(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波を用いた容器部１０の圧力を測定する装置において、
前記容器部１０の内部に設けられ、所定の超音波を出力する超音波加振部２０と、
前記容器部１０の内部に設けられ、前記超音波加振部２０と同一軸線上に置かれる超音波受信部３０と、
前記超音波加振部２０から出力される超音波の周波数及び信号波形を制御し、前記超音波加振部２０から出力された超音波が前記超音波加振部２０と、前記超音波受信部３０との間で共振を起こすように、前記超音波加振部２０を制御する制御部７０と、
前記超音波受信部３０で受信された超音波信号と、前記超音波加振部２０から出力された超音波信号とに基づいて、容器部１０の内部の超音波の振幅と超音波の進行時間とを基に、前記容器部１０の内部圧力を測定する圧力測定部８０と
を含むことを特徴とする音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。
【請求項２】
前記超音波加振部２０と、前記超音波受信部３０とは、圧電超音波変換器、電気変形超音波変換器、磁気変形超音波変換器、又は、電磁気超音波変換器であることを特徴とする請求項１に記載の音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。
【請求項３】
超音波を用いた容器部１０の圧力を測定する装置において、
前記容器部１０の一側内部に設けられて所定の超音波を出力し、前記容器部１０の内部を進行した超音波を受信する超音波送受信部４０と、
前記超音波送受信部４０と連結され、前記超音波送受信部４０から出力される超音波の周波数及び信号波形を制御し、前記超音波送受信部４０から出力された超音波が前記超音波送受信部４０と、反射板１００との間で共振を起こすように、前記超音波送受信部４０を制御する制御部７０と、
前記受信された超音波信号と前記容器部１０の内部へ出力された超音波信号に基づいて、容器部１０の内部の超音波の振幅と超音波の進行時間とを基に、前記容器部１０の内部圧力を測定する圧力測定部８０と
を含むことを特徴とする音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。
【請求項４】
前記超音波送受信部４０から出力された前記超音波を反射させるための反射板１００が前記容器部１０の内部に更に含まれることを特徴とする請求項３に記載の音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。
【請求項５】
前記超音波送受信部４０は、圧電超音波変換器、磁気変形超音波変換器、電気変形超音波変換器、又は、電磁気超音波変換器であることを特徴とする請求項３に記載の音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部圧力に応じて変化する音響インピーダンスによって、超音波の伝達効率が変化する原理に基づいて、所定の容器部内部の圧力を測定する装置である。容器部内部に超音波変換器、及び／又は反射板を設置したり共振を誘導して分解能が向上し、ダイナミックレンジ（Dynamic Range）が大きく、低真空状態だけでなく、高真空状態、及び高圧を含んだ大気圧以上の状態も測定可能な圧力測定装置を提供する。
【背景技術】
【０００２】
所定の容器部内の圧力を測定する技術は、一般的に半導体工程、又はディスプレイ工程で容器部内の真空度を見つけるのに使われる。そのうち、一般的に使われる方式は、静電容量型隔膜真空計（Capacitance Diaphragm Gauge）である。静電容量型隔膜真空計は、容器部の内部圧力の変化に応じて、静電容量型隔膜真空計の隔膜の変位が変化し、それにより、電気容量が変化する原理に基づくものであって、一般的に低真空の領域で使用可能であるという問題点があった。例えば、特許文献１を参照。
【特許文献１】特開２００７−９３５７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
高真空領域の圧力を測定する真空計は、電離真空計（Ionization Gauge）がある。圧力の変化が生じると、電子が気体分子と衝突する確率が変化され、電子衝突時、生ずる陽イオン数の変化が発生する原理に基づいたものである。高真空領域１０−１Ｐａ〜１０−１０Ｐａの領域まで測定可能である。実際に、１０−６Ｐａ以下では線型性が落ちる問題がある。
【０００４】
高圧計の場合、圧力は、各種超高圧発生装置の限定された小さな圧力室の中で作われるから、この圧力室の中の発生圧力を直接推定しなければならない。超高圧は、ピストン−シリンダー型などの試料圧縮装置に油圧プレス装置で力を加えて試料を圧縮することにより発生されるので、加えた力の大きさを試料室の断面積で分けると、試料の平均圧力を求めることができる。しかしながら、この方法では試料を密封するガスケットの中の圧力分布が一定でなく、また、摩擦による力の損失も大きいから圧力の数値がおおよそ推定されるだけである。
【０００５】
このように、容器部の大略的真空の程度を考慮し、その状態に適合な圧力測定装置を時々刻々選択して設置しなければならないという問題点がある。また、測定方法も異なり、使用上の不便さが存在する。
【０００６】
従って、本発明は上記の問題点を解決するために案出されたものであって、本発明は、超音波変換器から構成された超音波加振部及び超音波受信部を容器部の内部に設け、反射板又は／及び共振を利用する。従って、容器部内部の真空度、又は圧力測定時に、正確性が向上し、低真空、高真空状態だけでなく、高圧を含む大気圧以上の状態でも圧力測定が可能な装置を提供するのにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するための本発明の具体的手段として、圧力測定装置は、容器部１０の内部に設けられ、所定の超音波を出力する超音波加振部２０と、容器部１０の内部に設けられ、超音波加振部２０と同一軸線上に置かれる超音波受信部３０と、超音波加振部２０から出力される超音波の周波数及び信号波形を制御し、前記超音波加振部２０から出力された超音波が前記超音波加振部２０と、前記超音波受信部３０との間で共振を起こすように、前記超音波加振部２０を制御する制御部７０と、超音波受信部３０で受信された超音波信号と、超音波加振部２０から出力された超音波信号とに基づいて、容器部１０の内部の超音波の振幅と超音波の進行時間とを基に、前記容器部１０の内部圧力を測定する圧力測定部８０とを含むことを特徴とする。
【０００８】
また、超音波加振部２０、又は超音波受信部３０は、圧電超音波変換器、電気変形超音波変換器、磁気変形超音波変換器、又は、電磁気超音波変換器であることを特徴とする。
【００１０】
上記の目的を達成するための他の手段として、圧力測定装置は、容器部１０の一側内部に設けられて所定の超音波を出力し、容器部１０の内部を進行した超音波を受信する超音波送受信部４０と、超音波送受信部４０と連結され、超音波送受信部４０から出力される超音波の周波数及び信号波形を制御し、前記超音波送受信部４０から出力された超音波が前記超音波送受信部４０と、反射板１００との間で共振を起こすように、前記超音波送受信部４０を制御する制御部７０と、受信された超音波信号と容器部１０の内部へ出力された超音波信号に基づいて、容器部１０の内部の超音波の振幅と超音波の進行時間とを基に、容器部１０の内部圧力を測定する圧力測定部８０とを含むことを特徴とする。
【００１１】
また、超音波送受信部４０から出力された前記超音波を反射させるための反射板１００が前記容器部１０の内部に更に含まれることが望ましい。
【００１２】
そして、超音波送受信部４０は、圧電超音波変換器、磁気変形超音波変換器、電気変形超音波変換器、又は、電磁気超音波変換器であることが望ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の内部圧力に応じて変化する音響インピーダンスによって、超音波の伝達効率が変化する原理に基づいた圧力測定装置及び圧力測定方法は、容器部内部に超音波変換器、及び／又は反射板を設置したり共振を誘導して分解能が向上する長所がある。また、ダイナミックレンジが大きく、低真空状態だけでなく、高真空状態、及び高圧を含んだ大気圧以上の領域まで測定可能であるという長所がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付された図面を参考して本発明の望ましい実施例に対して詳細に窺って見る。図１乃至図３における符号Ｕは、容器部１０の内部を進行する超音波を示し、符号Ｐ及びＰ′は、容器部１０の内部で超音波Ｕの進行経路を示す。
【００１６】
＜圧力測定装置の構成＞
（実施例１）
音響インピーダンス変化を利用した圧力測定装置であって、本発明は、図１に示されたように、容器部１０内に超音波を出力する超音波加振部２０と、容器部１０内に伝達された超音波を受信する超音波受信部３０と、超音波加振部２０から出力される超音波の周波数及び信号波形を制御する制御部７０と、超音波受信部３０で受信された超音波の信号に基づいて、容器部１０内の気体の圧力を測定する圧力測定部８０と、を含む。
【００１７】
容器部１０は、内部に所定の体積を有し、内部の圧力と外部の大気圧との差を耐えることができる材質及び厚さからなる。容器部１０の材質としては、剛性と腐食防止などを考慮して選択する。
【００１８】
容器部１０の内部には、超音波加振部２０と、超音波受信部３０とが位置する。超音波加振部２０は、容器部１０の内部へ超音波を出力するためのものであって、圧電振動子から構成された超音波変換器（以下、圧電超音波変換器という）、電気変形振動子から構成された超音波変換器（以下、電気変形超音波変換器という）、磁気変形振動子から構成された超音波変換器（以下、磁気変形超音波変換器という）、電磁気振動子から構成された超音波変換器（以下、電磁気超音波変換器という）などが使用され得る。
【００１９】
圧電超音波変換器は、水晶、ロッシェル塩（Rochelle salt ）、ADP（Ammonium Dihydrogen Phosphate）などの結晶板に振動電圧を加え、電気的振動を力学的振動に変えて超音波を発生させるものであって、固体、液体、気体媒質の中でも使用可能である。
【００２０】
電気変形超音波変換器は、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）のような誘電体に電気場を加える時、発生する分極現象を用いるものであって、主に液体媒質に有用であり、磁気変形超音波変換器は、強磁性体であるニッケル、Ｔｅｒｆｅｎｏｌ−Ｄ、Ａｌ１２％−Ｆｅ８８％の合金、及びフェライトなどに磁気場を加えると、磁化されながら変形が生ずる時、周りの媒質に超音波を発生させる場合であって、固体、液体、気体の媒質に有用である。
【００２１】
電磁気超音波変換器は、ダイナミックスピーカーのように、可動コイル型振動子を使用するものであって、高周波の交流発振機を使って周りの媒質を振動させるものである。
【００２２】
超音波加振部２０から出力される超音波は、制御部７０によって所定の振幅、周波数、波形などを有するように制御される。
【００２３】
超音波受信部３０は、容器部１０の内部を進行した超音波信号を受信する役割をする。容器部１０の内部を進行した超音波は、容器部１０の内部に存在する気体の圧力による音響インピーダンスの変化で受信される超音波の振幅及び波形などが変更される。超音波受信部３０も先に説明した超音波加振部２０と同様に、圧電超音波変換器、電気変形超音波変換器、磁気変形超音波変換器、電磁気超音波変換器などが使用され得る。また、超音波受信部３０は、超音波加振部２０と同一軸（Ａ−Ａ′）線上に位置するのが望ましい。
【００２４】
制御部７０は、超音波加振部２０を制御する役割をする装置であって、本発明では望ましく超音波の共振を誘導して受信効率の増大を図ることができる。従って、超音波加振部２０と超音波受信部３０との間で、共振を起こすことができるように所定の周波数及び信号波形を有する超音波を出力するように制御信号を超音波加振部２０へ印加する。
【００２５】
圧力測定部８０は、超音波受信部３０で受信された超音波信号と、超音波加振部２０から出力された超音波信号とに基づいて、容器部１０内の圧力を測定する。容器部１０の音響インピーダンスは、容器部１０内部の気体分子の密度、即ち、圧力に応じて可変的である。容器部１０の内部が高真空状態の場合には、超音波を伝達することができる媒質が希薄であるので、音響インピーダンスは相対的に小さい値を有するようになる。一方で、容器部１０の内部圧力が大きい場合には、音響インピーダンスは相対的に大きい値を有するようになる。容器部１０内部の圧力が増加するほど、超音波受信部３０への超音波伝達効率は増加するので、受信超音波の振幅（強さ）は増加するようになる。このような関係に基づいて、容器部１０の内部を移動した超音波の強さ、容器部１０の内部での進行時間などを考慮して内部圧力を測定することができる。
【００２６】
望ましくは、超音波加振部２０と超音波受信部３０との間の距離Ｌは、超音波の共振条件に当たるように設置するのが望ましい。共振を誘導することにより、超音波受信部３０への受信効率の増加を図ることができるからである。共振を誘導することにおいて、制御部７０から超音波加振部２０に出力される超音波の周波数及び波形を制御して、超音波加振部２０と超音波受信部３０との間で超音波の共振を誘導することができる。共振は、高真空の測定など高出力の信号を望む時に有用である。
【００２７】
また、フィルター部（図示せず）は、受信された超音波信号中に含まれた各種の雑音信号を除去するためのものであって、超音波受信部３０で受信された超音波（Ｕ′）信号が圧力測定部６０へ印加される前に更に付加することが望ましい。フィルター部の一例として、ハイパスフィルター（ＨＰＦ）、又はバンドパスフィルター（ＢＰＦ）が使用され得る。
【００２８】
（実施例２）
本発明の他の実施例であって、圧力測定装置は、図２に示されたように、超音波送受信部４０と、超音波送受信部４０と連結されて容器部１０の内部へ出力される超音波を制御する制御部７０、超音波送受信部４０で受信された超音波信号に基づいて、容器部１０内部の圧力を測定する圧力測定部８０を含む。
【００２９】
超音波送受信部４０は、容器部１０の内部に設けられる。超音波送受信部４０は、先に説明した、実施例１の超音波加振部２０と超音波受信部３０との役割をする一つの装置であって、先に説明したように、圧電振動子超音波変換器、電気変形超音波変換器、磁気変形超音波変換器、電磁気超音波変換器などが使用され得る。超音波送受信部４０から容器部１０の内部へ出力された超音波は、容器部１０の内部を進行して、容器部１０の内壁に反射され、超音波送受信部４０へ戻るパルス反射（pulse-echo）方式で受信される。
【００３０】
制御部７０は、超音波送受信部４０へ所定の制御信号を印加し、超音波送受信部４０から出力される超音波の振幅、周波数、波形などを決める。望ましくは、本発明で共振を利用するので、超音波加振部２０と容器部１０内壁との間で超音波が共振を起こすように、反射部１００と容器部１０の内部とへ出力された超音波が共振を起こすように、超音波を出力する制御信号を超音波送受信部４０へ印加する。
【００３１】
圧力測定部８０及びフィルター部（図示せず）に対する構成及び特徴は、先に説明したところと同様であるので、実施例１で説明した内容に取り替える。
【００３２】
（実施例３）
図４は、本発明の音響インピーダンス変化を利用した圧力測定装置の第３の実施例である。実施例２の構成に反射板１００が更に含まれる。実施例２と同様に、パルス反射方式で超音波の信号を受信する場合、容器部１０の内部で超音波のエネルギーの減衰を減らすために、超音波送受信部４０と近接した距離に反射板１００を更に設けるのが望ましい。そして、反射板１００は、超音波送受信部４０と同一軸（Ｂ−Ｂ′）線上に設けられるのが望ましい。
【００３３】
反射板１００が設けられる距離Ｌ′は、容器部１０の内部を進行する超音波の共振を考慮して設置され得る。反射板１００の材質は、超音波を反射させることができるものであれば、いずれも構わない。
【００３４】
また、未説明設符号の９０は、容器部１０の内部を真空状態に作るための真空ポンプであり、未説明設符号の９２は、真空を作るのに使用されるバルブを示す。このような補助装置は、容器部１０の内部を真空状態に作るためのものであり、本発明の圧力測定装置の必須構成要素ではない。
【００３５】
＜圧力測定方法＞
本発明は、圧力に応じる音響インピーダンス変化によって超音波伝達効率が変わる特性を利用するものである。以下では、実施例別に、容器部１０内部の圧力を測定する方法を説明する。
【００３６】
（第１の実施例の方法）
先ず、図１に示されたように、圧力測定装置を設ける（Ｓ１０）。容器部１０の内部に超音波加振部２０と超音波受信部３０とを設け、制御部７０及び圧力測定部８０は、容器部１０の外部に設けられる。
【００３７】
制御部７０における電流、電圧などの制御を通じて、超音波加振部２０で所定の振幅、周波数、波形などを有する超音波が容器部１０の内部へ出力される（Ｓ２０）。超音波加振部２０と超音波受信部３０との間に共振を誘導するために、前記圧力測定装置の設置（Ｓ１０）時、その間の設置距離Ｌを考慮すること以外にも、制御部７０で超音波加振部２０から出力される超音波の周波数などを制御することができることは勿論である。
【００３８】
容器部１０の内部へ出力された超音波は、容器部１０の内部を進行して超音波受信部３０へ受信される（Ｓ３０）。容器部１０の内部に存在する気体の密度、即ち、圧力の程度に応じて容器部１０の内部を進行する超音波の特性、周波数、振幅、容器部１０内部の進行時間などが可変的である。
【００３９】
受信された超音波の信号は、圧力測定部８０へ印加され、圧力測定部８０は、超音波受信部３０によって受信された超音波信号と、容器部１０内部に出力された超音波の信号とに基づいて、容器部１０内部の圧力を測定する（Ｓ４０）。
【００４０】
図４は、超音波加振部２０で超音波がパルス加振され出力された場合、超音波受信部３０で受信された超音波信号を電圧Ｖで示したグラフである。ｘ軸は、超音波が出力された以後の時間を示し、ｙ軸は、超音波受信部３０で受信された超音波信号を基に処理された電圧値を示す。０〜約１．５×１０−５秒の時間領域での電圧値は、電気的な誘導信号で、測定しようとする容器部１０の内部圧力と無関係な値である。従って、図４に示されたように、容器部１０の内部圧力が変わってもその値は一定である。約１．８×１０−５〜３×１０−５秒の時間領域での電圧値は、超音波受信部３０に最初到逹した超音波信号を示した値である。
【００４１】
約１．８×１０−５〜３×１０−５秒の時間領域での電圧値は、図４に示されたように、容器部１０の内部圧力に応じて異なるように現われることが確認できる。ｙ軸の電圧値を基に容器部１０の内部圧力を測定するようになり、これは圧力測定部８０で担当する。
【００４２】
図５は、図４のグラフにて、約２．１×１０−５〜２．４×１０−５秒の時間領域において電圧値のピークとピークとの間の電圧値と、圧力と、の間の関係を示したグラフである。ｘ軸は、圧力（単位：ｔｏｒｒ）を示し、ｙ軸は、電圧（単位：Ｖ）を示す。図５に示されたように、容器部１０の内部圧力が高いほど超音波受信部３０で受信された超音波（電圧値で測定される）信号も増加されることが確認できる。
【００４３】
（第２の実施例の方法）
本発明の第２の実施例である圧力測定装置を利用する圧力測定方法は、圧力測定装置を設け（Ｓ１０）、制御部７０の制御信号に基づいて、超音波送受信部４０から超音波が出力される段階（Ｓ２０）は、第１の実施例の方法と同様である。
【００４４】
超音波送受信部４０から出力された超音波は、容器部１０の内部を進行し、容器部１０の内壁に反射され、再び超音波送受信部４０へ受信される。超音波受信部４０で受信された超音波信号は、容器部１０の内部気体の圧力によって振幅及び波形などが変わる。なお、容器部１０の内壁の反射率によって影響を受けるので、内壁の反射率によって振幅または／及び波形が変化される。このような変数などが反映された超音波信号が超音波送受信部４０へ受信される（Ｓ３０′）。
【００４５】
圧力測定部８０では、先立って容器部１０内部の気体の圧力、反射率が反映されて受信された超音波信号と、容器部１０の内部へ出力された超音波信号に基づいて、容器部１０の内部圧力を測定する（Ｓ４０′）。
【００４６】
（第３の実施例の方法）
本発明である第３の実施例を利用した圧力測定方法は、第２の実施例である圧力測定装置を利用して容器部１０内部の圧力を測定する方法と同様である。但し、超音波送受信部４０から出力された超音波は、容器部１０の内壁でない反射板１００へ反射されるように反射板１００が更に具備されたところ、超音波送受信部４０へ受信される超音波の信号は、第２の実施例の方法での受信超音波信号と異なる。超音波送受信部４０と反射板１００との間の距離が第２の実施例の場合である、超音波送受信部４０と容器部１０内壁との間の距離より短いから、超音波エネルギーの減衰を阻むことができ、受信効率が増加される（Ｓ３０′′′）。
【００４７】
圧力測定装置を設け（Ｓ１０）、超音波を出力し（Ｓ２０）、容器部１０の内部へ出力された超音波と受信された超音波信号とに基づいて、圧力を測定する段階（Ｓ４０）、（Ｓ４０′）は、先立って窺って見た、第１、２の実施例の方法と同様であるから、これに替える。
【００４８】
＜変形例＞
容器部１０の内部を進行する超音波が超音波加振部２０と超音波受信部３０、反射板１００、または容器部１０の内壁との間で共振する場合、伝達する超音波の大きさが大きくなるので、その受信効率が増加される。受信効率が増加されるということは、内部圧力を測定することにおいて、正確度の向上を意味するところ、共振が発生するように、超音波加振部２０、または超音波送受信部４０を制御部７０で制御する。
【００４９】
本発明は、容器部１０の内部気体の圧力を測定するためのものであるので、その気体はどんなものでも構わず、望ましくは半導体、またはディスプレイ工程で使用されるので、容器部１０が真空の場合に適用されるが、これに限定されるものではない。
【００５０】
また、容器部１０の内部が気体ではない固体、液体で満たされた場合にも適用できる。
【００５１】
たとえ、本発明が前記言及された望ましい実施例と係って説明されたが、発明の要旨と範囲とから逸脱することがなく、多様な修正や変形をすることが可能である。従って、添付された特許請求の範囲は、本発明の要旨に属する限り、このような修正や変形を含む。
【００５２】
本明細書で添付される次の図面などは、本明細書の望ましい実施例を例示するものであり、発明の詳細な説明と共に本発明の技術思想を更に理解させる役割をするものであるので、本発明はそのような図面に記載した事項にのみ限定されて解析されてはいけない。  
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。 
［１］超音波を用いた容器部１０の圧力を測定する装置において、前記容器部１０の内部に設けられ、所定の超音波を出力する超音波加振部２０と、前記容器部１０の内部に設けられ、前記超音波加振部２０と同一軸線上に置かれる超音波受信部３０と、前記超音波加振部２０から出力される超音波の周波数及び信号波形を制御するための制御部７０と、前記超音波受信部３０で受信された超音波信号と、前記超音波加振部２０から出力された超音波信号とに基づいて、前記容器部１０の内部圧力を測定する圧力測定部８０とを含むことを特徴とする音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。 
［２］前記超音波加振部２０と、前記超音波受信部３０とは、圧電超音波変換器、電気変形超音波変換器、磁気変形超音波変換器、又は、電磁気超音波変換器であることを特徴とする［１］に記載の音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。 
［３］前記制御部７０は、前記超音波加振部２０から出力された超音波が前記超音波加振部２０と、前記超音波受信部３０との間で共振を起こすように、前記超音波加振部２０を制御することを特徴とする［１］に記載の音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。 
［４］超音波を用いた容器部１０の圧力を測定する装置において、前記容器部１０の一側内部に設けられて所定の超音波を出力し、前記容器部１０の内部を進行した超音波を受信する超音波送受信部４０と、前記超音波送受信部４０と連結され、前記超音波送受信部４０から出力される超音波の周波数及び信号波形を制御するための制御部７０と、前記受信された超音波信号と前記容器部１０の内部へ出力された超音波信号に基づいて、前記容器部１０の内部圧力を測定する圧力測定部８０とを含むことを特徴とする音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。 
［５］前記超音波送受信部４０から出力された前記超音波を反射させるための反射板１００が前記容器部１０の内部に更に含まれることを特徴とする［４］に記載の音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。 
［６］前記超音波送受信部４０は、圧電超音波変換器、磁気変形超音波変換器、電気変形超音波変換器、又は、電磁気超音波変換器であることを特徴とする［４］に記載の音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。 
［７］前記制御部７０は、前記超音波送受信部４０から出力される超音波が、前記超音波送受信部４０と前記容器部１０の内壁との間で共振を起こすように、前記超音波送受信部４０を制御することを特徴とする［４］に記載の音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。 
［８］前記制御部７０は、前記超音波送受信部４０から出力される超音波が、前記超音波送受信部４０と前記反射板１００との間で共振を起こすように、前記超音波送受信部４０を制御することを特徴とする［５］に記載の音響インピーダンス変化を用いた圧力測定装置。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明である音響インピーダンス変化を利用した圧力測定装置の第１の実施例の設置状態図。
【図２】本発明である音響インピーダンス変化を利用した圧力測定装置の第２の実施例の設置状態図。
【図３】本発明である音響インピーダンス変化を利用した圧力測定装置の第３の実施例の設置状態図。
【図４】超音波が出力された時間に対する超音波受信部で受信された超音波信号の関係を示したグラフ。
【図５】図４の２．１×１０−５秒と、２．４×１０−５秒との間の時間領域における電圧値のピークとピーク電圧値との関係を示したグラフ。
【符号の説明】
【００５４】
１０…容器部、２０…超音波加振部、３０…超音波受信部、４０…超音波送受信部、７０…制御部、８０…圧力測定部、９０…真空ポンプ、９２…バルブ、１００…反射板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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