(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向して配置された一対の第１及び第２基板と、
前記第１及び第２基板を互いに貼り合わせるシール材と、
前記第１及び第２基板のうち一方の基板の４隅において、前記シール材が配置された位置より外側に設けられた４つのコーナー領域のうち少なくとも一つのコーナー領域内に、前記第１基板と第２基板とのアライメントを行うためのアライメントマークと、前記４つのコーナー領域のうち前記アライメントマークが設けられたコーナー領域とは異なるコーナー領域内に、前記第１及び第２基板間の電気的な導通をとるための第１導通端子と
を備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
前記アライメントマークは、前記４つのコーナー領域のうち対角に位置する２つのコーナー領域内に１つずつ設けられ、
前記第１導通端子は、前記４つのコーナー領域のうち前記アライメントマークが設けられた２つのコーナー領域とは異なる２つのコーナー領域内に１つずつ設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項３】
前記４つのコーナー領域のうち前記アライメントマークが設けられたコーナー領域内に設けられ、前記第１及び第２基板間の電気的な導通をとるための第２導通端子を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記アライメントマークは、前記４つのコーナー領域の各々に１つずつ設けられることを特徴とする請求項３に記載の電気光学装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置、及び該電気光学装置を備えた、例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電気光学装置は、例えば特許文献１から３に開示されているように、シール材によって互いに貼り合わされた一対の基板間に例えば液晶等の電気光学物質を挟持してなる。ここで、シール材は、複数の画素が配列された画素領域（或いは画素アレイ領域）の周囲に沿ったシール領域に配置される。そして、電気光学装置の製造時において一対の基板をアライメントするためのアライメントマークが、各基板における、シール領域の内側（即ち、シール領域から見て画素領域側）の所定領域に設けられる（例えば特許文献３参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１８１５１４号公報
【特許文献２】国際公開９８／１６８６７号公報
【特許文献３】特開２００４−１５１３４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような電気光学装置を小型化し且つ高画質化させるためには、各基板上の画素領域の周辺に位置する周辺領域の狭小化が要求される。しかしながら、上述した背景技術のようにアライメントマークを各基板におけるシール領域の内側に設ける場合には、アライメントマークを設ける分だけ、画素領域を相対的に狭くしてシール領域の内側の周辺領域を広く形成する必要があるため、周辺領域の狭小化が困難であるという技術的問題点がある。
【０００５】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、高品質な画像表示を行うと共に小型化することが可能な電気光学装置、及びそのような電気光学装置を具備してなる各種電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の電気光学装置は上記課題を解決するために、互いに対向して配置された一対の第１及び第２基板と、前記第１及び第２基板を互いに貼り合わせるシール材と、前記第１及び第２基板のうち一方の基板の４隅において、前記シール材が配置された位置より外側に設けられた４つのコーナー領域のうち少なくとも一つのコーナー領域内に、前記第１基板と第２基板とのアライメントを行うためのアライメントマークと、前記４つのコーナー領域のうち前記アライメントマークが設けられたコーナー領域とは異なるコーナー領域内に、前記第１及び第２基板間の電気的な導通をとるための第１導通端子とを備える。
【０００７】
本発明の電気光学装置では、一対の第１及び第２基板を互いに貼り合わせるシール材は、複数の画素電極が配列された画素領域或いは画素アレイ領域（又は「画像表示領域」とも呼ぶ）の周辺に位置する周辺領域のうちシール領域に配置される。第１及び第２基板間におけるシール材によって囲まれた領域に例えば電気光学物質として液晶が挟持される。
【０００８】
本発明の電気光学装置によれば、その動作時には、画素電極の電位に応じて、例えば液晶等の電気光学物質の配向状態が制御される。これにより、画素領域における画像表示が可能となる。
【０００９】
本発明では、第１及び第２基板の各々にアライメントマークが設けられる。アライメントマークは、電気光学装置の製造プロセスにおいて、第１及び第２基板をシール材によって貼り合わせる際、第１及び第２基板をアライメント（即ち、位置合わせ）するためのマーク或いは印であり、第１及び第２基板の各々に対をなして設けられる。
【００１０】
本発明では特に、アライメントマークは、第１及び第２基板の各々における、シール材が配置されたシール領域より第２基板の外縁側に位置すると共に第２基板の四隅によって部分的に夫々規定される４つのコーナー領域のうち少なくとも一つのコーナー領域内に設けられる。コーナー領域は、第２基板の隅に位置する領域であり、シール領域よりも外側（即ち、シール領域から見て第２基板の隅側）に位置する領域である。言い換えれば、コーナー領域は、電気光学装置の製造プロセスにおいて、シール材を画素領域を囲むように配置する際、シール材を第２基板の外縁に完全に沿って配置することが困難なためにシール材が配置されない（つまりシール領域とされない）領域であり、所謂デッドスペースである。
【００１１】
よって、本発明の電気光学装置によれば、アライメントマークが所謂デッドスペースであるコーナー領域内に設けられるので、周辺領域においてアライメントマークを配置するためだけの領域を確保する必要がなく、周辺領域を狭小化することができる。例えば、仮にアライメントマークがシール領域よりも内側に位置する領域内に設けられた場合と比較して、シール領域に囲まれた画素領域を大きくすることや、周辺領域のうちシール領域の内側に位置する領域を狭くすることができる。
【００１２】
従って、本発明の電気光学装置によれば、電気光学装置における周辺領域を画素領域に対して狭めることができ、画素領域を狭めることなく当該電気光学装置を小型化することが可能となる。つまり、高品質な画像表示を行うと共に小型化することが可能となる。そして特に、このような構成とすれば、複数の第１基板となる第１マザー基板と複数の第２基板となる第２マザー基板とを貼り合わせることで複数の電気光学装置を形成した後に切断して個々の電気光学装置にするという汎用的な製造工程において、同一面積内により多くの電気光学装置を形成することが可能となる。同一マザー基板上に当該電気光学装置を数枚や十数枚或いは数十枚配列して製造する場合、例えば第１及び第２基板のサイズをコンマ数ｍｍや数ｍｍ程度に僅かに小さくできるだけでも、同一マザー基板上に一列や複数列だけ多く、或いは一行や複数行だけ多く、当該電気光学装置を形成することも可能となり得る。よって、このように第１及び第２基板のサイズを僅かに小さくできるだけでも、実用上は、極めて有益であり、その効果は絶大であると言える。
【００１３】
以上説明したように、本発明の電気光学装置によれば、アライメントマークがコーナー領域内に設けられるので、高品質な画像表示を行うと共に小型化することが可能となる。
【００１４】
本発明の電気光学装置の一態様では、前記第１基板における前記４つのコーナー領域のうち前記アライメントマークが設けられたコーナー領域とは異なるコーナー領域内に設けられ、前記第１及び第２基板間で電気的な導通をとるための第１導通端子を備える。
【００１５】
この態様によれば、周辺領域を狭小化しつつ、アライメントマーク及び第１導通端子を第１基板上に配置することができる。或いは、画素領域を拡大しつつ、アライメントマーク及び第１導通端子を第１基板上に配置することができる。
【００１６】
尚、第１及び第２基板間の電気的な導通は、第１基板上に設けられた第１導電端子と第２基板の一面に形成された共通電極における第１導通端子に対向する部分との間に配置された例えば導電性ペースト等を含んでなる導通材を介してとられる。
【００１７】
上述した第１導通端子を備える態様では、前記アライメントマークは、前記４つのコーナー領域のうち対角に位置する２つのコーナー領域内に１つずつ設けられ、前記第１導通端子は、前記４つのコーナー領域のうち前記アライメントマークが設けられた２つのコーナー領域とは異なる２つのコーナー領域内に１つずつ設けられるように構成してもよい。
【００１８】
この場合には、対角に位置する２つのコーナー領域に設けられた２つのアライメントマークによって第１及び第２基板のアライメントをより高精度に行うことが可能となる。
【００１９】
更に、アライメントマークが設けられた２つのコーナー領域とは異なる２つのコーナー領域に設けられた２つの第１導通端子によって第１及び第２基板間の導通をより確実にとることが可能となる。即ち、仮に第１導通端子が４つのコーナー領域のうち１つのコーナー領域のみに１つ設けられた場合と比較して、第１導通端子が冗長的に設けられるので、第１及び第２基板間の導通をより確実にとることが可能となる。
【００２０】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記第１基板における前記４つのコーナー領域のうち前記アライメントマークが設けられたコーナー領域内に設けられ、前記第１及び第２基板間で電気的な導通をとるための第２導通端子を備える。
【００２１】
この態様によれば、周辺領域を狭小化しつつ、アライメントマーク及び第２導通端子を第１基板上に配置することができる。或いは、画素領域を拡大しつつ、アライメントマーク及び第１導通端子を第１基板上に配置することができる。
【００２２】
尚、第１及び第２基板間の電気的な導通は、第１基板上に設けられた第２導電端子と第２基板の一面に形成された共通電極における第２導通端子に対向する部分との間に配置された例えば導電性ペースト等を含んでなる導通材を介してとられる。
【００２３】
上述した第２導通端子を備える態様では、前記アライメントマークは、前記４つのコーナー領域の各々に１つずつ設けられるように構成してもよい。
【００２４】
この場合には、４つのコーナー領域内に設けられた４つのアライメントマークによって第１及び第２基板のアライメントをより高精度に行うことが可能となると共に、４つのコーナー領域に設けられた４つの第２導通端子によって第１及び第２基板間の導通をより確実にとることが可能となる。
【００２５】
本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置（但し、その各種態様も含む）を具備してなる。
【００２６】
本発明の電子機器によれば、上述した本発明の電気光学装置を具備してなるので、高品質な画像表示を行うと共に小型化することが可能な、投射型表示装置、テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。また、本発明の電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置、電子放出装置（Field Emission Display及びConduction Electron-Emitter Display）、これら電気泳動装置、電子放出装置を用いた表示装置を実現することも可能である。
【００２７】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。以下の実施形態では、本発明の電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。
＜第１実施形態＞
第１実施形態に係る液晶装置について、図１から図７を参照して説明する。
【００２９】
先ず、本実施形態に係る液晶装置の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。ここに図１は、本実施形態に係る液晶装置の全体構成を示す平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ’線断面図である。
【００３０】
図１及び図２において、本実施形態に係る液晶装置は、互いに対向して配置されたＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とを備えている。ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０は、矩形形状を夫々有している。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間に液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、本発明に係る「画素領域」の一例としての画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域５２ａに設けられたシール材５２により相互に接着されている。
【００３１】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいて、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０のうち少なくとも一方の基板上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（即ち、ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。
【００３２】
図１において、シール材５２が配置されたシール領域５２ａの内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域５３ａを規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。額縁遮光膜５３が形成された額縁領域５３ａは、ＴＦＴアレイ基板上で平面的に見て、矩形枠形状を有している。
【００３３】
尚、本実施形態においては、画像表示領域１０ａの周辺を規定する周辺領域が存在する。言い換えれば、本実施形態では、ＴＦＴアレイ基板１０の中心から見て、額縁遮光膜５３より以遠が周辺領域として規定されている。
【００３４】
周辺領域のうちシール領域５２ａの外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられている。また、この一辺に沿ったシール領域５２ａよりも内側に、サンプリング回路７が額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。走査線駆動回路１０４は、この一辺に隣接する２辺に沿ったシール領域５２ａの内側に、額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。更に、このように画像表示領域１０ａの両側に設けられた二つの走査線駆動回路１０４間をつなぐため、ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺に沿い、且つ、額縁遮光膜５３に覆われるようにして複数の配線１０５が設けられている。また、ＴＦＴアレイ基板１０上には、対向基板２０の４つのコーナー部に対向する４つのコーナー領域６１ａのうち対角に位置する２つのコーナー領域６１ａに、両基板間を上下導通材１０７で接続するための上下導通端子１０６が配置されている。これらにより、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができる。尚、上下導通端子１０６は、本発明に係る「第１導通端子」の一例である。
【００３５】
また、４つのコーナー領域６１ａのうち上下導通端子１０６が配置されたコーナー領域６１ａとは異なる２つのコーナー領域６１ａに、アライメントマーク２００が設けられている。尚、アライメントマーク２００の位置及び具体的な構成については、後に詳細に説明する。アライメントマーク２００により、本実施形態に係る液晶装置の製造プロセスにおいて、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０をシール材５２によって貼り合わせる際、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０をアライメント（即ち、位置合わせ）することができる。
【００３６】
ＴＦＴアレイ基板１０上には、外部回路接続端子１０２と、データ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４、上下導通端子１０６等とを電気的に接続するための引回配線９０が形成されている。
【００３７】
図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、駆動素子である画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線が作り込まれた積層構造が形成される。この積層構造の詳細な構成については図２では図示を省略してあるが、この積層構造の上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等の透明材料からなる画素電極９ａがマトリクス状に設けられている。画素電極９ａ上には、配向膜が形成されている。
【００３８】
他方、対向基板２０におけるＴＦＴアレイ基板１０との対向面上に、遮光膜２３が形成されている。遮光膜２３は、例えば遮光性金属膜等から形成されており、対向基板２０上の画像表示領域１０ａ内で、例えば格子状等にパターニングされている。対向基板２０において、遮光膜２３によって非開口領域が規定され、遮光膜２３によって区切られた領域が、例えばプロジェクタ用のランプや直視用のバックライトから出射された光を透過させる開口領域となる。尚、遮光膜２３をストライプ状に形成し、該遮光膜２３と、ＴＦＴアレイ基板１０側に設けられたデータ線等の各種構成要素とによって、非開口領域を規定するようにしてもよい。
【００３９】
遮光膜２３上に、ＩＴＯ等の透明材料からなる対向電極２１が複数の画素電極９ａと対向してベタ状に形成されている。遮光膜２３上に、画像表示領域１０ａにおいてカラー表示を行うために、開口領域及び非開口領域の一部を含む領域に、図２には図示しないカラーフィルタが形成されるようにしてもよい。対向電極２１上には配向膜が形成されている。
【００４０】
液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、画素電極９ａ上の配向膜と対向電極２１上の配向膜との間で、所定の配向状態をとる。
【００４１】
尚、ここでは図示しないが、ＴＦＴアレイ基板１０上には、データ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４の他に、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路、検査用パターン等が形成されていてもよい。
【００４２】
次に、本実施形態に係る液晶装置の電気的な構成について、図３及び図４を参照して説明する。ここに図３は、本実施形態に係る液晶装置の要部の構成を示すブロック図である。図４は、画素部の電気的な構成を示すブロック図である。
【００４３】
図３において、本実施形態に係る液晶装置は、そのＴＦＴアレイ基板１０上の画像表示領域１０ａの周辺に位置する周辺領域に、走査線駆動回路１０４、データ線駆動回路１０１、サンプリング回路７等の駆動回路を備えている。
【００４４】
図３に示すように、走査線駆動回路１０４には、外部回路から外部回路接続端子１０２を介してＹクロック信号ＣＬＹ（及び反転Ｙクロック信号ＣＬＹ’）、Ｙスタートパルス信号、等の各種制御信号が供給される。走査線駆動回路１０４は、これらの信号に基づいて走査信号Ｇ１、…、Ｇｍをこの順に順次生成して走査線３ａに出力する。また、走査線駆動回路１０４には、外部回路接続端子１０２を介して走査線駆動回路１０４を駆動するための走査線駆動回路用電源ＶＤＤＹ及びＶＳＳＹや各種制御信号が供給される。尚、走査線駆動回路用電源ＶＤＤＹの電位は、走査線駆動回路用電源ＶＳＳＹの電位よりも高く設定されている。
【００４５】
図３において、データ線駆動回路１０１には、外部回路から外部回路接続端子１０２を介してＸクロック信号及びＸスタートパルスが供給される。データ線駆動回路１０１は、Ｘスタートパルスが入力されると、Ｘクロック信号に基づくタイミングで、サンプリング信号Ｓ１、…、Ｓｎを順次生成して出力する。また、データ線駆動回路１０１には、外部回路接続端子１０２を介してデータ線駆動回路１０１を駆動するためのデータ線駆動回路用電源ＶＤＤＸ及びＶＳＳＸや各種制御信号が供給される。尚、データ線駆動回路用電源ＶＤＤＸの電位は、データ線駆動回路用電源ＶＳＳＸの電位よりも高く設定されている。
【００４６】
サンプリング回路７は、Ｐチャネル型又はＮチャネル型の片チャネル型ＴＦＴ、若しくは相補型のＴＦＴから構成されたサンプリングスイッチ７ｓを複数備えている。
【００４７】
図３において、本実施形態に係る液晶装置には、更に、そのＴＦＴアレイ基板の中央を占める画像表示領域１０ａに、マトリクス状に配列された複数の画素部７００が設けられている。
【００４８】
図４に示すように、画素部７００は、画素スイッチング用のＴＦＴ３０、液晶素子７２及び蓄積容量７０を備えている。
【００４９】
ＴＦＴ３０は、ソースがデータ線６ａに電気的に接続され、ゲートが走査線３ａに電気的に接続され、ドレインが後述する液晶素子７２の画素電極９ａに電気的に接続されている。画素スイッチング用のＴＦＴ３０は、走査線駆動回路１０４から供給される走査信号によってオンオフが切り換えられる。
【００５０】
液晶素子７２は、画素電極９ａ、対向電極２１並びに画素電極９ａ及び対向電極２１間に狭持された液晶から構成されている。液晶素子７２において、データ線６ａ及び画素電極９ａを介して液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号は、対向電極２１との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として電気光学装置からは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射する。
【００５１】
蓄積容量７０は、保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極９ａと対向電極との間に形成される液晶保持容量と並列に付加されている。蓄積容量７０の一方の電極は、画素電極９ａと並列してＴＦＴ３０のドレインに電気的に接続され、他方の電極は、定電位となるように、容量配線６００（図３参照）に電気的に接続されている。尚、本実施形態では、容量配線６００は、上下導通端子１０６に電気的に接続されており、他方の電極には、後述する対向電極電位ＬＣＣが供給される。
【００５２】
以上のような画素部７００が、画像表示領域１０ａにマトリクス状に配列されているので、アクティブマトリクス駆動が可能となっている。
【００５３】
再び図３に示すように、画像信号は、６相にシリアル−パラレル展開された画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ６の各々に対応して、６本のデータ線６ａの組に対してグループ毎に供給されるよう構成されている。尚、画像信号の相展開数（即ち、シリアル−パラレル展開される画像信号の系列数）に関しては、６相に限られるものでなく、例えば、９相、１２相、２４相など、複数相に展開された画像信号が、その展開数に対応した数を一組としたデータ線６ａの組に対して供給されるよう構成してもよい。また、シリアル−パラレル展開しないで、データ線６ａに対して線順次に供給されるように構成してもよい。
【００５４】
更に、図３において、上下導通端子１０６には、外部回路から外部回路接続端子１０２を介して対向電極電位ＬＣＣが供給される。対向基板２０及びＴＦＴアレイ基板１０間には、上下導通端子１０６に対応する位置に、導電性ペースト等を含んでなる上下導通材１０７が配置されており、対向電極電位ＬＣＣは、上下導通端子１０６より上下導通材１０７を介して対向電極２１に供給される。対向電極電位ＬＣＣは、画素電極９ａとの電位差を適正に保持して液晶保持容量を形成するための対向電極２１の基準電位となる。
【００５５】
次に、本実施形態に係る液晶装置におけるアライメントマークについて、図１に加えて図５から図７を参照して説明する。ここに図５は、本実施形態に係る液晶装置におけるアライメントマークの位置を示す説明図である。図６は、アライメントマークの構成を対向基板の側から見た平面図である。図７は、図６のＡ−Ａ’線断面図である。尚、図５から図７では、説明の便宜上、アライメントマークと関係のある構成要素のみを表示し、それ以外の構成要素については省略している。また、図５では、図１における右上のコーナー領域６１ａに設けられたアライメントマーク２００を示している。
【００５６】
先ず、図１及び図５に示すように、４つのコーナー領域６１ａのうち上下導通端子１０６が配置されたコーナー領域６１ａとは異なる２つのコーナー領域６１ａに、アライメントマーク２００が設けられている。
【００５７】
図５に示すように、コーナー領域６１ａは、シール材５２が配置されたシール領域５２ａより対向基板２０の外縁側に位置すると共に対向基板２０の隅によって部分的に規定される領域である。コーナー領域６１ａは、本実施形態に係る液晶装置の製造プロセスにおいて、シール材５２を画像表示領域１０ａを囲むように配置する際、シール材５２を対向基板２０の外縁に完全に沿って配置することが困難なためにシール材５２が配置されない（つまりシール領域５２ａとされない）領域であり、所謂デッドスペースである。このようなコーナー領域６１ａは、対向基板２０の四隅に対応して４つ形成されることになる。
【００５８】
次に、アライメントマーク２００の具体的な構成について説明する。
【００５９】
図６に示すように、アライメントマーク２００は、ＸＹズレ量及びθズレ量を計測するための第１アライメントマーク２２１及び２３１と、組みズレ量を計測するための第２アライメントマーク２２２ａ及び２２２ｂ並びに２３２とを備えて構成されている。
【００６０】
図７に示すように、第１アライメントマーク２２１はＴＦＴアレイ基板１０上に形成されており、第１アライメントマーク２３１は対向基板２０上に形成されている。また、第２アライメントマーク２２２ａ及び２２２ｂはＴＦＴアレイ基板１０上の第１アライメントマーク２２１が形成されている層と同一層に形成されている。第２アライメントマーク２３２は対向基板２０上の第１アライメントマーク２３１が形成されている層と同一層に形成されている。
【００６１】
第１アライメントマーク２２１、並びに第２アライメントマーク２２２ａ及び２２２ｂは、アルミニウムを含んで形成されている。第１アライメントマーク２３１及び第２アライメントマーク２３２は、アルミニウム−クロム合金又はクロムを含んで形成されている。
【００６２】
尚、図７において、ＴＦＴアレイ基板１０上には層間絶縁膜４１、４２及び４３がこの順に下層側から積層されている。層間絶縁膜４１、４２及び４３は、ＴＦＴアレイ基板１０上に形成されたデータ線６ａ、走査線３ａ等の各種構成要素間を絶縁する機能を有する。第１アライメントマーク２２１、並びに第２アライメントマーク２２２ａ及び２２２ｂは、層間絶縁膜４２上に形成されている。
【００６３】
図５において、本実施形態では特に、上述のように構成されたアライメントマーク２００は、所謂デットスペースであるコーナー領域６１ａ内に設けられている。よって、周辺領域においてアライメントマーク２００を配置するためだけの領域を確保する必要がなく、周辺領域を狭小化することができる。
【００６４】
例えば、図８に比較例として示すように、仮にアライメントマーク２００ｃがシール領域５２ａよりも内側である、額縁領域５３ａとシール領域５２ａとの間に位置する間隙領域５５ａ内に設けられた場合と比較して、画像表示領域１０ａを大きくすることや、周辺領域のうち間隙領域５５ａを狭くすることができる。ここに図８は、比較例に係る液晶装置の全体構成を示す平面図である。尚、図８では、図１から図７に示した第１実施形態に係る構成要素と同様の構成要素に同一の参照符合を付してある。
【００６５】
尚、間隙領域５５ａは、本来的には、本実施形態に係る液晶装置の製造プロセスにおいて、額縁領域５３ａとシール領域５２ａとが重なることにより、例えば紫外線硬化樹脂からなるシール材５２を硬化させるための紫外線が額縁遮光膜５３によって遮られシール材５２を硬化させることができないという事態を回避するために設けられる領域である。よって、周辺領域の狭小化という観点からは、間隙領域５５ａは、シール材５２及び額縁遮光膜５３の製造公差に応じて可能な限り小さく形成されることが好ましい。
【００６６】
従って、本実施形態に係る液晶装置によれば、当該液晶装置における周辺領域を画像表示領域１０ａに対して狭めることができ、画像表示領域１０ａを狭めることなく当該液晶装置を小型化することが可能となる。つまり、当該液晶装置における画像表示領域１０ａの占める割合を高めることができ、高品質な画像表示を行うことができる。これに代えて或いは加えて、当該液晶装置を小型化することが可能となる。そして特に、このような構成とすれば、複数のＴＦＴアレイ基板１０となる第１マザー基板と複数の対向基板２０となる第２マザー基板とを貼り合わせることで本実施形態に係る液晶装置を複数形成した後に切断して個々の液晶装置にするという製造工程において、同一面積内により多くの液晶装置を形成することが可能となる。同一マザー基板上に当該液晶装置を数枚や十数枚或いは数十枚配列して製造する場合、例えばＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０のサイズをコンマ数ｍｍや数ｍｍ程度に僅かに小さくできるだけでも、同一マザー基板上に一列や複数列だけ多く、或いは一行や複数行だけ多く、当該液晶装置を形成することも可能となり得る。よって、当該液晶装置を製造する製造コストを低減或いは抑制することも可能となる。
【００６７】
再び図１において、本実施形態では特に、上下導通端子１０６は、ＴＦＴアレイ基板１０上における４つのコーナー領域６１ａのうちアライメントマーク２００が設けられたコーナー領域６１ａとは異なるコーナー領域６１ａ内に設けられている。即ち、上下導通端子１０６も、アライメントマーク２００と同様に、所謂デッドスペースであるコーナー領域６１ａ内に設けられているので、周辺領域を狭小化しつつ、上下導通端子１０６及びアライメントマーク２００をＴＦＴアレイ基板１０上に配置することができる。或いは、画像表示領域１０ａを拡大しつつ、上下導通端子１０６及びアライメントマーク２００をＴＦＴアレイ基板１０上に配置することができる。
【００６８】
更に、図１において、本実施形態では特に、アライメントマーク２００は、４つのコーナー領域６１ａのうち対角に位置する２つのコーナー領域６１ａ内（即ち、図１中、右上に位置するコーナー領域６１ａ内及び左下に位置するコーナー領域６１ａ内）に１つずつ設けられ、上下導通端子１０６は、４つのコーナー領域６１ａのうちアライメントマーク２００が設けられた２つのコーナー領域６１ａとは異なる２つのコーナー領域６１ａ内（即ち、図１中、左上に位置するコーナー領域６１ａ内及び右下に位置するコーナー領域６１ａ内）に１つずつ設けられている。よって、対角に位置する２つのコーナー領域６１ａに設けられた２つのアライメントマーク２００によって、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０のアライメントをより高精度に行うことが可能となる。更に、他の対角に位置する２つのコーナー領域６１ａに設けられた２つの上下導通端子１０６によってＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０間の導通をより確実にとることが可能となる。即ち、仮に上下導通端子１０６が４つのコーナー領域６１ａのうち１つのコーナー領域６１ａのみに１つ設けられた場合と比較して、上下導通端子１０６（及び上下導通材１０７）が冗長的に設けられるので、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０間の導通をより確実にとることが可能となる。
【００６９】
図９は、本実施形態の変形例に係る液晶装置の全体構成を示す平面図である。
【００７０】
図９に変形例として示すように、アライメントマーク２００は、４つのコーナー領域６１ａのうち対向基板２０の一辺の両端に位置する２つのコーナー領域６１ａ内（即ち、図９中、左上に位置するコーナー領域６１ａ内及び右上に位置するコーナー領域６１ａ内）に１つずつ設けられ、上下導通端子１０６は、４つのコーナー領域６１ａのうちアライメントマーク２００が設けられた２つのコーナー領域６１ａとは異なる２つのコーナー領域６１ａ内（即ち、図９中、左下に位置するコーナー領域６１ａ内及び右下に位置するコーナー領域６１ａ内）に１つずつ設けられているように構成してもよい。この場合にも、２つのコーナー領域６１ａに設けられた２つのアライメントマーク２００によって、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０のアライメントをより高精度に行うことが可能となると共に、他の２つのコーナー領域６１ａに設けられた２つの上下導通端子１０６によってＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０間の導通をより確実にとることが可能となる。
【００７１】
尚、アライメントマーク２００及び上下導通端子１０６は、それぞれ、本実施形態に係る液晶装置において１つ以上設けられていれば、アライメントマーク２００によって、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０のアライメントを行うことが可能となると共に、上下導通端子１０６によって、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０間の導通をとることが可能となる。この際、アライメントマーク２００及び上下導通端子１０６を、コーナー領域６１ａ内に配置することで、当該液晶装置における周辺領域を画像表示領域１０ａに対して狭めることができ、画像表示領域１０ａを狭めることなく当該液晶装置を小型化することが可能となる。
【００７２】
以上説明したように、本実施形態に係る液晶装置によれば、アライメントマーク２００がコーナー領域６１ａ内に設けられるので、高品質な画像表示を行うと共に小型化することが可能となる。
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態に係る液晶装置について、図１０及び図１１を参照して説明する。ここに図１０は、第２実施形態に係る液晶装置の全体構成を示す平面図である。図１１は、第２実施形態に係る液晶装置におけるアライメントマークの位置を示す説明図である。尚、図１０及び図１１において、図１から図７に示した第１実施形態に係る構成要素と同様の構成要素に同一の参照符合を付し、それらの説明は適宜省略する。
【００７３】
図１０において、第２実施形態に係る液晶装置は、上述した第１実施形態における上下導通端子１０６及びアライメントマーク２００にそれぞれ代えて上下導通端子１０６ｂ及びアライメントマーク２００ｂを備える点で、上述した第１実施形態に係る液晶装置と異なり、その他の点については、上述した第１実施形態に係る液晶装置と概ね同様に構成されている。尚、上下導通端子１０６ｂは、本発明に係る「第２導通端子」の一例である。
【００７４】
図１０及び図１１において、本実施形態では特に、４つのコーナー領域６１ａの各々に、アライメントマーク２００ｂ及び上下導通端子１０６ｂが設けられている。アライメントマーク２００ｂ及び上下導通端子１０６ｂは、同一のコーナー領域６１ａ内に１つずつ設けられている。アライメントマーク２００ｂは、上述した第１実施形態におけるアライメントマーク２００と比較して、その配置及びサイズが異なるが、その具体的な構成は、アライメントマーク２００と概ね同様である。
【００７５】
よって、周辺領域においてアライメントマーク２００ｂを配置するためだけの領域を確保する必要がなく、周辺領域を狭小化することができる。即ち、上述した第１実施形態に係る液晶装置と同様に、図８を参照した上述した比較例に係る液晶装置と比較して、画像表示領域１０ａを大きくすることや、周辺領域のうち間隙領域５５ａを狭くすることができる。従って、第２実施形態に係る液晶装置によれば、当該液晶装置における周辺領域を画像表示領域１０ａに対して狭めることができ、画像表示領域１０ａを狭めることなく当該液晶装置を小型化することが可能となる。つまり、高品質な画像表示を行うと共に小型化することが可能となる。
【００７６】
更に、本実施形態では特に、アライメントマーク２００ｂ及び上下導通端子１０６は、それぞれ、４つのコーナー領域６１ａの各々に１つずつ設けられている。よって、４つのアライメントマーク２００ｂによってＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０のアライメントをより高精度に行うことが可能となると共に、４つのコーナー領域６１ａに設けられた４つの上下導通端子１０６ｂによってＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０間の導通をより確実にとることが可能となる。
＜電子機器＞
次に、上述した液晶装置を電子機器の一例であるプロジェクタに適用した場合について、図１２を参照して説明する。ここに図１２は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。尚、上述した液晶装置は、プロジェクタのライトバルブとして用いられている。
【００７７】
図１２に示すように、プロジェクタ１１００内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット１１０２が設けられている。このランプユニット１１０２から射出された投射光は、ライトガイド１１０４内に配置された４枚のミラー１１０６及び２枚のダイクロイックミラー１１０８によってＲＧＢの３原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂ及び１１１０Ｇに入射される。
【００７８】
液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂ及び１１１０Ｇの構成は、上述した液晶装置と同等であり、画像信号処理回路から供給されるＲ、Ｇ、Ｂの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネルによって変調された光は、ダイクロイックプリズム１１１２に３方向から入射される。このダイクロイックプリズム１１１２においては、Ｒ及びＢの光が９０度に屈折する一方、Ｇの光が直進する。従って、各色の画像が合成される結果、投射レンズ１１１４を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。
【００７９】
ここで、各液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂ及び１１１０Ｇによる表示像について着目すると、液晶パネル１１１０Ｇによる表示像は、液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂによる表示像に対して左右反転することが必要となる。
【００８０】
尚、液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂ及び１１１０Ｇには、ダイクロイックミラー１１０８によって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各原色に対応する光が入射するので、カラーフィルタを設ける必要はない。
【００８１】
尚、図１２を参照して説明した電子機器の他にも、モバイル型のパーソナルコンピュータや、携帯電話、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。
【００８２】
また本発明は、上述の実施形態で説明した液晶装置以外にも、シリコン基板上に素子を形成する反射型液晶装置（ＬＣＯＳ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、電界放出型ディスプレイ（ＦＥＤ、ＳＥＤ）、有機ＥＬディスプレイ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）、電気泳動装置等にも適用可能である。
【００８３】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置、び該電気光学装置を備えてなる電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】第１実施形態に係る液晶装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ’線断面図である。
【図３】第１実施形態に係る液晶装置の要部の構成を示すブロック図である。
【図４】第１実施形態に係る液晶装置の画素部の電気的な構成を示すブロック図である。
【図５】第１実施形態に係る液晶装置におけるアライメントマークの位置を示す説明図である。
【図６】第１実施形態に係る液晶装置におけるアライメントマークの具体的な構成を示す平面図である。
【図７】図６のＡ−Ａ’線断面図である。
【図８】比較例に係る液晶装置の全体構成を示す平面図である。
【図９】第１実施形態の変形例に係る液晶装置の全体構成を示す平面図である。
【図１０】第２実施形態に係る液晶装置の全体構成を示す平面図である。
【図１１】第２実施形態に係る液晶装置におけるアライメントマークの位置を示す説明図である。
【図１２】本発明に係る電子機器の一例であるプロジェクタの構成例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００８５】
９ａ…画素電極、１０…ＴＦＴアレイ基板、１０ａ…画像表示領域、２０…対向基板、２１…対向電極、２３…遮光膜、５０…液晶層、５２…シール材、５３…額縁遮光膜、６１ａ…コーナー領域、１０６…上下導通端子、１０７…上下導通材、２００…アライメントマーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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