(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
描画装置用のフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの情報をもとに、目的とする描画装置用のフォトマスクデータを表示するための表示装置であって、描画装置用のフォトマスクデータ、キャッシュファイル等を記憶蓄積する記憶手段と、記憶手段に目的とする描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルが存在するか否かを確認するためのキャッシュファイル存在確認手段と、描画装置用のフォトマスクデータに対応したキャッシュファイルを作成するためのキャッシュファイル作成手段と、キャッシュファイルから情報を取得し、表示方法を決定する表示方法決定手段と、表示方法決定手段の指示により、キャッシュファイルのファイルシーク情報により記憶手段中を検索し、描画装置用のフォトマスクデータの対応する図形データを取得する図形取得手段と、表示方法決定手段の指示により、キャッシュファイルの省略情報から、省略図形データを発生させる省略図形発生手段と、図形取得手段により得られた図形データ、省略図形発生手段により得られた省略図形の表示を制御するための図形表示制御手段と、これらの図形を表示するための表示手段と、表示するフォトマスクデータ名、表示する位置等を入力するための入力部と、各部を制御するための制御部とを備えているものであり、前記キャッシュファイルは、描画装置用のフォトマスクデータに対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、前記複数の図形群データを連ねてまとめたもので、各図形群データは、図形数、図形面積、図形ゾーン、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭及び末尾、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有するもので、各図形群のファイルシークアドレス先頭及び末尾を、フォトマスクデータの図形を取得する際の、ファイルシーク情報として、ビットマップを、省略図形データを発生させる際の、省略情報として、用いるものであることを特徴とするフォトマスクデータの表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載のフォトマスクデータの表示装置であって、描画装置用のフォトマスクデータが大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータであることを特徴とするフォトマスクデータの表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、描画装置用のフォトマスクデータの表示装置に関し、特に、描画装置用のフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの情報をもとに、目的とする描画装置用のフォトマスクデータを表示するための表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の高機能化と軽薄短小の傾向から、ＡＳＩＣに代表される種々のＬＳｌには、ますます高集積化、高機能化が求められるようになってきた。
上記ＡＳＩＣ等のＬＳＩは、機能、論理設計、回路設計、レイアウト設計等を経て、フォトマスクパタン作製用の図形データを作製し、これを用いてフォトマスクを作製した後、フォトマスクのパタンをウエハ上に縮小投影露光等により転写して、半導体素子作製のプロセスを行うという数々の工程を経て作製されるものである。
【０００３】
このような中、ＬＳＩ産業界では、一般的に、ＬＳＩ設計工程及びフォトマスク製造工程における、ＬＳＩレイアウトデータのファイルフォーマットとし、ストリームフォーマット（Ｓｔｒｅａｍ  Ｆｏｒｍａｔ）を使用しているが、更に、このストリームフォーマットからなるＬＳＩレイアウトデータをデータフォーマット変換して、描画装置用のフォトマスクデータとして、各描画装置に供されている。
描画装置用のフォトマスクデータとしては、例えば、ラスター型の電子線描画装置用ではＭＥＢＥＳフォーマット（パーキンエルマー社製描画装置用）やＥＢＭフォーマット（東芝製描画装置用）等があり、ベクター型の電子線描画装置用としては、Ｊｅｏｌフォーマット（日本電子株式会社製描画装置用）等があるが、他にも種々ある。
【０００４】
そして、この描画装置用のフォトマスクデータをディスプレイ装置上に表示し、拡大、縮小表示を行いながら、フォトマスク製造前のパターン配置確認や、寸法検査箇所の特定、不良発生時のデータ欠陥解析等の作業を行なうことがある。
しかし、近年、ますますフォトマスクデータ、特に描画装置用のフォトマスクデータは大規模化が急で、これに伴ない、これらの作業においては、描画装置用のフォトマスクデータのビューイングに費やす時間が増大化し、作業性の面から問題化してきた。
尚、従来は、任意の表示領域を、拡大、縮小表示する場合においても、描画装置用のフォトマスクデータの先頭から末尾まで全てのデータを検索した結果から、該当する図形情報を表示していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、近年、描画装置用のフォトマスクデータの大規模化がますます進む中、描画装置用のフォトマスクデータの図形情報の表示において、あるいは、表示領域の拡大、縮小表示の度に、表示のための所要時間が実用レベル以上かかり、その対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、描画装置用のフォトマスクデータのファイルサイズが大規模化した場合でも、サイズに依存せず、描画装置用のフォトマスクデータの図形情報の表示、あるいは、表示領域の拡大、縮小表示を、実用レベルの時間内で行なえる表示装置を提供しようとするものである。
具体的には、描画装置用のフォトマスクデータのビューイングのためのファイルオープン時間の短縮、表示時間の短縮ができるフォトマスクデータ表示装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のフォトマスクデータの表示装置は、描画装置用のフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの情報をもとに、目的とする描画装置用のフォトマスクデータを表示するための表示装置であって、描画装置用のフォトマスクデータ、キャッシュファイル等を記憶蓄積する記憶手段と、記憶手段に目的とする描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルが存在するか否かを確認するためのキャッシュファイル存在確認手段と、描画装置用のフォトマスクデータに対応したキャッシュファイルを作成するためのキャッシュファイル作成手段と、キャッシュファイルから情報を取得し、表示方法を決定する表示方法決定手段と、表示方法決定手段の指示により、キャッシュファイルのファイルシーク情報により記憶手段中を検索し、描画装置用のフォトマスクデータの対応する図形データを取得する図形取得手段と、表示方法決定手段の指示により、キャッシュファイルの省略情報から、省略図形データを発生させる省略図形発生手段と、図形取得手段により得られた図形データ、省略図形発生手段により得られた省略図形の表示を制御するための図形表示制御手段と、これらの図形を表示するための表示手段と、表示するフォトマスクデータ名、表示する位置等を入力するための入力部と、各部を制御するための制御部とを備えているものであり、前記キャッシュファイルは、描画装置用のフォトマスクデータに対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、前記複数の図形群データを連ねてまとめたもので、各図形群データは、図形数、図形面積、図形ゾーン、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭及び末尾、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有するもので、各図形群のファイルシークアドレス先頭及び末尾を、フォトマスクデータの図形を取得する際の、ファイルシーク情報として、ビットマップを、省略図形データを発生させる際の、省略情報として、用いるものであることを特徴とするものである。
そして、上記のフォトマスクデータの表示装置であって、描画装置用のフォトマスクデータが大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータであることを特徴とするものである。
【０００７】
尚、大規模ＬＳＩ用フォトマスクデータとは、ここでは、一般に知られるところの数百万個以上のトランジスタを搭載したロジックＬＳＩ、メモリーＬＳＩ、ＡＳＩＣのフォトマスクデータであり、そのファイルサイズもギガバイトオーダーであることを意味する。
【０００８】
【作用】
本発明のフォトマスクデータの表示装置は、このような構成にすることにより、描画装置用のフォトマスクデータのファイルサイズが大規模化した場合でも、サイズに依存せず、フォトマスクデータの図形情報の表示、あるいは、表示領域の拡大、縮小表示を、実用レベルの時間内で行なえる表示装置の提供を可能としている。
具体的には、描画装置用のフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの情報をもとに、目的とする描画装置用のフォトマスクデータを表示するための表示装置であって、描画装置用のフォトマスクデータ、キャッシュファイル等を記憶蓄積する記憶手段と、記憶手段に目的とする描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルが存在するか否かを確認するためのキャッシュファイル存在確認手段と、描画装置用のフォトマスクデータに対応したキャッシュファイルを作成するためのキャッシュファイル作成手段と、キャッシュファイルから情報を取得し、表示方法を決定する表示方法決定手段と、表示方法決定手段の指示により、キャッシュファイルのファイルシーク情報により記憶手段中を検索し、描画装置用のフォトマスクデータの対応する図形データを取得する図形取得手段と、表示方法決定手段の指示により、キャッシュファイルの省略情報から、省略図形データを発生させる省略図形発生手段と、図形取得手段により得られた図形データ、省略図形発生手段により得られた省略図形の表示を制御するための図形表示制御手段と、これらの図形を表示するための表示手段と、表示するフォトマスクデータ名、表示する位置等を入力するための入力部と、各部を制御するための制御部とを備えているものであり、前記キャッシュファイルは、描画装置用のフォトマスクデータに対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、前記複数の図形群データを連ねてまとめたもので、各図形群データは、図形数、図形面積、図形ゾーン、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭及び末尾、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有するもので、各図形群のファイルシークアドレス先頭及び末尾を、フォトマスクデータの図形を取得する際の、ファイルシーク情報として、ビットマップを、省略図形データを発生させる際の、省略情報として、用いるものであることにより、これを達成している。
詳しくは、本発明のフォトマスクデータ表示装置では、目的とする描画装置用のフォトマスクデータを表示する際には、キャッシュファイルを用いるものであって、描画装置用のフォトマスクデータを検索し、図形データを取得するためのファイルシーク情報と、描画装置用のフォトマスクデータの省略図形データを発生させるための省略情報とを、このキャッシュファイルに持たせており、描画装置用のフォトマスクデータの表示を、できるだけキャッシュファイルの省略図形データを発生させるための省略情報を用いて表示することにより、描画装置用のフォトマスクデータの指定領域を、実用レベルの所定時間の範囲内で表示することを可能としている。
【０００９】
描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルとしては、描画装置用のフォトマスクデータに対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、前記複数の図形群データを連ねてまとめたものが挙げられる。
そして、各図形群データとしては、図形数、図形面積、図形ゾーン、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭及び末尾、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有するものが挙げられる。
この場合、各図形群のファイルシークアドレス先頭及び末尾を、描画装置用のフォトマスクデータの図形を取得する際の、ファイルシーク情報として、また、ビットマップを省略図形データを発生させる際の、省略情報として、用いることができる。
即ち、キャッシュファイルに図形群の地図情報を予め準備しておき、実際の表示の際、この地図情報を基に、描画装置用のフォトマスクデータ中の特定箇所から図形検索し、表示することができるし、場合によっては、キャッシュファイルの省略図形データを用いて、省略図形を表示することができる。
本発明によれば、基本的に、従来に見られるような、描画装置用のフォトマスクデータ全域の検索を必要としないことから、データサイズに依存せず、表示時間を実用レベルの所定時間の範囲内に抑えることが可能となる。
特に、描画装置用のフォトマスクデータが大規模フォトマスクデータである場合には、有効である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態例を挙げ、図に基づいて説明する。
図１は本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例の構成とその動作を説明するための概略図で、図２（ａ）はキャッシュファイルの構造を示した図で、図２（ｂ）はフォトマスク上の図形配置と図形群、図形の関係を説明するための図で、図２（ｃ）はキャッシュファイルのシーク先端位置とシーク末尾位置と、対応するフォトマスクデータの格納位置との関係を説明するための図で、図３はビットマップ表示を説明するための図で、図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）はビットマップの状態を示した図で、図４（ａ１）、図４（ｂ１）、図４（ｃ１）は、それぞれ、図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）に対応して発生させる省略図形を示した図で、図５（ａ）は図形群の図形を図示したもので、図５（ｂ）は図５（ａ）の図形群を省略表示した状態を示した図である。
尚、図３（ａ）は所定のメッシュで分割した状態を図示した図で、図３（ｂ）は各分割領域Ａ（ｍ、ｎ）に対応するビット状態を、分割領域の配置に合せ配列したものである。
図１中、Ｓ１１〜Ｓ２９は処理ステップを示す。
図１、図２、図３において、１１０は記憶手段（磁気ディスク）、１２０はキャッシュファイル存在確認手段、１３０はキャッシュファイル作成手段、１４０は表示方法決定手段、１５０は省略図形発生手段、１６０は図形取得手段、１７０は図形表示制御手段、１８０は表示手段（ディッスプレイ）、１９０は制御部、２００は入力手段、２１０は描画装置用フォトマスクデータ、２１１は図形情報、２２０はキャッシュファイル、２２１はキャッシュ情報、２３０は入力情報（表示位置、データ名等）、２４０は省略情報（ビットマップ情報）、２５０はファイルシーク情報、２６０は表示図形データ、２７０はキャッシュファイルの有無情報、３１１は図形群１、３１２は図形群２、３２０は図形、３３０はゾーン、Ａ（ｍ、ｎ）は分割領域、Ｍｅはメッシュである。
【００１１】
本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例を、図１に基づいて説明する。
本例は、ラスター型の、あるいはベクター型の電子線描画装置用のフォトマスクデータに対応するキャッシュファイル２２０の情報をもとに、目的とする描画装置用のフォトマスクデータ２１０を表示するための表示装置で、図１に示すように、記憶手段１１０と、キャッシュファイル存在確認手段１２０と、キャッシュファイル作成手段１３０と、表示方法決定手段１４０と、省略図形発生手段１５０と、図形取得手段１６０と、図形表示制御手段１７０と、表示手段１８０と、入力手段２００と、制御部１９０とを備えている。
記憶手段１１０は、描画装置用のフォトマスクデータ２１０、キャッシュファイル２２０等を記憶蓄積するためのものである。
キャッシュファイル存在確認手段１２０は、記憶手段１１０に目的とする描画装置用のフォトマスクデータのキャッシュファイルが存在するか否かを確認するためのものである。
キャッシュファイル作成手段１３０は、描画装置用のフォトマスクデータに対応したキャッシュファイルを作成するためのものである。
表示方法決定手段１４０は、キャッシュファイル２２０から情報を取得し、表示方法を決定するもので、省略図形で表示するか、描画装置用のフォトマスクデータの図形で表示するかを決定するものである。
図形取得手段１６０は、表示方法決定手段１４０の指示により、キャッシュファイル２２０のファイルシーク情報２５０により検索し、描画装置用のフォトマスクデータの対応する図形データを取得するものである。
省略図形発生手段１５０は、表示方法決定手段１４０の指示により、キャッシュファイル２２０の省略情報２４０から、省略図形データを発生させるものである。
図形表示制御手段１７０は、図形取得手段１６０により得られた図形データ、省略図形発生手段１５０により得られた省略図形の表示を制御するものである。
表示手段１８０は、これらの図形を表示するためのものである。
入力手段２００は、表示する描画装置用のフォトマスクデータ名、表示する位置等を入力するためのものである。
制御部１９０は、各部を制御するためのものである。
【００１２】
キャッシュファイルは、描画装置用のフォトマスクデータ２１０に対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、分けられた複数の図形群データを連ねてまとめたもので、例えば、図形群が２個のフォトマスク上の配置である図２（ｂ）に対応するキャッシュファイルは、図２（ａ）のように表される。
ここでは、説明を分かり易くするため、図形群が２個のフォトマスク上の配置である図２（ｂ）に対応するキャッシュファイルを例に、その書式と図形群、図形との関係を簡単に説明するが、図形群は２個に限定されるものではない。
図形群１のデータ、図形群２のデータは、図２（ａ）に示すように、それぞれ、図形数、図形面積、ゾーン（図形ゾーンのこと）、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭であるシーク先頭位置、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス末尾であるシーク末尾位置、図形領域を所定のメッシュで区切った場合、区切られた箇所毎に図形が存在しているか否かを表現するビットマップとを有する。
【００１３】
各図形群のシーク先頭位置、シーク末尾位置は、記憶手段１１０のアドレスを示すもので、描画装置用のフォトマスクデータの図形を取得する際の、ファイルシーク情報として用いられる。
記憶手段１１０上の描画装置用のフォトマスクデータについては、図２（ｃ）に示されるように、その図形群１のデータは、記憶手段１１０のアドレス（００００〜０００４）に、その図形群２のデータは、記憶手段１１０のアドレス（０００５〜００１６）に格納されているので、キャッシュファイルのシーク先頭位置、シーク末尾位置をもとに、各図形群のデータを簡単に得ることができる。
【００１４】
ビットマップは、省略図形データを発生させる際の、省略情報として用いられるもので、図形群の領域を所定のメッシュで分割した各分割領域Ａ（ｍ、ｎ）（ｍ、ｎは整数）について、図形がある領域については、ビット１を、図形がない領域についてはビット０を割りふってマップ化したものである。
例えば、図３（ａ）に示されるように図形群が、分割領域Ａ（ｉ、ｊ）〜Ａ（ｉ＋８、ｊ＋４）に分割された場合、対応するビットマップは図３（ｂ）のようになる。
【００１５】
また、図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）のようにマップ化されたビットマップの場合、これらに対応して、それぞれ、例えば、図４（ａ１）、図４（ｂ１）、図４（ｃ１）のように図形を発生させる。
また、図５（ａ）のような同じ図形が、表示倍率１０００倍で複数配列される場合、図５（ｂ）のように、表示倍率１倍で１つの図形だけを表示するようにしても良い。
【００１６】
次いで、本発明のフォトマスクデータ表示装置の処理動作の１例を図１にもとづいて、簡単に説明しておく。
先ず、入力手段２００により、表示する描画装置用のフォトマスクデータ名、表示する位置等を入力する。（Ｓ１１）
制御部１９０を介して（Ｓ１２）、キャッシュファイル存在確認手段１２０は、記憶手段１１０に、表示する描画装置用のフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルがあるか否かを確認し（Ｓ１３）、キャッシュファイルの有無情報２７０を制御部１９０に送る。（Ｓ１４）
【００１７】
キャッシュファイル存在確認手段１２０にて、表示する描画装置用のフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルが無いと確認され、キャッシュファイル無しの情報が制御部１９０に送られた場合には、制御部１９０はキャッシュファイル作成手段１３０に表示する描画装置用のフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルの作成を指示する。（Ｓ１２）
キャッシュファイル作成手段１３０（Ｓ１５）は、記憶手段１１０中の表示する描画装置用のフォトマスクデータ２１０（Ｓ１６）から図形情報２１１を得て（Ｓ１７）、描画装置用のフォトマスクデータ２１０に対応して、所定数の図形からなる複数の図形群データに分け、各図形群データ毎に、それぞれ、キャッシュファイルの各情報となるキャッシュ情報２２１を抽出し（Ｓ１８）、これより、前記複数の図形群データを連ねてまとめたキャッシュファイル２２０を作成する。（Ｓ１９）
キャッシュ情報２２１は、図形数、図形面積、図形ゾーン、描画装置用のフォトマスクデータの中のファイルシークアドレス先頭及び末尾、ビットマップ等の各情報である。
キャッシュファイル存在確認手段１２０にて、表示する描画装置用のフォトマスクデータに対応するキャッシュファイルが有ると確認され、キャッシュファイル有りの情報が制御部１９０に送られた場合には、キャッシュファイル作成手段１３０にてキャッシュファイル作成処理は行なわない。
【００１８】
表示方法決定手段１４０は、制御部１９０の指示のもとに、送られてきた入力情報に対応したキャッシュファイルの情報（Ｓ２１）を取得し、各図形群毎に、省略表示するか、省略表示しないで描画装置用のフォトマスクデータの図形群をそのまま表示するかを決定する。（Ｓ２２）
表示方法決定手段１４０では、先ず、表示位置に該当する図形群の情報をキャッシュファイル２２０から読み込み、ディスプレイ上のドットサイズとキャッシュファイル２２０のゾーン情報から決められる表示領域の大きさを比較することにより、キャッシュファイル２２０に格納されている図形群情報を基に省略表示を行なうか否かを決定する。
ディスプレイの１ドットが表示するフォトマスクデータに換算してαμｍである場合、図形群の１ビットがαμｍより小の場合、省略表示を行なうとする。
そして、更に、省略図形を発生させないと判断された場合、その対象となる図形群について、図形群の図形数、図形面積での判定を行ない、この判定により省略表示する図形群を選別する。
判定は、例えば、以下のように行なう。
ディスプレイの１ドットが表示するフォトマスクデータに換算してαμｍである場合、図形群のビットマップの１ビットあたりの長さがαμｍの１以上のあらかじめ決められた一定倍以下であって、且つ、図形数が予め決められた一定数以上で、且つ、図形面積率（％）が予め決められた一定以上の場合、省略対象とする。
ここで、［図形面積／図形ゾーンの面積］×１００を面積率としている。
省略表示すると決定された図形群に対しては、そのビットマップからなる省略情報２４０（Ｓ２３）を省略図形発生手段１５０に送り、対応する省略図形を発生させる。（Ｓ２４）
そして、省略図形発生手段１５０にて発生させた図形を表示図形データ２６０（Ｓ２８）とし、図形表示制御手段１７０（Ｓ２７）の制御のもとに、表示図形データ２６０（Ｓ２８）を表示手段１８０に表示させる。（Ｓ２９）
一方、このようにして、省略表示の対象と決定された図形群以外の図形群については、描画装置用のフォトマスクデータの図形群をそのまま表示すると決定され、そのキャッシュファイル２２０のファイルシーク情報２５０（Ｓ２５）が図形取得手段１６０に送られる。（Ｓ２６）
図形取得手段１６０は、送られてきたファイルシーク情報２５０をもとにシークし、記憶手段１１０の中の描画装置用のフォトマスクデータの該当する図形群のデータを取得する。
そして、図形取得手段１６０にて取得された図形を表示図形データ２６０（Ｓ２８）とし、図形表示制御手段１７０（Ｓ２７）の制御のもとに、表示図形データ２６０（Ｓ２８）を表示手段１８０に表示させる。（Ｓ２９）
このようにして、目的とする描画装置用のフォトマスクデータの所定位置の表示が行われる。
【００１９】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、描画装置用のフォトマスクデータのファイルサイズが大規模化した場合でも、サイズに依存せず、描画装置用のフォトマスクデータの図形情報の表示、あるいは、表示領域の拡大、縮小表示を、実用レベルの時間内で行なえる表示装置の提供を可能とした。
結果として、描画装置用のフォトマスクデータのビューイングのためのファイルオープン時間の短縮、表示時間の短縮ができるフォトマスクデータ表示装置の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のフォトマスクデータ表示装置の実施の形態の１例の構成とその動作を説明するための概略図である。
【図２】図２（ａ）はキャッシュファイルの構造を示した図で、図２（ｂ）はフォトマスク上の図形配置と図形群、図形の関係を説明するための図で、図２（ｃ）はキャッシュファイルのシーク先端位置とシーク末尾位置と、対応するフォトマスクデータの格納位置との関係を説明するための図である。
【図３】ビットマップ表示を説明するための図である。
【図４】図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）はビットマップの状態を示した図で、図４（ａ１）、図４（ｂ１）、図４（ｃ１）は、それぞれ、図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）に対応して発生させる省略図形を示した図である。
【図５】図５（ａ）は図形群の図形を図示したもので、図５（ｂ）は図５（ａ）の図形群を省略表示した状態を示した図である。
【符号の説明】
１１０              記憶手段（磁気ディスク）
１２０              キャッシュファイル存在確認手段
１３０              キャッシュファイル作成手段
１４０              表示方法決定手段
１５０              省略図形発生手段
１６０              図形取得手段
１７０              図形表示制御手段
１８０              表示装置（ディッスプレイ）
１９０              制御部
２００              入力手段
２１０              描画装置用フォトマスクデータ
２１１              図形情報
２２０              キャッシュファイル
２２１              キャッシュ情報
２３０              入力情報（表示位置、データ名等）
２４０              省略情報（ビットマップ情報）
２５０              ファイルシーク情報
２６０              表示図形データ
２７０              キャッシュファイルの有無情報
３１１              図形群１
３１２              図形群２
３２０              図形
３３０              ゾーン
Ａ（ｍ、ｎ）        分割領域
Ｍｅ                メッシュ
【図１】
0004977935.tif 000002
【図２】
0004977935.tif 000003
【図３】
0004977935.tif 000004
【図４】
0004977935.tif 000005
【図５】
0004977935.tif 000006