(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を照明する照明光学系と、
対物レンズに対して前記照明光学系側に配置された瞳変調素子である照明側瞳変調素子と、
前記照明側瞳変調素子を保持する照明側ターレットと、
前記照明側ターレットを回転させ、光軸に対して垂直な平面内であって所定の軌道円周上で前記照明側瞳変調素子を移動させる照明側ターレット回転機構と、
前記対物レンズの瞳をリレーするリレー光学系と、
前記対物レンズに対して前記リレー光学系側に配置された瞳変調素子である結像側瞳変調素子と、
前記結像側瞳変調素子を保持する結像側ターレットと、
前記結像側ターレットを回転させ、光軸に対して垂直な平面内であって所定の軌道円周上で前記結像側瞳変調素子を移動させる結像側ターレット回転機構と、
を備え、
前記照明側瞳変調素子の前記軌道円周及び前記結像側瞳変調素子の前記軌道円周を光軸に直交する面に該光軸に沿って投影した場合に、光軸方向から見て、両軌道円周の交点において、前記照明側瞳変調素子の前記軌道円周の接線と前記結像側変調素子の前記軌道円周の接線とが互いに直交することを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】
複数の前記対物レンズを保持し、前記対物レンズの配置を切り換えるレボルバと、
前記レボルバを駆動するレボルバ駆動手段と、
前記レボルバ駆動手段、前記照明側ターレット回転機構および前記結像側ターレット回転機構の駆動を制御し、光軸上に配置された前記対物レンズに適合する前記照明側瞳変調素子と前記結像側瞳変調素子を前記光軸上に配置して前記照明側瞳変調素子の中心と前記結像側瞳変調素子の中心とを前記光軸方向から見て前記対物レンズの瞳内で一致させる制御手段と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項３】
前記結像側瞳変調素子は、前記対物レンズの瞳位置に配置され、前記照明側瞳変調素子は、前記対物レンズの瞳位置と共役な位置に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡。
【請求項４】
前記結像側ターレットは、位相板を保持可能に構成されたことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位相差観察、変調コントラスト観察および微分干渉観察など、瞳変調素子を用いて試料の観察を行う顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、位相差顕微鏡および微分干渉顕微鏡など、瞳変調素子を用い、光の回折および干渉を起こし、試料の観察像に明暗のコントラストを付け、無色透明な試料の観察を行う顕微鏡が知られている。例えば、位相差顕微鏡の場合、瞳変調素子として、対物レンズの瞳に共役な位置にリングスリットを配置し、対物レンズの瞳の位置に位相板を配置して試料の観察を行う。位相板は、リングスリットのスリット部分と共役な形状の位相膜を備え、試料によって回折されなかった直接光の位相を変化させる。位相差顕微鏡では、この直接光と、試料によって回折された回折光とを干渉させて観察像にコントラストを付ける。
【０００３】
特許文献１には、対物レンズの瞳位置の近傍に複数の位相板を保持するスライダーを備えた顕微鏡が記載されている。この顕微鏡のスライダーには複数の開口部が形成されており、位相板は、開口部内で光軸と垂直な平面上を移動自在に保持されている。観察者は、スライダーをスライドさせて対物レンズに適合した位相板を対物レンズの瞳位置の近傍に配置した後、対物レンズの瞳内でスリットの像と位相膜の像を合わせる操作、すなわち、対物レンズの瞳の中心の位置でスリットの中心と位相膜の中心とを一致させる操作である心出し操作を行う。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−３５９８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、従来の顕微鏡では、観察者は、スリットおよび位相膜の像をモニタしながら、位相板およびリングスリットの両方又は一方を光軸に垂直な平面上で四方八方に移動させて心出し操作を行う。このため、従来の顕微鏡は、心出し操作が難しく、時間がかかるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、瞳変調素子の心出し操作を簡単に行うことができる操作性のよい顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる顕微鏡は、試料を照明する照明光学系と、対物レンズに対して前記照明光学系側に配置された瞳変調素子である照明側瞳変調素子と、前記照明側瞳変調素子を保持する照明側ターレットと、前記照明側ターレットを回転させ、光軸に対して垂直な平面内であって所定の軌道円周上で前記照明側瞳変調素子を移動させる照明側ターレット回転機構と、前記対物レンズの瞳をリレーするリレー光学系と、前記対物レンズに対して前記リレー光学系側に配置された瞳変調素子である結像側瞳変調素子と、前記結像側瞳変調素子を保持する結像側ターレットと、前記結像側ターレットを回転させ、光軸に対して垂直な平面内であって所定の軌道円周上で前記結像側瞳変調素子を移動させる結像側ターレット回転機構と、を備え、前記照明側瞳変調素子の前記軌道円周及び前記結像側瞳変調素子の前記軌道円周を光軸に直交する面に該光軸に沿って投影した場合に、光軸方向から見て、両軌道円周の交点において、前記照明側瞳変調素子の前記軌道円周の接線と前記結像側変調素子の前記軌道円周の接線とが互いに直交することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明にかかる顕微鏡は、上記の発明において、前記結像側瞳変調素子は、前記対物レンズの瞳位置に配置され、前記照明側瞳変調素子は、前記対物レンズの瞳位置と共役な位置に配置されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明にかかる顕微鏡は、照明側瞳変調素子の軌道円周と結像側瞳変調素子の軌道円周とが光軸方向から見て対物レンズの瞳内で互いに直交するので、いずれかまたは両方の軌道円周に誤差が生じた場合であっても、照明側瞳変調素子の軌道円周と結像側瞳変調素子の軌道円周との交点のずれは最小に抑えられるため、結像側ターレットおよび照明側ターレットの回転操作のみで心出し操作を行うことができ操作性がよいという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、この発明を実施するための最良の形態である顕微鏡について説明する。なお、本実施の形態によって本発明が限定されるものではない。また、図面の記載において、同一部分には同一符号を付している。
【００１２】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡１００の光学構成を示す図である。顕微鏡１００は、倒立型の位相差顕微鏡である。図１に示すように、顕微鏡１００は、照明光学系として光源１およびコンデンサレンズ４を備え、光源１を出射した照明光の光路上に、ターレット３、コンデンサレンズ４および試料５を載置する図示しないステージが配置されている。
【００１３】
ターレット３は、光軸ＬＶと平行な回転軸３ａを中心軸とした回転機構を備え、手動で回転自在であり、複数のリングスリット２を保持して光軸ＬＶに垂直な平面内であって所定の軌道円周上でリングスリット２を移動させ、いずれかのリングスリット２を光軸ＬＶ上に配置する。なお、光軸ＬＶ上に配置されたリングスリット２は、コンデンサレンズ４によって対物レンズ６の瞳位置とほぼ共役な位置に投影される。
【００１４】
リングスリット２は、照明光学系側に配置される瞳変調素子であり、ドーナッツ状のスリット２ａが設けられた円形の金属板で、スリット２ａの部分のみ照明光を通過させて他の部分に入射した照明光を遮断する。各々のリングスリット２は、対物レンズ６の瞳の大きさ、すなわち倍率に応じた大きさのスリット２ａを備える。なお、スリット２ａの内側の円板と外側の板とはスリット２ａ内の図示しない箇所で繋がっており、スリット２ａの内側の円板は落下しない。
【００１５】
コンデンサレンズ４は、コンデンサレンズ４の光軸が光軸ＬＶと一致するように配置されており、スリット２ａを通過した照明光を試料５上に集光する。
【００１６】
顕微鏡１００は、観察光の光路上に、レボルバ７、結像レンズ８、ミラー９、リレーレンズ１１、ターレット１３、撮像レンズ１４および撮像素子１６を備える。レボルバ７が保持する対物レンズ６、結像レンズ８、ミラー９、リレーレンズ１１、ターレット１３が保持する位相板１２、撮像レンズ１４および撮像素子１６が結像光学系であり、結像レンズ８およびリレーレンズ１１がリレー光学系である。
【００１７】
レボルバ７は、回転軸７ａを中心軸として手動で回転自在であり、複数の対物レンズ６を保持し、いずれかの対物レンズ６を光路上に配置する。結像レンズ８は、対物レンズ６を透過した観察光を集光し、試料５の像を１次結像位置１０に結像する。なお、対物レンズ６および結像レンズ８は、各々の光軸が光軸ＬＶと一致するように配置される。
【００１８】
ミラー９は、結像レンズ８と１次結像位置１０との間に配置される。ミラー９は、観察光を反射し、観察光の光路を折り曲げて光軸ＬＶと光軸ＬＨとを接続する。ここで、光軸ＬＶ，ＬＨをまとめて光軸Ｌとする。なお、ミラー９を配置しない場合、光軸ＬＶ，ＬＨが一直線の光軸となるように、各光学素子を配置する。
【００１９】
リレー光学系は、対物レンズ６の瞳をリレーする。ターレット１３は、紙面手前側に位置する回転軸１３ａを中心軸とした回転機構を備え、手動で回転自在であり、複数の位相板１２を保持して光軸ＬＨに垂直な平面内であって所定の軌道円周上で位相板１２を移動させ、いずれかの位相板１２を光軸ＬＨ上に配置する。なお、光軸ＬＨ上に配置された位相板１２の位置は、リレー光学系によってリレーされた対物レンズ６の瞳位置とほぼ一致する。
【００２０】
位相板１２は、結像光学系側に配置される瞳変調素子であり、ドーナツ状の位相膜１２ａが蒸着されている。位相膜１２ａは、入射した光の波長を１／４波長ずらす１／４波長板と入射した光を吸収する吸収膜とによって形成されており、位相膜１２ａを透過する観察光の位相を１／４波長ずらすとともに明るさを弱める。各々の位相板１２は、対物レンズ６の瞳の大きさ、すなわち倍率に適合した大きさの位相膜１２ａを備える。観察者は、観察に使用する対物レンズ６を交換した場合、交換した対物レンズ６に適合するリングスリット２および位相板１２を光軸Ｌ上に配置して心出し操作を行った上で試料５の位相差観察を行う。なお、対物レンズ６の瞳と共役な位置で対物レンズ６に適合したスリット２ａの像および位相膜１２ａの像を見た場合、位相膜１２ａの像の方がスリット２ａの像よりも幅広い。
【００２１】
撮像レンズ１４は、位相板１２を透過した観察光を集光し、撮像素子１６上に試料５の像を結像する。なお、リレーレンズ１１および撮像レンズ１４は、各々の光軸が光軸ＬＨと一致するように配置される。
【００２２】
撮像素子１６は、ＣＣＤなどによって実現され、入射した光を電気信号に変換することによって、投影された像を撮像する。なお、撮像素子１６に替えて接眼レンズを配置してもよい。この場合、観察者は、モニタなどを介さず、接眼レンズを通して像を観察することができる。
【００２３】
図１に示すように、観察光は、対物レンズ６および結像レンズ８を透過し、ミラー９によって偏向された後、リレーレンズ１１および位相板１２を透過して、撮像レンズ１４に入射し、撮像素子１６上で再び試料５の像を結像する。
【００２４】
なお、撮像レンズ１４と撮像素子１６との間には、瞳結像レンズ１５が挿脱自在に配置される。瞳結像レンズ１５が光軸ＬＨ上に配置された場合、対物レンズ６の瞳の像、スリット２ａの像および位相膜１２ａの像が撮像素子１６上に結像される。観察者は、瞳結像レンズ１５を光軸ＬＨ上に配置し、撮像素子１６上に結像されたスリット２ａおよび位相膜１２ａの像を図示しないモニタなどによって観察しつつ、心出し操作を行う。具体的な操作としては、観察者は、例えば、まずターレット３を回転させてスリット２ａの像の中心を対物レンズ６の瞳の中心に合わせ、その後ターレット１３を回転させて位相膜１２ａの像をスリット２ａの像に重ねることによって、心出し操作を行う。
【００２５】
ここで、ターレット３，１３の回転に伴うリングスリット２および位相板１２の移動について説明する。図２は、光軸Ｌ方向から見た場合のスリット２ａの中心の移動軌跡である軌道円周１７および位相膜１２ａの中心の移動軌跡である軌道円周１８を示す図である。軌道円周１７は、回転軸３ａを中心とした円であり、軌道円周１８は、回転軸１３ａを中心とした円である。リングスリット２は、ターレット３の回転に伴って軌道円周１７上を移動し、位相板１２は、ターレット１３の回転に伴って軌道円周１８上を移動する。
【００２６】
図２に示すように、光軸Ｌ方向から見た場合、軌道円周１７の接線１７ａと軌道円周１８の接線１８ａは、光軸Ｌ上でほぼ直交している。すなわち、軌道円周１７，１８は、光軸Ｌ上でほぼ直交している。対物レンズ６は、対物レンズ６の瞳の中心Ｏが光軸Ｌと一致するように配置されるので、光軸Ｌ方向から見た場合、対物レンズ６の瞳の中心Ｏと軌道円周１７，１８の交点とは、光軸Ｌ上でほぼ一致する。このため、スリット２ａおよび位相膜１２ａの中心が一致する位置は、対物レンズ６の瞳の中心Ｏの位置とほぼ一致する。したがって、スリット２ａの像と位相膜１２ａの像とを合わせた場合、対物レンズ６の瞳の中心Ｏとスリット２ａの中心と位相膜１２ａの中心とが一致し、位相差観察が可能となる。
【００２７】
ところで、軌道円周１７，１８は、中心軸３ａ，１３ａの位置のずれ、またはターレット３，１３上でのリングスリット２および位相板１２の固定位置のずれなどによって、光軸Ｌに垂直な平面内でずれる場合がある。図３は、軌道円周１８がＡだけ平行移動した軌道円周１８ｂ上を位相板１２が移動する場合、対物レンズ６の瞳６ａ内でスリット２ａの像２ｂと位相膜１２ａの像１２ｂを合わせた像を示す図である。この場合、像２ｂの中心および像１２ｂの中心は、瞳６ａの中心ＯよりＡだけ離れた交点Ｏ´で一致する。
【００２８】
図４は、光軸Ｌ方向から見た中心Ｏ付近の軌道円周１７，１８の拡大図である。図４に示すように、軌道円周１７の誤差範囲を光軸Ｌの平面上で距離Ｂの範囲とし、軌道円周１８の誤差範囲を光軸Ｌの平面上で距離Ａの範囲とした場合、軌道円周１７，１８の交点は、軌道円周１７，１８の誤差範囲の重複部分である中心Ｏを中心とした２Ａ×２Ｂの正方形（図面内の斜線部分）内に存在することとなる。この場合、光軸Ｌ方向から見た場合の像２ｂの中心と像１２ｂの中心との一致点と中心Ｏとは、最大で√（Ａ２＋Ｂ２）離れる。
【００２９】
像２ｂの中心および像１２ｂの中心の一致点と中心Ｏとのずれが、対物レンズ６の瞳径の約０．１％以下であれば位相差観察に支障はない。このため、顕微鏡１００では、軌道円周１７，１８の誤差範囲として、√（Ａ２＋Ｂ２）が対物レンズ６の瞳径の０．１％以下となる範囲とする。
【００３０】
なお、リングスリット２と位相板１２との軌道円周が成す角度が９０度から離れるにしたがって、軌道円周の誤差が、像２ｂの中心および像１２ｂの中心の一致点と中心Ｏとの位置ずれに与える影響が大きくなる。例えば、位相膜１２ａの中心が、軌道円周１７と１２０度の角度を持って交差する軌道円周１９上を移動すると設定した場合を述べる。図５は、軌道円周１９がＡだけ平行移動した軌道円周１９ｂ上を位相板１２が移動する場合、瞳６ａ内で像２ｂと像１２ｂを合わせた像を示す図である。図５に示す場合、像２ｂの中心および像１２ｂの中心は、中心Ｏから２Ａだけ離れた交点Ｏ″で一致する。軌道円周１８，１９が平行移動した距離がともにＡである場合でも、中心Ｏと交点Ｏ″とのずれは、中心Ｏと交点Ｏ´とのずれ比較して大きい。
【００３１】
図６は、光軸Ｌ方向から見た中心Ｏ付近の軌道円周１７，１９の拡大図である。軌道円周１９の誤差範囲を軌道円周１８の誤差範囲と同様に、光軸Ｌの平面上で距離Ａの範囲とした場合、軌道円周１７，１９の交点は、軌道円周１７，１９の誤差範囲の重複部分である中心Ｏを中心とした平行四辺形（図面内の斜線部分）内に存在することとなる。この場合、像２ｂの中心および像１２ｂの中心の一致点と中心Ｏとは、最大で√（４Ａ２＋４Ｂ２＋４√３ＡＢ）離れる。すなわち、軌道円周１７，１９の誤差範囲を軌道円周１７，１８の場合と同様に設定すると、リングスリット２と位相板１２との中心の一致点が瞳６ａの中心Ｏから大きく外れ、位相差観察本来の見え方ができない場合がある。このため、リングスリット２の軌道円周と位相板１２の軌道円周とが直交しない場合、直交する場合と比較して誤差範囲と許容される範囲が狭くなる。したがって、顕微鏡１００では、リングスリット２の軌道円周と位相板１２の軌道円周とを直交させる。なお、直交とは、９０°±２０°程度の範囲を含み、この範囲であれば本発明の効果を奏することができる。
【００３２】
また、瞳６ａ内でリングスリット２と位相板１２の軌道円周がほぼ直線的となる条件は、リングスリット２の軌道半径をｒ１、位相板１２の軌道半径をｒ２、瞳６ａの見かけの直径をＤとすると、以下である。
ｒ１＞Ｄ
ｒ２＞Ｄ
【００３３】
本実施の形態１にかかる顕微鏡１００によれば、観察者は、ターレット３，１３の回転操作のみで心出し操作を行うことができるので、心出し操作が簡単で操作性がよい。また、顕微鏡１００によれば、位相膜を内蔵した位相差観察用の対物レンズでなく、明視野観察用の対物レンズを使用して位相差観察を行うことができる。さらに、瞳位置が揃った異なる倍率の対物レンズ、例えば４倍、１０倍および４０倍の対物レンズを使用すれば、結像レンズ８などの移動なしに、倍率を変更して位相差観察を行うことができる。
【００３４】
なお、顕微鏡１００は、機械的なクリック係止機構などを設けて心出し操作をおこなった状態でのターレット３，１３の回転角を物理的に記憶すれば、心出し操作を行った状態を簡単に再現することができる。
【００３５】
（実施の形態２）
ところで、実施の形態１では、手動でターレット３，１３を回転させて対物レンズ６に適合したリングスリット２および位相板１２を光軸Ｌ上に配置したが、本実施の形態２では、制御手段によって自動的にリングスリット２および位相板１２を光軸Ｌ上に配置する。
【００３６】
図７は、実施の形態２にかかる顕微鏡２００の光学構成を示す図である。顕微鏡２００は、顕微鏡１００と同様の倒立型の位相差顕微鏡である。図７に示すように、顕微鏡２００は、顕微鏡１００が備えたターレット３、レボルバ７およびターレット１３に替えてターレット２３、レボルバ２７およびターレット３３を備える。なお、顕微鏡２００のその他の光学構成は、顕微鏡１００の光学構成と同様である。
【００３７】
ターレット２３は、モータ２４およびセンサ２５を備える。ターレット２３は、回転軸２３ａを中心軸としてモータ２４の駆動により回転自在であり、ターレット３と同様に、複数のリングスリット２を保持し、軌道円周１７上でリングスリット２を移動させていずれかのリングスリット２を光軸Ｌ上に配置する。モータ２４は、ステッピングモータなどによって実現される。センサ２５は、例えば、透過型フォトインプランタなどによって実現され、予め設定されたターレット２３の原点位置を検出する。
【００３８】
レボルバ２７は、モータ２８およびセンサ２９を備える。レボルバ２７は、回転軸２７ａを中心軸としてモータ２８の駆動により回転自在であり、レボルバ７と同様に、複数の対物レンズ６を保持していずれかの対物レンズ６を光軸Ｌ上に配置する。モータ２８は、ステッピングモータなどによって実現される。センサ２９は、例えば透過型フォトインプランタなどによって実現され、予め設定されたレボルバ２７の原点位置を検出する。
【００３９】
ターレット３３は、モータ３４およびセンサ３５を備える。ターレット３３は、紙面手前側に位置する回転軸３３ａを中心軸としてモータ３４の駆動によって回転自在であり、ターレット１３と同様に、複数の位相板１２を保持し、軌道円周１８上で位相板１２を移動させていずれかの位相板１２を光軸Ｌ上に配置する。モータ３４は、ステッピングモータなどによって実現される。センサ３５は、例えば透過型フォトインプランタなどによって実現され、予め設定されたターレット３３の原点位置を検出する。
【００４０】
図８は、顕微鏡２００の制御機構の概略構成を示す図である。顕微鏡２００は、制御部２１を備える。制御部２１は、モータ２４，２８，３４の駆動を制御するとともに、センサ２５，２９，３５より原点位置の検知信号の入力を受ける。また、制御部２１は、記憶部２２を備え、各種情報、例えば原点位置と各対物レンズ６との位置関係などを記憶部２２に記憶する。制御部２１は、センサ２５，２９，３５より入力される原点位置の検知信号およびモータ２４，２８，３４に入力したパルス数をもとに、光軸Ｌと各リングスリット２、光軸Ｌと各対物レンズ６、光軸Ｌと各位相板１２の位置関係を把握する。なお、制御部２１は、撮像素子１６と電気的に接続しており、撮像素子１６上に結像された像の電気信号の入力を受ける。
【００４１】
さらに、制御部２１は、制御装置４０と電気的に接続している。制御装置４０は、パーソナルコンピュータなどによって実現され、制御部４１、入力部４２および表示部４３を備える。制御部４１は、制御部２１および入力部４１より入力される各種情報をもとに、制御部２１および表示部４３の動作を制御する。入力部４２は、キーボード、マウスなどによって実現され、観察者から入力された各種情報を制御部４１に入力する。表示部４３は、液晶ディスプレイなどによって実現され、制御部４１の制御のもと、各種情報、例えば撮像素子１６上に結像した像などを表示する。
【００４２】
ここで、制御部２１および制御部４１が行う処理について説明する。制御部４１は、観察者から所望の対物レンズ６を指定する情報、例えば倍率などの情報の入力を受けた場合、入力を受けた情報を制御部２１に入力する。制御部２１は、入力を受けた情報をもとに、モータ２４，２８，３４を制御して観察者が所望する対物レンズ６と、この対物レンズ６に適合するリングスリット２および位相１２を光軸Ｌ上に配置する。
【００４３】
なお、観察者は、位相差観察を行う前に予め、瞳結像レンズ１５を光軸Ｌ上に配置し、表示部４３に対物レンズの瞳６ａ、リングスリットの像２ｂおよび位相板の像１２ｂを重ねて表示させ、各対物レンズ６を用いて心出し操作を行う。心出し操作が行われた場合、制御部２１は、原点位置から像２ｂおよび像２ｂの中心が一致する位置にターレット２３，３３を回転させるためにモータ２４，３４に入力したパルス数を記憶部２２に記憶しておく。制御部２１は、リングスリット２および位相板１２を光軸Ｌ上に配置する際、記憶部２２に記憶したパルス数をモータ２４，３４に入力し、心出し操作が行われた状態を再現する。
【００４４】
本実施の形態２にかかる顕微鏡２００では、観察者の指示をもとに、制御部２１がモータ２４，２８，３４の駆動を制御し、観察者が所望する対物レンズ６を光軸上に配置するとともに、光軸Ｌ上に配置した対物レンズ６に適合するリングスリット２および位相板１２を光軸上に配置し、リングスリットの像２ｂおよび位相板の像１２ｂの中心を中心Ｏ付近で自動的に一致させるので、観察者は、簡単に手早く位相差観察を行うことができる。
【００４５】
なお、モータ２４，２８，３４としてステッピングモータを用いる場合、制御部２１は、モータ２４，２８，３４に入力するパルス数をもとに、心出しが行われた状態を再現できるので、機械的な停止装置、例えばクリックなどを必要とせず、停止装置の磨耗、顕微鏡２００への停止時の負荷が軽減され、モータ２４，２８，３４などの電動機構の耐久性が向上する。
【００４６】
ところで、実施の形態１，２では、本発明にかかる顕微鏡として位相差顕微鏡を例に説明したが、本発明にかかる顕微鏡は位相差顕微鏡に限られず、変調コントラスト観察、微分干渉観察を行う顕微鏡に応用可能である。したがって、瞳変調素子は、リングスリットおよび位相板に限られず、偏光子やポラライザなどであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡の光学構成を示す図である。
【図２】光軸方向から見たスリットの中心の軌道円周および位相膜の中心の軌道円周を示す図である。
【図３】対物レンズの瞳内でのスリットおよび位相膜の像を示す図である。
【図４】対物レンズの瞳の中心付近でのスリットの中心および位相膜の中心の軌道円周を示す図である。
【図５】スリットの中心の軌道円周と位相膜の中心の軌道円周とが直交しない顕微鏡における、対物レンズの瞳内でのスリットおよび位相膜の像を示す図である。
【図６】図５に示す顕微鏡の対物レンズの瞳の中心付近でのスリットの中心の軌道円周および位相膜の中心の軌道円周を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態２にかかる顕微鏡の光学構成を示す図である。
【図８】図７に示す顕微鏡の制御機構の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  光源
２  リングスリット
２ａ  スリット
２ｂ，１２ｂ  像
３，１３，２３，３３  ターレット
３ａ，７ａ，１３ａ，２３ａ，２７ａ，３３ａ  回転軸
４  コンデンサレンズ
５  試料
６  対物レンズ
６ａ  瞳
７，２７  レボルバ
８  結像レンズ
９  ミラー
１０  １次結像位置
１１  リレーレンズ
１２  位相板
１２ａ  位相膜
１４  撮像レンズ
１５  瞳結像レンズ
１６  撮像素子
１７，１８，１９，１８ｂ，１９ｂ  軌道円周
１７ａ，１８ａ  接線
２１，４１  制御部
２２  記憶部
２４，２８，３４  モータ
２５，２９，３５  センサ
４０  制御装置
４２  入力部
４３  表示部
Ａ，Ｂ  誤差範囲
Ｏ  中心
Ｏ´，Ｏ″  交点
【図１】
0005028249.tif 000002
【図２】
0005028249.tif 000003
【図３】
0005028249.tif 000004
【図４】
0005028249.tif 000005
【図５】
0005028249.tif 000006
【図６】
0005028249.tif 000007
【図７】
0005028249.tif 000008
【図８】
0005028249.tif 000009