(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）柔軟性および透光性を有するシート部材を挟んだ両側に設けられた、該シート部材を共有の構成部材とする第一の密閉空間および第二の密閉空間のうち前記第一の密閉空間内に、一対の透光性基板がＵＶ硬化性および熱硬化性を有するシール材、および前記シール材で囲まれた領域内に位置する液晶材料を挟んで第１のセルギャップを保持して貼り合わされてなる一次仮固定貼り合わせ基板を載置する工程と、
（２）前記第二の密閉空間内を減圧して前記シート部材を前記第二の密閉空間側に加圧する工程と、
（３）前記第一の密閉空間内を前記第二の密閉空間内よりも高い圧力まで減圧して前記シート部材の前記第二の密閉空間側に対する加圧を保持するする工程と、
（４）前記第二の密閉空間内の圧力を前記第一の密閉空間内の圧力よりも高くして前記シート部材を前記第一の密閉空間側に加圧し、前記加圧されたシート部材で前記一次仮固定貼り合わせ基板を加圧して前記第１のセルギャップより狭い第２のセルギャップを有する二次仮固定貼り合わせ基板とする工程と、
（５）前記第一の密閉空間内の圧力を高くして該第一の密閉空間内と前記第二の密閉空間内を同一圧力とし、前記二次仮固定貼り合わせ基板の前記透光性基板間に位置する前記シール材にＵＶを照射することによって仮固定液晶表示パネルとする工程と、
（６）前記仮固定液晶表示パネルの前記シール材を加熱することによって前記仮固定液晶表示パネルを本固定液晶表示パネルとすることを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記（１）の工程において、前記シート部材は断面形状が複数の独立した凹凸形状を呈していることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記（４）の工程において、前記第二の密閉空間内の圧力を大気圧とすることを特徴とする請求項１または２のいずれか１項に記載の液晶表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記（５）の工程において、前記シール材に照射されるＵＶは、前記第二の密閉空間内に配設されたＵＶランプから放射されて少なくとも前記シート部材を透過したものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液晶表示パネルの製造方法。
【請求項５】
前記（６）の工程において、前記シール材の加熱はホットプレスによるものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液晶表示パネルの製造方法。
【請求項６】
柔軟性および透光性を有するシート部材と、
前記シート部材の一方の側に位置する基台部と、
前記シート部材の他方の側に位置する光源部を備え、
前記基台部と前記光源部が前記シート部材を介して当接することにより、前記基台部と前記シート部材で減圧可能な第一の密閉空間、前記光源部と前記シート部材で減圧可能な第二の密閉空間が夫々形成され、
前記第一の密閉空間内に載置された、一対の透光性基板がＵＶ硬化性および熱硬化性を有するシール材、および前記シール材で囲まれた領域内に位置する液晶材料を挟んで第１のセルギャップを保持して貼り合わされてなる一次仮固定貼り合わせ基板を、前記第二の密閉空間内の圧力を前記第一の密閉空間内の圧力よりも低くした後に前記第二の密閉空間内の圧力を前記第一の密閉空間内の圧力よりも高くすることにより前記第一の密閉空間側に加圧された前記シート部材で前記一次仮固定貼り合わせ基板を加圧して前記第１のセルギャップより狭い第２のセルギャップを有する二次仮固定貼り合わせ基板とし、その後前記第一の密閉空間および前記第二の密閉空間を同一圧力にして前記二次仮固定貼り合わせ基板の前記透光性基板間に位置する前記シール材にＵＶを照射することによって仮固定液晶表示パネルとすることを特徴とする液晶表示パネルの製造装置。
【請求項７】
前記光源部は開口および吸・排気孔を有するランプハウス内に前記開口から離れた位置から開口に向かって順次ＵＶランプ、ＵＶランプからの輻射熱を遮断する熱線カットフィルタ、開閉自在のシャッタおよび複数の貫通孔を設けた上盤を有し、前記基台部は吸・排気孔を有するステージからなり、前記光源部と前記基台部は夫々に設けられたＯリング同士が前記シート部材を介して当接することを特徴とする請求項６に記載の液晶表示パネルの製造装置。
【請求項８】
前記ＵＶ照射は前記上盤を取り去った後に前記ＵＶランプから前記熱線カットフィルタ、前記シャッタの開いた部分および前記シート部材を通して前記一対の透光性基板のシール材に照射されることを特徴とする請求項７に記載の液晶表示パネルの製造装置。
【請求項９】
前記第一の密閉空間および前記第二の密閉空間には少なくとも夫々前記第一の密閉空間内および前記第二の密閉空間内の到達圧力を制御するための圧力調整用バルブが設けられていることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載の液晶表示パネルの製造装置。
【請求項１０】
前記シート部材は断面形状が複数の独立した凹凸形状を呈していることを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載の液晶表示パネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルの製造方法および製造装置に関するものであり、詳しくは、ＯＤＦ(One Drop Fill)方式による液晶表示パネルの製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネルの製造方法の１つとして、ＯＤＦ(One Drop Fill)方式による方法がある。以下、ＯＤＦ方式に関して従来提案されている具体例を図９を参照して説明する。それは、一対の基板（例えば、ガラス基板）の一方（下側基板５０）に紫外線硬化型シール材５１を閉環状に塗布し、シール材５１で囲まれた領域に球状のスペーサを散布すると共に、液晶材料５２を滴下する。
【０００３】
そして、この基板５０を真空チャンバー５３内に基板５０面と平行方向に移動可能に支持された位置決めテーブル５４上に弾性シート５５を介して載置固定する。一方、一対の基板の他方（上側基板５６）を同様に真空チャンバー５３内に基板５６面と垂直方向に移動可能に支持された吸着盤５７に吸着固定する。
【０００４】
そして、真空チャンバー５３内を真空排気して所定の真空度に到達した後、吸着盤５７を降下させて下側基板５０上のシール材５１および液晶材料５２が上側基板５６に接触する手前の位置で停止させ、対向する上側基板５６と下側基板５０のアライメントマークの位置関係を位置決めテーブル５４を移動させることによって調整し、両基板５０、５６の粗いアライメント処理を行なう。
【０００５】
次に、真空チャンバー５３内を更に真空排気して所定の真空度まで高めた後、更に吸着盤５７を降下させて上側基板５６を下側基板５０側に加圧し、上側基板５６と下側基板５０の間のセルギャップが球状のスペーサで保持された状態に維持する。このとき、両基板５０、５６間では下側基板５０上のシール材５１が押潰されて同様に押潰された液晶材料５２がシール材５１と両基板５０、５６とで囲まれた領域に流動拡散され、領域全体が液晶材料５２で満たされる。
【０００６】
次に、真空チャンバー５３内に吸気して真空チャンバー５３内を大気圧に戻し、大気圧中で対向する上側基板５６と下側基板５０のアライメントマークの位置関係を位置決めテーブル５４を移動させることによって調整し、両基板５０、５６の精密なアライメント処理を行なう。そして、最後にアライメント処理が施された一対の基板５０、５６に紫外線を照射してシール材５１を硬化させ、液晶表示パネルの製造工程（貼り合わせ工程）が完了する（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００２−２９６６０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、液晶表示パネルは、採用されるテレビ、ビデオ、ＤＶＤ、コンピュータ等の液晶モニタの大型化に伴ってそれに対応すべく大型化を実現する必要があり、そのためには製造工程で取り扱うガラス基板の大型化が欠かせない。それと共に小型・中型の液晶表示パネルを製造するにあたっても生産効率を向上させるために多数個取りガラス基板の大型化も同様に欠かせないものである。
【０００８】
製造工程で取り扱われるガラス基板の大きさは、液晶パネルの開発当初を液晶の第1世代とすると約３００ｍｍ×３００ｍｍであったものが、現在の液晶世代である第６世代では約１５００ｍｍ×１８００ｍｍであり、今後の第７世代においては約１８００ｍｍ×２０００ｍｍまでなるであろうと予測される。
【０００９】
ガラス基板の大型化には製造装置の大型化が必要であり、上記提案された従来例の製造装置においても当然大型化が要求されるが、この場合、製造装置の大型化に伴って以下のような問題が発生する。
【００１０】
まず、位置決めテーブル５４および吸着盤５７は夫々大型化に伴って歪み量、撓み量が大きくなり、位置決めテーブル５４に載置固定された下側基板５０および吸着盤５７に吸着固定された上側基板５６も同様に歪み量、撓み量が大きくなる。従って、両ガラス基板５０、５６が歪み、撓みを保持した状態で貼り合わせられた液晶表示パネルはセルギャップが不均一となり、表示品位を損なうものとなってしまう。特に、吸着盤５７は自重による撓みが大きく、セルギャップの不均一性に大いに影響する。
【００１１】
また、位置決めテーブル５４と吸着盤５７の間の平行度の精度を確保することが難しくなり、両ガラス基板５０、５６が平行性を保持しない状態で貼り合わせが行なわれる可能性がある。すると、この場合の液晶表示パネルも表示に大いに影響し、表示品位を損なうものとなってしまう。
【００１２】
また、両基板５０、５６間のセルギャップを位置決めテーブル５４に対する吸着盤５７の加圧力で間接的に制御するため、良好な再現性をもって高精度にセルギャップを確保することは困難である。
【００１３】
更に、大型のガラス基板５０、５６を処理するためには真空チャンバー５３の大きさも極めて大きくなり、真空チャンバー５３内に基板５０、５６をセットしてから真空チャンバー５３内を所望の真空度に到達するまでに長時間を要する。そのため、生産効率が悪化して製造コストを上昇させる要因にもなる。
【００１４】
そこで、本発明は上記問題に鑑みて創案なされたもので、その目的とするところは、貼り合わせ精度および貼り合わせ精度の再現性が良好で、且つ生産性が良好な液晶表示パネルの製造方法および製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１に記載された発明は、
（１）柔軟性および透光性を有するシート部材を挟んだ両側に設けられた、該シート部材を共有の構成部材とする第一の密閉空間および第二の密閉空間のうち前記第一の密閉空間内に、一対の透光性基板がＵＶ硬化性および熱硬化性を有するシール材、および前記シール材で囲まれた領域内に位置する液晶材料を挟んで第１のセルギャップを保持して貼り合わされてなる一次仮固定貼り合わせ基板を載置する工程と、
（２）前記第二の密閉空間内を減圧して前記シート部材を前記第二の密閉空間側に加圧する工程と、
（３）前記第一の密閉空間内を前記第二の密閉空間内よりも高い圧力まで減圧して前記シート部材の前記第二の密閉空間側に対する加圧を保持するする工程と、
（４）前記第二の密閉空間内の圧力を前記第一の密閉空間内の圧力よりも高くして前記シート部材を前記第一の密閉空間側に加圧し、前記加圧されたシート部材で前記一次仮固定貼り合わせ基板を加圧して前記第１のセルギャップより狭い第２のセルギャップを有する二次仮固定貼り合わせ基板とする工程と、
（５）前記第一の密閉空間内の圧力を高くして該第一の密閉空間内と前記第二の密閉空間内を同一圧力とし、前記二次仮固定貼り合わせ基板の前記透光性基板間に位置する前記シール材にＵＶを照射することによって仮固定液晶表示パネルとする工程と、
（６）前記仮固定液晶表示パネルの前記シール材を加熱することによって前記仮固定液晶表示パネルを本固定液晶表示パネルとすることを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項２に記載された発明は、請求項１において、前記（１）の工程において、前記シート部材は断面形状が複数の独立した凹凸形状を呈していることを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の請求項３に記載された発明は、請求項１または２のいずれか１項において、前記（４）の工程において、前記第二の密閉空間内の圧力を大気圧とすることを特徴とするものである。
【００１８】
また、本発明の請求項４に記載された発明は、請求項１〜３のいずれか１項において、前記（５）の工程において、前記シール材に照射されるＵＶは、前記第二の密閉空間内に配設されたＵＶランプから放射されて少なくとも前記シート部材を透過したものであることを特徴とするものである。
【００１９】
また、本発明の請求項５に記載された発明は、請求項１〜４のいずれか１項において、前記（６）の工程において、前記シール材の加熱はホットプレスによるものであることを特徴とするものである。
【００２０】
また、本発明の請求項６に記載された発明は、
柔軟性および透光性を有するシート部材と、
前記シート部材の一方の側に位置する基台部と、
前記シート部材の他方の側に位置する光源部を備え、
前記基台部と前記光源部が前記シート部材を介して当接することにより、前記基台部と前記シート部材で減圧可能な第一の密閉空間、前記光源部と前記シート部材で減圧可能な第二の密閉空間が夫々形成され、
前記第一の密閉空間内に載置された、一対の透光性基板がＵＶ硬化性および熱硬化性を有するシール材、および前記シール材で囲まれた領域内に位置する液晶材料を挟んで第１のセルギャップを保持して貼り合わされてなる一次仮固定貼り合わせ基板を、前記第二の密閉空間内の圧力を前記第一の密閉空間内の圧力よりも低くした後に前記第二の密閉空間内の圧力を前記第一の密閉空間内の圧力よりも高くすることにより前記第一の密閉空間側に加圧された前記シート部材で前記一次仮固定貼り合わせ基板を加圧して前記第１のセルギャップより狭い第２のセルギャップを有する二次仮固定貼り合わせ基板とし、その後前記第一の密閉空間および前記第二の密閉空間を同一圧力にして前記二次仮固定貼り合わせ基板の前記透光性基板間に位置する前記シール材にＵＶを照射することによって仮固定液晶表示パネルとすることを特徴とするものである。
【００２１】
また、本発明の請求項７に記載された発明は、請求項６において、前記光源部は開口および吸・排気孔を有するランプハウス内に前記開口から離れた位置から開口に向かって順次ＵＶランプ、ＵＶランプからの輻射熱を遮断する熱線カットフィルタ、開閉自在のシャッタおよび複数の貫通孔を設けた上盤を有し、前記基台部は吸・排気孔を有するステージからなり、前記光源部と前記基台部は夫々に設けられたＯリング同士が前記シート部材を介して当接することを特徴とするものである。
【００２２】
また、本発明の請求項８に記載された発明は、請求項７において、前記ＵＶ照射は前記上盤を取り去った後に前記ＵＶランプから前記熱線カットフィルタ、前記シャッタの開いた部分および前記シート部材を通して前記一対の透光性基板のシール材に照射されることを特徴とするものである。
【００２３】
また、本発明の請求項９に記載された発明は、請求項６〜８のいずれか１項において、前記第一の密閉空間および前記第二の密閉空間には少なくとも夫々前記第一の密閉空間内および前記第二の密閉空間内の到達圧力を制御するための圧力調整用バルブが設けられていることを特徴とするものである。
【００２４】
また、本発明の請求項１０に記載された発明は、請求項６〜９のいずれか１項において、前記シート部材は断面形状が複数の独立した凹凸形状を呈していることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の液晶表示パネルの製造方法およびその装置は、ＵＶ硬化性および熱硬化性を有するシール材および液晶材料を挟んで貼り合わされた一次仮固定貼り合わせ基板のセルギャップを縮めて二次仮固定貼り合わせ基板とし、二次仮固定貼り合わせ基板のシール材を大気中でＵＶ硬化することによって仮固定液晶表示パネルとし、仮固定液晶表示パネルのシール材を熱硬化することによって液晶表示パネルを作製するようにした。
【００２６】
そのため、二次仮固定貼り合わせ基板が仮固定液晶表示パネルとなる工程が大気圧中の均一な圧力下で行なわれるため仮固定液晶表示パネルの歪みが低減されると共に、一次仮固定貼り合わせ基板から仮固定液晶表示パネルに至るまでの製造プロセルにはＵＶ照射工程が含まれるのみで加熱工程が介在することはない。
【００２７】
その結果、両透光性基板間の位置ずれが極めて少なく、品質の高い液晶表示パネルを作製することが可能となった。このような液晶表示パネルは大きさを問わず優れた表示性能を有するものとなる。
【００２８】
また、上側密閉空間および下側密閉空間の夫々の真空容積が従来の製造工程で使用される真空チャンバーの真空容積と比較して極めて小さい。そのため密閉空間内の減圧時間が大幅に短縮されてタクトタイムが大幅に短縮され、その結果極めて高い生産効率を実現することが可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、この発明の実施形態を図１〜図８を参照しながら、詳細に説明する（同一部分については同じ符号を付し、説明は省略する）。尚、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施形態に限られるものではない。
【００３０】
図１は本発明の液晶表示パネルの製造装置を使用した製造方法を示す製造工程図である。以下、図１（ａ）〜（ｌ）を参照して製造装置および製造方法について詳細に説明する。
【００３１】
（ａ）より、液晶表示パネルの製造装置は、光源部１と基台部２で構成されている。光源部１は開口３を有すると共に吸・排気孔４が設けられたランプハウス５を備えており、ランプハウス５内には該ランプハウス５の開口３から離れた位置から開口３に向かって順次、紫外線を放射するＵＶランプ６、ＵＶランプ６からの輻射熱を遮断する熱線カットフィルタ７および開閉自在なシャッタ８が配設されている。
【００３２】
また、ランプハウス５の開口３部には該開口３を塞ぐように金属やセラミック等の非透光性部材からなる上盤９が着脱可能に装着されており、上盤９の前記ランプハウス５の開口３領域内には複数の貫通孔１０が設けられていると共に、上盤９のランプハウス５と反対側（下側）の面には縁部に沿って閉環状のＯリング１１が配設されている。
【００３３】
更に、上盤９の下側にはＯリング１１の幅方向の径よりも幅広で紫外線を透過し、且つ柔軟性を有するＵＶ透過特殊シート１２が配置されており、ＵＶ透過特殊シート１２は供給ロール１３から送出されて上盤９の下方を経て巻取ロール１４に巻き取られる仕組みになっている。また、ＵＶ透過特殊シート１２はＯリング１１によって支持されており、巻取り時以外は供給ロール１３と巻取ロール１４によってＯリング１１を介して所定の張力で張架されている。
【００３４】
一方、基台部２はステージ２０と該ステージ２０の上記光源部１と対向する側（上側）の面上に配設されたＯリング２１で構成されており、ステージ２０の前記Ｏリング２１で囲まれた領域には複数の吸・排気孔２２が設けられている。
【００３５】
ここで、装置の吸・排気系について図１（ａ）に加えて図２を参照して説明する。ランプハウス５に設けられた吸・排気孔４は該吸・排気孔４に接続された配管１５に設けられた３つのバルブ４ａ、（４ｂ、４ｃ）を介してその先の配管によって夫々大気と真空ポンプに繋がり、ステージ２０に設けられた吸・排気孔２２は該吸・排気孔２２に接続された配管２３に設けられた３つのバルブ２２ａ、（２２ｂ、２２ｃ）を介してその先の配管によって夫々大気と真空ポンプに繋がっている。なお、バルブ４ｂ、４ｃとバルブ２２ｂ、２２ｃから夫々真空ポンプに向かう配管は互いに途中で連結されて１本の配管で真空ポンプに繋がっている。また、バルブ４ｃとバルブ２２ｃは夫々真空圧力調整用のバルブであり、排気後の到達真空圧を制御するために設けられているものである。
【００３６】
図１（ａ）に戻って、基台部２は固定された光源部１に対する距離を制御できるように該光源部１に近づく方向および遠ざかる方向に移動可能に支持されている。なお、基台部２と光源部１は両者の相対的な距離が制御できるのであれば、基台部２を固定して光源部１を移動可能に支持する構成でもよい。いずれにしても、基台部２と光源部１のいずれか一方または両方を移動可能に支持するようにすればよい。（ａ）においては、予め基台部２を光源部１から離れた位置に移動させている。
【００３７】
（ｂ）の工程において、一次仮固定貼り合わせ基板３０をステージ２０上に載置し、真空吸着によって固定する。ここで、一次仮固定貼り合わせ基板３０について図３〜図５を参照して説明する。図３および図４は一次仮固定貼り合わせ基板３０を構成する一対のガラス基板３１、３２の夫々の一方の面側の状態を示し、図５は前記ガラス基板３１、３２で構成された一次仮固定貼り合わせ基板３０である。
【００３８】
まず、図３で示すように、一次仮固定貼り合わせ基板３０を構成する一方のガラス基板３１の片方の面に、縦横所定の間隔を保って複数の閉環状のシール材３１ａが塗布されている。このシール材３１ａはＵＶ硬化性と熱硬化性の両方の性質を有していると共に、シール材３１ａには予め円柱状のシリカファイバ３１ｂが混入されて、両ガラス基板３１、３２の貼り合わせ時に両基板間のシール部における設定ギャップを確保するようになっている。
【００３９】
また、複数のシール材３１ａが塗布された領域全体を囲むように閉環状のシール材３１ｃが塗布されている。このシール材３１ｃにもシール材３１ａと同様に予め円柱状のシリカファイバ３１ｂが混入されて、両ガラス基板３１、３２の貼り合わせ時に両基板間のシール部における設定ギャップを確保するようになっている。なお、シール材３１ａとシール材３１ｃの夫々に混入されたシリカファイバ３１ｂはいずれも材質、形状、大きさが同一である。
【００４０】
更に、閉環状のシール材３１ｃの外側に、仮固定時の両ガラス基板３１、３２の位置合わせ用のアライメントマーク３１ｄと仮固定用のＵＶ硬化樹脂３１ｅが夫々複数箇所設けられている。各閉環状のシール材３１ａで囲まれた内側の領域には複数の位置に夫々所定量の液晶材料３１ｆがディスペンサ等の液体定量吐出装置によって滴下されている。
【００４１】
一方、図４で示すように、一次仮固定貼り合わせ基板３０を構成する他方のガラス基板３２の片方の面に、縦横所定の間隔を保った複数の液晶表示領域３２ａの少なくとも領域内に真球状のスペーサ３２ｂを散布するか、あるいはフォトスペーサ３２ｂを形成して、両ガラス基板３１、３２の貼り合わせ時に両基板間の液晶表示領域３２ａにおける設定ギャップを確保するようになっている。
【００４２】
更に、複数の液晶表示領域３２ａの外側に仮固定時の両ガラス基板３１、３２の位置合わせ用のアライメントマーク３２ｃが複数箇所設けられている。
【００４３】
そして、図５に示すように、両ガラス基板３１、３２に設けられたアライメントマーク３１ｄ、３２ｃを合わせながら両ガラス基板３１、３２を互いにシール材３１ａ、３１ｃの塗布側およびスペーサ３２ｂの配置側が対向するように重ね、ＵＶ硬化樹脂３１ｅにＵＶを照射して貼り合わせ基板のギャップを約３０μｍ程度に保って仮固定する。これにより、一次仮固定貼り合わせ基板３０が組み上がる。なお、本実施形態では多数個取りの液晶表示パネルを作製することを想定している。
【００４４】
次に、図１（ｃ）の工程において、基台部２の一次仮固定貼り合わせ基板３０が吸着固定されたステージ２０を光源部１側に移動させ、ステージ２０に配設されＯリング２１と光源部１の上盤９に配設されたＯリング１１がＵＶ透過特殊シート１２を介して当接する位置で停止させる。
【００４５】
すると、ＵＶ透過特殊シート１２を挟んで光源部１側には、ＵＶ透過特殊シート１２、Ｏリング１１、上盤９およびランプハウス５で構成された上側密閉空間３５が形成され、ＵＶ透過特殊シート１２を挟んで基台部２側には、ＵＶ透過特殊シート１２、Ｏリング２１およびステージ２０で構成された下側密閉空間４０が形成される。
【００４６】
よって、ＵＶランプ６、熱線カットフィルタ７およびシャッタ８は上側密閉空間３５内に位置し、一次仮固定貼り合わせ基板３０は下側密閉空間４０内に位置している。このとき、吸・排気系の全てのバルブ４ａ、４ｂ、４ｃ、２２ａ、２２ｂ、２２ｃは閉塞された状態にある（図２参照）。
【００４７】
（ｄ）の工程において、吸・排気系のバルブ４ｂ、４ｃを開放して真空ポンプを稼動させ（図２参照）、上盤９の貫通孔１０およびランプハウス５の吸・排気孔４を介して上側密閉空間３５内の空気を排気し、上側密閉空間３５内の大気圧に対する圧力を−９５ｋＰａ程度まで減圧する。すると、上側密閉空間３５を構成するＵＶ透過特殊シート１２が、減圧された上側密閉空間３５側に下側密閉空間４０側の大気圧によって加圧され、上盤９の下面に吸着される。
【００４８】
（ｅ）の工程において、吸・排気系のバルブ２２ｂ、２２ｃを開放し（図２参照）、ステージ２０の吸・排気孔２２を介して下側密閉空間４０内の空気を排気し、下側密閉空間４０内の大気圧に対する圧力を−９０ｋＰａ程度まで減圧する。このとき、上側密閉空間３５内の大気圧に対する圧力が下側密閉空間４０内の大気圧に対する圧力よりも低いため、ＵＶ透過特殊シート１２は上盤９の下面に吸着されたままの状態にある。
【００４９】
（ｆ）の工程において、吸・排気系のバルブ４ｂ、４ｃを閉塞し、バルブ４ａを開放し（図２参照）、上盤９の貫通孔１０およびランプハウス５の吸・排気孔４を介して上側密閉空間３５内に大気を導入し、上側密閉空間３５内を大気圧に戻す。すると、上側密閉空間３５内の大気圧と下側密閉空間４０内の減圧による圧力差によって上側密閉空間３５を構成するＵＶ透過特殊シート１２が減圧された下側密閉空間４０側に上側密閉空間３５側の大気圧によって一気に加圧され、下側密閉空間４０内に位置する一次仮固定貼り合わせ基板３０のＵＶ透過特殊シート１２側に位置するガラス基板３１に該ＵＶ透過特殊シート１２によってステージ２０方向に向かう大気圧が一気に加わり、ガラス基板３１が一次仮固定貼り合わせ基板３０のステージ２０側に位置するガラス基板３２の方向に移動して両ガラス基板３１、３２間のギャップが縮まる。
【００５０】
このとき、一次仮固定貼り合わせ基板３０の間に位置するシール材３１ａ、３１ｃにはシリカファイバ３１ｂ（図示せず）、液晶表示領域３２ａ（図示せず）にはスペーサ３２ｂが配置されており、両ガラス基板３１、３２間のギャップ（セルギャップ）はこのシリカファイバ３１ｂとスペーサ３２ｂによって約５μｍに接近している。また、ガラス基板３１、３２および各シール材３１ａで囲まれた領域内には夫々液晶材料３１ｆが満たされている。この工程によって、一次仮固定貼り合わせ基板３０がセルギャップ約５μｍの二次仮固定貼り合わせ基板３３となる。
【００５１】
なお、ＵＶ透過特殊シート１２は紫外線を透過し、且つ柔軟性を有する材料、例えばＰＥＴで形成されていると共に、その断面は例えばエンボス加工等の加工方法によって図６のように全面に亘って複数の独立した凹凸形状を呈している。そのため、ガラス基板３１に対するＵＶ透過特殊シート１２の接触部は該ガラス基板３１全面に亘って独立して存在し、ガラス基板３１の中央部におけるガラス基板３１とＵＶ透過特殊シート１２の間に位置する空気はガラス基板３１とＵＶ透過特殊シート１２が接触していない領域を通ってスムーズに排気される。従って、ＵＶ透過特殊シート１２はガラス基板３１全面に亘って均一な圧力を加えることになると共に、ガラス基板３１に対する加圧速度はＵＶ透過特殊シート１２が平坦な場合よりも速い。
【００５２】
（ｇ）の工程において、上盤９をランプハウス５から取り外して外部に移送する。
【００５３】
（ｈ）の工程において、吸・排気系のバルブ２２ｂ、２２ｃを閉塞し、バルブ２２ａを開放し（図２参照）、ステージ２０の吸・排気孔２２を介して下側密閉空間４０内に大気を導入し、下側密閉空間４０内を大気圧に戻す。すると、ＵＶ透過特殊シート１２が二次仮固定貼り合わせ基板３３から離れ、該二次仮固定貼り合わせ基板３３の上方の位置に戻る。
【００５４】
（ｉ）の工程において、シャッタ８を所定時間開き、予め点灯させておいたＵＶランプ６のＵＶ光を熱線カットフィルタ７およびＵＶ透過特殊シート１２を透過して、所定のセルギャップ（約５μｍ）に保持された二次仮固定貼り合わせ基板３３に照射する。すると、二次仮固定貼り合わせ基板３３のガラス基板３１、３２間に位置するシール材３１ａ、３１ｃがＵＶ硬化し、二次仮固定貼り合わせ基板３３が所定のセルギャップ（約５μｍ）を有する仮固定液晶表示パネル４５となる。なお、このときＵＶランプ６とＵＶ透過特殊シート１２の間に配置された熱線カットフィルタ７がＵＶランプ６からの輻射熱がＵＶ透過特殊シート１２および仮固定液晶表示パネル４５に伝わらないように遮断している。
【００５５】
（ｊ）の工程において、仮固定液晶表示パネル４５に対してＵＶ照射開始から所定時間経過後、シャッタ８を閉じてＵＶ照射を終了する。
【００５６】
（ｋ）の工程において、仮固定液晶表示パネル４５が吸着固定されたステージ２０を有する基台部２を光源部１から離れる方向に移動させる。
【００５７】
（ｌ）の工程において、ステージ２０上の仮固定液晶表示パネル４５の吸着を解除し、ステージ２０上から仮固定液晶表示パネル４５を取り出す。以上の（ａ）〜（ｌ）の工程を経て、所定のセルギャップ（約５μｍ）を有する仮固定液晶表示パネル４５が完成する。
【００５８】
なお、上述のように、仮固定液晶表示パネルを作製する（ａ）〜（ｌ）の工程には加熱工程は含まれておらず、ＵＶランプからの放射熱も熱線カットフィルタによって遮断されている。そのため、一次仮固定貼り合わせ基板から仮固定液晶表示パネルに変わる過程において貼り合わせ基板を構成する夫々のガラス基板に熱が加わることがなく、両ガラス基板の熱による歪みはほとんど生じない。そのため、両ガラス基板間の位置ずれは極めて少なく、約５５０ｍｍ×６５０ｍｍの寸法のガラス基板においては±０．２μｍ以下に抑制することができ、従来例に比べ１０倍以上の基板位置合わせ精度を実現することができる。
【００５９】
また、光源部１を構成する上盤９を透光性部材で形成したり、あるいは非透光性部材で形成したものに多数の貫通孔を設けるようにしてもよい。これにより、上盤９をランプハウス５から取り外すことなく二次仮固定貼り合わせ基板にＵＶ照射を行うことができる。よってその場合、上盤９とランプハウス５を一体に形成することが可能となり、（ｇ）の工程が不用となる。
【００６０】
また、内周シール材３１ａを開口部を有する開環状、該内周シール材を囲む外周シール材３１ｃを閉環状に形成することも可能である。この場合は、液晶表示パネル用空セルが作製される。
【００６１】
次に、完成された仮固定液晶表示パネル４５は図７（ａ）〜（ｅ）に示す本固定のためのホットプレス工程に投入される。
【００６２】
それは、（ａ）の工程において、加熱可能な２枚の加熱ブロック４７ａ、４７ｂの一方の加熱ブロック４７ａに仮固定液晶表示パネル４５を載置する。
【００６３】
（ｂ）の工程において、２枚の加熱ブロック４７ａ、４７ｂで仮固定液晶表示パネル４５を挟み、両加熱ブロック４７ａ、４７ｂを加熱して仮固定液晶表示パネル４５の両ガラス基板３１、３２に所定の温度を所定の時間加える。すると、仮固定液晶表示パネル４５の間に位置するシール材３１ａ、３１ｃが熱硬化し、仮固定液晶表示パネル４５が本固定されて、多数個取り液晶表示パネル（本固定液晶表示パネル）４６となる。
【００６４】
（ｃ）の工程において、加熱ブロック４７ａ、４７ｂを分離させる。
【００６５】
（ｄ）の工程において、加熱ブロック４７ａ、４７ｂ本固定された多数個取り液晶表示パネル４６を取り出す。
【００６６】
すると、（ｅ）のような多数個取り液晶表示パネル４６が完成する。
【００６７】
なお、完成した多数個取り液晶表示パネル４６は多数個取りであるため、後工程において所定の位置で切断して個片化し、個々の液晶表示パネルに分離する。
【００６８】
ここで、吸・排気系のバルブ４ａ、４ｂ、４ｃ、２２ａ、２２ｂ、２２ｃの夫々の開閉状態と、上側密閉空間３５および下側密閉空間４０の夫々の空間内の真空度の遷移状態との関係を上記製造工程図（図１）、吸・排気系図（図２）、および図８のバルブ開閉状態と真空度遷移状態の関係を参照して説明する。
【００６９】
まず、図１（ａ）〜（ｃ）の工程において、図２のバルブ４ａ、４ｂ、４ｃ、２２ａ、２２ｂ、２２ｃは全て閉塞された状態（図８のステップＡ）となっており、図８のように上側密閉空間および下側密閉空間は共に大気圧（０ｋＰａ）となっている。
【００７０】
次に、図１（ｄ）の工程において、図２のバルブ４ｂ、４ｃのみが開放された状態（図８のステップＢ）となり、図８のように上側密閉空間は減圧されて−９５ｋＰａとなり、下側密閉空間そのまま大気圧（０ｋＰａ）を保持している。
【００７１】
次に、図１（ｅ）の工程において、図２のバルブ４ｂ、４ｃと共にバルブ２２ｂ、２２ｃが開放された状態（図８のステップＣ）となり、図８のように下側密閉空間は減圧されて−９０ｋＰａとなる。
【００７２】
次に、図１（ｆ）、（ｇ）の工程において、図２のバルブ４ａが開放、バルブ４ｂ、４ｃが閉塞（バルブ２２ａは閉塞、バルブ２２ｂ、２２ｃは開放状態を保持）された状態（図８のステップＤ）となり、図８のように上側密閉空間は大気圧（０ｋＰａ）に戻り、下側密閉空間は−９０ｋＰａを保持している。
【００７３】
次に、図１（ｈ）〜（ｌ）の工程において、図２のバルブ２２ａが開放、バルブ２２ｂ、２２ｃが閉塞（バルブ４ａは開放、バルブ４ｂ、４ｃは閉塞を保持）された状態（図８のステップＥ）となり、図８のように下側密閉空間は大気圧（０ｋＰａ）に戻り、上側密閉空間および下側密閉空間は共に大気圧（０ｋＰａ）となる。
【００７４】
以上説明したように、本発明の液晶表示パネルの製造方法においては、一次仮固定貼り合わせ基板から完成品と同一のセルギャップを有する仮固定液晶表示パネルに至るまでの製造プロセルは加熱工程を介在させることなくＵＶ照射工程のみによって構成され、最後の本固定にのみ加熱工程を設けるようにした。
【００７５】
そのため、製造プロセスにおいて各ガラス基板に熱膨張が生じることがなく、両ガラス基板間の位置ずれの極めて少なくない液晶表示パネルを作製することが可能となった。具体的には、約５５０ｍｍ×６５０ｍｍの寸法のガラス基板においてガラス基板間の位置ずれを±０．２μｍ以下に抑制することができ、従来例の±２μｍ以上に比べ１０倍以上の基板位置合わせ精度を実現することができた。
【００７６】
また、ＵＶ照射による仮固定液晶表示パネルの製造工程を大気中で行なうようにした。その結果、仮固定液晶表示パネルの製造が均一な圧力下で行なわれるため作製後の仮固定液晶表示パネルにおける歪みの発生が低減され、品質の向上が図れるようになった。
【００７７】
また、ＵＶ透過特殊シートを境とする上側密閉空間および下側密閉空間の夫々の真空容積が従来の製造工程で使用される真空チャンバーの真空容積と比較して極めて小さい。そのため真空排気時間が大幅に短縮されてタクトタイムが大幅に短縮され、その結果極めて高い生産効率を実現することが可能となった。
【００７８】
また、一次仮固定貼り合わせ基板のセルギャップを縮めて二次仮固定貼り合わせ基板とする工程において、断面複数の独立した凹凸形状を呈するＵＶ透過特殊シートに加わる大気圧によって一方のガラス基板を他方のガラス基板側に移動させてセルギャップを縮めるようにした。
【００７９】
その結果、ＵＶ透過特殊シートが一方のガラス基板全面に亘って均一な圧力を加えることになると共に、一方のガラス基板に対する加圧速度はＵＶ透過特殊シートが平坦な断面を有する場合よりも速く、よって平行精度の高い二次仮固定貼り合わせ基板を効率良く作製することができるようになった。
【００８０】
更に、分離して個片化した個々の液晶表示パネルのシール部となる複数の内周シール材および、該内周シール材の外側に位置する外周シール材を共に閉環状に形成することが可能になった。その結果、液晶表示パネルのガラス基板の薄板化、軽量化のための研磨作業に対する防塵保護処理を行なう必要がなく、液晶表示パネルの製造工程数を低減することができた。なお、上述したように、内周シール材を開環状、該内周シール材を囲む外周シール材を閉環状に形成することも可能である。
【００８１】
よって、本発明の液晶表示パネルの製造方法は生産効率が極めて高く、且つ作製された液晶表示パネルは大きさを問わず優れた表示性能を有するものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１−１】本発明の液晶表示パネルの製造方法を示す工程図である。
【図１−２】本発明の液晶表示パネルの製造方法を示す工程図である。
【図１−３】本発明の液晶表示パネルの製造方法を示す工程図である。
【図１−４】本発明の液晶表示パネルの製造方法を示す工程図である。
【図２】本発明の液晶表示パネルの製造装置に係わる吸・排気系を示す説明図である。
【図３】本発明に係わる一次仮固定貼り合わせ基板を構成する一方の側のガラス基板の斜視図である。
【図４】本発明に係わる一次仮固定貼り合わせ基板を構成する他方の側のガラス基板の斜視図である。
【図５】本発明に係わる一次仮固定貼り合わせ基板の断面図である。
【図６】図１（ｆ）の部分断面図である。
【図７】ホットプレスの工程図である。
【図８】本発明の液晶表示パネルの製造装置に係わる吸・排気係のバルブ開閉状態と真空度遷移状態の関係を示す説明図である。
【図９】従来例の液晶基板貼り合わせ工程を示す断面図である。
【符号の説明】
【００８３】
１    光源部
２    基台部
３    開口
４    吸・排気孔
４ａ、４ｂ    バルブ
４ｃ    真空圧力調整用バルブ
５    ランプハウス
６    ＵＶランプ
７    熱線カットフィルタ
８    シャッタ
９    上盤
１０    貫通孔
１１    Ｏリング
１２    ＵＶ透過特殊シート
１３    供給ロール
１４    巻取ロール
１５    配管
２０    ステージ
２１    Ｏリング
２２    吸・排気孔
２２ａ、２２ｂ    バルブ
２２ｃ    真空圧力調整用バルブ
２３    配管
３０    一次仮固定貼り合わせ基板
３１    ガラス基板
３１ａ    シール材
３１ｂ    シリカファイバ
３１ｃ    シール材
３１ｄ    アライメントマーク
３１ｅ    ＵＶ硬化樹脂
３１ｆ    液晶材料
３２    ガラス基板
３２ａ    液晶表示領域
３２ｂ    スペーサ
３２ｃ    アライメントマーク
３３    二次仮固定貼り合わせ基板
３５    上側密閉空間
４０    下側密閉空間
４５    仮固定液晶表示パネル
４７ａ    加熱ブロック
４７ｂ    加熱ブロック
４６    多数個取り液晶表示パネル
【図１−１】
0005043568.tif 000002
【図１−２】
0005043568.tif 000003
【図１−３】
0005043568.tif 000004
【図１−４】
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【図２】
0005043568.tif 000006
【図３】
0005043568.tif 000007
【図４】
0005043568.tif 000008
【図５】
0005043568.tif 000009
【図６】
0005043568.tif 000010
【図７】
0005043568.tif 000011
【図８】
0005043568.tif 000012
【図９】
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