(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
純度が９９．７％以上、比表面積が３ｍ２／ｇ以上、平均粒径２μｍ以下のアルミナ原料を使用し、平均粒径０．３〜０．７μｍの微粉末を所定形状に成形して大気中１３５０〜１６５０℃で焼成することを特徴とする、主としてＡｌ２Ｏ３からなり、ＳｉＯ２２０〜９０重量％、ＭｇＯ０〜７０重量％およびＣａＯ１０〜８０重量％の三成分からなる焼結助剤の各成分を合計量として０．２〜０．８重量％含有し、残部として実質的に不可避的不純物が０．３重量％以下である、平均結晶粒径０．５〜５．０μｍで結晶粒径の最大値が１５μｍ以下、かさ密度３．７０ｇ／ｃｍ３以上、鏡面仕上げ面での欠陥量が５％以下、粉砕用ボールとしての摩耗率が０．２％／ｈ以下の耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミックス。
【請求項２】
前記不可避的不純物として含まれるアルカリ金属酸化物が０．１重量％以下、ＴｉＯ２が０．０５重量％以下であることを特徴とする請求項１に記載の耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミックス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミックス、特に、耐摩耗性部材材料として有用な耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミックスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
セラミックスは、金属と比べて耐摩耗性および耐食性に優れたものであり、従来、金属が使用されていた耐摩耗部材として、セラミックスが使用されている。この様な耐摩耗部材として用いるセラミックスとしては、アルミナ、ジルコニア、窒化珪素、炭化珪素等が使用されているが、その中でもアルミナは硬度が高く、耐食性に優れ、他のセラミックスに比べて安価であることから広く使用されるようになってきた。しかしながら、従来の耐摩耗性アルミナセラミックスとしては、アルミナ含有量が９０〜９２重量％程度のものが主として用いられているが、不純物を多く含有するために、アルミナ結晶以外にガラス相や第２相を多く含むものとなり、高温下あるいは腐食雰囲気中などにおける使用では粒界のガラス相が腐食されて摩耗特性が大幅に低下することから、このような条件下では耐摩耗性部材として満足して使用することはできなかった。
そこで、例えば、特開昭６２−１８７１５７号公報に示されているように、アルミナ含有量を９９．９％以上とすることで、ガラス相等のアルミナ結晶以外の第２相量をほとんど含有しない高強度、高硬度としたアルミナ質セラミックスが開発されているが、高純度のアルミナ原料を使用するため、その精製精度を上げる必要からコストが非常に高くなるという問題点を有している。
また、従来のアルミナ質セラミックスでは、Ａｌ２Ｏ３の含有量が９９％以上になると焼結助剤その他の添加剤の量が制限されるため、焼結性が低下するため高温で焼成しなければならず、そのために結晶粒径が大きくなり、また焼成温度によっては結晶粒径分布が広くなりやすく、充分な耐摩耗性が得られないという問題点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者等は、特にその精製精度を上げることなく、安価な原料を用いて優れた耐摩耗性と耐食性を有するアルミナ質セラミックスを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記した如き従来技術の問題点に鑑みて、安価な原料を用いて優れた耐摩耗性と耐食性を有するアルミナ質セラミックスを得るべく鋭意研究を重ねてきた。その結果、アルミナ質セラミックスにおいて、焼結助剤の組成を一定の範囲にすると共に、その焼結助剤を均一に混合・分散することで、焼結性を向上させ、且つ、微細構造が均一な焼結体を得ることができ、焼結体の結晶粒径および密度を一定の範囲の値となるように制御されたアルミナ質セラミックスは、極めて優れた耐摩耗性だけでなく耐食性をも有するものとなることを見出し、ここに本発明を完成するに至った。
【０００５】
本発明の第１は、純度が９９．７％以上、比表面積が３ｍ２／ｇ以上、平均粒径２μｍ以下のアルミナ原料を使用し、平均粒径０．３〜０．７μｍの微粉末を所定形状に成形して大気中１３５０〜１６５０℃で焼成することを特徴とする、主としてＡｌ２Ｏ３からなり、ＳｉＯ２２０〜９０重量％、ＭｇＯ０〜７０重量％およびＣａＯ１０〜８０重量％の三成分からなる焼結助剤の各成分を合計量として０．２〜０．８重量％含有し、残部として実質的に不可避的不純物が０．３重量％以下である、平均結晶粒径０．５〜５．０μｍで結晶粒径の最大値が１５μｍ以下、かさ密度３．７０ｇ／ｃｍ３以上、鏡面仕上げ面での欠陥量が５％以下、粉砕用ボールとしての摩耗率が０．２％／ｈ以下の耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミックスに関する。
本発明の第２は、前記不可避的不純物として含まれるアルカリ金属酸化物が０．１重量％以下、ＴｉＯ２が０．０５重量％以下であることを特徴とする請求項１に記載の耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミックスに関する。
【０００６】
即ち、本発明は、ＳｉＯ２２０〜９０重量％、ＭｇＯ０〜７０重量％およびＣａＯ１０〜８０重量％の三成分からなる焼結助剤を用いることによって、焼結性が向上し、粒成長の抑制、結晶粒径の均一性が達成される。また、アルミナ結晶粒界強度を高めることができるため、靱性の向上にも効果がある。使用する焼結助剤は上記組成のＳｉＯ２、ＭｇＯおよびＣａＯの三成分からなることが必要であり、組成割合がこの範囲から外れると焼結性が低下したり、異常粒成長を起こしやすく、また焼結体中にアルミナ以外の結晶やガラス相が多く生成して、硬さ、強度、靱性等の低下による耐摩耗性の低下や耐食性の劣化をきたすので好ましくない。この組成割合は、好ましくはＳｉＯ２２５〜８５量％、ＭｇＯ０〜６０重量％およびＣａＯ１５〜７５重量％、より好ましくはＳｉＯ２３０〜８０量％、ＭｇＯ０〜５０重量％およびＣａＯ２０〜７０重量％である。
【０００７】
得られる焼結体中では前記焼結助剤の各成分を前記した組成比率の範囲内で含有すると共に、各成分の合計量が焼結体中０．２〜０．８重量％であることが必要である。この合計量が０．２重量％未満の場合には、焼結性が悪くなり、欠陥量が増え、硬さ、強度等が低下するので好ましくなく、０．８重量％を越えると、アルミナ結晶以外の結晶やガラス相が多く生成するので好ましくない。
【０００８】
アルミナ質セラミックスの原料には通常、不可避的不純物、例えば、Ｆｅ２Ｏ３、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２ＯおよびＴｉＯ２等が含まれるが、不可避的不純物のうちアルカリ金属酸化物およびＴｉＯ２はガラス相や第２相を生成したり異常粒成長をきたすので、不可避的不純物の含有量が可能な限り少ないものを使用する必要があり、焼結体中の不可避的不純物は０．３重量％以下、好ましくは０．１重量％以下である。特に、Ｎａ２ＯおよびＫ２ＯはＳｉＯ２等と容易にガラス相を形成するため、アルカリ金属酸化物の含有量は０．１重量％以下、好ましくは０．０８重量％以下、より好ましくは０．０５％以下に、またＴｉＯ２は結晶成長を促進させたり異常粒成長の原因となることから、その含有量は０．０５重量％以下、好ましくは０．０２重量％以下、より好ましくは０．０１重量％以下になるように原料を選択して配合される。
【０００９】
焼結体の平均結晶粒径は０．５〜５．０μｍである。本発明は結晶粒径を小さくかつ均一にすることによって耐摩耗性に優れたアルミナセラミックスが得られることが明らかで、０．８〜３．０μｍが好ましい。平均結晶粒径が０．５μｍを下回る場合は、靱性の低下が起こり結果的に耐摩耗性の低下につながり、また耐食性も低下するため好ましくない。また、平均結晶粒径が５．０μｍを越えると硬さが低下し、また、大きい結晶粒子より摩耗が優先的に起こり、粒離脱摩耗による損耗が大きくなり耐摩耗性の低下をきたすため好ましくない。また、耐チッピング性が問題となる場合には耐摩耗性とのバランスを考慮して０．５〜５．０μｍの範囲内で適宜設定すればよい。また、焼結体を構成する結晶粒子の最大径が１５μｍを越える場合には結晶粒径分布が広く、硬度の低下が起こり、その結果、耐摩耗性の低下につながるので好ましくなく、最大径が１５μｍ以下、より好ましくは１０μｍ以下が好適である。
本発明の平均結晶粒径は焼結体を鏡面仕上げし、これを熱エッチングし、走査電子顕微鏡にて視野に結晶が１００個以上観察できる倍率で観察して写真撮影し、その写真からインターセプト法により１０点平均から求める。算出式としてはＤ＝１．５×Ｌ／ｎ〔Ｄ：平均結晶粒径（μｍ）、Ｌ：測定長さ（μｍ）、ｎ：長さＬあたりの結晶数〕を用いる。最大径は１００個の粒子のうち最も大きい粒子の長径とする。
【００１０】
かさ密度を３．７０ｇ／ｃｍ３以上としたのは、かさ密度が３．７０ｇ／ｃｍ３未満の場合、焼結度が不十分であると共に欠陥となるポアーが多く存在することになり、強度、硬度および靱性の低下を引き起こすだけでなく、このポアーが起点となって摩耗を促進するので好ましくない。かさ密度はより好ましくは３．８０ｇ／ｃｍ３以上とする。
【００１１】
また、かさ密度が所定の範囲であってもかさ密度に現れない欠陥が存在する場合があり、その欠陥量は、セラミックスの耐摩耗性に非常に大きな影響を与えるため、鏡面仕上げ面での欠陥量は５％以下が好ましい。これは、欠陥量が５％を越えるとこれらの欠陥が摩耗の起点となって摩耗が促進され、耐摩耗性の低下を招くと同時に耐衝撃強度の低下が起こるので好ましくなく、また、耐食性の低下をきたすからである。この欠陥量は、好ましくは３％以下、より好ましくは２％以下が好適である。
本発明において、セラミックスの欠陥量とは、平面研削盤を用いてセラミックスを下記条件により研削加工した後、研磨加工して鏡面仕上げし、その鏡面仕上げした面（通常５００倍）を走査電子顕微鏡で写真撮影を行い、その写真を画像解析にて欠陥部分と欠陥でない部分とを二値化により分離して、その欠陥部分が画像全体に占める面積の割合、即ち、面積率（％）をいう。この欠陥部分には、気孔だけでなく、焼結体の研削および研磨加工して鏡面仕上げする際に発生する脱粒の後、および焼結体のかさ密度値に影響を与えないレベルの欠陥も含まれる。
【００１２】
前記鏡面仕上げは、平面研削盤とレジンボンドタイプのダイヤモンド砥石を用い、まず、粒度＃１４０のダイヤモンド砥石で、その砥石の周速を１５００ｍ／ｓｅｃ、切り込み深さを８μｍ、被研削物であるセラミックス（以下、ワークという。）の左右の送り速度（以下、ワーク速度という。）を１７ｍ／ｓｅｃとして約８０μｍ研削した後、切込みを止めて砥石を５往復させ、次に砥石を＃４００のダイヤモンド砥石に取り替え、周速１５００ｍ／ｓｅｃ、切込み深さを５μｍ、ワーク送り１３ｍ／ｓｅｃの条件下で約５０μｍ研削した後、切込みを止めて砥石を１０往復させ、更に砥石を＃６００のダイヤモンド砥石に取り替え、周速１５００ｍ／ｓｅｃ、切込み深さを２μｍ、ワーク送り１０ｍ／ｓｅｃの条件下で約２０〜３０μｍ研削した後、切込みを止めて砥石を１５往復させることにより研削を行い、その後、研削加工したセラミックスの研削面に、４０μｍのダイヤモンド砥粒を埋め込んだダイヤモンドパッドを２．６ｋｇｆ／ｃｍ２で加圧して３分研磨し、更に６μｍのダイヤモンド砥粒で２．６ｋｇｆ／ｃｍ２に加圧して５分研磨した後、３μｍのダイヤモンド砥粒で２．６ｋｇｆ／ｃｍ２に加圧して１５分間研磨し、最後に１μｍのダイヤモンド砥粒で１．３ｋｇｆ／ｃｍ２に加圧して５分研磨することにより行う。
【００１３】
本発明の試料の粉砕用ボールとしての摩耗率は０．２％／ｈ以下である。摩耗率がこれ以上になると粉砕用ボール等粉砕用部材として用いた場合、被粉砕物への摩耗粉混入量が増加し得られた焼結体特性に問題が生じる危険性があるため好ましくない。また、ベアリングあるいは半導体用部材などの耐摩耗部材として用いた場合にも、上記摩耗率を超えると使用中に摩耗が大きくなり装置に支障をきたす可能性があるため好ましくない。
本発明における粉砕用ボールとしての摩耗率は以下に示す測定方法により求めた摩耗率が０．２％／ｈ以下であると定義する。粉砕機として三井三池製アトライター（ＭＡ−０１Ｓ）を用い、容量６５０ｍｌのアルミナ製〔純度９９．９％、（株）ニッカトー製ＳＳＡ−９９９Ｗ〕タンク中にボール表面をバレル研磨したφ２ｍｍの粉砕用ボールを４００ｍｌ投入し、更に平均粒子径１０μｍ、比表面積１．２ｍ２／ｇのアルミナ粉末２００ｇおよび水２００ｍｌを入れてジルコニア製〔（株）ニッカトー製ＹＴＺ〕アームにて回転数４００ｒｐｍで２４時間摩耗テストし、下式により摩耗率を求める。
摩耗率＝｛〔（Ｗｂ−Ｗａ）／Ｗｂ〕×１００｝／２４
（Ｗａ：テスト後のボール重量  Ｗｂ：テスト前のボール重量）
【００１４】
また、本発明は、前記アルミナ質セラミックスの焼結性の向上、強度および靱性を一段と向上させると共に、その微細構造組織をより均一化するため、前記成分組成からなる基本組成物１００重量部に対してＺｒＯ２を１５重量部以下、好ましくは１０重量部以下、より好ましくは８重量部以下含有させることができる。
その添加量が基本組成物１００重量部に対して１５重量部を越えると、硬度の低下を生じ、特に安定化剤の添加されていないＺｒＯ２粉体を用いると焼結体に単斜晶系ジルコニアが存在しやすくなり、マイクロクラックの発生が起こって耐摩耗性の低下につながるので好ましくない。
この場合、添加するＺｒＯ２原料はその平均粒子径が１．０μｍ以下のものを使用するのが好適である。これはＺｒＯ２原料の平均粒子径が１．０μｍを越えると、焼結体に単斜晶系ジルコニアが存在しやすくなり、マイクロクラックの発生が起こって耐摩耗性、耐衝撃性の低下につながるので好ましくない。
また、ＺｒＯ２原料としては、希土類元素酸化物等の安定化剤を固溶させたものを用いることもできる。この場合、希土類元素酸化物、例えばＹ２Ｏ３を安定化剤として含むＺｒＯ２原料の場合、Ｙ２Ｏ３の含有量は５モル％以下のものを使用するのが好ましく、これによりジルコニアの応力誘起変態効果により靱性の向上を図ることができる。
【００１５】
更に本発明は原料粉末を所定の割合で配合し、その混合物を平均粒径０．３〜０．７μｍ、比表面積５〜１４ｍ２／ｇに粉砕し、得られた粉末を所定形状に成形し、大気中１３５０〜１６５０℃で焼成することにより、優れた耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミックスからなる成形物を提供することができる。粉砕後の粒度が０．３μｍ以下であると成形性が低下し、その結果、焼結体中に欠陥が多く含有し耐摩耗性および耐食性の低下をもたらすので好ましくない。また、０．７μｍを越えると焼結性の低下をもたらし、焼結体に欠陥を生じやすいため好ましくない。粉砕後の平均粒径は０．３〜０．５μｍ、比表面積は７〜１２ｍ２／ｇがより好ましい。また、焼成温度としては１４００〜１６００℃がより好ましい。
【００１６】
本発明の耐摩耗性および耐食性を有するアルミナ質セラミックスは以下に示す方法で製造できる。アルミナ原料はアルミナ純度が９９．７％以上、比表面積が３ｍ２／ｇ以上、平均粒径２μｍ以下の原料を使用する。使用するアルミナ原料は明礬法から作られた原料でも良いが、バイヤー法アルミナ原料を使用することが好ましく、安価に作ることができる。
焼結助剤の原料としては平均粒径０．５μｍ以下、純度９８％以上のＭｇＯおよびＣａＯ原料もしくは水酸化物、炭酸化物の塩を使用することが可能である。ＳｉＯ２は珪石、石英をはじめシリカゾル、エチルシリケート等の塩も使用でき、更にはカオリン等の粘土鉱物を用いても良い。これら原料を所定量アルミナ原料に添加し粉砕・混合・分散しても良いが、ＭｇＯ、ＣａＯおよびＳｉＯ２原料を先に混合し、次いで熱処理することによって、更に均一に分散することが可能となり、焼結性の向上、結晶粒径の微細化および組織の均一化がはかれ、より耐摩耗性にすぐれた焼結体を得ることができる。
熱処理した焼結助剤を用いる場合は、ＭｇＯ、ＣａＯおよびＳｉＯ２原料を所定量になるよう水もしくは有機溶媒中で湿式によってポットミル、アトリッションミル等の粉砕機で粉砕、混合し、９００℃〜１３００℃にて熱処理することによって熱処理した焼結助剤を作製する。９００℃以下では熱処理の効果が現れず、アルミナ原料に助剤原料を単体で添加した場合と大差が見られない。また、１３００℃を越えた場合には熱処理した焼結助剤の結合が強固で、助剤として添加した場合に粉砕・分散が充分に行えないため好ましくなく、１０００℃から１２００℃で加熱処理することがより好ましい。
【００１７】
アルミナ原料に所定のＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ２およびＺｒＯ２量となるように、上記熱処理した焼結助剤あるいは各焼結助剤原料と必要に応じＺｒＯ２原料を添加し、水もしくは有機溶媒中で湿式によってポットミル、アトリッションミル等の粉砕機で粉砕、混合、分散する。得られた粉体の平均粒径は０．３〜０．７μｍ以下、比表面積は５〜１４ｍ２／ｇにする必要がある。得られたスラリーにバインダーとしてポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、アクリル樹脂およびパラフィンワックスエマルジョン等を添加してスプレードライヤーにて乾燥・造粒して成形用粉体とする。次いでこの粉体を用いてセラミックスの製造における常法に従って金型プレス、冷間静水圧成形（ＣＩＰ）等により所定の形状に成形する。これらの成形方法以外に鋳込み成形、押出成形、射出成形、造粒成形等の成形方法によっても成形できる。得られた成形体を１３５０℃〜１６５０℃、好ましくは１４００℃〜１６００℃の温度で焼成し耐摩耗性および耐食性アルミナ質セラミックスとする。
【００１８】
本発明の耐摩耗性アルミナセラミックスは、耐摩耗性および耐食性に優れるため、粉砕用メディア、ケージミル用部材、内張材、粉砕用容器、ノズル、ローラ、ゲージ、ベアリング（軸受部品）および半導体用治具等の耐摩耗部材として最適である。
【００１９】
【実施例】
以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれにより何ら限定するものではない。
【００２０】
実施例１
各原料を表１に示す組成の焼結体が得られるように配合し、得られた混合物を９２％アルミナ製〔（株）ニッカトー製ＨＤ〕ポットミル（内容積７．２リットル）とφ１０ｍｍの９２％アルミナ製〔（株）ニッカトー製ＨＤ−１１〕ボールを用いて濃度５０％で２４〜７２時間湿式粉砕し、表２に示す平均粒径を有し比表面積が５ｍ２／ｇ以上の微粉末を含むスラリーを得た。得られたスラリーにポリビニルアルコール水溶液を３〜５重量％バインダとして添加して、粘度を３００ｃｐｓ以下に調整し、これをスプレードライヤーにて乾燥・造粒し成形用粉体を得た。続いてこの粉体を造粒成形にて球状に成形し、１３００℃〜１７００℃で焼成して、φ２ｍｍのボールとし、次いでこのボールの表面をバレル研磨して粉砕用ボールとした。また、耐食性評価のため、成形用粉体をＣＩＰ１ｔｏｎｆ／ｃｍ３成形し、粉砕用ボールと同様に焼成して１０×１０×３ｍｍの焼結体を作製し、鏡面仕上げして評価用サンプルとした。
【００２１】
アルミナ原料としては、試料Ｎｏ．１７、１８は平均粒径が２μｍ、比表面積３ｍ２／ｇ、純度９９．７％のバイヤー法により作製されたローソーダアルミナ原料を、それ以外の試料は平均粒径１μｍ、比表面積５ｍ２／ｇ、純度９９．８％のリアクティブアルミナ原料を用いた。
助剤原料としては、ＭｇＯおよびＣａＯの原料として純度９９．５％の炭酸塩を使用し、ＳｉＯ２の原料としては珪石を使用した。更に、ＺｒＯ２の原料としては試料Ｎｏ．３，４および１４については平均粒径１．０μｍ、比表面積１２ｍ２／ｇ、純度９９．９％の二酸化ジルコニウムを用い、試料Ｎｏ．２についてはＹ２Ｏ３を３．０モル％含有する平均粒径０．５μｍ、比表面積１５ｍ２／ｇの二酸化ジルコニウムを用いた。
【００２２】
試料Ｎｏ．２、７〜９、１３〜１６および２１については、配合した助剤原料をポットミルで２４時間湿式混合し、乾燥後９００℃〜１３００℃で熱処理した後、上記アルミナ原料と配合し、試料Ｎｏ．２および１４については更にＺｒＯ２原料を配合した。また、試料Ｎｏ．３および４については助剤原料とアルミナ原料およびＺｒＯ２原料を配合した。これら配合した原料をポットミルで所定の粒度となるように湿式粉砕を行い、次いでＰＶＡを加えた後、スプレードライヤーにて乾燥・造粒し成形用粉体を得た。続いてこの粉体を造粒成形にて球状に成形し、１３００℃〜１７００℃で焼成して、φ２ｍｍのボールとし、次いでこのボールの表面をバレル研磨して粉砕用ボールとした。また、耐食性評価のため、成形用粉体をＣＩＰ１ｔｏｎｆ／ｃｍ３成形し、粉砕用ボールと同様に焼成して１０×１０×３ｍｍの焼結体を作製し、鏡面仕上げして評価用サンプルとした。
【００２３】
得られた粉砕用ボールを下記の測定方法により摩耗率を求めた。粉砕機として三井三池製アトライター（ＭＡ−０１Ｓ）を用い、容量６５０ｍｌのアルミナ製〔純度９９．９％、（株）ニッカトー製ＳＳＡ−９９９Ｗ〕タンク中にボール表面をバレル研磨したφ２ｍｍの粉砕用ボールを４００ｍｌ投入し、更に平均粒子径１０μｍ、比表面積１．２ｍ２／ｇのアルミナ粉末２００ｇおよび水２００ｍｌを入れてジルコニア製〔（株）ニッカトー製ＹＴＺ〕アームにて回転数４００ｒｐｍで２４時間摩耗テストし、下式により摩耗率を求める。
摩耗率＝｛〔（Ｗｂ−Ｗａ）／Ｗｂ〕×１００｝／２４
（Ｗａ：テスト後のボール重量  Ｗｂ：テスト前のボール重量）
また、これら試料の耐食性は下記の方法で評価した。鏡面仕上げを行った１０×１０×３ｍｍのサンプルを容量７０ｍｌの圧力分解容器に入れ、３０ｍｌのＨ２ＳＯ４溶液（濃度２０％）中で１５０℃−４８ｈ保持し、サンプルの表面積に対する重量減で評価した。これらの結果を、粉砕用ボールのかさ密度、結晶粒径、欠陥量、並びに粉砕粉体の平均粒径および焼成温度と共に表２に示す。
【００２４】
【表１】
0004927292.tif 000002
【００２５】
【表２】
0004927292.tif 000003
【００２６】
表１中のＺｒＯ２量はアルミナ、焼結助剤および不可避的不純物からなる基本組成物１００重量部に対する添加量（重量部）で示してある。表２中の耐食性評価結果はＡが０．２４ｍｇ／ｃｍ３／ｄａｙ以下で優秀、Ｂが２．４ｍｇ／ｃｍ３／ｄａｙ以下で良好、Ｃが７．２ｍｇ／ｃｍ３／ｄａｙ以下で十分、Ｄが２４ｍｇ／ｃｍ３／ｄａｙ以下で劣ることを示す。また、表１および表２中の試料Ｎｏ．１〜１０の焼結体は本発明の条件を満足するものであり、試料Ｎｏ．１１〜２２は本発明において規定する条件を少なくとも１つを満たしていない本発明の範囲外のものである。
本発明の試料の摩耗率は０．２％／ｈ以下とすぐれた摩耗特性を示し、また耐食性にも非常にすぐれていた。
【００２７】
【発明の効果】
本発明は、原料としてのアルミナの精製精度を特に高くする必要もなく、優れた耐摩耗性と耐食性を有するアルミナ質セラミックスを提供することができた。