(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
転動体転走溝が形成された軌道部材と、前記転動体転走溝に対向する負荷転動体転走溝が形成されると共に無負荷戻し通路が形成される移動部材本体と、前記移動部材本体の進行方向の両端に設けられ、前記負荷転動体転走溝と前記無負荷戻し通路を接続する方向転換路が形成される蓋部材と、前記移動部材本体の前記負荷転動体転走溝を含む転動体循環経路に収容される複数の転動体と、を備える運動案内装置において、
前記移動部材本体に、前記軌道部材の表面に対向する表面を有する減衰プレートと、該減衰プレートと前記軌道部材との間の隙間を調整する隙間調整プレートと、を設け、
前記移動部材本体及び前記隙間調整プレートそれぞれの合わせ面に勾配が付けられ、
前記隙間調整プレートを前記移動部材本体に対して移動させることで、前記減衰プレートと前記軌道部材との間の隙間を調整し、
前記移動部材本体にさらに、前記移動部材本体の進行方向の両端に取り付けられる一対の押え板と、前記押え板に対して前記隙間調整プレートを前記進行方向に押す押圧手段と、前記減衰プレート及び前記隙間調整プレートを前記移動部材本体に固定する固定手段と、設け、
前記移動部材本体にさらに、前記固定手段が前記減衰プレートを引っ張る方向と反対方向に、前記減衰プレートを押さえつける減衰プレート押圧手段を設ける運動案内装置。
【請求項２】
軌道部材と移動部材との間に転がり運動可能に転動体を介在させた運動案内装置の移動部材の移動部材本体に、前記軌道部材の表面に対向する表面を有する減衰プレート、並びに前記減衰プレートと前記軌道部材との間の隙間を調整する隙間調整プレートとを組み付ける運動案内装置の組み立て方法であって、
合わせ面に勾配が付けられた前記隙間調整プレートを、合わせ面に勾配が付けられた前記移動部材本体に対して、前記移動部材本体の進行方向に移動させることで、前記減衰プレートと前記軌道部材との間の隙間を調整する隙間調整工程と、
その後、前記減衰プレート及び前記隙間調整プレートを前記移動部材本体に固定する固定工程と、を備え、
前記隙間調整工程と前記固定工程との間に、前記減衰プレートを前記移動部材本体に固定する際に前記減衰プレートが引っ張られる方向と反対方向に、前記減衰プレートを押さえつける減衰プレート押圧工程を備える運動案内装置の組み立て方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動物体が運動するのを案内するリニアガイド、ボールスプライン等の運動案内装置に関し、特に案内機構に摩擦係数を低減するボール、ローラ等の転動体を介在させた転がり型の運動案内装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
案内機構に転動体を介在させた転がり型の運動案内装置は、すべり型の運動案内装置よりも軽快な動きが得られるという利点があるので、工作機械、半導体・液晶製造装置、ロボット等、幅広い分野で多用されている。転がり型の運動案内装置の一つの使用例として、図１５に示されるように縦型のマシニングセンタのＺ軸に使用される例が挙げられる。この例では運動案内装置２２は、工具２１を回転させる駆動装置２４がベース２３に対してＺ軸方向に直線運動するのを案内する。【０００３】
しかし、転がり型の運動案内装置２２をこのようなマシニングセンタのＺ軸に使用するとき、加工中に運動案内装置２２に振動が発生し、その振動が駆動装置２４の先端の工具２１の部分で拡大し、これによって加工面の精度が落ちてしまうという問題が発生することがあった。工具２１の側からみれば、工具２１の振動によって加工面に強く当って、工具２１の寿命が低下するという問題が発生する。このような問題を解決するために、マシニングセンタのＺ軸には、転がり型の運動案内装置の替わりに減衰性の高いすべり型の運動案内装置が使用されることがある。【０００４】
勿論、すべり型の運動案内装置を使用すると、軽快な動きが得られるという転がり型の運動案内装置のメリットを生かせなくなってしまう。軽快な動きが得られるという転がり型の運動案内装置の最大のメリットを生かしたままで減衰性を向上するために、例えば図１６に示されるように、軌道レール２５と移動ブロック２６との間にスクイーズフィルムダンパ２７を形成し、スクイーズフィルムダンパ２７によって移動ブロック２６が振動するのを減衰させる技術が知られている（特許文献１、２頁参照）。このスクイーズフィルムダンパ２７を用いた流体減衰技術において、移動ブロック２６には、軌道レール１の頂面に向かい合う第１摺動面２８と、軌道レール１の張出し壁の下面に向かい合う第２の摺動面２９が形成される。第１及び第２の摺動面２８，２９と軌道レール１との間には、数十ミクロン程度の隙間ｔが形成され、この隙間ｔに油膜が充満されてスクイーズフィルムダンパを構成する。【０００５】
【特許文献１】特開平５−６０１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
スクイーズフィルムダンパ２７を用いた流体減衰技術は、移動ブロックが軌道レールの軸方向に振動するときに抵抗力が発生するので、移動ブロックの軸方向の振動を減衰することはできる。しかし、移動ブロックが軸直交方向に振動するのを減衰させることができない。本発明者は、マシニングセンタのＺ軸に運動案内装置を使用した場合に問題となる振動は、軌道レールの軸直交方向に発生する振動であることを知見した。この軸直交方向の振動は、工作物を加工しているときに発生する振動であり、移動ブロックが停止中かあるいはゆっくり移動しているときに発生する。そして、問題となる振動は、転動体がばねのような役割をすることが原因で発生する。【０００７】
そこで本発明は、移動ブロックが軌道レールの軸直交方向に振動するのを減衰できる運動案内装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものでない。【００１６】
請求項１に記載の発明は、転動体転走溝（１ａ）が形成された軌道部材（１）と、前記転動体転走溝（１ａ）に対向する負荷転動体転走溝（２ａ）が形成されると共に無負荷戻し通路（２ｂ）が形成される移動部材本体（４）と、前記移動部材本体（４）の進行方向の両端に設けられ、前記負荷転動体転走溝（２ａ）と前記無負荷戻し通路（２ｂ）を接続する方向転換路が形成される蓋部材（５）と、前記移動部材本体（４）の前記負荷転動体転走溝（２ａ）を含む転動体循環経路に収容される複数の転動体（３）と、を備える運動案内装置において、前記移動部材本体（４）に、前記軌道部材（１）の表面に対向する表面を有する減衰プレート（８）と、該減衰プレート（８）と前記軌道部材（１）との間の隙間を調整する隙間調整プレート（７）と、を設け、前記移動部材本体（４）及び前記隙間調整プレート（７）それぞれの合わせ面（４ｃ，７ａ）に勾配が付けられ、前記隙間調整プレート（７）を前記移動部材本体（４）に対して移動させることで、前記減衰プレート（８）と前記軌道部材（１）との間の隙間を調整し、前記移動部材本体にさらに、前記移動部材本体（４）の進行方向の両端に取り付けられる一対の押え板（１０）と、前記押え板（１０）に対して前記隙間調整プレート（７）を前記進行方向に押す押圧手段（１１）と、前記減衰プレート（８）及び前記隙間調整プレート（７）を前記移動部材本体に固定する固定手段（９）と、設け、前記移動部材本体（４）にさらに、前記固定手段（９）が前記減衰プレート（８）を引っ張る方向と反対方向に、前記減衰プレート（８）を押さえつける減衰プレート押圧手段（１２）を設ける運動案内装置である。
【００２０】
請求項２に記載の発明は、軌道部材（１）と移動部材（２）との間に転がり運動可能に転動体（３）を介在させた運動案内装置の移動部材（２）の移動部材本体（４）に、前記軌道部材（１）の表面に対向する表面を有する減衰プレート（８）、並びに前記減衰プレート（８）と前記軌道部材（１）との間の隙間を調整する隙間調整プレート（７）とを組み付ける運動案内装置の組み立て方法であって、合わせ面（７ａ）に勾配が付けられた前記隙間調整プレート（７）を、合わせ面（４ｃ）に勾配が付けられた前記移動部材本体（４）に対して、前記移動部材本体（４）の進行方向に移動させることで、前記減衰プレート（８）と前記軌道部材（１）との間の隙間を調整する隙間調整工程と、その後、前記減衰プレート（８）及び前記隙間調整プレート（７）を前記移動部材本体（４）に固定する固定工程と、を備え、前記隙間調整工程と前記固定工程との間に、前記減衰プレート（８）を前記移動部材本体（４）に固定する際に前記減衰プレート（８）が引っ張られる方向と反対方向に、前記減衰プレート（８）を押さえつける減衰プレート押圧工程を備える運動案内装置の組み立て方法である。
【発明の効果】
【００３２】
隙間調整プレートを押圧手段で押し、隙間を調整し、その後、固定手段で減衰プレートを移動部材本体に固定すると、減衰プレートが移動部材本体側に引っ張られて隙間が過大になってしまい、調整を何度も繰り返さなければならないおそれがある。しかし、請求項１に記載の発明によれば、減衰プレート押圧手段により、減衰プレートが固定手段によって引っ張られ、隙間が過大になるという現象がなくなるため、隙間が安定し、しかも調整の工数を削減することができる。
【００３３】
押圧手段で隙間調整プレートを移動ブロックの進行方向に押すと、減衰プレートが上下に動いて、減衰プレートと軌道部材との間の隙間を調整することができる。その後、固定手段で減衰プレートを移動部材本体に固定することができる。減衰プレート押圧工程により、減衰プレートを移動部材に固定する際に減衰プレートが引っ張られ、隙間が過大になるという現象がなくなるため、隙間が安定し、しかも調整の工数を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の一実施形態における運動案内装置を示す斜視図（一部断面図を含む）。
【図２】運動案内装置の軸直交方向の断面図。
【図３】図２のIII-III線断面図。
【図４】軌道レールと減衰プレートを示す軸方向断面図（図中（Ａ）は軌道レールが真っ直ぐな状態を示し、図中（Ｂ）は軌道レールがうねっている状態を示す）。
【図５】隙間調整プレート及び減衰プレートを締結した移動ブロック本体を示す図（図中（Ａ）は断面図を示し、図中（Ｂ）は正面図を示す）。
【図６】移動ブロック本体を示す図（図中（Ａ）は平面図を示し、図中（Ｂ）は正面図を示す）。
【図７】押さえ板を示す図（図中（Ａ）は正面図を示し、図中（Ｂ）は平面図を示す）。
【図８】隙間調整プレートを示す図（図中（Ａ）は平面図を示し、図中（Ｂ）は側面図を示す）。
【図９】減衰プレートを示す図（図中（Ａ）は側面図を示し、図中（Ｂ）は底面図を示す）。
【図１０】隙間調整方法を示す原理図。
【図１１】隙間調整方法を示す原理図。
【図１２】本発明の他の実施形態における運動案内装置を示す軸直交方向断面図。
【図１３】本発明の他の実施形態における運動案内装置を示す軸方向断面図。
【図１４】本発明のさらに他の実施形態における運動案内装置を示す軸直交方向断面図。
【図１５】運動案内装置をマシニングセンタのＺ軸に使用した例を示す図。
【図１６】従来のスクイーズフィルムダンパを有する運動案内装置を示す断面図。
【符号の説明】
【００３６】
１…軌道レール（軌道部材）
１ａ…ボール転走溝（転動体転走溝）
２…移動ブロック（移動部材）
２ａ…負荷ボール転走溝（負荷転動体転走溝）
２ｂ…無負荷戻し通路
３…ボール（転動体）
４，１６…移動ブロック本体（移動部材本体）
４ａ…中央部
４ｂ…脚部
４ｃ，７ａ…合わせ面
５…エンドプレート（蓋部材）
７…隙間調整プレート
８，１５…減衰プレート
８ｂ…油溝
９…固定ボルト（固定手段）
１０…押さえ板
１１…押しねじ（押圧手段）
１２…押しねじ（減衰プレート押圧手段）
１６ａ…減衰部
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
直線又は曲線運動を行なう移動物体を案内する運動案内装置は、部品を運んだり、組み立てたりの作業をするロボットや、半導体・液晶製造装置、工作機械などの様々な分野で利用されている。転がり型の運動案内装置は、案内部分にボールやローラ等の転動体を介し、転動体の転がり運動によって案内機能を果たす。【００３８】
図１は、本発明の一実施形態における運動案内装置を示す。この実施形態の運動案内装置は、リニアガイドと呼ばれ、ボールの転がり運動によって移動物体が直線運動するのを案内する。リニアガイドは、直線状に細長く延びる軌道部材としての軌道レール１と、この軌道レール１に相対的にスライド可能に組み付けられる鞍状の移動部材としての移動ブロック２とを備える。軌道レール１と移動ブロック２との間には、転がり運動可能に多数のボール３が介在される。【００３９】
軌道レール１は、断面略四角形状に形成され、軌道レール１の左右側面の上部及び上面の両端部には、転動体転走溝として合計４条のボール転走溝１ａが形成される。ボール転走溝１ａは軌道レール１の長手方向に沿って伸び、その断面形状は単一の円弧からなるサーキュラーアーク溝形状又は二つの円弧からなるゴシックアーチ溝形状に形成される。【００４０】
移動ブロック２は、全体が鞍形状に形成されて、移動部材本体としての鋼製の移動ブロック本体４と、移動ブロック本体４の進行方向の両端に設けられる蓋部材としての樹脂製のエンドプレート５とから構成される。移動ブロック本体４には、軌道レール１のボール転走溝１ａに対向する負荷転動体転走溝として負荷ボール転走溝２ａが形成されると共に、負荷ボール転走溝２ａに平行に伸びる無負荷戻し通路２ｂが形成される。負荷ボール転走溝２ａも軌道レール１のボール転走溝１ａと同様に、単一の円弧からなるサーキュラーアーク溝形状又は二つの円弧からなるゴシックアーチ溝形状に形成される。そして、移動ブロック本体４は、軌道レール１の上面に対向する中央部４ａと、中央部４ａの幅方向の両端部から下方に延び、軌道レール１の左右側面に対向する脚部４ｂ，４ｂとを有する。【００４１】
移動ブロック本体４の進行方向の両端面には、負荷ボール転走溝２ａとボール戻し通路２ｂとを接続するＵ字状の方向転換路の内周側を構成するＲピース部が一体に成形される。一方、移動ブロック本体４の進行方向の両端に取り付けられる樹脂製のエンドプレート５には、方向転換路の外周側が形成される。ボール転走溝１ａと負荷ボール転走溝２ａとの間の負荷ボール転走路、負荷ボール転走路と平行に伸びる無負荷戻し通路２ｂ、負荷ボール転走路及び無負荷戻し通路の両端に接続されるＵ字状の方向転換路によって、サーキット状のボール循環経路が構成される。【００４２】
サーキット状のボール循環経路には、多数のボール３が配列・収容される。この実施形態では、多数のボール３は保持帯２４に回転自在に保持されている。ボール３間には、ボール３同士の接触を防止するためのスペーサが介在され、このスペーサが可撓性のベルトによって一連に保持される。【００４３】
軌道レール１に対して移動ブロック２を相対的に軸方向に移動させると、ボール３が負荷転走路で荷重を受けながら転がり運動する。この負荷域のボールの転がり運動に伴って、一連に連結される無負荷域のボール３もボール循環経路を移動するので、最終的には全てのボール３がボール循環経路を循環する。【００４４】
本実施形態の特徴として、移動ブロック２と軌道レール１との間には、二つの部品、すなわち隙間調整プレート７及び減衰プレート８が組み込まれる。これら隙間調整プレート７及び減衰プレート８は移動ブロック本体４に固定されていて、減衰プレート８の軌道レール１に対向する表面（すなわち下面）は、軌道レール１に接触するか、又は軌道レール１との間の隙間が可及的にゼロに設定される。そして、減衰プレート８の軌道レール１に対向する表面と軌道レール１の表面とは平行である。【００４５】
減衰プレートを軌道レールとの間の隙間について詳述する。図２及び図３は、移動ブロック本体４と軌道レール１との間に設けられる隙間調整プレート７及び減衰プレート８を示す。減衰プレート８と軌道レール１とが接触するとは、減衰プレート８と軌道レール１との間はマイナス隙間であることを意味する。この場合、減衰プレート８と軌道レール１とは、ストローク中でも加工中でも常に接触する。なお、図２及び図３では、理解を容易にするために、隙間δがかなり空いているように示されているが、実際には減衰プレート８と軌道レール１とは接触している。【００４６】
他方、減衰プレート８と軌道レール１との間の隙間δが可及的にゼロに設定されることもある。軌道レール１は、図４（Ａ）に示されるように真っ直ぐに製造されるのが望ましいが、図４（Ｂ）に示されるように１０μｍ程度うねって製造されることもある。そのうえ、移動ブロック本体４や減衰プレート８の表面も真っ直ぐに製造されることは少なく、数μｍ程度の曲がりがある。したがって、軌道レール１の最もうねりの高いところで、減衰プレート８と軌道レール１の隙間をゼロに設定しても、軌道レール１の最もうねりの低いところでは１０μｍ程度の隙間が空く。隙間δが可及的にゼロに設定されるとは、このような場合をも含む趣旨である。【００４７】
本発明において、減衰プレート８と軌道レール１との間の隙間は、移動ブロック２又は軌道レール１が軸直交方向に振動したとき、とにかく減衰プレート８と軌道レール１とが接触するように設定される。なぜならば、本発明は、移動ブロック２又は軌道レール１が軸直交方向に振動したときに、減衰プレート８を軌道レール１に接触させて、移動ブロック２又は軌道レール１の軸直交方向に振動を減衰させる技術であるからである。例えば、工作機械で工作物を所定の加工条件で加工している最中に、加工点で発生した振動が運動案内装置に伝わって、移動ブロック２又は軌道レール１が軸直交方向に振動する。このとき、減衰プレート８と軌道レール１とが接触するように隙間δが設定される。【００４８】
軌道レール１又は移動ブロック２が振動するとき、軌道レール１の表面と減衰プレート８の表面とが面で接触することにより、軌道レール１の軸直交方向（ラジアル方向及び逆ラジアル方向）の運動案内装置のばね定数が変化するので、軸直交方向の振動の減衰性が向上する。したがって、運動案内装置を例えば工作機械に使用した場合、加工面品質が悪化したり、工具の寿命が低下したりするという問題が起こらない。なお、実験したところ、工作機械において、加工点で発生する振動が問題になるのは、荒切削のときではなく、むしろ加工力が小さく、且つ振幅も小さい仕上げ切削のときであった。【００４９】
移動ブロック２は、減衰プレート８を取り付けた状態で軌道レール１に挿入されるので、減衰プレート８の表面を軌道レール１に接触させるか、又は軌道レール１との間の隙間を可及的にゼロに設定すると、減衰プレート８と軌道レール１が干渉し、挿入が非常に難しいという問題がある。この問題を解決するために、図２及び図３に示されるように、移動ブロック本体４と減衰プレート８との間に、減衰プレート８と軌道レール１との間の隙間δを調整する隙間調整プレート７が設けられる。そして、移動ブロック２を軌道レール１に挿入するときは、軌道レール１と減衰プレート８との間に隙間ができるようにしておき、挿入した後、隙間を調整して軌道レール１と減衰プレート８とを接触させる。【００５０】
図３に示されるように、移動ブロック本体４と隙間調整プレート７それぞれの合わせ面４ｃ，７ａには勾配が付けられる。すなわち、両方の合わせ面４ｃ，７ａが互いに同じ角度が付いたテーパになっている。減衰プレート８は、隙間調整プレート７を挟んで移動ブロック本体４に結合ボルト等の結合手段でしっかり固定される。移動ブロック本体４と減衰プレート８との締結を緩めた状態で、押しねじ等の押圧手段で隙間調整プレート７を移動ブロック２の進行方向の両側から押し、隙間調整プレート７を移動ブロック本体４に対して移動させると、隙間調整プレート７及び移動ブロック本体４の合わせ面４ｃ，７ａには勾配が付けられているから、隙間調整プレート７の移動により、減衰プレート８が上下する。例えば、隙間調整プレート７を図中左方向に移動させると、減衰プレート８が下がって隙間が小さくなり、図中右方向に移動させると、減衰プレート８が上がって隙間が大きくなる。【００５１】
各構成部品の詳細について説明する。図５は、移動ブロック本体４に隙間調整プレート７及び減衰プレート８を締結した状態を示す。減衰プレート８と移動ブロック本体４とは固定ボルト９により締結される。隙間調整プレート７には、固定ボルト９の径よりも大きなボルト通し穴７ｃが明けられていて、これにより隙間調整プレート７は、移動ブロック本体４に対して進行方向に例えば±２ｍｍ合計４ｍｍ動けるようになっている。移動ブロック本体４と隙間調整プレート７の合わせ面に、例えば１／１００の勾配を付けると、隙間調整プレート７の±２ｍｍのストロークによって、減衰プレート８が±２０μｍ上下する。仮に、隙間調整プレート７をなくして、勾配を付けた減衰プレート８を直接移動ブロック本体４の合わせ面４ｃに合わせたとすると、減衰プレート８の±２ｍｍのストロークを確保するために、移動ブロック本体４のボルト通し穴の周囲に±２ｍｍの隙間を空けなければならない。しかし、このようなボルト通し穴を空けたのでは、固定ボルト９の座面の大きさを確保することができず、固定ボルト９の締結力が不足してしまう。したがって、隙間調整プレート７を介在させ、隙間調整プレート７に±２ｍｍ以上の隙間が空くボルト通し穴７ｃを形成している。【００５２】
図６に示されるように、移動ブロック本体４の進行方向の両端には、切り欠き４ｄが形成される。この切り欠き４ｄに図７に示される押さえ板１０が嵌る。押さえ板１０には、押さえ板１０を移動ブロック本体４に取り付けるためのボルト通し穴１０ａが形成され、また押しねじ１１（図３参照）に螺合する雌ねじ１０ｂが形成される。【００５３】
図８は隙間調整プレート７を示す。隙間調整プレート７の移動ブロック本体４との合わせ面７ａには、上記したように例えば１／１００の勾配が付けられる。移動ブロック本体４の合わせ面４ｃにも、隙間調整プレート７の合わせ面７ａと同様の勾配が付けられる。これらの合わせ面４ｃ，７ａは、両方とも平面である。一方、隙間調整プレート７の減衰プレート８との合わせ面７ｂには、勾配が付けられていない。【００５４】
図９は減衰プレート８を示す。本発明では、減衰プレート８が軌道レール１に接触することで、移動ブロック２の軸直交方向の振動を減衰させる。減衰プレート８が剛体に近いとばねのようになり、振幅は小さくすることができるが、減衰効果は十分でないかもしれない。このため、減衰プレート８の材質には、樹脂や軟質金属の鋳物等が用いられる。この減衰プレート８は、軌道レール１に接触しながら、軌道レール１の軸方向に移動する。金属同士の接触になると、非常に大きい抵抗が発生して減衰プレート８が焼きつくおそれがある。減衰プレート８の焼き付きを防止するために、減衰プレート８の表面には、摩擦抵抗を低減するための油が供給される油溝８ｂが形成される。この油溝８ｂには、図５（Ａ）に示される油供給経路１７から油が供給される。ただし、減衰プレート８と軌道レール１とは接触するので、油の抜け道がないと、供給される油の圧力によって減衰プレート８と軌道レール１との間に隙間が発生してしまう。したがって、油溝８ｂは、減衰プレートの側面に達する抜け道８ｃを有する。【００５５】
図１０に示されるように、隙間調整プレート７を押しねじ１１で押して隙間を調整し、その後、移動ブロック本体の上面から固定ボルト９で減衰プレート８を移動ブロック本体４に固定すると、減衰プレート８が移動ブロック本体４側に引っ張られて隙間が過大になってしまい、調整を何度も繰り返さなければならないおそれがある。このため、図１１に示されるように、移動ブロック本体４の上面から、減衰プレート押圧手段としての減衰プレート押しねじ１２で減衰プレート８を押さえつけ（言い換えれば移動ブロック本体４側に引っ張られるのを防止し）、その後、固定ボルト９で減衰プレート８を移動ブロック本体４に固定してもよい。これにより、減衰プレート８が固定ボルト９によって引っ張られ、隙間δが過大になるという現象がなくなるため、隙間δが安定し、しかも調整の工数を削減することができる。【００５６】
図１２及び図１３は、本発明の他の実施形態における運動案内装置を示す。この実施形態では、隙間調整プレートを設けることなく、減衰プレート１５を直接移動ブロック本体４に固定している。減衰プレート１５の下面は、上記に記載の運動案内装置と同様に、軌道レール１に接触するか、又は軌道レール１との間の隙間δが可及的にゼロに設定される。そして、減衰プレート１５の下面には焼き付きを防止するための油が供給される油溝が形成される。減衰プレート１５の移動ブロック本体との合わせ面には、隙間を調整するための勾配が付けられてもよい。移動ブロック本体４、軌道レール１等の構成は上記実施形態の運動案内装置と同様なので、同一の符号を附してその説明を省略する。この実施形態でも、軌道レール１又は移動ブロック２から振動が発生すると、軌道レール１の表面と減衰プレート１５の表面とが接触することにより、軌道レール１の軸直交方向（ラジアル方向及び逆ラジアル方向）の運動案内装置のばね定数が変化するため、軸直交方向の振動の減衰性が向上する。【００５７】
図１４は、本発明の更に他の実施形態における運動案内装置を示す。この実施形態の運動案内装置では、減衰プレートの替わりに、移動ブロック本体１６と同じ材質で一体に減衰部１６ａが設けられている。減衰部１６ａの軌道レール１に対向する表面１６ｂは平面である。減衰部１６ａの表面１６ｂは、上記に記載の運動案内装置と同様に、軌道レール１に接触するか、又は軌道レール１との間の隙間δが可及的にゼロに設定される。そして、減衰部１６ａの表面１６ｂには、焼き付きを防止するための油が供給される油溝が形成される。この実施形態でも、軌道レール１又は移動ブロック２から振動が発生するとき、軌道レール１の表面と減衰部１６ａの表面１６ｂとが接触することにより、軌道レール１の軸直交方向（ラジアル方向及び逆ラジアル方向）の運動案内装置のばね定数が変化するため、軸直交方向の振動の減衰性が向上する。【００５８】
なお、本発明は上記の実施形態に限られることなく、本発明の要旨を変更しない範囲で種々変更可能である。例えば本発明の運動案内装置は、マシニングセンタのＺ軸に限られることはなく、移動ブロック又は軌道レールに軸直交方向に振動が発生するものであれば、様々な工作機械、ロボット、半導体製造装置等に適用することができる。また、本発明の運動案内装置は移動ブロックが鞍形状のリニアガイドに限られることなく、ボールスプラインにも適用することができる。【００５９】
さらに、隙間調整プレートと減衰プレートを併用した場合、減衰プレートと軌道レールとの間の隙間を変えて減衰効果を調整することも可能になる。この場合には、減衰プレートと軌道レールとの間に数μｍ〜数十μｍの隙間を空けて、隙間に油を充填する。この油により、移動ブロックが軌道レールの軸方向に振動するときに抵抗力が発生する。したがって、この隙間調整プレートと減衰プレートを併用した発明は、接触式減衰ガイドだけでなく、油膜によって減衰させる機能をもつ案内装置に対しても適用することができる。【００６０】
本明細書は、２００５年５月２４日出願の特願２００５−１５１４７２に基づく。この内容はすべてここに含めておく。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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