(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニア運動又は回転運動を定量的に検出するためのオプティカルエンコーダであって、
当該オプティカルエンコーダは、
同じ長さの光透過領域（１１）及び光不透過領域（１２）の周期的な配置を含むラスタ装置（１）と、
該ラスタ装置（１）の方向に光束を放射するための光放射装置と、
前記光束が前記ラスタ装置（１）を通過し、該ラスタ装置（１）によって該ラスタ装置（１）の運動の結果変調された後で前記光束を検出するための検出装置（２）であって、ちょうど３つの光受信器（２１〜２３）を有する検出装置（２）と、
前記運動の速度及び方向を決定するための、前記検出装置（２）に結合された評価回路（３０）と
を有し、
前記光受信器（２１〜２３）の光受信領域は相互に隣接して、前記ラスタ装置（１）のラスタの方向に対して平行に配置されており、前記３つの光受信器（２１〜２３）のうち、第２の光受信器（２２）は第１の光受信器（２１）と第３の光受信器（２３）との間に設けられている、リニア運動又は回転運動を定量的に検出するためのオプティカルエンコーダにおいて、
評価回路（３０）は加算器（３１）を含み、該加算器（３１）には前記第１の光受信器（２１）の出力信号（Ａ）と、前記第３の光受信器（２３）の、前記第１の光受信器（２１）の出力信号（Ａ）に対して反転した出力信号（Ｃ）とが供給され、
前記評価回路（３０）はさらに前記加算器（３１）に後置接続された除算器（３４）を含み、該除算器（３４）は前記加算器（３１）から送出される信号のレベルを低減し、このようにしてその出力側において基準信号（（Ａ＋Ｃ）/２）を供給し、
前記評価回路（３１）はさらに第１のコンパレータ（３２）及び第２のコンパレータ（３３）を有し、前記第１のコンパレータ（３２）には前記第１の光受信器（２１）の出力信号（Ａ）及び前記基準信号が供給され、これに基づいて前記第１のコンパレータ（３２）はその出力側において第１のクアドラチュア信号（ＱＳ１）を供給し、前記第２のコンパレータ（３３）には前記第２の光受信器（２２）の出力信号（Ｂ）及び前記基準信号が供給され、これに基づいて前記第２のコンパレータ（３３）はその出力側において第２のクアドラチュア信号（ＱＳ２）を供給することを特徴とする、リニア運動又は回転運動を定量的に検出するためのオプティカルエンコーダ。
【請求項２】
前記ラスタの方向に対して平行な方向の前記検出装置（２）の長さは、前記ラスタ装置（１）の半周期から完全な１周期までの領域の長さを有する、請求項１記載のオプティカルエンコーダ。
【請求項３】
検出装置（１）の長さはラスタ装置（１）の周期の３/４の長さを有することを特徴とする、請求項２記載のオプティカルエンコーダ。
【請求項４】
前記除算器は、ファクタ２の除算器である、請求項１から３までのいずれか１項記載のオプティカルエンコーダ。
【請求項５】
光受信器（２１〜２３）は共通の半導体基板に形成されていることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項記載のオプティカルエンコーダ。
【請求項６】
前記評価回路（３１）も、前記共通の半導体基板に形成されていることを特徴とする、請求項５記載のオプティカルエンコーダ。
【請求項７】
光放射装置（２）は半導体ＬＥＤであることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項記載のオプティカルエンコーダ。
【請求項８】
前記光放射装置（２）は垂直共振器型レーザダイオード（ＶＣＳＥＬ）である、請求項７記載のオプティカルエンコーダ。
【請求項９】
前記３つの光受信器（２１〜２３）は直線状に配列され、該３つの光受信器（２１〜２３）の光受信面は直接隣接して配置されている、請求項１から８までのいずれか１項記載のオプティカルエンコーダ。
【請求項１０】
前記第１のクアドラチュア信号は前記第２のクアドラチュア信号に対して９０°位相シフトされている、請求項１から９までのいずれか１項記載のオプティカルエンコーダ。
【請求項１１】
前記第１のクアドラチュア信号および前記第２のクアドラチュア信号の相対的な位相によって、前記リニア運動または回転運動の方向に関する情報が得られ、
前記第１のクアドラチュア信号および前記第２のクアドラチュア信号のカウンティングパルスによって、前記リニア運動または回転運動の速度に関する情報が得られる、請求項１０記載のオプティカルエンコーダ。
【請求項１２】
オプティカルエンコーダを使用してリニア運動又は回転運動を定量的に検出するための方法であって、
当該オプティカルエンコーダは、
同じ長さの光透過領域（１１）及び光不透過領域（１２）の周期的な配置を含むラスタ装置（１）と、
該ラスタ装置（１）の方向に光束を放射するための光放射装置と、
前記光束が前記ラスタ装置（１）を通過し、該ラスタ装置（１）によって該ラスタ装置（１）の運動の結果変調された後で前記光束を検出するための検出装置（２）であって、ちょうど３つの光受信器（２１〜２３）を有する検出装置（２）と、
前記運動の速度及び方向を決定するための、前記検出装置（２）に結合された評価回路（３０）と
を有し、
前記光受信器（２１〜２３）の光受信領域は相互に隣接して、前記ラスタ装置（１）のラスタの方向に対して平行に配置されており、前記３つの光受信器（２１〜２３）のうち、第２の光受信器（２２）は第１の光受信器（２１）と第３の光受信器（２３）との間に設けられており、
前記評価回路（３０）は、加算器（３１）と、該加算器（３１）に後置接続された除算器（３４）と、第１のコンパレータ（３２）と、第２のコンパレータ（３３）とを有し、
当該方法は、
・前記第１の光受信器（２１）の出力信号（Ａ）と、前記第３の光受信器（２３）の、前記第１の光受信器（２１）の出力信号（Ａ）に対して反転した出力信号（Ｃ）とを前記加算器（３１）に供給するステップと、
・前記除算器（３４）が、前記加算器（３１）から送出される信号のレベルを低減し、出力側において基準信号（（Ａ＋Ｃ）/２）を出力するステップと、
・前記第１の光受信器（２１）の出力信号（Ａ）及び前記基準信号を前記第１のコンパレータ（３２）に供給し、前記第１のコンパレータ（３２）は出力側において第１のクアドラチュア信号（ＱＳ１）を出力するステップと、
・前記第２の光受信器（２２）の出力信号（Ｂ）及び前記基準信号を前記第２のコンパレータ（３３）に供給し、これに基づいて前記第２のコンパレータ（３３）はその出力側において第２のクアドラチュア信号（ＱＳ２）を出力するステップと
を有することを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、同じ長さの光透過領域及び光不透過領域の周期的な配置を含むラスタ装置を有し、このラスタ装置の方向に光束を放射するための光放射装置を有し、光束がラスタ装置を通過し、このラスタ装置によってこのラスタ装置の運動の結果変調された後で光束を検出するための検出装置を有し、運動の速度及び方向を決定するための、検出装置に結合された評価回路を有する、リニア運動又は回転運動を定量的に検出するためのオプティカルエンコーダに関する。とりわけ本発明は検出装置が３つの光受信器のリニアな配置によって形成されるオプティカルエンコーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
オプティカルエンコーダは、運動体の回転運動乃至はリニア運動の回転角度乃至は長さ及び方向を検出するために使用される。このような装置の基本的な構成部材は放射器システム、ラスタプレート、通常はラスタディスク又はラスタ定規及び検出装置である。放射器システムは通常は発光ダイオード又はレーザダイオードからなり、このダイオードの光射出側にはレンズが結合されている。発光ダイオードから放射される光束はラスタプレートによって変調される。これは運動体に接続されており、周期的な開口部パターンを有する。検出装置はこのラスタプレートにより変調された発光ダイオードの送信信号を検出し、出力側から運動の速度及び方向に関する情報を供給する。
【０００３】
オプティカルエンコーダのこれまでのバージョンは付加的な光学系、ラスタプレート及び評価ロジックを有する検出器アレイを有する発光ダイオードから成る。放射器側では光束が発生され、この光束は検出器アレイをできるだけ均一に照明する。この検出器アレイは４つのフォトダイオードのリニアな配置から成り、これらの４つのフォトダイオードはリニアな運動の方向に又は回転運動に関して接線上に配置されている。これらのフォトダイオードの間隔はラスタディスク周期の１/４であり、隣り合う２つのフォトダイオードの信号は互いに９０°だけ位相シフトされている。これらのフォトダイオードの出力信号は評価回路において適切に処理され、この結果、運動の速度、すなわちリニア速度又は回転速度及び方向を供給する。
【０００４】
ＵＳ−Ａ−４６５４５２５には例えば回転運動のためのオプティカルエンコーダとして使用するためのこのような装置が記述されている。この装置では回転軸を中心として円形のラスタプレートが中心に配置され、このラスタプレートの周期的な開口部ラスタは光源と４つのフォトダイオードから成るリニアアレイとの間に測定すべき回転運動中に通過し、これによってこれらのフォトダイオードに入射する光が変調される。ラスタプレートの開口部ラスタは、このラスタプレートの光透過領域の幅も光不透過領域の幅も２つの隣り合って配置されたフォトダイオードの幅に相応するように形成されている。これによって４つの同一の、しかし連続的に９０°だけ互いにシフトされたフォトダイオードの出力信号（クアドラチュア信号（quadrature signal））が生成される。これらの出力信号から加算器とコンパレータとの適切な相互接続によって９０°だけ互いにシフトされた２つのクアドラチュア信号が発生され、これらのクアドラチュア信号のサンプリングレート及び位相関係がこの回転方向及び回転速度に関する情報を与える。このような相互接続によって、光強度における変化を補償することができることが保証される。
【０００５】
これに匹敵する装置がＵＳ−Ａ−４６９１１０１でも提案されている。付加的にここではフォトダイオード出力信号の増大のために光検出器のリニアな４重アレイの複数の群を互いに相前後して配置し、互いに位相の同じフォトダイオードの出力側を電気的に互いに結合することが提案されている。さらに、代わりの実施形態が提案されており、この代わりの実施形態ではそれぞれ別の個数の光検出器がグループにまとめられる。
【０００６】
この従来技術に共通するのは、それぞれ面積においてはラスタプレートのスリット開口部の半分の大きさを有しかつ電気的に別個にバイアスをかけなくてはならない少なくとも４つの光検出器、通常は半導体材料から成るフォトダイオードを含むトータルな光検出器面が設けられなければならないことである。これは比較的大きな製造コスト及び半導体チップ面積の消費に結びつく。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、低減されたコストで製造でき、さらに検出器側で半導体チップ面積の僅少な消費を有し、同時に周知の装置の利点、すなわちとりわけ光強度変動に対する非敏感性を維持したままであるリニア運動又は回転運動を定量的に検出するためのオプティカルエンコーダを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、検出装置は３つの光受信器を有し、３つの光受信器の光受信領域は互いに隣接してラスタ装置のラスタの方向に対してパラレルに配置されており、さらに検出装置の長さはこの方向においてラスタ装置の半周期から完全な１周期までの領域の長さを有することによって解決される。
【０００９】
従って、本発明は、リニア運動又は回転運動を定量的に検出するためのオプティカルエンコーダであって、同じ長さの光透過領域及び光不透過領域の周期的な配置を含むラスタ装置を有し、このラスタ装置の方向に光束を放射するための光放射装置を有し、この光束がラスタ装置を通過し、ラスタ装置によってこのラスタ装置の運動の結果変調された後で光束を検出するための検出装置を有し、運動の速度及び方向を決定するための、検出装置に結合された評価回路を有する、リニア運動又は回転運動を定量的に検出するためのオプティカルエンコーダにおいて、検出装置は３つの光受信器を有し、これらの３つの光受信器の光受信領域は互いに隣接してラスタ装置のラスタの方向に対して平行に配置されており、さらに検出装置の長さはこの方向においてラスタ装置の半周期から完全な１周期までの領域の長さを有する、リニア運動又は回転運動を定量的に検出するためのオプティカルエンコーダを記述する。
【００１０】
本発明の有利な実施形態では、検出装置の長さはラスタ装置の周期の３/４の長さを有する。
【００１１】
従って、本発明のオプティカルエンコーダは、たった３つのリニアに配置された光受信器から形成される。これによって、製造コストは周知の装置に比べて低減される。周知の装置の利点、すなわち、とりわけ光強度変動に対する非敏感性を失うことなしにこれは実現される。これは基本的に次のことに基づく。すなわち、検出装置の本発明の装置において、適切な回路によって基準信号が発生され、光強度変動を補償するために使用されることに基づく。とりわけ、この目的のために、評価回路は有利には加算器を含み、この加算器には第１の光受信器の出力信号及び第３の光受信器の出力信号が供給され、さらにこの評価回路は加算器に後置接続されたレベル低減構成素子を含み、このレベル低減構成素子は加算器から送出される信号のレベルを低減し、このようにしてその出力側において基準信号を供給し、評価回路はさらに第１のコンパレータ及び第２のコンパレータを有し、第１のコンパレータには第１の光受信器の出力信号及び基準信号が供給され、これに基づいて第１のコンパレータはその出力側において第１のクアドラチュア信号を供給し、第２のコンパレータには第２の光受信器の出力信号及び基準信号が供給され、これに基づいて第２のコンパレータはその出力側において第２のクアドラチュア信号を供給する。このように得られた２つのクアドラチュア信号は互いに９０°だけ位相シフトされており、これらのパルスシーケンス及びこれらの相対的な位相は運動の速度及び方向に関する情報を与える。
【００１２】
レベル低減構成素子は有利には除算器（Teiler）、加算器から送出される一定の信号のレベルをファクタ２だけ低減する除算器である。
【００１３】
従って、光強度の変動において全ての３つの光受信器の出力信号だけではなく同じ程度に基準信号も変化する。コンパレータではこれらの変動が相殺され、この結果、コンパレータから送出されるクアドラチュア信号は光強度変動からの影響をうけないでいられる。
【００１４】
検出装置の長さがラスタ装置の周期の３/４を有する既述の有利な実施形態の場合には、光検出器及び後続配置された構成素子の出力信号の曲線形状に基づいて直接的に目指す成果が得られることが見て取れる。検出装置の長さに対して設けられるその他の領域の場合でも、シミュレーション計算によれば、本発明の装置は満足すべき結果から良好な結果までを与える。基準信号はなるほどその場合には一定ではなく周期的に変化するが、それにもかかわらず結果的に得られるクアドラチュア信号によって運動の速度及び方向への一意的な推論が可能である。
【００１５】
有利には光受信器は半導体フォトダイオードとして構成され、共通の半導体基板に形成されている。さらに有利には、評価回路もこれらの光受信器とともに集積的に共通の半導体基板に形成されている。
【００１６】
【実施例】
次に本発明を既述の有利な実施例に基づいて図１から図４と関係づけて詳しく説明する。
【００１７】
図１の概略的な図示によれば、ここには図示されていない光放射装置、有利には半導体ＬＥＤのできるだけ平行かつ均質なビーム束１０は平坦なラスタ装置１、すなわちラスタディスク又はラスタ定規に向けられる。この半導体ＬＥＤの放射光はレンズによって平行化された。このラスタ装置１は、光透過領域１１及び光不透過領域１２から成る周期的なリニアなラスタを含む。この光透過領域１１及び光不透過領域１２はこのラスタの方向に沿って同一の長さを有し、有利には横方向において同一の大きさである。このラスタ装置１はリニアに運動する対象物か又は回転する対象物かに結合されており、この対象物の運動は本発明のオプティカルエンコーダによってシステマティックに検出されるはずである。
【００１８】
従って、ラスタ装置１の運動によって光束１０は空間的及び時間的に変調され、検出装置２に到達する。この検出装置２は光受信器、とりわけフォトダイオード２１（ＰＤ  Ａ）、２２（ＰＤ  Ｂ）及び２３（ＰＤ  Ｃ）のリニアな配置から構成されている。これらのフォトダイオード２１〜２３は互いに独立に動作されるが、これらのフォトダイオードの光受信面はすぐ互いに隣り合ってラスタ装置１のラスタの方向に対して平行に配置されている。本発明の重要な構成は、検出装置２の長さがラスタ装置１の周期の３/４の長さを有することである。言い換えれば、２つの互いに隣接して配置されたフォトダイオードの長さはラスタ装置１の光透過領域１１又は光不透過領域１２の長さと同じ大きさである。従って、図１に図示されたスナップショットにおいてフォトダイオード２１及びフォトダイオード２２は完全に光不透過領域１２の下にあり、他方で、フォトダイオード２３は完全に光透過領域１１の下にある。
【００１９】
図３にはフォトダイオード２１〜２３の出力信号が上から順番に時間との関係において示されている。ゼロ点は図１のラスタ装置１と検出装置２との相対的な位置によって与えられ、このラスタ装置１はこの後で矢印Ａによって示されている方向に移動する。よって、フォトダイオード２３（ＰＤ  Ｃ）はこのゼロ点においてまだその最大信号を示している。なぜなら、このフォトダイオード２３はまだ光不透過領域１２によって被覆されていないからである。最初の４分の１周期においてこのフォトダイオード２３の出力信号はリニアにゼロに戻る。なぜなら、ラスタ装置１の光不透過領域１２が連続的にフォトダイオード２３の上方にシフトするからである。同様にフォトダイオード２１の信号はリニアに最大値まで上昇する。なぜなら、この期間にこのフォトダイオード２１の上方の光不透過領域１２がこのフォトダイオード２１から遠ざかるからである。フォトダイオード２２の出力信号は最初はゼロにある。なぜなら、このフォトダイオード２２はこの期間に光不透過領域１２の下にあるからである。しかし、次の４分の１周期においてこのフォトダイオード２２の信号はリニアに最大値まで上昇する。なぜなら、このフォトダイオード２２の上方の光不透過領域１２がこのフォトダイオード２２から遠ざかるからである。フォトダイオード２１の出力信号はこの期間にまだ最大レベルにある。なぜなら、このフォトダイオード２１はまだ光透過領域１１の下方にあるからである。これに対して、フォトダイオード２３の信号はこの期間にはゼロにある。なぜなら、このフォトダイオード２３はまだ光不透過領域１２の下方にあるからである。第３の４分の１周期において、フォトダイオード２１の出力信号は再びリニアにゼロに戻る。なぜなら、光不透過領域１２がこのフォトダイオード２１の上方にシフトするからである。フォトダイオード２２はこの期間にまだ光透過領域の下方にあり、この結果、このフォトダイオード２２の出力信号は最大レベルに留まる。この光透過領域は同様にこの期間にはフォトダイオード２３の上方の領域に入り、この結果、このフォトダイオード２３の出力信号はリニアに最大レベルにまで上昇する。最後の４分の１周期においてフォトダイオード２１の出力信号はゼロに留まり、フォトダイオード２３の出力信号は最大レベルに留まり、他方で、フォトダイオード２２の出力信号はリニアにゼロに戻る。
【００２０】
本発明は、２つのフォトダイオード、すなわちフォトダイオード２１及び２３の出力信号が互いに反転した経過を有することを利用する。これは、基準信号を生成するために利用される。この基準信号を評価回路の内部で使用することによって、光強度変動の補償が可能になる。
【００２１】
本発明のオプティカルエンコーダにおける評価回路に対する実施例は図２に概略的に図示されている。図示された評価回路は加算器３１を有し、この加算器３１の２つの入力側には２つのフォトダイオード２１及び２３の出力信号Ａ及びＣが供給される。これら２つの信号の加算は、３つのフォトダイオードの各々の最大出力レベルの２倍の大きさを有するレベルを有する時間的に一定な信号を供給する。この時間的に一定な信号は除算器３４に供給され、この除算器３４はこの信号のレベルをファクタ２だけ低減する。これによって基準信号（Ａ＋Ｃ）/２が発生される。この基準信号はそれぞれコンパレータ３２及び３３の入力側に供給される。コンパレータ３２及び３３のそれぞれもう１つの入力側にはフォトダイオード２１の出力信号Ａ及びフォトダイオード２２の出力信号Ｂが供給される。これらのコンパレータ３２及び３３の出力側からクアドラチュア信号ＱＳ１及びＱＳ２が供給される。これらのクアドラチュア信号のカウンティングパルス（Zaehlimplus）ならびにこれらのクアドラチュア信号の相対的な位相が最終的に測定すべき運動の速度及び方向に関する情報を与える。
【００２２】
図４には最終的に基準信号（Ａ＋Ｃ）/２及びクアドラチュア信号ＱＳ１及びＱＳ２が時間との関係において示されている。第１のクアドラチュア信号ＱＳ１は、フォトダイオード２１の出力信号Ａがこの基準信号の一定のレベルよりも小さい間はずっとレベルゼロにある。この出力信号Ａがこのレベルよりも大きくなるやいなや、クアドラチュア信号ＱＳ１はコンパレータ３２によってバイナリ値１を得る。このケースは最初の４分の１周期の中間の時点に発生する。第３の４分の１周期の中間の時点にはフォトダイオード２１の出力信号Ａは再び基準信号のレベルの下側の値に降下する。この結果、クアドラチュア信号ＱＳ１は再びレベルゼロとなる。同様に、クアドラチュア信号ＱＳ２のレベルは、フォトダイオード２２の出力信号Ｂが基準信号（Ａ＋Ｃ）/２の一定のレベルより小さい間はずっとゼロにある。しかし、第２の４分の１周期の中間においてこの出力信号Ｂはこのレベルを上回る。この結果、クアドラチュア信号ＱＳ２はコンパレータ３３によってバイナリ値１を得る。第４の４分の１周期の中間の時点においてようやくフォトダイオード２２の出力信号Ｂは再び基準信号のレベルの下に降下する。この結果、クアドラチュア信号ＱＳ２のこのバイナリ値は再びゼロに降下する。
【００２３】
クアドラチュア信号ＱＳ１及びＱＳ２のカウンティングパルスはリニア運動又は回転運動の速度に関する情報を与え、他方でこれらのクアドラチュア信号ＱＳ１及びＱＳ２の相対的な位相は運動の方向を示す。従って、このクアドラチュア信号ＱＳ１との関係においてクアドラチュア信号ＱＳ２の９０°だけ遅れる位相は、図１の矢印Ａによる本発明のこの実施例において選択された運動方向を指示するものである。この方向が反対である場合には、クアドラチュア信号ＱＳ１及びＱＳ２の位相もシフトされ、この結果、クアドラチュア信号ＱＳ１はクアドラチュア信号ＱＳ２に対して９０°だけ遅れる。
【００２４】
光出力が例えばファクタ２だけ減少する場合、フォトダイオード２１〜２３の出力信号Ａ〜Ｃの経過はファクタ２だけ強度において減少される。しかし、同様に基準信号もそのレベルにおいてファクタ２だけ小さくなる。これは次の事を意味する。すなわち、コンパレータに供給される信号の間のチェンジオーバー点（Umschlagpunkte）が変わらぬ時点に存在するようになり、この結果、クアドラチュア信号ＱＳ１及びＱＳ２は変わらぬ時点にそれらのレベルを０から１へ又は１から０へ変化することを意味する。従って、これらのクアドラチュア信号ＱＳ１及びＱＳ２はこのオプティカルエンコーダの光放射装置の光強度のどんな変動にも依存しない。
【００２５】
加算器３１の出力信号をファクタ２だけ低減する除算器の代わりに、他のレベル低減構成素子３４を使用することもでき、この他のレベル低減構成素子３４によってレベルが充分に低下され、この結果、このレベルをフォトダイオード２１及び２２の出力信号Ａ及びＢが充分に長い期間の間上回ることができる。
【００２６】
光放射装置としては従来の半導体ＬＥＤをこのＬＥＤに載置されるプラスティック材料から成るレンズと結合して使用することができる。しかし、垂直共振器型発光デバイス、とりわけいわゆるＶＣＳＥＬ（Vertical Cavity Surface Emitting Laser）の使用がとりわけ有利であると見なされる。なぜなら、このＶＣＳＥＬはとりわけ低いダイバージェンス及び高い輝度によって傑出しているからである。しかし、光放射装置としてはエッジエミッティング半導体レーザも使用できる。
【００２７】
最も簡単なケースでは検出装置は３つの互いに隣接して配置された光受信器から成る。しかし、この検出装置は２つ又はこれより多数の順番に配置された３重光受信器を有することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】所定の相対的な位置においてラスタ装置と検出装置とを示した概略図である。
【図２】評価回路の有利な実施形態を示す概略的なブロック図である。
【図３】検出装置の３つの光受信器の出力信号を示す線図である。
【図４】基準信号及び評価回路によって得られるクアドラチュア信号を示す線図である。
【符号の説明】
１  ラスタ装置
２  検出装置
１０  光束
１１  光透過領域
１２  光不透過領域
２１  フォトダイオード
２２  フォトダイオード
２３  フォトダイオード
３０  評価回路
３１  加算器
３２  コンパレータ
３３  コンパレータ
３４  除算器
ＱＳ１、ＱＳ２  クアドラチュア信号
【図１】
0004970649.tif 000002
【図２】
0004970649.tif 000003
【図３】
0004970649.tif 000004
【図４】
0004970649.tif 000005