(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板上に、少なくとも着色画素及び積層フォトスペーサーが設けられたカラーフィルタにおいて、
Ａ）前記着色画素は、
１）第１色目の赤色着色画素と、第２色目の緑色着色画素と、第３色目の青色着色画素とで構成された、同一形状（形、大きさ）を有する着色画素であり、
２）ガラス基板上の第１軸と直交する第２軸との交点に赤色着色画素の中心が配されて、第１軸方向に赤色着色画素、緑色着色画素、青色着色画素の順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、第１軸と直交する第２軸方向に、同色の着色画素が第２画素ピッチで繰り返し設けられており、
Ｂ）前記積層フォトスペーサーは、
１）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーからなる、平面視ドット状の積層フォトスペーサーであり、
ｂ）メイン積層フォトスペーサーは、第１色目の赤色ドットパターンと、第２色目の緑色ドットパターンと、第３色目の青色ドットパターンの３層で構成され、
ｃ）サブ積層フォトスペーサーは、第１色目の赤色ドットパターンと、第２色目の緑色ドットパターンと、第３色目の青色ドットパターンのいずれか２色のドットパターンの２層で構成される、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーからなり、
２）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーは、第１軸方向に、メイン積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサー、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーの順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、
ｂ）メイン積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素に隣接して設けられ、
ｃ）第１サブ積層フォトスペーサーは、該赤色着色画素から第１軸方向に、３×第１画素ピッチ隣接して設けられた赤色着色画素の、第２軸方向の赤色着色画素に隣接して設けられ、
ｄ）第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーは、各々第２軸方向の緑色着色画素、青色着色画素に隣接して設けられ、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ３Ｇ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｇ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項２】
前記Ｃ）、１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇ、Ｐ３Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｇ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ。
【請求項３】
前記Ｂ）、２）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーは、第１軸方向に、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサー、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、
メイン積層フォトスペーサーの順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、
ｂ）第１サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素に隣接し、及び該赤色着色画素から第１軸方向に、３×第１画素ピッチ隣接して設けられた赤色着色画素の、第２軸方向の赤色着色画素に隣接して設けられ、
ｃ）第２サブ積層フォトスペーサーは、第２軸方向の緑色着色画素に隣接して設けられており、
ｄ）第３サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、２×第１画素ピッチ隣接して設けられた青色着色画素の、第２軸方向の青色着色画素に隣接して設けられ、
ｅ）メイン積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、５×第１画素ピッチ隣接して設けられた青色着色画素の、第２軸方向の青色着色画素に隣接して設けられており、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇ、Ｐ３Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｇ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ。
【請求項４】
前記Ｂ）、２）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーは、第１軸方向に、第１サブ積層フォトスペーサー、メイン積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサー、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーの順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、
ｂ）第１サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素に隣接し、及び該赤色着色画素から第１軸方向に、３×第１画素ピッチ隣接して設けられた赤色着色画素の、第２軸方向の赤色着色画素に隣接して設けられ、
ｃ）メイン積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、１×第１画素ピッチ隣接して設けられた緑色着色画素の、第２軸方向の緑色着色画素に隣接して設けられ、
ｄ）第３サブ積層フォトスペーサーは、第２軸方向の青色着色画素に隣接して設けられており、
ｅ）第２サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、４×第１画素ピッチ隣接して設けられた緑色着色画素の、第２軸方向の緑色着色画素間に隣接して設けられており、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇ、Ｐ３Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ。
【請求項５】
前記Ｂ）、２）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーは、第１軸方向に、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、メイン積層フォトスペーサー、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーの順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、
ｂ）第１サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素に隣接
し、及び該赤色着色画素から第１軸方向に、３×第１画素ピッチ隣接して設けられた赤色着色画素の、第２軸方向の赤色着色画素に隣接して設けられ、
ｃ）第２サブ積層フォトスペーサーは、第２軸方向の緑色着色画素に隣接して設けられており、
ｄ）メイン積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、２×第１画素ピッチ隣接して設けられた青色着色画素の、第２軸方向の青色着色画素に隣接して設けられ、
ｅ）第３サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、５×第１画素ピッチ隣接して設けられた青色着色画素の、第２軸方向の青色着色画素に隣接して設けられており、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇ、Ｐ３Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ。
【請求項６】
前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順が、第１色目の緑色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の赤色着色画素の色順であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項７】
前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順が、第１色目の青色着色画素、第２色目の赤色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項８】
前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順が、第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項９】
前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順が、第１色目の緑色着色画素、第２色目の赤色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項１０】
前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順が、第１色目の青色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の赤色着色画素の色順であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項１１】
請求項１〜請求項１０のいずれか１項に記載の記載のカラーフィルタの製造方法であって、前記第３色目の着色画素及び当該色ドットパターンを形成する際に、第１色目用フォトマスクを用い、第１色目用フォトマスクを第１軸方向に、２×第１画素ピッチ移動させ、又は、前記第２色目の着色画素及び当該色ドットパターンを形成する際に、第１色目用フォトマスクを用い、第１色目用フォトマスクを第１軸方向に、１×第１画素ピッチ移動させて露光を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
ガラス基板上に、少なくとも着色画素及び積層フォトスペーサーが設けられたカラーフィルタにおいて、
Ａ）前記着色画素は、
１）第１色目の赤色着色画素と、第２色目の緑色着色画素と、第３色目の青色着色画素と
で構成された、同一形状（形、大きさ）を有する着色画素であり、
２）ガラス基板上の第１軸と直交する第２軸との交点に赤色着色画素の中心が配されて、第１軸方向に赤色着色画素、青色着色画素、緑色着色画素の順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、第１軸と直交する第２軸方向に、同色の着色画素が第２画素ピッチで繰り返し設けられており、
Ｂ）前記積層フォトスペーサーは、
１）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーからなる、平面視ドット状の積層フォトスペーサーであり、
ｂ）メイン積層フォトスペーサーは、第１色目の赤色ドットパターンと、第２色目の緑色ドットパターンと、第３色目の青色ドットパターンの３層で構成され、
ｃ）サブ積層フォトスペーサーは、第１色目の赤色ドットパターンと、第２色目の緑色ドットパターンと、第３色目の青色ドットパターンのいずれか２色のドットパターンの２層で構成される、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーからなり、
２）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーは、第１軸方向に、メイン積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサー、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーの順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、
ｂ）メイン積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素間に設けられ、
ｃ）第１サブ積層フォトスペーサーは、該赤色着色画素から第１軸方向に、３×第１画素ピッチ隣接して設けられた赤色着色画素の、第２軸方向の赤色着色画素間に設けられ、
ｄ）第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーは、各々第２軸方向の青色着色画素間、緑色着色画素間に設けられており、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ３Ｒ、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項１３】
前記Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇ、Ｐ３Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とする請求項１２記載のカラーフィルタ。
【請求項１４】
前記Ｂ）、２）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーは、第１軸方向に、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、メイン積層フォトスペーサー、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーの順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、
ｂ）第１サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素間、及び該赤色着色画素から第１軸方向に、３×第１画素ピッチ隣接して設けられた赤色着色画素の、第２軸方向の赤色着色画素間に設けられ、
ｃ）第２サブ積層フォトスペーサーは、第２軸方向の青色着色画素間に設けられ、
ｄ）メイン積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、２×第１画素ピッチ隣接して設けられた緑色着色画素の、第２軸方向の緑色着色画素間に設けられ、
ｅ）第３サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、５×第１画素ピッチ隣接して設けられた緑色着色画素の、第２軸方向の緑色着色画素間に設けられており、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇ、Ｐ３Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｇ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とする請求項１２記載のカラーフィルタ。
【請求項１５】
前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順が、第１色目の青色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の赤色着色画素の色順であることを特徴とする請求項１２〜請求項１４のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項１６】
前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順が、第１色目の緑色着色画素、第２色目の赤色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順であることを特徴とする請求項１２〜請求項１４のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項１７】
前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順が、第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順であることを特徴とする請求項１２〜請求項１４のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項１８】
前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順が、第１色目の緑色着色画素、第２色目の赤色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順であることを特徴とする請求項１２〜請求項１４のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項１９】
前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順が、第１色目の青色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の赤色着色画素の色順であることを特徴とする請求項１２〜請求項１４のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項２０】
請求項１２〜請求項１９のいずれか１項に記載の記載のカラーフィルタの製造方法であって、前記第３色目の着色画素及び当該色ドットパターンを形成する際に、第２色目用フォトマスクを用い、第２色目用フォトマスクを第１軸方向に、２×第１画素ピッチ移動させ、又は、前記第２色目の着色画素及び当該色ドットパターンを形成する際に、第１色目用フォトマスクを用い、第１色目用フォトマスクを第１軸方向に、２×第１画素ピッチ移動させて露光を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、３色の着色画素と、メイン積層フォトスペーサー及びサブ積層フォトスペーサーが設けられたカラーフィルタを製造する際に、計３枚のフォトマスクの内、２枚のフォトマスクを１枚のフォトマスクで兼ねて製造することが可能な層構成のカラーフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１２は、２種のフォトスペーサーを設けた液晶表示装置用カラーフィルタの一例を模式的に示した断面図である。図１２に示すように、この液晶表示装置用カラーフィルタは、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成され、その透明導電膜（４３）上にフォトスペーサーが形成されたものである。このフォトスペーサーは、メインフォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ）とサブフォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ）で構成されている。
【０００３】
メインフォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ）は基板間のギャップを設定しており、このメインフォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ）は、パネルに荷重が加わると変形し、荷重が取り除かれると復元する。また、温度による液晶の熱膨張及び熱収縮に追従して変形する弾性を有している。
また、サブフォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ）はメインフォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ）より高さの低い（ΔＨ）フォトスペーサーである。このサブフォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ）は、パネルに過剰な荷重が加わった際に、その荷重を分散させメインフォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ）の塑性変形、破壊を防ぐためのものである。
【０００４】
上記メインフォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ）及びサブフォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ）は、カラーフィルタの表示部、すなわち、着色画素が形成された領域内に設けられるフォトスペーサーである。また、カラーフィルタと対向基板を貼り合わせてパネルを組み立てる際に加わる荷重によって、表示部の周縁部のフォトスペーサーが変形し過ぎないように、表示部の周囲を囲むブラックマトリックスの額縁部、ガラス基板の周縁部などにもフォトスペーサーが設けられる。この表示部外のフォトスペーサーをダミーフォトスペーサーと称している。
【０００５】
図１３は、大サイズのガラス基板、例えば、６５０ｍｍ×８５０ｍｍのガラス基板（５０）に１基のサイズが対角１７のカラーフィルタ（４０）が４面付けされた例である。図１３に示すように、大サイズのガラス基板（５０）は、カラーフィルタの表示部（Ａ）と、ブラックマトリックスの額縁部、面間部、及びガラス基板の周縁部などの領域（Ｂ）で構成されている。表示部（Ａ）には、前記メインフォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ）及びサブフォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ）が設けられている。周縁部などの領域（Ｂ）にはダミーフォトスペーサー（Ｄ−ＰＳ）が設けられている。
【０００６】
図１４は、図１３における大サイズのガラス基板（５０）の一隅（Ｃ）を拡大してダミーフォトスペーサー（Ｄ−ＰＳ）の配列の一例を示す平面図である。図１４に示すように、この例においては、この領域の全面に同一のダミーフォトスペーサー（Ｄ−ＰＳ）が等ピッチ（Ｐｉ）で設けられている。
尚、図示してないが、図１４中、表示部（Ａ）には、赤色、緑色、青色の着色画素、及びメインフォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ）及びサブフォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ）が設けられている。
【０００７】
このような液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際には、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）などを形成した後に、カラーフィルタの表示部（Ａ）にはメインフォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ）及びサブフォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ）を、また、周縁部などの領域（Ｂ）には、ダミーフォトスペーサー（Ｄ−ＰＳ）を形成する。このため、フォトスペーサーを形成する１工程が追加され所望する仕様のカラーフィルタを製造することになる。
【０００８】
これに対し、図１５（ａ）、（ｂ）は、フォトスペーサーを設けたカラーフィルタの他の例の断面図、平面図であるが、このフォトスペーサーは積層構造となっている。フォトスペーサーを構成する複数の層を着色画素の形成と同時に形成することによって、フォトスペーサーを形成するための上記追加する１工程を低減させ、フォトスペーサーを設けたカラーフィルタを廉価に製造することができる。
【０００９】
図１５に示すように、このカラーフィルタは、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、積層フォトスペーサー（ＰＳ−１）が形成されたものである。この積層フォトスペーサー（ＰＳ−１）の平面形状はドット状である。
この他の例として示す積層フォトスペーサー（ＰＳ−１）は、ブラックマトリックス（４１）上の第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ３）を積層した構成である。尚、符号Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３で示す各色ドットパターンの大きさは、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３の関係にあり、下層のドットパターン上に次層のドットパターンが積重されるようになっている。
【００１０】
第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１）は、第１色目の赤色着色画素（４２Ｒ）とは連続しておらず独立したパターンであるが、赤色着色画素（４２Ｒ）の形成と同時に形成されたものである。緑色ドットパターン（Ｐ２）及び青色ドットパターン（Ｐ３）も同様に独立したパターンであり、各々の着色画素の形成と同時に形成されたものである。従って、フォトスペーサーを形成するための前記追加工程は不要なものとなる。
【００１１】
尚、この積層フォトスペーサー（ＰＳ−１）には上部パターン（Ｐ４）が設けられている。この上部パターン（Ｐ４）は、例えば、配向制御突起（図示せず）の形成と同時に形成されたものである。また、図１５においては着色画素（４２）上に設けられている透明導電膜は省略してある。
【００１２】
さて、図１６は、ガラス基板上の表示部に、着色画素と積層フォトスペーサーを設けたカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。図１６に示すように、着色画素として、赤色、緑色、青色の矩形状の着色画素（４２Ｒ、４２Ｇ、４２Ｂ）が配設されている。また、積層フォトスペーサーとして、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１）、サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１、ＰＳ−Ｓ２、ＰＳ−Ｓ３）が配設されている。
【００１３】
サブ積層フォトスペーサーは、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３）で構成されている。これら４種の積層フォトスペーサーの平面形状は、いずれも図１５に示す積層フォトスペーサーのようにドット状である。
【００１４】
図１６に示すように、各色の矩形状の着色画素は、赤色着色画素（４２Ｒ）、緑色着色画素（４２Ｇ）、青色着色画素（４２Ｂ）の順に、Ｙ軸方向に等ピッチ（（Ｐｉ−１）／３）、（３色の着色画素ではピッチ（Ｐｉ−１））で繰り返し配設されている。Ｘ軸方向には、同色の着色画素が等ピッチ（Ｐｉ−２）で繰り返し配設されている。
また、積層フォトスペーサーは、Ｘ軸方向の着色画素間にメイン積層フォトスペーサー又はサブ積層フォトスペーサーの、上記４種の積層フォトスペーサーのいずれかが配設され
ている。
【００１５】
積層フォトスペーサーは、図１６中、左方の赤色着色画素（４２Ｒ）間にメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１）が配設され、このメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１）のＹ軸方向に、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３）、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３）が順次に配設されている。
【００１６】
これら４種６個の積層フォトスペーサーを組とし、この組が繰り返しＹ軸方向に等ピッチ（２・（Ｐｉ−１））で配設されている。尚、着色画素は、上記のように、３色の着色画素を組とし、この組が繰り返しＹ軸方向に等ピッチ（Ｐｉ−１）で配設されている。
【００１７】
図１７は、図１６に示す積層フォトスペーサーの断面を拡大し、その構成を説明する断面図である。図１７（ａ）は、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１）のＹ０ −Ｙ０ 線での断面図である。図１７（ａ）に示すように、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、赤色着色画素（４２Ｒ）が順次に形成され、そのブラックマトリックス（４１）上に形成されたものである。このメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ３Ｂ）と、上部パターン（Ｐ４）が積層された構成である。
【００１８】
また、図１７（ｂ）は、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１）のＲ−Ｒ線での断面図である。図１７（ｂ）に示すように、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１）は、Ｙ０ 線上の赤色着色画素（４２Ｒ）からＹ軸方向に１ピッチ（Ｐｉ−１）離れて設けられた赤色着色画素（４２Ｒ）のＸ軸方向に隣接した赤色着色画素（４２Ｒ）間に設けられている。
この第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）と、上部パターン（Ｐ４）が積層された構成である。
【００１９】
また、図１７（ｃ）は、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２）のＧ−Ｇ線での断面図である。この第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２）は、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）と、上部パターン（Ｐ４）が積層された構成である。
また、図１７（ｄ）は、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３）のＢ−Ｂ線での断面図である。この第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３）は、第二色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）と、上部パターン（Ｐ４）が積層された構成である。
【００２０】
この第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３）は、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）が、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）を覆ように被装した積層フォトスペーサーである。
これら４種の積層フォトスペーサーの高さの関係は、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１）＞〔サブ積層フォトスペーサー〔（ＰＳ−Ｓ１）≒（ＰＳ−Ｓ２）≒（ＰＳ−Ｓ３）〕の関係にある。
【００２１】
図１６中、上左端の赤色着色画素（４２Ｒ）のＹ軸方向中央をＹ０ とし、該赤色着色画素（４２Ｒ）のＸ軸方向中央をＸ０ とし、また、この交点を原点（Ｏ）とし、これらを基準として、以降、この例示するカラーフィルタの着色画素、積層フォトスペーサーな
どの位置、ピッチ、重ね合わせなどの説明を行う。
【００２２】
図１６に示すカラーフィルタを作製するに際しては、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ）、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ）、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ）、計３枚のフォトマスクを用いる。赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ）は、このカラーフィルタの赤色パターン、すなわち、赤色着色画素（４２Ｒ）と、メイン積層フォトスペーサー及びサブ積層フォトスペーサーを構成する赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）の形成に用いる。
【００２３】
また、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ）は、このカラーフィルタの緑色パターン、すなわち、緑色着色画素（４２Ｇ）と、メイン積層フォトスペーサー及びサブ積層フォトスペーサーを構成する緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）の形成に用いる。また、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ）は、このカラーフィルタの青色パターン、すなわち、青色着色画素（４２Ｂ）と、メイン積層フォトスペーサー及びサブ積層フォトスペーサーを構成する緑色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）の形成に用いる。
【００２４】
図１８は、赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ）の平面図である。図１８に示すように、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ）には、ガラス基板上に形成する赤色着色画素（４２Ｒ）に対応した赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）と、赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）の形成に対応した赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ）が設けられている。
赤色パターンの形成は、この赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に赤色着色画素（４２Ｒ）と赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）を形成する。
【００２５】
図１９は、上記により得られた、カラーフィルタを構成する赤色パターンの平面図である。図１９に示すように、赤色着色画素（４２Ｒ）と赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）が図１６及び図１７に示す位置に形成されている。
図２０（ａ）は、図１９のＹ０ −Ｙ０ 線での断面図であり、形成途上のメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１）の断面を示すものである。図２０（ａ）に示すように、赤色着色画素（４２Ｒ）間にはメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１）の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）が形成されている。
【００２６】
また、図２０（ｂ）は、図１９のＲ−Ｒ線での断面図である。図２０（ｂ）に示すように、赤色着色画素（４２Ｒ）間には第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１）の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）が形成されている。
また、図２０（ｃ）、（ｄ）に示すように、Ｇ−Ｇ線、及びＢ−Ｂ線での断面には、いずれのパターンも形成されていない。
【００２７】
図２１は、緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ）の平面図である。図２１に示すように、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ）には、ガラス基板上に形成する緑色着色画素（４２Ｇ）に対応した緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）と、緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）の形成に対応した緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）が設けられている。
緑色パターンの形成は、図１９に示す赤色パターンが形成されたガラス基板のＹ０ 、Ｘ０ に、図２１に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ）のＹ０ 、Ｘ０ を重ね合わせ、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に緑色着色画素（４２Ｇ）と緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）を形成する。
【００２８】
図２２は、上記により得られた、カラーフィルタを構成する緑色パターンの平面図である。図２２に示すように、緑色着色画素（４２Ｇ）と緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２
Ｇ）が図１６及び図１７に示す位置に形成されている。
図２３（ａ）は、図２２のＹ０ −Ｙ０ 線での断面図であり、形成途上のメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１）の断面を示すものである。図２３（ａ）に示すように、赤色着色画素（４２Ｒ）間にはメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１）の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）が形成されている。
【００２９】
また、図２３（ｂ）は、図２２のＲ−Ｒ線での断面図である。図２３（ｂ）に示すように、赤色着色画素（４２Ｒ）間には第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１）の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）が形成されている。
また、図２３（ｃ）は、（Ｙ０ −Ｇ）−（Ｙ０ −Ｇ）線での断面図であり、緑色着色画素（４２Ｇ）間には第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２）の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）が形成されている。また、図２３（ｄ）は、Ｂ−Ｂ線での断面図であり、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３）の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）が形成されている。
【００３０】
図２４は、青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ）の平面図である。青色パターンの形成は、青色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｂ）と青色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ、Ｋ−Ｐ３Ｂ）が設けられた青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ）を用い、前記緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ）と同様に、図１９に示す赤色パターンが形成されたガラス基板のＹ０ 、Ｘ０ に、図２４に示す青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ）のＹ０ 、Ｘ０ を重ね合わせ、露光、現像によって、青色着色画素（４２Ｂ）と青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）を形成する。
【００３１】
上記により、図２５及び図２６に示すように、前記図１６に例示する、着色画素と積層フォトスペーサーを設けたカラーフィルタを作製する。
尚、上部パターン（Ｐ４）は、配向制御突起の形成と同時に形成するものであり、その説明は省略する。
【００３２】
ここで、図１８に示す赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ）に設けられた、赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）及び赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ）の配列と、図２１に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ）に設けられた、緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）及び緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）の配列と、図２４に示す青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ）に設けられた、青色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｂ）及び青色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ、Ｋ−Ｐ３Ｂ）とを相互に比較してみると、上記３枚のフォトマスクにおける各開口部の配列は、各々異にしており同一のものではない。
すなわち、計３枚のフォトマスクの内、２枚のフォトマスクを１枚のフォトマスクで兼ねてカラーフィルタを製造することはできない。
【００３３】
上述のように、３色の着色画素と、メイン積層フォトスペーサー及びサブ積層フォトスペーサーが、図１６に示すように配設されたカラーフィルタを製造する際には、従来は、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ）、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ）、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ）、計３枚のフォトマスクを用いていた。実際の製造においては、万一、フォトマスクが破損した場合、及びフォトマスクの定期的な洗浄作業時の予備として、実用版としての３枚に加え、各１枚の予備版、すなわち、合計６枚のフォトマスクを作製して実際の製造に対応している。
【００３４】
近年、カラーフィルタの大型化に伴い、フォトマスクは大型化に一途にあり、フォトマスクを作製する費用は莫大なものとなっている。このフォトマスクを作製する費用を削減するようにといった要望が強まっている。
【特許文献１】特開平１１−１８６１６０号公報
【特許文献２】特開２００６−２９２９５５号公報
【特許文献３】特開２００６−１７８９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３５】
本発明は、上記要望を適えるためになされたものあり、赤色、緑色、青色の３色の着色画素と、メイン積層フォトスペーサー及びサブ積層フォトスペーサーが設けられたカラーフィルタを製造する際に、赤色用フォトマスク、緑色用フォトマスク、青色用フォトマスク、計３枚のフォトマスクの内、２枚のフォトマスクを１枚のフォトマスクで兼ねて製造することが可能な層構成のカラーフィルタを提供することを課題とするものである。
また、上記カラーフィルタの製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００３６】
本発明は、ガラス基板上に、少なくとも着色画素及び積層フォトスペーサーが設けられたカラーフィルタにおいて、
Ａ）前記着色画素は、
１）第１色目の赤色着色画素と、第２色目の緑色着色画素と、第３色目の青色着色画素とで構成された、同一形状（形、大きさ）を有する着色画素であり、
２）ガラス基板上の第１軸と直交する第２軸との交点に赤色着色画素の中心が配されて、第１軸方向に赤色着色画素、緑色着色画素、青色着色画素の順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、第１軸と直交する第２軸方向に、同色の着色画素が第２画素ピッチで繰り返し設けられており、
Ｂ）前記積層フォトスペーサーは、
１）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーからなる、平面視ドット状の積層フォトスペーサーであり、
ｂ）メイン積層フォトスペーサーは、第１色目の赤色ドットパターンと、第２色目の緑色ドットパターンと、第３色目の青色ドットパターンの３層で構成され、
ｃ）サブ積層フォトスペーサーは、第１色目の赤色ドットパターンと、第２色目の緑色ドットパターンと、第３色目の青色ドットパターンのいずれか２色のドットパターンの２層で構成される、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーからなり、
２）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーは、第１軸方向に、メイン積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサー、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーの順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、
ｂ）メイン積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素に隣接して設けられ、
ｃ）第１サブ積層フォトスペーサーは、該赤色着色画素から第１軸方向に、３×第１画素ピッチ隣接して設けられた赤色着色画素の、第２軸方向の赤色着色画素に隣接して設けられ、
ｄ）第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーは、各々第２軸方向の緑色着色画素、青色着色画素に隣接して設けられ、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ３Ｇ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｇ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とするカラーフィルタである。
【００３７】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記Ｃ）、１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇ、Ｐ３Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｇ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とするカラーフィルタである。
【００３８】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記Ｂ）、２）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーは、第１軸方向に、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサー、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、メイン積層フォトスペーサーの順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、
ｂ）第１サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素に隣接し、及び該赤色着色画素から第１軸方向に、３×第１画素ピッチ隣接して設けられた赤色着色画素の、第２軸方向の赤色着色画素に隣接して設けられ、
ｃ）第２サブ積層フォトスペーサーは、第２軸方向の緑色着色画素に隣接して設けられており、
ｄ）第３サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、２×第１画素ピッチ隣接して設けられた青色着色画素の、第２軸方向の青色着色画素に隣接して設けられ、
ｅ）メイン積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、５×第１画素ピッチ隣接して設けられた青色着色画素の、第２軸方向の青色着色画素に隣接して設けられており、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇ、Ｐ３Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｇ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタである。
【００３９】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記Ｂ）、２）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーは、第１軸方向に、第１サブ積層フォトスペーサー、メイン積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサー、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーの順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、
ｂ）第１サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素に隣接し、及び該赤色着色画素から第１軸方向に、３×第１画素ピッチ隣接して設けられた赤色着色画素の、第２軸方向の赤色着色画素に隣接して設けられ、
ｃ）メイン積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、１×第１画素ピッチ隣接して設けられた緑色着色画素の、第２軸方向の緑色着色画素に隣接して設けられ、
ｄ）第３サブ積層フォトスペーサーは、第２軸方向の青色着色画素に隣接して設けられて
おり、
ｅ）第２サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、４×第１画素ピッチ隣接して設けられた緑色着色画素の、第２軸方向の緑色着色画素間に隣接して設けられており、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇ、Ｐ３Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とするカラーフィルタである。
【００４０】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記Ｂ）、２）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーは、第１軸方向に、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、メイン積層フォトスペーサー、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーの順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、
ｂ）第１サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素に隣接し、及び該赤色着色画素から第１軸方向に、３×第１画素ピッチ隣接して設けられた赤色着色画素の、第２軸方向の赤色着色画素に隣接して設けられ、
ｃ）第２サブ積層フォトスペーサーは、第２軸方向の緑色着色画素に隣接して設けられており、
ｄ）メイン積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、２×第１画素ピッチ隣接して設けられた青色着色画素の、第２軸方向の青色着色画素に隣接して設けられ、
ｅ）第３サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、５×第１画素ピッチ隣接して設けられた青色着色画素の、第２軸方向の青色着色画素に隣接して設けられており、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇ、Ｐ３Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とするカラーフィルタである。
【００４１】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順が、第１色目の緑色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の赤色着色画素の色順であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００４２】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順が、第１色目の青色着色画素、第２色目の赤色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００４３】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順が、第１色目の赤色着色画
素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００４４】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順が、第１色目の緑色着色画素、第２色目の赤色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００４５】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順が、第１色目の青色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の赤色着色画素の色順であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００４６】
また、本発明は、請求項１〜請求項１０のいずれか１項に記載の記載のカラーフィルタの製造方法であって、前記第３色目の着色画素及び当該色ドットパターンを形成する際に、第１色目用フォトマスクを用い、第１色目用フォトマスクを第１軸方向に、２×第１画素ピッチ移動させ、又は、前記第２色目の着色画素及び当該色ドットパターンを形成する際に、第１色目用フォトマスクを用い、第１色目用フォトマスクを第１軸方向に、１×第１画素ピッチ移動させて露光を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【００４７】
また、本発明は、ガラス基板上に、少なくとも着色画素及び積層フォトスペーサーが設けられたカラーフィルタにおいて、
Ａ）前記着色画素は、
１）第１色目の赤色着色画素と、第２色目の緑色着色画素と、第３色目の青色着色画素とで構成された、同一形状（形、大きさ）を有する着色画素であり、
２）ガラス基板上の第１軸と直交する第２軸との交点に赤色着色画素の中心が配されて、第１軸方向に赤色着色画素、青色着色画素、緑色着色画素の順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、第１軸と直交する第２軸方向に、同色の着色画素が第２画素ピッチで繰り返し設けられており、
Ｂ）前記積層フォトスペーサーは、
１）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーからなる、平面視ドット状の積層フォトスペーサーであり、
ｂ）メイン積層フォトスペーサーは、第１色目の赤色ドットパターンと、第２色目の緑色ドットパターンと、第３色目の青色ドットパターンの３層で構成され、
ｃ）サブ積層フォトスペーサーは、第１色目の赤色ドットパターンと、第２色目の緑色ドットパターンと、第３色目の青色ドットパターンのいずれか２色のドットパターンの２層で構成される、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーからなり、
２）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーは、第１軸方向に、メイン積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサー、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーの順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、
ｂ）メイン積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素間に設けられ、
ｃ）第１サブ積層フォトスペーサーは、該赤色着色画素から第１軸方向に、３×第１画素ピッチ隣接して設けられた赤色着色画素の、第２軸方向の赤色着色画素間に設けられ、
ｄ）第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーは、各々第２軸方向の青色着色画素間、緑色着色画素間に設けられており、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ３Ｒ、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とするカラーフィルタである。
【００４８】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇ、Ｐ３Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とするカラーフィルタである。
【００４９】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記Ｂ）、２）ａ）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーは、第１軸方向に、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、メイン積層フォトスペーサー、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーの順に第１画素ピッチで繰り返し設けられ、
ｂ）第１サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素間、及び該赤色着色画素から第１軸方向に、３×第１画素ピッチ隣接して設けられた赤色着色画素の、第２軸方向の赤色着色画素間に設けられ、
ｃ）第２サブ積層フォトスペーサーは、第２軸方向の青色着色画素間に設けられ、
ｄ）メイン積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、２×第１画素ピッチ隣接して設けられた緑色着色画素の、第２軸方向の緑色着色画素間に設けられ、
ｅ）第３サブ積層フォトスペーサーは、前記交点を通る第２軸方向の赤色着色画素から第１軸方向に、５×第１画素ピッチ隣接して設けられた緑色着色画素の、第２軸方向の緑色着色画素間に設けられており、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンは任意の形状であり、その大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した際に、
１）メイン積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇ、Ｐ３Ｂが、この順に設けられた３層で構成され、
２）ａ）第１サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｂ）第２サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ１Ｇ、Ｐ１Ｂが、この順に設けられた２層で構成され、ｃ）第３サブ積層フォトスペーサーは、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇが、この順に設けられた２層で構成されていることを特徴とするカラーフィルタである。
【００５０】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順が、第１色目の青色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の赤色着色画素の色順であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００５１】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順が、第１色目の緑色着色画素、第２色目の赤色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００５２】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順が、第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００５３】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順が、第１色目の緑色着色画素、第２色目の赤色着色画素、第３色目の青色着色画素の色順であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００５４】
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタにおいて、前記第１色目の赤色着色画素、第２色目の青色着色画素、第３色目の緑色着色画素の色順が、第１色目の青色着色画素、第２色目の緑色着色画素、第３色目の赤色着色画素の色順であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００５５】
また、本発明は、請求項１２〜請求項１９のいずれか１項に記載の記載のカラーフィルタの製造方法であって、前記第３色目の着色画素及び当該色ドットパターンを形成する際に、第２色目用フォトマスクを用い、第２色目用フォトマスクを第１軸方向に、２×第１画素ピッチ移動させ、又は、前記第２色目の着色画素及び当該色ドットパターンを形成する際に、第１色目用フォトマスクを用い、第１色目用フォトマスクを第１軸方向に、２×第１画素ピッチ移動させて露光を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００５６】
本発明は、Ａ）着色画素は、第１色目の赤色着色画素と、第２色目の緑色着色画素と、第３色目の青色着色画素とで構成された同一形状の着色画素であり、第１軸と第２軸の交点に赤色着色画素が配され、第１軸方向に赤色着色画素、緑色着色画素、青色着色画素の順に３色の着色画素が繰り返し設けられ、第２軸方向に同色の着色画素が繰り返し設けられており、
Ｂ）積層フォトスペーサーは、１）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーからなるドット状であり、メイン積層フォトスペーサーは、ドットパターンの３層で構成され、ｃ）サブ積層フォトスペーサーは、ドットパターンの２層で構成され、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーの３種からなり、
２）メイン積層フォトスペーサーはＹ0 線上に配され、第１軸方向にメイン積層フォトスペーサー、第２サブ、第３サブ、第１サブ、第２、第３サブ積層フォトスペーサーの順に繰り返し設けられ、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンの大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した時、１）メイン積層フォトスペーサーの３層は、Ｐ１Ｒ、Ｐ３Ｇ、Ｐ２Ｂであり、２）第１サブ積層フォトスペーサーの２層は、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｂであり、第２サブ積層フォトスペーサーの２層は、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｇであり、第３サブ積層フォトスペーサーの２層は、Ｐ２Ｇ、Ｐ１Ｂであるカラーフィルタであるので、
赤色用フォトマスク、緑色用フォトマスク、青色用フォトマスク、計３枚のフォトマスクの内、青色用フォトマスクを赤色用フォトマスクで兼ねて製造することが可能な層構成のカラーフィルタとなる。
【００５７】
また、本発明は、上記カラーフィルタの製造において、第３色目の着色画素及び当該色ドットパターンを形成する際に、第１色目用フォトマスクを用い、第１色目用フォトマス
クを第１軸方向に、２×第１画素ピッチ移動させて露光を行うので、計３枚のフォトマスクの内、２枚のフォトマスクを１枚のフォトマスクで兼ねて製造することが可能なカラーフィルタの製造方法となる。
【００５８】
また、本発明は、Ａ）着色画素は、第１色目の赤色着色画素と、第２色目の緑色着色画素と、第３色目の青色着色画素とで構成された同一形状の着色画素であり、第１軸と第２軸の交点に赤色着色画素が配され、第１軸方向に赤色着色画素、緑色着色画素、青色着色画素の順に３色の着色画素が繰り返し設けられ、第２軸方向に同色の着色画素が繰り返し設けられており、
Ｂ）積層フォトスペーサーは、１）メイン積層フォトスペーサーとサブ積層フォトスペーサーからなるドット状であり、メイン積層フォトスペーサーは、ドットパターンの３層で構成され、ｃ）サブ積層フォトスペーサーは、ドットパターンの２層で構成され、第１サブ積層フォトスペーサー、第２サブ積層フォトスペーサー、第３サブ積層フォトスペーサーの３種からなり、
２）メイン積層フォトスペーサーはＹ0 線上に配され、第１軸方向にメイン積層フォトスペーサー、第２サブ、第３サブ、第１サブ、第２、第３サブ積層フォトスペーサーの順に繰り返し設けられ、
Ｃ）積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンの大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表した時、１）メイン積層フォトスペーサーの３層は、Ｐ３Ｒ、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂであり、２）第１サブ積層フォトスペーサーの２層は、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂであり、第２サブ積層フォトスペーサーの２層は、Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｇであり、第３サブ積層フォトスペーサーの２層は、Ｐ２Ｒ、Ｐ１Ｂであるカラーフィルタであるので、
赤色用フォトマスク、緑色用フォトマスク、青色用フォトマスク、計３枚のフォトマスクの内、青色用フォトマスクを緑色用フォトマスクで兼ねて製造することが可能な層構成のカラーフィルタとなる。
【００５９】
また、本発明は、上記カラーフィルタの製造において、第３色目の着色画素及び当該色ドットパターンを形成する際に、第２色目用フォトマスクを用い、第２色目用フォトマスクを第１軸方向に、１×第１画素ピッチ移動させて露光を行うので、計３枚のフォトマスクの内、２枚のフォトマスクを１枚のフォトマスクで兼ねて製造することが可能なカラーフィルタの製造方法となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６０】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１は、本発明によるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。図１に示すように、着色画素は、赤色着色画素（４２Ｒ）と、緑色着色画素（４２Ｇ）と、青色着色画素（４２Ｂ）とで構成されており、これらの着色画素は矩形で同一の大きさを有している。また、これらの着色画素は赤色着色画素（４２Ｒ）、緑色着色画素（４２Ｇ）、青色着色画素（４２Ｂ）の順に形成されたものである。
【００６１】
ガラス基板上の第１軸（Ｙ軸）と直交する第２軸（Ｘ軸）との交点に赤色着色画素の中心が配され、第１軸方向（Ｙ軸方向）には、赤色着色画素（４２Ｒ）、緑色着色画素（４２Ｇ）、青色着色画素（４２Ｂ）の順に、第１画素ピッチ〔（Ｐi −１）／３〕で繰り返し設けられている。また、第１軸と直交する第２軸方向（Ｘ軸方向）には、）、青色着色画素（４２Ｂ）の順に、第１画素ピッチ〔（Ｐi −１）／３〕で繰り返し設けられている。また、第１軸と直交する第２軸方向（Ｘ軸方向）には、同色の着色画素、例えば、赤色着色画素（４２Ｒ）と赤色着色画素（４２Ｒ）が第２画素ピッチ（Ｐi −２）で繰り返し設けられている。
【００６２】
積層フォトスペーサーは、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）とサブ積層フォトスペーサーからなり、サブ積層フォトスペーサーは、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１３）で構成されてる。メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）と上記３種のサブ積層フォトスペーサーの計４種の積層フォトスペーサーの平面視形状はドット状である。
【００６３】
メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）は、図１中、交点（Ｏ）を通るＹ０ 線上、Ｘ軸方向の赤色着色画素（４２Ｒ）に隣接して設けられ、また、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１１）は、該赤色着色画素（４２Ｒ）からＹ軸方向に、３×第１画素ピッチ〔（３×（Ｐi −１）／３）＝（Ｐi −１）〕隣接して設けられた赤色着色画素（４２Ｒ）の、Ｘ軸方向の赤色着色画素（４２Ｒに隣接して設けられている。
また、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１３）は、各々Ｘ軸方向の緑色着色画素（４２Ｇ）間、青色着色画素（４２Ｂ）に隣接して設けられている。
【００６４】
メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）とサブ積層フォトスペーサーは、Ｙ軸方向に、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１３）、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１３）を順として第１画素ピッチ（（Ｐi −１）／３）で、これら４種６個の積層フォトスペーサーを組とし、この組がＹ軸方向にピッチ〔２×（Ｐi −１））で繰り返し設けられている。
【００６５】
尚、着色画素は、上記のように、３色の着色画素を組とし、この組がＹ軸方向にピッチ（Ｐｉ−１）で繰り返し配設されている。
図１に示すカラーフィルタにおける着色画素及び積層フォトスペーサーの配列は、前記図１６に示すカラーフィルタにおける着色画素及び積層フォトスペーサーの配列と同一である。しかし、積層フォトスペーサーの構成を異にしている。
【００６６】
図２は、図１に示す積層フォトスペーサーの断面を拡大し、その構成を説明する断面図である。図２（ａ）は、図１中、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）のＹ０ −Ｙ０ 線での断面図である。図２（ａ）に示すように、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、赤色着色画素（４２Ｒ）が順次に形成され、そのブラックマトリックス（４１）上に形成されたものである。このメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ３Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が積層された構成である。各色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ３Ｇ、Ｐ２Ｂ）は、各色着色画素（４２Ｒ、４２Ｇ、、４２Ｂ）の形成と同時に形成されたものである。
このメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）は、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ３Ｇ）を覆ように被装した積層フォトスペーサーである。
【００６７】
また、図２（ｂ）は、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１１）のＲ−Ｒ線での断面図である。図２（ｂ）に示すように、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１１）は、Ｙ０ 線上の赤色着色画素（４２Ｒ）からＹ軸方向にピッチ（Ｐｉ−１）隣接して設けられた赤色着色画素（４２Ｒ）のＸ軸方向の赤色着色画素（４２Ｒ）に隣接して設けられている。この第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が積層された構成である。
この第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１１）は、赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）上に、赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）より小さな青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が積重した積層フォトスペーサーである。
【００６８】
また、図２（ｃ）は、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１２）のＧ−Ｇ線での断面図である。この第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１２）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）が積層された構成である。この第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１２）は、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）が、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）を覆ように被装した積層フォトスペーサーである。
この緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）は、緑色着色画素（４２Ｇ）の形成と同時に形成されたものである。
【００６９】
また、図２（ｄ）は、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１３）のＢ−Ｂ線での断面図である。この第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１３）は、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）が積層された構成である。
この青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）は、青色着色画素（４２Ｂ）の形成と同時に形成されたものである。
【００７０】
この第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１３）は、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）が、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）を覆ように被装した積層フォトスペーサーである。
これら４種の積層フォトスペーサーの高さの関係は、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）＞〔サブ積層フォトスペーサー〔（ＰＳ−Ｓ１１）≒（ＰＳ−Ｓ１２）≒（ＰＳ−Ｓ１３）〕の関係にある。また、積層フォトスペーサーを構成する各色ドットパターンの大きさを大きさの順に、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３で表し、３色をＲ、Ｇ、Ｂで表している。例えば、上記符号（Ｐ１Ｂ）は３種の大きさ中、最大の大きさで、第３色目の青色を表している。
【００７１】
図１に示すカラーフィルタを作製するに際しては、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ１）、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ１）、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ１）、計３枚のフォトマスクを用いる。赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ１）は、このカラーフィルタの赤色パターン、すなわち、赤色着色画素（４２Ｒ）と、メイン積層フォトスペーサー及びサブ積層フォトスペーサーを構成する赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）の形成に用いる。
【００７２】
また、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ１）は、このカラーフィルタの緑色パターン、すなわち、緑色着色画素（４２Ｇ）と、メイン積層フォトスペーサー及びサブ積層フォトスペーサーを構成する緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ、Ｐ３Ｇ）の形成に用いる。また、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ１）は、このカラーフィルタの青色パターン、すなわち、青色着色画素（４２Ｂ）と、メイン積層フォトスペーサー及びサブ積層フォトスペーサーを構成する緑色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）の形成に用いる。
【００７３】
図３は、赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ１）の平面図である。図３に示すように、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ１）には、ガラス基板上に形成する赤色着色画素（４２Ｒ）に対応した赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）と、赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）の形成に対応した赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）が設けられている。
赤色パターンの形成は、この赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ１）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に赤色着色画素（４２Ｒ）と赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）を形成する。
【００７４】
図４は、上記により得られた、カラーフィルタを構成する赤色パターンの平面図である。図４に示すように、赤色着色画素（４２Ｒ）と赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）が図１及び図２に示す位置に形成されている。
図５（ａ）は、図４のＹ０ −Ｙ０ 線での断面図であり、形成途上のメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）の断面を示すものである。図５（ａ）に示すように、赤色着色画素（４２Ｒ）間にはメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）が形成されている。
【００７５】
また、図５（ｂ）は、図４のＲ−Ｒ線での断面図である。図５（ｂ）に示すように、赤色着色画素（４２Ｒ）間には第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１１）の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）が形成されている。
また、図５（ｃ）に示すように、緑色着色画素（４２Ｇ）間には第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１２）の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）が形成されている。
【００７６】
図６は、緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ１）の平面図である。図６に示すように、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ１）には、ガラス基板上に形成する緑色着色画素（４２Ｇ）に対応した緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）と、緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ、Ｐ３Ｇ）の形成に対応した緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ、Ｋ−Ｐ３Ｇ）が設けられている。
緑色パターンの形成は、図４に示す赤色パターンが形成されたガラス基板のＹ０
、Ｘ０ に、図６に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ１）のＹ０ 、Ｘ０ を重ね合わせ、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ１）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に緑色着色画素（４２Ｇ）と緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ、Ｐ３Ｇ）を形成する。
【００７７】
図７は、上記により得られた、カラーフィルタを構成する緑色パターンの平面図である。図７に示すように、緑色着色画素（４２Ｇ）と緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ、Ｐ３Ｇ）が図１及び図２に示す位置に形成されている。
図８（ａ）は、図７のＹ０ −Ｙ０ 線での断面図であり、形成途上のメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）の断面を示すものである。図８（ａ）に示すように、赤色着色画素（４２Ｒ）間にはメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ１１）の緑色ドットパターン（Ｐ３Ｇ）が形成されている。
【００７８】
また、図８（ｂ）は、図７のＲ−Ｒ線での断面図である。図８（ｂ）に示すように、赤色着色画素（４２Ｒ）間には緑色ドットパターンは形成されていない。
また、図８（ｃ）は、（Ｙ０ −Ｇ）−（Ｙ０ −Ｇ）線での断面図であり、緑色着色画素（４２Ｇ）間には第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１２）の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）が形成されている。また、図８（ｄ）は、Ｂ−Ｂ線での断面図であり、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ１３）の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）が形成されている。
【００７９】
さて、図９は、青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ１）の平面図である。図９に示すように、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ１）には、ガラス基板上に形成する青色着色画素（４２Ｂ）に対応した青色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｂ）と、青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ）の形成に対応した青色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ）が設けられている。
【００８０】
ここで、図９に示す青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ１）と、図３に示す赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ１）を比較してみると、青色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｂ）及び青色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ）の配列と、赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）及び赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）の配列は同一である。赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ１）をＹ軸方向へピッチ（Ｐｉ−１）２／３移動させると、これら開口部は一致する。
すなわち、本発明によるカラーフィルタの層構成によれば、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ１）に代わり、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ１）をＹ軸プラス方向へピッチ（Ｐｉ−１）２／３移動させることによって、或いは、Ｙ軸マイナス方向へピッチ（Ｐｉ−１）／３移動させることによって、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ１）として機能させることが可能となる。
【００８１】
青色パターンの形成は、図７に示す緑色パターンが形成されたガラス基板のＹ０ 、Ｘ０ に対して、前記図３に示す赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ１）のＹ０ 、Ｘ０ を、図１に示す（Ｙ０ −Ｂ）、Ｘ０ に、ピッチ（Ｐｉ−１）２／３移動させて重ね合わせ、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ１）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に青色着色画素（４２Ｂ）と青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ）を形成する。
【００８２】
上記により、図１０及び図１１に示すように、前記図１に例示する、着色画素と積層フォトスペーサーを設けたカラーフィルタを作製する。
尚、上部パターン（Ｐ４）は、配向制御突起の形成と同時に形成するものであり、その説明は省略する。
【００８３】
上述のように、従来は、３色の着色画素と、メイン積層フォトスペーサー及びサブ積層フォトスペーサーが、図１６に示すように配設されたカラーフィルタを製造する際には、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ）、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ）、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ）、計３枚のフォトマスクを用いていたが、本発明によるカラーフィルタの層構成によれば、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ１）を青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ１）と兼ねて用い、計２枚のフォトマスクを用いた製造が可能となる。
つまり、従来は、予備版を含め合計６枚のフォトマスクが４枚に削減されたものとなる。
【００８４】
上述する説明は、第１色目に赤色着色画素、第２色目に緑色着色画素、第３色目に青色着色画素を形成する場合であるが、この着色画素を形成する色順は、特に制約されるものではなく、第１色目に緑色着色画素、第２色目に青色着色画素、第３色目に赤色着色画素の色順で形成してもよく、或いは、第１色目に青色着色画素、第２色目に赤色着色画素、第３色目に緑色着色画素の色順で形成してもよい。得られる効果は、全て同様のものである。
【００８５】
尚、前記図１４に示す、ガラス基板の周縁部などの領域（Ｂ）に設けられているダミーフォトスペーサーに相当するダミー積層フォトスペーサーは、上記積層フォトスペーサーと同様にして設けられるが、その説明は省略する。
【００８６】
図２７は、請求項２に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。図２７に示すカラーフィルタの着色画素及び積層フォトスペーサーは、図１に示すカラーフィルタにおける３色からなる着色画素の構成、及びその配列と同一である。また、４種６個からなる積層フォトスペーサーの構成、及びその配列と同一である。
【００８７】
しかし、図２７に示すカラーフィルタにおいては、積層フォトスペーサーを構成するメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ２１）、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２２）、及び第３サブ積層フォトスペ
ーサー（ＰＳ−Ｓ２３）の各々の積層の積層状態が、図１に示す積層フォトスペーサーの積層状態とは異なったものである。
この図２７に示すカラーフィルタの積層によれば、第１色目用フォトマスクを第２色目用フォトマスクと兼ねて用いることができ、図１に示すカラーフィルタの場合と同様に、従来は、予備版を含め合計６枚のフォトマスクが４枚に削減されたものとなる。
【００８８】
図２８は、図２７に示す積層フォトスペーサーの断面を拡大し、その構成を説明する断面図である。図２８（ａ）は、図２７中、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ２１）のＹ０ −Ｙ０ 線での断面図である。図２８（ａ）に示すように、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ２１）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、赤色着色画素（４２Ｒ）が順次に形成され、そのブラックマトリックス（４１）上に形成されたものである。このメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ２１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ３Ｂ）が積層された構成である。
このメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ２１）は、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）が、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）を覆ように被装した積層フォトスペーサーである。
【００８９】
また、図２８（ｂ）は、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２１）のＲ−Ｒ線での断面図である。図２８（ｂ）に示すように、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２１）は、Ｙ０ 線上の赤色着色画素（４２Ｒ）からＹ軸方向にピッチ（Ｐｉ−１）隣接して設けられた赤色着色画素（４２Ｒ）のＸ軸方向の赤色着色画素（４２Ｒ）に隣接して設けられている。この第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）が積層された構成である。
この第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２１）は、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）が、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）を覆ように被装した積層フォトスペーサーである。
【００９０】
また、図２８（ｃ）は、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２２）のＧ−Ｇ線での断面図である。この第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２２）は、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）が積層された構成である。また、図２８（ｄ）は、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２３）のＢ−Ｂ線での断面図である。この第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ２３）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が積層された構成である。
上記各色ドットパターンは、各色着色画素（４２Ｒ、４２Ｇ、、４２Ｂ）の形成と同時に形成されたものである。
【００９１】
図２９は、赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ２）の平面図である。図２９に示すように、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ２）には、ガラス基板上に形成する赤色着色画素（４２Ｒ）に対応した赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）と、赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）の形成に対応した赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）が設けられている。
赤色パターンの形成は、この赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ２）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に赤色着色画素（４２Ｒ）と赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）を形成する。
【００９２】
図３０は、緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ２）の平面図である。図３０に示すように、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ２）には、ガラス基板上に形
成する緑色着色画素（４２Ｇ）に対応した緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）と、緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）の形成に対応した緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）が設けられている。
緑色パターンの形成は、赤色パターンが形成されたガラス基板のＹ０ 、Ｘ０ に、図３０に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ２）のＹ０ 、Ｘ０ を重ね合わせ、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ２）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に緑色着色画素（４２Ｇ）と緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）を形成する。
【００９３】
図３１は、青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ２）の平面図である。図３１に示すように、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ２）には、ガラス基板上に形成する青色着色画素（４２Ｂ）に対応した青色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｂ）と、青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）の形成に対応した青色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ、Ｋ−Ｐ３Ｂ）が設けられている。
【００９４】
青色パターンの形成は、赤色及び緑色パターンが形成されたガラス基板のＹ０
、Ｘ０ に、図３１に示す青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ２）のＹ０ 、Ｘ０ を重ね合わせ、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ２）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に青色着色画素（４２Ｂ）と青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）を形成する。
上記により、図２７に例示する、着色画素と積層フォトスペーサーを設けたカラーフィルタを作製する。
【００９５】
ここで、図３０に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ２）と、図２９に示す赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ２）を比較してみると、緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）及び緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）の配列と、赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）及び赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）の配列は同一である。赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ２）をＹ軸方向へピッチ（Ｐｉ−１）／３移動させると、これら開口部は一致する。
すなわち、請求項２に係わるカラーフィルタの層構成によれば、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ２）に代わり、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ２）をＹ軸プラス方向へピッチ（Ｐｉ−１）／３移動させることによって、或いは、Ｙ軸マイナス方向へピッチ（Ｐｉ−１）２／３移動させることによって、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ２）として機能させることが可能となる。
【００９６】
上述のように、請求項２に係わるカラーフィルタの層構成によれば、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ２）を緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ２）と兼ねて用い、計２枚のフォトマスクを用いたカラーフィルタの製造が可能となる。つまり、従来は、予備版を含め合計６枚のフォトマスクが４枚に削減されたものとなる。
【００９７】
図３２は、請求項３に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。図３２に示すカラーフィルタの着色画素及び積層フォトスペーサーは、図１に示すカラーフィルタにおける３色からなる着色画素の構成、及びその配列と同一である。また、４種６個からなる積層フォトスペーサーの構成は同一であるが、その配列は異なる。
【００９８】
図３２に示すカラーフィルタにては、前記交点（Ｏ）を通るＹ０ −Ｙ０ 線上に第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３１）を配し、第１軸方向に、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３３）、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３２）、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ３１）の順に、第１画素ピッチ（（Ｐｉ−１）／３）で繰り返し設けられている。
【００９９】
また、図３２に示すカラーフィルタにては、積層フォトスペーサーを構成するメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ３１）、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３２）、及び第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３３）の各々の積層の積層状態が、図１に示す積層フォトスペーサーの積層状態とは異なったものである。
この図３２に示すカラーフィルタの積層によれば、第１色目用フォトマスクを第２色目用フォトマスクと兼ねて用いることができる。
【０１００】
図３３は、図３２に示す積層フォトスペーサーの断面を拡大し、その構成を説明する断面図である。図３３（ａ）は、図３２中、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ３１）のＭ−Ｍ線での断面図である。図３３（ａ）に示すように、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ３１）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、青色着色画素（４２Ｂ）が順次に形成され、そのブラックマトリックス（４１）上に形成されたものである。このメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ３１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ３Ｂ）が積層された構成である。
【０１０１】
また、図３３（ｂ）は、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３１）のＹ０ −Ｙ０ 線での断面図である。図３３（ｂ）に示すように、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３１）は、Ｙ０ −Ｙ０ 線上の赤色着色画素（４２Ｒ）のＸ軸方向の赤色着色画素（４２Ｒ）に隣接して設けられている。この第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３１）は、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）が積層された構成である。
【０１０２】
また、図３３（ｃ）は、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３２）のＧ−Ｇ線での断面図である。この第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３２）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が積層された構成である。また、図３３（ｄ）は、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３３）のＢ−Ｂ線での断面図である。この第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ３３）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）が積層された構成である。
上記各色ドットパターンは、各色着色画素（４２Ｒ、４２Ｇ、、４２Ｂ）の形成と同時に形成されたものである。
【０１０３】
図３４は、赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ３）の平面図である。図３４に示すように、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ３）には、ガラス基板上に形成する赤色着色画素（４２Ｒ）に対応した赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）と、赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）の形成に対応した赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）が設けられている。
赤色パターンの形成は、この赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ３）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に赤色着色画素（４２Ｒ）と赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）を形成する。
【０１０４】
図３５は、緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ３）の平面図である。図３５に示すように、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ３）には、ガラス基板上に形成する緑色着色画素（４２Ｇ）に対応した緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）と、緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）の形成に対応した緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）が設けられている。
緑色パターンの形成は、赤色パターンが形成されたガラス基板のＹ０ 、Ｘ０ に、図３５に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ３）のＹ０ 、Ｘ０ を重ね合わせ、緑色用フォトマ
スク（ＰＭ−Ｇ３）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に緑色着色画素（４２Ｇ）と緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）を形成する。
【０１０５】
図３６は、青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ３）の平面図である。図３６に示すように、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ３）には、ガラス基板上に形成する青色着色画素（４２Ｂ）に対応した青色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｂ）と、青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）の形成に対応した青色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ、Ｋ−Ｐ３Ｂ）が設けられている。
【０１０６】
青色パターンの形成は、赤色及び緑色パターンが形成されたガラス基板のＹ０
、Ｘ０ に、図３６に示す青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ３）のＹ０ 、Ｘ０ を重ね合わせ、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ３）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に青色着色画素（４２Ｂ）と青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）を形成する。
上記により、図３２に例示する、着色画素と積層フォトスペーサーを設けたカラーフィルタを作製する。
【０１０７】
ここで、図３５に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ３）と、図３４に示す赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ３）を比較してみると、緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）及び緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）の配列と、赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）及び赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）の配列は同一である。赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ３）をＹ軸方向へピッチ（Ｐｉ−１）／３移動させると、これら開口部は一致する。
すなわち、請求項３に係わるカラーフィルタの層構成によれば、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ３）に代わり、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ３）をＹ軸プラス方向へピッチ（Ｐｉ−１）／３移動させることによって、或いは、Ｙ軸マイナス方向へピッチ（Ｐｉ−１）２／３移動させることによって、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ３）として機能させることが可能となる。
【０１０８】
上述のように、請求項３に係わるカラーフィルタの層構成によれば、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ３）を緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ３）と兼ねて用い、計２枚のフォトマスクを用いたカラーフィルタの製造が可能となる。
【０１０９】
図３７は、請求項４に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。図３７に示すカラーフィルタの着色画素及び積層フォトスペーサーは、図１に示すカラーフィルタにおける３色からなる着色画素の構成、及びその配列と同一である。また、４種６個からなる積層フォトスペーサーの構成は同一であるが、その配列は異なる。
【０１１０】
図３７に示すカラーフィルタにては、前記交点（Ｏ）を通るＹ０ −Ｙ０ 線上に第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ４１）を配し、第１軸方向に、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ４１）、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ４１）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ４３）、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ４１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ４２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ４３）の順に、第１画素ピッチ（（Ｐｉ−１）／３）で繰り返し設けられている。
【０１１１】
また、図３７に示すカラーフィルタにては、各々の積層フォトスペーサーの積層の積層状態が、図１に示す積層フォトスペーサーの積層状態とは異なったものである。この図３７に示すカラーフィルタの積層によれば、第１色目用フォトマスクを第２色目用フォトマスクと兼ねて用いることができる。
【０１１２】
図３８は、図３７に示す積層フォトスペーサーの断面を拡大し、その構成を説明する断
面図である。図３８（ａ）は、図３７中、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ４１）のＭ−Ｍ線での断面図である。図３８（ａ）に示すように、このメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ４１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ３Ｂ）が積層された構成である。
また、図３８（ｂ）は、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ４１）のＹ０−Ｙ０ 線での断面図である。図３８（ｂ）に示すように、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ４１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ３Ｂ）が積層された構成である。
【０１１３】
また、図３８（ｃ）は、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ４２）のＧ−Ｇ線での断面図である。この第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ４２）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）が積層された構成である。また、図３８（ｄ）は、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ４３）のＢ−Ｂ線での断面図である。この第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ４３）は、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が積層された構成である。
【０１１４】
図３９は、赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ４）の平面図である。図３９に示すように、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ４）には、ガラス基板上に形成する赤色着色画素（４２Ｒ）に対応した赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）と、赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）の形成に対応した赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）が設けられている。
【０１１５】
図４０は、緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ４）の平面図である。図４０に示すように、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ４）には、ガラス基板上に形成する緑色着色画素（４２Ｇ）に対応した緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）と、緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）の形成に対応した緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）が設けられている。
【０１１６】
図４１は、青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ４）の平面図である。図４１に示すように、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ４）には、ガラス基板上に形成する青色着色画素（４２Ｂ）に対応した青色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｂ）と、青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）の形成に対応した青色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ、Ｋ−Ｐ３Ｂ）が設けられている。
【０１１７】
ここで、図４０に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ４）と、図３９に示す赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ４）を比較してみると、緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）及び緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）の配列と、赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）及び赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）の配列は同一である。赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ４）をＹ軸方向へピッチ（Ｐｉ−１）／３移動させると、これら開口部は一致する。
すなわち、請求項４に係わるカラーフィルタの層構成によれば、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ４）に代わり、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ４）をＹ軸プラス方向へピッチ（Ｐｉ−１）／３移動させることによって緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ４）として機能させることが可能となる。
【０１１８】
上述のように、請求項４に係わるカラーフィルタの層構成によれば、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ４）を緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ４）と兼ねて用い、計２枚のフォトマスクを用いたカラーフィルタの製造が可能となる。
【０１１９】
図４２は、請求項５に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。図４２に示すカラーフィルタの着色画素及び積層フォトスペーサーは、図１に示すカラーフィルタにおける３色からなる着色画素の構成、及びその配列と同一である。また、４種６個からなる積層フォトスペーサーの構成は同一であるが、その配列は異なる。
【０１２０】
図４２に示すカラーフィルタにては、前記交点（Ｏ）を通るＹ０−Ｙ０ 線上に第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ５１）を配し、第１軸方向に、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ５１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ５２）、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ５１）、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ５１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ５２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ５３）の順に、第１画素ピッチ（（Ｐｉ−１）／３）で繰り返し設けられている。
【０１２１】
また、図４２に示すカラーフィルタにては、各々の積層フォトスペーサーの積層の積層状態が、図１に示す積層フォトスペーサーの積層状態とは異なったものである。この図４２に示すカラーフィルタの積層によれば、第１色目用フォトマスクを第２色目用フォトマスクと兼ねて用いることができる。
【０１２２】
図４３は、図４２に示す積層フォトスペーサーの断面を拡大し、その構成を説明する断面図である。図４３（ａ）は、図４２中、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ５１）のＭ−Ｍ線での断面図である。図４３（ａ）に示すように、このメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ５１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ３Ｂ）が積層された構成である。
また、図４３（ｂ）は、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ５１）のＹ０−Ｙ０ 線での断面図である。図４３（ｂ）に示すように、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ５１）は、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が積層された構成である。
【０１２３】
また、図４３（ｃ）は、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ５２）のＧ−Ｇ線での断面図である。この第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ５２）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）が積層された構成である。また、図４３（ｄ）は、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ５３）のＢ−Ｂ線での断面図である。この第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ５３）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）が積層された構成である。
【０１２４】
図４４は、赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ５）の平面図である。図４４に示すように、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ５）には、ガラス基板上に形成する赤色着色画素（４２Ｒ）に対応した赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）と、赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）の形成に対応した赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）が設けられている。
【０１２５】
図４５は、緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ５）の平面図である。図４５に示すように、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ５）には、ガラス基板上に形成する緑色着色画素（４２Ｇ）に対応した緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）と、緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）の形成に対応した緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）が設けられている。
【０１２６】
図４６は、青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ５）の平面図で
ある。図４６に示すように、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ５）には、ガラス基板上に形成する青色着色画素（４２Ｂ）に対応した青色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｂ）と、青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）の形成に対応した青色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ、Ｋ−Ｐ３Ｂ）が設けられている。
【０１２７】
ここで、図４５に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ５）と、図４４に示す赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ５）を比較してみると、緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）及び緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）の配列と、赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）及び赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）の配列は同一である。赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ５）をＹ軸方向へピッチ（Ｐｉ−１）／３移動させると、これら開口部は一致する。
すなわち、請求項５に係わるカラーフィルタの層構成によれば、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ５）に代わり、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ５）をＹ軸プラス方向へピッチ（Ｐｉ−１）／３移動させることによって緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ５）として機能させることが可能となる。
【０１２８】
上述のように、請求項５に係わるカラーフィルタの層構成によれば、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ５）を緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ５）と兼ねて用い、計２枚のフォトマスクを用いたカラーフィルタの製造が可能となる。
【０１２９】
図４７は、請求項９に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。図４７に示すように、着色画素は、赤色着色画素（４２Ｒ）と、緑色着色画素（４２Ｇ）と、青色着色画素（４２Ｂ）とで構成されており、これらの着色画素は矩形で同一の大きさを有している。また、これらの着色画素は赤色着色画素（４２Ｒ）、緑色着色画素（４２Ｇ）、青色着色画素（４２Ｂ）の順に形成されたものである。
【０１３０】
ガラス基板上の第１軸（Ｙ軸）と直交する第２軸（Ｘ軸）との交点に赤色着色画素の中心が配され、第１軸方向（Ｙ軸方向）には、赤色着色画素（４２Ｒ）、青色着色画素（４２Ｂ）、緑色着色画素（４２Ｇ）の順に、第１画素ピッチ〔（Ｐi−１）／３〕で繰り返し設けられている。また、第１軸と直交する第２軸方向（Ｘ軸方向）には、同色の着色画素、例えば、赤色着色画素（４２Ｒ）と赤色着色画素（４２Ｒ）が第２画素ピッチ（Ｐi −２）で繰り返し設けられている。
【０１３１】
積層フォトスペーサーは、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ６１）とサブ積層フォトスペーサーからなり、サブ積層フォトスペーサーは、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６３）で構成されてる。メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ６１）と上記３種のサブ積層フォトスペーサーの計４種の積層フォトスペーサーの平面視形状はドット状であり、同一の大きさを有している。
【０１３２】
メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ６１）は、図４７中、交点（Ｏ）を通るＹ０線上、Ｘ軸方向の赤色着色画素（４２Ｒ）間に設けられ、また、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６１）は、該赤色着色画素（４２Ｒ）からＹ軸方向に、３×第１画素ピッチ〔（３×（Ｐi−１）／３）＝（Ｐi−１）〕隣接して設けられた赤色着色画素（４２Ｒ）の、Ｘ軸方向の赤色着色画素（４２Ｒ）間に設けられている。
また、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６３）は、各々Ｘ軸方向の青色着色画素（４２Ｂ）間、緑色着色画素（４２Ｇ）間に設けられている。
【０１３３】
メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ６１）とサブ積層フォトスペーサーは、Ｙ軸方
向に、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ６１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６３）、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６３）を順として第１画素ピッチ（（Ｐi−１）／３）で、これら４種６個の積層フォトスペーサーを組とし、この組がＹ軸方向にピッチ〔２×（Ｐi−１））で繰り返し設けられている。尚、着色画素は、上記のように、３色の着色画素を組とし、この組がＹ軸方向にピッチ（Ｐｉ−１）で繰り返し配設されている。
【０１３４】
図４８は、図４７に示す積層フォトスペーサーの断面を拡大し、その構成を説明する断面図である。図４８（ａ）は、図４７中、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ６１）のＹ０ −Ｙ０ 線での断面図である。図４８（ａ）に示すように、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ６１）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、赤色着色画素（４２Ｒ）が順次に形成され、そのブラックマトリックス（４１）上に形成されたものである。このメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ６１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ３Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が積層された構成である。各色ドットパターン（Ｐ３Ｒ、Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｂ）は、各色着色画素（４２Ｒ、４２Ｇ、、４２Ｂ）の形成と同時に形成されたものである。
【０１３５】
また、図４８（ｂ）は、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６１）のＲ−Ｒ線での断面図である。図４８（ｂ）に示すように、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６１）は、Ｙ０ 線上の赤色着色画素（４２Ｒ）からＹ軸方向にピッチ（Ｐｉ−１）隣接して設けられた赤色着色画素（４２Ｒ）のＸ軸方向の赤色着色画素（４２Ｒ）間に設けられている。この第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６１）は、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が積層された構成である。
この第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６１）は、緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）上に、緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）より小さな青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が積重した積層フォトスペーサーである。
【０１３６】
また、図４８（ｃ）は、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６２）のＢ−Ｂ線での断面図である。この第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６２）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）が積層された構成である。この緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）は、緑色着色画素（４２Ｇ）の形成と同時に形成されたものである。
【０１３７】
また、図４８（ｄ）は、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６３）のＧ−Ｇ線での断面図である。この第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６３）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）が積層された構成である。
この青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）は、青色着色画素（４２Ｂ）の形成と同時に形成されたものである。この第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ６３）は、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）が、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）を覆ように被装した積層フォトスペーサーである。
【０１３８】
図４９は、赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ６）の平面図である。図４９に示すように、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ６）には、ガラス基板上に形成する赤色着色画素（４２Ｒ）に対応した赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）と、赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ、Ｐ３Ｒ）の形成に対応した赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ、Ｋ−Ｐ３Ｒ）が設けられている。
赤色パターンの形成は、この赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ６）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に赤色着色画素（４２Ｒ）と赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ、Ｐ３Ｒ）を形成する。
【０１３９】
図５０は、緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ６）の平面図である。図５０に示すように、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ６）には、ガラス基板上に形成する緑色着色画素（４２Ｇ）に対応した緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）と、緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）の形成に対応した緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）が設けられている。
緑色パターンの形成は、赤色パターンが形成されたガラス基板のＹ０ 、Ｘ０ に、図５０に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ６）のＹ０ 、Ｘ０ を重ね合わせ、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ６）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に緑色着色画素（４２Ｇ）と緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）を形成する。
【０１４０】
さて、図５１は、青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ６）の平面図である。図５１に示すように、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ６）には、ガラス基板上に形成する青色着色画素（４２Ｂ）に対応した青色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｂ）と、青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ）の形成に対応した青色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ）が設けられている。
【０１４１】
ここで、図５１に示す青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ６）と、図５０に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ６）を比較してみると、青色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｂ）及び青色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ）の配列と、緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）及び緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）の配列は同一である。緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ６）をＹ軸方向へピッチ（Ｐｉ−１）２／３移動させると、これら開口部は一致する。
すなわち、本発明によるカラーフィルタの層構成によれば、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ６）に代わり、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ６）をＹ軸プラス方向へピッチ（Ｐｉ−１）２／３移動させることによって、或いは、Ｙ軸マイナス方向へピッチ（Ｐｉ−１）／３移動させることによって、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ６）として機能させることが可能となる。
【０１４２】
上記により、図４７に例示する、着色画素と積層フォトスペーサーを設けたカラーフィルタを作製する。
請求項９に係わるカラーフィルタの層構成によれば、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ６）を青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ６）と兼ねて用い、計２枚のフォトマスクを用いた製造が可能となる。つまり、従来は、予備版を含め合計６枚のフォトマスクが４枚に削減されたものとなる。
【０１４３】
図５２は、請求項１３に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。図５２に示すカラーフィルタの着色画素及び積層フォトスペーサーは、図４７に示すカラーフィルタにおける３色からなる着色画素の構成、及びその配列と同一である。また、４種６個からなる積層フォトスペーサーの構成、及びその配列と同一である。
【０１４４】
しかし、図５２に示すカラーフィルタにおいては、積層フォトスペーサーを構成するメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ７１）、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ７１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ７２）、及び第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ７３）の各々の積層の積層状態が、図４７に示す積層フォトスペーサーの積層状態とは異なったものである。
この図５２に示すカラーフィルタの積層によれば、第１色目用フォトマスクを第２色目用
フォトマスクと兼ねて用いることができ、図４７に示すカラーフィルタの場合と同様に、従来は、予備版を含め合計６枚のフォトマスクが４枚に削減されたものとなる。
【０１４５】
図５３は、図５２に示す積層フォトスペーサーの断面を拡大し、その構成を説明する断面図である。図５３（ａ）は、図５２中、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ７１）のＹ０ −Ｙ０ 線での断面図である。図５３（ａ）に示すように、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ７１）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、赤色着色画素（４２Ｒ）が順次に形成され、そのブラックマトリックス（４１）上に形成されたものである。このメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ７１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ３Ｂ）が積層された構成である。
【０１４６】
また、図５３（ｂ）は、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ７１）のＲ−Ｒ線での断面図である。図５３（ｂ）に示すように、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ７１）は、Ｙ０ 線上の赤色着色画素（４２Ｒ）からＹ軸方向にピッチ（Ｐｉ−１）隣接して設けられた赤色着色画素（４２Ｒ）のＸ軸方向の赤色着色画素（４２Ｒ）間に設けられている。この第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ７１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）が積層された構成である。
【０１４７】
また、図５３（ｃ）は、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ７２）のＢ−Ｂ線での断面図である。この第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ７２）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）が積層された構成である。また、図５３（ｄ）は、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ７３）のＧ−Ｇ線での断面図である。この第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ７３）は、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が積層された構成である。
【０１４８】
図５４は、赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ７）の平面図である。図５４に示すように、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ７）には、ガラス基板上に形成する赤色着色画素（４２Ｒ）に対応した赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）と、赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）の形成に対応した赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）が設けられている。
赤色パターンの形成は、この赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ２）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に赤色着色画素（４２Ｒ）と赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）を形成する。
【０１４９】
図５５は、緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ７）の平面図である。図５５に示すように、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ７）には、ガラス基板上に形成する緑色着色画素（４２Ｇ）に対応した緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）と、緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）の形成に対応した緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）が設けられている。
緑色パターンの形成は、赤色パターンが形成されたガラス基板のＹ０ 、Ｘ０ に、図５５に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ７）のＹ０ 、Ｘ０ を重ね合わせ、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ７）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に緑色着色画素（４２Ｇ）と緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）を形成する。
【０１５０】
図５６は、青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ７）の平面図である。図５６に示すように、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ７）には、ガラス基板上に形成する青色着色画素（４２Ｂ）に対応した青色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｂ）と、青色ド
ットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）の形成に対応した青色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ、Ｋ−Ｐ３Ｂ）が設けられている。
【０１５１】
青色パターンの形成は、赤色及び緑色パターンが形成されたガラス基板のＹ０、Ｘ０に、図５５に示す青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ７）のＹ０、Ｘ０を重ね合わせ、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ７）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に青色着色画素（４２Ｂ）と青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）を形成する。
上記により、図５２に例示する、着色画素と積層フォトスペーサーを設けたカラーフィルタを作製する。
【０１５２】
ここで、図５５に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ７）と、図５４に示す赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ７）を比較してみると、緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）及び緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）の配列と、赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）及び赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）の配列は同一である。赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ２）をＹ軸方向へピッチ（Ｐｉ−１）２／３移動させると、これら開口部は一致する。
すなわち、請求項１０に係わるカラーフィルタの層構成によれば、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ７）に代わり、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ７）をＹ軸プラス方向へピッチ（Ｐｉ−１）２／３移動させることによって、或いは、Ｙ軸マイナス方向へピッチ（Ｐｉ−１）／３移動させることによって、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ７）として機能させることが可能となる。
【０１５３】
上述のように、請求項１３に係わるカラーフィルタの層構成によれば、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ７）を緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ７）と兼ねて用い、計２枚のフォトマスクを用いたカラーフィルタの製造が可能となる。つまり、従来は、予備版を含め合計６枚のフォトマスクが４枚に削減されたものとなる。
【０１５４】
図５７は、請求項１４に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。図５７に示すカラーフィルタの着色画素及び積層フォトスペーサーは、図４７に示すカラーフィルタにおける３色からなる着色画素の構成、及びその配列と同一である。また、４種６個からなる積層フォトスペーサーの構成は同一であるが、その配列は異なる。
【０１５５】
図５７に示すカラーフィルタにては、前記交点（Ｏ）を通るＹ０ −Ｙ０ 線上に第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８１）を配し、第１軸方向に、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８２）、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ８１）、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８２）、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８３）の順に、第１画素ピッチ（（Ｐｉ−１）／３）で繰り返し設けられている。
【０１５６】
また、図５７に示すカラーフィルタにては、積層フォトスペーサーを構成するメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ８１）、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８１）、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８２）、及び第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８３）の各々の積層の積層状態が、図４７に示す積層フォトスペーサーの積層状態とは異なったものである。
この図５７に示すカラーフィルタの積層によれば、第１色目用フォトマスクを第２色目用フォトマスクと兼ねて用いることができる。
【０１５７】
図５８は、図５７に示す積層フォトスペーサーの断面を拡大し、その構成を説明する断面図である。図５８（ａ）は、図５７中、メイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ８１）のＭ−Ｍ線での断面図である。図５８（ａ）に示すように、メイン積層フォトスペーサー
（ＰＳ−Ｍ８１）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、緑色着色画素（４２Ｇ）が順次に形成され、そのブラックマトリックス（４１）上に形成されたものである。このメイン積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｍ８１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ３Ｂ）が積層された構成である。
【０１５８】
また、図５８（ｂ）は、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８１）のＹ０−Ｙ０ 線での断面図である。図５８（ｂ）に示すように、第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８１）は、Ｙ０−Ｙ０ 線上の赤色着色画素（４２Ｒ）のＸ軸方向の赤色着色画素（４２Ｒ）間に設けられている。この第１サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８１）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ２Ｂ）が積層された構成である。
【０１５９】
また、図５８（ｃ）は、第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８２）のＢ−Ｂ線での断面図である。この第２サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８２）は、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ２Ｇ）と、第３色目の青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ）が積層された構成である。また、図５８（ｄ）は、第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８３）のＧ−Ｇ線での断面図である。この第３サブ積層フォトスペーサー（ＰＳ−Ｓ８３）は、第１色目の赤色ドットパターン（Ｐ２Ｒ）と、第２色目の緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ）が積層された構成である。
上記各色ドットパターンは、各色着色画素（４２Ｒ、４２Ｇ、４２Ｂ）の形成と同時に形成されたものである。
【０１６０】
図５９は、赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ８）の平面図である。図５９に示すように、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ８）には、ガラス基板上に形成する赤色着色画素（４２Ｒ）に対応した赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）と、赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）の形成に対応した赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）が設けられている。
赤色パターンの形成は、この赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ８）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に赤色着色画素（４２Ｒ）と赤色ドットパターン（Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ）を形成する。
【０１６１】
図６０は、緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ８）の平面図である。図６０に示すように、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ８）には、ガラス基板上に形成する緑色着色画素（４２Ｇ）に対応した緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）と、緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）の形成に対応した緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）が設けられている。
緑色パターンの形成は、赤色パターンが形成されたガラス基板のＹ０ 、Ｘ０ に、図６０に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ８）のＹ０、Ｘ０ を重ね合わせ、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ８）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に緑色着色画素（４２Ｇ）と緑色ドットパターン（Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ）を形成する。
【０１６２】
図６１は、青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ８）の平面図である。図６１に示すように、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ８）には、ガラス基板上に形成する青色着色画素（４２Ｂ）に対応した青色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｂ）と、青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）の形成に対応した青色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ、Ｋ−Ｐ３Ｂ）が設けられている。
【０１６３】
青色パターンの形成は、赤色及び緑色パターンが形成されたガラス基板のＹ０、Ｘ０ に、図６１に示す青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ８）のＹ０、Ｘ０を重ね合わ
せ、青色用フォトマスク（ＰＭ−Ｂ８）を介した露光、現像によって、ガラス基板上に青色着色画素（４２Ｂ）と青色ドットパターン（Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ）を形成する。
上記により、図５７に例示する、着色画素と積層フォトスペーサーを設けたカラーフィルタを作製する。
【０１６４】
ここで、図６０に示す緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ８）と、図５９に示す赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ８）を比較してみると、緑色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｇ）及び緑色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ）の配列と、赤色着色画素開口部（Ｋ−４２Ｒ）及び赤色ドットパターン開口部（Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ）の配列は同一である。赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ８）をＹ軸方向へピッチ（Ｐｉ−１）２／３移動させると、これら開口部は一致する。
すなわち、請求項１４に係わるカラーフィルタの層構成によれば、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ８）に代わり、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ８）をＹ軸プラス方向へピッチ（Ｐｉ−１）２／３移動させることによって、或いは、Ｙ軸マイナス方向へピッチ（Ｐｉ−１）／３移動させることによって、緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ８）として機能させることが可能となる。
【０１６５】
上述のように、請求項１４に係わるカラーフィルタの層構成によれば、赤色用フォトマスク（ＰＭ−Ｒ８）を緑色用フォトマスク（ＰＭ−Ｇ８）と兼ねて用い、計２枚のフォトマスクを用いたカラーフィルタの製造が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０１６６】
【図１】本発明の請求項１に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。
【図２】図１に示す積層フォトスペーサーの断面図である。（ａ）はメイン積層フォトスペーサー、（ｂ）は第１サブ積層フォトスペーサー、（ｃ）は第２サブ積層フォトスペーサー、（ｄ）は第３サブ積層フォトスペーサー
【図３】赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスクの平面図である。
【図４】カラーフィルタを構成する赤色パターンの平面図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は赤色パターンの断面図である。
【図６】緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスクの平面図である。
【図７】カラーフィルタを構成する緑色パターンの平面図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は緑色パターンの断面図である。
【図９】青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスクの平面図である。
【図１０】カラーフィルタを構成する青色パターンの平面図である。
【図１１】（ａ）〜（ｄ）は青色パターンの断面図である。
【図１２】２種のフォトスペーサーを設けた液晶表示装置用カラーフィルタの一例を模式的に示した断面図である。
【図１３】大サイズのガラス基板にカラーフィルタが４面付けされた例である。
【図１４】図１３における大サイズのガラス基板の一隅を拡大してダミーフォトスペーサーの配列の一例を示す平面図である。
【図１５】（ａ）、（ｂ）は、フォトスペーサーを設けたカラーフィルタの他の例の断面図、平面図である。
【図１６】着色画素と積層フォトスペーサーを設けたカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。
【図１７】図１６に示す積層フォトスペーサーの断面図である。（ａ）はメイン積層フォトスペーサー、（ｂ）は第１サブ積層フォトスペーサー、（ｃ）は第２サブ積層フォトスペーサー、（ｄ）は第３サブ積層フォトスペーサー
【図１８】赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスクの平面図である。
【図１９】カラーフィルタを構成する赤色パターンの平面図である。
【図２０】図１９に示す積層フォトスペーサーの断面図である。（ａ）はメイン積層フォトスペーサー、（ｂ）は第１サブ積層フォトスペーサー、（ｃ）は第２サブ積層フォトスペーサー、（ｄ）は第３サブ積層フォトスペーサー
【図２１】緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスクの平面図である。
【図２２】カラーフィルタを構成する緑色パターンの平面図である。
【図２３】図２２に示す積層フォトスペーサーの断面図である。（ａ）はメイン積層フォトスペーサー、（ｂ）は第１サブ積層フォトスペーサー、（ｃ）は第２サブ積層フォトスペーサー、（ｄ）は第３サブ積層フォトスペーサー
【図２４】青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスクの平面図である。
【図２５】カラーフィルタを構成する青色パターンの平面図である。
【図２６】図２５に示す積層フォトスペーサーの断面図である。（ａ）はメイン積層フォトスペーサー、（ｂ）は第１サブ積層フォトスペーサー、（ｃ）は第２サブ積層フォトスペーサー、（ｄ）は第３サブ積層フォトスペーサー
【図２７】本発明の請求項２に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。
【図２８】図２７に示す積層フォトスペーサーの断面図である。（ａ）はメイン積層フォトスペーサー、（ｂ）は第１サブ積層フォトスペーサー、（ｃ）は第２サブ積層フォトスペーサー、（ｄ）は第３サブ積層フォトスペーサー
【図２９】赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスクの平面図である。
【図３０】緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスクの平面図である。
【図３１】青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスクの平面図である。
【図３２】本発明の請求項３に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。
【図３３】図３２に示す積層フォトスペーサーの断面図である。（ａ）はメイン積層フォトスペーサー、（ｂ）は第１サブ積層フォトスペーサー、（ｃ）は第２サブ積層フォトスペーサー、（ｄ）は第３サブ積層フォトスペーサー
【図３４】赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスクの平面図である。
【図３５】緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスクの平面図である。
【図３６】青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスクの平面図である。
【図３７】本発明の請求項４に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。
【図３８】図３７に示す積層フォトスペーサーの断面図である。（ａ）はメイン積層フォトスペーサー、（ｂ）は第１サブ積層フォトスペーサー、（ｃ）は第２サブ積層フォトスペーサー、（ｄ）は第３サブ積層フォトスペーサー
【図３９】赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスクの平面図である。
【図４０】緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスクの平面図である。
【図４１】青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスクの平面図である。
【図４２】本発明の請求項５に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。
【図４３】図４２に示す積層フォトスペーサーの断面図である。（ａ）はメイン積層フォトスペーサー、（ｂ）は第１サブ積層フォトスペーサー、（ｃ）は第２サブ積層フォトスペーサー、（ｄ）は第３サブ積層フォトスペーサー
【図４４】赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスクの平面図である。
【図４５】緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスクの平面図である。
【図４６】青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスクの平面図である。
【図４７】本発明の請求項１１に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。
【図４８】図４７に示す積層フォトスペーサーの断面図である。（ａ）はメイン積層フォトスペーサー、（ｂ）は第１サブ積層フォトスペーサー、（ｃ）は第２サブ積層フォトスペーサー、（ｄ）は第３サブ積層フォトスペーサー
【図４９】赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスクの平面図である。
【図５０】緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスクの平面図である。
【図５１】青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスクの平面図である。
【図５２】本発明の請求項１３に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。
【図５３】図５２に示す積層フォトスペーサーの断面図である。（ａ）はメイン積層フォトスペーサー、（ｂ）は第１サブ積層フォトスペーサー、（ｃ）は第２サブ積層フォトスペーサー、（ｄ）は第３サブ積層フォトスペーサー
【図５４】赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスクの平面図である。
【図５５】緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスクの平面図である。
【図５６】青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスクの平面図である。
【図５７】本発明の請求項１４に係わるカラーフィルタの一例の構成を示す平面図である。
【図５８】図５７に示す積層フォトスペーサーの断面図である。（ａ）はメイン積層フォトスペーサー、（ｂ）は第１サブ積層フォトスペーサー、（ｃ）は第２サブ積層フォトスペーサー、（ｄ）は第３サブ積層フォトスペーサー
【図５９】赤色パターンの形成に用いる赤色用フォトマスクの平面図である。
【図６０】緑色パターンの形成に用いる緑色用フォトマスクの平面図である。
【図６１】青色パターンの形成に用いる青色用フォトマスクの平面図である。
【符号の説明】
【０１６７】
４０・・・ガラス基板
４１・・・ブラックマトリックス
４２Ｒ・・・赤色着色画素
４２Ｇ・・・緑色着色画素
４２Ｂ・・・青色着色画素
４３・・・透明導電膜
５０・・・大サイズのガラス基板
Ａ・・・カラーフィルタの表示部
Ｂ・・・周縁部などの領域
Ｄ−ＰＳ・・・ダミーフォトスペーサー
Ｋ−４２Ｒ・・・赤色着色画素開口部
Ｋ−４２Ｇ・・・緑色着色画素開口部
Ｋ−４２Ｒ・・・青色着色画素開口部
Ｋ−Ｐ１Ｒ、Ｋ−Ｐ２Ｒ、Ｋ−Ｐ３Ｒ・・・赤色ドットパターン開口部
Ｋ−Ｐ１Ｇ、Ｋ−Ｐ２Ｇ、Ｋ−Ｐ３Ｇ・・・緑色ドットパターン開口部
Ｋ−Ｐ１Ｂ、Ｋ−Ｐ２Ｂ、Ｋ−Ｐ３Ｂ・・・青色ドットパターン開口部
Ｐ１Ｒ、Ｐ２Ｒ・・・赤色ドットパターン
Ｐ１Ｇ、Ｐ２Ｇ、Ｐ３Ｇ・・・緑色ドットパターン
Ｐ１Ｂ、Ｐ２Ｂ、Ｐ３Ｂ・・・青色ドットパターン
Ｐ４・・・上部パターン
ＰＭ−Ｒ、ＰＭ−Ｒ１、ＰＭ−Ｒ２、ＰＭ−Ｒ３、ＰＭ−Ｒ４、ＰＭ−Ｒ５、ＰＭ−Ｒ６、ＰＭ−Ｒ７、ＰＭ−Ｒ８・・・赤色用フォトマスク
ＰＭ−Ｇ、ＰＭ−Ｇ１、ＰＭ−Ｇ２、ＰＭ−Ｇ３、ＰＭ−Ｇ４、ＰＭ−Ｇ５、ＰＭ−Ｇ６、ＰＭ−Ｇ７、ＰＭ−Ｇ８・・・緑色用フォトマスク
ＰＭ−Ｂ、ＰＭ−Ｂ１、ＰＭ−Ｂ２、ＰＭ−Ｂ３、ＰＭ−Ｂ４、ＰＭ−Ｂ５、ＰＭ−Ｂ６、ＰＭ−Ｂ７、ＰＭ−Ｂ８・・・青色用フォトマスク
ＰＳ−１・・・積層フォトスペーサー
ＰＳ−Ｍ・・・メインフォトスペーサー
ＰＳ−Ｍ１、ＰＳ−Ｍ１１、ＰＳ−Ｍ２１、ＰＳ−Ｍ３１、ＰＳ−Ｍ４１、ＰＳ−Ｍ５１、ＰＳ−Ｍ６１、ＰＳ−Ｍ７１、ＰＳ−Ｍ８１・・・メイン積層フォトスペーサー
ＰＳ−Ｓ・・・サブフォトスペーサー
ＰＳ−Ｓ１、ＰＳ−Ｓ１１、ＰＳ−Ｓ２１、ＰＳ−Ｓ３１、ＰＳ−Ｓ４１、ＰＳ−Ｓ５１、ＰＳ−Ｓ６１、ＰＳ−Ｓ７１、ＰＳ−Ｓ８１・・・第１サブ積層フォトスペーサー
ＰＳ−Ｓ２、ＰＳ−Ｓ１２、ＰＳ−Ｓ２２、ＰＳ−Ｓ３２、ＰＳ−Ｓ４２、ＰＳ−Ｓ５２、ＰＳ−Ｓ６２、ＰＳ−Ｓ７２、ＰＳ−Ｓ８２・・・第２サブ積層フォトスペーサー
ＰＳ−Ｓ３、ＰＳ−Ｓ１３、ＰＳ−Ｓ２３、ＰＳ−Ｓ３３、ＰＳ−Ｓ４３、ＰＳ−Ｓ５３、ＰＳ−Ｓ６３、ＰＳ−Ｓ７３、ＰＳ−Ｓ８３・・・第３サブ積層フォトスペーサー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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【図５７】
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【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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