(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスをポンプ入口からポンプ出口までポンピングするための真空ポンプであって、ローターと、ステーター本体とを有し、前記ローターは前記ステーター本体内で回転するようになっており、少なくとも２つの分子吸収段を更に有し、これらの分子吸収段は各々、隣接した定置ホルウェックシリンダーと回転ホルウェックシリンダーとを有し、前記定置ホルウェックシリンダーは前記ステーター本体に取付けられ、前記回転ホルウェックシリンダーは前記ローターに取付けられ、前記定置ホルウェックシリンダーと前記回転ホルウェックシリンダーとの間に、前記定置ホルウェックシリンダー又は前記回転ホルウェックシリンダーの何れかに取付けられたねじ山状直立螺旋フランジが位置決めされ、前記ポンプ入口に最も近い分子吸収段は、その回転ホルウェックシリンダーに前記ねじ山状フランジを有し、それに続く全ての分子吸収段は、その定置ホルウェックシリンダーにねじ山状フランジを有し、
前記ホルウェック段は半径方向の配置をなして構成され、ポンピングすべきガスが第１ホルウェックシリンダーからそれに続くホルウェックシリンダーへ外方に流れるようになっている、真空ポンプ。
【請求項２】
ポンプの出口端の上流側に再生段を更に有し、ポンピングされたガスが分子吸収段のガス排出に続いて前記再生段に入るようになっており、
前記再生段は、前記ローターの片面、両面又は周縁に少なくとも１つの環状アレイをなして前記ローターと同心に位置決めされたブレードを有する、請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記ローターは、その１つの面に少なくとも２つの同心環状アレイをなして位置決めされたブレードを有し、前記ステーターは環状アレイの数に対応する数のチャンネルを有し、前記ブレードは前記チャンネルの中で回転できる、請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記ブレードはほぼ軸線方向に延びる、請求項３に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
排出すべきガス流を、それがポンプの中心部に向って排出するように最も外側のアレイから最も内側のアレイまで生じさせ、個々のチャンネルの断面積は最も外側のチャンネルから最も内側のチャンネルまで徐々に減少する、請求項３又は４に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記ローターはその片面又は両面に少なくとも５つ又は６つのアレイを有する、請求項２乃至５の何れか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
前記第１分子吸収段の回転ホルウェックシリンダーは、それに続くホルウェック段のねじ山状フランジよりも全体的として大きい半径方向フランジ深さのねじ山状フランジを有する、請求項１乃至６の何れか１項に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
前記第１ホルウェック段のねじ山状フランジは、ねじ山ピッチ及び／又はねじ山チャンネル深さが変えられる、請求項１乃至７の何れか１項に記載の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空ポンプに関し、更に詳細には、好ましくは再生作動モードに接続された、分子吸収作動モードを採用するポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ローターがステーター本体内を高速、例えば１分間当たり１万回転(10,000 rpm)で回転し、ローターは、その周縁又は、変形例としてその周側面の何れかに環状アレイ(array)をなして位置決めされた一連のブレードを有し、ステーターは環状チャンネルを有し、ブレードは環状チャンネル内を回転し、環状チャンネルは、「ストリッパー」として知られているチャンネルのうちのわずかな部分以外、個々のブレードよりも大きい断面積を有し、「ストリッパー」は、ブレードに対する接近した隙間を設けるように小さい断面を有する、再生モードで作動する真空ポンプ及び／又はコンプレッサーが知られている。
【０００３】
そのようなポンプの使用中、ポンピング(pumping)すべきガスは、ストリッパーの一端に隣接して位置決めされた入口を経て環状チャンネルに入り、回転ローターのブレードによって環状チャンネルに沿って推進され、ついにはストリッパーの他端にぶつかり、次いで、ストリッパーの他端に位置した出口から推し出される。そのような作動モードを採用するポンプ／コンプレッサーは比較的少ない流量で高い圧縮比をもたらすことができることが知られている。しかしながら、これらのポンプは連続体流れ条件でポンピングするのに最も良く適しており、そのようなポンプの場合、直列に追加した過渡的及び／又は分子的な流れに適した真空ポンプの使用に頼ることなしに、十分に高い最高真空及びポンピング速度を得難いことがある。
【０００４】
出願人の先行の欧州特許出願第0 805 275A号には、特定のローターと関連した多段ポンピング作用を通じて実質的により高い圧縮が得られる真空ポンプが記載されている。
【０００５】
この出願人の先行欧州特許出願では、ローターとステーター本体とを有し、ローターはステーターの中で回転するようになっており、ローターは、その１つの側面に環状アレイをなして位置決めされた一連のブレードを有し、ステーターは環状チャンネルを有し、ブレードは環状チャンネル内を回転し、環状チャンネルは、そのうちのわずかな部分以外、個々のブレードよりも大きい断面積を有し、前記わずかな部分は、ブレードに対する接近した隙間を設けるように小さい断面を有する再生型真空ポンプであって、ローターはその側面に同心環状アレイをなして位置決めされた少なくとも２連のブレードを有し、ステーターはこれらのブレードの連数に対応する数のチャンネルを有し、環状アレイのブレードはチャンネル内を回転し、ポンピングによって排気されるガスが通過できる連続通路を形成するために、これらのチャンネルを連通させる手段が設けられている、再生型真空ポンプが開示されている。
【０００６】
先行欧州特許出願のポンプが、
i)    独立した個々の真空ポンプとして、採用されても良いし、
ii)   ターボ分子ポンプ又は分子吸収ポンプのような他の真空ポンプに接続されて、採用されても良いし、
iii)  異なる種類の段、例えば分子吸収段を更に有する、より大きい複合真空ポンプの構成部分として、
採用されても良いことが更に開示されている。
【０００７】
特に、先行欧州特許出願による再生段、並びに、例えば「ホルウェック」段として知られている１つの種類の分子吸収段を有する複合ポンプが特に有用であることが開示されている。
【０００８】
ホルウェック段では、一つおきの定置及び回転同心中空シリンダー、並びに、隣接した中空シリンダー間の隙間にわたって実質的に延びる螺旋構造体を形成するねじ山状直立フランジが設けられ、このフランジは回転中空シリンダー又は定置中空シリンダーの何れかに取付けられている。
【０００９】
そのようなポンプ、特に再生／分子吸収複合ポンプが、一般的には、比較可能な真空ポンプで利用できるよりも高い最高真空並びに比較的高い圧縮比をもたらすことができることが分かった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
それにもかかわらず、出願人の先行欧州特許出願のポンプは、ある環境では、十分に高いポンピング能力が必ずしも達成されない不利益を被る。
【００１１】
本発明は、この不利益及びその他の不利益を取除いた修正デザインの真空ポンプ関する。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、ガスをポンプ入口からポンプ出口までポンピングするための真空ポンプであって、ローターと、ステーター本体とを有し、ローターはステーター本体内で回転するようになっており、少なくとも２つの分子吸収段を更に有し、これらの分子吸収段は各々、隣接した、定置ホルウェックシリンダーと回転ホルウェックシリンダーとを有し、定置ホルウェックシリンダーはステーター本体に取付けられ、回転ホルウェックシリンダーはローターに取付けられ、定置ホルウェックシリンダーと回転ホルウェックシリンダーとの間に、定置ホルウェックシリンダー又は回転ホルウェックシリンダーの何れかに取付けられたねじ山状直立螺旋フランジが位置決めされ、ポンプ入口に最も近い分子吸収段は、その回転ホルウェックシリンダーに取付けられたねじ山状フランジを有し、それに続く分子吸収段は、その定置ホルウェックシリンダーに取付けられたねじ山状フランジを有する、真空ポンプが提供される。
【００１３】
本発明の基本的特徴は、最初のホルウェック段、即ちポンプ入口に最も近いホルウェック段の回転ホルウェックシリンダーのねじ山状フランジの存在にある。この特徴が、引続くホルウェック段におけるフランジの逆の位置決めと組合わされることにより、ポンプがより高い(入口)圧力における高いポンピング能力及び圧縮と低動力消費とに特に関連した優れた特性を全体として有することが可能である。
【００１４】
加えて、ホルウェック段が半径方向の配置をなして構成されること、特に、ポンピングされるガスが第１ホルウェックシリンダーからそれに続く半径方向に配列されたホルウェックシリンダーに半径方向外方に流れるようになっていることは極めて有利である。そのようなポンプの更なる利益は、
i)    連続体流れにおいて、比較可能な外径のホルウェックシリンダーを軸線方向に配列したものよりも低い動力消費、
ii)   ローターをポンプ本体に組立て、それをポンプ本体から分解することができること、及び
iii)  ポンプ全体のコンパクトさ、
を含む。
【００１５】
本発明のポンプは又、好ましくは、ポンプの出口端の方に再生段を更に含み、ポンピングされるガスが分子吸収段のガス排出に引続いて再生段に入るようになっている。好ましくは、再生段は、ローターの片面、両面又は縁に環状アレイをなして位置決めされた一連のブレードを有する。
【００１６】
好ましい実施形態では、ローターは、ローターの１つの面に同心環状アレイをなして位置決めされた少なくとも２連のブレードと、これらのブレードの連数に対応する数のチャンネルとを有し、ブレードのアレイはこれらのチャンネルの中を回転することができる。
【００１７】
そのような実施形態では、ブレードがほぼ軸線方向に延びているのが有利である。好ましくは、ローターは、ブレードのアレイが位置決めされる側面がブレードのアレイを受入れるための実質的に平らな面をなすように形作られ、普通、この平らな面はローターの主軸線に対して半径方向に配向される。一般的には、ブレードのアレイ間のこの平らな面は、この面に対応するステーターの環状平面と協働して、ブレードのアレイ間に面シールをつくる。
【００１８】
適当であるならば、本発明は又、ブレードの少なくとも２つのアレイがローターの各側面にある可能性を有し、好ましくは、各側面は、これらのアレイを受入れるための実質的に平らな面をなす。
【００１９】
好ましい実施形態では、ローターは、その片面又は両面に少なくとも５つ又は６つのアレイを有する。
【００２０】
各アレイの個々のブレードは、一般的には、ローターに対して半径方向に配列される。各ブレードは実質的に平らであっても良いし、或いは、少なくとも一部分が、凹面をローターの移動方向に向けた弧形であっても良く、後者はポンピング効率を助けるのに好ましい。
【００２１】
ブレードとストリッパーとの間の「シール形成(sealing)」を改善するために、ストリッパーと協働するブレード縁が、尖った又は丸みを付けた端ではなく、平らな面を有するのが好ましい。
【００２２】
典型的には、各アレイは少なくとも約１０個、好ましくは少なくとも５０個のブレードを有する。一般的には、ブレードは各アレイについて約１５０個に及ぶのが有用である。好ましくは、チャンネルの主部分の断面積は、ブレードの半径方向横断面積の３乃至６倍である。
【００２３】
本発明に従って環状アレイをなす１連以上のブレードをローターの表面に有することは、種々の利点及び好機をもたらす。
【００２４】
第１に、排気されるガス流を、それがポンプの中心部に向って排出するように最も外側のアレイから最も内側のアレイまで生じさせるならば、ポンプシャフトに対して一連の同心アレイをなすブレード及びこれらのブレードに対応するチャンネルの配列は固有の容積圧縮比をもたらすことができる。個々のチャンネルの断面積が最も外側のチャンネルから最も内側のチャンネルまで徐々に減少するならば、この効果は増大する。例えば、６つのそのようなアレイを有するポンプでは、最も内側のチャンネルの断面積は、最も外側のチャンネルの断面積の６分の１乃至２分の１の程度のもので良い。
【００２５】
第２に、ブレード／チャンネルの同心アレイにより、ブレードの多段軸線方向アレイを備えたポンプよりも全体として軸線方向に短いポンプを見込める。
【００２６】
第３に、特に、ガス流が外側のチャンネルから内側のチャンネルまでアレイをなすならば、軸線方向負荷を減少させることができる、というのは、そのような配列における最高圧力部はポンプの中心部にあり、より小さい領域にしか作用しないからである。
【００２７】
第４に、ブレードの各アレイがローターの表面に存在する隆起リング上に取付けられており、ブレードに対応するステーターチャンネルがチャンネルの中を通るブレードの回転を可能にするためにブレードの周りに存在するけれども、ステーターと隆起リングの湾曲面との間に比較的厳密な公差を備えている特に好ましい特徴の使用は、ローターとステーターとの間の半径方向のシール形成の機会をもたらす。
【００２８】
分子吸収段では、回転シリンダーを再生段の回転ローターと同じシャフトに取付けたホルウェックシリンダーを軸線方向に配列することが特に有用であることが分かった。
【００２９】
ローターブレードがローターから全体的に軸線方向に垂下する本発明の再生ポンプ段に関連して、ホルウェックシリンダーの軸線方向配列が好ましい。ローターの再生ブレードとの組合わせでは、半径方向に介在したステーター部分がないポンプが形成され、それにより、ポンプの容易な組立及び分解を可能にする。
【００３０】
そのようなことに関連して、一方のポンプ段がローターの片側にあり、他方のポンプ段がローターの反対側にあるのが好ましい。この特徴は、全体として、より小さくて軽量のポンプの可能性をもたらす。
【００３１】
ホルウェック段は、ごく一般的には、ポンプの(高真空即ち低圧力の)入口端にあり、ガスを最も内側のシリンダーから入れることによって、ホルウェックシリンダーのかかる軸線方向配列が、全体として、ポンプにとって自然な入口をもたらすことが分かった。ホルウェック段のガス流が中心部から外方に配列され、再生段のガス流が外周部から内方に配列されるのが有利であり、それにより、全体としてバランスのとれた効率的なポンプになる。
【００３２】
組合わされた再生／ホルウェックポンプでは、有利なことには、全体的な設計は単一ピースローターに適しており、単一ピースローターは、軽金属又は合金、例えばアルミニウムで作られるのが有用である。
【００３３】
好ましい実施形態では、第１分子吸収段の回転ホルウェックシリンダーは、それに続くホルウェック段のねじ山状フランジよりも大きい半径方向フランジ深さのねじ山状フランジを有する。これにより、全体的には、より大きいポンピング能力を見込める。その上、有利なことには、第１ホルウェック段のねじ山状フランジは、可変ねじ山ピッチ及び／又は可変ねじ山チャンネル深さを有している。可変ねじ山ピッチと可変ねじ山チャンネル深さのうちの一方又は両方の存在により、全体的には、低(入口)圧力時の適当な性能と組合わされた、ポンプを特に高(入口)圧力作動で作動させる際、少ない動力消費を見込める。回転可能なホルウェックフランジと深いねじ山即ちチャンネル深さとを有する組合わせにより、低入口圧力での良好な性能と組合わされた、ポンプを特に高入口圧力作動で作動させる際の低動力消費を見込める。
【００３４】
これらの好ましい実施形態では、ねじ山ピッチは、それがポンプの入口から離れる方向に徐々に減少するように変えられるのが有利であり、また、ねじ山深さは、それがポンプの入口から離れる方向に徐々に減少するのが有利であり、その結果、ねじ山ピッチ及びねじ山深さは段への入口で高ポンピング能力をもたらす。
【００３５】
特に、半径方向に配列されたホルウェックシリンダーを有し、ポンプの作動中にポンピングされるガスが中心に位置決めされた入口からホルウェック段を通ってほぼ半径方向外方に推進され、例えばブレードをローターの面にホルウェック段からほぼ離れる向きに配列した再生段がホルウェック段の軸線方向下方に位置決めされ、その結果、特に再生段が同じように半径方向に配列された、本発明のポンプは、全体的にコンパクトなデザインのものであり、加えて、異なる構造モジュールに利用できるように作られる利点を有する。
【００３６】
例えば、基準プラットフォームモジュールは簡単なローターディスクを有し、再生段のブレードがこのローターディスクの下面に垂下し、定置のフランジ付きホルウェックシリンダーと回転するフランジ無しホルウェックシリンダーとを有するホルウェック段がこのローターディスクの上面に軸線方向に延びている。
【００３７】
第２モジュールは、回転可能でフランジ無しシリンダーを有する追加のホルウェック段を有し、それに続くモジュールは、回転可能なフランジ無しホルウェックシリンダーを更に有する。
【００３８】
最後のモジュールは本発明による完成ポンプを有し、この完成ポンプは、回転可能なフランジ付きのシリンダーをポンプ入口の最も近くに有するホルウェック段を更に有し、このフランジ付きシリンダーは、好ましくは、ピッチ及び／又はフランジ深さが可変である。
【００３９】
本発明のより良い理解のために、添付図面が例示としてのみ参照される。
【００４０】
【発明の実施の形態】
図面、特に最初に図１を参照すると、全体的に参照番号１で指示する再生段と、全体的に参照番号２で指示する分子吸収(ホルウェック)段とを有する本発明の真空ポンプが示される。
【００４１】
真空ポンプは、多数の異なる部分で作られたステーター本体３を有し、これらの異なる部分は互いにボルト止めされ(又はその他の方法で固定され)、異なる部分の間に関連シールを備える。
【００４２】
長手方向軸線を中心に回転するようになっているシャフト４がステーター本体３に取付けられ、シャフト４は、このシャフト４をそれ自体既知の仕方で包囲する電気モーター(図示せず)によって駆動される。
【００４３】
再生段に関しては、ローター６がボルト手段５によってシャフト４に固着されるように取付けられる。ローター６は、ほぼ円形ディスクの形態をなし、(図示のように)その下面は実質的に平らな面をなし、この下面に、ローターの中心点の周りにローター上に対称に位置した複数(６つ)の隆起リング７、８、９、１０、１１、１２が下面と一体に位置決めされる。ブレードＢの一連の等間隔アレイが隆起リングの各々に取付けられ、例えば、ブレードの同心環状アレイを形成するように、各アレイに１００個のブレードが取付けられる。
【００４４】
各リングの幅及びそれに対応する各リングのブレードの寸法は、最も外側のリング７から最も内側のリング１２まで徐々に減少する。ブレードの各々はわずかに弧形であり、その凹形側面はローターの移動方向に向いている。
【００４５】
ステーター本体は(図示のように)その上面に「鍵穴」形横断面の６つの円形チャンネルＣを有し、円形チャンネルＣは、矩形断面の(図示のような)上側部分が６つの隆起リング７、８、９、１０、１１、１２を接近して収容する寸法のものであり、円形断面の(図示のような)下側部分は、関連した隆起リングに対応するブレードを収容し、ブレードの断面積はチャンネルの円形断面部分の断面積の約６分の１である。
【００４６】
この一般的な種類の再生作動モードのすべてのポンプに関して、各チャンネルＣ(この場合では、チャンネルＣの円形断面部分)は、チャンネルの弧状方向長さが短い、例えば１ｃｍの部分にわたって、チャンネルＣの中に収容されるブレードの形状寸法とほぼ同じ形状寸法の縮小断面積(図示せず)を有する。各チャンネルのこの縮小断面部分は、使用中、このチャンネルを通り抜けるガスを次の(内側の)チャンネル内への排出(図示せず)によって向きを変えるように推進させる「ストリッパー」を形成する。
【００４７】
隆起リングへのブレードの取付けを含む上述の構成は、本構成がローターとステーターとの間の半径方向のシール形成並びに以前から採用されている軸線方向のシール形成を備える点における改良を表す。この側面では、半径方向のシール形成は隆起リング７、８、９、１０、１１、１２の側面と、これらの隆起リングと関連したチャンネルの矩形断面部分の隆起リングに対応する側面、特に示すように、最も外側の側面との間に起こる。
【００４８】
ホルウェック段２に関しては、このホルウェック段は、一般的には、ステーター本体３の上側部分に形成される。
【００４９】
シャフト４と関連した軸線方向に配向された２つ１組の中空環状シリンダー１３、１４が上側本体部分３から垂下し、ホルウェック段用のステーターを形成する。
【００５０】
又、シャフト４と関連した軸線方向に配向された３つ１組の同心中空シリンダー１５、１６、１７が、(図示のように)それらの下端が回転ローター６の上面に固着され、従って、これらの同心中空シリンダーは回転ローター６と共に回転するようになっている。これら３つのシリンダーのうちの２つのシリンダー１６、１７はローター６と一体に形成される。残りのシリンダー１５はボルト１８、１９によってローター６に固定される。
【００５１】
５つのホルウェックシリンダーの各々は、ポンプの主軸線を中心に対称的に取付けられ、一方の組のシリンダーは他方の組のシリンダーと図１に示す仕方で交互配置されており、それにより、各隣接したシリンダー間に均一な隙間を形成する。
【００５２】
各隣接したシリンダー間の隙間に、ねじ山状直立フランジが位置し、この直立フランジは、上記隙間にわたって実質的に延びる螺旋構造体を形成する。これらのフランジは、図２にもっと明瞭に示すように、本体部分３の１つの内面と、定置シリンダー１３、１４（シリンダー１３の両面）と、回転可能なシリンダー１５の外面とに取付けられる。ポンプ性能を高めるために、これらのフランジ部分のいくつか又は全部は、可変ピッチ及び／又は可変フランジ深さのものである。各シリンダーのフランジは連続するフランジでも良いし、或いは、例えば図２に示すように、螺旋構成全体を集合的に形成する多数のフランジを有しても良いことに気付かれるであろう。
【００５３】
回転可能なシリンダー１５に関しては、回転可能なシリンダー１５に取付けられたねじ山状直立フランジ２０は、可変ピッチ及び可変フランジ深さのものであり、他のホルウェック段のフランジよりも全体として大きいフランジ深さのものである。ピッチ及びフランジ深さは連続的な仕方で軸線方向に変えられるのが好ましく、ポンプ入口での最適なポンピング性能をもたらすように選択される。
【００５４】
本発明のポンプの基本的特徴は、最初のホルウェック段用の直立フランジ２０が回転可能なシリンダー１５上に位置しており、次のホルウェック段用のねじ山すなわち直立フランジがこの段と関連した定置のホルウェックシリンダー上に位置していることにある。ねじ山すなわち直立フランジを取付けたホルウェックシリンダー１５の回転は、少量の余分な高圧力動力の負担で高い入口ポンピング能力をもたらし、シリンダー１３、１４上の次のホルウェックねじ山の存在は、高圧縮及び少ない動力消費をもたらす。かくして、ポンプ全体の設計は、低動力と高ポンピング性能の良好な折り合いをもたらす。
【００５５】
シャフト４及びローター６を高速度で回転させたポンプの使用中、ガスは本体部分３の入口２１に引かれ、隣接したホルウェックシリンダー１４、１５間の隙間の中に引かれる。次いで、ガスは、シリンダー１５の直立フランジ２０によって形成された螺旋体を下方に進み、そこから、シリンダー１４、１６間の隙間を上方に進み、ついには、リンダー１７と本体部分３の内面のねじ山との間の隙間を下方に進む。次いで、ガスは、図示していない排出口から隆起リング７と関連したチャンネルの円形断面部分に進み、そこから、隆起リング８、９、１０、１１、１２と関連したチャンネルの中を(この順番に)それぞれのストリッパーの作用によって進み、ついには、本体部分３の出口ボア(図示せず)を経てポンプから排気される。
【００５６】
従って、ガス流は、分子吸収(ホルウェック)段では、ほぼ半径方向外向きであり、再生段では、ほぼ半径方向内向きであり、それにより、バランスのとれた効率的なポンプになる。これにより、一般的には、ポンプの高圧領域と低圧領域との間の複数の動的シールを設ける必要をなくすことができる。
【００５７】
ローターを、本体３の上側ねじ山状部分の分解を含む本体部分３からの取外しによって保守のために簡単に軸線方向に取外すことができるおかげで、図面と関連して説明した装置は又、容易に組立てられ／分解されることができる。
【００５８】
本発明のポンプは、ポンプを異なる構造モジュールに利用できるように作ることができる利点をもたらす。これに関して、図３、４及び５はそのようなモジュールの例を示す。
【００５９】
図３は、本体部分３と回転可能なシリンダー１７とによって形成されたホルウェック段だけを表し、より小さいポンプ入口を追加の本体部分２２によって形成した１つの最も簡単なモジュールを特に示す。ポンプの作動の際、シリンダー１６が有用な目的を果さないことが認識されよう。
【００６０】
図４は３つのホルウェック段を備え、これらのホルウェック段は本体部分３及び(両面のフランジを含む)定置のホルウェックシリンダー１３と、回転シリンダー１６及び１７との間に形成されている。
【００６１】
図５は４つのホルウェック段を備え、これらのホルウェック段は本体部分３及び定置のホルウェックシリンダー１３、１４と、回転シリンダー１６及び１７との間に形成されている。このモジュールは又、十分なポンピング能力をもたらすために、図１のより広い孔２１、即ち、図３及び４の孔よりも広い孔を有し、この孔はホルウェックシリンダー１４と兼ねていても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】再生段とホルウェック段の両方を示す、本発明の真空ポンプの概略横断面図である。
【図２】図1のポンプの内側ホルウェックシリンダーの概略的な(等尺ではない)斜視図である。
【図３】図１に示した真空ポンプ用のプラットフォームモジュールである。
【図４】図１に示した真空ポンプ用の第２モジュールである。
【図５】図１に示した真空ポンプ用の更なるモジュールである。
【符号の説明】
Ｂ    ブレード
Ｃ    チャンネル
１    再生段
２    分子吸収(ホルウェック)段
３    ステーター本体
４    シャフト
６    ローター
７、８、９、１０、１１、１２  隆起リング
１３  中空環状シリンダー
１４  中空環状シリンダー
１５  中空シリンダー
１６  中空シリンダー
１７  中空シリンダー
２０  ねじ山状直立フランジ
２１  入口
【図１】
0004864198.tif 000002
【図２】
0004864198.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004864198.tif 000005
【図５】
0004864198.tif 000006