電子写真感光体を開示する。また、特許文献８は、感光体の表層を粗面化させた電子写真感光体を開示する。また、特許文献９及び１０は、感光体と支持体との間に光吸収層を設けた電子写真感光体を開示する。
【０００５】
これらの技術のうち、感光体と支持体との間に光吸収層を設ける方法では、光電変換に利用されるフォトン数が減少するという弊害があり、電子写真装置の高速化に伴う感光体への感度向上への要求と矛盾してしまうという問題があった。
【０００６】
感光体と支持体との間に光吸収層を設ける方法以外では、感光体の感度低下をもたらすものではないが、技術導入に伴って入射光あるいは反射光に乱反射成分を生じさせることとなる。このような乱反射成分は、潜像の解像力を低下させることとなり、電子写真装置の高精細化に伴って、画像特性に影響を与える可能性がある。
【０００７】
一方、干渉縞を消す方法として「１画素内で干渉縞を発生させることで画像全体としての干渉縞を打ち消す」という概念がある。１画素内で干渉縞を発生させるためには、像露光のビームスポット径内における感光層膜厚がλ／（２ｎ）以上乱れていればよい。ここで、λは、入射光の波長を示し、ｎは、感光層の屈折率を示す。このように１画素を構成する面内において感光層の膜厚を不均一化させることを目的として、基体ないし表面を粗面化させた電子写真感光体が開示されている（特許文献１１乃至１３参照）。
【０００８】
上記の方法は、概念としては光散乱効果によって干渉縞を打ち消すという効果に言及していない。しかしながら、スポット径内で膜厚を不均一にしようとするために感光層ないし基体を粗面化しており、結果的には、上記と同様に、光散乱を免れ得ず、潜像の解像力低下を伴ってしまう。
【０００９】
以上のように、総合的な性能を向上させるにあたって、レーザー露光光に対する干渉縞等に対する上記の従来技術には、未だ改良の余地が残されているのが現状である。
【特許文献１】特公平０５−０２６１９１号公報
【特許文献２】特開平０４−２６９７６０号公報
【特許文献３】特開昭６０−０８６５５０号公報
【特許文献４】特公平０６−０９３１２９号公報
【特許文献５】特公平０４−０６２５７７号公報
【特許文献６】特公平０６−０２３８５２号公報
【特許文献７】特開平０８−２３４４５５号公報
【特許文献８】特公平０４−０４８３８７号公報
【特許文献９】特開平０７−２９５２６９号公報
【特許文献１０】特開２００５−０６２５２１号公報
【特許文献１１】特開昭６１−２３１５６１号公報
【特許文献１２】特開平１０−３０１３１１号公報
【特許文献１３】特開２００３−２２８１９８号公報
【特許文献１４】特開２００３−０５７４２２号公報
【特許文献１５】特開２００６−３４６７４８号公報
【特許文献１６】特開２００６−２１２６４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、レーザー走査によって像露光を受けた際に、良好な干渉縞防止性能が得られ、かつ、ライン再現性が良好で感度の高い電子写真感光体を提供することを目的とする。また、本発明は、このような電子写真感光体を用いた電子写真装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明による電子写真感光体は、支持体と、該支持体上に形成された感光層とを有する電子写真感光体であって、
当該電子写真感光体の最表面層の表面は、凹凸形状を有し、
該最表面層の表面は、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−２００１で定義される粗さ曲線の切断レベル差をＲδｃ、粗さ曲線要素の平均長さをＲＳｍとしたとき、０．０２μｍ≦ＲＳｍ≦０．２９μｍ、且つ、０．１０≦ＲＳｍ／Ｒδｃ≦２．００の関係を満たすことを特徴とする。
【００１３】
本発明による電子写真装置は、支持体と、該支持体上に形成された感光層とを有する電子写真感光体と；該電子写真感光体を帯電する帯電手段と；帯電された該電子写真感光体に単色光によって静電潜像を形成する露光手段と；該静電潜像をトナーによって現像し、トナー像を形成する現像手段と；該電子写真感光体の表面に形成されたトナー像を転写材に転写する転写手段と；を少なくとも有する電子写真装置において、
該電子写真感光体の最表面層の表面は、凹凸形状を有し、
該最表面層の表面は、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−２００１で定義される粗さ曲線の切断レベル差をＲδｃ、粗さ曲線要素の平均長さをＲＳｍとしたとき、０．０２μｍ≦ＲＳｍ≦０．６０μｍ、且つ、０．１０≦ＲＳｍ／Ｒδｃ≦２．００の関係を満たし、
該単色光の波長をλとしたとき、該ＲＳｍと該λとが、λ／４０≦ＲＳｍ≦λ／１．４の関係を満たすことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、感光体内部の多重散乱を抑え、高解像度の潜像を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（本発明による電子写真感光体）
本発明による電子写真感光体は、支持体と、この支持体上に設けられた感光層とを有する。本発明による電子写真感光体において、その最表面層は、凹凸形状を有し、この最表面は、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−２００１で定義される粗さ曲線の切断レベル差をＲδｃ、粗さ曲線要素の平均長さをＲＳｍとしたとき、下記の関係を満たすことを特徴とする。
【００１６】
０．０２μｍ≦ＲＳｍ≦０．６０μｍ、且つ、０．１０≦ＲＳｍ／Ｒδｃ≦２．００
【００１７】
また、本発明による電子写真感光体において、最表面層の粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍは、０．４８μｍ以下であることがより好ましく、０．２９μｍ以下であることがさらに好ましい。
【００１８】
ＲＳｍが０．６０μｍを越えると、最表面層における内面反射の抑制効果が極めて少なくなり、感光体内部の多重散乱を抑えることによる高解像化が達成されない。
【００１９】
また、本発明による電子写真感光体において、粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍと粗さ曲線の切断レベル差Ｒδｃとの比率ＲＳｍ／Ｒδｃは、０．５７以下であることがより好ましい。
【００２０】
ＲＳｍ／Ｒδｃが２．００を越えると、最表面層における内面反射の抑制効果が極めて少なくなり、感光体内部の多重散乱を抑えることによる高解像化が達成されない。また、ＲＳｍ／Ｒδｃが０．５７以下では、非常に高い内面反射の抑制効果が得られる。
【００２１】
一方、ＲＳｍが０．０２μｍ未満であってＲＳｍ／Ｒδｃが２．００未満である場合や、ＲＳｍ／Ｒδｃが０．１０未満であってＲＳｍが０．０２μｍ以上である場合は、凹凸形状の機械的耐久性が著しく減少し、好ましくない。
【００２２】
本発明において、粗さ曲線の切断レベル差Ｒδｃ、及び粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−２００１の規格に準じてそれぞれ得られるものである。なお、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−２００１とは、日本工業標準調査会によって標準化された「製品の幾何特性仕様（ＧＰＳ）−表面性状：輪郭曲線方式−用語，定義及び表面性状パラメータ」なる規格である。特に、この測定に用いるパラメータは、下記の通りである。
【００２３】
基準長さ（Ｌ）＝１００μｍ
カットオフ値（λｓ）＝０．２５μｍ
カットオフ値（λｃ）＝０．０８ｍｍ
基準切断レベル（Ｒｍｒ１）＝１０％
基準切断レベル（Ｒｍｒ２）＝９０％
【００２４】
測定は、電子写真感光体の表面を感光体回転方向に４等分し、この感光体回転方向と直交する方向に２５等分して得られる計１００箇所の測定点に対して上記パラメータに従って行う。
【００２５】
本発明において、粗さ曲線の切断レベル差Ｒδｃは、上記の各測定点について得られたＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−２００１で定義される粗さ曲線の切断レベル差の算術平均値としたものである。また、粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍは、基準長さにおける粗さ曲線要素の長さの平均である。
【００２６】
測定には、この方法を実行し得るものを用いれば、特に制約はない。例えば、（株）キーエンス製の超深度形状測定顕微鏡ＶＫ−９５００、ＶＫ−９５００ＧＩＩ、及びＶＫ−９７００、並びに（株）島津製作所製のナノサーチ顕微鏡ＳＦＴ−３５００の如きバイオレットレーザー顕微鏡が挙げられる。
【００２７】
本発明において、電子写真感光体の表面に凹凸形状を形成する方法しては、上記の関係を満たし得るものであれば、特に制約はない。例えば、レーザーアブレーション加工が挙げられる。加工時に使用する入射レーザーとしては、発振パルス幅が１ピコ秒未満であるフェムト秒超パルスレーザを用いてもよい。パルス幅が１ピコ秒以上であると、レーザー照射時の熱拡散により加工形状が乱れ易くなり好ましくない。具体的には、モードロックＴｉ：サファイアレーザーが利用できる。更にはモードロックＴｉ：サファイアレーザーからのレーザー光を波長変換したレーザー（ＳＨＧ−Ｔｉ：サファイアレーザー、ＴＨＧ−Ｔｉ：サファイアレーザー、ＦＨＧ−Ｔｉ：サファイアレーザー等）がより好適に利用できる。
【００２８】
フェムト秒レーザー加工による凹凸形成方法としては、複数の互いに干渉したレーザー光を照射する方法（特許文献１４、１５参照）や、加工閾値近傍のフルエンスで直線偏向のレーザー光を照射する方法（特許文献１６参照）が利用できる。
【００２９】
図１に干渉レーザー方式の装置概略図を示す。１２は光源部であり、フェムト秒レーザー発振器、発振器と同期させた光学シャッター、及びＮＤフィルターから構成され、必要なパルスエネルギーのパルスを必要な数だけ取り出せるようになっている。
【００３０】
このようにしてエネルギーとパルス数が制御されたパルスレーザ光であるフェムト秒レーザーパルスＦは、まず、空間フィルタ及びλ／２板からなる波面成形部１３を通過する。その後、波面成形部１３を通過したフェムト秒レーザーパルスＦは、ビームスプリッター１４によって等しいエネルギーの二本のパルスビームＦａ、Ｆｂに分割される。分割されたパルスビームＦａ、Ｆｂはそれぞれ、ミラー１５ａ、１５ｂで向きを変えた後、ビーム整形手段であるマスク−レンズ系１６ａ、１６ｂを通過し、感光体１１の表面で重なり合い干渉するパルスビームＰ１、Ｐ２となる。二つのパルスビームＰ１、Ｐ２の光軸はミラー１５ａ、１５ｂにより調整され、それらの光路は感光体１１の表面で重なり合う。
【００３１】
フェムト秒レーザーのパルス長は通常３０μｍであるため、フェムト秒パルスを重なり合わせるには、ビームスプリッターから干渉領域までの光路長を、数μｍのオーダーで一致させる必要がある。
【００３２】
そこで、数μｍの光路長の調整を行うために、分割したパルスビームＦａ、Ｆｂの片方の光路に光路長調整器１７を設置している。具体的には、ビームスプリッター１４を通過するか否かによって生じる光路長差を補正するため、適当な厚さの石英平板を挿入している。
【００３３】
パルスビームが感光体表面上にて重なり合い、干渉する様子を示した模式図を図２に示す。図２において、Ｓ１及びＳ２は、それぞれ、パルスビームＰ１の波面、及びパルスビームＰ２の波面を表す。Ａ及びＢは、それぞれ、干渉可能領域の末端を示し、区間Ａ−Ｂが干渉可能領域に相当する。Ｌは、パルスビームＰ１及びＰ２のパルス長を表す。λは、パルスビームＰ１及びＰ２の波長を表す。θは、パルスビームＰ１及びＰ２の入射ベクトル角度を表す。ｄは、干渉よるレーザー光の感光体表面における空間強度分布のピッチを表す。干渉パターンのピッチｄは、以下の式により算出される。
【００３４】
【数１】
0005105982.tif 000002
【００３５】
レーザー加工においては、図３に示すように、感光体１１をワーク回転用モーター３２で自転させつつ、レーザー照射装置２１から照射されたパルスビームＰ１、Ｐ２のレーザー照射位置をワーク移動装置３３で感光体の軸方向上にずらしていく。これにより、感光体の表面全域に効率良く加工を形成することができる。
【００３６】
さらに、ワーク回転移動装置３４自体をレーザービームに対して９０度回転させて再度加工を行うことで、本発明の表面形状を有する感光体を作成することができる。
【００３７】
また、本発明において、電子写真感光体の表面に凹凸形状を形成する別の方法として、所定の形状を有するモールドを電子写真感光体の表面に圧接して形状転写を行う方法が挙げられる。
【００３８】
図４にその装置の断面の概略図を示す。加圧及び解除が繰り返し行える加圧装置４１に所定のモールド４２を取り付けた後、感光体１１に対して所定の圧力でモールドを当接させて形状転写を行う。その後加圧を一旦解除し、感光体を回転させた後に、再度加圧して形状転写工程を行う。この工程を繰り返すことにより、感光体の全周にわたって所定のディンプル形状を形成することが可能である。
【００３９】
また、図５に示したように、加圧装置４１に感光体１１の全周長よりも長いモールド４２を取り付けた後、感光体１１に対して所定の圧力をかけながら、感光体を矢印の方向に回転、移動させてもよい。これにより、感光体全周にわたって所定のディンプル形状を形成することも可能である。
【００４０】
他の例として、シート状のモールドをロール状の加圧装置と感光体との間に挟み、モールドシートを送りながら表面加工することも可能である。なお、形状転写を効率的に行う目的で、モールドや感光体を加熱することも可能である。
【００４１】
モールド自体の材質や大きさ、形状は適宜選択することができる。材質としては、微細表面加工された金属、又はシリコンウエハーの表面にレジストによりパターンニングをしたもの、微粒子が分散された樹脂フィルム、所定の微細表面形状を有する樹脂フィルムに金属コーティングされたものが挙げられる。モールド形状の一例を図６及び図７に示す。図６はモールド形状を上方向から見た図であり、図７はモールド形状を横方向から見た図である。
【００４２】
また、感光体に対して圧力を均一に付与する目的で、モールドと加圧装置との間に弾性体を設置することも可能である。
【００４３】
本発明は、表面が摩耗しにくい電子写真感光体ないし、電子写真感光体の表面を磨耗しにくい電子写真装置に適用されることが好ましい。
【００４４】
具体的には、本発明において、電子写真感光体の表面の弾性変形率は４０％以上６５％以下であることが好ましく、４５％以上であることがより好ましく、５０％以上であることがより一層好ましい。
【００４５】
また、電子写真感光体の表面のユニバーサル硬さ値（ＨＵ）は、１５０Ｎ／ｍｍ２以上２２０Ｎ／ｍｍ２以下であることが好ましい。
【００４６】
ユニバーサル硬さ値（ＨＵ）が大きすぎたり、また、弾性変形率が小さすぎると、電子写真感光体の表面の弾性力が不足する。そのため、電子写真感光体の周面とクリーニングブレードとの間に挟まれた、紙などの記録材に由来する紙粉やトナーが電子写真感光体の周面を擦ることによって、電子写真感光体の表面に傷が発生しやすくなる。それにともなって摩耗も発生しやすくなる。
【００４７】
また、ユニバーサル硬さ値（ＨＵ）が大きすぎると、たとえ弾性変形率が高くても弾性変形量は小さくなってしまうため、結果として電子写真感光体の表面の局部に大きな圧力がかかり、よって電子写真感光体の表面に深い傷が発生しやすくなる。
【００４８】
また、ユニバーサル硬さ値（ＨＵ）が上記範囲にあっても弾性変形率が小さすぎると、塑性変形量が相対的に大きくなってしまうため、電子写真感光体の表面に細かい傷が発生しやすくなり、また、摩耗も発生しやすくなる。これは、弾性変形率が小さすぎるだけでなくユニバーサル硬さ値（ＨＵ）が小さすぎる場合、特に顕著になる。
【００４９】
以上のように表面が摩耗しにくく、さらに傷が発生しにくい電子写真感光体は、上記の微細表面形状が初期から繰り返し使用後まで変化が非常に小さく、あるいは変化しないため、長期間繰り返し使用した場合にも初期の性能を良好に維持することができる。
【００５０】
本発明において、電子写真感光体の表面のユニバーサル硬さ値（ＨＵ）及び弾性変形率は、温度２３℃／相対湿度５０％環境下、微小硬さ測定装置フィシャースコープＨ１００Ｖ（Ｆｉｓｃｈｅｒ社製）を用いて測定した値である。このフィシャースコープＨ１００Ｖは、測定対象（電子写真感光体の周面）に圧子を当接し、この圧子に連続的に荷重をかけ、荷重下での押し込み深さを直読することにより連続的硬さが求められる装置である。
【００５１】
本発明においては、圧子として対面角１３６°のビッカース四角錐ダイヤモンド圧子を用いた。これを、電子写真感光体の周面に押し当て、圧子に連続的にかける荷重の最終（最終荷重）を６ｍＮとし、圧子に最終荷重６ｍＮをかけた状態を保持する時間（保持時間）を０．１秒とした。また、測定点は２７３点とした。
【００５２】
フィシャースコープＨ１００Ｖ（Ｆｉｓｃｈｅｒ社製）の出力チャートの概略を図８に示す。また、本発明の電子写真感光体を測定対象としたときのフィシャースコープＨ１００Ｖ（Ｆｉｓｃｈｅｒ社製）の出力チャートの一例を図９に示す。図８及び図９中、縦軸は、圧子にかけた荷重Ｆ（ｍＮ）を、横軸は、圧子の押し込み深さｈ（μｍ）を示す。図８は、圧子にかける荷重を段階的に増加させて荷重が最大になった（Ａ→Ｂ）後、段階的に荷重を減少させた（Ｂ→Ｃ）ときの結果を示す。図９は、圧子にかける荷重を段階的に増加させて最終的に荷重を６ｍＮとし、その後、段階的に荷重を減少させたときの結果を示す。
【００５３】
ユニバーサル硬さ値（ＨＵ）は、圧子に最終荷重６ｍＮをかけたときのこの圧子の押し込み深さから下記式により求めることができる。なお、下記式のそれぞれの略語は、下記の通りである。
【００５４】
ＨＵ          ユニバーサル硬さ（Ｎ／ｍｍ２）
Ｆｆ          最終荷重（Ｎ）
Ｓｆ          最終荷重をかけたときの圧子の押し込まれた部分の表面積（ｍｍ２）
ｈｆ          最終荷重をかけたときの圧子の押し込み深さ（μｍ）
【００５５】
【数２】
0005105982.tif 000003
【００５６】
また、弾性変形率は、圧子が測定対象（電子写真感光体の周面）に対して行った仕事量（エネルギー）、すなわち、圧子の測定対象（電子写真感光体の周面）に対する荷重の増減によるエネルギーの変化より求めることができる。具体的には、弾性変形仕事量Ｗｅを全仕事量Ｗｔで除した値（Ｗｅ／Ｗｔ）が弾性変形率である。なお、全仕事量Ｗｔは、図８中のＡ−Ｂ−Ｄ−Ａで囲まれる領域の面積であり、弾性変形仕事量Ｗｅは、図８中のＣ−Ｂ−Ｄ−Ｃで囲まれる領域の面積である。
【００５７】
次に、本発明による電子写真感光体の構成について説明する。
【００５８】
本発明による電子写真感光体は、上述のとおり、支持体と、この支持体上に設けられた感光層（以下単に「感光層」ともいう。）を有する電子写真感光体である。一般的には、円筒状支持体上に感光層を形成した円筒状有機電子写真感光体が広く用いられるが、ベルト状あるいはシート状の形状も可能である。
【００５９】
本発明による電子写真感光体において、感光層は、電荷輸送物質と電荷発生物質とを同一の層に含有する単層型感光層であってもよい。また、感光層は、電荷発生物質を含有する電荷発生層と電荷輸送物質を含有する電荷輸送層とに分離した積層型（機能分離型）感光層であってもよい。なかでも、本発明による電子写真感光体は、電子写真特性の観点から、積層型感光層が好ましい。また、積層型感光層には、支持体側から電荷発生層、電荷輸送層の順に積層した順層型感光層と、支持体側から電荷輸送層、電荷発生層の順に積層した逆層型感光層がある。電子写真特性の観点からは順層型感光層が好ましい。また、電荷発生層を積層構造としてもよく、また、電荷輸送層を積層構成としてもよい。さらに、耐久性能向上を目的とし感光層上に保護層を設けることも可能である。
【００６０】
支持体の材料としては、導電性を示すもの（導電性支持体）であればよく、鉄、銅、金、銀、アルミニウム、亜鉛、チタン、鉛、ニッケル、スズ、アンチモン、インジウム、クロム、アルミニウム合金、ステンレスの如き金属又は合金製が挙げられる。また、アルミニウム、アルミニウム合金、酸化インジウム−酸化スズ合金を真空蒸着によって被膜形成した層を有する上記金属製支持体やプラスチック製支持体を用いることもできる。また、カーボンブラック、酸化スズ粒子、酸化チタン粒子、銀粒子の如き導電性粒子を適当な結着樹脂と共にプラスチックや紙に含浸した支持体や、導電性結着樹脂を有するプラスチック製の支持体を用いることもできる。
【００６１】
また、支持体の表面は、レーザー光の散乱による干渉縞の防止を目的として、切削処理、粗面化処理、又はアルマイト処理を施してもよい。ただし本願発明のうち最表面凹凸形状が、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−２００１で定義される粗さ曲線の切断レベル差をＲδｃ、粗さ曲線要素の平均長さをＲＳｍとしたとき、下記の関係を満たしている場合には、支持体表面は、平坦であってもよい。これにより、高い解像度が得られる。
【００６２】
０．０２μｍ≦ＲＳｍ≦０．６μｍ、且つ０．１０≦ＲＳｍ／Ｒδｃ≦０．５７
【００６３】
支持体と後述の中間層あるいは感光層（電荷発生層、電荷輸送層）との間には、レーザー光の散乱による干渉縞の防止や、支持体の傷の被覆を目的とした導電層を設けてもよい。
【００６４】
導電層は、カーボンブラック、導電性顔料や抵抗調節顔料を結着樹脂に分散及び／又は溶解させた導電層用塗布液を用いて形成することができる。導電層用塗布液には、加熱又は放射線照射により硬化重合する化合物を添加してもよい。
【００６５】
導電層の膜厚は、０．２〜４０μｍであることが好ましく、さらには１〜３５μｍであることがより好ましく、さらには５〜３０μｍであることがより一層好ましい。
【００６６】
導電層に用いられる結着樹脂としては、下記のものが挙げられる。
【００６７】
スチレン、酢酸ビニル、塩化ビニル、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、フッ化ビニリデン、トリフルオロエチレンの如きビニル化合物の重合体／共重合体
ポリビニルアルコール
ポリビニルアセタール
ポリカーボネート
ポリエステル
ポリスルホン
ポリフェニレンオキサイド
ポリウレタン
セルロース樹脂
フェノール樹脂
メラミン樹脂
ケイ素樹脂
エポキシ樹脂
【００６８】
導電性顔料及び抵抗調節顔料としては、アルミニウム、亜鉛、銅、クロム、ニッケル、銀、ステンレスの如き金属（合金）の粒子；これらをプラスチックの粒子の表面に蒸着したものが挙げられる。また、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化スズ、酸化アンチモン、酸化インジウム、酸化ビスマス、スズをドープした酸化インジウム、アンチモンやタンタルをドープした酸化スズの金属酸化物の粒子であってもよい。これらは、単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。２種以上を組み合わせて用いる場合は、単に混合するだけでもよいし、固溶体や融着の形にしてもよい。
【００６９】
支持体又は導電層と、感光層（電荷発生層、電荷輸送層）との間には、バリア機能や接着機能を有する中間層を設けてもよい。中間層は、感光層の接着性改良、塗工性改良、支持体からの電荷注入性改良、感光層の電気的破壊に対する保護のために形成される。
【００７０】
中間層の材料としては、下記のものが挙げられる。
【００７１】
ポリビニルアルコール
ポリ−Ｎ−ビニルイミダゾール
ポリエチレンオキシド
エチルセルロース
エチレン−アクリル酸共重合体
カゼイン
ポリアミド
Ｎ−メトキシメチル化６ナイロン
共重合ナイロン
にかわ
ゼラチン
【００７２】
中間層は、これらの材料を溶剤に溶解させることによって得られる中間層用塗布液を塗布し、これを乾燥させることによって形成することができる。
【００７３】
中間層の膜厚は、０．０５〜７μｍであることが好ましく、さらには０．１〜２μｍであることがより好ましい。
【００７４】
本発明の感光層に用いられる電荷発生物質としては、下記のものが挙げられる。
【００７５】
ピリリウム、チアピリリウム系染料
各種の中心金属及び各種の結晶系（α、β、γ、ε、Ｘ型など）を有するフタロシアニン顔料
アントアントロン顔料
ジベンズピレンキノン顔料
ピラントロン顔料
モノアゾ、ジスアゾ、トリスアゾの如きアゾ顔料
インジゴ顔料
キナクリドン顔料
非対称キノシアニン顔料
キノシアニン顔料
アモルファスシリコン
【００７６】
これら電荷発生物質は１種のみ用いてもよく、２種以上用いてもよい。
【００７７】
本発明の電子写真感光体に用いられる電荷輸送物質としては、下記のものが挙げられる。
【００７８】
ピレン化合物
Ｎ−アルキルカルバゾール化合物
ヒドラゾン化合物
Ｎ，Ｎ−ジアルキルアニリン化合物
ジフェニルアミン化合物
トリフェニルアミン化合物
トリフェニルメタン化合物
ピラゾリン化合物
スチリル化合物
スチルベン化合物
【００７９】
本発明による電子写真感光体において、感光層として電荷発生層と電荷輸送層とに機能分離したものを用いる場合、電荷発生層は、本技術分野公知の方法で形成すればよい。例えば、公知の電荷発生材料を有する電荷発生層用塗布液を塗布し、これを乾燥させることによって形成されてもよい。このような電荷発生層用塗布液の調製方法としては、特に制約はなく、例えば、電荷発生物質を０．３〜４倍量（質量比）の結着樹脂及び溶剤とともに、公知の分散方法によりこの物質を分散する方法であってもよい。このような分散方法としては、ホモジナイザー、超音波分散、ボールミル、振動ボールミル、サンドミル、アトライター又はロールミルが挙げられる。また、電荷発生層は、電荷発生物質の蒸着膜としてもよい。
【００８０】
本発明による電子写真感光体において、電荷輸送層は、本技術分野公知の方法で形成すればよい。例えば、電荷輸送物質と結着樹脂を溶剤に溶解させることによって得られる電荷輸送層用塗布液を塗布し、これを乾燥させることによって形成することができる。また、上記電荷輸送物質のうち単独で成膜性を有するものは、結着樹脂を用いずにそれ単独で成膜し、電荷輸送層とすることもできる。
【００８１】
電荷発生層及び電荷輸送層に用いる結着樹脂としては、下記のものが挙げられる。
【００８２】
スチレン、酢酸ビニル、塩化ビニル、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、フッ化ビニリデン、トリフルオロエチレンの如きビニル化合物の重合体及び共重合体
ポリビニルアルコール
ポリビニルアセタール
ポリカーボネート
ポリエステル
ポリスルホン
ポリフェニレンオキサイド
ポリウレタン
セルロース樹脂
フェノール樹脂
メラミン樹脂
ケイ素樹脂
エポキシ樹脂
【００８３】
電荷発生層の膜厚は５μｍ以下であることが好ましく、さらには０．１〜２μｍであることがより好ましい。
【００８４】
電荷輸送層の膜厚は５〜５０μｍであることが好ましく、さらには１０〜３５μｍであることがより好ましい。
【００８５】
本発明において、電子写真感光体に要求される特性の一つである耐久性能の向上にあたっては、上述の機能分離型感光体の場合、表面層となる電荷輸送層の材料設計は重要である。そのための手段として、高強度の結着樹脂を用いたり、可塑性を示す電荷輸送物質と結着樹脂との比率をコントロールしたり、高分子電荷輸送物質を使用するなどが挙げられる。なかでも、より耐久性能を発現させるためには、表面層を硬化系樹脂で構成することが有効である。
【００８６】
本発明において、電荷輸送層自体を硬化系樹脂で構成し、上述の電荷輸送層上に第二の電荷輸送層あるいは保護層として硬化系樹脂層を形成することが可能である。硬化系樹脂層に要求される特性は、膜の強度と電荷輸送能力との両立であり、電荷輸送物質及び重合あるいは架橋性のモノマーやオリゴマーから構成されるのが一般的である。
【００８７】
電荷輸送物質としては、公知の正孔輸送性化合物及び電子輸送性化合物が挙げられる。また、上記の重合あるいは架橋性のモノマーやオリゴマーとしては、アクリロイルオキシ基やスチレン基を有する連鎖重合系の材料、水酸基やアルコキシシリル基、イソシアネート基を有する逐次重合系の材料が挙げられる。得られる電子写真特性、汎用性や材料設計、製造安定性の観点から、正孔輸送性化合物と連鎖重合系材料との組み合わせが好ましい。なかでも、正孔輸送性基及びアクリロイルオキシ基の両者を分子内に有する化合物を硬化させる系が特に好ましい。硬化手段としては、熱、光、放射線を用いる公知の手段が利用できる。
【００８８】
硬化層の膜厚は、電荷輸送層の場合は前述と同様５〜５０μｍであることが好ましく、さらには１０〜３５μｍであることがより好ましい。第二の電荷輸送層あるいは保護層の場合は、０．１〜２０μｍであることが好ましく、さらには１〜１０μｍであることがより好ましい。
【００８９】
本発明による電子写真感光体の各層には、各種添加剤を添加してもよい。添加剤としては、酸化防止剤や紫外線吸収剤の如き劣化防止剤や、フッ素原子含有樹脂粒子の潤滑剤などが挙げられる。
【００９０】
（本発明による電子写真装置）
次に、図面を参照しながら、本発明による電子写真装置について説明する。
【００９１】
本発明による電子写真装置は、上記の本発明による電子写真感光体を少なくとも有し、帯電手段等の本技術分野公知の画像形成に用いる各手段をさらに有することを特徴とする。図１０は、本発明による電子写真装置の一例の構成を概略的に示す図である。本発明による電子写真装置は、図１０に示すように、上述の本発明の電子写真感光体１を少なくとも有する。また、本発明による電子写真装置は、電子写真感光体１の表面を帯電させる帯電手段２、及び帯電した電子写真感光体１に形成すべき画像に応じたレーザー光Ｅを照射して電子写真感光体１に静電潜像を形成させる露光手段（図示せず）を有してもよい。この露光手段は、単色光によって、静電潜像を形成してもよい。また、本発明による電子写真装置は、静電潜像が形成された電子写真感光体１にトナーを供給して静電潜像が現像されてなるトナー像を形成する現像手段３、及びこのトナー像を電子写真感光体１の表面から転写材７に転写させる転写手段４を有してもよい。また、本発明による電子写真装置は、転写材７に転写されたトナー像を転写材に定着させる像定着手段８、及び転写後の電子写真感光体１の表面の付着物を除去するクリーニング手段５を有してもよい。また、本発明による電子写真装置は、クリーニング後の電子写真感光体１に静電履歴を消去するための光を照射する前露光手段６を有してもよい。
【００９２】
次に、本発明による電子写真装置を参照しながら、本発明による電子写真装置の制御について詳細に説明する。電子写真感光体１は、例えば、円筒状の形状を有するものであり、軸１ａを有する。電子写真感光体１は、軸１ａを中心に所定の周速度で回転駆動される（図１０では、矢印方向）。電子写真感光体１は、回転過程で、例えばコロナ放電を用いる非接触式の帯電装置である帯電手段２により、静電潜像が担持されるように、その周面に正又は負の所定電位の均一な帯電を受ける。
【００９３】
次いで、電子写真感光体１は、露光部にて露光手段（図示せず）により像露光光Ｅを受ける。この像露光光は、単色光であってもよい。これにより電子写真感光体１の周面に、露光像に対応した静電潜像が順次形成される。
【００９４】
このように形成された静電潜像には、現像スリーブ３−１を介して現像手段３から供給されるトナーが付着しトナー像を形成する。なお、現像手段３は、例えば、トナーを収容するトナー容器と、トナー容器の開口部に回転自在に設けられている現像スリーブ３−１とを有してもよい。
【００９５】
電子写真感光体１の表面に形成されたトナー像は、転写手段４が具備する電圧印加手段が印加する電圧によって、転写材７の表面に順次転写される。なお、転写材７は、電子写真感光体１と転写手段４との間に電子写真感光体１の回転に同期して供給されてもよい。
【００９６】
あるいは、転写工程は、以下のように、中間転写手段を用いて行われてもよい。つまり、中間転写手段（図示せず）を有する電子写真装置では、電子写真感光体１の表面に形成されたトナー像は、電子写真感光体１から中間転写手段の表面に中間転写手段が具備する電圧印加手段が印加する電圧により、各色順次転写される。中間転写手段に転写されたトナー像は、引き続き、二次転写手段（図示せず）との間に電子写真感光体１の回転に同期して供給された転写材７の表面に、転写手段４の具備する電圧印加手段が印加する電圧により、順次転写される。
【００９７】
これらの転写手段が具備する電圧印加手段は、公知の電圧印加手段を用いてもよく、電子写真感光体の磨耗を低減させる観点から、コロナ帯電器を用いることが好ましい。
【００９８】
トナー像が転写された転写材７は、転写材７の未定着状態のトナー像を定着する像定着手段８に導入され像定着を受けた後、画像形成物（コピー）として機外へ出力される。なお、像定着手段８は、転写材７に存在する未定着トナーを転写材７に定着させ得る手段であれば特に制限されない。例えば、転写材７を加熱するためのヒータを内蔵する定着ローラと、定着ローラに向けて転写材７を押圧するための加圧ローラとを有してもよい。
【００９９】
一方、トナー像を転写した後の電子写真感光体１は、電子写真感光体１の表面に当接するクリーニングブレードを有するクリーニング手段５により、電子写真感光体１の表面に残存するトナー（残トナー）の除去を受け、清浄面化される。その後、電子写真感光体１の表面は、更に前露光手段６により除電処理されて繰り返して像形成に使用される。
【０１００】
本発明による電子写真装置は、本発明による電子写真感光体、及び前述した手段以外の他の手段をさらに有してもよい。他の手段としては、転写後又はクリーニング後の電子写真感光体の静電履歴を消去するための光を照射する前露光手段等の、電子写真の形成に関する種々の公知の手段が挙げられる。
【０１０１】
本発明による電子写真装置において、単色光を発する露光手段を用いる場合、上記の電子写真感光体は、単色光の波長λとこの電子写真感光体の最表面層の粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍとが下記の関係を満たすものを用いることが好ましい。
【０１０２】
λ／４０≦ＲＳｍ≦λ／１．４
【０１０３】
この範囲の電子写真感光体を用いることにより、露光手段より発せられた露光光が最表面層よりも支持体側の層からの露光反射光が再び最表面層で反射する多重散乱光の量が減少し、高解像度の画像を得ることが可能となる。
【０１０４】
本発明による電子写真装置において、電子写真感光体としては、上述の通り、支持体上に、少なくとも電荷発生層及び電荷輸送層の順に積層されてなる積層型感光体を用いてもよい。この場合、電子写真感光体としては、支持体、及び支持体と電荷発生層との間の層の表面粗さが下記の関係を有するものを用いることが好ましい。
【０１０５】
Ｒｚｊｉｓ≦λ／（２×ｎ）
ｎ：電荷輸送層の屈折率
Ｒｚｊｉｓ：ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−２００１で定義される粗さ曲線の十点平均粗さ
【０１０６】
このような範囲の電子写真感光体を用いることにより、支持体、及び支持体と電荷発生層との間の層からの散乱を抑えつつ、最表面層の多重反射防止効果との相乗効果で干渉縞を発生させることなく、非常に高解像度の画像を得ることが可能となる。
【実施例】
【０１０７】
以下に、具体的な実施例を挙げて本発明をより詳細に説明する。なお、実施例中の「部」は「質量部」を意味する。
【０１０８】
＜１＞感光体の製造
＜感光体製造例１＞
直径８４ｍｍ、長さ３７０．０ｍｍの表面切削加工されたアルミニウムシリンダーを支持体（円筒状支持体）とした。
【０１０９】
次に、下記の成分からなる溶液を、ボールミルを用いて、約２０時間、分散し、導電層用塗料を調製した。
【０１１０】
酸化スズの被覆層を有する硫酸バリウム粒子からなる粉体              ６０部
〔商品名：パストランＰＣ１、三井金属鉱業（株）製〕
酸化チタン〔商品名：ＴＩＴＡＮＩＸ  ＪＲ、テイカ（株）製〕        １５部
レゾール型フェノール樹脂                                          ４３部
〔商品名：フェノライト  Ｊ−３２５、大日本インキ化学工業（株）製、固形分７０質量％〕
シリコーンオイル                                            ０．０１５部
〔商品名：ＳＨ２８ＰＡ、東レシリコーン（株）製〕
シリコーン樹脂                                                  ３．６部
〔商品名：トスパール１２０、東芝シリコーン（株）製〕
２−メトキシ−１−プロパノール                                    ５０部
メタノール                                                        ５０部
【０１１１】
このようにして調製した導電層用塗料をアルミニウムシリンダー上に浸漬法によって塗布し、温度１４０℃のオーブンで１時間加熱硬化することにより、膜厚が１５μｍの導電層を形成した。
【０１１２】
次に、下記成分をメタノール４００部／ｎ−ブタノール２００部の混合液に溶解した溶液を、前記導電層の上に浸漬塗布し、温度１００℃のオーブンで３０分間加熱乾燥することにより、膜厚が０．４５μｍの中間層を形成した。
【０１１３】
共重合ナイロン樹脂〔商品名：アミランＣＭ８０００、東レ（株）製〕  １０部
メトキシメチル化６ナイロン樹脂                                    ３０部
〔商品名：トレジンＥＦ−３０Ｔ、帝国化学（株）製〕
【０１１４】
次に、下記成分からなる混液を、直径１ｍｍガラスビーズを用いたサンドミル装置で４時間分散した後、酢酸エチル７００部を加えて電荷発生層用分散液を調製した。
【０１１５】
ＣｕＫα特性Ｘ線回折のブラッグ角２θ±０．２°の７．４°及び２８．２°に強いピークを有するヒドロキシガリウムフタロシアニン                        ２０部
下記構造式（１）のカリックスアレーン化合物                      ０．２部
【０１１６】
【化１】
0005105982.tif 000004
【０１１７】
ポリビニルブチラール                                              １０部
〔商品名：エスレックＢＸ−１、積水化学（株）製〕
シクロヘキサノン                                                ６００部
【０１１８】
これを、浸漬コーティング法で、上記中間層上に塗布し、温度８０℃のオーブンで１５分間加熱乾燥することにより、膜厚が０．１７０μｍの電荷発生層を形成した。
【０１１９】
次いで、下記成分をモノクロロベンゼン６００部及びメチラール２００部の混合溶媒中に溶解して、電荷輸送層用塗料を調製した。
【０１２０】
下記構造式（２）の正孔輸送性化合物                                ７０部
【０１２１】
【化２】
0005105982.tif 000005
【０１２２】
ポリカーボネート樹脂                                            １００部
〔ユーピロンＺ４００、三菱エンジニアリングプラスチックス（株）製〕
【０１２３】
このように調製した電荷輸送層用塗料を用いて、前記電荷発生層上に電荷輸送層を浸漬塗布し、温度１００℃のオーブンで３０分間加熱乾燥することにより、膜厚が１５μｍの電荷輸送層を形成した。
【０１２４】
次いで、分散剤として、下記成分を、１，１，２，２，３，３，４−ヘプタフルオロシクロペンタン〔商品名：ゼオローラＨ、日本ゼオン（株）製〕２０部及び１−プロパノール２０部の混合溶剤に溶解した。
【０１２５】
フッ素原子含有樹脂〔商品名：ＧＦ−３００、東亞合成（株）製〕    ０．５部
【０１２６】
これに、潤滑剤として、４フッ化エチレン樹脂粉体〔商品名：ルブロンＬ−２、ダイキン工業（株）製）１０部を加えた。これを、高圧分散機〔商品名：マイクロフルイダイザーＭ−１１０ＥＨ、米Ｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｃｓ社製〕で５８．８ＭＰａ〔６００ｋｇｆ／ｃｍ２〕の圧力で４回の処理を施し均一に分散させた。これを、ポリフロンフィルター（商品名ＰＦ−０４０、アドバンテック東洋（株）製）を用いて濾過を行い、潤滑剤分散液を作成した。その後、この潤滑剤分散液に、下記成分を加え、ポリフロンフィルター〔商品名：ＰＦ−０２０、アドバンテック東洋（株）製〕で濾過を行い、第二電荷輸送層用塗料を調製した。
【０１２７】
下記式（３）で示される正孔輸送性化合物                            ９０部
【０１２８】
【化３】
0005105982.tif 000006
【０１２９】
１，１，２，２，３，３，４−ヘプタフルオロシクロペンタン７０部及び１−プロパノール                                                                ７０部
【０１３０】
この塗料を用いて、前記電荷輸送層上に第二電荷輸送層塗料を塗布した後、大気中温度５０℃のオーブンで１０分間乾燥した。その後、窒素中において加速電圧１５０ＫＶ、ビーム電流３．０ｍＡの条件でシリンダーを２００ｒｐｍで回転させながら１．６秒間電子線照射を行い、引き続いて窒素中において温度２５℃から温度１２５℃まで３０秒かけて昇温させ硬化反応を行った。なお、このときの電子線の吸収線量を測定したところ、１５ＫＧｙであった。また、電子線照射及び加熱硬化反応雰囲気の酸素濃度は、それぞれ１５ｐｐｍ以下であった。その後、大気中において、上記の通り硬化反応を行ったシリンダーを温度２５℃まで自然冷却し、温度１００℃のオーブンで３０分間の大気中後加熱処理を行って、膜厚５μｍの第二電荷輸送層を形成して、電子写真感光体を得た。
【０１３１】
＜フェムト秒レーザーによる凹凸の形成＞
得られた電子写真感光体の最表面層にチタンサファイアレーザー（波長λ＝８００ｎｍ、パルス幅＝１２０ｆｓ、発振周期４０ｋＨｚ、パルスエネルギー３ｍＪ）を用いて凹凸を形成した。感光体表面における入射ベクトルのなす角度を４５度、ピーク光強度を０．９μＪ／ｃｍ２と設定し、図３に示すように感光体を回転させ、照射位置を軸方向にずらしつつ照射を行うことを２回繰り返して、感光体Ｎｏ．１を得た。
【０１３２】
＜形成した凹部の観察＞
得られた感光体Ｎｏ．１の表面形状をレーザー顕微鏡（（株）キーエンス製ＶＫ−９７００）で測定した。その結果、感光体の表面粗さ曲線の切断レベル差Ｒδｃは、０．３０μｍであり、粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍは、０．６０μｍであった。
【０１３３】
＜弾性変形率及びユニバーサル硬さ（ＨＵ）の測定＞
得られた電子写真感光体Ｎｏ．１を、温度２３℃／相対湿度５０％環境下に２４時間放置した後、弾性変形率及びユニバーサル硬さ（ＨＵ）を測定した。その結果、弾性変形率値は、５４％であり、ユニバーサル硬さ（ＨＵ）値は、１８０Ｎ／ｍｍ２であった。
【０１３４】
＜屈折率の測定＞
前記電荷輸送層用塗料を用いて、ガラス基板上に電荷輸送層を塗工し、温度１００℃のオーブンで３０分間加熱乾燥することにより、膜厚が１０μｍの塗膜を形成した。この塗膜の屈折率をアッベ屈折計にて測定したところ、屈折率（ｎ）は、１．５９であった。
【０１３５】
＜感光体製造例２＞
感光体製造例１と同様に電子写真感光体を作製した。
【０１３６】
＜モールド圧接形状転写による凹凸部の形成＞
得られた電子写真感光体に対して、図５に示した装置において、図１１に示した形状転写用のモールドを設置し表面加工を行った。図１１において、１１−１は、上方向から見たモールドの形状を示し、１１−２は、横方向から見たモールドの形状を示す。モールドの凸部の各頂点間の間隔（Ｘ、以下同様。）は、０．５μｍであり、モールドの凸部の高さ（Ｙ）は、０．５μｍであった。加圧部分の電荷輸送層の温度が１１０℃となるように電子写真感光体及びモールドの温度を制御し、４．９ＭＰａ（５０ｋｇ／ｃｍ２）の圧力で加圧しながら、感光体を周方向に回転させて形状転写を行い、感光体Ｎｏ．２を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１３７】
＜感光体製造例３＞
感光体製造例１と同様に電子写真感光体を作製した。
【０１３８】
＜モールド圧接形状転写による凹凸の形成＞
感光体製造例２で使用したモールドに代えて、陽極酸化アルミ板から転写して得たモールドを用いた以外は実施例２と同様に加工を行って、感光体Ｎｏ．３を得た。なお、この際に使用したモールドの表面形状は、表面粗さ曲線の切断レベル差Ｒδｃが、０．３０μｍであり、粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍが、０．３０μｍであった。
【０１３９】
＜形成した凹部の観察＞
得られた感光体Ｎｏ．３の表面形状をレーザー顕微鏡（（株）キーエンス製ＶＫ−９７００）で測定した。その結果、感光体の表面粗さ曲線の切断レベル差Ｒδｃは、０．１６μｍであり、粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍは、０．３０μｍであった。
【０１４０】
＜感光体製造例４＞
感光体製造例１において、第二電荷輸送層を塗布した後、大気中温度５０℃のオーブンで１０分間乾燥するまでは、製造例１と同様の方法により作製した。上記の方法により作製された塗膜表面に対して、図５に示されたモールドによる圧接形状転写加工装置において、図１１に示された形状転写用のモールドを設置し表面加工を行った。この時に使用したモールド凸部の各頂点間の間隔（Ｘ）は、０．５μｍ、モールド凸部の高さ（Ｙ）は１．７μｍであった。加工時の電子写真感光体及びモールドの温度を８０℃に制御し、２ＭＰａの圧力で加圧しながら、感光体を周方向に回転させ形状転写を行った。
【０１４１】
その後、窒素雰囲気下において加速電圧１５０ＫＶ及びビーム電流３．０ｍＡの条件で支持体を２００ｒｐｍで回転させながら１．６秒間電子線照射を行った。引き続いて、窒素雰囲気下において、支持体周囲の温度を２５℃から１２５℃まで３０秒かけて昇温させ、表面層に含有される重合性材料の重合反応を行った。なお、このときの電子線の吸収線量を測定したところ、１５ＫＧｙであった。また、電子線照射及び加熱重合反応雰囲気の酸素濃度は、それぞれ１５ｐｐｍ以下であった。その後、大気中において上記の通り硬化反応を行ったシリンダーを温度２５℃まで自然冷却し、温度１００℃のオーブンで３０分間の大気中後加熱処理を行って、膜厚５μｍの第二電荷輸送層を形成して、感光体Ｎｏ．４を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１４２】
＜感光体製造例５＞
感光体製造例４において、この製造例で使用したモールドに代えて、Ｘ＝０．３３μｍ、Ｙ＝１．２０μｍのものを用いた以外は、感光体製造例４と同様に加工を行って、感光体Ｎｏ．５を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１４３】
＜感光体製造例６＞
直径８４ｍｍ、長さ３７０．０ｍｍの表面切削加工されたアルミニウムシリンダーをバフ研磨し、シリンダー粗さ曲線の十点平均粗さＲｚｊｉｓを０．０２μｍとしたものを支持体（円筒状支持体）とした。
【０１４４】
次に、下記成分をメタノール４００部／ｎ−ブタノール２００部の混合液に溶解した溶液を、前記シリンダー上に浸漬塗布し、温度１００℃のオーブンで３０分間加熱乾燥することにより、膜厚が０．１５μｍの中間層を形成した。なお、この中間層の粗さ曲線の十点平均粗さＲｚｊｉｓは、０．０２μｍであった。
【０１４５】
共重合ナイロン樹脂〔商品名：アミランＣＭ８０００、東レ（株）製〕  １０部
メトキシメチル化６ナイロン樹脂                                    ３０部
〔商品名：トレジンＥＦ−３０Ｔ、帝国化学（株）製〕
【０１４６】
この後、この中間層上に、感光体製造例４と同様に、電荷発生層、電荷輸送層、及び第二電荷輸送層の順で形成し、感光体製造例５と同様に加工を行って、感光体Ｎｏ．６を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１４７】
＜感光体製造例７＞
感光体製造例６において、この製造例で使用したモールドに代えて、Ｘ＝０．２８μｍ、Ｙ＝１．０５μｍのものを用いた以外は、感光体製造例６と同様に加工を行って、感光体Ｎｏ．７を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１４８】
＜感光体製造例８＞
感光体製造例１と同様に電子写真感光体を作製した。
【０１４９】
＜フェムト秒レーザーによる凹凸の形成＞
得られた電子写真感光体の最表面層に、チタンサファイアレーザーのＴＨＧ光（波長λ＝２６７ｎｍ、パルス幅＝１１０ｆｓ、発振周期４０ｋＨｚ、パルスエネルギー０．３ｍＪ）を用いて、凹凸を形成した。感光体表面における入射ベクトルのなす角度を４５度、ピーク光強度を０．４μＪ／ｃｍ２と設定し、図３に示すように感光体を回転させ、照射位置を軸方向にずらしつつ照射を行うことを２回繰り返して、感光体Ｎｏ．８を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１５０】
＜感光体製造例９＞
直径８４ｍｍ、長さ３７０．０ｍｍの表面切削加工されたアルミニウムシリンダーをバフ研磨し、シリンダー粗さ曲線の十点平均粗さＲｚｊｉｓを０．０２μｍとしたものを支持体（円筒状支持体）とした。
【０１５１】
次に、下記成分をメタノール４００部／ｎ−ブタノール２００部の混合液に溶解した溶液を、前記シリンダーの上に浸漬塗布し、温度１００℃のオーブンで３０分間加熱乾燥することにより、膜厚が０．１５μｍの中間層を形成した。なお、この中間層の粗さ曲線の十点平均粗さＲｚｊｉｓは、０．０２μｍであった。
【０１５２】
共重合ナイロン樹脂〔商品名：アミランＣＭ８０００、東レ（株）製〕  １０部
メトキシメチル化６ナイロン樹脂                                    ３０部
〔商品名：トレジンＥＦ−３０Ｔ、帝国化学（株）製〕
【０１５３】
この後、中間層上に、感光体製造例１と同様に、電荷発生層、電荷輸送層、及び第二電荷輸送層の順で形成し、感光体製造例８と同様にレーザー加工を行って感光体Ｎｏ．９を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１５４】
＜感光体製造例１０＞
感光体製造例２において、感光体製造例２で使用したモールドに代えて、Ｘ＝０．６μｍ、Ｙ＝０．５μｍとしたものを用いた以外は、感光体製造例２と同様に加工を行って、感光体Ｎｏ．１０を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１５５】
＜感光体製造例１１＞
感光体製造例２において、感光体製造例２で使用したモールドに代えて、Ｘ＝０．８μｍ、Ｙ＝１．０μｍとしたものを用いた以外は、感光体製造例２と同様に加工を行って、感光体Ｎｏ．１１を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１５６】
＜感光体製造例１２＞
感光体製造例６において、感光体にモールド転写による表面加工を行わないこと以外は、感光体製造例６と同様にして、感光体Ｎｏ．１２を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１５７】
＜感光体製造例１３＞
感光体製造例６において、感光体にモールド転写による表面加工を行わないこと以外は、感光体製造例２と同様にして、感光体Ｎｏ．１３を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１５８】
＜感光体製造例１４＞
感光体製造例１と同様に電子写真感光体を作製した。
【０１５９】
＜研磨による凹凸の形成＞
次いで、このようにして得た電子写真感光体に対して、下記の条件で、３分間、粗面化を行い、感光体Ｎｏ．１４を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１６０】
研磨シート：                商品名：Ｃ−２０００、富士写真フィルム（株）製
研磨砥粒：                  Ｓｉ−Ｃ（平均粒径：９μｍ）
基材：                      ポリエステルフィルム（厚さ：７５μｍ）
研磨シート送りスピード：    ２２０ｍｍ／秒
電子写真感光体の回転数：    ３０ｒｐｍ
押し当て圧：                ３Ｎ／ｍ２
研磨シート及び電子写真感光体の回転方向：    カウンター方向
【０１６１】
＜感光体製造例１５＞
感光体製造例１と同様に、電子写真感光体を作製した。
【０１６２】
＜ブラストによる凹凸の形成＞
次に、このようにして得た電子写真感光体を、乾式ブラスト装置（不二精機製造所製）を用いて、下記条件にてブラスト処理を行った。
【０１６３】
研磨材砥粒：                球状ガラスビーズ（平均粒径が３０μｍ、商品名：ＵＢ−０１Ｌ、（株）ユニオン製）
エア吹き付け圧力：          ３．５ｋｇｆ／ｃｍ２
ブラストガン移動速度：      ４００ｍｍ／秒
ワーク（感光体）回転速度：  ３００ｒｐｍ
ブラストガン吐出口と感光体の距離：          １００ｍｍ
砥粒吐出角度：              ９０°
砥粒供給量：                ２００ｇ／分
ブラスト回数：              片道×２回
【０１６４】
更に、感光体表面に残存付着した研磨材を、圧縮エアを吹き付けることによって、除去し、感光体Ｎｏ．１５を得た。形状計測結果を表１に示す。
【０１６５】
【表１】
0005105982.tif 000007
【０１６６】
＜評価装置製造例１＞
キヤノン（株）製の電子写真複写機ｉＲＣ６８００に以下の改造を施し、評価機Ｎｏ．１を作成した。
【０１６７】
帯電装置を負帯電化。
プロセススピードを半速として、副走査方向の書き込み密度を１２００ｄｐｉ化。
現像剤をｉＲＣ  ３２２０Ｎにて使用の現像剤に変更。
【０１６８】
なお、評価機Ｎｏ．１の像露光に用いた単色光の波長λは、６５５ｎｍであり、この光のスポット径は、５０μｍであった。
【０１６９】
＜評価装置製造例２＞
評価機Ｎｏ．１にて施した改造に加え、さらに像露光用の半導体レーザーを発振波長４０７ｎｍの窒化ガリウム型半導体レーザーに変更し、感光体表面におけるレーザービークスポット径を３０μｍとする改造を施して、評価機Ｎｏ．２を作成した。
【０１７０】
（実施例１）
感光体製造例１で得た感光体Ｎｏ．１を、評価装置Ｎｏ．１に装着し、以下のように評価を行った。
【０１７１】
まず、温度２３℃／相対湿度５０％環境下で、電子写真感光体の暗部電位（Ｖｄ）が−７００Ｖ、明部電位（Ｖｌ）が−２００Ｖになるように電位の条件を設定し、電子写真感光体の初期電位を調整した。
【０１７２】
次に、ベタ黒の画像出力濃度がＤ＝１．４となるように現像設定を行った上で、外部コントローラより出力解像度１２００ｄｐｉの下記の各画像のチャートを出力した。
【０１７３】
１ライン−１スペース画像（１Ｌ１Ｓ）
１ライン−２スペース画像（１Ｌ２Ｓ）
２ライン−２スペース画像（２Ｌ２Ｓ）
２ライン−３スペース画像（２Ｌ３Ｓ）
３ライン−３スペース画像（３Ｌ３Ｓ）
【０１７４】
このようにして得られた出力画像を、光学顕微鏡により１００倍に拡大してライン再現性を下記の基準に従って評価した。評価結果を表２に示す。
【０１７５】
Ａ：非常に明瞭
Ｂ：明瞭
Ｃ：ラインが一部不明瞭
Ｄ：ラインが不明瞭
Ｅ：ライン判別が困難
【０１７６】
本実施例においては、少なくとも６００ｄｐｉの１ライン１スペース相当の画像に関しては、明瞭に再現されており、良好な解像力を有する感光体が得られていることが判った。
【０１７７】
（実施例２〜１０）
画像出力に用いる感光体及び評価機を、表２に示すように変更した以外は、実施例１と同様に画像出力試験を行い、評価を行った。これらの実施例においては、実施例１よりさらに良好な解像力を有する感光体が得られている場合があることが判る。さらに、本願記載の画像形成方法を用いることにより、１２００ｄｐｉの１ライン１スペース画像が明瞭に再現できており、解像度に優れた画像形成方法ならびに画像形成装置が提供できていることが判る。
【０１７８】
【表２】
0005105982.tif 000008
【０１７９】
（比較例１〜６）
画像出力に用いる感光体及び評価機を、表３に示すように変更した以外は、実施例１と同様に画像出力試験を行い、評価を行なった。これらの比較例においては、６００ｄｐｉの１ライン１スペース相当の画像においても明瞭に再現できておらず、本願実施例と比較して解像度の低い感光体しか得られていないことが判る。
【０１８０】
【表３】
0005105982.tif 000009
【図面の簡単な説明】
【０１８１】
【図１】本発明に用いることのできる感光体表面加工用レーザー光学系の概略を示す図である。
【図２】パルスビームが感光体表面上にて重なり合い、干渉する様子を示した模式図である。
【図３】本発明のレーザー加工装置の例の概略を示す図である。
【図４】本発明におけるモールドによる圧接形状転写加工装置の例の概略を示す図である。
【図５】本発明におけるモールドによる圧接形状転写加工装置の別の例の概略を示す図である。
【図６】本発明におけるモールドの形状の例を示す図である。
【図７】本発明におけるモールドの形状の例を示す図である。
【図８】フィシャースコープＨ１００Ｖ（Ｆｉｓｃｈｅｒ社製）の出力チャートの概略を示す図である。
【図９】フィシャースコープＨ１００Ｖ（Ｆｉｓｃｈｅｒ社製）の出力チャートの一例を示す図である。
【図１０】本発明による電子写真装置の一例の構成を概略的に示す図である。
【図１１】感光体製造例２で使用したモールドの形状を示す図である。
【符号の説明】
【０１８２】
１        感光体
１ａ      軸
２        帯電手段
３        現像手段
３−１    現像スリーブ
４        転写手段
５        クリーニング手段
６        前露光手段
７        転写材
８        定着手段
１１      感光体
１２      光源部
１３      波面成形部
１４      ビームスプリッター
１５ａ    ミラー
１５ｂ    ミラー
１６ａ    マスク−レンズ系
１６ｂ    マスク−レンズ系
１７      光路長調整器
２１      レーザー照射装置
３２      ワーク回転用モーター
３３      ワーク移動装置
３４      ワーク回転移動装置
４１      加圧装置
４２      モールド
Ａ        干渉可能領域の末端
Ｂ        干渉可能領域の末端
ｄ        ピッチ
Ｅ        レーザー光
Ｆ        フェムト秒レーザーパルス
Ｆａ      パルスビーム
Ｆｂ      パルスビーム
Ｌ        パルス長
Ｐ１      パルスビーム
Ｐ２      パルスビーム
Ｓ１      パルスビームＰ１の波面
Ｓ２      パルスビームＰ２の波面
Ｘ        凸部の各頂点間の間隔
Ｙ        凸部の高さ
θ        入射ベクトル角度
λ        波長
【図１】
0005105982.tif 000010
【図２】
0005105982.tif 000011
【図３】
0005105982.tif 000012
【図４】
0005105982.tif 000013
【図５】
0005105982.tif 000014
【図６】
0005105982.tif 000015
【図７】
0005105982.tif 000016
【図８】
0005105982.tif 000017
【図９】
0005105982.tif 000018
【図１０】
0005105982.tif 000019
【図１１】
0005105982.tif 000020