(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷媒配管によって互いに接続される圧縮機、凝縮器、膨張弁及び蒸発器を有する冷凍機と、蒸発器の空気出口面から流れ出る冷空気を加熱する電気ヒータとを備え、冷凍機と電気ヒータの協働によって設定温度に調整された温調空気を吹き出すように構成される空気温調装置において、蒸発器の空気出口面に対向配置され、その空気出口面からの冷空気が通過する複数の通気口を有する伝熱板と、この伝熱板の温度を検出する伝熱板温度センサと、この伝熱板温度センサの検出温度が設定温度に対し所定値だけ低い温度となるように圧縮機を制御する制御器とを備えたことを特徴とする空気温調装置。
【請求項２】
伝熱板は、各通気口を通過した冷空気同士が混ざるように、各通気口を通過する冷空気の流れ方向を変化させる空気流れ方向変化手段を備えるものとしたことを特徴とする請求項１記載の空気温調装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度調整された温調空気を送出する空気温調装置に関し、特にクリーンルーム等の室内温度を精密に調整する空気温調装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図６に示すように、この種の従来の空気温調装置１０１は、冷媒配管によって互いに接続される圧縮機１０２、凝縮器１０３、膨張弁１０４及び蒸発器１０５を有する冷凍機１０６と、蒸発器１０５の空気出口面１０５ａから流れ出る冷空気Ｑ１を加熱する電気ヒータ１０７とを備えている。
冷凍機１０６においては、圧縮機１０２から送り出された高温・高圧の冷媒蒸気を凝縮器１０３にて冷却・液化し、液化された高圧の冷媒を膨張弁１０４で減圧した後に蒸発器１０５で気化させることにより、蒸発器１０５において冷媒との熱交換により空気を冷却するようにされている。
そして、この空気温調装置１０１においては、送風機１０８の作動により、空気吸込口１０９から吸い込まれた空気Ｑ０が蒸発器１０５に導入され、蒸発器１０５に導入された空気は該蒸発器１０５によって冷却され、蒸発器１０５によって冷却された空気は冷空気Ｑ１として該蒸発器１０５の空気出口面１０５ａから流れ出され、空気出口面１０５ａから流れ出た冷空気Ｑ１は電気ヒータ１０７によって加熱される。
こうして、冷凍機１０６と電気ヒータ１０７の協働によって精密に温度調整された温調空気Ｑ２は、空気吹出口１１０から吹き出され、図示されないクリーンルーム等に導入される。
【０００３】
蒸発器１０５と電気ヒータ１０７との間には、蒸発器１０５の空気出口面１０５ａから流れ出る冷空気Ｑ１の温度を検出する蒸発器出口温度センサ１１１が設けられている。
また、空気吹出口１１０の付近には、送風機１０８により送り出される温調空気Ｑ２の温度を検出する吹出口温度センサ１１２が設けられている。
【０００４】
蒸発器出口温度センサ１１１の温度検出信号〔Ｔ１〕は第１の制御器１１３に送られる一方、吹出口温度センサ１１２の温度検出信号〔Ｔ２〕は第２の制御器１１４に送られる。
そして、第１の制御器１１３は、設定温度ＴＳに対し所定値（例えば、１℃）だけ低い温度を制御目標値ＷＳ１として定め、この制御目標値ＷＳ１に、温度検出信号〔Ｔ１〕から得られる温度検出値Ｔ１を一致させるように制御信号〔ＭＶ〕を出力して圧縮機１０２の出力を制御する。
また、第２の制御器１１４は、設定温度ＴＳを制御目標値ＷＳ２として定め、この制御目標値ＷＳ２に、温度検出信号〔Ｔ２〕から得られる温度検出値Ｔ２を一致させるように制御信号〔ＨＡ〕を出力して電気ヒータ１０７の出力を制御する。
【０００５】
この空気温調装置１０１によれば、蒸発器１０５の空気出口面１０５ａから流れ出る冷空気Ｑ１の温度が設定温度ＴＳに対し所定値だけ低い温度となるように圧縮機１０２が制御されるとともに、温調空気Ｑ２の温度が該設定温度ＴＳとなるように電気ヒータ１０７が制御されるので、冷凍機１０６による無駄な冷却を大幅に削減することができるとともに、電気ヒータ１０７の容量を小さくすることができ、これによって省エネルギ化を図ることができる。
【０００６】
なお、蒸発器１０５の空気出口面１０５ａから流れ出る冷空気Ｑ１の温度が設定温度ＴＳに対し所定値だけ低い温度となるように圧縮機１０２を制御するとともに、温調空気Ｑ２の温度が該設定温度ＴＳとなるように電気ヒータ１０７を制御するようにした技術は、例えば特許文献１にて提案されている。
【特許文献１】特開２００４−３５３９１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、蒸発器１０５の空気出口面１０５ａから流れ出る冷空気Ｑ１は、蒸発器１０５の構造上、その空気出口面１０５ａの面方向における温度分布にばらつきがあり、該空気出口面１０５ａに対する蒸発器出口温度センサ１１１の配置場所によって検出温度が異なる。
したがって、ある特定の配置場所に位置された蒸発器出口温度センサ１１１が冷空気Ｑ１の全体の温度を正確に検出しているとは言えず、蒸発器出口温度センサ１１１の検出温度は信頼性が低いと言わざるを得ない。
【０００８】
このため、この従来の空気温調装置１０１では、蒸発器出口温度センサ１１１による信頼性の低い検出温度を制御パラメータとして圧縮機制御を行っていることになり、温調精度の悪化を招くという問題があった。
【０００９】
本発明は、上記従来の空気温調装置の有する問題点に鑑み、蒸発器の空気出口面から流れ出る冷空気の温度分布のばらつきによる温調精度への悪影響を低く抑えることができる空気温調装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の空気温調装置は、冷媒配管によって互いに接続される圧縮機、凝縮器、膨張弁及び蒸発器を有する冷凍機と、蒸発器の空気出口面から流れ出る冷空気を加熱する電気ヒータとを備え、冷凍機と電気ヒータの協働によって設定温度に調整された温調空気を吹き出すように構成される空気温調装置において、蒸発器の空気出口面に対向配置され、その空気出口面からの冷空気が通過する複数の通気口を有する伝熱板と、この伝熱板の温度を検出する伝熱板温度センサと、この伝熱板温度センサの検出温度が設定温度に対し所定値だけ低い温度となるように圧縮機を制御する制御器とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
この場合において、伝熱板は、各通気口を通過した冷空気同士が混ざるように、各通気口を通過する冷空気の流れ方向を変化させる空気流れ方向変化手段を備えるものとすることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の空気温調装置によれば、蒸発器の空気出口面から流れ出る冷空気の温度分布にばらつきがあったとしても、伝熱板での熱伝導にてその温度分布のばらつきが平均化された温度が伝熱板温度センサによって検出され、この検出温度を制御パラメータとして圧縮機制御が行われるので、蒸発器の空気出口面から流れ出る冷空気の温度分布のばらつきによる温調精度への悪影響を低く抑えることができる。
【００１３】
また、伝熱板は、各通気口を通過した冷空気同士が混ざるように、各通気口を通過する冷空気の流れ方向を変化させる空気流れ方向変化手段を備えるものとすることにより、各通気口を通過した冷空気同士が混合されて均一な温度分布の冷空気とされるので、温度分布のばらつきによる温調精度への悪影響を一層低く抑えることができる。さらに、冷空気を電気ヒータにて設定温度にまで加熱する加熱制御が正確に行われることとなり、温調精度をより高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の空気温調装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１〜図２に、本発明の空気温調装置の第１実施例を示す。
この空気温調装置１は、図１に示すように、空気温調装置１の主要構成機器を収容する筺体２に空気吸込口３及び空気吹出口４をそれぞれ設け、これら空気吸込口３及び空気吹出口４の間における空気流れ経路の上流側（図１では左側）から下流側（図１では右側）に向けて順に蒸発器５、電気ヒータ６及び送風機７をそれぞれ配置し、送風機７の作動により、空気吸込口３から吸い込まれた空気を蒸発器５及び電気ヒータ６をそれぞれ経由させて空気吹出口４から吹き出すようにしている。
【００１６】
蒸発器５の冷媒導入ポートは、冷媒配管８ａを介して膨張弁９の冷媒導出ポートに接続され、膨張弁９の冷媒導入ポートは、冷媒配管８ｂを介して凝縮器１０の冷媒導出ポートに接続され、凝縮器１０の冷媒導入ポートは、冷媒配管８ｃを介して圧縮機１１の冷媒導出ポートに接続され、圧縮機１１の冷媒導入ポートは、冷媒配管８ｄを介して蒸発器５の冷媒導出ポートに接続されている。
これら冷媒配管８ａ〜８ｄによって互いに接続される圧縮機１１、凝縮器１０、膨張弁９及び蒸発器５により冷凍機１５が構成されている。
この冷凍機１５においては、圧縮機１１から送り出された高温・高圧の冷媒蒸気を凝縮器１０にて冷却・液化し、液化された高圧の冷媒を膨張弁９で減圧した後に蒸発器５で気化させることにより、蒸発器５において冷媒との熱交換により空気を冷却するようにされている。
【００１７】
圧縮機１１は、インバータ制御にてその出力（回転数）が例えば２０〜１００％の範囲で可変とされる圧縮機駆動モータ１６と、この圧縮機駆動モータ１６により回転駆動されるスクロールコンプレッサ１７とが一体化された密閉型電動圧縮機であって、圧縮機駆動モータ１６に与えられる制御信号〔ＭＶ〕に応じてその圧縮機駆動モータ１６の回転が制御され、これにより圧縮機１１の出力、言い換えれば冷凍機１５の冷却能力が制御されるようになっている。
【００１８】
電気ヒータ６は、図示による詳細説明は省略するが、略Ｕの字形状に折り曲げ形成された公知構造のシーズヒータを備えてなるものであって、電気ヒータ６に与えられる制御信号〔ＨＡ〕に応じて電気ヒータ６の加熱出力が制御されるようになっている。
【００１９】
蒸発器５と電気ヒータ６との間における蒸発器５寄りの位置には、蒸発器５の空気出口面５ａに対し所定間隔を存して向き合うように伝熱板２０が配設されている。
この伝熱板２０は、熱伝導率が高い材料、例えばアルミニウム、銅、鉄などの金属材料（合金系も含む）で作製され、図２に示すように、蒸発器５の空気出口面５ａの大きさに合わせた内側寸法に設定される四角形状枠部材２１と、この四角形状枠部材２１の内側において網状に組まれた多数の線状部材２２とが一体的に繋がれて構成されている。
なお、伝熱板２０を構成する材料としては、熱伝導率が高い材料であれば、上記に例示列挙したような金属材料のみならず、例えば樹脂材料や、樹脂−金属系の複合材料などを用いることができる。
この伝熱板２０においては、四角形状枠部材２１の内側で多数の線状部材２２が網状に組まれることにより、蒸発器５の空気出口面５ａからの冷空気Ｑ１が通過する多数の通気口２３が形成されている。
本実施例においては、伝熱板２０を四角形状枠部材２１からなる四角形状としたが、例えば、円形状枠部材（図示省略）からなる円形状とすることもできる。そして、伝熱板を円形状とした場合には、これを円形状枠部材の中心を回転中心として回転するように構成することもでき、これにより、伝熱板の温度分布の均一化を図ることができる。なお、伝熱板を円形状とし、これを円形状枠部材の中心を回転中心として回転するように構成した場合には、後述の伝熱板の温度を検出する伝熱板温度センサには、非接触式の温度センサを用いるようにする。
【００２０】
図１に示すように、伝熱板２０における、蒸発器５の空気出口面５ａに臨ませた板面２０ｂの反対側の板面２０ａには、図２に示すように、その中心部に、伝熱板２０の温度を検出する伝熱板温度センサ２５が固定されている。
一方、図１に示すように、空気吹出口４の付近には、冷空気Ｑ１が電気ヒータ６によって加熱された後の温調空気Ｑ２の温度を検出する吹出口温度センサ２６が配置されている。
伝熱板温度センサ２５の温度検出信号〔Ｔ１〕及び吹出口温度センサ２６の温度検出信号〔Ｔ２〕はそれぞれ制御装置３０に送られる。
なお、伝熱板２０に対する伝熱板温度センサ２５の固定部位は特に限定されるものではなく、伝熱板２０の適宜部位に伝熱板温度センサ２５を固定することができる。
【００２１】
制御装置３０は、圧縮機駆動モータ１６に対し制御信号〔ＭＶ〕を出力して圧縮機１１の出力を制御する第１の制御器３１と、電気ヒータ６に対し制御信号〔ＨＡ〕を出力して電気ヒータ６の出力を制御する第２の制御器３２とを備えて構成されている。
第２の制御器３２には、例えばタッチパネル形式の操作部を有する入力装置３３が付設されている。
この入力装置３３の操作にて温調空気温度の目標値である設定温度ＴＳが第２の制御器３２に与えられたとき、第２の制御器３２は、設定温度ＴＳを制御目標値ＷＳ２として定めるとともに、設定温度ＴＳを制御指令値ＣＳとして第１の制御器３１に向けて送信するようになっている。
第１の制御器３１は、第２の制御器３２からの制御指令値ＣＳを補正する補正機能を有しており、制御指令値ＣＳを補正した補正後の制御指令値ＣＳ′を制御目標値ＷＳ１として定めるようになっている。
【００２２】
以上に述べたように構成される第１実施例の空気温調装置１において、送風機７を作動させると、筺体２の外側の空気Ｑ０が空気吸込口３から蒸発器５に導入され、蒸発器５に導入された空気は、蒸発器５によって冷却され、蒸発器５によって冷却された空気は冷空気Ｑ１として蒸発器５の空気出口面５ａから流れ出される。
蒸発器５の空気出口面５ａから流れ出た冷空気Ｑ１は、伝熱板２０における多数の通気口２３（図２参照）を通過した後に、電気ヒータ６によって加熱され、温調空気Ｑ２として空気吹出口４から筺体２の外側に送り出される。
なお、空気吹出口４から筺体２の外側に送り出された温調空気Ｑ２は、図示されないクリーンルーム等に導入される。
【００２３】
また、この第１実施例の空気温調装置１において、入力装置３３の操作にて温調空気温度の目標値である設定温度ＴＳが第２の制御器３２に与えられたとき、第２の制御器３２は、設定温度ＴＳを制御目標値ＷＳ２として定めるとともに、設定温度ＴＳを制御指令値ＣＳとして第１の制御器３１に向けて送信する。
【００２４】
第１の制御器３１は、伝熱板温度センサ２５からの温度検出信号〔Ｔ１〕を取り込むとともに第２の制御器３２からの制御指令値ＣＳ（＝ＴＳ）を読み込み、補正値αを−１℃（これに限定されるものではない。）としてその制御指令値ＣＳ（＝ＴＳ）を補正し、補正後の制御指令値ＣＳ′（＝ＴＳ−１）を制御目標値ＷＳ１として定め、この制御目標値ＷＳ１（＝ＴＳ−１）に、温度検出信号〔Ｔ１〕から得られる温度検出値Ｔ１を一致させるようにＰＩＤ制御演算を行い、その演算結果に基づく制御信号〔ＭＶ〕を圧縮機駆動モータ１６に向けて出力する。
一方、第２の制御器３２は、吹出口温度センサ２６からの温度検出信号〔Ｔ２〕を取り込み、温度検出信号〔Ｔ２〕から得られる温度検出値Ｔ２を制御目標値ＷＳ２（＝ＴＳ）に一致させるようにＰＩＤ制御演算を行い、その演算結果に基づく制御信号〔ＨＡ〕を電気ヒータ６に向けて出力する。
【００２５】
ところで、蒸発器５の空気出口面５ａから流れ出る冷空気Ｑ１は、蒸発器５の構造上、その空気出口面５ａの面方向における温度分布にばらつきがあり、この温度分布にばらつきのある冷空気Ｑ１が伝熱板２０に吹き付けられることになる。
【００２６】
たとえ、温度分布にばらつきのある冷空気Ｑ１が伝熱板２０に吹き付けられたとしても、伝熱板２０での熱伝導にてその温度分布のばらつきが平均化された温度が伝熱板温度センサ２５によって検出され、この検出温度を制御パラメータとして圧縮機駆動モータ１６の制御が行われることになる。
【００２７】
第１実施例の空気温調装置１によれば、蒸発器５の空気出口面５ａから流れ出る冷空気Ｑ１の温度分布にばらつきがあったとしても、伝熱板２０での熱伝導にてその温度分布のばらつきが平均化された温度が伝熱板温度センサ２５によって検出され、この検出温度を制御パラメータとして圧縮機１１の出力制御が行われるので、蒸発器５の空気出口面５ａから流れ出る冷空気Ｑ１の温度分布のばらつきによる温調精度への悪影響を低く抑えることができる。
【実施例２】
【００２８】
図３〜図４に、本発明の空気温調装置の第２実施例を示す。
なお、この第２実施例の空気温調装置１Ａは、上述の第１実施例の空気温調装置１と伝熱板の構成が異なるのみでその他の構成については基本的に同じである。
したがって、第２実施例の空気温調装置１Ａにおいて、第１実施例の空気温調装置１と同一又は同様のものについては図に同一符号を付すに留めてその詳細な説明を省略することとし、以下においては第１実施例の空気温調装置１と異なる点を中心に説明することとする。
【００２９】
この第２実施例の空気温調装置１Ａにおいては、図３に示すように、蒸発器５と電気ヒータ６との間における蒸発器５寄りの位置に、蒸発器５の空気出口面５ａに対し所定間隔を存して向き合うように配設される伝熱板４０を、温度分布にばらつきのある冷空気Ｑ１の混合促進のために機能させ、電気ヒータ６によって加熱される前の冷空気Ｑ１の温度分布が均一になるようにしている。
【００３０】
伝熱板４０は、上述した伝熱板２０と同様に、熱伝導率が高い材料、例えばアルミニウム、銅、鉄などの金属材料（合金系も含む）で作製されている。
この伝熱板４０は、図４（ａ）に示すように、伝熱板本体４１を備え、この伝熱板本体４１は、蒸発器５の空気出口面５ａの大きさに合わせた内側寸法に設定される四角形状枠部材４２と、この四角形状枠部材４２の内側において縦骨材４３及び横骨材４４が縦横に交差するように組まれなる正面視十の字形状の十文字状骨組部材４５とが一体的に繋がれて構成されている。
この伝熱板４０の温度を検出する伝熱板温度センサ２５は、図３に示すように、伝熱板４０における、蒸発器５の空気出口面５ａに臨ませた板面４０ｂの反対側の板面４０ａ側に配され、図４（ａ）に示すように、十文字状骨組部材４５を構成する縦骨材４３及び横骨材４４の交差部に固定されている。
【００３１】
伝熱板本体４１においては、四角形状枠部材４２と十文字状骨組部材４５とにより、蒸発器５の空気出口面５ａから流れ出る冷空気Ｑ１が通過する通気口として、図４（ａ）においてその左上部に位置する第１通気口５１と、図４（ａ）においてその左下部に位置する第２通気口５２と、図４（ａ）においてその右下部に位置する第３通気口５３と、図４（ａ）においてその右上部に位置する第４通気口５４とが形成されている。
そして、蒸発器５の空気出口面５ａから流れ出る冷空気Ｑ１は、伝熱板本体４１により、第１通気口５１を通過する冷空気Ｑ１１と、第２通気口５２を通過する冷空気Ｑ２１と、第３通気口５３を通過する冷空気Ｑ３１と、第４通気口５４を通過する冷空気Ｑ４１とに分けられることになる。
【００３２】
図４（ｂ）に示すように、第１通気口５１には、第２通気口５２側に傾くように伝熱板本体４１に一体的に設けられる所要枚数のルーバ羽根６１が配置されている。
各ルーバ羽根６１は、第１通気口５１を通過した冷空気Ｑ１１が第２通気口５２を通過した冷空気Ｑ２１に合流するように、第１通気口５１を通過する冷空気Ｑ１１の流れ方向を変化させる役目をする。
【００３３】
図４（ｃ）に示すように、第２通気口５２には、第３通気口５３側に傾くように伝熱板本体４１に一体的に設けられる所要枚数のルーバ羽根６２が配置されている。
各ルーバ羽根６２は、第２通気口５２を通過した冷空気Ｑ２１が第３通気口５３を通過した冷空気Ｑ３１に合流するように、第２通気口５２を通過する冷空気Ｑ２１の流れ方向を変化させる役目をする。
【００３４】
図４（ｄ）に示すように、第３通気口５３には、第４通気口５４側に傾くように伝熱板本体４１に一体的に設けられる所要枚数のルーバ羽根６３が配置されている。
各ルーバ羽根６３は、第３通気口５３を通過した冷空気Ｑ３１が第４通気口５４を通過した冷空気Ｑ４１に合流するように、第３通気口５３を通過する冷空気Ｑ３１の流れ方向を変化させる役目をする。
【００３５】
図４（ｅ）に示すように、第４通気口５４には、第１通気口５１側に傾くように伝熱板本体４１に一体的に設けられる所要枚数のルーバ羽根６４が配置されている。
各ルーバ羽根６４は、第４通気口５４を通過した冷空気Ｑ４１が第１通気口５１を通過した冷空気Ｑ１１に合流するように、第４通気口５４を通過する冷空気Ｑ４１の流れ方向を変化させる役目をする。
【００３６】
これらルーバ羽根６１，６２，６３，６４により、図３中記号Ｒで示すような旋回流が発生され、各通気口５１，５２，５３，５４を通過した各冷空気Ｑ１１，Ｑ２１，Ｑ３１，Ｑ４１が混合される。
なお、各ルーバ羽根６１，６２，６３，６４が、本発明における「空気流れ方向変化手段」に相当する。
【００３７】
以上に述べたように構成される第２実施例の空気温調装置１Ａにおいて、温度分布にばらつきのある冷空気Ｑ１が伝熱板４０に吹き付けられたとしても、伝熱板４０での熱伝導にてその温度分布のばらつきが平均化された温度が伝熱板温度センサ２５によって検出され、この検出温度を制御パラメータとして圧縮機１１の出力制御が行われることになる。
したがって、第２実施例の空気温調装置１Ａによっても、第１実施例の空気温調装置１と同様の作用効果を得ることができるのは言うまでもない。
【００３８】
さらに、第２実施例の空気温調装置１Ａによれば、伝熱板４０の各通気口５１，５２，５３，５４を通過した各冷空気Ｑ１１，Ｑ２１，Ｑ３１，Ｑ４１が混合されて均一な温度分布の冷空気Ｑ１とされるので、温度分布のばらつきによる温調精度への悪影響を一層低く抑えることができる。さらに、冷空気Ｑ１を電気ヒータ６にて設定温度ＴＳにまで加熱する加熱制御が正確に行われることとなり、温調精度をより高めることができる。
【００３９】
以上、本発明の空気温調装置について、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、各実施例に記載した構成を適宜組み合わせる等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【００４０】
例えば、図２に示す伝熱板２０に代えて、図５（ａ）に示すようなグレーチング構造の伝熱板７０又は図５（ｂ）に示すような多孔板構造の伝熱板８０を採用してもよい。
【００４１】
ここで、図５（ａ）に示す伝熱板７０は、蒸発器５の空気出口面５ａの大きさに合わせた内側寸法に設定される四角形状枠部材７１と、この四角形状枠部材７１の内側において格子状に組まれた所要の帯状板材７２とが一体的に繋がれて構成されている。
この図５（ａ）に示す伝熱板７０においては、四角形状枠部材７１の内側で所要の帯状板材７２が格子状に組まれることにより、蒸発器５の空気出口面５ａからの冷空気Ｑ１が通過する所要の通気口７３が形成されている。
【００４２】
また、図５（ｂ）に示す伝熱板８０は、蒸発器５の空気出口面５ａの大きさに合わせた外法寸法に設定される四角形状板材８１に、蒸発器５の空気出口面５ａからの冷空気Ｑ１が通過する通気口８２としての丸孔が多数穿設されてなるものである。
なお、通気口８２を形成する孔は、丸孔のみならず、三角孔や、四角孔、多角孔などであってもよく、孔の形状は特に限定されるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明の空気温調装置は、蒸発器の空気出口面から流れ出る冷空気の温度分布のばらつきによる温調精度への悪影響を低く抑えることができるという特性を有していることから、クリーンルーム等の室内精密温度調整の用途に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の空気温調装置の第１実施例を模式的に示す構造図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視図である。
【図３】本発明の空気温調装置の第２実施例を模式的に示す構造図である。
【図４】（ａ）は図３のＢ−Ｂ矢視図で、（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線断面図で、（ｃ）は（ａ）のＧ−Ｇ線断面図で、（ｄ）は（ａ）のＨ−Ｈ線断面図で、（ｅ）は（ａ）のＪ−Ｊ線断面図である。
【図５】伝熱板の他の態様例を示す図で、（ａ）はグレーチング構造の伝熱板の説明図で、（ｂ）は多孔板構造の伝熱板の説明図である。
【図６】従来の空気温調装置を模式的に示す構造図である。
【符号の説明】
【００４５】
１，１Ａ      空気温調装置
５            蒸発器
６            電気ヒータ
８ａ〜８ｄ    冷媒配管
９            膨張弁
１０          凝縮器
１１          圧縮機
１５          冷凍機
２０          伝熱板
２３          通気口
２５          伝熱板温度センサ
２６          吹出口温度センサ
３０          制御装置
３１          第１の制御器
３２          第２の制御器
４０          伝熱板
５１〜５４    通気口
【図１】
0004968742.tif 000002
【図２】
0004968742.tif 000003
【図３】
0004968742.tif 000004
【図４】
0004968742.tif 000005
【図５】
0004968742.tif 000006
【図６】
0004968742.tif 000007