(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の図形要素のベクトルデータである入力データを第１の方向を向くランレングスの集合である出力データに変換するデータ変換方法であって、
ａ）入力データに含まれる複数の図形要素のベクトルデータに基づいて、前記第１の方向に垂直な第２の方向に関し、一の図形要素の両側においてそれぞれ所定の収縮幅の収縮処理を行って収縮図形要素を得る工程と、
ｂ）前記収縮図形要素の前記第２の方向の両側においてそれぞれ前記収縮幅の２倍だけ前記収縮図形要素を膨張させ、前記収縮図形要素に前記第２の方向の一方および他方において隣接する第１仮図形要素および第２仮図形要素を得る工程と、
ｃ）前記入力データに含まれる前記複数の図形要素に対して前記ａ）工程および前記ｂ）工程を順次繰り返す工程と、
ｄ）各収縮図形要素を前記第１の方向を向く直線にて所定幅の領域に分割し、分割された各領域のランレングスを生成して収縮図形ランレングスとして記憶する工程と、
ｅ）各第１仮図形要素を前記第１の方向を向く前記直線にて前記所定幅の領域に分割し、分割された各領域のランレングスを生成して第１仮ランレングスとして記憶する工程と、
ｆ）各第２仮図形要素を前記第１の方向を向く前記直線にて前記所定幅の領域に分割し、分割された各領域のランレングスを生成して第２仮ランレングスとして記憶する工程と、
ｇ）前記複数の図形要素が配置される配置領域を前記第１の方向を向く前記直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定する工程と、
ｈ）前記複数の単位領域のうち一の単位領域を注目単位領域として決定する工程と、
ｉ）前記注目単位領域と重なる一または複数の収縮図形要素を注目収縮図形要素として抽出し、各注目収縮図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目収縮ランレングスを取得する工程と、
ｊ）前記注目単位領域と重なる一または複数の第１仮図形要素を注目第１仮図形要素として抽出し、各注目第１仮図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目第１仮ランレングスを取得する工程と、
ｋ）前記注目単位領域と重なる一または複数の第２仮図形要素を注目第２仮図形要素として抽出し、各注目第２仮図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目第２仮ランレングスを取得する工程と、
ｌ）前記注目第１仮ランレングスと前記注目第２仮ランレングスとの論理積を求め、前記論理積と前記注目収縮ランレングスとの論理和を求め、前記論理和を前記注目単位領域の単位ランレングスデータとする工程と、
ｍ）前記複数の単位領域に対して前記ｈ）工程ないし前記ｌ）工程を順次繰り返すことにより、前記複数の単位領域のそれぞれの単位ランレングスデータを生成して前記入力データに含まれる前記複数の図形要素の収縮処理後のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
を備えることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項２】
請求項１に記載のデータ変換方法であって、
前記ｌ）工程と前記ｍ）工程との間に、前記単位ランレングスデータに含まれるランレングスに対して、前記第１の方向に関する収縮処理を行う工程をさらに備えることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項３】
基板上にパターンを描画する描画システムであって、
請求項１または２に記載のデータ変換方法により入力データを出力データに変換するデータ変換装置と、
前記データ変換装置により生成された前記出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置と、
を備え、
前記描画装置が、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板に光を照射する光変調素子と、
前記光変調素子から導かれた光の前記基板上における照射位置を、前記基板上における前記第１の方向に対応する方向に前記基板に対して相対的に移動する照射位置移動機構と、
前記出力データに基づいて前記光変調素子からの光の変調を制御する光変調素子制御部と、
を備えることを特徴とする描画システム。
【請求項４】
複数の図形要素のベクトルデータである入力データを第１の方向を向くランレングスの集合である出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
ａ）入力データに含まれる複数の図形要素のベクトルデータに基づいて、前記第１の方向に垂直な第２の方向に関し、一の図形要素の両側においてそれぞれ所定の収縮幅の収縮処理を行って収縮図形要素を得る工程と、
ｂ）前記収縮図形要素の前記第２の方向の両側においてそれぞれ前記収縮幅の２倍だけ前記収縮図形要素を膨張させ、前記収縮図形要素に前記第２の方向の一方および他方において隣接する第１仮図形要素および第２仮図形要素を得る工程と、
ｃ）前記入力データに含まれる前記複数の図形要素に対して前記ａ）工程および前記ｂ）工程を順次繰り返す工程と、
ｄ）各収縮図形要素を前記第１の方向を向く直線にて所定幅の領域に分割し、分割された各領域のランレングスを生成して収縮図形ランレングスとして記憶する工程と、
ｅ）各第１仮図形要素を前記第１の方向を向く前記直線にて前記所定幅の領域に分割し、分割された各領域のランレングスを生成して第１仮ランレングスとして記憶する工程と、
ｆ）各第２仮図形要素を前記第１の方向を向く前記直線にて前記所定幅の領域に分割し、分割された各領域のランレングスを生成して第２仮ランレングスとして記憶する工程と、
ｇ）前記複数の図形要素が配置される配置領域を前記第１の方向を向く前記直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定する工程と、
ｈ）前記複数の単位領域のうち一の単位領域を注目単位領域として決定する工程と、
ｉ）前記注目単位領域と重なる一または複数の収縮図形要素を注目収縮図形要素として抽出し、各注目収縮図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目収縮ランレングスを取得する工程と、
ｊ）前記注目単位領域と重なる一または複数の第１仮図形要素を注目第１仮図形要素として抽出し、各注目第１仮図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目第１仮ランレングスを取得する工程と、
ｋ）前記注目単位領域と重なる一または複数の第２仮図形要素を注目第２仮図形要素として抽出し、各注目第２仮図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目第２仮ランレングスを取得する工程と、
ｌ）前記注目第１仮ランレングスと前記注目第２仮ランレングスとの論理積を求め、前記論理積と前記注目収縮ランレングスとの論理和を求め、前記論理和を前記注目単位領域の単位ランレングスデータとする工程と、
ｍ）前記複数の単位領域に対して前記ｈ）工程ないし前記ｌ）工程を順次繰り返すことにより、前記複数の単位領域のそれぞれの単位ランレングスデータを生成して前記入力データに含まれる前記複数の図形要素の収縮処理後のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
を実行させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の図形要素のベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体基板やプリント基板、あるいは、プラズマ表示装置や液晶表示装置用のガラス基板等（以下、「基板」という。）に形成された感光材料に光を照射することによりパターンの描画が行われており、パターンの高精細化に伴い、感光材料上にて光ビームを走査してパターンを直接描画するパターン描画装置が利用されている。
【０００３】
このようなパターンは、設計段階では通常、ＣＡＤデータ等のベクトルデータにより表現されており、パターン描画装置によるパターンの描画に際して、当該ベクトルデータを、パターン描画装置が利用可能なランレングスデータ等のラスタデータに変換する処理（ＲＩＰ：Raster Image Processing）が行われる。
【０００４】
基板上の感光材料に対する描画では、様々な描画条件による描画結果への影響を補正するため、上記ベクトルデータまたはラスタデータに対して補正が行われる。例えば、設計段階のＣＡＤデータを補正することなく単に変換しただけのランレングスデータに基づいて描画すると、描画時の光ビームの強度と感光材料の感度との関係等により、描画されたパターンが所望のパターンよりも太ってしまう場合、ＣＡＤデータに対してパターンを細らせる処理（以下、「収縮処理」という。）を行うことが必要となる。
【０００５】
しかしながら、ＣＡＤデータに対する収縮処理を行うと、互いに接する（あるいは、僅かに重なる）２つの図形要素がＣＡＤデータに含まれている場合、補正処理後のＣＡＤデータにおいて当該２つの図形要素間に隙間が生じてしまう。このような図形要素の離間を防止するためには、ＣＡＤデータに含まれる複数の図形要素に対して収縮処理よりも前にＯＲ処理（すなわち、図形要素間の境界における図形要素同士の接触や重なりを除去する処理であり、マージ処理ともいう。）を行うことが考えられるが、液晶表示装置用の基板や半導体基板に描画されるパターンでは多数の図形要素が連続していることが多く、このようなパターンにＯＲ処理を行うと、処理に要する時間やメモリの使用量が膨大なものとなってしまう。
【０００６】
これに対し、特許文献１のように、ＣＡＤデータに対して収縮処理（細らせ処理）を行うことなく、ＣＡＤデータから変換されたランレングスデータに対して収縮処理を行う場合には、互いに接する（あるいは、僅かに重なる）図形要素が収縮処理により離間してしまうという問題は防止される。
【特許文献１】特開平１１−３２８３９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、特許文献１の画像処理装置では、ランレングスデータの長さ方向の収縮処理は、ランレングスの長さを変更することにより迅速に行うことができる。しかしながら、幅方向（すなわち、ランレングスが配列される方向）の収縮処理は、幅方向に隣接する複数のランレングスの端部に位置するランレングスを削除することにより行われるため、各ランレングスについて、当該ランレングスに幅方向において隣接する他のランレングスが存在するか否かの情報が必要となり、収縮処理を迅速に行うことが困難である。特に、収縮処理による細らせ量が２画素以上の場合、各ランレングスから幅方向に連続する複数のランレングスの存否の情報が必要となるため、収縮処理を迅速に行うことがより困難となる。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、複数の図形要素のベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換する際に、所定方向に隣接して、または、重なって配列された複数の図形要素に対する当該所定方向の収縮処理において、複数の図形要素間に隙間が生じることを防止しつつ収縮処理を迅速に行うことを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、複数の図形要素のベクトルデータである入力データを第１の方向を向くランレングスの集合である出力データに変換するデータ変換方法であって、ａ）入力データに含まれる複数の図形要素のベクトルデータに基づいて、前記第１の方向に垂直な第２の方向に関し、一の図形要素の両側においてそれぞれ所定の収縮幅の収縮処理を行って収縮図形要素を得る工程と、ｂ）前記収縮図形要素の前記第２の方向の両側においてそれぞれ前記収縮幅の２倍だけ前記収縮図形要素を膨張させ、前記収縮図形要素に前記第２の方向の一方および他方において隣接する第１仮図形要素および第２仮図形要素を得る工程と、ｃ）前記入力データに含まれる前記複数の図形要素に対して前記ａ）工程および前記ｂ）工程を順次繰り返す工程と、ｄ）各収縮図形要素を前記第１の方向を向く直線にて所定幅の領域に分割し、分割された各領域のランレングスを生成して収縮図形ランレングスとして記憶する工程と、ｅ）各第１仮図形要素を前記第１の方向を向く前記直線にて前記所定幅の領域に分割し、分割された各領域のランレングスを生成して第１仮ランレングスとして記憶する工程と、ｆ）各第２仮図形要素を前記第１の方向を向く前記直線にて前記所定幅の領域に分割し、分割された各領域のランレングスを生成して第２仮ランレングスとして記憶する工程と、ｇ）前記複数の図形要素が配置される配置領域を前記第１の方向を向く前記直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定する工程と、ｈ）前記複数の単位領域のうち一の単位領域を注目単位領域として決定する工程と、ｉ）前記注目単位領域と重なる一または複数の収縮図形要素を注目収縮図形要素として抽出し、各注目収縮図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目収縮ランレングスを取得する工程と、ｊ）前記注目単位領域と重なる一または複数の第１仮図形要素を注目第１仮図形要素として抽出し、各注目第１仮図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目第１仮ランレングスを取得する工程と、ｋ）前記注目単位領域と重なる一または複数の第２仮図形要素を注目第２仮図形要素として抽出し、各注目第２仮図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目第２仮ランレングスを取得する工程と、ｌ）前記注目第１仮ランレングスと前記注目第２仮ランレングスとの論理積を求め、前記論理積と前記注目収縮ランレングスとの論理和を求め、前記論理和を前記注目単位領域の単位ランレングスデータとする工程と、ｍ）前記複数の単位領域に対して前記ｈ）工程ないし前記ｌ）工程を順次繰り返すことにより、前記複数の単位領域のそれぞれの単位ランレングスデータを生成して前記入力データに含まれる前記複数の図形要素の収縮処理後のランレングスデータである出力データを生成する工程とを備える。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のデータ変換方法であって、前記ｌ）工程と前記ｍ）工程との間に、前記単位ランレングスデータに含まれるランレングスに対して、前記第１の方向に関する収縮処理を行う工程をさらに備える。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、基板上にパターンを描画する描画システムであって、請求項１または２に記載のデータ変換方法により入力データを出力データに変換するデータ変換装置と、前記データ変換装置により生成された前記出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置とを備え、前記描画装置が、前記基板を保持する基板保持部と、前記基板に光を照射する光変調素子と、前記光変調素子から導かれた光の前記基板上における照射位置を、前記基板上における前記第１の方向に対応する方向に前記基板に対して相対的に移動する照射位置移動機構と、前記出力データに基づいて前記光変調素子からの光の変調を制御する光変調素子制御部とを備える。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、複数の図形要素のベクトルデータである入力データを第１の方向を向くランレングスの集合である出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）入力データに含まれる複数の図形要素のベクトルデータに基づいて、前記第１の方向に垂直な第２の方向に関し、一の図形要素の両側においてそれぞれ所定の収縮幅の収縮処理を行って収縮図形要素を得る工程と、ｂ）前記収縮図形要素の前記第２の方向の両側においてそれぞれ前記収縮幅の２倍だけ前記収縮図形要素を膨張させ、前記収縮図形要素に前記第２の方向の一方および他方において隣接する第１仮図形要素および第２仮図形要素を得る工程と、ｃ）前記入力データに含まれる前記複数の図形要素に対して前記ａ）工程および前記ｂ）工程を順次繰り返す工程と、ｄ）各収縮図形要素を前記第１の方向を向く直線にて所定幅の領域に分割し、分割された各領域のランレングスを生成して収縮図形ランレングスとして記憶する工程と、ｅ）各第１仮図形要素を前記第１の方向を向く前記直線にて前記所定幅の領域に分割し、分割された各領域のランレングスを生成して第１仮ランレングスとして記憶する工程と、ｆ）各第２仮図形要素を前記第１の方向を向く前記直線にて前記所定幅の領域に分割し、分割された各領域のランレングスを生成して第２仮ランレングスとして記憶する工程と、ｇ）前記複数の図形要素が配置される配置領域を前記第１の方向を向く前記直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定する工程と、ｈ）前記複数の単位領域のうち一の単位領域を注目単位領域として決定する工程と、ｉ）前記注目単位領域と重なる一または複数の収縮図形要素を注目収縮図形要素として抽出し、各注目収縮図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目収縮ランレングスを取得する工程と、ｊ）前記注目単位領域と重なる一または複数の第１仮図形要素を注目第１仮図形要素として抽出し、各注目第１仮図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目第１仮ランレングスを取得する工程と、ｋ）前記注目単位領域と重なる一または複数の第２仮図形要素を注目第２仮図形要素として抽出し、各注目第２仮図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスである注目第２仮ランレングスを取得する工程と、ｌ）前記注目第１仮ランレングスと前記注目第２仮ランレングスとの論理積を求め、前記論理積と前記注目収縮ランレングスとの論理和を求め、前記論理和を前記注目単位領域の単位ランレングスデータとする工程と、ｍ）前記複数の単位領域に対して前記ｈ）工程ないし前記ｌ）工程を順次繰り返すことにより、前記複数の単位領域のそれぞれの単位ランレングスデータを生成して前記入力データに含まれる前記複数の図形要素の収縮処理後のランレングスデータである出力データを生成する工程とを実行させる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、所定方向に隣接して、または、重なって配列された複数の図形要素に対する当該所定方向の収縮処理において、複数の図形要素間に隙間が生じることを防止しつつ収縮処理を迅速に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、本発明の一の実施の形態に係る描画システム１００の構成を示す図である。描画システム１００は、液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に「基板」という。）上の感光材料に光を利用してパターンを描画するシステムである。図１に示すように、描画システム１００は、パターンを示すベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換する（すなわち、ラスタライズを行う）データ変換装置７、および、データ変換装置７により生成された出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置１を備える。図１では、データ変換装置７の各機能も併せて示している。以下では、描画装置１について説明した後、データ変換装置７およびデータ変換装置７にて取り扱われるデータについて説明する。
【００１５】
図２および図３はそれぞれ、描画装置１の側面図および平面図である。図２および図３に示すように、描画装置１は、（＋Ｚ）側の主面９１（以下、「上面９１」という。）上に感光材料の層が形成された基板９を保持する基板保持部３、基台１１上に設けられて基板保持部３をＺ方向に垂直なＸ方向およびＹ方向に移動する保持部移動機構２、基板保持部３および保持部移動機構２を跨ぐように基台１１に固定されるフレーム１２、並びに、フレーム１２に取り付けられて基板９上の感光材料に変調された光を照射する光照射部４を備える。また、描画装置１は、図２に示すように、保持部移動機構２や光照射部４等の各構成を制御する制御部６を備える。
【００１６】
図２および図３に示すように、基板保持部３は、基板９が載置されるステージ３１、ステージ３１を回転可能に支持する支持プレート３３、および、支持プレート３３上において、基板９の上面９１に垂直な回転軸３２１を中心としてステージ３１を回転するステージ回転機構３２を備える。
【００１７】
保持部移動機構２は、基板保持部３を図２および図３中のＸ方向（以下、「副走査方向」という。）に移動する副走査機構２３、副走査機構２３を介して支持プレート３３を支持するベースプレート２４、並びに、基板保持部３をベースプレート２４と共にＸ方向に垂直なＹ方向（以下、「主走査方向」という。）に移動する主走査機構２５を備える。描画装置１では、保持部移動機構２により、基板９の上面９１に平行な主走査方向および副走査方向に基板保持部３が移動される。
【００１８】
図２および図３に示すように、副走査機構２３は、支持プレート３３の下側（すなわち、（−Ｚ）側）において、ステージ３１の主面に平行、かつ、主走査方向に垂直な副走査方向に伸びるリニアモータ２３１、並びに、リニアモータ２３１の（＋Ｙ）側および（−Ｙ）側において副走査方向に伸びる１対のリニアガイド２３２を備える。主走査機構２５は、ベースプレート２４の下側において、ステージ３１の主面に平行な主走査方向に伸びるリニアモータ２５１、並びに、リニアモータ２５１の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側において主走査方向に伸びる１対のエアスライダ２５２を備える。
【００１９】
図３に示すように、光照射部４は、副走査方向に沿って等ピッチにて配列されてフレーム１２に取り付けられる複数（本実施の形態では、８つ）の光学ヘッド４１を備える。また、光照射部４は、図２に示すように、各光学ヘッド４１に接続される光源光学系４２、並びに、紫外光を出射するＵＶ光源４３および光源駆動部４４を備える。ＵＶ光源４３は固体レーザであり、光源駆動部４４が駆動されることにより、ＵＶ光源４３から波長３５５ｎｍの紫外光が出射され、光源光学系４２を介して光学ヘッド４１へと導かれる。
【００２０】
各光学ヘッド４１は、ＵＶ光源４３からの光を下方に向けて出射する出射部４５、出射部４５からの光を反射して空間光変調器４６へと導く光学系４５１、光学系４５１を介して照射された出射部４５からの光を変調しつつ反射する空間光変調器４６、および、空間光変調器４６からの変調された光を基板９の上面９１に設けられた感光材料上へと導く光学系４７を備える。
【００２１】
図４は、空間光変調器４６を拡大して示す図である。図４に示すように、空間光変調器４６は、出射部４５を介して照射されたＵＶ光源４３（図２参照）からの光を基板９の上面９１へと導く回折格子型の複数の光変調素子４６１を備える。光変調素子４６１は半導体装置製造技術を利用して製造され、格子の深さを変更することができる回折格子となっている。光変調素子４６１には複数の可撓リボン４６１ａおよび複数の固定リボン４６１ｂが交互に平行に配列形成され、複数の可撓リボン４６１ａは背後の基準面に対して個別に昇降移動可能とされ、複数の固定リボン４６１ｂは基準面に対して固定される。回折格子型の光変調素子としては、例えば、ＧＬＶ（Grating Light Valve：グレーチング・ライト・バルブ）（シリコン・ライト・マシーンズ（サニーベール、カリフォルニア）の登録商標）が知られている。
【００２２】
図５．Ａおよび図５．Ｂは、可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂに対して垂直な面における光変調素子４６１の断面を示す図である。図５．Ａに示すように可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂが基準面４６１ｃに対して同じ高さに位置する（すなわち、可撓リボン４６１ａが撓まない）場合には、光変調素子４６１の表面は面一となり、入射光Ｌ１の反射光が０次光Ｌ２として導出される。一方、図５．Ｂに示すように可撓リボン４６１ａが固定リボン４６１ｂよりも基準面４６１ｃ側に撓む場合には、可撓リボン４６１ａが回折格子の溝の底面となり、入射光Ｌ１が入射した光変調素子４６１から１次回折光Ｌ３（さらには、高次回折光）が導出され、０次光は消滅する。このように、光変調素子４６１は回折格子を利用した光変調を行う。
【００２３】
図２に示す光照射部４では、ＵＶ光源４３からの光が光源光学系４２により線状光（光束断面が線状の光）とされ、出射部４５を介して空間光変調器４６のライン状に配列された複数の可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂ（図５．Ａおよび図５．Ｂ参照）上に照射される。光変調素子４６１では、隣接する各１本の可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂを１つのリボン対とすると、３つ以上のリボン対が描画されるパターンの１つの画素に対応する。光変調素子４６１では、各空間光変調器４６に接続される光変調素子制御部６１からの信号に基づいてパターンの各画素に対応するリボン対の可撓リボン４６１ａがそれぞれ制御され、各画素に対応するリボン対が０次光（正反射光）を出射する状態と、非０次回折光（主として１次回折光（（＋１）次回折光および（−１）次回折光））を出射する状態との間で遷移可能とされる。光変調素子４６１から出射される０次光は光学系４７へと導かれ、１次回折光は光学系４７とは異なる方向へと導かれる。なお、迷光となることを防止するために１次回折光は図示を省略する遮光部により遮光される。
【００２４】
光変調素子４６１からの０次光は、光学系４７を介して基板９の上面９１へと導かれ、これにより、基板９の上面９１上においてＸ方向（すなわち、副走査方向）に並ぶ複数の照射位置のそれぞれに変調された光が照射される。すなわち、光変調素子４６１の各画素に対応するリボン対は０次光を出射する状態がＯＮ状態であり、１次回折光を出射する状態がＯＦＦ状態とされる。
【００２５】
図２および図３に示す描画装置１では、保持部移動機構２の主走査機構２５により主走査方向に移動される基板９に対し、光照射部４の光変調素子４６１から変調された光が照射される。換言すれば、主走査機構２５は、光変調素子４６１から基板９へと導かれた光の基板９上における照射位置を、基板９に対して主走査方向に相対的に移動する照射位置移動機構となっている。なお、描画装置１では、例えば、基板９を移動することなく、光変調素子４６１が主走査方向に移動することにより基板９上の照射位置が主走査方向に移動されてもよい。描画装置１では、基板９を主走査方向に移動しつつ、図２に示す制御部６の光変調素子制御部６１により、光変調素子４６１からの光の変調がデータ変換装置７から描画装置１へと出力された出力データに基づいて制御されることにより、データ変換装置７に入力された入力データが示すパターンが基板９上に描画される。
【００２６】
次に、データ変換装置７について説明する。図６は、データ変換装置７の構成を示す図である。データ変換装置７は、通常のコンピュータと同様に、各種演算処理を行うＣＰＵ７０１、実行されるプログラムを記憶したり演算処理の作業領域となるＲＡＭ７０２、基本プログラムを記憶するＲＯＭ７０３、各種情報を記憶する固定ディスク７０４、作業者に各種情報を表示するディスプレイ７０５、および、キーボードやマウス等の入力部７０６等を接続した構成となっている。固定ディスク７０４内には、データ変換装置７により実行されるプログラム７０４１が記憶される。プログラム７０４１は、基板上に描画される予定のパターンを示すベクトルデータである入力データを、ランレングスデータである出力データに変換する（すなわち、ラスタライズを行う）プログラムである。
【００２７】
図１では、データ変換装置７のＣＰＵ７０１（図６参照）等がプログラム７０４１に従って演算処理等を行うことにより（すなわち、プログラム７０４１がデータ変換装置７により実行されることにより）実現される機能をブロックにて示しており、図１中のデータ受付部７１、第１収縮処理部７２ａ、第２収縮処理部７２ｂ、膨張処理部７３、部分ランレングスデータ生成部７４、部分ランレングス記憶部７４１、単位領域設定部７５、単位ランレングスデータ生成部７６、ランレングス記憶部７７、フォーマット変換部７８およびデータ出力部７９が、ＣＰＵ７０１等により実現される機能に相当する。なお、これらの機能は複数台のコンピュータにより実現されてもよい。
【００２８】
次に、データ変換装置７による入力データから出力データへのデータ変換について説明する。図７．Ａないし図７．Ｃは、データ変換装置７によるデータ変換の流れを示す図である。データ変換装置７では、まず、図１に示すデータ受付部７１によりベクトルデータである入力データが受け付けられる（ステップＳ１１）。
【００２９】
図８．Ａは、入力データにより表されるパターンを示す図である。図８．Ａに示すように、入力データでは、所定の配置領域８０に描画されるパターンを複数の図形要素として捉えた上で、複数の図形要素のそれぞれが、各図形要素の形状や基板９（図２および図３参照）上における位置等を示すベクトルデータの集合であるデータ要素として表現される。図８．Ａ中の図形要素８１〜８４は互いに同じ大きさの正方形であり、図形要素８５〜８８は互いに同じ大きさの長方形である。なお、図８．Ａでは、図の理解を容易にするために、図形要素８１〜８８にそれぞれ平行斜線を付している（図８．Ｂ、図９．Ａ、図９．Ｂ、図１０、図１１．Ａないし図１１．Ｊ、並びに、図１２．Ａないし図１２．Ｅの各図形要素においても同様）。
【００３０】
図８．Ａでは、図中の上側から下側へと向かう方向（以下、「第１の方向」という。）が、図２および図３に示す描画装置１における（＋Ｙ）側から（−Ｙ）側へと向かう主走査方向に対応し、図中の左側から右側に向かう方向（すなわち、第１の方向に垂直な方向であり、以下、「第２の方向」という。）が、描画装置１における（＋Ｘ）側から（−Ｘ）側へと向かう副走査方向に対応する。
【００３１】
後述するように、配置領域８０は、図８．Ｂに示すように、第１の方向を向く複数の直線８０１（すなわち、描画装置１における主走査方向に平行な直線であり、以下、「走査線８０１」という。）にて所定幅毎に分割され、これにより、第２の方向に配列された上記所定幅（図１に示す描画装置１の描画の分解能に基づいて決定される幅であり、以下、「単位幅」という。）の複数の領域８００が設定される。
【００３２】
図８．Ｂに示すように、図形要素８５の左側の部位（すなわち、第２の方向の一方の部位）は図形要素８１の右側の部位（すなわち、第２方向の他方の部位）と重なっており、図形要素８１と図形要素８５とが重なる部分の第２の方向の幅は、単位幅と等しくなっている。また、図形要素８６の左側の第１の方向に平行な辺は図形要素８２の右側の辺に接しており、図形要素８７は、図形要素８３の右側において図形要素８３から単位幅の２倍だけ離間している。図形要素８８の上側の部位は、図形要素８４の下側の部位と重なっており、図形要素８８の左右両側の辺はそれぞれ、図形要素８４の左右両側の辺の同一線上に位置する。
【００３３】
実際のデータ変換装置７では、後述する処理が、入力データに含まれる複数の図形要素８１〜８８に対応するデータ要素に対して行われるが、以下の説明では、理解を容易とするために、図形要素８１〜８８を処理の取扱対象として説明する。なお、実際の入力データは通常、図８．Ａおよび図８．Ｂに示すものよりも多種類かつ多様な形状の多数の図形要素を示すデータ要素を含む。
【００３４】
図１に示すデータ受付部７１により入力データが受け付けられると、第１収縮処理部７２ａにより、入力データに含まれる複数の図形要素のベクトルデータから図８．Ａに示す一の図形要素８１が選択され（ステップＳ１２）、選択された図形要素８１の左右両側（すなわち、第２の方向に関する両側）において所定の収縮幅の収縮処理が行われる。本実施の形態では、収縮幅は単位幅に等しくされ、図形要素８１に対して第２の方向に関する収縮処理が行われることにより、図９．Ａに示すように、図形要素８１よりも第２の方向の幅が単位幅の２倍だけ小さい収縮図形要素８１ａが得られる（ステップＳ１３）。図９．Ａでは、収縮処理が行われる前の図形要素８１の輪郭を二点鎖線にて示している（他の図形要素８２〜８８においても同様）。
【００３５】
続いて、膨張処理部７３（図１参照）により、図９．Ｂに示すように、収縮図形要素８１ａの第２の方向の両側において、それぞれ収縮幅の２倍（すなわち、単位幅の２倍）だけ収縮図形要素８１ａを膨張させ、収縮図形要素８１ａの両側に新たに生成された部位が、収縮図形要素８１ａに第２の方向の一方および他方においてそれぞれ隣接する第１仮図形要素８１１および第２仮図形要素８１２として得られる（ステップＳ１４）。
【００３６】
第１仮図形要素８１１および第２仮図形要素８１２が生成されると、次の図形要素が存在するため（ステップＳ１５）、ステップＳ１２に戻り、図８．Ａに示す図形要素８２が次の図形要素として選択される（ステップＳ１２）。本実施の形態では、図形要素の選択は各図形要素に付された符号の順に行われるが、当該選択の順序は適宜変更されてよい。図形要素８２が選択されると、図形要素８２に対して上述の収縮処理が行われて図９．Ａに示す収縮図形要素８２ａが取得され、収縮図形要素８２ａが収縮図形要素８１ａと同様に膨張されて図９．Ｂに示す第１仮図形要素８２１および第２仮図形要素８２２が取得される（ステップＳ１３，Ｓ１４）。
【００３７】
データ変換装置７では、入力データに含まれる複数の図形要素８１〜８８（図８．Ａ参照）のベクトルデータに基づいて、上述のステップＳ１２〜Ｓ１５が図形要素８１〜８８に対して順次繰り返され、図形要素８１〜８８に対応する収縮図形要素８１ａ〜８８ａ、第１仮図形要素８１１〜８８１（第１仮図形要素８１１，８２１，８３１，８４１，８５１，８６１，８７１，８８１）、並びに、第２仮図形要素８１２〜８８２（第１仮図形要素８１２，８２２，８３２，８４２，８５２，８６２，８７２，８８２）が取得される（図９．Ａおよび図９．Ｂ参照）。
【００３８】
全ての収縮図形要素、第１仮図形要素および第２仮図形要素が取得されると、部分ランレングスデータ生成部７４（図１参照）により、各収縮図形要素（すなわち、収縮図形要素８１ａ〜８８ａ）が、図１０に示すように、第１の方向を向く走査線８０１にて上述の単位幅の領域に分割され、分割された各領域のランレングスが生成されて収縮図形ランレングスとして部分ランレングス記憶部７４１（図１参照）に記憶される（ステップＳ１６）。また、各第１仮図形要素および各第２仮図形要素（すなわち、第１仮図形要素８１１〜８８１、並びに、第２仮図形要素８１２〜８８２）が、走査線８０１にて上述の単位幅の領域に分割され、分割された各領域のランレングスが生成されて第１仮ランレングスおよび第２仮ランレングスとして部分ランレングス記憶部７４１に記憶される（ステップＳ１７，Ｓ１８）。本実施の形態では、収縮図形ランレングス、第１仮ランレングスおよび第２仮ランレングスは、第１の方向における始点および長さにより表されるが、例えば、第１の方向における始点および終点により表されてもよい。なお、上記ステップＳ１６〜Ｓ１８は、いずれが先に行われてもよく、互いに並行して行われてもよい。
【００３９】
次に、単位領域設定部７５（図１参照）により、配置領域８０が図１０に示すように、第１の方向を向く複数の走査線８０１にて単位幅に分割されることにより、第２の方向に配列された単位幅の複数の領域８００（以下、「単位領域８００」という。）が設定される（ステップＳ１９）。なお、ステップＳ１９における単位領域８００の設定は、ステップＳ１６〜Ｓ１８における収縮図形ランレングス、第１仮ランレングスおよび第２仮ランレングスの生成よりも前に行われてもよく、ステップＳ１６〜Ｓ１８と並行して行われてもよい。
【００４０】
単位領域８００が設定されると、単位ランレングスデータ生成部７６（図１参照）により、複数の単位領域８００のうち一の単位領域８００が注目単位領域として決定される。本実施の形態では、図１１．Ａにおいて太実線にて囲んで示すように、図中の最も左側の単位領域８００が最初の注目単位領域８００ａとして決定される（ステップＳ２０）。
【００４１】
注目単位領域８００ａが決定されると、注目単位領域８００ａと重なる一または複数の収縮図形要素が注目収縮図形要素として抽出され、各注目収縮図形要素の注目単位領域８００ａと重なるランレングスである注目収縮ランレングスが、部分ランレングス記憶部７４１（図１参照）に記憶されている各注目収縮図形要素の収縮図形ランレングスに基づいて取得される（ステップＳ２１）。最初の注目単位領域８００ａでは、注目単位領域８００ａと重なる収縮図形要素は存在しないため、注目収縮ランレングスとして取得されるデータは存在しない。換言すれば、最初の注目単位領域８００ａにおける注目収縮ランレングスの取得は、注目収縮ランレングスがないことを確認することとなる。
【００４２】
続いて、注目単位領域８００ａと重なる一または複数の第１仮図形要素が注目第１仮図形要素として抽出され、各注目第１仮図形要素の注目単位領域８００ａと重なるランレングスである注目第１仮ランレングスが、部分ランレングス記憶部７４１に記憶されている各注目第１仮図形要素の第１仮ランレングスに基づいて取得される（ステップＳ２２）。図１１．Ａに示すように、配置領域８０では、第１仮図形要素８１１〜８４１，８８１が注目単位領域８００ａと重なっており、第１仮図形要素８１１〜８４１，８８１のそれぞれの最も左側の単位幅の領域のランレングスが、注目第１仮ランレングスとして取得される。
【００４３】
注目第１仮ランレングスが取得されると、注目単位領域８００ａと重なる一または複数の第２仮図形要素が注目第２仮図形要素として抽出され、各注目第２仮図形要素の注目単位領域８００ａと重なるランレングスである注目第２仮ランレングスが、部分ランレングス記憶部７４１に記憶されている各注目第２仮図形要素の第２仮ランレングスに基づいて取得される（ステップＳ２３）。最初の注目単位領域８００ａでは、収縮図形要素と同様に、注目単位領域８００ａと重なる第２仮図形要素は存在しないため、注目第２仮ランレングスとして取得されるデータは存在しないことが確認される。
【００４４】
次の処理では、注目単位領域８００ａに係る注目第１仮ランレングスと注目第２仮ランレングスとの論理積（すなわち、注目第１仮ランレングスと注目第２仮ランレングスとが重なる部分）が求められ、当該論理積と注目単位領域８００ａに係る注目収縮ランレングスとの論理和が求められ、当該論理和が注目単位領域８００ａの単位ランレングスデータとされるが（ステップＳ２４）、上述のように、最初の注目単位領域８００ａでは、注目収縮ランレングスおよび注目第２仮ランレングスが存在しないため、ランレングスを含まない単位ランレングスデータが生成される。なお、図１１．Ａに示すように、第１仮図形要素８４１の注目第１仮ランレングスは、第１仮図形要素８８１の注目第１仮ランレングスの一部と重なっているが、どちらも注目第１仮ランレングスであるため、ステップＳ２４においてこれらのランレングスの論理積は求められない。
【００４５】
単位ランレングスデータが生成されると、単位ランレングスデータにランレングスが含まれているか否かが確認され、最初の注目単位領域８００ａの単位ランレングスデータにはランレングスは含まれていないと判断される（ステップＳ２５）。そして、単位ランレングスデータがランレングス記憶部７７（図１参照）に記憶された後（ステップＳ２７）、次の単位領域８００（すなわち、単位ランレングスデータの生成が未了の単位領域８００）が存在することが確認されてステップＳ２０に戻り、図１１．Ａ中の左側から２番目の単位領域８００が次の注目単位領域として決定される（ステップＳ２８，Ｓ２０）。
【００４６】
２番目の注目単位領域が決定されると、最初の注目単位領域と同様に、注目収縮ランレングス、注目第１仮ランレングスおよび注目第２仮ランレングスの取得、並びに、単位ランレングスデータの生成が行われ（ステップＳ２１〜Ｓ２４）、ランレングスを含まない単位ランレングスデータがランレングス記憶部７７に記憶された後（ステップＳ２５，Ｓ２７）、ステップＳ２０に戻り、図１１．Ｂに示すように、図中の左側から３番目の単位領域８００が次の注目単位領域として決定される（ステップＳ２８，Ｓ２０）。
【００４７】
３番目の注目単位領域が決定されると、注目単位領域８００ａと重なる収縮図形要素８１ａ〜８４ａ，８８ａが注目収縮図形要素として抽出され、各注目収縮図形要素の最も左側の単位幅の領域のランレングスが、注目収縮ランレングスとして取得される（ステップＳ２１）。また、注目第１仮ランレングスおよび注目第２仮ランレングスとして取得されるデータは存在しないことが確認される（ステップＳ２２，Ｓ２３）。
【００４８】
続いて、３番目の注目単位領域８００ａに係る注目第１仮ランレングスと注目第２仮ランレングスとの論理積が求められ、注目第１仮ランレングスおよび注目第２仮ランレングスが存在しないため、論理積として求められるデータはない。次に、注目第１仮ランレングスおよび注目第２仮ランレングスの論理積と３番目の注目単位領域８００ａに係る注目収縮ランレングスとの論理和が求められ、上記論理積が存在しないため、図１１．Ｃにて黒く塗りつぶして示す注目収縮ランレングスの論理和が、注目単位領域８００ａの単位ランレングスデータとされる（ステップＳ２４）。
【００４９】
単位ランレングスデータが生成されると、単位ランレングスデータにランレングスが含まれていることが確認され（ステップＳ２５）、第２収縮処理部７２ｂ（図１参照）により、当該ランレングスに対して第１の方向に関する所定の収縮長さの収縮処理が第１の方向の両側にて行われる（ステップＳ２６）。そして、注目単位領域８００ａの単位ランレングスデータとして、図１１．Ｄにて黒く塗りつぶして示す収縮処理後のランレングスの集合がランレングス記憶部７７（図１参照）に記憶された後（ステップＳ２７）、ステップＳ２０に戻り、図１１．Ｂ中の左側から４番目の単位領域８００が次の注目単位領域として決定される（ステップＳ２８，Ｓ２０）。
【００５０】
データ変換装置７では、４番目ないし１０番目の注目単位領域に対して、３番目の注目単位領域に対する処理と同様の処理が順次行われ、第１の方向に関する収縮処理後のランレングスの集合である単位ランレングスデータがランレングス記憶部７７に記憶される（ステップＳ２０〜Ｓ２８）。なお、１０番目の注目単位領域（すなわち、図１１．Ｂ中の左側から１０番目の単位領域８００）に対する処理は、ステップＳ２２において第１仮図形要素８５１の最も左側の単位幅の領域のランレングスが注目第１仮ランレングスとして取得される点で、３番目の注目単位領域に対する処理とは多少異なるが、ステップＳ２３において注目第２仮ランレングスが取得されないため、ステップＳ２４において生成される単位ランレングスデータは、３番目ないし９番目の注目単位領域と同様に、注目収縮ランレングスの論理和とされる。
【００５１】
次に、図１１．Ｅに示すように、図中の左側から１１番目の単位領域８００が次の注目単位領域８００ａとして決定され（ステップＳ２８，Ｓ２０）、注目収縮ランレングスが存在しないことが確認された後（ステップＳ２１）、注目単位領域８００ａと重なる第１仮図形要素８５１，８６１が注目第１仮図形要素として抽出され、第１仮図形要素８５１の左側から２番目の単位幅の領域のランレングス、および、第１仮図形要素８６１の最も左側の単位幅の領域のランレングスが、注目第１仮ランレングスとして取得される（ステップＳ２２）。
【００５２】
続いて、注目単位領域８００ａと重なる第２仮図形要素８１２〜８４２，８８２が注目第２仮図形要素として抽出され、第２仮図形要素８１２〜８４２，８８２のそれぞれの最も左側の単位幅の領域のランレングスが、注目第２仮ランレングスとして取得される（ステップＳ２３）。
【００５３】
注目第２仮ランレングスが取得されると、単位ランレングスデータ生成部７６（図１参照）により、注目第１仮ランレングスと注目第２仮ランレングスとの論理積が求められる。具体的には、図１１．Ｆにて黒く塗りつぶして示すように、第１仮図形要素８５１の左側から２番目の領域のランレングスと第２仮図形要素８１２の最も左側のランレングスとの論理積であるランレングスが求められ、また、第１仮図形要素８６１の最も左側の領域のランレングスと第２仮図形要素８２２の最も左側のランレングスとの論理積であるランレングスが求められる。
【００５４】
上述のように、１１番目の注目単位領域８００ａでは、注目収縮ランレングスが存在しないため、図１１．Ｆに示す注目第１仮ランレングスと注目第２仮ランレングスとの論理積が、当該論理積と注目収縮ランレングスとの論理和である単位ランレングスデータとされる（ステップＳ２４）。なお、図１１．Ｅに示すように、第２仮図形要素８４２の注目第２仮ランレングスは、第２仮図形要素８８２の注目第２仮ランレングスの一部と重なっているが、どちらも注目第２仮ランレングスであるため、ステップＳ２４においてこれらのランレングスの論理積は求められない。
【００５５】
単位ランレングスデータが生成されると、単位ランレングスデータにランレングスが含まれていることが確認され、図１１．Ｇにて黒く塗りつぶして示すように、当該ランレングスに対して第１の方向に関する収縮処理が行われた後、注目単位領域８００ａの収縮処理後の単位ランレングスデータがランレングス記憶部７７（図１参照）に記憶される（ステップＳ２５〜Ｓ２７）。
【００５６】
単位ランレングスデータが記憶されると、ステップＳ２０に戻り、図１１．Ｈに示すように、図中の左側から１２番目の単位領域８００が次の注目単位領域８００ａとして決定され（ステップＳ２８，Ｓ２０）、収縮図形要素８５ａの最も左側の単位幅の領域が注目収縮ランレングスとして取得される（ステップＳ２１）。また、第１仮図形要素８６１の左側から２番目の単位幅の領域のランレングスが、注目第１仮ランレングスとして取得され、第２仮図形要素８１２〜８４２，８８２のそれぞれの左側から２番目の単位幅の領域のランレングスが、注目第２仮ランレングスとして取得される（ステップＳ２２，Ｓ２３）。
【００５７】
続いて、注目第１仮ランレングスと注目第２仮ランレングスとの論理積として、第１仮図形要素８６１の左側から２番目の領域のランレングスと第２仮図形要素８２２の左側から２番目の領域のランレングスとの論理積が求められ、図１１．Ｉにて黒く塗りつぶして示すように、当該論理積と注目収縮ランレングスとの論理和である上記論理積のランレングス、および、収縮図形要素８５ａの最も左側の領域のランレングスが、注目単位領域８００ａの単位ランレングスデータとして取得される（ステップＳ２４）。そして、図１１．Ｊにて黒く塗りつぶして示すように、単位ランレングスデータに含まれる各ランレングスに対して第１の方向に関する収縮処理が行われた後、注目単位領域８００ａの収縮処理後の単位ランレングスデータが記憶される（ステップＳ２５〜Ｓ２７）。
【００５８】
その後、図１１．Ｈ中の左側から１３番目および１４番目の単位領域８００に対して上述の処理（ステップＳ２０〜Ｓ２８）が順次行われ、収縮図形要素８５ａ，８６ａの該当する領域のランレングスに対して第１の方向に関する収縮処理が行われたものが単位ランレングスデータとして記憶される。また、図１１．Ｈ中の左側から１５番目ないし１９番目の単位領域８００に対して上述の処理が順次行われ、収縮図形要素８５ａ〜８７ａの該当する領域のランレングスに対して第１の方向に関する収縮処理が行われたものが単位ランレングスデータとして記憶される。
【００５９】
さらに、図１１．Ｈ中の左側から２０番目の単位領域８００では、収縮図形要素８６ａ，８７ａの該当する領域のランレングスに対して第１の方向に関する収縮処理が行われたものが単位ランレングスデータとして記憶され、左側から２１番目および２２番目の単位領域８００では、収縮図形要素８７ａの該当する領域のランレングスに対して第１の方向に関する収縮処理が行われたものが単位ランレングスデータとして記憶される。また、左側から２３番目および２４番目の単位領域８００の単位ランレングスデータは、ランレングスを含んでいないものとされる。
【００６０】
このように、データ変換装置７では、次の単位領域８００が存在しなくなるまで、配置領域８０の複数の単位領域８００のそれぞれの単位ランレングスデータが、第２の方向に向かって順次生成され、ランレングス記憶部７７に記憶される。図１１．Ｋは、これらの単位ランレングスデータに含まれる全てのランレングスを黒く塗りつぶして示す図であり、図中では、入力データに含まれる図形要素８１〜８８の輪郭も二点鎖線にて併せて示している。そして、これらの単位ランレングスデータが、ランレングス記憶部７７にて、対応する単位領域の位置を示すデータと関連付けられることにより、入力データに含まれる複数の図形要素８１〜８８を第１の方向を向くランレングスの集合として表すランレングスデータである出力データが生成される。
【００６１】
なお、上述のステップＳ２１〜Ｓ２３における注目収縮図形要素、注目第１仮図形要素および注目第２仮図形要素の抽出では、配置領域８０中の全ての収縮図形要素、第１仮図形要素および第２仮図形要素について注目単位領域との重なりの判定が行われてもよいが、最も右側のエッジが注目単位領域よりも左側に位置する収縮図形要素、第１仮図形要素および第２仮図形要素については、注目単位領域との重なりの判定が行われることなく、注目収縮図形要素、注目第１仮図形要素および注目第２仮図形要素の候補から除外されることが好ましい。これにより、注目収縮図形要素、注目第１仮図形要素および注目第２仮図形要素の抽出に要する時間が短縮される。
【００６２】
図１に示す描画システム１００では、データ変換装置７において生成された出力データが、フォーマット変換部７８により描画装置１における処理に適合するフォーマットにフォーマット変換された後、データ出力部７９により描画装置１へと出力される。そして、当該フォーマット変換後のデータに基づいて図２に示す制御部６の光変調素子制御部６１から各空間光変調器４６へと信号が送られるとともに、主走査機構２５により基板９が主走査方向（すなわち、基板９上における上記第１の方向に対応する方向）に移動することにより、データ変換装置７に入力された入力データが示すパターンに収縮処理が施されたものが基板９上の感光材料に描画される。描画システム１００では、データ変換装置７において出力データがフォーマット変換されることなく描画装置１へと出力され、描画装置１においてフォーマット変換が行われてもよい。
【００６３】
以上に説明したように、データ変換装置７では、入力データが示すパターン（すなわち、入力データに含まれる複数の図形要素）に対する収縮処理を行いつつ、ベクトルデータである入力データからランレングスデータである出力データへ変換する際に、入力データに含まれる複数の図形要素のベクトルデータに基づいて、第２の方向に関する収縮処理が行われた収縮図形要素、並びに、収縮図形要素の第２の方向の一方および他方にそれぞれ隣接する第１仮図形要素および第２仮図形要素が生成される。
【００６４】
続いて、収縮図形要素、第１仮図形要素および第２仮図形要素を表す収縮図形ランレングス、第１仮ランレングスおよび第２仮ランレングスが生成され、注目単位領域と重なる注目第１仮ランレングスと注目第２仮ランレングスとの論理積が求められる。次に、当該論理積と注目収縮ランレングスとの論理和が単位ランレングスデータとして求められ、単位ランレングスデータに含まれる各ランレングスに対して第１の方向に関する収縮処理が行われる。そして、各単位領域８００の収縮処理後の単位ランレングスデータを取得することにより出力データが生成される。
【００６５】
ここで、仮に、ベクトルデータである入力データに対して第２の方向に関する収縮処理を行い、収縮処理後の図形要素をランレングスデータに変換することのみにより出力データを生成するデータ変換装置を想定すると、このようなデータ変換装置において上述と同様の入力データを変換した場合、図９．Ａにて平行斜線を付して示す部分（すなわち、収縮図形要素８１ａ〜８８ａ）のみに対応するランレングスが出力データとされる。このため、出力データにおいて、本来１つの出力図形要素として表されるはずの図形要素８１および図形要素８５（図８．Ａ参照）に対応する図形要素が、互いに離間する２つの出力図形要素として表され、また、本来１つの出力図形要素として表されるはずの図形要素８２および図形要素８６（図８．Ａ参照）に対応する図形要素も、互いに離間する２つの出力図形要素として表されてしまう。
【００６６】
また、上記図形要素の離間を防止するために、入力データに含まれる複数の図形要素のベクトルデータに対して、収縮処理を行う前にＯＲ処理（すなわち、図形要素間の境界における図形要素同士の接触や重なりを除去する処理であり、マージ処理ともいう。）を行うことも考えられるが、液晶表示装置用の基板や半導体基板に描画されるパターンでは多数の図形要素が連続していることが多く、このようなパターンにＯＲ処理を行うと、処理に要する時間やメモリの使用量が膨大なものとなってしまい、データ変換装置の処理能力を超えてしまうことも考えられる。
【００６７】
これに対し、本実施の形態に係るデータ変換装置７では、上述のように、入力データに含まれる複数の図形要素に対するＯＲ処理を行うことなく、収縮図形要素の第２方向の両側に隣接する第１仮図形要素および第２仮図形要素を利用することにより、入力データ中の第２の方向に隣接して配列された複数の図形要素、または、第２の方向にて僅かに重なって配列された複数の図形要素に対する第２の方向の収縮処理において、図１１．Ｋに示すように、これら複数の図形要素間に隙間が生じることを防止しつつ当該収縮処理を迅速に行うことができる。
【００６８】
上述のように、データ変換装置７では、第１の方向に関する収縮処理が、配置領域８０の各単位領域８００の単位ランレングスデータが生成された後に行われる。このため、単位ランレングスデータに含まれる各ランレングスの長さを変更することにより、第１の方向に関する収縮処理を容易かつ迅速に行うことができる。
【００６９】
一方、仮に、ベクトルデータである入力データに対して第２の方向の収縮処理を行うことなく、入力データをランレングスデータに変換した後に第２の方向の収縮処理を行って出力データを生成するデータ変換装置を想定すると、このようなデータ変換装置では、ランレングスデータに対する第２の方向の収縮処理は、幅方向に隣接する複数のランレングスの端部に位置するランレングスを削除することににより行われるため、各ランレングスについて、当該ランレングスに第２の方向において隣接する他のランレングスが存在するか否かの情報が必要となり、第２の方向に関する収縮処理を迅速に行うことが困難である。
【００７０】
これに対し、本実施の形態に係るデータ変換装置７では、第２の方向に関する収縮処理が行われた出力データを生成する際に、一の単位領域８００の単位ランレングスデータを、他の単位領域８００の単位ランレングスデータとの関係を考慮することなく迅速に生成することができる。これにより、第２の方向に関する収縮処理を迅速に行うことができる。
【００７１】
ところで、データ変換装置７により出力データに変換される入力データでは、通常、入力データの生成時等におけるデザインルールチェック等により、図１２．Ａに示す図形要素９８１，９８２のように、第２の方向に関する収縮処理の収縮幅以下の距離（本実施の形態では、単位幅に等しい距離）だけ第２の方向において離間している２つの図形要素が入力データに含まれることが防止される。ただし、上述のデータ変換装置７は、上記のような位置関係を有する２つの図形要素が含まれる可能性がある入力データの変換にも利用可能である。以下、図１２．Ａに示す配置領域９８０に図形要素９８１，９８２が配置された入力データのデータ変換装置７による変換について説明する。
【００７２】
データ変換装置７では、上述の変換の流れ（図７．Ａないし図７．Ｃ参照）と同様に、受け付けられた入力データに含まれる図形要素９８１，９８２のそれぞれに対して第２の方向に関する単位幅の収縮処理が行われることにより、図１２．Ｂに示すように収縮図形要素９８１ａ，９８２ａが得られ、収縮図形要素９８１ａ，９８２ａが、第２の方向の両側において単位幅の２倍だけ膨張されることにより、図１２．Ｃに示すように、第１仮図形要素９８１１，９８２１および第２仮図形要素９８１２，９８２２が得られる（ステップＳ１１〜Ｓ１５）。
【００７３】
続いて、収縮図形要素９８１ａ，９８２ａ、第１仮図形要素９８１１，９８２１、並びに、第２仮図形要素９８１２，９８２２が単位幅の領域に分割されて収縮図形ランレングス、第１仮ランレングスおよび第２仮ランレングス生成され、配置領域９８０に設定された複数の単位領域８００のうち一の注目単位領域と重なる注目収縮ランレングス、注目第１仮ランレングスおよび注目第２仮ランレングスが取得される（ステップＳ１６〜Ｓ２３）。
【００７４】
次に、注目第１仮ランレングスと注目第２仮ランレングスとの論理積が求められ、ここで、当該論理積が、収縮処理前の元の図形要素９８１，９８２（図１２．Ａ参照）の少なくとも一方に含まれているか否かを確認する処理が追加される。そして、注目第１仮ランレングスと注目第２仮ランレングスとの論理積が、図形要素９８１，９８２のどちらにも含まれていないと判断されると、当該論理積は単位ランレングスデータには含められず、図形要素９８１，９８２の少なくとも一方に含まれていると判断された場合のみ、当該論理積と注目収縮ランレングスとの論理和が単位ランレングスデータとされる（ステップＳ２４）。換言すれば、注目第１仮ランレングスと注目第２仮ランレングスとの論理積と収縮処理前の元の図形要素との論理積が新たに求められた上で、新たに求められた論理積と注目収縮ランレングスとの論理和が単位ランレングスデータとされる。
【００７５】
具体的には、図１２．Ｄに示すように、図中の左側から１２番目の単位領域８００が注目単位領域８００ａとされる場合に、図１２．Ｅ中にて黒く塗りつぶして示す注目第１仮ランレングスと注目第２仮ランレングスとの論理積（すなわち、第１仮図形要素９８２１の最も左側の単位幅の領域と第２仮図形要素９８１２の左側から２番目の単位幅の領域との論理積）が、元の図形要素９８１，９８２（図１２．Ａ参照）のどちらにも含まれていないと判断され、単位ランレングスデータに含められない。
【００７６】
ステップＳ２４よりも後の処理は、図７．Ａないし図７．Ｃに示す処理と同様であり、注目単位領域の単位ランレングスデータに含まれるランレングスに第１の方向に関する収縮処理が行われた後、当該収縮処理後の単位ランレングスデータが記憶される（ステップＳ２５〜Ｓ２８）。データ変換装置７では、全ての単位領域８００に対してステップＳ２０〜Ｓ２８が順次繰り返され、各単位領域８００の単位ランレングスデータが生成されて記憶される。図１２．Ｆは、各単位ランレングスデータに含まれる全てのランレングスを黒く塗りつぶして示す図であり、図中では、入力データに含まれる図形要素９８１，９８２の輪郭も二点鎖線にて併せて示している。そして、これらの単位ランレングスデータに基づいて出力データが生成される。
【００７７】
このように、データ変換装置７では、第２の方向に関する収縮処理の収縮幅以下だけ第２の方向において離間している複数の図形要素に対して第２の方向の収縮処理を行う際においても、上述と同様に、これら複数の図形要素間に隙間が生じることを防止しつつ当該収縮処理を迅速に行うことができる。
【００７８】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【００７９】
データ変換装置７にて行われる第２の方向に関する収縮処理の収縮幅は、必ずしも単位幅に等しくされる必要はなく、例えば、単位幅の２倍や３倍であってもよい。この場合であっても、データ変換装置７では、上記実施の形態と同様に、入力データ中の第２の方向に隣接して配列された複数の図形要素、または、第２の方向にて僅かに重なって配列された複数の図形要素に対する第２の方向の収縮処理において、これら複数の図形要素間に隙間が生じることを防止しつつ当該収縮処理を迅速に行うことができる。
【００８０】
データ変換装置７にて扱われる入力データに含まれる図形要素は、上述のように、矩形以外の多様な形状であってもよい。例えば、図１３．Ａに示すように、長方形の上側に小さい正方形が突出する凸状の八角形の図形要素９８３に対する第２の方向に関する収縮処理では、図１３．Ｂに示すように、上側の正方形の部分（以下、「図形上部９８３３」という。）、および、下側の長方形の部分（以下、「図形下部９８３４」という。）の左右両側（すなわち、第２の方向の両側）において収縮処理が行われて収縮図形要素９８３ａが得られる。そして、図１３．Ｃに示すように、収縮図形要素９８３ａの左右両側（すなわち、図形上部９８３３および図形下部９８３４に対応する図形上部９８３３ａおよび図形下部９８３４ａの第２の方向の両側）において膨張処理が行われることにより、２つの第１仮図形要素９８３１、および、２つの第２仮図形要素９８３２が得られる。
【００８１】
また、図１４．Ａに示すように、第２の方向に平行な一対の辺、および、第１の方向に対して傾斜する一対の辺を有する平行四辺形である図形要素９８４に対する第２の方向に関する収縮処理では、図１４．Ｂに示すように、図形要素９８４の左右両側において、左右両側の辺に平行に収縮処理が行われることにより、第２の方向に平行な一対の辺、および、第１の方向に対して傾斜する一対の辺を有する平行四辺形である収縮図形要素９８４ａが得られる。そして、図１４．Ｃに示すように、収縮図形要素９８４ａの左右両側において、左右両側の辺に平行に膨張処理が行われることにより、第２の方向に平行な一対の辺、および、第１の方向に対して傾斜する一対の辺を有する平行四辺形である第１仮図形要素９８４１および第２仮図形要素９８４２が得られる。このように、データ変換装置７では、第２の方向に関する収縮処理が、図形要素の第２の方向の両側において、第２の方向に非平行な全ての辺に対して行われ、第２の方向に関する膨張処理が、収縮図形要素の第２の方向の両側において、第２の方向に非平行な全ての辺に対して行われる。
【００８２】
上記実施の形態に係るデータ変換装置７では、入力データに含まれる図形要素は、複数のサブ図形要素を含むサブ図形要素群であってもよい。また、入力データは、一の図形要素が他の図形要素を参照する階層構造とされてもよい。
【００８３】
データ変換装置７により出力データに変換される入力データは、必ずしも液晶表示装置用のガラス基板上に描画されるパターンを示すデータには限定されず、例えば、プラズマ表示装置等の他のフラットパネル表示装置またはフォトマスク用のガラス基板上に描画されるパターンを示すデータであってもよく、ＬＳＩ用のパターンデータであってもよい。また、他の様々な目的に利用される入力データがデータ変換装置により出力データに変換されてもよい。
【００８４】
描画装置１は、上述の構造を備えるものには限定されず、ランレングスデータである出力データに基づいて描画を行う装置であればよい。例えば、描画装置１の光照射部４は、ＧＬＶ以外の他の光変調素子を備える空間光変調器を備えてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】一の実施の形態に係る描画システムの構成を示す図である。
【図２】描画装置の側面図である。
【図３】描画装置の平面図である。
【図４】空間光変調器を拡大して示す図である。
【図５．Ａ】光変調素子の断面を示す図である。
【図５．Ｂ】光変調素子の断面を示す図である。
【図６】データ変換装置の構成を示す図である。
【図７．Ａ】データ変換の流れを示す図である。
【図７．Ｂ】データ変換の流れを示す図である。
【図７．Ｃ】データ変換の流れを示す図である。
【図８．Ａ】入力データにより表されるパターンを示す図である。
【図８．Ｂ】入力データにより表されるパターンを示す図である。
【図９．Ａ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図９．Ｂ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１０】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１１．Ａ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１１．Ｂ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１１．Ｃ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１１．Ｄ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１１．Ｅ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１１．Ｆ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１１．Ｇ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１１．Ｈ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１１．Ｉ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１１．Ｊ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１１．Ｋ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１２．Ａ】データ変換途上の他のパターンを示す図である。
【図１２．Ｂ】データ変換途上の他のパターンを示す図である。
【図１２．Ｃ】データ変換途上の他のパターンを示す図である。
【図１２．Ｄ】データ変換途上の他のパターンを示す図である。
【図１２．Ｅ】データ変換途上の他のパターンを示す図である。
【図１２．Ｆ】データ変換途上の他のパターンを示す図である。
【図１３．Ａ】データ変換途上の他のパターンを示す図である。
【図１３．Ｂ】データ変換途上の他のパターンを示す図である。
【図１３．Ｃ】データ変換途上の他のパターンを示す図である。
【図１４．Ａ】データ変換途上の他のパターンを示す図である。
【図１４．Ｂ】データ変換途上の他のパターンを示す図である。
【図１４．Ｃ】データ変換途上の他のパターンを示す図である。
【符号の説明】
【００８６】
１  描画装置
３  基板保持部
７  データ変換装置
９  基板
２５  主走査機構
６１  光変調素子制御部
８０，９８０  配置領域
８１〜８８，９８１〜９８４  図形要素
８１ａ〜８８ａ，９８１ａ〜９８４ａ  収縮図形要素
１００  描画システム
４６１  光変調素子
８００  単位領域
８００ａ  注目単位領域
８０１  走査線
８１１〜８８１，９８１１，９８２１，９８３１，９８４１  第１仮図形要素
８１２〜８８２，９８１２，９８２２，９８３２，９８４２  第２仮図形要素
７０４１  プログラム
Ｓ１１〜Ｓ２８  ステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５．Ａ】
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【図５．Ｂ】
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【図６】
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【図７．Ａ】
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【図７．Ｂ】
0004904301.tif 000010
【図７．Ｃ】
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【図８．Ａ】
0004904301.tif 000012
【図８．Ｂ】
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【図９．Ａ】
0004904301.tif 000014
【図９．Ｂ】
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【図１０】
0004904301.tif 000016
【図１１．Ａ】
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【図１１．Ｂ】
0004904301.tif 000018
【図１１．Ｃ】
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【図１１．Ｄ】
0004904301.tif 000020
【図１１．Ｅ】
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【図１１．Ｆ】
0004904301.tif 000022
【図１１．Ｇ】
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【図１１．Ｈ】
0004904301.tif 000024
【図１１．Ｉ】
0004904301.tif 000025
【図１１．Ｊ】
0004904301.tif 000026
【図１１．Ｋ】
0004904301.tif 000027
【図１２．Ａ】
0004904301.tif 000028
【図１２．Ｂ】
0004904301.tif 000029
【図１２．Ｃ】
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【図１２．Ｄ】
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【図１２．Ｅ】
0004904301.tif 000032
【図１２．Ｆ】
0004904301.tif 000033
【図１３．Ａ】
0004904301.tif 000034
【図１３．Ｂ】
0004904301.tif 000035
【図１３．Ｃ】
0004904301.tif 000036
【図１４．Ａ】
0004904301.tif 000037
【図１４．Ｂ】
0004904301.tif 000038
【図１４．Ｃ】
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