(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室を含む液体を移送するための液体移送流路が形成された流路ユニットと、
前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、
前記圧電アクチュエータを駆動する駆動手段とを備えており、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧力室を覆う第１圧電層と、
前記第１圧電層の前記圧力室と反対側の面に接合された第２圧電層と、
前記第１圧電層の前記圧力室側の面の、前記圧力室と対向する部分に設けられた第１電極と、
前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面の、前記圧力室と対向する部分に設けられた第２電極と、
前記第１圧電層と前記第２圧電層との間の、前記圧力室と対向する部分に設けられた第３電極とを有しており、
前記駆動手段は、
前記第１電極、前記第２電極及び前記第３電極に個別に電位を付与する電位付与手段と、
前記電位付与手段の動作を制御する制御手段とを有しており、
前記制御手段は、少なくとも、
前記第１電極が所定の第１電位に保持されるとともに、前記第２電極が前記第１電位と異なる所定の第２電位に保持された状態で、前記第３電極に前記第１電位及び前記第２電位のいずれか一方が選択的に付与されるように、前記電位付与手段を制御することによって、
前記第１電極と前記第３電極との間に電位差が生じているとともに前記第２電極と前記第３電極とが同電位となった第１状態と、
前記第２電極と前記第３電極との間に電位差が生じているとともに、前記第１電極と前記第３電極とが同電位となった第２状態とで切り替えることができるように、前記電位付与手段を制御し、
前記流路ユニットは、前記圧力室を複数備え、
これら複数の前記圧力室は２列に配列されており、
前記第２電極及び前記第３電極は、それぞれ、複数の前記圧力室に対して個別に設けられており、
前記第２電極と前記第３電極とは、前記圧力室の列と直交する方向に関して、互いに反対側に引き出されていることを特徴とする液体移送装置。
【請求項２】
前記第２電極が、前記圧力室の列と直交する方向に関して、２列の前記圧力室の列の間と反対側に引き出され、
前記第３電極が、前記圧力室の列と直交する方向に関して、２列の前記圧力室の列の間側に引き出され、
引き出された前記第３電極の接点が、２列の前記圧力室の列の間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
【請求項３】
前記第２電位が前記第１電位よりも高い電位であり、
前記第１圧電層が、前記第３電極から前記第１電極に向かう方向に分極されており、
前記第２圧電層が、前記第２電極から前記第３電極に向かう方向に分極されていることを特徴とする請求項２に記載の液体移送装置。
【請求項４】
前記第１電位が前記第２電位よりも高い電位であり、
前記第１圧電層が、前記第１電極から前記第３電極に向かう方向に分極されており、
前記第２圧電層が、前記第３電極から前記第２電極に向かう方向に分極されていることを特徴とする請求項２に記載の液体移送装置。
【請求項５】
前記第１圧電層の前記圧力室側の面に配置されており、前記第１電極を覆うカバー部材をさらに備えていることを特徴とする請求項３又は４に記載の液体移送装置。
【請求項６】
圧力室を含む液体を移送するための液体移送流路が形成された流路ユニットと、
前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えており、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧力室を覆う第１圧電層と、
前記第１圧電層の前記圧力室と反対側の面に接合された第２圧電層と、
前記第１圧電層の前記圧力室側の面の、前記圧力室と対向する部分に設けられた第１電極と、
前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面の、前記圧力室と対向する部分に設けられた第２電極と、
前記第１圧電層と前記第２圧電層との間の、前記圧力室と対向する部分に設けられた第３電極とを備えており、
前記第１圧電層及び前記第２圧電層は、その厚み方向に分極されており、
前記第１電極が所定の第１電位に保持されるとともに、前記第２電極が前記第１電位と異なる所定の第２電位に保持された状態で、前記第３電極に前記第１電位及び前記第２電位のいずれか一方が選択的に付与され、
前記流路ユニットは、前記圧力室を複数備え、
これら複数の前記圧力室は２列に配列されており、
前記第２電極及び前記第３電極は、それぞれ、複数の前記圧力室に対して個別に設けられており、
前記第２電極と前記第３電極とは、前記圧力室の列と直交する方向に関して、互いに反対側に引き出されていることを特徴とする液体移送ヘッド。
【請求項７】
第１圧電層と、
前記第１圧電層の一表面に接合された第２圧電層と、
前記第１圧電層の前記前記第２圧電層と反対側の面に設けられた第１電極と、
前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面の、前記第１電極と対向する部分に設けられた第２電極と、
前記第１圧電層と前記第２圧電層との間の、前記第１電極及び前記第２電極に対向する部分に設けられた第３電極とを備えており、
前記第１圧電層及び前記第２圧電層は、その厚み方向に分極されており、
前記第１電極が所定の第１電位に保持されるとともに、前記第２電極が前記第１電位と異なる所定の第２電位に保持された状態で、前記第３電極に前記第１電位及び前記第２電位のいずれか一方が選択的に付与され、
前記流路ユニットは、前記圧力室を複数備え、
これら複数の前記圧力室は２列に配列されており、
前記第２電極及び前記第３電極は、それぞれ、複数の前記圧力室に対して個別に設けられており、
前記第２電極と前記第３電極とは、前記圧力室の列と直交する方向に関して、互いに反対側に引き出されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を移送する液体移送装置、及び、電位を付与されることによって変形する圧電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載のインクジェットプリンタ（液体移送装置）においては、圧力室を覆うように、共通電極を兼ねる振動板が配置されており、振動板の上面に圧電層が接合されており、圧電層の上面の圧力室と対向する部分には個別電極が形成されている。そして、個別電極に駆動電位が付与されると、個別電極とグランド電位に保持された共通電極としての振動板との間に電位差が発生し、この電位差によって圧電層のこれらの電極に挟まれた部分に厚み方向の電界が発生する。この電界により、圧電層のこの部分が水平方向に収縮し、圧電層及び振動板の圧力室に対向する部分が全体として圧力室側に凸となるように変形して、圧力室の容積が減少する。これにより、圧力室内のインクの圧力が上昇し、圧力室に連通するノズルからインクが噴射される。
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１１８５８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のインクジェットプリンタにおいては、圧電層及び振動板は、水平な状態と圧力室側に凸となるように変形した状態との間でしか変形しないため、圧電層及び振動板を変形させたときの圧力室の容積の変化量が小さく、圧力室内のインクに大きな圧力を付与することができない。
【０００５】
本発明の目的は、圧力室内の液体に大きな圧力を付与することが可能な液体移送装置及び液体移送ヘッド、並びに、大きく変形させることが可能な圧電アクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体移送装置は、圧力室を含む液体を移送するための液体移送流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータを駆動する駆動手段とを備えており、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室を覆う第１圧電層と、前記第１圧電層の前記圧力室と反対側の面に接合された第２圧電層と、前記第１圧電層の前記圧力室側の面の、前記圧力室と対向する部分に設けられた第１電極と、前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面の、前記圧力室と対向する部分に設けられた第２電極と、前記第１圧電層と前記第２圧電層との間の、前記圧力室と対向する部分に設けられた第３電極とを有している。前記駆動手段は、前記第１電極、前記第２電極及び前記第３電極に個別に電位を付与する電位付与手段と、前記電位付与手段の動作を制御する制御手段とを有しており、前記制御手段は、少なくとも、前記第１電極が所定の第１電位に保持されるとともに、前記第２電極が前記第１電位と異なる所定の第２電位に保持された状態で、前記第３電極に前記第１電位及び前記第２電位のいずれか一方が選択的に付与されるように、前記電位付与手段を制御することによって、前記第１電極と前記第３電極との間に電位差が生じているとともに前記第２電極と前記第３電極とが同電位となった第１状態と、前記第２電極と前記第３電極との間に電位差が生じているとともに、前記第１電極と前記第３電極とが同電位となった第２状態とで切り替えることができるように、前記電位付与手段を制御し、前記流路ユニットは、前記圧力室を複数備え、これら複数の前記圧力室は２列に配列されており、前記第２電極及び前記第３電極は、それぞれ、複数の前記圧力室に対して個別に設けられており、前記第２電極と前記第３電極とは、前記圧力室の列と直交する方向に関して、互いに反対側に引き出されている（請求項１）。
【０００７】
これによると、第１状態では、第１電極と第３電極との間に電位差が生じるとともに、第２電極と第３電極とが同電位となることにより、第１圧電層の圧力室と対向する部分に電界が発生し、第１圧電層のこの部分が伸長又は収縮する活性層となり、第２圧電層が、自身は伸長又は収縮せず第１圧電層の伸長又は収縮によって変形する非活性層となる。これにより、第１圧電層及び第２圧電層の圧力室と対向する部分が、全体として、圧力室側又は圧力室と反対側に凸となるように変形する。
【０００８】
一方、第２状態では、第２電極と第３電極との間に電位差が生じるとともに、第１電極と第３電極とが同電位となることにより、第２圧電層の圧力室と対向する部分に電界が発生し、第２圧電層のこの部分が伸長又は収縮する活性層となり、第１圧電層が、自身は伸長又は収縮せず第２圧電層の伸長又は収縮によって変形する非活性層となる。これにより、第１圧電層及び第２圧電層の圧力室と対向する部分が、全体として、第１状態のときとは反対側に凸となるように変形する。
【０００９】
そして、第１状態と第２状態とを切り替えて、このように、第１圧電層及び第２圧電層の圧力室と対向する部分を、圧力室側及び圧力室と反対側の両側にそれぞれ凸となるように変形させることにより、圧力室の容積を大きく変化させることが可能となる。これにより、圧力室内の液体に大きな圧力を付与することができ、液体移送流路において液体を効率よく移送することができる。
また、これによると、第１電極を第１電位に保持し、第２電極を第２電極に保持した状態で、第３電極に第１電位を付与すると、第２状態となる。一方、第１電極を第１電位に保持し、第２電極を第２電極に保持した状態で、第３電極に第２電位を付与すると、第１状態となる。したがって、第１電極を第１電位に保持し、第２電極を第２電極に保持した状態で、第３電極に第１電位及び第２電位を選択的に付与することにより、第１状態と第２状態とを容易に切り替えることができる。
また、圧力室を複数備えており、これに対応して第１電極、第２電極及び第３電極がそれぞれ複数設けられている場合には、複数の第１電極及び複数の第２電極を、それぞれ、第１電位及び第２電位に保持すればよいので、複数の第１電極及び複数の第２電極に対して、それぞれ、独立した配線を設ける必要がなく、第１電極及び第２電極に接続される配線が簡単になる。
【００１０】
なお、請求項１において、第１圧電層が複数の圧力室を覆うことには、第１圧電層が複数の圧力室を直接覆うことだけでなく、複数の圧力室と第１圧電層との間に別の層が介在しており、この別の層が複数の圧力室を覆っているとともに、第１圧電層が、この別の層の圧力室と反対側の面に複数の圧力室にまたがって配置されていることも含まれている。
【００１１】
また、本発明の液体移送装置においては、前記第２電極が、前記圧力室の列と直交する方向に関して、２列の前記圧力室の列の間と反対側に引き出され、前記第３電極が、前記圧力室の列と直交する方向に関して、２列の前記圧力室の列の間側に引き出され、引き出された前記第３電極の接点が、２列の前記圧力室の列の間に配置されていることが好ましい（請求項２）。
【００１４】
このとき、前記第２電位が前記第１電位よりも高い電位であり、前記第１圧電層が、前記第３電極から前記第１電極に向かう方向に分極されており、前記第２圧電層が、前記第２電極から前記第３電極に向かう方向に分極されていることが好ましい（請求項３）。
【００１５】
これによると、第３電極を第１電位にすると、第２圧電層において第２電極から第３電極に向かう方向に電界が発生し、この電界の向きが第２圧電層における分極の向きと一致する。一方、第３電極を第２電位にすると、第１圧電層において第３電極から第１電極に向かう方向に電界が発生し、この電界の向きが第１圧電層における分極の向きと一致する。したがって、第１圧電層及び第２圧電層に分極方向と反対向きの電界が発生することがなく、第１圧電層及び第２圧電層の厚み方向の分極が弱まってしまうことがない。
【００１６】
又は、このとき、前記第１電位が前記第２電位よりも高い電位であり、前記第１圧電層が、前記第１電極から前記第３電極に向かう方向に分極されており、前記第２圧電層が、前記第３電極から前記第２電極に向かう方向に分極されていることが好ましい（請求項４）。
【００１７】
これによると、第３電極を第１電位にすると、第２圧電層において第３電極から第２電極に向かう方向に電界が発生し、この電界の向きが第２圧電層における分極の向きと一致する。一方、第３電極を第２電位にすると、第１圧電層において第１電極から第３電極に向かう方向に電界が発生し、この電界の向きが第１圧電層における分極の向きと一致する。したがって、第１圧電層及び第２圧電層に分極方向と反対向きの電界が発生することがなく、第１圧電層及び第２圧電層の厚み方向の分極が弱まってしまうことがない。
【００１８】
また、本発明の液体移送装置においては、前記第１圧電層の前記圧力室側の面に配置されており、前記第１電極を覆うカバー部材をさらに備えていることが好ましい（請求項５）。これによると、第１電極が圧力室に露出していると、圧力室内の液体と第１電極と接触して第１電極が腐食したり、圧力室内の液体において電気分解が発生したりする虞があるが、カバー部材で第１電極を覆うことにより、圧力室内の液体が第１電極に接触してしまうのを防止することができる。
【００２３】
本発明の液体吐出ヘッドは、圧力室を含む液体を移送するための液体移送流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えており、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室を覆う第１圧電層と、前記第１圧電層の前記圧力室と反対側の面に接合された第２圧電層と、前記第１圧電層の前記圧力室側の面の、前記圧力室と対向する部分に設けられた第１電極と、前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面の、前記圧力室と対向する部分に設けられた第２電極と、前記第１圧電層と前記第２圧電層との間の、前記圧力室と対向する部分に設けられた第３電極とを備えており、前記第１圧電層及び前記第２圧電層は、その厚み方向に分極されており、前記第１電極が所定の第１電位に保持されるとともに、前記第２電極が前記第１電位と異なる所定の第２電位に保持された状態で、前記第３電極に前記第１電位及び前記第２電位のいずれか一方が選択的に付与され、前記流路ユニットは、前記圧力室を複数備え、これら複数の前記圧力室は２列に配列されており、前記第２電極及び前記第３電極は、それぞれ、複数の前記圧力室に対して個別に設けられており、前記第２電極と前記第３電極とは、前記圧力室の列と直交する方向に関して、互いに反対側に引き出されている（請求項６）。
【００２４】
本発明の圧電アクチュエータは、第１圧電層と、前記第１圧電層の一表面に接合された第２圧電層と、前記第１圧電層の前記前記第２圧電層と反対側の面に設けられた第１電極と、前記第２圧電層の前記第１圧電層と反対側の面の、前記第１電極と対向する部分に設けられた第２電極と、前記第１圧電層と前記第２圧電層との間の、前記第１電極及び前記第２電極に対向する部分に設けられた第３電極とを備えており、前記第１圧電層及び前記第２圧電層は、その厚み方向に分極されており、前記第１電極が所定の第１電位に保持されるとともに、前記第２電極が前記第１電位と異なる所定の第２電位に保持された状態で、前記第３電極に前記第１電位及び前記第２電位のいずれか一方が選択的に付与され、前記流路ユニットは、前記圧力室を複数備え、これら複数の前記圧力室は２列に配列されており、前記第２電極及び前記第３電極は、それぞれ、複数の前記圧力室に対して個別に設けられており、前記第２電極と前記第３電極とは、前記圧力室の列と直交する方向に関して、互いに反対側に引き出されている（請求項７）。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００２６】
図１は、本実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。図１に示すように、プリンタ１（液体移送装置）は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３（液体移送ヘッド）、用紙搬送ローラ４などを備えている。また、プリンタ１の動作は、制御装置１００によって制御されている。キャリッジ２は、図１の左右方向（走査方向）に往復移動する。インクジェットヘッド３はキャリッジ２の下面に取り付けられており、後述するノズル１５（図２参照）からインクを吐出する。用紙搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを図１の手前方向（紙送り方向）に搬送する。そして、プリンタ１においては、用紙搬送ローラ４により紙送り方向に搬送される記録用紙Ｐにキャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３のノズル１５（図２参照）からインクを吐出することによって記録用紙Ｐに印刷を行う。
【００２７】
次に、インクジェットヘッド３について説明する。図２は図１のインクジェットヘッド３の平面図である。図３は図２のインクジェットヘッド３から後述する圧電層４２を除いた図である。図４は図２のインクジェットヘッド３から後述する圧電層４１、４２を除いた図である。図５は図２の部分拡大図である。図６は図５のＶＩ−ＶＩ線断面図である。図７は図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。
【００２８】
図２〜図７に示すように、インクジェットヘッド３は、後述するマニホールド流路１１、圧力室１０、ノズル１５を含むインク流路（液体移送流路）が形成された流路ユニット３１と、流路ユニット３１の上面に配置された圧電アクチュエータ３２とを備えている。
【００２９】
流路ユニット３１は、上から順に、キャビティプレート２１、ベースプレート２２、マニホールドプレート２３及びノズルプレート２４の４枚のプレートが互いに積層されることによって構成されている。これら４枚のプレート２１〜２４のうち、ノズルプレート２４を除く３枚のプレート２１〜２３は、ステンレスなどの金属材料からなり、ノズルプレート２４は、ポリイミド等の合成樹脂からなる。あるいは、ノズルプレート２４も他の３枚のプレート２１〜２３と同様、金属材料によって構成されていてもよい。
【００３０】
キャビティプレート２１には、複数の圧力室１０が形成されている。圧力室１０は、走査方向（図２の左右方向）を長手方向とする略楕円の平面形状を有しており、複数の圧力室１０は、紙送り方向（図２の上下方向）に配列されることによって圧力室列を構成しており、このような圧力室列が走査方向に沿って２列に配列されている。ベースプレート２２には、圧力室１０の走査方向の両端部と対向する部分に、それぞれ貫通孔１２、１３が設けられている。
【００３１】
マニホールドプレート２３には、マニホールド流路１１が形成されている。マニホールド流路１１は、図２左側の圧力室列を構成する圧力室１０の略左半分、及び、図２の右側の圧力室列を構成する圧力室１０の略右半分に、それぞれ対向するように紙送り方向に２列に延びているとともに、これら２列に延びた部分同士が図２における下端部において互いに連通している。マニホールド流路１１には、後述する振動板５０の、図２におけるマニホールド流路１１の下端部と対向する部分に形成されたインク供給口９からインクが供給される。また、マニホールドプレート２３には、貫通孔１３と対向する位置に貫通孔１４が形成されている。
【００３２】
ノズルプレート２４には、貫通孔１４と対向する部分に、ノズル１５が形成されている。そして、流路ユニット３１においては、マニホールド流路１１は貫通孔１２を介して圧力室１０に連通しており、圧力室１０は貫通孔１３、１４を介してノズル１５に連通している。このように、流路ユニット３１には、マニホールド流路１１の出口から圧力室１０を経てノズル１５に至る個別インク流路が複数形成されている。
【００３３】
圧電アクチュエータ３２は、圧電層４１、４２、下部電極５１、複数の個別電極５２、複数の上部電極５４などを備えている。
【００３４】
圧電層４１（第１圧電層）は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛の混晶であり、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、キャビティプレート２１の上面に複数の圧力室１０を覆うように配置されている。また、圧電層４１は、図７の矢印で示すように、予めその上面から下面に向かって（個別電極５２から下部電極５１に向かって）厚み方向に分極されている。
【００３５】
圧電層４１の下面（圧力室１０側の面）には、複数の圧力室１０と対向するとともに複数の圧力室１０にまたがって連続的に延びた、金属などの導電性材料からなる下部電極５１が形成されている。なお、下部電極５１のうち、複数の圧力室１０と対向する部分が、それぞれ、本発明に係る第１電極に相当する。
【００３６】
下部電極５１が形成された圧電層４１の下面には、さらに、その全域にわたって絶縁層４０（カバー部材）が形成されている。絶縁層４０は、合成樹脂などの絶縁性材料からなり、絶縁層４０により下部電極５１が覆われている。これにより、圧力室１０内のインクが下部電極５１と接触するのが防止され、下部電極５１が圧力室１０内のインクによって腐食してしまうなどの問題が発生するのが防止される。なお、本実施の形態では、圧電層４１の下面に絶縁層４０が配置されているため、圧電層４１が複数の圧力室１０を直接覆っているわけではなく、絶縁層４０が複数の圧力室１０を覆っているとともに、絶縁層４０の上面に複数の圧力室１０にまたがって圧電層４１が配置されているが、このようなものも、本発明に係る第１圧電層が複数の圧力室を覆うことに含まれている。また、圧電層４１には、図２における下部電極５１の上端部と対向する部分に金属などの導電性材料が充填された貫通孔４１ａが形成されている。
【００３７】
圧電層４１の上面（圧電層４１と圧電層４２との間）には、複数の圧力室１０に対応して、金属などの導電性材料からなる複数の個別電極５２（第３電極）が形成されている。個別電極５２は、圧力室１０よりも面積が小さい走査方向を長手方向とする略長方形の平面形状を有しており、圧力室１０の略中央部と対向するように配置されている。また、個別電極５２の長手方向に関するノズル１５側の端部は、平面視で圧力室１０と重ならない部分まで延びており、その先端部が接点５２ａとなっている。
【００３８】
さらに、圧電層４１の上面には、下部電極５１の図２における上端部及び貫通孔４１ａと重なる部分に、平面視で走査方向を長手方向とする略長方形状の接点５７が形成されている。そして、下部電極５１と接点５７とが貫通孔４１ａに充填された導電性材料を介して接続されている。
【００３９】
圧電層４２（第２圧電層）は、圧電層４１と同様の圧電材料からなり、圧電層４２の上面（圧力室１０と反対側の面）に接合されている。圧電層４２は、図７の矢印で示すように、予めその上面から下面に向かって（上部電極５４から個別電極５２に向かって）厚み方向に分極されている。
【００４０】
また、圧電層４２には、複数の接点５２ａと対向する部分に、金属などの導電性部材が充填された貫通孔４２ａが形成されている。さらに、圧電層４２には、接点５７及び貫通孔４１ａと対向する部分に、金属などの導電性材料が充填された貫通孔４２ｂが形成されている。
【００４１】
圧電層４２の上面（圧電層４１と反対側の面）には、複数の圧力室１０に対応して、金属などの導電性材料からなる複数の上部電極５４（第２電極）が形成されている。上部電極５４は、平面視で、圧力室１０よりも面積が小さい走査方向を長手方向とする略長方形状を有しており、圧力室１０の略中央部に対向するように配置されている。また、上部電極５４の長手方向に関するノズル１５と反対側の端部は、平面視で圧力室１０と重ならない、圧電層４２の上面の走査方向に関する両端部まで延びている。
【００４２】
また、圧電層４２の上面には、配線部５６が形成されている。配線部５６は、圧電層４２の上面の走査方向に関する両端部において、それぞれ紙送り方向に延びて、上部電極５４のノズル１５と反対側の端部同士を接続しているとともに、上記紙送り方向に延びた２つの部分の図２における上端部の間の部分において、上記２つの部分同士を接続するように走査方向に延びている。
【００４３】
さらに、圧電層４２の上面には、接点５２ａ及び貫通孔４２ａと対向する部分に、略矩形の平面形状を有する接点５３が形成されている。そして、接点５２ａと接点５３とが貫通孔４２ａに充填された導電性部材を介して接続されている。
【００４４】
加えて、圧電層４２の上面には、接点５７及び貫通孔４２ｂと対向する部分に、平面視で走査方向を長手方向とする略長方形状の接点５５が形成されている。そして、接点５５と接点５７とが、貫通孔４２ｂを介して接続されているとともに、前述したように、接点５７と下部電極５１とが貫通孔４１ａを介して接続されており、これにより、接点５５と下部電極５１とが接続されている。
【００４５】
圧電層４２の上方には、フレキシブル配線部材（ＦＰＣ）６５が設けられており、ＦＰＣ６５が、ハンダ６０を介して、接点５５の略中央部、接点５３、及び、配線部５６の走査方向に延びた部分の略中央部に接続されている。ＦＰＣ６５は、後述するドライバＩＣ７０（電位付与手段）に接続されており、ドライバＩＣ７０により、下部電極５１がグランド電位（第１電位）に保持され、複数の上部電極５４が所定の正電位（第１電位よりも高い第２電位、例えば、２０Ｖ）に保持されるとともに、複数の個別電極５２に個別にグランド電位及び所定の正電圧のいずれかの電位が選択的に付与される。すなわち、下部電極５１、複数の個別電極５２及び複数の上部電極５４には、ドライバＩＣ７０により個別に電位を付与することが可能となっている。言い換えれば、ドライバＩＣ７０により、後述するように、圧電層４１及び圧電層４２に対して、圧力室１０と対向する部分にそれらの厚み方向の電界を選択的に付与することが可能な電界付与手段となっている。
【００４６】
ここで、下部電極５１は圧電層４１の下面に形成されており、複数の個別電極５２は圧電層４１の上面に形成されているため、すなわち、下部電極５１及び複数の個別電極５２は、圧電層４２の上面に形成されていないため、ハンダ６０によりＦＰＣ６５と下部電極５１（接点５５）及び複数の個別電極５２（接点５３）とを接続したときに、ハンダ６０が下部電極５１及び複数の個別電極５２の上面に流れ込んでしまうことがない。
【００４７】
また、複数の上部電極５４は圧電層４２の上面に形成されているが、ＦＰＣ６５は、上部電極５４に接続された配線部５６の、上部電極５４から離れた部分に接続されているので、ＦＰＣ６５と配線部５６とをハンダ６０によって接続したときに、ハンダ６０が上部電極５４の上面に流れ込んでしまうことがない。
【００４８】
これにより、後述するように圧電アクチュエータ３２を駆動したときに、下部電極５１、個別電極５２及び上部電極５４の上面にハンダ６０が付着してしまい、ハンダ６０により圧電層４１、４２の変形特性が変動して、ノズル１５からのインクの吐出特性が変動してしまうのが防止される。
【００４９】
次に、プリンタ１の動作を制御する制御装置１００について説明する。図８は制御装置１００のブロック図である。制御装置１００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）などからなり、これらが、以下に説明するヘッド制御部８１、キャリッジ制御部８２及び用紙搬送制御部８３として動作する。
【００５０】
ヘッド制御部８１は、インクジェットヘッド３の動作を制御するものである。具体的には、ドライバＩＣ７０により下部電極５１、個別電極５２及び上部電極５４に付与される電位を制御することによって、言い換えれば、ドライバＩＣ７０により圧電層４１及び圧電層４２に付与する電界を制御することによって、後述するように、圧電アクチュエータ３２の動作を制御している。キャリッジ制御部８２は、キャリッジ２の往復移動の制御を行う。用紙搬送制御部８３は、記録用紙Ｐを搬送する際の用紙搬送ローラ４の制御を行う。なお、ヘッド制御部８１が本発明に係る制御手段に相当し、ヘッド制御部８１と前述したドライバＩＣ７０とを合わせたものが、本発明に係る駆動手段に相当する。
【００５１】
ここで、圧電アクチュエータ３２の駆動方法について説明する。図９は、圧電アクチュエータ３２を駆動させる際の、下部電極５１、個別電極５２及び上部電極５４の電位の変化を示す図であり、（ａ）が下部電極５１、（ｂ）が個別電極５２、（ｃ）が上部電極５４の電位を示している。図１０は圧電アクチュエータ３２を駆動させたときのインクジェットヘッド３の様子を示す図である。圧電アクチュエータ３２は、ヘッド制御部８１に制御されたドライバＩＣ７０によって下部電極５１、個別電極５２及び上部電極５４に電位が付与されることで、以下に説明するように駆動される。
【００５２】
前述したように、本実施の形態においては、図９に示すように、下部電極５１がグランド電位（図９では「ＧＮＤ」で示している）に保持されているともに、上部電極５４が所定の正電位（図９では「＋Ｖ」で示している）に保持されている。そして、圧電アクチュエータ３２は、駆動していないときには、図９に示すように、個別電極５２がグランド電位に保持されている（第２状態となっている）。この状態では、図９（ａ）に示すように、個別電極５２と上部電極５４との間に電位差が発生し、この電位差により、圧電層４２の個別電極５２の上部電極５４とに挟まれた部分に、上部電極５４から個別電極５２に向かう厚み方向の電界が発生する（圧電層４２の圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界が付与される）。この電界の方向は、圧電層４２の分極方向と一致するため、圧電層４２のこの部分は、分極方向と直交する水平方向に収縮する（活性層となる）。一方、下部電極５１と個別電極５２とは同電位であるので、圧電層４１の下部電極５１と個別電極５２とに挟まれた部分には電界が発生せず（圧電層４１の圧力室１０と対向する部分には厚み方向の電界が付与されておらず）、圧電層４２のような収縮は起こらない（非活性層となる）。これにより、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分が、全体として圧力室１０側に凸となるように変形している。
【００５３】
ノズル１５からインクを吐出する際には、まず、図９に示すように、個別電極５２の電位をグランド電位から所定の正電位に切り替える（第１状態にする）。すると、図１０（ｂ）に示すように、個別電極５２と下部電極５１との間に電位差が発生し、この電位差により、圧電層４１の個別電極５２の下部電極５１とに挟まれた部分に、個別電極５２から下部電極５１に向かう厚み方向の電界が発生する（圧電層４１の圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界が付与される）。この電界の方向は、圧電層４１の分極方向と一致するため、圧電層４１のこの部分は、分極方向と直交する水平方向に収縮する（活性層となる）。一方、上部電極５４と個別電極５２とは同電位であるので、圧電層４２の上部電極５４と個別電極５２とに挟まれた部分には電界が発生せず（圧電層４２の圧力室１０と対向する部分には厚み方向の電界が付与されておらず）、圧電層４１のような収縮は起こらない（非活性層となる）。これにより、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分が、全体として圧力室１０と反対側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積が増加する。このため、圧力室１０内のインクの圧力が低下し、マニホールド流路１１から圧力室１０にインクが流れ込む。
【００５４】
さらに、所定時間Ｔ経過後、図９に示すように、個別電極５２の電位を所定の正電位からグランド電位に戻す（第２状態にする）。すると、圧電層４１、４２が再び、図１０（ａ）に示すように、圧力室１０側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積が低下する。このため、圧力室１０内のインクの圧力が増加し（圧力室１０内のインクに圧力が付与され）、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される（液体移送流路において液体が移送される）。
【００５５】
このように、圧電アクチュエータ３２においては、上述した第１状態と第２状態とを切り替えることにより、別の観点においては、圧電層４１と圧電層４２に対して、それらの圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界を選択的に付与することにより、圧電層４１、４２の圧力室１０に対向する部分を圧力室１０側及び圧力室１０と反対側に凸となるように変形させることができる、すなわち、圧電層４１、４２を大きく変形させることができる。したがって、上述したように、圧電層４１、４２を予め圧力室１０側に凸となるように変形させておき、圧電層４１、４２を一旦圧力室１０と反対側に凸となるように変形させてから再び圧力室１０側に凸となるように変形させることにより、圧力室１０の容積を大きく変化させることができ、その結果、圧力室１０内のインクに大きな圧力を付与することができる。これにより、ノズル１５から効率よくインクを吐出することが可能となる。
【００５６】
また、下部電極５１をグランド電位に保持し、上部電極５４を所定の正電位に保持しておき、個別電極５２の電位をグランド電位と所定の正電位との間で切り替えることにより、圧電アクチュエータ５２を駆動することができるため、圧電アクチュエータ３２を駆動するための制御が簡単になる。さらに、下部電極５１を複数の圧力室１０にまたがって配置された１つの電極とすることができるとともに、複数の上部電極５４に対して個別に配線を設ける必要がないため、下部電極５１及び複数の上部電極５４に接続される配線の構成を簡単にすることができる。
【００５７】
さらに、圧電層４１、４２に生じる電界の方向が、圧電層４１、４２の分極方向と一致しているため、圧電層４１、４２の厚み方向の分極が弱まってしまうことがない。
【００５８】
以上に説明した実施の形態によると、下部電極５１をグランド電位に保持し、上部電極５４を所定の正電位に保持しておき、この状態で、個別電極５２をグランド電位にすることにより、言い換えれば、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界を付与するとともに、圧電層４１の圧力室１０と対向する部分には厚み方向の電界を付与しないことにより、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分を圧力室１０側に凸となるように変形させることができる。さらに、個別電極５２を所定の正電位にすることにより、言い換えれば、圧電層４１の圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界を付与するとともに、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分には厚み方向の電界を付与しないことにより、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分を圧力室１０と反対側に凸となるように変形させることができる。これにより、圧力室１０の容積を大きく変化させて、圧力室１０内のインクに大きな圧力を付与することが可能となる。
【００５９】
また、下部電極５１をグランド電位に保持し、上部電極５４を所定の正電位に保持しておき、個別電極５２の電位をグランド電位と所定の正電位との間で切り替えることにより、圧電アクチュエータ３２を駆動することができるので、圧電アクチュエータ３２を容易に駆動することができる。さらに、下部電極５１を複数の圧力室１０にまたがって形成された１つの電極とすることができるとともに、複数の上部電極５４に対して個別に配線を設ける必要がないので、下部電極５１及び上部電極５４に接続される配線を簡単にすることができる。
【００６０】
また、個別電極５２をグランド電位にしたときには、上部電極５４から個別電極５２に向かって電界が発生し、この電界の向きが圧電層４２の分極方向と一致する。一方、個別電極５２を所定の正電位としたときには、個別電極５２から下部電極５１に向かって電界が発生し、この電界の向きが圧電層４１の分極方向と一致する。したがって、下部電極５１、個別電極５２及び上部電極５４の間の電位差によって生じた電界によって圧電層４１、４２の厚み方向の分極が弱まってしまうことがない。
【００６１】
また、圧電層４１の下面に下部電極５１を覆う絶縁層４０が形成されているため、下部電極５１と圧力室１０内のインクとが接触することがなく、下部電極５１が圧力室１０内のインクによって腐食してしまうのが防止される。
【００６２】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものには同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００６３】
圧電アクチュエータ３２の駆動方法は、実施の形態のものには限られない。例えば、一変形例では、圧電アクチュエータ３２において、図１１に示すように、個別電極５２を予め所定の正電位に保持して（第１状態にして）、言い換えれば、圧電層４１の圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界を付与するとともに、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分には厚み方向の電界を付与しないことにより、図１０（ｂ）に示すように、圧電層４１、４２を圧力室１０と反対側に凸となるように変形させておく。そして、この状態から、図１１に示すように、個別電極５２の電位をグランド電位に切り替えて（第２状態にして）、言い換えれば、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界を付与するとともに、圧電層４１の圧力室１０と対向する部分には厚み方向の電界を付与しないことにより、図１２（ａ）に示すように、圧電層４１、４２を圧力室１０側に凸となるように変形させ、圧力室１０内のインクの圧力を増加させてノズル１５からインクを吐出させる（変形例１）。なお、この場合には、個別電極５２の電位をグランド電位に切り替えてから所定時間Ｔが経過した後に、個別電極５２の電位を所定の正電位に戻す。
【００６４】
この場合でも、個別電極５２の電位を所定の正電位からグランド電位に切り替えることにより、圧電層４１、４２は、圧力室１０と反対側に凸となるように変形した状態から圧力室１０側に凸となるように変形した状態に切り替わるため、圧力室１０の容積変化量が大きくなり、圧力室１０内のインクに大きな圧力を付与することができる。これにより、ノズル１５から効率よくインクを吐出することができる。
【００６５】
また、本実施の形態では、下部電極５１を常にグランド電位に保持するとともに、複数の上部電極５４を常に所定の正電位の保持していたが、これには限られない。別の一変形例では、図１２に矢印で示すように、圧電層４１が下部電極５１から個別電極５２に向かう方向に分極されており、圧電層４２が個別電極５２から上部電極５４に向かう方向に分極されている。すなわち、圧電層４１、４２は、実施の形態とは反対方向に分極されている。そして、図１３に示すように、下部電極５１が常に所定の正電位（第１電位）に、複数の上部電極５４が常にグランド電位（第１電位よりも低い第２電位）に、それぞれ保持されており、ノズル１５からインクを吐出しないときには、個別電極５２が所定の正電位に保持されている（第２状態となっている）。言い換えれば、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界付与されているとともに、圧電層４１の圧力室１０と対向する部分には厚み方向の電界が付与されていない。これにより、図１２（ａ）に示すように、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分が、全体として圧力室１０側に凸となるように変形している（変形例２）。
【００６６】
この場合には、ノズル１５からインクを吐出する際には、図１３に示すように、個別電極５２の電位を所定の正電位からグランド電位に切り替える（第１状態にする）ことにより、言い換えれば、圧電層４１の圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界を付与するとともに、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分には厚み方向の電界を付与しないことにより、図１２（ｂ）に示すように、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分を、全体として圧力室１０と反対側に凸となるように変形させる。その後、所定時間Ｔが経過したときに、個別電極５２の電位をグランド電位から所定の正電位に戻す（第２状態にする）ことにより、言い換えれば、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界を付与するとともに、圧電層４１の圧力室１０と対向する部分には厚み方向の電界を付与しないことにより、図１２（ａ）に示すように、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分を、全体として圧力室１０側に凸となるように変形させて、ノズル１５からインクを吐出させる。
【００６７】
このように、変形例２の場合にも、圧電層４１、４２の圧力室１０に対向する部分を圧力室１０側及び圧力室１０と反対側に凸となるように変形させることができる、すなわち、圧電層４１、４２を大きく変形させることができるので、実施の形態と同様、ノズル１５から効率よくインクを吐出することができる。
【００６８】
なお、この場合でも、圧電層４１、４２に生じる電界の方向が、圧電層４１、４２の分極方向と一致しているため、圧電層４１、４２の厚み方向の分極が弱まってしまうことがない。
【００６９】
さらに、この場合には、下部電極５１が所定の正電位に保持されているため、下部電極５１が圧力室１０に露出していると、下部電極５１の電位によって圧力室１０内のインクにおいて電気分解が発生してしまう虞があるが、実施の形態と同様、下部電極５１が絶縁層４０に覆われているため、圧力室１０内のインクにおいて電気分解が発生することが防止される。
【００７０】
また、本実施の形態では、複数の圧力室１０に対応して複数の上部電極５４を設け、複数の上部電極５４を配線部５６により互いに導通させていたが、これには限られない。別の一変形例では、図１４に示すように、圧電層４２の上面に、接点５３、５５を避けるように、複数の圧力室１０に対向する部分にまたがって連続的に配置された１つの上部電極９４が形成されている（変形例３）。この場合には、上部電極９４のうち、複数の圧力室１０に対向する部分が、それぞれ、本発明に係る第２電極に相当し、上部電極９４を所定の正電位に保持することにより、第２電極も所定の正電位に保持される。
【００７１】
また、電極の配置は実施の形態のものには限られない。例えば、別の一変形例では、図１５に示すように、圧電層４１の下面の複数の圧力室１０と対向する部分に、複数の個別電極１０１（第１電極）が形成されており、圧電層４１と圧電層４２との間に、その全域にまたがって共通電極１０２が形成されており、圧電層４２の上面の複数の圧力室１０と対向する部分に、複数の個別電極１０３（第２電極）が形成されている。そして、共通電極１０２は常にグランド電位に保持されており、複数の個別電極１０１及び複数の個別電極１０３には、それぞれ、個別に駆動電位を付与することができるようになっている（変形例４）。
【００７２】
また、変形例４においては、図１７の矢印で示すように、圧電層４１は、その下面から上面に向かって厚み方向に分極されており、圧電層４２は、その上面から下面に向かって厚み方向に分極されている。なお、共通電極１０２のうち、複数の圧力室１０と対向する部分が、それぞれ、本発明に係る第３電極に相当する。
【００７３】
図１６は、変形例４において圧電アクチュエータを駆動させる際の、共通電極１０２及び個別電極１０１、１０３の電位の変化を示す図であり、（ａ）が個別電極１０１、（ｂ）が共通電極１０２、（ｃ）が個別電極１０３の電位の変化をそれぞれ示している。図１７は、変形例４において、圧電アクチュエータを駆動したときの、インクジェットヘッドの様子を示す図である。
【００７４】
変形例４においては、ノズル１５からインクを吐出しないときには、図１６に示すように、個別電極１０１、１０３をともにグランド電位に保持しておく。これにより、圧電層４１、４２には厚み方向の電界が発生せず、図１７（ａ）に示すように、圧電層４１、４２は変形していない。
【００７５】
ノズル１５からインクを吐出する際には、まず、図１６に示すように、個別電極１０１の電位をグランド電位から所定の正電位に切り替える（第１状態にする）。このとき、個別電極１０３の電位はグランド電位に保持したままにしておく。すると、図１７（ｂ）に示すように、個別電極１０１と共通電極１０２との間に電位差が生じ、圧電層４１の個別電極１０１と共通電極１０２とに挟まれた部分に、圧電層４１の分極方向と一致する、個別電極１０１から共通電極１０２に向かう方向の電界が発生する（圧電層４１の圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界が付与される）。一方、個別電極１０３と共通電極１０２とは同電位であるため、圧電層４２には電界が発生しない（圧電層４２の圧力室１０と対向する部分には厚み方向の電界が付与されない）。したがって、実施の形態と同様、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０と反対側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積が増加する。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が低下し、マニホールド流路１１から圧力室１０にインクが流れ込む。
【００７６】
そして、所定時間Ｔ経過後、図１６に示すように、個別電極１０１の電位を所定の正電位からグランド電位に切り替え、個別電極１０１の電位がグランド電位となったタイミングで個別電極１０３の電位をグランド電位から所定の正電位に切り替える（第２状態にする）。すると、図１７（ｃ）に示すように、個別電極１０３と共通電極１０２との間に電位差が生じ、圧電層４１の個別電極１０３と共通電極１０２とに挟まれた部分に、圧電層４２の分極方向と一致する、個別電極１０３から共通電極１０２に向かう方向の電界が発生する（圧電層４２の圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界が付与される）。一方、個別電極１０１と共通電極１０２とは同電位であるため、圧電層４１には電界が発生しない（圧電層４１の圧力室１０と対向する部分に厚み方向の電界が付与されない）。したがって、実施の形態と同様、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積が低下する。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が増加し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。
【００７７】
この場合でも、圧電層４１、４２の圧力室１０に対向する部分を、圧力室１０側及び圧力室１０と反対側に凸となるように変形させることができるため、圧力室１０内のインクに大きな圧力を付与することができる。これにより、ノズル１５から効率よくインクを吐出することができる。
【００７８】
なお、この場合でも、圧電層４１、４２に生じる電界の方向が、圧電層４１、４２の分極方向と一致しているため、圧電層４１、４２の厚み方向の分極が弱まってしまうことがない。
【００７９】
また、本実施の形態では、圧電層４１の下面に絶縁層４０が配置されており、絶縁層４０により、下部電極５１が圧力室１０内のインクに接触してしまうのが防止されていたが、図１８に示すように、絶縁層４０が設けられていなくてもよい（変形例５）。なお、この場合には、下部電極５１が圧力室１０内のインクと接触しており、変形例１のように下部電極５１を所定の正電位に保持すると、下部電極５１の電位によって、圧力室１０内のインクにおいて電気分解が発生してしまう虞があるため、実施の形態と同様、下部電極５１の電位を常にグランド電位に保持しておくことが好ましい。
【００８０】
また、以上の説明では、圧電層４１、４２の分極方向が、圧電層４１、４２に発生する（付与される）電界の向きと一致していたが、圧電層４１、４２の分極方向と圧電層４１、４２に発生する（付与される）電界の向きとが逆向きであってもよい。この場合には、圧電層４１に電界が発生すると（付与されると）、圧電層４１の圧力室１０と対向する部分が水平方向に伸長し、これに伴って圧電層４１及び圧電層４２の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０側に凸となるように変形し、圧電層４２に電界が発生すると（付与されると）、圧電層４２の圧力室１０と対向する部分が水平方向に伸長し、圧電層４１、４２の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０と反対側に凸となるように変形する。すなわち、圧電層４１、４２が、実施の形態の場合とは、反対方向に変形する。ただし、この場合には、圧電層４１、４２に発生した（付与された）電界により圧電層４１、４２の厚み方向の分極が弱まってしまうのを防止するために、個別電極５２及び上部電極５４に付与する所定の正電位は低い電位であることが好ましい。
【００８１】
また、本実施の形態では、下部電極５１をグランド電位に保持し、上部電極５４を所定の正電位に保持した状態で、個別電極５２の電位をグランド電位と所定の正電位との間で切り替えることにより圧電アクチュエータ３２を駆動させたが、下部電極５１をグランド電位とは異なる所定の電位（第１電位）に保持し、上部電極５４をグランド電位及び第１電位とは異なる所定の電位（第２電位）に保持した状態で、個別電極５２の電位を上記第１電位と第２電位との間で切り替えてもよい。
【００８２】
また、本実施の形態では、下部電極５１を複数の圧力室１０にまたがって配置された１つの電極とするとともに、複数の上部電極５４を配線部５６により互いに接続させていたが、下部電極５１の代わりに、圧電層４１の下面に複数の圧力室１０に対向し、個別にドライバＩＣ７０と接続された複数の下部電極（第１電極）を設けるとともに、圧電層４２の上面に配線部５６を設けず、複数の上部電極５４とドライバＩＣ７０とを個別に接続し、各圧力室１０に対応する下部電極、個別電極５２及び上部電極５４の電位を、それぞれ個別に制御することによって、圧電層４１の圧力室１０に対向する部分に厚み方向の電界が発生するとともに、圧電層４２には厚み方向の電界が生じない状態（第１状態）と、圧電層４２の圧力室１０に対向する部分に厚み方向の電界が発生するとともに、圧電層４１には厚み方向の電界が生じない状態（第２状態）とを切り替えてもよい。
【００８３】
また、本実施の形態、及び、変形例４を除いた変形例においては、第１電極と第３電極との間に電位差が発生するとともに、第２電極と第３電極とが同電位となった状態（第１状態）と、第２電極と第３電極との間に電位差が発生するとともに、第１電極と第３電極とが同電位となった状態（第２状態）のいずれか一方のみを選択的にとることができるように構成されていたが、これら第１状態及び第２状態に加え、第１電極、第２電極及び第３電極が全て同電位（例えば、グランド電位）となった状態をとることができるように構成されており、これら３つの状態を切り替えることによって、圧力室１０内のインクに圧力を付与してもよい。なお、第１電極、第２電極及び第３電極が全て同電位の状態では、圧電層４１、４２のいずれにも厚み方向の電界は発生せず、圧電層４１、４２は変形しない。
【００８４】
また、以上の説明では、本発明に係る液体移送装置、液体移送ヘッド及び圧電アクチュエータを圧力室内のインクの圧力を変化させてノズル１５からインクを吐出するプリンタのインクジェットヘッドに適用した例について説明したが、本発明に係る液体移送装置、液体移送ヘッド及び圧電アクチュエータを、インク以外の液体を移送する液体移送装置に適用することも可能である。あるいは、本発明に係る圧電アクチュエータを圧電層の変形により、駆動対象を駆動させる圧電アクチュエータに適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明における実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２において上側の圧電層を除いた図である。
【図４】図２において２枚の圧電層を除いた図である。
【図５】図２の部分拡大図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図７】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。
【図８】図１の制御装置のブロック図である。
【図９】圧電アクチュエータを駆動させる際の各電極の電位を変化を示す図である。
【図１０】圧電アクチュエータを駆動させたときのインクジェットヘッドの状態を示す図である。
【図１１】変形例１の図９相当の図である。
【図１２】変形例２の図１０相当の図である。
【図１３】変形例２の図９相当の図である。
【図１４】変形例３の図２相当の図である。
【図１５】変形例４の図７相当の図である。
【図１６】変形例４の図９相当の図である。
【図１７】変形例４の図１０相当の図である。
【図１８】変形例５の図７相当の図である。
【符号の説明】
【００８６】
３  インクジェットヘッド
１０  圧力室
１１  マニホールド流路
１２、１３、１４  貫通孔
１５  ノズル
３０  流路ユニット
３１  圧電アクチュエータ
４０  絶縁層
４１、４２  圧電層
５１  下部電極
５２  個別電極
５４  上部電極
７０  ドライバＩＣ
８１  ヘッド制御部
９４  上部電極
１００  制御装置
１０１、１０３  個別電極
１０２  共通電極
【図１】
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【図２】
0004924335.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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