(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置を着脱可能に収容する半導体装置収容部を有するソケット本体と、
前記半導体装置収容部に配され、前記半導体装置の端子を選択的に挟持する弾性のある一対の接触片部と、該接触片部に連なる固定側端子とを有する第１のコンタクト端子と、
電極群が形成される電極面を有する配線基板上に着脱可能に配され、前記ソケット本体が着脱可能に連結されるソケット本体連結面を有し、該ソケット本体を支持するアダプタ部材と、
前記アダプタ部材内に配され、前記ソケット本体が前記ソケット本体連結面に連結される場合、前記第１のコンタクト端子の固定側端子に当接される接触片部と、該接触片部に連なって前記配線基板の電極面に対し直交する方向に弾性変位可能に形成され該電極面に当接する固定側端子とを有し、前記半導体装置収容部に収容された半導体装置の端子を、前記第１のコンタクト端子を介して該配線基板の電極面に電気的に接続する第２のコンタクト端子と、
前記アダプタ部材の底部に一体に形成され、前記配線基板の固定用孔に係合状態または非係合状態とされる弾性変位可能な一対のロック片部を有し、該アダプタ部材を該配線基板に係止する複数の固定用爪部と、
前記固定用爪部のロック片部を前記配線基板の固定用孔の周縁に対し付勢するねじ部材と、
を具備して構成される半導体装置用ソケット。
【請求項２】
二股状に形成される前記一対のロック片部における係止部は、前記配線基板の固定用孔の周縁に係合される斜面部を有し、前記ねじ部材は、前記一対のロック片部相互間に形成される円錐状の孔にねじ込まれることを特徴とする請求項１記載の半導体装置用ソケット。
【請求項３】
前記ソケット本体の底部に一体に弾性変位可能に形成され、前記アダプタ部材のソケット本体連結面に形成されるスリットの周縁に係合状態または非係合状態とされる爪部と、
前記アダプタ部材に形成され、前記スリットの周縁に連通する開口部と、をさらに備え、
前記開口部を通じて挿入される所定の治具の先端により、前記爪部が非係合状態とされることを特徴とする請求項１または請求項２記載の半導体装置用ソケット。
【請求項４】
前記第２のコンタクト端子における接触片部および固定側端子は、所定の幅および厚さを有する帯状の薄板金属材料でプレス加工により一体成形されることを特徴とする請求項１乃至請求項３のうちのいずれかに記載の半導体装置用ソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験に供される半導体装置をプリント配線基板に電気的に接続するための半導体装置用ソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器などに実装される半導体装置において、一般に、実装される以前の段階でその潜在的欠陥を除去するために例えば、初期動作不良集積回路の除去に有効とされるバーンイン（ｂｕｒｎ  ｉｎ）試験が半導体装置用ソケットを介してなされる。
【０００３】
このような試験に供される半導体装置用ソケットは、一般に、ＩＣソケットと称され、例えば、特許文献１にも示されるように、プリント配線基板（テストボード）上に配される。プリント配線基板は、所定の試験電圧が供給されるとともに被検査物としての半導体装置からの短絡等をあらわす異常検出信号を送出する入出力部を有するものとされる。その際、ＩＣソケットのソケット本体部は、例えば、プリント配線基板に設けられる複数の取付孔を介して取付ビスおよびナットにより締結されている。また、ＩＣソケットは、検査ラインにおける検査効率を向上させるために一枚のプリント配線基板に複数個、高密度に配置される場合がある。
【０００４】
このようなＩＣソケットは、半導体装置の端子とプリント配線基板における入出力部とを電気的に接続するコンタクト端子群をソケット本体内部に内蔵している。このようなコンタクト端子群を構成する各コンタクト端子の固定端子部は、一般に、プリント配線基板の各めっきスルーホールに対し半田付け固定されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３５５９８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のように複数個のＩＣソケットが高密度に一枚のプリント配線基板に配置される場合、複数個のうちの一つのＩＣソケットに何らかの不具合が生じたとき、その不具合が生じたＩＣソケットの保守点検または交換作業のために一枚のプリント配線基板について所定期間、使用できなくなる事態が生じる虞がある。
【０００７】
このような場合、検査ラインの検査を比較的長期間中断させることなく、継続して検査を行なうために同様なＩＣソケットが配置された予備のテストボードを備えておくことも考えられる。
【０００８】
しかしながら、予備のテストボードを備えておくことは、検査ラインにおける設備コストが嵩むので得策でない。また、コンタクト端子の固定端子部の半田付け作業は、交換作業に比較的長い時間を費やし、しかも、テストボードの破損による歩留まりの悪化に繋がるので半田付け作業を要することなく、不具合の生じたＩＣソケットだけを容易な作業で、かつ、迅速に交換することが要望される。
【０００９】
以上の問題点を考慮し、本発明は、試験に供される半導体装置をプリント配線基板に電気的に接続するための半導体装置用ソケットであって、不具合の生じたＩＣソケットだけを容易な作業で、かつ、短時間で交換することができる半導体装置用ソケットを提供することを目的する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の目的を達成するために、本発明に係る半導体装置用ソケットは、半導体装置を着脱可能に収容する半導体装置収容部を有するソケット本体と、半導体装置収容部に配され、半導体装置の端子を選択的に挟持する弾性のある一対の接触片部と、接触片部に連なる固定側端子とを有する第１のコンタクト端子と、電極群が形成される電極面を有する配線基板上に着脱可能に配され、ソケット本体が着脱可能に連結されるソケット本体連結面を有し、ソケット本体を支持するアダプタ部材と、アダプタ部材内に配され、ソケット本体がソケット本体連結面に連結される場合、第１のコンタクト端子の固定側端子に当接される接触片部と、接触片部に連なって配線基板の電極面に対し直交する方向に弾性変位可能に形成され電極面に当接する固定側端子とを有し、半導体装置収容部に収容された半導体装置の端子を、第１のコンタクト端子を介して配線基板の電極面に電気的に接続する第２のコンタクト端子と、アダプタ部材の底部に一体に形成され、配線基板の固定用孔に係合状態または非係合状態とされる弾性変位可能な一対のロック片部を有し、アダプタ部材を配線基板に係止する複数の固定用爪部と、固定用爪部のロック片部を配線基板の固定用孔の周縁に対し付勢するねじ部材と、を備えて構成される。
【発明の効果】
【００１１】
以上の説明から明らかなように、本発明に係る半導体装置用ソケットによれば、アダプタ部材が、電極群が形成される電極面を有する配線基板上に着脱可能に配され、ソケット本体が着脱可能に連結されるソケット本体連結面を有し、ソケット本体を支持するのでソケット本体をアダプタ部材から容易に取り外すことができ、従って、不具合の生じたＩＣソケットだけを容易な作業で、かつ、短時間で交換することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図２は、本発明に係る半導体装置用ソケットの一例を、テストボードとしてのプリント配線基板とともに示す。なお、図２においては、プリント配線基板上に複数個配置される半導体装置用ソケットのうちの１個を代表して示す。
【００１３】
半導体装置用ソケットは、所定の板厚を有するプリント配線基板１８に形成される導体パターンにおける所定位置にそれぞれ配されている。その導体パターンにおける所定位置には、図１に拡大されて示されるように、後述するコンタクト端子の固定側端子の接点部が当接される電極群１８Ｅが形成されている。また、導体パターンの周囲には、後述する各固定用爪部が挿入される略矩形状の孔１８ａが形成されている（図１参照）。なお、孔１８ａの形状は、斯かる例に限られることなく、例えば、丸孔、或いは他の形状であってもよい。
【００１４】
半導体装置用ソケットは、図２および図４に示されるように、被検査物としての半導体装置ＤＶが着脱可能に配される後述する半導体装置収容部１４Ａを備えるソケット本体３０と、ソケット本体３０内の中央のコンタクト収容部に配される複数のコンタクト端子４０ａｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）と、ソケット本体３０に昇降動可能に支持され後述するラッチ機構に操作力を伝達するカバー部材１２と、半導体装置ＤＶを着脱可能に収容するとともに半導体装置ＤＶの電極部のコンタクト端子４０ａｉに対する相対位置を位置決めする位置決め部１４を有するスライダ部材２２と（図８参照）、位置決め部１４内に収容された半導体装置ＤＶの各電極部を複数のコンタクト端子に向けて押圧するとともに半導体装置ＤＶを保持する押え部材１６Ａおよび１６Ｂを含んでなるラッチ機構と，上述のソケット本体３０をプリント配線基板１８に対し着脱可能に支持するアダプタ１０と、を主な要素として含んで構成されている。
【００１５】
斯かる半導体装置用ソケットに供される半導体装置ＤＶは、例えば、ＢＧＡ型の略正方形の半導体装置とされ、複数の球状の電極部が縦横に形成される電極面を有している。
【００１６】
樹脂製のソケット本体３０は、後述するカバー部材１２が下降せしめられるとき、そのアーム部の下端、押え部材１６Ａおよび１６Ｂの基端部が侵入する凹部（不図示）を相対向する端部にそれぞれ、有している。また、図８に示されるように、ソケット本体３０の内部の中央には、複数のコンタクト端子４０ａｉが半導体装置ＤＶの電極部に対応して配されるコンタクト収容部が形成されている。
【００１７】
コンタクト収容部は、各コンタクト端子４０ａｉをそれぞれ、収容する複数のセルを有している。各セルは、所定の間隔で縦横に形成されている。隣接するセル相互間は、仕切壁３０Ｐａｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）により仕切られている。各セルの内部には、コンタクト端子４０ａｉの固定部４０Ｂを内壁面で支持する圧入部が形成されている。そのセルの開口端が開口するコンタクト収容部の上面部には、後述するスライダ部材２２が移動可能に配されている平坦面が形成されている。
【００１８】
第１のコンタクト端子としてのコンタクト端子４０ａｉは、弾性のある薄板状の金属材料でプレス加工により一体成形され、上述のプリント配線基板１８の表面に対し略直交する方向に延びている。コンタクト端子４０ａｉは、上述の半導体装置ＤＶの球状の電極部を選択的に挟持する一対の可動側接触片部４０ｍおよび固定側接触片部４０ｆと、後述するアダプタ１０のコンタクト２０ａｉに電気的に接続される接点部４０ｔを有する固定側端子４０Ｃと、可動側接触片部４０ｍおよび固定側接触片部４０ｆと固定側端子４０Ｃとを連結する固定部４０Ｂとを含んで構成されている。
【００１９】
図８において、可動側接触片部４０ｍは、固定側接触片部４０ｆに対し近接または離隔可能となるように弾性を有している。可動側接触片部４０ｍおよび固定側接触片部４０ｆにおける上端部には、それぞれ、半導体装置ＤＶの球状の電極部ＤＶａに当接する接点部が形成されている。各接点部は、後述するスライダ部材２２のスリット２２ｂを通じて位置決め部１４近傍の位置まで突出している。
【００２０】
また、図８において、スライダ部材２２が矢印Ｆの示す方向に移動せしめられる場合、可動側接触片部４０ｍの接点部は、二点鎖線で示されるように、スライダ部材２２の押圧部２２ａにより押圧され、固定側接触片部４０ｆの接点部に対し離隔せしめられる。一方、スライダ部材２２が矢印Ｒの示す方向に移動され、その離隔した位置から初期位置に戻される場合、可動側接触片部４０ｍの接点部は、固定側接触片部４０ｆの接点部に対し近接せしめられる。
【００２１】
直線状に形成される固定側端子４０Ｃは、その一端で固定部４０Ｂに結合されており、また、固定側端子４０Ｃの他端に形成される接点部４０ｔは、図９に示されるように、後述するアダプタ１０に設けられるコンタクト端子２０ａｉの接点部２０ｂｃに当接するものとされる。
【００２２】
従って、コンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃにおけるプリント配線基板１８の電極群１８Ｅに対する半田付け作業が不要とされる。
【００２３】
スライダ部材２２は、カバー部材１２の下降動作に応じてカム機構（不図示）により図８における矢印Ｆの示す方向に移動せしめられる。そのカム機構は、例えば、特開２００３−１７２０７号公報にも示されるような、レバー部材およびコイルスプリングを含んで構成されている。
【００２４】
また、スライダ部材２２は、コンタクト端子４０ａｉにおける一対の可動側接触片部４０ｍおよび固定側接触片部４０ｆが通過するスリット２２ｂを縦横に有している。同一列における隣接するスリット２２ｂ相互間は、押圧部２２ａにより仕切られている。隣接する異なる列におけるスリット２２ｂ相互間は、隔壁により仕切られている。
【００２５】
スライダ部材２２と一体に形成される位置決め部１４は、図３に示されるように、半導体装置ＤＶを収容するとともに、半導体装置ＤＶの電極部のコンタクト端子４０ａｉの各接点部に対する位置決めを行うガイド部を有する半導体装置収容部１４Ａを備えている。その半導体装置収容部１４Ａ内には、上述のコンタクト端子４０ａｉの接点部が突出している。半導体装置収容部１４Ａを形成する相対向する壁部には、それぞれ、押え部材１６Ａおよび１６Ｂがそれぞれ通過する開口部が形成されている。
【００２６】
カバー部材１２は、上述のスライダ部材２２の位置決め部１４が移動可能に配される開口部を中央に有している。半導体装置ＤＶが位置決め部１４に対し着脱されるとき、半導体装置ＤＶがその開口部を通過することとなる。
【００２７】
カバー部材１２は、図２に示されるように、その複数の脚部１２ｇがそれぞれ、ソケット本体１０の外周部に形成される各溝に案内されて昇降動可能に支持されている。図２においては、複数の脚部１２ｇのうちの一方のみを示す。
【００２８】
また、カバー部材１２における各スプリング受け部１２ｄとソケット本体１０との間には、それぞれ、カバー部材１２を上方に、即ち、カバー部材１２をソケット本体１０に対し離隔する方向に付勢するコイルスプリング１６が設けられている。その際、カバー部材１２の脚部１２ｇの先端に設けられる爪部が溝の端部に係合されることにより、図２に示されるように、カバー部材１２が最上端位置に保持されることとなる。なお、図２および図４は、それぞれ、カバー部材１２が最上端位置に保持された状態を示す。
【００２９】
カバー部材１２は、図２において二点鎖線で示されるように、下降せしめられる場合、ラッチ機構を構成する押え部材１６Ａおよび１６Ｂの基端部を押圧するアーム部（不図示）を有している。
【００３０】
押え部材１６Ａおよび１６Ｂは、それぞれ、ソケット本体３０における位置決め部１４の各長辺に対向する位置に回動可能に支持されている。また、押え部材１６Ａおよび１６Ｂの基端部は、それぞれ、図２に示されるように、コイルスプリング１７により、位置決め部１４に装着された半導体装置ＤＶをその先端部で押さえ付ける方向に付勢されているので押え部材１６Ａおよび１６Ｂの先端部は、位置決め部１４の上方となる位置に配される。一方、カバー部材１２のアーム部により押え部材１６Ａおよび１６Ｂの基端部がコイルスプリング１７の付勢力に抗して押圧される場合、押え部材１６Ａおよび１６Ｂの先端部は、位置決め部１４から離隔して所定の待機位置に配される。
【００３１】
ソケット本体３０における底面部には、図１１に示されるように、後述するアダプタ１０の連結面のスリット１０Ｓａ，１０ＳＢにそれぞれ、選択的に挿入され着脱可能に連結部に連結される爪部３０Ｎが複数個形成されている。なお、図１１においては、複数個の爪部３０Ｎのうちの１個の爪部３０Ｎを示す。
【００３２】
爪部３０Ｎは、その底面部に対し略垂直となるように突出している。爪部３０Ｎの先端は、その厚さ方向に弾性変位可能とされる。
【００３３】
さらに、図２および図４に示されるように、ソケット本体３０の底部とプリント配線基板１８の電極面との間には、アダプタ１０が配置されている。
【００３４】
アダプタ１０は、例えば、樹脂材料で成形され、図５および図６に示されるように、上部にソケット本体３０の底面部が載置され連結されるソケット本体連結面１０ＣＳＡを有している。ソケット本体連結面１０ＣＳＡの中央部には、上述のソケット本体３０の底面部がソケット本体連結面１０ＣＳＡに連結される場合、上述のコンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃが挿入される透孔１０ｈｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）群が形成されている。各透孔１０ｈｉは、所定の間隔をもって上述のコンタクト端子４０ａｉの配列に対応して形成されている。各透孔１０ｈｉは、図９に拡大されて示されるように、アダプタ１０のコンタクト収容部における各セル１０ＣＡ内に連通している。各セル１０ＣＡは、それぞれ、アダプタ１０の内側において各透孔１０ｈｉの真下となる位置に形成されている。
【００３５】
隣接するセル１０ＣＡ相互間は、隔壁１０Ｐａｉにより仕切られている。各セル１０ＣＡ内には、図９に拡大されて示されるように、コンタクト端子２０ａｉが収容されている。
【００３６】
第２のコンタクト端子としてのコンタクト端子２０ａｉは、弾性のある薄板状の金属材料でプレス加工により一体成形され、プリント配線基板１８の表面に対し略直交する方向に延びている。所定の幅および厚さを有する帯状のコンタクト端子２０ａｉは、上述のコンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃを選択的に隔壁１０Ｐａｉの表面と協働して挟持する接触片部２０ＢＣと、プリント配線基板１８の電極群１８Ｅに当接する接点部２０ｔを有する固定側端子２０Ｃと、接触片部２０ＢＣと固定側端子２０Ｃとを連結する固定部２０Ｂとを含んで構成されている。
【００３７】
図９において、接触片部２０ＢＣは、セル１０ＣＡ内に透孔１０ｈｉを通じて挿入された上述の固定側端子４０Ｃを隔壁１０Ｐａｉの表面に向けて付勢するように弾性を有している。所定の幅を有する帯状の接触片部２０ＢＣは、その先端がプリント配線基板１８の電極群１８Ｅ側に向くように折り曲げられている。接触片部２０ＢＣにおける先端部には、コンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃの接点部４０ｔに当接する接点部２０ｂｃが形成されている。これにより、接点部２０ｂｃおよび接点部４０ｔの接触面積が確実に確保される。
【００３８】
湾曲状に形成される固定側端子２０Ｃは、弾性を有し、その一端で固定部２０Ｂに結合されている。固定側端子２０Ｃの接点部２０ｔが形成される他端の部分と湾曲部との間の部分には、その湾曲部よりも小さい円弧の折り曲げ部２０ｃｔが形成されている。また、固定側端子２０Ｃの他端に形成される接点部２０ｔは、プリント配線基板１８の電極群１８Ｅに所定の圧力で当接している。従って、コンタクト端子２０ａｉの固定側端子２０Ｃにおけるプリント配線基板１８の電極群１８Ｅに対する半田付け作業が不要とされる。
【００３９】
ソケット本体連結面１０ＣＳＡには、上述の爪部３０Ｎがそれぞれ、挿入されるスリット１０ＳＡおよび１０ＳＢが形成されている。スリット１０ＳＡは、ソケット本体連結面１０ＣＳＡの中央部に形成される透孔１０ｈｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）群を挟んで相対向し、その長辺に沿って２箇所づつ所定の間隔で形成され、合計４箇所に形成されている。スリット１０ＳＢは、透孔１０ｈｉを挟んで短辺にそれぞれ相対向して形成されている。スリット１０ＳＡおよび１０ＳＢは、それぞれ、図５および図７に示されるように、アダプタ１０における長辺側の側面、および、短辺側の側面に形成される開口部１０ＨＡおよび１０ＨＢに連通している。
【００４０】
ソケット本体３０の底面部をソケット本体連結面１０ＣＳＡに連結するにあたっては、先ず、図１３に示されるように、ソケット本体３０の爪部３０Ｎがスリット１０ＳＡおよび１０ＳＢの上方の位置となるように位置合わせされた後、矢印の示す方向に沿ってソケット本体３０の底面部がソケット本体連結面１０ＣＳＡに載置される。これにより、コンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃの先端が透孔１０ｈｉを通じてセル１０ＣＡ内に挿入される。また、爪部３０Ｎがスリット１０ＳＡおよび１０ＳＢ内に挿入されることにより、爪部３０Ｎの先端における係止部が、スリット１０ＳＡおよび１０ＳＢ、開口部１０ＨＡおよび１０ＨＢの周縁に形成される連結部１０ＥＷに係止される。従って、固定側端子４０Ｃの接点部４０ｔがコンタクト端子２０ａｉの接点部２０ｂｃに電気的に接続されることとなる。
【００４１】
一方、ソケット本体３０をアダプタ１０のソケット本体連結面１０ＣＳＡから取り外すにあたっては、図１４（Ａ）に示されるように、先ず、各爪部３０Ｎの係止部が連結部１０ＥＷから離隔するように各開口部１０ＨＡおよび１０ＨＢを通じて挿入される治具ＪＩＧの先端で爪部３０Ｎの係止部が押圧された状態で、次に、図１４（Ｂ）において、矢印の示す方向に、ソケット本体３０が引き離される。これにより、各爪部３０Ｎがスリット１０ＳＡおよび１０ＳＢを通じて引き抜かれ、また、固定側端子４０Ｃが透孔１０ｈｉを通じて引き抜かれるのでソケット本体３０がアダプタ１０のソケット本体連結面１０ＣＳＡから取り外されることとなる。
【００４２】
アダプタ１０における底部には、図２および図４に示されるように、固定用爪部１０ＮＡ，１０ＮＢ，１０ＮＣ，および、１０ＮＤが４箇所に所定の間隔で一体に成形されている。固定用爪部１０ＮＡ，１０ＮＢ，１０ＮＣ，および、１０ＮＤは、互いに同一の構造を有するので固定用爪部１０ＮＣについて説明し、他の固定用爪部１０ＮＡ，１０ＮＢ，および、１０ＮＤについての説明を省略する。
【００４３】
固定用爪部１０ＮＣは、図１に拡大されて示されるように、アダプタ１０の短辺に沿って互いに離隔した二股状のロック片１０Ｎ１および１０Ｎ２を有している。ロック片１０Ｎ１および１０Ｎ２の相互間には、テーパ状の孔１０Ｎｓが形成されている。
【００４４】
ロック片１０Ｎ１および１０Ｎ２における先端から外方に向けて張り出した各係止部１０ｎは、それぞれ、互いに近接する方向または離隔する方向に弾性変位可能とされる。即ち、各係止部１０ｎは、各係止部１０ｎが孔１８ａを通過するように互いに近接し、また、各係止部１０ｎが下面側の孔１８ａの開口端周縁に係止されるように互いに離隔可能とされる。
【００４５】
各係止部１０ｎには、所定の勾配を有する斜面部１０Ｓが、ロック片Ｎ１の先端の外面から張り出し下方に向けて傾斜するように形成されている。ロック片１０Ｎ１および１０Ｎ２がプリント配線基板１８に固定される場合、各斜面部１０Ｓは、図１に拡大されて示されるように、プリント配線基板１８における下面に形成される孔１８ａの開口端の周縁に当接している。
【００４６】
斯かる固定用爪部１０ＮＣをプリント配線基板１８における孔１８ａに固定するにあたっては、先ず、ロック片１０Ｎ１および１０Ｎ２が孔１８ａに対し位置合わせされた後、
アダプタ１０の底部から突出したコンタクト端子２０ａｉの固定側端子２０Ｃの弾性力に抗してアダプタ１０が押圧される。これにより、ロック片１０Ｎ１および１０Ｎ２の係止部１０ｎの端面が、その上面における孔１８ａの開口端の周縁に当接しさらに押圧されるとき、互いに近接する方向に一旦、弾性変位した後、孔１８ａを通過し、互いに離隔する方向に復元力により弾性変位する。従って、図１２に拡大されて示されるように、各斜面部１０Ｓは、プリント配線基板１８における下面に形成される孔１８ａの開口端の周縁に当接する。その際、タッピングねじＴＢｓが孔１０Ｎｓにねじ込まれる。
【００４７】
次に、図１に拡大して示されるように、タッピングねじＴＢｓが孔１０Ｎｓにさらにねじ込まれる。これにより、ロック片１０Ｎ１および１０Ｎ２の係止部１０ｎは、互いに離隔する方向にさらに弾性変位するので各斜面部１０Ｓに摺接しながらアダプタ１０がプリント配線基板１８に引き寄せられることとなる。従って、プリント配線基板１８の板厚のばらつきに起因した各斜面部１０Ｓと孔１８ａの周縁との隙間が生じることがないのでコンタクト端子２０ａｉの固定側端子２０Ｃの接触圧力が所定値以下に低減することが回避される。
【００４８】
斯かる構成において、半導体装置ＤＶの試験を行うにあたっては、先ず、図示が省略される搬送ロボットに設けられる押圧部材の押圧面部がカバー部材１２の上面に当接されて上述のコイルスプリング１６の付勢力に抗して下方に向けて所定のストロークで押圧される。
【００４９】
これにより、押え部材１６Ａおよび１６Ｂが互いに離隔し待機位置とされる。また、例えば、被検査物としての半導体装置ＤＶが、図示が省略される搬送ロボットの搬送アームにより吸引保持されてカバー部材１２の開口部および位置決め部１４の真上となる位置まで搬送される。
【００５０】
次に、搬送アームにより吸引保持された半導体装置ＤＶは、カバー部材１２の開口部を通じて下降せしめられて位置決め部１４の半導体装置収容部１４Ａに位置決めされ装着される。
【００５１】
続いて、カバー部材１２は、上述の押圧部材の押圧面部がカバー部材１２の上面に当接された状態で上昇されるとき、上述のコイルスプリング１６の付勢力等により最上端位置まで上昇せしめられる。その際、押え部材１６Ａおよび１６Ｂの先端の当接部は、それぞれ、略同一のタイミングで、回動され、半導体装置ＤＶをコンタクト端子４０ａｉに向けて押圧することとなる。また、図１０に拡大して示されるように、装着された半導体装置ＤＶの各電極部Ｄｖａがコンタクト端子４０ａｉの一対の可動側接触片部４０ｍおよび固定側接触片部４０ｆにより挟持される。
【００５２】
そして、カバー部材１２が最上端位置に維持されるもとでプリント配線基板１８の入出力部に検査信号が供給されるとき、コンタクト端子４０ａｉおよびコンタクト端子２０ａｉを通じてその検査信号が半導体装置ＤＶに供給されるとともにその回路の異常が検出される場合、半導体装置ＤＶからの異常検出信号が入出力部を通じて外部の故障診断装置に供給されることとなる。
【００５３】
図１５は、上述のアダプタ１０の変形例を示す。
【００５４】
図９に示される例におけるコンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃは、アダプタ１０のセル１０ＣＡ内に配置されるコンタクト端子２０ａｉにおける接触片部２０ＢＣの接点部２０ｂｃと隔壁部１０Ｐａｉの壁面とにより挟持されているが、一方、図１５に示される例においては、コンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃは、一対の接触片部３２ＢＣおよび３２ＡＣの接点部３２ａｃおよび３２ｂｃに挟持されるものとされる。
【００５５】
なお、図１５に示されるアダプタ１０’においても、上述のアダプタ１０における他の構造は同様な構造を有するものとされるのでその重複説明を省略する。
【００５６】
アダプタ１０’は、例えば、樹脂材料で成形され、上部にソケット本体３０の底面部が載置され連結されるソケット本体連結面１０’ＣＳＡを有している。ソケット本体連結面１０’ＣＳＡの中央部には、上述のソケット本体３０の底面部がソケット本体連結面１０’ＣＳＡに連結される場合、上述のコンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃが挿入される透孔１０’ｈｉ（ｉ＝１〜ｎ，ｎは正の整数）群が形成されている。各透孔１０’ｈｉは、所定の間隔をもって上述のコンタクト端子４０ａｉの配列に対応して形成されている。各透孔１０’ｈｉは、図９に拡大されて示されるように、アダプタ１０のコンタクト収容部における各セル１０’ＣＡ内に連通している。各セル１０’ＣＡは、それぞれ、アダプタ１０’の内側において各透孔１０’ｈｉの真下となる位置に形成されている。
隣接するセル１０’ＣＡ相互間は、隔壁１０’Ｐａｉにより仕切られている。各セル１０’ＣＡ内には、図１５に拡大されて示されるように、コンタクト端子３２ａｉが収容されている。
【００５７】
コンタクト端子３２ａｉは、弾性のある薄板状の金属材料でプレス加工により一体成形され、プリント配線基板１８の表面に対し略直交する方向に延びている。所定の幅および厚さを有する帯状のコンタクト端子３２ａｉは、上述のコンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃを協働して挟持する接触片部３２ＢＣおよび３２ＡＣと、プリント配線基板１８の電極群１８Ｅに当接する接点部３２ｔを有する固定側端子３２Ｃと、接触片部３２ＢＣと固定側端子３２Ｃとを連結する固定部３２Ｂとを含んで構成されている。
【００５８】
相対向して形成される接触片部３２ＡＣおよび３２ＢＣは、それぞれ、セル１０’ＣＡ内に透孔１０’ｈｉを通じて挿入された上述の固定側端子４０Ｃを互いに向けて付勢するように弾性を有している。接触片部３２ＡＣおよび接触片部３２ＢＣは、それぞれ、その先端がプリント配線基板１８の電極群１８Ｅ側に向くように折り曲げられている。接触片部３２ＡＣおよび接触片部３２ＢＣにおける先端部には、それぞれ、コンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃの接点部４０ｔに当接する接点部３２ａｃおよび３２ｂｃが形成されている。
【００５９】
湾曲状に形成される固定側端子３２Ｃは、弾性を有し、その一端で固定部３２Ｂに結合されている。固定側端子３２Ｃの接点部３２ｔが形成される他端の部分と湾曲部との間の部分には、その湾曲部よりも小さい円弧の折り曲げ部３２ｃｔが形成されている。また、固定側端子３２Ｃの他端に形成される接点部３２ｔは、プリント配線基板１８の電極群１８Ｅに所定の圧力で当接している。従って、コンタクト端子３２ａｉの固定側端子３２Ｃにおけるプリント配線基板１８の電極群１８Ｅに対する半田付け作業が不要とされる。
【００６０】
図１７（Ａ）は、上述のアダプタ１０に用いられるコンタクト端子の他の一例が適用された本発明に係る半導体装置用ソケットの一例を示す。なお、図１７（Ａ）および１７（Ｂ）に示される例においては、それぞれ、図２に示される例における同一とされる構成要素について同一の符号を付して示し、その重複説明を省略する。
【００６１】
図９に示されるコンタクト端子２０ａｉにおいて、固定側端子２０Ｃの接点部２０ｔが形成される他端の部分と湾曲部との間の部分には、その湾曲部よりも小さい円弧の折り曲げ部２０ｃｔが形成されているのに対し、一方、図１７（Ａ）に示されるコンタクト端子３４ａｉにおいては、そのような折り曲げ部が形成されないものとされる。
【００６２】
コンタクト端子３４ａｉは、弾性のある薄板状の金属材料でプレス加工により一体成形され、プリント配線基板１８の表面に対し略直交する方向に延びている。
【００６３】
コンタクト端子３４ａｉは、図１６（Ａ）および１６（Ｂ）に拡大されて示されるように、上述のコンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃを選択的に隔壁１０Ｐａｉの表面と協働して挟持する接触片部３４ＢＣと、プリント配線基板１８の電極群１８Ｅに当接する接点部３４ｔを有する固定側端子３４Ｃと、接触片部３４ＢＣと固定側端子３４Ｃとを連結する固定部３４Ｂとを含んで構成されている。
【００６４】
図１６（Ａ）および１６（Ｂ）において、接触片部３４ＢＣは、セル１０ＣＡ内に透孔１０ｈｉを通じて挿入された上述の固定側端子４０Ｃを隔壁１０Ｐａｉの表面に向けて付勢するように弾性を有している。接触片部３４ＢＣは、その先端がプリント配線基板１８の電極群１８Ｅ側に向くように打ち抜かれている。これにより、開口３４ａが、固定部３４Ｂに形成されることとなる。
【００６５】
接触片部３４ＢＣにおける先端部には、コンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃの接点部４０ｔに当接する接点部３４ｂｃが形成されている。
【００６６】
湾曲状に形成される固定側端子３４Ｃは、弾性を有し、その一端で固定部３４Ｂに結合されている。固定側端子３４Ｃの他端に形成される接点部３４ｔは、プリント配線基板１８の電極群１８Ｅに所定の圧力で当接している。従って、コンタクト端子３４ａｉの固定側端子３４Ｃにおけるプリント配線基板１８の電極群１８Ｅに対する半田付け作業が不要とされる。
【００６７】
斯かる例においても、ソケット本体３０は、アダプタ１０に対し着脱可能とされるので
ソケット本体３０をアダプタ１０のソケット本体連結面１０ＣＳＡから取り外すにあたっては、図１７（Ｂ）に示されるように、先ず、各爪部３０Ｎの係止部が連結部１０ＥＷから離隔するように各開口部１０ＨＡおよび１０ＨＢを通じて挿入される治具ＪＩＧの先端で爪部３０Ｎの係止部が押圧された状態で、次に、矢印の示す方向に、ソケット本体３０が引き離される。これにより、各爪部３０Ｎがスリット１０ＳＡおよび１０ＳＢを通じて引き抜かれ、また、固定側端子４０Ｃが透孔１０ｈｉを通じて引き抜かれるのでソケット本体３０がアダプタ１０のソケット本体連結面１０ＣＳＡから取り外されることとなる。
【００６８】
なお、アダプタ１０のセル１０ＣＡ内に収容されるコンタクト端子は、斯かる例に限られることなく、例えば、図１８（Ａ）および１８（Ｂ）に示されるようなコンタクト端子３６ａｉでもよい。
【００６９】
コンタクト端子３６ａｉは、弾性のある薄板状の金属材料でプレス加工により一体成形され、プリント配線基板１８の表面に対し略直交する方向に延びている。コンタクト端子３６ａｉは、上述のコンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃを選択的に隔壁１０Ｐａｉの表面と協働して挟持する接触片部３６ＢＣと、プリント配線基板１８の電極群１８Ｅに当接する接点部３６ｔを有する固定側端子３６Ｃと、接触片部３６ＢＣと固定側端子３６Ｃとを連結する固定部３６Ｂとを含んで構成されている。
【００７０】
接触片部３６ＢＣは、セル１０ＣＡ内に透孔１０ｈｉを通じて挿入された上述の固定側端子４０Ｃを隔壁１０Ｐａｉの表面に向けて付勢するように弾性を有している。接触片部３６ＢＣは、その先端がプリント配線基板１８の電極群１８Ｅ側に向くように折り曲げられている。接触片部３６ＢＣにおける先端部には、コンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃの接点部４０ｔに当接する接点部３６ｂｃが形成されている。
【００７１】
湾曲状に形成される固定側端子３６Ｃは、弾性を有し、その一端で固定部３６Ｂに結合されている。固定側端子３６Ｃの他端に形成される接点部３６ｔは、プリント配線基板１８の電極群１８Ｅに所定の圧力で当接するものとされる。
【００７２】
また、アダプタ１０のセル１０ＣＡ内に収容されるコンタクト端子の他の一例としては、図１９（Ａ）および１９（Ｂ）に示されるようなコンタクト端子３８ａｉでもよい。
【００７３】
コンタクト端子３８ａｉは、弾性のある薄板状の金属材料でプレス加工により一体成形され、プリント配線基板１８の表面に対し略直交する方向に延びている。コンタクト端子３８ａｉは、上述のコンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃを協働して挟持する接触片部３８ＢＣおよび３８ＡＣと、プリント配線基板１８の電極群１８Ｅに当接する接点部３８ｔを有する固定側端子３８Ｃと、接触片部３８ＢＣと固定側端子３８Ｃとを連結する固定部３２Ｂとを含んで構成されている。
【００７４】
相対向して形成される接触片部３８ＡＣおよび３８ＢＣは、それぞれ、セル１０ＣＡ内に透孔１０ｈｉを通じて挿入された上述の固定側端子４０Ｃを互いに向けて付勢するように弾性を有している。接触片部３８ＡＣおよび接触片部３８ＢＣは、それぞれ、その先端がプリント配線基板１８の電極群１８Ｅ側に向くように折り曲げられている。接触片部３８ＡＣおよび接触片部３８ＢＣにおける先端部には、それぞれ、コンタクト端子４０ａｉの固定側端子４０Ｃの接点部４０ｔに当接する接点部３８ａｃおよび３８ｂｃが形成されている。
【００７５】
湾曲状に形成される固定側端子３８Ｃは、弾性を有し、その一端で固定部３８Ｂに結合されている。固定側端子３８Ｃの他端に形成される接点部３８ｔは、プリント配線基板１８の電極群１８Ｅに所定の圧力で当接するものとされる。
【００７６】
従って、図１８（Ａ）および（Ｂ）、図１９（Ａ）および（Ｂ）に示されるコンタクト端子２０の固定側端子におけるプリント配線基板１８の電極群１８Ｅに対する半田付け作業が不要とされる。
【００７７】
上述の例においては、本発明の一例が、コンタクト収容部の上面部における平坦面に摺動されるスライダ部材２２が、所定の方向に移動せしめられる場合、可動側接触片部４０ｍの接点部は、スライダ部材２２の押圧部２２ａにより押圧され、固定側接触片部４０ｆの接点部に対し離隔せしめられる構成を備える半導体装置用ソケットに適用されているが、斯かる例に限られることなく、例えば、特開２００４−１１１２１５号公報にも示されるように、一対の接触片部の相互間に配される仕切壁を備える移動板がソケット本体における上下方向に沿って移動せしめられることにより、一対の接触片部双方が互いに離隔するように移動せしめられる構成を備える半導体装置用ソケットに適用されてもよいことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明に係る半導体装置用ソケットの一例における要部を部分的に拡大して示す部分断面図である。
【図２】本発明に係る半導体装置用ソケットの一例の外観を示す正面図である。
【図３】図２に示される例における平面図である。
【図４】図２に示される例における側面図である。
【図５】本発明に係る半導体装置用ソケットの一例に用いられるアダプタを示す正面図である。
【図６】図５に示される例における平面図である。
【図７】図５に示される例における側面図である。
【図８】図２に示される例におけるコンタクト端子の構成を示す部分断面図である。
【図９】図５に示されるアダプタにおけるコンタクト端子の構成を示す部分断面図である。
【図１０】図２に示される例におけるコンタクト端子の動作説明に供される部分断面図である。
【図１１】図２に示されるソケット本体と図５に示されるアダプタとの連結構造の要部を部分的に拡大して示す部分断面図である。
【図１２】図２に示される例におけるロック用爪部の締結作業の説明に供される部分拡大断面図である。
【図１３】ソケット本体のアダプタへの取付け手順の説明に供される部分拡大断面図である。
【図１４】（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、ソケット本体をアダプタから取り外す手順の説明に供される部分拡大断面図である。
【図１５】本発明に係る半導体装置用ソケットの一例に用いられるアダプタの変形例を示す部分断面図である。
【図１６】（Ａ）は、本発明に係る半導体装置用ソケットの一例に用いられるアダプタに収容されるコンタクト端子の他の一例を示す正面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）の側面図である。
【図１７】（Ａ）は、アダプタに用いられるコンタクト端子の他の一例が適用された本発明に係る半導体装置用ソケットの一例を示す部分断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）に示される例における動作説明に供される部分断面図である。
【図１８】（Ａ）は、本発明に係る半導体装置用ソケットの一例に用いられるアダプタに収容されるコンタクト端子におけるさらなる他の一例を示す正面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）の側面図である。
【図１９】（Ａ）は、本発明に係る半導体装置用ソケットの一例に用いられるアダプタに収容されるコンタクト端子におけるさらなる他の一例を示す正面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）の側面図である。
【符号の説明】
【００７９】
１０    アダプタ
１０ＮＡ，１０ＮＢ，１０ＮＣ，１０ＮＤ    固定用爪部
１０Ｎ１，１０Ｎ２    ロック片部
１０ｎ    係止部
１０Ｓ    斜面部
１８    プリント配線基板
１８ａ    孔
２０ａｉ，３０ａｉ、３２ａｉ，３４ａｉ，３６ａｉ，３８ａｉ    コンタクト端子
ＴＢｓ    タッピングねじ
３０    ソケット本体
【図１】
0004973995.tif 000002
【図２】
0004973995.tif 000003
【図３】
0004973995.tif 000004
【図４】
0004973995.tif 000005
【図５】
0004973995.tif 000006
【図６】
0004973995.tif 000007
【図７】
0004973995.tif 000008
【図８】
0004973995.tif 000009
【図９】
0004973995.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0004973995.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
0004973995.tif 000018
【図１８】
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【図１９】
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