(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、
ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、
前記ファンユニットの吹出側に吹出面が長方形のフィルタを配設し、
前記フィルタの吹出側の外周に沿って支持枠を配設し、
この支持枠には、向かい合った一対の辺の内部にスライドガイドを配設し、
このスライドガイドを渡すように支持金具を設け、
この支持金具の任意の位置にセンサーを位置させる固定具を備え、
前記支持金具は、前記スライドガイドの接触面のみ水平面とし、その面に接続するように垂直方向下方へ固定具の取付面を設けたファンフィルターユニット。
【請求項２】
前記支持金具の固定部を、長穴形状とした請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
前記スライドガイドと前記支持金具との固定ボルトを、回転固定具とした請求項１または２記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
前記センサー近傍に発光ダイオードを配設した請求項１〜３のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの、清浄空間を必要とする製造装置で使用されるファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニットにおいて、風速や圧力分布の計測及び風量調整用のセンサーとして１ヶ所及び数ヶ所のセンサーをファンフィルターユニット機体内または吹出側に設ける構成としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平３−１００７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の風速や圧力測定及び風量調整用センサーの位置は、ファンフィルターユニット機体内または製造装置の一部よりファンフィルターユニット吹出側の適当な位置に設けられるため、ファンフィルターユニットの風速ばらつきにおいては、代表値としての値とならない場合があった。
【０００５】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ファンフィルターユニット吹出側からセンサーを支持させ、風速や圧力の代表位置にセンサーを位置調整できるファンフィルターユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のファンフィルターユニットは上記目的を達成するために、箱形状のチャンバーのチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側に吹出面が長方形のフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側の外周に沿って支持枠を配設し、この支持枠には、向かい合った一対の辺の内部にスライドガイドを配設し、このスライドガイドを渡すように支持金具を設け、この支持金具の任意の位置にセンサーを位置させる固定具を備え、前記支持金具は、前記スライドガイドの接触面のみ水平面とし、その面に接続するように垂直方向下方へ固定具の取付面を設けたものである。
【０００７】
また他の手段は、支持金具の固定部を、長穴形状としたものである。
【０００８】
また他の手段は、スライドガイドと支持金具との固定ボルトを、回転固定具としたものである。
【０００９】
また他の手段は、センサー近傍に発光ダイオードを配設したものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ファンフィルターユニット吹出側における風速代表位置等にセンサーを取付けることが可能となり、必要に応じて位置を変更することが可能であるという効果のファンフィルターユニットが得られる。
【００１１】
また、移動がスムースで簡単に位置変更できるという効果が得られる。
【００１２】
また、圧力損失が低く、吹出空気の流れがスムースとなる効果が得られる。
【００１３】
また、装置下方等よりセンサー位置が認識できるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態１のファンフィルターユニットの縦断面図
【図２】本発明の実施の形態２の支持金具の部品詳細図
【図３】本発明の実施の形態３の支持金具の部品詳細図
【図４】本発明の実施の形態４の支持金具の部品詳細図
【図５】本発明の実施の形態５のファンフィルターユニットの部分詳細図
【図６】本発明の実施の形態６のファンフィルターユニットの部分詳細図
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の請求項１記載の発明は、箱形状のチャンバーのチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの吹出側に吹出面が長方形のフィルタを配設し、前記フィルタの吹出側の外周に沿って支持枠を配設し、この支持枠には、向かい合った一対の辺の内部にスライドガイドを配設し、このスライドガイドを渡すように支持金具を設け、この支持金具の任意の位置にセンサーを位置させる固定具を備え、前記支持金具は、前記スライドガイドの接触面のみ水平面とし、その面に接続するように垂直方向下方へ固定具の取付面を設けたものであり、ファンフィルターユニット吹出側における風速代表位置等にセンサーを取付けることが可能となり、必要に応じて位置を変更することが可能であるという作用を有する。
【００１６】
また、支持金具の固定部を、長穴形状としたものであり、任意位置にセンサーを移動及び配設できるという作用を有する。
【００１７】
また、スライドガイドと支持金具との固定ボルトを、回転固定具としたものであり、支持金具とスライドガイドとの固定着脱が容易であるという作用を有する。
【００１８】
また、センサー近傍に発光ダイオードを配設したものであり、装置下方等よりセンサー位置が認識できるという作用を有する。
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２０】
（実施の形態１）
図１に示すように、第１の実施の形態のファンフィルターユニットは、ターボ型のファン２とモーター３からなるファンユニット４を箱形状のチャンバー５に内蔵されている。ファンユニット４の吹出側となる下方にはフィルタ６を設け、モーター３を中心に支持し、チャンバー５より支持される形状としたサポート７によりファンユニット４を固定する。フィルタ６の吹出側となる下方には、内側にコ型に曲げられフィルタ６の外枠に接合するように設けられた箱型形状の支持枠８を設け、支持枠８の向かい合った一対の辺の内側にレール状のスライドガイド９が設けられる。この一対のスライドガイド９上を渡り、上面に複数の穴があけられている支持金具１０が設置される。この支持金具１０の上面に接合されるＺ形状した固定具１１の垂直方向面の穴にセンサー１２を固定し、固定具１１は支持金具１０の垂直方向面の穴にセンサー１２を貫通して水平方向面で任意の位置に固定する。支持枠８の吹出面の外周部には、吹出側の空間の気密性を保つためにガスケット１３を貼り付ける。
【００２１】
上記構成において、ファンユニット４を運転することによって、吸込口１より空気が吸込まれ、チャンバー５内に送り込まれる。そのファンユニット４から吹出された気流はフィルタ６を通過し、固定された任意位置でのセンサー１２を通過しセンシングされる。このセンサー１２は、支持枠８内をスライドガイド９に沿い支持金具１０と共に水平方向の任意位置へ移動する。また、支持金具１０と平行に固定具１１と共に移動可能で、全体的に希望位置へセンサーを配置できる。
【００２２】
また、スライドガイド９を支持枠８の向かい合った一対の辺の内側に設けたレールに装着されることを特長とすることにより、移動がスムースで簡単に位置変更できる機構を形成できる。
【００２３】
また、支持枠８、スライドガイド９、支持金具１０、固定具１１の材質としてステンレスを使用することにより、塗装品の塗料からの揮発成分の発生を抑止でき、クリーンルームなどの用途に適したファンフィルターユニットが得られる。また、鋼材の強度が増し、腐食しにくく耐久性が向上する。
【００２４】
また、有機溶剤などの薬液を含む雰囲気においては金属材料は腐食されやすい為、支持枠８、スライドガイド９、支持金具１０、固定具１１の材質として樹脂材料を使用する。また、ガスケット１３の材質としても腐食されにくいフッ素ゴム・フッ素樹脂を使用し、腐食されにくい構造体を形成できる。
【００２５】
また、ファンフィルターユニットにおいて支持枠８を含む構造体が追加されることにより質量が増加される。これを支持している架台への質量負担を軽減すべく支持枠８、スライドガイド９、支持金具１０、固定具１１の材質をアルミを使用することにより、軽量化が図られ、金属材料より耐食性の良いファンフィルターユニットが得られる。
【００２６】
（実施の形態２）
図２に示すように、支持金具１０のスライドガイドの接触面のみ水平面とし、その面に接続するように垂直方向下方へ固定具の取付面をもつ形状としている。
【００２７】
上記構成において、上方から下方へ流れる場合の構造抵抗を低減することにより、圧力損失が低く、吹出空気の流れをスムースにすることができる。
【００２８】
（実施の形態３）
図３に示すように、支持金具１０の垂直方向面の固定を長穴形状としている。
【００２９】
上記構成において、任意位置にセンサー１２を連続移動及び配置させることが可能となる。
【００３０】
また、スライドガイド９と支持金具１０との固定は隙間が狭いため、回転固定具１４を使用することによりワンタッチで固定することが可能となり、省空間において簡単で容易に固定が可能となり、固定時間が短縮される。
【００３１】
（実施の形態４）
図４に示すように、フィルタ下面の対辺に接する面を持ち、その面に接続するように垂直方向下方へ固定具１１の取付面をもつ形状の支持金具１０をフィルタ下面の任意位置に直接配置する。
【００３２】
上記構成において、支持枠８等が不要となり、部品点数が少なく小型化が可能となる。
【００３３】
（実施の形態５）
図５に示すように、固定具１１の垂直方向に風速センサー１５を圧接固定ナット１６で水平方向にワンタッチで固定し、支持金具１０に乗せて固定される。
【００３４】
上記構成において、風速センサー１５は簡単に固定することが可能となり、装置内状況を確認する為に比較的安価で風量等をセンシングすることが可能となる。
【００３５】
また、風速センサー１５の代替として圧力センサーを使用することにより、圧力値の特性を活かし、装置内各点での数値ばらつきが少なく、測定精度の高い測定が可能となる。
【００３６】
（実施の形態６）
図６に示すように、固定具１１に発光ダイオード１７を下方に向けて固定している。
【００３７】
上記構成において、発光ダイオード１７を点灯させ、装置下方から内部を見た場合に発光ダイオード１７の位置が認識でき、センサー位置を一目で認識することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
風路内の状況把握するセンサーを任意（希望）位置へ配置させつつ、ファンフィルターユニット下方に一体化させることにより、ばらばらなセッティングが不要となり、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とし、省施工を必要とするクリーンルームや製造装置に適用できる。
【符号の説明】
【００３９】
１    吸込口
２    ファン
３    モーター
４    ファンユニット
５    チャンバー
６    フィルタ
７    サポート
８    支持枠
９    スライドガイド
１０  支持金具
１１  固定具
１２  センサー
１３  ガスケット
１４  回転固定具
１５  風速センサー
１６  圧接固定ナット
１７  発光ダイオード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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