(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着材料からなるカソード電極と、該カソード電極の外周を包囲する絶縁ガイシと、該絶縁ガイシの外周に設けられたトリガ電極と、が一つのユニット体を形成し、該ユニット体が筒状のアノード電極内に収容され、該アノード電極が真空管内に収容されてできるアーク蒸着源を具備する真空アーク蒸着装置において、
前記カソード電極の一端は前記絶縁ガイシの端部から突出しており、該突出したカソード電極の側面と前記トリガ電極の一端との間で沿面放電がなされるものであり、
絶縁ガイシの前記端部で、かつ、前記カソード電極側の領域には凹部が形成され、該絶縁ガイシの端部が平坦な部分と該凹部とからなるものであり、
少なくとも絶縁ガイシの前記端部には、導電性の金属コーティング層が形成されている、真空アーク蒸着装置。
【請求項２】
前記金属コーティング層を形成する金属材料が、前記蒸着材料と同材料の金属からなることを特徴とする請求項１に記載の真空アーク蒸着装置。
【請求項３】
蒸着材料からなるカソード電極と、該カソード電極の外周を包囲する絶縁ガイシと、該絶縁ガイシの外周に設けられたトリガ電極と、が一つのユニット体を形成し、該ユニット体が筒状のアノード電極内に収容され、該アノード電極が真空管内に収容されてできるアーク蒸着源を具備する真空アーク蒸着装置において、
前記カソード電極の一端は前記絶縁ガイシの端部から突出しており、該突出したカソード電極の側面と前記トリガ電極の一端との間で沿面放電がなされるものであり、
カソード電極の前記一端で、かつ、前記絶縁ガイシ側の領域には凹部が形成され、該カソード電極の前記一端が平坦な部分と該凹部とからなるものである、真空アーク蒸着装置。
【請求項４】
前記真空管内のアノード電極の開放端に対向する位置には被蒸着物を収容する収容部が具備されており、該収容部は前記真空管の軸心まわりに回転自在な皿状のチャンバーを有しており、これに粉体の被蒸着物が収容された姿勢でチャンバーの回転によって攪拌され、アークプラズマが該攪拌された粉体に照射されるものである、請求項１〜３のいずれかに記載の真空アーク蒸着装置。
【請求項５】
前記蒸着材料が白金からなり、前記粉体が粉状のカーボン担体であり、該カーボン担体に白金または白金合金を担持させるのに供される請求項４に記載の真空アーク蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空アーク蒸着装置に係り、特に、カソード電極を構成する蒸着材料が溶融してこれがトリガ電極と繋がり、蒸着源が短絡するのを効果的に防止することのできる真空アーク蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、環境負荷影響等に優しい車両としてハイブリッド自動車、電気自動車が注目されており、その一層の小型化、高性能化を目指した開発が日々進められている。中でも、電気自動車等に車載される燃料電池は内燃機関と発電原理を大きく異にするもので、清浄な排ガスの排出、静粛な走行などを実現する上で極めて重要な車載機器である。
【０００３】
比較的低温で作動する高分子電界質を使用してなる燃料電池においては、正負極の触媒に比較的高価な白金が使用されており、より具体的には、カーボンからなる粉状担体表面に白金が担持されることによって燃料電池用電極が製造されている。
【０００４】
ところで、特許文献１には蒸着装置に関する技術が開示されている。この蒸着装置は、トリガ放電等によって蒸着材料の構成粒子が飛散する際に、トリガ電極と蒸着材料とを絶縁する絶縁部材の沿面にこの構成粒子が到達できない非付着面を設けるように構成したものである。この非付着面を設けることにより、トリガ電極と蒸着材料との間に該構成粒子が付着して絶縁耐圧を低下させ、最終的に蒸着源が使用できなくなるまでの時間を長くすることができるというものである。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２５６３１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、白金をはじめとする各種金属からなるカソードを蒸着源とした真空アーク蒸着装置においては、溶融した金属カソードが側方に流れて細長いフレーク状の金属物を形成することが往々にしてあり、この金属物がカソード電極外周に形成されたトリガ電極に接触することにより、カソード電極とトリガ電極間が短絡して該蒸着装置がその時点で使用できなくなる。すなわち、メンテナンスが無い状態での蒸着装置の耐久期間もしくは耐久回数（使用可能期間もしくは使用可能回数）は、この短絡までの期間もしくは回数といっても過言ではなく、したがって、一定回数のプラズマ照射の後にメンテナンスが余儀なくされているのが現状である。
【０００７】
特許文献１に開示の蒸着装置では、その図２ａで示すようにガイシに切り欠きを設けることによってフレーク状の金属物をガイシに到達させ難くすることができる。しかし、この切り欠き形態では、ガイシ先端が欠け易い等、その耐久性が低いのは必然であり、ガイシ成分が触媒と混合するという別の問題の原因となる。さらには、この切り欠きを設けることで沿面放電距離が伸びるために、沿面放電が発生し難くなるという問題も生じる。
【０００８】
本発明は、上記する問題に鑑みてなされたものであり、蒸着材料からなるカソード電極とその外周にトリガ電極を形成したアーク蒸着源を具備する真空アーク蒸着装置にかかり、カソード電極を構成する蒸着材料が溶融した際に生じる細長いフレーク状の金属物によって該カソード電極とトリガ電極間が短絡し、使用不可に至るという課題を解消でき、もってメンテナンスのない状態での使用期間をより長期間とする（または使用回数をより多くする）ことができ、さらには、ガイシ成分と触媒の混合の問題や、沿面放電が発生し難くなるといった問題が生じ得ない、真空アーク蒸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成すべく、本発明による真空アーク蒸着装置は、蒸着材料からなるカソード電極と、該カソード電極の外周を包囲する絶縁ガイシと、該絶縁ガイシの外周に設けられたトリガ電極と、が一つのユニット体を形成し、該ユニット体が筒状のアノード電極内に収容され、該アノード電極が真空管内に収容されてできるアーク蒸着源を具備する真空アーク蒸着装置において、前記カソード電極の一端は前記絶縁ガイシの端部から突出しており、該突出したカソード電極の側面と前記トリガ電極の一端との間で沿面放電がなされるものであり、絶縁ガイシの前記端部で、かつ、前記カソード電極側の領域には凹部が形成され、該絶縁ガイシの端部が平坦な部分と該凹部とからなるものであり、少なくとも絶縁ガイシの前記端部には、導電性の金属コーティング層が形成されているものである。
【００１０】
本発明の真空アーク蒸着装置は、カソード電極とトリガ電極間の短絡を防止することによってその使用可能期間を従来の装置に比して格段に長くすることができるものであり（または、使用可能回数が格段に多くなるもの）、カソード電極に使用される蒸着材料は金属全般もしくは金属合金全般を含むものである。さらに、その用途は、半導体装置や液晶表示装置等を構成する基盤上に金属薄膜を形成することは勿論のこと、燃料電池の電極形成にも好適である。
【００１１】
真空アーク蒸着装置を構成するアーク蒸着源は、蒸着材料からなるカソード電極と、該カソード電極の外周を包囲する絶縁ガイシと、該絶縁ガイシの外周に設けられたトリガ電極と、が一つのユニット体を形成し、該ユニット体が筒状のアノード電極内に収容され、これらが真空管内に収容されて形成されるものである。ここで、蒸着材料からなるカソード電極は、たとえば蒸着材料が長細状に成形されたものを電極ホルダに締結し、これを筒状の絶縁ガイシ内に収容することで形成できる。なお、絶縁ガイシは、たとえばシリカ（ＳｉＯ２）等から成形される。
【００１２】
アノード電極とカソード電極の間に電圧を印加するとともにトリガ電極に電圧を印加すると、トリガ電極と蒸着材料からなるカソード電極との間に沿面放電が発生し、これにより、アノード電極と蒸着材料（カソード電極）の間にアーク放電が励起される。このアーク放電によって蒸着材料が蒸発し、アノード電極に向かう荷電微粒子が放出される。この荷電微粒子は、アノード電極内に生じる磁場の影響により、たとえば真空管内のアノード電極の開放端に対向する位置に載置された基盤に飛ばされ、該基盤上で薄膜を成長させることになる。
【００１３】
カソード電極の一端は絶縁ガイシの端部から若干突出しており、該突出したカソード電極の側面とトリガ電極の一端との間で上記する沿面放電がなされる。ここで、本発明の真空アーク蒸着装置においては、絶縁ガイシの端部で、かつ、カソード電極側の領域に凹部を形成し、該絶縁ガイシの端部を平坦な部分とこの凹部とからなる形態とすることにより、溶融してフレーク状となった蒸着金属物をこの凹部に落とし込み、もってカソード電極（の突出部の側面）とトリガ電極（の一端）間がこの金属物で繋がれて短絡するのを効果的に防止するものである。さらに、絶縁ガイシの端部を平坦な部分と凹部とからなる形態とすることにより、単に端部を切り欠いてたとえば鋭角なテーパー面からなる凹部の場合（上記する特許文献１の形態）に比して、絶縁ガイシの端部は欠け難く、その強度が高められていることで、アークプラズマ照射の過程でこの絶縁ガイシの端部が欠けて、ガイシ成分と蒸着材料とが混合され、これが薄膜等の品質を劣化させるといった課題も解消できるものである。
【００１４】
ここで、沿面放電距離に関して言及すれば、絶縁ガイシに上記する凹部を設けることにより、カソード電極の突出部側面からトリガ電極まで（金属素材のＣリングが絶縁ガイシとトリガ電極間に介在する場合にはＣリングまで）の沿面放電距離が延びてしまい、これは沿面放電を発生し難くする要因となる。
【００１５】
上記課題を解消するために、本発明の真空アーク蒸着装置を形成するアーク蒸着源においては、放電面となる絶縁ガイシの平坦な部分の表面と凹部の表面の双方に導電性の金属コーティング層を形成することにより、導電性能を良好にして沿面放電の生じ難さを解消するようにしている。なお、ここでいう金属コーティング層とは、絶縁ガイシ端部の端面全面に形成された微小厚の金属コーティング層のみならず、沿面放電方向に鉛筆書きすることで形成される一本もしくは複数本の鉛筆書きライン（カーボンライン）などであってもよい。
【００１６】
なお、上記する金属コーティング層は、カソード電極を形成する蒸着材料と同材料の金属から形成されるのが好ましい。異種金属の場合には、双方の材料が混合されることで、形成される金属薄膜等の品質に影響を与える可能性があるが、金属コーティング層と蒸着材料が同材料の場合にはかかる可能性は全くないためである。
【００１７】
上記する本発明の真空アーク蒸着装置によれば、平坦面を有する絶縁ガイシ端部のカソード電極側の一部に凹部を形成し、さらに該端部表面に導電性の金属コーティング層を形成しておくことで、絶縁ガイシ端部の強度（欠け難さ）を確保しながら、真空アーク蒸着装置の使用回数（使用期間）を従来装置に比して格段に多く（長く）することができるとともに、沿面放電距離が延びても沿面放電を阻害させることがない。
【００１８】
また、本発明による真空アーク蒸着装置の他の実施の形態は、蒸着材料からなるカソード電極と、該カソード電極の外周を包囲する絶縁ガイシと、該絶縁ガイシの外周に設けられたトリガ電極と、が一つのユニット体を形成し、該ユニット体が筒状のアノード電極内に収容され、該アノード電極が真空管内に収容されてできるアーク蒸着源を具備する真空アーク蒸着装置において、前記カソード電極の一端は前記絶縁ガイシの端部から突出しており、該突出したカソード電極の側面と前記トリガ電極の一端との間で沿面放電がなされるものであり、カソード電極の前記一端で、かつ、前記絶縁ガイシ側の領域には凹部が形成され、該カソード電極の前記一端が平坦な部分と該凹部とからなるものである。
【００１９】
本実施の形態は、絶縁ガイシの端部に凹部を設ける代わりに、蒸着材料からなるカソード電極の端部（一端）で絶縁ガイシ側の領域に凹部を設けるものである。この実施の形態においても、アークプラズマ照射の過程で生成される溶融金属物を凹部に落とし込むことができ、短絡し難いアーク蒸着源を備えた真空アーク蒸着装置を得ることができる。
【００２０】
また、本実施の形態では、導電性のある蒸着材料からなるカソード電極自体に凹部を設けることから、金属コーティング層を該カソード電極端面に形成する必要はない。
【００２１】
また、本発明による真空アーク蒸着装置の他の実施の形態において、前記真空管内のアノード電極の開放端に対向する位置には被蒸着物を収容する収容部が具備されており、該収容部は前記真空管の軸心まわりに回転自在な皿状のチャンバーを有しており、これに粉体の被蒸着物が収容された姿勢でチャンバーの回転によって攪拌され、アークプラズマが該攪拌された粉体に照射されるものである。
【００２２】
本実施の形態は、真空管内のアノード電極の開放端に対向する位置に回転自在のチャンバーを備えていて、このチャンバー内で被処理対象の粉体を効率的に微小単位にばらばらにしながら、微小単位の粉体表面にアークプラズマ照射することで金属触媒を担持させるものである。プラズマ照射に際して粉体を微小単位に粉々にすることで、粉体の凝集によって金属触媒が凝集体の一部にしか形成されないといった問題を解消し、もって金属触媒の有効面積を大きくし、微小粉体表面に均一に金属触媒を担持させることができる。しかも、メンテナンス無しで当該アーク蒸着装置を長期に亘って使用することができるため、あるいは多数回に亘って使用することができるため、高品質な製品（たとえば電極触媒）を従来の装置に比して格段に安価に製造することができる。
【００２３】
上記実施の形態において、たとえば前記粉体が粉状のカーボン担体であり、該カーボン担体に白金または白金合金をドライ担持させるのに供されるのが好ましい。この白金は比較的高価であるため、本発明の上記装置を使用することでその単位重量あたりの有効面積を大きくすることが可能となり、もって白金使用量を低減することに繋がる。本発明の上記装置をかかる用途に適用することで、昨今その開発が日々進められており、その生産が拡大しつつある燃料電池自動車の電池触媒の生産に好適である。なお、そのほか、ディーゼルエンジンの触媒等の生産にも適用できることは言うまでもない。
【発明の効果】
【００２４】
以上の説明から理解できるように、本発明の真空アーク蒸着装置によれば、蒸着源を形成する蒸着材料からなるカソード電極の該蒸着材料が溶融してなる金属物を、絶縁ガイシやカソード電極の端部の一部に形成した凹部に落とし込むことにより、これがトリガ電極とカソード電極とを繋いで短絡させるのを効果的に抑止することができ、従来のアーク蒸着装置に比して使用可能期間が格段に長い、もしくは使用可能回数が格段に多い真空アーク蒸着装置を得ることができる。また、絶縁ガイシの端部の一部に凹部を形成した場合には、その端部表面に導電性の金属コーティング層を形成しておくことで、凹部を設けることによって沿面放電距離が延び、沿面放電が生じ難くなるという課題も効果的に解消することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の真空アーク蒸着装置の一実施の形態の側面図であり、図２は蒸着源を拡大した縦断面図であり、図３は図２のIII部の拡大図である。図４ａは沿面放電の流れを模式的に示した図であり、図４ｂは溶融したフレーク状の金属物が凹部に落ち込んでいる状況を説明した図である。なお、図示する実施例の真空アーク蒸着装置は、燃料電池の電池触媒製造のために粉状のカーボン担体に白金または白金合金を担持させるのに供されるものであるが、本発明の真空アーク蒸着装置は、蒸着材料として白金以外の金属材料を使用できること、その用途として半導体装置や液晶表示装置等を構成する基盤上に金属薄膜を形成するのに供されることは勿論のことである。尤も、この薄膜形成の際には、真空アーク蒸着装置を構成する回転自在のチャンバーの代わりに基盤載置台を設けることになる。
【実施例】
【００２６】
図１は本発明の真空アーク蒸着装置の一実施の形態を概略説明した図である。この真空アーク蒸着装置１００は、アークプラズマガンを構成する電源２０とこれに固定された真空管８の長手方向であってプラズマ照射方向を水平面に対してθ傾斜させた姿勢で該真空アーク蒸着装置１００が位置決め固定され、この真空管８の先端に粉状カーボン担体Ｃが収容されたチャンバーを有する収容部３０が装着され、この収容部３０はさらに先端のサーボモータ４０（たとえばオリエンタルモーター株式会社製のＡＸＵ４２５）にて所定速度で回転自在に構成されている（Ｘ１方向）。真空管８内には該真空管８をその構成要素とするアーク蒸着源１０が内蔵されているが、その詳細は後述する。また、真空アーク蒸着装置１００は真空ポンプ５０（たとえばターボ分子ポンプで、株式会社アルバック製のＹＴＰ１５０）、補助真空用のロータリーポンプ６０に連通しており、これによって真空管８内を真空とし、放電させるようになっている。なお、上記する角度θ方向はチャンバーの自転軸とも一致しているが、このθの範囲はカーボン担体をチャンバー内壁から落下させるのを促進する等の観点から、３０〜６０度の範囲に設定されるのが好ましい。
【００２７】
また、真空アーク蒸着装置１００は不図示のパーソナルコンピュータに繋がっており、このコンピュータ内には、真空アーク蒸着装置１００にパルス信号を送信しながらプラズマのパルス照射を実行できる構成となっている。また、サーボモータ４０の回転速度もコンピュータにて制御できるようになっており、この回転速度とパルス信号送信のタイミングの双方が調整されるようになっている。
【００２８】
たとえば、粉状カーボン担体Ｃへの白金触媒のドライ担持条件として、真空管８内の真空度は１．０×１０−４Ｐａ、アーク電圧を２００Ｖ、トリガ電圧を３．４ｋＶ、温度は常温とし、アークプラズマ照射はパルス照射するものとしてその照射間隔は４パルス／秒、サーボモータ４０の回転数は４５ｒｐｍにて電極触媒の製造を実施することができる。
【００２９】
上記する本発明の真空アーク蒸着装置１００によれば、粉状カーボン担体Ｃをチャンバーの回転によって随時落下させながらその凝集を防止するとともに、微小単位の粉状のカーボン担体Ｃを生成でき、これにアークプラズマが照射されることで、カーボン担体表面に均一な白金触媒を担持させることが可能となる。
【００３０】
次に、図２に基づいて真空アーク蒸着装置１００を形成するアーク蒸着源１０の構成を詳述する。
【００３１】
アーク蒸着源１０は、蒸着材料である白金から成形され、その内部に凹溝を有するカソード電極１と、該カソード電極１の凹溝内に挿通されたボルト７を介してカソード電極１と接続される電極ホルダ５と、このカソード電極１および電極ホルダ５の外周を包囲する筒状の絶縁ガイシ４と、該絶縁ガイシ４の外周に設けられたＣリング３とその外周に設けられた筒状のトリガ電極２と、が一つのユニット体を形成し、このユニット体が筒状のアノード電極６内に収容され、これらが筒状の真空管８内に収容されて形成される。
【００３２】
カソード電極１の一端１’は絶縁ガイシの端部４’からたとえば１ｍｍ程度突出しており、この突出したカソード電極の側面１”とトリガ電極２の一端２’との間で沿面放電がなされる。なお、図示する実施例では、金属素材のＣリング３がトリガ電極２と通電することから、実際には、Ｃリング３の一端３’とカソード電極の側面１”との間で沿面放電がなされることになる。
【００３３】
ここで、絶縁ガイシの端部４’のうち、カソード電極１との当接箇所となる隅角部には切り欠きが形成されている。これを図２のIII部を拡大した図３に基づいて説明する。
【００３４】
絶縁ガイシの端部４’において、カソード電極１との当接箇所となる隅角部には切り欠きを設けてテーパー状の切り欠き面４２を形成し、端部４’の他の部分は平坦部４１を残しておく。すなわち、端部４’の全部を切り欠くのではなく、平坦部４１を積極的に残しておくことで、アーク蒸着源１０の使用過程でこの端部４’が欠けるのを防止し、該端部４’の強度を確保するものである。
【００３５】
カソード電極１の突出部の側面１”と絶縁ガイシの端部４’の切り欠き面４２との間には凹部４４が形成され、この凹部４４にアークプラズマ照射過程で生じる蒸着材料の溶融金属物を落とし込み、これがトリガ電極２やＣリング３と接触するのを防止することができる。
【００３６】
絶縁ガイシの端部４’の端部に上記する凹部４４を形成することにより、カソード電極１の突出部の側面１”からＣリング３の端部３’までの沿面放電距離が長くなり、これに起因して沿面放電が生じ難くなるという課題が生じ得る。そこで、図示するように、絶縁ガイシの端部４’表面に導電性の金属コーティング層４３を形成しておくことで、沿面放電を生じ易くし、この課題を解消することができる。なお、この金属コーティング層４３は、蒸着材料と同じ白金で形成するのが好ましい。異種材料の場合に双方の材料が混合し、電極触媒の品質が低下するのを防止するためである。
【００３７】
なお、図３において、絶縁ガイシ４の厚みａ１を１．０ｍｍ、平坦部の厚みａ２を０．４ｍｍ、切り欠き面４２のカソード電極長手方向の長さａ３を１．６ｍｍに設定することができる。
【００３８】
図４ａは、図３で示すアーク蒸着源の構造において、カソード電極１の突出部の側面１”からＣリング３の端部３’までの沿面放電の流れ（Ｘ方向）を示したものである。上記するように、この沿面放電は、白金からなる金属コーティング層４３によってその流れが促進され、沿面放電距離が長くなっても該沿面放電が生じ難くなるという問題は生じ得ない。
【００３９】
また、図４ｂは、凹部４４にアークプラズマ照射過程で生じる蒸着材料の溶融金属物ｆが落ち込み、よってこれがトリガ電極２やＣリング３とカソード電極１とを繋ぐことを効果的に防止していることを示したものである。
【００４０】
[本発明の真空アーク蒸着装置を使用した際のアークプラズマ照射可能回数に関する実験とその結果]
本発明者等は、蒸着源１０を備えた図１で示す実施例の真空アーク蒸着装置１００を用意し、アークプラズマ連続照射を実施して、プラズマ照射回数を検証した。なお、絶縁ガイシの端部に凹部が形成されておらず、かつこの端部に金属コーティング層が形成されていないアーク蒸着源を有する従来の真空アーク蒸着装置を使用して同様にアークプラズマ連続照射を実施した場合には、照射可能回数は１２０００回程度であった。すなわち、従来の装置では、１２０００回程度のアークプラズマ照射の段階でフレーク状金属物によるカソード電極とトリガ電極間の短絡が生じ、この時点でプラズマ照射が不可となるものであった。
【００４１】
実験の結果、実施例の真空アーク蒸着装置１００を使用した場合には、短絡することなく、本発明者等の目標とする４００００回のアークプラズマ連続照射が実現できた。
【００４２】
上記する実験の結果、本発明の真空アーク蒸着装置１００を使用することで、その使用可能照射回数もしくは耐久期間は、カソード電極を形成する蒸着材料が使用し尽されるまでの期間となり、何らのメンテナンスを要することなく多数回のアークプラズマ連続照射を実行することが可能となる。
【００４３】
また、真空アーク蒸着装置１００はその先端に粉状カーボン担体Ｃを収容する回転自在のチャンバーを具備する収容部３０を備えており、このチャンバーの回転によって粉状カーボン担体Ｃを効率的に微小単位にばらばらにしながら、微小単位の粉体表面にアークプラズマ照射することにより、金属触媒の有効面積を大きくし、微小粉体表面に均一に金属触媒を担持させることが可能となるものである。
【００４４】
以上、本発明の実施の形態を図面を用いて詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計変更等があっても、それらは本発明に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の真空アーク蒸着装置の一実施の形態の側面図である。
【図２】蒸着源を拡大した縦断面図である。
【図３】図２のIII部の拡大図である。
【図４】（ａ）は沿面放電の流れを模式的に示した図であり、（ｂ）は溶融したフレーク状の金属物が凹部に落ち込んでいる状況を説明した図である。
【符号の説明】
【００４６】
１…カソード電極、２…トリガ電極、３…Ｃリング、４…絶縁ガイシ、４１…平坦部、４２…切り欠き面、４３…金属コーティング層、４４…凹部、５…電極ホルダ、６…アノード電極、７…ボルト、８…真空管、１０…アーク蒸着源、２０…電源、３０…収容部、４０…サーボモータ、５０…真空ポンプ、６０…回転ポンプ、１００…真空アーク蒸着装置、Ｃ…粉状カーボン担体
【図１】
0004901709.tif 000002
【図２】
0004901709.tif 000003
【図３】
0004901709.tif 000004
【図４】
0004901709.tif 000005