(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの天井に設置される枠に固定され、清浄空気を供給するファンフィルタユニットにおいて、
送風機を組み込んだユニットケースと、
前記ユニットケースを設ける補強板と、
前記ユニットケースの下側に除塵用のフィルタと
を備え、
前記枠の寸法に対応するモジュール寸法について、
前記モジュール寸法を異ならせる場合に、
標準のモジュール寸法又は最も多いモジュール寸法より前記モジュール寸法が小さい場合には、前記枠に合せて前記補強板の長さを、前記ユニットケースを載置する箇所以外の部分をカットし、
また、標準のモジュール寸法又は最も多いモジュール寸法より前記モジュール寸法が大きい場合、
前記補強板を標準のモジュール寸法又は最も多いモジュール寸法より大きい寸法のものからカットして、前記枠の寸法に合わせ、
前記ユニットケースを固定寸法として、前記フィルタサイズを変更して、前記モジュール寸法が多種の枠間寸法に対応が可能とする
ことを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項２】
請求項１記載のファンフィルタユニットにおいて、
前記ユニットケース及び前記送風機の自重により、前記ユニットケースの外周に水平方向に加工したフランジ面にパッキンを設け、該パッキンを押しつぶし、気密性を保つ
ことを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項３】
請求項１記載のファンフィルタユニットにおいて、
前記補強板に前記ユニットケースの位置決めと前記補強板自体の強度を保つビード加工部又はバーリング加工部を設けた
ことを特徴とするファンフィルタユニット。
【請求項４】
請求項１記載のファンフィルタユニットにおいて、
前記送風機がファンフィルタユニット上部より空気を取り込み、前記送風機はターボファンを使用し、空気の取り込み方向とは空気が直角方向に吹き出され、前記ユニットケースの膨らみ（湾曲）部に当たり、下方に送られ、前記フィルタに達し、前記フィルタを通過した空気が、清浄空気としてクリーンルーム内に吹き出される
ことを特徴とするファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリ−ンル−ム内に清浄空気を供給するファンフィルタユニット（Fan  Filter  Unit）（以下、ＦＦＵという）に係わり、特にクリーンルーム天井に設けられたＦＦＵを設置するためのアルミフレーム間の寸法（以下、モジュール寸法という）が多種に及ぶ場合に好適なものに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般にこの種のＦＦＵは、クリーンルーム天井のアルミフレーム間に設置される。
【０００３】
モジュール寸法が異なる場合、それに応じ、ＦＦＵの本体ケース寸法とフィルタ寸法の双方を変更する必要がある。
【０００４】
モジュール寸法は、クリーンルームの構造上、１つの建屋で１００種類以上に及ぶ場合もある。この場合、本体ケース及びフィルタは１００種類以上必要となる。また、モジュール寸法の範囲は、短手方向で４５０〜７５０ｍｍ、長手方向で６５０〜１５００ｍｍと幅広く存在する。
【０００５】
特許文献１（特開平10-277339号公報）には、クリーンルームの天井部にＦＦＵを設置した場合を示している。このＦＦＵの設置においては、同じ寸法のＦＦＵを並設している。
【０００６】
また、ＦＦＵの構造は、送風ファン、その送風ファンを回転するモータ、ガス吸着フィルタ及び除塵フィルタを直方体のケースに収納した構造をしている。
【０００７】
【特許文献１】特開平10-277339号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
クリーンルーム内の天井部にＦＦＵを設置する場合は、一般にモジュール寸法が同じＦＦＵをマトリクスに並べて配置する。
しかし、クリーンルーム内に搬送装置や製造装置が設置されていると、モジュール寸法を変更して設置する必要がある。そして、そのユニットが多種に及ぶ場合がある。その場合、多種のファンフィルタユニットを設計し、製造する必要があった。従って、生産性が非常に悪く、また、ＦＦＵの構造が長方体であるためファン効率を向上させる必要があった。
【０００９】
本発明は、上記の点を鑑みなされたもので、その目的は、クリーンルームの天井に設置するＦＦＵのモジュール寸法が異なる場合でも生産効率、及びファン効率を向上させたＦＦＵを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を達成するため、クリーンルームの天井側に配置し、清浄エアーを室内に向けてダウンフローさせ、モータ及び送風機を内蔵したユニットケースの下側に除塵用の高性能フィルタを備えたクリーンルームのファンフィルタユニットにおいて、前記送風機を組み込んだユニットケースと該ユニットケースを据付ける鋼板製の補強板及びろ材とフィルタ枠で構成することを特徴とする。
【００１１】
また、上記ファンフィルタユニットにおいて、送風機を本体ケースに組込み、本体ケース及び送風機の自重により、本体ケースの外周に水平方向に加工したフランジ面にパッキンを設け、該パッキンを押しつぶし、気密性を保つことを特徴とする。
【００１２】
さらに、上記ファンフィルタユニットにおいて、空気の吸込み側に本体ユニットを載せるための鋼鈑製の補強板を設け、かつ該補強板に本体ケースの位置決めと補強板自体の強度を保つためのビード加工部又はバーリング加工部を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明により、下記効果を得ることができる。
【００１４】
ＦＦＵのモジュール寸法が変わっても、本体ケースの寸法は変わらず、あらゆるモジュール寸法に対応できる構造となる。本体ケースは共有できる構造の為、鋼板製材料に絞り加工を施し湾曲させた構造、又は樹脂材料の成型により、低コストでの製作が可能となる。
【００１５】
また、本体ケースを湾曲させることにより、従来の角形状の本体ケースに比べ、機内損失を抑えることができ、ファン効率が改善され、消費電力の低減を期待できる。
【００１６】
補強板上のビードにより、本体ケースの配置決めが容易となり、かつ補強板自体に適切な強度を保つことができる。
【００１７】
また、補強板とフィルタのろ材の間にある一定距離を確保することにより、フィルタから吹き出す清浄空気を均一にすることができる。
【００１８】
以上の構造により、ファンユニットの部品を共通化でき、設置が容易となり、互換性ができたことにより、サービスパーツを共有化でき、メンテナンス性が向上する。
【００１９】
モジュール寸法の差異による再設計は、フィルタのみで対応できるようになり、製品供給リードタイムを短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図を用いて説明する。
【実施例１】
【００２１】
図１（ａ）はＦＦＵの上面図を示し、（ｂ）は断面図を示す。
【００２２】
図１において、１は送風機２と送風機２を回転するモータ１２を固定するＦＦＵの本体ケース又はユニットケースである。モータ１２は制御し易いＤＣＢＬモータを用い、インバータを使用し回転制御を行う。送風機２はターボファンを用いファン効率を向上している。本体ケース１の周辺にはフランジ面４を水平方向に設けている。また、本体ケース１は、断面が略台形形状をし、送風機の周辺部である略台形形状の傾斜部には膨らみ（湾曲）を有した形状とする。この膨らみ（湾曲）の形状は、鋼板製材料を絞り加工を施す構造や樹脂材料の成形により湾曲させる構造で実現できる。
【００２３】
８は本体ケース１を載置する補強板で、９はアルミ枠である。補強板８には本体ケース１を載置する箇所に孔を設け、そしてその孔の周辺に位置決めするビート加工部１０を設ける。アルミ枠９は天井部に縦横に設置し、ＦＦＵを並べて配置して固定する。７はＵＬＰＡフィルタやＨＥＰＡフィルタなどのろ材で、６はフィルタで、鋼鈑製の補強板８、アルミ枠９、及びろ材７により構成された全体を指している。
【００２４】
本体ケース１の上部には、空気取り込み口を設け、異物流入防止金網１３を設置する。これは、取り付け中などにごみや人の指が入らないように防止するためである。また、異物流入防止金網１３には補強棒１４を用いて強度を持たせる。
【００２５】
また、本体ケース１の外周に水平方向に加工したフランジ面４の下側には、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンゴム）等の材質のパッキン５を設け、本体ケース１を補強板８に載置する際、パッキン５を押しつぶし、自重で気密性を保つようにする。
【００２６】
空気の流れは、モータ１２を駆動し送風機２が回転してＦＦＵ上部より空気３を取り込む。そして、送風機２はターボファン等を使用しているため、空気は直角方向に吹き出され、本体ケースの膨らみ（湾曲）部に当たり、下方に送られ、ろ材７に達する。ろ材７を通過した空気は、清浄空気としてクリーンルーム内に吹き出される。
【００２７】
ＦＦＵをクリーンルームの天井に数百台、または数千台設置する場合、クリーンルーム内に設置された搬送装置や製造装置との関係やクリーンルーム内に柱等がある場合、アルミ枠の寸法すなわちモジュール寸法を異ならせる場合が多々ある。そしてその寸法も同じでない。ＦＦＵの標準モジュールの寸法は、６００ｍｍ×１２００ｍｍ、及び７５０ｍｍ×１５００ｍｍとしている。しかし上記のように、クリーンルーム内に設置した装置及び柱などの影響でモジュール寸法を変更せざるを得ない場合あり、例えば標準寸法の短手方向の６００ｍｍは４５０ｍｍ〜７５０ｍｍの範囲で変更し、長手方向の１２００ｍｍは、６５０〜１５００ｍｍの範囲で変更することになる。このような状況において、本発明は、まず送風機とモータを固定した本体ケースを共有化し、モジュール寸法を可変として対応したものである。
【００２８】
すなわち、図２にモジュール寸法の異なる場合を示す。図２（ｂ）は標準モジュール寸法又は最も多いモジュール寸法の場合を示し、（ｃ）は（ｂ）よりモジュール寸法が小さい場合を示し、（ｄ）は（ｂ）よりモジュール寸法が大きい場合を示している。
図２（ｃ）について、先ず説明する。図２（ｃ）はモジュール寸法が小さい場合、アルミ枠に合わせて補強板８の長さを、すなわち本体ケース１を載置する箇所以外の部分をカットする。それと同時にろ材７もカットする。そしてビート加工部１０は、図２（ｂ）と同じ構造で本体ケース１を載置し、設置する。
【００２９】
次に、図２（ｂ）の標準モジュール寸法又は最も多いモジュール寸法より大きい場合を図２（ｄ）に示す。図２（ｄ）の場合はアルミ枠を９の寸法に合わせ、補強板を（ｂ）より大きい寸法のものよりカットする。また同様にろ材７をカットしてＦＦＵを構成する。
【００３０】
図２（ｄ）の場合も補強板の中央にはビート加工部１０を設け、本体ケース１を載置し、設置する。
【００３１】
このようにしてクリーンルーム天井部のアルミ枠９にモジュール寸法の異なるＦＦＵを、それぞれ決められた箇所に載置し設置してクリーンルームを構成する。
【００３２】
図２では、長手方向のモジュール寸法について記載したが、短手方向についてもモジュール寸法が異なり、長手方向と同様の処理を施す。
【００３３】
図３はＦＦＵの補強板８にバーリング加工１１を設けた別の実施例を示す。
【００３４】
図３において、モータ１２、送風機２を取り付けた本体ケースは図１の構造と同じである。
【００３５】
本体ケース１を載置する補強板８のバーリング加工部１１は、上側に切り起こし部を設け、この切り起こし部に本体ケース１をはめ込む構成としている。すなわち、本体ケース１の内側の径と補強板８のバーリングの切り起こしの外径とを略同じか、または本体ケース１の内径を僅か大きくして嵌め込む。このような構成にすることにより位置決めを正確に行うことができる。また、このようにバーリング加工部８を設けることにより強度を増す効果を有する。
【００３６】
本発明は、ＦＦＵのモジュール寸法が異なった場合、本体ケースを共有化したので、設計及び製造に関し、時間短縮化ができ、低コスト化が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】図１は本発明の実施例におけるファンフィルタユニットを示す断面図である。
【図２】図２は本発明の実施例におけるフィルタユニットを示す断面図である。
【図３】図１は本発明の他の実施例におけるファンフィルタユニットを示す断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１…本体ケース
２…送風機
３…外部空気
４…フランジ面
５…パッキン
６…フィルタ
７…ろ材
８…補強板
９…アルミ枠
１０…ビード加工部
１１…バーリング加工部
１２・・・モータ
１３・・・異物流入防止金網
１４・・・補強棒
【図１】
0004982333.tif 000002
【図２】
0004982333.tif 000003
【図３】
0004982333.tif 000004