(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ室と、
前記ポンプ室から液体を吐出するための吐出口を有する壁部と、
前記吐出口を閉塞または開放可能に配置される弁体と、
少なくとも前記壁部よりも軟らかい材質によって輪状に形成され、前記弁体と前記壁部との間に挟まれた弾性体とを備え、
前記弾性体は、前記弁体が前記吐出口を閉塞する場合には、前記弁体の周辺部と前記壁部とに密着するように形成され、
前記弾性体は前記壁部に対向する側に凸部を有し、前記壁部は、前記弾性体の前記凸部と嵌合するための凹部を有する、マイクロポンプ。
【請求項２】
ポンプ室と、
前記ポンプ室から液体を吐出するための吐出口を有する壁部と、
前記吐出口を閉塞または開放可能に配置される弁体と、
少なくとも前記壁部よりも軟らかい材質によって輪状に形成され、前記弁体と前記壁部との間に挟まれた弾性体とを備え、
前記弾性体は、前記弁体が前記吐出口を閉塞する場合には、前記弁体の周辺部と前記壁部とに密着するように形成され、
前記弾性体は、輪の中心側で薄く、周辺部に向かって次第に厚くなるように形成されている傾斜部を有する、マイクロポンプ。
【請求項３】
ポンプ室と、
前記ポンプ室から液体を吐出するための吐出口を有する壁部と、
前記吐出口を閉塞または開放可能に配置される弁体と、
少なくとも前記壁部よりも軟らかい材質によって輪状に形成され、前記弁体と前記壁部との間に挟まれた弾性体とを備え、
前記弾性体は、前記弁体が前記吐出口を閉塞する場合には、前記弁体の周辺部と前記壁部とに密着するように形成され、
前記壁部は前記弁体に対向する側に凹面を有し、前記弾性体は、前記壁部に対向する側では前記壁部の前記凹面に沿った形状に形成されている、マイクロポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的にはマイクロポンプに関し、特定的には微小な流量を吐出するマイクロポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、微量の液体を吐出するマイクロポンプには、毎秒１〜２００μＬ程度の液送を行なうものがある。
【０００３】
一般に、冷却装置のような分野でマイクロポンプを使用する場合は、マイクロポンプは、ある程度の流量を確保するように設計される。マイクロポンプを駆動する振動板に用いられる圧電素子のサイズとしては、一般に、直径２０ｍｍ程度以上のものが多く用いられている。電源としては、多くの場合、商用交流電源が使用されている。このようなマイクロポンプの実際の商品の例では、マイクロポンプは、６０Ｈｚ駆動で、１分間あたり３６ｍＬ（ミリリットル）程度（交流電圧の一周期当たり１０μＬ（マイクロリットル）程度）の流量を持つことになる。このようなマイクロポンプは各分野で使用されているが、医療や芳香の分野等において微量な薬品を扱う場合には、管理すべき流量はさらに少なくなり、１μＬ単位の流量を制御することが要求される。そのため、さらにポンプのサイズや振動板を小型化し、超低流量で、かつ、安定した流量を実現することができるポンプが必要となっている。
【０００４】
このようなマイクロポンプとしては、例えば、特開２００１−１９３６５６号公報（特許文献１）には、樹脂フィルムで形成されたバルブシートの支持部を挟み込んでポンプに取り付け、このバルブシートが可撓部において撓んで弁体部が開閉することによって、ポンプ動作のロスを小さくすることができ、また、ポンプの高さを小さくすることができる圧電素子ポンプが記載されている。
【０００５】
また、特開平２−２４５４８２号公報（特許文献２）には、セラミックまたは有機系の傘型弁を、吐出口と注入口を有するＡ体と、加圧室と流路孔を有するＢ体とによって挟み込んで固定した、薄型の圧電マイクロポンプが記載されている。
【特許文献１】特開２００１−１９３６５６号公報
【特許文献２】特開平２−２４５４８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特開２００１−１９３６５６号公報（特許文献１）に記載の圧電素子ポンプや、特開平２−２４５４８２号公報（特許文献２）に記載の圧電マイクロポンプによって微小流量の液送を行なうためには、弁は、弱い力で開く必要がある。弱い力で弁を開くために弁と弁座との密閉度を低くすると、ポンプの停止時にタンクの背圧などによって、吐出口から液漏れを生じる。
【０００７】
また、弱い力で弁を開くために、弁にかかる圧力を小さくすると、液送時に気体が混入して、液送が停止してしまう。
【０００８】
液漏れを防ぐために、弁を弁座に強く押し付けることによって密閉度を高くすると、弁を開くために液送量や弁にかける圧力、圧電素子の大きさが大きくなり、微少流量の液送を行なうことができない。
【０００９】
また、弁と弁座は硬いので、弁座の傷や凹凸などによって弁が弁座に密着せず、液漏れが生じていた。
【００１０】
そこで、この発明の目的は、圧電素子を大型化することなく、気体が混入しても液送が可能であり、液漏れを防止することができるマイクロポンプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明に従ったマイクロポンプは、ポンプ室と、ポンプ室から液体を吐出するための吐出口を有する壁部と、吐出口を閉塞または開放可能に配置される弁体と、少なくとも壁部よりも軟らかい材質によって輪状に形成され、弁体と壁部との間に挟まれた弾性体とを備え、弾性体は、弁体が吐出口を閉塞する場合には、弁体の周辺部と壁部とに密着するように形成されている。
【００１２】
弁体と壁部との間に軟らかい材質によって形成されている弾性体が挟まれることによって、弁体や壁部に傷があっても、弁体を壁部に強く押し付けなくても吐出口を密閉することができる。
【００１３】
弁体を壁部に強く押し付けなくても吐出口を密閉することができるので、弁体が開きやすくなり、気体が混入しても泡を排出しやすく、正常な液送を継続することができる。
【００１４】
また、弁体を壁部に強く押し付けなくても吐出口を密閉することができるので、弱い力で弁体を開閉することができるようになり、圧電素子を大型化する必要がなくなる。
【００１５】
このようにすることにより、圧電素子を大型化することなく、気体が混入しても液送が可能であり、液漏れを防止することができるマイクロポンプを提供することができる。
【００１６】
この発明に従ったマイクロポンプにおいては、弾性体は壁部に対向する側に凸部を有し、壁部は、弾性体の凸部と嵌合するための凹部を有する。
【００１７】
このようにすることにより、マイクロポンプの組立て時や液送時に弾性体の位置がずれることを防ぐことができるので、マイクロポンプの組立てを簡単にし、また、安定した液送を実現することができる。
【００１８】
この発明の別の局面に従ったマイクロポンプにおいては、弾性体は、輪の中心側で薄く、周辺部に向かって次第に厚くなるように形成されている傾斜部を有する。
【００１９】
このようにすることにより、弾性体と弁体との接触面積を増大させることができるので、弁体の密閉度を高めて液漏れを防止することができ、また、弁体の動作を安定させることができる。
【００２０】
この発明のさらに別の局面に従ったマイクロポンプにおいては、壁部は弁体に対向する側に凹面を有し、弾性体は、壁部に対向する側では壁部の凹面に沿った形状に形成されている。
【００２１】
このようにすることにより、弁体と壁部との間に挟まれた弾性体に歪が生じにくくなり、液漏れを防止することができ、また、安定した液送が可能となる。
【発明の効果】
【００３２】
以上のように、この発明によれば、圧電素子を大型化することなく、気体が混入しても液送が可能であり、液漏れを防止することができるマイクロポンプを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３４】
（第１実施形態）
図１は、この発明の第１実施形態として、マイクロポンプの全体を示す断面図である。図２は、図１のマイクロポンプに組み込まれたバルブシートを上方向から見た図（Ａ）と、下方向から見た図（Ｂ）である。
【００３５】
図１と図２に示すように、マイクロポンプ１００は、液タンク１０１と、ポンプ室１１０と、外部からポンプ室１１０に液体を吸入するための吸入口３１０と、吸入口３１０を閉塞または開放可能に配置される吸入側逆止弁５００と、ポンプ室１１０の内部からポンプ室１１０の外部の吐出管２０２に液体を吐出するための吐出口３２０が形成されている壁部として吐出側弁座４００と、吐出口３２０を閉塞または開放可能に配置される弁体として吐出側逆止弁６００と、吐出側逆止弁６００と吐出側弁座４００との間に挟まれて配置される輪状の弾性体としてリング状ゴムシート７００と、ポンプ室１１０の容積を変化させるための振動板２１０とを備える。
【００３６】
吸入側逆止弁５００を介して液体が吸入され、吐出側逆止弁６００を介して液体が吐出されるまでの空間がポンプ室１１０であり、吸入側逆止弁５００と吐出側逆止弁６００は、それぞれ、バルブシート３００に形成された吸入側弁座３３０と吐出側弁座４００に取り付けられている。ポンプ室１１０の底面は振動板２１０によって形成されている。振動板２１０の端部は、バルブシート３００と振動板側ケース２１２との間に挿入されて固定されている。振動板２１０の下面には、圧電素子２１１が接着されている。圧電素子２１１の下部には、空間が設けられ、圧電素子２１１は上下に振動することができる。バルブシート３００の上部には、吸入吐出側ケース（ＩＯプレート）２００が取り付けられており、吸入吐出側ケース２００の内部に吐出管２０２が形成されている。バルブシート３００と吸入吐出側ケース２００との間には８の字Ｏリング１０３が配置されて密閉され、バルブシート３００と振動板側ケース（バックプレート）２１２との間にはＯリング１０４が配置されて密閉されている。吸入吐出側ケース２００とバルブシート３００、バルブシート３００と振動板側ケース２１２は、それぞれ、ねじ等で互いに密接するようにして固定されている。
【００３７】
吸入側逆止弁５００と吐出側逆止弁６００は、弁の軸を含む縦断面が、相対的に断面積が大きい頭部と相対的に断面積が小さい脚部を有し、開いた傘のような形状をしている。
【００３８】
吸入側逆止弁５００は、扁平な頭部５０１を下に向け、棒状の脚部５０２を上に向けて、脚部５０２がバルブシート３００に取り付けられていることによってポンプ室１１０に組み込まれている。脚部５０２は、先端がほぼ平らであり、バルブシート３００に形成された凹部３３２に受容されて保持されている。吸入側逆止弁５００の頭部５０１の頂部５０３は、頭部５０１から突出して形成された突起であり、振動板２１０に接している。吸入側逆止弁５００は、ゴム等の樹脂素材によって形成されている。
【００３９】
吐出側逆止弁６００は、扁平な頭部６０１を上に向け、棒状の脚部６０２を下に向けて、脚部６０２がバルブシート３００に取り付けられていることによって、ポンプ室１１０に組み込まれている。脚部６０２は、先端がほぼ平らであり、バルブシート３００に形成された吐出側弁座４００の凹部４０２に受容されて保持されている。吐出側逆止弁６００の頭部６０１の頂部６０３は、吐出管２０２の壁部を形成する吸入吐出側ケース２００の内壁に形成された突起２０１に接している。吐出側逆止弁６００は、ゴム等の樹脂素材によって形成されている。
【００４０】
この実施の形態では、例えば、吐出側逆止弁６００の直径は５．５ｍｍ、厚さは０．３〜０．５ｍｍとし、圧電素子２１１としては、直径が１７ｍｍ、厚さ０．４ｍｍの圧電素子２１１を用い、この圧電素子２１１を、直径２４ｍｍ、厚さ０．０９ｍｍの銅板等によって形成される振動板２１０に接着して、マイクロポンプ１００に組み込む。マイクロポンプ１００の長さは３０ｍｍ、幅は３０ｍｍ、高さは１０ｍｍとする。このようなマイクロポンプ１００の液送量は、１〜２００μＬ／秒程度の微小な液送量となる。
【００４１】
ポンプ室１１０の上部には、液タンク１０１が配置されており、液タンク１０１の内部には液体１０２が貯留されている。液タンク１０１の下部と吸入吐出側ケース２００の上部は開口部１０５によって連結されており、液体１０２は開口部１０５を通って吸入口３１０に入る。
【００４２】
圧電素子２１１に交流電圧を印加することによって、交流電圧の周波数に対応する周波数で圧電素子２１１が振動する。この圧電素子２１１の振動と連動して、圧電素子２１１に接着されている振動板２１０が振動し、ポンプ室１１０の容積を変化させる。振動板２１０が上下どちらにも変位していないときには、吸入側逆止弁５００の頭部５０１が吸入口３１０を閉じ、吐出側逆止弁６００の頭部６０１が吐出口３２０を閉じている。
【００４３】
図３は、この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる突起（Ａ）と、吐出側逆止弁（Ｂ）と、リング状ゴムシート（Ｃ）と、吐出側弁座の上面（Ｄ）を示す図である。
【００４４】
図３の（Ａ）に示すように、吐出管２０２（図１）の壁部を形成する吸入吐出側ケース２００（図１）の内壁に形成された突起２０１は、円柱状の部分と円錐台状の部分とを有し、円柱の下面と円錐台の上面を互いに接合した形状である。突起２０１の円錐台状の部分においては、円柱と接合している上面の径が相対的に大きく、下面の径が相対的に小さい。吐出側逆止弁６００がマイクロポンプに組み込まれると、突起２０１の下面が吐出側逆止弁６００の頂部６０３を押圧する。
【００４５】
図３の（Ｂ）に示すように、吐出側逆止弁６００は、扁平な頭部６０１と棒状の脚部６０２を有し、頂部６０３を含む頭部６０１の上面は平らである。
【００４６】
図３の（Ｃ）に示すように、リング状ゴムシート７００は、輪状に形成されている。リング状ゴムシート７００の外径は、吐出側逆止弁６００の径とほぼ同じ大きさである。リング状ゴムシート７００は、吐出側逆止弁６００の頭部６０１の下面と、吐出側弁座４００の上面との間に挟まれるようにして配置される。リング状ゴムシート７００は、液体１０２の種類によってエチレン‐プロピレン‐ジエンゴム（ＥＰＤＭ）やシリコンゴム等を用いて、吐出側弁座４００よりも軟らかい材質によって形成されている。第１実施形態のリング状ゴムシート７００の硬度は、ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３のデュロメータ硬度４０とする。リング状ゴムシート７００の上面は、吐出側逆止弁６００が吐出口３２０を閉塞している状態では、吐出側逆止弁６００の頭部６０１の周辺部と密着する。
【００４７】
図３の（Ｄ）に示すように、吐出側弁座４００には、吐出側逆止弁６００の脚部６０２を受容するための凹部４０２と、凹部４０２を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。リング状ゴムシート７００は、吐出口３２０の外側を囲むように、吐出側弁座４００上に配置される。吐出側弁座４００は、高硬度プラスチック等の硬い素材によって形成されている。
【００４８】
図４は、この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図４の（Ａ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入される前の状態を示し、図４の（Ｂ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてバルブシートに組み込まれた状態を示す。
【００４９】
図４の（Ａ）に示すように、吐出側逆止弁６００は、扁平な頭部６０１と棒状の脚部６０２を有し、頂部６０３を含む頭部６０１の上面は平らである。吐出側弁座４００は、バルブシート３００（図１）内に形成されており、吐出側逆止弁６００の脚部６０２を受容するための凹部４０２を有する。吐出側弁座４００の上面には、凹面４０１が形成されている。凹面４０１は、吐出側逆止弁６００の脚部６０２を受容するための凹部４０２側で凹んだ球の内面のような傾斜に形成されている。凹面４０１上には、リング状ゴムシート７００が配置されている。
【００５０】
図４の（Ｂ）に示すように、吐出側逆止弁６００の脚部６０２が吐出側弁座４００の凹部４０２に上方から挿入されて、吐出側逆止弁６００が吐出側弁座４００に組み込まれる。また、吐出管２０２（図１）の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６００の頂部６０３を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６００を固定している。このようにすることにより、吐出側逆止弁６００の頭部６０１が弾性変形し、頭部６０１においては、吐出側弁座４００の上面に形成された凹面４０１に沿って、吐出管２０２の突起２０１側に凹面が形成され、吐出側弁座４００側に脚部６０２を中心にして凸面が形成されて、頭部６０１の周辺部は、吐出側弁座４００上に配置されているリング状ゴムシート７００に密着する。
【００５１】
この実施形態のマイクロポンプ１００においては、図１に示すように、吸入側弁座３３０も吐出側弁座４００と同様に、バルブシート３００内に形成されており、吸入側逆止弁５００の脚部５０２を受容するための凹部３３２を有する。吸入側弁座３３０の下面には、吸入側逆止弁５００の頭部５０１の上面が接するための凹面３３１が形成されている。凹面３３１は、吸入側逆止弁５００の脚部５０２を受容するための凹部３３２側で凹んだ球の内面のような傾斜に形成されている。吸入側弁座３３０には、吸入側逆止弁５００の脚部５０２を受容するための凹部３３２を取り囲むようにして複数の吸入口３１０が形成されている。また、吸入側逆止弁５００は、扁平な頭部５０１と棒状の脚部５０２を有し、頭部５０１の上面の頂部５０３は突出した突起状に形成されている。吸入側逆止弁５００の脚部５０２が吸入側弁座３３０の凹部３３２に下方から挿入されて、吸入側逆止弁５００が吸入側弁座３３０に組み込まれる。また、振動板２１０が、吸入側逆止弁５００の頂部５０３を下方から押圧するようにして、吸入側逆止弁５００を固定している。このようにすることにより、吸入側逆止弁５００の頭部５０１が弾性変形し、頭部５０１においては、吸入側弁座３３０の下面に形成された凹面３３１に沿って、振動板２１０側に頂部５０３を中心にして凹面が形成され、吸入側弁座３３０側に脚部５０２を中心にして凸面が形成されて、頭部５０１の周辺部は、吸入側弁座３３０に密着する。
【００５２】
図５は、この発明の一つの実施の形態として、振動板を振動させてポンプ室の容積を変化させたときのマイクロポンプの動作を順に示す図である。
【００５３】
まず、図５（Ａ）は、ポンプ室内に液体を吸入するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図である。
【００５４】
図５（Ａ）に示すように、振動板２１０が下方向に変位すると、ポンプ室１１０の容積が大きくなる。ポンプ室１１０の容積が大きくなると、吸入側逆止弁５００の頭部５０１と吸入口３１０との間に隙間ができて、液タンク１０１に溜められている液体１０２（図１）がポンプ室１１０内に流入する。このとき、吐出側逆止弁６００の頭部６０１によって吐出口３２０はふさがれており、ポンプ室１１０内に流入した液体が吐出口３２０から流出することはない。
【００５５】
次に、図５（Ｂ）は、ポンプ室内に吸入した液体を外部に吐出するときのマイクロポンプのポンプ室周辺を示す断面図である。
【００５６】
図５（Ｂ）に示すように、振動板２１０が上方向に変位すると、ポンプ室１１０の容積が小さくなる。ポンプ室１１０の容積が小さくなると、吸入側逆止弁５００の頭部５０１と吸入口３１０との間の隙間がふさがれて、液タンク１０１からポンプ室１１０には液体が流入しない。一方、吐出側逆止弁６００と吐出口３２０との間に隙間ができて、ポンプ室１１０内の液体が吐出口３２０から吐出管２０２に流出し、吐出端２０３を通って外部に吐出される。
【００５７】
マイクロポンプ１００は、図１に示すように振動板２１０の変位がない状態と、図５（Ａ）に示すようにポンプ室１１０の容積を大きくする方向に振動板２１０が変位している状態と、図５（Ｂ）に示すようにポンプ室１１０の容積を小さくする方向に振動板２１０が変位している状態と、を繰り返すことによって、液タンク１０１内の液体１０２をポンプ室１１０内に吸入し、外部に吐出する。
【００５８】
このように、マイクロポンプ１００は、ポンプ室１１０と、ポンプ室１１０から液体１０２を吐出するための吐出口３２０を有する吐出側弁座４００と、吐出口３２０を閉塞または開放可能に配置される吐出側逆止弁６００と、少なくとも吐出側弁座４００よりも軟らかい材質によって輪状に形成され、吐出側逆止弁６００と吐出側弁座４００との間に挟まれたリング状ゴムシート７００とを備え、リング状ゴムシート７００は、吐出側逆止弁６００が吐出口３２０を閉塞する場合には、吐出側逆止弁６００の周辺部と吐出側弁座４００とに密着するように形成されている。
【００５９】
吐出側逆止弁６００と吐出側弁座４００との間に軟らかい材質によって形成されているリング状ゴムシート７００が挟まれることによって、吐出側逆止弁６００や吐出側弁座４００に傷があっても、吐出側逆止弁６００を吐出側弁座４００に強く押し付けなくても吐出口３２０を密閉することができる。
【００６０】
吐出側逆止弁６００を吐出側弁座４００に強く押し付けなくても吐出口３２０を密閉することができるので、吐出側逆止弁６００が開きやすくなり、気体が混入しても泡を排出しやすく、正常な液送を継続することができる。
【００６１】
また、吐出側逆止弁６００を吐出側弁座４００に強く押し付けなくても吐出口３２０を密閉することができるので、弱い力で吐出側逆止弁６００を開閉することができるようになり、圧電素子２１１を大型化する必要がなくなる。
【００６２】
このようにすることにより、圧電素子２１１を大型化することなく、気体が混入しても液送が可能であり、液漏れを防止することができるマイクロポンプ１００を提供することができる。
【００６３】
図６は、この発明の第１実施形態の参考例として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図６の（Ａ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入される前の状態を示し、図６の（Ｂ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてバルブシートに組み込まれた状態を示す。
【００６４】
図６の（Ａ）に示すように、吐出側逆止弁６１０は、第１実施形態の吐出側逆止弁６００と同様に、扁平な頭部６１１と棒状の脚部６１２を有し、頂部６１３を含む頭部６１１の上面は平らである。吐出側弁座４１０は、吐出側逆止弁６１０の脚部６１２を受容するための凹部４１２を有する。吐出側弁座４１０の上面には、吐出側逆止弁６１０の頭部６１１の下面が接するための凹面４１１が形成されている。凹面４１１は、球の内面のような傾斜に形成されている。吐出側弁座４１０には、吐出側逆止弁６１０の脚部６１２を受容するための凹部４１２を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。
【００６５】
図６の（Ｂ）に示すように、吐出側逆止弁６１０の脚部６１２が吐出側弁座４１０の凹部４１２に上方から挿入されて、吐出側逆止弁６１０が吐出側弁座４１０に組み込まれる。また、吐出管２０２（図１）の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６１０の頂部６１３を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６１０を固定している。このようにすることにより、吐出側逆止弁６１０の頭部６１１が弾性変形し、頭部６１１においては吐出側弁座４１０の上面に形成された凹面４１１に沿って、吐出管２０２の内壁側に凹面が形成され、吐出側弁座４１０側に脚部６１２を中心にして凸面が形成されて、頭部６１１の周辺部が吐出側弁座４１０に密着する。
【００６６】
このように、吸入吐出側ケース２００に対向する吐出側弁座４１０が球面状の凹面４１１を形成していることにより、吐出側弁座４１０が吐出側逆止弁６１０の周辺部に密着しやすくなる。
【００６７】
図７は、この発明の第１実施形態のもう一つの参考例として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。図７の（Ａ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入される前の状態を示し、図７の（Ｂ）は、吐出側逆止弁が吐出側弁座に挿入されてバルブシートに組み込まれた状態を示す。
【００６８】
図７の（Ａ）に示すように、吐出側逆止弁６２０は、第１実施形態の吐出側逆止弁６００と同様に、扁平な頭部６２１と棒状の脚部６２２を有し、頂部６２３を含む頭部６２１の上面は平らである。吐出側弁座４２０は、吐出側逆止弁６２０の脚部６２２を受容するための凹部４２２を有し、吐出側逆止弁６２０の脚部６２２を受容するための凹部４２２を取り囲むようにして複数の吐出口３２０が形成されている。吐出側弁座４２０の上面には、吐出側逆止弁６２０の頭部６２１の周辺部の下面が接するための突起４２１が形成されている。言い換えれば、吐出側弁座４２０の上面は、突起４２１に対して吐出側逆止弁６２０の中央部側で凹んでいる。
【００６９】
図７の（Ｂ）に示すように、吐出側逆止弁６２０の脚部６２２が吐出側弁座４２０の凹部４２２に上方から挿入されて、吐出側逆止弁６２０が吐出側弁座４２０に組み込まれる。また、吐出管２０２（図１）の内壁に形成された突起２０１が、吐出側逆止弁６２０の頂部６２３を上方から押圧するようにして、吐出側逆止弁６２０を固定している。吐出側逆止弁６２０の頭部６２１は、吐出側弁座４２０の上面に形成された突起４２１によって、頭部６２１の周辺部が中央部よりも高くなる。このようにすることにより、吐出側逆止弁６２０の頭部６２１が弾性変形し、頭部６２１においては、吐出管２０２の内壁側に凹面が形成され、吐出側弁座４２０側に脚部６２２を中心にして凸面が形成されて、頭部６２１の周辺部が吐出側弁座４２０に密着する。
【００７０】
このようにすることにより、吐出側逆止弁６２０が弾性変形することによって吐出側逆止弁６２０の周辺部に吐出側弁座４２０の吐出側逆止弁６２０側の面が密着するように、吐出側逆止弁６２０を吸入吐出側ケース２００と吐出側弁座４２０とで挟んで配置することによって、吐出側逆止弁６２０の遮蔽力を高くすることができる。
【００７１】
しかしながら、図６と図７に示す構成を備えるマイクロポンプにおいては、例えば、ポンプ室内に気体が混入しても正常に液送を行なうためには、１５０μＬ／秒以上の液送量で、５００ｍｍ以上の実揚程であるなど、ある程度の液送量や圧力、大きな圧電素子が必要であるという問題がある。そこで、第１実施形態のマイクロポンプ１００のように、吐出側逆止弁６００と吐出側弁座４００の間に挟まれて、吐出側逆止弁６００の周辺部に密着する、軟らかいリング状ゴムシート７００を備えることによって、圧電素子２１１を大型化することなく、気体が混入しても液送が可能であり、液漏れを防止することができるマイクロポンプ１００を提供することができる。
【００７２】
図８は、この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる、他の形状の吐出側逆止弁の全体を示す正面図である。
【００７３】
図８の（Ａ）に示すように、吐出側逆止弁６００ｂは、頭部６０１ｂと脚部６０２ｂを有し、頭部６０１ｂの上面が球面上に形成されている。このようにすることにより、吐出側逆止弁６００ｂの上面を、突起２０１（図１）が押圧しやすくなる。
【００７４】
また、図８の（Ｂ）に示す吐出側逆止弁６００ｃように、脚部や突起が形成されていない、シート状の弁であってもよい。このようにすることにより、吐出側逆止弁６００ｃの製作が容易になる。
【００７５】
さらにまた、図８の（Ｃ）に示すように、吐出側逆止弁６００ｄは、頭部６０１ｄと脚部６０２ｄを有し、頭部６０１ｄの上面に突起６０３ｄが形成されている。このようにすることにより、突起２０１（図１）が吐出側逆止弁６００ｄを押圧しやすくなる。
【００７６】
（第２実施形態）
図９は、この発明の第２実施形態として、マイクロポンプが備えるリング状ゴムシートの全体を示す斜視図（Ａ）と、吐出側弁座の全体を示す斜視図（Ｂ）である。
【００７７】
図９の（Ａ）に示すように、第２実施形態のリング状ゴムシート７３０は、輪状のリング部７３１と、リング部７３１の下部に形成される凸部７３２を有する。凸部７３２は、リング状ゴムシート７３０の周囲方向に９０°ずつ間隔をあけて、４つ配置されている。
【００７８】
図９の（Ｂ）に示すように、第２実施形態の吐出側弁座４３０には、上面に凹部４３３が形成されている。凹部４３３は、吐出口３２０の周囲において、９０°ずつ間隔をあけて、４つ配置されている。それぞれの凹部４３３は、リング状ゴムシート７３０を吐出側弁座４３０の上に載せたときに、リング状ゴムシート７３０のそれぞれの凸部７３２と嵌合する。図９の（Ｂ）は、吐出側逆止弁の脚部がはめ込まれる凹部については図示を省略している。
【００７９】
リング状ゴムシート７３０は、吐出側弁座４３０に接着されて固定されていないので、吐出側逆止弁が吐出口３２０を開閉するときやマイクロポンプの組立て時に位置がずれることがある。リング状ゴムシート７３０の位置がずれると、吐出側逆止弁とリング状ゴムシート７３０との間、リング状ゴムシート７３０と吐出側弁座４３０との間の密着性が低下して、安定した液送が妨げられたり、液漏れが生じたりすることがある。第２実施形態のマイクロポンプにおいては、リング状ゴムシート７３０の凸部７３２が吐出側弁座４３０の凹部４３３にはめ込まれているので、リング状ゴムシート７３０の位置がずれにくくなっている。
【００８０】
このように、第２実施形態のマイクロポンプにおいては、リング状ゴムシート７３０は吐出側弁座４３０に対向する側に凸部７３２を有し、吐出側弁座４３０は、リング状ゴムシート７３０の凸部７３２と嵌合するための凹部４３３を有する。
【００８１】
このようにすることにより、マイクロポンプの組立て時や液送時にリング状ゴムシート７３０の位置がずれることを防ぐことができるので、マイクロポンプの組立てを簡単にし、また、安定した液送を実現することができる。
【００８２】
図１０は、この発明の第２実施形態のマイクロポンプが備えるリング状ゴムシートの凸部と吐出側逆止弁の凹部の別の形状を示す図である。
【００８３】
図１０に示すように、リング状ゴムシート７３０ｂは、リング状ゴムシート７３０ｂのリング部７３１ｂの下面に形成されている凸部７３２ｂの幅が、下部において上部よりも大きくなるように形成されている。すなわち、凸部７３２ｂは、上底よりも下底が大きい台形の形状に形成されている。また、吐出側弁座４３０ｂは、リング状ゴムシート７３０ｂの凸部７３２ｂと嵌合するための凹部４３３ｂの幅が、上部において下部よりも小さくなるように形成されている。
【００８４】
このようにすることにより、リング状ゴムシート７３０ｂの凸部７３２ｂを吐出側弁座４３０ｂの凹部４３３ｂに嵌合させると、凸部７３２ｂが凹部４３３ｂから抜けにくくなるので、リング状ゴムシート７３０ｂの位置がずれることをさらに防ぎやすくなる。
【００８５】
第２実施形態のリング状ゴムシート７３０ｂと吐出側弁座４３０ｂを備えるマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態と同様である。
【００８６】
（第３実施形態）
図１１は、この発明の第３実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【００８７】
図１１に示すように、第２実施形態の吐出側逆止弁６４０ａは、第１実施形態の吐出側逆止弁６００と異なる点としては、円形のシート状の弁であり、脚部や突起が形成されていない。リング状ゴムシート７４０ａは、第１実施形態のリング状ゴムシート７００と同様に軟らかい材質によって形成されている。リング状ゴムシート７４０ａが第１実施形態のリング状ゴムシート７００と異なる点としては、リング状ゴムシート７４０ａの上面には、リング状ゴムシート７４０ａの中央側でリング状ゴムシート７４０ａが薄く、周辺部に向かって厚くなるように、傾斜部７４３ａが形成されている。吐出側弁座４４０ａの上面には凹面が形成されておらず、平らである。
【００８８】
図１２は、この発明の第３実施形態の参考例として、この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【００８９】
図１２に示すように、第１実施形態のリング状ゴムシート７００には、傾斜部が形成されておらず、リング状ゴムシート７００の断面は長方形状である。リング状ゴムシート７００上に吐出側逆止弁６００を載せ、突起２０１によって吐出側逆止弁６００を上から押圧すると、吐出側逆止弁６００の底面の周辺部がリング状ゴムシート７００の角に接する。
【００９０】
一方、第３実施形態のマイクロポンプでは、吐出側逆止弁６４０ａをリング状ゴムシート７４０ａ上に載せて、突起２０１で上から押圧すると、吐出側逆止弁６４０ａの下面がリング状ゴムシート７４０ａの上面に形成されている傾斜部７４３ａに沿うように変形する。
【００９１】
このように、この発明の第３実施形態のマイクロポンプにおいては、リング状ゴムシート７４０ａは、輪の中心側で薄く、周辺部に向かって次第に厚くなるように形成されている傾斜部７４３ａを有する。
【００９２】
このようにすることにより、リング状ゴムシート７４０ａと吐出側逆止弁６４０ａとの接触面積を増大させることができるので、吐出側逆止弁６４０ａの密閉度を高めて液漏れを防止することができ、また、吐出側逆止弁６４０ａの動作を安定させることができる。
【００９３】
第３実施形態のリング状ゴムシート７４０ａと吐出側逆止弁６４０ａと吐出側弁座４４０ａを備えるマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態と同様である。また、第３実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁は、第１実施形態の吐出側逆止弁６００や他の形状の弁であってもよい。
【００９４】
図１３は、この発明の第３実施形態のマイクロポンプに用いられる、別の形状の吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【００９５】
図１３に示すように、リング状ゴムシート７４０ｂの上面には、輪の中心側でリング状ゴムシート７４０ｂが薄く、周辺部に向かって次第に厚くなるように形成されている傾斜部７４３ｂが形成されている。リング状ゴムシート７４０ｂの傾斜部７４３ｂは、リング状ゴムシート７４０ｂの上面の一部にのみ形成されている。すなわち、リング状ゴムシート７４０ｂの輪の中心側に傾斜面７４３ｂが形成され、輪の周辺部側の上面は平らに形成されている。
【００９６】
吐出側逆止弁６４０ｂは、脚部や突起を有しないシート状の弁であり、上面と下面は円形状である。上面の円の径は、下面の円の径よりも大きく、吐出側逆止弁６４０ｂの断面は、上底が下底よりも大きい台形状である。吐出側弁座４４０ｂの上面には凹面が形成されておらず、平らである。
【００９７】
リング状ゴムシート７４０ｂを吐出側弁座４４０ｂ上に載せ、吐出側逆止弁６４０ｂをリング状ゴムシート７４０ｂ上に載せて、突起２０１で吐出側逆止弁６４０ｂを上から押圧すると、吐出側逆止弁６４０ｂの下面の周辺部が、リング状ゴムシート７４０ｂの傾斜部７４３ｂに広い範囲で接触する。
【００９８】
このように、この発明の第３実施形態のマイクロポンプにおいては、リング状ゴムシート７４０ｂは、輪の中心側で薄く、周辺部に向かって次第に厚くなるように形成されている傾斜部７４３ｂを有する。
【００９９】
このようにすることにより、リング状ゴムシート７４０ｂと吐出側逆止弁６４０ｂとの接触面積を増大させることができるので、吐出側逆止弁６４０ｂの密閉度を高めて液漏れを防止することができ、また、吐出側逆止弁６４０ｂの動作を安定させることができる。
【０１００】
第３実施形態のリング状ゴムシート７４０ｂと吐出側逆止弁６４０ｂと吐出側弁座４４０ｂを備えるマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態と同様である。
【０１０１】
（第４実施形態）
図１４は、この発明の第４実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【０１０２】
図１４に示すように、第４実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁６５０は、脚部や突起のないシート状の弁であり、上面と下面は円形状である。上面の円の径は下面の円の径よりも大きく、吐出側逆止弁６５０の断面は、上底が下底よりも大きい台形状である。吐出側弁座４５０の上面には、凹面４５１が形成されている。
【０１０３】
リング状ゴムシート７５０の上面においては、リング状ゴムシート７５０の厚みが輪の中心側で薄く、周辺部に向かって厚くなるように、傾斜部７５３が形成されている。また、リング状ゴムシート７５０の下面には、リング状ゴムシート７５０を吐出側弁座４５０上に配置すると、リング状ゴムシート７５０の下面が吐出側弁座４５０の凹面４５１に沿うように、凹面７５４が形成されている。
【０１０４】
このように、この発明の第４実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側弁座４５０は吐出側逆止弁６５０に対向する側に凹面４５１を有し、リング状ゴムシート７５０は、吐出側弁座４５０に対向する側では吐出側弁座４５０の凹面４５１に沿った形状に形成されている。
【０１０５】
このようにすることにより、吐出側逆止弁６５０と吐出側弁座４５０との間に挟まれたリング状ゴムシート７５０に歪が生じにくくなり、液漏れを防止することができ、また、安定した液送が可能となる。
【０１０６】
第４実施形態のリング状ゴムシート７５０と吐出側逆止弁６５０と吐出側弁座４５０を備えるマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態と同様である。
【０１０７】
（第５実施形態）
図１５は、この発明の第５実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【０１０８】
図１５に示すように、第５実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側弁座４６０の上面には、吐出側逆止弁６６０の脚部６６２がはめ込まれる凹部４６２を中心として、吐出口３２０を囲むように、円形状に突起４６４が形成されている。第５実施形態の吐出側逆止弁６６０とリング状ゴムシート７６０は、第１実施形態の吐出側逆止弁６００とリング状ゴムシート７００と同様である。リング状ゴムシート７６０の輪の外径は、突起４６４の内径よりも小さい。したがって、リング状ゴムシート７６０を吐出側弁座４６０上に配置すると、リング状ゴムシート７６０の外周よりも外側に突起４６４が配置される。
【０１０９】
図１６は、第５実施形態のマイクロポンプの吐出側弁座を上方向から見た上面図である。
【０１１０】
図１６の（Ａ）に示すように、複数の吐出口３２０は、凹部４６２を中心として、凹部４６２の周囲に円形状に配置されている。吐出側弁座４６０上には、吐出口３２０の外側に、円形状の突起４６４が形成されている。リング状ゴムシート７６０は、リング状ゴムシート７６０の中心が吐出側逆止弁６６０の脚部６６２をはめ込むための吐出側弁座４６０の凹部４６２の中心に重なるようにして吐出側弁座４６０に載せられる。リング状ゴムシート７６０は吐出側弁座４６０の突起４６４の円の内側でしかずれることができないので、リング状ゴムシート７６０の位置がずれにくくなる。
【０１１１】
凹部４６２の中心から、吐出口３２０までの距離Ｒ１は、リング状ゴムシート７６０の内径の半径Ｒ２よりも小さい。リング状ゴムシート７６０の内径の半径Ｒ２はリング状ゴムシート７６０の外径の半径Ｒ３よりも小さく、リング状ゴムシート７６０の外径の半径Ｒ３は、吐出側弁座４６０上に形成されている突起４６４の内径の半径Ｒ４よりも小さい。リング状ゴムシート７６０と、吐出口３２０と、突起４６４は、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４の大きさが（Ｒ４−Ｒ３）＜（Ｒ２−Ｒ１）という関係を満たすように形成されている。そのため、図１６の（Ｂ）に示すように、リング状ゴムシート７６０の位置がずれても、リング状ゴムシート７６０によって吐出口３２０が塞がれることを防ぐことができる。
【０１１２】
このように、この発明の第５実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側弁座４６０は、リング状ゴムシート７６０の輪の外周よりも外側に配置される突起４６４を有する。
【０１１３】
このようにすることにより、リング状ゴムシート７６０の位置がずれにくくなる。
【０１１４】
なお、第５実施形態においては、突起４６４は連続した円形状に形成されているが、突起４６４は、必ずしも連続した円形状に形成されている必要はない。
【０１１５】
第５実施形態のリング状ゴムシート７６０と吐出側逆止弁６６０と吐出側弁座４６０を備えるマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態と同様である。
【０１１６】
（第６実施形態）
図１７は、この発明の第６実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【０１１７】
図１７に示すように、第６実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側弁座４７０の上面には、吐出側逆止弁６７０の脚部６７２がはめ込まれる凹部４７２を中心として、吐出口３２０を囲むように、円形状に突起４７４が形成されている。第６実施形態の吐出側逆止弁６７０とリング状ゴムシート７７０は、第１実施形態の吐出側逆止弁６００とリング状ゴムシート７００と同様である。リング状ゴムシート７７０の輪の内径は、突起４７４の外径よりも大きい。したがって、リング状ゴムシート７７０を吐出側弁座４７０上に配置すると、リング状ゴムシート７７０の内周よりも内側に突起４７４が配置される。
【０１１８】
リング状ゴムシート７７０が動くと、リング状ゴムシート７７０の内周面が吐出側弁座４７０の突起４７４と接触するので、リング状ゴムシート７７０の位置は大きくずれることがない。また、吐出口３２０は突起４７４よりも内側に形成されているので、リング状ゴムシート７７０の位置がずれても、吐出口３２０はリング状ゴムシート７７０によって塞がれることがない。
【０１１９】
このように、この発明の第６実施形態のマイクロポンプにおいては、吐出側弁座４７０は、リング状ゴムシート７７０の輪の内周よりも内側に配置される突起４７４を有する。
【０１２０】
このようにすることにより、リング状ゴムシート７７０の位置がずれにくくなる。
【０１２１】
なお、第６実施形態においては、突起４７４は連続した円形状に形成されているが、突起４７４は、必ずしも連続した円形状に形成されている必要はない。
【０１２２】
第６実施形態のリング状ゴムシート７７０と吐出側逆止弁６７０と吐出側弁座４７０を備えるマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態と同様である。
【０１２３】
（第７実施形態）
図１８は、この発明の第７実施形態のマイクロポンプに用いる吐出側逆止弁の全体を示す斜視図（Ａ）と、正面図（Ｂ）である。
【０１２４】
図１８に示すように、第７実施形態のマイクロポンプに用いる吐出側逆止弁６８０は、円盤状の頭部６８１と、棒状の脚部６８２と、頭部６８１の下面の周辺部に接着された輪状のリング状ゴムシート７８０を有する。第７実施形態のマイクロポンプのその他の構成は、第１実施形態のマイクロポンプ１００（図１）と同様である。吐出側逆止弁６８０をマイクロポンプに取り付けると、脚部６８２が吐出側弁座４００（図１）の凹部４０２（図１）にはめ込まれて、吐出側逆止弁６８０の位置が固定される。そのため、吐出側逆止弁６８０による吐出口３２０の開閉動作中には、吐出側逆止弁６８０の位置がずれることはない。リング状ゴムシート７８０は、吐出側逆止弁６８０の頭部６８１の下面に接着されているので、吐出側逆止弁６８０の開閉動作の間に位置がずれることがないので、マイクロポンプ１００は安定した液送を行うことができる。
【０１２５】
このように、この発明の第７実施形態のマイクロポンプにおいては、リング状ゴムシート７８０は吐出側逆止弁６８０と接着されている。
【０１２６】
このようにすることにより、リング状ゴムシート７８０の位置がずれにくくなる。
【０１２７】
また、例えば、吐出側逆止弁６８０が硬度４０以下の軟らかい材質によって形成されている場合には、リング状ゴムシート７８０は、吐出側逆止弁６８０と一体に形成されていてもよい。
【０１２８】
このようにすることにより、リング状ゴムシート７８０の位置がずれなくなる。
【０１２９】
第７実施形態のリング状ゴムシート７８０と吐出側逆止弁６８０を備えるマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態と同様である。
【０１３０】
（第８実施形態）
図１９は、この発明の第８実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁の全体を示す正面図（Ａ）と、図１９の（Ａ）において破線で囲まれた部分を示す図（Ｂ）である。
【０１３１】
図１９の（Ａ）に示すように、第８実施形態の吐出側逆止弁６９０は、円盤状の頭部６９１と、棒状の脚部６９２と、頭部６９１の下面の周辺部に接着された輪状のリング状ゴムシート７９０を有する。第８実施形態のマイクロポンプのその他の構成は、第１実施形態のマイクロポンプ１００（図１）と同様である。吐出側逆止弁６９０をマイクロポンプ１００（図１）に取り付けると、脚部６９２が吐出側弁座４００（図１）の凹部４０２（図１）にはめ込まれて、吐出側逆止弁６９０の位置が固定される。そのため、吐出側逆止弁６９０による吐出口３２０の開閉動作中に吐出側逆止弁６９０の位置がずれることはない。リング状ゴムシート７９０は、吐出側逆止弁６９０の頭部６９１の下面に接着されているので、吐出側逆止弁６９０の開閉動作の間に位置がずれることがない。このようにして、マイクロポンプ１００は安定した液送を行うことができる。
【０１３２】
図１９の（Ｂ）に示すように、吐出側逆止弁６９０の頭部６９１とリング状ゴムシート７９０は、部分的に接着されている。吐出側逆止弁６９０は、吐出側逆止弁６９０の頭部６９１とリング状ゴムシート７９０とが接着されている接着部７９６と、頭部６９１とリング状ゴムシート７９０とが接着されていない非接着部７９５とを有する。
【０１３３】
吐出側逆止弁６９０の頭部６９１とリング状ゴムシート７９０とが接着されているので、吐出側逆止弁６９０が吐出口３２０（図１）を開閉するときには、リング状ゴムシート７９０は頭部６９１とともに上下に動く。吐出口３２０から吐出される液体は、吐出側弁座４００（図１）とリング状ゴムシート７９０との間と、吐出側逆止弁６９０とリング状ゴムシート７９０との間に形成されている非接触部７９５とを通過することができる。そのため、液体を吐出するときに吐出側逆止弁６９０を動かすために必要な力が比較的小さくなり、スムーズな液送が可能となる。また、吐出側逆止弁６９０が吐出口３２０を閉塞している場合には、非接着部７９５においてもリング状ゴムシート７９０が吐出側逆止弁６９０の頭部６９１と密着し、リング状ゴムシート７９０と吐出側弁座４００とが密着するので、液漏れを防ぐことができる。
【０１３４】
この発明の第８実施形態のマイクロポンプにおいては、リング状ゴムシート７９０は、吐出側逆止弁６９０と接着される接着部７９６と、吐出側逆止弁６９０と接着されない非接着部７９５とを有する。
【０１３５】
このようにすることにより、液体は、吐出側逆止弁６９０と吐出側弁座４００との間と、吐出側逆止弁６９０とリング状ゴムシート７９０との間の非接着部７９５とを通ることができるので、比較的弱い力で吐出側逆止弁６９０を開いて液送を行なうことができる。
【０１３６】
第８実施形態のリング状ゴムシート７９０と吐出側逆止弁６９０を備えるマイクロポンプのその他の構成と効果は、第１実施形態と同様である。
【０１３７】
以上に開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正と変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【０１３８】
【図１】この発明の第１実施形態として、マイクロポンプの全体を示す断面図である。
【図２】図１のマイクロポンプに組み込まれたバルブシートを上方向から見た図（Ａ）と、下方向から見た図（Ｂ）である。
【図３】この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる突起（Ａ）と、吐出側逆止弁（Ｂ）と、リング状ゴムシート（Ｃ）と、吐出側弁座の上面（Ｄ）を示す図である。
【図４】この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図５】この発明の一つの実施の形態として、振動板を振動させてポンプ室の容積を変化させたときのマイクロポンプの動作を順に示す図である。
【図６】この発明の第１実施形態の参考例として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図７】この発明の第１実施形態のもう一つの参考例として、マイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図８】この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる、他の形状の吐出側逆止弁の全体を示す正面図である。
【図９】この発明の第２実施形態として、マイクロポンプが備えるリング状ゴムシートの全体を示す斜視図（Ａ）と、吐出側弁座の全体を示す斜視図（Ｂ）である。
【図１０】この発明の第２実施形態のマイクロポンプが備えるリング状ゴムシートの凸部と吐出側逆止弁の凹部の別の形状を示す図である。
【図１１】この発明の第３実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１２】この発明の第３実施形態の参考例として、この発明の第１実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１３】この発明の第３実施形態のマイクロポンプに用いられる、別の形状の吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１４】この発明の第４実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１５】この発明の第５実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１６】第５実施形態のマイクロポンプの吐出側弁座を上方向から見た上面図である。
【図１７】この発明の第６実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁と吐出側逆止弁の周辺の断面を示す図である。
【図１８】この発明の第７実施形態のマイクロポンプに用いる吐出側逆止弁の全体を示す斜視図（Ａ）と、正面図（Ｂ）である。
【図１９】この発明の第８実施形態のマイクロポンプに用いられる吐出側逆止弁の全体を示す正面図（Ａ）と、図１９の（Ａ）において破線で囲まれた部分を示す図（Ｂ）である。
【符号の説明】
【０１３９】
１００：マイクロポンプ、１１０：ポンプ室、３２０：吐出口、４００，４３０，４３０ｂ，４４０ａ，４４０ｂ，４５０，４６０，４７０：吐出側弁座、４３３，４３３ｂ：凹部、４５１：凹面、４６４，４７４：突起、６００，６００ｂ，６００ｃ，６００ｄ，６４０ａ，６４０ｂ，６５０，６６０，６７０，６８０，６９０：吐出側逆止弁、７００，７３０，７３０ｂ，７４０ａ，７４０ｂ，７５０，７６０，７７０，７８０，７９０：リング状ゴムシート、７３２，７３２ｂ：凸部、７４３ａ，７４３ｂ，７５３：傾斜部、７５４：凹面、７９５：非接着部、７９６：接着部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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