(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材、および前記基材上にパターン状に形成された透過光用着色層と前記基材上にパターン状に形成され、かつ前記透過光用着色層より膜厚が薄く形成された反射光用着色層とを含む着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、
前記基材上に、少なくとも感光性樹脂を含有する着色層形成用組成物を塗布し、着色層形成用層を形成する着色層形成用層形成工程と、
前記着色層形成用層に、凸面および凹部がストライプ状に交互に形成されたモールドを圧着させる圧着工程と、
前記着色層形成用層を露光する露光工程と、
前記モールドを剥離する剥離工程と、
前記着色層形成用層を現像する現像工程と
を含む着色層形成工程を有し、前記モールドの凸面と圧着されて形成された着色層を前記反射光用着色層、前記モールドの凹部と圧着して形成された着色層を前記透過光用着色層とすることを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記着色層形成工程前に、前記基材上にパターン状に透明樹脂層を形成する透明樹脂層形成工程を有することを特徴とする請求項１に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記着色層形成工程後に、前記反射光用着色層上に、透明樹脂層を形成する透明樹脂層形成工程を有することを特徴とする請求項１に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
基材、前記基材上にパターン状に形成された透明樹脂層、および前記基材上にパターン状に形成された透過光用着色層と前記透明樹脂層上に形成され、かつ前記透過光用着色層より膜厚が薄く形成された反射光用着色層とを含む着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、
前記基材および前記透明樹脂層を覆うように、少なくとも感光性樹脂を含有する着色層形成用組成物を塗布し、着色層形成用層を形成する着色層形成用層形成工程と、
前記着色層形成用層に、凸面および凹部がストライプ状に交互に形成されたモールドを圧着させる圧着工程と、
前記着色層形成用層を露光する露光工程と、
前記モールドを剥離する剥離工程と、
前記着色層形成用層を現像する現像工程と
を含む着色層形成工程を有し、前記モールドの凸面と圧着されて形成された着色層を前記透過光用着色層、前記モールドの凹部と圧着して形成された着色層を前記反射光用着色層とすることを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記モールドが、前記凸面および凹部のストライプパターンと直交するように形成されたストライプ状の遮光部を有することを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
基材、および前記基材上にパターン状に形成された透過光用着色層と前記基材上にパターン状に形成され、かつ前記透過光用着色層より膜厚が薄く形成された反射光用着色層とを含む着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際に用いられる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドであって、
前記反射光用着色層の形状と対応する凸面と前記透過光用着色層の形状と対応する凹部とがストライプ状に交互に形成された凹凸形成部、および前記凹凸形成部のストライプパターンと直交するようにパターン状に形成された遮光部を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールド。
【請求項７】
基材、前記基材上にパターン状に形成された透明樹脂層、および前記基材上にパターン状に形成された透過光用着色層と前記透明樹脂層上に形成され、かつ前記透過光用着色層より膜厚が薄く形成された反射光用着色層とを含む着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際に用いられる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドであって、
前記透過光用着色層の形状と対応する凸面と前記反射光用着色層の形状と対応する凹部とがストライプ状に交互に形成された凹凸形成部、および前記凹凸形成部のストライプパターンと直交するようにパターン状に形成された遮光部を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半透過型液晶表示装置に用いられる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法、およびその製造方法に用いられる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置として、外光の反射と、バックライト光の透過光とを利用した半透過型液晶表示装置が開発されている。この半透過型液晶表示装置は、外光を利用して表示を行なう従来の反射型カラー液晶表示装置にバックライトを兼ね備え、周囲が暗い場合でもバックライトによる表示（透過表示）が行なえる、という利点を有する。しかしながら、このような半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタにおいて、外光が入射光および反射光として着色層を２回通過することから、外光により表示が行われる反射光用領域の色特性と、バックライト光によって表示が行われる透過光用領域との色特性が異なるという問題を有する場合があった。
【０００３】
このような問題を解決するため、例えば上記透過光用領域に膜厚の厚い着色層を形成し、その後、別途上記反射光用領域に膜厚の薄い着色層を形成する方法や、透過光用領域に色の濃い着色層を形成し、さらに反射光用領域に色の薄い着色層を形成する方法等が採用されていた。しかしながら、これらの方法では、３色（赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ））の着色層を有するカラーフィルタを形成する際、例えばフォトリソグラフィー法等を６回繰り返し行わなければならず、工程が煩雑であった。
【０００４】
そこで、例えば基材上に、着色層を形成するための着色層形成用層を形成し、この着色層形成用層を透過光用領域では通常のフォトマスクを用いて露光、現像し、反射光用領域ではハーフトーンマスクを用いて露光、現像することにより、反射光用領域と透過光用領域とで膜厚の異なる着色層を一括して形成する方法が提案されている（例えば特許文献１参照）。しかしながら、この方法においては、ハーフトーンマスクを用いた反射光用領域の露光量の調整等が難しく、目的とする高さや目的とする形状に着色層を形成することが難しい、という問題があった。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−４５７５７公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
以上のことから、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの反射光用領域および透過光用領域に、それぞれ膜厚の異なる着色層を、目的とする高さおよび形状に一括して形成可能な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の提供が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、基材、および上記基材上にパターン状に形成された透過光用着色層と上記基材上にパターン状に形成され、かつ上記透過光用着色層より膜厚が薄く形成された反射光用着色層とを含む着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、上記基材上に、少なくとも感光性樹脂を含有する着色層形成用組成物を塗布し、着色層形成用層を形成する着色層形成用層形成工程と、上記着色層形成用層に、凸面および凹部がストライプ状に交互に形成されたモールドを圧着させる圧着工程と、上記着色層形成用層を露光する露光工程と、上記モールドを剥離する剥離工程と、上記着色層形成用層を現像する現像工程とを含む着色層形成工程を有し、上記モールドの凸面と圧着されて形成された着色層を上記反射光用着色層、上記モールドの凹部と圧着して形成された着色層を上記透過光用着色層とすることを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供する。
【０００８】
本発明においては、上記モールドを圧着させて、着色層形成用層を成型することから、反射光用領域に形成される着色層および透過光用領域に形成される着色層の膜厚をそれぞれ目的とする厚さとすることが可能となる。したがって、本発明によれば、一括して透過光用着色層および反射光用着色層を形成することが可能であり、効率よく半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することができる、という利点を有している。
【０００９】
上記発明においては、上記着色層形成工程前に、上記基材上にパターン状に透明樹脂層を形成する透明樹脂層形成工程を有していてもよく、また上記着色層形成工程後に、上記反射光用着色層上に、透明樹脂層を形成する透明樹脂層形成工程を有していてもよい。上記透明樹脂層形成工程により透明樹脂層を形成することにより、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタと液晶駆動側基板とのセルギャップを調整することが可能となり、反射光用領域および透過光用領域における光路差を調整することが可能となるからである。
【００１０】
また本発明は、基材、上記基材上にパターン状に形成された透明樹脂層、および上記基材上にパターン状に形成された透過光用着色層と上記透明樹脂層上に形成され、かつ上記透過光用着色層より膜厚が薄く形成された反射光用着色層とを含む着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、上記基材および上記透明樹脂層を覆うように、少なくとも感光性樹脂を含有する着色層形成用組成物を塗布し、着色層形成用層を形成する着色層形成用層形成工程と、上記着色層形成用層に、凸面および凹部がストライプ状に交互に形成されたモールドを圧着させる圧着工程と、上記着色層形成用層を露光する露光工程と、上記モールドを剥離する剥離工程と、上記着色層形成用層を現像する現像工程とを含む着色層形成工程を有し、上記モールドの凸面と圧着されて形成された着色層を上記透過光用着色層、上記モールドの凹部と圧着して形成された着色層を上記反射光用着色層とすることを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供する。
【００１１】
本発明においても、上記モールドを圧着させて、着色層形成用層を成型することから、反射光用領域に形成される着色層および透過光用領域に形成される着色層の膜厚をそれぞれ目的とする厚さとすることが可能となる。したがって、本発明によれば、一括して透過光用着色層および反射光用着色層を形成することが可能であり、効率よく半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することができる、という利点を有している。
【００１２】
上記いずれの発明においても、上記モールドが、上記凸面および凹部のストライプパターンと直交するように形成されたストライプ状の遮光部を有するものとすることが好ましい。これにより、別途フォトマスク等を用いることなく、上記露光工程を行うことが可能となり、効率よく半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することが可能となるからである。
【００１３】
また本発明は、基材、および上記基材上にパターン状に形成された透過光用着色層と上記基材上にパターン状に形成され、かつ上記透過光用着色層より膜厚が薄く形成された反射光用着色層とを含む着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際に用いられる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドであって、上記反射光用着色層の形状と対応する凸面と上記透過光用着色層の形状と対応する凹部とがストライプ状に交互に形成された凹凸形成部、および上記凹凸形成部のストライプパターンと直交するようにパターン状に形成された遮光部を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドを提供する。
【００１４】
またさらに本発明は、基材、上記基材上にパターン状に形成された透明樹脂層、および上記基材上にパターン状に形成された透過光用着色層と上記透明樹脂層上に形成され、かつ上記透過光用着色層より膜厚が薄く形成された反射光用着色層とを含む着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際に用いられる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドであって、上記透過光用着色層の形状と対応する凸面と上記反射光用着色層の形状と対応する凹部とがストライプ状に交互に形成された凹凸形成部、および上記凹凸形成部のストライプパターンと直交するようにパターン状に形成された遮光部を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドを提供する。
【００１５】
上記いずれの態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドにおいても、上記凹凸形成部を有することから、着色層を形成するための着色層形成用層と、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドとを圧着することにより、透過光用着色層および反射光用着色層を、目的とする高さに、高精細なパターン状に成型することが可能となる。また上記凹凸形成部のストライプパターンと直交するように上記遮光部が形成されていることから、例えば３色の着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの着色層を製造する際、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドを圧着したまま露光することにより、フォトマスク等を用いることなく、特定の色の着色層を形成する領域のみ、露光することが可能となり、各色ごとに着色層を形成することができる。したがって、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドを用いることにより、効率よく半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、一括して透過光用着色層および反射光用着色層を、目的とする高さおよび形状に形成することが可能であり、効率よく半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明は、半透過型液晶表示装置に用いられる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法、およびその製造方法に用いられる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドに関するものである。以下、それぞれについてわけて説明する。
【００１８】
Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、２つの態様がある。以下、それぞれの態様ごとにわけて説明する。
【００１９】
ａ．第１の態様
まず、本発明のカラーフィルタの製造方法の第１の態様について説明する。本態様のカラーフィルタの製造方法は、基材、および上記基材上にパターン状に形成された透過光用着色層と上記基材上にパターン状に形成され、かつ上記透過光用着色層より膜厚が薄く形成された反射光用着色層とを含む着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、上記基材上に、少なくとも感光性樹脂を含有する着色層形成用組成物を塗布し、着色層形成用層を形成する着色層形成用層形成工程と、上記着色層形成用層に、凸面および凹部がストライプ状に交互に形成されたモールドを圧着させる圧着工程と、上記着色層形成用層を露光する露光工程と、上記モールドを剥離する剥離工程と、上記着色層形成用層を現像する現像工程とを含む着色層形成工程を有し、上記モールドの凸面と圧着されて形成された着色層を上記反射光用着色層、上記モールドの凹部と圧着して形成された着色層を上記透過光用着色層とすることを特徴とする方法である。
【００２０】
本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、例えば図１に示すように、基材１上に着色層形成用組成物を塗布し、着色層形成用層２を形成する着色層形成用層形成工程（図１（ａ））と、上記着色層形成用層２に、凸面ａおよび凹部ｂがストライプ状に形成されたモールド３を圧着する圧着工程（図１（ｂ））と、例えばフォトマスク４等を用いて、上記着色層形成用層２を露光する露光工程（図１（ｃ））と、上記モールド３を剥離する剥離工程（図１（ｄ））と、上記着色層形成用層２を現像し、着色層６を形成する現像工程（図１（ｅ））とを含む着色層形成工程を有する方法である。この際、上記モールド３の凸面ａと圧着されて形成された着色層６が反射光用着色層６α、上記モールド３の凹部ｂと圧着されて形成された着色層６が透過光用着色層６βとされる。
【００２１】
本態様によれば、上記モールドを圧着して着色層形成用層を成型することから、上記モールドの凸面領域と圧着された領域の着色層形成用層の膜厚を薄いものとし、上記モールドの凹部と圧着された領域の着色層形成用層の膜厚を厚いものとすることができる。したがって本態様によれば、膜厚の薄い着色層、すなわち反射光用着色層と、膜厚の厚い着色層、すなわち透過光用着色層を一括して形成することが可能である。またこの際、上記モールドを用いて着色層形成用層を成型することから、目的とする膜厚に、反射光用着色層および透過光用着色層をそれぞれ形成することが可能となる。これにより、反射光用着色層および透過光用着色層の色特性を細かく調整することが可能であり、本態様によれば、高品質な色表示が可能な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することができる。
【００２２】
なお、上記モールドの凸面とは、モールドの着色層形成用層の成型に用いられる面において、モールドの膜厚が最大となる領域をいうこととし、上記モールドの凹部とは、モールドの着色層形成用層の成型に用いられる面の、上記凸面以外の領域をいうこととする。また、上記透過光用着色層とは、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの透過光用領域に形成される着色層をいうこととし、反射光用着色層とは、反射光用領域に形成される着色層をいうこととする。以下、本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における着色層形成工程、およびその他の工程について詳しく説明する。
【００２３】
１．着色層形成工程
（１）着色層形成用層形成工程
本態様における着色層形成用層形成工程は、基材上に少なくとも感光性樹脂を含有する着色層形成用組成物を塗布し、着色層形成用層を形成する工程である。本工程により形成される着色層形成用層は、後述する圧着工程でモールドの形状に追従して変形することが可能であり、後述する露光工程および現像工程で硬化され、現像工程で目的とするパターン状に現像可能なものであれば、特に限定されるものではない。上記着色層形成用層は、例えば基材の全面に形成されるものであってもよく、また基材の一部領域にのみ形成されるものであってもよい。
【００２４】
また本態様においては、上記基材上に着色層形成用層を形成することが可能であれば、その形成方法等は特に限定されるものではない。例えば着色層形成用組成物をスピンコート法やダイコート法等、一般的な塗布方法で塗布する方法等とすることができる。また、必要に応じて、塗布された感光性樹脂組成物をプリベーク等してもよい。
【００２５】
上記着色層形成用層の形成に用いられる着色層形成用組成物としては、通常、感光性樹脂、顔料または染料、および各種添加剤等を含有するものとすることができる。このような着色層形成用組成物としては、一般的なカラーフィルタの着色層を形成する際に用いられるものと同様とすることができる。なお、上記着色層形成用組成物は、後述する圧着工程で用いられるモールドとの剥離性が良好なものが選択されて用いられることが好ましい。
【００２６】
また本工程により形成される上記着色層形成用層の膜厚は、形成する着色層の膜厚に応じて適宜選択され、透過光用着色層の高さと同等、もしくはそれより厚い膜厚とされる。このような膜厚としては、通常１．０μｍ〜３．０μｍ程度、中でも１.３μｍ〜２.５μｍ程度、特に１.５μｍ〜２.３μｍ程度とすることができる。
【００２７】
また、本工程に用いられる基材としては、上記着色層形成用層を形成することが可能なものであればよく、一般的なカラーフィルタに用いられるものと同様とすることができる。
【００２８】
（２）圧着工程
次に、本態様における圧着工程について説明する。本態様における圧着工程は、上記着色層形成用層に、凸面および凹部がストライプ状に交互に形成されたモールドを圧着する工程である。本工程において上記着色層形成用層にモールドを圧着する方法としては、モールドの凹部に上記着色層形成用層を入り込ませ、着色層形成用層をモールドの形状に追従させることが可能な方法であれば特に限定されるものではない。例えば真空中で上記着色層形成用層およびモールドを密着させる方法であってもよく、また例えば上記着色層形成用層およびモールドを積層した後、常温または加熱した状態で圧力をかけることにより、圧着する方法等であってもよい。
【００２９】
また、本工程においては、上記モールドの凸面と基材との距離が、上記反射光用着色層の膜厚となるように、上記モールドを圧着することとなるが、上記距離としては、通常０．１μｍ〜１．５μｍ程度、中でも０．２μｍ〜１．２μｍ程度とされる。
【００３０】
ここで、本工程に用いられるモールドは、例えば図２（ａ）の断面図に示すように、形成する反射光用着色層の形状に対応した形状を有する凸面ａと、形成する透過光用着色層の形状に対応した形状を有する凹部ｂとが、図２（ｂ）の平面図に示すように、ストライプ状に交互に形成されているものである。なお、上記モールドは、例えば図３の平面図に示すように、上記凸面ａおよび凹部ｂのストライプパターンと直交するように形成されたストライプ状の遮光部１１を有するものであることが特に好ましい。この場合、後述する露光工程において着色層形成用層の露光を行う際、別途フォトマスク等を用いる必要がないものとすることができる。したがって、例えばフォトマスクの位置合わせ等を行うことなく、効率よく半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することが可能となる。上記遮光部の幅（図３においてｘで示される幅）は、本態様により製造されるカラーフィルタの種類や、形成する着色層の形状等に合わせて適宜選択される。なお、本態様において上記遮光部は、例えば図４に示すように、上記凸面ａおよび凹部ｂのストライプパターンと直交するパターンだけでなく、上記凸面ａおよび凹部ｂのストライプパターンと平行なパターン状に形成されていてもよい。
【００３１】
また上記遮光部としては、一般的なカラーフィルタの形成に用いられるフォトマスクに形成される遮光部と同様とすることができ、遮光性樹脂からなるものであってもよく、金属からなるものであってもよい。またさらに上記遮光部が形成される位置としては、通常、上記凸面および凹部が形成された面と反対側の面とされるが、上記凸面および凹部の形状を妨げないように形成可能である場合には、上記凸面および凹部が形成された面側に遮光部が形成されていてもよい。
【００３２】
ここで、上記モールドの凸面のストライプの幅としては、形成する反射光用着色層の幅に合わせて適宜選択されるが、通常１０μｍ〜８０μｍ程度、中でも２０μｍ〜６０μｍ程度とされることが好ましい。また、上記凹部のストライプの幅としては、形成する透過光用着色層の幅に合わせて適宜選択されるが、通常２０μｍ〜８０μｍ程度、中でも３０μｍ〜６０μｍ程度とされることが好ましい。また上記凹部の深さは、反射光用着色層と透過光用着色層との膜厚差と等しいものとされ、通常１．０μｍ〜２．５μｍ程度、中でも１．５μｍ〜２．０μｍ程度とされることが好ましい。これにより、本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおける反射光用領域および透過光用領域の色特性を良好なものとすることができるからである。
【００３３】
また、上記モールドの材質は、後述する露光工程におけるエネルギーの照射方法等により適宜選択される。例えば、上記モールドを剥離した状態で、露光工程が行われる場合には、上記モールドとして、金属やセラミック等のエネルギー透過性を有しない材質からなるものが用いられてもよいが、例えば上記モールドを圧着した状態で、露光工程が行われる場合には、エネルギー透過性を有する樹脂や、エネルギー透過性を有するガラス、クォーツ等からなるモールドが用いられることとなる。なお、本態様においてはいずれの場合においても、特にエネルギー透過性や寸法安定性、アライメントの取り易さ等の面から、クォーツからなるモールドが用いられることが好ましい。
【００３４】
（３）露光工程
次に、本態様における露光工程について説明する。本態様における露光工程は、上記着色層形成用層を露光する工程である。例えば本態様により赤色、緑色、青色の３色の着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する場合には、各色ごとに着色層を形成する必要があり、例えば上記着色層形成用層が赤色着色層形成用層である場合には、緑色着色層および青色着色層が形成される領域の赤色着色層形成用層を除去する必要がある。したがって、本工程において赤色着色層を形成する領域のみ、赤色着色層形成用層を露光し、後述する現像工程において、それ以外の領域の赤色着色層形成用層を除去することが必要とされる。
【００３５】
ここで、本工程は、上記モールドと着色層形成用層とを圧着させたまま行われるものであってもよいが、例えば上記着色層形成用層が上記モールドを剥離した状態で安定にその形状を保つことが可能である場合には、後述する剥離工程を本工程の前に行い、モールドと着色層形成用層とを剥離した状態で、着色層形成用層の露光が行われるものであってもよい。
【００３６】
また、上記モールドに上述した遮光部が形成されており、上記モールドを圧着した状態で本工程が行われる場合には、露光の際にフォトマスク等が必要とされないが、上記モールドに遮光部が形成されていない場合や、上記モールドを剥離した状態で露光を行う場合には、例えば上記着色層形成用層上、または上記モールド上にフォトマスク等を配置して露光が行われることとなる。また、例えばレーザー等を用いて、上記着色層形成用層をパターン状に露光してもよい。
【００３７】
なお、本工程において、上記着色層形成用層の露光に用いられるエネルギーや、エネルギーの照射方法等については、上記着色層形成用層やモールドの種類等に応じて適宜選択され、一般的なカラーフィルタの着色層を形成する場合と同様とすることができる。
【００３８】
（４）剥離工程
次に、本態様における剥離工程について説明する。本態様における剥離工程は、上記着色層形成用層と上記モールドとを剥離する工程である。上述したように、本工程は上記露光工程の前に行われてもよく、また上記露光工程の後に行われてもよい。
【００３９】
上記着色層形成用層とモールドとを剥離する方法については、特に限定されるものではなく、例えばモールド側および基材側の両方向から所定の方向に引っ張って剥離する方法であってもよく、また例えばモールド側、もしくは基材側のいずれか一方の側からのみ、所定の方向に引っ張って剥離する方法等であってもよい。
【００４０】
（５）現像工程
次に、本態様における現像工程について説明する。本態様における現像工程は、上記露光工程により露光された着色層形成用層を現像する工程である。本工程により、現像を行うことによって、着色層形成用層の不要部分を除去し、目的とするパターン状に、上記反射光用着色層および透過光用着色層を含む着色層を形成することが可能となるのである。
【００４１】
上記着色層形成用層を現像する方法としては、上記着色層形成用層の種類等により適宜選択され、一般的なカラーフィルタにおける着色層形成用層の現像方法と同様とすることができる。なお、現像後、上記着色層形成用層をポストベーク等してもよい。
【００４２】
２．その他の工程
本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法においては、上記着色層形成工程以外に、例えば上記着色層間に遮光部を形成する遮光部形成工程や、上記着色層上に透明電極層を形成する透明電極層形成工程等、必要な工程を有していてもよい。本態様においては特に、上記反射光用着色層上、または上記反射光用着色層と基材との間に、透明樹脂層をパターン状に形成する透明樹脂層形成工程を有していることが好ましい。これにより、本態様により製造された半透過型液晶表示装置用カラーフィルタと液晶駆動側基板とのギャップを調整することが可能となり、液晶表示装置の透過光用領域および反射光用領域の光路差を調整することが可能となる。また、着色層を一般的な方法により形成する場合であって、透明樹脂層を基材と反射光用着色層との間に形成する場合は特に、上記反射光用着色層を目的とする膜厚に形成することが困難となるが、本態様によれば、上述したモールドを用いて着色層を形成することから、目的とする高さに、高精細に着色層を形成することができる。以下、上記透明樹脂層形成工程について説明する。
【００４３】
（透明樹脂層形成工程）
本態様における透明樹脂層形成工程は、上記反射光用着色層上、または上記反射光用着色層と基材との間に、透明樹脂層をパターン状に形成する工程であり、上記着色層形成工程前に透明樹脂層形成工程を行う場合（第１実施態様）と、上記着色層形成工程後に透明樹脂層形成工程を行う場合（第２実施態様）との、２つの実施態様がある。以下、それぞれについてわけて説明する。
【００４４】
（１）第１実施態様
まず、本態様における透明樹脂層形成工程の第１実施態様は、上記基材の、反射光用着色層が形成される領域に、透明樹脂層をパターン状に形成する工程とされる。上記透明樹脂層をパターン状に形成する方法としては、例えば基材上に、透明樹脂層形成用組成物を、例えばスピンコート法やダイコート法等の一般的な塗布方法により塗布し、その後、露光、現像する方法等とすることができる。
【００４５】
上記透明樹脂層の形成に用いられる透明樹脂組成物としては、可視光に対して透過性を有するものであって、目的とするパターン状にパターニング可能なものであれば、特に限定されるものではなく、一般的な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタに形成される透明樹脂層と同様とすることができる。
【００４６】
なお、本工程により形成される透明樹脂層の膜厚としては、通常１．０μｍ〜６．０μｍ程度、中でも２．５μｍ〜５．０μｍ程度とされることが好ましい。これにより、反射光用領域および透過光用領域における光路差を調整することが可能となるからである。
【００４７】
（２）第２実施態様
本態様における透明樹脂層形成工程の第２実施態様は、上記反射光用着色層が形成されている領域に、透明樹脂層をパターン状に形成する工程である。上記透明樹脂層をパターン状に形成する方法としては、例えば上記着色層形成工程により形成された着色層上に、透明樹脂層形成用組成物を、例えばスピンコート法やダイコート法等の一般的な塗布方法により塗布し、その後、目的とする領域のみ露光し、現像する方法等とすることができる。上記透明樹脂層の形成に用いられる透明樹脂組成物や、透明樹脂層の膜厚等については、上述した第１実施態様と同様とすることができる。
【００４８】
ｂ．第２の態様
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法の第２の態様について説明する。本態様のカラーフィルタの製造方法は、基材、上記基材上にパターン状に形成された透明樹脂層、および上記基材上にパターン状に形成された透過光用着色層と上記透明樹脂層上に形成され、かつ上記透過光用着色層より膜厚が薄く形成された反射光用着色層とを含む着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、上記基材および上記透明樹脂層を覆うように、少なくとも感光性樹脂を含有する着色層形成用組成物を塗布し、着色層形成用層を形成する着色層形成用層形成工程と、上記着色層形成用層に、凸面および凹部がストライプ状に交互に形成されたモールドを圧着させる圧着工程と、上記着色層形成用層を露光する露光工程と、上記モールドを剥離する剥離工程と、上記着色層形成用層を現像する現像工程とを含む着色層形成工程を有し、上記モールドの凸面と圧着されて形成された着色層を上記透過光用着色層、上記モールドの凹部と圧着して形成された着色層を上記反射光用着色層とすることを特徴とする方法である。
【００４９】
本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、例えば図５に示すように、基材１および透明樹脂層７を覆うように着色層形成用組成物を塗布し、着色層形成用層２を形成する着色層形成用層形成工程（図５（ａ））と、上記着色層形成用層２に、凸面ａおよび凹部ｂがストライプ状に形成されたモールド３を圧着する圧着工程（図５（ｂ））と、例えばフォトマスク４等を用いて、上記着色層形成用層２を露光する露光工程（図５（ｃ））と、上記モールド３を剥離する剥離工程（図５（ｄ））と、上記着色層形成用層２を現像し、着色層６を形成する現像工程（図５（ｅ））とを含む着色層形成工程を有する方法である。この際、上記モールド３の凸面ａと圧着されて形成された着色層６が透過光用着色層６β、上記モールド３の凹部ｂと圧着されて形成された着色層６が反射光用着色層６αとされる。
【００５０】
本態様によれば、上記透明樹脂層が反射光用着色層を形成する領域に形成されており、基材および透明樹脂層を覆うように形成された着色層形成用層にモールドを圧着して成型することから、透明樹脂層上の着色層形成用層、および基材上の着色層形成用層の膜厚をモールドの形状に合わせて調整することが可能となる。具体的には、成型後、透明樹脂層上に形成されている着色層形成用層の膜厚を、基材上に形成されている着色層形成用層の膜厚より薄いものとすること等ができる。したがって、反射光用着色層および透過光用着色層の色特性を細かく調整することが可能であり、本態様によれば、高品質な色表示が可能な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することができる。また本態様によれば、膜厚の薄い着色層、すなわち反射光用着色層と、膜厚の厚い着色層、すなわち透過光用着色層を一括して形成することが可能であり、製造効率等も好ましいものとすることができる。
【００５１】
なお、上記モールドの凸面とは、モールドの着色層形成用層の成型に用いられる面において、モールドの膜厚が最大となる領域をいうこととし、上記モールドの凹部とは、モールドの着色層形成用層の成型に用いられる面の、上記凸面以外の領域をいうこととする。また、上記透過光用着色層とは、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの透過光用領域に形成される着色層をいうこととし、反射光用着色層とは、反射光用領域に形成される着色層をいうこととする。以下、本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における着色層形成工程、およびその他の工程について詳しく説明する。
【００５２】
１．着色層形成工程
（１）着色層形成用層形成工程
本態様における着色層形成用層形成工程は、透明樹脂層がパターン状に形成された基材上に、上記基材および透明樹脂層を覆うように、少なくとも感光性樹脂を含有する着色層形成用組成物を塗布し、着色層形成用層を形成する工程である。本工程により形成される着色層形成用層は、後述する圧着工程でモールドの形状に追従して変形することが可能であり、後述する露光工程および現像工程で硬化され、現像工程で目的とするパターン状に現像可能なものであれば、特に限定されるものではない。上記着色層形成用層は、例えば基材および透明樹脂層を全面覆うように形成されるものであってもよく、また基材および透明樹脂層の一部領域のみを覆うように形成されるものであってもよい。
【００５３】
また本態様においては、上記基材および透明樹脂層を覆うように着色層形成用層を形成することが可能であれば、その形成方法等は特に限定されるものではない。例えば着色層形成用組成物をスピンコート法やダイコート法等、一般的な塗布方法で塗布する方法等とすることができる。また、必要に応じて、塗布された感光性樹脂組成物をプリベーク等してもよい。
【００５４】
本工程により形成される上記着色層形成用層の膜厚は、形成する着色層の膜厚に応じて適宜選択され、透過光用着色層の高さと同等、もしくはそれより厚い膜厚とされる。このような膜厚としては、通常１．０μｍ〜３．０μｍ程度、中でも１.３μｍ〜２.５μｍ程度、特に１.５μｍ〜２.３μｍ程度とすることができる。なお、本態様においては、透明樹脂層上に形成される着色層形成用層の膜厚が、透明樹脂層が形成されていない領域の基材上に形成される着色層形成用層の膜厚より薄いものとなるように形成されていてもよく、上記の好ましい膜厚は、基材上に形成される着色層形成用層の膜厚をいうこととする。
【００５５】
ここで、本態様において上記着色層形成用層の形成に用いられる着色層形成用組成物としては、第１の態様で説明したものと同様のものとすることができる。
【００５６】
また、本工程に用いられる基材としては、上記着色層形成用層を形成することが可能なものであればよく、一般的なカラーフィルタに用いられるものと同様とすることができる。また上記透明樹脂層としては、透過光用領域と反射光用領域とのギャップを調整するために反射光用着色層が形成される領域に形成されているものであって、可視光に対して透明性を有する層とされる。このような透明樹脂層の膜厚としては、通常１．０μｍ〜５．０μｍ程度、中でも２．５μｍ〜４．０μｍ程度とされることが好ましい。これにより、反射光用領域および透過光用領域における光路差を調整することが可能となるからである。また上記透明樹脂層の形成方法としては、例えば第１の態様の透明樹脂層形成工程で説明した方法と同様とすることができる。
【００５７】
（２）圧着工程
次に、本態様における圧着工程について説明する。本態様における圧着工程は、上記着色層形成用層に、凸面および凹部がストライプ状に交互に形成されたモールドを圧着する工程である。本工程において上記着色層形成用層にモールドを圧着する方法としては、モールドの凹部に上記着色層形成用層を入り込ませ、着色層形成用層をモールドの形状に追従させることが可能な方法であれば特に限定されるものではない。例えば真空中で上記着色層形成用層およびモールドを密着させる方法であってもよく、また例えば上記着色層形成用層およびモールドを積層した後、常温または加熱した状態で圧力をかけることにより、圧着する方法等であってもよい。
【００５８】
また、本工程においては、上記モールドの凸面と基材との距離が、上記透過光用着色層の膜厚となるように、上記モールドを圧着することとなるが、上記距離としては、通常１．０μｍ〜３．０μｍ程度、中でも１.３μｍ〜２.５μｍ程度とされる。
【００５９】
ここで、本工程に用いられるモールドは、例えば図２（ａ）の断面図に示すように、形成する透過光用着色層の形状に対応した形状を有する凸面ａと、形成する反射光用着色層の形状に対応した形状を有する凹部ｂとが、図２（ｂ）の平面図に示すように、ストライプ状に交互に形成されているものである。なお、上記モールドは、例えば図３の平面図に示すように、上記凸面ａおよび凹部ｂのストライプパターンと直交するように形成されたストライプ状の遮光部１１を有するものであることが特に好ましい。この場合、後述する露光工程において着色層形成用層の露光を行う際、別途フォトマスク等を用いる必要がないものとすることができる。したがって、例えばフォトマスクの位置合わせ等を行うことなく、効率よく半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することが可能となる。上記遮光部の幅（図３においてｘで示される幅）は、本態様により製造されるカラーフィルタの種類や、形成する着色層の形状等に合わせて適宜選択される。なお、本態様において上記遮光部は、例えば図４に示すように、上記凸面ａおよび凹部ｂのストライプパターンと直交するパターンだけでなく、上記凸面ａおよび凹部ｂのストライプパターンと平行なパターン状に形成されていてもよい。このようなモールドの材質や凸面の幅、凹部の幅、凹部の深さ等については、上述した第１の態様で用いられるモールドと同様とすることができる。
【００６０】
（３）露光工程
次に、本態様における露光工程について説明する。本態様における露光工程は、上記着色層形成用層を露光する工程である。例えば本態様により赤色、緑色、青色の３色の着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する場合には、各色ごとに着色層を形成する必要があり、例えば上記着色層形成用層が赤色着色層形成用層である場合には、緑色着色層および青色着色層が形成される領域の赤色着色層形成用層を除去する必要がある。したがって、本工程において赤色着色層を形成する領域のみ、赤色着色層形成用層を露光し、後述する現像工程において、それ以外の領域の赤色着色層形成用層を除去することが必要とされる。
【００６１】
本工程の露光方法については、上述した第１の態様で説明した方法と同様とすることができる。
【００６２】
（４）剥離工程
次に、本態様における剥離工程について説明する。本態様における剥離工程は、上記着色層形成用層と上記モールドとを剥離する工程である。本工程は上記露光工程の前に行われてもよく、また上記露光工程の後に行われてもよい。
【００６３】
上記着色層形成用層とモールドとを剥離する方法については、特に限定されるものではなく、例えばモールド側および基材側の両方向から所定の方向に引っ張って剥離する方法であってもよく、また例えばモールド側、もしくは基材側のいずれか一方の側からのみ、所定の方向に引っ張って剥離する方法等であってもよい。
【００６４】
（５）現像工程
次に、本態様における現像工程について説明する。本態様における現像工程は、上記露光工程により露光された着色層形成用層を現像する工程である。本工程により、現像を行うことによって、着色層形成用層の不要部分を除去し、目的とするパターン状に、上記反射光用着色層および透過光用着色層を含む着色層を形成することが可能となるのである。
【００６５】
上記着色層形成用層を現像する方法としては、上記着色層形成用層の種類等により適宜選択され、一般的なカラーフィルタにおける着色層形成用層の現像方法と同様とすることができる。なお、現像後、上記着色層形成用層をポストベーク等してもよい。
【００６６】
２．その他の工程
本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法においては、上記着色層形成工程以外に、例えば上記着色層間に遮光部を形成する遮光部形成工程や、上記着色層上に透明電極層を形成する透明電極層形成工程等、必要な工程を有していてもよい。また基材上に上記透明樹脂層を形成する透明樹脂層形成工程等を有していてもよい。このような各工程については、一般的な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法における各工程と同様とすることができる。
【００６７】
Ｂ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールド
次に、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドについて説明する。本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドは、２つの態様がある。以下、それぞれの態様ごとに説明する。
ａ．第１の態様
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドの第１の態様は、基材、および上記基材上にパターン状に形成された透過光用着色層と上記基材上にパターン状に形成され、かつ上記透過光用着色層より膜厚が薄く形成された反射光用着色層とを含む着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際に用いられる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドであって、上記反射光用着色層の形状と対応する凸面と上記透過光用着色層の形状と対応する凹部とがストライプ状に交互に形成された凹凸形成部、および上記凹凸形成部のストライプパターンと直交するようにパターン状に形成された遮光部を有することを特徴とするものである。
【００６８】
本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドは、例えば図６（ａ）の断面図に示すように、反射光用着色層の形状と対応する凸面ａと、透過光用着色層の形状と対応する凹部ｂとが、ストライプ状に交互に配置された凹凸形成部を有し、例えば図６（ｂ）の平面図に示すように、上記凸面ａおよび凹部ｂからなる凹凸形成部のストライプパターンと直交するように、遮光部１１が形成されているものとされる。なお、本態様において上記遮光部は、上記凹凸形成部のストライプパターンと直交するパターンだけでなく、上記凹凸形成部のストライプパターンと平行なパターン状に形成されていてもよい。
【００６９】
本態様によれば、上記凹凸形成部を有することから、着色層を形成するための着色層形成用層と、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドとを圧着することにより、透過光用着色層および反射光用着色層を、目的とする高さに、高精細なパターン状に成型することが可能となる。また上記凹凸形成部のストライプパターンと直交するように上記遮光部が形成されていることから、例えば３色の着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの着色層を製造する際、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドを圧着したまま露光することにより、フォトマスク等を用いることなく、特定の色の着色層を形成する領域のみ、露光することが可能となる。したがって、本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドを用いることにより、効率よく半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することが可能となる。
【００７０】
なお、上記遮光部の形状や、上記凸面、凹部の形状等は、本態様により目的とするカラーフィルタの種類や、形成する着色層の形状等に合わせて適宜選択され、上述した「Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法」の第１の態様の圧着工程で説明したものと同様とすることができる。また、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドの材質等についても「Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法」の圧着工程で説明したものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。
【００７１】
ｂ．第２の態様
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドの第２の態様は、基材、上記基材上にパターン状に形成された透明樹脂層、および上記基材上にパターン状に形成された透過光用着色層と上記透明樹脂層上に形成され、かつ上記透過光用着色層より膜厚が薄く形成された反射光用着色層とを含む着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際に用いられる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドであって、上記透過光用着色層の形状と対応する凸面と上記反射光用着色層の形状と対応する凹部とがストライプ状に交互に形成された凹凸形成部、および上記凹凸形成部のストライプパターンと直交するようにパターン状に形成された遮光部を有することを特徴とするものである。
【００７２】
本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドは、例えば図６（ａ）の断面図に示すように、透過光用着色層の形状と対応する凸面ａと、反射光用着色層の形状と対応する凹部ｂとが、ストライプ状に交互に配置された凹凸形成部を有し、例えば図６（ｂ）の平面図に示すように、上記凸面ａおよび凹部ｂからなる凹凸形成部のストライプパターンと直交するように、遮光部１１が形成されているものとされる。なお、本態様において上記遮光部は、上記凹凸形成部のストライプパターンと直交するパターンだけでなく、上記凹凸形成部のストライプパターンと平行なパターン状に形成されていてもよい。
【００７３】
本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドは、例えば反射光用領域に透明樹脂層が形成された基材を準備し、この基材および透明樹脂層を覆うように着色層形成用層を形成した後、この着色層形成用層と圧着させて用いられるものである。本態様においては、上記着色層形成用層と圧着させることにより、透明樹脂層上の着色層形成用層、および基材上の着色層形成用層の膜厚をモールドの形状に合わせて調整することが可能となり、成型後、透明樹脂層上に形成されている着色層形成用層の膜厚を、基材上に形成されている着色層形成用層の膜厚より薄いものとすること等ができる。したがって、本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドを用いることにより、反射光用着色層および透過光用着色層の色特性を細かく調整することが可能であり、高品質な色表示が可能な半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することが可能となる。
【００７４】
また上記凹凸形成部のストライプパターンと直交するように上記遮光部が形成されていることから、例えば３色の着色層を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの着色層を製造する際、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドを圧着したまま露光することにより、フォトマスク等を用いることなく、特定の色の着色層を形成する領域のみ、露光することが可能となる。したがって、本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドを用いることにより、効率よく半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造することが可能となる。
【００７５】
なお、上記遮光部の形状や、上記凸面、凹部の形状等は、本態様により目的とするカラーフィルタの種類や、形成する着色層の形状等に合わせて適宜選択され、上述した「Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法」の第２の態様の圧着工程で説明したものと同様とすることができる。また、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドの材質等についても「Ａ．半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法」で説明したものと同様とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。
【００７６】
また、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【００７７】
以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。
【００７８】
［実施例１］
定法により洗浄した厚さ０．７ｍｍのガラス基材（コーニング社製１７３７材ガラス）を準備した。次に、下記組成の赤色着色層形成用組成物、緑色着色層形成用組成物、および青色着色層形成用組成物をそれぞれ調製した。このガラス基材の片側表面に赤色着色層形成用組成物をスピンコート法により膜厚が２．５μｍとなるように塗布し、赤色着色形成用層とした。さらにクォーツ製のモールドを準備した。このモールドの形状は、反射光用領域に対応する凸部の幅を４０μｍ、深さを１．６μｍとし、透過光用領域に対応する凹部の幅を８０μｍとした。またモールドの凹凸に垂直方向に、８０μｍの遮光部を形成した。
上記赤色着色層形成用層とモールドとの位置合わせを行い、モールドを上方より圧力をかけながら圧着した。その後１００ｍＪの光で露光を行い、モールドを剥離した。さらに水酸化カリウム水溶液にて現像を行い、２３０℃で３０分焼成を行い、赤色着色層を形成した。同様の方法により、緑色着色層および青色着色層を形成した。透過光用領域の着色層の膜厚が２．３μｍ、反射光用領域の着色層の膜厚が０．７μｍの膜が形成された。
【００７９】
（赤色着色層形成用組成物）
・ＰＲ２５４分散液                                              ３３重量部
・感光性樹脂組成物                                              ６７重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート            ４００重量部
【００８０】
（緑色着色層形成用組成物）
・ＰＧ３６／ＰＹ１５０分散液                                    ３４重量部
・感光性樹脂組成物                                              ６６重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート            ４００重量部
【００８１】
（青色着色層形成用組成物）
・ＰＢ１５：６／ＰＶ２３分散液                                  １７重量部
・感光性樹脂組成物                                              ８３重量部
・プロピレングリコールモノメチルアセテート                    ４００重量部
【００８２】
次に上記のように形成した着色層上に後述する組成の透明樹脂層形成用組成物をスピンコート法により塗布した。反射光用領域の着色層からの膜厚が４．０μｍとなるように透明樹脂層形成用組成物からなる透明樹脂膜を形成した。上記透明樹脂膜を、反射光用領域とする領域にのみに開口部を有するフォトマスクを用いて露光し、現像し焼成を行った。これにより、線幅が４０μｍ、膜厚が３．５μｍのストライプ上に形成された透明樹脂層を得た。
【００８３】
（透明樹脂層形成用組成物）
・スチレンおよびメタクリル酸メチルの共重合体                      ３５重量部
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート                        ６５重量部
・Ｉｒｇ．９０７（チバスペシャリティケミカルズ（株）社製）          ５重量部
【００８４】
本発明によれば、透過光用領域と反射光用領域とで１．９μｍの膜厚差を有するカラーフィルタを一括して形成することが出来た。
【００８５】
［実施例２]
定法により洗浄した厚さ０．７ｍｍのガラス基材（コーニング社製１７３７ガラス）を準備した。この基材の片側全面に実施例１と同様の組成の透明樹脂層形成用組成物をスピンコート法により膜厚が４．０μｍとなるように塗布した。この透明樹脂層形成用組成物を、反射光用領域とする領域のみに開口部を有するフォトマスクを用いて露光し、現像した。これにより、線幅が４０μｍ、膜厚が３．５μｍのストライプ状に形成された透明樹脂層を得た。
【００８６】
次に、実施例１と同様の組成の赤色着色層形成用組成物、緑色着色層形成用組成物、および青色着色層形成用組成物をそれぞれ調製した。その後、上記透明樹脂層および基材を覆うように、赤色着色層形成用組成物を２．５μｍ厚で塗布し、赤色着色層形成用層とした。さらにクォーツ製のモールドを準備した。このモールドの形状は、反射光用領域に対応する凹部の幅を４３μｍ、深さが２．０μｍとし、透過光用領域に対応する凸面の幅を７７μｍとした。またモールドの凹凸に垂直方向に、８０μｍの遮光部を形成した。
上記赤色着色層形成用層とモールドとの位置あわせを行い、モールドを上方より圧力をかけながら圧着した。その後、１００ｍＪの光で露光を行い、モールドを剥離した。さらに水酸化カリウム水溶液にて現像を行い、２３０℃で３０分焼成を行い、赤色着色層を形成した。同様の方法により、緑色着色層および青色着色層を形成した。
【００８７】
これにより、各色の透過光用着色層（モールドの凸面と圧着されて形成された着色層）の膜厚が２．３μｍであり、反射光用着色層（モールドの凹面と圧着されて形成された着色層）の膜厚が０．７μｍである半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを得た。なお基材表面から反射光用着色層表面までの膜厚は４．２μｍであった。
本発明によれば、透過光用領域と反射光用領域とで、１．９μｍの膜厚差を有する着色層を一括して形成することができた。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。
【図２】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法に用いられるモールドを説明する説明図である。
【図３】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法に用いられるモールドを説明する平面図である。
【図４】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法に用いられるモールドを説明する平面図である。
【図５】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の他の例を示す工程図である。
【図６】本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ形成用モールドを説明する説明図である。
【符号の説明】
【００８９】
１  …基材
２  …着色層形成用層
３  …モールド
４  …フォトマスク
６  …着色層
６α…反射光用着色層
６β…透過光用着色層
１１…遮光部
【図１】
0004946715.tif 000002
【図２】
0004946715.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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