(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少数の試験品について、複数の試験条件を与えて正常に動作するかの試験を行う場合、前記複数の各試験条件で前記試験品に供給する電源電圧を変化し、どの電圧まで正常に動作するかを調べる電源電圧マージンを調査し、
最低動作電源電圧の平均電圧が最も高い試験条件を決定し、以降の試験品の試験は、前記決定した試験条件で試験を行うことを特徴とした試験方法。
【請求項２】
前記電源電圧マージンの調査は、低温と高温の２回行い、低温と高温の２つの試験条件を決定することを特徴とした請求項１記載の試験方法。
【請求項３】
未試験のトレイ置き場の試験品を試験機に移動する自動機と、
該移動した試験品の試験を行う試験機とを備え、
前記自動機で前記未試験のトレイ置き場の少数の試験品を試験機に移動し、前記試験機で前記少数の試験品について、複数の試験条件を与えて正常に動作するかの試験を行う場合、前記複数の各試験条件で前記試験品に供給する電源電圧を変化し、どの電圧まで正常に動作するかを調べる電源電圧マージンを調査し、最低動作電源電圧の平均電圧が最も高い試験条件を決定し、
該試験条件の決定後は、前記自動機で前記未試験のトレイ置き場の試験品を前記試験機に移動し、前記試験機で該移動した試験品を前記決定した試験条件で試験を行うことを特徴とした試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、予め決められた数（少数）のＩＣ等の半導体装置である試験品を、複数の試験条件で電源電圧のマージンを調査し、該電源電圧のマージンが最も悪かった試験条件を見つけ、この見つけた条件で試験品の試験を行う試験方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハンドラ（自動機）から、試験機へは、試験の開始信号のみを送信していた。そして、従来の試験品（ＩＣ）の試験方法は次のように行っていた。
【０００３】
・先ず、試験品Ａを作業者が設定した試験プログラムＡで設定温度７０℃で試験する。
【０００４】
・試験品Ａの試験が終了すると作業者が試験品Ａを取り除き、試験品ＢをＩＣトレイの置き場へセットする。
【０００５】
・試験品Ｂを作業者が設定した試験プログラムＢで設定温度７０℃で試験する。
【０００６】
・試験が終了した試験品Ｄを作業者が取り除き、試験品ＥをＩＣトレイの置き場へセットする。
【０００７】
・試験品Ｅを作業者が設定した試験プログラムＥで設定温度７０℃で試験する。
【０００８】
また、試験品の試験を行なう際、例えば１０種類のファンクション試験等の複数の試験を実施しているため、試験品であるメモリー等の容量の増大に伴い、試験時間が増え、メモリー試験機のオーバーフローの発生が起こっていた。                            
【０００９】
従来でも試験回数や試験時間を少なくするため、必要な数のサンプルについては所定の測定項目すべてを測定し、その後の試験では、不良が発生しない、品質保証上問題のない、等の測定項目を削除して試験を行う半導体測定方法及び装置があった（特許文献１参照）。
【００１０】
また、従来、試験を行う度に、試験結果から試験項目毎のエラー要因を累積記憶し、エラー要因毎のエラー率を求め、エラー率が予め定められた値より低いエラー要因が実行される試験項目を、その後の試験では、試験を行わないようにする情報処理システムの試験制御方法があった（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開昭５９−２２８７２９号公報
【特許文献１】特開平３−２５７５３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記従来のものは次のような課題があった。
【００１２】
従来、試験品（ＩＣ）の測定をハンドラ（自動機）で行なう場合、試験品の種類や試験温度が変わる度に、作業者がトレー置き場の試験品が収納されているトレーを載せ変えて測定を行なうため、完全な連続試験を行うことができなかった。
【００１３】
他方、メモリー単体品の試験時間は、メモリー容量の増大に伴い、メモリー容量が２倍になると、試験時間は２倍以上掛かってしまう。また、新規にメモリー等の試験機を導入する場合、１台の試験機の導入費用が高価なため、容易に導入は困難であった。
【００１４】
また、試験回数や試験時間を少なくするため、不良が発生しない、品質保証上問題のない、等の測定項目やエラー率が予め定められた値より低いエラー要因が実行される試験項目の試験を行わないようにするものは、削除できる測定項目や試験項目が少なく、試験回数や試験時間をあまり少なくできないものであった。
【００１５】
本発明は、トレイ部側面のバーコードを読出すことにより、試験品種や温度が変わっても、連続で終夜試験を行うことを可能にし、メモリー単体品等の試験品の後工程の品質を維持しつつ、試験時間が短縮でき、更に最適な試験が行なえるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
図１は本発明の試験装置の説明図である。図１中、１はハンドラ（自動機）、２は試験機、１１はＩＣトレイ置き場（未試験）、１２はＩＣトレイ置き場（試験完了）、１３は試験を行うトレイを置く場所、１４はコントロール部、１５は試験部（テストヘッド）、１６は試験機部、１７はコントロール部、１８は温度コントロール部である。
【００１７】
本発明は、上記の課題を解決するため次のように構成した。
【００１８】
（１）：少数の試験品について、複数の試験条件を与えて正常に動作するかの試験を行う場合、前記複数の各試験条件で前記試験品に供給する電源電圧を変化し、どの電圧まで正常に動作するかを調べる電源電圧マージンを調査し、前記電源電圧マージンが悪かった試験条件を決定し、以降の試験品の試験は、前記決定した試験条件で試験を行う。このため、試験品の品質を維持しつつ、試験時間を短縮することができる。
【００１９】
（２）：前記（１）の試験方法において、前記電源電圧マージンの調査は、低温と高温の２回行い、低温と高温の２つの試験条件を決定する。このため、低温と高温の２つの試験条件でより試験品の品質を維持しつつ、試験時間を短縮することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば次のような効果がある。
【００２１】
（１）：複数の各試験条件で試験品に供給する電源電圧を変化し、どの電圧まで正常に動作するかを調べる電源電圧マージンを調査し、前記電源電圧マージンが悪かった試験条件を決定し、以降の試験品の試験は、前記決定した試験条件で試験を行うため、試験品の品質を維持しつつ、試験時間を短縮することができる。
【００２２】
（２）：電源電圧マージンの調査は、低温と高温の２回行い、低温と高温の２つの試験条件を決定するため、低温と高温の２つの試験条件でより試験品の品質を維持しつつ、試験時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
（１）：試験装置の説明
図１は本発明の試験装置の説明図である。自動で試験を行う試験装置には、ハンドラ（自動機）１と試験機２が設けてある。ハンドラ（自動機）１には、ＩＣトレイ置き場（未試験）１１、ＩＣトレイ置き場（試験完了）１２、試験を行うトレイを置く場所１３、コントロール部１４が設けてある。試験機２には、試験部（テストヘッド）１５、試験機部１６、コントロール部１７、温度コントロール部１８が設けてある。
【００２４】
ＩＣトレイ置き場（未試験）１１は、未試験の試験品（ＩＣ）を載せたＩＣトレイの置き場である。ＩＣトレイ置き場（試験完了）１２は、試験が完了した試験品（ＩＣ）を載せたＩＣトレイの置き場である。試験を行うトレイを置く場所１３は、試験を行う試験品（ＩＣ）を載せたＩＣトレイを置く場所である。コントロール部１４は、ハンドラ（自動機）内の制御を行うものである。試験部（テストヘッド）１５は、試験品（ＩＣ）の試験をする試験部である。試験機部１６は、試験部１５の試験品（ＩＣ）を実際に試験する機構部である。コントロール部１７は、試験機２内の試験の制御を行う制御部である。温度コントロール部１８は、試験部１５の試験品（ＩＣ）の温度の制御を行う温度制御部である。
【００２５】
なお、ハンドラ（自動機）１には、図示しないが試験結果が不良である場合、不良の試験品（ＩＣ）を置く場所が設けられる。また、試験機２には図示しないが試験条件や試験結果等などを格納するための格納部（格納手段）が設けられる。
【００２６】
図２はＩＣトレイの説明図であり、図２（ａ）はＩＣトレイの形の説明、図２（ｂ）はＩＣトレイの側面の説明である。図２（ａ）において、ＩＣトレイ３には、複数の試験品（ＩＣ）２１が載せられている。図２（ｂ）において、ＩＣトレイの側面には、バーコード部３０が設けてある。バーコード部３０は、試験品（ＩＣ）２１の試験プログラム名、試験温度等がコード化されたものである。
【００２７】
図３はＩＣトレイ置き場の説明図である。図３において、ＩＣトレイ置き場（１１又は１２）には、枠３１内に上下するトレイを置く台３２が設けられ、該トレイを置く台３２には複数のＩＣトレイ３が上下方向に搭載されている。また、右側の枠３１の上部にはバーコード読出部３３が設けてある。トレイを置く台３２の上下により、最上段のＩＣトレイ３のバーコード部３０をバーコード読出部３３で読み出せるようになっている。
【００２８】
自動試験を行うには、トレイ３の側面にあるバーコード部３０から、試験設定情報の読み出しを行う。
【００２９】
（バーコード読み出し順序の説明）
(1) 試験品Ａ〜ＥをＩＣトレイ置き場１１へセットする。
【００３０】
(2) バーコード読出部３３でＩＣトレイ３のバーコード部３０を読み出す。
【００３１】
(3) バーコード読み出し結果（試験プログラム名：７１６、試験温度：７０（℃））。
【００３２】
(4) バーコードの読出した結果を自動機および試験機のコントロール部１４、１７、１８へ送信する。試験プログラム名「７１６」は、コントロール部１４から試験機２のコントロール部１７へ送信する。試験温度「７０（℃）」は、コントロール部１４から試験機２の温度コントロール部１８へ送信する。
【００３３】
（ハンドラの試験手順の説明）
（順序1 ）作業者が、ＩＣトレイ置き場１１へＩＣトレイ３を載せた後、試験を開始する。
【００３４】
（順序2 ）バーコード読出部３３でＩＣトレイ３のバーコードを読出した後、ＩＣトレイ置き場１１のＩＣトレイ３を、試験を行うトレイを置く場所１３へ移動する。
【００３５】
（順序3 ）試験を行うトレイを置く場所１３に搭載している試験品（ＩＣ）を１個づつ、試験部１５へ移動する。
【００３６】
（順序4 ）バーコード読み出し結果を参照し、ハンドラのコントロール部１４からコントロール部１７へ試験プログラム名を送信し、試験温度は温度コントロール部１８へ送信する。
【００３７】
（順序5 ）温度を印加し、バーコード読み出し結果の設定温度に到達したら、コントロール部１７は、試験機部１６で試験プログラムＡの試験を開始する。
【００３８】
（順序6 ）試験を行うトレイを置く場所１３上に搭載されている試験品（ＩＣ）のすべてが完了するまで、順序３〜６を繰り返す。
【００３９】
（順序7 ）試験を行うトレイを置く場所１３のＩＣトレイ３上の試験がすべて完了した場合、ＩＣトレイ置き場（試験完了）１２へＩＣトレイ３を搬送する。
【００４０】
（順序8 ）ｎ番目のＩＣトレイ３のバーコードを読出した後、試験を行うトレイを置く場所１３へ搬送し、順序５から８を繰り返す。
【００４１】
（２）：試験方法の説明
ａ）新試験工程決定のための試験工程と試験結果格納部の説明
図４は試験工程とＩＣトレイ群の説明図である。図４において、低温試験工程、高温試験工程、新試験工程、ＩＣトレイ置き場に置かれているＩＣトレイ群を示している。低温試験工程、高温試験工程、新試験工程は、試験機２内の格納部に格納されるものである。低温試験工程には、低温試験条件１〜低温試験条件１０が設けてある。高温試験工程には、高温試験条件１〜高温試験条件１０が設けてある。新試験工程には、低温試験条件２、高温試験条件１が設けてある。ＩＣトレイ群には、ＩＣトレイ(1) 〜ＩＣトレイ(10)が設けてある。ＩＣトレイ(1) には、バーコード部３０にＩＤ１が設けてある。ＩＣトレイ(2) には、バーコード部３０にＩＤ２が設けてある。ＩＣトレイ(3) 〜ＩＣトレイ(10)には、バーコード部３０にＩＤ３が設けてある。
【００４２】
図５は低温試験結果格納部の説明図である。図５において、試験品(1) 〜(10)について、低温試験条件１〜１０で試験を行い、その時の電源電圧マージン試験を行った結果である。この電源電圧マージン試験とは、電源電圧（通常は３．０Ｖ）を下げてその試験条件で動作する最低の電源電圧である。なお、右端の平均値は、各低温試験条件での平均値（試験品(1) 〜(10)）を示している。この平均値では、低温試験条件２がワースト（２．５Ｖで最も高い）である。すなわち、この低温試験条件２は、試験品(1) 〜(10)の動作電源電圧範囲が最も狭くなる試験条件となっている。
【００４３】
図６は高温試験結果格納部の説明図である。図５において、試験品(1) 〜(10)について、高温試験条件１〜１０で試験を行い、その時の電源電圧マージン試験を行った結果である。この電源電圧マージン試験とは、電源電圧（通常は３．０Ｖ）を下げてその試験条件で動作する最低の電源電圧である。なお、右端の平均値は、各高温試験条件での平均値（試験品(1) 〜(10)）を示している。この平均値では、高温試験条件１がワースト（２．４Ｖで最も高い）である。
【００４４】
ｂ）試験方法の説明
ＩＣトレイ(1) はバーコード部３０としてＩＤ１、ＩＣトレイ(2) にはＩＤ２、ＩＣトレイ(3) からＩＣトレイ(10)にはＩＤ３が付記されている。ＩＤ１は、低温状態で、電源電圧マージン試験を行い、ワーストの試験条件を選択するＩＤである。ＩＤ２は、高温状態で、電源電圧マージン試験を行い、ワーストの試験条件を選択するＩＤである。ＩＤ３は、新試験工程の試験条件を選択するＩＤである。
【００４５】
ＩＣトレイ(1) 〜(10)には、各々１０個の試験品が搭載されているとする。試験は、以下で説明する（詳細は図７〜図９の試験フローに基づき行う）。
【００４６】
・ＩＣトレイ(1) の試験方法について説明する。
【００４７】
ＩＣトレイ(1) のＩＤ１を読み取り、低温試験条件１の試験を行い、ＩＣトレイ(1) に搭載している試験品(1) の電源電圧マージンを調査する。そして、低温試験結果格納部へ、試験品(1) の低温試験条件１の電源電圧マージン結果を書き込む。同様に、低温試験条件２〜１０の電源電圧マージンを調査し、低温試験結果格納部へ電源電圧マージン結果を各々書き込む。ＩＣトレイ(1) に搭載している試験品(2) 〜(10)に対しても、低温試験条件１〜１０の電源電圧マージンを調査し、低温試験結果格納部へ電源電圧マージン結果を各々書き込む。低温試験条件１の試験品(1) 〜(10)の電源電圧マージン結果の平均値を算出し、低温試験結果格納部へ書き込む（図５参照）。新試験工程へ、低温試験条件１〜１０の平均値の図５の例ではワーストである低温試験条件２を書き込む（図４参照）。
【００４８】
・ＩＣトレイ(2) の試験方法について説明する。
【００４９】
ＩＣトレイ(2) のＩＤ２を読み取り、高温試験条件１の試験を行い、ＩＣトレイ(2) に搭載している試験品(1) の電源電圧マージンを調査する。高温試験結果格納部へ、試験品(1) の高温試験条件１の電源電圧マージン結果を書き込む。同様に、高温試験条件２〜１０の電源電圧マージンを調査し、高温試験結果格納部へ電源電圧マージン結果を各々書き込む。ＩＣトレイ(2) に搭載している試験品(2) 〜(10)に対しても、高温試験条件１〜１０の電源電圧マージンを調査し、高温試験結果格納部へ電源電圧マージン結果を各々書き込む。高温試験条件１の試験品(1) 〜(10)の電源電圧マージン結果の平均値を算出し、高温試験結果格納部へ書き込む（図６参照）。新試験工程へ、高温試験条件１〜１０の平均値の図６の例ではワーストである高温試験条件１を書き込む（図４参照）。
【００５０】
・ＩＣトレイ(3) 〜(10)の試験方法について説明する。
【００５１】
ＩＣトレイ(3) のＩＤ３を読み取り、新試験工程を呼び出した後、試験品(1) を低温状態で、低温試験条件２の試験を行なう。次に、高温状態で、高温試験条件１の試験を行なう。同様に、試験品(2) 〜(10)も低温試験条件２および高温試験条件１を行なう。ＩＤ３が付記されているＩＣトレイ(4) 〜(10)に対しても、新試験工程を呼び出し、低温試験条件２および高温試験条件１の試験を行なう。なお、新試験工程では、マージンの調査ではないため、規格の電源電圧（この例では３Ｖ）で試験が行なわれる。また、新試験工程決定のための試験品（サンプル）は、決まった新試験工程（マージン調査のとき低温試験条件で行った場合は新試験工程では高温のみでもよい）で試験することもできる。
【００５２】
ｃ）試験方法の特徴
・ＩＣトレイの読み取り部（バーコード部）から、低温および高温状態で、電源電圧マージン試験を行ない、ワーストの試験条件を選択した後、最適な試験条件で試験を行なう方法である。
【００５３】
・ＩＣトレイの読み取り部から、試験方法を選択することができ、作業者が画面などによる操作が不要になり、作業ミスを低減することができる。
【００５４】
・ＩＣトレイの読み取り部から、試験方法を選択することができるため、終夜自動運転などの完全自動化を行なうことができる。                            
【００５５】
（３）：試験フローによる説明
図７は試験処理フローチャート（１）、図８は試験処理フローチャート（２）、図９は試験処理フローチャート（３）である。以下、図７〜図９の処理Ｓ１〜Ｓ５０に従って説明する。
【００５６】
Ｓ１：ハンドラ１は、バーコード読出部３３でＩＣトレイ置き場１１のＩＣトレイ３のバーコード部３０を読み取り、処理Ｓ２に移る。
【００５７】
Ｓ２：ハンドラ１は、バーコード読出部３３での読み取り値が、ＩＤ１又はＩＤ２であるか判断する。この判断でＩＤ１の場合は処理Ｓ３へ移り、ＩＤ２の場合は処理Ｓ２１（図８）へ移り、ＩＤ１又はＩＤ２でない場合は処理Ｓ４１（図９）へ移る。
【００５８】
Ｓ３：試験機２は、バーコード読出部３３での読み取り値がＩＤ１である場合、低温試験工程を格納部から読み出し、処理Ｓ４に移る。
【００５９】
Ｓ４：試験機２は、試験品(1) の試験を開始し、処理Ｓ５に移る。
【００６０】
Ｓ５：試験機２は、試験品(1) を低温状態で、低温試験条件１〜１０の試験を順番に行い、電源電圧マージンを調査し、処理Ｓ６に移る。
【００６１】
Ｓ５：試験機２は、試験品(1) の電源電圧マージン結果を低温試験結果格納部（低温ファイル）へ書き込み、処理Ｓ７に移る。
【００６２】
Ｓ７：試験機２は、試験品(2) の試験を開始し、処理Ｓ８に移る。
【００６３】
Ｓ８：試験機２は、試験品(2) を低温状態で、低温試験条件１〜１０の試験を順番に行い、電源電圧マージンを調査し、処理Ｓ９に移る。
【００６４】
Ｓ９：試験機２は、試験品(2) の電源電圧マージン結果を低温試験結果格納部へ書き込み、処理Ｓ１０に移る。
【００６５】
:
Ｓ１０：試験機２は、試験品(10)の試験を開始し、処理Ｓ１１に移る。
【００６６】
Ｓ１１：試験機２は、試験品(10)を低温状態で、低温試験条件１〜１０の試験を順番に行い、電源電圧マージンを調査し、処理Ｓ１２に移る。
【００６７】
Ｓ１２：試験機２は、試験品(10)の電源電圧マージン結果を低温試験結果格納部へ書き込み、処理Ｓ１３に移る。
【００６８】
Ｓ１３：試験機２は、低温試験結果格納部の低温試験条件１の試験品(1) 〜(10)の平均値を算出し、該平均値を低温試験結果格納部へ書き込み、処理Ｓ１４に移る。
【００６９】
Ｓ１４：試験機２は、低温試験結果格納部の低温試験条件２の試験品(1) 〜(10)の平均値を算出し、該平均値を低温試験結果格納部へ書き込み、処理Ｓ１５に移る。
【００７０】
：
Ｓ１５：試験機２は、低温試験結果格納部の低温試験条件１０の試験品(1) 〜(10)の平均値を算出し、該平均値を低温試験結果格納部へ書き込み、処理Ｓ１６に移る。
【００７１】
Ｓ１６：試験機２は、低温試験結果格納部から、平均値がワーストである試験条件を読み出し、新試験工程へ低温試験条件２（低温試験条件２がワーストである場合）を書き込み、最初のＩＣトレイのバーコード部の読み取り（Ｓ１）へ戻る。
【００７２】
Ｓ２１：試験機２は、バーコード読出部３３での読み取り値がＩＤ２である場合、高温試験工程を格納部から読み出し、処理Ｓ２２に移る。
【００７３】
Ｓ２２：試験機２は、試験品(1) の試験を開始し、処理Ｓ２３に移る。
【００７４】
Ｓ２３：試験機２は、試験品(1) を高温状態で、高温試験条件１〜１０の試験を順番に行い、電源電圧マージンを調査し、処理Ｓ２４に移る。
【００７５】
Ｓ２４：試験機２は、試験品(1) の電源電圧マージン結果を高温試験結果格納部（高温ファイル）へ書き込み、処理Ｓ２５に移る。
【００７６】
Ｓ２５：試験機２は、試験品(2) の試験を開始し、処理Ｓ２６に移る。
【００７７】
Ｓ２６：試験機２は、試験品(2) を高温状態で、高温試験条件１〜１０の試験を順番に行い、電源電圧マージンを調査し、処理Ｓ２７に移る。
【００７８】
Ｓ２７：試験機２は、試験品(2) の電源電圧マージン結果を高温試験結果格納部へ書き込み、処理Ｓ２８に移る。
【００７９】
:
Ｓ２８：試験機２は、試験品(10)の試験を開始し、処理Ｓ２９に移る。
【００８０】
Ｓ２９：試験機２は、試験品(10)を高温状態で、高温試験条件１〜１０の試験を順番に行い、電源電圧マージンを調査し、処理Ｓ３０に移る。
【００８１】
Ｓ３０：試験機２は、試験品(10)の電源電圧マージン結果を高温試験結果格納部へ書き込み、処理Ｓ３１に移る。
【００８２】
Ｓ３１：試験機２は、高温試験結果格納部の高温試験条件１の試験品(1) 〜(10)の平均値を算出し、該平均値を高温試験結果格納部へ書き込み、処理Ｓ３２に移る。
【００８３】
Ｓ３２：試験機２は、高温試験結果格納部の高温試験条件２の試験品(1) 〜(10)の平均値を算出し、該平均値を高温試験結果格納部へ書き込み、処理Ｓ３３に移る。
【００８４】
：
Ｓ３３：試験機２は、高温試験結果格納部の高温試験条件１０の試験品(1) 〜(10)の平均値を算出し、該平均値を高温試験結果格納部へ書き込み、処理Ｓ３４に移る。
【００８５】
Ｓ３４：試験機２は、高温試験結果格納部から、平均値がワーストである試験条件を読み出し、新試験工程へ高温試験条件１（高温試験条件１がワーストである場合）を書き込み、最初のＩＣトレイのバーコード部の読み取り（Ｓ１）へ戻る。
【００８６】
Ｓ４１：試験機２は、バーコード読出部３３での読み取り値がＩＤ１又はＩＤ２でない場合、新試験工程を格納部から読み出し、処理Ｓ４２に移る。
【００８７】
Ｓ４２：試験機２は、試験品(1) の試験を開始し、処理Ｓ４３に移る。
【００８８】
Ｓ４３：試験機２は、試験品(1) に新試験工程の低温試験条件２の試験を行い、処理Ｓ４４に移る。
【００８９】
Ｓ４４：試験機２は、試験品(1) に新試験工程の高温試験条件１の試験を行い、処理Ｓ４５に移る。
【００９０】
Ｓ４５：試験機２は、試験品(2) の試験を開始し、処理Ｓ４６に移る。
【００９１】
Ｓ４６：試験機２は、試験品(2) に新試験工程の低温試験条件２の試験を行い、処理Ｓ４７に移る。
【００９２】
Ｓ４７：試験機２は、試験品(2) に新試験工程の高温試験条件１の試験を行い、処理Ｓ４８に移る。
【００９３】
:
Ｓ４８：試験機２は、試験品(10)の試験を開始し、処理Ｓ４９に移る。
【００９４】
Ｓ４９：試験機２は、試験品(10)に新試験工程の低温試験条件２の試験を行い、処理Ｓ５０に移る。
【００９５】
Ｓ５０：試験機２は、試験品(10)に新試験工程の高温試験条件１の試験を行い、最初のＩＣトレイのバーコード部の読み取り（Ｓ１）へ戻る。
【００９６】
（４）：電源電圧の動作限界の説明
高温状態で、試験品１０個に対して、ファンクション試験（試験条件）１の電源電圧の動作限界値（マージン）を調査した後、１０個の限界値の平均値を求める。同様に、試験品１０個に対して、ファンクション試験２〜１０の電源電圧の限界値を調査した後、各々試験の動作限界値の平均値を求める。ファンクション試験１〜１０の中から、平均値がワーストであるファンクション試験を選び出し、そのファンクション試験条件で、大量の試験品の試験を行なうことにより、１／１０の試験時間で試験を行なうことができる。低温状態の試験についても、同様な方法をとることができる。
【００９７】
言い換えると、電源電圧動作限界値の平均分布のワースト値から、最適なファンクション試験（最も不良が検出できる試験条件）を選択し、試験を行なうものである。ワースト値であった試験条件（例えば試験条件１）で試験を行うと、電源電圧動作限界値の下限値が低い（動作限界値が良い）他の試験条件（例えば試験条件２〜１０）より試験品の不良を多く検出できる。このため、他の試験条件２〜１０での試験は省略できることがわかった。
【００９８】
図１０は電源電圧の動作限界の説明図である。図１０において、ファンクション試験１の電源電圧の動作限界図（試験品(1) ）は、試験周波数１０（ｎｓ）に対し規格電圧３（Ｖ）から下げた場合のＰＡＳＳ（良品）を丸印で示している。この動作限界値は２．０（Ｖ）である。
【００９９】
ファンクション試験１の電源電圧の動作限界図（試験品(2) ）は、試験周波数１０（ｎｓ）に対し規格電圧３（Ｖ）から下げた場合のＰＡＳＳ（良品）を丸印で示している。この動作限界値は１．８（Ｖ）である。
【０１００】
ファンクション試験２の電源電圧の動作限界図（試験品(1) ）の動作限界値は２．２（Ｖ）である。ファンクション試験２の電源電圧の動作限界図（試験品(2) ）の動作限界値は１．６（Ｖ）である。
【０１０１】
（５）：試験条件の説明
試験条件には、タイミングとテストパターンがある。例えば、メモリの試験では、読み書きのタイミング値とメモリへのライトリードパターン（アルゴリズム）を変更して試験するものである。以下は、試験条件の例である。
【０１０２】
［試験条件１の内容］                        
電源電圧３Ｖ，入力電圧３．０Ｖ，０．０Ｖ，試験タイミング１、テストパターン１
［試験条件２の内容］                        
電源電圧３Ｖ，入力電圧２．０Ｖ，０．０Ｖ，試験タイミング２、テストパターン２
：
［試験条件１０の内容］                        
電源電圧３Ｖ，入力電圧２．４Ｖ，０．８Ｖ，試験タイミング１０、テストパターン１０
従来は、上記の試験条件１〜１０で、高温および低温の電気試験を行なっていたので、膨大な試験時間が掛かっていた。本発明では、新試験工程により、品質を維持しつつ、試験時間を短縮することができる。
【０１０３】
（６）：試験品名が複数ある場合の説明
図１１は試験品名が複数の場合の説明図である。図１１において、トレイがＮＯ．１〜ＮＯ．２４ある。トレイＮＯ．１〜トレイＮＯ．１２に搭載している試験品は全て同一で、試験品名がＢである。トレイＮＯ．１３〜トレイＮＯ．２４に搭載している試験品は全て同一で、試験品名がＣである。
【０１０４】
試験品名Ｂの試験方法は、トレイの１枚目であるトレイＮＯ．１（試験品１０個：バーコード部はＩＤ２１）を低温状態で、試験条件１〜１０の電源電圧のマージンを調査する。次に、トレイの２枚目であるトレイＮＯ．２（試験品１０個：バーコード部はＩＤ２２）を高温状態で、試験条件１〜１０の電源電圧のマージンを調査する。
【０１０５】
トレイの１枚目と２枚目の試験結果から、最適な試験条件（新試験工程）を選択し、トレイ３〜１２枚（トレイＮＯ．３〜ＮＯ．１２：バーコード部は全てＩＤ２３）までの電気試験を行なう（試験数１０００個）。
【０１０６】
次いで、試験品名Ｃの試験方法は、トレイの１３枚目であるトレイＮＯ．１３（試験品１０個：バーコード部はＩＤ３１）を低温状態で、試験条件１〜１０の電源電圧のマージンを調査する。次に、トレイの１４枚目であるトレイＮＯ．１４（試験品１０個：バーコード部はＩＤ３２）を高温状態で、試験条件１〜１０の電源電圧のマージンを調査する。
【０１０７】
トレイの１３枚目と１４枚目の試験結果から、最適な試験条件（新試験工程）を選択し、トレイ１５〜２４枚（トレイＮＯ．１５〜ＮＯ．２４：バーコード部は全てＩＤ３３）までの電気試験を行なう（試験数１０００個）。
【０１０８】
このようにして、途中で試験品名が変わっても、自動的に最適な試験条件（新試験工程）を選択して、試験品の品質を維持しつつ、試験時間を短縮した試験を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本発明の試験装置の説明図である。
【図２】本発明のＩＣトレイの説明図である。
【図３】本発明のＩＣトレイ置き場の説明図である。
【図４】本発明の試験工程とＩＣトレイ群の説明図である。
【図５】本発明の低温試験結果格納部の説明図である。
【図６】本発明の高温試験結果格納部の説明図である。
【図７】本発明の試験処理フローチャート（１）である。
【図８】本発明の試験処理フローチャート（２）である。
【図９】本発明の試験処理フローチャート（３）である。
【図１０】本発明の電源電圧の動作限界の説明図である。
【図１１】本発明の試験品名が複数の場合の説明図である。
【符号の説明】
【０１１０】
１  ハンドラ（自動機）
２  試験機
１１  ＩＣトレイ置き場（未試験）
１２  ＩＣトレイ置き場（試験完了）
１３  試験を行うトレイを置く場所
１４  コントロール部
１５  試験部（テストヘッド）
１６  試験機部
１７  コントロール部
１８  温度コントロール部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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