(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨対象を緩衝材の存在下、研磨容器内で擦りあわせることで前記研磨対象の面取りを行い、被研磨品を作製する予備研磨工程と、
前記予備研磨工程で生じるスラッジを塊化することで、緩衝材を再生する再生工程と、を有し、
前記予備研磨工程及び前記再生工程を順次繰り返す被研磨品の製造方法。
【請求項２】
前記緩衝材とともに砥粒を併用する請求項１記載の製造方法。
【請求項３】
前記再生工程では、前記予備研磨工程で生じるスラッジと、前記緩衝材が消耗した消耗緩衝材とを混合し造粒することで、緩衝材を再生する請求項１又は２記載の製造方法。
【請求項４】
前記消耗緩衝材を消耗の程度に基づいて複数の消耗クラスに分類する分類工程を更に有し、
前記再生工程では、いずれか一つの消耗クラスに属する消耗緩衝材を用いて、緩衝材を再生する請求項３記載の製造方法。
【請求項５】
前記消耗の程度は、前記消耗緩衝材の粒子径及び／又は質量の大小である請求項４記載の製造方法。
【請求項６】
消耗の程度が低い低消耗クラスに属する低消耗緩衝材は、前記再生工程を経ずに、前記予備研磨工程において再利用する請求項４又は５記載の製造方法。
【請求項７】
前記予備研磨工程の前に、元材を切断、研削、及び／又は切削することで前記研磨対象を作製する研磨対象作製工程を有し、
前記再生工程では、前記研磨対象作製工程で生じるスラッジを更に混合する請求項１から６いずれか記載の製造方法。
【請求項８】
前記予備研磨工程後の前記研磨容器内を洗浄液で洗浄することにより、スラッジを含む廃液を回収し、この廃液から分離し乾燥させた後、粉状のスラッジを得るスラッジ回収工程を更に有し、
前記再生工程では、前記粉状のスラッジを用い、所定液体を噴霧することで塊化を促進する請求項１から７いずれか記載の製造方法。
【請求項９】
前記所定液体は、前記廃液からスラッジが分離された廃水を含む請求項８記載の製造方法。
【請求項１０】
請求項１から９いずれか記載の製造方法において前記研磨対象としてガラス角材を用いて製造されるプレス用ガラス製品をリヒートプレスする光学素子の製造方法。
【請求項１１】
請求項１０記載の製造方法で製造される光学素子を用いる光学機器の製造方法。
【請求項１２】
研磨対象を緩衝材の存在下、研磨容器内で擦りあわせることで前記研磨対象の面取りを行い、被研磨品を作製する予備研磨手段と、
前記予備研磨手段で生じるスラッジを塊化することで、緩衝材を再生する再生手段と、を備える被研磨品の製造システム。
【請求項１３】
前記再生手段で再生した緩衝材を、前記研磨容器に供給する再生緩衝材供給手段を更に備える請求項１２記載の製造システム。
【請求項１４】
前記研磨容器に砥粒を供給する砥粒供給手段を更に備える請求項１２又は１３記載の製造システム。
【請求項１５】
前記再生手段は、前記予備研磨手段で生じるスラッジと、前記緩衝材が消耗した消耗緩衝材とを混合し造粒することで、緩衝材を再生する請求項１２から１４いずれか記載の製造システム。
【請求項１６】
前記消耗緩衝材を消耗の程度に基づいて複数の消耗クラスに分類する分類手段を更に備え、
前記再生手段には、いずれか一つの消耗クラスに属する消耗緩衝材が投入される請求項１５記載の製造システム。
【請求項１７】
前記分類手段は、前記消耗緩衝材の粒子径及び／又は質量の大小に応じて前記消耗の程度を判定する判定手段を有する請求項１６記載の製造システム。
【請求項１８】
消耗の程度が低い低消耗クラスに属する低消耗緩衝材を、前記再生手段を迂回して、前記研磨容器に搬送する迂回手段を更に備える請求項１６又は１７記載の製造システム。
【請求項１９】
元材を切断、研削、及び／又は切削することで前記研磨対象を作製する研磨対象作製手段を更に備え、
前記再生手段には、前記研磨対象作製手段から生じるスラッジが更に投入されて混合される請求項１２から１８いずれか記載の製造システム。
【請求項２０】
前記研磨容器内を洗浄液で洗浄することにより、スラッジを含む廃液を回収し、この廃液から分離し乾燥させた後、粉状のスラッジを得るスラッジ回収手段と、
前記粉状のスラッジを前記再生手段に投入する投入手段と、
前記再生手段に所定液体を噴霧することで塊化を促進する噴霧手段と、を更に備える請求項１２から１９いずれか記載の製造システム。
【請求項２１】
前記噴霧手段に、前記廃液からスラッジが分離された廃水を供給する廃水供給手段を更に備える請求項２０記載の製造システム。
【請求項２２】
請求項１２から２１いずれか記載の製造システムと、この製造システムで製造される被研磨品をリヒートプレスするプレス手段と、を備え、前記製造システムは前記研磨対象としてガラス角材を用いる光学素子製造装置。
【請求項２３】
請求項２２記載の光学素子製造装置を備える光学機器製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被研磨品の製造方法及び製造システムに関し、より詳しくはプレス用ガラス製品の製造方法及び製造システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、素材を所望の形状へと変形する技術として、研磨が汎用されている。例えば、レンズ等の光学素子は、ガラスブロックを切断、研削、及び研磨することでレンズに近い大きさのガラス角材を作製し、このガラス角材を面取りした後にプレス成形することで製造される（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−１９４４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、切断、研削、及び研磨の際には、素材や緩衝材等が削られたスラッジが多量に発生する。かかるスラッジは、その処理に多大な費用がかかるのみならず、外部環境に悪影響を与える場合もある。
【０００４】
本発明は、以上の実情に鑑みてなされたものであり、スラッジの廃棄量を低減できる被研磨品の製造方法及び製造システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者は、研磨等で発生するスラッジが緩衝材として活用できることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、本発明は以下のようなものを提供する。
【０００６】
（１）  研磨対象を緩衝材の存在下、研磨容器内で擦りあわせることで前記研磨対象の面取りを行い、被研磨品を作製する予備研磨工程と、
前記予備研磨工程で生じるスラッジを塊化することで、緩衝材を再生する再生工程と、を有し、
前記予備研磨工程及び前記再生工程を順次繰り返す被研磨品の製造方法。
【０００７】
（２）  前記緩衝材とともに砥粒を併用する（１）記載の製造方法。
【０００８】
（３）  前記再生工程では、前記予備研磨工程で生じるスラッジと、前記緩衝材が消耗した消耗緩衝材とを混合し造粒することで、緩衝材を再生する（１）又は（２）記載の製造方法。
【０００９】
（４）  前記消耗緩衝材を消耗の程度に基づいて複数の消耗クラスに分類する分類工程を更に有し、
前記再生工程では、いずれか一つの消耗クラスに属する消耗緩衝材を用いて、緩衝材を再生する（３）記載の製造方法。
【００１０】
（５）  前記消耗の程度は、前記消耗緩衝材の粒子径及び／又は質量の大小である（４）記載の製造方法。
【００１１】
（６）  消耗の程度が低い低消耗クラスに属する低消耗緩衝材は、前記再生工程を経ずに、前記予備研磨工程において再利用する（４）又は（５）記載の製造方法。
【００１２】
（７）  前記予備研磨工程の前に、元材を切断、研削、及び／又は切削することで前記研磨対象を作製する研磨対象作製工程を有し、
前記再生工程では、前記研磨対象作製工程で生じるスラッジを更に混合する（１）から（６）いずれか記載の製造方法。
【００１３】
（８）  前記予備研磨工程後の前記研磨容器内を洗浄液で洗浄することにより、スラッジを含む廃液を回収し、この廃液から分離し乾燥することで粉状のスラッジを得るスラッジ回収工程を更に有し、
前記再生工程では、前記粉状のスラッジを用い、所定液体を噴霧することで塊化を促進する（１）から（７）いずれか記載の製造方法。
【００１４】
（９）  前記所定液体は、前記廃液からスラッジが分離された廃水を含む（８）記載の製造方法。
【００１５】
（１０）  （１）から（９）いずれか記載の製造方法において前記研磨対象としてガラス角材を用いて製造されるプレス用ガラス製品をリヒートプレスする光学素子の製造方法。
【００１６】
（１１）  （１０）記載の製造方法で製造される光学素子を用いる光学機器の製造方法。
【００１７】
（１２）  研磨対象を緩衝材の存在下、研磨容器内で擦りあわせることで前記研磨対象の面取りを行い、被研磨品を作製する予備研磨手段と、
前記予備研磨手段で生じるスラッジを塊化することで、緩衝材を再生する再生手段と、を備える被研磨品の製造システム。
【００１８】
（１３）  前記再生手段で再生した緩衝材を、前記研磨容器に供給する再生供給手段を更に備える（１２）記載の製造システム。
【００１９】
（１４）  前記研磨容器に砥粒を供給する砥粒供給手段を更に備える（１２）又は（１３）記載の製造システム。
【００２０】
（１５）  前記再生手段は、前記予備研磨手段で生じるスラッジと、前記緩衝材が消耗した消耗緩衝材とを混合し造粒することで、緩衝材を再生する（１２）から（１４）いずれか記載の製造システム。
【００２１】
（１６）  前記消耗緩衝材を消耗の程度に基づいて複数の消耗クラスに分類する分類手段を更に備え、
前記再生手段には、いずれか一つの消耗クラスに属する消耗緩衝材が投入される（１５）記載の製造システム。
【００２２】
（１７）  前記分類手段は、前記消耗緩衝材の粒子径及び／又は質量の大小に応じて前記消耗の程度を判定する判定手段を有する（１６）記載の製造システム。
【００２３】
（１８）  消耗の程度が低い低消耗クラスに属する低消耗緩衝材を、前記再生手段を迂回して、前記研磨容器に搬送する迂回手段を更に備える（１６）又は（１７）記載の製造システム。
【００２４】
（１９）  元材を切断、研削、及び／又は切削することで前記研磨対象を作製する研磨対象作製手段を更に備え、
前記再生手段には、前記研磨対象作製手段から生じるスラッジが更に投入されて混合される（１２）から（１８）いずれか記載の製造システム。
【００２５】
（２０）  前記研磨容器内を洗浄液で洗浄することにより、スラッジを含む廃液を回収し、この廃液から分離し乾燥することで粉状のスラッジを得るスラッジ回収手段と、
前記粉状のスラッジを前記再生手段に投入する投入手段と、
前記再生手段に所定液体を噴霧することで塊化を促進する噴霧手段と、を更に備える（１２）から（１９）いずれか記載の製造システム。
【００２６】
（２１）  前記噴霧手段に、前記廃液からスラッジが分離された廃水を供給する廃水供給手段を更に備える（２０）記載の製造システム。
【００２７】
（２２）  （１２）から（２１）いずれか記載の製造システムと、この製造システムで製造される被研磨品をリヒートプレスするプレス手段と、を備え、前記製造システムは前記研磨対象としてガラス角材を用いる光学素子製造装置。
【００２８】
（２３）  （２２）記載の光学素子製造装置を備える光学機器製造装置。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、予備研磨工程で生じるスラッジが緩衝材の再生に消費されるとともに、再生された緩衝材は予備研磨工程で再利用される。このようなサイクルが順次繰り返されるので、スラッジの廃棄量を低減でき、しかも緩衝材の消耗に伴う新規緩衝材の必要量が低減され、製造コストを削減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００３１】
［被研磨品の製造システム］
図１は、本実施形態に係る被研磨品の製造システム１０のブロック図である。この製造システム１０は、予備研磨手段としての予備研磨部２０と、図示しない再生手段を備える。
【００３２】
（予備研磨部）
予備研磨部２０は研磨容器２１を備え、この研磨容器２１内で被研磨品６０を作製する。本実施形態では、研磨容器２１は従来周知のバレル研磨装置であり、振動源が内蔵された突起が研磨容器２１の中央に突設されている。かかる研磨容器２１内に研磨対象５０及び緩衝材５１が共存する状態で振動源を稼動すると、研磨対象５０及び緩衝材５１が振動して流動する。これにより、研磨対象５０が緩衝材５１と擦りあわされ、あるいは後述の研磨対象５０と砥粒５２とが擦りあわされることにより、面取りされて被研磨品６０が作製される。
【００３３】
本実施形態での研磨対象５０はガラス角材又は丸棒切断品等であり、かかるガラス角材を用いて得られる被研磨品６０は、図示しない光学素子製造装置のプレス手段でリヒートプレスされて、レンズ等の光学素子になる。被研磨品６０は面取りされて角部を喪失しているため、リヒートプレスの際に角部が結晶化する等の事態が抑制され、歩留まりを向上できる。また、上記の光学素子は光学機器の製造に有用である。なお、研磨対象５０は、セラミック、金属、ガラス、ガラスセラミック等の種々の素材からなってよく、その形状も特に限定されない。
【００３４】
緩衝材５１は、研磨対象５０同士の衝突による破損を抑制するべく、研磨対象５０よりも適宜柔らかいことが好ましく、かかる条件を満たす限りにおいて、緩衝材５１の組成は特に限定されない。このため、後述の緩衝材５５も、その組成が緩衝材５１とは異なるが再利用可能である。
【００３５】
本実施形態の製造システム１０は、図示しない砥粒供給手段を更に備え、この砥粒供給手段によって研磨容器２１に砥粒５２が供給される。これにより、研磨対象５０が砥粒５２で効率的に研磨されることになる。砥粒５２は、その組成が特に限定されるものではないが、研磨効率を向上するべく、研磨対象５０よりも適宜硬いことが好ましい。かかる砥粒５２は、特に限定されないが、通常、炭化ケイ素、ダイヤモンド粒子等である。
【００３６】
一方、被研磨品６０を除く他の材料も研磨容器２１から回収される。回収される材料は、緩衝材５１が消耗した消耗緩衝材５３と、スラッジ５４とを含み、このスラッジ５４には研磨対象５０の小破片５４１、粉化した緩衝材、及び砥粒５２等が多量に含まれている。そして、スラッジ５４及び消耗緩衝材５３が再生手段で混合されて塊化することで、緩衝材５５が再生されることになる。
【００３７】
本実施形態の製造システム１０は図示しない分類手段を更に備え、この分類手段は消耗緩衝材５３を消耗の程度に基づいて複数の消耗クラスに分類する。本実施形態では、図示しない判定手段が消耗緩衝材５３の粒子径及び／又は質量の大小に応じて消耗の程度を判定し、消耗緩衝材５３は、消耗の程度が大きい順に、高消耗緩衝材５３１，中消耗緩衝材５３２、及び低消耗緩衝材５３３に分類されている。ただし、消耗の程度は、消耗緩衝材５３の粒子径や質量の大小のみには限定されない。
【００３８】
そして、再生手段には、いずれか一つの消耗クラスに属する消耗緩衝材、つまり高消耗緩衝材５３１，中消耗緩衝材５３２、及び低消耗緩衝材５３３ごとに分けて投入される（なお、後述のように低消耗緩衝材５３３は再生手段に投入されない）。これにより、同一ロットから得られる緩衝材５５の品質（例えば、粒子径、質量、硬度）が均質化される。
【００３９】
本実施形態では、図示しない迂回手段が、消耗の程度が低い低消耗クラスに属する低消耗緩衝材５３３を、再生手段を迂回して研磨容器２１に搬送する。低消耗緩衝材５３３は、その消耗の程度が低いため、再生された緩衝材５５と略同等の効率で研磨を行うことができ、他方、低消耗緩衝材５３３に関して再生処理を行う費用及び時間が削減される。
【００４０】
低消耗クラスの範囲は、再生処理を行う費用及び時間と、許容できる磨耗効率の下限及び研磨される研磨対象５０の大きさとを考慮して適宜設定されてよい。つまり、低消耗クラスの範囲を広げると、再生処理を行う費用及び時間が削減されるものの、研磨対象５０の磨耗効率が低下する一方、低消耗クラスの範囲を狭めると、再生処理を行う費用及び時間が増すものの、研磨対象５０の磨耗効率が上昇する。
【００４１】
（再生手段）
再生手段は、複数成分を混合し塊化できるものであれば特に限定されず、従来周知の造粒装置（例えば回転バレル式）であってよい。この場合、所定の大きさの消耗緩衝材５３を芯として、その周囲にスラッジが被覆された造粒体が形成される。緩衝材５５の硬度は、スラッジの使用量、液体の添加量、及び芯となる消耗緩衝材５の含水量で調整できる。つまり含水量を上昇させると、スラッジが付着しやすくなるため、被覆するスラッジの量が増加する。ただし、含水量が過剰になると、被覆された造粒体が粘土状になり、再生手段の装置に貼り付いたり、造粒体同士が付着して所望の大きさの造粒体が形成されにくかったりする点に留意すべきである。なお、スラッジの塊化は、粉体から塊を作る方法である限りにおいて、公知の造粒方法に特に限定されない。
【００４２】
本実施形態の製造システム１０は図示しないスラッジ回収手段を備え、このスラッジ回収手段は研磨容器２１内を洗浄液で洗浄することにより、スラッジを含む廃液を廃液槽２５に回収する。そして、この廃液から、例えばフィルタープレスによりスラッジ５４が分離されるが、ペレット状のスラッジ５４を再生手段に投入すると、消耗緩衝材５３との混合が不均一になりやすくなることがある。そこで、スラッジ５４を乾燥して粉状のスラッジを得て、この粉状のスラッジを、図示しない投入手段が再生手段へと投入する。そして、噴霧手段によって所定液体が再生手段に噴霧されると、粉状のスラッジが消耗緩衝材５３に付着しやすくなるため、塊化が促進される。
【００４３】
所定液体は、粉状のスラッジを消耗緩衝材５３に付着しやすくできる限りにおいて特に
限定されず、通常は水でよい。ただし、廃液からスラッジを分離する際に多量の廃水が残るため、図示しない廃水供給手段によって廃水を噴霧することが好ましい。これにより、廃水の廃棄量が低減するし、廃水中に僅かに残存するスラッジも消耗緩衝材の再生に利用される。
【００４４】
このようにして形成された塊は、その後、乾燥され加熱されることで、固化して緩衝材５５になる。乾燥は、緩衝材５５に生じる亀裂を抑制できる点で、自然乾燥で充分行われることが好ましい。また、加熱は、スラッジの一部を構成する研磨対象５０の物性に応じて適宜設定されてよく、例えば研磨対象５０がガラスである場合、常温から高温までの間を複数の段階に分けて徐々に昇温することが好ましい。なお、緩衝材５５は、本実施形態では球状に造粒されているが、これに限られず、所望のガラスの形状に適応した任意形状の塊であってよい。
【００４５】
緩衝材５５は、図示しない再生供給手段によって研磨容器２１に供給され、再利用される。なお、本実施形態では緩衝材５５がその発生源である研磨容器２１に供給され、製造システム１０全体のゼロエミッション化が図られているが、これに限られず、別の製造システムの研磨容器に供給されてもよい。
【００４６】
なお、製造システム１０は図示しない研磨対象作製手段を更に備えてもよく、この研磨対象作製手段は元材（例えば板材、棒材）を切断、研削、及び／又は切削することで研磨対象５０を作製する。本実施形態では、研磨対象作製手段がガラスブロックを切断、研削、及び／又は研磨することで、ガラス角材である研磨対象５０が作製される。そして、この過程で生じるスラッジは再生手段に投入されてスラッジ５４と混合され、緩衝材５５の作製のために消費できる。これにより、元材から被研磨品６０に至る工程全体のゼロエミッション化を促進できることになる。
【００４７】
［被研磨品の製造方法］
以上の製造システム１０を用いた被研磨品の製造方法の手順を以下に説明する。
【００４８】
まず、研磨対象５０及び緩衝材５１を研磨容器２１内に供給し、振動源を稼動する。これにより、研磨対象５０を緩衝材５１の存在下、研磨容器２１内で擦りあわせることで研磨対象５０の面取りを行い、被研磨品６０を作製する（予備研磨工程）。本実施形態では、緩衝材５１とともに砥粒５２を併用し、これにより研磨対象５０の研磨効率を向上する。
【００４９】
本実施形態での研磨対象５０はガラス角材であり、かかるガラス角材を用いて得られる被研磨品６０をリヒートプレスすることで、レンズ等の光学素子を製造できる。被研磨品６０は面取りされて角部を喪失しているため、リヒートプレスの際に角部が結晶化する等の事態が抑制され、歩留まりを向上できる。また、上記の光学素子を用いて光学機器を製造することが好ましい。
【００５０】
予備研磨工程で生じたスラッジ５４と、緩衝材が消耗した消耗緩衝材５３とを混合し塊化することで、緩衝材５５を再生する（再生工程）。再生された緩衝材５５は研磨容器２１に供給して予備研磨工程において再利用する。このように、予備研磨工程及び再生工程を順次繰り返すことで、スラッジ５４の廃棄量を低減できることになる。
【００５１】
本実施形態では、予備研磨工程後の研磨容器２１内を洗浄液で洗浄することにより、スラッジを含む廃液を廃液槽２５へと回収し、この廃液から分離し乾燥することで粉状のスラッジを得る（スラッジ回収工程）。そして、再生工程では、粉状のスラッジを用い、所定液体を噴霧することで塊化を促進する。これにより、粉状のスラッジが消耗緩衝材５３に均等且つ迅速に付着する。
【００５２】
所定液体は、粉状のスラッジを消耗緩衝材５３に付着しやすくできる限りにおいて特に
限定されず、通常は水でよい。ただし、廃液からスラッジを分離する際に多量の廃水が残るため、この廃水を含む所定液体を噴霧することが好ましい。これにより、廃水の廃棄量が低減するし、廃水中に僅かに残存するスラッジも消耗緩衝材の再生に利用される。
【００５３】
このようにして形成された塊は、その後、乾燥し加熱することで、固化して緩衝材５５になる。乾燥は、緩衝材５５に生じる亀裂を抑制できる点で、自然乾燥で充分行うことが好ましい。また、加熱は、スラッジの一部を構成する研磨対象５０の物性に応じて適宜設定してよく、例えば研磨対象５０がガラスである場合、常温から高温までの間を複数の段階に分けて徐々に昇温することが好ましい。具体的には、まず常温から約７００℃まで約１１時間かけて昇温し、約７００℃を約２時間維持し、７００℃から８６０℃まで２．５時間かけて昇温し、最後に８６０℃を１０時間維持した後、放冷する。
【００５４】
本実施形態では、再生工程の前に、消耗緩衝材５３を消耗の程度（消耗緩衝材５３の粒子径及び／又は質量の大小）に基づいて複数の消耗クラスに分類し（分類工程）、いずれか一つの消耗クラスに属する高消耗緩衝材５３１，中消耗緩衝材５３２、及び低消耗緩衝材５３３ごとに分けて再生手段に投入する。ただし、本実施形態では低消耗緩衝材５３３は再生工程を経ずに研磨容器２１に供給し、予備研磨工程において再利用する。
【００５５】
また、本実施形態では、予備研磨工程の前に、元材を切断、研削、及び／又は切削することで研磨対象５０を作製し（研磨対象作製工程）、この工程で生じるスラッジは研磨容器２１内で消耗緩衝材５３と混合し、緩衝材５５の形成に利用する。ここで、研磨対象作製工程で生じるスラッジは、スラッジ５４と同時に使用してもよいし、別々に使用してもよい。
【００５６】
［作用効果］
本実施形態によれば、以下のような作用効果が得られる。
【００５７】
予備研磨工程で生じるスラッジ５４は消耗緩衝材５３とともに緩衝材５５の再生に消費されるとともに、再生された緩衝材５５は予備研磨工程で再利用される。このようなサイクルが順次繰り返されるので、スラッジ５４の廃棄量を低減でき、しかも緩衝材の消耗に伴う新規緩衝材５１の必要量が低減され、製造コストを削減できる。
【００５８】
緩衝材５１，５５とともに砥粒５２を併用したので、研磨効率が向上し、製造効率を向上できる。
【００５９】
消耗クラスごとの高消耗緩衝材５３１，中消耗緩衝材５３２、及び低消耗緩衝材５３３から緩衝材５５が再生されるので、再生される緩衝材５５はロット内で均質化する。このため、再生された緩衝材５５を用いて作製される被研磨品６０の品質を容易に制御できる。
【００６０】
消耗緩衝材５３を粒子径及び／又は質量の大小という容易且つ正確に測定可能なパラメータで分類でき、再生される緩衝材５５はロット内で容易に更に均質化する。このため、再生された緩衝材５５を用いて作製される被研磨品６０の品質を正確且つより容易に制御できる。
【００６１】
低消耗緩衝材５３３に関して再生工程を行う費用及び時間が削減されるので、被研磨品６０の製造コストをより低減できる。また、再利用される低消耗緩衝材５３３の消耗の程度は低いので、再生工程を経なくとも、略同等の効率で研磨できる。
【００６２】
研磨対象５０を作製する過程で生じるスラッジも緩衝材５５の再生に消費される。このため、製造工程全体で生じるスラッジの廃棄量を低減でき、ゼロエミッション化を更に高度化できる。
【００６３】
研磨容器２１から洗浄によってスラッジが除去されるため、意図しない量のスラッジが研磨容器２１内に残存することによる研磨効率のバラつきが抑制され、被研磨品６０の品質をより正確に制御できる。また、洗浄によって研磨容器２１から排出されるスラッジは粉状で再生工程に供されるので、消耗緩衝材５３と迅速に混ざり合うとともに、所定液体によって消耗緩衝材５３に迅速に付着して塊化が促進される。これにより、均質な緩衝材５５を容易且つ迅速に再生できる。
【００６４】
廃液からスラッジ５４が分離された廃水中に僅かに残存するスラッジも緩衝材５５の再生に利用されるとともに、消費した分、廃水の廃棄量が低減するため、ゼロエミッション化をより高度化できる。
【００６５】
本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。例えば、図１に示される各材料の移送、供給、投入等は、機械的に行われてもよいし、人為的に行われてもよい。また、前記実施形態では、スラッジに消耗緩衝材を混合して塊化したが、スラッジを含む限りにおいてこれに限られず、消耗緩衝材を必ずしも含まなくてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の製造システムのブロック図である。
【符号の説明】
【００６７】
１０  製造システム
２０  予備研磨部（予備研磨手段）
２５  廃液槽
５０  研磨対象
５１  緩衝材
５２  砥粒
５３  消耗緩衝材
５４  スラッジ
５５  再生された緩衝材
６０  被研磨品
５３３  低消耗緩衝材
【図１】
0005097611.tif 000002