(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダ本体の静圧発生面側に静圧発生部を設け、該静圧発生部に連通する加圧用ポートを設け、加圧用ポートを介して供給される加圧流体を静圧発生部から噴出させることによって静圧を生成する静圧スライダにおいて、
前記静圧発生部を前記静圧発生面のうち周辺部に環状に設け、前記スライダ本体の静圧発生面側には前記静圧発生部よりも内側に真空引きのための吸引部を設け、該吸引部に連通する真空引き用ポートを設け、吸引部周辺の流体を真空引き用ポートを介して吸引するようにし、更に、前記スライダ本体の静圧発生面側には前記吸引部よりも内側に作業用凹所を設け、該作業用凹所に連通する作業用ポートを設けたことを特徴とする静圧スライダ。
【請求項２】
前記静圧発生部及び吸引部はそれぞれ連続した環状とされていることを特徴とする請求項１記載の静圧スライダ。
【請求項３】
前記静圧発生部は多孔質体によって構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の静圧スライダ。
【請求項４】
前記吸引部は静圧発生面側に開口する凹部によって構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の静圧スライダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、静圧スライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１１に示すように、従来の静圧スライダ６１は、四角柱状のガイド軸６２と、その外周を四方から囲むように形成された筒状のスライダ本体６３とを備えている。スライダ本体６３の内周面には、ガイド軸６２の各外周面と対応して４つの多孔質体６４が設けられている。スライダ本体６３の外周面の一部にはポート６５が設けられ、ポート６５はスライダ本体６３の内部に形成された図示しない通路を介して多孔質体６４に連通されている。
【０００３】
そして、ポート６５に接続された図示しない圧力供給源より加圧エアが供給されると、多孔質体６４の表面から加圧エアが均等に噴出される。これによって、ガイド軸６２の外周面とスライダ本体６３の内周面との間に加圧エア層に基づく静圧が発生し、スライダ本体６３がガイド軸６２と僅かな隙間を保ちながら当該ガイド軸６２に沿って移動し得ることとなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の静圧スライダでは、ガイド軸６２の外周全体をスライダ本体６３で囲むようにして構成されていることから、部品点数が多く、構造が複雑で、静圧スライダ全体としても大型化するという問題がある。また、スライダ本体６３に関して組み付け部品数が増える分だけ組み付け精度も悪くなるという問題も生じ得る。
【０００５】
また、上記従来の静圧スライダを用いて真空雰囲気で作業を行うような場合には、室全体を真空雰囲気にしなければならいことから真空発生器も大容量のものが必要となり、設備が大袈裟になるという問題もある。
【０００６】
また、上記静圧スライダと同じ原理、即ち静圧を用いた装置として、非接触式チャックがある。これは、静圧の作用によってワークを浮上させ、その状態で例えばワークをスライドさせて搬送する。この非接触式チャックにおいては、単に静圧を付与してワークを非接触で保持するというものであったため、ワークが浮き過ぎてワーク保持剛性が低くなるとか、ワークが静圧によって振動するといった問題がある。かかる非接触式チャックを複数用いてなるチャック装置においても同様の問題がある。
【０００７】
本発明は、静圧を利用した静圧スライダにおいて、以上のような問題を解決することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
以下に、上記課題を解決し得る手段等について項を分けて列挙する。なお、必要に応じてその作用、効果、具体的手段等についても付記する。
【０００９】
手段１．スライダ本体の静圧発生面側に静圧発生部を設け、該静圧発生部から加圧流体を噴出させることによって静圧を生成する静圧スライダにおいて、
前記スライダ本体にはその静圧発生面側に真空引きのための吸引部を設け、該吸引部周辺の流体を吸引するようにしたことを特徴とする静圧スライダ。
【００１０】
手段１によれば、スライダ本体の静圧発生面側において、静圧発生部から噴出される加圧流体によって相手側との間に静圧が生成される。その結果、相手側と非接触の状態に静圧スライダを保持することができる。そして、本静圧スライダでは単に静圧を生じさせるだけではなく、吸引部より流体を吸引するように構成している。かかる吸引作用によって、スライダ本体の静圧発生面側には相手側に引き寄せられる力が発生する。従って、静圧と吸引とが同時に静圧発生面側で生じることによって、静圧スライダの静圧軸受け剛性が高められ、静圧スライダが安定する。また、静圧発生部とは独立して吸引部を設けたことから、ベルヌイの原理を用いた負圧発生の場合とは異なり、静圧発生のための加圧度合と吸引部における吸引度合とを個別に調整することができることとなり、静圧と負圧とのバランスを容易に調整して軸受け剛性を一層高めたり相手側との隙間を調整したり静圧スライダの振動を抑制することが可能となる。また、これにより、従来のようにスライダ本体を案内する軸が必ずしも必要でなくなったり、少なくとも四方から囲む必要もなくなるので、部品点数や組み付け工数の低減を図ることができるとともに、組み付けに伴う精度低下も防止し得る。
【００１１】
なお、流体としては、一般にはエア等の気体が想定されるが、静圧スライダの使用雰囲気によって適宜変化する。以下の各手段において説明されている流体についても同様である。
【００１２】
手段２．スライダ本体の静圧発生面側に静圧発生部を設け、該静圧発生部に連通する加圧用ポートを設け、加圧用ポートを介して供給される加圧流体を静圧発生部から噴出させることによって静圧を生成する静圧スライダにおいて、
前記スライダ本体にはその静圧発生面側に真空引きのための吸引部を設け、該吸引部に連通する真空引き用ポートを設け、吸引部周辺の流体を真空引き用ポートを介して吸引するようにしたことを特徴とする静圧スライダ。
【００１３】
手段２によれば、使用時においては、加圧用ポートに圧力ポンプ等が接続されるとともに真空引き用ポートには吸引ポンプ等が接続される。そして、スライダ本体の静圧発生面側において、静圧発生部から噴出される加圧流体によって相手側との間に静圧が生成される。その結果、相手側と非接触の状態に静圧スライダを保持することができる。そして、本静圧スライダでは単に静圧を生じさせるだけではなく、吸引部より流体を吸引するように構成している。かかる吸引作用によって、スライダ本体の静圧発生面側には相手側に引き寄せられる力が発生する。従って、静圧と吸引とが同時に静圧発生面側で生じることによって、静圧スライダの静圧軸受け剛性が高められ、静圧スライダが安定する。また、静圧発生部とは独立して吸引部を設けたことから、ベルヌイの原理を用いた負圧発生の場合とは異なり、静圧発生のための加圧度合と吸引部における吸引度合とを個別に調整することができることとなり、静圧と負圧とのバランスを容易に調整して軸受け剛性を一層高めたり相手側との隙間を調整したり静圧スライダの振動を抑制することが可能となる。また、これにより、従来のようにスライダ本体を案内する軸が必ずしも必要でなくなったり、少なくとも四方から囲む必要もなくなるので、部品点数や組み付け工数の低減を図ることができるとともに、組み付けに伴う精度低下も防止し得る。
【００１４】
手段３．手段１又は２において、前記静圧発生部は多孔質体によって構成されていることを特徴とする静圧スライダ。
【００１５】
手段３によれば、静圧発生部に多孔質体を用いていることから、多孔質体を通過する際に流体が絞られることで好適に静圧を発生させることができ、しかも単なる絞り通路よりも均等に静圧を相手側との間に発生させることができる。その結果、静圧スライダが一層安定した状態となる。
【００１６】
手段４．手段１乃至３のいずれかにおいて、前記吸引部は静圧発生面側に開口する凹部によって構成されていることを特徴とする静圧スライダ。
【００１７】
手段４によれば、吸引部として凹部によって構成したことで、静圧発生面側において流体の吸引力が作用する領域が凹部と対峙する領域となることが明確になるとともに、その構成も簡素なものとなる。
【００１８】
手段５．手段１乃至４のいずれかにおいて、前記静圧発生部は前記静圧発生面のうち周辺部に設けられていることを特徴とする静圧スライダ。
【００１９】
手段５によれば、静圧発生部を静圧発生面のうち周辺部に設けたことにより、静圧スライダを相手側に対しより安定した状態に保持することができる。静圧スライダが相手側に対し傾こうとしても、加圧流体が静圧スライダの静圧発生面の周辺部分から噴出しているため、その傾きを抑制できるからである。
【００２０】
手段６．手段５において、前記吸引部は前記静圧発生面のうち静圧発生部よりも内側部位に設けられていることを特徴とする静圧スライダ。
【００２１】
手段６によれば、吸引部が静圧発生面のうち静圧発生部より内側部位に設けられていることから、その外側にある静圧領域に遮断された形で負圧領域を形成することができる。
【００２２】
手段７．スライダ本体の静圧発生面側に静圧発生部を設け、該静圧発生部に連通する加圧用ポートを設け、加圧用ポートを介して供給される加圧流体を静圧発生部から噴出させることによって静圧を生成する静圧スライダにおいて、
前記静圧発生部を前記静圧発生面のうち周辺部に環状に設け、前記スライダ本体の静圧発生面側には前記静圧発生部よりも内側に真空引きのための吸引部を設け、該吸引部に連通する真空引き用ポートを設け、吸引部周辺の流体を真空引き用ポートを介して吸引するようにし、更に、前記スライダ本体の静圧発生面側には前記吸引部よりも内側に作業用凹所を設け、該作業用凹所に連通する作業用ポートを設けたことを特徴とする静圧スライダ。
【００２３】
手段７によれば、使用時においては、加圧用ポートに圧力ポンプ等が接続されるとともに真空引き用ポートには吸引ポンプ等が接続される。そして、スライダ本体の静圧発生面側において、静圧発生部から噴出される加圧流体によって相手側との間に静圧が生成される。その結果、相手側と非接触の状態に静圧スライダを保持することができる。そして、本静圧スライダでは単に静圧を生じさせるだけではなく、吸引部より流体を吸引するように構成している。かかる吸引作用によって、スライダ本体の静圧発生面側には相手側に引き寄せられる力が発生する。従って、静圧と吸引とが同時に静圧発生面側で生じることによって、静圧スライダの静圧軸受け剛性が高められ、静圧スライダが安定する。また、静圧発生部とは独立して吸引部を設けたことから、ベルヌイの原理を用いた負圧発生の場合とは異なり、静圧発生のための加圧度合と吸引部における吸引度合とを個別に調整することができることとなり、静圧と負圧とのバランスを容易に調整して軸受け剛性を一層高めたり相手側との隙間を調整したり静圧スライダの振動を抑制することが可能となる。また、これにより、従来のようにスライダ本体を案内する軸が必ずしも必要でなくなったり、少なくとも四方から囲む必要もなくなるので、部品点数や組み付け工数の低減を図ることができるとともに、組み付けに伴う精度低下も防止し得る。
【００２４】
また、静圧発生部を静圧発生面のうち周辺部に設けたことにより、静圧スライダを相手側に対しより安定した状態に保持することができる。静圧スライダが相手側に対し傾こうとしても、加圧流体が静圧スライダの静圧発生面の周辺部分から噴出しているため、その傾きを抑制できるからである。
【００２５】
また、吸引部が静圧発生面のうち静圧発生部より内側部位に設けられていることから、その外側にある静圧領域に遮断された形で負圧領域を形成することができる。そして、その更に内側部位に作業用凹所を設け、該作業用凹所に連通する作業用ポートを設けたことから、かかる作業用凹所と相手側との間の領域は、上記負圧領域に囲まれ或いは挟まれた環境となって、周辺環境がエア環境である場合には当該負圧領域がエアカーテンのように機能し、作業用凹所の領域は独立した室のようになる。その結果、作業用ポートから加圧流体を供給したり真空引きしたりすることで、作業用凹所に対応する領域だけを必要な加圧雰囲気や真空雰囲気にすることができる。従って、例えば真空雰囲気を必要とする作業を行う場合にも静圧スライダが設置される部屋全体を真空雰囲気にする必要がなく、作業用ポートから真空引きするだけでよくなる。これによって、作業環境の形成のために大袈裟な設備を用意する必要がなくなる。更に、作業用凹所の周辺が吸引部によって負圧領域とされていることから、作業用ポートを介して作業用凹所を真空引きする際には、作業用凹所と相手側との間を高真空にすることができる。
【００２６】
手段８．手段７において、前記静圧発生部及び吸引部はそれぞれ連続した環状とされていることを特徴とする静圧スライダ。
【００２７】
手段８によれば、静圧発生部及び吸引部をそれぞれ連続した環状としたことにより、作業用凹所が吸引部に囲まれ、その吸引部が静圧発生部に囲まれた状態となり、静圧領域、負圧領域、作業領域（正圧又は負圧領域）の各領域の独立性が高められる。これにより、例えば作業領域を真空雰囲気にしたい場合にはより一層真空度が高められることになる。
【００２８】
手段９．手段７又は８において、前記静圧発生部は多孔質体によって構成されていることを特徴とする静圧スライダ。
【００２９】
手段９によれば、静圧発生部に多孔質体を用いていることから、多孔質体を通過する際に流体が絞られることで好適に静圧を発生させることができ、しかも単なる絞り通路よりも均等に静圧を相手側との間に発生させることができる。その結果、静圧スライダが一層安定した状態となる。
【００３０】
手段１０．手段７乃至９のいずれかにおいて、前記吸引部は静圧発生面側に開口する凹部によって構成されていることを特徴とする静圧スライダ。
【００３１】
手段１０によれば、吸引部として凹部によって構成したことで、静圧発生面側において流体の吸引力が作用する領域が凹部と対峙する領域となることが明確になるとともに、その構成も簡素なものとなる。
【００３２】
手段１１．ガイドレールと、該ガイドレールに沿って非接触状態でスライドするスライダ本体とを備えた静圧スライダにおいて、
前記ガイドレールを、長手方向に延びかつ互いに交差する２面を備えた構成とし、これら２面と対向する前記スライダ本体の２面を静圧発生面とし、
前記スライダ本体の静圧発生面側に静圧発生部を設け、該各静圧発生部に連通する加圧用ポートを設け、加圧用ポートを介して供給される加圧流体を各静圧発生部からガイドレールに向けて噴出させることによって静圧を生成するように構成し、
前記スライダ本体の各静圧発生面側には前記静圧発生部よりも内側に真空引きのための吸引部を設け、該吸引部に連通する真空引き用ポートを設け、吸引部周辺の流体を真空引き用ポートを介して吸引するようにしたことを特徴とする静圧スライダ。
【００３３】
手段１１によれば、使用時においては、加圧用ポートに圧力ポンプ等が接続されるとともに真空引き用ポートには吸引ポンプ等が接続される。そして、スライダ本体の静圧発生面側において、静圧発生部から噴出される加圧流体によってガイドレールとの間に静圧が生成される。その結果、ガイドレールと非接触の状態に静圧スライダを保持することができる。そして、本静圧スライダでは単に静圧を生じさせるだけではなく、吸引部より流体を吸引するように構成している。かかる吸引作用によって、スライダ本体の静圧発生面側にはガイドレール側に引き寄せられる力が発生する。従って、静圧と吸引とが同時に静圧発生面側で生じることによって、静圧スライダの静圧軸受け剛性が高められ、静圧スライダが安定する。また、静圧発生部とは独立して吸引部を設けたことから、ベルヌイの原理を用いた負圧発生の場合とは異なり、静圧発生のための加圧度合と吸引部における吸引度合とを個別に調整することができることとなり、静圧と負圧とのバランスを容易に調整して軸受け剛性を一層高めたりガイドレールとの隙間を調整したり静圧スライダの振動を抑制することが可能となる。
【００３４】
そして、上記のように静圧と吸引（負圧）との協動によって、スライダ本体とガイドレールとのいずれか一方を他方が取り囲むように構成しなくてもスライダ本体がガイドレールから飛び出すことがないため、スライダ本体の２面とガイドレールの２面とだけで静圧発生面を構成すれば済み、部品点数や組み付け工数の低減を図ることができるとともに、組み付けに伴う精度低下も防止し得る。
【００３５】
また、静圧発生部よりも内側部位に吸引部を設けたことにより、その外側にある静圧領域に遮断された形で負圧領域を形成することができる。
【００３６】
手段１２．手段１１において、前記静圧発生部は前記静圧発生面のうち少なくとも両側部位に設けられており、前記吸引部はそれらに挟まれた位置に設けられていることを特徴とする静圧スライダ。
【００３７】
手段１２によれば、静圧発生部を静圧発生面のうち両側部位に設けたことにより、スライダ本体をガイドレールに対しより安定した状態に保持することができる。スライダ本体がガイドレールに対し傾こうとしても、加圧流体がスライダ本体の静圧発生面の両側部位から噴出しているため、その傾きを抑制できるからである。
【００３８】
手段１３．手段１１において、前記静圧発生部は前記静圧発生面のうちスライダ本体のスライド方向に沿った両側部位に当該スライド方向に延びるように設けられており、前記吸引部はそれらに挟まれた位置に前記スライド方向に延びるように設けられていることを特徴とする静圧スライダ。
【００３９】
手段１３によれば、静圧発生部を静圧発生面のうち両側部位に設けたことにより、スライダ本体をガイドレールに対しより安定した状態に保持することができる。スライダ本体がガイドレールに対し傾こうとしても、加圧流体がスライダ本体の静圧発生面の両側部位から噴出しているため、その傾きを抑制できるからである。また、それらに挟まれた位置に吸引部を設けたことにより、その両側にある静圧領域に遮断された形で負圧領域を形成することができる。また、これら静圧発生部及び吸引部をスライダ本体のスライド方向に沿って形成したので、スライダ本体のスライド時においても静圧及び負圧の変動が少なくて済み、スライダ本体が安定した状態を維持することができる。
【００４０】
手段１４．手段１１乃至１３のいずれかにおいて、前記静圧発生部は多孔質体によって構成されていることを特徴とする静圧スライダ。
【００４１】
手段１４によれば、静圧発生部に多孔質体を用いていることから、多孔質体を通過する際に流体が絞られることで好適に静圧を発生させることができ、しかも単なる絞り通路よりも均等に静圧を相手側との間に発生させることができる。その結果、スライダ本体が一層安定した状態となる。
【００４２】
手段１５．手段１１乃至１４のいずれかにおいて、前記吸引部は静圧発生面側に開口する吸引用溝によって構成されており、該吸引用溝の両端はスライダ本体によって閉塞されていることを特徴とする静圧スライダ。
【００４３】
手段１５によれば、吸引部として溝によって構成したことで、静圧発生面側において流体の吸引力が作用する領域が溝と対峙する領域となることが明確になるとともに、その構成も簡素なものとなる。しかも、吸引用溝の両端が開放されていないので、無駄なく負圧の程度を向上させることができる。
【００４４】
手段１６．チャック本体の静圧発生面側に静圧発生部を設け、該静圧発生部から加圧流体を噴出させることによってワークとの間に静圧を生成し、ワークを静圧発生面から所定間隔をおいた状態に保持する非接触式チャックにおいて、
前記チャック本体にはその静圧発生面側に真空引きのための吸引部を設け、該吸引部周辺の流体を吸引するようにしたことを特徴とする非接触式チャック。
【００４５】
手段１６によれば、チャック本体の静圧発生面側において、静圧発生部から噴出される加圧流体によってワークとの間に静圧が生成される。その結果、ワークを非接触の状態で保持することができる。そして、本非接触式チャックでは単に静圧を生じさせるだけではなく、吸引部より流体を吸引するように構成している。かかる吸引作用によって、チャック本体の静圧発生面側にはワークを引き寄せる力が発生する。従って、静圧と吸引とが同時に静圧発生面側で生じることによって、非接触式チャックによるワーク保持剛性が高められ、ワークが安定する。また、静圧発生部とは独立して吸引部を設けたことから、ベルヌイの原理を用いた負圧発生の場合とは異なり、静圧発生のための加圧度合と吸引部における吸引度合とを個別に調整することができることとなり、静圧と負圧とのバランスを容易に調整してワーク保持剛性を一層高めたりワークとの隙間を調整したりワークの振動を抑制することが可能となる。
【００４６】
手段１７．チャック本体の静圧発生面側に静圧発生部を設け、該静圧発生部に連通する加圧用ポートを設け、加圧用ポートを介して供給される加圧流体を静圧発生部から噴出させることによってワークとの間に静圧を生成し、ワークを静圧発生面から所定間隔をおいた状態に保持する非接触式チャックにおいて、
前記チャック本体にはその静圧発生面側に真空引きのための吸引部を設け、該吸引部に連通する真空引き用ポートを設け、吸引部周辺の流体を真空引き用ポートを介して吸引するようにしたことを特徴とする非接触式チャック。
【００４７】
手段１７によれば、使用時においては、加圧用ポートに圧力ポンプ等が接続されるとともに真空引き用ポートには吸引ポンプ等が接続される。そして、チャック本体の静圧発生面側において、静圧発生部から噴出される加圧流体によってワークとの間に静圧が生成される。その結果、ワークを非接触の状態で保持することができる。そして、本非接触式チャックでは単に静圧を生じさせるだけではなく、吸引部より流体を吸引するように構成している。かかる吸引作用によって、チャック本体の静圧発生面側にはワークを引き寄せる力が発生する。従って、静圧と吸引とが同時に静圧発生面側で生じることによって、非接触式チャックによるワーク保持剛性が高められ、ワークが安定する。また、静圧発生部とは独立して吸引部を設けたことから、ベルヌイの原理を用いた負圧発生の場合とは異なり、静圧発生のための加圧度合と吸引部における吸引度合とを個別に調整することができることとなり、静圧と負圧とのバランスを容易に調整してワーク保持剛性を一層高めたりワークとの隙間を調整したりワークの振動を抑制することが可能となる。
【００４８】
手段１８．手段１６又は１７において、前記静圧発生部は多孔質体によって構成されていることを特徴とする非接触式チャック。
【００４９】
手段１８によれば、静圧発生部に多孔質体を用いていることから、多孔質体を通過する際に流体が絞られることで好適に静圧を発生させることができ、しかも単なる絞り通路よりも均等に静圧をワークとの間に発生させることができる。その結果、ワークが一層安定した状態となる。
【００５０】
手段１９．手段１６乃至１８のいずれかにおいて、前記吸引部は静圧発生面側に開口する凹部によって構成されていることを特徴とする非接触式チャック。
【００５１】
手段１９によれば、吸引部として凹部によって構成したことで、静圧発生面側において流体の吸引力が作用する領域が凹部と対峙する領域となることが明確になるとともに、その構成も簡素なものとなる。
【００５２】
手段２０．手段１６乃至１９のいずれかにおいて、前記静圧発生部は前記静圧発生面のうち周辺部に設けられていることを特徴とする非接触式チャック。
【００５３】
手段２０によれば、静圧発生部を静圧発生面のうち周辺部に設けたことにより、ワークをより安定した状態に保持することができる。ワークが非接触式チャックの静圧発生面に対し傾こうとしても、加圧流体が静圧発生面の周辺部分から噴出しているため、その傾きを抑制できるからである。
【００５４】
手段２１．手段２０において、前記吸引部は前記静圧発生面のうち静圧発生部よりも内側部位に設けられていることを特徴とする非接触式チャック。
【００５５】
手段２１によれば、静圧発生部よりも内側部位に吸引部を設けたことにより、その外側にある静圧領域に遮断された形で負圧領域を形成することができる。
【００５６】
手段２２．手段１６乃至２１のいずれかに記載の非接触式チャックを複数備え、その各静圧発生面を一平面上に配置した状態で各非接触式チャックを固定してなることを特徴とするチャック装置。
【００５７】
手段２２によれば、各非接触式チャックの各静圧発生面が一平面上に配置されていることから、当該平面を一つの静圧発生面とみなしてワークを非接触に保持することができる。その結果、個々の非接触式チャックを大型のものとしなくても比較的大型のワークを保持することができる。
【００５８】
なお、手段２２においては、チャック本体を共通化することまでは限定していないものの、かかる要件を限定したものとしてもよい。この場合は、チャック本体の共通化によって部品点数の低減化が可能であるし、静圧発生面の平面度も高め得る。また、各非接触式チャックの静圧発生部のための加圧流体用のポートを一つ又は複数にまとめたり、各吸引部の真空引き用のポートをまとめて一つ又は複数にまとめることも可能である。
【００５９】
【発明の実施の形態】
［第１の実施の形態］
以下に、第１の実施の形態について図１乃至図３を参照しつつ説明する。
【００６０】
なお、図１は静圧スライダの断面図、具体的には図２のＡ−Ａ線断面図であり、図２は静圧スライダの底面図であり、図３は静圧スライダの特性を示すためのグラフ図及び表である。
【００６１】
図１及び図２に示すように、静圧スライダ１のスライダ本体２は例えば円盤形状をなしている。なお、スライダ本体２の形状は円盤形状に限られず、四角板状など任意の形状を選択することができる。但し、少なくとも静圧発生面である底面３は平面となっていることが好ましい。
【００６２】
スライダ本体２の外周面にはポート４が形成されている。なお、ポート４は、例えば配管が接続されるための雌ネジが形成された雌ネジ孔として形成したり、ワンタッチ継手を設ける等、各種形態が考えられる。本明細書で以降説明する各ポートについても同様である。静圧スライダ１の使用時においてポート４には図示しない圧力供給源からの配管が接続される。スライダ本体２の底面３の外周部には円環状の収納溝５が形成されている。収納溝５には静圧発生部としてのリング状の多孔質体６が収納された状態で固定されている。多孔質体６の固定は、例えば接着剤によって収納溝５の内外壁に接着されることによって行われる。
【００６３】
多孔質体６は、例えば焼結アルミニウム、焼結銅、焼結ステンレス等の金属材料によって構成することができるが、それ以外にも、焼結三ふっ化樹脂、焼結四ふっ化樹脂、焼結ナイロン樹脂、焼結ポリアセタール樹脂等の合成樹脂材料や、焼結カーボン、焼結セラミックスなどによって構成することもできる。
【００６４】
収納溝５の上部には当該収納溝４に連通する円環状の流通溝７が形成されている。前記ポート４と流通溝７の上部とはスライダ本体２に形成された通路８によって連通されている。そして、図示しない圧力供給源から加圧流体としての加圧エアが供給されると、かかる加圧エアがポート４、通路８、流通溝７を介して多孔質体６の表面、即ち底面全体から噴出される。
【００６５】
スライダ本体２の外周面には前記ポート４とは異なる位置に、真空引き用のポート９が形成されている。静圧スライダ１の使用時においてポート９には図示しない吸引ポンプからの配管が接続される。スライダ本体２の底面３において、前記収納溝５の内周側には、当該収納溝５と所定の間隔をおいた位置に吸引部としての円環状の吸引用溝１０が形成されている。
【００６６】
前記ポート９と吸引用溝１０の上部とはスライダ本体２に形成された通路１１によって連通されている。そして、図示しない吸引ポンプのエア吸引によってポート９及び通路１１を介してエアが吸引され、吸引用溝１０に沿ったスライダ本体２の底面側にエア吸引力が作用する。
【００６７】
スライダ本体２の上面には作業用のポート１２が形成されている。本実施の形態では、ポート１２はスライダ本体２の中心部に形成されている。静圧スライダ１の使用時においてポート１２には所定の作業を行うために図示しない圧力供給源又は吸引ポンプからの配管が接続される。スライダ本体２の底面３の中心部には、作業用凹所としての凹部１３が形成されている。前記ポート１２と凹部１３とは通路１４を介して連通されている。そして、例えば、ポート１２に加圧供給源が接続されている場合には、ポート１２及び通路１４を介して凹部１３内とその下方領域が加圧雰囲気となる。一方、ポート１２に吸引ポンプが接続されている場合には、ポート１２及び通路１４を介して凹部１３内とその下方領域が真空雰囲気となる。
【００６８】
以上のように構成された静圧スライダ１では、圧力供給源の作動によって、加圧エアが、ポート４、通路８、流通溝７を介して多孔質体６の表面、即ち底面３全体から噴出される。すると、多孔質体６の底面である円環状領域と基準面Ｒとの間に円環状の圧力エア層が形成され、静圧がもたらされる。これによって、基準面Ｒに対し静圧スライダ１が浮上した状態となる。
【００６９】
それと同時に、ポート９から通路１１を介してエアが吸引される。すると、吸引用溝１０内は負圧になる。これによって、吸引用溝１０の底面開口側の円環状領域と基準面Ｒとの間に吸引力が作用し、静圧スライダ１は基準面Ｒ側へ引き寄せられる。
【００７０】
従って、多孔質体６を介して生じる静圧によって静圧スライダ１が基準面Ｒから離れようとする力と、吸引用溝１０を介して生じる負圧によって静圧スライダ１が基準面Ｒに引き寄せようとする力との調和により、静圧軸受け剛性が高められ、静圧スライダ１は安定した状態で基準面Ｒとの間にミクロン単位の隙間を確保することとなる。なお、静圧スライダ１の基準面Ｒに対する水平方向への移動のための機構については各種考えられるが本発明とは直接関係がないため説明しない。
【００７１】
ここで、静圧スライダ１において吸引用溝１０を介して負圧を発生させることにより静圧スライダ１の軸受け剛性が向上するが、その理由について説明する。なお、図１に示すように、ポート４からの加圧エアの圧力をＰａ、ポート９からの真空引きの圧力をＰｂとし、図２に示すように、多孔質体６の下面である円環状領域の面積をＳａ、吸引用溝１０の下面開口部分である円環状領域の面積をＳｂとする。
【００７２】
静圧スライダ１の基準面Ｒに対する浮上量（μｍ）と、静圧スライダ１を基準面Ｒから浮上させる浮上力（Ｎ）との関係は、図３（ａ）のグラフに示されるようになる。同図において、もし、吸引用溝１０を介してエアの吸引を行わない、即ち吸引力（Ｎ）を０として、負圧を発生させないとすれば、浮上量がＨａ（μｍ）となる。このような状態でｄＨ（μｍ）だけ静圧スライダ１を移動させるにはｄＦａ（Ｎ）の力だけあればよいこととなる。そうすると、吸引用溝１０から吸引を行わない場合の軸受け剛性Ｋａ（Ｎ／μｍ）はｄＦａ／ｄＨとなる。この場合、比較的小さな力でもって静圧スライダ１の浮上量が大きく変化することとなり、軸受け剛性Ｋａは低い。
【００７３】
一方、吸引用溝１０を介してエアの吸引を行った場合には、吸引力（Ｎ）としてＳｂ・Ｐｂが発生する。そうすると、図３（ａ）のように浮上量がＨｂ（μｍ）と小さくなる。このような状態で上記の場合と同様にｄＨ（μｍ）だけ静圧スライダ１を移動させるにはｄＦｂ（Ｎ）という比較的大きな力が必要になる。即ち、ｄＦｂ＞ｄＦａとなる。そうすると、吸引を行った場合の軸受け剛性Ｋｂ（Ｎ／μｍ）はｄＦｂ／ｄＨとなる。この場合、比較的大きな力を静圧スライダ１に作用させないと当該静圧スライダ１の浮上量があまり変化しないこととなり、軸受け剛性Ｋｂは高い。
【００７４】
以上の理由から、Ｋａ＜Ｋｂとなり、吸引用溝１０を介して真空引きを行った場合には、そうしない場合と比べ静圧スライダ１の軸受け剛性が高くなる。
【００７５】
また、この静圧スライダ１では、ポート４，収納溝５，多孔質体６，流通溝７，通路８からなる静圧発生機構と、ポート９，吸引用溝１０，通路１１からなる真空引き機構とがそれぞれ独立して構成されていることから、静圧の調整と、真空引きの調整とを個々独立して行うことができる。これにより、充分な流量の静圧を発生させておきながら真空引きの度合を高めて軸受け剛性を高めることができる。また、真空引きの程度によっては静圧スライダ１が振動してしまうこともあり得るが、これを真空引きの度合を調整することによってその振動を容易に抑制することができる。
【００７６】
また、静圧領域を静圧スライダ１の底面３の外周部分に配置したことにより、静圧スライダ１を基準面Ｒに対しより安定した状態に保持することができる。即ち、静圧スライダ１が基準面Ｒに対し傾こうとしても、加圧エアが静圧スライダ１の底面３の外周部分から噴出しているため、その傾きを抑制できる。また、静圧発生用の加圧エアは多孔質体６より噴出されるように構成されていることから、加圧エアが均一に基準面Ｒに噴出されることとなって静圧が均一に行き亘る。なお、多孔質体６にしたことで加圧エアの絞り機能を有する。
【００７７】
また、静圧領域が円環状に形成されてその部分が加圧エア層となり、その内周側に真空領域が円環状に形成されて真空エア層となる。その結果、静圧スライダ１の底面３には最外周に加圧エア層、その内周に真空エア層、さらにその内周に作業エア層が形成されることになる。従って、作業エア層は真空エア層の存在によって加圧エア層とは隔離された独立の室となる。即ち、真空エア層がエアカーテンとして機能する。
【００７８】
そして、ポート１２に例えば吸引ポンプの配管を接続すれば、通路１４を介して凹部１３内が真空雰囲気となり、その凹部１３に対向する基準面Ｒには前記真空エア層に囲まれた真空雰囲気が形成される。従って、かかる真空雰囲気となった領域内で、真空雰囲気を必要とする作業を行うことができる。また、加圧雰囲気が必要な作業を行う場合にはポート１２に例えば圧力供給源の配管を接続すればよく、この場合、凹部１３に対向する基準面Ｒには前記真空エア層に囲まれた加圧雰囲気が形成される。このように作業領域である凹部１３の領域だけを自在に加圧雰囲気にしたり真空雰囲気にすることができる。従来では、真空雰囲気を作業スペースに必要とする場合には静圧スライダを設ける室全体を真空雰囲気として作業を実行していたことを考慮すると、本実施の形態の静圧スライダ１のように局部的な雰囲気形成とすることができることから、設備全体としてのコスト低減は大幅なものとなる。
【００７９】
また、上記のように吸引ポンプを接続して凹部１３内を負圧にする場合には、凹部１３の周囲に形成された吸引用溝１０に形成される負圧によって、凹部１３内の真空度を一層高めることができる。
【００８０】
［第２の実施の形態］
以下に、第２の実施の形態について図４乃至図７を参照しつつ説明する。
【００８１】
なお、図４は静圧スライダの斜視図、図５は静圧スライダの底面図、図６は図５のＢ−Ｂ線断面図、図７は図５のＣ−Ｃ線断面図である。
【００８２】
図４に示すように、静圧スライダ２１のガイドレール２２は、底面ガイド部２３と側面ガイド部２４とを備えている。底面ガイド部２３と側面ガイド部２４は、それぞれ長尺板状に形成され、それらがＬ字状に一体的に形成されることによって構成されている。
【００８３】
静圧スライダ２１のスライダ本体２５は、本実施の形態では、四角柱状に形成されている。そして、スライダ本体２５の底面２６が底面ガイド部２３と対峙し、スライダ本体２５の一方の側面２７が側面ガイド部２４と対峙している。
【００８４】
スライダ本体２５の他方の側面にはポート２８が形成されている。静圧スライダ２１の使用時においてポート２８には図示しない圧力供給源からの配管が接続される。スライダ本体２５の底面２６及び一方の側面２７のそれぞれの左右両側には、スライダ本体２５の長手方向に延びる収納溝２９が形成されている。収納溝２９にはそれぞれ静圧発生部としての板状の多孔質体３０が収納された状態で固定されている。多孔質体３０の固定は、例えば接着剤によって収納溝２９の壁面に接着されることによって行われる。
【００８５】
多孔質体３０は、例えば焼結アルミニウム、焼結銅、焼結ステンレス等の金属材料によって構成することができるが、それ以外にも、焼結三ふっ化樹脂、焼結四ふっ化樹脂、焼結ナイロン樹脂、焼結ポリアセタール樹脂等の合成樹脂材料や、焼結カーボン、焼結セラミックスなどによって構成することもできる。
【００８６】
収納溝２９の上部には当該収納溝２９に連通する流通溝３１が前記収納溝２９に沿って形成されている。流通溝３１は、収納溝２９のようにスライダ本体２５の長手方向に貫通するのではなく、スライダ本体２５の長手方向端部よりも手前まで形成されているに過ぎない。これによって、流通溝３１から直接外部にエアが漏れるのを防止している。
【００８７】
前記ポート２８と計４つの流通溝３１とは図６に示すようにスライダ本体２５に形成された通路３２によって連通されている。そして、図示しない圧力供給源から加圧流体としての加圧エアが供給され、かかる加圧エアがポート２８、通路３２、各流通溝３１を介して各多孔質体３０の表面全体から噴出される。なお、スライダ本体２５の底面２６及び一方の側面２７とから構成される角部は面取りされている。
【００８８】
スライダ本体２５の前記他方の側面には前記ポート２８とは異なる位置に、真空引き用のポート３３が形成されている。静圧スライダ２１の使用時においてポート３３には図示しない吸引ポンプからの配管が接続される。スライダ本体２５の底面２６及び一方の側面２７のそれぞれの中央部位、即ち多孔質体３０に挟まれた部位には、スライダ本体２５の長手方向に延びる吸引部としての吸引用溝３４が形成されている。吸引用溝３４は、前記流通溝３１と同様、スライダ本体２５の長手方向に貫通するのではなく、スライダ本体２５の長手方向端部よりも手前位置まで形成されている。
【００８９】
前記ポート３３と各吸引用溝３４の上部とはスライダ本体２５に形成された通路３５によって連通されている。そして、図示しない吸引ポンプのエア吸引によってポート３３及び通路３５を介してエアが吸引され、吸引用溝３４に沿ったスライダ本体２５の底面２６側及び一方の側面２７側にエア吸引力が作用する。
【００９０】
以上のように構成された静圧スライダ２１では、圧力供給源の作動によって、加圧エアが、ポート２８、通路３２、流通溝３１を介して各多孔質体３０の表面全体から噴出される。
【００９１】
すると、底面２６側の多孔質体３０表面の領域と底面ガイド部２３との間に一対の圧力エア層が形成され、静圧がもたらされる。同時に、一方の側面２７側の多孔質体３０表面の領域と側面ガイド部２４との間に一対の圧力エア層が形成され、静圧がもたらされる。これらによって、ガイドレール２２に対し、静圧スライダ２１が浮上した状態となる。
【００９２】
それと同時に、ポート３３から通路３５を介してエアが吸引される。すると、一対の吸引用溝３４内は負圧になる。これによって、底面２６側の吸引用溝３４の底面開口側の領域と底面ガイド部２３との間に吸引力が作用するとともに、一方の側面２７側の吸引用溝３４の側面開口側の領域と側面ガイド部２４との間に吸引力が作用し、静圧スライダ１は底面ガイド部２３及び側面ガイド部２４側へ引き寄せられる。
【００９３】
従って、多孔質体３０を介して生じる静圧によって静圧スライダ２１が底面ガイド部２３及び側面ガイド部２４から離れようとする力と、吸引用溝３４を介して生じる負圧によって静圧スライダ２１が底面ガイド部２３及び側面ガイド部２４に引き寄せようとする力との調和により、静圧軸受け剛性が高められ、静圧スライダ２１は安定した状態でガイドレール２２との間にミクロン単位の隙間を確保することとなる。
【００９４】
この状態でスライダ本体２５に外力が加えられることで、ガイドレール２２に沿ってスライダ本体２５が非接触の状態でスライド移動する。
【００９５】
なお、ポート３３を介して真空引きを行わなかった場合には、静圧スライダ２１は僅かな外力等によってガイドレール２２から例えば図４の右側へとスライダ本体２５が外れてしまうおそれがあるが、上記静圧と真空引きとの協動によって僅かな外力ではガイドレール２２から外れてしまうことがない。その結果、ガイドレール２２でスライダ本体２５を四方から囲まなくとも軸受け剛性の高い静圧スライダ２１とすることができ、部品点数を少なくできるとともに装置全体の小型化及び低コスト化に寄与し得る。
【００９６】
また、この静圧スライダ２１では、ポート２８から多孔質体３０に至る静圧発生機構と、ポート３３から吸引用溝３４に至る真空引き機構とがそれぞれ独立して構成されていることから、静圧の調整と、真空引きの調整とを個々独立して行うことができる。これにより、充分な流量の静圧を発生させておきながら真空引きの度合を高めて軸受け剛性を高めることができる。真空引きの程度によっては静圧スライダ２１が振動してしまうこともあり得るが、これを真空引きの度合を調整することによってその振動を容易に抑制することができる。
【００９７】
また、静圧領域を静圧スライダ２１の底面２６及び側面２７のそれぞれの外延側に配置したことにより、静圧スライダ２１をガイドレール２２に対しより安定した状態に保持することができる。即ち、静圧スライダ２１がガイドレール２２に対し傾こうとしても、加圧エアが静圧スライダ２１の底面２６及び側面２７の外延部分から噴出しているため、その傾きを抑制できる。
【００９８】
［第３の実施の形態］
以下に、第３の実施の形態について図８乃至図１０を参照しつつ説明する。
【００９９】
なお、図８はチャック装置により上方にあるワークを非接触で保持している状態を示す平面図であり、図９はチャック装置を構成する非接触式チャックの断面図（図１０のＤ−Ｄ線断面図）であり、図１０は非接触式チャックの平面図である。
【０１００】
本実施の形態において、非接触とはワークＷと非接触式チャック４１とが接触していない状態で保持できるという意味であり、チャックとは非接触式チャック４１がワークＷの位置を固定するという意味ではなく非接触式チャック４１に対してワークＷが一定間隔に保たれるように作用するという意味である。
【０１０１】
図８に示すように、非接触式チャック４１は、前後左右に多数個配置されている。本実施の形態では、非接触式チャック４１が計２０個用いられている。これら各非接触式チャック４１によって一つのチャック装置が構成されている。各非接触式チャック４１のチャック本体４２は、それぞれの上面４３が一平面上に配置されるように位置設定されている。そして、後述するように、各非接触式チャック４１によって、各上面４３から微小間隔をおいて平板状のワークＷを保持する。なお、これら複数の非接触式チャック４１は、チャック装置の一部を構成する図示しない保持装置によって一体的に保持されている。
【０１０２】
各非接触式チャック４１について図９及び図１０に基づいて説明すると、非接触式チャック４１のチャック本体４２は例えば円盤形状をなしている。但し、チャック本体４２の形状は円盤形状に限られず、任意の形状を選択することができる。この場合でも、少なくとも静圧発生面である上面４３は平面形状をなしていることが好ましい。
【０１０３】
チャック本体４２の下面にはポート４４が形成されている。非接触式チャック４１の使用時においてポート４４には図示しない圧力供給源からの配管が接続される。チャック本体４２の上面４３の外周部には円環状の収納溝４５が形成されている。収納溝４５には静圧発生部としてのリング状の多孔質体４６が収納された状態で固定されている。多孔質体４６の固定は、例えば接着剤によって収納溝４５の内外壁に接着されることによって行われる。
【０１０４】
多孔質体４６は、例えば焼結アルミニウム、焼結銅、焼結ステンレス等の金属材料によって構成することができるが、それ以外にも、焼結三ふっ化樹脂、焼結四ふっ化樹脂、焼結ナイロン樹脂、焼結ポリアセタール樹脂等の合成樹脂材料や、焼結カーボン、焼結セラミックスなどによって構成することもできる。
【０１０５】
収納溝４５の下部には当該収納溝４５に連通する円環状の流通溝４７が形成されている。前記ポート４４と流通溝４７の下部とはチャック本体４２に形成された通路４８によって連通されている。そして、図示しない圧力供給源から加圧流体としての加圧エアが供給されると、かかる加圧エアがポート４４、通路４８、流通溝４７を介して多孔質体４６の表面、即ち上面全体から噴出される。
【０１０６】
チャック本体２の下面中央には、真空引き用のポート４９が形成されている。非接触式チャック４１の使用時においてポート４９には図示しない吸引ポンプからの配管が接続される。チャック本体２の上面４３において、前記収納溝４５の内周側となる中央部位には、当該収納溝４５と所定の間隔をおいた状態で吸引部としての円形状の吸引用凹部５０が形成されている。
【０１０７】
前記ポート４９と吸引用凹部５０の下部とはチャック本体４２に形成された通路５１によって連通されている。そして、図示しない吸引ポンプのエア吸引によってポート４９及び通路５１を介してエアが吸引されると、吸引用凹部５０が形成された領域にエア吸引力が作用する。
【０１０８】
以上のように構成された各非接触式チャック４１では、圧力供給源の作動によって、加圧エアが、ポート４４、通路４８、流通溝４７を介して多孔質体４６の表面、即ち上面全体から噴出される。すると、多孔質体４６の上面である円環状領域とワークＷとの間に円環状の圧力エア層が形成され、静圧がもたらされる。これによって、非接触式チャック４１の上面４３を基準としてワークＷが浮上した状態となる。
【０１０９】
それと同時に、ポート４９から通路５１を介してエアが吸引される。すると、吸引用凹部５０内は負圧になる。これによって、吸引用凹部５０の上面開口側の円形状領域とワークＷとの間に吸引力が作用し、ワークＷが非接触式チャック４１の上面４３側へ引き寄せられる。
【０１１０】
従って、多孔質体４６を介して生じる静圧によって非接触式チャック４１からワークＷが離れようとする力と、吸引用凹部５０を介して生じる負圧によってワークＷが非接触式チャック４１の上面４３に引き寄せようとする力との調和により、ワーク保持剛性が高められ、ワークＷは安定した状態で各非接触式チャック４１の上面４３との間にミクロン単位の隙間を確保することができる。かかるワーク保持剛性が高められる原理は、第１の実施の形態において図３をもとに説明したのと同様の原理である。
【０１１１】
また、この非接触式チャック４１では、ポート４４，収納溝４５，多孔質体４６，流通溝４７，通路４８からなる静圧発生機構と、ポート４９，吸引用溝５０，通路５１からなる真空引き機構とがそれぞれ独立して構成されていることから、静圧の調整と、真空引きの調整とを個々独立して行うことができる。これにより、充分な流量の静圧を発生させておきながら真空引きの度合を高めてワーク保持剛性を高めることができる。真空引きの程度によってはワークＷが振動してしまうこともあり得るが、これを真空引きの度合を調整することによってその振動を容易に抑制することができる。
【０１１２】
また、静圧領域を非接触式チャック４１の上面４３の外周部分に配置したことにより、ワークＷをより安定した状態に保持することができる。即ち、非接触式チャック４１に対しワークＷが傾こうとしても、加圧エアが非接触式チャック４１の上面４３の外周部分から噴出しているため、その傾きを各非接触式チャック４１において抑制できる。
【０１１３】
なお、本実施の形態において、非接触式チャック４１とワークＷとの位置関係を上下逆にして実施することも可能である。また、第１の実施の形態と同様、非接触式チャック４１に作業用領域を形成して真空雰囲気を生成するようにしてもよい。
【０１１４】
また、各非接触式チャック４１のチャック本体４２を個別に設けるのではなく、一つのチャック本体として各所から多孔質体４６や吸引用凹部５０が上面４３側に露出するように構成してもよい。このようにすれば、チャック本体の共通化によって部品点数の低減化が可能であるし、静圧発生面の平面度も高め得る。
【０１１５】
また、各非接触式チャック４１の各静圧発生のためのポート４４を一つ又は複数にまとめて構成したり、各非接触式チャック４１の各真空引きのためのポート４９を一つ又は複数にまとめて構成することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る静圧スライダの断面図（図２のＡ−Ａ線断面図）。
【図２】静圧スライダの底面図。
【図３】静圧スライダの特性を示すためのグラフ図（ａ）及び表（ｂ）である。
【図４】第２の実施の形態に係る静圧スライダの斜視図。
【図５】静圧スライダの底面図。
【図６】図５のＢ−Ｂ線断面図。
【図７】図５のＣ−Ｃ線断面図。
【図８】第３の実施の形態に係る複数の非接触式チャック（チャック装置）によりワークを保持している状態の平面図。
【図９】非接触式チャックの断面図（図１０のＤ−Ｄ線断面図）。
【図１０】非接触式チャックの平面図。
【図１１】従来の静圧スライダを示す斜視図。
【符号の説明】
１…静圧スライダ、２…スライダ本体、３…静圧発生面としての底面、４…ポート、５…収納溝、６…静圧発生部としての多孔質体、７…流通溝、８…通路、９…ポート、１０…吸引部としての吸引用溝、１１…通路、１２…ポート、１３…作業用凹所としての凹部、１４…通路、Ｒ…基準面、２１…静圧スライダ、２２…ガイドレール、２３…底面ガイド部、２４…側面ガイド部、２５…スライダ本体、２６…静圧発生面としての底面、２７…静圧発生面としての一方の側面、２８…ポート、２９…収納溝、３０…静圧発生部としての多孔質体、３１…流通溝、３２…通路、３３…ポート、３４…吸引部としての吸引用溝、３５…通路、Ｗ…ワーク、４１…非接触式チャック、４２…チャック本体、４３…静圧発生面としての上面、４４…ポート、４５…収納溝、４６…静圧発生部としての多孔質体、４７…流通溝、４８…通路、４９…ポート、５０…吸引部としての吸引用凹部、５１…通路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0004877690.tif 000009
【図９】
0004877690.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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