(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定媒体の圧力に応じたセンサ出力信号を出力するセンサチップ（５）を含むセンサ部（４）と、
一面に凹部（２）を備え、前記凹部（２）に前記センサ部（４）が備えられるケースプラグ（１）と、
収容凹部（１２）を有すると共に、前記収容凹部（１２）に前記ケースプラグ（１）が挿入され、前記収容凹部（１２）の開口端（１３）が前記ケースプラグ（１）にかしめられることにより前記ケースプラグ（１）と一体に組みつけられるハウジング（１１）と、
前記測定媒体の圧力が印加され、前記ケースプラグ（１）の前記一面と前記ハウジング（１１）のうち前記収容凹部（１２）の底面との間に配置されるメタルダイヤフラム（１７ａ、１７ｂ）と、
前記ケースプラグ（１）と前記ハウジング（１１）とが組みつけられることで前記凹部（２）および前記メタルダイヤフラム（１７ａ、１７ｂ）で囲まれる部分にて形成される圧力検出室（１９）内に充填される圧力伝達部材（２０）と、
前記ケースプラグ（１）の前記一面に前記凹部（２）を囲むように形成された環状の溝（２１）と、
前記溝（２１）に前記溝（２１）の底面および前記メタルダイヤフラム（１７ａ、１７ｂ）と接触するように配置され、前記圧力検出室（１９）と前記圧力検出室（１９）の外部とを区画すると共に、前記圧力検出室（１９）を気密封止する環状のシール部材（２４ａ〜２４ｃ）と、を備える圧力センサであって、
前記シール部材（２４ａ〜２４ｃ）は、耐オイル性を有する第１の部材（２４ａ）と、前記第１の部材（２４ａ）より水蒸気の透過性が低い第２の部材（２４ｂ）と、金属リング（２４ｃ）とを有して構成されており、前記溝（２１）に環状の金属リング（２４ｃ）が配置され、前記第１の部材（２４ａ）および前記第２の部材（２４ｂ）は前記金属リング（２４ｃ）と前記溝（２１）の底面との間および前記金属リング（２４ｃ）と前記メタルダイヤフラム（１７ａ、１７ｂ）との間それぞれに備えられ、前記第１の部材（２４ａ）および前記第２の部材（２４ｂ）は、前記金属リング（２４ｃ）および前記溝（２１）の底面に接触するように配置されていると共に、前記金属リング（２４ｃ）および前記メタルダイヤフラム（１７）に接触するように配置されており、前記第２の部材（２４ｂ）は前記溝（２１）のうち前記第１の部材（２４ａ）より外周壁面（２１ａ）側に配置されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記第１の部材（２４ａ）および前記第２の部材（２４ｂ）は前記第１の部材（２４ａ）および前記第２の部材（２４ｂ）における中心軸に対する径方向に切断した断面がＯ型状とされていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記第１の部材（２４ａ）および前記第２の部材（２４ｂ）は前記第１の部材（２４ａ）および前記第２の部材（２４ｂ）における中心軸に対する径方向に切断した断面が矩形状とされていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記シール部材（２４ａ〜２４ｃ）は、前記シール部材（２４ａ〜２４ｃ）における中心軸に対する径方向の断面がＯ型状または矩形状とされており、前記第１の部材（２４ａ）と前記第２の部材（２４ｂ）とが接合されて構成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ素子を収納する圧力検出室をケースプラグとハウジングとを組み付けることにより形成し、この圧力検出室をケースプラグとハウジングとにより挟まれた部材で気密封止するようにした圧力センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、センサ素子を搭載したコネクタケースをハウジングに形成した凹部に収容し、ハウジングの凹部の開口端をかしめることで、コネクタケースとハウジングとを一体に組みつけた圧力センサが開示されている（例えば、特許文献１参照）。この圧力センサでは、センサ素子が直接測定媒体に曝されないように、メタルダイヤフラムで覆われた圧力検出室内にセンサ素子を収容し、メタルダイヤフラムに加えられた圧力がセンサ素子に伝達されるように、圧力検出室内を圧力伝達部材となるオイルで充填させている。そして、圧力検出室内に充填されたオイルがコネクタケースとメタルダイヤフラムとの間の隙間を通じて漏れないように、これらの間に圧力検出室を囲む耐オイル性を有するシリコーンゴム等で構成されたＯリングを配置し、圧力検出室を気密封止している。
【０００３】
このような圧力センサでは、メタルダイヤフラムに圧力が印加されると、圧力検出室内を充填するオイルを介してセンサ素子に圧力が印加され、センサ素子が圧力に応じたセンサ信号を出力することで圧力の検出が行われる。
【特許文献１】特開２０００−３２９６３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した圧力センサでは、ハウジングのうちコネクタケースが収容される凹部の開口端をかしめることにより、ハウジングとコネクタケースとを一体に組付けているため、コネクタケースとハウジングとの間の隙間等による空気室が形成されることになる。このため、この空気室内に水が浸入することがある。例えば、圧力センサの使用環境が高温から常温に変化したときに結露水が発生すると、空気室内の圧力がセンサ外部よりも低くなっているため、容易に空気室に吸い込まれることになる。そして、圧力センサの使用環境が再び常温から高温に変化すると、空気室内に引き込まれた水滴が水蒸気へと変化する。このとき、圧力検出室の圧力が空気室の圧力より低いと、オイル封止のみを考慮したＯリングの水蒸気透過性が高いため、空気室内の水蒸気が圧力検出室に侵入し、圧力検出室内の圧力を変動させ、センサ素子からのセンサ出力を変動させてしまうという問題がある。
【０００５】
本発明は上記点に鑑みて、水蒸気が圧力検出室内に侵入することを抑制し、センサ素子からのセンサ出力が変動してしまうことを防止できる圧力センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、凹部（２）にセンサチップ（５）を含むセンサ部（４）が配置されたケースプラグ（１）をハウジング（１１）の収容凹部（１２）に挿入し、収容凹部（１２）の開口端（１３）をケースプラグ（１）にかしめることによりケースプラグ（１）とハウジング（１１）とを組み付け、ケースプラグ（１）とハウジング（１１）との間に凹部（２）を覆うようにメタルダイヤフラム（１７ａ、１７ｂ）を備えることにより圧力検出室（１９）を構成してこの圧力検出室（１９）内を圧力伝達部材（２０）で充填し、ケースプラグ（１）の一面に凹部（２）を囲むように環状の溝（２１）を形成すると共に、この溝（２１）に溝（２１）の底面およびメタルダイヤフラム（１７ａ、１７ｂ）と接触するように環状のシール部材（２４ａ〜２４ｃ）を配置し、シール部材（２４ａ〜２４ｃ）により圧力検出室（１９）を気密封止する圧力センサであって、シール部材（２４ａ〜２４ｃ）を耐オイル性を有する第１の部材（２４ａ）と、第１の部材（２４ａ）より水蒸気の透過性が低い第２の部材（２４ｂ）と、金属リング（２４ｃ）とを有して構成し、溝（２１）に環状の金属リング（２４ｃ）を配置し、第１の部材（２４ａ）および第２の部材（２４ｂ）を金属リング（２４ｃ）と溝（２１）の底面との間および金属リング（２４ｃ）とメタルダイヤフラム（１７ａ、１７ｂ）との間それぞれに備え、第１の部材（２４ａ）および第２の部材（２４ｂ）を金属リング（２４ｃ）および溝（２１）の底面に接触するように配置すると共に金属リング（２４ｃ）およびメタルダイヤフラム（１７）に接触するように配置し、第２の部材（２４ｂ）を溝（２１）のうち第１の部材（２４ａ）より外周壁面（２１ａ）側に配置することを特徴としている。
【００１５】
このような圧力センサによれば、溝（２１）のうち第１の部材（２４ａ）よりも外周壁面（２１ａ）側に水蒸気の透過性が第１の部材（２４ａ）よりも低い第２の部材（２４ｂ）が配置されているので、従来の圧力センサよりも水蒸気が圧力検出室（１９）内に侵入することを抑制することができ、センサチップ（５）からのセンサ出力が変動してしまうことを防止することができる。
【００１６】
例えば、請求項２に記載の発明のように、第１の部材（２４ａ）および第２の部材（２４ｂ）を第１の部材（２４ａ）および第２の部材（２４ｂ）における中心軸に対する径方向に切断した断面がＯ型状となるようにすることができる。
【００１７】
また、請求項３に記載の発明のように、第１の部材（２４ａ）および第２の部材（２４ｂ）を第１の部材（２４ａ）および第２の部材（２４ｂ）における中心軸に対する径方向に切断した断面が矩形状となるようにすることができる。
【００１８】
さらに、請求項４に記載の発明のように、シール部材（２４ａ〜２４ｃ）を第１の部材（２４ａ）と第２の部材（２４ｂ）とを接合して構成し、シール部材（２４ａ〜２４ｃ）をシール部材（２４ａ〜２４ｃ）における中心軸に対する径方向の断面がＯ型状または矩形状となるようにすることができる。
【００２０】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（第１実施形態）
本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図１は、本実施形態にかかる圧力センサの全体断面図、図２は、図１に示す二点鎖線部分の拡大図である。これら図１、図２に基づいて本実施形態の圧力センサの構成について説明する。
【００２２】
図１に示されるように、圧力センサにはケースプラグ１が備えられており、このケースプラグ１は、例えば、断熱樹脂材料であるＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では円柱状をなしている。このケースプラグ１のうち一端部の一面には凹部２が形成されており、他端部には開口部３が形成されている。
【００２３】
凹部２にはセンサ部４が備えられ、センサ部４はセンサチップ５と台座６とを有して構成されており、センサチップ５と台座６とは陽極接合されている。センサチップ５にはダイヤフラム７が形成されており、ダイヤフラム７には図示しないブリッジ回路を構成するように形成されたゲージ抵抗が備えられている。つまり、このセンサチップ５は、ダイヤフラム７に圧力が印加されるとゲージ抵抗の抵抗値が変化してブリッジ回路の電圧が変化し、この電圧の変化に応じてセンサ出力信号を出力する半導体ダイヤフラム式のものである。
【００２４】
また、ケースプラグ１には、センサチップ５と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル８が備えられている。各ターミナル８はインサートモールドによりケースプラグ１と一体に成形されることによりケースプラグ１内に保持されている。
【００２５】
具体的には、各ターミナル８はケースプラグ１を貫通しており、各ターミナル１のうち一端部はケースプラグ１から凹部２内に突出しており、他端部はケースプラグ１から開口部３内に突出している。凹部２内に突出している各ターミナル８の端部は、ボンディングワイヤ９を介してセンサチップ５と電気的に接続されており、開口部３内に突出している各ターミナル８の端部は、図示しないワイヤハーネス等の外部配線部材を介して外部回路と電気的に接続されている。
【００２６】
そして、凹部２のうちターミナル８が突出している部分には、例えば、シリコーン系樹脂からなるシール材１０が配置されている。このシール材１０は凹部２とターミナル８との隙間を封止するためのものである。
【００２７】
また、ケースプラグ１にはハウジング１１が組みつけられている。具体的には、ハウジング１１には収容凹部１２が備えられており、この収容凹部１２内にケースプラグ１のうち凹部２が形成されている一面が挿入され、ハウジング１１のうち収容凹部１２の開口端１３をケースプラグ１にかしめることでケースプラグ１とハウジング１１とが組みつけられている。ハウジング１１は、例えば、ＳＵＳ等の金属材料よりなるものであり、測定媒体を導入するための圧力導入孔１４と圧力導入孔１４の外周壁面に圧力センサを固定するためのねじ部１５が備えられている。また、ケースプラグ１とハウジング１１とはかしめることにより組みつけられているので、ケースプラグ１とハウジング１１との間には空気室１６が形成されている。
【００２８】
そして、ハウジング１１のうち収容凹部１２の底面とケースプラグ１のうち凹部２が形成されている一面との間には、円形のメタルダイヤフラム１７が配置されている。具体的には、このメタルダイヤフラム１７は、薄膜で構成されていると共に測定媒体の圧力が印加されるダイヤフラム部１７ａと、ダイヤフラム部１７ａの外縁部に配置され、ダイヤフラム部１７ａの外縁部をハウジング１１に対して固定するリングウェルド１７ｂとを有して構成されている。そして、ハウジング１１、ダイヤフラム部１７ａのうち外縁部およびリングウェルド１７ｂがレーザ溶接などにより溶接された溶接部１８にて接合されている。
【００２９】
このように構成されたケースプラグ１とハウジング１１とにおいて、凹部２およびメタルダイヤフラム１７で囲まれる部分に圧力検出室１９が構成されている。そして、圧力検出室１９内にはメタルダイヤフラム１７に印加された圧力をセンサチップ５に伝達するオイル２０が充填されている。なお、本実施形態では、オイル２０が圧力伝達部材に相当している。
【００３０】
また、ケースプラグ１のうち凹部２が備えられる一面には、凹部２を囲むように環状の溝２１が形成されている。そして、図２に示されるように、溝２１に溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７と接触するように環状のシール部材２２が配置されており、シール部材２２により圧力検出室１９が気密封止されている。このシール部材２２はＯリング２２ａおよび金属部材２２ｂを有して構成されており、Ｏリング２２ａの表面のうち溝２１の外周壁面２１ａ側に位置する部分が溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７に接触している金属部材２２ｂにて全面が覆われている。なお、Ｏリング２２ａには従来と同様にシリコーンゴム等を用いることができ、金属部材２２ｂにはＡｌ等を用いることができる。
【００３１】
このような圧力センサは、基本的にはシール部材２２を溝２１に配置すること以外に関しては従来と同様（例えば、特開２０００−３２９６３３号公報参照）にして製造される。シール部材２２はＯリング２２ａの表面のうち溝２１の外周壁面２１ａ側に位置する部分に蒸着などにより金属部材２２ｂを配置することで製造され、ケースプラグ１とハウジング１１とがかしめられる前に溝２１に配置される。
【００３２】
かかる圧力センサの基本的な検出作動について述べる。
【００３３】
測定媒体が圧力導入孔１４を通じてダイヤフラム部１７ｂに印加されると、圧力検出室１９内に充填されているオイル２０を介してセンサチップ５に形成されているダイヤフラム７に圧力が印加される。ダイヤフラム７にはブリッジ回路を構成するように形成されたゲージ抵抗が備えられており、ダイヤフラム７に圧力が印加されるとピエゾ抵抗効果によりゲージ抵抗の抵抗値が変化する。このため、センサチップ５ではブリッジ回路の出力電圧が変化し、印加された圧力に応じたセンサ信号が出力される。このセンサ信号は、センサチップ５からボンディングワイヤ９およびターミナル８を介して外部に伝達され、これに基づいて測定媒体の圧力が検出される。
【００３４】
このような圧力センサでは圧力センサの使用環境が高温から常温に変化すると圧力センサの外面に結露水が付着する。そして、空気室１６内の圧力が圧力センサ外部より低くなっているため、この結露水が容易に空気室１６内に引き込まれ、圧力センサの使用環境が再び常温から高温に変化すると空気室１６内に引き込まれた結露水が水蒸気へと変化する。このとき、圧力検出室１９内の圧力が空気室１６より低いと、空気室１６内の水蒸気が圧力検出室１９内に侵入しようとする。しかしながら、本実施形態の圧力センサによれば、Ｏリング２２ａの表面のうち溝２１の外周壁面２１ａ側に位置する部分を溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７と接触している金属部材２２ｂにて全面覆っているため、金属部材２２ｂにて水蒸気を透過させないようにできる。このため、水蒸気が圧力検出室１９内へ侵入することを抑制することができ、センサチップ５からのセンサ出力が変動してしまうことを防止することができる。
【００３５】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第１実施形態に対して、シール部材２２の構成を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
【００３６】
図３に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図３は、図１に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図１と同様である。
【００３７】
図３に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、環状のシール部材２３が溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７と接触するように配置されている。具体的には、本実施形態のシール部材２３は成形等により形成された金属リング２３ａとされている。また、シール部材２３には、かしめによるかしめ圧で押しつぶされるように、シール部材２３の中心軸に対して周方向に一周する中空部２３ｂが形成されている。そして、シール部材２３は溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７と接触し、弾性変形した状態で溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７との間に配置されている。なお、シール部材２３を構成する金属リング２３ａは金属部材２２ｂと同様にＡｌ等を用いて製造され、中心軸に対する径方向に切断した断面がＯ型状とされている。
【００３８】
このような圧力センサによれば、金属リング２３ａにて水蒸気を透過させないようにしつつ、圧力検出室１９を気密封止することができるので上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、本実施形態のシール部材２３は金属リング２３ａで構成されており、耐オイル性も備えているのでシール部材２３が腐食して圧力検出室１９からオイル２０が漏れ出すこともない。また、本実施形態では、シール部材２３を溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７と接触させ、弾性変形させた状態で溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７との間に配置しているが、塑性変形させた状態で溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７との間に配置してもよい。
【００３９】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第２実施形態に対して、シール部材２３の構造を変更したものであり、その他に関しては第２実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
【００４０】
図４に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図４は、図１に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図１と同様である。
【００４１】
図４に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、シール部材２３は中心軸に対して周方向に一周する開口部２３ｃが形成されており、シール部材２３は中心軸に対する径方向に切断した断面がＣ型状とされている。そして、開口部２３ｃが溝２１の内周壁面２１ｂ側に向けられて溝２１に配置されている。
【００４２】
このような圧力センサによれば、上記第２実施形態より金属リング２３ａと溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７との接触面積を増加させることができる。このため、上記第１実施形態と同様の効果を得つつ、圧力検出室１９の気密封止性を向上させることも可能となる。
【００４３】
なお、本実施形態では、シール部材２３は開口部２３ｃが溝２１の内周壁面２１ｂ側に向けられて配置されているが、開口部２３ｃが溝２１の外周壁面２１ａ側に向けられて配置されていてもよい。さらに、本実施形態では、シール部材２３の中心軸に対して径方向に切断した断面は溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７と接触する部分が直線であるＣ型状とされているが、シール部材２３のうち開口部２３ｃの端部が溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７から離間されているＣ型状としてもよい。
【００４４】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第３実施形態に対して、シール部材２３の構成を変更したものであり、その他に関しては第３実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
【００４５】
図５に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図５は、図１に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図１と同様である。
【００４６】
図５に示されるように、本実施形態の圧力センサは、シール部材２３が金属リング２３ａおよびＯリング２３ｄを有して構成されており、金属リング２３ａの中空部２３ｂ内にＯリング２３ｄが配置されている。
【００４７】
このような圧力センサによれば、ケースプラグ１とハウジング１１とをかしめにより組み付けてシール部材２３をかしめ圧により押しつぶす際に、Ｏリング２３ｄの弾性力により金属リング２３ａと溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７との接触性を向上させることができる。このため、上記第１実施形態と同様の効果を得つつ、圧力検出室１９の気密封止性を向上させることも可能となる。
【００４８】
（第５実施形態）
本発明の第５実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第１実施形態に対して、シール部材２２の構成を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００４９】
図６に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図６は、図１に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図１と同様である。
【００５０】
図６に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、環状のシール部材２４が溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７と接触するように配置されている。具体的には、シール部材２４は耐オイル性を有する材質、例えば、シリコーンゴムで構成される第１の部材２４ａと、第１の部材２４ａより水蒸気の透過性が低い材質、例えば、エチレンプロピレンゴムで構成される第２の部材２４ｂとを有して構成されている。これら第１の部材２４ａおよび第２の部材２４ｂはそれぞれの中心軸に対する径方向に切断した断面がＯ型状とされており、第２の部材２４ｂが溝２１内において、第１の部材２４ａよりも外周壁面２１ａ側に位置するように配置されている。
【００５１】
このような圧力センサによれば、第１の部材２４ａにより圧力検出室１９を気密封止することができる。そして、溝２１のうち第１の部材２４ａよりも外周壁面２１ａ側に配置された水蒸気の透過性が第１の部材２４ａよりも低い第２の部材２４ｂにより、従来の圧力センサよりも水蒸気が圧力検出室１９内に侵入することを抑制することができ、センサチップ５からのセンサ出力が変動してしまうことを防止することができる。
【００５２】
（第６実施形態）
本発明の第６実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第５実施形態に対して、シール部材２４の構成を変更したものであり、その他に関しては第５実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００５３】
図７に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図７は、図１に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図１と同様である。
【００５４】
本実施形態の圧力センサでは、シール部材２４を構成する第１の部材２４ａおよび第２の部材２４ｂはそれぞれの中心軸に対する径方向に切断した断面が矩形状とされている。そして、図７に示されるように、第１の部材２４ａおよび第２の部材２４ｂは、かしめによるかしめ圧により溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７により押しつぶされることでそれぞれの中心軸に対する径方向に切断した断面が太鼓型状とされている。
【００５５】
このような圧力センサによれば、シール部材２４と溝２１の底面およびメタルダイヤフラム１７との接触面積を増加させることができる。このため、上記第５実施形態と同様の効果を得つつ、圧力検出室１９の気密封止性を向上させることができる。  
【００５６】
（第７実施形態）
本発明の第７実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第５実施形態に対して、シール部材２４の構成を変更したものであり、その他に関しては第５実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００５７】
図８に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図８は、図１に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図１と同様である。
【００５８】
図８に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、シール部材２４は中心軸に対する断面が半円型状である第１の部材２４ａと第２の部材２４ｂとを、それぞれの平面にて接合することで構成されている。そして、シール部材２４の外壁面のうち第１の部材２４ａと第２の部材２４ｂとの境界が溝２１の底面と接触するように配置されていると共に、メタルダイヤフラム１７と接触するように配置されている。このとき、上記第５実施形態と同様に、第２の部材２４ｂが溝２１内において、第１の部材２４ａよりも外周壁面２１ａ側に位置するように配置されている。
【００５９】
このような圧力センサとしても上記第５実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、このようなシール部材２４は、中心軸に対する径方向に切断した断面がＯ型状の第１の部材２４ａと第２の部材２４ｂとをそれぞれ中心軸に対して周方向に二等分されるように切断し、これらを加硫接着により接着することで製造される。
【００６０】
（第８実施形態）
本発明の第８実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは第５実施形態に対して、シール部材２４の構成を変更したものであり、その他に関しては第５実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００６１】
図９に本実施形態の圧力センサの部分拡大図を示す。なお、図９は、図１に示す二点鎖線部分に対応しており、本実施形態の圧力センサのうちの他の部分に関しては図１と同様である。
【００６２】
図９に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、シール部材２４が第１の部材２４ａ、第２の部材２４ｂおよび金属リング２４ｃを有して構成されている。金属リング２４ｃは上記第３実施形態の金属リング２３ａと同様の形状とされて溝２１に配置されており、第１の部材２４ａおよび第２の部材２４ｂが金属リング２４ｃと溝２１の底面との間および金属リング２４ｃとメタルダイヤフラム１７との間それぞれに備えられている。
【００６３】
具体的には、第１の部材２４ａおよび第２の部材２４ｂは、金属リング２４ｃおよび溝２１の底面と接触するように配置されていると共に、金属リング２４ｃおよびメタルダイヤフラム１７と接触するように配置されている。また、本実施形態では、第１の部材２４ａおよび第２の部材２４ｂはそれぞれの中心軸に対する径方向に切断した断面が矩形状とされている。このような圧力センサとしても、上記第５実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６４】
（他の実施形態）
上記各実施形態を組み合わせて圧力センサを構成してもよい。例えば、上記第２実施形態に上記第４実施形態を組み合わせて、金属リング２３ａの中空部２３ｂにＯリング２３ｄを配置してもよい。また、上記第６実施形態と上記第７実施形態を組み合わせて、シール部材２４を中心軸に対する断面が矩形状である第１の部材２４ａと第２の部材２４ｂとを接合して構成し、シール部材２４のうち第１の部材２４ａと第２の部材２４ｂとの境界を、溝２１の底面と接触するように配置すると共に、メタルダイヤフラム１７と接触するように配置してもよい。
【００６５】
さらに、上記第８実施形態では、金属リング２４ｃを上記第２実施形態の金属リング２３ａと同様の形状としてもよい。また、第１の部材２４ａおよび第２の部材２４ｂをそれぞれの中心軸に対する径方向に切断した断面がＯ型状としてもよい。そして、上記第７実施形態のように、シール部材２４を中心軸に対する断面が半円型状である第１の部材２４ａと第２の部材２４ｂとを、それぞれの平面にて接合することで構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の第１実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。
【図２】図１に示す二点鎖線部分の拡大図を示す図である。
【図３】本発明の第２実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。
【図４】本発明の第３実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。
【図５】本発明の第４実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。
【図６】本発明の第５実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。
【図７】本発明の第６実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。
【図８】本発明の第７実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。
【図９】本発明の第８実施形態にかかる圧力センサの部分拡大図を示す図である。
【符号の説明】
【００６７】
１      ケースプラグ
２      凹部
５      センサチップ
１１    ハウジング
１２    収容凹部
１７    メタルダイヤフラム  
２１    溝
２２ａ  Ｏリング
２２ｂ  金属部材
２３ａ  金属リング
２３ｂ  中空部
２３ｃ  開口部
２３ｄ  Ｏリング
２４ａ  第１の部材
２４ｂ  第２の部材
２４ｃ  金属リング
【図１】
0004905383.tif 000002
【図２】
0004905383.tif 000003
【図３】
0004905383.tif 000004
【図４】
0004905383.tif 000005
【図５】
0004905383.tif 000006
【図６】
0004905383.tif 000007
【図７】
0004905383.tif 000008
【図８】
0004905383.tif 000009
【図９】
0004905383.tif 000010