(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セメント原料を、プレヒータにて予熱して仮焼させた後に、窯前側に設けられた加熱手段によって内部が高温雰囲気に保持されたロータリーキルンの窯尻側に供給して、上記窯前側に送りつつ焼成するセメント製造工程を用いたアスベスト含有物の無害化処理方法であって、
上記ロータリーキルンの窯尻部分もしくは上記ロータリーキルンの窯尻側に仮焼セメント原料を供給する上記プレヒータの後段部分から抜き出した塩素化合物を含有する仮焼セメント原料および／または上記ロータリーキルンの窯尻部分もしくは上記プレヒータの後段部分から抜き出した塩素バイパスダストと、リン酸イオンを含有するフッ化物汚泥と、アスベスト含有物とを混合し、得られた混合物を加熱槽に送り、当該加熱槽において、上記ロータリーキルンの窯尻部分から送られてくる高温空気によって６００℃以上に加熱処理した後に、上記ロータリーキルンの上記窯尻部分から内部に導入して、９００℃以上の高温により燃焼させることを特徴とするアスベスト含有物の無害化処理方法。
【請求項２】
上記混合物に、さらに焼却主灰を混合することを特徴とする請求項１に記載のアスベスト含有物の無害化処理方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のアスベスト含有物の無害化処理方法を用いたセメントの製造方法であって、上記混合物をセメント原料とともにロータリーキルンに投入して、上記セメント原料を焼成してセメントとし、かつ上記混合物を上記加熱処理により上記セメントの一部とすることを特徴とするセメントの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アスベスト廃棄物等のアスベスト含有物の無害化と同時に、半導体材料等の製造工程などで排出されたリン酸イオンを含むフッ化物汚泥と、セメント製造工程から排出される塩素バイパスダストなどを効率的に処理するアスベスト含有物の無害化処理方法およびこれを利用したセメントの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
アスベスト（石綿）は、天然に生成された鉱物繊維であり、化学的安定性を有するとともに、耐熱性や強度に優れることから、その特性を利用して、これまで耐火被覆材、断熱材、吸音材等として、建築物の壁、天井、床、空調設備等に広く使用されていた。
ところが、近年このアスベストは、化学的な毒性はないものの、その結晶構造が針状であるために、人が吸い込んだ場合に、肺の組織に刺さって排出されずに蓄積し、長期間の潜伏を経て重大な疾病を招来することが指摘されている。
【０００３】
そこで、現在では、多くの建築物等において、飛散のおそれがある壁や天井等に吹き付けられたアスベストや保温材として使用されていたアスベストを除去または撤去する対策が採られており、この結果多量のアスベストが廃棄物として発生している。
ちなみに、この種の飛散のおそれがあるアスベスト廃棄物については、「廃棄物の処理及び清掃に関する法律」において特別管理産業廃棄物に指定され、その排出から収集・運搬・処分までの処理基準が定められている。
【０００４】
そして、上記収集・運搬に係る処理基準においては、アスベスト等をプラスチック等の容器に収納するとともに、破損などにより飛散させないように慎重に取り扱うことや、運搬車両の荷台に覆いを掛けるなどの飛散防止対策を講じることが義務づけられている。また、上記処分に係る処理基準としては、プラスチック袋や容器等の耐水性の材料で二重に梱包するか、または十分な量のセメント等によって固形化したうえで所定の場所に直接埋め立て処分を行う方法や、溶融設備を用いて十分に溶融処理することにより無害化したうえで、普通の産業廃棄物として処理することが定められている。
【０００５】
このようなアスベストの処分方法のうち、前者の直接埋め立て処分する方法にあっては、大量のセメントが必要になるとともに、今後想定される排出量に対して、早期の埋め立て地の枯渇が懸念されている。また、後者の溶融設備における中間処理による無害化処分の方法にあっては、アスベストの融点が１５００℃前後と極めて高いために、溶融温度によっては、アスベストを完全に無害化することが難しいという問題点があった。
【０００６】
そこで、下記特許文献１においては、アスベストとフロン分解無害化処理によって生成されたフロン分解物とを混合又は混練し、次いで当該混合物を低温加熱処理して成るアスベストの無害化処理方法が提案されている。
【０００７】
そして、上記従来の無害化処理方法によれば、フロン無害化処理によって生成されるフッ化カルシウムを融解剤として利用することにより、６００℃以下の加熱温度によってもアスベストを分解することができ、低エネルギーでアスベストを無害化処理することができる、とされている。
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１に記載されているように、上記アスベストの無害化処理方法にあっては、別途、フロン分解無害化装置を用いて、放電によって空気をプラズマ化して超高温（約１０、０００℃）のアークを発生させ、そこにフロン〔例えば、フロン１２（ＣＣｌ2Ｆ2）〕と水蒸気（Ｈ2Ｏ）とを送り込んで分解処理する必要があり、大量のアスベスト廃棄物を処理するには、工程や設備が複雑化するとともに、処理費用の高騰化を招くという問題点があった。
【０００９】
一方、半導体材料や半導体デバイスの製造工程においては、シリコンウエハのエッチングに洗浄液として使用されたフッ酸、珪フッ酸、硝酸、リン酸等を含む大量の使用済み廃液が排出される。そして、一般に、当該使用済み廃液は、水酸化カルシウムや炭酸カルシウム等のカルシウム塩によって中和する廃液処理が施されてフッ化物を含むスラリー状の汚泥（以下、フッ化物汚泥と称す。）とされているが、当該フッ化物汚泥の処理にも多くの問題があり、その簡易な処理方法や再資源化の開発が望まれている。
【００１０】
【特許文献１】特開２００５−１６８６３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
そこで、本発明者等は、上記アスベスト廃棄物の無害化処理方法について鋭意研究を重ねた結果、アスベスト成分と塩素バイパスダストやセメント原料中の酸化カルシウム分が固相反応を生じさせ、かつこれらのバイパスダストやセメント原料中の塩素化合物が溶融することによって上記固相反応を促進させるとの知見を得るに至った。さらには、フッ化物汚泥には、上記中和処理においてフッ化カルシウムが沈殿物として含まれており、当該フッ化物汚泥と上記アスベスト廃棄物とを混合することにより、上述したアスベストの分解に要する加熱温度を低くすることができるとともに、上記フッ化物汚泥に含まれるリン酸イオンによって、針状の結晶構造の表面に亀裂を生じさせて脆性化させることにより、一層容易に上記無害化処理を行うことができるとの知見を得るに至った。
【００１２】
本発明は、かかる知見に基づいてなされたもので、アスベスト廃棄物等のアスベスト含有物と、半導体材料等の製造工程などで排出されたリン酸イオンを含むフッ化物汚泥と、セメント製造工程から排出される塩素バイパスダスト等を、同時に、かつ低い加熱温度で効率的に処理することができるアスベスト含有物の無害化処理方法ならびにこれを利用したセメントの製造方法を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、セメント原料を、プレヒータにて予熱して仮焼させた後に、窯前側に設けられた加熱手段によって内部が高温雰囲気に保持されたロータリーキルンの窯尻側に供給して、上記窯前側に送りつつ焼成するセメント製造工程を用いたアスベスト含有物の無害化処理方法であって、上記ロータリーキルンの窯尻部分もしくは上記ロータリーキルンの窯尻側に仮焼セメント原料を供給する上記プレヒータの後段部分から抜き出した塩素化合物を含有する仮焼セメント原料および／または上記ロータリーキルンの窯尻部分もしくは上記プレヒータの後段部分から抜き出した塩素バイパスダストと、リン酸イオンを含有するフッ化物汚泥と、アスベスト含有物とを混合し、得られた混合物を加熱槽に送り、当該加熱槽において、上記ロータリーキルンの窯尻部分から送られてくる高温空気によって６００℃以上に加熱処理した後に、上記ロータリーキルンの上記窯尻部分から内部に導入して、９００℃以上の高温により燃焼させ６００℃以上に加熱処理することを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のアスベスト含有物の無害化処理方法において、上記混合物に、さらに焼却主灰を混合することを特徴とするものである。
【００１６】
さらにまた、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のアスベスト含有物の無害化処理方法を用いたセメントの製造方法であって、上記混合物をセメント原料とともにロータリーキルンに投入して、上記セメント原料を焼成してセメントとし、かつ上記混合物を上記加熱処理により上記セメントの一部とすることを特徴とするものである。
【００１７】
なお、本願発明において、窯尻部分とは、ロータリーキルンの窯尻側において当該ロータリーキルンを回転自在に支持する窯尻のケーシングおよびロータリーキルンの上流側に設けられてセメント原料を予熱するプレヒータから上記ケーシングに至る移送管、ならびに上記ロータリーキルンの前段に仮焼炉を有している場合には、この仮焼炉を含む部分を総称するものである。また、プレヒータの後段部分とは、プレヒータを構成している複数のサイクロンのうち内部が８００℃以上の高温雰囲気である後段のサイクロンを意味するものである。従って、上記ロータリーキルンの窯尻部分もしくは上記ロータリーキルンの窯尻側に上記仮焼セメント原料を供給する上記プレヒータの後段部分から抜き出した塩素化合物を含有する仮焼セメント原料とは、上述のロータリーキルンの窯尻部分またはプレヒータを構成する後段の８００℃以上の高温雰囲気のサイクロン（後段部分）から抜き出した塩素化合物を含有する仮焼セメント原料を意味するものである。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１または２に記載の発明によれば、ロータリーキルンの窯尻部分における約９００℃の高温下にあるセメント原料は、焼成の前段階にあって、いわゆる仮焼された状態にある。そして、この仮焼セメント原料は、セメント原料である石灰石の熱分解により生じた酸化カルシウム（ＣａＯ）を多く含んでおり、一部、塩化カルシウム（ＣａＣｌ2）、塩化カリウム（ＫＣｌ）および塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）などの塩素化合物を含有している。
他方、ロータリーキルンの窯尻部分などのセメント製造工程から排出された塩素バイパスダストも、塩化カルシウム、塩化カリウムおよび塩化ナトリウムとともに、セメント原料である酸化カルシウムを一部含んでいる。
【００１９】
このため、アスベスト廃棄物等のアスベスト含有物と、リン酸イオンを含有するフッ化物汚泥と、上記塩素バイパスダストおよび／または仮焼セメント原料とを混合することにより、混合物が窯尻部分への投入による約９００℃の高温雰囲気や加熱装置などによって８００℃程度の反応温度まで加熱されている場合には、上記酸化カルシウム分とアスベスト中の二酸化珪素（ＳｉＯ2）や酸化マグネシウム（ＭｇＯ）との固相反応が生じる。それとともに、塩素化合物が融点温度まで加熱されることによって溶融塩となって、アスベスト含有物や酸化カルシウムなどの粒子間に均一に分散される。その結果、上記固相反応が溶融塩を介して進行して、ＣａＭｇＳｉＯ4（Ｍｏｎｔｉｃｅｌｌｉｔｅ）、Ｃａ2ＳｉＯ4（ｄｉｃａｌｃｉｕｍ  ｓｉｌｉｃａｔｅ）、Ｃａ4Ｓｉ2Ｏ7Ｆ2（Ｃｕｓｐｉｄｉｎｅ）、ＭｇＯなどが生成されて、上記アスベスト含有物が無害化される。
【００２０】
さらに、上記フッ化物汚泥に含まれるフッ化カルシウム（ＣａＦ2）によっても、上記アスベストの分解に要する加熱温度を低くすることができる。加えて、上記フッ化物汚泥に含まれるリン酸イオンによって、針状の結晶構造の表面に亀裂を生じさせて脆性化させることにより、より一層上記アスベストの分解が容易になる。
【００２１】
従って、上記アスベスト含有物とフッ化物汚泥との混合物を６００℃以上、より好ましくは８００℃以上に加熱処理することにより、これらアスベスト含有物とフッ化物汚泥とを、同時に、かつ低い加熱温度で効率的に無害化処理することができる。
【００２４】
また、当該混合物に含まれる水分は、上記高温雰囲気下において瞬時に気化させて排出することができるとともに、固形分に含まれている酸化カルシウム（ＣａＯ）、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、鉄分（Ｆｅ2Ｏ3）等は、セメント原料の一部として再利用することがきる。ちなみに、上記フッ化物汚泥に含まれるフッ化カルシウム（ＣａＦ2）は、もともとセメント原料の焼成時における溶融温度の低温化用として、所定量添加されるものであるために、本来添加すべき上記フッ化カルシウム量の低減化を図ることも可能になる。
【００２５】
さらに、近年、上記アスベスト廃棄物、上記フッ化物汚泥や塩素バイパスダストなどに加えて、焼却炉から排出される主灰についても、その無害化処理が要請されている。この主灰は、二酸化珪素（ＳｉＯ２）や酸化カルシウム（ＣａＯ）等のセメント原料とほぼ一致する成分を主成分とするものである。そこで、請求項２に記載の発明のように、上記混合物に、さらに焼却主灰を混合すれば、廃棄物としての焼却主灰についても、同時に無害化処理することができ、特に上記ロータリーキルン内において加熱処理する場合には、セメント原料の一部として有効活用することができる。
【００２６】
それだけでなく、請求項３に記載の発明のように、上記混合物を、セメント原料とともにロータリーキルンに投入することによって、セメント原料を焼成してセメントとし、かつ混合物を加熱して、アスベスト含有物の無害化処理と同時にフッ化物汚泥および塩素バイパスダストなどの処理を行うことにより、混合物をセメントの一部とすることができ、効率的にセメントを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
（参考例）
以下、アスベスト含有物の無害化処理方法を、セメント製造設備においてセメント原料を焼成するロータリーキルンを用いて行う参考例について説明する。
図１は、上記処理方法に用いられる処理システムを示すもので、先ず上記セメント製造設備について説明すると、図１中符号１がセメント原料を焼成するためのセメントキルンある。
【００２８】
このセメントキルン１は、軸芯回りに回転自在に設けられたロータリーキルンであり、その図中左方の端部に、ロータリー部分を支持する窯尻ハウジング２ａおよびその立ち上がり部２ｂからなる窯尻部分２が設けられている。この窯尻部分２の上流側に、セメント原料を予熱するためのプレヒータ３が設けられるとともに、図中右方の窯前４に、内部を加熱するための主バーナ５が設けられている。なお、図中符号６は、焼成後のセメントクリンカを冷却するためのクリンカクーラである。
【００２９】
ここで、プレヒータ３は、上下方向に直列的に配置された複数段のサイクロンによって構成されており、供給管７を介して最上段のサイクロンにセメント原料が供給されるとともに、最下段のサイクロンの底部には、内部のセメント原料をセメントキルン１の窯尻部分２へと送る移送管３ａが接続されている。
【００３０】
他方、窯尻部分２の立ち上がり部２ｂには、セメントキルン１から排出された燃焼排ガスを最下段のサイクロンへと供給する排ガス管３ｂが接続されており、最上段のサイクロンの上部から排出された排ガスが、図示されない排気ファンによって排気ライン８を介して排気されて行くようになっている。
【００３１】
そして、上記構成からなるセメント製造設備に、アスベスト含有物とフッ化物汚泥の処理設備が併設されている。
このアスベスト含有物などの処理設備は、塩素バイパスと呼ばれる排ガス処理システムが備えらている。
【００３２】
この排ガス処理システムは、セメントキルン１から排出されてプレヒータ３へと送られるダストを含む排ガスの一部を抽気ガスとして抽気して、当該抽気ガスに含まれていた塩素化合物を除去するためのものであり、図中符号２０が立ち上がり部２ｂの上部に接続されて上記抽気ガスを抽気する抽気ダクトである。
【００３３】
そして、この処理システムにおいては、この抽気ダクト２０に沿って、順次この抽気ダクト２０から抽気された抽気ガスを冷却する冷却器２１と、この冷却器２１から排気された排気ガスから所定粒度以上のダストを分離するサイクロン型分級機２２と、このサイクロン型分級機２２において所定粒度以上のダストが分離された抽気ガスから微粉ダストである塩素バイパスダストＤを捕集・除去するバグフィルタ２３と、このバグフィルタ２３の下流側に設けられて抽気ガスを吸引する誘引ファン２４とが設けられている。
【００３４】
ここで、冷却器２１は、冷却ファンからの冷気や冷却ポンプの冷却水を冷媒として抽気ガスを熱交換させることにより、抽気ガスの温度を塩素化合物の融点（６００℃〜７００℃）以下に冷却するものであり、サイクロン型分級機２２の底部には、分離された所定粒度以上のダストを再び窯尻部分２へと戻す戻り配管２５が接続されている。
【００３５】
一方、図１において、符号１０は、アスベスト廃棄物等のアスベスト含有物が投入されるホッパである。そして、このホッパ１０の下部排出口は、大径の開閉手段１１を介して湿式ミル１２の供給側に接続されている。また、この湿式ミル１２には、スラリー状のフッ化物汚泥を湿式ミル１２内に導入するフッ化物汚泥の供給管１３が接続されている。さらに、湿式ミル１２には、ダストＤを供給する供給配管４０が接続されている。なお、これらアスベスト含有物とフッ化物汚泥とダストＤとの混合物における流動性が不足する場合には、図示されない溶媒供給管から、湿式ミル１２内に、別途廃液、水、流動剤等が流動性を増加させる溶媒として供給されるようになっている。
【００３６】
他方、この湿式ミル１２の排出側には、移送ポンプ１４が介装された移送配管１５の一端部が接続されており、この移送配管１５の他端部は、セメントキルン１の窯前４であって、かつ主バーナ５の上方位置に導入されている。
【００３７】
さらに、この移送配管１５の窯前４の上流側には、圧縮空気供給管１６が接続されている。ここで、圧縮空気供給管１６は、移送配管１５内のスラリーのセメントキルン１側への移送を促進するように、圧縮空気を移送配管１５内であって、かつセメントキルン１の窯前４側に噴き出すように傾斜して配管されている。
【００３８】
次に、以上の構成からなる処理システムを用いた本発明の参考例について説明する。
先ず、供給管７からプレヒータ３の１段目のサイクロンに供給されたセメント原料は、順次下方のサイクロンへと落下するにしたがって、下方から上昇するセメントキルン１からの高温の排ガスによって予熱され、最終的に最下段のサイクロンから移送管３ａを介してセメントキルン１の窯尻部分２に導入される。
【００３９】
そして、このセメントキルン１内において、窯尻部分２側から窯前４側へと徐々に送られる過程において、主バーナ５からの燃焼排ガスによって約１４５０℃まで加熱され、焼成されてクリンカとなる。次いで、窯前４に到達したクリンカは、クリンカクーラ６内に落下して図中右方に送られる。この際に、クリンカクーラ６内に供給された空気によって所定温度まで冷却されて最終的に当該クリンカクーラ６から取り出される。
【００４０】
これと併行して、セメントキルン１の窯尻部分２側から、あるいは窯前４側から、下水汚泥やプラスチックフィルムなどの廃棄物が内部に投入され、セメント原料の一部あるいは加熱用燃料の一部として利用される。
このため、各種の廃棄物、特に、プラスチックフィルムなどの合成樹脂からなる廃棄物によって、燃焼時に揮発性を有する塩素成分が発生し、セメントキルン１内から排出される排ガスに同伴して、窯尻部分２の立ち上がり部２ｂから排ガス管３ｂを通じてプレヒータ３へと送られていく。そして、プレヒータの上段側移送されるに連れて雰囲気温度が低下して融点以下になると、凝集してセメント原料に付着し、再びセメントキルン１内へと送られるとともに、雰囲気温度の上昇に伴って再度蒸発することになり、セメント焼成設備の系内に取り込まれた塩素成分は、セメントキルン１およびプレヒータ３内で蒸発および凝集を繰り替えして循環し、かつこれに新たに投入される廃棄物から発生する塩素成分が加わることにより、その濃度が上昇して、プレヒータなどにコーチングが生じ、または製造されたセメントクリンカーの品質低下を招きうる。
【００４１】
そこで、アスベスト含有物の処理設備においては、セメントキルン１から排出されてプレヒータ３へとダストを含む排ガスの一部を、連続的あるいは間欠的に誘引ファン２４を作動させることにより、立ち上がり部２ｂに接続された抽気ダクト２０を通じて、排ガス処理システムに抽気する。
これにより、この抽気ダクト２０によって送られた排ガスを、冷却器２１によって、塩素化合物の融点（６００℃〜７００℃）まで冷却した後に、サイクロン型分級機２２に送る。そして、５μｍ〜３０μｍの範囲内の所定粒度以上のダストを戻り配管２５を通じて窯尻部分２へと戻すとともに、この所定粒度以上のダストが分離された排ガスを、バグフィルタ２３へと送って、微粉ダストＤを捕集除去する。
【００４２】
他方、上記セメント製造設備に搬入された粉砕済みのアスベスト廃棄物をホッパ１０内に投入し、開閉手段１１を開くことにより、湿式ミル１２内に供給する。また湿式ミル１２内には、供給管１３のバルブ１３ａを開いて、スラリー状のフッ化物汚泥を供給するとともに、供給配管４０からダストＤを供給する。その際、好ましくは、特願２００７−１７０６０２において開示した最も融点の低くなるＫＣｌ／ＮａＣｌ（モル比）＝０．５〜０．９の範囲内のダストＤを供給する。また、要すれば、別途流動性を与えるための廃液、汚泥、水または流動剤を供給する。
【００４３】
ここで、上記フッ化物汚泥について詳述すると、当該フッ化物汚泥のうち、処理すべき排水として大量に発生するものは、半導体製造工場等においてウエハのエッチング工程から排出されるフッ化水素酸と硝酸を主体とした混酸の廃水である。そして、この廃水は、特にフッ素が排水規制の対象となるために、一般に炭酸カルシウムや水酸化カルシウム等のカルシウム塩を添加して、上記フッ素を凝集沈殿する処理方法が採用されている。
【００４４】
すなわち、上記廃水中のフッ素は、フッ化水素酸（ＨＦ）、フッ化アンモニウム（ＮＨ4Ｆ）、フッ化ナトリウム（ＮａＦ）、珪フッ化水素酸（Ｈ2ＳｉＦ6）等の化合物となっており、これに上記カルシウム塩として、例えば水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2）を添加することにより、溶解度の低いフッ化カルシウムＣａＦ2を生成させるものである。
【００４５】
図３は、この種のウエハのエッチンク工程から排出されてカルシウム塩添加処理が施された複数のフッ化物汚泥のサンプルにおける成分の分析結果を示すものである。なお、上記分析にあたっては、熱加水分解蒸留およびイオンクロマトグラフィーを用いた。
図３から、いずれのフッ化物汚泥も、所定量のカルシウム、フッ素ならびにリンを含んでいることが判る。
【００４６】
そして、本参考例においては、上記フッ化カルシウムＣａＦ２を沈殿物として含むスラリー状のフッ化物汚泥を、そのまま上記供給管１３から湿式ミル１２内に導入するとともに、ダストＤを供給配管４０から湿式ミル１２に供給する。すると、湿式ミル１２においては、アスベスト廃棄物がその容器ごと湿式で粉砕されるとともに、粉砕されたアスベスト廃棄物とフッ化物汚泥とダストＤとが混合される。
【００４７】
これにより、フッ化物汚泥に含まれるフッ化カルシウム（ＣａＦ2）によって、アスベストの分解に要する加熱温度が低下する。これとともに、上記フッ化物汚泥に含まれるリン酸イオンによって、針状の結晶構造の表面に亀裂を生じさせて脆性化させることにより、より一層上記アスベストの分解が容易になる。
【００４８】
さらに、ダストＤに含まれる塩素化合物が溶融することより、この溶融塩によってダストＤに含まれる酸化カルシウムとアスベスト中の二酸化ケイ素や酸化マグネシウムとの固相反応が促進されて、ＣａＭｇＳｉＯ4 などが生成されるため、より低温でアスベストを無害化させることができる。
【００４９】
なおこの際に、湿式ミル１２内に、上記アスベスト廃棄物、フッ化物汚泥およびダストＤに加えて、さらに二酸化珪素や酸化カルシウム等のセメント原料とほぼ一致する成分を主成分とする焼却主灰を混合することもできる。また、湿式ミル１２内で生成される粉砕後のアスベスト廃棄物とフッ化物汚泥とダストＤ等とのスラリー状の混合物は、その粘度が１００００ｍＰａ・ｓ以下になるように調整することが好ましい。
【００５０】
次いで、この湿式ミル１２から排出されたスラリー状の上記混合物を、ポンプ１４により移送配管１５を通じてセメントキルン１の窯前４側へと送る。
そして、圧縮空気供給管１６から移送配管１５内へと圧縮空気を供給することにより、上記スラリーをセメントキルン１の窯前４側から内部に噴出させる。
【００５１】
これにより、アスベスト廃棄物とフッ化物汚泥とダストＤとの混合物は、セメントキルン１内における主バーナ５からの火炎近傍において、約２０００℃の高温により燃焼される。この結果、瞬時にアスベストが分解されて非アスベスト化することにより、また、固相反応が生じることにより、アスベストが無害化される。そして、上記混合物中の固形分がセメント原料の一部として利用され、上記混合物中の水分が瞬時に気化して燃焼排ガスとともに排気されて、セメントが製造される。
【００５２】
したがって、上記構成からなるセメント製造設備を利用したアスベスト含有物の無害化処理方法によれば、アスベスト廃棄物とリン酸イオンを含有するフッ化物汚泥とダストＤとを混合することにより、上記固相反応によってアスベストを無害化できるとともに、上記フッ化物汚泥に含まれるフッ化カルシウムによって、上記アスベストの分解に要する加熱温度を約６００℃まで低くすることができる。加えて、上記フッ化物汚泥に含まれるリン酸イオンによって、針状の結晶構造の表面に亀裂を生じさせて脆性化させることにより、より一層上記アスベストの分解が容易になる。
【００５３】
そしてさらに、上記アスベスト廃棄物とフッ化物汚泥とダストＤとの混合物を、１４００℃以上の高温雰囲気が得られるセメントキルン１の窯前４側から内部に導入しているために、これらアスベスト含有物とフッ化物汚泥等とを、同時に、かつ確実に無害化処理することができる。
【００５４】
加えて、上記アスベスト廃棄物とフッ化物汚泥とダストＤ等を、湿式ミル１２によって湿式で粉砕・混合しているので、飛散防止のためにプラスチック容器に収納されて搬送されてきたアスベスト廃棄物についても、その容器ごと湿式ミル１２内に投入して湿式で破砕することにより、アスベストの飛散を確実に防止して、当該アスベストの粉砕を行うことができる。
【００５５】
しかも、湿式ミル１２からは、粉砕されたアスベスト廃棄物とフッ化物汚泥とダストＤ等との混合物がスラリーとして排出されるために、これをポンプ１４によって移送配管１５内を通じてセメントキルン１の窯前４側から内部に供給することにより、アスベスト廃棄物の粉砕後の移送工程においても、同様にアスベストが飛散するおそれがない。しかも、搬送手段として、汎用のポンプ１４を使用することもできる。
【００５６】
また、圧縮空気供給管１６から圧縮空気を供給して、移送配管１５内のスラリーをセメントキルン１内に噴出させているので、上記スラリーをセメントキルン１内の広範囲に供給して瞬時に燃焼処理することができる。
この結果、別途飛散防止対策を講じることなく、容易かつ確実に上記ロータリーキルンにおいて無害化処理することができる。
【００５７】
（実施形態）
図２は、本発明のアスベスト含有物の無害化処理方法の実施形態に用いられる処理システムを示すもので、図１に示したものと同一構成部分については、同一符号を付してその説明を簡略化する。
この処理システムにおいては、湿式ミル１２の排出側に接続された移送配管１５に、加熱槽１７が介装されており、この加熱槽１７の排出側がセメントキルン１の窯尻部分２に導入されている。
【００５８】
他方、この加熱槽１７には、熱源としてセメントキルン１の窯尻部分２から送気管１８を介して抜き出された約９００℃の高温空気が導入されている。そして、この加熱槽１７に導入された高温空気は、戻り管１９を通じて再びセメントキルン１の窯尻部分２に戻されるようになっている。なお、図２においては、加熱槽１７がセメントキルン１から離間して描かれている結果、送気管１８および戻り管１９が引き回された配管形式になっているが、実際には、上記加熱槽１７をセメントキルン１の窯尻部分２に隣接して設置することが可能である。
【００５９】
上記構成からなる処理システムを用いた実施形態においては、湿式ミル１２において粉砕・混合されたアスベスト廃棄物とフッ化物汚泥とダストＤとの混合物は、一旦加熱槽１７に送られる。そして、この加熱槽１７において、セメントキルン１の窯尻部分２から送られてくる約９００℃の高温空気によって加熱処理される。すると、上記混合物は、上記８００℃程度での固相反応に加えて、フッ素物汚泥に含まれるフッ素分による６００℃程度での分解反応によって、この加熱槽１７において当該混合物中のアスベストが無害化される。
【００６０】
次いで、加熱槽１７から排出されたスラリー状の上記混合物は、移送配管１５を通じてセメントキルン１の窯尻部分２から内部に導入される。そして、セメントキルン１内において、約９００℃以上の高温により燃焼され、同様に上記混合物中の固形分は、セメント原料の一部として利用される。
したがって、上記実施形態に示す処理方法によっても、上述した参考例と同様に作用効果を得ることができる。
【００６１】
なお、本発明は、上述の実施形態に何ら限定されるものでなく、塩素バイパスダストＤに代えて、ロータリーキルンの窯尻部分から（例えば、立ち上がり部２ｂの下部に開閉可能な取り出し口を設けて、この取り出し口から）抜き出した塩素化合物を含有するセメント原料を、湿式ミル１２に供給して、アスベスト含有物と混合してもよい。その際、上記混合物が窯尻部分から抜き出したセメント原料によって上記固相反応温度や分解温度に加熱された場合には、ロータリーキルンや加熱槽１７に供給される前にＣａＭｇＳｉＯ4 が生成され、また、分解されることによっても、アスベストが無害化される。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の参考例に用いられる処理システムを示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態に用いられる処理システムを示す概略構成図である。
【図３】ウエハのエッチング工程から排出されたフッ化物汚泥における成分の分析結果を示す図表である。
【符号の説明】
【００６３】
１  セメントキルン（ロータリーキルン）
２  窯尻部分
４  窯前
１０  アスベスト廃棄物等の投入用ホッパ
１２  湿式ミル
１３  フッ化物汚泥の供給管
１５  移送配管
１７  加熱槽
４０  供給配管
Ｄ    塩素バイパスダスト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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