(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ本体と一体となった電源装置を備えた真空ポンプにおいて、
前記ポンプ本体および前記電源装置の内部に冷媒を流通させる冷媒路と、
前記ポンプ本体および前記電源装置の内部における前記冷媒路内の冷媒流量を調整するバルブと、
前記電源装置の内部の結露を検出する結露センサと、
前記バルブの開閉を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記結露センサが前記電源装置の内部の結露を検出すると、前記真空ポンプの運転を停止させてから前記バルブを全閉させることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
ポンプ本体と一体となった電源装置を備えた真空ポンプにおいて、
前記ポンプ本体および前記電源装置の内部に冷媒を流通させる冷媒路と、
前記ポンプ本体および前記電源装置の内部における前記冷媒路内の冷媒流量を調整するバルブと、
前記電源装置の内部の結露を検出する結露センサと、
前記結露センサが前記電源装置の内部の結露を検出している時間を積算し、前記結露センサが前記電源装置の内部の結露を検出していない時間を前記積算した時間から減算して結露発生時間を計時する計時手段と、
前記結露の発生を報知する報知手段と、
前記バルブの開閉を制御する制御手段とを備え、
前記報知手段は、前記計時手段により計時された時間が第１閾値を越えると、結露を報知し、
前記制御手段は、前記計時手段により計時された時間が第２閾値（＞第１閾値）を越えると、前記真空ポンプの運転を停止させてから前記バルブを全閉させることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項３】
ポンプ本体と一体となった電源装置を備えた真空ポンプにおいて、
前記ポンプ本体および前記電源装置の内部に冷媒を流通させる冷媒路と、
前記ポンプ本体および前記電源装置の内部における前記冷媒路内の冷媒流量を調整するバルブと、
前記電源装置の内部の結露を検出する結露センサと、
前記結露センサが前記電源装置の内部の結露を検出している時間を積算し、前記結露センサが前記電源装置の内部の結露を検出していない時間を前記積算した時間から減算して結露発生時間を計時する計時手段と、
前記電源装置の内部の温度を計測する温度センサと、
前記バルブの開閉を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記計時手段により計時された時間が第１閾値を越えると、前記温度センサにより計測された前記電源装置の内部の温度が所定温度より高くならない範囲で前記冷媒流量を低減し、前記計時手段により計時された時間が第２閾値（＞第１閾値）を越えると、前記真空ポンプの運転を停止させてから前記バルブを全閉させることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、
前記電源装置の電源がオフ状態であるとき、前記バルブが全閉することを特徴とする真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電源装置と一体化された、あるいは電源装置を近傍に備えた真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプにおいて、ターボ分子ポンプ本体とその電源装置とを一体化したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、ポンプ内部に生成物が付着しやすいガスを排気する場合には、ターボ分子ポンプ本体にヒータや冷却装置を設けて、ターボ分子ポンプ本体の温度を７０℃程度の高温にコントロールして使用する方法が知られている。
【０００３】
電源装置は発熱源であるコンバータやインバータを有しているため、冷却が必要である。クリーンな環境で使用されるターボ分子ポンプの場合、ファン冷却よりも冷却水を用いた冷却が好ましく、引用文献１に記載のターボ分子ポンプでは冷却水を用いた冷却ジャケットによりターボ分子ポンプ本体と電源装置とを冷却するようにしている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１７３２９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、通常、電源装置は半密閉型構造となっているので、電源装置内部の露点温度は外気と同じになっている。ターボ分子ポンプ本体は高温に保持されているため、電源装置周囲の温度は比較的暖かく、一方、電源装置そのものは冷却ジャケットで冷却されているので比較的低温に保たれている。そのため、電源装置の温度が周囲の露点温度よりも低くなって結露が発生しやすい。電源装置の内部で結露が発生すると、回路のショートなどによって電源装置に誤動作が生じる場合がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）請求項１の発明は、ポンプ本体と一体となった電源装置を備えた真空ポンプにおいて、ポンプ本体および電源装置の内部に冷媒を流通させる冷媒路と、ポンプ本体および電源装置の内部における冷媒路内の冷媒流量を調整するバルブと、電源装置の内部の結露を検出する結露センサと、バルブの開閉を制御する制御手段とを備え、制御手段は、結露センサが電源装置の内部の結露を検出すると、真空ポンプの運転を停止させてからバルブを全閉させることを特徴とする。
（２）請求項２の発明は、ポンプ本体と一体となった電源装置を備えた真空ポンプにおいて、ポンプ本体および電源装置の内部に冷媒を流通させる冷媒路と、ポンプ本体および電源装置の内部における冷媒路内の冷媒流量を調整するバルブと、電源装置の内部の結露を検出する結露センサと、結露センサが電源装置の内部の結露を検出している時間を積算し、結露センサが電源装置の内部の結露を検出していない時間を積算した時間から減算して結露発生時間を計時する計時手段と、結露の発生を報知する報知手段と、バルブの開閉を制御する制御手段とを備え、報知手段は、計時手段により計時された時間が第１閾値を越えると、結露を報知し、制御手段は、計時手段により計時された時間が第２閾値（＞第１閾値）を越えると、真空ポンプの運転を停止させてからバルブを全閉させることを特徴とする。
（３）請求項３の発明は、ポンプ本体と一体となった電源装置を備えた真空ポンプにおいて、ポンプ本体および電源装置の内部に冷媒を流通させる冷媒路と、ポンプ本体および電源装置の内部における冷媒路内の冷媒流量を調整するバルブと、電源装置の内部の結露を検出する結露センサと、結露センサが電源装置の内部の結露を検出している時間を積算し、結露センサが電源装置の内部の結露を検出していない時間を積算した時間から減算して結露発生時間を計時する計時手段と、電源装置の内部の温度を計測する温度センサと、バルブの開閉を制御する制御手段とを備え、制御手段は、計時手段により計時された時間が第１閾値を越えると、温度センサにより計測された電源装置の内部の温度が所定温度より高くならない範囲で冷媒流量を低減し、計時手段により計時された時間が第２閾値（＞第１閾値）を越えると、真空ポンプの運転を停止させてからバルブを全閉させることを特徴とする。
（４）請求項４の発明は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、電源装置の電源がオフ状態であるとき、バルブが全閉することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
（１）本発明によれば、電源装置と真空ポンプ本体を共通する冷媒路を流れる冷媒で冷却する構成を採用する場合、結露が発生したとき、真空ポンプの運転を停止してから冷媒の流通を停止するので、真空ポンプの耐久性を損なうことがない。
（２）請求項２の発明によれば、結露発生をユーザに報知することができ、結露発生の報知後、さらに結露発生が続く場合は、真空ポンプの運転を停止してから冷媒の流通を停止するようにした。したがって、ユーザが結露対策を行わない場合でも、真空ポンプの耐久性を損なうことがない。
（３）請求項３の発明によれば、結露発生がある程度継続したとき、電源装置内部の温度の上限を規制しつつ冷媒流量を低減して結露発生を抑制させるようにし、さらに、結露発生が続く場合は、真空ポンプの運転を停止してから冷媒の流通を停止するようにした。したがって、真空ポンプの耐久性を損なうことなく、結露による真空ポンプの停止頻度を少なくできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
−第１の実施の形態−
以下、図を参照して本発明を実施するための第１の実施の形態について説明する。図１は、本発明による第１の実施の形態におけるターボ分子ポンプ１の構成を示す図である。ターボ分子ポンプ１は、ポンプ本体２と電源装置３とからなる。ホンプ本体２と、電源装置３とは物理的に結合され、一体化されている。
【０００９】
ポンプ本体２は、不図示の、回転翼が形成されたロータと、ロータを回転駆動するモータと、ロータを磁気浮上支持する磁気受軸とを備えている。また、ポンプ本体２はヒータを用いた不図示の加熱装置と、冷却水路４とを備える。冷却水路４は、ポンプ本体内部に冷却水を流すための水路である。加熱装置による加熱と、冷却水による冷却とにより、ポンプ本体２の温度は、高温（たとえば、５０〜７０℃）に保持される。また、冷却水路４を通じて流れる冷却水により、ロータを回転駆動するモータや磁気受軸が冷却される。
【００１０】
電源装置３は、ポンプ本体２におけるモータや磁気受軸の駆動制御を行う。電源装置３は、冷却水路５と、冷却水バルブ６と、結露センサ７と、ＣＰＵ（中央処理装置）８とを備える。冷却水路５は、電源装置内部に冷却水を流通させるための水路である。冷却水バルブ６は、冷却水路５を流れる冷却水の流量を制御するための電磁バルブである。冷却水バルブ６を開くと、冷却水路５を通じて冷却水が電源装置内部に流れ、冷却水バルブ６を閉じると、電源装置内部への冷却水の流通が止まる。
【００１１】
結露センサ７は、電源装置内部の結露を検出するためのセンサである。結露センサ７としては、たとえば電気抵抗式のものや、水晶振動子式のものを用いる。結露センサ７は、結露を検出しているときに結露検出信号をＣＰＵ８に出力し、結露を検出していないときに結露不検出信号をＣＰＵ８に出力する。ＣＰＵ８は、結露センサ７から出力される信号に基づいて、冷却水バルブ６の開閉を制御する制御装置である。
【００１２】
次に、本発明の第１の実施の形態における冷却水バルブ６の開閉処理について、図２のフローチャートを参照して説明する。図２の処理は、電源装置３の電源がオン状態になるとスタートするプログラムにより、ＣＰＵ８において実行される。
【００１３】
ステップＳ２０１では、結露センサ７から出力される信号に基づいて、結露センサ７が結露を検出したか否かを判定する。結露センサ７が結露を検出した場合はステップＳ２０１が肯定判定され、ステップＳ２０２へ進む。ステップＳ２０２では、冷却水バルブ６を閉にして、ステップＳ２０３へ進む。結露センサ７が結露を検出しない場合はステップＳ２０１が否定判定され、ステップＳ２０５へ進む。ステップＳ２０５では、冷却水バルブ６を開にして、ステップＳ２０３へ進む。
【００１４】
ステップＳ２０３では、電源装置３の電源がオフ状態であるか否かを判定する。電源装置３の電源がオフ状態でない場合はステップＳ２０３が否定判定され、ステップＳ２０１に戻る。電源装置３の電源がオフ状態である場合はステップＳ２０３が肯定判定され、ステップＳ２０４へ進む。ステップＳ２０４では、冷却水バルブ６を閉にする。そして、冷却水バルブ６の開閉制御の処理を終了する。
【００１５】
以上の第１の実施の形態は次のような作用効果を奏する。
（１）電源装置３の内部に結露センサ７を設置し、結露センサ７が結露を検出すると、電源装置３を冷却するための冷却水の流れを停止するようにした。これにより、電源装置３の内部に発生した結露は、電源装置３から発生する熱により消滅し、結露が原因で発生する電源装置３の誤動作を防止することができる。
【００１６】
（２）電源装置３の電源がオフ状態のとき、電源装置３を冷却するための冷却水の流れを停止するようにした。これにより、電源装置３の停止中に、電源装置３の内部に結露が発生するのを未然に防止することができる。電源装置３の停止中は、結露センサ７により結露を検出できず、また電源装置３から熱が発生しないので、発生した結露を消滅できないからである。
【００１７】
−第２の実施の形態−
以下、図を参照して本発明を実施するための第２の実施の形態について説明する。第１の実施の形態と異なる部分を主に説明する。第２の実施の形態は、ポンプ本体２と電源装置３とを共通の冷却水路９を流れる冷却水で冷却するとともに、ターボ分子ポンプの運転状態に応じて冷却水バルブ６を制御する。図３は、本発明による第３の実施の形態におけるターボ分子ポンプ１Ａの構成を示す図である。冷却水バルブ６の開閉により、電源装置内部のみならず、ポンプ本体内部に流れる冷却水の流量も制御される。つまり、冷却水バルブ６を開くと、冷却水路９を通じて冷却水が電源装置内部およびポンプ本体内部を流れ、冷却水バルブ６を閉じると、電源装置内部およびポンプ本体内部への冷却水の流れが停止する。
【００１８】
次に、本発明の第２の実施の形態における冷却水バルブ６の開閉処理について、図４のフローチャートを参照して説明する。図４の処理は、電源装置３の電源がオン状態になるとスタートするプログラムにより、ＣＰＵ８において実行される。本発明の第１の実施の形態における冷却水バルブ６の開閉処理と同じ処理のステップについては同じ符号を付し、本発明の第１の実施の形態における冷却水バルブ６の開閉処理と異なる部分を主に説明する。
【００１９】
ステップＳ２０１が肯定判定されると、ステップＳ４０１へ進む。ステップＳ４０１では、ＴＭＰ（ターボ分子ポンプ１）が運転中であるか否かを判定する。ＴＭＰが運転中でない場合はステップＳ４０１が否定判定され、ステップＳ２０２へ進む。ＴＭＰが運転中である場合はステップＳ４０１が肯定判定され、ステップＳ４０２へ進む。
【００２０】
ステップＳ４０２では、高速回転しているロータの大きなトルクがポンプ本体２に急にかからないようにするためにロータの回転速度を減速させる保護動作を行う。そして、ステップＳ４０１に戻る。
【００２１】
以上の第２の実施の形態は次のような作用効果を奏する。
電源装置３の内部に結露センサ７を設置し、結露センサ７が結露を検出した場合、真空ポンプ本体２のロータを減速させて、ロータを停止させた後に（ターボ分子ポンプ１の運転を停止させた後に）、電源装置３を冷却するための冷却水の流れを停止するようにした。これにより、ポンプ本体２の温度の上昇を防止してポンプ本体２の耐久性を損なわないようにするとともに、結露が原因で発生する電源装置３の誤動作を防止することができる。
【００２２】
−第３の実施の形態−
以下、図を参照して本発明を実施するための第３の実施の形態について説明する。第２の実施の形態と異なる部分を主に説明する。図５は、本発明による第３の実施の形態におけるターボ分子ポンプ１Ｂの構成を示す図である。ところで、結露センサ７が結露を検出してから、結露が進行して、電源装置３の動作不良が発生するまでには、数十分程度かかる。その間に、冷却水の流量を少なくしたり、冷却水の温度を上昇させたりすれば、ターボ分子ポンプの運転を停止させないで、電源装置内部の結露を解消することができる。そこで、第３の実施の形態では、ユーザが電源装置内部の結露に対して対応を取れるようにするため、電源装置内部の結露発生をユーザに報知する。
【００２３】
第３の実施の形態におけるターボ分子ポンプ１Ｂでは、第２の実施の形態におけるターボ分子ポンプ１Ａの構成のほかに、電源装置３に結露カウンタ１０と表示装置１１とを備える。結露カウンタ１０は、結露が発生している時間を計時する装置である。ＣＰＵ８は、結露センサ７が結露を検出している間、結露カウンタ１０の時間を積算させ、結露センサ７が結露を検出していない間、結露カウンタ１０の時間を減算させる。たとえば、結露センサが結露を検出してから１０分経過すると、結露カウンタ１０が計時した時間は１０分となり、その後、結露センサが結露を５分間検出しないと、結露カウンタ１０が計時した時間は、１０分−５分＝５分となる。結露カウンタ１０は、負の時間はとらないように構成されている。表示装置１１は、表示画面に「結露異常」の表示を行い、電源装置内部の結露発生をユーザに報知する装置である。
【００２４】
次に、本発明の第３の実施の形態における冷却水バルブ６の開閉処理について、図６のフローチャートを参照して説明する。図６の処理は、電源装置３の電源がオン状態になるとスタートするプログラムにより、ＣＰＵ８において実行される。本発明の第２の実施の形態における冷却水バルブ６の開閉処理と同じ処理のステップについては同じ符号を付し、本発明の第２の実施の形態における冷却水バルブ６の開閉処理と異なる部分を主に説明する。
【００２５】
ステップＳ６０１では、結露カウンタ１０をゼロリセットする。そして、ステップＳ２０１へ進む。ステップＳ２０１が肯定判定されると、ステップＳ６０２へ進み、結露カウンタ１０を積算して、ステップＳ６０３へ進む。ステップＳ２０１が否定判定されると、ステップＳ６０６へ進み、結露カウンタを減算して、ステップＳ６０３へ進む。
【００２６】
ステップＳ６０３では、結露カウンタ１０の時間が第１閾値を越えたか否かを判定する。第１閾値は、たとえば、１分である。結露カウンタ１０の時間が第１閾値を越えた場合はステップＳ６０３が肯定判定され、ステップＳ６０４へ進む。結露カウンタ１０の時間が第１閾値を越えていない場合はステップＳ６０３が否定判定され、ステップＳ２０５へ進む。
【００２７】
ステップＳ６０４では、結露カウンタ１０の時間が第２閾値を越えたか否かを判定する。第２閾値は第１閾値より大きな値であり、閾値２は、たとえば、２０分である。結露カウンタ１０の時間が第２閾値を越えた場合はステップＳ６０４が肯定判定され、ステップＳ４０１へ進む。結露カウンタ１０の時間が第２閾値を越えていない場合はステップＳ６０４が否定判定され、ステップＳ６０５へ進む。ステップＳ６０５では、表示装置１１の表示画面に「結露異常」を表示する。そして、ステップＳ２０５へ進む。
【００２８】
以上の第３の実施の形態は、第２の実施の形態と同様の作用効果のほかに、次のような作用効果を奏する。
（１）電源装置内部の結露発生をユーザに報知するようにした。これにより、ユーザは、ポンプ本体内部を流通する冷却水を止めることなく、電源装置内部の結露を解消する措置をとることができる。電源装置内部の結露を解消する措置としては、たとえば、冷却水路９を流れる冷却水の流量を小さくしたり、冷却水の水温を上げたりするなどの措置がある。冷却水の流量を調整する場合、冷却水バルブ６には流量調整バルブを用いる。
【００２９】
（２）結露センサ７の結露検出／非検出により結露発生時間を積算および減算する結露カウンタ１０の計測時間が第１閾値を越えると、電源装置内部の結露発生をユーザに報知するようにした。これにより、適切なタイミングで電源装置内部の結露発生をユーザに報知することができる。たとえば、結露センサ７が結露発生を第１の閾値の時間検出した後、電源装置内部の結露発生をユーザに報知することにより、結露の誤検出による報知を防止することができる。
【００３０】
（３）結露センサ７の結露検出／非検出により結露発生時間を積算および減算する結露カウンタ１０の計測時間が第２閾値（＞第１閾値）を越えると、冷却水バルブ６を強制的に閉じるようにした。これにより、ユーザの電源装置内部の結露を解消する措置が結露進行に間に合わない場合や、ユーザの電源装置内部の結露を解消する措置では電源装置内部の結露を解消できなかった場合でも、結露発生による電源装置３の動作不良が発生するのを防止することができる。
【００３１】
−第４の実施の形態−
以下、図を参照して本発明を実施するための第４の実施の形態について説明する。第３の実施の形態と異なる部分を主に説明する。図７は、本発明による第４の実施の形態におけるターボ分子ポンプ１Ｃの構成を示す図である。第４の実施の形態におけるターボ分子ポンプ１Ｃの構成は、電源装置３に温度センサ１２を備える点で第３の実施の形態におけるターボ分子ポンプ１Ｂの構成と異なる。温度センサ１２は、電源装置内部の温度を計測し、計測結果をＣＰＵ８に出力する。また、冷却水バルブ６には流量調整バルブを用いる。
【００３２】
次に、本発明の第４の実施の形態における冷却水バルブ６の開閉処理について、図８のフローチャートを参照して説明する。図８の処理は、電源装置３の電源がオン状態になるとスタートするプログラムにより、ＣＰＵ８において実行される。本発明の第３の実施の形態における冷却水バルブ６の開閉処理と同じ処理のステップについては同じ符号を付し、本発明の第３の実施の形態における冷却水バルブ６の開閉処理と異なる部分を主に説明する。
【００３３】
ステップＳ６０３が否定判定されると、ステップＳ８０１へ進む。ステップＳ８０１では、冷却水バルブ６を全開にする。そして、ステップＳ２０３へ進む。
【００３４】
ステップＳ６０４が否定判定されると、ステップＳ８０２へ進む。ステップＳ８０２では、温度センサ１２によって電源装置内部の温度を計測する。ステップＳ８０３では、温度センサ１２により計測された温度に基づいて、電源装置内部の温度が所定温度より高いか否かを判定する。所定温度とは、たとえば、電源装置３が安定的に動作する電源装置の内部温度の上限温度である。電源装置内部の温度が所定温度より高い場合はステップＳ８０３が肯定判定され、ステップＳ８０４へ進む。電源装置内部の温度が所定温度以下の場合はステップＳ８０３が否定判定され、ステップＳ８０５へ進む。
【００３５】
ステップＳ８０４では、冷却水バルブ６の開度を所定値だけ大きくして、ステップＳ２０３へ進む。ステップＳ８０５では、冷却バルブ６の開度が所定開度より大きいか否かを判定する。所定開度とは、ポンプ本体２の冷却に少なくとも必要な冷却水の流量を確保できる冷却水バルブ６の開度である。冷却バルブ６の開度が所定開度より大きい場合はステップＳ８０５が肯定判定され、ステップＳ８０６へ進む。冷却バルブ６の開度が所定開度以下の場合はステップＳ８０５が否定判定され、ステップＳ２０３へ進む。ステップＳ８０６では、冷却水バルブ６の開度を所定値だけ小さくして、ステップＳ２０３へ進む。ステップＳ８０５の判定処理により、冷却水バルブ６の開度の下限値は所定開度で制限される。これにより、ポンプ本体２の温度上昇を防止することができる。
【００３６】
ステップＳ４０１が否定判定されると、ステップＳ８０７へ進み、冷却水バルブ６を全閉させて、ステップＳ２０３へ進む。ステップＳ２０３が肯定判定されると、ステップＳ８０８へ進み、冷却水バルブ６を全閉させて、冷却バルブ６の開閉処理を終了する。
【００３７】
以上の第４の実施の形態は、第２の実施の形態の作用効果のほかに次のような作用効果を奏する。
（１）電源装置内部に結露が発生すると、電源装置内部およびポンプ本体内部を流通する冷却水の流量を調整するようにした。これにより、ポンプ本体内部を流通する冷却水を止めることなく、電源装置内部の結露を解消する措置をとることができる。
【００３８】
（２）結露センサ７の結露検出／非検出により結露発生時間を積算および減算する結露カウンタ１０の計測時間が第１閾値を越えると、冷却水の流量調整を開始するようにした。これにより、適切なタイミングで冷却水の流量調整を開始することができる。たとえば、結露センサ７が結露発生を第１閾値の時間検出した後、冷却水の流量調整を開始することにより、結露誤検出による流量調整の開始を防止することができる。
【００３９】
（３）結露センサ７の結露検出／非検出により結露発生時間を積算および減算する結露カウンタ１０の計測時間が第２閾値（＞第１閾値）を越えると、冷却水バルブ６を強制的に全閉させるようにした。これにより、冷却水の流量調整では電源装置内部の結露を解消できなかった場合でも、結露発生による電源装置３の動作不良が発生するのを防止することができる。
【００４０】
以上の実施形態の真空ポンプを次のように変形することができる。
（１）第１〜第３の実施の形態における冷却水バルブ６の開閉処理のステップＳ２０２、および第４の実施の形態における冷却水バルブ６の開閉処理のステップＳ８０６では、電源装置内部における冷却水の流れを停止させた。しかし、電源装置内部における冷却水の流れを止める代りに、冷却水の流量を減少させるようにしてもよい。冷却水の流量が減少することによって、冷却水による電源装置内部の冷却効果が小さくなり、電源装置３の内部に発生した結露は、電源装置３から発生する熱により消滅するからである。
【００４１】
（２）第３の実施の形態では、表示装置１１の表示によって、電源装置内部の結露発生をユーザに報知した。しかし、電源装置内部の結露発生をユーザに報知できれば、表示装置１１の表示に限定されない。たとえば、スピーカからの音声によって報知するようにしてもよい。
【００４２】
（３）ポンプ本体２および電源装置３を冷却する冷媒は、ポンプ本体２および電源装置３を冷却できれば冷却水に限定されない。なお、特許請求の範囲の請求項１〜３は、それぞれ、第２の実施の形態〜第４の実施の形態に対応するものである。
【００４３】
以上の説明はあくまで一例であり、発明は、上記の実施形態に何ら限定されるものではない。したがって、ターボ分子ポンプ１に限定されず、電源装置と一体化された、あるいは電源装置を近傍に備えた真空ポンプにも本発明を適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明による第１の実施の形態におけるターボ分子ポンプの構成を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態における冷却水バルブの開閉処理を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明による第２の実施の形態におけるターボ分子ポンプの構成を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態における冷却水バルブの開閉処理を説明するためのフローチャートである。
【図５】本発明による第３の実施の形態におけるターボ分子ポンプの構成を示す図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態における冷却水バルブの開閉処理を説明するためのフローチャートである。
【図７】本発明による第４の実施の形態におけるターボ分子ポンプの構成を示す図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態における冷却水バルブの開閉処理を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００４５】
１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ：ターボ分子ポンプ、２：ポンプ本体、３：電源装置、 
４，５，９：冷却水路、６：冷却水バルブ、７：結露センサ、８：ＣＰＵ、
１０：結露カウンタ、１１：表示装置、１２：温度センサ
【図１】
0005104334.tif 000002
【図２】
0005104334.tif 000003
【図３】
0005104334.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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