(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置決めテーブルであって、
台座と、
台座の上に配置される楔形のスライド部材と、
前記スライド部材の上に配置され、前記スライド部材と逆向きの楔形をしている支持部材と、
前記支持部材の上に配置され、上面に水平な平面を有する板状の第１のテーブル部材と、
水平な上面と下面とを有し、前記下面は前記第１のテーブル部の上面に対向し前記第１のテーブル部の上面と平行である、前記第１のテーブル部材の上に配置される板状の第２のテーブル部材と、
水平な上面と下面とを有し、前記下面は前記第２のテーブル部の上面に対向し前記第２のテーブル部の上面と平行である、前記第２のテーブル部材の上に配置される板状の第３のテーブル部材と、
水平な上面と下面とを有し、前記下面は前記第３のテーブル部の上面に対向し前記第２のテーブル部の上面と平行である、前記第３のテーブル部材の上に配置される板状の第４のテーブル部材と、
前記第１のテーブル部材の下側に配置され、前記台座の上に垂直方向に伸びる棒状のプッシュロッド部材と、
前記第１から第４のテーブル部材の中央部を垂直方向に貫く軸と、
前記軸を含み、前記第１のテーブル部材から前記第４のテーブル部材までを一括に挟んで固定するクランプ部材と、
を備え、
前記第２のテーブル部材は、前記軸を中心にして前記第１のテーブル部材に対して回転可能に配置され、
前記第３のテーブル部材は、前記第２のテーブル部の上面と前記下面が対向する面上を前記第２のテーブル部材に対して第１の水平方向に移動可能に配置され、
前記第４のテーブル部材は、前記第３のテーブル部の上面と前記下面が対向する面上を前記第３のテーブル部材に対して前記第１の水平方向と垂直な第２の水平方向に移動可能に配置される、
位置決めテーブル。
【請求項２】
請求項１に記載の位置決めテーブルにおいて、
前記クランプ部材は、
前記軸の上部であって、前記第４のテーブル部材の上側に配置される上部プレートと、
前記軸の下部であって、前記第１のテーブル部材の下側に配置される下部プレートと、
前記下部プレートと前記第１のテーブル部材の間に配置される弾性体と、
前記軸と前記上部プレートと前記下部プレートとを上下させるカムと、
を備える、位置決めテーブル。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の位置決めテーブルにおいて、さらに、
前記隣接する各テーブル部材間を真空により固定する固定手段をそれぞれ備える、位置決めテーブル。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載に位置決めテーブルと、
前記位置決めテーブル上に配置される配線基板固定部と、
前記配線基板固定部の上部に配置され、前記固定された配線基板に配線導体を印刷する印刷部と、
を備える配線基板製造装置。
【請求項５】
配線基板の製造方法であって、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の位置決めテーブル上に配線基板を配置し、
前記第１テーブル部材から前記第４のテーブル部材を所定の位置に移動させて前記配線基板の位置合わせを行い、
前記クランプ部材により前記第１のテーブル部材から前記第４のテーブル部材までを一括に挟んで固定し、
前記台座に取り付けられている印刷部を前記配線基板上に配置し、
前記印刷部により前記配線基板に配線導体を印刷する、配線基板の製造方法。
【請求項６】
配線基板の製造方法であって、
請求項４に記載の基板製造装置のテーブル上に配線基板を配置し、
前記第１テーブル部材から前記第４のテーブル部材を所定の位置に移動させて前記配線基板の位置合わせを行い、
前記クランプ部材により前記第１のテーブル部材から前記第４のテーブル部材までを一括に挟んで固定し、
前記台座に取り付けられている印刷部を前記配線基板上に配置し、
前記印刷部により前記配線基板に配線導体を印刷する、配線基板の製造方法。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載に配線基板の製造方法において、
前記クランプ部材により前記第１のテーブル部材から前記第４のテーブル部材を一括に挟んで固定する前に、隣接する各テーブル部材間を真空により固定する、配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は位置決めテーブル、特には、グリーンシートに導体を印刷する配線基板製造装置に用いられる位置決めテーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
テーブル上に部品を固定し、テーブル上の部品に対して配線を印刷する等の処理を行うための位置決めテーブルが知られている。かかる位置決めテーブルを用いた部品の処理においては、テーブルを移動させることにより部品を所定の位置に移動させ、次いでテーブルを固定して部品に対する処理を行っていた。従来の位置決めテーブルとして、テーブルの移動をネジ式にて行い、テーブルの固定をガイド部分の板バネをクランプシリンダーでロックすることにより行うもの（特許文献１）、及びテーブル移動をモーターにより行い、テーブルの固定をモーターロックにより行うもの（特許文献２）が知られている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１９８７２１号公報
【特許文献２】特開平１１−２０２０６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来、テーブルの固定は、ガイド部分の板バネのクランプシリンダーによるロックあるいはモーターロックにより行われていたため、外力に対するテーブルの剛性が高くなく、テーブルに対して強い外力が加わるとテーブルが動いてしまうという問題があった。テーブルが動いてしまうと、部品の加工処理精度が低くなる場合があった。部品の加工処理精度の低下は部品の品質、製造歩留りの低下の要因となっていた。
【０００５】
本発明は上記課題の少なくとも１つを解決し、外力に対するテーブルの剛性を向上させ、位置決め精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために本発明は以下の態様を備える。
【０００７】
本発明の第１の態様は位置決めテーブルである。前記位置決めテーブルは、台座と、台座の上に配置される楔形のスライド部材と、前記スライド部材の上に配置され、上面に平面を有する板状の第１のテーブル部材と、前記第１のテーブル部材の下側に配置され、前記台座の上に垂直方向に伸びる棒状のプッシュロッド部材と、前記第１のテーブル部材の前記平面を垂直方向に貫く軸と、上面と下面とを有し、前記第１のテーブル部の上面に前記下面が対向し、前記軸を中心にして回転可能に、前記第１のテーブル部材の上に配置される板状の第２のテーブル部材と、上面と下面とを有し、前記第２のテーブル部の上面に前記下面が対向し、前記第２のテーブル部の上面と前記下面が対向する面上を移動可能に、前記第２のテーブル部材の上に配置される板状の第３のテーブル部材と、上面と下面とを有し前記第３のテーブル部の上面に前記下面が対向し、前記第３のテーブル部の上面と前記下面が対向する面上を前記第３のテーブル部材の移動方向と垂直な方向に移動可能に、前記第３のテーブル部材の上に配置される板状の第４のテーブル部材と、前記軸を含み、前記第１のテーブル部材から前記第４のテーブル部材までを一括に挟んで固定するクランプ部材とを備える。この態様によれば、第１のテーブル部材から第４のテーブル部材までクランプ部材により一括固定され、各テーブル部材間には、対向する面の間に強い摩擦力が働くので、強い外力が加わっても各テーブル部材が移動しにくくテーブルの剛性を向上させることができる。
【０００８】
本発明の第１の態様において、前記クランプ部材は、前記軸の上部であって、前記第４のテーブル部材の上側に配置される上部プレートと、前記軸の下部であって、前記第１のテーブル部材の下側に配置される下部プレートと、前記下部プレートと前記第１のテーブル部材の間に配置される弾性体と、前記軸と前記上部プレートと前記下部プレートとを上下させるカムとを備えてもよい。この態様により、クランプ部材は、第１のテーブル部材から第４のテーブル部材までを締め付けて一括固定できる。
【０００９】
本発明の第１の態様において、前記クランプ部材は、前記第１のテーブル部材から第４のテーブル部材の前記平面の中央部に設けられていてもよい。この態様によれば、クランプ部材が各テーブル部材の中央部にあるので、各テーブル部材をクランプ部材１つで固定することができる。
【００１０】
本発明の第１の態様において、さらに、前記隣接する各テーブル部材間を真空により固定する固定手段をそれぞれ備えていてもよい。Ｘ、Ｙ、Θ、Ｚのうち一方向のみだけを動かして位置合わせをすることができる。また、先に真空による固定を行うことにより、クランプ固定時のズレを抑制できる。
【００１１】
本発明の第２の態様は配線基板製造装置である。前記配線基板製造装置は、前記位置決めテーブルと、前記位置決めテーブル上に配置される配線基板固定部と、前記基板固定部の上部に配置され、前記固定された配線基板に導体を印刷する印刷部とを備える。この態様によれば、配線基板に精度良く配線導体を印刷できる。
【００１２】
本発明の第３の態様は配線基板の製造方法である。前記配線基板の製造方法においては、前記位置決めテーブル上に配線基板を配置し、前記第１テーブル部材から前記第４のテーブル部材を所定の位置に移動させて前記配線基板の位置合わせを行い、前記クランプ部材により前記第１のテーブル部材から前記第４のテーブル部材を一括に挟んで固定し、前記台座に取り付けられている印刷部を前記配線基板上に配置し、前記印刷部により前記配線基板に配線導体を印刷する。この態様によれば、配線基板に精度よく配線導体を印刷できる。
【００１３】
本発明の第３の態様において、前記基板製造装置のテーブル上に配線基板を配置し、前記第１テーブル部材から前記第４のテーブル部材を所定の位置に移動させて前記配線基板の位置合わせを行い、前記クランプ部材により前記第１のテーブル部材から前記第４のテーブル部材を一括に挟んで固定し、前記台座に取り付けられている印刷部を前記配線基板上に配置し、前記印刷部により前記基板上に配線導体を印刷する。この態様によれば、精度のよい基板を製造できる。
【００１４】
本発明の第３の態様において、前記クランプ部材により前記第１のテーブル部材から前記第４のテーブル部材を一括に挟んで固定する前に、隣接する各テーブル部材間を真空により固定する。この態様によれば、Ｘ方向、Ｙ方向、Θ方向、Ｚ方向のうち一方向だけを動かして位置合わせをすることができる。また、先に真空による固定を行うと、クランプ固定時のズレを抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
第１の実施例：
図１は第１の実施例に係る位置決めテーブルを模式的に示す平面図である。図２は図１の１−１線による断面を模式的に示す断面図である。図３は図１の２−２線による断面を模式的に示す断面図である。
【００１６】
位置決めテーブル１０は第１のテーブル部材１００、第２のテーブル部材２００、第３のテーブル部材３００、第４のテーブル部材４００、台座５００、スライド部材５２０、及びクランプ部６００を備える。
【００１７】
第１のテーブル部材１００は略長方形の板状部材である。第１のテーブル部材１００はプッシュロッド１１０、ブッシュ１２０、支持部１３０、溝１７０、及び排気管１８０を有する。
【００１８】
プッシュロッド１１０は棒状の部材である。プッシュロッド１１０は第１のテーブル部材１００の下面に配置され、垂直下方向に伸び、台座５００を貫いている。なお、本実施例では特に断りがない限り、垂直方向とは重力の方向をいい、水平方向とは重力の方向と直角に交わる方向をいう。プッシュロッド１１０はブッシュ１２０の内側を貫通している。ブッシュ１２０は台座５００の下面に配置されている筒状の部材である。ブッシュ１２０はプッシュロッド１１０を案内し、プッシュロッド１１０の移動方向を規制する。その結果、第１のテーブル部材１００が移動する際には、水平方向への移動が規制され、第１のテーブル部材１００はＺ方向にのみ移動する。
【００１９】
支持部１３０は第１のテーブル部材１００の下面に形成されている。本実施例では支持部１３０は後述するスライド部材５２０と逆向きの楔形をしている。本実施例において支持部１３０がスライド部材５２０と逆向きの楔形をしているのは、スライド部材５２０の楔の傾きと打ち消しあって第１のテーブル部材１００の上面を水平にするためである。
【００２０】
溝１７０は第１のテーブル部材１００の上面に同心円の帯状に形成されている。なお、溝１７０の形状は同心円以外の形状、例えば、同心四角形状、複数の直線状であってもよい。また、溝の代わりに多孔構造であってもよい。排気管１８０は第１のテーブル部材１００の側面から突き出ており第１のテーブル部材１００の内部を通り溝１７０の底につながっている。
【００２１】
第２のテーブル部材２００は第１のテーブル部材１００の上面に下面が対向するように配置される略長方形の板状部材である。第２のテーブル部材２００はレール２２０、溝２７０、排気管２８０を有する。
【００２２】
レール２２０は第２のテーブル部材２００の対向する側面に配置され、側面に沿って水平方向に長い棒状の部材である。溝２７０は第２のテーブル部材２００の上面に同心円の帯状に形成されている。なお、溝２７０の形状は溝１７０の形状と同様に同心円以外の形状、例えば、同心四角形状、複数の直線状であってもよい。また、溝の代わりに多孔構造であってもよい。排気管２８０は第２のテーブル部材２００の側面から突き出ており、第２のテーブル部材２００の内部を通り溝２７０の底につながっている。
【００２３】
第３のテーブル部材３００は第２のテーブル部材２００の上面に下面が対向するように配置される略長方形の板状部材である。第３のテーブル部材３００はガイド３１０、レール３２０、溝３７０、排気管３８０を有する。
【００２４】
ガイド３１０は第２のテーブル部材２００のレール２２０が配置される側面と同じ側の側面に配置され、レール２２０を覆って水平方向に伸びている。なお、ガイド３１０とレール２２０の間にはベアリング球２５０が格納されている。ガイド３１０は第３のテーブル部材３００が第２のテーブル部材２００に対して移動する際に、レール２２０に沿って移動するように、第３のテーブル部材３００の移動する向きを規制する。すなわち、第３のテーブル部材３００は第２のテーブル部材２００に対してＹ方向にのみ移動する。レール３２０はガイド３１０が配置される側面とは異なる側面に配置され、当該側面に沿って水平方向に長い棒状の部材である。なお、レール２２０の方向とレール３２０の方向とは直交する。
【００２５】
溝３７０は第３のテーブル部材３００の上面に同心円の帯状に形成されている。なお、溝３７０の形状は溝１７０、２７０の構造と同様に同心円以外の形状、例えば、同心四角形状、複数の直線状であってもよい。また、溝の代わりに多孔構造であってもよい。排気管３８０は第３のテーブル部材３００の側面から突き出ており、第３のテーブル部材３００の内部を通り溝３７０の底につながっている。
【００２６】
第４のテーブル部材４００は第３のテーブル部材３００の上面に下面が対向するように配置される略長方形の板状部材である。第４のテーブル部材４００はガイド４１０を有する。ガイド４１０は第３のテーブル部材３００のレール３２０が配置される側面と同じ側の側面に配置され、レール３２０を覆って水平方向に伸びている。なお、ガイド４１０とレール３２０の間にはベアリング球３５０が格納されている。ガイド４１０は第４のテーブル部材４００が第３のテーブル部材３００に対して移動する際に、レール３２０に沿って移動するように、第４のテーブル部材４００の移動する向きを規制する。すなわち、第４のテーブル部材４００は第３のテーブル部材３００に対してＸ方向にのみ移動する。
【００２７】
台座５００は第１のテーブル部材１００の下に配置され、第１のテーブル部材１００、第２のテーブル部材２００、第３のテーブル部材３００、及び第４のテーブル部材４００を載せる略長方形の基台である。
【００２８】
スライド部材５２０は台座５００と第１のテーブル部材１００の間に配置される楔形の部材である。スライド部材５２０は水平方向に移動することにより、楔の斜めの部分で第１のテーブル部材１００を押し上げて上下方向（Ｚ方向）に移動させる。
【００２９】
クランプ部６００は軸６１０、上部プレート６２０、下部プレート６３０、バネ６４０、カム６５０を備える。軸６１０は第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００の中央部を垂直方向に貫通する円柱状の軸である。上部プレート６２０は軸６１０の上部に接続され、第４のテーブル部材４００よりも上に位置する円盤状の部材である。下部プレート６３０は軸６１０の下部に接続され、第１のテーブル部材１００よりも下に位置する円盤状の部材である。バネ６４０は第１のテーブル部材１００と下部プレート６３０の間に配置される。第１のテーブル部材１００と下部プレート６３０との間隔はバネ６４０の自然長よりも短い。カム６５０は下部プレート６３０の下方において、台座５００上に配置される楕円形の部材である。カム６５０にはカム６５０を回転させる駆動部６６０が接続される。
【００３０】
また、軸６１０の周りであって、第１のテーブル部材１００と第２のテーブル部材２００の間には、ベアリングが配置されている。ベアリングは内側球受け１１０、外側球受け２１０、及びベアリング球１５０を備える。内側球受け１１０は第１のテーブル部材１００に取り付けられ、外側球受け２１０は第２のテーブル部材２００に取り付けられている。内側球受け１１０と外側球受け２１０との間はドーナツ状の空洞になっており、当該空洞の中に複数のベアリング球１５０が格納されている。外側球受け２１０は内側球受け１１０の周りを回転することができる。したがって、第２のテーブル部材２００は、第１のテーブル部材１００に対して、軸６１０を回転中心とするΘ方向に回転する。ベアリング球１５０は回転を滑らかにする。
【００３１】
なお、図面には示さないが、第２のテーブル部材２００及び第１のテーブル部材１００の側面には、第２のテーブル部材２００を第１のテーブル部材１００に対して回転させるための駆動部が設けられている。第３のテーブル部材３００及び第２のテーブル部材２００の側面、並びに第４のテーブル部材４００及び第３のテーブル部材３００の側面にも、同様に駆動部が設けられている。なお、本実施例では駆動部をロックする必要がないため、駆動部の構成についてはどんな構成でもよく、特定の構成に限定されない。例えば、駆動部の構成としてギアやモーターを用いたもの等を利用してもよい。
【００３２】
本実施例における位置決めテーブルの位置合わせは、例えば、以下のように行われる。作業者はスライド部材５２０を水平に移動することにより第１のテーブル部材１００を移動させてＺ方向の位置を合わせる。作業者は第２のテーブル部材２００を回転させてΘ方向の位置を合わせる。作業者は第３のテーブル部材３００を移動させてＹ方向の位置を合わせる。作業者は第４のテーブル部材４００を移動させてＸ方向の位置を合わせる。これにより作業者はすべての方向の位置合わせを行うことができる。なお、位置合わせの順番は、特に決まっていないが、Ｘ方向、Ｙ方向よりもΘ方向を先に合わせるのがよい。Θ方向の回転中心の位置にもよるが、Ｘ方向、Ｙ方向の位置合わせを先に行った後、Θ方向の位置合わせを行うと、Ｘ方向、Ｙ方向の位置がずれてもう一度Ｘ方向、Ｙ方向の位置合わせを行わなければならない場合があるからである。
【００３３】
以下、クランプ部６００の動作について説明する。なお、既にX、Y、Θ、Z方向の位置合わせは終了しているものとする。クランプ部６００により第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００を固定する場合には、駆動部６６０は長軸が水平方向になるようにカム６５０を回転する。上述したようにバネ６４０が第１のテーブル部材１００と下部プレート６３０の間に配置された状態では、バネ６４０の長さは自然長よりも短くなっている。したがって、バネ６４０には伸びようとする伸長力が生じている。この伸長力により、第１のテーブル部材１００を基準として、軸６１０、上部プレート６２０、下部プレート６３０には下方への力が加わる。その結果、上部プレート６２０は第４のテーブル部材４００を下方に押し下げる。第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００は上部プレート６２０とバネ６４０により挟まれて締め付けられる。第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００において、隣接する各テーブル部材の接触面には、締め付けによる強い垂直抗力がかかり、接触面にかかる摩擦力が強くなる。その結果、外力が加わっても、接触面に大きな摩擦力が働いているため、第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００は相互に移動しにくい。
【００３４】
図４を用いて、各テーブル部材間のクランプ部６００による固定を解除する動作について説明する。図４はクランプ部６００による固定を解除した状態を模式的に示す説明図である。クランプ部６００による第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００の固定を解除する場合には、駆動部６６０はカム６５０を回転し、カム６５０の長軸が垂直方向になるようにする。軸６１０、上部プレート６２０、下部プレート６３０はカム６５０により押されて上方に移動する。その結果、上部プレート６２０は第４のテーブル部材４００から浮く。したがって、第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００の間のクランプ部６００による締め付けは解除され、第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００の移動が可能となる。なお、第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００は、例えば金属でできているので重い。したがって、バネ６４０によって第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００が上方向に移動することはない。
【００３５】
第１のテーブル部材１００の上に第２のテーブル部材２００が配置されると、溝１７０と第２のテーブル部材２００の下面に挟まれた部分は空間１７５を形成する。空間１７５は、例えば排気管１８０から真空ポンプで排気されることにより、真空に減圧される。なお、本実施例において真空とは、大気圧よりも低い状態をいい、例えば、圧力が数千Ｐａ以下の低圧の状態であればよい。これにより第１のテーブル部材１００と第２のテーブル部材２００との間は吸着され、固定される。同様に、第２のテーブル部材２００の上に第３のテーブル部材３００が配置されると、溝２７０と第３のテーブル部材３００の下面に挟まれた部分は空間２７５を形成する。空間２７５は排気管２８０から真空ポンプで排気されることにより、真空に減圧される。これにより第２のテーブル部材２００と第３のテーブル部材３００との間は吸着され、固定される。第３のテーブル部材３００の上に第４のテーブル部材４００が配置されると、溝３７０と第４のテーブル部材４００の下面に挟まれた部分は空間３７５を形成する。空間３７５は排気管３８０から真空ポンプで排気されることにより、真空に減圧される。これにより第３のテーブル部材３００と第４のテーブル部材４００との間は吸着されて固定される。ここで、排気管１８０、排気管２８０、排気管３８０からはそれぞれ独立して排気できるように構成することが望ましい。これにより任意のテーブル部材間のみの固定が可能となる。なお、真空による固定は任意のテーブル部材の位置合わせをする際に他のテーブル部材が動かない程度に固定できればよい。
【００３６】
以上、第１の実施例によれば、第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００はクランプ部６００により一括固定され、各テーブル部材の対向する面の間に強い摩擦力が働く。その結果、強い外力が加わっても第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００の移動が起こり難く位置決めテーブル１０の剛性を向上させることができる。
【００３７】
第１の実施例によれば、クランプ部６００は、カム６５０を回転させて、軸６１０、上部プレート６２０、下部プレート６３０を上下させることにより、第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００の一括固定、解除を容易に実行できる。
【００３８】
第１の実施例によれば、さらに、隣接する各テーブル部材間についてそれぞれ真空による固定手段を備えているので、隣接する各テーブル部材間について真空による固定をすることができる。これにより例えばＸ、Ｙ、Θ、Ｚのうち一方向のみを動かすことができる。また、先に真空による固定をすることにより、クランプ部６００による一括固定をする際の各テーブル部材のズレを抑制できる。
【００３９】
第２の実施例：
図５及び図６を用いて、第２の実施例に係る配線基板製造装置の構成について説明する。図５は第２の実施例に係る配線基板製造装置を模式的に示す正面図である。図６は第２の実施例に係る配線基板製造装置を模式的に示す側面図である。第２の実施例に係る配線基板製造装置２０の説明においては、第１の実施例と共通する部分についての説明を省略する。本実施例において、配線基板製造装置２０とは、基板に配線導体を印刷し、配線基板を製造する装置をいう。本実施例において配線基板とは、配線導体が印刷される、あるいは、印刷された基板のことをいう。なお、本実施例においては、基板にはグリーンシートも含まれる。ここで、グリーンシートとは、例えば、セラミック材料を有機バインダーで分散しシート状に成形したものであって、焼結前のものをいう。
【００４０】
配線基板製造装置２０は、位置決めテーブル１０、印刷部７００、台９００を備える。
【００４１】
配線基板製造装置２０に使用される位置決めテーブル１０は、第１の実施例で説明した位置決めテーブル１０の構成に加えて、さらに、基板台４５０とガイド５５０を備える。基板台４５０は配線基板８００を配置固定する台であり、第４のテーブル部材４００の上面に配置固定されている。基板台４５０は、ピン（図示せず）とバキュームチャック（図示せず）を備えている。ピンを配線基板８００に開けられた孔に嵌め込むことにより、配線基板８００の位置合わせが行われる。バキュームチャックは配線基板８００を基板台４５０に真空固定する。ガイド５５０は位置決めテーブル１０の台座５００の下に配置される。
【００４２】
印刷部７００は配線基板８００に配線導体を印刷する。印刷部７００は印刷用スクリーン７０５、スクリーン支持部７１０、スキージ７１５、スキージ支持部７２０、スキージスライダ７２５、ガイド７３０、スライダ支持部７３５、レール７４０、支柱７４５を備える。  
【００４３】
印刷用スクリーン７０５は配線導体の印刷パターンが描かれている版である。印刷用スクリーン７０５はスクリーン支持部７１０の下面に取り付けられている。印刷用スクリーン７０５の上にはスキージ７１５が配置されている。スキージ７１５は印刷用スクリーン７０５の上面をスライドするスクリーン印刷用のヘラである。スキージ７１５はスキージ支持部７２０を介してスキージスライダ７２５に取り付けられている。スキージスライダ７２５の下部両端にはガイド７３０が設けられている。スキージスライダ７２５は下部両端部でスライダ支持部７３５に支持されている。スライダ支持部７３５の上にはレール７４０が配置され、レール７４０はガイド７３０を案内する。スクリーン支持部７１０及びスライダ支持部７３５は支柱７４５に取り付けられている。
【００４４】
スキージスライダ７２５が図示しない駆動手段によりスライドさせられると、スキージ７１５もスライドする。スキージ７１５がスライドすることにより印刷用スクリーン７０５の印刷パターンのパターンを通して配線基板８００に配線導体が擦りつけられ、配線基板８００上に配線パターンが印刷される。
【００４５】
台９００の上には位置決めテーブル１０及び印刷部７００が配置される。台９００はテーブル移動装置９１０、レール９２０、並びにストッパ９３０及び９４０を備える。
【００４６】
テーブル移動装置９１０は位置決めテーブル１０の下方に配置されている。テーブル移動装置９１０は位置決めテーブル１０を基板交換位置（以後「原点」という。）と印刷位置との間で水平方向に移動させる。テーブル移動装置９１０としては例えば空圧シリンダを用いることができる。レール９２０は台９００の上面に配置されている。レール９２０はテーブル移動装置９１０が位置決めテーブル１０を移動させる際にガイド５５０を案内する。これにより、位置決めテーブル１０の移動方向は所定の方向のみに規制される。ストッパ９３０とストッパ９４０はレール９２０の長さ方向端部に配置されている。ストッパ９３０は位置決めテーブル１０を原点で停止させる。ストッパ９４０は位置決めテーブル１０を印刷位置で停止させる。
【００４７】
図７を用いて、グリーンシートへの配線導体の印刷について説明する。図７はグリーンシートへの配線導体の印刷工程を示すフローチャートである。
【００４８】
原点においてテスト用のグリーンシートを位置決めテーブル１０の基板台４５０上に配置固定する（ステップＳ１００）。グリーンシートには孔が開いており、孔に基板台４５０に設けられたピンが嵌め込まれることにより、グリーンシートは所定の位置に配置される。ここで、グリーンシートは孔にピンが嵌め込まれることにより位置が合わせられるため、グリーンシートは交換されても常に同じ位置に配置される。基板台４５０はバキュームチャックを用いてグリーンシートを基板台４５０に真空固定する。
【００４９】
位置決めテーブル１０を印刷位置に移動する（ステップＳ１１０）。テーブル移動装置９１０により位置決めテーブル１０をストッパ９４０方向に移動させる。台座５００がストッパ９４０に当たると位置決めテーブル１０の移動は止まる。この位置が印刷位置であり、グリーンシートの上方には印刷用スクリーン７０５が位置している。なお、テーブル移動装置９１０は位置決めテーブル１０をストッパ９４０の方向に押し続けるため、位置決めテーブルにはストッパ９４０方向への力が加わっている。
【００５０】
グリーンシートにテスト印刷を行う（ステップＳ１２０）。具体的には、印刷用スクリーン７０５上でスキージ７１５をスライドさせてグリーンシートに配線導体を印刷する。
【００５１】
位置決めテーブル１０を原点に移動する（ステップＳ１３０）。テーブル移動装置９１０により位置決めテーブル１０を原点位置まで移動させる。
【００５２】
テスト用のグリーンシートを取り外し、印刷結果からＸ、Ｙ、Θ、Ｚ各方向のズレを求め、前記ズレが補正されるようにＸ，Ｙ、Θ、Ｚ方向の位置合わせを行う（ステップＳ１４０）。位置合わせは上述したように行う。このとき、ズレがなく位置合わせをする必要がない方向については、真空による固定を行ってもよい。これにより、他の方向の位置合わせをする際に位置合わせがずれることはない。また、位置合わせが済んだ方向については、真空による固定を行ってもよい。これにより、他の方向の位置合わせをする際に、既に位置合わせが済んだ方向の位置がずれることを抑制できる。
【００５３】
第１のテーブル部材１００から第４のテーブル部材４００を一括クランプする（ステップＳ１５０）。一括クランプは、カム６５０を回転することにより行われる。これにより、合わせた位置が保持される。
【００５４】
以後のステップでは、製品用グリーンシートに導体パターンを印刷するが（ステップＳ１６０〜Ｓ１９０）、このステップＳ１６０〜Ｓ１９０についてはテスト用のグリーンシートが製品用グリーンシートに変わるだけでステップＳ１００〜Ｓ１４０と同じであるので、説明を省略する。
【００５５】
製品用グリーンシートを位置決めテーブル１０の基板台４５０から取り除く（ステップＳ２００）。これにより製品用グリーンシートへの配線導体の印刷が完了する。なお、新しい製品用グリーンシートに印刷をする場合には、ステップＳ１６０に戻り、以後のステップを繰り返す。
【００５６】
以上、第２の実施例によれば、クランプ部６００により各テーブル部材が一括してクランプされているので、印刷時に印刷部７００からの力（以後「印圧」という。）が加わっても、各テーブル部材が移動することはない。その結果、グリーンシートへの導体ペーストの印刷精度を高めることができ、グリーンシートの品質、製造歩留りを向上させることができる。なお、本実施例では、位置決めテーブル１０自体は重く、さらに、テーブル移動装置９１０をロックするのではなく位置決めテーブル１０をストッパ９４０に押し付けることにより位置決めテーブル１０を印刷位置に固定しているため、印圧によって位置決めテーブル１０全体が移動することはない。
【００５７】
さらに、位置合わせをする際に、真空による固定を用いることができる。その結果、任意のテーブル部材以外のテーブル部材を固定し、任意のテーブル部材について位置合わせを行うことができる。
【００５８】
以上、いくつかの実施例に基づいて本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】第１の実施例に係る位置決めテーブルを模式的に示す平面図である。
【図２】図１の１−１線による断面を模式的に示す断面図である。
【図３】図１の２−２線による断面を模式的に示す断面図である。
【図４】クランプ部６００による固定を解除した状態を模式的に示す説明図である。
【図５】第２の実施例に係る配線基板製造装置を模式的に示す正面図である。
【図６】第２の実施例に係る配線基板製造装置を模式的に示す側面図である。
【図７】グリーンシートへの配線導体の印刷工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６０】
１０…位置決めテーブル
２０…配線基板製造装置
１００…第１のテーブル部材
１１０…プッシュロッド
１２０…ブッシュ
１３０…支持部
１５０…ベアリング球
１７０…溝
１７５…空間
１８０…排気管
２００…第２のテーブル部材
２２０…レール
２５０…ベアリング球
２７０…溝
２７５…空間
２８０…排気管
３００…第３のテーブル部材
３１０…ガイド
３２０…レール
３５０…ベアリング球
３７０…溝
３７５…空間
３８０…排気管
４００…第４のテーブル部材
４１０…ガイド
４５０…基板台
５００…台座
５２０…スライド部材
５５０…ガイド
６００…クランプ部
６１０…軸
６２０…上部プレート
６３０…下部プレート
６４０…バネ
６５０…カム
６６０…駆動部
７００…印刷部
７０５…印刷用スクリーン
７１０…スクリーン支持部
７１５…スキージ
７２０…スキージ支持部
７２５…スキージスライダ
７３０…ガイド
７３５…スライダ支持部
７４０…レール
７４５…支柱
８００…配線基板
９００…台
９１０…テーブル移動装置
９２０…レール
９３０…ストッパ
９４０…ストッパ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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