(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の表面部に二次元アレイ状に配列形成された複数の光電変換素子と、直線状に連続する所定複数個毎の前記光電変換素子の上に載設される分光素子であって前記所定複数個の前記光電変換素子への入射光を導入する底辺から上辺の方向に長手の台形状開口が設けられ該入射光と該台形状開口内の内側面での反射光との干渉によって前記長手の方向に分光を起こす分光素子と、前記長手の方向に並ぶ前記所定複数個の前記光電変換素子の各々が前記台形状開口を通って入射してくる光を受光して検出する信号を読み出す信号読出手段とを備えることを特徴とするカラー画像撮像用固体撮像素子。
【請求項２】
前記台形状開口の前記長手の方向に並ぶ前記所定複数個の前記光電変換素子と該台形状開口とを単位画素としたとき、前記台形状開口の側辺側で隣接する２つの単位画素の前記底辺から上辺の方向の向きを逆向きに配列したことを特徴とする請求項１に記載のカラー画像撮像用固体撮像素子。
【請求項３】
前記単位画素が格子状に配列形成されることを特徴とする請求項２に記載のカラー画像撮像用固体撮像素子。
【請求項４】
前記長手の方向に隣接する前記台形状開口の側辺が一直線上に並ぶ請求項２または請求項３に記載のカラー画像撮像用固体撮像素子。
【請求項５】
前記長手の方向に隣接する２つの前記台形状開口が底辺同士または上辺同士隣接して配列形成されることを特徴とする請求項２または請求項３に記載のカラー画像撮像用固体撮像素子。
【請求項６】
奇数行の前記単位画素行に対して前記偶数行の前記単位画素行が１／２ピッチづつずらして配列形成されることを特徴とする請求項２に記載のカラー画像撮像用固体撮像素子。
【請求項７】
前記長手の方向に対し垂直方向に隣接する前記単位画素において、同色の光を受光する前記光電変換素子が該垂直方向に整列して設けられることを特徴とする請求項２に記載のカラー画像撮像用固体撮像素子。
【請求項８】
前記側辺側で隣接する２つの単位画素を互いに逆向きに配列した第１のペアと該第１のペアを略９０度回転させた第２のペアとを隣接して構成した二等辺平行四辺形となる４つの前記単位画素を１単位として各単位画素を受光面上に配列したことを特徴とする請求項２に記載のカラー画像撮像用固体撮像素子。
【請求項９】
前記単位画素の同色を検出する位置が隣接するように各単位画素を配列したことを特徴とする請求項２乃至請求項８のいずれかに記載のカラー画像撮像用固体撮像素子。
【請求項１０】
請求項５に記載のカラー画像固体撮像素子の信号加算方法において、前記底辺同士が隣接する２つの前記単位画素の該底辺位置から読み出される信号を加算し、前記上辺同士が隣接する２つの前記単位画素の該上辺位置から読み出される信号を加算し、側辺同士が隣接する２つの前記単位画素の底辺，上辺間の中間位置から読み出される信号を加算することを特徴とする信号加算方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はカラー画像撮像用固体撮像素子に係り、特に、カラーフィルタを用いずにカラー画像を撮像することができる固体撮像素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー画像撮像用の固体撮像素子として、従来からＣＭＯＳ型やＣＣＤ型等の単板式固体撮像素子が知られている。これらの固体撮像素子では、例えば下記の特許文献１に記載されている様に、半導体基板の表面部に光電変換素子であるフォトダイオードが二次元アレイ状に複数形成され、その上に、遮光膜が積層されると共に、この遮光膜のフォトダイオード対面箇所にフォトダイオードへの入射を可能とする開口が設けられ、その上に、カラーフィルタが積層される構造になっている。
【０００３】
カラーフィルタとしては、赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）の三原色が用いられる例が多い。そして、例えば、二次元アレイ状に配列形成された複数のフォトダイオードのうち約半数に緑色（Ｇ）のカラーフィルタが積層され、残りの半数のうちの半数に赤色（Ｒ）のカラーフィルタが、残りに青色（Ｂ）のカラーフィルタが積層され、夫々固体撮像素子の受光面に渡って各色カラーフィルタが平均的に散らばる様に配列される。
【０００４】
上述した従来の固体撮像素子では、１つのフォトダイオードに１つの遮光膜開口が対応し、１つの遮光膜開口に１色のカラーフィルタが対応することになる。このため、１つのフォトダイオードに入射する光のうち約２／３がカラーフィルタに吸収されてしまい（例えば赤色カラーフィルタに入射した青色光，緑色光はフィルタに吸収され熱となる。）、光利用効率が低いという問題を原理的に有している。
【０００５】
また、固体撮像素子の受光面に結像された被写体の光像を、各フォトダイオードがサンプリングして電気信号に変換することになるが、上述した従来の構造では、赤色のサンプリングポイントと緑色のサンプリングポイントと青色のサンプリングポイントが全て異なるため、赤色のサンプリングポイントにおける緑色，青色の検出信号は、周りの緑色，青色の各サンプリングポイントで得られた信号を補間演算して求めるという信号処理が必要となり、サンプリングポイントの位置ズレによる撮像画像の品質低下も原理的に避けることができないという問題もある。
【０００６】
【特許文献１】特開２００７―１８０１５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、光利用効率が高く、しかも、１つの開口で複数色の検出信号を得ることができる今までにない新規なカラー影像撮像用固体撮像素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のカラー画像撮像用固体撮像素子は、半導体基板の表面部に二次元アレイ状に配列形成された複数の光電変換素子と、直線状に連続する所定複数個毎の前記光電変換素子の上に載設される分光素子であって前記所定複数個の前記光電変換素子への入射光を導入する底辺から上辺の方向に長手の台形状開口が設けられ該入射光と該台形状開口内の内側面での反射光との干渉によって前記長手の方向に分光を起こす分光素子と、前記長手の方向に並ぶ前記所定複数個の前記光電変換素子の各々が前記台形状開口を通って入射してくる光を受光して検出する信号を読み出す信号読出手段とを備えることを特徴とするカラー。
【０００９】
本発明の画像撮像用固体撮像素子は、前記台形状開口の前記長手の方向に並ぶ前記所定複数個の前記光電変換素子と該台形状開口とを単位画素としたとき、前記台形状開口の側辺側で隣接する２つの単位画素の前記底辺から上辺の方向の向きを逆向きに配列したことを特徴とする。
【００１０】
本発明のカラー画像撮像用固体撮像素子は、前記単位画素が格子状に配列形成されることを特徴とする。
【００１１】
本発明のカラー画像撮像用固体撮像素子は、前記長手の方向に隣接する前記台形状開口の側辺が一直線上に並ぶことを特徴とする。
【００１２】
本発明のカラー画像撮像用固体撮像素子は、前記長手の方向に隣接する２つの前記台形状開口が底辺同士または上辺同士隣接して配列形成されることを特徴とする。
【００１３】
本発明のカラー画像撮像用固体撮像素子は、奇数行の前記単位画素行に対して前記偶数行の前記単位画素行が１／２ピッチづつずらして配列形成されることを特徴とする。
【００１４】
本発明のカラー画像撮像用固体撮像素子は、前記長手の方向に対し垂直方向に隣接する前記単位画素において、同色の光を受光する前記光電変換素子が該垂直方向に整列して設けられることを特徴とする。
【００１５】
本発明のカラー画像撮像用固体撮像素子は、前記側辺側で隣接する２つの単位画素を互いに逆向きに配列した第１のペアと該第１のペアを略９０度回転させた第２のペアとを隣接して構成した二等辺平行四辺形となる４つの前記単位画素を１単位として各単位画素を受光面上に配列したことを特徴とする。
【００１６】
本発明のカラー画像撮像用固体撮像素子は、前記単位画素の同色を検出する位置が隣接するように各単位画素を配列したことを特徴とする。
【００１７】
本発明のカラー画像撮像用固体撮像素子の画素加算方法は、請求項５記載のカラー画像固体撮像素子の信号加算方法において、前記底辺同士が隣接する２つの前記単位画素の該底辺位置から読み出される信号を加算し、前記上辺同士が隣接する２つの前記単位画素の該上辺位置から読み出される信号を加算し、側辺同士が隣接する２つの前記単位画素の底辺，上辺間の中間位置から読み出される信号を加算することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、一つの開口でカラー画像生成用の複数色の信号を検出することができ、また、カラーフィルタの様に光を無駄に熱消費してしまう部材が無いため光利用効率が高くなる。
【００１９】
更に、台形状開口を持つ分光素子を固体撮像素子受光面状に稠密に配列するため隣接する２つの台形状開口が入り込む構成となり、光学的ローパスフィルタを用いなくても折返し歪みによる画質劣化を低減することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態に係るカラー画像撮像用固体撮像素子で用いる分光素子の斜視図である。この分光素子１は、本実施形態では金属の厚板で構成され、図示する例では、上面視で台形状の開口２が上面から下面まで貫通して設けられる。
【００２２】
開口２の内側面は、上面，下面に対して垂直に設けても良く、また、傾斜して設け、上面の開口に対して下面の開口が相似形で小さくなるようにテイパー状開口としても良い。
【００２３】
分光素子１を金属の厚板で構成するのは、開口２の内側面として十分な長さ（厚さ方向の長さ）を設ける必要があるためである。開口２に入射する白色光と、この白色光のうち開口２の内側面にて反射させた光とを干渉させることで、分光素子１の下面側において分光が発生する。分光素子１の上に偏光素子を設け、入射光を台形状開口２の長手方向（台形の高さ方向、この台形状開口２は、底辺の長さに対して高さ方向が長手になっている。）に偏光させ開口２内に入射させる方が、分光が起き易くなり好適である。
【００２４】
開口２の内側面で入射光を反射させるため、分光素子１を厚手材料で形成するが、金属の厚板である必要はなく、半導体基板に開口２を集積回路製造技術を用いて形成し、その内側面や上面に反射率の高い金属膜を成膜することでも良い。上面の反射膜は遮光膜として機能する。
【００２５】
図２は、開口２の説明図である。開口２は上面視で台形状に形成される。開口２は、四隅の角が角張った台形でも良く、四隅が丸く形成された形状でも良い。あるいは上辺が限りなく「点」に近い二等辺三角形の形状でも良い。このため、「台形状」の開口という用語を用いて説明する。
【００２６】
台形状開口２の両側面を延長したとき二等辺三角形となるが、この二等辺三角形の頂角θを所定角度以下の狭角に調整して開口２を開けることで、開口２内で生じる分光の程度を調整することができる。また、台形状開口２の上辺２ａを切る頂点Ａからの距離ｔを調整して開口２を開けることで、分光する光の短波長側を規定することができる。
【００２７】
開口２の大きさとしては、例えば、台形の高さが高々１０μｍ程度、幅（下辺２ｂの長さ）が高々１μｍ程度であるが、分光素子１の厚さや、開口２の内側面を垂直にするのではなく傾斜して設けた場合にはその傾斜角、上記の頂角θ等にも依存するため、これに限るものではない。
【００２８】
台形（開口２）の底辺２ｂ側に長波長の色が分光する程度が強くなり、短辺（上辺）２ａ側に短波長の色が分光する程度が強くなる。このため、上記のθ，ｔ，厚さ，傾斜角，底辺２ｂの長さ，使用する金属の種類（反射率）等を選択することで、底辺２ｂから上辺２ａにかけて、赤色（Ｒ），緑色（Ｇ），青色（Ｂ）と順に分光させ、既存のＲＧＢのカラーフィルタを搭載した固体撮像素子用に開発された信号処理手法をそのまま適用できるようにするのが好ましい。しかし、ＲＧＢの三原色の分光でなくても、各分光毎の受光量を検出することで、被写体のカラー画像を再生することができる。
【００２９】
以下、本実施形態の分光素子１が入射光をＲＧＢの三原色に分光するものとして説明する。図３は、１つの開口２の下に設けるフォトダイオードの説明図である。図示する例では、台形状開口２の底辺２ｂから上辺２ａにかけて３つのフォトダイオード４ｒ，４ｇ，４ｂを並べて設ける。即ち、半導体基板上に二次元アレイ状に形成された複数のフォトダイオードのうち、連続して３つ並ぶフォトダイオード４ｒ，４ｇ，４ｂの上に、分光素子１を載設することで、１つの単位画素を構成する。
【００３０】
この単位画素の開口２に入射した光は殆ど全て、３つのフォトダイオード４ｒ，４ｇ，４ｂのいずれかに分光して入射し光電変換に寄与するため、その光利用効率は高く、高感度な被写体画像を撮像することが可能となる。
【００３１】
尚、例えば分光が６つに分けられる様に分光素子１を設計にした場合には、各分光毎に１つのフォトダイオードを割り当て、直線状に配列される６つのフォトダイオードの上に分光素子１を載設することで１つの単位画素を構成することになる。
【００３２】
図４は、図３に示す単位画素を二次元アレイ状に配列した状態を示す斜視図である。図示する例では、個々の分光素子１を分離する線を図示しているが、実際には、一枚構成の金属板（あるいは半導体基板等）に複数の台形状開口２を二次元アレイ状に形成し、この金属板（あるいは半導体基板等）を、個々の開口２の下に３つのフォトダイオードが重なるように配置する。
【００３３】
図５は、各フォトダイオードの信号読出回路及び配線接続を例示する図である。この図５は、通常のＣＭＯＳ型イメージセンサで用いられる信号読出回路及び配線接続と全く同じであり、個々のフォトダイオード４には、リセットトランジスタ５，読出トランジスタ６，増幅トランジスタ７の３トランジスタ構成の読出回路が付加され、これらが、垂直シフトレジスタ８や水平シフトレジスタ９によって動作制御される様になっている。
【００３４】
図５には、３トランジスタ構成を例示したが、４トランジスタ構成のものを採用することも可能である。
【００３５】
この図５に示す構成において、図４の個々の開口２が連続する３つのフォトダイオード４に重なるように設けられる。図５に示すフォトダイオード４以外のトランジスタや配線は、開口２と重ならない領域に設けられ、遮光される。
【００３６】
この様に、分光素子１をカラーフィルタの代わりに用いて固体撮像素子を構成することで、光利用効率が高くなり、また、単位画素すなわち３つの連続するトランジスタ４ｒ，４ｇ，４ｂが検出する光像のサンプリングポイントは、開口２が同一のため同一となり、高品質なカラー画像を撮像することが可能となる。
【００３７】
図４に示す分光素子１は、各分光素子１の向きを同一にしている。即ち、図６に示す様に、各台形状開口２の底辺２ｂが左側、上辺２ａが右側となるように配列している。分光素子１は、開口２の長手方向と偏光方位とを一致させる必要があり、図４の構成にすると、２つの台形状開口２の短辺２ａ間に生じる隙間箇所が広くなって受光されない領域ができ、光利用効率の低下を招く。そこで、以下に述べる各実施形態では、台形状開口２の向きに工夫を凝らし、光利用効率の更なる向上を図っている。
【００３８】
図７（ａ）に示す実施形態では、隣接する２つの開口２の向きを逆に配置し、２つの開口２間の隙間が狭くなるように配置し、入射光がフォトダイオードに入射しない領域を狭くしている。図７（ｂ）は、この配置例の効果説明図であり、台形状開口２を分かり易いように極端に表示している。上下に隣接する２つの台形状開口２の底辺２ｂが、中央の水平線１１で重なるように配置することで、上下の２つの単位画素が入り組んだ配置となる。これにより、境界部分の１点に入射した入射光は、２つの単位画素内に入ることになる。
【００３９】
従来のデジタルカメラでは、画素が周期的に並んでいるために発生する折返し歪みによるモアレや偽色を回避するために、光学的ローパスフィルタが必須であり、これがデジタルカメラのコストを押し上げる一因になっていた。しかし、図７（ａ）に示す様に、各単位画素が入り込むように配列すれば、光学的ローパスフィルタを用いなくても、折返し歪みによる画像劣化を低減可能となる。
【００４０】
図８は、図７（ａ）に示す配列を周期的に繰り返した実施形態を示す図である。この実施形態では、奇数行の単位画素行の各々の台形状開口２の向きに対して偶数行の単位画素行の台形状開口２の向きを逆に配列した構造とし、各単位画素が正方格子状に隙間無く稠密に配列される。
【００４１】
この様な配列にすることで、単位画素が格子状に配列され、撮像された信号の処理が容易になると共に、光学的ローパスフィルタが不要な固体撮像素子を実現することが可能となる。
【００４２】
尚、図８の配列を９０度回転させた配列構造とすることでも良いことはいうまでもなく、これは以下に述べる他の実施形態でも同様である。
【００４３】
図９は、図８の配列構造において、単位画素列間に、幅広の遮光膜部（開口２が設けられていない部分）１２を設けている。図５の信号読出回路を設けた固体撮像素子はＣＭＯＳ型であるが、ＣＣＤ型の固体撮像素子にも図８に示す実施形態を適用可能である。但し、ＣＣＤ型固体撮像素子では、垂直電荷転送路が必要となるため、垂直電荷転送路を設ける箇所に、遮光膜部１２を設けることになる。
【００４４】
図１０は、図８の配列構造を基本としているが、奇数行目の各台形状開口２の１側辺が連続する直線となる様に配列したことを特徴としている。
【００４５】
図１１は、図８に示す配列構造を９０度回転させた配列とし、単位画素列に沿って遮光膜部１２を設けた構成にしている。図示する例では、単位画素列２列に１列の遮光膜部１２を設けており、この遮光膜部１２の下側に垂直電荷転送路を形成する様になっている。
【００４６】
図１２は、図１１の配列構成と基本構成は同じであるが、遮光膜部１２の単位画素と接する縁が連続する直線となるように各単位画素を配列している点が異なる。図１１に示す遮光膜部１２の様に狭隘部，段差部があると、垂直電荷転送路の転送電極への印加電界がこの部分で不均一となり、転送不良の原因になる虞がある。そのため、図１１の構成では、垂直電荷転送路の幅を狭くして均一幅にしなければならないが、図１２の構成にすると、遮光膜部１２の幅一杯に垂直電荷転送路を構成できるという利点がある。
【００４７】
図１３は、台形状開口２の底辺同士，上辺同士が隣接するように各単位画素を行方向（水平方向）に並べ、垂直方向の隣接単位画素においては底辺側と上辺側とが交互に並ぶように単位画素列を配列し、固体撮像素子の受光面を隙間無く稠密に単位画素で埋め尽くしている。
【００４８】
この構成にすると、光利用効率が高くなり、且つ、同一色同士の検出電荷を読み出すフォトダイオードが近接するため、同一色の信号を読み出す配線の共通化を図って配線数の削減を図ることが可能になるという利点がある。
【００４９】
図１４は、図１３の配列構成において、同一色の感光領域にあるフォトダイオード同士の検出電荷を加算読み出しする場合の、すなわち画素加算して信号読出する場合の各色のサンプリング位置を示す図である。
【００５０】
赤色（Ｒ）は、底辺同士が隣接する水平方向に隣接する２つの単位画素（台形状開口２）の重心位置が加算読出した赤色信号のサンプリング位置となる。青色（Ｂ）は、上辺同士が隣接する水平方向に隣接する２つの単位画素の重心位置が加算読出した青色信号のサンプリング位置となる。緑色（Ｇ）は、垂直方向に隣接する２つの単位画素の重心位置が加算読出した緑色信号のサンプリング位置となる。
【００５１】
図１４に示すＲＧＢの配置は、例えば特開２００７―１８９０２２号公報に記載されている様な従来の固体撮像素子、即ち、奇数行の画素に対して偶数行の画素が１／２画素ピッチづつずらして形成され、奇数行の画素に緑色（Ｇ）のカラーフィルタが積層され、偶数行の画素に赤色（Ｒ）と青色（Ｂ）のカラーフィルタが交互に積層された所謂ハニカム画素配列の固体撮像素子のＲＧＢの配置と同じとなる。このため、この従来の固体撮像素子の信号処理と同じ信号処理方法で図１４の検出信号ＲＧＢを処理できるという利点がある。
【００５２】
図１５は、図８の配列構成において、各行における台形状開口２の底辺位置が、次行の台形状開口２の中央位置にくるようにずらして設けた配列構成になっている。即ち、奇数行の単位画素行に対して偶数行の単位画素行が１／２ピッチづつずらして配列され、正方格子の市松位置に各単位画素が来るように構成されている。
【００５３】
正方格子の残りの市松位置の単位画素の無い箇所の撮像信号を、周りの単位画素の検出信号で補間演算することで求めれば、水平方向，垂直方向共に、解像度を図８の配列構成より高めることが可能となる。
【００５４】
図１６は、図８の配列構成において、奇数行，偶数行の単位画素行を更にずらし、水平方向に隣接する単位画素との間に隙間（遮光膜部）を設け、垂直方向に並ぶ単位画素の赤色感光部が一列に並ぶように、また、緑色感光部も一列に並ぶように、且つ、青色感光部も一列に並ぶように配列している。
【００５５】
この構成により、垂直電荷転送路を垂直方向に蛇行して且つ各単位画素の各色感光部の全てに沿うように形成することができる。このため、各単位画素の各色感光部（フォトダイオード）から垂直電荷転送路への信号読出を容易に行うことが可能となる。
【００５６】
図１７（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）の夫々は、図７（ａ）に示すペアの台形状開口２を２組み組み合わせ、全体として４単位画素の集合が二等辺平行四辺形となる態様を示している。上述した偏光素子を設けない場合、分光素子１は、台形状開口２の長手方向（高さ方向）の偏光に対してより敏感に反応し分光するため、図１７に示す様に、台形状開口２の長手方向を直角方向に組み合わせた場合、２方向の偏光に対して反応し分光することになる。
【００５７】
図１８，図１９は、図１７の組合せを用いて受光面上に単位画素を隙間無く稠密に配列した構成を示している。図２０，図２１は、隣接する単位画素で同色感光部を隣接配置した例を示している。同色感光部を隣接配置することで、上述した様に、配線数の削減を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明に係る固体撮像素子は、光利用効率が高く、単位画素がカラー画像撮像に必要な複数色の信号を同一サンプリングポイントで検出するため、高感度撮影や高品質な被写体画像を撮像する固体撮像素子として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の一実施形態に係る固体撮像素子に用いる分光素子の斜視図である。
【図２】図２に示す分光素子の平面図である。
【図３】図２に示す分光素子に対するフォトダイオードの配置図である。
【図４】二次元アレイ状に配列形成した分光素子集合体の斜視図である。
【図５】分光素子の下側に配置する受光素子及び信号読出回路の回路図である。
【図６】２つの分光素子の配置構成図である。
【図７】図６とは異なる配置構成図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係る固体撮像素子の単位画素配置図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る固体撮像素子の単位画素配置図である。
【図１０】本発明の第３実施形態に係る固体撮像素子の単位画素配置図である。
【図１１】本発明の第４実施形態に係る固体撮像素子の単位画素配置図である。
【図１２】本発明の第５実施形態に係る固体撮像素子の単位画素配置図である。
【図１３】本発明の第６実施形態に係る固体撮像素子の単位画素配置図である。
【図１４】図１３に示す固体撮像素子で画素加算したときの各色検出信号の配置図である。
【図１５】本発明の第７実施形態に係る固体撮像素子の単位画素配置図である。
【図１６】本発明の第８実施形態に係る固体撮像素子の単位画素配置図である。
【図１７】２方向の偏光を検出する分光素子の組合せ態様を示す図である。
【図１８】本発明の第９実施形態に係る固体撮像素子の単位画素配置図である。
【図１９】本発明の第１０実施形態に係る固体撮像素子の単位画素配置図である。
【図２０】本発明の第１１実施形態に係る固体撮像素子の単位画素配置図である。
【図２１】本発明の第１２実施形態に係る固体撮像素子の単位画素配置図である。
【符号の説明】
【００６０】
１  分光素子
２  台形状開口
２ａ  上辺（短辺）
２ｂ  下辺（底辺，長辺）
４ｒ  赤色検出用のフォトダイオード
４ｇ  緑色検出用のフォトダイオード
４ｂ  青色検出用のフォトダイオード
１２  遮光膜部（垂直電荷転送路の形成場所）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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