(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
転動体転走部を有する軌道部材と、
前記転動体転走部に対向する負荷転動体転走部を有し、前記軌道部材に対して相対的に直線又は曲線運動可能な移動部材と、
前記軌道部材の前記転動体転走部と前記移動部材の前記負荷転動体転走部との間に介在される複数の転動体と、
前記軌道部材と前記移動部材との間のすきまに充満され、前記軌道部材及び前記移動部材に接触する油の層と、を備え、
前記移動部材は、前記負荷転動体転走部が形成される移動ブロックと、前記移動ブロックの移動方向の端面に取り付けられ、前記移動ブロックとは別体のエンド減衰部材と、を有し、
前記油の層は、前記エンド減衰部材と前記軌道部材との間のすきまに充満され、前記油の粘性抵抗を利用して、前記移動部材又は前記軌道部材に速度に比例した制動力を与えることを特徴とする運動案内装置。
【請求項３】
前記エンド減衰部材には、前記すきまに油を供給する油供給経路が設けられ、前記すきまから油が流出することを特徴とする請求項１に記載の運動案内装置。
【請求項４】
前記エンド減衰部材の前記油の層に接触する面は、凹凸形状に形成されることを特徴とする請求項１又は３に記載の運動案内装置。
【請求項５】
前記エンド減衰部材は、交互に積層された複数枚の薄板状の第１のプレートと複数枚の薄板状の第２のプレートとを有し、
前記第１のプレート及び前記第２のプレートには、前記軌道部材の形状に合わせた開口が形成され、
前記第１のプレート及び前記第２のプレートを積層した状態で、前記エンド減衰部材の前記油の層に接触する面が凹凸形状に形成されるように、前記第２のプレートと前記軌道部材との間のすきまは、前記第１のプレートと前記軌道部材との間のすきまよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の運動案内装置。
【請求項６】
前記第２のプレートには、前記エンド減衰部材と前記軌道部材との間の前記すきまに油を供給するためのスリットが形成され、
前記第１のプレート及び前記第２のプレートには、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを積層した状態で、前記第２のプレートに形成された前記スリットに油を供給するための油供給孔が形成されることを特徴とする請求項５に記載の運動案内装置。
【請求項７】
転動体転走部を有する軌道部材と、前記転動体転走部に対向する負荷転動体転走部を有し、前記軌道部材に対して相対的に直線又は曲線運動可能な移動部材と、前記軌道部材の前記転動体転走部と前記移動部材の前記負荷転動体転走部との間に介在される複数の転動体と、前記軌道部材と前記移動部材との間のすきまに充満され、前記軌道部材及び前記移動部材に接触する油の層と、を備え、
前記移動部材は、前記転動体転走部が形成される移動ブロックと、前記移動ブロックに取り付けられ、前記移動ブロックとは別体のサイド減衰部材と、を有し、
前記移動ブロックは、前記軌道部材の上面に対向する中央部と、前記軌道部材の側面に対向する脚部とを有して、全体が鞍形状に形成され、前記サイド減衰部材は、前記移動ブロックの前記脚部に取り付けられ、
前記油の層は、前記サイド減衰部材と前記軌道部材との間のすきまに充満され、前記油の粘性抵抗を利用して、前記移動部材又は前記軌道部材に速度に比例した制動力を与えることを特徴とする運動案内装置。
【請求項８】
前記サイド減衰部材には、前記移動部材の移動方向と交差する方向に伸びる溝が複数形成されることを特徴とする請求項７に記載の運動案内装置。
【請求項９】
前記サイド減衰部材には、前記移動部材の移動方向に伸びる溝が複数形成されることを特徴とする請求項７に記載の運動案内装置。
【請求項１０】
転動体転走部を有する軌道部材と、前記転動体転走部に対向する負荷転動体転走部を有し、前記軌道部材に対して相対的に直線又は曲線運動可能な移動部材と、前記軌道部材の前記転動体転走部と前記移動部材の前記負荷転動体転走部との間に介在される複数の転動体と、前記軌道部材と前記移動部材との間のすきまに充満され、前記軌道部材及び前記移動部材に接触する油の層と、を有する運動案内装置と、前記運動案内装置の前記移動部材に取り付けられるテーブルと、を備え、
前記移動部材は、前記負荷転動体転走部が形成される移動ブロックと、前記移動ブロックの移動方向の端面に取り付けられ、前記移動ブロックとは別体のエンド減衰部材と、を有し、
前記油の層は、前記エンド減衰部材と前記軌道部材との間のすきまに充満され、前記油の粘性抵抗を利用して、前記テーブルに速度に比例した制動力を与えることを特徴とするテーブル装置。
【請求項１１】
転動体転走部を有する軌道部材と、前記転動体転走部に対向する負荷転動体転走部を有し、前記軌道部材に対して相対的に直線又は曲線運動可能な移動部材と、前記軌道部材の前記転動体転走部と前記移動部材の前記負荷転動体転走部との間に介在される複数の転動体と、を備える運動案内装置の減衰方法であって、
前記移動部材は、前記負荷転動体転走部が形成される移動ブロックと、前記移動ブロックの移動方向の端面に取り付けられ、前記移動ブロックとは別体のエンド減衰部材と、を有し、
前記エンド減衰部材と前記軌道部材との間のすきまに、前記エンド減衰部材及び前記軌道部材に接触するように油の層を充満し、
前記油の粘性抵抗を利用して、前記移動部材又は前記軌道部材に速度に比例した制動力を与えることを特徴とする運動案内装置の減衰方法。
【請求項１２】
転動体転走部を有する軌道部材と、前記転動体転走部に対向する負荷転動体転走部を有し、前記軌道部材に対して相対的に直線又は曲線運動可能な移動部材と、前記軌道部材の前記転動体転走部と前記移動部材の前記負荷転動体転走部との間に介在される複数の転動体と、前記軌道部材と前記移動部材との間のすきまに充満され、前記軌道部材及び前記移動部材に接触する油の層と、を有する運動案内装置と、前記運動案内装置の前記移動部材に取り付けられるテーブルと、を備え、
前記移動部材は、前記負荷転動体転走部が形成される移動ブロックと、前記移動ブロックに取り付けられ、前記移動ブロックとは別体のサイド減衰部材と、を有し、
前記移動ブロックは、前記軌道部材の上面に対向する中央部と、前記軌道部材の側面に対向する脚部とを有して、全体が鞍形状に形成され、前記サイド減衰部材は、前記移動ブロックの前記脚部に取り付けられ、
前記油の層は、前記サイド減衰部材と前記軌道部材との間のすきまに充満され、前記油の粘性抵抗を利用して、前記テーブルに速度に比例した制動力を与えることを特徴とするテーブル装置。
【請求項１３】
転動体転走部を有する軌道部材と、前記転動体転走部に対向する負荷転動体転走部を有し、前記軌道部材に対して相対的に直線又は曲線運動可能な移動部材と、前記軌道部材の前記転動体転走部と前記移動部材の前記負荷転動体転走部との間に介在される複数の転動体と、を備える運動案内装置の減衰方法であって、
前記移動部材は、前記転動体転走部が形成される移動ブロックと、前記移動ブロックに取り付けられ、前記移動ブロックとは別体のサイド減衰部材と、を有し、
前記移動ブロックは、前記軌道部材の上面に対向する中央部と、前記軌道部材の側面に対向する脚部とを有して、全体が鞍形状に形成され、前記サイド減衰部材は、前記移動ブロックの前記脚部に取り付けられ、
前記サイド減衰部材と前記軌道部材との間のすきまに、前記サイド減衰部材及び前記軌道部材に接触するように油の層を充満し、
前記油の粘性抵抗を利用して、前記移動部材又は前記軌道部材に速度に比例した制動力を与えることを特徴とする運動案内装置の減衰方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軌道部材と移動部材との間にボール、ローラ等の転動体を介在させたリニアガイド、ボールスプライン、ボールねじ等の運動案内装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
機械のフレーム上を直線運動するテーブルなどのように、直線運動を行う移動体の案内部分にボールやローラ等の転動体を介し、転動体のころがり運動によって案内機能を果たすころがり案内型の運動案内装置が使用されるようになってきた。ころがり案内型の運動案内装置は、移動体の運動の軌道を作る軌道レールと、軌道レールに対して相対的に移動する移動ブロックと、軌道レールと移動ブロックとの間に介在される転動体とで構成される。
【０００３】
ころがり案内は、すべり案内と比べると、摩擦抵抗が極端に小さい、予圧を与えたがたの全くない状態でも軽く動かすことができる等の利点がある。しかしその反面、すべり案内の摩擦抵抗のような減衰力を発生させないので、一旦振動が発生すると減衰することが困難であるという欠点を有する。移動体を目標位置まで移動させた後停止させると、移動体の慣性によって振動が発生するし、また移動体が移動中にも振動が発生することがある。
【０００４】
出願人は、運動案内装置の振動を減衰させるために、運動案内装置の移動ブロックに錘とゴムとで構成されるダイナミックダンパを取り付け、このダイナミックダンパで移動ブロックの振動を減衰する技術を提案している（特許文献１、請求項１参照）。
【０００５】
また従来の振動を減衰する技術として、運動案内装置の移動ブロックに軌道レールに接触するゴム製の接触シールを取り付け、接触シールの摩擦力を利用して、移動ブロックの振動を減衰する技術も知られている。
【特許文献１】
特開２００４−１７６８２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
［０００６］
しかし、移動ブロックにダイナミックダンパを取り付けて減衰する技術にあっては、装置が大掛かりになるという問題があるし、移動部材の振動に合わせてダイナミックダンパの錘、弾性体を設計しなければならない。このため、ダイナミックダンパを運動案内装置の汎用的な減衰装置として採用することは困難である。
［０００７］
また、移動ブロックに接触シールを取り付けて減衰する技術にあっては、起動時（すなわち移動ブロックが移動し始める時）の摩擦抵抗が大きいという問題がある。摩擦抵抗が大きいと、移動ブロックを移動させるモータに余分な負荷がかかる。しかも、長期間の使用により、接触シールが摩耗し、移動ブロックと接触シールとが接触しなくなることもあるので、時間が経つと移動ブロックの振動を減衰させることができなくなる。
［０００８］
そこで本発明は、上記の問題点を解決し、従来の減衰構造とは異なる新たな減衰構造を持つ運動案内装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
［０００９］
以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものでない。
［００１０］
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、転動体転走部（１ａ）を有する軌道部材（１）と、前記転動体転走部（１ａ）に対向する負荷転動体転走部（２ａ）を有し、前記軌道部材（１）に対して相対的に直線又は曲線運動可能な移動部材（２）と、前記軌道部材（１）の転動体転走部（１ａ）と前記移動部材（２）の負荷転動体転走部（２ａ）との間に介在される複数の転動体（３）と、前記軌道部材（１）と前記移動部材（２）との間のすきま（１６）に充満され、前記軌道部材（１）及び前記移動部材（２）に接触する油の層と、を備え、前記移動部材（２）は、前記負荷転動体転走部（２ａ）が形成される移動ブロック（４）と、前記移動ブロック（４）の移動方向の端面に取り付けられ、前記移動ブロック（４）とは別体のエンド減衰部材（５）と、を有し、前記油の層は、前記エンド減衰部材（５）と前記軌道部材（１）との間のすきまに充満され、前記油の粘性抵抗を利用して、前記移動部材（２）又は前記軌道部材（１）に速度に比例した制動力を与えることを特徴とする運動案内装置である。
［００１１］
［００１２］
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の運動案内装置において、前記エンド減衰部材（５）には、前記すきま（１６）に油を供給する油供給経路（１５）が設けられ、前記すきま（１６）から油が流出することを特徴とする。
［００１３］
請求項４に記載の発明は、請求項１又は３に記載の運動案内装置において、前記エンド減衰部材（５）の前記油の層に接触する面は、凹凸形状に形成されることを特徴とする。
［００１４］
請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の運動案内装置において、前記エンド減衰部材（５）は、交互に積層された複数枚の薄板状の第１のプレート（９）と複数枚の薄板状の第２のプレート（１０）とを有し、前記第１のプレート（９）及び前記第２のプレート（１０）には、前記軌道部材（１）の形状に合わせた開口（９ａ，１０ａ）が形成され、前記第１のプレート（９）及び前記第２のプレート（１０）を積層した状態で、前記エンド減衰部材（５）の前記油の層に接触する面が凹凸形状に形成されるように、前記第２のプレート（１０）と前記軌道部材（１）との間のすきま（β）は、前記第１のプレート（９）と前記軌道部材（１）との間のすきま（α）よりも大きいことを特徴とする。
［００１５］
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の運動案内装置において、前記第２のプレート（１０）には、前記エンド減衰部材（５）と前記軌道部材（１）との間の前記すきま（１６）に油を供給するためのスリット（１０ｃ）が形成され、前記第１のプレート（９）及び前記第２のプレート（１０）には、前記第１のプレート（９）及び前記第２のプレート（１０）を積層した状態で、前記第２のプレート（９）に形成された前記スリット（９ｃ）に油を供給するための油供給孔（９ｂ，１０ｂ）が形成されることを特徴とする。
［００１６］
請求項７に記載の発明は、転動体転走部（１ａ）を有する軌道部材（１）と、前記転動体転走部（１ａ）に対向する負荷転動体転走部（２ａ）を有し、前記軌道部材（１）に対して相対的に直線又は曲線運動可能な移動部材（２）と、前記軌道部材（１）の転動体転走部（１ａ）と前記移動部材（２）の負荷転動体転走部（２ａ）との間に介在される複数の転動体（３）と、前記軌道部材（１）と前記移動部材（２）との間のすきま（１９）に充満され、前記軌道部材（１）及び前記移動部材（２）に接触する油の層と、を備え、前記移動部材（２）は、前記転動体転走部（２ａ）が形成される移動ブロック（４）と、前記移動ブロック（４）に取り付けられ、前記移動ブロック（４）とは別体のサイド減衰部材（６，２１，２４，２６）と、を有し、前記移動ブロック（４）は、前記軌道部材（１）の上面に対向する中央部（４ａ）と、前記軌道部材（１）の側面に対向する脚部（４ｂ）とを有して、全体が鞍形状に形成され、前記サイド減衰部材（６，２１，２４，２６）は、前記移動ブロック（４）の前記脚部（４ｂ）に取り付けられ、前記油の層は、前記サイド減衰部材（６，２１，２４，２６）と前記軌道部材（１）との間のすきま（１９）に充満され、前記油の粘性抵抗を利用して、前記移動部材（２）又は前記軌道部材（１）に速度に比例した制動力を与えることを特徴とする運動案内装置である。
［００１７］
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の運動案内装置において、前記サイド減衰部材（２１）には、前記移動部材（２）の移動方向と交差する方向に伸びる溝（２３）が複数形成されることを特徴とする。
［００１８］
請求項９に記載の発明は、請求項７に記載の運動案内装置において、前記サイド減衰部材（２４）には、前記移動部材（２）の移動方向に伸びる溝（２９）が複数形成されることを特徴とする。
［００１９］
請求項１０に記載の発明は、転動体転走部（１ａ）を有する軌道部材（１）と、前記転動体転走部（１ａ）に対向する負荷転動体転走部（２ａ）を有し、前記軌道部材（１）に対して相対的に直線又は曲線運動可能な移動部材（２）と、前記軌道部材（１）の転動体転走部（１ａ）と前記移動部材（２）の前記負荷転動体転走部（２ａ）との間に介在される複数の転動体（３）と、前記軌道部材（１）と前記移動部材（２）との間のすきま（１６）に充満され、前記軌道部材（１）及び前記移動部材（２）に接触する油の層と、を有する運動案内装置と、前記運動案内装置の前記移動部材（２）に取り付けられるテーブル（３１）と、を備え、前記移動部材（２）は、前記負荷転動体転走部（２ａ）が形成される移動ブロック（４）と、前記移動ブロック（４）の移動方向の端面に取り付けられ、前記移動ブロック（４）とは別体のエンド減衰部材（５）と、を有し、前記油の層は、前記エンド減衰部材（５）と前記軌道部材（１）との間のすきま（１６）に充満され、油の粘性抵抗を利用して、前記テーブル（３１）に速度に比例した制動力を与えることを特徴とするテーブル装置である。
［００２０］
請求項１１に記載の発明は、転動体転走部（１ａ）を有する軌道部材（１）と、前記転動体転走部（１ａ）に対向する負荷転動体転走部（２ａ）を有し、前記軌道部材（１）に対して相対的に直線又は曲線運動可能な移動部材（２）と、前記軌道部材（１）の前記転動体転走部（１ａ）と前記移動部材（２）の前記負荷転動体転走部（２ａ）との間に介在される複数の転動体（３）と、を備える運動案内装置の減衰方法であって、前記移動部材（２）は、前記負荷転動体転走部（２ａ）が形成される移動ブロック（４）と、前記移動ブロック（４）の移動方向の端面に取り付けられ、前記移動ブロック（４）とは別体のエンド減衰部材（５）と、を有し、前記エンド減衰部材（５）と前記軌道部材（１）との間のすきま（１６）に、前記エンド減衰部材（５）及び前記軌道部材（１）に接触するように油の層を充満し、前記油の粘性抵抗を利用して、前記移動部材（２）又は前記軌道部材（１）に速度に比例した制動力を与えることを特徴とする運動案内装置の減衰方法である。
請求項１２に記載の発明は、転動体転走部（１ａ）を有する軌道部材（１）と、前記転動体転走部（１ａ）に対向する負荷転動体転走部（２ａ）を有し、前記軌道部材（１）に対して相対的に直線又は曲線運動可能な移動部材（２）と、前記軌道部材（１）の転動体転走部（１ａ）と前記移動部材（２）の前記負荷転動体転走部（２ａ）との間に介在される複数の転動体（３）と、前記軌道部材（１）と前記移動部材（２）との間のすきま（１６）に充満され、前記軌道部材（１）及び前記移動部材（２）に接触する油の層と、を有する運動案内装置と、前記運動案内装置の前記移動部材（２）に取り付けられるテーブル（３１）と、を備え、前記移動部材（２）は、前記負荷転動体転走部（２ａ）が形成される移動ブロック（４）と、前記移動ブロック（４）に取り付けられ、前記移動ブロック（４）とは別体のサイド減衰部材（６，２１，２４，２６）と、を有し、前記移動ブロック（４）は、前記軌道部材（１）の上面に対向する中央部（４ａ）と、前記軌道部材（１）の側面に対向する脚部（４ｂ）とを有して、全体が鞍形状に形成され、前記サイド減衰部材（６，２１，２４，２６）は、前記移動ブロック（４）の前記脚部（４ｂ）に取り付けられ、前記油の層は、前記サイド減衰部材（６，２１，２４，２６）と前記軌道部材（１）との間のすきま（１９）に充満され、前記油の粘性抵抗を利用して、前記テーブル（３１）に速度に比例した制動力を与えることを特徴とするテーブル装置である。
請求項１３に記載の発明は、転動体転走部（１ａ）を有する軌道部材（１）と、前記転動体転走部（１ａ）に対向する負荷転動体転走部（２ａ）を有し、前記軌道部材（１）に対して相対的に直線又は曲線運動可能な移動部材（２）と、前記軌道部材（１）の転動体転走部（１ａ）と前記移動部材（２）の前記負荷転動体転走部（２ａ）との間に介在される複数の転動体（３）と、を備える運動案内装置の減衰方法であって、前記移動部材（２）は、前記負荷転動体転走部（２ａ）が形成される移動ブロック（４）と、前記移動ブロック（４）に取り付けられ、前記移動ブロック（４）とは別体のサイド減衰部材（６，２１，２４，２６）と、を有し、前記移動ブロック（４）は、前記軌道部材（１）の上面に対向する中央部（４ａ）と、前記軌道部材（１）の側面に対向する脚部（４ｂ）とを有して、全体が鞍形状に形成され、前記サイド減衰部材（６，２１，２４，２６）は、前記移動ブロック（４）の前記脚部（４ｂ）に取り付けられ、前記サイド減衰部材（６，２１，２４，２６）と前記軌道部材（１）との間のすきま（１９）に、前記サイド減衰部材（６，２１，２４，２６）及び前記軌道部材（１）に接触するように油の層を充満し、前記油の粘性抵抗を利用して、前記移動部材（２）又は前記軌道部材（１）に速度に比例した制動力を与えることを特徴とする運動案内装置の減衰方法である。
［００２１］
請求項１に記載の発明によれば、軌道部材と移動部材との間のすきまに充満した油の層の粘性抵抗によって、運動案内装置に減衰性を持たせることができる。そして、制動力は移動部材の速度に比例するので、起動時の制動力を小さくできる一方、移動部材の速度が上がるにつれて高い制動力を発生させることができる。よって、例えば移動部材をモータで移動させるときには、制動力を小さくしてモータの負荷を低減する一方、移動部材が停止後に振動したときには、制動力を大きくして振動を速やかに減衰することができる。しかも、すきまに油さえ補給し続ければ、減衰装置として半永久的に使用することもできるので、接触シールのように、時間が経つにつれて減衰できなくなることもない。さらに、移動ブロックとは別体にエンド減衰部材を設けるので、エンド減衰部材と軌道部材との間のすきまを小さくし易くなる。油の粘性抵抗は層の厚みが薄ければ薄いほど大きくなるので、エンド減衰部材と軌道部材との間のすきまを小さくすることで、大きな制動力を得ることができる。
［００２２］
［００２３］
軌道部材に沿って移動部材が直線又は曲線運動する運動案内装置では、回転ベアリングと比較して、エンド減衰部材と軌道部材との間に充満した油をシールし難い、請求項３に記載の発明によれば、エンド減衰部材と軌道部材との間のすきまに油を供給する油供給経路が設けられるので、該すきまから油が流れ出ても、すきまに油を充満することができる。
［００２４］
請求項４に記載の発明によれば、エンド減衰部材の凹凸形状が油の引っ掛かりになるので、エンド減衰部材の油の保持性が向上し、すきまから流出する油の量を低減することができる。これに対し、エンド減衰部材の油の層に接触する面を平面に形成すると、油の引っ掛かりがなくなるので、エンド減衰部材の油の保持性が低下してしまう。
［００２５］
請求項５に記載の発明によれば、エンド減衰部材に油の層に接触する凹凸形状を形成することができる。また、エンド減衰部材が軌道部材に対して相対的に移動しても、エンド減衰部材側に油を保持させることができる。
［００２６］
請求項６に記載の発明によれば、エンド減衰部材と軌道部材との間のすきまに油を供給することができる。また、軌道部材との間のすきまがより大きい第２のプレートにスリットを形成するので、油がエンド減衰部材と軌道部材との間のすきまに充満し易くなる。さらに、一枚おきにスリットが形成されるので、すきまの全体に油が充満し易く、しかもスリットを第１及び第２のプレートに形成した場合に比べ、油の供給量を抑えて適量をすきまに供給することができる。
［００２７］
請求項７に記載の発明のように、油の層はサイド減衰部材と軌道部材との間に設けてもよい。移動ブロックとは別体にサイド減衰部材を設けるので、サイド減衰部材と軌道部材との間のすきまを小さくし易くなる。油の粘性抵抗は層の厚みが薄ければ薄いほど大きくなるので、サイド減衰部材と軌道部材との間のすきまを小さくすることで、大きな制動力を得ることができる。
［００２８］
請求項８に記載の発明によれば、サイド減衰部材に移動部材の移動方向と交差する方向に伸びる溝が形成されるので、サイド減衰部材が軌道部材に対して相対的に移動しても、サイド減衰部材側に油を保持させることができる。
［００２９］
請求項９に記載の発明によれば、サイド減衰部材に移動部材の移動方向に伸びる溝が複数形成されるので、サイド減衰部材から油が移動部材の移動方向と直交する方向（例えば下方）に流れ出るのを抑制することができる。
［００３０］
請求項１０に記載の発明によれば、軌道部材と移動部材との間のすきまに充満した油の層の粘性抵抗によって、テーブルに減衰性を持たせることができる。制動力は移動部材の速度に比例するので、起動時の制動力を小さくできる一方、テーブルの速度が上がるにつれて高い制動力を発生させることができる。よって、例えばテーブルをモータで移動させるときには、制動力を小さくしてモータの負荷を低減する一方、テーブルが停止後に振動したときには、制動力を大きくして振動を速やかに減衰することができる。しかも、すきまに油さえ補給し続ければ、減衰装置として半永久的に使用することもできるので、接触シールのように、時間が経つにつれて減衰できなくなることもない。さらに、移動ブロックとは別体にエンド減衰部材を設けるので、エンド減衰部材と軌道部材との間のすきまを小さくし易くなる。油の粘性抵抗は層の厚みが薄ければ薄いほど大きくなるので、エンド減衰部材と軌道部材との間のすきまを小さくすることで、大きな制動力を得ることができる。
［００３１］
本発明は、請求項１１に記載の発明のように、運動案内装置の減衰方法としても構成することができる。
請求項１２に記載の発明によれば、軌道部材と移動部材との間のすきまに充満した油の層の粘性抵抗によって、テーブルに減衰性を持たせることができる。さらに、移動ブロックとは別体にサイド減衰部材を設けるので、サイド減衰部材と軌道部材との間のすきまを小さくし易くなる。油の粘性抵抗は層の厚みが薄ければ薄いほど大きくなるので、サイド減衰部材と軌道部材との間のすきまを小さくすることで、大きな制動力を得ることができる。
本発明は、請求項１３に記載の発明のように、運動案内装置の減衰方法としても構成することができる。
【図面の簡単な説明】
［００３２］
［図１］本発明の一実施形態における運動案内装置の斜視図
［図２］上記運動案内装置の分解斜視図
［図３］上記運動案内装置の側面図
［図４］上記運動案内装置の側面図（一部断面図を含む）
【図５】エンド減衰部材の分解斜視図
【図６】図５のエンド減衰部材を反転させた状態を示す図
【図７】積層した状態のエンド減衰部材を示す図（図中（Ａ）は正面図を示し、図中（Ｂ）はＢ−Ｂ線断面図を示し、（Ｃ）は詳細図を示す）
【図８】エンド減衰部材の油の流れを示す図（正面図）
【図９】エンド減衰部材の油の流れを示す図（断面図）
【図１０】移動ブロックに取り付けたサイド減衰部材を示す正面図
【図１１】サイド減衰部材を示す斜視図
【図１２】サイド減衰部材の他の例を示す斜視図
【図１３】図１２のサイド減衰部材の平面図
【図１４】サイド減衰部材のさらに他の例を示す斜視図
【図１５】図１４のサイド減衰部材の正面図
【図１６】サイド減衰部材のさらに他の例を示す斜視図
【図１７】図１６のサイド減衰部材の正面図
【図１８】油保持部材を取り付けた運動案内装置の斜視図
【図１９】油保持部材を取り付けた移動部材の底部側斜視図
【図２０】油保持部材の分解斜視図
【図２１】本発明の一実施形態におけるテーブル装置を示す側面図
【図２２】粘性抵抗のモデル
【図２３】油供給経路のモデル
【符号の説明】
【００３３】
１…軌道レール（軌道部材）
１ａ…ボール転走溝（転動体転走溝）
２…移動部材
２ａ…負荷ボール転走溝（負荷転動体転走溝）
３…ボール（転動体）
４…移動ブロック
４ａ…中央部
４ｂ…脚部
５…エンド減衰部材（減衰部材）
６，２１，２４，２６…サイド減衰部材（減衰部材）
９…第１のプレート
９ａ，１０ａ…開口
９ｂ，１０ｂ…油供給孔（油供給経路）
１０…第２のプレート
１０ｃ…スリット（油供給経路）
１５…油供給経路
１６，１９…すきま
２３，２６，２９…溝
３１…テーブル
３２…減衰部材
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
図１ないし図４は本発明の一実施形態における運動案内装置を示す。図１は運動案内装置の斜視図を示し、図２は運動案内装置の分解斜視図を示し、図３は側面図を示し、図４は正面図（一部断面を含む）を示す。この実施形態の運動案内装置は、リニアガイドと呼ばれ、直線状に延びる軌道部材としての軌道レール１と、この軌道レール１に多数の転動体としてのボール３を介して移動自在に組み付けられた移動部材２とを備える。
【００３５】
軌道レール１の左右側面には、長手方向に沿って伸びる転動体転走部としてボール転走溝１ａが形成される。ボール転走溝１ａは、その断面が円弧形状で、ボール３の半径よりも若干大きい曲率半径を有する。この実施形態では、軌道レール１の左右側面に、上下に２条ずつ合計４条のボール転走溝１ａが設けられるが、勿論その条数・配置は負荷荷重等によって様々に設定される。
【００３６】
移動部材２は、ボール転走溝１ａに対向する負荷ボール転走溝２ａを含むボール循環路が形成される移動ブロック４と、移動ブロック４に取り付けられる減衰部材５，６とで構成される。
【００３７】
図４に示されるように、移動ブロック４は全体が鞍形状に形成され、軌道レール１の上面に対向する中央部４ａと、中央部４ａの左右両側から下方に延びて軌道レール１の左右側面に対向する脚部４ｂとを備える。
【００３８】
軌道レール１のボール転走溝１ａと移動ブロック４の負荷ボール転走溝２ａとの間には、複数のボール３が介在される。このボール転走溝１ａと負荷ボール転走溝２ａとの間に負荷ボール転走路を転がるボール３には予圧がかけられる。ボール３は、負荷ボール転走路を荷重を受けながら転がり運動する。移動ブロック４の移動方向の両端部には、Ｕ字状の方向転換路が形成されるエンドプレート７（図１及び図２参照）が取り付けられる。移動ブロック４の負荷ボール転走路の一端まで転がったボール３は、エンドプレート７（図１及び図２参照）に設けられたＵ字状の方向転換路に入る。ボールはＵ字状の方向転換路を経由した後、負荷ボール転走路と平行に伸びる無負荷ボール戻し通路８（図４参照）に入る。無負荷ボール戻し通路８を通過したボール３は、反対側のエンドプレート７の方向転換路を経由した後、再び負荷ボール転走路に入る。直線状の負荷ボール転走路、Ｕ字状の方向転換路及び直線状の無負荷ボール戻し通路８でサーキット状のボール循環路が形成される。
【００３９】
図１及び図２に示されるように、移動ブロック４の移動方向の両端面には、減衰部材としてのエンド減衰部材５が取り付けられる。エンド減衰部材５は、交互に積層した薄板状の複数枚の第１及び第２のプレート９，１０と、これら第１及び第２のプレート９，１０が取り付けられる押さえプレート１１とで構成される。エンド減衰部材５には、軌道レール１の外形形状に合わせた開口が形成される。エンド減衰部材５は、軌道レール１と接触することなく、かつ軌道レール１と移動ブロック４との間のすきまを可及的に小さくする。
【００４０】
図５及び図６はエンド減衰部材５の分解斜視図を示す。図５は、第１のプレート９、第２のプレート１０及び押えプレート１１の分解斜視図を示し、図６は、図５のエンド減衰部材５を反転させた分解斜視図を示す。第１のプレート９は、例えばステンレス等の金属製の薄板をプレスで打ち抜くことで製造される。第１のプレート９は、略矩形状に形成されると共にその下部の中央部分に軌道レールの断面形状に合わせた開口９ａを有する。詳しくは後述するが、開口９ａの形状は軌道レール１の断面形状よりも僅かに大きい。第１のプレート９の開口９ａよりも上方には、エンド減衰部材５と軌道レール１との間のすきまに油を供給するための油供給孔９ｂが形成される。第１のプレート９の開口９ａの両脇には、第１のプレート９及び第２のプレート１０を押えプレート１１に取り付けるためのねじ１３等が通る貫通孔９ｃが形成される。また第１のプレートの油供給孔９ｂの両脇には、エンド減衰部材５を移動ブロック４に取り付けるためのねじ１４（図２参照）等が通る貫通孔９ｄが形成される。第１のプレート９の側面には、三角形状の切り欠き９ｆが形成される。
第２のプレート１０も略矩形状に形成されると共に、その下部の中央部分に軌道レール１の断面形状に形状を合わせた開口１０ａが形成される。詳しくは後述するが、第２のプレート１０の開口１０ａの形状は第１のプレート９の開口９ａの形状よりも僅かに大きい。このため、第１のプレート９と第２のプレート１０とを積層すると、開口部分に凹凸形状が形成される。そして、この凹凸形状の凹条及び凸条は、移動ブロックの移動方向と交差（この実施形態では直交）する方向に伸びる。
【００４１】
第２のプレート１０の開口１０ａよりも上方にも、エンド減衰部材５と軌道レール１との間のすきまに油を供給するための油供給孔１０ｂが形成される。第２のプレート１０にはさらに、油供給孔１０ｂから開口１０ａまで伸びるスリット１０ｃが形成される。このスリット１０ｃは、エンド減衰部材５と軌道レール１との間のすきまに油を供給する通路になる。第２のプレート１０の開口１０ａの両脇にも、ねじ１３等が通る貫通孔１０ｄが形成される。第２のプレート１０も例えば金属製の薄板をプレスで打ち抜くことで製造される。また第２のプレート１０の側面には、第１のプレート９と上下方向に位置をずらせて三角形状の切り欠き１０ｆが形成される。第１のプレート９と第２のプレート１０とを組み立てた後に外側からこれらを区別するためである。第１のプレート９及び第２のプレート１０をプレスで打ち抜く代わりに、レーザー加工やワイヤ加工で作成すると、第１のプレート９及び第２のプレート１０の寸法精度を高めることができる。
【００４２】
エンド減衰部材５に多数の凹凸形状を形成するためには、第１のプレート９及び第２のプレート１０は薄い方が望ましい。他方、ねじで締めたときに変形し難くするためには、第１のプレート９及び第２のプレート１０は有る程度の厚みを持つ方が望ましい。これらの相反する要求から、第１のプレート９及び第２のプレート１０の厚みは、例えば０．２ｍｍ程度に設定される。勿論、移動ブロック４の大きさ等に合わせてこれ以外の任意の厚さに設定してもよい。
【００４３】
押えプレート１１は、第１及び第２のプレート９，１０よりも肉厚に形成される。この押えプレート１１にも、軌道レール１の形状に合わせた開口１１ａが形成される。開口１１ａよりも上方には、油供給孔９ｂ，１０ｂに連通する油循環孔１１ｂが形成される。開口１１ａの両脇には、ねじ１３に螺合する雌螺子部１１ｃが形成される。組み立て治具に第１のプレート９，第２のプレート１０及び押えプレート１１を突き当て、位置決めした状態で、ねじ１３によってこれらを結合する。
【００４４】
図７は積層した状態のエンド減衰部材を示す。図７（Ａ）に示されるように、第２のプレート１０の開口１０ａの形状は第１のプレート９の開口９ａの形状よりも若干大きい。このため図７（Ｂ）及び（Ｃ）に示されるように、第１のプレート９及び第２のプレート１０を積層した状態で、第２のプレート１０と軌道レール１との間のすきまβは、第１のプレート９と軌道レール１との間のすきまαよりも大きく、したがってエンド減衰部材の軌道レール１との対向面には凹凸形状が形成される。
【００４５】
エンド減衰部材５を移動ブロック４に取り付けた状態で、第１のプレート９と軌道レール１との間のすきまαは、第１のプレート９が軌道レール１に最も接近した位置で０．２５ｍｍ以下に設定される。例えば０．０５〜０．２５ｍｍ程度に設定される。このすきまαが小さければ小さいほど後述するように粘性抵抗が大きくなるので、すきまαの目標値を０．０５〜０．０６ｍｍ程度あるいはそれ以下に設定するのが望ましい。しかし軌道レール１には加工上の公差があるので、あまり小さく設定するとエンド減衰部材５と軌道レール１が接触するおそれがある。このためこの実施形態では、軌道レール１の公差±０．１ｍｍ，エンド減衰部材５の公差±０．０５ｍｍ，及び運動案内装置にかかる荷重によるすきまαの変化量０．０２〜０．０３ｍｍを加味して、すきまαを０．０２〜０．２５ｍｍ程度、望ましくは０．０５〜０．１５ｍｍ程度に設定している。
【００４６】
この実施形態では、第１のプレート９と第２のプレート１０との高さの差γ（段差）は、第１及び第２のプレート９，１０の厚みｔと略等しく、例えば０．２ｍｍ程度に設定される。この高さの差γは大きければ大きいほど、油とエンド減衰部材５との接触面が大きくなることになる。しかし、第２のプレート１０と軌道レール１との間のすきまβが大きくなる分、粘性抵抗も小さくなる。これらの兼ね合いによって高さの差γが決定される。勿論０．２ｍｍに限定されるものではない。
【００４７】
図８及び図９はエンド減衰部材５における油の流れを示す。第１のプレート９及び第２のプレート１０の油供給孔９ｂ，１０ｂ及び第２のプレート１０のスリット１０ｃによって、油供給経路１５が形成される。この油供給経路１５にパイプ１２（図１参照）から油を流すと、油が油供給孔９ｂ，１０ｂから流れ落ち、第２のプレート１０のスリット１０ｃを経由して、油がエンド減衰部材５と軌道レール１との間のすきま１６に流れ込む。このように、油供給経路１５を設けることで、エンド減衰部材５と軌道レール１との間のすきま１６に常に油を充満することができる。
【００４８】
図９に示されるように、第２のプレート１０と軌道レール１との間のすきまβは、第１のプレート９と軌道レール１との間のすきまαよりも大きい。このため、第２のプレート１０と軌道レール１との間には油が流れ易く、エンド減衰部材５と軌道レール１とのすきま１６に油を容易に充満させることができる。また、一枚おきにスリット１０ｃが形成されるので、すきま１６の全体に油が充満し易く、しかも全部にスリット１０ｃを形成した場合に比べ、油の供給量を抑えて適量をすきま１６に供給することができる。
【００４９】
移動ブロック４に取り付けられるエンド減衰部材５は、軌道レール１に接触することなく移動する。エンド減衰部材５の内側と軌道レール１との間のすきま１６には、油の層が充満される。軌道レール１に対して移動部材２が相対的に移動すると、制動力として粘性抵抗が発生するから、油の粘性抵抗により移動部材２の振動が減衰する。油の粘性抵抗は移動部材２の速度に比例するので、起動時の粘性抵抗が小さくなる一方、移動部材２の速度が上がるにつれて高い粘性抵抗が発生する。したがって、例えば移動部材２をモータで移動させるときには、粘性抵抗を小さくしてモータの負荷を低減する一方、移動部材２が停止後に振動したときには、粘性抵抗を大きくして振動を速やかに減衰することができる。
【００５０】
エンド減衰部材５と軌道レール１との間のすきま１６は、その厚みが極めて小さく、しかも油との接触面が凹凸形状に形成されるから、すきま１６からは油が流出し難い。そのうえ、高い粘性抵抗を得るために動粘度の高い油を使用すると、油がすきま１６からますます流出し難くなる。ただし、油を完全に密封している訳ではないので、僅かずつでも油がすきま１６から流出する。
【００５１】
すきま１６に供給される油は、軌道レール１に塗布される。それゆえ、すきま１６に油を供給するシステムは、軌道レール１に潤滑油を強制的に供給する強制給油システムに似ている。すきま１６に供給される油をグリース等の潤滑油と兼用すると、移動部材２の内部に他の潤滑油が不要になる。例えば、１０〜５００と高い動粘度の潤滑油を使用すれば、高い粘性抵抗が得られる。
【００５２】
移動ブロック４にエンド減衰部材５の油供給経路に繋がる油の通路を設け、移動ブロック４の両端のエンド減衰部材５の油供給孔９ｂ，１０ｂに取り付けられるパイプ１２（図１参照）をループ状に繋げ、油が循環できるようにしてもよい。油が循環すると、移動ブロック４に溜まった熱を熱交換して外に逃がすことができるので、冷却効果が得られる。この場合でも、すきま１６から油が僅かながら流出する。すきま１６から流出する油は回収してもよいし、回収しなくてもよい。油を冷却液として機能させる場合、冷却液が移動ブロック４の内部に入るのを防止するために別途シールを設ける必要がある。
【００５３】
図１０及び図１１はサイド減衰部材６を示す。図４に示されるように、移動ブロック４は全体が鞍形状に形成され、軌道レール１の上面に対向する中央部４ａと、軌道レール１の側面に対向する脚部４ｂとを有する。図１０に示されるように、脚部４ｂの下端に、移動ブロック４の進行方向に伸びるサイド減衰部材６が取り付けられる。
【００５４】
サイド減衰部材６には、サイド減衰部材６と軌道レール１との間のすきま１９が狭くなるように軌道レール１の形状に合わせた突出部６ｂが設けられる。すきま１９は上記エンド減衰部材５の場合と同様に、例えば０．０５〜０．２５ｍｍに設定される。突出部６ｂの軌道レール１に対向する面６ｃは平面に形成される。すきま１９には、図示しない油供給経路を経由した油の層が充満される。サイド減衰部材６と軌道レール１との間に設けた油の層の粘性抵抗によって振動を減衰させることができる。
【００５５】
サイド減衰部材６は、軌道レール１から移動ブロック４を取り外す際に、移動ブロック４からボール３が落下するのを防止する機能も有する。この機能を持たせるために、サイド減衰部材６の上端６ａと負荷ボール転走溝２ａの上端１８との間の距離は、ボール３の直径よりも小さい。
【００５６】
図１２及び図１３はサイド減衰部材の他の例を示す。この例のサイド減衰部材２１では、サイド減衰部材２１の油の層に接触する面２２に、移動部材２の移動方向と直交する方向に伸びる複数の溝２３が並列に形成される。サイド減衰部材２１は移動部材２と共に移動部材２の移動方向に移動する。サイド減衰部材２１に移動部材２の移動方向と直交する方向に伸びる複数の溝２３を形成することで、サイド減衰部材２１の油の保持能力が向上する。
【００５７】
図１４及び図１５はサイド減衰部材のさらに他の例を示す。この例のサイド減衰部材２４では、サイド減衰部材２４の油の層に接触する面２５に、移動部材２の移動方向に伸びる複数の溝２９が並列に形成される。この例のサイド減衰部材２４によれば、サイド減衰部材２４に移動部材２の移動方向に伸びる溝が複数形成されるので、サイド減衰部材２４から移動部材２の移動方向と直交する方向（例えば下方）に油が流れ出るのを抑制することができる。サイド減衰部材２４に複数の溝を形成すると、接触面積が増え、粘性抵抗が上がる。この点からも油が自重ですきまから流出し難くなる。なお、溝２９の伸びる方向は移動部材２の移動方向と平行でなくても、交差する方向であってもよい。
【００５８】
図１６及び図１７はサイド減衰部材２４のさらに他の例を示す。この例では、サイド減衰部材２６の油の層に接触する面２７に、断面三角形状の溝２８が形成される。溝２８の断面形状は、この例に示されるように三角形状であってもよい。
【００５９】
図１８及び図１９は、上記実施形態の運動案内装置の減衰部材２の下面に、オイルパンのように油を保持する油保持部材３５を取り付けた例を示す。エンド減衰部材５と軌道レール１との間のすきま１６、及びサイド減衰部材２４と軌道レールとの間のすきま１９からは、油が僅かに流出する。油保持部材３５は、油が運動案内装置の外部に漏れ出るのを防止するために、すきま１６，１９から流出する油を吸収する。
【００６０】
図２０は、油保持部材３５の分解斜視図を示す。油保持部材３５は、スポンジのように油を吸収する油吸収体３７と、油吸収体３７の下部側を覆うケース３６とを備える。吸収体３７は、油を吸収するために、エンド減衰部材５及びサイド減衰部材２４に接触する。そして油吸収体３７は、油が外部に漏れ出ないように軌道レール１にも接触する。
【００６１】
油吸収体３７の上面には、油吸収体隔離板３８ａ，３８ｂが設けられる。移動ブロック２の形状によっては、油吸収体３７と移動ブロック２との間にすきまが生じるからである。すきまが生じたのでは、せっかく油吸収体３７を取り付けても油が漏れ出てしまう。油吸収体隔離板３８ａ，３８ｂはこのすきまを埋めるために設けられる。組み合わされた油保持部材３５は、止めねじ３９等によって移動ブロック２に取り付けられる。
【００６２】
図２１は本発明の一実施形態におけるテーブル装置を示す。テーブル装置は、上記実施形態の運動案内装置の移動部材２にテーブル３１を取り付けたものである。テーブル３１の上面には移動体が取り付けられる。一方、機械のフレーム等に軌道レール１が取り付けられ、該軌道レール１に直線移動する移動部材２が組み付けられる。この実施例では、１本の軌道レール１に対して２つの移動部材２が組み付けられている。運動案内装置の構造は上記実施形態と同様なので、同一の符号を附してその説明を省略する。
【００６３】
テーブル３１の下面には、減衰部材３２が取り付けられる。減衰部材３２は軌道レール１を囲んでいて、軌道レール１に沿って移動する。減衰部材３２の構造は、上記エンド減衰部材５と略同様である。すなわち、減衰部材３２は、軌道レール１の外形形状に合わせた開口を有し、軌道レール１に接触することなく、軌道レール１との間に僅かなすきまをもって移動する。減衰部材３２と軌道レール１との間には、油の層が充満される。この油の粘性抵抗により、テーブル３１に速度に比例した制動力を与えることができ、テーブル３１の振動を減衰させることができる。
【００６４】
なお本発明は、本発明の要旨を変更しない範囲で種々変更可能である。例えば本発明の減衰構造は、リニアガイド以外にボールスプライン、ボールねじ等の運動案内装置に適用することができる。また、軌道レールは直線状に伸びていても曲線状に曲がっていてもよい。軌道レールが曲線状に曲がっている場合は、移動ブロックが軌道レールに沿って相対的に曲線運動する。さらに、減衰部材と油の接触する面は凹凸形状でなく、平面に形成されてもよい。さらに、エンド減衰部材は薄板状のプレートを積層して構成されているが、一体ものの部材に複数の溝を形成することでエンド減衰部材を構成してもよい。
【実施例】
【００６５】
下記の数１式は、油の粘性抵抗の計算式を示す。図２２は、この計算式で使用されるパラメータのモデル図である。
【数１】
0004864722.tif 000002
【００６６】
粘性抵抗Ｆのパラメータの一つに、速度Ｖがある。移動部材２が早く動けば動くほど、粘性抵抗Ｆが大きくなる。高さｈは、油の層の高さ、すなわちエンド減衰部材５と軌道レール１との間のすきま１６の大きさである。すきま１６が狭ければ狭いほど粘性抵抗Ｆが大きくなる。接触面積Ａは大きければ大きいほど粘性抵抗Ｆが大きくなる。エンド減衰部材５と油の層の接触面積を凹凸にすることで、接触面積が大きくなり、粘性抵抗Ｆが大きくなる。油の動粘度も大きければ大きいほど、粘性抵抗Ｆが大きくなる。
【００６７】
上記粘性抵抗の数式１を用いて粘性抵抗の一例を計算した結果は、以下の（１）〜（３）のとおりである。
（１）動粘度（ｍｍ２／ｓ）：２００．０（４０℃）
密度（ｇ／ｃｍ３）：０．８８
の液体で速度０．０１ｍ／ｓの場合．
すきまシール  エンド＋サイド粘性抵抗：０．０１６Ｎ
（２）動粘度（ｍｍ２／ｓ）：２００．０（４０℃）
密度（ｇ／ｃｍ３）：０．８８
の液体で速度１ｍ／ｓの場合．
すきまシール  エンド＋サイド粘性抵抗：１．６Ｎ
（３）動粘度（ｍｍ２／ｓ）：１０００（４０℃）
密度（ｇ／ｃｍ３）：０．８８
の液体で速度０．０１ｍ／ｓの場合．
すきまシール  エンド＋サイド粘性抵抗：０．０８Ｎ
【００６８】
次に、油をどれぐらいの圧力で押せば、すきまに油を供給できるかを計算した。計算には、ハーゲン・ポアズイユの公式を用いた。計算にあたって、図２３に示されるように、油供給経路の形状を簡単なモデル（半径０．１ｍｍのパイプ形状）にした。
【００６９】
【数２】
0004864722.tif 000003
【００７０】
【数３】
0004864722.tif 000004
【００７１】
数３式及び数４式から最低圧力が求まる。速度νは油の流出速度とし、０．００３５３５１ｍ／ｓとする。以上により、以下の数４式が得られる。
【００７２】
【数４】
0004864722.tif 000005
【００７３】
数４式から、最低約６気圧かければ、油が流動することがわかった。
【００７４】
本明細書は、２００４年１１月１５日出願の特願２００４−３３１２２１及び２００５年１０月２８日出願の特願２００５−３１５２９９に基づく。この内容はすべてここに含めておく。
【図１】
0004864722.tif 000006
【図２】
0004864722.tif 000007
【図３】
0004864722.tif 000008
【図４】
0004864722.tif 000009
【図５】
0004864722.tif 000010
【図６】
0004864722.tif 000011
【図７】
0004864722.tif 000012
【図８】
0004864722.tif 000013
【図９】
0004864722.tif 000014
【図１０】
0004864722.tif 000015
【図１１】
0004864722.tif 000016
【図１２】
0004864722.tif 000017
【図１３】
0004864722.tif 000018
【図１４】
0004864722.tif 000019
【図１５】
0004864722.tif 000020
【図１６】
0004864722.tif 000021
【図１７】
0004864722.tif 000022
【図１８】
0004864722.tif 000023
【図１９】
0004864722.tif 000024
【図２０】
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【図２１】
0004864722.tif 000026
【図２２】
0004864722.tif 000027
【図２３】
0004864722.tif 000028