(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＪＩＳ  Ｂ  ９９２０に基づいて測定される空気清浄度がクラス７以下のクリーンルーム内で、添加剤無添加で純度が少なくとも９９％のポリオレフィン系樹脂組成物またはポリエチレンテレフタレート樹脂組成物を容器に成形加工する過程で、
データを処理、記憶する集積回路と該集積回路に接続されて該データを非接触で送受する送受信アンテナとを備え、添加剤無添加で純度が少なくとも９９％のポリエチレン若しくはポリプロピレンであるポリオレフィン系樹脂組成物またはポリエチレンテレフタレート樹脂組成物で全体が被覆されて構成されているＩＣタグを、
インモールド成形、またはインサート成形によって容器に一体化することを特徴とするクリーン容器の製造方法。
【請求項２】
前記ＩＣタグが、前記容器と同じ樹脂組成物で全体が被覆されて構成されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーン容器の製造方法。
【請求項３】
前記容器が容器本体および蓋からなり、前記ＩＣタグを容器本体または／および蓋に一体化することを特徴とする請求項１または２に記載のクリーン容器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薬品や高純度溶剤等を充填し貯蔵や輸送等に用いられる高純度樹脂組成物から成形加工されるＩＣタグ付きのクリーン容器の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体および液晶製造用薬品等の工業薬品、医薬関係薬品、および高純度溶剤等の溶液を充填して収納、輸送および貯蔵に用いられるクリーン容器は、金属製やガラス製から、耐薬品性に優れると共に破損の少ない樹脂組成物製の容器に替わってきている。この樹脂組成物から容器を成形加工する方法の代表的な製造方法としてブロー成形方法がある。
【０００３】
ブロー成形方法では、樹脂組成物を溶融させ、筒状にし、成形金型内でエアーブローして形成し、冷却して容器に成形加工する。この方法は、樹脂組成物の性状、加工温度、加工スピード、または外的環境といった条件が変化しなければ、同様な容器を製造することができる。
【０００４】
特に、薬品等が充填されるクリーン容器は、容器から溶液中に異物が混入しないように品質を一定に保つことが重要になる。そこで原料のロット番号や製造日時等で製品ロットを定め、同一ロット内においては同様な品質であると仮定するロット番号による製造情報の管理が行われている。例えば、製造した容器に不具合が発生した場合、同じロット番号の容器にも不具合が生じる可能性があるため、ロット番号から不具合の発生する範囲を特定することができる。
【０００５】
ロット番号は、容器にシールや成形による刻印で表示される。しかし、シールは剥がれて脱落する可能性がある。このため、成形による刻印で容器に表示することが一般的である。例えば、成形金型内に装着されてロット番号等を刻印する型内着脱式刻印装置が、特許文献１に示されている。
【０００６】
半導体や液晶を製造するために使用される薬品の種類は、日々増加の一途をたどっている。種類が多いために、半導体製造装置等に薬品等が誤って送液される事故も発生している。このため、クリーン容器への溶液情報の確実な記録が切に望まれている。しかし、刻印できる文字数が限られている。仮に刻印できる文字数を多くしても、刻印する薬品情報を変更する場合には、成形装置を停止させなければならない。
【０００７】
近年、非接触型のＩＣタグに溶液情報等を書き込んで容器に取り付けることが行われている。例えば、非接触型のＩＣチップ（ＩＣタグ）を容器に埋め込んだ非接触方式ＩＣチップ付き包装材が、特許文献２に示されている。このようなＩＣタグは、記憶できる情報量が刻印文字の情報量と比較して飛躍的に多い。また、ＩＣタグは、成形後であっても、情報の追加、変更が可能である。
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−３３５０１０号公報
【特許文献２】特開２００３−２６２２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１に示されたロットピン（刻印装置）による刻印では、ロット番号が変わるたびに成形装置を停止させる必要がある。記載できる情報量も少ない。
【００１０】
特許文献２に示された従来のＩＣタグ付きの容器では、成形装置を停止させる必要も無く、記録できる情報量が多いものの、以下の問題がある。すなわち、成形装置が外気中に設置されている場合には、空気中の塵埃や化学物質が容器本体や蓋の原料に混入し、成形される容器の成分純度が悪化してしまう。このため、容器に充填される溶液のクリーン度が悪化してしまう。また、ＩＣタグを容器に一体化する際、ＩＣタグの容器に接する部分から不純物が容器原料に混入して、容器の成分純度が悪化してしまう。このため、容器に充填される溶液のクリーン度が悪化してしまう。
【００１１】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、クリーン容器の成分純度を悪化させることなくクリーン容器にＩＣタグを一体化できるクリーン容器の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記の目的を達成するためになされた特許請求の範囲の請求項１に記載のクリーン容器の製造方法は、ＪＩＳ  Ｂ  ９９２０に基づいて測定される空気清浄度がクラス７以下のクリーンルーム内で、添加剤無添加で純度が少なくとも９９％のポリオレフィン系樹脂組成物またはポリエチレンテレフタレート樹脂組成物を容器に成形加工する過程で、データを処理、記憶する集積回路と該集積回路に接続されて該データを非接触で送受する送受信アンテナとを備え、添加剤無添加で純度が少なくとも９９％のポリエチレン若しくはポリプロピレンであるポリオレフィン系樹脂組成物またはポリエチレンテレフタレート樹脂組成物で全体が被覆されて構成されているＩＣタグを、インモールド成形、またはインサート成形によって容器に一体化することを特徴とする。
【００１３】
請求項２に記載のクリーン容器の製造方法は、請求項１に記載されたもので、前記ＩＣタグが、前記容器と同じポリオレフィン系樹脂組成物で全体が被覆されて構成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項３に記載のクリーン容器の製造方法は、請求項１または２に記載されたもので、前記容器が容器本体および蓋からなり、前記ＩＣタグを容器本体または／および蓋に一体化することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１記載のクリーン容器の製造方法によれば、ＪＩＳ  Ｂ  ９９２０に基づいて測定される空気清浄度がクラス７以下のクリーンルーム内で、添加剤無添加で純度が少なくとも９９％のポリオレフィン系樹脂組成物を容器に成形加工する過程で、ＩＣタグを容器に一体化する。これにより、容器に空気中の塵埃や化学物質等の不純物が混入することがなくＩＣタグを一体化することができ、クリーン容器の成分純度の悪化を防止することができる。
【００１７】
ＩＣタグは、添加剤無添加で純度が少なくとも９９％のポリエチレン若しくはポリプロピレンであるポリオレフィン系樹脂組成物またはポリエチレンテレフタレート樹脂組成物で全体が被覆されている。これにより、ＩＣタグから不純物が容器原料に混入しない。このため、クリーン容器の成分純度の悪化を確実に防止することができる。
【００１８】
ＩＣタグを、インモールド成形、またはインサート成形によって容器に一体化する。これにより、容器の壁内部、または壁面といった任意の位置にＩＣタグを一体化することができる。
【００１９】
容器が容器本体および蓋からなり、ＩＣタグを容器本体または／および蓋に一体化した場合、例えば、容器本体や蓋の形状、大きさ、または容器情報の管理状況等により、ＩＣタグを一体化する対象を任意に選ぶことができる。例えば、容器本体および蓋の各々について製造情報を管理する必要がある場合には、各々にＩＣタグを一体化して管理することができる。
【発明を実施するための好ましい形態】
【００２０】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの形態に限定されるものではない。
【００２１】
本発明を適用して製造されるクリーン容器は、一例として、図１に示されるように容器本体１、および容器本体１の入出力口に着脱可能な蓋２で構成されている。
【００２２】
容器本体１には、図１に示されるように、円筒形の胴部にＩＣタグ４が一体化して取り付けられている。
【００２３】
図２には、ＩＣタグ４の容器本体１の胴部への取付け例が示されている。図２（ａ）には、容器本体１の外壁面に一致するようにＩＣタグ４が一体化された例が示されている。また、図２（ｂ）には、容器本体１の壁内部に埋め込まれて一体化された例が示されている。図２（ｃ）には、容器本体１の内壁面に一致するように一体化された例が示されている。図２（ａ），（ｂ），（ｃ）に示された何れの状態であっても、ＩＣタグ４は非接触で送受信部３２と無線通信できる。
【００２４】
ＩＣタグ４は、図３に示されるように、データを処理、記憶する集積回路２０と、集積回路２０に接続されてデータを非接触で送受する送受信アンテナ２１とを備え、後述する容器本体１や蓋２と同程度の、添加剤無添加で純度が少なくとも９９％のポリオレフィン系樹脂組成物で全体が被覆されている。ＩＣタグ４は、図２（ａ），図２（ｃ）に示されるように、容器本体１の外壁面や内壁面に一体化される場合には、柔軟な薄型のラベル状の形態に形成される。また、図２（ｂ）に示されるように、容器本体１の壁内部に埋め込まれる場合には、柔軟性を必要としないため、厚く形成されてもよい。
【００２５】
容器本体１および蓋２は、ＪＩＳ  Ｂ  ９９２０に基づいて測定される空気清浄度がクラス７以下に保たれたクリーンルームの中で成形される。このため、空気中の塵埃や化学物質等の異物が原料に混入しない。
【００２６】
容器本体１および蓋２は、何れも、酸化防止剤、滑剤、抗ブロッキング剤、および帯電防止剤といった添加剤無添加で純度が少なくとも９９％のポリオレフィン系樹脂組成物を原料として用いられて成形される。
【００２７】
ポリオレフィン系樹脂組成物の代表例としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、またはポリエチレンテレフタレートが良く知られている。特に、半導体や液晶製造用薬品用に使用される容器本体１や蓋２には、ポリエチレン樹脂を用いることが好ましい。半導体や液晶製造では、特に高純度の薬品が用いられる。ポリエチレン樹脂は、化学安定性が高く、薬品への不純物の溶出が少ない理由による。
【００２８】
容器本体１は、クリーンルーム内でブロー成形装置によってブロー成形加工される。このブロー成形加工される過程でＩＣタグ４は容器本体１に一体化される。
【００２９】
図２（ａ），（ｃ）に示されるように、容器本体１の外壁面または内壁面に一体化する場合には、原料注入前に、ブロー成形装置の金型の内壁にラベル状のＩＣタグ４を挿入しておく。これにより、ＩＣタグ４は、インモールド成形によって容器本体１の壁面に一体的に成形されて取り付けられる。
【００３０】
図２（ｂ）に示されるように、容器本体１の壁の内部に一体化する場合には、原料注入前に、ブロー成形装置の金型内に、容器原料と同種の材料で覆われたカード状のＩＣタグ４を挿入しておく。これにより、ＩＣタグ４は、インサート成形によって容器本体１の壁内部に一体化される。
【００３１】
ＩＣタグ４は、クリーン容器と同程度のポリオレフィン系樹脂組成物で全体が被覆されているため、ＩＣタグ４から容器本体１に不純物が混入しない。このため容器本体１の成分純度が悪化しない。また、図２（ｃ）に示すように、容器本体１の内面にＩＣタグ４が成形されているときには、ＩＣタグ４が添加剤無添加の高純度のポリオレフィン系樹脂組成物で全体が被覆されているため、ＩＣタグ４から溶液にも不純物が混入しない。
【００３２】
ＩＣタグ４を被覆する組成物は、容器本体１を成形する組成物と同じ組成物を用いることが最も好ましい。例えば、容器本体１をポリエチレンで成形する場合には、同様のポリエチレンでＩＣタグ４を被覆することが好ましい。同じ組成物を用いることで容器本体１に異なるポリオレフィン系樹脂成分が混入することが防止される。また、同じ組成物であることから成形後に乖離しない。
【００３３】
容器本体１を成形する組成物と、ＩＣタグ４を被覆する組成物とが異なる場合であっても、ポリオレフィン系樹脂は化学的安定性が高いため、容器本体１の純度はほとんど悪化しないが、以下に好ましい組み合わせを示す。容器本体１がポリエチレンの場合、ＩＣタグ４は、１．ポリプロピレン、２．ポリエチレンテレフタレートの順番で組み合わせることが好ましい。容器本体１がポリプロピレンの場合、ＩＣタグ４は、１．ポリエチレン、２．ポリエチレンテレフタレートの順番で組み合わせることが好ましい。容器本体１がポリエチレンテレフタレートの場合、ＩＣタグ４は、１．ポリエチレン、２．ポリプロピレンの順番で組み合わせることが好ましい。
【００３４】
蓋２は、インジェクション成形装置によってインジェクション成形される。
【００３５】
ＩＣタグ４には、容器本体１に埋め込まれる前、または埋め込まれた後に、クリーン容器のロット番号等の製造情報が記録される。また、クリーン容器に充填される溶液が予め決められている場合には、製造情報の記録と共に溶液の種類等の溶液情報も記録することができる。
【００３６】
上記した実施例では、ＩＣタグ４を容器本体１に一体化する例について説明したが、図４に示されるように、ＩＣタグ４を蓋２に一体化してもよい。
【００３７】
蓋２は、クリーンルーム内でインジェクション成形装置によってインジェクション成形加工される。このインジェクション成形加工される過程でＩＣタグ４を蓋２に一体化する。本体容器１への一体化と同様に、例えば蓋２の天面部の外壁面、内部、または内壁面にＩＣタグ４を一体化することができる。
【００３８】
蓋２の外壁面または内壁面に一体化する場合には、原料注入前に、インジェクション成形装置の金型の内壁にラベル状のＩＣタグ４を挿入しておく。これにより、ＩＣタグ４は、インモールド成形によって蓋２の壁面に一体的に成形される。
【００３９】
蓋２の壁の内部に一体化する場合には、原料注入前に、インジェクション成形装置の金型内にＩＣタグ４を挿入しておく。これにより、ＩＣタグ４は、インサート成形によって蓋２の壁内部に一体的に形成される。
【００４０】
ＩＣタグ４は、添加剤無添加の高純度のポリオレフィン系樹脂組成物で被膜されているため、ＩＣタグ４から蓋２に不純物が混入しない。このため蓋２の成分純度が悪化しない。また、蓋２の内壁面に一体化されていても、溶液に不純物が混入しない。
【００４１】
このように上記したクリーン容器の製造方法によれば、ＪＩＳ  Ｂ  ９９２０に基づいて測定される空気清浄度がクラス７以下のクリーンルーム内で、添加剤無添加で純度が少なくとも９９％のポリオレフィン系樹脂組成物を容器に成形加工する過程においてＩＣタグ４を容器本体１または蓋２に一体化する。これにより、クリーン容器に空気中の塵埃や化学物質等の不純物が混入することなく、ＩＣタグ４を一体的に成形することができ、クリーン容器の成分純度の悪化を防止することができる。また、ＩＣタグ４にロット番号等の容器本体１、または／および蓋２の製造情報を成形前、または成形後に記録できるため、製造情報が変更されたときでも成形装置を停止させる必要が無い。また、ＩＣタグ４には、多くの情報を記録することができるため、製造情報の他に、充填される溶液の種類等の溶液情報を記録することができる。また、クリーン容器に溶液を充填する溶液の製造ロット、溶液の製造日時、または溶液の使用期限等の溶液情報を追加して記録することができる。さらに、その他任意の情報を記録できる。
【００４２】
また、このクリーン容器の製造方法によれば、ＩＣタグ４は、クリーン容器と同程度のポリオレフィン系樹脂で被覆されている。これにより、ＩＣタグ４から不純物が容器本体１や蓋２の原料に混入しない。このため、クリーン容器の成分純度の悪化を確実に防止することができる。
【００４３】
また、このクリーン容器の製造方法によれば、ＩＣタグ４はインモールド成形、またはインサート成形によって容器本体１または／および蓋２に一体化される。これにより、容器本体１や蓋２の壁内部（容器構造内部）、または容器本体１や蓋２の外壁面や内壁面といった任意の位置にＩＣタグ４を一体化することができる。
【００４４】
また、このクリーン容器の製造方法によれば、クリーン容器が容器本体１および蓋２からなり、ＩＣタグ４を容器本体１または／および蓋２に一体化する。これにより、例えば、容器本体１が複雑な形状をしていてＩＣタグ４を一体化できない場合には蓋２に一体化するなど、容器の形状や大きさでＩＣタグ４を一体化する対象を任意に選ぶことができる。また、例えば、容器本体１および蓋２の各々について製造情報を管理する必要がある場合には各々にＩＣタグ４を取り付けて管理するなど、情報の管理状況でＩＣタグ４を一体化する対象を任意に選ぶことができる。
【００４５】
次に、本発明を適用して製造されたクリーン容器の使用例について説明する。なお、以下、すでに説明した構成と同様の構成には、同じ符号を付して説明を省略する。
【００４６】
図５には、クリーン容器（容器本体１）、クリーン容器から溶液を送液する送液部３０、および送受信部３２が示されている。
【００４７】
クリーン容器には溶液が充填され、ＩＣタグ４にはクリーン容器の製造時、または溶液の充填時に溶液の種類を示す溶液情報が記録されているものとする。
【００４８】
送液部３０は、クリーン容器に充填されている溶液を例えば半導体製造機器（非図示）まで送液する。この送液部３０には、ＩＣタグ４と同様の機能を有するＩＣタグ３１が装着されている。ＩＣタグ３１には、送液部３０から送液すべき溶液の種類を示す溶液情報が記録されている。
【００４９】
送受信部３２は、クリーン容器のＩＣタグ４および送液部３０のＩＣタグ３１双方と無線通信可能な位置に配置されている。この送受信部３２は、図外の送液制御部に接続されている。
【００５０】
送液部３０にクリーン容器がセットされると、送受信部３２は、送液を開始する前にクリーン容器のＩＣタグ４に記録されている溶液情報を読み込む。また、送受信部３２は、送液部３０のＩＣタグ３１に記録されている溶液情報を読み込む。送液制御部は、送受信部３２が読み込んだクリーン容器の溶液情報と送液部３０の溶液情報とが互いに一致した場合に送液部３０に送液を開始させる。互いの溶液情報が一致しない場合には送液させない。このため、送液すべき溶液と異なる溶液の充填されたクリーン容器が送液部３０にセットされた場合であっても、送液が開始されず、誤送液を確実に防止することができる。
【００５１】
また、クリーン容器のＩＣタグ４に溶液の使用期限を記録しておくことで、使用期限切れの溶液の使用を確実に防止することができる。
【００５２】
この場合、クリーン容器の蓋２を自動的に外す装置が送受信部３２に装着されていると好ましい。この場合、蓋２にＩＣタグ４が一体化されていても、送受信部３２が通信後、送液を開始するときに蓋２が自動的に外される。
【００５３】
次に、本発明を適用して製造されたクリーン容器の別の使用例について、図６を参照しつつ説明する。
【００５４】
図６には、溶液の充填されたクリーン容器を例えば搬送帯で自動的に搬送する搬送路３５が示されている。搬送路３５は、分岐点３６で３つの分岐経路に分岐している。分岐経路の先には、各々送液部３０が配置されている。この各々の送液部３０は、各々異なる溶液を送液するものとする。
【００５５】
搬送路３５の分岐点３６の手前には、送受信部３２が設置されている。この送受信部３２には、図外の分岐制御部が接続されている。分岐制御部は、クリーン容器が分岐点で何れかの分岐経路を進むように分岐選択する。
【００５６】
クリーン容器のＩＣタグ４には、充填されている溶液の種類を示す溶液情報が記録されている。このクリーン容器が搬送路３５で搬送されて、送受信部３２に差し掛かった時に、送受信部３２がＩＣタグ４と無線通信してクリーン容器の溶液情報を読み込む。分岐制御部は、読み込んだ溶液情報に基づいて、クリーン容器の溶液を送液すべき送液部３０に繋がる分岐経路を選択する。このため、クリーン容器が分岐点３６で正しい分岐経路に搬送されて、誤った分岐経路に搬送されることを確実に防止することができる。これにより、誤送液も確実に防止することができる。
【００５７】
なお、容器本体１の円筒形の壁にＩＣタグ４を一体化された例について説明したが、容器本体１の底面にＩＣタグ４を一体化してもよい。容器本体１の形状は、角筒型や箱体状など、どのような形状であってもよい。また、蓋２の天面部にＩＣタグ４を一体化された例について説明したが、例えば蓋２の形状が大きい場合には、蓋２の円筒部に一体化してもよい。また、蓋２の外形は、角型であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明を適用して製造されるクリーン容器を示す斜視図である。
【図２】本発明を適用して製造されるクリーン容器の胴部を示す拡大断面図である。
【図３】クリーン容器を構成するＩＣタグを示す上面図である。
【図４】本発明を適用して製造される別のクリーン容器を示す斜視図である。
【図５】本発明を適用して製造されたクリーン容器の使用方法を示す概略図である。
【図６】本発明を適用して製造されたクリーン容器の別の使用方法を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５９】
１は容器本体、２は蓋、４，３１はＩＣタグ、２０は集積回路、２１は送受信アンテナ、３０は送液部、３２は送受信部、３５は搬送路、３６は分岐点である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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