(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の図形要素のベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、
ａ）入力データに含まれる複数の図形要素のベクトルデータに基づいて、各図形要素を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
ｂ）前記複数の図形要素が配置される配置領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のうち一の単位領域を注目単位領域として決定する工程と、
ｃ）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素を注目図形要素として抽出する工程と、
ｄ）各注目図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、
ｅ）前記複数の単位領域に対して前記ｃ）工程および前記ｄ）工程を順次繰り返すことにより、前記複数の単位領域の単位ランレングスデータを順次生成して前記複数の図形要素のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
を備え、
前記ａ）工程において生成される前記各図形要素の部分ランレングスデータにおいて、前記第２の方向における一方および他方の端部にそれぞれ位置する第１端部ランレングスおよび第２端部ランレングス以外のランレングスに前記各図形要素に設定される濃度である図形濃度が関連付けられており、前記第１端部ランレングスおよび前記第２端部ランレングスが、前記図形濃度、および、前記図形濃度と前記配置領域の背景領域に設定された背景濃度との間の少なくとも１つの中間濃度のいずれかを有し、
前記ｄ）工程において、
前記注目単位領域のうち、いずれかの図形要素の前記図形濃度を有するランレングスと重なる部位に前記図形濃度が付与され、
前記注目単位領域のうち、いずれの図形要素とも重ならない部位に前記背景濃度が付与され、
前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスのみと重なる部位に、前記少なくとも１つの第１端部ランレングスが有する中間濃度のうち最小値以上最大値以下の中間濃度が付与され、
前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスのみと重なる部位に、前記少なくとも１つの第２端部ランレングスが有する中間濃度のうち最小値以上最大値以下の中間濃度が付与され、
前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスおよび中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスと重なる部位に、前記少なくとも１つの第１端部ランレングスの中間濃度のうち最も前記図形濃度に近い濃度と前記少なくとも１つの第２端部ランレングスの中間濃度うち最も前記図形濃度に近い濃度との和が前記図形濃度以上の場合には前記図形濃度が付与され、前記和が前記図形濃度を下回る場合には前記背景濃度または前記和に最も近い中間濃度以下の中間濃度が付与されることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項２】
請求項１に記載のデータ変換方法であって、
前記ｄ）工程において、
前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスのみと重なる前記部位に、前記少なくとも１つの第１端部ランレングスが有する中間濃度のうち前記図形濃度に最も近い濃度が付与され、
前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスのみと重なる前記部位に、前記少なくとも１つの第２端部ランレングスが有する中間濃度のうち前記図形濃度に最も近い濃度が付与されることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のデータ変換方法であって、
前記ｄ）工程において、
前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスおよび中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスと重なる前記部位に、前記和が前記図形濃度を下回る場合には前記和に最も近い中間濃度が付与されることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項４】
請求項１に記載のデータ変換方法であって、
前記中間濃度の数が１つであることを特徴とするデータ変換方法。
【請求項５】
基板上にパターンを描画する描画システムであって、
請求項１ないし４のいずれかに記載のデータ変換方法により入力データを出力データに変換するデータ変換装置と、
前記データ変換装置により生成された前記出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置と、
を備え、
前記描画装置が、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板に光を照射する光変調素子と、
前記光変調素子から導かれた光の前記基板上における照射位置を、前記基板上における前記第１の方向に対応する方向に前記基板に対して相対的に移動する照射位置移動機構と、
前記出力データに基づいて前記光変調素子からの光の変調を制御する光変調素子制御部と、
を備えることを特徴とする描画システム。
【請求項６】
複数の図形要素のベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
ａ）入力データに含まれる複数の図形要素のベクトルデータに基づいて、各図形要素を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、
ｂ）前記複数の図形要素が配置される配置領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のうち一の単位領域を注目単位領域として決定する工程と、
ｃ）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素を注目図形要素として抽出する工程と、
ｄ）各注目図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、
ｅ）前記複数の単位領域に対して前記ｃ）工程および前記ｄ）工程を順次繰り返すことにより、前記複数の単位領域の単位ランレングスデータを順次生成して前記複数の図形要素のランレングスデータである出力データを生成する工程と、
を実行させ、
前記ａ）工程において生成される前記各図形要素の部分ランレングスデータにおいて、前記第２の方向における一方および他方の端部にそれぞれ位置する第１端部ランレングスおよび第２端部ランレングス以外のランレングスに前記各図形要素に設定される濃度である図形濃度が関連付けられており、前記第１端部ランレングスおよび前記第２端部ランレングスが、前記図形濃度、および、前記図形濃度と前記配置領域の背景領域に設定された背景濃度との間の少なくとも１つの中間濃度のいずれかを有し、
前記ｄ）工程において、
前記注目単位領域のうち、いずれかの図形要素の前記図形濃度を有するランレングスと重なる部位に前記図形濃度が付与され、
前記注目単位領域のうち、いずれの図形要素とも重ならない部位に前記背景濃度が付与され、
前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスのみと重なる部位に、前記少なくとも１つの第１端部ランレングスが有する中間濃度のうち最小値以上最大値以下の中間濃度が付与され、
前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスのみと重なる部位に、前記少なくとも１つの第２端部ランレングスが有する中間濃度のうち最小値以上最大値以下の中間濃度が付与され、
前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスおよび中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスと重なる部位に、前記少なくとも１つの第１端部ランレングスの中間濃度のうち最も前記図形濃度に近い濃度と前記少なくとも１つの第２端部ランレングスの中間濃度うち最も前記図形濃度に近い濃度との和が前記図形濃度以上の場合には前記図形濃度が付与され、前記和が前記図形濃度を下回る場合には前記背景濃度または前記和に最も近い中間濃度以下の中間濃度が付与されることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の図形要素のベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体基板やプリント基板、あるいは、プラズマ表示装置や液晶表示装置用のガラス基板等（以下、「基板」という。）に形成された感光材料に光を照射することによりパターンの描画が行われており、パターンの高精細化に伴い、感光材料上にて光ビームを走査してパターンを直接描画するパターン描画装置が利用されている。
【０００３】
このようなパターンは、設計段階では通常、ＣＡＤデータ等のベクトルデータにより表現されており、パターン描画装置によるパターンの描画に際して、当該ベクトルデータを、パターン描画装置が利用可能なランレングスデータ等のラスタデータに変換する処理（ＲＩＰ：Raster Image Processing）が行われる。
【０００４】
特許文献１では、ＣＡＤデータを変換することにより、図形要素に対応する画素の値（濃度）が１であり、図形要素以外の部分に対応する画素の値が０であるランレングスデータを生成し、当該ランレングスデータに対して、図形要素を太らせる、または、細らせる処理を行う技術が開示されている。
【０００５】
一方、ＣＡＤデータにおける図形要素のエッジが、一のランレングスに対応する領域（すなわち、光ビームの１回の走査により、基板上における光ビームの照射位置が移動する領域であり、以下、「単位領域」という。）の両側の境界の中間に位置する場合、当該単位領域における図形要素のランレングスの濃度を中間濃度（図形要素の濃度が１であり、図形要素以外の背景領域の濃度が０である場合、例えば、０．５）とし、濃度に応じて光ビームの強度を変更して描画することにより、描画された図形要素のエッジを上記単位領域に対応する領域の中間に位置させる技術が知られている。
【特許文献１】特開平１１−３２８３９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、入力データに含まれる２つの図形要素が、一の単位領域の両側の境界の間にて接している場合、仮に、２つの図形要素の当該単位領域と重なる部分のランレングスの濃度を中間濃度である０．５に設定すると、出力データにおいて、濃度が１である２つの図形要素の境界近傍に濃度が０．５の筋が生じ、実際の描画において２つの図形要素が離間してしまうおそれがある。
【０００７】
このような状態を防止するために、入力データにおいて互いに接する（あるいは、重なる）図形要素に対してＯＲ処理（すなわち、図形要素間の境界における図形要素同士の接触や重なりを除去する処理であり、マージ処理ともいう。）を行うことが考えられるが、液晶表示装置用の基板や半導体基板に描画されるパターンでは多数の図形要素が連続していることが多く、このようなパターンにＯＲ処理を行うと、処理に要する時間やメモリの使用量が膨大なものとなってしまう。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、複数の図形要素のベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換する際に、所定方向に隣接して、または、重なって配列された複数の図形要素のそれぞれの隣接部または重複部が中間濃度である場合に、複数の図形要素間に中間濃度の筋が生じることを防止することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、複数の図形要素のベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換するデータ変換方法であって、ａ）入力データに含まれる複数の図形要素のベクトルデータに基づいて、各図形要素を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、ｂ）前記複数の図形要素が配置される配置領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のうち一の単位領域を注目単位領域として決定する工程と、ｃ）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素を注目図形要素として抽出する工程と、ｄ）各注目図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、ｅ）前記複数の単位領域に対して前記ｃ）工程および前記ｄ）工程を順次繰り返すことにより、前記複数の単位領域の単位ランレングスデータを順次生成して前記複数の図形要素のランレングスデータである出力データを生成する工程とを備え、前記ａ）工程において生成される前記各図形要素の部分ランレングスデータにおいて、前記第２の方向における一方および他方の端部にそれぞれ位置する第１端部ランレングスおよび第２端部ランレングス以外のランレングスに前記各図形要素に設定される濃度である図形濃度が関連付けられており、前記第１端部ランレングスおよび前記第２端部ランレングスが、前記図形濃度、および、前記図形濃度と前記配置領域の背景領域に設定された背景濃度との間の少なくとも１つの中間濃度のいずれかを有し、前記ｄ）工程において、前記注目単位領域のうち、いずれかの図形要素の前記図形濃度を有するランレングスと重なる部位に前記図形濃度が付与され、前記注目単位領域のうち、いずれの図形要素とも重ならない部位に前記背景濃度が付与され、前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスのみと重なる部位に、前記少なくとも１つの第１端部ランレングスが有する中間濃度のうち最小値以上最大値以下の中間濃度が付与され、前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスのみと重なる部位に、前記少なくとも１つの第２端部ランレングスが有する中間濃度のうち最小値以上最大値以下の中間濃度が付与され、前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスおよび中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスと重なる部位に、前記少なくとも１つの第１端部ランレングスの中間濃度のうち最も前記図形濃度に近い濃度と前記少なくとも１つの第２端部ランレングスの中間濃度うち最も前記図形濃度に近い濃度との和が前記図形濃度以上の場合には前記図形濃度が付与され、前記和が前記図形濃度を下回る場合には前記背景濃度または前記和に最も近い中間濃度以下の中間濃度が付与される。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のデータ変換方法であって、前記ｄ）工程において、前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスのみと重なる前記部位に、前記少なくとも１つの第１端部ランレングスが有する中間濃度のうち前記図形濃度に最も近い濃度が付与され、前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスのみと重なる前記部位に、前記少なくとも１つの第２端部ランレングスが有する中間濃度のうち前記図形濃度に最も近い濃度が付与される。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のデータ変換方法であって、前記ｄ）工程において、前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスおよび中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスと重なる前記部位に、前記和が前記図形濃度を下回る場合には前記和に最も近い中間濃度が付与される。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載のデータ変換方法であって、前記中間濃度の数が１つである。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、基板上にパターンを描画する描画システムであって、請求項１ないし４のいずれかに記載のデータ変換方法により入力データを出力データに変換するデータ変換装置と、前記データ変換装置により生成された前記出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置とを備え、前記描画装置が、前記基板を保持する基板保持部と、前記基板に光を照射する光変調素子と、前記光変調素子から導かれた光の前記基板上における照射位置を、前記基板上における前記第１の方向に対応する方向に前記基板に対して相対的に移動する照射位置移動機構と、前記出力データに基づいて前記光変調素子からの光の変調を制御する光変調素子制御部とを備える。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、複数の図形要素のベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換するプログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）入力データに含まれる複数の図形要素のベクトルデータに基づいて、各図形要素を第１の方向を向く直線にて所定幅毎に分割し、前記各図形要素を分割された領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータを生成する工程と、ｂ）前記複数の図形要素が配置される配置領域を前記第１の方向を向く直線にて前記所定幅毎に分割することにより前記第１の方向に垂直な第２の方向に配列された前記所定幅の複数の単位領域を設定し、前記複数の単位領域のうち一の単位領域を注目単位領域として決定する工程と、ｃ）前記注目単位領域と重なる一または複数の図形要素を注目図形要素として抽出する工程と、ｄ）各注目図形要素の前記注目単位領域と重なるランレングスに基づいて前記注目単位領域の単位ランレングスデータを生成して出力する工程と、ｅ）前記複数の単位領域に対して前記ｃ）工程および前記ｄ）工程を順次繰り返すことにより、前記複数の単位領域の単位ランレングスデータを順次生成して前記複数の図形要素のランレングスデータである出力データを生成する工程とを実行させ、前記ａ）工程において生成される前記各図形要素の部分ランレングスデータにおいて、前記第２の方向における一方および他方の端部にそれぞれ位置する第１端部ランレングスおよび第２端部ランレングス以外のランレングスに前記各図形要素に設定される濃度である図形濃度が関連付けられており、前記第１端部ランレングスおよび前記第２端部ランレングスが、前記図形濃度、および、前記図形濃度と前記配置領域の背景領域に設定された背景濃度との間の少なくとも１つの中間濃度のいずれかを有し、前記ｄ）工程において、前記注目単位領域のうち、いずれかの図形要素の前記図形濃度を有するランレングスと重なる部位に前記図形濃度が付与され、前記注目単位領域のうち、いずれの図形要素とも重ならない部位に前記背景濃度が付与され、前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスのみと重なる部位に、前記少なくとも１つの第１端部ランレングスが有する中間濃度のうち最小値以上最大値以下の中間濃度が付与され、前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスのみと重なる部位に、前記少なくとも１つの第２端部ランレングスが有する中間濃度のうち最小値以上最大値以下の中間濃度が付与され、前記注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスおよび中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスと重なる部位に、前記少なくとも１つの第１端部ランレングスの中間濃度のうち最も前記図形濃度に近い濃度と前記少なくとも１つの第２端部ランレングスの中間濃度うち最も前記図形濃度に近い濃度との和が前記図形濃度以上の場合には前記図形濃度が付与され、前記和が前記図形濃度を下回る場合には前記背景濃度または前記和に最も近い中間濃度以下の中間濃度が付与される。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、所定方向に隣接して、または、重なって配列された複数の図形要素のそれぞれの隣接部または重複部が中間濃度である場合に、複数の図形要素間に中間濃度の筋が生じることを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は、本発明の一の実施の形態に係る描画システム１００の構成を示す図である。描画システム１００は、液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に「基板」という。）上の感光材料に光を利用してパターンを描画するシステムである。図１に示すように、描画システム１００は、パターンを示すベクトルデータである入力データをランレングスデータである出力データに変換する（すなわち、ラスタライズを行う）データ変換装置７、および、データ変換装置７により生成された出力データに基づいて基板上にパターンを描画する描画装置１を備える。図１では、データ変換装置７の各機能も併せて示している。以下では、描画装置１について説明した後、データ変換装置７およびデータ変換装置７にて取り扱われるデータについて説明する。
【００１７】
図２および図３はそれぞれ、描画装置１の側面図および平面図である。図２および図３に示すように、描画装置１は、（＋Ｚ）側の主面９１（以下、「上面９１」という。）上に感光材料の層が形成された基板９を保持する基板保持部３、基台１１上に設けられて基板保持部３をＺ方向に垂直なＸ方向およびＹ方向に移動する保持部移動機構２、基板保持部３および保持部移動機構２を跨ぐように基台１１に固定されるフレーム１２、並びに、フレーム１２に取り付けられて基板９上の感光材料に変調された光を照射する光照射部４を備える。また、描画装置１は、図２に示すように、保持部移動機構２や光照射部４等の各構成を制御する制御部６を備える。
【００１８】
図２および図３に示すように、基板保持部３は、基板９が載置されるステージ３１、ステージ３１を回転可能に支持する支持プレート３３、および、支持プレート３３上において、基板９の上面９１に垂直な回転軸３２１を中心としてステージ３１を回転するステージ回転機構３２を備える。
【００１９】
保持部移動機構２は、基板保持部３を図２および図３中のＸ方向（以下、「副走査方向」という。）に移動する副走査機構２３、副走査機構２３を介して支持プレート３３を支持するベースプレート２４、並びに、基板保持部３をベースプレート２４と共にＸ方向に垂直なＹ方向（以下、「主走査方向」という。）に移動する主走査機構２５を備える。描画装置１では、保持部移動機構２により、基板９の上面９１に平行な主走査方向および副走査方向に基板保持部３が移動される。
【００２０】
図２および図３に示すように、副走査機構２３は、支持プレート３３の下側（すなわち、（−Ｚ）側）において、ステージ３１の主面に平行、かつ、主走査方向に垂直な副走査方向に伸びるリニアモータ２３１、並びに、リニアモータ２３１の（＋Ｙ）側および（−Ｙ）側において副走査方向に伸びる１対のリニアガイド２３２を備える。主走査機構２５は、ベースプレート２４の下側において、ステージ３１の主面に平行な主走査方向に伸びるリニアモータ２５１、並びに、リニアモータ２５１の（＋Ｘ）側および（−Ｘ）側において主走査方向に伸びる１対のエアスライダ２５２を備える。
【００２１】
図３に示すように、光照射部４は、副走査方向に沿って等ピッチにて配列されてフレーム１２に取り付けられる複数（本実施の形態では、８つ）の光学ヘッド４１を備える。また、光照射部４は、図２に示すように、各光学ヘッド４１に接続される光源光学系４２、並びに、紫外光を出射するＵＶ光源４３および光源駆動部４４を備える。ＵＶ光源４３は固体レーザであり、光源駆動部４４が駆動されることにより、ＵＶ光源４３から波長３５５ｎｍの紫外光が出射され、光源光学系４２を介して光学ヘッド４１へと導かれる。
【００２２】
各光学ヘッド４１は、ＵＶ光源４３からの光を下方に向けて出射する出射部４５、出射部４５からの光を反射して空間光変調器４６へと導く光学系４５１、光学系４５１を介して照射された出射部４５からの光を変調しつつ反射する空間光変調器４６、および、空間光変調器４６からの変調された光を基板９の上面９１に設けられた感光材料上へと導く光学系４７を備える。
【００２３】
図４は、空間光変調器４６を拡大して示す図である。図４に示すように、空間光変調器４６は、出射部４５を介して照射されたＵＶ光源４３（図２参照）からの光を基板９の上面９１へと導く回折格子型の複数の光変調素子４６１を備える。光変調素子４６１は半導体装置製造技術を利用して製造され、格子の深さを変更することができる回折格子となっている。光変調素子４６１には複数の可撓リボン４６１ａおよび複数の固定リボン４６１ｂが交互に平行に配列形成され、複数の可撓リボン４６１ａは背後の基準面に対して個別に昇降移動可能とされ、複数の固定リボン４６１ｂは基準面に対して固定される。回折格子型の光変調素子としては、例えば、ＧＬＶ（Grating Light Valve：グレーチング・ライト・バルブ）（シリコン・ライト・マシーンズ（サニーベール、カリフォルニア）の登録商標）が知られている。
【００２４】
図５．Ａおよび図５．Ｂは、可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂに対して垂直な面における光変調素子４６１の断面を示す図である。図５．Ａに示すように可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂが基準面４６１ｃに対して同じ高さに位置する（すなわち、可撓リボン４６１ａが撓まない）場合には、光変調素子４６１の表面は面一となり、入射光Ｌ１の反射光が０次光Ｌ２として導出される。一方、図５．Ｂに示すように可撓リボン４６１ａが固定リボン４６１ｂよりも基準面４６１ｃ側に撓む場合には、可撓リボン４６１ａが回折格子の溝の底面となり、入射光Ｌ１が入射した光変調素子４６１から１次回折光Ｌ３（さらには、高次回折光）が導出され、０次光は消滅する。このように、光変調素子４６１は回折格子を利用した光変調を行う。
【００２５】
図２に示す光照射部４では、ＵＶ光源４３からの光が光源光学系４２により線状光（光束断面が線状の光）とされ、出射部４５を介して空間光変調器４６のライン状に配列された複数の可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂ（図５．Ａおよび図５．Ｂ参照）上に照射される。光変調素子４６１では、隣接する各１本の可撓リボン４６１ａおよび固定リボン４６１ｂを１つのリボン対とすると、３つ以上のリボン対が描画されるパターンの１つの画素に対応する。
【００２６】
光変調素子４６１では、各空間光変調器４６に接続される光変調素子制御部６１からの信号に基づいてパターンの各画素に対応するリボン対の可撓リボン４６１ａがそれぞれ制御され、各画素に対応するリボン対が０次光（正反射光）を出射する図５．Ａに示す状態と、非０次回折光（主として１次回折光（（＋１）次回折光および（−１）次回折光））を出射する図５．Ｂに示す状態との間で遷移可能とされる。また、光変調素子４６１は、可撓リボン４６１ａが図５．Ａに示す状態と図５．Ｂに示す状態との間の状態まで撓むことにより、図５．Ａに示す状態よりも強度が小さい０次光を出射する状態とされる。
【００２７】
光変調素子４６１から出射される０次光は光学系４７へと導かれ、１次回折光は光学系４７とは異なる方向へと導かれる。なお、迷光となることを防止するために１次回折光は図示を省略する遮光部により遮光される。光変調素子４６１からの０次光は、光学系４７を介して基板９の上面９１へと導かれ、これにより、基板９の上面９１上においてＸ方向（すなわち、副走査方向）に並ぶ複数の照射位置のそれぞれに変調された光が照射される。
【００２８】
図２および図３に示す描画装置１では、保持部移動機構２の主走査機構２５により主走査方向に移動される基板９に対し、光照射部４の光変調素子４６１から変調された光が照射される。換言すれば、主走査機構２５は、光変調素子４６１から基板９へと導かれた光の基板９上における照射位置を、基板９に対して主走査方向に相対的に移動する照射位置移動機構となっている。なお、描画装置１では、例えば、基板９を移動することなく、光変調素子４６１が主走査方向に移動することにより基板９上の照射位置が主走査方向に移動されてもよい。描画装置１では、基板９を主走査方向に移動しつつ、図２に示す制御部６の光変調素子制御部６１により、光変調素子４６１からの光の変調がデータ変換装置７から描画装置１へと出力された出力データに基づいて制御されることにより、データ変換装置７に入力された入力データが示すパターンが基板９上に描画される。
【００２９】
次に、データ変換装置７について説明する。図６は、データ変換装置７の構成を示す図である。データ変換装置７は、通常のコンピュータと同様に、各種演算処理を行うＣＰＵ７０１、実行されるプログラムを記憶したり演算処理の作業領域となるＲＡＭ７０２、基本プログラムを記憶するＲＯＭ７０３、各種情報を記憶する固定ディスク７０４、作業者に各種情報を表示するディスプレイ７０５、および、キーボードやマウス等の入力部７０６等を接続した構成となっている。固定ディスク７０４内には、データ変換装置７により実行されるプログラム７０４１が記憶される。プログラム７０４１は、基板上に描画される予定のパターンを示すベクトルデータである入力データを、ランレングスデータである出力データに変換する（すなわち、ラスタライズを行う）プログラムである。
【００３０】
図１では、データ変換装置７のＣＰＵ７０１（図６参照）等がプログラム７０４１に従って演算処理等を行うことにより（すなわち、プログラム７０４１がデータ変換装置７により実行されることにより）実現される機能をブロックにて示しており、図１中のデータ受付部７１、部分ランレングスデータ生成部７４、単位領域設定部７５、単位ランレングスデータ生成部７６、ランレングス記憶部７７、フォーマット変換部７８およびデータ出力部７９が、ＣＰＵ７０１等により実現される機能に相当する。なお、これらの機能は複数台のコンピュータにより実現されてもよい。
【００３１】
次に、データ変換装置７による入力データから出力データへのデータ変換について説明する。図７は、データ変換装置７によるデータ変換の流れを示す図である。データ変換装置７では、まず、図１に示すデータ受付部７１によりベクトルデータである入力データが受け付けられる（ステップＳ１１）。
【００３２】
図８．Ａは、入力データにより表されるパターンを示す図である。図８．Ａに示すように、入力データでは、所定の配置領域８０に描画されるパターンを複数の図形要素として捉えた上で、複数の図形要素のそれぞれが、各図形要素の形状や基板９（図２および図３参照）上における位置等を示すベクトルデータの集合であるデータ要素として表現される。図８．Ａ中の図形要素８１は長方形であり、図形要素８２〜８５は互いに同じ大きさの正方形である。また、図形要素８６〜８８は互いに同じ大きさの長方形である。なお、図８．Ａでは、図の理解を容易にするために、図形要素８１〜８８にそれぞれ平行斜線を付している。入力データでは、図形要素８１〜８８、並びに、配置領域８０の背景領域８０５（すなわち、配置領域８０の図形要素８１〜８８を除く領域）に濃度が設定されており、本実施の形態では、各図形要素に設定される濃度（以下、「図形濃度」という。）が「１」とされ、背景領域８０５に設定される濃度（以下、「背景濃度」という。）が「０」とされる。
【００３３】
図８．Ａでは、図中の上側から下側へと向かう方向（以下、「第１の方向」という。）が、図２および図３に示す描画装置１における（＋Ｙ）側から（−Ｙ）側へと向かう主走査方向に対応し、図中の左側から右側に向かう方向（すなわち、第１の方向に垂直な方向であり、以下、「第２の方向」という。）が、描画装置１における（＋Ｘ）側から（−Ｘ）側へと向かう副走査方向に対応する。
【００３４】
後述するように、配置領域８０は、図８．Ｂに示すように、第１の方向を向く複数の直線８０１（すなわち、描画装置１における主走査方向に平行な直線であり、以下、「走査線８０１」という。）にて所定幅毎に分割され、これにより、第２の方向に配列された上記所定幅（図１に示す描画装置１の描画の分解能に基づいて決定される幅であり、以下、「単位幅」という。）の複数の領域８００（以下、「単位領域８００」という。）が設定される。
【００３５】
図８．Ｂに示すように、図形要素８１〜８４，８７の左側のエッジ（第２の方向の一方のエッジ）、並びに、図形要素８５，８６，８８の右側のエッジ（第２の方向の他方のエッジ）は配置領域８０の輪郭上に位置しており、図形要素８１の右側のエッジは走査線８０１上に位置している。図形要素８２〜８４，８７の右側のエッジ、並びに、図形要素８５，８６，８８の左側のエッジは、左側から３番目の単位領域８００において、当該単位領域８００の左右両側の走査線８０１の間に位置している。
【００３６】
図形要素８３と図形要素８６とは第２の方向において隣接しており、図形要素８６の左側のエッジは図形要素８３の右側のエッジに重なっている。また、図形要素８７の上側の部位、および、図形要素８８の上側の部位はそれぞれ、図形要素８４の下側の部位、および、図形要素８５の下側の部位と重なっている。
【００３７】
実際のデータ変換装置７では、後述する処理が、入力データに含まれる複数の図形要素８１〜８８に対応するデータ要素に対して行われるが、以下の説明では、理解を容易とするために、図形要素８１〜８８を処理の取扱対象として説明する。なお、実際の入力データは通常、図８．Ａおよび図８．Ｂに示すものよりも多種類かつ多様な形状の多数の図形要素を示すデータ要素を含む。
【００３８】
入力データが受け付けられると、部分ランレングスデータ生成部７４（図１参照）により、入力データに含まれる複数の図形要素８１〜８８のベクトルデータに基づいて、各図形要素が走査線８０１にて単位幅毎に分割され、第２の方向に配列された単位幅の複数の領域が設定される。本実施の形態では、図形要素８１〜８８はそれぞれ３つの領域（以下、「分割領域」という。）に分割され、図形要素８２〜８４，８７の最も右側の分割領域の幅、並びに、図形要素８５，８６，８８の最も左側の分割領域の幅は、単位領域８００の幅（すなわち、単位幅）の半分とされ、他の分割領域の幅は単位幅に等しくされる。
【００３９】
そして、図形要素８１〜８８のそれぞれについて、各図形要素を３つの分割領域のランレングスの集合として表す部分ランレングスデータが生成される。図９は、図形要素８１〜８８の部分ランレングスデータにおける各分割領域のランレングスを示す図であり、以下の説明では、図形要素８１〜８８の左側の端部（第２の方向における一方の端部）に位置するランレングス８１１〜８８１（ランレングス８１１，８２１，８３１，８４１，８５１，８６１，８７１，８８１）を「第１端部ランレングス」と呼ぶ。また、図形要素８１〜８８の右側の端部（第２の方向における他方の端部）に位置するランレングス８１２〜８８２（ランレングス８１２，８２２，８３２，８４２，８５２，８６２，８７２，８８２）を「第２端部ランレングス」と呼び、第１端部ランレングスと第２端部ランレングスとの間に位置する第１端部ランレングスおよび第２端部ランレングス以外のランレングス８１３〜８８３（ランレングス８１３，８２３，８３３，８４３，８５３，８６３，８７３，８８３）を「中間ランレングス」と呼ぶ。図９では、各ランレングスに平行斜線を付して示す。図９における平行斜線の間隔の違いは下記の濃度の違いを表しており、平行斜線の間隔が小さい方が大きい濃度を表す（図１０．Ａないし図１０．Ｆ、図１２．Ｂ、図１３．Ｂ、図１３．Ｃ、図１４．Ｂ、図１４．Ｃ、図１５．Ｂ、図１５．Ｃ、図１６．Ｂ、図１６．Ｃ、図１７．Ｂないし図１７．Ｄ、図１８．Ｂ、並びに、図１８．Ｃにおいても同様）。
【００４０】
部分ランレングスデータ生成部７４では、図形要素８１〜８８において、単位領域８００の幅である単位幅に等しい幅を有する分割領域（図８．Ｂ参照）に対応するランレングスである第１端部ランレングス８１１〜８４１，８７１、第２端部ランレングス８１２，８５２，８６２，８８２、並びに、全ての中間ランレングス８１３〜８８３に図形濃度「１」が関連付けられる。また、単位幅の半分の幅を有する分割領域に対応する第１端部ランレングス８５１，８６１，８８１、並びに、第２端部ランレングス８２２，８３２，８４２，８７２には、図形濃度と背景濃度との間の中間濃度である「０．５」が関連付けられる（ステップＳ１２）。本実施の形態では、中間濃度の数（すなわち、中間濃度の値の個数であり、中間濃度の種類数）は１つとされ、分割領域の幅が単位幅の１／４以上、かつ、３／４未満である場合に、当該分割領域に対応する第１端部ランレングスまたは第２端部ランレングスに中間濃度「０．５」が関連付けられる。また、分割領域の幅が単位幅の１／４未満である場合には、第１端部ランレングスまたは第２端部ランレングスに背景濃度「０」が関連付けられ、分割領域の幅が単位幅の３／４以上である場合には、第１端部ランレングスまたは第２端部ランレングスに図形濃度「１」が関連付けられる。なお、第１端部ランレングスまたは第２端部ランレングスに中間濃度が関連付けられる分割領域の幅の上限および下限は適宜変更されてよく、例えば、分割領域の幅が０よりも大きく、かつ、単位幅よりも僅かでも小さければ、当該分割領域に対応する第１端部ランレングスまたは第２端部ランレングスに中間濃度が関連付けられてもよい。さらには、第１端部ランレングスまたは第２端部ランレングスに中間濃度が関連付けられる条件は、必ずしも、分割領域の幅の単位幅に対する割合には限定されず、例えば、分割領域が矩形ではない場合等、分割領域の第１の方向の両端部に外接するとともに分割領域を含む単位幅の矩形の面積に対する分割領域の面積の割合が上記条件とされてもよい。
【００４１】
各ランレングスに関連付けられる濃度は、後述する単位ランレングスデータを生成する際に、各単位ランレングスデータに含まれるランレングスに付与される値であり、描画装置１による描画の際に、当該濃度に基づいて光照射部４の光変調素子４６１が制御され、光照射部４から基板９に照射される光の強度が変更される。本実施の形態では、中間濃度「０．５」が付与されたランレングスに対応する基板９上の部位に照射される光の強度は、図形濃度「１」が付与されたランレングスに対応する基板９上の部位に照射される光の強度の半分とされる。
【００４２】
部分ランレングスデータが生成されると、単位領域設定部７５（図１参照）により、配置領域８０が図８．Ｂに示すように、第１の方向を向く複数の走査線８０１にて単位幅に分割されることにより、第２の方向に配列された単位幅の複数の単位領域８００が設定される（ステップＳ１３）。なお、ステップＳ１３における単位領域８００の設定は、ステップＳ１２における部分ランレングスデータの生成よりも前に行われてもよく、ステップＳ１２と並行して行われてもよい。
【００４３】
単位領域８００が設定されると、単位ランレングスデータ生成部７６（図１参照）により、複数の単位領域８００のうち一の単位領域８００が注目単位領域として決定される。本実施の形態では、図１０．Ａにおいて太実線にて囲んで示すように、図中の最も左側の単位領域８００が最初の注目単位領域８００ａとして決定される（ステップＳ１４）。
【００４４】
注目単位領域８００ａが決定されると、注目単位領域８００ａと重なる一または複数の図形要素が注目図形要素として抽出され（ステップＳ１５）、各注目図形要素の注目単位領域８００ａと重なるランレングスである注目ランレングスが、各注目図形要素の部分ランレングスデータに基づいて取得される。そして、各注目図形要素の注目ランレングス、および、注目ランレングスに関連付けられた濃度に基づいて注目単位領域８００ａの単位ランレングスデータが生成されてランレングス記憶部７７（図１参照）に記憶される（ステップＳ１６）。
【００４５】
具体的には、最初の注目単位領域８００ａでは、図形要素８１〜８４，８７が注目図形要素として抽出され、図形要素８１〜８４，８７の第１端部ランレングス８１１〜８４１，８７１が注目ランレングスとして取得される。上述のように、第１端部ランレングス８１１〜８４１，８７１は図形濃度「１」を有しているため、注目単位領域８００ａのうち第１端部ランレングス８１１〜８４１，８７１と重なる部位（第１端部ランレングス８４１，８７１の双方と重なる部位も含む。）に図形濃度「１」が付与される。また、注目単位領域８００ａのうちいずれの注目図形要素とも重ならない残りの部位には背景濃度「０」が付与され、これにより、単位ランレングスデータが生成される。
【００４６】
続いて、次の単位領域８００（すなわち、単位ランレングスデータの生成が未了の単位領域８００）が存在することが確認されてステップＳ１４に戻り、図１０．Ｂに示すように、図中の左側から２番目の単位領域８００が次の注目単位領域として決定される（ステップＳ１７，Ｓ１４）。図１０．Ｂでは、単位ランレングスデータの生成が終了している単位領域８００（この場合、図中の最も左側の単位領域８００）については、当該単位ランレングスデータに含まれるランレングスを示している（図１０．Ｃないし図１０．Ｆにおいても同様）。
【００４７】
２番目の注目単位領域８００ａが決定されると、注目単位領域８００ａと重なる図形要素８１〜８４，８７が注目図形要素として抽出され、図形要素８１〜８４，８７の中間ランレングス８１３〜８４３，８７３が注目ランレングスとして取得される。そして、注目単位領域８００ａのうち、図形濃度「１」が関連付けられた中間ランレングス８１３〜８４３，８７３と重なる部位（注目ランレングス８４３，８７３の双方と重なる部位も含む。）に図形濃度「１」が付与され、いずれの注目図形要素とも重ならない残りの部位に背景濃度「０」が付与される。これにより、単位ランレングスデータが生成されてランレングス記憶部７７に記憶され、図１０．Ｃに示すように、図中の左から３番目の単位領域８００が次の注目単位領域８００ａとして決定される（ステップＳ１５〜Ｓ１７，Ｓ１４）。
【００４８】
３番目の注目単位領域８００ａが決定されると、注目単位領域８００ａと重なる図形要素８１〜８８が注目図形要素として抽出され、図形要素８１〜８４，８７の第２端部ランレングス８１２〜８４２，８７２、並びに、図形要素８５，８６，８８の第１端部ランレングス８５１，８６１，８８１が注目ランレングスとして取得される。上述のように、第２端部ランレングス８１２は図形濃度「１」を有しているため、注目単位領域８００ａの第２端部ランレングス８１２と重なる部位に図形濃度「１」が付与される。また、第２端部ランレングス８２２は中間濃度「０．５」を有しているため、注目単位領域８００ａのうち第２端部ランレングス８２２と重なる部位に中間濃度「０．５」が付与される。
【００４９】
第２端部ランレングス８３２は中間濃度「０．５」を有しており、注目単位領域８００ａのうち、第２端部ランレングス８３２のみと重なる部位（すなわち、第２端部ランレングス８３２の第１端部ランレングス８６１よりも上側の部位と重なる部位）に中間濃度「０．５」が付与される。第１端部ランレングス８６１は、第２端部ランレングス８３２と同様に中間濃度「０．５」を有しており、注目単位領域８００ａのうち、第１端部ランレングス８６１および第２端部ランレングス８３２と重なる部位（すなわち、第１端部ランレングス８６１と第２端部ランレングス８３２との重複部と重なる部位）には、第１端部ランレングス８６１の中間濃度「０．５」と第２端部ランレングス８３２の中間濃度「０．５」との和である「１」（すなわち、図形濃度）が付与される。
【００５０】
第２端部ランレングス８４２および第２端部ランレングス８７２は中間濃度「０．５」を有しており、注目単位領域８００ａのうち、第２端部ランレングス８４２，８７２のみと重なる部位（すなわち、第２端部ランレングス８４２のみと重なる部位、第２端部ランレングス８７２のみと重なる部位、並びに、第２端部ランレングス８４２，８７２の双方と重なる部位）に、第２端部ランレングス８４２，８７２が有する中間濃度「０．５」が付与される。
【００５１】
また、第１端部ランレングス８５１および第１端部ランレングス８８１は中間濃度「０．５」を有しており、注目単位領域８００ａのうち、第１端部ランレングス８５１，８８１のみと重なる部位（すなわち、第１端部ランレングス８５１のみと重なる部位、第１端部ランレングス８８１のみと重なる部位、並びに、第１端部ランレングス８５１，８８１の双方と重なる部位）に、第１端部ランレングス８５１，８８１が有する中間濃度「０．５」が付与される。
【００５２】
注目単位領域８００ａのうち、いずれの注目図形要素とも重ならない残りの部位には背景濃度「０」が付与され、これにより、単位ランレングスデータが生成されてランレングス記憶部７７に記憶され、図１０．Ｄに示すように、図中の左から４番目の単位領域８００が次の注目単位領域８００ａとして決定される（ステップＳ１５〜Ｓ１７，Ｓ１４）。
【００５３】
４番目の注目単位領域８００ａが決定されると、注目単位領域８００ａと重なる図形要素８５，８６，８８が注目図形要素として抽出され、図形要素８５，８６，８８の中間ランレングス８５３，８６３，８８３が注目ランレングスとして取得される。そして、注目単位領域８００ａのうち、図形濃度「１」が関連付けられた中間ランレングス８５３，８６３，８８３と重なる部位（中間ランレングス８５３，８８３の双方と重なる部位も含む。）に図形濃度「１」が付与され、いずれの注目図形要素とも重ならない残りの部位に背景濃度「０」が付与される。これにより、単位ランレングスデータが生成されてランレングス記憶部７７に記憶され、図１０．Ｅに示すように、図中の最も右側の単位領域８００が次の注目単位領域８００ａとして決定される（ステップＳ１５〜Ｓ１７，Ｓ１４）。
【００５４】
５番目の注目単位領域８００ａが決定されると、注目単位領域８００ａと重なる図形要素８５，８６，８８が注目図形要素として抽出され、図形要素８５，８６，８８の第２端部ランレングス８５２，８６２，８８２が注目ランレングスとして取得される。続いて、注目単位領域８００ａのうち、図形濃度「１」が関連付けられた第２端部ランレングス８５２，８６２，８８２と重なる部位（第２端部ランレングス８５２，８８２の双方と重なる部位も含む。）に図形濃度「１」が付与され、いずれの注目図形要素とも重ならない残りの部位に背景濃度「０」が付与される。これにより、単位ランレングスデータが生成されてランレングス記憶部７７に記憶される（ステップＳ１５〜Ｓ１７）。
【００５５】
このように、データ変換装置７では、次の単位領域８００が存在しなくなるまで、配置領域８０の複数の単位領域８００に対してステップＳ１４〜Ｓ１７を順次繰り返すことにより、図１０．Ｆに示すように、複数の単位領域８００の単位ランレングスデータが、第２の方向に向かって順次生成されてランレングス記憶部７７に記憶される。そして、これらの単位ランレングスデータが、対応する単位領域の位置を示すデータと関連付けられることにより、入力データに含まれる複数の図形要素８１〜８８（図８．Ａ参照）を第１の方向を向くランレングスの集合として表すランレングスデータである出力データが生成される。
【００５６】
なお、上述のステップＳ１５における注目図形要素の抽出では、配置領域８０中の全ての図形要素について注目単位領域との重なりの判定が行われてもよいが、最も右側のエッジが注目単位領域よりも左側に位置する図形要素については、注目単位領域との重なりの判定が行われることなく、注目図形要素の候補から除外されることが好ましい。これにより、注目図形要素の抽出に要する時間が短縮される。
【００５７】
図１に示す描画システム１００では、データ変換装置７において生成された出力データが、フォーマット変換部７８により描画装置１における処理に適合するフォーマットにフォーマット変換された後、データ出力部７９により描画装置１へと出力される。そして、当該フォーマット変換後のデータに基づいて図２に示す制御部６の光変調素子制御部６１から各空間光変調器４６へと信号が送られるとともに、主走査機構２５により基板９が主走査方向（すなわち、基板９上における上記第１の方向に対応する方向）に移動することにより、データ変換装置７に入力された入力データが示すパターンが基板９上の感光材料に描画される。
【００５８】
このとき、出力データの各単位ランレングスデータにおいて背景濃度「０」が付与された部位と対応する基板９上の領域には、光照射部４から光は照射されず、図形濃度「１」が付与された部位と対応する基板９上の領域、および、中間濃度「０．５」が付与された部位と対応する基板９上の領域には、光照射部４からの光が照射される。また、中間濃度「０．５」が付与された部位と対応する領域に照射される光の強度は、図形濃度「１」が付与された部位と対応する領域に照射される光の強度の半分とされる。
【００５９】
描画装置１では、上述のように、光変調素子４６１の複数のリボン対が描画されるパターンの一の画素に対応している（すなわち、一の単位領域８００に対応している）が、実際には、当該複数のリボン対からの光は、対応する一の単位領域８００の幅方向（すなわち、上記第２の方向に対応する副走査方向）の両側の単位領域８００まで広がって照射される。このとき、上記複数のリボン対から基板９に照射される光の強度は、対応する単位領域８００の幅方向の中心で最大値となり、中心から離れるに従って小さくなるように分布しており、対応する単位領域８００と隣接する単位領域８００との境界にて、基板９上の感光材料の感光閾値に等しくなる。
【００６０】
したがって、上述のように、一の単位領域８００の図形濃度「１」が付与された部位に光が照射され、当該部位に隣接する単位領域８００の中間濃度「０．５」が付与された部位に強度が半分の光が照射されると、これらの光の強度が重ね合わされることにより、中間濃度「０．５」が付与された部位の幅方向の中央において、光の強度が感光材料の感光閾値となる。
【００６１】
これにより、光照射部４から基板９上に照射される光のＯＮ／ＯＦＦの切替可能な最小幅が単位領域８００の幅である単位幅に等しいにもかかわらず（すなわち、図１０．Ｆにて平行斜線が付された部位に対応する基板９上の領域全体に光が照射されるにもかかわらず）、図８．Ｂに示すように、図形要素８２〜８４，８７の右側のエッジ、並びに、図形要素８５，８８の左側のエッジを、単位領域８００の左右両側の境界のおよそ中央に位置させることができる。換言すれば、描画システム１００では、データ変換装置７によるデータ変換により、描画装置１による描画の分解能が向上される。
【００６２】
データ変換装置７では、上述のように、２つの図形要素８３，８６が接する単位領域８００（すなわち、図８．Ｂ中の左から３番目の単位領域８００）の単位ランレングスデータを求める際に、注目単位領域のうち、それぞれ中間濃度「０．５」を有する第１端部ランレングス８６１および第２端部ランレングス８３２と重なる部位に、第１端部ランレングス８６１の中間濃度「０．５」と第２端部ランレングス８３２の中間濃度「０．５」との和である図形濃度「１」が付与される。
【００６３】
ここで、仮に、注目単位領域の単位ランレングスデータを求める際に各注目図形要素の注目ランレングスの論理和をとるだけのデータ変換装置を想定すると、このようなデータ変換装置において上述と同様の入力データを変換した場合、図形要素８３と図形要素８６との隣接部を含むランレングスの濃度が、図１１の中央に位置するランレングスのように、中間濃度「０．５」となり、図形濃度「１」を有する２つの図形要素８３，８６の間に中間濃度「０．５」の筋が生じてしまう。その結果、描画装置による実際の描画において２つの図形要素８３，８６が離間してしまうおそれがある。
【００６４】
これに対し、本実施の形態に係るデータ変換装置７では、図形要素８３と図形要素８６との隣接部を含むランレングス（すなわち、それぞれが中間濃度「０．５」である第１端部ランレングス８６１と第２端部ランレングス８３２とが重なる部分）の濃度が図形濃度「１」とされることにより、図１０．Ｆに示すように、第２の方向に隣接して配列された図形要素８３と図形要素８６との間に、中間濃度の筋が生じることを防止することができる。
【００６５】
ところで、図１に示すデータ変換装置７では、部分ランレングスデータ生成部７４による部分ランレングスデータの生成（図７：ステップＳ１２）において、第１端部ランレングスや第２端部ランレングスに関連付けられる中間濃度の数を複数とすることもできる。以下では、中間濃度を「０．２５」「０．５」「０．７５」の３つとした場合について説明する。
【００６６】
図１２．Ａは、上記入力データとは異なる入力データに含まれる複数の図形要素８１ａ〜８１ｃを示す図である。図形要素８１ａ〜８１ｃは互いに同じ大きさの正方形であり、第２の方向の位置が単位幅の１／４ずつずれている。図形要素８１ａ〜８１ｃのそれぞれの最も左側の分割領域の幅は、単位幅の３／４、１／２および１／４となっており、図形要素８１ａ〜８１ｃのそれぞれの最も右側の分割領域の幅は、単位幅の１／４、１／２および３／４となっている。
【００６７】
ステップＳ１２における部分ランレングスデータの生成では、分割領域の幅が単位幅の１／８未満である場合には、当該分割領域に対応する第１端部ランレングスまたは第２端部ランレングスに背景濃度「０」が関連付けられ、分割領域の幅が単位幅の１／８以上、かつ、３／８未満である場合には、第１端部ランレングスまたは第２端部ランレングスに中間濃度「０．２５」が関連付けられる。また、分割領域の幅が単位幅の３／８以上、かつ、５／８未満である場合には、第１端部ランレングスまたは第２端部ランレングスに中間濃度「０．５」が関連付けられ、分割領域の幅が単位幅の５／８以上、かつ、７／８未満である場合には、中間濃度「０．７５」が関連付けられ、分割領域の幅が単位幅の７／８以上である場合には、図形濃度「１」が関連付けられる。図形要素８１ａ〜８１ｃでは、図１２．Ｂに示すように、第１端部ランレングス８１１ａ〜８１１ｃにそれぞれ、各第１端部ランレングスに対応する分割領域の幅に応じて中間濃度「０．７５」「０．５」「０．２５」が関連付けられる。また、図形要素８１ａ〜８１ｃの第２端部ランレングス８１２ａ〜８１２ｃにも同様に、中間濃度「０．２５」「０．５」「０．７５」がそれぞれ関連付けられる。
【００６８】
そして、描画装置１による描画の際に、光照射部４から基板９に照射される光の強度が、各ランレングスに関連付けられた濃度に比例するように制御されることにより、基板９上に描画される各図形要素のエッジが、単位領域８００の左右両側の境界の間において、図１２．Ａに示される位置にほぼ位置する。このように、データ変換装置７では、中間濃度の数を複数とすることにより、描画装置１による描画の分解能をさらに向上することができる。一方、中間濃度の数を１つとする場合には、入力データから出力データへのデータ変換を簡素化することができる。
【００６９】
図１３．Ａに示す図形要素８２ａ，８２ｂでは、図形要素８２ａの下側の部位が図形要素８２ｂの上側の部位と重なっており、図形要素８２ａ，８２ｂのそれぞれの最も左側の分割領域の幅が、単位幅の１／２および３／４とされ、図形要素８２ａ，８２ｂのそれぞれの最も右側の分割領域の幅が、単位幅の１／２および３／４とされる。ステップＳ１２における部分ランレングスデータの生成では、図１３．Ｂに示すように、図形要素８２ａの第１端部ランレングス８２１ａおよび第２端部ランレングス８２２ａに中間濃度「０．５」が関連付けられ、図形要素８２ｂの第１端部ランレングス８２１ｂおよび第２端部ランレングス８２２ｂに中間濃度「０．７５」が関連付けられる。
【００７０】
図１３．Ｃは、ステップＳ１６において生成された単位ランレングスデータのランレングスを示す図である。図１３．Ｂおよび図１３．Ｃに示すように、ステップＳ１６における単位ランレングスデータの生成では、図中の最も左側の単位領域８００が注目単位領域とされる際に、注目単位領域のうち、中間濃度「０．５」を有する第１端部ランレングス８２１ａのみと重なる部位（すなわち、第１端部ランレングス８２１ａの第１端部ランレングス８２１ｂよりも上側の部位）に、中間濃度「０．５」が付与され、中間濃度「０．７５」を有する第１端部ランレングス８２１ｂのみと重なる部位（すなわち、第１端部ランレングス８２１ｂの第１端部ランレングス８２１ａよりも下側の部位）に、中間濃度「０．７５」が付与される。
【００７１】
また、注目単位領域のうち、第１端部ランレングス８２１ａおよび第１端部ランレングス８２１ｂの双方と重なる部位には、第１端部ランレングス８２１ａ，８２１ｂが有する中間濃度の最大値（すなわち、図形濃度に最も近い中間濃度）である「０．７５」が付与される。これにより、描画装置１における描画において、図形要素８２ａ，８２ｂが重なる部位のエッジの位置を、幅が大きい方の図形要素８２ｂのエッジの位置とすることができ、入力データにより忠実な描画を行うことができる。
【００７２】
ただし、描画結果において、図形要素８２ａ，８２ｂが重なる部位のエッジの位置に対して厳密な精度が要求されておらず、当該エッジが、図形要素８２ａのエッジと図形要素８２ｂのエッジとの間に位置していればよい場合には、注目単位領域のうち、第１端部ランレングス８２１ａおよび第１端部ランレングス８２１ｂの双方と重なる部位に付与される濃度は、第１端部ランレングス８２１ａ，８２１ｂが有する中間濃度のうち最小値以上最大値以下の中間濃度（すなわち、第１端部ランレングス８２１ａ，８２１ｂが有する中間濃度のうち、背景濃度に最も近い中間濃度、図形濃度に最も近い中間濃度、および、両中間濃度の間の中間濃度のうちのいずれか）とされてよい。
【００７３】
このように、データ変換装置７（図１参照）では、第１端部ランレングスが少なくとも１つの中間濃度のいずれかを有している場合、ステップＳ１６において、注目単位領域のうち、少なくとも１つの第１端部ランレングスのみと重なる部位に、当該少なくとも１つの第１端部ランレングスが有する中間濃度のうち最小値以上最大値以下の中間濃度が付与される。
【００７４】
ステップＳ１６における単位ランレングスデータの生成では、また、図中の最も右側の単位領域８００が注目単位領域とされる際に、注目単位領域のうち、中間濃度「０．５」を有する第２端部ランレングス８２２ａのみと重なる部位（すなわち、第２端部ランレングス８２２ａの第２端部ランレングス８２２ｂよりも上側の部位）に、中間濃度「０．５」が付与され、中間濃度「０．７５」を有する第２端部ランレングス８２２ｂのみと重なる部位（すなわち、第２端部ランレングス８２２ｂの第２端部ランレングス８２２ａよりも下側の部位）に、中間濃度「０．７５」が付与される。
【００７５】
また、注目単位領域のうち、第２端部ランレングス８２２ａおよび第２端部ランレングス８２２ｂの双方と重なる部位には、第２端部ランレングス８２２ａ，８２２ｂが有する中間濃度の最大値である「０．７５」が付与される。これにより、上記と同様に、入力データにより忠実な描画を行うことができる。データ変換装置７では、注目単位領域のうち、第２端部ランレングス８２２ａおよび第２端部ランレングス８２２ｂの双方と重なる部位に付与される濃度は、上記と同様に、第２端部ランレングス８２２ａ，８２２ｂが有する中間濃度のうち最小値以上最大値以下の中間濃度（すなわち、第２端部ランレングス８２２ａ，８２２ｂが有する中間濃度のうち、背景濃度に最も近い中間濃度、図形濃度に最も近い中間濃度、および、両中間濃度の間の中間濃度のいずれか）が付与されてよい。
【００７６】
このように、データ変換装置７では、第２端部ランレングスが少なくとも１つの中間濃度のいずれかを有している場合、ステップＳ１６において、注目単位領域のうち、少なくとも１つの第２端部ランレングスのみと重なる部位に、当該少なくとも１つの第２端部ランレングスが有する中間濃度のうち最小値以上最大値以下の中間濃度が付与される。
【００７７】
図１４．Ａに示す図形要素８３ａ，８３ｂは第２の方向に隣接しており、図形要素８３ｂの左側のエッジは図形要素８３ａの右側のエッジに重なっている。図形要素８３ａの最も右側の分割領域の幅は単位幅の３／４とされ、図形要素８３ｂの最も左側の分割領域の幅は単位幅の１／４とされる。ステップＳ１２における部分ランレングスデータの生成では、図１４．Ｂに示すように、図形要素８３ａの第２端部ランレングス８３２ａに中間濃度「０．７５」が関連付けられ、図形要素８３ｂの第１端部ランレングス８３１ｂに中間濃度「０．２５」が関連付けられる。
【００７８】
図１４．Ｃは、ステップＳ１６において生成された単位ランレングスデータを示す図である。図１４．Ｂおよび図１４．Ｃに示すように、ステップＳ１６における単位ランレングスデータの生成では、図中の左側から３番目の単位領域８００が注目単位領域とされる際に、注目単位領域のうち、中間濃度「０．７５」を有する第２端部ランレングス８３２ａのみと重なる部位（すなわち、第２端部ランレングス８３２ａの第１端部ランレングス８３１ｂよりも上側の部位）に、中間濃度「０．７５」が付与される。また、注目単位領域のうち、第１端部ランレングス８３１ｂおよび第２端部ランレングス８３２ａの双方と重なる部位には、第１端部ランレングス８３１ｂの中間濃度「０．２５」と第２端部ランレングス８３２ａの中間濃度「０．７５」との和が「１」となることから、図形濃度「１」が付与される。
【００７９】
図１５．Ａに示す図形要素８４ａ，８４ｂでは、図形要素８４ｂの左側のエッジ近傍の部位が図形要素８４ａの右側のエッジ近傍の部位に重なっており、図形要素８４ａの最も右側の分割領域の幅は単位幅の３／４とされ、図形要素８４ｂの最も左側の分割領域の幅は単位幅の１／２とされる。ステップＳ１２における部分ランレングスデータの生成では、図１５．Ｂに示すように、図形要素８４ａの第２端部ランレングス８４２ａに中間濃度「０．７５」が関連付けられ、図形要素８４ｂの第１端部ランレングス８４１ｂに中間濃度「０．５」が関連付けられる。
【００８０】
図１５．Ｃは、ステップＳ１６において生成された単位ランレングスデータを示す図である。図１５．Ｂおよび図１５．Ｃに示すように、ステップＳ１６における単位ランレングスデータの生成では、図中の左側から３番目の単位領域８００が注目単位領域とされる際に、注目単位領域のうち、中間濃度「０．７５」を有する第２端部ランレングス８４２ａのみと重なる部位（すなわち、第２端部ランレングス８４２ａの第１端部ランレングス８４１ｂよりも上側の部位）に、中間濃度「０．７５」が付与される。また、注目単位領域のうち、第１端部ランレングス８４１ｂおよび第２端部ランレングス８４２ａの双方と重なる部位には、第１端部ランレングス８４１ｂの中間濃度「０．５」と第２端部ランレングス８４２ａの中間濃度「０．７５」との和が図形濃度「１」よりも大きくなることから、図形濃度「１」が付与される。
【００８１】
図１４．Ａないし図１４．Ｃ、並びに、図１５．Ａないし図１５．Ｃに示すように、データ変換装置７では、第２の方向に隣接して、または、重なって配列された２つの図形要素のそれぞれの隣接部または重複部を含むランレングス（すなわち、右側の図形要素の第１端部ランレングス、および、左側の図形要素の第２端部ランレングス）が中間濃度であり、第１端部ランレングスの中間濃度と第２端部ランレングスの中間濃度との和が図形濃度以上である（すなわち、当該和が図形濃度に等しくなる、または、背景濃度よりも図形濃度に近い濃度であるとともに背景濃度との濃度差が図形濃度と背景濃度との濃度差よりも大きい濃度となる）場合、ステップＳ１６において、注目単位領域のうち、２つの図形要素の隣接部または重複部のランレングスと重なる部位に図形濃度が付与される。これにより、第２の方向に隣接して、または、重なって配列された２つの図形要素の間に、中間濃度の筋や図形濃度を超える濃度の筋が生じることを防止することができる。
【００８２】
図１６．Ａに示す図形要素８５ａ，８５ｂは、一の単位領域８００において第２の方向に関して単位幅よりも小さい僅かな距離（本実施の形態では、単位幅の１／２）だけ離間しつつ配列されており、図形要素８５ａの最も右側の分割領域、および、図形要素８５ｂの最も左側の分割領域の幅はそれぞれ、単位幅の１／４とされる。ステップＳ１２における部分ランレングスデータの生成では、図１６．Ｂに示すように、図形要素８５ａの第２端部ランレングス８５２ａ、および、図形要素８５ｂの第１端部ランレングス８５１ｂに中間濃度「０．２５」が関連付けられる。
【００８３】
図１６．Ｃは、ステップＳ１６において生成された単位ランレングスデータを示す図である。図１６．Ｂおよび図１６．Ｃに示すように、ステップＳ１６における単位ランレングスデータの生成では、図中の左側から３番目の単位領域８００が注目単位領域とされる際に、注目単位領域のうち、中間濃度「０．２５」を有する第２端部ランレングス８５２ａのみと重なる部位（すなわち、第２端部ランレングス８５２ａの第１端部ランレングス８５１ｂよりも上側の部位）に、中間濃度「０．２５」が付与される。
【００８４】
また、注目単位領域のうち、第１端部ランレングス８５１ｂおよび第２端部ランレングス８５２ａの双方と重なる部位には、第１端部ランレングス８５１ｂの中間濃度「０．２５」と第２端部ランレングス８５２ａの中間濃度「０．２５」との和が、図形濃度「１」を下回る「０．５」となる（すなわち、背景濃度「０」と図形濃度「１」との間の値となる）ことから、当該和に最も近い中間濃度「０．５」が付与される。これにより、第２の方向に僅かに離間しつつ配列された２つの図形要素の間に、中間濃度のランレングスを生じさせることができ、その結果、描画装置１における描画において、図形要素８５ａ，８５ｂを確実に離間させつつ入力データにより忠実な描画を行うことができる。
【００８５】
描画装置１における描画において、図形要素８５ａ，８５ｂの離間がより重要であり、図形要素８５ａ，８５ｂの互いに対向するエッジの位置がそれほど重要でない場合には、注目単位領域のうち、第１端部ランレングス８５１ｂおよび第２端部ランレングス８５２ａの双方と重なる部位に付与される濃度は、第１端部ランレングス８５１ｂの中間濃度「０．２５」と第２端部ランレングス８５２ａの中間濃度「０．２５」との和に最も近い中間濃度「０．５」以下の中間濃度（すなわち、上記和に最も近い中間濃度、および、当該中間濃度と背景濃度との間の中間濃度である「０．５」若しくは「０．２５」）、または、背景濃度「０」が付与されてよい。特に、背景濃度「０」が付与された場合には、描画における図形要素８５ａ，８５ｂの離間がより確実に実現される。
【００８６】
図１７．Ａに示す図形要素８６ａ，８６ｂは、一の単位領域８００において第２の方向に関して単位幅よりも小さい僅かな距離（本実施の形態では、単位幅の１／２）だけ離間しつつ配列されており、図形要素８６ｃ，８６ｄは、上記単位領域８００において第２の方向に関して単位幅よりも小さい僅かな距離（本実施の形態では、単位幅の１／４）だけ離間しつつ配列されている。図形要素８６ａ，８６ｃの最も右側の分割領域、並びに、図形要素８６ｂの最も左側の分割領域の幅はそれぞれ、単位幅の１／４とされ、図形要素８６ｄの最も左側の分割領域の幅は単位幅の１／２とされる。また、図形要素８６ａの下側の部位は図形要素８６ｃの上側の部位と重なっており、図形要素８６ｂの下側の部位は図形要素８６ｄの上側の部位と重なっている。
【００８７】
ステップＳ１２における部分ランレングスデータの生成では、図１７．Ｂに示すように、図形要素８６ａ，８６ｃの第２端部ランレングス８６２ａ，８６２ｃ、並びに、図形要素８６ｂの第１端部ランレングス８６１ｂに中間濃度「０．２５」が関連付けられ、図形要素８６ｄの第１端部ランレングス８６１ｄに中間濃度「０．５」が関連付けられる。
【００８８】
図１７．Ｃは、図１７．Ｂ中の左側から３番目の単位領域８００の各端部ランレングスを示す図であり、図中の最も上側の領域８６５には、中間濃度「０．２５」を有する図形要素８６ａの第２端部ランレングス８６２ａ（図１７．Ｂ参照）のみが存在し、領域８６６には、中間濃度「０．２５」をそれぞれ有する図形要素８６ａの第２端部ランレングス８６２ａおよび図形要素８６ｂの第１端部ランレングス８６１ｂ（図１７．Ｂ参照）が存在する。
【００８９】
領域８６７には、中間濃度「０．２５」をそれぞれ有する図形要素８６ａ，８６ｃの第２端部ランレングス８６２ａ，８６２ｃ、並びに、図形要素８６ｂの第１端部ランレングス８６１ｂ（図１７．Ｂ参照）が存在し、さらに、中間濃度「０．５」を有する図形要素８６ｄの第１端部ランレングス８６１ｄ（図１７．Ｂ参照）が存在する。また、領域８６８には、中間濃度「０．２５」を有する図形要素８６ｃの第２端部ランレングス８６２ｃ、および、中間濃度「０．５」を有する図形要素８６ｄの第１端部ランレングス８６１ｄが存在し、領域８６９には、中間濃度「０．２５」を有する図形要素８６ｃの第２端部ランレングス８６２ｃのみが存在する。
【００９０】
図１７．Ｄは、ステップＳ１６において生成された単位ランレングスデータを示す図である。図１７．Ｂおよび図１７．Ｄに示すように、ステップＳ１６における単位ランレングスデータの生成では、図中の左側から３番目の単位領域８００が注目単位領域とされる際に、図１７．Ｄに示すように、注目単位領域のうち、領域８６５および領域８６９（図１７．Ｃ参照）にはそれぞれ中間濃度「０．２５」が付与され、領域８６６および領域８６８（図１７．Ｃ参照）にはそれぞれ、図１６．Ａないし図１６．Ｃに示す例と同様に、第１端部ランレングスの中間濃度と第２端部ランレングスの中間濃度との和（に最も近い中間濃度）である「０．５」および「０．７５」が付与される。
【００９１】
また、注目単位領域のうち領域８６７（図１７．Ｃ参照）では、第１端部ランレングス８６１ｂ，８６１ｄの中間濃度のうち最も図形濃度「１」に近い濃度である第１端部ランレングス８６１ｄの中間濃度「０．５」と、第２端部ランレングス８６２ａ，８６２ｃの中間濃度のうち最も図形濃度「１」に近い濃度である中間濃度「０．２５」との和が「０．７５」となり、図形濃度「１」を下回る。このため、領域８６７には、上記和に最も近い中間濃度である「０．７５」が付与される。なお、図１６．Ａないし図１６．Ｃに示す例と同様に、領域８６７には、上記和に最も近い中間濃度「０．７５」以下の中間濃度、または、背景濃度「０」が付与されてもよい。
【００９２】
図１８．Ａでは、図１７．Ａに示す図形要素８６ａ〜８６ｄの図形要素８６ｃに代えて、図形要素８６ｃよりも幅が大きい図形要素８６ｅが配置される。図形要素８６ｅ，８６ｄは第２の方向に隣接しており、図形要素８６ｄの左側のエッジは図形要素８６ｅの右側のエッジに重なっている。図形要素８６ｅの最も右側の分割領域の幅は単位幅の１／２とされ、ステップＳ１２における部分ランレングスデータの生成では、図１８．Ｂに示すように、図形要素８６ｅの第２端部ランレングス８６２ｅに中間濃度「０．５」が関連付けられる。
【００９３】
図１８．Ｃは、ステップＳ１６において生成された単位ランレングスデータを示す図である。図１８．Ｂおよび図１８．Ｃに示すように、ステップＳ１６における単位ランレングスデータの生成では、図中の左側から３番目の単位領域８００が注目単位領域とされる際に、注目単位領域のうち領域８６７（図１７．Ｃ参照）では、第１端部ランレングス８６１ｂ，８６１ｄの中間濃度のうち最も図形濃度「１」に近い濃度である第１端部ランレングス８６１ｄの中間濃度「０．５」と、第２端部ランレングス８６２ａ，８６２ｅの中間濃度のうち最も図形濃度「１」に近い濃度である第２端部ランレングス８６２ｅの中間濃度「０．５」との和が「１」となり、図形濃度「１」以上となる。このため、領域８６７には、図形濃度「１」が付与される。なお、図形要素８６ｅに代えて、図形要素８６ｅよりもさらに幅が大きい図形要素が、図形要素８６ｄと互いの一部が重なるように配置された場合であっても、上記と同様に、領域８６７には図形濃度「１」が付与される。
【００９４】
図１７．Ａないし図１７．Ｄ、並びに、図１８．Ａないし図１８．Ｃに示すように、データ変換装置７では、注目単位領域のうち、中間濃度を有する少なくとも１つの第１端部ランレングスおよび中間濃度を有する少なくとも１つの第２端部ランレングスと重なる部位に付与される中間濃度が、当該少なくとも１つの第１端部ランレングスの中間濃度のうち最も図形濃度に近い濃度と当該少なくとも１つの第２端部ランレングスの中間濃度のうち最も図形濃度に近い濃度との和が図形濃度を下回る場合には、当該和に最も近い中間濃度以下の中間濃度または背景濃度とされ、上記和が図形濃度以上の場合には図形濃度とされる。これにより、第２の方向に僅かに離間しつつ配列された複数の図形要素の間に、中間濃度のランレングスを生じさせることができるとともに、第２の方向に隣接して、または、重なって配列された複数の図形要素の間に、中間濃度の筋や図形濃度を超える濃度の筋が生じることを防止することができる。
【００９５】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【００９６】
例えば、上記実施の形態では、データ変換装置７にて取り扱われる図形要素の中間ランレングスが１つとされているが、第２の方向に配列される複数の中間ランレングスを有する図形要素も当然入力データに含まれてよい。また、図形要素に設定される図形濃度は、必ずしも「１」である必要はなく、例えば、図形濃度が「０．５」である複数の図形要素が第２の方向において隣接する場合には、複数の図形要素の隣接部を含むランレングスの濃度が図形濃度「０．５」とされる。なお、データ変換装置７にて取り扱われる入力データでは、異なる図形濃度が設定されている図形要素が隣接することはなく、また、重なることもない。
【００９７】
上記実施の形態に係るデータ変換装置７では、入力データに含まれる図形要素は、複数のサブ図形要素を含むサブ図形要素群であってもよい。また、入力データは、一の図形要素が他の図形要素を参照する階層構造とされてもよい。
【００９８】
描画システム１００では、データ変換装置７において出力データがフォーマット変換されることなく描画装置１へと出力され、描画装置１においてフォーマット変換が行われてもよい。
【００９９】
データ変換装置７により出力データに変換される入力データは、必ずしも液晶表示装置用のガラス基板上に描画されるパターンを示すデータには限定されず、例えば、プラズマ表示装置等の他のフラットパネル表示装置またはフォトマスク用のガラス基板上に描画されるパターンを示すデータであってもよく、ＬＳＩ用のパターンデータであってもよい。また、他の様々な目的に利用される入力データがデータ変換装置により出力データに変換されてもよい。
【０１００】
描画装置１は、上述の構造を備えるものには限定されず、ランレングスデータである出力データに基づいて描画を行う装置であればよい。例えば、描画装置１の光照射部４は、ＧＬＶ以外の他の光変調素子を備える空間光変調器を備えてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】一の実施の形態に係る描画システムの構成を示す図である。
【図２】描画装置の側面図である。
【図３】描画装置の平面図である。
【図４】空間光変調器を拡大して示す図である。
【図５．Ａ】光変調素子の断面を示す図である。
【図５．Ｂ】光変調素子の断面を示す図である。
【図６】データ変換装置の構成を示す図である。
【図７】データ変換の流れを示す図である。
【図８．Ａ】入力データにより表されるパターンを示す図である。
【図８．Ｂ】入力データにより表されるパターンを示す図である。
【図９】図形要素のランレングスを示す図である。
【図１０．Ａ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１０．Ｂ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１０．Ｃ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１０．Ｄ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１０．Ｅ】データ変換途上のパターンを示す図である。
【図１０．Ｆ】単位ランレングスデータのランレングスを示す図である。
【図１１】比較例のデータ変換装置によるデータ変換結果を示す図である。
【図１２．Ａ】図形要素を示す図である。
【図１２．Ｂ】図形要素のランレングスを示す図である。
【図１３．Ａ】図形要素を示す図である。
【図１３．Ｂ】図形要素のランレングスを示す図である。
【図１３．Ｃ】単位ランレングスデータのランレングスを示す図である。
【図１４．Ａ】図形要素を示す図である。
【図１４．Ｂ】図形要素のランレングスを示す図である。
【図１４．Ｃ】単位ランレングスデータのランレングスを示す図である。
【図１５．Ａ】図形要素を示す図である。
【図１５．Ｂ】図形要素のランレングスを示す図である。
【図１５．Ｃ】単位ランレングスデータのランレングスを示す図である。
【図１６．Ａ】図形要素を示す図である。
【図１６．Ｂ】図形要素のランレングスを示す図である。
【図１６．Ｃ】単位ランレングスデータのランレングスを示す図である。
【図１７．Ａ】図形要素を示す図である。
【図１７．Ｂ】図形要素のランレングスを示す図である。
【図１７．Ｃ】一部のランレングスを示す図である。
【図１７．Ｄ】単位ランレングスデータのランレングスを示す図である。
【図１８．Ａ】図形要素を示す図である。
【図１８．Ｂ】図形要素のランレングスを示す図である。
【図１８．Ｃ】単位ランレングスデータのランレングスを示す図である。
【符号の説明】
【０１０２】
１    描画装置
３    基板保持部
７    データ変換装置
９    基板
２５    主走査機構
６１    光変調素子制御部
８０    配置領域
８１〜８８，８１ａ〜８１ｃ，８２ａ，８２ｂ，８３ａ，８３ｂ，８４ａ，８４ｂ，８５ａ，８５ｂ，８６ａ〜８６ｅ    図形要素
１００    描画システム
４６１    光変調素子
８００    単位領域
８００ａ    注目単位領域
８０１    走査線
８０５    背景領域
８１１，８１１ａ〜８１１ｃ，８２１，８２１ａ，８２１ｂ，８３１，８３１ｂ，８４１，８４１ｂ，８５１，８５１ｂ，８６１，８６１ｂ，８６１ｄ，８７１，８８１    第１端部ランレングス
８１２，８１２ａ〜８１２ｃ，８２２，８２２ａ，８２２ｂ，８３２，８３２ａ，８４２，８４２ａ，８５２，８５２ａ，８６２，８６２ａ，８６２ｃ，８６２ｅ，８７２，８８２    第２端部ランレングス
８１３，８２３，８３３，８４３，８５３，８６３，８７３，８８３    中間ランレングス
７０４１    プログラム
Ｓ１１〜Ｓ１７    ステップ
【図１】
0004954930.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５．Ａ】
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【図５．Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８．Ａ】
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【図８．Ｂ】
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【図９】
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【図１０．Ａ】
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【図１０．Ｂ】
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【図１０．Ｃ】
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【図１０．Ｄ】
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【図１０．Ｅ】
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【図１０．Ｆ】
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【図１１】
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【図１２．Ａ】
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【図１２．Ｂ】
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【図１３．Ａ】
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【図１３．Ｂ】
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【図１３．Ｃ】
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【図１４．Ａ】
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【図１４．Ｂ】
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【図１４．Ｃ】
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【図１５．Ａ】
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【図１５．Ｂ】
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【図１５．Ｃ】
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【図１６．Ａ】
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【図１６．Ｂ】
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【図１６．Ｃ】
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【図１７．Ａ】
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【図１７．Ｂ】
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【図１７．Ｃ】
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【図１７．Ｄ】
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【図１８．Ａ】
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【図１８．Ｂ】
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【図１８．Ｃ】
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