(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品実装装置が基板の搬送方向に複数台並べられて成り、各部品実装装置が基板搬送路の上流側から送られてきた基板に対して部品搭載工程を実行して下流側に送り出す部品実装ラインのボトルネック報知システムであって、部品実装ラインを構成する各部品実装装置に設けられた報知ランプと、部品実装ラインを構成する各部品実装装置からの情報に基づいて部品実装ラインの中で生産パフォーマンスが最も低下している部品実装装置を検出するボトルネック検出手段と、ボトルネック検出手段により検出された部品実装装置の報知ランプを点灯させるランプ点灯手段と、各部品実装装置が部品搭載工程を実行するのに要する工程実行時間を計測する時間計測装置を備え、ボトルネック検出手段は、各部品実装装置が備える時間計測装置により計測された部品実装装置ごとの工程実行時間を取得するとともに、その取得した部品実装装置ごとの工程実行時間を部品実装装置ごとに設定される基準時間と比較し、工程実行時間が基準時間を所定回数連続して上回り、かつ工程実行時間が基準時間を上回る時間が最も長い部品実装装置を部品実装ラインの中で生産パフォーマンスが最も低下している部品実装装置として検出することを特徴とする部品実装ラインのボトルネック報知システム。
【請求項２】
部品実装装置ごとに設定される基準時間は、その部品実装装置が部品搭載工程を実行する状況を数値シミュレーションして算出される理想の工程実行時間に基づき、この理想の工程実行時間を上回る時間として設定されることを特徴とする請求項１に記載の部品実装ラインのボトルネック報知システム。
【請求項３】
基準時間は任意の値に可変設定されることを特徴とする請求項１又は２に記載の部品実装ラインのボトルネック報知システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装装置が基板の搬送方向に複数台並べられて成り、各部品実装装置が基板搬送路の上流側から送られてきた基板に対して部品搭載工程を実行して下流側に送り出す部品実装ラインのボトルネック報知システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品実装ラインは部品実装装置が基板の搬送方向に複数台並べられて成り、各部品実装装置が基板搬送路の上流側から送られてきた基板に対してその部品実装装置が部品搭載工程を実行して下流側に送り出すようになっている。このような部品実装ラインでは、生産効率を高めるために各部品実装装置の工程実行時間はほぼ均等になるように実装部品を振り分けているが、各部品実装装置は常に理想の工程実行時間内で部品搭載を行っているとは限らず、部品実装ラインの中の或る部品実装装置について、実際の工程実行時間が理想の工程実行時間から大幅に大きくなって生産パフォーマンスが低下しているときには、部品実装ライン全体における生産性も低下してしまうことになる。
【０００３】
部品実装ラインの中で生産パフォーマンスが最も低下している（ボトルネックとなっている）部品実装装置の検出は、例えば、部品実装ラインを構成する各部品実装装置の平均的な不稼動状況を求め、この平均的な不稼動状況の推移を観察することによって行うことができる（特許文献１）。このようにしてボトルネックとなっている部品実装装置を検出できたらその装置の点検を行い、不具合の原因を除去する作業等を行うことによって、部品実装ラインの生産性を本来のレベルに復旧させることができる。
【特許文献１】特開２００４−２４６４０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来のものでは、検出したボトルネックの情報を部品実装ラインの上方等に設けられた表示盤に棒グラフ等を用いて表示するようになっており、或る部品実装装置がボトルネックとなっていても作業者がその表示盤に記載されている内容を読み取らなければそれを把握できず、必要な処置の取り掛かりが遅れて部品実装ラインの生産性を低下させてしまうという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、ボトルネックとなる部品実装装置が発生したこと及びどの部品実装装置がボトルネックとなっているかを作業者に迅速かつ的確に報知することができる部品実装ラインのボトルネック報知システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の部品実装ラインのボトルネック報知システムは、部品実装装置が基板の搬送方向に複数台並べられて成り、各部品実装装置が基板搬送路の上流側から送られてきた基板に対して部品搭載工程を実行して下流側に送り出す部品実装ラインのボトルネック報知システムであって、部品実装ラインを構成する各部品実装装置に設けられた報知ランプと、部品実装ラインを構成する各部品実装装置からの情報に基づいて部品実装ラインの中で生産パフォーマンスが最も低下している部品実装装置を検出するボトルネック検出手段と、ボトルネック検出手段により検出された部品実装装置の報知ランプを点灯させるランプ点灯手段と、各部品実装装置が部品搭載工程を実行するのに要する工程実行時間を計測する時間計測装置を備え、ボトルネック検出手段は、各部品実装装置が備える時間計測装置により計測された部品実装装置ごとの工程実行時間を取得するとともに、その取得した部品実装装置ごとの工程実行時間を部品実装装置ごとに設定される基準時間と比較し、工程実行時間が基準時間を所定回数連続して上回り、かつ工程実行時間が基準時間を上回る時間が最も長い部品実装装置を部品実装ラインの中で生産パフォーマンスが最も低下している部品実装装置として検出する。
【０００８】
請求項２に記載の部品実装ラインのボトルネック報知システムは、請求項１に記載の部品実装ラインのボトルネック報知システムであって、部品実装装置ごとに設定される基準時間は、その部品実装装置が部品搭載工程を実行する状況を数値シミュレーションして算出される理想の工程実行時間に基づき、この理想の工程実行時間を上回る時間として設定される。
【０００９】
請求項３に記載の部品実装ラインのボトルネック報知システムは、請求項１又は２に記載の部品実装ラインのボトルネック報知システムであって、基準時間は任意の値に可変設定される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の部品実装ラインのボトルネック報知システムでは、部品実装ラインを構成する各部品実装装置に報知ランプが備えられ、部品実装ラインを構成する各部品実装装置からの情報に基づいて、ボトルネック検出手段により、部品実装ラインの中で生産パフォーマンスが最も低下している（ボトルネックとなっている）部品実装装置が検出されたら、その検出された部品実装装置の報知ランプがランプ点灯手段によって点灯されるようになっているので、ボトルネックとなる部品実装装置が発生したこと及びどの部品実装装置がボトルネックとなっているかが作業者に迅速かつ的確に報知される。このため作業者は必要な処置に早く取り掛かることができ、ボトルネックとなる部品実装装置が発生しても部品実装ライン全体の生産性が大きく低下することが防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施の形態における部品実装ラインの斜視図、図２は本発明の一実施の形態における部品実装装置の斜視図、図３は本発明の一実施の形態における部品実装装置の平面図、図４は本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系を示すブロック図、図５（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるランプユニットの斜視図、図６は本発明の一実施の形態における部品実装ラインのボトルネック報知システムの構成図、図７は本発明の一実施の形態におけるボトルネック報知システムのボトルネック検出部が行うボトルネック報知動作の手順を示すフローチャート、図８は本発明の一実施の形態における部品実装ラインの側面図である。
【００１２】
図１、図２及び図３において、本発明の一実施の形態における部品実装ライン１は、部品実装装置２が基板３の搬送方向（Ｘ軸方向）に複数台並べられて成る。各部品実装装置２は基台４上に基板３をＸ軸方向に搬送する基板搬送路５を有しており、基板搬送路５の上方にはＸ軸方向と水平に直交するＹ軸方向に延びたＹ軸テーブル６が設けられている。Ｙ軸テーブル６にはＹ軸テーブル６に一端が支持されてＸ軸方向に延びた２つのＸ軸テーブル７がそれぞれＹ軸テーブル６に沿って移動自在に設けられており、各Ｘ軸テーブル７にはＸ軸テーブル７に沿ってＸ軸方向に移動自在な移動ステージ８が設けられている。各移動ステージ８には移載ヘッド９が取り付けられており、各移載ヘッド９には複数の吸着ノズル１０が下方に延びて設けられている（図１）。
【００１３】
基台４の基板搬送路５の側方領域には移載ヘッド９に部品Ｐを供給する複数のテープフ
ィーダ１１がＸ軸方向に並んで設けられており、各テープフィーダ１１は移載ヘッド９の基台４に対する移動可能領域Ｒ（図３）内に部品供給口１１ａを位置させている。
【００１４】
図４において、各部品実装装置２には、基板搬送路５を駆動する搬送路駆動機構１２ａ、各Ｘ軸テーブル７をＹ軸テーブル６に沿って移動させるＸ軸テーブル移動機構１２ｂ、各移動ステージ８をＸ軸テーブル７に沿って移動させる移動ステージ移動機構１２ｃ、各吸着ノズル１０を個別に昇降及び上下軸（Ｚ軸）回りに回転させるノズル駆動機構１２ｄ及び各吸着ノズル１０に吸着動作を行わせるノズル吸着機構１２ｅが備えられている。これら搬送路駆動機構１２ａ、Ｘ軸テーブル移動機構１２ｂ、移動ステージ移動機構１２ｃ、ノズル駆動機構１２ｄ及びノズル吸着機構１２ｅはその部品実装装置２に備えられた制御装置１３によって作動制御がなされ、基板搬送路５による基板３の搬送・位置決めや移載ヘッド９の移動等が行われる。
【００１５】
図３において、移動ステージ８には撮像面を下に向けた基板カメラ１４が設けられており、基台４上には撮像面を上に向けた部品カメラ１５が設けられている。これら基板カメラ１４及び部品カメラ１５は制御装置１３によりその作動制御がなされる（図４）。
【００１６】
図１及び図２において、基台４全体はカバー部材１６によって覆われており、このカバー部材１６の上面にはその部品実装装置２の運転状態を複数のランプの色分け点灯によって外部に報知する報知ランプ１７が設けられている。図５に示すように、報知ランプ１７は色違いの４つのランプ１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄを有し、各部品実装装置２の制御装置１３はその部品実装装置２の運転状況（例えばテープフィーダ１１における部品Ｐの残量）に応じた色のランプを点灯させ（図４）、作業者に注意を喚起する。
【００１７】
報知ランプ１７はその一端部がカバー部材１６の上面に設けられた支持部材１８に枢支軸１９を介して枢支されて起伏自在となっており、水平姿勢（起仰角度０°。図５（ａ））、垂直姿勢（起仰角度９０°。図５（ｂ））及び水平姿勢と垂直姿勢の間の傾斜姿勢に保持することができるようになっている。
【００１８】
報知ランプ１７は水平な枢支軸１９に螺合された締め付け螺子１９ａを用いて任意の起仰角度に保持できるようになっているが、このような構成に代え、クリック式の角度調整機構等を内蔵して起仰角度を段階的に変化させることができるようになっていてもよい。
【００１９】
基板３に部品Ｐを搭載する部品搭載工程を実行するにおいて、制御装置１３は先ず、搬送路駆動機構１２ａを作動させて基板搬送路５による基板３の搬送と基台４に対する基板３の所定位置への位置決めを行う。そして、Ｘ軸テーブル移動機構１２ｂ及び移動ステージ移動機構１２ｃを作動させて移載ヘッド９の移動を行い、基板３の上方に移動させた基板カメラ１４により基板３の隅に設けられた位置決めマーク（図示せず）を画像認識させる。基板カメラ１４が画像認識した位置決めマークの画像情報は制御装置１３に送られ（図４）、制御装置１３はこの基板カメラ１４から送られた画像情報に基づいて位置決めマークが予め定められた基準の位置からどれだけずれているかの判断を行い、基板３の位置ずれを検出する。
【００２０】
制御装置１３は、基板３の位置ずれを検出したら移載ヘッド９をテープフィーダ１１の上方に移動させ、吸着ノズル１０によりテープフィーダ１１の部品供給口１１ａに供給されている部品Ｐを吸着させる。そして、吸着ノズル１０に吸着された部品Ｐが部品カメラ１５の上方（部品カメラ１５の視野内）を通過するように移動させ、部品カメラ１５に部品Ｐの下面の画像認識（撮像）を行わせる。この部品カメラ１５の画像認識によって得られた部品Ｐの下面の画像情報は制御装置１３に送られ（図４）、制御装置１３はこの部品カメラ１５から送られた画像情報に基づいて各部品Ｐが吸着ノズル１０に対してどれだけ
ずれているかの判断を行い、部品Ｐの吸着ノズル１０に対するずれ（吸着ずれ）を検出する。
【００２１】
制御装置１３は、上記のように基板３の位置ずれと部品Ｐの吸着ずれを検出したら、吸着ノズル１０に吸着されている部品Ｐをその部品Ｐに対して与えられている搭載位置データに基づいて基板３上に搭載する。このとき制御装置１３は検出された基板３の位置ずれと部品Ｐの位置ずれが修正されるように搭載位置データの補正を行うので、部品Ｐは基板３上の正しい位置に搭載される。
【００２２】
このような部品実装ライン１において、部品実装装置２の列の両端側に位置する部品実装装置２のカバー部材１６の側面にはその部品実装装置２の基板搬送路５に繋がる基板挿入排出開口１６ａ（図１）が設けられている。基板３を一方の基板挿入排出開口１６ａから挿入すると、基板３は各部品実装装置２の基板搬送路５によって順次下流側の部品実装装置２へ搬送され、その間に各部品実装装置２により部品Ｐが搭載されて最終的に他方の基板挿入排出開口１６ａから排出される（図１中に示す矢印Ａ）。
【００２３】
ところで、このような部品実装ライン１の中で生産パフォーマンスが低下している部品実装装置２が存在するときには、部品実装ライン１全体における生産性が低下してしまうことになるため、生産パフォーマンスが最も低下している（ボトルネックとなっている）部品実装装置２を早期に発見（検出）して作業者が必要な処置をとることができるようにする必要がある。例えば、予め設定された連続吸着ミス許容回数に到達しない範囲内で吸着ミスが発生し、吸着リカバリ動作によって生産を継続している場合等が考えられる。従来、このような状態は作業者に報告されず、連続吸着ミス許容回数に達した時点ではじめてエラー表示をしていたために、作業者が気付かない間に生産性が低下する事態となっていた。以下、この部品実装ライン１に備えられたボトルネック報知システムについて説明する。
【００２４】
図３において、基台４上の基板搬送路５の上流側の部分には基板搬入センサ２１が設けられており、基台４上の基板搬送路５の下流側の部分には基板搬出センサ２２が設けられている。基板搬入センサ２１及び基板搬出センサ２２は例えば光センサから成り、それぞれ基板３が部品実装装置２に搬入され、或いは基板３が部品実装装置２から搬出されたことの検出情報を制御装置１３に出力する（図４及び図６）。
【００２５】
制御装置１３はタイマー機能及び記憶機能を有しており、基板搬入センサ２１及び基板搬出センサ２２からの検出情報に基づいて、基板３が部品実装装置２に搬入されたときから基板３が部品実装装置２から搬出されるまでの間の時間を計測し、その計測した時間を部品実装装置２が部品搭載工程を実行するのに要する「工程実行時間ｔ」として記憶する。ここで、各部品実装装置２が備える基板搬入センサ２１、基板搬出センサ２２及び制御装置１３は、その部品実装装置２が部品搭載工程を実行するのに要する工程実行時間ｔを計測する時間計測装置２３となっている（図６）。
【００２６】
図６において、部品実装ライン１は各部品実装装置２の制御装置１３（すなわち各部品実装装置２が備える時間計測装置２３）と繋がるボトルネック検出部２４を備えており、ボトルネック検出部２４には、各部品実装装置２の時間計測装置２３が計測された部品実装装置２ごとの工程実行時間ｔのデータが入力される。ボトルネック検出部２４は、各部品実装装置２の時間計測装置２３から入力された部品実装装置２ごとの工程実行時間ｔを部品実装ライン１が部品実装する基板３単位でまとめて１つの入力データとし、図７のフローチャートに示すボトルネック報知動作を実行する。
【００２７】
ボトルネック検出部２４は、直近に部品実装処理した基板３についての入力データ（部
品実装装置２ごとの工程実行時間ｔ）を取得したら（ステップＳ１）、その取得した部品実装装置２ごとの工程実行時間ｔを部品実装装置２ごとに設定される基準時間ｔ０と比較し（ステップＳ２）、工程実行時間ｔが基準時間ｔ０を上回る（ｔ＞ｔ０となる）部品実装装置２があるかどうかの判断を行う（ステップＳ３）。その結果、ｔ＞ｔ０となる部品実装装置２がなかった場合にはフローを終了して次の基板３についての入力データ待ちに入り、ｔ＞ｔ０となる部品実装装置２があった場合には、その部品実装装置２は所定回数（予め設定される。例えば３回。１回でもよい）連続してｔ＞ｔ０となったものであるかどうかの判断を行う（ステップＳ４）。その結果、その部品実装装置２が所定回数連続してｔ＞ｔ０となったものではない場合にはフローを終了して次の基板３についての入力データ待ちに入り、所定回数連続してｔ＞ｔ０となったものである場合には、その部品実装装置２についての超過実行時間Δｔ（工程実行時間ｔが基準時間ｔ０を上回った時間であり、Δｔ＝ｔ−ｔ０）を算出する（ステップＳ５）。ここで、ステップＳ４からフローを終了して次の基板３についての入力データ待ちに入る場合には、今回その部品実装装置２がｔ＞ｔ０となったことを記憶する。
【００２８】
部品実装装置２ごとに設定される上記基準時間ｔ０は、その部品実装装置２が部品搭載工程を実行する状況を数値シミュレーションして算出される理想の工程実行時間Ｔに基づき、この理想の工程実行時間Ｔを上回る時間として（理想の工程実行時間Ｔに一定の誤差分ΔＴを加えた時間Ｔ＋ΔＴとして）設定される。この基準時間ｔ０はボトルネック検出部２４の記憶部に記憶されるが、その値は同じ部品実装装置２であってもその時々の状態に応じて変化させる必要があるので、カバー部材３に設けられた操作パネル２０の操作等により任意に可変設定できるようになっていることが好ましい。
【００２９】
ボトルネック検出部２４は、ステップＳ５で所定回数連続してｔ＞ｔ０となった一又は複数の部品実装装置２それぞれについての超過実行時間Δｔを算出したら、そのうちの超過実行時間Δｔが最大となる（工程実行時間ｔが基準時間ｔ０を上回る時間が最も長い）部品実装装置２を部品実装ライン１の中で生産パフォーマンスが最も低下している（ボトルネックとなっている）部品実装装置２として検出する（ステップＳ６）。
【００３０】
ボトルネック検出部２４は、ステップＳ６で部品実装ライン１の中で生産パフォーマンスが最も低下している（ボトルネックとなっている）部品実装装置２を検出したら、その検出した部品実装装置２が備える制御装置１３を介してその部品実装装置２が備える報知ランプ１７の１つのランプ（例えば報知ランプ１７の端部に位置するランプ１７ｄ）を点灯させる（ステップＳ７）。
【００３１】
ボトルネック検出部２４は、ステップＳ７で検出した部品実装装置２の報知ランプ１７を点灯させた後は、フローを終了して次の基板３についての入力データ待ちに入るが、この場合には、作業者によりボトルネックとなっている原因が除去された後、所定の操作がなされるまでの間、或いは、他の部品実装装置２が部品実装ライン１のボトルネックとなっている部品実装装置２であるとして検出されるまでの間は報知ランプ１７の点灯を継続させる。
【００３２】
これにより部品実装ライン１の中のボトルネックとなっている部品実装装置２が外部に報知され、作業者はその部品実装装置２の点検を行い、不具合の原因を除去する作業等を行うことによって、部品実装ライン１の生産性を本来のレベルに復旧させることができる。
【００３３】
なお、この実施の形態では、ボトルネック検出部２４は、部品実装ライン１を構成する各部品実装装置２からの情報（ここでは部品実装装置２ごとの工程実行時間ｔ）に基づいて、部品実装ライン１の中で生産パフォーマンスが最も低下している（ボトルネックとな
っている）部品実装装置２を検出するボトルネック検出手段となっており、各部品実装装置２が備える制御装置１３は、ボトルネック検出手段により検出された部品実装装置２の報知ランプ１７を点灯させるランプ点灯手段となっている。
【００３４】
このように本実施の形態における部品実装ライン１のボトルネック報知システムでは、部品実装ライン１を構成する各部品実装装置２に報知ランプ１７が備えられ、部品実装ライン１を構成する各部品実装装置からの情報（ここでは部品実装装置２ごとの工程実行時間ｔ）に基づいて、ボトルネック検出手段により、部品実装ライン１の中で生産パフォーマンスが最も低下している部品実装装置２が検出されたら、その検出された部品実装装置２の報知ランプ１７がランプ点灯手段によって点灯されるようになっている。このため、ボトルネックとなる部品実装装置２が発生したこと及びどの部品実装装置２がボトルネックとなっているかが作業者に迅速かつ的確に報知され、作業者は必要な処置に早く取り掛かることができるので、ボトルネックとなる部品実装装置２が発生しても部品実装ライン１全体の生産性が大きく低下することを防止される。
【００３５】
また、本実施の形態では、各部品実装装置２が部品搭載工程を実行するのに要する工程実行時間ｔを計測する時間計測装置２３を備えており、ボトルネック検出手段は、各部品実装装置２が備える時間計測装置２３により計測された部品実装装置２ごとの工程実行時間ｔを取得するとともに、その取得した部品実装装置２ごとの工程実行時間ｔを部品実装装置２ごとに設定される基準時間ｔ０と比較し、工程実行時間ｔが基準時間ｔ０を所定回数連続して上回り、かつ工程実行時間ｔが基準時間ｔ０を上回る時間が最も長い部品実装装置２を部品実装ライン１の中で生産パフォーマンスが最も低下している部品実装装置２として検出するようになっているので、極めて簡単なアルゴリズムでボトルネックとなっている部品実装装置２の検出を行うことができる。このためボトルネックとなっている部品実装装置２の発見を迅速に行うことができる。
【００３６】
なお、部品実装装置２が基板３の搬送方向に複数台並べられて成る部品実装ライン１では、各部品実装装置２の報知ランプ１７は図１及び図５（ａ）に示すような水平姿勢又は図５（ｂ）に示す垂直姿勢とするよりも、図８に示すような水平姿勢と垂直姿勢の間の傾斜姿勢（例えば起仰角度３０°）とすることが好ましい。これは、このようにすれば、その部品実装装置２と作業者との間に障害物があったとしても、点灯しているランプを視認し易いからである。
【００３７】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に限定されない。例えば、上述の実施の形態では、部品実装装置２への基板３の搬入と搬出を光センサ２１，２２により検出するようにしていたが、光センサ２１，２２は一例に過ぎず、リミットスイッチ等に代えてもよい。
【００３８】
また、上述の実施の形態では、基板搬入センサ２１により基板３が部品実装装置２に搬入されたことが検出されたときから基板搬出センサ２２により基板３が部品実装装置２から搬出されたことが検出されるまでの間の時間を部品実装装置２が部品搭載工程を実行するのに要する「工程実行時間ｔ」として計測するようにしていたが、これは、部品実装装置２が基板３に対する部品Ｐの実装動作を実際に始めてからこれが実際に終了するまでの間の時間等としてもよく、このようにすることにより、下流側装置の生産状況に起因して実装済みの基板３を搬出できない時間を工程実行時間から除くことが可能となり、より正確な判定をすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
ボトルネックとなる部品実装装置が発生したこと及びどの部品実装装置がボトルネックとなっているかを作業者に迅速かつ的確に報知することができる部品実装ラインのボトル
ネック報知システムを提供する。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施の形態における部品実装ラインの斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における部品実装装置の斜視図
【図３】本発明の一実施の形態における部品実装装置の平面図
【図４】本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系を示すブロック図
【図５】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装装置が備えるランプユニットの斜視図
【図６】本発明の一実施の形態における部品実装ラインのボトルネック報知システムの構成図
【図７】本発明の一実施の形態におけるボトルネック報知システムのボトルネック検出部が行うボトルネック報知動作の手順を示すフローチャート
【図８】本発明の一実施の形態における部品実装ラインの側面図
【符号の説明】
【００４１】
１  部品実装ライン
２  部品実装装置
３  基板
５  基板搬送路
１３  制御装置（ランプ点灯手段）
１７  報知ランプ
２３  時間計測装置
２４  ボトルネック検出部（ボトルネック検出手段）
【図１】
0004900181.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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