(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
前後方向に間隔をおいた複数の装着部をそれぞれ備える第１、第２、第３及び第４の装着部群であって各装着部群の前記装着部が他の装着部群の前記装着部に対し左右方向にずれるように当該基板の下面に配置された第１、第２、第３及び第４の装着部群を備える基板と、
複数の板状の接触子をそれぞれ含む第１、第２、第３及び第４の接触子群であって当該第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子が、それぞれ、前記第１、第２、第３及び第４の装着部群の装着部に一対一の形に対応されて対応する前記装着部から同じ方向に伸びる状態に該装着部に片持ち梁状に装着されていると共に、他の接触子群に対し前記基板への装着位置を左右方向にずらされた第１、第２、第３及び第４の接触子群とを含み、
各接触子は、前記対応する装着部に上端部において装着された座部と、該座部の下端から左右方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ伸びる針先部であって下端に針先を有する針先部とを備え、
前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子の、前記針先の高さ位置は同じであるが、前記座部の形状は互いに異なり
前記第１及び第２の接触子群の接触子の前記アーム部の高さ位置は、少なくとも前記第３及び第４の接触子群の接触子の前記アーム部の高さ位置と異なり、
前記第１及び第２の接触子群の前記接触子の前記アーム部の高さ位置は同じであり、また前記第３及び第４の接触子群の前記接触子の前記アーム部の高さ位置は同じであり、
前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の前記接触子は、前記第１、第３、第２及び第４の接触子群の接触子の順に、又は前記第１、第４、第２及び第３の接触子群の前記接触子の順に前記前後方向に交互に位置されている、電気的接続装置。
【請求項２】
前記前後方向に隣合う第２及び第３の装着部は、前記左右方向から見て互いに一部を重畳させている、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の前記接触子の各座部は、前記基板に対し前記左右方向における一方側又は他方側に傾斜された傾斜部を有する、請求項１又は２に記載の電気的接続装置。
【請求項４】
前記第１の接触子群の各接触子の前記座部は前記左右方向における一方側に傾斜されており、前記第２、第３及び第４の接触子群の前記接触子の各座部の前記傾斜部は前記左右方向における他方側に傾斜されている、請求項３に記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の前記接触子の前記座部は、前記基板への装着位置が前記左右方向における前記針先の位置から前記第１、第２、第３及び第４の装着部群の順に漸次大きく離間された状態に、前記装着部に装着されている、請求項１又は２に記載の電気的接続装置。
【請求項６】
前記前後方向に隣り合う接触子は、上方から見て前記アーム部の一部を重畳させている、請求項１又は２に記載の電気的接続装置。
【請求項７】
前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の前記接触子の針先は、前記前後方向へ伸びる共通の仮想線（VL2又はVL3）上に整列されている、請求項１又は２に記載の電気的接続装置。
【請求項８】
前記基板は、さらに、それぞれが前記第１、第２、第３及び第４の装着部群の装着部から前記左右方向における前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の各接触子の前記針先の位置よりさらに左右方向における同じ側に離間された位置に複数の装着部を備える第５、第６、第７及び第８の装着部群であって各第５、第６、第７及び第８の装着部群が他の第５、第６、第７及び第８の装着部群の前記装着部に対し左右方向にずれるように、及び各第５、第６、第７及び第８の装着部群の前記装着部が前記装着部群毎に前後方向に交互に位置するように前記下面に配置された第５、第６、第７及び第８の装着部群を備え、
当該電気的接続装置は、さらに、複数の板状の接触子をそれぞれ含む第５、第６、第７及び第８の接触子群であって当該第５、第６、第７及び第８の接触子群の接触子が、それぞれ、前記第５、第６、第７及び第８の装着部群の装着部に一対一の形に対応されて対応する前記装着部から前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子の側に伸びる状態に該装着部に片持ち梁状に装着されていると共に、他の第５、第６、第７及び第８の接触子群の接触子に対し前記基板への装着位置を左右方向にずらされた第５、第６、第７及び第８の接触子群を含み、
前記第５、第６、第７及び第８の接触子群の各接触子は、前記対応する装着部に上端部において装着された座部と、該座部の下端から左右方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ伸びる針先部であって下端に針先を有する針先部とを備え、
前記第５、第６、第７及び第８の接触子群の接触子の、前記針先の高さ位置は同じであるが、前記座部の形状は互いに異なり
前記第５の接触子群の接触子の前記アーム部の高さ位置は、少なくとも前記第７及び第８の接触子群の接触子の前記アーム部の高さ位置と異なる、請求項１又は２に記載の電気的接続装置。
【請求項９】
前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の針先は、前記前後方向へ伸びる共通の仮想線（VL2又はVL3）上に整列されており、前記第５、第６、第７及び第８の接触子群の前記接触子の針先は、前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の針先が整列された前記仮想線から前記前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子の側と反対側に離間されて前記前後方向へ伸びる共通の他の仮想線（VL３又はVL２）上に整列されている、請求項８に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路のような平板状被検査体の通電試験に用いる電気的接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路のような平板状被検査体は、それが仕様書通りに製造されているか否かの通電試験をされる。この種の通電試験は、被検査体の電極に個々に押圧される複数のプローブすなわち接触子を備えた、プローブカード、ＩＣソケット、プローブブロック、プローブユニット等、電気的接続装置を用いて行われる。この種の電気的接続装置は、被検査体の電極と、テスターとを電気的に接続するために利用される。
【０００３】
この種のＩＣ用プローブカードの１つとして、特許文献１及び２に記載されているように、多数の板状のプローブすなわち接触子を、配線基板やプローブ基板等の基板の装着部に片持ち梁状に装着して、半導体ウエーハ状の未切断の多数の集積回路を同時に又は数回に分けて通電するものがある。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２０３６０６号公報
【特許文献２】特開２００５−２０１８４４号公報
【０００５】
これら従来の技術は、いずれも、複数の板状の接触子を一列に配置した少なくとも１つの接触子群を備え、各接触子を配線基板、プローブ基板等の基板の配線、接続ランド等の装着部に半田のような導電性接着材により接着している。装着部への接触子の装着は、接触子の配置ピッチが小さく、同時に装着することが技術的に難しいことから、接触子毎に行われる。
【０００６】
また、接触子を装着部に装着する際に隣に既に装着されている接触子を損傷しないようにするため、及びＩＣソケットに組み立てられた状態において隣り合う接触子が電気的に干渉しないようにするために、装着部への装着位置を接触子の配列方向と交差する方向に変位、すなわちジグザグに位置させている。
【０００７】
一方、近年では、１つの半導体ウエーハに形成される集積回路の数が多くなり、したがって電極の配置ピッチが小さくなっている。そのようなことは、今後さらに進む傾向にある。
【０００８】
しかし、従来の装置では、いずれも、１つの接触子群の接触子を装着位置が接触子の配列方向に交差する方向に異なる２つのサブグループに分けているにすぎないため、上記のように電極が狭ピッチに配置された集積回路の通電試験に適用可能にしようとすると、隣り合う接触子が接触してしまい、実際には通電試験を行うことができない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、接触子の装着時の熱による隣の装着部の損傷を防止して、接触子の配置ピッチをさらに小さくすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る電気的接続装置は、前後方向に間隔をおいた複数の装着部をそれぞれ備える第１、第２、第３及び第４の装着部群であって各装着部群の前記装着部が他の装着部群の前記装着部に対し左右方向にずれるように当該基板の下面に配置された第１、第２、第３及び第４の装着部群を備える基板と、複数の板状の接触子をそれぞれ含む第１、第２、第３及び第４の接触子群であって当該第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子が、それぞれ、前記第１、第２、第３及び第４の装着部群の装着部に一対一の形に対応されて対応する前記装着部から同じ方向に伸びる状態に該装着部に片持ち梁状に装着されていると共に、前記基板への装着位置を左右方向にずらされた第１、第２、第３及び第４の接触子群とを含む。
【００１１】
各接触子は、前記対応する装着部に上端部において装着された座部と、該座部の下端から左右方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ伸びる針先部であって下端に針先を有する針先部とを備える。
【００１２】
前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子の、前記針先の高さ位置は同じであるが、前記座部の形状は互いに異なる。また、前記第１の接触子群の接触子の前記アーム部の高さ位置は、少なくとも前記第３及び第４の接触子群の接触子の前記アーム部の高さ位置と異なる。
【００１３】
前記第１及び第２の接触子群の前記接触子の前記アーム部の高さ位置は同じであってもよく、また前記第３及び第４の接触子群の前記接触子の前記アーム部の高さ位置は同じであってもよい。
【００１４】
前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の前記接触子の各座部は、前記基板に対し前記左右方向における一方側又は他方側に傾斜された傾斜部を有することができる。
【００１５】
前記第１の接触子群の各接触子の前記座部は前記左右方向における一方側に傾斜されており、前記第２、第３及び第４の接触子群の前記接触子の各座部の前記傾斜部は前記左右方向における他方側に傾斜されていてもよい。
【００１６】
前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の前記接触子の前記座部は、前記基板への装着位置が前記左右方向における前記針先の位置から前記第１、第２、第３及び第４の装着部群の順に漸次大きく離間された状態に、前記装着部に装着されていてもよい。
【００１７】
前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の前記接触子は、前記第１、第３、第２及び第４の接触子群の接触子の順に、又は前記第１、第４、第２及び第３の接触子群の前記接触子の順に前記前後方向に交互に位置されていてもよい。
【００１８】
前記前後方向に隣り合う接触子は、上方から見て前記アーム部の一部を重畳されていてもよい。また、前記前後方向に隣合う第２及び第３の装着部は、前記左右方向から見て互いに一部を重畳されていてもよい。
【００１９】
前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の前記接触子の針先は、前記前後方向へ伸びる共通の仮想線上に整列されていてもよい。
前記基板は、さらに、それぞれが前記第１、第２、第３及び第４の装着部群の装着部から前記左右方向における前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の各接触子の前記針先の位置よりさらに離間された位置に複数の装着部を備える第５、第６、第７及び第８の装着部群であって前後方向に交互に位置するように各装着部群の前記装着部が他の装着部群の前記装着部に対し前後方向にずれるように前記下面に配置された第５、第６、第７及び第８の装着部群を備え、当該電気的接続装置は、さらに、複数の板状の接触子をそれぞれ含む第５、第６、第７及び第８の接触子群であって当該第５、第６、第７及び第８の接触子群の接触子が、それぞれ、前記第５、第６、第７及び第８の装着部群の装着部に一対一の形に対応されて対応する前記装着部から前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子の側に伸びる状態に該装着部に片持ち梁状に装着されていると共に、前記基板への装着位置を左右方向にずらされた第５、第６、第７及び第８の接触子群を含む。
【００２０】
前記第５、第６、第７及び第８の接触子群の各接触子は、前記対応する装着部に上端部において装着された座部と、該座部の下端から左右方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ伸びる針先部であって下端に針先を有する針先部とを備える。
【００２１】
前記第５、第６、第７及び第８の接触子群の接触子の、前記針先の高さ位置は同じであるが、前記座部の形状は互いに異なる。また、前記第５の接触子群の接触子の前記アーム部の高さ位置は、少なくとも前記第７及び第８の接触子群の接触子の前記アーム部の高さ位置と異なる。
【００２２】
前記第５、第６、第７及び第８の接触子群の前記接触子の針先は、前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の針先が整列された前記仮想線から前記前記第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子の側と反対側に離間されて前記前後方向へ伸びる共通の第２の仮想線上に整列されていてもよい。
【発明の効果】
【００２３】
第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子の基板への装着位置が左右方向に変位されており、また第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子の、針先の高さ位置は同じであるが、座部の形状は互いに異なり、さらに第１の接触子群の接触子のアーム部の高さ位置が少なくとも第３及び第４の接触子群の接触子のアーム部の高さ位置と異なると、前後方向に隣り合う第１、第２，第３及び第４の接触子の基板への装着位置の左右方向における中心位置間距離が大きくなるのみならず、各接触子群の前後方向に隣り合う接触子同士の基板への装着位置の前後方向における中心位置間距離も大きくなる。
【００２４】
上記の結果、接触子の配置ピッチを小さくしても、基板への接触子の装着時の熱が前後方向に隣り合う接触子及び装着部に影響を与えることが防止されて、既に装着された隣の接触子及び隣の装着部の損傷が防止され、接触子の配置ピッチをさらに小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
［用語について］
【００２６】
本発明においては、図３において、左右方向を左右方向又はＸ方向（接触子の伸長方向）といい、紙背方向を前後方向又はＹ方向（各接触子群の接触子の配列方向）といい、上下方向を上下方向又はＺ方向といい、Ｘ方向及びＹ方向を含む面を水平面という。しかし、それらの方向及び面は、被検査体を検査装置に配置する姿勢により異なる。
【００２７】
したがって、上記の方向及び面は、実際の検査装置に応じて、Ｘ方向及びＹ方向を含む面が、鉛直線に垂直の水平面、該水平面に対し傾斜する傾斜面、及び該水平面に垂直の垂直面のいずれかの面内となるように決定してもよいし、それらの面の組み合わせとなるように決定してもよい。
【００２８】
また、本発明においては、接触子の針先の側を先端側又は前方側といい、それと反対の側を後端側又は後方側という。
【００２９】
図１〜図１０を参照するに、電気的接続装置１０は、未切断の多数の集積回路領域（被検査領域）をマトリクス状に有する半導体ウエーハを平板状の被検査体１２とし、またそのような多数の集積回路領域すなわち被検査領域の通電試験を同時に一回で又は複数回に分けて行うことができるように構成されている。
【００３０】
各被検査領域は、複数のパッド電極１４（図７参照）を左右方向に間隔をおいて２列に、すなわち、２つの電極列の形に有している。左右方向における一方に位置する前記電極列の複数のパッド電極１４は第１の電極群を構成しており、左右方向における他方に位置する電極列の複数のパッド電極１４は第２の電極群を構成している。
【００３１】
各電極群の電極１４は、前後方向に間隔をおいて一列に整列されている。前後方向に隣り合う被検査領域の各電極群の電極１４の左右方向における位置は、一致されている。
【００３２】
電気的接続装置１０は、円形の配線基板２０と、配線基板２０の下面に配置された矩形のプローブ基板２２と、プローブ基板２２の下面に配置された複数の接触子２４とを含む。
【００３３】
配線基板２０は、テスターの電気回路に接続される複数のテスターランド２６を当該配線基板２０の上面の周縁部に有しており、また図示してはいないがテスターランド２６に一対一の形に電気的に接続された複数の配線を下面及び内部に有している。
【００３４】
プローブ基板２２は、それぞれが導電性を有する複数の装着部２８を電気絶縁性板３０の下面に有しており、また装着部２８に一対一の形に電気的に接続された複数の配線（図示せず）を電気絶縁性板３０に有している。
【００３５】
装着部２８は、図示の例では、プローブ基板２２の内部配線に電気的に接続された独立したプローブランドであるが、前記内部配線のプローブ基板２２の下面に露出された部分であってもよい。
【００３６】
プローブ基板２２の各配線は、配線基板２０の図示しない前記配線に電気的に接続されている。このため、各装着部２８は、配線基板２０の配線に一対一の形に電気的に接続されている。多数の接触子２４及び多数の装着部２８のそれぞれが、同時に検査すべき被検査領域毎に割り当てられている。接触子２４及び装着部２８は、互いに及び電極１４に一対一の形に対応されている。
【００３７】
配線基板２０及びプローブ基板２２は、これらを厚さ方向に貫通する複数の位置決めピン（図示せず）により相対的位置決めをされており、また複数のねじ部材（図示せず）により相互に結合されている。
【００３８】
被検査領域に割り当てられた多数の装着部２８は、それぞれが前後方向に間隔をおいた複数の装着部２８を含みかつ左右方向における電極１４の位置に対応されて前後方向へ伸びる第１の仮想線VL1に関して左右方向一方側（例えば図３及び４で左方側）に位置された第１、第２、第３及び第４の装着部群と、それぞれが前後方向に間隔をおいた複数の装着部２８を含みかつ前記仮想線VL1に関して左右方向他方側（例えば図３及び４で右方側）に位置された第５、第６、第７及び第８の装着部群とに分けられている。
【００３９】
図示の例では、第１、第２、第３及び第４の装着部群の装着部を、それらの符号２８に、それぞれ、アルファベットのａ，ｂ，ｃ及びｄを付して示していると共に、第５、第６、第７及び第８の装着部群の装着部を、それらの符号２８に、それぞれ、アルファベットのａ，ｂ，ｃ及びｄを付して示している。
【００４０】
図３，４及び９に示すように、第１、第２、第３及び第４の装着部群の装着部２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄは、それらが相互に左右方向に離間されかつ左右方向におけるそれらの位置が第１、第２、第３及び第４の装着部群の装着部の順に前記第１の仮想線VL1から離間するように、プローブ基板２２に形成されている。
【００４１】
第５、第６、第７及び第８の装着部群の装着部２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄも、上記と同様に、それらが相互に左右方向に離間されかつ左右方向におけるそれらの位置が第５、第６、第７及び第８の装着部群の装着部の順に前記第１の仮想線から離間するように、プローブ基板２２に形成されている。
【００４２】
第１、第２、第３及び第４の装着部群の各装着部群の装着部２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄのそれぞれは、他の装着部群の装着部に対し前後方向に変位されており、またそれら装着部が前後方向に装着部２８ａ，２８ｄ，２８ｂ，２８ｃ，２８ａ・・・と繰り返すように位置されている。
【００４３】
上記と同様に、第５、第６、第７及び第８の装着部群の装着部２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄのそれぞれも、他の装着部群の装着部に対し前後方向にずらされており、またそれら装着部が前後方向に装着部２８ａ，２８ｄ，２８ｂ，２８ｃ，２８ａ・・・と繰り返すように位置されている。
【００４４】
図１０に示すように、各接触子２４は、対応する装着部２８に上端部において装着された板状の座部３２と、座部３２の下端から左右方向へ伸びる板状のアーム部３４と、アーム部３４の先端部から下方へ伸びる板状の針先部３６とを備える板状をしたブレードタイプの針とされている。針先部３６はその下端に針先３８を有する。
【００４５】
座部３２及びアーム部３４は、これらを厚さ方向に貫通する穴を有している。アーム部３４の穴は左右方向に長い長穴である。これにより、アーム部３４は、オーバードライブが接触子２４に作用したときに、容易に弾性変形をする。
【００４６】
各接触子２４は、その厚さ方向が前後方向となり、かつ針先３８が一方又は他方の前記電極列の電極１４の位置に対応する第２又は第３の仮想線VL2又はVL3と一致する状態に、座部３２においてプローブ基板２２の対応する装着部２８に片持ち梁状に装着されている。
【００４７】
被検査領域に割り当てられた多数の接触子２４は、それぞれが前後方向に変位された複数の接触子２４を含みかつ左右方向における電極１４の位置に対応する前記第１の仮想線VL1に関して左右方向一方側に位置された第１、第２、第３及び第４の接触子群と、それぞれが前後方向に変位された複数の接触子２４を含みかつ前記第１の仮想線に関して左右方向他方側に位置された第５、第６、第７及び第８の接触子群とに分けられている。
【００４８】
図示の例では、第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子を、それらの符号２４に、それぞれ、アルファベットのａ，ｂ，ｃ及びｄを付して示していると共に、第５、第６、第７及び第８の接触子群の接触子を、それらの符号２４に、それぞれ、アルファベットのａ，ｂ，ｃ及びｄを付して示している。
【００４９】
図３から図７に示すように、第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄは、それらが相互に左右方向に離間されかつ左右方向にけるそれらのプローブ基板２２への装着位置が第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子の順に前記電極列の他方の電極１４の左右方向における位置に対応する前記第２の仮想線VL2から離間するように、プローブ基板２２に取り付けられている。
【００５０】
第５、第６、第７及び第８の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄも、上記と同様に、それらが相互に左右方向に離間されかつ左右方向におけるそれらのプローブ基板２２への装着位置が第５、第６、第７及び第８の接触子群の接触子の順に前記第３の仮想線VL３から離間するように、プローブ基板２２に取り付けられている。
【００５１】
第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄのそれぞれは、他の接触子群の接触子に対し前後方向にずらさており、またそれら接触子が前後方向に接触子２４ａ，２４ｄ，２４ｂ，２４ｃ，２４ａ・・・と繰り返すように位置されている。
【００５２】
上記と同様に、第５、第６、第７及び第８の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄのそれぞれも、他の接触子群の接触子に対し前後方向にずらさており、またそれらの接触子が前後方向に接触子２４ａ，２４ｄ，２４ｂ，２４ｃ，２４ａ・・・と繰り返すように位置されている。
【００５３】
電極群から装着部２８までの距離寸法が前記したように装着部群同士で異なることから、接触子２４ａ，２４ｄ，２４ｂ，２４ｃの各部位は、異なる。これについて、以下に図１０を参照して説明する。
【００５４】
対応する装着部２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄからの各接触子群の接触子２４ａ，２４ｄ，２４ｂ，２４ｃの針先の高さ位置（対応する装着部２８から針先３８までの接触子２８の高さ寸法）は同じとされている。
【００５５】
上下方向におけるアーム部３４の寸法（幅寸法）同士、前後方向における座部３２及びアーム部３４の寸法（厚さ寸法）同士、及び左右方向におけるアーム部３４の寸法（長さ寸法）同士も、それぞれ、同じとされている。
【００５６】
第１、第２、第５及び第６の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂの座部３２の高さ寸法（対応する装着部２８から針先３８までの接触子２４の高さ寸法）は、同じとされている。
【００５７】
第３、第４、第７及び第８の接触子群の接触子２４ｃ，２４ｄの座部３２の高さ寸法は、相互に同じとされているが、第１、第２、第５及び第６の接触子群の各接触子２４ａ，２４ｂの座部３２の高さ寸法よりアーム部３４の幅寸法に数μｍから数十μｍ程度を加算した分だけ大きい。
【００５８】
上記のことから、第３、第４、第７及び第８の接触子群の接触子２４ｃ，２４ｄのアーム部３４の高さ位置は、第１、第２、第５及び第６の接触子群の各接触子２４ａ，２４ｂのアーム部３４の高さ位置より大きい。
【００５９】
各接触子群の接触子２４ａ，２４ｂの針先部３６及び針先３８の前後方向における寸法（厚さ寸法）は、相互に同じとされているが、座部３２及びアーム部３４の厚さ寸法より小さくされている。
【００６０】
第１、第２、第５及び第６の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂの針先部３６の高さ寸法は、同じである。しかし、第３、第４、第７及び第８の接触子群の接触子２４ｃ，２４ｄの針先部３６の上下方向における寸法（長さ寸法）は、相互に同じとされているが、第１、第２、第５及び第６の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂの針先部３６のそれより座部３２の高さ寸法の差分だけ小さくされている。
【００６１】
第１から第８の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ及び２４ｄの座部３２の左右方向における長さ寸法（座部３２の対応する装着部２８への装着箇所の後端からアーム部３４までの寸法）は、接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄの準に漸次大きくされている。
【００６２】
第１及び第５の接触子群の接触子２４ａの座部３２は、斜め下向きの傾斜面４０ａを電極群の側に有する。第２及び第６の接触子群の接触子２４ｂの座部３２は、斜め上向きの傾斜面４０ｂを電極群の側に有する。
【００６３】
第３及び第７の接触子群の接触子２４ｃの座部３２は、斜め上向きの傾斜面４０ｃを電極群の側に有する。第４及び第８の接触子群の接触子２４ｄの座部３２は、斜め上向きの傾斜面４０ｄを電極群の側に有する。
【００６４】
各接触子２４は、レーザのような加熱源と半田付のような導電性接着剤とを用いて、所定の装着部２８に接着される。
【００６５】
上記のような接触子２４を備えたプローブ基板２２は、以下のような手順で組み立てることができる。
【００６６】
先ず、図１１（Ａ）に示すように、多数の装着部を備えたプローブ基板２２が準備される。これと平行して、上記した多数の接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ及び２４ｄが準備される。
【００６７】
次いで、図１１（Ｂ）に示すように、第１の接触子群の接触子２４ａが所定に装着部２８に取り付けられる。次いで、図１１（Ｃ）に示すように、第２の接触子群の接触子２４ｂが所定に装着部２８に取り付けられる。次いで、図１１（Ｄ）に示すように、第３の接触子群の接触子２４ｃが所定に装着部２８に取り付けられる。次いで、図１１（Ｅ）に示すように、第４の接触子群の接触子２４ｄが所定に装着部２８に取り付けられる。
【００６８】
上記の結果、図１１（Ｅ）に示すように、第１，第２，第３及び第４の接触子群の各接触子２４を備えたプローブ基板２２が組み立てられる。
【００６９】
第５，第６，第７及び第８の接触子群の接触子２４は、上記と同様にして所定の装着部に取り付けられる。
【００７０】
電気的接続装置１０は、配線基板２０が上方となり、接触子２４が下方となる状態に、テスターに取り付けられる。テスターに取り付けられた状態において、電気的接続装置１０は、各接触子２４の針先３８を被検査体１２のパッド電極１４に押圧される。
【００７１】
これにより、オーバードライブが各接触子２４に作用し、各接触子２４はアーム部３４において弾性変形する。この状態で、テスターから、テスターランド２６、配線基板２０の配線及びプローブ基板２２の配線を介して、所定の接触子２４に通電され、所定の接触子２４から電気信号がテスターに出力される。
【００７２】
電気的接続装置１０においては、前後方向に隣り合う接触子２４の基板２２への装着位置の左右方向における中心位置間距離、及び前後方向に隣り合う接触子２４の装着位置の前後方向における中心位置間距離が、いずれも大きくなる。
【００７３】
上記の結果、接触子２４の配置ピッチを小さくしても、接触子２４の装着時の熱が隣の装着部２８に影響を与えることが防止されて、隣の装着部２８の損傷が防止される。また、隣り合う接触子２４の座部３４及びアーム部３６が対向しないから、隣り合う接触子２４の間における電気的干渉が防止又は低減される。
【００７４】
また、第１から第４の接触子群の接触子２４と、第５から第８の接触子群の接触子２４とを、それらの間を前後方向へ伸びる前記第１の仮想線に対し対称的となるように配置しているから、各被検査領域により多数の電極１４を備えた被検査体の電気的試験に適用することができる。
【００７５】
上記実施例では、第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ及び２４ｄ、並びに第５、第６、第７及び第８の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ及び２４ｄを、それら接触子が前後方向に接触子２４ａ，２４ｄ，２４ｂ，２４ｃ，２４ａ・・・と繰り返すように配置している。
【００７６】
しかし、図１２に示すように、第１、第２、第３及び第４の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ及び２４ｄ、並びに第５、第６、第７及び第８の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ及び２４ｄを、それら接触子が前後方向に接触子２４ａ，２４ｃ，２４ｂ，２４ｄ，２４ａ・・・と繰り返すように配置してもよい。
【００７７】
上記の場合、装着部２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，２８ｄを図１３に示すように配置したプローブ基板２２が用いられる。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明は、第１、第２、第３，第４の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ、及び第５、第６、第７，第８の接触子群の接触子２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄのいずれか一方を備えていなくてもよい。
【００７９】
また、本発明は、複数の電極を検査領域に２列に有する被検査体用の電気的接続装置のみならず、複数の電極を被検査領域に１列に又は３列以上に有する被検査体用の電気的接続装置にも適用することができる。
【００８０】
さらに、本発明は、接触子を配線基板に直接取り付けた電気的接続装置にも適用することができる。
【００８１】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す底面図である。
【図２】図１に示す電気的接続装置の正面図である。
【図３】図２における３−３線に沿って得た拡大断面図である。
【図４】図１に示す電気的接続装置の一部を拡大して示す底面図である。
【図５】図４における右側面図である。
【図６】図１に示す電気的接続装置の一部を拡大して及び上下を逆にして示す斜視図である。
【図７】図４における７−７線に沿って得た拡大断面図である。
【図８】図１に示す電気的接続装置における被検査体の電極とプローブ基板の装着部との関係を示す図である。
【図９】装着部の配置例を示す配置図である。
【図１０】各種接触子の形状を説明するための図である。
【図１１】図１に示す電気的接続装置におけるプローブ基板の組み立て方法を説明するための図である。
【図１２】接触子の他の配置例を、拡大して及び上下を逆にして示す斜視図である。
【図１３】図１２に示す他の配置例を示す図９に類似した図である。
【符号の説明】
【００８３】
１０  電気的接続装置
１２  被検査体
１４  パッド電極
２０  配線基板
２２  プローブ基板
２４，２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ  接触子
２６  テスターランド
２８，２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ  装着部
３０  電気絶縁性板
３２  座部
３４  アーム部
３６  針先部
３８  針先
４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ  傾斜面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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