(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
デュアルダマシン構造を形成するために、レジスト膜層とその下側に形成された反射防止膜層からなる有機膜層と、この有機膜層の下層として形成されたシリコン酸化膜層とその下側のシリコン窒化膜層からなるトレンチ形成用のハードマスク層と、このハードマスク層の下層として形成された有機Ｌｏｗ−ｋ膜層と、を有する積層膜をエッチングする方法において、上記シリコン酸化膜層が上記窒化シリコン膜層上に配線パターン形成用のトレンチを有するハードマスクとして形成され、上記シリコン酸化膜層と上記トレンチにおいて露出する上記シリコン窒化膜層の上に上記レジスト膜層と上記反射防止膜層が形成され、更に、上記レジスト膜層に形成されたビアホール形成用のパターンを介して上記有機Ｌｏｗ−ｋ膜層の上部までビアホールが形成された状態で、上記レジスト膜層と上記反射防止膜層の双方をエッチングガスによって除去すると共に上記ビアホールから上記有機Ｌｏｗ−ｋ膜層をエッチングする際に、上記エッチングガスとして、Ｎ２ガス、Ｈ２ガス及びＣＨ３Ｆガスの混合ガス（Ｎ２／Ｈ２／ＣＨ３Ｆ）を用いることを特徴とするエッチング方法。
【請求項２】
デュアルダマシン構造を形成するために、レジスト膜層とその下側に形成された反射防止膜層からなる有機膜層と、この有機膜層の下層として形成されたシリコン酸化膜層とその下側のシリコン窒化膜層からなるトレンチ形成用のハードマスク層と、このハードマスク層の下層として形成された有機Ｌｏｗ−ｋ膜層と、を有する積層膜をエッチングする方法において、上記シリコン酸化膜層が上記窒化シリコン膜層上に配線パターン形成用のトレンチを有するハードマスクとして形成され、上記シリコン酸化膜層と上記トレンチにおいて露出する上記シリコン窒化膜層の上に上記レジスト膜層と上記反射防止膜層が形成され、更に、上記レジスト膜層に形成されたビアホール形成用のパターンを介して上記有機Ｌｏｗ−ｋ膜層の上部までビアホールが形成された状態で、上記レジスト膜層と上記反射防止膜層の双方をエッチングガスによって除去すると共に上記ビアホールから上記有機Ｌｏｗ−ｋ膜層をエッチングする際に、上記エッチングガスとして、ＮＨ３ガス、ＣＨ３Ｆガス及びＯ２ガスの混合ガス（ＮＨ３／ＣＨ３Ｆ／Ｏ２）を用いることを特徴とするエッチング方法。
【請求項３】
上記混合ガス（Ｎ２／Ｈ２／ＣＨ３Ｆ）は、ＣＨ３Ｆ／（Ｎ２＋Ｈ２）の流量比が１／１８００〜１０／１８００であることを特徴とする請求項１に記載のエッチング方法。
【請求項４】
上記混合ガス（ＮＨ３／ＣＨ３Ｆ／Ｏ２）は、Ｏ２／ＮＨ３の流量比が１０／１５００より大きく、３００／１５００より小さいことを特徴とする請求項２に記載のエッチング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エッチング方法に関し、更に詳しくは例えば多層配線形成工程において配線パターン形成用のレジスト層、反射防止膜層及び層間絶縁膜として用いられる有機Ｌｏｗ−ｋ膜層をエッチングする方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路の高集積化に伴い、多層配線構造を有する半導体装置の製造が急速に発展している。多層配線構造を有する半導体装置の場合には、水平方向に展開する各素子を接続するトレンチ配線と共に垂直方向に積層される各素子を接続するビアホール配線を形成する必要がある。このような多層の配線構造としてデュアルダマシン構造が採用されている。その際、集積回路の高速化を図るために、最近では、配線材料として低抵抗でエレクトロマイグレーション耐性に優れた金属として例えば銅等を用い、更に層間絶縁材料として低誘電率を確保できる有機Ｌｏｗ−ｋ材料として例えばＳｉＬＫ（米国ダウケミカル社の製品）等を用いる傾向にある。
【０００３】
さて、例えば図６の（ａ）〜（ｃ）はビアホール形成用のフォトレジスト層（ＰＲ層）を用いてデュアルダマシン構造のビアホールのショルダー部を形成する工程の一例を示している。デュアルダマシン構造を形成する場合には、同図の（ａ）に示すように、例えばウエハ上にシリコン酸化膜層（ＳｉＯ２膜層）１０１、シリコン窒化膜層（ＳｉＮ膜層）１０２、有機Ｌｏｗ−ｋ膜層（例えば、ＳｉＬＫ膜層）１０３、ＳｉＮ膜層１０４及び下層回路パターンの銅配線層（Ｃｕ層）１０５が形成されたＳｉＬＫ膜層１０６を形成する。ここで、ＳｉＯ２膜層１０１及びシリコン窒化膜層（ＳｉＮ膜層１０２）はそれぞれビア及びトレンチを形成するための第１のハードマスク層及び第２のハードマスク層として形成され、ＳｉＬＫ膜層１０３は層間絶縁膜層として形成され、下のＳｉＮ膜層１０４はビアホールを形成する際のストッパーとして形成されている。そして、最上層にはビアホール形成用のパターンを有するフォトレジスト膜層（ＰＲ層）１０７が形成されている。
【０００４】
そして、ＳｉＬＫ層１０３にビアホールを形成する場合には、ＳｉＮ膜層１０２及びＳｉＬＫ膜層１０３に対してエッチング性を有するガス（例えば、ＣＦ４ガス、Ａｒガス、Ｏ２ガスの混合ガス）を用いて図６の（ａ）に示すようにＰＲ層１０７のビアホールのパターン１０８に従ってＳｉＮ層１０２をエッチングした後ＳｉＬＫ膜層１０３を所定の厚さ例えば少なくともデュアルダマシン構造のショルダー部に相当する深さまでオーバーエッチングする（同図の（ｂ）参照）。引き続き、ＳｉＯ２膜層１０１、ＳｉＮ層１０２に対して高い選択比を示すエッチングガス（例えば、Ｎ２ガスとＨ２ガスの混合ガス）を用いてＰＲ層１０７をエッチング（アッシング）する工程がある。この工程では同図の（ｃ）に示すように、ＰＲ層１０７を除去すると共にＳｉＯ２膜層１０１、ＳｉＮ層１０２をハードマスクとしてＳｉＬＫ層１０３をエッチングしてビアホール１０８を更に掘り下げる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来はＮ２ガスとＨ２ガスの混合ガスを用いてビアホール形成用のＰＲ層１０７と層間絶縁膜層であるＳｉＬＫ層１０３を同時にエッチングすると、図６の（ｃ）に示すようにＳｉＯ２膜層１０１をエッチングして形成されたトレンチ部（ＳｉＮ膜層１０２）１１０上にレジスト残渣Ｄが残るため、その後のＳｉＮ膜層１０２のエッチング工程においてレジスト残渣によるＳｉＮ膜層１０２のエッチングの形状不良を生じその後のエッチングにおいてＳｉＬＫ膜層１０３のエッチング残渣の原因になるという課題があった。特に、ＰＲ層１０７の下層に有機膜層である反射防止膜層を設けた場合にレジスト残渣が顕著に残る傾向にある。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、配線形成工程においてレジスト膜層や有機層間絶縁膜層等の有機膜層をエッチングする際に、レジスト残渣を残さず、有機層間絶縁膜層を所望の形状にエッチングすることができるエッチング方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のエッチング方法は、デュアルダマシン構造を形成するために、レジスト膜層とその下側に形成された反射防止膜層からなる有機膜層と、この有機膜層の下層として形成されたシリコン酸化膜層とその下側のシリコン窒化膜層からなるトレンチ形成用のハードマスク層と、このハードマスク層の下層として形成された有機Ｌｏｗ−ｋ膜層と、を有する積層膜をエッチングする方法において、上記シリコン酸化膜層が上記窒化シリコン膜層上に配線パターン形成用のトレンチを有するハードマスクとして形成され、上記シリコン酸化膜層と上記トレンチにおいて露出する上記シリコン窒化膜層の上に上記レジスト膜層と上記反射防止膜層が形成され、更に、上記レジスト膜層に形成されたビアホール形成用のパターンを介して上記有機Ｌｏｗ−ｋ膜層の上部までビアホールが形成された状態で、上記レジスト膜層と上記反射防止膜層の双方をエッチングガスによって除去すると共に上記ビアホールから上記有機Ｌｏｗ−ｋ膜層をエッチングする際に、上記エッチングガスとして、Ｎ２ガス、Ｈ２ガス及びＣＨ３Ｆガスの混合ガス（Ｎ２／Ｈ２／ＣＨ３Ｆ）を用いることを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の請求項２に記載のエッチング方法は、デュアルダマシン構造を形成するために、レジスト膜層とその下側に形成された反射防止膜層からなる有機膜層と、この有機膜層の下層として形成されたシリコン酸化膜層とその下側のシリコン窒化膜層からなるトレンチ形成用のハードマスク層と、このハードマスク層の下層として形成された有機Ｌｏｗ−ｋ膜層と、を有する積層膜をエッチングする方法において、上記シリコン酸化膜層が上記窒化シリコン膜層上に配線パターン形成用のトレンチを有するハードマスクとして形成され、上記シリコン酸化膜層と上記トレンチにおいて露出する上記シリコン窒化膜層の上に上記レジスト膜層と上記反射防止膜層が形成され、更に、上記レジスト膜層に形成されたビアホール形成用のパターンを介して上記有機Ｌｏｗ−ｋ膜層の上部までビアホールが形成された状態で、上記レジスト膜層と上記反射防止膜層の双方をエッチングガスによって除去すると共に上記ビアホールから上記有機Ｌｏｗ−ｋ膜層をエッチングする際に、上記エッチングガスとして、ＮＨ３ガス、ＣＨ３Ｆガス及びＯ２ガスの混合ガス（ＮＨ３／ＣＨ３Ｆ／Ｏ２）を用いることを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の請求項３に記載のエッチング方法は、請求項１に記載の発明において、上記混合ガス（Ｎ２／Ｈ２／ＣＨ３Ｆ）は、ＣＨ３Ｆ／（Ｎ２＋Ｈ２）の流量比が１／１８００〜１０／１８００であることを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項４に記載のエッチング方法は、請求項２に記載の発明において、上記混合ガス（ＮＨ３／ＣＨ３Ｆ／Ｏ２）は、Ｏ２／ＮＨ３の流量比が１０／１５００より大きく、３００／１５００より小さいことを特徴とするものである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図５に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。図１は本発明のエッチング方法を実施する際に用いられるプラズマ処理装置を模式的に示す断面図である。このプラズマ処理装置は、図１に示すように、保安接地された処理容器（チャンバー）１と、このチャンバー１内に昇降可能に配設されたサセプタを構成する下部電極２と、この下部電極２の上方においてチャンバー１の天井部を形成し且つエッチングガスの供給部を形成する中空状の上部電極３と、この上部電極３の上面中央部のガス導入部３Ａに接続され且つ複数種のエッチングガスを供給するガス供給系４と、チャンバー１の排気部１Ｂに接続された排気装置（図示せず）とを備えた平行平板型として構成され、ガス供給系４からチャンバー１内に適宜のエッチングガスを供給すると共に排気装置を介してチャンバー１内を所定の真空度に保持しながら上下の両電極２、３の間でエッチングガスのプラズマを発生させ、下部電極２上のウエハＷをエッチングする。
【００２１】
上記下部電極２には例えば２ＭＨｚの第１の高周波電源５が整合器５Ａを介して接続され、第１の高周波電源５から下部電極２に対して所定の高周波電力を印加し、下部電極２上のウエハＷにバイアス電位を発生させる。上部電極３には例えば６０ＭＨｚの第２高周波電源６が整合器６Ａを介して接続され、第２の高周波電源６から上部電極３に対して所定の高周波電力を印加し、上述のように下部電極２と上部電極３の間でエッチングガスのプラズマを発生させる。
【００２２】
上記下部電極２の上面には電極板７Ａを内蔵するセラミック製の静電チャック７が配置され、電極板７Ａには例えば２．５ｋＶの高圧直流電源７Ｂが接続されている。そして、高圧直流電源７Ｂから電極板７Ａに直流高電圧を印加し、静電チャック７表面に発生したクーロン力でウエハＷを静電吸着する。下部電極２に上面には静電チャック７を囲むフォーカスリング８が配置され、フォーカスリング８を介して下部電極２のウエハＷ面にプラズマを集める。更に、下部電極２は冷却手段や加熱手段（共に図示せず）を内蔵し、これらの冷却、加熱手段を介して下部電極２を−２０℃から＋８０℃まで制御する。また、下部電極２及び静電チャック７にはヘリウムガス等のバックサイドガスを吐出するガス流路（図示せず）が形成され、このガス流路から静電チャック７上のウエハＷの裏面に向けてバックサイドガスを吐出し下部電極２とウエハＷとの間の熱伝達率を高める。また、上部電極３の下面全面には多数の吐出孔３Ｂが均等に分散して形成され、ガス供給系４から上部電極３内に導入されたエッチングガスを複数の吐出孔３Ｂからチャンバー１内全体に均等に供給する。尚、上部電極３は絶縁部材９を介してチャンバー１から絶縁されている。
【００２３】
上記ガス供給系４は、図１に示すように、複数種のエッチングガスを供給するガス供給源４１と、これらのガス供給源４１に対応する流量調整バルブ４２及び開閉バルブ４３とを備えている。本実施形態では例えば、ガス供給源４１は、Ｎ２ガス供給源４１Ａ、Ｈ２ガス供給源４１Ｂ及びＣＨ３Ｆガス供給源４１Ｃを有し、更に、ＮＨ３ガス供給源４１Ｄ、Ｏ２ガス供給源４１Ｅ及びその他のガス供給源４１Ｆを有している。また、流量調整バルブ４２は各ガス供給源４１Ａ〜４１Ｆに対応する流量調整バルブ４２Ａ〜４２Ｆを有し、開閉バルブ４３は各ガス供給源４１Ａ〜４１Ｆに対応するバルブ４３Ａ〜４３Ｆを有している。そして、エッチング対象に応じて各ガス供給源４１を適宜切り替えて所定のエッチングガスを供給する。
【００２４】
而して、本発明のエッチング方法を実施する場合には、有機Ｌｏｗ−ｋ膜層（例えば、ＳｉＬＫ膜層）にデュアルダマシン構造を形成する工程において、ビアホール形成用のフォトレジスト膜層（ＰＲ層）及びＳｉＬＫ膜層をエッチングする際に、後述のようにガス供給源４１からＮ、Ｈを含むガス、ＣＦ系ガス及びＯ２の混合ガスをエッチングガスとして供給する。あるいはガス供給源４１からＮ２ガス、Ｈ２ガス及びＣＦ系ガスの混合ガスをエッチングガスとして供給する。また、酸化膜層（ＳｉＯ２膜層）や窒化膜層（ＳｉＮ膜層）等のハードマスク層をエッチングする場合にはその他のガス供給源４２Ｆを使用する。尚、図１では本発明のエッチング方法以外のエッチングに使用される複数種のエッチングガスはその他のガス供給源４１Ｆとして一つに纏めて記載してある。
【００２５】
次に、上記プラズマ処理装置を用いた本発明のエッチング方法の実施形態について図２〜図５を参照しながら説明する。図２〜図５はデュアルダマシン構造のトレンチ及びビアホールを形成する工程を示すが、本実施形態のエッチング方法は、図３の（ｂ）、（ｃ）に示す、ＰＲ層をアッシングすると共にＳｉＬＫ膜層に形成されたビアホールを更にエッチングして掘り下げる工程に特徴がある。そこで、以下ではデュアルダマシン構造のトレンチ及びビアホールを形成する工程を説明する。
【００２６】
例えば図２の（ａ）に示すように、デュアルダマシン構造を形成するウエハには上層から下層に向かって、第１、第２のハードマスク層としてのＳｉＯ２膜層（膜厚：例えば１００ｎｍ）２０１、ＳｉＮ膜層（膜厚：例えば５０ｎｍ）２０２、層間絶縁膜層としての有機Ｌｏｗ−ｋ膜層（例えば、ＳｉＬＫ膜層）（膜厚：例えば５５０ｎｍ）２０３、ストッパーとしてのＳｉＮ膜層２０４及び下層回路パターンの銅配線層（Ｃｕ層）２０５が形成されたＳｉＬＫ膜層２０６がそれぞれの膜厚で形成されている。
【００２７】
ところで、上記有機Ｌｏｗ−ｋ膜層の材料は特定の材料に制限されるものではなく、ＳｉＬＫの他、例えば、例えばポリフッ化ナフタレンポリマー、マレイミドベンゾシクロブテンポリマー、ポリパーフロロシクロブテンアロマティックエーテル、ポリイミド、ポリアリルエーテル、パリレン、水素化ダイアモンド、ポリテトラフルオロエチレン等を好適に用いることができる。更に、有機Ｌｏｗ−ｋ膜層２０３の材料としては、有機高分子中にシリカが一部置換されたジビニルシロキサンベンゾシクロブテンポリマー、シリカ添加ポリイミド等を好適に用いることができる。尚、Ｌｏｗ−ｋ膜とは比誘電率が二酸化シリコンの比誘電率４より小さい材料からなる膜を云う。また、第１のハードマスク層の材料は特定の材料に制限されるものではなく、シリコン酸化物の他、例えば、シリコン窒化膜、ポーラスシリカ、シリコンカーバイド、シリコン酸窒化物等の絶縁材料、窒化チタン、窒化タンタル等の金属窒化物、あるいは炭化チタン等を好適に用いることができる。第２のハードマスク層の材料は特定の材料に制限されるものではなく、シリコン窒化物の他、例えば、シリコン酸化物、シリコンカーバイド、ポーラスシリコン窒化物、シリコン酸窒化物、窒化アルミニウム、シリカの絶縁材料、窒化チタン、窒化タンタル等の金属窒化物、あるいは炭化チタン等を好適に用いることができる。但し、窒化チタン膜や窒化タンタル膜等の導電性窒化膜を用いる場合には、トレンチとビアホールに銅を埋め込んだ後、導電性窒化膜をＣＭＰやドライエッチングにより除去する必要がある。
【００２８】
而して、図２の（ａ）に示すウエハのＳｉＯ２膜層２０１上に、トレンチ形成用のＰＲ層（膜厚：例えば４５０ｎｍ）２０７を形成し、図２の（ｂ）に示すように所定のリソグラフィ工程によりトレンチ形成用のパターン２０８を形成する。その後、ＳｉＮ膜層２０２に対して高い選択性を示すエッチングガス（例えば、Ｃ５Ｆ８／Ｏ２／Ａｒの混合ガス）を用いてトレンチ形成用のパターン２０８に従ってＳｉＯ２膜層２０１をエッチングすると、ＳｉＮ膜層２０２が露呈しトレンチのパターンが形成される。引き続き、エッチングガスを例えばＯ２ガスに切り換えてＰＲ層２０７をアッシングした後、同図の（ｃ）に示すようにＳｉＯ２膜層２０１上に反射防止膜層（ＢＡＲＣ(BOTTOM ANTI REFLECTION COATING)層）（膜厚：例えば６０ｎｍ）２０９を形成する。このＢＡＲＣ層２０９の材料は特定の材料に制限されるものではなく、例えば、ＡＲ２−６００、ＡＲ３−２００（シプレイ・ファーイースト（株）製）あるいはＳＥＫ−ｅｘ４（東京応化工業（株）製）等の有機系材料を好適に用いることができる。
【００２９】
次いで、ＢＡＲＣ層２０９上にＰＲ層２１０を形成した後、図３の（ａ）に示すように所定のリソグラフィ工程によりビアホール形成用のパターン２１１を形成する。そして、エッチングガスをＰＲ層２１０に対して高い選択比を示すエッチングガス（例えば、ＣＦ４／Ａｒ／Ｏ２の混合ガス）に切り換えてビアホール形成用のパターン２１１に従ってＳｉＮ膜層２０２をエッチングし、更にそのオーバーエッチングにより図３の（ｂ）に示すようにＳｉＬＫ膜層２０３を所定の深さ（例えば、少なくともデュアルダマシン構造のショルダー部に相当する深さ）までエッチングする。
【００３０】
然る後、本発明のエッチング方法を用いたエッチング工程でＰＲ層２１０及びＢＡＲＣ層２０９を除去する。この工程では、ＳｉＯ２膜層２０１、ＳｉＮ膜層２０２に対して高い選択比を示すガス、即ちＮ、Ｈを含むガス（例えば、ＮＨ３）、ＣＦ系ガス（例えば、ＣＨ３Ｆ、ＣＨ２Ｆ２、ＣＨＦ３、Ｃ４Ｆ６、Ｃ４Ｆ８、Ｃ５Ｆ８等）及びＯ２を混合した第１の混合ガス、またはＮ２ガス、Ｈ２ガス及びＣＦ系ガス（例えば、ＣＨ３Ｆ、ＣＨ２Ｆ２、ＣＨＦ３、Ｃ４Ｆ６、Ｃ４Ｆ８、Ｃ５Ｆ８等）を混合した第２の混合ガスをエッチングガスとして用い、図３の（ｃ）に示すようにＰＲ層２１０及びＢＡＲＣ層２０９をアッシングすると共に、ＳｉＬＫ膜層２０３に形成されたビアホール２１２を更に掘り下げる。第１の混合ガスまたは第２の混合ガスを用いることにより、従来のようにＳｉＮ膜層２０２のトレンチ部内でレジスト残渣を発生させることなく、ＰＲ層２１０及びＢＡＲＣ層２０９を確実に除去することができると共に、ＳｉＬＫ膜層２０３に所望の形状のエッチングを行うことができる。
【００３１】
第１の混合ガスとしてＮＨ３／ＣＨ３Ｆ／Ｏ２を用いる場合には、混合ガス中、Ｏ２／ＮＨ３の流量比が１０／１５００より大きく３００／１５００より小さいことが好ましい。また、ＣＨ３Ｆ／ＮＨ３の流量比が１／１５００〜１０／１５００の範囲がより更に好ましい。Ｏ２／ＮＨ３の流量比が１０／１５００以下になるとエッチング残渣が発生する虞があり、３００／１５００を超えるとボーイングを形成する虞がある。また、第２の混合ガスとしてＮ２／Ｈ２／ＣＨ３Ｆを用いる場合には、混合ガス中、ＣＨ３Ｆ／（Ｎ２＋Ｈ２）の流量比が１／１８００〜１０／１８００の範囲が好ましい。
【００３２】
ＰＲ層２１０及びＢＡＲＣ層２０９を除去した後、エッチングガスをＳｉＯ２膜層２０１に対して高い選択比を示す混合ガス（例えば、ＣＨ２Ｆ２／Ａｒ／Ｏ２またはＣＦ４／ＣＨ２Ｆ２／Ａｒ／Ｏ２）に切り換えて、ＳｉＯ２膜層２０１をハードマスクとしてＳｉＮ膜層２０２をエッチングしてトレンチパターン２１３を形成すると共にＳｉＬＫ膜層２０３のビアホール２１２を掘り下げ、図４の（ａ）に示すようにＳｉＯ２膜層２０１及びＳｉＮ膜層２０２からなるトレンチ形成用のハードマスクを形成する。引き続き、ＳｉＯ２膜層２０１及びＳｉＮ膜層２０２に対して高い選択比を示すエッチングガス（例えば、Ｎ２／Ｈ２）に切り換え、同図の（ｂ）に示すようにＳｉＯ２膜層２０１及びＳｉＮ膜層２０２をハードマスクとしてＳｉＬＫ膜層２０３をエッチングしてトレンチ２１３を更に掘り下げると共にビアホール２１２を下層のＳｉＮ膜層２０４に達するまで掘り下げる。
【００３３】
引き続き、図４の（ｃ）に示すように、ハードマスク、ＳｉＬＫ膜層２０３及びＣｕ層２０５に対して高い選択比を示す混合ガス（例えば、ＣＨ２Ｆ２／Ａｒ／Ｏ２）を用い、Ｃｕ層２０５上のＳｉＮ膜層２０４をエッチングしてビアホール２１２を貫通させる。この際、ＳｉＬＫ膜層２０３のトレンチ２１３も更に深くなる。
【００３４】
以上のエッチング処理工程を纏めて示したものが図５である。図５中の番号はエッチング工程の順序を示している。この一連のエッチング工程においてＳｉＬＫ膜層２０３に所望形状のデュアルダマシン構造のビアホール２１２及びトレンチ２１３を形成することができる。これらのビアホール２１２及びトレンチ２１３に銅等の配線材料を埋め込むことにより配線工程を終了する。
【００３５】
以上説明したように本実施形態によれば、ビアホール形成用の有機膜層（ＰＲ層２１０、ＢＡＲＣ層２０９）の下に形成されたハードマスク層（ＳｉＯ２膜層２０１及びＳｉＮ膜層２０２）と、このハードマスク層の下に形成されたＳｉＬＫ膜層２０３を基にデュアルダマシン構造を形成する工程において、ＰＲ層２１０とＢＡＲＣ層２０９からなる有機膜層及びＳｉＬＫ膜層２０３のエッチングガスとして、Ｎ、Ｈを含むガス（例えば、ＮＨ３）、ＣＦ系ガス（例えば、ＣＨ３Ｆ、ＣＨ２Ｆ２、ＣＨＦ３、Ｃ４Ｆ６、Ｃ４Ｆ８、Ｃ５Ｆ８等）及びＯ２を混合した第１の混合ガス、またはＮ２ガス、Ｈ２ガス及びＣＦ系ガス（例えば、ＣＨ３Ｆ、ＣＨ２Ｆ２、ＣＨＦ３、Ｃ４Ｆ６、Ｃ４Ｆ８、Ｃ５Ｆ８等）を混合した第２の混合ガスを用いるようにしたため、ＳｉＮ膜層２０２のトレンチ部にレジスト残渣を発生させることなく、ＰＲ層２１０及びＢＡＲＣ層２０９を確実に除去し、同時にＳｉＬＫ膜層２０３に所望形状のビアホール２１２のエッチングを行うことができる。このため、その後のＳｉＮ膜層２０２のトレンチ部のエッチングにおいてレジスト残渣によるＳｉＮ膜層２０２エッチングの形状不良やその後のＳｉＬＫ膜層２０３のエッチング時の残渣を抑制することができる。
【００３６】
また、上記有機膜層は、ＰＲ層２１０と、このＰＲ層２１０の下面に形成されたＢＡＲＣ層２０９とを含んでいるため、フォトリソグラフィ工程においてビアホール形成用のパターン２１１を高精度に形成することができる。また、ハードマスク層はＳｉＮ膜層２０２を含んでいるため、ＳｉＯ２膜層２０１に対して高い選択比を有するエッチングガスを用いてＳｉＮ膜層２０２をエッチングしてトレンチ２１３を高精度に形成することができる。第１の混合ガスとしてＮＨ３／ＣＨ３Ｆ／Ｏ２を用い、Ｏ２／ＮＨ３を１０／１５００より大きく３００／１５００より小さく設定することにより、ＰＲ層２１０及びＢＡＲＣ層２０９をより確実に除去することができる。
【００３７】
次に、図３の（ｂ）、（ｃ）に示す工程の実施例を具体的に示す。
実施例１
本実施例では３００ｍｍウエハ対応のプラズマ処理装置を用いると共に、エッチングガスとして第１の混合ガス（ＮＨ３／ＣＨ３Ｆ／Ｏ２）を用いて下記のプロセス条件に設定し、２６秒間処理してＰＲ層２１０をアッシングすると共にＳｉＬＫ膜層２０３をエッチングしてビアホール２１２の一部を形成した。この結果、トレンチ部のＳｉＮ膜層２０２上にはレジスト残渣が認められなかった。また、ＳｉＬＫ膜層及びＰＲ層のエッチング速度がそれぞれ６８３０オングストローム／分及び８６０５オングストローム／分であり、ＰＲ層２１０のエッチングの面内均一性は±５．２％であり、エッチング速度が高く、しかもＰＲ層２１０のエッチングの面内均一性に優れていることが判った。
［プロセス条件］
１．チャンバー内圧力：４００ｍTorr
２．第１の高周波電源：２ＭＨｚ、３０００Ｗ
３．第２の高周波電源：６０ＭＨｚ、３０００Ｗ
４．上下両電極間の隙間寸法：５０ｍｍ
５．Ｂ／Ｔ／Ｗの温度：０℃／６０℃／６０℃
但し、Ｂは下部電極の温度、Ｔは上部電極の温度、Ｗはチャンバー壁面の温度を示す。
６．バックサイドガスの圧力（中央部／周縁部）：１０／３５Torr
７．エッチングガス：ＮＨ３／ＣＨ３Ｆ／Ｏ２＝１５００／３／２０ｓｃｃｍ
【００３８】
実施例２
本実施例では３００ｍｍウエハ対応のプラズマ処理装置を用いると共に、エッチングガスとして第２の混合ガス（Ｎ２／Ｈ２／ＣＨ３Ｆ）を用い、その流量をＮ２／Ｈ２／ＣＨ３Ｆ＝１５００／３００／３ｓｃｃｍに設定すると共にチャンバー内の圧力を３００〜４００ｍTorrに設定した以外は、実施例１と同一のプロセス条件でＰＲ層２１０及びＳｉＬＫ膜層２０３を４２秒間エッチングした。この結果、トレンチ部のＳｉＮ膜層２０２上にはレジスト残渣が認められなかった。また、ＳｉＬＫ膜層及びＰＲ層のエッチング速度はそれぞれ３１７１オングストローム／分及び３２６５オングストローム／分であり、ＰＲ層２１０のエッチングの面内均一性は±２７．２％であった。
【００３９】
比較例１
本比較例ではエッチングガスとして実施例１の場合よりもＯ２の流量を減らした第１の混合ガスを用い、各ガスの流量をＮＨ３／ＣＨ３Ｆ／Ｏ２＝１５００／３／１０ｓｃｃｍに設定した以外は、実施例１と同一のプロセス条件でＰＲ層２１０及びＳｉＬＫ膜層２０３を２３秒間エッチングした。この結果、トレンチ部のＳｉＮ膜層２０２上にはレジスト残渣が認められた。ＳｉＬＫ膜層２０３及びＰＲ層３１０のエッチング速度がそれぞれ６８８７オングストローム／分及び８３３１オングストローム／分であり、ＰＲ層２１０のエッチングの面内均一性は±６．６％であった。
【００４０】
比較例２
本比較例ではエッチングガスとして実施例１の混合ガスのＯ２を除いたＮＨ３及びＣＨ３Ｆの混合ガスを用い、各ガスの流量をＮＨ３／ＣＨ３Ｆ＝１５００／３ｓｃｃｍに設定した以外は、実施例１と同一のプロセス条件でＰＲ層２１０及びＳｉＬＫ膜層２０３を２７秒間エッチングした。この結果、トレンチにはレジスト残渣が認められた。また、ＳｉＬＫ膜層２０３及びＰＲ層２１０のエッチング速度がそれぞれ６９７５オングストローム／分及び８１１１オングストローム／分であり、ＰＲ層のエッチングの面内均一性は±１２．６％であった。
【００４１】
比較例３
本比較例では２００ｍｍウエハ対応のプラズマ処理装置を用いると共にエッチングガスとして従来の混合ガス（Ｎ２、Ｈ２の混合ガス）を用い、下記のプロセス条件に設定し、ＰＲ層２１０及びＳｉＬＫ膜層２０３を４５秒間エッチングした。この結果、トレンチ部のＳｉＮ膜層２０２上にはレジスト残渣が認められた。また、ＳｉＬＫ膜層及びＰＲ層のエッチング速度がそれぞれ２２００オングストローム／分及び３７００オングストローム／分で、実施例１と比較してエッチング速度が極めて低いことが判った。尚、ＰＲ層２１０のエッチングの面内均一性は１０％であった。
［プロセス条件］
１．チャンバー内圧力：１００ｍTorr
２．第１の高周波電源：２ＭＨｚ、８００Ｗ
３．第２の高周波電源：６０ＭＨｚ、１５００Ｗ
４．下部電極と上部電極間の寸法：４５ｍｍ
５．Ｂ／Ｔ／Ｗの温度：０℃／３０℃／５０℃
６．バックサイドガスの圧力（中央部／周縁部）：１０／３５Torr
７．エッチングガス：Ｎ２／Ｈ２＝３００／３００ｓｃｃｍ
【００４２】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではない。本実施例ではビアホール２１２を形成する工程に本発明を適用した場合について説明したが、ハードマスク層の上に形成された配線パターン形成用の有機膜層と、有機Ｌｏｗ−ｋ膜層を同時にエッチングして配線形成用の有機膜層を完全に除去する工程であれば本発明を適用することができ、トレンチ構造を形成する場合にも本発明を適用することができる。また、例えば、デュアルダマシン構造の各膜層の材料は必要に応じて適宜変更することができる。反射防止膜層はＰＲ層上に形成したものであっても良い。
【００４３】
【発明の効果】
本発明によれば、デュアルダマシン構造を形成するために、レジスト膜層とその下側に形成された反射防止膜層からなる有機膜層と、この有機膜層の下層として形成されたシリコン酸化膜層とその下側のシリコン窒化膜層からなるトレンチ形成用のハードマスク層と、このハードマスク層の下層として形成された有機Ｌｏｗ−ｋ膜層と、を有する積層膜をエッチングする方法において、上記シリコン酸化膜層が上記窒化シリコン膜層上に配線パターン形成用のトレンチを有するハードマスクとして形成され、上記シリコン酸化膜層と上記トレンチにおいて露出する上記シリコン窒化膜層の上に上記レジスト膜層と上記反射防止膜層が形成され、更に、上記レジスト膜層に形成されたビアホール形成用のパターンを介して上記有機Ｌｏｗ−ｋ膜層の上部までビアホールが形成された状態で、上記レジスト膜層と上記反射防止膜層の双方をエッチングガスによって除去すると共に上記ビアホールから上記有機Ｌｏｗ−ｋ膜層をエッチングする際に、上記エッチングガスとして、Ｎ２ガス、Ｈ２ガス及びＣＨ３Ｆガスの混合ガス（Ｎ２／Ｈ２／ＣＨ３Ｆ）、またはＮＨ３ガス、ＣＨ３  Ｆガス及びＯ２ガスの混合ガス（ＮＨ３／ＣＨ３Ｆ／Ｏ２）を用いるため、エッチングによる配線形成工程において、シリコン酸化膜層のトレンチ内にレジスト残渣及び反射防止膜層の残渣を残すことなくレジスト膜層と反射防止膜層の双方をハードマスクから確実に除去することができ、延いては、その後のエッチング工程において有機Ｌｏｗ−ｋ膜層（有機層間絶縁膜層）を所望の形状にエッチングすることができるエッチング方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエッチング方法に用いられるプラズマ処理装置の一例を示す断面図である。
【図２】図１に示すプラズマ処理装置を用いてトレンチ用のハードマスクを形成する工程を示す工程図である。
【図３】図１に示すプラズマ処理装置を用いてビアホール用のハードマスクを形成する工程を示す工程図である。
【図４】図１に示すプラズマ処理装置を用いてビアホール及びトレンチを形成する工程を示す工程図である。
【図５】図２〜図４に示す工程を纏めて示す工程図である。
【図６】従来のエッチング方法によりビアホール用のハードマスクを形成する工程を示す工程図である。
【符号の説明】
２０１ ＳｉＯ２膜層（ハードマスク層）
２０２ ＳｉＮ膜層（ハードマスク層）
２０３ ＳｉＬＫ膜層（有機Ｌｏｗ−ｋ膜層、有機膜層）
２０９ ＢＡＲＣ層（有機膜層）
２１０ ＰＲ層（有機膜層）
２１２ ビアホール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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