(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明フィルムを検査対象として照明装置から検査対象の表面に光を照射するとともに、検査対象の表面の各部位からの反射光を画像入力装置により受光して濃淡画像を生成する第１過程と、当該濃淡画像を複数の分割画像に分割する第２過程と、分割画像内において濃淡値の最頻値を求める第３過程と、当該最頻値を含む良品範囲を設定し良品範囲を逸脱する濃淡値を持つ画素を欠陥候補点として抽出する第４過程と、欠陥候補点からなる連結領域のうち統合可能なものを欠陥領域として統合する第５過程と、欠陥領域について重心を求める第６過程と、重心を基準とする検査領域を設定する第７過程と、検査領域内で濃淡値の最頻値を基準値として求める第８過程と、基準値との差分が規定の閾値以上となる濃淡値を持つ画素を欠陥の画素として抽出する第９過程とを有することを特徴とする透明フィルムの外観検査方法。
【請求項２】
前記分割画像は、前記濃淡画像を分割した方向において、抽出しようとする欠陥に含まれる画素数の２倍以上の画素数を有することを特徴とする請求項１記載の透明フィルムの外観検査方法。
【請求項３】
前記第３過程では、前記濃淡画像を分割した方向と当該方向に直交する方向との両方向の各直線上に並ぶ画素についてそれぞれ濃淡値の最頻値を求め、第４過程では各方向について求めた欠陥候補点の論理和を欠陥候補点として採用することを特徴とする請求項１又は２記載の透明フィルムの外観検査方法。
【請求項４】
前記第３過程では、前記濃淡画像を分割した方向と当該方向に直交する方向との両方向の各直線上に並ぶ画素についてそれぞれ濃淡値の最頻値を求め、第４過程では各方向について求めた欠陥候補点からなる連結領域の一方が規定の判定面積を超えるときに当該連結領域を採用することを特徴とする請求項１又は２記載の透明フィルムの外観検査方法。
【請求項５】
前記第５過程では、欠陥候補点からなる連結領域のうち面積が規定の最小面積に満たない連結領域を欠陥領域から除外することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の透明フィルムの外観検査方法。
【請求項６】
前記第５過程では、欠陥候補点からなる連結領域のうち面積が規定の最大面積を超える連結領域を欠陥領域から除外することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の透明フィルムの外観検査方法。
【請求項７】
透明フィルムを検査対象として検査対象の表面に光を照射する照明装置と、検査対象の表面の各部位からの反射光を受光し受光光量に応じた受光信号を出力する画像入力装置と、画像入力装置により得られる濃淡画像を複数の分割画像に分割する画像分割部と、分割画像内において濃淡画像を分割した方向に延長されている直線上に並ぶ画素について濃淡値の最頻値を求める最頻値抽出部と、最頻値抽出部で求めた最頻値を含む良品範囲を設定し良品範囲を逸脱する濃淡値を持つ画素を欠陥候補点として抽出する欠陥候補抽出部と、欠陥候補点からなる連結領域のうち統合可能なものを欠陥領域として統合する欠陥領域統合部と、欠陥領域について重心を求め重心を基準とする検査領域を設定する検査領域設定部と、検査領域内で濃淡値の最頻値を基準値として求める基準値設定部と、基準値との差分が規定の閾値以上となる濃淡値を持つ画素を欠陥の画素とする欠陥判定部とを備えることを特徴とする透明フィルムの外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射率が低い透明フィルムの画像にコンピュータ画像処理を施すことにより異物や気泡のような欠陥の有無について外観検査を行う透明フィルムの外観検査方法および透明フィルムの外観検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、合成樹脂材料により形成された透明フィルムでは異物や気泡が混入していると欠陥品になるから、透明フィルムの検査項目には異物や気泡のような欠陥の有無が含まれる。欠陥の有無の検査は、検査対象である透明フィルムに光を照射し、透過光または反射光を検出することにより行っている。ただし、検査員が目視検査すると、検査能力や体調などによって検査結果にばらつきが生じ、また見落としも多くなると考えられる。
【０００３】
この種の問題を解決するために、検査対象に照射した光の透過光や反射光をラインセンサカメラにより受光し、コンピュータ画像処理の技術を用いることによって、欠陥の有無の外観検査を行うことが考えられている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１の構成を採用すれば、目視による検査に比較して検査結果のばらつきが低減される。
【０００４】
ところで、特許文献１に記載の技術では、検査対象である透明フィルムを一方向に進行させ、進行方向と直交する方向に複数個のＣＣＤセンサを配列したラインセンサカメラにより透明フィルムの表面を撮像している。
【０００５】
また、照明に関しては、透明フィルムに対してラインセンサカメラと反対側から照明を行って透過光による撮像を行うことを基本としている。特許文献１には、透明フィルムに対してラインセンサカメラと同じ側から照明を行って反射光による撮像を行ったり、透過光と反射光との両方による撮像を行ったりすることも記載されている。
【０００６】
検査対象が透明フィルムである場合、透過率が高く反射率が低いから、不透明な異物のような欠陥は透過光を用いることにより有無を検出することができるが、気泡のような欠陥では透過光と反射光とのいずれを用いる場合であっても光の散乱の有無による受光強度の相違を検出することになるから、欠陥の有無による光量の変化は少なく、信号対雑音比（Ｓ／Ｎ）を大きくすることができない。
【０００７】
また、検査対象は厚み寸法が小さく平面度が高いとは言えず、検査対象が良品であってもラインカメラセンサで受光する受光強度が検査対象の場所によって変化する場合があるから、局所的な受光強度の変動を欠陥と誤認する可能性がある。さらに、検査環境における環境光の強度変化が検査結果に影響を与えることがあり、欠陥の検出結果の再現性が低いという問題もある。
【０００８】
検査対象が透明フィルムである場合について、上述した欠陥の検出の問題点を列挙すれば以下のようになる。
１．Ｓ／Ｎが小さいから、欠陥の判断条件の調節範囲が狭い。すなわち、欠陥の判断条件を厳しく設定すれば欠陥の見落としが多くなり、判断条件を緩く設定すれば欠陥ではない領域を欠陥とする誤認が増加する。
２．環境光が変動すると、欠陥を再現性よく検出することができない。
３．局所的な受光強度の変動を欠陥と誤認する可能性がある。
【０００９】
特許文献１に記載の技術では、全画素の受光強度（に対応する信号値）の平均値を各画素の受光強度（に対応する信号値）から減算する技術を採用しているから、上述の問題点１、２を解決できると考えられる。
【特許文献１】特開２００１−９１４７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、すべての画素の受光強度から一律に全画素の受光強度の平均値を減算しているから、局所的に生じる受光強度の変動には対応できず、問題点３については解決されていない。
【００１１】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、欠陥の有無による受光強度の差が微小であっても欠陥の判断条件を適正に設定でき、かつ環境光が変動しても欠陥を再現性よく検出することを可能にするのはもちろんのこと、局所的に生じる受光強度の変動についても誤認することなく欠陥を精度よく検出することを可能にした透明フィルムの外観検査方法および透明フィルムの外観検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１の発明は、透明フィルムを検査対象として照明装置から検査対象の表面に光を照射するとともに、検査対象の表面の各部位からの反射光を画像入力装置により受光して濃淡画像を生成する第１過程と、当該濃淡画像を複数の分割画像に分割する第２過程と、分割画像内において濃淡値の最頻値を求める第３過程と、当該最頻値を含む良品範囲を設定し良品範囲を逸脱する濃淡値を持つ画素を欠陥候補点として抽出する第４過程と、欠陥候補点からなる連結領域のうち統合可能なものを欠陥領域として統合する第５過程と、欠陥領域について重心を求める第６過程と、重心を基準とする検査領域を設定する第７過程と、検査領域内で濃淡値の最頻値を基準値として求める第８過程と、基準値との差分が規定の閾値以上となる濃淡値を持つ画素を欠陥の画素として抽出する第９過程とを有することを特徴とする。
【００１３】
請求項２の発明では、請求項１の発明において、前記分割画像は、前記濃淡画像を分割した方向において、抽出しようとする欠陥に含まれる画素数の２倍以上の画素数を有することを特徴とする。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記第３過程では、前記濃淡画像を分割した方向と当該方向に直交する方向との両方向の各直線上に並ぶ画素についてそれぞれ濃淡値の最頻値を求め、第４過程では各方向について求めた欠陥候補点の論理和を欠陥候補点として採用することを特徴とする。
【００１５】
請求項４の発明は、請求項１又は２の発明において、前記第３過程では、前記濃淡画像を分割した方向と当該方向に直交する方向との両方向の各直線上に並ぶ画素についてそれぞれ濃淡値の最頻値を求め、第４過程では各方向について求めた欠陥候補点からなる連結領域の一方が規定の判定面積を超えるときに当該連結領域を採用することを特徴とする。
【００１６】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかの発明において、前記第５過程では、欠陥候補点からなる連結領域のうち面積が規定の最小面積に満たない連結領域を欠陥領域から除外することを特徴とする。
【００１７】
請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれかの発明において、前記第５過程では、欠陥候補点からなる連結領域のうち面積が規定の最大面積を超える連結領域を欠陥領域から除外することを特徴とする。
【００１８】
請求項７の発明は、透明フィルムを検査対象として検査対象の表面に光を照射する照明装置と、検査対象の表面の各部位からの反射光を受光し受光光量に応じた受光信号を出力する画像入力装置と、画像入力装置により得られる濃淡画像を複数の分割画像に分割する画像分割部と、分割画像内において濃淡画像を分割した方向に延長されている直線上に並ぶ画素について濃淡値の最頻値を求める最頻値抽出部と、最頻値抽出部で求めた最頻値を含む良品範囲を設定し良品範囲を逸脱する濃淡値を持つ画素を欠陥候補点として抽出する欠陥候補抽出部と、欠陥候補点からなる連結領域のうち統合可能なものを欠陥領域として統合する欠陥領域統合部と、欠陥領域について重心を求め重心を基準とする検査領域を設定する検査領域設定部と、検査領域内で濃淡値の最頻値を基準値として求める基準値設定部と、基準値との差分が規定の閾値以上となる濃淡値を持つ画素を欠陥の画素とする欠陥判定部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１、７の発明によれば、濃淡画像を分割画像に分割し、分割画像内で求めた濃淡値の最頻値を含むように良品範囲を設定し、良品範囲を逸脱する濃淡値を持つ画素を欠陥候補点として抽出するするから、欠陥候補点を抽出する範囲を制限していることにより色むらや照明むらの影響を抑制することができる。すなわち、欠陥の有無による受光強度の差が微小であっても良品範囲を適正に設定することが可能になる。さらに、欠陥候補点からなる連結領域を統合した欠陥領域に対して検査領域を設定し、この検査領域内で欠陥を抽出するから、欠陥領域を含む狭い範囲に制限して欠陥の検証を行うことができ、局所的に生じる受光強度の変動の影響を受けることなく欠陥を精度よく検出することが可能になる。
【００２０】
請求項２の発明によれば、非欠陥部の画素の濃淡値が最頻値になるから、欠陥候補点を再現性よく抽出することが可能になる。
【００２１】
請求項３の発明によれば、２方向で求めた欠陥候補点の論理和を欠陥候補点として採用するから、欠陥候補点の個数を多くとることができ、欠陥に対する情報量が増えるとともに欠陥領域の面積も大きくなり、欠陥の方向によらず微小な欠陥でも検出することが可能になる。
【００２２】
請求項４の発明によれば、濃淡画像内での欠陥の方向に依存せずに欠陥候補点からなる連結領域を抽出することができる。また、各方向のうちの一方向について条件を満たせば欠陥候補点の連結領域として採用するから、一方向で求めた連結領域が条件を満たせば、他方向では連結領域を求める必要がなく、請求項３の方法よりも処理時間を短縮できる可能性がある。
【００２３】
請求項５の発明によれば、連結領域のうち最小面積以上のもののみを統合するから、ノイズを除去することが可能になり、また不要な処理を行わないから処理時間を短縮できる可能性がある。
【００２４】
請求項６の発明によれば、連結領域のうち最大面積以下のもののみを統合するから、色むらや照明むらなどにより生じている連結領域を欠陥と誤認するのを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本実施形態は、図１に示すように、検査対象である透明フィルム１の表面に光を照射する照明装置２と、照明装置２から透明フィルム１の表面に照射された光の反射光を受光する画像入力装置としてのラインセンサカメラ３と、ラインセンサカメラ３の出力から透明フィルム１における異物の混入や気泡の有無を判断する画像処理装置４とを備える。
【００２６】
透明フィルム１は、図示しない搬送装置によって長手方向に送られる。また、照明装置２は、直管形の蛍光ランプのような線状光源を備え、透明フィルム１の幅方向（送り方向に直交する方向）の全長に亘る照射領域を有する。
【００２７】
ラインセンサカメラ３は、ＣＣＤリニアイメージセンサとシリンドリカルレンズからなる受光レンズとを組み合わせたものを用いる。照明装置２から透明フィルム１の表面に照射した光の正反射光がラインセンサカメラ３に入射するように、照明装置２とラインセンサカメラ３との位置関係が設定される。
【００２８】
本実施形態では、透明フィルム１が一方向に送られているから、線状の領域からの反射光をラインセンサカメラ３で受光することにより、透明フィルム１の送り方向における情報を得ることができる。
【００２９】
画像処理装置４は、コンピュータを主構成とするものであり、以下の動作を可能とするプログラムを実行する。画像処理装置４は、ラインセンサカメラ３の受光出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器１１と、Ａ／Ｄ変換器１１から出力された各画素ごとの濃淡値を記憶する画像メモリ１２とを備える。画像メモリ１２は、ラインセンサカメラ３から出力される各１ラインの濃淡画像を複数ライン分記憶する。すなわち、透明フィルム１の幅方向における全幅を有し、透明フィルム１の送り方向における所定長さを有する領域の画像（２次元画像に相当する画像）が画像メモリ１２に格納される。
【００３０】
画像メモリ１２に格納された濃淡画像は、画像分割部１３によりラインの方向において複数に分割される。いま、図２（ａ）における矢印Ｙの方向を透明フィルム１の送り方向とし、矢印Ｘの方向を透明フィルム１の幅方向とする（Ｘ方向が濃淡画像におけるラインの方向であって２次元画像の水平方向に相当する、Ｙ方向は２次元画像の垂直方向に相当する）。画像メモリ１２に格納される濃淡画像は、ラインセンサカメラ３により透明フィルム１をｍ回撮像した濃淡画像Ｐ１になる。画像分割部１３では、図２（ｂ）のように、矢印Ｙの方向（透明フィルム１の幅方向）において濃淡画像Ｐ１をｎ個に分割する。以下では、画像分割部１３により分割された画像を分割画像と呼ぶ。
【００３１】
透明フィルム１の幅方向における画素数をｐ個とすれば、図２（ｃ）のように、分割画像Ｐ２は、矢印Ｘの方向においてｍ個の画素を有し、矢印Ｙの方向において（ｐ／ｎ）個の画素を有する。すなわち、分割画像Ｐ２はｐｍ／ｎ画素の濃淡画像である。
【００３２】
次に、最頻値抽出部１４では、各分割画像Ｐ２について、各ラインごとに濃淡値に関して最頻値を求める。すなわち、各分割画像Ｐ２についてｍ個の最頻値が得られる。ここに、濃淡値の分布は単峰型になる保証はないが、透明フィルム１の場合、欠陥のない部分の濃淡値が最頻値になることが多いと考えられるから、おおむね単峰型の分布になる。また、分割画像Ｐ２における１ラインの画素数（ｐ／ｎ）は適宜に設定されるが、たとえば数十画素を含むように設定される。ここに、分割画像の分割数ｎはラインセンサカメラ３の画素数ｐが割り切れるように設定する。
【００３３】
最頻値抽出部１４で最頻値が求められると、欠陥候補抽出部１５において、濃淡画像Ｐ１の各ラインについてそれぞれ良品範囲を設定し、良品範囲を逸脱する画素があれば欠陥候補点とする。良品範囲は、最頻値抽出部１４で求めた各ラインごとの最頻値を用いて規定する。たとえば、ｋ番目のラインについて求めた最頻値がＡ（ｋ）であるとすると、良品範囲の上限をＡ（ｋ）＋Ｂ、良品範囲の下限をＡ（ｋ）−Ｃなどと設定する。値ＢとＣとは等しくても異なっていてもよい。
【００３４】
すなわち、欠陥が存在する部位の濃淡値は、通常は最頻値（非欠陥部の濃淡値）よりも大きいか小さいから、上述のように良品範囲を規定するとともに、良品範囲よりも濃淡値が大きいか小さい領域を欠陥候補点として抽出するのである。
【００３５】
いま、欠陥候補抽出部１５で抽出された欠陥候補点が、図３のように分布しているものとする。欠陥候補点が欠陥に実際に対応している場合には、欠陥候補点は連結領域Ｄを形成する。連結領域Ｄを形成するには、良品範囲を逸脱する画素の８近傍の画素に良品範囲を逸脱する画素が含まれているときに両画素を１グループの画素として扱う操作を行い、この操作を繰り返して得られる画素群を連結領域の画素群とする。
【００３６】
欠陥候補抽出部１５では分割画像Ｐ２ごとに欠陥候補点が抽出されるから、抽出された欠陥候補点を分割前の濃淡画像Ｐ１に配置して上述した欠陥候補点の連結領域を形成する。
【００３７】
ここにおいて、濃淡画像Ｐ１を分割した分割画像Ｐ２は幅を狭くするほど色むらや照度むらの影響を受けにくくなるが、各ラインごとの濃淡値の最頻値を求める際に、ラインに含まれる画素数が欠陥候補点の個数よりも少ないと最頻値を非欠陥部の濃淡値として求めることができない。実際には、最頻値を欠陥候補点の画素数の２倍以上とすることが必要である。欠陥候補点の画素数は装置の仕様に応じて実験的に求めることができるから、分割画像Ｐ２において１ライン当たりの欠陥候補点の画素数の最大値を求めておき、その値の２倍以上の画素が含まれるように分割画像Ｐ２の画素数を決定する。
【００３８】
ところで、検査環境における環境光は比較的短時間で変化することがあるから、最頻値を求める際に用いる画素については環境光の変化の影響を受けないタイミングで受光強度を取得する必要がある。本実施形態では、透明フィルム１を撮像するためにラインセンサカメラ３を用いており、ラインセンサカメラ３では１０００分の１秒以下の時間で１ラインの画像を取得することができるから、１ライン分の画素については実質的に同時と言えるタイミングで受光強度を取得することが可能になっている。ただし、ラインセンサカメラ３としてＣＣＤリニアイメージセンサを用いることは必須ではなく、他のリニアイメージセンサを用いることも可能である。
【００３９】
また、環境光がほとんど変化しない検査環境では、ラインに直交する方向に並ぶ画素列から最頻値を求めてもよい。さらに、ライン上の画素列とラインに直交する方向の画素列との両方について欠陥候補点を求め、両結果を併せて欠陥候補点を決定してもよい。両結果を併せて欠陥候補点とする場合に、両方向について求めた欠陥候補点の論理和を用いることができる。あるいはまた、ライン上の画素列とラインに直交する方向の画素列との両方について欠陥候補点を求め、各方向の欠陥候補点からなる各連結領域の一方の面積が規定した判定面積以上であれば、当該連結領域を欠陥候補抽出部１５の出力として採用する。
【００４０】
欠陥候補点の連結領域が形成された後、欠陥領域統合部１６において、各欠陥候補点の連結領域について１グループに統合可能か否かを評価し、統合可能であれば欠陥領域としてグループ化する。統合可能か否かの評価には、各欠陥候補点の間の距離を求め、当該距離が規定した統合距離内であれば統合可能と判断する。
【００４１】
たとえば、欠陥候補点の連結領域Ａ１，Ａ２、Ａ３、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３が図４のように得られているものとする。ここで、連結領域Ａ１，Ａ２，Ａ３は１つの欠陥であるものとする。つまり、図示例では１つの欠陥に対応する領域が複数（図示例では３個）の連結領域Ａ１，Ａ２，Ａ３に分離されていることになる。このように分離された連結領域Ａ１，Ａ２，Ａ３について、欠陥領域統合部１６では、異なる連結領域Ａ１，Ａ２，Ａ３に含まれる各欠陥候補点間の距離を算出し、算出した距離が規定の統合距離内であれば、１つの欠陥領域として統合する。
【００４２】
一方、欠陥候補点からなる連結領域の面積が極端に小さい場合（図４では領域Ｂ２に相当）、当該領域はノイズの可能性がある。そこで、欠陥候補点からなる連結領域の面積を評価し、連結領域のうち規定の最小面積（画素数）に満たないものは欠陥領域としては採用しない。逆に、欠陥候補点からなる連結領域の面積が大きい場合（図４では領域Ｂ３に相当）、当該領域は欠陥ではなく透明フィルム１の色むらや照明むらである可能性があるから、連結領域のうち規定の最大面積（画素数）を超えるものも欠陥領域としては採用しない。つまり、各連結領域Ａ１，Ａ２、Ａ３、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３は、面積が規定した範囲内であって、しかも欠陥候補点の間の距離が統合距離内であれば、欠陥領域として統合される。
【００４３】
欠陥領域統合部１６により統合した欠陥領域については、重心算出部１７において重心位置を求める。重心位置を求めた後には、検査領域設定部１８において重心を基準点とする検査領域を設定する。検査領域の形状についてはとくに制限はないが、通常は矩形状の検査領域を設定する。このようにして検査領域を制限した後に、基準値設定部１９において検査領域内の画素について濃淡値の最頻値を求めて基準値とする。検査領域においても欠陥のない領域の濃淡値が最頻値になると考えられるから、この最頻値を基準値とし、欠陥判定部２０において、検査領域内の画素のうち基準値との差分が規定した閾値以上となる濃淡値を持つ画素が連結領域を形成し、この連結領域が規定の画素数以上の画素を含むときに、当該連結領域を欠陥に対応する領域と判定する。欠陥判定部２０により欠陥と認識された画素があれば、透明フィルム１には異物や気泡のような欠陥が存在すると判定され、欠陥の位置が画素の位置から特定される。
【００４４】
上述した処理手順を図５にまとめて示す。まず、一方向に搬送されている透明フィルム１を搬送方向に直交する方向（透明フィルム１の幅方向）に画素が並ぶラインセンサカメラ３により複数回撮像することにより複数ライン分の画素を含む濃淡画像Ｐ１を取得する（Ｓ１）。次に、取得した濃淡画像Ｐ１をラインの方向において複数の分割画像Ｐ２に分割する（Ｓ２）。その後、各分割画像Ｐ２の中でラインごとの各画素の濃淡値を求め、濃淡値の最頻値を求める（Ｓ３）。この最頻値を基準にして良品範囲をラインごとに規定し、良品範囲を逸脱する画素を欠陥候補点として求める（Ｓ４）。欠陥候補点は連結領域を形成するから連結領域を評価し、さらに連結領域の統合の可否を判断し、統合可能な連結領域を統合することにより欠陥領域を確定する（Ｓ５）。
【００４５】
欠陥領域が確定すると、欠陥領域の重心を算出し（Ｓ６）、重心を基準点に用いて検査領域を設定する（Ｓ７）。この検査領域において濃淡値の最頻値を求め（Ｓ８）、検査領域内において、求めた最頻値との濃淡差が規定した閾値以上である画素からなる連結領域が規定した画素数以上を含むときに最終的に欠陥として認識する（Ｓ９）。
【００４６】
以上の処理手順により透明フィルム１における欠陥の有無を検査することができる。この検査においては、分割画像Ｐ２を用いるとともにラインごとに最頻値を求めることによって、色むらや照明むらの影響を抑制することができる。しかも、ラインごとの最頻値により良品範囲を設定して欠陥候補点を抽出しているから、欠陥の有無による受光強度の差が微小であっても適正な良品範囲を設定できる可能性が高くなる。さらに、欠陥領域を抽出した後に、欠陥領域を含む狭い範囲で検査領域を設定しているから、局所的に生じる受光強度の変動についても誤認することなく欠陥を精度よく検出することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態を示す概略構成図である。
【図２】同上の動作説明図である。
【図３】同上の動作説明図である。
【図４】同上の動作説明図である。
【図５】同上の処理手順を示す動作説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  透明フィルム
２  照明装置
３  ラインセンサカメラ
４  画像処理装置
１１  Ａ／Ｄ変換器
１２  画像メモリ
１３  画像分割部
１４  最頻値抽出部
１５  欠陥候補抽出部
１６  欠陥領域統合部
１７  重心算出部
１８  検査領域設定部
１９  基準値設定部
２０  欠陥判定部
Ｐ１  濃淡画像
Ｐ２  分割画像
【図１】
0005074998.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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