(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数階に亘って設けられ且つ前記複数階の夫々に対応して物品出し入れ用の出し入れ口が形成されている昇降経路形成用の筒体と、
前記筒体内を昇降移動して物品を搬送する昇降体とが設けられている搬送設備であって、
隣接する階の間に前記昇降体の昇降移動経路を横断する形態で筒体内を遮蔽する開閉自在な防火扉が設けられ、
前記防火扉が、水平方向に並べられた複数の扉体で構成され、
前記昇降体の昇降経路の上方に設けられた回転体に巻き掛けられて一端部に前記昇降体を吊り下げ支持し且つ他端部にバランスウェイトを吊り下げ支持する索条体が設けられ、
前記筒体内に、前記昇降体及び前記バランスウェイトを昇降案内するガイドレールが、横断面視において、前記昇降体と前記バランスウェイトとが並ぶ方向における前記バランスウェイトが位置する側に寄せた状態で設けられ、
前記ガイドレールにおける前記昇降体が位置する側に、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側を幅広に形成された昇降体昇降案内用の縦向きの昇降体用係合溝が形成され、
前記ガイドレールにおける前記バランスウェイトが位置する側に、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側を幅広に形成されたバランスウェイト昇降案内用の縦向きのウェイト用係合溝が形成され、
前記防火扉が、前記筒体内における前記ガイドレールよりも前記昇降体が位置する側の部分を遮蔽するメイン扉体と、前記ガイドレールにおける前記昇降体用係合溝を遮蔽する昇降体側サブ扉体と、前記ガイドレールにおける前記ウェイト用係合溝を遮蔽する前記ウェイト用係合溝を遮蔽するウェイト側サブ扉体とを備えて構成されている搬送設備。
【請求項２】
前記昇降体側サブ扉体が、前記昇降体側係合溝の前記奥部側に、その横幅方向に沿う軸心周りの揺動により垂直又は略垂直姿勢となる開き姿勢と水平又は略水平姿勢となる閉じ姿勢とに姿勢変更自在に設けられ、
前記メイン扉体が、扉収納部に巻き取られた開き状態と前記扉収納部から繰り出された閉じ状態とに巻き取り繰り出し操作自在に設けられ、且つ、前記収納部から繰り出されるに伴って前記昇降体側サブ扉体を前記開き姿勢から前記閉じ姿勢に姿勢変更させるべく前記昇降体側サブ扉体を押圧操作する操作部を設けて構成されている請求項１記載の搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数階に亘って設けられ且つ前記複数階の夫々に対応して物品出し入れ用の出し入れ口が形成されている昇降経路形成用の筒体と、前記筒体内を昇降移動して物品を搬送する昇降体とが設けられている搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる搬送設備は、搬送元の階に対応して形成された出し入れ口から物品を昇降体に受け渡し、受け渡された物品を支持する昇降体を昇降移動させた後、搬送先の階に対応して形成された出し入れ口から物品を他の搬送装置や作業者に受け渡すようにして、複数の階に亘って物品を搬送する際に用いられるものである。
そして、このような搬送設備において、従来では、物品出し入れ用の出し入れ口の夫々に出し入れ口を遮蔽する開閉自在な防火扉を設け、筒体が焼損しないように筒体の周壁を防火壁にて構成しており、火災が発生した際は、防火扉にて出し入れ口を遮蔽することにより出し入れ口から火炎や燃焼排ガスが筒体内に侵入することを防ぎ、筒体の周壁を防火壁にて構成することにより筒体の焼損箇所から筒体内に火炎や燃焼排ガスが侵入することを防ぐことにより、火炎が筒体内に侵入することを防いで火災が他の階に広がることを防止するとともに、燃焼排ガスが筒体内に侵入することを防いで筒体が煙突効果を発揮することを抑制するようにして、延焼を抑えるように構成されていた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１７６５８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の搬送設備では、火災が発生した際に火炎や燃焼排ガスが筒体内に侵入することを防ぐことにより、火災が他の階に広がることを防止するとともに筒体が煙突効果を発揮することを抑制しているが、複数階の夫々に対応して形成された複数の物品出し入れ口の夫々に対して防火扉を設け、かつ、複数階に亘って設けられた筒体の周壁を防火壁にて構成しなければならないため、多数の防火扉を設けることや筒体の周壁を防火壁にて構成することにより、延焼を抑える構成が高価なものとなっていた。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、延焼を抑える構成の低廉化を図ることができる搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的を達成するために、本発明にかかる搬送設備は、複数階に亘って設けられ且つ前記複数階の夫々に対応して物品出し入れ用の出し入れ口が形成されている昇降経路形成用の筒体と、前記筒体内を昇降移動して物品を搬送する昇降体とが設けられているものであって、その第１特徴構成は、
隣接する階の間に前記昇降体の昇降移動経路を横断する形態で筒体内を遮蔽する開閉自在な防火扉が設けられ、前記防火扉が、水平方向に並べられた複数の扉体で構成され、前記昇降体の昇降経路の上方に設けられた回転体に巻き掛けられて一端部に前記昇降体を吊り下げ支持し且つ他端部にバランスウェイトを吊り下げ支持する索条体が設けられ、前記筒体内に、前記昇降体及び前記バランスウェイトを昇降案内するガイドレールが、横断面視において、前記昇降体と前記バランスウェイトとが並ぶ方向における前記バランスウェイトが位置する側に寄せた状態で設けられ、前記ガイドレールにおける前記昇降体が位置する側に、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側を幅広に形成された昇降体昇降案内用の縦向きの昇降体用係合溝が形成され、前記ガイドレールにおける前記バランスウェイトが位置する側に、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側を幅広に形成されたバランスウェイト昇降案内用の縦向きのウェイト用係合溝が形成され、前記防火扉が、前記筒体内における前記ガイドレールよりも前記昇降体が位置する側の部分を遮蔽するメイン扉体と、前記ガイドレールにおける前記昇降体用係合溝を遮蔽する昇降体側サブ扉体と、前記ガイドレールにおける前記ウェイト用係合溝を遮蔽する前記ウェイト用係合溝を遮蔽するウェイト側サブ扉体とを備えて構成されている点にある。
【０００７】
すなわち、防火扉を開いている状態では、昇降体を昇降移動経路に沿って昇降移動させて物品を複数階に亘って搬送することができ、また、防火扉を閉じている状態では、この防火扉にて火炎が他の階に侵入することを防止し、火災が他の階に広がることを防止することができる。
つまり、防火扉を閉じた状態では、火炎や燃焼排ガスが物品出し入れ口から筒体内に侵入したとしても、隣接する階の間に設けられた防火扉にて、火災が他の階に広がることを防止し且つ筒体が煙突効果を発揮することを抑制することができ、また、筒体が焼損してその焼損箇所から筒体内に火炎や燃焼排ガスが侵入したとしても、同様に、隣接する階の間に設けられた防火扉にて、火災が他の階に広がることを防止し且つ筒体が煙突効果を発揮することを抑制することができる。
従って、火災が他の階に広がることを防止することや筒体が煙突効果を発揮することを抑制することができる構成を隣接する階の間に防火扉を設けるだけの安価なものとすることができるものとなり、もって、延焼を抑える構成の低廉化を図ることができる搬送設備を提供することができるに至った。
【０００９】
また、例えば、筒体内に昇降体を昇降案内するガイドレールや昇降体を吊り下げ支持する索条体が設けられており、単一の扉体では筒体内を適確に遮蔽させ難い場合でも、水平方向に並べられた複数の扉体にて筒体内を分割して塞ぐことにより筒体内を適確に遮蔽させ易いものとなり、もって、筒体内を適確に遮蔽させ易い防火扉を備えた搬送設備を提供することができるに至った。
【００１１】
また、筒体内におけるガイドレールよりも昇降体が位置する部分はメイン扉体にて遮蔽し、ガイドレールにおける昇降体用係合溝は昇降体側係合溝にて遮蔽し、ガイドレールにおけるウェイト用係合溝はウェイト側係合溝にて遮蔽するようにして、防火扉にて筒体内を遮蔽するように構成されている。
つまり、昇降体用係合溝やウェイト用係合溝は、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側が幅広に形成されているため、筒体内におけるガイドレールよりも昇降体が位置する部分を遮蔽するメイン扉体にて昇降体用係合溝やウェイト用係合溝も遮蔽するように構成することは難しいが、昇降体用係合溝やウェイト用係合溝を個別に扉体にて遮蔽することによって、防火扉の構成が簡素なものでありながら、昇降体用係合溝やウェイト用係合溝を適確に遮蔽することができ、もって、簡素な構成の防火扉にて筒体内を適確に遮蔽することができる搬送設備を提供することができるに至った。
【００１２】
本発明にかかる搬送設備の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記昇降体側サブ扉体が、前記昇降体側係合溝の前記奥部側に、その横幅方向に沿う軸心周りの揺動により垂直又は略垂直姿勢となる開き姿勢と水平又は略水平姿勢となる閉じ姿勢とに姿勢変更自在に設けられ、前記メイン扉体が、扉収納部に巻き取られた開き状態と前記扉収納部から繰り出された閉じ状態とに巻き取り繰り出し操作自在に設けられ、且つ、前記収納部から繰り出されるに伴って前記昇降体側サブ扉体を前記開き姿勢から前記閉じ姿勢に姿勢変更させるべく前記昇降体側サブ扉体を押圧操作する操作部を設けて構成されている点にある。
【００１３】
すなわち、メイン扉体が収納部から繰り出されて開き状態に切り換えられるにともなって、操作部にて昇降体側サブ扉体がメイン扉体の操作部にて押圧操作され、押圧操作された昇降体側サブ扉体は開き姿勢から閉じ姿勢に姿勢変更される。
つまり、繰り出し操作されるメイン扉体を動力として利用して昇降体側サブ扉体を開き操作するため、昇降体側サブ扉体を開き操作する専用の駆動手段が必要なくなり、防火扉の構成の簡素化を図ることができ、もって、火災が他の階に広がることを防止する構成の簡素化を図ることができる搬送設備を提供することができるに至った。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、搬送設備は、半導体基板を収納した容器を物品１として複数階に亘って搬送する昇降式搬送装置２と、複数階の夫々に設けられ且つ天井近くを走行して物品１を搬送する天井搬送装置３と、複数階の夫々に設けられ且つ床面上を走行する床面搬送装置４とを設けて構成されており、昇降式搬送装置２にて上階Ｕや下階Ｄの複数階に搬送された物品１を天井搬送装置３又は床面搬送装置４にて搬送するように構成されている。
【００１５】
複数階としての上階Ｕと下階Ｄとには、空気浄化手段６を設けて清浄化された浄化空気が天井側から床側に向けて下向きに通流するダウンフロー式のクリーンルームが形成されており、天井搬送装置３及び床面搬送装置４は上階Ｕ及び下階Ｄのクリーンルームに設けられ、昇降式搬送装置２は上階Ｕのクリーンルームと下階Ｄのクリーンルームとに亘って設けられている。
ちなみに、上階Ｕと下階Ｄとの間に中階Ｍが設けられているが、この中階Ｍには昇降式搬送装置２に対して物品１を授受する天井搬送台車３や床面走行台車４は設けられておらず、クリーンルームは形成されていない。
【００１６】
空気浄化手段６について説明を加えると、図２に示すように、空気浄化手段６は、床を構成するスラブ床Ｆから上方に間隔を隔てた状態で多孔状のグレーチング床８が設けられ、天井を構成するスラブ床Ｆから下方に間隔を隔てた状態でＨＥＰＡフィルタなどからなるエアーフィルタ９が設けられるとともに、グレーチング床８の下方側に形成された吸気室１０とエアーフィルタ９の上方側に形成されたチャンバー室１１とが通風ファン１２及びプレフィルタ１３を備えた循環路にて連通されている。そして、通風ファン１２にて、クリーンルーム内の空気を、プレフィルタ１３とエアーフィルタ９とで清浄化させながら循環させて、浄化空気を天井側から床側に向けて下向きに通流させるように構成されている。
そして、循環路には、通風ファン１２より上流側に外気取入流路１４が接続され、通風ファン１２より下流側に排気流路１５が接続されており、空気浄化手段６にて循環されるクリーンルーム内の空気の一部を外気と交換されるように構成されている。
【００１７】
図１及び図２に示すように、天井式搬送装置３は、昇降式搬送装置２における物品授受部４１の上方を経由するように設けられた案内レール１８と、その案内レール１８に沿って移動する物品搬送車１９とを設けて構成されている。
物品搬送車１９は、案内レール１８にて案内支持されてリニアモータによる推進力によって案内レール１８に沿って移動する移動車体２０と、側面視にて下方側が開放されたコ字状に形成され且つ内部空間にワイヤ２３を巻き取り繰り出し操作するワイヤ巻き取り部２２を備えた外枠体２１と、ワイヤ２３の先端に吊り下げ支持されて物品１を把持する把持部２４とを設けて構成されている。
そして、物品搬送車１９は、移動車体２０を案内レール１８に沿って移動させて物品授受部４１の上方に停止させた状態において、物品１を把持した把持部２４を下降させた後に把持部２４による把持を解除して物品１を物品授受部４１に受け渡し、物品１を把持していない把持部２４を下降させた後に物品授受部４１に載置されている物品１を把持部２４にて把持して物品１を物品授受部４１から受け取るようにして、自己と物品授受部４１との間で物品１を授受するように構成されている。
【００１８】
前記床面搬送装置４として、グレーチング床８上を走行経路に沿って走行自在な物品搬送台車２６が設けられており、この物品搬送台車２６は、車輪２７ａを備えた走行車体２７と、物品１を載置支持し且つ物品１を水平方向に載置搬送する搬送コンベア２８とを備えて構成されている。
そして、物品搬送台車２６は、走行車体２７を走行経路に沿って走行させて物品授受部４１の横側方に停止させた状態において、搬送コンベア２８を駆動させることにより、自己と物品授受部４１との間で物品１を授受するように構成されている。
【００１９】
前記昇降式搬送装置２は、複数階に亘って設けられ且つ前記複数階の夫々に対応して物品出し入れ用の出し入れ口３１が形成されている昇降経路形成用の筒体３２と、前記筒体３２内を昇降移動して物品１を搬送する昇降体３３と、前記昇降体３３の昇降経路の上方に設けられた回転体としての上側回転体３５に巻き掛けられて一端部に前記昇降体３３を吊り下げ支持し且つ他端部にバランスウェイト３４を吊り下げ支持する索条体としての上側昇降用ベルト３７と、前記昇降体３３及び前記バランスウェイト３４を昇降案内するスチール製のガイドレール３９とを設けて構成されている。
【００２０】
図５及び図６に示すように、前記筒体３２は、上階Ｕに設けられた部分と中階Ｍに設けられた部分と下階Ｄに設けられた部分とで３分割構成され、それらの部分の夫々が内部に昇降体３３の昇降経路が形成すべく上下方向に沿う筒状に形成されている。つまり、筒体３２は隣接する階の間に設けられたスラブ床Ｆに形成された開口６４を挿通させた状態には設けられていない。
そして、筒体３２における上階Ｕに設けられた部分及び下階Ｄに設けられた部分には、床面近くの部分がその他の部分よりも前後方向に幅広に形成された幅広部分３２ａが備えられている。
ちなみに、グレーチング床８並びにエアーフィルタ９には筒体３２を挿通させるための開口が形成されている。また、スラブ床Ｆの上面にて床面が形成され且つ下面にて天井面が形成されている。
【００２１】
筒体３２における幅広部分３２ａには、前方側に向けて開口して内方に床面搬送装置４との間で物品１を授受するための物品授受部４１が備えられている床面搬送装置用の出し入れ口３１と、上方側に向けて開口して内方に天井搬送装置３との間で物品１を授受するための物品授受部４１が備えられている天井搬送装置用の出し入れ口３１とが形成されている。
また、筒体３２における幅広部分３２ａには、昇降経路の周囲に位置するようにその昇降経路の前方側に物品支持部４２が設けられており、この物品支持部４２は、物品授受部４１に対応して水平方向に並べた一対を上下２箇所に設けて計４ヶ所に設けられている。
そして、物品授受部４１と物品支持部４２との間で物品１を搬送する搬送装置４３が設けられており、また、出し入れ口３１に対応して出し入れ口３１を遮蔽する開閉自在な開閉扉４４が設けられている。
また、筒体３２には、昇降経路の周囲に位置するようにその昇降経路の横側方両側に物品１を収納する物品収納部４５が設けられており、この物品収納部４５は上下方向に並ぶ状態で複数設けられており、筒体３２内に複数の物品１を収納することができるように構成されている。
【００２２】
図７に示すように、前記ガイドレール３９は、前記筒体３２内に、横断面視において、前記昇降体３３と前記バランスウェイト３４とが並ぶ方向（前後方向）における前記バランスウェイト３４が位置する側（後方側）に寄せた状態で設けられており、ガイドレール３９は昇降体３３の昇降経路の後方側の位置にするように設けられている。
そして、前記ガイドレール３９における前記昇降体３３が位置する側に、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側が幅広に形成された昇降体昇降案内用の縦向きの昇降体用係合溝４７が形成され、前記ガイドレール３９における前記バランスウェイト３４が位置する側に、横断面視において、外部に連通する開口部よりも奥部側を幅広に形成されたバランスウェイト昇降案内用の縦向きのウェイト用係合溝４８が形成されている。
説明を加えると、ガイドレール３９は横断面視の形状が略Ｈ字状に形成されており、昇降体用係合溝４７を開口部よりも奥部側を幅広に形成すべく、横幅方向両側に位置して前後方向に沿う一対の辺部分の前端部夫々に横幅方向内方側に突出する昇降体側突出部分４９が形成されており、ウェイト用係合溝４８を開口部よりも奥部側を幅広に形成すべく、一対の辺部分の後端部夫々に横幅方向内方側に突出するウェイト側突出部分５０が形成されている。
【００２３】
図５〜図７に示すように、前記上側昇降用ベルト３７は、歯付きベルトにて構成され且つ横幅方向に間隔を隔てた状態で一対設けられており、その一対の上側昇降用ベルト３７の夫々が、上側回転体３５に巻き掛けられて、一端部が昇降体３３の上端部に連結され且つ他端部がバランスウェイト３４の上端部に連結されている。
また、下側昇降用ベルト３８が１本設けられており、この下側昇降用ベルト３８は、昇降体３３の移動経路の下方側に設けられた前後一対の下側回転体３６に巻き掛けられて、一端部が昇降体３３の下端部に連結され且つ他端部がバランスウェイト３４の下端部に連結されている。
そして、上側回転体３５を正逆に回転駆動させることによって昇降体３３を昇降経路に沿って昇降移動させるように構成されている。
【００２４】
図７に示すように、一対の上側昇降用ベルト３７の夫々は、上側回転体３５から昇降体３３に向けて下方に伸びる部分が昇降体用係合溝４７よりも前方側に位置し、上側回転体３５からバランスウェイト３４に向けて下方に伸びる部分がウェイト用係合溝４８内に位置するように設けられている。
また、下側昇降用ベルト３８は、下側回転体３６から昇降体３３に向けて上方に伸びる部分が昇降体用係合溝４７よりも前方側に位置し、下側回転体３６からバランスウェイト３４に向けて上方に伸びる部分がウェイト用係合溝４８内に位置するように設けられている。
【００２５】
図７及び図８に示すように、前記昇降体３３には、ガイドレール３９にて案内される複数の案内ローラ５３が設けられており、昇降体３３は、複数の案内ローラ５３にて前後方向及び横幅方向の位置ずれが規制されながら上下方向に昇降案内されるように構成されている。
そして、昇降体３３に設けられる案内ローラ５３として、ガイドレール３９における一対の昇降体側突出部分４９の３面に接当案内されるように設けられた６つの案内ローラ５３が上下２組設けられており、計１２の案内ローラ５３が設けられている。
【００２６】
前記昇降体３３には、物品収納部４５や物品支持部４２と自己との間で物品１を移載可能な物品移載装置５４が支持されている。
この物品移載装置５４は、上下軸心Ｐ１周りに旋回自在な旋回台５５と、物品１を載置支持する載置体５６と、旋回台５５上に設けられて載置体５６を出退移動自在に支持するリンク機構５７とを設けて構成されている。そして、物品移載装置５４は、旋回台５５の旋回により載置体５６の出退方向を変更可能で、且つ、リンク機構５７の伸縮により載置体５６を昇降体３３上に引退させた状態や載置体５６を物品収納部４５側や物品支持部４２側に突出させた状態に切り換え可能に構成されている。
つまり、物品移載装置５４は、物品１を移載する物品支持部４２や物品収納部４５に載置体５６の出退方向が対応するように旋回台５５を旋回させた状態で、その対応する物品収納部４５や物品支持部４２と自己との間で物品１を移載するように構成されている。
【００２７】
バランスウェイト３４には、ガイドレール３９にて案内される複数の案内ローラ５３が設けられており、バランスウェイト３４は、複数の案内ローラ５３にて前後方向及び横幅方向の位置ずれが規制されながら上下方向に昇降案内されるように構成されており、ウェイト用係合溝４８内に設けられている。
そして、バランスウェイト３４に設けられる案内ローラ５３として、ガイドレール３９における一対のウェイト側突出部分５０とガイドレール３９における内方側突出部分とに接当案内される４つの案内ローラ５３が上下２組設けられており、計８の案内ローラ５３が設けられている。
【００２８】
図７に示すように、ガイドレール３９における横幅方向の一方側には、給電線や通信線等の配線５８の長手方向中間部を固定するための固定部材５９を支持する支持部材６０が支持されており、この配線５８は昇降体３３に接続されている。ちなみに、ガイドレール３９における横幅方向の他方側には、点検用はしご６１が支持されている。
【００２９】
図１に示すように、隣接する階の間に前記昇降体３３の昇降移動経路を横断する形態で筒体３２内を遮蔽する開閉自在な防火扉６３が設けられている。
説明を加えると、図９及び図１０に示すように、中階Ｍと下階Ｄとの間に設けられたスラブ床Ｆ上にそれに形成された矩形状の開口６４を囲むように矩形状の枠体６５が設けられており、防火扉６３は枠体６５にて囲まれた内部空間に設けられている。そして、防火扉６３は、スラブ床Ｆに形成された開口６４を遮蔽することにより筒体３２内を遮蔽するように構成されている。また、筒体３２は、枠体６５の周囲を覆うように設けられている。
【００３０】
そして、図９〜図１３に示すように、防火扉６３は、水平方向に並べられた複数の扉体６６、６７、６８で構成されており、開口６４（筒体３２内）における前記ガイドレール３９よりも前記昇降体３３が位置する側の部分を遮蔽するメイン扉体６６と、前記ガイドレール３９における前記昇降体用係合溝４７を遮蔽する昇降体側サブ扉体６７と、前記ガイドレール３９における前記ウェイト用係合溝４８を遮蔽するウェイト側サブ扉体６８とを備えて構成されている。ちなみに、枠体６５、メイン扉体６６、昇降体側サブ扉体６７及びウェイト側サブ扉体６８の夫々はスチール材にて構成されており、防火扉６３はスチール製に構成されている。
そして、開口６４（筒体３２内）におけるガイドレール３９よりも昇降体３３が位置する側とは反対側の部分は、その部分を遮蔽する状態で固定された固定遮蔽板６９にて遮蔽されている。
【００３１】
前記メイン扉体６６は、扉収納部７１に巻き取られた開き状態（図９及び図１０参照）と前記扉収納部７１から繰り出された閉じ状態（図１１及び図１２参照）とに巻き取り繰り出し操作自在に設けられている。
そして、メイン扉体６６の下面に形成された凹凸に噛合するギヤを回転駆動させるシャッター開閉用モータ７４が設けられており、メイン扉体６６は、シャッター開閉用モータ７４にてギヤが正逆に回転駆動されることによって、巻き取り繰り出し操作されて開き状態と閉じ状態とに切り換えられるように構成されている。
【００３２】
前記昇降体側サブ扉体６７は、前記昇降体用係合溝４７の前記奥部側に、その横幅方向に沿う軸心（以下、揺動軸心と称する）周りの揺動により垂直又は略垂直姿勢となる開き姿勢（図９及び図１０参照）と水平又は略水平姿勢となる閉じ姿勢（図１１及び図１２参照）とに姿勢変更自在に設けられている。
昇降体側サブ扉体６７は、上下方向中央部よりも上方寄りに位置する揺動軸心周りに揺動自在に構成されており、揺動軸心よりも下部の自重にて開き姿勢側に付勢されており、開き姿勢ではマグネット７５（図１３参照）にてその姿勢で保持されている。
また、昇降体側サブ扉体６７は、開き姿勢に姿勢変更されることにより昇降体３３の昇降移動経路から外れるように昇降体用係合溝４７内に位置し、閉じ姿勢に姿勢変更されることにより昇降体用係合溝４７を上下方向に遮蔽するように構成されている。
【００３３】
ウェイト側サブ扉体６８は、固定遮蔽板６９の上方に重ねられた状態で、ウェイト用係合溝４８の後方側に位置して固定遮蔽板６９からガイドレール３９が位置する側に僅かに突出する退避位置（図９及び図１０参照）と固定遮蔽板６９からガイドレール３９が位置する側に大きく突出してウェイト用係合溝４８内に進入した遮蔽位置（図１１及び図１２参照）とに前後方向にスライド移動自在に設けられている。
そして、ウェイト側サブ扉体６８の上面に形成されたラックに噛合するピニオンを回転駆動させる扉開閉用モータ７０が設けられており、扉開閉用モータ７０にてピニオンを正逆に回転駆動させることによって、ウェイト側サブ扉体６８をバランスウェイト３４の昇降移動経路から退避した退避位置とウェイト用係合溝４８を上下方向に遮蔽する遮蔽位置とにスライド移動させるように構成されている。
このウェイト側サブ扉体６８の横幅は、ウェイト用係合溝４８における奥部側の横幅よりも幅広に形成されており、ガイドレール３９には、ウェイト側サブ扉体６８が退避位置と遮蔽位置とにスライド移動可能なように切り欠きが形成されている。
【００３４】
前記扉収納部７１から繰り出されるに伴って前記昇降体側サブ扉体６７を前記開き姿勢から前記閉じ姿勢に姿勢変更させるべく前記昇降体側サブ扉体６７を押圧操作する操作部７２を設けて構成されている。つまり、図１３に示すように、メイン扉体６６は、閉じ状態に切り換えられるに伴って、その先端部に設けられた棒状の操作部７２が一対の上側昇降用ベルト３７の間を通り、操作部７２の先端部にて昇降体側サブ扉体６７における揺動軸心よりも上方に位置する部分を奥部側（後方側）に押圧操作することにより、昇降体側サブ扉体６７における揺動軸心よりも下方に位置する部分を入口側（前方側）に移動するように揺動させて、昇降体側サブ扉体６７を閉じ姿勢に姿勢変更させるように構成されている。
【００３５】
図９に示すように、メイン扉体６６の先端部には、昇降体側サブ扉体６７の先端部に沿う形状より内方側（前方側）に凹入させた凹入部６６ａが一対形成されている。そして、図１３に示すように、メイン扉体６６を閉じ状態に切り換えるに伴って一対の凹入部６６ａにて一対の上側昇降用ベルト３７をガイドレール３９が位置する側に押し操作するように構成されている。ちなみに、メイン扉体６６が閉じ状態に切り換わった状態では、一対の凹入部６６ａにて形成されるメイン扉体６６とガイドレール３９との間の隙間が一対の上側昇降用ベルト３７にて遮蔽されるように構成されている。
尚、凹入部６６ａは、メイン扉体６６における操作部７２を間に挟んだ状態で横幅方向両側に形成されている。
【００３６】
また、図９に示すように、ウェイト側サブ扉体６８の先端部には、ガイドレール３９の表面形状に沿う形状より内方側（後方側）に凹入させた凹入部６８ａが形成されている。そして、図１３に示すように、ウェイト側サブ扉体６８を遮蔽位置にスライド移動させるに伴って凹入部６８ａにて下側昇降用ベルト３８をガイドレール３９が位置する側に押し操作するように構成されている。ちなみに、ウェイト側サブ扉体６８が遮蔽位置にスライド移動させた状態では、凹入部６８ａにて形成されるウェイト用サブ扉体６８とガイドレール３９との間の隙間は下側昇降用ベルト３８にて遮蔽されるように構成されている。
【００３７】
図１１に示すように、メイン扉体６６は、閉じ状態において前記固定部材５９と近接する箇所に受熱により膨張する耐火膨張体７３を備え、メイン扉体６６が閉じ状態に切り換えられた状態では、メイン扉体６６と固定部材５９や支持部材６０との間に形成される隙間が受熱して膨張した耐火膨張体７３にて遮蔽されるように構成されている。
【００３８】
詳細な説明は省略するが、昇降式搬送装置２並びに防火扉６３のシャッター開閉用モータ７４及び扉開閉用モータ７０は、図外の制御装置にてその作動が制御されており、制御装置は、火災発生時に人為的に押し操作される火災報知用スイッチの操作情報や火災の発生を検出する火災検出センサの検出情報に基づいて、火災が発生したと判別すると昇降体３３を昇降移動経路の最下位置まで下降移動させるように昇降式搬送装置２の作動を制御した後、メイン扉体６６を閉じ状態とすべくシャッター開閉用モータ７４の作動を制御し且つウェイト側サブ扉体６８を遮蔽位置にスライド移動させるべく扉開閉用モータ７０の作動を制御するように構成されている。
【００４１】
〔別実施の形態〕
（１）  上記実施の形態では、メイン扉体６６が扉収納部７１から繰り出されるに伴って昇降体側サブ扉体６７を開き姿勢から閉じ姿勢に姿勢変更させるべく、メイン扉体６６に昇降体側サブ扉体６７を押圧操作する操作部７２を設けたが、メイン扉体６６に操作部７２を設けずに、昇降体側サブ扉体６７を開き姿勢から閉じ姿勢に姿勢変更させるべく昇降体側サブ扉体６７を揺動操作する駆動手段を別途備えてもよい。
【００４２】
（２）  上記実施の形態では、上階Ｕと中階Ｍと下階Ｄとの３階構成としたが、上階Ｕと下階Ｄとの２階構成としてもよく、中階Ｍを複数設けて４階構成以上としてもよい。
また、上記実施の形態では、中階Ｍと下階Ｄとの間に防火扉６３を設けたが、上階Ｕと中階Ｍとの間に防火扉６３を設ける、中階Ｍを複数設けた場合は隣接する中階Ｍの間に防火扉６３を設ける等、隣接する階の間に防火扉６３を設けたものであればよく、中階Ｍと下階Ｄとの間並びに上階Ｕと中階Ｍとの間に防火扉６３を設ける等、防火扉６３を複数設けてもよい。
ちなみに、中階Ｍについては、クリーンルームを形成して天井搬送台車３や床面走行台車４は設け、中階Ｍに対応して出し入れ口３１を形成する等、上階Ｕや下階Ｄと同様に構成してもよい。
【００４３】
（３）  上記実施の形態では、出し入れ口３１に対応して防火規格を満たさない開閉扉４４のみを設け防火用の扉は設けられていないが、出し入れ口３１に対応して防火規格を満たさない開閉扉４４と防火用の扉との両方を設けてもよい。また、上記実施の形態では、筒体３２の周壁は防火壁にて構成されていないが、筒体３２の周壁を防火壁にて構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】搬送設備の斜視図
【図２】搬送設備の正面図
【図３】昇降式搬送装置の横断面図
【図４】昇降式搬送装置の横断面図
【図５】昇降式搬送装置の下部を示す縦断面図
【図６】昇降式搬送装置の上部を示す縦断面図
【図７】昇降式搬送装置の横断平面図
【図８】昇降体を示す側面図
【図９】防火扉を開いた状態を示す平面図
【図１０】防火扉を開いた状態を示す側面図
【図１１】防火扉を閉じた状態を示す平面図
【図１２】防火扉を閉じた状態を示す側面図
【図１３】防火扉の作用図
【符号の説明】
【００４５】
１    物品
３１    出し入れ口
３２    筒体
３３    昇降体
３４    バランスウェイト
３５    回転体
３７    索条体
３９    ガイドレール
４７    昇降体用係合溝
４８    ウェイト用係合溝
６３    防火扉
６６    メイン扉体
６７    昇降体側サブ扉体
６８    ウェイト側サブ扉体
７２    操作部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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