(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハを保持する保持手段と該保持手段に保持されたウエーハの表面に洗浄或いは溶液塗布の処理を施すウエーハ処理手段とを少なくとも内蔵した筐体の上方に開口した開口部を開閉可能に覆う筐体カバー機構であって、
少なくとも前記開口部を閉塞し得る大きさを有し可撓性を有するシート状カバー部材と、
該シート状カバー部材を、前記開口部を閉塞する閉塞位置と前記開口部を開放する開放位置との間で移動させる移動手段と、
を備え、
前記移動手段は、前記シート状カバー部材の移動方向両側に連結されて移動方向に延在する一対の線状部材と、該線状部材を前記シート状カバー部材の移動方向に沿って移動させる駆動手段と、を備え、
前記線状部材は、前記開口部の対向する第１の側部から第２の側部を経て前記筐体外壁面に沿って略逆Ｌ字状に屈曲配設されて周回移動する無端帯からなることを特徴とする筐体カバー機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエーハの表面に洗浄或いは溶液塗布の処理を施すウエーハ処理装置用の筐体の開口部を開閉自在に覆う筐体カバー機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ，ＬＳＩ等のデバイスが複数形成されたウエーハは裏面が研削されて所定の厚さに形成され、ダイシング装置等の加工装置によって個々のデバイスに分割されて携帯電話、パソコン等の電子機器に利用される。
【０００３】
近年、ウエーハを分割する方法として、ウエーハに形成されたストリートに沿ってパルスレーザ光線を照射することによりレーザ加工溝を形成し、このレーザ加工溝に沿ってメカニカルブレーキング装置によって割断する方法が提案されている（例えは、特許文献１参照）。しかしながら、ウエーハのストリートに沿ってレーサ光線を照射すると、照射された領域に熱エネルギーが集中してデブリと称する粘着性のある飛沫が発生し、飛散したデブリがウエーハのデバイス表面に付着し、デバイスの品質を低下させるという新たな問題を生ずる。
【０００４】
このようなデブリの問題を解消するために、ウエーハの加工面にポリビニルアルコール等の保護被膜を被覆し、保護被膜を通してウエーハにレーザ光線を照射するようにしたレーザ加工方法が提案されている（例えば、特許文献２，３参照）。
【０００５】
この種の保護膜被覆装置は、ウエーハを保持する保持手段と該保持手段に保持されたウエーハの表面に保護被膜塗布の処理を施すウエーハ処理手段とを少なくとも内蔵した筐体を備える。そして、保護被膜塗布時に被膜材が筐体外部に飛散しないように、筐体の上方に開口した開口部を開閉可能に覆う筐体カバー機構を備える必要がある。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−３０５４２０号公報
【特許文献２】特開２００４−１８８４７５号公報
【特許文献３】特開２００４−３２２１６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の保護膜被覆装置の筐体カバー機構は、開口部を覆う板状カバー部材を開口部の一辺を支点にヒンジ構造等により開閉回動自在に設け、エアーピストン等の駆動源によって板状カバー部材を開閉回動させることで、開口部を閉塞する状態と開放する状態とに切換えるようにしていた。すなわち、板状カバー部材を開口部の一辺において上方に略垂直状態に立てることで開口部の開放状態としているため、筐体内部等に対するメンテナンスの際に板状カバー部材が邪魔となり、メンテナンス作業性を阻害してしまうものである。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、筐体内部等に対するメンテナンス性を阻害することのない筐体カバー機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる筐体カバー機構は、ウエーハを保持する保持手段と該保持手段に保持されたウエーハの表面に洗浄或いは溶液塗布の処理を施すウエーハ処理手段とを少なくとも内蔵した筐体の上方に開口した開口部を開閉可能に覆う筐体カバー機構であって、少なくとも前記開口部を閉塞し得る大きさを有し可撓性を有するシート状カバー部材と、該シート状カバー部材を、前記開口部を閉塞する閉塞位置と前記開口部を開放する開放位置との間で移動させる移動手段と、を備え、前記移動手段は、前記シート状カバー部材の移動方向両側に連結されて移動方向に延在する一対の線状部材と、該線状部材を前記シート状カバー部材の移動方向に沿って移動させる駆動手段と、を備え、前記線状部材は、前記開口部の対向する第１の側部から第２の側部を経て前記筐体外壁面に沿って略逆Ｌ字状に屈曲配設されて周回移動する無端帯からなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明にかかる筐体カバー機構は、少なくとも開口部を閉塞し得る大きさを有し可撓性を有するシート状カバー部材を、移動手段によって開口部を閉塞する閉塞位置と開口部を開放する開放位置との間で移動させることで、開口部を開閉するようにしたので、開口部の開放時にはシート状カバー部材を筐体内部のメンテナンス性を阻害しない状態に維持することができるという効果を奏する。
【００１３】
また、本発明にかかる筐体カバー機構は、移動手段を、シート状カバー部材の移動方向両側に連結されて移動方向に延在する一対の線状部材を駆動手段で移動させる構造とすることで、シート状カバー部材の移動を一対の線状部材を介して行わせることができ、よって、シート状カバー部材の開閉移動に際してシート状カバー部材を巻き取ることなく展開状態で移動させることができ、巻き取りによるシート状カバー部材同士の重なりをなくし付着物の固着を回避することができるという効果を奏する。
【００１４】
また、本発明にかかる筐体カバー機構は、線状部材が、開口部の対向する第１の側部から第２の側部を経て筐体外壁面に沿って略逆Ｌ字状に屈曲配設されて周回移動する無端帯からなるので、筐体カバー機構がその開閉動作を含めて筐体周りに収まる最小限のコンパクトな構造とすることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための最良の形態である筐体カバー機構について図面を参照して説明する。
【００１６】
図１は、本実施の形態の筐体カバー機構を備える保護膜被覆装置が一体に組み込まれたレーザ加工装置を示す外観斜視図である。本実施の形態のレーザ加工装置１は、略直方体状の装置ハウジング２を備えている。装置ハウジング２は、加工送り方向であるＸ軸方向に移動自在に配設されてウエーハ１０を保持するチャックテーブル３を備える。チャックテーブル３は、図示しない回転機構によって回動可能に構成されている。また、レーザ加工装置１は、チャックテーブル３上に保持されたウエーハ１０にパルスレーザ光線を集光照射するレーザ光線照射手段４と、チャックテーブル３上に保持されたウエーハ１０の表面を撮像し、レーザ光線照射手段４から照射されるパルスレーザ光線によって加工すべき領域をＣＣＤ等の撮像素子で撮像して検出する撮像手段５とを備えている。
【００１７】
さらに、レーザ加工装置１は、ウエーハ１０を収容するカセット１３が載置されるカセット載置部１３ａを備えている。カセット載置部１３ａには図示しない昇降手段によって上下に移動可能にカセットテーブル１３１が配設されており、このカセットテーブル１３１上にカセット１３が載置される。ウエーハ１０は、環状のフレーム１１に装着された粘着テープ１２の表面に貼着されており、粘着テープ１２を介して環状のフレーム１１に支持された状態でカセット１３に収容される。ウエーハ１０は、特に図示しないが、表面に格子状に形成された複数のストリートによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ，ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。このように構成されたウエーハ１０は、図１に示すように、環状のフレーム１１に装着された粘着テープ１２に表面を上側にして裏面が貼着される。
【００１８】
また、レーザ加工装置１は、カセット１３に収納された加工前のウエーハ１０を搬出するとともに加工後のウエーハ１０をカセット１３に搬入するウエーハ搬出入手段１４と、ウエーハ搬出入手段１４によって搬出された加工前のウエーハ１０を仮置きする仮置きテーブル１５と、仮置きテーブル１５に搬出された加工前のウエーハ１０をチャックテーブル３に搬送する第１の搬送経路に配設され加工前のウエーハ１０の加工面に保護膜を被覆する保護膜被覆装置２００と、チャックテーブル３に保持された加工後のウエーハ１０を仮置きテーブル１５に搬送する第２の搬送経路に配設され加工後のウエーハ１０の加工面に被覆されている保護膜を洗浄除去する洗浄手段８と、を備えている。ここで、第１の搬送経路と第２の搬送経路とは、それぞれ異なる搬送経路として設定されている。また、保護膜被覆装置２００は、その上面の開口部を自動的に開閉自在に覆うシート状カバー部材２０２を有する筐体カバー機構２０１を備える。
【００１９】
また、レーザ加工装置１は、仮置きテーブル１５に搬出された加工前のウエーハ１０を保護膜被覆装置２００に搬送するとともに洗浄手段８によって洗浄された加工後のウエーハ１０を仮置きテーブル１５に搬送する第１の搬送手段１６と、保護膜被覆装置２００によって保護膜が被覆された加工前のウエーハ１０をチャックテーブル３に搬送するとともにチャックテーブル３に保持された加工後のウエーハ１０を洗浄手段８に搬送する第２の搬送手段１７とを備えている。
【００２０】
ここで、第１の搬送手段１６は、仮置きテーブル１５と保護膜被覆装置２００と洗浄手段８とに対して等距離の位置に配設されている。この第１の搬送手段１６は、一般に使用されている搬送手段と同一の構成でよく、環状のフレーム１１の両端を吸引保持する搬送パッド１６１を有する保持手段１６２と、保持手段１６２を上下方向に昇降可能で、かつ、旋回可能に支持する支持手段１６２とからなっている。このように構成された第１の搬送手段１６は、仮置きテーブル１５に搬出された加工前のウエーハ１０（環状のフレーム１１に装着された粘着テープ１２の表面に貼着された状態）を保護膜被覆装置２００に搬送するとともに洗浄手段８によって洗浄された加工後のウエーハ１０（環状のフレーム１１に装着された粘着テープ１２の表面に貼着された状態）を仮置きテーブル１５に搬送する。
【００２１】
また、第２の搬送手段１７は、チャックテーブル３と保護膜被覆装置２００と洗浄手段８との間でウエーハ１０を搬送し得る位置に配設されたもので、環状のフレーム１１の両端を吸引保持する搬送パッド１７１を有する保持手段１７２と、保持手段１７２を上下方向に昇降可能で、かつ、旋回可能に支持する支持手段１７３と、支持手段１７３をＸ軸方向にスライド可能に支持するスライド支持手段１７４とからなっている。このように構成された第２の搬送手段１７は、保護膜被覆装置２００によって保護膜が被覆された加工前のウエーハ１０（環状のフレーム１１に装着された粘着テープ１２の表面に貼着された状態）をスライド支持手段１７４によるスライド支持に従いＸ軸方向に移動してチャックテーブル３に搬送するとともにチャックテーブル３に保持された加工後のウエーハ１０（環状のフレーム１１に装着された粘着テープ１２の表面に貼着された状態）を支持手段１７３の旋回動作によって洗浄手段８に搬送する。洗浄手段８は、加工後のウエーハ１０を吸引保持して回転するスピンナーテーブル８１の他、洗浄用の洗浄水ノズル、乾燥用のエアーノズル等を備える。
【００２２】
次に、本実施の形態の筐体カバー機構２０１が装着される保護膜被覆装置２００について、図２〜図５を参照して説明する。図２は、保護膜被覆装置の分解斜視図であり、図３は、チャックテーブルが収容位置に位置付けられた保護膜被覆装置を示す斜視図であり、図４は、チャックテーブルが着脱位置に位置付けられた保護膜被覆装置を示す斜視図であり、図５は、噴射ノズルによる液状樹脂の噴出状況を示す概略縦断正面図である。なお、筐体カバー機構２０１については後述するため、図２〜図５では省略している（図５は、シート状カバー部材２０２のみ便宜的に示している）。
【００２３】
保護膜被覆装置２００は、加工前のウエーハ１０を保持する保持手段２２０と、保持手段２２０に保持されたウエーハ１０の加工面となる表面に液状樹脂を噴射して保護膜を被覆するという溶液塗布の処理を施すウエーハ処理手段２３０と、を装置ハウジング２内に配設される筐体２３３内に備えている。
【００２４】
保持手段２２０は、粘着テープ１２を介してフレーム１１に配設された加工前のウエーハ１０を保持するウエーハ保持部２２１と、フレーム１１の左右両端を支持するとともに搬送パッド１７１で吸着保持されるフレーム１１の左右両端の所要位置に液状樹脂が付着するのを遮断するように覆い隠す左右一対のフレーム挟持部２２２と、ウエーハ保持部２２１の下面に配設されたベース材２２３と、ベース材２２３とウエーハ保持部２２１との間に配設された加熱手段２２４と、を備えるチャックテーブルとして構成されている。
【００２５】
ここで、ウエーハ保持部２２１は、フレーム１１とほぼ同等の大きさの矩形状に形成されたもので、その保持面には複数個の吸引孔２２５が形成されている。これら吸引孔２２５は、ウエーハ保持部２２１の一側面から外部に連通するように開口し、該開口部に取り付けられた図示しないワンタッチ継ぎ手を介して図示しない吸引手段に連結される。これにより、保持手段２２０は、ウエーハ保持部２２１にフレーム１１を載置し吸引手段により吸引孔２２５を介して吸引用エアーを作用させることによりウエーハ保持部２２１上にフレーム１１（ウエーハ１０）を吸着保持する。
【００２６】
また、フレーム挟持部２２２は、ウエーハ保持部２２１と同等の幅を有して略Ｌ字状のカバー形状に形成されてベース材２２３に開閉回動自在に取り付けられており、その回動軸心にはフレーム挟持部２２２を開閉回動させるためのエアーシリンダ２２７を備えている。さらに、加熱手段２２４は、フレーム１１とほぼ同じサイズで厚みが１．６ｍｍ程度で円形に形成されたラバーヒータからなり、ウエーハ保持部２２１に保持されたウエーハ１０をウエーハ保持部２２１、フレーム１１を介して５０℃〜６０℃程度に加熱する。
【００２７】
一方、ウエーハ処理手段２３０は、ウエーハ１０の直径に対応して配設された２以上、本実施の形態では例えば１０個の噴射ノズル２３１と、これら噴射ノズル２３１を支持して保持手段２２０の上部を前後方向に水平移動する移動部２３２と、保持手段２２０や移動部２３２を収容する筐体２３３と、を備えるノズル手段として構成されている。
【００２８】
筐体２３３は、保持手段２２０を昇降自在に収容し得る大きさの上方開口の開口部２３３ａを有する箱状のものであり、開口部２３３ａを開閉可能に覆う後述の筐体カバー機構２０１を備えている。また、筐体２３３の底壁２３３ｂは前後方向において後ろ下がりに傾斜して形成され、底壁２３３ｂの低い方の下流側には排水口２３６が形成されている。
【００２９】
このような筐体２３３に収納される保持手段２２０は、この保持手段２２０を昇降自在に支持する支持機構２３７を備えている。支持機構２３７は、図５に示すように、底壁２３３ｂに形成された開口２３８を通してベース材２２３の下面に固定された複数本、例えば３本のシリンダ軸２３７ａと、底板２３３ｂの下面に取り付けられてピストン２３７ａを上下動させるエアーシリンダ２３７ｂとからなっている。このように構成された支持機構２３７は、エアーシリンダ２３７ｂを作動することにより、保持手段２２０を図３に示す下方位置である収容位置と、図４に示す上方位置である着脱位置とに選択的に位置付ける。ここで、支持機構２３７周りにはベース材２２３の下面と底壁２３３ｂの上面とに固定されて伸縮自在な蛇腹部材２３９が設けられ、保持手段２２０の上下動に伴い伸縮することで液状樹脂等が入り込まないように構成されている。
【００３０】
また、噴射ノズル２３１は、スプレ方式の２流体ノズルであって、液状樹脂に空気を混合させることで液状樹脂をウエーハ１０の表面に向けて上空から霧状に噴出させるものである。これら噴射ノズル２３１を支持する移動部２３２は、筐体２３３の一つの側壁２３３ｓに前後方向に沿わせて形成されたスリット溝２５０を介して外部に延設された延設部２３２ａが移動機構２５１に連結されることにより、筐体２３３内を前後方向に移動自在に設けられている。移動機構２５１は、筐体２３３の外部手前側に取り付けられた正逆転自在なモータ２５２と奥側に取り付けられた従動プーリ２５３とモータ２５２のモータプーリ２５２ａと従動プーリ２５３との間に掛け渡された駆動ベルト２５４とからなり、駆動ベルト２５４の一部が延設部２３２ａに連結されることにより、モータ２５２の正逆転に従い移動部２３２が前後方向に往復動するように構成されている。ここで、移動部２３２は筐体２３３内の最奥部が待機位置として設定されている。筐体２３３の側壁２３３ｓには、移動部２３２の移動を安定させるためのガイドレール２５５が設けられている。
【００３１】
さらに、保護膜被覆装置２００は、筐体２３３の内壁２３３ｉに洗浄水を供給する洗浄水シャワーノズル２７１と、噴射ノズル２３１の先端を洗浄する先端洗浄ノズル２７２と、保持手段２２０を洗浄するテーブル洗浄ノズル２７３と、を備えている。洗浄水シャワーノズル２７１は、筐体２３３の４つの内壁２３３ｉの上部側位置にそれぞれ取り付けられて内壁２３３ｉ側に向けて洗浄水を噴出する多数の噴出口を有するパイプ状のものである。先端洗浄ノズル２７２は、複数の洗浄水の噴出口が噴射ノズル２３１の先端付近に近接対向するように移動部２３２に支持されたパイプ状のものである。テーブル洗浄ノズル２７３は、複数の洗浄水の噴出口が下向きとなるようにして移動部２３２に支持されたパイプ状のものである。これら洗浄水シャワーノズル２７１、先端洗浄ノズル２７２およびテーブル洗浄ノズル２７３は、適宜のタイミングで対象物の洗浄を行う。
【００３２】
また、筐体２３３の一つの側壁２３３ｓの中央上部側には、図示しない吸引源に連通する吸引開口２８１が形成されている。
【００３３】
次に、レーザ加工装置１の動作について説明する。まず、環状のフレーム１１に粘着テープ１２を介して支持された加工前のウエーハ１０は、加工面である表面を上側にしてカセット１３の所定位置に収容されている。カセット１３の所定位置に収容された加工前のウエーハ１０は、昇降手段によってカセットテーブル１３１が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。そして、ウエーハ搬出入手段１４が進退作動して搬出位置に位置付けられたウエーハ１０を仮置き部１５ａに配設された仮置きテーブル１５に搬出する。仮置きテーブル１５に搬出されたウエーハ１０に対して、中心位置を合わせる中心位置合わせ工程が実施される。
【００３４】
仮置きテーブル１５によって中心位置合わせされた加工前のウエーハ１０は、保持手段１６１によって吸引保持され、支持手段１６２を中心とする旋回動作によって保護膜被覆装置２００の保持手段２２０上に搬送される。このとき、筐体２３３に対してシート状カバー部材２０２はモータ駆動により開放位置に移動して開口部２３３ａは開放状態にあり（後述する）、また、保持手段２２０はエアーシリンダ２３７ｂの上昇動作により図４に示すようなウエーハ１０の着脱が可能な着脱位置に位置付けられている。さらに、フレーム挟持部２２２は、図４に示すように開放状態とされている。これにより、保持手段２２０上に搬送されたウエーハ１０はウエーハ保持部２２１上に吸引保持されるとともに、エアーシリンダ２２７の作動によりフレーム挟持部２２２がフレーム１１の左右両端を押えるように閉じられる。
【００３５】
この後、エアーシリンダ２３７ｂの下降動作により、保持手段２２０に保持されたウエーハ１０を、図５に示すような収納位置に位置付ける。そして、筐体２３３に対してシート状カバー部材２０２はモータ駆動により閉塞位置に移動して開口部２３３ａを閉塞状態とする（後述する）。この状態で、モータ２５２を駆動させて移動部２３２を後ろ側から手前側にウエーハ１０上空を水平に横切るように所定速度で移動させるとともに、ウエーハ１０のサイズやウエーハ１０の噴射領域に応じた制御手段による開閉弁の開閉制御に従い選択された必要な噴射ノズル２３１から液状樹脂を下方のウエーハ１０に向けて霧状に噴出させることで、ウエーハ１０の表面に液状樹脂による保護膜を被覆する。図５は、例えば最大直径サイズのウエーハ１０に対して、全ての噴射ノズル２３１から液状樹脂を霧状に噴出させている様子を示している。図５に示すように、隣接する噴射ノズル２３１同士で液状樹脂の噴射領域が均等にオーバーラップするように設定されている。なお、液状樹脂としては、例えばＰＶＡ（Poly Vinyl Alcohol）、ＰＥＧ（Poly Ethylene Glycol）、ＰＥＯ（Poly Ethylene Oxide）等の水溶性のレジストが望ましい。このような動作時に、フレーム１１の左右両端付近は、噴射ノズル２３１から噴射される液状樹脂や筐体２３３内を浮遊する液体樹脂が存在していても、フレーム挟持部２２２によってカバーされることで遮断されるので、液状樹脂が付着することはない。また、筐体２３３の開口部２３３ａは、シート状カバー部材２０２により閉塞されているので、液状樹脂等が筐体２３３外に飛散することもない。
【００３６】
移動部２３２が手前側まで移動したら、噴射ノズル２３１による液状樹脂の噴射を停止させるとともに、モータ２５２を逆転させて移動部２３２を最奥部なる待機位置に戻す。そして、ウエーハ１０の表面に霧状に噴出された液状樹脂は、経時的に硬化し、５μｍ厚程度の保護膜（図示せず）となる。ここで、これら一連の動作において、加熱手段２２４は常時加熱状態にあり、保持手段２２０およびフレーム１１を介してウエーハ１０を加熱しているので、ウエーハ１０の表面に被覆された保護膜の乾燥が促進され、短時間で乾燥する。加えて、これら一連の動作において、吸引源も常時作動状態にあり、吸引開口２８１を介して筐体２３３内が吸気され、液状樹脂が噴射された筐体２３３内の湿度が低下するので、保護膜の乾燥が一層促進される。
【００３７】
ウエーハ１０の加工面である表面に保護膜を被覆した後、シート状カバー部材２０２をモータ駆動により開放位置に移動させて開口部２３３ａを開放状態とし（後述する）、また、保持手段２２０はエアーシリンダ２３７ｂの上昇動作により図４に示すようなウエーハ１０の着脱が可能な着脱位置に位置付ける。さらに、フレーム挟持部２２２は、図４に示すように開放状態とし、ウエーハ保持部２２１に対する吸引保持も解除する。そして、ウエーハ保持部２２１上のウエーハ１０に関して、フレーム１１の左右両端を第２の搬送手段１７の搬送パッド１７１によって吸引保持し、Ｘ軸方向のスライド動作によってチャックテーブル３上に搬送し、吸引保持させる。このようにしてウエーハ１０を吸引保持したチャックテーブル３は、図示しない移動手段によってＸ軸方向に移動することにより、レーザ光線照射手段４に配設された撮像手段５の直下に位置付けられる。
【００３８】
一方、筐体２３３内においては、保護膜を被覆したウエーハ１０を取り出すタイミング毎に、制御手段による制御の下に、洗浄水シャワーノズル２７１の噴出口から内壁２３３ｉに向けて洗浄水をシャワー状に噴出させることで内壁２３３ｉの洗浄が実行されるとともに、先端洗浄ノズル２７２の噴出口から各噴射ノズル２３１の先端に向けて洗浄水を噴出させることで先端に溜まった泡などの洗浄が実行される。洗浄水は、余分な液状樹脂等とともに、底壁２３３ｂ上を傾斜に従い下流側に流れ、排水口２３６から筐体２３３外に排出される。
【００３９】
チャックテーブル３が撮像手段５の直下に位置付けられると、撮像手段５および図示しない制御手段によってウエーハ１０に所定方向に形成されているストリートと、ストリートに沿ってパルスレーザ光線を照射するレーザ光線照射手段４との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理が実行され、レーザ光線照射位置のアライメントが遂行される。また、ウエーハ１０に形成されている上記所定方向に対して直角に延びるストリートに対しても、同様にレーザ光線照射位置のアライメントが遂行される。
【００４０】
以上のようにしてチャックテーブル３上に保持されているウエーハ１０に形成されているストリートを検出し、レーザ光線照射位置のアライメントが行われたら、チャックテーブル３をレーザ光線を照射するレーザ光線照射手段４が位置するレーザ光線照射領域に移動し、所定のストリートをレーザ光線照射手段４の直下に位置付ける。そして、レーザ光線照射手段４からパルスレーザ光線を照射しつつチャックテーブル３、すなわちウエーハ１０をＸ方向に所定の加工送り速度で移動させる。そして、ストリート１０１の他端がレーザ光線照射手段４の直下位置に達したら、パルスレーザ光線の照射を停止するとともにチャックテーブル３、すなわちウエーハ１０の移動を停止する。このようなレーザ光線照射工程を実行することにより、ウエーハ１０のストリートにはレーザ加工溝が形成される。このとき、レーザ光線の照射によりデブリが発生しても、このデブリは保護膜によって遮断され、デバイスおよびボンディングパッド等に付着することはない。このようなレーザ光線照射工程をウエーハ１０の全てのストリートに対して実行する。
【００４１】
上述のレーザ光線照射工程をウエーハ１０の全てのストリートに沿って実行した後、ウエーハ１０を保持しているチャックテーブル３を、最初にウエーハ１０を吸引保持した位置に戻し、ここでウエーハ１０の吸引保持を解除する。そして、ウエーハ１０を有するフレーム１１の左右両端を第２の搬送手段１７の搬送パッド１７１によって吸引保持し、支持手段１７３を中心とする旋回動作によって洗浄手段８を構成するスピンナーテーブル８１上に搬送し、スピンナーテーブル８１上に吸引保持させる。そして、スピンナーテーブル８１によってウエーハ１０を回転させながら洗浄ノズルから洗浄水を供給することで、ウエーハ１０の表面に被覆された水溶性の保護膜を洗い流す。このとき、レーザ加工時に発生したデブリも一緒に除去される。
【００４２】
洗浄が完了し、エアーノズルからのエアー供給によりウエーハ１０が乾燥したら、スピンナーテーブル８１に保持されているウエーハ１０の吸引保持を解除する。そして、スピンナーテーブル８１上の加工後のウエーハ１０は、第１の搬送手段１６によって仮置き部１５ａに配設された仮置きテーブル１５に搬出する。仮置きテーブル１５に搬出された加工後のウエーハ１０は、ウエーハ搬出入手段１４によってカセット１３の所定位置に収納される。
【００４３】
なお、加工済みのウエーハ１０を洗浄手段８に搬送し、洗浄工程および乾燥工程を実行している間に、ウエーハ搬出入手段１４を作動して次に加工する加工前のウエーハ１０をカセット１３から仮置きテーブル１５に搬出し、仮置きテーブル１５に搬出されたウエーハ１０を第１の搬送手段１６によって保護膜被覆装置２００に搬送する。そして、保護膜被覆装置２００に搬送された次に加工するウエーハ１０に対して上述の保護膜被覆工程を同様に実行する。このようにして保護膜被覆工程が実行されたウエーハ１０は、第２の搬送手段17によってチャックテーブル３上に搬送され、上述したレーザ光線照射工程が実行される。そして、レーザ光線照射工程が実行されたウエーハ１０は、第２の搬送手段１７によって洗浄手段８に搬送され、上述した洗浄工程および乾燥工程が実行される。
【００４４】
そして、カセット１３に収容された所定枚数の全てのウエーハ１０について加工処理が終了すると、保護膜被覆装置２００においては、ウエーハ１０が取り出されて空の保持手段２２０を収納位置まで下降させ、移動部２３２によってテーブル洗浄ノズル２７３を水平方向に移動させながら噴出口から洗浄水を噴出させることで保持手段２２０周りの洗浄を行う。なお、保持手段２２０の洗浄は、このようなタイミングに限らず、ユーザーにより設定される適宜タイミング毎でよい。いずれにしても、筐体２３３の内壁２３３ｉや噴射ノズル２３１の先端ほどは汚れないため、内壁２３３ｉや噴射ノズル２３１の先端の洗浄よりも少ない頻度で洗浄を行えば十分である。
【００４５】
つづいて、本実施の形態の筐体カバー機構２０１について図６〜図９を参照して説明する。図６は、保護膜被覆装置２００の筐体カバー機構２０１部分を主体に示す概略斜視図であり、図７は、図６中のＡ矢視図であり、図８は、シート状カバー部材２０２の開閉動作を示す概略側面図であり、図９は、図８の概略平面図である。
【００４６】
本実施の形態の筐体カバー機構２０１は、シート状カバー部材２０２と移動手段２１５とからなる。シート状カバー部材２０２は、筐体２３３の開口部２３３ａを丁度閉塞し得る大きさに形成されて自由に屈曲可能な可撓性を有するフィルム状の可視性部材である。なお、シート状カバー部材２０２は、開口部２３３ａの大きさよりも大きめであってもよい。さらに、このシート状カバー部材２０２は、耐薬品性を有し静電気対策が施された長寿命の部材からなることが望ましい。また、シート状カバー部材２０２に関して、保護膜を構成する液状樹脂等に対して撥水性あるいは親水性を持たせるか等の特性は適宜設定すればよい。
【００４７】
移動手段２１５は、シート状カバー部材２０２を、開口部２３３ａを閉塞する閉塞位置と開口部２３３ａを開放する開放位置との間で移動させるためのものである。シート状カバー部材２０２の移動方向を筐体２３３の前後方向とした場合、移動手段２１５は、シート状カバー部材２０２の移動方向両側（左右両側）に一体となるように連結されて移動方向に延在する左右一対の線状部材２０３と、この一対の線状部材２０３をシート状カバー部材２０３の移動方向に沿って移動させる駆動手段２０９とからなる。
【００４８】
ここで、線状部材２０３は、例えば幅の狭いエンドレスベルトを用いた無端帯からなり、駆動軸２０４上に設けられた駆動プーリ２０５と、従動プーリ２０６との間にガイドプーリ２０７，２０８を介して張設状態で掛け渡されている。駆動手段２０９は、正逆転自在なモータからなり、モータプーリ２１０と駆動軸２０４上の従動プーリ２１１との間に駆動ベルト２１２が掛け渡され、駆動手段２０９の回転駆動力が駆動軸２０４に伝達され、駆動プーリ２０５を介して線状部材２０３を往復方向に周回移動させ得るように構成されている。従動プーリ２０６は、開口部２３３ａの手前側に位置する第１の側部２３３ｍの両端付近にて図示しない支持片によって回転自在に支持され、ガイドプーリ２０７，２０８は、開口部２３３ａの奥部側に位置する第２の側部２３３ｎの両端付近にて図示しない支持片によって回転自在に支持され、駆動プーリ２０５を有する駆動軸２０４の両端は、筐体２３３の奥側の筐体外壁面２３３ｏの途中付近にて図示しない支持片によって回転自在に支持されている。これにより、一対の線状部材２０３は、開口部２３３ａの対向する第１の側部２３３ｍから第２の側部２３３ｎを経て筐体外壁面２３３ｏに沿って略逆Ｌ字状に張設状態で屈曲配設されている。
【００４９】
図６、図８等に示すように、シート状カバー部材２０２は、開口部２３３ａ上では、このような無端帯状の線状部材２０３の上辺側部分に対して連結されている。また、シート状カバー部材２０２の移動軌跡上に位置させて、閉塞位置規制用センサ２１３と開放位置規制用センサ２１４とが設けられている。閉塞位置規制用センサ２１３は、第１の側部２３３ｍ付近に配設されて開口部２３３ａを閉塞状態に全閉するときのシート状カバー部材２０２の手前側端部の移動を検知する光学的センサである。開放位置規制用センサ２１４は、開口部２３３ａを開放状態に全開するときのシート状カバー部材２０２の奥側端部の移動を検知する光学的センサである。
【００５０】
このような構成において、図８（ａ）および図９（ａ）は、シート状カバー部材２０２が開口部２３３ａを全閉状態に閉塞する閉塞位置にある状態を示している。そして、筐体２３３内部の保持手段２２０に対するウエーハ１０の出し入れ等のため、あるいは、筐体２３３内部のメンテナンス等のために、開口部２３３ａを開放させる場合には、図示しない制御手段からの指示により、駆動手段２０９を例えば正転駆動させる。これにより、駆動プーリ２１０、駆動ベルト２１２、従動プーリ２１１を介して駆動軸２０４が正転駆動され、駆動プーリ２０５も正転駆動される。これにより、線状部材２０３が図８において時計方向に周回移動し、線状部材２０３に連結されたシート状カバー部材２０２を図８（ｂ）に示すように開放方向となる後部側に向けて移動させる。シート状カバー部材２０２の開放方向の移動が進むと、図８（ｃ）に示すように、シート状カバー部材２０２は、線状部材２０３の移動に従い駆動プーリ２０５周りを周回して張設状態で内側に折り返される。そして、シート状カバー部材２０２の奥側端部（移動方向先端部）が開放位置規制用センサ２１４の位置に達して、この開放位置規制用センサ２１４によって検知されると、図示しない制御手段による制御で、駆動手段２０９の駆動が停止され、シート状カバー部材２０２の移動も停止する。
【００５１】
これにより、シート状カバー部材２０２は開口部２３３ａを全開する開放位置に位置付けられ、筐体２３３内部の保持手段２２０に対するウエーハ１０の出し入れ作業や筐体２３３内部のメンテナンス等が可能となる。
【００５２】
一方、筐体２３３内の保持手段２２０に保持されたウエーハ１０に対する液状樹脂の噴射による保護膜作成のため、図８（ｃ）に示す状態から開口部２３３ａを閉塞させる場合には、図示しない制御手段からの指示により、駆動手段２０９を例えば逆転駆動させる。これにより、駆動プーリ２１０、駆動ベルト２１２、従動プーリ２１１を介して駆動軸２０４が逆転駆動され、駆動プーリ２０５も逆転駆動される。これにより、線状部材２０３が図８において反時計方向に周回移動し、線状部材２０３に連結されたシート状カバー部材２０２を図８（ｂ）に示すように閉塞方向となる前部側に向けて移動させる。シート状カバー部材２０２の閉塞方向の移動が進むと、図８（ａ）に示すように、シート状カバー部材２０２の手前側端部（移動方向先端部）が閉塞位置規制用センサ２１３の位置に達して、開口部２３３ａを全閉する。シート状カバー部材２０２の手前側端部が閉塞位置規制用センサ２１３によって検知されると、図示しない制御手段による制御で、駆動手段２０９の駆動が停止され、シート状カバー部材２０２の移動も停止する。
【００５３】
これにより、シート状カバー部材２０２は開口部２３３ａを全閉する閉塞位置に位置付けられ、筐体２３３内部の保持手段２２０に保持されたウエーハ１０に対する液状樹脂の噴射による反故膜作成作業が可能となる。
【００５４】
このようなシート状カバー部材２０２による開口部２３３ａの閉塞状態によれば、前述したように、噴射ノズル２３１から噴射される液状樹脂や筐体２３３内に浮遊する液体樹脂が存在していても、筐体２３３外に飛散することはない。ここで、シート状カバー部材２０２は、無端帯状の線状部材２０３の上辺側に一体となるように連結されており、開口部２３３ａの上縁から若干浮いた位置にあるが、吸引源も常時作動し、吸引開口２８１を介して筐体２３３内が吸気される負圧的な状態にあり、開口部２３３ａを覆う可撓性を有するフィルム状部材からなるシート状カバー部材２０２が開口部２３３ａ側に吸い付けられるように変位するので、丁度良い閉塞状態となる。また、シート状カバー部材２０２は、可視性部材からなるので、開口部２３３ａを閉塞した状態であっても、液状樹脂の噴射状況等の筐体２３３内部の様子を外から確認することができる。
【００５５】
一方、本実施の形態の筐体カバー機構２０１による開口部２３３ａの開放状態によれば、シート状カバー部材２０２が装置ハウジング２内に隠れる筐体２３３の奥側位置に退避し、開口部２３３ａ上面に対する出っ張りが殆どない状態となる。よって、開口部２３３ａの開放時にはシート状カバー部材２０２を筐体２３３内部のメンテナンス性を阻害しない状態に維持することができる。また、ウエーハ１０を出し入れする搬送手段１７の搬送パッド１７１の動作にも支障をきたすことはない。さらに、開口部２３３ａを閉塞する状態では液状樹脂の噴射に伴いシート状カバー部材２０２の内面に液状樹脂等が付着し、付着した液状樹脂が粘着性を有するが、シート状カバー部材２０２の開閉移動に際してはシート状カバー部材２０２を巻き取ることなく展開状態で移動させることができ、巻き取りによるシート状カバー部材同士の重なりをなくし付着物の固着を回避することもできる。そのための筐体カバー機構２０１の構成としても、線状部材２０３が、開口部２３３ａの対向する第１の側部２３３ｍから第２の側部２３３ｎを経て筐体外壁面２３３ｏに沿って略逆Ｌ字状に屈曲配設されて周回移動する無端帯からなるので、筐体カバー機構２０１がその開閉動作を含めて筐体２３３周りに収まる最小限のコンパクトで簡単な構造とすることができる。
【００５６】
本発明は、上述した実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。例えば、本実施の形態では、ウエーハ１０の表面に対して液状樹脂を噴射により塗布する保護膜被覆装置２００の筐体２３３用への適用例として説明したが、ウエーハ表面に洗浄処理を施す洗浄装置の筐体用に適用してもよい。
【００５７】
また、保護膜被覆装置２００における開口部２３３ａの手前側を第１の側部２３３ｍとし、奥側を第２の側部２３３ｎとしてシート状カバー部材２０２を前後方向に移動させるようにしたが、筐体２３３周りの構造等によっては、奥側を第１の側部とし、手前側を第２の側部としてもよく、或いは、左右方向を移動方向として第１の側部、第２の側部を設定するようにしてもよい。また、筐体２３３周りの構造等によっては、無端帯状の線状部材２０３を逆Ｌ字状に屈曲させることなく、略水平面上で後方に延在させて配置させてもよい。さらには、線状部材２０３としては、幅の狭いベルトに限らず、例えばワイヤ、強度のある紐状部材等であってもよい。
【００５８】
さらには、本実施の形態では、線状部材２０３として無端帯状のものを用いたが、必ずしも無端帯状である必要はなく、両端を有する長めの線状部材を用いるようにしてよい。この場合、例えば、線状部材の一端を巻き取り機構に連結し、他端側を巻き取り側に付勢された繰り出し機構に連結し、或いは、カウンタウエイトに連結することで、線状部材が往復移動するようにすればよい。
【００５９】
さらには、シート状カバー部材を移動させる移動手段として、線状部材を用いずに、シート状カバー部材と一体的に構成され、巻き取り方向に付勢されて繰り出し自在なロールシート構造とすることも可能である。この場合、ロール（シート状カバー部材）収納時に液状樹脂が付着したシート状カバー部材が巻き取りにより重なってしまうので、シート状カバー部材に対する付着物のない洗浄装置用の筐体カバー機構として用いるのがよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施の形態の筐体カバー機構を備える保護膜被覆装置が一体に組み込まれたレーザ加工装置を示す外観斜視図である。
【図２】保護膜被覆装置の分解斜視図である。
【図３】チャックテーブルが収容位置に位置付けられた保護膜被覆装置を示す斜視図である。
【図４】チャックテーブルが着脱位置に位置付けられた保護膜被覆装置を示す斜視図である。
【図５】噴射ノズルによる液状樹脂の噴出状況を示す概略縦断正面図である。
【図６】保護膜被覆装置の筐体カバー機構部分を主体に示す概略斜視図である。
【図７】図６中のＡ矢視図である。
【図８】シート状カバー部材の開閉動作を示す概略側面図である。
【図９】図８の概略平面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１０  ウエーハ
２０１  筐体カバー機構
２０２  シート状カバー部材
２０３  線状部材
２０９  駆動手段
２１５  移動手段
２２０  保持手段
２３０  ウエーハ処理手段
２３３  筐体
２３３ａ  開口部
２３３ｍ  第１の側部
２３３ｎ  第２の側部
２３３ｏ  筐体外壁面
【図１】
0004979550.tif 000002
【図２】
0004979550.tif 000003
【図３】
0004979550.tif 000004
【図４】
0004979550.tif 000005
【図５】
0004979550.tif 000006
【図６】
0004979550.tif 000007
【図７】
0004979550.tif 000008
【図８】
0004979550.tif 000009
【図９】
0004979550.tif 000010