(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面および第２主面を有する薄板ガラス基板、第１主面および第２主面を有する支持ガラス基板ならびに樹脂層を有し、薄板ガラス基板の第１主面に、支持ガラス基板の第１主面に固定された易剥離性を有する樹脂層が密着しているガラス積層体であって、
さらにシートを有し、前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板との間に前記シートの一部が挟まり、前記シートの残部の少なくとも一部は前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板とに接していない、ガラス積層体であって、
前記シートが接着剤によって前記支持ガラス基板に固定されている、ガラス積層体。
【請求項２】
前記シートが、５％加熱質量減温度が２００℃以上の有機樹脂製フィルムである、請求項１に記載のガラス積層体。
【請求項３】
前記樹脂層が、アクリル系樹脂層、ポリオレフィン系樹脂層、ポリウレタン樹脂層またはシリコーン樹脂層である、請求項１または２に記載のガラス積層体。
【請求項４】
前記シートが金属製フィルムである、請求項１に記載のガラス積層体。
【請求項５】
前記樹脂層の厚さが５〜５０μｍであり、前記シートの厚さが５〜１００μｍである、請求項１〜４のいずれかに記載のガラス積層体。
【請求項６】
前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板との線膨張係数の差が３００×１０−７／℃以下である、請求項１〜５のいずれかに記載のガラス積層体。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のガラス積層体における前記薄板ガラス基板の第２主面に表示装置用部材を有する、支持体付き表示装置用パネル。
【請求項８】
請求項７に記載の支持体付き表示装置用パネルを用いて形成される表示装置用パネル。
【請求項９】
請求項８に記載の表示装置用パネルを有する表示装置。
【請求項１０】
請求項１〜６のいずれかに記載のガラス積層体の製造方法であって、
支持ガラス基板の第１主面上に易剥離性を有する樹脂層を形成し固定する樹脂層形成工程と、
前記支持ガラス基板の第１主面上および／または前記樹脂層の表面上にシートの一部を固定するシート固定工程と、
薄板ガラス基板の第１主面に、前記支持ガラス基板の第１主面上に固定された前記樹脂層を密着する密着工程とを具備する、ガラス積層体の製造方法。
【請求項１１】
請求項１〜６のいずれかに記載のガラス積層体における前記薄板ガラス基板の第２主面に、表示装置用部材を形成する工程を具備する、支持体付き表示装置用パネルの製造方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の製造方法によって得られる支持体付き表示装置用パネルにおける前記シートの前記残部を引張り、前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板とを分離する分離工程を具備する、表示装置用パネルの製造方法。
【請求項１３】
前記薄板ガラスと前記樹脂層との界面に空気層が導入されるように前記シートの残部を引っ張る、請求項１２に記載の表示装置用パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置等に用いられるガラス基板を含むガラス積層体、それを含む支持体付き表示装置用パネル、それを用いて形成される表示装置用パネルおよびそれを含む表示装置ならびにガラス積層体および表示装置用パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置（ＬＣＤ）、有機ＥＬ表示装置（ＯＬＥＤ）、特にモバイルや携帯電話等の携帯型表示装置の分野では、表示装置の軽量化、薄型化が重要な課題となっている。
この課題に対応するために、表示装置に用いるガラス基板の板厚をさらに薄くすることが望まれている。板厚を薄くする方法としては、一般に、表示装置用部材をガラス基板の表面に形成する前または形成した後に、フッ酸等を用いてガラス基板をエッチング処理し、必要に応じてさらに物理研磨して薄くする方法が行われる。
【０００３】
しかしながら、表示装置用部材をガラス基板の表面に形成する前にエッチング処理等をしてガラス基板を薄くすると、ガラス基板の強度が低下し、たわみ量も大きくなる。そのため既存の製造ラインで処理することができないという問題が生じる。
また、表示装置用部材をガラス基板の表面に形成した後にエッチング処理等をしてガラス基板を薄くすると、表示装置用部材をガラス基板の表面に形成する過程においてガラス基板の表面に形成された微細な傷が顕在化する問題、すなわちエッジピットの発生という問題が生じる。
【０００４】
そこで、このような問題を解決することを目的として、板厚の薄いガラス基板（以下では「薄板ガラス基板」ともいう。）を他の支持ガラス基板と貼り合わせて積層体とし、その状態で表示装置を製造するための所定の処理を実施し、その後、薄板ガラス基板と支持ガラス基板とを分離する方法等が提案されている。
【０００５】
例えば特許文献１には、製品用のガラス基板と補強用ガラス基板とを、ガラス基板同士の静電気吸着力または真空吸着力を利用して張り合わせて一体化し、製品用のガラス基板を用いた表示装置を製造する方法が記載されている。
例えば特許文献２には、液晶表示装置の基板と支持体との端部をガラスフリット系の接着剤を用いて接着して、その後、電極パターン等を形成する液晶表示装置の製造方法が記載されている。
例えば特許文献３には、２枚のガラス基板の少なくとも周縁部の端面近傍にレーザ光を照射して前記２枚のガラス基板を融合させる工程を有する表示装置用基板の製造方法が記載されている。
【０００６】
例えば特許文献４には、粘着材層が支持体上に設けられている基板搬送用治具に基板を貼り付け、液晶表示素子の製造工程を通して基板搬送用治具を搬送することにより、基板搬送用治具に貼り付いている基板に対して液晶表示素子形成処理を順次行い、所定の工程を終了後、基板搬送用治具から基板を剥離する液晶表示装置の製造方法が記載されている。
例えば特許文献５には、液晶表示素子用電極基板を紫外線硬化型粘着剤が支持体上に設けられた治具を用いて、液晶表示素子用電極基板に所定の加工を施した後、紫外線硬化型粘着剤に紫外線を照射することにより、前記紫外線硬化型粘着剤の粘着力を低下させ、前記液晶表示素子用電極基板を前記治具から剥離することを特徴とする液晶表示素子の製造方法が記載されている。
例えば特許文献６には、粘着材によって薄板を支持板に仮固定し、前記粘着材の周縁部をシール材によって封止し、薄板を仮固定した支持板を搬送する搬送方法が記載されている。
【０００７】
例えば特許文献７には、薄板ガラス基板と、支持ガラス基板と、を積層させてなる薄板ガラス積層体であって、前記薄板ガラスと、前記支持ガラスと、が易剥離性および非粘着性を有するシリコーン樹脂層を介して積層されていることを特徴とする薄板ガラス積層体が記載されている。そして、薄板ガラス基板と支持ガラス基板とを分離するには、薄板ガラス基板を支持ガラス基板から垂直方向に引き離す力を与えればよく、剃刀の刃等で端部に剥離のきっかけをいれたり、積層界面へのエアーの注入により、より容易に剥離することが可能であると記載されている。
【特許文献１】特開２０００−２４１８０４号公報
【特許文献２】特開昭５８−５４３１６号公報
【特許文献３】特開２００３−２１６０６８号公報
【特許文献４】特開平８−８６９９３号公報
【特許文献５】特開平９−１０５８９６号公報
【特許文献６】特開２０００−２５２３４２号公報
【特許文献７】国際公開第２００７／０１８０２８号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載のガラス基板同士を静電吸着力や真空吸着力を利用して固定する方法、特許文献２に記載のガラス基板の両端をガラスフリットを用いて固定する方法、または特許文献３に記載の周縁部の端面近傍にレーザ光を照射して２枚のガラス基板を融合させる方法では、ガラス基板同士を何らの中間層を介さず積層密着させるので、ガラス基板間へ混入した気泡や塵介等の異物によってガラス基板にゆがみ欠陥が生じる。そのため、表面が平滑なガラス基板積層体を得ることは困難である。
【０００９】
また、特許文献４〜６に記載のガラス基板間に粘着層等を配置する方法では、上記のようなガラス基板間への気泡等の混入によるゆがみ欠陥の発生を回避し得るものの、両ガラス基板を分離することが困難であり、分離する際に薄板ガラス基板が破損するおそれがある。また分離後の薄板ガラス基板への粘着剤の残存も問題となる。
【００１０】
これに対して特許文献７に記載の薄板ガラス積層体によれば、上記のようなガラス基板間への気泡等の混入によるゆがみ欠陥は発生し難い。また、薄板ガラス基板と支持ガラス基板とを剥離することも可能である。さらに分離後の薄板ガラス基板への粘着剤の残存の問題は解決される。しかし、両ガラス基板の分離は、より容易に、より短時間で行うことが望まれる。特にガラス基板が大型の場合は、工業的に利用する上で重要な点となる。
【００１１】
本発明は上記のような問題点に鑑みてなされたものである。すなわち、ガラス基板間へ混入した気泡や塵介等の異物によるガラス欠陥の発生を抑制し、エッジピットを発生させることなく既存の製造ラインで処理することができ、密着した薄板ガラス基板と樹脂層ととを容易かつ短時間に分離することができるガラス積層体を提供することを目的とする。また、このようなガラス積層体を含む支持体付き表示装置用パネルを提供することを目的とする。また、このような支持体付き表示装置用パネルを用いて形成される表示装置用パネルおよび表示装置を提供することを目的とする。さらに、前記ガラス積層体または前記支持体付き表示装置用パネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者は上記課題を解決するために鋭意検討を重ね、本発明を完成した。
本発明は以下の（１）〜（１３）である。
（１）第１主面および第２主面を有する薄板ガラス基板、第１主面および第２主面を有する支持ガラス基板ならびに樹脂層を有し、薄板ガラス基板の第１主面に、支持ガラス基板の第１主面に固定された易剥離性を有する樹脂層が密着しているガラス積層体であって、さらにシートを有し、前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板との間に前記シートの一部が挟まり、前記シートの残部の少なくとも一部は前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板とに接していない、ガラス積層体であって、
前記シートが接着剤によって前記支持ガラス基板に固定されている、ガラス積層体。
（２）前記シートが、５％加熱質量減温度が２００℃以上の有機樹脂製フィルムである、上記（１）に記載のガラス積層体。
（３）前記樹脂層が、アクリル系樹脂層、ポリオレフィン系樹脂層、ポリウレタン樹脂層またはシリコーン樹脂層である、上記（１）または（２）に記載のガラス積層体。
（４）前記シートが金属製フィルムである、上記（１）に記載のガラス積層体。
（５）前記樹脂層の厚さが５〜５０μｍであり、前記シートの厚さが５〜１００μｍである、上記（１）〜（４）のいずれかに記載のガラス積層体。
（６）前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板との線膨張係数の差が３００×１０−７／℃以下である、上記（１）〜（５）のいずれかに記載のガラス積層体。
（７）上記（１）〜（６）のいずれかに記載のガラス積層体における前記薄板ガラス基板の第２主面に表示装置用部材を有する、支持体付き表示装置用パネル。
（８）上記（７）に記載の支持体付き表示装置用パネルを用いて形成される表示装置用パネル。
（９）上記（８）に記載の表示装置用パネルを有する表示装置。
（１０）上記（１）〜（６）のいずれかに記載のガラス積層体の製造方法であって、支持ガラス基板の第１主面上に易剥離性を有する樹脂層を形成し固定する樹脂層形成工程と、前記支持ガラス基板の第１主面上および／または前記樹脂層の表面上にシートの一部を固定するシート固定工程と、薄板ガラス基板の第１主面に、前記支持ガラス基板の第１主面上に固定された前記樹脂層を密着する密着工程とを具備する、ガラス積層体の製造方法。
（１１）上記（１）〜（６）のいずれかに記載のガラス積層体における前記薄板ガラス基板の第２主面に、表示装置用部材を形成する工程を具備する、支持体付き表示装置用パネルの製造方法。
（１２）上記（１１）に記載の製造方法によって得られる支持体付き表示装置用パネルにおける前記シートの前記残部を引張り、前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板とを分離する分離工程を具備する、表示装置用パネルの製造方法。
（１３）前記薄板ガラスと前記樹脂層との界面に空気層が導入されるように前記シートの残部を引っ張る、上記（１２）に記載の表示装置用パネルの製造方法。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ガラス基板間へ混入した気泡や塵介等の異物によるガラス欠陥の発生を抑制し、エッジピットを発生させることなく既存の製造ラインで処理することができ、密着した薄板ガラス基板と樹脂層とを容易かつ短時間に分離することができるガラス積層体を提供することができる。また、このようなガラス積層体を含む支持体付き表示装置用パネルを提供することができる。また、このような支持体付き表示装置用パネルを用いて形成される表示装置を提供することができる。さらに、前記ガラス積層体または前記支持体付き表示装置用パネルの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明について説明する。
本発明は、第１主面および第２主面を有する薄板ガラス基板、第１主面および第２主面を有する支持ガラス基板ならびに樹脂層を有し、薄板ガラス基板の第１主面に、支持ガラス基板の第１主面に固定された易剥離性を有する樹脂層が密着しているガラス積層体であって、さらにシートを有し、前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板との間に前記シートの一部が挟まり、前記シートの残部の少なくとも一部は前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板とに接していない、ガラス積層体である。
このようなガラス積層体を、以下では「本発明の積層体」ともいう。
【００１５】
初めに、本発明の積層体の形態を、図を用いて説明する。
図１は、本発明の積層体の一態様を示す概略正面図であり、図２はそのＡ−Ａ’断面図（概略断面図）である。
ここで説明する本発明の積層体の一態様を、以下では「態様１」ともいう。
態様１において本発明の積層体１０は、薄板ガラス基板１２、樹脂層１４、シート１６および支持ガラス基板１８を有している。そして、薄板ガラス基板１２と支持ガラス基板１８とが樹脂層１４およびシート１６を挟むように積層されている。また、図１に示すように、正面から見ると、薄板ガラス基板１２、樹脂層１４、シート１６および支持ガラス基板１８は各々矩形であり、薄板ガラス基板１２の主面面積は樹脂層１４の表面面積と同程度であるが、支持ガラス基板１８の主面面積よりもやや小さい。そして、薄板ガラス基板１２および樹脂層１４は、正面から見た場合に、支持ガラス基板１８の内側に含まれるように位置している。換言すると、薄板ガラス基板１２と支持ガラス基板１８とによって挟持された樹脂層１４の外周には、両基板に挟まれた、平面方向において略コの字状に間隙が存在している。
また、樹脂層１４は、支持ガラス基板１８の第１主面に固定されており、薄板ガラス基板１２の第１主面と樹脂層１４の表面とは密着して付いている。
【００１６】
ここでシート１６は、図１に示すように、正面から見た場合に本発明の積層体１０が有する４辺中の１辺と重なる位置に存在している。そして、図２に示すように、シート１６の一部分（１６ａ）が薄板ガラス基板１２と支持ガラス基板１８とに挟まれている。さらに、挟まれていない部分であって薄板ガラス基板１２にも支持ガラス基板１８にも接していない部分（１６ｂ）を有している。なお、ここに示す態様１の場合、シート１６は、薄板ガラス基板１２と支持ガラス基板１８とに挟まれてはいないが、一方の基板（支持ガラス基板１８）に接している部分１６ｃを有している。
また、シート１６と樹脂層１４とは重なっておらず、樹脂層１４の端面の一部１４αとシート１６の端面１６αとが接するように配置されている。
【００１７】
次に、本発明の積層体の別の態様について説明する。
図３は、本発明の積層体の別の一態様を示す概略正面図であり、図４はそのＢ−Ｂ’断面図（概略断面図）である。
ここで説明する本発明の積層体の一態様を、以下では「態様２」ともいう。
ここでは主に態様１と異なる点について説明する。
【００１８】
本発明の積層体２０においてシート２６は、図３に示すように、正面から見た場合に本発明の積層体２０が有する４辺の各々に、態様１と同様に存在している。
そして、図４に示すように、シート２６の一部分２６ａが薄板ガラス基板２２と支持ガラス基板２８とに挟まれている。さらに、挟まれていない部分であって薄板ガラス基板２２にも支持ガラス基板２８にも接していない部分２６ｂを有している。なお、ここに示す態様２の場合、シート２６は、薄板ガラス基板２２と支持ガラス基板２８とに挟まれてはいないが、一方の基板（支持ガラス基板２８）には接している部分２６ｃを有している。
また、シート２６と樹脂層２４とは一部が重なっている。すなわち、シート２６と支持ガラス基板２８との間に、樹脂層２４の端部が挟まっている。そして、樹脂層２４の端面の一部２４αとシート２６の端面の一部２６αとは各々の一部で接しているが、接していない部分もあり、端面２４αと端面２６αと薄板ガラス基板２２の第１主面とによって空間２５が形成されている。
【００１９】
次に、本発明の積層体のさらに別の態様について説明する。ここで説明する本発明の積層体の一態様を、以下では「態様３」ともいう。
図５は、本発明の積層体の別の一態様を示す概略正面図であり、図６はそのＣ−Ｃ’断面図（概略断面図）である。
ここでは主に態様１、態様２と異なる点について説明する。
【００２０】
態様３において本発明の積層体３０は、図５に示すように、正面から見ると、薄板ガラス基板３２、樹脂層３４、シート３６および支持ガラス基板３８は各々矩形であり、薄板ガラス基板３２の主面面積および支持ガラス基板３８の主面面積は同程度であり、それに対して樹脂層３４の表面面積はやや小さい。
また、シート３６は、図５に示すように、正面から見た場合に本発明の積層体３０が有する４辺中の対向する２辺と重なる位置に各々１つずつ存在している。そして、一方は図１を用いて説明したシート１６と同様であるが、他方はそれよりも辺方向において小さく、かつ辺の中央付近に存在している。
そして、図６に示すように、シート３６の一部分（３６ａ）が薄板ガラス基板３２と支持ガラス基板３８とに挟まれている。さらに、挟まれていない部分であって薄板ガラス基板３２にも支持ガラス基板３８にも接していない部分（３６ｂ）を有している。なお、ここに示す態様３の場合、シート３６は、態様１のシート１６における一部分（１６ｃ）や、態様２のシート２６における一部分（２６ｃ）に相当する部分は有していない。また、樹脂層３４に対して、シート３６の厚さがやや厚い。
また、態様２と同様にシート３６と樹脂層３４とは一部が重なっている（図６参照）。そして、樹脂層３４の端面（３４α）とシート３６の端面（３６α）とは一部が接している。ただし、接していない部分はわずかであり、態様２において存在していた空間２５に相当する空間３５も極わずかなものとなっている。
【００２１】
本発明の積層体は上述した態様１、態様２および態様３以外の他の態様であってもよい。例えば正面から見ると態様１の図１の同様であり、断面は態様２の図４や態様３の図６と同様のものであってよい。また、例えば態様３の本発明の積層体が有する２つのシートのうちの小さい方のシートのみを有するガラス積層体であってもよい。
【００２２】
次に、本発明の積層体が有する薄板ガラス基板、支持ガラス基板、樹脂層およびシートの各々について説明する。
【００２３】
薄板ガラス基板について説明する。
薄板ガラス基板の厚さ、形状、大きさ、物性（熱収縮率、表面形状、耐薬品性等）、組成等は特に限定されず、例えば従来のＬＣＤ、ＯＬＥＤ等の表示装置用のガラス基板と同様であってよい。
【００２４】
薄板ガラス基板の厚さは０．７ｍｍ未満であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であることがより好ましく、０．４ｍｍ以下であることがさらに好ましい。また、０．０５ｍｍ以上であることが一層好ましく、０．０７ｍｍ以上であることがより好ましく、０．１ｍｍ以上であることが最も好ましい。
【００２５】
薄板ガラスの形状は限定されないが、矩形であることが好ましい。
【００２６】
薄板ガラスの大きさは限定されないが、例えば矩形の場合は１００〜２０００ｍｍ×１００〜２０００ｍｍであってよく、５００〜１０００ｍｍ×５００〜１０００ｍｍであることがより好ましい。
【００２７】
このような厚さおよび大きさであっても、本発明の積層体は薄板ガラス基板と支持ガラス基板とを容易に剥離することができる。
【００２８】
薄板ガラス基板の熱収縮率、表面形状、耐薬品性等の特性も特に限定されず、製造する表示装置の種類により異なる。
また、前記薄板ガラス基板の熱収縮率は小さいことが好ましい。具体的には熱収縮率の指標である線膨張係数が５００×１０−７／℃以下であるものを用いることが好ましい。前記線膨張係数は、３００×１０−７／℃以下であることがより好ましく、２００×１０−７／℃以下であることがより好ましく、１００×１０−７／℃以下であることがより好ましく、４５×１０−７／℃以下であることが最も好ましい。
その理由は熱収縮率が大きいと高精細な表示装置を作ることができないためである。
なお、本発明において線膨張係数はＪＩＳ  Ｒ３１０２（１９９５年）に規定のものを意味する。
【００２９】
薄板ガラス基板の組成は、例えばアルカリガラスや無アルカリガラスと同様であってよい。中でも、熱収縮率が小さいことから無アルカリガラスであることが好ましい。
【００３０】
支持ガラス基板について説明する。
支持ガラス基板は樹脂層を介して薄板ガラス基板を支持し、薄板ガラス基板の強度を補強する。
【００３１】
支持ガラス基板の厚さ、形状、大きさ、物性（熱収縮率、表面形状、耐薬品性等）、組成等は特に限定されない。
支持ガラス基板の厚さは特に限定されないが、現行の製造ラインで処理できるような厚さであることが必要である。
例えば０．１〜１．１ｍｍの厚さであることが好ましく、０．３〜０．８ｍｍであることがより好ましく、０．４〜０．７ｍｍであることがさらに好ましい。
例えば、現行の製造ラインが厚さ０．５ｍｍの基板を処理するように設計されたものであって、薄板ガラス基板の厚さが０．１ｍｍである場合、支持ガラス基板の厚さと樹脂層の厚さとの和を０．４ｍｍとする。また、現行の製造ラインは厚さが０．７ｍｍのガラス基板を処理するように設計されているものが最も一般的であるが、例えば薄板ガラス基板の厚さが０．４ｍｍならば、支持ガラス基板の厚さと樹脂層の厚さとの和を０．３ｍｍとする。
支持ガラス基板の厚さは、前記薄板ガラス基板よりも厚いことが好ましい。
【００３２】
支持ガラス基板の形状は限定されないが、矩形であることが好ましい。
【００３３】
支持ガラス基板の大きさは限定されないが、前記薄板ガラス基板と同程度であることが好ましく、前記ガラス基板よりもやや大きい（縦方向または横方向の各々が０．０５〜１０ｍｍ程度大きい）ことが好ましい。理由は、表示装置用パネル製造時の位置決めピン等のアライメント装置の接触から前記薄板ガラス基板の端部を保護しやすいこと、および薄板ガラス基板と支持ガラス基板との剥離をより容易に行うことができるからである。
【００３４】
支持ガラス基板は線膨張係数が前記薄板ガラス基板と実質的に同一であってよく、異なってもよい。実質的に同一であると、本発明の積層体を熱処理した際に、薄板ガラス基板または支持ガラス基板に反りが発生し難い点で好ましい。
薄板ガラス基板と支持ガラス基板との線膨張係数の差は３００×１０−７／℃以下であることが好ましく、１００×１０−７／℃以下であることがより好ましく、５０×１０−７／℃以下であることがさらに好ましい。
【００３５】
支持ガラス基板の組成は、例えばアルカリガラス、無アルカリガラスと同様であってよい。中でも、熱収縮率が小さいことから無アルカリガラスであることが好ましい。
【００３６】
樹脂層について説明する。
本発明の積層体において、樹脂層は前記支持ガラス基板の第１主面に固定されている。そして、樹脂層は、前記薄板ガラス基板の第１主面と密着しているが、容易に剥離することができる。すなわち樹脂層は、前記薄板ガラス基板に対して易剥離性を有する。
本発明の積層体において、樹脂層と薄板ガラス基板とは粘着剤が有するような粘着力によっては付いていないと考えられ、固体分子間におけるファンデルワールス力に起因する力、すなわち、密着力によって付いていると考えられる。
【００３７】
樹脂層の厚さは特に限定されない。１〜１００μｍであることが好ましく、５〜３０μｍであることがより好ましく、７〜２０μｍであることがさらに好ましい。樹脂層の厚さがこのような範囲であると、薄板ガラス基板と樹脂層との密着が十分になるからである。また、気泡や異物が介在しても、薄板ガラス基板のゆがみ欠陥の発生を抑制することができるからである。また、樹脂層の厚さが厚すぎると、形成するのに時間および材料を要するため経済的ではない。
【００３８】
なお、樹脂層は２層以上からなっていてもよい。その場合、「樹脂層の厚さ」は全ての層の合計の厚さを意味するものとする。
また、樹脂層が２層以上からなる場合は、各々の層を形成する樹脂の種類が異なってもよい。
後述するシートについても同様である。
【００３９】
樹脂層は、前記薄板ガラス基板の第１主面に対する樹脂層の表面の表面張力が３０ｍＮ／ｍ以下であることが好ましく、２５ｍＮ／ｍ以下であることがより好ましく、２２ｍＮ／ｍ以下であることがさらに好ましい。このような表面張力であると、より容易に薄板ガラス基板と剥離することができ、同時に薄板ガラス基板との密着も十分になるからである。
また、樹脂層は、ガラス転移点が室温（２５℃程度）よりも低いまたはガラス転移点を有しない材料からなることが好ましい。非粘着性の樹脂層となり、より易剥離性を有し、より容易に薄板ガラス基板と剥離することができ、同時に薄板ガラス基板との密着も十分になるからである。
また、樹脂層が耐熱性を有していることが好ましい。本発明のパネル製造方法では、例えば前記薄板ガラス基板の第２主面上に表示装置用部材を形成する場合に、シートを有する薄板ガラス基板と樹脂層と支持ガラス基板との積層体を熱処理に供し得るからである。
また、樹脂層の弾性率が高すぎると薄板ガラス基板との密着性が低くなるので好ましくない。また弾性率が低すぎると易剥離性が低くなるので好ましくない。
【００４０】
樹脂層を形成する樹脂の種類は特に限定されない。例えばアクリル樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリウレタン樹脂およびシリコーン樹脂が挙げられる。いくつかの種類の樹脂を混合して用いることもできる。中でもシリコーン樹脂が好ましい。シリコーン樹脂は耐熱性に優れかつ薄板ガラス基板に対する易剥離性に優れるためである。また、支持ガラス基板表面のシラノール基との縮合反応によって支持ガラス基板に固定し易いからである。シリコーン樹脂層は例えば３００〜４００℃程度で１時間程度処理しても、易剥離性がほぼ劣化しない点も好ましい。
【００４１】
また、樹脂層はシリコーン樹脂の中でも剥離紙用シリコーンからなることが好ましく、その硬化物であることが好ましい。剥離紙用シリコーンは直鎖状のジメチルポリシロキサンを分子内に含むシリコーンを主剤とするものである。この主剤と架橋剤とを含む組成物を、触媒、光重合開始剤等を用いて前記支持ガラス基板の表面（第１主面）に硬化させて形成した樹脂層は、優れた易剥離性を有するので好ましい。また、柔軟性が高いので、薄板ガラス基板と樹脂層との間へ気泡や塵介等の異物が混入しても、薄板ガラス基板のゆがみ欠陥の発生を抑制することができる。
【００４２】
このような剥離紙用シリコーンは、その硬化機構により縮合反応型シリコーン、付加反応型シリコーン、紫外線硬化型シリコーンおよび電子線硬化型シリコーンに分類されるが、いずれも使用することができる。これらの中でも付加反応型シリコーンが好ましい。硬化反応のし易さ、樹脂層を形成した際に易剥離性の程度が良好で、耐熱性も高いからである。
【００４３】
また、剥離紙用シリコーンは形態的に溶剤型、エマルジョン型および無溶剤型があり、いずれの型も使用可能である。これらの中でも無溶剤型が好ましい。生産性、安全性、環境特性の面が優れるからである。また、樹脂層を形成する際の硬化時、すなわち、加熱硬化、紫外線硬化または電子線硬化の時に発泡を生じる溶剤を含まないため、樹脂層中に気泡が残留しにくいからである。
【００４４】
また、剥離紙用シリコーンとして、具体的には市販されている商品名または型番としてＫＮＳ−３２０Ａ，ＫＳ−８４７（いずれも信越シリコーン社製）、ＴＰＲ６７００（ＧＥ東芝シリコーン社製）、ビニルシリコーン「８５００」（荒川化学工業株式会社製）とメチルハイドロジェンポリシロキサン「１２０３１」（荒川化学工業株式会社製）との組み合わせ、ビニルシリコーン「１１３６４」（荒川化学工業株式会社製）とメチルハイドロジェンポリシロキサン「１２０３１」（荒川化学工業株式会社製）との組み合わせ、ビニルシリコーン「１１３６５」（荒川化学工業株式会社製）とメチルハイドロジェンポリシロキサン「１２０３１」（荒川化学工業株式会社製）との組み合わせ等が挙げられる。なお、ＫＮＳ−３２０Ａ、ＫＳ−８４７およびＴＰＲ６７００は、あらかじめ主剤と架橋剤とを含有しているシリコーンである。
【００４５】
また、樹脂層を形成するシリコーン樹脂は、シリコーン樹脂層中の成分が薄板ガラス基板に移行しにくい性質、すなわち低シリコーン移行性を有することが好ましい。
【００４６】
シートについて説明する。
シートは前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板との間に存在し、その一部が両ガラス基板に挟まれている。そして、挟まれていない部分（残部）の少なくとも一部は、前記薄板ガラス基板にも前記支持ガラス基板にも接していない。
【００４７】
シートの形状は特に限定されないが、態様１〜３のように矩形であることが好ましい。
シートの大きさ、面積（２つの主面のうちの一方の主面面積）も特に限定されない。例えば矩形の場合は１枚のシートの面積が１〜４０００ｃｍ２であってよく、２〜２０００ｃｍ２であることが好ましく、４〜１０００ｃｍ２であることがより好ましい。
【００４８】
シートの前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板とに挟まれている部分の大きさは特に限定されない。例えばこの部分が矩形の場合は１０〜２０００ｍｍ×０．５〜１００ｍｍであってよく、２０〜１０００ｍｍ×０．５〜１００ｍｍであることが好ましく、２０〜１０００ｍｍ×１〜５０ｍｍであることがより好ましい。特に、この部分を正面から見た場合の４つの辺のうち、本発明の積層体の辺と直交する側の辺（例えば態様１、２および３であれば、図２、図４および図６に示す断面に平行な辺）の長さは、１０〜２０００ｍｍであってよく、２０〜１０００ｍｍであることが好ましく、４０〜１０００ｍｍであることがより好ましい。また、この部分の面積は０．５〜２０００ｃｍ２であってよく、１〜１０００ｃｍ２であることが好ましく、２〜５００ｃｍ２であることがより好ましい。このような範囲であると、薄板ガラス基板の第２主面上に表示装置用部材を形成する場合、薄板ガラス基板においてその形成に適した部分の面積を比較的大きくとることができるからという点で好ましい。
なお、ここでいうシートの「挟まれている部分の大きさ」とは、例えば態様１の場合であれば、１６ａの部分が有する２つの主面のうち、支持ガラス基板１８と対向する側の主面の面積を意味するものとする。
【００４９】
シートの前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板とに挟まれていない部分（残部）の一部であって、前記薄板ガラス基板にも前記支持ガラス基板にも接していない部分の大きさは特に限定されない。例えばこの部分が矩形の場合は１０〜２０００ｍｍ×０．５〜１００ｍｍであってよく、２０〜１０００ｍｍ×０．５〜１００ｍｍであることが好ましく、２０〜１０００ｍｍ×１〜５０ｍｍであることがより好ましい。特に、矩形シートの辺のうち、本発明の積層体の辺と直交する側の辺（例えば態様１、２および３であれば、図２、図４および図６に示す断面に平行な辺）の長さは、１０〜２０００ｍｍであってよく、２０〜１０００ｍｍであることが好ましく、４０〜１０００ｍｍであることがより好ましい。
また、面積としては０．５〜２０００ｃｍ２であってよく、１〜１０００ｃｍ２であることが好ましく、２〜５００ｃｍ２であることがより好ましい。このような範囲であると、薄板ガラス基板の第２主面上に表示装置用部材を形成する際に、障害にならないという点で好ましい。
なお、ここでいうシートの「挟まれていない部分（残部）の一部であって、前記薄板ガラス基板にも前記支持ガラス基板にも接していない部分」とは、例えば態様１の場合であれば、１６ｂの部分が有する２つの主面のうち、支持ガラス基板１８の第１主面と端部において接している方の主面の面積を意味するものとする。
【００５０】
シートの前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板とに挟まれていない部分であって、前記薄板ガラス基板または前記支持ガラス基板に接している部分の大きさは特に限定されない。例えば０〜２０００ｃｍ２であってよく、０〜１０００ｃｍ２であることが好ましく、０〜５００ｃｍ２であることがより好ましい。このような範囲は前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板の大きさの違いとシートの設置される箇所で必然的に決まるものである。
なお、ここでいうシートの「挟まれていない部分であって、前記薄板ガラス基板または前記支持ガラス基板に接している部分」とは、例えば態様１の場合であれば、１６ｃの部分が有する２つの主面のうち、支持ガラス基板１８の第１主面と接している方の主面の面積を意味するものとする。態様２の場合も同様である。態様３の場合はこのような部分がない。
【００５１】
シートは前記支持ガラス基板の第１主面に固定されていることが好ましい。また、上記で説明した「シートの前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板とに挟まれている部分」が前記支持ガラス基板の第１主面に固定されていることがより好ましい。前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板との剥離がより容易になるからである。
シートを前記支持ガラス基板の第１主面に固定する方法は限定されない。容易に剥がれない方法であればよい。例えば接着剤、貼着剤を用いて固定することができる。接着剤としてはウレタン系、アクリル系、エポキシ系、シリコーン系の接着剤が挙げられる。また、無機系の接着剤であってもよい。このような中でもエポキシ系、アクリル系、シリコーン系の接着剤または無機系の接着剤であることが好ましい。耐熱性が高いからである。
【００５２】
シートの厚さは特に限定されない。前記樹脂層と同じであってもよいが、それよりもやや厚いことが好ましく、５〜２０μｍ厚いことがより好ましい。シートが前記樹脂層の厚さよりもやや厚いと、前記薄板ガラス基板とシートと前記支持ガラス基板とが密着しやすいので好ましい。また、シートの厚さが前記樹脂層の厚さよりも厚すぎると、前記薄板ガラス基板と前記樹脂層と前記支持ガラス基板とが密着し難くなり、本発明の積層体を製造する過程で、前記薄板ガラス基板または前記支持ガラス基板を破損するおそれがある。
前記樹脂層の厚さが５〜１００μｍの場合に、シートの厚さが５〜１２０μｍであることが好ましく、さらにシートの方が５〜２０μｍ厚いことがより好ましい。
【００５３】
シートの材質は特に限定されないが、有機樹脂または金属からなることが好ましい。
また、有機樹脂の中でも、５％加熱質量減温度が２００℃以上の有機樹脂であることが好ましい。本発明の積層体を加熱工程に供しても、溶融等の形態変化が生じにくいからである。５％加熱質量減温度とは、混合エアー気流下１分間に１０℃ずつ昇温し、試料の質量が初期試料質量の９５％に達したときの温度を意味する。
【００５４】
５％加熱質量減温度が２００℃以上の有機樹脂としては、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリアリルエステル、ポリカーボネート、ポリ四フッ化エチレン等のフッ素樹脂などが挙げられる。
シートは、５％加熱質量減温度が２００℃以上の有機樹脂製のフィルムであることが好ましい。
【００５５】
シートの上記のような樹脂のみからなるものであってよいが、さらにアルミナ、シリカ、タルク、ガラス繊維等の無機フィラーを含んでもよい。無機フィラーの含有率は５〜８０質量％であることが好ましい。
【００５６】
シートの材質は金属である場合、中でもアルミニウム、金、銅、ステンレスが好ましい。耐熱性が高いからである。
【００５７】
このような本発明の積層体における樹脂層が形成された支持ガラス基板と薄板ガラス基板とを剥離する場合、単に薄板ガラス基板および支持ガラス基板の各々の第２主面を、各々主面に垂直であって反対方向に引張っても、剥離することは困難である。
しかし、薄板ガラス基板と支持ガラス基板との間（特に薄板ガラス基板と樹脂層との界面）に、その端部から空気層が導入されるようにシートを引張ると、容易に剥離することができる。図７に示したような方法でシートを引張ると、より容易に剥離でき好ましい。図７は、水平な定磐５１上に、薄板ガラス基板５２が下、支持ガラス基板５８が上になるように載置し、薄板ガラス基板５２の第２主面を平らな状態で定磐５１に真空吸着し、シート５６を図７に示すように上方に引張り、支持ガラス基板５８を持ち上げる。すると、薄板ガラス基板５２と樹脂層５４との界面に隙間ができ、ここを起点として空気層が界面に入り込むことで剥離が進む。ここで、この隙間に向かって空気を吹き込むと当該界面における剥離現象がより進行し易くなるので好ましい。
【００５８】
このような本発明の積層体における前記薄板ガラス基板の第２主面に、表示装置用部材を形成することで支持体付き表示装置用パネルを得ることができる。
表示装置用部材とは、従来のＬＣＤ、ＯＬＥＤ等の表示装置用のガラス基板がその表面に有する発光層、保護層、カラーフィルター、液晶、ＩＴＯからなる透明電極等、各種回路パターン等を意味する。
本発明の支持体付き表示装置用パネルには、例えば、ＴＦＴアレイ（以下、単に「アレイ」という。）が薄板ガラス基板の第２主面に形成された本発明の支持体付き表示装置用パネル薄板ガラス基板に、さらにカラーフィルタが形成された他のガラス基板（例えば０．３ｍｍ以上程度の厚さのガラス基板）が貼り合わされたものも含まれる。
【００５９】
また、このような支持体付き表示装置用パネルから、表示装置用パネルを得ることができる。支持体付き表示装置用パネルから、上記で説明したようにシートを引張ることで、薄板ガラス基板と支持ガラス基板に固定されている樹脂層とを剥離して、表示装置用部材および薄板ガラス基板を有する表示装置用パネルを得ることができる。
【００６０】
また、このような表示装置用パネルから表示装置を得ることができる。表示装置としてはＬＣＤ、ＯＬＥＤが挙げられる。ＬＣＤとしてはＴＮ型、ＳＴＮ型、ＦＥ型、ＴＦＴ型、ＭＩＭ型が挙げられる。
【００６１】
次に、本発明の積層体の製造方法を説明する。
本発明の積層体の製造方法は特に限定されないが、支持ガラス基板の第１主面上に易剥離性を有する樹脂層を形成し固定する樹脂層形成工程と、前記支持ガラス基板の第１主面上および／または前記樹脂層の表面上にシートの一部を固定するシート固定工程と、薄板ガラス基板の第１主面に、前記支持ガラス基板の第１主面上に固定された前記樹脂層を密着する密着工程とを具備する製造方法であることが好ましい。このような製造方法を、以下では「本発明の積層体の製造方法」ともいう。
【００６２】
樹脂層形成工程について説明する。
初めに薄板ガラス基板および支持ガラス基板を用意する。
薄板ガラス基板および支持ガラス基板の製造方法は特に限定されない。例えば従来公知の方法で製造することができる。例えば従来公知のガラス原料を溶解し溶融ガラスとした後、フロート法、フュージョン法、ダウンドロー法、スロットダウン法、リドロー法等によって板状に成形して得ることができる。
【００６３】
このようにして製造した支持ガラス基板の表面（第１主面）に樹脂層を形成する方法も特に限定されない。
例えばフィルム状の樹脂を支持ガラス基板の表面に接着する方法が挙げられる。具体的にはフィルムの表面に高い接着力を付与するために表面改質処理（プライミング処理）を行い、支持ガラス基板の第１主面に接着する方法が挙げられる。例えば、シランカップリング剤のような化学的に密着力を向上させる化学的方法（プライマー処理）や、フレーム（火炎）処理のように表面活性基を増加させる物理的方法、サンドブラスト処理のように表面の粗度を増加させることにより引っかかりを増加させる機械的処理方法などが例示される。
【００６４】
また、例えば公知の方法によって樹脂層となる樹脂組成物を支持ガラス基板の第１主面上にコートする方法が挙げられる。公知の方法としてはスプレーコート法、ダイコート法、スピンコート法、ディップコート法、ロールコート法、バーコート法、スクリーン印刷法、グラビアコート法が挙げられる。このような方法の中から、樹脂組成物に種類に応じて適宜選択することができる。
例えば、無溶剤型の剥離紙用シリコーンを樹脂組成物として用いた場合、ダイコート法、スピンコート法またはスクリーン印刷法が好ましい。
【００６５】
また、樹脂組成物を支持ガラス基板の第１主面上にコートする場合、その塗工量は１〜１００ｇ／ｍ２であることが好ましく、５〜２０ｇ／ｍ２であることがより好ましい。
【００６６】
例えば付加反応型シリコーンから樹脂層を形成する場合、直鎖状のジメチルポリシロキサンを分子内に含むシリコーン（主剤）、架橋剤および触媒を含む樹脂組成物を、上記のスプレーコート法等の公知の方法により支持ガラス基板上に塗工し、その後に加熱硬化させる。加熱硬化条件は、触媒の配合量によっても異なるが、例えば、主剤および架橋剤の合計量１００質量部に対して、白金系触媒を２質量部配合した場合、大気中で５０℃〜２５０℃、好ましくは１００℃〜２００℃で反応させる。また、この場合の反応時間は５〜６０分間、好ましくは１０〜３０分間とする。低シリコーン移行性を有するシリコーン樹脂層とするためには、シリコーン樹脂層中に未反応のシリコーン成分が残らないように硬化反応をできるだけ進行させることが好ましい。上記のような反応温度および反応時間であると、シリコーン樹脂層中に未反応のシリコーン成分が残らないようにすることができるので好ましい。上記した反応時間よりも長すぎたり反応温度が高すぎる場合には、シリコーン樹脂の酸化分解が同時に起こり低分子量のシリコーン成分が生成して、シリコーン移行性が高くなる可能性がある。シリコーン樹脂層中に未反応のシリコーン成分が残らないように硬化反応をできるだけ進行させることは、加熱処理後の剥離性を良好にするためにも好ましい。
【００６７】
また、例えば樹脂層を剥離紙用シリコーンを用いて製造した場合、支持ガラス基板上に塗工した剥離紙用シリコーンを加熱硬化してシリコーン樹脂層を形成した後、支持ガラス基板のシリコーン樹脂形成面に薄板ガラス基板を積層させる。剥離紙用シリコーンを加熱硬化させることによって、シリコーン樹脂硬化物が支持ガラスと化学的に結合する。また、アンカー効果によってシリコーン樹脂層が支持ガラスと結合する。これらの作用によって、シリコーン樹脂層が支持ガラス基板に強固に固定される。
【００６８】
シート固定工程について説明する。
上記のような方法で支持ガラス基板の第１主面上に樹脂層を形成した後、または形成する前に、シートを付ける。
例えばシートを支持ガラス基板の表面に接着する方法が挙げられる。具体的にはシートの表面に高い接着力を付与するために表面改質処理し、支持ガラス基板の第１主面に接着する方法が挙げられる。
樹脂層を形成した後にシートを付ける場合は、態様２、態様３のようにシートの一部が樹脂層上に付けられ、残部が支持ガラス基板に付けられてもよい。全部が樹脂層または支持ガラス基板上に形成されてもよい。
【００６９】
密着工程について説明する。
上記のような方法で支持ガラス基板の第１主面上に樹脂層を形成し、シートを付け、樹脂層の表面に薄板ガラス基板を積層する。
薄板ガラス基板と樹脂層とは、非常に近接した、相対する固体分子間におけるファンデルワールス力に起因する力、すなわち、密着力によって樹脂層と密着する。この場合、支持ガラス基板と薄板ガラス基板とを積層させた状態に保持することができる。
【００７０】
支持ガラス基板に固定された樹脂層の表面に薄板ガラス基板を積層させる方法は特に限定されない。例えば公知の方法を用いて実施することができる。例えば、常圧環境下で樹脂層の表面に薄板ガラス基板を重ねた後、ロールやプレスを用いて樹脂層と薄板ガラス基板とを圧着させる方法が挙げられる。ロールやプレスで圧着することにより樹脂層と薄板ガラス基板とがより密着するので好ましい。また、ロールまたはプレスによる圧着により、樹脂層と薄板ガラス基板との間に混入している気泡が容易に除去されるので好ましい。真空ラミネート法や真空プレス法により圧着すると気泡の混入の抑制や良好な密着の確保がより好ましく行われるのでより好ましい。真空下で圧着することにより、微少な気泡が残存した場合でも加熱により気泡が成長することがなく、薄板ガラス基板のゆがみ欠陥につながりにくいという利点もある。
【００７１】
支持ガラス基板の樹脂層の表面に薄板ガラス基板を積層させる際には、薄板ガラス基板の表面を十分に洗浄し、クリーン度の高い環境で積層することが好ましい。樹脂層と薄板ガラス基板との間に異物が混入しても、樹脂層が変形するので薄板ガラス基板の表面の平坦性に影響を与えることはないが、クリーン度が高いほどその平坦性は良好となるので好ましい。
【００７２】
このようにして本発明の積層体を製造することができる。
【００７３】
次に、本発明の支持体付き表示装置用パネルの製造方法を説明する。
本発明の支持体付き表示装置用パネルの製造方法は本発明の積層体における前記薄板ガラス基板の第２主面に、表示装置用部材を形成する工程を具備する。
具体的には、例えば上記のようにして製造した本発明の積層体における薄板ガラス基板の第２主面上に表示装置用部材を形成する。
表示装置用部材は特に限定されない。例えばＬＣＤが有するアレイやカラーフィルタが挙げられる。また、例えばＯＬＥＤが有する透明電極、ホール注入層、ホール輸送層、発光層、電子輸送層が挙げられる。
【００７４】
このような表示装置部材を形成する方法も特に限定されず、従来公知の方法と同様であってよい。
例えば表示装置としてＴＦＴ−ＬＣＤを製造する場合、従来公知のガラス基板上にアレイを形成する工程、カラーフィルタを形成する工程、アレイが形成されたガラス基板とカラーフィルタが形成されたガラス基板とを貼り合わせる工程（アレイ・カラーフィルタ貼り合わせ工程）等の各種工程と同様であってよい。より具体的には、これらの工程で実施される処理として、例えば純水洗浄、乾燥、成膜、レジスト塗布、露光、現像、エッチングおよびレジスト除去が挙げられる。さらに、アレイ・カラーフィルタ貼り合わせ工程を実施した後に行われる工程として、液晶注入工程および該処理の実施後に行われる注入口の封止工程があり、これらの工程で実施される処理が挙げられる。
【００７５】
また、ＯＬＥＤを製造する場合を例にとると、薄板ガラス基板の第２主面上に有機ＥＬ構造体を形成するための工程として、透明電極を形成する工程、ホール注入層・ホール輸送層・発光層・電子輸送層等を蒸着する工程、封止工程等の各種工程を含み、これらの工程で実施される処理として、具体的には例えば、成膜処理、蒸着処理、封止板の接着処理等が挙げられる。
【００７６】
このようにして本発明の支持体付き積層体を製造することができる。
【００７７】
次に、本発明の表示装置用パネルの製造方法を説明する。
本発明の表示装置用パネルは、例えば上記のような製造方法によって得られる支持体付き表示装置用パネルにおける前記シートの前記残部を引張り、前記薄板ガラス基板と前記支持ガラス基板とを分離する分離工程を具備する。
本発明の表示装置用パネルは、本発明の支持体付き積層体のうちの支持体の部分を剥離して、必要な場合はさらに加工して得ることができる。剥離する方法は、具体的には、上記で図７を用いて説明した方法と同様であってよい。以下、実施例に基づいて本発明を説明する。
【実施例】
【００７８】
（実施例１）
縦７２０ｍｍ、横６００ｍｍ、板厚０．４ｍｍ、線膨張係数３８×１０−７／℃の支持ガラス基板（旭硝子株式会社製、ＡＮ１００）を純水洗浄、ＵＶ洗浄して表面を清浄化した。
次に、無溶剤付加反応型剥離紙用シリコーン（信越シリコーン社製、ＫＮＳ−３２０Ａ（粘度：０．４０Ｐａ・ｓ））１００質量部と、白金系触媒（信越シリコーン社製、ＣＡＴ−ＰＬ−５６）２質量部との混合物を、支持ガラス基板上に、縦７０５ｍｍ、横５９５ｍｍの大きさで、スクリーン印刷機にて塗工した（塗工量３０ｇ／ｍ２）。そして、１８０℃にて３０分間大気中で加熱硬化して厚さ２０μｍのシリコーン樹脂層を得た。
次に、シートとして縦２０ｍｍ、横５９５ｍｍ、厚さ３０μｍの耐熱性粘着材付ポリイミドフィルム（耐熱性ポリイミドテープＮｏ．７４１６）を用意し、これを図８、図９に示すガラス積層体が得られるように、支持ガラス基板の端部に貼合した。
次に、縦７２０ｍｍ、横６００ｍｍ、板厚０．３ｍｍ、線膨張係数３８×１０−７／℃の薄板ガラス基板（旭硝子株式会社製、ＡＮ１００）の第１主面（後にシリコーン樹脂層と接触させる側の面）を純水洗浄、ＵＶ洗浄して清浄化した。そして、保護ガラス基板のシリコーン樹脂層の表面と薄板ガラス基板とを、室温下、真空プレスにて貼り合わせガラス積層体を得た。
【００７９】
ここで得られたガラス積層体について、図８、図９を用いて説明する。
図８は、実施例１で得たガラス積層体の概略正面図であり、図９はそのＤ−Ｄ’断面図（概略断面図）である。
ガラス積層体７０は、薄板ガラス基板７２、樹脂層７４、シート７６および支持ガラス基板７８を有している。そして、薄板ガラス基板７２と支持ガラス基板７８とが樹脂層７４およびシート７６を挟むように積層している。また、図８に示すように、正面から見ると、薄板ガラス基板７２、樹脂層７４、シート７６および支持ガラス基板７８は各々矩形であり、薄板ガラス基板７２と支持ガラス基板７８と同じ大きさなので重なっている。また、樹脂層７４は、正面から見た場合に、薄板ガラス基板７２および支持ガラス基板７８の内側に含まれるように位置している。
また、樹脂層７４は、支持ガラス基板７８の第１主面に固定されており、薄板ガラス基板７２の第１主面と樹脂層７４の表面とは密着して付いている。
【００８０】
そしてシート７６は、図８に示すように、正面から見た場合にガラス積層体７０が有する４辺中の１辺と重なる位置に存在している。そして、図９に示すように、シート７６の一部分（７６ａ）が薄板ガラス基板７２と支持ガラス基板７８とに挟まれている。さらに、挟まれていない部分であって薄板ガラス基板７２にも支持ガラス基板７８にも接していない部分（７６ｂ）を有している。
実施例１の場合、７６ａで示す部分の縦方向の長さは１０ｍｍであり、７６ｂで示す部分の縦方向の長さは１０ｍｍである。
また、シート７６と樹脂層７４とは重なっておらず、樹脂層７４の端面（７４α）とシート７６の端面（７６α）とが接するように付いている。
【００８１】
なお、図９に示すように、シート７６（ポリイミドフィルム）の厚さは形成時は３０μｍであったが、薄板ガラス基板７２の積層によって樹脂層７４（シリコーン樹脂層）の厚さ（２０μｍ）とほぼ同等に圧縮された。
【００８２】
このような実施例１に係るガラス積層体７０において、薄板ガラス基板７２および支持ガラス基板７８は、シリコーン樹脂層７４と気泡を発生することなく密着しており、凸状欠点もなく平滑性も良好であった。
【００８３】
次に、ガラス積層体７０を下記の剥離試験１に供し、剥離性を評価した。
＜剥離試験１＞
ガラス積層体７０を１０枚製造した。そして、図７を用いて説明した方法と同じように、そのうちの１枚を、支持ガラス基板７８が上側、薄板ガラス基板７２が下側となるように定盤上に設置し、薄板ガラス基板７２を定盤上に真空吸着した。
この状態でシート７６の端部を垂直上方へ引っ張り上げた。すると、シリコーン樹脂層７４と薄板ガラス基板７２との界面へ、その端部から空気層が形成され、その空気層が界面の全面に広がり、容易に剥離することができた。
この操作を残りの９枚のガラス積層体７０について行った。すると、１０枚のガラス積層体７０について２０分以内に剥離作業を問題なく行うことができた。
次に、さらにもう１枚のガラス積層体７０を用意した。そして、これを３００℃で１時間大気中で加熱処理した。加熱処理に対する耐熱性は良好であった。
そして、上記と同様の後の剥離作業を行った。この場合も同様に、剥離作業を問題なく行うことができた。
【００８４】
（実施例２）
シートとして、ＳＵＳ３０４製の金属フィルム（厚さ１５μｍ）を用い、これをコトロニクス社製耐熱接着用エポキシ接着剤デュラルコ４７００を用いて支持ガラス基板に接着したこと以外は、実施例１と同様にガラス積層体を製造した。
【００８５】
このような実施例２に係るガラス積層体において、薄板ガラス基板および支持ガラス基板は、シリコーン樹脂層と気泡を発生することなく密着しており、凸状欠点もなく平滑性も良好であった。
【００８６】
また、実施例１と同様にして剥離試験１を実施したところ、１０枚のガラス積層体について２０分以内に剥離作業を問題なく行うことができた。また、３００℃で１時間大気中で加熱処理した場合のガラス積層体は、加熱処理に対する耐熱性は良好であった。さらに剥離性も良好であった。
【００８７】
（実施例３）
実施例３は実施例１と同様であるが、支持ガラス基板、樹脂層、シートおよび薄板ガラス基板の大きさ等が異なるものを用いた。
支持ガラス基板として、縦７２０ｍｍ、横６００ｍｍ、板厚０．６ｍｍ、線膨張係数３８×１０−７／℃のガラス基板（旭硝子株式会社製、ＡＮ１００）を用いた。
また、樹脂層を形成するための樹脂として、両末端にビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサン（荒川化学工業株式会社製、商品名「８５００」）と、分子内にハイドロシリル基を有するメチルハイドロジェンポリシロキサン（荒川化学工業株式会社製、商品名「１２０３１」）とを用いた。そして、これを白金系触媒（荒川化学工業株式会社製、商品名「ＣＡＴ１２０７０」）と混合して混合物を調製し、縦７０５ｍｍ、横５９５ｍｍの大きさで、スクリーン印刷機にて塗工し（塗工量２０ｇ／ｍ２）、１８０℃にて３０分間大気中で加熱硬化して厚さ２０μｍのシリコーン樹脂層を形成した。ここで、ハイドロシリル基とビニル基のモル比は１／１となるように、直鎖状ポリオルガノシロキサンとメチルハイドロジェンポリシロキサンとの混合比を調整した。白金系触媒は、直鎖状ポリオルガノシロキサンとメチルハイドロジェンポリシロキサンとの合計１００質量部に対して５質量部添加した。
また、実施例１で用いたものであって、大きさが縦２０ｍｍ、横２９５ｍｍのシートを用いた。シートを貼合する位置は、図５を用いて説明した態様３が有する２つのシートのうちの小さい方のように、ガラス積層体が有する１つの辺の中央付近とした。
また、薄板ガラス基板として、縦７２０ｍｍ、横６００ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ、線膨張係数２００×１０−７／℃のガラス基板（旭硝子株式会社製ＡＮ１００）を用いた。
【００８８】
これらを用い、実施例１と同様にガラス積層体を製造した。
このような実施例３に係るガラス積層体において、薄板ガラス基板および支持ガラス基板は、シリコーン樹脂層と気泡を発生することなく密着しており、凸状欠点もなく平滑性も良好であった。
【００８９】
また、実施例１と同様にして剥離試験１を実施したところ、１０枚のガラス積層体について３０分以内に剥離作業を問題なく行うことができた。また、３００℃で１時間大気中で加熱処理した場合のガラス積層体は、加熱処理に対する耐熱性は良好であった。さらに剥離性も良好であった。
【００９０】
（実施例４）
実施例４は実施例１と同様であるが、樹脂層の材質が異なるものである。
樹脂層について説明する。
初めに、ＰＥＴ剥離フィルム（東洋紡社製  離型ＰＥＴフィルム  Ｅ７００２  厚さ１００μｍ）を２枚用意した。次に、無溶剤付加反応型剥離紙用シリコーン（信越シリコーン社製、ＫＮＳ−３２０Ａ（粘度：０．４０Ｐａ・ｓ））１００質量部と白金系触媒（信越シリコーン社製、ＣＡＴ−ＰＬ−５６）２質量部との混合物を、１枚のＰＥＴ剥離フィルムの表面に厚さ２５μｍとなるように塗工した。そして、１００℃にて３０分間大気中で加熱硬化した後、もう１枚のＰＥＴ剥離フィルムを貼合させて、２枚のＰＥＴ剥離フィルム間にシリコーン樹脂を挟持させたフィルム積層物を得た。
そして、このフィルム積層物を縦７０５ｍｍ、横５９５ｍｍの大きさに切断した後、両面のＰＥＴ剥離フィルムのうちの一方を剥がし、実施例１における樹脂層と同様の配置となるように、支持ガラス基板の表面に貼合した。ここで支持ガラス基板のフィルム積層物を貼る面は、予め純水洗浄、ＵＶ洗浄して清浄化した後、さらに３−アミノプロピルトリメトキシシランの１％エタノール溶液で洗浄し、乾燥した。
【００９１】
このようにして、ガラス積層体を製造した。
この例のガラス積層体において、薄板ガラス基板および支持ガラス基板は、樹脂層と気泡を発生することなく密着しており、凸状欠点もなく平滑性も良好であった。
【００９２】
また、実施例１と同様にして剥離試験１を実施したところ、１０枚のガラス積層体について２０分以内に剥離作業を問題なく行うことができた。また、３００℃で１時間大気中で加熱処理した場合のガラス積層体は、加熱処理に対する耐熱性は良好であった。さらに剥離性も良好であった。
【００９３】
（実施例５）
本例では、実施例３で得たガラス積層体を用いてＬＣＤを製造する。
２枚のガラス積層体を準備して、１枚はアレイ形成工程に供して薄板ガラス基板の第２主面上にアレイを形成する。残りの１枚はカラーフィルタ形成工程に供して薄板ガラス基板の第２主面上にカラーフィルタを形成する。アレイが形成されたガラス積層体と、カラーフィルタが形成されたガラス積層体とを貼り合わせた後、片面ずつフィルムを持ち上げることによって、各々の保護ガラス基板を分離する。分離後の薄板ガラス基板の表面には、強度低下につながるような傷はみられない。
続いて、ガラス基板を切断し、縦５１ｍｍ×横３８ｍｍの１６８個のセルに分断した後、液晶注入工程および注入口の封止工程を実施して液晶セルを形成する。形成された液晶セルに偏光板を貼付する工程を実施し、続いてモジュール形成工程を実施してＬＣＤを得る。こうして得られるＬＣＤは特性上問題は生じない。
【００９４】
（実施例６）
本例では、実施例１で得たガラス積層体を用いてＬＣＤを製造する。
２枚のガラス積層体を準備して、１枚はアレイ形成工程に供して薄板ガラス基板の第２主面にアレイを形成する。残りの１枚はカラーフィルタ形成工程に供して薄板ガラス基板の第２主面にカラーフィルタを形成する。アレイが形成されたガラス積層体と、カラーフィルタが形成されたガラス積層体とを貼り合わせた後、各々、フィルムを持ち上げることによって、各々保護ガラス基板を分離する。分離後の薄板ガラス基板の表面には強度低下につながるような傷はみられない。
続いて、ケミカルエッチング処理によりそれぞれの薄板ガラス基板の厚さを０．１５ｍｍとする。ケミカルエッチング処理後の薄板ガラス基板の表面には光学的に問題となるようなエッジピットの発生はみられない。
その後、薄板ガラス基板を切断し、縦５１ｍｍ×横３８ｍｍの１６８個のセルに分断した後、液晶注入工程および注入口の封止工程を実施して液晶セルを形成する。形成された液晶セルに偏光板を貼付する工程を実施し、続いてモジュール形成工程を実施してＬＣＤを得る。こうして得られるＬＣＤは特性上問題は生じない。
【００９５】
（実施例７）
本例では、実施例２で得たガラス積層体と、厚さ０．７ｍｍの無アルカリガラス基板（旭硝子製ＡＮ−１００）とを用いてＬＣＤを製造する。
ガラス積層体を準備して、カラーフィルタ形成工程に供してガラス積層体の薄板ガラス基板の第２主面にカラーフィルタを形成する。一方、無アルカリガラス基板はアレイ形成工程に供して一方の主面上にアレイを形成する。
カラーフィルタが形成されたガラス積層体と、アレイが形成された無アルカリガラス基板とを貼り合わせた後、フィルムを持ち上げることによって、ガラス積層体から支持ガラス基板を分離する。分離後の薄板ガラス基板表面には強度低下につながるような傷はみられない。
続いて、支持ガラス基板を分離したものを縦５１ｍｍ×横３８ｍｍの１６８個のセルにレーザーカッタまたはスクライブ−ブレイク法を用いて分断する。その後、液晶注入工程および注入口の封止工程を実施して液晶セルを形成する。形成された液晶セルに偏光板を貼付する工程を実施し、続いてモジュール形成工程を実施してＬＣＤを得る。こうして得られるＬＣＤは特性上問題は生じない。
【００９６】
（実施例８）
実施例８では、実施例４で得たガラス積層体を用いてＯＬＥＤを製造する。
透明電極を形成する工程、補助電極を形成する工程、ホール注入層・ホール輸送層・発光層・電子輸送層等を蒸着する工程、これらを封止する工程に供して、ガラス積層体の薄板ガラス基板上に有機ＥＬ構造体を形成する。次にシートを引張り、支持ガラス基板を分離する。分離後の薄板ガラス基板の表面には強度低下につながるような傷はみられない。
続いて、薄板ガラス基板をレーザーカッタまたはスクライブ−ブレイク法を用いて切断し、縦４１ｍｍ×横３０ｍｍの２８８個のセルに分断した後、有機ＥＬ構造体が形成されたガラス基板と対向基板とを組み立てて、モジュール形成工程を実施してＯＬＥＤを作成する。こうして得られるＯＬＥＤは特性上問題は生じない。
【００９７】
（比較例１）
シートを貼り付けず、縦７０５ｍｍ、横５９５ｍｍの樹脂層の大きさを縦７１５ｍｍ、横５９５ｍｍとしたこと以外は、実施例１と同様とした試験を行った。得られた比較例１に係るガラス積層体は、シリコーン樹脂層と気泡を発生することなくガラス基板が密着しており、凸状欠点もなく平滑性も良好であった。
また、以下に示す剥離試験２に供した。
【００９８】
＜剥離試験２＞
ガラス積層体を１０枚製造した。そして、そのうちの１枚を、支持ガラス基板が上側、薄板ガラス基板が下側となるように定盤上に設置し、薄板ガラス基板を定盤上に真空吸着した。そして、薄板ガラス基板と樹脂層との間に鋭利な剃刀をあてがい、界面の端をこじ開け、徐々に端から剥離した。
この操作を残りの９枚のガラス積層体について行った。すると、１０枚のガラス積層体について剥離作業を行うのに１時間を要した。また、１０枚のうち２枚においてガラス積層体の端部に傷がついた。
このようにシートを有しないガラス積層体から支持ガラス基板を剥離することは可能ではあるが、剥離作業の効率が低く、ガラス基板を損傷する可能性があることがわかった。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】図１は、本発明の積層体の一態様を示す概略正面図である。
【図２】図２は、本発明の積層体の一態様を示す概略断面図である。
【図３】図３は、本発明の積層体の別の一態様を示す概略正面図である。
【図４】図４は、本発明の積層体の別の一態様を示す概略断面図である。
【図５】図５は、本発明の積層体の別の一態様を示す概略正面図である。
【図６】図６は、本発明の積層体の別の一態様を示す概略断面図である。
【図７】図７は、本発明の積層体の支持ガラス基板を剥がす方法を説明するための概略断面図である。
【図８】図８は、本発明の積層体の実施例を示す概略正面図である。
【図９】図９は、本発明の積層体の実施例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【０１００】
１０、２０、３０、５０、７０    ガラス積層体（本発明の積層体）
１２、２２、３２、５２、７２    薄板ガラス基板
１４、２４、３４、５４、７４    樹脂層
１６、２６、３６、５６、７６    シート
１８、２８、３８、５８、７８    支持ガラス基板
２５、３５    空間
５１    定盤
【図１】
0005024087.tif 000002
【図２】
0005024087.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0005024087.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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