(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々が画素電極と対向電極とこれらの間に配置された有機層を有する複数の発光素子と、
前記発光素子を相互に区分するバンクと、を備え、
前記バンクには、前記発光素子の有機層が配置される複数の開口が形成されており、  
前記複数の開口は、前記複数の発光素子が配置された素子領域の周辺部に配置された第１開口と、前記素子領域の中央に配置された第２開口とを有し、
前記第１開口の面積が、前記第２開口の面積よりも大きく、前記複数の発光素子の各々が有する前記画素電極の面積は、それぞれ略等しいことを特徴とする有機ＥＬ装置。
【請求項２】
各々が画素電極と対向電極とこれらの間に配置された有機層を有する複数の発光素子と、
前記発光素子を相互に区分するバンクと、を備え、
前記バンクは、複数の第１開口部を有する第１バンクと、複数の第２開口部を有し、前記第１バンク上に形成された第２バンクと、を有し、
前記第１開口部及び前記第２開口部には前記発光素子の有機層が配置され、
前記第１開口部は、前記画素電極の少なくとも一部が前記有機層と接触するように形成されているとともに、平面視において前記第２開口部内に位置するように形成され、
前記複数の第２開口部のうち、前記複数の発光素子が配置された素子領域の周辺部に位置する第２開口部の面積は、前記素子領域の中央に位置する第２開口部の面積よりも大きく、前記複数の第１開口部の各々の開口面積は略等しいことを特徴とする有機ＥＬ装置。
【請求項３】
前記複数の画素電極は等ピッチで配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の有機ＥＬ装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の有機ＥＬ装置を備える電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄型で軽量な自発光ディスプレイとして、ＯＬＥＤ（organic light emitting diode）、つまり有機ＥＬ（electro luminescent）素子が注目を集めている。有機ＥＬ素子は、有機材料で形成された少なくとも一層の有機薄膜を画素電極と対向電極とで挟んだ構造を有する（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２５２０８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
有機ＥＬ素子の有機薄膜は、酸素または水分によって変質し劣化しやすく、このために有機ＥＬ素子の寿命が短いという問題がある。有機薄膜の劣化は、酸素または水分が進入しやすい素子領域の周辺部で先に生じ、素子領域の中央では劣化が遅い。このため、中央での発光素子がまだ発光可能であっても、周辺部の発光素子が発光不可能となるために、有機ＥＬ装置全体が使用不可能になる。（課題１）
【０００４】
また有機薄膜の形成方法の一つである塗布法では、有機薄膜の材料（例えば機能性高分子）と溶媒とを含む溶液、すなわちインクを基板上に塗布し、これを乾燥させる。
一般に、インクの乾燥速度は、基板の中央部よりも端部において速くなり易い。その原因は、基板の端部付近の雰囲気における溶媒の濃度が、基板の中央部付近の雰囲気における溶媒の濃度よりも低くなることにある。このような乾燥ムラが生じると、形成される有機薄膜の膜厚にムラが生じる。この膜厚ムラは、輝度ムラや発光色ムラを招く。
そこで、表示画素領域（有効光学領域）の周囲に、表示画素と同じ形状、同ピッチのダミーバンク群を設け、表示画素領域の周辺にも有機ＥＬ材料インク組成物を塗布し、有機ＥＬ薄膜を形成する技術が提案されている（特許文献１参照）。この技術によれば、表示画素領域の外側のダミー領域にもインク組成物を塗布することによって、表示画素領域の雰囲気中の溶媒の濃度をほぼ均一にすることができる。これにより、表示画素領域の画素のインクの乾燥速度をほぼ均一にし、有機薄膜の膜厚のムラを低減することができる。他方、ダミー領域内の有機薄膜、すなわち基板の端部の有機薄膜を発光に用いないから、ここでの有機薄膜の膜厚が表示画素領域での有機薄膜の膜厚と異なっていても発光特性に影響はない。
しかし、特許文献１に記載の有機ＥＬ装置では、有機ＥＬ素子が形成される基板上に、ダミー領域となる数ｍｍ幅の帯状のスペースを確保しなければならない。これは、有機ＥＬ装置の狭額縁化の阻害要因となる。（課題２）
【０００５】
そこで、本発明は、上記課題１及び課題２のいずれかまたは両方を解決することのできる有機ＥＬ装置および電子機器を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る有機ＥＬ装置は、各々が画素電極と対向電極とこれらの間に配置された有機層を有する複数の発光素子と、前記発光素子を相互に区分するバンクとを備え、前記バンクには、前記発光素子の有機層が配置される複数の開口が形成されており、前記複数の開口は、前記複数の発光素子が配置された素子領域の周辺部に配置された第１開口と、前記素子領域の中央に配置された第２開口とを有し、前記第１開口の面積が、前記第２開口の面積よりも大きいことを特徴とする。
【０００７】
一般的に有機ＥＬ装置では、素子領域においては、酸素または水分が進入しやすい周辺部の発光素子が先に劣化し、徐々に中央に向けて劣化が進行する。個々の発光素子においても、有機層のうちの周辺部分が先に劣化し、徐々に中央に向けて劣化が進行する。本発明では、素子領域の周辺部における第１開口内に配置された有機層の面積が、前記素子領域の中央における第２開口内に配置された有機層の面積よりも大きいので、素子領域の周辺部の発光素子の有機層が劣化し始めた後にその有機層の中央が劣化するまで長い時間がかかる。他方、導電性の高い正孔注入／輸送有機材料を用いない限り、有機層では画素電極と対向電極の両方に重なって有効に電流が流れる中央の部分だけが主に発光し、電流が流れない周辺部分は発光しない。つまり、本発明では、素子領域の周辺部の発光素子の有機層のうち実際に発光に寄与する部分が劣化するまで時間がかかる。従って、有機ＥＬ装置の寿命を長くすることが可能である。
【０００８】
この有機EL装置において、前記複数の発光素子の各々が有する前記画素電極の面積は、それぞれ略等しくしてもよい。この場合、発光素子の有機層の面積が異なっても、有効に電流が流れて実際に発光に発光する部分は、どの発光素子でもほぼ等しくなる。
【０００９】
本発明に係る有機ＥＬ装置は、各々が画素電極と対向電極とこれらの間に配置された有機層を有する複数の発光素子と、前記発光素子を相互に区分するバンクとを備え、前記バンクは、複数の第１開口部を有する第１バンクと、複数の第２開口部を有し、前記第１バンク上に形成された第２バンクと、を有し、前記第１開口部及び前記第２開口部には前記発光素子の有機層が配置され、前記第１開口部は、前記画素電極の少なくとも一部が前記有機層と接触するように形成されているとともにを露出し、かつ平面視において前記第２開口部内に位置するように形成され、前記複数の第２開口部のうち、前記複数の発光素子が配置された素子領域の周辺部に位置する第２開口部の面積は、前記素子領域の中央に位置する第２開口部の面積よりも大きいことを特徴とするのでもよい。この場合には、素子領域の周辺部における第２開口部内に配置された有機層の面積が、前記素子領域の中央における第２開口部内に配置された有機層の面積よりも大きいので、素子領域の周辺部の発光素子の有機層が劣化し始めた後にその有機層の中央が劣化するまで長い時間がかかる。他方、導電性の高い正孔注入／輸送有機材料を用いない限り、有機層では画素電極と対向電極の両方に重なって有効に電流が流れる中央の部分だけが主に発光し、電流が流れない周辺部分は発光しない。従って、素子領域の周辺部の発光素子の有機層のうち実際に発光に寄与する部分が劣化するまで時間がかかり、有機ＥＬ装置の寿命を長くすることが可能である。
【００１０】
この有機EL装置において、前記複数の第１開口部の各々の開口面積は略等しくしてもよい。この場合、第２開口部の面積の相違のために発光素子の有機層の面積が異なっても、第１開口部の各々の開口面積は略等しいために、有効に電流が流れて実際に発光に発光する部分は、どの発光素子でもほぼ等しくなる。
【００１１】
前記複数の画素電極は等ピッチで配置されていると好ましい。これによれば、発光素子の実際に発光する部分のピッチが等間隔になり、視認者に違和感を与えることがなく、かつ設計が容易である。
【００１２】
本発明に係る電子機器は、前記の有機ＥＬ装置を備える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付の図面を参照しながら本発明に係る様々な実施の形態を説明する。なお、図面においては、各部の寸法の比率は実際のものとは適宜に異なる。
＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ装置を示す断面図であり、図２は、この有機ＥＬ装置の対向電極３４を除去した状態を示す平面図である。図１は、より具体的には図２のＩ−Ｉ線に沿って見た断面図である。
【００１４】
図１に示すように、この有機ＥＬ装置は、基板１０と、基板１０上に配置された例えば酸化珪素または窒化珪素から形成された絶縁体の層２０とを備える。絶縁体の層２０内には、複数の発光素子（有機ＥＬ素子）２８にそれぞれ給電するための複数のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）２１および図示しない配線が埋設されている。
【００１５】
絶縁体の層２０の上には、複数の発光素子２８が配置されている。各発光素子２８は、陽極と陰極とこれらの間に配置された有機層（有機薄膜）を有する。より具体的には、各発光素子２８は、個別の画素電極３０と、個別の有機層３２を備える。また複数の発光素子２８の有機層３２を共通に覆うように、共通電極としての対向電極３４が設けられている。この実施の形態では、画素電極３０が陽極、対向電極３４が陰極であるが、画素電極３０が陰極、対向電極３４が陽極であってもよい。有機層３２としては、発光層、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層、正孔ブロック層、電子輸送層、電子注入層のいずれか１つまたはいずれか複数が含まれる。
【００１６】
絶縁体の層２０には複数の貫通孔２２が形成されている。貫通孔２２の内部には導電体が配置され、この導体により、ＴＦＴ２１と画素電極３０が電気的に接続されている。
【００１７】
発光素子２８を相互に区分するために、バンク（隔壁）が絶縁体の層２０の上に形成されている。バンクは、親液層（第１バンク）４０と撥液層（第２バンク）５０の二層構造である。親液層４０は、例えば酸化珪素または窒化珪素などの無機絶縁体で形成され、撥液層５０は例えばアクリル、エポキシまたはポリイミドなどの絶縁性の樹脂材料で形成されている。親液層４０は一様な厚さを有する。図中の符号５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅは、それぞれ撥液層５０における部分を示しており、これらの部分５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ，５０Ｅについては後述する。
【００１８】
図１および図２に示すように、親液層４０には複数の開口（第１開口部）４０ａが形成されており、撥液層５０には複数の開口（第２開口部）５０ａが形成されている。開口４０ａと開口５０ａはそれぞれ重なっており、重なった一組の開口４０ａと開口５０ａは連通して一つの画素開口を構成する。平面視において開口４０ａは開口５０ａ内に位置している。画素開口の各々には画素電極３０が重なっているとともに、画素開口の各々の内部には有機層３２が配置されている。そして、開口４０ａを通じて画素電極３０と有機層３２が接触している。上述した複数の発光素子２８に共通する対向電極３４は、画素開口の内部で有機層３２に接触し、バンクの撥液層５０の領域上にも広がっている。
【００１９】
画素電極３０は、図２のｘ方向およびｙ方向に等ピッチで形成されており、互いに同じ面積を有する。親液層４０の開口４０ａもｘ方向およびｙ方向に等ピッチで形成されていおり、互いに同じ（略等しい）面積を有する。開口４０ａにおいて画素電極３０と有機層３２が接触しておりこの接触部分を電流が流れる。導電性の高い正孔注入／輸送有機材料を用いない限り、有機層３２では陽極と陰極の両方に重なって有効に電流が流れる中央の部分（つまり開口４０ａに重なった部分）だけが主に発光し、電流が流れない周辺部分は発光しない。従って、発光素子２８の有効発光部分は、図２のｘ方向およびｙ方向に等ピッチで形成されており、互いに同じ面積を有することになる。
【００２０】
この有機ＥＬ装置は、ボトムエミッションタイプでもトップエミッションタイプでもデュアルエミッションタイプでもよい。基板１０、画素電極３０、対向電極３４の材料は、エミッションタイプに応じて適宜選択される。
【００２１】
図１および図２において、バンクが形成された領域を、複数の発光素子２８が配置された素子領域とみなすことができる。素子領域においては、概略的にいうと、周辺部分の撥液層５０の壁の幅が中央における撥液層５０の壁の幅よりも小さい。具体的には、図１に示すように、バンクの撥液層５０の２番目に外側の部分５０Ｄは、より内側の部分５０Ｃよりも幅が狭く形成されている。また部分５０Ｃは、より内側の部分５０Ｂよりも幅が狭く形成されている。また部分５０Ｂは、より内側の部分５０Ａよりも幅が狭く形成されている。例外的に最も外側の部分５０Ｅは、その内側の部分５０Ｄよりも幅が広くしているが、これに限らず狭くしてもよい。
【００２２】
図示しないが、素子領域の中央部分では、撥液層５０の壁は部分５０Ａと同じ幅を有する。素子領域の中央部分は、素子領域のうちのかなりの割合の面積を占めるので、実際には、部分５０Ａと同じ幅の部分は撥液層５０のうちかなりの割合の面積を占める。
【００２３】
このように、素子領域の周辺部分では、概略的にいって、図２のｘ方向において外側に向かうほど撥液層５０の壁の幅が小さい（図示していない方の周辺部付近でも同様である）。詳細な図示は省略するが、図２のｙ方向においても、撥液層５０の壁の幅がより大きく、両方の周辺部付近で外側に向かうほど撥液層５０の壁の幅が小さくなる。
【００２４】
上記の撥液層５０の壁の幅の相違のため、素子領域の周辺部分における開口５０ａの面積は、素子領域の中央における開口５０ａの面積よりも大きい。開口４０ａの面積および深さならびに開口５０ａの深さは、どこでもほぼ一様なので、素子領域の周辺部分の画素開口はより容積が大きい。そして、素子領域の周辺部分では、外側に向かうほど開口５０ａの面積が大きいので、画素開口の容積も大きい。
【００２５】
次に、この有機ＥＬ装置を製造する方法を説明する。まず、図３に示す中間製品を製造する。具体的には、公知の手法によって、基板１０上に図示しない配線、ＴＦＴ２１および絶縁体の層２０を形成し、層２０上に画素電極３０をパターニングする。次に、例えば、スピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート、ＣＶＤ、またはスパッタ等の公知の手法によって、バンクの親液層４０を一様な厚さで形成し、フォトリソグラフィ法などにより、開口４０aを形成して、画素電極３０の中央部を露出させる。エッチングはドライエッチングとウェットエッチングのどちらでもよい。
【００２６】
さらに例えばスピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート等の公知の手法によって撥液層５０を一様な厚さで形成し、フォトリソグラフィ法などにより、開口５０aを形成して、画素電極３０の中央部を露出させる。
【００２７】
このようにして図３に示すバンクを有する中間製品が完成する。
【００２８】
この後、酸素プラズマによる親液化処理とＣＦ４プラズマによる撥液化処理を行なってもよい。親液化処理により、有機層３２の材料となる液体に対する親液層４０の親液性を向上させることができる。また、撥液化処理により、有機層４０の材料となる液体に対する撥液層５０の撥液性を向上させることができる。このようにすれば、撥液層５０の材料が元々撥液性を有していない材料の場合でも、上記のプラズマ処理により、親液層４０の親液性を維持したまま、撥液層５０に撥液性を付与することができる。
【００２９】
次に、図４に示すように、画素開口の各々に有機層３２の材料となる液体３２Ｌを配分する。液体３２Ｌは、例えば、水または有機溶媒を溶媒とするインクである。溶媒中には、有機層３２の材料である共役系高分子または低分子材料が溶質として分散または溶解している。液体３２Ｌの供給方法としては、例えばインクジェット法、ジェットディスペンサ法、またはディスペンサ法を利用できるが、この実施の形態では、インクジェット法を例にとって説明する。
【００３０】
図４に示すように、インクジェットヘッド８０を駆動し、インクジェットヘッド８０のノズル８１から画素開口に向けて液体３２Ｌを噴射させ、すべての画素開口に液体３２Ｌを供給する。上述したように、素子領域の周辺部分における開口５０ａの面積は素子領域の中央における開口５０ａの面積よりも大きいために、素子領域の周辺部分の画素開口は、中央部分の画素開口よりも容積が大きい。このことを利用して、図５に示すように、素子領域内の周辺部分での画素開口に、有機層の材料となる液体３２Ｌを中央部分での画素開口より多量に配分する。また、素子領域の周辺部分では、外側の画素開口ほど、多量の液体３２Ｌを配分する。
【００３１】
このように外側の画素開口に、より多量の液体３２Ｌを供給するためには、以下のいずれか１つまたはこれらの組み合わせの手法を採用することができる。
（１）ノズルの液滴供給量を制御する圧電素子に与える電流または電圧を、画素開口の位置に応じて変更する。つまり１ドットの液適量を変更する。
（２）ノズルの液滴供給量を制御する圧電素子に与えるパルスの数を、画素開口の位置に応じて変更し、画素開口あたりの液滴数を変更する。
（３）画素開口あたりのノズルの数を、画素開口の位置に応じて変更し、画素開口あたりの液滴数を変更する。
【００３２】
次に、画素開口に配分された液体３２Ｌを真空下で乾燥させ、図６に示すように、発光層３２を形成する。さらに、乾燥の程度を高めるために、基板１０をアニールしてもよい。この乾燥工程では、有機層３２中の溶媒（水または有機溶媒）を除去する。
【００３３】
この後、公知の手法で、図１に示す対向電極３４を形成する。図示しないが、好ましくは、この後、封止工程で図１の構造に封止膜または封止キャップが設けられる。
【００３４】
この実施の形態では、素子領域内の周辺部での開口５０ａの面積が、素子領域の中央での開口５０ａの面積よりも大きいので、有機層３２の材料となる液体３２Ｌを配分する工程では、素子領域内の周辺部での画素開口に、有機層３２の材料となる液体３２Ｌをより多量に配分することができる（図５参照）。このため、素子領域の周辺部から多くの溶媒が蒸発し、素子領域の雰囲気中の溶媒の濃度のバラツキを少なくすることができる。つまり、周辺部での雰囲気中の溶媒の濃度が、中央部での雰囲気中の溶媒の濃度に近くなる。これにより、素子領域の各発光素子２８での液体３２Ｌの乾燥速度のバラツキを低減し、発光素子２８の有機層３２の膜厚のムラを低減し、輝度ムラや発光色ムラを低減することができる。また、先行技術（例えば上記の特開２００２−２５２０８３号公報）でのダミー領域の利用と異なり、素子領域内の周辺部の発光素子２８も発光に用いられるので、発光に寄与しない領域の増加を抑えることができる。つまり狭額縁化を図ることが可能である。
【００３５】
また、一般的に有機ＥＬ装置では、素子領域においては、酸素または水分が進入しやすい周辺部の発光素子２８が先に劣化し、徐々に中央に向けて劣化が進行する。個々の発光素子２８においても、有機層３２のうちの周辺部分が先に劣化し、徐々に中央に向けて劣化が進行する。この実施の形態では、素子領域の周辺部における発光素子２８の有機層３２の面積が、素子領域の中央における発光素子２８の有機層３２の面積よりも大きいので、素子領域の周辺部の発光素子２８の有機層３２が劣化し始めた後にその有機層３２の中央が劣化するまで長い時間がかかる。他方、有機層３２では陽極と陰極の両方に重なって有効に電流が流れる中央の部分（つまり開口４０ａに重なった部分）だけが主に発光し、電流が流れない周辺部分は発光しない。つまり、この実施の形態では、素子領域の周辺部の発光素子２８の有機層３２のうち実際に発光に寄与する部分が劣化するまで時間がかかる。従って、有機ＥＬ装置の寿命を長くすることが可能である。
【００３６】
この実施の形態では、有機層３２をインクジェット法、ジェットディスペンサ法、またはディスペンサ法で形成するが、有機層３２を蒸着によって形成してもよい。有機層３２を蒸着によって形成する場合にも、上記の通り、素子領域の周辺部の発光素子２８の有機層３２のうち実際に発光に寄与する部分が劣化するまで時間がかかることは同様にいえることである。従って、有機ＥＬ装置の寿命を長くすることが可能である。
また、この実施例では、単色の発光素子２８だけを形成したが、赤、緑、青色の発光サブピクセル群からなる素子領域を形成する場合も同様に適用でき、同様の効果を得ることができる。
【００３７】
＜第２の実施の形態＞
図７は、本発明の第２の実施の形態に係るカラーフィルタパネルを製造する方法を示すカラーフィルタパネルの断面図であり、図８は、完成状態のこのカラーフィルタパネルを示す平面図である。図７は、より具体的には図８のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿って見た断面図である。カラーフィルタパネルは、ガラスまたは透明樹脂のような透明材料から形成された基板１００と、基板１００上に形成されたカラーフィルタ１０４（１０４Ｒ，１０４Ｇ，１０４Ｂ）と、基板１００上に形成されてカラーフィルタ１０４を区分するバンク（隔壁）を備える。カラーフィルタ１０４の添字Ｒ，Ｇ，Ｂは、そのカラーフィルタを透過する光の色を示す。つまり、カラーフィルタ１０４Ｒは赤色の光を透過し、カラーフィルタ１０４Ｇは緑色の光を透過し、カラーフィルタ１０４Ｂは青色の光を透過する。
【００３８】
バンクは、バンク下層１０２とバンク上層１０６の二層構造である。バンク下層１０２は、例えばクロムまたはその酸化膜などの遮光性を有する材料で形成され、ブラックマトリクスとして機能する。バンク上層１０６は例えば、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、オレフィン樹脂、メラミン樹脂などの高分子材料で形成されている。バンク下層１０２は一様な厚さを有する。図中の符号１０６Ａ，１０６Ｂ，１０６Ｃ，１０６Ｄ，１０６Ｅは、それぞれバンク上層１０６における部分を示しており、これらの部分１０６Ａ，１０６Ｂ，１０６Ｃ，１０６Ｄ，１０６Ｅについては後述する。
【００３９】
バンク下層１０２には複数の開口１０２ａが形成されており、バンク上層１０６には複数の開口１０６ａが形成されている。開口１０２ａと開口１０６ａはそれぞれ重なっており、重なった一組の開口１０２ａと開口１０６ａは連通して一つのフィルタ開口を構成する。
【００４０】
バンク下層１０２の開口１０２ａは、図８のｘ方向およびｙ方向に等ピッチで形成されており、互いに同じ面積を有する。開口１０２ａにおいてカラーフィルタ１０４と透明な基板１００が接触しておりこの接触部分を光が透過する。カラーフィルタ１０４では開口１０２ａに重なった中央の部分だけが光を透過させ、周辺部分では光が透過しない。従って、カラーフィルタ１０４の有効光透過部分は、図８のｘ方向およびｙ方向に等ピッチで形成されており、互いに同じ面積を有することになる。
【００４１】
このカラーフィルタパネルにおいては、概略的にいうと、周辺部分のバンク上層１０６の壁の幅が中央におけるバンク上層１０６の壁の幅よりも小さい。具体的には、バンク上層１０６の２番目に外側の部分１０６Ｄは、より内側の部分１０６Ｃよりも幅が狭く形成されている。また部分１０６Ｃは、より内側の部分１０６Ｂよりも幅が狭く形成されている。また部分１０６Ｂは、より内側の部分１０６Ａよりも幅が狭く形成されている。例外的に最も外側の部分１０６Ｅは、その内側の部分１０６Ｄよりも幅が広いが、狭くしてもよい。
【００４２】
図示しないが、カラーフィルタパネルの中央部分では、バンク上層１０６の壁は部分１０６Ａと同じ幅を有する。カラーフィルタパネルの中央部分は、カラーフィルタパネルのうちのかなりの割合の面積を占めるので、実際には、部分１０６Ａと同じ幅の部分はバンク上層１０６のうちかなりの割合の面積を占める。
【００４３】
このように、カラーフィルタパネルの周辺部分では、概略的にいって、図８のｘ方向において外側に向かうほどバンク上層１０６の壁の幅が小さい（図示していない方の周辺部付近でも同様である）。詳細な図示は省略するが、図８のｙ方向においても、バンク上層１０６の壁の幅がより大きく、両方の周辺部付近で外側に向かうほどバンク上層１０６の壁の幅が小さくなる。
【００４４】
上記のバンク上層１０６の壁の幅の相違のため、カラーフィルタパネルの周辺部分における開口１０６ａの面積は、カラーフィルタパネルの中央における開口１０６ａの面積よりも大きい。開口１０２ａの面積および深さならびに開口１０６ａの深さは、どこでもほぼ一様なので、カラーフィルタパネルの周辺部分のフィルタ開口はより容積が大きい。そして、カラーフィルタパネルの周辺部分では、外側に向かうほど開口１０６ａの面積が大きいので、フィルタ開口の容積も大きい。
【００４５】
次に、このカラーフィルタパネルを製造する方法を説明する。まず、図７(Ａ)に示す中間製品を製造する。具体的には、基板１００上に、例えば、ＣＶＤまたはスパッタ等の公知の手法によって、バンク上層１０２を一様な厚さで形成し、フォトリソグラフィ法などにより、開口１０２aを形成して、基板１００を部分的に露出させる。エッチングはドライエッチングとウェットエッチングのどちらでもよい。
【００４６】
さらに例えばスピンコート、スプレーコート、ロールコート、ダイコート、ディップコート等の公知の手法によってバンク上層１０６を一様な厚さで形成し、フォトリソグラフィ法などにより、開口１０６aを形成して、基板１００を部分的に露出させる。
【００４７】
このようにして図７(Ａ）に示すバンクを有する中間製品が完成する。
【００４８】
この後、酸素プラズマによる親液化処理とＣＦ４プラズマによる撥液化処理を行なってもよい。親液化処理により、カラーフィルタ１０４の材料となる液体に対するバンク下層１０２の親液性を向上させることができる。また、撥液化処理により、カラーフィルタ１０４の材料となる液体に対するバンク上層１０６の撥液性を向上させることができる。このようにすれば、バンク上層１０６の材料が元々撥液性を有していない材料の場合でも、上記のプラズマ処理により、バンク下層１０２の親液性を維持したまま、バンク上層１０６に撥液性を付与することができる。
【００４９】
次に、図７(Ｂ）に示すように、フィルタ開口の各々にカラーフィルタ１０４の材料となる液体１０４ＲＬ，１０４ＢＬ，１０４ＧＬを配分する。液体１０４ＲＬ，１０４ＢＬ，１０４ＧＬは、例えば、水または有機溶媒を溶媒とするインクである。溶媒中には、カラーフィルタ１０４の材料である顔料や染料が溶質として分散または溶解している。液体の供給方法としては、例えばインクジェット法、ジェットディスペンサ法、またはディスペンサ法を利用できるが、この実施の形態では、インクジェット法を例にとって説明する。
【００５０】
図７(Ｂ）に示すように、インクジェットヘッド２８０を駆動し、インクジェットヘッド２８０のノズル２８１からフィルタ開口に向けて液体１０４ＲＬ，１０４ＢＬ，１０４ＧＬを噴射させ、すべてのフィルタ開口に液体１０４ＲＬ，１０４ＢＬ，１０４ＧＬを供給する。上述したように、カラーフィルタパネルの周辺部分における開口１０６ａの面積はカラーフィルタパネルの中央における開口１０６ａの面積よりも大きいために、カラーフィルタパネルの周辺部分のフィルタ開口は、中央部分のフィルタ開口よりも容積が大きい。このことを利用して、図７(Ｃ）に示すように、カラーフィルタパネル内の周辺部分でのフィルタ開口に、カラーフィルタ１０４の材料となる液体１０４ＲＬ，１０４ＢＬ，１０４ＧＬを中央部分でのフィルタ開口より多量に配分する。また、カラーフィルタパネルの周辺部分では、外側のフィルタ開口ほど、多量の液体を配分する。
【００５１】
このように外側のフィルタ開口に、より多量の液体を供給するためには、以下のいずれか１つまたはこれらの組み合わせの手法を採用することができる。
（１）ノズルの液滴供給量を制御する圧電素子に与える電流または電圧を、フィルタ開口の位置に応じて変更する。つまり１ドットの液適量を変更する。
（２）ノズルの液滴供給量を制御する圧電素子に与えるパルスの数を、フィルタ開口の位置に応じて変更し、フィルタ開口あたりの液滴数を変更する。
（３）フィルタ開口あたりのノズルの数を、フィルタ開口の位置に応じて変更する。開口あたりの液滴数を変更する。
【００５２】
次に、フィルタ開口に配分された液体を真空下で乾燥させ、図７(Ｄ）に示すように、カラーフィルタ１０４を形成する。さらに、乾燥の程度を高めるために、基板１００をアニールしてもよい。この乾燥工程では、カラーフィルタ１０４Ｒ，１０４Ｂ，１０４Ｇ中の溶媒（水または有機溶媒）を削除する。
【００５３】
この実施の形態では、カラーフィルタパネル内の周辺部での開口１０６ａの面積が、カラーフィルタパネルの中央での開口１０６ａの面積よりも大きいので、カラーフィルタ１０４の材料となる液体を配分する工程では、カラーフィルタパネル内の周辺部でのフィルタ開口に、カラーフィルタ１０４の材料となる液体をより多量に配分することができる（図７(Ｃ）参照）。このため、カラーフィルタパネルの周辺部から多くの溶媒が蒸発し、カラーフィルタパネルの雰囲気中の溶媒の濃度のバラツキを少なくすることができる。つまり、周辺部での雰囲気中の溶媒の濃度が、中央部での雰囲気中の溶媒の濃度に近くなる。これにより、カラーフィルタパネルの各カラーフィルタ１０４での液体の乾燥速度のバラツキを低減し、カラーフィルタ１０４の膜厚のムラを低減し、透過特性のムラ（例えば透過後の輝度ムラ）を低減することができる。また、カラーフィルタパネル内の周辺部のカラーフィルタ１０４も実際に使用に供されるので、使用に役立たない領域の増加を抑えることができる。つまり狭額縁化を図ることが可能である。
【００５４】
＜応用例＞
次に、上記の各実施の形態に係る有機ＥＬ装置（以降、「本有機ＥＬ装置」と呼ぶ）を適用した電子機器について説明する。
図９は、本有機ＥＬ装置を画像表示装置に利用したモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。パーソナルコンピュータ２０００は、表示装置としての有機ＥＬ装置１と本体部２０１０とを備える。本体部２０１０には、電源スイッチ２００１およびキーボード２００２が設けられている。
【００５５】
図１０に、本有機ＥＬ装置を適用した携帯電話機を示す。携帯電話機３０００は、複数の操作ボタン３００１およびスクロールボタン３００２、ならびに表示装置としての有機ＥＬ装置１を備える。スクロールボタン３００２を操作することによって、本有機ＥＬ装置に表示される画面がスクロールされる。
【００５６】
図１１に、本有機ＥＬ装置を適用した情報携帯端末（ＰＤＡ：personal digital assistant）を示す。情報携帯端末４０００は、複数の操作ボタン４００１および電源スイッチ４００２、ならびに表示装置としての有機ＥＬ装置１を備える。電源スイッチ４００２を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が本有機ＥＬ装置に表示される。
【００５７】
本有機ＥＬ装置を表示装置として用いることができる電子機器としては、図９から図１１に示したもののほか、デジタルスチルカメラ、テレビ、ビデオカメラ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電子ペーパー、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、ビデオプレーヤ、タッチパネルを備えた機器等が挙げられる。
【００５８】
さらに、本有機ＥＬ装置は、電子写真方式のプリンタ（画像印刷装置）の露光ヘッド、または各種の照明装置としても利用することができる。このような画像印刷装置や照明装置も本発明に係る電子機器に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ装置を示す断面図である。
【図２】図１の有機ＥＬ装置の対向電極を除去した状態を示す平面図である。
【図３】図１の有機ＥＬ装置の中間製品を示す断面図である。
【図４】図３の中間製品から図１の有機ＥＬ装置を製造する方法の第１の実施の形態の一工程を示す断面図である。
【図５】図４の次の工程を示す断面図である。
【図６】図５の次の工程を示す断面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係るカラーフィルタパネルを製造する方法を示すカラーフィルタパネルの断面図である。
【図８】完成状態の図７のカラーフィルタパネルを示す平面図である。
【図９】本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ装置を備える電子機器の一例を示す斜視図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ装置を備える電子機器の他の一例を示す斜視図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係る有機ＥＬ装置を備える電子機器の他の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０…基板、２０…絶縁体の層、２８…発光素子（有機ＥＬ素子）、３０…画素電極（陽極）、３２…有機層、３４…対向電極（陰極）、４０…バンクの親液層（第１バンク）、５０…バンクの撥液層（第２バンク）、４０ａ…親液層の開口（第１開口部）、５０ａ…撥液層の開口（第２開口部）、３２Ｌ…液体、３６Ｌ…第１の液体、３７Ｌ…第２の液体、３８…材料液体、３６Ｌ，３８Ｌ…液体、１００…基板、１０２…バンク下層、１０６…バンク上層、１０４…カラーフィルタ、１０４ＲＬ，１０４ＢＬ，１０４ＧＬ…液体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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