(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
刻印面に刻印された被検査文字を検査する刻印検査装置において、
前記被検査文字の文字列方向に沿って複数並設され、前記被検査文字を含む前記刻印面に対して前記文字列方向に延在するライン状のスリット光を照射するレーザスリット光源と、
各レーザスリット光源の各々に対応して設けられ、対応したレーザスリット光源より照射された前記スリット光の照射位置を撮像するカメラと、
前記各レーザースリット光源および前記カメラを前記文字列方向に直交した直交方向へ移動する移動ステージと、
前記各カメラで撮像された前記スリット光のスリット光画像から高さを求めて前記刻印面の三次元情報を取得する処理装置と、を備え、
隣接する各レーザスリット光源からの各スリット光がその両端部で重なっており、第一のタイミングで撮像を行うカメラと第二のタイミングで撮像を行うカメラとを並び方向にて交互に配置し、前記第一のタイミングと前記第二のタイミングによる撮像タイミングを異なるタイミングに設定して隣接するカメラが同時に撮像しないように構成するとともに、
対応関係にあるカメラの撮像タイミングとレーザスリット光源からの前記スリット光の照射タイミングとを同期したことを特徴とする刻印検査装置。
【請求項２】
刻印面に刻印された被検査文字を検査する刻印検査装置において、
前記被検査文字の文字列方向に沿って複数並設され、前記被検査文字を含む前記刻印面に対して前記文字列方向に延在するライン状のスリット光を照射するレーザスリット光源と、
各レーザスリット光源の各々に対応して設けられ、対応したレーザスリット光源より照射された前記スリット光の照射位置を撮像する固定されたカメラと、
前記各レーザースリット光源を前記文字列方向に直交した直交方向へ移動する移動ステージと、
前記スリット光を移動させながら前記各カメラで撮像された画像の各画素で、最大輝度を与える前記移動ステージ位置を求め、このステージ位置と画素の位置に基づいて前記刻印面の三次元情報を取得する処理装置と、を備え、
隣接する各レーザスリット光源からの各スリット光がその両端部で重なっており、第一のタイミングで撮像を行うカメラと第二のタイミングで撮像を行うカメラとを並び方向にて交互に配置し、前記第一のタイミングと前記第二のタイミングによる撮像タイミングを異なるタイミングに設定して隣接するカメラが同時に撮像しないように構成するとともに、
対応関係にあるカメラの撮像タイミングとレーザスリット光源からの前記スリット光の照射タイミングとを同期したことを特徴とする刻印検査装置。
【請求項３】
前記被検査文字を境とする前記直交方向の一方側に前記各レーザスリット光源を配置し、他方側に前記各カメラを配置する一方、
前記スリット光の正反射光が対応するカメラの視野内に直接入らないように前記各レーザスリット光源の設置位置を対応したカメラに対して前記文字列方向へずらして配置したことを特徴とする請求項１または請求項２記載の刻印検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、刻印された文字などを検査する刻印検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、金属パーツ、金属プレートなどに刻印文字を刻印した際には、当該刻印文字を紙などに写し取って紙拓本を形成し、この紙拓本で写し取られた刻印文字の幅寸法から深さを想定していた。
【０００３】
また、刻印の深さを実測する方法としては抜き取り検査が挙げられ、この抜き取り検査では、刻印されたプレートを切断し、その断面から深さを計測したり、極細の測定子を備えた専用ゲージを用いて測定を行っていた。
【０００４】
しかし、前述した刻印文字の幅寸法から深さを想定する方法にあっては、手間が掛かるとともに、前記幅寸法と前記深さとが必ずしも一致するとは限らなかった。
【０００５】
また、専用ゲージを用いた方法では手間が掛かり全数検査が困難であるとともに、刻印されたプレートを切断する方法では、全数検査は不可能であった。
【０００６】
そこで、本願出願人において、これらを解決する刻印検査装置を案出するに至った（例えば、特許文献１）。
【０００７】
この刻印検査装置では、図６に示すように、刻印文字の文字列方向に移動するステージ８０１を備えており、該ステージ８０１には、刻印面８０２にスリット光８０３を照射するレーザ装置８０４と、照射されたスリット光８０３の正反射光８０５を撮像するカメラ８０６とが設けられている。このカメラ８０６は、前記レーザ装置８０４に正対して配置されており、前記刻印面８０２で正反射した前記正反射光８０５を前記カメラ８０６に入力できるように構成されている。
【０００８】
これにより、前記レーザ装置８０４と前記カメラ８０６とを同時に動かす光切断式によって前記刻印面８０２上の刻印文字の検査が行えるように構成されている。
【特許文献１】特願２００６−２３５３６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、このような従来の刻印検査装置にあっては、前記ステージ８０１でレーザ装置８０４とカメラ８０６とを文字列方向に移動して検査を行うため、配列された文字数が多い場合、時間がかかるという問題があった。
【００１０】
また、正反射した正反射光８０５を用いて刻印文字の深さの計測を行う構造上、摩耗した刻印ヘッドで底面の無いＶ字溝状の刻印文字が刻印された場合、前記スリット光８０３が刻印文字の溝底面で反射せず、前記正反射光８０５をカメラ８０６で取得できない。これにより、計測が不能になるという問題があった。
【００１１】
さらに、刻印面８０２が鏡面状の場合、この刻印面８０２で正反射した正反射光８０５が前記カメラ８０６に入力される際に太くなり、計測精度が悪化する恐れがあった。
【００１２】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、測定時間を短縮することができ、Ｖ字溝やＵ字溝状で形成された刻印文字の深さ計測を可能とするとともに、鏡面反射する刻印面であっても測定精度への影響が少ない刻印検査装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記課題を解決するために本発明の請求項１の刻印検査装置にあっては、刻印面に刻印された被検査文字を検査する刻印検査装置において、前記被検査文字の文字列方向に沿って複数並設され、前記被検査文字を含む前記刻印面に対して前記文字列方向に延在するライン状のスリット光を照射するレーザスリット光源と、各レーザスリット光源の各々に対応して設けられ、対応したレーザスリット光源より照射された前記スリット光の照射位置を撮像するカメラと、前記各レーザースリット光源および前記カメラを前記文字列方向に直交した直交方向へ移動する移動ステージと、前記各カメラで撮像された前記スリット光のスリット光画像から高さを求めて前記刻印面の三次元情報を取得する処理装置と、を備え、隣接する各レーザスリット光源からの各スリット光がその両端部で重なっており、第一のタイミングで撮像を行うカメラと第二のタイミングで撮像を行うカメラとを並び方向にて交互に配置し、前記第一のタイミングと前記第二のタイミングによる撮像タイミングを異なるタイミングに設定して隣接するカメラが同時に撮像しないように構成するとともに、対応関係にあるカメラの撮像タイミングとレーザスリット光源からの前記スリット光の照射タイミングとを同期した。
【００１４】
すなわち、刻印面に刻印された被検査文字を検査する際には、被検査文字の文字列方向に沿って並設されてレーザスリット光源より前記被検査文字を含む刻印面に対して、前記文字列方向に延在するライン状のスリット光を照射するとともに、前記各レーザスリット光源の各々に対応して設けられたカメラによって、対応したレーザスリット光源からのスリット光の照射位置を撮像しつつ、移動ステージによって各レーザースリット光源を前記文字列方向に直交した直交方向へ移動する。
【００１５】
これにより、前記文字列方向に並んだ前記被検査文字は、複数のカメラによって同時にスキャンされ検査が行われる。よって、測定時間を短縮することができる。
【００１６】
加えて、隣り合うカメラにおける撮像タイミングがずれるように設定されており、対応関係にあるカメラの撮像タイミングとレーザスリット光源からの前記スリット光の照射タイミングとは同期するように構成されている。
【００１７】
このため、隣接したカメラに対応した前記レーザスリット光源からのスリット光の映り込み等の干渉が防止される。
【００１８】
本発明の請求項２の刻印検査装置にあっては、刻印面に刻印された被検査文字を検査する刻印検査装置において、前記被検査文字の文字列方向に沿って複数並設され、前記被検査文字を含む前記刻印面に対して前記文字列方向に延在するライン状のスリット光を照射するレーザスリット光源と、各レーザスリット光源の各々に対応して設けられ、対応したレーザスリット光源より照射された前記スリット光の照射位置を撮像する固定されたカメラと、前記各レーザースリット光源を前記文字列方向に直交した直交方向へ移動する移動ステージと、前記スリット光を移動させながら前記各カメラで撮像された画像の各画素で、最大輝度を与える前記移動ステージ位置を求め、このステージ位置と画素の位置に基づいて前記刻印面の三次元情報を取得する処理装置と、を備え、隣接する各レーザスリット光源からの各スリット光がその両端部で重なっており、第一のタイミングで撮像を行うカメラと第二のタイミングで撮像を行うカメラとを並び方向にて交互に配置し、前記第一のタイミングと前記第二のタイミングによる撮像タイミングを異なるタイミングに設定して隣接するカメラが同時に撮像しないように構成するとともに、対応関係にあるカメラの撮像タイミングとレーザスリット光源からの前記スリット光の照射タイミングとを同期した。
【００１９】
この手法によると、溝底面等のレーザの反射光が微弱な位置であっても、レーザが当たった時点の輝度の方が、レーザが照射されていない時点での輝度より、確実に輝度は高いので、画像中の各画素において最大輝度となるステージ位置を求めて、その位置から高さを求めることで、微弱な反射光であっても高さ計測が可能となる。このため、被検査文字がＶ字溝やＵ字溝で形成され、溝底面からの正反射光を取得できない場合であっても、計測が可能となる。
【００２０】
加えて、隣り合うカメラにおける撮像タイミングがずれるように設定されており、対応関係にあるカメラの撮像タイミングとレーザスリット光源からの前記スリット光の照射タイミングとは同期するように構成されている。
【００２１】
このため、隣接したカメラに対応した前記レーザスリット光源からのスリット光の映り込み等の干渉が防止される。
【００２２】
また、請求項３の刻印検査装置においては、前記被検査文字を境とする前記直交方向の一方側に前記各レーザスリット光源を配置し、他方側に前記各カメラを配置する一方、前記スリット光の正反射光が対応するカメラの視野内に直接入らないように前記各レーザスリット光源の設置位置を対応したカメラに対して前記文字列方向へずらして配置した。
【００２３】
すなわち、前記各レーザスリット光源は、被検査文字を境とする一方側に配置されており、前記各カメラは他方側に配置されている。そして、各カメラは、対応するレーザスリット光源に対して前記文字列方向へずらして配置されおり、前記各レーザスリット光源からのスリット光の正反射光が、対応するカメラの視野内に直接入らないように構成されている。
【００２４】
このため、前記刻印面が鏡面状であっても、測定精度に与える影響が抑えられる。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように本発明の請求項１および請求項２の刻印検査装置にあっては、移動ステージで各レーザースリット光源を文字列方向に直交した直交方向へ移動するため、レーザースリット光源及びカメラを文字列方向へ移動して被検査文字をスキャンする場合と比較して、走査時間を短くすることができる。また、前記文字列方向に並んだ被検査文字は、複数のカメラによって一度に検査することができる。
【００２６】
このため、配列された文字数が多い場合であっても、検査時間を短くすることができる。
【００２７】
加えて、隣り合うカメラにおける撮像タイミングがずれるように設定するとともに、対応関係にあるカメラの撮像タイミングとレーザスリット光源からの前記スリット光の照射タイミングとを同期することによって、隣接したカメラに対応した前記レーザスリット光源からのスリット光の干渉に起因した誤計測を確実に排除することができる。
【００２８】
特に、請求項２の刻印検査装置にあっては、カメラを固定とし、移動ステージでレーザスリット光源を移動させながら、各カメラで複数枚の画像を撮像し、各画素（一つのｘｙ）において複数枚（時間が異なるのでステージ位置が異なる）の画像中で輝度が最大となる移動ステージ位置（時間、またはＹ位置に対応）を求め、そのステージ位置と画素位置（ｘｙ座標）に基づいて前記刻印面の三次元情報を取得するようにした。
【００２９】
したがって、Ｖ字溝やＵ字溝状の刻印文字での深さ計測を可能とするとともに、鏡面反射する刻印面であっても測定精度への影響が少なく、かつ測定時間を短縮することができる刻印検査装置となり得る。
【００３０】
また、請求項３の刻印検査装置においては、前記各レーザスリット光源を、対応するカメラに対して前記文字列方向へずらして配置することによって、前記各レーザスリット光源からのスリット光の正反射光を、対応するカメラの視野内に直接入らないようにすることができる。
【００３１】
このため、刻印面で正反射したスリット光が前記カメラに入力される際に太くなり計測精度が悪化してしまう従来と比較して、不必要な光を取るといった不具合を解消し、検査精度を高めることができる。
【００３２】
これにより、前記刻印面が鏡面状であっても、測定精度に与える影響を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかる刻印検査装置１を示す図である。該刻印検査装置１は、平坦な刻印面２に刻印された被検査文字３を検査する装置であり、その一例として、車台番号が刻印された短冊状のプレートの検査が挙げられる。
【００３４】
このプレートからなるワーク１１は、長方形状の金属板からなり、その刻印面２には、車台番号からなる前記被検査文字３が刻印されている。この被検査文字３は、前記ワーク１１の長さ方向に複数配列されており、各被検査文字３，・・・は、刻印ヘッドで打刻された溝によって形成されている。この溝は、通常、平坦な底面を備えているが、摩耗した刻印ヘッドで打刻された場合、底面を備えない断面Ｖ字状又はＵ字状に形成されることがある。
【００３５】
前記刻印検査装置１は、載置台２１に載置された前記ワーク１１の刻印面２に対して斜め上方からスリット光３１を照射する第１〜第５レーザスリット光源４１〜４５を備えており、各レーザスリット光源４１〜４５からのスリット光３１，・・・は、前記被検査文字３，・・・を含む前記刻印面２に対して前記被検査文字３，・・・の文字列方向であるＸ方向５１に延在したライン状に照射されるように構成されている。前記各レーザスリット光源４１〜４５は、前記Ｘ方向５１に並設されており、Ｘ方向５１に配列された複数の前記被検査文字３，・・・を同時に照射できるように構成されている。
【００３６】
前記各レーザスリット光源４１〜４５は、第１〜第５レーザ装置６１〜６５と、各レーザ装置６１〜６５からのレーザスリット光３１，・・・を通過する遮光板６６とによって構成されており、各レーザ装置６１〜６５からのスリット光３１，・・・は、図２にも示すように、前記遮光板６６に設けられた開口部６７を通過して前記刻印面２に照射されるように構成されている。
【００３７】
また、前記刻印検査装置１には、図１に示したように、走査ユニット７１が設けられており、該走査ユニット７１は、移動ステージ７２を前記文字列方向に直交した直交方向であるＹ方向７３へ移動できるように構成されている。前記各レーザスリット光源４１〜４５を構成する前記各レーザ装置６１〜６５及び前記遮光板６６は、前記移動ステージ７２に支持されており、前記各レーザスリット光源４１〜４５は、この走査ユニット７１によって前記Ｙ方向７３へ移動されるように構成されている。
【００３８】
この刻印検査装置１は、前記各レーザスリット光源４１〜４５の各々に対応して設けられた第１〜第５ＣＣＤカメラ８１〜８５を備えており、各ＣＣＤカメラ８１〜８５は、対応したレーザスリット光源４１〜４５より照射された前記スリット光３１，・・・の照射位置を斜め上方から撮像できるように当該刻印検査装置１に固定される、又は前記移動ステージ７２に固定されている。
【００３９】
前記各レーザスリット光源４１〜４５は、前記被検査文字３，・・・を境とする前記Ｙ方向７３の一方側（図１中上側）に配置されており、前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５は、前記被検査文字３，・・・を境とする前記Ｙ方向７３の他方側（図１中下側）に配置されている。
【００４０】
前記各レーザスリット光源４１〜４５と前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５とは、図２に示したように、前記刻印面２で正反射する前記スリット光３１の正反射光９１が対応するＣＣＤカメラ８１〜８５に直接入力されないように、対応するレーザスリット光源４１〜４５とＣＣＤカメラ８１〜８５との関係が設定されている。
【００４１】
すなわち、図２に示したように、前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５は、対応するレーザスリット光源４１〜４５に対して前記Ｘ方向５１へずらした位置に配置されており、前記各レーザスリット光源４１〜４５は、対応するＣＣＤカメラ８１〜８５の視野範囲内へ向けて斜め上方から前記スリット光３１，・・・を照射するように構成されている。
【００４２】
このとき、図４の（ａ）に示すように、前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５は、前記Ｘ方向５１へ僅かに移動して固定できるように構成されており、図４の（ｂ）に示すように、前記遮光板６６を通過した隣接するレーザスリット光源４１〜４５からのスリット光３１，・・・は、その両端部が僅かに重なるように、各レーザスリット光源４１〜４５の配置や前記遮光板６６の開口部６７の長さが設定されている。だから、正反射光９１は、各ＣＣＤカメラ８１〜８５に直接入力されることはない。
【００４３】
なお、図３に示すように、前記各レーザスリット光源４１〜４５からの前記スリット光３１，・・・及び前記刻印面２が成す角度αと、前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５の光軸及び前記刻印面２が成す角度βとが異なる角度となるように、前記各レーザスリット光源４１〜４５の各レーザ装置６１〜６５の向きと前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５の向きとが設定されている。
【００４４】
そして、前記刻印検査装置１は、図１に示したように、パソコンなどで構成された画像処理装置を兼ねた制御装置１０１を備えており、該制御装置１０１には、前記各第１〜第５レーザスリット光源４１〜４５の各レーザ装置６１〜６５と、前記走査ユニット７１と、前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５とが接続されている。
【００４５】
これにより、前記制御装置１０１がプログラムに従って動作することで、前記走査ユニット７１による前記各レーザスリット光源４１〜４５の移動と、前記各レーザスリット光源４１〜４５からのスリット光３１，・・・の照射と、前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５による撮像とを制御できるように構成されている。このとき、隣り合うＣＣＤカメラ８１〜８５における撮像タイミングは、ずれるように設定されており、対応関係にあるＣＣＤカメラ８１〜８５の撮像タイミングとレーザスリット光源４１〜４５からの前記スリット光３１，・・・の照射タイミングとは、同期するように構成されている。
【００４６】
図５は、カメラ撮像タイミングを示すタイミングチャートであり、その上段には、第１レーザスリット光源４１及び第３レーザスリット光源４３並びに第５レーザスリット光源４５からのスリット光３１，・・・の照射タイミング１１１と、第１ＣＣＤカメラ８１及び第３ＣＣＤカメラ８３並びに第５ＣＣＤカメラ８５のシャッタタイミング１１２と、該シャッタタイミング１１２及び前記照射タイミング１１１を同期させる為の外部同期信号ＶＤ１１３と、前記第１ＣＣＤカメラ８１及び前記第３ＣＣＤカメラ８３並びに前記第５ＣＣＤカメラ８５からの撮像データの入力及び処理タイミング１１４とが示されている。
【００４７】
このタイミングチャートの下段には、前記第２レーザスリット光源４２及び第４レーザスリット光源４４からのスリット光３１，３１の照射タイミング１２１と、第２ＣＣＤカメラ８２及び第４ＣＣＤカメラ８４のシャッタタイミング１２２と、該シャッタタイミング１２２及び前記照射タイミング１２１を同期させる為の外部同期信号ＶＤ１２３と、前記第２ＣＣＤカメラ８２及び前記第４ＣＣＤカメラ８４からの撮像データの入力及び処理タイミング１２４とが示されている。
【００４８】
この図から判るように、前記第１ＣＣＤカメラ８１及び第３ＣＣＤカメラ８３並びに第５ＣＣＤカメラ８５のシャッタタイミング１１２では、前記第１レーザスリット光源４１及び第３レーザスリット光源４３並びに第５レーザスリット光源４５からのスリット光３１，・・・のみが照明されており、前記第１レーザスリット光源４１からのスリット光３１と第３レーザスリット光源４３からのスリット光３１と第５レーザスリット光源４５からのスリット光３１のみが入力される。
【００４９】
この第１ＣＣＤカメラ８１及び第３ＣＣＤカメラ８３並びに第５ＣＣＤカメラ８５のシャッタタイミング１１２では、前記第２レーザスリット光源４２及び第４レーザスリット光源４４からはスリット光３１，３１が照射されておらず、これらからのスリット光３１，３１が入力されることはない。
【００５０】
一方、前記第２ＣＣＤカメラ８２及び第４ＣＣＤカメラ８４のシャッタタイミング１２２では、前記第２レーザスリット光源４２及び第４レーザスリット光源４４からのスリット光３１，３１のみが照明されており、前記第２レーザスリット光源４２からのスリット光３１と第４レーザスリット光源４４からのスリット光３１のみが入力される。
【００５１】
この第２ＣＣＤカメラ８２及び第４ＣＣＤカメラ８４のシャッタタイミング１２２では、前記第１レーザスリット光源４１及び第３レーザスリット光源４３並びに第５レーザスリット光源４５からはスリット光３１，・・・が照射されておらず、これらからのスリット光３１，・・・が入力されることはない。
【００５２】
また、前記制御装置１０１は、前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５で撮像した画像の画像処理するように構成されている。
【００５３】
画像処理手法としては２つの手法が考えられる。
【００５４】
第１の手法は、各カメラ８１〜８５を各レーザスリット光源４１〜４５と共に移動ステージ７２に載せて移動させる構成における手法である。
【００５５】
この画像処理では、前記移動ステージ７２を動かしながら前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５で数百枚の画像入力しスリット光画像を取得する。各スリット光画像において、スリット光座標を求めて高さに変換する。これにより、前記刻印面２の三次元情報を取得する。
【００５６】
第２の手法は、各カメラ８１〜８５を固定し、各レーザスリット光源４１〜４５のみを移動ステージ７２で移動させる構成における手法である。
【００５７】
この画像処理では、前記移動ステージ７２を動かしながら前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５で数百枚の画像入力しスリット光画像を取得する。各画素（一つのｘｙ）において数百枚（時間が異なるのでステージ位置が異なる）の画像中で輝度が最大となる移動ステージ位置（時間、またはステージＹ位置に対応）を求め、そのステージ位置と画素位置（ｘｙ座標）に基づいて刻印の高さに変換する。これにより、前記刻印面２の三次元情報を取得する。
【００５８】
そして、この三次元情報に基づいて、前記被検査文字３，・・・の形状を取得し、予め記憶されたマスターデータと比較する等して、前記ワーク１１の被検査文字３，・・・を検査できるように構成されている。
【００５９】
以上の構成において、前記ワーク１１の刻印面２に刻印された被検査文字３，・・・を検査する際には、被検査文字３，・・・の文字列方向であるＸ方向５１に沿って並設されて各レーザスリット光源４１〜４５より前記被検査文字３，・・・を含む刻印面２に対して、前記Ｘ方向に延在するライン状のスリット光３１，・・・を照射するとともに、前記各レーザスリット光源４１〜４５の各々に対応して設けられた各ＣＣＤカメラ８１〜８５によって、対応したレーザスリット光源４１〜４５からのスリット光３１，・・・の照射位置を撮像しつつ、走査ユニット７１の移動ステージ７２によって各レーザスリット光源４１〜４５を前記文字列方向に直交した直交方向であるＹ方向７３へ移動する。
【００６０】
これにより、前記Ｘ方向５１に並んだ前記被検査文字３，・・・を、第１〜第５ＣＣＤカメラ８１〜８５によって同時にスキャンして検査することができる。
【００６１】
このため、前記各レーザスリット光源４１〜４５及び前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５を文字列方向であるＸ方向５１へ移動して前記被検査文字３，・・・をスキャンする場合と比較して、走査時間を短くすることができる。また、前記文字列方向に並んだ被検査文字３，・・・を、第１〜第５ＣＣＤカメラ８１〜８５によって、一度に検査することができる。
【００６２】
したがって、配列された文字数が多い場合であっても、検査時間を短くすることができる。
【００６３】
そして、第２の画像処理手法にあっては、各画素で輝度が最大となるステージ位置を基にした高さが求められ、前記刻印面２の三次元情報が取得されるため、被検査文字３，・・・がＶ字溝やＵ字溝で形成され、溝底面からの正反射光を取得できない場合であっても、被検査文字３，・・・での深さ計測が可能となる。
【００６４】
なぜなら、レーザの反射光が微弱な部分であっても、レーザが当たった時点の輝度の方が、レーザが照射されていない時点での輝度より、確実に輝度は高いので、画像中の各画素において最大輝度となるステージ位置を求めて、その位置から高さを求めれば、微弱な反射光であっても（つまり、たとえ最大輝度が微弱であっても）高さ計測が可能となるからである。
【００６５】
これにより、長期使用により摩耗した刻印ヘッドで刻印した被検査文字３，・・・であっても、検査を行うことができる。
【００６６】
加えて、隣り合うＣＣＤカメラ８１〜８５における撮像タイミング１１２，１２２がずれるように設定するとともに、対応関係にあるＣＣＤカメラ８１〜８５の撮像タイミング１１２，１２２とレーザスリット光源４１〜４５からの前記スリット光３１，・・・の照射タイミング１１１，１２１とを同期することによって、隣接したＣＣＤカメラ８１〜８５に対応した前記レーザスリット光源４１〜４５からのスリット光３１，・・・が撮像されてしまう等の干渉に起因した誤計測を確実に排除することができる。
【００６７】
また、前記刻印検査装置１では、前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５を、対応するレーザスリット光源４１〜４５に対して、前記文字列方向であるＸ方向５１へずらして配置することで、前記各レーザスリット光源４１〜４５からのスリット光３１，・・・の正反射光９１，・・・を、対応するＣＣＤカメラ８１〜８５の視野内に直接入らないようにすることができる。
【００６８】
このため、前記刻印面２で正反射した各スリット光３１，・・・が前記各ＣＣＤカメラ８１〜８５に入力される際に太くなり計測精度が悪化してしまう従来と比較して、不必要な光を取るといった不具合を解消し、検査精度を高めることができる。
【００６９】
これにより、前記刻印面２が鏡面状であっても、測定精度に与える影響を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の一実施の形態を示す図である。
【図２】同実施の形態の要部を示す説明図である。
【図３】同実施の形態の他の要部を示す説明図である。
【図４】（ａ）は、同実施の形態の各ＣＣＤカメラを示す説明図であり、（ｂ）は、各レーザスリット光源を示す説明図である。
【図５】同実施の形態のカメラ撮像タイミングを示すタイミングチャートである。
【図６】従来の刻印検査装置を示す図である。
【符号の説明】
【００７１】
１    刻印検査装置
２    刻印面
３    被検査文字
３１    スリット光
４１    第１レーザスリット光源
４２    第２レーザスリット光源
４３    第３レーザスリット光源
４４    第４レーザスリット光源
４５    第５レーザスリット光源
５１    Ｘ方向
７２    移動ステージ
７３    Ｙ方向
８１    第１ＣＣＤカメラ
８２    第２ＣＣＤカメラ
８３    第３ＣＣＤカメラ
８４    第４ＣＣＤカメラ
８５    第５ＣＣＤカメラ
９１    正反射光
１０１    制御装置
【図１】
0005069064.tif 000002
【図２】
0005069064.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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