(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱源（２）と、前記発熱源（２）よりも下流側の第１の温度検出素子（３）と、前記第１の温度検出素子（３）よりも下流側の第２の温度検出素子（４）とが配置された流体の通路における流量測定方法であって、
前記発熱源（２）、前記第１の温度検出素子（３）および前記第２の温度検出素子（４）は、いずれもサーミスタを使用したものであり、
前記発熱源（２）を発熱駆動パルスによりパルス状に発熱させる手順と、
前記発熱駆動パルスの所定部分に対応する時刻である発熱駆動時刻と、前記第１の温度検出素子（３）によって検出した流体の温度と前記第２の温度検出素子（４）によって検出した流体の温度との差が正から負に変わる時刻との間の時間差を検出する手順と、
前記時間差により流体の流量を求める手順とを有する流量測定方法。
【請求項２】
請求項１に記載した流量測定方法であって、
前記発熱駆動時刻は、前記発熱駆動パルスのパルス終端の時刻である流量測定方法。
【請求項３】
流体の通路内に配置された発熱源（２）と、
流体の通路内の前記発熱源（２）よりも下流側に配置された第１の温度検出素子（３）と、
流体の通路内の前記第１の温度検出素子（３）よりも下流側に配置された第２の温度検出素子（４）と、
流体の通路内の前記発熱源（２）よりも上流側に配置され、かつ、前記発熱源（２）に対して前記第１の温度検出素子（３）と対称な位置に配置された第３の温度検出素子（３０）と、
前記発熱源（２）を発熱駆動パルスによりパルス状に発熱させるパルス電源（５）と、
前記発熱駆動パルスの所定部分に対応する時刻である発熱駆動時刻と、前記第１の温度検出素子（３）によって検出した流体の温度と前記第２の温度検出素子（４）によって検出した流体の温度との差が正から負に変わる時刻との間の時間差により流体の流量を求める流量演算部（９）とを有し、
前記発熱源（２）、前記第１の温度検出素子（３）、前記第２の温度検出素子（４）および前記第３の温度検出素子（３０）は、いずれもサーミスタを使用したものである流量測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載した流量測定装置であって、
前記発熱駆動時刻は、前記発熱駆動パルスのパルス終端の時刻である流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、配管等の通路内を流れる流体の流量を測定するための流量測定方法および装置に関し、詳しくは、発熱源と温度検出素子を使用して正確に流体の流量を測定することができ、微少量の流量も正確に測定することができる流量測定方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
発熱源と温度検出素子を使用した流量測定方法としては、次のような第１の流量測定方法があった。流体通路としての配管の上流側に定常的に一定熱量を放出する発熱源を配置し、その発熱源の発生熱量を通過する流体に放出して流体の温度を上昇させる。そして、下流側に配置した温度検出素子により流体の温度を測定して、流体の温度から流体の流量を算出する。すなわち、流体の流量が大きくなるほど流体の温度は低下するので、流体の温度と流量との関係をあらかじめ求めておくことにより、検出した流体の温度から流量を算出することができる。
【０００３】
この第１の流量測定方法は、充分な流速が得られる場合、すなわち、微少流量以外での測定に適したものであった。また、この流量測定方法における発熱源および温度検出素子としてはサーミスタが使用できる。発熱源としてのサーミスタおよび温度検出素子としてのサーミスタは、それぞれ配管の外側に設置されており、流れ方向すなわち配管の軸方向に所定距離を隔てて配置されている。
【０００４】
また、微少流量の測定に使用可能な流量測定方法としては、次のような第２の流量測定方法があった。流体通路としての配管の中央部に定常的に一定熱量を放出する発熱源を配置し、その発熱源の発生熱量を通過する流体に放出して流体の温度を上昇させる。そして、発熱源の上流側と下流側に配置した温度検出素子により流体の温度を測定して、上流側と下流側の流体の温度の差から流体の流量を算出する。
【０００５】
すなわち、流体が流れていない場合には上流側と下流側の流体の温度差は生じず、流体の流量が大きくなるほど上流側と下流側の流体の温度差が大きくなるので、上流側と下流側の流体の温度差と流量との関係をあらかじめ求めておくことにより、検出した流体の温度差から流量を算出することができる。この流量測定方法における発熱源および温度検出素子もサーミスタが使用でき、これらのサーミスタは、それぞれ配管の外側に設置されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来の第１の流量測定方法では、発熱源としてのサーミスタおよび温度検出素子としてのサーミスタが、それぞれ配管の外側に設置されているので、微少流量の測定においては下流側サーミスタに被加熱流体が届くまでに多くの放熱が行われ、配管の内部を流れる流体の温度を正確に測定することが困難であった。このため、流体の温度の測定誤差により流量にも誤差が混入することが多く、正確な流量の測定が困難であった。特に、流体の流量が小さい場合には、流量の変化による温度の変化が小さいため、測定誤差が大きくなる。つまり、微少量の流量の測定においては、測定誤差が特に大きくなり正確な測定ができなかった。
【０００７】
また、従来の第２の流量測定方法は、第１の流量測定方法よりは微少流量の測定に適している。しかし、微少流量よりもさらに流量が小さい極微少流量の測定になると、流体が通過する配管の直径は１ｍｍ以下となってしまうので、発熱源での発生熱が配管内部の流体にほとんど伝わらず、大部分の熱が配管外部に放散されてしまう。したがって、温度検出素子で検出される温度は、配管外部を伝達する熱の影響が大きく、配管内部の流体を通して検出される温度成分が小さくなってしまう。このため、第２の流量測定方法でも、微少流量や極微少流量の測定では、測定誤差が大きくなり正確な測定ができないという問題点があった。
【０００８】
そこで、本発明は、発熱源と温度検出素子を使用して正確に流体の流量を測定することができ、微少量や極微少流量の流量も正確に測定することができる流量測定方法および装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の流量測定方法は、発熱源と、前記発熱源よりも下流側の第１の温度検出素子と、前記第１の温度検出素子よりも下流側の第２の温度検出素子とが配置された流体の通路における流量測定方法であって、前記発熱源を発熱駆動パルスによりパルス状に発熱させる手順と、前記発熱駆動パルスの所定部分に対応する時刻である発熱駆動時刻と、前記第１の温度検出素子によって検出した流体の温度と前記第２の温度検出素子によって検出した流体の温度との差が正から負に変わる時刻との間の時間差を検出する手順と、前記時間差により流体の流量を求める手順とを有するものである。そして、前記発熱源、前記第１の温度検出素子および前記第２の温度検出素子は、いずれもサーミスタを使用したものである。
【００１０】
また、上記の流量測定方法において、前記発熱駆動時刻は、前記発熱駆動パルスのパルス終端の時刻であることが好ましい。
【００１２】
また、本発明の流量測定装置は、流体の通路内に配置された発熱源と、流体の通路内の前記発熱源よりも下流側に配置された第１の温度検出素子と、流体の通路内の前記第１の温度検出素子よりも下流側に配置された第２の温度検出素子と、流体の通路内の前記発熱源よりも上流側に配置され、かつ、前記発熱源に対して前記第１の温度検出素子と対称な位置に配置された第３の温度検出素子と、前記発熱源を発熱駆動パルスによりパルス状に発熱させるパルス電源と、前記発熱駆動パルスの所定部分に対応する時刻である発熱駆動時刻と、前記第１の温度検出素子によって検出した流体の温度と前記第２の温度検出素子によって検出した流体の温度との差が正から負に変わる時刻との間の時間差により流体の流量を求める流量演算部とを有するものである。そして、前記発熱源、前記第１の温度検出素子、前記第２の温度検出素子および前記第３の温度検出素子は、いずれもサーミスタを使用したものである。
【００１３】
また、上記の流量測定装置において、前記発熱駆動時刻は、前記発熱駆動パルスのパルス終端の時刻であることが好ましい。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の流量測定装置の全体構成を示す図である。流量を測定しようとする流体は、矢印で示すように配管１の内部を図１の右方向に流れるものとする。流体の通路である配管１の内部には、発熱源としての発熱用サーミスタ２と、第１の温度検出素子としての第１温度検出用サーミスタ３および第２の温度検出素子としての第２温度検出用サーミスタ４とが配置されている。
【００１７】
これらのサーミスタは、温度により抵抗値が大きく変化する素子であり、素子の抵抗値を測定することで温度を測定することができる。これらのサーミスタは、配管１に対して、絶縁状態かつ流体の密封状態を保つように取り付けられている。第１温度検出用サーミスタ３は、発熱用サーミスタ２に対して、流体の流れ方向下流側に所定距離だけ離されて配置されている。第２温度検出用サーミスタ４は、第１温度検出用サーミスタ３のさらに下流側に任意の所定距離だけ離されて配置されている。
【００１８】
発熱用サーミスタ２にはパルス電源５が接続されており、パルス電源５からパルス状の駆動電流を供給して発熱用サーミスタ２にパルス状の発熱を行わせる。発熱用サーミスタ２で発生した熱は、配管１内を流れる流体に伝達される。加熱された流体は、下流側の第１温度検出用サーミスタ３および第２温度検出用サーミスタ４に向かって流れていく。流体の温度は、第１温度検出用サーミスタ３および第２温度検出用サーミスタ４によって検出され、これらのサーミスタによって検出された温度の差分がブリッジ回路６によって検出される。
【００１９】
ブリッジ回路６から出力される温度差の検出値は、差動増幅器７によって増幅され、温度差信号として流量演算部８に入力される。流量演算部８は、パルス電源５の駆動パルス電流の遮断時刻と、温度差信号が正の値から負の値に変わる時刻（ゼロクロス時刻）との間の時間差により、流体の流量を演算するものである。演算により求めた流体の流量は表示部９に表示する。
【００２０】
次に、これらの発熱用サーミスタ２、第１温度検出用サーミスタ３および第２温度検出用サーミスタ４を使用した流量測定の測定原理を、図２によって説明する。発熱用サーミスタ２には、図２（ａ）に示すように、パルス状の駆動電流を供給しパルス状の発熱を行わせる。図２の場合には、測定対象の流体は配管１内を速度ｖで流れているものとする。このとき、発熱用サーミスタ２の温度は図２（ｂ）に示すように変化する。
【００２１】
また、発熱用サーミスタ２の下流側の第１温度検出用サーミスタ３によって検出される流体の温度ｄ１は図２（ｃ）に示すように変化する。ここで、駆動電流の終了時刻Ｔ０から、第１温度検出用サーミスタ３によって検出される流体の温度ｄ１が最大値を示す時刻Ｔ１までの時間差ｔ１は、流体の流れの速度ｖに対応して変化する。すなわち、時間差ｔ１を検出すれば、その検出値から流体の流速ｖを求めることができる。
【００２２】
図２（ｄ）は第２温度検出用サーミスタ４によって検出される流体の温度ｄ２を示している。第２温度検出用サーミスタ４が第１温度検出用サーミスタ３のさらに下流側に配置されているために、駆動電流の終了時刻Ｔ０から、第２温度検出用サーミスタ４によって検出される流体の温度ｄ２が最大値を示す時刻Ｔ２までの時間差ｔ２は、図２（ｃ）における時間差ｔ１よりも大きくなっている。この時間差ｔ２も、流体の流れの速度ｖに対応して変化するので、時間差ｔ２を検出すれば、その検出値から流体の流速ｖを求めることができる。
【００２３】
このように、時間差ｔ１または時間差ｔ２を検出すれば、その検出値から流体の流速ｖを求めることができる。しかし、時間差ｔ１または時間差ｔ２は、サーミスタによって検出される流体の温度が極大値となる時刻を求めなければならないが、このような極大値近傍では温度変化が非常に小さいため、極大値となる時刻を正確に求めることは難しい。すなわち、時間差ｔ１または時間差ｔ２を検出したとしても、それらの検出値に含まれる誤差のために、流体の正確な流量を求めることが困難である。
【００２４】
本発明では、このような問題点を解消するために、第１温度検出用サーミスタ３によって検出される流体の温度ｄ１と第２温度検出用サーミスタ４によって検出される流体の温度ｄ２の温度差Δｄを検出するようにした。すなわち、温度差Δｄは、式Δｄ＝ｄ１−ｄ２で表される値である。図２（ｅ）に示されるように、温度差Δｄは、初めは正の値となり、ゼロクロス時刻Ｔ３において０となり、ゼロクロス時刻Ｔ３よりも後では負の値となる。
【００２５】
駆動電流の終了時刻Ｔ０から、ゼロクロス時刻Ｔ３までの時間差ｔ３は、時間差ｔ１および時間差ｔ２と同様に、流体の流れの速度ｖに対応して変化するので、時間差ｔ３を検出すれば、その検出値から流体の流速ｖを求めることができる。そして、ゼロクロス時刻Ｔ３は、温度差Δｄの検出値曲線が直線Δｄ＝０と交差する時刻であり、高精度の検出値を容易に求めることができる。
【００２６】
このようにして、時間差ｔ３を高精度に求めることができるので、この時間差ｔ３を測定することにより流体の流速ｖを求めることができる。例えば、流速ｖと時間差ｔ３との関係をあらかじめ実験により測定しておいてもよい。すなわち、発熱用サーミスタ２と第１温度検出用サーミスタ３との間の距離、および、発熱用サーミスタ２と第２温度検出用サーミスタ４との間の距離を予め定めておき、そのようなサーミスタの配置における流速ｖと時間差ｔ３との関係を実験により測定して、その関係を数値テーブルとして記憶しておく。実際の測定におけるサーミスタの相互間の距離を実験条件と同一とすれば、数値テーブルを参照して時間差ｔ３から流速ｖを求めることができる。
【００２７】
また、流速ｖと時間差ｔ３の関係を計算式として記憶してもよい。例えば、発熱用サーミスタ２と第１温度検出用サーミスタ３との間の距離、および、発熱用サーミスタ２と第２温度検出用サーミスタ４との間の距離から時間差ｔ３に相当する等価距離を計算し、その等価距離を時間差ｔ３で割って流速ｖとしてもよい。一例を挙げれば、等価距離を発熱用サーミスタ２と第１温度検出用サーミスタ３間の距離と発熱用サーミスタ２と第２温度検出用サーミスタ４間の距離の平均値としてもよい。そして、流体が通過する通路の断面積が既知であるか、断面積をあらかじめ測定しておけば、流体の流速から流量を計算することができる。
【００２８】
このように、発熱駆動時刻と、流体の下流側の２点の温度差が正から負に変化する時刻との時間差ｔ３を測定するので、流体の速度が微小であっても正確に測定することができ、微少量の流量も正確に測定することができる。温度差Δｄのゼロクロス時刻Ｔ３が容易に高精度に検出でき、時間差ｔ３はゼロクロス時刻Ｔ３から直接求められるので、流量の測定精度が向上する。
【００２９】
なお、図２においては、発熱駆動時刻を駆動パルス電流のパルス終端の時刻Ｔ０として、時間差ｔ３を駆動パルス電流の終了時刻Ｔ０から測定するようにしているが、駆動パルス電流のパルス開始時刻から測定するようにしてもよい。または、駆動パルス電流の中心位置の時刻等、駆動パルス電流の波形によって一意的に定まる時刻であれば、駆動パルス電流の任意の所定部分に対応する時刻を基準にしてもよい。
【００３０】
図３は、以上のような測定原理により流体の流量を演算する流量演算部８の構成を示すブロック図である。流量演算部８には、種々のデータ処理を行うためのＣＰＵ８０が設けられており、ＣＰＵ８０にはバス８１を介してＲＯＭやＲＡＭ等からなるメモリ８２が接続されている。ＣＰＵ８０は、メモリ８２に記憶されているプログラムおよびデータに従って動作する。メモリ８２には、基本プログラムであるＯＳ（オペレーティング・システム）や、駆動電流の終了時刻Ｔ０から温度差Δｄのゼロクロス時刻Ｔ３までの時間差ｔ３によって流体の流量を演算する流量演算プログラム８２１や、表示部９に対して文字や画像の表示を行う表示制御プログラム等が記憶されている。
【００３１】
また、メモリ８２には、流体の流速ｖと時間差ｔ３との関係を示す数値テーブルのデータや、流体通路の断面積のデータ等も記憶されている。さらに、流量演算部８には、固定ディスク装置８３が設けられている。固定ディスク装置８３には、メモリ８２にロードするための各種プログラムおよびデータ、時系列に沿った流量の測定データ等が記憶されている。
【００３２】
また、流量演算部８には、文字および画像を表示する表示部９がインターフェース回路８４を介して接続されているとともに、操作者がデータ等を入力するための入力部８６がインターフェース回路８５を介して接続されている。表示部９としてはＣＲＴや液晶表示板等が使用でき、入力部８６としてはキーボードやポインティングディバイス等が使用できる。表示部９には、流量の測定データが数値やグラフ等によって表示される。入力部８６は、配管１の断面積等の流量の演算に必要なデータの入力に使用される。
【００３３】
さらに、流量演算部８には、現在時刻のデータを常に更新して保持する時計回路または時間差の測定が可能なタイマー回路等のクロック回路８７が接続されている。このクロック回路８７により、流体の発熱駆動時刻から下流側の２点での流体の温度差Δｄのゼロクロス時刻Ｔ３までの時間差ｔ３が測定できる。また、流量演算部８には、サーミスタ駆動測定回路８８が設けられており、このサーミスタ駆動測定回路８８には、パルス電源５および差動増幅器７が接続されている。
【００３４】
サーミスタ駆動測定回路８８からパルス電源５に制御信号を送出し、パルス電源５から発熱用サーミスタ２に一定時間ごとに駆動パルス電流を供給して、発熱用サーミスタ２にパルス状の発熱を行わせる。発熱駆動時刻（例えば、駆動パルス電流のパルス終端の時刻Ｔ０）は、パルス電源５からサーミスタ駆動測定回路８８に送られるパルス信号から検出され、その発熱駆動時刻がメモリ８２の所定領域に記憶される。
【００３５】
そして、ブリッジ回路６からの第１温度検出用サーミスタ３と第２温度検出用サーミスタ４との温度差信号が、差動増幅器７介してサーミスタ駆動測定回路８８に入力され、２点の温度差Δｄのゼロクロス時刻Ｔ３が検出される。そして、記憶していた発熱駆動時刻とゼロクロス時刻Ｔ３との時間差ｔ３を求める。この時間差ｔ３から、流量演算プログラム８２１によって流体の流速および流量を演算する。このようにして、配管１を通過する流体の流量を一定時間ごとに連続して測定することができる。
【００３６】
なお、ここでは時間差ｔ３を検出するために、発熱駆動時刻Ｔ０を記憶しておき、発熱駆動時刻Ｔ０とゼロクロス時刻Ｔ３の時間差を計算するようにしているが、必ずしもこのようにする必要はない。これ以外にも、例えば、発熱駆動時刻Ｔ０にタイマー回路をリセットおよび計時開始させ、ゼロクロス時刻Ｔ３にタイマー回路を停止させれば、このときのタイマー回路の計時値が時間差ｔ３となる。このように直接的に時間差ｔ３を検出することもできる。
【００３７】
次に、流量センサ部に温度検出用サーミスタを追加した他の実施の形態について説明する。図４が本発明の他の実施の形態を示す図である。流量センサ部には、図１にも示した発熱源としての発熱用サーミスタ２と、第１の温度検出素子としての第１温度検出用サーミスタ３および第２の温度検出素子としての第２温度検出用サーミスタ４とに加えて、第３の温度検出素子としての第３温度検出用サーミスタ３０が設けられている。
【００３８】
第３温度検出用サーミスタ３０は、発熱用サーミスタ２の上流側に設けられており、発熱用サーミスタ２から見て第１温度検出用サーミスタ３と対称な位置に配置されている。すなわち、発熱用サーミスタ２と第３温度検出用サーミスタ３０の中心間の距離が、発熱用サーミスタ２と第１温度検出用サーミスタ３の中心間の距離Ｄと等しくなるように配置されている。
【００３９】
この、第３温度検出用サーミスタ３０を追加した理由を次に述べる。発熱用サーミスタ２で発生した熱は、配管１内を流れる流体に伝達されるだけでなく、配管１自体や配管１外部にも伝達され、第１温度検出用サーミスタ３および第２温度検出用サーミスタ４に受信される。通常の状態では、この流体以外から伝達される熱の検出信号は、流体を介して伝達される熱の検出信号に比べて減衰が大きく、また伝達速度も遅いため問題とはならない。
【００４０】
しかし、流体の速度が極めて遅い場合には、流体を介して伝達される熱の検出信号と流体以外から伝達される熱の検出信号との到達時間差が小さくなり、両者が重なり合って、測定誤差の原因になってしまう。また、流体通路の面積が極めて小さい場合にも、流体を介して伝達される熱の検出信号と流体以外から伝達される熱の検出信号の検出レベル差が少なくなり、流体以外から伝達される熱の検出信号が誤差として混入してしまう。すなわち、これらの場合には、測定誤差が増大してしまうという問題点がある。
【００４１】
そこで、図４の実施の形態では、流量センサ部に第３温度検出用サーミスタ３０を追加して、このような流体以外から伝達される熱の検出信号による誤差を軽減しようとするものである。第３温度検出用サーミスタ３０が発熱用サーミスタ２から見て第１温度検出用サーミスタ３と対称な位置に配置されているので、流体以外から伝達される熱の検出信号は、第１温度検出用サーミスタ３と第３温度検出用サーミスタ３０に同時に伝達され、また、その検出値も等しくなる。それに対して、流体を介して伝達される熱の検出信号は、流体の流れの速度により時間的にも時間差を生じ、検出レベルも下流側が大きくなる。
【００４２】
したがって、第１温度検出用サーミスタ３と第３温度検出用サーミスタ３０の検出信号の差を取ることにより、流体以外から伝達される熱の影響を除去して流体を介して伝達される熱の検出信号のみを抽出することができる。図４の温度検出部６０は、第１温度検出用サーミスタ３の検出値から第３温度検出用サーミスタ３０の検出信号を差し引くことにより、第１温度検出用サーミスタ３の検出値を補正するものである。この補正した信号と、第２温度検出用サーミスタ４の検出信号との温度差を取って、図１の実施の形態と同様に流量演算部８に入力する。その他の構成は、図１の実施の形態と同様であるため説明を省略する。
【００４３】
このように、第１温度検出用サーミスタ３の検出信号を第３温度検出用サーミスタ３０の検出信号によって補正することにより、さらに正確な流量の測定が可能となる。なお、第２温度検出用サーミスタ４に対しても、発熱用サーミスタ２の上流側の対称位置に補正用の第４温度検出用サーミスタを設けてもよいが、第２温度検出用サーミスタ４においては流体以外から伝達される熱の検出レベル差および検出時間差が大きいため、特に設ける必要はない。
【００４４】
以上のように、本発明の流量測定方法および装置によれば、流体にパルス状の加熱を行い、この発熱駆動時刻から下流側の２点での流体の温度差のゼロクロス時刻までの時間差を測定するので、流体の速度が微小であっても正確に測定することができ、微少量の流量も正確に測定することができる。また、流量センサ部の発熱源と温度検出素子とが流体通路内に配置されているので、発熱源から流体への熱の伝達効率および温度検出素子による流体温度の検出精度が向上し、外部からの影響も少ない。その結果、流量の測定精度が向上する。
【００４５】
さらに、発熱源と温度検出素子とからなる流量センサ部をサーミスタを使用して極めて小さくできるため、流体の流れに対する流量センサ部の影響を最小限にできる。また、本発明の流量測定方法および装置によれば、微少流量の測定だけでなく、例えば、マイクロポンプ等の吐出出力に流量センサ部を配置して、マイクロポンプ等の動作が正常に行われているか否かの確認および警報等を行う安全装置として使用することができる。
【００４６】
【発明の効果】
本発明は、以上に説明したように構成されているので、以下のような効果を奏する。
【００４７】
流体にパルス状の加熱を行い、この発熱駆動時刻から下流側の２点での流体の温度差のゼロクロス時刻までの時間差を測定するので、流体の速度が微小であっても正確に測定することができ、微少量の流量も正確に測定することができる。また、流量センサ部の発熱源と温度検出素子とが流体通路内に配置されているので、発熱源から流体への熱の伝達効率および温度検出素子による流体温度の検出精度が向上し、外部からの影響も少なくなるため、流量の測定精度が向上する。
【００４８】
発熱駆動時刻を発熱駆動パルスのパルス終端の時刻としたので、発熱駆動時刻の検出が容易であり検出精度も向上する。
【００４９】
発熱源および温度検出素子としてサーミスタを使用したので、流量センサ部の構造が簡素なものとなり、流量センサ部の信頼性が向上するとともに、流量センサ部のコストを低減させることができる。また、流量センサ部をサーミスタを使用して極めて小さくできるため、流体の流れに対する流量センサ部の影響を最小限にできる。また、発熱源を発熱駆動すると同時に発熱源の温度を確認することができる。
【００５０】
発熱源よりも上流側の第１の温度検出素子と対称な位置に第３の温度検出素子を配置するようにしたので、流体以外から伝達される熱の影響を除去して、さらに正確な流量の測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の流量測定装置の全体構成を示す図である
【図２】図２は、流量の測定原理を示す図である。
【図３】図３は、流量演算部の構成を示すブロック図である。
【図４】図４は、本発明の他の実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
１…配管
２…発熱用サーミスタ
３…第１温度検出用サーミスタ
４…第２温度検出用サーミスタ
５…パルス電源
６…ブリッジ回路
７…差動増幅器
８…流量演算部
９…表示部
３０…第３温度検出用サーミスタ
６０…温度検出部
８０…ＣＰＵ
８１…バス
８２…メモリ
８３…固定ディスク装置
８４，８５…インターフェース回路
８６…入力部
８７…クロック回路
８８…サーミスタ駆動測定回路
【図１】
0004955159.tif 000002
【図２】
0004955159.tif 000003
【図３】
0004955159.tif 000004
【図４】
0004955159.tif 000005