(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板の一面側に形成された第１の圧電層と、その第１の圧電層の前記振動板とは反対側の面側に形成された第２の圧電層とを有して構成される圧電アクチュエータであって、
前記第２の圧電層の前記第１の圧電層と反対側の面に設けられ、所定の方向に配列された複数の個別電極と、
前記第１の圧電層と前記第２の圧電層との間に設けられるものであって、前記複数の個別電極の各々に対応するように前記所定の方向に配列された複数の第１定電位電極部と、これら複数の第１定電位電極部の全てと電気的に接続する第１電極配線とを有する第１共通電極と、
前記振動板と前記第１の圧電層との間に設けられ、前記複数の個別電極の各々に対応するように前記所定の方向に配列された複数の第２定電位電極部と、これら複数の第２定電位電極部の全てと電気的に接続する第２電極配線とを有する第２共通電極とを備え、
第１及び第２電極配線は、前記所定の方向に伸延し、かつ平面視互いに重ならないように配置され、
前記複数の第１定電位電極部の各々の外形の寸法は、平面視において、対応する個別電極及びこの個別電極に対応する第２定電位電極部の外形の寸法より小さく形成され、かつ各第１定電位電極部の全体がそれに対応する個別電極及び第２定電位電極部に重なるように配置されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
前記第１電極配線は、所定の方向に並べられた前記複数の個別電極の領域とこれらの領域を繋げる領域とを含む個別電極配置領域と平面視で重ならないように配置されており、
前記第２電極配線は、前記個別電極配置領域と平面視で重なるように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
前記複数の個別電極に選択的に電圧を印加する電圧印加手段に電気的に接続されるものであって、前記複数の個別電極の各々に電気的に接続される複数の個別電極用端子を更に有し、
前記複数の個別電極用端子は、前記第２の圧電層の前記第１の圧電層と反対側の面において、前記個別電極配置領域の所定の方向と直交する方向における一方の脇に設けられ、
前記第１電極配線は、平面視において、前記個別電極配置領域の前記直交する方向における他方の脇に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
平面視における所定の方向に直交する方向において、前記各第２電極配線が形成されている領域よりも第２定電位電極部が形成されている領域の方が広く形成されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項５】
前記個別電極に第１定電位とこれと異なる第２定電位とを選択的に印加するとともに、前記第１電極配線を介して前記各第１定電位電極部に前記第１定電位を印加し、前記第２電極配線を介して第２定電位電極部に前記第２定電位を印加する電圧印加手段を更に備え、
前記第２の圧電層において、前記各個別電極とこれに対応する第１定電位電極との間の部分が第１の活性部を成し、
前記第１及び第２の圧電層において、前記各個別電極とこれに対応する第２定電位電極との間であって、前記各個別電極に対応する第１定電位電極の外側の部分が第２の活性部を成しており、
前記第１の活性部は、前記各個別電極に第２定電位を印加すると、平面視で前記個別電極に対し直交する第１の方向に伸張するとともに、その第１の方向と直交する第２の方向に収縮するように構成され、
前記第２の活性部は、前記各個別電極に第１定電位を印加すると、第１の方向に伸張するとともに、第２の方向に収縮するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１つに記載の圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電圧を印加すると、活性部が変形する圧電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電アクチュエータとして、積層された複数の圧電層と、これら複数の圧電層の間に配置された共通電極と、最上層の圧電層の上面に配列された複数の個別電極とを有するものが知られている。
【０００３】
このような形態の圧電アクチュエータにおいては、共通電極は、圧電層の表面全体に電極材を塗布することで形成される。また、最上層の圧電層には、個別電極毎に対応させて個別電極用端子が設けられている。そして、これら個別電極用端子は、対応する個別電極と導通するように設けられている共に、複数の個別電極に選択的に駆動電圧を印加するための駆動回路にＦＰＣなどに形成された配線を介して電気的に接続されている。
【０００４】
そして、このような圧電アクチュエータは、各個別電極と共通電極との間の領域が活性部を成し、この活性部に電界を作用させると、活性部が独立して変形する。すなわち圧電アクチュエータは、駆動回路から個別電極用端子を介して個別電極に駆動電圧を印加すると、個別電極と共通電極との間に電界が発生し、これらの間に配置された活性部が変形するように構成されているのである。（例えば特許文献１参照）。このような構成を有する圧電アクチュエータにおいて、小型化のために個別電極の高密度化が要求されている。しかし、個別電極を高密度化して配列すると、活性部の変形時にその振動が隣接する活性部に影響する、クロストークの問題が顕著になる。
【特許文献１】特開２００５−２７４０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような問題点を解決すべく圧電アクチュエータとして、本件出願の発明者等は、以下のような構成のものを想到した。これは、振動板と、この振動板に積層された２つの圧電層と、上層の圧電層に配列された複数の個別電極と、上層及び下層の圧電層の間に設けられた第１共通電極と、振動板と下層の圧電層との間において前記下層の圧電層の下側の表面全体を覆うように設けられた第２共通電極とを有するような圧電アクチュエータである。
【０００６】
この圧電アクチュエータにおいて、各個別電極には、個別電極用端子が設けられており、各個別電極は、各個別電極用端子によって駆動回路に電気的に接続されている。第１共通電極は、各個別電極に対応させるようにして所定の方向に配列された複数の定電位電極と、前記所定の方向に伸延して前記複数の定電位電極の全てを電気的に接続する電極配線とを有する。複数の定電位電極は、積層方向に見て対応する個別電極の中央部に重なるように配置されている。
【０００７】
そして、この圧電アクチュエータでは、上層の圧電層における各個別電極とそれに対応する定電位電極との間の部分が第１の活性部を成し、上層及び下層の圧電層における各個別電極とそれに対応する第２共通電極との間であって、第１の活性部の外側の部分が第２の活性部を成している。
【０００８】
またこの圧電アクチュエータでは、第２共通電極にグランド電位が付与され、第１定電位電極にグランド電位より高い定電位が付与される。そして個別電極には、駆動回路によってグランド電位と前記定電位とが選択的に付与される。
【０００９】
個別電極の電位をグランド電位から前記定電位へと切替えることで、第１の活性部が変形せずに第２の活性部が変形し、個別電極の電位を前記定電位からグランド電位へと切替えることで、第２の活性部の元の状態に戻り第１の活性部が変形する。後者の場合、第１の活性部の外側に配置された第２の活性部が元の状態に戻るので、第１の活性部の変形による影響が第２の活性部によりキャンセルされ、隣接する第１及び第２の活性部への影響を与えることなく、各々の活性部が独立して変形することができる。
【００１０】
前述した２つの圧電アクチュエータにおいて、共通電極及び第１共通電極は、圧電層の表面全体に電極材を塗布することで形成されている。電極材から成る共通電極及び第１共通電極とＰＺＴ等の圧電材料から成る圧電層とは異なる線膨張係数を有するため、焼成時に圧電層が反り返って曲がったり、曲がらなくとも焼成後における圧電層の残留応力が大きくなったりする。
【００１１】
また共通電極及び第１共通電極を圧電層の表面全体に形成することで、前者の圧電アクチュエータにおいて共通電極と個別電極用端子との間、後者の圧電アクチュエータにおいて第１共通電極と第２共通電極との間に、活性部の変形に寄与しない浮遊容量が発生する。この浮遊容量は、発熱源となり、その容量が大きければ大きいほど、圧電アクチュエータの発熱量を増加させる。
【００１２】
本発明の目的は、焼成時の圧電層の反り及び焼成後の圧電層の残留応力が小さく、かつ発熱量が小さい圧電アクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の圧電アクチュエータは、振動板の一面側に形成された第１の圧電層と、その第１の圧電層の前記振動板とは反対側の面側に形成された第２の圧電層とを有して構成される圧電アクチュエータであって、前記第２の圧電層の前記第１の圧電層と反対側の面に設けられ、所定の方向に配列された複数の個別電極と、前記第１の圧電層と前記第２の圧電層との間に設けられるものであって、前記複数の個別電極の各々に対応するように前記所定の方向に配列された複数の第１定電位電極部と、これら複数の第１定電位電極部の全てと電気的に接続する第１電極配線とを有する第１共通電極と、前記振動板と前記第１の圧電層との間に設けられ、前記複数の個別電極の各々に対応するように前記所定の方向に配列された複数の第２定電位電極部と、これら複数の第２定電位電極部の全てと電気的に接続する第２電極配線とを有する第２共通電極とを備え、第１及び第２電極配線は、前記所定の方向に伸延し、かつ平面視互いに重ならないように配置されているものである。ここで「平面視」とは、第１の圧電層に対して第２圧電層が設けられている方向と反対の方向に見ることをいう。
【００１４】
本発明に従えば、振動板と第１の圧電層との間において、第２共通電極が設けられている領域が少なくなる。これによって焼成時における、振動板と第２共通電極との線膨張係数の差及び第１の圧電層と第２共通電極との線膨張係数の差に起因する前記振動板及び第１の圧電層の反りを抑制できると共に、焼成後の圧電アクチュエータの残留応力を低減することができる。また第２共通電極が設けられている領域を少なくすることにより、電極材の塗布量を低減することができる。
【００１５】
また本発明では、第１電極配線と第２電極配線とが平面視で互いに重なり合っていないので、第１電極配線と第２電極配線の間に発生する浮遊容量を低減することができる。これによって前記浮遊容量の発生に伴う発熱を抑制し、前記圧電アクチュエータの発熱量を抑えることができる。
【００１６】
上記発明において、前記複数の第１定電位電極部の各々の外形の寸法は、平面視において、対応する個別電極及びこの個別電極に対応する第２定電位電極部の外形の寸法より小さく形成され、かつ各第１定電位電極部の全体がそれに対応する個別電極及び第２定電位電極部に重なるように配置されていることが好ましい。
【００１７】
本発明に従えば、各個別電極とそれに対応する第１定電位電極部との間の部分が第１の活性部をそれぞれ成し、前記各個別電極とそれに対応する第２定電位電極部との間であって、第１の活性部より外側の部分が第２の活性部を成す。各第１定電位電極部及び第２定電位電極部に互いに異なる第１定電位及び第２定電位を付与する。各個別電極に前記第１及び第２定電位を選択的に印加することにより、印加された個別電極に対応する第１の活性部及び第２の活性部は、各個別電極に印加される電圧によって互いに逆方向の変形が生じる。これによって第１及び第２の活性部は、各々の変形を打ち消しあう。これによって第１及び第２の活性部の変形が隣接する第１及び第２の活性部の変形に影響を与えるいわゆるクロストークが抑制される。
【００１８】
上記発明において、前記第１電極配線は、所定の方向に並べられた前記複数の個別電極の領域とこれらの領域を繋げる領域とを含む個別電極配置領域と平面視で重ならないように配置されており、前記第２電極配線は、前記個別電極配置領域と平面視で重なるように配置されていることが好ましい。
【００１９】
本発明に従えば、第１電極配線と第２電極配線とが互いに重ならないように配置することができる。これによって第１電極配線と第２電極配線との間において発生する浮遊容量を低減することができる。その結果、前記浮遊容量の発生に伴う発熱を抑制し、前記圧電アクチュエータの発熱量を抑えることを実現できる。
【００２０】
上記発明においては、前記複数の個別電極に選択的に電圧を印加する電圧印加手段に電気的に接続されるものであって、前記複数の個別電極の各々に電気的に接続される複数の個別電極用端子を更に有し、前記複数の個別電極用端子は、前記第２の圧電層の前記第１の圧電層と反対側の面において、前記個別電極配置領域の所定の方向と直交する方向における一方の脇に設けられ、前記第１電極配線は、平面視において、前記個別電極配置領域の前記直交する方向における他方の脇に設けられていることが好ましい。
【００２１】
本発明に従えば、各個別電極用端子を介して各々の個別電極に電圧印加手段により選択的に電圧を印加できる。また各個別電極用端子と第１及び第２電極配線とが平面視で互いに重ならないように配置される。これによって各個別電極用端子と第１及び第２電極配線との間において発生する浮遊容量を低減することができる。その結果、前記浮遊容量の発生に伴う発熱を抑制し、前記圧電アクチュエータの発熱量を抑えることを実現できる。
【００２２】
上記発明においては、平面視における所定の方向に直交する方向において、前記各第２電極配線が形成されている領域よりも第２定電位電極部が形成されている領域の方が広く形成されていることが好ましい。
【００２３】
本発明に従えば、第２配線電極が設けられている領域を少なくすることができる。これによって焼成時における振動板及び第１の圧電層の反りをさらに抑制できると共に、焼成後の圧電アクチュエータの残留応力をさらに低減することができる。
【００２４】
上記発明においては、前記個別電極に第１定電位とこれと異なる第２定電位とを選択的に付与するとともに、前記第１電極配線を介して前記各第１定電位電極部に前記第１定電位を付与し、前記第２電極配線を介して第２定電位電極部に前記第２定電位を付与する電圧印加手段を更に備え、前記第２の圧電層において、前記各個別電極とこれに対応する第１定電位電極との間の部分が第１の活性部を成し、前記第１及び第２の圧電層において、各個別電極とこれに対応する第２定電位電極との間であって、前記各個別電極に対応する第１定電位電極の外側の部分が第２の活性部を成しており、前記第１の活性部は、前記各個別電極に第２定電位を付与すると、平面視で前記個別電極に対し直交する第１の方向に伸張するとともに、その第１の方向と直交する第２の方向に収縮するように構成され、前記第２の活性部は、前記各個別電極に第１定電位を付与すると、第１の方向に伸張するとともに、第２の方向に収縮するように構成されていることが好ましい。
【００２５】
本発明に従えば、各個別電極に第１定電位を付与すると、第１の活性部が変形し、第２の活性部が変形しない。また各個別電極に第２定電位を付与すると、第１の活性部が変形せず、第２の活性部が変形する。このように各個別電極に第１及び第２定電位のどちらの電位を付与しても、第１及び第２の活性部の何れかが変形しないので、第１及び第２の活性部のうちの一方の活性部の変形を他方の活性部が打ち消すことができる。従って複数の個別電極の配置を高密度化して、隣り合う個別電極同士が接近するようになっても、第１の活性部の変形が第１の活性部の外側に配置された第２の活性部分によって打ち消され、隣り合う第１の活性部の変形に影響を与えるいわゆるクロストークが抑制される。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、焼成時の圧電層の反り及び焼成後の圧電層の残留応力が小さく、かつ発熱量が小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。
（第１実施形態）
図１（ａ）は本発明にかかるインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）の概略構成を示す概略構成図、図１（ｂ）は本発明にかかるキャビティユニット、圧電アクチュエータ及びフレキシブル配線板（ＣＯＰ）の関係を示す説明図である。
【００２８】
本発明に係るインクジェットプリンタ１は、図１（ａ）に示すように、インクカートリッジ（図示せず）が搭載されるキャリッジ２の下面に、記録用紙Ｐ（記録媒体）に記録するためのインクジェットヘッド３（液滴吐出ヘッド）が設けられている。キャリッジ２は、プリンタフレーム４内に設けられるキャリッジ軸５とガイド板（図示せず）とによって支持され、記録用紙Ｐの搬送方向Ａと直交する方向Ｂにおいて往復移動する構成とされている。図示しない給紙部からＡ方向に搬送される記録用紙Ｐは、プラテンローラ（図示せず）とインクジェットヘッド３との間に導入されて、インクジェットヘッド３から記録用紙Ｐに向けて吐出されるインクにより所定の記録がなされ、その後排紙ローラ６にて排紙される。
【００２９】
また、図１（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド３は、流路ユニット１１と、圧電アクチュエータ１２とを下側から順に備え、圧電アクチュエータ１２の上面に駆動信号を供給するフレキシブル配線板１３（信号線）が設けられている。
【００３０】
図２は、流路ユニット１１の上側に圧電アクチュエータ１２を貼り付けた状態を示す斜視図である。図３は、流路ユニット１１に含まれる積層体１４を、構成要素である各プレート１４Ａ〜１４Ｆに分解し、それらをトッププレート共に示す図である。流路ユニット１１は、矩形状に形成され、図２に示すように、複数枚のプレート部材からなる積層体１４を含む。その積層体１４の上側には、圧電アクチュエータ１２に備わる振動板１５が設けられる一方、下側には、ノズル穴１６ａを有するノズルプレート１６及びノズル穴１６ａに対応して貫通穴１７ａを有するスペーサプレート１７を貼り合わせてなるプレートアッセンブリ１８が一体に貼り付けられている。そして，振動板１５の上側に、各圧力室１４Ａａ内のインク（液体）を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータ１２が接合されている。また、流路ユニット１１の開孔１１ａには、インク内に含有される塵埃などを捕獲するためのフィルタ１９が設けられる。ノズルプレート１６は、（積層体１４を構成する）キャビティプレート１４Ａの１つの圧力室１４Ａａについて、１つのノズル穴１６ａがそれぞれ設けられた合成樹脂（例えばポリイミド樹脂）のプレートである。なお、ノズルプレート１６は金属プレートとしてもよい。
【００３１】
積層体１４は、図３に示すように、上側から順にキャビティプレート１４Ａ、ベースプレート１４Ｂ、サプライプレート１４Ｃ、２枚のマニホールドプレート１４Ｄ，１４Ｅ、及びダンパープレート１４Ｆがそれぞれ重ねられて金属拡散接合されたものである。これら６枚のプレート１４Ａ〜１４Ｆは、ノズル穴１６ａ毎に個別にインク流路が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。キャビティプレート１４Ａは、複数の圧力室１４Ａａとして機能する開口がノズル列に対応して規則的に形成された金属プレートである。具体的に説明すると、前記複数の圧力室１４Ａａは、ノズル列に対応させて流路ユニット１１の長辺方向（インクジェットヘッド３の長辺方向と一致しており、以下では単に「Ｘ方向」という）に配列された圧力室列を形成し、さらにこの圧力室列が流路ユニット１１の短辺方向（インクジェットヘッド３の短辺方向と一致しており、以下では単に「Ｙ方向」という）にインクジェットヘッド３から吐出可能なインクの色毎に２列、本実施の形態ではブラック、シアン、マゼンダ及びイエローに対応して８列並べられている。なおこれらの圧力室列は、そこに含まれる圧力室１４Ａａが隣り合う列に含まれる圧力室１４Ａａに対してＸ方向に互いにずらして配置されており、複数の圧力室１４Ａａが千鳥状に配置されている。
【００３２】
ベースプレート１４Ｂは、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａ（共通インク室）から各圧力室１４Ａａへの連通穴１４Ｂａ及び各圧力室１４Ａａから各ノズル穴１６ａへの連通穴１４Ｂｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート１４Ｃには、それの上面に、各圧力室１４Ａａとマニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａとを連通する連通路が凹部通路として形成されるとともに、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａ（共通インク室）から各圧力室１４Ａａへの連通穴１４Ｃａ及び各圧力室１４Ａａからノズル穴１６ａへの連通穴１４Ｃｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００３３】
マニホールドプレート１４Ｄ，１４Ｅは、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａに加えて、各圧力室１４Ａａから各ノズル穴１６ａへの連通穴１４Ｄｂ，１４Ｅｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。ダンパープレート１４Ｆは、下面に凹部として形成されるダンパー室１４Ｆａのほか、各圧力室１４Ａａを各ノズル穴１６ａに連通する連通穴１４Ｆｂが設けられた金属プレートである。
【００３４】
このように、流路ユニット１１は、複数のノズル穴１６ａ、複数のノズル穴１６ａの各々に連通する複数の圧力室１４Ａａ及びこの圧力室１４Ａａに供給するインクを一時的に貯留するマニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａを備える構成とされる。
【００３５】
図４は、図２に示すインクジェットヘッド３を図２のＩＶ−ＩＶ線（後述する図５Ａにおいても示す）で切断して、一部を拡大して見た断面図である。圧電アクチュエータ１２は、矩形状に形成され、その長辺方向がＸ方向と略一致しており、また短辺方向がＹ方向に略一致している。圧電アクチュエータ１２は、図４に示すように、第１圧電層１２ａと第２圧電層１２ｂとを有する。第１圧電層１２ａは、振動板１５の一面に形成され、この第１圧電層１２ａの振動板１５と反対側の面に第２圧電層１２ｂが形成されている。このように振動板１５、第１圧電層１２ａ及び第２圧電層１２ｂを配置することで、振動板１５の上に第１圧電層１２ａ及び第２圧電層１２ｂが積層され、振動板１５上に積層型の圧電アクチュエータ１２が構成されることとなる。第１及び第２圧電層１２ａ，１２ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料（圧電シート）からなり、その厚み方向において分極している。なお振動板１５は、金属プレートで構成されているが、第１及び第２圧電層１２ｂ，１２ｃと同様に強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料（圧電シート）により構成してもよい。
【００３６】
図５Ａは、第１実施形態の圧電アクチュエータ１２から第１圧電層１２ａ及び第２圧電層１２ｂを取り除いた状態で示す平面図である。図５Ｂは、（ａ）複数の個別電極２１の形態を示す平面図、（ｂ）第１共通電極２２の形態を示す平面図、（ｃ）第２共通電極２３の形態を示す平面図である。また図６は、図５Ａの一部を拡大して示す拡大平面図である。なお図５Ａ、図５Ｂ及び図６は、圧電アクチュエータ１２から第１圧電層１２ａ及び第２圧電層１２ｂを取り除いた状態のものを第１圧電層１２ａに対して第２圧電層１２ｂが積層されている積層方向と反対の方向に見た、つまり平面視したときの平面図である。圧電アクチュエータ１２は、さらに複数の個別電極２１と、第１共通電極２２と、第２共通電極２３を備えている。各個別電極２１は、Ａｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなり、第２圧電層１２ｂの第１圧電層１２ａと反対側の面、つまり上面において、流路ユニット１１の圧力室１４Ａａの各々に対応させて配置されており、少なくとも圧力室１４Ａａと同数設けられている。具体的には、複数の個別電極２１は、対応する圧力室１４Ａａ上に配置されており、Ｘ方向に配列された個別電極列３０を構成する。この個別電極列３０は、Ｙ方向に複数（本実施の形態では８つ）並べられており、互いに隣り合う個別電極列３０は、それらに含まれる個別電極２１がＸ方向に互いにずれた状態で配置されている。その結果、複数の個別電極２１が千鳥状に配置される。
【００３７】
これら複数の個別電極２１の各々には、個別電極用端子３５が電気的に接続されている。これら複数の個別電極用端子３５は、図６に示すように個別電極２１のＹ方向一方側の辺（図５Ａ、図５Ｂ及び図６において紙面右辺）に形成されており、平面視で円形状に形成されている。フレキシブル配線板１３には、これら複数の個別電極用端子３５に対応させて図示しない複数の端子が形成されており、圧電アクチュエータ１２にフレキシブル配線板１３を貼り付けた際、前記複数の個別電極用端子３５の各々には、対応する端子が電気的に接続される。
【００３８】
フレキシブル配線板１３は、駆動信号を供給するドライバＩＣ９０（電圧印加手段）（図１（ｂ）参照）が電気的に接続される。前記ドライバＩＣ９０は、このフレキシブル配線板１３を介して、駆動信号として後述する第１定電位及び第２定電位の何れか一方の電位を圧電アクチュエータ１２の複数の個別電極２１に選択的に付与する。
【００３９】
第１共通電極２２は、Ａｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなり、第１圧電層１２ａと第２圧電層１２ｂとの間に設けられ（図４参照）、Ｘ方向に延びる複数の第１配線２２ａを有する。この複数の第１配線２２ａは、平面視で、各々の個別電極列３０のＹ方向の両脇に配置されており、互いに隣り合う個別電極列３０の間には１本の第１配線２２ａが配置され、前記隣り合う個別電極列３０が共有している。また前記複数の第１配線２２ａのＸ方向の両端部は、Ｙ方向に間隔をあけて並設された一対の第２配線２２ｂに電気的にそれぞれ接続されている。これによって第１共通電極２２の外枠は、略矩形状に形成されている。またこの一対の第２配線２２ｂは、第２圧電層１２ｂを貫通する図示しないスルーホールに充填された導電部材によりフレキシブル配線板１３を介してドライバＩＣ９０に電気的に接続されている。
【００４０】
また互いに隣り合う２つの第１配線２２ａの間には、これらを跨るように複数の第１電極用配線２２ｃが設けられている。これら複数の第１電極用配線２２ｃは、複数の個別電極２１の各々に対応して配置されるように、Ｘ方向に間隔をあけて設けられている。さらに具体的に説明すると、図６に示すように前記複数の第１電極用配線２２ｃは、平面視において、その中間部が対応する個別電極２１に重なるように配置されている。第１共通電極２２において、各第１電極用配線２２ｃの個別電極２１と重なる部分が第１定電位電極部３１を構成しており、残余の部分（ただし第２配線２２ｂも除く）が第１電極配線３２を構成している。つまり第１共通電極２２は、複数の個別電極２１と同様に、Ｘ方向に配列され、かつその列がＹ方向に並設されている複数の第１定電位電極部３１と、これら複数の第１定電位電極３１の全てと電気的に接続する第１電極配線３２とを有する。なお各第１電極用配線２２ｃのＸ方向の長さは、対応する個別電極２１のそれよりも短くなるように形成されている。そのため平面視において、第１定電位電極部３１の外形寸法は、前記対応する個別電極２１の外形寸法より小さく形成されている。
【００４１】
第２共通電極２３は、Ａｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなり、振動板１５と第１圧電層１２ａとの間に設けられている（図４参照）。第２共通電極２３は、図６に示すように、Ｘ方向に延びる複数の第２電極用配線２３ａを有する。この複数の第２電極用配線２３ａは、平面視において、各個別電極列３０が形成されている個別電極配置領域３０Ａ、つまり各個別電極列３０に含まれる各個別電極２１が形成されている領域及びこれらの領域を繋げる領域を含む個別電極配置領域３０Ａに重なるように配置されている。さらに第２共通電極２３は、図５Ａに示すように、平面視において、第１共通電極２２を四方から外囲するように配置された矩形枠状の配線２３ｂを有しており、この配線２３ｂには、第２電極用配線２３ａのＸ方向の両端部が電気的にそれぞれ接続されている。そしてこの配線２３ｂは、平面視において、第１共通電極２２と互いに重ならないように形成及び配置されており、第１及び第２圧電層１２ｂ，１２ｃを貫通する図示しないスルーホールに充填された導電部材によりフレキシブル配線板１３を介してドライバＩＣ９０に電気的に接続されている。
【００４２】
このような構成を有する第２共通電極２３は、平面視において第２電極用配線２３ａの各個別電極２１と重なる部分が第２定電位電極部３３（図６において一点鎖線で挟まれた２つの領域のうち大きい方の領域）を構成し、残余部が第２電極配線３４（図６において一点鎖線で挟まれた２つの領域のうち小さい方の領域）を構成している。つまり第２共通電極２３は、複数の個別電極２１に対応するようにＸ方向に配列され、かつその列がＹ方向に並設された複数の第２定電位電極部３３と、これら複数の第２定電位電極３３の全てと電気的に接続される第２電極配線３４とを有する。なお第２電極配線３４は、隣接する第２定電位電極３３の間に形成された部分がＸ方向に等間隔に配置されることにより、Ｘ方向に延在している。さらに具体的に説明すると、各第２電極用配線２３ａは、平面視において重なっている個別電極２１よりもＹ方向の長さが長く形成されており、第２定電位電極部３３は、平面視において対応する個別電極２１よりＸ方向及びＹ方向に一回り大きく形成されている、つまり個別電極２１より外形寸法が大きく形成されている。
【００４３】
前述のように構成された個別電極２１、第１共通電極２２及び第２共通電極２３は、図６に示すような正規の位置に順に配置されて積層される。正規の位置では、平面視において、個別電極２１のＹ方向一端とそれに隣接する第２共通電極２３のＹ方向一端との間隔と、個別電極２１のＹ方向他端とそれに隣接する第２共通電極２３のＹ方向他端との間隔とが、等しくなっている。なおこの間隔は、αμｍ（約数十μｍ）であり、好ましくは３０μｍである。また前記正規の位置では、第２共通電極２３のＹ方向一端とそれに隣接する第１配線２２ａとの間隔と、第２共通電極２３のＹ方向他端とそれに隣接する第１配線２２ａとの間隔とが、等しくなっている。なおこの間隔は、βμｍ（約数十μｍ）である。
【００４４】
各電極２１，２２，２３がこのような正規の位置に配置されることが好ましいが、個別電極２１を形成する際の位置ズレ又は焼成に伴う位置ズレが発生し、個別電極２１、第１共通電極２２及び第２共通電極２３が前記正規の位置からズレて配置されることがある。そのため前述するように第２定電位電極部３３の外形寸法を対応する個別電極２１の外形寸法より大きく形成することで、個別電極２１の形成時及び焼成時における第１及び第２定共通電極２１，３３に対する個別電極２１の位置ズレを許容することができる。以下に、図７を用いて、個別電極１２が第１共通電極２２又は第２共通電極２３に対して位置ズレした状態を説明する。
【００４５】
図７（ａ）〜（ｄ）は、個別電極２１に対し第１共通電極２２又は第２共通電極２３が正規の位置からズレて配置された状態を示す平面図である。なお図７（ａ）〜（ｄ）は、図６と同様に、圧電アクチュエータ１２から第１圧電層１２ａ及び第２圧電層１２ｂを取り除いた状態のもの平面視した平面図である。
【００４６】
図７（ａ）は、第２共通電極２３が正規の位置（二点鎖線）からＹ方向一方（図７（ａ）の紙面右方向）にズレた状態を示し、図７（ｂ）は、第２共通電極２３が正規の位置（二点鎖線）からＹ方向他方（図７（ｂ）のの紙面左方向）にズレた状態を示している。図７（ａ）に示すように、第２共通電極２３のＹ方向一方の位置ズレは、平面視で第２共通電極２３のＹ方向他端（図７（ａ）における左端）が個別電極２１のＹ方向他端（図７（ａ）における左端）と重なるまで、つまりαμｍまで許容される。また図７（ｂ）に示すように、第２共通電極２３のＹ方向他方の位置ズレもまた、同様に平面視で第２共通電極２３のＹ方向一端（図７（ｂ）における右端）が個別電極２１のＹ方向他端（図７（ｂ）における右端）と重なるまで、つまりαμｍまで許容される。
【００４７】
また図７（ｃ）は、第１共通電極２２が正規の位置（二点鎖線）からＹ方向他方（図７（ｃ）の紙面左方向）にズレた状態を示し、図７（ｄ）は、第１共通電極２２が正規の位置（二点鎖線）からＹ方向一方（図７（ｄ）の紙面右方向）にズレた状態を示している。図７（ｃ）に示すように、第１共通電極２２のＹ方向他方の位置ズレもまた許容され、その許容量は、平面視で第１配線２２ａが第２共通電極２３のＹ方向一端（図７（ｃ）における右端）と重なるまで、つまりβμｍまでである。また図７（ｄ）に示すように、第２共通電極２３のＹ方向一方の位置ズレもまた許容され、その許容量は、同様に平面視で第１配線２２ａが第２共通電極２３のＹ方向他端（図７（ｄ）における左端）と重なるまで、つまりβμｍまでである。このような個別電極１２が第１及び第２定電位電極部３１，３３に対して位置ズレを許容することができるので、前記位置ズレによって個別電極１２が第１及び第２定電位電極部３１，３３に対して部分的に重ならない部分が生じることによる製品のばらつきの発生を抑制することができる。
【００４８】
平面視において、複数の個別電極２１、複数の第１定電位電極部３１及び複数の第２定電位電極部３３は、対応する個別電極２１、第１定電位電極部３１及び第２定電位電極部３３同士が互いに重なるように配置されているが、第１電極配線３２及び第２電極配線３４は、互いに重ならないように配置されており、第１電極配線３２及び第２電極配線３４に電圧が印加されたときに第１電極配線３２と第２電極配線３４との間で浮遊容量が発生することを抑制することができる。これによって前記浮遊容量の発生に伴う発熱を抑制し、前記圧電アクチュエータ１２の発熱量を抑えることができる。
【００４９】
このように配置されている各個別電極２１には、フレキシブル配線板１３を通じて、ドライバＩＣ９０から第１定電位（正の電位であり、例えば２０Ｖ）及びそれと異なる第２定電位（グランド電位）が選択的に付与される。また第１定電位電極部３１には、ドライバＩＣ９０により第１定電位が常時付与され、第２定電位電極部３３は、第２定電位が常時付与される。
【００５０】
図４に戻って、圧電アクチュエータ１２に備わる第１及び第２の活性部Ｓ１，Ｓ２について説明する。圧電アクチュエータ１２では、第２圧電層１２ｂにおいて、各個別電極２１とこれに対応する第１定電位電極部３１との間の部分が第１の活性部Ｓ１を成し、第１及び第２圧電層１２ｂ、１２ｃにおいて、各個別電極２１とこれに対応する第２定電位電極部３３との間であって、平面視で第１の活性部Ｓ１の外側の部分が第２の活性部Ｓ２を成す。各第１の活性部Ｓ１は、流路ユニット１１の各圧力室１４Ａａに対応付けて配置されており、この対応する圧力室１４ＡａのＸ方向略中央部分に配置されている。また各第２の活性部Ｓ２は、前記各第１の活性部Ｓ１のＸ方向両側に配置されている。
【００５１】
各第１の活性部Ｓ１は、対応する個別電極２１に第２定電位を付与すると共に、対応する第１定電位電極部３３に第１定電位を付与したときに第１の活性部Ｓ１に作用する電界の方向と同じ方向（分極方向）に分極されている。他方、各第２の活性部Ｓ２は、対応する個別電極２１に第１定電位を付与すると共に、対応する第２定電位電極部３３に第２の電位を付与したときに第２の活性部Ｓ２に作用する電界の方向と同じ方向に分極されている。つまり第１及び第２の活性部Ｓ１，Ｓ２に電界が作用する方向と分極方向が同じである。
【００５２】
このように第１及び第２の活性部Ｓ１及びＳ２を分極させることで、前記ドライバＩＣ９０により何れかの個別電極２１に第１定電位を付与すると、前記個別電極とそれに対応する第１定電位電極３１とが同電位となり、これらの間に電界が発生しない。そのため第１の活性部Ｓ１は、Ｘ方向（第１の方向）及びＺ方向（Ｘ方向及びＹ方向に垂直な方向であり、第２の方向）において伸縮せず、変形しない。これに対し前記個別電極２１の電位とこれに対応する第２定電位電極３３の電位とは、異なっているため、これらの間に電界が発生する。このように電界が発生すると、圧電縦効果により第２の活性部Ｓ２がＺ方向に伸張すると共に、Ｘ方向に収縮しようとする。しかしながら第１及び第２圧電層１２ｂ，１２ｃが振動板１５により拘束されているため、第２の活性部Ｓ２が、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形する。この変形に伴って圧力室１４Ａａの容積が大きくなり、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａにインクを多く吸い込むことができる。
【００５３】
他方、前記ドライバＩＣ９０により何れかの個別電極２１に第２定電位を付与すると、第１の活性部Ｓ１は、分極方向と同じ方向に電界が作用し、圧電横効果によりＺ方向に伸張すると共に、Ｘ方向に収縮して、圧力室１４Ａａに向う方向へ突出変形しようとする。しかしながら振動板１５は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、第２圧電層１２ｂと振動板１５との間で分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じる。この歪みの差と、振動板１５がキャビティプレート１４Ａに固定されていることとが相俟って、第２圧電層１２ｂ及び振動板１５は、圧力室１４Ａａに向って凸となるように変形する（ユニモルフ変形）。このため、圧力室１４Ａａの容積が小さくなって、前記圧力室１４Ａａの圧力が上昇し、ノズル穴１６ａからインクが吐出される。
【００５４】
このとき前記個別電極２１と第２定電位電極３３とは同電位であるため、第２の活性部Ｓ２は、Ｘ方向及びＺ方向において変形せず、元の状態へと復帰する。そのため第１の活性部Ｓ１の変形による影響が、この第１の活性部Ｓ１のＸ方向側方に形成された第２の活性部Ｓ２によってキャンセルされ、隣の圧力室１４Ａａにはほとんど及ばず、クロストークが抑制される。
【００５５】
その後、前記個別電極２１を、再び第１定電位と同じ電位（グランド電位）に戻すと、前述したように、第１の活性部Ｓ１が変形せず、第２の活性部Ｓ２が圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形して、圧力室１４Ａａの容積が元の容積に戻るので、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａへとインクを吸い込むことになる。
【００５６】
このようにして構成される圧電アクチュエータ１２は、第１圧電層１２ａ及び第２圧電層１２ｂに各個別電極２１、第１共通電極２２及び第２共通電極２３を形成した後、焼成することで製造される。振動板１５と第１圧電層１２ａとの間に設けられる第２共通電極２３の第２電極用配線２３ａをストライプ状に形成することで、第２共通電極２３が設けられる領域が少なくなるので、前記焼成時における振動板１５及び第１圧電層１２ａと第２共通電極２３との線膨張係数の差に起因する前記振動板１５及び第１圧電層１２ａの反りを抑制できると共に、焼成後の圧電アクチュエータ１２の残留応力を低減することができる。また第２共通電極２３が設けられている領域を少なくすることにより、電極材の塗布量を低減することができる。
（第２実施形態）
図８は、第２実施形態の圧電アクチュエータ１１２の一部を拡大して見た拡大平面図である。図８では、隣の個別電極列３０を省略して圧電アクチュエータ１１２を示している。第２実施形態の圧電アクチュエータ１１２は、第１実施形態の圧電アクチュエータ１２と個別電極用端子１３５の形状が異なるだけで、その他の構成は同一である。そこで異なる構成についてだけ説明し、その他の構成は、同一の符号を付してその説明を省略する。個別電極用端子１３５は、個別電極２１毎に設けられている。各個別電極用端子１３５は、図８に示すように各個別電極２１のＹ方向一方側の辺（図８において紙面右辺）に形成されており、Ｙ方向一方（図８の右方）に延在する延在部分１３５ａと端子部分１３５ｂとを有する。延在部分１３５ａは、そのＹ方向一端が個別電極２１のＹ方向一方側の辺に電気的に接続され、その中間部が平面視で前記個別電極２１のＹ方向一方側に配置された第１配線２２ａを跨ぎ、他端が前記第１配線２２ａの外側に配置されている。そしてこの延在部１３５ａの他端に平面視で円形状に形成された端子部分１３５ｂが形成されている。各端子部分１３５ｂに対応するように、フレキシブル配線板１３の複数の端子が形成されており、圧電アクチュエータ１１２にフレキシブル配線板１３を貼り付けた際、前記複数の個別電極用端子１３５の各々には、対応する端子が電気的に接続される。
【００５７】
このように構成された圧電アクチュエータ１１２は、個別電極用端子１３５において、平面視で第１電極配線３２と重なるのが延在部分１３５ａとなり、個別電極用端子１３５と第１配線３２とが重なる領域を減少させることができる。これにより個別電極用端子１３５と第１電極配線３２との間で発生する浮遊容量を抑制することができる。これによって前記浮遊容量の発生に伴う発熱を抑制し、前記圧電アクチュエータ１１２の発熱量を抑えることができる。
（第３実施形態）
図９は、第３実施形態の圧電アクチュエータ２１２の一部を拡大して見た拡大平面図である。図９でもまた、隣の個別電極列３０を省略して圧電アクチュエータ２１２を示している。第３実施形態の圧電アクチュエータ２１２は、第２実施形態の圧電アクチュエータ１１２と第１共通電極２２２の形状が異なるだけで、その他の構成は同一である。そこで異なる構成についてだけ説明し、その他の構成は、同一の符号を付してその説明を省略する。第１実施形態の第１共通電極２２では、第１定電位電極３１が個別電極列３０の両脇に配置された２本の第１配線２２ａに電気的に接続されているのに対し、第３実施形態の第１共通電極２２２では、第１定電位電極部３１が個別電極列３０の両脇の何れか一方に配置された第１配線２２ａ（本実施の形態では、個別電極列３０のＹ方向他方側の第１配線２２ａであり、図９において紙面左側の第１配線２２ａ）だけに接続されるように構成されている。つまり第１共通電極２２２では、個別電極列３０の両脇のうち一方の脇にだけ第１配線２２ａが配置されている。
【００５８】
このように第１共通電極２２を形成することで、平面視において、個別電極列３０のＹ方向一方側の第１配線２２ａを個別電極列３０からＹ方向に離して形成することができ、これによって個別電極列３０の両脇のうち他方の脇に配置された個別電極用端子１３５を第１配線２２ａに重ならないように配置することができる。このように配置することで個別電極用端子１３５と第１電極配線３２との間で発生する浮遊容量を抑制することができる。これによって前記浮遊容量の発生に伴う発熱を抑制し、前記圧電アクチュエータ２１２の発熱量を抑えることができる。
（第４実施形態）
図１０は、第４実施形態の圧電アクチュエータ３１２の一部を拡大して見た拡大平面図である。図１０でもまた、隣の個別電極列３０を省略して圧電アクチュエータ２１２を示している。第４実施形態の圧電アクチュエータ３１２は、第２実施形態の圧電アクチュエータ１１２と第２共通電極３２３の形状が異なる、具体的には第２電極配線３３４の形状が異なるだけで、その他の構成は同一である。異なる構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。第２電極配線３３４は、そのＹ方向中間部において導電部材が塗布されていない非導通部分３３４ａを有している。そのため非導通部分３３４ａのＹ方向両側に形成された２つの導通部分３３４ｂのＹ方向の長さ（Ｙ方向の領域）の総和は、第２定電位電極部３３のＹ方向の長さ（Ｙ方向の領域）よりも小さくなっている。このように形成することで、さらに第２共通電極４２３が設けられる領域を小さくすることができ、焼成時における振動板１５及び第１圧電層１２ａの反りをさらに抑制できると共に、焼成後の圧電アクチュエータ１２の残留応力をさらに低減することができる。
【００５９】
（第５実施形態）
図１１は、第５実施形態の圧電アクチュエータ４１２の一部を拡大して見た拡大平面図である。図１１でもまた、隣の個別電極列３０を省略して圧電アクチュエータ４１２を示している。第５実施形態の圧電アクチュエータ４１２は、第４の実施形態同様に第２実施形態の圧電アクチュエータ１１２と第２共通電極４２３の形状が異なる、具体的には第２電極配線４３４の形状が異なるだけで、その他の構成は同一である。異なる構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。第２電極配線４３４は、そのＹ方向の長さ（Ｙ方向の領域）が第２定電位電極部３３のＹ方向の長さ（Ｙ方向の領域）よりも短く、互いにＸ方向に隣り合う第２定電位電極部３３のＹ方向中間部に電気的に接続されている。このように形成することで、さらに第２共通電極４２３が設けられる領域を小さくすることができ、焼成時における振動板１５及び第１圧電層１２ａの反りをさらに抑制できると共に、焼成後の圧電アクチュエータ１２の残留応力をさらに低減することができる。
（第６実施形態）
図１２は、第６実施形態の圧電アクチュエータ５１２の一部を拡大して見た拡大平面図である。図１２でもまた、隣の個別電極列３０を省略して圧電アクチュエータ５１２を示している。第６実施形態の圧電アクチュエータ５１２は、第３実施形態の圧電アクチュエータ２１２と第２共通電極５２３の形状が異なる、具体的には第２電極配線５３４の形状が異なるだけで、その他の構成は同一である。異なる構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。第２電極配線５３４は、Ｘ方向に延在している。前記各第２電極配線５３４は、各個別電極列３０の両脇のうち他方の脇に対応させて配置されており、平面視において対応する個別電極列３０が形成された個別電極列配置領域３０Ａ内にある複数の第２定電位電極３３全てに電気的に接続されている。このように配置することによっても、第１電極配線３２と第２電極配線５３４とが平面視で重ならないように配置することができ、第１電極配線３２と第２電極配線５３４との間で発生する浮遊容量を抑制することとができる。これによって前記浮遊容量の発生に伴う発熱を抑制し、前記圧電アクチュエータ２１２の発熱量を抑えることができる。
【００６０】
本実施の形態では、振動板１５のキャビティプレート１４Ａが設けられている面と反対側面に第１圧電層１２ａが設けられているけれども、振動板１５と第１圧電層１２ａとの間に振動板１５に含まれる金属材料が第１圧電層１２ａに拡散することを防ぐための拡散防止層を設けてもよい。
【００６１】
第１乃至第６実施形態では、本発明の圧電アクチュエータ１２をインクジェットヘッド３に適用した場合について説明しているけれども、液体を吐出するマイクロポンプ等に適用してもよく、駆動電圧を与えて微小変形させる圧電アクチュエータを必要とする装置に適用することで、同様の作用効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明に係る圧電アクチュエータは、焼成時の圧電層の反り及び焼成後の圧電層の残留応力が小さく、かつ発熱量が小さくすることができる優れた効果を有し、駆動信号を与えて微小変形を生じさせるものに適用すると有益である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】（ａ）は本発明にかかるインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）の概略構成を示す概略構成図、（ｂ）は本発明にかかるキャビティユニット、圧電アクチュエータ及びフレキシブル配線板（ＣＯＰ）の関係を示す説明図である。
【図２】流路ユニットの上側に圧電アクチュエータを貼り付けた状態を示す斜視図である。
【図３】流路ユニットに含まれる積層体を、構成要素である各プレートに分解し、それらをトッププレート共に示す図である。
【図４】図２に示すインクジェットヘッドを図２のＩＶ−ＩＶ線で切断して、一部を拡大して見た断面図である。
【図５Ａ】第１実施形態の圧電アクチュエータから第１圧電層及び第２圧電層を取り除いた状態で示す平面図である。
【図５Ｂ】（ａ）複数の個別電極の形態を示す平面図、（ｂ）第１共通電極の形態を示す平面図、（ｃ）第２共通電極の形態を示す平面図である。
【図６】図５Ａの一部を拡大して示す拡大平面図である。
【図７（ａ）】第２共通電極が正規の位置（二点鎖線）からＹ方向一方（図７（ａ）の紙面右方向）にズレた状態を示す平面図である。
【図７（ｂ）】第２共通電極が正規の位置（二点鎖線）からＹ方向他方（図７（ｂ）のの紙面左方向）にズレた状態を示す平面図である。
【図７（ｃ）】第１共通電極が正規の位置（二点鎖線）からＹ方向他方（図７（ｃ）の紙面左方向）にズレた状態を示す平面図である。
【図７（ｄ）】第１共通電極が正規の位置（二点鎖線）からＹ方向一方（図７（ｄ）の紙面右方向）にズレた状態を示す平面図である。
【図８】第２実施形態の圧電アクチュエータの一部を拡大して見た拡大平面図である。
【図９】第３実施形態の圧電アクチュエータの一部を拡大して見た拡大平面図である。
【図１０】第４実施形態の圧電アクチュエータの一部を拡大して見た拡大平面図である。
【図１１】第５実施形態の圧電アクチュエータの一部を拡大して見た拡大平面図である。
【図１２】第６実施形態の圧電アクチュエータの一部を拡大して見た拡大平面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１２，１１２，２１２，３１２，４１２，５１２  圧電アクチュエータ
１２ａ  第１圧電層
１２ｂ  第２圧電層
１５  振動板
２１  個別電極
２２，２２２  第１共通電極
２３，３２３，４２３，５２３  第２共通電極
３０  個別電極列
３０Ａ  個別電極配置領域
３１  第１定電位電極部
３２  第１電極配線
３３  第２定電位電極部
３４，３３４，４３４，５３４  第２電極配線
３５，１３５  電極用端子
９０  ドライバＩＣ
Ｓ１  第１の活性部
Ｓ２  第２の活性部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７（ａ）】
0004973470.tif 000009
【図７（ｂ）】
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【図７（ｃ）】
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【図７（ｄ）】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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