(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の製造装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送する搬送システムであって、
前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、
前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段と、
前記各種処理を施す予定の前記一若しくは複数の製造装置に係る情報が単位時間毎に示されるスケジュールデータに従って、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段と、
該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御手段と
を備えることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記予定台数特定手段は、前記一時点又は時期として、現在実行中又は現在要求されている前記被搬送物の搬送の少なくとも一部が終了した以降における時点又は時期において前記要求される予定の台数を特定することを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記制御手段は、前記複数の搬送車のうち、前記被搬送物の搬送を行っていない一又は複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記制御手段は、前記特定された台数の前記集合別の相対比率に基づいて制御することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記制御手段は、前記集合別の相対比率に基づいて前記特定された台数を補正し、該補正された台数に基づいて制御することを特徴とする請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記予定台数特定手段は、前記要求される予定の台数として、所定時間毎に要求される台数を特定することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項７】
被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の製造装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送するために、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段とを備えた該搬送システムにおいて、前記搬送車の配車を管理する配車管理装置であって、
前記各種処理を施す予定の前記一若しくは複数の製造装置に係る情報が単位時間毎に示されるスケジュールデータに従って、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段と、
該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御手段と
を備えることを特徴とする配車管理装置。
【請求項８】
被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の製造装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送するために、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段とを備えた該搬送システムにおいて、前記搬送車の配車を管理する配車管理方法であって、
前記各種処理を施す予定の前記一若しくは複数の製造装置に係る情報が単位時間毎に示されるスケジュールデータに従って、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定工程と、
該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御工程と
を備えることを特徴とする配車管理方法。
【請求項９】
被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の製造装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送するために、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段とを備えた該搬送システムに備えられるコンピュータを、
前記各種処理を施す予定の前記一若しくは複数の製造装置に係る情報が単位時間毎に示されるスケジュールデータに従って、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段と、
該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御手段と
として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体装置製造用の各種基板などの被搬送物をビークル等の搬送車で搬送可能な搬送システムに関し、特に搬送車の配車位置或いは待機位置を調整可能な搬送システムの技術分野に関する。本発明は更に、このような搬送システムに含まれる配車管理装置及び方法、並びにコンピュータをこのような装置として機能させるコンピュータプログラムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送システムでは、例えば、複数の作業装置から一つの製造ラインが構成されており、複数の製造ラインに対応して複数の搬送ラインが設けられ、更に複数の搬送ラインの相互間にも、搬送手段が設けられる。これらにより、搬送車が各製造ライン内のみならず、複数の製造ラインの相互間でも移動可能となる。例えば、特許文献１には、製造工程における一つの搬送を終了した搬送車が所定の待機位置に戻る時間と、搬送先で被搬送物を移載する時間とから、搬送車が走行する搬送手段の各々の移動所要時間を算出する搬送システムが開示されている。この算出された移動所要時間に基づいて、搬送車において、他の搬送手段での利用率が向上すると判定された場合に、搬送車の待機位置が、所定の待機位置から、他の搬送ラインに設定される待機位置に変更される。このように、各搬送ラインにおける搬送車の利用率に基づいて、配車が行われることで、搬送車の稼働率が向上し、全製造工程の搬送時間が短くなるとされている。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１６８０２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の背景技術によれば、個々の搬送を終えた後に、待機位置に向かう搬送車の走行は、効率化されるが、複数の搬送ラインの各々で発生する搬送量に対応しておらず、個々の搬送を開始する前の効率化は図られていない。実際に、各種製造ラインで要求される搬送量は、一定時間毎に平均化されたものではなく、不定期且つ短時間に大量に要求される。このため、搬送が集中する時間帯では、或る製造ラインでは搬送車が不足して、全ての搬送量が連続して処理されず、ある程度の搬送が終了するのを待って残りの搬送が再開されるために、結果として搬送時間が延びてしまうという技術的問題点がある。
【０００５】
本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、例えば、搬送車の配車位置を適切に調整可能な搬送システム、該搬送システムを構成する配車管理装置及び方法、並びにコンピュータをこのような配車管理装置として機能させるコンピュータプログラムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る搬送システムは上記課題を解決するために、被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の作業装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送する搬送システムであって、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段と、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段と、該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御手段とを備える。
【０００７】
本発明の搬送システムによれば、例えば半導体装置製造の工場内において、複数の集合の各々の内部及び複数の集合の相互間で、被搬送物が搬送される。ここに「複数の集合」は夫々、例えば半導体基板等の被搬送物に対して、成膜処理、熱処理、エッチング処理等の各種処理を施す、一又は複数の半導体製造装置などの作業装置を含んで構成される。この「集合」は、例えば「モジュール」と呼ばれる搬送システムにおける搬送を制御管理するための単位に対応する、一つの製造ラインに相当する。
【０００８】
その動作時には、例えばビークル等の搬送車は、例えばビークルの推進装置、レールなどを含んでなる移動手段によって、被搬送物が搭載された又はされない状態で、上述した複数の集合の内部及び相互間で移動される。即ち、例えば同一の製造ライン内で或いは異なる製造ライン間で移動される。即ち、ここでの搬送は、工程内搬送及び工程間搬送の両者を含んでよい。搬送の管理単位は、一般に「モジュール」と称され、上述した本発明に係る「集合」がモジュールに対応するが、集合の相互間に位置しており作業装置を何ら含まない搬送路を、一つのモジュールとして扱ってもよい。更に、当該搬送システムにおいては、搬送車による搬送に加えて、例えばストッカなどの搬送車以外の搬送手段によって被搬送物が搬送されてよい。
【０００９】
このような動作中、即ち搬送中に、プロセッサ、メモリ等を備えてなる予定台数特定手段によって、複数の集合の内部の各々で、要求される予定の搬送車の台数が特定される。特にここで「要求される予定の搬送車の台数」は、将来の一時点又は時期において、複数の集合の内部の各々で、要求される予定の台数であり、この際「集合の内部で要求される」は、同一集合の内部から内部へ搬送するために要求される場合と、一の集合の内部から他の集合へ搬送するために要求される場合との両者を含む。また「特定する」は、算出する、集計する、推定する、予想する、予定台数に係るデータを取得するなど、何らかの方法で、予定の台数を予め決めるという意味である。例えば、搬送ライン別に、現在実行中の搬送動作が完了した後における、将来的な要求台数が集計される。このような特定は、例えば１０分間など予め設定された単位時間毎である固定の期間毎又は可変の期間毎等の、所定期間毎に実行されてもよい。
【００１０】
すると、例えばコントローラ等を備えてなる制御手段の制御下で、例えば集計された要求台数の搬送ライン別の相対比率に基づいてなど、特定された台数に基づいて、複数の搬送車が、移動手段によって複数の集合の相互間で移動させられる。典型的には相対的に配車台数或いは待機台数が多く且つ要求台数が少ない搬送ラインから、相対的に配車台数或いは待機台数が少なく且つ要求台数が多い搬送ラインへと、搬送車が移動されることになる。複数の集合間で搬送すべき量に見合わない搬送車の集中や、局所的な不足は、効果的に回避される。しかも、ここでの移動は、上述した一時点又は時期に先立って行われるので、搬送手段の全体に亘って、搬送車の配車位置或いは待機位置が極めて効率的に調整されることになる。よって、いずれの時点においても搬送作業が開始される時点では既に、搬送車の配車位置或いは待機位置が、搬送システム全体として搬送作業に適した状態に調整されているので、効率的に搬送を実行可能となる。従って、限定された数の搬送車を有効利用でき、言い換えれば、搬送システムに設ける搬送車の総数を不必要に増大させないで済み、同一のパーフォーマンスを求める上でのコストを低減でき、経済的には極めて有利となる。
【００１１】
以上詳細に説明したように本発明の搬送システムによれば、実際の搬送作業に先立って複数の集合間で配車数が調整されるので、搬送車不足を要因とする搬送時間の延長が抑制され、全作業を通じての搬送時間をより短く、安定させることができる。この結果として、搬送車の稼働率が向上し、搬送車の配車を効率的に管理することができる。
【００１２】
本発明に係る搬送システムの一態様では、前記予定台数特定手段は、前記一時点又は時期として、現在実行中又は現在要求されている前記被搬送物の搬送の少なくとも一部が終了した以降における時点又は時期において前記要求される予定の台数を特定する。
【００１３】
この態様によれば、予定の台数は、現在実行中又は現在要求されている搬送の少なくとも一部が終了した以降における将来の時点又は時期において要求される予定の台数である。このような予定の台数が特定されるので、より将来を見据えた効率的な配車位置の調整が、実施可能となる。仮に、現在実行中又は現在要求されている台数に従って配車位置を調整したのでは、特定の集合への搬送車の集中や特定の集合における搬送車の不足が発生しやすくなる。しかるに、本態様の如く予定の台数を特定した上で、これに基づいて搬送車を移動させれば、このような集中や不足が発生するのを極めて効率的に回避できる。
【００１４】
本発明に係る搬送システムの他の態様では、前記制御手段は、前記複数の搬送車のうち、前記被搬送物の搬送を行っていない一又は複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する。
【００１５】
この態様によれば、制御手段による制御下で、例えば予定の台数を特定している現在において又は将来の一時点又は時期において被搬送物の搬送を行っていない搬送車が、相互間で移動される。このため、空荷の搬送車が不足している集合へと、極めて効率的に空荷の搬送車を回すことができ、他方で、空荷の搬送車が余っている集合から、極めて効率的に空荷の搬送車を回すことができる。
【００１６】
本発明に係る搬送システムの他の態様では、前記制御手段は、前記特定された台数の前記集合別の相対比率に基づいて制御する。
【００１７】
この態様によれば、制御手段による制御下で、特定された台数の集合別の相対比率に基づいて、複数の搬送車が、移動手段によって複数の集合の相互間で移動させられる。ここに「相対比率」とは、例えば全台数に対する各集合において要求されている台数の割合である。従って、総数が限られているという制約の下で、仮に各集合において要求されている台数がそのまま配車されなくても、要求の度合に応じた配車が可能となる。よって、搬送システム全体としては、総数が限られているという制約の下での最大効率に近い配車が可能となる。
【００１８】
この態様では、前記制御手段は、前記集合別の相対比率に基づいて前記特定された台数を補正し、該補正された台数に基づいて制御してもよい。
【００１９】
このように構成すれば、制御手段による制御下で、先ず、集合別の相対比率に基づいて特定された台数が補正される。例えば、集合別に予め設定された搬送車の台数を基本として、搬送車の不足数及び過剰数が、補正値として、夫々「＋」或いは「−」の数で示される。続いて、このように補正された台数に基づいて、複数の搬送車が、移動手段によって複数の集合の相互間で移動させられる。よって、例えば、搬送すべき搬送量に対し、現在の配車数が多い場合に、過剰な数の搬送車が、現在配車されている集合から、他の集合に移動される。一方、現在の配車数が少ない場合に、不足している数の搬送車が、他の集合から移動される。このように、台数の補正という比較的簡単な演算処理を利用して、配車位置或いは待機位置の調整を確実且つ迅速に実行可能となる。
【００２０】
本発明に係る搬送システムの他の態様では、前記予定台数特定手段は、前記要求される予定の台数として、所定時間毎に要求される台数を特定する。
【００２１】
この態様によれば、所定時間毎に要求される台数が、特定される。例えば１０分間など予め設定された単位時間毎である固定の期間毎又は可変の期間毎等に要求される台数が、特定される。或いは、例えば１０分後など予め設定された単位時間後である固定の期間後又は可変の期間後等の、現在を基準とする所定期間後についての特定が、より頻繁に（例えば、１分間毎に）行われてもよい。また、特定を実行する頻度としては、上述の所定時間と同じ間隔で行われてもよいし、上述の所定時間よりも長い間隔でまとめて行われてもよいし、上述の所定時間よりも短い間隔で繰り返し行われてもよい。
【００２２】
本発明に係る搬送システムの他の態様では、前記予定台数特定手段は、前記複数の作業装置で実行される作業に係るスケジュールに従って、前記要求される予定の台数を特定する。
【００２３】
この態様によれば、例えば、どの被搬送物に対して、どの作業装置の処理を、いつ行うのかを単位時間毎に示すスケジュール（或いはスケジュールデータ）に従って、要求される予定の台数が特定される。よって、実際の搬送が開始されるよりも相当以前に、予定台数の特定が可能となり、時間的な余裕を持って、搬送車を配車すること或いはその準備をすることが可能となる。
【００２４】
本発明に係る配車管理装置は上記課題を解決するために、被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の作業装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送するために、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段とを備えた該搬送システムにおいて、前記搬送車の配車を管理する配車管理装置であって、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段と、該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御手段とを備える。
【００２５】
本発明の配車管理装置によれば、上述した本発明に係る搬送システムの場合と同様に、実際の搬送作業に先立って複数の集合間で配車数が調整されるので、搬送車不足を要因とする搬送時間の延長が抑制され、全作業を通じての搬送時間をより短く、安定させることができる。
【００２６】
尚、本発明の配車管理装置においても、上述した本発明の搬送システムにおける各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。
【００２７】
本発明に係る配車管理方法は上記課題を解決するために、被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の作業装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送するために、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段とを備えた該搬送システムにおいて、前記搬送車の配車を管理する配車管理方法であって、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定工程と、該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御工程とを備える。
【００２８】
本発明の配車管理方法によれば、上述した本発明に係る搬送システムの場合と同様に、実際の搬送作業に先立って複数の集合間で配車数が調整されるので、搬送車不足を要因とする搬送時間の延長が抑制され、全作業を通じての搬送時間をより短く、安定させることができる。
【００２９】
尚、本発明の配車管理方法においても、上述した本発明の搬送システムにおける各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。
【００３０】
本発明に係るコンピュータプログラムは上記課題を解決するために、被搬送物に対して各種処理を施す一若しくは複数の作業装置を含んで夫々構成される複数の集合の各々の内部及び該複数の集合の相互間で、前記被搬送物を搬送するために、前記被搬送物を夫々搭載可能であると共に夫々移動可能な複数の搬送車と、前記内部及び前記相互間で前記搬送車を移動させる移動手段とを備えた該搬送システムに備えられるコンピュータを、将来の一時点又は時期において前記内部の各々で前記被搬送物を搬送するために要求される予定の前記複数の搬送車の台数を特定する予定台数特定手段と、該特定された台数に基づいて、前記一時点又は時期に先立って前記複数の搬送車を前記相互間で移動させるように、前記移動手段を制御する制御手段として機能させる。
【００３１】
本実施形態のコンピュータプログラムによれば、当該コンピュータプログラムを格納するＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ等の記録媒体から、当該コンピュータプログラムを、搬送システムに備えられたコンピュータに読み込んで実行させれば、或いは、当該コンピュータプログラムを通信手段を介してダウンロードさせた後に実行させれば、上述した本発明に係る搬送システム或いは配車管理装置を比較的簡単に構築できる。これにより、上述した本発明に係る搬送システムの場合と同様に、実際の搬送作業に先立って複数の集合間で配車数が調整されるので、搬送車不足を要因とする搬送時間の延長が抑制され、全作業を通じての搬送時間をより短く、安定させることができる。
【００３２】
尚、本発明のコンピュータプログラムにおいても、上述した本発明の搬送システムにおける各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。
【００３３】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３５】
先ず、本実施形態に係る搬送システムの構成について説明する。ここに図１は、本実施形態に係る搬送システムを含む製造システムのブロック図であり、図２は、図１の搬送システムの搬送路を製造装置と共に示す概略平面図である。
【００３６】
図１及び図２において、本実施形態に係る搬送システム１００は、製造システム２００に組み込まれており、ビークル２、製造指示部４、ＣＰＵ１０及び移動装置１１を備える。ＣＰＵ１０は、搬送機器コントローラ６、搬送コントローラ７及びストッカコントローラ８を含む。移動装置１１は、ビークル２を所望の製造装置３へと搬送可能に構成されている。
【００３７】
製造システム２００は、搬送システム１００の他に、製造装置３、ストッカ３ｂ及び製造装置コントローラ５を備えて構成されている。尚、製造装置コントローラ５は、ＣＰＵ１０に組み込まれてもよい。
【００３８】
図２において、移動装置１１は、搬送路１の他、例えばリニアモータの制御ライン及び電源装置などの、ビークルをリニアモータ方式で移動させるための機械的及び電気的な機構一式を有する。より具体的には、搬送路１は、搬送方向に延びると共にビークル２の車輪が転動する転動面を夫々有する一対のレールを有し、更に該一対のレールの間に搬送方向に複数配列された永久磁石を有する。搬送路１は、ビークル２側に設けられたリニアモータが、その上を走行するための走行路でもあり、ビークル２が走行するための電源信号やその走行を制御するための各種信号がやりとりされる有線の制御線としての機能も有する。
【００３９】
移動装置１１は、モジュールＭ１からＭ５を搬送路１によって接続している。ここに「モジュール」とは、一つ又は複数のベイによって構成されたＯＨＴ（工程内搬送機器）システムが搬送制御管理するための単位を意味し、「ベイ」とは、ＯＨＴシステムで搬送可能な一又は複数の製造装置の集まりである。モジュールＭ２及びＭ３と、モジュールＭ４及びＭ５とは、夫々隣り合って配置されている。これら各モジュールが集合し、全体として１つの大規模ＯＨＴを構成している。この大規模ＯＨＴは、本発明に係る「移動手段」の一例であって、大規模ＯＨＴを構成する移動装置１１の部分によって、各々のモジュールＭ２からＭ５の内部の各々で、ビークル２が走行可能である。モジュールＭ１は、モジュールＭ２及びＭ３から構成されるＯＨＴと、モジュールＭ４及びＭ５から構成されるＯＨＴとの間に配置されており、これらの２つのＯＨＴを相互に接続するＯＨＳ（工程間搬送機器）として機能する。ＯＨＳは、本発明に係る「移動手段」の一例であって、ＯＨＳを構成する移動装置１１の部分によって、モジュールＭ２からＭ５の間で、ビークル２が走行可能である。
【００４０】
ビークル２は、本発明に係る「搬送車」の一例として、リニアモータにより搬送路１に沿って走行し、半導体装置製造における各種基板等の被搬送物が格納されたキャリアを搬送する。ビークル２は、図示しない、個々のビークルを独立制御するためのコントローラ、及び位置情報を送信するための位置情報送信部が内蔵されている。
【００４１】
製造装置３は、本発明に係る「作業装置」の一例として、製造装置コントローラ５による制御下で、ビークル２により搬送された被搬送物に対して、製品に至る各種処理を行う。
【００４２】
ストッカ３ｂは、本発明に係る「作業装置」の一例として、ストッカコントローラ８による制御下で、ビークル２により搬送されたキャリア（例えば、搬送用の容器）或いは被搬送物に対して一部処理が実施されたキャリアを、内部の収容庫へ搬入する又は外部へ搬出するように構成されている。ストッカ３ｂは、搬送路１の一部から搬入すると共に搬送路１の他部へ搬出することで、移動装置１１と共に搬送手段の一部を構成してもよい。複数の製造装置３及びストッカ３ｂからなる４つの集合が、上述の４つのモジュールＭ２からＭ５に対応する。
【００４３】
再び図１において、製造指示部４は、本発明に係る「予定台数特定手段」の一例として、製造工程のスケジューリングを行い、搬送機器コントローラ６は、製造指示部４によるスケジューリングの結果にしたがって、モジュールＭ１からＭ５の各々の内部で、ビークル２がキャリアを搬送するために要求されるビークル２の台数（以下適宜「予定搬送数」と称する）を集計する予定台数特定部４ａを有する。
【００４４】
予定台数特定部４ａは、スケジューリングの結果を示すスケジュールデータから、例えば単位時間１０分毎の予定搬送数を集計する。搬送指示部４は、ＣＰＵ１０の搬送機器コントローラ６に対して、予定搬送数のデータを入力すると共に、これに同期するように製造装置コントローラ５に対して、スケジュールデータに対応する製造又は搬送を指示する旨の指示データを入力することで、半導体装置製造の指示を行う。
【００４５】
スケジューリングの結果について、図３を参照して説明する。ここに図３は、本実施形態に係るスケジューリングの結果を示すスケジュールデータとしてキャリア別製造工程表２１を示す。
【００４６】
スケジューリングの際には、例えば製造管理者によって予め入力されたデータに基づいて、スケジュールデータが出力される。スケジュールデータは、キャリア別製造工程表２１に示すように、各々のキャリア内の被搬送物が処理される製造装置が単位時間毎に示される。例えば、製造装置ＡからＤは、モジュールＭ２に、製造装置ＥからＪは、モジュールＭ３に対応している。この場合、１時１０分では、４つのキャリアＣ−０００１，Ｃ−０００４，Ｃ−０００７及びＣ−０００９に対して、夫々製造装置Ａ，Ｄ，Ｇ及びＩの処理が開始される。従って、モジュールＭ２では、予定搬送数が「２」、モジュールＭ３では、第１モジュールと同様にして、予定搬送数が「２」となる集計結果が出力される。この集計された予定搬送数は、単位時間毎に、モジュールの各々で搬送に必要とされるビークル２の台数となる。
【００４７】
製造装置コントローラ５は、製造指示部４によって入力された製造指示データに基づいて、製造装置３を駆動することで、被搬送物に対して各種処理を実施する。
【００４８】
搬送機器コントローラ６は、本発明に係る「制御手段」の一例として、モジュールの各々において、基本配車数及び配車限界数を、予め設定している。ここで「基本配車数」は、初期設定としてモジュール別に予め設定された、基本のビークル２の台数である。「初期設定」の内容は、例えば製造指示部４によるスケジューリングの際に決定される。「配車限界数」は、予定搬送数の大小に関わらず、各モジュールにおいて配車される（待機する）ビークル２の最大台数及び最少台数である。この配車限界数の設定により、モジュールのいずれかで、ビークル２の配車数（待機数）がマイナスになる状態がなくなる。例えば、基本配車数が「１０」、配車限界数が「±５」である場合に、配車されるビークル２の最大台数が「１５」、最小台数が「５」となり、モジュール内のビークル２の台数は、５〜１５の範囲で変化する。これらの設定により、搬送機器コントローラ６は、配車限界数の範囲内で、予定搬送数に基づいて、モジュールの相互間でビークル２を移動させる。
【００４９】
搬送機器コントローラ６は、製造指示部４によって入力された予定搬送数に基づいて、単位時間１０分毎の搬送発生比率を算出する。具体的に、「搬送発生比率」とは、本発明に係る「相対比率」の一例であって、基本配車数に対する、予定搬送数に対応して実際に稼動されるべきビークル２の台数の割合である。例えば基本配車数が２０台であって、予定搬送数に対応するビークルの台数が１０台の場合に、搬送発生比率は、１０÷２０＝０．５となる。該搬送発生比率は、搬送が開始されるより前に算出される。
【００５０】
搬送機器コントローラ６は、算出された搬送発生比率に基づいて、モジュールＭ２からＭ５の各々で単位時間毎の搬送に必要とされるビークル２の台数を補正する。具体的には、搬送機器コントローラ６は、基本配車数を基本として、単位時間毎に配車されるビークル２の過不足数（不足数及び過剰数）を算出する。例えば、キャリア別製造工程表２１において、モジュールＭ３に属する製造装置Ｅに対して、モジュールＭ２に属するストッカ３ｂからキャリアの搬送を行う。この場合に、基本配車数が２０台で、１時２０分に、キャリアＣ−０００５に対する処理が開始される際に、不足数が「＋１」、１時４０分に、キャリアＣ−０００９に対する処理が開始される際に、過剰数が「−１」とする。ここで、不足数「＋１」とは、１時２０分に、基本配車数「２０」に一台追加する２１台のビークル２が、搬送に必要であることを示す。一方、過剰数「−１」とは、１時４０分に、基本配車数「２０」を一台除く１９台のビークル２が、搬送に必要であることを示す。搬送機器コントローラ６は、算出された過不足数を、搬送コントローラ７に入力する。
【００５１】
搬送コントローラ７は、本発明に係る「制御手段」の一例として、４つのモジュールＭ２からＭ５を、個々に制御するように、４つ備えられている。搬送コントローラ７は、搬送機器コントローラ６によって入力されたビークル２の過不足数に基づいて、単位時間毎のビークル２の台数を補正する。具体的に、不足数「＋１」に対応して、１時２０分の搬送が開始される前に、各モジュールに配置されているビークル２の台数を検出する。この検出された結果により、搬送元のモジュールＭ２のビークル２の台数が２１台に一致しない場合に、ビークル２が過剰に配置されているモジュールのいずれかからモジュールＭ２に、ビークル２が移動される。この移動により、モジュールＭ２のビークル２の台数が２１台に一致される。尚、ここで「搬送が開始される前」に「検出する」とは、直前に検出するのではなく、例えばスケジューリングの結果に基づいて予定搬送数が明らかになった時点又は時期において、実際の搬送に先立って検出するという意味であり、例えば、実際に搬送が開始される数分から数十分或いは数時間前である。極端な場合には、朝における製造装置の立ち上げ時に検出を全て終えてもかまわない。このように、予定搬送数或いは過不足数の検出は、実際の搬送よりも早い時点又は時期にて行われる。
【００５２】
一方、過剰数「−１」に対応して、１時４０分の搬送が開始される前に、１時２０分の場合と同様にして、各モジュールのビークル２の台数を検出する。この検出された結果により、搬送元のモジュールＭ２のビークル２の台数が１９台に一致しない場合に、ビークル２の台数が１９台に一致するように、モジュールＭ２からＭ５の間でビークル２が移動される。尚、ここでの「搬送が開始される前」に「検出する」とは、実際の搬送に先立って検出するという意味であり、例えば、上述した「１時２０分の場合」に係る検出と同時に行われてもよいし、後に（例えば、２０分後に）行われてもよい。例えば、実際の搬送から所定時間以内に（例えば、数十分前以内に）検出を行えば、スケジュール上の台数と実際の台数との誤差が小さくなる。
【００５３】
このように、搬送コントローラ７は、搬送発生比率を基に算出された過不足数に基づいて、モジュールＭ２からＭ５の間でビークル２の移動を行うことで、ビークル２の配車数の調整を行う。
【００５４】
尚、ビークル２の配車数は、基本配車数に過不足数を加減することで算出されるが、例えば下記の式を用いて、直接に、ビークル２の配車数を算出してもよい。例えばモジュールＭ２からＭ４の予定搬送数ＴｃｅＭ２からＴｃｅＭ４が夫々「５」、「３」、「２」、その基本配車数ＢｉｖＭ２からＢｉｖＭ４が「２０」、「１５」、「１０」、配車限界数Ｉｖｒが「±５」である場合に、モジュールＭ２の配車数は、「２０」となる。
【００５５】
（Ｉｖｒ＊２）＊ＴｃeＡ／（ＴｃｅＡ＋ＴｃｅＢ＋ＴｃｅＣ）−Ｉｖｒ＋ＢｉｖＡ
尚、ビークルの配車数の調整を相互に行う対象となる複数のモジュールは、搬送元のモジュールとの距離が最短のモジュールとしてもよく、適宜設定が可能である。尚、各モジュールのビークル２の台数は、各ビークル２に備えられた位置情報送信部からの情報に基づいて検出したり、搬送路１の複数箇所にセンサを設け、このセンサの出力結果に基づいて検出してもよい。
【００５６】
ストッカコントローラ８は、製造指示部４によって入力される予定搬送数のデータに基づいて、ストッカ３ｂを駆動することで、キャリアをストッカ３ｂの内部に搬入したり、ストッカ３ｂの外部に搬出する。
【００５７】
ＣＰＵ１０は、製造指示部４によって入力される予定搬送数のデータに対応して、ビークル２をバランス良く効率的に配車する。
【００５８】
次に、本実施形態に係る搬送システムの動作処理である配車管理処理について、フローチャートを用いて、より具体的に説明する。
（配車管理処理）
図４は、本実施形態に係る搬送システムの配車管理処理を示すフローチャートである。
【００５９】
本実施形態の配車管理処理では、基本配車数が、最初の単位時間、例えば１時００分から１０分間に要求されるビークル２の配車数に対応している。このため、最初の単位時間において、配車の調整は行われないものとする。
【００６０】
具体的には、図４において、先ず、製造指示部４によって、製造工程のスケジューリングが行われる（ステップＳ２１）。このスケジューリング後に、製造管理者によって製造又は搬送を指示する操作が行われることにより、搬送要求が変更された場合には（ステップＳ２２：ＹＥＳ）、再度スケジューリングが行われる。一方、製造管理者による指示がなく、搬送要求の変更がなされない場合には（ステップＳ２２：ＮＯ）、再度スケジューリングを行う必要はなく、次のステップＳ２３が実行される。
【００６１】
スケジューリングにより、図３に示すように、スケジュールデータが出力される（ステップＳ２３）。スケジュールデータが出力されると、単位時間後、例えば１時２０分から１０分後（図３において、１時３０分の列を示す）のスケジュールデータが読み取られ（ステップＳ２４）、読み取られたスケジュールデータに基づいて、各モジュールにおける予定搬送数が集計される（ステップＳ２５）。続いて、搬送機器コントローラ６によって、集計された予定搬送数に基づいて、モジュール毎の搬送発生比率が算出され、算出された搬送発生比率に基づいて、各モジュールＭ２からＭ５において、配車すべきビークル２の過不足数が算出される。この過不足数の算出により、配車数の調整が行われる（ステップＳ２６）。
【００６２】
各モジュールＭ２からＭ５における、ビークル２の過不足数が算出された後に、過不足数に基づいて、移動装置１１によってモジュールＭ２からＭ５の間でビークル２が移動され、１時３０分の搬送に対応するビークル２の配車が調整される（ステップＳ２７）。ここで例えば、現時点で搬送を行っていないビークル２や、スケジューリングの結果からして近未来的にも搬送を行わない予定のビークル２が、ビークル２が不足するモジュール以外に存在していれば、該ビークル２が不足するモジュールへと移動される。
【００６３】
ビークル２の配車が調整された後に又は調整の最中に、例えばその調整の対象となる単位時期である１時３０分より、３０分前（図３において、１時００分の列を示す）の、特定のキャリアの搬送が開始される。尚、一つのモジュールから見て、自らの搬送開始よりも前であれば、他のモジュールにおける搬送の最中に、配車の調整が継続的に行われていてもよい。或いは、他のモジュールにおける搬送と完全に並行して、配車の調整が実行されてもよく、この場合、ステップＳ２７、及び特定のキャリアの搬送は、並列処理として行われる。特定のキャリアの搬送と併せて、製造装置コントローラ５及びストッカコントローラ６によって、スケジュールデータに従って、製造が行われる。
【００６４】
その後、例えば搬送開始から、単位時間である１０分が経過したか否かが判定され（ステップＳ２８）、未だ単位時間が経過しない場合に（ステップＳ２８：ＮＯ）、経過するまで待機状態とされる。一方、単位時間が経過した場合に（ステップＳ２８：ＹＥＳ）、全ての製造工程が終了したか否かが判定される（ステップＳ２９）。全製造工程が終了していない場合に（ステップＳ２９:ＮＯ）、次の調整の対象となる１時４０分の搬送に対応するスケジュールデータの読み取りが行われる（ステップＳ２４）。このスケジュールデータに基づいて、ステップＳ２５からＳ２７が実行されることで、ビークル２の配車の調整が行われ、再び単位時間の経過が判定される（ステップＳ２８）。
【００６５】
一方、全製造工程が終了した場合に（ステップＳ２９：ＹＥＳ）、一連の配車管理処理が終了される。
【００６６】
このように実施形態の搬送システムによれば、単位時間毎に、搬送すべき搬送量に対応して、複数のモジュールＭ２からＭ５の間でビークルの配車数が調整されるので、搬送が集中するモジュールに対して、単位時間の搬送が開始されるより前に、搬送量に対応する数のビークル２が配車される。これにより、ビークル不足を要因とする搬送時間の延長が抑制され、全製造工程の搬送時間をより短く、安定させることができる。この結果として、ビークル２をバランス良く効率的に配車することができる。
【００６７】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送システム、配車管理装置及び方法、並びにコンピュータプログラムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】実施形態に係る搬送システムの構成を示すブロック図である。
【図２】実施形態に係る搬送システムの搬送路を示す平面図である。
【図３】実施形態に係る搬送システムのスケジュールデータを示すキャリア別製造工程表である。
【図４】実施形態に係る搬送システムの配車管理処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６９】
１…搬送路、２…ビークル、３…製造装置、３ｂ…ストッカ、４…製造指示部、４ａ…予定台数特定部、５…製造装置コントローラ、６…搬送機器コントローラ、７…搬送コントローラ、８…ストッカコントローラ、１１…移動装置、１００…搬送システム、２００…製造システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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