(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
閉鎖可能な装填用開口を備えた半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーションであって、
前記装填用開口を閉鎖するためのクロージャを前記装填用開口から取り除いた後に、搬送コンテナ内に収容されている円板体を前記装填用開口を介してローディング、アンローディング及びリローディングでき、前記搬送コンテナは、前記搬送コンテナの側部に取り付けられて前記搬送コンテナの側部を介して開口を閉鎖するためのコンテナカバーを備え、
前記コンテナカバー及びクロージャは、互いに結合される表面をそれぞれ有しており、前記コンテナカバー及びクロージャの両表面を結合した状態で、前記コンテナカバー及びクロージャを共に前記半導体加工装置内へ移動させることによって前記装填用開口と前記搬送コンテナの側部とは同時に開放され、
前記コンテナカバー内には前記コンテナカバーを前記搬送コンテナにロックするためのロッキングエレメントが設けられ、前記クロージャには前記ロッキングエレメントを作動させるための回動可能なキーが設けられ、前記キーは前記搬送コンテナを開放すべく前記クロージャの表面から外向きに突出し、前記ロッキングエレメントを作動させるべく前記コンテナカバーの表面に前記キーが挿入されるキーホールが設けられ、前記キーホールに挿入された前記キーが回動されると前記キーが前記ロッキングエレメントに係合し同時に前記キーホールの後ろ側に係合し、よって、前記キーの回動により前記コンテナカバーを前記搬送コンテナからロック解除することができると共に前記クロージャを前記コンテナカバーに対して保持し、前記コンテナカバーが前記キーから離れて水平方向に移動することを防ぐことができるローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項２】
水平方向における位置調節が可能な第１のプラットフォーム上に前記搬送コンテナが配置され、当該第１のプラットフォームには、前記搬送コンテナを前記クロージャに結合すべく、前記搬送コンテナを整列させて固定する手段が設けられている請求項１に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項３】
前記プラットフォームは上下に並んで位置する少なくとも２つの平面間で位置の調節が可能であり、前記平面のうちの１つは搬送コンテナを人間工学的に効果的な高さで装填するために使用され、別の平面は前記半導体加工装置に対するローディング及びアンローディングに使用される請求項２に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項４】
別の少なくとも１つの搬送コンテナを保持するために、水平方向における位置調節が可能なプラットフォームを適切な数だけ更に有し、当該プラットフォームには、前記搬送コンテナを整列させて固定する手段が設けられている請求項３に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項５】
前記プラットフォームのうちの少なくとも１つは前記搬送コンテナをクロージャに結合させるために使用され、他のプラットフォームは前記搬送コンテナの交換に使用される請求項４に記載のローディング及びアンロ−ディング用ステーション。
【請求項６】
前記搬送コンテナを交換すべくストレージを有し、前記ストレージ内において、グリッパは上下に並んで配置された複数の保管用棚に対する任意のアクセスが可能であり、さらには前記搬送コンテナの手動装填を行なうべくローディング用開口及び搬送コンテナ用ホルダが設けられ、前記グリッパによって前記搬送コンテナを前記搬送コンテナ用ホルダ、前記保管用棚及び前記プラットフォーム間で移動させるために、前記搬送コンテナの寸法に対応する空間が前記保管用棚に隣接して形成されている請求項３に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項７】
前記搬送コンテナ用ホルダは装填を行うために前記ローディング用開口を通過して移動し得る請求項６に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項８】
前記クロージャは前記クロージャを前記コンテナカバーに対して整合させるための整合エレメントを備え、前記整合エレメントによる整合は前記クロージャとコンテナカバーとの結合が行なわれる前になされ得る請求項１に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項９】
前記整合エレメント及び前記キーは前記クロージャ及び前記コンテナカバーが互いに接近する間に生じる差を補償すべくローディング及びアンローディング用平面に直交する方向に弾性的に支持されている請求項８に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項１０】
前記ローディング及びアンローディングは、前記半導体加工装置内に配置されたマニピュレーティング装置を装填用開口を通じて前記搬送コンテナ内へ係合させることによって行われる請求項１に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項１１】
前記装填用開口はシールド内に形成され、前記シールドはインデックスが付けられた位置に基づいて円板体のローディング及びアンローディングを実施すべく、結合された搬送コンテナとともにローディング及びアンローディング用平面に直交する方向においてマニピュレーティング装置に対する位置の調節が可能な請求項１０に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項１２】
前記マニピュレーティング装置はインデックスが付けられた位置に基づいて円板体のローディング及びアンローディングを実施すべく、ローディング及びアンローディング用平面に直交する方向において位置の調節が可能な請求項１０に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項１３】
閉鎖可能な装填用開口を備えた半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーションであって、
前記装填用開口を閉鎖するためのクロージャを前記装填用開口から取り除いた後に、搬送コンテナ内に収容されている円板体を前記装填用開口を介してローディング、アンローディング及びリローディングでき、前記搬送コンテナは前記搬送コンテナを閉鎖するためのコンテナカバーを備え、
前記搬送コンテナは前記コンテナカバーを介して前記クロージャに結合し、前記コンテナカバー及びクロージャは、第１の係合態様にて互いに結合される表面をそれぞれ有しており、前記コンテナカバー及びクロージャの両表面を結合した状態で、前記コンテナカバー及びクロージャを共に前記半導体加工装置内へ移動させることによって前記装填用開口と前記搬送コンテナとは同時に開放され、
前記ローディング及びアンローディングは、前記半導体加工装置内に配置されたマニピュレーティング装置を装填用開口を通じて前記搬送コンテナ内へ係合させることによって行われ、
前記コンテナカバーには前記コンテナカバーを前記搬送コンテナにロックするためのロッキングエレメントが設けられ、前記クロージャには前記搬送コンテナを解放すべく前記ロッキングエレメントを作動させるための回動可能なキーが設けられ、前記ロッキングエレメントを作動させるべく前記コンテナカバーの表面に前記キーを挿入するためのキーホールが設けられ、前記キーホールに挿入された前記キーが回動されると前記キーが前記ロッキングエレメントに係合し同時に前記キーホールの後ろ側に係合し、よって、前記キーの回動により、前記コンテナカバーを前記搬送コンテナからロック解除することができると共に前記クロージャをコンテナカバーに対して保持し、前記コンテナカバーが前記キーから離れることを防ぐことができ、前記キーが前記キーホールの後ろ側に係合すると、前記カバーと前記クロージャとの間に第２の係合態様が形成されて前記第1係合態様に拘わらず、前記クロージャを前記コンテナカバーに係合せしめることを特徴とするローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項１４】
半導体基板のためのローディング及びアンローディング用ステーションであって、
基板搬送コンテナを支持するサポートと、
前記基板搬送コンテナが前記サポートに結合している状態で、前記基板搬送コンテナの側面からサイドカバーを除去するカバーリムーバと、
を含み、前記カバーリムーバが、自身の側面から外側に向かって延在する少なくとも１つのキーを有し、前記カバーリムーバと前記基板搬送コンテナとの間に相互近接運動があるとき前記サイドカバー内のキーホールに前記キーがほぼ水平方向に差し込まれ、前記少なくとも１つのキーは、回動可能であって、前記少なくとも１つのキーが回動されると前記サイドカバーを前記コンテナにロックするロックと係合し、同時に前記キーホールの後ろ側に係合し、よって前記少なくとも１つのキーの回動により、前記サイドカバーを前記基板搬送コンテナからロック解除することができると共に、前記カバーリムーバを前記サイドカバーに対して保持し、前記サイドカバーが、前記サイドカバーに隣接する前記カバーリムーバの表面から水平方向に離れないよう前記少なくとも１つのキーによって保持されることを特徴とするローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項１５】
前記少なくとも１つのキーが、移動自在であることを特徴とする請求項１４に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項１６】
前記少なくとも１つのキーが、互いに離間した少なくとも２つのキーを含むことを特徴とする請求項１５に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項１７】
前記少なくとも１つのキーが、前記キーホール内にあって移動したとき、前記キーホールの後の前記カバーの後の部分に位置して前記カバーを前記キー上に保持する部分を有することを特徴とする請求項１５に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項１８】
前記サポートが水平方向可動プラットホームであることを特徴とする請求項１４に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項１９】
前記サポートが各々が別々の搬送コンテナを支持する複数の垂直移動自在プラットホームからなることを特徴とする請求項１４に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項２０】
前記複数の垂直移動自在プラットホームの少なくとも１つが水平方向に移動自在であることを特徴とする請求項１９に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【請求項２１】
ローディング及びアンローディングステーションにおいて、持ち運び可能な半導体搬送コンテナ内の基板にアクセスする方法であって、
前記ローディング及びアンローディングステーションのフレームの装填用開口に前記搬送コンテナの前面を位置決めして、前記搬送コンテナの前面を前記装填用開口の第１の側に配置する行程と、
前記ローディング及びアンローディングステーションのクロージャを、前記装填用開口の前記第１の側とは反対側の第２の側にあり且つ前記装填用開口を実質的に閉鎖する第１の位置から、前記装填用開口を実質的に閉鎖しない第２の位置へ移動するクロージャ移動行程と、
前記前面クロージャを前記搬送コンテナの前面カバーと係着せしめて、前記クロージャと共に前記搬送コンテナの前面カバーを、前記搬送コンテナの前記前面から前記装填用開口を通過せしめて前記装填用開口の前記第２の側を経て前記装填用開口の外の所定位置へ移動せしめるべく、駆動装置によって前記クロージャを駆動する前面カバー移動行程と、を含み、
前記駆動装置は互いに角度をなす少なくとも２つの異なる経路に沿って前記クロージャを移動せしめる２つの異なる駆動部を有しており、前記所定位置において前記前面カバーは全体的に前記装填用開口に対向しているが側方向にオフセットされており、
前記２つの異なる経路のうちの少なくとも１つは折れ曲がっていて、前記カバーは前記開口に対して回動することができ、
前記前面カバー内には前記前面カバーを前記搬送コンテナにロックするためのロッキングエレメントが設けられ、前記クロージャには前記ロッキングエレメントを作動させるための回動可能なキーが設けられ、前記キーは前記搬送コンテナを開放すべく前記クロージャの表面から外向きに突出し、前記ロッキングエレメントを作動させるべく前記前面カバーの表面に前記キーが挿入されるキーホールが設けられ、前記キーホールに挿入された前記キーが回動されたとき前記キーが前記ロッキングエレメントに係合し同時に前記キーホールの後ろ側に係合し、よって、前記キーの回転により前記前面カバーを前記搬送コンテナからロック解除すことができると共に前記クロージャを前記前面カバーに対して保持し、前記前面カバーが前記キーから離れて水平方向に移動することを防ぐことができることを特徴とする方法。
【請求項２２】
前記クロージャは前記装填用開口を閉鎖する第１の位置と前記装填用開口を閉鎖しない第２の位置との間で前記フレームに対して可動であり、
前記ローディング及びアンローディング用ステーションはさらに、
前記装填用開口を有するフレームと、
前記クロージャに結合したリンク機構と、
２つの異なる駆動部を有し、前記リンク機構に結合して前記クロージャを前記第１の位置と前記第２の位置の間で移動させるドライバと、を有し、
前記２つの駆動部及び前記リンク機構は、前記コンテナカバーが取り付けられている前記クロージャを、互いに角度をなした少なくとも２つの異なる経路に沿って移動させ、よって前記クロージャは前記装填用開口を介して基板を移動させる水平方向の経路に沿って移動することができると共に、前記水平方向の経路から外れる方向に移動することができ、
前記２つの異なる経路のうちの少なくとも１つは折れ曲がっていて、前記コンテナが取り付けられている前記クロージャは前記装填用開口に対して回転することを特徴とする請求項１に記載のローディング及びアンローディング用ステーション。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
【０００２】
本発明は少なくとも1つの閉鎖可能な装填用関口を備えた半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーションであって、クロージャを取り除いた後で、搬送コンテナ内に収容されているウェハ状または円板体を装填用開口を介してローディング、アンローディング及びリローディングでき、搬送コンテナはコンテナ・カバーを備え、コンテナ・カバーはローディング及びアンローディング用平面に対してほぼ直交する方向に延びているステーションに関する。
【従来技術】
【０００３】
半導体加工装置に対する装填を実施するために、ウェハ・マガジンを収納し、かつ搬送するための比較的小さな内部容積を有するマガジン・コンテナとしてスタンダード・メカニカル・インターフェース・ボックス(Standard Mechanical Interface Box;以下ＳＭＩＦボックスと称する)と呼ばれるボックスを使用することは周知である。１つ以上のワーク・ステーションは挨を排除すべくエンクロージャ、即ちハウジング内に配置されている。ＳＭＩＦボックスはハウジング内に位置する開放装置上への配置が可能である。ボックス及び開放装置はそれぞれ互いに整合する閉鎖エレメントを有している。これらの閉鎖レメントは互いに重なって配置されており、さらには同時に開放し得る。この結果、閉鎖エレメントの外側に付着する埃の粒子は、ウェハ・マガジンを２つの閉鎖エレメントとともにハウジング内へ下降させる際に、閉鎖エレメント間に内包され得る。そして、ボックスはハウジング上に形成された開口を覆っている。
【０００４】
ドイツ特許第４３２６３０９Ｃ１号に開示されているローディング及びアンローディング装置、即ち別のオペレーティング順序を有する装置はマガジンを搬送コンテナから取り出し、さらには同マガジンを加工装置内へ配置するために使用される。半導体ウェハの加工終了後、マガジンは搬送コンテナ内へ戻される。
【０００５】
ＳＭＩＦボックスの技術は小さな直径を備えた半導体ウェハに特に適する。半導体ウェハの材料特性を考えた場合、ＳＭＩＦボックスと、同ＳＭＩＦボックスとともに使用されるウェハ・マガジンとは、半導体ウェハの直径の増大に伴って搬送コンテナとして使用するには不適切となる。この種の半導体ウェハに対してマガジンの機能を兼ね備えた搬送コンテナを使用することは周知である。半導体ウェハのローディング、アンローディング及びリローディングは半導体ウェハ表面に対して平行に延びる平面内においてそれぞれ実施される。搬送コンテナはローディング及びアンローディング用平面にほぼ直交して延びるコンテナ・カバーによって閉鎖され得る。そして、上下方向に開閉するＳＭＩＦボックスとは対照的に、コンテナ・カバーは横方向に開閉される。
【０００６】
搬送コンテナが低い清浄度の基準を有する空間によって包囲されていることと、ＳＭＩＦ技術に使用されるマガジンのようにローディング及びアンローディングし得るマガジンが存在しないことにより、搬送コンテナから半導体加工装置内への移送と、同半導体加工装置から搬送コンテナへの移送とには問題がある。そして、更に多い数の搬送コンテナに対する任意のローディング及びアンローディングを特定の状況下において保証する必要があるうえ、オペレータによる搬送コンテナ自体の装填及び取り出しも人間工学的に好ましい条件下で実施する必要があるため、問題は更に悪化する。
【０００７】
基板を保管、搬送及び挿入するための装置は欧州特許出願公告第５４２７９３Ｂ１号に開示されている。この装置において、側部閉鎖キャップを備えたカセットはローディング・スロットの反対側に配置されている。複数の積み重ねられたカセットのパケットを保持し得るリフティング・プレートにより、複数のカセットは１個づつローディング位置へ搬送される。ローディング位置に到達した際、閉鎖キャップは同キャップを回動させることによって開かれ、基板ウェハはカセットから離間し得る引き出しによってクリーン・ルーム内へ挿入される。ローディング・スロットから吐出される空気はシール及びカセット間の空隙を通過して噴出することにより、粒子がクリーン・ルーム内へ侵入することを防止している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は前述した事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、搬送コンテナから半導体加工装置への装填をクリーン・ルーム条件下で保証することにあり、これらの搬送コンテナは円板体に対するマガジンとして使用され、かつ横方向に開放される。更に多い数量の搬送コンテナのローディング及びアンローディングを任意に行うことが可能である。この場合、搬送コンテナの交換は人間工学的に効果的な条件下で実施する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の目的は、閉鎖可能な装填用閉口を備えた半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーンョンであって、装填用閉口を閉鎖するためのクロージャを同装填用関口から取り除いた後に、搬送コンテナ内に収容されている円板体を装填用関口を介してローディング、アンローディング及びリローディングでき、搬送コンテナは、同搬送コンテナを閉鎖するためのコンテナ・カバーを備えており、同コンテナ・カバーはローディング及びアンローディング用平面に対してほぼ直交する方向に延びているローディング及びアンローディング用ステーンョンにおいて、円板体のローディング、アンローディング及びリローディングに使用する搬送コンテナは、装填用関口を閉鎖しているクロージャに対してコンテナ・カバーを介して結合され、コンテナ・カバー及びクロージャは、互いに結合される表面をそれぞれ有しており、コンテナ・カバー及びクロージャの両表面を結合した状態で、コンテナ・カバー及びクロージャを共に半導体加工装置内へ下降させることによって装填用開口及び搬送コンテナは同時に開放され、コンテナ・カバー内には同コンテナ・カバーを搬送コンテナにロックするためのロッキング・エレメントが設けられ、クロージャの表面には搬送コンテナを関放すべくロッキング・エレメントを作動させるための回動可能なキーが設けられ、コンテナ・カバーの表面には、ロッキング・エレメントを作動させるべくキーが挿入されるキー・ホールが設けられ、キー・ホールに挿入されたキーが回動されたとき、クロージャ及びコンテナ・カバーが互いに固定されるように、キーがキー・ホールの後ろ側に係合するローディング及びアンローディング用ステーンョンによって実現される。クロージャはコンテナ・カバーに結合すべ<真空吸引装置を有する。
【００１０】
搬送コンテナをクロージャに対して結合すべ<同搬送コンテナを整合して固定する手段を備え、さらには水平方向における位置の調節が可能な第１のプラットフォーム上に搬送コンテナが配置されている。
【００１１】
プラットフォームは上下に並んで位置する少なくとも2つの平面間で位置の調節が可能であり、平面のうちの１つは搬送コンテナを人間工学的に効果的な高さで装填するために使用され、別の平面は半導体加工装置に対するローディング及びアンローディングに使用される。
【００１２】
ローディング及びアンローディング用ステーションは別の少なくとも１つの搬送コンテナを保持するために、搬送コンテナを整合して固定する手段を備え、さらには水平方向における位置の調節が可能なプラットフォームを更に適切な数量有し得る。プラットフォームのうちの少なくとも１つは搬送コンテナをクロージャに対して結合させるために使用され、他のプラットフォームは搬送コンテナの交換に使用される。
【００１３】
更に、ローディング及びアンローディング用ステーションは搬送コンテナを交換すべくストレージを有し、同ストレージ内において、グリッパは上下に並んで配置された複数の保管用区画、即ち保管用棚に対する任意のアクセスが可能であり、さらには搬送コンテナの手動装填を行うべくローディング用関口及び搬送コンテナ用ホルダが設けられている。そして、搬送コンテナを搬送コンテナ用ホルダ、保管用棚及びプラットフォーム間で移動させるために、同搬送コンテナの寸法に対応する空間が保管用棚に隣接して形成されている。搬送コンテナ用ホルダは装填を行うためにローディング用関口を通過して移動し得る。
【００１４】
更に、クロージャは同クロージャをコンテナ・カバーに対して整合させるためのエレメントを備え、同エレメントによる整合はクロージャとコンテナ・カバーとの結合が行われる前に実施し得る。
【００１５】
整合エレメント及びキーはクロージャ及びコンテナ・カバーが互いに接近する間に生じる差を補償すべ<ローディング及びアンローディング用平面に直交する方向に弾性的に支持し得る。ローディング及びアンローディングは、半導体加工装置内に配置されたマニピュレーティング装置を装填用開口を通じて搬送コンテナ内へ係合させることによって行われる。
【００１６】
装填用関口はプレート、即ちシールド内に形成され、同シールドはインデックスが付けられた位置に基づいて円板体のローディング及びアンローディングを実施すべく、結合された搬送コンテナとともにローディング及びアンローディング用平面に直交する方向においてマニピュレーティング装置に対する位置の調節が可能である。従って、個々のエレベータを用いることにより、異なる平面間における移動と、インデクシング移動とを実現し得る。しかし、インデックスが付けられた位置に基づいて円板体のローディング及びアンローディングを実施すべく、ローディング及びアンローディング用平面に直交する方向において位置の調節を行い得るようにマニピュレーティング装置を形成できる。
【００１７】
本発明に基づく前記の解決手段により、装填を実施する半導体加工装置内におけるクリーン・ルーム条件に対して態影響を及ぼすことなく、前記の搬送コンテナを使用できる。３００ｍｍの寸法の半導体ウェハを容易に取り扱い得る。クロージャ及びコンテナ・カバーの結合中、同コンテナ・カバー上に位置する挨粒子は互いに結合されたクロージャ及びコンテナ・カバーの両表面間に確実に保持される。
【発明の効果】
【００１８】
詳述するように、本発明によれば、搬送コンテナから半導体加工装置への装填をクリーン・ルーム条件下で行い得るという優れた効果を発揮する。本発明はさらに、クロージャ及びコンテナ・カバーの結合中、コンテナ・カバー上に位置する挨粒子は互いに結合されたクロージャ及びコンテナ・カバーの両表面間に確実に保持されるので、埃粒子が半導体加工装置内に飛散することが防止されるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】移動可能なシールドを備えたローディング及びアンローディング用ステーションの側面図。
【図２】ローディング及びアンローディング用ステーションの平面図。
【図３】ローディング及びアンローディング用ステーションの正面図。
【図４】結合され、かつ開放された状態にある搬送コンテナを備えたローディング及びアンローディング用ステーションの斜視図。
【図５】クロージャを開閉する第１の装置の部分縦断面図であり、同装置は閉鎖状態にある。
【図６】開放状態にある図５に示す装置の側面図。
【図７】別のプラットフォーム及び搬送コンテナを備えたローディング及びアンローディング用ステーションの斜視図。
【図８】図７に示すローディング及びアンローディング用ステーションの側面図。
【図９】搬送コンテナに対するストレージの側面図。
【図１０】部分的に露出されたストレージの斜視図。
【図１１】開放されたストレージの平面図。
【図１２】クロージャ及びコンテナ・カバーを示す斜視図。
【図１３】クロージャ及びコンテナ・カバーの予備配向結合を示す一部破断側面図。
【図１４】図１の態様に基づく搬送コンテナの一部破断平面図。
【図１５】図１４のコンテナのＡ−Ａ線における縦断面図。
【図１６】第２の態様に基づく搬送コンテナの一部破断平面図。
【図１７】図１６のコンテナのＢ−Ｂ線における縦断面図。
【図１８】クロージャを開閉する第２の装置を伴うローディング及びアンローディング用ステーションの一部を示す正面図。
【図１９】図１８の装置の平面図。
【発明の実施の形態】
【００２０】
図１〜図３において、壁エレメント２に対して固定されたフレーム１は自身に対して角度をなして交わる2つのフレーム・エレメント３，４と協働してエレベータ５を支持している。
【００２１】
プラットフォーム７はエレベータ５に対して固定されたガイド８上において軽エレメント２に向けて水平方向に位置調節が可能であり、さらには搬送コンテナ６に対する保持手段として機能する。搬送コンテナ６は特定の範囲内において各種の方法で形成し、かつ準備し得る。プラットフォーム７はエレベータ５を使用することにより、上下に位置する２つの平面９，１０間を移動し得る。また、プラットフォーム７の数量は図に示す数量に限定されることはない。平面９はプラットフォーム７への搬送コンテナ６の装填に際し人間工学的に適した高さに位置している。そして、半導体加工装置に対するローディング及びアンローディングは平面１０内において行われる。このために、クロージャ１２にて閉鎖され得る装填用開口１３はシールド１１内に形成されている。シールド１１はガイド手段１４にて案内することにより、平面１０に直交する方向において壁２に沿って調節可能である。そして、シールド１１は壁エレメント２内に形成された閉口をシールする。搬送コンテナ６は自身のコンテナ・カバー１５を介してクロージャ１２に対して係着、即ち結合され、この結合はプラットフォーム７のうちの１つを壁エレメント２へ向けて水平方向に移動させた際に生じる摩擦を利用した係合作用にてこの結合を行うべく、吸引エレメント１６がクロージャ１２内に組み込まれている。そして、ホース・コネクション(図示略)が吸引エレメント１６から真空源に向けて延びている。
【００２２】
コンテナ・カバー１５は搬送コンテナ６内へ摺動して同搬送コンテナ６内でロックされる。コンテナ・カバー１５はシール１７によって周囲を被覆されており、同シール１７によってコンテナ・カバー１５は周囲の壁に対して密閉されている。ロック解除は前記の摩擦係合がなされた後で行われる。図１に示すように、クロージャ１２は折れ曲がった矢印が示す方向へ向かってコンテナ・カバー１５とともに半導体加工装置内へ移動する。
【００２３】
全ての搬送コンテナ６は円板体１９を収容すべく上下に並ぶ複数の棚を有しており、同棚は突出部１８によって形成されている。平面１０内において装填用開口１３を介した円板体１９のローディング及びアンローディングを行うために、図１に示す構造物内には搬送コンテナ６の上下方向における位置を適切な方法で調節することが必要となる。これを実現するために、搬送コンテナ６はシール２０を介してシールド１１に対して更に密閉されている。シールド１１はエレベータ５による上下方向のインデクシング移動(vertikale Indexbewegung)によって移動される。半導体加工装置内のクリーン・ルーム条件はシールド１１によるシーリングによって維持される。
【００２４】
インデクシング(Indexierung)を実施すべく、インデックス・センサ２１は搬送コンテナ６を垂直方向に調節する間に突出部１８及び円板体１９を検出する。
【００２５】
ローディング及びアンローディングは半導体加工装置のクリーン・ルーム領域内に配置されたマニピュレーティング装置２２を装填用閉口１３を介して係合させることによって平面１０内で実施される。
【００２６】
図４に示すローディング及びアンローディング用ステーションでは、クロージャ２３の開閉に装置が使用されており、同装置は図５に更に詳細に示されている。既に開放されている搬送コンテナ２４はプラットフォーム２６上に配置されている。プラットフォーム２６は静止プレート２５によって支持されており、さらには矢印方向へ水平に移動可能である。搬送コンテナ２４は壁エレメント２８内の装填用閉口２７と連通している。クロージャ２３はアーム２９に対して固定されている。アーム２９は上下方向における位置の調節と、壁エレメント２８に対する位置の調節とが可能であり、さらにはコンテナ・カバー３０を支持している。コンテナ・カバー３０はクロージャ２３に対して摩擦係合して係着されている。ローディング及びアンローディング用ステーションの駆動及び制御エレメントはハウジング３１内に収容されている。
【００２７】
図５及び図６に示すように、リフティング・シリンダ３２，３３を使用することにより、アーム２９は上下方向における位置の調節と、壁エレメント２８に対する位置の調節とが可能である。リフティング・シリンダ３３を動作させることにより、支持プレート３４に対して固定されたリフティング・シリンダ３２は同支持プレート３４とともに軸Ｘ−Ｘの周囲を停止部３５に達するまで回動させ得る。
【００２８】
図４に示す１つの搬送コンテナ２４のみを支持する実施の形態とは対照的に、図７に示すプレート２５に固定された支持部材３６は別の静止プレート３７を支持している。矢印方向へ水平に移動が可能な第２のプラットフォーム３８は静止プレート３８上に配置されている。搬送コンテナ用カバー３９によって閉鎖された別の搬送コンテナは符号４０によって示されている。
【００２９】
２つのプラットフォーム２６，３８は支持アーム４２を用いて上下方向に調節できる。支持アーム４２はプレート２５に対して結合されている。更に、支持アーム４２はドライブ４１を用いて駆動することにより上昇及び下降させ得る。搬送コンテナ２４または４０をクロージャ２３に対して結合するためにプラットフォーム２６，３８のうちの一方を使用し、他方を搬送コンテナの交換に使用し得る。
【００３０】
無論、図４に示すような２つの平面間で１つの搬送コンテナのみを調節する構成に対して、図７及び図８に示す垂直方向の調節を使用し得ることは当業者にとって自明である。同様に、保持可能な搬送コンテナの数量は必要に応じて増加させ得る。
【００３１】
搬送コンテナを交換するためのストレージを図４、図７及び図８に示すローディング及びアンローディング装置に使用可能であり、同ストレージを図９〜図１１に基づいて以下に詳述する。
【００３２】
図１０に示すように、ローディング及びアンローディング装置は保管用棚４５を有するハウジング４４の壁４３に取り付けられている。上下に配置された複数の保管用棚４５は、搬送コンテナ４６の保持に使用される。本実施の形態では、ストレージは保管用棚４５がローディング及びアンローディングの方向とは無関係にローディング及びアンローディング装置のプラットフォームの上方に位置するように形成されている。保管用棚４５内に位置する搬送コンテナ４６に対する任意のアクセスを実現するために、搬送コンテナ４６の寸法に対応する空間４７を複数の保管用棚４５と、壁４３以外のハウジング４４の壁との間に確保する必要がある。空間が残された壁はストレージに利用し得る空間によって決定される。
本実施の形態に示す構成では、ローディング及びアンローディング装置を備えた壁４３に隣接する壁４８側に自由空間は位置しており、奥行きの小さいストレージが形成される。ガイド５１上へ移動可能な搬送コンテナ用ホルダ５２と、ロック可能なローディング用開口５０とは搬送コンテナ４６をストレージ内へ手動で装填するために使用される。そして、ローディング用開口５０は壁４３の反対側に位置する壁４９内の人間工学的に効果的な高さに設けられている。
【００３３】
図１１に示すように、搬送コンテナ４６を搬送すべく上下方向及び水平方向への移動が可能なグリッバ５３はエクステンション・アーム５４によって水平方向ドライブ５５に対して固定されている。水平方向ドライブ５５はエレベータ５６に対して連結されている。
【００３４】
搬送コンテナ４６はカバー領域上にハンドル５７を有しており、同ハンドル５７はグリッパ５３によって自動的に把持される。各搬送コンテナ４６の上方には、同搬送コンテナ４６の搬送を実施すべくグリッパ５３と協働するエクステンション・アーム５４に対する十分な空間が形成されている。
【００３５】
搬送コンテナ４６はグリッパ５３によって把持された後、保管用棚４５から開放空間４７内へ水平方向に搬送される。次いで、搬送コンテナ４６はストレージ、またはローディング及びアンローディング装置のプラットフォーム上への手動装填に適した人間工学的高さに位置する平面まで上下動される。搬送コンテナ４０は前記の平面へ到達した後、延仲状態にあるプラットフォーム、即ち搬送コンテナ用ホルダ５２上へ送られる(図１１は延伸状態にある搬送コンテナ用ホルダ５２を示す)。反対方向への移動も同様に行われる。
【００３６】
図１２及び図１３に示すように、クロージャ２３はボア・ホール５８から延出する吸引エレメント５９を有している。ピン６０の形態をなす整合エレメントは吸引エレメント５９の中心に取り付けられている。更に、コンテナ・カバー３０内のロッキング・エレメントＧ２を作動させるためのダブルビット(Doppelbart)を備えたキー６１がクロージャ２３内に取り付けられている。複数のピン６０にそれぞれ対応する細長いホール６３及び７ドア・ホール６４は、キー６１に対するキー・ホール６５と同様にコンテナ・カバー３０上に形成されている。結合プロセス中に、クロージャ２３に対してコンテナ・カバー３０を予備的に整合させるべく、ピン６０は吸引エレメント５９を越えて突出している。この結果、ピン６０は先ず細長いホール６３またはボア・ホール６４に対して係合することになる。その後、キー・ホール６５内へ没入し、吸引エレメント５９は突出する舌部６６を介してコンテナ・カバー３０の表面上に支持される。この時点において行われる吸引プロセスの間、舌部６６は十分な大きさを備えたボア・ホール５８内へ完全に戻される。そして、クロージャ２３の表面及びコンテナ・カバー３０の表面は摩擦係合している。そして、同表面間には付着する粒子が内包 されている。キー６１を回動させることにより、コンテナ・カバー３０の内部に取り付けられたドライバ６７が駆動され、ロッキング・エレメント６２が開放される。クロージャ２３は搬送用チャネルを形成すべくコンテナ・カバー３０とともに半導体加工装置内へ下降させ得る。
【００３７】
キー６１はロッキング・エレメント６２を開放する以外にも別の作用を有する。キー・ホール６５内に挿入したキー６１を回動した後、吸引エレメント５９内における減圧が適切に行われなかった場合、ダブルビットがキー・ホール６５の後ろ側に係合することによりコンテナ．カバー３０を保持し得る。延伸した状態にある吸引エレメント５９の舌部６６はコンテナ・カバー３０の表面に対して密着した状態に維持される。この結果、吸引エレメント５９内における減圧を回復した際、両表面を再び迅速に相互に押圧させ得る。結合中に形成される応力を防止すべく、整合エレメント及びキー６１は中空のクロージャ２３の内側に弾性的に支持されている。
【００３８】
搬送コンテナを結合するための別の効果的工程は図１４〜図１７に示されている。搬送コンテナは整合した状態でプラットフォーム上に配置される。その一方、搬送コンテナは図１２及び図１３に関連して示したように開放プロセス中に力を受ける。この力はローディング及びアンローディング・プロセスの中断を防止するために補償を要する。
【００３９】
図１４及び図１５に示すように、搬送コンテナ６８はプラットフォーム６９上に配置されており、同プラットフォーム６９はこれまでに説明した図面に示したプラットフォームに機能的に一致している。搬送コンテナ６８は内部に円板体を保持するための棚７０を有する。図１１に示す搬送コンテナに関して述べたように、自動的に作動するグリッパのためのハンドル７１はカバー領域上に設けられている。正しい配置を実現すべく互いに整合する整合エレメントとしての溝７２及び係合ピン７３は、搬送コンテナ６８の基部及びプラットフォーム６９上にそれぞれ３つ設けられている。結合を実施すべく搬送コンテナ６８が水平方向に移動する間、プラットフォーム６９に固定されたコンタクト・プレッシャ・アーム７５に取り付けられた弾性ローラ７４は、搬送コンテナ６８の基部に固定された勾配付き横材７６に沿って摺動し、かつ搬送コンテナ６８を固定する。ビジュアル・オリエンテーション・ペグ７７は搬送コンテナ６８を手動でプラットフォーム６９上に配置する際に利用可能である。
【００４０】
搬送コンテナをプラットフォーム上に固定する別の方法は図１６及び図１７に示す解決策によって提供される。プラットフォーム６９内のボア・ホール７８を通って案内されたキー７９は搬送コンテナ６８を配置する間、搬送コンテナ６８の基部に固定されたプレート８１内に形成されたキー・ホール８０を貫通して延び、さらには閉鎖動作の後にプレート８１の後ろ側に係合する。
【００４１】
クロージャを開閉する別の装置を図１８及び図１９に基づいて以下に詳述する。同装置を使用することにより、ローディング及びアンローディング装置の奥行きを減少させ得る。図１〜図３に示すように、本実施の形態はシールドを使用しており、装填用関口は同シールド内に形成されている。しかし、固定された装填用閉口を前記の装置とともに使用できる。装填用開口は開放されているが、プラットフォーム上の結合済搬送コンテナは図面の簡略化のために図示を省略する。
【００４２】
本実施の形態では、装填用閉口８３を備えたシールド８２はガイド８５及びガイド・スライド８６を介してフレーム８４によって支持されている。装填用開口８３に対するクロージャ８７ はアーム８８を介してロータ軸８９に固定されている。ロータ軸８９はロータリ・ドライブ９０によって駆動される。ロータリ・ドライブ９０は保持プレート９１に対してネジで固定されている。保持プレート９１はフレーム８４に対して固定された支持プレート９３上の水平方向ガイド９２によってローディング及びアンローディング方向へ移動させ得る。この移動は空気圧式ドライブ等の適切なドライブ９４によって実施される。
【００４３】
ソールド８２は装填用閉口８３の領域内において補強されており、さらにはフレーム８４が固定されている壁９５内に形成された関口を被覆する。関口(図示略)は上下に長く延びており、同閉口の上下の長さ全体に沿って装填用閉口８３が上下方向において調節されるようになっている。この結果、固定されたマニピュレーティング装置は結合された搬送コンテナに付随し、かつインデックスが付けられた異なる平面に対して装填用閉口を通じてアクセスできる。
【００４４】
ラビリンス・シール９６はシールド８２を調節する間におけるシーリングを提供する。ラビリンス・シール９６の一部は調節可能なシールド８２に対して固定される一方、同シール９６の他の部分は壁９５内の関口に隣接して固定されている。
【００４５】
プラットフォームのドライバ９８は空気シリンダ９７にて駆動される。搬送コンテナを結合すべくドライバ９８は空気シリンダ９７とともにシールド８２に対して固定されている。プラットフォームを搬送コンテナとともに結合領域内へ移動させた後、搬送コンテナはドライバ９８によって把持される。空気シリンダ９７のリフト手段により、プラットフォーム上に固定された搬送コンテナはコンテナ・カバーとともに、閉鎖状態にあるクロージャ８７に対して押圧される。クロージャ８７及びコンテナ・カバーは前述したように摩擦係合する。そして、コンテナ・カバー内のロッキング・エレメントが開放される。
【００４６】
保持プレート９１はドライブ９４によって駆動された際、同保持プレート９１上に固定されたエレメントとともに移動する。この結果、クロージャ８７はコンテナ・カバーとともに装填用開口８３から取り除かれる。装填用関口８３を円板体のローディング及びアンローディングから開放する位置へクロージャ８７を回動すべ<同クロージャ８７はモータ９０によって駆動される。この位置は図１８に示すクロージャ８７の位置に一致している。
【００４７】
以上詳述したように、本発明に基づくローディング及びアンローディング用ステーションを使用することにより、装填を実施する半導体加工装置内におけるクリーン・ルーム条件に対して悪影響を及ぼすことなく、搬送コンテナを使用できる。更に、同ローディング及びアンローディング用ステーションを使用することにより、３００ｍｍの寸法の半導体ウェハ等、更に大きな半導体ウェハを容易に取り扱い得る。また、クロージャ及びコンテナ・カバーの結合中、同コンテナ・カバー上に位置する操粒子は摩擦係合によって結合されたクロージャ及びコンテナ・カバーの両表面間に確実に保持される。この結果、埃粒子が半導体加工装置内に飛散することが防止される。
【符号の説明】
【００４８】
６，２４，４０，４６，６８ 搬送コンテナ
７，２６，３８，６９ プラットフォーム
９，１０ 平面
１１，８２ シールド
１２，２３，８７ クロージャ
１３，２７，８３ 装填用閉口
１５，３０，３９ コンテナ・カバー
１６，５９ 吸引エレメント
１９ 円板体
２２ マニピュレーティング装置
４５ 保管用棚
４７ 空間
５０ ローディング用開口
５２ 搬送コンテナ用ホルダ
５３ グリッパ
６０ 整合エレメントとしてのピン
６１，７９ キー
６２ ロッキング・エレメント
６５，８０ キー・ホール
【図１】
0005020994.tif 000002
【図２】
0005020994.tif 000003
【図３】
0005020994.tif 000004
【図４】
0005020994.tif 000005
【図５】
0005020994.tif 000006
【図６】
0005020994.tif 000007
【図７】
0005020994.tif 000008
【図８】
0005020994.tif 000009
【図９】
0005020994.tif 000010
【図１０】
0005020994.tif 000011
【図１１】
0005020994.tif 000012
【図１２】
0005020994.tif 000013
【図１３】
0005020994.tif 000014
【図１４】
0005020994.tif 000015
【図１５】
0005020994.tif 000016
【図１６】
0005020994.tif 000017
【図１７】
0005020994.tif 000018
【図１８】
0005020994.tif 000019
【図１９】
0005020994.tif 000020