(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、
前記第一導電部は、可撓性及び導電性を有する棒形状に形成され、
前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、前記第一導電部と前記第二導電部の内周面との間には長さ方向の全長に亘って隙間が形成され、
前記第二導電部の一方側には、該第二導電部の周壁の一部に、軸長方向に摺動するスプリング部を有し、
前記基板検査用接触子の第一導電部及び第二導電部が検査点に接触する使用時において、まずスプリング部が収縮し、その後、検査点に更に基板検査用接触子が押圧されることによって、前記第一導電部及び前記第二導電部が夫々独立して湾曲することを特徴とする基板検査用接触子。
【請求項２】
前記第一導電部は、短軸方向に突出する第一突出部を備え、
前記第二導電部は、周壁から筒内部に突出する第二突出部を備え、
前記第一突出部と前記第二突出部により、前記第一導電部が前記第二導電部より抜け出
ることを防止することを特徴とする請求項１記載の基板検査用接触子。
【請求項３】
前記第一導電部の第一突出部は、棒状の一方端と他方端に形成されていることを特徴と
する請求項２記載の基板検査用接触子。
【請求項４】
前記第二導電部は、一の筒状部材の内径と略同じ外径を有する他の筒状部材の二つの外
径の相違する筒状部材を有してなり、
前記一の筒状部材の一方開口端に前記他の筒状部材が連通連結され、
前記他の筒状部材の一方側の周壁の一部に前記スプリング部が形成されてなることを特
徴とする請求項１または２記載の基板検査用接触子。
【請求項５】
被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に一方が圧接され、前記配線パターンの電気的特性を検査する検査装置の電極部に他方が圧接される基板検査治具であって、
請求項１乃至４いずれかの基板検査用接触子と、
前記基板検査用接触子の先端を前記検査点に案内する案内孔を有する先端側保持部と、
前記基板検査用接触子の後端を前記電極部に案内する案内孔を有する後端側保持部を有してなり、
前記基板検査用接触子の前記スプリング部は、前記先端側保持孔の内部に配置されるように形成されていることを特徴とする基板検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査用接触子及び基板検査用治具に関し、より詳しくは、被検査基板の配線パターン上に設定された所定の検査点に圧接され、この被検査基板と基板検査装置との間で検査信号の伝達を可能とする基板検査用接触子に関する。
尚、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や半導体ウェハにおける電気的配線の検査に適用でき、この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回路基板上の配線パターンは、その回路基板に搭載されるIC等の半導体や抵抗器などの電気・電子部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回路配線基板、或いは、半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに対して、検査対象となる配線パターンに設けられた検査点間の抵抗値を測定して、その良否が判定されていた。
【０００３】
このような判定検査では、配線パターンの断線及び短絡などの検査は、検査対象となる配線パターンの２箇所に設けられる検査点に、夫々一つずつ測定端子を当接させ、その測定端子間に所定レベルの測定用電流を流すことによって、その測定端子間の電圧値を測定し、この電圧値と予め定められた閾値を比較することにより良否の判定が行われていた。
【０００４】
しかしながら、このような方法では、配線パターンの２箇所の検査点それぞれに、一つずつ当接させた測定端子を測定用電流の供給と電圧の測定とに共用する場合（この測定方法を、２端子測定法という）には、測定端子と検査点との間の接触抵抗が測定電圧に影響を与え、抵抗値の測定精度が低下し、検査結果の信頼性が低下するという不都合があった。
【０００５】
そこで、各検査点に、それぞれ電流供給用端子と電圧測定用端子とを当接させ、各検査点にそれぞれ当接させた電流供給用端子間に測定用電流を供給すると共に、各検査点にそれぞれ当接させた電圧測定用端子間に生じた電圧を測定することにより、測定端子と検査点との間の接触抵抗の影響を抑制して高精度に抵抗値を測定する方法（いわゆる、４端子測定法あるいはケルビン法）が知られており、この方法を用いて配線パターンの検査を行う基板検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
しかしながら、この特許文献１に開示される基板検査装置では、４端子測定法を用いて配線パターンの検査を行う場合、電流供給用端子及び電圧測定用端子の２つの端子を検査点毎に、移動制御させながら当接させる必要がある。一方、近年、回路基板の微細化が進み、検査点となるランドが狭小化しているため、一つのランドに２つの端子を互いに電気的に導通させることなく確実に当接させることが極めて困難である問題が生じていた。
【０００７】
このような問題を解決するために、一つ目の端子が円柱状に形成され、二つ目の端子が該円柱状の外周面に沿って軸方向に摺動可能な螺旋状のバネに形成される接触子が創出されている（特許文献２参照）。このように二つの端子を形成することにより、この二つの端子を微細な検査点に容易に当接させることを可能としている。
【０００８】
しかしながら、この特許文献２に開示されるような接触子は、微細な螺旋状のバネやこのバネの両端に設けられる微細なプランジャを形成する必要があるため、複雑な構成を有していた。
このため、二つの端子をお互いに電気的に導通させることなく微細な検査点に容易に当接させることができるとともに、単純で且つ廉価に製造することができる構成を有する四端子測定用の接触子の創出が要求されていた。
【０００９】
【特許文献１】特開平６−６６８３２号公報
【特許文献２】特開２００５−３２１２１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、二つの端子をお互いに電気的に導通させることなく微細な検査点に容易に当接させることができるとともに、単純な構造で廉価に製造することができる構成を有する四端子測定用の基板検査用接触子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１記載の発明は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々
が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部
を有する基板検査用接触子であって、前記第一導電部は、可撓性及び導電性を有する棒形
状に形成され、前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び
導電性を有する筒状部材により形成され、前記第一導電部と前記第二導電部の内周面との
間には長さ方向の全長に亘って隙間が形成され、前記第二導電部の一方側には、該第二導
電部の周壁の一部に、軸長方向に摺動するスプリング部を有し、前記基板検査用接触子の
第一導電部及び第二導電部が検査点に接触する使用時において、まずスプリング部が収縮
し、その後、検査点に更に基板検査用接触子が押圧されることによって、前記第一導電部
及び前記第二導電部が夫々独立して湾曲することを特徴とする基板検査用接触子を提供する。
請求項２記載の発明は、前記第一導電部は、短軸方向に突出する第一突出部を備え、前
記第二導電部は、周壁から筒内部に突出する第二突出部を備え、前記第一突出部と前記第
二突出部により、前記第一導電部が前記第二導電部より抜け出ることを防止することを特
徴とする請求項１記載の基板検査用接触子を提供する。
請求項３記載の発明は、前記第一導電部の第一突出部は、棒状の一方端と他方端に形成
されていることを特徴とする請求項２記載の基板検査用接触子を提供する。
請求項４記載の発明は、前記第二導電部は、一の筒状部材の内径と略同じ外径を有する
他の筒状部材の二つの外径の相違する筒状部材を有してなり、前記一の筒状部材の一方開
口端に前記他の筒状部材が連通連結され、前記他の筒状部材の一方側の周壁の一部に前記
スプリング部が形成されてなることを特徴とする請求項１または２記載の基板検査用接触子を提供する。
請求項５記載の発明は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に一方
が圧接され、前記配線パターンの電気的特性を検査する検査装置の電極部に他方が圧接さ
れる基板検査治具であって、請求項１乃至４いずれかの基板検査用接触子と、前記基板検
査用接触子の先端を前記検査点に案内する案内孔を有する先端側保持部と、前記基板検査
用接触子の後端を前記電極部に案内する案内孔を有する後端側保持部を有してなり、前記
基板検査用接触子の前記スプリング部は、前記先端側保持孔の内部に配置されるように形
成されていることを特徴とする基板検査用治具を提供する。
これらの発明を提供することによって、上記課題を悉く解決する。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載の発明によれば、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、前記第一導電部は、可撓性及び導電性を有する棒形状に形成され、前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、前記第一導電部と前記第二導電部の内周面との間には長さ方向の全長に亘って隙間が形成され、前記第二導電部の一方側には、該第二導電部の周壁の一部に、軸長方向に摺動するスプリング部を有し、前記基板検査用接触子の第一導電部及び第二導電部が検査点に接触する使用時において、まずスプリング部が収縮し、その後、検査点に更に基板検査用接触子が押圧されることによって、前記第一導電部及び前記第二導電部が夫々独立して湾曲するので、基板検査用接触子の使用時に於いて、該基板検査用接触子が押圧により撓むことによって、検査点及び電極部に対して圧接状態となる四端子測定用の基板検査用接触子を提供することができる。また、第二導電部の周壁にスプリング部を有しているので、検査点が半球形状のような不定形の形状を有していても、スプリング部がその形状に合わせて確実に第二導電部を安定的に導通接触させることができる。また、第一及び第二導電部が単純な構成であるので、廉価に製造することができる。
請求項２記載の発明によれば、前記第一導電部は、短軸方向に突出する第一突出部を備え、前記第二導電部は、周壁から筒内部に突出する第二突出部を備え、前記第一突出部と前記第二突出部により、前記第一導電部が前記第二導電部より抜け出ることを防止することができる。
請求項３記載の発明によれば、前記第一導電部の第一突出部は、棒状の一方端と他方端に形成されているので、第二導電部内に配置される第一導電部を第二導電部の長軸位置に配置して保持することができる。
請求項４記載の発明によれば、前記第二導電部は、一の筒状部材の内径と略同じ外径を有する他の筒状部材の二つの外径の相違する筒状部材を有してなり、前記一の筒状部材の一方開口端に前記他の筒状部材が連通連結され、前記他の筒状部材の一方側の周壁の一部に前記スプリング部が形成されているので、より微細な検査点に対しても適宜対応することが可能となる。
請求項５記載の発明によれば、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に一方が圧接され、前記配線パターンの電気的特性を検査する検査装置の電極部に他方が圧接される基板検査治具であって、請求項１乃至４いずれかの基板検査用接触子と、前記基板検査用接触子の先端を前記検査点に案内する案内孔を有する先端側保持部と、前記基板検査用接触子の後端を前記電極部に案内する案内孔を有する後端側保持部を有してなり、前記基板検査用接触子の前記スプリング部は、前記先端側保持孔の内部に配置されるように形成されている基板検査用治具を提供することができる。
このため、第二導電部の周壁にスプリング部を有しているので、検査点が半球形状のような不定形の形状を有していても、スプリング部がその形状に合わせて確実に第二導電部を安定的に導通接触させることができる。また、第一及び第二導電部が単純な構成であるので、廉価に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は、本発明に係る基板検査用治具と電極部の構造を示す断面図である。
この図１（ａ）では、基板検査用治具１が示され、図１（ｂ）では電極部２が示されている。この図１（ａ）で示される基板検査治具１の紙面上方側が電極部２に導通接続され、紙面下方側が検査点に導通接続されることになる。
この基板検査用治具１は、基板検査用接触子３とこの基板検査用接触子３を保持する保持部材４を有してなる。
この基板検査用接触子３は、一端が被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に導通接触され、他端が配線パターンの電気的特性を検出するための検査装置の電極部２と導通接触される。
この基板検査用接触子３は、一方が電圧測定に他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有している。この第一導電部と第二導電部は、電気的に夫々独立しており、一つの検査点に対して、第一及び第二導電部が夫々導通接触する。このように導通接触することによって、第一導電部と第二導電部が夫々独立した電気的信号を受信したり、電力を供給したりすることができる。
【００１４】
第一導電部３１は、可撓性及び導電性を有する棒形状に形成されている。この第一導電部３１は、可撓性及び導電性を有する芯部３１１と、可撓性及び非導電性を有する第一絶縁被覆部３１２を有している。
この芯部３１１は、上記の性質を有する素材を用いて形成することができるが、例えば、タングステン（W）やベリリウム銅（BeCu）を用いることができる。
この芯部３１１は、図１で示す如く、両先端を半球状に形成することもできるし、尖鋭形状に形成することもできる。
この芯部３１１が有する長さや太さなどの寸法は、特に限定されないが、後述する他の構成部材との相互関係により規定されるが、例えば、芯部３１１の長軸方向の長さ3〜5ｃｍで、太さが30〜70μｍに形成することができる。
第一絶縁被覆部３１２は、芯部３１１の周縁を覆う。この第一絶縁被覆部３１２が被覆される場所は、図１に示す如く、芯部３１１の両端部を除く場所である。この両端部の第一絶縁被覆部３１２が被覆されない場所は、先端部から長さにして、50〜3000μｍ程度に適宜に調整されている。
第一絶縁被覆部３１２の厚みは、例えば、5〜10μｍに形成されるが、特に限定されるものではなく、後述する第二導電部３２の筒状部材内に収容されることができる程度の厚みである必要がある。また、詳細は後述するが、この第一絶縁被覆部３１２は、短軸方向に突出する突出部を備えており、この突出部が十分突出した状態で存在する必要がある。
【００１５】
第一絶縁被覆部３１２は、短軸方向に突出する突出部（第一突出部）を有してなる。この突出部は、後述する第二導電部３２から抜け出ることを防止する機能を有している。例えば、図１の実施形態では、第二導電部３２の内周壁から内部に向かって突出する突出部（第二突出部３２４）が設けられており、この第二突出部３２４と第一突出部を設けることによって、第一導電部３１が第二導電部３２から抜け出ることを防止することができる。
【００１６】
この第一突出部は、図１で示す如く、第一導電部３１の上端（上部第一突出部３１３）と下端（下部第一突出部３１４）に設けられることが好ましい。
この場合、下部第一突出部３１４は、上記の如く、第二導電部３２の第二突出部３２４に引っ掛ることになり、第一導電部３１が第二導電部３２から（図１の紙面手前側へ）抜け出ることを防止する。
上部第一突出部３１３は、下部第一突出部３１４と略同じ形状に形成されることが好ましい。この上部第一突出部３１３が設けられることにより、第一導電部３１の芯部が第二導電部３２の筒部と平行状態を維持することができるからである。このため、第一導電部３１が筒部の軸位置（中心位置）に配置されることができる。
【００１７】
第二導電部３２は、筒状部材３２１により形成されてなり、可撓性及び導電性を有している。この第二導電部３２は、図１で示す如く、この筒状部材内部に棒形状を有する第一導電部３１を収容し、第一導電部３１と長さ方向の全長に亘って隙間が形成されるように配置される。
この第二導電部３２の長さ（長軸方向）やその厚みは特に限定されないが、長さ3〜5ｃｍで、外径50〜150μｍで内径40〜100μｍの範囲で形成される。
この第二導電部３２の素材は、可撓性を有し且つ導電性を有する素材であれば特に限定されないが、例えば、ニッケル（Ni）を例示することができる。
【００１８】
第二導電部３２の検査点に接触する先端側には、スプリング部３２３が形成されてなる。このスプリング部３２３は軸長方向に摺動する。このスプリング部３２３は、第二導電部３２の周壁となる筒状部材３２１の一部に切欠部を設けることによって、スプリング部３２３が形成されている。このスプリング部の形成方法は、特に限定されず、例えば、筒状部材３２１の所定部位に切欠部を形成するための位置を設定し、この切欠部が設定される位置にある筒状部材３２１をレーザ等により取り除くことにより、スプリング部３２３を形成することができる。
このようにスプリング部３２３が、筒状部材３２１の一部に形成されることになるので、従来の如きプローブのように複数の部品を組み立てる必要がない。
【００１９】
このスプリング部３２３は、基板検査用接触子３を保持する保持部の案内孔の内部に配置されるように形成されることが好ましい。例えば、図１では、スプリング部３２３が、先端側保持部材４２の案内孔４２３の内部に配置されることになる。
このように配置されるのは、スプリング部３２３が案内孔内部に配置されることによって、スプリング部３２３の摺動を、ずれる（紙面において左右方向に摺動）ことなく、長軸方向に案内することができるからである。
【００２０】
このスプリング部３２３を設けられる場所は、上記の説明の如く、第二導電部３２の先端側に限定されず、第二導電部３２の後端側であっても良い。この場合、スプリング部３２３は、後端側保持部材４１の案内孔４１３の内部に配置されるように形成される。
【００２１】
このスプリング部３２３は、検査点に接触（圧接）された場合に、その押込み量を全て吸収する能力を有している必要はなく、このスプリング部３２３が検査点に安定的に接触するための関節の機能として働くことが好ましい。このような場合、まず、検査点と電極部が圧接され始めると、スプリング部３２３が検査点の形状に沿って安定的に接触するよう収縮する。更に圧接されると、スプリング部３２３の収縮量が限界に達成し、第一導電部３１と第二導電部３２が湾曲して、圧接による収縮量（長さ）を吸収することになる。
【００２２】
第二導電部３２は、周壁から筒内部に突出する第二突出部３２４を有してなる。
この第二突出部３２４は、図１で示す如く、周壁から筒内部に突出することにより、筒内部の一部内径を小さく形成している。この第二突出部３２４は、第一突出部よりも後端側から遠い位置に形成されている。基板検査用接触子３を電極部２に取り付けした場合に、電極部２とこの第二突出部３２４とにより挟持されることになり、第一導電部３１が第二導電部３２から抜け落ちることを防止することができる。この第二突出部３２４は、図１で示される如く、下部第一突出部３１４よりも検査点側（紙面においては下側）に形成される。
この第二突出部３２４の形成方法は、特に限定されず、例えば、第二導電部３２１を外側の表面から内側へ押圧することによるかしめにより形成することができる。
【００２３】
第二導電部３２は、筒状部材３２１の外周に被覆される絶縁被覆部３２２を有している。この絶縁被覆部３２２は、テフロン（登録商標）やポリウレタンなどの絶縁素材から形成されている。この絶縁被覆部３２２は、筒状部材３２１の両端を除く、筒状部材３２１の全体に被覆されている。この絶縁被覆部３２２は、複数の基板検査用接触子３が基板検査用治具１に配置されて使用される場合に、基板検査用接触子３が湾曲した場合に、他の基板検査用接触子同士が接触しても、短絡しないために設けられている。
この絶縁被覆部３２２は、図１で示す如く、先端部保持部材４２と後端部保持部材４１の間の空間に配置されるように形成されているが、先端部保持部材４２と後端部保持部材４１の案内孔内部までこの絶縁被覆部３２２が形成されていてもよい。
尚、電極部２に導通接触する後端部側では、絶縁被覆部３２２が案内孔４１３の外側まで形成されていてもよい。このように形成されることによって、後端側保持部材４１の案内孔４１３と基板検査用接触子３とのクリアランス（空間）をより小さくし、より位置精度を向上させて正確に且つ、基板検査用接触子３を電極部２と直角に接触させることができるようになるからである。
【００２４】
保持部材４は、絶縁性の材料により形成され、基板検査用接触子３を保持するとともに、所定の検査点と電極部へこの基板検査用接触子３を案内する。
この保持部材４は、先端側保持部４２と後端側保持部４１と、これらの保持部を支持する支持部４３を有してなる。
【００２５】
先端側保持部４２は、基板検査用接触子３の先端を検査点に案内する案内孔４２３を有している。この案内孔４２３は、基板検査用接触子３の外径よりも僅かに大きい径を有して形成されている。この案内孔４２３の径は、第二導電部３２１の外径よりも大きく、絶縁被覆部３２２の外径よりも小さく形成されることが好ましい。このように形成されることにより、先端側保持部４２の案内孔から抜け出ることを防止することができる。
尚、図１では、案内孔を形成するために大小二種類の径を有する孔が形成される第一先端側保持部４２１と第二先端側保持部４２２が用いられているが、このような構造に特に限定されるものではなく、一種類の径を有する孔において形成してもよいし、三種類以上の多種類の径を有する孔で形成しても構わない。
この先端側保持部４２の厚みは、1〜10ｍｍに形成することができるが、特に限定されるものではなく、スプリング部３２３の長さや基板検査用接触子３の先端側の導電部（絶縁被覆部がされていない部分）の長さに応じて適宜変更される。
【００２６】
後端側保持部４１は、基板検査用接触子３の後端を、電極部２に案内する案内孔４１３を有している。この案内孔４１３は、基板検査用接触子３の外径よりも僅かに大きい径を有して形成されている。この案内孔４１３が基板検査用接触子３の絶縁被覆部３２２の外径よりも僅かに大きく形成されることにより、基板検査用接触子３をこの案内孔４１３から抜き差しすることが可能となり、基板検査用接触子３の交換を可能とする。
尚、先端側保持部４２と同様に、図１では、案内孔を形成するために大小二種類の径を有する孔が形成される第一後端側保持部４１１と第二後端側保持部４１２が用いられているが、このような構造に特に限定されるものではなく、一種類の径を有する孔において形成してもよいし、三種類以上の多種類の径を有する孔で形成しても構わない。
この後端側保持部４１の厚みは、1〜10ｍｍに形成することができるが、特に限定されるものではなく、スプリング部３２３の長さや基板検査用接触子３の先端側の導電部（絶縁被覆部がされていない部分）の長さに応じて適宜変更される。
【００２７】
支持部４３は、先端側保持部４２と後端側保持部４１を所定空間を有して配置するために設けられている。この支持部４３は、円柱形部材を採用することができるが、特に限定されるものではなく、その大きさ、配置位置や配置の数など、使用者が適宜設定することができる。
この支持部４３の長さは、先端側保持部４２と後端側保持部４１の各案内孔に基板検査用接触子３が装着された場合に、先端側保持部４２と後端側保持部４１の両案内孔から外側へ基板検査用接触子３が突出した状態となる長さが必要である。このように、先端側保持部４２と後端側保持部４１の案内孔から基板検査用接触子３が突出した状態となるので、電極部２にこの基板検査用治具１が装着された場合には、基板検査用接触子３が電極部２に圧接された状態となるとともに、使用時においては、基板の検査点から圧接されることになり、確実に両端部から内側方向に向かって挟持される状態となるからである。
【００２８】
電極部２は、第一導電部３１と第二導電部３２と夫々独立して接触するための第一電極部と第二電極部を有してなる。
この第一電極部と第二電極部は、夫々電気的に独立して形成されている。例えば、図１（ｂ）で示される電極部の構造では、第一電極部２１が導電性の棒状の部材で形成されており、この棒状部材の側面が第一導電部３１１の接触面として形成されている。また、第二電極部２２は、棒状部材の第一電極部２１と同軸に配置される導電性の筒状の部材で形成されている。
この第二電極部２２の筒の厚みは、少なくとも第二導電部３２１の厚みと略同じ厚み又はその厚みよりも大きい厚みを有している。このように形成されることにより、第二導電部３２１が安定的に第二電極部２２に接触することができる。
【００２９】
この第一電極部２１と第二電極部２２の間には、絶縁性の絶縁部材２３を介在させることが好ましい。このように絶縁部材２３を介在させることによって、第一電極部２１と第二電極部２２が安定して固定されることができるからである。
【００３０】
電極部２は、第一電極部２１と第二電極部２２を保持する板部材２４を有している。この板部材２４は、第二電極部２２を保持する孔が形成されて、この孔に第一電極部２１と第二電極部２２を挿通させて形成させる。この板部材２４では、第一電極部２１と第二電極部２２が面一となるように形成されている（図１（ｂ）参照）。
以上が本発明にかかる基板検査用治具の一実施形態の構成の説明である。
【００３１】
次に、基板検査用治具の他の実施形態について説明する。
図２は基板検査用治具の第二実施形態を示す断面図である。
第二実施形態の基板検査用治具は、基本構造は第一実施形態の基板検査用治具の構成と同様であり、第一実施形態と第二実施形態の相違する構成を説明する。
【００３２】
第二実施形態の基板検査用治具１は、第二導電部３２１の先端側（検査点）に補助部３２６を設けている。
この補助筒部３２６は、第二導電部３２１の厚みを補助する。この補助部３２６が設けられることにより、第二導電部３２１の厚みが厚くなり、検査点に貫入することを防止することができる。
例えば、はんだバンプのように半球形状の検査点に基板検査用接触子３を用いる場合、この接触子３の先端部が検査点に貫入してしまう可能性があるが、このように補助部３２６を設けることによって、検査点に打痕（貫入跡）が形成されることを防止している。
【００３３】
この補助部３２６は、図２で示される如く、第二導電部３２１の先端の内部に、第二導電部３２１よりも径の小さい筒部を嵌合させて形成することができる。補助部３２６の形成方法は、小さい筒部を第二導電部３２１の先端に溶接などにより固着させることにより形成することができる。図２では、符号３２５で示される部分が溶着部として示されている。
尚、この補助部３２６の内径は、第一導電部３１（絶縁被覆部３１２）の外径よりも大きく形成されることが好ましい。
【００３４】
図３は、本発明にかかる基板検査用接触子３の第三実施形態の断面を示す。
この第三実施形態の基板検査用接触子３では、第二実施形態の基板検査用接触子３の補助部３２６が設けられている。また、第一導電部３１に形成される下部第一突出部３１４が第二突出部３２４よりも検査点に近い部位に形成されている。この下部第一突出部３１４は、図３で示す如く、補助部３２６の僅かに上方に位置するように設けられることが好ましい。
このように形成されることによって、補助部３２６と下部第一突出部３１４により、第一導電部３１が第二導電部３２から抜け出ることを防止することができる。
尚、この下部第一突出部３１４が、スプリング部３２３の摺動を妨げることがない必要があるとともに、第一導電部３１と第二導電部３２が独立して撓む必要がある。
【００３５】
図４は、本発明にかかる基板検査用接触子３の第四実施形態の断面を示す。
この第四実施形態の基板検査用接触子３では、第二導電部３２が径の相違する二つの筒部材から形成されるとともに、検査点に導通接触する筒部材の周壁にスプリング部３２７が形成されている。
第二導電部３２は、筒状部材３２１とその先端から延設されるように、第二筒状部材３２８が形成されている。この第二筒状部材３２８は、筒状部材３２１の内径と第二筒状部材３２８の外径が略同じに形成され、これらを溶接（溶接箇所３２５）することで固着している。
このように形成することによって、検査点がより小さい場合であっても、精度良く接触することができるようになる。
尚、この第二筒状部材３２８が、第一導電部３１の抜け防止の役割を果たすことになる。
【００３６】
次に、本発明にかかる基板検査用治具の動作について説明する。
図５は、本発明にかかる基板検査用治具の使用状態を示す断面図である。この図５では、電極部２に基板検査用接触子３が導通接触されており、第一導電部３１は第一電極部２１と導通接触しており、第二導電部３２は第二電極部２２と導通接触している。
この図５で示される検査点は、はんだバンプのような半球状の検査点を例示している。
【００３７】
図５で示される如く、基板Ｓ上に設定される検査点Ｐに、基板検査用接触子３が接触すると、まず、第二導電部３２に形成されるスプリング部３２３が収縮する。そして、基板検査用接触子３は、第二導電部３２のスプリング部３２３が収縮し、第一導電部３１が検査点Ｐに導通接触する。このとき、第一導電部３１と第二導電部３２が夫々独立して検査点Ｐに導通接触することになる。
第一導電部３１と第二導電部３２が夫々検査点Ｐに導通接触しても、更に、基板検査用接触子３は相対的に検査点Ｐへ押し付ける。そうすると、基板検査用接触子３は、第一導電部３１と第二導電部３２ともに可撓性を有しているので、図５の湾曲線Ａで示される如く、湾曲状態となる。
このように、基板検査用接触子３が湾曲形状を有することによって、電極部２と検査点Ｐに対して押圧することになる。このため、基板検査用接触子３は、検査点Ｐと電極部２に安定して導通接触することになる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】（ａ）は本発明に係る基板検査用治具の概略断面図であり、（ｂ）は本発明に係る基板検査用治具の電極部の一実施形態の概略断面図である。
【図２】本発明に係る基板検査用治具の第二実施形態の概略断面図である。
【図３】本発明に係る基板検査用治具の第三実施形態の概略断面図である。
【図４】本発明に係る基板検査用治具の第四実施形態の概略断面図である。
【図５】本発明に係る基板検査用治具の一実施形態の動作を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１・・・・・基板検査用治具
２・・・・・電極部
３・・・・・基板検査用接触子
３１・・・・第一導電部
３２・・・・第二導電部
４・・・・・保持体
４１・・・・後端側保持部材
４２・・・・先端側保持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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