(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の部品保持部材を列状に備え、目標位置に対して相対的に移動可能に設けられるヘッドユニットと、このヘッドユニットに含まれ、かつ該ユニットの本体部分に対して前記部品保持部材の配列方向に移動可能に支持されて各部品保持部材による保持部品を撮像するスキャンユニットとを有する部品移載装置において、
ヘッドユニットの前記本体部分側からスキャンユニット側へ配索される屈曲可動の電気配線部材が水平面に沿ってＵ字状に屈曲された状態で設けられ、この電気配線部材の一方端側がヘッドユニットの前記本体部分に、他方端側がスキャンユニットにそれぞれ固定され、
ヘッドユニットの前記本体部分に、前記スキャンユニットの移動方向に延びる前記電気配線部材の支持部が設けられる一方、
前記スキャンユニットに、該支持部に対して略水平方向に並ぶように延設される延設部が設けられ、
前記電気配線部材は、その両端部がそれぞれ、前記支持部、及び前記延設部に固定されると共に、その途中部分が前記支持部に支持されていることを特徴とする部品移載装置。
【請求項２】
請求項１に記載の部品移載装置において、
前記電気配線部材は、水平面に沿った屈曲のみが許容されるように構成されていることを特徴とする部品移載装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の部品移載装置において、
水平方向に延びるヘッドユニットの支持ビームを有し、この支持ビームの側面に沿って前記ヘッドユニットが移動可能に支持されると共に、前記ヘッドユニットの本体部分の下端部に前記スキャンユニットが配置されるものであり、前記電気配線部材は、前記支持ビームの下方位置に配設されていることを特徴とする部品移載装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか一項に記載の部品移載装置において、
前記電気配線部材は、屈曲可動なケーブル案内部材と、このケーブル案内部材に収容されてヘッドユニットの前記本体部分側からスキャンユニット側へ配索される各種ケーブルとからなることを特徴とする部品移載装置。
【請求項５】
請求項１に記載の部品移載装置において、
前記電気配線部材は、ヘッドユニットの前記本体部分側からスキャンユニット側へ配索される各種ケーブルが上下方向に並んで一体化された平型ケーブルであることを特徴とする部品移載装置。
【請求項６】
被実装基板に対して相対的に移動可能なヘッドユニットを有し、このヘッドユニットに搭載される部品保持部材により部品を保持搬送すると共に、部品保持部材に保持された部品を撮像して該部品の保持状態を画像認識してから該部品を基板上に移載する部品移載装置を含み、所定の部品供給部から部品を取出して前記基板上に実装する部品実装装置において、
前記部品移載装置として、請求項１乃至５の何れか一項に記載の部品移載装置を有することを特徴とする部品実装装置。
【請求項７】
部品検査部に対して相対的に移動可能なヘッドユニットを有し、このヘッドユニットに搭載される部品保持部材により部品を保持搬送すると共に、部品保持部材に保持された部品を撮像して該部品の保持状態を画像認識してから該部品を前記部品検査部に移載する部
品移載装置を含み、所定の部品供給部から部品を取出して前記部品検査部に移載する部品試験装置において、
前記部品移載装置として、請求項１乃至５の何れか一項に記載の部品移載装置を有することを特徴とする部品試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品保持部材により保持された部品の保持状態を撮像して画像認識する部品認識装置を備えた部品移載装置、この部品移載装置が適用される部品実装装置、及び部品試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、部品吸着用の複数のノズル（部品保持部材）を装備した移動可能なヘッドユニットを有し、前記ノズルにより部品供給部から部品を吸着して取り出した後、該部品をヘッドユニットの移動により搬送して目標位置に移載する部品移載装置が知られている。このような部品移載装置は、例えば部品実装装置や部品試験装置等に広く適用されている。
【０００３】
また、この種の装置において、目標位置に対する部品の位置決め精度を高めるべく、前記ヘッドユニットに部品認識用の撮像装置（スキャンユニット）を搭載したものも提供されている。例えば、特許文献１には、ヘッドユニットに部品装着面撮像装置を移動可能に搭載し、部品吸着後、各ノズルの下方位置をノズル配列方向に亘って該撮像装置を移動させることによって各ノズルの吸着部品を画像認識するものが開示されている。
【特許文献１】特開２００４−１５８８１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示される従来装置では、ヘッドユニットの本体部分と前記撮像装置とが各種ケーブルを介して電気的に接続されており、当該ケーブルを通じて駆動信号や画像データ等の送信が行われる。そのため、従来装置では、屈曲可動なダクト状のケーブル案内部材を設け、これを垂直面に沿ってＵ字型に屈曲させた状態でヘッドユニットと撮像装置とに亘って固定し、このケーブル案内部材に前記ケーブルを収容することで該ケーブルを保護しつつ、該ケーブルを前記撮像装置の移動に追従させるように構成されている。
【０００５】
ところが、このような構成の従来装置では、ケーブル案内部材の上下方向の所要スペースが比較的大きく、構造上ヘッドユニットが上下（高さ）方向に大型化し易い。このようなヘッドユニットの上下方向への大型化は、当該ユニットを安定的に高速駆動する上でのマイナス要因となるため望ましくないが、他方、円滑な屈曲動作を行わせるためのケーブル案内部材の曲げ半径（屈曲半径）を確保する必要もあり、これらの両立を図ることが難しいという課題がある。また、垂直面に沿ってＵ字状に屈曲されたケーブル案内部材は、その上側部分が無支持状態となるので、僅かではあるが自重による弛みが発生すると考えられる。そのため、撮像装置の移動の際に、この弛み部分が踊ることによって振動や損傷の発生原因になることも考えられる。
【０００６】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヘッドユニットの大型化、特に上下（高さ）方向の大型化を抑えること、より好ましくは、スキャンユニットをより長期的に安定的に駆動させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明は、複数の部品保持部材を列状に備え、目標位置に対して相対的に移動可能に設けられるヘッドユニットと、このヘッドユニットに含まれ、かつ該ユニットの本体部分に対して前記部品保持部材の配列方向に移動可能に支持されて各部品保持部材による保持部品を撮像するスキャンユニットとを有する部品移載装置において、ヘッドユニットの前記本体部分側からスキャンユニット側へ配索される屈曲可動の電気配線部材が水平面に沿ってＵ字状に屈曲された状態で設けられ、この電気配線部材の一方端側がヘッドユニットの前記本体部分に、他方端側がスキャンユニットにそれぞれ固定され、ヘッドユニットの前記本体部分に、前記スキャンユニットの移動方向に延びる前記電気配線部材の支持部が設けられる一方、前記スキャンユニットに、該支持部に対して略水平方向に並ぶように延設される延設部が設けられ、前記電気配線部材は、その両端部がそれぞれ、前記支持部、及び前記延設部に固定されると共に、その途中部分が前記支持部に支持されていることを特徴とするものである。より具体的には、前記電気配線部材は、水平面に沿った屈曲のみが許容されるように構成されているものである。
【０００８】
この部品移載装置では、電気配線部材が水平面に沿ってＵ字状に屈曲するように設けられている。従って、電気配線部材の所要の曲げ半径（屈曲半径）を確保しながらも、ケーブル案内部材の上下（高さ）方向の所要スペースを、従来装置（電気配線部材が垂直面に沿ってＵ字状に屈曲された装置）に比して縮小化することが可能となり、その分、ヘッドユニットを上下方向にコンパクトに構成することができるようになる。また、垂直面に沿った方向の電気配線部材の屈曲が規制されるので、従来装置のように自重により電気配線部材が屈曲して弛みが生じることがなく、従って、スキャンユニットの移動時に弛み部分が踊ることによる振動や損傷の発生を回避することが可能となる。
【００１０】
また、電気配線部材の途中部分が支持部に支えられる結果、電気配線部材の全体が固定端を支点として片持ち状態となって撓むことが有効に防止される。従って、当該撓みにより電気配線部材に応力が作用して電気配線部材の円滑な屈曲動作が妨げられるといった不都合を回避することが可能となる。
【００１１】
なお、水平方向に延びるヘッドユニットの支持ビームを有し、この支持ビームの側面に沿って前記ヘッドユニットが移動可能に支持されると共に、前記ヘッドユニットの本体部分の下端部に前記スキャンユニットが配置されるものでは、前記電気配線部材は、前記支持ビームの下方位置に配設されているのが好適である。
【００１２】
この構成によれば、支持ビームの近傍であってその下面に沿ってコンパクトに電気配線部材を配置することができ、これによってヘッドユニットの各構成部材を支持ビームの近傍に集結配置したスペース効率の良い構造となる。
【００１３】
なお、上記各構成において、上記電気配線部材は、屈曲可動なケーブル案内部材と、このケーブル案内部材に収容されてヘッドユニットの前記本体部分側からスキャンユニット側へ配索される各種ケーブルとからなるものでもよいし、ヘッドユニットの前記本体部分側からスキャンユニット側へ配索される各種ケーブルが上下方向に並んで一体化された平型ケーブルであってもよい。
【００１４】
一方、本発明に係る部品実装装置は、被実装基板に対して相対的に移動可能なヘッドユニットを有し、このヘッドユニットに搭載される部品保持部材により部品を保持搬送すると共に、部品保持部材に保持された部品を撮像して該部品の保持状態を画像認識してから該部品を基板上に移載する部品移載装置を含み、所定の部品供給部から部品を取出して前記基板上に実装する部品実装装置において、前記部品移載装置として、上記のような部品移載装置を有することを特徴とするものである。
【００１５】
また、本発明に係る部品検査装置は、部品検査部に対して相対的に移動可能なヘッドユニットを有し、このヘッドユニットに搭載される部品保持部材により部品を保持搬送すると共に、部品保持部材に保持された部品を撮像して該部品の保持状態を画像認識してから該部品を前記部品検査部に移載する部品移載装置を含み、所定の部品供給部から部品を取出して前記部品検査部に移載する部品試験装置において、前記部品移載装置として、上記のような部品移載装置を有することを特徴とするものである。
【００１６】
これらの装置によれば、上記のような部品移載装置が適用されているため、ヘッドユニットの大型化、特に上下（高さ）方向の大型化を抑えることができ、その結果、ヘッドユニットの大型化に伴う装置全体の大型化を回避することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、電気配線部材が水平面に沿ってＵ字状に屈曲された状態で設けられているので、電気配線部材の所要の曲げ半径（屈曲半径）を確保しながらも、電気配線部材の上下（高さ）方向の所要スペースを、従来装置に比して縮小化することが可能となる。従ってその分、ヘッドユニットを上下方向にコンパクトに構成することができ、ヘッドユニットの大型化、特に上下方向の大型化を抑えることができる。また、従来装置のように、電気配線部材が自重により屈曲して弛みが生じることも抑制することが可能となり、従って、スキャンユニットの移動時に弛み部分が踊ることによる振動や損傷の発生を回避して、スキャンユニットを長期的に安定的に駆動させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の好ましい実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１９】
図１及び図２は、本発明に係る部品実装装置（本発明に係る部品移載装置が適用される部品実装装置）の概略構成を平面図で示している。なお、この図を含め本説明で使用する図面には、各図の方向関係を明確にするためにＸＹＺ直角座標軸が示してある。
【００２０】
同図に示すように、部品実装装置の基台１０上には、基板搬送機構としてコンベア１２が配置されており、このコンベア１２によりプリント基板Ｐ（以下、単に基板Ｐという）が同図右側から左側に搬送されて所定の作業位置（同図に示す基板Ｐの位置）に搬入されるようになっている。作業位置の下方領域には、実装作業中に基板Ｐをバックアップピンにより支持する基板支持装置（図示省略）が配置されている。
【００２１】
前記コンベア１２の両側（図１では上下両側）にはそれぞれ部品供給部１３が設けられており、これら部品供給部１３には、例えばテープフィーダ１４等の部品供給装置がコンベア１２に沿って並列に配置されている。各テープフィーダ１４は、集積回路（ＩＣ）、トランジスタ、抵抗、コンデンサ等の小片状のチップ部品を所定間隔で収容、保持したテープが巻回されたリールを保持しており、このリールから前記テープを繰り出すことによりフィーダ先端の部品供給位置に部品を供給し、ヘッドユニット１５により部品をピックアップさせるように構成されている。
【００２２】
前記基台１０の上方には部品実装用の前記ヘッドユニット１５が設けられている。このヘッドユニット１５は、前記テープフィーダ１４から部品を吸着して基板Ｐ上に搬送すると共に、基板Ｐ上の所定位置に実装するもので、所定領域内でＸ軸方向（コンベア１２による基板Ｐの搬送方向）及び水平面上でこれと直交するＹ軸方向にそれぞれ移動可能とされている。すなわち、基台１０の上方には、Ｘ軸方向に延びる支持ビーム２０が設けられ、ヘッドユニット１５が、この支持ビーム２０に固定された固定レール２１に移動可能に支持されている。また、この支持ビーム２０は、両端部がＹ軸方向に延びる固定レール２２に支持され、この固定レール２２に沿ってＹ軸方向に移動可能となっている。そして、Ｘ軸サーボモータ２３によりボールねじ軸２４を介してヘッドユニット１５がＸ軸方向に駆動される一方、Ｙ軸サーボモータ２５によりボールねじ軸２６を介して支持ビーム２０がＹ軸方向に駆動されるようになっている。
【００２３】
ヘッドユニット１５には、部品を保持して搬送するための複数のヘッド１６（本発明に係る部品保持部材）が搭載されており、当実施形態では、合計１０個のヘッド１６がＸ軸方向に列状に配置されている。各ヘッド１６は、Ｚ軸方向（上下方向）に延びる駆動シャフトの先端（下端）に部品吸着用のノズル１６ａが取付けられたものである。ノズル１６ａは、駆動シャフトの内部通路及び図略の切換弁等を介して負圧発生装置に接続されており、部品吸着時には、負圧発生装置からノズル先端に負圧吸引力が与えられることにより部品の吸着が可能となっている。
【００２４】
各ヘッド１６は、ヘッドユニット１５に対して昇降（Ｚ軸方向の移動）およびノズル中心軸（Ｒ軸）回りの回転が可能とされ、昇降駆動機構および回転駆動機構によりそれぞれ駆動されるようになっている。これらの駆動機構のうち昇降駆動機構は、部品の吸着もしくは装着（実装）を行う時の下降位置と、部品の搬送や撮像を行う時の上昇位置との間で前記ヘッド１６を昇降させるものである。一方、回転駆動機構はヘッド１６を必要に応じて回転させるための機構であり、回転駆動により部品を実装時における所定のＲ軸方向に位置させることが可能となっている。なお、これらの駆動機構は、それぞれサーボモータと所定の動力伝達機構とで構成されている。
【００２５】
ヘッドユニット１５には、さらに基板撮像ユニット１７、スキャンユニット１８及びこのスキャンユニット１８を駆動するための駆動機構等が搭載されている。
【００２６】
基板撮像ユニット１７は、ＣＣＤ撮像素子等からなるエリアセンサおよび照明装置等からなり、各々ヘッドユニット１５に対して下向きの姿勢で固定されている。これによって作業位置に搬入された基板Ｐ上の各種マークを撮像可能となっている。
【００２７】
一方、スキャンユニット１８は、前記ヘッド１６（ノズル１６ａ）の吸着部品を撮像するもので、ＣＣＤ撮像素子等からなるリニアセンサ、照明装置及び部品像を前記リニアセンサに導くためのプリズム等から構成されている。
【００２８】
ここで、ヘッドユニット１５、スキャンユニット１８および駆動機構の構成について図３〜図５を用いて少し詳しく説明する。図３〜図５は、前記ヘッドユニット１５のより具体的な構成を示しており、図３は斜視図で、図４は側面図で、図５は平面図でそれぞれヘッドユニット１５を示している。
【００２９】
図４に示すように、ヘッドユニット１５は、前記支持ビーム２０の前側（部品実装装置の操作パネル等が設けられる側；同図では右側）に配置されている。すなわち、支持ビーム２０は略矩形の断面形状を有しており、この支持ビーム２０の前面に前記固定レール２１が固定され、この固定レール２１にヘッドユニット１５が移動可能に支持されている。
【００３０】
ヘッドユニット１５は、支持ビーム２０の前面に沿ってＺ軸方向に延びる垂直部１５１ａと、その下端部から支持ビーム２０の下面に沿って後方に延びる水平部１５１ｂを有した断面Ｌ字型で、かつＸ軸方向に幅を有するベースフレーム１５１を有している。
【００３１】
そして、ベースフレーム１５１の前記垂直部１５１ａの前面に、前記ヘッド１６およびその昇降駆動機構及び回転駆動機構等が組付けられると共に、水平部１５１ｂの下面に、スキャンユニット１８が、図外のリニアガイド及びリニアモータ３０からなる前記駆動機構を介してＸ軸方向に移動自在に支持されると共に、該リニアモータ３０からの駆動力を受けてＸ軸方向に移動可能となっている。すなわち、詳細図を省略するが、水平部１５１ｂの下面にリニアガイドのレールが固定され、このレールに装着されるスライダに対してリニアモータ３０の可動子が固定され、さらにこの可動子にスキャンユニット１８のフレームが固定されている。そして、前記可動子と対向するように、リニアモータ３０の固定子が前記垂直部１５１ａの下面に固定されている。この構成によって、前記リニアモータ３０によりスキャンユニット１８がＸ軸方向に駆動されるようになっている。なお、当実施形態では、前記リニアモータ３０として、可動子がコイル部から構成されるムービングコイル型のリニアモータが適用されている。
【００３２】
スキャンユニット１８は、上昇位置に配置されたヘッド１６の下方に前記照明装置が位置し、かつこの照明装置の略水平方向後側に前記リニアセンサが位置するようにレイアウトされたＺ軸方向に扁平な構成を有しており、照明装置から投光しつつ吸着部品で反射した反射光をさらにプリズム等で反射させて前記リニアセンサに導光することにより吸着部品を撮像する構成となっている。そして、前記リニアモータ３０からの駆動力を受けてスキャンユニット１８がＸ軸方向に移動することにより、この移動に伴い各ヘッド１６の吸着部品を順次撮像可能となっている。
【００３３】
スキャンユニット１８の後方上部であって、前記支持ビーム２０の下方のスペースには、スキャンユニット１８の移動に追従して屈曲可動のケーブル案内部材３２が配置されており、ヘッドユニット本体側（主にスキャンユニット１８以外の部分；本発明に係るヘッドユニットの本体部分）からの各種ケーブル、具体的には、リニアモータ３０のコイル部（可動子）に対して駆動信号を送信するためのケーブルや、スキャンユニット１８の前記リニアセンサ等に対する駆動信号及び画像データ送信用のケーブル等がこのケーブル案内部材３２に収容されている。なお、これらケーブル案内部材３２及び各種ケーブルが本発明に係る電気配線部材に相当する。
【００３４】
ケーブル案内部材３２は、例えばケーブルベア（登録商標）等、所定平面に沿った屈曲のみが許容されるように構成されたダクト状の部材であって、当実施形態では、図４，図５に示すように、このケーブル案内部材３２が、前記所定平面として水平面に沿ってＵ字状に屈曲され、その一方端側がベースフレーム１５１の前記水平部１５１ｂの上面（本発明の支持部に相当する）に、他方端側がスキャンユニット１８に一対に設けられて後方に延設される支持ブラケット１８１（本発明の延設部に相当する）に固定されている。支持ブラケット１８１におけるケーブル案内部材３２の取付面は、前記水平部１５１ｂの上面と略同じ高さに設定されており、これによりケーブル案内部材３２が水平に支持されると共に、その途中部分が水平部１５１ｂによって支持されている。
【００３５】
なお、リニアモータ３０の駆動信号を送信するための前記ケーブル類を含めヘッドユニット１５に搭載される各種機器、例えばヘッド１６を駆動制御するための駆動信号を送信するその他のケーブル類は、基台１０に搭載されるコントローラに電気的に接続されている。従って、前記固定レール２２の上部には、ヘッドユニット１５のＸ軸方向の移動に追従して屈曲可動なケーブル案内部材３４が配置されると共に、この支持ビーム２０が支持される前記固定レール２２の側部には、支持ビーム２０のＹ軸方向の移動に追従して屈曲可動なケーブル案内部材３５が配置されており、前記ケーブル類がこれらケーブル案内部材３４，３５に収容されている。これらのケーブル案内部材３４，３５も、ヘッドユニット１５の前記ケーブル案内部材３２と同様に、例えばケーブルベア（登録商標）等か適用されている。
【００３６】
上記の部品実装装置では、次のようにして部品の実装が行われる。まず、ヘッドユニット１５が部品供給部１３に移動して各ヘッド１６による部品の吸着が行われる。具体的には、所定のヘッド１６がテープフィーダ１４の上方に配置された後、ヘッド１６が昇降駆動され、これによりノズル１６ａが下降してテープ内の部品を吸着して取出す。この際、可能な場合には、複数のヘッド１６により同時に部品の取出しが行われる。部品の吸着が完了するとヘッドユニット１５が基板Ｐ上に移動すると共に、この移動期間中に、前記スキャンユニット１８が駆動されることにより各ヘッド１６による吸着部品の吸着状態が画像認識される。詳しくは、各ヘッド１６が上昇位置に配置された後、スキャンユニット１８がＸ軸方向に一定速度で駆動され、この移動に伴い各吸着部品が撮像されてそれらの吸着状態が認識されると共に、吸着ずれ量に応じた実装時の補正量が演算される。そして、ヘッドユニット１５が基板Ｐ上の最初の実装位置に到達すると、ヘッド１６が昇降駆動されて基板Ｐ上に部品が実装され、以降ヘッドユニット１５が順次実装位置に移動しながら残りのヘッド１６が順次昇降駆動されることにより基板Ｐ上に部品が順次実装されることとなる。
【００３７】
なお、図１に示すように、基台１０上には、スキャンユニット１８による撮像が困難な部品、例えば大型の特殊部品等を認識するための部品認識ユニット２８が配置されており、当該特殊部品を実装する際には、前記スキャンユニット１８による吸着部品の画像認識の代わりに、当該部品認識ユニット２８による吸着部品の画像認識が行われる。具体的には、ヘッド１６による部品吸着後、ヘッドユニット１５が部品認識ユニット２８上を経由して基板Ｐ上に移動することにより、前記部品認識ユニット２８により吸着部品が撮像され、その吸着状態が画像認識される。なお、部品認識ユニット２８は、例えば前記基板撮像ユニット１７と同様に、ＣＣＤ撮像素子等からなるエリアセンサおよび照明装置等から構成されている。
【００３８】
このような本発明に係る部品実装装置によると、ヘッドユニット１５が上記のように構成されているため、次のような効果がある。すなわち、ヘッドユニット本体側からスキャンユニット１８側のケーブル類がケーブル案内部材３２内に収容される構成となっているが、当実施形態では、ケーブル案内部材３２が上記の通り水平面に沿ってＵ字状に屈曲された状態でヘッドユニット１５に組込まれている。そのため、ケーブル案内部材３２の所要の曲げ半径（屈曲半径）を確保する一方で、ケーブル案内部材３２のＺ軸方向の所要スペースを縮小化（削減）することが可能となる。そして、当実施形態では、このようにケーブル案内部材３２のＺ軸方向の所要スペースが縮小化される点を利用し、図４に示すように、ヘッドユニット１５ａの水平部１５１ｂ、すなわちスキャンユニット１８の組付け位置と前記支持ビーム２０との間のスペースにケーブル案内部材３２を配置した構成となっているので、ヘッドユニット１５が、その各構成要素を支持ビーム２０の近傍に集約配置したコンパクトな構成となる。従って、ケーブル案内部材を垂直面に沿ってＵ字状に屈曲させた状態でヘッドユニット１５に組込んでいる従来のこの種の装置に比べると、ヘッドユニット１５をよりＺ軸（高さ）方向にコンパクトに構成することが可能となり、その結果、ヘッドユニットの大型化、特に上下（高さ）方向の大型化を効果的に抑えることができる。
【００３９】
しかも、ケーブル案内部材３２は、上記のように水平面に沿った屈曲のみが許容される構成であって垂直面に沿った屈曲が規制されるので、従来装置のように自重によりケーブル案内部材が屈曲して弛みが生じることがない。従って、スキャンユニット１８の移動時に弛み部分が踊ることによる振動や損傷の発生を未然に回避して、スキャンユニット１８を長期的に安定的に駆動させることが可能になるという利点もある。
【００４０】
また、上記のヘッドユニット１５では、スキャンユニット１８の移動方向（Ｘ軸方向）に延設される水平部１５１ｂの上面にケーブル案内部材３２の一端部が固定され、図４，図５に示すように、ケーブル案内部材３２の途中部分が水平部１５１ｂによって支持された構成となっている。従って、ケーブル案内部材３２の全体が固定端を支点として片持ち状態となって撓み、該ケーブル案内部材３２に応力が作用することが有効に防止される。従って、ヘッドユニット１５に対してケーブル案内部材３２を水平面に沿ってＵ字状に屈曲させた状態で組込みながらも、該ケーブル案内部材３２をスキャンユニット１８の移動に伴い円滑に屈曲させることができるという利点がある。
【００４１】
なお、以上説明した部品実装装置は、本発明に係る部品実装装置（本発明に係る部品移載装置が適用された部品実装装置）の好ましい実施の形態の例示であって、その具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００４２】
例えば、実施形態では、ベースフレーム１５１の垂直部１５１ａの下端部に、リニアモータ３０等を取付けるための水平部１５１ｂが設けられているため、この水平部１５１ｂを本発明に係る支持部として利用し、この水平部１５１ｂの上面にケーブル案内部材３２の一端部を固定すると共に、ケーブル案内部材３２の途中部分をこの水平部１５１ｂで支えるように構成されているが、勿論、水平部１５１ｂとは別に、ケーブル案内部材３２の前記支持部を設け、該支持部にケーブル案内部材３２を固定するようにしてもよい。
【００４３】
また、実施形態では、ヘッドユニット本体側からスキャンユニット１８側へ配索される電気配線部材として各種ケーブルをケーブル案内部材３２に収容したものについて説明したが、該電気配線材は、複数のケーブルが上下方向に並んでビニール径又はゴム系等の被覆により一体化された平型ケーブルや、図６に示すように、丸形ケーブル数本（図示の例では３本）が熱融着もしくは接着加工されることに一体化されて上下に並んだ平型ケーブル４０であってもよい。
【００４４】
また、実施形態では、スキャンユニット１８を、リニアモータ３０により駆動するように構成されているが、勿論、回転型モータによりボールねじ軸を介してスキャンユニット１８を駆動し、若しくは回転型モータにより周回移動する無端状ベルトを介してスキャンユニット１８を駆動するように構成してもよい。
【００４５】
また、上記実施形態では、部品実装装置を例に本発明の適用について説明したが、本発明の適用対象は部品実装装置に限定されるものではなく、例えば、部品を保持する複数のヘッドを備えた移動可能なヘッドユニットを有する部品移載装置により、部品供給部から部品を取出して所定の部品検査部に移載して部品検査を行う部品試験装置についても本発明は適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係る部品実装装置（本発明に係る部品移載装置が適用される部品実装装置）の概略を示す平面図である。
【図２】同部品実装装置の概略を示す正面図である。
【図３】ヘッドユニットの具体的な構成を示す斜視図である。
【図４】ヘッドユニットの具体的な構成を示す側面図である。
【図５】ヘッドユニットの具体的な構成を示す平面図である。
【図６】ヘッドユニットの別の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
１５  ヘッドユニット
１５１  ベースフレーム
１５１ａ  垂直部
１５１ｂ  水平部
１６  ヘッド
１６ａ  ノズル
１８  スキャンユニット
１８１  支持ブラケット
２０  支持ビーム
３０  リニアモータ
３２  ケーブル案内部材
【図１】
0005005556.tif 000002
【図２】
0005005556.tif 000003
【図３】
0005005556.tif 000004
【図４】
0005005556.tif 000005
【図５】
0005005556.tif 000006
【図６】
0005005556.tif 000007