(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを収納する収納部を上下左右に複数配列した収納棚と、前記収納棚に面する空間を上下左右に移動し、前記ワークを前記収納部に出し入れする伸縮ユニットを含む移載ロボットとを備えた高層収納棚であって、
前記収納部への足場となるプラットホームが前記収納部の下部に収納・引き出し自在に、任意の高さの収納部の下部に設けられ、
前記プラットホームと対向するように配置された前記収納棚又は対向する壁には、係止部が設けられ、
前記プラットホームは、
前記収納部の下部から、前記空間へと引き出し可能な平板状のステップ台と、
一端側が前記収納部に回動可能に軸受された棒状の骨材と、
前記ステップ台と前記骨材とを連結するリンクと、を備え、
前記骨材は、前記ステップ台が前記収納部の下部に収納された状態では、前記収納部の下部に収納されており、前記ステップ台が前記収納部から引き出された状態では、前記リンクを介して回動して前記空間に引き出されて、他端側が前記係止部に架けわたされ、前記ステップ台を支えるように構成されることを特徴とする高層収納棚。
【請求項２】
前記収納棚が、前記収納棚の開口側が対向するように配置された２組の収納棚であり、前記空間が前記２組の収納棚の間であることを特徴とする請求項１に記載の高層収納棚。
【請求項３】
前記移載ロボットは、前記伸縮ユニットを、ベース上を左右に移動する横行ユニットに設け、前記ベースを上下方向に移動させるクレーン式である請求項１又は２に記載の高層収納棚。
【請求項４】
前記プラットホームが、前記収納棚の左右方向に分割されて個別に収納・引き出し自在である請求項１〜３のいずれかに記載の高層収納棚。
【請求項５】
前記プラットホームが、引き出される方向に折り畳み自在であり、折り畳まれた状態で前記収納部の下部に収納可能な奥行きである請求項１〜４のいずれかに記載の高層収納棚。
【請求項６】
前記プラットホームが前記収納部の下部に収納されたことを検知するセンサー手段と、センサー手段の検知により移載ロボットの移動を制御する制御部とを有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の高層収納棚。
【請求項７】
前記プラットホームが出し入れされる駆動手段と、前記空間に人が出入する扉と、前記プラットホームが正しい位置状態に引き出されたことを検知するセンサー手段と、前記センサー手段の検知により前記扉を開放可能とる制御部とを有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の高層収納棚。
【請求項８】
前記プラットホームには梯子を架けるためのスペースが空いており、前記収納棚に左右方向に梯子がかけられている、或いは、
前記収納棚の片側に梯子が横付けして架けられており、前記プラットホームと同じ高さに設けられたステップが横付けして常設されている、或いは、
前記収納棚の片側に上下に移動するステップを備えたバッテリリフトが横付けされていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の高層収納棚。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、半導体デバイス、液晶基板、ディスク等を保管する高層収納棚に関し、特に、収納棚のメンテナンスが可能である高層収納棚に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製品の製造工程において、半導体製品を各工程間或いは各工程間に自動搬送するためには、半導体製品を輸送する搬送装置と、これら半導体製品を一時的に保管する収納棚が不可欠である。
【０００３】
近年、製品コストの低減を目的として、半導体ウェハーサイズが大きくなる傾向にあり、これを保管する収納棚も大きくなる傾向にある。これら、半導体ウェハーを扱う工程は、クリーンルーム内で行われているが、クリーンルームは建設費や運転費が非常に高く、その費用は床面積に比例する。そこで、一般的に、クリーンルーム内で使用する機器は、平面的に大きくできず、高さ方向に大きくする傾向にある。例えば、３００ｍｍのウェハーの収納棚において、そのサイズは、高さ６ｍ〜８ｍ、幅４ｍといったものがある。そして、この種の収納棚には、各収納部に半導体ウェハー等のワークを出し入れする移載ロボットが設けられている。
【０００４】
この移載ロボットのワークの収納時に高い場所でトラブルが起こった場合、また、高層収納棚の高所において、メンテナンスが必要である。その際、従来は、脚立や梯子を使用し、作業者が脚立や梯子上でワークを直したり、メンテナンスを行ったりしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、収納棚の高さが、６ｍ〜８ｍと高くなり、また扱うキャリア（シリコンウェハーの入れ物）も大きくなってきた。例えば、３００ｍｍウェハーにおいて、通常用いられるキャリアとしては、幅４３０ｍｍ、奥行き３６５ｍｍ、高さ３４０ｍｍで、重さ約１０ｋｇである。そのため、脚立や梯子上では作業がし難く作業者の作業効率も悪くなり、安全上の問題も生じていた。
【０００６】
本発明は、前記課題に鑑みなされたものであり、高層収納棚の高さに関係なく、高層収納棚全域にわたってメンテナンスが可能となる足場を形成するプラットホームを備えた高層収納棚を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための本発明の請求項１に記載の高層収納棚は、ワークを収納する収納部を上下左右に複数配列した収納棚と、前記収納棚に面する空間を上下左右に移動し、前記ワークを前記収納部に出し入れする伸縮ユニットを含む移載ロボットとを備えた高層収納棚であって、前記収納部への足場となるプラットホームが前記収納部の下部に収納・引き出し自在に、任意の高さの収納部の下部に設けられ、前記プラットホームと対向するように配置された前記収納棚又は対向する壁には、係止部が設けられ、前記プラットホームは、前記収納部の下部から、前記空間へと引き出し可能な平板状のステップ台と、一端側が前記収納部に回動可能に軸受された棒状の骨材と、前記ステップ台と前記骨材とを連結するリンクと、を備え、前記骨材は、前記ステップ台が前記収納部の下部に収納された状態では、前記収納部の下部に収納されており、前記ステップ台が前記収納部から引き出された状態では、前記リンクを介して回動して前記空間に引き出されて、他端側が前記係止部に架けわたされ、前記ステップ台を支えるように構成されることを特徴とする。
【０００８】
上記の構成によると、任意の高さの収納部の下部にプラットホームを設けることができるため、高層収納棚全域にわたってメンテナンスが可能となる位置にプラットホームを設けることができる。このため、どれだけの高さを有する高層収納棚であっても、適当な位置に足場を形成しその上で作業を行うことができ、作業者が脚立や梯子上で作業を行う必要がなくなる。よって、作業がし易くなり、作業効率があがり、作業時の安全性も向上する。また、プラットホームは収納・引き出し自在であるため、移載ロボットのトラブル発生時やメンテナンスをする時以外は収納されており、移載ロボットの移動の邪魔になることはない。
また、骨材によりプラットホームが支えられるため、上下方向に薄いプラットホームに形成することができるとともに、作業者がプラットホーム上に乗り重量のあるものを扱う作業を行う場合にも十分耐えられ、安定性があるため、作業時の安全性が向上する。
【０００９】
請求項２に記載の高層収納棚は、請求項１において、前記収納棚が、前記収納棚の開口側が対向するように配置された２組の収納棚であり、前記空間が前記２組の収納棚の間である。
【００１０】
上記の構成によると、プラットホームを設けることで、対向するように配置された２組の収納棚の両方に面して移動することができるため、作業効率がよい。
【００１１】
請求項３に記載の高層収納棚は、請求項１又は２において、前記移載ロボットは、前記伸縮ユニットを、ベース上を左右に移動する横行ユニットに設け、前記ベースを上下方向に移動させるクレーン式である。
【００１２】
上記の構成によると、ベースが上下に移動するので、移載ロボットがない場所においては、収納棚左右方向に何にも拘束されることなくプラットホームを設置することができる。そのため、プラットホームを収納棚左右方向のほぼ全域にわたって設けることが可能になり、作業効率がよい。
【００１３】
請求項４に記載の高層収納棚は、請求項１〜３のいずれかにおいて、前記プラットホームが、前記収納棚の左右方向に分割されて個別に収納・引き出し自在である。
【００１４】
上記の構成によると、収納棚の左右方向に分割されてプラットホームを個別に収納・引き出し可能であるため、人手による作業性がよい。
【００１５】
請求項５に記載の高層収納棚は、請求項１〜４のいずれかにおいて、前記プラットホームが、引き出される方向に折り畳み自在であり、折り畳まれた状態で前記収納部の下部に収納可能な奥行きである。
【００１６】
上記の構成によると、収納部の幅が２組の収納棚の間に設けられた空間の幅よりも狭い場合でも、２組の収納棚の間を架けわたすプラットホームを収納部の下部に収納することができる。
【００１７】
請求項６に記載の高層収納棚は、請求項１〜５のいずれかにおいて、前記プラットホームが前記収納部の下部に収納されたことを検知するセンサー手段と、センサー手段の検知により移載ロボットの移動を制御する制御部とを有する。
【００１８】
上記の構成によると、センサー手段の検知により、プラットホームが収納部の下部に収納されたことを確認し、移載ロボットを可動とすることができ、プラットホームと移載ロボットとの衝突を回避することができる。
【００１９】
請求項７に記載の高層収納棚は、請求項１〜６のいずれかにおいて、前記プラットホームが出し入れされる駆動手段と、前記空間に人が出入する扉と、前記プラットホームが正しい位置状態に引き出されたことを検知するセンサー手段と、前記センサー手段の検知により前記扉を開放可能とる制御部とを有する。
【００２０】
上記の構成によると、センサー手段の検知により、プラットホームが完全に引き出されたことを確認し、扉を開放可能とすることができ、作業上安全である。
【００２１】
請求項８に記載の高層収納棚は、請求項１〜７のいずれかにおいて、前記プラットホームには梯子を架けるためのスペースが空いており、前記収納棚に左右方向に梯子がかけられている、或いは、前記収納棚の片側に梯子が横付けして架けられており、前記プラットホームと同じ高さに設けられたステップが横付けして常設されている、或いは、前記収納棚の片側に上下に移動するステップを備えたバッテリリフトが横付けされている。
【００２２】
上記の構成によると、作業者は、梯子からプラットホームに昇り、或いは、梯子からステップに昇ってプラットホームに昇り、或いは、ステップをプラットホームの高さまで上下動させることにより、プラットホームに昇り、作業を行うことができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の高層収納棚の一実施形態例を説明する。図１は、本発明に係る高層収納棚の一実施形態例を示すものである。図１において、（ａ）は、本実施形態例に係る高層収納棚の平面断面図を示し、（ｂ）は、図１（ａ）におけるＡ-Ａ´断面図を示す。
【００２４】
本実施形態に係る高層収納棚１は、図１（ａ）に示すように、ワークを収納する収納部２を上下左右に複数配列した収納棚３と、同様に収納部２´を有する収納棚３´とが、収納部２と収納部２´の開口部が対向するように配置され、両側を枠体６で連結されている。収納棚３と収納棚３´の間には空間４が形成され、空間４にはワークを収納部２及び２´に出し入れする伸縮ユニットを備えた移載ロボット５が設けられている。収納棚３には、図１（ｂ）に示すように、上段側プラットホーム２１ａと上段側プラットホーム２１ｂとからなるプラットホーム２１が設けられている。
【００２５】
移載ロボット５は、ワークを把持し収納部２及び収納部２´の双方に対してワークを出し入れする伸縮ユニット７と、該伸縮ユニット７を左右に配列された各収納部２及び２´の所定位置に移動させる横行ユニット８と、該横行ユニット８の移動時のガイドとなるとともに、支柱１０ａ及び支柱１０ｂに沿って上下移動する昇降ベース９とで構成されている。これにより、伸縮ユニット７が空間４の上下左右に移動し、収納部２及び２´に収納されているワークを受け渡し位置Ａまで移動したり、受け渡し位置Ａから収納部２及び収納部２´にワークを移動したりすることを可能としている。
【００２６】
ワークの収納部２及び２´への収納トラブルの発生時や、移載ロボット５のメンテナンス時の足場となるプラットホーム２１は、図１（ｂ）に示すように、収納棚３の左右方向一列の収納部２の下部に、収納・引き出し自在に設けることができる。本実施形態の場合、高層収納棚１の最下面から下段側プラットホーム２１ｂの高さまでがメンテナンス可能であり、下段側プラットホーム２１ｂ上に作業者が乗ることで上段側プラットホーム２１ａの下部までのメンテナンスが可能となり、さらに上段側プラットホーム２１ａ上に作業者が乗ることで、高層収納棚１の最上部までのメンテナンスが可能となる。このため、従来のように脚立や梯子を使用しなくても、高層収納棚１の全域にわたってメンテナンスが可能となる。もちろん、プラットホーム上に、踏み台を必要に応じて置いてもよい。尚、プラットホーム２１は、任意の高さの収納部２の下部に設けることができるため、高層収納棚１の全域にわたってメンテナンスが可能となる位置に適宜設ければよい。
【００２７】
次に、図２において、プラットホーム２１が収納部２の下部に収納された状態から、空間４に引き出され、プラットホーム２１として形成される具体的構造例を説明する。図２（ａ）〜（ｃ）は、プラットホーム２１が形成される工程順に構造を模式的に示す平面図である。
【００２８】
図２（ａ）において、プラットホーム２１は、収納部２の下部に収納されている。プラットホーム２１は、収納部２の下部に収納された状態ではステップ台２３及びステップ台２４を保持し、ガイドレール２２ａに沿ってスライドするスライダー２２と、スライダー２２に両側を接合されたステップ台２３と、ステップ台２３の上部に重ねられた折り畳み自在なステップ台２４と、ステップ台２３を左右方向に二分する長さの、軸受２６を有する骨材としてのリブ２５と、ステップ台２３とリブ２５の間に設けられた棒状のリンク２７とを備えている。
【００２９】
スライダー２２は、収納部２の下部に設けられたスライドレール２２ａにより誘導され空間４に引き出される。ステップ台２３は、収納部２と平行な平板状であり、収納部２の左右方向に長く、収納部２の下部に収納される程度の奥行きである。ステップ台２４は、収納部２の左右方向にステップ台２３と同じ大きさで、奥行きはステップ台２４よりもやや小さい。ステップ台２３とステップ台２４の奥行きを合計すると、収納部２から収納部２´までの距離よりもやや大きい値となっている。ステップ台２４は、空間４側の辺をヒンジ等で回転可能にステップ台２３と連結されて折り畳み可能であり、ステップ台２３と連結されない辺の２角の上部には、立方体のストッパー３１が設けられている。
【００３０】
骨材としてのリブ２５は、ステップ台２３の空間４側の前面下部に設けられている。リブ２５は、リンク２７を介してステップ台２３の下部と連結されている。リブ２５の軸受２６は、スライダー２２の動きには干渉せず、収納部２に対して固定されている。収納部２に対向する収納部２´の下部には、リブ受３１が設けられている。センサーＡ２８は、プラットホーム２１の収納を検知すると、移載ロボット５を作動可能とする制御部に連結されている。
【００３１】
図３に、センサーＡ２８の検知により、移載ロボット５の移動を制御する制御部３２のブロック図を示す。センサーＡ２８と動作指令が同時に接続されれば、移載ロボット５に接続されるようになっている。センサーＡ２８により、プラットホーム２１が収納されていることが検知されると、動作指令からの指令により、移載ロボット５が移動する。これにより、プラットホーム２１が収納されていないときは、移載ロボット５が移動することはない。
【００３２】
図２（ｂ）において、プラットホーム２１が空間４に引き出されている。まず、駆動装置（図示しない）により、ステップ台２３が、重ねられたステップ台２４とともに、ガイドレール２２ａに沿ったスライダー２２の作動により引き出されて、リブ２５の上部に乗る。それと同時に、リンク２７のステップ台２３に連結された方の一端が引張られ、リンク２７のリブ２５に連結された方の他端が引き出される。リブ２５の軸受２６がない方の端が空間４側に引張られることで、リブ２５は軸受２６を中心に回転して空間４に引き出され、収納部２に対向して配置された収納部２´のリブ受３１に架けわたされる。センサー２９は、リブ２５が架けわたされたかどうか検知し、プラットホーム２１の正しい位置状態を表示する制御する装置に連結されている。
【００３３】
図４に、センサーＢ２９の検知により、扉１４の開閉を制御する制御部３３のブロック図を示す。扉１４の電気錠であるソレノイド３４が、センサーＢ２９と、他のロジック３５と接続されている。リブ２５が架けわたされると、センサーＢ２９が接続されて電流が流れ、他のロジック３５の作動により、扉１４のソレノイド３４の施錠が解除される。これにより、プラットホーム２１が引き出されると、収納棚３と収納棚３´との間の空間４に人が入る扉１４が開放可能となる。センサーＢ２９が接続されないと、ソレノイド３４に接続されている他のロジック３５がソレノイド３４に影響を与えることはない。この他のロジック３５としては、例えばプラットホーム２１の駆動装置の引き出し方向の駆動指令がある。
【００３４】
図２（ｃ）において、折り畳まれたステップ台２４がステップ台２３との連結部を中心に回転し、ステップ台２３とステップ台２４が同面となり、プラットホーム２１が形成される。ステップ台２４は、ストッパー３０がリブ２５に引っかかることで左右方向に位置決めされる。プラットホーム２３及びプラットホーム２４は、リブ２５により支持され、リブ２５は骨材としての役割を果たす。
【００３５】
図５〜図８において、プラットホームが形成される工程を説明する。図５〜図８は、プラットホーム２１が形成される工程を模式的に示す斜視図である。
【００３６】
図５は、プラットホーム２１が、収納部２の下部から空間４に引き出される途中の状態を示す。まず、駆動装置（図示しない）により、ステップ台２４が重ねられたステップ台２３が、ガイドレール２２ａに沿ったスライダー２２の作動によりに引き出される。リンク２７が連結されているため、リブ２５の軸受２６がない方の端が空間４側に引張られることで、リブ２５は軸受２６を中心にガイド２２と平行となる方向に回転する。
【００３７】
図６に示すように、リブ２５が収納棚２´に架けわたされリブ受３１に支持されると、スライダー２２が完全に引き出される。この段階で、リブ２５は、骨材としてステップ台２３を支えている。
【００３８】
図７に示すように、ステップ台２３の収納棚２´側の辺を中心に、ステップ台２４が回転される。そして、図８に示すように、ステップ台２３とステップ台２４が同面となり、プラットホーム２１となる。リブ２５は、ステップ台２３及びステップ台２４をささえている。骨材としてのリブ２５に支持されることにより、プラットホーム２１上に作業者が乗り、重量のあるものを扱う作業を行うのに十分な耐力を有することになる。
【００３９】
次に、図１０〜図１２において、本発明に係る高層収納棚１への搭乗手段の例を示す。
【００４０】
図１０では、収納棚３に、上段側プラットホーム２１ａ及び下段側プラットホーム２１ｂが設けられ、収納棚３の左右方向の一端に梯子１１がかけられている。上段側プラットホーム２１ａ及び下段側プラットホーム２１ｂは、梯子１１を架けるためのスペースが空けられている。作業者４０は、梯子１１から上段側プラットホーム２１ａ又は下段側プラットホーム２１ｂに昇り、作業を行うことができる。
【００４１】
図１１では、収納棚３に、上段側プラットホーム２１ａ及び下段側プラットホーム２１ｂが設けられ、収納棚３の移載ステーション反対の片側に、ステップ１２及び梯子１１が常設され、扉１４が設けられている。ステップ１２及び扉１４は、上段側プラットホーム２１ａ及び下段側プラットホーム２１ｂと同じ高さで設けられている。更に、扉１４は、地面の高さにも設けられている。それぞれの扉１４には、ソレノイド３４が設けられており、制御部３３に接続されている。プラットホーム２１が設置されると、扉１４は開放可能となり、作業者４０は、梯子１１からステップ１２に昇り、扉１４から空間４に入り、上段側プラットホーム２１ａ又は下段側プラットホーム２１ｂに乗り、作業を行うことができる。
【００４２】
図１２では、収納棚３に、上段側プラットホーム２１ａ及び下段側プラットホーム２１ｂが設けられ、収納棚３の片側に、上下に移動するステップ１２を備えたバッテリリフト車１３が横付けされ、扉１４が設けられている。扉１４は、上段側プラットホーム２１ａ、下段側プラットホーム１２ｂ及び地面と同じ高さで設けられている。それぞれの扉１４には、ソレノイド３４が設けられており、制御部３３に接続されている。プラットホーム２１が設置されると、扉１４は開放可能となり、作業者４０は、扉１４から空間４に入り、ステップ１２上に乗り、ステップ１２を上段側プラットホーム２１ａ又は下段側プラットホーム２１ｂの高さまで上下動させることにより、上段側プラットホーム２１ａ又は下段側プラットホーム２１ｂに昇り、作業を行うことができる。
【００４３】
尚、本実施形態に係る高層収納棚は、本実施形態例に示したように、クリーンルーム内に設置され、半導体及び半導体デバイスの製造工程中のストッカに好適に用いられる。本発明に係る高層収納棚は、本実施形態例に示されるような半導体及び半導体デバイスの製造工程に使用されるストッカに限定されるものではなく、液晶基板製造、ディスクの製造に用いるストッカ、更に一般的な高層収納棚にも適用可能である。
【００４４】
尚、上述した実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
【００４５】
（１）本実施形態では、高層収納棚１は、２組の収納棚を備えるものとしたが、１つの収納棚と、対向する壁による高層収納棚としてもよい。この場合、プラットホームは、収納棚の収納部の下部に設けられ、片持ちによるものとなるが、壁側に係止部を設け、係止できるものとすることが好ましい。
【００４６】
（２）移載ロボット５は、伸縮ユニットを上下に移動する昇降ユニットに固定し、昇降ユニットが左右方向に移動する横行ベース上の柱に昇降自在に設けられたスタッカ式でもよい。この場合、プラットホームを、収納棚の左右方向全体に引き出すことはできないが、左右方向に分割して設けられたプラットホームのうち、前記柱に干渉しない必要な箇所のプラットホームを引き出せばよい。
【００４７】
（３）本実施形態では、プラットホーム２１の引き出しを、駆動装置（図示しない）によって行ったが、プラットホーム２１上の人の手動により引き出すことも可能である。その場合、リブ２５の軸受２６がない方の端が空間４側に引張られることで、リブ２５は軸受２６を中心にガイド２２と平行となる方向に回転する。リンク２７が連結されているため、ステップ台２４が重ねられたステップ台２３が、ガイドレール２２ａに沿ったスライダー２２の作動によりに引き出される。
【００４８】
（４）リブ２５は、軸受２６がスライダー２２とともにスライドし、スライダー２２に対し、水平面内で旋回自在とするものとしてもよい。この場合、図９に示すように、リブ２５は、ステップ台２３とともに空間４に引き出され、引き出された状態から軸受２６を中心に回転し、リブ受３１に架けわたされる。
【００４９】
（５）プラットホームは、人が上に乗り、作業を行うのに十分耐えられるように支持されるのであれば、下部に突っ張りを設けたり、上部からチェーン等で吊り下げたりすることで支持してもよい。
【００５０】
（６）プラットホームは、収納棚の左右方向ほぼ全域にわたる長さのステップ台２３及びステップ台２４とし、駆動装置によりプラットホームを引き出し形成することも可能である。この場合、一度に収納棚左右方向全域にわたりプラットホームを形成することができるため、作業時間が短縮され、作業効率がよい。
【００５１】
（７）プラットホームは、十分な奥行きを有する収納棚であれば、折り畳み式のステップ台ではなく１枚のステップ台によるものとすることも可能である。この場合、プラットホームを形成する工程及び収納する工程が簡易なものとなり、作業効率がよい。
【００５２】
【発明の効果】
以上、本発明によると、どれだけの高さを有する高層収納棚であっても、適当な位置に足場を形成しその上で作業を行うことができ、作業者が脚立や梯子上で作業を行う必要がなくなるため、作業がし易くなり、作業効率があがり、作業時の安全性も向上する。また、移載ロボットのトラブル発生時やメンテナンスをする時以外は収納されており、移載ロボットの移動の邪魔になることはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る高層収納棚の一実施形態例を示す、概略図である。（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）におけるＡ-Ａ´断面図である。
【図２】本発明に係るプラットホーム２１が形成される工程順に構造を模式的に示す平面図である。
【図３】センサー手段２８により、移載ロボット５を制御する制御部３２を模式的に示すブロック図である。
【図４】センサー手段２９により、扉１４の開閉を制御する制御部３３を模式的に示すブロック図である。
【図５】本発明に係るプラットホーム２１が形成される工程を示す斜視図である。
【図６】本発明に係るプラットホーム２１が形成される工程を示す斜視図である。
【図７】本発明に係るプラットホーム２１が形成される工程を示す斜視図である。
【図８】本発明に係るプラットホーム２１が形成される工程を示す斜視図である。
【図９】本発明に係るプラットホーム２１が形成される工程を示す斜視図である。
【図１０】本発明に係る高層収納棚への搭乗手段を示す斜視図である。
【図１１】本発明に係る高層収納棚への搭乗手段を示す斜視図である。
【図１２】本発明に係る高層収納棚への搭乗手段を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  高層収納棚
２  収納部
２´  収納部
３  収納棚
３´  収納棚
４  空間
５  移載ロボット
６  枠体
７  伸縮ユニット
８  横行ユニット
９  昇降ベース
１０ａ  支柱
１０ｂ  支柱
２１  プラットホーム
２１ａ  上段側プラットホーム
２１ｂ  下段側プラットホーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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