(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフィルム上の長手方向に所定の間隔で貼付けられた所定形状の粘着フィルムの端部に斜方向から光を照射する照明手段と、
前記照明手段より光が照射される前記ベースフィルムの下面に設置された黒色のプレートと、
前記照明手段の光の強度を調節する調光手段と、
前記照明手段の光の照射角度を調節する照明角度調節手段と、
前記粘着フィルムに対して垂直上方向に設置された撮像手段とを備え、
前記照明手段から照射された光が前記粘着フィルムの端部にて散乱反射を起こし、散乱反射された光を前記撮像手段にて受光することにより粘着フィルムの位置を検出することを特徴とする粘着フィルム位置検出器。
【請求項２】
請求項１に記載の粘着フィルム位置検出器において、
前記撮像手段がＣＣＤカメラである
ことを特徴とする粘着フィルム位置検出器。
【請求項３】
請求項１または２に記載の粘着フィルム位置検出器において、
前記照明手段が、赤と青と緑のそれぞれに光の波長のピークを持つ
ことを特徴とする粘着フィルム位置検出器。
【請求項４】
請求項３に記載の粘着フィルム位置検出器において、
前記照明手段が、３波長蛍光灯、または、赤と青と緑のそれぞれの単波長ＬＥＤの光を集合させたものである
ことを特徴とする粘着フィルム位置検出器。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１つに記載の粘着フィルム位置検出器において、
前記粘着フィルムと前記ベースフィルムが共に透明である
ことを特徴とする粘着フィルム位置検出器。
【請求項６】
請求項５に記載の粘着フィルム位置検出器において、
前記粘着フィルムと前記ベースフィルムが共に無色である
ことを特徴とする粘着フィルム位置検出器。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１つに記載の粘着フィルム位置検出器において、
前記プレートが艶無しである
ことを特徴とする粘着フィルム位置検出器。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１つに記載の粘着フィルム位置検出器と、
前記ベースフィルムの長手方向に所定の間隔で前記粘着フィルムが貼付けられたフィルム供給テープを移送するテープ移送手段と、
前記フィルム供給テープを折り返し案内するとともに、その折り返し端にて前記粘着フィルムを前記ベースフィルムから剥離するフィルム剥離手段と、
前記折り返し端の近傍位置にて上下動可能に配設される貼付ローラと、
前記粘着フィルムが貼り付けられる基板を載置する貼付テーブルと、
前記粘着フィルム位置検出器から出力される粘着フィルムの位置信号に基づきフィルム供給テープの移送を停止し、かつ、その停止位置にて粘着フィルムの位置ズレを計測し前記貼付テーブルの位置を修正する制御手段と
を備えたことを特徴とする粘着フィルム貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板や液晶表示装置用のガラス基板などの各種基板の表面処理の一工程として、基板形状に対応する形状を有する粘着フィルムを基板表面に貼り付けるときに用いられる粘着フィルム位置検出器および粘着フィルム貼付装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、各種基板の表面に、基板形状に対応する形状を有する粘着フィルムを貼り付
ける各種のフィルム貼付装置が提案されている。例えば、特開平７−１９５５２７号公報には、透明のベーステープに貼付けられている着色された粘着フィルムがフィルム移送手段を介して移送されており、一定位置に到達すればフィルム検出機構により検出されている。このフィルム検出機構は、その検出に基づきベースフィルムの移送を停止し、また、その停止位置にて粘着フィルムと基板との相対位置および相対角度のズレを検出する。その後、この位置ズレを補正し、基板とベースフィルムとを同調して移送することにより、テープ折り返し端から粘着フィルムを連続して剥離するとともに、基板表面に貼付ける。
【０００３】
ここに、前記公報に記載された粘着フィルム貼付装置のフィルム検出機構では、フィルム供給テープを移送している間に反射型光センサを介して粘着フィルムの存在を検出し、更に、粘着フィルムのサイズに応じてもう１つの反射型光センサで粘着フィルムの後端縁を検出した時点でフィルム供給テープの移送を停止し、その停止位置を所定の貼付位置としている。
【０００４】
また、粘着フィルムの位置ズレの検出手段としてＣＣＤカメラを用いている。フィルム供給テープを停止した後、着色された粘着フィルムをＣＣＤカメラにて撮像し、予め決められた基準線と粘着フィルムの端面との距離を計測し位置ズレを検出している。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１９５５２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示されている技術においても、依然、以下に示す解決できない問題点がある。
【０００７】
上記文献に開示されている粘着フィルム貼付装置では、粘着フィルムが透明や半透明のフィルムから構成され光透過性を有する場合には、反射型光センサ等の光学センサでは安定して粘着フィルムを検出することは非常に困難なものである。つまり、ベースフィルムが透明であるので、それに貼付けられている粘着フィルムも透明または半透明であれば、ベースフィルムからの光の反射量と粘着フィルムからの光の反射量との差を光センサでは識別できない。これより、粘着フィルムを安定して貼付位置にセットできなくなる問題がある。
【０００８】
また、上記文献においては位置ズレをＣＣＤカメラにて検出していたが、粘着フィルムが透明もしくは薄く着色されている場合はこれも検出が困難である。透明なベースフィルムと、透明または薄く着色された粘着フィルムとでは濃淡の差がはっきりしないので、粘着フィルムの端面が検出できない。これにより基準線と粘着フィルムの端面との距離を測定することができず、粘着フィルムの正確な位置検出ができなくなる。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、粘着フィルムおよびベースフィルムの着色の有無、また、着色の色および濃さ、さらには、透明度に関係することなく、粘着フィルムを精度良く基板に貼付けるための粘着フィルム位置検出器および粘着フィルム貼付装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、第１の発明は粘着フィルム位置検出器であって、ベースフィルム上の長手方向に所定の間隔で貼付けられた所定形状の粘着フィルムの端部に斜方向から光を照射する照明手段と、前記照明手段より光が照射される前記ベースフィルムの下面に設置された黒色のプレートと前記照明手段の光の強度を調節する調光手段と、前記照明手段の光の照射角度を調節する照明角度調節手段と、前記粘着フィルムに対して垂直上方向に設置された撮像手段とを備え、前記照明手段から照射された光が前記粘着フィルムの端部にて散乱反射を起こし、散乱反射された光を前記撮像手段にて受光することにより粘着フィルムの位置を検出することを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、粘着フィルムの端部に対して斜め方向から光を照射することで、粘着フィルムの端部から散乱反射した反射光を撮像する。これより、粘着フィルムの端部の位置を、精度良く検出することができる。
【００１２】
上記第１の発明において、前記撮像手段の好ましい一例として、ＣＣＤカメラが挙げられる。ＣＣＤカメラで撮像することで粘着フィルムの端部からの反射光を画面のドット単位で計測することができ、粘着フィルムの端面の位置を正確に計測することができる。
【００１３】
上記第１の発明において、前記照明手段の好ましい一例として、赤と青と緑のそれぞれに光の波長のピークを持つことが挙げられる。この具体例として３波長蛍光灯または赤と青と緑のそれぞれの単波長ＬＥＤの光を集合させたものが挙げられる。照明手段が赤と青と緑のそれぞれに光の波長のピークを持つことで、粘着フィルムまたはベースフィルムの着色の有無に関係することなく、粘着フィルムの端部の位置を検出することができる。
【００１４】
上記第１の発明において、前記粘着フィルムと前記ベースフィルムが共に透明であってもよい。また、前記粘着フィルムと前記ベースフィルムが共に無色であってもよい。このように、粘着フィルムとベースフィルムが透明であったり、無色であるような、従来では検出が困難であった構成においても、正確に粘着フィルムの端部の位置を検出することができる。
【００１５】
上記第１の発明において、前記プレートの好ましい一例として艶無しであることが挙げられる。ベースフィルムの下面に設置された黒色のプレートが艶無しであるので、プレートからの反射光の影響をより低減することができ、粘着フィルムの端部をより明確に検出することができる。
【００１６】
また、第２の発明は、上記第１の発明の粘着フィルム位置検出器と、ベースフィルムの長手方向に所定の間隔で粘着フィルムを貼付けられたフィルム供給テープを移送するテープ移送手段と、フィルム供給テープを折り返し案内するとともに、その折り返し端にて粘着フィルムをベースフィルムから剥離するフィルム剥離手段と、折り返し端の近傍位置にて上下動可能に配設される貼付ローラと、粘着フィルムが貼り付けられる基板を載置する貼付テーブルと、粘着フィルム位置検出器から出力される粘着フィルムの位置信号に基づきフィルム供給テープの移送を停止し、かつ、その停止位置にて粘着フィルムの位置ズレを計測し貼付テーブルの位置を修正する制御手段とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、粘着フィルム位置検出器にて検出された粘着フィルムの位置信号によりフィルム供給テープの移送が停止されるとともに、粘着フィルムの位置ズレを計測して、粘着テーブルの位置が修正されるので、半導体基板に正確に粘着フィルムを貼付けることができる。
【発明の効果】
【００１８】
この発明に係る粘着フィルム位置検出器および粘着フィルム貼付装置によれば、粘着フィルムおよびベースフィルムの着色の有無、また、着色の色および濃さ、さらには、透明度に関係することなく、精度良く粘着テープの位置を検出することができる。これより、粘着テープを精度よく基板に貼付けることができる粘着フィルム位置検出器および粘着フィルム貼付装置を提供することができる。
【実施例１】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。なお、本実施例では、半導体基板とほぼ同形状の粘着フィルムを貼り付ける場合を例に説明する。
【００２０】
図１は粘着フィルム位置検出器の構成を示す概略縦断側面図であり、図２は粘着フィルムの端部にて散乱反射された光を撮像するのを示す説明図であり、図３は粘着フィルム位置検出器より得られる画像を示す説明図であり、図４は粘着フィルム貼付装置の概略正面図であり、図５は粘着フィルムの貼付ユニットの概略正面図であり、図６は粘着フィルムの折り返し部を示す概略斜視図であり、図７は粘着フィルム貼付装置の駆動システムを模式的に示す説明図であり、図８は粘着フィルム貼付装置の動作を示すフローチャート図であり、図９はフィルム供給テープからの反射光を撮像して得られる画像を示す説明図である。
【００２１】
＜粘着フィルム位置検出器＞
図１に示されるように、粘着フィルム位置検出器１は、図１左方向へ移送されるベースフィルム３上に貼付けられた粘着フィルム５の後端部に光を照射する照明器７と、照明器７の光の色度および照度を調整する調光器９と、照明器７から照射される光の照射角度を調節する照明角度調整機構８（図７参照）と、照明器７から照射された光が粘着フィルム５の後端部で散乱反射し、粘着フィルム５の垂直上方向への反射光を撮像するＣＣＤカメラ１１にて構成されている。また、ベースフィルム３の下面には黒色かつ艶の無いプレート１３が設置されている。ＣＣＤカメラ１１はこの発明における撮像手段に相当する。
【００２２】
また、フィルム供給テープ６は、例えば被着体形状などの一定形状に予め形成された粘着フィルム５が、所定の間隔をあけて、ベースフィルム３上に枚葉式に貼付られて構成されている。フィルム供給テープ６は予め決められた速度で送り出され、ベースフィルム３上に貼付けられた粘着フィルム５が位置検出器１にて検出されるとフィルム供給テープ３は停止される。
【００２３】
図２を参照して、粘着フィルムの端部にて生じる散乱反射を利用した粘着フィルムの位置検出の方法を詳細に説明する。
【００２４】
図２（ａ）に示されているように、照明器７より照射された光はベースフィルム３や粘着フィルム５のあらゆる面において、正反射または散乱反射する。そこで本実施例では、粘着フィルム５の端面にて散乱反射した光の中で、粘着フィルム５の上部垂直方向に反射する光の成分がＣＣＤカメラ１１へ入射するように粘着フィルム５の垂直上方向にＣＣＤカメラ１１を配設した。また、粘着フィルムの下部垂直方向に散乱反射する光の成分が、ベースフィルム３の面上で反射した光もＣＣＤカメラ１１へ入射する。このように、粘着フィルム５の端面の各点において散乱反射した光の成分の中で粘着フィルムの端面に沿う成分だけが、粘着フィルム５の端面の各点で反射した光の集合となってＣＣＤカメラ１１へ入射する。
【００２５】
ここで、粘着フィルム５の端面ではない面で正反射した光は、光の入射角度と同じ角度において反射するので、粘着フィルム５の垂直上方向に配設されたＣＣＤカメラ１１には正反射光が入射しない。同様に、ベースフィルム３の面上にて正反射した光もＣＣＤカメラ１１には入射しない。以上からの理由で、ＣＣＤカメラ１１に撮像される光線は粘着フィルム５の端面から垂直に入射された光線であるので、粘着フィルム５の端面の位置を正確に撮像している。
【００２６】
また、粘着フィルム５およびベースフィルム３の面上の各点で散乱反射する反射光は、各フィルムの面上で略均一なので、ＣＣＤカメラ１１に対して画面全体に平均した光量が撮像される。この全体的に平均して入射される光量と、粘着フィルム５の端面で散乱反射されて入射される光量とのコントラスト比をつけることで粘着フィルム５の端面が明確に検出される。
【００２７】
このコントラスト比を明瞭につけるために、ベースフィルム３の下部に黒色のプレート１３を設置する。これより、ベースフィルム３の下面を透過した光は黒色のプレート１３に吸収され、プレート面からの反射光の影響を極力抑えることができる。このとき、黒色のプレート１３が艶無しであれば、光の反射がなお低減されるので好ましい。
【００２８】
このようにして得られた画像は図３（ａ）である。黒色の画像中に粘着フィルム５の端部が白線で明確に表示されている。つまり、上述した方法によれば、粘着フィルムの端部だけを白く明瞭に検出することができる。このような画像を得るために、ＣＣＤカメラ１１の視野は５ｍｍ角以上１０ｍｍ角以下に設定する。また、ＣＣＤカメラ１１の分解能が１０μｍ以上２０μｍ以下のものを用いる。そして、ＣＣＤカメラ１１と粘着フィルム５の距離は３０ｍｍ以上５０ｍｍ以下の範囲で設置する。また、粘着フィルム５の端部からの散乱反射光の白線の幅は１００μｍ以下の細さになるように、ＣＣＤカメラの倍率は１００倍程度とする。
【００２９】
図３（ｂ）に示されている画像は、プレート１３として白色のプレートを設置したときに得られる画像である。プレート１３面からの反射光がＣＣＤカメラ１１へ全体的に入射されるので、得られる画像も全体的に白く映る。また、粘着フィルム５の端部の濃淡が明確でないので、粘着フィルムの５の端部の位置が検出できない。この結果からもプレート１３は黒色であることが望ましい。
【００３０】
また、図２（ｂ）に示されているように粘着フィルム５の端面にテーパーが形成されている場合や、粘着フィルム５の厚みが厚い場合などは図３（ｃ）に示されるような画像を撮像する場合がある。この場合も、粘着フィルム５の端部の濃淡が明確でないので粘着フィルム５の端部の位置の検出ができない。
【００３１】
そこで、照明器７の光強度を調節する調光器９および照明器７の光の照射角度を調整する照明角度調整機構８を調整してやれば、図３（ａ）に示される画像を得ることができる。照明角度調整機構８は照明器７をプレート１３に対して１０°以上４５°以下の角度調整ができるのが望ましい。これより、粘着フィルム５の厚みや粘着フィルムの端部の形状に応じて照明器７から照射される光の角度を調節することができ、最適な画像を映し出して粘着フィルム５の位置を検出することができる。
【００３２】
ここで、粘着フィルム５の端部からの反射光の白色の輝度は５０ｃｄ（カンデラ）以上１００ｃｄ（カンデラ）以下に設定する。また、画像の黒色と白色のコントラスト比は１対１００以上の比を持つようにする。このような画像を得ることができるように、光量の調整および、光の入射角度の調整を行う。
【００３３】
また、照明器７は赤、緑、青の３色に光のピーク波長をもつ。このような照明器として、赤、緑、青の単波長ＬＥＤの光を集合させた照明器や３波長蛍光灯などがある。また、調光器９は照明器７の各色の光強度を調節できるので、粘着フィルム５へ照射される光の強度が調節できるうえ、さらには、ＲＧＢの各波長ごとの光強度が調整できる。これにより、粘着フィルム５およびベースフィルム３が着色されている場合においても、調光器９により照明器７から照射される光の各色の強度を調節することで、ＣＣＤカメラ１１が撮像する画像のコントラスト比を調節することができる。粘着フィルム５およびベースフィルム３が着色されている色とは異なる色度の光を強く照射することで、各フィルムの光の吸収によるコントラスト比の低下を防ぐことができる。
【００３４】
＜粘着フィルム貼付装置＞
次に、上述した粘着フィルム位置検出器１を備えた粘着フィルム貼付装置２１を図４、および図５を参照して詳述する。粘着フィルム貼付装置２１には、貼付ユニット２３が配設されている。この貼付ユニット２３は、粘着フィルム貼付装置２１の内部に架設されたレール２５に垂設されており、図示しない駆動装置を介して図４中矢印Ａ方向に往復動可能に構成されている。貼付ユニット２３において、上述した粘着フィルム位置検出器１は反時計周りに回転された状態で配置されている。また、貼付ユニット２３の下側には半導体基板２７（図６参照）が載置される貼付テーブル２９の昇降動作および位置合わせ、また、その他粘着フィルム貼付装置２１に設けられた各種ワークの移動等を行う駆動機構（図示省略）が設けられている。なお、駆動機構の構成については公知であるので、ここではその詳細な説明を省略する。
【００３５】
また、図５に示すように、貼付ユニット２３には、レール２５に垂設された一対のメインフレーム３１（図５には、紙面奥側のメインフレーム３１のみを示す）が設けられており、また、各メインフレーム３１の内側にも一対のサイドフレーム３３（図５には、紙面奥側のサイドフレーム３３のみを示す）が設けられている。各メインフレーム３１の間にはリール軸３５が回転可能に支持されており、かかるリール軸３５にはフィルム供給テープ６がロール状に巻回されている。また、各メインフレーム３１の間には、後述するように、フィルム供給テープ６から粘着フィルム５が剥離された後のベースフィルム３を巻き取るための巻取軸３９が支持されている。
【００３６】
そして、各サイドフレーム３３の間には、フィルム供給テープ６の上流側からその移送方向に沿って、一対の繰出ローラ４５、ガイドローラ４７、ガイドローラ４９、一対の引出ローラ５１、３つのガイドローラ５３、５５、５７が回転可能に配設されている。ここに、繰出ローラ４５の一方は、図示しないモータを介して回転駆動され、これによりフィルム供給テープ６はリール軸３５から繰り出される。繰出ローラ４５はこの発明におけるテープ移送手段に相当する。
【００３７】
ここで、フィルム供給テープ６の構成について図６に基づき説明する。図６はフィルム供給テープ６を拡大して模式的に示す説明図である。図６において、フィルム供給テープ６は、連続帯状の無色透明フィルムからなるベースフィルム３に、その長手方向に所定の間隔をもって無色透明の粘着フィルム５を貼付けることにより構成されている。
【００３８】
繰り出しローラ４５の回転によりリール軸３５から繰り出されたフィルム供給テープ６は、ガイドローラ４７の上部に配設された粘着フィルム位置検出器１によりフィルム供給テープ６上の粘着フィルム５の後端部が検出されることで繰り出しローラ４５のモータの回転が止められ、フィルム供給テープ６の移送が止められる。ここで、粘着フィルム５の後端部を検出するために、フィルム供給テープ６の上流側から光を照射するように照明器７が配設され、照明器７から照射された光が粘着フィルム５の後端で反射した散乱光を撮像するために粘着フィルムとは垂直の向きにＣＣＤカメラ１１が配設されている。また、ＣＣＤカメラ１１とは対向してベースフィルム３の背面には黒色で艶無しのプレート１３が配設されている。
【００３９】
さらに、本実施例では、ベースフィルム３に貼付けられた粘着フィルム５の長手方向の位置合わせを行うために、長手方向の位置ズレも検出することを目的とする。つまり、粘着フィルム位置検出器１により、フィルム供給テープ６の移送が止められ、さらに、粘着フィルム５のベーステープ長手方向（Ｙ方向）の位置ズレΔＹも検出する。そして、この位置ズレは貼付テーブル２９の位置を修正することで位置補正される。また、ベースフィルム３に粘着フィルム５を貼付ける時にベースフィルム３と粘着フィルム５はＸ方向の位置合わせがされており、ベースフィルム３は他の位置合わせの方法にて半導体基板に対してＸ方向の位置決めがされているので、幅方向（Ｘ方向）の位置ズレΔＸはないものとする。
【００４０】
そして、フィルム供給テープ６は、ナイフエッジ状に形成されたガイド部材４３の先端で折り返された後、巻取軸３９に向かって移送される。ここに、フィルム供給テープ６がガイド部材４３の先端で折り返された際に、粘着フィルム５は、ベースフィルム３から剥離される。ガイド部材４３はこの発明におけるフィルム剥離手段に相当する。
【００４１】
また、ガイド部材４３の先端における近傍位置には、貼付ローラ５９が上下動可能に配設されている。粘着フィルム５の貼付け動作時に、貼付ユニット２３がレール５に沿って貼付テーブル２９側に移動されて前記のようにベースフィルム３から剥離された粘着フィルム５が貼付テーブル２９上の半導体基板２７における貼付け開始位置にセットされる。そして、貼付ローラ５９はエアーシリンダ６１により下方へ移動されて粘着フィルム５の剥離された先端部を押圧し、これにより貼付ユニット２３の移動に伴って粘着フィルム５を半導体基板２７の表面に貼付ける。
【００４２】
さらに、ガイド部材４３を介して粘着フィルム５が剥離された後のベースフィルム３は、一対の引出ローラ５１（下側の引出ローラ５１が回転駆動される）を介して引き出され、各ガイドローラ５３、５５、５７によりガイドされつつ巻取軸３９に巻き取られていく。なお、巻取軸３９は、前記した繰出ローラ４５、引出ローラ５１と同期して回転駆動される。
【００４３】
＜粘着フィルムの検出方法＞
続いて、前記のように構成されたフィルム貼付装置２１の駆動システムおよび粘着フィルムの検出方法について図７、図８、図９を参照して説明する。
【００４４】
《ステップＳ１》
図７において、操作パネル６３にて貼付け開始の指示がされることで貼付け開始の信号がメインＣＰＵ６５に送られる。そして、メインＣＰＵ６５からモータドライバ６７へ動作信号が送られ、モータドライバ６７が回転駆動することで繰出ローラ４５が回転し、フィルム供給テープ６が移送される。そして、フィルム供給テープ６上に貼付けられた粘着フィルム５がガイド部材４３に向かって移送される。このとき、ＣＣＤカメラ１１で撮像される画像はメインＣＰＵ６５を通してモニター６９に写し出される。粘着フィルム５の前端部からの散乱光による反射光は、粘着フィルム５の表面での正反射および粘着フィルム５内の透過による減衰により後端部での反射光に比べ光量が小さいので、メインＣＰＵ６５にて検知されない。この、フィルム供給テープ６が移送されている時のモニター６９に映し出される画像は、図９（ａ）に示すように画面全体が黒色である。ここで、図９の各画像はモニター６９に映し出される画像であり、１点鎖線の線は粘着フィルム５の基準線７１を、２点鎖線はモータドライバ停止線７３を表示している。
【００４５】
フィルム供給テープ６がガイド部材４７に向けて移送され、粘着フィルム５の後端部がＣＣＤカメラ１１の視野内に移送されると、図９（ｂ）に示されるように、モニター６９上に粘着フィルム５の後端部からの反射光線７５が映し出される。
【００４６】
《ステップＳ２》
そして、図９（ｃ）に示されるように、反射光線７５がモータドライバ停止線７３上を通過したことをメインＣＰＵ６５が検出する。そして、メインＣＰＵ６５からモータドライバ６７へ繰出ローラ４５のモータの駆動停止の信号が送られる。
【００４７】
《ステップＳ３》
モータドライバ６７のモータが停止することで、繰出しローラ４５が停止し、これと同期して引出ローラ５１と巻取軸３９が停止するのでフィルム供給テープ６の移送が停止される。ＣＰＵ６５からモータ駆動停止の信号が送られてから、フィルム供給テープ６が停止されるまである程度移送される。このとき、停止された粘着フィルム５の後端部からの反射光が基準線７１上になるように、予めモータドライバ停止線７３の設定をしておく。そして、図９（ｄ）に示すように基準線７１上に粘着フィルム５の後端部からの反射光線７５がモニター６９上に映し出される。
【００４８】
このとき、粘着フィルム５の後端部はＣＣＤカメラ１１に撮像されている位置にあるが、粘着フィルム５の前端部はベースフィルムから剥離され、図６に示されるように、所定の長さだけガイド部材４３からはみ出している。
【００４９】
《ステップＳ４》
フィルム供給テープ６が停止後、図９（ｅ）に示されるように、基準線７１と粘着フィルム５の後端部からの反射光線７５が重ならずにずれてモニター６９上に表示される場合、メインＣＰＵ６５は両線のズレΔＹをモニター６９のドット数を計数して、位置ズレΔＹを計算する。
【００５０】
《ステップＳ´１》
上記フィルム供給テープ６の移送に伴い、半導体基板２７がカセット台（図示省略）より取り出されて、アライナ（図示省略）上に供給される。アライナにおいては、搬入された半導体基板２７の心合わせが行われる。
【００５１】
《ステップＳ´２》
位置合わせの完了した半導体基板２７は貼付テーブル２９上に移載される。
【００５２】
《ステップＳ´３》
メインＣＰＵ６５は粘着フィルム５のＹ方向のズレ量ΔＹのデータに基づいて、位置修正信号が貼付テーブル２９に送られ、貼付テーブル２９がＹ方向に位置修正される。
【００５３】
《ステップＳ５》
貼付ユニット２３がレール５に沿って貼付テーブル２９側に移動されて、ベースフィルム３から剥離された粘着フィルム５が貼付テーブル２９上の半導体基板２７における貼付け開始位置にセットされる。
【００５４】
《ステップＳ６》
貼付ローラ５９はエアーシリンダ６１により下方へ移動されて粘着フィルム５の剥離された先端部を押圧し、これにより貼付ユニット２３の移動に伴って、繰出しローラ４５、および引出ローラ５１、並びに巻取軸３９が回転し、粘着フィルム５を半導体基板２７の表面に貼付ける。
【００５５】
そして、半導体基板２７に粘着フィルム５が貼付けられると、再びフィルム供給テープ６の移送が再開される（ステップＳ１）。
【００５６】
上記のように構成した粘着フィルム貼付装置２１によれば、粘着フィルムの端部に対して斜め方向から光を照射し、その端部より散乱反射した反射光を粘着フィルムの垂直方向に設置されたＣＣＤカメラ１１にて撮像する。粘着フィルム５の背景には黒色のプレート１３が配置されているので、粘着フィルム５の端部のみが反射光により白く映し出される。この端部のラインを基に粘着フィルム５の位置決めを行う。粘着フィルム５の端部からの反射光を利用するので、粘着フィルム５およびベースフィルム３の着色の有無または色の濃さに関係なく正確な位置決めをすることができる。
【００５７】
また、粘着フィルム５の位置検出器１は粘着フィルム５とベースフィルム３に接触することなく粘着フィルム５の端部を検出することができるので、粘着フィルム５を損傷または汚染するおそれがない。このため、半導体基板２７に清浄な粘着フィルム５を貼付ることができる。
【００５８】
また、粘着フィルム５の端部を正確に検出することができるので、粘着フィルム５の位置測定誤差は５００μｍ以内で測定することができる。また、上述した実施例の粘着フィルム貼付装置２１では、粘着フィルム５の後端の位置ズレを検出して位置補正をした後、ただちに前端部から半導体基板２７に貼付けるので、半導体基板２７に貼付けられた粘着テープ５の貼付け誤差が格段に軽減される。
【００５９】
本発明は、上記実施例に限られず以下のような変形実施をしても良い。
【００６０】
（１）上述した実施例では、ベースフィルム３の長手方向の粘着フィルム５の位置ズレΔＹだけを検出していたがこれに限らず、もう一台粘着フィルム位置検出器を配設することで、ベースフィルム３の幅方向の粘着フィルム５の位置ズレΔＸを検出してもよい。
【００６１】
（２）上述した実施例では、粘着フィルム位置検出器１により検出した粘着フィルムの位置ズレΔＹを貼付テーブルにて位置補正を行ったが、アライナにて位置補正をしてもよい。
【００６２】
（３）上述した実施例では、半導体基板のθ方向のズレは検出していなかったが、オリフラまたはノッチ部分をさらなるＣＣＤカメラで撮像することで粘着フィルムのθズレも検出し、アライナにて修正してもよい。
【００６３】
（４）上述した実施例では、粘着フィルム貼付装置２１の構成部品の配置上、粘着フィルム５の後端検出としたが、粘着フィルム位置検出器１の配設スペースが確保できれば粘着フィルム５の前端検出としてもよい。
【００６４】
（５）上述した実施例では、粘着フィルム５の一枚ごとの位置ズレを検出していたが、最初の粘着フィルム５の位置決めだけを行い、２枚目以降は、粘着フィルム５間の間隔分だけ繰出しローラ４５でフィルム供給テープ６を送りだすようにメインＣＰＵ６５にて制御してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】実施例に係る粘着フィルム位置検出器の概略縦断側面図である。
【図２】粘着フィルムの端部にて散乱反射された光を撮像するのを示す説明図である。
【図３】実施例に係る粘着フィルム位置検出器より得られる画像を示す説明図である。
【図４】実施例に係る粘着フィルム貼付装置の概略正面図である。
【図５】実施例に係る粘着フィルム貼付ユニットの概略正面図である。
【図６】実施例に係る粘着フィルムの折り返し部を示す概略斜視図である。
【図７】実施例に係る粘着フィルム貼付装置の駆動システムを模式的に示す説明図である。
【図８】実施例に係る粘着フィルム貼付装置の動作を示すフローチャート図である。
【図９】フィルム供給テープからの反射光を撮像して得られる画像を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６６】
１  …  粘着フィルム位置検出器
３  …  ベースフィルム
５  …  粘着フィルム
６  …  フィルム供給テープ
７  …  照明器
９  …  調光器
１１  …  ＣＣＤカメラ
１３  …  プレート
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図３】
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