(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状のフレームと、前記フレームの軸方向両端部に取り付けた負荷側ブラケット及び反負荷側ブラケットとからなる外枠と、前記フレームの内面に嵌合される固定子と前記負荷側ブラケットに負荷側軸受を介して回転自在に支承され、かつ反負荷側ブラケットに反負荷側軸受を介して回転自在に支承された回転軸と、前記回転軸の外周面に、前記固定子の内周面と空隙を介して対向するように取り付けられた回転子とを有する回転形電動機において、
前記負荷側ブラケットに取り付けられ、前記回転軸の外周面を取り囲んでおり前記回転軸の軸方向の２ヶ所に分割された負荷側第１の空間を前記負荷側ブラケットの負荷側に形成するとともに、前記負荷側軸受の負荷側であって前記負荷側軸受と前記負荷側第１の空間との間に位置する部分に、第２の空間を形成している負荷側空間形成部材と、
前記負荷側第１の空間に連通され、パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体を給気する給気手段に接続されている給気路と、
前記第２の空間に連通され、気体の排気を行なう排気手段に接続されている排気路と
前記負荷側空間形成部材に設けられ、前記回転軸の外周面を取り囲むとともに、２ヶ所の前記負荷側第１の空間の間に挟まれるように配置された第３の空間と、
前記回転軸に設けられ、前記第３の空間と対向する部分と前記回転軸の負荷側端面とを貫通するように配置されたプロセスガス噴射穴と、
前記第３の空間に連通され、プロセスガスの供給を行なうプロセスガス供給手段に接続されているプロセスガス供給路と
を備えることを特徴とする回転形電動機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム等で使用される回転形電動機に係り、特に半導体製造工程において、ウェハの洗浄装置や薬液塗布装置、ウェハ搬送装置などに使用される回転形電動機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体装置の高集積化と高機能化に伴って半導体製造工程におけるクリーン化の要求もますます厳しくなっており、特にウェハ表面に対するパーティクルによる汚染は製品の歩留まりの悪化をもたらすため重要な問題となっている。そのため、半導体製造装置は一般にクリーン度が厳しく管理されたクリーンルーム内に設置され、ウェハへのパーティクルの付着を防止している。従来より、回転形電動機は、半導体の製造工程において、例えば、ウェハの洗浄装置、薬液塗布装置などのスピナー用や、ウェハ搬送装置の駆動用などの用途に広く利用されているが、クリーン環境下では必要とするクリーン度に応じた対策を行っていないと電動機からのパーティクルの発生を抑えることができず、周囲環境を汚染しウェハを汚染する。電動機の場合、パーティクルの発生原因としては、構成部品からの錆や、外被の汚れ、塗装の剥離などもあるが、電動機内部から放出されるパーティクルが大半であり、特に軸受部からの摩耗粉や、飛散したグリースなどがパーティクルとなって周囲環境を汚染する。
そこで、クリーン環境下で使用する従来の回転形電動機では軸受のグリースを飛散が少ないクリーン用グリースに交換した回転形電動機が用いられることがあるが、クリーン用グリースを用いた電動機の場合でもパーティクルの飛散が無いわけではなく、電動機の回転速度や軸受サイズの増加にともなってパーティクルは増加するため、より厳しいクリーン度が要求される場合には十分対応できないことがあり、また、ウェハ洗浄装置や薬液塗布装置のような用途において腐食性のある気体や薬液のミストが存在する雰囲気中で使用される場合、電動機内部に腐食性のある気体やミストを吸い込んでしまうことがあり、電動機内部の腐食をもたらして性能の劣化や錆によるパーティクルの増大を引き起こすという問題があった。
そのため、従来の回転形電動機としては、電動機の内部から外部に向かってのパーティクルの放出がなく、且つ周囲雰囲気中の腐食性のある気体やミストが電動機の外部から内部に向かって侵入することがないようにするために、電動機内部を給気及び排気する機構を設けたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
図４は従来の回転形電動機の構造を示す側断面図である。
図４において、１Ａは回転形電動機、２Ａは前記回転形電動機１Ａの外枠であり、筒状のフレーム３Ａと、前記フレーム３Ａの軸方向両端部にそれぞれ取り付けられた負荷側ブラケット４Ａと反負荷側ブラケット５Ａとで構成されている。６Ａは前記フレーム３Ａの内面に嵌合された固定子である。７Ａは回転軸であり、前記負荷側ブラケット４Ａ及び前記反負荷側ブラケット５Ａを貫通するとともに、前記負荷側ブラケット４Ａに対しては、負荷側軸受８Ａを介して回転自在に支承されており、前記反負荷側ブラケット５Ａに対しては反負荷側軸受９Ａを介して回転自在に支承されている。１０Ａは回転子であり、前記回転軸７Ａの外周面に前記固定子６Ａの内周面と空隙を介して対向するように取り付けられている。１９Ａは前記フレーム３Ａに設けられた排気路であり、前記フレーム３Ａと、前記負荷側ブラケット４Ａと、前記反負荷側ブラケット５Ａとで形成される回転形電動機１Ａの内部空間１４Ａに連通するとともに、気体の排気を行なう排気手段２１Ａに接続されている。１２Ａは前記負荷側ブラケット４Ａに取り付けた負荷側空間形成部材、１３Ａは前記反負荷側ブラケット５Ａに取り付けた反負荷側空間形成部材である。前記負荷側空間形成部材１２Ａ及び前記反負荷側空間形成部材１３Ａは、それぞれ例えばカバーによって構成され、前記負荷側空間形成部材１２Ａは、前記負荷側ブラケット４Ａの負荷側に前記回転軸７Ａの外周面を取り囲む負荷側第１の空間１５Ａを形成しており、前記反負荷側空間形成部材１３Ａは、前記反負荷側ブラケット５Ａの反負荷側に前記回転軸７Ａの外周面を取り囲む反負荷側第１の空間１６Ａを形成している。１１Ａは前記反負荷側第１の空間１６Ａ内に配置された回転形電動機１Ａの回転速度や位置を検出する検出器部である。２２Ａは前記負荷側第１の空間１５Ａに連通した給気路であり、２３Ａは前記反負荷側第１の空間１６Ａに連通した給気路である。前記給気路２２Ａおよび前記給気路２３Ａは、パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体を給気する給気手段２４Ａに接続されている。
このような構成の回転形電動機において、回転形電動機１Ａの運転を開始すると、負荷側軸受８Ａ及び反負荷側軸受９Ａにおけるグリースの飛散や摩耗粉をはじめとするパーティクルが回転形電動機１Ａの内部で発生する。しかし、排気手段２１Ａにより内部空間１４Ａを排気することにより内部空間１４Ａは周囲より負圧となるので、回転形電動機１Ａの内部で発生したパーティクルは内部空間１４Ａ側に吸引され排気路１９Ａを通って排出される。このため、回転形電動機１Ａの内部で発生したパーティクルは回転形電動機１Ａの周囲雰囲気へ放出されないようになっている。
また、排気手段２１Ａにより内部空間１４Ａを排気することにより回転形電動機１Ａの内部圧力は周囲圧力より低くなるため、回転形電動機１Ａの周囲雰囲気の気体やミストに腐食性がある場合に、これらの気体やミストを回転形電動機１Ａの内部へ吸い込んでしまうことがあり、これによって回転形電動機１Ａの内部の腐食がもたらされ、回転形電動機１Ａの内部の性能の劣化や錆によりパーティクルの増大する恐れがあるが、これを防ぐため、前記負荷側空間形成部材１２Ａによって形成された負荷側第１の空間１５Ａ及び前記反負荷側空間形成部材１３Ａによって形成された反負荷側第１の空間１６Ａ内に、給気手段２４Ａによって、例えば高純度の乾燥窒素やフィルタにより濾過した乾燥空気などのパーティクルを含まない清浄で乾燥した気体を給気することにより、負荷側第１の空間１５Ａ及び反負荷側第１の空間１６Ａ内を回転形電動機１Ａの周囲雰囲気圧より正圧とすることで、回転形電動機１Ａの周囲雰囲気の気体やミストが回転形電動機１Ａの内部へ侵入しないようになっている。一方、回転形電動機１Ａの内部においては、負荷側第１の空間１５Ａ及び反負荷側第１の空間１６Ａと内部空間１４Ａとの間の圧力差が発生し、負荷側第１の空間１５Ａ及び反負荷側第１の空間１６Ａから内部空間１４Ａへ向かう気流が形成されることで、内部で発生したパーティクルはこの気流に乗って排気路１９Ａを通って排出されるようになっている。
さらに、負荷側第１の空間１５Ａ内及び反負荷側第１の空間１６Ａ内の気体が回転軸７Ａの両端の軸貫通部から回転形電動機１Ａの周囲雰囲気に漏れても、負荷側第１の空間１５Ａ内及び反負荷側第１の空間１６Ａの気体はパーティクルを含まない清浄で乾燥した気体であるので、回転形電動機１Ａの周囲雰囲気の環境を汚染しないようになっている。
【特許文献１】特開２０００−１３４８５７号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１のような従来の回転形電動機では、排気を行なう内部空間１４Ａと清浄で乾燥した気体の給気を行なう負荷側第１の空間１５Ａとの間に負荷側軸受８Ａが配置された構成となっているため、負荷側軸受８Ａが通気の抵抗となって負荷側第１の空間１５Ａから内部空間１４Ａへ向かう気体の流れが阻害され、負荷側軸受８Ａに接触して汚染された給気が回転軸７Ａの負荷側の軸貫通部より逆流して回転形電動機１Ａの周囲雰囲気へパーティクルを放出するという問題があった。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、電動機の内部からのパーティクルの放出が無く、且つ周囲雰囲気の腐食性のある気体やミストが電動機内部に侵入することがない回転形電動機を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したものである。
本発明は、筒状のフレームと、前記フレームの軸方向両端部に取り付けた負荷側ブラケット及び反負荷側ブラケットとからなる外枠と、前記フレームの内面に嵌合される固定子と、前記負荷側ブラケットに負荷側軸受を介して回転自在に支承され、かつ反負荷側ブラケットに反負荷側軸受を介して回転自在に支承された回転軸と、前記回転軸の外周面に、前記固定子の内周面と空隙を介して対向するように取り付けられた回転子とを有する回転形電動機において、前記負荷側ブラケットに取り付けられ、前記負荷側ブラケットの負荷側に前記回転軸の外周面を取り囲む負荷側第１の空間を形成するとともに、前記負荷側軸受の負荷側で前記負荷側軸受と前記負荷側第１の空間との間に位置する部分に、第２の空間を形成している負荷側空間形成部材と、前記負荷側第１の空間に連通され、パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体を給気する給気手段に接続されている給気路と、前記第２の空間に連通され、気体の排気を行なう排気手段に接続されている排気路と、を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明は、上記した回転形電動機において、前記フレームに設けられ、前記フレームと前記負荷側ブラケットと前記反負荷側ブラケットとで形成される回転形電動機の内部空間に連通するとともに、前記内部空間の気体の排気を行なう排気手段に接続されている排気路と、反負荷側ブラケットに取り付けられ、前記反負荷側ブラケットの反負荷側に前記回転軸の外周面を取り囲む反負荷側第１の空間を形成する反負荷側空間形成部材と、前記反負荷側第１の空間に連通され、パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体を給気する給気手段に接続されている給気路と、を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明は、上記した回転形電動機において、前記負荷側空間形成部材に設けられた前記負荷側第１の空間を前記回転軸の軸方向の２ヶ所に分割するとともに、前記負荷側空間形成部材に設けられ、前記回転軸の外周面を取り囲むとともに２ヶ所の前記負荷側第１の空間の間に挟まれるように配置された第３の空間と、前記回転軸に設けられ、前記第３の空間と対向する部分と前記回転軸の負荷側端面とを貫通するように配置されたプロセスガス噴射穴と、前記第３の空間に連通され、プロセスガスの供給を行なうプロセスガス供給手段に接続されているプロセスガス供給路と、を備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、次のような効果を有する回転形電動機を提供することができる。
本発明によると、前記負荷側第１の空間から前記負荷側軸受へ向かって流れ込もうとする給気は、前記第２の空間に連通された排気路を通って排気され、前記負荷側軸受から出るパーティクルも同じく前記第２の空間に連通された排気路を通って排気されるので、前記負荷側軸受に接触して汚染された給気が、前記回転軸の負荷側の軸貫通部より逆流して電動機の周囲雰囲気へパーティクルを放出することがない。また、前記給気手段により前記負荷側第１の空間内へ清浄な乾燥気体を給気することによって、前記負荷側第１の空間内は、電動機の周囲雰囲気圧より正圧となるので、電動機の周囲雰囲気の気体やミストが前記負荷側第１の空間の負荷側から電動機の内部へ侵入することがない。さらに、前記負荷側第１の空間内の気体が、前記回転軸の負荷側の軸貫通部から電動機の周囲雰囲気に漏れても、前記負荷側第１の空間内の気体は、パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体であるので、前記回転軸の負荷側の周囲雰囲気の環境を汚染することがない。
また、本発明によると、上記した効果に加え、前記排気手段により、前記内部空間を排気することにより前記内部空間は前記反負荷側軸受の反軸受側より負圧となり、前記内部空間及び前記反負荷側軸受の反軸受側で発生したパーティクルは、前記内部空間側に吸引されて前記内部空間に接続された排気路を通って排出されるので、回転形電動機から周囲雰囲気へパーティクルを放出することがない。また、前記給気手段により、前記反負荷側第１の空間内へ清浄な乾燥気体を給気することにより、前記反負荷側第１の空間内も電動機の周囲雰囲気圧より正圧となるので、電動機の周囲雰囲気の気体やミストが、前記反負荷側第１の空間の反負荷側からも電動機の内部へ侵入することがない。さらに、前記反負荷側第１の空間内の気体が前記回転軸の反負荷側の軸貫通部から電動機の周囲雰囲気に漏れても、前記反負荷側第１の空間内の気体は、パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体であるので、前記回転軸の反負荷側の周囲雰囲気の環境も汚染することがない。
また、本発明によると、上記した効果に加え、前記プロセスガス供給手段により、プロセスガスを、前記プロセスガス供給路及び前記第３の空間を通って、前記回転軸の負荷側端面の前記プロセスガス噴射穴の出口から噴射することができる。また、前記負荷側第１の空間を前記第３の空間の両側に配置していることにより、前記第３の空間を通るプロセスガスは、前記負荷側第１の空間に給気される清浄な乾燥気体によって遮蔽された間を流れることになるので、前記プロセスガス噴射穴の出口から噴射されるプロセスガスには、電動機の内部からの汚染された気体や前記回転軸の負荷側の周囲雰囲気中の気体やミストが混入することがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して説明する。
【実施例１】
【０００７】
図１は本発明の回転形電動機の第１の実施例の構造を示す図で、（ａ）は負荷側からみた正面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図１において、１は回転形電動機、２は前記回転形電動機１の外枠であり、筒状のフレーム３と、前記フレーム３の軸方向両端側にそれぞれ取り付けられた負荷側ブラケット４と反負荷側ブラケット５とで構成されている。６は前記フレームの内面に嵌合された固定子である。７は回転軸であり、前記負荷側ブラケット４及び前記反負荷側ブラケット５を貫通するとともに、前記負荷側ブラケット４に対しては、負荷側軸受８を介して回転自在に支承されており、前記反負荷側ブラケット５に対しては、反負荷側軸受９を介して回転自在に支承されている。１０は回転子であり、前記回転軸７の外周面に前記固定子６の内周面と空隙を介して対向するように取り付けられている。１２は前記負荷側ブラケット４に取り付けた負荷側空間形成部材であり、例えばカバーによって構成され、前記負荷側ブラケット４の負荷側に前記回転軸７の外周面を取り囲む負荷側第１の空間１５を形成するとともに、前記負荷側軸受８の負荷側で、前記負荷側軸受８と前記第１の空間１５の間に位置する部分に、第２の空間１７を形成している。１１は反負荷側ブラケット５の反負荷側に配置された回転形電動機１の回転速度や位置を検出する検出器部である。２２は前記負荷側第１の空間１５に連通した給気路であり、パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体を給気する給気手段２４に接続されている。２０は前記第２の空間１７に連通した排気路であり、気体の排気を行なう排気手段２１に接続されている。なお、前記負荷側第１の空間１５及び前記第２の空間１７は、前記カバーによらず、負荷側ブラケット４を変形させることにより形成するようにしてもよい。
本発明が従来技術と異なる部分は、負荷側軸受８と回転軸７の負荷側端との間にある負荷側空間形成部材１２に、清浄で乾燥した気体の給気を行なう給気手段２４に接続された負荷側第１の空間１５と、排気を行なう排気手段２１に接続された第２の空間１７とを設けるとともに、前記第２の空間１７を、前記負荷側軸受８と前記負荷側第１の空間１５との間に位置するような配置の構成とした部分である。
【０００８】
このような構成における回転形電動機の動作について、以下に説明する。
まず、回転形電動機１の運転を開始すると、負荷側軸受８及び反負荷側軸受９におけるグリースの飛散や摩耗粉をはじめとするパーティクルが回転形電動機１の内部で発生する。しかし、排気手段２１により、第２の空間１７を排気することにより、負荷側軸受８の負荷側に出てきた回転形電動機１の内部で発生したパーティクルは、排気路２０を通って排出される。
また、従来技術では、負荷側軸受８Ａより反負荷側に位置する空間を排気していため、前記負荷側軸受８Ａが通気の抵抗となって負荷側第１の空間１５Ａから負荷側軸受８Ａの反負荷側へ向かう気体の流れが阻害され、負荷側軸受８Ａに接触して汚染された給気が回転軸７Ａの負荷側の軸貫通部より逆流して回転形電動機１Ａの周囲雰囲気へパーティクルを放出するという問題があったが、本発明の回転形電動機においては、軸受８より負荷側に位置する第２の空間１７を排気しているので、負荷側軸受８が通気の抵抗となることがなく、負荷側第１の空間から負荷側軸受８側へ向かって流れ込もうとする給気は，第２の空間１７に連通された排気路２０を通って排気され、負荷側軸受８から出るパーティクルも同じく第２の空間１７に連通された排気路２０を通って排気されるので、負荷側軸受８に接触して汚染された給気が、回転軸７の負荷側の軸貫通部より逆流して電動機の周囲雰囲気へパーティクルを放出することがない。
そして、給気手段２４により、負荷側第１の空間１５内へ、例えば高純度の乾燥窒素やフィルタにより濾過した乾燥空気などのパーティクルを含まない清浄で乾燥した気体を給気することによって、負荷側第１の空間１５内は電動機の周囲雰囲気圧より正圧となるので、電動機の周囲雰囲気の気体やミストが負荷側第１の空間１５の負荷側から電動機の内部へ侵入することがない。
さらに、負荷側第１の空間１５内の気体が回転軸７の負荷側の軸貫通部から電動機の周囲雰囲気に漏れても、負荷側第１の空間１５内の気体はパーティクルを含まない清浄で乾燥した気体であるので、回転軸７の負荷側の周囲雰囲気の環境を汚染することがない。
したがって、本発明の回転形電動機は、電動機の回転軸の負荷側において、内部からのパーティクルの放出が無く、且つ周囲雰囲気中の腐食性のある気体やミストが回転形電動機１の内部に侵入することがない。
【実施例２】
【０００９】
図２は本発明の回転形電動機の第２の実施例の構造を示す図で、（ａ）は負荷側からみた正面図、（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
なお、図２において、図１と同一符号は同一もしくは相当する部材を示し、説明は省略する。
この第２の実施例は、前記第１の実施例の回転形電動機において、フレーム３に設けられ、フレーム３と負荷側ブラケット４と反負荷側ブラケット５とで形成される回転形電動機１の内部空間１４に連通するとともに、内部空間１４の気体の排気を行なう排気手段２１に接続されている排気路１９と、反負荷側ブラケット５に取り付けられ、前記反負荷側ブラケット５の反負荷側に前記回転軸７の外周面を取り囲む反負荷側第１の空間１６を形成する反負荷側空間形成部材１３と、前記反負荷側第１の空間１６に連通され、パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体を給気する給気手段２４に接続されている給気路２３と、を追加したものである。なお、前記排気路１９は、フレーム３ではなく負荷側ブラケット４または反負荷側ブラケット５に設けてもよく、前記反負荷側第１の空間１６は、前記カバーによらず反負荷側ブラケット５を変形させることにより形成するようにしてもよい。
このような構成にすることにより、排気手段２１により第２の空間１７とともに内部空間１４も排気することによって、前記内部空間１４で発生したパーティクルは排気路１９を通って排出されるとともに、給気手段２４により負荷側第１の空間１５内及び反負荷側第１の空間１６内へ清浄な乾燥気体を給気することで、負荷側第１の空間１５と第２の空間１７との間の圧力差、及び反負荷側第１の空間１６と内部空間１４との間の圧力差が発生し、負荷側第１の空間１５から第２の空間１７を経由して排気路２０を通って排気される気流と、反負荷側第１の空間１６から内部空間１４を経由して排気路１９を通って排気される気流とが形成されるので、回転形電動機１の内部で発生したパーティクルはこれらの気流に乗り排気路２０及び排気路１９を通ってそれぞれ排出される。
また、給気手段２４により負荷側第１の空間１５内とともに反負荷側第１の空間１６内へも清浄な乾燥気体を給気していることで、負荷側第１の空間１５内とともに反負荷側第１の空間１６内も電動機の周囲雰囲気圧より正圧となるので、電動機の周囲雰囲気の気体やミストが電動機の周囲雰囲気から電動機の内部へ侵入することがない。
さらに、負荷側第１の空間１５内及び反負荷側第１の空間１６内の気体が、回転軸７の両端の軸貫通部から電動機の外部雰囲気に漏れても、負荷側第１の空間１５内及び反負荷側第１の空間１６内の気体は、パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体であるので、電動機の周囲雰囲気の環境を汚染することはない。
したがって、本発明の回転形電動機は、電動機の回転軸の両端側において、電動機の内部からのパーティクルの放出がなく、且つ周囲雰囲気中の腐食性のある気体やミストが回転形電動機１の内部に向かって侵入することがない。
【００１０】
図３は本発明の回転形電動機の第３の実施例の構造を示す図で、（ａ）は負荷側からみた正面図、（ｂ）は（ａ）におけるＣ−Ｃ線に沿う断面図、（ｃ）は（ａ）におけるＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
なお、図３において、図２と同一符号は同一もしくは相当する部材を示し、説明は省略する。この第３の実施例は、前記第２の実施例の回転形電動機において、回転軸７の負荷側端面からプロセスガスを噴射できるようにしたものであり、前記第２の実施例の回転形電動機において、負荷側空間形成部材１２に設けられた負荷側第１の空間１５を回転軸７の軸方向の２ヶ所に分割するように変更するとともに、負荷側空間形成部材１２に設けられ、回転軸７の外周面を取り囲むとともに、２ヶ所の負荷側第１の空間１５の間に挟まれるように配置された第３の空間１８と、回転軸７に設けられ、前記第３の空間１８と対向する部分と、回転軸７の負荷側端面とを貫通するように配置されたプロセスガス噴射穴２６と、前記第３の空間１８に連通され、プロセスガスの供給を行なうプロセスガス供給手段２７に接続されているプロセスガス供給路と、を追加したものである。
このような構成にすることにより、第２の実施例の効果に加え、プロセスガス供給手段２７により、プロセスガスをプロセスガス供給路２５及び第３の空間１８を通って回転軸７の負荷側端面のプロセスガス噴射穴２６の出口から噴射することができ、また、負荷側第１の空間１５を第３の空間１８の両側に配置していることにより、第３の空間を通るプロセスガスは負荷側第１の空間に給気される清浄な乾燥気体によって遮蔽された間を流れることになるので、プロセスガス噴射穴２６の出口から噴射されるプロセスガスには電動機の内部からの汚染された気体や回転軸７の負荷側の周囲雰囲気中の気体やミストが混入することがない。
【００１１】
なお、前記各実施例では、永久磁石形同期電動機の場合を例として示したが、本発明は、誘導電動機など、他の形式の回転形電動機にも適用することができる。
また、前記各実施例を示す図では、回転軸７を中空として図示しているが、中実であっても構わない。
また、前記各実施例では、回転形電動機１の回転速度や位置を検出する検出器部１１を、反負荷側ブラケット５の反負荷側に配置しているが、フレーム３と負荷側ブラケット４と反負荷側ブラケット５とで形成される内部空間や第２の空間１７に配置しても構わない。
また、前記第１の実施例の構成は、回転軸７の負荷側のからの、パーティクルの放出がなく、且つ、周囲雰囲気の気体の回転電動機内への侵入がない構成になっているが、実施例１の構成を、回転軸７の反負荷側にも設けることにより、回転軸７の負荷側だけでなく、回転軸７の反負荷側のからのパーティクルの放出もなく、且つ、周囲雰囲気の気体の回転電動機内に侵入もない構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００１２】
本発明の回転形電動機では、電動機の内部からパーティクルの放出が無く、且つ周囲雰囲気の腐食性のある気体やミストが電動機内部に侵入することがない回転形電動機を提供することができるので、例えばパーティクルの発生を極度に嫌い周囲雰囲気の腐食性のある気体やミストが存在する恐れのある半導体の製造工程におけるウェハの洗浄装置、薬液塗布装置などのスピナー用やウェハ搬送装置の駆動用などの用途に広く適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の回転形電動機の第１の実施例の構造を示す図で、（ａ）は負荷側からみた正面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図２】本発明の回転形電動機の第２の実施例の構造を示す図で、（ａ）は負荷側からみた正面図、（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図３】本発明の回転形電動機の第３の実施例の構造を示す図で、（ａ）は負荷側からみた正面図、（ｂ）は（ａ）におけるＣ−Ｃ線に沿う断面図、（ｃ）は（ａ）におけるＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図４】従来の回転形電動機の構造を示す側断面図である。
【符号の説明】
【００１４】
１、１Ａ    回転形電動機
２、２Ａ    外枠
３、３Ａ    フレーム
４、４Ａ    負荷側ブラケット
５、５Ａ    反負荷側ブラケット
６、６Ａ    固定子
７、７Ａ    回転軸
８、８Ａ    負荷側軸受
９、９Ａ    反負荷側軸受
１０、１０Ａ  回転子
１１、１１Ａ  検出器部
１２、１２Ａ  負荷側空間形成部材
１３、１３Ａ  反負荷側空間形成部材
１４、１４Ａ  内部空間
１５、１５Ａ  負荷側第１の空間
１６、１６Ａ  反負荷側第１の空間
１７  第２の空間
１８  第３の空間
１９、１９Ａ，２０  排気路
２１、２１Ａ  排気手段
２２、２２Ａ、２３、２３Ａ  給気路
２４、２４Ａ  給気手段
２５  プロセスガス供給路
２６  プロセスガス噴射穴
２７  プロセスガス供給手段
【図１】
0005098715.tif 000002
【図２】
0005098715.tif 000003
【図３】
0005098715.tif 000004
【図４】
0005098715.tif 000005