(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に貼り付けられた粘着テープを基板外形に沿って切り抜くカッタ刃の清掃方法であって、
清掃用部材へのカッタ刃の突き刺し位置を、当該清掃用部材にカッタ刃を突き刺すごとに、突き刺し深さを次第に浅くしてゆきカッタ刃の付着物の清掃処理をする
ことを特徴とするカッタ刃の清掃方法。
【請求項２】
請求項１に記載のカッタ刃の清掃方法において、
前記清掃用部材は、洗浄液を含浸させたものである
ことを特徴とするカッタ刃の清掃方法。
【請求項３】
請求項２に記載のカッタ刃の清掃方法において、
前記洗浄液は、付着防止用の離型性を備えているものである
ことを特徴とするカッタ刃の清掃方法。
【請求項４】
請求項１または請求項２のいずれかに記載のカッタ刃の清掃方法において、
前記洗浄液を含浸させた第１の清掃用部材にカッタ刃を突き刺した後に、付着防止用の離型剤を含浸させた第２の清掃用部材にカッタ刃を突き刺す
ことを特徴とするカッタ刃の清掃方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のカッタ刃の清掃方法において、
前記カッタ刃への付着物の有無を監視センサで監視する
ことを特徴とするカッタ刃の清掃方法。
【請求項６】
基板に貼り付けられた粘着テープを基板外形に沿って切り抜くカッタ刃の清掃装置であって、
前記カッタ刃を上方の退避位置と下方の切断作用位置とにわたって昇降可能に配備し、清掃用部材を、カッタ刃の昇降移動径路へ突入する清掃用位置と、前記昇降移動径路から外れた後退位置とにわたって移動可能に配備し、
前記清掃用部材とカッタ刃とを相対的に移動させ、当該清掃用部材にカッタ刃を突き刺すごとに、突き刺し深さを次第に浅くしてゆき清掃用部材へのカッタ刃の突き刺し位置を変位可能に構成してある
ことを特徴とするカッタ刃の清掃装置。
【請求項７】
請求項６に記載のカッタ刃の清掃装置において、
前記カッタ刃の突き刺し位置を基点に清掃用部材を回動可能に構成してある
ことを特徴とするカッタ刃の清掃装置。
【請求項８】
請求項７に記載のカッタ刃の清掃装置において、
前記清掃用部材の清掃用位置から後退位置への移動に連動して清掃用部材を所定角度回動させるラチェット式のピッチ送り手段を備えてある
ことを特徴とするカッタ刃の清掃装置。
【請求項９】
請求項６ないし請求項８のいずれかに記載のカッタ刃の清掃装置において、
前記清掃用部材は、洗浄液を含浸させたものである
ことを特徴とするカッタ刃の清掃装置。
【請求項１０】
請求項９に記載のカッタ刃の清掃装置において、
容器に貯留された洗浄液に前記清掃用部材を浸漬収容するとともに、容器内における洗浄液の液面レベルを検知するセンサと、
検知した前記液面レベルの実測値と予め決めた基準値とを比較する演算手段と、
前記実測値と基準値の比較の結果、実測値が基準値を下回ったときに報知する報知手段と、
を備えてあることを特徴とするカッタ刃の清掃装置。
【請求項１１】
基板を載置保持するチャックテーブルと、
前記チャックテーブルに載置保持された基板の上方に表面保護用の粘着テープを、その粘着面が下向きとなる姿勢で基板の上方に供給するテープ供給手段と、
供給された前記粘着テープを押圧しながら転動移動させて基板に貼り付ける貼付けローラと、
昇降可能なカッタ刃を、基板に貼り付けられた粘着テープに突き刺して基板外周に沿って相対走行させるテープ切断装置と、
テープ切断により発生した不要テープを剥離回収してゆく剥離ローラと、
請求項６ないし請求項１０のいずれかに記載のカッタ刃の清掃装置と、
を備えてあることを特徴とする粘着テープ貼付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハやガラス基板などの基板の表面に貼り付けられた保護用の粘着テープを基板外形に沿って切り抜くカッタ刃の清掃方法およびカッタ刃の清掃装置、並びに、これを備えた粘着テープ貼付け装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）の表面に表面保護用の粘着テープを貼り付けて切断する手段としては、チャックテーブルに載置保持されたウエハの表面に粘着テープを供給し、貼付けローラを転動移動させて粘着テープをウエハの表面に貼付ける。その後、粘着テープにカッタ刃を突き刺した状態でカッタ刃をウエハの外周に沿って走行させたり、あるいは、チャックテーブルを回転させてカッタ刃をウエハの外周に沿って相対走行させたりすることで、保護テープをウエハ外周に沿って切断するものが知られている。（特許文献１、特許文献２を参照）。
【特許文献１】特開２００６−１５４５３号公報
【特許文献２】特開２００４−２５４３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
粘着テープをウエハ外周に沿って切断するカッタ刃には、粘着テープの粘着材が付着して残存することがある。この付着物が堆積してくるとカッタ刃の切断性能が低下し、切断仕上がりが悪化する。そこで、従来では、切断仕上がりの悪化傾向が認められた時点、あるいは、定期的にカッタ刃の付着物を手作業で拭き取り、カッタ刃への付着抑制用の離型剤の塗布を行っていた。
【０００４】
しかしながら、手作業によるカッタ刃のメンテナンス作業は手間がかかるとともに、連続した粘着テープ貼付け作業の中断を余儀なくされることになる。その結果、作業能率の低下をもたらす一因となっている。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、カッタ刃の清掃を能率よく行うとともに、カッタ刃を長期間にわたって使用を可能にすることを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明は、基板に貼り付けられた粘着テープを基板外形に沿って切り抜くカッタ刃の清掃方法であって、
清掃用部材へのカッタ刃の突き刺し位置を、当該清掃用部材にカッタ刃を突き刺すごとに、突き刺し深さを次第に浅くしてゆきカッタ刃の付着物の清掃処理をすることを特徴とすることを特徴とする。
【０００７】
（作用・効果）  この方法によれば、カッタ刃を清掃用部材に突き刺すことにより、カッタ刃に付着した粘着剤などの付着物を清掃用部材で拭き取ったり、刃先の切断作用位置から上方に外れた位置にまで付着物を押し上げ移動させたりすることができる。清掃後は、粘着剤などの異物が付着していないので、粘着テープを精度よく切断することができる。また、同時に摩擦抵抗による過度のストレスがカッタ刃にかからないので、刃先の欠けなどを抑制できる。その結果、同じカッタ刃を長期にわたって使用することができる。特に、洗浄用部材へのカッタ刃の突き刺し量を最初は大きくし、切断回数が増えるごとに突き刺し量を小さくすることにより、付着物が完全に拭き取られずにカッタ刃に残存していても、その付着物は次のテープ切断過程において切断位置よりも上方に押し上げられて残存する。したがって、常にきれいな刃縁でのテープ切断を行うことができる。
【０００８】
また、カッタ刃を清掃用部材に突き刺す過程ごとに、清掃用部材への突き刺し位置が変位されるので、先の清掃過程において清掃用部材に拭き取られた付着物がカッタ刃に再付着するようなことがない。したがって、毎回、好適な清掃処理を行うことができる。
【００１１】
第２の発明は、上記第１の発明において、
前記清掃用部材は、洗浄液を含浸させたものであることを特徴とする。
【００１２】
（作用・効果）  この方法によれば、カッタ刃を清掃用部材に突き刺すことにより、カッタ刃に付着した粘着剤などの付着物を清掃用部材に含浸させた洗浄液で溶融あるいは軟化させて拭き取ったり、刃先の切断作用位置から上方に外れた位置にまで軟化した付着物を押し上げ移動させたりすることができる。
【００１３】
第３の発明は、上記第２の発明において、
前記洗浄液は、付着防止用の離型性を備えているものであることを特徴とする。
【００１４】
（作用・効果）  この方法によれば、付着した粘着剤などの付着物が拭き取られ、あるいは、付着物を軟化させて上方に押し上げられた後のきれいな刃縁に離型性を備えた洗浄液が塗布される。したがって、洗浄液の離型性によって粘着剤が付着しにくい状態で次のテープ切断過程に移ることができる。
【００１５】
第４の発明は、上記第１または第２の発明において、
前記洗浄液を含浸させた第１の清掃用部材にカッタ刃を突き刺した後に、付着防止用の離型剤を含浸させた第２の清掃用部材にカッタ刃を突き刺すことを特徴とする。
【００１６】
（作用・効果）  この方法によれば、粘着テープにおける粘着剤の物性に合わせた洗浄液と、付着防止性能に優れた離型剤とを任意に組み合わせて使用することができる。したがって、好適な清掃と付着抑制処理を行うことができる。
【００１７】
第５の発明は、上記第１ないし第４のいずれかの発明において、
前記カッタ刃への付着物の有無を監視センサで監視することを特徴とする。
【００１８】
（作用・効果）  この方法によれば、カッタ刃への付着物の有無、または、予め決めた所定量以上になったときに検知させることにより、カッタ刃の突き刺し清掃処理の時期を知ることができる。したがって、付着の無い時やテープ切断を支障なく行える程度の付着しか発生していない時の突き刺し清掃処理を回避し、必要最少限度の頻度で清掃処理を行いつつ、常に良好なテープ切断処理を行うことができる。
【００１９】
また、突き刺し清掃処理の直後も監視を行うことにより、付着物の残存具合を確認し、清掃が不十分であれば再度の突き刺し清掃処理を行うことができる。したがって、以後のテープ切断処理をきれいなカッタ刃で好適に行うことが可能となる。
【００２０】
第６の発明は、基板に貼り付けられた粘着テープを基板外形に沿って切り抜くカッタ刃の清掃装置であって、
前記カッタ刃を上方の退避位置と下方の切断作用位置とにわたって昇降可能に配備し、清掃用部材を、カッタ刃の昇降移動径路へ突入する清掃用位置と、前記昇降移動径路から外れた後退位置とにわたって移動可能に配備し、
前記清掃用部材とカッタ刃とを相対的に移動させ、当該清掃用部材にカッタ刃を突き刺すごとに、突き刺し深さを次第に浅くしてゆき清掃用部材へのカッタ刃の突き刺し位置を変位可能に構成してあることを特徴とする
【００２１】
（作用・効果）  この構成によれば、上記第１の発明を好適に実施することができる。
【００２２】
第７の発明は、上記第６の発明において、
前記カッタ刃の突き刺し位置を基点に清掃用部材を回動可能に構成してあることを特徴とする。
【００２３】
（作用・効果）  この構成によれば、例えば、清掃用部材を直線的に移動させてカッタ刃の突き刺し位置を変更する手段に比べて、清掃用部材を小型化することができる。
【００２４】
第８の発明は、上記第７の発明において、
前記清掃用部材の清掃用位置から後退位置への移動に連動して清掃用部材を所定角度回動させるラチェット式のピッチ送り手段を備えてあることを特徴とする。
【００２５】
（作用・効果）  この構成によれば、モータなどのピッチ送り専用のアクチュエータを要することなく清掃用部材をピッチ送り回動させることができる。したがって、安価に実施することができる。
【００２６】
第９の発明は、上記第６ないし第８のいずれかの発明において、
前記清掃用部材は、洗浄液を含浸させたものであることを特徴とする。
【００２７】
（作用・効果）  この構成によれば、上記第２の発明を好適に実施することができる。
【００２８】
第１０の発明は、上記第９の発明において、
容器に貯留された洗浄液に前記清掃用部材を浸漬収容するとともに、容器内における洗浄液の液面レベルを検知するセンサと、
検知した前記液面レベルの実測値と予め決めた基準値とを比較する演算手段と、
前記実測値と基準値の比較の結果、実測値が基準値を下回ったときに報知する報知手段と、
を備えてあることを特徴とする。
【００２９】
（作用・効果）  この構成によれば、清掃用部材に含浸させた洗浄液の消費を、容器内における洗浄液の液面レベルで検知して洗浄液の補充時期を知ることが容易となる。したがって、清掃用部材の表面にまで洗浄液が含浸されない洗浄液不足状態で突き刺し清掃処理を行うような事態を未然に回避することができる。
【００３０】
第１１の発明は、基板を載置保持するチャックテーブルと、
基板を載置保持するチャックテーブルと、
前記チャックテーブルに載置保持された基板の上方に表面保護用の粘着テープを、その粘着面が下向きとなる姿勢で基板の上方に供給するテープ供給手段と、
供給された前記粘着テープを押圧しながら転動移動させて基板に貼り付ける貼付けローラと、
昇降可能なカッタ刃を、基板に貼り付けられた粘着テープに突き刺して基板外周に沿って相対走行させるテープ切断装置と、
テープ切断により発生した不要テープを剥離回収してゆく剥離ローラと、
請求項６ないし請求項１０のいずれかに記載のカッタ刃の清掃装置と、
を備えてあることを特徴とする。
【００３１】
（作用・効果）  この構成によれば、基板への粘着テープの貼付け、基板外周に沿ったテープ切断、および、不要テープの回収を連続して能率よく行うことができるとともに、カッタ刃の清掃処理を、人手を煩わせることなく行うことができる。すなわち、常にきれいな刃縁でのテープ切断を行い、テープ切り口がきれいなテープ貼付けを行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明に係るカッタ刃の清掃方法およびカッタ刃の清掃装置、並びに、これを備えた粘着テープ貼付け装置によれば、カッタ刃の清掃を能率よく行うとともに、同じカッタ刃を長期間にわたって使用を可能にする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００３４】
図１は、粘着テープ貼付け装置の一例である保護テープ貼付け装置の全体構成を示す斜視図である。この保護テープ（粘着テープ）貼付け装置は、基板の一例である半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）Ｗを収納したカセットＣが装填されるウエハ供給/回収部１、ロボットアーム２を備えたウエハ搬送機構３、アライメントステージ４、ウエハＷを載置して吸着保持するチャックテーブル５、ウエハＷの上方に向けて表面保護用の粘着テープＴを供給するテープ供給部６、テープ供給部６から供給されたセパレータ付きの粘着テープＴからセパレータｓを剥離回収するセパレータ回収部７、チャックテーブル５に載置されて吸着保持されたウエハＷに粘着テープＴを貼付ける貼付けユニット８、ウエハＷに貼付けられた粘着テープＴをウエハＷの外形に沿って切り抜くテープ切断装置９、ウエハＷに貼付けて切断処理した後の不要テープＴ’を剥離する剥離ユニット１０、剥離ユニット１０で剥離された不要テープＴ’を巻き取り回収するテープ回収部１１などが備えられている。上記各構造部および機構についての具体的な構成を以下に説明する。
【００３５】
ウエハ供給/回収部１には２台のカセットＣを並列して装填可能であり、各カセットＣには、複数枚のウエハＷが配線パターン面（表面）を上向きにした水平姿勢で多段に差込み収納されている。
【００３６】
ウエハ搬送機構３に備えられたロボットアーム２は、水平に進退移動可能に構成されるとともに、全体が駆動旋回および昇降可能となっている。そして、ロボットアーム２の先端には、馬蹄形をした真空吸着式のウエハ保持部２ａが備えられている。つまり、カセットＣに多段に収納されたウエハＷ同士の間隙にウエハ保持部２ａを差し入れてウエハＷを裏面から吸着保持し、吸着保持したウエハＷをカセットＣから引き出して、アライメントステージ４、チャックテーブル５、および、ウエハ供給/回収部１の順に搬送するようになっている。
【００３７】
アライメントステージ４は、ウエハ搬送機構３によって搬入載置されたウエハＷを、その外周に形成されたノッチやオリエンテーションフラットに基づいて位置合わせを行うようになっている。
【００３８】
チャックテーブル５は、ウエハ搬送機構３から移載されて所定の位置合わせ姿勢で載置されたウエハＷを真空吸着するようになっている。また、このチャックテーブル５の上面には、図２に示すように、後述する粘着テープ切断装置９に備えたカッタ刃１２をウエハＷの外形に沿って旋回移動させて粘着テープＴを切断するためにカッタ走行溝１３が形成されている。
【００３９】
テープ供給部６は、供給ボビン１４から繰り出されたセパレータ付きの粘着テープＴをガイドローラ１５群に巻回案内し、セパレータｓを剥離した粘着テープＴを貼付けユニット８に導くよう構成されている。なお、供給ボビン１４は、適度の回転抵抗を与えて過剰なテープ繰り出しが行われないように構成されている。
【００４０】
セパレータ回収部７は、粘着テープＴから剥離されたセパレータｓを巻き取る回収ボビン１６が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【００４１】
貼付けユニット８には、図８に示すように、貼付けローラ１７が前向き水平に備えられている、この貼付けローラ１７は、スライド案内機構１８および図示されないネジ送り式の駆動機構によって左右水平に往復駆動されるようになっている。
【００４２】
剥離ユニット１０には剥離ローラ１９が前向き水平に備えられており、前記スライド案内機構１８および図示されないネジ送り式の駆動機構によって左右水平に往復駆動されるようになっている。
【００４３】
テープ回収部１１は、不要テープＴ’を巻き取る回収ボビン２０が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【００４４】
テープ切断装置９は、図２および３に示すように、駆動上下動可能な昇降台２１の下部に、チャックテーブル５の中心上に位置する縦軸心Ｘ周りに駆動旋回可能に一対の支持アーム２２が並列装備されている。この支持アーム２２の遊端側に備えたカッタユニット２３に、刃先を下向きにしたカッタ刃１２が装着されている。つまり、支持アーム２２が縦軸心Ｘを旋回中心として旋回することにより、カッタ刃１２がウエハＷの外周に沿って移動して粘着テープＴを切り抜くよう構成されててる。
【００４５】
昇降台２１は、モータ２４を正逆回転駆動することにより縦フレーム２５に沿ってねじ送り昇降されるようになっている。この昇降台２１の遊端部に縦軸心Ｘ周りに回動可能に装備された回動軸２６が、昇降台２１の上に配備されたモータ２７に２本のベルト２８を介して減速連動され、モータ２７の作動によって回動軸２６が所定の方向に回動されるようになっている。そして、この回動軸２６から下方に延出された支持部材２９の下端部に、支持アーム２２が水平方向スライド調節可能に貫通支持されており、支持アーム２２のスライド調節によってカッタ刃１２の旋回中心である縦軸心Ｘからの距離、つまり、カッタ刃１２の旋回半径をウエハ径に対応して変更調節することが可能となっている。
【００４６】
支持アーム２２の遊端部には、図３から５に示すように、ブラケット３０が固着されている。このブラケット３０にカッタユニット２３が装着支持されている。カッタユニット２３は、ブラケット３０に縦向き支軸Ｙ周りに所定範囲内で回動可能に支持された回動部材３１、回動部材３１の端部下面に連結された縦壁状の支持ブラケット３２、支持ブラケット３２の側面に連結されたカッタ支持部材３３、カッタ支持部材３３に支持されたブラケット３４、このブラケット３４に取り付けられたなどから構成されている。なお、カッタ刃１２は、カッタホルダ３５の側面に交換可能に締め付け固定されている。
【００４７】
ここで、回動部材３１の上方には、長孔３６と突起３７との係合によって回動部材３１と一体に回動する操作フランジ３８が配備されている。この操作フランジ３８をエアーシリンダ３９によって回動することにより、支持アーム２２に対するカッタユニット２３全体の縦向き支軸Ｙ周りでの姿勢を変更し、移動方向に対するカッタ刃１２の角度（切り込み角度）を所定の範囲内で調整することが可能となっている。
【００４８】
カッタ支持部材３３に対してブラケット３４は案内レール機構４０を介して支持アーム２２の長手方向（図５においては紙面表裏方向）に直線スライド移動可能に支持されている。また、カッタ支持部材３３とブラケット３４とにわたってバネ４２が張設されている。このバネ４２の弾性復元力によってブラケット３４は、図６に示すように、縦軸心（旋回中心）Ｘに近づく方向にスライド付勢されている。
【００４９】
カッタ支持部材３３の旋回中心側には、ブラケット３４のスライド方向に沿った姿勢のエアーシリンダ４３がステー４１を介して固定装備され、このエアーシリンダ４３のピストンロッド４３ａがブラケット３４の端面に当接可能に配備されている。
【００５０】
また、このテープ切断装置９には、図１２ないし図１４に示すように、カッタ刃１２に付着した粘着剤などを除去するカッタ刃清掃装置５０が備えられている。
【００５１】
このカッタ刃清掃装置５０は、縦フレーム２５の下方背部において昇降台２１の突出方向（以下、前方と呼称する）と逆方向（以下、後方と呼称する）に向けて水平配備された基台５１、基台５１上に前後方向に向けて水平配備されたロッドレスシリンダ５２、ロッドレスシリンダ５２に連結されて基台５１上の案内レール５３に沿って前後に往復駆動される可動台５４、可動台５４に連結支持されて前方に向けて水平片持ち状に延出された支持アーム５５、この支持アーム５５の先端に備えられた清掃ユニット５６などで構成されている。
【００５２】
清掃ユニット５６は、図１５および図１６に示すように、支持アーム５５の前端部に連結された支持ブラケット５７、支持ブラケット５７の前部に縦向き軸心ａ周りに回動可能に軸支された回転台５８、回転台５８に上方から嵌入されてネジ固定された円形カップ状の容器５９、支持ブラケット５７の後部において縦向き軸心ｂ周りに回動可能に軸支されたラチェットホイール６０などで構成されている。回転台５８の支軸６１に連結したプーリ６２とラチェットホイール６０の支軸６３に連結したプーリ６４とにわたってノンスリップ型のベルト６５が巻回張設されている。
【００５３】
可動台５４が最も前方に移動したときの容器５９は、図１２および図１４に示すように、上方退避位置にあるカッタ刃１２の昇降移動経路に突入した清掃用位置（ｃ）にある。また、可動台５４が後方に移動することにより、容器５９は、図１２および図１３に示すように、カッタ刃１２の昇降移動経路から後方に大きく外れた後退待機位置（ｄ）にあるように、可動台５４の前後動ストロークが設定されている。
【００５４】
容器５９には、図１５および図１６に示すように、洗浄液が貯留されるとともに、スポンジなどの多孔質部材からなる清掃用部材６６が装填されている。この清掃用部材６６は、毛細管現象で所定量の洗浄液が満遍なく表面まで滲み上がっている。清掃用部材６６の中央には上下に貫通する透孔６７が形成されており、この透孔６７に洗浄液の液面が露呈されるようになっている。
【００５５】
清掃用位置（ｃ）にある容器５９の中心はカッタ刃１２の昇降移動径路から外れている。つまり、下降されたカッタ刃１２が清掃用部材６６の透孔６７から外れた位置に突き刺さるよう設定されている。
【００５６】
後退待機位置（ｄ）にある容器５９の直上方にはレーザービームを用いて対象物までの距離を検出する反射式のセンサ６８が固定配備されている。このセンサ６８は、後退待機位置（ｄ）にある容器５９の清掃用部材６６の中心に向けてレーザービームを照射し、透孔６７に臨む洗浄液の液面レベルＬを検出するよう構成されている。
【００５７】
支持ブラケット５７の後部には、ラチェットホイール６０の外周爪部６０ａに係合する逆転防止爪６９が支点ｅ周りに回動可能、かつ、バネ７０で係合方向に回動付勢されて配備されている。したがって、図１５において、ラチェットホイール６０が反時計方向にのみ回動することが許容されている。
【００５８】
基台５１の前部には、図１７に示すように、平面形状Ｌ形の固定台７１が連結され、この固定台７１の端部に、ラチェットホイール６０の外周爪部６０ａに対向する送り爪７２が縦支点ｆ周りに揺動可能に枢支連結されている。この送り爪７２は、ラチェットホイール６０への係合方向にバネ７３で揺動付勢されるとともに、ストッパボルト７４によってその付勢揺動方向への限度が当接規制されている。
【００５９】
ラチェットホイール６０は、清掃ユニット５６の前後往復移動に連動して、以下のようにピッチ送り回動される。この回動によって容器５８の清掃用部材６６が一定方向に順送り回動される。
【００６０】
すなわち、図１４に示すように、清掃ユニット５６が前進移動して容器５９が清掃用位置（ｃ）に移動した状態では、ラチェットホイール６０は送り爪７２から離れており、逆転防止爪６９との係合によって所定の回動姿勢に維持されている。
【００６１】
この場合、自由状態の送り爪７２は、ストッパボルト７４によって当接規制された姿勢まで付勢揺動し、その爪先がラチェットホイール６０の前後移動径路に突入した待ち受け姿勢となる。
【００６２】
清掃ユニット５６の後退移動に伴って容器５９が清掃用位置（ｃ）から後退移動すると、後退待機位置（ｄ）に到達する手前において、図１７に示すように、待ち受け姿勢で待機している送り爪７２の爪先にラチェットホイール６０の外周爪部６０ａが係合する。この状態で清掃ユニット５６が更に後退移動することにより、送り爪７２に係合されたラチェットホイール６０は相対的に回動力を受け、逆転防止爪６９を乗越え揺動させながら所定方向（図１７での反時計方向）に回動される。
【００６３】
図１３に示すように、清掃ユニット５６が後退位置（ｄ）まで後退移動した状態では、図１８に示すように、ラチェットホイール６０は、後退移動を開始する前から所定の送り角度θだけ回動され、これに連動して容器５９が同角度だけ同方向に回動される。このように、清掃ユニット５６が清掃用位置（ｃ）から後退待機位置（ｄ）に後退移動するごとに、容器５９のピッチ送り回動が行われる。なお、ストッパボルト７４の突出量を小さくして、待ち受け姿勢にある送り爪７２の爪先をラチェットホイール６０の支軸ｂ側に近づけるほど、清掃ユニット５６が後退待機位置（ｄ）に移動した時点での上記送り角度を大きくすることができ、逆に、ストッパボルト７４の突出量を大きくして、待ち受け姿勢にある送り爪７２の爪先を支軸ｂから離すほど、清掃ユニット５６が後退位置（ｄ）に移動した時点での上記送り角度θを小さくすることができる。
【００６４】
次に、上記実施例装置を用いて粘着テープＴをウエハＷの表面に貼付けて切断する一連の動作を図８〜図１１に基づいて説明する。
【００６５】
貼付け指令が出されると、先ず、ウエハ搬送機構３におけるロボットアーム２がカセット台１２に載置装填されたカセットＣに向けて移動され、ウエハ保持部２ａがカセットＣに収容されているウエハ同士の隙間に挿入される。ウエハ保持部２ａは、ウエハＷを裏面（下面）から吸着保持して搬出し、取り出したウエハＷをアライメントステージ４に移載する。
【００６６】
アライメントステージ４に載置されたウエハＷは、ウエハＷの外周に形成されているノッチを利用して位置合わせされる。位置合わせのすんだウエハＷは、再びロボットアーム２によって搬出されてチャックテーブル５に載置される。
【００６７】
チャックテーブル５に載置されたウエハＷは、その中心がチャックテーブル５の中心上にあるように位置合わせされた状態で吸着保持される。このとき、図８に示すように、貼付けユニット８と剥離ユニット１０は左側の初期位置にあり、テープ切断機構９のカッタ刃１２は上方の初期位置でそれぞれ待機している。
【００６８】
次に、図８中の仮想戦で示すように、貼付けユニット８の貼付けローラ１７が下降される。この貼付けローラ１７は、粘着テープＴを下方に押圧しながらウエハＷ上を前方（図８では右方向）に転動する、これによって粘着テープＴがウエハＷの表面全体およびチャックテーブル５の上面に貼付けられる。
【００６９】
図９に示すように、貼付けユニット８が終端位置に達すると、上方に待機していたカッタ刃１２が下降され、チャックテーブル５のカッタ走行溝１３の部分にある粘着テープＴに突き刺される。
【００７０】
この場合、図６に示すように、エアーシリンダ４３に高い圧の空気が供給されてピストンロッド４３ａが大きく突出作動している。したがって、ブラケット３４は、バネ４２に抗して外方のストロークエンドまでスライド移動されている。このとき、カッタ刃１２は、ウエハＷの外周縁から外方に少し（数ｍｍ）離れた位置で粘着テープＴに突き刺される。その後、ピストンロッド４３ａの突出力がバネ力よりも小さくなるようにエアーシリンダ４３の空気圧が低減され、図７に示すように、ブラケット３４がバネ４２の押し付け付勢力でスライド移動される。これによってカッタ刃１２の刃先がウエハＷの外周縁に適当な接触圧で押し付けられる。
【００７１】
切断開始位置においてカッタ刃１２のウエハ外周縁への押し付けセットが終了すると、図１０に示すように、支持アーム２２が回転される。この回転動作に伴ってカッタ刃１２がウエハ外周縁に摺接しながら旋回移動し、粘着テープＴがウエハ外周に沿って切断される。
【００７２】
ウエハ外周に沿ったテープ切断が終了すると、図１１に示すように、カッタ刃１２は元の待機位置まで上昇される。次いで、剥離ユニット１０が前方へ移動しながらウエハＷ上で切り抜き切断されて残った不要テープＴ’をめくり上げながら剥離してゆく。
【００７３】
剥離ユニット１０が剥離完了位置に到達すると、剥離ユニット１０と貼付けユニット８は後退移動して初期位置に復帰する。このとき、不要テープＴ’が回収ボビン２０に巻き取られるとともに、一定量の粘着テープＴがテープ供給部６から繰り出される。
【００７４】
上記したテープ貼付け作動が終了し、チャックテーブル５の吸着が解除された後、貼付け処理のすんだウエハＷはロボットアーム２のウエハ保持部２ａに移載されてウエハ供給/回収部１のカセットＣに差込み回収される。
【００７５】
以上で１回のテープ貼付け処理が完了し、以後、新しいウエハの搬入に対応して上記作動を順次繰り返してゆく。
【００７６】
上記テープ貼付け処理の回数は計数され、予め設定された回数のテープ貼付け処理が終了する度に、カッタ刃清掃処理が以下のように行われる。
【００７７】
設定回数目のテープ貼付け処理が終了してカッタ刃１２が上方退避位置に復帰すると、カッタ刃清掃装置５０に備わったロッドレスシリンダ５２が作動する。この作動によって、図１２に示すように、後退位置（ｄ）にあった清掃ユニット５６が清掃用位置（ｃ）に向けて前進移動される。
【００７８】
清掃ユニット５６が清掃用位置（ｃ）に到達したことが認識されると、上方退避位置にあるカッタ刃１２が下降制御され、カッタ刃１２の刃先が清掃用部材６６に所定深さだけ突き刺される。これによって、テープ切断処理によってカッタ刃１２に付着した粘着剤などの付着物が、清掃用部材６６に含浸されている洗浄液への接触とによってカッタ刃１２への付着力が大きく低減される。この状態のままカッタ刃１２を上昇させることにより、付着物は清掃用部材６６で拭き取られる。付着物をカッタ刃１２から拭き取れない場合でも、突き刺し時に清掃用部材６６によってカッタ刃１２の上方箇所まで付着物が押し上げられ、突き刺した箇所の刃縁は付着物のないきれいな状態となる。
【００７９】
カッタ刃１２が上方退避位置に復帰上昇されると、清掃ユニット５６が清掃用位置（ｃ）から後退位置（ｄ）に後退移動される。この後退移動によって、容器５９が所定の送り角度θだけ回動され、次に清掃用位置（ｃ）に移動してカッタ刃１２が突き刺される際、清掃用部材６６における前回突き刺し位置と異なった新たな箇所での突き刺し清掃が行われることになる。すなわち、清掃用部材６６へのカッタ刃１２の突き刺し位置が清掃時ごとに変位させられる。
【００８０】
この場合、３６０°を送り角度θで割った値が整数とならないように送り角度θを設定しておくことで、清掃用部材６６を複数回回動しても常に新たな箇所で突き刺し清掃することができる。
【００８１】
また、清掃ユニット５６が後退位置（ｄ）に復帰移動するたびに、センサ６８によって洗浄液の液面レベルＬが監視される。このとき、カッタ刃１２への塗布や蒸発によって液面レベルＬが許容範囲より低下したことが検知されると、洗浄液の補充を促す報知がなされ、液面レベルＬの低下によって清掃用部材６６における突き刺し領域で洗浄液不足が発生することが未然に回避される。
【００８２】
ここで、洗浄液としては、カッタ刃１２に塗布されることで、粘着剤の付着を抑制する離型性を発揮するものが好ましく、界面活性剤、シリコーン含有液、その他の潤滑性、離型性を発揮する液体を利用することができる。また、粘着剤の種類によっては、純水を利用することも可能である。
【００８３】
上記実施例によれば、ウエハＷに表面保護用の粘着テープＴを貼付けて切断する場合には、洗浄液として水溶性の油剤を使用することが好ましい。つまり、表面保護用の粘着テープＴが貼り付けられたウエハＷは、バックグラインド工程において水による洗浄を受けるので、カッタ刃１２に塗布された洗浄液がテープ切断縁に付着残存しても、バックグラインド工程において研磨粉などとともにテープ切断縁の洗浄液を洗い流すことができる。したがって、テープ切断縁に付着残存した洗浄液が以降の処理工程において弊害をもたらすことを未然に回避することができる。
【００８４】
なお、カッタ刃１２が切断作用位置に下降される際、粘着テープＴへの突き刺し量を変えることで、切れ味の良い新しい刃縁でのテープ切断を行うことができ、好ましくは、当初の突き刺し量を大きくし、切断回数を重ねるほど粘着テープＴへの突き刺し量を小さくしてゆくとよい。この場合、カッタ刃１２への付着物の発生は次第に刃先に向けて移動するので、突き刺し清掃における清掃用部材６６への突き刺し深さを次第に浅くしてゆくことが望ましい。これによると、突き刺し清掃過程において付着物が完全に拭き取れなくても、カッタ刃１２の突き刺しによって付着物がカッタ刃１２の上方に押し上げ移動されるので、次第に浅い突き刺し清掃を繰り返すごとによって、付着物を切断の邪魔にならない箇所に押し上げて常に良好なテープ切断を行うことができる。
【００８５】
清掃用部材６６の突き刺し深さ領域においては、洗浄液が過不足なくカッタ刃１２に接触するよう液面レベルを管理することが好ましい。すなわち、液面レベルが高すぎるとカッタ刃１２に洗浄液が多量に触れることになり、テープ切断性能を高めるためにカッタは２を加温するような場合には、多量の洗浄液との接触によってカッタ刃１２の温度が低下して、切れ味が悪くなってしまう。また、カッタ刃１２に洗浄液が多量に接触することで、カッタ刃１２を抜き上げる際にボタ落ちが発生して周囲を汚損するおそれもある。
【００８６】
なお、清掃ユニット５６を支持した支持アーム５５は、可動台５４に対して可動台移動方向と直交する方向に位置変更可能に取り付けられている。したがって、ウエハＷのサイズ変更に応じてカッタユニット２３が縦軸心Ｘに対して位置変更されると、これに対応して支持アーム５５の取り付け位置を変え、清掃用部材６６がカッタ刃昇降径路内に出退するよう調整することになる。また、これに対応して送り爪７２の位置調節も行う。
【００８７】
本発明は、上記以外の形態で実施することもでき、そのいくつかを以下に列挙する。
【００８８】
（１）図１９に示すように、容器５９の内部を隔壁５９ａで前後に仕切り、前方の区画に洗浄液のみを含浸させた洗浄専用の清掃用部材６６を収容し、後方の区画にオイルなどの離型剤を含浸させた清掃用部材６６’を収容した構成にする。この構成の場合、先ず、カッタ刃１２を前方の清掃用部材６６に突き刺して付着物を洗浄除去した後、カッタ刃１２を抜き上げ上昇させ、清掃ユニット５６を少し前退移動させてカッタ刃１２の下方に容器５９の後半が臨むようにする。その後、再びカッタ刃１２を下降させて後方の清掃用部材６６’に突き刺し、刃先に離型剤を塗布する形態をとる。
【００８９】
（２）また、図２０に示すように、上方退避位置にあるカッタ刃１２に臨むようにＣＣＤカメラや、反射式のレーザセンサなどを利用した監視センサ７５を設置してカッタ刃１２への付着物の有無を監視するよう構成してもよい。つまり、カッタ刃１２に設定量以上の付着物の付着が検知されたときのみ、上記した突き刺し清掃処理を実行するように構成することができる。この構成によれば、付着のない状態や、付着が極わずかな状態で突き刺し清掃処理を実行するような無駄がなくなる。
【００９０】
また、突き刺し清掃処理した後にもカッタ刃１２の監視を行うことで、付着物の残存を検知し、残存が多い場合には突き刺し清掃処理を再度行うことも可能となる。更に、監視センサ７５によってカッタ刃１２における刃縁の欠損を検出して、カッタ刃１２の交換時期を知らせることもできる。
【００９１】
（３）粘着剤の付着が発生しやすい粘着テープＴを使用する場合には、テープ切断過程ごとに毎回突き刺し清掃処理を行うもよい。
【００９２】
（４）清掃用部材６６は洗浄液を含浸できるものならば特に限定されず、上記したスポンジ状のもの他に、フェルト状のものを利用することができる。また、細毛を集めたブラシを利用することもできる。また、粘着剤の接着強度が高い場合は、研磨剤を含んだものを利用することが好ましい。
【００９３】
（５）上記実施例装置は、清掃用部材６６へのカッタ刃１２の突き刺し位置の変位を容器５９の回動によって行っていたが、カッタ刃１２の突き刺し角度を変えるように構成してもよい。つまり、カッタユニット２３の操作フランジ３８をエアーシリンダ３９によって回動することにより、支持アーム２２に対するカッタユニット２３全体の縦向き支軸Ｙ周りでの姿勢を変更し、清掃用部材６６へのカッタ刃１２の突き刺し角を変更することができる。したがって、容器５９の回動とカッタ刃１２の突き刺し角度の変更とによって、清掃用部材６６を有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】粘着テープ貼付け装置の全体を示す斜視図である。
【図２】テープ切断装置の全体を示す側面図である。
【図３】テープ切断装置の要部を示す斜視図である。
【図４】カッタユニットの平面図である。
【図５】カッタユニットの一部を縦断した正面図である。
【図６】カッタ刃を粘着テープに突き刺した時点の要部を示す側面図である。
【図７】カッタ刃をウエハ外周縁に接触させた状態の要部を示す側面図である。
【図８】粘着テープ貼付け工程を示す正面図である。
【図９】粘着テープ貼付け工程を示す正面図である。
【図１０】粘着テープ貼付け工程を示す正面図である。
【図１１】粘着テープ貼付け工程を示す正面図である。
【図１２】カッタ刃清掃装置の側面図である。
【図１３】後退待機位置にあるカッタ刃清掃装置の平面図である。
【図１４】清掃用位置に進出したカッタ刃清掃装置の平面図である。
【図１５】清掃ユニットの平面図である。
【図１６】清掃ユニットの一部を切欠いた側面図である。
【図１７】清掃用部材ピッチ送り回動の作動開始状態を示す要部の平面図である。
【図１８】清掃用部材ピッチ送り回動の作動完了状態を示す要部の平面図である。
【図１９】別実施例の清掃ユニットを示す一部切欠き側面図である。
【図２０】カッタ刃清掃装置の別実施例を示す側面図である。
【符号の説明】
【００９５】
５  …  チャックテーブル
９  …  テープ切断装置
１２  …  カッタ刃
１７  …  貼付けローラ
１９  …  剥離ローラ
５０  …  カッタ刃清掃装置
５９  …  容器
６６  …  清掃用部材
６８  …  センサ
７５  …  監視センサ
Ｗ  …  基板
Ｔ  …  粘着テープ
【図１】
0005097571.tif 000002
【図２】
0005097571.tif 000003
【図３】
0005097571.tif 000004
【図４】
0005097571.tif 000005
【図５】
0005097571.tif 000006
【図６】
0005097571.tif 000007
【図７】
0005097571.tif 000008
【図８】
0005097571.tif 000009
【図９】
0005097571.tif 000010
【図１０】
0005097571.tif 000011
【図１１】
0005097571.tif 000012
【図１２】
0005097571.tif 000013
【図１３】
0005097571.tif 000014
【図１４】
0005097571.tif 000015
【図１５】
0005097571.tif 000016
【図１６】
0005097571.tif 000017
【図１７】
0005097571.tif 000018
【図１８】
0005097571.tif 000019
【図１９】
0005097571.tif 000020
【図２０】
0005097571.tif 000021