(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
同種の流路の間に異種の流路である流体不連続部と、
前記流体不連続部の下流側に、流れに対して交叉するように設置される一対の超音波変換器と、を備え、
前記超音波変換器間の超音波伝搬時間をシングアラウンド法で計測してなる超音波流量計において、
前記一対の超音波変換器のうち、前記流路の上流側に位置する超音波変換器と前記流体不連続部との間隔が前記流路の等価直径の１〜１０倍となるものとし、
前記シングアラウンド法におけるシングアラウンド回数を所定値として複数回の流量計測を行い、前記複数回の流量計測における流量の標準偏差が平均流量の一定割合より大きければ前記シングアラウンド回数をより大きな値に再設定し、前記流量計測における流量の標準偏差が平均流量の一定割合以下となれば前記シングアラウンド回数をより小さな値に再設定することを特徴とした超音波流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体の流量を計測する超音波流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の流量計１０１は、図５に示すような構成であった。図５は、断面図を示し、液体あるいは気体などの流体が流れる流路１０２内で、かつ流体不連続部１０３から下流側の充分離れた部分に、計測部分１０４を設け、上流側と下流側とに一対の超音波変換器１０５、１０６を流体を介し、対向して設置する構成としていた。そしてこの一対の超音波変換器１０５、１０６間を伝搬する超音波の伝搬時間から流体の流速を計測し、流量を演算し、流量計としていた。なお、図中の片矢印１０７（実線）は流体の流れる方向を示し、両矢印１０８（破線）は超音波の伝搬する方向を示している。また、１０９は計測部分１０４の下流側に設けられた流体不連続部分を示す。なお、流体の流れる方向と、超音波の伝搬する方向とは角θで交叉し、流体不連続部は流体の曲がり部あるいは流体の整流部などで構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このような構成の従来の流量計１０１では、高精度の計測をするために、空間的、時間的に安定な流体を実現するために、曲がり管等が設けられる流体の曲がり部あるいは流体の整流部などで構成されている流体不連続部１０３から下流側に充分離れた部分に計測部分１０４を設けていた。例えば、流体不連続部分１０３が流路の曲がり部で構成されている場合には、流路の等価直径Ｄｈ（通常、水力直径といわれる）の５０倍以上の距離、また、曲がり部がメッシュや格子などの整流部で構成されている場合でも、流路の等価直径Ｄｈの１０倍以上の距離を、離す構成としていた。このため、圧力損失が大きくなり、小型コンパクトに構成できないという課題を有していた。また、時間的、空間的に不安定な流体を計測するため、多数回の計測を繰り返し、統計的な処理が必要となる場合もあり、信号処理が非常に煩雑になるという課題も有していた。
【０００４】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、圧力損失が小さく、小型コンパクトな構成を可能とする高精度な超音波流量計を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記従来の課題を解決するために、本発明の超音波流量計は、同種の流路の間に異種の流路である流体不連続部と、流体不連続部の下流側に、流れに対して交叉するように設置される一対の超音波変換器と、を備え、超音波変換器間の超音波伝搬時間をシングアラウンド法で計測してなる超音波流量計において、一対の超音波変換器のうち、流路の上流側に位置する超音波変換器と流体不連続部との間隔が流路の等価直径の１〜１０倍となるものとし、シングアラウンド法におけるシングアラウンド回数を所定値として複数回の流量計測を行い、複数回の流量計測における流量の標準偏差が平均流量の一定割合より大きければシングアラウンド回数をより大きな値に再設定し、流量計測における流量の標準偏差が平均流量の一定割合以下となればシングアラウンド回数をより小さな値に再設定することができ、圧力損失が小さく、小型コンパクトな構成を実現することができる。
【０００６】
また、シングアラウンド計測を採用するので、煩雑な信号処理も不要となり、効率的な計測を実現することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本願記載の発明は、同種の流路の間に異種の流路である流体不連続部と、流体不連続部の下流側に、流れに対して交叉するように設置される一対の超音波変換器と、を備え、超音波変換器間の超音波伝搬時間をシングアラウンド法で計測してなる超音波流量計において、一対の超音波変換器のうち、流路の上流側に位置する超音波変換器と流体不連続部との間隔が流路の等価直径の１〜１０倍となるものとし、シングアラウンド法におけるシングアラウンド回数を所定値として複数回の流量計測を行い、複数回の流量計測における流量の標準偏差が平均流量の一定割合より大きければシングアラウンド回数をより大きな値に再設定し、流量計測における流量の標準偏差が平均流量の一定割合以下となればシングアラウンド回数をより小さな値に再設定する構成としたので、圧力損失が小さく、小型コンパクトな超音波流量計が実現できる。
【０００８】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。なお、図中の同一番号を付けているものは、同一なものを示し、説明を省略する。
【０００９】
（実施例１）
図１は、本発明の実施例１における流量計１の断面図を示し、流体が流れる流路２の上流側の流体不連続部３の下流側に流量計測部４を設け、上流側と下流側とに一対の超音波
変換器５、６を流体を介し対向して設置した。流量計測部の超音波変換器５、６間の距離Ｌｄは、約１００［ｍｍ］、流路２の断面積Ｓｒは約３０［ｍｍ＾２］とした。なお、図中の片矢印７（実線）は流体の流れる方向を示し、両矢印８（破線）は超音波の伝搬する方向を示している。なお、流体の流れる方向は、超音波の伝搬する方向とは角θ（４５度）で交叉するようにした。また、９は下流側に設けた流体不連続部を示す。図２に、計測回路のブロック図を示す。計測開始信号がトリガ−１０から発信されると、回数設定部１１でシングアラウンド回数Ｎｓを設定し、駆動回路１３は、バ−スト信号からなる駆動信号を送信側切換スイッチ（ＳＷ）１４に接続されている上流側の超音波変換器５に供給する。上流側の超音波変換器５から超音波が流路内に送信され、下流側の超音波変換器６で受信される。この受信信号は受信側切換ＳＷ１５を介して増幅器１６に伝達される。この信号は、遅延回路１７を介して駆動回路１３へ伝達されるとともに、回数設定部にも伝達されシングアラウンド回数がモニタ−される。また、遅延回路１７からの信号は時間計測回路１８にも伝達されるが、回数設定部１１からシングアラウンド回数Ｎｓを越えたという信号が伝達されるまで、時間計測回路１８は動作しない。時間計測回路１８が動作し、時間計測した結果は、演算部１９に伝達され、流量演算が実施される。以下に数字を用いてより具体的に説明する。
【００１０】
図２に示したように、上流側の超音波変換器５を送信側、下流側の超音波変換器６を受信側とする場合のシングアラウンド回数Ｎｓ、遅延回路１７での遅延時間Ｔｄ、超音波の音速Ｖｓ、流路２を流れる流体の流速をＶｆ、時間計測結果をＴ（５６）とした時の、それぞれの関係は、以下のようになる。
【００１１】
Ｔ（５６）＝｛Ｌｄ／［Ｖｓ＋Ｖｆ×ｃｏｓ（θ）］｝×Ｎｓ＋Ｔｄ×（Ｎｓ−１）
同様にして、下流側の超音波変換器６を送信側、上流側の超音波変換器５を受信側とする場合の時間計測結果をＴ（６５）とすると、以下のようになる。
【００１２】
Ｔ（６５）＝｛Ｌｄ／［Ｖｓ−Ｖｆ×ｃｏｓ（θ）］｝×Ｎｓ＋Ｔｄ×（Ｎｓ−１）
これらより、
［Ｔ（５６）−Ｔｄ×（Ｎｓ−１）］／Ｎｓ＝Ｌｄ／［Ｖｓ＋Ｖｆ×ｃｏｓ（θ）］
［Ｔ（６５）−Ｔｄ×（Ｎｓ−１）］／Ｎｓ＝Ｌｄ／［Ｖｓ−Ｖｆ×ｃｏｓ（θ）］
従って、
Ｖｓ＋Ｖｆ×ｃｏｓ（θ）＝（Ｎｓ×Ｌｄ）／［Ｔ（５６）−Ｔｄ×（Ｎｓ−１）］
Ｖｓ−Ｖｆ×ｃｏｓ（θ）＝（Ｎｓ×Ｌｄ）／［Ｔ（６５）−Ｔｄ×（Ｎｓ−１）］
これらより、上の式から下の式の両辺を引き算すると、超音波の音速Ｖｓの項を消去することができ、以下のようになる。
【００１３】
２×Ｖｆ×ｃｏｓ（θ）＝（Ｎｓ×Ｌｄ）／［Ｔ（５６）−Ｔｄ×（Ｎｓ−１）］−（Ｎｓ×Ｌｄ）／［Ｔ（６５）−Ｔｄ×（Ｎｓ−１）］
この結果より、シングアラウンド回数Ｎｓ、超音波変換器間の距離Ｌｄ、遅延時かＴｄは、それぞれ既知であるので、右辺は簡単に計算することができる。このようにして流体の流速Ｖｆが得られる。
【００１４】
また、同様に上の式と下の式の両辺を足し算すると、流体の流速の項が消去されて、以下のようになる。
【００１５】
２×Ｖｓ＝（Ｎｓ×Ｌｄ）／［Ｔ（５６）−Ｔｄ×（Ｎｓ−１）］＋（Ｎｓ×Ｌｄ）／［Ｔ（６５）−Ｔｄ×（Ｎｓ−１）］
この結果より、シングアラウンド回数Ｎｓ、超音波変換器間の距離Ｌｄ、遅延時かＴｄは、それぞれ既知であるので、右辺は簡単に計算することができる。このようにして超音波の音速Ｖｓが得られる。
【００１６】
例えば、流体が水の場合は、超音波の伝搬速度は約１５００［ｍ／ｓｅｃ］であり、流体が空気の場合には、超音波の伝搬速度は約３４０［ｍ／ｓｅｃ］である。
【００１７】
シングアラウンド回数Ｎｓを１００とし、流体が空気の場合に計測時間を概算すると、流体の流速は高々１０［ｍ／ｓｅｃ］であり、無視することができる。超音波変換器間の距離Ｌｄが約１００［ｍｍ］であるので、超音波の伝搬時間Ｔｐは、
Ｔｐ＝（１００［ｍｍ］）／（３４０［ｍ／ｓｅｃ］）＝２９４［μｓｅｃ］となる。
【００１８】
また、遅延時間Ｔｄを超音波の伝搬時間と同程度とすると、計測時間Ｔ（５６）およびＴ（６５）は、
Ｔ（５６）≒Ｔ（６５）≒Ｔｐ×Ｎｓ＋Ｔｄ×（Ｎｓ−１）≒５８［ｍｓｅｃ］
となる。
【００１９】
このようにシングアラウンド法で計測すると、伝搬時間約２９４［μｓｅｃ］を、シングアラウンド回数Ｎｓ（１００回）、即ち、約５８［ｍｓｅｃ］にわたって平均したことに相当する。従って、流路内を流れる流体が、時間的・空間的に不安定な流速を有していても、正確に計測することができる。また、一回一回計測すると、シングアラウンド回数Ｎｓ分だけのデ−タ記憶部が必要となり、また、計測後には平均化処理などが必要となり、非常に煩雑な計算が不可欠となり、大変効率が悪くなる。
【００２０】
また、時間計測において時間分解能が低くて済む。例えば、流体の流速が数［ｍｍ／ｓｅｃ］程度の場合には、Ｔ（５６）およびＴ（６５）の時間差は、数［ｎｓｅｃ］程度であり、時間分解能は数［ｎｓｅｃ］程度必要となる。しかし、シングアラウンド回数を、例えば、１００回とすると、時間分解能は数１００［ｎｓｅｃ］程度で良いことに相当する。時間計測の分解能は用いるクロック回路に依存し、より高分解能が要求される場合、消費電力が大きくなり、電池駆動などの場合には実現不可能になる場合もある。また、流体が液体（水）であっても、同様となり、シングアラウンドの効果が得られる。
【００２１】
このように、シングアラウンド法を適用して時間的・空間的に不安定な流速を計測するようにしたので、煩雑な信号処理することなし正確な流量計測をすることができる。従って、流体不連続部に近接して流量計測部を設けることができ、圧力損失の小さい、小型コンパクトな流量計が実現できる。
【００２２】
（実施例２）
図１に示した流体不連続部３が流路の断面積に変化がなく、９０度の曲がり部で構成されている場合について説明する。この場合、流量計測部４を、曲がり部で構成された流体不連続部の下流側、１〜５０Ｄｈ以内に設けた。図３に、流体（空気）を約１０００［Ｌ／ｈｒ］で流した場合の、シングアラウンド回数と計測誤差との関係を示す。図３は、横軸にシングアラウンド回数を、縦軸に計測誤差を示し、黒丸（●）は計測結果を示し、破線２０はその傾向を示す。この計測結果より、シングアラウンド回数を大きくすると、計測誤差が急激に小さくなることがわかる。図中の白丸（○）２１は変曲点を示し、計測誤差がシングアラウンド回数とともに急激に減少していた関係が、やや鈍り始める点を示している。この変曲点２１は、シングアラウンド回数は約５０回、誤差は約±０．５［％］相当であった。これより、シングアラウンド回数を約５０回以上に設定すれば、曲がり部で構成された流体不連続部の下流側、１〜５０Ｄｈ以内に計測部分を設けても、高精度な流量計を実現することができることがわかる。これより、圧力損失が小さい、小型コンパクトな超音波流量計が実現できる。なお、流量計測部を１Ｄ以内に近接することは、物理的に困難となった。また、５０Ｄ以上に設置すると、シングアラウンドによる効果が認められないほど小さくなった。
【００２３】
（実施例３）
図１に示した流体不連続部３が流路の断面積に変化がなく、メッシュや格子などの整流部で構成されている場合について説明する。この場合、流量計測部４を、整流部で構成された流体不連続部の下流側、１〜１０Ｄｈ以内に設けた。図４に、流体（空気）を約１０００［Ｌ／ｈｒ］で流した場合の、シングアラウンド回数と計測誤差との関係を示す。図４は、横軸にシングアラウンド回数を、縦軸に計測誤差を示し、黒丸（●）は計測結果を示し、破線２２はその傾向を示す。この計測結果より、シングアラウンド回数を大きくすると、計測誤差が急激に小さくなることがわかる。図中の白丸（○）２３は変曲点を示し、計測誤差がシングアラウンド回数とともに急激に減少していた関係が、やや鈍り始める点を示している。この変曲点２３は、シングアラウンド回数は約１０回、誤差は約±０．５［％］相当であった。これより、シングアラウンド回数を約１０回以上に設定すれば、整流部で構成された流体不連続部の下流側、１〜１０Ｄｈ以内に計測部分を設けても、高精度な流量計を実現することができることがわかる。これより、圧力損失が小さい、小型コンパクトな超音波流量計が実現できる。なお、流量計測部を１Ｄ以内に近接することは、物理的に困難となった。また、１０Ｄ以上に設置すると、シングアラウンドによる効果が認められないほど小さくなった。
【００２４】
（実施例４）
次に、遅延時間Ｔｄについて説明する。超音波変換器間での超音波の送信、受信時刻について考えると、以下のようになる。送信側の超音波変換器から超音波が送信される時刻をＴｔｒａｎｓ（ｉ）とし、受信側の超音波変換器で受信される時刻をＴｒｅｃ（ｉ）とする。送信側の超音波変換器から最初の送信される時刻を０、即ち、Ｔｔｒａｎｓ（１）＝０とすると、受信側の超音波変換器で受信される時刻は、超音波が送信側から受信側まで伝搬する時間経過した後になるので、受信される時刻Ｔｒｅｃ（１）＝Ｔｐとなる。受信側で受信された超音波は、遅延時間Ｔｄ経過後、送信側に伝達され、送信側の超音波変換器から超音波が送信される。従って、Ｔｔｒａｎｓ（２）＝Ｔｐ＋Ｔｄとなり、Ｔｒｅｃ（２）＝Ｔｔｒａｎｓ（２）＋Ｔｐとなる。
【００２５】
このようにしてｉ番目の超音波の送信時刻および受信時刻は、
Ｔｔｒａｎｓ（ｉ）＝（ｉ−１）×（Ｔｐ＋Ｔｄ）、
Ｔｒｅｃ（ｉ）＝Ｔｔｒａｎｓ（ｉ）＋Ｔｐとなる。但し、ｉは自然数。
【００２６】
ところで、送信側の超音波変換器から送信された超音波は、受信側の超音波変換器ですべて吸収されるということはなく、受信側の超音波変換器の表面で反射され、送信側の超音波変換器に向かって伝搬する。この反射した超音波は、送信側の超音波変換器の表面で反射され、受信側の超音波変換器に伝達される。従って、この反射した超音波は、受信時刻から一往復遅れとなるため、２×Ｔｐ遅れて受信側の超音波変換器で受信されることになる。従って、受信側の超音波変換器では、ｉ番目の送信による受信時刻Ｔｒｅｃ（ｉ）から２×Ｔｐ遅れて反射波を
受信することになる。この反射した超音波は、反射を重ねる毎に減衰し、強度は急激に小さくなるが、消滅することはない。このため、ｉ番目の送信による、ｊ番目の反射波の受信時刻は、Ｔｈａｎ（ｉ，ｊ）＝Ｔｒｅｃ（ｉ）＋ｊ×２×Ｔｐとなる。
【００２７】
このようにして受信側の超音波変換器により受信される反射波は、強度は小さいが、時間計測回路１８で受信時刻を計測する際に誤差として混入する。例えば、遅延時間Ｔｄが、超音波の伝搬時間Ｔｐと同じである場合には、送信側の超音波変換器がｉ番目の超音波を送信する時刻は、
Ｔｔｒａｎｓ（ｉ）＝（ｉ−１）×（Ｔｐ＋Ｔｄ）＝２×（ｉ−１）×Ｔｐとなる
。
【００２８】
また、受信側の超音波変換器で受信されるｉ番目の受信時刻は、
Ｔｒｅｃ（ｉ）＝Ｔｔｒａｎｓ（ｉ）＋Ｔｐ＝２×（ｉ−１）×Ｔｐ＋Ｔｐ
＝２×ｉ×Ｔｐ−Ｔｐとなる。
【００２９】
このとき、ｉ番目の送信によるｊ（＝１）番目の反射波の、受信側超音波変換器による受信時刻は、
Ｔｈａｎ（ｉ，１）＝Ｔｒｅｃ（ｉ）＋１×２×Ｔｐ
＝（２×ｉ×Ｔｐ−Ｔｐ）＋１×２×Ｔｐ
＝２×ｉ×Ｔｐ＋Ｔｐとなる。
【００３０】
この受信時刻は、（ｉ＋１）番目の受信時刻と一致することになる。
即ち、Ｔｒｅｃ（ｉ＋１）＝２×（ｉ＋１）Ｔｐ−Ｔｐ
＝２×ｉ×Ｔｐ＋２×Ｔｐ−Ｔｐ
＝２×ｉ×Ｔｐ＋Ｔｐ
このように、遅延時間Ｔｄが伝搬時間Ｔｐと同じあれば、受信時刻と反射波の受信時刻とが同じとなり、受信時間計測の誤差が入ることになる。
【００３１】
このため、本発明では遅延時間Ｔｄを伝搬時間Ｔｐの０．７〜０．９となるように設定した。このように設定することにより、受信時刻と反射の受信時刻とは、低次の反射回数では一致しなくなった。一致したとしても反射回数が大きいため、反射波の強度が充分小さくなり、誤差とならないことを確認している。
【００３２】
以上説明したように遅延時間を伝搬時間の０．７〜０．９に設定することにより、高精度のシングアラウンド計測を実現でき、小型コンパクトな流量計が実現できる。なお、超音波の伝搬時間Ｔｐは、実施例１で説明したように、超音波の音速Ｖｓを得、超音波変換器間の距離Ｌｄから簡単に演算することができる。
【００３３】
（実施例５）
実施例４では、超音波の音速Ｖｓから、遅延時間Ｔｄを演算で求めるよう説明したが、超音波の音速Ｖｓは、流体の温度が変化すると、それに伴って変化するので、常に演算する必要があり、非常に煩雑である。このため、本実施例においては、遅延時間を、使用温度範囲における超音波の音速の最も小さい値（通常の場合、最も低温での値）の時の伝搬時間の０．７〜０．９となるように設定した。このように設定したので、流体の温度が変化しても演算する必要がなくなった。また、ある程度大きいな反射波が、受信時刻に一致することなく、高精度なシングアラウンド計測を実現することができる。
【００３４】
（実施例６）
次に、シングアラウンド回数について説明する。実施例２および３において説明したように、シングアラウンド回数をある程度大きくすると、その回数に対する効果は、図３および図４に示したように、徐々に低下することになる。従って、適当な回数に設定することにより効率良く計測誤差を低減することができる。以下にその設定手順を説明する。シングアラウンド回数Ｎｓのときの流量計測結果をＱ（Ｎｓ）とし、流量計測結果１００回あたりの標準偏差をＳｉｇ（Ｎｓ）、最大値をＱｍａｘ（Ｎｓ）、最小値をＱｍｉｎ（Ｎｓ）とし、その時の流量平均値をＱａｖｅｒ（Ｎｓ）とする。
【００３５】
例えば、予めシングアラウンド回数Ｎｓを、例えば１００と設定し、移動平均として、流量の平均値Ｑａｖｅｒ（Ｎｓ）、標準偏差Ｓｉｇ（Ｎｓ）、最大値Ｑｍａｘ（Ｎｓ）、最小値Ｑｍｉｎ（Ｎｓ）を得たとする、この時の標準偏差Ｓｉｇ（Ｎｓ）が、流量の平均値Ｑａｖｅｒ（Ｎｓ）の、例えば０．５［％］を越えたとすると、シングアラウンド回数
Ｎｓを、Ｎｓ×１．５に再設定し、同様に移動平均値を得るようにする。また、標準偏差Ｓｉｇ（Ｎｓ）が、流量の平均値Ｑａｖｅｒ（Ｎｓ）の、例えば０．５［％］以下となったとすると、シングアラウンド回数Ｎｓを、Ｎｓ×０．５と再設定し、移動平均値を得るようにする。このようにすると、常に安定した計測結果が、最適のシングアラウンド回数で得られことになる。また、例えば、最大値Ｑｍａｘ（Ｎｓ）、最小値Ｑｍｉｎ（Ｎｓ）の値が、平均流量値から５×Ｓｉｇ（Ｎｓ）以上離れていた場合には、非常に計測結果が不安定であると判断することができ、この場合には、再測定とすることもできる。以上説明したようにして、図３および図４に示した変曲点２１あるいは２３を検出ことができ、最適なシングアラウンド回数に設定することができる。
【００３６】
（実施例７）
次に、実施例７について説明する。本実施例では、予め固定されたシングアラウンド回数Ｎｓで計測している場合に発生する不具合を回避する方法について説明する。例えば、シングアラウンド回数Ｎｓを１００、流体が空気である場合、計測に必要な時間Ｔｍｅａｓは、遅延時間Ｔｄ＝０．９×Ｔｐであるとすると、上記実施例においてＴｐ＝約２９４［μｓｅｃ］であるから、
Ｔｍｅａｓ＝（１．９×１００×２９４［μｓｅｃ］）
＝５５．８［ｍｓｅｃ］となる。
【００３７】
上流側から下流側、下流側から上流側の両測定が必要であるから、総計測時間Ｔｓｕｍは、上記の２倍となり、約１１１．７［ｍｓｅｃ］となる。この計測を順次繰り返し実施することになるので、この計測時間と同期した流体の変動が、例えば、流体不連続部の構成部品などにより発生した場合には、計測結果が非常に不安定となる場合がる。従って、このような場合には、シングアラウンド開始時間を適当な間隔で、例えば、ランダムに変化させると、回避すること出来、計測結果が安定することになる。流路を流れる流体の流量を変化させた場合、突如として計測結果が不安定となる場合がある。そのような場合には、本実施例で説明したようにシングアラウンド開始時刻をランダムに変動させると、計測結果が安定する。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように本願記載の発明によれば、流路の流体不連続部に近接して流量計測部を構成することができ、小型コンパクトで、高精度で、低圧力損失の流量計を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例１における超音波流量計の断面図
【図２】  同流量計における計測の回路ブロック図
【図３】  本発明の実施例２における超音波流量計の特性図
【図４】  本発明の実施例３における超音波流量計の特性図
【図５】  従来の流量計の断面図
【符号の説明】
１  流量計
２  流路
３  上流側の流体不連続部
４  流量計測部
５  上流側の超音波変換器
６  下流側の超音波変換器
９  下流側の流体不連続部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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