(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の裏面に、ｐ型領域と、前記ｐ型領域に隣り合うｎ型領域と、前記ｐ型領域上のｐ電極と、前記ｎ型領域上のｎ電極とを含む単位太陽電池セルを複数備えており、
前記単位太陽電池セル同士の電気的な接続の少なくとも１つが直列接続であって、
前記直列接続は、前記単位太陽電池セルのｐ電極と、その単位太陽電池セルとは異なる他の前記単位太陽電池セルのｎ電極とを電気的に接続する接続部材により行なわれていることを特徴とする、裏面電極型太陽電池。
【請求項２】
前記接続部材は、前記半導体基板の前記裏面上に設置された接続用電極を含むことを特徴とする、請求項１に記載の裏面電極型太陽電池。
【請求項３】
前記接続部材は、接続用配線を含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の裏面電極型太陽電池。
【請求項４】
前記接続部材は、絶縁性基板と、前記絶縁性基板上に設置された配線とを備えた配線基板であることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の裏面電極型太陽電池。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の裏面電極型太陽電池が封止材中に封止されてなる、太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、裏面電極型太陽電池および太陽電池モジュールに関し、特に、太陽電池セルを電気的に直列に接続する際の配線作業を容易に行なうことができるとともに、配線抵抗による損失を低減して特性を向上することができる裏面電極型太陽電池およびその裏面電極型太陽電池を用いた太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、エネルギ資源の枯渇の問題や大気中のＣＯ2の増加のような地球環境問題などからクリーンなエネルギの開発が望まれており、特に太陽電池セルを用いた太陽光発電が新しいエネルギ源として開発、実用化され、発展の道を歩んでいる。
【０００３】
従来の太陽電池セルにおいては、半導体基板の受光面に半導体基板の導電型とは反対の導電型となる不純物を拡散することによって半導体基板の受光面近傍にｐｎ接合を形成して当該受光面に一方の電極を配置し、半導体基板の受光面の反対側の裏面に他方の電極を配置した構造が一般的に採用されている。また、半導体基板の裏面には半導体基板の導電型と同じ導電型の不純物を高濃度に拡散し、裏面電界効果による高出力化を図ることも一般的である。
【０００４】
一方、このような構造の太陽電池セルにおいては、半導体基板の受光面に形成される電極が入射光を遮り、太陽電池セルの出力を抑制する原因となる。また、複数の太陽電池セルを電気的に直列に接続して太陽電池モジュールを作製する場合には、隣り合った太陽電池セル間で受光面に配置された電極と裏面に配置された電極とを接続しなければならず、これらの電極をインターコネクタで接続する作業が困難であった。
【０００５】
また、太陽電池セルの電圧は半導体基板の材料に大きく依存し、電流は半導体基板の受光面の大きさに依存する。したがって、高電圧を得るためには、太陽電池セルを電気的に直列に接続した太陽電池モジュールを作製する必要がある。また、太陽電池モジュールを作製する際には、配線抵抗（太陽電池セルで発生した電流が電極および太陽電池セル同士を接続する配線を通って外部に取り出されるまでの電気抵抗）による損失があり、この損失は配線および電極に流れる電流が増大するほど大きくなる。
【０００６】
そこで、配線および電極に流れる電流量を低下させ、電圧を高くすることによって太陽電池モジュールの特性を向上させる場合には、太陽電池モジュールを構成する太陽電池セルの受光面の大きさを小さくし、太陽電池セルの直列接続数を上げて配線することなどが行なわれている。
【０００７】
しかしながら、この場合には、表面の小さな半導体基板を用いて太陽電池セルを個々に作製するか、表面の大きな半導体基板を用いて複数の太陽電池セルを一度に作製して個々の太陽電池セルに分割する必要があった。そのため、表面の小さな半導体基板を用いて太陽電池セルを個々に作製した場合には太陽電池モジュールの製造効率が低下するという問題があった。また、表面の大きな半導体基板を用いて複数の太陽電池セルを一度に作製した場合にはダイシングなどの工程が増加するという問題があった。さらに、直列接続数を上げるためには太陽電池モジュールの作製の際の配線工程が増加するため太陽電池モジュールの製造効率が低下するという問題もあった。
【０００８】
また、従来の薄膜太陽電池においては、１つの基板上に複数の太陽電池セルが形成されているため、１つの基板上に多数の直列接続を形成する方法が採用されている（たとえば、特開平５−４８１３４号公報（特許文献１）参照）。
【０００９】
しかしながら、１つの半導体基板の表面内で上記構造の太陽電池セルを電気的に直列に接続する場合には、半導体基板の受光面から裏面に配線を回す必要があった（たとえば、特表２００２−５０７８３５号公報（特許文献２）参照）。
【００１０】
したがって、従来においては、太陽電池セルを電気的に直列に接続する際の配線作業が困難であるとともに配線抵抗による損失を低減することが困難であるという問題があった。
【特許文献１】特開平５−４８１３４号公報
【特許文献２】特表２００２−５０７８３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、太陽電池セルを電気的に直列に接続する際の配線作業を容易に行なうことができるとともに、配線抵抗による損失を低減して特性を向上することができる裏面電極型太陽電池およびその裏面電極型太陽電池を用いた太陽電池モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、半導体基板の裏面に、ｐ型領域と、ｐ型領域に隣り合うｎ型領域と、ｐ型領域上のｐ電極と、ｎ型領域上のｎ電極とを含む単位太陽電池セルを複数備えており、単位太陽電池セル同士の電気的な接続の少なくとも１つが直列接続であって、直列接続は単位太陽電池セルのｐ電極と、その単位太陽電池セルとは異なる他の単位太陽電池セルのｎ電極とを電気的に接続する接続部材により行なわれている裏面電極型太陽電池である。
【００１３】
ここで、本発明の裏面電極型太陽電池において、接続部材は、半導体基板の裏面上に設置された接続用電極を含むことが好ましい。
【００１４】
また、本発明の裏面電極型太陽電池において、接続部材は、接続用配線を含むことが好ましい。
【００１５】
また、本発明の裏面電極型太陽電池において、接続部材は、絶縁性基板と、絶縁性基板上に設置された配線とを備えた配線基板であることが好ましい。
【００１６】
さらに、本発明は、上記のいずれかの裏面電極型太陽電池が封止材中に封止されてなる太陽電池モジュールである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、太陽電池セルを電気的に直列に接続する際の配線作業を容易に行なうことができるとともに、配線抵抗による損失を低減して特性を向上することができる裏面電極型太陽電池およびその裏面電極型太陽電池を用いた太陽電池モジュールを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【００１９】
＜実施の形態１＞
図１（ａ）に本発明の裏面電極型太陽電池の一例の裏面側の模式的な斜視図を示し、図１（ｂ）に図１（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図を示す。ここで、本発明の裏面電極型太陽電池においては、半導体基板１０１の裏面にｐ型領域１１１とｎ型領域１１２とが形成されている。また、ｐ型領域１１１上にはｐ電極１２１が形成されており、ｎ型領域１１２上にはｎ電極１２２が形成されている。
【００２０】
また、本発明の裏面電極型太陽電池は、第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとによって構成されている。ここで、第１の単位太陽電池セル３０１ａおよび第２の単位太陽電池セル３０１ｂはそれぞれ、半導体基板１０１の裏面に形成された、ｐ型領域１１１と、ｐ型領域１１１に隣り合うｎ型領域１１２と、ｐ型領域１１１上のｐ電極１２１と、ｎ型領域１１２上のｎ電極１２２とを含む構成を有している。そして、この例においては、第１の単位太陽電池セル３０１ａのｐ型領域１１１上のｐ電極１２１と、第２の単位太陽電池セル３０１ｂのｎ型領域１１２上のｎ電極１２２とが接続部材としての接続用電極２００によって電気的に直列に接続されている。
【００２１】
以上のような構成の本発明の裏面電極型太陽電池は、たとえば以下のようにして製造することができる。以下に、図２〜図１０の模式的断面図を参照して、本発明の裏面電極型太陽電池の一例について説明する。
【００２２】
まず、図２に示すように、ｎ型のシリコン基板からなる半導体基板１０１を用意する。ここで、半導体基板１０１としては、たとえば、多結晶シリコンまたは単結晶シリコンなどを用いることができる。また、半導体基板１０１の大きさおよび形状は特に限定されないが、たとえば厚さが１００μｍ以上３００μｍ以下、１辺が１００ｍｍ以上２００ｍｍ以下の四角形の板状とすることができる。
【００２３】
なお、本明細書においては、半導体基板１０１として、ｎ型のシリコン基板を用いた場合について主に説明するが、その材質は半導体であれば特に限定されず用いることができ、たとえばｐ型のシリコン基板などを用いてもよい。
【００２４】
また、半導体基板１０１としては、たとえば、スライスされることにより生じたスライスダメージを除去したものなどを用いることが好ましく、スライスダメージを除去する場合には、たとえば、半導体基板１０１の一方の表面である受光面および他方の表面である裏面の全面をフッ化水素水溶液と硝酸との混酸または水酸化ナトリウムなどのアルカリ水溶液などでエッチングを行なうことにより実施することができる。
【００２５】
次に、図３に示すように、半導体基板１０１の一方の表面である裏面にたとえばシリコン酸化膜からなるテクスチャマスク１０４を形成し、半導体基板１０１の他方の表面である受光面にテクスチャ構造１１０を形成する。
【００２６】
ここで、半導体基板１０１の受光面のテクスチャ構造１１０は、たとえば、水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液にイソプロピルアルコールを添加した液をたとえば７０℃以上８０℃以下に加熱したものなどを用いてエッチングすることにより形成することができる。半導体基板１０１の裏面にテクスチャマスク１０４を形成することによって半導体基板１０１の受光面のみにテクスチャ構造１１０を形成することができ、半導体基板１０１の裏面は平坦にすることができる。
【００２７】
ここで、シリコン酸化膜からなるテクスチャマスク１０４は、たとえば、スチーム酸化、常圧ＣＶＤ法またはスピンオングラスの印刷および焼成などによって形成することができる。テクスチャマスク１０４の厚さは特に限定されないが、たとえば３００ｎｍ以上８００ｎｍ以下の厚さとすることができる。
【００２８】
また、テクスチャマスク１０４としては、シリコン酸化膜以外にも、たとえば、シリコン窒化膜、またはシリコン酸化膜とシリコン窒化膜との積層体などを用いることができる。ここで、シリコン窒化膜からなるテクスチャマスク１０４は、たとえばプラズマＣＶＤ法または常圧ＣＶＤ法などで形成することができ、厚さは特に限定されないが、たとえば６０ｎｍ以上１００ｎｍ以下とすることができる。
【００２９】
また、本実施の形態において、テクスチャマスク１０４は、テクスチャ構造１１０の形成後に一旦除去されるが、テクスチャマスク１０４を除去せずにそのまま残しておくことによって、後述するｐ型不純物の拡散を防止するための第１拡散マスクとして利用することも可能である。
【００３０】
次に、図４に示すように、半導体基板１０１の受光面および裏面の所定の位置に開口部１０５を有するたとえばシリコン酸化膜からなる第１拡散マスク１０３ａを形成する。
【００３１】
ここで、第１拡散マスク１０３ａはたとえば以下のようにして形成することができる。まず、半導体基板１０１の受光面および裏面の全面に第１拡散マスク１０３ａを形成する。
【００３２】
そして、半導体基板１０１の裏面の第１拡散マスク１０３ａ上の所定の位置に第１拡散マスク１０３ａのエッチングが可能な第１エッチングペーストをたとえばスクリーン印刷法などによって印刷し、第１エッチングペーストの印刷後の半導体基板１０１を加熱処理する。その後、半導体基板１０１を水中に浸し、超音波を印加して超音波洗浄を行なうことによって、加熱処理後の第１エッチングペーストを除去する。これにより、第１エッチングペーストが印刷された第１拡散マスク１０３ａの部分のみが除去されて開口部１０５が形成され、その開口部１０５から半導体基板１０１の裏面を露出させることにより開口部１０５を有する第１拡散マスク１０３ａが形成される。
【００３３】
ここで、シリコン酸化膜からなる第１拡散マスク１０３ａは、たとえばスチーム酸化、常圧ＣＶＤ法またはスピンオングラスの印刷および焼成などによって形成することができる。第１拡散マスク１０３ａの厚さは特に限定されないが、たとえば１００ｎｍ以上３００ｎｍ以下の厚さとすることができる。
【００３４】
また、第１エッチングペーストとしては、たとえばエッチング成分としてリン酸若しくはフッ素化水素アンモニウムを含み、エッチング成分以外の成分として水、有機溶媒および増粘剤を含み、スクリーン印刷に適した粘度に調整されたものを用いることができる。
【００３５】
また、第１エッチングペーストが印刷された後の半導体基板１０１は、たとえば１００℃以上４００℃以下に加熱処理される。また、半導体基板１０１の加熱処理の方法は特に限定されず、たとえば、ホットプレート、ベルト炉またはオーブンなどを用いて行なうことができる。
【００３６】
また、上記の超音波洗浄に加えて、たとえば、半導体基板１０１の裏面を一般に知られているＳＣ−１洗浄（ＲＣＡ  Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｃｌｅａｎ−１）、ＳＣ−２洗浄（ＲＣＡ  Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｃｌｅａｎ−２）、硫酸と過酸化水素水との混合液による洗浄、薄いフッ化水素水溶液、薄いアルカリ水溶液または界面活性剤を含む洗浄液を用いた洗浄を併せて行なってもよい。
【００３７】
また、第１拡散マスク１０３ａとしては、シリコン酸化膜以外にも、たとえば、シリコン窒化膜、またはシリコン酸化膜とシリコン窒化膜との積層体などを用いることができる。ここで、シリコン窒化膜からなる第１拡散マスク１０３ａは、たとえばプラズマＣＶＤ法または常圧ＣＶＤ法などで形成することができ、厚さは特に限定されないが、たとえば４０ｎｍ以上８０ｎｍ以下とすることができる。
【００３８】
次に、図５に示すように、半導体基板１０１の裏面にｐ型不純物としてたとえばボロンなどを拡散させることによってｐ型領域１１１を形成した後に第１拡散マスク１０３ａを除去する。ここで、ｐ型領域１１１の形成位置は、第１拡散マスク１０３ａの開口部１０５に対応する。なお、ｐ型不純物はボロンに限定されないことは言うまでもない。
【００３９】
ｐ型領域１１１は、たとえば、ボロンなどのｐ型不純物を含むガスを半導体基板１０１の裏面に接触させることにより、またはボロンなどのｐ型不純物を含む液体を開口部１０５に塗布することにより形成することができる。
【００４０】
また、ｐ型領域１１１の形成後には、半導体基板１０１の裏面の第１拡散マスク１０３ａおよびボロンが拡散して形成されたＢＳＧ（ボロンシリケートガラス）などをたとえばフッ化水素水溶液などを用いてすべて除去する。
【００４１】
次に、図６に示すように、半導体基板１０１の受光面の全面および裏面のｐ型領域１１１上に開口部１０６を有するたとえばシリコン酸化膜からなる第２拡散マスク１０３ｂを形成する。
【００４２】
ここで、第２拡散マスク１０３ｂはたとえば以下のようにして形成することができる。まず、半導体基板１０１の受光面および裏面の全面に第２拡散マスク１０３ｂを形成する。
【００４３】
そして、半導体基板１０１の裏面の第２拡散マスク１０３ｂ上の所定の位置に第２拡散マスク１０３ｂのエッチングが可能な第２エッチングペーストをたとえばスクリーン印刷法などによって印刷し、第２エッチングペーストの印刷後の半導体基板１０１を加熱処理する。
【００４４】
その後、半導体基板１０１を水中に浸し、超音波を印加して超音波洗浄を行なうことによって、加熱処理後の第２エッチングペーストを除去する。これにより、第２エッチングペーストが印刷された第２拡散マスク１０３ｂの部分のみが除去されて開口部１０６が形成され、その開口部１０６から半導体基板１０１の裏面を露出させることにより開口部１０６を有する第２拡散マスク１０３ｂが形成される。
【００４５】
ここで、第２エッチングペーストとしては、たとえば第１エッチングペーストと同一組成のものを用いてもよく、異なる組成のものを用いてもよい。
【００４６】
また、第２エッチングペーストが印刷された後の半導体基板１０１は、たとえば１００℃以上４００℃以下に加熱処理される。ここでも、半導体基板１０１の加熱処理の方法は特に限定されず、たとえば、ホットプレート、ベルト炉またはオーブンなどを用いて行なうことができる。
【００４７】
また、第２拡散マスク１０３ｂとしては、シリコン酸化膜以外にも、たとえば、シリコン窒化膜、またはシリコン酸化膜とシリコン窒化膜との積層体などを用いることができる。
【００４８】
次に、図７に示すように、半導体基板１０１の裏面にｎ型不純物としてたとえばリンなどを拡散させることによってｎ型領域１１２を形成した後に第２拡散マスク１０３ｂを除去する。ここで、ｎ型領域１１２の形成位置は、第２拡散マスク１０３ｂの開口部１０６に対応する。
【００４９】
ｎ型領域１１２は、たとえば、リンなどのｎ型不純物を含むガスを半導体基板１０１の裏面に接触させることにより、またはリンなどのｎ型不純物を含む液体を開口部１０６に塗布することにより形成することができる。なお、ｎ型不純物は、リンに限定されないことは言うまでもない。
【００５０】
また、ｎ型領域１１２の形成後には、半導体基板１０１の裏面の第２拡散マスク１０３ｂおよびリンが拡散して形成されたＰＳＧ（リンシリケートガラス）などをたとえばフッ化水素水溶液などを用いてすべて除去する。
【００５１】
次に、図８に示すように、半導体基板１０１についてたとえばドライ酸化（熱酸化）を行なうことによって、半導体基板１０１の裏面の全面にシリコン酸化膜からなるパッシベーション膜１０２を形成する。このとき、半導体基板１０１の受光面にもシリコン酸化膜１０２ａが形成されることになる。
【００５２】
ここで、シリコン酸化膜からなるパッシベーション膜１０２はたとえばドライ酸化の他、たとえばスチーム酸化または常圧ＣＶＤ法などによって形成することができる。また、パッシベーション膜１０２は、たとえばプラズマＣＶＤ法によって形成されたシリコン窒化膜であってもよい。また、パッシベーション膜１０２は、たとえば、シリコン酸化膜とシリコン窒化膜との積層体であってもよい。
【００５３】
その後、半導体基板１０１の受光面のシリコン酸化膜１０２ａをたとえばフッ化水素水溶液などを用いてすべて一旦除去される。
【００５４】
次に、図９に示すように、半導体基板１０１の受光面上にたとえば屈折率が１．９〜２．１のシリコン窒化膜などからなる反射防止膜１０９を形成するとともに、パッシベーション膜１０２にコンタクトホール１０７およびコンタクトホール１０８を形成することによって、コンタクトホール１０７からｐ型領域１１１を露出させ、コンタクトホール１０８からｎ型領域１１２を露出させる。
【００５５】
ここで、コンタクトホール１０７はｐ電極１２１の形状に形成され、コンタクトホール１０８はｎ電極１２２の形状に形成される。さらに、図示されていないコンタクトホールが接続用電極２００の形状に形成される。
【００５６】
また、コンタクトホール１０７、コンタクトホール１０８および接続用電極２００の形状に形成されたコンタクトホールは、それぞれたとえば以下のようにして形成することができる。
【００５７】
すなわち、パッシベーション膜１０２上の上記のコンタクトホールの形成位置にパッシベーション膜１０２をエッチング可能なエッチングペーストを印刷した後に、たとえば１００℃〜４００℃の加熱処理を行なう。そして、加熱処理後の半導体基板１０１を水中に浸漬させ、超音波を印加して超音波洗浄を行なうことによって、加熱処理後のエッチングペーストを除去して、パッシベーション膜１０２に上記のコンタクトホールを形成することも可能である。なお、ここでも、上記の超音波洗浄に加えて、たとえば、半導体基板１０１の裏面を一般に知られているＳＣ−１洗浄、ＳＣ−２洗浄、硫酸と過酸化水素水との混合液による洗浄、薄いフッ化水素水溶液、薄いアルカリ水溶液または界面活性剤を含む洗浄液を用いた洗浄を併せて行なってもよい。
【００５８】
その後、図１０に示すように、半導体基板１０１の裏面のコンタクトホール１０７にｐ型領域１１１に接するｐ電極１２１を形成するとともに、コンタクトホール１０８にｎ型領域１１２に接するｎ電極１２２を形成する。さらには、接続用電極２００の形状に形成された図示しないコンタクトホールにも接続用電極２００を形成する。
【００５９】
ここで、ｐ電極１２１、ｎ電極１２２および接続用電極２００はそれぞれ、コンタクトホール１０７、コンタクトホール１０８および図示しないコンタクトホールにそれぞれたとえば銀ペーストを印刷した後に、銀ペーストをたとえば５００℃以上７００℃以下の温度で焼成することによって形成することができる。これにより、図１（ａ）および図１（ｂ）に示す構成を有する本発明の裏面電極型太陽電池の一例が完成する。
【００６０】
なお、上記においては、ｐ電極１２１、ｎ電極１２２および接続用電極２００をそれぞれ銀ペーストを焼成することによって形成しているが、ｐ電極１２１、ｎ電極１２２および接続用電極２００の材質はそれぞれ金属などの導電性物質であれば特に限定されないことは言うまでもない。
【００６１】
以上のように、図１（ａ）および図１（ｂ）に示す構成を有する本発明の裏面電極型太陽電池は、半導体基板１０１の裏面を二分する第１の単位太陽電池セル３０１ａおよび第２の単位太陽電池セル３０１ｂを一度に形成することができ、かつ第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとの電気的な直列接続も、ｐ電極１２１およびｎ電極１２２の形成と同時に接続用電極２００を形成することにより行なうことができる。
【００６２】
したがって、本発明の裏面電極型太陽電池においては、第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとを電気的に直列に接続する際の配線作業を容易に行なうことができるとともに、第１の単位太陽電池セル３０１ａおよび第２の単位太陽電池セル３０１ｂはそれぞれ小さな受光面を有し、配線抵抗による損失を低減することができるため、裏面電極型太陽電池の特性を向上することができる。
【００６３】
なお、半導体基板１０１がｎ型の導電型を有する場合には、半導体基板１０１の裏面のｐ型領域１１１とｎ型の半導体基板１０１とによって半導体基板１０１の裏面にｐｎ接合が形成される。また、半導体基板１０１がｐ型の導電型を有する場合には、半導体基板１０１の裏面のｎ型領域１１２とｐ型の半導体基板１０１とによって半導体基板１０１の裏面にｐｎ接合が形成される。
【００６４】
本発明の裏面電極型太陽電池の特性と比較するために、図２１（ａ）の裏面側の模式的な斜視図および図２１（ｂ）の裏面の模式的な平面図に示される比較例１の裏面電極型太陽電池を作製した。
【００６５】
ここで、比較例１の裏面電極型太陽電池は、図１（ａ）および図１（ｂ）に示す小さな受光面を有する第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂの２つの単位太陽電池セルが直列に接続された構成となっておらず、１つの大きな受光面を有する裏面電極型太陽電池となっていること以外は上記で説明した実施の形態１における本発明の裏面電極型太陽電池と同一の構成となっている。
【００６６】
図１（ａ）および図１（ｂ）に示す実施の形態１における本発明の裏面電極型太陽電池の特性と、図２１（ａ）および図２１（ｂ）に示す比較例１の裏面電極型太陽電池の特性とを比較したところ、実施の形態１における本発明の裏面電極型太陽電池は、比較例１の裏面電極型太陽電池と比較して、ｐ電極１２１およびｎ電極１２２を流れる電流密度（ｍＡ／ｃｍ2）が低く、開放電圧が大きいことが確認された。
【００６７】
＜実施の形態２＞
図１１（ａ）に本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例の裏面側の模式的な斜視図を示し、図１１（ｂ）に図１１（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図を示す。ここで、図１１（ａ）および図１１（ｂ）に示される実施の形態２における本発明の裏面電極型太陽電池は、第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとが接続用電極２００ではなく、たとえば銅線などの接続用配線４１０で電気的に直列に接続されている点に特徴がある。上記以外の説明は、実施の形態１と同様である。なお、接続用配線４１０は導電性物質からなるものであれば特に限定はされない。
【００６８】
このような構成の実施の形態２における本発明の裏面電極型太陽電池においては、半導体基板１０１の裏面を二分する第１の単位太陽電池セル３０１ａおよび第２の単位太陽電池セル３０１ｂを一度に形成することができ、かつ第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとの電気的な直列接続も接続用配線４１０により行なうことができる。
【００６９】
したがって、実施の形態２における本発明の裏面電極型太陽電池においても、第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとを電気的に直列に接続する際の配線作業を容易に行なうことができるとともに、第１の単位太陽電池セル３０１ａおよび第２の単位太陽電池セル３０１ｂはそれぞれ小さな受光面を有し、配線抵抗による損失を低減することができるため、裏面電極型太陽電池の特性を向上することができる。
【００７０】
＜実施の形態３＞
図１２（ａ）に本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例の裏面側の模式的な斜視図を示し、図１２（ｂ）に図１２（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図を示す。ここで、図１２（ａ）および図１２（ｂ）に示される実施の形態３における本発明の裏面電極型太陽電池は、半導体基板１０１の裏面を四分し、実施の形態１および２よりもさらに小さな受光面を有する第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂ、第３の単位太陽電池セル３０１ｃおよび第４の単位太陽電池セル３０１ｄから構成されている点に特徴がある。
【００７１】
ここで、実施の形態３における本発明の裏面電極型太陽電池においては、第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとが接続用電極２００によって電気的に直列に接続されており、第２の単位太陽電池セル３０１ｂと第３の単位太陽電池セル３０１ｃとが接続用電極２００によって電気的に直列に接続されており、第３の単位太陽電池セル３０１ｃと第４の単位太陽電池セル３０１ｄとが接続用電極２００によって電気的に直列に接続されている。上記以外の説明は、実施の形態１と同様である。
【００７２】
このような構成の実施の形態３における本発明の裏面電極型太陽電池においても、半導体基板１０１の裏面を四分する第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂ、第３の単位太陽電池セル３０１ｃおよび第４の単位太陽電池セル３０１ｄを一度に形成することができ、かつ第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとの電気的な直列接続、第２の単位太陽電池セル３０１ｂと第３の単位太陽電池セル３０１ｃとの電気的な直列接続、および第３の単位太陽電池セル３０１ｃと第４の単位太陽電池セル３０１ｄとの電気的な直列接続がそれぞれｐ電極１２１およびｎ電極１２２の形成と同時に接続用電極２００を形成することにより行なうことができる。
【００７３】
したがって、実施の形態３における本発明の裏面電極型太陽電池においても、第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂ、第３の単位太陽電池セル３０１ｃおよび第４の単位太陽電池セル３０１ｄを電気的に直列に接続する際の配線作業を容易に行なうことができるとともに、第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂ、第３の単位太陽電池セル３０１ｃおよび第４の単位太陽電池セル３０１ｄはそれぞれさらに小さな受光面を有し、配線抵抗による損失をさらに低減することができるため、裏面電極型太陽電池の特性を向上することができる。
【００７４】
＜実施の形態４＞
図１３（ａ）に本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例の裏面側の模式的な斜視図を示し、図１３（ｂ）に図１３（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図を示す。ここで、図１３（ａ）および図１３（ｂ）に示される実施の形態４における本発明の裏面電極型太陽電池は、半導体基板１０１の裏面を四分し、実施の形態１および２よりもさらに小さな受光面を有する第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂ、第３の単位太陽電池セル３０１ｃおよび第４の単位太陽電池セル３０１ｄから構成されており、これらの単位太陽電池セルが接続部材としての配線基板により電気的に直列に接続されている点に特徴がある。
【００７５】
すなわち、実施の形態４における本発明の裏面電極型太陽電池は、ｐ電極１２１と電気的に接続するためのｐ配線４０２と、ｎ電極１２２と電気的に接続するためのｎ配線４０３と、ｐ配線４０２とｎ配線４０３とを電気的に接続するための接続用配線４０１とがそれぞれ絶縁性基板４００上に設置された配線基板を有している。
【００７６】
ここで、ｐ配線４０２およびｎ配線４０３は導電性物質であれば特に限定なく用いることができ、たとえば、銀、銅またはアルミニウムなどの金属を用いることができる。
【００７７】
また、絶縁性基板４００としては絶縁性基板であれば特に限定なく用いることができ、たとえば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）、ポリイミドまたはエチレンビニルアセテートなどからなる絶縁性基板を用いることができる。
【００７８】
そして、第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとの電気的な直列接続、第２の単位太陽電池セル３０１ｂと第３の単位太陽電池セル３０１ｃとの電気的な直列接続、および第３の単位太陽電池セル３０１ｃと第４の単位太陽電池セル３０１ｄとの電気的な直列接続がそれぞれ配線基板の接続用配線４０１により行なわれている。上記以外の説明は、実施の形態１と同様である。
【００７９】
このような構成の実施の形態４における本発明の裏面電極型太陽電池においても、半導体基板１０１の裏面を四分する第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂ、第３の単位太陽電池セル３０１ｃおよび第４の単位太陽電池セル３０１ｄを一度に形成することができ、かつ第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとの電気的な直列接続、第２の単位太陽電池セル３０１ｂと第３の単位太陽電池セル３０１ｃとの電気的な直列接続、および第３の単位太陽電池セル３０１ｃと第４の単位太陽電池セル３０１ｄとの電気的な直列接続がそれぞれ、１枚の配線基板の設置により同時に行なうことができる。
【００８０】
したがって、実施の形態４における本発明の裏面電極型太陽電池においても、第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂ、第３の単位太陽電池セル３０１ｃおよび第４の単位太陽電池セル３０１ｄを電気的に直列に接続する際の配線作業を容易に行なうことができるとともに、第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂ、第３の単位太陽電池セル３０１ｃおよび第４の単位太陽電池セル３０１ｄはそれぞれさらに小さな受光面を有し、配線抵抗による損失をさらに低減することができるため、裏面電極型太陽電池の特性を向上することができる。
【００８１】
本発明の裏面電極型太陽電池の特性と比較するために、図２２（ａ）の裏面側の模式的な斜視図および図２２（ｂ）の裏面の模式的な平面図に示される比較例２の裏面電極型太陽電池を作製した。
【００８２】
ここで、比較例２の裏面電極型太陽電池は、図１３（ａ）および図１３（ｂ）に示す小さな受光面を有する第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂ、第３の単位太陽電池セル３０１ｃおよび第４の単位太陽電池セル３０１ｄの４つの単位太陽電池セルが直列に接続された構成となっておらず、１つの大きな受光面を有する裏面電極型太陽電池において発生した電流を配線基板から取り出すことができる構成となっていること以外は上記で説明した実施の形態４における本発明の裏面電極型太陽電池と同一の構成となっている。
【００８３】
図１３（ａ）および図１３（ｂ）に示す実施の形態４における本発明の裏面電極型太陽電池の特性と、図２２（ａ）および図２２（ｂ）に示す比較例２の裏面電極型太陽電池の特性とを比較したところ、実施の形態４における本発明の裏面電極型太陽電池は、比較例２の裏面電極型太陽電池と比較して、ｐ電極１２１、ｎ電極１２２、ｐ配線４０２およびｎ配線４０３を流れる電流密度（ｍＡ／ｃｍ2）が低く、開放電圧が大きいことが確認された。
【００８４】
＜実施の形態５＞
図１４（ａ）に本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例の裏面側の模式的な斜視図を示し、図１４（ｂ）に図１４（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図を示す。ここで、図１４（ａ）および図１４（ｂ）に示される実施の形態５における本発明の裏面電極型太陽電池は、第１の単位太陽電池セル３０１ａおよび第２の単位太陽電池セル３０１ｂから構成されており、これらの単位太陽電池セルが接続部材としての配線基板の接続用配線４０１により電気的に直列に接続されている点に特徴がある。上記以外の説明は、実施の形態１および実施の形態４と同様である。
【００８５】
このような構成の実施の形態５における本発明の裏面電極型太陽電池においても、半導体基板１０１の裏面を二分する第１の単位太陽電池セル３０１ａおよび第２の単位太陽電池セル３０１ｂを一度に形成することができ、かつ第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとの電気的な直列接続が１枚の配線基板の設置により行なうことができる。
【００８６】
したがって、実施の形態５における本発明の裏面電極型太陽電池においても、第１の単位太陽電池セル３０１ａおよび第２の単位太陽電池セル３０１ｂを電気的に直列に接続する際の配線作業を容易に行なうことができるとともに、第１の単位太陽電池セル３０１ａおよび第２の単位太陽電池セル３０１ｂはそれぞれ小さな受光面を有し、配線抵抗による損失を低減することができるため、裏面電極型太陽電池の特性を向上することができる。
【００８７】
＜実施の形態６＞
図１５（ａ）に本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例の裏面側の模式的な斜視図を示し、図１５（ｂ）に図１５（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図を示す。ここで、図１５（ａ）および図１５（ｂ）に示される実施の形態６における本発明の裏面電極型太陽電池は、第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとの電気的な直列接続を配線基板の接続用配線４０１により行なう点は実施の形態５と同様であるが、配線基板の電流の取り出し端子を同一側に設置している点に特徴がある。
【００８８】
このような構成の実施の形態６における本発明の裏面電極型太陽電池においては、本発明の裏面電極型太陽電池の同一側から電流を取り出すことができるため、本発明の裏面電極型太陽電池の複数を電気的に接続して太陽電池モジュールを作製する際にその接続が容易となる傾向にある。上記以外の説明は、実施の形態５と同様である。
【００８９】
＜実施の形態７＞
図１６（ａ）に本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例の裏面側の模式的な斜視図を示し、図１６（ｂ）に図１６（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図を示す。ここで、図１６（ａ）および図１６（ｂ）に示される実施の形態７における本発明の裏面電極型太陽電池は、第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂの配置を変更して、接続用電極２００による第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとの電気的な直列接続方法を実施の形態１と変更している点に特徴がある。
【００９０】
すなわち、実施の形態７における本発明の裏面電極型太陽電池においては、第１の単位太陽電池セル３０１ａの櫛形状のｎ電極１２２の櫛歯に相当する部分の複数本のｎ電極１２２と、第２の単位太陽電池セル３０１ｂの櫛形状のｐ電極１２１の櫛歯に相当する部分の複数本のｐ電極１２１とが１本の接続用電極２００で電気的に接続されている。
【００９１】
このような構成の実施の形態７における本発明の裏面電極型太陽電池においても、半導体基板１０１の裏面を二分する第１の単位太陽電池セル３０１ａおよび第２の単位太陽電池セル３０１ｂを一度に形成することができ、かつ第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとの電気的な直列接続も、ｐ電極１２１およびｎ電極１２２の形成と同時に接続用電極２００を形成することにより行なうことができる。
【００９２】
したがって、実施の形態７における本発明の裏面電極型太陽電池においては、第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとを電気的に直列に接続する際の配線作業を容易に行なうことができるとともに、第１の単位太陽電池セル３０１ａおよび第２の単位太陽電池セル３０１ｂはそれぞれ小さな受光面を有し、配線抵抗による損失を低減することができるため、裏面電極型太陽電池の特性を向上することができる。
【００９３】
＜実施の形態８＞
図１７（ａ）に本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例の裏面側の模式的な斜視図を示し、図１７（ｂ）に図１７（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図を示す。ここで、図１７（ａ）および図１７（ｂ）に示される実施の形態８における本発明の裏面電極型太陽電池は、実施の形態７の構成と比べて、第２の単位太陽電池セル３０１ｂのｐ型領域１１１とｎ型領域１１２との配置を入れ替えた点に特徴がある。
【００９４】
すなわち、実施の形態８における本発明の裏面電極型太陽電池においては、実施の形態７の構成と異なり、第１の単位太陽電池セル３０１ａのｐ型領域１１１が第２の単位太陽電池セル３０１ｂのｎ型領域１１２と接しており、第１の単位太陽電池セル３０１ａのｎ型領域１１２が第２の単位太陽電池セル３０１ｂのｐ型領域１１１と接して、半導体基板１０１の裏面の中央部において、第１の単位太陽電池セル３０１ａのｎ電極１２２と第２の単位太陽電池セル３０１ｂのｐ電極１２１とが１本の接続用電極２００で電気的に接続されている点に特徴がある。
【００９５】
このような構成の実施の形態８における本発明の裏面電極型太陽電池においては、実施の形態７の構成と比べて、半導体基板１０１の裏面にｐ電極１２１、ｎ電極１２２および接続用電極２００がそれぞれ形成しやすい形状となっている。
【００９６】
したがって、実施の形態８における本発明の裏面電極型太陽電池においては、実施の形態７の構成と比べて、第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとを電気的に直列に接続する際の配線作業をより容易に行なうことができる傾向にある。上記以外の説明は実施の形態７と同様である。
【００９７】
＜実施の形態９＞
図１８（ａ）に本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例の裏面側の模式的な斜視図を示し、図１８（ｂ）に図１８（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図を示す。ここで、図１８（ａ）および図１８（ｂ）に示される実施の形態９における本発明の裏面電極型太陽電池は、実施の形態８と比べて、接続用電極２００の形状を帯状にするのではなく、第１の単位太陽電池セル３０１ａのｎ電極１２２と第２の単位太陽電池セル３０１ｂのｐ電極１２１との接点をそれぞれ接続用電極２００としている点に特徴がある。
【００９８】
このような構成の実施の形態９における本発明の裏面電極型太陽電池においては、実施の形態８の構成と比べて帯状の接続用電極２００を形成する工程を省略することができる分だけ、第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとを電気的に直列に接続する際の配線作業をより容易に行なうことができ、さらには電極材料の使用量も低減することができる傾向にある。上記以外の説明は実施の形態７および実施の形態８と同様である。
【００９９】
＜実施の形態１０＞
図１９（ａ）に本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例の裏面側の模式的な斜視図を示し、図１９（ｂ）に図１９（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図を示す。ここで、図１９（ａ）および図１９（ｂ）に示される実施の形態１０における本発明の裏面電極型太陽電池は、半導体基板１０１の裏面を三分し、より小さな受光面を有する第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂおよび第３の単位太陽電池セル３０１ｃから構成されており、第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとの電気的な直列接続、かつ第２の単位太陽電池セル３０１ｂと第３の単位太陽電池セル３０１ｃとの電気的な直列接続がそれぞれ接続用電極２００により行われている点に特徴がある。上記以外の説明は実施の形態１と同様である。
【０１００】
このような構成の実施の形態１０における本発明の裏面電極型太陽電池においても、半導体基板１０１の裏面を三分する第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂおよび第３の単位太陽電池セル３０１ｃを一度に形成することができ、かつ第１の単位太陽電池セル３０１ａと第２の単位太陽電池セル３０１ｂとの電気的な直列接続、および第２の単位太陽電池セル３０１ｂと第３の単位太陽電池セル３０１ｃとの電気的な直列接続も、ｐ電極１２１およびｎ電極１２２の形成と同時に接続用電極２００を形成することにより行なうことができる。
【０１０１】
したがって、実施の形態１０における本発明の裏面電極型太陽電池においても、第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂおよび第３の単位太陽電池セル３０１ｃを電気的に直列に接続する際の配線作業を容易に行なうことができるとともに、第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂおよび第３の単位太陽電池セル３０１ｃはそれぞれ小さな受光面を有し、配線抵抗による損失を低減することができるため、裏面電極型太陽電池の特性を向上することができる。
【０１０２】
＜実施の形態１１＞
図２０（ａ）に本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例の裏面側の模式的な斜視図を示し、図２０（ｂ）に図２０（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図を示す。ここで、図２０（ａ）および図２０（ｂ）に示される実施の形態１１における本発明の裏面電極型太陽電池は、実施の形態１０と比べて、接続用電極２００の形状を帯状にするのではなく、第１の単位太陽電池セル３０１ａのｎ電極１２２と第２の単位太陽電池セル３０１ｂのｐ電極１２１との接点および第２の単位太陽電池セル３０１ｂのｎ電極１２２と第３の単位太陽電池セル３０１ｃのｐ電極１２１との接点をそれぞれ接続用電極２００としている点に特徴がある。
【０１０３】
このような構成の実施の形態１１における本発明の裏面電極型太陽電池においては、実施の形態１０の構成と比べて帯状の接続用電極２００を形成する工程を省略することができる分だけ、第１の単位太陽電池セル３０１ａ、第２の単位太陽電池セル３０１ｂおよび第３の単位太陽電池セル３０１ｃを電気的に直列に接続する際の配線作業をより容易に行なうことができ、さらには電極材料の使用量も低減することができる傾向にある。上記以外の説明は実施の形態１０と同様である。
【０１０４】
なお、上記の実施の形態１〜実施の形態１１においては、ｐ型領域１１１とｎ型領域１１２とが接している構成について説明したが、本発明においては、ｐ型領域１１１とｎ型領域１１２とは必ずしも接している必要はない。
【０１０５】
また、上記の実施の形態１〜実施の形態１１においては、ｐ型の導電型とｎ型の導電型とが入れ替わっていてもよい。
【０１０６】
また、本発明において、接続部材は、上記の実施の形態１〜実施の形態１１と同一のものを用いなくてもよいことは言うまでもない。
【０１０７】
また、図１および図１１〜図２２に示される裏面電極型太陽電池において、裏面のパッシベーション膜については図示されていないが、これらの裏面電極型太陽電池の裏面にはパッシベーション膜が存在していてもよい。
【０１０８】
＜太陽電池モジュール＞
上記で説明したような本発明の裏面電極型太陽電池を複数接続した後に封止材中に封止することによって本発明の太陽電池モジュールを得ることができる。
【０１０９】
ここで、封止材としては、たとえば、太陽光に対して透明な樹脂などを特に限定なく用いることができる。太陽光に対して透明な樹脂としては、たとえば、エチレンビニルアセテート樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、オレフィン系樹脂、ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂およびゴム系樹脂からなる群から選択された少なくとも１種の透明樹脂が挙げられる。
【０１１０】
また、本発明の太陽電池モジュールは、透明基板と保護フィルムとの間に設置されていてもよい。また、本発明の太陽電池モジュールの外周にたとえばアルミニウムなどからなる枠体が嵌め込まれていてもよい。また、本発明の太陽電池モジュールには発生した電流を外部に取り出すための端子ボックスが取り付けられていてもよい。
【０１１１】
ここで、透明基板としては、たとえば太陽光に対して透明な基板を特に限定なく用いることができ、たとえばガラス基板等を用いることができる。
【０１１２】
また、保護フィルムとしては、たとえば従来から用いられている耐候性フィルム等のシートを特に限定なく用いることができ、また、絶縁性フィルムの間に金属フィルムを挟み込んだ構成のものを用いてもよい。なお、絶縁性フィルムとしては、たとえば従来から公知のものを用いることができ、たとえばＰＥＴフィルムなどを用いることができる。また、金属フィルムとしては、従来から公知のものを用いることができるが、たとえば封止材中への水蒸気や酸素の透過を十分に抑制して長期的な信頼性を確保する観点からはたとえばアルミニウムなどの金属フィルムを用いることができる。
【０１１３】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１１４】
本発明によれば、太陽電池セルを電気的に直列に接続する際の配線作業を容易に行なうことができるとともに、配線抵抗による損失を低減して特性を向上することができる裏面電極型太陽電池およびその裏面電極型太陽電池を用いた太陽電池モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】（ａ）は本発明の裏面電極型太陽電池の一例である実施の形態１の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【図２】本発明の裏面電極型太陽電池の製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。
【図３】本発明の裏面電極型太陽電池の製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。
【図４】本発明の裏面電極型太陽電池の製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。
【図５】本発明の裏面電極型太陽電池の製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。
【図６】本発明の裏面電極型太陽電池の製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。
【図７】本発明の裏面電極型太陽電池の製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。
【図８】本発明の裏面電極型太陽電池の製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。
【図９】本発明の裏面電極型太陽電池の製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。
【図１０】本発明の裏面電極型太陽電池の製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。
【図１１】（ａ）は本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例である実施の形態２の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【図１２】（ａ）は本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例である実施の形態３の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【図１３】（ａ）は本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例である実施の形態４の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【図１４】（ａ）は本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例である実施の形態５の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【図１５】（ａ）は本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例である実施の形態６の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【図１６】（ａ）は本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例である実施の形態７の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【図１７】（ａ）は本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例である実施の形態８の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【図１８】（ａ）は本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例である実施の形態９の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【図１９】（ａ）は本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例である実施の形態１０の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【図２０】（ａ）は本発明の裏面電極型太陽電池の他の一例である実施の形態１１の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【図２１】（ａ）は比較例１の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す比較例１の裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【図２２】（ａ）は比較例２の裏面電極型太陽電池の裏面側の模式的な斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す比較例２の裏面電極型太陽電池の裏面の模式的な平面図である。
【符号の説明】
【０１１６】
１０１  半導体基板、１０２  パッシベーション膜、１０２ａ  シリコン酸化膜、１０３ａ  第１拡散マスク、１０３ｂ  第２拡散マスク、１０４  テクスチャマスク、１０５，１０６  開口部、１０７，１０８  コンタクトホール、１０９  反射防止膜、１１０  テクスチャ構造、１１１  ｐ型領域、１１２  ｎ型領域、１２１  ｐ電極、１２２  ｎ電極、２００  接続用電極、３０１ａ  第１の単位太陽電池セル、３０１ｂ  第２の単位太陽電池セル、３０１ｃ  第３の単位太陽電池セル、３０１ｄ  第４の単位太陽電池セル、４１０  接続用配線。
【図１】
0005099698.tif 000002
【図２】
0005099698.tif 000003
【図３】
0005099698.tif 000004
【図４】
0005099698.tif 000005
【図５】
0005099698.tif 000006
【図６】
0005099698.tif 000007
【図７】
0005099698.tif 000008
【図８】
0005099698.tif 000009
【図９】
0005099698.tif 000010
【図１０】
0005099698.tif 000011
【図１１】
0005099698.tif 000012
【図１２】
0005099698.tif 000013
【図１３】
0005099698.tif 000014
【図１４】
0005099698.tif 000015
【図１５】
0005099698.tif 000016
【図１６】
0005099698.tif 000017
【図１７】
0005099698.tif 000018
【図１８】
0005099698.tif 000019
【図１９】
0005099698.tif 000020
【図２０】
0005099698.tif 000021
【図２１】
0005099698.tif 000022
【図２２】
0005099698.tif 000023