(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第１配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項５】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項６】
請求項５に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項７】
請求項５または６に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項８】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項９】
請求項８に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項１０】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項１１】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第１配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項１３】
請求項１１または１２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項１４】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第１配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項１６】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第１配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項１７】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記各配置方法に加え、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項１９】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項２０】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項２１】
請求項１から２０のうちいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記制御部は、規定時間内に完了したスケジュールのうち、最も早く処理が完了する唯一のスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項２２】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第１配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【請求項２３】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【請求項２４】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【請求項２５】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【請求項２６】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第１配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【請求項２７】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第１配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【請求項２８】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第１配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【請求項２９】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【請求項３０】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【請求項３１】
基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
前記制御部は、
各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法と、
前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法と、
を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）に洗浄、エッチング、乾燥等の所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の方法として、基板に処理を行うための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が、複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を予め決定し、そのスケジュールにしたがって各ロットを搬送させつつ順次に処理を行うものがある。
【０００３】
具体的には、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、その処理工程を基点として系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置する（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００４】
上記のような基板処理装置のスケジュール作成方法は、実際にロットに対する処理を開始する前に、どのロットをどの処理部でどの時点において処理するか決めてゆくので、効率よくロットの各処理工程を配置することができ、基板処理装置の稼働率を向上させることができる。
【０００５】
しかしながら、これらの基板処理装置のスケジュール作成方法では、待機時間を抑制することができるので、稼働率を向上させることができる一方、処理工程の組み合わせにおいて配置に不都合が生じると、系譜図を遡るような「戻り」が頻繁に生じることがある。そのためスケジュールの作成に長時間を要することがある。
【０００６】
上記のようにスケジュール作成に長時間を要する場合に対処するため、スケジュール作成に要した時間と予め決めた基準時間とを比較し、基準時間を越えた場合には、基準時間に所定時間を加えて新たな基準時間とし、スケジュール作成に長時間を要しても、スケジュール完了時点がスケジュールされた時刻を過ぎないようにしている（特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００３−２４１８１８号公報
【特許文献２】特開２００３−２４３２７４号公報
【特許文献３】特許第３７１２３７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の基板処理装置のスケジュール作成方法は、待機時間を抑制して稼働率を向上させることができる効果を得ようとすると、スケジュール作成に長時間を要することがある。そして、それに起因する問題を防止しようとすると、次に配置されるロットの処理工程の配置位置を後ろにずらす必要が生じ、その結果、かえって待機時間が増えて稼働率が向上できなくなる恐れが生じるとともに、スケジュール対象のロットが減って柔軟なスケジュール作成ができなくなるという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、複数種類の配置方法を備えることにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止するとともに、稼働率を向上させることができる基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第１配置方法と、を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とするものである。
【００１０】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットの最初の処理工程を配置した後、その処理工程を基点として系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、それらの前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置するようにして予めスケジュールする（基本配置方法）。これとともに、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、その処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、系譜図において当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開してスケジュールする（第１配置方法）。
【００１１】
したがって、基本配置方法により予めスケジュールすることで、前の処理工程の後作業と、その後の処理工程の前作業とを重複させて配置可能であり、前の処理工程が早く終了するロットの処理工程を次の処理工程として優先的に選択して配置することで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮することができるスケジュールを予め作成することができる。さらに、第１配置方法では、配置不可能な理由を有する処理工程よりも系譜図において下手にあるものについて配置の試行を行なわないので、試行回数を少なくすることができる。その結果、基本配置方法に比較してスケジュール時間を短縮することができる。このように、それぞれ特徴が異なる基本配置方法と第１配置方法によって同時に複数のスケジュールを作成し、規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止するとともに、かえって無駄な待機時間が生じることを防止して稼働率を向上させることができる。
【００１２】
また、本発明において、前記各配置方法に加え、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法を備えていることが好ましい（請求項２）。最初に指定された各ロットの処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆくことにより、あるロットの処理工程を配置した後、異なるロットの処理工程を配置する際に、物理的制限によって配置不可能となって、系譜図を遡るような、処理工程の配置における戻りが生じるのを抑制することができる。したがって、スケジュール時間を短縮することができる。
【００１３】
また、本発明において、前記各配置方法に加え、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法を備えていることが好ましい（請求項３）。先に配置したロットと同一のロットの処理工程を優先的に配置することにより、装置が停止した状態から処理を再開するスケジュールに関してスケジュール時間を短縮できる。
【００１４】
また、本発明において、前記各配置方法に加え、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法を備えていることが好ましい（請求項４）。許容時間が短い処理工程は、物理的に配置することができても、許容時間が守れずに配置不可能となって系譜図にて戻りが生じることが多くなる。そこで、許容時間が短い処理工程を優先的に配置することにより、許容時間に起因する配置不可能を回避し易くできるので、スケジュール時間を短縮できる。
【００１５】
また、請求項５に記載の発明は、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法と、を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とするものである。
【００１６】
［作用・効果］請求項５に記載の発明によれば、制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットの最初の処理工程を配置した後、その処理工程を基点として系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、それらの前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置するようにして予めスケジュールする（基本配置方法）。これとともに、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく（第２配置方法）。
【００１７】
したがって、基本配置方法により予めスケジュールすることで、前の処理工程の後作業と、その後の処理工程の前作業とを重複させて配置可能であり、前の処理工程が早く終了するロットの処理工程を次の処理工程として優先的に選択して配置することで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮することができるスケジュールを予め作成することができる。さらに、第２配置方法は、物理的制限によって配置不可能となって、系譜図を遡るような、処理工程の配置における戻りが生じるのを抑制することができる。したがって、スケジュール時間を短縮することができ、基本配置方法に比較してスケジュール時間を短縮することができる。このように、それぞれ特徴が異なる基本配置方法と第２配置方法によって同時に複数のスケジュールを作成し、規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止するとともに、かえって無駄な待機時間が生じることを防止して稼働率を向上させることができる。
【００１８】
また、請求項８に記載の発明は、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法と、を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とするものである。
【００１９】
［作用・効果］請求項８に記載の発明によれば、制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットの最初の処理工程を配置した後、その処理工程を基点として系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、それらの前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置するようにして予めスケジュールする（基本配置方法）。これとともに、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する（第３配置方法）。
【００２０】
したがって、基本配置方法により予めスケジュールすることで、前の処理工程の後作業と、その後の処理工程の前作業とを重複させて配置可能であり、前の処理工程が早く終了するロットの処理工程を次の処理工程として優先的に選択して配置することで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮することができるスケジュールを予め作成することができる。さらに、第３配置方法は、先に配置したロットと同一のロットの処理工程を優先的に配置することにより、装置が停止した状態から処理を再開するスケジュールに関してスケジュール時間を短縮できる。このように、それぞれ特徴が異なる基本配置方法と第３配置方法によって同時に複数のスケジュールを作成し、規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止するとともに、かえって無駄な待機時間が生じることを防止して稼働率を向上させることができる。
【００２１】
また、請求項１０に記載の発明は、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法と、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法と、を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とするものである。
【００２２】
［作用・効果］請求項１０に記載の発明によれば、制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットの最初の処理工程を配置した後、その処理工程を基点として系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、それらの前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として配置するようにして予めスケジュールする（基本配置方法）。これとともに、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する（第４配置方法）。
【００２３】
したがって、基本配置方法により予めスケジュールすることで、前の処理工程の後作業と、その後の処理工程の前作業とを重複させて配置可能であり、前の処理工程が早く終了するロットの処理工程を次の処理工程として優先的に選択して配置することで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮することができるスケジュールを予め作成することができる。ところで、許容時間が短い処理工程は、物理的に配置することができても、許容時間が守れずに配置不可能となって系譜図にて戻りが生じることが多くなる。そこで、第４配置方法は、許容時間が短い処理工程を優先的に配置することにより、許容時間に起因する配置不可能を回避し易くできるので、スケジュール時間を短縮できる。その結果、基本配置方法に比較してスケジュール時間を短縮することができる。このように、それぞれ特徴が異なる基本配置方法と第４配置方法によって同時に複数のスケジュールを作成し、規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止するとともに、かえって無駄な待機時間が生じることを防止して稼働率を向上させることができる。
【００２４】
また、請求項１１に記載の発明は、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第１配置方法と、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法と、を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とするものである。
【００２５】
［作用・効果］請求項１１に記載の発明によれば、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するにあたり、その処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、系譜図において当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開してスケジュールする（第１配置方法）。これとともに、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく（第２配置方法）。
【００２６】
したがって、基本配置方法を用いつつも第１配置方法によりスケジュールを行なうことにより、配置不可能な理由を有する処理工程よりも系譜図において下手にあるものについて配置の試行を行なわないので、試行回数を少なくすることができる。その結果、基本配置方法に比較してスケジュール時間を短縮することができる。さらに、第２配置方法は、物理的制限によって配置不可能となって、系譜図を遡るような、処理工程の配置における戻りが生じるのを抑制することができる。したがって、スケジュール時間を短縮することができる。その結果、基本配置方法に比較してスケジュール時間を短縮することができる。このように、それぞれ特徴が異なる第１配置方法と第２配置方法によって同時に複数のスケジュールを作成し、規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止するとともに、かえって無駄な待機時間が生じることを防止して稼働率を向上させることができる。
【００２７】
また、請求項１４に記載の発明は、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第１配置方法と、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法と、を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とするものである。
【００２８】
［作用・効果］請求項１４に記載の発明によれば、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するにあたり、その処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、系譜図において当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開してスケジュールする（第１配置方法）。これとともに、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する（第３配置方法）。
【００２９】
したがって、基本配置方法を用いつつも第１配置方法によりスケジュールを行なうことにより、配置不可能な理由を有する処理工程よりも系譜図において下手にあるものについて配置の試行を行なわないので、試行回数を少なくすることができる。その結果、基本配置方法に比較してスケジュール時間を短縮することができる。さらに、第３配置方法では、先に配置したロットと同一のロットの処理工程を優先的に配置することにより、装置が停止した状態から処理を再開するスケジュールに関してスケジュール時間を短縮できる。このように、それぞれ特徴が異なる第１配置方法と第３配置方法によって同時に複数のスケジュールを作成し、規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止するとともに、かえって無駄な待機時間が生じることを防止して稼働率を向上させることができる。
【００３０】
また、請求項１６に記載の発明は、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、前記処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開する第１配置方法と、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法と、を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とするものである。
【００３１】
［作用・効果］請求項１６に記載の発明によれば、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するにあたり、その処理工程にて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該処理工程の配置を回避するとともに、系譜図において当該処理工程よりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開してスケジュールする（第１配置方法）。これとともに、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する（第４配置方法）。
【００３２】
したがって、基本配置方法を用いつつも第１配置方法によりスケジュールを行なうことにより、配置不可能な理由を有する処理工程よりも系譜図において下手にあるものについて配置の試行を行なわないので、試行回数を少なくすることができる。その結果、基本配置方法に比較してスケジュール時間を短縮することができる。ところで、許容時間が短い処理工程は、物理的に配置することができても、許容時間が守れずに配置不可能となって系譜図にて戻りが生じることが多くなる。そこで、第４配置方法は、許容時間が短い処理工程を優先的に配置することにより、許容時間に起因する配置不可能を回避し易くできるので、スケジュール時間を短縮できる。その結果、基本配置方法に比較してスケジュール時間を短縮することができる。このように、それぞれ特徴が異なる第１配置方法と第４配置方法によって同時に複数のスケジュールを作成し、規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止するとともに、かえって無駄な待機時間が生じることを防止して稼働率を向上させることができる。
【００３３】
また、請求項１７に記載の発明は、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法と、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法と、を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とするものである。
【００３４】
［作用・効果］請求項１７に記載の発明によれば、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するにあたり、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく（第２配置方法）。これとともに、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する（第３配置方法）。
【００３５】
したがって、基本配置方法を用いつつも第２配置方法によりスケジュールを行なうことにより、物理的制限によって配置不可能となって、系譜図を遡るような、処理工程の配置における戻りが生じるのを抑制することができる。したがって、スケジュール時間を短縮することができる。さらに、第３配置方法では、先に配置したロットと同一のロットの処理工程を優先的に配置することにより、装置が停止した状態から処理を再開するスケジュールに関してスケジュール時間を短縮できる。このように、それぞれ特徴が異なる第２配置方法と第３配置方法によって同時に複数のスケジュールを作成し、規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止するとともに、かえって無駄な待機時間が生じることを防止して稼働率を向上させることができる。
【００３６】
また、請求項１９に記載の発明は、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、前記処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく第２配置方法と、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法と、を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とするものである。
【００３７】
［作用・効果］請求項１９に記載の発明によれば、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するにあたり、最初に指定された各ロットの処理開始順序に応じて各ロットについて最初の処理工程を配置した後、各ロットの次なる処理工程のうち、処理開始順序が先のロットの処理工程を優先的に配置してゆく（第２配置方法）。これとともに、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する（第４配置方法）。
【００３８】
したがって、基本配置方法を用いつつも第２配置方法によりスケジュールを行なうことにより、物理的制限によって配置不可能となって、系譜図を遡るような、処理工程の配置における戻りが生じるのを抑制することができる。したがって、スケジュール時間を短縮することができる。ところで、許容時間が短い処理工程は、物理的に配置することができても、許容時間が守れずに配置不可能となって系譜図にて戻りが生じることが多くなる。そこで、第４配置方法は、許容時間が短い処理工程を優先的に配置することにより、許容時間に起因する配置不可能を回避し易くできるので、スケジュール時間を短縮できる。その結果、基本配置方法に比較してスケジュール時間を短縮することができる。このように、それぞれ特徴が異なる第２配置方法と第４配置方法によって同時に複数のスケジュールを作成し、規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止するとともに、かえって無駄な待機時間が生じることを防止して稼働率を向上させることができる。
【００３９】
また、請求項２０に記載の発明は、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が複数の処理工程を含む処理手順に基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定する基板処理装置のスケジュール作成方法において、前記制御部は、各ロットの各処理工程についての処理手順に応じた組み合わせを表す系譜図に基づいて、いずれかのロットについて最初の処理工程を配置した後、前記処理工程を基点として前記系譜図を辿りつつ、各ロットの次なる処理工程のうち、各々の前の処理工程における終了予定時刻が最も早いロットに対する処理工程を次の処理工程として探索して配置する基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する第３配置方法と、前記基本配置方法に基づいて処理工程を配置する際に、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する第４配置方法と、を実行して複数のスケジュールを作成するとともに、その中で規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することを特徴とするものである。
【００４０】
［作用・効果］請求項２０に記載の発明によれば、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、先に配置したロットの処理工程に続けて配置可能な前記ロットの処理工程がある場合、前記ロットの処理工程を優先的に配置する（第３配置方法）。これとともに、制御部は、基本配置方法に基づいて処理工程を配置するとともに、処理部において待機させることができる許容時間が短い処理工程を有するロットの処理工程を優先的に配置する（第４配置方法）。
【００４１】
したがって、第３配置方法では、装置が停止した状態から処理を再開するスケジュールに関してスケジュール時間を短縮できる。ところで、許容時間が短い処理工程は、物理的に配置することができても、許容時間が守れずに配置不可能となって系譜図にて戻りが生じることが多くなる。そこで、第４配置方法は、許容時間が短い処理工程を優先的に配置することにより、許容時間に起因する配置不可能を回避し易くできるので、スケジュール時間を短縮できる。その結果、基本配置方法に比較してスケジュール時間を短縮することができる。このように、それぞれ特徴が異なる第３配置方法と第４配置方法によって同時に複数のスケジュールを作成し、規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止するとともに、かえって無駄な待機時間が生じることを防止して稼働率を向上させることができる。
【００４２】
また、本発明において、前記制御部は、規定時間内に完了したスケジュールのうち、最も早く処理が完了する唯一のスケジュールを選択することが好ましい（請求項２１）。規定時間内に完了したスケジュールが複数あった場合には、その中で最も処理が早く完了するものを選択することにより、装置の稼働率を向上させることができる。
【発明の効果】
【００４３】
本発明に係る基板処理装置のスケジュール作成方法によれば、基本配置方法により予めスケジュールすることで、前の処理工程の後作業と、その後の処理工程の前作業とを重複させて配置可能であり、前の処理工程が早く終了するロットの処理工程を次の処理工程として優先的に選択して配置することで、次の処理工程が終了するまでの時間を短縮することができるスケジュールを予め作成することができる。さらに、第１配置方法では、配置不可能な理由を有する処理工程よりも系譜図において下手にあるものについて配置の試行を行なわないので、試行回数を少なくすることができる。その結果、基本配置方法に比較してスケジュール時間を短縮することができる。このように、それぞれ特徴が異なる基本配置方法と第１配置方法によって同時に複数のスケジュールを作成し、規定時間内にスケジュールが完了した一つのスケジュールを選択することにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止するとともに、かえって無駄な待機時間が生じることを防止して稼働率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
図１は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【００４５】
この基板処理装置は、例えば、基板Ｗに対して薬液処理及び洗浄処理及び乾燥処理を施すための装置である。基板Ｗは複数枚（例えば２５枚）が水平姿勢でFOUP（Front Opening Unified Pod）１に対して起立姿勢で収納されている。未処理の基板Ｗを収納したFOUP１は、投入部３に載置される。投入部３は、FOUP１を載置される載置台５を二つ備えている。基板処理装置の中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済みの基板ＷをFOUP１に収納してFOUP１ごと払い出す。このように機能する払出部７は、投入部３と同様に、FOUP１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００４６】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構ＣＴＣが配置されている。第１搬送機構ＣＴＣは、投入部３に載置されたFOUP１から複数枚の基板Ｗを取り出すとともに、基板Ｗの姿勢を水平方向から垂直方向へ変換した後、第２搬送機構ＷＴＲに対して基板Ｗを受け渡す。また、第1搬送機構ＣＴＣは、第２搬送機構ＷＴＲから処理済みの基板Ｗを受け取った後に、基板Ｗの姿勢を垂直方向から水平方向へ変換して、払出部７のFOUP１に基板Ｗを収容する。第２搬送機構ＷＴＲは、基板処理装置の長手方向に向けて移動可能に構成されている。
【００４７】
上記第２搬送機構ＷＴＲの移動方向における最も手前側には、複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して乾燥させるための二つの乾燥処理部ＬＰＤ１，ＬＰＤ２が配備されている。
【００４８】
第２搬送機構ＷＴＲの移動方向であって上記乾燥処理部ＬＰＤ２に隣接する位置には、第１処理部１９が配備されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水洗浄処理を施すための純水洗浄処理部ＯＮＢ１を備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して処理液によって薬液処理を施すための薬液処理部ＣＨＢ１を備えている。また、これらの間で基板Ｗを搬送する副搬送機構ＬＦ１を備えている。この副搬送機構ＬＦ１は、第１処理部１９内での基板搬送の他に、第２搬送機構ＷＴＲとの間で基板Ｗを受け渡しする。
【００４９】
第１処理部１９に隣接した位置には、第２処理部２０が配備されている。この第２処理部２０は、上述した第１処理部１９と同様の構成である。つまり、純水洗浄処理部ＯＮＢ２と、薬液処理部ＣＨＢ２と、副搬送機構ＬＦ２とを備えている。
【００５０】
また、第２処理部２０に隣接した位置には、第３処理部２１が配備されている。この第３処理部２１は、純水洗浄処理部ＯＮＢ３と、薬液処理部ＣＨＢ３と、副搬送機構ＬＦ３とを備えている。
【００５１】
さらに、第３処理部２１に隣接した位置には、第４処理部２２が配備されている。この第４処理部２２は、純水洗浄処理部ＯＮＢ４と、薬液処理部ＣＨＢ４と、副搬送機構ＬＦ４とを備えている。
【００５２】
なお、上述した第１搬送機構ＣＴＣと、第２搬送機構ＷＴＲと、乾燥処理部ＬＰＤ１，ＬＰＤ２と、第１処理部１９（純水洗浄処理部ＯＮＢ１，薬液処理部ＣＨＢ１，副搬送機構ＬＦ１）と、第２処理部２０（純水洗浄処理部ＯＮＢ２，薬液処理部ＣＨＢ２，副搬送機構ＬＦ２）と、第３処理部２１（純水洗浄処理部ＯＮＢ３，薬液処理部ＣＨＢ３，副搬送機構ＬＦ３）と、第４処理部２２（純水洗浄処理部ＯＮＢ４，薬液処理部ＣＨＢ４，副搬送機構ＬＦ４）とが本発明における「処理部」に相当する。
【００５３】
上記のように構成されている基板処理装置は、図２のブロック図に示すように制御部３１によって統括的に制御される。
【００５４】
制御部３１は、ＣＰＵやカウンタ・タイマ等から構成されており、スケジューリング機能部３３と、処理実行指示部３５とを備えている。制御部３１に接続されている記憶部３７は、この基板処理装置のユーザなどによって予め作成され、基板をどのようにして処理するかを規定した、一つの処理工程あるいは複数の処理工程を含むブロックからなる「レシピ」（処理手順）と、各種の「スケジュール作成プログラム」と、各種のスケジュール作成プログラムを制御する「スケジュール作成メインプログラム」と、作成されたスケジュールを実行する「処理プログラム」などが予め格納されている。また、スケジュール作成メインプログラムによって作成された複数のスケジュールと、その中から選択された一つの「スケジュール」も格納されている。
【００５５】
さらに、記憶部３７には、スケジューリングの制限時間にあたる「規定時間」や、ブロックを配置するにあたり、次のブロックとの間に生じる待機時間であって、許容することができる時間である「許容時間」と、ブロックを配置する位置情報に関する「配置開始位置」や、各スケジュールにおける複数のロットにおけるブロックの組み合わせを表したデータ（系譜図）などが記憶されている。
【００５６】
スケジューリング機能部３３は、FOUP１に収容されて投入部３に載置された複数枚の基板Ｗを一つのロットとして扱い、装置のオペレータにより指示された、記憶部３７に予め記憶されているレシピに応じて、実際に処理を開始する前に、ロット毎の処理工程（ブロック）を時系列的に効率よく配置できるように、後述する各種のスケジュール作成方法を用いて複数のスケジュールを作成する。
【００５７】
処理実行指示部３５は、スケジューリング機能部３３によって作成され、記憶部３７に記憶されている各種のスケジュールのうち、後述するようにして選択された一つのスケジュールに基づいて、適切なタイミングで各処理部などの処理に係る動作指示を行う。
【００５８】
スケジューリング機能部３３の配置制御部３９は、各種のスケジュール作成方法によりブロックを取捨選択するとともに配置する試行錯誤を実行する。
【００５９】
スケジューリング機能部３３のスケジューリング時間監視部４１は、各種のスケジュール作成方法の実行を開始した時点からの経過時間をタイマ（図示省略）で計時し、規定時間までの時間を計測する機能を有する。
【００６０】
スケジューリング機能部３３のスケジュール選択部４３は、規定時間内に完成したスケジュールの中から、最も早く終了するスケジュールを選択するとともに、そのスケジュールを処理実行指示部３５に対して知らせる。
【００６１】
スケジューリング機能部３３は、基本配置方法と、第１配置方法と、第２配置方法と、第３配置方法と、第４配置方法とを有する複数のスケジュール作成方法を実行するが、これらのスケジュール作成方法について以下に説明する。それらのスケジュール作成方法は、メインプログラムに基づいて制御される。なお、図３は、スケジュールのメインプログラムを示したフローチャートである。
【００６２】
ステップＳ１、Ｓ２
対象ロット数が適切であるか否かを判断して処理を分岐する。適切である場合には、ステップＳ３へ処理を分岐し、不適切である場合には、ステップＳ２へ移行して異常終了する。
【００６３】
ステップＳ３〜Ｓ５
以下に説明する各種のスケジュール作成方法によってスケジュールの作成を開始する（ステップＳ３）。これとともに、スケジューリング時間監視部４１による規定時間の監視を始め（ステップＳ４）、規定時間が経過するまで計時を継続する（ステップＳ５）。
【００６４】
ステップＳ６，Ｓ７
各種のスケジュール作成方法によって作成されたスケジュールのうち、一つでも完成しているか否かによって処理を分岐する。完成していない場合には、ロット数が不適切であるとして、ステップＳ１から再度実行する。一方、一つでもスケジュールが完成している場合には、スケジュールを選択する。なお、一つしか完成していない場合には、そのスケジュールを選択するが、複数のスケジュールが完成している場合には、その中で最も終了予定時刻が早いものを選択する。また、規定時間内であっても、一つでもスケジュールが完成した時点でそのスケジュールを選択するようにしてもよい。
【００６５】
＜基本配置方法＞
図４は、基本配置方法の流れを示したフローチャートであり、図５は、単バッチにおけるタイムチャートの具体例を示し、（ａ）はロット１を、（ｂ）はロット２を示す。
【００６６】
以下においては、発明の理解を容易にするために、図５に示すように、実際のレシピよりも簡略化したレシピでロットが処理される場合を例に採って説明する。具体的には、第１搬送機構ＣＴＣによる搬送処理に関する処理工程と（ブロックＡ）、第２搬送機構ＷＴＲによる搬送処理及び第１処理部１９の純水洗浄処理部ＯＮＢ１による純水洗浄処理に関する処理工程と（ブロックＢ）、第２搬送機構ＷＴＲによる搬送処理及び乾燥処理部ＬＰＤ１による乾燥処理に関する処理工程と（ブロックＣ）、第２搬送機構ＷＴＲによる搬送処理及び第１搬送機構ＣＴＣによる搬送処理に関する処理工程と（ブロックＤ）からなるレシピである。なお、以下の説明においては、単体の処理工程、または連続して配置する必要がある複数の処理工程をブロックと呼ぶ。また、ブロックについては、複数のロットで区別しやすいように「ロット−ブロック符号」という符号で表記することにする。つまり、符号「１−Ａ」は、ロット１のブロックＡを表す。
【００６７】
上述したレシピにおいて、ロット１を優先してブロック１−Ａを最初に配置するものとした場合は、図６に示すようにブロックの組み合わせが存在する。なお、図６は、基本配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図（系譜図）である。この図６中において、点線で囲った数字は、以下の説明におけるステップ番号に対応している。
【００６８】
ステップＴ１，Ｔ２
最初のブロックを取得し、その取得したブロックが存在しているか否かによって処理を分岐する。
【００６９】
ステップＴ３，Ｔ４
前のブロックの終了予定時刻が最も早いものを検索する。その際、最初に配置されるものについては、前のブロックが存在しないことになるので、その場合の前のブロックは、ロットのスタートが指示された時刻（開始予定時刻）を前のブロックの終了予定時刻とする。そして、終了予定時刻が早いブロックを配置する。
【００７０】
ステップＴ５〜Ｔ７
ロット同士が各部において衝突しないこと、及び、配置によって前のブロックとの間に生じる待機時間が許容時間を越えないこと、という「配置条件」を満たすか否かによって処理を分岐する。配置条件を満たす場合には、その配置したブロックの次のブロックを取得する。そして、全てのブロックを配置するまで上記ステップＴ３から繰り返し実行する。
【００７１】
ステップＴ８，Ｔ９
上記のステップＴ２において、ブロックが存在しない場合には、ステップＴ８へ移行する。そして、取得前に配置したブロックがあるか否かに応じてさらに処理を分岐する。ブロックがない場合には、ステップＴ９に処理を移行し、その配置開始位置を後ろにずらすように配置位置を記憶する。
【００７２】
ステップＴ１０，Ｔ１１
上記のステップＴ８において、取得前に配置したブロックがある場合には、ステップＴ１０に処理を移行し、そのブロックの配置を中止する。そして、そのブロック及び同時に取得したブロックの配置を中止し、ステップＴ２に戻る。
【００７３】
ステップＴ１２
上記のステップＴ５において、配置条件を満たさない場合には、ステップＴ１２において配置できないブロックを排除する。そして、ステップＴ２に戻る。
【００７４】
ここで、図７〜２１を参照して、具体的なスケジュール作成について説明する。なお、図７〜図２１は、基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートである。
【００７５】
ステップ１〜３
ロット１がロット２よりも早く処理開始の指示がなされ、図７（ａ）に示す時点（下向き矢印）が指示されたものとする。そして、まず終了予定時刻（開始予定時刻）が早いロット１のブロックＡ（符号１−Ａ）が配置される（ステップ１）。次に、ロット１のブロックＡ（符号１−Ａ）の終了予定時刻と、ロット２の終了予定時刻（開始予定時刻）とを比較すると、ロット２の終了予定時刻の方が早いので、ロット２のブロックＡ（符号２−Ａ）をロット１のブロックＡ（符号１−Ａ）の後に配置する（図７（ｂ）、ステップ２）。しかし、同じ第１搬送機構ＣＴＣによる処理でロット１のブロックＡ（符号１−Ａ）とロット２のブロックＢ（符号２−Ｂ）が衝突するので、ロット２のブロックＡ（符号２−Ａ）を配置することはできない。そこで、次にロット１のブロックＢ（符号１−Ｂ）をロット１のブロックＡ（符号１−Ａ）の後に配置する（図７（ｃ）、ステップ３）。
【００７６】
ステップ４〜６
ロット１のブロックＢ（符号１−Ｂ）の終了予定時刻と、ロット２の終了予定時刻（開始予定時刻）とを比較すると、ロット２の終了予定時刻の方が早いので、ロット２のブロックＡ（符号２−Ａ）を配置する（図８（ａ）、ステップ４）。次に、ロット１のブロックＢの終了予定時刻と、ロット２のブロックＢ（符号２−Ｂ）の終了予定時刻とを比較し、ブロック２−Ａの終了予定時刻の方が早いので、ロット２のブロックＢ（符号２−Ｂ）を配置する（図８（ｂ）、ステップ５）。次に、ロット１のブロックＢ（符号１−Ｂ）の終了予定時刻と、ロット２のブロックＢ（符号２−Ｂ）の終了予定時刻とを比較すると、ブロック１−Ｂの方がブロック２−Ｂよりも終了予定時刻が早いので、ロット１のブロックＣ（符号１−Ｃ）を配置する（図８（ｃ）、ステップ６）。
【００７７】
ステップ７〜９
ブロック１−Ｃとブロック２−Ｂの終了予定時刻を比較すると、ブロック２−Ｂの方が早いので、ロット２のブロックＣ（符号２−Ｃ）を配置する（図９（ａ）、ステップ７）。ここで、乾燥処理部ＬＰＤ１の関係で、ブロック２−Ｃは前のブロック２−Ｂよりも少し時間間隔をあけて配置せざるを得ない。この待機時間ｗｔが許容時間以内であれば、ブロック２−Ｃを配置することができるが、ここでは待機時間ｗｔが許容時間を越えており、配置条件を満たさないものとする。そのため、ブロック２−Ｃの配置を中止するとともに、ブロック１−Ｄを配置する（図９（ｂ）、ステップ８）。次に、ロット１については最終のブロックであるブロック１−Ｄを配置したので、選択肢はブロック２−Ｃのみである。そこで、このブロック２−Ｃを配置する（図９（ｃ）、ステップ９）。この場合、ブロック２−Ｃには、待機時間ｗｔが生じ、これが許容時間を越えているとする。
【００７８】
ステップ１０〜１２
配置条件を満たさなかったので、その前のブロック１−Ｄとブロック１−Ｃの配置を中止する。ブロック１−Ｃの後にブロック２−Ｃを配置する選択肢がなくなったので、ブロック２−Ｃを先に配置する（図１０（ａ）、ステップ１０）。そして、ブロック１−Ｂとブロック２−Ｃの終了予定時刻は、ブロック１−Ｂの方が早いので、ブロック１−Ｃを配置する（図１０（ｂ）、ステップ１１）。すると、乾燥処理部ＬＰＤ１から搬出されていないロット２のブロックＣ（符号２−Ｃ）とロット１のブロックＣ（符号１−Ｃ）との衝突が生じる。そこで、ブロック２−Ｃの後にブロック２−Ｄを先に配置することになる（図１０（ｃ）、ステップ１２）。
【００７９】
ステップ１３〜１５
ブロック２−Ｄを配置したので、選択肢はブロック１−Ｃのみであるので、ブロック１−Ｃを配置する（図１１（ａ）、ステップ１３）。しかしながら、ブロック１−Ｃには、待機時間ｗｔが生じ、これが許容時間を越えるものとする。したがって、その前に配置したブロック２−Ｄと、ブロック２−Ｃと、ブロック２−Ｂの配置を中止するとともに、これらに代えてブロック１−Ｃを配置する（図１１（ｂ）、ステップ１４）。次に、ブロック２−Ａとブロック１−Ｃのうち、終了予定時刻が早いブロック２−Ａに続けてブロック２−Ｂを配置する（図１１（ｃ）、ステップ１５）。
【００８０】
ステップ１６〜１８
ブロック２−Ｂとブロック１−Ｃとの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック２−Ｂに続けてブロック２−Ｃを配置する（図１２（ａ）、ステップ１６）。この場合、乾燥処理部ＬＰＤ１においてロット１のブロック１−Ｃとロット２のブロック２−Ｃとが衝突するので、配置条件を満たさない。そこで、ブロック２−Ｃに代えてブロック１−Ｄを配置する（図１２（ｂ）、ステップ１７）。ロット１については全ブロックを配置し終えたので、選択肢はブロック２−Ｃだけとなる（図１２（ｃ）、ステップ１８）。しかし、待機時間ｗｔが許容時間を越えるものとする。
【００８１】
ステップ１９〜２１
ブロック２−Ｂの後にブロック１−Ｄを配置する選択肢がなくなったので、ブロック２−Ｂの前にブロック１−Ｄを先に配置する（図１３（ａ）、ステップ１９）。そして、ブロック２−Ａとブロック１−Ｄの終了予定時刻のうち、早い方のブロック２−Ａに続けてブロック２−Ｂを配置する（図１３（ｂ）、ステップ２０）。そして、ブロック２−Ｂとブロック１−Ｄのうち、終了予定時刻が早いブロックブロック２−Ｂに続けてブロック２−Ｃを配置する（図１３（ｃ）、ステップ２１）。ここで、待機時間ｗｔが許容時間を越えるものとする。
【００８２】
ステップ２２〜３４
上述したような手順を同様に繰り返して、二つのロットについてブロック配置を試行錯誤する（図１４〜図１８（ａ）、ステップ２２〜３４）。この試行錯誤は、図６において点線で囲った符号１〜３４までに示されている。
【００８３】
ステップ３５〜４４
しかしながら、上述した試行錯誤においては、結局、全てのブロックを配置することができないので、ロット１とロット２の投入間隔を、図１８（ｃ）に示すように広げて再び試行錯誤を繰り返す（図１８（ｂ）〜図２１、ステップ３５〜４４）。
【００８４】
上述した基本配置方法によると、ステップ４４で全てのブロック配置が完了することになる。この試行錯誤は、図６において点線で囲った符号１〜４４で示されている。
【００８５】
このように基本配置方法を実行する制御部３１のスケジューリング機能部３３は、各ロットの各ブロックについてのレシピに応じた組み合わせを表すデータ（図６の系譜図）に基づいて、いずれかのロットの最初のブロックを配置した後、そのブロックを基点として系譜図を辿りつつ、各ロットの次なるブロックのうち、それらの前のブロックにおける終了予定時刻が最も早いロットに対するブロックを次のブロックとして配置するようにして予めスケジュールする。
【００８６】
したがって、基本配置方法により予めスケジュールすることで、前のブロックの後作業と、その後のブロックの前作業とを重複させて配置可能であり、前のブロックが早く終了するロットのブロックを次のブロックとして優先的に選択して配置することで、次のブロックが終了するまでの時間を短縮することができるスケジュールを予め作成することができる。
【００８７】
＜第１配置方法＞  （配置不可能理由）
図２２は、第１配置方法の流れを示したフローチャートであり、図２３は、第１配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図（系譜図）である。
【００８８】
なお、ステップＵ１〜Ｕ７については、上述した基本配置方法におけるステップＴ１〜Ｔ７と同様であるので、説明については省略する。また、ステップＵ８〜Ｕ１１については、上述した基本配置方法におけるステップＴ８〜Ｔ１１と同様であるので、説明については省略する。
【００８９】
ステップＵ１２，Ｕ１３
ステップＵ５において、配置条件を満たしていない場合には、その理由が待機時間が許容時間を越えることであるか否かに応じて処理を分岐する（ステップＵ１２）。つまり、待機時間が許容時間を越えることが理由である場合には、取得したブロックを全て排除する（ステップＵ１３）。
【００９０】
ステップＵ１４
上記のステップＵ１２において、ブロックが配置不可能な理由が待機時間でない場合には、配置できないブロックだけを排除して、ステップＵ２へと分岐する。
【００９１】
上述したレシピにおいて、ロット１を先にスタートさせるとし、第１配置方法においてスケジュールを行う場合は、図２３に示すようにブロックの組み合わせが存在する。なお、図２３は、第１配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図（系譜図）である。この図２３中において、点線で囲った数字は、以下の説明におけるステップ番号に対応している。
【００９２】
ここで、図２４〜図３５を参照して、具体的なスケジュール作成について説明する。なお、図２４〜図３５は、第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートである。
【００９３】
ステップ１〜６
これらのステップにおいては、配置不可能となる理由がロットの衝突だけであるので、上述した基本配置方法と同様の配置過程を辿る（図２４（ステップ１〜３）及び図２５（ステップ４〜６）。
【００９４】
ステップ７〜９
ブロック１−Ｃとブロック２−Ｂについて終了予定時刻を比較すると、ブロック２−Ｂの終了予定時刻の方が早いので、ロット２のブロックＣ（符号２−Ｃ）を配置する（図２６（ａ）、ステップ７）。ここで生じる待機時間ｗｔが許容時間以内であれば、ブロック２−Ｃを配置することができるが、ここでは待機時間ｗｔが許容時間を越えており、配置条件を満たさないものとする。そのため、ブロック１−Ｃを排除してから、ブロック２−Ｂの後にブロック２−Ｃを配置する（図２６（ｂ）、ステップ８）。次に、ブロック１−Ｂとブロック２−Ｃの終了予定時刻から、ブロック１−Ｃを配置する（図２６（ｃ）、ステップ９）。
【００９５】
ステップ１０〜１２
ステップ９において、ブロック１−Ｃには待機時間ｗｔが生じ、これが許容時間を越えているとする。ブロック２−Ｃ及びブロック２−Ｂを排除した後、ブロック１−Ｃを配置する（図２７（ａ）、ステップ１０）。次に、ブロック２−Ａとブロック１−Ｃの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック２−Ｂを配置する（図２７（ｂ）、ステップ１１）。そして、ブロック２−Ｂとブロック１−Ｃの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック２−Ｂに続いてブロック２−Ｃを配置する（図２７（ｃ）、ステップ１２）。
【００９６】
ステップ１３〜１５
ステップ１２において、ブロック２−Ｃには待機時間ｗｔが生じ、これが許容時間を越えているとする。ブロック２−Ｃ及びブロック２−Ｂを排除した後、ブロック２−Ｂの後にブロック２−Ｃを配置する選択肢がなくなったので、先にブロック１−Ｄを配置する（図２８（ａ）、ステップ１３）。ブロック２−Ａとブロック１−Ｄの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック２−Ｂを配置する（図２８（ｂ）、ステップ１４）。そして、ブロック２−Ｂとブロック１−Ｄの終了予定時刻から、ブロック２−Ｂに続いてブロック２−Ｃを配置する（図２８（ｃ）、ステップ１５）。
【００９７】
ステップ１６〜１８
ステップ１５において、ブロック２−Ｃには待機時間ｗｔが生じ、これが許容時間を越えているとする。ブロック２−Ｃ、ブロック２−Ｂ、ブロック２−Ａを排除し、ブロック２−Ａの後にブロック１−Ｃを配置する選択肢がなくなったので、ブロック２−Ａより先にブロック１−Ｃを先に配置する（図２９（ａ）、ステップ１６）。そして、ブロック１−Ｃの終了予定時刻とロット２の終了予定時刻（開始予定時刻）とを比較すると、ロット２の終了予定時刻（開始予定時刻）の方が早いので、ブロック２−Ａを配置する（図２９（ｂ）、ステップ１７）。次に、ブロック２−Ａとブロック１−Ｃの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック２−Ａに続いてブロック２−Ｂを配置する（図２９（ｃ）、ステップ１８）。
【００９８】
ステップ１９〜２１
ブロック１−Ｃとブロック２−Ｂの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック２−Ｂに続いてブロック２−Ｃを配置する（図３０（ａ）、ステップ１９）。しかしながら、ここで待機時間ｗｔが許容時間を越えているとする。そこで、ブロック２−Ｃとブロック２−Ｂを排除し、これに代えてブロック１−Ｄを配置する（図３０（ｂ）、ステップ２０）。ロット１については全ブロックを配置し終えたので、選択肢はブロック２−Ｂだけとなるのでブロック２−Ｂを配置する（図３０（ｃ）、ステップ２１）。
【００９９】
ステップ２２〜２４
選択肢は、ブロック２−Ｂに続くブロック２−Ｃだけであるので、ブロック２−Ｃを配置する（図３１（ａ）、ステップ２２）。ここでブロック２−Ｃには、待機時間ｗｔが生じ、これが許容時間を越えているものとする。したがって、ブロック２−Ｃ、ブロック２−Ｂ、ブロック２−Ａを排除する（図３１（ｂ）、ステップ２３）。選択肢は、ブロック２−Ａのみであるので、ブロック２−Ａを配置する（図３１（ｃ）、ステップ２４）。
【０１００】
ステップ２５〜２７
選択肢は、ブロック２−Ａに続くブロック２−Ｂのみであるので、ブロック２−Ｂを配置する（図３２（ａ）、ステップ２５）。次の選択肢は、ブロック２−Ｂに続くブロック２−Ｃのみであるので、ブロック２−Ｃを配置する（図３２（ｂ）、ステップ２６）。ここでブロック２−Ｃには、待機時間ｗｔが生じ、これが許容時間を越えているものとする。図２３の組み合わせにおいて、全経路で配置不可能となったので、ロット１とロット２の投入間隔を広げて再度計画を行う。まず、開始予定時刻が早いブロック１−Ａを配置する（図３２（ｃ）、ステップ２７）。
【０１０１】
ステップ２８〜３０
ブロック１−Ａの終了予定時刻とロット２の開始予定時刻とでは、ロット２の開始予定時刻の方が早いので、ブロック２−Ａを配置する（図３３（ａ）、ステップ２８）。ロット１とロット２が第１搬送機構ＣＴＣにて衝突するので、ブロック２−Ａの配置を回避して、ブロック１−Ｂを配置する（図３３（ｂ）、ステップ２９）。ロット２の開始予定時刻とブロック１−Ｂの終了予定時刻とを比較し、早い方のブロック２−Ａを配置する（図３３（ｃ）、ステップ３０）。
【０１０２】
ステップ３１〜３３
ブロック１−Ｂとブロック２−Ａの終了予定時刻を比較し、ブロック２−Ａの方が早いので、ブロック２−Ａに続いてブロック２−Ｂを配置する（図３４（ａ）、ステップ３１）。次に、ブロック１−Ｂとブロック１−Ｃの終了予定時刻を比較し、早い方のブロック１−Ｂに続いてブロック１−Ｃを配置する（図３４（ｂ）、ステップ３２）。そして、ブロック１−Ｃとブロック２−Ｂとでは、ブロック２−Ｂの方が終了予定時刻が早いので、ブロック２−Ｂに続けてブロック２−Ｃを配置する（図３４（ｃ）、ステップ３３）。
【０１０３】
ステップ３４〜３６
しかしながら、ロット１が乾燥処理部ＬＰＤ１から搬出されていないので、ロット１のブロック１−Ｃとロット２のブロック２−Ｃとの衝突が発生する。つまり、ブロック１−Ｃとブロック２−Ｃとを隣接して配置することはできない。そこで、ブロック２−Ｃを排除すると、選択肢はブロック１−Ｄだけとなるので、ブロック１−Ｄを配置する（図３５（ａ）、ステップ３４）。ロット１については全ブロックを配置し終えたので、選択肢はブロック２−Ｃだけとなるので、ブロック２−Ｃを配置する（図３５（ｂ）、ステップ３５）。ブロック２−Ｃを配置した後は、選択肢はブロック２−Ｄのみとなるので、ブロック２−Ｄを配置する（図３５（ｃ）、ステップ３６）。
【０１０４】
上述した第１配置方法によると、基本配置方法のステップ４４よりも少ないステップ３６で全てのブロック配置を完了することができる。この試行錯誤は、図２３において点線で囲った符号１〜３６で示されている。
【０１０５】
このように第１配置方法によると、上記の基本配置方法に基づいてブロックを配置するとともに、そのブロックにて生じた待機時間が、処理部において待機させることができる許容時間を越える場合には、当該ブロックの配置を回避するとともに、各ロットの各ブロックについてのレシピに応じた組み合わせを表すデータ（図２３の系譜図）に基づいて、当該ブロックよりも上手にある分岐点よりも一つ前の分岐点から探索を再開してスケジュールする。したがって、配置不可能な理由を有するブロックよりも系譜図において下手にあるものについて配置の試行を行なわないので、試行回数を少なくすることができる。その結果、上記の基本配置方法に比較してスケジュール時間を短縮することができる。
【０１０６】
＜第２配置方法＞  （投入ロット順）
図３６は、第２配置方法の流れを示したフローチャートであり、図３７は、第２配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図（系譜図）である。
【０１０７】
なお、ステップＶ１、Ｖ２、Ｖ４〜Ｖ７については、上述した基本配置方法におけるステップＴ１，Ｔ２、Ｔ４〜Ｔ７と同様であるので、詳細な説明については省略する。
【０１０８】
ステップＶ３
取得したブロックの中で、そのロットの開始予定時刻が早いものを検索する。
【０１０９】
ステップＶ８〜Ｖ１１
基本配置方法におけるステップＴ８〜Ｔ１１及び第１配置方法におけるステップＵ８〜１１とは、ステップＶ９及びＶ１１のみが相違する。つまり、ステップＶ９は、待機時間が許容時間を越えたブロックを有するロットについて、そのロットの最初のブロックの配置開始位置を時間的に後ろにずらすように記憶する。ステップＶ１１は、配置を中止したブロックと、待機時間が許容時間を越えたブロックとを排除する。
【０１１０】
ステップＶ１２〜Ｖ１４
第１配置方法におけるステップＵ１２〜Ｕ１４とは、ステップＶ１３が相違する。つまり、ステップＶ１３は、待機時間が許容時間を越えるロットのブロックであることを記憶する。
【０１１１】
上述したレシピにおいて、ロット１を先にスタートさせるとし、第２配置方法においてスケジュールを行う場合は、図３７に示すようにブロックの組み合わせが存在する。なお、この図３７中において、点線で囲った数字は、以下の説明におけるステップ番号に対応している。
【０１１２】
ここで、図３８〜図４３を参照して、具体的なスケジュール作成について説明する。なお、図３８〜図４３は、第２配置方法による配置過程を示すタイムチャートである。
【０１１３】
ステップ１〜３
まず、終了予定時刻（開始予定時刻）が早いロット１について、ブロック１−Ａを配置する（図３８（ａ）、ステップ１）。次に、ブロック１−Ａとブロック２−Ａのうち、ロットの開始予定時刻はブロック１−Ａの方が早いので、そのブロック１−Ａに続くブロック１−Ｂを配置する（図３８（ｂ）、ステップ２）。ブロック１−Ｃとブロック２−Ａとでは、ブロック１−Ｃの方が開始予定時刻が早いので、そのブロック１−Ｃに続くブロック１−Ｄを配置する（図３８（ｃ）、ステップ３）。
【０１１４】
ステップ４〜６
ブロック１−Ｃとブロック２−Ａとでは、ロット１のブロック１−Ｃの方が開始予定時刻が早いので、そのブロック１−Ｃに続くブロック１−Ｄを配置する（図３９（ａ）、ステップ４）。ロット１について全ブロックを配置し終えたので、選択肢はブロック２−Ａだけであるので、ブロック２−Ａを配置する（図３９（ｂ）、ステップ５）。次に、ブロック２−Ａに続いてブロック２−Ｂを配置する（図３９（ｃ）、ステップ６）。
【０１１５】
ステップ７〜９
選択肢はブロック２−Ｃだけであるので、ブロック２−Ｃを配置する（図４０（ａ）、ステップ７）。しかしながら、この待機時間ｗｔが許容時間を越えているとする。そこで、待機時間が許容時間を越えていることが理由で配置不可能であることを記憶するとともに、配置不可能なブロックを排除する。具体的には、ロット２の全ブロックと、ロット１のブロック１−Ａを除く全てである（図４０（ｂ）、ステップ８）。この後、ロット１とロット２の投入間隔を広げて再度スケジュールを行う。まず、ロット１とロット２では、開始予定時刻がロット１の方が早いので、ブロック１−Ａを配置する（図４０（ｂ）、ステップ８）。ロット１のブロック１−Ｂとロット２のブロック２−Ａでは、ロット１の方が開始予定時刻が早いので、ロット１のブロック１−Ｂを配置する（図４０（ｃ）、ステップ９）。
【０１１６】
ステップ１０〜１２
ロット１のブロック１−Ｃとロット２のブロック２−Ａでは、ロット１の方が開始予定時刻が早いので、ロット１のブロック１−Ｃを配置する（図４１（ａ）、ステップ１０）次に、ブロック１−Ｃとブロック２−Ａでは、ブロック１−Ｃのロット１の方が開始予定時刻は早いので、ブロック１−Ｄを配置する（図４１（ｂ）、ステップ１１）。そして、ロット１については、全ブロックを配置し終えたので、ロット２のブロック２−Ａを配置する（図４１（ｃ）、ステップ１２）。但し、ブロック１−Ａとブロック２−Ａとの時間間隔は、先の時間間隔よりも広げてある。
【０１１７】
ステップ１３〜１５
選択肢はブロック２−Ｂだけであるので、ブロック２−Ｂを配置する（図４２（ａ）、ステップ１３）。選択肢はブロック２−Ｃだけであるので、ブロック２−Ｃを配置する（図４２（ｂ）、ステップ１４）。次に、選択肢はブロック２−Ｄだけであるので、ブロック２−Ｄを配置する（図４２（ｃ）、ステップ１５）。
【０１１８】
上述したような第２配置方法によると、基本配置方法のステップ４４よりも少ないステップ１５で全てのブロック配置を完了することができる。この試行錯誤は、図３７において点線で囲った符号１〜１５で示されている。
【０１１９】
このように第２配置方法によると、最初に指定された各ロットの処理開始順序が先のロットのブロックを優先的に配置してゆくことにより、あるロットのブロックを配置した後、異なるロットのブロックを配置する際に、物理的制限によって配置不可能となって、系譜図を遡るような、ブロックの配置における戻りが生じるのを抑制することができる。したがって、スケジュール時間を短縮することができる。
【０１２０】
＜第３配置方法＞  （継続ブロック）
この第３配置方法を説明するにあたり、基本配置方法との差異がわかりやすいように、上述したレシピとは異なる図４３に示すものを適用し、かつ３ロットを対象にしてスケジュールを行う場合を例に採る。なお、図４３は、単バッチにおけるタイムチャートの具体例を示し、（ａ）はロット１を、（ｂ）はロット２を、（ｃ）はロット３を示す。
【０１２１】
ロット数が３つなった場合であって、上述したレシピが適用される場合は、図４４及び図４５に示すようにブロックの組み合わせが存在する。なお、図４４は、基本配置方法により３ロットを処理する場合におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図（系譜図）である。この図４４中において、点線で囲った数字は、以下の説明におけるステップ番号に対応している。
【０１２２】
＜３ロットの場合の基本配置方法＞
ここで、図４６〜図５１を参照して、具体的なスケジュール作成について説明する。なお、図４６〜図５１は、３ロットの場合の基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートである。
【０１２３】
なお、ロット１及びロット２に次いでロット３の開始予定時刻が設定されており、そのタイミングは、例えば、図４６（ａ）に示すようなものであるとする。つまり、ロット１が純水洗浄処理部ＯＮＢ１で処理され、ロット２が純水洗浄処理部ＯＮＢ２で処理されている際にロット３の開始予定時刻が設定されたものとする。そこで、まず、この時点で処理中となるブロック１−Ｂ及びブロック２−Ｂより後のブロックを排除する（図４６（ｂ））。
【０１２４】
ステップ１
この時点では、ブロック１−Ｂの終了予定時刻と、ブロック２−Ｂの終了予定時刻と、ロット３の開始予定時刻では、ロット３の開始予定時刻が最も早いので、ブロック３−Ａを配置する（図４６（ｃ）、ステップ１）。
【０１２５】
ステップ２〜４
ブロック１−Ｂと、ブロック２−Ｂと、ブロック３−Ａの中でブロック３−Ａが最も終了予定時刻が早いので、ブロック３−Ｂを配置する（図４７（ａ）、ステップ２）。しかしながら、ブロック２−Ｂが純水洗浄処理部ＯＮＢ２から搬出されていないので、ロットの衝突が生じる。したがって、ブロック３−Ｂを配置することはできない。そこで、ロット３のブロック３−Ａの配置位置を時間的に後ろにずらして配置する（図４７（ｂ）、ステップ３）。ブロック１−Ｂと、ブロック２−Ｂと、ブロック３−Ａとでは、ブロック３−Ａが最も早い終了予定時刻であるので、ブロック３−Ｂを配置する（図４７（ｃ）、ステップ４）。
【０１２６】
ステップ５〜７
ロット２とロット３とが純水洗浄処理部ＯＮＢ２で衝突するので、ブロック３−Ｂを配置することはできない。したがって、ブロック３−Ｂを排除し、再度ブロック３−Ａを時間的に後ろにずらす（図４８（ａ）、ステップ５）。次に、ブロック１−Ｂと、ブロック２−Ｂと、ブロック３−Ａの中で終了予定時刻が最も早いブロック２−Ｂに続いてブロック２−Ｃを配置する（図４８（ｂ）、ステップ６）。次に、ブロック１−Ｂと、ブロック２−Ｃと、ブロック３−Ａについて、終了予定時刻が最も早いブロック３−Ａに続いてブロック３−Ｂを配置する（図４８（ｃ）、ステップ７）。
【０１２７】
ステップ８〜１０
ブロック１−Ｂと、ブロック２−Ｃと、ブロック３−Ｂとについて、最も終了予定時刻が早いブロック１−Ｂに続けてブロック１−Ｃを配置する（図４９（ａ）、ステップ８）。しかしながら、ロットの衝突が生じるので、ブロック１−Ｃを排除するとともに、ブロック２−Ｃとブロック３−Ｂのうち終了予定時刻が早いブロック２−Ｃに続いてブロック２−Ｄを配置する（図４９（ｂ）、ステップ９）。次に、ブロック１−Ｂと、ブロック２−Ｄと、ブロック３−Ｂのうち、最も早い終了予定時刻であるブロック１−Ｂに続いてブロック１−Ｃを配置する（図４９（ｃ）、ステップ１０）。
【０１２８】
ステップ１１〜１３
ブロック１−Ｃと、ブロック３−Ｂの中で最も終了予定時刻が早いブロック３−Ｂに続いてブロック３−Ｃを配置する（図５０（ａ）、ステップ１１）。但し、ブロック１−Ｃとブロック３−Ｃが衝突するので、ブロック３−Ｃの配置を回避し、これに代えてブロック１−Ｃに続いてブロック１−Ｄを配置する（図５０（ｂ）、ステップ１２）。次に、選択肢はブロック３−Ｃだけなので、ブロック３−Ｃを配置する（図５０（ｃ）、ステップ１３）。
【０１２９】
ステップ１４
選択肢はブロック３−Ｄだけであるので、ブロック３−Ｃに続いてブロック３−Ｄを配置する（図５１、ステップ１４）。
【０１３０】
上述したように、３ロットの場合の基本配置方法によると、ステップ１４で全てのブロック配置が完了することになる。この試行錯誤は、図４４において点線で囲った符号１〜１４で示されている。
【０１３１】
次に、第３配置方法について説明する。なお、図５２は、第３配置方法の流れを示したフローチャートであり、図５３及び図５４は、第３配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図（系譜図）である。
【０１３２】
ステップＷ１，Ｗ２
配置不可能な状態になっていないロットのうち、まだ開始されていない最初のブロックを取得する。ブロックが存在するか否かに応じて処理を分岐する。
【０１３３】
ステップＷ３〜Ｗ８
取得したブロックの中で、その前のブロックの終了予定時刻が最も早いブロックを検索し（ステップＷ３）、そのブロックを配置する（ステップＷ４）。そして、配置条件を満たしているか否かに応じて処理を分岐する（ステップＷ５）。配置条件を満たしている場合には、配置したブロックに続くブロックを取得し（ステップＷ６）、同じロットのもので、そのブロックの次のブロックが存在するか否かに応じて処理を分岐する（ステップＷ７）。次のブロックがない場合には、全てのブロックを配置したか否かに応じて処理を分岐し、全てのブロックが配置完了となるまで、ステップＷ３から繰り返し実行する（ステップＷ８）。
【０１３４】
ステップＷ９
ステップＷ２においてブロックが存在しない場合、配置不可能な状態をリセットし、そのロットの最初のブロックの配置開始位置を時間的に後ろにずらして記憶する。
【０１３５】
ステップＷ１０
ステップＷ５において、配置条件を満たさない場合には、配置不可能なロットのブロックを排除し、配置不可能であることを記憶する。
【０１３６】
ステップＷ１１
ステップＷ７において、同じロットのものがある場合には、配置条件を満たして配置することができるか否かに応じて処理を分岐する。配置条件を満たして配置可能である場合には、ステップＷ６に分岐し、配置不可能である場合には、ステップＷ１０に分岐する。
【０１３７】
ここで、図５５〜図５９を参照して、具体的なスケジュール作成について説明する。なお、図５５〜図５９は、第３配置方法による配置過程を示すタイムチャートである。
【０１３８】
なお、上述した基本配置方法と同様に、ロット１及びロット２に次いでロット３の開始予定時刻が設定されており、そのタイミングは、例えば、図５５（ａ）に示すようなものであるとする。そこで、まず、この時点で処理中となるブロック１−Ｂ及びブロック２−Ｂより後のブロックを排除する（図５５（ｂ））。
【０１３９】
ステップ１
この時点では、ブロック１−Ｂの終了予定時刻と、ブロック２−Ｂの終了予定時刻と、ロット３の開始予定時刻では、ロット３の開始予定時刻が最も早いので、ブロック３−Ａを配置する（図５５（ｃ）、ステップ１）。
【０１４０】
ステップ２〜４
ブロック３−Ａを配置したので、継続してブロック３−Ｂを配置する（図５６（ａ）、ステップ２）。但し、ブロック２−Ｂとブロック３−Ｂが衝突するので、ブロック３−Ｂの配置を回避し、そのことを記憶しておく。ロット３のブロック３−Ｂが配置できなかったので、ブロック３−Ａ，３−Ｂを削除して、次に終了予定時刻が早いブロック２−Ｃを配置する（図５６（ｂ）、ステップ３）。そして、同じロット３のブロック２−Ｄがあるので、ブロック２−Ｃに続いてブロック２−Ｄを配置する（図５６（ｃ）、ステップ４）。
【０１４１】
ステップ５〜７
ロット２については全てのブロックを配置完了したので、次に開始予定時刻が早いロット３のブロック３−Ａを配置する（図５７（ａ）、ステップ５）。但し、前回、配置不可能であったので、その配置開始位置は時間的に後ろにずらすように記憶されている。したがって、ステップ２（図５６（ａ））に比較して、その配置位置が時間的にずらされている。ブロック３−Ａを配置したので、継続してブロック３−Ｂを配置する（図５７（ｂ）、ステップ６）。しかし、配置条件を満たして配置できないので、ブロック３−Ｂを排除するとともに、ブロック３−Ａを排除し、ロット１のブロック１−Ｃを配置する（図５７（ｃ）、ステップ７）。
【０１４２】
ステップ８〜１０
ステップ１−Ｃを配置したので、継続してブロック１−Ｄを配置する（図５８（ａ）、ステップ８）。ロット１の全ブロックの配置を完了したので、ロット３について配置する。その際、先のステップ５（図５７（ａ））において配置位置をずらしたので、ブロック３−Ａは時間的により後ろにずれた位置に配置される（図５８（ｂ）、ステップ９）。ブロック３−Ａを配置したので、継続してブロック３−Ｂを配置する（図５８（ｃ）、ステップ１０）。
【０１４３】
ステップ１１，１２
ブロック３−Ｂを配置したので、継続してブロック３−Ｃを配置する（図５９（ａ）、ステップ１１）。ブロック３−Ｃを配置したので、ブロック３−Ｄを配置する（図５９（ｂ）、ステップ１２）。
【０１４４】
上述したような第３配置方法によると、基本配置方法のステップ１４よりも少ないステップ１２で全てのブロック配置を完了することができる。この試行錯誤は、図５３及び図５４において点線で囲った符号１〜１４で示されている。
【０１４５】
このように第３配置方法では、先に配置したロットと同一のロットのブロックを優先的に配置することにより、装置が停止した状態から処理を再開するスケジュールに関してスケジュール時間を短縮できる。
【０１４６】
＜第４配置方法＞
図６０は、第４配置方法の流れを示したフローチャートであり、図６１は、第４配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図（系譜図）である。
【０１４７】
なお、ステップＸ１、Ｘ２、Ｘ４〜Ｘ７については、上述した基本配置方法におけるステップＴ１，Ｔ２、Ｔ４〜Ｔ７と同様であるので、説明については省略する。
【０１４８】
ステップＸ３
取得したブロックの中で、前のブロックのうち許容時間が最も短いものを検索する。但し、最初のブロック同士の比較では、それぞれの開始予定時刻を比較して早いほうを選択する。
【０１４９】
ステップＸ８〜Ｘ１１
基本配置方法とは、ステップＸ９及びステップＸ１１が相違する。つまり、ステップＸ９では、待機時間が許容時間を越えたロットのブロックであれば、配置開始位置を後ろにずらすように記憶する。ステップＸ１１では、配置をやめたブロックと同時に取得したブロックを再度取得して、配置をやめたブロック及び待機時間が許容時間をオーバしたロットのブロックを排除する。
【０１５０】
ステップＸ１２〜Ｘ１４
これらのステップは、上述した第２配置方法と同様である。
【０１５１】
上述した基本配置方法及び第１配置方法並びに第２配置方法におけるレシピにおいて、ロット１を先にスタートさせるとし、第４配置方法においてスケジュールを行う場合は、図６１に示すようにブロックの組み合わせが存在する。なお、この図６１中において、点線で囲った数字は、以下の説明におけるステップ番号に対応している。
【０１５２】
ここで、図６２〜図６６を参照して、具体的なスケジュール作成について説明する。なお、図６２〜図６６は、第４配置方法による配置過程を示すタイムチャートである。但し、この例においては、第１搬送機構ＣＴＣにおける許容時間＝０であり、乾燥処理部ＬＰＤ１における許容時間＝∞であり、第１処理部の純水洗浄処理部ＯＮＢ１及び第２処理部の純水洗浄処理部ＯＮＢ２における許容時間＝∞であるものとする。
【０１５３】
ステップ１〜３
まず、終了予定時刻（開始予定時刻）が早いロット１について、ブロック１−Ａを配置する（図６２（ａ）、ステップ１）。次に、配置可能なのはブロック１−Ｂとブロック２−Ａであり、それぞれの前のブロック１−Ａとロット２の開始予定時刻のうち、許容時間はブロック１−Ａの方が短いので、それに続くブロック１−Ｂの方を配置する（図６２（ｂ）、ステップ２）。次に、配置可能なのはブロック１−Ｃと、ブロック２−Ａであり、それぞれの前のブロック１−Ｂとロット２の開始予定時刻のうち、許容時間はブロック１−Ｂの方が許容時間が短いので、ブロック１−Ｂに続くブロック１−Ｃを配置する（図６２（ｃ）、ステップ２）。
【０１５４】
ステップ４〜５
次に配置可能なのは、ブロック１−Ｄとロット２のブロック２−Ａであり、それぞれの前のブロック１−Ｃとロット２の開始予定時刻は許容時間が等しいので、ブロック１−Ｃとブロック２−Ａの開始予定時刻とを比較し、早い方のブロック２−Ａを配置する（図６３（ａ）、ステップ４）。そして、配置可能なブロック１−Ｄとブロック２−Ｂの前のブロックであるブロック１−Ｃ（許容時間＝∞）とブロック２−Ａ（許容時間＝０）の許容時間を比較し、許容時間が短いブロック２−Ａに続くブロック２−Ｂを配置する（図６３（ｂ）、ステップ５）。次に、配置可能なブロック１−Ｄとブロック２−Ｃの前のブロックであるブロック１−Ｃ（許容時間＝∞）とブロック２−Ｂ（許容時間＝１８０秒）の許容時間を比較し、許容時間が短いブロック２−Ｂに続いてブロック２−Ｃを配置する（図６３（ｃ）、ステップ６）。
【０１５５】
ステップ７〜９
しかしながら、ここでは、ブロック２−Ｃの待機時間ｗｔが許容時間を越えているとする。そこで、ロット１とロット２の投入間隔を広げて再度スケジュールを行う。まず、開始予定時刻が早いロット１のブロック１−Ａを配置する（図６４（ａ）、ステップ７）。配置可能なブロック１−Ｂの前にあたるブロック１−Ａと、配置可能なブロック２−Ａの前にあたるロット２の開始予定時刻とでは、ブロック１−Ａの方が許容時間が短いので、ブロック１−Ａに続いてブロック１−Ｂを配置する（図６４（ｂ）、ステップ８）。続いて、許容時間が短いブロック１−Ｃを配置する（図６４（ｃ）、ステップ９）。
【０１５６】
ステップ１０〜１２
配置可能なブロック１−Ｄとブロック２−Ａのそれぞれ前のブロックにあたるブロック１−Ｃと開始予定時刻とでは、ブロック２−Ａの方が開始予定時刻が早いので、ブロック２−Ａを配置する（図６５（ａ）、ステップ１０）。次に、前のブロックに相当するブロック１−Ｃ（許容時間＝∞）とブロック２−Ａ（許容時間＝０ｓｅｃ）とでは、ブロック２−Ａの方が許容時間が短いので、ブロック２−Ａに続いてブロック２−Ｂを配置する（図６５（ｂ）、ステップ１１）。そして、前のブロックに相当するブロック１−Ｃ（許容時間＝∞）とブロック２−Ｂ（許容時間＝１８０ｓｅｃ）とでは、ブロック２−Ｂの方が許容時間が短いので、ブロック２−Ｂに続いてブロック２−Ｃを配置する（図６５（ｃ）、ステップ１２）。
【０１５７】
ステップ１３〜１５
但し、ブロック２−Ｃを配置すると、乾燥処理部ＬＰＤ１でロット１とロット２とが衝突するので、ブロック２−Ｃを排除してブロック１−Ｄを配置する（図６６（ａ）、ステップ１３）。ロット１については全ブロックを配置完了したので、選択肢はブロック２−Ｃだけとなるので、ブロック２−Ｃを配置する（図６６（ｂ）、ステップ１４）。選択肢はブロック２−Ｄだけとなるので、ブロック２−Ｄを配置する（図６６（ｃ）、ステップ１５）。
【０１５８】
上述したような第４配置方法によると、基本配置方法のステップ４４よりも少ないステップ１５で全てのブロック配置を完了することができる。この試行錯誤は、図６１において点線で囲った符号１〜１５で示されている。
【０１５９】
上記の第４配置方法によると、許容時間が短いブロックは、物理的に配置することができても、許容時間が守れずに配置不可能となって組み合わせ（系譜図）にて戻りが生じることが多くなる。そこで、許容時間が短いブロックを優先的に配置することにより、許容時間に起因する配置不可能を回避し易くできるので、スケジュール時間を短縮できる。
【０１６０】
上記の基本配置方法と、第１配置方法と、第２配置方法と、第３配置方法と、第４配置方法のスケジュール作成方法を用いてスケジュールを作成し、規定時間内にスケジュールが作成されたスケジュールのうち、終了予定時刻が早いスケジュールを実行することにより、基板処理装置の稼働率を向上させることができる。その上、複数種類の配置方法を備えることにより、スケジュール作成時間が長くなることを防止することができる。
【０１６１】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【０１６２】
（１）上述した実施例では、基本配置方法に、第１配置方法と、第２配置方法と、第３配置方法と、第４配置方法とを組み合わせたスケジュール方法を例に採って説明したが、本発明は、基本配置方法に少なくともいずれか一つの配置方法を組み合わせるだけでもよい。
【０１６３】
（２）上述した実施例では、二つのロットまたは三つのロットを同時に処理してゆく場合のスケジュールを例に採ったが、４ロット以上を対象にしてスケジュールする場合であっても本発明を適用することができる。
【０１６４】
（３）上述した実施例では、ロットに対して水洗処理と、乾燥処理を行うレシピを例に採って説明したが、本発明はこのレシピに限定されるものではなく、種々のレシピであっても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１６５】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【図３】スケジュールのメインプログラムを示したフローチャートである。
【図４】基本配置方法の流れを示したフローチャートである。
【図５】単バッチにおけるタイムチャートの具体例を示し、（ａ）はロット１を、（ｂ）はロット２を示す。
【図６】基本配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図である。
【図７】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１を、（ｂ）はステップ２を、（ｃ）はステップ３を示す。
【図８】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ４を、（ｂ）はステップ５を、（ｃ）はステップ６を示す。
【図９】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ７を、（ｂ）はステップ８を、（ｃ）はステップ９を示す。
【図１０】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１０を、（ｂ）はステップ１１を、（ｃ）はステップ１２を示す。
【図１１】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１３を、（ｂ）はステップ１４を、（ｃ）はステップ１５を示す。
【図１２】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１６を、（ｂ）はステップ１７を、（ｃ）はステップ１８を示す。
【図１３】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１９を、（ｂ）はステップ２０を、（ｃ）はステップ２１を示す。
【図１４】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ２２を、（ｂ）はステップ２３を、（ｃ）はステップ２４を示す。
【図１５】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ２５を、（ｂ）はステップ２６を、（ｃ）はステップ２７を示す。
【図１６】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ２８を、（ｂ）はステップ２９を、（ｃ）はステップ３０を示す。
【図１７】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ３１を、（ｂ）はステップ３２を、（ｃ）はステップ３３を示す。
【図１８】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ３４を、（ｂ）はステップ３５を、（ｃ）はステップ３６を示す。
【図１９】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ３７を、（ｂ）はステップ３８を、（ｃ）はステップ３９を示す。
【図２０】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ４０を、（ｂ）はステップ４１を、（ｃ）はステップ４２を示す。
【図２１】基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ４３を、（ｂ）はステップ４４を示す。
【図２２】第１配置方法の流れを示したフローチャートである。
【図２３】第１配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図である。
【図２４】第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１を、（ｂ）はステップ２を、（ｃ）はステップ３を示す。
【図２５】第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ４を、（ｂ）はステップ５を、（ｃ）はステップ６を示す。
【図２６】第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ７を、（ｂ）はステップ８を、（ｃ）はステップ９を示す。
【図２７】第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１０を、（ｂ）はステップ１１を、（ｃ）はステップ１２を示す。
【図２８】第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１３を、（ｂ）はステップ１４を、（ｃ）はステップ１５を示す。
【図２９】第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１６を、（ｂ）はステップ１７を、（ｃ）はステップ１８を示す。
【図３０】第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１９を、（ｂ）はステップ２０を、（ｃ）はステップ２１を示す。
【図３１】第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ２２を、（ｂ）はステップ２３を、（ｃ）はステップ２４を示す。
【図３２】第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ２５を、（ｂ）はステップ２６を、（ｃ）はステップ２７を示す。
【図３３】第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ２８を、（ｂ）はステップ２９を、（ｃ）はステップ３０を示す。
【図３４】第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ３１を、（ｂ）はステップ３２を、（ｃ）はステップ３３を示す。
【図３５】第１配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ３４を、（ｂ）はステップ３５を、（ｃ）はステップ３６を示す。
【図３６】第２配置方法の流れを示したフローチャートである。
【図３７】第２配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図である。
【図３８】第２配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１を、（ｂ）はステップ２を、（ｃ）はステップ３を示す。
【図３９】第２配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ４を、（ｂ）はステップ５を、（ｃ）はステップ６を示す。
【図４０】第２配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ７を、（ｂ）はステップ８を、（ｃ）はステップ９を示す。
【図４１】第２配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１０を、（ｂ）はステップ１１を、（ｃ）はステップ１２を示す。
【図４２】第２配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１３を、（ｂ）はステップ１４を、（ｃ）はステップ１５を示す。
【図４３】単バッチにおけるタイムチャートの具体例を示し、（ａ）はロット１を、（ｂ）はロット２を、（ｃ）はロット３を示す。
【図４４】基本配置方法により３ロットを処理する場合におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図である。
【図４５】３ロットの場合の基本配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図である。
【図４６】３ロットの場合の基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）及び（ｂ）はスタート前の状態を示し、（ｃ）はステップ１を示す。
【図４７】３ロットの場合の基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ２を、（ｂ）はステップ３を、（ｃ）はステップ４を示す。
【図４８】３ロットの場合の基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ５を、（ｂ）はステップ６を、（ｃ）はステップ７を示す。
【図４９】３ロットの場合の基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ８を、（ｂ）はステップ９を、（ｃ）はステップ１０を示す。
【図５０】３ロットの場合の基本配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１１を、（ｂ）はステップ１２を、（ｃ）はステップ１３を示す。
【図５１】３ロットの場合の基本配置方法による配置過程におけるステップ１４を示すタイムチャートである。
【図５２】第３配置方法の流れを示したフローチャートである。
【図５３】第３配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図である。
【図５４】第３配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図である。
【図５５】第３配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）及び（ｂ）はスタート前の状態を示し、（ｃ）はステップ１を示す。
【図５６】第３配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ２を、（ｂ）はステップ３を、（ｃ）はステップ４を示す。
【図５７】第３配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ５を、（ｂ）はステップ６を、（ｃ）はステップ７を示す。
【図５８】第３配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ８を、（ｂ）はステップ９を、（ｃ）はステップ１０を示す。
【図５９】第３配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１１を、（ｂ）はステップ１２を示す。
【図６０】第４配置方法の流れを示したフローチャートである。
【図６１】第４配置方法におけるスケジュールの組み合わせ例を示した模式図である。
【図６２】第４配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１を、（ｂ）はステップ２を、（ｃ）はステップ３を示す。
【図６３】第４配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ４を、（ｂ）はステップ５を、（ｃ）はステップ６を示す。
【図６４】第４配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ７を、（ｂ）はステップ８を、（ｃ）はステップ９を示す。
【図６５】第４配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１０を、（ｂ）はステップ１１を、（ｃ）はステップ１２を示す。
【図６６】第４配置方法による配置過程を示すタイムチャートであり、（ａ）はステップ１３を、（ｂ）はステップ１４を、（ｃ）はステップ１５を示す。
【符号の説明】
【０１６６】
Ｗ  …  基板
１  …  FOUP
３  …  投入部
５  …  載置台
７  …  払出部
９  …  載置台
ＣＴＣ  …  第１搬送機構
ＷＴＲ  …  第２搬送機構
ＬＰＤ１、ＬＰＤ２  …  乾燥処理部
ＯＮＢ１〜４  …  純水洗浄処理部
ＣＨＢ１〜４  …  薬液処理部
ＬＦ１〜４  …  副搬送機構
３１  …  制御部
３３  …  スケジューリング機能部
３５  …  処理実行処理部
３７  …  配置制御部
４１  …  スケジューリング時間監視部
４３  …  スケジューリング選択部
【図１】
0005022302.tif 000002
【図２】
0005022302.tif 000003
【図３】
0005022302.tif 000004
【図４】
0005022302.tif 000005
【図５】
0005022302.tif 000006
【図６】
0005022302.tif 000007
【図７】
0005022302.tif 000008
【図８】
0005022302.tif 000009
【図９】
0005022302.tif 000010
【図１０】
0005022302.tif 000011
【図１１】
0005022302.tif 000012
【図１２】
0005022302.tif 000013
【図１３】
0005022302.tif 000014
【図１４】
0005022302.tif 000015
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５６】
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【図５７】
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【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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【図６３】
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【図６４】
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【図６５】
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【図６６】
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