(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１入出力端子に接続された第１バスバーと、前記第１バスバーに接続された複数の第１電極指と、前記第１バスバーに対向して設けられた第２バスバーに接続された複数の第２電極指と、を有する第１ＩＤＴと、
グランドに接続された第３バスバーと、前記第３バスバーに接続された複数の第３電極指と、前記第３バスバーに対向して設けられた第４バスバーに接続された複数の第４電極指と、を有する第２ＩＤＴと、を具備し、
前記複数の第２電極指のうち前記第２ＩＤＴ側の第２電極指と前記複数の第４電極指のうち前記第１ＩＤＴ側の第４電極指との少なくとも一方は、対向する前記第１バスバーまたは前記第３バスバーの仮想延長線上まで延伸し、かつ前記第１入出力端子の電位またはグランドとは異なる電位であることを特徴とする多重モード型弾性波フィルタ。
【請求項２】
第１入出力端子に接続された第１バスバーと、前記第１バスバーに接続された複数の第１電極指と、前記第１バスバーに対向して設けられた第２バスバーに接続された複数の第２電極指と、を有する第１ＩＤＴと、
グランドに接続された第３バスバーと、前記第３バスバーに接続された複数の第３電極指と、前記第３バスバーに対向して設けられた第４バスバーに接続された複数の第４電極指と、を有する第２ＩＤＴと、を具備し、
前記複数の第２電極指のうち前記第２ＩＤＴ側の第２電極指と前記複数の第４電極指のうち前記第１ＩＤＴ側の第４電極指との少なくとも一方は、対向する前記第１バスバーまたは前記第３バスバーの仮想延長線上まで延伸し、かつ浮き電極指であることを特徴とする多重モード型弾性波フィルタ。
【請求項３】
第１入出力端子に接続された第１バスバーと、前記第１バスバーに接続された複数の第１電極指と、前記第１バスバーに対向して設けられた第２バスバーに接続された複数の第２電極指と、を有する第１ＩＤＴと、
グランドに接続された第３バスバーと、前記第３バスバーに接続された複数の第３電極指と、前記第３バスバーに対向して設けられた第４バスバーに接続された複数の第４電極指と、を有する第２ＩＤＴと、を具備し、
前記複数の第２電極指のうち前記第２ＩＤＴ側の第２電極指と前記複数の第４電極指のうち前記第１ＩＤＴ側の第４電極指との少なくとも一方は、対向する前記第１バスバーまたは前記第３バスバーの仮想延長線上まで延伸し、
前記複数の第４電極指は、前記第１入出力端子とは別の入出力端子に接続されていることを特徴とする多重モード型弾性波フィルタ。
【請求項４】
前記第４バスバーは、前記多重モード型弾性波フィルタにカスケード接続された別の多重モード型弾性波フィルタ内に設けられたＩＤＴを構成する浮き電極に接続されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項記載の多重モード型弾性波フィルタ。
【請求項５】
前記第１バスバー、前記第２バスバー、前記第３バスバーおよび前記第４バスバーの少なくとも１つに接続され、対向するバスバーから伸びる電極指に向かい合うダミー電極指を具備することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載の多重モード型弾性波フィルタ。
【請求項６】
前記第１入出力端子は差動入出力端子であることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項記載の多重モード型弾性波フィルタ。
【請求項７】
前記第１入出力端子と前記第１ＩＤＴとの間、または前記第２ＩＤＴに接続された弾性波共振器を具備することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項記載の多重モード型弾性波フィルタ。
【請求項８】
請求項１から６のいずれか一項記載の多重モード型弾性波フィルタである第１多重モード型弾性波フィルタと、
第１多重モード型弾性波フィルタとカスケード接続された第２多重モード型弾性波フィルタと、を具備することを特徴とする弾性波フィルタ。
【請求項９】
前記第２の多重モード型弾性波フィルタは請求項１から６のいずれか一項に記載の多重モード型弾性波フィルタであることを特徴とする請求項８記載の弾性波フィルタ。
【請求項１０】
前記第１多重モード型弾性波フィルタまたは前記第２多重モード型弾性波フィルタに接続された弾性波共振器を具備することを特徴とする請求項８または９記載の弾性波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は弾性波フィルタに関し、特に多重モード型弾性波フィルタを有する弾性波フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
高周波用フィルタには、弾性表面波や弾性境界波等の弾性波を用いた弾性波フィルタが用いられている。弾性波フィルタの中には、複数の共振モードを組み合わせて通過帯域を構成する多重モード型弾性波フィルタがある。例えば、ＤＭＳ（２重モード型弾性波フィルタ）では、１次共振モードと３次共振モードを組み合わせて通過帯域を構成している。
【０００３】
多重モード型弾性波フィルタとして、不平衡入力、平衡出力型のフィルタの例を説明する。図１は、従来例、比較例１、比較例２および実施例１に係るフィルタ１００の平面模式図である。なお、電極指の本数は省略して図示している。ニオブ酸リチウムまたはタンタル酸リチウム等の圧電基板９０上に、金属膜からなる反射器Ｒ０およびＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）１０、３０、４０および５０が設けられている。ＩＤＴ３０、１０、４０および５０は２つの反射器Ｒ０の間に設けられている。ＩＤＴ１０およびＩＤＴ４０はそれぞれ出力端子Ｔ１１およびＴ１２に接続されている。ＩＤＴ１０およびＩＤＴ４０は共通の浮き電極を有している。これにより、出力端子Ｔ１１およびＴ１２を同方向から引き出すことができる。ＩＤＴ１０と右側反射器Ｒ０との間にはＩＤＴ３０が設けられている。ＩＤＴ１０と左側反射器Ｒ０との間にはＩＤＴ５０が設けられている。ＩＤＴ３０およびＩＤＴ５０は共通の入力端子Ｔ２に接続されている。
【０００４】
ＩＤＴ１０とＩＤＴ３０との間付近の領域６２と、ＩＤＴ４０とＩＤＴ５０との間付近の領域６４と、は電極指が対称ではない。すなわち、第２ＩＤＴ３０の最も第１ＩＤＴ１０側の電極指はグランドＧＮＤに接続された電極指であるのに対し、ＩＤＴ５０の最もＩＤＴ４０側の電極指は入力端子Ｔ２に接続された電極指である。このため、入力端子Ｔ２に入力した信号は、出力端子Ｔ１１とＴ１２とで位相が反転して出力される。つまり、出力端子Ｔ１１とＴ２２とからは差動信号が出力される。
【０００５】
特許文献１には、ダミー電極指を有する多重モード型弾性波フィルタが開示されている。
【特許文献１】特許３４９８２１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来例においては、出力端子Ｔ１１とグランドＧＮＤとの間の静電気放電（ＥＳＤ：Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  Ｄｉｓｃｈａｇｅ）により、ＩＤＴ１０またはＩＤＴ３０が破壊される。同様に、出力端子Ｔ１２とグランドＧＮＤとの間のＥＳＤにより、ＩＤＴ４０またはＩＤＴ５０が破壊される。また、ＥＳＤによるフィルタの破壊を抑制しようとすると、通過特性の平坦性が悪化することがある。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑み、静電気放電によるＩＤＴの破壊を抑制するとともに通過特性の平坦性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、第１入出力端子に接続された第１バスバーと、前記第１バスバーに接続された複数の第１電極指と、前記第１バスバーに対向して設けられた第２バスバーに接続された複数の第２電極指と、を有する第１ＩＤＴと、グランドに接続された第３バスバーと、前記第３バスバーに接続された複数の第３電極指と、前記第３バスバーに対向して設けられた第４バスバーに接続された複数の第４電極指と、を有する第２ＩＤＴと、を具備し、前記複数の第２電極指のうち前記第２ＩＤＴ側の第２電極指と前記複数の第４電極指のうち前記第１ＩＤＴ側の第４電極指との少なくとも一方は、対向する前記第１バスバーまたは前記第３バスバーの仮想延長線上まで延伸し、かつ前記第１入出力端子の電位またはグランドとは異なる電位であることを特徴とする多重モード型弾性波フィルタである。本発明によれば、第１バスバーと第３バスバーとの距離を長くできるため、第１入出力端子とグランドとの間に印加されるＥＳＤに対する耐性を高めることができる。また、複数の第２電極指のうち第２ＩＤＴ側の第２電極指と複数の第４電極指のうち第１ＩＤＴ側の第４電極指との少なくとも一方は、対向する第１バスバーまたは第３バスバーの仮想延長線上まで延伸している。これにより、通過特性の平坦性を向上させることができる。
【０００９】
上記構成において、前記第１バスバーまたは前記第３バスバーの仮想延長線上まで延伸している前記第２電極指または前記第４電極指は浮き電極指である構成とすることができる。この構成によれば、ＥＳＤによる破壊を抑制することができる。
【００１０】
上記構成において、前記複数の第４電極指は、前記第１入出力端子とは別の入出力端子に接続されている構成とすることができる。この構成によれば、ＥＳＤによる破壊を抑制することができる。
【００１１】
上記構成において、前記第４バスバーは、前記多重モード型弾性波フィルタにカスケード接続された別の多重モード型弾性波フィルタ内に設けられたＩＤＴを構成する浮き電極に接続されている構成とすることができる。
【００１２】
上記構成において、前記第１バスバー、前記第２バスバー、前記第３バスバーおよび前記第４バスバーの少なくとも１つに接続され、対向するバスバーから伸びる電極指に向かい合うダミー電極指を具備する構成とすることができる。この構成によれば、通過帯域を平坦化することができる。
【００１３】
上記構成において、前記第１入出力端子は差動入出力端子である構成とすることができる。
【００１４】
上記構成において、前記第１入出力端子と前記第１ＩＤＴとの間、または前記第２ＩＤＴに接続された弾性波共振器を具備する構成とすることができる。この構成によれば、ＥＳＤによるフィルタの破壊を抑制することができる。
【００１５】
本発明は、上記多重モード型弾性波フィルタである第１多重モード型弾性波フィルタと、第１多重モード型弾性波フィルタとカスケード接続された第２多重モード型弾性波フィルタと、を具備することを特徴とする弾性波フィルタである。本発明によれば、ＥＳＤに対する耐性を高めることができる。また、通過特性の平坦性を向上させることができる。
【００１６】
上記構成において、前記第２の多重モード型弾性波フィルタは上記多重モード型弾性波フィルタである構成とすることができる。
【００１７】
上記構成において、前記第１多重モード型弾性波フィルタまたは前記第２多重モード型弾性波フィルタに接続された弾性波共振器を具備する構成とすることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、第１バスバーと第３バスバーとの距離を長くできるため、第１入出力端子とグランドとの間に印加されるＥＳＤに対する耐性を高めることができる。また、複数の第２電極指のうち第２ＩＤＴ側の第２電極指と複数の第４電極指のうち第１ＩＤＴ側の第４電極指との少なくとも一方は、対向する第１バスバーまたは第３バスバーの仮想延長線上まで延伸している。これにより、通過特性の平坦性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の実施例を説明する前に、比較例１および比較例２について説明する。比較例１および比較例２は図１と同じ構成の多重モード型弾性波フィルタである。図２（ａ）は比較例１に係る弾性波フィルタの図１の領域６２の拡大図である。第１ＩＤＴ１０は、第１バスバー１２、第１電極指１４、第１ダミー電極指１６、第２バスバー２２、第２電極指２４および第２ダミー電極指２６を有している。第１バスバー１２は、出力端子Ｔ１１（第１入出力端子）に接続されている。複数の第１電極指１４は第１バスバー１２に接続されている。第２バスバー２２は第１バスバー１２に対向して設けられている。複数の第２電極指２４は、複数の第１電極指１４の間にそれぞれ設けられ、第２バスバー２２に接続されている。第１電極指１４と第２電極指２４とは互い違いに設けられている。
【００２０】
複数の第１ダミー電極指１６は、第１バスバー１２に接続されており、対向する第２バスバー２２から伸びる複数の第２電極指２４に対向するように形成されている。第１電極指１４と第１ダミー電極指１６とは互い違いに設けられている。複数の第２ダミー電極指２６も同様に設けられている。
【００２１】
第２ＩＤＴ３０は、第３バスバー３２、第３電極指３４、第３ダミー電極指３６、第４バスバー４２、第４電極指４４および第２ダミー電極指４６を有している。第３バスバー３２は、グランドＧＮＤに接続されている。複数の第３電極指３４は第３バスバー３２に接続されている。第４バスバー４２は第３バスバー３２に対向して設けられている。複数の第４電極指４４は、複数の第３電極指３４の間にそれぞれ設けられ、第４バスバー４２に接続されている。第３電極指３４と第４電極指４４とは互い違いに設けられている。第３ダミー電極指３６および第４ダミー電極指４６は、第１ダミー電極指１６および第２ダミー電極指２６と同様に設けられている。ダミー電極指を設けることにより、フィルタの通過帯域内のリップル偏差を抑制することができる。これにより、通過帯域における通過特性の周波数に対する平坦性を向上させたフィルタを提供することができる。
【００２２】
比較例１においては、第１ＩＤＴ１０の最も第２ＩＤＴ３０側に、第１ダミー電極指１６ａが設けられている。これは、特許文献１の図３と同じＩＤＴ構造である。これにより、第１ダミー電極指１６ａと第２ＩＤＴ３０の第３バスバー３２とは距離Ｌ１を介し隣接している。
【００２３】
図２（ｂ）は比較例２に係る弾性波フィルタの領域６２の拡大図である。比較例２においては、最も第２ＩＤＴ３０側に、第１ダミー電極指１６ａが設けられていない。これにより、第１バスバー１２と第３バスバー３２との距離Ｌ２は比較例１に対し長くなっている。
【００２４】
比較例１においては、出力端子Ｔ１１とグランドＧＮＤとの間にＥＳＤを印加すると、第１ダミー電極指１６ａと第３バスバー３２との間でＩＤＴ１０およびＩＤＴ３０が破壊されてしまう。比較例２においては、第１バスバー１２と第３バスバー３２との距離Ｌ２が比較例１の距離Ｌ１より広くできるため、ＥＳＤに起因したＩＤＴの破壊を抑制することができる。しかしながら、比較例１に係る弾性波フィルタにおいては、第１ダミー電極指１６ａが設けられていないため、通過特性内の一部の特性が劣化し、通過特性の平坦性が劣化することがわかった。そこで、以下に、これらの課題を解決するための実施例について説明する。
【実施例１】
【００２５】
図３は実施例１に係る弾性波フィルタの図１の領域６２に相当する領域の拡大図である。なお、実施例１に係る弾性波フィルタは、図１と同じ構成の多重モード型弾性波フィルタである。図３を参照に、第２電極指２４のうち最も第２ＩＤＴ３０側の第２電極指２４ａの先端部２５が、対向する第１バスバー１２の仮想延長線１８上まで延伸している。その他の構成は比較例１および比較例２と同じである。
【００２６】
実施例１によれば、出力端子Ｔ１１に接続された第１バスバー１２とグランドＧＮＤに接続された第３バスバーとの距離Ｌ２は比較例２同様に長くすることができる。よって、ＥＳＤに対する耐性は比較例２と同様高くすることができる。また、第２電極指２４ａが他の第２電極指２４より長く、第２電極指２４ａの先端部２５が第１バスバー１２の仮想延長線１８上まで延伸している。これにより、比較例１のように、第１ダミー電極指１６ａが設けられているのと同様に、通過特性の平坦性を向上させることができる。
【実施例２】
【００２７】
図４は実施例２に係る弾性波フィルタ１０２の平面模式図である。図１との違いは、第２ＩＤＴ３１の最も第１ＩＤＴ１０側の電極指が入力端子Ｔ２（別の入出力端子）に接続された電極指である点、ＩＤＴ５１の最もＩＤＴ４０側の電極指がグランドＧＮＤに接続された電極指である点である。その他の構成は図１と同じである。実施例２に係る弾性波フィルタ１０２も不平衡入力、平衡出力型のフィルタとして機能する。
【００２８】
図５（ａ）から図５（ｃ）は図４の領域６２の拡大図である。図５（ａ）を参照に、第２電極指２４のうち最も第２ＩＤＴ３１側の第２電極指２４ａの先端部２５は第１バスバー１２の仮想延長線１８上まで延伸している。一方、第４電極指４４のうち最も第１ＩＤＴ１０側の第４電極指４４は他の第４電極指４４と同じ長さである。
【００２９】
図５（ｂ）を参照に、第４電極指４４のうち最も第１ＩＤＴ１０側の第４電極指４４ａの先端部４５は第３バスバー３２の仮想延長線３８上まで延伸している。一方、第２電極指２４のうち最も第２ＩＤＴ３１側の第２電極指２４は他の第２電極指４４と同じ長さである。
【００３０】
図５（ｃ）を参照に、第２電極指２４のうち最も第２ＩＤＴ３１側の第２電極指２４ａの先端部２５は第１バスバー１２の仮想延長線１８上まで延伸している。さらに、第４電極指４４のうち最も第１ＩＤＴ１０側の第４電極指４４ａの先端部４５は第３バスバー３２の仮想延長線３８上まで延伸している。
【００３１】
このように、複数の第２電極指２４のうち第２ＩＤＴ３１側の第２電極指２４と複数の第４電極指４４のうち第１ＩＤＴ１０側の第４電極指４４とのうち少なくとも一方は、対向する第１バスバー１２または第３バスバー３２の仮想延長線１８または３８上まで延伸していればよい。これにより、第１バスバー１２と第３バスバー３２との距離を長くすることができ、ＥＳＤに対する耐性を向上させることができる。また、通過特性の平坦性を向上させることができる。
【００３２】
図５（ｃ）では、第１バスバー１２と第３バスバー３２との距離Ｌ３が図５（ａ）および図５（ｂ）より長い。よって、ＥＳＤによる破壊をより抑制することができる。
【００３３】
実施例１における図１の領域６４においても、実施例２の図５（ａ）から図５（ｃ）のいずれかと同様、ＩＤＴ４０の電極指のうち最もＩＤＴ５０側の電極指が対向するバスバーの延長線上まで伸びていることが好ましい。また、ＩＤＴ５０の電極指のうち最もＩＤＴ４０側の電極指が対向するバスバーの延長線上まで伸びていることが好ましい。実施例２の図１の領域６４においても、ＩＤＴ４０の電極指のうち最もＩＤＴ５０側の電極指が対向するバスバーの延長線上まで延伸していることが好ましい。これらにより、出力端子Ｔ１２とグランドＧＮＤ間に印加されるＥＳＤによる破壊を抑制することができる。
【００３４】
また、実施例１および実施例２において、第２電極指２４ａまたは第４電極指４４ａは、第１入出力端子Ｔ１１およびグランドＧＮＤとは異なる電位であることが好ましい。例えば、実施例１および実施例２のように、第２電極指２４ａを浮き電極（フローティング状態の電極）とした場合、第１バスバー１２と第３バスバー３２との間に第２電極指２４ａの先端部２５が設けられていても、第１バスバー１２と第３バスバー３２との間の電界は先端部２５にあまり影響されない。よって、比較例２と同様に、ＥＳＤによる破壊を抑制することができる。
【００３５】
さらに、実施例２の図５（ｂ）のように、第４電極指４４ａを、出力端子Ｔ１１とグランドＧＮＤとは異なる電位とすることができる。例えば、第４電極指４４ａは入力端子Ｔ２に接続されていてもよい。特に第４電極指４４ａの電位が出力端子Ｔ１１とグランドＧＮＤとの間の電位であれば、比較例１に比べ、ＥＳＤによる破壊を抑制することができる。
【００３６】
また、通過特性の平坦性を確保するためには、第２電極指２４ａは、少なくとも第１バスバー１２の仮想延長線１８上まで伸びていればよく、第１バスバー１２の仮想延長線１８を越えて伸びていてもよい。第４電極指４４ａについても同様である。
【実施例３】
【００３７】
実施例３は多重モード型弾性波フィルタをカスケード接続したフィルタの例である。図６は実施例３に係る弾性波フィルタの平面模式図である。第１多重モード型弾性波フィルタ１０４と第２多重モード型弾性波フィルタ１１０とがカスケード接続されている。第１多重モード型弾性波フィルタ１０４は、実施例１のフィルタ１００に対し、ＩＤＴ３０とＩＤＴ５１とが対称である。第２多重モード型弾性波フィルタ１１０は、２つの反射器Ｒ０の間にＩＤＴ７０、８０および９０が設けられている。ＩＤＴ６０は入力端子Ｔ２（第２入出力端子）とグランドＧＮＤとに接続されている。ＩＤＴ８０はＩＤＴ３０と接続線５２で接続されている。ＩＤＴ７０はＩＤＴ５１と接続線５４で接続されている。
【００３８】
第１多重モード型弾性波フィルタ１０４の領域６２において、最もＩＤＴ３０側のＩＤＴ１０内の電極指は、実施例１のように対向するバスバーの仮想延長線上まで伸びている。領域６４における最もＩＤＴ５１側のＩＤＴ４０内の電極指も同様である。このように、第１多重モード型弾性波フィルタ１０４を実施例１または実施例２の多重モード型弾性波フィルタとすることにより、出力端子Ｔ１１またはＴ１２とグランドＧＮＤとの間に印加されるＥＳＤに起因したフィルタの破壊を抑制することができる。
【００３９】
さらに、第２多重モード型弾性波フィルタの領域７２において、ＩＤＴ６０の電極指のうち最もＩＤＴ８０側の電極指を、実施例１のように対向するバスバーの仮想延長線上まで伸ばすこともできる。領域７４における最もＩＤＴ７０側のＩＤＴ６０内の電極指も同様である。このように、第２多重モード型弾性波フィルタを実施例１または実施例２と同様のフィルタとすることもできる。これにより、入力端子Ｔ２とグランドＧＮＤとの間に印加されたＥＳＤに起因したフィルタの破損を抑制することができる。
【００４０】
実施例２の多重モード型弾性波フィルタ１０２を実施例３のようにカスケード接続した場合、図５（ｂ）および図５（ｃ）の第４電極指４４ａは、図６の第２多重モード型弾性波フィルタ１１０（別の多重モード型弾性波フィルタ）の第３ＩＤＴ８０を構成する浮き電極に接続することができる。これにより、図５（ｂ）および図５（ｃ）において、第１バスバー１２と第３バスバー３２との間に第４電極指４４ａの先端部４５が設けられていても、第１バスバー１２と第３バスバー３２との間の電界は先端部２５にあまり影響されない。よって、ＥＳＤによる破壊をより抑制することができる。
【実施例４】
【００４１】
実施例４は実施例３に係るフィルタに弾性波共振器を接続した例である。図７を参照に、実施例４に係るフィルタは、実施例３に係るフィルタの第２多重モード型弾性波フィルタ１１０と入力端子Ｔ２（第２入出力端子）との間に、弾性波共振器１２０が直列に接続されている。弾性波共振器１２０は２つの反射器Ｒ０の間にＩＤＴ９５が設けられている。実施例４においては、弾性波共振器１２０により、入力端子Ｔ２とグランドＧＮＤとの間に印加されたＥＳＤによるフィルタの破壊を抑制することができる。
【００４２】
図８は、実施例４および比較例４の通過特性を示した図である。図７において、領域６２および６４のそれぞれ最もＩＤＴ３０側および最もＩＤＴ５１側の電極指が実施例１のように対向するバスバーの仮想延長線上まで伸びている場合を実施例４とする。領域６２および６４のそれぞれ最もＩＤＴ３０側および最もＩＤＴ５１側の電極指が比較例２のように、他の電極指と同じ長さとしダミー電極を設けた場合を比較例４とする。
【００４３】
図８を参照に、比較例４に比べ、実施例４では通過帯域の右肩の通過特性が改善している。このように、実施例４では比較例４に比べ、通過特性の平坦性が向上している。
【００４４】
実施例４は、第２多重モード型弾性波フィルタのＩＤＴ６０と入力端子Ｔ２との間に弾性波共振器１２０を接続した例であるが、弾性波共振器１２０は第１多重モード型弾性波フィルタ１０４と出力端子Ｔ１１または出力端子Ｔ１２との間に接続することもできる。このように、弾性波共振器１２０は、第１多重モード型弾性波フィルタ１０４または第２多重モード型弾性波フィルタ１１０に接続されていればよい。また、弾性波共振器１２０は、入力端子Ｔ２、出力端子１１およびＴ１２とグランドとの間に接続することもできる。
【００４５】
実施例３および実施例４は２つの多重モード型弾性波フィルタをカスケード接続した例であったが、３つ以上の多重モード型弾性波フィルタをカスケード接続してもよい。
【実施例５】
【００４６】
実施例５は実施例１に係るフィルタに共振器を接続した例である。図９を参照に、実施例１に係る弾性波フィルタ１００と入力端子Ｔ２との間に直列に弾性波共振器１２０が接続されている。
【００４７】
実施例５のように、入力端子Ｔ２と第２ＩＤＴ３０との間に弾性波共振器１２０を接続することができる。第１ＩＤＴ１０と出力端子Ｔ１１との間またはＩＤＴ４０と出力端子Ｔ１２との間に弾性波共振器１２０を接続することもできる。また、弾性波共振器１２０を入力端子Ｔ２、出力端子１１およびＴ１２とグランドとの間に接続することもできる。
【００４８】
実施例１から実施例５において、第１入出力端子として出力端子Ｔ１１を例に説明したが、第１入出力端子は、出力端子Ｔ１２または入力端子Ｔ２でもよい。さらに、第１入出力端子として差動出力端子である出力端子Ｔ１１を例に説明したが、第１入出力端子は、不平衡出力端子や不平衡入力端子であってもよい。このように、実施例１から実施例５は、第１不平衡入力平衡出力型のフィルタを例に説明したが、不平衡入出力型フィルタ、平衡入出力型フィルタ、平衡入力不平衡出力型フィルタであってもよい。
【実施例６】
【００４９】
実施例６は実施例１から実施例５に係るフィルタをパッケージに実装した例である。図１０（ａ）を参照に、実施例１から実施例５のいずれかに係るフィルタが圧電基板１５０に形成されている。圧電基板１５０上に形成された出力端子Ｔ１１、Ｔ１２および入力端子Ｔ２であるパッド１５２に、バンプ１５４を形成する。平板パッケージ１２６上に圧電基板１５０をフリップチップボンディングする。圧電基板１５０を封止するように樹脂または半田からなる封止部１５８を形成する。このとき、平板パッケージ１２６の表面と圧電基板１５０との表面との間にはキャビティ１６０が形成される。
【００５０】
図１０（ｂ）を参照に、圧電基板１５０をバンプ１５４を用いパッケージ１６２の空洞の底面にフリップチップボンディングする。パッケージ１６２を金属等の導電性蓋１６４により密封する。これにより、圧電基板１５０はキャビティ１６０内に気密封止される。図１０（ａ）および図１０（ｂ）では、圧電基板１５０がフリップチップボンディングされる例を説明したが、ワイヤボンディングされていてもよい。
【００５１】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】図１は、従来例、比較例１、比較例２および実施例１に係る弾性波フィルタの平面模式図である。
【図２】図２（ａ）および図２（ｂ）は比較例１および比較例２に係る弾性波フィルタの拡大図である。
【図３】図３は実施例１に係る弾性波フィルタの拡大図である。
【図４】図４は実施例２に係る弾性波フィルタの平面模式図である。
【図５】図５（ａ）から図５（ｃ）は実施例４に係る弾性波フィルタの拡大図である。
【図６】図６は実施例３に係る弾性波フィルタの平面模式図である。
【図７】図７は実施例４に係る弾性波フィルタの平面模式図である。
【図８】図６は実施例４および比較例４に係る弾性波フィルタの通過特性を示す図である。
【図９】図９は実施例５に係る弾性波フィルタの平面模式図である。
【図１０】図１０（ａ）および図１０（ｂ）は実施例６に係るフィルタの断面模式図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０            第１ＩＤＴ
１２            第１バスバー
１４            第１電極指
１６            第１ダミー電極指
１８            第１バスバーの仮想延長線
２２            第２バスバー
２４            第２電極指
２６            第２ダミー電極指
３０            第２ＩＤＴ
３２            第３バスバー
３４            第３電極指
３６            第３ダミー電極指
３８            第３バスバーの仮想延長線
４２            第４バスバー
４４            第４電極指
４６            第４ダミー電極指
４０、５０、６０、７０、８０  ＩＤＴ
Ｔ１１、Ｔ１２  出力端子
Ｔ２            入力端子
１０４          第１多重モード型弾性波フィルタ
１１０          第２多重モード型弾性波フィルタ
１２０          弾性波共振器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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