(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上壁板および当該上壁板に対向する下壁板と、当該上壁板および下壁板に連結する一対の側壁板と、これらの上壁板、下壁板および一対の側壁板の各々に連結する一対の端壁板とよりなり、上壁板、下壁板、側壁板および端壁板に囲繞されてなる内部空間に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されてなるシリカガラス製の放電容器を備えており、当該放電容器における上壁板の外表面に形成された一方の電極と、下壁板の外表面に形成された他方の電極とが対向配置されてなるエキシマランプにおいて、
前記放電容器の内表面には、少なくとも側壁板内表面領域に、シリカ粒子とアルミナ粒子とよりなる紫外線反射膜が形成されており、
当該紫外線反射膜が、シリカ粒子を３０重量％以上の割合で含有していることを特徴とするエキシマランプ。
【請求項２】
紫外線反射膜が、放電容器の内表面において、側壁板内表面領域を含む、上壁板の外表面上の一方の電極の端部が位置される部分に対応する電極端部対応位置から、下壁板の外表面上の他方の電極の端部が位置される部分に対応する電極端部対応位置の間の領域に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項３】
紫外線反射膜が、端壁板内表面領域にも形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のエキシマランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線を放射するエキシマランプに関し、更に詳しくは、放電容器の放電空間を臨む内表面に紫外線反射膜が形成されてなるエキシマランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、エキシマランプは、例えば半導体装置の製造工程および液晶基板製造工程などにおいて、洗浄処理、アッシング処理および成膜処理などの紫外線を照射することによって行なわれる表面処理の紫外線照射源として用いられている。
【０００３】
このようなエキシマランプにおいては、紫外線を高い効率で放射させるための手段として、放電容器の放電空間を臨む内表面に紫外線反射膜を設ける技術が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
このような放電容器の内表面に紫外線反射膜が設けられてなる構成のエキシマランプにおいては、放電容器の内表面の一部の紫外線反射膜が形成されていない領域によって当該放電容器内の放電空間において発生した紫外線を外部に出射させるための光出射窓が形成されている。
而して、このようなエキシマランプによれば、放電容器内において発生し、光出射窓に向かう方向以外の方向に放射された紫外線を、紫外線反射膜に反射させることにより、光出射窓に向かう方向に直接放射された紫外線と共に、光出射窓から出射させることができるため、高い効率で紫外線を放射させることができる。
【０００４】
エキシマランプに形成される紫外線反射膜は、高い紫外線反射率を有する紫外線散乱粒子によって形成されてなるものであり、この紫外線散乱粒子が積層されてなる構成を有している。
紫外線反射膜を構成する紫外線散乱粒子としては、シリカ粒子、酸化アルミニウム粒子、フッ化マグネシウム粒子、フッ化カルシウム粒子、フッ化リチウム粒子、酸化マグネシウム粒子などが用いられている。
このような紫外線散乱粒子の積層体である紫外線反射膜においては、紫外線が入射されると、この紫外線が複数の紫外線散乱粒子の表面で屈折および反射することにより、入射方向とは異なる方向に散乱反射されることとなる。
【０００５】
一方、エキシマランプなどの紫外線を放射するランプにおいては、放電容器として、シリカガラス製のものが広く用いられている。  
【０００６】
エキシマランプの或る種のものは、図１０および図１１に示すように、両端が封止され、内部に放電空間Ｓが形成されてなる略直管状のシリカガラス製の放電容器２０を備えており、この放電容器２０の放電用ガスが封入される放電空間Ｓを囲繞する上壁板２１、下壁板２３、側壁板２５および端壁板２６のうちの対向する上壁板２１および下壁板２３の各々の外表面２１Ａ、２３Ａに、一方の電極１１および他方の電極１２が対向配置されてなる構成を有している。このエキシマランプには、一方の電極１１が形成されている上壁板２１の内表面２１Ｂに紫外線反射膜５０が形成されており、また、この放電容器２０の内表面における紫外線反射膜５０が形成されていない領域（具体的には、下壁板２３の内表面２３Ｂおよび側壁板２５の内表面２５Ａ）によって放電空間Ｓで発生した紫外線を外部に出射させるための光出射窓が形成されている。
図１０において、２８はチップ管であり、２９はフランジ部である。
【０００７】
このようなエキシマランプは、一方の電極１１と他方の電極１２との間に高周波電圧が印加されることにより、放電容器２０および紫外線反射膜５０が誘電体として機能し、放電空間Ｓにおいて、紫外線反射膜５０およびこの紫外線反射膜５０に対向する下壁板２３の放電空間Ｓを臨む表面（具体的には、紫外線反射膜５０の表面５１および下壁板２３の内表面２３Ｂ）に放電起点が発生し、これにより、誘電体バリア放電が生じ、この誘電体バリア放電によって放電用ガスに由来するエキシマ分子が形成され、放電容器２０の下壁板２３および側壁板２５よりなる光出射窓から紫外線が出射されることとなる。
【０００８】
しかしながら、図１２に示すように、点灯状態のエキシマランプにおいては、紫外線反射膜５０の端部５５から異常放電ａが発生することがあり、この異常放電が発生した場合には、エキシマランプ全体における放電エネルギーの消費バランスが崩れることから、紫外線照射対象体の紫外線照射対象面において照度ムラが発生し、紫外線照射対象面を均一に照射することができない、という問題がある。
すなわち、エキシマランプにおいて、異常放電ａの発生がない場合には、放電空間Ｓに、略均一に無数の柱状の放電（以下、「柱状放電」ともいう。）ｂが同一の放電強度で発生するが、異常放電ａが発生した場合には、この異常放電ａに放電エネルギーが消費されてしまうこととなるため、当該異常放電ａの発生部分の周辺部においては、柱状放電ｂの放電強度が小さくなる。従って、異常放電ａの発生部分においては、紫外線の放射強度が低下し、その結果、紫外線照射対象体の紫外線照射対象面において、異常放電ａの発生部分に対応する領域の照度が他の領域に比して低下する。
図１２の例においては、エキシマランプにおける紫外線反射膜５０の一方の端部（右側端部）５５に、異常放電ａが発生しており、そのため、このエキシマランプにおいては、一方の端部５５が位置している部分の放射強度が、他の部分に比して小さくなっている。
【０００９】
また、エキシマランプにおいては、この異常放電ａの発生に起因して、紫外線反射膜５０の端部５５に剥落が生じてしまう、という問題もある。
【００１０】
【特許文献１】特許第３５８０２３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、以上の事情に基づいてなされたものであって、その目的は、高い効率で紫外線を放射することができ、しかも、高い均一性で紫外線照射対象体の紫外線照射対象面を照射することができると共に紫外線反射膜の剥落が生じることのないエキシマランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のエキシマランプは、上壁板および当該上壁板に対向する下壁板と、当該上壁板および下壁板に連結する一対の側壁板と、これらの上壁板、下壁板および一対の側壁板の各々に連結する一対の端壁板とよりなり、上壁板、下壁板、側壁板および端壁板に囲繞されてなる内部空間に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されてなるシリカガラス製の放電容器を備えており、当該放電容器における上壁板の外表面に形成された一方の電極と、下壁板の外表面に形成された他方の電極とが対向配置されてなるエキシマランプにおいて、
前記放電容器の内表面には、少なくとも側壁板内表面領域に、シリカ粒子とアルミナ粒子とよりなる紫外線反射膜が形成されており、
当該紫外線反射膜が、シリカ粒子を３０重量％以上の割合で含有していることを特徴とする。
【００１３】
本発明のエキシマランプにおいては、紫外線反射膜が、放電容器の内表面において、側壁板内表面領域を含む、上壁板の外表面上の一方の電極の端部が位置される部分に対応する電極端部対応位置から、下壁板の外表面上の他方の電極の端部が位置される部分に対応する電極端部対応位置の間の領域に形成されていることが好ましい。
【００１４】
本発明のエキシマランプにおいては、紫外線反射膜が、端壁板内表面領域にも形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のエキシマランプによれば、放電容器の内表面に紫外線反射膜が形成されていることから、放電容器内において発生し、光出射窓に向かう方向以外の方向に放射された一部の紫外線を、当該紫外線反射膜に反射させることにより、光出射窓に向かう方向に直接放射された紫外線と共に、光出射窓から出射させることができ、しかも、この紫外線反射膜を、特定の組成を有するものとし、かつ放電容器の内表面における少なくとも側壁板内表面領域に形成することにより、異常放電の発生を防止し、放電容器内において、略均一に無数の柱状の放電を同一の放電強度で発生させることができるため、異常放電の発生に起因する紫外線照射対象体の紫外線照射対象面おける照射ムラ、および紫外線反射膜の端部の剥落の発生を防止することができることから、高い効率で紫外線を放射することができ、しかも、高い均一性で紫外線照射対象体の紫外線照射対象面を照射することができると共に紫外線反射膜の剥落の発生を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明のエキシマランプについて詳細に説明する。
【００１７】
図１は、本発明のエキシマランプの構成の一例を示す説明用斜視図であり、図２は、図１のエキシマランプのＡ−Ａ断面を示す説明図であり、図３は、図１のエキシマランプのＢ−Ｂ断面を示す説明図である。
このエキシマランプは、両端が封止され、内部に放電空間Ｓを形成する略直管状のシリカガラス製の放電容器２０を備えてなるものである。
この放電容器２０は、上壁板２１および当該上壁板２１に対向する下壁板２３と、当該上壁板２１および下壁板２３に連結する一対の側壁板２５と、これらの上壁板２１、下壁板２３および一対の側壁板２５よりなる四角筒状体の両端を封止するよう設けられた一対の端壁板２６とよりなり、これらの上壁板２１、下壁板２３、側壁板２５および端壁板２６に囲繞されてなる略四角柱状の内部空間よりなる放電空間Ｓに、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する、例えばキセノンガスなどの放電用ガスが封入されている。  この図の例においては、放電容器２０は、チップ管２８およびフランジ部２９を有しており、また放電空間Ｓには、放電用ガスとして４０ｋＰａのキセノンガスが封入されている。
【００１８】
この放電容器２０には、上壁板２１の外表面２１Ａに密接して、例えば金網などの導電性材料よりなる網状の一方の電極（以下、「一方電極」ともいう。）１１が設けられていると共に、下壁板２３の外表面２３Ａに密接して、例えば金網などの導電性材料よりなる網状の他方の電極（以下、「他方電極」ともいう。）１２が設けられており、これらの一方電極１１と、他方電極１２とが対向配置されている。
この一方電極１１と、他方電極１２は、例えば金（Ａｕ）などの金属を蒸着することによって形成されてなるものであり、また適宜の高周波電源（図示せず）に接続されている。
【００１９】
そして、このエキシマランプにおける放電容器２０の内表面には、少なくとも側壁板内表面領域に、例えば厚み１０〜１０００μｍの紫外線反射膜３０が形成されており、また、この放電容器２０の内表面における紫外線反射膜３０が形成されていない領域により、放電空間Ｓにおいて発生した紫外線を外部に出射するための光出射窓が形成されている。  ここに、「側壁板内表面領域」とは、放電容器２０を構成する側壁板２５の放電空間Ｓを臨む内表面２５Ａを示す。また側壁板２５とは、平板状の上壁板２１の辺端部２２から平板状の下壁板２３の辺端部２４とを連結するよう、これらの間の領域に配設される、放電容器２０の構成壁板である。
【００２０】
紫外線反射膜３０は、側壁板２５の内表面２５Ａの全面に形成されている必要はなく、エキシマランプの設計条件に応じて当該内表面２５Ａの一部に形成されていればよく、また、その一部が側壁板２５の内表面２５Ａに形成されていれば、放電容器２０の他の構成壁板（具体的には、上壁板２１、下壁板２３および端壁板２６）の内表面に形成されていてもよい。
この図の例においては、紫外線反射膜３０は、放電容器２０の上壁板２１の内表面２１Ｂおよび側壁板２５の内表面２５Ａの上壁板側部分（図２における上側部分）に、すなわち一方（図２における右方）の側壁板２５の上壁板側部分から上壁板２１の内表面２１Ｂを含み、他方（図２における左方）の側壁板２５の上壁板側部分に至る領域に渡って伸びるよう、形成されている。また、この放電容器２０における、その内表面に紫外線反射膜３０が形成されていない領域、具体的には、下壁板２３および側壁板２５の下壁板側部分（図２における下側部分）により、光出射窓が形成されている。
【００２１】
この紫外線反射膜３０は、シリカ粒子とアルミナ粒子とよりなり、これらのシリカ粒子およびアルミナ粒子（以下、これらをまとめて「特定の紫外線散乱粒子」ともいう。）が積層されてなるものである。
紫外線反射膜３０によれば、入射された紫外線は、複数の特定の紫外線散乱粒子の表面で屈折および反射され、これにより、入射方向とは異なる方向に散乱反射されることとなる。
【００２２】
紫外線反射膜３０においては、シリカ粒子の含有割合は３０重量％以上とされ、好ましくは３０〜９９重量％であり、特に好ましくは４０〜９９重量％である。一方、アルミナ粒子の含有割合は、１〜７０重量％であることが好ましく、更に５〜７０重量％であることが好ましく、特に１０〜７０重量％であることが好ましい。
【００２３】
紫外線反射膜におけるシリカ粒子の含有割合が３０重量％未満である場合には、紫外線反射膜に放電容器に対する十分な結着性が得られなくなり、また、後述の実験例からも明らかなように、得られる紫外線反射膜に剥落が生じることとなる。
【００２４】
紫外線反射膜３０を構成するシリカ粒子は、ガラス状態のものであっても、結晶状態のものであってもよいが、ガラス状態のものであることが好ましい。
シリカ粒子は、その粒径が２〜８μｍであることが好ましく、また、その中心粒径が４μｍであることが好ましい。
このシリカ粒子は、高い紫外線反射率を有すると共に、放電容器２０と同種の材料よりなるものであって、放電容器２０およびアルミナ粒子の各々と高い接着性を有するものである。従って、紫外線反射膜３０には、このシリカ粒子に由来して放電容器２０に対する高い接着性が得られることとなる。
【００２５】
紫外線反射膜３０を構成するアルミナ粒子は、アルミナが結晶化しやすく、ガラス状態となりにくい特性を有することから、通常、結晶状態のものである。  
アルミナ粒子は、その粒径が２〜６μｍであることが好ましく、また、その中心粒径が４μｍであることが好ましい。
このアルミナ粒子は、シリカ粒子に比して屈折率が大きく、従って高い反射率を有する特性を有することから、このような特性を有するアルミナ粒子をシリカ粒子と共に構成材料とする紫外線反射膜３０には、優れた紫外線反射能が得られることとなる。
【００２６】
ここに、シリカ粒子およびアルミナ粒子の粒径および中心粒径について説明する。
本明細書中において、「粒径」とは、顕微鏡の画像上において粒子の大きさと個数とを計測し、これに基づいて粒度分布を測定する顕微鏡画像形成法を用いて測定され、電子顕微鏡による拡大投影像上における任意の粒子を一定方向の２本の平行線で挟んだときの間隔であるフェレー（Ｆｅｒｅｔ）径である。
この粒径の測定に際しては、紫外線反射膜の製造工程においてシリカ粒子が溶けて固まりとなった場合を含め、出発材料の粒子の球状部分に相当する部分を粒子とする。更に、粒子同士が重なり、その境界の一部が確認できず、２本の平行線によって粒子を挟むことができない場合には、その直角方向の２本の平行線で粒子を挟んだ間隔をフェレー径とする。
また「中心粒径」とは、１００個以上の粒子の粒径を、例えば日立社製の電界放射型走査顕微鏡「Ｓ４１００」を用い、加速電圧１０〜２０ｋＶの条件（倍率は、粒径０．３μｍの場合には、例えば２万倍）にて測定し、その粒径の測定値の度数分布を得、その度数が最大となる区分の中心値である。この中心粒径とされる中心値とは、例えば測定された粒径の最大値と最小値の間を１５の区分に分け、複数の粒径の測定値を１５の区分のいずれかに分類し、それぞれの区分に属する粒径の個数を当該区分における度数とし、これらの１５の区分のうちの度数が最大となる区分の中心値である。
【００２７】
このような紫外線反射膜３０は、例えば流下法、具体的には、適宜の溶剤と、シリカ粒子およびアルミナ粒子とを混合することによって反射膜形成用溶液を得、この反射膜形成用溶液を放電容器２０を形成するための放電容器形成管の内表面における紫外線反射膜３０を形成すべき領域に流し込むことによって薄膜を形成し、この薄膜を乾燥および焼成すことによって形成することができる。この手法においては、溶剤の粘度を調整することにより、得られる紫外線反射膜３０の厚みを調整することができ、具体的には、厚みを小さくする場合には、溶剤の粘度を小さくし、また厚みを大きくする場合には、溶剤の粘度を大きくする。
【００２８】
以上のような構成を有するエキシマランプは、適正な大きさに制御された高周波電圧が高周波電源によって一方電極１１と他方電極１２との間に印加されることにより、放電容器２０および紫外線反射膜３０が誘電体として機能し、放電空間Ｓにおいて、紫外線反射膜３０およびこの紫外線反射膜３０に対向する下壁板２３の放電空間Ｓを臨む表面（具体的には、紫外線反射膜３０の表面３１および下壁板２３の内表面２３Ｂ）に放電起点が発生し、これにより、誘電体バリア放電が生じ、この誘電体バリア放電によって放電用ガスに由来するエキシマ分子が形成され、放電容器２０の下壁板２３および側壁板２５の下壁板側部分よりなる光出射窓から紫外線が出射される。
【００２９】
而して、このエキシマランプにおいては、放電容器２０の内表面に紫外線反射膜３０がが形成されていることから、放電空間Ｓにおいて発生し、光出射窓に向かう方向以外の方向であって紫外線反射膜３０に向かう方向に放射された紫外線を、当該紫外線反射膜３０に反射させることによって、光出射窓に向かう方向に直接放射された紫外線と共に、光出射窓から出射させることができる。
しかも、この紫外線反射膜３０を、シリカ粒子とアルミナ粒子とが特定の割合で含有されてなるもとのし、かつ放電容器２０の内表面における、上壁板内表面領域（上壁板２１の内表面２１Ｂ）のみでなく、この上壁板内表面領域に連続する側壁板内表面領域（側壁板２５の内表面２５Ａ）にまで伸び、その端部３５が当該側壁板内表面領域に位置するよう、形成することにより、異常放電の発生を防止し、放電空間Ｓにおいて、略均一に無数の柱状放電を同一の放電強度で発生させることができる。その結果、異常放電の発生に起因する紫外線照射対象体の紫外線照射対象面おける照射ムラ、および紫外線反射膜３０の端部３５における剥落の発生を防止することができる。
従って、本発明のエキシマランプによれば、紫外線反射膜３０の作用により、光出射窓に向かう方向以外に放射された紫外線の一部をも光出射窓から出射させることができることから、高い効率で紫外線を放射することができ、しかも、異常放電の発生が防止されるため、高い均一性で紫外線照射対象体の紫外線照射対象面を照射することができると共に、当該紫外線反射膜３０の端部３５が剥落することを防止することができる。
【００３０】
ここに、本発明のエキシマランプにおいて異常放電の発生が防止される理由は、次のように推測される。
図１０および図１１にも示したように、紫外線反射膜５０が上壁板２１の内表面２１Ｂ（上壁板内表面領域）のみに形成されている場合には、紫外線反射膜５０の端部５５を起点とし、側壁板２５に向かって異常放電が発生することがあり、これは、一方電極１１の直下に位置する紫外線反射膜５０の端部５５に電荷が集中していることに一因があると考えられる。更に、この異常放電が沿面放電の一種であるとすると、ガラスの内面（放電容器２０の内表面）が鏡面状態であることにも一因があると考えられる。
然して、本発明のエキシマランプにおいては、紫外線反射膜３０が、上壁板２１の内表面２１Ｂのみでなく、側壁板２５の内表面２５Ａ（側壁板内表面領域）に渡って形成されており、その端部３５が一方電極１１の直下に位置されていないことから、当該端部３５における電荷の集中が緩和され、その結果、異常放電自体が発生しにくい状態とされ、更に、紫外線反射膜３０の表面に、その構成粒子に由来の凹凸が形成され、沿面距離が長くなっていることからも、異常放電自体が発生しにくい状態とされていると考えられる。
【００３１】
以上、本発明のエキシマランプについて具体的に説明したが、本発明は以上の例に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、エキシマランプを構成する放電容器は、上壁板、下壁板、側壁板および端壁板によって放電空間が囲繞されてなるものであればよく、図４に示すように、側壁板４５が、他の構成壁板（具体的には、上壁板４１、下壁板４３および端壁板４６）と同様の平板状ではなく、その断面形状が曲面状の湾曲板よりなる構成のものであってもよい。このエキシマランプは、放電容器２０に代えて、湾曲板よりなる側壁板４５を有する放電容器４０を備えていること以外は図１のエキシマランプと同様の構成を有するものである。
すなわち、このエキシマランプには、図１のエキシマランプと同様に、上壁板４１の外表面４１Ａおよび下壁板４３の外表面４３Ａの各々に一方電極１１および他方電極１２が設けられている。また、放電容器４０の内表面には、一方（図４における右方）の側壁板４５の内表面４５Ａの上壁板側部分（図４における上側部分）から上壁板４１の内表面４１Ｂを含み、他方（図４における左方）の側壁板４５の内表面４５Ａの上壁板側部分に至る領域に渡って伸びるよう、紫外線反射膜３０が形成されている。
この放電容器４０において、側壁板４５とは、平板状の上壁板４１の辺端部４２から平板状の下壁板４３の辺端部４４とを連結するよう、その間の領域に配設される、放電容器４０の構成壁板である。
【００３２】
また、紫外線反射膜は、放電容器の内表面における、少なくとも側壁板内表面領域に形成されていればよく、図５〜図９に示すように、種々の領域に形成することもできる。この図５〜図９に示すいずれのエキシマランプにおいても、図１のエキシマランプと同様の作用効果を得ることができる。
【００３３】
図５の例のエキシマランプは、湾曲板よりなる側壁板４５を有する放電容器４０を備えており、紫外線反射膜３０が下述の領域に形成されていること以外は、図４のエキシマランプと同様の構成を有するものである。
このエキシマランプにおいて、紫外線反射膜３０は、放電容器４０の内表面に、下壁板４３の内表面４３Ｂの一方（図５における右方）の側壁板側部分（図５における右側部分）から側壁板４５の内表面４５Ａおよび上壁板４１の内表面４１Ｂを含み、当該下壁板４３の内表面４３Ｂの他方（図５における左方）の側壁板側部分（図５における左側部分）に至る領域に渡って伸びるよう、形成されている。このエキシマランプには、放電容器４０の内表面における、下壁板２３の紫外線反射膜３０が形成されていない領域により、光出射窓が形成されている。
このような構成のエキシマランプにおいては、放電容器４０において、電極１１、１２が形成されておらず、柱状放電が生じることがないことに起因して他の部分に比して低温となる部分（具体的には、側壁板４５の部分ｃ）には、紫外線が照射されることによって紫外線歪みが生じやすくなっているが、紫外線反射膜３０の作用により、この部分ｃに紫外線が照射されることがないことから、放電容器４０の部分ｃにおいて紫外線歪みの発生が防止され、その結果、紫外線歪みに起因する放電容器４０の破損の発生を抑制することができる。
すなわち、側壁板４５の部分ｃに向かう方向に、放電空間Ｓにおけるエキシマランプの管軸に垂直な方向（図５における左右方向）において発生した紫外線が積算的に放射された場合であっても、この部分ｃの放電空間Ｓを臨む表面には、紫外線反射膜３０が形成されていることから、部分ｃに向かう方向に放射された紫外線は紫外線反射膜３０に反射され、この部分ｃに照射されることがない。
【００３４】
図６の例のエキシマランプは、図５のエキシマランプにおいて、放電容器４０に代えて、平板状の側壁板２５を有する放電容器２０を備えていること以外は、当該図５のエキシマランプと同様の構成を有するものである。
このエキシマランプにおいて、紫外線反射膜３０は、放電容器２０の内表面に、下壁板２３の内表面２３Ｂの一方（図６における右方）の側壁板側部分（図６における右側部分）から側壁板２５の内表面２５Ａおよび上壁板２１の内表面２１Ｂを含み、当該下壁板２３の内表面２３Ｂの他方（図６における左方）の側壁板側部分（図６における左側部分）に至る領域に渡って伸びるよう、形成されている。
【００３５】
図７の例エキシマランプは、湾曲板よりなる側壁板４５を有する放電容器４０を備えており、紫外線反射膜３０が下述の領域に形成されていること以外は、図４のエキシマランプと同様の構成を有するものである。
このエキシマランプにおいて、紫外線反射膜３０は、放電容器４０の内表面であって、上壁板４１の外表面４１Ａ上の一方電極１１の端部が位置される部分に対応する電極端部対応位置ｄから、下壁板４３の外表面４３Ａ上の他方電極１２の端部が位置される部分に対応する電極端部対応位置ｅまでの間の２つの領域の各々に形成されている。
具体的には、一方の紫外線反射膜３０は、上壁板４１の内表面４１Ｂの一方（図７における右方）の側壁板側部分（図７における右側部分）から側壁板４５の内表面４５Ａを含み、下壁板４３の内表面４３Ｂの一方の側壁側部分（図７における右側部分）に至る領域に渡って伸びるよう、形成されている。また、他方の紫外線反射膜３０は、上壁板４１の内表面４１Ｂの他方（図７における左方）の側壁板側部分（図７における左側部分）から側壁板４５の内表面４５Ａを含み、下壁板４３の内表面４３Ｂの他方の側壁側部分（図７における左側部分）に至る領域に渡って伸びるよう、形成されている。このエキシマランプには、放電容器４０の内表面において、上壁板４１および下壁板４３の各々の紫外線反射膜３０が形成されていない２つの領域の各々により、個別に光出射窓が形成されている。
なお、平板状の側壁板を有する放電容器を備えたエキシマランプにおいても、図７のエキシマランプと同様に、上壁板の外表面上の一方電極の端部が位置される部分に対応する電極端部対応位置から、下壁板の外表面上の他方電極の端部が位置される部分に対応する電極端部対応位置の間の２つの領域の各々に紫外線反射膜を形成することができる。
【００３６】
図８の例のエキシマランプは、湾曲板よりなる側壁板４５を有する放電容器４０を備えており、紫外線反射膜３０が下述の領域に形成されていること以外は、図４のエキシマランプと同様の構成を有するものである。
このエキシマランプにおいて、紫外線反射膜３０は、放電容器４０の内表面であって、当該放電容器４０のエキシマランプの管軸に垂直な方向の断面において、一方電極１１の端部と他方電極１２の端部とを結ぶ直線Ｎよりも外方（図８における右方および左方）に位置する２つの領域の各々に形成されている。
具体的には、一方の紫外線反射膜３０は、上壁板４１の内表面４１Ｂにおける一方（図８における右方）の直線Ｎとの交点Ｎ１から側壁板４５の内表面４５Ａを含み、下壁板４３の内表面４３Ｂにおける一方の直線Ｎとの交点Ｎ２に至る領域に渡って伸びるよう、形成されている。また、他方の紫外線反射膜３０は、上壁板４１の内表面４１Ｂにおける他方（図８における左方）の直線Ｎとの交点Ｎ１から側壁板４５の内表面４５Ａを含み、下壁板４３の内表面４３Ｂにおける他方の直線Ｎとの交点Ｎ２に至る領域に渡って伸びるよう、形成されている。このエキシマランプには、上壁板４１および下壁板４３の各々の紫外線反射膜３０が形成されていない２つの領域の各々により、個別に光出射窓が形成されている。
なお、平板状の側壁板を有する放電容器を備えたエキシマランプにおいても、図８のエキシマランプと同様に、放電容器の内表面における、当該放電容器のエキシマランプの管軸に垂直な方向の断面において、一方電極の端部と他方電極の端部とを結ぶ直線よりも外方に位置する２つの領域の各々に紫外線反射膜を形成することができる。
【００３７】
図９の例のエキシマランプは、平板状の側壁板２５を有する放電容器２０を備えており、紫外線反射膜３０が、放電容器２０の内表面における端壁板内表面領域（端壁板２６の内表面２６Ａ）にも形成されてなる構成を有するものである。
具体的に、このエキシマランプは、紫外線反射膜３０が、側壁板２５の内表面２５Ａの全面、端壁板２６の内表面２６Ａおよび下壁板２３の内表面２３Ｂにおける端壁板２６側の両方の端部にも形成されていること以外は、図１に係るエキシマランプと同様の構成を有するものである。
このような構成のエキシマランプにおいては、放電容器２０における、電極１１、１２が形成されておらず、柱状放電が生じることがないことに起因して他の部分に比して低温となる部分（具体的には、端壁板４５の部分ｆ）には、紫外線が照射されることによって紫外線歪みが生じやすくなっているが、紫外線反射膜３０の作用により、この部分ｆに紫外線が照射されることがないことから、放電容器２０の部分ｆにおいて紫外線歪みの発生が防止され、その結果、紫外線歪みに起因する放電容器２０の破損の発生を抑制することができる。
すなわち、端壁板２６の部分ｆに向かう方向に、放電空間Ｓにおけるエキシマランプの管軸に垂直な方向（図９における左右方向）において発生した紫外線が積算的に放射された場合であっても、この部分ｆの放電空間Ｓを臨む表面には、紫外線反射膜３０が形成されていることから、部分ｆに向かう方向に放射された紫外線は紫外線反射膜３０に反射され、この部分ｆに照射されることがない。
【００３８】
以下、本発明の作用効果を確認するために行なった実験例について説明する。
【００３９】
〔実験例１〕
図１の構成に従い、下記の表１に示す組成を有する、中心粒径４μｍのシリカ粒子と、中心粒径４μｍのアルミナ粒子とよりなる厚み２２μｍの紫外線反射膜を備えた６種類のエキシマランプを、各々１０本作製した。
作製したエキシマランプは、全長９０４ｍｍ、両方の側端板で構成される幅方向の長さが４３ｍｍ、上壁板と下壁板とで構成される高さ方向の長さが１５ｍｍ、厚み２．５ｍｍのシリカガラス製の放電容器を備え、金（Ａｕ）を蒸着することによって形成した網状の電極が設けられており、放電容器内には、４０ｋＰａのキセノンガスが封入されてなるものを用いた。
【００４０】
得られたエキシマランプの各々を、５ｋＶの交流高電圧で点灯させた後、紫外線反射膜の剥落の有無を目視にて確認し、１０本のランプのすべてに紫外線反射膜の剥落の発生がなかった場合を「○」、１０本のランプのうちの一部のランプに紫外線反射膜の剥落が生じた場合を「△」、１０本のランプのすべてに紫外線反射膜の剥落が生じた場合を「×」と評価した。結果を表１に示す。
【００４１】
【表１】
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【００４２】
以上の結果から、紫外線反射膜を上壁板の内表面のみでなく、側壁板の内表面に渡って形成し、かつ紫外線反射膜におけるシリカ粒子の含有割合を３０重量％以上とすることにより、異常放電の発生を防止することができ、これにより、紫外線反射膜の剥落の発生を防止できることが確認された。
また、シリカ粒子の含有割合を４０重量％以上とする、すなわちシリカ粒子の体積比率を５４％以上とすることにより、紫外線反射膜に、放電容器に対する優れた結着性が得られることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明のエキシマランプの構成の一例を示す説明用斜視図である。
【図２】図１のエキシマランプのＡ−Ａ断面を示す説明図である。
【図３】図１のエキシマランプのＢ−Ｂ断面を示す説明図である。
【図４】本発明のエキシマランプの構成の他の例を示す説明図である。
【図５】本発明のエキシマランプの構成の更に他の例を示す説明図である。
【図６】本発明のエキシマランプの構成のまた更に他の例を示す説明図である。
【図７】本発明のエキシマランプの構成のまた更に他の例を示す説明図である。
【図８】本発明のエキシマランプの構成のまた更に他の例を示す説明図である。
【図９】本発明のエキシマランプの構成のまた更に他の例を示す説明図である。
【図１０】従来のエキシマランプの構成の一例を示す説明用断面図である。
【図１１】図１０のエキシマランプのＡ−Ａ断面を示す説明図である。
【図１２】図１０のエキシマランプの点灯状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４４】
１１、１２    電極
２０    放電容器
２１    上壁板
２１Ａ    外表面
２１Ｂ    内表面
２２    辺端部
２３    下壁板
２３Ａ    外表面
２３Ｂ    内表面
２４    辺端部
２５    側壁板
２５Ａ    内表面
２６    端壁板
２６Ａ    内表面
２８    チップ管
２９    フランジ部
３０    紫外線反射膜
３１    表面
３５    端部
４０    放電容器
４１    上壁板
４１Ａ    外表面
４１Ｂ    内表面
４２    辺端部
４３    下壁板
４３Ａ    外表面
４３Ｂ    内表面
４４    辺端部
４５    側壁板
４５Ａ    内表面
５０    紫外線反射膜
５１    表面
５５    端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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