(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
出入口が開口状態とされた装置内空間を通り抜ける清浄化対象体にエアシャワーを浴びせて塵埃類を除去する通り抜け型のエアシャワー装置であって、
当該装置の入口側と出口側のそれぞれにおいて装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置に配され、それぞれが、当該装置の入口と出口とを結ぶ中心線に対し装置内部側に向けて傾斜した方向から空気を該装置内空間に吹出し、該傾斜方向に流れる第１のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第１のノズルと、
上記装置内空間の上記中心線方向の略中央部において装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置から互いにずれた位置に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過し互いに逆方向に流れる第２のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第２のノズルと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記中心線方向の上記第１のノズルと上記第２のノズルとの間に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向にかつ該中心線位置に向かって流れる第３のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第３のノズルと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記第２のノズルのそれぞれと略対向する位置に設けられた吸込み口に配され、それぞれが、該吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集するフィルタと、
上記構体に搭載され、上記第１、第２及び第３のノズルに送風するとともに、上記吸込み口及び上記フィルタに対し吸気を行うファンと、
を備え、
上記第１のエアシャワー用空気流により、該第１のエアシャワー用空気流及び上記第３のエアシャワー用空気流によって上記清浄化対象体から除去された塵埃類の上記出入口から外部への漏出を抑えるとともに、該除去された塵埃類を上記第２のエアシャワー用空気流側に移動させて該第２のエアシャワー用空気流の空気中に入れ、上記ファンにより該第２のエアシャワー用空気流の空気とともに上記吸込み口から吸込ませ、上記フィルタにより該塵埃類を捕集し、該フィルタを通って該塵埃類が除去された空気を上記ファンにより上記第１及び第３のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させる構成としたことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項２】
出入口が開口状態とされた装置内空間を通り抜ける清浄化対象体にエアシャワーを浴びせて塵埃類を除去する通り抜け型のエアシャワー装置であって、
当該装置の入口側と出口側のそれぞれにおいて装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置に配され、それぞれが、当該装置の入口と出口とを結ぶ中心線に対し装置内部側に向けて傾斜した方向から空気を該装置内空間に吹出し、該傾斜方向に流れる第１のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第１のノズルと、
上記装置内空間の上記中心線方向の略中央部において装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置から互いにずれた位置に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過し互いに逆方向に流れる第２のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第２のノズルと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記中心線方向の上記第１のノズルと上記第２のノズルとの間に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向にかつ該中心線位置に向かって流れる第３のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第３のノズルと、
当該装置の入口側と出口側のそれぞれにおいて装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上で上記第１のノズルよりも上記中心線方向の外側の位置に配され、該中心線に略直交する方向であって上記第２のノズルのうち近い位置にあるものとは逆の方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過して流れる第４のエアシャワー用空気流を装置内空間に発生させる第４のノズルと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記第２のノズルのそれぞれと略対向する位置に設けられた第１の吸込み口に配され、それぞれが、該第１の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第１のフィルタと、
当該装置の入口側と出口側のそれぞれで、装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上において上記第４のノズルと略対向する位置に設けられた第２の吸込み口に配され、該第２の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタと、
上記構体に搭載され、上記第１、第２、第３及び第４のノズルに送風するとともに、上記第１の吸込み口、第１のフィルタ、第２の吸込み口及び第２のフィルタに対し吸気を行うファンと、
を備え、
上記第１のエアシャワー用空気流及び上記第４のエアシャワー用空気流により、該第１のエアシャワー用空気流及び上記第３のエアシャワー用空気流によって上記清浄化対象体から除去された塵埃類の上記出入口から外部への漏出を抑えるとともに、該除去された塵埃類を上記第１のエアシャワー用空気流により上記第２のエアシャワー用空気流側に移動させて該第２のエアシャワー用空気流の空気中に入れ、上記ファンにより該第２のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第１の吸込み口から吸込ませ、上記第１のフィルタにより該塵埃類を捕集し、該第１のフィルタを通って該塵埃類が除去された空気を上記ファンにより上記第１、第３及び第４のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させ、かつ、上記清浄化対象体から除去された塵埃類のうち上記第４のエアシャワー用空気流の空気中に入った一部のものを、上記ファンにより該第４のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第２の吸込み口から吸込ませ、上記第２のフィルタにより塵埃類を捕集し、該第２のフィルタを通った空気を上記ファンにより上記第１、第２及び第３のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させる構成としたことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項３】
開口状態とされた入口と該入口に対向する壁部との間に装置内空間が形成され、該装置内空間内に進入した清浄化対象体にエアシャワーを浴びせて塵埃類を除去する入口／出口兼用型のエアシャワー装置であって、
当該装置の入口部において、装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置に配され、それぞれが、当該装置の入口と上記壁部とを結ぶ中心線に対し装置内部側に向けて傾斜した方向から空気を該装置内空間に吹出し、該傾斜方向に流れる第１のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第１のノズルと、
上記壁部の近傍において装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上に配され、上記中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過して流れる第２のエアシャワー用空気流を装置内空間に発生させる第２のノズルと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記中心線方向の上記第１のノズルと上記第２のノズルとの間に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向にかつ該中心線位置に向かって流れる第３のエアシャワー用空気流を該装置内空間に発生させる第３のノズルと、
当該装置の入口部において装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上で上記第１のノズルよりも上記中心線方向の外側の位置に配され、該中心線に略直交する方向であって上記第２のノズルとは逆の方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過して流れる第４のエアシャワー用空気流を装置内空間に発生させる第４のノズルと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上において、上記第２のノズルに略対向する位置に設けられた第１の吸込み口に配され、該第１の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第１のフィルタと、
上記装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上において、上記第４のノズルに略対向する位置に設けられた第２の吸込み口に配され、該第２の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタと、
上記構体に搭載され、上記第１、第２、第３及び第４のノズルに送風するとともに、上記第１の吸込み口、第１のフィルタ、第２の吸込み口及び第２のフィルタに対し吸気を行うファンと、
を備え、
上記第１のエアシャワー用空気流及び上記第４のエアシャワー用空気流により、該第１のエアシャワー用空気流及び上記第３のエアシャワー用空気流によって上記清浄化対象体から除去された塵埃類の上記入口から外部への漏出を抑えるとともに、該除去された塵埃類を上記第１のエアシャワー用空気流により上記第２のエアシャワー用空気流側に移動させて該第２のエアシャワー用空気流の空気中に入れ、上記ファンにより該第２のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第１の吸込み口から吸込ませ、上記第１のフィルタにより該塵埃類を捕集し、該第１のフィルタを通って該塵埃類が除去された空気を上記ファンにより上記第１、第３及び第４のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させ、かつ、上記清浄化対象体から除去された塵埃類のうち上記第４のエアシャワー用空気流の空気中に入った一部のものを、上記ファンにより該第４のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第２の吸込み口から吸込ませ、上記第２のフィルタにより塵埃類を捕集し、該第２のフィルタを通った空気を上記ファンにより上記第１、第２及び第３のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させる構成としたことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項４】
上記第１、第２、第３のノズル、フィルタ及びファンのうち装置の入口に近い側に配されたものが第１の構体上に搭載されて第１のエアシャワーユニットを構成し、
上記第１、第２、第３のノズル、フィルタ及びファンのうち装置の出口に近い側に配されたものが第２の構体上に搭載されて第２のエアシャワーユニットを構成し、
上記第１、第２の構体が互いに分離された構成または分離可能にされた構成である請求項１に記載のエアシャワー装置。
【請求項５】
上記第１、第２、第３、第４のノズル、第１、第２のフィルタ及びファンのうち装置の入口に近い側に配されたものが第１の構体上に搭載されて第１のエアシャワーユニットを構成し、
上記第１、第２、第３、第４のノズル、第１、第２のフィルタ及びファンのうち装置の出口に近い側に配されたものが第２の構体上に搭載されて第２のエアシャワーユニットを構成し、
上記第１、第２の構体が互いに分離された構成または分離可能にされた構成である請求項２に記載のエアシャワー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、精密機械等の製造や、食品の加工などを行う作業空間の出入り口に設置され、作業者や加工・検査物などに付着した塵埃や花粉などをエアシャワーで除去するエアシャワー装置の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のエアシャワー装置は、出入口にドアを備え、作業者や加工・検査物など塵埃や花粉などを除去する対象のもの（以下、清浄化対象体という）が装置空間内に進入したり、該装置空間内から外部に退出したりするときにはその都度、該ドアが開閉され、エアシャワーを浴びせる清浄化動作は、該出入口のドアが閉められた状態の密閉された空間内で行われる構成が一般的である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来技術においては、作業者等の清浄化対象体が装置空間に出入りする度に、出入口のドアを開閉する必要がある。このため、作業者の人数が多いなど清浄化対象体数が多い場合には、該出入りに要する時間が長くなり、エアシャワーを浴びせる清浄化動作のための時間を含めた全体の必要時間が長くなる。必要時間を短縮するために、一度にエアシャワー装置内に進入可能な清浄化対象体数を増大させるためには、エアシャワー装置の大型化とノズルやフィルタの増設などが必要となり、製造コストの増大につながる。また、出入口のドアを単に取除いた簡易構成とした場合には、エアシャワーにより清浄化対象体から吹き飛ばされた塵埃や花粉などの付着物（以下、塵埃類という）は、該出入口からクリーンルーム内などエアシャワー装置の外部の、清浄性を要求される環境内に漏出して、該外部環境を汚染することになり、エアシャワー装置が本来の機能を果たせないことになる。
【０００４】
本発明の課題点は、上記従来技術の状況に鑑み、エアシャワー装置において、出入口にドアなどの閉鎖手段を有しない構成など、出入口が開口された状態のままで清浄化対象体に対する清浄化動作が行われる構成の場合にも、装置空間内でエアシャワーにより清浄化対象体から除去された塵埃類のエアシャワー装置外部への漏出を抑えられるようにするとともに、除去した塵埃類の効率的な捕集を可能にすることである。
本発明の目的は、上記課題点を解決し、簡易な構成で、使い勝手が良く、能率的な清浄化処理が可能なエアシャワー装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題点を解決するために、本発明では、エアシャワー装置を以下の構成とする。
第１の発明（請求項１）のエアシャワー装置は、出入口が開口状態とされた装置内空間を通り抜ける清浄化対象体にエアシャワーを浴びせて塵埃類を除去する通り抜け型のエアシャワー装置（実施例；１００ａ）であって、
１）当該装置の入口側と出口側のそれぞれにおいて装置内空間をはさむ両側の構体（実施例；５０Ａ１、５０Ａ２、５０Ｂ１、５０Ｂ２）上の互いに対向する位置に配され、それぞれが、当該装置の入口と出口とを結ぶ中心線（実施例；Ｃ）に対し装置内部側に向けて傾斜した方向から空気を該装置内空間に吹出し、該傾斜方向に流れる第１のエアシャワー用空気流（実施例；８１Ａ１、８１Ａ２、８１Ｂ１、８１Ｂ２）を該装置内空間に発生させる第１のノズル（実施例；１１Ａ１、１１Ａ２、１１Ｂ１、１１Ｂ２）と、
２）上記装置内空間の上記中心線方向の略中央部において装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置から互いにずれた位置に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過し互いに逆方向に流れる第２のエアシャワー用空気流（実施例；８２Ａ、８２Ｂ）を該装置内空間に発生させる第２のノズル（実施例；１２Ａ、１２Ｂ）と、
３）上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記中心線方向の上記第１のノズルと上記第２のノズルとの間に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向にかつ該中心線位置に向かって流れる第３のエアシャワー用空気流（実施例；８３Ａ１、８３Ａ２、８３Ｂ１、８３Ｂ２）を該装置内空間に発生させる第３のノズル（実施例；１３Ａ１、１３Ａ２、１３Ｂ１、１３Ｂ２）と、
４）上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記第２のノズルのそれぞれと略対向する位置に設けられた吸込み口に配され、それぞれが、該吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集するフィルタ（実施例；２１Ａ、２１Ｂ）と、
５）上記構体に搭載され、上記第１、第２及び第３のノズルに送風するとともに、上記吸込み口及び上記フィルタに対し吸気を行うファン（実施例；３１Ａ１、３１Ａ２、３１Ｂ１、３１Ｂ２）と、
を備え、
６）上記第１のエアシャワー用空気流により、該第１のエアシャワー用空気流及び上記第３のエアシャワー用空気流によって上記清浄化対象体から除去された塵埃類の上記出入口から外部への漏出を抑えるとともに、該除去された塵埃類を上記第２のエアシャワー用空気流側に移動させて該第２のエアシャワー用空気流の空気中に入れ、上記ファンにより該第２のエアシャワー用空気流の空気とともに上記吸込み口から吸込ませ、上記フィルタにより該塵埃類を捕集し、該フィルタを通って該塵埃類が除去された空気を上記ファンにより上記第１及び第３のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させる構成とする。
第２の発明（請求項２）のエアシャワー装置も出入口が開口状態とされた通り抜け型のエアシャワー装置（該当実施例；符号１００ｂ）であって、
７）当該装置の入口側と出口側のそれぞれにおいて装置内空間をはさむ両側の構体（実施例；５０Ａ１、５０Ａ２、５０Ｂ１、５０Ｂ２）上の互いに対向する位置に配され、それぞれが、当該装置の入口と出口とを結ぶ中心線（実施例；Ｃ）に対し装置内部側に向けて傾斜した方向から空気を該装置内空間に吹出し、該傾斜方向に流れる第１のエアシャワー用空気流（実施例；８１Ａ１、８１Ａ２、８１Ｂ１、８１Ｂ２）を該装置内空間に発生させる第１のノズル（実施例；１１Ａ１、１１Ａ２、１１Ｂ１、１１Ｂ２）と、
８）上記装置内空間の上記中心線方向の略中央部において装置内空間をはさむ両側の構体上の互いに対向する位置から互いにずれた位置に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過し互いに逆方向に流れる第２のエアシャワー用空気流（実施例；８２Ａ、８２Ｂ）を該装置内空間に発生させる第２のノズル（実施例；１２Ａ、１２Ｂ）と、
９）上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記中心線方向の上記第１のノズルと上記第２のノズルとの間に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向にかつ該中心線位置に向かって流れる第３のエアシャワー用空気流（実施例；８３Ａ１、８３Ａ２、８３Ｂ１、８３Ｂ２）を該装置内空間に発生させる第３のノズル（実施例；１３Ａ１、１３Ａ２、１３Ｂ１、１３Ｂ２）と、
１０）当該装置の入口側と出口側のそれぞれにおいて装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上で上記第１のノズルよりも上記中心線方向の外側の位置に配され、該中心線に略直交する方向であって上記第２のノズルのうち近い位置にあるものとは逆の方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過して流れる第４のエアシャワー用空気流（実施例；８４Ａ、８４Ｂ）を装置内空間に発生させる第４のノズル（実施例；１４Ａ、１４Ｂ）と、
１１）上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記第２のノズルのそれぞれと略対向する位置に設けられた第１の吸込み口に配され、それぞれが、該第１の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第１のフィルタ（実施例；２１Ａ、２１Ｂ）と、
１２）当該装置の入口側と出口側のそれぞれで、装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上において上記第４のノズルと略対向する位置に設けられた第２の吸込み口に配され、該第２の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタ（実施例；２２Ａ、２２Ｂ）と、
１３）上記構体に搭載され、上記第１、第２、第３及び第４のノズルに送風するとともに、上記第１の吸込み口、第１のフィルタ、第２の吸込み口及び第２のフィルタに対し吸気を行うファン（実施例；３１Ａ１、３１Ａ２、３１Ｂ１、３１Ｂ２）と、
を備え、
１４）上記第１のエアシャワー用空気流及び上記第４のエアシャワー用空気流により、該第１のエアシャワー用空気流及び上記第３のエアシャワー用空気流によって上記清浄化対象体から除去された塵埃類の上記出入口から外部への漏出を抑えるとともに、該除去された塵埃類を上記第１のエアシャワー用空気流により上記第２のエアシャワー用空気流側に移動させて該第２のエアシャワー用空気流の空気中に入れ、上記ファンにより該第２のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第１の吸込み口から吸込ませ、上記第１のフィルタにより該塵埃類を捕集し、該第１のフィルタを通って該塵埃類が除去された空気を上記ファンにより上記第１、第３及び第４のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させ、かつ、上記清浄化対象体から除去された塵埃類のうち上記第４のエアシャワー用空気流の空気中に入った一部のものを、上記ファンにより該第４のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第２の吸込み口から吸込ませ、上記第２のフィルタにより塵埃類を捕集し、該第２のフィルタを通った空気を上記ファンにより上記第１、第２及び第３のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させる構成とする。
第３の発明（請求項３）のエアシャワー装置は、開口状態とされた入口と該入口に対向する壁部（実施例；２００）との間に装置内空間が形成され、該装置内空間内に進入した清浄化対象体にエアシャワーを浴びせて塵埃類を除去する入口／出口兼用型のエアシャワー装置（該当実施例；符号１００ｃ）であって、
１５）当該装置の入口部において、装置内空間をはさむ両側の構体（実施例；５０Ａ１、５０Ａ２）上の互いに対向する位置に配され、それぞれが、当該装置の入口と上記壁部とを結ぶ中心線（実施例；Ｃ）に対し装置内部側に向けて傾斜した方向から空気を該装置内空間に吹出し、該傾斜方向に流れる第１のエアシャワー用空気流（実施例；８１Ａ１、８１Ａ２）を該装置内空間に発生させる第１のノズル（実施例；１１Ａ１、１１Ａ２）と、
１６）上記壁部の近傍において装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上に配され、上記中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過して流れる第２のエアシャワー用空気流（実施例；８２Ａ）を装置内空間に発生させる第２のノズル（実施例；１２Ａ）と、
１７）上記装置内空間をはさむ両側の構体上において上記中心線方向の上記第１のノズルと上記第２のノズルとの間に配され、それぞれが、該中心線に略直交する方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向にかつ該中心線位置に向かって流れる第３のエアシャワー用空気流（実施例；８３Ａ１、８３Ａ２）を該装置内空間に発生させる第３のノズル（実施例；１３Ａ１、１３Ａ２）と、
１８）当該装置の入口部において装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上で上記第１のノズルよりも上記中心線方向の外側の位置に配され、該中心線に略直交する方向であって上記第２のノズルとは逆の方向から該装置内空間に空気を吹出し、該略直交方向に該中心線位置を通過して流れる第４のエアシャワー用空気流（実施例；８４Ａ）を装置内空間に発生させる第４のノズル（実施例；１４Ａ）と、
１９）上記装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上において、上記第２のノズルに略対向する位置に設けられた第１の吸込み口に配され、該第１の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第１のフィルタ（実施例；２１Ａ）と、
２０）上記装置内空間をはさむ両側の構体のうち一方の構体上において、上記第４のノズルに略対向する位置に設けられた第２の吸込み口に配され、該第２の吸込み口から吸込まれる空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタ（実施例；２２Ａ）と、
２１）上記構体に搭載され、上記第１、第２、第３及び第４のノズルに送風するとともに、上記第１の吸込み口、第１のフィルタ、第２の吸込み口及び第２のフィルタに対し吸気を行うファン（実施例；３１Ａ１、３１Ａ２）と、
を備え、
２２）上記第１のエアシャワー用空気流及び上記第４のエアシャワー用空気流により、該第１のエアシャワー用空気流及び上記第３のエアシャワー用空気流によって上記清浄化対象体から除去された塵埃類の上記入口から外部への漏出を抑えるとともに、該除去された塵埃類を上記第１のエアシャワー用空気流により上記第２のエアシャワー用空気流側に移動させて該第２のエアシャワー用空気流の空気中に入れ、上記ファンにより該第２のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第１の吸込み口から吸込ませ、上記第１のフィルタにより該塵埃類を捕集し、該第１のフィルタを通って該塵埃類が除去された空気を上記ファンにより上記第１、第３及び第４のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させ、かつ、上記清浄化対象体から除去された塵埃類のうち上記第４のエアシャワー用空気流の空気中に入った一部のものを、上記ファンにより該第４のエアシャワー用空気流の空気とともに上記第２の吸込み口から吸込ませ、上記第２のフィルタにより塵埃類を捕集し、該第２のフィルタを通った空気を上記ファンにより上記第１、第２及び第３のノズルに送風し、これら各ノズルから上記装置内空間に吹出させる構成とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、エアシャワー装置において、出入口にドアなどの閉鎖手段を有しない構成など、出入口が開口された状態のままで清浄化対象体に対する清浄化動作が行われる構成においても、装置内空間内でエアシャワーにより清浄化対象体から除去された塵埃類のエアシャワー装置外部への漏出を抑えられるとともに、除去した塵埃類を効率的に捕集することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の実施例につき、図面を用いて説明する。
図１は、本発明の第１の実施例としての通り抜け型すなわち、作業者など清浄化対象体が、入口から入って、エアシャワーが浴びせられる装置内空間を通って清浄化された後、該入口とは別個に設けられた出口から出て行く方式のエアシャワー装置の構成図である。
【０００８】
図１において、１００ａは、第１の実施例としてのエアシャワー装置、１は、エアシャワー装置１００ａ内に形成される装置内空間、２は、エアシャワー装置１００ａの入口（＝装置内空間１の入口）、３は、エアシャワー装置１００ａの出口（＝装置内空間１の出口）、Ｃは、入口２の中心と出口３の中心とを結ぶ中心線、１０は、エアシャワー装置１００ａによって清浄化される作業者など清浄化対象体、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄはそれぞれ、清浄化対象体１０の位置である。
【０００９】
また、１１Ａ１、１１Ａ２は、入口２側において、Ｙ軸方向に装置内空間１をはさんだ位置に配され、それぞれが、空気を該装置内空間１に吹出す第１のノズル、１１Ｂ１、１１Ｂ２は、出口３側において、Ｙ軸方向に装置内空間１をはさんだ位置に配され、それぞれが、空気を該装置内空間１に吹出す第１のノズル、８１Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流、８１Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流、８１Ｂ１は、第１のノズル１１Ｂ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流、８１Ｂ２は、第１のノズル１１Ｂ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流である。第１のノズル１１Ａ１は、中心線Ｃに対し角θＡ１（０°＜θＡ１＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ａ２は、中心線Ｃに対し角θＡ２（０°＜θＡ２＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ｂ１は、中心線Ｃに対し角θＢ１（０°＜θＢ１＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ｂ２は、中心線Ｃに対し角θＢ２（０°＜θＢ２＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出すようになっている。このため、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１は、中心線Ｃに対し角θＡ１傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ２は、中心線Ｃに対し角θＡ２傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１は、中心線Ｃに対し角θＢ１傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ２は、中心線Ｃに対し角θＢ２傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かう。
【００１０】
また、１２Ａ、１２Ｂはそれぞれ、第２のノズルであって、１２Ａは、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の略中央部（入口２と出口３との間の略中央部）に配され、空気を装置内空間１に−Ｙ軸方向に吹出す第２のノズル、１２Ｂは、中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の略中央部（入口２と出口３との間の略中央部）に配され、空気を装置内空間１に＋Ｙ軸方向に吹出す第２のノズルである。また、８２Ａは、第２のノズル１２Ａから吹出される空気によって発生される−Ｙ軸方向のエアカーテン状のエアシャワー用空気流すなわち第２のエアシャワー用空気流、８２Ｂは、第２のノズル１２Ｂから吹出される空気によって発生される＋Ｙ軸方向のエアカーテン状のエアシャワー用空気流すなわち第２のエアシャワー用空気流である。すなわち、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂは、空気を装置内空間１において互いに反対方向のエアカーテン状の空気流れとして形成される。第２のノズル１２Ａ、１２Ｂはそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出す。このため、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂはそれぞれ、略水平方向かつ中心線Ｃに対し略直交し該略直交方向に装置内空間１を通過する。また、２１Ａ、２１Ｂはそれぞれ、通過する空気をろ過し塵埃類を捕集するフィルタであり、２１Ａは、装置内空間１をはさんで上記第２のノズル１２Ａと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第２のエアシャワー用空気流８２Ａによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集するフィルタ、２１Ｂは、装置内空間１をはさんで上記第２のノズル１２Ｂと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第２のエアシャワー用空気流８２Ｂによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集するフィルタである。
【００１１】
また、１３Ａ１、１３Ａ２、１３Ｂ１、１３Ｂ２はそれぞれ第３のノズルであって、１３Ａ１は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ａ１と上記第２のノズル１２Ａとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ａ２は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ａ２と上記第２のノズル１２Ｂとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ｂ１は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ｂ１と上記第２のノズル１２Ａとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ｂ２は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ｂ２と上記第２のノズル１２Ｂとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズルである。また、８３Ａ１は、第３のノズル１３Ａ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流、８３Ａ２は、第３のノズル１３Ａ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流、８３Ｂ１は、第３のノズル１３Ｂ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流、８３Ｂ２は、第３のノズル１３Ｂ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流である。第３のノズル１３Ａ１、１３Ａ２、１３Ｂ１、１３Ｂ２はそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出すようになっている。このため、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２、８３Ｂ１、８３Ｂ２はそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に発生し、該略直交する方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かう。
【００１２】
３１Ａ１、３１Ａ２、３１Ｂ１、３１Ｂ２はそれぞれファンである。ファン３１Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１、第２のノズル１２Ａ及び第３のノズル１３Ａ１に対して送風を行い、ファン３１Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２及び第３のノズル１３Ａ２に対しては送風を行うとともに、フィルタ２１Ａが設けられた吸込み口及び該フィルタ２１Ａに対しては吸気を行うようになっている。同様に、ファン３１Ｂ２は、第１のノズル１１Ｂ２、第２のノズル１２Ｂ及び第３のノズル１３Ｂ２に対して送風を行い、ファン３１Ｂ１は、第１のノズル１１Ｂ１及び第３のノズル１３Ｂ１に対しては送風を行うとともに、フィルタ２１Ｂが設けられた吸込み口及び該フィルタ２１Ｂに対しては吸気を行うようになっている。
【００１３】
また、図１において、５０Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１、第２のノズル１２Ａ、第３のノズル１３Ａ１及びファン３１Ａ１が搭載された第１の構体、５０Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２、フィルタ２１Ａ、第３のノズル１３Ａ２及びファン３１Ａ２が搭載された第１の構体、５０Ｂ１は、第１のノズル１１Ｂ１、フィルタ２１Ｂ、第３のノズル１３Ｂ１及びファン３１Ｂ１が搭載された第２の構体、５０Ｂ２は、第１のノズル１１Ｂ２、第２のノズル１２Ｂ、第３のノズル１３Ｂ２及びファン３１Ｂ２が搭載された第２の構体である。第１のノズル１１Ａ１、１１Ａ２、第２のノズル１２Ａ、第３のノズル１３Ａ１、１３Ａ２、フィルタ２１Ａ、及びファン３１Ａ１、３１Ａ２は、第１の構体５０Ａ１、５０Ａ２上において第１のエアシャワーユニットを構成し、第１のノズル１１Ｂ１、ノズル１１Ｂ２、第２のノズル１２Ｂ、第３のノズル１３Ｂ１、１３Ｂ２、フィルタ２１Ｂ、及びファン３１Ｂ１、３１Ｂ２は、第２の構体５０Ｂ１、５０Ｂ２上において第２のエアシャワーユニットを構成している。該第１の構体５０Ａ１、５０Ａ２と、該第２の構体５０Ｂ１、５０Ｂ２とは、互いに分離された構成または互いに分離可能な構成である。
【００１４】
上記図１の構成において、清浄化対象体１０が、位置Ａからエアシャワー装置１００ａの入口２を通って、装置内空間１内のＢ位置に進入すると、該Ｂ位置で清浄化対象体１０には、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１によるエアシャワーが左側から浴びせられ、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ２によるエアシャワーが右側から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１によるエアシャワーが左側斜め後方（中心線Ｃに対し角θＡ１を成す方向）から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ２によるエアシャワーが右側斜め後方（中心線Ｃに対し角θＡ２を成す方向）から浴びせられ、付着していた塵埃類がこれらのエアシャワーで吹き飛ばされ除去される。さらに、清浄化対象体１０がＸ軸方向に進んでＣ位置にくると、該Ｃ位置で清浄化対象体１０には、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１によるエアシャワーが左側から浴びせられ、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ２によるエアシャワーが右側から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１によるエアシャワーが左側斜め前方（中心線Ｃに対し角θＢ１を成す方向）から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ２によるエアシャワーが右側斜め前方（中心線Ｃに対し角θＢ２を成す方向）から浴びせられ、残って付着していた塵埃類の一部または全部が吹き飛ばされて除去される。第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって除去された塵埃類は、装置内空間１内において、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって、第２のエアシャワー用空気流８２Ａの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、フィルタ２１Ａを通過するときに該フィルタ２１Ａにより捕集される。入口２側においては、中心線Ｃに対してそれぞれθＡ１、θＡ２を成す斜め方向に装置空間１内に吹込む第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２があるために、上記第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって除去された塵埃類は、入口２から外部に漏出するのを阻止される。同様に、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１、８３Ｂ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２によって除去された塵埃類は、装置内空間１内において、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２によって、第２のエアシャワー用空気流８２Ｂの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、フィルタ２１Ｂを通過するときに該フィルタ２１Ｂにより捕集される。出口３側においては、中心線Ｃに対してそれぞれθＢ１、θＢ２を成す斜め方向に装置内空間１内に吹込む第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２があるために、上記第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１、８３Ｂ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２によって除去された塵埃類は、出口３から外部（クリーンルーム等の内部）に漏出するのを阻止される。このようにして清浄化された清浄化対象体１０は、さらにＸ軸方向に進んで、エアシャワー装置１００ａの出口３を通って、装置内空間１外のＤ位置に出る。Ｄ位置は、クリーンルームや、高い清浄度が要求される作業場などの内部における位置で��る。
【００１５】
上記構成のエアシャワー装置１００ａによれば、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂを発生させる構成のため、装置空間１内でエアシャワーにより清浄化対象体１０から除去された塵埃類を効率的にフィルタ２１Ａ、２１Ｂに導いて捕集することができる。また、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２、８１Ｂ１、８１Ｂ２を発生させる構成のため、装置空間１内でエアシャワーにより清浄化対象体１０から除去された塵埃類の入口２や出口３からの漏出を抑えることができる。また、入口２及び出口３にドアなどを設けない構成のため、ドアなどを開閉する必要がなく、単に清浄化対象体１０が装置空間１を通り抜けることによって能率的な清浄化処理を行うことができ、多数の清浄化対象体１０に対しても短時間で清浄化処理を行うことができる。よって、装置の使い勝手性を向上させることができるとともに、能率的な清浄化処理が可能となる。また、入口２及び出口３にドアなどを設けない簡易な構成のため、装置の製造コストを低く抑えることも可能である。
【００１６】
図２は、本発明の第２の実施例としての通り抜け型のエアシャワー装置の構成図である。本第２の実施例では、エアカーテン状の空気の流れを、装置の入口部と出口部にも発生させる構成とした場合である。
【００１７】
図２において、１００ｂは、第２の実施例としてのエアシャワー装置、１は、エアシャワー装置１００ｂ内に形成される装置内空間、２は、エアシャワー装置１００ｂの入口（＝装置内空間１の入口）、３は、エアシャワー装置１００ｂの出口（＝装置内空間１の出口）、Ｃは、入口２の中心と出口３の中心とを結ぶ中心線、１０は、エアシャワー装置１００ｂによって清浄化される作業者など清浄化対象体、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄはそれぞれ、清浄化対象体１０の位置である。
【００１８】
また、１１Ａ１、１１Ａ２は、入口２側において、Ｙ軸方向に装置内空間１をはさんだ位置に配され、それぞれが、空気を該装置内空間１に吹出す第１のノズル、１１Ｂ１、１１Ｂ２は、出口３側において、Ｙ軸方向に装置内空間１をはさんだ位置に配され、それぞれが、空気を該装置内空間１に吹出す第１のノズル、８１Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流、８１Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流、８１Ｂ１は、第１のノズル１１Ｂ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流、８１Ｂ２は、第１のノズル１１Ｂ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第１のエアシャワー用空気流である。第１のノズル１１Ａ１は、中心線Ｃに対し角θＡ１（０°＜θＡ１＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ａ２は、中心線Ｃに対し角θＡ２（０°＜θＡ２＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ｂ１は、中心線Ｃに対し角θＢ１（０°＜θＢ１＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ｂ２は、中心線Ｃに対し角θＢ２（０°＜θＢ２＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出すようになっている。このため、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１は、中心線Ｃに対し角θＡ１傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ２は、中心線Ｃに対し角θＡ２傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１は、中心線Ｃに対し角θＢ１傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ２は、中心線Ｃに対し角θＢ２傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かう。
【００１９】
また、１２Ａ、１２Ｂはそれぞれ第２のノズルであって、１２Ａは、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の略中央部（入口２と出口３との間の略中央部）に配され、空気を装置内空間１に−Ｙ軸方向に吹出す第２のノズル、１２Ｂは、中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の略中央部（入口２と出口３との間の略中央部）に配され、空気を装置内空間１に＋Ｙ軸方向に吹出す第２のノズルである。また、８２Ａは、第２のノズル１２Ａから吹出される空気によって発生される−Ｙ軸方向のエアカーテン状のエアシャワー用空気流すなわち第２のエアシャワー用空気流、８２Ｂは、第２のノズル１２Ｂから吹出される空気によって発生される＋Ｙ軸方向のエアカーテン状のエアシャワー用空気流すなわち第２のエアシャワー用空気流である。すなわち、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂは、装置内空間１において互いに反対方向のエアカーテン状の空気流れとして形成される。第２のノズル１２Ａ、１２Ｂはそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出す。このため、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂはそれぞれ、略水平方向かつ中心線Ｃに対し略直交し該略直交方向に装置内空間１を通過する。また、２１Ａ、２１Ｂはそれぞれ、通過する空気をろ過し塵埃類を捕集するフィルタ（第１のフィルタ）であり、２１Ａは、装置内空間１をはさんで上記第２のノズル１２Ａと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第２のエアシャワー用空気流８２Ａによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集する第１のフィルタ、２１Ｂは、装置内空間１をはさんで上記第２のノズル１２Ｂと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第２のエアシャワー用空気流８２Ｂによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集する第１のフィルタである。
【００２０】
また、１３Ａ１、１３Ａ２、１３Ｂ１、１３Ｂ２はそれぞれ第３のノズルであって、１３Ａ１は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ａ１と上記第２のノズル１２Ａとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ａ２は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ａ２と上記第２のノズル１２Ｂとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ｂ１は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ｂ１と上記第２のノズル１２Ａとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ｂ２は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ｂ２と上記第２のノズル１２Ｂとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズルである。また、８３Ａ１は、第３のノズル１３Ａ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流、８３Ａ２は、第３のノズル１３Ａ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流、８３Ｂ１は、第３のノズル１３Ｂ１から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流、８３Ｂ２は、第３のノズル１３Ｂ２から吹出される空気によって発生されるエアシャワー用空気流すなわち第３のエアシャワー用空気流である。第３のノズル１３Ａ１、１３Ａ２、１３Ｂ１、１３Ｂ２はそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出すようになっている。このため、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２、８３Ｂ１、８３Ｂ２はそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に発生し、該略直交する方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かう。９０Ａは、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２の側から、入口２側に向かう空気の流れ、９０Ｂは、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１、８３Ｂ２の側から、出口３側に向かう空気の流れである。
【００２１】
また、１４Ａ、１４Ｂはそれぞれ第４のノズルであって、１４Ａは、入口２側において、上記第１のノズル１１Ａ２よりも上記中心線Ｃ方向（−Ｘ軸方向）の外側に配され、空気を装置内空間１にＹ軸方向に吹出す第４のノズル、１４Ｂは、出口３側において、上記第１のノズル１１Ｂ１よりも上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の外側に配され、空気を装置内空間１に−Ｙ軸方向に吹出す第４のノズルである。また、８４Ａは、第４のノズル１４Ａから吹出される空気によって発生されるＹ軸方向のエアカーテン状のエアシャワー用空気流すなわち第４のエアシャワー用空気流、８４Ｂは、第４のノズル１４Ｂから吹出される空気によって発生される−Ｙ軸方向のエアカーテン状のエアシャワー用空気流すなわち第４のエアシャワー用空気流である。すなわち、第４のエアシャワー用空気流８４Ａ、８４Ｂは、装置内空間１において互いに反対方向のエアカーテン状の空気流れとして形成される。また、該第４のエアシャワー用空気流８４Ａ、８４Ｂはそれぞれ、略水平方向で、上記第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂとも反対の方向とされる。第４のノズル１４Ａ、１４Ｂはそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出す。このため、第４のエアシャワー用空気流８４Ａ、８４Ｂはそれぞれ、略水平方向かつ中心線Ｃに対し略直交し該略直交方向に装置内空間１を通過する。また、２２Ａ、２２Ｂはそれぞれ、通過する空気をろ過し塵埃類を捕集するフィルタ（第２のフィルタ）であり、２２Ａは、装置内空間１をはさんで上記第４のノズル１４Ａと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第４のエアシャワー用空気流８４Ａによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタ、２２Ｂは、装置内空間１をはさんで上記第４のノズル１４Ｂと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第４のエアシャワー用空気流８４Ｂによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタである。
【００２２】
３１Ａ１、３１Ａ２、３１Ｂ１、３１Ｂ２はそれぞれファンである。ファン３１Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１、第２のノズル１２Ａ及び第３のノズル１３Ａ１に対しては送風を行い、第２のフィルタ２２Ａが設けられた吸込み口及び該第２のフィルタ２２Ａに対しては吸気を行う。ファン３１Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２、第３のノズル１３Ａ２及び第４のノズル１４Ａに対しては送風を行うとともに、第１のフィルタ２１Ａが設けられた吸込み口及び該第１のフィルタ２１Ａに対しては吸気を行うようになっている。同様に、ファン３１Ｂ２は、第１のノズル１１Ｂ２、第２のノズル１２Ｂ及び第３のノズル１３Ｂ２に対しては送風を行い、第２のフィルタ２２Ｂが設けられた吸込み口及び該第２のフィルタ２２Ｂに対しては吸気を行う。また、ファン３１Ｂ１は、第１のノズル１１Ｂ１、第３のノズル１３Ｂ１及び第４のノズル１４Ｂに対しては送風を行うとともに、第１のフィルタ２１Ｂが設けられた吸込み口及び該第１のフィルタ２１Ｂに対しては吸気を行うようになっている。
【００２３】
また、図２において、５０Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１、第２のノズル１２Ａ、第３のノズル１３Ａ１、第２のフィルタ２２Ａ及びファン３１Ａ１が搭載された第１の構体、５０Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２、第３のノズル１３Ａ２、第４のノズル１４Ａ、第１のフィルタ２１Ａ、及びファン３１Ａ２が搭載された第１の構体、５０Ｂ１は、第１のノズル１１Ｂ１、第３のノズル１３Ｂ１、第４のノズル１４Ｂ、第１のフィルタ２１Ｂ、及びファン３１Ｂ１が搭載された第２の構体、５０Ｂ２は、第１のノズル１１Ｂ２、第２のノズル１２Ｂ、第３のノズル１３Ｂ２、第２のフィルタ２２Ｂ及びファン３１Ｂ２が搭載された第２の構体である。第１のノズル１１Ａ１、１１Ａ２、第２のノズル１２Ａ、第３のノズル１３Ａ１、１３Ａ２、第４のノズル１４Ａ、第１のフィルタ２１Ａ、第２のフィルタ２２Ａ及びファン３１Ａ１、３１Ａ２は、第１の構体５０Ａ１、５０Ａ２上において第１のエアシャワーユニットを構成し、第１のノズル１１Ｂ１、ノズル１１Ｂ２、第２のノズル１２Ｂ、第３のノズル１３Ｂ１、１３Ｂ２、第４のノズル１４Ｂ、第１のフィルタ２１Ｂ、第２のフィルタ２２Ｂ及びファン３１Ｂ１、３１Ｂ２は、第２の構体５０Ｂ１、５０Ｂ２上において第２のエアシャワーユニットを構成している。該第１の構体５０Ａ１、５０Ａ２と、該第２の構体５０Ｂ１、５０Ｂ２とは、互いに分離された構成または互いに分離可能な構成である。
【００２４】
上記図２の構成において、清浄化対象体１０が、位置Ａからエアシャワー装置１００ｂの入口２を通り、エアカーテン状の第４のエアシャワー用空気流８４Ａの領域を通って、装置内空間１内のＢ位置に進入すると、該Ｂ位置で清浄化対象体１０には、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１によるエアシャワーが左側から浴びせられ、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ２によるエアシャワーが右側から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１によるエアシャワーが左側斜め後方（中心線Ｃに対し角θＡ１を成す方向）から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ２によるエアシャワーが右側斜め後方（中心線Ｃに対し角θＡ２を成す方向）から浴びせられ、付着していた塵埃類がこれらのエアシャワーで吹き飛ばされ除去される。さらに、清浄化対象体１０がＸ軸方向に進んでＣ位置にくると、該Ｃ位置で清浄化対象体１０には、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１によるエアシャワーが左側から浴びせられ、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ２によるエアシャワーが右側から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１によるエアシャワーが左側斜め前方（中心線Ｃに対し角θＢ１を成す方向）から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ２によるエアシャワーが右側斜め前方（中心線Ｃに対し角θＢ２を成す方向）から浴びせられ、残って付着していた塵埃類の一部または全部が吹き飛ばされて除去される。第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって除去された塵埃類は、装置内空間１内において、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって、大部分が第２のエアシャワー用空気流８２Ａの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、第１のフィルタ２１Ａを通過するときに該第１のフィルタ２１Ａにより捕集され、また、一部が第４のエアシャワー用空気流８４Ａの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、第２のフィルタ２２Ａを通過するときに該第２のフィルタ２２Ａにより捕集される。入口２側においては、中心線Ｃに対してそれぞれθＡ１、θＡ２を成す斜め方向に装置内空間１内に吹込む第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２があるため及び第４のエアシャワー用空気流８４Ａがあるために、上記第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって除去された塵埃類は、入口２から外部に漏出することを阻止される。同様に、第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１、８３Ｂ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２によって除去された塵埃類は、装置内空間１内において、第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２によって、大部分が第２のエアシャワー用空気流８２Ｂの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、第１のフィルタ２１Ｂを通過するときに該第１のフィルタ２１Ｂにより捕集され、また、一部が第４のエアシャワー用空気流８４Ａの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、第２のフィルタ２２Ｂを通過するときに該第２のフィルタ２２Ｂにより捕集される。出口３側においては、中心線Ｃに対してそれぞれθＢ１、θＢ２を成す斜め方向に装置��空間１内に吹込む第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２があるため及び第４のエアシャワー用空気流８４Ｂがあるために、上記第３のエアシャワー用空気流８３Ｂ１、８３Ｂ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ｂ１、８１Ｂ２によって除去された塵埃類は、出口３から外部（クリーンルーム等の内部）に漏出するのを阻止される。このようにして清浄化された清浄化対象体１０は、さらにＸ軸方向に進んで、エアシャワー装置１００ｂの出口３を通って、装置内空間１外のＤ位置に出る。Ｄ位置は、クリーンルームや、高い清浄度が要求される作業場などの内部における位置である。
【００２５】
上記構成のエアシャワー装置１００ｂによっても、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ、８２Ｂ及び第４のエアシャワー用空気流８４Ａ、８４Ｂを発生させる構成のため、装置内空間１内でエアシャワーにより清浄化対象体１０から除去された塵埃類を効率的に第１のフィルタ２１Ａ、２１Ｂや第２のフィルタ２２Ａ、２２Ｂに導いて捕集することができる。また、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２、８１Ｂ１、８１Ｂ２及び第４のエアシャワー用空気流８４Ａ、８４Ｂを発生させる構成のため、装置内空間１内でエアシャワーにより清浄化対象体１０から除去された塵埃類の入口２や出口３からの漏出を抑えることができる。また、入口２及び出口３にドアなどを設けない構成のため、ドアなどを開閉する必要がなく、単に清浄化対象体１０が装置内空間１を通り抜けることによって能率的な清浄化処理を行うことができ、多数の清浄化対象体１０に対しても短時間で清浄化処理を行うことができる。よって、装置の使い勝手性を向上させることができるとともに、能率的な清浄化処理が可能となる。また、入口２及び出口３にドアなどを設けない簡易な構成のため、装置の製造コストを低く抑えることも可能である。
【００２６】
図３は、本発明の第３の実施例としてのエアシャワー装置の構成図である。本第３の実施例は、入口と対向する壁部との間に装置内空間が形成され、入口と出口を兼用
する構成とした場合である。
【００２７】
図３において、１００ｃは、第３の実施例としてのエアシャワー装置、１は、エアシャワー装置１００ｃ内に形成される装置内空間、２は、エアシャワー装置１００ｃの入口（＝装置内空間１の入口）、２００は、入口２と対向する壁部、Ｃは、入口２の中心と壁部２００の中心とを結ぶ中心線、１０は、エアシャワー装置１００ｃによって清浄化される作業者など清浄化対象体、Ａ、Ｂはそれぞれ、清浄化対象体１０の位置である。
【００２８】
また、１１Ａ１、１１Ａ２は、入口２部において、Ｙ軸方向に装置内空間１をはさんだ位置に配され、それぞれが、空気を該装置内空間１に吹出す第１のノズル、８１Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１から吹出される空気によって発生される第１のエアシャワー用空気流、８１Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２から吹出される空気によって発生される第１のエアシャワー用空気流である。第１のノズル１１Ａ１は、中心線Ｃに対し角θＡ１（０°＜θＡ１＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出し、第１のノズル１１Ａ２は、中心線Ｃに対し角θＡ２（０°＜θＡ２＜９０°）傾斜した方向に空気を吹出すようになっている。このため、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１は、中心線Ｃに対し角θＡ１傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かい、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ２は、中心線Ｃに対し角θＡ２傾斜した方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かう。
【００２９】
また、１２Ａは、上記壁部２００の近傍に配され、空気を装置内空間１に−Ｙ軸方向に吹出す第２のノズルである。また、８２Ａは、第２のノズル１２Ａから吹出される空気によって発生される−Ｙ軸方向のエアカーテン状の第２のエアシャワー用空気流である。第２のノズル１２Ａは、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出す。このため、第２のエアシャワー用空気流８２Ａは、略水平方向かつ中心線Ｃに対し略直交し該略直交方向に装置内空間１を通過する。また、２１Ａは、通過する空気をろ過し塵埃類を捕集する第１のフィルタであり、装置内空間１をはさんで上記第２のノズル１２Ａと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第２のエアシャワー用空気流８２Ａによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集する。
【００３０】
また、１３Ａ１、１３Ａ２はそれぞれ第３のノズルであって、１３Ａ１は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ａ１と上記第２のノズル１２Ａとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズル、１３Ａ２は、上記中心線Ｃ方向（Ｘ軸方向）の上記第１のノズル１１Ａ２と上記フィルタ２１Ａとの間の位置において、上記装置内空間１をはさんだ位置に配され、空気を該装置内空間１に吹出す第３のノズルである。また、８３Ａ１は、第３のノズル１３Ａ１から吹出される空気によって発生される第３のエアシャワー用空気流、８３Ａ２は、第３のノズル１３Ａ２から吹出される空気によって発生される第３のエアシャワー用空気流である。第３のノズル１３Ａ１、１３Ａ２はそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出すようになっている。このため、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２はそれぞれ、中心線Ｃに対し略直交する方向に発生し、該略直交する方向から該装置内空間１の中心線Ｃ側に向かう。９０Ａは、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２の側から、入口２側に向かう空気の流れである。
【００３１】
また、１４Ａは、入口２部において、上記第１のノズル１１Ａ２よりも上記中心線Ｃ方向（−Ｘ軸方向）の外側に配され、空気を装置内空間１にＹ軸方向に吹出す第４のノズルである。また、８４Ａは、第４のノズル１４Ａから吹出される空気によって発生されるＹ軸方向のエアカーテン状の第４のエアシャワー用空気流である。該第４のエアシャワー用空気流８４Ａは、略水平方向で、上記第２のエアシャワー用空気流８２Ａと反対方向の流れとされている。第４のノズル１４Ａは、中心線Ｃに対し略直交する方向に空気を吹出す。このため、第４のエアシャワー用空気流８４Ａは、略水平方向かつ中心線Ｃに対し略直交し該略直交方向に装置内空間１を通過する。また、２２Ａは、装置内空間１をはさんで上記第４のノズル１４Ａと略対向する位置の吸込み口に配され、該吸込み口から吸込まれる少なくとも上記第４のエアシャワー用空気流８４Ａによる空気をろ過し、該空気中の塵埃類を捕集する第２のフィルタである。
【００３２】
３１Ａ１、３１Ａ２はそれぞれファンである。ファン３１Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１、第２のノズル１２Ａ及び第３のノズル１３Ａ１に対しては送風を行い、第２のフィルタ２２Ａが設けられた吸込み口及び該第２のフィルタ２２Ａに対しては吸気を行う。ファン３１Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２、第３のノズル１３Ａ２及び第４のノズル１４Ａに対しては送風を行い、第１のフィルタ２１Ａが設けられた吸込み口及び該第１のフィルタ２１Ａに対しては吸気を行うようになっている。
【００３３】
また、図３において、５０Ａ１は、第１のノズル１１Ａ１、第２のノズル１２Ａ、第３のノズル１３Ａ１、第２のフィルタ２２Ａ及びファン３１Ａ１が搭載された構体、５０Ａ２は、第１のノズル１１Ａ２、第３のノズル１３Ａ２、第４のノズル１４Ａ、第１のフィルタ２１Ａ、及びファン３１Ａ２が搭載された構体である。第１のノズル１１Ａ１、１１Ａ２、第２のノズル１２Ａ、第３のノズル１３Ａ１、１３Ａ２、第４のノズル１４Ａ、第１のフィルタ２１Ａ、第２のフィルタ２２Ａ及びファン３１Ａ１、３１Ａ２は、構体５０Ａ１、５０Ａ２上においてエアシャワーユニットを構成している。
【００３４】
上記図３の構成において、清浄化対象体１０が、位置Ａからエアシャワー装置１００ｃの入口２を通り、エアカーテン状の第４のエアシャワー用空気流８４Ａの領域を通って、装置内空間１内のＢ位置に進入すると、該Ｂ位置で清浄化対象体１０には、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１によるエアシャワーが左側から浴びせられ、第３のエアシャワー用空気流８３Ａ２によるエアシャワーが右側から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１によるエアシャワーが左側斜め後方（中心線Ｃに対し角θＡ１を成す方向）から浴びせられ、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ２によるエアシャワーが右側斜め後方（中心線Ｃに対し角θＡ２を成す方向）から浴びせられ、付着していた塵埃類がこれらのエアシャワーで吹き飛ばされ除去される。第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって除去された塵埃類は、装置内空間１内において、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって、大部分が第２のエアシャワー用空気流８２Ａの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、第１のフィルタ２１Ａを通過するときに該第１のフィルタ２１Ａにより捕集され、また、一部が第４のエアシャワー用空気流８４Ａの空気中に入り、該空気とともに吸込み口に吸込まれ、第２のフィルタ２２Ａを通過するときに該第２のフィルタ２２Ａにより捕集される。入口２側においては、中心線Ｃに対してそれぞれθＡ１、θＡ２を成す斜め方向に装置空間１内に吹込む第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２があるため及び第４のエアシャワー用空気流８４Ａがあるために、上記第３のエアシャワー用空気流８３Ａ１、８３Ａ２及び第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２によって除去された塵埃類は、入口２から外部に漏出することを阻止される。このようにして清浄化された清浄化対象体１０は、再び入口２を通って、装置内空間１外に出る。
【００３５】
上記構成のエアシャワー装置１００ｃによっても、第２のエアシャワー用空気流８２Ａ及び第４のエアシャワー用空気流８４Ａを発生させる構成のため、装置空間１内でエアシャワーにより清浄化対象体１０から除去された塵埃類を効率的に第１のフィルタ２１Ａや第２のフィルタ２２Ａに導いて捕集することができる。また、第１のエアシャワー用空気流８１Ａ１、８１Ａ２及び第４のエアシャワー用空気流８４Ａを発生させる構成のため、装置空間１内でエアシャワーにより清浄化対象体１０から除去された塵埃類の入口２からの漏出を抑えることができる。また、入口２にドアなどを設けない構成のため、ドアなどを開閉する必要がなく、単に清浄化対象体１０が装置空間１を通り抜けることによって能率的な清浄化処理を行うことができ、多数の清浄化対象体１０に対しても短時間で清浄化処理を行うことができる。よって、装置の使い勝手性を向上させることができるとともに、能率的な清浄化処理が可能となる。また、入口２にドアなどを設けない簡易な構成のため、装置の製造コストを低く抑えることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１の実施例としてのエアシャワー装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施例としてのエアシャワー装置の構成を示す図である。
【図３】本発明の第３の実施例としてのエアシャワー装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００３７】
１００ａ、１００ｂ、１００ｃ…エアシャワー装置、
１…装置内空間、
２…入口、
３…出口、
１０…清浄化対象体、
１１Ａ１、１１Ａ２、１１Ｂ１、１１Ｂ２…第１のノズル、
１２Ａ、１２Ｂ…第２のノズル、
２１Ａ、２１Ｂ…第１のフィルタ、
１３Ａ１、１３Ａ２、１３Ｂ１、１３Ｂ２…第３のノズル、
１４Ａ、１４Ｂ…第４のノズル、
２２Ａ、２２Ｂ…第２のフィルタ、
３１Ａ１、３１Ａ２、３１Ｂ１、３１Ｂ２…ファン、
５０Ａ１、５０Ａ２…第１の構体、
５０Ｂ１、５０Ｂ２…第２の構体、
８１Ａ１、８１Ａ２、８１Ｂ１、８１Ｂ２…第１のエアシャワー用空気流、
８２Ａ、８２Ｂ…第２のエアシャワー用空気流、
８３Ａ１、８３Ａ２、８３Ｂ１、８３Ｂ２…第３のエアシャワー用空気流、
８４Ａ、８４Ｂ…第４のエアシャワー用空気流、
２００…壁部。
【図１】
0005095511.tif 000002
【図２】
0005095511.tif 000003
【図３】
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