(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の距離を隔てて配置され同期して回転する第１，第２回転手段と、これら第１，第２回転手段に係合して搬送されるテープからなり、上流側に位置する回転手段を逆回転させ、又は下流側に位置する回転手段を回転方向に付勢して前記テープに生じる緩みを防止するバックテンション機構において、
前記逆回転または付勢させる手段として空気を用い、
前記回転手段の回転軸に中心を固定して設けられた２つの回転板と、該２つの回転板の一方の側に接して設けられた軸受からなり、前記２つの回転板はそれぞれ一部に切欠きが設けられて、その切欠き部が互いに入り込むように組み合わされ、前記軸受に設けた空気注入孔から注入された空気が前記軸受に接して設けられた回転板の空気孔に注入され、前記切欠き部に設けたピンを介して他方の回転板の切欠き部を押圧するように構成したことを特徴とするバックテンション機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＩＣデバイスのテストを行うオートハンドラのデバイステープのたわみ防止に用いて好適なバックテンション機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
オートハンドラは、デバイステープに実装したＩＣデバイスを測定部に搬送し、ＩＣテスタからの分類信号に従って、例えば、良品、不良品に分類する装置である。デバイステープとしては従来から用いられているＴＡＢ（テープ・オートメイデッド・ボンディング）、ＴＣＰ（Tape  carrier  Package）、ＣＯＦ（Chip on film）が知られている。
【０００３】
オートハンドラは、リール状に巻かれたテープを自動的に測定位置まで逐次搬送し、ＩＣテスタのテスト結果に基づいて自動的に選別する装置である。
図４（ａ）は一般に用いられているオートハンドラの要部構成図である。１と２はスプロケット、３はＴＡＢテープ、４は画像処理用のカメラ、６はプローブカード、９はテープクランプ、１０はプッシャ、１１は供給リール、１２と１３はテンションプーリ、１４は収容リール、１５はＩＣテスタのテストヘッド、１６はアタッチメントユニットである。
【０００４】
ＴＡＢテープ３はスプロケット１，２が同期して回転することによりＴＡＢのピッチ分送られ、供給リール１１からテンションプーリ１２、スプロケット１，２、テンションプーリ１３、収容リール１４の順に移動する。
【０００５】
位置決めされたＴＡＢテープ３は、プッシャ１０とテープクランプ９によりコンタクト位置まで下降し、プローブカード６のコンタクトに押し付けられる。ＴＡＢテープ３がコンタクトに押し付けられた状態で、テスタ側にテストスタート要求信号を送り、ＩＣテスタのテストが開始される。
【０００６】
図４（ａ）では、スプロケット１，２が反時計方向に同期して回転することにより、ＴＡＢテープ３は図４（ａ）の左側から右側に送られていく。図４（ａ）では、ＴＡＢテープ３に無理な力が加わらないようにしているので、プッシャ１０が降下前にはＴＡＢテープ３はたわんでいる。ＴＡＢテープ３のたわみをとって測定するため、図４（ａ）では、スプロケット２の回転を停止し、スプロケット１を時計方向に逆回転する。
【０００７】
次に、この従来例によるＴＡＢテープ測定時のバックテンション（たわみ取り）機構の実施例を図４（ｂ〜ｄ）の分解構成図により説明する。
図４（ｂ）において、２１はプレート、２２は板ばね、２３はプレート、２４はピン、２５はステッピングモータである。
【０００８】
プレート２１には段２１Ｂが設けられ、スプロケット１の軸３１Ａが入る穴２１Ａがあけられており、プレート２１の穴２１Ａにスプロケット１の軸３１Ａを入れて固定する。
板ばね２２は、段２１Ｂを覆う形でプレート２１に取り付けられている。
【０００９】
プレート２３にはステッピングモータ２５の軸２５Ａが入る穴２３Ａがあけられており、プレート２３の穴２３Ａにステッピングモータ２５の軸２５Ａを入れて固定する。ピン２４は、プレート２３に取り付けられ、プレート２１の段２１Ｂに対応する位置に取り付けられている。
【００１０】
ステッピングモータ２５とスプロケット１はプレート２１の段２１Ｂとピン２４の連結で結合し、ステッピングモータ２５を逆回転したときは、ステッピングモータ２５とスプロケット１は板ばね２２とピン２４の連結で結合する。
【００１１】
図４（ｃ，ｄ）は図４（ｂ）の組立部分図であり、図４（ｃ）はテープがたわんでいるときの状態、図４（ｄ）はステッピングモータが逆回転したときの状態図である。
図４（ｃ）では、プレート２１，２３は反時計方向に回転する。このときは、ピン２４が段１Ｂを押す形でプレート２１が回転する。
【００１２】
図４（ｄ）は、ＴＡＢテープ３をプッシャ１０の位置に移動させ（図４（ａ）参照）、ＴＡＢテープ３のたわみが取れる位置までステッピングモータ５を逆回転させて回転を停止し、板バネ２２の弾力でＴＡＢテープ３がたわまないように緊張させている状態図である。
【００１３】
ＴＡＢテープ３のたわみの程度は１．５ｍｍ程度であり、スプロケット１の円周距離がそれに相当するだけでステッピングモータ２５を逆回転して停止する。
図４（ｄ）の状態では、ステッピングモータ２５は停止しており、ステッピングモータ２５とスプロケット１は板ばね２２の弾性で連結されている。したがって、ＴＡＢテープ３はたわみのない状態で保持される。
【００１４】
オートハンドラに関する先行技術としては下記の特許文献がある。
【００１５】
【特許文献１】実公平７−２１４６４号公報
【特許文献２】特開平７−１４４８１５号公報
【特許文献３】特開２００２−２８６７９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
ところで、テープはロットにより累積ピッチというものがあり、バネ方式ではスプロケットとのクリアランスによってテンションが一定しないという課題があった。
また、テープの厚さによって変更すべきテンション量の調整ができないという課題があった。即ち、テープ素材は弾性変形領域の少ない材質のため薄いテープを厚いテープと同じテンションで引っ張ると変形度が大きくなるという課題があった。
【００１７】
本発明は上記従来技術の課題を解決するためになされたもので、バネの代わりに空気を使用することにより、一定量のテンションをテープに与えテープにかかるテンション量を調整可能なバックテンション機構を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、請求項１記載のバックテンション機構の発明においては、所定の距離を隔てて配置され同期して回転する第１，第２回転手段と、これら第１，第２回転手段に係合して搬送されるテープからなり、上流側に位置する回転手段を逆回転させ、又は下流側に位置する回転手段を回転方向に付勢して前記テープに生じる緩みを防止するバックテンション機構において、前記逆回転または付勢させる手段として空気を用い、前記回転手段の回転軸に中心を固定して設けられた２つの回転板と、該２つの回転板の一方の側に接して設けられた軸受からなり、前記２つの回転板はそれぞれ一部に切欠きが設けられて、その切欠き部が互いに入り込むように組み合わされ、前記軸受に設けた空気注入孔から注入された空気が前記軸受に接して設けられた回転板の空気孔に注入され、前記切欠き部に設けたピンを介して他方の回転板の切欠き部を押圧するように構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したことから明らかなように本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
逆回転または付勢させる手段として空気を用い、回転手段の回転軸に中心を固定して設けられた２つの回転板と、この２つの回転板の一方の側に接して設けられた軸受を設け、２つの回転板はそれぞれ一部に切欠きが設けられて、その切欠き部が互いに入り込むように組み合わされ、軸受に設けた空気注入孔から注入された空気が軸受に接して設けられた回転板の空気孔に注入され、切欠き部に設けたピンを介して他方の回転板の切欠き部を押圧するように構成したので、テープの厚さによらず、一定量のテンションを与えることが可能となる。また、テープへの負荷圧力値の情報を得るができ空圧シリンダを用いることにより、テープに与えるテンション値を微調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１，図２，図３は本発明の実施形態の一例を示すもので、図４と同一要素には同一符号を付している。図１（ａ，ｂ）はバックテンション機構の要部を示す斜視図および一部拡大図、図２は図１の軸受を取り外した状態を示す斜視図、図３は軸受と第１回転板の詳細を示す斜視図である。
【００２２】
図１〜図３において、１はスプロケット、５０は第１回転板、５２は軸受で、図２に示す回転軸５５に挿入して固定されている。
図３に示すように軸受５２の外周にはねじ孔５３ａが形成され、このねじ孔に継手５３が気密にねじ込まれる。
第１回転板５０と対向する側の端面には円状の空気溝５９が形成され、また、ねじ孔５３ａから空気溝５９の底部に導通する空気孔５６ａが形成されている。
【００２３】
第１回転板５０の側面には図３に示すように、長手方向の距離Ｌより短い深さｈの切欠きが対向して形成されており、この切欠きにより形成されたそれぞれの平面から軸受５２に形成された空気溝５９に導通する２つの空気穴５６ｂが形成されている。
【００２４】
軸受５２と第１回転板５０は空気溝５９が形成された側と空気孔５６ｂの端部が露出する側が気密にかつ、回動可能に係合される。
なお、第１回転板５０の切欠き部５７側の平面部に露出する空気孔の端面（図では２箇所）にはピン５４が空気圧により移動可能に挿入されている。
【００２５】
モータ２５の回転軸の端部には第２回転板５１が固定されている。この回転板５１にも第１回転板５０と同様の切欠きが形成されており、図１（ａ）に示すように第１，第２回転板の切欠き同士がピン５４が移動できる程度の空間を隔てて互いに入り込むように組み合わされている。
【００２６】
上記の構成において、たわんだテープを緊張させるに際しては、軸受５２にねじ込まれた継手５４に空圧シリンダ（図示省略）により空気を注入する。注入された空気は空気孔５６ａを通って空気溝５９に入り、更に第１回転板５０に形成された空気孔５６ｂを通ってピン５４が第１回転板５０から押し出されて第２回転板の切欠き部に衝突する。その結果、ピン５４と第２回転板５１間で反力が発生する。そして、発生した反力が、ピン５４→第１回転板５０→軸５５→スプロケット１へと伝わり、スプロケット１が逆回転しテープへバックテンションがかかる。ここで、軸受５２と第１回転板５０は気密を保ちながらわずかに回動する。
【００２７】
以上説明したように、本発明によれば、バネの代わりに空気を使用するので、空気シリンダから注入する空気圧を適量に調節することにより一定量のテンションをテープに与えることができ、テープにかかるテンション量を調整可能なバックテンション機構を実現することができる。
【００２８】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。たとえば、実施例ではバックテンション機構を上流側に位置する回転手段を逆回転させる例について説明したが、この機構を下流側に位置する回転手段に設けて付勢する方向に回転する構成としても同様の効果が得られる。
また、切欠きの形状や空気孔の経路は図示の例に限るものではない。更に、本実施例ではデバイステープをＴＡＢテープとして説明したがＴＣＰテープやＣＯＦテープであってもよい。従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明のバックテンション機構の実施形態の一例を示す要部構成図である。
【図２】本発明のバックテンション機構の軸受を除去した状態を示す要部構成図である。要部構成図である。
【図３】空気の流れの経路を示す説明図である。
【図４】従来のバックテンション機構の一例を示す要部構成図である。
【符号の説明】
【００３０】
１，２      スプロケット
３          ＴＡＢテープ
４          カメラ
６          プローブカード
９          テープクランプ
１０        プッシャ
１１        供給リール
１２，１３  テンションプーリ
１４        収納リール
１５        テストヘッド
１６        アタッチメントユニット
２１，２３  プレート
２２        板ばね
２４        ピン
２５        ステッピングモータ
２５Ａ,３１Ａ  軸
５０        第１回転軸
５２        第２回転軸
５３        継手
５３ａ      ねじ孔
５４        ピン
５５        回転軸
５６        空気孔
５７        切欠き
５８        軸孔
５９        空気溝
【図３】
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【図４】
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【図１】
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【図２】
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