(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板処理ユニットと、
前記第１基板処理ユニットの近傍に設けられる第２基板処理ユニットと、
前記第１基板処理ユニットと前記第２基板処理ユニットとを連結する連結機構と
を具備し、
前記連結機構は、
第１部材と第２部材とを連結するものであって、
前記第１部材に接続され、板状に形成され、第１凸部を有する第１ブラケットと、
前記第２部材に接続され、板状に形成され、前記第１ブラケットに当接され、第２凸部を有する第２ブラケットと、
前記第１凸部と前記第２凸部とに係合するように、前記第１ブラケットと前記第２ブラケットとを連結する連結部材と
を有し、
前記第１ブラケットは、前記第２ブラケットに当接する第１当接面を有し、
前記第２ブラケットは、前記第１ブラケットに当接する第２当接面を有し、
前記第１凸部は、前記第１ブラケットのうち前記第１当接面の一部を構成し、
前記第２凸部は、前記第２ブラケットのうち前記第２当接面の一部を構成し、
前記第１凸部及び前記第２凸部は、前記第１基板処理ユニットと前記第２基板処理ユニットとが連結する第一方向に対して直交する第二方向に突出するように形成されており、
前記第１当接面には、前記第二方向視において半円状の第１凹部が形成されており、
前記第２当接面には、前記第二方向視において半円状の第２凹部が形成されており、
前記第１凹部及び前記第２凹部は、前記第１当接面と前記第２当接面とが当接した状態で、前記第二方向視において円形の貫通部を構成するように形成されており、
前記連結機構は、前記第１凸部及び前記第２凸部のそれぞれを前記第１ブラケットと前記第２ブラケットの当接部分側に押圧するように、前記第１凸部及び前記第２凸部に係合するものであり、
前記貫通部は、前記第１ブラケットと前記第２ブラケットとの当接部分において前記第１ブラケットと前記第２ブラケットとを固定するためのボルトを前記第二方向に貫通させるものであり、
前記連結部材は、前記ボルトに対応するナットである
基板処理装置。
【請求項２】
前記第１凸部は、突出方向の端部に至るにつれて徐々に前記第１当接面側に幅が小さくなるように形成されており、
前記第２凸部は、突出方向の端部に至るにつれて徐々に前記第２当接面側に幅が小さくなるように形成されている
請求項１に記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のユニット同士が連結されて構成される装置においては、当該複数のユニット同士を連結する構成として、例えば各ユニットにブラケットをそれぞれ接続させ、当該ブラケット同士をボルトで固定する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。ブラケットをボルトで固定する場合には、例えば、ブラケットの一部を平面視で重なるように配置し、１本又は複数本のボルトによって上下のブラケットを固定する構成が一般的である。
【特許文献１】特開２００２−３９９１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、ボルトによってブラケットを上下に固定する際には、ボルトが１本の場合、当該ボルト軸の回転方向に対する連結強度が低くなるため、ブラケットがずれてしまう虞がある。また、ボルトが複数本の場合、全部のボルトを取り付けるのに時間が掛かってしまう上、当該ボルトの取り付けスペースを確保する必要がある。
【０００４】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、連結強度が高く、対象となる物体同士を短時間で連結することが可能であり、連結部分の省スペース化を図ることが可能な基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明に係る連結機構は、第１部材と第２部材とを連結する連結機構であって、前記第１部材に接続され、第１凸部を有する第１ブラケットと、前記第２部材に接続され、前記第１ブラケットに当接され、第２凸部を有する第２ブラケットと、前記第１凸部と前記第２凸部とに係合するように、前記第１ブラケットと前記第２ブラケットとを連結する連結部材とを具備することを特徴とする。
【０００６】
本発明によれば、第１ブラケットと第２ブラケットとの間を連結する連結部材が、第１部材に接続される第１ブラケットに設けられた第１凸部と、第２部材に接続される第２ブラケットに設けられた第２凸部とに係合するように設けられているので、各凸部を介して第１ブラケットと第２ブラケットとを高い連結強度で連結することができる。また、第１凸部と第２凸部とに連結部材を係合させることで第１ブラケットと第２ブラケットとを連結させることができるので、短時間で連結することが可能となる。さらに、連結部材が各凸部に係合するだけのスペースがあれば済むため、連結部分の省スペース化が可能となる。
【０００７】
上記の連結機構は、前記連結部材が、前記第１凸部及び前記第２凸部のそれぞれを前記第１ブラケットと前記第２ブラケットの当接部分側に押圧するように、前記第１凸部及び前記第２凸部に係合することを特徴とする。  
本発明によれば、連結部材が、第１凸部及び第２凸部のそれぞれを第１ブラケットと第２ブラケットの当接部分側に押圧するように各凸部に係合することとしたので、第１ブラケットと第２ブラケットとを、より強固に連結することができる。
【０００８】
上記の連結機構は、前記第１ブラケットと前記第２ブラケットとの当接部分には、当該第１ブラケットと当該第２ブラケットとを固定するためのボルトを貫通させる貫通部が設けられており、前記ボルトに対応するナットが前記連結部材であることを特徴とする。  
本発明によれば、第１ブラケットと第２ブラケットとの当接部分には、当該第１ブラケットと当該第２ブラケットとを固定するためのボルトを貫通させる貫通部が設けられており、このボルトに対応するナットが上記の連結部材であることとしたので、このナットが第１凸部と第２凸部とに係合することになる。ボルトが１本でも十分な連結強度を有することとなるため、従来の連結強度を維持しつつ、短時間で連結することが可能となる。また、連結部分の省スペース化を図ることが可能であり、簡単な構成の連結機構を得ることができる。また、ナットの締め具合に応じて連結強度を調節することも可能となる。
【０００９】
本発明に係る基板処理装置は、第１基板処理ユニットと、前記第１基板処理ユニットの近傍に設けられる第２基板処理ユニットと、前記第１基板処理ユニットと前記第２基板処理ユニットとを連結する連結機構とを具備し、前記連結機構は、第１部材と第２部材とを連結するものであって、前記第１部材に接続され、板状に形成され、第１凸部を有する第１ブラケットと、前記第２部材に接続され、板状に形成され、前記第１ブラケットに当接され、第２凸部を有する第２ブラケットと、前記第１凸部と前記第２凸部とに係合するように、前記第１ブラケットと前記第２ブラケットとを連結する連結部材とを有し、前記第１ブラケットは、前記第２ブラケットに当接する第１当接面を有し、前記第２ブラケットは、前記第１ブラケットに当接する第２当接面を有し、前記第１凸部は、前記第１ブラケットのうち前記第１当接面の一部を構成し、前記第２凸部は、前記第２ブラケットのうち前記第２当接面の一部を構成し、前記第１凸部及び前記第２凸部は、前記第１基板処理ユニットと前記第２基板処理ユニットとが連結する第一方向に対して直交する第二方向に突出するように形成されており、前記第１当接面には、前記第二方向視において半円状の第１凹部が形成されており、前記第２当接面には、前記第二方向視において半円状の第２凹部が形成されており、前記第１凹部及び前記第２凹部は、前記第１当接面と前記第２当接面とが当接した状態で、前記第二方向視において円形の貫通部を構成するように形成されており、前記連結機構は、前記第１凸部及び前記第２凸部のそれぞれを前記第１ブラケットと前記第２ブラケットの当接部分側に押圧するように、前記第１凸部及び前記第２凸部に係合するものであり、前記貫通部は、前記第１ブラケットと前記第２ブラケットとの当接部分において前記第１ブラケットと前記第２ブラケットとを固定するためのボルトを前記第二方向に貫通させるものであり、前記連結部材は、前記ボルトに対応するナットであることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、第１基板処理ユニットと、第１基板処理ユニットの近傍に設けられる第２基板処理ユニットと、前記第１基板処理ユニットと前記第２基板処理ユニットとを連結する上記の連結機構とを具備することとしたので、基板処理装置の連結部分においては、連結強度が高く、第１基板処理ユニットと第２基板処理ユニットとを短時間で連結することが可能であり、連結部分を省スペースすることができるという利点がある。
【発明の効果】
【００１１】
第１ブラケットと第２ブラケットとの間を連結する連結部材が、第１部材に接続される第１ブラケットに設けられた第１凸部と、第２部材に接続される第２ブラケットに設けられた第２凸部とに係合するように設けられているので、各凸部を介して第１ブラケットと第２ブラケットとを高い連結強度で連結することができる。また、第１凸部と第２凸部とに連結部材を係合させることで第１ブラケットと第２ブラケットとを連結させることができるので、短時間で連結することが可能となる。さらに、連結部材が各凸部に係合するだけのスペースがあれば済むため、連結部分の省スペース化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
［第１実施形態］  
本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。  
図１は、本実施形態に係る基板処理装置１００の構成を示す平面図である。  
同図に示すように、基板処理装置１００は、連結機構１によって第１処理ユニット（第１部材）２と第２処理ユニット（第２部材）３とが連結された構成になっている。連結機構１は、第１ブラケット４と、第２ブラケット５と、ボルト７と、ナット（連結部材）８とを主たる構成要素としている。この連結機構１は、第１ブラケット４と第２ブラケット５とが当接しており、この当接部分においてボルト７及びナット８によって連結された構成になっている。
【００１３】
第１ブラケット４及び第２ブラケット５は、平面視矩形の板状部材である。第１ブラケット４及び第２ブラケット５は、それぞれ当接面４ｆ及び５ｆを有しており、この当接面４ｆと当接面５ｆとが当接した状態で連結されている。第１ブラケット４及び第２ブラケット５には、連結方向（図中横方向）に対して直交する方向（図中縦方向）の両側にそれぞれ凸部４ａ及び凸部５ａが設けられている。
【００１４】
凸部４ａは、第１ブラケット４の図中上下の辺に対して突出するように設けられており、一方の面が当接面４ｆの一部となっている。この凸部４ａは、当接面４ｆの図中縦方向の端部に至るにつれて徐々に当接面４ｆ側に幅（図中横方向の寸法）が小さくなるように形成されている。
【００１５】
凸部５ａは、第２ブラケット５の図中上下の辺に対して突出するように設けられており、一方の面が当接面５ｆの一部となっている。この凸部５ａは、当接面５ｆの図中縦方向の端部に至るにつれて徐々に当接面５ｆ側に幅（図中横方向の寸法）が小さくなるように形成されている。当該両側の凸部４ａ及び凸部５ａの間にはボルト７を貫通させる貫通部６が形成されている。
【００１６】
ボルト７は、例えばヘッド７ａとネジ部７ｂとからなる六角ボルトであり、ネジ部７ｂが貫通部６を貫通するように設けられている。ネジ部７ｂには、図示しないネジ山が設けられている。  
ナット８は、ボルト７のネジ部７ｂに２つ設けられており、それぞれネジ部７ｂの軸方向の両側の凸部４ａ及び凸部５ａに係合するように設けられている。
【００１７】
図２は、第１ブラケット４及び第２ブラケット５の構成を示す分解斜視図である。図３は、第１ブラケット４及び第２ブラケット５を当接させたときの正面構成を示す図である。図４は、第１ブラケット４及び第２ブラケット５を当接させたときの平面構成を示す図である。
【００１８】
図２及び図３に示すように、第１ブラケット４は、第２ブラケット５との当接部分において、凹部４ｂを有している。また、第２ブラケット５は、第１ブラケット４との当接部分において、凹部５ｂを有している。凹部４ｂ及び凹部５ｂは、図３に示すように、正面視でそれぞれ半円状に形成されており、第１ブラケット４と第２ブラケット５とを当接させたときに正面視で円形の貫通部６を構成するように形成されている。
【００１９】
図５は、ナット８の構成を示す斜視図である。図６は、ナット８の平面構成を示す図である。図７は、ナット８の正面構成を示す図である。  
図５に示すように、ナット８は、例えば立方体又は直方体形状の部材であり、その一面には凹部８ａと、貫通孔８ｂとが設けられている。凹部８ａは、上記第１ブラケット４の凸部４ａと第２ブラケット５の凸部５ａとが当接して形成される突出部分の形状、すなわち、ここでは台形の形状に対応する形状を有している。ナット８を凸部４ａ及び凸部５ａに係合させることによって、当該凸部４ａと凸部５ａとの間を固定すると共に、凸部４ａ及び凸部５ａを当接面４ｆ及び５ａ側へ押圧するようになっている（図中矢印で示す）。この押圧する力によって、図１の平面上を回転方向に移動するのを抑えることができるようになっている。
【００２０】
貫通孔８ｂは、上記のボルト７のネジ部７ｂを貫通させる部分である。貫通孔８ｂには、図６及び図７に示すように、ネジ山８ｃが設けられている（図５では、ネジ山８ｃの図示を省略している）。ネジ山８ｃは、上記のボルト７のネジ部７ｂに形成されたネジ山（図示せず）に対応しており、ボルト７とナット８とが螺合されるようになっている。なお、２つのナット８のうち、ボルト７のヘッド７ａ側のナット８にはネジ山８ｃを設けず、他方のナット８にのみネジ山を設けるようにしても構わない。
【００２１】
このように、本実施形態によれば、第１ブラケット４と第２ブラケット５との間を連結する連結部材が、第１ブラケット４に設けられた凸部４ａと、第２ブラケット５に設けられた凸部５とに係合するように設けられているので、各凸部４ａ及び５ａを介して第１ブラケット４と第２ブラケット５とを高い連結強度で連結することができる。また、凸部４ａ及び５ａに連結部材を係合させることで第１ブラケット４と第２ブラケット５とを連結させることができるので、短時間で連結することが可能となる。さらに、連結部材が各凸部４ａ及び５ａに係合するだけのスペースがあれば済むため、連結部分の省スペース化が可能となる。
【００２２】
また、本実施形態によれば、連結部材が、第１ブラケット４の凸部４ａ及び第２ブラケット５の凸部５ａのそれぞれを第１ブラケット４と第２ブラケット５の当接部分側に押圧するように各凸部４ａ、５ａに係合することとしたので、第１ブラケット４と第２ブラケット５とを、より強固に連結することができる。
【００２３】
また、第１ブラケット４と第２ブラケット５との当接面４ｆ及び５ｃに、当該第１ブラケット４と当該第２ブラケット５とを固定するためのボルトを貫通させる貫通部６が設けられており、このボルトに対応するナット８が上記の連結部材であることとしたので、このナット８が第１ブラケット４の凸部４ａと第２ブラケット５の凸部５ａとに係合することになる。これにより、ボルト７が１本でも十分な連結強度を有することとなるため、従来の連結強度を維持しつつ、かつ、短時間で連結することが可能となる。また、連結部分の省スペース化を図ることが可能であり、簡単な構成の連結機構１を得ることができる。また、ナット８の締め具合に応じて連結強度を調節することも可能となる。
【００２４】
［第２実施形態］  
次に、本発明の第２実施形態を説明する。  
図８は、本実施形態に係る基板処理装置２００の平面構成を示す図である。図９は、図８におけるＡ−Ａ断面に沿った構成を示す図である。本実施形態では、連結機構の構成、特にボルト、ナット及び連結部材の構成が第１実施形態とは構成が異なっている。他の構成、例えば第１ブラケットや第２ブラケット、各ブラケットの凸部などの構成は、第１実施形態と同様である。
【００２５】
第１実施形態との相違点を具体的に説明する。  
図８に示すように、連結機構１１は、第１ユニット１２に接続された第１ブラケット１４と、第２ユニット１３に接続された第２ブラケット１５と、棒部材１６と、ナット１７と、連結部材１８とを主たる構成要素としている。第１ブラケット１４及び第２ブラケット１５には、第１実施形態と同様に、連結方向に直交する方向の両側の端部にそれぞれ凸部１４ａ及び凸部１５ａが設けられている。この両側に設けられた凸部１４ａ及び凸部１５ａは、それぞれ連結部材１８によって連結された構成になっている。
【００２６】
棒部材１６は、図９に示すように、第１ブラケット１４及び第２ブラケット１５の表面側及び裏面側にそれぞれ１本ずつ設けられており、連結部材１８を貫通するように設けられている。棒部材１６のうち連結部材１８を貫通する部分及びその近傍には、図示しないネジ山が形成されている。ナット１７は、棒部材１６のネジ山に対応するネジ山が形成されており、各連結部材１８の外側（棒部材１６の先端側）にそれぞれ設けられている。２つのナット１７によって連結部材１８を挟むように、当該２つの連結部材１８を固定している。
【００２７】
図１０は、本実施形態に係る連結部材１８の構成を示す斜視図である。  
連結部材１８は、例えば直方体形状の部材であり、その一面には自身の長手方向に沿って凹部１８ａが設けられている。凹部１８ａの底面１８ｂには、自身を貫通する貫通孔１８ｃが設けられている。貫通孔１８ｃには、上記の棒部材１６が貫通するようになっている。図９に示すように、連結部材１８は、凸部１４ａ及び凸部１５ａに係合させた状態で、２つの貫通孔１８ｃがそれぞれ第１ブラケット１４及び第２ブラケット１５の表面上に露出するようになっている。
【００２８】
このように、本実施形態によれば、第１ブラケット１４及び第２ブラケット１５自身に貫通部を形成せずに、この第１ブラケット１４及び第２ブラケット１５の表面上に棒部材１６を配置することとしたので、第１ブラケット１４及び第２ブラケット１５の構成を簡単なものにすることができる。
【００２９】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。  
第１実施形態の変形例としては、ナット８の凹部８ａの平面形状が凸部４ａ及び凸部５ａに沿った形状ではなく、例えば図１１に示すように、凹部８ａの平面形状が矩形となるようにしてもよい。このような構成によれば、凸部４ａ及び凸部５ａの形状に沿った形状とする場合に比べて、容易に凹部８ａを設計することができる。この場合、図１１に示すように、ナット８の凹部８ａについては、凸部４ａ及び凸部５ａとの接触部分を、当該凸部４ａ及び凸部５ａの面に沿って角を落とした構成にすることが好ましい。これにより、凸部４ａ及び凸部５ａが損傷を受けるのを防ぐことができる。
【００３０】
また、第１実施形態の他の変形例としては、例えば図１２に示すように、凸部４ａ及び凸部５ａの形状を平面視で矩形の形状とし、ナット８の凹部８ａを断面視で深さ方向に幅が徐々に小さくなるような形状としても良い。このような構成によれば、凸部４ａ及び凸部５ａの形状を先細りの形状にする場合に比べて、容易に第１ブラケット４及び第２ブラケット５を設計することができる。この場合には、図１２に示すように、凸部４ａ及び凸部５ａについては、凹部８ａとの接触部分を、当該凹部８ａの面に沿って角を落とした構成にすることが好ましい。これにより、凹部８ａが損傷を受けるのを防ぐことができる。
【００３１】
また、第１実施形態の他の変形例としては、例えば２つのナット８のうちボルト７のネジ部７ｂに設けられるナット８（ヘッド７ａ側に設けられない方のナット８）を更に固定するため、当該ナット８の外側に別のナットを設ける二重ナットの構成にしても構わない。
【００３２】
また、第１実施形態の他の変形例としては、ナット８の貫通孔８ｂにネジ山８ｃを設けずに単なる連結部材とし、当該連結部材を固定するナットを別途設けるようにしても構わない。
【００３３】
第２実施形態の変形例としては、連結部材１８の凹部１８ａの底面１８ｂに貫通孔１８ｃを設けるのではなく、例えば図１３及び図１５に示すように、連結部材１８のうち凹部１８ａの両側の部分１８ｄに貫通孔１８ｃを設ける構成としても構わない。また、連結方向に対して垂直方向の両側の連結部材１８を１つの棒部材１６によって固定するのではなく、各貫通孔１８ｃについてそれぞれ１つの棒部材１６及び２つのナット１７を用いて固定する構成であっても構わない。
【００３４】
この場合、例えば図１４（図１３のＢ−Ｂ断面に沿った構成を示す図）に示すように、第１ブラケット１４及び第２ブラケット１５の表面に固定端１９をそれぞれ設けるようにし、固定端１９には棒部材１６を貫通させる貫通孔を形成する。各棒部材１６には、連結部材１８、固定端１９及びその近傍にネジ山を形成しておき、連結部材１８と固定端１９との間をそれぞれ挟むように固定することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の構成を示す図。
【図２】第１実施形態に係るブラケットの構成を示す分解斜視図。
【図３】第１実施形態に係るブラケットの構成を示す正面図。
【図４】第１実施形態に係るブラケットの構成を示す平面図。
【図５】第１実施形態に係るナットの構成を示す斜視図。
【図６】第１実施形態に係るナットの構成を示す正面図。
【図７】第１実施形態に係るナットの構成を示す平面図。
【図８】本発明の第２実施形態に係る基板処理装置の構成を示す図。
【図９】第２実施形態に係る基板処理装置の構成を示す断面図。
【図１０】第２実施形態に係る連結部材の構成を示す斜視図。
【図１１】本発明に係る連結部分の構成を示す平面図。
【図１２】本発明に係る連結部分の他の構成を示す平面図。
【図１３】本発明に係る基板処理装置の他の構成を示す図。
【図１４】本発明に係る基板処理装置の他の構成を示す断面図。
【図１５】本発明に係る連結部材の他の構成を示す斜視図。
【符号の説明】
【００３６】
１、１１…連結機構  ４、１４…第１ブラケット  ５、１５…第２ブラケット  ６…貫通部  ７…ボルト  ８、１７…ナット  １６…棒部材  １８…連結部材  １９…固定端  １００、２００…基板処理装置
【図１】
0004973346.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0004973346.tif 000011
【図１１】
0004973346.tif 000012
【図１２】
0004973346.tif 000013
【図１３】
0004973346.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
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