(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査用電圧を出力する電圧供給部と、検査対象体の所定部位に対する前記検査用電圧の供給によって生じる物理量を検出する検出部と、当該検出部によって検出された前記物理量に基づいて前記所定部位における放電の発生の有無を判定する判定処理を行う処理部とを備え、前記所定部位に対して前記検査用電圧が供給された状態において当該検査対象体の絶縁状態を検査する絶縁検査装置であって、
前記検出部は、前記物理量としての前記所定部位における電圧および当該所定部位において生じる光を検出し、
前記処理部は、前記判定処理において、前記検出部によって検出された前記電圧の電圧値および前記光の光強度のいずれか一方が瞬時変化したと判別した後に当該判別したときから予め決められた所定の時間以内に当該電圧値および当該光強度の他方が瞬時変化したと判別したときに前記放電が発生したと判定する絶縁検査装置。
【請求項２】
検査用電圧を出力する電圧供給部と、検査対象体の所定部位に対する前記検査用電圧の供給によって生じる物理量を検出する検出部と、当該検出部によって検出された前記物理量に基づいて前記所定部位における放電の発生の有無を判定する判定処理を行う処理部とを備え、前記所定部位に対して前記検査用電圧が供給された状態において当該検査対象体の絶縁状態を検査する絶縁検査装置であって、
前記検出部は、前記物理量としての前記所定部位を流れる電流および当該所定部位において生じる光を検出し、
前記処理部は、前記判定処理において、前記検出部によって検出された前記電流の電流値および前記光の光強度のいずれか一方が瞬時変化したと判別した後に当該判別したときから予め決められた所定の時間以内に当該電流値および当該光強度の他方が瞬時変化したと判別したときに前記放電が発生したと判定する絶縁検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象体に検査用電圧を供給して検査対象体の絶縁状態を検査すると共に、絶縁状態の検査の際に放電が発生したか否かを判定可能に構成された絶縁検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置として、特許３５４６０４６号公報に開示された絶縁検査装置が知られている。この絶縁検査装置は、回路基板に形成された配線パターン間に出力電圧を印加したときに、電圧計で検出される配線パターン間の電圧値と、電流計で検出された配線パターン間を流れる電流値とに基づいて配線パターン間の抵抗値を算出し、この抵抗値が閾値以上であるか否かを判別することで、回路基板の良否を判定可能に構成されている。また、この絶縁検査装置は、検査用電圧の印加に伴って配線パターン間でスパーク（放電）が発生したか否かを、電圧計から出力される電圧信号に基づいて検出するスパーク検出回路を備えて構成されている。この場合、この絶縁検査装置では、スパーク検出回路によってスパークの発生が検出されたときには、配線パターン間の抵抗値が閾値以上であるか否かに拘わらず検査対象の回路基板を不良と判定している。
【特許文献１】特許３５４６０４６号公報（第５−９頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記の絶縁検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この絶縁検査装置では、電圧計から出力される電圧信号に基づいてスパークが発生したか否かを判別している。一方、この種の絶縁検査装置を用いた絶縁検査は、一般的に、検査対象としての回路基板の製造工程内において行われるため、絶縁検査装置が設置される設置場所の周囲に、ノイズを発生する製造装置や電子機器等が設置されていることがある。この場合、これらの装置や機器から発生しているノイズが高レベルのときには、電圧計から出力される電圧信号にその高レベルのノイズが重畳して、スパーク検出回路によってその高レベルのノイズがスパークとして検出されるおそれがある。したがって、この絶縁検査装置には、実際にはスパークが発生していないにも拘わらず、スパークが発生したとして、実際には良品の回路基板が不良品と判定されるおそれがあるという問題点が存在する。この場合、このような誤判定が多発したときには、良品の回路基板が廃棄されることとなり、その結果多大な損害が発生する事態となる。
【０００４】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、検査用電圧の供給に伴う放電の発生の有無を正確に判定し得る絶縁検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成すべく請求項１記載の絶縁検査装置は、検査用電圧を出力する電圧供給部と、検査対象体の所定部位に対する前記検査用電圧の供給によって生じる物理量を検出する検出部と、当該検出部によって検出された前記物理量に基づいて前記所定部位における放電の発生の有無を判定する判定処理を行う処理部とを備え、前記所定部位に対して前記検査用電圧が供給された状態において当該検査対象体の絶縁状態を検査する絶縁検査装置であって、前記検出部は、前記物理量としての前記所定部位における電圧および当該所定部位において生じる光を検出し、前記処理部は、前記判定処理において、前記検出部によって検出された前記電圧の電圧値および前記光の光強度のいずれか一方が瞬時変化したと判別した後に当該判別したときから予め決められた所定の時間以内に当該電圧値および当該光強度の他方が瞬時変化したと判別したときに前記放電が発生したと判定する。
【０００６】
請求項２記載の絶縁検査装置は、検査用電圧を出力する電圧供給部と、検査対象体の所定部位に対する前記検査用電圧の供給によって生じる物理量を検出する検出部と、当該検出部によって検出された前記物理量に基づいて前記所定部位における放電の発生の有無を判定する判定処理を行う処理部とを備え、前記所定部位に対して前記検査用電圧が供給された状態において当該検査対象体の絶縁状態を検査する絶縁検査装置であって、前記検出部は、前記物理量としての前記所定部位を流れる電流および当該所定部位において生じる光を検出し、前記処理部は、前記判定処理において、前記検出部によって検出された前記電流の電流値および前記光の光強度のいずれか一方が瞬時変化したと判別した後に当該判別したときから予め決められた所定の時間以内に当該電流値および当該光強度の他方が瞬時変化したと判別したときに前記放電が発生したと判定する。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の絶縁検査装置によれば、物理量としての電圧および光に基づいて処理部が判定処理を行うことにより、例えば、絶縁検査装置の周囲から発生するノイズに起因して、放電が実際には発生していないにも拘わらず発生したと誤判定される事態を確実に防止することができる結果、絶縁検査装置の周囲の環境に影響されることなく、検査用電圧の供給に伴う放電の発生の有無を正確に判定することができる。したがって、放電が実際に発生した検査対象体だけを不良品として選別することができるため、良品の検査対象体が不良品と誤判定されることに起因する損害の発生等を確実に防止することができる。また、双方にノイズが重畳し易い電圧と電流の２つのみの組み合わせで判別するのではなく、異種の物理量である光の変化にも基づいて放電の有無を判別することで、放電の発生有無の判定精度を十分に高めることができる。
【００１２】
また、検出部によって検出された電圧の電圧値および光の光強度に基づいて処理部が判定処理を行うことにより、検出部から出力される光強度についての検出信号がノイズの影響を受け難いため、放電に伴って生じる電圧値の瞬時変化と、放電に伴って生じる閃光による光強度の瞬時変化とに基づいて判定処理を行うことで、放電の発生の有無をより確実に判定することができる。
【００１３】
また、請求項２記載の絶縁検査装置によれば、物理量としての電流および光に基づいて処理部が判定処理を行うことにより、例えば、絶縁検査装置の周囲から発生するノイズに起因して、放電が実際には発生していないにも拘わらず発生したと誤判定される事態を確実に防止することができる結果、絶縁検査装置の周囲の環境に影響されることなく、検査用電圧の供給に伴う放電の発生の有無を正確に判定することができる。したがって、放電が実際に発生した検査対象体だけを不良品として選別することができるため、良品の検査対象体が不良品と誤判定されることに起因する損害の発生等を確実に防止することができる。また、双方にノイズが重畳し易い電圧と電流の２つのみの組み合わせで判別するのではなく、異種の物理量である光の変化にも基づいて放電の有無を判別することで、放電の発生有無の判定精度を十分に高めることができる。
【００１４】
また、検出部によって検出された電流の電流値および光の光強度に基づいて処理部が判定処理を行うことにより、検出部から出力される光強度についての検出信号がノイズの影響を受け難いため、放電に伴って生じる電流値の瞬時変化と、放電に伴って生じる閃光による光強度の瞬時変化とに基づいて判定処理を行うことで、放電の発生の有無をより確実に判定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、絶縁検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１８】
最初に、絶縁検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１９】
図１に示す絶縁検査装置１は、絶縁検査装置の一例であって、回路基板１００（検査対象体の一例）における導体パターン１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃ・・・（所定部位、以下、区別しないときには、「導体パターン１０２」ともいう）間の絶縁状態を検査すると共に、絶縁状態の検査の際に導体パターン１０２に放電が発生したか否を判定することにより、回路基板１００の良否を判別可能に構成されている。具体的には、絶縁検査装置１は、同図に示すように、検出部２、測定部３、電圧供給部４、プローブ機構５、スイッチ部６、操作部７、表示部８、記憶部９および制御部１０を備えて構成されている。この場合、制御部１０が処理部に相当する。
【００２０】
検出部２は、電圧検出回路２１ａ、電流検出回路２１ｂ、光検出回路２１ｃおよび音検出回路２１ｄ（以下、各検出回路２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄを区別しないときには、単に「検出回路２１」ともいう）を備えて構成されている。電圧検出回路２１ａは、導体パターン１０２に対する電圧供給部４からの検査用電圧Ｖｅの供給によって生じる導体パターン１０２と接地電位との間の電圧（電位差）を検出して、その電圧値Ｖｍを示す検出信号Ｓａを出力する。電流検出回路２１ｂは、検査用電圧Ｖｅの供給によって導体パターン１０２，１０２間に流れる電流を検出して、その電流値Ｉｍを示す検出信号Ｓｂを出力する。光検出回路２１ｃは、導体パターン１０２において発生する光を検出して、その光強度Ｌｍを示す検出信号Ｓｃを出力する。音検出回路２１ｄは、導体パターン１０２において発生する音（超音波）を検出して、その音量Ｎｍを示す検出信号Ｓｄ（以下、各検出信号Ｓａ，Ｓｂ，Ｓｃ，Ｓｄを区別しないときには、単に「検出信号Ｓ」ともいう）を出力する。この場合、電圧（電圧値Ｖｍ）、電流（電流値Ｉｍ）、光（光強度Ｌｍ）および音（音量Ｎｍ）が、物理量（以下、本明細書において「物理量Ｐｍ」ともいう）に相当する。
【００２１】
測定部３は、電圧測定回路３１ａ、電流測定回路３１ｂ、光強度測定回路３１ｃおよび音量測定回路３１ｄ（以下、各測定回路３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを区別しないときには、単に「測定回路３１」ともいう。）を備えて構成されている。この場合、各測定回路３１は、Ａ／Ｄ変換回路（図示せず）等を備えて構成されて、検出回路２１から出力された検出信号Ｓをアナログ−デジタル変換して測定データＤ（以下、各測定回路３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄから出力される各測定データＤを、それぞれ測定データＤａ，Ｄｂ，Ｄｃ，Ｄｄともいう）を出力する。電圧供給部４は、検査用電圧Ｖｅとしての直流電圧を出力する。プローブ機構５は、複数のプローブ５１を備えて構成され、制御部１０の制御に従い、回路基板１００の導体パターン１０２に対して接離する方向に沿って各プローブ５１を移動させる。
【００２２】
スイッチ部６は、複数のスイッチ６１ａ〜６１ｆ（以下、各スイッチ６１ａ〜６１ｆを区別しないときには、単に「スイッチ６１」ともいう）を備えて構成され、制御部１０の制御に従って各スイッチ６１をオン状態またはオフ状態に移行させることにより、プローブ５１を介しての導体パターン１０２に対する検査用電圧Ｖｅの出力および出力停止、並びにプローブ５１と電流検出回路２１ｂとの接続および接続解除を行う。操作部７は、電源スイッチや検査開始スイッチ等の各種のスイッチを備えて構成されて、各スイッチの操作に対応する操作信号を出力する。表示部８は、制御部１０の制御に従って検査結果等の各種の画像を表示する。記憶部９は、制御部１０によって算出（測定）される抵抗値Ｒｍを記憶する。また、記憶部９は、制御部１０によって実行される絶縁検査処理７０において用いられる基準抵抗値Ｒｓや、制御部１０によって実行される放電発生判定処理８０において用いられる基準値Ｖｓ，Ｉｓ，Ｌｓ，Ｎｓを記憶する。
【００２３】
制御部１０は、操作部７から出力される操作信号に従って絶縁検査装置１を構成する各部を制御する。また、制御部１０は、絶縁検査処理７０（図２参照）を実行することにより、電圧測定回路３１ａから出力される測定データＤａおよび電流測定回路３１ｂから出力される測定データＤｂに基づいて導体パターン１０２間の抵抗値Ｒｍを算出（測定）すると共に、抵抗値Ｒｍと基準抵抗値Ｒｓとを比較して回路基板１００の良否（各導体パターン１０２間の絶縁状態）を検査する。また、制御部１０は、検出部２によって検出された電圧（電圧値Ｖｍ）、電流（電流値Ｉｍ）、光（光強度Ｌｍ）および音（音量Ｎｍ）の各物理量Ｐｍのうち、電圧（電圧値Ｖｍ）および電流（電流値Ｉｍ）の２つの物理量Ｐｍのみの組み合わせを除く２以上の物理量Ｐｍに基づいて導体パターン１０２における放電（スパーク放電やアーク放電）の発生の有無を判定する放電発生判定処理８０（判定処理：図３参照）を実行する。
【００２４】
次に、絶縁検査装置１を用いて回路基板１００の絶縁検査を行う絶縁検査方法およびその際の絶縁検査装置１の動作について、図面を参照して説明する。なお、回路基板１００は、図１に示すように、複数（少なくとも３つ）の導体パターン１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃを備えているものとする。
【００２５】
まず、検査対象の回路基板１００を図外の載置台に載置し、次いで、操作部７を用いて検査開始操作を行う。この際に、制御部１０が、操作部７から出力された操作信号に従って図２に示す絶縁検査処理７０を開始する。この絶縁検査処理７０では、制御部１０は、プローブ機構５を制御して（ステップ７１）、図１に示すように、回路基板１００の各導体パターン１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｃに各プローブ５１をそれぞれ接触させる。続いて、制御部１０は、スイッチ部６を制御して（ステップ７２）、同図に示すように、例えば、各スイッチ６１ａ〜６１ｆのうちのスイッチ６１ａ，６１ｄ，６１ｆをオン状態に移行させると共に、スイッチ６１ｂ，６１ｃ，６１ｅをオフ状態に移行させる。これにより、導体パターン１０２ａに対して、電圧供給部４からの検査用電圧Ｖｅが供給される。
【００２６】
次いで、電圧検出回路２１ａが、導体パターン１０２ａにおける電圧を検出して検出信号Ｓａを出力し、電圧測定回路３１ａが検出信号Ｓａをアナログ−デジタル変換して測定データＤａを出力する。また、電流検出回路２１ｂが、各導体パターン１０２間（この例では、導体パターン１０２ａと、導体パターン１０２ｂ，１０２ｃとの間）を流れる電流を検出して検出信号Ｓｂを出力し、電流測定回路３１ｂが検出信号Ｓｂをアナログ−デジタル変換して測定データＤｂを出力する。続いて、制御部１０は、一例として、測定データＤａによって特定される電圧値Ｖｍを、測定データＤｂによって特定される電流値Ｉｍで除算することにより、各導体パターン１０２間の絶縁抵抗の抵抗値Ｒｍを算出する（ステップ７３）。
【００２７】
この場合、上記したように、スイッチ６１ａ，６１ｄ，６１ｆがオン状態でスイッチ６１ｂ，６１ｃ，６１ｅがオフ状態のため、導体パターン１０２ａ，１０２ｂ間および導体パターン１０２ａ，１０２ｃ間に絶縁不良（短絡）が生じておらず絶縁状態が良好なときには、導体パターン１０２ａ，１０２ｂ間および導体パターン１０２ａ，１０２ｃ間には電流が殆ど流れない状態に維持される。したがって、この状態では、電流検出回路２１ｂによって検出される電流の電流値Ｉｍがほぼ０に維持されるため、制御部１０によって算出される各導体パターン１０２間の抵抗値Ｒｍが十分大きな値となる。一方、導体パターン１０２ａ，１０２ｂ間および導体パターン１０２ａ，１０２ｃ間のいずれかにおいて絶縁不良が生じていているときには、電流検出回路２１ｂによって検出される電流値Ｉｍが所定の値以上となる。したがって、この状態では、制御部１０によって算出される各導体パターン１０２間の抵抗値Ｒｍが小さな値となる。
【００２８】
次いで、制御部１０は、算出した抵抗値Ｒｍを記憶部９に記憶させる。続いて、制御部１０は、全ての導体パターン１０２間についての抵抗値Ｒｍの算出が完了したか否かを判別する（ステップ７４）。この場合、この時点では、導体パターン１０２ｂ，１０２ｃ間の抵抗値Ｒｍを算出していないため、制御部１０は、スイッチ部６を制御して（ステップ７２）、各スイッチ６１ａ〜６１ｆのうちのスイッチ６１ｃ，６１ｆをオン状態に移行させると共に、スイッチ６１ａ，６１ｂ，６１ｄ，６１ｅをオフ状態に移行させる。これにより、導体パターン１０２ｂに対して、電圧供給部４からの検査用電圧Ｖｅが供給される。
【００２９】
次いで、制御部１０は、電圧測定回路３１ａから出力された測定データＤａによって特定される導体パターン１０２ｂにおける電圧の電圧値Ｖｍを、測定データＤｂによって特定される導体パターン１０２ｂ，１０２ｃの間を流れる電流の電流値Ｉｍで除算することにより、導体パターン１０２ｂ，１０２ｃ間の抵抗値Ｒｍを算出する（ステップ７３）。この場合、制御部１０によって算出される導体パターン１０２ｂ，１０２ｃ間の抵抗値Ｒｍは、導体パターン１０２ｂ，１０２ｃ間において絶縁不良が生じておらず絶縁状態が良好なときには十分大きな値となり、導体パターン１０２ｂ，１０２ｃ間において絶縁不良が生じていているときには小さな値となる。
【００３０】
続いて、制御部１０は、算出した抵抗値Ｒｍを記憶部９に記憶させた後に、上記したステップ７４を実行する。この場合、全ての導体パターン１０２間の抵抗値Ｒｍの算出が完了しているため、制御部１０は、記憶部９から各抵抗値Ｒｍおよび基準抵抗値Ｒｓを読み出すと共に、抵抗値Ｒｍと基準抵抗値Ｒｓとを比較して（例えば、抵抗値Ｒｍが基準抵抗値Ｒｓ以上であるか否かを判別して）回路基板１００の絶縁状態の良否を判定する（ステップ７５）。この場合、制御部１０は、各抵抗値Ｒｍが基準抵抗値Ｒｓ以上のときには、回路基板１００の絶縁状態が良好であると判定し（ステップ７６）、抵抗値Ｒｍが基準抵抗値Ｒｓ以上のときには、回路基板１００の絶縁状態が不良であると判定して（ステップ７７）、その判別結果を示す画像を表示部８に表示させて、絶縁検査処理７０を終了する。
【００３１】
ここで、この絶縁検査装置１を含むこの種の絶縁検査装置では、比較的高圧の検査用電圧Ｖｅを用いるため、プローブ５１と導体パターン１０２との間や、各導体パターン１０２間で放電が発生することがある。この場合、このような放電が発生したときには、回路基板１００が損傷を受けて、この損傷に起因して、後に絶縁不良を引き起こすおそれがある。このため、この絶縁検査装置１では、制御部１０が、絶縁検査処理７０の実行と並行して、図３に示す放電発生判定処理８０を実行することにより、放電の発生有無を判定している。
【００３２】
この放電発生判定処理８０では、制御部１０は、上記したように、電圧（電圧値Ｖｍ）、電流（電流値Ｉｍ）、光（光強度Ｌｍ）および音（音量Ｎｍ）の各物理量Ｐｍのうち、電圧（電圧値Ｖｍ）および電流（電流値Ｉｍ）の２つの物理量Ｐｍのみの組み合わせを除く２以上の物理量Ｐｍに基づき、導体パターン１０２における放電（スパーク放電やアーク放電）の発生の有無を判定する。具体的には、制御部１０は、各測定回路３１から出力される測定データＤに基づき、電圧値Ｖｍ、電流値Ｉｍ、光強度Ｌｍおよび音量Ｎｍの各物理量Ｐｍのいずれか１つ（１種類）が、各々の物理量Ｐｍに対して規定された基準値Ｖｓ，Ｉｓ，Ｌｓ，Ｎｓ以上に瞬時的に変化（瞬時変化）したか否かを繰り返して判別する（ステップ８１）。
【００３３】
ここで、放電が発生したときには、電圧値Ｖｍ、電流値Ｉｍ、光強度Ｌｍおよび音量Ｎｍが瞬時的に変化する。具体的には、放電の発生時には、瞬間的に大電流が流れるため、電圧値Ｖｍが瞬時的に立ち下がり、電流値Ｉｍが瞬時的に立ち上がる。また、放電の発生に伴って閃光および破裂音（超音波）が生じたときには、光強度Ｌｍが瞬時的に上昇し、音量Ｎｍが瞬時的に上昇する。したがって、各検出回路２１によって検出された各物理量Ｐｍの変化量や変化率と基準値Ｖｓ，Ｉｓ，Ｌｓ，Ｎｓとを比較することで、放電が発生したか否かを判別することができる。具体的には、制御部１０は、測定データＤａ〜Ｄｄの各値を監視することで、電圧値Ｖｍの変化量（低下量）、電流値Ｉｍの変化量（上昇量）、光強度Ｌｍの変化量（上昇量）および音量Ｎｍの変化量（上昇量）を求め、電圧値Ｖｍの変化量（低下量）が基準値Ｖｓ以上となり、電流値Ｉｍの変化量（上昇量）が基準値Ｉｓ以上となり、光強度Ｌｍの変化量（上昇量）が基準値Ｌｓ以上となり、音量Ｎｍの変化量（上昇量）が基準値Ｎｓ以上となったときには、後述するように、放電が発生したと判別する。
【００３４】
一方、この種の絶縁検査装置は、一般的に、回路基板１００の製造工程内において使用されるため、製造装置等の他の装置から高レベルのノイズが発生しているときには、その高レベルのノイズが検出信号Ｓに重畳する。このため、電圧計から出力される電圧信号のみに基づいて放電が発生したか否かを判別している従来の絶縁検査装置では、ノイズが重畳することに起因して放電が発生したと誤って判定（誤判定）されるおそれがある。これに対して、この絶縁検査装置１では、互いに種類の異なる複数の物理量Ｐｍの瞬時変化に基づいて判定を行うことで、誤判定を確実に防止している。具体的には、制御部１０は、上記したステップ８１において、いずれか１つの物理量Ｐｍが瞬時変化したと判別したときには、所定の時間Ｔ以内に他の物理量Ｐｍが瞬時変化したか否かを判別する（ステップ８２）。
【００３５】
この場合、実際に放電が発生してから物理量Ｐｍが瞬時変化するまでの時間（遅延時間）は、物理量Ｐｍの種類によって異なっている。例えば、放電の発生に伴う電流値Ｉｍの瞬時変化は、電圧値Ｖｍの瞬時変化よりも遅れて現れる。また、音量Ｎｍの瞬時変化は、光強度Ｌｍの瞬時変化よりも遅れて現れる。このため、例えば電圧値Ｖｍまたは光強度Ｌｍの瞬時変化を監視し、その後にそれ以外の物理量Ｐｍの瞬時変化が生じたか否かを判別することで複数の物理量Ｐｍが瞬時変化したか否かを確実に判別することが可能となっている。
【００３６】
続いて、制御部１０は、ステップ８２において、時間Ｔ以内に他の物理量Ｐｍが瞬時変化しなかったと判別したときには、上記したステップ８１を繰り返して実行する。一方、ステップ８２において、時間Ｔ以内に他の物理量Ｐｍが瞬時変化したと判別したときには、制御部１０は、瞬時変化した物理量Ｐｍが電圧値Ｖｍおよび電流値Ｉｍの２つだけであるか否かを判別する（ステップ８３）。この場合、制御部１０は、瞬時変化した物理量Ｐｍが電圧値Ｖｍおよび電流値Ｉｍの２つだけであると判別したときには、上記したステップ８１を繰り返して実行する。一方、瞬時変化した物理量Ｐｍが電圧値Ｖｍおよび電流値Ｉｍの２つだけではない、つまり、電圧値Ｖｍおよび電流値Ｉｍの２つの物理量Ｐｍのみの組み合わせを除く２以上の物理量Ｐｍが瞬時変化したと判別したときには、制御部１０は、検査対象の回路基板１００において放電が発生したと判定して（ステップ８４）、その判定結果を示す画像を表示部８に表示させて、放電発生判定処理８０を終了する。この場合、制御部１０は、上記した絶縁検査処理７０の実行中において放電が発生したと判定したとき（ステップ８４を実行したとき）には、絶縁検査処理７０を終了する。これにより、放電が実際に発生した回路基板１００だけが、その旨を確実に判定される。
【００３７】
このように、この絶縁検査装置１では、電圧値Ｖｍ、電流値Ｉｍ、光強度Ｌｍおよび音量Ｎｍの各物理量Ｐｍのうち、電圧値Ｖｍおよび電流値Ｉｍの２つの物理量Ｐｍのみの組み合わせを除く２以上の物理量Ｐｍに基づいて制御部１０が判定処理を行う。このため、例えば、周囲から発生するノイズに起因して、放電が実際には発生していないにも拘わらず発生したと誤判定される事態を確実に防止することができる結果、絶縁検査装置１の周囲の環境に影響されることなく、検査用電圧Ｖｅの供給に伴う放電の発生の有無を正確に判定することができる。したがって、放電が実際に発生した回路基板１００だけを不良品として選別することができるため、良品の回路基板が不良品と誤判定されることに起因する損害の発生等を確実に防止することができる。また、双方にノイズが重畳し易い電圧値Ｖｍと電流値Ｉｍの２つのみの組み合わせで判別するのではなく、異種の物理量である光強度Ｌｍや音量Ｎｍの変化にも基づいて放電の有無を判別することで、放電の発生有無の判定精度を十分に高めることができる。
【００３８】
また、この絶縁検査装置１によれば、２以上の物理量Ｐｍとしての、電圧検出回路２１ａによって検出された電圧の電圧値Ｖｍ、および光検出回路２１ｃによって検出された光の光強度Ｌｍに基づいて制御部１０が判定処理を行うことにより、光検出回路２１ｃから出力される検出信号Ｓｃがノイズの影響を受け難いため、放電に伴って生じる電圧値Ｖｍの瞬時変化と、放電に伴って生じる閃光による光強度Ｌｍの瞬時変化とに基づいて判定処理を行うことで、放電の発生の有無をより確実に判定することができる。この場合、上記した放電発生判定処理８０において、電圧値Ｖｍおよび光強度Ｌｍのいずれか一方に瞬時変化が生じたときに（ステップ８１）、電圧値Ｖｍおよび光強度Ｌｍのいずれか他方に瞬時変化が生じたかを判別する（ステップ８２）。
【００３９】
また、この絶縁検査装置１によれば、２以上の物理量Ｐｍとしての、電圧検出回路２１ａによって検出された電圧の電圧値Ｖｍ、および音検出回路２１ｄによって検出された音の音量Ｎｍに基づいて制御部１０が判定処理を行うことにより、音検出回路２１ｄから出力される検出信号Ｓｄがノイズの影響を受け難いため、放電に伴って生じる電圧値Ｖｍの瞬時変化と、放電に伴って生じる破裂音や超音波による音量Ｎｍの瞬時変化とに基づいて判定処理を行うことで、放電の発生の有無をより確実に判定することができる。この場合、上記した放電発生判定処理８０において、電圧値Ｖｍの瞬時変化が生じたときに（ステップ８１）、音量Ｎｍの瞬時変化が生じたかを判別する（ステップ８２）のが好ましい。
【００４０】
また、この絶縁検査装置１によれば、２以上の物理量Ｐｍとしての、電流検出回路２１ｂによって検出された電流の電流値Ｉｍ、および光検出回路２１ｃによって検出された光の光強度Ｌｍに基づいて制御部１０が判定処理を行うことにより、光検出回路２１ｃから出力される検出信号Ｓｃがノイズの影響を受け難いため、放電に伴って生じる電流値Ｉｍの瞬時変化と、放電に伴って生じる閃光による光強度Ｌｍの瞬時変化とに基づいて判定処理を行うことで、放電の発生の有無をより確実に判定することができる。この場合、上記した放電発生判定処理８０において、光強度Ｌｍの瞬時変化が生じたときに（ステップ８１）、電流値Ｉｍの瞬時変化が生じたかを判別する（ステップ８２）のが好ましい。
【００４１】
また、この絶縁検査装置１によれば、２以上の物理量Ｐｍとしての、電流検出回路２１ｂによって検出された電流の電流値Ｉｍ、および音検出回路２１ｄによって検出された音の音量Ｎｍに基づいて制御部１０が判定処理を行うことにより、音検出回路２１ｄから出力される検出信号Ｓｄがノイズの影響を受け難いため、放電に伴って生じる電流値Ｉｍの瞬時変化と、放電に伴って生じる破裂音や超音波による音量Ｎｍの瞬時変化とに基づいて判定処理を行うことで、放電の発生の有無をより確実に判定することができる。この場合、上記した放電発生判定処理８０において、電流値Ｉｍの瞬時変化が生じたときに（ステップ８１）、音量Ｎｍの瞬時変化が生じたかを判別する（ステップ８２）のが好ましい。
【００４２】
また、この絶縁検査装置１によれば、２以上の物理量Ｐｍとしての、光検出回路２１ｃによって検出された光の光強度Ｌｍ、および音検出回路２１ｄによって検出された音の音量Ｎｍに基づいて制御部１０が判定処理を行うことにより、光検出回路２１ｃから出力される検出信号Ｓｃ、および音検出回路２１ｄから出力される検出信号Ｓｄが共にノイズの影響を受け難いため、放電に伴って生じる閃光による光強度Ｌｍの瞬時変化と、放電に伴って生じる破裂音や超音波による音量Ｎｍの瞬時変化とに基づいて判定処理を行うことで、放電の発生の有無をより確実に判定することができる。この場合、上記した放電発生判定処理８０において、光強度Ｌｍの瞬時変化が生じたときに（ステップ８１）、音量Ｎｍの瞬時変化が生じたかを判別する（ステップ８２）のが好ましい。
【００４３】
なお、電圧値Ｖｍおよび電流値Ｉｍの２つの物理量のみの組み合わせを除く２以上の物理量Ｐｍが各々の物理量Ｐｍに対して規定された基準値Ｖｓ，Ｉｓ，Ｌｓ，Ｎｓ以上に瞬時変化したときに、放電が発生したと判定する例（上記した放電発生判定処理８０）について上記したが、これらの２以上の物理量Ｐｍを用いて所定の演算処理を行い、その演算結果が所定の条件を満たしたときに放電が発生したと判定する構成を採用することもできる。具体的には、上記２以上の物理量Ｐｍを乗算処理し、その値が基準値以上（または以下）のときに放電が発生したと判定するように構成してもよい。また、４つの検出回路２１を備えて検出部２を構成した例について上記したが、電圧検出回路２１ａ、電流検出回路２１ｂ、光検出回路２１ｃおよび音検出回路２１ｄのうち、電圧検出回路２１ａおよび電流検出回路２１ｂのみの組み合わせを除く２以上の検出回路２１を備えた検出部２を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】絶縁検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】絶縁検査処理７０のフローチャートである。
【図３】放電発生判定処理８０のフローチャートである。
【符号の説明】
【００４５】
１  絶縁検査装置
２  検出部
２１ａ  電圧検出回路
２１ｂ  電流検出回路
２１ｃ  光検出回路
２１ｄ  音検出回路
４  電圧供給回路
１０  制御部
１００  回路基板
１０２ａ〜１０２ｃ導体パターン
Ｉｍ  電流値
Ｌｍ  光強度
Ｎｍ  音量
Ｐｍ  物理量
Ｖｅ  検査用電圧
Ｖｍ  電圧値
【図１】
0005085275.tif 000002
【図２】
0005085275.tif 000003
【図３】
0005085275.tif 000004