(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
眼鏡レンズの研磨に用いる粘弾性体製研磨パッドの加圧による経時的変化を測定する眼鏡レンズ研磨用研磨パッドの粘弾性測定装置において、
前記研磨パッドに印加する荷重の保持時間をパラメータとして含む予め定められた負荷パターンを設定するコントローラと、
前記研磨パッドに前記荷重を加え、一定時間加圧した後は前記負荷パターンにしたがって前記研磨パッドの初期の回復速度より速い速度で加圧状態を解除する加圧手段と、
前記加圧手段の加圧による前記研磨パッドの経時的変化を測定する変位測定手段とを備え、
前記加圧手段を、下面に複数の球体を有しかつ前記研磨パッドの上に載せられた圧子と、この圧子の上面に下端部が接触するシリンダロッドを有するメタルシールタイプの低摩擦エアシリンダとによって構成し、
前記負荷パターンの加圧開始から所定の荷重に達するまでの時間と、加圧解除開始から前記荷重が零になるまでの時間を、眼鏡レンズの研磨時に研磨パッドが眼鏡レンズに対して接触、離間する時間間隔である０．１〜０．１５秒以下の範囲内にそれぞれ設定し、
前記シリンダロッドを前記範囲内で下降させることにより前記荷重の印加を行い、前記一定時間が経過した後、前記シリンダロッドを前記範囲内であって前記研磨パッドの初期の回復速度より速い速度で前記圧子から離間させることにより前記荷重の解除を行なうことを特徴とする眼鏡レンズ研磨用研磨パッドの粘弾性測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の眼鏡レンズ研磨用研磨パッドの粘弾性測定装置において、
前記エアシリンダは、シリンダロッドを上昇復帰させるクイックエキゾーストバルブを備えていることを特徴とする眼鏡レンズ研磨用研磨パッドの粘弾性測定装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の眼鏡レンズ研磨用研磨パッドの粘弾性測定装置において、
前記エアシリンダは、圧力を制御するレギュレータを備えていることを特徴とする眼鏡レンズ研磨用研磨パッドの粘弾性測定装置。
【請求項４】
眼鏡レンズの研磨に用いる粘弾性体製研磨パッドの加圧による経時的変化を測定する眼鏡レンズ研磨用研磨パッドの粘弾性測定装置において、
前記研磨パッドに印加する荷重の保持時間をパラメータとして含む予め定められた負荷パターンを設定するコントローラと、
前記研磨パッドに前記荷重を加え、一定時間加圧した後は前記負荷パターンにしたがって前記研磨パッドの初期の回復速度より速い速度で加圧状態を解除する加圧手段と、
前記加圧手段の加圧による前記研磨パッドの経時的変化を測定する変位測定手段とを備え、
前記加圧手段を、下面に複数の球体を有しかつ前記研磨パッドの上に載せられた圧子と、この圧子を上方から押圧する押圧部材が出力軸に取付けられた直流型コアレスモータとによって構成し、
前記負荷パターンの加圧開始から所定の荷重に達するまでの時間と、加圧解除開始から前記荷重が零になるまでの時間を、眼鏡レンズの研磨時に研磨パッドが眼鏡レンズに対して接触、離間する時間間隔である０．１〜０．１５秒以下の範囲内にそれぞれ設定し、
前記押圧部材を前記範囲内で下降させることにより前記荷重の印加を行い、前記一定時間が経過した後、前記押圧部材を前記範囲内であって前記研磨パッドの初期の回復速度より速い速度で前記圧子から離間させることにより前記荷重の解除を行なうことを特徴とする眼鏡レンズ研磨用研磨パッドの粘弾性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物である粘弾性体の粘弾性を測定する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
測定対象物である粘弾性体としては、羊毛、パン生地、皮膚、合成繊維、研磨パッド等を挙げることができる。このような粘弾性体は、一定の荷重が加えられると、図５に示すような時間−変位曲線（クリープ曲線ともいう）を示す。すなわち、一定の荷重が加えられると、粘弾性体は時間の経過とともに徐々に圧縮変形し、一定時間（Ｔ1 ）が経過した後、荷重を取り除くと、元の形状には戻らないが、徐々に戻り始める特性を有している。このときの最大の変位量Ｍを沈込量、元に戻る量Ｎを復元量、元に戻らなかった量Ｐを永久変形量と呼ぶ。Ｕ1 、Ｕ2 は加圧時と加圧解除時の瞬間弾性、Ｖ1 、Ｖ2 は同じく加圧時と加圧解除時の遅延弾性、ｔ1 、ｔ2 は遅延時間、ａは粘性値、Ｔ1 は加圧時間、Ｔ2 は加圧解除後から測定終了までの時間を表している。そして、得られたクリープ曲線から永久変形量Ｐ、復元量Ｎ、瞬間弾性Ｕ1 、Ｕ2 、遅延弾性Ｖ1 、Ｖ2 、遅延時間ｔ1 、ｔ2 、粘性値ａを粘弾性体の評価指標としている。なお、このようなクリープ曲線を示す物体をレオロジー物体（流動物体）と呼んでいる。また、クリープ曲線は、図６に示すようなそれぞれ２つからなるばねＢ1 、Ｂ2 とダンパーＤ1 、Ｄ2 とを組合わせた線形粘弾性モデル（四要素モデル）に当てはまる。
【０００３】
ところで、現在、眼鏡レンズの研磨に使用される研磨パッドとしては、研磨性、研磨時間、耐久性等に優れていることが要求されるが、天然の素材（羊毛）を用いているためばらつきが大きい。研磨パッドを評価する際、従来は作業者が上記特性を経験的に捉えているため、作業者によって評価が一定せず、研磨作業に支障をきたす一因となっていた。このため、パッドの特性を科学的に解析して評価し、レンズの研磨の最適化を図る必要がある。
【０００４】
このような粘弾性体の粘弾性特性を測定する装置としては、例えば特許文献１〜４に開示されている。
【０００５】
特許文献１に記載されている弾性率測定装置は、エアシリンダによって複数個のセンサをウエハ加工時の圧力と同じ加圧力で研磨布に加圧し、そのときの研磨布の変位量を測定して弾性率を求め、この弾性率と予め求めておいた弾性率の値とを比較することにより、研磨布の劣化の度合いを判定するものである。
【０００６】
特許文献２に記載されている研磨パッド評価装置は、圧子を駆動装置によって一定速度で下降させて研磨パッドに押し付け、圧子に対する抗力を検出ロードセルで検出し、圧子の押し込み量をレーザー変位計によって検出するものである。
【０００７】
特許文献３に記載されている研磨布の評価装置は、研磨布上に載置される測定子と、上下動自在に設けられ前記測定子を研磨布に押し付ける重錘と、この重錘を上下動させるステッピングモータとで圧力負荷機構を構成し、前記測定子の垂直方向の変位をリニアマイクロメータによって測定するものである。
【０００８】
特許文献４に記載されている高度計は、アクチュエータによって圧子を試料に押し付け、その押し込み変位量を変位測定器によって測定するようにしている。
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−３１５１１６号公報
【特許文献２】特開平８−９４５０８号公報
【特許文献３】特開平１０−２８８５７９号公報
【特許文献４】実開平４−５３５４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
粘弾性体の粘弾性を測定し評価する場合、最も重要なことは粘弾性体の使用状態と同じ状態で測定することである。例えば、眼鏡レンズの光学面を研磨パッドによって研磨する場合は、光学面が凸面または凹面に形成されているため、眼鏡レンズを研磨パッドに繰り返し押し付けて研磨している。その場合、光学面の形状のだれを防止するために光学面を研磨パッドに対して所定の荷重で短時間に押し付けて回転移動させることにより研磨し、研磨中は前記荷重を加え続け、光学面が研磨パッドから外れるときは、押し付けるときと同様に短時間に研磨パッドから離間させるようにしている。すなわち、眼鏡レンズの研磨は、眼鏡レンズと研磨パッドを相対的に回転させて行なう。このときの回転速度は４００〜６００ｒｐｍ程度である。同時に、研磨パッドは、眼鏡レンズの主経線方向に揺動しており、この揺動のためにレンズと接触、離間を繰り返しながら研磨する。研磨パッドの揺動は、１秒に一回程度の周期で行われるため、研磨パッドが眼鏡レンズに対して接触、離間する時間間隔は、前記回転による要素が主となる。したがって、前記回転速度４００〜６００ｒｐｍに対応して研磨パッドは１分間に４００〜６００回程度離間と接触を繰り返すことになる。この離間と接触の繰り返しを時間間隔に換算すると、０．１〜０．１５秒となる。したがって、研磨パッドの測定に際しては、加圧開始から所定の荷重に達するまでの時間と、加圧解除開始から前記荷重が零になるまでの時間を、前記時間の範囲内で行なう必要がある。
【００１１】
しかしながら、前記特許文献１〜４に記載の装置は、いずれも平板なウエハや液晶用ガラス基板等の研磨に用いられる研磨布を対象としているため、加圧手段が荷重の印加と解除を上記のような短時間に行なうことができず、したがって前記引用文献１〜４に記載の装置を用いて眼鏡レンズ用研磨パッドの粘弾性を測定しても荷重の印加と解除に要する時間が長くなって研磨時と同じ時間で荷重の印加、解除を行なうことができず、正確な評価指標を得ることができないという問題があった。
【００１２】
本発明は、上記した従来の問題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、粘弾性体に対する荷重の印加と解除をきわめて短時間に行うことができ、特に眼鏡レンズ用研磨パッドの粘弾性測定に用いて好適な眼鏡レンズ研磨用研磨パッドの粘弾性測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために本発明は、眼鏡レンズの研磨に用いる粘弾性体製研磨パッドの加圧による経時的変化を測定する眼鏡レンズ研磨用研磨パッドの粘弾性測定装置において、前記研磨パッドに印加する荷重の保持時間をパラメータとして含む予め定められた負荷パターンを設定するコントローラと、前記研磨パッドに前記荷重を加え、一定時間加圧した後は前記負荷パターンにしたがって前記研磨パッドの初期の回復速度より速い速度で加圧状態を解除する加圧手段と、前記加圧手段の加圧による前記研磨パッドの経時的変化を測定する変位測定手段とを備え、前記加圧手段を、下面に複数の球体を有しかつ前記研磨パッドの上に載せられた圧子と、この圧子の上面に下端部が接触するシリンダロッドを有するメタルシールタイプの低摩擦エアシリンダとによって構成し、前記負荷パターンの加圧開始から所定の荷重に達するまでの時間と、加圧解除開始から前記荷重が零になるまでの時間を、眼鏡レンズの研磨時に研磨パッドが眼鏡レンズに対して接触、離間する時間間隔である０．１〜０．１５秒以下の範囲内にそれぞれ設定し、前記シリンダロッドを前記範囲内で下降させることにより前記荷重の印加を行い、前記一定時間が経過した後、前記シリンダロッドを前記範囲内であって前記研磨パッドの初期の回復速度より速い速度で前記圧子から離間させることにより前記荷重の解除を行なうものである。
【００１６】
また、本発明は、上記発明において、前記エアシリンダがシリンダロッドを上昇復帰させるクイックエキゾーストバルブを備えているものである。
【００１７】
また、本発明は、上記発明において、前記エアシリンダが圧力を制御するレギュレータを備えているものである。
【００１８】
さらに、本発明は、眼鏡レンズの研磨に用いる粘弾性体製研磨パッドの加圧による経時的変化を測定する眼鏡レンズ研磨用研磨パッドの粘弾性測定装置において、前記研磨パッドに印加する荷重の保持時間をパラメータとして含む予め定められた負荷パターンを設定するコントローラと、前記研磨パッドに前記荷重を加え、一定時間加圧した後は前記負荷パターンにしたがって前記研磨パッドの初期の回復速度より速い速度で加圧状態を解除する加圧手段と、前記加圧手段の加圧による前記研磨パッドの経時的変化を測定する変位測定手段とを備え、前記加圧手段を、下面に複数の球体を有しかつ前記研磨パッドの上に載せられた圧子と、この圧子を上方から押圧する押圧部材が出力軸に取付けられた直流型コアレスモータとによって構成し、前記負荷パターンの加圧開始から所定の荷重に達するまでの時間と、加圧解除開始から前記荷重が零になるまでの時間を、眼鏡レンズの研磨時に研磨パッドが眼鏡レンズに対して接触、離間する時間間隔である０．１〜０．１５秒以下の範囲内にそれぞれ設定し、前記押圧部材を前記範囲内で下降させることにより前記荷重の印加を行い、前記一定時間が経過した後、前記押圧部材を前記範囲内であって前記研磨パッドの初期の回復速度より速い速度で前記圧子から離間させることにより前記荷重の解除を行なうものである。粘弾性体の初期の回復速度は、０．１〜０．１５秒である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明においては、加圧手段として、メタルシールタイプの低摩擦エアシリンダまたは直流型コアレスモータを用いているので、荷重の印加と解除をそれぞれ０．１５秒以下の範囲内で行なうことができる。したがって、眼鏡レンズの研磨時に用いられる研磨パッドの粘弾性を測定した場合、研磨時と同じ状態で測定でき、正確な評価指標を得ることができる。
０．１５秒は、眼鏡レンズの研磨時において、眼鏡レンズの回転速度を４００〜６００ｒｐｍとし、研磨パッドを眼鏡レンズに対して１分間に４００〜６００回程度離間と接離を繰り返して研磨するときの離間と接触の繰り返しを時間間隔に換算した値（０．１〜０．１５秒）である。したがって、最も望ましい値は０．１〜０．１５秒であるが、下限値については特に特定する必要はなく、使用するアクチュエータの応答速度としてもよい。
【００２０】
メタルシールタイプの低摩擦エアシリンダは、所定荷重（圧力）を負荷０の状態から短時間に加えることができる。レギュレータは、粘弾性体に加えられる荷重を一定の値に設定する。クイックエキゾーストバルブは、速い排気特性を有しているので、シリンダロッドを速く上昇復帰させることで、粘弾性体に対する荷重の解除を迅速に行なうことができる。
【００２１】
一般のＤＣモータは、荷重の瞬時の印加と解除を行なうことができず、またコアを有しているため、加圧時に慣性により衝撃が発生するが、直流型コアレスモータの場合は瞬時の加圧と解除を行なうことができ、またコアがないため、加圧時に慣性により衝撃が発生することがない。さらにコアレスモータは、慣性が小さく、低い電圧で駆動し、力は弱いが軽く回るため、低荷重（約１００ｇ〜２００ｇ程度）の測定に適している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明に係る粘弾性測定装置の一実施の形態を示す概略構成図、図２は負荷パターンを示す図、図３は粘弾性特性を測定するときのフローチャートである。本実施の形態は、測定対象物である粘弾性体として眼鏡レンズの研磨に用いる研磨パッドの粘弾性測定に適用した例を示す。図１において、全体を参照符号１で示す粘弾性測定装置は、テーブル２上に設置された測定器本体３と、コントローラ４と、表示装置５とを備えている。
【００２３】
前記測定器本体３は、基台６上に設置された載置台７と、測定対象物である研磨パッド８に研磨時の圧力と同じ圧力（以下、荷重という）を加えて前記載置台７に押し付ける加圧手段９と、研磨パッド８の変形を測定する変位測定手段としての変位センサ１０等を備えている。
【００２４】
前記加圧手段９としては、エアシリンダ１１と、圧子１２が用いられる。エアシリンダ１１は、メタルシールタイプの低摩擦エアシリンダからなり、エアシリンダ１１は電磁弁１３に接続されている。電磁弁１３は荷重を調整するレギュレータ１４に接続されおり、レギュレータ１４は圧縮空気供給源（図示せず）に接続されている。エアシリンダ１１のシリンダ本体１１Ａは、基台６上に立設された取付板１５の前面にブラケット１６を介して、かつ載置台７の上方に位置するように下向きに固定され、２つのポートＰ1 、Ｐ2 が配管１７ａ、１７ｂを介して前記電磁弁１３に接続されている。エアシリンダ１１のシリンダロッド１１Ｂは、下端がシリンダ本体１１Ａの下方に突出し、その下端部が前記圧子１２を押圧する押圧部１８を構成している。
【００２５】
前記圧子１２は、適宜な厚さと直径を有する円板状に形成されて下面に複数個（例えば、３個）のボール１９を有し、測定時に研磨パッド８の上に載置すると、前記シリンダロッド１１Ｂの押圧部１８によって押し下げられ、ボール１９が研磨パッド８に押し付けられるように構成されている。レギュレータ１４としては、圧力変動に対して応答性が高い精密レギュレータを用いることが望ましい。
【００２６】
前記メタルシールタイプの低摩擦エアシリンダ１１は、低圧駆動（摺動抵抗が小さく、０．００５ＭＰａでの低圧駆動、通常は０．５ＭＰａ）が可能で、レギュレータ１４による圧力設定が容易である、圧力変動に対しての応答性が速い、低摩擦（摺動抵抗が低く安定しているため、０．０５Ｎ（５ｇ）単位程度の出力コントロールが可能）であり、レギュレータ１４による荷重の設定が容易である、研磨パッド８の変位に対して追従性が高い、高速駆動、高精度（１，０００ｍｍ／ｓｅｃの高速域が対応可能）等の諸特性を有しているため、研磨パッド８に対する短時間での荷重の印加および解除が可能である。なお、本発明において用いられる低摩擦エアシリンダ１１は応答速度（９０％出力時間−ピストン始動時間）が０．０４秒である。
【００２７】
前記コントローラ４は、図２に示す負荷パターンＸを予め設定し、測定時にこの負荷パターンＸにしたがって前記エアシリンダ１１、電磁弁１３を制御するように構成されている。
【００２８】
前記負荷パターンＸは、研磨パッド８による眼鏡レンズの研磨時の圧力とほぼ同じ圧力と、加圧時間と、加圧開始から所定の荷重に達するまでの時間と、加圧解除開始から前記荷重が零になるまでの時間を定めるもので、加圧時間（荷重の保持時間）をパラメータとして含んでいる。荷重の保持時間（ｔｂ−ｔａ ）は１５秒程度、荷重は５００ｇ〜１Ｋｇ程度である。また、負荷パターンＸの加圧開始から所定の荷重（約１〜２Ｋｇ）に達するまでの時間と、加圧解除開始から前記荷重が零になるまでの時間は、段落「０００９」に記載した理由からそれぞれ０．１〜０．１５秒の範囲内に設定されており、この範囲内で前記エアシリンダ１１が荷重の印加と解除を行なうように制御される。
【００２９】
前記表示装置５は、卓上型のパーソナルコンピュータが用いられることにより、キーボード５Ａと、表示部５Ｂと、測定データを記憶するハードディスク（記憶部）とを備えている。
【００３０】
前記研磨パッド８としては、例えば特開２００４−０８２３２４号公報に開示されている眼鏡レンズの凸面研磨用パッドが用いられる。この研磨パッド８は、発泡ポリウレタン、フェルト、または不織布等の繊維性の布や合成樹脂等を材料とする厚さ１ｍｍ程度のシート状に形成されている。研磨パッド８の評価指標としては、前述したとおり研磨性、研磨時間、耐久性等が挙げられる。
【００３１】
変位センサ１０は、測定子１０ａが圧子１２の上面に接触するように配設され、加圧時に研磨パッド８の圧縮変形を圧子１２の下方への変位として読み取るように構成されている。変位センサ１０によって読み取られた圧子１２の変位は、電気信号に変換されると前記表示装置５に送られ、表示部５ｂに表示され、また記憶部に記憶される。
【００３２】
次に、粘弾性測定装置１による研磨パッド８の測定手順を図３に示すフローチャートに基づいて説明する。
先ず、研磨パッド８の粘弾性測定に際して、コントローラ４により研磨パッド８に対する負荷パターンＸ（図２）を予め設定する（ステップ１０１）。
【００３３】
次に、載置台７上に研磨パッド８を載置して両面接着テープで固定する（ステップ１０２）。さらに、その上に圧子１２を載せ（ステップ１０３）、シリンダロッド１１Ｂの押圧部１８を圧子１２の上面に接触させる（ステップ１０４）。この状態において、電磁弁１３は、センター位置（３位置エキゾーストセンター）の状態に保持されているため、シリンダロッド１１Ｂによる圧子１２への荷重の影響は軽微であり、ほとんど無視することができる。
【００３４】
次に、エアシリンダ１１が研磨パッド８に加える荷重をレギュレータ１４によって設定する（ステップ１０５）。さらに、変位センサ１０の測定子１０ａを圧子１２の上面に接触させる（ステップ１０６）。これにより、測定の準備が完了する。
【００３５】
測定の準備が完了すると、スタートスイッチを操作して測定を開始する（ステップ１０７）。測定が開始されると、変位センサ１０の出力が表示装置５に出力される（ステップ１０８）。
【００３６】
また、スタートスイッチを操作すると電磁弁１３が通電によって開き、シリンダ本体１１Ａの上側ポートＰ1 に所定圧のエアを供給してシリンダロッド１１Ｂを下降させる。これにより、押圧部１８が圧子１２を所定圧で押圧して研磨パッド８に押し付ける（ステップ１０９）。このときの、押圧開始から所定の荷重に達するまでの時間は、前記０．１〜０．１５秒の範囲内である。
【００３７】
研磨パッド８は圧子１２によって押圧されると、徐々に圧縮されて変形する。研磨パッド８が圧縮変形すると、圧子１２は研磨パッド８の変形にともない下方に変位するため、この変位が変位センサ１０によって測定される。変位センサ１０は圧子１２の変位を測定すると、その信号を表示装置５に送る。表示装置５は、変位センサ１０からの信号を記憶部に記憶するとともに、表示部５Ｂに表示する。表示部５Ｂに表示される時間−変位曲線Ｂは、図５に示したクリープ曲線Ａと類似した曲線である。
【００３８】
測定時の条件としては、荷重を１ｋｇ、加圧時間Ｔ1 を１５秒、荷重の解除から測定終了までの時間Ｔ2 （図５参照）を３０秒、全体の測定時間を４５秒に設定し、データの取得ピッチを０．０５秒／１個、合計のデータ数を４５０１個とした。荷重を取り除くときは、電磁弁１３を切り替えてシリンダロッド１１Ｂをクイックエキゾーストバルブにより上昇復帰させることにより行われる（ステップ１１０）。この荷重の解除時間は、荷重の印加時と同様に、０．１〜０．１５秒の範囲内であって、研磨パッド８の初期の回復速度より速い速度で押圧部１８を圧子１２から離間させて加圧状態を解除する。研磨パッド８の初期の回復速度は、０．１〜０．１５秒である。そして、荷重の解除後、一定時間が経過して復元量Ｎ（図５）が略一定になると、測定を終了する。
【００３９】
測定によって得られた変位量（沈込量Ｍ、復元量Ｎ、永久変形量Ｐ）と、変位量のばらつき、復元率を測定項目とし、これらの項目を研磨パッド８の評価項目とする。例えば、永久変形量Ｐが少ない場合は、研磨パッド８として研磨性、研磨時間、耐久性が優れていると評価する。なお、復元量Ｎは、沈込量Ｍを１００％としたときの加圧解除時の１５秒から２０秒までの値を１秒刻みで読み取り、その値を沈込量Ｍに対する割合で計算したものを、復元率と定義する。
【００４０】
粘弾性測定装置１によって測定した各種粘弾性体の変形量と復元率を表１に示す。
表１は、３個のボール１９を有する圧子１２により荷重１Ｋｇで被測定物を押圧したときの測定結果である。
【００４１】
【表１】
0005022827.tif 000002
【００４２】
また、表２に各種粘弾性体の標準偏差を示す。
【００４３】
【表２】
0005022827.tif 000003
【００４４】
このように、本発明による粘弾性測定装置１は、加圧手段としてメタルシールタイプの低摩擦エアシリンダ１１を用いているので、研磨パッド８に対する荷重の印加と解除を、眼鏡レンズの研磨時と同じ短時間、すなわち０．１〜０．１５秒の範囲内でそれぞれ行なうことができ、また研磨パッド８を眼鏡レンズの研磨時の圧力と同じ荷重を印加しているので、正確な評価指標を得ることができる。
【００４５】
図４は本発明の他の実施の形態を示す概略構成図である。
この実施の形態は、加圧手段としてメタルシールタイプの低摩擦エアシリンダ１１の代わりに直流型コアレスモータ３０を用いたものである。コアレスモータ３０は、コア（鉄心）がない回転子を有するモータで、コアにコイルを巻いた回転子を有するコアードモータに比べて慣性が小さく（荷重時に設定以上の荷重がかからない）、軽く回転する（被測定物への接触子のセットが容易、研磨パッド８の変位に対して追従性が高い、荷重の解除を短時間で行える）、応答性に優れている、回転数が高い（荷重が短時間に行える）等の諸特性を有しているため、眼鏡レンズ用研磨パッド８の粘弾性測定に用いて好適である。
【００４６】
コアレスモータ３０は、取付台３１上に設置され、その出力軸３２に圧子１１を押圧する押圧部材３３がプレート３４を介して取付けられている。押圧部材３３は、測定時にコアレスモータ３０の駆動によってプレート３４が図４において時計方向に微小角度回動することにより、下降して圧子１１を押し下げ研磨パッド８に押し付けるように構成されている。なお、本発明において用いられるコアレスモータ３０は、応答速度（機械的時定数と同値であり、停止状態から無負荷回転数の６３％まで加速するのに要する時間のこと）が０．００４秒である。その他の構成は上記した実施の形態と同一である。
【００４７】
このような構成においても、コアレスモータ３０を用いると上記した実施の形態と同様に研磨パッド８に対する荷重の印加と解除を０．１〜０．１５秒の範囲内で瞬時に行うことができるため、研磨時とほぼ同じ状態で測定することができ、正確な評価指標を得ることができる。
また加圧手段としてコアレスモータ３０を用いているので、電磁弁１３、レギュレータ１４を必要とせず、部品点数を削減でき構造を簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る粘弾性測定装置の一実施の形態を示す概略構成図である。
【図２】負荷パターンを示す図である。
【図３】粘弾性特性を測定するときのフローチャートである。
【図４】本発明の他の実施の形態を示す概略構成図である。
【図５】粘弾性体のクリープ曲線を示す図である。
【図６】線形粘弾性モデル（四要素モデル）を示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１…粘弾性測定装置、３…測定器本体、４…コントローラ、５…表示装置、７…載置台、８…研磨パッド、９…加圧手段、１０…変位センサ、１１…エアシリンダ、１１Ａ…シリンダ本体、１１Ｂ…シリンダロッド、１２…圧子、１３…電磁弁、１４…レギュレータ、３０…直流型コアレスモータ。
【図１】
0005022827.tif 000004
【図２】
0005022827.tif 000005
【図３】
0005022827.tif 000006
【図４】
0005022827.tif 000007
【図５】
0005022827.tif 000008
【図６】
0005022827.tif 000009