(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鋼または鉄からなる基台に設置され、前記基台に対し所定の位置に手動による移動で位置決めされ、且つ位置決め後に前記基台に固定される可動テーブルであって、
天板と、
該天板の底面に固着され、前記基台に吸着することによって、前記天板を前記基台に固定する磁石と、
該磁石の吸着力、または該磁石の吸着力と重力に抗して、前記天板を前記基台から前記の固定状態を脱して上昇させる機構と、前記磁石の吸着力、または重力、または前記磁石の吸着力と重力の両方によって所定の上昇位置から前記天板を下降させ、前記磁石の吸着力の作用で前記天板を前記基台に固定する機構を併せ持つ、
開放位置と移動位置との間を、それぞれ一つの点を支点に回動する少なくとも二つの操作レバーと、
該操作レバーと一体に配設され、且つ該操作レバーの回動に応じて該回動の角度内を順逆に回転するシャフト部と、
該シャフト部と一体に形成され、且つ前記天板が設置される前記基台の天板設置面に当接し、且つ前記シャフト部の前記順逆の回転に応じて、前記天板を前記基台に対して上昇させる位置あるいは下降させる位置に回動するカム部と、
を有する昇降機構と、
を備えたことを特徴とする可動テーブル。
【請求項２】
前記天板に、又は前記磁石に、又は前記天板と前記磁石の両方に形成された、前記シャフト部の回転を案内する回転軸案内溝穴と、前記カム部の待機位置となる逃げ部と、を有することを特徴とする請求項１記載の可動テーブル。
【請求項３】
前記操作レバーは、前記移動位置側の移動限界に到達して停止する強制停止機構を備え、前記操作レバーが強制停止位置にあるとき、前記天板は上昇の終端に位置する、ことを特徴とする請求項１記載の可動テーブル。
【請求項４】
前記天板が前記上昇の終端位置に在るとき、前記磁石は、前記強制停止位置にある前記操作レバーをつまむ指から加えられる外力で、前記天板が前記基台に対して自在な方向に容易に移動可能な程度の磁力を、前記基台に対して維持することを特徴とする請求項３記載の可動テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定と位置合わせを行うための可動テーブルに関するものであって、例えば計測用の試料などを積載し、測定機の計測用基台に位置合わせを行って、試料の計測に参画するためのものである。
【背景技術】
【０００２】
測定機の計測用基台に対する小型軽量の計測用の試料の位置合わせには、しばしば可動テーブルが使用される。
従来技術１
従来から用いられている位置合わせ用の可動テーブルの例を図１に示す。図１に示す位置合わせ用の可動テーブル１は、不図示の測定機の計測用基台に対してＸ方向に移動可能なＸ方向移動台２と、このＸ方向移動台２に対してＹ方向に移動可能であり、且つ試料の載置台でもあるＹ方向移動台３を備えている。
【０００３】
Ｘ方向移動台２は、測定機の計測用基台に固定されるＸ方向固定台４に摺動可能に取り付けられている。上記のＸ方向移動台２は、Ｘ方向固定台４に配設されているネジ５が人の指で左右に廻されることによって摺動してＸ方向に進退する。
【０００４】
そして、Ｙ方向移動台３は、Ｘ方向移動台２に固定されるＹ方向固定台６に摺動可能に取り付けられている。このＹ方向移動台３は、Ｙ方向固定台６に配設されているネジ７が人の指で左右に廻されることによって摺動してＹ方向に進退する。
【０００５】
この位置合わせ用の可動テーブル１は、確かに精度良く位置を合わせることができようになっており、位置合わせが終了した後には、その位置で固定されるようになっている。
従来技術２
従来から用いられている、この他の位置合わせ用の可動テーブルの例を図２に示す。図２は、右上に可動テーブルの平面図、右下に正面図、左に側面図を示している。図２に示す可動テーブル８は、天板９ａとその下に板状の磁石９ｂを接着した構造をもつ。
【０００６】
留め具取り付けネジ穴９ｃを用いて天板９ａに取り付けられた留め具９ｄと、計測試料固定ネジ９ｅの間に計測対象の試料を置き、計測資料固定ネジを掴んで可動テーブルを水平方向に移動した後、下方に動かし磁石９ｂの力で計測用基台に固定するようになっている。
【０００７】
従来技術３
また、それぞれ薄い板状の構成の二つの物体からなるソケットコネクタのカバーとベースにおいて、カバーがベースに対して摺動する際に、摺動する方向に垂直する方向に側方偏向を生じることを制限する機構の中の一つに、操作レバーと、この操作レバーに垂直につながる駆動カムを組み込んだ構成が開示されている。（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開２００４−０２２５３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来技術１の場合、上記の位置合わせ用の可動テーブルは、ネジを回すという細かで時間のかかる作業を伴うので迅速な位置合わせ作業ができないという問題がある。
【０００９】
また、固定台とその上を摺動する移動台からなる二段重ねの台が、Ｘ方向とＹ方向とで更に二段重ねになっているので、載置された試料の位置が測定機の計測用基台に対して非常に高くなる。
【００１０】
他方、測定機がレーザ光線を用いる三次元測定機であったりすると、しばしば計測用基台が回転テーブルで構成されている場合がある。
回転テーブルから成る計測用基台に位置決めされるこのような可動テーブルの試料載置台が、計測用基台から大きく離れた高い位置にあると、計測用基台の回転時の偏心による誤差が、試料載置台上に積載される試料の計測精度に悪影響を及ぼすという問題が発生する。
【００１１】
また、上記の位置合わせ用の可動テーブルは、機構が複雑なために装置全体が大きくなって嵩張る。このように嵩張る装置は、使用する測定機に制約を受けるという問題がある。更に、機構が複雑である分だけ費用が嵩むという問題もある。
【００１２】
さらに、この可動テーブルは重く重心も高い。これは計測用基台が回転テーブルである場合は、その軸受けに対して大きな偶力を発生するので、偏心量の経時誤差が大きいという問題もある。
【００１３】
また従来技術２は、可動テーブルが高価であること、試料の積載位置が計測用基台に対して高くなること、および可動テーブルが重く、重心も高いと言う、従来技術１の問題点は解決している。
【００１４】
しかしながら、計測用基台に一旦固定した可動テーブルを計測位置の調整のために移動する必要が生じた場合、計測資料固定ネジ１７をつまんで持ち上げて、移動することになる。
【００１５】
計測用資料を可動テーブルに完全に固定できる場合は問題ないが、容器やフレームは固定できるものの、計測用試料の一部は固定できない場合が少なくない。一方、磁石の吸着力は可動テーブルをしっかりと固定するほど大きい。
【００１６】
したがって、可動テーブルの取り外しを滑らかに行うことが困難であり、勢い余ってしばしば計測対象の試料が動いてしまい、前回行った計測データとの照合ができなくなり、計測の作業性を低下せしめると言う問題をもっている。
【００１７】
また、時には可動テーブルが大きく傾いて計測対象の試料を落としてしまうと言うことすら発生し問題となっていた。
また従来技術３は、それぞれ薄い板状の構成の二つの物体の相対的な摺動時の、摺動方向に垂直する方向への側方偏向を制限する機構を示しているものの、二つの物体は予め定められている位置に嵌め込まれるものであって、操作レバーと駆動カムによって任意の位置に位置決めされるものではない。
【００１８】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、位置合わせ作業が簡単かつ滑らかに行うことができて、測定機の計測用基台に対する載置試料の位置が低く、可動テーブルの重量も小さく重心が低く、機構が簡単で価格が低廉な可動テーブルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の可動テーブルは、鋼または鉄からなる基台に設置され、前記基台に対し所定の位置に手動による移動で位置決めされ、且つ位置決め後に前記基台に固定される可動テーブルであって、天板と、該天板の底面に固着され、前記基台に吸着することによって、前
記天板を前記基台に固定する磁石と、該磁石の吸着力、または該磁石の吸着力と重力に抗して、前記天板を前記基台から前記の固定状態を脱して上昇させる機構と、前記磁石の吸着力、または重力、または前記磁石の吸着力と重力の両方によって所定の上昇位置から前記天板を下降させ、前記磁石の吸着力の作用で前記天板を前記基台に固定する機構を併せ持つ、開放位置と移動位置との間を、それぞれ一つの点を支点に回動する少なくとも二つの操作レバーと、該操作レバーと一体に配設され、且つ該操作レバーの回動に応じて該回動の角度内を順逆に回転するシャフト部と、該シャフト部と一体に形成され、且つ前記天板が設置される前記基台の天板設置面に当接し、且つ前記シャフト部の前記順逆の回転に応じて、前記天板を前記基台に対して上昇させる位置あるいは下降させる位置に回動するカム部と、を有する昇降機構を備えて構成される。
【００２０】
この可動テーブルにおいて、例えば、上記天板は、計測試料を載置・固定する試料固定装置を有する載置台である。また、例えば、上記磁石は、上記天板とほぼ同じ大きさのフェライト磁石板であってもよく、複数に分かれていてもよい。さらに、磁石は基台に接触する構造であってもよいし、基台と天板が接触するものの磁石は基台とは接触しない構造であってもよい。また、磁石と天板、磁石と基台、基台と天板は直接接触する構造であってもよいし、途中に他の部品を介在する構造であってもよい。
【００２１】
シャフト部の運動に関しては、例えば、上記天板に、又は上記磁石に、又は上記天板と上記磁石の両方に形成された上記シャフト部の回転を案内する回転軸案内溝穴と、上記カム部の待機位置となる逃げ部と、を有するように構成するのが好ましい。なお、回転案内溝穴は、天板、磁石に限らずこれらと一体となる他の部品に配備してもよい、
また、例えば、上記シャフト部は硬鋼線からなり、上記カム部は上記シャフト部を屈曲させて上記シャフト部の長手方向に沿って複数形成されているようにしてもよい。
【００２２】
また、例えば、上記シャフト部は硬鋼部材からなり、上記カム部は上記シャフト部と一体に上記シャフト部の長手方向に沿って延在するように１個形成されるように構成してもよい。
【００２３】
また、この可動テーブルにおいて、例えば、上記操作レバーは上記移動位置で移動限界に到達して停止する強制停止機構を備え、上記操作レバーが強制停止位置にあるとき、上記天板は上昇の終端に位置するように構成するのが好ましい。
【００２４】
また、上記昇降機構は、例えば、複数の上記操作レバーと、複数の上記操作レバーに連結されて複数の上記操作レバーを連動させるリンク機構を有するように構成してもよい。
また、この可動テーブルにおいて、例えば、上記天板が上記上昇の終端位置に在るとき、上記磁石は、上記強制停止位置にある上記操作レバーをつまむ指から加えられる外力で、上記天板が上記基台に対して自在な方向に容易に移動可能な程度の磁力を、上記基台に対して維持するように構成するのが好ましい。なお、上記天板が上記基台に対して殆ど磁力を及ぼさない設計も可能である。この場合は、天板は上記上昇の終端においては重力のみが天板を下降させる駆動力となる。
【００２５】
また、上記の説明は基台が水平におかれていることを想定しているが、基台は垂直方向に向いていても問題ない。なお、基台が水平の場合は天板を基台から離脱する力は、重力と磁石の吸着力に抗する必要があるが、垂直の場合は磁石の吸着力のみに抗すればよい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、位置合わせ作業が簡単でかつ滑らかに行うことができて、測定機等の計測用基台に対する載置した試料の位置が低く、軽量で重心も低く、機構が簡単で価格が低廉な可動テーブルを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００２８】
図３は、第１の実施形態における可動テーブルを示す図である。図３は、左上に可動テーブルの平面図を示し、左下に正面図、右に側面図、左中央に平面図から取り出したシャフト及びシャフトと一体なカムを示している。
【００２９】
図３に示す可動テーブル８は、例えば試料を計測する不図示の測定機等の鋼または鉄からなる計測用基台に設置されて使用されるものの例として示されている。
この可動テーブル１０は、天板１１と、この天板１１の底面に固着され、測定機の計測用基台に吸着して、天板１１を計測用基台に平行に固定する磁石１２と、天板１１を測定機の計測用基台に対し矢印ａ又は矢印ｂで示すように昇降させる昇降機構１３とを備えている。
【００３０】
天板１１は、例えば歯医者が患者から採った歯型に基づいて義歯を作製する技工士等が、精度の良い義歯を作製するために歯型を正確に計測する場合等に、測定機の計測用基台に設置されて計測試料の載置台として使用される。
【００３１】
そのような用途のために、上記の天板１１は、歯型等の計測試料を載置・固定するための試料固定装置を備えている。ただし、容器やフレームは固定できるが、計測資料全体を固定できるとは限らず、この場合が特に問題となる。
【００３２】
試料固定装置は、図３の左上に示すように、天板１１の上面後方（図の左方）の２隅にそれぞれ形成されている留め具取付けネジ穴１４、留め具取付け予備ネジ穴１５、これらのネジ穴に捻じ込まれて固定される計測試料留め具１６（図３の左下）、及び天板前面の計測試料固定ネジ１７で構成されている。
【００３３】
天板１１に載置される計測試料は、２個の計測試料留め具１６と計測試料固定ネジ１７とで三方から挟持されて天板１１上に固定される。
磁石１２は、本例では、天板１１とほぼ同じ大きさのフェライト磁石板で構成されている。しかし磁石１２の配置形状はこれに限ることなく、例えば、磁石の吸着力が大き過ぎる場合は適宜小面積のフェライト磁石板を用いるのがよい。
【００３４】
また、本例はフェライト磁石板が計測用基台に接触するがこの形に限るものではない。例えば、本例の変形例として、図４のように天板１１が案内溝板や押さえ板を介して計測用基台に接触し、フェライト磁石板は計測用基台とわずかに離れた形に配置してもよい。
【００３５】
図４は、左上に上記変形例の可動テーブルの平面図を示し、左三段目に正面図、右中央寄りに側面図を示している。さらに、左二段目に平面図から取り出したシャフト及びシャフトと一体なカムを示し、左下に基台と磁石の位置関係を示す拡大図（平面図のＡ−Ａ´断面矢視拡大図）を示し、右に側面図の一部拡大図を示している。
【００３６】
尚、図４では、図３と異なる構成部分には図３と異なる新たな符号を付与して示し、図４に示した構成または機能が、図３に示した構成または機能と同一である場合は、図３と同一の番号を、図３と対比できる程度に簡略に示している。
【００３７】
図４に示すように、この変形例では、天板１１の底面に、案内溝板３４が密着し、その下面には、シャフト２１を下から押えて保持する押さえ板３５が配置されている。
案内溝板３４には回転軸案内溝穴２３が形成されており、更にこの案内溝板３４と押さえ板３５には、カム部２２の逃げ部２４が形成されている。
【００３８】
図４の左下に示すように、天板１１が案内溝板３４と押さえ板３５を介して計測用基台３６に接触して固定されるとき、磁石収納部３７に配設されているＮ極３８とＳ極３９からなる磁石１２は、微小量ｈだけ計測用基台３６から離れる（換言すれば押さえ板３５の下面から引っ込む）ように配置されている。
【００３９】
この図４に示す変形例の形態によると、製作費は大きくなるが磁石の形状的な耐久性は大きくなる。
図３に戻り（図４も上記の変形部分を除いてほぼ同様）、昇降機構１３は、少なくとも二つの操作レバー１８を備えている。二つの操作レバー１８は、その一端１９を支点にして、図３の右に示すように、開放位置Ｆと移動位置Ｍとの間を回動する。
【００４０】
これらの操作レバー１８には、その一端１９に、シャフト部２１が一体になって配設されている。シャフト部２１は、操作レバー１８の上記の回動に応じてその回動の角度内を順逆に回転する。
【００４１】
これらシャフト部２１には、本例では硬鋼線が用いられる。そして、このシャフト部２１には、カム部２２が一体に形成されている。
カム部２２は、図３の左上及び中央に示すように、硬鋼線製のシャフト部２１を屈曲させてシャフト部２１に複数（本例ではシャフト部２１ごとに２個）形成されている。
【００４２】
また、カム部２２は、シャフト部２１に対し、天板１１の内側（中心部側）に向けて突設されている。
本例ではこれらのカム部２２は重力によって、天板１１が設置される測定機の計測用基台の天板設置面に常に当接しており、操作におけるガタツキがない構造になっている。
【００４３】
そして、これらのカム部２２は、図３の右に示すように、操作レバー１８の移動位置Ｍと開放位置Ｆ間の回動に連動するシャフト部２１の順逆の回転に応じて、測定機の計測用基台に対し、天板１１を矢印ａ及び矢印ｂで示すように上昇させる位置Ｕと下降させる位置Ｄとに回動する。
【００４４】
また、昇降機構１３は、シャフト部２１の回転を案内する回転軸案内溝穴２３と、カム部２２の逃げ部２４を有している。
回転軸案内溝穴２３は、シャフト部２１が回転するときに位置ずれが生じないように、シャフト部２１を収容してその回転を案内する。
【００４５】
逃げ部２４は、カム部２２が天板１１を下降させる位置Ｄに回動した待機位置に在るときの逃げ場を構成する。
これら回転軸案内溝穴２３と逃げ部２４は、天板１１に形成されるようにしてもよく、又は磁石１２に形成されるようにしてもよく、又は天板１１と磁石１２の両方に形成されるようにしてもよいし、天板１１と一体となる他の部品に配備されてもよい。
【００４６】
また、上記の操作レバー１８には、移動位置Ｍで、その移動限界に到達して強制的に停止させられる強制停止機構を備えている。
図３の左上と右に示す例では、二つの操作レバー１８が移動位置Ｍ方向に動かされたとき、それぞれ計測試料固定ネジ１７の両側面に当接して強制的に停止させられる。
【００４７】
このように、操作レバー１８が強制停止位置（＝移動位置Ｍ）にあるとき、天板１１は
、上昇の終端に位置することになる。
また、磁石１２の磁力は計測用基台から離れるにつれて弱まるが、天板１１が上昇の終端位置に在るとき、天板１１が計測用基台に対し自在な方向に容易に移動可能な程度の磁力を、計測用基台に対して維持するように設計されている。
【００４８】
すなわち、天板１１が上昇の終端位置に在るときでも、人が指で強制停止位置（＝移動位置Ｍ）にある操作レバー１８をつまんで、天板１１を容易に動かすことが出来る程度の弱い磁力が磁石１２から計測用基台に向けて維持されている。
【００４９】
このように昇降機構１３は、人の指による操作レバー１８の開放位置Ｆから移動位置Ｍへの移動に応じてカム部２２が下降位置Ｄから上昇位置Ｕへと回動することにより、磁石１２の磁力による計測用基台への吸着力に抗して、天板１１を計測用基台から矢印ａで示す方向に上昇させる。
【００５０】
しかも、カムで上昇させるので可動テーブルの動きは滑らかであり、水平が保たれるので、人手で引き離すときのような勢い余って試料の位置が変わってしまうと言うような不具合は発生しない。
【００５１】
そして、磁石１２と計測用基台との間に働く磁力は、天板１１が計測用基台から脱落することのない程度の強さであり、それでいて、移動位置Ｍに位置固定された操作レバー１８をつまんだ指で天板１１を所望の方向へ自在に動かすことができる程度に弱いものである。
【００５２】
このような磁石１２と計測用基台との間に形成される磁力は、カム部２２の突出部分の大きさを加減することで容易に調節できる。
また、操作レバー１８を、より長い形状に構成すると、指先にそれほど強い力を入れなくても、弱い力で、磁石１２によって天板１１全体に生じる計測用基台への強い吸着力に抗して、天板１１を容易に上昇の終端位置に持ち上げることができる。
【００５３】
この状態で、操作レバー１８を移動位置Ｍの固定位置でつまんだまま、指で天板１１を所望の方向へ動かすと、カム部２２の先端が計測用基台の面を滑動する。
したがって、天板１１の下面を計測用基台の上面に対して平行に維持したまま、天板１１を指先で自在に動かすことができる。
【００５４】
これにより、天板１１上の計測試料を所定の計測位置に配置することができる。位置合わせが出来たならば、操作レバー１８をつまみから放す。
すると天板１１は、上記所定の上昇位置から、重力と磁石１２の吸着力で計測用基台に向けて下降し計測用基台に接触した時点で磁石１２から働く磁力が最強となり、天板１１が計測用基台に強固に固定される。
【００５５】
このように、本発明の可動テーブル１０を用いると、操作レバー１８をつまむだけで、計測用基台に強固に固定されたいた可動テーブル１０を計測用基台から浮き上がらせることが容易にかつ滑らかに行うことができて、且つ弱い磁力による計測用基台への吸着力を維持したまま、天板１１を指先で動かして位置合わせすることが短時間で実現する。
【００５６】
また、本発明の可動テーブル１０の構成においては、天板１１の計測試料を載置・固定する上面の計測用基台からの高さは、天板１１の厚さと磁石１２の厚さだけであるので、計測用基台の面に近接した状態が維持される。
【００５７】
したがって、測定機の計測用基台が回転機能を備えたものである場合でも、計測用基台
の回転の偏心誤差は、ほとんど拡大することはないので、計測試料を高い精度で計測することが可能となる。
【００５８】
また、本例は図１に示す従来の可動テーブルに比べて軽量である上に、重心も低いので、計測用基台の回転軸に加わる偶力が著しく軽減される。
このことは、計測用基台の回転駆動系の経時誤差が低減されることにつながり、計測データの精度維持に大きく貢献する。
【実施例２】
【００５９】
図５は、第２の実施形態における可動テーブルを示す図である。なお、図５に示した構成または機能が、図３に示した構成または機能と同一である場合は、図３と同一の番号を付与して示している。また、図５には、試料固定装置の図示を省略している。
【００６０】
図５に示すように、本例の可動テーブル２５は、図３に示した操作レバー１８の頭に、ほぼ球形の抓み部２６が操作レバー１８と一体に取り付けられている。
この抓み部２６があることで、指先で二つの操作レバー１８をつまんで矢印ｃ及びｄで示す移動方向に操作レバー１８を移動させるとき、指先が二つの操作レバー１８の上方向に滑り抜ける不具合が生じる可能性を防止することができる。
【００６１】
また、抓み部２６があることで、操作レバー１８をつまむ指先が、抓み部２６の下方で操作レバー１８に良く固定される。したがって、不図示の測定機の計測用基台から天板１１を浮き上がらせた後の位置合わせの作業を、より容易に行うことができるようになる。
【００６２】
尚、本例における強制停止機構は、抓み部２６が兼ねており、二つの抓み部２６が天板１１の前面中央で当接し合ったときに、操作レバー１８は強制的停止させられる。
【実施例３】
【００６３】
図６は、第３の実施形態における可動テーブルを示す図である。尚、図６に示した構成または機能が、図３又は図５に示した構成または機能と同一の場合は、図３又は図５と同一の番号を付与して示している。また、図６には、試料固定装置の図示を省略している。
【００６４】
本例における可動テーブル２７の操作レバー１８は、図６に示す開放位置において、Ｘ状に交差して配置される。
また、これらの操作レバー１８と一体なシャフト部２１に形成されているカム部２２はシャフト部２１に対し、天板１１の外側に向けて突設されている。
【００６５】
ここで操作レバー１８を指でつまんで矢印ｅ及びｆで示す移動方向に動かすと、この操作レバー１８と一体なシャフト部２１は、第１及び第２の実施形態の可動テーブル１０及び２５の場合と逆の方向に回転する。
【００６６】
そして、この回転に伴ってカム部２２が回動し、計測用基台の面を押して、天板１１を計測用基台から浮き上がらせる。
本例の操作レバー１８は、開放位置においてＸ状に交差して配置されているので、二つの操作レバー１８の先端をつまむ指先は、常に操作レバー１８の外側で、外側斜め下方に押さえ込まれる形となる。
【００６７】
したがって、操作レバー１８の先端を指先でつまんで操作レバー１８を矢印ｅ及びｆで示す移動方向に動かしたとき、指先が滑って操作レバー１８から外れることがない。
なお、二つの操作レバー１８の先端をつまむ指先は、常に操作レバー１８の外側にあるので、指が操作レバー１８の移動限界を構成するので、敢えてシャフト部２１と同じある
いは逆方向に向かう強制停止のためのストッパを操作レバー１８に配備する必要はない。
【００６８】
また、カム部２２が、シャフト部２１に対して天板１１の外側に向けて突設されているので、カム部２２はシャフト部２１よりも外側で、つまりシャフト部２１よりも広い範囲で計測用基台の面を押して、天板１１を計測用基台から浮き上がらせることになる。
【００６９】
これは、四つのカム部２２がシャフト部２１の外側で、つまり第１及び第２の実施形態の可動テーブル１０及び２５の場合よりも広い範囲で、計測用基台に接するので、４つのカム部２２による支点が第１及び第２の実施形態の場合よりも広がることになる。
【００７０】
このように四つのカム部２２による支点が拡がっているので、天板１１が計測用基台から浮き上がっている状態での位置合わせにおける天板１１の姿勢がより安定する。
本形式は、レバー及びカムの形状、ならびにシャフトの軸の位置を適切に設計することによって、天板に対するレバーを位置を、図５の形式に較べて低くできるので、計測における死角を減ずることができるという特徴をもっている。
【実施例４】
【００７１】
図７は、第４の実施形態における可動テーブルに使用される昇降機構の例を示す図である。尚、図７に示した構成または機能が、図３又は図５に示した構成または機能と同一の場合は、図３又は図５と同一の番号を付与して示している。また、図７には昇降機構を構成する１組の一方の構成のみを示している。
【００７２】
図７に示すように、本例の昇降機構の構成において、操作レバー１８と、この操作レバー１８の下端部に固設されるシャフト部２１は、硬鋼部材から成る。
そして、カム部２２は、同様の硬鋼部材によりシャフト部２１と一体にシャフト部２１の長手方向に沿って２個形成されている。なお、カム部２２は３個以上としてもよい。
【００７３】
本例の昇降機構は全体が硬鋼部材より成るので構成が頑丈であり、より大型な可動テーブルに用いることができる。
【実施例５】
【００７４】
図８は、第５の実施形態における可動テーブルに使用される昇降機構の例を示す図である。尚、図８に示した構成または機能が、図７に示した構成又は機能と同一の場合は、図７と同一の番号を付与して示している。また、図８には昇降機構を構成する１組の構成のみを示している。
【００７５】
図８に示す本例の昇降機構の構成において、操作レバー１８と、この操作レバー１８の下端部に固設されるシャフト部２１と、このシャフト部２１と一体に形成されているカム部２２は、硬鋼部材から成る。
【００７６】
そして、カム部２２は、シャフト部２１の長手方向に沿って延在するように１個形成されている。
このように１個のカム部でも、シャフト部２１の長手方向に沿って延在するように拡がっているので、カムとしての機能は、図７に示す第４の実施形態における昇降機構の場合と同様である。
【００７７】
すなわち、本例の昇降機構も、全体が硬鋼部材より成るので構成が頑丈であり、より大型な可動テーブルに用いることができる。
【実施例６】
【００７８】
ところで、可動テーブルが、水平に、より広がりのある大きなテーブルになると、寸法的に実施例１ないし５の形態では指で掴みやすい操作レバーを設計し難い場合がある。
しかし、そのような場合でも、リンク機構を採用することにより対応することができる。これを第６の実施形態として以下に説明する。
【００７９】
図９に、第６の実施形態における可動テーブルに使用される昇降機構の例を示す。この図９は、図３の右に示した側面図と同様の方角から本例の可動テーブルを見た図である。
尚、図９に示した構成または機能が、図３又は図５に示した構成または機能と同一の場合は、図３又は図５と同一の番号を付与して示している。また、図９には試料固定装置を省略している。
【００８０】
図９に示す昇降機構１３は、三つの操作レバー１８と、これら三つの操作レバー１８に連結されて、三つの操作レバー１８を連動させるリンク機構を有する。ここでは三つの操作レバーの形式を例示したが、可動テーブルが小さい場合は二つの操作レバーでも十分滑らかに操作できる。
【００８１】
リンク機構は、連結バー２８と支持部材２９とで構成される。支持部材２９は、上端の支持部３１で連結バー２８の一端部を摺動自在に支持し、その支持部３１に支持されて連結バー２８は図の両方向矢印ｇで示すように水平方向に進退する。
【００８２】
図９に示す連結バー２８の位置は、開放位置から移動方向に動いたときの位置である。連結バー２８の係合部３２に係合する三つの操作レバー１８は、連結バー２８の図の右方への移動に連動して、図の右方に回動している。
【００８３】
これにより、シャフト部２１に形成されているカム部２２が、逃げ部（図３の左上の平面図参照）から下方に回動して、その先端が磁石１２の下面から突出して、不図示の測定機の計測用基台の面を押しやり、天板１１を計測用基台の面から浮き上がらせている。
【００８４】
このように、可動テーブルが、水平に、より広がりのある大きなテーブルの場合には、可動テーブルに均等に三つ以上（本例の図では３つだが四つ以上でもよい）の操作レバー１８、シャフト部２１、それらのカム部２２を配置する。
【００８５】
本例の場合も、操作の容易性や、計測用基台の面に対して天板１１が低い位置にあって偏心誤差の拡大の恐れがない高精度性など、前述した第１〜第５の実施形態の場合と何ら変わることはない。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】従来の位置合わせ用の可動テーブルの例を示す図である。
【図２】従来の位置合わせ用の可動テーブルの他の例を示す図である。
【図３】第１の実施形態における可動テーブルを示す図である。
【図４】第１の実施形態における可動テーブルの変形例を示す図である。
【図５】第２の実施形態における可動テーブルを示す図である。
【図６】第３の実施形態における可動テーブルを示す図である。
【図７】第４の実施形態における可動テーブルに使用される昇降機構の例を示す図である。
【図８】第５の実施形態における可動テーブルに使用される昇降機構の例を示す図である。
【図９】第６の実施形態における可動テーブルに使用される昇降機構の例を示す図である。
【符号の説明】
【００８７】
１    可動テーブル
２    Ｘ方向移動台
３    Ｙ方向移動台
４    Ｘ方向固定台
５    ネジ
６    Ｙ方向固定台
７    ネジ
８    可動テーブル
９ａ  天板
９ｂ  磁石
９ｃ  留め具取り付けネジ穴
９ｄ  留め具
９ｅ  計測試料固定ネジ
１０    可動テーブル
１１    天板
１２    磁石
１３    昇降機構
１４    留め具取付けネジ穴
１５    留め具取付け予備ネジ穴
１６    計測試料留め具
１７    計測試料固定ネジ
１８    操作レバー
１９    一端
２１    シャフト部
２２    カム部
２３    回転軸案内溝穴
２４    逃げ部
２５    可動テーブル
２６    抓み部
２７    可動テーブル
２８    連結バー
２９    支持部材
３１    支持部
３２    係合部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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