(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
膜状の導電体によって基板上に形成され、高電圧を印加して正イオンを発生させるための尖端部を有する正イオン発生電極と、
膜状の導電体によって基板上に形成され、高電圧を印加して負イオンを発生させるための尖端部を有する負イオン発生電極と、
基板上に形成され、接地されている分離電極とを備え、
前記正イオン発生電極の尖端部と、前記負イオン発生電極の尖端部とは、前記分離電極を挟んで対向するように配置されている、イオン発生素子。
【請求項２】
前記正イオン発生電極と前記負イオン発生電極は、同一基板上に形成されている、請求項１に記載のイオン発生素子。
【請求項３】
前記分離電極は、膜状の導電体によって形成され、
前記正イオン発生電極と前記負イオン発生電極と前記分離電極は、同一基板上に形成されている、請求項１に記載のイオン発生素子。
【請求項４】
前記正イオン発生電極と前記負イオン発生電極と前記分離電極は、ほぼ同じ方向に延びるように形成されている、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のイオン発生素子。
【請求項５】
前記分離電極は先端部を有し、
前記分離電極の先端部は、前記正イオン発生電極の尖端部と前記負イオン発生電極の尖端部から４ｍｍ以上突出している、請求項４に記載のイオン発生素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はイオン発生素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、イオンを発生させる方法としては、水に衝撃を与えることによってイオンを発生させるレナード効果を利用する方法と、電極に高電圧を印加することによって電気的にイオンを発生させる方法とがある。このようにして生成されたイオンは、除電を行ったり、細菌やウイルスの不活性化処理を行ったり、あるいは、イオンによって快適性を増加させたりするために用いられる。また、イオン発生時の放電エネルギーによって空気を浄化したり、空気中のイオンを移動させることによって空気の流れを発生させたりすることができる。
【０００３】
電極に高電圧を印加することによって放電させ、空気中の分子を解離させてイオンを発生させる方法では、針状電極や細線電極と対向電極との間に高電圧を印加することによって、イオンを発生させることができる。この方法を用いるイオン発生素子は、素子構造が比較的単純であるので、一般的に用いられている。
【０００４】
電極に高電圧を印加することによって放電させる別の方法としては、特開平１−２０７５号公報（特許文献１）に記載の固体放電装置のように、誘導電極上に誘電性ペーストを印刷、焼成して誘電体層を形成した後、その誘電体層の上に放電電極を形成して、誘電体層を挟んで形成された電極間に電圧を印加する沿面放電方式がある。沿面放電方式では、電極間に誘電体を介在させているため、空気中の電極間に電圧を印加する場合に比べて、一般的に低電圧でイオンを発生させることができる。
【０００５】
このようにしてイオンを発生させるイオン発生素子は、微生物の不活化やアレルゲンの失活、あるいは、半導体の製造工程における除電等の分野に応用されている。
【０００６】
例えば、特開２００２−５８７３１号公報（特許文献２）には、絶縁体を挟んで対向するように配置される、ステンレスメッシュなどの電極に交流電圧を印加することによって、正イオンと負イオンの両方を同時に発生させるイオン発生装置が記載されており、正イオン及び負イオンの化学反応によって除菌効果を得ることが記載されている。また、特開２００４−２５１４９６号公報（特許文献３）には、抗原性物質に正イオンと負イオンとを作用させることによって、抗原性物質を失活させるために、電極に正極と負極の電圧を交互に印加して、正負両イオンを生成することが記載されている。一方、特開平８−２７３８８５号公報（特許文献４）には、除電電極に交流電圧を印加して、正負のイオンを生成し、このイオンによって帯電物体を除電することが記載されている。また、特開平８―２９８１９６号公報（特許文献５）には、プラスの放電針とマイナスの放電針に、それぞれ直流電圧を印加して、正イオンと負イオンを同時に発生させる除電器が記載されている。
【０００７】
このように、イオンを利用して除電や微生物の除去を行なうためには、正イオンと負イオンの両方を発生させる必要がある。
【０００８】
正負のイオンを同時に発生させる方法としては、特開平８−２７３８８５号公報（特許文献４）に記載されているように、電極に高電圧の交流電圧を印加する方法や、特開平８−２９８１９６号公報（特許文献５）に記載されているように、正イオン発生電極と負イオン発生電極を個別に設けて、それぞれに極性の異なる電圧を印加することによって、正負のイオンを両方発生させることができる。一本の電極に交流電圧を印加する方法においては、イオン発生素子の電極部を小さくすることができる。
【０００９】
また、発生したイオンを外部に送り出すための送風ファンを用いることなく、発生したイオンを電界中で電位により移動させることにより、イオン風を発生させてイオンを送り出す方法がある。実開平６−３１０９９号公報（特許文献６）と特開平６−１０９２７４号公報（特許文献７）には、鋸歯形状に形成されるイオン発生用電極と、対向電極とを備えるイオン発生装置が記載されている。イオン発生用電極で発生したイオンは、イオン発生用電極と対向電極との間の電位差によって加速され、イオン風が発生する。
【００１０】
特開２０００−３４０３９１号公報（特許文献８）には、正イオン発生電極と負イオン発生電極を別々のケースに入れて隔離することによって、それぞれの電極で発生したイオンが再結合することを防いで正イオンと負イオンの両方を利用する除電器が記載されている。
【特許文献１】特開平１−２０７５号公報
【特許文献２】特開２００２−５８７３１号公報
【特許文献３】特開２００４−２５１４９６号公報
【特許文献４】特開平８−２７３８８５号公
【特許文献５】特開平８―２９８１９６号公報
【特許文献６】実開平６−３１０９９号公報
【特許文献７】特開平６−１０９２７４号公報
【特許文献８】特開２０００−３４０３９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、レナード効果によってイオンを発生させる方法では、マイナスイオンのみが発生し、プラスイオンを発生させることができないという問題がある。また、水を用いるため、空気が加湿されたり、装置が大型になったりするという問題もある。
【００１２】
また、特開２００２−５８７３１号公報（特許文献２）、特開２００４−２５１４９６号公報（特許文献３）、特開平８−２７３８８５号公報（特許文献４）に記載されているように、１本の電極に交流電圧を印加して、１本の電極から正負のイオンを両方、ほぼ同時に、すなわち、同時期に発生させる場合には、正負のイオンが同じ場所で発生するため、発生した正イオンと負イオンとが空気中で結合して消滅しやすい。そのため、イオン量を増やすことが困難である。また、イオンを電極近傍から外部に送り出すためには、ファンによる送風や、圧縮空気の吹き付けによる送風が必要である。そのため、送風機構を含めた、イオン発生装置全体の寸法が大きくなるという問題がある。また、送風機構としてファンを設けることによって、ファンを駆動させるための電力が必要となるので、消費電力が大きくなる。
【００１３】
一方、特開平８−２９８１９６号公報（特許文献５）に記載されているように、正イオン発生電極と負イオン発生電極を別個に形成して、正イオンと負イオンを同時期に、場所を離して発生させる場合には、それぞれのイオン発生電極に直流電圧を印加する必要がある。このように、正負のイオン電極を別に形成する場合には電位差によってイオンを移動させることができるが、この場合であっても、正負のイオンを同時期に発生させた場合には、正イオン発生電極と負イオン発生電極とが近接していると正負のイオンが結合してイオン量が大きく減少し、イオンを外部に送出することが困難になる。そのため、イオン発生電極の間隔を大きくする必要があり、イオン発生素子が大型化するという問題がある。
【００１４】
特開２０００−３４０３９１号公報（特許文献８）に記載の除電器のように、正イオン発生電極と負イオン発生電極とを別々のケースに入れる場合にも、装置が大型化してしまう。
【００１５】
そこで、この発明の目的は、小型で、正負の両イオンを効率よく発生させることが可能なイオン発生素子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
この発明に従ったイオン発生素子は、膜状の導電体によって基板上に形成され、高電圧を印加して正イオンを発生させるための尖端部を有する正イオン発生電極と、膜状の導電体によって基板上に形成され、高電圧を印加して負イオンを発生させるための尖端部を有する負イオン発生電極と、基板上に形成され、接地されている分離電極とを備え、正イオン発生電極の尖端部と、負イオン発生電極の尖端部とは、分離電極を挟んで対向するように配置されている。
【００１７】
正イオン発生電極と、負イオン発生電極と、分離電極とを備えることによって、送風ファンを備えなくても、発生した正イオンと負イオンをイオン発生素子の外部に送出することができる。
【００１８】
膜状の導電体で構成される電極は、例えば、スクリーン印刷やエッチング等の技術を用いることによって、膜厚が２０μｍ以下の薄い膜で鋭角なパターンに形成される。このような薄い膜状の導電体によって、先端径が小さな電極を容易に形成することができる。先端径を小さくすることによって、低電圧でイオンを発生させることができる。
【００１９】
また、膜状の導電体で電極を構成する場合には、基板上に複数の電極を正確な位置に並べて形成することも容易であるため、効率よく、低コストでイオン発生素子を作製することができる。
【００２０】
正イオン発生電極と負イオン発生電極との間に分離電極を備えることによって、正イオン発生電極と負イオン発生電極との間隔を狭くしても、発生した正イオンと負イオンとが互いに衝突して消滅することを防ぐことができる。また、正負のイオンの量のバランスを大きく崩すことがなくなる。
【００２１】
このようにすることにより、小型で、正負の両イオンを効率よく発生させることが可能なイオン発生素子を提供することができる。
【００２２】
この発明に従ったイオン発生素子においては、正イオン発生電極と負イオン発生電極は、同一基板上に形成されていることが好ましい。
【００２３】
このようにすることにより、正イオン発生電極と負イオン発生電極の位置関係の精度を高くすることができる。このように正イオン発生電極と負イオン発生電極の位置関係の精度を高くすることによって、イオン発生素子のイオン送出量特性のばらつきを低減することができる。
【００２４】
この発明に従ったイオン発生素子においては、分離電極は、膜状の導電体によって形成され、正イオン発生電極と負イオン発生電極と分離電極は、同一基板上に形成されていることが好ましい。
【００２５】
このようにすることにより、正イオン発生電極と負イオン発生電極と分離電極の位置関係の精度を高くすることができる。このように正イオン発生電極と負イオン発生電極と分離電極の位置関係の精度を高くすることによって、イオン発生素子のイオン送出量特性のばらつきを低減することができる。
【００２６】
この発明に従ったイオン発生素子においては、正イオン発生電極と負イオン発生電極と分離電極は、ほぼ同じ方向に延びるように形成されていることが好ましい。
【００２７】
このようにすることにより、イオン発生素子をより小型化することができる。
【００２８】
この発明に従ったイオン発生素子においては、分離電極は先端部を有し、分離電極の先端部は、正イオン発生電極の尖端部と負イオン発生電極の尖端部から４ｍｍ以上突出していることが好ましい。
【００２９】
このようにすることにより、正イオンと負イオンとの衝突によるイオン量の低減や、イオンバランスが崩れることを、より効果的に抑制することができる。
【発明の効果】
【００３０】
以上のように、この発明によれば、小型で、正負の両イオンを効率よく発生させることが可能なイオン発生素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３２】
（第１実施形態）
図１は、この発明の一つの実施の形態として、イオン発生素子と電源の全体を示す正面図（Ａ）と、（Ａ）に示すイオン発生素子を右方向から見たときの側面図（Ｂ）である。
【００３３】
図１に示すように、イオン発生素子１は、基板１０と、基板１０上に印刷法によって膜状に形成された正イオン発生電極２０と、負イオン発生電極３０と、分離電極５０とから構成されている。正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０と分離電極５０は同一の基板１０上に形成されている。分離電極５０は、接地されている。正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０は、高圧電源装置４０に接続されている。
【００３４】
正イオン発生電極２０は、尖端部２２を有する放電部２１と、リード線接続端子２４とを含む。負イオン発生電極３０は、尖端部３２を有する放電部３１と、リード線接続端子３４とを含む。
【００３５】
この実施の形態においては、基板１０は、９６％アルミナ基板である。正イオン発生電極２０の放電部２１と負イオン発生電極３０の放電部３１は、導電体として金（Ａｕ）導体（田中貴金属工業製、品番：ＴＲ−１５３４）を用いて、基板１０上に厚膜印刷し、８５０℃で１０分間焼成する厚膜印刷・焼成法によって形成されている。放電部２１の尖端部２２と放電部３１の先端部３２の先端角度は、２３．５°の鋭角に形成されている。
【００３６】
リード線接続端子２４とリード線接続端子３４は、銀パラジウム（ＡｇＰｄ）導体（ＤｕＰｏｎｔ製、品番：＃５１６４Ｎ）を用いて、基板１０上に印刷・焼成することによって形成されている。放電部２１と放電部３１は、予め印刷・焼成されたリード線接続端子２４とリード線接続端子３４の一部に重なるオーバーラップ部２３とオーバーラップ部３３を形成するようにして印刷された後、焼成される。
【００３７】
分離電極５０は、銀パラジウム（ＡｇＰｄ）導体（ＤｕＰｏｎｔ製、品番：＃５１６４Ｎ）を用いて、基板１０上に印刷・焼成することによって膜状に形成されている。分離電極５０は、長方形状に延びる帯状であり、長方形の一端が先端部分を形成している。
【００３８】
正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０と分離電極５０は、ほぼ同じ方向に延びるように、平行に並べて配置されている。分離電極５０を中央にして、正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０が分離電極５０を挟んで並べて配置されている。
【００３９】
正イオン発生電極２０の尖端部２２と、負イオン発生電極３０の尖端部３２とは、間隔Ｂだけ離して配置され、分離電極５０を挟んで対向するように配置されている。
【００４０】
分離電極５０は、先端が尖端部２２と尖端部３２から、距離Ａだけ突出するように、形成されている。分離電極５０の突出量、尖端部２２と尖端部３２から分離電極５０の先端部までの距離Ａは、４ｍｍ以上であるとする。
【００４１】
イオン発生素子１の放電部２１には、高圧電源装置４０によって正極性の高電圧が印加される。放電部３１には、高圧電源装置４０によって負極性の高電圧が印加される。高電圧が印加されることによって、放電部２１と放電部３１で放電が発生し、放電部２１周辺の空気中の分子が解離して正イオンが発生する。同様にして、放電部３１では負イオンが発生する。このようにして発生したイオンは、除電を行ったり、細菌やウイルスの不活性化処理を行ったり、あるいは、イオンによって快適性を増加させたりするために用いられる。また、イオン発生時の放電エネルギーによって空気を浄化したり、空気中のイオンを電界中で移動させることによって空気の流れを発生させたりすることができる。
【００４２】
以上のように、イオン発生素子１は、膜状の導電体によって基板１０上に形成され、高電圧を印加して正イオンを発生させるための尖端部２２を有する正イオン発生電極２０と、膜状の導電体によって基板１０上に形成され、高電圧を印加して負イオンを発生させるための尖端部３２を有する負イオン発生電極３０と、基板１０上に形成され、接地されている分離電極５０とを備え、正イオン発生電極２０の尖端部２２と、負イオン発生電極３０の尖端部３２とは、分離電極５０を挟んで対向するように配置されている。
【００４３】
正イオン発生電極２０と、負イオン発生電極３０と、分離電極５０とを備えることによって、送風ファンを備えなくても、発生した正イオンと負イオンをイオン発生素子１の外部に送出することができる。
【００４４】
膜状の導電体で構成される電極は、例えば、スクリーン印刷やエッチング等の技術を用いることによって、膜厚が２０μｍ以下の薄い膜で鋭角なパターンに形成される。このような薄い膜状の導電体によって、先端径が小さな電極を容易に形成することができる。先端径を小さくすることによって、低電圧でイオンを発生させることができる。
【００４５】
また、膜状の導電体で電極を構成する場合には、基板１０上に複数の電極を正確な位置に並べて形成することも容易であるため、効率よく、低コストでイオン発生素子１を作製することができる。
【００４６】
正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０との間に分離電極５０を備えることによって、正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０との間隔を狭くしても、発生した正イオンと負イオンとが互いに衝突して消滅することを防ぐことができる。また、正負のイオンの量のバランスを大きく崩すことがなくなる。
【００４７】
このようにすることにより、小型で、正負の両イオンを効率よく発生させることが可能なイオン発生素子１を提供することができる。
【００４８】
また、イオン発生素子１においては、正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０は、同一基板１０上に形成されている。
【００４９】
このようにすることにより、正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０の位置関係の精度を高くすることができる。このように正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０の位置関係の精度を高くすることによって、イオン発生素子１のイオン送出量特性のばらつきを低減することができる。
【００５０】
また、イオン発生素子１においては、分離電極５０は膜状の導電体によって形成され、正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０と分離電極５０は、同一基板１０上に形成されている。
【００５１】
このようにすることにより、正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０と分離電極５０の位置関係の精度を高くすることができる。このように正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０と分離電極５０の位置関係の精度を高くすることによって、イオン発生素子１のイオン送出量特性のばらつきを低減することができる。
【００５２】
また、イオン発生素子１においては、正イオン発生電極２０と負イオン発生電極３０と分離電極５０は、ほぼ同じ方向に延びるように形成されている。
【００５３】
このようにすることにより、イオン発生素子１をより小型化することができる。
【００５４】
また、イオン発生素子１においては、分離電極５０は先端部を有し、分離電極５０の先端部は、正イオン発生電極２０の尖端部２２と負イオン発生電極３０の尖端部３２から４ｍｍ以上突出している。
【００５５】
このようにすることにより、正イオンと負イオンとの衝突によるイオン量の低減や、イオンバランスが崩れることを、より効果的に抑制することができる。
【００５６】
図２は、この発明の別の形態のイオン発生素子と電源の全体を示す正面図（Ａ）と、（Ａ）に示すイオン発生素子を右方向から見たときの側面図（Ｂ）である。
【００５７】
図２に示すように、イオン発生素子２がイオン発生素子１と異なる点としては、正イオン発生電極２０は高圧電源装置４１に接続され、正極性の高電圧を印加される。また、負イオン発生電極３０は高圧電源装置４２に接続され、負極性の高電圧を印加される。イオン発生素子２のその他の構成と効果は、イオン発生素子１と同様である。
【実施例１】
【００５８】
この発明のイオン発生素子の一つの効果として、イオン発生量について調べるために、イオン発生素子１から３０ｃｍ離れた距離におけるイオン量の測定を行った。
【００５９】
図１に示すイオン発生素子１について、正イオン発生電極２０の尖端部２２と負イオン発生電極３０の尖端部３２との間隔Ｂを１ｃｍとしたイオン発生素子１を実施形態Ａ、間隔Ｂを２ｃｍとしたイオン発生素子を実施形態Ｂとする。
【００６０】
実施形態Ａと実施形態Ｂでは、分離電極５０の突出量、すなわち、正イオン発生電極２０の尖端部２２と負イオン発生電極３０の尖端部３２から、分離電極５０の先端部までの距離Ａは、５ｍｍとした。
【００６１】
図３は、比較形態として、イオン発生素子と電源の全体を示す正面図（Ａ）と、（Ａ）に示すイオン発生素子を右方向から見たときの側面図（Ｂ）である。
【００６２】
図３に示すように、比較形態のイオン発生素子９は、正イオン発生電極９２０と負イオン発生電極９３０が針状に形成されて、基板９１０上に配置されている。正イオン発生電極９２０と負イオン発生電極９３０としては、電解研磨によって先端半径が２μｍに形成されたタングステン製の針を用いた。正イオン発生電極９２０と負イオン発生電極９３０は、高圧電源装置９４０に接続されている。イオン発生素子９は、分離電極を備えない。正イオン発生電極９２０の針状の尖端部分と、負イオン発生電極９３０の針状の尖端部分との間隔をＢとする。
【００６３】
比較形態のイオン発生素子９において、負イオン発生電極９３０の針状の尖端部分との間隔Ｂを１ｃｍとしたものを比較形態Ａ、間隔Ｂを２ｃｍとしたものを比較形態Ｂ、間隔Ｂを３ｃｍとしたものを比較形態Ｃとする。
【００６４】
実施形態Ａ、実施形態Ｂ、比較形態Ａ、比較形態Ｂ、比較形態Ｃのイオン発生素子のそれぞれについて、リード線接続端子に高圧電源の出力端子を接続し、ＤＣ−２．８ｋＶの電圧を印加した。イオン発生電極の尖端から３０ｃｍ離れたところにイオンカウンター（旭システム製、型番：ＭＹ１２１０ＩＩ）を設置し、イオン量を測定した。
【００６５】
表１は、実施形態Ａ、実施形態Ｂ、比較形態Ａ、比較形態Ｂ、比較形態Ｃのイオン発生素子によって発生したイオン量の測定結果を示す表である。
【００６６】
【表１】
0004971244.tif 000002
【００６７】
表１に示すように、実施形態Ａと実施形態Ｂでは、正イオンと負イオンは、どちらも、それぞれ８万個／ｃｍ３測定された。一方、比較形態Ａでは、正イオンは、０万個／ｃｍ３、負イオンは８万個／ｃｍ３、測定された。比較形態Ｂでは、正イオンは０．５万個／ｃｍ３、負イオンは８万個／ｃｍ３、測定された。比較形態Ｃでは、正イオンと負イオンはどちらも８万個／ｃｍ３測定された。
【００６８】
このことから、イオン発生電極を膜状の導電体によって形成し、正イオン発生電極と負イオン発生電極との間に膜状の導電体によって形成された分離電極を備えることによって、正イオン発生電極と負イオン発生電極との間隔を比較的狭くしても、イオンの発生量を低下させず、また、正イオンの発生量と負イオンの発生量とのバランスを保つことができることがわかった。
【００６９】
このように、イオン発生素子１によれば、正イオン発生電極と負イオン発生電極とを近づけても、正イオンと負イオンとがバランスよく、ある程度の量、得られる。したがって、小型のイオン発生素子１を用いて、イオンによる効果、すなわち、除電を行ったり、細菌やウイルスの不活性化処理を行ったり、あるいは、イオンによって快適性を増加させたり、空気中のイオンを移動させることによって空気の流れを発生させたりする効果を期待することができる。
【実施例２】
【００７０】
次に、図１に示すイオン発生素子１を用いて、分離電極５０の突出量、すなわち、正イオン発生電極２０の尖端部２２と負イオン発生電極３０の尖端部３２と、分離電極５０の先端との距離Ａを変えたときのイオン量を調べた。イオン量は、イオン発生素子１から３０ｃｍ離れた距離におけるイオン量の測定を行った。
【００７１】
距離Ａを４ｍｍとしたイオン発生素子１を実施形態Ｃ、距離Ａを３ｍｍとしたイオン発生素子１を実施形態Ｄ、距離Ａを２ｍｍとしたイオン発生素子１を実施形態Ｅとした。実施形態Ｃ、実施形態Ｄ、実施形態Ｅのイオン発生素子１を用いて、実施例１と同様に、イオン発生電極の尖端から３０ｃｍ離れたところでイオン発生量を測定した。
【００７２】
表２は、実施形態Ｃ、実施形態Ｄ、実施形態Ｅのイオン発生素子によって発生したイオン量の測定結果を示す表である。
【００７３】
【表２】
0004971244.tif 000003
【００７４】
表２に示すように、実施形態Ｃでは、正イオンと負イオンがどちらも８万個／ｃｍ３測定された。実施形態Ｄでは、正イオンが５万個／ｃｍ３、負イオンが８万個／ｃｍ３測定された。実施形態Ｅでは、正イオンが２万個／ｃｍ３、負イオンが８万個／ｃｍ３測定された。
【００７５】
このように、実施形態Ｃのように、正イオン発生電極２０の尖端部２２と負イオン発生電極３０の尖端部３２の距離Ａを４ｍｍ以上にすることによって、正イオンと負イオンをバランスよく発生させることができる。なお、実施形態Ｄと実施形態Ｅのように、尖端部２２と尖端部３２との間の距離Ａを４ｍｍ以下の値にしても、実施例１の比較形態Ａ〜比較形態Ｃと比べて、正負のイオンをバランスよく発生させることができる。
【００７６】
以上に開示された実施の形態と実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態と実施例ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正や変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】この発明の一つの実施の形態として、イオン発生素子と電源の全体を示す正面図（Ａ）と、（Ａ）に示すイオン発生素子を右方向から見たときの側面図（Ｂ）である。
【図２】この発明の別の形態のイオン発生素子と電源の全体を示す正面図（Ａ）と、（Ａ）に示すイオン発生素子を右方向から見たときの側面図（Ｂ）である。
【図３】比較形態として、イオン発生素子と電源の全体を示す正面図（Ａ）と、（Ａ）に示すイオン発生素子を右方向から見たときの側面図（Ｂ）である。
【符号の説明】
【００７８】
１，２：イオン発生素子、１０：基板、２０：正イオン発生電極、２２：尖端部、３０：負イオン発生電極、３２：尖端部、５０：分離電極。
【図１】
0004971244.tif 000004
【図２】
0004971244.tif 000005
【図３】
0004971244.tif 000006