(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被制御装置と、ネットワークを介して前記被制御装置をリモート操作するリモート操作端末装置とを含むリモート操作システムであって、
前記被制御装置は、
前記被制御装置の装置状態を管理する管理手段と、
前記装置状態に応じて、前記リモート操作端末装置において前記被制御装置のリモート操作画面を作成するためのＵＩ画面候補情報を生成する生成手段と、
を有し、
前記リモート操作端末装置は、
前記被制御装置の装置状態ごとの表示優先度を示す表示優先度情報と、リモート操作画面の表示可能領域を示す表示可能領域情報とを取得する取得手段と、
前記被制御装置から前記ＵＩ画面候補情報を受信し、前記表示優先度情報と前記表示可能領域情報とに基づいて、前記受信したＵＩ画面候補情報のうち表示するＵＩ画面情報及びそのレイアウトを決定する決定手段と、
前記決定手段で決定されたレイアウトで前記ＵＩ画面情報を配置したリモート操作画面を表示する表示手段と、
を有することを特徴とするリモート操作システム。
【請求項２】
前記ＵＩ画面候補情報は、前記被制御装置の装置状態ごとに異なる表示サイズの複数のＵＩ画面候補情報を含むことを特徴とする請求項１に記載のリモート操作システム。
【請求項３】
前記決定手段は、前記表示優先度が高い順に選択したＵＩ画面候補情報の表示領域を拡大可能な場合、当該ＵＩ画面候補情報の表示領域を拡大することを特徴とする請求項１に記載のリモート操作システム。
【請求項４】
前記ＵＩ画面情報は、表示するために最低限必要なサイズ情報を含むことを特徴とする請求項１に記載のリモート操作システム。
【請求項５】
前記被制御装置は、半導体露光装置であり、
前記装置状態は、前記半導体露光装置による半導体の量産、前記半導体露光装置のチューニング、前記半導体露光装置のメンテナンス、の状態を含む
ことを特徴とする請求項１に記載のリモート操作システム。
【請求項６】
前記被制御装置は、半導体露光装置であり、
前記リモート操作端末装置は、前記半導体露光装置におけるジョブの実行状態を示す情報を含むジョブ情報を保持する保持手段を備え、
前記表示優先度は、前記ジョブ情報において示される前記ジョブの実行状態に応じて設定される
ことを特徴とする請求項１に記載のリモート操作システム。
【請求項７】
前記ジョブ情報は、ジョブの発行操作を行った操作者名を示すOperator情報を含み、前記リモート操作端末装置にログインしているユーザと前記Operator情報とが同一のジョブに対しては、同一でないものより高い表示優先度が設定されることを特徴とする請求項１に記載のリモート操作システム。
【請求項８】
被制御装置と、ネットワークを介して前記被制御装置をリモート操作するリモート操作端末装置とを含むリモート操作システムの制御方法であって、
前記被制御装置は、
前記被制御装置の装置状態を管理する管理工程と、
前記装置状態に応じて、前記リモート操作端末装置において前記被制御装置のリモート操作画面を作成するためのＵＩ画面候補情報を生成する生成工程と、
を有し、
前記リモート操作端末装置は、
前記被制御装置の装置状態ごとの表示優先度を示す表示優先度情報と、リモート操作画面の表示可能領域を示す表示可能領域情報とを取得する取得工程と、
前記被制御装置から前記ＵＩ画面候補情報を受信し、前記表示優先度情報と前記表示可能領域情報とに基づいて、前記受信したＵＩ画面候補情報のうち表示するＵＩ画面情報及びそのレイアウトを決定する決定工程と、
前記決定工程で決定されたレイアウトで前記ＵＩ画面情報を配置したリモート操作画面を表示する表示工程と、
を有することを特徴とするリモート操作システムの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リモート操作端末からネットワークを介して被制御装置を操作するリモート操作システム及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のネットワーク技術の進歩により、一般のパーソナルコンピュータはもちろんのこと、半導体製造装置等の特定業務向けの装置やモバイル端末のようなものに対しても、公衆回線を用いたリモートアクセスが実現できるようになっている。リモートアクセス技術を用いることにより、様々な応用が実現可能である。例えば、通信回線経由で最新のソフトウェアをダウンロードしてすぐに利用することができる。また、特定業務向けの装置に対して、２４時間の遠隔保守により、サービスマンが赴くことなく装置の調査や修正をタイムリーに行うことができる。あるいは、サービスマンが装置設置場所に赴くことなく、装置パラメータの調整を行うこともできる。
【０００３】
しかしながら、特定業務向けの装置をリモート操作する場合には、一つのリモート操作端末から、複数の被制御装置の動作状態の監視や遠隔操作を行う必要があり、複数の被制御装置の操作画面を動的に表示することが必要である。
【０００４】
特許文献１には、被制御装置が画面を構築するためのＵＩ画面情報と装置の制御情報を保持し、これらの情報をリモート操作端末に送信することでリモート操作端末の画面を動的に構築する技術が開示されている。
【０００５】
また、特許文献２には、複数の装置からＵＩ画面情報を受信し、そのＵＩ画面を予め定義された装置毎の優先順位に従い優先度の高い装置の画面を優先的に表示するようにレイアウトを変更する技術が開示されている。
【０００６】
これらの従来技術によれば、被制御機器の状態に応じた操作画面をユーザに提供することが可能である。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−３１７９８７号公報
【特許文献２】特開２００２−１１９４７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特定業務向け装置を遠隔操作する場合には、当該装置の使用場面によってユーザの監視／制御対象が異なる。例えば、半導体露光装置を遠隔操作する場合を考える。半導体露光装置の使用においては、最適な制御パラメータを決定するための開発工程、決定したパラメータに従ってウエハを露光する量産工程などの異なる工程がある。開発工程においては、ユーザは自分が設定した制御パラメータによる半導体露光装置の動きを監視／制御する必要がある。一方、量産工程においては、エラーでラインが止まっていないかなどを監視する必要がある。このように、ユーザの監視／制御対象は、工程に応じて異なる。
【０００９】
上記したように、特許文献１や特許文献２に記載された技術によれば、被制御装置の操作画面を動的に表示することが可能である。しかし、これらの技術は、被制御装置が複数ある場合、予め定義した装置の優先度に従って操作画面のレイアウトを行うものであり、複数の装置が使用される工程に応じて操作画面やレイアウトを切り替えることはできない。
【００１０】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、被制御装置が使用されている工程に応じて操作画面のレイアウトを変更することが可能なリモート操作システム及びその制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一側面によれば、被制御装置と、ネットワークを介して前記被制御装置をリモート操作するリモート操作端末装置とを含むリモート操作システムが提供される。前記被制御装置は、前記被制御装置の装置状態を管理する管理手段と、前記装置状態に応じて、前記リモート操作端末装置において前記被制御装置のリモート操作画面を作成するためのＵＩ画面候補情報を生成する生成手段とを有する。前記リモート操作端末装置は、前記被制御装置の装置状態ごとの表示優先度を示す表示優先度情報と、リモート操作画面の表示可能領域を示す表示可能領域情報とを取得する取得手段と、前記被制御装置から前記ＵＩ画面候補情報を受信し、前記表示優先度情報と前記表示可能領域情報とに基づいて、前記受信したＵＩ画面候補情報のうち表示するＵＩ画面情報及びそのレイアウトを決定する決定手段と、前記決定手段で決定されたレイアウトで前記ＵＩ画面情報を配置したリモート操作画面を表示する表示手段とを有する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、被制御装置が使用されている工程に応じて操作画面のレイアウトを変更することが可能なリモート操作システム及びその制御方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の実施に有利な具体例を示すにすぎない。また、以下の実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが本発明の課題解決手段として必須のものであるとは限らない。
【００１４】
＜実施形態１＞
図１は、本実施形態に係るリモート操作システムの構成を示す図である。
【００１５】
１０１は工場内のオンラインシステムを収容するホストコンピュータとしてのリモート操作端末装置である。このリモート操作端末装置１０１は、ＳＥＣＳまたはＨＳＭＳプロトコルにより、工場内の被制御装置としての複数の半導体露光装置１０２，１０２，１０２と接続されている。図には３個の半導体露光装置１０２が示されているが、あくまで例示であり、本発明は特定の個数に限定されるものではない。複数の半導体露光装置１０２のオンライン制御／監視システムは通信回線１０３を経由してリモート操作端末装置１０１に収容されている。通信回線１０３は、工場内のＬＡＮ通信を行うために敷設されている。通信回線１０３は、典型的にはイーサネット（登録商標）により実現され、同軸ケーブルを用いた１０ＢＡＳＥ−２／５や、ツイストぺア線を用いてスター型に結合した１０ＢＡＳＥ−Ｔ等を使用することができる。この通信回線１０３を介したリモート操作端末装置１０１と複数の半導体露光装置１０２との間のプロトコルには、例えばＴＣＰ／ＩＰを下層にしたＨＳＭＳを用いることができる。また、一般に、イーサネット（登録商標）では、ＴＣＰ／ＩＰ以外のプロトコルによっても同時に送受信される場合が多い。
【００１６】
図２は、半導体露光装置１０２のハードウェア構成を示す図である。
【００１７】
２０１はコンソール用ＣＰＵであり、半導体露光装置のコンソール画面表示とコンソールパネルによる操作の制御を司る。２０２はコンソール用ＣＰＵ２０１が実行プログラムやデータを格納するＲＡＭである。本実施形態においてはとりわけ、ＵＩ画面情報２０２１、装置状態情報２０２２が格納される。
【００１８】
２０３はプログラムを格納するＲＯＭであり、処理プログラム２０３１が格納されている。
【００１９】
２０４はデータおよびプログラムを格納するハードディスク装置（ＨＤＤ）等で構成される補助記憶装置である。２０５は、通信回線１０３に接続するためのＬＡＮインターフェイスであり、例えば１０ＢＡＳＥ５、１０ＢＡＳＥ２、１０ＢＡＳＥ−Ｔ等の各種の規格のものが用いられる。
【００２０】
２０９は、半導体露光装置を構成する各種の制御装置を全体制御するメインＣＰＵである。２１０は、半導体製造用のウエハに対して露光するための光源を制御する照明装置である。２１１は半導体製造用のウエハに対して露光するパターンを描いたレチクル（フォトマスク）の搬入搬出等を制御するためのレチクル駆動装置である。２１２は半導体製造用のウエハをステップアンドリピートの方式で露光するためにＸＹステージ上などでウエハを駆動制御するためのステージ駆動装置である。２１３は半導体製造用のウエハを正確な位置決めをして制御するためのアライメント用ＴＶシステムである。これら２１０、２１１、２１２および２１３の各装置は、周辺機器用のバス２１４によりメインＣＰＵ２０９の制御下におかれる。周辺機器用バス２１４には例えばＳＣＳＩをはじめとする汎用の標準バスで構成されうる。
【００２１】
図３は、リモート操作端末装置１０１のハードウェア構成図である。
【００２２】
３０１はＣＰＵであり、以下に説明する３０２〜３１０で示される構成要素をバス３１１を介してアクセスし制御を行う。
【００２３】
３０２はバス３１１を介してＣＰＵ３０１からアクセス可能な読み出し専用メモリ(ＲＯＭ)であり、本実施形態にてその動作を詳細に説明する処理プログラム３０２１が格納されている。３０３は読み書き可能なメモリ(ＲＡＭ)であり、本実施形態においては、処理プログラム３０２１の実行により生成される表示可能領域情報３０３１および表示優先度情報３０３２が格納されている。
【００２４】
通信回線１０３に接続するためのＬＡＮインターフェイスである。３０５は入力インターフェイスであり、３０８で示したキーボード、マウス、タブレット等の入力装置を介してなされる入力を受け取る。３０６は出力インターフェイスであり、ＬＣＤ３０９１やプリンタ３０９２等で実現される出力装置３０９に対し、データの表示／出力を行う。また、３０７は外部記憶装置インターフェイスであり、３１０で示したＨＤ、ＦＤ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＤ、ＣＦ等の外部記憶装置に対するデータの入出力を行うものである。
【００２５】
本実施形態では、上記のとおり、処理プログラム３０２１がＲＯＭ３０２上にあるものとして、また、表示可能領域情報３０３１および表示優先度情報３０３２がＲＡＭ３０３上にあるものとして説明を行う。もっとも、これらはすべて、外部記憶装置３１０上に配置することも可能であり、必要に応じて外部記憶装置３１０からＲＡＭ１０４上にロードして使用することもできる。また、ＣＰＵ１０１の不図示のキャッシュメモリ上に配置することも同様に可能である。
【００２６】
図１０は、半導体露光装置１０２とリモート操作端末装置１０１との機能構成を示す図である。
【００２７】
１００１は、半導体露光装置１０２を構成する装置（照明装置２１０、レチクル駆動装置２１１、ステージ駆動装置２１２）を管理し、各状態情報から半導体露光装置１０２の装置状態を示す装置状態情報２０２２を生成する装置状態管理部である。
【００２８】
１００２は、半導体露光装置１０２の操作用のＵＩ画面情報２０２１と装置状態情報２０２２とを関連付けて管理し、リモート操作端末装置１０１からの要求に応じて、装置状態別のＵＩ画面候補情報２０２３を生成するＵＩ画面情報管理部である。
【００２９】
１００３は、リモート操作端末装置１０１の表示領域のうちリモート操作を行うＵＩ画面を表示することが可能な領域を示す表示可能領域情報３０３１を生成する表示可能領域取得部である。
【００３０】
１００４は、装置状態毎の表示優先度を定義する表示優先度情報３０３２と表示可能領域情報３０３１及び装置状態毎のＵＩ画面候補情報２０２３から、表示するＵＩ画面情報及びそのレイアウトを決定し表示画面を生成するＵＩ画面選択部である。
【００３１】
１００５はＵＩ画面選択部１００４で生成された表示画面を出力装置３０９のＬＣＤ３０９１へ出力する画面表示部である。
【００３２】
以下、本実施形態における処理の内容を詳しく説明する。以下で示す処理手順は、実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明が意図する結果が得られる限り、さまざまに手順を組み合わせてもよいし、複数処理をまとめたり、処理を細分化することも可能である。また、個々の処理を実行する機能要素を単体で実現し、それらを組み合わせて使用することも可能である。
【００３３】
図４は本実施形態における、リモート操作端末装置１０１を使用してＵＩ画面を作成するまでの、リモート操作端末装置１０１及び半導体露光装置１０２の処理手順を示すフローチャートである。
【００３４】
リモート操作端末装置１０１の電源投入後、リモート操作のためのＵＩ画面を表示するためにステップＳ４０１に進む。
【００３５】
ステップＳ４０１では、通信回線１０３を介して接続されている半導体露光装置を検索する。検索は、データをＩＰブロードキャストして応答があった半導体露光装置を特定してもよいし、ＬＤＡＰなどのディレクトリサーバデータベースを利用してネットワーク上に接続されている半導体露光装置を問い合わせることで行ってもよい。検索が終了すると処理はステップＳ４０２へと進む。
【００３６】
ステップＳ４０２では、ステップＳ４０１で複数の半導体露光装置が検索された場合にその中からリモート操作の対象とする半導体露光装置を選択し、選択された半導体露光装置１０２に対して接続を行う。このとき、ステップＳ４０１で検索された半導体露光装置１０２全てに自動的に接続してもよし、検索結果の一覧を表示し、ユーザが選択することで決定してもよい。
【００３７】
ステップＳ４０３では、接続要求を受けた半導体露光装置１０２がリモート操作端末装置１０１との接続処理を行うことで、リモート操作端末装置１０１と半導体露光装置１０２との接続を確立する。
【００３８】
ステップＳ４０４では、リモート操作端末装置１０１が半導体露光装置１０２に対してＵＩ画面候補情報を要求する。
【００３９】
ステップＳ４０５では、半導体露光装置１０２は装置状態（動作状態）に応じてＵＩ画面候補情報２０２３を作成する。ＵＩ画面候補情報の詳細については後述する。ステップＳ４０６では、ステップＳ４０５で作成したＵＩ画面情報をリモート操作端末装置１０１へと送信する。
【００４０】
ステップＳ４０７では、リモート操作端末装置１０１が出力インターフェイス３０６を介して、ＬＣＤ３０９１の表示可能領域情報を算出する。ステップＳ４０８では、表示優先度情報を取得する。ステップＳ４０９では、ステップＳ４０６で送信されたＵＩ画面候補情報を受信する。そして、ステップＳ４０７で取得した表示可能領域情報とステップＳ４０８で取得した表示優先度情報とに基づいて、受信したＵＩ画面候補情報のうち表示するＵＩ画面情報及びそのレイアウトを決定する。ＵＩ画面情報及びレイアウト方法の詳細については後述する。
【００４１】
ステップＳ４１０では、リモート操作端末装置１０１は、決定したレイアウトでＵＩ画面情報を配置したリモート操作画面（ＵＩ画面）を作成し、ＬＣＤ３０９１に表示する。
【００４２】
図５は、ＵＩ画面におけるＵＩ画面情報の配置パターンを説明する図である。
【００４３】
５０１，５０２，５０３はそれぞれ、半導体露光装置１０２による半導体の量産時における露光状態を表示するためのＵＩ画面の例を示している。図示のように、５０１，５０２，５０３においては、ＵＩ画面の表示サイズや表示する情報の種類が異なっている。
【００４４】
５０４，５０５，５０６はそれぞれ、半導体露光装置１０２のチューニング時のパラメータ調整操作を行うためのＵＩ画面の例を示している。図示のように、５０１，５０２，５０３においては、表示するＵＩ画面情報のサイズや種類が異なっている。
【００４５】
ＵＩ画面情報は、例えばＪａｖａ（登録商標）によって構築され、アーカイブ・ファイル形式であるＪａｒ（Ｊａｖａ  ＡＲｃｈｉｖｅ）ファイルによって実装される。各ＵＩ画面情報は、ボタン、スクロールバー、リストボックスなどの複数のＧＵＩ部品と、各ＧＵＩ部品がユーザ操作によって受けたインタラクションに応じて、そのインタラクションを半導体露光装置１０２へと通知するロジック部とで構成される。各ＧＵＩ部品及びロジック部はそれぞれ、表示するために最低限必要な縦横幅のサイズ情報であるｈｅｉｇｈｔおよびｗｉｄｔｈ情報を保持している。
【００４６】
ＵＩ画面５０１は、量産時に大きな表示領域へ表示する場合のＵＩ画面である。ＵＩ画面５０１において、５０１１は、一つ目のウェハステージで露光しているウエハの露光状況を仮想的に表示するＧＵＩ部品である。ここでは例えば、円の中心をウエハの中心とし、そこからの座標でウエハの位置が示され、ウエハの露光の状態や結果が青や赤などの色で表現される。５０１２は、２つ目のウェハステージでパラメータ調整しているウエハを表示するＧＵＩ部品で、その表示態様はＧＵＩ部品５０１１と同様である。５０１３は、ＧＵＩ部品５０１１および５０１２での表示を補足する情報を表示しているＧＵＩ部品であり、例えば、赤ならば露光に失敗した、青なら正常に露光したなど、各表示色で露光状態や結果の説明を表示する。５０１４は、露光しているジョブの情報を表示するためのＧＵＩ部品であり、ジョブのＩＤ、実行者名、制御パラメータの設定ファイルおよびジョブの開始時刻やジョブの終了時刻などを表示する。５０１５は、露光時の詳細な動作ログを表示するためのＧＵＩ部品である。
【００４７】
ＵＩ画面５０２は、表示領域がＵＩ画面５０１よりも小さい場合のＵＩ画面である。ＵＩ画面５０２では、表示領域が小さく、詳細な動作ログ出力を行うことができないため、露光中のウエハ露光状況のみをユーザへ表示するべく、ＧＵＩ部品５０１１及びＧＵＩ部品５０１２のみで構成される。
【００４８】
ＵＩ画面５０３は、表示領域がＵＩ画面５０２よりもさらに小さい場合のＵＩ画面である。ＵＩ画面５０３では、半導体露光装置１０２は現在、量産工程で動作していることのみが表示されるアイコン部品で構成される。このアイコン部品は例えば、正常稼動している場合には青色、自動修復可能なエラーが発生した場合には黄色、人手によってしか修復不可能な致命的なエラーの場合には赤色など色による状態通知を行う。
【００４９】
ＵＩ画面５０４は、半導体露光装置１０２のチューニング時に大きな表示領域へ表示する場合のＵＩ画面である。ＵＩ画面５０４において、５０４１は、チューニング時に調整するパラメータの一覧を表示するＧＵＩ部品である。ここには、上部にウエハ、レチクル、コマンドなどパラメータ設定を行う対象を選択するタブが構成され、タブを選択すると設定可能なパラメータのインデックスが表示され、インデックスを選択することができる。５０４２は、ＧＵＩ部品５０４１で選択されたインデックスのパラメータ一覧を表示するＧＵＩ部品であり、各パラメータを選択することができる。５０４３は、ＧＵＩ部品５０４２で選択されたパラメータの詳細を入力するＧＵＩ部品である。入力設定したパラメータを半導体露光装置１０２に送付し、その応答を受け取ることが可能である。ユーザは通常このパラメータを設定し、半導体露光装置１０２からの応答を見るという操作を繰り返し、最適なパラメータを決定する。
【００５０】
ＵＩ画面５０５は、表示領域がＵＩ画面５０４よりも小さい場合のＵＩ画面情報である。このＵＩ画面５０５は、ＧＵＩ部品５０５１とＧＵＩ部品５０４３とで構成される。ＧＵＩ部品５０５１は、チューニング時に調整するパラメータの一覧を表示するＧＵＩ部品でである。ここには、上部にウエハ、レチクル、コマンドなどパラメータ設定する対象を選択するタブが構成され、タブを選択すると設定可能なパラメータの詳細が表示され、パラメータを選択することができる。ＧＵＩ部品５０４３は、ＵＩ画面５０４におけるものと同様のＧＵＩ部品である。
【００５１】
ＵＩ画面５０６は、ＵＩ画面５０５よりもさらに小さい場合のＵＩ画面である。ＵＩ画面５０６では、半導体露光装置１０２は現在、チューニング工程で動作していることのみが表示されるアイコン部品で構成される。
【００５２】
次に、ステップＳ４０９でリモート操作端末装置１０１が表示するＵＩ画面情報及びそのレイアウトを決定する処理について詳細に説明する。
【００５３】
図７は、リモート操作端末装置１０１の出力インターフェイス３０６に接続されたＬＣＤ３０９１の表示画面を示す図である。７０１は、リモート操作端末装置１０１において、例えば１２８０×１０２４の解像度を持つＬＣＤ３０９１の全画面を半導体露光装置１０２のリモート操作画面として使用可能な状態であることを示している。
【００５４】
図８は、表示優先度情報を説明する図である。８０１の行はそれぞれ装置がとる状態、列はそれぞれの状態における表示優先度を示している。図中、「チューニング」は、量産体制に入る前に半導体露光装置１０２に最適な制御パラメータを設定するために、制御パラメータを調整しながら稼動させている状態を示す。「量産」は、半導体露光装置１０２の制御パラメータを設定し、半導体の量産体制に入っている状態を示す。「停止」は、半導体露光装置１０２が実行するジョブがなく稼動していない状態を示す。「メンテナンス」は、定期的な基本性能の確認調整、消耗部品の交換およびトラブル修理等を行っている状態を示す。
【００５５】
ユーザが次のように所望したとする。
（１）制御パラメータを調整している状態の半導体露光装置の動作を監視するための詳細な情報が必要である。
（２）安定稼動中の半導体露光装置に関しては、エラーが発生の有無程度のおおまかな情報でよい。
（３）停止状態の半導体露光装置は、停止中という状態だけがわかればよい。
このような場合は、図８に示されるように、チューニング＞メンテナンス＞量産＝停止、の順番で優先度を設定する。
【００５６】
本実施形態では、リモート操作端末装置１０１が表示優先度を保持しているが、半導体露光装置１０２が予め定義した装置の表示優先度情報を保持するようにしてもよい。その場合、その表示優先度情報をリモート操作端末装置１０１が取得して使用しても良いし、半導体露光装置１０２からロードした表示優先度情報をユーザが一部変更した表示優先度情報を上書きして使用してもよい。
【００５７】
図９は、ステップＳ４０９における、表示するＵＩ画面情報及びそのレイアウトを決定する処理を示すフローチャートである。
【００５８】
まずステップＳ９０１では、ステップＳ４０６で受信したＵＩ画面候補情報を、ステップＳ４０８で取得した表示優先度順にソートし、表示優先度毎にＵＩ画面候補情報をグルーピングする。
【００５９】
以下では、Ｓ９０２に示されるように、表示優先度の高い画面のグループから順にステップＳ９０３〜Ｓ９０９の処理を行う。
【００６０】
ステップＳ９０３では、現在の表示優先度でのＵＩ画面候補情報の中から最大サイズのものが表示されるように各画面のｗｉｄｔｈとｈｅｉｇｈｔを設定する。ステップＳ９０４では、設定されているｗｉｄｔｈとｈｅｉｇｈｔで各ＵＩ画面候補情報を表示可能領域にレイアウト可能かどうかを判断する。ここで、表示可能領域をはみ出してしまう場合にはステップＳ９０５へ進む。ステップＳ９０４でのレイアウト可否の判断処理の詳細については後述する。
【００６１】
ステップＳ９０５では、そのＵＩ画面候補情報で現在設定されているｗｉｄｔｈとｈｅｉｇｈｔよりも小さいＵＩ画面があるかどうかを判断する。小さいＵＩ画面がある場合には、ステップＳ９０６へと進む。これ以上小さいＵＩ画面がない場合にはステップＳ９０７へと進む。
【００６２】
ステップＳ９０６では、現在設定されているｗｉｄｔｈとｈｅｉｇｈｔを１段階小さいサイズのＵＩ画面のｗｉｄｔｈとｈｅｉｇｈｔへと変更し、ステップＳ９０４の処理へ進む。
【００６３】
ステップＳ９０７では、そのＵＩ画面は表示することが出来ない画面であると設定する。
【００６４】
ステップＳ９０８では、現在設定されているＵＩ画面を半導体露光装置１０２へと要求するＵＩ画面として登録する。ステップＳ９０９では、設定されたＵＩ画面が占める領域を表示可能領域から削除をする。
【００６５】
すべての表示優先度のＵＩ画面候補情報グループに対して、ステップＳ９０３〜Ｓ９０９の処理を行うと、必要なＵＩ画面情報と画面のレイアウトが決定される。ステップＳ９０７で表示できないと設定されたＵＩ画面については、ダイアログを表示しユーザに通知するとよい。
【００６６】
図２０は、ステップＳ９０４におけるＵＩ画面候補情報のレイアウト可否の判断処理を詳細に説明するフローチャートである。ここでは、図２１に示すような表示可能領域の左上を原点として水平方向にｘ軸、垂直方向にｙ軸とする座標系を用いて説明する。
【００６７】
Ｓ２００１に示すように、ステップＳ９０２でグルーピングされた優先度が同一のＵＩ画面候補情報の全てについて、ステップＳ２００２以下の処理を行う。
【００６８】
ステップＳ２００２では、表示可能領域の中で最小のｘ座標値Ｘを算出する。ステップＳ２００３では、ステップＳ２００２で算出されたｘ座標Ｘ上で最小のｙ座標値Ｙを算出する。
【００６９】
Ｓ２００４以下では、ＵＩ画面候補情報が配置可能な座標を算出する。ステップＳ２００５では、ステップＳ２００２、ステップＳ２００３で算出した座標（Ｘ、Ｙ）を基点座標として、ＵＩ画面候補情報が配置可能かを判断する。配置可能であれば、ステップＳ２００６へ進み、現在の基点座標(Ｘ，Ｙ)とＵＩ画面候補情報を関連付けて登録する。ステップＳ２００７では、ステップＳ２００６で配置したＵＩ画面候補情報の領域を表示可能領域から削除する。
【００７０】
すべてのＵＩ画面候補情報についてステップＳ２００７までの処理を終了した場合は、すべてのＵＩ画面候補情報を表示するための基点座標が決定しているため、本処理はＹＥＳ（すなわち、全ての画面がレイアウト可能）として終了する。
【００７１】
ステップＳ２００５で、ＵＩ画面候補情報が座標（Ｘ，Ｙ）に配置することができない場合には、ステップＳ２００８へと進む。ステップＳ２００８では、座標Ｘの値を増加した場合に、表示可能領域の幅を超えるかを判断し、超えない場合には、ステップＳ２００９へ進む。ステップＳ２００９では、Ｘの値を増加し、その値をＸの値と置き換える。このときの増加値は１づつでよいし、１０や１００などの特定値であってもよい。ステップＳ２０１０では、ｘ座標Ｘ上で最小のｙ座標を算出し、基点とするＹを置き換え、置き換えた座標（Ｘ，Ｙ）でステップＳ２００５の処理を繰り返す。
【００７２】
ステップＳ２００８で、座標Ｘが表示可能領域の幅を超えてしまった場合には、現在のＵＩ画面候補情報のサイズでは、表示可能領域内に配置することができないと判断してステップＳ２０１１に進む。ステップＳ２０１１では、ステップＳ２００７で登録した基点座標とＵＩ画面情報をすべて削除し、本処理はＮｏ（すなわち、全ての画面をレイアウトすることは不可）として終了する。
【００７３】
図１１は、他のユーザからの操作や処理の終了などによって半導体露光装置１０２の状態が変更された場合のレイアウト変更処理を説明するフローチャートである。
【００７４】
ステップＳ１１０１において、半導体露光装置１０２は、装置の状態が変更した場合にリモート操作端末装置１０１に対して状態変化通知を行う。
【００７５】
ステップＳ１１０２において、リモート操作端末装置１０１は、ステップＳ１１０１の状態変化通知に応じて、変更された状態とその状態優先度を比較しレイアウトの変更が必要かどうかの判断を行う。レイアウトの変更が必要な場合は、ステップＳ１１０３へ進む。ユーザはあらかじめレイアウトを自動で変更するか手動で変更するかを設定しておき、ステップＳ１１０３では、その設定に従って自動で変更する場合にはステップＳ１１０４に進む。手動で変更する場合にはステップＳ１１０５に進む。
【００７６】
ステップＳ１１０４では、リモート操作端末装置１０１は、ステップＳ４０９の処理と同様にしてレイアウトの変更を行う。ステップＳ１１０５では、レイアウトの変更は行わずに変化前の状態の表示領域を使用して状態が変化したことをユーザに通知する。これは、ダイアログなどを表示することで行ってもよいし、領域の枠をハイライトしたり、点滅させることで行ってもよい。
【００７７】
ステップＳ１１０２でレイアウトの変更が必要ない場合には、ステップＳ１１０６において、ＵＩ画面情報のみを変更する。
【００７８】
以上説明した実施形態１によれば、半導体露光装置の装置状態に応じた最適なリモート操作画面を提供することができる。
【００７９】
＜実施形態２＞
実施形態２では、実施形態１と比較すると、ＵＩ画面情報の通信方法および表示優先度の設定方法が異なる。以下では、本発明の実施形態２について、実施形態１と異なる点を中心に説明する。
【００８０】
本実施形態に係るネットワークシステムも、図１に示した実施形態１に係るシステムと同様に構成される。
【００８１】
図１２は、本実施形態における半導体露光装置１０２のハードウェア構成図である。図２と同じ構成要素には同じ番号を付してある。図１２に示すように、本実施形態では、ＲＡＭ２０２にはジョブ状態情報１２０１が加えられている。それ以外の構成要素は図２と同様である。
【００８２】
図１３は、本実施形態におけるリモート操作端末装置１０１のハードウェア構成図である。図３と同じ構成要素には同じ番号を付してある。図１３において、１３０１は、ジョブの状態に応じた表示優先度を示す表示優先度情報である。１３０２は、実行中のジョブの状態を示すジョブ情報である。それ以外の構成要素は図３と同様である。
【００８３】
図１４は、本実施形態に係る半導体露光装置１０２とリモート操作端末装置１０１との機能構成を示す図である。図１０と同じ構成要素には同じ番号を付してある。図１４において、１４０１はジョブ管理部である。ここでは、半導体露光装置１０２を構成する装置（照明装置２１０、レチクル駆動装置２１１、ステージ駆動装置２１２）からの状態を示す装置状態情報２０２２を半導体露光装置１０２で実行されているジョブの情報と対応付けて管理する。そして、実行中がどの工程にあるかの情報を示すジョブ状態情報１４０２を作成する。
【００８４】
１４０３は、ジョブの状態によって表示するＵＩ画面情報のリストを示すジョブ状態別ＵＩ画面候補情報である。１４０４は、ジョブの状態によって表示するＵＩ画面情報である。１４０５は、ネットワーク上に接続された半導体露光装置で実行中のジョブを示すジョブ情報である。
【００８５】
以下、本実施形態の処理を詳しく説明するが、その処理手順は、実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明が意図する結果が得られる限り、さまざまに手順を組み合わせてもよいし、複数処理をまとめたり、処理を細分化することも可能である。また、個々の処理を実行する機能要素を単体で実現し、それらを組み合わせて使用することも可能である。
【００８６】
図１５は、本実施形態における、リモート操作端末装置１０１を使用してＵＩ画面を作成するまでの、リモート操作端末装置１０１及び半導体露光装置１０２の処理手順を示すフローチャートである。なお、図１５では、図４と同じ処理ブロックには同じ参照番号を付してある。
【００８７】
リモート操作端末装置１０１の電源投入後、リモート操作ＵＩ画面を表示するためにステップＳ４０１に進む。
【００８８】
ステップＳ４０１では通信回線１０３を介して接続されている半導体露光装置を検索し、ステップＳ４０２、Ｓ４０３において接続を確立し、その後、処理はステップＳ１５０１へと進む。
【００８９】
ステップＳ１５０１では、リモート操作端末装置１０１が半導体露光装置１０２に対してＵＩ画面候補情報を要求する。ステップＳ１５０２では、半導体露光装置１０２は装置のジョブの状態に応じてＵＩ画面候補情報を作成する。ＵＩ画面候補情報の詳細については後述する。次に、ステップＳ１５０３で、半導体露光装置１０２は、ステップＳ１５０２で作成したＵＩ画面候補情報をリモート操作端末装置１０１へと送信する。
【００９０】
ステップＳ４０７では、リモート操作端末装置１０１が出力インターフェイス３０６を介して、ＬＣＤ３０９１の表示可能領域情報を算出する。ステップＳ４０８では、外部記憶装置インターフェイス３０７を介して接続される外部記憶装置３１０に格納されたジョブ状態優先度情報およびジョブ情報を取得する。ステップＳ４０９では、ステップＳ４０６で送信されたＵＩ画面候補情報を受信し、ステップＳ４０７で取得した表示可能領域情報とステップＳ４０８で取得したジョブ状態優先度情報とジョブ情報から、ＵＩ画面情報及びそのレイアウトを決定する。ジョブ状態優先度情報およびジョブ情報の詳細については後述する。
【００９１】
ステップＳ１５０４では、ステップＳ４０９で決定したＵＩ画面情報を半導体露光装置１０２からロードするために、半導体露光装置１０２に対してＵＩ画面情報要求を発行する。ステップＳ１５０５では、半導体露光装置１０２は、リモート操作端末装置１０１からのＵＩ画面情報要求に応答してＵＩ画面情報を送信する。
【００９２】
ステップＳ４１０では、リモート操作端末装置１０１は、受信したＵＩ画面情報を基にＵＩ画面を作成し、ＬＣＤ３０９１に表示する。ＵＩ画面候補情報は、装置の特定の状態においてそれを制御するためのＵＩ画面情報として構成されているかを示す情報である。
【００９３】
図６は、ＵＩ画面候補情報のデータ構造例を示す図である。
【００９４】
ＵＩ画面候補情報は、６０１のようなＸＭＬ形式で表現することが可能で、ScreenList要素は複数のScreen要素から構成される。Screen要素は、ＵＩ画面を識別するためのid属性、ユーザに好適に表示可能なＵＩ画面を構成するのに最低必要な横幅を示すwidth属性、ユーザに好適に表示可能なＵＩ画面を構成するのに最低必要な横幅を示すheight属性で構成される。また、Screen要素はオプションとしてScalling属性がある。これは、リモート操作端末装置１０１が表示可能な領域がwidth属性値やheight属性値よりも大きい場合にｘ方向およびｙ方向にサイズに合わせてスケーリングすることを許すか否かを示す。本実施形態では、ＸＭＬ形式のデータで説明したが、６０１に示すようにスクリーンを行で表現し空白区切りの各列でそれぞれの設定値を表現してもよいし、データ毎にパケット化し送信してもよい。
【００９５】
図１６は、ジョブ情報の例を示す図である。
【００９６】
ここでは、複数の半導体露光装置１０２のうち、接続している３台の半導体露光装置１，２，３のそれぞれにJOBIDが1-4の４つのジョブが登録されていることを示している。各ジョブの情報は、Operator, State, locale, Recipe, Wafer, StartTime, 及びEndTimeの情報を含む。Operator情報は、ジョブの発行操作を行った操作者名を示す。Stateは、ジョブの実行状態を示す。lcaleは、ジョブの露光対象であるウエハが半導体露光装置のどこに配置されているかを示す。Recipeは、ジョブのパラメータの詳細を示す。Waferは、ファイル名、ウエハの種類を示す。StartTimeは、ジョブが開始された時刻またはジョブの開始予定時刻を示す。EndTimeは、ジョブの終了予定時刻を示す。
【００９７】
図１７は、ジョブ表示優先度情報の例を示す図である。
【００９８】
図１７は図１６で説明した、半導体露光装置１に対する操作画面の優先度の設定例で、装置の状態、JOBID、ジョブの状態によって優先度を決定している。図１６で示したジョブ情報から、userAは半導体露光装置１でJOBID1のジョブとJOBID4のジョブを実行している。このとき、チューニング時のuserAが操作するリモート操作端末装置からは、JOBID1のジョブとJOBID2のジョブだけが見えていればよく、露光工程やウエハ搬出工程、アライメント工程は設定したパラメータによって動作が異なる。そのため、その動作をより詳細に見る必要があるため、より優先度を高く設定し、より詳細なＵＩ画面を表示させる。
【００９９】
量産時の各工程では、小さいＵＩ画面でも全ての状態を把握できるようなレイアウトになるよう全てのＪＯＢを同一優先度として、設定することを示している。
【０１００】
ジョブ表示優先度情報は、発行されているジョブに対してユーザが独自に設定してもよい。また、リモート操作端末装置１０１にログインしたユーザとジョブ情報のOperatorを比較し同一のものには、同一でないものより高い表示優先度を自動的に設定してもよい。
【０１０１】
図１９は、図１５のステップＳ４０９における表示するＵＩ画面情報及びそのレイアウトを決定する処理を示すフローチャートである。
【０１０２】
図１９では、図９と同じ処理ブロックには同じ参照番号を付してある。ステップＳ９０１からＳ９０７までは図９と同様の処理を行う。本実施形態ではステップＳ９０４で全ての画面が表示可能だと判断した場合に、ステップＳ１９０１へ進み、ＵＩ画面候補情報の表示領域を拡大可能かを判断する。そのＵＩ画面候補情報の表示領域をｘ方向およびｙ方向に拡大可能な場合は、ステップＳ１９０２へと進む。
【０１０３】
ステップＳ１９０２では、表示可能領域情報を基にそのＵＩ画面候補情報の表示領域の拡大可能な倍率を算出する。ステップＳ１９０３では、ＵＩ画面候補情報と共に拡大倍率を登録する。ステップＳ１９０４では、配置したＵＩ画面を拡大して表示した場合の領域を表示可能領域から削除する。これら以外の処理ブロックは図９と同様である。
【０１０４】
図１８は、他のユーザからの操作や処理の終了などによって半導体露光装置１０２の状態が変更された場合のレイアウト変更処理を説明する図である。図１８では図１１と同じ処理ブロックには同じ参照番号を付してある。
【０１０５】
半導体露光装置１０２は、ステップＳ１８０１において、ジョブの状態が変更した場合にリモート操作端末装置１０１に対してジョブの状態変化通知を行う。
【０１０６】
ステップＳ１８０２では、リモート操作端末装置１０１は、状態変化後のＵＩ画面候補情報を半導体露光装置１０２へ要求する。
【０１０７】
ステップＳ１８０３では、半導体露光装置１０２は、リモート操作端末装置１０１の要求に応答してＵＩ画面候補情報を送信する。
【０１０８】
ステップＳ１１０２では、リモート操作端末装置１０１は、ジョブの状態と表示優先度からレイアウトの変更が必要かを判断する。レイアウトの変更が必要な場合は、ステップＳ１１０３へ進む。必要がない場合はステップＳ１８０４へ進む。
【０１０９】
ユーザはあらかじめレイアウトを自動で変更するか手動で変更するかを設定しておき、ステップＳ１１０３では、その設定に従って自動で変更する場合にはステップＳ１８０４に進む。手動で変更する場合にはステップＳ１１０５に進む。
【０１１０】
ステップＳ１８０４では、リモート操作端末装置１０１は、半導体露光装置１０２へジョブの状態変化後のレイアウトに合わせたＵＩ画面情報要求を行う。ステップＳ１８０５では、半導体露光装置１０２は、要求に応じたＵＩ画面情報をリモート操作端末装置１０１へと送信する。
【０１１１】
ステップＳ１１０４では、リモート操作端末装置１０１は、ステップＳ４０９の処理と同様にしてレイアウトの変更を行う。ステップＳ１１０５では、レイアウトの変更は行わずに変化前の状態の表示領域を使用して状態が変化したことをユーザに通知する。これは、ダイアログなどを表示することで行ってもよいし、領域の枠をハイライトしたり、点滅させることで行ってもよい。
【０１１２】
ステップＳ１１０２でレイアウトの変更が必要ない場合には、ＵＩ画面情報のみを変更する。
【０１１３】
以上説明した実施形態２によれば、半導体露光装置のジョブの状態に応じて最適なリモート操作画面を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本発明の実施形態に係るリモート操作システムの構成を示す図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る半導体露光装置の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るリモート操作端末装置の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施形態１に係るリモート操作端末装置及び半導体露光装置の処理手順を示すフローチャートである。
【図５】本発明の実施形態１に係るリモート操作画面におけるＵＩ画面情報の配置パターンを説明する図である。
【図６】本発明の実施形態２に係るＵＩ画面候補情報のデータ構造例を示す図である。
【図７】本発明の実施形態１に係る表示可能領域情報を説明する図である。
【図８】本発明の実施形態１に係る表示優先度情報を説明する図である。
【図９】本発明の実施形態１に係る表示するＵＩ画面情報及びそのレイアウトを決定する処理を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の実施形態１に係る半導体露光装置とリモート操作端末装置との機能構成を示す図である。
【図１１】本発明の実施形態１に係る装置の状態変化時のＵＩ画面のレイアウト変更方法を説明するフローチャートである。
【図１２】本発明の実施形態２に係る半導体露光装置の構成を示すブロック図である。
【図１３】本発明の実施形態２に係るリモート操作端末装置の構成を示すブロック図である。
【図１４】本発明の実施形態２に係る半導体露光装置とリモート操作端末装置との機能構成を示す図である。
【図１５】本発明の実施形態２に係るリモート操作端末装置及び半導体露光装置の処理手順を示すフローチャートである。
【図１６】本発明の実施形態２に係るジョブ情報の例を示す図である。
【図１７】本発明の実施形態２に係るジョブ表示優先度情報の例を示す図である。
【図１８】本発明の実施形態２に係る装置のジョブ変化時のＵＩ画面のレイアウト変更方法を示すフローチャートである。
【図１９】本発明の実施形態２に係る表示するＵＩ画面情報及びそのレイアウトを決定する処理を示すフローチャートである。
【図２０】本発明の実施形態１に係るＵＩ画面情報のレイアウト可否の判断処理を詳細に説明するフローチャートである。
【図２１】実施形態における表示可能領域の座標系を説明する図である。
【符号の説明】
【０１１５】
１０１  リモート操作端末
１０２  半導体露光装置
１００１  装置状態管理部
１００２  ＵＩ画面情報管理部
１００３  表示可能領域取得部
１００４  ＵＩ画面選択部
１００５  画面表示部
２０２１  ＵＩ画面情報
２０２２  装置状態情報
２０２３  ＵＩ画面候補情報
３０３１  表示可能領域情報
３０３２  表示優先度情報
【図１】
0005055099.tif 000002
【図２】
0005055099.tif 000003
【図３】
0005055099.tif 000004
【図４】
0005055099.tif 000005
【図５】
0005055099.tif 000006
【図６】
0005055099.tif 000007
【図７】
0005055099.tif 000008
【図８】
0005055099.tif 000009
【図９】
0005055099.tif 000010
【図１０】
0005055099.tif 000011
【図１１】
0005055099.tif 000012
【図１２】
0005055099.tif 000013
【図１３】
0005055099.tif 000014
【図１４】
0005055099.tif 000015
【図１５】
0005055099.tif 000016
【図１６】
0005055099.tif 000017
【図１７】
0005055099.tif 000018
【図１８】
0005055099.tif 000019
【図１９】
0005055099.tif 000020
【図２０】
0005055099.tif 000021
【図２１】
0005055099.tif 000022