(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク保持部材におけるマスクを保持可能な保持面をクリーニングするクリーニング装置であって、
クリーニング部材と、
前記マスク保持部材に装着可能なボディと、
前記ボディに配置され、前記クリーニング部材を移動可能な移動機構と、を備え、
前記マスク保持部材に前記ボディが装着された状態で、前記クリーニング部材と前記保持面とを接触させつつ、前記クリーニング部材を移動して、前記保持面をクリーニングするクリーニング装置。
【請求項２】
前記ボディは、前記マスク保持部材を位置決めする位置決め部を有する請求項１記載のクリーニング装置。
【請求項３】
前記保持面と対向して配置可能な前記クリーニング部材の対向面に吸引口を備える請求項１又は２記載のクリーニング装置。
【請求項４】
前記クリーニング部材は、砥石を含む請求項１〜３のいずれか一項記載のクリーニング装置。
【請求項５】
前記対向面に溝を有する請求項３又は４記載のクリーニング装置。
【請求項６】
前記溝は、第１方向に長く、
前記クリーニング部材は、前記保持面に対して前記第１方向と交差する第２方向に移動する請求項５記載のクリーニング装置。
【請求項７】
前記クリーニング部材と隣り合い、前記保持面と対向する位置に吸引口を備える請求項１記載のクリーニング装置。
【請求項８】
前記吸引口から吸引された異物を回収する回収機構を有する請求項７記載のクリーニング装置。
【請求項９】
マスクを保持可能な保持面のクリーニングに用いられるクリーニング装置であって、
前記保持面と対向して配置可能な研磨面と、前記研磨面に設けられる吸引口と、を有する可動のクリーニング部材と、
前記研磨面に形成された溝と、を備え、
前記研磨面と前記保持面とを接触させた状態で、前記クリーニング部材を移動して、前記保持面をクリーニングするクリーニング装置。
【請求項１０】
前記溝は、第１方向に長く、
前記クリーニング部材は、前記保持面に対して前記第１方向と交差する第２方向に移動する請求項９記載のクリーニング装置。
【請求項１１】
前記保持面に凹部が形成され、前記吸引口を用いる吸引動作によって、前記凹部に気流が生成される請求項９又は１０記載のクリーニング装置。
【請求項１２】
前記研磨面は、前記凹部の全てを覆うことができる大きさを有し、
前記凹部が全て前記研磨面で覆われる状態と、前記凹部の一部が露出される状態との一方から他方へ変化するように、前記クリーニング部材が移動する請求項１１記載のクリーニング装置。
【請求項１３】
前記吸引口から吸引された異物を回収する回収機構を有する請求項９〜１２のいずれか一項記載のクリーニング装置。
【請求項１４】
前記クリーニング部材を移動可能な移動機構をさらに備え、前記クリーニング時に前記移動機構によって前記研磨部材が移動される請求項９〜１３のいずれか一項記載のクリーニング装置。
【請求項１５】
前記保持面の周囲の少なくとも一部に配置され、異物を捕捉するトラップ部材を備える請求項１〜１４のいずれか一項記載のクリーニング装置。
【請求項１６】
マスクを保持するマスク保持部材の保持面をクリーニングするクリーニング装置であって、
前記保持面と接触可能なクリーニング部材と、
前記保持面の周囲の少なくとも一部に設けられる前記マスク保持部材の開口部に配置され、異物を捕捉するトラップ部材と、を備え、
前記クリーニング部材を前記保持面と接触させつつ移動して、前記保持面をクリーニングするクリーニング装置。
【請求項１７】
前記トラップ部材を前記開口の内側面に付勢する付勢部材を備える請求項１６記載のクリーニング装置。
【請求項１８】
前記保持面と交差する方向に関して、前記保持面より低く前記保持面の周囲の少なくとも一部に配置された所定面と前記保持面との距離と、前記保持面より低い位置に配置される前記トラップ部材の上面と前記保持面との距離とがほぼ等しい請求項１６又は１７記載のクリーニング装置。
【請求項１９】
前記保持面と対向して配置可能な前記クリーニング部材の対向面は、前記保持面より大きく、かつ吸引口が設けられ、
前記吸引口は、前記所定面及びトラップ部材の上面の異物を吸引可能である請求項１８記載のクリーニング装置。
【請求項２０】
前記クリーニング部材を移動可能な移動機構をさらに備え、前記クリーニング時に前記移動機構によって前記クリーニング部材が移動される請求項１６〜１９のいずれか一項記載のクリーニング装置。
【請求項２１】
前記移動機構が配置され、前記所定面に支持されるボディを備え、
前記トラップ部材は、前記ボディに支持される請求項２０記載のクリーニング装置。
【請求項２２】
少なくとも前記クリーニング部材が配置される空間を形成するカバー部材を備える請求項１〜２１のいずれか一項記載のクリーニング装置。
【請求項２３】
前記空間の流体を吸引する吸引機構を備える請求項２２記載のクリーニング装置。
【請求項２４】
前記マスクを介して基板を露光する露光装置に装着可能である請求項１〜２３のいずれか一項記載のクリーニング装置。
【請求項２５】
マスクからの露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記マスクを保持する保持面をクリーニングするために、請求項１〜２４のいずれか一項記載のクリーニング装置を支持可能な支持部を備えた露光装置。
【請求項２６】
マスクからの露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記マスクを保持する保持面を有する可動部材と、
前記保持面をクリーニング可能なクリーニング装置と、を備え、
前記クリーニング装置は、
クリーニング部材と、
前記可動部材に装着可能なボディと、
前記可動部材に前記ボディが装着された状態で、前記保持面と前記クリーニング部材とを接触させつつ、前記クリーニング部材を移動する駆動装置と、を備えた露光装置。
【請求項２７】
前記ボディは、前記マスク保持部材を位置決めする位置決め部を有する請求項２６記載の露光装置。
【請求項２８】
前記可動部材は、前記露光光が通過可能な開口部を有し、
前記開口部に配置され、異物を捕捉するトラップ部材を備える請求項２６記載の露光装置。
【請求項２９】
請求項２５〜２８のいずれか一項記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【請求項３０】
マスクを保持するマスク保持部材の保持面をクリーニングするクリーニング方法であって、
クリーニング装置を前記マスク保持部材に装着することと、
前記クリーニング装置のクリーニング部材と前記保持面とを接触させることと、
前記マスク保持部材に前記クリーニング装置が装着された状態で、前記クリーニング部材と前記保持面とを接触させつつ、前記クリーニング装置に設けられた駆動装置を用いて、前記クリーニング部材を移動して、前記保持面をクリーニングすることと、を含むクリーニング方法。
【請求項３１】
前記装着することは、前記マスク保持装置に前記クリーニング部材を位置決めすることを含む請求項３０記載のクリーニング方法。
【請求項３２】
マスク保持部材におけるマスクを保持可能な保持面をクリーニングするクリーニング方法であって、
前記保持面の周囲の少なくとも一部に設けられる前記マスク保持部材の開口部に、異物を捕捉可能なトラップ部材を配置することと、
クリーニング部材と前記保持面とを接触させることと、
前記クリーニング部材と前記保持面とを接触させた状態で、前記クリーニング部材と前記保持面とを相対移動して、前記保持面をクリーニングすることと、を含むクリーニング方法。
【請求項３３】
マスクからの前記露光光で基板を露光する露光方法であって、
請求項３０〜３２のいずれか一項記載のクリーニング方法を用いて、前記マスクを保持する保持面をクリーニングすることと、
前記クリーニングされた前記保持面に保持された前記マスクを露光光で照明し、前記マスクからの前記露光光で基板を露光することと、を含む露光方法。
【請求項３４】
請求項３３記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーニング装置、クリーニング方法、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトリソグラフィ工程で用いられる露光装置は、マスクからの露光光で基板を露光する。露光装置は、マスクを保持するマスク保持部及び基板を保持する基板保持部を備えている。基板の裏面と基板保持部との間に異物が存在すると、例えば基板の平面度が低下する可能性がある。その結果、露光不良が発生し、不良デバイスが発生する可能性がある。そのため、例えば下記特許文献に開示されているように、基板保持部をクリーニングする技術が案出されている。
【特許文献１】米国特許第５５５９５８２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
例えば露光不良の発生を抑制するために、基板保持部をクリーニングすることは有効である。また、露光装置においては、露光不良の発生を抑制するために、マスク保持部をクリーニングすることも有効である。そのため、マスク保持部（保持面）を効率良く良好にクリーニングできる技術の案出が望まれる。
【０００４】
本発明の態様は、露光不良の発生を抑制できるクリーニング装置及びクリーニング方法を提供することを目的とする。また本発明の態様は、露光不良の発生を抑制できる露光装置及び露光方法を提供することを目的とする。また本発明の態様は、不良デバイスの発生を抑制できるデバイス製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の第１の態様に従えば、マスク保持部材におけるマスクを保持可能な保持面をクリーニングするクリーニング装置であって、クリーニング部材と、マスク保持部材に装着可能なボディと、ボディに配置され、クリーニング部材を移動可能な移動機構と、を備え、マスク保持部材にボディが装着された状態で、クリーニング部材と保持面とを接触させつつ、クリーニング部材を移動して、保持面をクリーニングするクリーニング装置が提供される。
【０００６】
本発明の第２の態様に従えば、マスクを保持可能な保持面のクリーニングに用いられるクリーニング装置であって、保持面と対向して配置可能な研磨面と、研磨面に設けられる吸引口と、を有する可動のクリーニング部材と、研磨面に形成された溝と、を備え、研磨面と保持面とを接触させた状態で、クリーニング部材を移動して、保持面をクリーニングするクリーニング装置が提供される。
【０００７】
本発明の第３の態様に従えば、マスクを保持するマスク保持部材の保持面をクリーニングするクリーニング装置であって、保持面と接触可能なクリーニング部材と、保持面の周囲の少なくとも一部に設けられるマスク保持部材の開口部に配置され、異物を捕捉するトラップ部材と、を備え、クリーニング部材を保持面と接触させつつ移動して、保持面をクリーニングするクリーニング装置が提供される。
【０００８】
本発明の第４の態様に従えば、マスクを保持する保持面のクリーニングに用いられるクリーニング装置であって、第１クリーニング部材を保持面と接触させた状態で移動可能な第１移動機構を有する第１ユニットと、第１クリーニング部材と異なる第２クリーニング部材を保持面と接触させた状態で移動可能な第２移動機構を有する第２ユニットと、を備え、第２ユニットは第１ユニットに対して着脱可能であるクリーニング装置が提供される。
【０００９】
本発明の第５の態様に従えば、マスクからの露光光で基板を露光する露光装置であって、マスクを保持する保持面をクリーニングするために、上記態様のクリーニング装置を支持可能な支持部を備えた露光装置が提供される。
【００１０】
本発明の第６の態様に従えば、マスクからの露光光で基板を露光する露光装置であって、マスクを保持する保持面を有する可動部材と、保持面をクリーニング可能なクリーニング装置と、を備え、クリーニング装置は、クリーニング部材と、可動部材に装着可能なボディと、可動部材にボディが装着された状態で、保持面とクリーニング部材とを接触させつつ、クリーニング部材を移動する駆動装置と、を備えた露光装置が提供される。
【００１１】
本発明の第７の態様に従えば、上記態様の露光装置を用いて基板を露光することと、露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法が提供される。
【００１２】
本発明の第８の態様に従えば、マスクを保持するマスク保持部材の保持面をクリーニングするクリーニング方法であって、クリーニング装置をマスク保持部材に装着することと、クリーニング装置のクリーニング部材と保持面とを接触させることと、マスク保持部材にクリーニング装置が装着された状態で、クリーニング部材と保持面とを接触させつつ、クリーニング装置に設けられた駆動装置を用いて、クリーニング部材を移動して、保持面をクリーニングすることと、を含むクリーニング方法が提供される。
【００１３】
本発明の第９の態様に従えば、マスクを保持する保持面のクリーニングに用いられるクリーニング方法であって、保持面と、溝が形成されたクリーニング部材の研磨面とを接触させることと、研磨面と保持面とを接触させた状態で、クリーニング部材と保持面とを相対移動して、保持面をクリーニングすることと、を含むクリーニング方法が提供される。
【００１４】
本発明の第１０の態様に従えば、マスク保持部材におけるマスクを保持可能な保持面をクリーニングするクリーニング方法であって、保持面の周囲の少なくとも一部に設けられるマスク保持部材の開口部に、異物を捕捉可能なトラップ部材を配置することと、クリーニング部材と保持面とを接触させることと、クリーニング部材と保持面とを接触させた状態で、クリーニング部材と保持面とを相対移動して、保持面をクリーニングすることと、を含むクリーニング方法が提供される。
【００１５】
本発明の第１１の態様に従えば、マスクを保持する保持面のクリーニングに用いられるクリーニング方法であって、第１クリーニング部材を有する第１ユニットを、保持面の周囲の少なくとも一部に配置された所定面に支持することと、第１クリーニング部材と保持面とを接触させた状態で、第１クリーニング部材を移動することと、第１クリーニング部材と異なる第２クリーニング部材を有する第２ユニットを、所定面に支持されている第１ユニットに接続することと、第２クリーニング部材と保持面とを接触させた状態で、第２クリーニング部材を移動することと、を含むクリーニング方法が提供される。
【００１６】
本発明の第１２の態様に従えば、マスクからの露光光で基板を露光する露光方法であって、上記態様のクリーニング方法を用いて、マスクを保持する保持面をクリーニングすることと、クリーニングされた保持面に保持されたマスクを露光光で照明し、マスクからの露光光で基板を露光することと、を含む露光方法が提供される。
【００１７】
本発明の第１３の態様に従えば、上記態様の露光方法を用いて基板を露光することと、露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の態様によれば、露光不良の発生を抑制できる。また本発明の態様によれば、不良デバイスの発生を抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。
【００２０】
＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係る露光装置ＥＸの一例を示す概略構成図である。図１において、露光装置ＥＸは、マスクＭを保持しながら移動可能なマスクステージ１と、基板Ｐを保持しながら移動可能な基板ステージ２と、マスクステージ１に保持されているマスクＭを露光光ＥＬで照明する照明系ＩＬと、露光光ＥＬで照明されたマスクＭのパターンの像を基板ステージ２に保持されている基板Ｐに投影する投影光学系ＰＬと、露光装置ＥＸ全体の動作を制御する制御装置３とを備えている。制御装置３は、例えばコンピュータシステムを含む。
【００２１】
また、露光装置ＥＸは、基板Ｐが処理される内部空間４を形成するチャンバ装置５と、マスクＭを支持して搬送可能なマスク搬送システム６と、基板Ｐを支持して搬送可能な基板搬送システム７とを備えている。チャンバ装置５は、内部空間４の環境（温度、湿度及びクリーン度を含む）を調整可能である。
【００２２】
基板Ｐは、デバイスを製造するための基板であって、例えばシリコンウエハのような半導体ウエハ等の基材に感光膜が形成されたものを含む。感光膜は、感光材（フォトレジスト）の膜である。また、基板Ｐにおいて、感光膜上に保護膜（トップコート膜）のような各種の膜が形成されていてもよい。
【００２３】
マスクＭは、基板Ｐに投影されるデバイスパターンが形成されたレチクルを含む。本実施形態において、マスクＭは、例えばガラス板等の透明板にクロム等の遮光膜を用いて所定のパターンが形成された透過型マスクである。この透過型マスクは、遮光膜でパターンが形成されるバイナリーマスクに限られず、例えばハーフトーン型、あるいは空間周波数変調型などの位相シフトマスクも含む。また、本実施形態においては、マスクＭとして透過型マスクを用いるが、反射型マスクでもよい。
【００２４】
露光装置ＥＸは、例えばクリーンルーム内の床面ＦＬ上に設けられた第１コラム９、及び第１コラム９上に設けられた第２コラム１０を含むボディ１１を備えている。第１コラム９は、複数の第１支柱１２と、それら第１支柱１２に防振装置１３を介して支持された第１プレート１４とを有する。第２コラム１０は、第１プレート１４上に設けられた複数の第２支柱１５と、それら第２支柱１５に支持された第２プレート１６とを有する。
【００２５】
照明系ＩＬは、マスクＭ上の所定の照明領域を均一な照度分布の露光光ＥＬで照明する。照明系ＩＬから射出される露光光ＥＬとしては、例えば水銀ランプから射出される輝線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）及びＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）等の遠紫外光（ＤＵＶ光）、ＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）及びＦ２レーザ光（波長１５７ｎｍ）等の真空紫外光（ＶＵＶ光）等が用いられる。本実施形態においては、露光光ＥＬとして、紫外光（真空紫外光）であるＡｒＦエキシマレーザ光が用いられる。
【００２６】
マスクステージ１は、マスクＭを着脱可能なマスク保持部４０を有する。本実施形態において、マスク保持部４０は、マスクＭのパターン形成面（下面）とＸＹ平面とがほぼ平行となるように、マスクＭを保持する。マスクステージ１は、リニアモータ等のアクチュエータを含むマスクステージ駆動装置１７の作動により、マスク保持部４０にマスクＭを保持した状態で、第２プレート１６上で、Ｘ軸、Ｙ軸及びθＺ方向の３つの方向に移動可能である。マスクステージ１は、ガスベアリングにより、第２プレート１６の上面（ガイド面）に非接触で支持されている。マスクステージ１は、例えば基板Ｐの露光時、あるいは露光光ＥＬを用いる計測時等に露光光ＥＬが通過する第１開口１８を有する。第２プレート１６は、露光光ＥＬが通過する第２開口１９を有する。照明系ＩＬから射出され、マスクＭを照明した露光光ＥＬは、第１開口１８及び第２開口１９を通過した後、投影光学系ＰＬに入射する。
【００２７】
また、第２プレート１６上には、マスクステージ１のＹ軸方向の一方の方向（例えば＋Ｙ方向）への移動に応じてそのマスクステージ１とは反対の方向（例えば−Ｙ方向）へ移動するカウンタマス２０が設けられている。カウンタマス２０は、エアパッドを含む自重キャンセル機構により、第２プレート１６の上面に非接触で支持されている。本実施形態において、カウンタマス２０は、マスクステージ１の周囲に設けられている。
【００２８】
マスクステージ１（マスクＭ）の位置情報は、干渉計システム１３のレーザ干渉計１３Ａによって計測される。レーザ干渉計１３Ａは、マスクステージ１の反射面１Ｒを用いて、Ｘ軸、Ｙ軸及びθＺ方向に関するマスクステージ１の位置情報を計測する。制御装置３は、干渉計システム１３の計測結果に基づいてマスクステージ駆動装置１７を作動し、マスクステージ１に保持されているマスクＭの位置制御を行う。
【００２９】
投影光学系ＰＬは、マスクＭのパターンの像を所定の投影倍率で基板Ｐに投影する。投影光学系ＰＬの複数の光学素子は、鏡筒２１に保持されている。鏡筒２１は、フランジ２２を有する。フランジ２２は、第１プレート１４に支持される。本実施形態の投影光学系ＰＬは、その投影倍率が例えば１／４、１／５、又は１／８等の縮小系である。なお、投影光学系ＰＬは、等倍系及び拡大系のいずれでもよい。本実施形態においては、投影光学系ＰＬの光軸ＡＸは、Ｚ軸と平行である。また、投影光学系ＰＬは、反射光学素子を含まない屈折系、屈折光学素子を含まない反射系、反射光学素子と屈折光学素子とを含む反射屈折系のいずれであってもよい。また、投影光学系ＰＬは、倒立像と正立像とのいずれを形成してもよい。
【００３０】
基板ステージ２は、基板Ｐを着脱可能な基板保持部２３を有する。基板保持部２３は、基板Ｐの露光面（上面）とＸＹ平面とがほぼ平行となるように、基板Ｐを保持する。基板ステージ２は、リニアモータ等のアクチュエータを含む基板ステージ駆動装置２４の作動により、基板保持部２３に基板Ｐを保持した状態で、第３プレート２５上で、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ及びθＺ方向の６つの方向に移動可能である。基板ステージ２は、ガスベアリングにより、第３プレート２５の上面（ガイド面）に非接触で支持されている。第３プレート２５は、床面ＦＬに防振装置２６を介して支持されている。
【００３１】
基板ステージ２（基板Ｐ）の位置情報は、干渉計システム１３のレーザ干渉計１３Ｂによって計測される。レーザ干渉計１３Ｂは、基板ステージ２の反射面２Ｒを用いて、Ｘ軸、Ｙ軸及びθＺ方向に関する基板ステージ２の位置情報を計測する。また、基板ステージ２に保持されている基板Ｐの表面の面位置情報（Ｚ軸、θＸ及びθＹ方向に関する位置情報）が、不図示のフォーカス・レベリング検出システムによって検出される。制御装置３は、干渉計システム１３の計測結果及びフォーカス・レベリング検出システムの検出結果に基づいて基板ステージ駆動装置２４を作動し、基板ステージ２に保持されている基板Ｐの位置制御を行う。
【００３２】
マスク搬送システム６は、少なくとも内部空間４においてマスクＭを搬送する。マスク搬送システム６は、マスクステージ１へのマスクＭの搬入、及びマスクステージ１からのマスクＭの搬出を実行する。マスク搬送システム６は、マスクＭが複数収容されたマスクライブラリ８とマスクステージ１との間でマスクＭを搬送可能である。
【００３３】
基板搬送システム７は、少なくとも内部空間４において基板Ｐを搬送する。基板搬送システム７は、基板ステージ２への基板Ｐの搬入、及び基板ステージ２からの基板Ｐの搬出を実行する。本実施形態において、露光装置ＥＸは、不図示のコータ・デベロッパ装置とインターフェースを介して接続されており、基板搬送システム７は、コータ・デベロッパ装置と基板ステージ２との間で基板Ｐを搬送可能である。なお、コータ・デベロッパ装置は、基板Ｐに感光膜又は保護膜等、各種の膜を形成可能な膜形成装置と、露光後の基板Ｐを現像可能な現像装置とを含む。
【００３４】
本実施形態の露光装置ＥＸは、マスクＭと基板Ｐとを所定の走査方向に同期移動しつつ、マスクＭからの露光光ＥＬで基板Ｐを露光する走査型露光装置（所謂スキャニングステッパ）である。本実施形態においては、基板Ｐの走査方向（同期移動方向）をＹ軸方向とし、マスクＭの走査方向（同期移動方向）もＹ軸方向とする。露光装置ＥＸは、基板Ｐを投影光学系ＰＬの投影領域に対してＹ軸方向に移動するとともに、その基板ＰのＹ軸方向への移動と同期して、照明系ＩＬの照明領域に対してマスクＭをＹ軸方向に移動しつつ、マスクＭを露光光ＥＬで照明し、そのマスクＭからの露光光ＥＬを、投影光学系ＰＬを介して基板Ｐに照射する。これにより、マスクＭ及び投影光学系ＰＬを介して基板Ｐが露光され、基板ＰにマスクＭのパターンの像が投影される。
【００３５】
次に、図２を参照して、マスクステージ１について説明する。図２は、本実施形態に係るマスクステージ１、カウンタマス２０及び第２プレート１６近傍の斜視図である。図２において、マスクステージ１は、マスクステージ本体２７と、そのマスクステージ本体２７に設けられたマスク保持部４０とを備えている。
【００３６】
マスクステージ本体２７は、ＸＹ平面内においてほぼ矩形の第１部材２８と、第１部材２８の＋Ｘ側の端に接続された第２部材２９とを含む。マスク保持部４０は、第１部材２８に設けられている。第１開口１８は、第１部材２８のほぼ中央に形成されている。マスク保持部４０は、第１開口１８の周囲の少なくとも一部に配置されている。
【００３７】
第２部材２９は、Ｙ軸方向に長い部材であり、＋Ｘ側の側面に、干渉計システム１３の計測光が照射される反射面１Ｒが配置されている。カウンタマス２０の＋Ｘ側の側面には、干渉計システム１３の計測光が透過可能な透過領域２０Ｔが配置されている。同様に、不図示であるが、カウンタマス２０の−Ｙ側の側面にも、干渉計システム１３の計測光が透過可能な透過領域が配置されており、マスクステージ１の−Ｙ側の側面に配置された反射面１Ｒに干渉計システム１３の計測光が照射される。
【００３８】
本実施形態において、第２プレート１６のほぼ中央に凸部１６Ａが設けられている。マスクステージ本体２７は、ガスベアリングにより、凸部１６Ａの上面に非接触で支持される。第２開口１９は、第２プレート１６の凸部１６Ａのほぼ中央に形成されている。
【００３９】
マスクステージ駆動装置１７は、マスクステージ１を移動可能である。マスクステージ駆動装置１７は、マスクステージ１をＹ軸及びθＺ方向に移動可能な第１駆動装置３０と、マスクステージ１をＸ軸方向に移動可能な第２駆動装置３１とを有する。本実施形態において、第１駆動装置３０は、一対のリニアモータ３２、３３を含む。第２駆動装置３１は、ボイスコイルモータ３６を含む。
【００４０】
第１駆動装置３０は、Ｙ軸方向に長い一対のガイド部材３４、３５を備えている。ガイド部材３４、３５は、リニアモータ３２、３３の固定子として機能するコイルユニットをそれぞれ有する。ガイド部材３４、３５は、カウンタマス２０の内側に配置されている。ガイド部材３４とガイド部材３５とは、Ｘ軸方向に関して離れている。ガイド部材３４、３５の＋Ｙ側の端及び−Ｙ側の端は、所定の固定部材を介して、カウンタマス２０の内面に固定されている。
【００４１】
ガイド部材３４、３５は、マスクステージ本体２７をＹ軸方向に移動可能に支持する。本実施形態において、マスクステージ２７の第１部材２８は、リニアモータ３２、３３の可動子として機能する磁石ユニットを有する。第１部材２８は、ガイド部材３４とガイド部材３５との間に配置されており、リニアモータ３２、３３の可動子は、第１部材２８の＋Ｘ側の端及び−Ｘ側の端にそれぞれ設けられている。
【００４２】
本実施形態においては、第１部材２８の＋Ｘ側の端に設けられた可動子、及びガイド部材３４に設けられた固定子によって、マスクステージ本体２７をＹ軸方向に移動可能なムービングマグネット方式のリニアモータ３２が形成される。同様に、第１部材２８の−Ｘ側の端に設けられた可動子、及びガイド部材３５に設けられた固定子によって、マスクステージ本体２７をＹ軸方向に移動可能なムービングマグネット方式のリニアモータ３３が形成される。
【００４３】
制御装置３は、一対のリニアモータ３２、３３のそれぞれが発生する推力を等しくすることによって、マスクステージ１（マスクステージ本体２７）をＹ軸方向に移動し、Ｙ軸方向の位置を制御可能である。また、制御装置３は、一対のリニアモータ３２、３３のそれぞれが発生する推力を異ならせることによって、マスクステージ１（マスクステージ本体２７）をθＺ方向に移動（回転）し、θＺ方向の位置を制御可能である。
【００４４】
第２駆動装置３１は、Ｙ軸方向に長いガイド部材３７を備えている。ガイド部材３７は、ボイスコイルモータ３６の固定子として機能するコイルユニットを有する。ガイド部材３７は、カウンタマス２０の内側に配置されている。ガイド部材３７は、ガイド部材３５の−Ｘ側に配置されている。ガイド部材３７の＋Ｙ側の端及び−Ｙ側の端は、所定の固定部材を介して、カウンタマス２０の内面に固定されている。
【００４５】
マスクステージ本体２７の−Ｘ側の端には、ボイスコイルモータ３６の可動子として機能する磁石ユニットが配置されている。
【００４６】
本実施形態においては、マスクステージ本体２７の−Ｘ側の端に設けられた可動子、及びガイド部材３７に設けられた固定子によって、マスクステージ本体２７をＸ軸方向に移動可能なムービングマグネット方式のボイスコイルモータ３６が形成される。
【００４７】
制御装置３は、ボイスコイルモータ３６の固定子のコイルユニットに電流を流すことによって、そのコイルユニットを流れる電流と、可動子の磁石ユニットによって生成される磁界とに基づくＸ軸方向の電磁力（ローレンツ力）が発生させることができる。制御装置３は、そのローレンツ力の反力によって、マスクステージ１（マスクステージ本体２７）をＸ軸方向に移動し、Ｘ軸方向の位置を制御可能である。
【００４８】
このように、マスクステージ１は、第１、第２駆動装置３０、３１を含むマスクステージ駆動装置１７により、Ｘ軸、Ｙ軸及びθＺ方向の３つの方向に移動可能である。
【００４９】
カウンタマス２０は、マスクステージ１を配置可能な開口を有する矩形の枠状の部材であり、マスクステージ１の移動に伴う反力を相殺するために、第２プレート１６の上面において移動可能である。カウンタマス２０は、マスクステージ１の移動方向とは反対方向に移動することにより、マスクステージ１の移動に伴う反力を相殺する。
【００５０】
次に、図３及び図４を参照して、マスク保持部４０について説明する。図３は、本実施形態に係るマスク保持部４０の近傍を示す斜視図、図４は、図３の平面図である。
【００５１】
マスク保持部４０は、第１部材２８に設けられている。露光光ＥＬが通過する第１開口１８は、第１部材２８のほぼ中央に形成されている。マスク保持部４０は、第１開口１８の周囲の少なくとも一部に配置されている。
【００５２】
マスク保持部４０は、第１開口１８の周囲の少なくとも一部に配置された台座４１（４１Ａ、４１Ｂ）と、台座４１に設けられた吸着パッド４２とを有する。本実施形態において、台座４１及び吸着パッド４２は、第１開口１８の周囲の一部に、２つ配置されている。本実施形態において、台座４１は、第１開口１８に対して＋Ｘ側に配置された第１の台座４１Ａと、−Ｘ側に配置された第２の台座４１Ｂとを含む。すなわち、本実施形態において、台座４１及び吸着パッド４２は、第１開口１８に対して、Ｘ軸方向に関して両側に配置されている。
【００５３】
吸着パッド４２は、台座４１の上面４１Ｔに設けられている。台座４１の上面４１Ｔは、＋Ｚ側を向く面である。本実施形態において、台座４１の上面４１Ｔは、ＸＹ平面とほぼ平行である。また、本実施形態において、台座４１の上面４１Ｔは、Ｙ軸方向に長い。
【００５４】
吸着パッド４２は、マスクＭの下面の少なくとも一部を保持する保持面４４を有する。保持面４４は、台座４１の上面４１Ｔの少なくとも一部を含む。本実施形態において、保持面４４は、ＸＹ平面とほぼ平行である。
【００５５】
吸着パッド４２は、台座４１の上面４１Ｔの一部に形成された溝４５と、溝４５の内側に形成された吸引口４６とを有する。溝４５は、台座４１の上面４１Ｔにおいて環状に形成されている。溝４５は、Ｙ軸方向に長い。
【００５６】
保持面４４は、台座４１の上面４１Ｔのうち、溝４５が形成されていない部分を含む。本実施形態において、保持面４４は、環状の溝４５の外側の第１部分４４Ａと、内側の第２部分４４Ｂとを含む。
【００５７】
本実施形態において、吸引口４６（４６Ａ、４６Ｂ）は、溝４５の内側に２つ形成されている。吸引口４６は、不図示の流路を介して、真空システムを含む吸引装置に接続されている。吸引口４６は、Ｙ軸方向に長い環状の溝４５のうち、第１開口１８に近い直線部分に配置されている第１の吸引口４６Ａと、第１開口１８から遠い直線部分に配置されている第２の吸引口４６Ｂとを含む。
【００５８】
吸着パッド４２は、マスクＭの下面の少なくとも一部を吸着するように保持する。吸着パッド４２の保持面４４と、マスクＭの下面の一部とを接触させた状態で、吸引口４６に接続されている吸引装置が作動することにより、マスクＭの下面と溝４５の内面とで囲まれた空間の気体が吸引口４６によって吸引され、その空間が負圧になる。これにより、マスクＭの下面が保持面４４に吸着保持される。マスクステージ１は、保持面４４でマスクＭを保持しながら移動可能である。また、吸引口４６を用いる吸引動作が停止されることによって、マスク保持部４０よりマスクＭを外すことができる。
【００５９】
本実施形態において、第１部材２８は、保持面４４の周囲に配置された上面２８Ｔを有する。上面２８Ｔは、第１面４３と、第２面５０と、第３面１５０とを含む。第３面１５０は、第１面４３及び第２面５０より＋Ｚ側に配置されている。第１面４３は、＋Ｚ側を向く面であり、台座４１の保持面４４の周囲の少なくとも一部に配置されている。第１面４３は、Ｘ軸方向に関して、第１開口１８の中心に対して保持面４４の外側に配置されている。具体的には、第１面４３は、台座４１Ａの保持面４４の＋Ｘ側、及び台座４１Ｂの保持面４４の−Ｘ側に配置されている。本実施形態において、第１面４３は、ＸＹ平面とほぼ平行である。第１面４３は、保持面４４より−Ｚ側に配置され、保持面４４より低い。すなわち、台座４１は、第１面４３より＋Ｚ方向に突出している。また、本実施形態において、第１面４３は、Ｙ軸方向に長い。Ｙ軸方向に関して、第１面４３の外形の大きさと保持面４４の外形の大きさとはほぼ同じである。
【００６０】
また、第１部材２８は、保持面４４の周囲の少なくとも一部に配置された第２面５０を有する。第２面５０は、＋Ｚ側を向く面である。本実施形態において、第２面５０は、ＸＹ平面とほぼ平行である。第２面５０は、第１開口１８の中心に対して保持面４４の外側に配置されている。本実施形態においては、第２面５０の少なくとも一部は、台座４１（４１Ａ、４１Ｂ）の保持面４４に対して＋Ｙ側及び−Ｙ側のそれぞれに配置されている。
【００６１】
第１開口１８は、保持面４４の周囲の少なくとも一部に配置される。マスクＭは、その下面の一部に、パターンが形成されたパターン形成領域を有し、保持面４４を含む吸着パッド４２は、そのマスクＭの下面のうち、パターン形成領域以外の領域を保持する。マスク保持部４０は、マスクＭのパターン形成領域が第１開口１８に配置されるようにマスクＭを保持する。マスク保持部４０は、マスクＭの下面とＸＹ平面とがほぼ平行となるように、マスクＭを保持する。
【００６２】
上面２８Ｔの一部に、ＸＹ平面内において第１開口１８の中心に対してＸ軸方向に凹む凹部１８Ｒが形成されている。凹部１８Ｒは、４箇所に形成されている。本実施形態において、凹部１８Ｒは、台座４１ＡのＹ軸方向両側に配置されるとともに、台座４１ＢのＹ軸方向両側に配置されている。第２面５０の少なくとも一部は、凹部１８Ｒの内側に配置されている。
【００６３】
本実施形態において、少なくとも保持面４４は、セラミックス（低膨張セラミックス）で形成されている。本実施形態においては、台座４１を含む第１部材２８が、セラミックスで形成されている。
【００６４】
次に、図５を参照して、マスク搬送システム６について説明する。図５は、マスク搬送システム６の一例を示す斜視図である。
【００６５】
マスク搬送システム６は、マスクＭを支持可能な搬送部材４７と、搬送部材４７を支持する駆動部材４８と、駆動部材４８を移動可能なアクチュエータを含む駆動システム４９とを備えている。本実施形態において、駆動システム４９は、駆動部材４８を、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ及びθＺ方向の６つの方向に移動可能である。搬送部材４７と駆動部材４８とは接続されており、搬送部材４７と駆動部材４８とは一緒に移動する。搬送部材４７は、駆動部材４８の移動に伴って、駆動部材４８と一緒に、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ及びθＺ方向の６つの方向に移動可能である。
【００６６】
駆動部材４８は、プレート部材４８Ａと、プレート部材４８Ａの上面に接続されたロッド部材４８Ｂとを含む。ロッド部材４８Ｂは、駆動システム４９に接続されている。ロッド部材４８Ｂの軸とＺ軸とはほぼ平行である。
【００６７】
搬送部材４７は、プレート部材４８Ａの下面に接続された第１アーム部材４７Ａ及び第２アーム部材４７Ｂを含む。駆動システム４９は、ロッド部材４８ＢをθＺ方向に回転することによって、プレート部材４８Ａ及びそのプレート部材４８Ａに接続された搬送部材４７をθＺ方向に回転することができる。
【００６８】
本実施形態において、搬送部材４７は、マスクＭを支持可能な第１支持部５１及び第２支持部５２を有する。搬送部材４７は、第１支持部５１及び第２支持部５２のそれぞれで２つのマスクＭを同時に支持して搬送可能である。
【００６９】
第１支持部５１は、マスクＭの下面の４箇所のそれぞれと対向可能な４つの支持面５１Ａ〜５１Ｄを含み、マスクＭの下面を４箇所で支持する。同様に、第２支持部５２は、マスクＭの下面の４箇所のそれぞれと対向可能な４つの支持面５２Ａ〜５２Ｄを含み、マスクＭの下面を４箇所で支持する。
【００７０】
支持面５１Ａ〜５１Ｄを含む第１支持部５１は、ロッド部材４８Ｂの軸（回転中心）に対してプレート部材４８Ａの一方側に配置され、支持面５２Ａ〜５２Ｄを含む第２支持部５２は、他方側に配置されている。
【００７１】
本実施形態において、第１、第２アーム部材４７Ａ、４７Ｂのそれぞれは、ロッド部材４８Ｂの軸（回転中心）に対してプレート部材４８Ａの一方側に配置された第１部分と、他方側に配置された第２部分とを有する。第１支持部５１の支持面５１Ａ〜５１Ｄは、第１、第２アーム部材４７Ａ、４７Ｂの第１部分に配置されている。第２支持部５２の支持面５２Ａ〜５２Ｄは、第１、第２アーム部材４７Ａ、４７Ｂの第２部分に配置されている。
【００７２】
上述のように、駆動部材４８は、θＺ方向に回転可能である。搬送部材４７の第１、第２支持部５１、５２のそれぞれは、駆動部材４８の回転に伴って、マスクＭを支持した状態で、θＺ方向に回転（旋回）することができる。
【００７３】
次に、マスク保持部４０へマスクＭを搬入（ロード）する動作、及びマスク保持部４０からマスクＭを搬出（アンロード）する動作の一例について説明する。
【００７４】
例えば、マスクライブラリ８に収容されている第１のマスクＭをマスク保持部４０へロードするために、制御装置３は、マスク搬送システム６を用いて、マスクライブラリ８から第１のマスクＭを搬出する。マスク搬送システム６は、マスクライブラリ８から搬出した第１のマスクＭを、例えば第１支持部５１で支持して搬送する。
【００７５】
マスク保持部４０へ第１のマスクＭをロードするに際し、マスク保持部４０に第２のマスクＭが保持されている場合、制御装置３は、第１のマスクＭをマスク保持部４０へロードする前に、第２のマスクＭをマスク保持部４０からアンロードする動作を実行する。制御装置３は、マスク搬送システム６を用いて、マスク保持部４０から第２のマスクＭをアンロードする。マスク搬送システム６は、第２支持部５２を用いて、マスク保持部４０から第２のマスクＭをアンロードする。マスク搬送システム６は、マスク保持部４０からアンロードした第２のマスクＭを、第２支持部５２で支持する。
【００７６】
マスク保持部４０から第２のマスクＭがアンロードされた後、制御装置３は、駆動システム４９を用いて、駆動部材４８をθＺ方向に回転する。駆動部材４８の回転に伴って、搬送部材４７もθＺ方向に回転する。搬送部材４７は、第１支持部５１で第１のマスクＭを支持し、第２支持部５２で第２のマスクＭを支持した状態で、θＺ方向に回転する。制御装置３は、第１支持部５１に支持された第１のマスクＭがマスク保持部４０と対向し、第２支持部５２に支持された第２のマスクＭがマスク保持部４０から離れるように、搬送部材４７を回転する。
【００７７】
そして、制御装置３は、駆動システム４９を用いて駆動部材４８及び搬送部材４７の位置制御を行い、搬送部材４７の第１支持部５１に支持されている第１のマスクＭを、マスク保持部４０にロードする。マスク保持部４０にロードされた第１のマスクＭの下面の一部とマスク保持部４０の保持面４４とが接触する。制御装置３は、吸引口４６に接続されている吸引装置を作動する。これにより、第１のマスクＭの下面が保持面４４に吸着保持され、マスクステージ１は、保持面４４でマスクＭを保持しながら移動可能である。また、吸引口４６を用いる吸引動作が停止されることによって、マスク保持部４０より第１のマスクＭを外すことができる。
【００７８】
また、マスク保持部４０からアンロードされ、マスク搬送システム６の第２支持部５２に支持されている第２のマスクＭは、そのマスク搬送システム６によって、例えばマスクライブラリ８に搬送される。
【００７９】
次に、マスク保持部４０の保持面４４のクリーニングに用いられるクリーニング装置６０の一例について説明する。図６は、本実施形態に係るクリーニング装置６０の一例を示す斜視図、図７は、クリーニング装置６０が保持面４４のクリーニングを実行している状態を示す斜視図である。
【００８０】
図６及び図７において、クリーニング装置６０は、ボディ６１と、保持面４４をクリーニング可能なクリーニング部材６２と、ボディ６１に配置され、クリーニング部材６２を移動可能な移動機構６３とを備えている。クリーニング装置６０は、露光装置ＥＸに装着可能である。本実施形態において、クリーニング装置６０は、マスクステージ１の第１部材２８に装着可能である。クリーニング装置６０は、第１部材２８に装着された状態で、クリーニング部材６２を用いて、保持面４４をクリーニングする。
【００８１】
クリーニング部材６２は、保持面４４と対向して配置可能な下面６４を有する。クリーニング部材６２の下面６４は、ＸＹ平面とほぼ平行であり、クリーニング部材６２の下面６４とマスク保持部４０の保持面４４とはほぼ平行である。本実施形態において、クリーニング装置６０は、２つの保持面４４のそれぞれに対応するように、クリーニング部材６２を２つ備えている。
【００８２】
クリーニング部材６２の下面６４は、保持面４４と接触可能である。移動機構６３により、クリーニング部材６２は、保持面４４に対して可動である。クリーニング装置６０は、クリーニング部材６２の下面６４とマスク保持部４０の保持面４４とを接触させた状態で、クリーニング部材６２を移動して、保持面４４をクリーニングする。
【００８３】
本実施形態において、クリーニング部材６２は、砥石を含む。砥石は、多孔質部材（例えば、アルミナ（ＡＬ2Ｏ3）、白セラミックス、アルカンサスストーン、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、ルビー、アルテック等）を材料としている。本実施形態においては、クリーニング部材６２の下面６４は、保持面４４を研磨可能な研磨面を含む。クリーニング装置６０は、クリーニング部材６２の下面（研磨面）６４とマスク保持部４０の保持面４４とを接触させた状態で、クリーニング部材６２を移動して、保持面４４を研磨することによって、その保持面４４をクリーニングする。
【００８４】
本実施形態において、ボディ６１は、プレート状で、例えばステンレス等の金属で形成されている。ボディ６１は、保持面４４のクリーニング時に、保持面４４の周囲の少なくとも一部に配置された上面２８Ｔに支持される。本実施形態においては、ボディ６１は、第１部材２８の第２面５０に支持される。
【００８５】
本実施形態において、ボディ６１は、凹部１８Ｒに対応する凸部６１Ｔを有する。凸部６１Ｔは、ＸＹ平面内において、ボディ６１の四隅から、ボディ６１の中心に対してＸ軸方向に突出している。凸部６１Ｔは、凹部１８Ｒに配置可能である。
【００８６】
ボディ６１は、第２面５０に支持される脚部材６５を備えている。脚部材６５は、ボディ６１の下面に配置されている。脚部材６５は、ボディ６１の下面から−Ｚ方向に突出する凸部材である。脚部材６５は、ボディ６１の下面に４つ設けられている。本実施形態においては、脚部材６５は、４つの凸部６１Ｔの下面のそれぞれに配置されている。
【００８７】
ボディ６１の凸部６１Ｔを凹部１８Ｒに配置に配置したとき、脚部材６５は、第２面５０と接触可能であり、その第２面５０に支持される。第１部材２８は、第２面５０で脚部材６５を支持可能である。本実施形態においては、脚部材６５は、合成樹脂等、ボディ６１より柔らかい材料で形成されている。これにより、第２面５０が損傷することが抑制される。
【００８８】
本実施形態において、ＸＹ平面内においてボディ６１の中心に対して＋Ｘ側に配置された２つの凸部６１Ｔ間のＹ軸方向に関する距離は、台座４１Ａ（保持面４４）のＹ軸方向に関する距離とほぼ同じである。また、ＸＹ平面内においてボディ６１の中心に対して−Ｘ側に配置された２つの凸部６１Ｔ間のＹ軸方向に関する距離は、台座４１Ｂ（保持面４４）のＹ軸方向に関する距離とほぼ同じである。また、凸部６１Ｔ以外のボディ６１のＸ軸方向の大きさは、台座４１Ａと台座４１Ｂとの間のＸ軸方向に関する距離とほぼ同じである。すなわち、ボディ６１の凸部６１Ｔを凹部１８Ｒに配置して、第２面５０で脚部材６５を支持したとき、ボディ６１の側面と、第１開口１８と対向する台座６１の側面（第１開口１８の内側面）とが接触する。ボディ６１の側面と、第１開口１８の内側面とが接触することで、マスク保持部４０（保持面４４）に対して、クリーニング装置６０が位置決めされる。
【００８９】
本実施形態においては、第２面５０でボディ６１（脚部材６５）が支持されたとき、ボディ６１の上面は、保持面４４より低くなる。
【００９０】
移動機構６３の少なくとも一部は、ボディ６１の上面に配置されている。本実施形態において、移動機構６３は、クリーニング部材６２を、Ｙ軸方向に移動可能である。移動機構６３は、２つのクリーニング部材６２を、同時に移動可能である。
【００９１】
移動機構６３は、クリーニング部材６２を支持する支持部材６６と、支持部材６６をＹ軸方向に移動する駆動装置６７と、Ｙ軸方向に関する支持部材６６の移動をガイドするガイド部材６８とを備えている。支持部材６６は、２つのクリーニング部材６２の下面６４のそれぞれが、２つの保持面４４のそれぞれと対向して配置可能なように、それら２つのクリーニング部材６２を支持する。支持部材６６は、クリーニング部材６２の上面に接続された第１部材６６Ａと、第１部材６６Ａに接続された第２部材６６Ｂとを含む。第２部材６６Ｂは、Ｘ軸方向に長い。第１部材６６Ａは、第２部材６６Ｂの両端のそれぞれに接続されている。
【００９２】
本実施形態において、第１部材６６Ａは、第２部材６６Ｂに対して、少なくともＺ軸方向に移動可能である。これにより、クリーニング部材６２の下面６４と保持面４４とのＺ軸方向に関する位置関係、及び下面６４とボディ６１の上面とのＺ軸方向に関する位置関係を調整することができる。また、支持部材６６は、第１部材６６Ａと第２部材６６Ｂとを固定する不図示のロック機構を備えている。ロック機構を解除した状態で、第２部材６６Ｂに対して第１部材６６Ａを移動して、第１部材６６Ａ及びその第１部材６６Ａに接続されているクリーニング部材６２の位置を調整し、その後、ロック機構を用いて、第１部材６６Ａと第２部材６６Ｂとを固定することによって、第２部材６６Ｂ対して第１部材６６Ａを位置決めすることができる。
【００９３】
なお、第２部材６６Ｂに対して第１部材６６ＡをＺ軸方向に移動可能な駆動装置を設けることができる。駆動装置は、クリーニング部材６４と保持面４４とのＺ軸方向に関する位置関係を調整することができ、Ｚ軸方向に関してクリーニング部材６４と保持面４４との間に発生する力を調整することができる。
【００９４】
駆動装置６７は、回転モータ６９と、回転モータ６９の回転運動を直線運動に変換する送りねじ機構７０とを有する。送りねじ機構７０は、例えばボールねじを含み、Ｙ軸方向に長いねじ軸７１と、ねじ軸７１の回転によってＹ軸方向に移動するナット７２とを含む。ねじ軸７１は、回転モータ６９に接続されており、回転モータ６９の作動によって回転する。ねじ軸７１が回転することによって、ナット７２が、ねじ軸７１に沿ってＹ軸方向へ移動する。
【００９５】
本実施形態において、駆動装置６７のナット７２と支持部材６６の第２部材６６Ｂとが接続されている。したがって、回転モータ６９の作動により、ナット７２がＹ軸方向へ移動することによって、ナット７２に接続されている支持部材６６がＹ軸方向へ移動し、その支持部材６６のＹ軸方向の移動に伴って、支持部材６６に支持されている２つのクリーニング部材６２も、Ｙ軸方向へ移動する。
【００９６】
ガイド部材６８は、Ｙ軸方向に長い部材であり、ボディ６１の上面に配置されている。移動機構６３は、ガイド部材６８に沿って移動可能なスライド部材７３を備えている。スライド部材７３は、接続部材７４を介して、支持部材６６の第２部材６６Ｂに接続されている。ガイド部材６８は、スライド部材７３の移動をガイドすることによって、そのスライド部材７３に接続されている支持部材６６及びその支持部材６６に支持されているクリーニング部材６２のＹ軸方向に関する移動をガイドする。
【００９７】
また、本実施形態において、クリーニング装置６０は、クリーニング部材６２の下面６４に配置された吸引口７５と、吸引口７５から吸引された異物を回収する回収機構７６とを備えている。回収機構７６は、ハウジング７６Ｈと、そのハウジング７６Ｈの内部に配置された真空システム等の吸引装置と、吸引された異物を回収するフィルタユニットとを含む。また、吸引口７５と回収機構７６とは、流路７７を介して接続されている。流路７７は、支持部材６６の内部に形成されている。回収機構７６は、吸引装置を用いる吸引動作によって、吸引口７５から異物を吸引し、その異物を回収可能である。なお、吸引装置（真空システム）として、例えば露光装置ＥＸが配置されている工場等の設備を利用してもよい。その場合、その設備として配置されている吸引装置と、クリーニング装置６０の回収機構７６（ハウジング７６Ｈ）とが、チューブ等を介して接続される。
【００９８】
図８は、クリーニング部材６２の一例を示す断面図である。図８に示すように、本実施形態のクリーニング部材６２は、内部空間６２Ｈを有する。クリーニング部材６２の下面６４には、吸引口７５が形成されている。吸引口７５は、内部空間６２Ｈと接続される。また、クリーニング部材６２の上面には、支持部材６６（第１部材６６Ａ）の内部に形成された流路７７と接続される開口７８が形成されている。内部空間６２Ｈと流路７７とは、開口７８を介して接続されている。回収機構７６を用いる吸引動作が実行されることによって、クリーニング部材６２の下面６４と保持面４４との間の異物が、吸引口７５によって吸引され、内部空間６２Ｈ、開口７８及び流路７７を通過して、回収機構７６に回収される。
【００９９】
図８に示すように、本実施形態において、第１部材６６Ａの少なくとも一部に、クリーニング部材６２を揺動可能に支持する揺動機構７９が設けられている。揺動機構７９は、例えば弾性体を含む支持機構、ヒンジ機構、あるいは弾性体とヒンジ機構とを有する弾性ヒンジ機構等を含む。揺動機構７９によって、クリーニング部材６２の下面６４は、Ｚ軸、θＸ及びθＹ方向に移動可能である。これにより、例えばクリーニング部材６２の下面６４と保持面４４とを接触させた状態で、クリーニング部材６２を移動したときに、下面６４と保持面４４との間に発生する力の一部を吸収し、下面６４及び保持面４４の少なくとも一方に過剰な力が作用することを抑制することができる。
【０１００】
また、図７に示すように、本実施形態において、クリーニング装置６０は、少なくともクリーニング部材６２が配置される空間８２を形成するカバー部材８０を備えている。カバー部材８０は、ボディ６１との間で空間８２を形成可能である。空間８２には、移動機構６３も配置される。また、クリーニング装置６０は、空間８２の流体を吸引する吸引機構８１を備えている。吸引機構８１は、真空システムを含み、空間８２の気体及び空間８２の内側の異物を吸引可能である。なお、吸引機構８１として、例えば露光装置ＥＸが配置されている工場等の設備を利用してもよい。その場合、その設備として配置されている吸引機構とカバー部材８０（空間８２）とがチューブ等を介して接続される。
【０１０１】
次に、クリーニング装置６０を用いる保持面４４のクリーニング方法の一例について説明する。
【０１０２】
保持面４４をクリーニングするために、クリーニング装置６０がマスクステージ１に装着される。本実施形態において、マスク搬送システム６は、クリーニング装置６０を搬送可能であり、そのマスク搬送システム６によって、クリーニング装置６０がマスクステージ１に装着される。クリーニング装置６０をマスクステージ１に装着する際、制御装置３は、マスクステージ１を、露光光ＥＬの光路から離れた位置、例えばマスク交換位置（ローディングポジション）に移動する。
【０１０３】
また、クリーニング装置６０がマスクステージ１に装着され、そのクリーニング装置６０を用いる保持面４４のクリーニング動作が開始される前に、マスクステージ１に対する動力の供給が停止される。動力は、マスクステージ駆動装置１７を駆動するための動力（電力）、第２プレート１６の上面にマスクステージ１を非接触で支持させるためにガスベアリングに供給されるガス等を含む。
【０１０４】
マスクステージ１は、クリーニング装置６０を支持可能な第２面５０を備えており、クリーニング装置６０のボディ６１が、第２面５０に支持される。また、ボディ６１の側面と、第１開口１８の内側面とが接触し、保持面４４に対して、クリーニング装置６０が位置決めされる。これにより、クリーニング部材６２が、保持面４４と対向する位置に配置され、クリーニング部材６２の下面６４と保持面４４とが接触する。
【０１０５】
クリーニング装置６０は、クリーニング部材６２の下面６４と保持面４４とを接触させた状態で、移動機構６３の回転モータ６９を作動させる。これにより、保持面４４のクリーニング時に、移動機構６３によってクリーニング部材６２がＹ軸方向へ移動される。クリーニング部材６２の下面６４と保持面４４とが接触した状態で、クリーニング部材６２がＹ軸方向へ移動することによって、保持面４４はクリーニング部材６２に研磨され、クリーニングされる。
【０１０６】
本実施形態においては、Ｘ軸方向に関して、クリーニング部材６２の下面６４の大きさは、保持面４４の外形の大きさとほぼ同じ、若しくは保持面４４の外形の大きさより大きい。また、Ｙ軸方向に関して、クリーニング部材６２の下面６４の大きさは、保持面４４の外形の大きさより小さい。クリーニング装置６０は、下面６４と保持面４４とを接触させた状態で、移動機構６３を用いてクリーニング部材６２をＹ軸方向に移動して、保持面４４のほぼ全域をクリーニングする。
【０１０７】
また、少なくとも保持面４４をクリーニングしている間、換言すれば、少なくとも保持面４４に対してクリーニング部材６２を移動している間、クリーニング装置６０は、吸引口７５を用いる吸引動作を実行する。クリーニング部材６２を用いる保持面４４のクリーニング動作（研磨動作）によって、異物が発生する可能性がある。発生した異物は、吸引口７５によって吸引され、回収機構７６に回収される。これにより、保持面４４に異物が残留したり、保持面４４の周囲に異物が飛散したりすることを抑制することができる。
【０１０８】
また、少なくとも保持面４４に対してクリーニング部材６２を移動している間、クリーニング装置６０は、吸引機構８１を用いる吸引動作を実行する。これにより、例えばクリーニング部材６２を用いる保持面４４のクリーニング動作（研磨動作）によって発生した異物を、吸引機構８１によって回収することができる。また、移動機構６３が異物を発生する可能性がある場合でも、吸引機構８１によってその異物を回収することができる。したがって、異物が残留したり、異物が飛散したりすることを抑制することができる。
【０１０９】
クリーニング装置６０を用いる保持面４４のクリーニング動作が終了した後、そのクリーニング装置６０がマスクステージ１から外される。その後、そのクリーニングされた保持面４４にマスクＭが保持される。制御装置３は、そのマスクＭを用いる基板Ｐの露光動作を開始する。基板Ｐの露光動作が開始される前に、マスクステージ１に対する動力の供給が再開される。制御装置３は、クリーニングされた保持面４４に保持されたマスクＭを露光光ＥＬで照明し、そのマスクＭからの露光光ＥＬで基板Ｐを露光する。
【０１１０】
以上説明したように、本実施形態によれば、クリーニング装置６０を用いて、マスク保持部４０の保持面４４を良好にクリーニングすることができる。例えば異物が存在する状態の保持面４４でマスクＭを保持した場合、例えばマスクＭの平面度が低下する可能性がある。その結果、露光不良が発生し、不良デバイスが発生する可能性がある。本実施形態によれば、マスクＭを保持する保持面４４を良好にクリーニングすることができるので、その保持面４４でマスクＭを良好に保持することができる。したがって、露光不良の発生を抑制でき、不良デバイスの発生を抑制できる。
【０１１１】
また、本実施形態によれば、クリーニング装置６０によって、クリーニングの質を維持することができ、保持面４４のクリーン度を維持することができる。
【０１１２】
また、本実施形態によれば、クリーニング装置６０を用いて保持面４４を効率良くクリーニングすることができ、クリーニング作業に伴う露光装置ＥＸの稼動率の低下を抑制することができる。
【０１１３】
なお、本実施形態において、露光装置ＥＸがクリーニング装置６０を含む構成とすることができる。例えば、露光装置ＥＸの制御装置３が、クリーニング装置６０の動作を制御してもよい。例えば、制御装置３とクリーニング装置６０の駆動装置６７とをケーブルで接続し、制御装置３がケーブルを介して駆動装置６７に制御信号を出力することができる。また、制御装置３とクリーニング装置６０の回収機構７６とをケーブルで接続し、制御装置３がケーブルを介して回収機構７６に制御信号を出力することができる。また、制御装置３とクリーニング装置６０との通信を、無線で実行することもできる。例えば、クリーニング装置６０に無線信号を受信可能な受信装置を設けることによって、制御装置３に接続された、無線信号を送信可能な送信装置から、クリーニング装置６０の受信装置に、無線で制御信号を送信することができる。
【０１１４】
＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の第１実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【０１１５】
図９及び図１０は、第２実施形態に係るクリーニング装置９０の一例を示す斜視図である。第２実施形態に係るクリーニング装置９０は、第１クリーニング部材９３をマスク保持部４０の保持面４４と接触させた状態で移動可能な第１移動機構９５を有する第１ユニット９１と、第１クリーニング部材９３と異なる第２クリーニング部材９４を保持面４４と接触させた状態で移動可能な第２移動機構９６を有する第２ユニット９２とを備えている。第２ユニット９２は、第１ユニット９１に対して着脱可能である。図９は、第１ユニット９１のみを示す斜視図であり、図１０は、第１ユニット９１に第２ユニット９２が装着された状態を示す斜視図である。
【０１１６】
本実施形態において、第１クリーニング部材９３は、無塵布である。第２クリーニング部材９４は、砥石である。本実施形態においては、第１クリーニング部材９３と保持面９４とを接触させ、その第１クリーニング部材９３を用いるクリーニング動作を実行した後、第２クリーニング部材９４と保持面４４とを接触させ、その第２クリーニング部材９４を用いるクリーニング動作が実行される。
【０１１７】
第１ユニット９１は、ボディ９７と、第１クリーニング部材９３を保持可能な保持機構９８とを備えている。本実施形態において、第１ユニット９１は、２つの保持面４４のそれぞれに対応するように、第１クリーニング部材９３を保持可能な保持機構９８を２つ備えている。第１移動機構９５は、ボディ９７に配置されている。
【０１１８】
第１移動機構９５は、第１クリーニング部材９３を保持する保持機構９８をＹ軸方向に移動可能である。第１移動機構９５は、第１クリーニング部材９３をそれぞれ保持する２つの保持機構９８を同時に移動可能である。
【０１１９】
第１移動機構９５は、保持機構９８を支持する支持部材９９と、支持部材９９をＹ軸方向に移動する駆動装置１００と、Ｙ軸方向に関する支持部材９９の移動をガイドするガイド部材１０１とを備えている。支持部材９９は、Ｘ軸方向に長い。保持機構９８は、支持部材９９の両端のそれぞれに接続されている。支持部材９９は、２つの保持機構９８に保持された第１クリーニング部材９３のそれぞれが、２つの保持面４４のそれぞれと対向して配置可能なように、それら２つの保持機構９８を支持する。
【０１２０】
また、本実施形態において、第１ユニット９１は、ボディ９７に対して、支持部材９９を少なくともＺ軸方向に移動可能に支持する支持機構９９Ｓを備えている。支持機構９９Ｓは、Ｚ軸方向に関して、保持機構９８に保持された第１クリーニング部材９３と保持面４４との位置関係を調整することができ、保持機構９８に保持された第１クリーニング部材９３と保持面４４との間に発生する力を調整することができる。
【０１２１】
駆動装置１００は、上述の第１実施形態で説明した駆動装置６７と同様、回転モータと、回転モータの回転運動を直線運動に変換する送りねじ機構１０２とを有する。送りねじ機構１０２は、ねじ軸１０３及びナット１０４を含み、回転モータの作動によってねじ軸１０３が回転することによって、ナット１０４がねじ軸１０３に沿ってＹ軸方向へ移動する。駆動装置１００のナット１０４と支持部材９９とは接続されており、回転モータの作動により、支持部材９９に支持されている２つの保持機構９８及びその保持機構９８に保持されている第１クリーニング部材９３がＹ軸方向へ移動する。
【０１２２】
第１移動機構９５は、ガイド部材１０１に沿って移動可能なスライド部材１０５を備えている。スライド部材１０５は、接続部材１０６を介して、支持部材９９に接続されている。ガイド部材１０１は、スライド部材１０５の移動をガイドすることによって、支持部材９９及び第１クリーニング部材９３を保持する保持機構９８のＹ軸方向に関する移動をガイドする。
【０１２３】
図１１は、保持機構９８を示す斜視図、図１２は、側断面図である。図１１及び図１２において、保持機構９８は、保持部材１０７と、保持部材１０７に設けられ、第１クリーニング部材９３の少なくとも一部を配置可能なスリット１０８、１０９を有するスリット部材１６０と、保持部材１０７との間で第１クリーニング部材９３の一部を挟むことができる板ばね１１０とを備えている。
【０１２４】
保持部材１０７は、保持面４４と対向して配置可能な第１下面１１１及び第２下面１１２を有する。第２下面１１２は、第１下面１１１と隣り合う位置に配置されている。本実施形態において、第２下面１１２は、第１下面１１１の−Ｙ側に配置されている。本実施形態において、第１下面１１１の少なくとも一部は、ＸＹ平面とほぼ平行であり、保持面４４とほぼ平行である。第２下面１１２の少なくとも一部は、ＸＹ平面とほぼ平行であり、保持面４４とほぼ平行である。
【０１２５】
本実施形態において、Ｘ軸方向に関する第１下面１１１及び第２下面１１２の大きさは、保持面４４の外形の大きさより大きい。
【０１２６】
第１下面１１１は、第２下面１１２より−Ｚ側に配置されている。第１、第２下面１１１、１１２と保持面４４とが対向して配置されたとき、第１下面１１１と保持面４４との距離のほうが、第２下面１１２と保持面４４との距離より小さい。
【０１２７】
第１クリーニング部材９３は、第１下面１１１を覆うようにスリット１０８、１０９に配置されるとともに、板ばね１１０によって支持される。
【０１２８】
第１下面１１１を覆う第１クリーニング部材９３は、保持面４４と接触可能である。少なくとも第１下面１１１を覆う第１クリーニング部材９３と保持面４４とが接触している状態において、第２下面１１２は、保持面４４と接触しないように配置されており、保持面４４との間に所定のギャップを形成する。第１移動機構９５により、保持機構９８に保持された第１クリーニング部材９３は、保持面４４に対して可動である。第１ユニット９１は、保持機構９８に保持された第１クリーニング部材９３とマスク保持部４０の保持面４４とを接触させた状態で、保持機構９８を移動して、保持面４４をクリーニングする。
【０１２９】
また、第１ユニット９１は、第１クリーニング部材９３と隣り合い、保持面４４と対向する位置に吸引口１１３を備える。本実施形態おいて、吸引口１１３は、第２下面１１２に配置されている。また、第１ユニット９１は、吸引口１１３から吸引された異物を回収する回収機構１１４を備えている。回収機構１１４は、真空システム等の吸引装置、及び吸引された異物を回収するフィルタユニットを含む。吸引口１１３と回収機構１１４とは、流路１１５を介して接続されている。流路１１５は、保持部材１０７の内部に形成された内部流路及び回収機構１１４と保持部材１０７の内部流路とを接続するチューブによって形成された流路を含む。回収機構１１４は、吸引装置を用いる吸引動作によって、吸引口１１３から異物を吸引し、その異物を回収可能である。なお、吸引装置（真空システム）として、例えば露光装置ＥＸが配置されている工場等の設備を利用してもよい。その場合、その設備として配置されている吸引装置と、第１ユニット９１の流路１１５とが、チューブ等を介して接続される。
【０１３０】
本実施形態において、吸引口１１３は、Ｘ軸方向に長いスリット状である。Ｘ軸方向に関する吸引口１１３の大きさは、保持面４４の外形の大きさより大きい。なお、吸引口１１３は長いスリット状に限られるものでなく、例えば複数の開口をＸ軸方向に並べて形成しても良い。この場合、開口の形状は円形、矩形など任意で構わない。
【０１３１】
図１３は、第１ユニット９１が露光装置ＥＸに装着された状態を示す図である。本実施形態において、第１ユニット９１は、マスクステージ１の第１部材２８に装着可能である。
【０１３２】
第１ユニット９１のボディ９７は、第１部材２８の第２面５０に支持される。図９及び図１３に示すように、ボディ９７は、第１部材２８の凹部１８Ｒに対応する凸部９７Ｔを有する。凸部９７Ｔは、凹部１８Ｒに配置可能である。本実施形態においては、第２面５０でボディ９７が支持されたとき、凸部９７Ｔの上面は、保持面４４より低くなる。
【０１３３】
本実施形態において、ＸＹ平面内においてボディ９７の中心に対して＋Ｘ側に配置された２つの凸部９７Ｔ間のＹ軸方向に関する距離は、台座４１Ａ（保持面４４）のＹ軸方向に関する距離とほぼ同じである。また、ＸＹ平面内においてボディ９７の中心に対して−Ｘ側に配置された２つの凸部９７Ｔ間のＹ軸方向に関する距離は、台座４１Ｂ（保持面４４）のＹ軸方向に関する距離とほぼ同じである。これにより、第２面５０でボディ９７を支持したとき、ボディ９７の凸部９７Ｔの側面と、台座６１の＋Ｙ側及び−Ｙ側の内側面とが接触する。
【０１３４】
本実施形態において、凸部９７Ｔ以外のボディ９７のＸ軸方向の大きさは、台座４１Ａと台座４１Ｂとの間のＸ軸方向に関する距離より小さい。
【０１３５】
第１ユニット９１は、保持面４４の周囲の少なくとも一部に配置可能で、異物を捕捉するトラップ部材１１６（１１６Ａ、１１６Ｂ）を備えている。トラップ部材１１６は、プレート状の部材である。トラップ部材１１６は、ＸＹ平面内においてボディ９７の中心に対して＋Ｘ側に配置される第１トラップ部材１１６Ａと、−Ｘ側に配置される第２トラップ部材１１６Ｂとを含む。
【０１３６】
図１４は、第１ユニット９１を模式的に示す正面図である。トラップ部材１１６は、第１ユニット９１のボディ９７に支持されている。ボディ９７は、トラップ部材１１６を支持する支持機構１１７を有し、トラップ部材１１６は、ボディ９７の支持機構１１７に支持されている。本実施形態において、支持機構１１７及びその支持機構１１７に支持されるトラップ部材１１６は、ボディ９７の−Ｚ側（下面側）に配置されている。トラップ部材１１６の上面の少なくとも一部は、ボディ９７の下面と対向して配置される。本実施形態において、支持機構１１７は、トラップ部材１１６を、Ｘ軸方向に移動可能に支持する。
【０１３７】
支持機構１１７は、トラップ部材１１６を、Ｘ軸方向に関して、ボディ９７の中心に対して離れる方向に付勢する付勢部材１１８を含む。付勢部材１１８は、例えばコイルばねを含む。付勢部材１１８を含む支持機構１１７によって、第１トラップ部材１１６Ａは、＋Ｘ方向に付勢され、第２トラップ部材１１６Ｂは、−Ｘ方向に付勢される。
【０１３８】
図１５は、マスクステージ１の第１部材２８に装着された第１ユニット９１を模式的に示す平面図である。第２面５０でボディ９７を支持したとき、ボディ９７の少なくとも一部及びトラップ部材１１６が、第１開口１８に配置される。上述のように、第１トラップ部材１１６Ａは、＋Ｘ方向に付勢され、第２トラップ部材１１６Ｂは、−Ｘ方向に付勢されている。すなわち、付勢部材１１８を含む支持機構１１７によって、第１、第２トラップ部材１１６Ａ、１１６Ｂは、第１開口１８の内側面に付勢されている。したがって、第１開口１８の内側に配置され、第１開口１８の内側面に付勢されている第１、第２トラップ部材１１６Ａ、１１６Ｂの側面と、第１開口１８の内側面とが接触する。また、ボディ９７が第２面５０に支持されると、ボディ９７の凸部９７Ｔの側面と、台座６１の＋Ｙ側及び−Ｙ側の内側面とが接触する。これにより、マスク保持部４０（保持面４４）に対して第１ユニット９１が位置決めされるとともに、ボディ９７及びトラップ部材１１６によって、第１開口１８が塞がれる。本実施形態においては、第１部材２８に装着された第１ユニット９１のトラップ部材１１６の上面は、保持面４４より低くなる。
【０１３９】
なお、第１ユニット９１を第１部材２８に装着する際、例えば図１６の模式図に示すように、付勢部材１１８の力に逆らって、ボディ９７の中心にトラップ部材１１６を近付けるように移動した状態で、第１ユニット９１を第１部材２８に装着する。これにより、第１開口１８の内側に、トラップ部材１１６を円滑に配置することができる。本実施形態においては、トラップ部材１１６の上面にハンドル部材１１９が接続されているので、そのハンドル部材１１９部材を用いて、トラップ部材１１６を移動することができる。
【０１４０】
次に、クリーニング装置９０の第１ユニット９１を用いる保持面４４のクリーニング方法の一例について説明する。
【０１４１】
保持面４４をクリーニングするために、第１ユニット９１がマスクステージ１に装着される。第２面５０にボディ９７が支持されると、第１開口１８がボディ９７及びトラップ部材１１６で塞がれ、保持面４４に対して第１ユニット９１が位置決めされる。これにより、トラップ部材１１６が保持面４４の周囲の少なくとも一部に配置されるとともに、保持機構９８に保持されている第１クリーニング部材９３が、保持面４４と対向する位置に配置され、第１クリーニング部材９３と保持面４４とが接触する。
【０１４２】
第１ユニット９１は、第１クリーニング部材９３と保持面４４とを接触させた状態で、第１移動機構９５の駆動装置１００を作動させる。これにより、第１移動機構９５によって、保持機構９８に保持されている第１クリーニング部材９３がＹ軸方向へ移動される。第１クリーニング部材９３を保持面４４と接触させつつＹ軸方向に移動することによって、保持面４４はクリーニングされる。
【０１４３】
また、少なくとも保持面４４に対して第１クリーニング部材９３を移動している間、第１ユニット９１は、吸引口１１３を用いる吸引動作を実行する。これにより、保持面４４の異物を、吸引口１１３を介して回収することができる。本実施形態においては、第１ユニット９１は、Ｙ軸方向に関して一方向に移動する第１クリーニング部材９３の前方に吸引口１１３が配置されるように、第１移動機構９５を制御する。
【０１４４】
本実施形態において、吸引口１１３は、第１クリーニング部材９３の−Ｙ側に配置されている。第１ユニット９１は、第１クリーニング部材９３を、保持面４４に対して−Ｙ方向に移動させる。これにより、吸引口１１３は、移動する第１クリーニング部材９７の前方側に配置される。
【０１４５】
図１７は、第１ユニット９１を用いるクリーニング動作の一例を示す模式図である。図１７に示すように、第１クリーニング部材９３は、保持面４４に対して−Ｙ方向へ移動し、吸引口１１３は、移動する第１クリーニング部材９３の前方に配置されている。これにより、吸引口１１３を用いる吸引動作が実行された後の保持面４４に、第１クリーニング部材９３が接触した状態で移動することとなる。換言すれば、保持面４４は、吸引口１１３を用いる吸引動作を実行された後、第１クリーニング部材９３を用いる払拭動作（ワイプ動作）を実行される。これにより、第１ユニット９１は、保持面４４を良好にクリーニングすることができる。また、吸引口１１３を用いる吸引動作によって、溝４５の異物も吸引し、除去することができる。
【０１４６】
なお、保持面４４と接触する第１クリーニング部材（無塵布）９３が汚れた場合、例えば第１クリーニング部材９３の一端を引っ張ることで、汚れた部分をずらして第１クリーニング部材９３の未使用の部分を保持面４４に接触させるように第１クリーニング部材９３を巻き取り可能に構成しても良い。また、本実施形態では第１クリーニング部材９３と吸引口１１３とを用いて保持面４４のクリーニングを行うものとしたが、例えば第１クリーニング部材９３を設けず吸引口１１３のみで保持面４４のクリーニングを行っても良い。この場合、吸引口１１３を保持面４４に接触させながら移動して保持面４４のクリーニングを行っても良い。
【０１４７】
また、本実施形態においては、第１開口１８にトラップ部材１１６が配置されているので、異物が第１開口１８に入り込んだり、第１開口１８を介して落下したりすることを抑制することができる。
【０１４８】
また、図１８の模式図に示すように、本実施形態においては、保持面４４と交差するＺ軸方向に関して、保持面４４とその保持面４４の周囲の一部に配置された第１面４３との距離Ｈ１と、保持面４４より低い位置（−Ｚ側の位置）に配置されたトラップ部材１１６の上面と保持面４４との距離Ｈ２とは、ほぼ等しい。本実施形態において、距離Ｈ１、Ｈ２は、例えば０．１ｍｍ〜１．０ｍｍ、好ましくは約０．３ｍｍである。また、Ｘ軸方向に関して、第２下面１１２及びその第２下面１１２に設けられている吸引口１１３の大きさは、保持面４４の外形の大きさより大きい。そのため、例えば第１面４３あるいはトラップ部材１１６の上面に異物が存在する場合でも、第１ユニット９１は、吸引口１１３を用いる吸引動作を実行することによって、第１面４３及びトラップ部材１１６の上面の異物を吸引し、回収することができる。
【０１４９】
第１ユニット９１を用いるクリーニング動作を実行した後、必要に応じて、第２ユニット９２を用いるクリーニング動作が実行される。第２ユニット９２の第２クリーニング部材９４は砥石であり、例えば第１クリーニング部材９３を用いるワイプ動作によって除去しきれなかった保持面４４の異物を、第２クリーニング部材９４を用いる研磨動作によって除去することができる。以下、第２ユニット９２について説明する。
【０１５０】
図１９は、本実施形態に係る第２ユニット９２の一例を示す斜視図、図２０は、第２ユニット９２の一部の透過して示した斜視図である。第２ユニット９２は、第２クリーニング部材９４と、第２クリーニング部材９４を保持面４４と接触させた状態で移動可能な第２移動機構９６とを有する。
【０１５１】
第２クリーニング部材９４は、保持面４４と対向して配置可能な下面１２０を有する。下面１２０は、ＸＹ平面とほぼ平行であり、下面１２０と保持面４４とはほぼ平行である。本実施形態において、第２ユニット９２は、２つの保持面４４のそれぞれに対応するように、第２クリーニング部材９４を２つ備えている。
【０１５２】
第２移動機構９６は、第２クリーニング部材９４を支持する支持部材１２１を含み、２つの第２クリーニング部材９４を、Ｙ軸方向へ同時に移動可能である。支持部材１２１は、２つの第２クリーニング部材９４の下面１２０のそれぞれが、２つの保持面４４のそれぞれと対向して配置可能なように、それら２つの第２クリーニング部材９４を支持する。
【０１５３】
また、本実施形態においては、第２移動機構９６の一部が、第１ユニット９１のボディ９７に配置されている。図９等に示すように、ボディ９７には、支持部材１２１をＹ軸方向に移動可能な駆動装置１２２と、Ｙ軸方向に関する支持部材１２１の移動をガイドするガイド部材１２３とが配置されている。
【０１５４】
第２クリーニング部材９４は、砥石を含み、下面１２０は、保持面４４を研磨可能な研磨面を含む。第２移動機構９６により、第２クリーニング部材９４は、保持面４４に対して可動である。第２ユニット９２は、第２クリーニング部材９４の下面１２０とマスク保持部４０の保持面４４とを接触させた状態で、第２クリーニング部材９４を移動して、保持面４４を研磨することによって、その保持面４４をクリーニングする。
【０１５５】
図２０に示すように、第２ユニット９２は、第２クリーニング部材９４の下面１２０に配置された吸引口１２４と、吸引口１２４から吸引された異物を回収する回収機構１２７とを備えている。回収機構１２７は、真空システム等の吸引装置と、吸引された異物を回収するフィルタユニットとを含む。
【０１５６】
第２クリーニング部材９４は、内部空間９４Ｈを有する。下面１２０に形成されている吸引口１２４は、内部空間９４Ｈと接続される。また、第２クリーニング部材９４の上面には、支持部材１２１の内部に形成された流路１２５と接続される開口１２６が形成されている。内部空間９４Ｈと流路１２５とは、開口１２６を介して接続されている。流路１２５は、回収機構１２７と接続されている。
【０１５７】
回収機構１２７は、吸引装置を用いる吸引動作によって、吸引口１２４から異物を吸引し、その異物を回収可能である。回収機構１２７を用いる吸引動作が実行されることによって、第２クリーニング部材９４の下面１２０と保持面４４との間の異物が、吸引口１２４を介して吸引され、内部空間９４Ｈ、開口１２６及び流路１２５を通過して、回収機構１２１に回収される。なお、吸引装置（真空システム）として、例えば露光装置ＥＸが配置されている工場等の設備を利用してもよい。その場合、その設備として配置されている吸引装置と、流路１２５とが、チューブ等を介して接続される。
【０１５８】
また、本実施形態においては、第２ユニット９２は、第２クリーニング部材９４の下面１２０に溝１２８を有する。溝１２８は、下面１２０に複数形成されている。溝１２８のそれぞれは、Ｘ軸方向に長い。なお、溝１２８の深さ及び／又は幅を最適化して各溝１２８の吸引力をほぼ均等にしても良い。
【０１５９】
図２１は、第２クリーニング部材９４の下面１２０を示す図である。本実施形態において、下面１２０は、Ｙ軸方向に長い。本実施形態において、下面１２０は、研磨パッド４２の凹部である溝４５より大きく、溝４５の全てを覆うことができる大きさを有する。なお、図２１には、下面１２０と研磨パッド４２との関係を分かりやすくするために、研磨パッド４２も合わせて図示してある。
【０１６０】
上述のように、研磨パッド４２の溝４５は、Ｙ軸方向に長く、第２クリーニング部材９４の下面１２０も、Ｙ軸方向に長い。本実施形態において、下面１２０は、研磨パッド４２（保持面４４）より大きく、研磨パッド４２（保持面４４）の全てを覆うことができる大きさを有する。
【０１６１】
吸引口１２４は、Ｙ軸方向に関して下面１２０のほぼ中央に配置されている。本実施形態において、吸引口１２４は、２つである。２つの吸引口１２４は、Ｘ軸方向に沿って配置されている。
【０１６２】
溝１２８のそれぞれは、Ｘ軸方向に長く、Ｙ軸方向に関して下面１２０の複数の位置に形成されている。本実施形態において、Ｙ軸方向に関して、下面１２０の吸引口１２４に対して一方の領域（図２１では−Ｙ側の領域）に形成されている溝１２８のパターンと、他方の領域（図２１では＋Ｙ側の領域）に形成されている溝１２８のパターンとは異なる。
【０１６３】
一方の領域の溝１２８のＸ軸方向の大きさ（長さ）は、下面１２０のＸ軸方向の大きさとほぼ同じである。一方の領域においては、溝１２８は、下面１２０の＋Ｘ側の端及び−Ｘ側の端のそれぞれまで形成される。
【０１６４】
他方の領域の溝１２８のＸ軸方向の大きさ（長さ）は、下面１２０のＸ軸方向の大きさより小さい（短い）。他方の領域においては、下面１２０の＋Ｘ側の端まで形成された溝１２８と、−Ｘ側の端まで形成された溝１２８とが、Ｙ軸方向に関して交互に配置されている。
【０１６５】
なお、下面１２０の全部の領域を、図２１に示す−Ｙ側の領域に形成されている溝１２８のパターンとしてもよいし、図２１に示す＋Ｙ側の領域に形成されている溝１２８のパターンとしてもよい。
【０１６６】
次に、クリーニング装置９０の第２ユニット９２を用いる保持面４４のクリーニング方法の一例について説明する。
【０１６７】
第２ユニット９２で保持面４４をクリーニングするために、マスクステージ１（第１部材２８）の第２面５０に支持されている第１ユニット９１に、第２ユニット９２が接続される。第２ユニット９２は、第２面５０に支持されている第１ユニット９１に対して着脱可能である。第２ユニット９２で保持面４４をクリーニングするために、その第２面５０に支持される第１ユニット９１に対して第２ユニット９２が装着される。
【０１６８】
図２２は、第１部材２８に装着されている第１ユニット９１に第２ユニット９２が接続された状態を示す図である。本実施形態においては、例えば図９に示すように、第１ユニット９１に、駆動装置１２２、ガイド部材１２３及びそのガイド部材１２３に沿って移動可能なスライド部材１２９が配置されている。駆動装置１２２は、回転モータ１３０と、回転モータ１３０の回転運動を直線運動に変換する送りねじ機構１３１とを有する。送りねじ機構１３１は、Ｙ軸方向に長いねじ軸１３２と、ねじ軸１３２の回転によってＹ軸方向に移動するナット１３３とを含む。ねじ軸１３２は、回転モータ１３０に接続されており、回転モータ１３０の作動によって回転する。回転モータ１３０の作動によってねじ軸１３２が回転することによって、ナット１３３が、ねじ軸１３２に沿ってＹ軸方向へ移動する。本実施形態においては、ナット１３３とスライド部材１２９とは接続されており、ナット１３３とスライド部材１２９とは一緒に移動する。
【０１６９】
本実施形態においては、駆動装置１２２のナット１３３と支持部材１２１とが連結可能である。本実施形態においては、支持部材１２１の下面にナット１３３の少なくとも一部を配置可能な凹部（係合部）が形成されており、その凹部とナット１３３とを嵌め合わせることによって、ナット１３３と支持部材１２１とが連結される。なお、支持部材１２１と駆動装置１２２の少なくとも一部とが連結可能であれば、連結機構として任意の構成を採用できる。
【０１７０】
また、第１ユニット９１に対して支持部材１２１をＺ軸方向に移動可能な駆動装置を設けることができる。駆動装置は、Ｚ軸方向に関して、第２クリーニング部材９４と保持面４４との位置関係を調整することができ、第２クリーニング部材９４と保持面４４との間に発生する力を調整することができる。
【０１７１】
支持部材１２１と駆動装置１２２の少なくとも一部とが連結され、その駆動装置１２２を作動することによって、支持部材１２１はＹ軸方向に移動可能となる。したがって、支持部材１２１に支持されている第２クリーニング部材９４も、保持面４４に対してＹ軸方向に移動可能となる。
【０１７２】
なお、支持部材１２１と駆動装置１２２の少なくとも一部とを連結する際、その連結動作を妨げない位置に、第１ユニット９１の支持部材９９が配置される。
【０１７３】
図２２に示すように、支持部材１２１と駆動装置１２２の少なくとも一部とが連結されることによって、２つの第２クリーニング部材９４の下面１２０のそれぞれが、２つの保持面４４のそれぞれと対向して配置され、第２クリーニング部材９４の下面１２０と保持面４４とが接触する。
【０１７４】
クリーニング装置９０は、第２クリーニング部材９４の下面１２０と保持面４４とを接触させた状態で、第２移動機構９６の回転モータ１３０を作動し、第２クリーニング部材９４の下面１２０と保持面４４とを接触させた状態で、第２クリーニング部材９４をＹ軸方向に移動して、保持面４４をクリーニングする。
【０１７５】
図２３は、第２ユニット９２の動作の一例を模式的に示す平面図である。本実施形態においては、第２クリーニング部材９４の下面１２０は、保持面４４より大きい。クリーニング装置９０は、下面１２０と保持面４４とを接触させた状態で、第２クリーニング部材９４をＹ軸方向に僅かに移動するだけで、保持面４４のほぼ全域をクリーニングすることができる。本実施形態においては、第２ユニット９２は、第２クリーニング部材９４の下面１２０を保持面４４の少なくとも一部と対向させた状態でをＹ軸方向に関して往復させて、保持面４４をクリーニングする。具体的には、第２ユニット９２は、溝４５及び保持面４４が全て第２クリーニング部材９４の下面１２０で覆われる状態と、図２３（Ａ）に示すような溝４５及び保持面４４の−Ｙ側の一部が露出される状態と、図２３（Ｂ）に示すような溝４５及び保持面４４の＋Ｙ側の一部が露出される状態とで変化するように、第２クリーニング部材９４をＹ軸方向に往復させる。
【０１７６】
また、本実施形態においては、第２クリーニング部材９４は、Ｘ軸方向に長い溝１２８を下面１２０に有し、保持面４４に対してＹ軸方向に移動する。これにより、例えば保持面４４に付着している異物を、溝１２８のエッジで掻き取って除去することができ、第２クリーニング部材９４は、保持面４４を良好にクリーニングすることができる。
【０１７７】
また、少なくとも保持面４４を第２クリーニング部材９４でクリーニングしている間、換言すれば、少なくとも保持面４４に対して第２クリーニング部材９４を移動している間、クリーニング装置９０は、吸引口１２４を用いる吸引動作を実行する。これにより、異物は、吸引口１２４より吸引され、回収機構１２７に回収される。
【０１７８】
また、第２クリーニング部材９４の下面１２０の溝１２８は、下面１２０の＋Ｘ側及び−Ｘ側の端まで形成されている。したがって、図２４に示すように、溝４５及び保持面４４が全て第２クリーニング部材９４の下面１２０で覆われても、保持面４４の溝４５は、下面１２０の溝１２８によって、大気開放されている。したがって、図２４に示す状態で、吸引口１２４を用いる吸引動作を実行することによって、第２クリーニング部材９４の周囲の気体は、下面１２０の溝１２８を介して保持面４４の溝４５に流れ込み、吸引口１２４に向かって流れる。すなわち、吸引口１２４を用いる吸引動作によって、保持面４４の溝４５に気流が生成される。気流が生成されることによって、例えば保持面４４の溝４５に異物が存在しても、溝４５に生成される気流によって、その異物は吸引口１２４に移送され、吸引口１２４より回収される。特に、溝４５に生成される気流を乱流とすることによって、溝４５の異物を良好に回収することができる。
【０１７９】
また、図２５に示すように、溝４５及び保持面４４の−Ｙ側の一部が露出される状態では、その露出された溝４５から気体が流れ込み、吸引口１２４に向かって流れる。また、図２６に示すように、溝４５及び保持面４４の＋Ｙ側の一部が露出される状態では、その露出された溝４５から気体が流れ込み、吸引口１２４に向かって流れる。このように、溝４５が全て第２クリーニング部材９４の下面１２０で覆われる状態と、溝４５の一部が露出される状態との一方から他方へ変化するように、第２クリーニング部材９４が移動することによって、溝４５に生成される気流の方向を変化させたり、溝４５に乱流を発生させたりすることができる可能性が高くなる。これにより、溝４５の異物を吸引口１２４より良好に回収することができる。
【０１８０】
例えば、図２４に示す状態では、保持面４４の溝４５を大気開放している下面１２０の溝１２８は細いため、溝１２８及び溝４５を流れる気体の速度（流速）は、高くなる可能性がある。また、図２４に示す状態から、図２５及び図２６の少なくとも一方に示す状態に変化させることによって、露出した部分の溝４５から急激に気体が流れ込む可能性が高くなる。また、図２５に示す状態と図２６に示す状態とでは、溝４５を流れる気体の方向が変化する可能性が高くなる。これにより、乱流の発生の可能性が高くなる。したがって、保持面４４の溝４５の異物を良好に回収することができる。
【０１８１】
また、図２７の模式図に示すように、第２ユニット９２を用いるクリーニング中にも、第１開口１８にトラップ部材１１６が配置されているので、異物が第１開口１８に入り込んだり、第１開口１８を介して落下したりすることを抑制することができる。また、例えば第１面４３あるいはトラップ部材１１６の上面に異物が存在する場合でも、第２ユニット９２は、吸引口１２４を用いる吸引動作を実行することによって、第１面４３及びトラップ部材１１６の上面の異物を吸引し、回収することができる。
【０１８２】
クリーニング装置９０を用いる保持面４４のクリーニングが終了した後、そのクリーニング装置９０がマスクステージ１から外される。その後、そのクリーニングされた保持面４４にマスクＭが保持され、制御装置３は、そのマスクＭを用いる基板Ｐの露光動作を開始する。
【０１８３】
以上説明したように、本実施形態によれば、クリーニング装置９０を用いて、マスク保持部４０の保持面４４を良好にクリーニングすることができる。したがって、保持面４４でマスクＭを良好に保持することができる。したがって、露光不良の発生を抑制でき、不良デバイスの発生を抑制できる。
【０１８４】
なお、本実施形態においては、第１ユニット９１及び第２ユニット９２の両方を用いて保持面４４をクリーニングする場合を例にして説明したが、もちろん、第１ユニット９１及び第２ユニット９２のいずれか一方のみを用いて保持面４４をクリーニングすることもできる。
【０１８５】
なお、本実施形態においては、第２クリーニング部材９４を移動するための第２移動機構９６の一部が、第１ユニット９１に配置されている場合を例にして説明したが、第１ユニット９１に配置せずに、第２移動機構９６の全てを第２ユニット９２に配置することもできる。
【０１８６】
図２８は、第２ユニット９２Ｂの一例を示す斜視図である。図２８において、第２ユニット９２Ｂは、第１ユニット９１の少なくとも一部（例えばボディ９７）に連結されるボディ１３４と、そのボディ１３４の上面に搭載された、第２クリーニング部材９４を移動可能な第２移動機構９６Ｂとを含む。第２クリーニング部材９４は、支持部材１２１Ｂに支持されており、第２移動機構９６Ｂは、支持部材１２１ＢをＹ軸方向へ移動可能である。第２移動機構９６Ｂは、回転モータ１３０Ｂ及び送りねじ機構１３１Ｂを含む駆動装置１２２Ｂを有する。送りねじ機構１３１Ｂは、回転モータ１３０Ｂの作動によって回転するＹ軸方向に長いねじ軸１３２Ｂと、ねじ軸１３２の回転によってＹ軸方向に移動するナット１３３Ｂとを含む。ナット１３３Ｂは、支持部材１２１Ｂに接続されている。また、第２ユニット９２Ｂは、第１ユニット９１のボディ９７に配置されているガイド部材１０１に沿って移動可能なスライド部材１２９Ｂを備えている。スライド部材１２９Ｂは、支持部材１２１Ｂに接続されている。なお、スライド部材１２９Ｂは、第１ユニット９１のボディ９７に配置されているガイド部材１０１とは別のガイド部材にガイドされてもよい。
【０１８７】
第２ユニット９２Ｂを用いて保持面４４をクリーニングする際、第２面５０に支持されている第１ユニット９１に第２ユニット９２Ｂが接続される。例えば、第１ユニット９１のボディ９７に、第２ユニット９２Ｂのボディ１３４を配置可能な凹部を形成し、その凹部とボディ１３４とを嵌め合わせることによって、第１ユニット９１と第２ユニット９２Ｂとを連結することができる。そして、第２ユニット９２Ｂの第２クリーニング部材９４と保持面４４とを接触させた状態で、駆動装置１２２Ｂを作動することによって、第２ユニット９２Ｂは、保持面４４をクリーニングすることができる。図２８に示す第２ユニット９２Ｂによっても、保持面４４を良好にクリーニングすることができる。
【０１８８】
なお、本実施形態において、露光装置ＥＸがクリーニング装置９０を含む構成とすることができる。例えば、露光装置ＥＸの制御装置３が、クリーニング装置９０の動作を制御してもよい。例えば、制御装置３が、ケーブルを介して、あるいは無線で、クリーニング装置９０に制御信号を出力することができる。クリーニング装置９０は、その制御信号に基づいて、保持面４４をクリーニングする。
【０１８９】
なお、本実施形態においては、第１クリーニング部材９３及び第２クリーニング部材９４のそれぞれが、回転モータ等を含む駆動装置の駆動力によって移動される場合を例にして説明したが、例えば回転モータ等のアクチュエータを省略してもよい。第１、第２クリーニング部材９３、９４の移動をガイドするガイド部材を設けておくことにより、例えば作業者が第１、第２クリーニング部材９３、９４を移動する場合でも、保持面４４を良好にクリーニングすることができる。
【０１９０】
なお、上述の各実施形態で説明したクリーニング装置６０、９０は、図２９に示すようなマスク保持部４０Ｂをクリーニングすることもできる。図２９に示すマスク保持部４０Ｂは、所謂、ピンチャック機構を有し、周壁部材（リム部材）１４０と、周壁部材１４０の内側に配置された複数のピン部材１４１と、周壁部材１４０の内側に配置された吸引口１４２とを備える。マスク保持部４０Ｂの保持面は、周壁部材１４０の上面及びピン部材１４１の上面を含む。周壁部材１４０は、Ｙ軸方向に長い。
【０１９１】
特に、上述の第２実施形態で説明した第２ユニット９２は、マスク保持部４０Ｂのクリーニングに適している。ＸＹ平面内における、第２ユニット９２の第２クリーニング部材９４の下面１２０の大きさは、周壁部材１４０の外形より大きく、周壁部材１４０の上面及びピン部材１４１の上面の全てを覆うことができる。第２ユニット９２は、第２クリーニング部材９４の下面１２０の吸引口１２４を用いる吸引動作を実行しつつ、周壁部材１４０の上面及びピン部材１４１の上面が全て覆われる状態と、周壁部材１４０の上面の一部及び複数のピン部材１４１の一部の上面が露出される状態の一方から他方へ変化するように、第２クリーニング部材９４を移動することによって、ピン部材１４１の間に気流を生成することができる。これにより、例えばピン部材１４１の間に存在する異物は、吸引口１２４を介して良好に回収される。
【０１９２】
なお、上述の各実施形態において、クリーニング部材は、砥石、無塵布のみならず、例えば粘着剤が塗布された部材等でもよい。
【０１９３】
なお、上述の各実施形態の基板Ｐとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版（合成石英、シリコンウエハ）等が適用される。
【０１９４】
露光装置ＥＸとしては、マスクＭと基板Ｐとを同期移動してマスクＭのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置（スキャニングステッパ）の他に、マスクＭと基板Ｐとを静止した状態でマスクＭのパターンを一括露光し、基板Ｐを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置（ステッパ）にも適用することができる。
【０１９５】
さらに、ステップ・アンド・リピート方式の露光において、第１パターンと基板Ｐとをほぼ静止した状態で、投影光学系を用いて第１パターンの縮小像を基板Ｐ上に転写した後、第２パターンと基板Ｐとをほぼ静止した状態で、投影光学系を用いて第２パターンの縮小像を第１パターンと部分的に重ねて基板Ｐ上に一括露光してもよい（スティッチ方式の一括露光装置）。また、スティッチ方式の露光装置としては、基板Ｐ上で少なくとも２つのパターンを部分的に重ねて転写し、基板Ｐを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。
【０１９６】
また、例えば米国特許第第６６１１３１６号明細書に開示されているように、２つのマスクのパターンを、投影光学系を介して基板上で合成し、１回の走査露光によって基板上の１つのショット領域をほぼ同時に二重露光する露光装置などにも本発明を適用することができる。また、プロキシミティ方式の露光装置、ミラープロジェクション・アライナーなどにも本発明を適用することができる。
【０１９７】
また、露光装置ＥＸとして、米国特許第６３４１００７号明細書、米国特許第６４００４４１号明細書、米国特許第６５４９２６９号明細書、米国特許第６５９０６３４号明細書、米国特許第６２０８４０７号明細書、及び米国特許第６２６２７９６号明細書等に開示されているような、複数の基板ステージを備えたツインステージ型の露光装置にも適用できる。
【０１９８】
更に、米国特許第６８９７９６３号明細書、欧州特許出願公開第１７１３１１３号明細書等に開示されているような、基板を保持する基板ステージと、基準マークが形成された基準部材及び／又は各種の光電センサを搭載した計測ステージとを備えた露光装置にも本発明を適用することができる。また、複数の基板ステージと計測ステージとを備えた露光装置を採用することができる。
【０１９９】
また、例えば国際公開第９９／４９５０４号パンフレット等に開示されているような、液体を介して露光光で基板を露光する液浸露光装置に適用することもできる。また、極端紫外光で基板Ｐを露光するＥＵＶ光光源露光装置にも適用することができる。
【０２００】
露光装置ＥＸの種類としては、基板Ｐに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子（ＣＣＤ）、マイクロマシン、ＭＥＭＳ、ＤＮＡチップ、あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
【０２０１】
なお、上記各実施形態においては、干渉計システムを用いてマスクステージ及び基板ステージの各位置情報を計測するものとしたが、これに限らず、例えば各ステージに設けられるスケール（回折格子）を検出するエンコーダシステムを用いてもよい。この場合、干渉計システムとエンコーダシステムとの両方を備えるハイブリッドシステムとし、干渉計システムの計測結果を用いてエンコーダシステムの計測結果の較正（キャリブレーション）を行うことが好ましい。また、干渉計システムとエンコーダシステムとを切り換えて用いる、あるいはその両方を用いて、ステージの位置制御を行うようにしてもよい。
【０２０２】
また、上述の各実施形態では、露光光ＥＬとしてＡｒＦエキシマレーザ光を発生する光源装置として、ＡｒＦエキシマレーザを用いてもよいが、例えば、米国特許第７０２３６１０号明細書に開示されているように、ＤＦＢ半導体レーザ又はファイバーレーザなどの固体レーザ光源、ファイバーアンプなどを有する光増幅部、及び波長変換部などを含み、波長１９３ｎｍのパルス光を出力する高調波発生装置を用いてもよい。さらに、上記実施形態では、前述の各照明領域と、投影領域がそれぞれ矩形状であるものとしたが、他の形状、例えば円弧状などでもよい。
【０２０３】
なお、上述の各実施形態においては、光透過性の基板上に所定の遮光パターン（又は位相パターン・減光パターン）を形成した光透過型マスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第６７７８２５７号明細書に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターン又は反射パターン、あるいは発光パターンを形成する可変成形マスク（電子マスク、アクティブマスク、あるいはイメージジェネレータとも呼ばれる）を用いてもよい。可変成形マスクは、例えば非発光型画像表示素子（空間光変調器）の一種であるＤＭＤ（Digital Micro-mirror Device）等を含む。また、可変成形マスクとしては、ＤＭＤに限られるものでなく、ＤＭＤに代えて、以下に説明する非発光型画像表示素子を用いても良い。ここで、非発光型画像表示素子は、所定方向へ進行する光の振幅（強度）、位相あるいは偏光の状態を空間的に変調する素子であり、透過型空間光変調器としては、透過型液晶表示素子（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）以外に、エレクトロクロミックディスプレイ（ＥＣＤ）等が例として挙げられる。また、反射型空間光変調器としては、上述のＤＭＤの他に、反射ミラーアレイ、反射型液晶表示素子、電気泳動ディスプレイ（ＥＰＤ：Electro Phonetic Display）、電子ペーパー（または電子インク）、光回折型ライトバルブ（Grating Light Valve）等が例として挙げられる。
【０２０４】
可変成形マスクを保持する保持面が設けられている場合、上述の各実施形態で説明したクリーニング装置及びクリーニング方法を用いて、その保持面を良好にクリーニングすることができる。
【０２０５】
また、非発光型画像表示素子を備える可変成形マスクに代えて、自発光型画像表示素子を含むパターン形成装置を備えるようにしても良い。この場合、照明系は不要となる。ここで自発光型画像表示素子としては、例えば、ＣＲＴ（Cathode Ray Tube）、無機ＥＬディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ：Organic Light Emitting Diode）、ＬＥＤディスプレイ、ＬＤディスプレイ、電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ：Field Emission Display）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ：Plasma Display Panel）等が挙げられる。また、パターン形成装置が備える自発光型画像表示素子として、複数の発光点を有する固体光源チップ、チップを複数個アレイ状に配列した固体光源チップアレイ、または複数の発光点を１枚の基板に作り込んだタイプのもの等を用い、該固体光源チップを電気的に制御してパターンを形成しても良い。なお、固体光源素子は、無機、有機を問わない。
【０２０６】
このようなパターン形成装置を保持する保持面が設けられている場合、上述の各実施形態で説明したクリーニング装置及びクリーニング方法を用いて、その保持面を良好にクリーニングすることができる。
【０２０７】
上述の各実施形態においては、投影光学系ＰＬを備えた露光装置を例に挙げて説明してきたが、投影光学系ＰＬを用いない露光装置及び露光方法に本発明を適用することができる。このように投影光学系ＰＬを用いない場合であっても、露光光はレンズ等の光学部材を介して基板に照射される。
【０２０８】
以上のように、本願実施形態の露光装置は、本願請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
【０２０９】
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図３０に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ２０２、デバイスの基材である基板を製造するステップ２０３、上述の実施形態に従って、マスクのパターンを用いて露光光で基板を露光すること、及び露光された基板を現像することを含む基板処理（露光処理）を含む基板処理ステップ２０４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む）２０５、検査ステップ２０６等を経て製造される。上述の実施形態のクリーニング動作は、基板処理ステップ２０４に含まれる。
【０２１０】
なお、上述の各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。また、上述の各実施形態及び変形例で引用した露光装置などに関する全ての公開公報及び米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。
【図面の簡単な説明】
【０２１１】
【図１】第１実施形態に係る露光装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】第１実施形態に係るマスクステージの近傍を示す斜視図である。
【図３】第１実施形態に係るマスク保持部の一例を示す斜視図である。
【図４】第１実施形態に係るマスク保持部の一例を示す平面図である。
【図５】第１実施形態に係る搬送システムの一例を示す斜視図である。
【図６】第１実施形態に係るクリーニング装置の一例を示す斜視図である。
【図７】第１実施形態に係るクリーニング装置がマスクステージに装着された状態を示す斜視図である。
【図８】第１実施形態に係るクリーニング部材の一例を示す側断面図である。
【図９】第２実施形態に係るクリーニング装置の一例を示す斜視図である。
【図１０】第２実施形態に係るクリーニング装置の一例を示す斜視図である。
【図１１】第２実施形態に係るクリーニング装置の一部を示す斜視図である。
【図１２】第２実施形態に係るクリーニング装置の一部を示す側断面図である。
【図１３】第２実施形態に係るクリーニング装置がマスクステージに装着された状態を示す斜視図である。
【図１４】第２実施形態に係るクリーニング装置の一例を模式的に示す正面図である。
【図１５】第２実施形態に係るクリーニング装置の動作の一例を模式的に示す図である。
【図１６】第２実施形態に係るクリーニング装置の動作の一例を模式的に示す図である。
【図１７】第２実施形態に係るクリーニング装置の動作の一例を模式的に示す図である。
【図１８】第２実施形態に係るクリーニング装置の動作の一例を模式的に示す図である。
【図１９】第２実施形態に係るクリーニング装置の一例を示す斜視図である。
【図２０】第２実施形態に係るクリーニング装置の一部を示す透過図である。
【図２１】第２実施形態に係るクリーニング部材及び保持面を示す図である。
【図２２】第２実施形態に係るクリーニング装置がマスクステージに装着された状態を示す斜視図である。
【図２３】第２実施形態に係るクリーニング装置の動作の一例を模式的に示す図である。
【図２４】第２実施形態に係るクリーニング装置の動作の一例を模式的に示す図である。
【図２５】第２実施形態に係るクリーニング装置の動作の一例を模式的に示す図である。
【図２６】第２実施形態に係るクリーニング装置の動作の一例を模式的に示す図である。
【図２７】第２実施形態に係るクリーニング装置の動作の一例を模式的に示す図である。
【図２８】クリーニング装置の一例を示す斜視図である。
【図２９】クリーニング部材及び保持面の一例を示す図である。
【図３０】マイクロデバイスの製造工程の一例を示すフローチャート図である。
【符号の説明】
【０２１２】
１…マスクステージ、１８…第１開口、４０…マスク保持部、４３…第１面、４４…保持面、４５…溝、５０…第２面、６０…クリーニング装置、６１…ボディ、６２…クリーニング部材、６３…移動機構、６４…下面、７５…吸引口、７６…回収機構、８０…カバー部材、８１…吸引機構、９０…クリーニング装置、９１…第１ユニット、９２…第２ユニット、９３…第１クリーニング部材、９４…第２クリーニング部材、９５…第１移動機構、９６…第２移動機構、９７…ボディ、１１１…第１下面、１１２…第２下面、１１３…吸引口、１１４…回収機構、１１６…トラップ部材、１１８…付勢部材、１２０…下面、１２４…吸引口、１２７…回収機構、１２８…溝、ＥＬ…露光光、ＥＸ…露光装置、Ｍ…マスク、Ｐ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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