(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
硬質基板と、前記硬質基板の表面に接着されているフィルムとを有する電気光学パネルについての前記フィルムを剥離するフィルム剥離方法であって、
前記硬質基板から前記フィルムの端部を剥離し、剥離した前記フィルムの端部をフィルム巻取りローラに連結する連結工程と、
前記フィルムが剥離された硬質基板表面部分を基板押さえブレードによって押さえると共に、前記フィルムを介して前記電気光学パネルをフィルム押さえローラによって押えつつ、前記フィルムを巻き取る巻取り方向に前記フィルム巻取りローラを回転させながら、前記フィルム巻取りローラ、前記基板押さえブレードおよび前記フィルム押さえローラを剥離方向に移動させて、前記硬質基板から前記フィルムを剥離する剥離工程とを含んでなり、
前記剥離工程の間、前記電気光学パネルが載置されたステージと、前記基板押さえブレードおよび前記フィルム押さえローラとの間において前記電気光学パネルを、略鉛直方向に振動可能に狭持しつつ略水平方向に振動可能な状態で前記ステージ上に載置していることを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項２】
前記連結工程または前記剥離工程のいずれかに先立ち、前記基板押さえブレードを所定の位置に設置する際、前記基板押さえブレードと、前記フィルムが剥離された硬質基板表面部分との間において、鉛直方向の隙間を設け、前記隙間は、前記剥離工程の間における鉛直方向の前記振動の最大幅に相当することを特徴とする請求項１記載のフィルム剥離方法。
【請求項３】
前記連結工程の間、剥離した前記フィルムの端部についての前記フィルム巻取りローラへの連結は、前記フィルム押さえローラを介してなされていることを特徴とする請求項１記載のフィルム剥離方法。
【請求項４】
前記剥離工程の間、前記基板押さえブレードが接触しうる前記硬質基板表面部分は、前記剥離方向に関して前記フィルム押さえローラよりも上流側に位置するように、前記基板押さえブレードを配置していることを特徴とする請求項１記載のフィルム剥離方法。
【請求項５】
硬質基板と、前記硬質基板の表面に接着されているフィルムとを有する電気光学パネルについての前記フィルムを剥離する、請求項１記載のフィルム剥離方法を実施するためのフィルム剥離装置であって、
前記硬質基板から剥離された前記フィルムの端部を連結するフィルム巻取りローラと、
前記フィルムが剥離された硬質基板表面部分を押さえる基板押さえブレードと、
前記フィルムを介して前記電気光学パネルを押さえるフィルム押さえローラと、
前記フィルムを巻き取る巻取り方向に前記フィルム巻取りローラを回転させるときに、前記フィルム巻取りローラ、前記基板押さえブレードおよび前記フィルム押さえローラを前記硬質基板から前記フィルムを剥離する剥離方向に移動させる移動機構とを備えていることを特徴とするフィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム剥離方法およびフィルム剥離装置に関する。さらに詳しくは、本発明は、液晶表示パネル等の電気光学パネルが有するフィルム、特に偏光板を剥離するためのフィルム剥離方法およびフィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示パネルは、２枚の硬質ガラス基板の間に液晶材料を封入した後、ガラス基板の表面と裏面とにフィルム状の偏光板を接着することによって製造される。偏光板は、光源であるバックライトからの光線をコントロール（偏光）させるための素材であって、通常、偏光板自体を保護するため、偏光板表面に保護ラミネートが貼付されている。液晶表示パネルの製造終了後、その外観検査や点灯検査などにおいて、偏光板／保護ラミネート表面の汚れや破損、偏光板とガラス基板間隙間への空気混入などの不具合が判明する。そのような場合、偏光板を剥離除去する必要があり、従来から、種々のフィルム剥離処理技術が提案されている。
【０００３】
例えば、以下の特許文献１は粘着フィルム剥離方法および装置を開示する。この開示によれば、剥離した一部の偏光板をフィルム巻取りローラ（剥離ローラ８）に保持させ、次いでフィルム固定型巻取りローラを巻取り方向に回転させてフィルムを巻取っている。フィルム巻取りの間、液晶表示パネルは、この液晶表示パネルを載置したステージ（パネルセットステージ１）と共に、長尺のフィルム巻取りローラに略直交する剥離方向に移動する。
また、剥離対象が偏光板ではなく、偏光板表面に貼付された保護ラミネートであるようなフィルム剥離処理技術も知られている（以下の特許文献２、参照）。このフィルム剥離方法では、フィルム巻取りローラ（剥しローラ１７）を回転させながら、前記した剥離方向（下流側）に移動させながらフィルムを巻取ることができる。
【０００４】
しかしながら、特許文献１開示の前記技術は、液晶表示パネルを移動させながらフィルムを剥離しているため、液晶表示パネル・固定タイプの技術（特許文献２）に比し、剥離装置が大型化になることが避け得ない。特に、大画面の液晶表示パネルを処理する剥離技術では、剥離装置が非常に大型になり、この問題は致命的な欠陥である。
他方、特許文献２に開示された保護ラミネートの剥離方法は、剥離装置の小型化についてはある程度満足がゆくものの、液晶表示パネル（偏光板１０）をステージに固定しているため（特許文献２、段落番号０００９）、この既知方法を、偏光板の剥離技術にそのまま適用することができない。すなわち、液晶表示パネルを固定した状態で、フィルム巻取りローラを回転／移動させながら偏光板を剥離させると、剥離処理の間に偏光板が破断して巻取り処理が不可能になったり、また液晶表示パネルのガラス基板が破損することが判明したのである。
【０００５】
【特許文献１】特開平第１０−２８２４６３号公報
【特許文献２】特開平第９−２６７４２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、前記問題点に鑑み、フィルム剥離装置の小型化を達成すると共に、電気光学パネル（例えば、液晶表示パネルが有する偏光板のようなフィルムや、このフィルムが貼付された硬質基板などを含む。）を破損することなく、フィルムを剥離する方法およびその装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、巻取りローラの回転／移動に加え、硬質基板からフィルムを剥離する間、吸着固定法や型枠による固定のような強固な固定法によらず電気光学パネルを鉛直方向に振動可能な状態かつ水平方向に振動可能な状態でステージ上に載置することによって、前記課題を達成できることを見出し、この知見に基づき本発明が完成するに至ったのである。
【０００８】
すなわち、本発明は、硬質基板と、前記硬質基板の表面に接着されているフィルムとを有する電気光学パネルについての前記フィルムを剥離するフィルム剥離方法であって、前記硬質基板から前記フィルムの端部を剥離し、剥離した前記フィルムの端部をフィルム巻取りローラに連結する連結工程と、前記フィルムが剥離された硬質基板表面部分を基板押さえブレードによって押さえると共に、前記フィルムを介して前記電気光学パネルをフィルム押さえローラによって押えつつ、前記フィルムを巻き取る巻取り方向に前記フィルム巻取りローラを回転させながら、前記フィルム巻取りローラ、前記基板押さえブレードおよび前記フィルム押さえローラを剥離方向に移動させて、前記硬質基板から前記フィルムを剥離する剥離工程とを含んでなり、前記剥離工程の間、前記電気光学パネルが載置されたステージと、前記基板押さえブレードおよび前記フィルム押さえローラとの間において前記電気光学パネルを、略鉛直方向に振動可能に狭持しつつ略水平方向に振動可能な状態で前記ステージ上に載置していることを特徴とするフィルム剥離方法を提供する。
【０００９】
好適には、前記連結工程または前記剥離工程のいずれかに先立ち、前記基板押さえブレードを所定の位置に設置する際、前記基板押さえブレードと、前記フィルムが剥離された硬質基板表面部分との間において、鉛直方向の隙間を設け、前記隙間は、前記剥離工程の間における鉛直方向の前記振動の最大幅に相当することを特徴とする。
好適には、前記連結工程の間、剥離した前記フィルムの端部についての前記フィルム巻取りローラへの連結は、前記フィルム押さえローラを介してなされていることを特徴とする。
好適には、前記剥離工程の間、前記基板押さえブレードが接触しうる前記硬質基板表面部分は、前記剥離方向に関して前記フィルム押さえローラよりも上流側に位置するように、前記基板押さえブレードを配置していることを特徴とする。
【００１０】
また本発明は、その第２の態様によれば、硬質基板と、前記硬質基板の表面に接着されているフィルムとを有する電気光学パネルについての前記フィルムを剥離する、本発明のフィルム剥離方法を実施するためのフィルム剥離装置であって、前記硬質基板から剥離された前記フィルムの端部を連結するフィルム巻取りローラと、前記フィルムが剥離された硬質基板表面部分を押さえる基板押さえブレードと、前記フィルムを介して前記電気光学パネルを押さえるフィルム押さえローラと、前記フィルムを巻き取る巻取り方向に前記フィルム巻取りローラを回転させるときに、前記フィルム巻取りローラ、前記基板押さえブレードおよび前記フィルム押さえローラを前記硬質基板から前記フィルムを剥離する剥離方向に移動させる移動機構とを備えていることを特徴とするフィルム剥離装置を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のフィルム剥離方法およびフィルム剥離装置によれば、回転・フィルム巻取りローラの移動による装置の小型化を達成できることに加え、剥離工程の間、ステージと基板押さえブレード／フィルム押さえローラとの間において、電気光学パネルを、鉛直方向に振動可能に狭持しつつ水平方向に振動可能な状態でステージ上に載置させることによって、電気光学パネルの挙動の自由度を増大させ、これにより、電気光学パネルの破損を実質的に防止することができた。
すなわち、剥離工程において、硬質基板に強力に接着されたフィルムを剥離するには比較的大きな剥離力が必要であるため、従来技術のように電気光学パネルをステージ上に強固に固定した状態で硬質基板からフィルムを剥離すると、その剥離時に生じる力によってフィルム／硬質基板が破損するのに対し、本発明のように電気光学パネルに対しその挙動の自由度を与えることによって、フィルム剥離時に生じる力を拡散させることができ、これにより電気光学パネルの破損を実質的に防止することができた。
なお、剥離時に生じる力とは、前記パネルに対する接着剤の接着力の不均一性に起因し、この力は、前記パネルに対し水平方向／鉛直方向など任意の方向から加わって前記パネルを任意の方向に移動させるものと、考えられる。本発明によれば、前記パネルの水平方向／鉛直方向など任意の方向に対し、挙動の自由度を与えているため、剥離時に生じる力を緩和／拡散でき、その結果、従来技術のような偏光板／硬質基板・特定部位への集中的な力を緩和／拡散でき、これにより、前記パネルの破損を実質的に防止することができたのである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
前記したように、本発明のフィルム剥離方法は、硬質基板（６）と、前記硬質基板（６）の表面に接着されているフィルム（７）とを有する電気光学パネル（５）についての前記フィルム（７）を剥離するフィルム剥離方法であって、前記硬質基板（６）から前記フィルム（７）の端部を剥離し、剥離した前記フィルム（７）の端部をフィルム巻取りローラ（７３）に連結する連結工程と、前記フィルム（７）が剥離された硬質基板（６）表面部分を基板押さえブレード（３２）によって押さえると共に、前記フィルム（７）を介して前記電気光学パネル（５）をフィルム押さえローラ（５７）によって押えつつ、前記フィルム（７）を巻き取る巻取り方向に前記フィルム巻取りローラ（７３）を回転させながら、前記フィルム巻取りローラ（７３）、前記基板押さえブレード（３２）および前記フィルム押さえローラ（５７）を剥離方向に移動させて、前記硬質基板（６）から前記フィルム（７）を剥離する剥離工程とを含んでなり、前記剥離工程の間、前記電気光学パネル（５）が載置されたステージ（２）と、前記基板押さえブレード（３２）および前記フィルム押さえローラ（５７）との間において前記電気光学パネル（５）を、略鉛直方向に振動可能に狭持しつつ略水平方向に振動可能な状態で前記ステージ（２）上に載置していることを特徴とし、本発明のフィルム剥離装置（１）は、本発明のフィルム剥離方法を実施するための装置である（符号は、添付の図１〜図６を参照）。
ここに、「剥離したフィルムの端部をフィルム巻取りローラに連結する」とは、フィルムの端部をテープなどによって手動、半自動、完全自動などでフィルム巻取りローラに連結したり、フィルムの端部をフィルム巻取りローラの把持部に把持させて連結したり、フィルムの端部に孔を設けこの孔にフィルム巻取りローラの引っ掛け部に引っ掛けて連結することなどが包含される。
【００１３】
次に、添付の図面を参照しながら、本発明を実施するための最良の形態を説明することにより本発明を更に詳しく説明するが、本発明は、これら実施形態に限定されるものではない。
【００１４】
＜フィルム剥離装置＞
図１は、本発明の実施形態である使用状態でのフィルム剥離装置１の斜視図、図２は、図１に示したフィルム剥離装置１を、カバーを取外した状態で示す平面図、図３は、図１に示したフィルム剥離装置の一部を、カバーを取外した状態で示す部分側面図である。
図1に示すように、フィルム剥離装置１は、主要な要素である剥離装置４と、他の要素とを含んでなり、具体的には、平坦な上面２ａを有するステージ２と、このステージ２を下方から支持する直方体形状の架台３と、上面２ａ上に載置された剥離装置４とを備える。剥離装置４は、ステージ２上を、上流側（図２の上部側）から剥離方向（図２の下方向）に沿って下流側（図２の下部側）に移動することによって、電気光学パネルとしての液晶表示パネル５を構成する硬質基板としてのガラス基板６からフィルムとしての偏光板７を剥離する装置である。
【００１５】
液晶表示パネル５では、一対のガラス基板６間に複数のスペーサ（図示せず）を介在させて所定の隙間を形成し、この隙間内に液晶を注入して液晶層を設けている。ガラス基板６は、図２に示すように、平面視で矩形状に形成される。ガラス基板６の上面には、図１に示すように、接着層８を介して偏光板７が貼付される。偏光板７は、ガラス基板６と略同じ大きさの矩形状に形成される。偏光板７とガラス基板６との間に空気や塵などが介在して不良が生じている場合、本発明のフィルム剥離装置１によって、偏光板７は接着層８と共に剥離除去することができる。
【００１６】
＜ステージ＞
ステージ２は、図２に示すように、平面視長方形形状を有しており、その長手方向が剥離方向（図２、下方向）に平行になるように配置される。剥離方向の上流に向かって左側（以下、「上流左側」という。）および右側（以下、「上流右側」という。）のステージ２の両端部付近において、各々、溝１１および溝１２が剥離方向に沿ってステージ２の上面２ａ上に形成される。これらの溝１１，１２は、ガイド部材２２が（図3、参照）摺動自在に嵌合され、剥離方向長さが同じである。また、上流右側の溝１２よりも、さらに上流右側に位置しかつ剥離方向に沿って延在するラック１３は、ステージ２の上面２ａ上に形成されており、このラック１３には、ピニオン９４の歯部（図３、参照）が噛み合っており、このピニオン９４が所定方向およびその反対方向に回転することで、剥離装置４は、剥離方向および剥離方向とは反対の非剥離方向に移動することができる。
【００１７】
＜剥離装置＞
剥離装置４は、ステージ２の上面２ａから鉛直方向上方に所定間隔を置いて配置したベースプレート２１を備える（特に図３、参照）。
ベースプレート２１は、平面視長方形形状を有しており、その長手方向がステージ２の幅方向と平行になるように配置される（図２、参照）。また、ベースプレート２１は、その長手方向の長さがステージ２の幅よりも若干短く形成されており、ラック１３とは対向せずに２つの溝１１，１２と対向するように配置される。これら溝１１，１２に対向する各位置には、ベースプレート２１の下面において、ガイド部材２２がそれぞれ２つずつ形成される（図3、参照）。ガイド部材２２は、ベースプレート２１の下面から対向する溝１１，１２に向かって突出し、溝１１，１２内に摺動自在に嵌合される。このガイド部材２２が溝１１，１２に嵌合された状態において、ベースプレート２１とステージ２との間に、液晶表示パネル５を挿入しうるように、この液晶表示パネル５の厚みよりも大きな間隔が形成される。また、ベースプレート２１の中央には、その長手方向に延在した貫通孔２３が形成されており、この貫通孔２３を通ってフィルム押さえローラ５７（詳細には図３参照）および基板押さえブレード３２がステージ２側に飛び出して液晶表示パネル５を押さえることができる。
【００１８】
ベースプレート２１上には、図３に示すように、液晶表示パネル５の偏光板７をガラス基板６から剥離するときに主として機能する主要な要素３１,５１,７１,９１が設けられている。すなわち、主要な要素は、偏光板７が接着層８と共に剥離されたガラス基板６の表面を押さえる第１押さえ機構３１および偏光板７を介して液晶表示パネル５を押さえる第２押さえ機構５１と、ガラス基板６から剥離された偏光板７の端部と連結可能な巻取り装置７１と、剥離装置４全体を剥離方向／非剥離方向に移動させるための移動機構９１とである。また、ベースプレート２１には、これら第１および第２押さえ機構３１，５１および巻取り装置７１を部分的に覆うカバー９（図１、参照）が固定される。なお、第１押さえ機構３１の基板押さえブレード３２、第２押さえ機構５１のフィルム押さえローラ５７、巻取り装置７１のフィルム巻取りローラ７３は、剥離方向に沿って順に配置する。すわなち、フィルム巻取りローラ７３は剥離方向下流側に位置し、このフィルム巻取りローラ７３と基板押さえブレード３２との間にフィルム押さえローラ５７を配置する。
【００１９】
＜第１押さえ機構＞
第１押さえ機構３１は、図２および図３に示すように、基板押さえブレード３２と、基板押さえブレード３２とステージ２の上面２ａとがなす角度を調整する角度調整機構３３と、基板押さえブレード３２とステージ２との間隔を調整する２つの高さ調整機構３４とを備える。なお、高さ調整機構３４は、ともに同じ構成を有しているので１つの高さ調整機構３４について以下に説明し、もう１つの高さ調整機構３４の説明は省略する。
【００２０】
基板押さえブレード３２は、ステージ２の幅方向に延在した長尺な板状部材からなり、剥離方向に向かって下方に傾斜し、その下端部が先細りの形状を有する（図３、参照）。基板押さえブレード３２は、角度調整機構３３の取付け部３５（詳細には図２，図３参照）にボルトで固定される。なお、本発明のフィルム剥離装置は、ガラス基板６と偏光板７とを接着する接着剤を膨潤ないし溶解するためのエタノールなどを用いずとも、効率的かつ効果的に偏光板７を除去できるが、要すれば、接着剤膨潤用の流体通路を、基板押さえブレード３２に形成することができる。例えば、先細りの先端３２ａ近傍とその先端３２ａと反対側の端部とを連通している流体通路を形成することができる。前記流体には、有機溶剤（例えば、エタノール）等の液体や、水蒸気などの気体が包含される。
【００２１】
角度調整機構３３は、ステージ２の幅方向に延在する軸３６と、軸３６を回転自在に支持する支持部材３７と、基板押さえブレード３２が取付けられステージ２に対向する側面を有する５つの取付け部３５と、軸３６をその軸周り方向に関して所定の位置で支持部材３７に回転不能に固定する固定部材３８とを備える。
【００２２】
支持部材３７は、図２および図３に示すように、軸３６の端部をそれぞれ支持する一対のフランジ３９と、一対のフランジ３９を相互に連結する３つの連結部材４１〜４３とを有する。後者の連結部材は、一対のフランジ３９の上面に固定されている連結部材４１と、一対のフランジ３９の下面の中央から剥離方向上流側端部かけて固定されている連結部材４３と、一対のフランジ３９の剥離方向上流側の一側面に固定されている連結部材４２である。５つの取付け部３５は、軸３６の延在方向に沿って互いに離隔して軸３６に固定された板状部材である。これら取付け部３５のステージ２と対向する一側面に、基板押さえブレード３２がボルトによって固定される。このように、基板押さえブレード３２は、ボルト固定しているため、付け替え自在である。
【００２３】
固定部材３８は、軸３６の外径とほぼ同じ内径を有するリングであり（図３）、軸３６の上流右側の端部に付設される（図２）。固定部材３８は、その内周面において、軸３６の前記端部に形成された雄ねじに対して螺合可能な雌ねじが形成される。この固定部材３８は、剥離工程の間、水平方向距離Ｔ１（基板押さえブレード・先端３２ａと、フィルム押さえローラ５７の垂下点５７aとの間の距離、図６および以下の項目＜１．２＞、参照）を決定しうるように、基板押さえブレード３２の傾斜角度を調節することができる。例えば、この基板押さえブレード３２・傾斜角度（基板押さえブレード３２の先端３２ａを通る基板押さえブレード３２の幅方向に平行な線分と、ステージ２の上面２ａとがなす角度）を４５度になるように設定したのち、固定部材３８がフランジ３９の側面に当接するまで締め付けることで、軸３６をフランジ３９に対して回転不可能に固定することができ、この角度設定によって水平方向距離Ｔ１を決定することができる。なお、固定部材３８は、フランジ３９の側面と離隔するように緩めることで、軸３６をフランジ３９に対して回転させることができる。
【００２４】
高さ調整機構３４は、図３に示すように、外筒４４と、外筒４４を周方向に回転自在に支持する内筒４５と、内筒４５と連結部材４２とに固定されたＬ字形状のブラケット４６と、ブラケット４６に形成された孔を通して外筒４４および内筒４５に挿入されたスピンドル４７とを備える。
【００２５】
外筒４４／内筒４５の内周面には連続した雌ねじが形成され、スピンドル４７に形成された雄ねじが外筒４４、内筒４５に形成された雌ねじに螺合されるように、スピンドル４７が内筒４５、外筒４４内に挿通される。また、スピンドル４７は、その下端が鉛直方向下方に位置するガイド部材４８に当接し、ガイド部材４８は、固定部材４９を介してベースプレート２１に固定され、鉛直方向（図３の上下方向）に沿ったブラケット４６の移動をガイドすることができる。なお、ガイド部材４８は、ブラケット４６の移動をガイドしているだけで、特にブラケット４６を支持しているわけではないので、ガイド部材４８の上端とスピンドル４７の下端とは、基板押さえブレード３２、支持部材３７などの自重によって常に当接している。
【００２６】
この高さ調整機構３４は、既知のマイクロメータと同様な機構を有し、外筒４４を所定方向に回転させるとスピンドル４７が外筒４４／内筒４５から押し出されるようにして伸長し、基板押さえブレード３２がステージ２から離れる方向、すなわち鉛直方向上方に移動する。一方、外筒４４を前記所定方向とは反対の方向に回転させるとスピンドル４７が外筒４４／内筒４５に入り込むように縮小し、基板押さえブレード３２は、ステージ２に接近する方向、すなわち鉛直方向下方に移動し、基板押さえブレード３２の先端３２ａがベースプレート２１の貫通孔２３を通過してステージ２の上面２ａに接近する。このようにして、基板押さえブレード３２の高さ調整をすることができる。
【００２７】
＜第２押さえ機構＞
第２押さえ機構５１は、図２および図３に示すように、ベースプレート２１の長手方向に沿った両端に固定された各架台５２，５３に鉛直方向に伸縮可能に取り付けたエアシリンダ５５，５６と、これらエアシリンダ５５，５６に回転自在に支持された長尺なフィルム押さえローラ５７とを備える。各エアシリンダ５５，５６は、そのシリンダロッドの各端部において、フィルム押さえローラ５７の長手方向がステージ２の幅方向に平行になるようにフィルム押さえローラ５７を支持する。
【００２８】
この構成により、エアシリンダ５５，５６のシリンダロッドを伸長させると、フィルム押さえローラ５７がステージ２に接近し、これにより、フィルム押さえローラ５７を、ベースプレート２１の貫通孔２３を通ってステージ２の上面２ａに接近させることができる。一方、エアシリンダ５５，５６のシリンダロッドを縮小させると、フィルム押さえローラ５７がステージ２から離れる方向に移動し、フィルム押さえローラ５７をステージ２から遠ざけることができる。
【００２９】
＜巻取り装置＞
巻取り装置７１は、図２および図３に示すように、ベースプレート２１に立設された軸受け部材７９によって回転自在に支持されたフィルム巻取りローラ７３であってフィルム押さえローラ５７の長軸と平行になるよう配置された長軸を有するフィルム巻取りローラ７３と、このフィルム巻取りローラ７３を駆動させかつ架台５２上に設けた駆動モータ７２と、この駆動モータ７２による回転力をフィルム巻取りローラ７３に伝達する駆動ベルト７４とを備える。
なお、駆動ベルト７４は、架台５２に形成された開口６１に対向する各位置に設けた一対のプーリ７５,７６に架け渡されており、これらのプーリ７５,７６は、各々、駆動モータ７２の駆動軸７８周囲およびフィルム巻取りローラ７３の軸７７周囲に固定される。
【００３０】
この構成において、駆動モータ７２を正回転させて、プーリ７５を所定方向（上流右側から見て反時計回り方向、以下、単に「反時計回り方向」という。）に回転させると、駆動ベルト７４によってプーリ７６も所定方向に回転し、フィルム巻取りローラ７３は、巻取り方向（反時計回り方向）に回転する。このとき、フィルム巻取りローラ７３を、そのローラドラムに偏光板７の剥離端部をテープによって連結させた状態で、巻取り方向に回転させると、ガラス基板６から剥がされた偏光板７をフィルム巻取りローラ７３によって巻取ることができる。
なお、フィルム巻取りローラ７３は、例えば、分割された２つのローラドラム半部を有する構成であってもよい。これらローラドラム半部同士を組み付けて１つのフィルム巻取りローラを構成するときに、両者の間に剥離された偏光板７の端部を把持させることで、フィルム巻取りローラに偏光板７を連結させることができる。さらに、フィルム巻取りローラ７３の外周面に突起からなる引っ掛け部が形成されていてもよい。この場合は、剥離した偏光板７の端部にパンチによって孔をあけ、この孔を突起に引っ掛けることで、偏光板７の端部をフィルム巻取りローラに連結することができる。
【００３１】
＜移動機構＞
図２および図３に示すように、移動機構９１は、ベースプレート２１に関し最も上流側に位置し、上流右側の角部に固定されており、駆動モータ９２と、この駆動モータ９２の駆動軸９３の端部に固定されたピニオン９４とを備える。駆動モータ９２は、ピニオン９４の歯部がステージ２に形成されたラック１３と噛み合うように配置される。この構成により、駆動モータ９２を正回転させて、ピニオン９４を所定方向（反時計回り方向）に回転させると、ピニオン９４の歯部とラック１３とが係合し、剥離装置４は、その全体が剥離方向（図３、左方向）に移動することができる。一方、駆動モータ９２を逆回転させて、ピニオン９４を所定方向とは反対方向（上流右側から見て時計回り方向、以下、単に「時計回り方向」という。）に回転させると、剥離装置４は、その全体が非剥離方向（図３の右方向）に移動することができる。
【００３２】
＜剥離方法＞
次に、本発明のフィルム剥離装置１を用いて液晶表示パネル５の偏光板７をガラス基板６から剥離する、本発明の剥離方法の実施形態について説明する。この実施形態では、ガラス基板６の片面に対し偏光板７を貼着したタイプの液晶表示パネル５を用いたが、もちろん、両面に偏光板を貼着したタイプの液晶表示パネルにも本発明の剥離方法を適用することができる。
図４は、ガラス基板６から偏光板７の端部を剥離した状態を模式的に示す、液晶表示パネル５の垂直断面図、
図５（ａ）は、図４に示した偏光板７の端部をフィルム巻取りローラ７３に連結し、フィルム押さえローラ５７／基板押さえブレード３２を所定位置に配置した剥離処理前の状態を模式的に示す、剥離装置４の垂直断面図、
図５（ｂ）は、剥離した偏光板表面と基板押さえブレード３２との隙間Ｔ２を示す、図５（ａ）の一点鎖線部分の一部拡大図、
図６（ａ）は、剥離装置４を剥離方向に移動させている状態を模式的に示す、剥離装置４の垂直断面図、および
図６（ｂ）は、基板押さえブレード・先端３２aと、垂下点５７aとの距離Ｔ１並びにガラス基板６の裏面とステージとの隙間Ｔ２を示す、図６（ａ）の一点鎖線部分の一部拡大図である。
【００３３】
次のような工程を行った。
＜１．準備段階＞
＜１．１  保護シートの載置＞
プラスチック製保護シートをステージ２上に載置して、液晶表示パネル５を保護する。
＜１．２  基板押さえブレード３２の調整・固定＞
液晶表示パネル５／偏光板７の厚みについて測定した厚みデータ等に基づき、基板押さえブレード３２の鉛直方向・高さおよび水平方向・位置を、各々、高さ調整機構３４および角度調整機構３３によって調整し、固定する。
この時点で、液晶表示パネル５は、ステージ２上に載置されてない。したがって、基板押さえブレード３２の鉛直方向・高さは、その先端３２aが、載置されたとした一部剥離液晶表示パネル５（硬質基板表面部分）との間に隙間Ｔ２が形成されるよう（図５（ｂ）、参照。）、高さ調整機構３４によって調整する。このように調整、固定した基板押さえブレード・先端３２aと、ステージ２の上面２aとの間の鉛直方向・距離は、〔（液晶表示パネル５の厚み−偏光板７の厚み）＋隙間Ｔ２〕に相当する。この隙間Ｔ２は、偏光板７の厚みの厚みに応じて変化させることができる。すなわち、この実施形態における隙間Ｔ２は、0.04 mmであって、（フィルムである偏光板７の厚み0.5 mm）×0.08倍に相当するが、（偏光板７の厚み）×0.008〜0.8０倍、特に0.001〜0.４０倍、特に好適には0.01〜0.20倍の範囲内であればよい。接着層８の厚みは、１〜３×１０−２ mmと非常に小さいため、隙間T２の算出の際に無視した。
なお、鉛直方向・高さに関し、剥離済みの部位を押さえる基板押さえブレード３２は、未剥離の部位を押さえるフィルム押さえローラ５７よりも、ステージ２の上面２ａに偏光板７の厚み分だけ接近する。
【００３４】
基板押さえブレード３２の水平方向・位置は、次のように決定して、角度調整機構３３によって調整することができる。
図６（ｂ）に関し、フィルム押さえローラ５７の中心を通る水平線と円周との交点からステージ２に垂線を降ろし、この垂線と、剥離済み液晶表示パネル表面とが交差する交点を垂下点５７aとすると、垂下点５７aと、押さえブレード・先端３２aとの間の距離を、水平方向距離Ｔ１として、決定することができる。
本発明者らの実験によれば、T１が、マイナスである場合も含め、小さければ小さいほど、接着剤が液晶表示パネル基板側に残存する傾向を示す一方、T１が大きければ大きいほど剥離工程の間に液晶表示パネル５がめくれ上がる傾向を示すことが判明した。
T１が小さい場合、すなわち基板押さえブレード３２の押さえ位置が下流側のフィルム押さえローラ５７に接近するにつれて、剥離工程の間にフィルム押さえローラ５７と、ステージ２との間の広がりうる接着層を破断させるため、接着層の液晶表示パネル基板への残存が起こるものと考えられ、他方、Ｔ２が大きい場合、すなわち基板押さえブレード３２の押さえ位置がフィルム押さえローラ５７から遠くに離れて上流側に移動すると、剥離時に生じる力が基板押さえブレード３２により押さえる力よりも大きくなり、その結果、液晶表示パネル５がめくれ上がるものと、考えられる。
現時点での実験結果によれば、Ｔ１は正の値、すなわち、基板押さえブレード・先端３２aは、フィルム押さえローラ５７（前記垂下点５７a）よりも上流側に存在し、現時点での最善の数値は、約２ｍｍである。このような水平方向・位置を得るには、前記したように、角度調整機構３３によって調整、固定することができ、基板押さえブレード３２の傾斜角度は、約４５度である。
このように、剥離方向に関して、基板押さえブレード３２の先端３２ａをフィルム押さえローラ５７から上流側に離れた位置に配置することによって、接着剤残りを排除しつつ、液晶表示パネル５のめくれを防止することができた。
【００３５】
＜１．３  フィルム押さえローラ５７の高さの設定＞
前記厚みデータに基づき、フィルム押さえローラ５７の高さをエアシリンダ５５,５６によって設定し、この設定に従い、以下の項目２．３において、フィルム押さえローラ５７を下降させることができる。
【００３６】
＜１．４  連結工程その１＞
液晶表示パネル５・偏光板７の端部に相当する角部を、接着層８と共にガラス基板６からカッターによって剥離し（図４、参照）、剥離した偏光板７に、テープの一端を貼着する。
【００３７】
＜２．剥離作業＞
＜２．１  液晶表示パネル５のセット＞
フィルム押さえローラ５７を上昇させたのち、偏光板７の角部を剥離した液晶表示パネル５をステージ２の上面２ａ上に載置する。この載置の時点で、基板押さえブレード３２は、所定の高さに固定されているため、この基板押さえブレード３２に接触しないよう液晶表示パネル５を挿入する。また、図２に示すように、液晶表示パネル５は、その長辺および短辺が剥離方向に対して約４５°に傾くように配置し、かつ、剥離された偏光板７の角部が剥離装置４に最も近くなるように配置する。
＜２．２  連結工程その２＞
剥離した偏光板７に貼着したテープ（項目１．４、参照）の他端を、フィルム押さえローラ５７を介し、フィルム巻取りローラ７３のローラドラムに貼着して、偏光板７と、フィルム巻取りローラ７３とを連結させる（図５（ａ）、参照）。したがって、偏光板７は、ガラス基板６から剥離して上昇して、フィルム押さえローラ５７・ローラドラムに接触し、このローラドラムの外周に沿って上昇し、次いで剥離方向上方に上昇してフィルム巻取りローラ７３・ローラドラムに到達し、このローラドラムにテープを介して貼着されている。
したがって、剥離した前記フィルムの端部についてのフィルム巻取りローラ７３への連結は、フィルム押さえローラ５７を介してなされ、これにより、滑らかな巻取りを確保することができる。
【００３８】
＜２．３  フィルム押さえローラ５７の高さの固定＞
フィルム押さえローラ５７を下降させ、フィルム押さえローラ５７と液晶表示パネル５との間に隙間が実質的に形成されないよう（図５（ａ）、参照）、フィルム押さえローラ５７を固定する。前記したように、基板押さえブレード３２の場合には所定の隙間T２を形成するのに対し、フィルム押さえローラ５７の場合には、実質的に隙間を形成しなくとも、パネルの損傷を防止できることが判明した。これは、前者が硬質の基板を押さえるのに対し、後者は軟質の偏光板フィルムを押さえているためであると、考えられる。
この時点で、剥離方向に関し上流側から、順に、基板押さえブレード３２、フィルム押さえローラ５７、次いでフィルム巻取りローラ７３を配置していると共に、フィルム巻取りローラ７３を、フィルム押さえローラ５７よりも鉛直方向・上方に配置している（図５（ａ）、参照）。
【００３９】
＜２．４  剥離工程＞
開始スイッチ（図示せず）を入力して、除電ブロワー（図示せず）を始動させたのち、駆動モータ７２を所定の回転数／回転力で回転させることによってフィルム巻取りローラ７３を回転させながら、フィルム巻取りローラ７３／フィルム押さえローラ５７／基板押さえブレード３２を備えた剥離装置４を、所定の速度に調節した移動機構９１によって剥離方向に移動させ（図６（ａ）、参照）、この点で、回転・フィルム巻取りローラを移動させない従来技術に比し、本発明は、装置のコンパクト化を達成できた。
この剥離工程では、液晶表示パネル５は、ステージ２と、基板押さえブレード３２およびフィルム押さえローラ５７との間において、略鉛直方向に振動可能に狭持しつつ、水平方向に振動可能な状態で、ステージ２上に載置されている。
例えば、剥離処理開始前、基板押さえブレード３２は、前記したように、各々、一部剥離液晶表示パネル部分から隙間T２の間隔をおいて配置されている一方（図５（ｂ）、参照）、剥離処理開始後、一部剥離液晶表示パネル部分は、鉛直方向への最大振幅Ｔ２で振動することができる（図６（ｂ）、参照）と共に、水平方向の振動も過度に制限されることはない。剥離処理の間、液晶表示パネル５は、水平方向に関し、左右に振動し、かつ鉛直方向に関し上下に振動しながら、剥離処理が進行する。なお図６（b）では、フィルム押さえローラ５７の鉛直下方においても、隙間T２が存在するように図示しているが、実際には、この鉛直下方付近の隙間は、ゼロを含め、隙間T２よりも小さく、したがって押さえローラ５７の鉛直下方のパネルの振動幅は、隙間T２よりも小さい。
前記した鉛直方向の振動（一部剥離液晶表示パネル部分／液晶表示パネル一部分の振動）は、偏光板７が剥離されるときに加えられた剥離力が接着層８を介してガラス基板６に伝わることによって、剥離処理の間、断続的に液晶表示パネル５が鉛直上方に引き寄せられることで生じるものと考えられる。この液晶表示パネル５が鉛直上方に引き寄せられたとき、フィルム押さえローラ５７／基板押さえブレード３２は、各々、偏光板７を介して液晶表示パネル一部分／一部剥離液晶表示パネル部分を押さえる（図６（ｂ）、参照）。なお、液晶表示パネル５は、剥離工程の大半、フィルム押さえローラ５７／基板押さえブレード３２によって押さえられている。
このようにして、本発明の方法によれば、偏光板７も含め、液晶表示パネル５を破損することなく、偏光板７を剥離することができた。
【００４０】
＜３．０  回収／廃棄工程＞
全ての偏光板７を除去したのち、自動停止し、フィルム押さえローラ５７を上昇させて、偏光板７を除去した液晶表示パネル５をステージ２から取り出し、再利用する一方、フィルム巻取りローラ７３を時計回り方向に回転させて、分離した偏光板７を回収し、廃棄する。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態であるフィルム剥離装置を示す斜視図。
【図２】図１に示したフィルム剥離装置の平面図。
【図３】図１に示したフィルム剥離装置の部分側面図。
【図４】ガラス基板から偏光板の端部を剥離した状態を模式的に示す、液晶表示パネルの垂直断面図。
【図５】（ａ）は、図4に示した偏光板の端部をフィルム巻取りローラに連結し、フィルム押さえローラ／基板押さえブレードを所定位置に配置した剥離処理前の状態を模式的に示す、剥離装置の垂直断面図であり、（ｂ）は、剥離した偏光板表面と基板押さえブレードとの隙間を示す、図５（ａ）の一部拡大図。
【図６】（ａ）は、剥離装置を剥離方向に移動させている状態を模式的に示す、剥離装置の垂直断面図であり、（ｂ）は、フィルム押さえブレード・先端と、垂下点との距離並びにガラス基板の裏面とステージとの隙間を示す、図６（ａ）の一部拡大図。
【符号の説明】
【００４２】
１：フィルム剥離装置    ５：液晶表示パネル（電気光学パネル）    ６：ガラス基板（硬質基板）    ７：偏光板（フィルム）    ３２：基板押さえブレード    ５７：フィルム押さえローラ    ７３：フィルム巻取りローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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