(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
三方切換弁にはエア供給源に連通するブロー通路と、流出ポートと、一対の流入ポートとを設け、上記流出ポートをテーブルに設けた噴出口に接続し、上記いずれか一方の流入ポートを上記ブロー通路に接続し、いずれか他方の流入ポートを圧力検出ブロック内に設けた検出通路に接続し、上記三方切換弁の切換位置に応じて、上記噴出口をブロー通路あるいは検出通路のいずれかに連通させるとともに、上記圧力検出ブロックには、上記検出通路に接続する圧力検出部と、上記検出通路に連通するとともにエア供給源に接続する供給通路とを設けた位置確認装置において、上記圧力検出ブロックと三方切換弁とを連結する連結ブロックを設けるとともに、この連結ブロックには、エア供給源に接続する接続ポートと、この接続ポートに連通する２以上の連結ポートとを設け、上記いずれか１の連結ポートには上記供給通路を接続した状態で当該連結ブロックと圧力検出ブロックとを一体的に連結するとともに、他の連結ポートには上記ブロー通路を接続した状態で当該連結ブロックと三方切換弁とを一体的に連結した位置確認装置。
【請求項２】
三方切換弁にはエア供給源に連通するブロー通路と、流出ポートと、一対の流入ポートとを設け、上記流出ポートをテーブルに設けた噴出口に接続し、上記いずれか一方の流入ポートを上記ブロー通路に接続し、いずれか他方の流入ポートを圧力検出ブロック内に設けた検出通路に接続し、上記三方切換弁の切換位置に応じて、上記噴出口をブロー通路あるいは検出通路のいずれかに連通させるとともに、上記圧力検出ブロックには、上記検出通路に接続する圧力検出部と、上記検出通路に連通するとともにエア供給源に接続する供給通路とを設け、しかも上記ブロー通路を大気に開放したり、あるいはその開放状態を遮断したりする排気弁を接続した位置確認装置において、上記圧力検出ブロックと排気弁とを連結する連結ブロックを設けるとともに、この連結ブロックには、エア供給源に接続する接続ポートと、この接続ポートに連通する一対の連結ポートとを設け、上記いずれか一方の連結ポートには上記供給通路を接続した状態で連結ブロックと圧力検出ブロックとを一体的に連結するとともに、いずれか他方の連結ポートには排気弁に設けたポートを接続した状態で当該排気弁と連結ブロックとを一体的に連結してなり、しかも、上記三方切換弁は上記圧力検出ブロックに固定するとともに、当該三方切換弁のブロー通路を上記排気弁に接続した位置確認装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ワークなどが着座面に正確に着座しているかどうかを確認するための位置確認装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のものとして、図１０、図１１に示した装置が従来知られている。
この従来の装置は、図１０に示すように、接続ポート１ａをエア供給源Ｐに接続する供給通路１を備えている。この供給通路１には、レギュレータＲ１，Ｒ２を直列に接続している。上記レギュレータＲ１，Ｒ２は、エア供給源Ｐから供給通路１に供給される圧縮エアの圧力を調整するものであり、レギュレータＲ１の設定圧をレギュレータＲ２の設定圧よりも高圧にしている。したがって、レギュレータＲ２よりも上流側には、レギュレータＲ１で圧力調整された高圧の圧縮エア（圧縮ブローエア）が導かれ、レギュレータＲ２よりも下流側には、レギュレータＲ２でさらに圧力調整された圧縮エア（圧縮検出エア）が導かれることとなる。
【０００３】
また、上記供給通路１には、レギュレータＲ２の下流側に電磁制御弁２を接続しており、この電磁制御弁２を切り換えることにより、供給通路１を開閉する。さらに、レギュレータＲ１，Ｒ２の連通過程には、ブロー通路３を接続するとともに、このブロー通路３を複数の三方切換弁Ａ１〜Ａ５の流入ポートａに接続している。
一方、上記供給通路１は、電磁制御弁２の下流側における圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ５に設けた分岐ポート４ａ〜４ｅに接続するとともに、この分岐ポート４ａ〜４ｅのそれぞれに検出通路５を接続している。また、上記分岐ポート４ａ〜４ｅには、検出通路５と同様に、比較通路６を接続するとともに、この比較通路６を、ニードル弁７を介して大気に連通させている。
なお、上記比較通路６および検出通路５には、それぞれオリフィス８ａ，８ｂを設けている。
【０００４】
また、上記圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ５には差圧検出手段９を設けるとともに、この差圧検出手段９には検出通路５および比較通路６を接続している。なお、差圧検出手段９としては、例えばダイアフラムや半導体センサが用いられ、この差圧検出手段９、比較通路６、ニードル弁７によって圧力検出部Ｓを構成することとなる。
そして、上記検出通路５は、上記三方切換弁Ａ１〜Ａ５の流入ポートｂに接続されている。この三方切換弁Ａ１〜Ａ５は、上記流入ポートａ，流入ポートｂ、および流出ポートｃを有しており、上記流出ポートｃは、配管１０を介してテーブルに形成した噴出口１１に接続するようにしている。
また、三方切換弁Ａ１〜Ａ５は、その切り換え位置に応じて、検出通路５およびブロー通路３のいずれか一方を流出ポートｃに連通させ、いずれか他方を流出ポートｃから遮断する。
【０００５】
以上の回路構成からなる位置確認装置は、ワークがテーブル上に載置される際、つまり、ワークがテーブルに向かって近づく過程で、電磁制御弁２を図面下側位置に維持するとともに、三方切換弁Ａ１〜Ａ５を図面上側位置に切り換える。すると、レギュレータＲ１で圧力調整された圧縮ブローエアが、ブロー通路３→三方切換弁Ａ１〜Ａ５→配管１０を介して噴出口１１から噴出する。
このように、噴出口１１から高圧の圧縮ブローエアを噴出させることで、ワークに付着した油や切削屑等を吹き飛ばして、ワークをテーブルにしっかりと着座させるようにしている。また、油や切削屑等を吹き飛ばすことにより、配管１０内に油分等が浸入して配管詰まりを生じるのを防ぐこともできる。
【０００６】
そして、ワークがテーブルに載置されると同時に、今度は電磁制御弁２を図面上側位置に切り換え、三方切換弁Ａ１〜Ａ５を図面下側位置に切り換える。すると、供給通路１が開くとともに、検出通路５が配管１０に連通するので、レギュレータＲ２で圧力調整された圧縮検出エアが、供給通路１→検出通路５→三方切換弁Ａ１〜Ａ５の流入ポートｂ→流出ポートｃ→配管１０を介して噴出口１１から噴出する。
このとき、差圧検出手段９は、検出通路５と比較通路６との圧力差を検出しているが、当該差圧検出手段９の検出値は、テーブル上に載置したワークとテーブルとの隙間量に応じて変化する。
すなわち、ワークとテーブルとの間に隙間がない場合には、噴出口１１から圧縮検出エアが噴出できないため、検出通路５内の圧力が高くなる。これに対してワークとテーブルとの間に隙間がある場合には、その隙間から圧縮検出エアが噴出するので、検出通路５内の圧力が低くなる。つまり、検出通路５内の圧力は、ワークとテーブルとの間の隙間量が大きくなるにつれて、徐々に低くなる関係にある。
【０００７】
これに対して、比較通路６はニードル弁７を介して大気に連通しているので、当該比較通路６内の圧力はほぼ一定に保たれている。したがって、比較通路６と検出通路５との圧力差は、ワークとテーブルとの隙間量に応じて変化することになる。
なお、ニードル弁７の開度を調整することにより、比較通路６内の設定圧力を変えることができるが、この開度は次のようにして決定される。例えば、ワークとテーブルとの間の許容隙間量を０．１ｍｍとした場合、ワークとテーブルとの間の隙間量が０．１ｍｍのときの、検出通路５内の圧力を検出する。そして、比較通路６内の圧力が、隙間量０．１ｍｍのときに検出される上記検出通路５内の圧力と等しくなるように、ニードル弁７の開度を調整する。
このようにすれば、隙間量が０．１ｍｍよりも大きいときには、検出通路５内の圧力が、比較通路６内の圧力よりも低くなる。逆に、隙間量が０．１ｍｍ以下のときには、検出通路５内の圧力が、比較通路６内の圧力よりも高くなる。
したがって、差圧検出手段９が検出する比較通路６と検出通路５との圧力差が、検出通路５≧比較通路６となったときには、ワークとテーブルとの間の隙間量が許容範囲内にあることとなる。このように、差圧検出手段９の検出値を見れば、ワークとテーブルとの隙間量を特定することができる。
【０００８】
そして、差圧検出手段９には図示しないコントローラが接続されており、差圧検出手段９が、検出通路５≧比較通路６と検出したとき、コントローラはオン信号を出力し、ワークに対する作業を開始する。一方、差圧検出手段９が、比較通路６＞検出通路５と検出したときには、隙間量が大きいと判断して、ＮＧ信号を出力するとともに作業を中断する。
以上のように、上記の位置確認装置によれば、三方切換弁Ａ１〜Ａ５の切り換え制御によって、圧縮ブローエアを噴出させたり、あるいは圧縮検出エアを噴出させたりして、いわゆるブローと検出とを連続的に行っている。
【０００９】
そして、上記の回路構成からなる位置確認装置の構造は、図１１に示すとおりである。すなわち、金属パネル１２上には、三方切換弁Ａ１〜Ａ５が連接して固定されている。さらに、三方切換弁Ａ１にはレギュレータＲ１を連接して固定するとともに、三方切換弁Ａ５にはレギュレータＲ２を連接して固定している。そして、連接するレギュレータＲ１、三方切換弁Ａ１〜Ａ５、およびレギュレータＲ２には、その本体内を貫通させて上記供給通路１を形成する。なお、エア供給源Ｐに接続する供給通路１の接続ポート１ａは、レギュレータＲ１側に位置している。
また、金属パネル１２上には、三方切換弁Ａ１〜Ａ５から所定の間隔を維持した位置に、圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ５を連接して固定している。この圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ５は、その内部に圧力検出部Ｓを組み込んでいる。そして、圧力検出ブロックＢ１には、電磁制御弁２を連接して固定するとともに、この電磁制御弁２および圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ５内に、それらを貫通する供給通路１を設けている。
【００１０】
上記したように、金属パネル１２上には、三方切換弁Ａ１〜Ａ５およびレギュレータＲ１，Ｒ２を連接したユニットと、圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ５および電磁制御弁２を連接したユニットとが、所定の間隔をもって配置されているが、これら両ユニットは配管１３，１４で接続されている。
なお、配管１３は、供給通路１を構成しており、両ユニットに貫通する供給通路１を連通させている。したがって、供給通路１は、レギュレータＲ１→三方切換弁Ａ１〜Ａ５→レギュレータＲ２→配管１３→電磁制御弁２→圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ５にわたって構成され、図１０の回路図に示すとおりとなる。
【００１１】
また、配管１４は、検出通路５の一部を構成しており、各圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ５内の圧力検出部Ｓと、三方切換弁Ａ１〜Ａ５の各流入ポートｂとを接続している。
なお、図１１においては、ブロー通路３を記していないが、ブロー通路３は、三方切換弁Ａ１〜Ａ５本体を貫通する供給通路１から分岐しており、三方切換弁Ａ１〜Ａ５に設けた図示しない流入ポートａに接続されている。
【特許文献１】特開２００７−２１８９０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上記配管１３は、コストや重量、あるいは取り付け時の自在性等の面から樹脂製のものを採用することが多い。そのため、当該装置を輸送したり、あるいは他の機器に取り付けしたりする際に、樹脂製の配管１３に対して、外力によってねじれや曲げ応力が作用して、配管１３の開口断面積が変わってしまったり、あるいは切断されたりしてしまうことがある。
このように、配管１３の開口断面積が変わると、隙間量に対する圧力検出部Ｓの検出値が変化してしまい、誤検出を生じたり、あるいは装置特性が変わったりして、検出精度が低下するという問題があった。
【００１３】
また、上記のように、三方切換弁Ａ１〜Ａ５と圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ５とを金属パネル１２に固定したのは、特に当該装置を輸送する際の便宜を図るためである。すなわち、金属パネル１２を用いないと、三方切換弁Ａ１〜Ａ５と圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ５とがぐらついてしまい、輸送の際に三方切換弁Ａ１〜Ａ５と圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ５とがぶつかり合って傷がついたり、故障が生じたりするおそれがある。そのため、金属パネル１２を用いないで当該装置を輸送する際には、大量の梱包材を必要とし、地球環境に悪影響を及ぼすこととなる。したがって、輸送の際の都合により、金属パネル１２を用いざるを得ないという実態がある。
このように、金属パネル１２を用いれば、重量も増すし、必要以上にかさばってしまう。そして何よりもコストが高くなってしまうという問題があった。
【００１４】
この発明の目的は、輸送時や取り付け時等に外力が作用しても、検出精度に影響を及ぼすことがなく、しかも低コスト化を実現する位置確認装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この発明は、三方切換弁に、エア供給源に連通するブロー通路と、流出ポートと、一対の流入ポートとを設け、上記流出ポートをテーブルに設けた噴出口に接続し、上記いずれか一方の流入ポートを上記ブロー通路に接続し、いずれか他方の流入ポートを圧力検出ブロック内に設けた検出通路に接続し、上記三方切換弁の切換位置に応じて、上記噴出口をブロー通路あるいは検出通路のいずれかに連通させるとともに、上記圧力検出ブロックには、上記検出通路に接続する圧力検出部と、上記検出通路に連通するとともにエア供給源に接続する供給通路とを設けた位置確認装置を前提とする。
【００１６】
上記の構成を前提として、第１の発明は、上記圧力検出ブロックと三方切換弁とを連結する連結ブロックを設けるとともに、この連結ブロックには、エア供給源に接続する接続ポートと、この接続ポートに連通する２以上の連結ポートとを設け、上記いずれか１の連結ポートには上記供給通路を接続した状態で連結ブロックと圧力検出ブロックとを一体的に連結するとともに、他の連結ポートには上記ブロー通路を接続した状態で連結ブロックと三方切換弁とを一体的に連結した点に特徴を有する。
【００１７】
第２の発明は、上記の構成において、上記ブロー通路を大気に開放したり、あるいはその開放状態を遮断したりする排気弁を接続した位置確認装置を前提としている。
そして、上記圧力検出ブロックと排気弁とを連結する連結ブロックを設けるとともに、この連結ブロックには、エア供給源に接続する接続ポートと、この接続ポートに連通する一対の連結ポートとを設け、上記いずれか一方の連結ポートには上記供給通路を接続した状態で連結ブロックと圧力検出ブロックとを一体的に連結するとともに、いずれか他方の連結ポートには排気弁に設けたポートを接続した状態で当該排気弁と連結ブロックとを一体的に連結してなり、しかも、上記三方切換弁は上記圧力検出ブロックに固定するとともに、三方切換弁の上記ブロー通路を上記排気弁に接続した点に特徴を有する。
なお、ここでいう一体的に連結するというのは、ホース等の配管を介さずに連結することを示す概念として用いている。したがって、ホース等の配管を用いずに供給通路が構成されていれば、連結ブロックと圧力検出ブロックとの間に、例えば電磁制御弁やレギュレータ等の部材が介在していても、圧力検出ブロックと連結ブロックとは一体的に連結されていることとなる。
【発明の効果】
【００１８】
第１の発明によれば、エア供給源に接続する接続ポートを連結ブロックに設けるとともに、この連結ブロックと圧力検出ブロックとを一体的に連結したので、供給通路の接続過程において、ホース等の配管が不要となる。したがって、供給通路の開口断面積が変わったり、あるいは供給通路から漏れが生じたりしてしまうことがなく、装置の輸送や他の機器への取り付けの際に外力が作用したとしても、検出精度の低下をもたらすおそれがない。
また、従来のように、輸送の際の都合から金属パネルを用いる必要もないので、その分コストを削減することができる。
【００１９】
第２の発明によれば、上記第１の発明と同様、供給通路の開口断面積変化や供給通路からの漏れによって、検出精度が低下するおそれがない。
また、圧力検出ブロックと三方切換弁とを固定したので、三方切換弁の流入ポートと検出通路とを直結することができる。このように流入ポートと検出通路とを直結すれば、従来のように圧力検出ブロックと三方切換弁とを接続するホース等の配管が不要となり、組み立て作業を簡素化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１、図２を用いて、この発明の第１実施形態について説明する。
ただし、以下に説明する第１実施形態の位置確認装置は、圧力検出ブロックＢと三方切換弁Ａとを各３個連結させた点のみ上記従来例の回路構成と異なり、その他の回路構成は上記従来例と同じにしている。したがって、回路構成およびその作用についての詳細な説明は省略するとともに、上記従来例と同じ構成要素には同一の符号を付して説明する。
図１に示すように、この第１実施形態の位置確認装置は、圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３と三方切換弁Ａ１〜Ａ３とを連結ブロックＸを介して一体的に連結している。上記連結ブロックＸには、エア供給源Ｐに接続する接続ポート１５と、この接続ポート１５に連通する一対の連結ポート１６ａ，１６ｂを形成している。
【００２１】
そして、上記連結ブロックＸであって、上記接続ポート１５を開口した面にはレギュレータＲ１を連結するとともに、この接続ポート１５には、レギュレータＲ１を介してエア供給源Ｐが連通するようにしている。
また、上記一方の連結ポート１６ａを開口した面には、レギュレータＲ２を連結している。さらに、このレギュレータＲ２には、上記電磁制御弁２を連結するとともに、この電磁制御弁２に上記圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３を連結している。そして、上記レギュレータＲ２、電磁制御弁２および圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３には、それらを貫通するように供給通路１を設けており、この供給通路１を上記連結ブロックＸの連結ポート１６ａに接続している。
【００２２】
なお、上記圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３の具体的な構成は次のとおりである。すなわち、圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３は、ベースブロック１７とセンサ組み込みブロック１８とからなり、ベースブロック１７には上記供給通路１と、この供給通路１を分岐する分岐ポート４ａ〜４ｃを設けている。これに対してセンサ組み込みブロック１８には、圧力検出部Ｓを設けている。この圧力検出部Ｓは、具体的には図示しないが、比較通路６（図１０参照）と検出通路５との差圧を検出している。なお、上記検出通路５は、一端が上記分岐ポート４ａ〜４ｃに連通し、他端がベースブロック１７を貫通して、当該ベースブロック１７の特定の一面（図中下側面）に開口している。
【００２３】
一方、上記連結ブロックＸであって、上記他方の連結ポート１６ｂを開口した面には、上記三方切換弁Ａ１〜Ａ３を連結している。これら三方切換弁Ａ１〜Ａ３には、それらを貫通するようにブロー通路３を設けており、このブロー通路３を上記連結ブロックＸの連結ポート１６ｂに接続している。
上記三方切換弁Ａ１〜Ａ３の具体的な構成は次のとおりである。すなわち、三方切換弁Ａ１〜Ａ３は、通路構成ブロック１９と弁構成ブロック２０とからなり、上記通路構成ブロック１９にはブロー通路３を貫通させている。これに対して弁構成ブロック２０には、一対の流入ポートａ，ｂと、流出ポートｃとを設けるとともに、上記流入ポートａ，ｂのいずれか一方を上記流出ポートｃに連通したとき、いずれか他方を上記流出ポートｃから遮断するようにしている。
【００２４】
そして、上記流出ポートｃには配管１０を接続するとともに、この配管１０を介してテーブルに設けた噴出口１１を流出ポートｃに連通させている。また、上記一方の流入ポートａはブロー通路３に接続し、他方の流入ポートｂは、ホース等の配管２１を介して、圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３に設けた検出通路５の開口に接続している。
したがって、上記三方切換弁Ａ１〜Ａ３は、その切り換え位置に応じてブロー通路３を噴出口１１に連通させたり、あるいは検出通路５を噴出口１１に連通させたりすることとなる。
【００２５】
なお、上記圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３は、図２に示すようにして連結されている。
すなわち、図２に示すように、圧力検出ブロックＢ１，Ｂ２のベースブロック１７には供給通路１を設けているが、この供給通路１が開口する両側面には、対向面に向かって徐々に径を太くする突片２２を形成している。
一方、上記突片２２を連結するジョイナーＪには、上記突片２２と傾斜角を等しくする圧接面２３を備えている。このジョイナーＪは、圧接面２３を突片２２の傾斜面に当接させた状態で、ねじ２４を螺合させることにより、ねじ２４の軸方向の推力を両ブロックＢ１，Ｂ２が近づく方向の圧接力に変換する。したがって、ねじ２４によってジョイナーＪを締め付ければ、隣り合う圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３をしっかりと連結させることができる。
そして、レギュレータＲ１，Ｒ２、連結ブロックＸ、電磁制御弁２、三方切換弁Ａ１〜Ａ３（通路構成ブロック１９）も、上記と同様の方法により隣り合う部材同士を連結している。なお、上記の連結構造は一例に過ぎず、例えば、隣り合う部材同士をタイボルトで連結しても構わない。いずれにしても、隣り合う部材間にホース等の配管を設けずに、両部材を直接連結するものであればよい。
【００２６】
上記の構成からなる第１実施形態の位置確認装置によれば、図１からも明らかなように、エア供給源Ｐから供給される圧縮エアが、レギュレータＲ１で圧力調整されて圧縮ブローエアとなり、接続ポート１５から連結ブロックＸ内に導かれる。そして、上記圧縮ブローエアは、連結ポート１６ｂからブロー通路３および各流入ポートａにまで導かれる。
一方、圧縮ブローエアは、連結ポート１６ａからレギュレータＲ２に導かれるとともに、このレギュレータＲ２において、さらに圧力調整された圧縮検出エアとなって供給通路１→検出通路５→配管２１を介して流入ポートｂにまで導かれる。したがって、上記従来例と同様に、三方切換弁Ａ１〜Ａ３を切り換えることにより、噴出口１１から圧縮検出エアあるいは圧縮ブローエアを噴出させて、ワークとテーブルとの隙間量を検出したり、ワークに付着した油分等を吹き飛ばしたりすることができる。
【００２７】
そして、この第１実施形態の位置確認装置によれば、連結ブロックＸに対して、供給通路１を構成する電磁制御弁２、レギュレータＲ２および圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３を一体的に連結したので、供給通路１の接続過程においてホース等の配管が不要となる。したがって、供給通路１の開口断面積が変わってしまうことがなく、装置の輸送や他の機器への取り付けの際に外力が作用したとしても、供給通路１の開口断面積変化にもとづく検出精度の低下をもたらすおそれがない。
【００２８】
なお、上記第１実施形態においては、連結ブロックＸの接続ポート１５にレギュレータＲ１を接続したが、レギュレータＲ１は必須の構成要件ではない。したがって、レギュレータＲ１を介さずに、接続ポート１５にエア供給源Ｐを直接接続しても構わない。
あるいは、図３に示す第２実施形態の位置確認装置のように、接続ポート１５にエア供給源Ｐを直接接続し、連結ポート１６ｂにレギュレータＲ１を接続しても構わない。この第２実施形態においても、上記第１実施形態と機能上何ら変わるところはない。
【００２９】
図４、図５を用いて、この発明の第３実施形態について説明する。
ただし、この第３実施形態の位置確認装置は、上記第１実施形態の位置確認装置において、ブロー通路３に排気弁２５を接続した点のみ異なり、その他の構成は上記第１実施形態と同じにしている。したがって、ここでは上記第１実施形態と同じ構成要素には同一の符号を付するとともに、その詳細な説明は省略する。
図４に示すように、この第３実施形態の位置確認装置は、ブロー通路３に排気弁２５を接続している。この排気弁２５は、検出通路５が噴出口１１に連通し、ブロー通路３が噴出口１１から遮断されたとき、ブロー通路３を大気に開放する。このようにすることで、ワークとテーブルとの隙間量を検出している際に、ブロー通路３内に高圧の圧縮ブローエアが滞留しないようにすることができる。
【００３０】
上記排気弁２５は、図５に示すように、ポート２５ａ，２５ｂ，２５ｃを形成しており、上記ポート２５ｃを大気に開放している。そして、連結ブロックＸの連結ポート１６ｂに上記ポート２５ａを接続した状態で、連結ブロックＸと排気弁２５とを連結している。また、上記ポート２５ｂを三方切換弁Ａ１のブロー通路３に接続した状態で、排気弁２５と三方切換弁Ａ１とを連結している。このように、排気弁２５を介して連結ブロックＸと三方切換弁Ａ１〜Ａ３とを連結しても、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、図６に示す第４実施形態の位置確認装置のように、接続ポート１５にエア供給源Ｐを直接接続し、連結ポート１６ｂにレギュレータＲ１を接続しても構わない。この第４実施形態においても、上記第３実施形態と機能上何ら変わるところはない。
【００３１】
図７を用いて、この発明の第５実施形態について説明する。
ただし、この第５実施形態の位置確認装置は、第３実施形態の位置確認装置と回路構成を同じにしており、圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３に三方切換弁Ａ１〜Ａ３を一体的に固定した点のみ上記第３実施形態と異なる。したがって、回路構成およびその作用についての詳細な説明は省略するとともに、上記従来例と同じ構成要素には同一の符号を付して説明する。
この第５実施形態の位置確認装置は、連結ブロックＸの連結ポート１６ｂにポート２５ａを接続した状態で、連結ブロックＸと排気弁２５とを連結している。
【００３２】
また、三方切換弁Ａ１〜Ａ３は、その通路構成ブロック１９を、圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３のベースブロック１７に固定している。そして、圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３の検出通路５と、三方切換弁Ａ１〜Ａ３の流入ポートｂとを直結するとともに、三方切換弁Ａ１〜Ａ３に設けたブロー通路３と、上記排気弁２５のポート２５ｂとをホースからなる配管２６で接続している。上記の構成からなる第５実施形態の位置確認装置においても、上記第３実施形態と機能上何ら変わるところはない。
しかも、この第５実施形態の位置確認装置によれば、三方切換弁Ａ１〜Ａ３の流入ポートｂと検出通路５とを直結したので、圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３と三方切換弁Ａ１〜Ａ３とを接続するホース等の配管が不要となり、組み立て作業を簡素化することができる。
なお、図８に示す第６実施形態の位置確認装置のように、接続ポート１５にエア供給源Ｐを直接接続し、連結ポート１６ｂにレギュレータＲ１を接続しても構わない。この第６実施形態においても、上記第５実施形態と機能上何ら変わるところはない。
【００３３】
図９を用いて、この発明の第７実施形態について説明する。
なお、この第７実施形態の位置確認装置は、連結ブロックＸおよび三方切換弁Ａ１〜Ａ３の構成のみ異なり、その他の構成は上記第１実施形態と同じである。したがって、ここでは、上記第１実施形態と異なる点のみ説明する。
図９に示すように、連結ブロックＸには、接続ポート１５と、この接続ポート１５に連通する連結ポート１６ａ〜１６ｄとを形成している。そして、連結ブロックＸであって、上記接続ポート１５を開口した面にはレギュレータＲ１を連結するとともに、この接続ポート１５には、レギュレータＲ１を介してエア供給源Ｐが連通するようにしている。
また、上記連結ポート１６ａを開口した面には、レギュレータＲ２を連結している。さらに、このレギュレータＲ２には、上記電磁制御弁２を連結するとともに、この電磁制御弁２に上記圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３を連結している。そして、上記レギュレータＲ２、電磁制御弁２および圧力検出ブロックＢ１〜Ｂ３には、それらを貫通するように供給通路１を設けており、この供給通路１を上記連結ブロックＸの連結ポート１６ａに接続している。
【００３４】
一方、上記連結ブロックＸであって、連結ポート１６ｂ〜１６ｄを開口した面には、三方切換弁Ａ１〜Ａ３をそれぞれ連結している。ただし、この第７実施形態においては、上記各実施形態と異なり、三方切換弁Ａ１〜Ａ３のそれぞれに形成したブロー通路３が連続することはない。つまり、三方切換弁Ａ１〜Ａ３に形成した各ブロー通路３を、連結ブロックＸの連結ポート１６ｂ〜１６ｄにそれぞれ連結させている。
そして、三方切換弁Ａ１〜Ａ３に形成した各ブロー通路３を、それら三方切換弁Ａ１〜Ａ３に形成した流入ポートａに連通させている。
このような構成にした第７実施形態の位置確認装置においても、上記各実施形態と機能上何ら変わるところはない。
【００３５】
なお、上記各実施形態においては、三方切換弁Ａを電磁弁で構成しているが、三方切換弁Ａは例えばシャトル弁で構成しても構わない。いずれにしても、三方切換弁Ａは、検出通路５とブロー通路３のいずれか一方を噴出口１１に連通させるとともに、いずれか他方を噴出口１１から遮断する構成であればよい。
また、上記各実施形態においては、供給通路１に電磁制御弁２を接続したが、電磁制御弁２は必須の構成要件ではなく、回路構成によって適宜接続すればよい。
さらに、上記各実施形態においては、圧力検出部Ｓによって、検出通路５と比較通路６との圧力差を検出する場合について説明したが、例えば、圧力検出部Ｓは、単に検出通路５内の圧力を検出するようにしても構わない。あるいは、検出通路５に絞りを形成するとともに、この絞りの前後の差圧を検出するようにしても構わない。いずれにしても、圧力検出部Ｓは、検出通路（供給通路と三方切換弁との連通過程）に接続するとともに、少なくても、噴出口１１とワークとの隙間量に応じて変化する通路の圧力を検出するものであればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】第１実施形態の位置確認装置の構造を概念的に示した図である。
【図２】各部材の連結構造を概念的に示す図である。
【図３】第２実施形態の位置確認装置の構造を概念的に示した図である。
【図４】第３実施形態の位置確認装置の回路構成を示す図である。
【図５】第３実施形態の位置確認装置の構造を概念的に示した図である。
【図６】第４実施形態の位置確認装置の構造を概念的に示した図である。
【図７】第５実施形態の位置確認装置の構造を概念的に示した図である。
【図８】第６実施形態の位置確認装置の構造を概念的に示した図である。
【図９】第７実施形態の位置確認装置の構造を概念的に示した図である。
【図１０】位置確認装置の回路構成を示す図である。
【図１１】従来の位置確認装置の正面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１              供給通路
３              ブロー通路
５              検出通路
１１            噴出口
１５            接続ポート
１６ａ，１６ｂ  連結ポート
２５            排気弁
Ａ              三方切換弁
Ｂ              圧力検出ブロック
Ｐ              エア供給源
Ｓ              圧力検出部
Ｘ              連結ブロック
ａ，ｂ          流入ポート
ｃ              流出ポート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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