(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
転動体転走部を有すると共に、上面及び側面を有する軌道部材と、
前記転動体転走部に対向する負荷転動体転走部を有すると共に、前記軌道部材の上面に対向する中央部、及び側面に対向する脚部とを有して全体が鞍形状に形成され、前記軌道部材に対して相対的に移動可能な移動部材と、
前記転動体転走部と前記負荷転動体転走部の間に配列される複数の転動体と、
前記移動部材に前記移動部材の前記中央部の下面と前記軌道部材の上面との間に設けられ、前記軌道部材と前記移動部材との間の空間に露出し、潤滑油を貯蔵する潤滑油貯蔵部材と、を備え、
大気よりも圧力が低い真空環境において、気化した潤滑油が前記転動体転走部、前記負荷転動体転走部及び前記転動体に到達することで、これらを潤滑する運動案内装置。
【請求項２】
前記運動案内装置はさらに、
前記移動部材に設けられ、前記軌道部材と前記移動部材との間のすきまを塞ぐすきまシールを備え、
前記潤滑油貯蔵部材は、前記軌道部材、前記移動部材及び前記すきまシールで囲まれる密閉空間内に配置されることを特徴とする請求項１に記載の運動案内装置。
【請求項３】
前記潤滑油貯蔵部材は、不織布又は多孔質の材料からなることを特徴とする請求項１又は２に記載の運動案内装置。
【請求項４】
前記すきまシールは、
前記移動部材の移動方向の端部に、前記軌道部材に接触することなく設けられるエンドすきまシールと、
前記移動部材の前記脚部に前記軌道部材に接触することなく設けられ、前記移動部材の移動方向の一端部から他端部まで伸びるサイドすきまシールと、を有することを特徴とする請求項２に記載の運動案内装置。
【請求項５】
上面及び側面を有する軌道部材の転動体転走部と、前記軌道部材に対して相対的に移動し、前記軌道レールの上面に対向する中央部と、側面に対向する脚部とを有して全体が鞍形状に形成される移動部材の負荷転動体転走部との間に転動体を介在させた運動案内装置の潤滑方法であって、
前記移動部材に前記移動部材の前記中央部の下面と前記軌道部材の上面との間に潤滑油を貯蔵する潤滑油貯蔵部材を設け、
前記移動部材と前記軌道部材との間の空間内に前記潤滑油貯蔵部材を露出させ、
大気よりも圧力が低い真空環境において、気化した潤滑油が前記転動体転走部、前記負荷転動体転走部及び前記転動体に到達することで、これらを潤滑することを特徴とする真空環境用の運動案内装置の潤滑方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軌道部材と移動部材との間にボール、ローラ等の転動体を介在させたリニアガイド、ボールスプライン、ボールねじ等の運動案内装置、及び運動案内装置の潤滑方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
直線運動を行う移動物体の案内部分にボールやローラ等の転動体を介し、転動体のころがり運動によって案内機能を果たす運動案内装置が使用されている。この運動案内装置を使用する際には、転動体及び転動体が転がる転動体転走面に良好な潤滑をする必要がある。無潤滑のままで使用すると、転がり部分の摩耗が増加したり、早期フレーキングの原因となったりする場合がある。
【０００３】
出願人は、運動案内装置の移動部材の両端に潤滑装置「ＱＺ（ＴＨＫ社の登録商標）」を取り付けて、転動体転走面のみに少量の潤滑油を供給する潤滑方法を提案している（例えば特許文献１参照）。この潤滑装置の内部は、潤滑油を貯蔵する高含油吸蔵体と、潤滑油を転走面に塗布する高密度吸蔵体と、高含油吸蔵体から高密度吸蔵体に供給される潤滑油の流量を調整する油量調整板とから構成されている。潤滑油の供給作用は、フェルトペン等に使用されている毛管作用を基本原理としている。この潤滑方法によれば、転動体転走面に少量の潤滑油を塗布できるので、長期に亘って潤滑性能を維持することができる。
【特許文献１】
特開２００４−３５４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明はこのような従来の潤滑方法とまったく違った方法で転動体転走面を潤滑でき、さらなる長期に亘って潤滑性能を維持することができる運動案内装置及び運動案内装置の潤滑方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
［０００５］
以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものでない。
【０００６】
上記課題を解決するために請求項１に記載の発明は、転動体転走部（１ａ）を有すると共に、上面及び側面を有する軌道部材（１）と、前記転動体転走部（１ａ）に対向する負荷転動体転走部（２ａ）を有すると共に、前記軌道部材（１）の上面に対向する中央部（４ａ）、及び側面に対向する脚部（４ｂ）とを有して全体が鞍形状に形成され、前記軌道部材（１）に対して相対的に移動可能な移動部材（２）と、前記転動体転走部（１ａ）と前記負荷転動体転走部（２ａ）の間に配列される複数の転動体（３）と、前記移動部材（２）に前記移動部材（２）の前記中央部（４ａ）の下面と前記軌道部材（１）の上面との間に設けられ、前記軌道部材（１）と前記移動部材（２）との間の空間に露出し、潤滑油を貯蔵する潤滑油貯蔵部材（１５）と、を備え、大気よりも圧力が低い真空環境において、気化した潤滑油が前記転動体転走部（１ａ）、前記負荷転動体転走部（２ａ）及び前記転動体（３）に到達することで、これらを潤滑することを特徴とする真空環境用の運動案内装置である。
［０００７］
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の運動案内装置において、前記運動案内装置はさらに、前記移動部材（２）に設けられ、前記軌道部材（１）と前記移動部材（２）との間のすきまを塞ぐすきまシール（５，６）を備え、前記潤滑油貯蔵部材（１５）は、前記軌道部材（１）、前記移動部材（２）及び前記すきまシール（５，６）で囲まれる密閉空間内に配置されることを特徴とする。
［０００８］
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の運動案内装置において、前記潤滑油貯蔵部材（１５）は、不織布又は多孔質の材料からなることを特徴とする。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項２に記載の運動案内装置において、前記すきまシール（５，６）は、前記移動部材（２）の移動方向の端部に、前記軌道部材（１）に接触することなく設けられるエンドすきまシール（５）と、前記移動部材（２）の前記脚部（４ｂ）に前記軌道部材（１）に接触することなく設けられ、前記移動部材（２）の移動方向の一端部から他端部まで伸びるサイドすきまシール（６）と、を有することを特徴とする。
［００１１］
【００１２】
請求項５に記載の発明は、上面及び側面を有する軌道部材（１）の転動体転走部（１ａ）と、前記軌道部材（１）に対して相対的に移動し、前記軌道レール（１）の上面に対向する中央部（４ａ）と、側面に対向する脚部（４ｂ）とを有して全体が鞍形状に形成される移動部材（２）の負荷転動体転走部（２ａ）との間に転動体（３）を介在させた運動案内装置の潤滑方法であって、前記移動部材（２）に前記移動部材（２）の前記中央部（４ａ）の下面と前記軌道部材（１）の上面との間に潤滑油を貯蔵する潤滑油貯蔵部材（１５）を設け、前記移動部材（２）と前記軌道部材（１）との間の空間内に前記潤滑油貯蔵部材（１５）を露出させ、大気よりも圧力が低い真空環境において、気化した潤滑油が前記転動体転走部（１ａ）、前記負荷転動体転走部（２ａ）及び前記転動体（３）に到達することで、これらを潤滑することを特徴とする真空環境用の運動案内装置の潤滑方法により、上述した課題を解決する。
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、潤滑油貯蔵部材に貯蔵された潤滑油が気化して、転動体や転動体転走部に到達するので、これらを潤滑することができる。液体の潤滑油を一旦気化させているので、長期に亘って潤滑性能を維持できる。また、気化潤滑油が軌道部材の上面から側面に向かって流れるので、転動体転走部を万遍なく潤滑できる。
［００１４］
請求項２に記載の発明によれば、気化潤滑油が密閉空間内で充満するので、効果的に転動体や転動体転走部を潤滑することができると共に、長期に亘って潤滑性能を維持できる。
［００１５］
請求項３に記載の発明によれば、潤滑油を気化させ易い状態で貯蔵することができる。
【００１７】
請求項４に記載の発明によれば、潤滑油貯蔵部材の周囲に密閉空間内を形成することができる。またエンドすきまシール及びサイドすきまシールと軌道部材とは接触することがないので、摩耗が原因で塵が発生することもない。
［００１８］
【００１９】
請求項５に記載の発明によれば、潤滑油貯蔵部材に貯蔵された潤滑油が気化して、転動体や転動体転走部に到達するので、これらを潤滑することができる。液体の潤滑油を一旦気化させているので、長期に亘って潤滑性能を維持できる。また、気化潤滑油が軌道部材の上面から側面に向かって流れるので、転動体転走部を万遍なく潤滑できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態における運動案内装置の斜視図
【図２】上記運動案内装置の側面図
【図３】上記運動案内装置の正面図（一部断面図を含む）
【図４】潤滑油貯蔵部材の詳細図（図（Ａ）は図（Ｂ）のＡ−Ａ線断面図で、図（Ｂ）は平面図）
【図５】密閉空間内の気化潤滑油の流れを示す図
【図６】運動案内装置の正面図
【図７】エンドすきまシールの分解斜視図
【図８】積層したエンドすきまシールを示す図（図（Ａ）は正面図を示し、図（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図を示し、図（Ｃ）は（Ａ）のＣ−Ｃ線断面図を示し、図（Ｄ）は（Ｃ）のＤ部詳細図を示す）
【図９】移動ブロックに取り付けられたサイドすきまシールを示す正面図
【図１０】サイドすきまシールの斜視図
【図１１】サイドすきまシールと軌道レールとの間のすきまの大きさを示す図
【図１２】サイドすきまシールの他の例を示す図（移動ブロックに取り付けられた状態）
【図１３】サイドすきまシールの他の例を示す斜視図
【図１４】サイドすきまシールの他の例を示す正面図（一部拡大図を含む）
【図１５】サイドすきまシールのさらに他の例を示す斜視図
【図１６】サイドすきまシールのさらに他の例の正面図
【符号の説明】
【００２１】
１…軌道レール（軌道部材）
１ａ…ボール転走溝（転動体転走部）
２…移動部材
２ａ…負荷ボール転走溝（負荷ボール転走部）
３…ボール（転動体）
４…移動ブロック
４ａ…中央部
４ｂ…脚部
５…エンドすきまシール（すきまシール）
６，３１，３３…サイドすきまシール（すきまシール）
１５…潤滑油貯蔵部材
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１ないし図３は本発明の一実施形態における運動案内装置を示す。図１は運動案内装置の斜視図を示し、図２は側面図を示し、図３は正面図（一部断面を含む）を示す。この実施形態の運動案内装置は、リニアガイドと呼ばれ、直線状に延びる軌道部材としての軌道レール１と、この軌道レール１に多数の転動体としてのボール３を介して移動自在に組み付けられた移動部材２とを備える。
【００２３】
軌道レール１の左右側面には、長手方向に沿って伸びる転動体転走部としてボール転走溝１ａが形成される。ボール転走溝１ａは、その断面が円弧形状で、ボール３の半径よりも若干大きい曲率半径を有する。この実施形態では、軌道レール１の左右側面に、上下に２条ずつ合計４条のボール転走溝１ａが設けられるが、勿論その条数・配置は負荷荷重等によって様々に設定される。
【００２４】
移動部材２は、ボール転走溝１ａに対向する負荷ボール転走溝２ａを含むボール循環路が形成される移動ブロック４と、移動ブロック４に取り付けられるすきまシール５，６とで構成される。すきまシールは、移動ブロックの移動方向の両端面に取り付けられるエンドすきまシール５と、移動ブロックの側面に取り付けられるサイドすきまシール６とに分けられる。
【００２５】
図３に示されるように、移動ブロック４は全体が鞍形状に形成され、軌道レール１の上面に対向する中央部４ａと、中央部４ａの左右両側から下方に延びて軌道レール１の左右側面に対向する脚部４ｂとを備える。
【００２６】
軌道レール１のボール転走溝１ａと移動ブロック４の負荷ボール転走溝２ａとの間には、複数のボール３が介在される。このボール転走溝１ａと負荷ボール転走溝２ａとの間の負荷ボール転走路を転がるボール３には予圧がかけられる。移動ブロック４の負荷ボール転走路の一端まで荷重を受けながら転がったボール３は、エンドプレート７（図１参照）に設けられたＵ字状の方向転換路に入る。ボールはＵ字状の方向転換路を経由した後、負荷ボール転走路と平行に伸びる無負荷ボール戻し通路８（図３参照）に入る。無負荷ボール戻し通路８を通過したボール３は、反対側のエンドプレート７の方向転換路を経由した後、再び負荷ボール転走路に入る。直線状の負荷ボール転走路、Ｕ字状の方向転換路及び直線状の無負荷ボール戻し通路８でサーキット状のボール循環路が形成される。
【００２７】
図３に示されるように、移動ブロック４の中央部４ａの下面と軌道レールとの上面との間には、潤滑油を貯蔵する潤滑油貯蔵部材１５が配置される。この潤滑油貯蔵部材１５は中央部４ａの下面にねじ１６等の接合手段を介して取り付けられる。潤滑油貯蔵部材１５は、移動ブロック４と軌道レール１との間の空間内に露出する。移動ブロック４が軌道レールに組みつけられた状態では、潤滑油貯蔵部材１５は軌道レール１及びボール３に接触しない。一方、移動ブロック４を軌道レール１から取り外した状態では、ボール３が脱落するのを防止できるように、軌道レール１のボール転走溝１ａの縁部１７と潤滑油貯蔵部材１５の端部１５ａとの間でボール３を保持する。このため、潤滑油貯蔵部材１５の端部ａと軌道レール１のボール転走溝１ａの縁部１７との間の距離は、ボール３の直径よりも僅かに狭く設定される。
【００２８】
図４は潤滑油貯蔵部材１５の詳細図を示す。潤滑油貯蔵部材１５は、例えばプレート状の不織布を移動ブロック４の中央部４ａの下面形状に沿って折り曲げプレス加工して形成される。潤滑油貯蔵部材１５の幅方向の両端部１５ａは、上述のようにボール３の落下を防止するために軌道レール１に向かって折り曲げられる。潤滑油貯蔵部材１５の幅方向の中央部１５ｂには、ねじ１６が貫通する貫通穴１８が形成される。
【００２９】
この実施形態では、潤滑油貯蔵部材１５はステンレスの金属繊維を焼結させた不織布からなる。また、金属繊維の不織布だけでは強度が弱いので、不織布の層にメッシュ等の補強層を結合させている。高温に耐えられ、且つ繊維間の空隙率が大きくて潤滑油を多量に貯蔵できるという観点から、金属繊維の不織布が選定された。高温耐久性が要求されない場合には、樹脂繊維の不織布（フェルト）を選定してもよい。また不織布以外に、金属粉末を焼結させた多孔質の材料、又は発泡材料を発泡させた多孔質の材料を用いてもよい。
【００３０】
不織布の繊維間の空隙には、潤滑油が充填される。潤滑油には、グリースや摺動面用油が使用される。グリースは、潤滑油（基油）に増ちょう剤を分散させて、半固体又は固体状にしたものである。固体状といっても、基油はあくまで液体であり、潤滑に寄与するのは主に基油である。摺動面用油は、鉱油又は合成油からなる。液体状のグリースの基油、又は摺動面用油を気化させて、これらの気体をボール３やボール転走溝１ａや負荷ボール転走溝２ａの回りに到達させてこれらを潤滑する。
【００３１】
潤滑油貯蔵部材１５は、移動部材２、軌道レール１、及び移動部材２と軌道レール１との間のすきまを塞ぐすきまシール（エンドすきまシール５及びサイドすきまシール６）で囲まれる密閉空間に配置される。
【００３２】
図５は密閉空間内の気化潤滑油の流れを示す。この実施形態の運動案内装置は、真空環境、具体的には大気よりも圧力の低い空間で使用される。真空環境だと潤滑油は気化し易くなる。気化した潤滑油は潤滑油貯蔵部材１５から流出し、密閉空間内に充満する。そして気化潤滑油は、ボール転走溝１ａ、ボール３、負荷ボール転走溝２ａの周りを漂い、これらを潤滑する。
【００３３】
エンドすきまシール５は、移動部材２の移動方向の端部に軌道レール１に接触することなく設けられ、サイドすきまシール６は、移動部材２の脚部４ｂに軌道レール１に接触することなく設けられる。エンドすきまシール５及びサイドすきまシール６を軌道レール１に接触させないのは、摩耗による塵の発生を防止するためである。以下エンドすきまシール５及びサイドすきまシール６の構造について順番に詳述する。
【００３４】
図１に示されるように、移動ブロック４の移動方向の両端面には、エンドすきまシール５が取り付けられる。エンドすきまシール５は、交互に積層した薄板状の複数枚の第１及び第２のプレート９，１０と、これら第１及び第２のプレート９，１０が取り付けられる押さえプレート１１とで構成される。エンドすきまシール５には、軌道レール１の外形形状に合わせた開口９ａ，１０ａが形成される。
【００３５】
図３に示されるように、移動ブロック４の移動方向から見て、移動ブロック４と軌道レールとの間にはかなりのすきまが空く。エンドプレート７を取り付けても、エンドプレート７と軌道レール１との間にはすきまが空く。エンドすきまシール５は、エンドすきまシール５と軌道レール１との間のすきまをできるだけ小さくするために設けられる。
【００３６】
図６はエンドすきまシール５を取り付けた運動案内装置の正面図を示す。エンドすきまシール５には、軌道レール１の外形形状に合わせた開口９ａ，１０ａが形成される。この開口９ａ，１０ａの大きさは軌道レール１の外形形状よりも大きく、エンドすきまシール５と軌道レール１との間には軌道レール１に沿った僅かなすきま１２が空く。このため、エンドすきまシール５は軌道レール１に接触することなく、僅かなすきまを保ちながら軌道レール１に沿って移動する。すきま１２の詳細については後述する。
【００３７】
図７はエンドすきまシール５の分解斜視図を示す。第１のプレート９は、金属製（例えばステンレス製）の薄板をプレスで打ち抜くことで製造される。第１のプレート９は、略矩形状に形成されると共にその下部の中央部分に軌道レール１の断面形状に合わせた開口９ａを有する。開口９ａの形状は軌道レール１の断面形状よりも僅かに大きい。第１のプレート９の開口９ａの周囲には、第１のプレート９及び第２のプレート１０を押えプレート１１に取り付けるためのねじ１３等が通る貫通孔９ｂが形成される。また第１のプレートの開口９ａの上部の貫通孔９ｂの両脇には、エンドすきまシール５を移動ブロック４に取り付けるためのねじ１４（図１参照）等が通る貫通孔９ｃが形成される。第１のプレート９の側面には、三角形状の切り欠き９ｅが形成される。
【００３８】
第２のプレート１０も略矩形状に形成されると共に、その下部の中央部分に軌道レール１の断面形状に形状を合わせた開口１０ａが形成される。詳しくは後述するが、第２のプレート１０の開口１０ａの形状は第１のプレート９の開口９ａの形状よりも僅かに大きい。このため、第１のプレート９と第２のプレート１０とを積層すると、開口部分に凹凸形状が形成される。第２のプレート１０の開口１０ａの周囲にも、ねじ１３等が通る貫通孔１０ｂが形成される。第２のプレート１０も例えばステンレス製等の金属製の薄板をプレスで打ち抜くことで製造される。また第２のプレート１０の側面には、第１のプレート９と上下方向に位置をずらせて三角形状の切り欠き１０ｅが形成され、これにより第１のプレート９と第２のプレート１０とを組み立てた後に、これらを外側から区別することができる。
【００３９】
エンドすきまシール５に多数の凹凸を形成するためには、第１のプレート９及び第２のプレート１０は薄い方が望ましい。また、ねじ１３で締めたときに変形し難くするためには、第１のプレート９及び第２のプレート１０は有る程度の厚みを持つ方が望ましい。これらの要求から、第１のプレート９及び第２のプレート１０の厚みは、例えば０．２ｍｍ程度に設定される。勿論、移動ブロック４の大きさ等に合わせてこれ以外の任意の厚さに設定してもよい。
【００４０】
押えプレート１１は、第１及び第２のプレート９，１０よりも肉厚に形成される。この押えプレート１１にも、軌道レール１の形状に合わせた開口１１ａが形成される。開口１１ａの周囲には、ねじ１３に螺合する雌螺子部１１ｂが形成される。組み立て治具に第１のプレート９，第２のプレート１０及び押えプレート１１を突き当て、位置決めした状態で、ねじ１３によってこれらを結合する。
【００４１】
図８は積層した状態のエンドすきまシール５を示す。図８（Ａ）に示されるように、第２のプレート１０の開口１０ａの形状は第１のプレート９の開口９ａの形状よりも若干大きい。このため図８（Ｃ）及び（Ｄ）に示されるように、エンドすきまシール５の軌道レール１に対向する面は凹凸形状に形成される。第１のプレート９及び第２のプレート１０を積層した状態で、第２のプレート１０と軌道レール１との間のすきまβは、第１のプレート９と軌道レール１との間のすきまαよりも大きい。
【００４２】
複数枚の第１及び第２のプレート９，１０を交互に積層しなくても、一体ものの部材に複数の溝を形成することでも、エンドすきまシール５に凹凸形状を形成することができる。しかしこの場合、凹凸の繰り返しの回数を増やせば増やすほど加工が困難になる。加工の問題を解決できたら、一体ものの部材に複数の溝を形成してもよい。
【００４３】
ここで、エンドすきまシール５を移動ブロック４に取り付けた状態で、第１のプレート９と軌道レール１との間のすきまαは、例えば０．０２〜０．２５ｍｍ程度に設定される。このすきまαが小さければ小さいほど、通路に気体が流れるときの抵抗が大きくなる（すなわち気化潤滑油が外部に漏れ難くなる）ので、すきまαの目標値を０．０５〜０．０６ｍｍ程度あるいはそれ以下に設定するのが望ましい。しかし軌道レール１には加工上の公差があるので、あまり小さく設定するとエンドすきまシール５と軌道レール１が接触するおそれがある。このためこの実施形態では、軌道レール１の公差を加味してすきまαを０．０２〜０．２５ｍｍ程度、望ましくは０．０５〜０．１５ｍｍ程度に設定している。
【００４４】
第１のプレート９と第２のプレート１０との高さの差γ（段差）は、この実施形態では、第１及び第２のプレート９，１０の厚さｔと略等しく、例えば０．２ｍｍ程度に設定される。この高さの差γは大きければ大きいほど、表面積が大きくなって、通路に気体が流れるときの抵抗が大きくなる。勿論、厚さｔ及び高さの差γは０．２ｍｍに限定されるものではなく、０．１ｍｍ，０．３ｍｍ等適宜定めることができる。
【００４５】
エンドすきまシール５は軌道レール１に接触することなく移動する。エンドすきまシール５の内側と軌道レール１との間のすきま１２は、可及的に小さくされ、しかもエンドすきまシール５の軌道レール１に対向する面は凹凸形状に形成される。このため、エンドすきまシール５と軌道レール１との間の通路を気化した潤滑油が流れるとき、大きな抵抗が生じる。このため気化潤滑油を密閉空間内に充満させることができる。
【００４６】
なお本実施形態では、摩耗した塵が発生するのを防止するために、エンドすきまシール５と軌道レール１とを接触させていない。僅かな塵の発生が許されるならば、エンドすきまシール５をゴム等の弾性体で形成し、エンドすきまシール５と軌道レール１とを接触させてもよい。エンドすきまシール５と軌道レール１とを接触させると、より完全に近い密閉空間が得られる。
【００４７】
図９及び図１０は、移動ブロック４に取り付けられるサイドすきまシール６を示す。移動ブロック４は全体が鞍形状に形成され、軌道レール１の上面に対向する中央部４ａと、軌道レール１の側面に対向する脚部４ｂとを有する。脚部４ｂの下端にサイドすきまシール６が取り付けられる。サイドすきまシール６は移動ブロック４の移動方向に細長く伸び、サイドすきまシール６の両端は移動ブロックに設けられたエンドすきまシールに接触する。したがって、移動ブロック４と軌道レール１との間のすきまの周囲は、移動ブロック４の両端に設けた一対のエンドすきまシール５及び移動ブロック側面の一対のサイドすきまシールによって覆われる。
【００４８】
サイドすきまシール６は、サイドすきまシール６を移動ブロック４に取り付けるための平板部６ｂと、軌道レール１に向かって突出し、サイドすきまシール６と軌道レール１との間のすきまを狭くする突出部６ａとを有する。平板部６ｂには、ねじ１９等（図３参照）の結合手段でサイドすきまシール６を移動ブロックに結合するための孔６ｃが空けられる。突出部６ａは軌道レール１の側面の形状に合わされ、軌道レール１と突出部６ａとの間には僅かなすきま２０が形成される。
【００４９】
より詳しく説明すると、図９に示されるように、軌道レール１の側面には、底部２４ｃと側壁２４ａ，２４ｂからなる溝が形成される。一方の側壁２４ｂには下側のボール転走溝１ａが形成される。突出部６ａは溝の底部２４ｃと側壁部２４ａに接近する。図１１に示されるように、突出部６ａと底部２４ｃとの間のすきまＳ１は突出部６ａと側壁部２４ａとの間のすきまＳ２よりも小さい。これは軌道レール１の底部２４ｃの公差が側壁部２４ａの交差よりも小さいからである。このように軌道レール１の公差が小さい部分は大きい部分に比較してすきまを小さく設定することができる。すきまＳ１，Ｓ２の大きさは、上記エンドすきまシール５の場合と同様に例えば０．０２〜０．２５ｍｍ、望ましくは０．０５〜０．１５ｍｍに設定される。
【００５０】
サイドすきまシール６は樹脂製であっても金属製であってもよい。この実施形態では、突出部６ａの軌道レール１に対向する面６ｆは、凹凸ではなく、平面に形成される。サイドすきまシール６を樹脂で製造する場合、図１０に示されるように突出部６ａの軌道レール１に対向する面６ｆ以外の部分には、樹脂の厚みを各部分で概ね一定にするための肉削り部６ｄが形成される。樹脂の厚みが厚い部分と薄い部分ができると、樹脂の引けによりサイドすきまシール６の寸法がずれる。肉削り部６ｄを設けることにより、サイドすきまシール６の寸法がずれるのを防止することができる。
【００５１】
移動ブロック４に取り付けられるサイドすきまシール６は、軌道レール１に接触することなく移動する。サイドすきまシール６と軌道レール１との間のすきま２０は、可及的に小さくされる。このため、サイドすきまシール６と軌道レール１との間の通路２３を、軌道レール１に沿って下方向に気化潤滑油が流れるとき、大きな抵抗が生じる。
【００５２】
サイドすきまシール６は、軌道レール１から移動ブロック４を取り外す際に、移動ブロック４からボール３が落下するのを防止する機能も有する。この機能を持たせるために、図９に示されるように、サイドすきまシール６の上端６ｅと負荷ボール転走溝２ａの上端２５との間の距離は、ボール３の直径よりも小さい。
【００５３】
なお本実施形態では、摩耗した塵が発生するのを防止するために、サイドすきまシール６と軌道レール１とを接触させていない。僅かな塵の発生が許されるならば、サイドすきまシール６をゴム等の弾性体で形成し、サイドすきまシール５と軌道レール１とを接触させてもよい。サイドすきまシール６と軌道レール１とを接触させると、より完全に近い密閉空間が得られる。
【００５４】
図１２ないし図１４はサイドすきまシールの他の例を示す。この例のサイドすきまシール３１では、サイドすきまシール３１の軌道レール１に対向する面３１ａに、溝３２が形成され、これにより面３１ａに凹凸形状が形成される。溝３２は図１３に示されるように、サイドすきまシール３１の伸びる方向（移動ブロック４の移動方向）と平行に伸びる。溝３２の断面形状は図１４に示されるように三角形状である。サイドすきまシール３１が平板部と突出部を有する点、及びボール保持機能も有する点は図１０に示されるサイドすきまシール６と同一である。
【００５５】
この例のサイドすきまシールでは、凹凸形状を形成することで、平らに形成する場合に比べて、サイドすきまシール３１と軌道レール１との間の通路を気体が流れるとき、より大きな抵抗が発生する。
【００５６】
図１５及び図１６はサイドすきまシールのさらに他の例を示す。この例のサイドすきまシール３３では、サイドすきまシール３３の軌道レール１に対向する面３３ａに断面四角形状の溝３４が形成される。溝３４の断面形状はこの例に示される四角形状であってもよい。
【００５７】
なお本発明は、上記実施形態に具現化されるのに限られることなく、本発明の要旨を変更しない範囲で種々変更可能である。例えば上記気体潤滑方法に併用して、手動給脂方法、及び／又はＱＺ潤滑方法を採用してもよい。手動給脂方法とは、運動案内装置にグリースニップル装着し、グリースニップルからグリースガンを使用してボールにグリースを給脂する方法である。ＱＺ潤滑方法とは、上述のようにフェルトペン等に使用されている毛管作用を基本原理とした潤滑方法である。これらの潤滑方法と気体潤滑方法を併用することで、さらなる長期に亘って潤滑性能を維持できるようになる。
【００５８】
また上記実施形態では、潤滑油を気化させ易くするために、運動案内装置を真空環境で使用したが、真空環境に限られることなく、大気圧下でも潤滑油が気化できる環境であればよい。
【００５９】
さらに、本発明の運動案内装置は、リニアガイド以外にボールスプライン、ボールねじ等に適用することができる。ボールスプラインに適用した場合、軌道部材としては円筒形状の軌道軸が用いられ、移動部材には軌道軸に嵌り合う円筒形状の外筒が用いられる。ボールねじに適用した場合、軌道部材としてはねじ軸が用いられ、移動部材にはねじ軸に嵌り合うナットが用いられる。また転動体にはボールの替わりにローラを用いることもできる。
【００６０】
本明細書は、２００４年１２月１７日出願の特願２００４−３６６８５２に基づく。この内容はすべてここに含めておく。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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