(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
相違するタイミングで上下方向に往復移動する複数組の可動ピンにより平板状の処理対象部材を複数箇所で支持するリフトピン機構であって、
複数組の前記可動ピンと、
前記可動ピンを前記複数組ごとに上下方向に往復移動させる上下往復機構と、
前記可動ピンの少なくとも上端位置を下降したときに水平方向に変位させる水平変位機構と、
を有し、
前記可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な本体軸部と、前記本体軸部の上端から少なくとも水平方向に突出している水平部分と、前記水平部分の突端から少なくとも上方に突出している上端部分と、を有し、
前記上下往復機構は、前記可動ピンを前記本体軸部で上下方向に往復移動させ、
前記水平変位機構は、下降した前記可動ピンを前記本体軸部で水平方向に回動させるリフトピン機構。
【請求項２】
前記上下往復機構と前記水平変位機構とが一体に形成されている請求項１に記載のリフトピン機構。
【請求項３】
前記可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な従動円盤が下端近傍に形成されており、
前記上下往復機構と前記水平変位機構とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトを共有し、
前記上下往復機構は、前記駆動シャフトに装着されていて前記可動ピンを下方から支持している偏心カムを有し、
前記水平変位機構は、前記駆動シャフトに装着されていて下降した前記可動ピンの前記従動円盤の外周部に係合する少なくとも部分的に円盤状の駆動部材を有する請求項２に記載のリフトピン機構。
【請求項４】
前記従動円盤と前記駆動部材との少なくとも一方の当接部分が弾性体で形成されている請求項３に記載のリフトピン機構。
【請求項５】
前記可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な従動歯車が下端近傍に形成されており、
前記上下往復機構と前記水平変位機構とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトを共有し、
前記上下往復機構は、前記駆動シャフトに装着されていて前記可動ピンを下方から支持している偏心カムを有し、
前記水平変位機構は、前記駆動シャフトに装着されていて下降した前記可動ピンの前記従動歯車に歯合する駆動アームを有する請求項２に記載のリフトピン機構。
【請求項６】
前記可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な従動歯車が下端近傍に形成されており、
前記上下往復機構と前記水平変位機構とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトを共有し、
前記上下往復機構は、前記駆動シャフトに装着されていて前記可動ピンを下方から支持している偏心カムを有し、
前記水平変位機構は、前記駆動シャフトに装着されていて下降した前記可動ピンの前記従動歯車に歯合する駆動歯車を有する請求項２に記載のリフトピン機構。
【請求項７】
前記水平変位機構は、上下方向に往復移動する前記可動ピンの前記本体軸部を所定角度ずつ所定方向に回動させる回動カム機構からなる請求項１に記載のリフトピン機構。
【請求項８】
前記水平変位機構は、前記可動ピンの前記本体軸部に回動トルクを常時作用させるトルク作用機構と、前記可動ピンを所定位置まで下降しないと回動不能にロックする回動ロック機構と、を有する請求項１に記載のリフトピン機構。
【請求項９】
前記トルク作用機構は、前記可動ピンの前記本体軸部に磁力により非接触に前記回動トルクを作用させる請求項８に記載のリフトピン機構。
【請求項１０】
前記上下往復機構は、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトと、前記駆動シャフトに装着されていて前記可動ピンを下方から支持している偏心カムと、を有する請求項７ないし９の何れか一項に記載のリフトピン機構。
【請求項１１】
平板状の処理対象部材を加熱する加熱処理装置であって、
前記処理対象部材を支持する請求項１ないし１０の何れか一項に記載のリフトピン機構と、
前記リフトピン機構で支持された前記処理対象部材を加熱処理する対象加熱部と、
を有する加熱処理装置。
【請求項１２】
平板状の処理対象部材を減圧乾燥させる減圧乾燥装置であって、
前記処理対象部材を密閉チャンバに密閉する本体ハウジングと、
前記密閉チャンバに密閉された前記処理対象部材を支持する請求項１ないし１０の何れか一項に記載のリフトピン機構と、
前記密閉チャンバを減圧する減圧機構と、
を有する減圧乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、相違するタイミングで上下方向に往復移動する複数組の可動ピンにより平板状の処理対象部材を複数箇所で支持するリフトピン機構、このリフトピン機構を利用した加熱処理装置および減圧処理装置、に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、加熱処理装置などで処理対象部材であるガラス基板などを加熱処理するとき、ガラス基板をリフトピン機構の不動ピンと可動ピンとで支持している。このリフトピン機構では、可動ピンが上下方向と水平方向とに移動する。
【０００３】
そこで、上昇した可動ピンで処理対象部材を支持して水平方向に移動させ、可動ピンを下降させて不動ピンで支持させる。この動作を繰り返すことにより、可動ピンと不動ピンとが処理対象部材に接触する位置が常時変化するので、ピン接触に吸引した処理対象部材の温度ムラなどを抑制することができる(例えば、特許文献１，２参照)。
【特許文献１】特開平１０−７６２１１号公報
【特許文献２】特開２００６−６１７５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述のリフトピン機構では、可動ピンと不動ピンとで交互に処理対象部材を支持するため、処理基板を水平方向に常時移動させる必要がある。しかし、処理基板の移動範囲には限界がある。しかも、従来のリフトピン機構では、可動ピンをソレノイドなどにより水平方向に線形移動させている。
【０００５】
このため、可動ピンや不動ピンが同一箇所に接触しないように、処理基板を何度も移動させることは困難である。従って、処理基板を何度か移動させると結果的に可動ピンや不動ピンが同一箇所に接触してピン跡が発生する可能性が高い。
【０００６】
さらに、上述のようなリフトピン機構では、可動ピンを上下方向と水平方向とに移動させるため、各々にソレノイドなどの専用機構を必要としている。このため、構造が複雑である。
【０００７】
本発明は上述のような課題に鑑みてなされたものであり、処理対象部材の同一箇所に可動ピンが接触することを簡単な構造で防止することができるリフトピン機構、このリフトピン機構を利用した加熱処理装置および減圧処理装置、を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のリフトピン機構は、相違するタイミングで上下方向に往復移動する複数組の可動ピンにより平板状の処理対象部材を複数箇所で支持するリフトピン機構であって、複数組の可動ピンと、可動ピンを複数組ごとに上下方向に往復移動させる上下往復機構と、可動ピンの少なくとも上端位置を下降したときに水平方向に変位させる水平変位機構と、を有する。
【０００９】
従って、本発明のリフトピン機構では、処理対象部材は水平移動せず、処理対象部材から下方に離間した可動ピンが水平移動する。このため、可動ピンの移動範囲を限定する必要がなく、処理対象部材の同一箇所に可動ピンが接触する可能性を低減することができる。
【００１０】
また、本発明のリフトピン機構において、可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な本体軸部と、本体軸部の上端から少なくとも水平方向に突出している水平部分と、水平部分の突端から少なくとも上方に突出している上端部分と、を有し、上下往復機構は、可動ピンを本体軸部で上下方向に往復移動させ、水平変位機構は、下降した可動ピンを本体軸部で水平方向に回動させてもよい。
【００１１】
また、本発明のリフトピン機構において、上下往復機構と水平変位機構とが一体に形成されていてもよい。
【００１２】
また、本発明のリフトピン機構において、可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な従動円盤が下端近傍に形成されており、上下往復機構と水平変位機構とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトを共有し、上下往復機構は、駆動シャフトに装着されていて可動ピンを下方から支持している偏心カムを有し、水平変位機構は、駆動シャフトに装着されていて下降した可動ピンの従動円盤の外周部に係合する駆動部材を有してもよい。
【００１３】
また、本発明のリフトピン機構において、従動円盤と駆動部材との少なくとも一方の当接部分が弾性体で形成されていてもよい。
【００１４】
また、本発明のリフトピン機構において、可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な従動歯車が下端近傍に形成されており、上下往復機構と水平変位機構とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトを共有し、上下往復機構は、駆動シャフトに装着されていて可動ピンを下方から支持している偏心カムを有し、水平変位機構は、駆動シャフトに装着されていて下降した可動ピンの従動歯車に歯合する駆動アームを有してもよい。
【００１５】
また、本発明のリフトピン機構において、可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な従動歯車が下端近傍に形成されており、上下往復機構と水平変位機構とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトを共有し、上下往復機構は、駆動シャフトに装着されていて可動ピンを下方から支持している偏心カムを有し、水平変位機構は、駆動シャフトに装着されていて下降した可動ピンの従動歯車に歯合する駆動歯車を有してもよい。
【００１６】
また、本発明のリフトピン機構において、水平変位機構は、上下方向に往復移動する可動ピンの本体軸部を所定角度ずつ所定方向に回動させる回動カム機構からなってもよい。
【００１７】
また、本発明のリフトピン機構において、水平変位機構は、可動ピンの本体軸部に回動トルクを常時作用させるトルク作用機構と、可動ピンを所定位置まで下降しないと回動不能にロックする回動ロック機構と、を有してもよい。
【００１８】
また、本発明のリフトピン機構において、トルク作用機構は、可動ピンの本体軸部に磁力により非接触に回動トルクを作用させてもよい。
【００１９】
また、本発明のリフトピン機構において、上下往復機構は、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトと、駆動シャフトに装着されていて可動ピンを下方から支持している偏心カムと、を有してもよい。
【００２０】
本発明の加熱処理装置は、平板状の処理対象部材を加熱する加熱処理装置であって、処理対象部材を支持する本発明のリフトピン機構と、リフトピン機構で支持された処理対象部材を加熱処理する対象加熱部と、を有する。
【００２１】
本発明の減圧乾燥装置は、平板状の処理対象部材を減圧乾燥させる減圧乾燥装置であって、処理対象部材を密閉チャンバに密閉する本体ハウジングと、密閉チャンバに密閉された処理対象部材を支持する本発明のリフトピン機構と、密閉チャンバを減圧する減圧機構と、を有する。
【００２２】
なお、本発明の各種の構成要素は、必ずしも個々に独立した存在である必要はなく、複数の構成要素が一個の部材として形成されていること、一つの構成要素が複数の部材で形成されていること、ある構成要素が他の構成要素の一部であること、ある構成要素の一部と他の構成要素の一部とが重複していること、等でもよい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のリフトピン機構では、処理対象部材は水平移動せず、処理対象部材から下方に離間した可動ピンが水平移動する。このため、可動ピンの移動範囲を限定する必要がなく、処理対象部材の同一箇所に可動ピンが接触する可能性を低減することができる。このため、処理対象部材として処理基板を加熱処理装置で加熱処理したり減圧乾燥装置で減圧乾燥する場合でも、可動ピンのピン跡が処理対象部材に残ることを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の実施の第一の形態を図１ないし図６を参照して以下に説明する。なお、本実施の形態では図示するように上下方向以外に前後左右の方向も規定して説明する。しかし、これは構成要素の相対関係を簡単に説明するために便宜的に規定するものである。従って、本発明を実施する製品の製造時や使用時の方向を限定するものではない。
【００２５】
本実施の形態の減圧乾燥装置１０００は、ガラス基板などの平板状の処理対象部材ＧＢを減圧乾燥させる。このため、図１に示すように、減圧乾燥装置１０００は、処理対象部材ＧＢを密閉チャンバＳＣに密閉する本体ハウジング１０１０と、密閉チャンバＳＣに密閉された処理対象部材ＧＢを支持するリフトピン機構１００と、密閉チャンバＳＣを減圧する真空ポンプなどの減圧機構１０２０と、を有する。
【００２６】
本実施の形態のリフトピン機構１００は、図２ないし図５に示すように、相違するタイミングで上下方向に往復移動する複数組の可動ピン１１０により平板状の処理対象部材ＧＢを複数箇所で支持する。
【００２７】
このため、リフトピン機構１００は、複数組の可動ピン１１０と、可動ピン１１０を複数組ごとに上下方向に往復移動させる上下往復機構１２０と、可動ピン１１０の少なくとも上端位置を下降したときに水平方向に変位させる水平変位機構１３０と、を有する。
【００２８】
より詳細には、可動ピン１１０はクランク形状に形成されており、軸心方向が上下方向と平行な本体軸部１１１と、本体軸部１１１の上端から少なくとも水平方向に突出している水平部分１１２と、水平部分１１２の突端から少なくとも上方に突出している上端部分１１３と、を有する。
【００２９】
そして、上下往復機構１２０は、可動ピン１１０を本体軸部１１１で上下方向に往復移動させ、水平変位機構１３０は、下降した可動ピン１１０を本体軸部１１１で水平方向に回動させる。この上下往復機構１２０と水平変位機構１３０とは一体に形成されている。
【００３０】
つまり、可動ピン１１０は、軸心方向が上下方向と平行な従動円盤１１５が下端近傍に形成されている。上下往復機構１２０と水平変位機構１３０とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフト１０１を共有する。
【００３１】
上下往復機構１２０は、駆動シャフト１０１に装着されていて可動ピン１１０を下方から支持している偏心カム１２１を有する。一方、水平変位機構１３０は、駆動シャフト１０１に装着されていて下降した可動ピン１１０の従動円盤１１５の外周部に係合する駆動部材１３１を有する。なお、従動円盤１１５は、駆動部材１３１と当接部分に弾性体であるＯリング１１６が装着されている。
【００３２】
駆動部材１３１は、円盤状に形成されている。しかし、この駆動部材１３１は、従動円盤１１５の外周部に係合できる形状であればよく、例えば、少なくとも部分的に円盤状の半円形や扇形などに形成されていてもよい。
【００３３】
本体ハウジング１０１０は、平板状の本体底板１０１１と、本体ボックス１０１２と、からなり、その接合部はＯリング１０１３で密閉されている。リフトピン機構１００の可動ピン１１０の本体軸部１１１は本体ハウジング１０１０の本体底板１０１１を貫通している。
【００３４】
ただし、図６に示すように、その本体底板１０１１の貫通孔１０１４と可動ピン１１０の本体軸部１１１との間隙はＯリング１０１５で密閉されている。なお、本実施の形態のリフトピン機構１００は、例えば、四本ずつ四組の可動ピン１１０を有し、各組の四本の可動ピン１１０が本体ハウジング１０１０の四隅に分散されて配置されている。
【００３５】
上述のような構成において、本実施の形態の減圧乾燥装置１０００は、上面に薄膜が成膜されたガラス基板などの平板状の処理対象部材ＧＢを減圧乾燥させる。その場合、本体ハウジング１０１０の本体底板１０１１から本体ボックス１０１２を開放させ、処理対象部材ＧＢをリフトピン機構１００の可動ピン１１０に支持させる。
【００３６】
このような状態で本体ハウジング１０１０を閉止して密閉チャンバＳＣを密閉し、真空ポンプなどの減圧機構１０２０で減圧することで、処理対象部材ＧＢを減圧乾燥させる。
【００３７】
ただし、上述のように処理対象部材ＧＢを支持するリフトピン機構１００は、その四本ずつの四組の可動ピン１１０が一組のみ所定位置まで上昇する。このため、本体ハウジング１０１０の四隅に位置する一組の四本の可動ピン１１０で処理対象部材ＧＢが支持される。
【００３８】
このとき、本実施の形態のリフトピン機構１００では、駆動シャフト１０１が回転駆動されることで上下往復機構１２０の偏心カム１２１により可動ピン１１０が上下方向に往復移動する。
【００３９】
駆動シャフト１０１には水平変位機構１３０の駆動部材１３１も装着されているが、上昇する可動ピン１１０の従動円盤１１５は駆動部材１３１から離間する。このため、処理対象部材ＧＢを支持する可動ピン１１０は回動することがない。
【００４０】
一方、可動ピン１１０が略最下点まで降下すると従動円盤１１５が駆動部材１３１に当接する。このため、可動ピン１１０は下降して処理対象部材ＧＢを支持していない状態で水平方向に回動する。可動ピン１１０は本体軸部１１１から水平部分１１２を経由して上端部分１１３が形成されているので、回動することで処理対象部材ＧＢと接触する位置が変位する。
【００４１】
本実施の形態のリフトピン機構１００では、上述のように処理対象部材ＧＢは水平移動せず、処理対象部材ＧＢから下方に離間した可動ピン１１０が水平移動する。このため、可動ピン１１０の移動範囲を限定する必要がなく、処理対象部材ＧＢの同一箇所に可動ピン１１０が接触する可能性を低減することができる。
【００４２】
従って、処理対象部材ＧＢとして処理基板を加熱処理装置で加熱処理したり減圧乾燥装置１０００で減圧乾燥する場合でも、可動ピン１１０のピン跡が処理対象部材ＧＢに残ることを防止できる。
【００４３】
しかも、可動ピン１１０は、軸心方向が上下方向と平行な本体軸部１１１と、本体軸部１１１の上端から少なくとも水平方向に突出している水平部分１１２と、水平部分１１２の突端から少なくとも上方に突出している上端部分１１３と、を有し、上下往復機構１２０は、可動ピン１１０を本体軸部１１１で上下方向に往復移動させ、水平変位機構１３０は、下降した可動ピン１１０を本体軸部１１１で水平方向に回動させる。
【００４４】
このため、可動ピン１１０を水平移動させるソレノイドなどが必要なく、簡単な構造で可動ピン１１０による処理対象部材ＧＢの支持位置を良好に移動させることができる。しかも、可動ピン１１０の本体軸部１１１は水平方向に移動する必要がない。
【００４５】
このため、図６に示すように、本体軸部１１１を簡単に密閉することができ、減圧乾燥装置１０００の気密性を良好に維持しながら可動ピン１１０の上端部分１１３を水平移動させることができる。
【００４６】
さらに、本実施の形態のリフトピン機構１００では、上下往復機構１２０と水平変位機構１３０とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフト１０１を共有し、上下往復機構１２０と水平変位機構１３０とが一体に形成されている。
【００４７】
このため、一個の駆動源(図示せず)で上下往復機構１２０と水平変位機構１３０とを同時に駆動することができ、上下往復機構１２０と水平変位機構１３０とを別個に動作制御するような必要もない。
【００４８】
しかも、可動ピン１１０は、軸心方向が上下方向と平行な従動円盤１１５が下端近傍に形成されており、上下往復機構１２０は、駆動シャフト１０１に装着されていて可動ピン１１０を下方から支持している偏心カム１２１を有し、水平変位機構１３０は、駆動シャフト１０１に装着されていて下降した可動ピン１１０の従動円盤１１５の外周部に係合する駆動部材１３１を有する。このため、簡単な構造で確実に上下往復機構１２０と水平変位機構１３０とを連動させることができる。
【００４９】
さらに、従動円盤１１５の駆動部材１３１との当接部分がＯリング１１６で形成されている。このため、金属製の従動円盤１１５の駆動部材１３１とが接離することがなく、パーティクルの発生を抑制することができる。
【００５０】
しかも、Ｏリング１１６を介して従動円盤１１５が駆動部材１３１に回転駆動されるので、その回動角度を不定とすることができる。このため、可動ピン１１０による処理対象部材ＧＢの支持位置のランダム性を向上させることができる。
【００５１】
つぎに、本発明の実施の第二の形態のリフトピン機構２００を図７ないし図９を参照して以下に説明する。なお、これ以後の実施の形態に関し、それ以前の実施の形態と同一の部分は、同一の名称および符号を使用して説明は省略する。
【００５２】
本実施の形態のリフトピン機構２００では、可動ピン１１０の下端近傍に軸心方向が上下方向と平行な従動歯車２０１が形成されている。一方、水平変位機構２１０は、駆動シャフト１０１に装着されていて下降した可動ピン１１０の従動歯車２０１に歯合する駆動アーム２１１を有する。なお、従動歯車２０１は、いわゆるスパーギヤとして形成されており、駆動アーム２１１は、従動歯車２０１の外周面に係合する。
【００５３】
上述のような構成において、本実施の形態のリフトピン機構２００では、駆動シャフト１０１が回転駆動されることで上下往復機構１２０の偏心カム１２１により可動ピン１１０が上下方向に往復移動する。
【００５４】
駆動シャフト１０１とともに回転駆動される駆動アーム２１１は、可動ピン１１０が下降したときに従動歯車２０１に係合する。このため、可動ピン１１０は下降して処理対象部材ＧＢを支持していない状態で水平方向に回動し、可動ピン１１０で処理対象部材ＧＢが支持される位置が変位することになる。
【００５５】
つぎに、本発明の実施の第三の形態のリフトピン機構３００を図１０ないし図１２を参照して以下に説明する。本実施の形態のリフトピン機構３００では、可動ピン１１０は、軸心方向が上下方向と平行な従動歯車３０１が下端近傍に形成されている。
【００５６】
水平変位機構３１０は、駆動シャフト１０１に装着されていて下降した可動ピン１１０の従動歯車３０１に歯合する駆動歯車３１１を有する。なお、従動歯車３０１は、いわゆるクラウンギヤとして形成されている。
【００５７】
また、駆動歯車３１１は、従動歯車３０１と歯合する部分のみ歯形状が形成されており、例えば、歯形状は一つでもよい。また、本実施の形態のリフトピン機構３００では、上下往復機構１２０の偏心カム１２１と水平変位機構３１０の駆動歯車３１１とが一体に形成されている。
【００５８】
上述のような構成において、本実施の形態のリフトピン機構３００では、駆動シャフト１０１が回転駆動されることで上下往復機構１２０の偏心カム１２１により可動ピン１１０が上下方向に往復移動する。
【００５９】
駆動シャフト１０１とともに回転駆動される駆動歯車３１１は、可動ピン１１０が下降したときに従動歯車３０１に歯合する。このため、可動ピン１１０は下降して処理対象部材ＧＢを支持していない状態で水平方向に回動し、可動ピン１１０で処理対象部材ＧＢが支持される位置が変位することになる。
【００６０】
つぎに、本発明の実施の第四の形態のリフトピン機構４００を図１３ないし図１６を参照して以下に説明する。本実施の形態のリフトピン機構４００では、上下往復機構１２０と水平変位機構４１０とが別体に形成されている。
【００６１】
この水平変位機構４１０は、図１５に示すように、回転子４１１と円筒カム４１２と昇降子４１３とを有し、図１６に示すように、上下方向に往復移動する可動ピン１１０の本体軸部１１１を所定角度ずつ所定方向に回動させる回動カム機構からなる。
【００６２】
なお、この回動カム機構は、上下方向の往復移動を所定角度ずつの所定方向への回動に変換する機構であり、いわゆるボールペンのノック機構などに一般的に多用されている既存のものと同一である。従って、その構造および機能の詳細な説明は省略する。
【００６３】
上述のような構成において、本実施の形態のリフトピン機構４００では、駆動シャフト１０１が回転駆動されることで上下往復機構１２０の偏心カム１２１により可動ピン１１０が上下方向に往復移動する。
【００６４】
水平変位機構４１０は、上昇する可動ピン１１０は回動させず、下降して処理対象部材ＧＢから離間した可動ピン１１０を回動させる。このため、可動ピン１１０で処理対象部材ＧＢが支持される位置が変位することになる。
【００６５】
つぎに、本発明の実施の第五の形態のリフトピン機構５００を図１７ないし図２０を参照して以下に説明する。本実施の形態のリフトピン機構５００も、上下往復機構１２０と水平変位機構５１０とが別体に形成されている。
【００６６】
この水平変位機構５１０は、可動ピン１１０の本体軸部１１１に回動トルクを常時作用させるトルク作用機構５１１と、可動ピン１１０を所定位置まで下降しないと回動不能にロックする回動ロック機構５１２と、を有する。
【００６７】
トルク作用機構５１１は、可動ピン１１０の本体軸部１１１に磁力により非接触に回動トルクを作用させる。このようなトルク作用機構５１１は、例えば、マグトラン（登録商標）として公知である。
【００６８】
上述のような構成において、本実施の形態のリフトピン機構５００では、上下往復機構１２０により上下方向にオプションとされる可動ピン１１０に、トルク作用機構５１１から回動トルクが常時作用している。
【００６９】
しかし、可動ピン１１０が上昇して処理対象部材ＧＢを支持しているときは、回動ロック機構５１２により可動ピン１１０の回動はロックされている。そして、可動ピン１１０が下降して処理対象部材ＧＢから離間すると、回動ロック機構５１２のロックが解消されてトルク作用機構５１１により回動される。
【００７０】
このため、可動ピン１１０で処理対象部材ＧＢが支持される位置が変位することになる。しかも、トルク作用機構５１１は、可動ピン１１０の本体軸部１１１に磁力により非接触に回動トルクを作用させるので、パーティクルの発生を防止することができる。
【００７１】
なお、本発明は本実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。例えば、上記形態ではリフトピン機構５００を減圧乾燥装置１０００に利用することを例示したが、平板状の処理対象部材ＧＢを加熱する加熱処理装置に利用してもよい(図示せず)。
【００７２】
また、上記形態ではリフトピン機構１００等が四本ずつ四組の可動ピン１１０を有することを例示したが、当然ながら、このような本数や組数は各種に設定することができる。
【００７３】
なお、当然ながら、上述した実施の形態および複数の変形例は、その内容が相反しない範囲で組み合わせることができる。また、上述した実施の形態および変形例では、各部の構造などを具体的に説明したが、その構造などは本願発明を満足する範囲で各種に変更することができる。
なお、上記実施形態には以下の発明が開示されている。
（付記１）
相違するタイミングで上下方向に往復移動する複数組の可動ピンにより平板状の処理対象部材を複数箇所で支持するリフトピン機構であって、
複数組の前記可動ピンと、
前記可動ピンを前記複数組ごとに上下方向に往復移動させる上下往復機構と、
前記可動ピンの少なくとも上端位置を下降したときに水平方向に変位させる水平変位機構と、
を有するリフトピン機構。
（付記２）
前記可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な本体軸部と、前記本体軸部の上端から少なくとも水平方向に突出している水平部分と、前記水平部分の突端から少なくとも上方に突出している上端部分と、を有し、
前記上下往復機構は、前記可動ピンを前記本体軸部で上下方向に往復移動させ、
前記水平変位機構は、下降した前記可動ピンを前記本体軸部で水平方向に回動させる付記１に記載のリフトピン機構。
（付記３）
前記上下往復機構と前記水平変位機構とが一体に形成されている付記１または２に記載のリフトピン機構。
（付記４）
前記可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な従動円盤が下端近傍に形成されており、
前記上下往復機構と前記水平変位機構とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトを共有し、
前記上下往復機構は、前記駆動シャフトに装着されていて前記可動ピンを下方から支持している偏心カムを有し、
前記水平変位機構は、前記駆動シャフトに装着されていて下降した前記可動ピンの前記従動円盤の外周部に係合する少なくとも部分的に円盤状の駆動部材を有する付記３に記載のリフトピン機構。
（付記５）
前記従動円盤と前記駆動部材との少なくとも一方の当接部分が弾性体で形成されている付記４に記載のリフトピン機構。
（付記６）
前記可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な従動歯車が下端近傍に形成されており、
前記上下往復機構と前記水平変位機構とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトを共有し、
前記上下往復機構は、前記駆動シャフトに装着されていて前記可動ピンを下方から支持している偏心カムを有し、
前記水平変位機構は、前記駆動シャフトに装着されていて下降した前記可動ピンの前記従動歯車に歯合する駆動アームを有する付記３に記載のリフトピン機構。
（付記７）
前記可動ピンは、軸心方向が上下方向と平行な従動歯車が下端近傍に形成されており、
前記上下往復機構と前記水平変位機構とは、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトを共有し、
前記上下往復機構は、前記駆動シャフトに装着されていて前記可動ピンを下方から支持している偏心カムを有し、
前記水平変位機構は、前記駆動シャフトに装着されていて下降した前記可動ピンの前記従動歯車に歯合する駆動歯車を有する付記３に記載のリフトピン機構。
（付記８）
前記水平変位機構は、上下方向に往復移動する前記可動ピンの前記本体軸部を所定角度ずつ所定方向に回動させる回動カム機構からなる付記２に記載のリフトピン機構。
（付記９）
前記水平変位機構は、前記可動ピンの前記本体軸部に回動トルクを常時作用させるトルク作用機構と、前記可動ピンを所定位置まで下降しないと回動不能にロックする回動ロック機構と、を有する付記２に記載のリフトピン機構。
（付記１０）
前記トルク作用機構は、前記可動ピンの前記本体軸部に磁力により非接触に前記回動トルクを作用させる付記９に記載のリフトピン機構。
（付記１１）
前記上下往復機構は、軸心方向が水平方向と平行で回転駆動される駆動シャフトと、前記駆動シャフトに装着されていて前記可動ピンを下方から支持している偏心カムと、を有する付記８ないし１０の何れか１つに記載のリフトピン機構。
（付記１２）
平板状の処理対象部材を加熱する加熱処理装置であって、
前記処理対象部材を支持する付記１ないし１１の何れか１つに記載のリフトピン機構と、
前記リフトピン機構で支持された前記処理対象部材を加熱処理する対象加熱部と、
を有する加熱処理装置。
（付記１３）
平板状の処理対象部材を減圧乾燥させる減圧乾燥装置であって、
前記処理対象部材を密閉チャンバに密閉する本体ハウジングと、
前記密閉チャンバに密閉された前記処理対象部材を支持する付記１ないし１１の何れか１つに記載のリフトピン機構と、
前記密閉チャンバを減圧する減圧機構と、
を有する減圧乾燥装置。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の実施の形態の減圧乾燥装置の内部構造を示す模式的な縦断正面図である。
【図２】リフトピン機構の内部構造を示す縦断正面図である。
【図３】リフトピン機構の内部構造を示す縦断側面図である。
【図４】減圧乾燥装置の全体を示す模式的な斜視図である。
【図５】リフトピン機構の要部を示す模式的な斜視図である。
【図６】図１のａ部を拡大した縦断正面図である。
【図７】本発明の実施の第二の形態のリフトピン機構の内部構造を示す縦断正面図である。
【図８】第二の形態のリフトピン機構の内部構造を示す縦断側面図である。
【図９】図８のＡＡ矢視を示す底面図である。
【図１０】本発明の実施の第三の形態のリフトピン機構の内部構造を示す縦断正面図である。
【図１１】第三の形態のリフトピン機構の内部構造を示す縦断側面図である。
【図１２】図１１のＢＢ矢視を示す底面図である。
【図１３】本発明の実施の第四の形態のリフトピン機構の内部構造を示す縦断正面図である。
【図１４】第四の形態のリフトピン機構の内部構造を示す縦断側面図である。
【図１５】回動カム機構の組立構造を示す分解図である。
【図１６】回動カム機構の動作を示す工程図である。
【図１７】本発明の実施の第五の形態のリフトピン機構の内部構造を示す縦断正面図である。
【図１８】第五の形態のリフトピン機構の内部構造を示す縦断正面図である。
【図１９】第五の形態のリフトピン機構の内部構造を示す縦断正面図である。
【図２０】第五の形態のリフトピン機構の内部構造を示す縦断正面図である。
【符号の説明】
【００７５】
１００    リフトピン機構
１０１    駆動シャフト
１１０    可動ピン
１１１    本体軸部
１１２    水平部分
１１３    上端部分
１１５    従動円盤
１１６    Ｏリング
１２０    上下往復機構
１２１    偏心カム
１３０    水平変位機構
１３１    駆動部材
２００    リフトピン機構
２０１    従動歯車
２１０    水平変位機構
２１１    駆動アーム
３００    リフトピン機構
３０１    従動歯車
３１０    水平変位機構
３１１    駆動歯車
４００    リフトピン機構
４１０    水平変位機構
４１１    回転子
４１２    円筒カム
４１３    昇降子
５００    リフトピン機構
５１０    水平変位機構
５１１    トルク作用機構
５１２    回動ロック機構
１０００    減圧乾燥装置
１０１０    本体ハウジング
１０１１    本体底板
１０１２    本体ボックス
１０１３    Ｏリング
１０１４    貫通孔
１０１５    Ｏリング
１０２０    減圧機構
ＧＢ    処理対象部材
ＳＣ    密閉チャンバ
【図１】
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【図２】
0005022855.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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