(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察物体に偏光方向の異なる複数光束を照射して観察する微分干渉顕微鏡であり、
前記観察物体に照射される偏光方向の異なる複数光束を生成する照明手段と、
前記観察物体を経由した前記照明手段からの偏光方向の異なる複数光束を、重ね合わせて結像させ、結像面に前記観察物体の像を生成する光学系と、
前記偏光方向の異なる複数光束が併存する光路中に配され、前記照明手段で生成された偏光方向の異なる複数光束間の相対的位相差を、外部からの信号によって調整可能な空間光変調器と、
を備えることを特徴とする微分干渉顕微鏡。
【請求項２】
前記照明手段は、光源と、前記光源からの光束を偏光方向の異なる複数光束に変換する光学素子とを含み、
前記光学系は、前記観察物体を経由した前記偏光方向の異なる複数光束を合成する光学素子を含むことを特徴とする請求項１に記載の微分干渉顕微鏡。
【請求項３】
前記空間光変調器は、液晶を用いたものであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の微分干渉顕微鏡。
【請求項４】
前記結像面に生成された前記観察物体の画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された画像の特徴を解析する画像解析手段と、
前記画像解析手段の解析結果に基づいて、前記空間光変調器の変調に必要なパラメータを決定するパラメータ決定手段とをさらに備え、
前記パラメータ決定手段の決定したパラメータにより、前記空間光変調器が制御されるように構成されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかひとつに記載の微分干渉顕微鏡。
【請求項５】
前記画像解析手段は、解析対象として少なくともコントラストまたは解像度に関する物理量を含んでいることを特徴とする請求項４に記載の微分干渉顕微鏡。
【請求項６】
前記パラメータ決定手段は、前記画像解析手段で解析された物理量を変数とする所定の関数に基づいて、前記変調手段の制御に用いるパラメータを決定することを特徴とする請求項４または請求項５に記載の微分干渉顕微鏡。
【請求項７】
前記空間光変調器で、各回の相対的位相差を違えて複数回、偏光方向の異なる複数光束間の相対的位相差を調整し、
各回において前記画像撮像手段で撮像された画像に基づいて、前記観察物体の位相分布を復元可能に構成されていることを特徴とする請求項４〜請求項６のいずれかひとつに記載の微分干渉顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば細胞やバクテリア等の微細胞物体、あるいは金属などの結構造の位相分布を観察する微分干渉顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
微分干渉顕微鏡においては、照明光を複屈折性のプリズムにより常光と異常光とに分離して観察物体に照射し、それらの透過光または反射光を干渉させることにより、観察物体の持つ位相分布の勾配を画像として観察している。
【０００３】
この微分干渉顕微鏡では様々な観察物体を良好に観察するために、複屈折のプリズムを微妙に移動させて常光線と異常光線の間の位相差を変化させて観察する手法が採用されている。このプリズムの微動に関しては、近年、モータなどを用いて行う手法等が例えば特開平９−１０５８６４等において提案されている。特開平９−１０５８６４に開示されている微分干渉顕微鏡について図１１を用いて概略的に説明する。
【０００４】
図１１のシステムでは、偏光子１０１と検光子１０６は偏光方向がクロスニコルとなるように配置されている。また、ノマルスキープリズム１０２のローカライズ面はコンデンサレンズ１０３の前側焦平面に一致するように配置されている。本明細書においては、前側という用語はレンズ系に対して光が入射する側を言い、また後ろ側という用語はレンズ系から光が射出される側を言う。
【０００５】
図１１において、光源１００から射出される光束を、偏光子１０１を用いてその偏光方向が紙面に対して４５度となる光にして、ノマルスキープリズム１０２に入射させる。ノマルスキープリズム１０２は、そのシアの方向が紙面に対して平行となるように配置されており、入射した光束は紙面に対して垂直な偏光方向の常光線と紙面に対して平行な異常光線の二本の光束に分離される。分離された二本の光束はコンデンサレンズ１０３を通過した後、特定の距離△の間隔を置いて観察物体１の異なる二点を透過する。
【０００６】
観察物体１の異なる二点を透過した偏光方向の異なる二本の光束は、対物レンズ１０４を透過し、ノマルスキープリズム１０５によって一本の光束に合成される。合成された光束は、検光子１０６を通過することにより互いに干渉し、その干渉画像が、観察物体１の読み出し情報として、ＣＣＤ１０７等の撮像手段によって撮像される。
【０００７】
この装置では、ノマルスキープリズム１０２とノマルスキープリズム１０５をステッピングモ一夕等を用いて移動させることにより、観察物体１を読み出す二本の光束の相対的な位相差を変化させて複数の画像を得ている。更に、それら複数の画像を元に観察物体１の位相分布の復元をコンピュータ１０８で行っている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の一般的な微分干渉顕微鏡では、種々の観察物体に対して観察条件を変化させるためには、観察者がノマルスキープリズムの機械的な移動を手動で行うことにより、常光線と異常光線の間の位相差を変更する必要がある。また、特開平９−１０５８６４等に見られるように、ノマルスキープリズムの移動にステッピングモ一夕等を用いる例もあるが、機械的な動作を伴うために精度が十分でない場合や、その調整が煩雑である場合も多い。このように、これまで知られている微分干渉顕微鏡は、観察条件を容易に変更することが難しい。また、このために、種々の物体に対して最適な観察条件で観察することも困難となっている。
【０００９】
本発明は、上述した問題点に着目して成されたもので、その主要な目的は、機械的な動作など煩雑な操作を必要とすること無く、観察条件を容易に変更可能な微分干渉顕微鏡を提供することである。また、本発明の副次的な目的は、種々の観察物体に対して最適な観察条件での観察が可能な微分干渉顕微鏡を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、観察物体に偏光方向の異なる複数光束を照射して観察する微分干渉顕微鏡であり、前記観察物体に照射される偏光方向の異なる複数光束を生成する照明手段と、前記観察物体を経由した前記照明手段からの偏光方向の異なる複数光束を、重ね合わせて結像させ、結像面に前記観察物体の像を生成する光学系と、前記偏光方向の異なる複数光束が併存する光路中に配され、前記照明手段で生成された偏光方向の異なる複数光束間の相対的位相差を、外部からの信号によって調整可能な空間光変調器とを備えることを特徴とする。本発明によれば、前記偏光方向の異なる複数光束が併存する光路中に配される空間光変調器によって照明手段からの偏光方向の異なる複数光束の間の位相差を調整することにより、機械的な操作を必要とすることなく、観察条件を容易に変更することができるようになる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【００１２】
第一実施形態
本発明の第一実施形態の微分干渉顕微鏡の構成を図１に示す。本実施形態の微分干渉顕微鏡は、図１に示されるように、観察物体１に照射される偏光方向の異なる二本の光束を生成する照明手段２と、観察物体１を経由した照明手段２からの偏光方向の異なる二本の光束を重ね合わせて結像させて結像面に観察物体の像を生成する拡大光学系３と、照明手段２で生成された偏光方向の異なる二本の光束間の相対的位相差を外部からの信号によって調整可能な空間光変調器４と、結像面に生成された観察物体１の画像を撮像する撮像手段５と、撮像手段５によって撮像された画像の特徴を解析する画像解析手段６と、画像解析手段６の解析結果に基づいて空間光変調器４の変調に必要なパラメータを決定するパラメータ決定手段７とを備えている。
【００１３】
照明手段２は、光源２１と、偏光子２２と、ノマルスキープリズム２３と、コンデンサレンズ２４とを有している。コンデンサレンズ２４とノマルスキープリズム２３は、コンデンサレンズ２４の前側焦平面とノマルスキープリズム２３のローカライズ位置とを一致させて配置されている。拡大光学系３は、対物レンズ３１と、ノマルスキープリズム３４と、検光子３３とを有している。対物レンズ３１とノマルスキープリズム３４は、対物レンズ３１の瞳位置とノマルスキープリズム３４のローカライズ位置とを一致させて配置されている。それぞれのノマルスキープリズム２３と３４のシア方向は共に図１の紙面に平行である。偏光子２２の偏光方向は図１の紙面に対して４５度であり、検光子３３は偏光子２２に対してクロスニコルの関係に配置されている。
【００１４】
照明手段２において、光源２１から射出された光束は、偏光子２２に入射し、その偏光方向が図１の紙面に対して４５度の光束がこれを透過する。偏光子２２を透過した光束は、ノマルスキープリズム２３を通過することによって、偏光の方向が直交する常光線１１と異常光線１２の二本の光束に分離され、コンデンサレンズ２４に入射する。ここで、常光線１１はその偏光方向が図１の紙面に対して垂直であり、異常光線１２はその偏光方向が図１の紙面に平行である。これらの偏光方向の異なる二本の光束は空間光変調器４に入射する。
【００１５】
空間光変調器４は、特定の偏光方向の入射光と、その他の偏光方向の入射光との間の位相差を、電気などの外部からの信号によって変調し得る。空間光変調器４は図１の紙面に垂直な方向の偏光方向を持つ常光線１１とその他の偏光方向を持つ光との位相差を変化させるように配置されている。このため、常光線１１と異常光線１２の間の位相差は空間光変調器４によって制御可能となっている。
【００１６】
空間光変調器４を透過した常光線１１と異常光線１２の二本の光束は、空間光変調器４によって位相差が制御されて、観察物体１を透過する。観察物体１を透過した二本の光束は、言い換えれば、観察物体１の位相情報を読み出した二本の光束は、対物レンズ３１を通過し、ノマルスキープリズム３４に入射して重ね合わされる。重ね合わされた光束は、検光子３３に入射し、特定の偏光方向（偏光子２２の透過軸と直交する方向）のみの光束がこれを透過する。
【００１７】
検光子３３を透過した光束によって、観察物体１を読み出した常光線１１と異常光線１２の間の干渉が得られる。この干渉は撮像手段５によって観察され、これにより観察物体１の位相分布の傾きに対応する画像を得る、言い換えれば位相物体の情報の可視化を達成することができる。
【００１８】
画像解析手段６は撮像手段５で得られる観察物体のデータを元に画像中のコントラストや輝度値等の解析を行う。パラメータ決定手段７は画像解析手段６で得られる解析結果を元にして空間光変調器４で行う位相の変調量を決定する。空間光変調器４はパラメータ決定手段７で決定された変調量のデータに従って常光線１１と異常光線１２の間の位相差を制御すなわち変調する。このフィードバックにより、観察条件を変えることができる。
【００１９】
例えば、観察物体１が図２に示される位相分布を有しているとする。これに対して、常光線１１と異常光線１２の二本の光束は、図３に示されるように、シア量に対応した間隔△で観察物体１を読み出す。初期状態として空間光変調器４において二本の光束の間の位相差を０に設定すると、図４に示される強度分布が得られる。また、空間光変調器４において二本の光束の間の位相差を−０．８πに設定すると、図５に示される強度分布が得られる。更に、空間光変調器４において二本の光束の間の位相差を１．６πに設定すると、図６に示される強度分布が得られる。図６の強度分布は図５の強度分布が反転したものに相当する。なお、図４〜図６の強度分布において、縦軸は最大の強度値で規格化されている。
【００２０】
このように本実施形態の微分干渉顕微鏡では、空間光変調器４によって常光線１１と異常光線１２の間の位相差を変えることにより、ノマルスキープリズムの機械的な動作や煩雑な計算を行うことなく、観察物体１の観察条件を容易に変えることができる。従って、画像解析手段６とパラメータ決定手段７において、観察者が最適と考えるコントラストや解像度等の指標を予め設定しておくことにより、厚さ・構造・吸収等の種々の物理量の異なる様々な種々の観察物体に対しても最適な観察条件での観察を簡単に行える。
【００２１】
第二実施形態
本発明の第二実施形態の微分干渉顕微鏡の構成を図７に示す。本実施形態の微分干渉顕微鏡は、図７に示されるように、偏光方向の異なる二本の光束を生成する照明手段２と、観察物体１を透過した二本の光束を重ね合わせて結像させる拡大光学系３と、二本の光束の間の位相差を調整可能な空間光変調器４と、観察物体１の画像を撮像する撮像手段であるＣＣＤカメラ５１と、ＣＣＤカメラ５１によって撮像された画像を解析する画像解析手段６と、画像解析手段６の解析結果に基づいて空間光変調器４の変調に必要なパラメータを決定するパラメータ決定手段７とを備えている。
【００２２】
照明手段２は、ハロゲンランプ２１１と、バンドパスフィルタ２１２と、偏光子２２と、ノマルスキープリズム２３と、コンデンサレンズ２４とを有している。コンデンサレンズ２４とノマルスキープリズム２３は、コンデンサレンズ２４の前側焦平面とノマルスキープリズム２３のローカライズ位置とを一致させて配置されている。拡大光学系３は、対物レンズ３１と、ノマルスキープリズム３４と、結像レンズ３５とを有している。対物レンズ３１とノマルスキープリズム３４は、対物レンズ３１の瞳位置とノマルスキープリズム３４のローカライズ位置とを一致させて配置されている。空間光変調器４は、透過型でホモジニアス配向の位相変調の液晶装置４１である。画像解析手段６とパラメータ決定手段７はコンピュータ１５０内のソフトウエアで構成されている。
【００２３】
ノマルスキープリズム２３とノマルスキープリズム３４のシア方向は図７の紙面に平行である。検光子３３と偏光子２２はそれらの偏光面がそれぞれ図７の紙面に対して４５度でクロスニコルとなるように配置されている。
【００２４】
ハロゲンランプ２１１から射出された光束は、バンドパスフィルタ２１２に入射し、バンドパスフィルタ２１２により６７０ｎｍ近傍の波長成分だけが透過を許される。バンドパスフィルタ２１２を透過した光束は、偏光子２２を経ることで、偏光方向が図７の紙面と４５度の方向の光束のみがノマルスキープリズム２３に入射する。ノマルスキープリズム２３に入射した光束は、偏光方向が図７の紙面に垂直な常光線の光束と偏光方向が図７の紙面に平行な異常光線の光束とに分離される。分離された光束は、コンデンサレンズ２４を通過し、透過型でホモジニアス配向の液晶装置４１に入射する。
【００２５】
ホモジニアス配向の液晶装置４１は、偏光方向が図７の紙面に垂直な常光線に対してのみ位相の変調が可能であり、その変調はコンピュータ１５０により行われる。
【００２６】
このホモジニアス配向の液晶装置４１を透過した常光線１１と異常光線１２の二本の光束は、それぞれ観察物体１の異なる二点を透過し、対物レンズ３１を経て、ノマルスキープリズム３４に入射する。ノマルスキープリズム３４に入射した常光線１１と異常光線１２の光束は再び合成され、検光子３３に入射する。検光子３３に入射した光束は、偏光子２２の偏光方向とクロスニコルの関係にある偏光方向の成分だけが検光子３３の透過を許される。
【００２７】
この検光子３３を透過した光束は、結像レンズ３５を経て、無偏光ビームスプリッタ１５１に達し、二本に分割される。無偏光ビームスプリッタ１５１で反射された光束は観察者に達し、観察者によって常光線１１と異常光線１２の二本の光束の干渉画像が直接観察される。一方、無偏光ビームスプリッタ１５１を透過した光束は撮像手段であるＣＣＤカメラ５１に入射し、常光線１１と異常光線１２の二本の光束の干渉画像がＣＣＤカメラ５１によって撮像される。
【００２８】
観察者は観察した画像を元にして透過型のホモジニアス配向の液晶装置４１を制御するコンピュータ１５０を操作することで、画像を観察しながらホモジニアス配向の液晶装置４１での位相差量を操作することができる。これにより、種々の観察物体に対して最適な観察状況で観察することが可能となる。
【００２９】
一方では、ＣＣＤカメラ５１で撮像された画像はコンピュータ１５０に伝送される。コンピュータ１５０に伝送された画像データはソフトウエアで構成される画像解析手段６に伝送される。画像解析手段６では、画像解析の指標として、観察者があらかじめ定めた領域のコントラストについての解析が行われる。この解析結果はパラメータ決定手段７に伝送され、観察者が目標とするコントラストに対して解析結果が比較され、目標値に近づくように例えば最小二乗法などを用いて位相の変調量が決定される。この決定された値に基づいて位相変調の液晶装置４１で位相の変調が行われる。従って、観察者が予めコントラストに関して目標値を設定しておけば、観察者自らがコンピュータ１５０を操作することなく、最適な観察条件での観察が自動的に可能となる。
【００３０】
本実施形態では透過型のホモジニアス配向の液晶装置４１はコンデンサレンズ２４と観察物体１の間に配置されているが、この位置に限定されるわけでもなく、常光線１１と異常光線１２が通過する任意の位置に配置されてもよい。
【００３１】
第三実施形態
本発明の第三実施形態の微分干渉顕微鏡の構成を図８に示す。本実施形態の微分干渉顕微鏡は、図８に示されるように、偏光方向の異なる二本の光束を生成する照明手段と、観察物体１を通過した二本の光束を重ね合わせて結像させる拡大光学系と、二本の光束の間の位相差を調整可能な空間光変調器である透過型のホモジニアス配向の液晶装置４１と、観察物体１の画像を撮像する撮像手段であるＣＭＯＳセンサ５２と、ＣＭＯＳセンサ５２によって撮像された画像を解析する画像解析手段６と、画像解析手段６の解析結果に基づいて空間光変調器４の変調に必要なパラメータを決定するパラメータ決定手段７とを備えている。
【００３２】
本実施形態では、照明手段は、ハロゲンランプ２１１と、コンデンサレンズ２１３と、バンドパスフィルタ２１２と、偏光ビームスプリッタ２１４と、ノマルスキープリズム２３とを含んでいる。拡大光学系は、対物レンズ３１と、ノマルスキープリズム２３と、偏光ビームスプリッタ２１４と、結像レンズ３５とを含んでいる。ノマルスキープリズム２３と対物レンズ３１は、ノマルスキープリズム２３のローカライズ面と対物レンズ３１の瞳面が一致するように配置されている。
【００３３】
ノマルスキープリズム２３におけるシアの方向は図８の紙面に平行である。ハロゲンランプ２１１とバンドパスカラーフィルタ２１２と偏光ビームスプリッタ２１４は、偏光ビームスプリッタ２１４で反射されてノマルスキープリズム２３に入射する光束の偏光方向が図８の紙面に対して４５度にとなるように配置されている。
【００３４】
ハロゲンランプ２１１から射出された光束は、バンドパスフィルタ２１２に入射し、バンドパスフィルタ２１２により６３３ｎｍ近傍の帯域の波長成分だけが透過を許される。バンドパスフィルタ２１２を透過した光束は、偏光ビームスプリッタ２１４に入射し、図８の紙面に対して４５度の偏光方向の成分のみが反射され、ノマルスキープリズム２３に入射する。ノマルスキープリズム２３に入射した光束は、偏光方向が図８の紙面に垂直な常光線１１の光束と偏光方向が図８の紙面に平行な異常光線１２の光束とに分離される。分離された光束は、対物レンズ３１を透過し、透過型でホモジニアス配向の液晶装置４１に入射する。
【００３５】
ホモジニアス配向の液晶装置４１は、偏光方向が図８の紙面に垂直な常光線に対してのみ位相の変調が可能であり、その変調の制御はコンピュータ１５０からの信号によって行われる。
【００３６】
ホモジニアス配向の液晶装置４１を透過した常光線１１と異常光線１２の
二本の光束は、反射物体である観察物体１に入射し、その情報を読み取って反射される。反射された常光線１１と異常光線１２の二本の光束は再びホモジニアス配向の液晶装置４１に入射し、再び同じ変調を受ける。変調を受けた常光線１１と異常光線１２の二本の光束はノマルスキープリズム２３に入射し、重ね合わされて一本の光束に合成され、偏光ビームスプリッタ２１４に入射する。偏光ビームスプリッタ２１４に入射した光束は、偏光ビームスプリッタ２１４で反射された光束とクロスニコルとなる偏光方向の成分のみが偏光ビームスプリッタ２１４の透過を許される。偏光ビームスプリッタ２１４を透過した光束は、結像レンズ３５を経て、拡大像が結像する面に配置されたＣＭＯＳセンサ５２に入射し、ＣＭＯＳセンサ５２によって観察物体１の微分干渉画像が撮像される。
【００３７】
ＣＭＯＳセンサ５２で得られた画像はコンピュータ１５０を経て、図示されていないディスプレイ等に表示される。
【００３８】
一方、コンピュータ１５０ではＣＭＯＳセンサ５２で得られた画像は画像解析手段６であるソフトウエアにその情報が伝達される。この画像解析手段６において、観察者が予め定めた指標として、画像中の特定領域中の輝度値と解像度が測定される。その測定値はパラメータ決定手段７に伝送され，観察者が設定した目標値に測定値が近づくように透過型のホモジニアス配向の液晶装置４１で変調する位相量を、ニューラルネットワークを用いて決定し、決定された位相の変調を行うための信号が液晶装置４１に伝送される。この様な最適なフィードバックを繰り返し行うことによって、観察者が希望する最適な輝度値の画像を自動的に得ることができる。
【００３９】
本実施形態では、透過型のホモジニアス配向の液晶装置４１は対物レンズ３１と観察物体１の間に配置されているが、その位置はこれに限定されるものではなく、常光線１１と異常光線１２が通過する任意の位置に配置されてもよい。
【００４０】
第四実施形態
本発明の第三実施形態の微分干渉顕微鏡の構成を図９に示す。本実施形態の微分干渉顕微鏡は、図９に示されるように、偏光方向の異なる二本の光束を生成する照明手段と、観察物体１を通過した二本の光束を重ね合わせて結像させる拡大光学系と、二本の光束の間の位相差を調整可能な空間光変調器である反射型のホモジニアス配向の液晶装置４２と、観察物体１の画像を撮像する撮像手段であるＣＣＤカメラ５１と、ＣＣＤカメラ５１によって撮像された画像を解析する画像解析手段６と、画像解析手段６の解析結果に基づいて空間光変調器４の変調に必要なパラメータを決定するパラメータ決定手段７とを備えている。
【００４１】
本実施形態では、照明手段は、発光ダイオード（ＬＥＤ）２１６と、偏光子２２と、コンデンサレンズ２１３と、無偏光ビームスプリッタ２１７と、ノマルスキープリズム２３とを含んでいる。拡大光学系は、対物レンズ３１と、ノマルスキープリズム２３と、偏光ビームスプリッタ２１４と、検光子３３と、結像レンズ３５とを含んでいる。
【００４２】
ノマルスキープリズム２３におけるシアの方向は図９の紙面に平行である。ノマルスキープリズム２３と対物レンズ３１は、ノマルスキープリズム２３のローカライズ面と対物レンズ３１の瞳面が一致するように配置されている。
【００４３】
ＬＥＤ２１６から射出された光束は偏光子２２に入射し、図９の紙面に対して４５度の偏光方向の成分だけが透過を許される。偏光子２２を透過した光束は、コンデンサレンズ２１３を経て、無偏光ビームスプリッタ２１７に入射する。無偏光ビームスプリッタ２１７で反射された光束は、ノマルスキープリズム２３に入射し、偏光方向が互いに直交する常光線１１と異常光線１２の二本の光束とに分離される。分離されたこれら二本の光束は、対物レンズ３１を経て、透過タイプの観察物体１を透過し、更に反射型のホモジニアスタイプの液晶装置４２に入射する。
【００４４】
反射型のホモジニアスタイプの液晶装置４２は、偏光方向が図９の紙面に対して垂直な偏光方向の光束に対してのみ位相の変調が行える。つまり、反射型のホモジニアスタイプの液晶装置４２は、常光線１１に対してその位相量を変化させて反射する。
【００４５】
反射型のホモジニアスタイブの液晶装置４２で反射された光束は再び観察物体１を透過し、対物レンズ３１に入射する。対物レンズ３１を透過した二本の光束は、ノマルスキープリズム２３に入射し、重ね合わされて一本の光束に合成される。合成された光束は、無偏光ビームスプリッタ２１７を透過し、検光子３３に入射する。検光子３３に入射した光束は、偏光方向が偏光子２２に対してクロスニコルとなる成分のみが透過を許される。検光子３３を透過した光束は結像レンズ３５によって結像され、その結像面に配置されたＣＣＤカメラ５１によって観察物体１の微分干渉画像が撮像される。
【００４６】
ＣＣＤカメラ５１で得られた画像はコンピュータ１５０に伝送され、図示されていないディスプレイに表示される。
【００４７】
一方、コンピュータ１５０内において、ＣＣＤカメラ５１で得られた画像はソフトウエアで構成される画像解析手段６に送られ解析される。画像解析手段６において、観察者が予め設定した指標として、特定領域のコントラストと輝度値に関する解析が行われ、その解析結果がパラメータ決定手段７に伝送される。パラメータ決定手段７では観察者が予め設定したコントラストと輝度値に関して解析結果との比較が行われ、ホモジニアスタイプの液晶装置４２で変調する位相の量がニューラルネットを用いて決定され、決定された位相を変調するための信号が液晶装置４２に伝達される。この操作を繰り返し行うことでコントラストと輝度値に関して設定した目標値に自動的に設定され，最適な観察条件での観察ができる。
【００４８】
更に、位相量を様々に変化させた場合、画像解析手段６では、ＣＣＤカメラ５１で得られたる画像を元に観察物体１の位相分布の復元も行われる。
【００４９】
この観察物体１の位相分布の復元のアルゴリズムを図１０のフローチャートを参照して説明する。初期値として、求める位相分布ｆ（ｉ，ｊ）（ｉ，ｊ：整数）をランダムな位相分布と、位相差φ０を与えた場合に観察された画像Ｉφ０（ｉ，ｊ）、シア量△ｘ、位相値を変化させる画像中の任意の位置（ｉ０，ｊ０）と変化量△ｆを与える。与えられた条件で、位相分布ｆ（ｉ，ｊ）の場合における干渉画像ＩＣ（ｉ，ｊ）を計算し、計算結果ＩＣ（ｉ，ｊ）と実験結果Ｉφ０（ｉ，ｊ）の比較を行う。比較としては、それぞれの画像の画素間の差の絶対値における総和（Ｓk＝Σ｜ＩＣij−Ｉφ０ij｜（ｋ：整数））を計算する。この総和Ｓｋと前回に変化量△ｆで計算した値Ｓk-1と比較し、予め定めた設定値Ｖより大きければ次の変化量△ｆを最小二乗法等を用いて計算し、選択された位置（ｉ０，ｊ０）での位相に△ｆを加えて、同様の演算を行う。一方，ＳkとＳk-1の絶対値が設定値Ｖより小さければ次に他の画素ｉ０，ｊ０を選択して、計算を繰り返す。初期状態ではＳk-1が存在しないので、予め更新する△ｆを与えておく。この演算が全画素について行われた場合には次には別の位相差φ１を与えた場合について計算を繰り返し行う。この様に繰り返し演算を行うことで観察物体の位相分布の復元が行える。
【００５０】
第二実施形態〜第四実施形態では、現在最も使われている電気で制御を行うホモジニアス配向の液晶装置を空間光変調器４に用いた例を説明したが、空間光変調器４には、電気で制御を行う電気アドレス型だけでなく、光で制御を行う光アドレス型の装置が用いられてもよい。また、空間光変調器４には、ホメオトロピック配向やハイブリッド配向等の液晶や、ＬｉＮｂ０３等の結晶や、有機系のフォトリフラクティブ材料やフォトクロミック材料等の様に、電気アドレスや光アドレスによってその複屈折の制御が可能な素子を用いた空間光変調器が用いられてもよい。
【００５１】
光源は上述した実施形態に何ら限定されない。また、プリズムもノマルスキープリズムに限定されるものではなく、複屈折性を有する任意のプリズムが適用可能である。
【００５２】
位相分布の復元方法も上述した一例に限定されるものではなく、ニューラルネットを用いた手法やこれまでの手法も同様に適用することが可能であるのは明らかである。
【００５３】
これまで、いくつかの実施の形態について図面を参照しながら具体的に説明したが、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で行なわれるすべての実施を含む。
【００５４】
【発明の効果】
本発明によれば、煩雑な操作を必要とすること無く、観察条件を容易に変更可能な微分干渉顕微鏡が提供される。これにより、種々の観察物体に対しても最適な観察条件での観察が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施形態の微分干渉顕微鏡の構成を示している。
【図２】観察物体の位相分布の一例を示している。
【図３】図２の観察物体を読み出した常光線と異常光線の位相分布を示している。
【図４】図２の観察物体を読み出した常光線と異常光線の間の位相差が０のときの強度分布を示している。
【図５】図２の観察物体を読み出した常光線と異常光線の間の位相差が−０．８πのときの強度分布を示している。
【図６】図２の観察物体を読み出した常光線と異常光線の間の位相差が１．６πのときの強度分布を示している。
【図７】本発明の第二実施形態の微分干渉顕微鏡の構成を示している。
【図８】本発明の第三実施形態の微分干渉顕微鏡の構成を示している。
【図９】本発明の第四実施形態の微分干渉顕微鏡の構成を示している。
【図１０】位相分布の復元法を示すフローチャートである。
【図１１】従来例の微分干渉顕微鏡の構成を示している。
【符号の説明】
２  照明手段
３  拡大光学系
４  空間光変調器
５  撮像手段
６  画像解析手段
７  パラメータ決定手段
２１  光源
２２  偏光子
２３  ノマルスキープリズム
２４  コンデンサレンズ
３１  対物レンズ
３３  検光子
３４  ノマルスキープリズム
３５  結像レンズ
【図１】
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【図２】
0004869502.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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