(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペロブスカイト構造を有する複合酸化物を含有し、
前記複合酸化物が、
（ＰｂαＬａβ）（Ｔｉ１−（ｘ＋ｙ＋ｚ）ＺｒｘＭｎｙＮｂｚ）Ｏ３
で表される組成を有し、
０．９３≦α≦０．９７、
０＜β≦０．０８、
０．１３≦ｘ≦０．２５、
０．０２０≦ｙ≦０．０３７、及び
０．０４０≦ｚ≦０．０７０
を満たす、圧電磁器組成物。
【請求項２】
０．１３≦ｘ≦０．２０を満たす、請求項１に記載の圧電磁器組成物。
【請求項３】
０．１３≦ｘ≦０．１６を満たす、請求項１に記載の圧電磁器組成物。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧電磁器組成物からなる圧電素子を備える発振子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電磁器組成物、及び発振子に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電磁器組成物は、外部から圧力を受けることによって電気分極を起こす圧電効果と、外部から電界を印加されることにより歪みを生じる逆圧電効果とを有するため、電気エネルギーと機械エネルギーとの相互変換を行うための材料として用いられる。このような圧電磁器組成物は、例えば、レゾネータ（発振子）、フィルタ、センサ、アクチュエータ、着火素子あるいは超音波モーター等の多種多様な製品で使用されている。
【０００３】
例えば、厚み縦振動の３倍波を利用したセラミックフィルタ等に用いられる圧電磁器組成物として、ＰｂＴｉＯ３のＰｂの一部をＬａで置換したチタン酸鉛系にＭｎ及びＣｒを添加し、一般式がＰｂ１−３ｙ／２ＬａｙＴｉＯ３＋ｚ・｛（１−ｘ）ＭｎＯ２＋（ｘ／２）・Ｃｒ２Ｏ３｝で示される組成（ただし、０＜ｘ＜１，０＜ｚ≦５ｗｔ％）としたことを特徴とする圧電磁器組成物が知られている（特許文献１）。
【特許文献１】特開平５−１３９８２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電素子を備える発振子を発振回路に用いた場合、発振特性を保証するために発振子のＱｍａｘが大きいことが要求される。更に近年では、発振周波数Ｆ０の温度特性が良好であることも要求される。なお、Ｑｍａｘとは、位相角の最大値をθｍａｘ（単位：ｄｅｇ）としたときのｔａｎθｍａｘであり、換言すれば、Ｘをリアクタンス、Ｒをレジスタンスとしたときの共振周波数ｆｒと反共振周波数ｆａとの間におけるＱ（＝｜Ｘ｜／Ｒ）の最大値である。また、「発振周波数Ｆ０の温度特性が良好である」とは、発振子又はこれを備える発振回路の温度が変化した際に、その温度変化量に対する発振周波数Ｆ０の変化量の比が小さく、温度変化に対して発振周波数Ｆ０が安定していることを意味する。
【０００５】
しかし、厚み縦振動の３倍波（厚み縦振動の三次高調波モード）を利用する発振子の場合、屈曲振動モードを利用する発振子等と比較して使用される周波数帯域が高いことから、従来の圧電磁器組成物では、Ｑｍａｘ、及び発振周波数Ｆ０の温度特性の点で十分に満足できるものが得られなかった。厚み縦振動の３倍波を利用する発振子は、例えばマイコンを制御するための基準クロックを発する素子であるレゾネータへの応用が可能であり、高価な水晶振動子の代替を図る点等からも、厚み縦振動の３倍波を利用する発振子に用いられたときに十分な性能を発揮する圧電磁器組成物が求められている。
【０００６】
そこで、本発明は、厚み縦振動の三次高調波モードを利用する発振子に用いられたときに、十分に高いＱｍａｘ、及び発振周波数Ｆ０の良好な温度特性を得ることを可能にする圧電磁器組成物、及び当該圧電磁器組成物を使用した発振子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の圧電磁器組成物は、ペロブスカイト構造を有する複合酸化物を含有する圧電磁器組成物に関する。圧電磁器組成物中の複合酸化物は、
（ＰｂαＬａβ）（Ｔｉ１−（ｘ＋ｙ＋ｚ）ＺｒｘＭｎｙＮｂｚ）Ｏ３
で表される組成を有し、０．９３≦α≦０．９７、０＜β≦０．０８、０．１３≦ｘ≦０．２５、０．０２０≦ｙ≦０．０３７、及び０．０４０≦ｚ≦０．０７０を満たす。
【０００８】
本発明の発振子は、上記本発明の圧電磁器組成物からなる圧電素子を備える。
【０００９】
上記本発明の発振子では、圧電素子が上記式で表される組成を有する圧電磁器組成物からなるため、厚み縦振動の三次高調波モードを利用する発振子として用いられたときであっても、十分に高いＱｍａｘ、及び発振周波数Ｆ０の良好な温度特性が得られる。
【００１０】
本発明の圧電磁器組成物がＬａを含むことにより本発明による効果が特に顕著に奏される。
【００１１】
本発明の圧電磁器組成物は、０．１３≦ｘ≦０．２５を満たし、０．１３≦ｘ≦０．２０を満たすことがより好ましく、０．１３≦ｘ≦０．１６を満たすことが特に好ましい。これにより、発振周波数Ｆ０の温度特性がより一層顕著に向上する。
【００１２】
本発明の圧電磁器組成物は、０．０２０≦ｙ≦０．０３７を満たす。これにより、Ｑｍａｘがより一層顕著に向上し、且つ、圧電磁器組成物の抵抗率が低下し難くなるため、圧電素子の製造時において圧電磁器組成物へ圧電性を付与するための分極処理がし易くなる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、厚み縦振動の三次高調波モードを利用する発振子に用いられたときに、十分に高いＱｍａｘ、及び発振周波数Ｆ０の良好な温度特性を得ることを可能にする圧電磁気組成物が提供される。また、本発明によれば、圧電磁器組成物が高いキュリー温度を有していることから、高温においても脱分極しにくい圧電素子を得ることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を適宜参照しながら、本発明の圧電磁器組成物を使用した発振子について、好適な実施形態を説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００１５】
図１は発振子の一実施形態を示す斜視図であり、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。図１及び図２に示す発振子１は、直方体状の圧電素子２と、圧電素子２を間に挟んで対向する１対の振動電極３とから構成される。圧電素子２の上面の中央に１つの振動電極３が形成され、圧電素子２の下面の中央に別の振動電極３が形成されている。圧電素子２は本実施形態の圧電磁器組成物からなる。振動電極３はＡｇ等の導電材から構成されている。
【００１６】
圧電素子２の寸法は、用途に応じて適当な寸法とすればよいが、例えば縦１．０〜４．０ｍｍ×横０．５〜４．０ｍｍ×厚さ５０〜３００μｍ程度である。また、振動電極３の形状は通常円形であり、その寸法は、例えば直径０．５〜３．０ｍｍ、厚み０．５〜５μｍ程度である。
【００１７】
上記圧電磁器組成物は、ペロブスカイト構造を有する複合酸化物を主成分として含有する。この複合酸化物は、下記化学式（１）で表される組成を有する。
（ＰｂαＬａβ）（Ｔｉ１−（ｘ＋ｙ＋ｚ）ＺｒｘＭｎｙＮｂｚ）Ｏ３  ・・・化学式（１）
【００１８】
上記複合酸化物は、０．９３≦α≦０．９７を満たす。αが０．９１未満では、圧電磁器組成物の抵抗率が低下し易くなるため、圧電素子２の製造時において圧電磁器組成物へ圧電性を付与するための分極処理がし難くなる傾向がある。また、αが１．００を越えると、Ｑｍａｘが小さくなる傾向がある。αを上記範囲内とすることによって、これらの傾向を抑制できる。
【００１９】
上記複合酸化物は、０＜β≦０．０８を満たす。圧電磁器組成物を構成する複合酸化物が０＜β≦０．０８の範囲内でＬｎを含有することによって、Ｑｍａｘが向上する。βが０では圧電素子２の焼結性が悪くなる傾向があり、適切に圧電特性が得られなくなる場合がある。また、βが０．０８を越えると、キュリー温度が低下し、圧電素子２が加熱された際に脱分極し易くなる傾向がある。βを上記範囲内とすることによって、これらの傾向を抑制できる。同様の観点から、０．０２≦β≦０．０６であることが好ましい。
【００２０】
上記複合酸化物は、０．１３≦ｘ≦０．２５を満たす。ｘが０．１２５未満では発振周波数Ｆ０の温度特性が低下する傾向がある。また、ｘが０．３００を越えると、キュリー温度が低下し、圧電素子２が加熱された際に脱分極し易くなる傾向がある。ｘを上記範囲内とすることによって、これらの傾向を抑制できる。同様の観点から、０．１３≦ｘ≦０．２０であることがより好ましく、０．１３≦ｘ≦０．１６であることが特に好ましい。なお、ｘ≧０．１２５であれば、式（１）の複合酸化物のうちＰｂ、Ｌｎ及びＴｉの酸化物に由来する部分の重量に対するＺｒＯ２の比率が５重量％を超える程度にまで、ＺｒＯ２が複合酸化物中に比較的多く含まれることになる。
【００２１】
上記複合酸化物は、０．０２０≦ｙ≦０．０３７を満たす。ｙが０．０２０未満ではＱｍａｘが小さくなる傾向がある。また、ｙが０．０５０を越えると、圧電磁器組成物の抵抗率が低下し易くなるため、圧電素子２の製造時において圧電磁器組成物へ圧電性を付与するための分極処理がし難くなる傾向がある。ｙを上記範囲内とすることによってこれらの傾向を抑制できる。
【００２２】
上記複合酸化物は、０．０４０≦ｚ≦０．０７０を満たす。ｚが０．０４０未満では圧電素子２の焼結性が悪くなる傾向がある。ｚが０．０７０を越えると、比抵抗が高くなり過ぎて、熱衝撃試験による特性劣化が大きくなる傾向がある。ｚを上記範囲内とすることによって、これらの傾向を抑制できる。
【００２３】
圧電磁器組成物は、上記化学式（１）で表される組成を有する複合酸化物以外の化合物を不純物または微量添加物として含有していてもよい。係る化合物としては、例えば、Ｎａ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｐ、Ｋ、Ｃａ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｈｆ、Ｔａ又はＷの酸化物がある。なお、上記圧電磁器組成物がこれらの酸化物等を含有する場合、圧電磁器組成物における各酸化物の含有率の合計値は、各元素の酸化物換算で、圧電磁器組成物全体の０．３重量％以下であることが好ましい。言い換えると、圧電磁器組成物のうち９９．７重量％以上は式（１）で表される酸化物であることが好ましい。この場合、実質的に、圧電磁器組成物自体が式（１）で表される組成を有する。
【００２４】
本実施形態では、発振子１が備える圧電素子２が上記圧電磁器組成物から形成されているため、この発振子１を厚み縦振動の三次高調波モードを利用する発振子して発振回路に用いたときに、十分に高いＱｍａｘと良好な発振周波数Ｆ０の温度特性が達成される。また、圧電磁器組成物のキュリー温度を所望の値とすることができる。
【００２５】
上述した本実施形態の発振子１の製造方法は、主として、圧電素子２の原料粉末を造粒する工程と、この原料粉末をプレス成形して成形体を形成する工程と、成形体を焼成して焼結体を形成する工程と、焼結体を分極処理して圧電素子２を形成する工程と、圧電素子２に対して振動電極３を形成する工程とを備える。以下、発振子１の製造方法について具体的に説明する。
【００２６】
まず、圧電磁器組成物を形成するための出発原料を準備する。出発原料としては、上記化学式（１）で表されるペロブスカイト構造の複合酸化物を構成する各元素の酸化物および／または焼成後にこれらの酸化物になる化合物（炭酸塩、水酸化物、シュウ酸塩、硝酸塩等）を使用できる。具体的な出発原料としては、ＰｂＯ、ランタノイド元素の化合物（例えば、Ｌａ２Ｏ３，Ｌａ（ＯＨ）３等）、ＴｉＯ２，ＺｒＯ２、ＭｎＯ２またはＭｎＣＯ３、Ｎｂ２Ｏ５等を使用すればよい。これらの各出発原料を、焼成後において上記化学式（１）で表される組成の複合酸化物が形成されるような重量比で配合する。
【００２７】
次に、配合された出発原料をボールミル等により湿式混合する。この湿式混合された出発原料を仮成形して仮成形体を形成し、この仮成形体を仮焼成する。この仮焼成によって、上述した本実施形態の圧電磁器組成物を含有する仮焼成体が得られる。仮焼成温度は、７００〜１０５０℃であることが好ましく、仮焼成時間は１〜３時間程度であることが好ましい。仮焼成温度が低過ぎると、仮成形体において化学反応が十分に進行しない傾向があり、仮焼成温度が高過ぎると、仮成形体が焼結し始めるため、その後の粉砕が困難となる傾向がある。また、仮焼成は、大気中で行ってもよく、また大気中よりも酸素分圧が高い雰囲気または純酸素雰囲気で行ってもよい。また、湿式混合された出発原料を、仮成形することなくそのまま仮焼成してもよい。
【００２８】
得られた仮焼成体はスラリー化してボールミル等で微粉砕（湿式粉砕）した後、これを乾燥することにより微粉末を得る。得られた微粉末に必要に応じてバインダーを添加して、原料粉末を造粒する。なお、仮焼成体をスラリー化するための溶媒としては、水、エタノールなどのアルコール、または水とエタノールとの混合溶媒等を用いることが好ましい。また、微粉末に添加するバインダーとしては、ポリビニルアルコール、ポリビニルアルコールに分散剤を添加したもの、エチルセルロースなど、一般的に用いられる有機バインダーを挙げることができる。
【００２９】
次に、原料粉末をプレス成形することにより成形体を形成する。プレス成形する際の加重は、例えば１００〜４００ＭＰａとすればよい。
【００３０】
得られた成形体には脱バインダー処理が施される。脱バインダー処理は、３００〜７００℃の温度で０．５〜５時間程度行うことが好ましい。また、脱バインダー処理は、大気中で行ってもよく、また大気よりも酸素分圧が高い雰囲気または純酸素雰囲気で行ってもよい。
【００３１】
脱バインダー処理後、成形体を焼成することによって、圧電磁器組成物からなる焼結体を得る。焼成温度は１０５０〜１２５０℃程度とすればよく、焼成時間は１〜８時間程度とすればよい。なお、成形体の脱バインダー処理と焼成とは連続して行ってもよく、別々に行ってもよい。
【００３２】
次に、焼結体を薄板状に切断し、これをラップ研磨して表面加工する。焼結体の切断に際しては、カッター、スライサーまたはダイシングソー等の切断機を用いて行うことができる。表面加工後、薄板状の焼結体の両面に、分極処理用の仮電極を形成する。仮電極を構成する導電材としては、塩化第二鉄溶液によるエッチング処理によって容易に除去できることから、Ｃｕが好ましい。仮電極の形成には、真空蒸着法やスパッタリングを用いることが好ましい。
【００３３】
分極処理用の仮電極を形成した薄板状の焼結体に対して分極電界を印加して分極処理を施す。分極処理の条件は、焼結体が含有する圧電磁器組成物の組成に応じて適宜決定すればよいが、通常、分極処理される焼結体の温度は１５０〜３００℃、分極電界を印加する時間は１〜３０分間、分極電界の大きさは焼結体の抗電界の０．９倍以上とすればよい。
【００３４】
分極処理後、焼結体からエッチング処理などにより仮電極を除去する。そして、焼結体を所望の素子形状となるように切断して圧電素子２を形成する。この圧電素子２に振動電極３を形成することによって、本実施形態の発振子１が完成する。振動電極３の形成には、真空蒸着法やスパッタリングを用いることが好ましい。
【００３５】
以上、本発明の圧電磁器組成物及び発振子の好適な実施形態について説明したが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではない。
【００３６】
例えば、本発明の圧電磁器組成物は、発振子以外に、フィルタ、アクチュエータ、超音波洗浄機、超音波モーター、霧化器用振動子、魚群探知機、ショックセンサ、超音波診断装置、廃トナーセンサ、ジャイロセンサ、ブザー、トランス又はライター等に使用してもよい。
【実施例】
【００３７】
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明する。ただし、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００３８】
試料１の出発原料として、酸化鉛(ＰｂＯ)，水酸化ランタン(Ｌａ（ＯＨ）３)，酸化チタン(ＴｉＯ２)，酸化ジルコニウム(ＺｒＯ２)，炭酸マンガン(ＭｎＣＯ３)，酸化ニオブ(Ｎｂ２Ｏ５)の各粉末原料を準備した。本焼成後の磁器試料（焼結体）を構成する圧電磁器組成物が表１の「試料１」の組成を有するものとなるように、これら各粉末原料を秤量して配合した。次に、配合された粉末原料の混合物と純水とをＺｒボールと共にボールミルで１０時間混合してスラリーを得た。このスラリーを、十分に乾燥させた後でプレス成形し、これを９００℃で仮焼成して仮焼成体を得た。次に、仮焼成体をボールミルで微粉砕した後、これを乾燥したものに、バインダーとしてＰＶＡ(ポリビニルアルコール)を適量加えて造粒した。得られた造粒粉を縦２０mm×横２０mmの金型に約３ｇ入れ、１軸プレス成型機を用いて２４５ＭＰａの荷重で成形した。成形した試料を熱処理してバインダーを除去した後、１１５０〜１２５０℃で２時間本焼成して、圧電磁器組成物から構成される焼結体である磁器試料（試料１）を得た。同様の操作で「試料１」としての磁器試料を複数準備した。
【００３９】
得られた磁器試料の１つを、両面ラップ盤で０．４mmの厚みに平面加工した後、これをダイシングソーで縦６mm×横６mmの寸法に切断した。切断後の磁器試料の両端部にＡｇペーストを真空蒸着することにより、５mm×５mmの寸法を有するＡｇ電極を一対形成した。Ａｇ電極を形成した磁器試料を電気炉中に設置した後、ＬＣＲメーターを用いて、昇温過程及び降温過程において磁器試料の静電容量が最大値となるときの温度をそれぞれ測定し、これらの平均値からキュリー温度Ｔｃを求めた。結果を表１に示す。なお、発振子が高温においても正常に機能するためには、高温においても圧電素子（試料１の磁器試料）が圧電性を保持する必要があるため、キュリー温度Ｔｃは高いほど好ましい。
【００４０】
キュリー温度Ｔｃの測定用とは別の磁器試料（試料１）を両面ラップ盤で０．４mmの厚みに平面加工した後、これをダイシングソーで縦１６mm×横１６mmの寸法に切断した。切断後の磁器試料の両端部にＡｇペーストを塗布することにより、１５mm×１５mmの寸法を有する分極処理用の仮電極を一対形成した。仮電極が形成された磁器試料に対して、温度１２０℃のシリコンオイル槽中で抗電界の２倍の分極電界を１５分間印加して、分極処理を行った。分極処理後、仮電極を除去した磁器試料を再度ラップ盤で約０．２５ｍmの厚さまで研磨し、これをダイシングソーで７mm×４．５mmの圧電素子２に加工した。次に、真空蒸着装置を用いて圧電素子２の両面に振動電極３を形成して、図１、２と同様の構成を有する発振子１を得た。なお、振動電極３は、１．５μmのＡｇ層から構成した。
【００４１】
インピーダンスアナライザー（アジレントテクノロジー社製４２９４Ａ）を使用して、３０ＭＨｚ付近での厚み縦振動の三次高調波モードにおける発振子１のＱｍａｘを測定した。結果を表１に示す。なお、Ｑｍａｘは、安定発振に寄与するものであり、大きいほど好ましい。
【００４２】
次に、図３のように、発振子１に、所定の容量を有する並列容量ＣＬ１，ＣＬ２を接続して、ＩＣと共にコルピッツ発振回路２０を形成した。なお、コルピッツ発振回路２０において、Ｒｆは帰還抵抗、Ｒｄは制限抵抗である。また、コルピッツ発振回路２０には所定のＤＣ電源（図示省略）を接続した。このコルピッツ発振回路２０を、２５℃の恒温槽に入れ、槽内の温度が２５℃に安定した時における発振周波数（以下、Ｆ０（２５℃）と記す。）を測定した。また、コルピッツ発振回路２０を入れた恒温槽の温度を−４０℃に設定し、槽内の温度が−４０℃に安定した時における発振周波数（以下、Ｆ０（−４０℃）と記す。）、及びコルピッツ発振回路２０を入れた恒温槽の温度を８５℃に設定し、槽内の温度が８５℃に安定した時における発振周波数（以下、Ｆ０（８５℃）と記す。）をそれぞれ測定した。発振周波数Ｆ０（２５℃）、Ｆ０（−４０℃）及びＦ０（８５℃）は、それぞれ周波数カウンター（アジレントテクノロジー社製５３１８１Ａ）を用いて測定した。
【００４３】
測定した発振周波数Ｆ０（２５℃）、Ｆ０（−４０℃）及びＦ０（８５℃）の値から、下記数式（１），（２）を用いて、発振周波数Ｆ０の温度特性値Ｆ０ＴＣ１及びＦ０ＴＣ２（単位：ｐｐｍ／℃）を求めた。結果を表１に示す。なお、Ｆ０ＴＣ１，Ｆ０ＴＣ２がそれぞれ小さいほど、発振周波数Ｆ０が温度変化に対して安定しており、Ｆ０の温度特性が良好であることを意味する。したがって、Ｆ０ＴＣ１，Ｆ０ＴＣ２は小さいほど好ましい。
【数１】
0004983538.tif 000002
【数２】
0004983538.tif 000003
【００４４】
本焼成後の磁器試料（焼結体）を構成する圧電磁器組成物が表１に示す試料２〜３０の各組成を有するものとなるように各粉末原料を配合したこと以外は、試料１と同様の方法で、試料２〜３０としての磁器試料をそれぞれ作製した。また、試料１と同様の方法で、試料２〜３０のキュリー温度Ｔｃ、Ｑｍａｘ、Ｆ０ＴＣ１及びＦ０ＴＣ２をそれぞれ求めた。結果を表１に示す。なお、表１に示す試料１〜３０のうち、キュリー温度Ｔｃが３００℃以上であり、Ｑｍａｘが１０以上であり、且つＦ０ＴＣ１及びＦ０ＴＣ２がいずれも１５ｐｐｍ／℃以下である試料が好ましい。
【００４５】
【表１】
0004983538.tif 000004
【００４６】
表１に示すように、磁器試料を構成する圧電磁器組成物が、０．９１≦α≦１．００、０＜β≦０．０８、０．１２５≦ｘ≦０．３００、０．０２０≦ｙ≦０．０３７、及び０．０４０≦ｚ≦０．０７０を満たす試料３，８〜１２，１４〜３０においては、キュリー温度Ｔｃが３００℃以上であり、Ｑｍａｘが１０以上であり、且つＦ０ＴＣ１及びＦ０ＴＣ２がいずれも１５ｐｐｍ／℃以下であることが確認された。
【００４７】
ｘが０．１２５未満である試料１，２では、Ｆ０ＴＣ２が大きく、発振周波数Ｆ０の温度特性が良好でないことが確認された。また、ｘが０．３００を越える試料４では、キュリー温度Ｔｃが３００℃未満であり、Ｆ０ＴＣ１が大きいことが確認された。
【００４８】
αが０．９１未満である試料１３では、磁器試料の抵抗率が低かったため、分極処理によって磁器試料に充分な圧電性を付与することができなかった。
【００４９】
以上の実験結果から、本発明によれば、厚み縦振動の三次高調波モードを利用する発振子に用いられたときに、十分に高いＱｍａｘ、及び発振周波数Ｆ０の良好な温度特性を得ることを可能にする圧電磁気組成物が提供されることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の一実施形態に係る発振子を示す斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】発振子を備えるコルピッツ発振回路図である。
【符号の説明】
【００５１】
１…発振子、２…圧電素子、３…振動電極。
【図１】
0004983538.tif 000005
【図２】
0004983538.tif 000006
【図３】
0004983538.tif 000007