(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に信号を入出力する信号送受信部材と前記基板との間の結合状態を検査する検査モジュールと、
前記検査モジュールと互いに高さの異なる上下の層に備えられ、前記信号送受信部材のリード線を保護するための保護膜を前記信号送受信部材と前記基板とに形成する塗布モジュールと、
前記信号送受信部材が結合された前記基板を、前記検査モジュール又は前記塗布モジュールに移送するように、前記基板を載置して上下方向に移動する昇降部材と、
シャフトの回転により前記基板を前記昇降部材に移送する第１移送ユニットと、
前記塗布モジュールの一側に配置され、前記基板を前記塗布モジュールから提供されてシャフトの回転により前記基板を移送する第２移送ユニットと、
を備えた基板の製造装置であって、
前記検査モジュールは、
前記昇降部材から移送された前記基板が固定される第１ワークベンチと、
前記第１ワークベンチに固定した前記基板の下方に配置され、前記基板において前記信号送受信部材の付着されたボンディング領域を撮像する撮像部とを備え、
前記塗布モジュールは、
前記昇降部材から移送された前記基板が固定される第２ワークベンチと、
前記第２ワークベンチに置かれた基板の上方に配置され、酸化防止液を吐出して前記信号送受信部材と前記基板とに前記保護膜をコーティングする塗布部とを備え、
前記第１及び第２ワークベンチの各々は、
互いに並列に配置され、回転によりその上に載置された前記基板を水平移送する複数のシャフトを備え、
前記昇降部材は、
互いに並列に配置され、回転によりその上に載置された前記基板を移送する複数のシャフトと、前記シャフトと結合して前記シャフトの位置を固定できるフレームを備える第３のワークベンチと、
前記第３のワークベンチを上下方向へ移動させる垂直移動部とを備えることを特徴とする基板の製造装置。
【請求項２】
前記信号送受信部材は、導電粒子を有する異方性導電部材を介して熱圧着により前記基板に付着され、
前記撮像部は、前記導電粒子により前記基板に形成された圧痕を撮像することを特徴とする請求項１に記載の基板の製造装置。
【請求項３】
前記第１及び第２ワークベンチのうち、少なくとも何れか一つは、
前記シャフトと結合して前記シャフトの位置を固定できるフレームをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の基板の製造装置。
【請求項４】
前記シャフトは、前記フレームに「脱」・「着」可能に固定され、「脱」状態では、前記シャフトが前記ワークベンチに載置された基板を水平移動可能に支持し、
「着」状態では前記フレームが前記ワークベンチに載置された基板を固定支持することを特徴とする請求項３に記載の基板の製造装置。
【請求項５】
前記検査モジュールは、前記塗布モジュールの上方に配置されたことを特徴とする請求項１に記載の基板の製造装置。
【請求項６】
基板に付着されて前記基板に信号を入出力する信号送受信部材と前記基板との結合状態を検査する検査モジュールと、前記信号送受信部材と前記基板とに保護膜を形成する塗布モジュールと、を互いに高さの異なる上下の層に設置するステップと、
前記検査モジュールを駆動させて、複数の基板のうち、Ｎ（但し、ここでＮは、１以上の自然数）番目の基板とこれに対応する信号送受信部材との結合状態を検査し、これと同時に前記塗布モジュールを駆動させて、前記基板のうち、（Ｎ＋１）番目の基板に前記保護膜を形成するステップと、
前記Ｎ番目の基板の結合状態検査が完了すると、前記Ｎ番目の基板を地面に対して垂直移送して前記塗布モジュールに配置するステップと、
前記塗布モジュールを駆動して、前記Ｎ番目の基板とこれに対応する信号送受信部材の上面とに前記保護膜を形成するステップとを含む基板の製造方法であり、
前記Ｎ番目の基板とこれに対応する信号送受信部材との間の結合状態を検査するステップは、
前記Ｎ番目の基板を前記検査モジュールの第１ワークベンチに固定するステップと、
前記検査モジュールの撮像部を前記Ｎ番目の基板の下方に配置するステップと、
前記撮像部が前記Ｎ番目の基板において前記信号送受信部材の付着されたボンディング領域を撮像するステップとを含み、
前記保護膜を形成するステップは、
前記基板を前記塗布モジュールの第２ワークベンチに固定するステップと、
前記塗布モジュールの塗布部を前記基板のボンディング領域の上方に配置するステップと、
前記塗布部を前記基板のボンディング領域に沿って移動させつつ、前記基板とこれに対応する信号送受信部材とに前記保護膜をコーティングするステップと、
前記基板を前記第２ワークベンチからアンローディングするステップとを含むことを特徴とする基板の製造方法。
【請求項７】
前記信号送受信部材は、導電粒子を有する異方性導電部材を介して熱圧着により前記基板に付着され、
前記撮像部は、前記Ｎ番目の基板のボンディング領域に沿って移動しつつ、前記導電粒子により前記基板に形成された圧痕を撮像することを特徴とする請求項６に記載の基板の製造方法。
【請求項８】
基板を移送する第１移送ユニットと、
前記第１移送ユニットから移送された基板に対して予め定められた工程を行う処理ユニットと、
前記処理ユニットにより予め定められた工程が行われた基板が移送される第２移送ユニットと、を備え、
前記処理ユニットは、
基板に信号を出力する信号送受信部材と前記基板との間の結合状態を検査する検査モジュールと、
前記検査モジュールと互いに異なる層に位置し、前記信号送受信部材のリード線を保護するための保護膜を前記信号送受信部材と前記基板とに形成する塗布モジュールと、
前記第１移送ユニットから移送された基板を前記検査モジュール及び前記塗布モジュールに選択的に移送するように、上下方向へ移動可能な昇降部材と、を備える基板の製造装置であり、
上方から見るとき、前記第１移送ユニット、前記昇降部材、前記検査モジュールと前記塗布モジュール、及び前記第２移送ユニットは、一列に順次接して配置され、少なくとも前記検査モジュールと前記塗布モジュールの前記昇降部材に接する部分は重畳して配置されていることを特徴とする基板の製造装置。
【請求項９】
前記検査モジュール、前記塗布モジュール、前記昇降部材の各々は、基板の移送のためのシャフトを備えることを特徴とする請求項８に記載の基板の製造装置。
【請求項１０】
前記第１移送ユニットと前記第２移送ユニットの各々は、基板の移送のためのシャフトを備えることを特徴とする請求項９に記載の基板の製造装置。
【請求項１１】
前記第１移送ユニット、前記塗布モジュール、及び前記第２移送ユニットは、同一層に配置されることを特徴とする請求項１０に記載の基板の製造装置。
【請求項１２】
前記信号送受信部材は、導電粒子を有する異方性導電部材を介して熱圧着により前記基板に付着され、
前記検査モジュールは、前記導電粒子により前記基板に形成された圧痕を撮像する撮像部を備え、
前記塗布モジュールは、前記信号送受信部材と前記基板にシリコンを塗布する塗布部とを備えることを特徴とする請求項８に記載の基板の製造装置。
【請求項１３】
基板に信号を入出力する信号送受信部材と前記基板との間の結合状態を検査する検査モジュール、及び前記信号送受信部材のリード線を保護するための保護膜を前記信号送受信部材と前記基板とに形成する塗布モジュールを互いに高さの異なる上下の層に配置し、
移送された基板のうち、選択された基板は、前記検査モジュールに移送されて検査工程を行い、前記移送された基板のうち、選択されない基板は、前記塗布モジュールに移送されてコーティング工程を行う基板の製造方法において、
前記検査モジュールで検査が行われた基板は、前記塗布モジュールに移送されてコーティング工程を行い、
前記基板は、前記基板を載置した状態で上下方向へ移動可能な昇降部材を介して前記検査モジュール又は前記塗布モジュールに移送されることを特徴とする基板の製造方法。
【請求項１４】
前記昇降部材、前記検査モジュール、及び前記塗布モジュールの各々には、シャフトを提供して、前記昇降部材と前記検査モジュール、及び前記昇降部材と前記塗布モジュールとの間の基板の移送は、前記シャフトの回転により行われることを特徴とする請求項１３に記載の基板の製造方法。
【請求項１５】
前記信号送受信部材は、導電粒子を有する異方性導電部材を介して熱圧着により前記基板に付着され、
前記検査工程は、前記導電粒子により前記基板に形成された圧痕を撮像し、
前記コーティング工程は、前記信号送受信部材と前記基板とにシリコーンを塗布することを特徴とする請求項１３に記載の基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板表示装置用の基板の製造装置及び方法に係り、さらに詳細には、映像処理に使われる液晶表示装置（ＬＣＤ）などの平板表示装置用の基板の、圧痕検査とシリコン塗布を行う製造装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近の情報処理機器は、多様な形態の機能とより高速の情報処理速度を有するように急速に発展しつつある。このような情報処理装置は、所定の情報を表示する表示パネルを有する。いままで表示パネルには、主にブラウン管（ｃａｔｈｏｄｅ  ｒａｙ  ｔｕｂｅ）モニターが用いられたが、最近では、技術の急速な発展によって軽く且つ占有空間の小さい、液晶表示装置などの平板表示装置の使用が急激に増大しつつある。
【０００３】
一般に、液晶表示装置は、ゲート信号とデータ信号とを受けて映像を表示する液晶表示パネルを具備する。液晶表示パネルのゲート側には、複数のゲートテープキャリアパッケージ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）が付着され、ソース側には、複数のデータテープキャリアパッケージが付着される。ゲートテープキャリアパッケージは、液晶表示パネルにゲート信号を出力し、データテープキャリアパッケージは、液晶表示パネルにデータ信号を出力する。
従って、液晶表示装置用の基板は、液晶表示パネルとこれに付着された複数のゲートテープキャリアパッケージ及びゲートテープキャリアパッケージを含む。
【０００４】
このような液晶表示装置用の基板を製造する工程は、ゲートテープキャリアパッケージ及びデータテープキャリアパッケージと液晶表示パネルとの結合エラーを検査する圧痕検査工程、及びゲートテープキャリアパッケージとデータテープキャリアパッケージの各出力リード線に保護膜を形成する保護膜コーティング工程を含む。
【０００５】
一般に、圧痕検査工程を行うための装置と保護膜コーティング工程を行うための装置は、別途の空間に各々設置されるので、空間活用率が低下する。また、圧痕検査工程と保護膜コーティング工程が順次に行われ、圧痕検査に多くの時間がかかる。これによって、工程時間が増加し、生産性が低下する。
このような問題は、液晶表示装置用の基板に限らず、ＰＤＰや有機ＥＬなどの平板表示装置用の基板に共通する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、圧痕検査工程と保護膜コーティング工程とを効率的に行うことができる基板の製造装置及び方法を提供することにある。
また、本発明は、圧痕検査工程と保護膜コーティング工程とを行う際に、空間活用率を向上させることができる基板の製造装置及び方法を提供することにある。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、これに制限されず、言及されないさらに他の課題は、以下の記載から当業者にとって明確に理解されるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明は、基板に信号を入出力する信号送受信部材と前記基板との間の結合状態を検査する検査モジュールと、前記検査モジュールと互いに高さの異なる上下の層に備えられ、前記信号送受信部材のリード線を保護するための保護膜を前記信号送受信部材と前記基板とに形成する塗布モジュールと、前記信号送受信部材が結合された前記基板を、前記検査モジュール又は前記塗布モジュールに移送するように、前記基板を載置して上下方向に移動する昇降部材と、シャフトの回転により前記基板を前記昇降部材に移送する第１移送ユニットと、前記塗布モジュールの一側に配置され、前記基板を前記塗布モジュールから提供されてシャフトの回転により前記基板を移送する第２移送ユニットと、を備えた基板の製造装置であって、前記検査モジュールは、前記昇降部材から移送された前記基板が固定される第１ワークベンチと、前記第１ワークベンチに固定した前記基板の下方に配置され、前記基板において前記信号送受信部材の付着されたボンディング領域を撮像する撮像部とを備え、前記塗布モジュールは、前記昇降部材から移送された前記基板が固定される第２ワークベンチと、前記第２ワークベンチに置かれた基板の上方に配置され、酸化防止液を吐出して前記信号送受信部材と前記基板とに前記保護膜をコーティングする塗布部とを備え、前記第１及び第２ワークベンチの各々は、互いに並列に配置され、回転によりその上に載置された前記基板を水平移送する複数のシャフトを備え、前記昇降部材は、互いに並列に配置され、回転によりその上に載置された前記基板を移送する複数のシャフトと、前記シャフトと結合して前記シャフトの位置を固定できるフレームを備える第３のワークベンチと、前記第３のワークベンチを上下方向へ移動させる垂直移動部とを備えることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、基板に付着されて前記基板に信号を入出力する信号送受信部材と前記基板との結合状態を検査する検査モジュールと、前記信号送受信部材と前記基板とに保護膜を形成する塗布モジュールと、を互いに高さの異なる上下の層に設置するステップと、前記検査モジュールを駆動させて、複数の基板のうち、Ｎ（但し、ここでＮは、１以上の自然数）番目の基板とこれに対応する信号送受信部材との結合状態を検査し、これと同時に前記塗布モジュールを駆動させて、前記基板のうち、（Ｎ＋１）番目の基板に前記保護膜を形成するステップと、前記Ｎ番目の基板の結合状態検査が完了すると、前記Ｎ番目の基板を地面に対して垂直移送して前記塗布モジュールに配置するステップと、前記塗布モジュールを駆動して、前記Ｎ番目の基板とこれに対応する信号送受信部材の上面とに前記保護膜を形成するステップとを含む基板の製造方法であり、前記Ｎ番目の基板とこれに対応する信号送受信部材との間の結合状態を検査するステップは、前記Ｎ番目の基板を前記検査モジュールの第１ワークベンチに固定するステップと、前記検査モジュールの撮像部を前記Ｎ番目の基板の下方に配置するステップと、前記撮像部が前記Ｎ番目の基板において前記信号送受信部材の付着されたボンディング領域を撮像するステップとを含み、
前記保護膜を形成するステップは、前記基板を前記塗布モジュールの第２ワークベンチに固定するステップと、前記塗布モジュールの塗布部を前記基板のボンディング領域の上方に配置するステップと、前記塗布部を前記基板のボンディング領域に沿って移動させつつ、前記基板とこれに対応する信号送受信部材とに前記保護膜をコーティングするステップと、前記基板を前記第２ワークベンチからアンローディングするステップとを含むことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明による基板の製造装置は、基板を移送する第１移送ユニットと、前記第１移送ユニットから移送された基板に対して予め定められた工程を行う処理ユニットと、前記処理ユニットにより予め定められた工程が行われた基板が移送される第２移送ユニットと、を備え、前記処理ユニットは、基板に信号を出力する信号送受信部材と前記基板との間の結合状態を検査する検査モジュールと、前記検査モジュールと互いに異なる層に位置し、前記信号送受信部材のリード線を保護するための保護膜を前記信号送受信部材と前記基板とに形成する塗布モジュールと、前記第１移送ユニットから移送された基板を前記検査モジュール及び前記塗布モジュールに選択的に移送するように、上下方向へ移動可能な昇降部材と、を備える基板の製造装置であり、上方から見るとき、前記第１移送ユニット、前記昇降部材、前記検査モジュールと前記塗布モジュール、及び前記第２移送ユニットは、一列に順次接して配置され、少なくとも前記検査モジュールと前記塗布モジュールの前記昇降部材に接する部分は重畳して配置されていることを特徴とする。
【００１７】
前記検査モジュール、前記塗布モジュール、及び前記昇降部材は、各々シャフトを含み、前記昇降部材と前記検査モジュール、及び前記昇降部材と前記塗布モジュールとの間の基板の移送は、前記シャフトの回転によりなすことができる。
【００１８】
また、本発明の基板の製造方法によると、基板に信号を入出力する信号送受信部材と前記基板との間の結合状態を検査する検査モジュール、及び前記信号送受信部材のリード線を保護するための保護膜を前記信号送受信部材と前記基板とに形成する塗布モジュールを互いに高さの異なる上下の層に配置し、移送された基板のうち、選択された基板は、前記検査モジュールに移送されて検査工程を行い、前記移送された基板のうち、選択されない基板は、前記塗布モジュールに移送されてコーティング工程を行う基板の製造方法において、前記検査モジュールで検査が行われた基板は、前記塗布モジュールに移送されてコーティング工程を行い、前記基板は、前記基板を載置した状態で上下方向へ移動可能な昇降部材を介して前記検査モジュール又は前記塗布モジュールに移送されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によると、圧痕検査と保護膜コーティング工程とを効率的に行うことができる。
本発明によると、基板の製造装置は、検査モジュールと塗布モジュールとが互いに高さの異なる上下の層に設置されるので、空間活用率を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を、添付した図１乃至図１８を参照してさらに詳細に説明する。本発明の実施の形態は、様々な形態に変形されることができ、本発明の範囲が下記の実施の形態に限定されるものと解釈されてはならない。本実施の形態は、当業界において平均的な知識を有する者に対して、本発明をさらに完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面での要素の形状は、より明確な説明を強調するために誇張されている場合がある。
【００２１】
図１は、本発明の一実施の形態による基板の製造装置６００を示した図である。
【００２２】
図１に示すように、本基板の製造装置６００は、映像を表示する液晶表示装置を含む平板表示装置用の基板（以下、「液晶表示装置」という）１００を製造する。以下、図２乃至図４を参照して、液晶表示装置１００について説明した後、基板の製造装置６００の構成について具体的に説明する。
【００２３】
図２は、図１に示す液晶表示装置１００を示した平面図であり、図３は、図２の切断線Ｉ−Ｉ’に沿う断面図であり、図４は、図２の切断線ＩＩ−ＩＩ’に沿う断面図である。
【００２４】
図２乃至図４に示すように、液晶表示装置１００は、映像を表示する液晶表示パネル１１０と、その周辺に付着された信号送受信部材とを備え、信号送受信部材は少なくともゲート信号を出力する複数のゲートテープキャリアパッケージ１２０、及びデータ信号を出力する複数のデータテープキャリアパッケージ１３０を含み、この外に、これらのゲート信号及びデータ信号以外の入出力信号に対応する部材を含んでもよい。
【００２５】
液晶表示パネル１１０は、ゲートテープキャリアパッケージ１２０からゲート信号を受け、データテープキャリアパッケージ１３０からデータ信号を受けて映像を表示する。具体的に説明すると、液晶表示パネル１１０は、アレイ基板１１１、アレイ基板１１１と対向する対向基板１１２、及びアレイ基板１１１と対向基板１１２との間に介在する液晶層１１３を備える。
【００２６】
アレイ基板１１１は、第１ベース基板１１１ａ、ゲート信号を送信する複数のゲートライン１１１ｂ、及びデータ信号を送信する複数のデータライン１１１ｄを備える。
【００２７】
各ゲートライン１１１ｂは、第１ベース基板１１１ａの上面に形成され、ゲートライン１１１ｂのパッド部は、ゲートテープキャリアパッケージ１２０と電気的に接続されて、ゲート信号を受ける。
【００２８】
ゲートライン１１１ｂの形成された第１ベース基板１１１ａの上面には、ゲート絶縁膜１１１ｃが形成され、ゲート絶縁膜１１１ｃの上面には、データライン１１１ｄが形成される。各データライン１１１ｄは、ゲートライン１１１ｂの長さ方向と直交する方向に延びて形成され、ゲートライン１１１ｂの長さ方向に配置される。データライン１１１ｄのパッド部は、データテープキャリアパッケージ１３０と電気的に接続されて、データ信号を受ける。
【００２９】
図示していないが、アレイ基板１１１には、ゲートライン１１１ｂ及びデータライン１１１ｄと接続した複数の薄膜トランジスタが形成される。薄膜トランジスタは、第１ベース基板１１１ａ上にアレイ形態に配置され、画素電圧をスイッチングする。
【００３０】
データライン１１１ｄの形成されたゲート絶縁膜１１１ｃの上面には、少なくとも一つの絶縁膜１１１ｅが形成される。絶縁膜１１１ｅの上には、複数の画素電極１１１ｆが形成され、各画素電極１１１ｆには、薄膜トランジスタから画素電圧が印加される。
【００３１】
アレイ基板１１１の上には、対向基板１１２が備えられる。対向基板１１２は、第２ベース基板１１２ａ、第２ベース基板１１２ａ上に形成され、光を利用して所定の色を発現するカラーフィルター１１２ｂ、及びカラーフィルター１１２ｂ上に形成されて共通電圧を印加される共通電極１１２ｃを備える。
【００３２】
液晶層１１３は、画素電極１１１ｆと共通電極１１２ｃとの間に形成された電界に応じて光透過率を調節し、調節された光をカラーフィルター１１２ｂに提供する。これにより、映像が表示される。
【００３３】
アレイ基板１１１の端部には、ゲートテープキャリアパッケージ１２０とデータテープキャリアパッケージ１３０とが付着される。
【００３４】
具体的に説明すると、ゲートテープキャリアパッケージ１２０は、アレイ基板１１１のゲート領域ＧＡ１、ＧＡ２に付着され、ゲート領域ＧＡ１、ＧＡ２には、ゲートライン１１１ｂのパッド部が形成される。この実施の形態において、アレイ基板１１１は、二つのゲート領域ＧＡ１、ＧＡ２を備え、ゲートテープキャリアパッケージ１２０は、ゲートライン１１１ｂの両端部に位置する。しかしながら、アレイ基板１１１は、一つのゲート領域ＧＡ１を具備することもできる。このような場合に、ゲートテープキャリアパッケージ１２０は、ゲートライン１１１ｂの一端部にのみ位置する。
【００３５】
各ゲートテープキャリアパッケージ１２０は、第１ベースフィルム１２１、第１ベースフィルム１２１上に形成された複数のゲートリード線１２２、及びゲートチップ１２３を備える。各ゲートリード線１２２は、ゲートチップ１２３からゲート信号を受けて出力する。
【００３６】
ゲートテープキャリアパッケージ１２０とアレイ基板１１１との間には、異方性導電部材（異方性導電フィルム（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ））１４０が提供されて、ゲートテープキャリアパッケージ１２０とゲートライン１１１ｂとを導通させる。ゲートライン１１１ｂのパッド部と異方性導電フィルム１４０との間には、ゲートパッド電極ＧＰＥが形成される。ゲートパッド電極ＧＰＥは、酸化インジウム錫（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ：ＩＴＯ）又は酸化インジウム亜鉛（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ：ＩＺＯ）のような透明な導電性物質からなる。ゲートリード線１２２から出力されたゲート信号は、異方性導電フィルム１４０及びゲートパッド電極ＧＰＥを介してゲートライン１１１ｂのパッド部に印加される。
【００３７】
アレイ基板１１１のソース領域ＳＡには、データテープキャリアパッケージ１３０が付着される。データテープキャリアパッケージ１３０は、第２ベースフィルム１３１、第２ベースフィルム１３１上に形成された複数のデータリード線１３２、及びデータチップ１３３を備える。各データリード線１３２は、データチップ１３３からデータ信号を受けて出力する。
【００３８】
データテープキャリアパッケージ１３０とアレイ基板１１１との間には、異方性導電フィルム１４０が提供されて、データテープキャリアパッケージ１３０とデータライン１１１ｄとを導通させる。データライン１１１ｄのパッド部と異方性導電フィルム１４０との間には、データパッド電極ＤＰＥが形成される。データパッド電極ＤＰＥは、ゲートパッド電極ＧＰＥと同じ材質からなる。データリード線１３２から出力されたデータ信号は、異方性導電フィルム１４０及びデータパッド電極ＤＰＥを介してデータライン１１１ｄのパッド部に印加される。
【００３９】
図１及び図２に示すように、基板の製造装置６００は、第１移送ユニット５００ａ、処理ユニット、及び第２移送ユニット５００ｂを有する。第１移送ユニット５００ａと第２移送ユニット５００ｂは、本発明の基板の製造装置６００とインラインで接続された他の装置に提供されることができる。処理ユニットは、液晶表示パネル１１０とゲート及びデータテープキャリアパッケージ１２０、１３０間の結合関係を検査する検査モジュール２００、ゲートテープキャリアパッケージ１２０とデータテープキャリアパッケージ１３０とを保護するための保護膜を形成（コーティング）する塗布モジュール３００、及び液晶表示装置１００を垂直又は水平移送する昇降部材４００を有する。第１移送ユニット５００ａは、工程を行う基板を処理ユニットへ水平移送し、第２移送ユニット５００ｂは、処理ユニットで処理された基板を処理ユニットの外部に水平移送する。
【００４０】
検査モジュール２００と塗布モジュール３００とは、互いに高さの異なる上下の層に位置する。これは、表示装置の製造システム６００の空間活用率を向上させる。本実施の形態においては、検査モジュール２００が塗布モジュール３００の上方に位置するが、これとは異なり、塗布モジュール３００を検査モジュール２００の上方に位置してもよい。
【００４１】
上方から見るとき、第１移送ユニット５００ａ、昇降部材４００、検査モジュール２００と塗布モジュール３００、及び第２移送ユニット５００ｂは、一列に順次配置され、検査モジュール２００と塗布モジュール３００の少なくとも昇降部材４００に接する部分は重畳している。第１移送ユニット５００ａ、塗布モジュール３００、及び第２移送ユニット５００ｂは、同一層に配置され、検査モジュール２００は、他の層に配置されている。
【００４２】
図５は、図１に示す検査モジュール２００を示した平面図であり、図６は、図５に示す検査モジュール２００の断面図である。
【００４３】
図１及び図５に示すように、検査モジュール２００は、第１ワークベンチ２１０及び、少なくとも一つの撮像部（検査カメラ）２２０を具備する。第１ワークベンチ２１０は、複数のシャフト部材２１１、第１フレーム２１２、及び第１回転駆動部２１３を有する。第１ワークベンチ２１０は、液晶表示パネル１１０より小さいサイズを有する。
【００４４】
具体的に説明すると、シャフト部材２１１は、互いに平行に並列配置され、互いに所定の距離で離隔される。各シャフト部材２１１は、シャフト２１１ａ、複数のローラ２１１ｂ、及び二つのプーリ２１１ｃを有する。
【００４５】
シャフト２１１ａは、ロッド状であり、第１回転駆動部２１３により一方向に回転する。シャフト２１１ａは、複数のローラ２１１ｂに挿入される。ローラ２１１ｂは、互いに離隔して位置し、シャフト２１１ａと共に回転する。
【００４６】
図６に示すように、第１ワークベンチ２１０に載置した液晶表示パネル１１０は、シャフト２１１ａと対向して配置され、複数のローラ２１１ｂにより支持される。液晶表示パネル１１０は、ローラ２１１ｂの回転運動によりシャフト部材２１１の回転方向に水平移動できる。
【００４７】
シャフト２１１ａの両端部には、各々プーリ２１１ｃが固定結合（固着）される。シャフト部材２１１のプーリ２１１ｃのうちの何れか一つは、第１回転駆動部２１３と接続される。本発明の一例として、第１回転駆動部２１３は、シャフト部材２１１のうち、第１番目のシャフト部材のプーリ２１１ｃと接続される。第１回転駆動部２１３の回転力は、接続したプーリ２１１ｃを介して第１番目のシャフト部材に伝達され、これにより、第１番目のシャフト部材が回転する。
【００４８】
互いに隣接した二つのプーリは、ベルト２１４により接続される。第１回転駆動部２１３の回転力は、ベルト２１４を介して第１番目のシャフト部材から順次伝達されて、シャフト部材２１１が回転する。
【００４９】
第１フレーム２１２は、シャフト部材２１１を取り囲み、四角のリング状を有する。第１フレーム２１２は、開口部の形成された上面２１２ａ及び上面２１２ａの端部から下方向に延びた側壁２１２ｂを有する。シャフト部材２１１は、両端部が第１フレーム２１２の側壁２１２ｂに軸支により結合される。これにより、シャフト部材２１１は、第１フレーム２１２に固定された状態で第１フレーム２１２の外側に備えられた第１回転駆動部２１３により回転する。
【００５０】
シャフト部材２１１は、第１フレーム２１２の上面２１２ａに形成された開口部を介して露出し、各シャフト部材２１１は、液晶表示パネル１１０と接する箇所、即ちローラ２１１ｂの最上端が第１フレーム２１２の上面２１２ａより上側に位置する。これにより、第１フレーム２１２は、液晶表示パネル１１０と離隔して位置する。
【００５１】
検査モジュール２００は、ゲート及びデータテープキャリアパッケージ１２０、１３０（図２参照）と液晶表示パネル１１０との間の結合状態を検査するものであるが、そのためには、第１ワークベンチ２１０に搭載した液晶表示パネル１１０を第１ワークベンチに対して固定しなければならない。
【００５２】
図７は、図６に示す第１ワークベンチの他の動作モードを示した断面図である。
図７に示すように、本発明の他の動作モードの第１ワークベンチ２４０は、複数のシャフト部材２１１及び第１フレーム２３０を備える。図７に示すシャフト部材２１１は、図６に示すシャフト部材２１１と同じ構成を有するので、同じ参照番号を付し、これについての具体的な説明は省略する。
【００５３】
第１フレーム２３０は、四角のリング状であり、シャフト部材２１１を取り囲む。第１フレーム２３０は、開口した上面２３１及び上面２３１の端部から下方向に延びた側壁２３２を有する。シャフト部材２１１は、第１フレーム２３０（＝２１２）の側壁２３２（＝２１２ｂ）に対して上下方向に相対的に移動して「着」・「脱」できるように提供される。
【００５４】
液晶表示パネル１１０の移送時には図６に示したように、シャフト部材２１１は「着」状態にあり、液晶表示パネル１１０は、シャフト部材２１１のローラ２１１ｂ上に搭載され、シャフト部材２１１は、第１フレーム２１２（＝２３０）の側壁２１２ｂ（＝２３２）に軸支により結合された状態で回転して、液晶表示パネル１１０を第１ワークベンチ２１０（＝２４０）、従って地面に対して水平移動させる。
【００５５】
これに対し、液晶表示パネル１１０とゲート及びデータテープキャリアパッケージ１２０、１３０（図２参照）間の結合状態を検査する時には図７に示すように、シャフト部材２１１は「脱」状態にあり、第１フレーム２３０（＝２１２）から分離され、液晶表示パネル１１０は、第１フレーム２３０の上面２３１（＝２１２ａ）に固定される。このとき、第１フレーム２３０の上面２３１は、液晶表示パネル１１０の端部を支持する。
このように、第１ワークベンチ２１０は、シャフト部材２１１と第１フレーム２１２の高低を制御することにより、そのいずれかの上に載置された液晶表示パネル１１０、従って液晶表示装置１００を、第１ワークベンチ２１０に対して水平移送するか（図６）、固定するか（図７）、の２つの動作モードの切り替えが可能になる。
このワークベンチの動作モードの切り替えは、以下に述べる全てのワークベンチに対して共通である。
【００５６】
また、図５及び図６に示すように、第１ワークベンチ２１０の下には、検査カメラ２２０が備えられる。この実施の形態において、検査モジュール２００は、一つの検査カメラ２２０を具備するが、複数の検査カメラを具備することもできる。このような場合に、検査カメラは、第１ワークベンチ２１０との相対的位置が互いに異なるように配置される。
【００５７】
検査カメラ２２０は、液晶表示パネル１１０のゲート領域ＧＡ及びソース領域ＳＡ（図２参照）に沿って移動しつつ、異方性導電フィルム１４０により液晶表示パネル１１０に形成された圧痕を撮像する。具体的に説明すると、異方性導電フィルム１４０は、ゲート及びデータテープキャリアパッケージ１２０、１３０と液晶表示パネル１１０とを導電させる導電粒子１４１（図３及び図４参照）を含む。ゲート及びデータテープキャリアパッケージ１２０、１３０を液晶表示パネル１１０に付着する時に、ゲート及びデータテープキャリアパッケージ１２０、１３０に適正圧力と熱が提供される。これにより、異方性導電フィルム１４０の導電粒子１４１により、ゲートパッド電極ＧＰＥ（図３参照）及びデータパッド電極ＤＰＥ（図４を参照）に圧痕が形成される。
【００５８】
検査カメラ２２０は、液晶表示パネル１１０の背面で導電粒子により形成された圧痕を撮像する。ゲート及びデータテープキャリアパッケージ１２０、１３０と液晶表示パネル１１０間の結合エラーの有無は、検査カメラ２２０により撮像されたイメージを介して認知された圧痕の位置及び個数などにより決定される。
【００５９】
図８は、図１に示す塗布モジュールを示した平面図であり、図９は、図８に示す塗布モジュールを示した断面図である。
【００６０】
図１及び図８に示すように、検査モジュール２００の下方には、塗布モジュール３００が提供される。塗布モジュール３００は、液晶表示パネル１１０が固定される第２ワークベンチ３１０、液晶表示パネル１１０と第２ワークベンチ３１０との間の整列状態を検査する少なくとも一つのアラインメントカメラ３２０、及び保護膜を形成する少なくとも一つの塗布部３３０を備える。
【００６１】
第２ワークベンチ３１０は、複数のシャフト部材３１１、第２フレーム３１２及び第２回転駆動部３１３を備える。各シャフト部材３１１は、上述の第１ワークベンチ２１０のシャフト部材２１１と同じ構成部品を有するので、同一の参照番号を付し、その重複した説明は省略する。
【００６２】
第２ワークベンチ３１０のシャフト部材３１１上に液晶表示パネル１１０を載置した場合は、シャフト部材３１１の複数のローラ２１１ｂは、液晶表示パネル１１０を支持する。液晶表示パネル１１０は、ローラ２１１ｂの回転運動によりシャフト部材３１１の回転方向に水平移動できる。
【００６３】
第２回転駆動部３１３は、シャフト部材３１１のうちの何れか一つと接続され、接続されたシャフト部材に回転力を伝達する。隣接した二つのシャフト部材は、ベルト３１４により互いに接続され、第２回転駆動部３１３に接続したシャフト部材の回転力は、ベルト３１４を介して隣接したシャフト部材に伝達される。これにより、シャフト部材３１１が回転する。
【００６４】
一方、第２フレーム３１２は、シャフト部材３１１を取り囲み、四角のリング状を有する。具体的に説明すると、第２フレーム３１２は、開口部の形成された上面３１２ａ及び上面３１２ａの端部から延びた側壁３１２ｂを有する。シャフト部材３１１は、両端部が第２フレーム３１２の側壁３１２ｂに軸支により結合される。これにより、シャフト部材３１１は、第２フレーム３１２に固定された状態で第２フレーム３１２の外側に備えられた第２回転駆動部３１３により回転する。
【００６５】
シャフト部材３１１は、第２フレーム３１２の上面３１２ａに形成された開口部を介して露出し、各シャフト部材３１１は、液晶表示パネル１１０と接する箇所、即ちローラ２１１ｂの最上端が第２フレーム３１２の上面３１２ａより上側に位置する。これにより、第２フレーム３１２は、液晶表示パネル１１０と離隔して位置する。
【００６６】
塗布モジュール３００は、液晶表示パネル１１０を第２フレーム３１２に載置し、第２ワークベンチ３１０に固定した状態で保護膜を形成する。
【００６７】
上述の、図７に示す第１ワークベンチ２４０と同様に、シャフト部材３１１は、第２フレーム３１２の側壁３１２ｂに対して上下方向に相対的に移動して着脱できる。
この場合に、液晶表示パネル１１０を第２フレーム３１２に載置、固定した状態で保護膜が形成され、液晶表示パネル１１０の移送時には、シャフト部材３１１は、第２フレーム３１２に結合されて液晶表示パネル１１０を支持する。
【００６８】
一方、アラインメントカメラ３２０は、第２ワークベンチ３１０の下に備えられ、液晶表示装置１００と第２ワークベンチ３１０とを撮像する。液晶表示パネル１１０の第２フレーム３１２の上面３１２ａへの固定に先立って、第２ワークベンチ３１０と液晶表示装置１００との間の整列（アラインメント）は、アラインメントカメラ３２０により撮像されたイメージを利用して調節する。
【００６９】
この実施の形態において、塗布モジュール３００は、一つのアラインメントカメラ３２０を具備するが、アラインメントカメラ３２０の数は、液晶表示装置１００の大きさ及び工程効率によって増加することもできる。
【００７０】
第２ワークベンチ３１０の上方には、塗布部３３０が備えられる。塗布部３３０は、液晶表示装置１００の上方に配置され、液晶表示パネル１１０の端部に沿って移動しつつ酸化防止液（酸化防止材）１０を吐出する。酸化防止液１０は例えばシリコーンであり、液晶表示装置１００に提供されて保護膜を形成する。
【００７１】
この実施の形態において、塗布モジュール３００は、一つの塗布部３３０を備えるが、塗布部３３０の数は、液晶表示装置１００の大きさ及び工程効率によって増加することもできる。例えば、塗布モジュール３００が４個の塗布部を具備する場合に、液晶表示パネル１１０のソース領域ＳＡ（図２参照）に対応して二つの塗布部が配置され、液晶表示パネル１１０のゲート領域ＧＡ１、ＧＡ２（図２参照）に対応して、各々一つの塗布部が配置される。
【００７２】
また、図１に示すように、塗布モジュール３００の一側には、昇降部材４００が備えられる。昇降部材４００は、第３ワークベンチ４１０及び垂直移動部４２０を備え、液晶表示装置１００を検査モジュール２００又は塗布モジュール３００に移送する。
【００７３】
具体的に説明すると、第３ワークベンチ４１０は、複数のシャフト部材４１１と第３フレーム４１２とを有する。各シャフト部材４１１は、第１ワークベンチ２１０のシャフト部材２１１と同じ構成を有し、第３フレーム４１２は、第１ワークベンチ２１０の第１フレーム２１２と同じ構成を有する。また、シャフト部材４１１と第３フレーム４１２との間の結合関係は、シャフト部材２１１と第１フレーム２１２との間の結合関係と同一である。したがって、これについての具体的な説明は省略する。
【００７４】
第３ワークベンチ４１０のシャフト部材４１１は、液晶表示パネル１１０の下面を支持し、中心軸を基準に回転して液晶表示装置１００を第３ワークベンチ４１０、従って地面に対して水平方向へ移送する。
【００７５】
第３ワークベンチ４１０の下には、垂直移動部４２０が備えられる。この実施の形態において、昇降部材４００は、二つの垂直移動部４２０を具備するが、垂直移動部４２０の数は、第３ワークベンチ４１０の大きさによって増加又は減少することができる。
【００７６】
垂直移動部４２０は、地面に対して垂直方向へ移動して、第３ワークベンチ４１０を上又は下に移動させる。このように、昇降部材４００は、垂直移動部４２０の垂直移動により第３ワークベンチ４１０と地面間の距離が調節される。これにより、第３ワークベンチ４１０は、垂直移動部４２０の高さによって、第１ワークベンチ２１０と同一層に位置することもでき、第２ワークベンチ３１０と同一層に位置することもできる。
【００７７】
昇降部材４００は、垂直移動部４２０の垂直移動を調節して、第３ワークベンチ４１０に固定した液晶表示装置１００を互いに異なる層に位置する第１及び第２ワークベンチ２１０、３１０のうちの何れか一つの層の高さに垂直移送した後、液晶表示装置１００を第３ワークベンチ４１０上で水平移送可能にして、第１又は第２ワークベンチ、２１０、３１０との液晶表示装置１００の移送を具現する。ここで図１のように検査モジュール２００が塗布モジュール３００の上方に位置する場合、昇降部材４００により、最初に、保護膜１０が形成されていない液晶表示装置１００が上昇して第１ワークベンチ２１０で検査工程が実行された後、下降して第２ワークベンチ３１０で塗布工程が実行されて液晶表示装置１００に保護膜１０が形成される。
【００７８】
表示装置の製造システム６００は、昇降部材４００に液晶表示装置１００を移送する第１移送ユニット５００ａと、塗布モジュール３００及び／又は検査モジュール２００に関わる工程が行われた液晶表示装置１００を外部に移送する第２移送ユニット５００ｂと、をさらに備える。第１移送ユニット５００ａは、昇降部材４００を基準として塗布モジュール３００の反対側に位置し、第２移送ユニット５００ｂは、塗布モジュール３００を基準として昇降部材４００の反対側に位置する。
【００７９】
移送ユニット５００ａ、５００ｂは、各々複数の移送シャフト部材５１０ａ、５１０ｂを備える。この実施の形態において、各移送シャフト部材５１０ａ、５１０ｂは、第１ワークベンチ２１０のシャフト部材２１１と同じ構成を有し、移送シャフト部材５１０ａ、５１０ｂの駆動方法も、シャフト部材２１１の駆動方法と同一なので、これについての具体的な説明は省略する。
【００８０】
以下、図面を参照して液晶表示装置用の基板１００を製造する方法を具体的に説明する。
【００８１】
図１０は、図１に示す基板の製造装置６００を利用して液晶表示装置［上述のように、以下の「液晶表示装置」は、（液晶表示装置を含む平板表示装置用の）「基板」のことである。］を製造する方法を示したフローチャートで、図１１〜図１８は、図１に示す基板の製造装置により液晶表示装置を製造する工程を示した図である。
【００８２】
図１０、図１１及び図１２に示すように、まず、第１乃至第Ｍ液晶表示装置からなるＭ個の液晶表示装置のうち、第１液晶表示装置１００ａが第１移送ユニット５００ａから昇降部材４００に水平移動して昇降部材４００の第３ワークベンチ４１０に固定され、昇降部材４００は、第１液晶表示装置１００ａを検査モジュール２００に移送する（ステップＳ１１０）。ここで、Ｍは、１以上の自然数である。
【００８３】
具体的に説明すると、図１１に示すように、第１液晶表示装置１００ａは、昇降部材４００の第３ワークベンチ４１０に固定される。次に、図１２に示すように、昇降部材４００の垂直移動部４２０は、第３ワークベンチ４１０を上方へ移動し、これにより、第３ワークベンチ４１０が検査モジュール２００の第１ワークベンチ２１０と同一層に位置する。
【００８４】
図１２に示すように、第３ワークベンチ４１０の各シャフト部材４１１は回転して、第１液晶表示装置１００ａを第１ワークベンチ２１０に水平移送する。これと同時に、第１ワークベンチ２１０の各シャフト部材２１１も回転して、第１液晶表示装置１００ａの液晶表示パネル１１０を第１ワークベンチ２１０に水平移送する。
図１３に示すように、第１液晶表示装置１００ａの液晶表示パネル１１０が第１ワークベンチ２１０上の位置に全面的に移送されると、第１ワークベンチに固定される。
【００８５】
図１４は、第１ワークベンチ２１０と、その上に載置、固定した第１液晶表示装置１００ａを上方から見た平面図であって、第１液晶表示装置１００ａの液晶表示パネル１１０のうち、ゲート領域ＧＡ１、ＧＡ２及びソース領域ＳＡが第１ワークベンチ２１０の第１フレーム２１２の外側に位置する。
【００８６】
図１０に示すように、検査モジュール２００は、第１液晶表示装置１００ａの圧痕検査、すなわち、第１液晶表示装置１００ａの液晶表示パネル１１０と、ゲート及びデータテープキャリアパッケージ１２０、１３０との間の結合状態を検査する。これと同時に、塗布モジュール３００は、第２液晶表示装置１００ｂからスタートして第２以下の液晶表示装置に対して保護膜を順次形成する（ステップＳ１２０）。
【００８７】
図７及び図１４を参照して第１液晶表示装置１００ａの圧痕検査過程を説明すると、以下のとおりである。第１ワークベンチ２４０（＝２１０）上に液晶表示パネル１１０が固定されると、検査モジュール２００の検査カメラ２２０は、液晶表示パネル１１０の端部に沿って移動しつつ液晶表示パネル１１０の圧痕を撮像する。すなわち、検査カメラ２２０は、液晶表示パネル１１０においてゲートテープキャリアパッケージ１２０及びデータテープキャリアパッケージ１３０が付着されたボンディング領域ＢＡに沿って移動しつつ、異方性導電フィルム１４０によりボンディング領域ＢＡに形成された圧痕を撮像する。
【００８８】
図１３及び図１５に示すように、昇降部材４００は、第１液晶表示装置１００ａを第１ワークベンチ２１０に移送した後、第３ワークベンチ４１０を再度下降して、第２ワークベンチ３１０と同一層に位置させる。次に、第１移送ユニット５００ａから第２液晶表示装置１００ｂを第３ワークベンチ４１０に移送して第３ワークベンチ４１０に一旦固定し、次に、第３ワークベンチ４１０から第２液晶表示装置１００ｂを塗布モジュール３００の第２ワークベンチ３１０に移送する。
【００８９】
図１５に示すように、第２ワークベンチ２１０は、各シャフト部材３１１を回転させて、昇降部材４００の第３ワークベンチ４１０からの第２液晶表示装置１００ｂを第２ワークベンチ３１０に移送した後、固定する。
【００９０】
図９及び図１６に示すように、第２ワークベンチ３１０の下方に備えられたアラインメントカメラ３２０は、第２ワークベンチ３１０の端部に沿って移動しつつ、第２液晶表示装置１００ｂと第２ワークベンチ３１０とを撮像する。アラインメントカメラ３２０に撮像されたイメージを利用して、第２ワークベンチ３１０と第２液晶表示装置１００ｂとを整列する。
【００９１】
図９に示すように、塗布部３３０が第２液晶表示装置１００ｂ（＝１００）の上方に配置される。塗布部３３０は、第２液晶表示装置１００ｂのボンディング領域ＢＡに沿って移動しつつ酸化防止液１０を吐出し、これにより、第２液晶表示装置１００ｂの液晶表示パネル１１０に保護膜１５０が形成される。
図１７に示すように、保護膜１５０は、ゲートテープキャリアパッケージ１２０の上端部及び側面をカバーして、ゲートテープキャリアパッケージ１２０の側面に露出したゲートリード線１２２をコーティングする。これにより、保護膜１５０は、ゲートリード線１２２の酸化を防止する。
【００９２】
図示していないが、保護膜１５０は、第２液晶表示装置１００ｂ（図１６参照）のデータテープキャリアパッケージ１３０にもゲートテープキャリアパッケージ１２０と同様に形成されて、データテープキャリアパッケージ１３０のデータリード線１３２（図４参照）の酸化を防止する。
【００９３】
図１８に示すように、第２液晶表示装置１００ｂの保護膜１５０（図１７参照）の形成が完了すると、第２ワークベンチ３１０の各シャフト部材３１１は回転して、第２液晶表示装置１００ｂを第２移送ユニット５００ｂ側に移動させる。第２移送ユニット５００ｂは、第２液晶表示装置１００ｂを外部に移送する。
【００９４】
一方、第２液晶表示装置１００ｂが塗布モジュール３００から第２移送ユニット５００ｂへ移送されると、第３液晶表示装置１００ｃが第１移送ユニット５００ａから昇降部材４００に移送され、昇降部材４００は、第３液晶表示装置１００ｃを塗布モジュール３００の第２ワークベンチ３１０に移送する。塗布モジュール３００は、第３液晶表示装置１００ｃに保護膜１５０（図１７参照）を形成した後、第３液晶表示装置１００ｃを第２移送ユニット５００ｂに移送する。
【００９５】
このようにして塗布モジュール３００は、第２〜第Ｍ液晶表示装置まで保護膜１５０（図１７参照）を順次形成し、液晶表示装置の各々には、同じ過程により保護膜１５０が形成される。
【００９６】
一方、図１０に示すように、検査モジュール２００において第１液晶表示装置１００ａの圧痕検査が完了すると、昇降部材４００は、第３ワークベンチ４１０を上方に移動させて、第３ワークベンチ４１０を検査モジュール２００の第１ワークベンチ２１０と同一層に配置する。
【００９７】
第１ワークベンチ２１０は、シャフト部材２１１を上記とは逆向きに回転して第１液晶表示装置１００ａをアンローディングしながら第３ワークベンチ４１０に移送し、第１液晶表示装置１００ａは、第３ワークベンチ４１０に固定される。
【００９８】
昇降部材４００は再度下降して、第３ワークベンチ４１０を再度第２ワークベンチ３１０と同一層に配置する。第３ワークベンチ４１０は、第１液晶表示装置１００ａを第２ワークベンチ３１０に移送し、第１液晶表示装置１００ａは、第２ワークベンチ３１０に固定される。塗布モジュール３００は、第１液晶表示装置１００ａに保護膜１５０（図１８参照）を形成する。その間に第４液晶表示装置１００ｄは、第１移送ユニット５００ａで待機する。
【００９９】
第１液晶表示装置１００ａの保護膜１５０の形成は、第Ｍ液晶表示装置の保護膜の形成が完了した後に行われることもでき、第１液晶表示装置１００ａの圧痕検査が完了すると、現在塗布モジュール３００に配置された液晶表示装置の保護膜１５０の形成が完了した後直ちに行われることもできる。第１液晶表示装置１００ａの保護膜１５０の形成が第Ｍ液晶表示装置の保護膜形成後に行われる場合に、第１液晶表示装置１００ａは、第１ワークベンチ２１０に固定した状態で待機する。
【０１００】
この実施の形態において、表示装置の製造システム６００は、圧痕検査による生産性の低下を防止するために、Ｍ個の液晶表示装置のうち、第１液晶表示装置１００ａのみ圧痕検査を行うが、圧痕検査の回数及び周期は、工程効率及び製品の収率によって増加できる。
【０１０１】
上述した通り、表示装置の製造システム６００は、液晶表示装置の圧痕検査と保護膜コーティングを同時に行うことによって、工程時間を短縮し、かつ生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の一実施の形態による表示装置の製造システムを示した図である。
【図２】図１に示す液晶表示装置を示した平面図である。
【図３】図２の切断線Ｉ−Ｉ’に沿う断面図である。
【図４】図２の切断線ＩＩ−ＩＩ’に沿う断面図である。
【図５】図１に示す検査モジュールを示した平面図である。
【図６】図５に示す検査モジュールを示した断面図である。
【図７】図６に示す第１ワークベンチの他の動作状態を示した断面図である。
【図８】図１に示す塗布モジュールを示した平面図である。
【図９】図８に示す塗布モジュールを示した断面図である。
【図１０】図１に示す液晶表示装置の製造システムを利用して液晶表示装置を製造する方法を示したフローチャートである。
【図１１】図１に示す表示装置の製造システムが液晶表示装置を製造する工程過程を示した図である。
【図１２】図１に示す表示装置の製造システムが液晶表示装置を製造する工程過程を示した図である。
【図１３】図１に示す表示装置の製造システムが液晶表示装置を製造する工程過程を示した図である。
【図１４】図１に示す表示装置の製造システムが液晶表示装置を製造する工程過程を示した図である。
【図１５】図１に示す表示装置の製造システムが液晶表示装置を製造する工程過程を示した図である。
【図１６】図１に示す表示装置の製造システムが液晶表示装置を製造する工程過程を示した図である。
【図１７】図１に示す表示装置の製造システムが液晶表示装置を製造する工程過程を示した図である。
【図１８】図１に示す表示装置の製造システムが液晶表示装置を製造する工程過程を示した図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１０      保護膜（酸化防止液）
１００      液晶表示装置、（液晶表示装置を含む平板表示装置用の）基板
１００ａ    第１液晶表示装置
１１０      液晶表示パネル
１１１      アレイ基板
１１１ａ    第１ベース基板
１１１ｂ    ゲートライン
１１１ｃ    ゲート絶縁膜
１１１ｄ    データライン
１１１ｅ    絶縁膜
１１１ｆ    画素電極
１１２      対向基板
１１２ａ    第２ベース基板
１１２ｂ    カラーフィルター
１１２ｃ    共通電極
１１３      液晶層
１２０      ゲートテープキャリアパッケージ
１２１      第１ベースフィルム
１２２      ゲートリード線
１２３      ゲートチップ
１３０      データテープキャリアパッケージ
１３１      第２ベースフィルム
１３２      データリード線
１３３      データチップ
１４０      異方性導電フィルム（異方性導電部材）
１４１      導電粒子
２００      検査モジュール
２１０、２４０      第１ワークベンチ
２１１      シャフト部材
２１１ａ    シャフト
２１１ｂ    ローラ
２１１ｃ    プーリ
２１２、２３０      第１フレーム
２１２ａ、２３１    （開口部の形成された）上面
２１２ｂ、２３２    側壁
２１３      第１回転駆動部
２１４      ベルト
２２０      検査カメラ（撮像部）
３００      塗布モジュール
３１０      第２ワークベンチ
３１１      シャフト部材
３１２      第２フレーム
３１２ａ    （開口部の形成された）上面
３１２ｂ    側壁
３１３      第２回転駆動部
３２０      アラインメントカメラ
３３０      塗付部
４００      昇降部材
４１０      第３ワークベンチ
４１１      シャフト部材
４１２      第３フレーム
４２０      垂直移動部
５００ａ    第１移送ユニット
５００ｂ    第２移送ユニット
５１０ａ    移送シャフト部材
５１０ｂ    移送シャフト部材
６００      基板の製造装置
【図１】
0004904508.tif 000002
【図２】
0004904508.tif 000003
【図３】
0004904508.tif 000004
【図４】
0004904508.tif 000005
【図５】
0004904508.tif 000006
【図６】
0004904508.tif 000007
【図７】
0004904508.tif 000008
【図８】
0004904508.tif 000009
【図９】
0004904508.tif 000010
【図１０】
0004904508.tif 000011
【図１１】
0004904508.tif 000012
【図１２】
0004904508.tif 000013
【図１３】
0004904508.tif 000014
【図１４】
0004904508.tif 000015
【図１５】
0004904508.tif 000016
【図１６】
0004904508.tif 000017
【図１７】
0004904508.tif 000018
【図１８】
0004904508.tif 000019