(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料にＸ線を照射し、試料から発生する蛍光Ｘ線から前記試料の構成元素を分析する方法であって、前記試料の測定条件および測定時間の最大値を設定する設定ステップと、前記Ｘ線を照射された試料から発生される蛍光Ｘ線の測定を行い、その測定の結果から前記試料の構成元素の測定濃度と測定精度とを導出する導出ステップと、前記導出ステップで導出された測定濃度と測定精度が前記設定ステップで設定した測定条件を満たす場合、または前記測定濃度と測定精度が前記測定条件を満たさない場合であって測定時間が前記設定ステップで設定した最大値を越えた場合に前記蛍光Ｘ線の測定を終了させる終了ステップと、前記測定結果を出力する出力ステップとを備え、
前記測定条件は、前記測定精度が予め定めた設定値を下回ることであり、前記設定値は、前記測定濃度のばらつきの上限目標値を、測定において所望される精度の高さを示す精度係数で除した値であることを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項２】
出力された前記測定濃度と前記測定精度とから測定の信頼性を評価するステップであって、前記測定濃度と前記測定精度とのそれぞれに対して設定された閾値との比較を行い、出力された前記測定濃度と前記測定精度とを段階評価する評価ステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析方法。
【請求項３】
試料にＸ線を照射し、試料から発生する蛍光Ｘ線から前記試料の構成元素を分析する蛍光Ｘ線分析装置であって、前記試料の測定条件および測定時間の最大値の設定を入力する入力手段と、前記測定条件にしたがってＸ線の照射を制御する照射コントロール手段と、前記蛍光Ｘ線を検出する検出手段と、前記検出手段からの信号をもとに測定濃度と測定精度を演算する演算手段と、前記演算結果を出力する出力手段と、前記演算手段で演算された前記測定精度が前記測定条件を満たす場合、または前記測定精度が前記測定条件を満たさない場合であって測定時間が前記入力手段で設定した最大値を越えた場合に前記蛍光Ｘ線の測定を終了させる制御手段とを備え、
前記測定条件は、前記測定精度が予め定めた設定値を下回ることであり、前記設定値は、前記測定濃度のばらつきの上限目標値を、測定において所望される精度の高さを示す精度係数で除した値であることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は蛍光Ｘ線分析方法とその装置に関するもので、特に、さまざまな組成から構成される電子・電気機器に用いられる部品に混入する環境負荷物質を検出する際に用いられる。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子・電気機器を構成する部品内に含有する環境負荷物質の危険性が指摘され、法律、条令によりこれら環境負荷物質の含有量を制限する国、または州が登場している。例えば、ＥＵ各国ではＲｏＨＳ指令（Ｒｅｓｔｒｉｃｔｉｏｎ  ｏｆ  ｔｈｅ  ｕｓｅ  ｏｆ  ｃｅｒｔａｉｎ  Ｈａｎｚａｒｄｏｕｓ  Ｓｕｂｓｔａｎｃｅｓ  ｉｎ  ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ  ａｎｄ  ｅｌｅｃｔｒｉｃ  ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ）では、カドミウム（Ｃｄ）、鉛（Ｐｂ）、水銀（Ｈｇ）、特定臭素系難燃剤（２種類）（ポリ臭化ビフェニル（ＰＢＢ），ポリ臭化ビフェニルエーテル（ＰＢＤＥ））、６価クロム（Ｃｒ（ＶＩ））を１０００ｐｐｍ（Ｃｄは１００ｐｐｍ）以上含有する部品の使用を禁止している。そのため、電気・電子機器製造メーカでは、各部品に規制値以上の環境負荷物質が含有していないことを確認することが必要不可欠となっている。
元素含有量を測定する方法としては、数１０ｐｐｍの感度を有し、かつ非破壊で測定可能である蛍光Ｘ線分析器を用いるのが一般的である。
この種の分析方法を用いて試料に含まれている元素の濃度を定量する手順は一般的によく知られている。その一例としての方法を図１１を用いて説明する（特許文献１参照）。
図１１において、まず、ステップ３０１で測定時間ｔの設定が行われた後、測定が開始される（ステップ３０２参照）。続いて、測定が行われ（ステップ３０３参照）、ｔ時間経過後に測定が終了し（ステップ３０４参照）、濃度計算およびその計算結果の精度（標準偏差）の計算が行われて濃度と精度の結果を得る。
【０００３】
そして、濃度と精度の結果がＬＣＤ等の表示手段で表示されるとともにプリンタ等を用いて印字出力される（ステップ３０６参照）。この際、濃度計算結果の精度の求め方として、上記手順を数回（２〜１０回）繰り返して求める場合と、上記手順のように一回の測定で、あとはＸ線のカウント数から推測する場合がある。
【特許文献１】
特開平８−４３３２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の分析方法は、以下に示すような欠点を有する。
（１）ステップ３０１で行われたように、測定時間として設定した時間（ｔ）後でないと濃度の計算結果が得られないので、操作性が悪い。
（２）また、前記設定した時間（ｔ）後でないと濃度計算結果の精度が得られないという理由から、試料に含まれている元素の濃度をなるべく精度良く測定するために必要以上に測定時間を長く設定してしまう。一例を挙げて上記欠点を説明すると、従来この種の蛍光Ｘ線分析方法を用いてＣｄ分（以下、カドミ濃度という）を測定するに際しては、測定の最初にステップ３０１で示したような測定時間ｔの設定を行う。この際、なるべく精度良く測定するために、Ｃｄ以外の元素の存在の可能性を加味して２００秒もの極めて長い測定時間ｔを費やして測定を行っている。
一方、プラスチックをベースとし、Ｃｄのような重元素が多く含まれない試料であったとしても、従来の分析方法では２００秒もの測定時間を費やしてしまう。発明者らが実験を重ねた結果、プラスチックをベースとする試料のＣｄ濃度を測定する場合、２０〜２５ｐｐｍ程度の定量分析に対してわざわざ２００秒もの測定時間ｔを費やす必要はなく、１０秒間の測定で充分であるということが判明した。
【０００５】
すなわち、当該カドミ濃度が規格値以下であるかどうか１０秒間の測定で正しく判断できるにも関わらず、従来の分析方法では、２００秒もの時間を要するという問題がある。  本発明は、上記発明者の実験に基づき判明した上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、測定時間の短縮と操作性の向上を図ることができる蛍光Ｘ線分析方法および蛍光Ｘ線分析装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本第１の発明の蛍光Ｘ線分析方法は、試料にＸ線を照射し、試料から発生する蛍光Ｘ線から試料の構成元素を分析する方法であって、試料の測定条件および測定時間の最大値を設定する設定ステップと、Ｘ線を照射された試料から発生される蛍光Ｘ線の測定を行い、その測定の結果から試料の構成元素の測定濃度と測定精度とを導出する導出ステップと、導出ステップで導出された測定濃度と測定精度が設定ステップで設定した測定条件を満たす場合、または測定濃度と測定精度が測定条件を満たさない場合であって測定時間が設定ステップで設定した最大値を越えた場合に蛍光Ｘ線の測定を終了させる終了ステップと、測定結果を出力する出力ステップとを備え、測定条件は、測定精度が予め定めた設定値を下回ることであり、設定値は、測定濃度のばらつきの上限目標値を、測定において所望される精度の高さを示す精度係数で除した値であることを特徴とする蛍光Ｘ線分析方法である。
ここで、測定精度とは、例えば、測定濃度のばらつき、誤差を示す値である。
本発明に記載の蛍光Ｘ線分析方法は、終了ステップを備えている。このため、測定精度が所望の測定条件を満たす場合には、測定を短時間で切り上げることが可能となる。すなわち、測定時間として設定した時間が経過する前であっても、所望の精度の測定結果を得ることができる。また、測定時間を短縮することができる。
【０００７】
設定値は、測定濃度のばらつきの上限目標値を、測定において所望される精度の高さを示す精度係数で除した値である。
本発明に記載の蛍光Ｘ線分析方法では、上限目標値を精度係数で除した設定値を測定条件に用いている。比較的濃度の低い測定においてこの測定条件を満足する場合には、測定濃度は、精度係数に基づいて定められる確率で上限目標値を下回ると結論付けることが可能となる。このため、簡易に適切な精度の測定を行うことが可能となる。
【０００８】
本第２の発明の蛍光Ｘ線分析方法は、本第１の発明の蛍光Ｘ線分析方法であって、評価ステップをさらに備えている。評価ステップは、出力された測定濃度と測定精度とから測定の信頼性を評価するステップであって、測定濃度と測定精度とのそれぞれに対して設定された閾値との比較を行い、出力された測定濃度と測定精度とを段階評価する。
【０００９】
ここで、段階評価とは、例えば、測定値と閾値との比較により測定値をクラス分けして評価することなどを意味している。
本発明に記載の蛍光Ｘ線分析方法では、測定濃度と測定精度とを段階評価する。このため、ユーザは、測定結果をより容易に確認することが可能となる。
本第３の発明の蛍光Ｘ線分析装置は、試料にＸ線を照射し、試料から発生する蛍光Ｘ線から前記試料の構成元素を分析する蛍光Ｘ線分析装置であって、前記試料の測定条件および測定時間の最大値の設定を入力する入力手段と、前記測定条件にしたがってＸ線の照射を制御する照射コントロール手段と、前記蛍光Ｘ線を検出する検出手段と、前記検出手段からの信号をもとに測定濃度と測定精度を演算する演算手段と、前記演算結果を出力する出力手段と、前記演算手段で演算された前記測定精度が前記測定条件を満たす場合、または前記測定精度が前記測定条件を満たさない場合であって測定時間が前記入力手段で設定した最大値を越えた場合に前記蛍光Ｘ線の測定を終了させる制御手段とを備え、前記測定条件は、前記測定精度が予め定めた設定値を下回ることであり、前記設定値は、前記測定濃度のばらつきの上限目標値を、測定において所望される精度の高さを示す精度係数で除した値であることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置である。
【００１０】
ここで、測定精度とは、例えば、測定濃度のばらつき、誤差を示す値である。
本発明に記載の蛍光Ｘ線分析装置は、制御手段を備えている。このため、測定精度が所望の測定条件を満たす場合には、測定を短時間で切り上げることが可能となる。すなわち、測定時間として設定した時間が経過する前であっても、所望の精度の測定結果を得ることができる。また、測定時間を短縮することができる。
設定値は、測定濃度のばらつきの上限目標値を、測定において所望される精度の高さを示す精度係数で除した値である。
本発明に記載の蛍光Ｘ線分析装置では、上限目標値を精度係数で除した設定値を測定条件に用いている。比較的濃度の低い測定においてこの測定条件を満足する場合には、測定濃度は、精度係数に基づいて定められる確率で上限目標値を下回ると結論付けることが可能となる。このため、簡易に適切な精度の測定を行うことが可能となる。
【００１１】
本発明により、測定時間として設定した時間後でないと濃度の計算結果が得られないという操作性が悪いことや、設定した時間後でないと濃度計算結果の測定精度が得られないため、試料に含まれている元素の濃度をなるべく測定精度良く測定するため、必要以上に測定時間を長く設定してしまい測定時間が長くなってしまうことを防ぎ、測定時間の短縮と操作性の向上とを図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、本発明の具体的な実施の形態を図面を使って説明する。
（実施の形態１）
〈概要〉
本発明は、試料の測定条件の設定を行った後に測定を開始し、試料に含まれている元素の濃度とその測定精度（以下、精度と記す）の計算を行い、精度の計算値が予め定めた値となったときに測定を終了し、そのときの濃度および精度を表示および／または出力する。このため、従来の方法で問題となる、（１）測定時間として設定した時間後でないと濃度の計算結果が得られないので操作性が悪いという点、また、（２）設定した時間後でないと濃度計算結果の精度が得られないので試料に含まれている元素の濃度をなるべく精度良く測定するために必要以上に測定時間を長く設定してしまうという点、を解消でき、測定時間の短縮と操作性の向上を図ることができる。
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〈構成〉
図１は本発明の実施の形態１を説明するためのフローチャートである。図２は本発明の実施の形態１を説明する装置概略図である。
【００１３】
図２において２０１はサンプル名称や測定条件を入力するキーボード等からなる入力手段（以下、入力部と記す）、２０２は測定条件を信号処理化し、スペクトルを定量化する演算処理を実行する演算手段（以下、演算部と記す）、２０３はＸ線管の印加電圧、電流を制御する照射コントロール手段（以下、コントローラと記す）、２０４はＸ線を発光、照射するＸ線管、２０５は発光した１次線、２０６は非測定物である試料、２０７は蛍光Ｘ線、２０８は蛍光Ｘ線を検出する検出手段（以下、検出器と記す）、２０９は検出信号を増幅する増幅器を２１０は演算結果等を表示する出力手段（以下、表示部と記す）、２１１は試料の情報や演算結果を記憶する外部記憶装置をそれぞれ示す。以上の入力部２０１、演算部２０２、コントローラ２０３、Ｘ線管２０４、検出器２０８、増幅器２０９、表示部２１０により、蛍光Ｘ線分析装置２００が構成されている。なお、外部記憶装置２１１は、蛍光Ｘ線分析装置２００の外部に接続されるだけでなく、内蔵されていてもよい。なお、これらの事項によりこの発明は限定を受けるものではない。
〈作用〉
次にこの装置の動作について詳細に説明する。
ここでは一例として、蛍光Ｘ線分析装置２００を用いて、プラスチック樹脂中のＣｄ濃度（ＸＷｔ％：Ｘ重量パーセント）を測定する方法について図１、図２を用いて説明する。なお、本実施の形態では、Ｃｄ濃度を測定する場合について説明を行うが、本発明を、その他の環境負荷物質およびその他の構成元素の分析に用いることができるということは言うまでもない。
【００１４】
まず、ステップ１０１でプラスチック樹脂試料の測定条件の設定が行われた後、測定が開始される（ステップ１０２参照）。
この際、測定条件としては、例えば、Ｃｄ濃度誤差がＣｄ濃度値の５％以下にならなければならないことや、測定時間ｔが最大値ｔｍａｘの、例えば、２００秒を越えないこと等が入力される。具体的には図２に記載されるキーボード等の入力部２０１による入力作業であったり、外部記憶装置２１１からのダウンロードによる情報入力を実施することとなる。
入力値を受け、演算部２０２内ではＸ線管の印加する電圧、電流値を算出しコントローラ２０３に指令を出力する。コントローラ２０３は指令に従い、所定の電圧、電流をＸ線管２０４に入力する。その結果Ｘ線管２０４から１次線２０５が発生し、試料２０６に照射される。試料２０６から発生した蛍光Ｘ線２０７は検出器２０８で検出され、検出された信号は増幅器２０９で増幅され、演算部２０２に信号が戻される。
演算部２０２内では、増幅された信号を元にＣｄの蛍光Ｘ線量（カウント値）と散乱Ｘ線の総量（散乱Ｘ線のカウント数）が算出される。これら数値と前もって測定された検量線定数を用いて、プラスチック樹脂試料に含まれているＣｄ濃度Ｘと測定精度（誤差）の計算が演算部２０２内で行われ、演算結果を表示部２１０に表示させる仕組みとなっている（ステップ１０３参照）。
【００１５】
この際、Ｃｄ濃度Ｘとその測定精度（σｘ  ）は以下に示す（１），（２）式を用いた演算が施されることにより計算される。すなわち、
Ｘ＝ａ×（Ｆ／Ｄ）＋ｂ  …………（１）
（１）式において、ａは検量線定数、Ｄは散乱Ｘ線のカウント値、ＦはＣｄのカウント値である。
σｘ  ＝ａ×（Ｆ／Ｄ）×（１／Ｆ＋１／Ｄ）＾（１／２）  …（２）
そして、この演算により、現時点での濃度Ｘと精度σｘ  が、随時表示部２１０の表示画面に表示される。
続いて、上記のように、濃度とその精度の計算を随時行い、濃度Ｘと測定精度σｘの結果が下記（３）式を満足したときに測定を終了する。
σｘ  ＜０．０５・Ｘ    …………（３）
すなわち、演算部２０２内での演算結果の測定精度が指定値未満であると判断された場合には、ステップ１０６に進み、測定が終了することとなる（ステップ１０６参照）。なお、この（３）式では不等号（＜）を用いて終了条件を示しているが、当該部分は、不等号［含  等号］（≦）であってもよい。
【００１６】
測定終了は演算部２０２での演算処理を終了して結果を表示または出力することを示すが、同時にコントローラ２０３を制御してＸ線管２０４からの１次線２０５の照射を停止したり、検出器２０８の検出を終了しても、増幅器２０９による増幅を中止するなどの場合や、図２には記載していないが、１次線や蛍光Ｘ線の光路中にメカニカルなシャッターを設けてＸ線を切断する方法、演算は継続していても表示もしくは出力を固定することもであってもよいし、これらの動作を複数並行に実施してもよいし、もちろん上記手法に限定されるものではない。
一方、ステップ１０４で、測定精度σｘが指定値未満でない場合には、ステップ１０５で当該測定に当たり測定時間ｔが最大値ｔｍａｘ  の２００秒を越えているのかどうかが判断される。言い換えると、ステップ１０１で入力した測定条件より、下式の（４）式が成立するかどうかを判断する。
ｔｍａｘ  ≦ｔ（測定時間）  …………（４）
ステップ１０５で、当該測定時間ｔが２００秒を越えていると判断された場合には、ステップ１０６に進み、前述の測定終了の動作が実行される（ステップ１０６参照）。
最後に、ステップ１０７で前記表示部２１０に結果（濃度，精度（誤差），測定時間等）の表示を行うとともに、プリンタや外部出力でその結果を出力する。
【００１７】
結果は表示部２１０に表示しても外部記憶装置２１１に記録してもその方法を実施しても良い。外部記憶装置２１１には濃度、測定精度、測定時間などの測定結果はもちろん大きさ、形状、材質等の試料の情報を記憶しておくことが好ましいがこれに限定されるものではない。
測定終了後、試料２０６は取り出さねばならないが、１次線２０５が放出された状態では、作業者の安全性が確保されないため、１次線２０５は測定終了後速やかに放出を停止することが望ましい。具体的にはステップ１０６で測定が終了し、表示部２１０に結果表示を実施したことを確認した際、演算部２０２より、コントローラ２０３に停止信号を送信し、コントローラ２０３はＸ線管２０４の動作をストップさせる機能を追加することが望ましい。
なお作業者の安全を確保する方法としてはコントローラ２０３を制御し、Ｘ線管２０４から発生する１次線２０５の照射を中止する方法や、検出器２０８の検出を中止する方法や、１次線の光路にシャッターを設ける方法などがあるがこれに限定するわけではない。
このように本実施の形態では、測定者は、予め自分の要求する値を入力もしくはダウンロードすることで、計算値を判断する目安（Ａ）（図１：ステップ１０４参照），（Ｂ）（図１：ステップ１０５参照）で自動的に判断し、測定を終了させるようにしている。このため、必ずしも設定時間経過まで測定結果の出力を待つ必要がなく、測定時間の短縮と操作性の向上を図ることができる。
【００１８】
なお、本実施の形態ではプラスチック樹脂中のＣｄ濃度測定で十分な信頼性を有する結果を得るには、精度は測定値の２σに相当する５％以下が必要という予備実験結果に基づき５％の要求値を入力したが、これに限定されるわけではなく、更なる精度を必要とする場合は小さな値を入力すればよく、また小さい値に限定されるものではない。
また測定したい元素の含有量が非常に微量な場合は、含有量に対する分率表示では演算結果が収束しない場合が発生する、そのような場合は要求精度を含有量の分率で定義せず、絶対カウント数のバラツキで定義したほうが高速で良好な結果が得られる場合があるが、もちろんこれに限定されるものではない。
（実施の形態２）
〈概要〉
実施の形態２は、演算部２０２（図２参照）における異なる処理を提供するものである。具体的には、実施の形態１とは異なる測定条件が演算部２０２に設定され、測定を行う。以下、詳細に説明を加えるが、蛍光Ｘ線分析装置２００の構成についての説明は、実施の形態１と同じであるため省略する。
〈作用〉
以下、図３に示すフローチャートを用いて、実施の形態２に示す本発明について説明を行う。
【００１９】
まず、ステップ１２１でプラスチック樹脂試料の測定条件の設定が行われた後、測定が開始される（ステップ１２２参照）。
測定条件の設定に際して、測定濃度のばらつきの上限目標値と、測定において所望される精度の高さを示す精度係数とが、入力される。
ばらつきの上限目標値は、ユーザにより任意に決定される値であるが、例えば、ユーザが自己の管理基準値（例えば、各部品に含まれる環境負荷物質の濃度の規制値であって、法令で定められる濃度規制値を下回る値など）を定めている場合には、その管理基準値を入力する。
また、精度係数は、ユーザにより任意に決定される値であるが、どれくらいの確率で測定精度の値が上限目標値を下回るかを示す値（すなわち、測定精度の高さを示す値）を入力する。
さらに、実施の形態１と同様に測定時間の最大値ｔｍａｘを入力する。実施の形態１と同様にｔｍａｘを２００秒に設定するとする。
これらの入力は、実施の形態１と同様、図２に記載されるキーボード等の入力部２０１を用いてあるいは外部記憶装置２１１からのダウンロードを用いて行われる。
【００２０】
入力された値は、演算部２０２に対して設定される。
ステップ１２２〜ステップ１２３では、実施の形態１のステップ１０２〜１０３と同様に、蛍光Ｘ線２０７を検出するとともに、式（１）と式（２）とに基づいて、測定濃度Ｘと測定精度σｘとが算出される。詳しい説明は、実施の形態１と同様であるため省略する。
ステップ１２４では、ステップ１２３で計算された測定精度σｘが下記（３’）を満足したときに測定を終了する。
σｘ  ＜（σ１／ｋ１）    …………（３’）
ここで、σ１は、ステップ１２１で設定された上限目標値の値であり、ｋ１は、ステップ１２１で設定された精度係数の値である。
すなわち、演算部２０２内での演算結果の測定精度が、設定値（σ１／ｋ１）未満であると判断された場合には、ステップ１２６に進み、測定が終了することとなる（ステップ１２６参照）。なお、この（３’）式では不等号（＜）を用いて終了条件を示しているが、当該部分は、不等号［含  等号］（≦）であってもよい。
ここで、ステップ１２６における測定終了の処理についての説明は、実施の形態１で説明したのと同様であるため省略する。
【００２１】
一方、ステップ１２４で、測定精度σｘが設定値（σ１／ｋ１）未満でない場合には、ステップ１２５に進む。ステップ１２５では、測定時間ｔがステップ１２１で設定された最大値ｔｍａｘの値（本実施の形態では２００秒に設定）を越えているのかどうかが判断される。ステップ１２５における処理についての説明は、実施の形態１で説明したステップ１０５と同様であるため省略する。
ステップ１２５で、当該測定時間ｔが最大値ｔｍａｘ（２００秒）を越えていると判断された場合には、ステップ１２６に進み、測定終了の処理が実行される（ステップ１２６参照）。
最後に、ステップ１２７で前記表示部２１０に結果（濃度，精度（誤差），測定時間等）の表示を行うとともに、プリンタや外部出力でその結果を出力する。
〈効果〉
このように本実施の形態では、必ずしも設定時間経過まで測定結果の出力を待つ必要がなく、測定時間の短縮と操作性の向上を図ることができる。
また、環境負荷物質がほとんど含まれておらず、測定濃度Ｘの測定結果が０ｐｐｍとして出力されることがほとんどである試料に対しては、ステップ１２１で設定する上限目標値の値をユーザの管理基準値としておくことにより、精度係数で定めた値に基づく確率で実際の濃度が管理基準値を下回ることとなる。すなわち、測定濃度Ｘの測定結果としての０ｐｐｍという値が信用できる値であることを確認できるとともに、ユーザの管理基準を満足することを確認できる。ユーザの管理基準値は、法定の規制値（例えば、ＲｏＨＳでは、Ｃｄは１００ｐｐｍ未満）を充分下回る値（例えば、Ｃｄは２５ｐｐｍ未満）に設定されているのが通常である。このため、本発明を用いれば、より簡易に測定対象となる試料が法定の規制値を満足するか否かを判定すること、さらには、ユーザの管理基準値を満足するか否かを判定することが可能となる。
【００２２】
ここで、図４を用いて、測定精度σｘ、上限目標値σ１、精度係数ｋ１の関係について示す。図４は、測定濃度Ｘ（ｐｐｍ）の分布を示すグラフである。測定精度σｘは、分布の平均値からのずれを示す値である。精度係数ｋ１は、信頼区間を決定する係数であり、図４では、測定精度σｘの３倍の区間を信頼区間としている（すなわち、ｋ１＝３）。式（３’）を用いたステップ１２４の処理が意味するところは、上限目標値σ１（図４では、２５ｐｐｍ）が測定精度σｘの３倍の区間に含まれる場合に測定を終了する、ということである。
なお、図４では、精度係数ｋ１の値を３としているが、ユーザが所望する精度に応じてこの値は任意に変更可能である。例えば、精度がそれほど要求されない場合には処理を短時間で終わらせるために、さらに低い値を設定してもよい。また、精度がさらに要求される場合には、さらに高い値を設定してもよい。測定精度と処理時間とを比較考量して、精度係数ｋ１の値としては、２〜６程度の値を用いることが好ましい。
〈変形例〉
［１］
〈１−１〉
実施の形態２に示した本発明は、測定終了時の測定濃度Ｘおよび測定精度σｘの値の信頼性を評価するステップをさらに備えていてもよい。具体的には、測定終了時の測定濃度Ｘおよび測定精度σｘのそれぞれに対して閾値との比較を行う。さらに、それぞれの比較に基づき、測定結果の信頼性を評価する。これについて、図５のフローチャートを参照しながら説明を加える。
【００２３】
ステップ１２６（図３参照）により測定が終了すると、演算部２０２（図１参照）は、測定結果を評価する（ステップ１３０）。具体的には、測定終了時の測定濃度Ｘが予め定められた濃度に関する閾値Ｘｔを下回るか否か（条件Ｘ＜Ｘｔを満足するか否か）と、測定終了時の測定精度σｘが予め定められた精度に関する閾値σｔを下回るか否か（条件σｘ＜σｔを満足するか否か）とが判断され、それぞれの判断結果が記号などで表示される。判断結果の表示は、例えば、条件を満足する場合に「○」、条件を満足しない場合に「×」などと表示することにより行われる。なお、判断結果の表示は、これに限らず、どのような表示であってもよいが、ユーザにとって認識しやすい表示であることが好ましい。
ここで、閾値Ｘｔと閾値σｔとは、予めステップ１２１（図３参照）において設定される。なお、閾値σｔは、ステップ１２１で設定した上限目標値σ１と同じ値であってもよい。この場合、ユーザは、上限目標値σ１を入力すれば、その値が自動的に閾値σｔに設定される。また、閾値Ｘｔは、ステップ１２１で設定した上限目標値σ１と同じ値であってもよい。
さらに、ステップ１３１では、測定濃度Ｘに対する判断結果と測定精度σｘに対する判断結果とを組み合わせて、測定全体の信頼性を評価する。演算部２０２が備えるメモリあるいは外部記憶装置２１１には、予め信頼性を評価するためのテーブルが格納されている。
【００２４】
図６にこのテーブルＴｂ１を示す。テーブルＴｂ１には、ステップ１３０のそれぞれの判断結果の組み合わせに対して、信頼性の評価結果が関連付けられている。演算部２０２は、ステップ１３０の判断結果を用いて、テーブルＴｂ１を参照することにより、信頼性の評価結果を出力する。一例について説明すると、例えば、測定濃度Ｘに対する判断結果が「○」、かつ測定精度σｘに対する判断結果が「×」である場合、判定結果「？」を出力するとともに「要高精度分析」という評価結果を出力する。
なお、テーブルＴｂ１は、測定濃度Ｘと測定精度σｘとのそれぞれの判断結果の悪い方の結果を判定結果として格納している。さらに、測定精度σｘに対する判断結果が「×」である場合には、判定結果として「？」を格納している。これにより、測定精度σｘに対する判断結果が「×」の場合に測定自体の信頼性が低いと評価され、それ以外で測定濃度Ｘに対する判断結果が「×」の場合に測定自体の信頼性は高いが試料に問題があると評価される。
最後に、ステップ１３２では、表示部２１０に結果（測定濃度、測定精度（誤差）、測定時間、信頼性の評価結果）の表示を行うとともに、プリンタや外部出力でその結果を出力する。
【００２５】
本発明では、測定結果の信頼性が評価されるため、ユーザは、容易に測定結果の善し悪しを判断し、その後の対応を判断することが可能となる。
なお、図５に示す処理は、実施の形態１においても常識的な変更のもとで適用可能である。また、図６に示すテーブルＴｂ１は、一例であり、本発明がこの場合に限定される訳ではない。ユーザは、必要に応じてテーブルＴｂ１の内容やそれぞれの閾値を変更することが可能である。
〈１−２〉
さらに、上記〈１−１〉において、測定濃度Ｘおよび測定精度σｘのそれぞれは、２つの閾値と比較してもよい。これについて、図７のフローチャートを参照しながら説明を加える。
ステップ１２６（図３参照）により測定が終了すると、演算部２０２（図２参照）は、測定結果を評価する（ステップ１３５）。具体的には、まず、測定終了時の測定濃度Ｘが予め定められた濃度に関する２つの閾値Ｘｔ１，Ｘｔ２（Ｘｔ１＜Ｘｔ２とする）を下回るか否かが判断される（すなわち、条件Ｘ≦Ｘｔ１を満足するか否か、および条件Ｘ≦Ｘｔ２を満足するか否かの２つの条件が判断される）。また、測定終了時の測定精度σｘが予め定められた精度に関する２つの閾値σｔ１，σｔ２（σｔ１＜σｔ２とする）を下回るか否かが判断される（すなわち、条件σｘ≦σｔ１を満足するか否か、および条件σｘ≦σｔ２を満足するか否かの２つの条件が判断される）。これらの判断の結果を組み合わせることにより、測定濃度Ｘと閾値Ｘｔ１および閾値Ｘｔ２との大小関係、および測定精度σｘと閾値σｔ１および閾値σｔ２との大小関係が判断される。なお、測定濃度Ｘまたは測定精度σｘとそれぞれの閾値との大小関係の判断は、これに限らず様々な処理により判断することが考えられる。
【００２６】
それぞれの判断結果は、記号などにより表示される。判断結果の表示は、測定濃度Ｘが、Ｘ≦Ｘｔ１満足する場合に「○」、Ｘｔ１＜Ｘ≦Ｘｔ２を満足する場合に「△」、Ｘｔ２＜Ｘを満足する場合に「×」と表示することにより行われる。また測定精度σｘの場合も同様に、測定精度σｘが、σｘ≦σｔ１満足する場合に「○」、σｔ１＜σｘ≦σｔ２を満足する場合に「△」、σｔ２＜σｘを満足する場合に「×」と表示することにより行われる。なお、判断結果の表示は、これに限らず、どのような表示であってもよいが、ユーザにとって認識しやすい表示であることが好ましい。
ここで、閾値Ｘｔ１，Ｘｔ２と閾値σｔ１，σｔ２とは、予めステップ１２１（図３参照）において設定される。なお、閾値σｔ１は、ステップ１２１で設定した上限目標値σ１（例えば、Ｃｄでは２５ｐｐｍ）と同じ値であってもよい。さらに、閾値σｔ２は、上限目標値σ１よりも大きい値であり、かつ法定の規制値（例えば、Ｃｄでは１００ｐｐｍ）を超えない値（例えば、７０ｐｐｍ）などと設定されてもよい。また、閾値Ｘｔ１，Ｘｔ２は、ステップ１２１で設定した閾値σｔ１，σｔ２とそれぞれ同じ値であってもよい。この場合、ユーザは、閾値σｔ１，σｔ２を入力すれば、その値がそれぞれ自動的に閾値Ｘｔ１，Ｘｔ２に設定される。
【００２７】
さらに、ステップ１３６では、測定濃度Ｘに対する判断結果と測定精度σｘに対する判断結果とを組み合わせて、測定全体の信頼性を評価する。演算部２０２が備えるメモリあるいは外部記憶装置２１１には、予め信頼性を評価するためのテーブルが格納されている。
図８にこのテーブルＴｂ２を示す。テーブルＴｂ２には、ステップ１３５のそれぞれの判断結果の組み合わせに対して、信頼性の評価結果が関連付けられている。演算部２０２は、ステップ１３５の判断結果を用いて、テーブルＴｂ２を参照することにより、信頼性の評価結果を出力する。一例について説明すると、例えば、測定濃度Ｘに対する判断結果が「○」、かつ測定精度σｘに対する判断結果が「×」である場合、判定結果「？」を出力するとともに「要高精度分析」という評価結果を出力する。
なお、テーブルＴｂ２は、測定精度σｘの判断結果が「×」の場合には測定自体の信頼性が低いため、さらに高精度の分析方法による分析を行うのがよいとの評価結果を出力する。また、テーブルＴｂ２は、測定精度σｘの判断結果が「△」の場合には測定自体の信頼性が足りないため、サンプルを変更して再度測定するとか、設定時間を長くして検査を行うなど、再検査を行うのがよいとの評価結果を出力する。その他の場合には、テーブルＴｂ２は、測定濃度Ｘと測定精度σｘとのそれぞれの判断結果の悪い方の結果を判定結果として格納しており、例えば、測定濃度Ｘに対する判断結果が「×」または「△」の場合には測定自体の信頼性は高いが試料に問題があるため、それぞれに応じた評価結果を出力する。
【００２８】
最後に、ステップ１３７では、表示部２１０に結果（測定濃度、測定精度（誤差）、測定時間、信頼性の評価結果）の表示を行うとともに、プリンタや外部出力でその結果を出力する。
本発明では、測定結果の信頼性が評価されるため、ユーザは、容易に測定結果の善し悪しを判断し、その後の対応を判断することが可能となる。
なお、図８に示すテーブルＴｂ２は、一例であり、本発明がこの場合に限定される訳ではない。ユーザは、必要に応じてテーブルＴｂ２の内容やそれぞれの閾値を変更することが可能である。
［２］
実施の形態２では、ステップ１２１（図３参照）において、上限目標値σ１と、精度係数ｋ１とが入力されると説明した。ここで、ステップ１２１では、これらの値のいずれか一方だけが入力されるものであってもよい。この場合、入力されなかった他方には、デフォルト値が設定される。デフォルト値は、予め演算部２０２がメモリなどに記憶されている、あるいは外部記憶装置２１１に記憶されている。また、〈変形例〉［１］で説明した閾値についても同様であり、入力されなかった値には、デフォルト値が用いられてもよい。
【００２９】
［３］
実施の形態２では、測定精度σｘの値を式（２）に基づいて定めた。ここで、測定精度の値は、次式（５）により定められてもよい。
σｘ  ＝（ＢＧ／Ｔ）＾（１／２）    …………（５）
ここで、ＢＧとは、単位時間あたりのブランク試料グロス強度（ｃｐｓ）であり、Ｔとは、有効測定時間（ライブタイム）（ｓｅｃ）である。
（実施の形態３）
〈概要〉
ユーザは、製品の各部品に含まれる環境負荷物質の濃度について自己の管理基準を定めることが多いが、複数の管理基準が存在することがある。例えば、それぞれの管理基準には、「対象元素を検出できる最小量に基づいて定められた管理基準値を下回ること」とする管理基準と、「ある分析方法で十分信頼性をもって検出することのできる最小量に基づいて定められた管理基準値を上回らないこと」とする管理基準などがある。
本発明は、実施の形態１，２と同様に測定時間の短縮と操作性の向上を図り、かつ、上記した複数の管理基準と法定の規制値とを十分な信頼性を持って満足させる測定の結果を得ることができる分析方法を提案するものである。
【００３０】
具体的には、実施の形態３は、演算部２０２（図２参照）におけるさらに異なる処理を提供するものである。本発明の処理は、実施の形態２のステップ１２１（図３参照）において実施の形態２と相違しており、複数の上限目標値（σ１，σ２，・・・）と複数の精度係数（ｋ１，ｋ２，・・・）が入力される。以下、詳細に説明を加えるが、蛍光Ｘ線分析装置２００（図２参照）の構成についての説明は、実施の形態１と同じであるため省略する。
〈作用〉
以下、図９に示すフローチャートを用いて、実施の形態３に示す本発明について説明を行う。
まず、ステップ１４１ａでプラスチック樹脂試料の測定条件の設定が行われた後、測定が開始される（ステップ１４２参照）。
ステップ１４１ａでは、測定条件の設定に際して、測定濃度のばらつきの上限目標値と、その上限目標値に対して所望される精度の高さを示す精度係数とが、２組入力される。すなわち、２つの上限目標値σ１，σ２（σ１≦σ２とする）のそれぞれに対して、精度係数ｋ１，ｋ２が入力される。なお、本実施の形態では、それぞれの値が２つづつ入力された場合について説明を行うが、本発明は、さらに多くの値が入力された場合にも拡張可能である。
【００３１】
さらに、ステップ１４１ａでは、実施の形態１と同様に測定時間の最大値ｔｍａｘを入力する。実施の形態１と同様にｔｍａｘを２００秒に設定するとする。
これらの入力は、実施の形態１と同様、図２に記載されるキーボード等の入力部２０１を用いてあるいは外部記憶装置２１１からのダウンロードを用いて行われる。
入力された値は、演算部２０２が備えるメモリに格納される。
演算部２０２では、取得した値が以下の式（６）を満足するか否かについて判定を行う（ステップ１４１ｂ）。
（σ１／ｋ１）＜（σ２／ｋ２）    ……（６）
ステップ１４１ｂにおける判定が肯定的である場合（すなわち、（σ１／ｋ１）＜（σ２／ｋ２）が成り立つ場合）、（σ１／ｋ１）が測定条件における設定値として演算部２０２が備えるメモリの所定のアドレスに格納される（ステップ１４１ｃ）。
ステップ１４１ｂにおける判定が否定的である場合（すなわち、（σ１／ｋ１）＜（σ２／ｋ２）が成り立たない場合）、（σ２／ｋ２）が測定条件における設定値として演算部２０２が備えるメモリの所定のアドレスに格納される（ステップ１４１ｄ）。
すなわち、測定条件の設定に関するステップ１４１では、（σ１／ｋ１）と（σ２／ｋ２）とのうち小さい方の値が測定条件における設定値として設定される。なお、このような設定値の決定方法は、一例であり、ユーザが所望する測定精度に応じて任意に設定値を決定することが可能である。例えば、（σ１／ｋ１）と（σ２／ｋ２）とのうち大きい方を測定条件における設定値としてもよいし、これらの平均を設定値としてもよい。
【００３２】
ステップ１４２〜ステップ１４３では、実施の形態１のステップ１０２〜１０３と同様に、蛍光Ｘ線２０７を検出するとともに、式（１）と式（２）とに基づいて、測定濃度Ｘと測定精度σｘとが算出される。詳しい説明は、実施の形態１と同様であるため省略する。
ステップ１４４では、測定精度σｘの値が所定の条件を満足するか否かが判定される。また、本実施の形態の特徴として、測定濃度Ｘの値に応じて異なる判定条件が用いられる。
まず、測定濃度Ｘが式（７）を満足するか否かが判定される（ステップ１４４ａ）。
（Ｘ／９）＜α…………（７）
ステップ１４４ａにおける判定が肯定的である場合、測定精度σｘが式（８）を満足するか否かが判定される（ステップ１４４ｂ）。
σｘ  ＜α    …………（８）
ここで、αは、ステップ１４１ｃまたはステップ１４１ｄで設定された設定値の値であり、演算部２０２が備えるメモリの所定のアドレスから読み出される。
ステップ１４４ｂにおける判定が肯定的である場合、すなわち、演算部２０２内での演算結果の測定精度σｘが、設定値α未満であると判断された場合には、ステップ１４６に進み、測定が終了することとなる（ステップ１４６参照）。
【００３３】
ここで、ステップ１４６における測定終了の処理についての説明は、実施の形態１で説明したのと同様であるため省略する。
一方、ステップ１４４ｂにおける判定が否定的である場合、すなわち、測定精度σｘが設定値α未満でない場合には、ステップ１４５に進む。ステップ１４５の処理は後述する。
次に、ステップ１４４ａにおける判定が否定的である場合、測定精度σｘが測定濃度Ｘの関数である式（９）を満足するか否かが判定される（ステップ１４４ｃ）。
σｘ  ＜（Ｘ／９）……（９）
ステップ１４４ｃにおける判定が肯定的である場合、ステップ１４６に進み、測定が終了することとなる（ステップ１４６参照）。
一方、ステップ１４４ｃにおける判定が否定的である場合、ステップ１４５に進む。
ここで、ステップ１４５の説明を行う前に、図１０を用いて、ステップ１４４における処理が意味するところを補足的に説明する。
図１０は、横軸（ｘ軸）を測定濃度Ｘ、縦軸（ｙ軸）を測定精度σｘにとったグラフであり、ステップ１４４における判定を満足させる領域を斜線で示している。
【００３４】
特に、第１象限において、ｙ＜αとｘ＜（９α）とを満たす領域Ｒ１は、ステップ１４４ｂの判定を満足させる領域を示している。また、第１象限において、ｙ＜（ｘ／９）と（９α）≦ｘとを満たす領域Ｒ２は、ステップ１４４ｃの判定を満足させる領域を示している。
このような条件で測定精度σｘの判定を行うには、以下の理由がある。
まず、比較的測定濃度Ｘが小さい場合（Ｘ＜（９α））には、（σ１／ｋ１）と（σ２／ｋ２）とのうち小さい方の値である設定値αと測定精度σｘの判定を行い、ステップ１４１ａで設定された測定条件のうちより厳しい条件を満足するまで測定を行う。
一方で、比較的測定濃度Ｘが大きい場合（（９α）≦Ｘ）には、測定時間内に測定精度σｘが設定値αを下回る可能性は低く、タイムアウトしてしまうことが多い（すなわち、測定条件のうち時間に関する条件で測定を終了する）。このため、このような試料に対しては、比較的緩やかな終了条件を用いて早めに測定を切り上げ、他の方法で分析を行うなどする方がより測定全体の効率化を図れる。
以上のような理由から、ステップ１４４に示した処理を行っている。なお、このような条件での測定が好ましいが、必ずしもこれに限るものではなく、すべての測定濃度Ｘに対して、同じ設定値αとの比較だけを行ってもよい。また、領域Ｒ２を決定する直線ｙ＝（ｘ／９）の傾きもこれに限るものではないが、精度係数ｋ１またはｋ２の逆数として決定されるものであってもよい。
【００３５】
ステップ１４５では、測定時間ｔがステップ１４１ａで設定された最大値ｔｍａｘの値（本実施の形態では２００秒に設定）を越えているのかどうかが判断される。ステップ１４５における処理についての説明は、実施の形態１で説明したステップ１０５と同様であるため省略する。
ステップ１４５で、当該測定時間ｔが最大値ｔｍａｘ（２００秒）を越えていると判断された場合には、ステップ１４６に進み、測定終了の処理が実行される（ステップ１４６参照）。
最後に、ステップ１４７で前記表示部２１０に結果（濃度，精度（誤差），測定時間等）の表示を行うとともに、プリンタや外部出力でその結果を出力する。
〈効果〉
このように本実施の形態では、必ずしも設定時間経過まで測定結果の出力を待つ必要がなく、測定時間の短縮と操作性の向上を図ることができる。
また、複数の管理基準を満たし、かつ、法定の規制値とを十分な信頼性を持って満足させる測定の結果を得ることができる。この点について、以下、もう少し詳細な説明を加える。
【００３６】
例えば、法定の規制値（Ｃｄは１００ｐｐｍ未満）に対して、「Ｃｄは２５ｐｐｍを下回ること」と、「Ｃｄは７０ｐｐｍを上回らないこと」といった複数の管理基準をユーザが規定しているとする。さらに、後者は前者に対して、３倍程度の確からしさで測定を行うとする。より具体的には、例えば、ステップ１４１ａで、（σ１，ｋ１）＝（２５ｐｐｍ，３）、（σ２，ｋ２）＝（７０ｐｐｍ，９）、などと設定する。
測定対象となる試料中に環境負荷物質がほとんど含まれておらず、測定濃度Ｘの測定結果が０ｐｐｍとして出力されることが多い場合には、ステップ１４１ａで設定する上限目標値の値をユーザの管理基準値としておくことにより、精度係数で定めた値に基づく確率で実際の濃度が管理基準値を下回ることとなる。さらに、実際の処理では、２組の値から設定される測定条件のうち、より厳しい条件で判定を行うことにより、十分にユーザの管理基準を満足する測定結果を得ることが可能となる。ユーザの管理基準値は、法定の規制値（例えば、ＲｏＨＳでは、Ｃｄは１００ｐｐｍ未満）を下回る値に設定されている。このため、本発明を用いれば、ユーザが規定する複数の管理基準を満足するか否か、および法定の基準を満足するか否かをより簡易に判定することが可能となる。
なお、ここでは、精度係数の値をｋ１＝３、ｋ２＝９とした。ただし、本発明は、この場合に限定されるものではなく、ユーザが所望する精度に応じてこの値は任意に変更可能である。例えば、精度がそれほど要求されない場合には処理を短時間で終わらせるために、さらに低い値を設定してもよい。また、精度がさらに要求される場合には、さらに高い値を設定してもよい。
【００３７】
〈変形例〉
［１］
実施の形態３に示した本発明は、実施の形態２〈変形例〉［１］と同様に、測定終了時の測定濃度Ｘおよび測定精度σｘの値の信頼性を評価するステップをさらに備えていてもよい。具体的には、測定終了時の測定濃度Ｘおよび測定精度σｘのそれぞれに対して閾値との比較を行う。さらに、それぞれの比較に基づき、測定結果の信頼性を評価する。
例えば、実施の形態２〈変形例〉［１］〈１−２〉と同様に、測定濃度Ｘおよび測定精度σｘを２つの閾値と比較してもよい。詳しい処理は、実施の形態２〈変形例〉［１］〈１−２〉と同様であるため省略する。
この場合、閾値Ｘｔ１，Ｘｔ２と閾値σｔ１，σｔ２とは、予めステップ１４１ａ（図９参照）において設定される。なお、閾値σｔ１，σｔ２は、ステップ１４１ａで設定した上限目標値σ１，σ２と同じ値であってもよい。この場合、ユーザは、上限目標値σ１，σ２を入力すれば、その値がそれぞれ自動的に閾値σｔ１，σｔ２に設定される。また、閾値Ｘｔ１，Ｘｔ２は、ステップ１４１ａで設定した上限目標値σ１，σ２とそれぞれ同じ値であってもよい。
【００３８】
本発明では、測定結果の信頼性が評価されるため、ユーザは、容易に測定結果の善し悪しを判断し、その後の対応を判断することが可能となる。
［２］
上記実施形態では、αの値を（σ１／ｋ１）と（σ２／ｋ２）とのうち小さい方の値、大きい方の値、平均の値などとしてもよいと説明した。
また、αの値は、測定濃度Ｘの値に応じて定められる値であってもよい。例えば、測定濃度が０≦Ｘ≦σ１の範囲では、（σ１／ｋ１）を設定値として、σ１＜Ｘの範囲では、（σ２／ｋ２）を設定値とするなどといった設定も可能である。
この場合、図９に示した処理において、ステップ１４１ｂ〜ステップ１４１ｄの処理は行われない。また、ステップ１４４ａでは、Ｘの値に応じた設定値αを用いて式（７）の計算が行われる。さらに、ステップ１４４ｂでは、Ｘの値に応じた設定値αを用いて式（８）の計算が行われる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明にかかる蛍光Ｘ線分析方法および蛍光Ｘ線分析装置は、測定時間の短縮と操作性の向上を図ることが求められる分野において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態１を説明するためのフローチャート
【図２】本発明の実施の形態１を説明するための装置概略図
【図３】本発明の実施の形態２を説明するためのフローチャート
【図４】測定濃度Ｘ（ｐｐｍ）の分布を示すグラフ（実施の形態２）
【図５】本発明の実施の形態２〈変形例〉を説明するためのフローチャート
【図６】信頼性を評価するためのテーブル（実施の形態２〈変形例〉）
【図７】本発明の実施の形態２〈変形例〉を説明するためのフローチャート
【図８】信頼性を評価するためのテーブル（実施の形態２〈変形例〉）
【図９】本発明の実施の形態３を説明するためのフローチャート
【図１０】ステップ１４４における処理を補足的に説明するグラフ（実施の形態３）
【図１１】従来例を説明するためのフローチャート（背景技術）
【符号の説明】
【００４１】
２０１    入力部
２０２    演算部
２０３    コントローラ
２０４    Ｘ線管
２０５    １次線
２０６    試料
２０７    蛍光Ｘ線
２０８    検出器
２０９    増幅器
２１０    表示部
２１１    外部記憶装置
【図１】
0004928938.tif 000002
【図２】
0004928938.tif 000003
【図３】
0004928938.tif 000004
【図４】
0004928938.tif 000005
【図５】
0004928938.tif 000006
【図６】
0004928938.tif 000007
【図７】
0004928938.tif 000008
【図８】
0004928938.tif 000009
【図９】
0004928938.tif 000010
【図１０】
0004928938.tif 000011
【図１１】
0004928938.tif 000012