(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天面に吸込み口を設けた箱型のチャンバと、このチャンバ内に設けた除塵フィルタと、ケミカルフィルタと、ファンとモータからなるファンユニットとで構成されるファンフィルタユニットにおいて、
前記除塵フィルタと前記ケミカルフィルタは、前記チャンバ内において前記ファンユニットの下方に設けられ、
前記チャンバの側面に前記除塵フィルタ、および前記ケミカルフィルタの着脱口を設け、この着脱口を開閉可能な着脱扉で塞いだファンフィルタユニット。
【請求項２】
前記着脱扉の内側面と、この着脱扉の内側面に対向する前記チャンバの内側面に、所定の厚さで弾性緩衝材を設けた請求項１に記載のファンフィルタユニット。
【請求項３】
前記着脱扉の内側面と、この着脱扉の内側面に対向する前記チャンバの内側面に、複数の固定用突起部を設け、
前記除塵フィルタ及び前記ケミカルフィルタの外周枠部には、前記固定用突起部が嵌合する孔部もしくは凹溝を有する請求項１または２記載のファンフィルタユニット。
【請求項４】
前記除塵フィルタの枠部の上面には突起部を設け、
前記ケミカルフィルタの枠部の下面には孔を設け、
前記除塵フィルタを下に前記ケミカルフィルタを上にして重ねた時に前記突起部と前記孔とが嵌合する請求項１〜３いずれかに記載のファンフィルタユニット。
【請求項５】
前記チャンバの前記着脱口を設けた面と直交する内側面に凸形状部を設け、
前記除塵フィルタおよび前記ケミカルフィルタの枠部の側面には、前記凸形状部を摺動可能に挿入する凹溝を設けた請求項１〜４いずれかに記載のファンフィルタユニット。
【請求項６】
前記除塵フィルタの枠部の下面には孔を設け、
前記チャンバ底部には、内周側に突き出て前記除塵フィルタを受けて保持する鍔部を設け、この鍔部の上部に、前記除塵フィルタの枠部の下面に設けた前記孔に対応する位置に突起部を設け、
前記除塵フィルタは前記鍔部に載せて摺動して前記チャンバ内に挿入し、
前記鍔部の前記突起部と前記除塵フィルタの前記孔とが嵌合して取り付けることを特徴とする請求項１〜５いずれかひとつに記載のファンフィルタユニット。
【請求項７】
前記鍔部に設けた前記突起部は、前記除塵フィルタを取り付ける際の摺動方向とずらして複数個設けたことを特徴とする請求項６記載のファンフィルタユニット。
【請求項８】
前記鍔部に設けた複数の突起部について、片側の辺の突起部とそれに向かい合った対辺側の突起部とを一組にしたときに、その突起部の間隔が組ごとに異なることを特徴とする請求項７記載のファンフィルタユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで搬送装置に使用されるファンフィルタユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットは、搬送装置の天井面にチャンバと除塵フィルタの積層構造体として取り付けられたものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、従来のファンフィルタユニットについて具体的な構成について図６を参照しながら説明する。
【０００４】
図に示すように、ファンフィルタユニット１００は、ファン１１１とモータ１１２からなるファンユニット１１６と、このファンユニット１１６を内包するチャンバ１１３と、チャンバ１１３の下方に着脱可能なケミカルフィルタ１１４と除塵フィルタ１１５から構成される。前記ケミカルフィルタ１１４の枠部は、断面が略Ｃまたはロの字の形状であり、表裏を貫通する貫通穴２０１が設けられている。前記除塵フィルタ１１５の枠部には、フィルタの上流側を貫通する上流側貫通穴１１１と下流側を貫通する下流側貫通穴１１２が設けられている。固定手段１０３により上流側貫通穴１０１で前記チャンバ１１３に前記ケミカルフィルタ１１４を介在しながらチャンバ１１３に固定される。また、ファンフィルタユニット１００は、開口部を設けた構造物１３０の開口部天面に配し、前記チャンバ１１３に配した本体固定金具１０４と金具固定手段１０５により開口部縁部に固定している。また前記除塵フィルタ１１５の下流側貫通穴１０２は、前記チャンバ１１３に除塵フィルタ１１５固定後は、閉孔手段１０６を施している。前記ケミカルフィルタ１１４および除塵フィルタ１１５の形状はチャンバ１１３と同形状を常とし、ファンフィルタユニット１００を構成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６２−１５７１２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような従来のチャンバ１１３と除塵フィルタ１１５の積層構造では、除塵フィルタ１１５の交換に際し、まず、本体固定金具１０４または金具固定手段１０５をはずすことによって構造物１３０からファンフィルタユニット１００を取り外す。さらに、除塵フィルタ１１５の交換のため複数個所のフィルタの固定手段１０３をはずすため、フィルタの着脱に時間を要するという課題があり、フィルタ着脱作業の改善が要求されている。
【０００７】
また、ケミカルフィルタは、通常ファンユニットを内包するチャンバと除塵フィルタの間に挟み取り付けられるので、ケミカルフィルタ交換時においても、ファンフィルタユニットを取り外すことが必要になるという課題があり、フィルタ取り付け構造の改善が要求されている。
【０００８】
また、除塵フィルタもしくはケミカルフィルタを取り付けの際に、同形状のフィルタの積み上げ順序の取り違いをなくす課題があり、積層順序確認の迅速化が要求されている。
【０００９】
また、一般的には、除塵フィルタに対し、ケミカルフィルタの寿命が短いため、メンテナンス時期も頻繁に発生するという課題があり、メンテナンス性の改善が要求されている。
【００１０】
また、クリーンルームは、搬送装置の天面に設置されているので、メンテナンス時は、一時、搬送装置の天面は開放状態となるので、装置内のクリーン度は著しく低下する傾向があり、再設置後、搬送装置のクリーン度回復の課題があり、短時間の回復が要求されている。
【００１１】
また、一般的には、ケミカルフィルタを複数用いて組み合わせるため、チャンバと除塵フィルタの積層構造となり、相当質量があり、組立て時、作業性に課題があり、軽量化することが要求されている。
【００１２】
また、除塵フィルタもしくはケミカルフィルタの天地取付はラベル等で指示されてはいるが、天地逆取付ができる課題があり、天地逆取付の改善が要求されている。
【００１３】
また、正方形上の除塵フィルタもしくはケミカルフィルタの取付方向は取付け面を確認しながら取付ける課題があり、確実な作業の改善が要求されている。
【００１４】
さらに、除塵フィルタもしくはケミカルフィルタを取り扱う場合に濾材面に触れることは、性能劣化の要因となり、取扱いには十分な配慮が必要であるが、フレーム枠の上面、もしくは下面を支える作業に課題があり、濾材面に触れないでフィルタを容易に持ち運べる手段が要求されている。
【００１５】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、側面開閉扉部から除塵フィルタの着脱、およびケミカルフィルタの着脱ができ、またファンユニットの内包したチャンバを設置部分より取り外ことなくフィルタの交換ができ、各フィルタを内包せずに装置取り付け後各種フィルタの組み込みができ、また短時間でのフィルタ交換ができるファンフィルタユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明のファンフィルタユニットは、上記目的を達成するために、天面に吸込み口を設けた箱型のチャンバと、このチャンバ内に設けた除塵フィルタと、ケミカルフィルタと、ファンとモータからなるファンユニットとで構成されるファンフィルタユニットにおいて、前記除塵フィルタと前記ケミカルフィルタは、前記チャンバ内において前記ファンユニ
ットの下方に設けられ、前記チャンバの側面に前記除塵フィルタ、および前記ケミカルフィルタの着脱口を設け、この着脱口を開閉可能な着脱扉で塞いだものである。
【００１７】
この手段により、構造物に取り付け前に側面に設けた着脱扉から除塵フィルタ、もしくはケミカルフィルタを取り出し、軽量化されたファンユニットを構造物に取り付け後に着脱扉部分の着脱口から除塵フィルタ、もしくはケミカルフィルタを取り付けできるファンフィルタユニットが得られる。
【００１８】
また他の手段は、前記着脱扉の内側面と、この着脱扉の内側面に対向する前記チャンバの内側面に、所定の厚さで弾性緩衝材を設けたファンフィルタユニットとしたものである。
【００１９】
この手段により、フィルタ積層構造に対する取付改善ができるファンフィルタユニットが得られる。
【００２０】
また他の手段は、前記着脱扉の内側面と、この着脱扉の内側面に対向する前記チャンバの内側面に、複数の固定用突起部を設け、前記除塵フィルタ及び前記ケミカルフィルタの外周枠部には、前記固定用突起部が嵌合する孔部もしくは凹溝を有するものである。
【００２１】
この手段により、固定用突起部で除塵フィルタもしくはケミカルフィルタの枠側面の穿孔部にあわせることで迅速な積層順序確認ができ、フィルタ着脱作業の改善ができるファンフィルタユニットが得られる。
【００２２】
また他の手段は前記除塵フィルタの枠部の上面には突起部を設け、前記ケミカルフィルタの枠部の下面には孔を設け、前記除塵フィルタを下に前記ケミカルフィルタを上にして重ねた時に前記突起部と前記孔とが嵌合するものである。
【００２３】
この手段により、フィルタ逆設置の改善ができるファンフィルタユニットが得られる。
【００２４】
また他の手段は、前記チャンバの前記着脱口を設けた面と直交する内側面に凸形状部を設け、前記除塵フィルタおよび前記ケミカルフィルタの枠部の側面には、前記凸形状部を摺動可能に挿入する凹溝を設けたものである。
【００２５】
この手段により、迅速なフィルタ積層順序確認ができるファンフィルタユニットが得られる。
【００２６】
また他の手段は、前記除塵フィルタの枠部の下面には孔を設け、前記チャンバ底部には、内周側に突き出て前記除塵フィルタを受けて保持する鍔部を設け、この鍔部の上部に、前記除塵フィルタの枠部の下面に設けた前記孔に対応する位置に突起部を設け、前記除塵フィルタは前記鍔部に載せて摺動して前記チャンバ内に挿入し、前記鍔部の前記突起部と前記除塵フィルタの前記孔とが嵌合して取り付けることを特徴とするものである。
【００２７】
この手段により、短時間でのフィルタ交換作業ができ、そして、フィルタ着脱作業の改善ができるファンフィルタユニットが得られる。
【００２８】
また他の手段は、前記鍔部に設けた前記突起部は、前記除塵フィルタを取り付ける際の摺動方向ずらして複数個設けたことを特徴とするものである。
【００２９】
この手段により、フィルタ交換時の誤設置防止ができるファンフィルタユニットが得られる。
【００３０】
また他の手段は、前記鍔部に設けた複数の突起部について、片側の辺の突起部とそれに向かい合った対辺側の突起部とを一組にしたときに、その突起部の間隔が組ごとに異なるものである。
【００３１】
この手段により、フィルタ交換時の確実な取付作業ができるファンフィルタユニットが得られる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、除塵フィルタやケミカルフィルタを側面の着脱口から取り出しでき、設置前には、除塵フィルタやケミカルフィルタをはずすことができ、そして設置後、除塵フィルタやケミカルフィルタを装着する軽量化されたファンユニットの設置ができる効果のあるファンフィルタユニットを提供できる。
【００３３】
また、除塵フィルタやケミカルフィルタをねじなどの固定手段を用いず除塵フィルタやケミカルフィルタをチャンバに固定できる効果のあるファンフィルタユニットを提供できる。
【００３４】
また、除塵フィルタやケミカルフィルタの取り付け方向、積み重ね順序を間違わずにできる効果あるファンフィルタユニットを提供できる。
【００３５】
また、除塵フィルタやケミカルフィルタを積み重ねる際に、側面からすべり込ませるフィルタの枠部接触面の抵抗を軽減でき、迅速に除塵フィルタやケミカルフィルタを着脱できる効果のあるファンフィルタユニットを提供できる。
【００３６】
また、除塵フィルタやケミカルフィルタのチャンバ側面の気密性を確保し、フィルタ下流面の清浄度の保持ができる効果あるファンフィルタユニットを提供できる。
【００３７】
また、除塵フィルタやケミカルフィルタの取り付け方向や積層順序を決めることができ、除塵フィルタやケミカルフィルタのメンテナンス作業を迅速にする効果あるファンフィルタユニットを提供できる。
【００３８】
また、除塵フィルタをチャンバ内に収める際に、側面からすべり込ませるフィルタの枠部接触面とチャンバ底部内側鍔部の抵抗を軽減でき、容易に除塵フィルタを着脱できる効果のあるファンフィルタユニットを提供できる。
【００３９】
また、除塵フィルタをチャンバ内に収める際に、フィルタを着脱口と対向するチャンバ側面まで押し込むことのできる内側鍔部の抵抗軽減に効果のあるファンフィルタユニットを提供できる。
【００４０】
また、除塵フィルタやケミカルフィルタの摺動をスムーズにし、除塵フィルタやケミカルフィルタの誤挿入の回避ができる効果あるファンフィルタユニットを提供できる。
【００４１】
また、除塵フィルタやケミカルフィルタの除塵フィルタやケミカルフィルタの誤設置の回避ができる効果あるファンフィルタユニットを提供できる。
【００４２】
また、本発明によれば、除塵フィルタやケミカルフィルタのフレーム枠の側面の開口部を取っ手として利用でき、除塵フィルタやケミカルフィルタの着脱を用意にする効果あるファンフィルタユニットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施の形態１の構成を示す側面断面図
【図２】本発明の実施の形態１の除塵フィルタを示す斜視図
【図３】本発明の実施の形態１の除塵フィルタやケミカルフィルタを示す平面図
【図４】本発明の実施の形態１の着脱扉の斜視図
【図５】本発明の実施の形態１の構成を示す平面断面図
【図６】従来のファンフィルタユニットの構成を示す断面図
【発明を実施するための形態】
【００４４】
本発明の請求項１記載の発明は、天面に吸込み口を設けた箱型のチャンバと、このチャンバ内に設けた除塵フィルタと、ケミカルフィルタと、ファンとモータからなるファンユニットとで構成されるファンフィルタユニットにおいて、前記除塵フィルタと前記ケミカルフィルタは、前記チャンバ内において前記ファンユニットの下方に設けられ、前記チャンバの側面に前記除塵フィルタ、および前記ケミカルフィルタの着脱口を設け、この着脱口を開閉可能な着脱扉で塞いだものであり、構造体からファンフィルタユニットを取り外すことなく、チャンバ側面の着脱口から除塵フィルタやケミカルフィルタを短時間に着脱することができる。
【００４５】
また、前記着脱扉の内側面と、この着脱扉の内側面に対向する前記チャンバの内側面に、所定の厚さで弾性緩衝材を設けたものであり、除塵フィルタやケミカルフィルタの積層寸法によらず各フィルタ間のチャンバとの気密性を確保できる。
【００４６】
また、前記着脱扉の内側面と、この着脱扉の内側面に対向する前記チャンバの内側面に、複数の固定用突起部を設け、前記除塵フィルタ及び前記ケミカルフィルタの外周枠部には、前記固定用突起部が嵌合する孔部もしくは凹溝を有するものであり、除塵フィルタ、もしくはケミカルフィルタのフレーム側面に配置した孔部または凹部にあてがい固定することができる。
【００４７】
また、前記除塵フィルタの枠部の上面には突起部を設け、前記ケミカルフィルタの枠部の下面には孔を設け、前記除塵フィルタを下に前記ケミカルフィルタを上にして重ねた時に前記突起部と前記孔とが嵌合するものであり、突起部とフィルタフレームの接触面積を軽減し、スムーズな摺動でき、除塵フィルタとケミカルフィルタの相対的な位置決めができる。
【００４８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００４９】
（実施の形態１）
図１に示すように、本発明のファンフィルタユニット１５は、天面に吸込み口を設けた箱型のチャンバ３内に、ファン１とモータ２からなるファンユニット６と、このファンユニット６の下方に設けた除塵フィルタ５、ケミカルフィルタ４とで構成されている。チャンバ３のひとつの側面には、除塵フィルタ５あるいはケミカルフィルタ４を着脱するための着脱口１７を設け、着脱扉７でこの着脱口１７の開口を塞いでいる。チャンバ３の側面と着脱扉７の内側には、除塵フィルタ５、ケミカルフィルタ４を固定するための固定用突起部９を設ける。チャンバ３と着脱扉７は固定手段２２を介し固定する。チャンバ３の内側面の固定用突起部９を除く部分には弾性緩衝材８を配し、同様に着脱扉７の固定用突起部９を除く部分に弾性緩衝材８を配している。チャンバ３の内寸法は除塵フィルタ５（ケミカルフィルタ４）の外寸より大きく、弾性緩衝材８の厚みの２倍に除塵フィルタ５（ケミカルフィルタ４）の外寸を加えた寸法より小さい。
【００５０】
上記構成によれば、着脱扉７を着脱することで、チャンバ３の側面より除塵フィルタ５
、もしくはケミカルフィルタ４を取り出せるようになる。このように本発明の実施の形態１の構成によれば、本体を構造体に設置時に取り外して設置でき、軽量化したフィルタユニット１５を容易に設置できる。
【００５１】
また、ファンフィルタユニット１５設置後にファンフィルタユニット１５を構造体より取り外すことなくフィルタ交換が迅速にできる。
【００５２】
図１および図２、図４に示すように、本発明はチャンバ３の内側面に設けた固定用突起部９と複数の固定用突起部９を設けた着脱扉７とフィルタのフレーム枠部１０の側面に設けた孔部１３からなる。チャンバ３の固定用突起部９とフィルタのフレーム枠部１０の孔部１３は対向する位置に配設してある。着脱扉７の固定用突起部９とフィルタのフレーム枠部１０の孔部１３は対向する位置に配設してある。
【００５３】
このような構成によれば、除塵フィルタ５、もしくはケミカルフィルタ４をチャンバ３に装着する際、除塵フィルタ５、もしくはケミカルフィルタ４の端面は、チャンバ３の内壁面に設けた固定用突起部９と孔部１３とが嵌合するように装着されるため、フィルタ（除塵フィルタ５、ケミカルフィルタ４）を所定位置へ導くことができる。さらに着脱扉７の固定用突起部９に除塵フィルタ５、もしくはケミカルフィルタ４の一方の端面を所定位置へ導くことができる。
【００５４】
このように、チャンバ３の内壁面に設けた固定用突起部９、着脱扉７に設けた固定用突起部９は、除塵フィルタ５、もしくはケミカルフィルタ４のガイドとなり、除塵フィルタ５、もしくはケミカルフィルタ４の端面を確実に固定することができる。
【００５５】
なお、チャンバ３と着脱扉７に固定用突起部９を設け、フィルタのフレーム枠部１０に孔部１３を設けたが、逆にチャンバ３と着脱扉７に孔部１３、フィルタのフレーム枠部１０に固定用突起部９を設けてもよい。
【００５６】
また、図２および図３に示すように、除塵フィルタ５、ケミカルフィルタ４のフレーム枠部１０の上面には、複数の突起部１１と下面に複数の孔１４を有する。突起部１１は、各々所定の間隔で配している。孔１４も同様に所定の間隔で配している。除塵フィルタ５のフレーム枠部１０の上面に配した複数の突起部１１は、上部に積層するケミカルフィルタ４のフレーム枠部１０の下面に配した複数の孔１４の位置に対応している。
【００５７】
このような構成によれば、除塵フィルタ５とケミカルフィルタ４のフレーム枠部１０は、突起部１１と孔１４が、かん合状態となり、所定の位置で積層することができる。
【００５８】
また、除塵フィルタ５とケミカルフィルタ４がチャンバ３内にあり、ケミカルフィルタ４を取り出す際には、除塵フィルタ５のフレーム枠部１０の突起部１１にケミカルフィルタ４のフレーム枠部１０が乗り上げた状態となり、フレーム枠部１０の接触面積が著しく減少するため、取り出しおよび取り付けをスムーズにすることができる。
【００５９】
また、弾性緩衝材８は、除塵フィルタ５、ケミカルフィルタ４のフレーム枠部１０と圧接することになり、除塵フィルタ５、ケミカルフィルタ４を固定することができる。
【００６０】
また、着脱扉７に配した弾性緩衝材８も除塵フィルタ５、ケミカルフィルタ４のフレーム枠部１０と圧接することになり、除塵フィルタ５、ケミカルフィルタ４を固定することができる。
【００６１】
また、弾性緩衝材８によって圧接されているので、ファンユニット６側の空間と除塵フ
ィルタ５吹出し面側の気密を確保できる。
【００６２】
図２および図５に示すように、除塵フィルタ５あるいはケミカルフィルタ４のフレーム枠部１０の側面に凹溝２０を任意の位置に設け、凹溝２０に対向するチャンバ３の内側面には凸形状部２１を着脱口１７の着脱扉７近傍に設ける。凸形状部２１はフレーム枠部１０の凹溝２０を摺動可能な形状を成しているので、積層順序、方向の確認ができ、フィルタ交換の迅速化と積層誤設置の改善ができる。
【００６３】
図５に示すように、チャンバ３の底部の内側には鍔部１６を形成し、除塵フィルタ５を鍔部１６で保持する構成からなる。チャンバ３の鍔部１６には、除塵フィルタ５のフレーム枠部１０の下面に配した孔１４に対向して鍔部突起２３を設けている。
【００６４】
このような構成によれば、チャンバ３と除塵フィルタ５は鍔部突起２３と孔１４が勘合することで所定の位置に配することになる。また、除塵フィルタ５の取付の際、鍔部突起２３上を除塵フィルタ５のフレーム枠部１０が移動するが、除塵フィルタ５のフレーム枠部１０との接触面積が小さいので、取り出し、取り付けが短時間に交換できる。
【００６５】
図３に示すように除塵フィルタ５、ケミカルフィルタ４の突起部１１、および対向する孔部とチャンバ３のフィルタ取り出しの幅方向に配した突起部１１の間隔を所定の間隔にすることにより、固有の方向性を持たせることができるので、除塵フィルタ５、もしくはケミカルフィルタ４の取付方向誤りを回避することができる。
【００６６】
図２に示すように除塵フィルタ５、もしくはケミカルフィルタ４のフレーム枠部１０の側面に設けた開口部を取っ手として活用できるので、メンテナンスの際、除塵フィルタ５、もしくはケミカルフィルタ４の取り出し、取り付けが容易にできる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
ファンフィルタユニットを構造体の設置部分からはずすことなく、ファンフィルタユニットの除塵フィルタ、およびケミカルフィルタの取り付け、取り外しをファンフィルタユニット側面からすることができ、除塵フィルタ、およびケミカルフィルタのメンテナンス作業の用途に適用できる。
【符号の説明】
【００６８】
１    ファン
２    モータ
３    チャンバ
４    ケミカルフィルタ
５    除塵フィルタ
６    ファンユニット
７    着脱扉
８    弾性緩衝材
９    固定用突起部
１０  フレーム枠部
１１  突起部
１２  開口部
１３  孔部
１４  孔
１５  ファンフィルタユニット
１６  鍔部
１７  着脱口
２０  凹溝
２１  凸形状部
２３  鍔部突起
【図１】
0005104472.tif 000002
【図２】
0005104472.tif 000003
【図３】
0005104472.tif 000004
【図４】
0005104472.tif 000005
【図５】
0005104472.tif 000006
【図６】
0005104472.tif 000007