(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内燃機関に搭載されて噴孔から燃料を噴射する燃料噴射弁において、
前記噴孔へ高圧燃料を流通させる高圧通路を内部に形成するとともに、前記噴孔を開閉する電気的に駆動される開閉機構を収容するボディーと、
前記ボディーに別体部材として取り付けられ、前記噴孔からの燃料の噴射に伴って変動する前記高圧通路の前記高圧燃料の圧力を受けて弾性変形するとともに前記高圧燃料にさらされる起歪体と、
前記起歪体に取り付けられ、前記起歪体にて生じた歪の大きさを電気信号に変換して圧力検出値として出力するセンサ素子と、を備え、
前記開閉機構は前記センサ素子の検出信号にもとづいて制御されることを特徴とする燃料噴射弁。
【請求項２】
前記起歪体の材質は、前記ボディーに比べて熱膨張係数が小さい材質であることを特徴とする請求項１に記載の燃料噴射弁。
【請求項３】
前記起歪体のうち前記センサ素子が取り付けられる部分は、軸対称形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の燃料噴射弁。
【請求項４】
前記起歪体は、
前記高圧燃料を内部に導入する導入口が一端に形成された円筒形状の円筒部と、
前記円筒部の他端を閉塞する円板形状のダイヤフラム部と、
を備えて構成されていることを特徴とする請求項３に記載の燃料噴射弁。
【請求項５】
前記ボディーは略円筒形状に形成されており、
前記起歪体は、前記高圧通路のうち前記ボディーの径方向に延びる部分の軸上、又は軸方向に延びる部分の軸上に取り付けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の燃料噴射弁。
【請求項６】
前記ボディーは略円筒形状に形成されており、
前記ボディーの外面には、前記起歪体が挿入配置される凹部が形成され、
前記ボディーの軸方向外側又は径方向外側から、前記起歪体を前記凹部に挿入可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の燃料噴射弁。
【請求項７】
前記起歪体は、一端部が前記ボディー内部に組み付けられ、他端部が前記ボディーの外部に位置するよう形成され、
前記センサ素子は、前記起歪体の他端部に取り付けられていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の燃料噴射弁。
【請求項８】
前記センサ素子と配線接続され、前記センサ素子から出力される電気信号を増幅する回路部品が実装された絶縁基板と、
前記起歪体のうち前記センサ素子が取り付けられる取付面と、
を備え、
前記絶縁基板と前記取付面とが同一平面上に配置されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の燃料噴射弁。
【請求項９】
前記ボディー及び前記起歪体の材質をともに金属製とし、
前記ボディーに環状のシール面を形成するとともに、前記起歪体にも環状のシール面を形成し、
前記ボディーと前記起歪体との間は、前記両シール面によりメタルタッチシールされていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載の燃料噴射弁。
【請求項１０】
外部から高圧流体が供給される流体通路と、
前記流体通路に接続されて前記高圧流体の少なくとも一部を噴射する噴孔と、
前記流体通路から分岐され先端部が閉塞された分岐通路と、
前記分岐通路に接続され、少なくとも一部が前記噴孔からの燃料の噴射に伴って変動する前記高圧流体の作用する圧力により歪み変位可能なダイアフラム部と、
前記ダイアフラム部の変位を検出する変位検出手段と、
内部に前記流体通路及び前記噴孔が形成されたインジェクタボデーと、
前記インジェクタボデーとは別体形成されて該インジェクタボデー内に配置された別体部材と、を備え、
前記別体部材が、自身の内部に、前記流体通路に連通されて前記分岐通路の少なくとも一部を構成する孔部又は溝部と、前記孔部又は溝部に連通されて前記ダイアフラム部を構成する薄肉部とを備えることを特徴とする燃料噴射装置。
【請求項１１】
前記別体部材が、該インジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材からなることを特徴とする請求項１０記載の燃料噴射装置。
【請求項１２】
前記噴孔を開閉するノズルニードルと、
前記ノズルニードルのインジェクタボデー軸方向の移動を制御するアクチュエータと、
前記流体通路から前記高圧流体の一部が供給され、前記アクチュエータの動作によって前記高圧流体が充填又は排出されるとともに、充填された前記高圧流体の作用する圧力により前記ノズルニードルを閉弁方向に付勢する力を発生する圧力制御室とを更に備え、
前記分岐通路は、前記流体通路から前記圧力制御室への通路又は前記圧力制御室に一部が接続され、他部が前記ダイアフラム部に接続されていることを特徴とする請求項１０又は請求項１１に記載の燃料噴射装置。
【請求項１３】
前記ノズルニードルを閉弁方向に付勢するバネ部材を更に備え、
前記圧力制御室は、前記バネ部材の付勢力とともに前記ノズルニードルを閉弁方向に付勢することを特徴とする請求項１２記載の燃料噴射装置。
【請求項１４】
前記別体部材が、前記高圧流体が導入されるインオリフィスと、前記インオリフィスに連通するとともに前記圧力制御室の一部を構成する圧力制御室用空間と、前記圧力制御室用空間に連通するとともに前記高圧流体を低圧通路に排出するアウトオリフィスと、前記流体通路と前記インオリフィスとを接続する接続通路とを有し、
前記分岐通路が前記別体部材内において前記接続通路から分岐して設けられ、
前記ダイアフラム部が前記接続通路とは異なる部位において前記分岐通路に接続されて前記別体部材内に形成されていることを特徴とする請求項１２又は請求項１３に記載の燃料噴射装置。
【請求項１５】
前記別体部材が、
前記インオリフィス、前記圧力制御室用空間、及び前記アウトオリフィスを有する第１部材と、
前記インジェクタボデー内において前記第１部材に直接又は間接的に積層配置され、前記接続通路及び前記分岐通路を有するとともに、前記ダイアフラム部が前記接続通路とは異なる部位において前記分岐通路に接続されて形成された第２部材と、
を備えることを特徴とする請求項１４記載の燃料噴射装置。
【請求項１６】
前記第２部材は、所定厚さを有する板状部材からなり、
前記変位検出手段は、前記第２部材の前記ダイアフラム部の前記高圧流体の導入側とは反対面に設けられた歪検出素子を有し、
前記ダイアフラム部は、少なくとも前記歪検出素子の厚さ分、前記第２部材の表面から深い位置に配置されていることを特徴とする請求項１５記載の燃料噴射装置。
【請求項１７】
前記噴孔を開閉するノズルニードルと、
前記ノズルニードルの閉弁方向に付勢する力を前記ノズルニードルに対して伝連する制御ピストンとを備え、
前記インジェクタボデーは、前記ノズルニードルが収納されるノズルボデーと、前記制御ピストンが収納されるロアボデーとを有し、
前記別体部材は、前記ロアボデーと前記ノズルボデーとの間に積層配置されて、前記ノズルボデー近傍の高圧流体の圧力を検出することを特徴とする請求項１０又は請求項１１記載の燃料噴射装置。
【請求項１８】
前記別体部材は、前記ロアボデーと前記ノズルボデーとの間に積層配置された金属部材からなり、前記流体通路と前記噴孔とを接続する接続通路と、前記接続通路から分岐して設けられた前記分岐通路と、前記分岐通路に接続されて前記接続通路とは異なる領域に配設された前記ダイアフラム部としての金属ダイアフラムと、を備えることを特徴とする請求項１７記載の燃料噴射装置。
【請求項１９】
前記別体部材は、所定厚さを有する板状部材からなり、
前記変位検出手段は、前記別体部材の前記ダイアフラム部の前記高圧流体の導入側とは反対面に設けられた歪検出素子を有し、
前記ダイアフラム部は、少なくとも前記歪検出素子の厚さ分、前記別体部材の表面から深い位置に配置されていることを特徴とする請求項１７又は請求項１８記載の燃料噴射装置。
【請求項２０】
前記インジェクタボデーは前記別体部材が配置された部分から前記アクチュエータが配置される部分まで延びて、前記変位検出手段への結線を収容する配線通路を備えることを特徴とする請求項１０乃至請求項１９の何れかに記載の燃料噴射装置。
【請求項２１】
前記分岐通路は、前記流体通路の流体流れ方向に対して、９０度以上の折り返し角度を持って前記流体通路に接続されることを特徴とする請求項１０乃至請求項２０の何れかに記載の燃料噴射装置。
【請求項２２】
前記分岐通路に接続された開口部と、他端が閉鎖されて前記ダイアフラム部を構成する筒状ステムを更に有し、
前記分岐通路は、前記燃料通路と前記筒状ステムとの間に、当該開口部よりも小径のオリフィス部を有することを特徴とする請求項１０又は請求項２１記載の燃料噴射装置。
【請求項２３】
前記インジェクタボデーは、外部から高圧流体が供給される第１の流体通路を内部に有するインジェクタ本体と、前記インジェクタ本体の軸方向に対して所定角度を持って前記インジェクタ本体から突出するとともに、流体導入部と前記第１の流体通路とを接続する第２の流体通路を有する継手部とを有し、
分岐通路は、前記継手部において前記第２の流体通路から分岐されて前記インジェクタの軸方向と平行に延出する通路を備えることを特徴とする請求項１０、請求項２１及び請求項２２の何れかに記載の燃料噴射装置。
【請求項２４】
前記ダイアフラム部は、前記分岐通路を構成する部分の中で、通路肉厚が最も薄く構成されている部分であることを特徴とする請求項１０乃至請求項２３の何れかに記載の燃料噴射装置。
【請求項２５】
前記変位検出手段は、前記ダイアフラム部の前記分岐通路とは反対面に対して一体的に貼り付けられた半導体式圧力センサを有することを特徴とする請求項１０乃至請求項２４の何れかに記載の燃料噴射装置。
【請求項２６】
前記分岐通路に接続され、少なくとも一部が前記高圧流体の作用する圧力により歪み変位可能な第２のダイアフラム部と、
前記第２のダイアフラム部の変位を検出する第２の変位検出手段と、を備えることを特徴とする請求項１０記載の燃料噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内燃機関に搭載されて噴孔から燃料を噴射する燃料噴射弁及び燃料噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
内燃機関の出力トルク及びエミッション状態を精度良く制御するには、燃料噴射弁から噴射される燃料の噴射量及び噴射開始時期等、その噴射形態を精度良く制御することが重要である。そこで従来より、噴射に伴い変動する燃料の圧力を検出することで、実際の噴射形態を検出する技術が提案されている。
【０００３】
例えば、噴射に伴い燃圧が下降を開始した時期を検出することで実際の噴射開始時期を検出したり、噴射に伴い生じた燃圧の下降量を検出することで実際の噴射量を検出することを図っている。このように実際の噴射形態を検出できれば、その検出値に基づき噴射形態を精度良く制御することができる。
【０００４】
このような燃圧の変動を検出するにあたり、コモンレール（蓄圧容器）に直接設置された燃圧センサ（レール圧センサ）では、噴射に伴い生じた燃圧変動がコモンレール内で緩衝されてしまうため、正確な燃圧変動を検出することができない。そこで、特許文献１記載の発明では、燃圧センサを、コモンレールから燃料噴射弁に燃料を供給する高圧配管のうちコモンレールとの接続部分に設置することで、噴射に伴い生じた燃圧変動がコモンレール内で緩衝する前に、その燃圧変動を検出することを図っている。
【特許文献１】特開２０００−２６５８９２号公報
【特許文献２】特開２００７−２３１７７０号公報
【特許文献３】特開２００７−２７０８２２号公報
【特許文献４】特開２００７−２１８２４９号公報
【特許文献５】特開昭５７−５５２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、噴射に伴い噴孔で生じた燃圧変動は高圧配管中にて少なからず減衰する。よって、コモンレールとの接続部分に設置された特許文献１記載の燃圧センサでは、当該燃圧変動を精度良く検出するには未だ不十分である。そこで本発明者らは、燃圧センサを燃料噴射弁に搭載することで、高圧配管のさらに下流側に燃圧センサを設置することを検討した。この検討の結果、燃圧センサを燃料噴射弁に搭載しようとすると以下の問題が生じることが明らかになった。
【０００６】
すなわち、燃料噴射弁は、噴孔へ高圧燃料を流通させる高圧通路を内部に形成するとともに、噴孔を開閉する開閉機構を収容するボディーを備えていることが一般的であり、このボディーには、温度の急激な変化による熱膨張収縮により歪みが生じる。特に、ディーゼルエンジンや直噴式ガソリンエンジンの如くシリンダヘッドにボディーを取り付ける場合には、ボディーの温度は例えば１４０℃程度にまで上昇するため、上記歪がより顕著となる。一方、燃圧センサは、検出対象となる高圧燃料の圧力を受けて弾性変形した部材の歪（弾性変形量）を検出するセンサ素子を備えることが一般的である。
【０００７】
したがって、燃圧センサを燃料噴射弁に搭載するにあたり、前述の如く歪みが生じるボディーに前記センサ素子を直接取り付けようとすると、センサ素子がボディーに生じる歪の影響を受けてしまい、その結果、燃圧検出の精度低下を招いてしまう。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その第１の目的は、ボディーの歪みによる影響をセンサ素子が受けることを抑制することで、噴射に伴い生じる燃圧変動を精度良く検出できるよう燃圧センサを搭載可能にした燃料噴射弁を提供することにある。
【０００９】
ところで、従来より、噴射する燃料の圧力を検出する圧力センサを備えたものとして、例えば特許文献２内で提案されたコモンレールシステムがある。これは、コモンレールの一端側に内部の燃料圧を検出する１つの圧力センサが設けられている。この種のコモンレールシステムに使用されるインジェクタとして、例えば、特許文献３や特許文献４内で提案されたものがある。
【００１０】
一方、噴射する燃料の圧力を検出する圧力センサを一体型に組み込んだ燃料噴射装置としてのインジェクタが、特許文献５内で提案されている。具体的には、特許文献５では、インジェクタ内の燃料通路の近傍位置に凹部を形成し、凹部内に歪ゲージを配置している。そして、燃料噴射に伴う燃料通路の圧力変化を歪ゲージにより検出している。
【００１１】
しかしながら、上記特許文献２〜４に係る従来の技術では、コモンレール自体の燃料圧は検出できるものの、各インジェクタに実際に印加される個々の圧力については検出できないという課題がある。
【００１２】
上記特許文献５に係る従来の技術では、インジェクタ下部に位置する燃料通路近傍のインジェクタ外壁に凹部を直接形成して圧力検出部を形成している。燃料通路は通常、インジェクタボデーの軸方向に貫通する貫通孔として構成されているため、その外壁から凹部を形成する場合は、加工時における凹部の底面部分（ダイアフラム部）の厚さ制御が困難であり、その結果、厚さバラツキが生じ、圧力又は圧力変動の検出精度が低下する可能性があるという課題がある。特に、特許文献２〜４に代表される高圧燃料を扱うインジェクタにおいては、インジェクタボデーはその強度向上の目的から、比較的硬度の高い金属で形成されたり、高圧燃料通路の壁厚を大きく採る等の措置が施されているため、特に上記課題が顕著になる。
【００１３】
そこで、本発明の第２の目的は、圧力検出部を構成するダイアフラム部を容易に形成できる燃料噴射装置を得ることである。
【００１４】
また、上記特許文献２に係る従来の技術では、インジェクタ下部に位置する燃料通路近傍のインジェクタ外壁に凹部を直接形成し、そこに外部から圧力検出手段（歪みゲージ）を配置している。一般的に、インジェクタボデーは、大部分がエンジン内に挿入されて固定されるため、外壁に設けた凹部に配置された圧力検出手段から結線することは現実的に困難であるという課題がある。
【００１５】
そこで、本発明の第３の目的は、自身の内部に圧力検出部が配置される燃料噴射装置を得ることである。
【００１６】
また、自身の内部に圧力検出部を配置する場合、インジェクタボデーの径方向寸法（太さ）が増大する可能性がある。
【００１７】
そこで、本発明の第４の目的は、インジェクタボデーの径方向寸法の増大を抑制しつつ自身の内部に圧力検出部が配置される燃料噴射装置を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
以下、上記課題を解決するための手段、及びその作用効果について記載する。
【００１９】
請求項１記載の発明では、
内燃機関に搭載されて噴孔から燃料を噴射する燃料噴射弁において、
前記噴孔へ高圧燃料を流通させる高圧通路を内部に形成するとともに、前記噴孔を開閉する電気的に駆動される開閉機構を収容するボディーと、
前記ボディーに別体部材として取り付けられ、前記噴孔からの燃料の噴射に伴って変動する前記高圧通路の前記高圧燃料の圧力を受けて弾性変形するとともに前記高圧燃料にさらされる起歪体と、
前記起歪体に取り付けられ、前記起歪体にて生じた歪の大きさを電気信号に変換して圧力検出値として出力するセンサ素子と、を備え、
前記開閉機構は前記センサ素子の検出信号にもとづいて制御されることを特徴とする。
【００２０】
これによれば、起歪体はボディーと別体に構成されているので、熱膨張収縮により生じるボディーの内部応力が起歪体に伝播される際に、その伝搬ロスを大きくできる。つまり、起歪体をボディーとは別体に構成することで、ボディーの歪による起歪体への影響が小さくなる。よって、ボディーとは別体に構成された起歪体にセンサ素子を取り付けた本発明によれば、センサ素子をボディーに直接取り付けた場合に比べて、ボディーに生じる歪の影響をセンサ素子が受けることを抑制できる。したがって、燃圧検出の精度低下を回避しつつ燃圧センサを燃料噴射弁に搭載することができる。
【００２１】
請求項２記載の発明では、前記起歪体の材質は、前記ボディーに比べて熱膨張係数が小さい材質であることを特徴とするので、起歪体自体が熱膨張収縮して歪みが生じてしまうことを抑制できる。また、ボディー全体を熱膨張係数が小さい材質にする場合に比べて、起歪体のみを熱膨張係数が小さい材質にすればよいので、材料コストの低減を図ることができる。
【００２２】
請求項３記載の発明では、前記起歪体のうち前記センサ素子が取り付けられる部分は、軸対称形状に形成されていることを特徴とするので、高圧燃料の圧力を受けて起歪体が弾性変形する際に、その変形が軸対称となる。よって、起歪体の変形（歪）の大きさをセンサ素子で検出するにあたり、その検出精度を向上できる。また、本発明に反し、センサ素子をボディーに直接取り付けた場合には、センサ素子の検出精度向上を図るべくボディー全体を軸対称形状に形成することは極めて困難である。これに対し本発明では、ボディーとは別体に構成された起歪体にセンサ素子を取り付けるので、起歪体のうちセンサ素子が取り付けられる部分を軸対称形状に形成することを、容易にできる。
【００２３】
このように起歪体を軸対称形状に形成する具体例として、請求項４記載の如く、前記起歪体は、前記高圧燃料を内部に導入する導入口が一端に形成された円筒形状の円筒部と、前記円筒部の他端を閉塞する円板形状のダイヤフラム部と、を備えて構成されていることを特徴とすることが挙げられる。
【００２４】
請求項５記載の発明では、前記ボディーは略円筒形状に形成されており、前記起歪体は、前記高圧通路のうち前記ボディーの径方向に延びる部分の軸上、又は軸方向に延びる部分の軸上に取り付けられていることを特徴とする。そのため、ボディーに起歪体を取り付けるための加工を施すにあたり、その加工性を良好にできる。
【００２５】
請求項６記載の発明では、前記ボディーは略円筒形状に形成されており、前記ボディーの外面には、前記起歪体が挿入配置される凹部が形成され、前記ボディーの軸方向外側又は径方向外側から、前記起歪体を前記凹部に挿入可能に構成されていることを特徴とする。そのため、ボディーに起歪体を組み付けるにあたりその作業性を向上できる。
【００２６】
請求項７記載の発明では、前記起歪体は、一端部が前記ボディー内部に組み付けられ、他端部が前記ボディーの外部に位置するよう形成され、前記センサ素子は、前記起歪体の他端部に取り付けられていることを特徴とする。これによれば、起歪体の他端部はボディーの外部に位置するよう形成されるので、当該他端部においては、熱膨張収縮により生じるボディーの歪による影響が小さくなる。そして、ボディー歪の影響の小さい他端部にセンサ素子を取り付ける上記請求項７記載の発明によれば、ボディーに生じる歪の影響をセンサ素子が受けることをより一層抑制でき、燃圧検出精度を向上できる。
【００２７】
請求項８記載の発明では、前記センサ素子と配線接続され、前記センサ素子から出力される電気信号を増幅する回路部品が実装された絶縁基板と、前記起歪体のうち前記センサ素子が取り付けられる取付面と、を備え、前記絶縁基板と前記取付面とが同一平面上に配置されていることを特徴とする。これによれば、センサ素子と回路部品とを配線接続するにあたり、その接続の作業性を向上できる。特に、ワイヤボンディングにより配線接続する場合には、接続作業性を効果的に向上できる。
【００２８】
請求項９記載の発明では、前記ボディー及び前記起歪体の材質をともに金属製とし、前記ボディーに環状のシール面を形成するとともに、前記起歪体にも環状のシール面を形成し、前記ボディーと前記起歪体との間は、前記両シール面によりメタルタッチシールされていることを特徴とする。そのため、ボディーと起歪体との間にガスケットを介在させてシールする場合に比べて、高圧の燃料を容易にシールできる。特に近年のディーゼルエンジンでは燃料の高圧化（例えば約２００ＭＰａ）が促進されているので、メタルタッチシールによればこのような高圧燃料に対して容易にシールでき、好適である。
【００２９】
請求項１０記載の本願発明によれば、外部から高圧流体が供給される流体通路と、前記流体通路に接続されて前記高圧流体の少なくとも一部を噴射する噴孔と、前記流体通路から分岐され先端部が閉塞された分岐通路と、前記分岐通路に接続され、少なくとも一部が前記噴孔からの燃料の噴射に伴って変動する前記高圧流体の作用する圧力により歪み変位可能なダイアフラム部と、前記ダイアフラム部の変位を検出する変位検出手段と、内部に前記流体通路及び前記噴孔が形成されたインジェクタボデーと、前記インジェクタボデーとは別体形成されて該インジェクタボデー内に配置された別体部材と、を備え、前記別体部材が、自身の内部に、前記流体通路に連通されて前記分岐通路の少なくとも一部を構成する孔部又は溝部と、前記孔部又は溝部に連通されて前記ダイアフラム部を構成する薄肉部とを備えることを特徴としている。
【００３０】
インジェクタボデーとは別体形成された別体部材内にダイアフラム部と孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、ダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。また、自身の内部に圧力検出部を配置することが可能となる。また、ダイアフラム部を、流体通路から分岐された分岐通路に設けるため、流体通路近傍のインジェクタ外壁に直接ダイアフラム部を設けることに比べて、ダイアフラム部の形成が容易になる。また、この結果、ダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【００３１】
請求項１１記載の本願発明によれば、前記別体部材が、該インジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材からなることを特徴としている。
【００３２】
別体部材をインジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材で形成するため、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００３３】
請求項１２記載の本願発明によれば、前記噴孔を開閉するノズルニードルと、前記ノズルニードルのインジェクタボデー軸方向の移動を制御するアクチュエータと、前記流体通路から前記高圧流体の一部が供給され、前記アクチュエータの動作によって前記高圧流体が充填又は排出されるとともに、充填された前記高圧流体の作用する圧力により前記ノズルニードルを閉弁方向に付勢する力を発生する圧力制御室とを更に備え、前記分岐通路は、前記流体通路から前記圧力制御室への通路又は前記圧力制御室に一部が接続され、他部が前記ダイアフラム部に接続されていることを特徴としている。
【００３４】
分岐通路を流体通路から圧力制御室への通路又は前記圧力制御室から分岐させるようにしているため、分岐通路を流体通路に接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００３５】
請求項１３記載の本願発明によれば、前記ノズルニードルを閉弁方向に付勢するバネ部材を更に備え、前記圧力制御室は、前記バネ部材の付勢力とともに前記ノズルニードルを閉弁方向に付勢することを特徴としている。
【００３６】
このように、圧力制御室に充填された高圧流体により作用する圧力と、バネ部材とでノズルニードルを閉弁方向に付勢するので、ノズルニードルを確実に閉弁状態に維持することができる。
【００３７】
請求項１４記載の本願発明によれば、前記別体部材が、前記高圧流体が導入されるインオリフィスと、前記インオリフィスに連通するとともに前記圧力制御室の一部を構成する圧力制御室用空間と、前記圧力制御室用空間に連通するとともに前記高圧流体を低圧通路に排出するアウトオリフィスと、前記流体通路と前記インオリフィスとを接続する接続通路とを有し、前記分岐通路が前記別体部材内において前記接続通路から分岐して設けられ、前記ダイアフラム部が前記接続通路とは異なる部位において前記分岐通路に接続されて前記別体部材内に形成されていることを特徴としている。
【００３８】
請求項１５記載の本願発明によれば、前記別体部材が、前記インオリフィス、前記圧力制御室用空間、及び前記アウトオリフィスを有する第１部材と、前記インジェクタボデー内において前記第１部材に直接又は間接的に積層配置され、前記接続通路及び前記分岐通路を有するとともに、前記ダイアフラム部が前記接続通路とは異なる部位において前記分岐通路に接続されて形成された第２部材とを備えることを特徴としている。
【００３９】
インジェクタボデーとは別体形成された第２部材内にダイアフラム部と孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、ダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。また、自身の内部に圧力検出部を配置することが可能となる。さらに、ダイアフラム部を含む第２部材を圧力制御室の一部を構成する第１部材と積層させて配置させるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００４０】
請求項１６記載の本願発明によれば、前記第２部材は、所定厚さを有する板状部材からなり、前記変位検出手段は、前記第２部材の前記ダイアフラム部の前記高圧流体の導入側とは反対面に設けられた歪検出素子を有し、前記ダイアフラム部は、少なくとも前記歪検出素子の厚さ分、前記第２部材の表面から深い位置に配置されていることを特徴としている。
【００４１】
ダイアフラム部が、少なくとも歪検出素子の厚さ分、第２部材の表面から深い位置に配置されているため、第２部材をインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【００４２】
請求項１７記載の本願発明によれば、前記噴孔を開閉するノズルニードルと、前記ノズルニードルの閉弁方向に付勢する力を前記ノズルニードルに対して伝連する制御ピストンとを備え、前記インジェクタボデーは、前記ノズルニードルが収納されるノズルボデーと、前記制御ピストンが収納されるロアボデーとを有し、前記別体部材は、前記ロアボデーと前記ノズルボデーとの間に積層配置されて、前記ノズルボデー近傍の高圧燃料の圧力を検出することを特徴としている。
【００４３】
インジェクタボデーとは別体形成された別体部材内にダイアフラム部と孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、ダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。また、自身の内部に圧力検出部を配置することが可能となる。別体部材は、ロアボデーとノズルボデーとの間に積層配置されるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。さらに、ノズルボデー近傍の高圧燃料の圧力を検出できるため、実際に噴射されている燃料の圧力変化をタイムラグが少なく検出することができる。
【００４４】
請求項１８記載の本願発明によれば、前記別体部材は、前記ロアボデーと前記ノズルボデーとの間に積層配置された金属部材からなり、前記流体通路と前記噴孔とを接続する接続通路と、前記接続通路から分岐して設けられた前記分岐通路と、前記分岐通路に接続されて前記接続通路とは異なる領域に配設された前記ダイアフラム部としての金属ダイアフラムと、を備えることを特徴としている。
【００４５】
分岐通路をロアボデーとノズルボデーとの間に積層配置された金属部材内に設けているため、分岐通路を流体通路に接続するための特別な支流路を設ける必要がない。よって、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００４６】
請求項１９記載の本願発明によれば、前記別体部材は、所定厚さを有する板状部材からなり、前記変位検出手段は、前記別体部材の前記ダイアフラム部の前記高圧流体の導入側とは反対面に設けられた歪検出素子を有し、前記ダイアフラム部は、少なくとも前記歪検出素子の厚さ分、前記別体部材の表面から深い位置に配置されていることを特徴としている。
【００４７】
ダイアフラム部が、少なくとも歪検出素子の厚さ分、別体部材の表面から深い位置に配置されているため、別体部材をインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【００４８】
請求項２０記載の本願発明によれば、前記インジェクタボデーは前記別体部材が配置された部分から前記アクチュエータが配置される部分まで延びて、前記変位検出手段への結線を収容する配線通路を備えることを特徴としている。インジェクタボデー内に配線通路を備えるため、結線の取り回しが簡単になる。
【００４９】
請求項２１記載の本願発明によれば、前記分岐通路は、前記流体通路の流体流れ方向に対して、９０度以上の折り返し角度を持って前記流体通路に接続されることを特徴としている。
【００５０】
噴射時と噴射直後において、噴孔から噴射流体及び圧力制御室から排出された流体分、流体通路から新たに高圧流体が供給される。流体通路内は高圧であるため、分岐通路が流体通路の流体流れ方向に対して９０度より小さな角度、つまり順方向に接続されている場合、分岐通路内には新規流体供給中も常に高圧力が印加されることとなり、噴射時と非噴射時の圧力差が小さくなる。しかしながら、折り返し角度を９０度以上とすることで、新規流体供給中には流体通路内の高圧流体の移動によって、分岐通路内の高圧流体に流体通
路との分岐点側に向かって吸引力が発生する。この場合、高圧燃料の圧力低下に対して更に吸引力がその圧力低下の変化方向と同方向に重畳される。このため、噴射時と非噴射時の圧力差を大きくすることができる。
【００５１】
請求項２２記載の本願発明によれば、前記分岐通路に接続された開口部と、他端が閉鎖されて前記ダイアフラム部を構成する筒状ステムを更に有し、前記分岐通路は、前記流体通路と前記筒状ステムとの間に、当該開口部よりも小径のオリフィス部を有することを特徴としている。オリフィス部を有することで、圧力変動に対するダイアフラム部の変位を大きくすることができるため、更に噴射時と非噴射時の圧力差を大きくすることができる。
【００５２】
請求項２３記載の本願発明によれば、前記インジェクタボデーは、外部から高圧流体が供給される第１の流体通路を内部に有するインジェクタ本体と、前記インジェクタ本体の軸方向に対して所定角度を持って前記インジェクタ本体から突出するとともに、流体導入部と前記第１の流体通路とを接続する第２の流体通路を有する継手部とを有し、分岐通路は、前記継手部において前記第２の流体通路から分岐されて前記インジェクタの軸方向と平行に延出する通路を備えることを特徴としている。
【００５３】
分岐通路は、継手部にインジェクタの軸方向と平行に延出する通路を備えるため、ダイアフラム部と変位検出手段が、インジェクタボデーの径方向において継手部以上に突出することを防止できる。つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【００５４】
なお、請求項２４に記載のように、前記ダイアフラム部は、前記分岐通路を構成する部分の中で、通路肉厚が最も薄く構成されている部分であることが好ましい。これにより、圧力変動に伴うダイアフラムの変位を大きくすることができる。
【００５５】
また、請求項２５に記載のように、前記変位検出手段は、前記ダイアフラム部の前記分岐通路とは反対面に対して一体的に貼り付けられた半導体式圧力センサを有することが好ましい。
【００５６】
請求項２６記載の本願発明によれば、前記分岐通路に接続され、少なくとも一部が前記高圧流体の作用する圧力により歪み変位可能な第２のダイアフラム部と、前記第２のダイアフラム部の変位を検出する第２の変位検出手段と、を備えることを特徴としている。
【００５７】
薄肉部からなる第２のダイアフラム部を、流体通路から分岐された分岐通路に設けるため、流体通路近傍のインジェクタ外壁に直接ダイアフラム部を設けることに比べて、第２のダイアフラム部の形成が容易になる。また、この結果、第２のダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。また、複数系統の圧力検出が可能となるため、例えば、請求項５２に記載の発明のように第１及び第２の圧力検出手段からの出力信号を冗長的に出力することも可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５８】
以下、本発明を具体化した各実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
【００５９】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について図１及び図２を用いて説明する。図１は本実施形態に係るインジェクタ（燃料噴射弁）の概略内部構成を示す模式的な断面図、図２は図１を詳細に説明する拡大図である。
【００６０】
まず、図１に基づいて、インジェクタの基本的な構成、作動について説明する。インジェクタは、コモンレール（図示せず）内に蓄えられた高圧燃料を、ディーゼル内燃機関の気筒内に形成された燃焼室Ｅ１ｚに噴射するものであり、開弁時に燃料を噴射するノズル１ｚ、電荷の充放電により伸縮するピエゾアクチュエータ２ｚ（開閉機構）、ピエゾアクチュエータ２ｚにより駆動されてノズル１ｚの背圧を制御する背圧制御機構３ｚ（開閉機構）を備えている。
【００６１】
ノズル１ｚは、噴孔１１ｚが形成されたノズルボディー１２ｚ、ノズルボディー１２ｚの弁座に接離して噴孔１１ｚを開閉するニードル１３ｚ、ニードル１３ｚを閉弁向きに付勢するスプリング１４ｚを備えている。
【００６２】
ピエゾアクチュエータ２ｚは、ピエゾ素子を多数積層してなる積層体（ピエゾスタック）により構成されている。ピエゾ素子は圧電効果により伸縮する容量性の負荷であり、その充電と放電とで伸長状態と縮小状態とが切り替えられる。これにより、ピエゾスタックはニードル１３ｚを作動させるアクチュエータとして機能する。
【００６３】
背圧制御機構３ｚのバルブボディー３１ｚ内には、ピエゾアクチュエータ２ｚの伸縮に追従して移動するピストン３２ｚ、ピストン３２ｚをピエゾアクチュエータ２ｚ側に向かって付勢する皿ばね３３ｚ、ピストン３２ｚに駆動される球状の弁体３４ｚが収納されている。ちなみに、図１ではバルブボディー３１ｚを１つの部品として図示しているが、実際には複数に分割されている。
【００６４】
略円筒状のインジェクタボディー４ｚは、その径方向中心部に、インジェクタ軸線方向（図１の上下方向）に延びる段付き円柱状の収納孔４１ｚが形成されており、この収納孔４１ｚにピエゾアクチュエータ２ｚおよび背圧制御機構３ｚが収納されている。また、略円筒状のリテーナ５ｚをインジェクタボディー４ｚに螺合させることにより、インジェクタボディー４ｚの端部にノズル１ｚが保持されている。
【００６５】
ノズルボディー１２ｚ、インジェクタボディー４ｚ、およびバルブボディー３１ｚには、コモンレールから常に高圧燃料が供給される高圧通路６ｚ（流体通路に相当）が形成され、インジェクタボディー４ｚおよびバルブボディー３１ｚには、図示しない燃料タンクに接続される低圧通路７ｚが形成されている。また、これらのボディー１２ｚ，４ｚ，３１ｚは金属製であり、内燃機関のシリンダヘッドＥ２ｚに形成された挿入穴Ｅ３ｚに挿入配置されている。インジェクタボディー４ｚにはクランプＫｚの一端と係合する係合部４２ｚ（押付面）が形成されており、クランプＫｚの他端をシリンダヘッドＥ２ｚにボルトで締め付けることにより、クランプＫｚの一端が係合部４２ｚを挿入穴Ｅ３ｚに向けて押し付けることとなる。これにより、インジェクタは挿入穴Ｅ３ｚ内に押し付けられた状態で固定される。
【００６６】
ニードル１３ｚにおける噴孔１１ｚ側の外周面とノズルボディー１２ｚの内周面との間には、高圧室１５ｚが形成されている。この高圧室１５ｚは、ニードル１３ｚが開弁方向に変位した際に噴孔１１ｚと連通する。また、高圧室１５ｚには、高圧通路６ｚを介して常に高圧燃料が供給されている。ニードル１３ｚにおける反噴孔側には背圧室１６ｚが形成されている。この背圧室１６ｚには前述したスプリング１４ｚが配置されている。
【００６７】
バルブボディー３１ｚには、バルブボディー３１ｚ内の高圧通路６ｚとノズル１ｚの背圧室１６ｚとを連通させる経路中に高圧シート面３５ｚが形成され、バルブボディー３１ｚ内の低圧通路７ｚとノズル１ｚの背圧室１６ｚとを連通させる経路中に低圧シート面３６ｚが形成されている。そして、高圧シート面３５ｚと低圧シート面３６ｚとの間に前述した弁体３４ｚが配置されている。
【００６８】
インジェクタボディー４ｚには、図２に示すように高圧配管ＨＰｚと接続される高圧ポート４３ｚ（高圧配管接続部）、及び低圧配管ＬＰｚ（リーク配管）と接続される低圧ポート４４ｚ（リーク配管接続部）が形成されている。なお、低圧ポート４４ｚは、図１に示すようにクランプＫｚに対して噴孔側に配置してもよいし、図２に示すようにクランプＫｚに対して反噴孔側に配置してもよい。高圧ポート４３ｚについても同様にして、クランプＫｚに対して反噴孔側でも噴孔側でもよい。
【００６９】
本実施形態では、コモンレールから高圧配管ＨＰｚを通じて高圧ポート４３ｚに供給される燃料は、円筒状インジェクタボディー４ｚの外周面側から供給される。インジェクタに供給された燃料は、高圧通路６ｚのうちインジェクタ軸線方向（図１の上下方向）に対して垂直に延びる高圧ポート４３ｚ内の部分６ａｚ，６ｂｚ（図２参照）を流通した後、インジェクタ軸線方向（図１の上下方向）に延びる部分６ｃｚ（図２参照）に流入する。その後、高圧室１５ｚ及び背圧室１６ｚに向けて流通する。
【００７０】
高圧通路６ｃｚ（第１通路部）と高圧通路６ｂｚ（第２通路部）とは略直角に交差してエルボ形状を構成するが、その交差部６ｄｚからは、インジェクタボディー４ｚの反噴孔側に分岐して、高圧通路６ｃｚの同軸上にて延びる分岐通路６ｅｚが形成されている。この分岐通路６ｅｚにより、高圧通路６ｂｚ，６ｃｚ内の燃料は後述する燃圧センサ５０ｚに導入される。
【００７１】
ちなみに、高圧ポート４３ｚ内の高圧通路６ａｚ，６ｂｚには、小径部６ｂｚに対して通路断面を拡大した大径部６ａｚが形成されており、この大径部６ａｚには、高圧燃料中の異物を捕捉するフィルタ４５ｚ（図２参照）が配置されている。
【００７２】
上記構成において、ピエゾアクチュエータ２ｚが縮んだ状態では、図１に示すように弁体３４ｚが低圧シート面３６ｚに接して背圧室１６ｚは高圧通路６ｚと接続され、背圧室１６ｚには高圧の燃料圧が導入される。そして、この背圧室１６ｚ内の燃料圧とスプリング１４ｚとによってニードル１３ｚが閉弁向きに付勢されて噴孔１１ｚが閉じられている。
【００７３】
一方、ピエゾアクチュエータ２ｚに電圧が印加されてピエゾアクチュエータ２ｚが伸びた状態では、弁体３４ｚが高圧シート面３５ｚに接して背圧室１６ｚは低圧通路７ｚと接続され、背圧室１６ｚ内は低圧になる。そして、高圧室１５ｚ内の燃料圧によってニードル１３ｚが開弁向きに付勢されて噴孔１１ｚが開かれ、この噴孔１１ｚから燃焼室Ｅ１ｚへ燃料が噴射される。
【００７４】
ここで、噴孔１１ｚからの燃料噴射に伴い高圧通路６ｚの高圧燃料の圧力は変動する。この圧力変動を検出する燃圧センサ５０ｚ（ダイアフラム部及び変位検出手段に相当）が、インジェクタボディー４ｚに取り付けられている。燃圧センサ５０ｚにより検出された圧力変動波形中に、噴孔１１ｚからの噴射開始に伴い燃圧が下降を開始した時期を検出することで、実際の噴射開始時期を検出することができる。また、噴射終了に伴い燃圧が上昇を開始した時期を検出することで、実際の噴射終了時期を検出することができる。また、これらの噴射開始時期及び噴射終了時期に加え、噴射に伴い生じた燃圧の下降量を検出することで、噴射量を検出することができる。
【００７５】
次に、燃圧センサ５０ｚの単体構造、及び燃圧センサ５０ｚのインジェクタボディー４ｚへの取付構造について、図２を用いて説明する。
【００７６】
燃圧センサ５０ｚは、分岐通路６ｅｚ内の高圧燃料の圧力を受けて弾性変形するステム５１ｚ（起歪体）と、ステム５１ｚにて生じた歪の大きさを電気信号に変換して圧力検出値として出力する歪ゲージ５２ｚ（センサ素子又は変位検出手段に相当）とを備えて構成されている。金属製ステム５１ｚの材料には、超高圧を受けることから高強度であること、及び、熱膨張による変形が少なく歪ゲージ５２ｚへの影響が少ない（つまり低熱膨張係数である）こと、が求められ、具体的には、Ｆｅ，Ｎｉ，ＣｏまたはＦｅ，Ｎｉを主体とし、析出強化材料としてＴｉ，Ｎｂ，Ａｌ又はＴｉ，Ｎｂが加えられた材料を選定し、プレス、切削や冷間鍛造等により形成できる。
【００７７】
ステム５１ｚは、高圧燃料を内部に導入する導入口５１ａｚが一端に形成された円筒形状の円筒部５１ｂｚと、円筒部５１ｂｚの他端を閉塞する円板形状のダイヤフラム部５１ｃｚ（薄肉部に相当）とを備えて構成されている。導入口５１ａｚから円筒部５１ｂｚ内に流入した高圧燃料の圧力を、円筒部５１ｂｚの内面５１ｄｚ及びダイヤフラム部５１ｃｚで受け、これによりステム５１ｚ全体が弾性変形することとなる。
【００７８】
ここで、円筒部５１ｂｚ及びダイヤフラム部５１ｃｚは、図２中の一点鎖線に示す軸線Ｊ１ｚに対して軸対称形状に形成されている。そのため、高圧燃料を受けて弾性変形する際には、ステム５１ｚは軸対称に変形する。なお、ステム５１ｚの軸線Ｊ１ｚとインジェクタボディー４ｚの軸線Ｊ２ｚとは平行であるとともに、ステム５１ｚの軸線Ｊ１ｚがインジェクタボディー４ｚの軸線Ｊ２ｚに対してずれるよう、燃圧センサ５０ｚはオフセット配置されている。
【００７９】
円筒状インジェクタボディー４ｚのうち反噴孔側の端面には、ステム５１ｚの円筒部５１ｂｚが挿入される凹部４６ｚが形成されている。凹部４６ｚの内周面には雌ネジ部が形成され、円筒部５１ｂｚの外周面には雄ネジ部５１ｅｚが形成されている。そして、インジェクタボディー４ｚの軸線Ｊ２ｚ方向外側からステム５１ｚを凹部４６ｚに挿入した後、円筒部５１ｂｚの外周面に形成された面取り部５１ｆｚを工具で締め付けることにより、円筒部５１ｂｚの雄ネジ部５１ｅｚを凹部４６ｚの雌ネジ部に螺合させる。
【００８０】
凹部４６ｚの底面には、導入口５１ａｚを囲うように環状に延びるシール面４６ａｚが形成されている。円筒部５１ｂｚのうち一端側（反ダイヤフラム側）には、前記シール面４６ａｚと密着する環状のシール面５１ｇｚが形成されている。したがって、円筒部５１ｂｚの雄ネジ部５１ｅｚを凹部４６ｚの雌ネジ部に螺合させて締結させる締結力により、円筒部５１ｂｚのシール面５１ｚｇが凹部４６ｚのシール面４６ａｚに押し付けられる。これにより両シール面４６ａｚ，５１ｇｚにてインジェクタボディー４ｚとステム５１ｚとはメタルタッチシールされる。
【００８１】
当該メタルタッチシールにより、分岐通路６ｅｚ内の高圧燃料がインジェクタボディー４ｚとステム５１ｚとの接触面を伝ってインジェクタボディー４ｚの外部に漏れ出てしまうことを防止している。なお、両シール面４６ａｚ，５１ｇｚは軸線Ｊ１ｚに対して垂直に拡がる形状であり、フラットシール構造となっている。
【００８２】
歪ゲージ５２ｚは、ダイヤフラム部５１ｃｚの取付面５１ｈｚ（導入口５１ａｚと反対側の面）に、図示しない絶縁膜を介して貼り付けられている。したがって、円筒部５１ｂｚ内に流入した高圧燃料の圧力によりステム５１ｚが拡大するよう弾性変形した時、ダイヤフラム部５１ｃｚに生じた歪の大きさ（弾性変形量）を歪ゲージ５２ｚが検出することとなる。なお、ダイヤフラム部５１ｃｚ及び円筒部５１ｂｚの一部は凹部４６ｚの外方に位置し、ダイヤフラム部５１ｃｚは軸線Ｊ１ｚに対して垂直に拡がる形状である。
【００８３】
取付面５１ｈｚと同一平面上には絶縁基板５３ｚが並べて配置されており、絶縁基板５３ｚには、電圧印加回路及び増幅回路を構成する回路部品５４ｚが実装されている。これらの回路は、ワイヤボンドＷｚにより歪ゲージ５２ｚと接続されている。電圧印加回路から電圧印加された歪ゲージ５２ｚは、図示しない他の抵抗素子とブリッジ回路を構成するとともに、ダイヤフラム部５１ｃｚにて生じた歪の大きさに応じて抵抗値が変化する。これにより、ダイヤフラム部５１ｃｚの歪に応じてブリッジ回路の出力電圧が変化し、当該出力電圧が高圧燃料の圧力検出値として増幅回路に出力される。増幅回路は、歪ゲージ５２ｚ（ブリッジ回路）から出力される圧力検出値を増幅し、増幅した信号をセンサ用端子５５ｚに出力する。
【００８４】
なお、駆動用端子５６ｚは、ピエゾアクチュエータ２ｚに接続された正極及び負極のリード線２１ｚ（駆動用配線）と接続され、ピエゾアクチュエータ２ｚに電力供給するための端子である。ピエゾアクチュエータ２ｚの駆動電力は高電圧（例えば１６０〜１７０Ｖ）であるとともに、ピエゾアクチュエータ２ｚの充放電毎にオンオフが繰り返される。
【００８５】
センサ用端子５５ｚ及び駆動用端子５６ｚはモールド樹脂６０ｚにより一体化されている。モールド樹脂６０ｚは、略円筒状インジェクタボディー４ｚの反噴孔側の端面上に配置される本体部６１ｚ、本体部６１ｚから噴孔側に延出するボス部６２ｚ、及び本体部６１ｚから噴孔側に延出する円筒部６３ｚを備えて構成されている。
【００８６】
本体部６１ｚには、燃圧センサ５０ｚが挿入配置される貫通穴６１ａｚが形成されており、ダイヤフラム部５１ｃｚの取付面５１ｈｚは、本体部６１ｚの反噴孔側に露出している。また、本体部６１ｚの反噴孔側の面には前述の絶縁基板５３ｚが取り付けられている。これにより、取付面５１ｈｚと絶縁基板５３ｚとが同一平面上に並べて配置されることとなる。取付面５１ｈｚ上の歪ゲージ５２ｚ、回路部品５４ｚ及び絶縁基板５３ｚ等は、本体部６１ｚの反噴孔側に形成された凹部６１ｂｚ内に収容され、当該凹部６１ｂｚは樹脂製の蓋部材６４ｚにより閉塞されている。
【００８７】
ボス部６２ｚは、インジェクタボディー４ｚに形成されたリード線２１ｚの配索穴４７ｚに挿入されている。これにより、モールド樹脂６０ｚはインジェクタボディー４ｚに対して径方向に位置決めされる。また、ボス部６２ｚには軸線Ｊ２ｚ方向に貫通して延びる貫通穴６２ａｚが形成されており、リード線２１ｚは貫通穴６２ａｚに挿入配置されている。リード線２１ｚの一端及び駆動用端子５６ｚの一端５６ａｚは本体部６１ｚの反噴孔側に露出しており、これらの端部同士が溶接等により電気接続されている。
【００８８】
円筒部６３ｚは、略円筒状インジェクタボディー４ｚの外周面に沿って延びる形状であり、インジェクタボディー４ｚの外周面と円筒部６３ｚの内周面との間はＯリングＳ１ｚ（シール部材）によって環状にシールされている。当該シールにより、インジェクタボディー４ｚ外部の水が、インジェクタボディー４ｚとモールド樹脂６０ｚとの接触面を伝って歪ゲージ５２ｚ及びリード線２１ｚに浸入することを防止する。なお、リード線２１ｚに水が付着してしまうと、リード線２１ｚを伝って駆動用端子５６ｚ及び回路部品５４ｚ等に水が浸入することが懸念される。
【００８９】
モールド樹脂６０ｚにより一体化された状態のセンサ用端子５５ｚ及び駆動用端子５６ｚは、樹脂製のコネクタハウジング７０ｚ内に保持されている。つまり、センサ用端子５５ｚ、駆動用端子５６ｚ及びコネクタハウジング７０ｚにより１つのコネクタを構成している。コネクタハウジング７０ｚは、外部配線とコネクタ接続されるコネクタ接続部７１ｚ、モールド樹脂６０ｚを内部に保持する本体部７２ｚ、及び本体部７２ｚから噴孔側に延出する円筒部７３ｚを備えて構成されている。
【００９０】
本体部７２ｚ及び円筒部７３ｚは、モールド樹脂６０ｚの本体部６１ｚ、蓋部材６４ｚ及び円筒部６３ｚの外表面に沿った形状に形成されており、コネクタハウジング７０ｚとモールド樹脂６０ｚとは溶着等の手段により互いに結合している。なお、本体部７２ｚには環状の溶着部７２ａｚが形成されており、これにより、インジェクタボディー４ｚ外部の水が、コネクタハウジング７０ｚの円筒部７３ｚ内周面とモールド樹脂６０ｚの円筒部７３ｚの外周面との接触面を伝って、コネクタ接続部７１ｚ内にて露出しているセンサ用端子５５ｚ及び駆動用端子５６ｚに浸入することを防止する。
【００９１】
円筒部７３ｚの噴孔側端部には係止部７２ｂｚが形成されており、インジェクタボディー４ｚに形成された係合部４８ｚと係合する。これにより、コネクタハウジング７０ｚ及びモールド樹脂６０ｚはインジェクタボディー４ｚに対して軸線Ｊ１ｚ方向に位置決めされる。
【００９２】
次に、燃圧センサ５０ｚ及びコネクタハウジング７０ｚ等のインジェクタボディー４ｚへの組み付け手順を簡単に説明する。
【００９３】
はじめに、インジェクタボディー４ｚの収納孔４１ｚ及び凹部４６ｚに、ピエゾアクチュエータ２ｚ及び燃圧センサ５０ｚをそれぞれ組み付ける。燃圧センサ５０ｚの組み付けについては、先述した通り、燃圧センサ５０ｚを軸線Ｊ２ｚ方向外側から凹部４６ｚに挿入した後、面取り部５１ｆｚを工具で締め付けることで、両シール面４６ａｚ，５１ｇｚにてインジェクタボディー４ｚとステム５１ｚとをメタルタッチシールさせる。一方、センサ用端子５５ｚ及び駆動用端子５６をモールド樹脂６０ｚにより一体化するとともに、モールド樹脂６０ｚに、回路部品５４ｚが実装された状態の絶縁基板５３ｚを組み付ける。
【００９４】
次に、センサ用端子５５ｚ、駆動用端子５６ｚ及び絶縁基板５３ｚが保持された状態のモールド樹脂６０ｚを、ピエゾアクチュエータ２ｚ及び燃圧センサ５０ｚが組み付けられた状態のインジェクタボディー４ｚに組み付ける。具体的には、モールド樹脂６０ｚのボス部６２ｚを配索穴４７ｚに挿入すると同時に、リード線２１ｚを貫通穴６２ａｚに挿入させ、かつ、本体部６１ｚの貫通穴６１ａｚに燃圧センサ５０ｚを挿入する。これにより、取付面５１ｈｚと絶縁基板５３ｚとが同一平面上に並べて配置されることとなる。
【００９５】
次に、絶縁基板５３ｚ上の図示しないランドと取付面５１ｈｚ上の歪ゲージ５２ｚとを、ワイヤボンディングマシンを用いてワイヤボンドＷｚにより電気接続する。また、凹部６１ｂｚ内に露出したリード線２１ｚの一端２１ａｚと駆動用端子５６ｚの一端５６ａｚとを、溶接により電気接続する。
【００９６】
次に、モールド樹脂６０ｚの凹部６１ｂｚに蓋部材６４ｚを溶着や接着剤等により取り付けて、歪ゲージ５２ｚ、回路部品５４ｚ及び絶縁基板５３ｚ等を凹部６１ｂｚ内にて密閉する。次に、コネクタハウジング７０ｚをモールド樹脂６０ｚに組み付ける。具体的には、モールド樹脂６０ｚに一体化された状態のセンサ用端子５５ｚ及び駆動用端子５６ｚをコネクタ接続部７１ｚ内部に配置すると同時に、モールド樹脂６０ｚの本体部６１ｚをコネクタハウジング７０ｚの本体部７２ｚ内部に配置し、かつ、コネクタハウジング７０ｚの係止部７２ｂｚをインジェクタボディー４ｚの係合部４８ｚに係合させる。
【００９７】
以上により、燃圧センサ５０ｚ及びコネクタハウジング７０ｚ等のインジェクタボディー４ｚへの組み付けが完了する。この組み付け完了状態において、インジェクタボディー４ｚと増幅回路等の回路部品５４ｚとの間にはモールド樹脂６０ｚが介在することとなる。また、ステム５１ｚと回路部品５４ｚとの間にもモールド樹脂６０ｚが介在することとなる。ここで、インジェクタは、シリンダヘッドＥ２ｚの挿入穴Ｅ３ｚに挿入配置されているため高温（例えば約１４０℃）となるため、回路部品５４ｚが熱により破損してしまうことが懸念される。
【００９８】
これに対し、本実施形態に係る回路部品５４ｚ及び絶縁基板５３ｚは、金属製のインジェクタボディー４ｚ及び金属製のステム５１ｚと直接接触することなく、モールド樹脂６０ｚが介在している。よって、モールド樹脂６０ｚがインジェクタボディー４ｚ及びステム５１ｚからの熱に対する回路部品５４ｚの断熱部材として機能している。よって、回路部品５４ｚが熱破損するとの懸念を解消している。
【００９９】
以上詳述した本実施形態によれば、以下の効果が得られるようになる。
【０１００】
（１）高圧燃料の燃圧を検出する燃圧センサ５０ｚをインジェクタボディー４ｚに搭載するにあたり、燃圧センサ５０ｚを歪ゲージ５２ｚ及びステム５１ｚから構成し、インジェクタボディー４ｚに取り付けられたステム５１ｚに歪ゲージ５２ｚを貼り付ける。したがって、ステム５１ｚはボディー４ｚと別体に構成されているので、熱膨張収縮により生じるボディー４ｚの内部応力がステム５１ｚに伝播される際に、その伝搬ロスを大きくできる。つまり、ステム５１ｚをボディー４ｚとは別体に構成することで、ボディー４ｚの歪によるステム５１ｚへの影響が小さくなる。よって、歪ゲージ５２ｚをボディー４ｚに直接貼り付けた場合に比べて、ボディー４ｚに生じる歪の影響を歪ゲージ５２ｚが受けることを抑制できる。したがって、燃圧センサ５０ｚによる燃圧検出の精度低下を回避しつつ、燃圧センサ５０ｚをインジェクタに搭載することができる。
【０１０１】
（２）ステム５１ｚに熱膨張係数が小さい材質を採用しているので、ステム５１ｚ自体が熱膨張収縮して歪みが生じてしまうことを抑制できる。また、ボディー４ｚ全体を熱膨張係数が小さい材質にする場合に比べて、ステム５１ｚのみを熱膨張係数が小さい材質にすればよいので、材料コストの低減を図ることができる。
【０１０２】
（３）ステム５１ｚは軸対称形状に形成されているので、高圧燃料の圧力を受けてダイヤフラム部５１ｃｚが弾性変形する際に、その変形が軸対称となり、燃圧に比例して精度良く変形することとなる。よって、ダイヤフラム部５１ｃｚの歪の大きさを歪ゲージ５２ｚで検出するにあたり、その検出精度を向上できる。
【０１０３】
（４）ダイヤフラム部５１ｃｚは、ボディー４ｚの凹部４６ｚの外方に位置するので、ボディー４ｚの熱膨張収縮による歪の影響を受けにくくなる。よって、ボディー４ｚに生じる歪の影響を歪ゲージ５２ｚが受けることをより一層低減でき、燃圧センサ５０ｚによる燃圧検出の精度を向上できる。
【０１０４】
（５）歪ゲージ５２ｚが取り付けられた取付面５１ｈｚと、回路部品５４ｚが実装された絶縁基板５３ｚとを、同一平面上に並べて配置している。そのため、歪ゲージ５２ｚと回路部品５４ｚとをワイヤボンディングマシンを用いてワイヤボンドＷｚにより電気接続する作業を行うにあたり、その接続作業の作業性を向上できる。
【０１０５】
（６）ステム５１ｚの雄ネジ部５１ｅｚをボディー４ｚの雌ネジ部に螺合させて締結させる締結力により、ステム５１ｚのシール面５１ｇｚがボディー４ｚのシール面４６ａｚに押し付けられる。これにより両シール面４６ａｚ，５１ｇｚにてボディー４ｚとステム５１ｚとをメタルタッチシールする。そのため、高圧の燃料に対してボディー４ｚとステム５１ｚとの間の容易にシールすることができる。
【０１０６】
（７）高圧通路６ｂｚ，６ｃｚから分岐して燃圧センサ５０ｚへ高圧燃料を導入する分岐通路６ｅｚを形成するので、分岐通路６ｅｚ内においては、高圧通路６ｂｚ，６ｃｚ内に比べて燃料の流れを殆ど無くすことができる。そして、燃料流れが殆ど生じない分岐通路６ｅｚの高圧燃料を燃圧センサ５０ｚは検出することとなるので、燃料の流れによる燃圧センサ５０ｚの検出精度悪化を回避できる。
【０１０７】
（８）ここで、高圧通路６ｚから分岐通路６ｅｚを分岐させると、ボディー４ｚのうち両通路６ｚ，６ｅｚが交差する部分（分岐する部分）に応力が集中しやすくなるため、ボディー４ｚの強度確保を考慮する必要が生じる。そこで本実施形態では、２本の高圧通路６ｃｚ，６ｂｚが交差する交差部６ｄｚから分岐通路６ｅｚを分岐させるとともに、高圧通路６ｃｚの同軸上にて延びる形状に分岐通路６ｅｚを形成する。そのため、応力集中が懸念される箇所である交差部の数を減らすことができ、好適である。
【０１０８】
（９）ここで、ボディー４ｚには、クランプＫｚ、高圧配管ＨＰｚ及び低圧配管ＬＰｚ等の外部部材から外力が作用する。すなわち、ボディー４ｚの係合部４２ｚには、シリンダヘッドＥ２ｚの挿入穴Ｅ３ｚに向けて押し付けられる力（外力）がクランプＫｚから作用する。また、高圧配管ＨＰｚ及び低圧配管ＬＰｚが所定位置からずれた状態で高圧ポート４３ｚ及び低圧ポート４４ｚに締結されていると、これらポート４３ｚ，４４ｚの部分には、所定位置に戻ろうとする向きの力（外力）が配管ＨＰｚ，ＬＰｚから作用する。そして、このように外部部材Ｋｚ，ＨＰｚ，ＬＰｚからの外力がボディー４ｚに作用すると、ボディー４ｚのうちシリンダヘッドＥ２ｚに支持される部分と外力が作用する部分４２ｚ，４３ｚ，４４ｚとの間にて、ボディー４ｚの内部応力が高くなる。すると、ボディー４ｚに組み付けられた燃圧センサ５０ｚは、このような外力による内部応力の影響を受けることで、圧力検出の精度低下を招くことが懸念される。
【０１０９】
このような懸念に対し、本実施形態では、燃圧センサ５０ｚのボディー４ｚへの取り付け位置を、ボディー４ｚのうち、高圧ポート４３ｚ、低圧ポート４４ｚ及び係合部４２ｚに対してシリンダヘッドＥ２ｚの反対側の部分としている。そのため、ボディー４ｚのうち内部応力が高くなる部分（つまり、シリンダヘッドＥ２ｚに支持される部分と外力作用部４２ｚ，４３ｚ，４４ｚとの間の部分）から外れた箇所に燃圧センサ５０ｚが位置することとなる。よって、ボディー４ｚに生じる内部応力の影響を燃圧センサ５０ｚが受けることを抑制でき、ひいては燃圧センサ５０ｚの検出精度向上を図ることができる。
【０１１０】
（第２実施形態）
上記第１実施形態では、燃圧センサ５０ｚをインジェクタボディー４ｚに組み付けるにあたり、円筒状ボディー４ｚの軸線Ｊ２ｚ方向外方から組み付け可能に構成されている。これに対し、図３に示す本実施形態では、円筒状ボディー４ｚの径方向外方から組み付け可能に構成されている。具体的には、ステム５１ｚの円筒部５１ｂｚが挿入される凹部４６１ｚは、円筒状ボディー４ｚの外周面に形成されている。したがって、ステム５１ｚとメタルタッチシールするボディー４ｚのシール面４６１ａｚは、軸線Ｊ２ｚに対して平行に拡がる向きに形成されている。
【０１１１】
また、第１実施形態に係るインジェクタの高圧ポート４３ｚは、高圧配管ＨＰｚをインジェクタの径方向に接続する向きに形成されているが、本実施形態に係るインジェクタの高圧ポート４３１ｚは、高圧配管ＨＰｚをインジェクタの軸線Ｊ２ｚ方向に接続する向きに形成されている。具体的には、円筒状ボディー４ｚの反噴孔側端面に高圧ポート４３１ｚは形成されている。
【０１１２】
また、分岐通路６ｅｚは、フィルタ４５ｚが配置される大径部６ａｚから分岐している。そのため、容積の大きい大径部６ａｚにてアキュムレート効果を発揮させることができ、ノイズとしての圧力脈動が低減された状態の燃圧を検出することができる。
【０１１３】
ここで、高圧通路６ａｚ，６ｂｚから分岐通路６ｅｚを分岐させると、ボディー４ｚのうち両通路が交差する部分（分岐する部分）に応力が集中しやすくなるため、ボディー４ｚの強度確保を考慮する必要が生じる。この点を鑑みれば、分岐通路６ｅｚを小径部６ｂｚから分岐させることで、ボディー４ｚの強度向上を図るようにしてもよい。
【０１１４】
（第３実施形態）
上記第２実施形態では、高圧通路６ａｚから分岐して燃圧センサ５０ｚへ高圧燃料を導入する分岐通路６ｅｚを形成しているのに対し、図４に示す本実施形態では、分岐通路６ｅｚを廃止して、噴孔１１ｚに向けて燃料を流通させる高圧通路６ａｚに燃圧センサ５０ｚを直接取り付けている。
【０１１５】
具体的には、ステム５１ｚを円筒部５１ｂｚ及びダイヤフラム部５１ｃｚから構成することを廃止して、ステム５１ｚの先端部５１１ａｚを高圧通路６ａｚに突出させ、その先端部５１１ａｚを高圧通路６ａｚ内に位置させている。そして、歪ゲージ５２ｚは、先端部５１１ａｚの内側（つまりステム５１ｚの内部）に取り付けられており、先端部５１１ａｚにて生じた歪の大きさを電気信号に変換して圧力検出値として出力する。
【０１１６】
また、上記各実施形態では、インジェクタボディー４ｚのシール面４６ａｚ及びステム５１ｚのシール面５１ｇｚは、ステム５１ｚの軸線Ｊ１ｚに対して垂直に拡がる形状であり、フラットシール構造となっている。これに対し本実施形態では、ボディー４ｚのシール面４６２ａｚ及びステム５１ｚのシール面５１１ｇｚは、軸線Ｊ１の垂直方向に対して傾斜する形状であり、テーパシールｚ構造となっている。
【０１１７】
両シール面４６２ａｚ，５１１ｇｚのいずれか一方を凸状に湾曲させ、他方を平面形状にすることが望ましい。但し、ボディー４ｚに比べてステム５１ｚの方が上記湾曲に加工することを容易にできるので、ボディー４ｚのシール面４６２ａｚを平面形状とし、ステム５１ｚのシール面５１１ｇｚを湾曲形状に形成することが望ましい。
【０１１８】
（第４実施形態）
上記第３実施形態では、図４に示す如く分岐通路６ｅｚを廃止した構成を、円筒状ボディー４ｚの反噴孔側端面に高圧ポート４３１ｚが形成されたタイプのインジェクタに適用させている。これに対し、図５に示す本実施形態では、分岐通路６ｅｚを廃止した構成を、円筒状ボディー４ｚの外周面に高圧ポート４３ｚが形成されたタイプのインジェクタに適用させている。
【０１１９】
（第５実施形態）
ピエゾアクチュエータ２ｚのリード線２１ｚ及び燃圧センサ５０ｚはコネクタハウジング７０ｚの内部に位置しており、これらリード線２１ｚ及び燃圧センサ５０ｚをコネクタハウジング７０ｚの外部からシールする必要がある。このシール構造に関し、上記第１実施形態では、モールド樹脂６０ｚの円筒部６３ｚの内周面とボディー４ｚの外周面との間にＯリングＳ１ｚ（シール部材）を配置することで、１つのＯリングＳ１ｚによりリード線２１ｚ及び燃圧センサ５０ｚの双方をシールさせている。
【０１２０】
これに対し、図６に示す本実施形態では、リード線２１ｚ及び燃圧センサ５０ｚの各々に対して別々のＯリングＳ２ｚ，Ｓ３ｚ（シール部材）を備えている。具体的には、燃圧センサ５０ｚの円筒部５１ｂｚとモールド樹脂６０ｚの凹部４６ｚとの間にＯリングＳ２ｚを配置している。また、インジェクタボディー４ｚの配索穴４７ｚとモールド樹脂６０ｚのボス部６２ｚとの間にＯリングＳ３ｚを配置している。
【０１２１】
（第６実施形態）
図７は、上記ディーゼル機関を含む蓄圧式燃料噴射装置１００の全体構成図である。図８は、本実施形態に係るインジェクタ２を示す断面図である。図９（ａ）、（ｂ）は、本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ）〜（ｅ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図及び平面図である。図１０（ａ）,（ｂ）は、圧力検出部材の要部を示す断面図及び平面図である。図１１（ａ）〜（ｃ）は、圧力センサの製造方法を示す断面図である。以下、本実施形態にかかる燃料噴射装置１００を図面を参照しつつ説明する。
【０１２２】
図７に示されるように、燃料タンク１０２から汲み上げられた燃料は、高圧燃料供給ポンプ（以下、サプライポンプ）１０３により加圧され高圧状態でコモンレール１０４に供給される。コモンレール１０４は、サプライポンプ１０３から供給される燃料を高圧状態で蓄え、高圧燃料通路１０５を介してインジェクタ２に供給する。インジェクタ２は、例えば自動車等の車両に搭載された多気筒（本実施形態では、４気筒）のディーゼルエンジン（以下、エンジンと呼ぶ）の各気筒ごとに設けられ、コモンレール１０４内に蓄圧された高圧燃料（高圧流体）を燃焼室内に直接噴射供給する。また、インジェクタ２は、低圧燃料通路１０６とも接続されており、低圧燃料通路１０６を介して燃料タンク１０２に燃料を戻すことが可能となっている。
【０１２３】
電子制御装置（ＥＣＵ）１０７は、マイクロコンピュータやメモリ等を備えて構成され、ディーゼル機関の出力の制御を行なう。この制御に際しては、ＥＣＵ１０７は、コモンレール１０４内の燃料圧を検出する燃圧センサ１０８の検出結果や、ディーゼル機関のクランク軸の回転角度を検出するクランク角センサ１０９の検出結果、ユーザによるアクセルペダルの操作量を検出するアクセルセンサ１１０、各インジェクタ２に設けられてインジェクタ内の燃料圧を検出する圧力検出部８０等、各種センサの検出結果を取り込み、これら検出結果を参照する。
【０１２４】
図８に示されるように、インジェクタ２は、ノズルニードル２０を軸方向に移動可能に収容するノズルボデー１２と、ノズルニードル２０を閉弁側に付勢する付勢部材としてのスプリング３５を収容するロアボデー１１と、ノズルボデー１２とロアボデー１１とを所定の締付軸力により締結する締付け部材としてのリテーニングナット１４と、流体制御弁としての電磁弁装置７、高圧燃料の圧力を検出する圧力検出部８０とを含んで構成されている。ノズルボデー１２、ロアボデー１１、およびリテーニングナット１４は、ノズルボデー１２とロアボデー１１とをリテーニングナット１４で締結することでインジェクタのノズル本体を構成している。本実施形態では、ロアボデー１１とノズルボデー１２がインジェクタボデーを構成している。また、ノズルニードル２０とノズルボデー１２はノズル部を構成している。
【０１２５】
ノズルボデー１２は、略筒状体に形成され、先端部（図８中の下方側の端部）側に、高圧燃料を燃焼室に噴射するための噴孔１２ｂを１個又は複数個備えた略筒状部材である。
【０１２６】
このノズルボデー１２の内部には、中実円柱状のノズルニードル２０を軸方向移動可能に保持するための収容孔（以下、第１ニードル収容孔）１２ｅが形成されている。この第１ニードル収容孔１２ｅの図中の中間部位には、その孔径が拡げられた燃料溜り室１２ｃが設けられている。具体的には、ノズルボデー１２の内周は、燃料流れの下流に向かって、第１ニードル収容孔１２ｅ、燃料溜り室１２ｃ、弁座１２ａの順に形成されており、弁座１２ａの下流側にノズルボデー１２の内外を貫通する噴孔１２ｂが設けられている。
【０１２７】
弁座１２ａは、円錐台面を有しており、円錐台面の大径側が第１ニードル収容孔１２ｅに連続し、小径側が噴孔１２ｂに向かって延びている。この弁座１２ａにノズルニードル２０が着座および離座可能に配置され、着座および離間することでノズルニードル２０が閉弁および開弁する。
【０１２８】
さらに、ノズルボデー１２には、このノズルボデー１２の図示上端側の合わせ面から燃料溜り室１２ｃへ延びる燃料送出路１２ｄが設けられている。この燃料送出路１２ｄは、ロアボデー１１の後述の燃料供給路１１ｂと連通することで、コモンレール１０４内で蓄圧された高圧燃料を燃料溜り室１２ｃを経由し弁座１２ａ側へ送り込む。燃料送出路１２ｄと燃料供給路１１ｂとは高圧燃料通路を構成する。
【０１２９】
ロアボデー１１は、略筒状体に形成されており、内部に、スプリング３５、およびノズルニードル２０を駆動するための制御ピストン３０を軸方向に移動可能に収容するための収容孔（以下、第２ニードル収容孔）１１ｄが設けられている。この第２ニードル収容孔１１ｄの図示下端側の合わせ面には、中間の内周１１ｄ１よりは大きく拡げられた内周１１ｄ２が形成されている。
【０１３０】
具体的には、この内周（以下、スプリング室とも呼ぶ）１１ｄ２には、スプリング３５、および環状部材３１、および制御ピストン３０のニードル部３０ｃを収容するいわゆるスプリング室が形成されている。環状部材３１は、スプリング３５とノズルニードル２０との間に挟み込まれて配置されており、スプリング３５によりノズルニードル２０を閉弁方向に付勢するスプリング受け部を構成する。ニードル部３０ｃは、ノズルニードル２０に、環状部材３１を介して間接的に、もしくは直接的に当接可能に構成されている。
【０１３１】
さらに、ロアボデー１１には、コモンレール１０４の分岐管に接続される高圧配管（図７参照）が気密に連結する継手部（以下、インレット部）１１ｆが設けられている。このインレット部１１ｆは、コモンレール１０４から供給された高圧燃料を導入する入口である流体導入部２１と、燃料供給路１１ｂ（第１の流体通路（高圧通路に相当））へ導く燃料導入路１１ｃ（第２の流体通路（高圧通路に相当））とを有し、燃料導入路１１ｃ内部には、バーフィルタ１３が配置されている。ロアボデー１１のインレット部１１ｆの内部、およびスプリング室１１ｄ２の周囲には、燃料供給路１１ｂが設けられている。
【０１３２】
また、ロアボデー１１には、スプリング室１１ｄ２に導かれた燃料を、図７に示した燃料タンク等の低圧配管系内に戻すための燃料逃がし通路（リーク回収用通路とも呼ぶ）（図示せず）が設けられている。燃料逃がし通路、スプリング室１１ｄ２は低圧燃料通路を構成する。
【０１３３】
なお、図８に示すように、制御ピストン３０の他端部側には、電磁弁装置７により油圧が給排される圧力制御室（以下、油圧制御室とも言う）８、１６ｃが設けられている。
【０１３４】
この油圧制御室８、１６ｃの油圧を増減することで、ノズルニードル２０を閉弁および開弁する。具体的には、油圧制御室８、１６ｃから油圧が抜かれ、減少すると、ノズルニードル２０および制御ピストン３０がスプリング３５の付勢力に抗して図８中の軸方向上方に移動し、ノズルニードル２０が開弁する。一方、油圧制御室８、１６ｃに油圧が導入され、増加すると、ノズルニードル２０および制御ピストン３０がスプリング３５の付勢力によって図９中の軸方向下方に移動し、ノズルニードル２０が閉弁する。
【０１３５】
なお、制御ピストン３０の端部外壁（上端部）３０ｐと、第２ニードル収容孔１１ｄと、オリフィス部材１６、及び圧力検出部材８１とによって圧力制御室８、１６ｃ、１８ｃが形成されている。端部外壁３０ｐは、噴孔１２ｂの開弁時に、オリフィス部材１６と面接触している圧力検出部材８１の平坦面８２と同一面かそれよりも噴孔１２ｂ側に位置ずれして配置されている。つまり、噴孔１２ｂの開弁時に、端部外壁３０ｐが圧力検出部材８１の圧力制御室１８ｃ部分に収納される。
【０１３６】
次に、電磁弁装置７について詳細に説明する。電磁弁装置７は、圧力制御室８、１６ｃ、１８ｃと低圧通路（以下、導通路とも呼ぶ）１７ｄとを断続する電磁二方弁である。電磁弁装置７は、ロアボデー１１の反噴孔側の端部に配設されている。電磁弁装置７は、ボデーアッパー５２によりロアボデー１１に固定されている。第２ニードル収容孔１１ｄの反噴孔側の端部には、弁ボデーとしてのオリフィス部材１６が設けられている。
【０１３７】
オリフィス部材１６は、好ましくは、インジェクタ２の軸方向つまり制御ピストン３０の延びる方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材（第１部材）から構成されている。また、オリフィス部材１６はインジェクタボデーを構成するロアボデー１１及びノズルボデー１２とは別体的に（別工程にて、及び／又は別部材として）形成され、形成後、ロアボデー１１に組み付けられて一体的に保持される。オリフィス部材１６には、図９（ａ）、図９（ｂ）に示すように、連通路１６ａ、１６ｂ、１６ｃが設けられている。ここで、図９（ｂ）はオリフィス部材１６をバルブアーマチャ４２側から見た平面図である。連通路（以下、オリフィスとも呼ぶ）１６ａ、１６ｂ、１６ｃは、出口側絞り部としてのオリフィス（以下、アウトオリフィス）１６ａと、入口側絞り部としてのオリフィス（以下、インオリフィス）１６ｂと、第２ニードル収容孔１１ｄに連通する圧力制御室１６ｃとを有する。
【０１３８】
アウトオリフィス１６ａは、弁座１６ｄと圧力制御室１６ｃとを連通するように配置され、弁部材４１を介したバルブアーマチャ４２の閉弁および開弁により閉塞および流通する。インオリフィス１６ｂは、平坦面１６２に開口して燃料を導入する入口部１６ｈを有する。この入口部１６ｈは、圧力制御室１６ｃと後述する圧力検出部材８１に形成された検出部連通路１８ｈを介して、燃料供給路１１ｂから分岐された分岐燃料供給路１１ｇとを連通する位置に配置されている。
【０１３９】
なお、弁部材４１を介して開弁および閉弁するオリフィス部材１６の弁座１６ｄと、バルブアーマチャ４２の弁構造については後述する。
【０１４０】
オリフィス部材１６の反噴孔側には、弁ハウジングとしてのバルブボデー１７が設けられている。バルブボデー１７の外周部には雄ねじが形成されており、バルブボデー１７がロアボデー１１の筒状ねじ部にねじ込まれることによってオリフィス部材１６がバルブボデー１７とロアボデー１１とに挟持されている。バルブボデー１７は略円筒形状に形成されており、貫通孔１７ａ、１７ｂが設けられている（図８参照）。貫通孔（以下、ガイド孔とも呼ぶ）１７ａと貫通孔１７ｂとの間には、導通路１７ｄが形成されている。
【０１４１】
オリフィス部材１６のバルブボデー側端面１６１と、貫通孔１７ａの内壁とによって弁室１７ｃが形成されている。オリフィス部材１６の外壁には、二面幅面（図示せず）が形成されており、二面幅面と、ロアボデー１１の内壁の間に形成された隙間１６ｋは貫通孔１７ｂに連通している（図８参照）。
【０１４２】
図９（ｃ）、（ｄ）に示すように、圧力検出部８０は、インジェクタボデー（ロアボデー１１とバルブボデー１７）とは別体的に（別々に）形成された圧力検出部材８１からなる。ここで、図９（ｄ）は圧力検出部材８１をオリフィス部材１６側から見た平面図である。圧力検出部材８１は、好ましくは、インジェクタ２の軸方向つまり制御ピストン３０の延びる方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材（第２部材）で構成され、ロアボデー１１内において、オリフィス部材１６と直接又は間接的に積層されて、ロアボデー１１及びノズルボデー１２に対して一体的に保持されている。本実施形態では、圧力検出部材８１は平坦面８２を有し、オリフィス部材１６の噴射弁側の平坦面１６２と、面同士で液密に直接積層されている。圧力検出部材８１とオリフィス部材１６は、略同一の外形を有し、両者を重ね合わせた際に、オリフィス部材１６の入口部１６ｈ、貫通穴１６ｐ、圧力制御室１６ｃの位置が、圧力検出部材８１の検出部連通路１８ｈ、貫通穴１８ｐ、圧力制御室１８ｃの位置に夫々一致するように形成されている。また、検出部連通路１８ｈの反オリフィス部材側は、燃料供給路１１ｂから分岐した分岐燃料供給路１１ｇに対応した位置に開口している。これにより、圧力検出部材８１の貫通孔１８ｈは、燃料供給路１１ｂから圧力制御室への通路の一部を構成している。
【０１４３】
圧力検出部材８１（燃圧センサに相当）は、更に、オリフィス部材１６側から所定深さと内径を有する溝からなる圧力検出空間１８ｂを備え、その溝底部がダイアフラム部１８ｎを構成している。ダイアフラム部１８ｎの、圧力検出空間１８ｂとは反対側の表面には、後述する半導体式の圧力センサ１８ｆが一体的に貼り合され、接合されている。
【０１４４】
ダイアフラム部１８ｎは、圧力検出空間１８ｂの反対側表面から、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きな寸法分を有する深さに位置しており、圧力センサ１８ｆが接合される側の表面は、圧力検出空間１８ｂよりも大径に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎを挟んだ両方の溝の深さ制御により、その製造時にダイアフラム部１８ｎの厚さが制御される。圧力検出部材８１の平坦面８２には、検出部連通路１８ｈと圧力検出空間１８ｂとを連通する溝部１８ａ（分岐通路）が、圧力検出空間１８ｂよりも浅い深さで形成されている。溝部１８ａは圧力検出部材８１がオリフィス部材１６と面接触した際に、オリフィス部材１６の平坦面を壁の一部とする合成通路（分岐通路）を形成する。これにより、溝部１８ａ（分岐通路）は、燃料供給路１１ｂから圧力制御室８，１６ｃへの通路であるインオリフィス１６ｂに一部が接続され、他部がダイアフラム部１８ｎに接続されている。これにより、ダイアフラム部１８ｎは圧力検出空間１８ｂに導入された高圧燃料の作用する圧力により歪むことが可能となる。
【０１４５】
ここで、ダイアフラム部１８ｎは、溝部１８ａとオリフィス部材１６との間で形成される合成通路と圧力検出空間１８ｂを含めた分岐通路のうちで、その通路肉厚が最も薄く構成されている。合成通路の通路肉厚は合成通路の内壁から見た圧力検出部材８１及びオリフィス部材１６の厚さを言う。
【０１４６】
なお、溝部１８ａに代えて、図９（ｅ）に示すように、検出部連通路１８ｈから圧力検出空間１８ｂに連結するように傾斜して設けられた孔部としても良い。なお、圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）とダイアフラム部１８ｎとで圧力検出部を構成する。
【０１４７】
以下に、図１０を参照して、圧力検出部について詳細に説明する。
【０１４８】
圧力センサ１８ｆは、圧力検出空間１８ｂに形成された円形のダイアフラム部１８ｎと、一面側がダイアフラム部１８ｎの一面をなす窪み部１８ｇの底部に接着された変位検出手段としての単結晶半導体チップ（以下、半導体チップという）１８ｒとを備え、ダイアフラム部１８ｎの他面１８ｑ側にエンジンの燃料噴射圧力等に応じた圧力媒体（気体、液体等）を導入し、ダイアフラム部１８ｎおよび半導体チップ１８ｒの変形に基づき圧力検出を行うようにしたものである。
【０１４９】
圧力検出部材８１は切削等により形成され、中空円筒形状の圧力検出空間１８ｂを成し、ガラスと熱膨張率が同程度であるＦｉ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金であるコバール等により構成されている。圧力検出部材８１においては、ダイアフラム部１８ｎが形成され、圧力検出空間１８ｂ側から、圧力媒体としての高圧燃料が導入され、ダイアフラム部１８ｎの他面１８ｑに圧力が印加されるようになっている。
【０１５０】
ここで、圧力検出部材８１の寸法の一例を示すと、円筒の外径は６．５ｍｍ、円筒の内径は２．５ｍｍ、ダイアフラム部１８ｎの肉厚は、例えば２０ＭＰａの測定に際しては０．６５ｍｍ、２００ＭＰａの測定に際しては１．４０ｍｍである。窪み部１８ｇの底面であるダイアフラム部１８ｎの一面に接着された半導体チップ１８ｒは、面方位が（１００）面であり且つ全体が均一な肉厚の平面形状を成す単結晶シリコン基板よりなり、その一面１８ｉが低融点ガラス等よりなるガラス層１８ｋにより、ダイアフラム部１８ｎの一面（窪み部１８ｇの底面）に固定されている。
【０１５１】
ここで、半導体チップ１８ｒの寸法の一例を示すと、３．５６ｍｍ×３．５６ｍｍの正方形状で、肉厚は０．２ｍｍである。また、ガラス層１８ｋの厚さは０．０６ｍｍである。また、半導体チップ１８ｒの他面１８ｊ側には、４個のピエゾ抵抗素子である長方形状のゲージ１８ｍが配設されている。上述のように、（１００）面方位を有する半導体チップ１８ｒには、その構造上、＜１１０＞結晶軸が相直交して存在する。
【０１５２】
４個のゲージ１８ｍは、＜１１０＞結晶軸方向の２軸方向に沿ってそれぞれ２個ずつ配置される。ここで、一対のゲージはその長辺方向をＸ方向に沿って位置し、一対のゲージがその短辺方向をＹ方向に沿って位置する。さらに、これら４個のゲージ１８ｍは、ダイアフラム部１８ｎの中心Ｏに対する円周上に配置されている。
【０１５３】
また、図示しないが、半導体チップ１８ｒには、４個のゲージ１８ｍがブリッジ回路を構成し且つ外部回路と接続するための配線・パッド、さらには保護膜が形成される。半導体チップ１８ｒの主な製造工程としては、図１１（ａ）〜（ｃ）に示すように、ｎ型サブウエハ１９ａに、フォトリソグラフィにより所望のパターンを形成後、ボロン等を拡散させてＰ＋領域１９ｂを形成し、ピエゾ抵抗素子であるゲージ１８ｍが形成される。これに、配線・パッド１９ｃ及び配線・パッドの絶縁を確保する酸化膜１９ｄを形成し、さらに保護膜を形成し、パッド上の保護膜をエッチングすれば、半導体チップ１８ｒは完成である。
【０１５４】
そして、完成したチップ１８ｒを、圧力検出部材８１のダイアフラム部１８ｎ上に低融点ガラスを用いて接着することにより、図１０に示す圧力センサ１８ｆが出来上がる。圧力センサ１８ｆは上記構成により、高圧燃料の作用する圧力により変位する（撓む）ダイアフラム部１８ｎの変位を電気的な信号（本実施例では、ピエゾ抵抗素子の抵抗変化に伴うブリッジ回路の電位差）に変換する。その電気的な信号が、図示しない外部の処理回路で処理されて圧力が検出される。
【０１５５】
なお、処理回路は、チップ１８ｒ上にモノリシックに作り込まれても良いが、本実施形態では、チップ１８ｒの上方に、例えばフリップチップのような表面実装接続により電気接続された処理基板１８ｄ上に、上記のブリッジ回路を構成する定電流源や比較器等を作り込んでも良い。処理基板１８ｄには、また、圧力センサ１８ｆの感度データとインジェクタの噴射量特性を示すデータが記憶された不揮発性メモリを有する（図示せず）。そして、処理基板１８ｄの一辺に配置された接続パッドに電気配線１８ｅの一端が接続され、電気配線１８ｅの他端は、バルブボデー１７内に形成された配線通路（図示せず）を通って、コネクタ５０に一体形成されたターミナルピン５１ｂへ接続され、ＥＣＵ１０７と接続されている。
【０１５６】
ピエゾ抵抗素子を含む圧力センサ１８ｆと低融点ガラスが歪検出素子を構成する。ここで、ダイアフラム部１８ｎは、少なくとも圧力センサ１８ｆと低融点ガラスの厚さ分、圧力検出部材８１の圧力検出空間１８ｂとは反対の表面から深い位置に配置されている。処理基板１８ｄと電気配線１８ｅが更に厚さ方向に配置される場合は、その分の厚さも含めた距離よりも深い位置にダイアフラム部１８ｎの反圧力検出空間１８ｂ表面が配置される。
【０１５７】
なお、本実施形態では、変位検出手段として金属製のダイアフラム部１８ｎに貼り合わせられた半導体式の圧力センサ１８ｆを採用しているが、これに限られたものでなく、ダイアフラム部１８ｎに金属膜等で構成される歪検出素子を、貼り合わせたり蒸着形成したりして形成しても良い。
【０１５８】
図８に戻り、コイル６１は、樹脂製のスプール６２に直接巻回され、スプール６２およびコイル６１の外周側は図示しない樹脂モールドにより覆われている。なお、巻回装置により巻回されたコイル（以下、巻回コイル）６１の外周を樹脂モールドにより被覆した後に、被覆された巻回コイル６１に２次樹脂成形を行なってスプール６２と一体に成形されるものであってもよい。コイル６１の端部は、コネクタ５０にターミナルピン５１ｂと一体的に形成されたターミナルピン５１ａへ電気的に接続され、ＥＣＵ１０７と接続されている。
【０１５９】
固定コア６３は、略円筒状に形成されており、内周側コア部と、外周側コア部と、これら両コア部に接続する上端部とを備え、内周側コア部と外周側コア部との間にコイル６１が挟み込まれている。固定コアは磁性材で形成されている。
【０１６０】
固定コア６３の図８中の下部側には、バルブアーマチャ４２が固定コア６３に向き合うように配置されおり、固定コア６３の下端面（以下、磁極面）とバルブアーマチャ４２の上端面（以下、磁極面）が近接および離間可能に配置されている。電流供給によりコイル６１に発生する電磁力を利用し、内周側コア部および外周側コア部の磁極面からバルブアーマチャ４２の磁極面に向けて磁束が流れ、磁束密度に応じた吸引力がバルブアーマチャ４２に作用する。
【０１６１】
固定コア６３の内側には、略円筒状のストッパ６４が挿入配置され、固定コア６３と上部ハウジング５３の間に挟まれて固定されている。ストッパ６４内には、圧縮スプリングなどの付勢部材５９（バネ部材）が配置されている。この付勢部材５９の付勢力は、バルブアーマチャ４２に作用し、バルブアーマチャ４２の磁極面と固定コアの磁極面のエアギャップが広がる方向に付勢している。ストッパ６４のバルブアーマチャ側の端面は、バルブアーマチャ４２がフルリフトする際のリフトを規制する。
【０１６２】
ストッパ６４およびボデーアッパー５２の内側には、弁室１７ｃ、貫通孔１７ｂを介して流出した燃料が低圧側へ流出する燃料通路３７が形成されている。
【０１６３】
ここで、上部ハウジングとしてのボデーアッパー５２と、中間ハウジング５４と、下部ハウジングとしてのバルブボデー１７とは、弁ハウジングを構成している。中間ハウジング５４は略筒状に形成され、固定コア６３をガイドするように収容している。具体的には、固定コア６３は段付きの略有底円筒状に形成され、中間ハウジング５４の下端部の内周側に挿入されている。固定コア６３の外周は、段付きを境に下方に向かって縮径しており、その段付きが、中間ハウジング５４の内周側に形成された段差に係止されることにより、固定コア６３が中間ハウジング５４から脱落するのを防止している。
【０１６４】
バルブアーマチャ４２は、略平板状に形成された平板部と、平板部より小径の小径軸部とを備えている。平板部の上端面は、固定コア６３の内側コア部および外側コア部の磁極面に対向して配置される磁極面が形成されている。バルブアーマチャ４２は磁性材からなり、例えばパーメンジュールで形成されている。平板部の下部側に小径軸部が形成されている。
【０１６５】
バルブアーマチャ４２の小径軸部の端面４２ａには、略球状の弁部材４１が設けられており、バルブアーマチャ４２は、弁部材４１を介してオリフィス部材１６の弁座１６ｄに着座および離座が可能である。なお、オリフィス部材１６は、ピン等の位置決め部材９２を介してロアボデー１１に位置決め固定されている。オリフィス部材１６の貫通穴１６ｐ及び圧力検出部材８１の貫通穴１８ｐは、位置決め部材９２を挿入する係止穴である。
【０１６６】
次に、弁部材４１を介して互いに着座および離座するバルブアーマチャ４２と、弁座１６ｄを有するオリフィス部材１６の弁構造について、図９に従って説明する。
【０１６７】
図９に示すように、バルブアーマチャ４２の小径軸部の弁部材側の端面４２ａは、平坦面に形成され、弁部材４１の球面部４１ａに当接および離間可能である。また、バルブアーマチャ４２の小径部は、バルブボデー１７の貫通孔１７ａの内周に軸方向移動可能に保持されるとともに、弁室１７ｃに挿通可能に配置されている。弁部材４１を介してバルブアーマチャ４２と弁座１６ｄが着座および離座することにより、油圧制御室８、１６ｃより弁室１７ｃへの燃料流れが遮断および流通する。
【０１６８】
具体的には、弁部材４１は、平面部４１ｂを有する球状体であって、平面部４１ｂが、弁座１６ｄに着座および離座可能に配置されている。弁部材４１は、平面部４１ｂの着座時にアウトオリフィス１６ａを閉塞する。平面部４１ｂは、第２の平坦面を構成する。
【０１６９】
また、オリフィス部材１６のバルブアーマチャ側の端面１６１には、弁部材４１の球面部４１ａを摺動自在に支持する有底孔状のガイド孔１６ｇが設けられている。弁座１６ｄは、ガイド孔１６ｇの内周の底部に設けられており、平面状のシート面を形成している。弁座１６ｄはシート部を構成し、ガイド孔１６ｇはガイド部を構成する。また、弁座１６ｄは、オリフィス部材１６に形成された段差部を構成する。また、ガイド孔１６ｇの開口端と、オリフィス部材１６の端面１６１は面一であり、ガイド部とオリフィス部の端面は面一である特徴を有する。
【０１７０】
弁座１６ｄの外周は、ガイド孔１６ｇの内周より小さく形成されており、弁座１６ｄとガイド孔１６ｇとの間には、環状の燃料逃がし通路１６ｅが設けられている。弁座１６ｄの外周は、弁部材４１の平面部４１ｂの外周より小さく形成されている。これにより、弁部材４１の平面部４１ｂと、弁座１６ｄが着座および離座する際に、ガイド孔１６ｇの底部のうち、平面部４１ｂに着座する弁座１６ｄ以外の部位で燃料流れを制限することはない。
【０１７１】
なお、燃料逃がし通路１６ｅは、弁座と第２の平坦面との密着領域において設けられる流体逃がし通路を構成する。
【０１７２】
また、燃料逃がし通路１６ｅは、弁座１６ｄ側からガイド孔１６ｇ側に向かって流路断面積が大きくなるように形成されている。これにより、弁部材４１が弁座１６ｄより離座したときに弁座１６ｄより流出する燃料をスムースに低圧側へ流すことができる。
【０１７３】
上述のように弁部材４１はガイド孔１６ｇに軸方向移動可能に支持されているため、ガイド孔１６ｇの内周と、弁部材４１の球面部４１ａの球面との隙間の大きさは、互いに摺動可能な程度のガイドクリアランスに設定されている。このガイドクリアランスによる燃料リーク量だけでは、弁座１６ｄより低圧側へ流出する燃料流量が限られる。
【０１７４】
本実施形態では、ガイド孔１６ｇの内壁には、低圧側の弁室１７ｃに連通する燃料リーク溝１６ｒが設けられており、この燃料リーク溝１６ｒによって弁座１６ｄより低圧側へ流出する燃料の流路面積を拡大する。これにより、ガイド孔１６ｇの内壁に、弁座１６ｄより低圧側へ流出する燃料の流路面積を拡大する燃料リーク溝１６ｒを設けるので、弁部材４１が弁座１６ｄより離座したときに、弁座１６ｄより低圧側へ流出する燃料の流量が絞られることはなく、連通路１６ａ、１６ｂ、１６ｃより流出すべき燃料流量を確保することができる。
【０１７５】
なお、上記燃料リーク溝１６ｒは、弁座１６ｄより放射状に延出するように、ガイド孔１６ｇの内壁に形成されている（図示せず）。これにより、上記連通路１６ａ、１６ｂ、１６ｃより流出すべき燃料流量に応じて、複数個（本実施例では、６個）の燃料リーク溝１６ｒを設けることができる。さらに複数個の燃料リーク溝１６ｒを放射状に設けるので、弁座１６ｄから流出し、燃料リーク溝１６ｒを流れる燃料の流体力によって弁部材４１の姿勢が不安定になることを防止できる。
【０１７６】
なお、弁座１６ｄの内周は、段付き内周に形成されており、出口側内周１６ｌ、アウトオリフィス１６ａ、および圧力制御室１６ｃの順に形成されている。
【０１７７】
なお、ここで、バルブアーマチャ４２は、支持部材を構成する。オリフィス部材１６は、弁座を有する弁ボデーを構成する。また、バルブボデー１７は、弁ハウジングを構成する。
【０１７８】
上述の構成を有するインジェクタ２の作動について以下説明する。高圧源であるコモンレール１０４から高圧配管、燃料供給路１１ｂ、燃料送出路１２ｄを介して燃料溜り室１２ｃに高圧燃料が供給されるとともに、燃料供給路１１ｂ、インオリフィス１６ｂを介して油圧制御室８、１６ｃに高圧燃料が供給される。
【０１７９】
コイル６１への非通電時には、バルブアーマチャ４２および弁部材４１は、付勢部材５９の付勢力により弁座１６ｄ側（図８の下方）へ押し当てられ、弁部材４１が弁座１６ｄに着座する。弁部材４１の着座によりアウトオリフィス１６ａが閉塞され、油圧制御室８、１６ｃから弁室１７ｃ、低圧通路１７ｄへの燃料流れが遮断される。
【０１８０】
このとき、油圧制御室８、１６ｃに蓄えられている燃料圧力（以下、背圧）は、コモンレール１０４の内部の燃料圧力（以下、コモンレール圧）と同一の圧力に維持される。油圧制御室８、１６ｃに蓄えられている背圧により制御ピストン３０を介してノズルニードル２０を噴孔閉塞方向へ付勢する作用力（以下、第１作用力）と、スプリング３５の付勢力によりノズルニードル２０を噴孔閉塞方向へ付勢する作用力（以下、第２作用力）との和は、燃料溜り室１２ｃおよび弁座１２ａ近傍のコモンレール圧によりノズルニードル２０が噴孔開放方向に受ける作用力（以下、第３作用力）より大きくなっている。そのため、ノズルニードル２０は弁座１２ａに着座し、噴孔１２ｂが閉塞されている。噴孔１２ｂから燃料は噴射されない。なお、弁座１６ｄに着座している弁部材４１には、閉塞されているアウトオリフィス１６ａ（詳しくは、出口側内周１６ｌ）内の燃料圧力（背圧）が作用している。
【０１８１】
コイル６１への通電が開始されると（以下、インジェクタ２の開時）、コイル６１に電磁力が発生し、固定コア６３とバルブアーマチャ４２の両磁極面間に発生する磁気吸引力により、バルブアーマチャ４２が固定コア６３方向に吸引される。このとき、弁部材４１は、上記アウトオリフィス１６ａの背圧により離座方向に向かう作用力（以下、第４作用力） が働いているので、バルブアーマチャ４２と共に弁部材４１が弁座１６ｄから離座する。その弁部材４１が離座すると、ガイド孔１６ｇに沿って弁部材４１が固定コア６３方向に移動する。
【０１８２】
このとき、バルブアーマチャ４２および弁部材４１の弁座１６ｄからの離座により、アウトオリフィス１６ａを介して油圧制御室８、１６ｃから弁室１７ｃ、低圧通路１７ｄへ流れる燃料流れが発生する。油圧制御室８、１６ｃ内の燃料が低圧側へ開放されるため、油圧制御室８、１６ｃによる背圧が低下する。背圧が低下すると、第１作用力が次第に減少する。そして、ノズルニードル２０の噴孔閉塞方向に作用する第１作用力および第２作用力より、ノズルニードル２０の噴孔開放方向に作用する第３作用力が大きくなると、ノズルニードル２０は弁座１２ａより離座し、図８の上方へリフトする。ノズルニードル２０がリフトすると、噴孔１２ｂは開放され、噴孔１２ｂより燃料が噴射される。
【０１８３】
また、コイル６１への通電が停止されると（以下、インジェクタ２の閉時）、コイル６１の電磁力が消滅するため、付勢部材５９の付勢力によりバルブアーマチャ４２および弁部材４１が弁座１６ｄ方向に移動する。弁部材４１の平面部４１ｂが弁座１６ｄに着座すると、油圧制御室８、１６ｃから弁室１７ｃ、低圧通路１７ｄへの燃料の流出が停止される。そして油圧制御室８、１６ｃによる背圧が増加し、第１作用力および第２作用力が第３作用力に勝るようになると、ノズルニードル２０が図８の下方へ移動し始める。そして、ノズルニードル２０が弁座１２ａに着座すると、燃料噴射が終了する。
【０１８４】
上記構成の実施形態によれば、自身の内部に圧力検出部を配置することが可能となった。そして、上記に加え、更に、以下の効果を奏する。
【０１８５】
薄肉部からなるダイアフラム部１８ｎを、燃料供給路１１ｂから分岐された分岐通路に設けるため、燃料通路近傍のインジェクタ外壁に直接ダイアフラム部１８ｎを設けることに比べて、ダイアフラム部１８ｎの形成が容易になる。また、この結果、ダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になるために厚さバラツキを防止でき、圧力検出精度を向上することができる。
【０１８６】
ダイアフラム部１８ｎは、分岐通路を構成する部分の中で、通路肉厚が最も薄く構成されている部分であるため、圧力変動に伴うダイアフラムの変位を大きくすることができる。
インジェクタボデー（ロアボデー１１とバルブボデー１７）とは別体形成された圧力検出部材８１内にダイアフラム部１８ｎと孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部１８ｎを容易に加工・形成することができる。この結果、更にダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０１８７】
さらに、ダイアフラム部１８ｎを含む圧力検出部材８１を圧力制御室８，１６ｃの一部を構成するオリフィス部材１６と積層させて配置させるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１８８】
圧力検出部材８１を、インジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材で形成するため、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１８９】
分岐通路を燃料供給路１１ｂから圧力制御室８，１６ｃへの通路から分岐させるようにしているため、分岐通路を燃料供給路１１ｂに接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０１９０】
ダイアフラム部１８ｎが、少なくとも歪検出素子の厚さ分、圧力検出部材８１の表面から深い位置に配置されているため、圧力検出部材８１をインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【０１９１】
インジェクタボデー内に配線通路を備えるため、結線の取り回しが簡単になる。また、電磁弁装置７（アクチュエータ）のコイル６１への信号を導入するターミナルピン５１ａと、圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）からの信号を出力するターミナルピン５１ｂとが、共通のコネクタ５０に一体的に形成されているため、外部との接続のための組み付け工程を一度に行うことができる。
【０１９２】
（第７実施形態）
図１２は、本発明の第７実施形態に係るインジェクタ２２を示す断面図である。図１３（ａ）〜（ｃ）は、圧力検出部材の要部を示す部分断面図及び平面図である。以下、本実施形態にかかる燃料噴射装置を図面を参照しつつ説明する。なお、第６実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１９３】
第７実施形態は、第６実施形態で用いた圧力検出部８０に代わり、圧力検出部８５を備えたものである。
【０１９４】
図１２に示されるように、インジェクタ２２は、ノズルニードル２０を軸方向に移動可能に収容するノズルボデー１２と、ノズルニードル２０を閉弁側に付勢する付勢部材としてのスプリング３５を収容するロアボデー１１と、ノズルボデー１２とロアボデー１１との間に挟持された圧力検出部８５と、ノズルボデー１２と圧力検出部８５とロアボデー１１とを所定の締付軸力により締結する締付け部材としてのリテーニングナット１４と、流体制御弁としての電磁弁装置７、を含んで構成されている。
【０１９５】
オリフィス部材１６の入口部１６ｈは、圧力制御室１６ｃと燃料供給路１１ｂから分岐された分岐燃料供給路１１ｇとを連通する位置に配置されている。また、圧力制御室は、オリフィス部材１６の圧力制御室８、１６ｃにより構成されている。
【０１９６】
圧力検出部８５は、図１３（ａ）〜（ｃ）に示すように、好ましくは、インジェクタ２の軸方向つまり制御ピストン３０（及びノズルニードル２０）の延びる方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材（第２の板状部材）で構成される圧力検出部材８６からなり、ノズルボデー１２とロアボデー１１との間に挟持されている。本実施形態では、圧力検出部材８６は平坦面８２を有し、ノズルボデー１２に形成される平坦面と、面同士で液密に直接積層されている。圧力検出部材８６は、ロアボデー１１のノズルボデー１２側端面と略同一形状を有し、略円形に形成されている。圧力検出部材８６は、ノズルボデー１２とロアボデー１１との間に挟持された際に、ロアボデー１１の燃料供給路１１ｂ、制御ピストン３０のニードル部３０ｃの先端部分、位置決め部材９２挿入部の位置が、圧力検出部材８６の検出部連通路１８ｈ、貫通穴１８ｓ、位置決め用貫通穴１８ｔの位置に一致するように形成されている。また、検出部連通路１８ｈの反ロアボデー側は、ノズルボデー１２側の燃料送出路１２ｄに対応した位置に開口している。これにより、圧力検出部材８６の検出部連通穴１８ｈは、燃料供給路１１ｂから燃料送出路１２ｄへの通路の一部を構成している。
【０１９７】
圧力検出部材８６は、更に、ノズルボデー１２側から所定深さと内径を有する溝からなる圧力検出空間１８ｂを備え、その溝底部がダイアフラム部１８ｎを構成している。ダイアフラム部１８ｎの表面には、図１０と図１１で説明した半導体式の圧力センサ１８ｆが接合されている。ダイアフラム部１８ｎは、圧力検出空間１８ｂが形成された側と反対側の圧力検出部材８６の表面から、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きな寸法分を有する深さに位置しており、圧力センサ１８ｆが接合される側の表面は、圧力検出空間１８ｂよりも大径に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎを挟んだ両方の溝の深さ制御により、その製造時にダイアフラム部の厚さが制御される。圧力検出部材８１の平坦面８２には、検出部連通路１８ｈと圧力検出空間１８ｂとを連通する溝部１８ａ（分岐通路）が、圧力検出空間１８ｂよりも浅い深さで形成されている。本実施形態では、溝部１８ａは、制御ピストン３０のニードル部３０ｃの先端部分の挿入部を挟んで、左右に複数（好ましくは２つ）形成されている。よって、燃料供給路１１ｂの燃料を効率良く圧力検出空間１８ｂへ導出することができる。
【０１９８】
第６実施形態同様、ピエゾ抵抗素子を含む圧力センサ１８ｆと低融点ガラスが歪検出素子を構成する。ここで、ダイアフラム部１８ｎは、少なくとも圧力センサ１８ｆと低融点ガラスの厚さ分、圧力検出部材８６の圧力検出空間１８ｂとは反対の表面から深い位置に配置されている。処理基板１８ｄと電気配線１８ｅが更に厚さ方向に配置される場合は、その分の厚さも含めた距離よりも深い位置にダイアフラム部１８ｎの反圧力検出空間１８ｂ表面が配置される。
【０１９９】
本実施形態によっても、第６実施形態と同様な効果を奏することができる。特に、第７実施形態では、第６実施形態に加え、以下の効果がある。
【０２００】
インジェクタボデーとは別体形成された圧力検出部材８６内にダイアフラム部１８ｎと孔部又は溝部１８ａとを有するため、ダイアフラム部１８ｎを容易に加工・形成することができる。この結果、ダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。圧力検出部材８６は、ロアボデー１１とノズルボデー１２との間に積層配置されるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。さらに、ノズルボデー１２近傍の高圧燃料の圧力を検出できるため、実際に噴射されている燃料の圧力変化をタイムラグが少なく検出することができる。
【０２０１】
分岐通路をロアボデー１１とノズルボデー１２との間に積層配置された金属の圧力検出部材８６内に設けているため、分岐通路を燃料供給路１１ｂ、及び燃料送出路１２ｄに接続するための特別な支流路を設ける必要がない。よって、自身の内部に圧力検出部８５が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０２０２】
ダイアフラム部１８ｎが、少なくとも歪検出素子の厚さ分、圧力検出部材８６の表面から深い位置に配置されているため、圧力検出部材８６をインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【０２０３】
（第８実施形態）
本発明の第８実施形態について説明する。図１４は本発明の第８実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの部分断面図、図１５は図１４のインジェクタの概略内部構成を示す模式的な断面図である。図１６は分岐通路の取り付け構造を説明する概略図である。図１７は継手部の拡大断面図、図１８はダイアフラム部の部分断面図、図１９は圧力検出部の組み付け手順を示す断面図である。なお、本実施形態においても、第６実施形態又は第７実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２０４】
第８実施形態は、ロアボデー（インジェクタボデー）１１の内部に組み込まれた圧力検出部８０の代わりに、継手部１１ｆに螺合固定された圧力検出部８７を備えたものである点、電磁弁駆動のアクチュエータに代えて、ピエゾアクチュエータ３０２により制御ピストンを駆動するようにした点で、第６実施形態と異なる。
【０２０５】
以下に、図１４および図１５に基づいて、本実施形態のインジェクタ３２の基本的な構成、作動について説明する。
【０２０６】
インジェクタ３２は、第６実施形態と同様に、ノズルニードル（ニードル）２０を軸方向に移動可能に収容するノズルボデー１２と、ニードル２０を閉弁側に付勢する付勢部材としてのスプリング３５を収容するインジェクタボデー１１と、ノズルボデー１２とインジェクタボデー１１とを所定の締付軸力により締結する締付け部材としてのリテーナ（リテーニングナット）１４と、背圧制御機構３０３を構成するピエゾアクチュエータ（アクチュエータ）３０２と、高圧燃料の圧力を検出する圧力検出部８７とを含んで構成されている。ノズルボデー１２、インジェクタボデー１１、およびリテーナ１４は、ノズルボデー１２とインジェクタボデー１１とをリテーナ１４で締結することでインジェクタのノズル本体を構成している。ニードル２０とノズルボデー１２はノズル部３０１を構成している。
【０２０７】
インジェクタボデー１１には、コモンレール１０４の分岐管に接続される高圧配管（図７参照）が液密に連結する第１の継手部（以下、インレット部）１１ｆと、低圧燃料通路１０６に液密に連結されて燃料を燃料タンク１０２へ戻す第２の継手部（アウトレット部）１１ｔが設けられている。このインレット部１１ｆは、コモンレール１０４から供給された高圧燃料を導入する入口である流体導入部２１と、流体導入部２１から導入された高圧燃料を燃料供給路１１ｂ（第１の流体通路（高圧通路に相当））へ導く燃料導入路１１ｃ（第２の流体通路（高圧通路に相当））とを有し、燃料導入路１１ｃ内部には、バーフィルタ１３が配置されている。
【０２０８】
インジェクタボデー１１の第１の継手部１１ｆには、燃料供給路１１ｂ（第１の流体通路）へ導く燃料導入路１１ｃ（第２の流体通路）が、インジェクタボデー１１の軸方向に対して所定方向に傾斜して形成されている。取り付け性の観点から、燃料導入路１１ｃは軸方向に対して、４５度〜６０度程度の傾斜をもって形成されていることが好ましい。そして、第１の継手部１１ｆは、燃料導入路１１ｃから分岐されてインジェクタボデー１１の軸方向と略平行方向に延出する分岐通路３１８ａを有する。つまり、本実施形態では、分岐通路３１８ａは、図１６（ａ）に示すように、燃料導入路１１ｃを基準に見ると、高圧流体の流れ方向（図中の矢印）に対して、１２０度〜１３５度の折り返し角度を持って燃料導入路１１ｃに接続されている。なお、分岐通路３１８ａは、インジェクタボデー１１の軸方向と略平行方向に延出していることが好ましいが、上記折り返し角度が９０度以上になるように、分岐通路３１８ａの配置方向を変えても良い。
【０２０９】
噴射時と噴射直後において、インジェクタから噴射または排出された燃料分、コモンレール１０４から燃料導入路１１ｃへ燃料が供給される。燃料導入路１１ｃ内は高圧であるため、図１６（ｂ）のように分岐通路３１８ａ’が燃料導入路１１ｃの流体流れ方向に対して９０度より小さな角度、つまり順方向に接続されている場合、燃料導入路１１ｃ内には新規燃料供給中も常に高圧力が印加されることとなり、噴射時と非噴射時の圧力差が小さくなる。しかしながら、折り返し角度を９０度以上とすることで、新規燃料供給中には燃料導入路１１ｃ内の高圧流体の移動によって、分岐通路３１８ａに充填された高圧燃料に対し、燃料導入路１１ｃとの分岐点（接続点）側に向かって吸引力が発生する。この場合、高圧燃料の圧力低下に対して更に吸引力がその圧力低下の変化方向と同方向に重畳される。このため、噴射時と非噴射時の圧力差を大きくすることができる。
【０２１０】
インジェクタボデー１１の第２の継手部１１ｔには、背圧制御機構３０３から排出される低圧燃料を、燃料タンク（図７参照）の低圧配管系内に戻すための低圧燃料通路としての燃料逃がし通路（リーク回収用通路とも呼ぶ）３７が設けられている。
【０２１１】
インジェクタ３２は、開弁時に燃料を噴射するノズル部３０１、電荷の充放電により伸縮するピエゾアクチュエータ３０２、ピエゾアクチュエータ３０２により駆動されてノズル部３０１の背圧を制御する背圧制御機構３０３を備えている。
【０２１２】
ピエゾアクチュエータ３０２は、ステンレス製の円筒状のハウジング３２１内に多数の圧電素子３２２が積層して収納されている。この圧電素子３２２は、２本のリード線３２３を介して図示しない電源に接続されている。このリード線３２３は、リード線３２３よりも剛性が高い保持部材３０８により保持されている。
【０２１３】
保持部材３０８は、リード線３２３の被覆が摩耗するのを抑制するために、金属よりも硬度が低い材料、例えばナイロン等の樹脂よりなる。また、保持部材３０８は、リード線３２３よりも剛性が高くなるように、形状や厚さ等が設定されている。
【０２１４】
リード線３２３の先端は、インジェクタボデー１１における反ノズル側端部、つまり継手部１１ｆよりも上部の端部にその一部が突出した形で延出される。そして、ターミナルピン５１ａ、５１ｂがモールド形成により一体形成されたコネクタハウジング５０をインジェクタボデー１１の上部から装着することで接合される。
【０２１５】
ノズル部３０１は、図１５に示すように、噴孔１２ｂが形成されたノズルボデー１２、ノズルボデー１２の弁座に接離して噴孔１２ｂを開閉するニードル２０、ニードル２０を閉弁向きに付勢するスプリング３５を備えている。
【０２１６】
背圧制御機構３０３のバルブボデー３３１内には、ピエゾアクチュエータ３０２の伸縮に追従して移動するピストン３３２、ピストン３３２をピエゾアクチュエータ３０２側に向かって付勢する皿ばね３３３、ピストン３３２に駆動される球状の弁体４１が収納されている。因みに、図１５ではバルブボデー３３１を１つの部品として図示しているが、実際には複数に分割されている。
【０２１７】
金属製の略円筒状のインジェクタボデー１１は、インジェクタ軸線方向の一端側から他端側まで貫通した収納穴３４１が形成されており、この収納穴３４１にピエゾアクチュエータ３０２および背圧制御機構３０３が収納されている。また、略円筒状のリテーナ１４をインジェクタボデー１１に螺合させることにより、インジェクタボデー１１の端部にノズル部３０１が保持されている。
【０２１８】
ノズルボデー１２、インジェクタボデー１１、およびバルブボデー３３１には、コモンレールから常に高圧燃料が供給される燃料供給路１１ｂ及び燃料送出路１２ｄが形成され、インジェクタボデー１１およびバルブボデー３３１には、燃料逃がし通路（リーク回収用通路とも呼ぶ）３７を介して、燃料タンク（図７参照）に接続される低圧通路１７ｄが形成されている。
【０２１９】
ニードル２０における噴孔１２ｂ側の外周面とノズルボデー１２の内周面との間には、燃料溜り室（高圧室）１２ｃが形成されている。この高圧室１２ｃは、ニードル２０が開弁方向に変位した際に噴孔１２ｂと連通する。また、高圧室１２ｃには、燃料供給路１１ｂを介して常に高圧燃料が供給されている。ニードル２０における反噴孔側には圧力制御室としての背圧室８が形成されている。この背圧室８には前述したスプリング３５が配置されている。
【０２２０】
バルブボデー３３１には、バルブボデー３３１内の燃料供給路１１ｂとノズル部３０１の背圧室８とを連通させる経路中に高圧シート面３３５が形成され、バルブボデー３３１内の低圧通路１７ｄとノズル部３０１の背圧室８とを連通させる経路中に低圧シート面３３６が形成されている。そして、高圧シート面３３５と低圧シート面３３６との間に前述した弁体４１が配置されている。
【０２２１】
図１４に示すように、インジェクタボデー１１の収納穴３４１は、円柱形状の３つの収納穴３４１ａ〜３４１ｃからなる。第１収納穴３４１ａは、一端がインジェクタボデー１１におけるノズル側の端面に開口し、インジェクタボデー１１のノズル側端面からインジェクタボデー１１における反ノズル側に向かって延びている。第２収納穴３４１ｂは、第１収納穴３４１ａよりも小径であり、第１収納穴３４１ａにおける反ノズル側端部から、インジェクタボデー１１における反ノズル側に向かって延びている。また、第１収納穴３４１ａと第２収納穴３４１ｂは、同軸に配置されている。第３収納穴３４１ｃは、第１収納穴３４１ａおよび第２収納穴３４１ｂに対して偏心して設けられ、一端がインジェクタボデー１１における反ノズル側の端面に開口し、他端が第２収納穴３４１ｂに接続されている。
【０２２２】
そして、第１収納穴３４１ａにピエゾアクチュエータ３０２が収納され、第２収納穴３４１ｂおよび第３収納穴３４１ｃに、リード線３２３および保持部材３０８が収納されている。また、ピエゾアクチュエータ３０２のハウジング３２１に形成されたテーパ状の座面３２５が、第１収納穴３４１ａと第２収納穴３４１ｂの段付き部３４１ｄに当接して、ピエゾアクチュエータ３０２がインジェクタボデー１１に位置決め固定されている。
【０２２３】
上記構成において、ピエゾアクチュエータ３０２が縮んだ状態では、図１５に示すように弁体４１が低圧シート面３３６に接して背圧室８は燃料供給路１１ｂと接続され、背圧室８には高圧の燃料圧が導入される。そして、この背圧室８内の燃料圧とスプリング３５とによってニードル２０が閉弁向きに付勢されて噴孔１２ｂが閉じられている。
【０２２４】
一方、ピエゾアクチュエータ３０２に電圧が印加されてピエゾアクチュエータ３０２が伸びた状態では、弁体４１が高圧シート面３３５に接して背圧室８は低圧通路１７ｄと接続され、背圧室８内は低圧になる。そして、高圧室１２ｃ内の燃料圧によってニードル２０が開弁向きに付勢されて噴孔１２ｂが開かれ、この噴孔１２ｂから内燃機関の気筒内へ燃料が噴射される。
【０２２５】
以下に、圧力検出部８７の構成を図１７〜図１９を用いて説明する。図１７は、本実施形態における圧力検出部８７を示す断面図である。図１８は、図１７の点線で囲んだＡ部（センサチップと金属ステムの断面を含む）を拡大して示す斜視図である。
【０２２６】
ハウジング４１０は、上記分岐通路３１８ａに直接取り付けられるものであり、その外周面には該取付用のネジ４１１が形成されている。また、ハウジング４１０の内部には、圧力導入通路４１２が形成されており、この圧力導入通路４１２は、ハウジング４１０が上記燃料導入路１１ｃに取り付けられた状態で連通し、一端側（図１７中の下方側）から圧力が導入されるようになっている。
【０２２７】
ここで、ハウジング４１０の材質としては、耐食性と高強度を合わせもつ炭素鋼（例えばＳ１５Ｃ等）に耐食性を上げるＺｎめっきを施したものや、耐食性を有するＸＭ７、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ６３０等を採用することができる。
【０２２８】
金属ステム４２０は中空段付円筒形状を成す金属からなり、一端側に薄肉状をなす圧力検出用のダイアフラム部１８ｎを有し、他端側にこのダイアフラム部１８ｎへ圧力を導くための圧力検出空間３１８ｂを有する。また、金属ステム４２０の外周面のうち軸方向の途中部位には、テーパ状に拡径した段部４２３が形成されており、この段部４２３を介して、金属ステム４２０の他端側（圧力検出空間３１８ｂ側）は、一端側（ダイアフラム部１８ｎ側）に比べて外周径が大きくなっている。
【０２２９】
ここで、上記ハウジング４１０の圧力導入通路４１２は、金属ステム４２０の外形に対応した形状を有する段付内孔であり、その一端側（圧力導入側）の内径が大径部となっている。そして、圧力導入通路４１２の内面には、金属ステム４２０の段部４２３に対応したテーパ形状の座面４１３が形成されている。
【０２３０】
また、金属ステム４２０の大径部の外周面には、雄ネジ部４２４が形成されており、一方、ハウジング４１０の圧力導入通路４１２の内周面には、雄ネジ部４２４と対応した雌ネジ部４１４が形成されている。そして、金属ステム４２０は、その他端側（圧力検出空間３１８ｂ側）が圧力導入通路４１２の一端側に位置するように圧力導入通路４１２内に挿入され、雄ネジ部４２４と雌ネジ部４１４とがネジ結合することによって、金属ステム４２０はハウジング４１０に固定されている。
【０２３１】
ここで、上記ネジ結合の軸力により、金属ステム４２０の外周面における段部４２３が、ハウジング４１０の圧力導入通路４１２の内面に形成された座面４１３に対して、金属ステム４２０の他端側から一端側へ向かって押し付けられシールされている。こうして、金属ステム４２０の圧力検出空間３１８ｂが圧力導入通路４１２と連通した状態となり、互いに密着する段部４２３と座面４１３とがシール部Ｋを形成することにより、該圧力検出空間３１８ｂと圧力導入通路４１２の連通部のシール性が確保されている。
【０２３２】
また、金属ステム４２０のダイアフラム部１８ｎの外面には、図１８に示す様に、単結晶Ｓｉ（シリコン）からなる圧力センサチップ１８ｆが、低融点ガラス４４０により接合されている。この圧力センサチップ１８ｆは、圧力検出空間３１８ｂから金属ステム４２０内部に導入された圧力をダイアフラム部１８ｎへ導き、当該圧力によってダイアフラム部１８ｎが変形したときに発生する歪みを検出する歪みゲージとして機能するものである。
【０２３３】
金属ステム４２０の材料には、超高圧を受けることから高強度であること、及び、Ｓｉからなる圧力センサチップ１８ｆをガラス４４０により接合するため低熱膨張係数であること、が求められ、具体的には、Ｆｅ、Ｎｉ、ＣｏまたはＦｅ、Ｎｉを主体とし、析出強化材料としてＴｉ、Ｎｂ、Ａｌまたは、Ｔｉ、Ｎｂが加えられた材料を選定し、プレス、切削や冷間鍛造等により形成できる。
【０２３４】
また、ハウジング４１０における圧力導入通路４１２の他端側からは、金属ステム４２０のダイアフラム部１８ｎが突出しており、このダイアフラム部１８ｎの外周には、セラミック基板４５０がハウジング４１０に接着等により配設されている。該基板４５０には、圧力センサチップ１８ｆの出力を増幅するアンプＩＣチップ１８ｄ及び特性調整ＩＣチップ１８ｄが接着剤にて固定されている。この特性調整ＩＣチップ１８ｄ内には、圧力検出感度データだけでなく、インジェクタの噴射特性データも記憶された不揮発性メモリが含まれている。
【０２３５】
これらＩＣチップ１８ｄは、ワイヤボンディングにより形成されたアルミニウムの細線４５４によって、セラミック基板４５０の導体（配線部）と接続されている。また、ターミナルピン５１ｂへ電気的接続するためのピン５１ｂ１が銀ろうにてセラミック基板４５０の上記導体と接合されている。
【０２３６】
ピン５１ｂ１が樹脂４６４にインサート成形により構成されたアッシーであるコネクタターミナル４６０とセラミック基板４５０とは、ピン５１ｂ１とピン４５６とのレーザ溶接により接合されている。また、ピン５１ｂ１は、コネクタ５０とハウジング４１０との間に固定保持される。また、ピン５１ｂ１はコネクタ５０のターミナルピン５１ｂに接続され、インジェクタ用のターミナルピン５１ａとともに、１つのハーネス（配線部材）により自動車のＥＣＵ等へ電気的に接続可能となっている。
【０２３７】
コネクタホルダ４７０は、ターミナルピン５１ｂの外形を成すもので、Ｏリング４８０を介して組付けられたハウジング４１０と一体化してパッケージを構成し、該パッケージ内部の圧力センサチップ１８ｆ、各種ＩＣ、電気的接続部を湿気・機械的外力より保護するものである。コネクタホルダ４７０の材質は、加水分解性の高いＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等を採用できる。
【０２３８】
かかる構成を有する圧力検出部８７の組付方法について、図１９を参照して述べる。図１９は、上記図１７に対応した断面にて、組付前の各部品の分解状態を示す図であり、基本的には、各部品が図１９中の一点鎖線に沿って組み付けられるようになっている。
【０２３９】
まず、圧力センサチップ１８ｆがガラス４４０で接合されている状態の金属ステム４２０を、その一端側（ダイアフラム部１８ｎ側）から、ハウジング４１０の圧力導入通路４１２の一端側（圧力導入側）へ挿入する。そして、金属ステム４２０を軸回りに回転させながら挿入していき、雄ネジ部４２４と雌ネジ部４１４とをネジ結合させる。
【０２４０】
こうして、ネジ結合の軸力により、金属ステム４２０の段部４２３とハウジング４１０の座面４１３とが密着してシールされ、金属ステム４２０の圧力検出空間３１８ｂとハウジング４１０の圧力導入通路４１２との連通部のシール性が確保される。
【０２４１】
次に、チップ１８ｄ及びピン４５６が搭載されたセラミック基板４５０を、接着剤等にて、ハウジング４１０における圧力導入通路４１２の他端側の部位に固定する。そして、ワイヤボンディングを行うことにより、圧力センサチップ１８ｆとセラミック基板４５０の導体（配線部）とを上記細線４５４にて電気的に接続する。
【０２４２】
次に、ターミナルピン５１ｂ１とピン４５６とをレーザ溶接（ＹＡＧレーザ溶接等）にて接合する。次に、Ｏリング４８０を介して、コネクタホルダ４７０をハウジング４１０に組み付け、ハウジング４１０の端部をかしめることにより、コネクタホルダ４７０とハウジング４１０とを固定する。こうして、上記図１７に示す圧力検出部８７が完成する。
【０２４３】
かかる圧力検出部８７は、ハウジング４１０のネジ４１１をインジェクタボデーの継手部１１ｆに形成された雌ネジ部に直接螺号によって取り付けられる。そして、分岐通路３１８ａ内の燃料圧（圧力媒体）が、圧力導入通路４１２の一端側から導入され、金属ステム４２０の圧力検出空間３１８ｂから金属ステム４２０の内部（圧力検出空間３１８ｂ）へ導かれたときに、その圧力によってダイアフラム部１８ｎが変形する。
【０２４４】
このダイアフラム部１８ｎの変形を圧力センサチップ１８ｆにより電気信号に変換し、この信号をセンサの処理回路部を構成するセラミック基板４５０等にて処理し、圧力検出を行う。そして、検出された圧力（燃料圧）に基づいて、上記ＥＣＵ等により燃料噴射制御がなされる。
【０２４５】
上記構成の本実施形態によれば、第６実施形態と同様に、以下の効果を奏する。
【０２４６】
薄肉部からなるダイアフラム部１８ｎを、燃料導入路１１ｃから分岐された分岐通路に設けるため、燃料通路近傍のインジェクタ外壁に直接ダイアフラム部１８ｎを設けることに比べて、ダイアフラム部１８ｎの形成が容易になる。また、この結果、ダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０２４７】
ダイアフラム部１８ｎは、分岐通路を構成する部分の中で、通路肉厚が最も薄く構成されている部分であるため、圧力変動に伴うダイアフラムの変位を大きくすることができる。
【０２４８】
インジェクタボデー１１とは別体形成された圧力検出部８７を用いており、その中にダイアフラム部１８ｎと孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部１８ｎを容易に加工・形成することができる。この結果、更にダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０２４９】
ピエゾアクチュエータへの信号を導入するターミナルピン５１ａと、圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）からの信号を出力するターミナルピン５１ｂとが、共通のコネクタ５０に一体的に形成されているため、外部との接続のための組み付け工程を一度に行うことができる。
【０２５０】
更に、本実施形態では、継手部１１ｆの外壁から燃料導入路１１ｃに到達するとともに、圧力検出部８７のハウジングと対応した結合手段（本実施形態の場合は、ハウジング側の雄ネジ部と継手部１１ｆ側の雌ネジ部からなる螺着手段）を有するため、圧力検出部８７を容易にインジェクタ３２へ取り付けることができる。また、螺着手段であるため、圧力検出部８７を容易に交換することもできる。
【０２５１】
分岐通路３１８ａは、図１６（ａ）に示すように、燃料導入路１１ｃを基準に見ると、高圧流体の流れ方向（図中の矢印）に対して、１２０度〜１３５度の折り返し角度を持って燃料導入路１１ｃに接続されている。これにより、新規燃料供給中には燃料導入路１１ｃ内の高圧流体の移動によって、分岐通路３１８ａ’に充填された高圧燃料に対し、分岐通路３１８ａ内の高圧流体に流体通路との分岐点側に向かって吸引力が発生する。この場合、高圧燃料の圧力低下に対して更に吸引力がその圧力低下の変化方向と同方向に重畳される。このため、噴射時と非噴射時の圧力差を大きくすることができる。
【０２５２】
分岐通路３１８ａが、インジェクタボデー１１の軸方向と略平行方向に延出しているため、圧力検出部８７が、インジェクタボデー１１の径方向において継手部１１ｆ以上に突出することを防止できる。つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０２５３】
（第９実施形態）
本発明の第９実施形態について説明する。図２０（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ），（ｄ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｅ）はインジェクタボデーに組み付けた際の制御ピストンと圧力検出部材との位置関係を示す断面図である。なお、第６〜第８実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２５４】
第９実施形態は、圧力検出部８０として、第６実施形態で用いた圧力検出部材８１の代わりに、図２０（ｃ），（ｄ）で示すような圧力検出部材８１Ａを用いたものであり、その他の構成・機能・効果は、同図（ａ），（ｂ）に示す本実施形態のオリフィス部材１６も含め、第６実施形態と同様である。
【０２５５】
図２０（ｃ），（ｄ）に示すように、本実施形態の圧力検出部材８１Ａは、インジェクタボデー（ロアボデー１１とバルブボデー１７）とは別体的に（別々に）形成された圧力検出部材８１Ａからなる。圧力検出部材８１Ａは、好ましくは、インジェクタ２の軸方向つまり制御ピストン３０の延びる方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材（第２部材）で構成され、ロアボデー１１内において、オリフィス部材１６と直接又は間接的に積層されて、ロアボデー１１及びノズルボデー１２に対して一体的に保持されている。
【０２５６】
本実施形態では、圧力検出部材８１Ａは平坦面８２を有し、オリフィス部材１６の噴孔側の平坦面１６２と、面同士で液密に直接積層されている。圧力検出部材８１Ａとオリフィス部材１６は、略同一の外形を有し、両者を重ね合わせた際に、オリフィス部材１６の入口部１６ｈ、貫通穴１６ｐ、圧力制御室１６ｃの位置が、圧力検出部材８１の検出部連通路１８ｈ、貫通穴１８ｐ、圧力制御室１８ｃの位置に夫々一致するように形成されている。また、検出部連通路１８ｈの反オリフィス部材側は、燃料供給路１１ｂから分岐した分岐燃料供給路１１ｇに対応した位置に開口している。これにより、圧力検出部材８１の貫通孔１８ｈは、燃料供給路１１ｂから圧力制御室１６ｃ、１８ｃへの通路の一部を構成している。
【０２５７】
圧力検出部材８１Ａは、更に、オリフィス部材１６側から所定深さと内径を有する溝からなる圧力検出空間１８ｂを備え、その溝底部がダイアフラム部１８ｎを構成している。ダイアフラム部１８ｎの、圧力検出空間１８ｂとは反対側の表面には、図１０で示したような半導体式の圧力センサ１８ｆが一体的に貼り合され、接合されている。
【０２５８】
ダイアフラム部１８ｎは、圧力検出空間１８ｂの反対側表面から、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きな寸法分を有する深さに位置しており、圧力センサ１８ｆが接合される側の表面は、圧力検出空間１８ｂよりも大径に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎを挟んだ両方の溝の深さ制御により、その製造時にダイアフラム部１８ｎの厚さが制御される。圧力検出部材８１Ａの平坦面８２には、圧力検出部材８１Ａ内の圧力制御室１８ｃと圧力検出空間１８ｂとを連通する溝部１８ａ（分岐通路）が、圧力検出空間１８ｂよりも浅い深さで形成されている。溝部１８ａは圧力検出部材８１Ａがオリフィス部材１６と液密に面接触することで、オリフィス部材１６の平坦面１６２を壁の一部とする合成通路（分岐通路）を形成する。これにより、溝部１８ａ（分岐通路）は、貫通孔１８ｈとは異なる位置にて、圧力制御室１６ｃ，１８ｃに対して一部が接続され、他部がダイアフラム部１８ｎに接続されている。これにより、ダイアフラム部１８ｎは圧力検出空間１８ｂに導入された高圧燃料の作用する圧力により歪むことが可能となる。
【０２５９】
ここで、ダイアフラム部１８ｎは、溝部１８ａとオリフィス部材１６との間で形成される合成通路と圧力検出空間１８ｂを含めた分岐通路のうちで、その通路肉厚が最も薄く構成されている。合成通路の通路肉厚は合成通路の内壁から見た圧力検出部材８１Ａ及びオリフィス部材１６の厚さを言う。
【０２６０】
図２０（ｅ）に示すように、制御ピストン３０の端部外壁（上端部）３０ｐ、オリフィス部材１６、及び圧力検出部材８１Ａによって圧力制御室１６ｃ、１８ｃが形成されている。端部外壁３０ｐは、噴孔１２ｂの開弁時に、溝部１８ａの下端部位置と同位置かそれよりも噴孔１２ｂ側に所定距離（Ｌ）だけ位置ずれして配置されている。つまり、噴孔１２ｂの開弁時（制御ピストン３０が弁部材４１側へリフトアップされた状態）に、端部外壁３０ｐが圧力検出部材８１Ａの圧力制御室１８ｃ部分に収納される。
【０２６１】
開弁時に制御ピストン３０の端部外壁３０ｐが溝部１８ａよりも反噴孔１２ｂ側にある場合、制御ピストン３０が溝部１８ａを覆ってしまう場合が生じる。この場合、圧力センサが圧力制御室１６ｃ、１８ｃ内の圧力変化を検出できるのは、圧力制御室１６ｃ、１８ｃ内の圧力が上昇して制御ピストン３０が閉弁方向に移動して溝部１８ａが開放された後となるため、検出までの時間的なロスが生じる。しかしながら、本実施形態では、端部外壁３０ｐが上記位置関係となっているため、噴孔１２ｂの開弁時にも分岐通路を常に圧力制御室と連通した状態にできる。なお、言うまでも無いが、閉弁時には制御ピストン３０は噴孔側に戻るので、端部外壁３０ｐは所定距離（Ｌ）＋リフト量分だけ、溝部１８ａよりも噴孔１２ｂ側に位置する。この際、閉弁時にも、端部外壁３０ｐが圧力検出部材８１Ａの圧力制御室１８ｃ部分に収納されるように配置されることが好ましい。これにより、圧力検出部材８１Ａとロアボデー１１との接触面付近を端部外壁３０ｐが通過する際に発生する可能性のある「引っかかり」を防止できる。
【０２６２】
上記構成の本実施形態では、オリフィス部材１６内に形成された空間１６ｃと圧力検出部材８１Ａ内に形成された空間１８ｃとで圧力制御室１６ｃ、１８ｃが形成される。動作時においては、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内部に高圧燃料の一部が供給され、充填されることで圧力制御室１６ｃ、１８ｃにノズルニードル２０を閉弁方向に付勢する力が生じ、噴孔１２ｂが閉弁される。これにより噴射が停止状態となる。一方、圧力制御室１６ｃ、１８ｃに充填された高圧燃料を排出することで、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内部に生じている力が低下し、ノズルニードルが開弁する。これにより噴孔からの噴射が開始される。つまり、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内部に発生している内部圧力の変化のタイミングは、噴孔からの噴射タイミングと略一致していると言える。
【０２６３】
従って、本実施形態においては、圧力制御室１６ｃ、１８ｃに溝部１８ａを介してダイアフラム部１８ｎを間接的に接続し、そのダイアフラム部１８ｎの変位を圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）により検出しているため、実際に噴孔１２ｂから噴射するタイミングも精度良く検出することができる。例えば、コモンレールシステムにおいて、各インジェクタから実際に噴射されている噴射量を検出したい場合、インジェクタボデー内の高圧燃料の圧力変化とその変化タイミングを計算することが考えられる。この場合においても、本実施形態においては、圧力制御室１６ｃ、１８ｃ内部の圧力変化を検出しているため、その圧力変化量（圧力の絶対値、又は圧力の変動量）だけでなく、その変化タイミングも精度良く（タイムラグが少なく）検出することができる。
【０２６４】
圧力検出部材８１Ａは、第６実施形態のようなＦｉ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金であるコバール等により構成されていても良いが、本実施形態では、金属ガラスを用いて構成されている。金属ガラスは、結晶構造を持たないガラス状のアモルファス金属材料であり、低ヤング率であるため、圧力検出の感度を向上させることができる。例えば、Ｆｅ系：｛Ｆｅ−（Ａｌ、Ｇａ）−（Ｐ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ）｝や、Ｎｉ系：｛Ｎｉ−（Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂ）−Ｂ｝やＴｉ系：｛Ｔｉ−Ｚｒ−Ｎｉ−Ｃｕ｝やＺｒ系：Ｚｒ−Ａｌ−ＴＭ（ＴＭ：ＶＩ〜ＶＩＩＩ族遷移金属）の金属ガラスを用いることができる。
【０２６５】
その一方で、オリフィス部材１６は、高流速の高圧燃料を内部で流通させ、また弁部材４１との接触を繰り返すため、硬度が高い方が好ましい。つまり、圧力検出部材８１Ａを構成する材料よりもオリフィス部材１６を構成する材料の硬度が高いことが好ましい。
【０２６６】
本実施形態では、溝部１８ａ（分岐通路）は圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内壁のうち、インオリフィス１６ｂとアウトオリフィス１６ａとは異なる（離間した）位置に形成されている。つまり、インオリフィス１６ｂからアウトオリフィス１６ａへの高圧燃料の流れ経路とは異なる位置である圧力検出部材８１Ａ側に形成されている。インオリフィス１６ｂ及びアウトオリフィス１６ａの内部及びその開口部付近は、高圧燃料の流れが速いため、圧力の変化が定常的になるまでにタイムラグが生じる。しかしながら、上記構成を採ることにより、圧力制御室１６ｃ、１８ｃ内における流れの定常的な領域の圧力の変化を検出することができる。
【０２６７】
なお、図示しないが、図９（ｅ）に示した変形例同様、図２０（ｃ）の溝部１８ａに代えて、圧力検出部材８１Ａの圧力制御室１８ｃから圧力検出空間１８ｂに連結するように傾斜して設けられた孔部としても良い。
【０２６８】
上記構成の実施形態によれば、自身の内部に圧力検出部を配置することが可能となった。そして、上記に加え、第６実施形態同様、以下の効果を奏する。
【０２６９】
薄肉部からなるダイアフラム部１８ｎを、燃料供給路１１ｂから分岐された分岐通路に設けるため、燃料通路近傍のインジェクタ外壁に直接ダイアフラム部１８ｎを設けることに比べて、ダイアフラム部１８ｎの形成が容易になる。また、この結果、ダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になるために厚さバラツキを防止でき、圧力検出精度を向上することができる。
【０２７０】
ダイアフラム部１８ｎは、分岐通路を構成する部分の中で、通路肉厚が最も薄く構成されている部分であるため、圧力変動に伴うダイアフラムの変位を大きくすることができる。
【０２７１】
インジェクタボデー（ロアボデー１１とバルブボデー１７）とは別体形成された圧力検出部材８１Ａ内にダイアフラム部１８ｎと孔部又は溝部とを有するため、ダイアフラム部１８ｎを容易に加工・形成することができる。この結果、更にダイアフラム部１８ｎの厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０２７２】
さらに、ダイアフラム部１８ｎを含む圧力検出部材８１Ａを圧力制御室１６ｃ、１８ｃの一部を構成するオリフィス部材１６と積層させて配置させるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０２７３】
圧力検出部材８１Ａを、インジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材で形成するため、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０２７４】
分岐通路を燃料供給路１１ｂから圧力制御室１６ｃ、１８ｃへの通路から分岐させるようにしているため、分岐通路を燃料供給路１１ｂに接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、自身の内部に圧力検出部８０が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０２７５】
ダイアフラム部１８ｎが、少なくとも歪検出素子の厚さ分、圧力検出部材８１Ａの表面から深い位置に配置されているため、圧力検出部材８１Ａをインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【０２７６】
インジェクタボデー内に配線通路を備えるため、結線の取り回しが簡単になる。また、電磁弁装置７（アクチュエータ）のコイル６１への信号を導入するターミナルピン５１ａと、圧力センサ１８ｆ（変位検出手段）からの信号を出力するターミナルピン５１ｂとが、共通のコネクタ５０に一体的に形成されているため、外部との接続のための組み付け工程を一度に行うことができる。
【０２７７】
（第１０実施形態）
本発明の第１０実施形態について説明する。図２１（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ），（ｄ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｅ）はインジェクタボデーに組み付けた際の制御ピストンと圧力検出部材との位置関係を示す断面図である。なお、第６〜第９実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２７８】
第１０実施形態は、圧力検出部８０として、第９実施形態で用いた圧力検出部材８１Ａの代わりに、図２１（ｃ），（ｄ）で示すような圧力検出部材８１Ｂを用いたものであり、その他の構成・機能・効果は、同図（ａ），（ｂ）に示す本実施形態のオリフィス部材１６も含め、第６実施形態と同様である。
【０２７９】
図２１（ｃ），（ｄ）に示すように、本実施形態の圧力検出部材８１Ｂも、インジェクタボデーとは別体的に形成されている。この圧力検出部材８１Ｂは、インジェクタ２の軸方向に対して、略垂直方向に配置される金属性の板状部材（第２部材）で構成され、ロアボデー１１内において、オリフィス部材１６と積層されて、ロアボデー１１に一体的に保持されている。
【０２８０】
また、本実施形態でも、圧力検出部材８１Ｂは平坦面８２を有し、オリフィス部材１６の噴孔側の平坦面１６２と、面同士で液密に直接積層されている。圧力検出部材８１Ｂとオリフィス部材１６は、略同一の外形を有し、両者を重ね合わせた際に、オリフィス部材１６の入口部１６ｈ、貫通穴１６ｐ、圧力制御室１６ｃの位置が、圧力検出部材８１Ｂの検出部連通路１８ｈ、貫通穴１８ｐ、圧力制御室１８ｃの位置に夫々一致するように形成されている。また、検出部連通路１８ｈの反オリフィス部材側は、燃料供給路１１ｂから分岐した分岐燃料供給路１１ｇに対応した位置に開口している。
【０２８１】
ただし、本実施形態における圧力検出部材８１Ｂは、第９実施形態における圧力検出部材８１Ａと異なり、ダイアフラム部１８ｎが圧力制御室１８ｃに直接設けられた薄肉部からなる。より具体的には、ダイアフラム部（薄肉部）１８ｎは、圧力制御室１８ｃの内壁に直接設けられた凹部（圧力検出空間）１８ｂと、圧力検出部材８１Ｂの外部側壁から圧力制御室１８ｃに向かって形成された窪み部１８ｇとの間に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎの、圧力制御室１８ｃとは反対側の窪み部１８ｇの底面に、図１０で示したような半導体式の圧力センサ１８ｆが一体的に貼り合され、接合されている。
【０２８２】
窪み部１８ｇの深さは、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きく、また、窪み部１８ｇは、圧力制御室１８ｃに設けられた凹部１８ｂよりも大径に形成されている。そして、凹部１８ｂ及び窪み部１８ｇを形成する際の深さ制御により、ダイアフラム部１８ｎの厚さが制御される。
【０２８３】
このように、本実施形態では、ダイアフラム部１８ｎを、圧力制御室１８ｃを構成する内壁の一部に設けられた薄肉部により構成した。これにより、上述した第１０実施形態と同様の作用効果を奏することができる。すなわち、圧力制御室１８ｃ内部の圧力変動を圧力センサ１８ｆによってタイムラグなく検出することができる。
【０２８４】
また、本実施形態においても、図２１（ｅ）に示すように、制御ピストン３０の端部外壁（上端部）３０ｐは、噴孔１２ｂの開弁時に、凹部１８ｂの下端部位置と同位置かそれよりも噴孔１２ｂ側に所定距離（Ｌ）だけ位置ずれするように配置されている。これにより、噴孔１２ｂの開弁時にも、圧力制御室１８ｃに導入された高圧燃料による圧力が、何ら障害なく、圧力制御室１８ｃの内壁に設けられた凹部１８ｂに作用する。このため、圧力センサ１８ｆにより、圧力制御室１８ｃ内の高圧燃料の圧力を精度良く検出することができる。
【０２８５】
さらに、本実施形態においても、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内壁の一部にダイアフラム部１８ｎとして機能する薄肉部を設け、そのダイアフラム部１８ｎの変位を圧力センサ１８ｆにより検出しているため、実際に噴孔１２ｂから燃料を噴射するタイミングも精度良く検出することができる。
【０２８６】
また、本実施形態では、圧力制御室１６ｃ、１８ｃの内壁の一部にダイアフラム部１８ｎを設けており、その位置は、インオリフィス１６ｂとアウトオリフィス１６ａから離間している。このため、インオリフィス１６ｂ及びアウトオリフィス１６ａの内部及びその開口部付近における、流れの速い高圧燃料の影響を受けにくくすることができ、圧力制御室１６ｃ、１８ｃ内における流れの定常的な領域の圧力の変化を検出することができる。
【０２８７】
その他の作用効果は、第１０実施形態と同様であるため、説明を省略する。なお、本実施形態においても、圧力検出部材８１Ｂを、金属ガラスを用いて形成しても良い。
【０２８８】
なお、本実施形態では、噴孔１２ｂへ高圧燃料を流通させる「高圧通路」「流体通路」は、燃料導入路１１ｃ、燃料供給路１１ｂ及び燃料送出路１２ｄから構成される。そして、当該高圧通路（流体通路）から分岐して圧力検出部８０へ高圧燃料を導入する「分岐通路」は、分岐燃料供給路１１ｇ、検出部連通路１８ｈ、入口部１６ｈ及びインオリフィス１６ｂから構成される。つまり、本実施形態にかかる分岐通路は、高圧燃料を導入する入口である流体導入部２１から噴孔１２ｂへ向かう通路から分岐して、圧力制御室１６ｃへと燃料を導く通路のことである。
【０２８９】
（第１１実施形態）
本発明の第１１実施形態について説明する。図２２（ａ），（ｂ）は本発明の第１１実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの流体制御弁（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図及び平面図であり、同図（ｃ）はインジェクタボデーに組み付けた際の制御ピストンと圧力検出部材との位置関係を示す断面図である。なお、第６〜第１０実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０２９０】
前述の第６〜第１０実施形態では、高圧燃料の圧力を検出するための圧力検出部８０，８５，８７が、オリフィス部材１６とは別個の圧力検出部材８１，８１Ａ，８１Ｂ，８６に設けられていた。それに対して、本実施形態においては、圧力検出部８０として機能する構成をオリフィス部材１６Ａに組み込んだものである。
【０２９１】
以下、本実施形態におけるオリフィス部材１６Ａの具体的な構成を、図面を参照しつつ説明する。図２２（ａ），（ｂ）に示すように、本実施形態によるオリフィス部材１６Ａは，インジェクタ２の軸方向に対して、略垂直方向に配置された金属性の板状部材から構成されている。このオリフィス部材１６Ａは、インジェクタボデーを構成するロアボデー１１及びノズルボデー１２とは別体的に形成され、その形成後、ロアボデー１１に組み付けられて一体的に保持される。
【０２９２】
オリフィス部材１６Ａには、第６実施形態におけるオリフィス部材１６と同様に、平坦面１６２に開口して燃料を導入する入口部１６ｈ、インオリフィス１６ｂ、アウトオリフィス１６ａ、圧力制御室１６ｃ、弁座１６ｄ、及び燃料リーク溝１６ｒ等が形成されている。それらの機能は、第６実施形態におけるオリフィス部材１６の該当する構成と同様である。
【０２９３】
ただし、本実施形態では、オリフィス部材１６Ａが、オリフィス部材１６Ａの反弁体部４１側の平坦面１６２に形成された溝部又は孔部からなる圧力検出空間１８ｂと、同様に平坦面１６２に形成されて、圧力検出空間１８ｂと圧力制御室１６ｃとを接続する溝部１８ａとを備える。
【０２９４】
また、オリフィス部材１６Ａのバルブボデー側端面１６１における、圧力検出空間１８ｂの形成位置に対応する位置に、半導体式の圧力センサ１８ｆを設置するための窪み部１８ｇが形成されている。従って、本実施形態では、オリフィス部材１６Ａの、圧力検出空間１８ｂと圧力センサ１８ｆを設置するための窪み部１８ｇとによって挟まれた部分が、高圧燃料によって歪むダイアフラム部１８ｎとなる。なお、図２２（ａ）などに示すように、バルブボデー１７の内部に、圧力センサ１８ｆからの信号線である電気配線をコネクタ５０まで導出するための配線通路が形成されており、その配線通路の開口部が圧力センサ１８ｆが配置された窪み部１８ｇに対応した位置に開口している。
【０２９５】
ダイアフラム部１８ｎの圧力検出空間１８ｂとは反対側表面（すなわち、窪み部１８ｇの底面）は、オリフィス部材１６Ａのバルブボデー側端面１６１から、少なくとも圧力センサ１８ｆの厚さよりも大きな寸法分を有する深さに位置し、圧力検出空間１８ｂ側の表面よりも大径に形成されている。そして、ダイアフラム部１８ｎを挟んだ両方の溝の深さ制御により、その製造時にダイアフラム部１８ｎの厚さが制御される。
【０２９６】
オリフィス部材１６Ａの反弁体部４１側の平坦面１６２には、上述したように、圧力制御室１６ｃと圧力検出空間１８ｂとを連通する溝部１８ａが、圧力検出空間１８ｂよりも浅い深さで形成されている。本実施形態におけるオリフィス部材１６Ａは、圧力検出部材ではなく、ロアボデー１１と面接触される。その面接触時に、溝部１８ａは、ロアボデー１１の上端面を一部とする合成通路（分岐通路）を形成する。これにより、溝部１８ａ（分岐通路）を介して、圧力制御室１６ｃ内に導入された高圧燃料が、圧力検出空間１８ｂにも流入することができるようになる。
【０２９７】
なお、オリフィス部材１６Ａがロアボデー１１に重ね合わせられた際、オリフィス部材１６Ａの入口部１６ｈ、貫通穴１６ｐ、及び圧力制御室１６ｃの位置が、ロアボデー１１の燃料供給路１１ｂから分岐した分岐燃料供給路１１ｇ、有底孔（図示せず）、及び圧力制御室８の位置に夫々一致する。これにより、オリフィス部材１６Ａの入口部１６ｈ及びインオリフィス１６ｂは、燃料供給路１１ｂから圧力制御室１６ｃへの通路の一部を構成する。
【０２９８】
上述した構成を採用することにより、本実施形態においても、第１０実施形態と同様の作用効果を奏することができる。特に、本実施形態では、オリフィス部材１６Ａが圧力検出部として機能する構成を兼ね備えているので、圧力検出部材を別個に設ける必要がなくなる。
【０２９９】
なお、本実施形態においても、図２２（ｃ）に示すように、制御ピストン３０の端部外壁（上端部）３０ｐの位置が、噴孔１２ｂの開弁時に、溝部１８ａの下端部位置と同位置かそれよりも噴孔１２ｂ側に所定距離（Ｌ）だけ位置ずれするように配置されている。これにより、噴孔１２ｂの開弁時にも、溝部１８ａ（の一部）が制御ピストン３０によって閉塞されないので、圧力制御室１６ｃに導入された高圧燃料と実質的に同じ圧力を持つ高圧燃料が常に圧力検出空間１８ｂにも導入される。このため、圧力センサ１８ｆにより、圧力制御室１６ｃ内の高圧燃料の圧力をタイムタグなく検出することができ、実際に噴孔１２ｂから燃料を噴射するタイミングも精度良く検出することができる。
【０３００】
また、本実施形態でも、溝部１８ａ（分岐通路）は圧力制御室１６ｃの内壁のうち、インオリフィス１６ｂとアウトオリフィス１６ａから離間した位置に形成されている。このため、圧力センサ１８ｆにより、圧力制御室１６ｃ内における流れの定常的な領域の圧力の変化を検出することができる。その他の作用効果は、第１０実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【０３０１】
ただし、本実施形態でも、溝部１８ａに代えて、図２２（ｄ）に示すように、圧力制御室１６ｃから圧力検出空間１８ｂに連結するように傾斜して設けられた孔部１８ａ’としても良い。
【０３０２】
（第１２実施形態）
本発明の第１２実施形態について説明する。図２３（ａ），（ｂ）は本発明の第１２実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの流体制御弁（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第６〜第１１の実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０３０３】
本実施形態によるオリフィス部材１６Ｂは、上述したオリフィス部材１６Ａと同様に、圧力検出部８０として機能する構成を組み込むように構成されている。このため、本実施形態においても、独立した圧力検出部材は設けられず、オリフィス部材１６Ｂのみが、ロアボデー１１に組み付けられる。
【０３０４】
ただし、第１１実施形態によるオリフィス部材１６Ａと、本実施形態によるオリフィス部材１６Ｂとでは、圧力検出空間１８ｂの形成位置が相違する。その他の構成は、第１１実施形態によるオリフィス部材１６Ａと同じであるため、以下、その相違点について説明する。
【０３０５】
図２３（ａ），（ｂ）に示すように、本実施形態によるオリフィス部材１６Ｂでは，圧力検出空間１８ｂが、平坦面１６２に開口して燃料を導入する入口部１６ｈからインオリフィス１６ｂを介して圧力制御室１６ｃに向かう流体通路から分岐するように形成されている。このように、圧力検出空間１８ｂには、上述した第１１実施形態のように、一旦、圧力制御室１６ｃに導入された高圧燃料を分岐通路を介して導入する他に、本実施形態のように、圧力制御室１６ｃに導入される前の高圧燃料を、圧力検出空間１８ｂを分岐通路として、当該圧力検出空間１８ｂに導入するようにしても良い。いずれの場合であっても、分岐通路として、入口部１６ｈから圧力制御室１６ｃまでの流体通路に接続するための、あるいは圧力制御室１６ｃに接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、オリフィス部材１６Ｂの内部に圧力検出部が設けられるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。その他の作用効果は、第１１実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【０３０６】
本実施形態では、噴孔１２ｂへ高圧燃料を流通させる「高圧通路」「流体通路」は、燃料導入路１１ｃ、燃料供給路１１ｂ及び燃料送出路１２ｄから構成される。そして、当該高圧通路（流体通路）から分岐して圧力検出部８０へ高圧燃料を導入する「分岐通路」は、分岐燃料供給路１１ｇ、検出部連通路１８ｈ及び入口部１６ｈから構成される。つまり、本実施形態にかかる分岐通路は、高圧燃料を導入する入口である流体導入部２１から噴孔１２ｂへ向かう通路から分岐して、圧力検出空間１８ｂへと燃料を導く通路のことである。
【０３０７】
なお、上記説明では、第６実施形態から第１０の実施形態の圧力検出部８０，８５，８７を別々の実施形態として説明したが、１つのインジェクタ内に、複数の圧力検出部８０，８５，８７を用いても良い。また、複数の圧力検出部の一部又は全部として、第１１，１２実施形態に記載した圧力検出部８０として機能する構成を備えたオリフィス部材１６Ａ，１６Ｂを用いても良い。
【０３０８】
この場合、使用方法にもよるが、一例としては、各圧力センサ１８ｆの信頼性を相互に保証するために冗長的に使用することができる。また、他の例としては、各センサの信号を利用して、更に細かい噴射量制御をすることが可能となる。つまり、燃料噴射直後、燃料供給路１１ｂの圧力は、微視的には噴孔１２ｂ側から低下して、流体導入部２１に向かってその圧力低下による脈動が伝播する。そして、燃料噴射後に閉弁した直後、やはり噴孔１２ｂ側から燃料圧力が上昇して、流体導入部２１に向かってその圧力上昇による脈動が伝播する。このように、燃料供給路１１ｂの燃料導入部２１から見た上流側と下流側との間の圧力変化の時間差を利用して、更に細かい噴射量制御をすることが可能となる。
【０３０９】
以下に、上記のような用途に適用可能な、１つのインジェクタ内に複数の圧力検出部を含む実施形態を、第１３実施形態〜第１９実施形態に示す。
【０３１０】
（第１３実施形態）
図２４は、本発明の第１３実施形態に係るインジェクタ２を示す断面図である。第６〜第１２実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０３１１】
本実施形態は、第６実施形態における圧力検出部８０と第７実施形態における圧力検出部８５を併せ持つものである。圧力検出部８０を構成する圧力検出部材８１は図９（ｃ），（ｄ）にて説明したものと同一であり、圧力検出部８５を構成する圧力検出部材８６は図１３（ａ）〜（ｃ）にて説明したものと同一である。
【０３１２】
第６、第７実施形態と異なるのは、圧力検出部８０からの出力信号と圧力検出部８５からの出力信号を共に出力するため、コネクタ５０のターミナルピン５１ｂが、圧力検出部８０用のターミナルピン５１ｂ１と圧力検出部８５用のターミナルピン５１ｂ２からなることである（図示せず）。
【０３１３】
本実施形態によれば、圧力検出部８０は燃料導入部２１の近傍に配置され、圧力検出部８５は、噴孔１２ｂ側に配置されているので、圧力検出部８０と圧力検出部８５とが検出する高圧燃料圧力の圧力変動タイミングが異なる。これにより、それぞれの圧力検出部８０，８５により、内部の圧力変化に対して、変動タイミングの異なる複数の圧力信号を検出できる。
【０３１４】
（第１４実施形態）
図２５は、本発明の第１４実施形態に係るインジェクタ２を示す断面図である。第６〜第１３実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０３１５】
本実施形態は、第６実施形態における圧力検出部８０と第８実施形態における圧力検出部８７を併せ持つものである。圧力検出部８０を構成する圧力検出部材８１は図９（ｃ），（ｄ）にて説明したものと同一であり、圧力検出部８７は図１７〜図１９にて説明したものと同一である。
【０３１６】
本実施形態においても、圧力検出部８０からの出力信号と圧力検出部８７からの出力信号を共に出力するため、コネクタ５０のターミナルピン５１ｂが、圧力検出部８０用のターミナルピン５１ｂ１と圧力検出部８７用のターミナルピン５１ｂ３からなる（図示せず）。
【０３１７】
（第１５実施形態）
本発明の第１５実施形態について説明する。図２６（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ），（ｄ）は圧力検出部材８１Ｃの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第６〜第１４実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０３１８】
第１５実施形態は、第６実施形態で用いた圧力検出部材８１において、更に、図２６（ｃ），（ｄ）で示すように、複数（本実施形態では２つ）の圧力検出部８０（溝部とダイアフラム部と圧力センサ）（第１、第２の圧力検出手段）を有する構成としたものである。その他の構成・機能・効果は、図２６（ａ），（ｂ）に示す本実施形態のオリフィス部材１６も含め、第６実施形態と同様である。
【０３１９】
圧力検出部材８１Ｃは、検出部連通路１８ｈに対して、２つの独立した溝部１８ａ（以下、第１、第２で説明する）が連通されている。第１の溝部１８ａは対応する第１の圧力検出空間１８ｂに接続され、第１のダイアフラム部によりその圧力変化が第１の圧力センサ１８ｆに伝達される。第２の溝部１８ａも対応する第２の圧力検出空間１８ｂに接続され、第２のダイアフラム部によりその圧力変化が第２の圧力センサ１８ｆに伝達される。
【０３２０】
ここで、２つの溝部１８ａは、図２６（ｄ）に示すように、検出部連通路１８ｈに対して夫々反対側に配置されるのが好ましい。これにより、２つの溝部１８ａの取り回しの設計自由度が向上する。更に、図示しないが、２つの溝部１８ａの長さと深さは、夫々略同一であることが好ましい。これにより２つの圧力センサ１８ｆからの信号の同一性を向上することができる。しかしながら、２つの溝部１８ａは、検出部連通路１８ｈに対して夫々同一側に配置されても良い（図示せず）。この場合、２つの圧力センサ１８ｆからの配線を圧力検出部材８１の同一側面から導出することができ、配線の取り回しを容易にできる。
【０３２１】
（第１６実施形態）
本発明の第１６実施形態について説明する。図２７（ａ）〜（ｃ）は本実施形態の圧力検出部材８６Ａの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第６〜第１５実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
第１６実施形態は、第７実施形態で用いた圧力検出部材８６において、更に、図２７（ａ）〜（ｃ）で示すように、複数（本実施形態では２つ）の圧力検出部８５（溝部とダイアフラム部と圧力センサ）（第１、第２の圧力検出手段）を有する構成としたものである。その他の構成・機能・効果は、第７実施形態と同様である。
【０３２２】
圧力検出部材８６Ａは、検出部連通路１８ｈに対して、２つの独立した溝部１８ａ（以下、第１、第２で説明する）が連通されている。第１の溝部１８ａは対応する第１の圧力検出空間１８ｂに接続され、第１のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第１の圧力センサ１８ｆに伝達される。第２の溝部１８ａも対応する第２の圧力検出空間１８ｂに接続され、第２のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第２の圧力センサ１８ｆに伝達される。
【０３２３】
２つの溝部１８ａは、図２７（ａ）に示すように、検出部連通路１８ｈに対して夫々反対側に配置されるのが好ましい。これにより、２つの溝部１８ａの取り回しの設計自由度が向上する。更に、第１５実施形態同様、２つの溝部１８ａの長さと深さは、夫々略同一であることが好ましい。これにより２つの圧力センサ１８ｆからの信号の同一性を向上することができる。
【０３２４】
圧力検出部材８６Ａのうちの圧力センサ１８ｆが配置される側の２つの空間は連結溝１８ｌにより連結されている。このため、連結溝１８ｌを通して圧力センサ１８ｆからの電気配線の取り回しを容易にできる。
【０３２５】
（第１７実施形態）
本発明の第１７実施形態について説明する。図２８（ａ）、（ｂ）は本実施形態の流体制御弁の要部を示す部分断面図及び平面図、同図（ｃ）、（ｄ）は圧力検出部材８１Ｄの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第６〜第１６実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０３２６】
第１７実施形態は、第９実施形態で用いた圧力検出部材８１Ａにおいて、更に、図２８（ｃ），（ｄ）で示すように、複数（本実施形態では２つ）の圧力検出部８０（溝部とダイアフラム部と圧力センサ）（第１、第２の圧力検出手段）を有する構成としたものである。その他の構成・機能・効果は、同図（ａ），（ｂ）に示す本実施形態のオリフィス部材１６も含め、第９実施形態と同様である。
【０３２７】
圧力検出部材８１Ｄは、圧力制御室１８ｃに対して、２つの独立した溝部１８ａ（以下、第１、第２で説明する）が連通されている。第１の溝部１８ａは対応する第１の圧力検出空間１８ｂに接続され、第１のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第１の圧力センサ１８ｆに伝達される。第２の溝部１８ａも対応する第２の圧力検出空間１８ｂに接続され、第２のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第２の圧力センサ１８ｆに伝達される。
【０３２８】
２つの溝部１８ａは、圧力制御室１８ｃに対して夫々反対側に配置されるのが好ましい。これにより、２つの溝部１８ａの取り回しの設計自由度が向上する。
なお、２つの溝部１８ａは、圧力制御室１８ｃに対して夫々同一側に配置されても良い（図示せず）。これにより、２つの圧力センサ１８ｆからの配線を圧力検出部材８１Ｄの同一側面から導出することができ、配線の取り回しを容易にできる。
【０３２９】
また、本実施形態では、溝部１８ａがオリフィス部材１６の平坦面１６２との間で通路を形成したが、圧力検出部材８１Ｄを上下反対に配置しても良い。この場合、溝部１８ａとロアボデー１１の平坦面（図示せず）との間で通路が形成され、第１及び第２の圧力センサ１８ｆが、オリフィス部材１６側に配置される。
【０３３０】
（第１８実施形態）
本発明の第１８実施形態について説明する。図２９（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁（オリフィス部材）１６Ｃの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第６〜第１７実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０３３１】
第１８実施形態は、第１１実施形態で用いた圧力検出部８０として機能する構成を備えたオリフィス部材１６Ａにおいて、更に、図２９（ａ），（ｂ）で示すように、複数（本実施形態では２つ）の圧力検出部８０（溝部とダイアフラム部と圧力センサ）（第１、第２の圧力検出手段）を有する構成としたものである。その他の構成・機能・効果は、第１１実施形態と同様である。
【０３３２】
オリフィス部材１６Ｃは、圧力制御室１６ｃに対して、２つの独立した溝部１８ａ（以下、第１、第２で説明する）が連通されている。第１の溝部１８ａは対応する第１の圧力検出空間１８ｂに接続され、第１のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第１の圧力センサ１８ｆに伝達される。第２の溝部１８ａも対応する第２の圧力検出空間１８ｂに接続され、第２のダイアフラム部１８ｎによりその圧力変化が第２の圧力センサ１８ｆに伝達される。
【０３３３】
２つの溝部１８ａは、図２９（ｂ）に示すように、圧力制御室１６ｃに対して夫々反対側に配置されるのが好ましい。これにより、２つの溝部１８ａの取り回しの設計自由度が向上する。
なお、２つの溝部１８ａは、圧力制御室１６ｃに対して夫々同一側に配置されても良い（図示せず）。この場合、２つの圧力センサからの配線をオリフィス部材１６Ｃの同一側面から導出することができ、配線の取り回しを容易にできる。
【０３３４】
また、本実施形態でも、溝部１８ａに代えて、図２９（ｃ）に示すように、圧力制御室１６ｃから圧力検出空間１８ｂに連結するように傾斜して設けられた孔部１８ａ’としても良い。
【０３３５】
（第１９実施形態）
本発明の第１９実施形態について説明する。図３０（ａ），（ｂ）は本実施形態の流体制御弁（オリフィス部材）１６Ｄの要部を示す部分断面図及び平面図である。なお、第６〜第１８実施形態と同じもしくは均等の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０３３６】
第１９実施形態は、第１１実施形態の圧力検出部と第１２実施形態の圧力検出部を併せもつものである。すなわち、本実施形態のオリフィス部材１６Ｄでは、圧力制御室１６ｃと溝部１８ａを介して接続された第１の圧力検出空間１８ｂと、燃料を導入する入口部１６ｈからインオリフィス１６ｂを介して圧力制御室１６ｃに向かう流体通路から分岐するように形成された第２の圧力検出空間１８ｂとが形成されている。さらに、第１及び第２の圧力検出空間１８ｂに対応して、それぞれ、第１及び第２のダイアフラム部１８ｎと、第１及び第２の圧力センサ１８ｆとが設けられている。
【０３３７】
本実施形態では、第１の圧力検出空間１８ｂと第２の圧力検出空間１８ｂとの間に、分岐通路よりも小径のインオリフィス１６ｂを有している。これにより、第１の圧力検出空間１８ｂと第２の圧力検出空間１８ｂとで圧力変動タイミングをずらすことができる。その他の構成・機能・効果は、第１１、第１２実施形態と同様である。
【０３３８】
（他の実施形態）
上記各実施形態は、以下のように変更して実施してもよい。また、本発明は上記実施形態の記載内容に限定されず、各実施形態の特徴的構造をそれぞれ任意に組み合わせるようにしてもよい。
【０３３９】
・上記第１〜第５実施形態では、モールド樹脂６０ｚを、インジェクタボディー４ｚ及びステム５１ｚからの熱に対する回路部品５４ｚの断熱部材として機能させているが、このように断熱部材として機能させるにあたり、モールド樹脂６０ｚに替えてゴム、セラミックを採用してもよい。また、内部に多数の気泡が形成された発泡性樹脂を採用して、断熱性向上を図るようにしてもよい。
【０３４０】
・上記第１〜第５実施形態では、インジェクタボディー４ｚとステム５１ｚとをメタルタッチシールさせているが、当該メタルタッチシールの構造を廃止して、ボディー４ｚとステム５１ｚとの間にガスケットを介在させてシールする構造にしてもよい。
【０３４１】
・上記第１〜第５実施形態では、センサ用端子５５ｚ及び駆動用端子５６ｚの両端子５５ｚ，５６ｚをモールド樹脂６０ｚにより一体化させているが、両端子５５ｚ，５６ｚの各々を別々のモールド樹脂により保持させるようにしてもよい。但し、この場合であっても、２つのモールド樹脂体を１つのコネクタハウジング７０ｚ内に保持させて、コネクタ数低減を図ることが望ましい。
【０３４２】
・上記第１〜第５実施形態では、ステム５１ｚの歪量を検出するセンサ素子として歪ゲージ５２ｚを採用しているが、圧電素子等、他のセンサ素子を採用してもよい。
【０３４３】
・上記第１〜第５実施形態では、回路部品５４ｚが実装された絶縁基板５３ｚを歪ゲージ５２ｚと同一平面状に並べて配置しているが、絶縁基板５３ｚ及び歪ゲージ５２ｚを軸線Ｊ１ｚ方向に積層配置してもよい。
【０３４４】
・インジェクタボディー４ｚに対する燃圧センサ５０ｚの取付位置に関し、上記各実施形態では、ボディー４ｚのうちシリンダヘッドＥ２ｚの挿入穴Ｅ３ｚの外方に位置する部分に燃圧センサ５０ｚを取り付けている。これに対し、シリンダヘッドＥ２ｚの挿入穴Ｅ３ｚの内部に位置する部分に燃圧センサ５０ｚを取り付けるようにしてもよい。
【０３４５】
・上記第１〜第５実施形態では、ディーゼルエンジンのインジェクタに本発明を適用しているが、ガソリンエンジン、特に、燃焼室Ｅ１ｚに燃料を直接噴射する直噴式のガソリンエンジンに本発明を適用してもよい。
【０３４６】
・例えば、第６実施形態と第７実施形態では、電磁弁駆動のインジェクタにて本願発明を説明したが、ピエゾアクチュエータを用いたインジェクタに対して、第６実施形態の圧力検出部８０と第７実施形態の圧力検出部材８５の夫々、又は両方を適用しても良い。逆に、継手部１１ｆに圧力検出部８７を備える構成を、電磁弁駆動のインジェクタに適用しても良い。
【０３４７】
・第１３実施形態〜第１９実施形態において説明したように、複数の圧力検出部８０，８５，８７を同時に用いる場合には、第１の圧力検出部が、第２の圧力検出部よりも、高圧燃料の圧力変化に対する出力信号変化が大きくなるように設定されるようにしても良い。これにより、内部の圧力変化に対して、感度の異なる２系統の出力信号を出力できる。このような構成は、第１４実施形態〜第１８実施形態のように、第１及び第２の圧力検出部が実質的に同じ圧力を検出する場合に特にメリットがある。
【０３４８】
具体的には、第１の圧力検出部を構成する第１のダイアフラム部が、第２の圧力検出部を構成する第２のダイアフラム部よりも大径の略円形ダイアフラムを有するように構成する。これにより、第１の圧力検出部と第２の圧力検出部との感度を異ならせることができる。その他に、例えば、第１の圧力検出部を構成する第１のダイアフラム部が、第２の圧力検出部を構成する第２のダイアフラム部よりも肉薄の略円形ダイアフラムを有するように構成しても良い。このような構成によっても、第１の圧力検出部と第２の圧力検出部との感度を異ならせることができる。
【０３４９】
（上記実施形態から抽出される発明群について）
上述した各実施形態（特に第６〜第１９実施形態）からは以下の発明群（発明１〜１６）が抽出される。以下、これらの発明の特徴について、必要に応じて効果等を示しつつ説明する。
【０３５０】
＜発明１＞
発明１によれば、外部から高圧流体が供給される流体通路と、前記流体通路に接続されて前記高圧流体の少なくとも一部を噴射する噴孔と、前記流体通路から前記高圧流体の一部が供給され、前記噴孔を開閉するノズルニードルを閉弁方向に付勢する力を発生する圧力制御室と、前記圧力制御室に直接または間接的に接続され、少なくとも一部が前記高圧流体の作用する圧力により歪み変位可能なダイアフラム部と、前記ダイアフラム部の変位を検出する変位検出手段と、を備えることを特徴としている。
【０３５１】
ダイアフラム部を、圧力制御室に直接または間接的に接続しているため、ダイアフラム部を流体通路に接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０３５２】
ここで、圧力制御室の内部に高圧流体の一部が供給され、充填されることで圧力制御室にノズルニードルを閉弁方向に付勢する力が生じ、噴孔が閉弁される。これにより噴射が停止状態となる。一方、圧力制御室に充填された高圧燃料を排出することで、圧力制御室の内部に生じている力が低下し、ノズルニードルが開弁する。これにより噴孔からの噴射が開始される。つまり、圧力制御室の内部に発生している内部圧力の変化のタイミングは、噴孔からの噴射タイミングと略一致していると言える。従って、本発明においては、圧力制御室にダイアフラム部を直接または間接的に接続して設け、そのダイアフラム部の変位を変位検出手段により検出しているため、実際に噴孔から噴射するタイミングも精度良く検出することができる。
【０３５３】
＜発明２＞
発明１に従属する発明２によれば、前記圧力制御室に連通された分岐通路を備え、前記ダイアフラム部は、前記分岐通路に連通された薄肉部からなっている。これにより、分岐通路を流体通路に接続するための特別な支流路を設ける必要がない。従って、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０３５４】
＜発明３＞
発明２に従属する発明３によれば、内部に前記流体通路及び前記噴孔が形成されたインジェクタボデーと、前記インジェクタボデーとは別体形成されて該インジェクタボデー内に配置された別体部材を備え、前記別体部材が、自身の内部に、前記圧力制御室に連通された前記分岐通路と、前記分岐通路に連通された前記薄肉部とを備えることを特徴としている。インジェクタボデーとは別体形成された別体部材内に圧力制御室に連通された分岐通路と薄肉部を有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、上記発明１の効果に比べ、更にダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０３５５】
＜発明４＞
発明３に従属する発明４によれば、前記別体部材が、前記高圧流体が導入されるインオリフィスと、前記インオリフィスに連通するとともに前記圧力制御室の一部を構成する圧力制御室用空間と、前記圧力制御室用空間に連通するとともに前記高圧流体を低圧通路に排出するアウトオリフィスとを有し、前記分岐通路が前記別体部材内において前記圧力制御室用空間に連通して設けられ、前記ダイアフラム部が前記分岐通路に接続されて前記別体部材内に形成されていることを特徴としている。インジェクタボデーとは別体形成された別体部材内に圧力制御室に連通された分岐通路とダイアフラム部を有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、上記発明１の効果に比べ、更にダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０３５６】
＜発明５＞
発明４に従属する発明５によれば、前記分岐通路が、前記インオリフィス及び前記アウトオリフィスとは異なる部位において前記圧力制御室用空間に接続されていることを特徴としている。インオリフィス及びアウトオリフィス内部は、高圧流体の流れが速いため、圧力の変化が定常的になるまでにタイムラグが生じる。しかしながら、本願発明によれば、上記構成を採用するため、圧力制御室内における流れの定常的な領域の圧力の変化を検出することができる。
【０３５７】
＜発明６＞
発明４又は５に従属する発明６によれば、前記別体部材が、前記インオリフィス、前記圧力制御室用空間、及び前記アウトオリフィスを有する第１部材と、前記インジェクタボデー内において前記第１部材に直接又は間接的に積層配置され、前記接続通路及び前記分岐通路を有するとともに、前記ダイアフラム部が前記接続通路とは異なる部位において前記分岐通路に接続されて形成された第２部材と、を備えることを特徴としている。
【０３５８】
インジェクタボデーとは別体形成された第２部材内に薄肉部を有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、ダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。さらに、ダイアフラム部を含む第２部材を圧力制御室の一部を構成する第１部材と積層させて配置させるため、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０３５９】
＜発明７＞
発明６に従属する発明７によれば、前記第２部材は、所定厚さを有する板状部材からなり、前記変位検出手段は、前記第２部材の前記ダイアフラム部の前記高圧流体の導入側とは反対面に設けられた歪検出素子を有し、前記ダイアフラム部は、少なくとも前記歪検出素子の厚さ分、前記第２部材の表面から深い位置に配置されていることを特徴としている。
【０３６０】
ダイアフラム部が、少なくとも歪検出素子の厚さ分、第２部材の表面から深い位置に配置されているため、第２部材をインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【０３６１】
＜発明８＞
発明３〜７の何れかに従属する発明８のように、前記ダイアフラム部を、前記圧力制御室を構成する内壁の一部に設けられた薄肉部により構成させても良い。これにより、圧力制御室内部の圧力変動をタイムラグなく検出することができる。
【０３６２】
＜発明９＞
発明２に従属する発明９によれば、内部に前記流体通路及び前記噴孔が形成されたインジェクタボデーと、前記インジェクタボデーとは別体形成されて該インジェクタボデー内に配置された別体部材を備え、前記別体部材が、自身の内部に、一部に他部より薄肉の薄肉部を有する前記圧力制御室を備えることを特徴としている。これにより、圧力制御室内部の圧力変動をタイムラグなく検出することができる。
【０３６３】
＜発明１０＞
発明９に従属する発明１０によれば、前記別体部材が、前記高圧流体が導入されるインオリフィスと、前記インオリフィスに連通するとともに前記圧力制御室の一部を構成する圧力制御室用空間と、前記圧力制御室用空間に連通するとともに前記高圧流体を低圧通路に排出するアウトオリフィスと、前記圧力制御室用空間の一部に設けられた前記薄肉部を備えることを特徴としている。
【０３６４】
インジェクタボデーとは別体形成された別体部材内の圧力制御室用空間の一部に薄肉部を有するため、ダイアフラム部を容易に加工・形成することができる。この結果、上記発明１の効果に比べ、更にダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。
【０３６５】
＜発明１１＞
発明１０に従属する発明１１によれば、前記ダイアフラム部が、前記インオリフィス及び前記アウトオリフィスとは異なる部位において前記圧力制御室用空間に形成されていることを特徴としている。インオリフィス及びアウトオリフィス内部は、高圧流体の流れが速いため、圧力の変化が定常的になるまでにタイムラグが生じる。しかしながら、本願発明によれば、圧力制御室内における流れの定常的な領域の圧力の変化を検出することができ
る。
【０３６６】
＜発明１２＞
発明９〜１１の何れかに従属する発明１２によれば、前記別体部材は、所定厚さを有する板状部材からなり、前記変位検出手段は、前記別体部材の前記ダイアフラム部の前記高圧流体の導入側とは反対面に設けられた歪検出素子を有し、前記ダイアフラム部は、少なくとも前記歪検出素子の厚さ分、前記別体部材の表面から深い位置に配置されていることを特徴としている。
【０３６７】
ダイアフラム部が、少なくとも歪検出素子の厚さ分、第２部材の表面から深い位置に配置されているため、第２部材をインジェクタボデー内に搭載した際に歪検出素子に応力がかかることを防止できるため、容易に自身の内部に圧力検出部を配置できる。
【０３６８】
＜発明１３＞
発明２〜１２の何れかに従属する発明１３によれば、前記別体部材が、該インジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材からなることを特徴としている。
【０３６９】
別体部材をインジェクタボデーの軸方向とは略垂直方向に配置された板状部材で形成するため、自身の内部に圧力検出部が配置されるに際し、インジェクタボデーの径方向、つまり太さ方向の寸法の増大を防止できる。
【０３７０】
＜発明１４＞
発明３〜１３の何れかに従属する発明１４によれば、前記ノズルニードルの閉弁方向に付勢する力を前記ノズルニードルに対して伝連する制御ピストンを備え、前記制御ピストンは、前記インジェクタボデー内において、上端部が前記圧力制御室に臨んで配置されることで前記圧力制御室で発生される力を受けるものであり、前記上端部は、前記噴孔の開弁時に、前記分岐通路が開口する部分よりも所定距離（Ｌ）だけ前記噴孔側に離間されて配置されることを特徴としている。
【０３７１】
開弁時に制御ピストンの上端部が分岐通路よりも反噴孔側にある場合、制御ピストンが分岐通路を覆ってしまう場合が生じる。この場合、変位検出手段が圧力制御室内の圧力変化を検出できるのは、圧力制御室内の圧力が上昇して制御ピストンが閉弁方向に移動して分岐通路が開放された後となるため、検出までの時間的なロスが生じる。一方、本願発明では、上記構成を採るため、噴孔の開弁時にも分岐通路を常に圧力制御室と連通した状態にできる。
【０３７２】
＜発明１５＞
発明１〜３の何れかに従属する発明１５のように、前記圧力制御室が、前記流体通路から前記高圧流体の一部が導入されるインオリフィス、前記インオリフィスに連通する圧力制御室用空間、及び前記圧力制御室用空間に連通するとともに前記高圧流体を低圧通路に排出するアウトオリフィスを有し、前記ダイアフラム部が前記圧力制御室用空間に接続されることが好ましい。
【０３７３】
＜発明１６＞
発明１６によれば、外部から高圧流体が供給される流体通路と、前記流体通路に接続されて前記高圧流体の少なくとも一部を噴射する噴孔と、前記流体通路から分岐された分岐通路と、前記分岐通路に接続され、少なくとも一部が前記高圧流体の作用する圧力により歪み変位可能なダイアフラム部と、前記ダイアフラム部の変位を検出する変位検出手段と、を備え、また、前記分岐通路に接続され、少なくとも一部が前記高圧流体の作用する圧力により歪み変位可能な第２のダイアフラム部と、前記第２のダイアフラム部の変位を検出する第２の変位検出手段と、を備えることを特徴としている。
【０３７４】
薄肉部からなる第２のダイアフラム部を、流体通路から分岐された分岐通路に設けるため、流体通路近傍のインジェクタ外壁に直接ダイアフラム部を設けることに比べて、第２のダイアフラム部の形成が容易になる。また、この結果、第２のダイアフラム部の厚さ制御が容易になり、圧力検出精度を向上することができる。また、複数系統の圧力検出が可能となるため、例えば、＜発明３３＞のように第１及び第２の圧力検出手段からの出力信号を冗長的に出力することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０３７５】
【図１】本発明の第１実施形態に係るインジェクタの概略内部構成を示す模式的な断面図である。
【図２】燃圧センサの単体構造、及び燃圧センサのインジェクタボディーへの取付構造について、図１を詳細に説明する拡大図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係るインジェクタの概略内部構成を示す模式的な断面図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係るインジェクタの概略内部構成を示す模式的な断面図である。
【図５】本発明の第４実施形態に係るインジェクタの概略内部構成を示す模式的な断面図である。
【図６】本発明の第５実施形態に係るインジェクタの概略内部構成を示す模式的な断面図である。
【図７】本発明の第６実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタをコモンレースシステムに取り付けた構成の概略図である。
【図８】第６実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの断面図である。
【図９】（ａ）は第６実施形態に係るオリフィス部材の断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は同実施形態に係る圧力検出部材の断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図、（ｅ）は（ｃ）の変形例に係る圧力検出部材の断面図である。
【図１０】（ａ）は第６実施形態に係る圧力検出部材のダイアフラム部付近の拡大平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図１１】（ａ）は第６実施形態に係る圧力センサの製造方法を示す断面図である。
【図１２】第７実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの断面図である。
【図１３】（ａ）は第７実施形態に係る圧力検出部材の平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図１４】第８実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの部分断面図である。
【図１５】第８実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタの部分断面図である。
【図１６】（ａ）は第８実施形態に係る分岐通路の取り付け構造を説明する概略図、（ｂ）は比較例を示す概略図である。
【図１７】第８実施形態に係る継手部の拡大断面図である。
【図１８】第８実施形態に係るダイアフラム部の部分断面図である。
【図１９】第８実施形態に係る圧力検出部の組み付け手順を示す断面図である。
【図２０】（ａ）は第９実施形態に係るオリフィス部材の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は同実施形態に係る圧力検出部材の要部を示す部分断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図、（ｅ）はインジェクタボデーに組み付けた際の制御ピストンと圧力検出部材との位置関係を示す断面図である。
【図２１】（ａ）は第１０実施形態に係るオリフィス部材の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図、（ｅ）はインジェクタボデーに組み付けた際の制御ピストンと圧力検出部材との位置関係を示す断面図である。
【図２２】（ａ）は第１１実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタのオリフィス部材（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）はインジェクタボデーに組み付けた際の制御ピストンと圧力検出部材との位置関係を示す断面図、（ｄ）は（ａ）の変形例に係る圧力検出部材の断面図である。
【図２３】（ａ）は第１２実施形態に係る燃料噴射装置用インジェクタのオリフィス部材（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図である。
【図２４】第１３実施形態に係るインジェクタを示す断面図である。
【図２５】第１４実施形態に係るインジェクタを示す断面図である。
【図２６】（ａ）は第１５実施形態のオリフィス部材の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図である。
【図２７】（ａ）は第１６実施形態の圧力検出部材の要部を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図、（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図２８】（ａ）は第１７実施形態のオリフィス部材の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は圧力検出部材の要部を示す部分断面図、（ｄ）は（ｃ）の平面図である。
【図２９】（ａ）は第１８の実施形態に係るオリフィス部材（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図、（ｃ）は（ａ）の変形例に係るオリフィス部材の断面図である。
【図３０】（ａ）は第１９の実施形態に係るオリフィス部材（圧力検出部材）の要部を示す部分断面図、（ｂ）は（ａ）の平面図である。
【符号の説明】
【０３７６】
２ｚ…ピエゾアクチュエータ（開閉機構）、３ｚ…背圧制御機構（開閉機構）、４ｚ…インジェクタボディー、６ｚ，６ａｚ，６ｂｚ，６ｃｚ…高圧通路、１１ｚ…噴孔、５０ｚ…燃圧センサ、５１ｚ…ステム（起歪体）、５２ｚ…歪ゲージ（センサ素子）。
【０３７７】
１１…ロアボデー、１１ｂ…燃料供給路（第１の流体通路（高圧通路））、１１ｃ…燃料導入路（第２の流体通路（高圧通路））、１１ｄ…収容孔、１１ｆ…継手部（インレット部）、１１ｇ…分岐燃料供給路、１２…ノズルボデー、１２ａ…弁座、１２ｂ…噴孔、１２ｃ…高圧室（燃料溜り室）、１２ｄ…燃料送出路、１２ｅ…収容孔、１３…バーフィルタ、１４…リテーニングナット（リテーナ）、１６…オリフィス部材、１６１…バルブボデー側端面、１６２…平坦面、１６ａ…連通路（出口側絞り部、アウトオリフィス）、１６ｂ…連通路（入口側絞り部、インオリフィス）、１６ｃ…連通路（圧力制御室）、１６ｄ…弁座、１６ｅ…燃料逃がし通路、１６ｇ…ガイド孔、１６ｈ…入口部、１６ｋ…隙間、１６ｐ…貫通孔、１６ｒ…燃料リーク溝、１７…バルブボデー、１７ａ、１７ｂ…貫通孔、１７ｃ…弁室、１７ｄ…低圧通路（導通路）、１８ａ…溝部（分岐通路）、１８ｂ…圧力検出空間、１８ｃ…連通路（圧力制御室）、１８ｄ…処理基板、１８ｅ…電気配線、１８ｆ…圧力センサ、１８ｇ…ロアボデー、１８ｈ…検出部連通路、１８ｋ…ガラス層、１８ｍ…ゲージ、１８ｎ…ダイアフラム部、１８ｐ…貫通穴、１８ｑ…他面、１８ｒ…単結晶半導体チップ、１８ｓ…貫通穴、１８ｔ…位置決め部材、１９ｃ…配線・パッド、１９ｄ…酸化膜、１０２…燃料タンク、１０３…高圧燃料ポンプ、１０４…コモンレール、１０５…高圧燃料通路、１０６…低圧燃料通路、１０７…電子制御装置（ＥＣＵ）、１０８…燃圧センサ、１０９…クランク角センサ、１１０…アクセルセンサ、２…インジェクタ、２０…ノズルニードル、２１…流体導入部、２２…インジェクタ、３０…制御ピストン、３０ｃ…ニードル部、３０ｐ…端部外壁、３１…環状部材、３２…インジェクタ、３５…スプリング、３７…燃料通路、３０１…ノズル、３０２…ピエゾアクチュエータ（アクチュエータ）、３０３…背圧制御機構、３０８…保持部材、３２１…ハウジング、３２２…圧電素子、３２３…リード線、３３１…バルブボデー、３３５…高圧シート面、３３６…低圧シート面、３４１、３４１ａ〜３４１ｃ…収納穴、４１…弁部材、４１ａ…球面部、４２…バルブアーマチャ、５０…コネクタ、５１ａ、５１ｂ…ターミナルピン、５２…ボデーアッパー、５３…上部ハウジング、５４…中間ハウジング、５９…付勢部材（バネ部材）、６１…コイル、６２…スプール、６３…固定コア、６４…ストッパ、７…電磁弁装置、８…背圧室（圧力制御室）、８０、８５、８７…圧力検出部、８１、８６…圧力検出部材（燃圧センサ）、８２…平坦面、９２…位置決め部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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