(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートが被着面に貼付された被着体を支持する支持手段と、
前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、
前記接着シートに貼付された剥離用シートの一端側を保持する保持手段と、
前記被着面内の所定位置を中心軸として回動可能な移動手段と、
前記保持手段と移動手段との間に設けられた引張手段とを備えたシート剥離装置であって、
前記引張手段が前記保持手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張り力を加えた状態のまま、前記移動手段が前記保持手段に保持された前記剥離用シートの一端側を、前記中心軸を中心とした回動方向に回動させることで、前記接着シートの剥離開始時における剥離きっかけ部を形成することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
接着シートが被着面に貼付された被着体を支持する支持手段と、
前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、
前記接着シートに貼付された剥離用シートの一端側を保持する保持手段と、
前記支持手段と保持手段との相対移動によって前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、
前記保持手段に接続された引張手段と、前記保持手段と支持手段とを前記被着面に直交する方向に相対変位させる変位手段とを更に含み、
前記引張手段が前記保持手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張り力を加えた状態のまま、前記変位手段を介して前記保持手段と支持手段とを相対変位させることで、前記接着シートの剥離開始時における剥離きっかけ部を形成することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項３】
接着シートが被着面に貼付された被着体を支持する支持手段と、
前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、
前記剥離用シートを巻き取る巻取手段と、
前記被着面内の所定位置を中心軸として回動可能な移動手段と、
前記巻取手段と移動手段との間に設けられた引張手段とを備えたシート剥離装置であって、
前記引張手段が前記巻取手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張り力を加えた状態のまま、前記移動手段が前記巻取手段に保持された前記剥離用シートの巻取側を、前記中心軸を中心とした回動方向に回動させることで、前記接着シートの剥離開始時における剥離きっかけ部を形成することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項４】
接着シートが被着面に貼付された被着体を支持する支持手段と、
前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、
前記剥離用シートを巻き取る巻取手段と、
前記支持手段と巻取手段との相対移動によって前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、
前記巻取手段に接続された引張手段と、前記巻取手段と支持手段とを前記被着面に直交する方向に相対変位させる変位手段とを更に含み、
前記引張手段が前記巻取手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張り力を加えた状態のまま、前記変位手段を介して前記巻取手段と支持手段とを相対変位させることで、前記接着シートの剥離開始時における剥離きっかけ部を形成することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項５】
前記被着体上に位置する剥離補助手段を更に含み、当該剥離補助手段に前記剥離用シート及び又は接着シートが巻き掛けられた状態で剥離を行うことを特徴とする請求項１、２３又は４記載のシート剥離装置。
【請求項６】
接着シートが被着面に貼付された被着体を支持手段に支持させた状態で、前記接着シートに剥離用シートを貼付するとともに、当該剥離用シートの一端側を保持し、前記被保持部の保持位置と支持手段との相対移動によって前記被着体から接着シートを剥離するシート剥離方法において、
前記剥離用シートの一端側を前記被着面に沿う外側に引っ張り力を加えた状態のまま、前記剥離用シートの一端側と支持手段とを相対移動させることで、前記接着シートの剥離開始時に剥離きっかけ部が形成されることを特徴とするシート剥離方法。
【請求項７】
接着シートが被着面に貼付された被着体を支持手段に支持させた状態で、前記接着シートに剥離用シートを貼付するとともに、当該剥離用シートの一端側を巻き取ることによって当該被着体から接着シートを剥離するシート剥離方法において、
前記剥離用シートの巻取側を被着面の面に沿う外側に引っ張り力を加えた状態のまま、前記剥離シートの巻取側と支持手段とを相対移動させることで、前記接着シートの剥離開始時に剥離きっかけ部が形成されることを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、被着体に貼付された接着シートを被着体から剥離する場合において、特に、初期の剥離を確実に行うことのできるシート剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）等の板状部材は、その回路面側に、ダイシングシート等の接着シートが貼付されている。この接着シートは、最終的に、シート剥離装置を介してウエハから剥離されるものとなっている。
【０００３】
このようなシート剥離装置による剥離方法は、図７に示されるように、ウエハＷに貼付された接着シートＳに帯状の剥離用シートＰＳを貼付し、この剥離用シートＰＳを剥離角度θで折り返し、この状態で引張力を付与して接着シートＳをウエハＷから剥離する手法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１２４４９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されたシート剥離装置にあっては、剥離開始時に、剥離用シートＰＳの接着力が、接着シートＳのウエハＷへの接着力に加え接着シートＳ自体の剛性によって負けてしまい、剥離用シートＰＳが接着シートＳから剥がれてしまい剥離が行えない、という不都合がある。これは、剥離角度θが大きいと、剥離開始時において、接着シートＳが一挙に広角に折り曲げられることに起因している。なお、このような不都合は、接着シートＳが厚い場合や、剛性が高い場合に顕在化する。
【０００６】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、被着体に貼付された接着シートを剥離する初期の段階において、小さな剥離角度で剥離力を付与して確実且つスムースな剥離を実現することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、接着シートが被着面に貼付された被着体を支持する支持手段と、
前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、
前記接着シートに貼付された剥離用シートの一端側を保持する保持手段と、
前記被着面内の所定位置を中心軸として回動可能な移動手段と、
前記保持手段と移動手段との間に設けられた引張手段とを備えたシート剥離装置であって、
前記引張手段が前記保持手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張り力を加えた状態のまま、前記移動手段が前記保持手段に保持された前記剥離用シートの一端側を、前記中心軸を中心とした回動方向に回動させることで、前記接着シートの剥離開始時における剥離きっかけ部を形成する、という構成を採っている。
【０００８】
また、本発明は、接着シートが被着面に貼付された被着体を支持する支持手段と、
前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、
前記接着シートに貼付された剥離用シートの一端側を保持する保持手段と、
前記支持手段と保持手段との相対移動によって前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、
前記保持手段に接続された引張手段と、前記保持手段と支持手段とを前記被着面に直交する方向に相対変位させる変位手段とを更に含み、
前記引張手段が前記保持手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張り力を加えた状態のまま、前記変位手段を介して前記保持手段と支持手段とを相対変位させることで、前記接着シートの剥離開始時における剥離きっかけ部を形成する、という構成を採ることもできる。
【０００９】
更に、本発明は、接着シートが被着面に貼付された被着体を支持する支持手段と、
前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、
前記剥離用シートを巻き取る巻取手段と、
前記被着面内の所定位置を中心軸として回動可能な移動手段と、
前記巻取手段と移動手段との間に設けられた引張手段とを備えたシート剥離装置であって、
前記引張手段が前記巻取手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張り力を加えた状態のまま、前記移動手段が前記巻取手段に保持された前記剥離用シートの巻取側を、前記中心軸を中心とした回動方向に回動させることで、前記接着シートの剥離開始時における剥離きっかけ部を形成する、という構成を採用してもよい。
【００１０】
また、本発明は、接着シートが被着面に貼付された被着体を支持する支持手段と、
前記接着シートに剥離用シートを貼付する貼付手段と、
前記剥離用シートを巻き取る巻取手段と、
前記支持手段と巻取手段との相対移動によって前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置であって、
前記巻取手段に接続された引張手段と、前記巻取手段と支持手段とを前記被着面に直交する方向に相対変位させる変位手段とを更に含み、
前記引張手段が前記巻取手段を介して剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張り力を加えた状態のまま、前記変位手段を介して前記巻取手段と支持手段とを相対変位させることで、前記接着シートの剥離開始時における剥離きっかけ部を形成する、という構成とすることができる。
【００１１】
前記シート剥離装置において、前記被着体上に位置する剥離補助手段を更に含み、当該剥離補助手段に前記剥離用シート及び又は接着シートが巻き掛けられた状態で剥離を行うように設けるとよい。
【００１２】
また、本発明は、接着シートが被着面に貼付された被着体を支持手段に支持させた状態で、前記接着シートに剥離用シートを貼付するとともに、当該剥離用シートの一端側を保持し、前記被保持部の保持位置と支持手段との相対移動によって前記被着体から接着シートを剥離するシート剥離方法において、
前記剥離用シートの一端側を前記被着面に沿う外側に引っ張り力を加えた状態のまま、前記剥離用シートの一端側と支持手段とを相対移動させることで、前記接着シートの剥離開始時に剥離きっかけ部が形成される、という手法を採っている。
【００１３】
更に、本発明は、接着シートが被着面に貼付された被着体を支持手段に支持させた状態で、前記接着シートに剥離用シートを貼付するとともに、当該剥離用シートの一端側を巻き取ることによって当該被着体から接着シートを剥離するシート剥離方法において、
前記剥離用シートの巻取側を被着面の面に沿う外側に引っ張り力を加えた状態のまま、前記剥離シートの巻取側と支持手段とを相対移動させることで、前記接着シートの剥離開始時に剥離きっかけ部が形成される、という手法を採ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、接着シートの剥離開始時に、前記剥離用シートを被着面に沿う外側に引っ張った状態で、保持手段を回動させたり、保持手段若しくは巻取手段と支持手段とを相対変位させることで接着シートを被着体から剥がす剥離力が付与されることとなる。従って、接着シートの剥離初期段階において、限りなく０度に近い角度で剥離が開始されるようになる。そのため、接着シートに剛性があったとしても、当該接着シートを一挙に広角に折り曲げることがなくなるため、剥離用シートが接着シートから剥がれて剥離不良を発生するといった不都合を効果的に解消することができる。
また、前記被着体上に位置する剥離補助手段を含む構成とした場合には、被着体の浮きを防止するとともに、剥離きっかけ部が形成された後は、剥離角度を一定に保って接着シートの剥離を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１には、本実施形態に係るシート剥離装置の概略斜視図が示されている。この図において、シート剥離装置１０は、上面側を被着面として接着シートＳが貼付された略円形のウエハＷ（被着体）を支持する支持手段１１と、前記接着シートＳに帯状の剥離用シートＰＳを貼付する貼付手段１２と、前記接着シートＳに貼付された剥離用シートＰＳを保持する保持手段１３と、図３（Ａ）中紙面直交方向に沿う中心軸Ｐを所定位置として回動可能な移動手段１４と、前記保持手段１３と移動手段１４との間に設けられるとともに、前記中心軸Ｐの鉛直面内（中心軸Ｐに直交する面内）で当該中心軸Ｐから外側に剥離用シートＰＳを引っ張る引張手段１６と、前記ウエハＷ上に位置可能に設けられた剥離補助手段１５を備えて構成されている。
【００１７】
前記支持手段１１は、上面側が吸着面とされて前記ウエハＷを支持するテーブルＴによって構成される。
【００１８】
前記貼付手段１２は、図示しない駆動手段によって昇降可能なフレーム２３と、当該フレーム２３に設けられるとともに感熱接着性の接着シートである剥離用シートＰＳの供給ユニット１７と、剥離用シートＰＳを接着シートＳに溶着して当該剥離用シートＰＳを所定長さに切断する切断ユニット１８とを含む。供給ユニット１７は、フレーム２３の下部に位置するシート供給部１９の上方に、ロール状に巻回された剥離用シートＰＳの支持ローラ２０を備えているとともに、シート供給部１９の図１中右側には、Ｘ軸方向に移動可能なシート案内板２１を備えて構成されている。シート案内板２１は、上面に凹部２１Ａを有するとともに、シート供給部１９との間に位置する軸（図示せず）の外周側に設けられたコイルばね２５によって常に右側に付勢されるようになっている。
【００１９】
前記切断ユニット１８は、下端部が先尖形状に設けられた図示しない加熱手段を有するヒートブロック２７と、当該ヒートブロック２７を上下方向に移動させるシリンダ２８と、ヒートブロック２７に固定されたシリンダ２６のスライダ２６Ａに固定されたカッター刃２９とからなる。このカッター刃２９は、ヒートブロック２７と共に上下に移動可能となっており、シリンダ２６の駆動によってカッター刃２９が前記凹部２１Ａに沿って移動することで剥離用シートＰＳを幅方向に切断できるようになっている。
なお、前記貼付手段１２は、本出願人によって出願された特願２００７−１７００１１号に開示されたものと実質的に同一となっている。
【００２０】
前記保持手段１３は、チャックシリンダ３２からなり、上チャック３０Ａ及びこれに相対する下チャック３０Ｂとで保持部３０を形成する。この保持部３０は、上下チャック３０Ａ、３０Ｂ間に前記剥離用シートＰＳの一端側である被保持部ＰＳ１を挟み込んで保持するようになっている（図３（Ａ）参照）。
【００２１】
前記移動手段１４はロボット３５により構成されている。このロボット３５、図２に示されるように、ベース部３６と、当該ベース３６部の上面側に配置されて矢印Ａ〜Ｆ方向に回転可能に設けられた第１アーム３６Ａ〜第６アーム３６Ｆとを含み、当該第６アーム３６Ｆの先端側に前記チャックシリンダ３２が配置される。第２、第３及び第５アーム３６Ｂ、３６Ｃ、３６Ｅは、図２中Ｙ×Ｚ面内で矢印Ｂ、Ｃ、Ｅ方向に回転可能に設けられているとともに、第１、第４及び第６アーム３６Ａ、３６Ｄ、３６Ｆは、その軸周り、つまり矢印Ａ、Ｄ、Ｆ方向に回転可能に設けられている。本実施形態におけるロボット３５は、ＮＣ（Numerical Control）により制御され、先端がＸ、Ｙ、Ｚ軸の直交三軸方向に移動可能とされるものである。すなわち、ウエハＷに対する各関節の移動量がそれぞれに対応する数値情報で制御され、全てその移動量がプログラムにより制御されるようになっている。なお、前記チャックシリンダ３２は、第６アーム３６Ｆの先端に取り付けられた直動モータＭからなる引張手段１６の出力軸３７に支持されている。
【００２２】
前記剥離補助手段１５は、プレスローラ４０により構成されている。このプレスローラ４０は、単軸ロボット４１を介してＸ軸方向に移動可能に設けられているとともに、そのスライダ４２の前面に設けられたＺ軸シリンダ４３を介してＺ軸方向に移動可能に設けられている。
【００２３】
次に、本実施形態におけるシート剥離装置１０によるシート剥離方法について、図３をも参照しながら説明する。なお、剥離用シートＰＳを接着シートＳに貼付する方法は、前記保持部３０が剥離用シートＰＳを保持する構成を除き、前記特願２００７−１７００１１号に開示されたものと実質的に同一であり、従って、以下では、図３（Ａ）に示されるように、所定長さに切断された剥離用シートＰＳの一端側が被保持部ＰＳ１として上下チャック３０Ａ、３０Ｂよって保持されているものとし、その後の剥離工程について説明する。
【００２４】
先ず、図３（Ａ）に示されるように、剥離用シートＰＳ及び接着シートＳ上にプレスローラが位置するようにセットされる。この状態で、直動モータＭが作動して保持部３０を被着面すなわちウエハＷの面に沿う外側に引張力Ｆｒで剥離用シートＰＳを引っ張る。
【００２５】
次いで、前記引張力Ｆｒを加えた状態のまま図３（Ｂ）に示されるように、所定位置、すなわち、プレスローラ４０の下点を中心軸Ｐとしてロボット３５の第６アーム３６Ｆが矢印Ｒの方向に回動する。この動作によってウエハＷと接着シートＳとの端部に剥離きっかけ部Ｃが形成されることとなる。剥離きっかけ部Ｃの剥離角度θ１は限りなく０度に近い剥離角度で剥離が開始されることとなる。
【００２６】
そして、図３（Ｃ）に示されるように、ロボット３５の回動が進むと剥離角度はθ２へと徐々に広角となり、最終的に図３（Ｃ）中二点鎖線で示されるように、剥離用シートＰＳと接着シートＳとがプレスローラ４０に巻き掛けられた状態となる。ここで、図３（Ａ）〜（Ｃ）において、剥離角度θが大きくなるに連れてプレスローラ４０によって当該プレスローラ４０から被保持部ＰＳ１までの距離が縮小するが、図５に概略的に示されるように、引張力Ｆｒを所定値に保つように直動モータＭの出力軸３７が伸びることによってそれを吸収するようになっている。
【００２７】
その後、図３（Ｄ）に示されるように、ロボット３５が保持部３０を同図中左側に向かって移動させるときに、プレスローラ４０も同期回転して左側に移動し、テーブルＴは同期して右側に移動する。これにより、接着シートＳがウエハＷから完全に剥離されることとなる。
【００２８】
このようにして剥離用シートＰＳを介して剥離された接着シートＳは、ロボット３５の移動操作を介して図示しない廃棄ボックス内に廃棄され、ロボット３５は、次の剥離に備えて初期の待機位置に復帰動作することとなる。
【００２９】
従って、このような実施形態によれば、剥離きっかけ部Ｃが形成される際の剥離角度θが限りなく０度に近い狭角で剥離が行われ、剥離角度θを次第に増大する構成としたから、接着シートＳが厚い場合や、剛性が高い場合であっても、当該接着シートＳが一挙に広角に折り曲げられることがなくなり、剥離用シートＰＳが接着シートＳから剥がれてしまうような従来の不都合を解消することができる。
また、プレスローラ４０に接着シートＳが巻き掛けられるようにして当該接着シートＳを剥離する構成であるため、剥離きっかけ部Ｃが形成された後は、このプレスローラ４０によってウエハＷをテーブル１６に押し付けながら、当該ウエハＷの浮き上がりを防止しつつ確実に接着シートＳを剥離することができる。
なお、このような実施形態によれば、剥離用シートＰＳに感圧接着性の接着シートを使用することもできる。この場合、ヒートブロック２７に加熱手段は必要なく、剥離用シートＰＳを接着シートＳに押圧できるものであれば足りる。
【００３０】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３１】
例えば、図４（Ａ）に示されるように、保持手段１３に代えて、巻取手段５０としての巻取ローラ５２を採用して当該巻取ローラ５２に引張手段１６を接続することもできる。この場合、感圧接着性の接着シートである剥離用シートＰＳを繰出可能に支持する供給ローラ５１を設け、前記巻取ローラ５２を引張手段１６を構成する直動モータＭの出力軸３７にブラケット５３を介して図示しないモータによって回転駆動可能に支持させるとともに、これら供給ローラ５１と巻取ローラ５２との間に延びる剥離用シートＰＳを貼付手段１２としてのプレスローラ４０で押圧して接着シートＳに貼付できるように構成されている（図４（Ｂ）参照）。
【００３２】
この構成においては、図４（Ｃ）に示されるように、プレスローラ４０によって剥離用シートＰＳを接着シートＳの径方向所定長さに亘って貼付する。その後、前記供給ローラ５１と巻取ローラ５２との回転を規制した状態で、直動モータＭが作動して巻取ローラ５２をウエハＷの面に沿う外側に引張力Ｆｒで剥離用シートＰＳを引っ張る。そして、プレスローラ４０の下点を中心軸Ｐとして、ロボット３５の第６アーム３６Ｆが矢印Ｒの方向に回動する。この動作によってウエハＷと接着シートＳとの端部に剥離きっかけ部Ｃが形成されるとともに、プレスローラ４０に剥離用シートＳが巻き掛けられた状態となる。そして、テーブルＴを右側に相対移動させる動作に同期して、供給ローラ５１と巻取ローラ５２とが回転することで剥離シートＰＳをウエハＷから剥離することができる。この場合、プレスローラ４０は剥離補助手段１５としても機能することとなる。そして、剥離が完了したときに、プレスローラ４０及び巻取ローラ５２を初期位置に復帰させながら剥離用シートＰＳの繰り出しと巻き取りとを行うことによって、次の剥離に備えて待機することができる。
【００３３】
このような変形例によれば、貼付手段１２の構成を簡易なものとすることができるうえ、剥離補助手段１５を兼用することができるので更なる簡素化が可能となる。なお、剥離用シートＰＳに感熱接着性の接着シートを使用することもできる。この場合、加熱手段を別途設けるか、プレスローラ４０に加熱手段を設け、剥離用シートＰＳを接着シートＳに溶着するようにすればよい。
【００３４】
また、前記実施形態では引張手段１６がロボット３５の先端である第６アーム３６Ｆに設けられた場合を図示、説明したが、ロボット３５自体の制御において、引張力Ｆｒをチャックシリンダ３２に付与するように構成してもよい。これによれば、ロボット３５が引張手段１６としての機能をも達成することとなる。また、移動手段１４は、ロボット３５以外に前記回転中心軸Ｐの鉛直面内における円周軌跡に沿って移動可能となる移動体を設け、当該移動体に引張手段１６を介してチャックシリンダ３２を保持させてチャックシリンダ３２を矢印Ｆｒ方向に引っ張るようにしてもよい。このような構成とした場合には、前述したロボット３５を用いることなく構造の簡略化を図ることができる。要するに、本発明における移動手段１４は、所定軌道に沿って引張手段１６を移動させることができる他の移動手段を採用することができる。
【００３５】
更に、図６に示されるように、支持手段１１を構成するテーブルＴを下部テーブルＴ１及び上部テーブルＴ２とし、上部テーブルＴ２を変位手段としての直動モータＭ１を介して昇降可能に設け、ウエハＷの面に直交する方向にテーブルＴと保持手段１３とを相対変位させることで、剥離きっかけ部Ｃ（図６（Ｂ）参照）を形成するようにしてもよい。この構成においては、剥離きっかけ部Ｃを形成した後に、上部テーブルＴ２を更に下降させるか、保持手段１３を上昇させるかし、その後、テーブルＴを保持手段１３に対して図６（Ｃ）中右側に相対移動させることで接着シートＳ２を剥離することができる。
【００３６】
また、図４の例では、巻取ローラ５２が移動手段１４を介して中心軸Ｃの鉛直面内で回動する構成を示したが、テーブルＴを図示しない変位手段を介して昇降可能に設け、ウエハＷの面に直交する方向にテーブルＴと巻取手段５０とを相対変位させることで、巻取ローラ５２を回動させなくても剥離きっかけ部Ｃを形成することができる。
【００３７】
更に、被着体は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００３８】
また、保持手段はチャックシリンダ３２に限定されることなく、剥離用シートを保持できるものにおいて何ら限定されるものではない。
【００３９】
更に、剥離補助手段１５は、プレスローラ４０以外に、ブレード材やエア噴出によるものであってもよい。
【００４０】
また、引張手段１６による引張力Ｆｒは、接着シートＳの厚みや剛性、更に、剥離用シートＰＳの引張強さ等の条件によって任意に設定することが可能であって、引張力Ｆｒの付与は接着シートＳの剥離開始初期のみ、つまり剥離角度θが所定角度となった時点（例えば４５度）で付与しないようにしたり、強弱を付けるといった制御とすることもできる。
【００４１】
更に、引張手段１６や変位手段は、直動モータＭ、Ｍ１に限定されることなく、エアシリンダや油圧シリンダ、等の他の構成を採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本実施形態を示すシート剥離装置の概略斜視図。
【図２】前記シート剥離装置における移動手段を構成するロボットの側面図。
【図３】（Ａ）〜（Ｄ）は、前記シート剥離装置を用いて接着シートをウエハから剥離する際の動作説明図。
【図４】（Ａ）は前記実施形態の変形例を示す要部概略正面図、（Ｂ）は剥離用シートを接着シートに貼付する初期段階を示す要部概略正面図、（Ｃ）は接着シートをウエハから剥離する状態を示す要部概略正面図。
【図５】本発明の動作を説明する動作説明図。
【図６】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の更に他の変形例に係る動作説明図。
【図７】従来例を示す概略正面図。
【符号の説明】
【００４３】
１０  シート剥離装置
１１  支持手段
１２  貼付手段
１３  保持手段
１４  移動手段
１５  剥離補助手段
１６  引張手段
Ｃ  剥離きっかけ部
Ｆｒ  引張力
Ｍ１  直動モータ（変位手段）
Ｐ  回転軸（所定位置）
ＰＳ  剥離用シート
ＰＳ１  被保持部
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
0004963655.tif 000002
【図２】
0004963655.tif 000003
【図３】
0004963655.tif 000004
【図４】
0004963655.tif 000005
【図５】
0004963655.tif 000006
【図６】
0004963655.tif 000007
【図７】
0004963655.tif 000008