(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に供給にともない載置するガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の走行路の両側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた接近、離反の移動手段付の辺縁研磨回転砥石と、上記保持台の前進停止位置の直上と払い出し搬出位置との間で進退移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降し、かつ旋回手段により旋回すると共に、上記保持台上の辺縁研磨ずみガラス基板を荷受けするように設けた吸引荷受け手段と、上記吸引荷受け手段に荷受けしたガラス基板の各コーナーを研磨するように設けたコーナー研磨回転砥石とからなる研磨装置。
【請求項２】
走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に供給にともない載置するガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の走行路の両側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた接近、離反の移動手段付の辺縁研磨回転砥石と、上記保持台の後退停止位置の直上とガラス基板の供給側との間で進退移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降すると共に、供給ガラス基板を荷受けし、かつ後退停止位置の上記保持台上にガラス基板を荷下ろしする吸引保持手段付の入れ込み保持台と、この入れ込み保持台の移動路の途中に上記ガラス基板の移動を妨げないように設けた退避手段付のガラス基板のコーナー研磨回転砥石からなる研磨装置。
【請求項３】
走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に供給にともない載置するガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の両側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた接近、離反の移動手段付の辺縁研磨回転砥石と、上記保持台の直上とガラス基板の払い出しとの間で進退移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降すると共に、上記保持台上のガラス基板を荷受けする吸引保持手段付の払い出し保持台と、この払い出し保持台の移動路の途中に上記ガラス基板の移動を妨げないように設けた退避手段付のガラス基板のコーナー研磨回転砥石とからなる研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶パネルや板ガラスなどのガラス基板の各辺のエッジを研磨し、かつコーナーの面取り加工をする研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板の周囲四辺の各辺のエッジを研磨し、かつ各コーナーを面取り研磨するには、搬送基台のテーブル上にガラス基台を載置したのち、上記の搬送基台を前進走行させながら、走行途中に走行方向に沿う平行する二辺の短辺縁を左右の回転研磨部材によって研磨する。
そして、搬送基台が前進停止すると、保持テーブルを可逆回転させながらガラス基板を旋回させ、この旋回にともない回転研磨によってコーナーの研磨を行なう。
【０００３】
その後にテーブルを９０度回転させて搬送基台の走行方向前後に前述の研磨ずみ二辺を位置させると共に、搬送基台を後進走行させながら、走行途中に走行方向に沿う平行する二辺の長辺縁を左右の回転研磨部材によって研磨し、四辺縁とコーナーの研磨ずみガラス基板を搬送基台の後進停止位置で取り出し、次の加工ガラス基板を供給する研磨方式がある。（特許文献１）。
【０００４】
また、搬入兼受渡し装置の支持手段により受取り台上のガラス基板を走行体の保持台上に供給して保持させたのち、保持台の前進走行によって回転砥石によりガラス基板の両側の対向二辺の縁を研磨し、研磨終了後に保持台を９０度旋回させたのち、保持台を後進走行させながらガラス基板の残る対向二辺の縁を研磨する。
【０００５】
その後に、搬入兼受渡し装置の支持手段により保持台上の研磨ずみガラス基板を支持して、回転台上に前述の四辺縁の研磨ずみガラス基板を供給したのち、回転台上のガラス基板を旋回させながら、各コーナーを研磨する方式がある（特許文献２）。
【特許文献１】特開平１０−１１８９０７号公報
【特許文献２】特開２００４−１５４９１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１の研磨方式によると、基台の前進にともないガラス基板の一方の二辺を研磨し、基台の前進停止位置で基台のテーブルの旋回によってガラス基板の各コーナーを研磨したのち、基台を後進させながらガラス基板の他方の二辺を研磨するため、基台の後退走行がガラス基板の旋回にともなうコーナーの研磨が終了する迄できない。このため、ガラス基板の辺縁の研磨能率が大幅に低下する問題があった。
【０００７】
また、特許文献２の方式によると、１台の搬入兼受渡し装置の支持手段により受取り台の未研磨のガラス基板の供給と、走行体の保持台上の四辺研磨ずみのガラス基板を上記１台の搬入兼受渡し装置の支持手段により旋回回転台上に払い出す（供給）するようにしてあるので、研磨の一連の作業ができても、１台の搬入兼受渡し装置を使用するため、保持台を有する走行体の前進及び後進が迅速にできず、このため、研磨能率が低下する。
【０００８】
そこで、この発明は、１枚のガラス基板の研磨能率を少しでもアップして、単位時間あたりの研磨生産性を向上した研磨装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、この発明は、走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に供給にともない載置するガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の走行路の両側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた接近、離反の移動手段付の辺縁研磨回転砥石と、上記保持台の前進停止位置の直上と払い出し搬出位置との間で進退移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降し、かつ旋回手段により旋回すると共に、上記保持台上の辺縁研磨ずみガラス基板を荷受けするように設けた吸引荷受け手段と、上記吸引荷受け手段に荷受けしたガラス基板の各コーナーを研磨するように設けたコーナー研磨回転砥石とからなる構成を採用する。
【００１０】
また、走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に供給にともない載置するガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の走行路の両側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた接近、離反の移動手段付の辺縁研磨回転砥石と、上記保持台の後退停止位置の直上とガラス基板の供給側との間で進退移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降すると共に、供給ガラス基板を荷受けし、かつ後退停止位置の上記保持台上にガラス基板を荷下ろしする吸引保持手段付の入れ込み保持台と、この入れ込み保持台の移動路の途中に上記ガラス基板の移動を妨げないように設けた退避手段付のガラス基板のコーナー研磨回転砥石からなる構成を採用する。
【００１１】
さらに、走行手段により前後方向に進退走行するように設けた走行体と、この走行体に供給にともない載置するガラス基板を吸引保持手段により保持するように設けた旋回機能付の保持台と、上記走行体の両側に上記ガラス基板の走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工するように設けた接近、離反の移動手段付の辺縁研磨回転砥石と、上記保持台の直上とガラス基板の払い出しとの間で進退移動するように設けた移動体と、この移動体に昇降手段により昇降すると共に、上記保持台上のガラス基板を荷受けする吸引保持手段付の払い出し保持台と、この払い出し保持台の移動路の途中に上記ガラス基板の移動を妨げないように設けた退避手段付のガラス基板のコーナー研磨回転砥石とからなる構成を採用する。
【００１２】
すると、ガラス基板の四辺縁の面取り研磨と各コーナーの研磨とが、また各コーナーの研磨と四辺縁の面取り研磨とが極めて能率よく行なうことができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、この発明の研磨装置によれば、後進停止している保持台上にガラス基板を供給することで、保持台の前進時に辺縁研磨回転砥石によりガラス基板の一方の二辺縁を面取り研磨し、保持台の前進終了から後進途中に旋回機能によって保持台を９０度旋回させ、保持台の後進終了後保持台を前進させながら、辺縁研磨回転砥石により他方の（残る）二辺縁を面取り研磨し、四辺縁の研磨ずみガラス基板は、保持台の前進停止にともない移動体の前進により待機させてある吸引荷受け手段を昇降手段により降送して保持台上の四辺縁の研磨ずみガラス基板を荷受けすると共に、空の保持台を後進させて次のガラス基板の供給を受けるようにし、その間に旋回手段により吸引荷受手段に保持させてあるガラス基板の二つのコーナー移動体と共にガラス基板を前進させてコーナー研磨砥石にガラス基板の二つのコーナーを当接させて研磨し、次に移動体と共にガラス基板を後退させ、かつ旋回手段により吸引荷受け手段と共に保持ガラス基板を１８０度回転させたのち、移動体と共にガラス基板を前進させて、ガラス基板の残る二つのコーナーをコーナー研磨砥石に当接させて研磨し、その後に移動体と共にガラス基板を払い出し移動するので、ガラス基板の一方の二辺、次に他方の二辺、そして各コーナーの研磨を能率よく、しかも保持台の無駄のない有効利用により著しく能率のアップをはかることができる。
【００１４】
また、上述の辺縁研磨回転砥石により四辺の辺縁を行なう保持台手前のガラス基板の供給（入れ込み）側や、四辺の辺縁研磨ずみガラス基板の保持台の後方搬出（払い出し）側に設けた移動体の吸引保持機能付の入れ込み保持台や払い出し保持台にガラス基板を荷受けすると共に、この荷受けしたガラス基板を前後方向に移動体により移動させて、まず二つのコーナーを、次に残る二つのコーナーをコーナー研磨回転砥石により研磨するので、上述と同様の保持台の無駄のない有効利用で能率のアップをはかる四辺縁及びコーナーの研磨ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
この発明の第１の実施形態では、図１から図５に示すように、走行手段Ｂにより前後方向に進退走行する走行体１には、人手や入れ込み機による供給にともない載置するガラス基板Ａを吸引保持手段Ｃにより保持する旋回機能Ｄ付の保持台２が設けてある。
【００１６】
上記の走行手段Ｂは、図示の場合二条のレール３と、保持台２の下面両側に設けてレール３にスライド自在に係合したスライダ４と、両端を定位置でフリーに回転するように軸承すると共に、第１モーター５により可逆駆動する雄ネジ６と、保持台２に取付けて雄ネジ６にねじ込んだ雌ネジ７とで構成され、第１モーター５の可逆運転により走行体１を前進、後進走行させるようにしたが、限定されず、その他の構成によって走行体１を前進、後進させてもよい。
【００１７】
上記の吸引保持手段Ｃは、図示の場合保持台２を中空のボックスにより形成すると共に、保持台２の頂壁に小孔８群を設けて、吸引機（図示省略）による保持台２内を吸引して保持台２に載置したガラス基板Ａを吸引により保持し、上記の旋回機能Ｄは、走行体１上に据え付けたモーター９の回転側に保持台２を支持させておく。
【００１８】
さらに、走行体１の走行路の両側左右には、ガラス基板Ａの走行方向に平行する二辺の縁を面取り加工する辺縁研磨回転砥石１０が配置してある。
【００１９】
上記の辺縁研磨回転砥石１０は、図示の場合上下の対向周縁部を噛み合い状に嵌め込んだ上下間にガラス基板Ａを介在させて研磨するようにしたが、限定されず、また左右の辺縁研磨回転砥石１０は、ガラス基板Ａの左右の辺縁の対向間隔に対応できるように、接近、離反調整できるようになっている。
【００２０】
例えば図示の場合、走行体１の走行路の上を横切る水平材１１の両端から中間部迄にレール１２を設けて、このレール１２にモーターによりそれぞれドライブされる辺縁研磨回転砥石１０の軸承支持部材１３のスライダ１４をスライド自在に係合すると共に、水平材１１に雄ネジ１５の両端を軸承して、この片方雄ネジ１５の片端側に片側の支持部材１３に取り付けてある雌ネジ１６を、もう片方雄ネジ１５のもう片端側にもう片側支持部材１３に取り付けてある雌ネジ１６をそれぞれねじ込み、数値制御により第２モーター１７を可逆運転して、両雄ネジ１５を駆動することで、両支持部材１３，１３を接近、離反方向にスライドさせて、両辺縁研磨回転砥石１０の対向間隔をガラス基板Ａの二辺間の寸法に見合う位置に移動させるようにしてある。
【００２１】
また、保持台１の前進停止位置と払い出し搬出位置との間で進退移動する移動体１９を設けると共に、この移動体１９には、昇降手段２０により昇降し、かつ旋回手段２１により旋回すると共に、保持台２上のガラス基板Ａを吸引支持する吸引荷受け手段２２が設けてある。
【００２２】
上記の移動体１９は、図示の場合、保持台１側と払い出し側方向に向く水平材２３のレール２４に移動体１９のスライダ２５をスライド自在に係合すると共に、水平材２３の両端に雄ネジ２６を軸承して、この雄ネジ２６に移動体１９に取付けた雌ネジ２７をねじ込み、第３モーター２８の可逆運転により雄ネジ２６をドライブして、前後方向に移動体１９を走行させるようにしたが、限定されず、その他の手段（構成）によって移動体１９を前後方向に走行させることもある。
【００２３】
上記の昇降手段２０には、図示の場合シリンダを用い、旋回手段２１には、数値制御により運転するモーターを用い、吸引荷受け手段２２は、図示の場合水平なプレート２９と、このプレート２９の下面に、吸引と、吸引の解除可能な吸盤３０を配置したが、限定されず、例えば保持台２の方式を採用してもよい。
【００２４】
また、辺縁研磨回転砥石１０による辺縁研磨後のガラス基板Ａの各コーナーは、コーナー研磨回転砥石３１によって研磨される。
【００２５】
上記のコーナー研磨回転砥石３１は、ガラス基板Ａの両側のコーナーの位置の変位にともないその都度左右（両側）の位置、すなわち、ガラス基板Ａの両側縁間の寸法により接近離反調整できるようにしてあり、上記の接近離反調整手段としては、図示の場合、辺縁研磨回転砥石１０の取付け支持部材１３に取付けてあるが辺縁研磨回転砥石１０とは別にコーナー研磨回転砥石３１を接近、離反調整するようにしてもよい。
【００２６】
その際、辺縁研磨回転砥石１０のレベルよりも高い位置のレベルにコーナー研磨回転砥石３１を配置して、辺縁研磨後のガラス基板Ａがコーナー研磨回転砥石３１に衝突しないように考慮してある。
図中３２は辺縁、コーナー研磨ずみガラス基板Ａを払い出すベルトコンベヤである。
【００２７】
上記のように構成すると、後退停止している保持台２上にガラス基板Ａを載置（供給）して、保持台２にガラス基板Ａを吸引保持する。その後に保持台２を走行手段Ｂの正転運転により前進走行させる。
【００２８】
その際、周知のようにガラス基板Ａのコーナー側の印をカメラによって読み取り、この読み取りにともない旋回手段Ｄにより保持台２を修正の角度回動させて、アライメントする。
【００２９】
次に図６の（イ）に示す保持台２の前進走行にともないガラス基板Ａの走行方向に平行する二辺の縁を辺縁を辺縁研磨回転砥石１０により研磨し、図６（ロ）に示すように保持台２が前進停止する。
【００３０】
次に走行手段Ｂの逆転運転により保持台２を図６（ハ）から（ニ）に示す位置迄後退走行させる。その際、図６（ハ）と（ニ）との間で旋回機能Ｄにより保持台２を９０度旋回させて、走行方向に残る二辺が平行するようにする。すなわち、短辺と長辺とを入れ替える。
【００３１】
しかして、走行手段Ｂの正転運転により図６（ホ）から（ヘ）に示す位置に保持台２の前進走行させながら辺縁研磨回転砥石１０により残る二辺縁の研磨を行なう。
【００３２】
保持台２が前進位置で停止すると、直上で待機している吸引荷受手段２２を昇降手段２０により降送して、保持台２上の四辺縁研磨ずみのガラス基板Ａを吸引荷受手段２２に荷受けし、荷受け後に昇降手段２０により吸引荷受手段２２と共にガラス基板Ａを上昇させる。その間に、保持台２を後進させて、停止後に空の保持台２上に次のガラス基板Ａを供給する。
【００３３】
上記吸引荷受手段２２に荷受けされたガラス基板Ａは、ます第３モーター２８の正転運転により移動体１９を図１左方向に後進させて、ガラス基板Ａを後進させて、図７（ハ）に示すようにガラス基板Ａの一辺側の２つのコーナーをコーナー研磨回転砥石３１に当接させてコーナー研磨し、次に、第３モーター２８の逆転運転により移動体１９と共にガラス基板Ａを若干前進移動させ、この間に旋回手段２１により吸引荷受手段２２と共にガラス基板Ａを１８０度旋回させる。
【００３４】
その後に、第３モーター２８を正転運転により移動体１９を後退させて、ガラス基板Ａの他辺側の２つのコーナーをコーナー研磨回転砥石３１に当接させてコーナーを研磨する。
【００３５】
しかして、第３モーター２８の逆転運転により移動体１９と共にガラス基板Ａを前進させ、コンベヤ３２の直上に到達すると、昇降手段２０によりガラス基板Ａと共に吸引荷受手段２２を降送し、然るのち、吸引の解除したガラス基板Ａをコンベヤ３２上に払い出す。
【００３６】
なお、上記コーナーの研磨の際には、次のガラス基板Ａの四辺縁の研磨が（図７に示すように）行なわれる。
【００３７】
この発明の第２の実施形態では、図８、９に示すように、第１の実施形態の走行手段Ｂにより旋回機能Ｄ付の吸引保持手段Ｃを有する保持台２が前後方向に走行し、保持台２の走行路の両側に走行方向に平行する二辺の辺縁を辺縁研磨回転砥石１０により面取り研磨する方式の保持台２の後退停止位置の直上とガラス基板Ａの供給側との間で進退移動する移動体３５には、昇降手段３６により昇降すると共に、供給ガラス基板Ａを荷受し、かつ後退停止位置の保持台２上にガラス基板Ａを荷下ろしする吸引保持手段３７付の入れ込み保持台３８が設けてある。
【００３８】
上記の移動体３５は、図示の場合、前後方向に向く水平材３９のレール４０に移動体３５のスライダ４１をスライド自在に係合すると共に、水平材３９の両端に両端を回動自在に軸承してある雄ネジ４２に移動体３５に取付けてある雌ネジ４３をねじ込み、第４モーター４４の可逆運転により雄ネジ４２をドライブすることで、移動体３５が進退移動するようにしてあり、昇降手段３６には、図示の場合シリンダが用いられ吸引保持手段３７は、図示の場合、第１の実施形態と同様のプレート、プレートの下面に取付けた、吸引、吸引解除のできる吸盤とで構成したが、限定されず、保持台２の方式を採用することもできる。
【００３９】
また、後退停止している保持台２の手前には、移動体３５の走行路の両側に配置すると共に、接近、離反調整手段Ｅ付のガラス基板Ａの一辺の両コーナー研磨回転砥石４５が設けてある。
【００４０】
上記の接近、離反調整手段Ｅは、図８、９に示すように、水平材３９の上側を横切る門形のフレーム４６の水平部分の中央部分から端に向けレール４７を設けて、このレール４７に左右の支持部材４８のスライダ４９をスライド自在に係合すると共に、両端を回動自在に軸承した雄ネジ５０にそれぞれの支持部材４８に取付けてある雌ネジ５１をねじ込み、第５モーター５２の数値制御による可逆運転によって雄ネジ５０をドライブして、両支持部材４８を接近、離反スライドさせて、支持部材４８に支持させてあるコーナー研磨回転砥石４５の間隔をガラス基板Ａの一辺の両コーナーの位置に停止させる調整ができるようにしてある。
【００４１】
上述の走行手段Ｂ、旋回機能Ｄ、吸引保持手段Ｃ、保持台２の走行路の両側の辺縁研磨回転砥石１０は、第１の実施形態と同様につき構成、作用の説明（四辺の辺縁の研磨）を省略する。
【００４２】
上記のように構成すると、コンベヤ５３によって搬入したガラス基板Ａが停止すると、昇降手段３６により吸引保持手段３７が降送されてコンベヤ５３上のガラス基板Ａを吸引保持する。
【００４３】
保持後に昇降手段３６により吸引保持手段３７と共にガラス基板Ａを上昇させたのち、第４モーター４４の運転により移動体３５を前進走行させて、図１０（イ）に示すように両コーナー研磨回転砥石４５、４５にガラス基板Ａの走行方向側辺の両コーナーを当接させて、移動体３５を停止することで、コーナー研磨が行なわれる。
【００４４】
その後に、第５モーター５２の運転によってコーナー研磨回転砥石４５、４５を図１０（ロ）に示すように離反させ、この状況下で移動体３５を前進走行させて、コーナー研磨回転砥石４５間をガラス基板Ａが通過すると、移動体３５の前進を止める。
【００４５】
然るのち、両コーナー研磨回転砥石４５を第５モーター５２の運転によって研磨位置に戻し、次いで移動体３５を後進させて両コーナー研磨回転砥石４５に図１０の（ハ）に示すガラス基板Ａの後進方向側辺の両コーナーを当接させながら研磨する。
【００４６】
四つのコーナーの研磨ずみガラス基板Ａは、後退停止している保持台２の直上に搬入し、搬入後に昇降手段３６により保持台２上にガラス基板Ａを荷下ろしして受け渡す。
【００４７】
受け渡したガラス基板Ａは、第１の実施形態と同様の手順をへて、辺縁研磨回転砥石１０により四辺縁の面取り研磨を行なう。
【００４８】
そして、第１の実施形態の旋回手段２１のない水平材２３、レール２４、スライダ２５、雄ネジ２６、雌ネジ２７、第３モーター２８、昇降手段２０、吸引荷受手段２２により構成された払い出し機Ｆによりコンベヤ３２上に、コーナー、辺縁の研磨ずみガラス基板Ａを払い出す。
【００４９】
この発明の第３の実施形態では、図１１に示すように、第１の実施形態の走行手段Ｂにより前後方向に走行する旋回機能Ｄ付の吸引保持手段Ｃを有する保持台２上に入れ込み機Ｇ（第２の実施形態の移動体３５、昇降手段３６、吸引保持手段３７により構成した方式などによる）により供給したガラス基板Ａを保持台２の前進走行の途中に辺縁研磨回転砥石１０によりまず二辺縁を面取り研磨し、次いで前進停止した保持台２を後進させると共に、後進途中に旋回機能Ｄにより保持台２を、９０度旋回させる。
【００５０】
そして、再度保持台２を前進走行させながら、ガラス基板Ａの残る二辺を辺縁研磨回転砥石１０により面取り加工する。この四辺の面取り研磨する構成は、第１の実施形態と同様につき構成の説明を省略する。
【００５１】
四辺研磨ずみガラス基板Ａの保持台２が前進停止すると、その直上と前方の搬出間で前後方向に進退移動する移動体６１と、この移動体６１に昇降手段６２により昇降すると共に、保持台２上のガラス基板Ａを吸引荷受けする吸引保持手段６３とで構成した払い出し機Ｈが設けてある。
【００５２】
上記移動体６１の進退方式は、第２の実施形態と同様につき構成の説明を省略する。
また、吸引保持手段６３及び昇降手段６２は、第２の実施形態と同様につき構成の説明を省略する。
【００５３】
そして、吸引保持手段６３によって吸引保持したガラス基板Ａの払い出し走行路の途中の両側には、接近、離反調整手段Ｅ付のガラス基板Ａの一辺の両コーナー研磨回転砥石６５が設けてある。
【００５４】
上記のコーナー研磨回転砥石６５の接近、離反調整手段Ｅは、第２の実施形態と同様につき構成の説明を省略する。
【００５５】
すると、保持台２上の四辺縁の研磨ずみガラス基板Ａを吸引保持手段６３に荷受けして前方に移動体６１を走行させながら、コーナー研磨回転砥石６５にガラス基板Ａの走行方向側辺の両コーナーを当接することで、コーナー研磨され、研磨後に両コーナー研磨回転砥石６５を接近、離反調整手段Ｅにより離反させて、保持台２と共にガラス基板Ａを前方に走行させて通過させ、通過後に両コーナー研磨回転砥石６５を接近、離反調整手段Ｅにより元の位置に戻す。
【００５６】
しかして、移動体６１の後進により保持台２と共にガラス基板Ａを後進させて、後進方向側辺の両コーナーをコーナー研磨回転砥石６５に当接させてコーナーを研磨する。
【００５７】
研磨後に、移動体６１を前進させて、コンベヤ６６の直上にガラス基板Ａが到達すると、昇降手段６２によりコンベヤ６６上にガラス基板Ａを載置したのち、吸引保持手段６３による吸引を解除して搬出する。
なお、コーナー研磨装置の手順は、図１０と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】第１の実施形態を示す側面図。
【図２】同上の平面図。
【図３】同上の要部を示す拡大側面図。
【図４】同縦断正面図。
【図５】同横断平面図。
【図６】辺縁研磨工程図。
【図７】コーナー研磨工程図。
【図８】第２の実施形態を示す側面図。
【図９】同上の要部を示す縦断正面図。
【図１０】コーナー研磨の工程図。
【図１１】第３の実施形態を示す側面図。
【符号の説明】
【００５９】
Ａ      ガラス基板
Ｂ      走行手段
Ｃ      吸引保持手段
Ｄ      旋回機能
Ｅ      接近、離反調整手段
Ｆ      払い出し機
Ｇ      入れ込み機
Ｈ      払い出し機
１      走行体
２      保持台
３      レール
４      スライダ
５      第１モーター
６      雄ネジ
７      雌ネジ
８      小孔
９      モーター
１０    辺縁研磨回転砥石
１１    水平材
１２    レール
１３    支持部材
１４    スライダ
１５    雄ネジ
１６    雌ネジ
１７    第２モーター
１９    移動体
２０    昇降手段
２１    旋回手段
２２    吸引荷受手段
２３    水平材
２４    レール
２５    スライダ
２６    雄ネジ
２７    雌ネジ
２８    第３モーター
２９    プレート
３０    吸盤
３１    コーナー研磨回転砥石
３５    移動体
３６    昇降手段
３７    吸引保持手段
３８    保持台
３９    水平材
４０    レール
４１    スライダ
４２    雄ネジ
４３    雌ネジ
４４    第４モーター
４５    コーナー研磨回転砥石
４６    フレーム
４７    レール
４８    支持部材
４９    スライダ
５０    雄ネジ
５１    雌ネジ
５２    第５モーター
５３    コンベヤ
６１    移動体
６２    昇降手段
６３    吸引保持手段
６５    コーナー研磨回転砥石
【図１】
0005046775.tif 000002
【図２】
0005046775.tif 000003
【図３】
0005046775.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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