(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と媒質とを備えており、
前記本体は、前記媒質を内部に収容するための収容空間を備えており、
前記媒質は、前記収容空間の内部に収容されており、
さらに、前記媒質は、正の熱膨張率を持つ流動体と、負の熱膨張率を持つ可動体とを備えており、
前記可動体は、前記流動体の移動に従って変位する構成となっており、
さらに、前記媒質は、第１可動面と第２可動面とを備えており、
前記第１可動面は、前記媒質の表面の一部を構成しており、
前記第２可動面は、前記媒質の表面における他の一部を構成しており、
前記第２可動面の面積は、前記第１可動面の面積よりも大きくされており、
前記第１可動面及び前記第２可動面の内の一方の変位が、前記媒質を介して、他方に伝達される構成となっている
ことを特徴とする変位変換装置。
【請求項２】
前記可動体は、負の熱膨張率を持つ複数の粒状体から構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の変位変換装置。
【請求項３】
さらに、第１可動膜と第２可動膜とを備えており、
前記第１可動膜は、前記第１可動面に隣接して配置されており、
前記第２可動膜は、前記第２可動面に隣接して配置されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の変位変換装置。
【請求項４】
前記流動体は、正の熱膨張率を持つ液体により構成されている
ことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の変位変換装置。
【請求項５】
さらに、体積補償部を備えており、
前記体積補償部は、負の熱膨張率を持つ物質により構成されており、
さらに、前記体積補償部は、前記媒質に隣接して配置されている
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の変位変換装置。
【請求項６】
さらに、入力機構と出力機構とを備えており、
前記入力機構は、前記第１可動面及び前記第２可動面の一方に対して変位を加える構成となっており、
前記出力機構は、前記第１可動面及び前記第２可動面の他方における変位を外部に取り出す構成となっている
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の変位変換装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の変位変換装置を用いた変位変換方法であって、
前記第１可動面及び前記第２可動面の一方に変位を加えるステップと、
前記第１可動面及び前記第２可動面の他方における変位を外部に取り出すステップと
を備える変位変換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、変位変換装置に関するものである。より詳しくは、本発明は、いわゆるパスカルの原理を用いて、変位を増幅又は縮小することができる装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
動作周波数としてkHz程度の高速な応答が可能な素子として、圧電素子や超磁歪素子が存在する。これらの素子は、応答は高速だが、その可動範囲（ストローク）がマイクロメートル程度と微小であるという問題を持っている。
【０００３】
このため、このような素子をアクチュエータとして利用する際は，機械的な「てこ」を用いて変位を増幅することにより、実用に十分な程度まで変位を拡大する手法が考えられる。
【０００４】
しかしながら、高速な動作素子を、機械的な変位増幅機構と組み合わせると、増幅機構がもつ機械的な共振特性のために，系全体としての応答速度が0.01秒程度にまで遅くなることが多く、設計のための大きな制約要因になってしまう。
【０００５】
そこで、液体によるパスカルの原理を用いた変位増幅機構が提案されている（例えば下記特許文献１参照）。この変位増幅機構では、駆動部分の面積Ｓに対する従動部分の面積ｓの比率（ｓ／Ｓ）が小さいほど、変位の増幅率を高めることができる。ただし、変位増幅のためには、ｓ／Ｓ＜１であることが原理的には必要である。なお、ｓ／Ｓを１より大きくすることにより、変位の縮小も可能である。
【０００６】
このような変位増幅機構を利用すると，高い変位増幅率と高速な応答とを同時に満たすことが可能になる。
【特許文献１】国際公開WO2003/102636号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、パスカルの原理を用いた変位増幅機構では、駆動部分の変位を従動部分に伝達するための媒質として、液体を用いている。液体は、一般に、温度変化に伴う体積変動（膨張又は収縮）が大きいという特性を持つ。
【０００８】
このため、従来の変位変換機構では、温度変化による体積変動に起因して、駆動面あるいは従動面の変位が変化してしまうことになる。すなわち、従来の変位変換機構は、温度変化により変位が変化してしまうために、伝達される変位の精度が劣化してしまうという問題がある。
【０００９】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものである。本発明の目的は、パスカルの原理を用いながら、しかも、温度変化の影響を受けにくい変位増幅装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、下記のいずれかの項目に記載の構成を備えている。
【００１１】
（項目１）
本体と媒質とを備えており、
前記本体は、前記媒質を内部に収容するための収容空間を備えており、
前記媒質は、前記収容空間の内部に収容されており、
さらに、前記媒質は、正の熱膨張率を持つ流動体と、負の熱膨張率を持つ可動体とを備えており、
前記可動体は、前記流動体の移動に従って変位する構成となっており、
さらに、前記媒質は、第１可動面と第２可動面とを備えており、
前記第１可動面は、前記媒質の表面の一部を構成しており、
前記第２可動面は、前記媒質の表面における他の一部を構成しており、
前記第２可動面の面積は、前記第１可動面の面積よりも大きくされており、
前記第１可動面及び前記第２可動面の内の一方の変位が、前記媒質を介して、他方に伝達される構成となっている
ことを特徴とする変位変換装置。
【００１２】
この発明によれば、例えば媒質の温度が上昇した場合には、流動体の熱膨張による体積変化を、可動体の収縮による体積変化により補償することができる。
【００１３】
また、可動体を、流動体の移動に従って変位する構成としたので、可動体は、流動体の移動を阻害しにくい。このため、この発明では、媒質における変位伝達機能の劣化を防ぎつつ、パスカルの原理を用いた変位伝達が可能になる。
【００１４】
この発明では、大面積を持つ第２可動面を駆動し、小面積を持つ第１可動面での変位を取り出すことにより、変位増幅作用を得ることができる。逆に、小面積を持つ第１可動面を駆動し、大面積を持つ第２可動面での変位を取り出すことにより、変位を縮小することができる。
【００１５】
（項目２）
前記可動体は、負の熱膨張率を持つ複数の粒状体から構成されている
ことを特徴とする項目１に記載の変位変換装置。
【００１６】
可動体を粒状体とすることにより、可動体自体も高い流動性を備えることになる。このため、この発明では、可動体の全体としての体積（合計の体積）を大きくしても、媒質における変位伝達機能の低下を低く抑えることができる。すると、この発明では、可動体を、流動体に対して、体積比として多くすることが可能になり、その結果、体積補償が可能な温度範囲を広くすることができる。ここで粒状とは、粉状を含む意味で用いられている。
【００１７】
（項目３）
さらに、第１可動膜と第２可動膜とを備えており、
前記第１可動膜は、前記第１可動面に隣接して配置されており、
前記第２可動膜は、前記第２可動面に隣接して配置されている
ことを特徴とする項目１又は２に記載の変位変換装置。
【００１８】
第１可動膜及び第２可動膜の一方を用いて変位を入力し、他方を用いて変位を外部に取り出すことができる。したがって、これらの膜は、本体に対して全体的又は部分的に変位可能であることが好ましい。また、これらの膜を設けることにより、媒質に対するシール効果を期待することもできる。さらに、これらの膜は、媒質に対して直接に接している必要はなく、何らかの媒介物を介して隣接していることができる。ただし、これらの可動膜を用いることは必須ではない。例えば、ピストンとシリンダを用いた変位の入力／出力機構におけるピストンを可動面に直接に接触させることも可能である。
【００１９】
（項目４）
前記流動体は、正の熱膨張率を持つ液体により構成されている
ことを特徴とする、項目１〜３のいずれか１項に記載の変位変換装置。
【００２０】
液体は、一般に、高い流動性を持つので、本発明の変位変換装置における媒質として好適である。また、一般に、液体は、分子間距離が固体よりも長いために、正の熱膨張率を持つ。ただし、本発明の媒質としては、液体に限らず、本発明の実施に必要な流動性を持つものであれば特に制約されない。例えば、ゾル状物質、又は、流動性の高いものであればゲル状物質を用いることも考えられる。
【００２１】
（項目５）
さらに、体積補償部を備えており、
前記体積補償部は、負の熱膨張率を持つ物質により構成されており、
さらに、前記体積補償部は、前記媒質に隣接して配置されている
ことを特徴とする項目１〜４のいずれか１項に記載の変位変換装置。
【００２２】
体積補償部を別途設けることにより、体積補償が可能な温度範囲を広げることが可能になる。体積補償部は、媒質に対して接触していてもよいし、何らかの物質を介して間接的に接触していても良い。体積補償部は、媒質に対して、体積補償部の変位を伝達できるように隣接されていればよい。
【００２３】
（項目６）
さらに、入力機構と出力機構とを備えており、
前記入力機構は、前記第１可動面及び前記第２可動面の一方に対して変位を加える構成となっており、
前記出力機構は、前記第１可動面及び前記第２可動面の他方における変位を外部に取り出す構成となっている
ことを特徴とする項目１〜５のいずれか１項に記載の変位変換装置。
【００２４】
（項目７）
項目１〜６のいずれか１項に記載の変位変換装置を用いた変位変換方法であって、
前記第１可動面及び前記第２可動面の一方に変位を加えるステップと、
前記第１可動面及び前記第２可動面の他方における変位を外部に取り出すステップと
を備える変位変換方法。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、パスカルの原理を用いながら、しかも、温度変化の影響を受けにくい変位増幅装置を提供することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態に係る変位増幅装置を、図１〜図３に基づいて説明する。
【００２７】
本実施形態の変位増幅装置は、本体１と、媒質２と、第１可動膜３と、第２可動膜４と、入力機構５と、出力機構６とを基本的な構成要素として備えている。
【００２８】
本体１は、全体として、扁平な円筒状に形成されている（図１参照）。本体１の内部には、収容空間１１が形成されている。
【００２９】
収容空間１１は、小面積部１２と大面積部１３とを備えている。小面積部１２は、本体１がその一端側（図１での上端側）において縮径されることにより形成されている。大面積部１３は、本体１の他端側（図１での下端側）に形成されている。大面積部１３は、小面積部１２よりも大きな断面積（本体１１における横断面積）を持っている。
【００３０】
媒質２は、収容空間１１の内部に収容されている。さらに、媒質２は、正の熱膨張率を持つ流動体２１と、負の熱膨張率を持つ可動体２２とを備えている（図２（ａ）参照）。
【００３１】
流動体２１としては、本実施形態としては、液体が用いられている。より具体的な例としては、流動体２１として、純水、Polydimethylsiloxane (PDMS)に代表されるシリコンオイルなど、各種の液体を用いることができる。ただし、流動体としては、液体に限らず、いわゆるゾル状物質やゲル状物質であって、実用上十分な流動性を持つ物質を用いることができる。
【００３２】
可動体２２は、流動体２１の移動に従って変位する構成となっている。可動体２２としては、この実施形態では、タングステン酸ジルコニウム（ZrW2O8）からなる多数の微少球が用いられている。ただし、可動体２２として使用できる材質としては、タングステン酸ジルコニウムに限らず、例えば、シリコン酸化物(Li2O-Al2O3-nSiO2)を用いることができる。
【００３３】
また、可動体２２の形状としては、真球状に限らず、各種の形状とすることができ、粉末状であってもよい。あるいは、使用する材質によっては、可動体２２をゾル状もしくはゲル状とすることも可能であると考えられる。なお、可動体２２の大きさとしては、好ましくは、小面積部１２の内部に容易に入り込める程度の小ささ（すなわち第１可動面２３よりも十分に小さい大きさ）であることが好ましい。このように構成すると、媒質２の流動性を向上させることが可能である。
【００３４】
可動体２２としては、要するに、負の熱膨張率を持ち、かつ、流動体２１の移動を過度に制限しない材料を用いることができる。
【００３５】
さらに、媒質２は、第１可動面２３と第２可動面２４とを備えている。
【００３６】
第１可動面２３は、媒質２の表面の一部を構成している。かつ、第１可動面２３は、収容空間１１における小面積部１２の内部に配置されている。
【００３７】
第２可動面２４は、媒質２の表面における他の一部を構成している。かつ、第２可動面２４は、大面積部１３の内部に配置されている。これにより、第２可動面２４は、第１可動面２３よりも大きな面積を有するようになっている。
【００３８】
本実施形態の装置では、第１可動面２３及び第２可動面２４の内の一方の変位が、媒質２を介して、他方に伝達される構成となっている。つまり、この構成によって、パスカルの原理に基づく変位変換機構を実現している。
【００３９】
第１可動膜３は、小面積部１２に配置された第１可動面２３に接して配置されている。また、第２可動膜４は、第２可動面４に接して配置されている。
【００４０】
入力機構５は、この実施形態では、第２可動膜４に対して変位を入力する構成となっている。入力機構５としては、例えば、流体圧でシリンダを駆動するピストン−シリンダ機構や、回転を変位に変換するボールねじ機構や、適宜のリンク機構など、適宜の変位入力機構を用いることができる。
【００４１】
出力機構６は、この実施形態では、第１可動膜３における変位を取り出す構成となっている。出力機構６としては、入力機構５と機構的に同様なものを、変位を取り出すために用いることができる。もちろん、出力機構６としては、入力機構５と異なる機構を用いることもでき、要するに、変位を出力として取り出すことができる機構であればよい。
【００４２】
（第１実施形態における変位変換機構の動作）
つぎに、本実施形態における変位変換機構の動作を、図２及び図３を主に参照しながら説明する。
【００４３】
まず、基本的な変位増幅動作を説明する。入力機構５を用いて、第２可動膜４を変位させる（図３参照）。すると、媒質２における第２可動面２４が変位し、媒質２自体を介して、第１可動面２３に変位が伝達される。ここで、本実施形態では、第２可動面２４の面積が、第１可動面２３の面積よりも大きくされている。このため、第１可動面２３の変位は、第２可動面２４の変位に比較して増幅されている。この関係は、以下のように表現することができる。
Ｘ１＝α・Ｘ２
ここで、
Ｘ１：第１可動面の変位、
Ｘ２：第２可動面の変位、
α：増幅率
である。
【００４４】
増幅率αは、第１可動面２３の面積ｓと第２可動面の面積Ｓとの比（ｓ／Ｓ）によって一般的には決まる。本実施形態のように、ｓ＜Ｓであれば、増幅率αは１＜αとなる。もちろん、Ｓ＜ｓとなるように設計すれば、増幅率αをα＜１とすることもできる。この場合は変位を縮小して伝達することになる。
【００４５】
ついで、媒質２の温度が上昇した場合の動作について説明する。本実施形態の装置においては、媒質２の温度が上昇した場合には、流動体２１が熱膨張し、体積が増加する。このため、流動体２１のみを媒質２として用いた場合には、温度変化により液面の変位を生じ、伝達される変位の精度が劣化する。
【００４６】
これに対して、本実施形態の装置では、媒質２として、流動体２１に加えて、負の熱膨張率を持つ可動体２２を用いているので、媒質２の温度が上昇すると、可動体２２の体積は減少する（図２（ｂ）参照）。
【００４７】
これにより、本実施形態の装置では、流動体２１の体積増加を、可動体２２の収縮による体積減少によって、補償することができる。つまり、この装置によれば、温度の上昇に伴う体積変動の量を低く抑えることができるという利点がある。
【００４８】
同様に、媒質２の温度が下降した場合も、前記とは逆の動作により、体積変動の量を減少させることができる。
【００４９】
したがって、本実施形態の装置によれば、温度変化に伴う体積変動を小さく抑えることができ、その結果、伝達される変位の精度を向上させることができるという利点がある。
【００５０】
また、本実施形態では、可動体２２を、流動体２１の移動に従って変位する構成としたので、可動体２２は、流動体２１の移動を阻害しにくい。このため、この実施形態の装置では、媒質２における変位伝達機能の劣化を防ぎつつ、パスカルの原理を用いた変位伝達が可能になるという利点がある。
【００５１】
また、本実施形態における可動体２２は、複数の粒状体から構成されているので、可動体２２自体も高い流動性を備えることになる。このため、この実施形態の装置では、可動体２２の全体としての体積（合計の体積）を大きくしても、媒質２による変位伝達機能の低下を低く抑えることができる。すると、この実施形態の装置では、可動体２２を、流動体２１に対して、体積比として多くすることが可能になり、その結果、体積補償が可能な温度範囲を広くすることができるという利点がある。
【００５２】
また、本実施形態では、可動体２２を流動体２１に混合しているので、可動体２２のみを媒質として用いることに比較して、媒質２に対して高い流動性を付与することができる。その結果、この装置では、媒質２を滑らかに変位ないし変形させることができるという利点もある。
【００５３】
なお、前記した説明では、第１可動膜３及び第２可動膜４のそれぞれについて、その全体を本体１に対して移動させている（図３参照）。しかしながら、図４に示されるように、第１可動膜３及び第２可動膜４の両方あるいは一方について、一部のみ（例えば中央部のみ）を移動させる構成としてもよい。この場合、第１可動膜３及び第２可動膜４は、変形可能な弾性膜によって構成されることが望ましい。
【００５４】
（第２実施形態）
つぎに、本発明の第２実施形態に係る変位変換装置を、図５に基づいて説明する。なお、この第２実施形態の説明においては、前記した第１実施形態の装置と基本的に共通する要素については、同じ符号を付することにより、説明を簡略化する。
【００５５】
第２実施形態の装置は、体積補償部７をさらに備えている。体積補償部７は、負の熱膨張率を有する物質により構成されている。この実施形態では、体積補償部７は、タングステン酸ジルコニウムの結晶により構成されいてる。ただし、体積補償部７としては、可動体２２の場合と同様に、負の熱膨張率を有する物質であれば、各種のものを利用可能である。
【００５６】
体積補償部７は、媒質２に対して接触する位置に配置されている。例えば、体積補償部７は、本体１の内面（収容空間１１に面する面）に固定される。ただし、体積補償部７の位置は、媒質２に面する位置であれば、どこであってもよい。例えば、媒質２の内部において、体積補償部７を浮遊させ、あるいは、この体積補償部７を非固定状態で配置することも可能である。さらに、本体１の側面に開口を設け、この開口を介して体積補償部７を媒質２に接触させても良い。
【００５７】
また、体積補償部７と媒質２との間に、何らかの媒介物質が存在することも可能である。例えば、体積補償部７と媒質２との間に、媒質２の流出を防ぐための膜を介在させることもできる。要するに、体積補償部７は、媒質２に対して、体積補償部７自体の変位を伝達できるような形態で隣接していればよい。
【００５８】
第２実施形態の装置では、体積補償部７を別途設けたので、体積補償が可能な温度範囲を広げることが可能になる。すなわち、本実施形態では、可動体２２だけでなく、体積補償部７も、温度変化に応じて変位するので、この変位を用いて、温度変化による流動体２１の変位を補償することが可能になる。
【００５９】
第２実施形態における他の構成及び利点は、前記した第１実施形態と同様なので、これ以上の詳細についての説明は省略する。
【００６０】
（第３実施形態）
つぎに、本発明の第３実施形態に係る変位変換装置を、図６に基づいて説明する。なお、この第３実施形態の説明においては、前記した第１実施形態の装置と基本的に共通する要素については、同じ符号を付することにより、説明を簡略化する。
【００６１】
第３実施形態の装置は、センサ８と、コントローラ９と、駆動部１０とをさらに備えている。また、本実施形態の本体１は、シリンダ部１５をさらに備えている。
【００６２】
センサ８は、この実施形態では、本体１の外面に取り付けられている。センサ８は収容空間１１の内部に収容された媒質２の温度を測定できるようになっている。センサ８の取り付け箇所は、本体１の内部など、適宜の位置とすることができる。要するに、センサ８は、媒質２の温度が測定できる構成であればよい。
【００６３】
コントローラ９は、センサ８からの出力に従って、駆動部１０に制御信号を送る機能を備えている。コントローラ９は、例えばパーソナル・コンピュータ及び適宜のコンピュータ・ソフトウエアにより構成することができる（図示せず）。
【００６４】
駆動部１０は、ピストン１０１を備えている。駆動部１０は、コントローラ９からの指令に従って、ピストン１０１をシリンダ部１５に対して前後に移動させるようになっている。
【００６５】
本体１のシリンダ部１５は、中空の円筒状に形成されている。シリンダ部１５における一端（図６において左端）は、本体１の内部に形成された収容空間１１と連通させられている。これにより、シリンダ部１５の内部（厳密にはピストン１０１までの領域）には、媒質２が充填されるようになっている。
【００６６】
第３実施形態の装置では、センサ８で測定された媒質２の温度に対応して、コントローラ９が、駆動部１０のピストン１０１を移動させる。例えば、温度が上昇すると、ピストン１０１を後退させ、温度が下降すると、ピストン１０１を前進させる。これにより、温度変化に伴う媒質２の体積変動を補償することができる。
【００６７】
したがって、本実施形態の装置では、可動体２２によって補償できる範囲を超えた温度変化があった場合であっても、この装置によって伝達される変位の精度の劣化を低く抑えることが可能になる。
【００６８】
第３実施形態における他の構成及び利点は、前記した第１実施形態と同様なので、これ以上の詳細についての説明は省略する。
【００６９】
（変形例）
前記した第３実施形態では、駆動部１０にピストン１０１を設け、このピストン１０１を本体１のシリンダ部１５に対して前後動させていた。しかしながら、この構成に代えて、シリンダ部１５の端部に弾性膜１０３の周縁を固定し、弾性膜１０３の中央近傍を駆動部１０によって前後動させる構成とすることもできる（図７参照）。なお、図７は、図６におけるシリンダ部１５に相当する部分の近傍のみを拡大して示している。
【００７０】
また、シリンダ部１５の内部に、第２実施形態で説明した体積補償部７を収納することも可能である（図７参照）。
【００７１】
（実施例）
第１実施形態に示した構造を用いた実施例を以下に説明する。この実施例では、以下の構成を採用した。
・流動体２１：純水（摂氏９℃での体積膨張率が７．７×１０−５）、
・可動体２２：タングステン酸ジルコニウムからなる多数の微少球（摂氏９℃での体積膨張率が−２．７×１０−５）。
【００７２】
なお、可動体２２として用いられるタングステン酸ジルコニウムの微少球は、純水内において、六方最密充填構造をとるものとする。また、前記した体積膨張率の値は、いずれも、内挿によって算出した値（推測値）であり、測定値ではない。
【００７３】
純水とタングステン酸ジルコニウムの体積膨張率が上記の値だと仮定し、微小球が六方最密充填構造(充填率約７４％)をとるとした場合には、厳密に体積変化を防ぐことができるのは摂氏９度の一点になる。この実施例では、液体と微小球との体積比を選ぶことで、摂氏約４度から約９度までの範囲で、体積変化をほぼ完全に防ぐことができると考えられる。液体と微小球の体積比は、どこの温度で体積変化をなくしたいのかに依存して変化させることが望ましい。
【００７４】
また、前記以上の温度の場合は、例えば、第２実施形態に示した体積補償部７を用いることが可能である。例えば、媒質２の体積をＶ０、体積補償部７の体積をＶ＋とする。媒質２の温度が摂氏２０度のとき、Ｖ＋＝１．３・Ｖ０とすると、媒質２と体積補償部７の全体として、体積変化をキャンセルすることができる。したがって、第１可動面２３や第２可動面２４が温度変化により変動することを防止することができる。
【００７５】
なお、前記実施形態及び実施例の記載は単なる一例に過ぎず、本発明に必須の構成を示したものではない。各部の構成は、本発明の趣旨を達成できるものであれば、上記に限らない。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る変位変換装置を説明するための説明図であって、本体の一部を破断した状態を示す図である。
【図２】図（ａ）は、図１に示される媒質の一部を拡大した状態を示す説明図である。図（ｂ）は、図（ａ）における可動体が縮小した状態を説明するための説明図である。
【図３】図１に示される第１可動膜及び第２可動膜の変位を説明するための説明図である。
【図４】第１実施形態における変位変換装置の変形例を説明するための説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る変位変換装置を説明するための説明図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る変位変換装置を説明するための説明図である。
【図７】第３実施形態の変形例を説明するための説明図であって、図６におけるシリンダ部を拡大した状態を示す図である。
【符号の説明】
【００７７】
１  本体
１１  収容空間
１２  小面積部
１３  大面積部
１５  シリンダ部
２  媒質
２１  流動体
２２  可動体
２３  第１可動面
２４  第２可動面
３  第１可動膜
４  第２可動膜
５  入力機構
６  出力機構
７  体積補償部
８  センサ
９  コントローラ
１０  駆動部
１０１  ピストン
１０３  弾性膜
【図１】
0004986165.tif 000002
【図２】
0004986165.tif 000003
【図３】
0004986165.tif 000004
【図４】
0004986165.tif 000005
【図５】
0004986165.tif 000006
【図６】
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【図７】
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