(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の接続部が下面に配置された基板と、
それぞれが前記接続部に上端において一対一の形に接続された針元部と、該針元部の下端から左右方向へ伸びる針主体部と、該針主体部の先端から下方へ伸びる針先部であって下端に針先を有する針先部を備える複数のプローブをそれぞれ含む第１、第２、第３及び第４のプローブ群とを含み、
前記第１及び第３のプローブ群のプローブの針主体部は対応する前記針元部の下端から前記第２及び第４のプローブ群のプローブの側に伸びており、
前記第２及び第４のプローブ群のプローブの針主体部は対応する前記針元部の下端から前記第１及び第３のプローブ群のプローブの側に伸びており、
前記第３及び第４のプローブ群のプローブの針先は前後方向に交互に位置されており、
各プローブ群に属する前記複数のプローブの前記針先部は前記針主体部の長手方向軸線を経る鉛直面に対して前記前後方向の一方又は他方の側に曲げられており、
前記第３のプローブ群のプローブの針先部の曲げられた方向と前記第４のプローブ群のプローブの針先部の曲げられた方向とは互いに異なる、プローブカード。
【請求項２】
前記複数の接続部は第１及び第２の接続部群のいずれか一方又は他方に属し、前記第１の接続部群に属する接続部と前記第２の接続部群に属する接続部とは前記左右方向に間隔をおいて前記基板の下面に配置されている、請求項１に記載のプローブカード。
【請求項３】
前記第３のプローブ群のプローブに最も隣接する、前記第１のプローブ群のプローブのうちの２つのプローブの針先部の曲げられた方向は互いに異なり、また前記第４のプローブ群のプローブに最も隣接する、前記第２のプローブ群のプローブのうちの２つのプローブの針先部の曲げられた方向は互いに異なる、請求項１に記載のプローブカード。
【請求項４】
前記最も隣接する、前記第１のプローブ群のプローブのうちの２つのプローブの針先部の針先は互いに前記前後方向にずれており、また前記最も隣接する、前記第２のプローブ群のプローブのうちの２つのプローブの針先部の針先は互いに前記前後方向にずれている、請求項３に記載のプローブカード。
【請求項５】
前記針先は前記前後方向に直線状に位置される、請求項１に記載のプローブカード。
【請求項６】
前記第３及び第４のプローブ群は、それぞれ、少なくとも２つのプローブサブ群を含む、請求項１に記載のプローブカード。
【請求項７】
前記２つのプローブサブ群のプローブの針先は前記前後方向に２列構成に位置され、各列の針先は前記前後方向に伸びる直線上に位置される、請求項６に記載のプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子等の電子デバイスの電気的試験を行うためのプローブカードに関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、プローブカードは細長い多数のプローブを備え、各プローブの針先部（針先）を電子デバイスの各電極に一対一の形で接触させて当該電子デバイスに通電させることによって電気的試験を行っている。
【０００３】
近年、かかる電子デバイスは社会的ニーズとそれをサポートする技術の進歩に伴って小型化や高集積化が進み、これに伴って電子デバイスの電極も小型化し、またその間隔（ピッチ）も狭小化している。この他、電子デバイスによっては、その電極が多数の列をなして配置され、しかも電極の位置やピッチが列毎に異なる場合もある。
【０００４】
このような電子デバイスの電気的試験を行う場合、電極間の狭小化したピッチや電極間ごとに異なるピッチに対応するプローブ間で互いに接触するおそれが増大した。
【０００５】
従来、かかるプローブ間の接触を防ぐ種々の提案がされている。例えば、プローブの針先を電子デバイスの電極の左右方向から交互に交差しないように千鳥配列するプローブカードがある（特許文献１）。また、複数のプローブを、針主体部が針先部から一方に伸びる第１のプローブ群と、針主体部が針先部から他方に伸びる第２のプローブ群とに分け、第１及び第２のプローブ群のプローブはそれらの針先の配列方向に交互に位置付けされるプローブカードがある（特許文献２）。さらに、第１層のプローブ針、第２層のプローブ針及び第３層（最下層）のプローブ針が針押さえ下面に垂直方向に順に固定されるプローブカードがあり、電子デバイスの電極の位置に対応していずれかの層のプローブ針を使用する（特許文献３）。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２１６２０４号公報（段落００１７）
【特許文献２】特開２００１−１０８７０８号公報（請求項２）
【特許文献３】特開２００３−１４７８０号公報（段落００１１等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、従来のプローブカードによれば、複数の電極列を有する電子デバイスにおいて、各列の電極間のピッチが異なる場合や各列の電極の位置が列方向にずれている場合には、プローブ間のピッチは一定であるため、各プローブを各電極に一対一の形で接触させることができず、前記電子デバイスの電気的試験を行うことが困難であった。
【０００８】
特に、多数の電極が不規則に配列された特別仕様の電子デバイスに対しては、従来のプローブカードのプローブでは一対一の形で接触させるような構造にすることができない。
【０００９】
また、各列の電極間のピッチが各プローブの間のピッチより小さい電子デバイスに対して、該プローブを有するプローブカードを使用すると、プローブ間で接触し、電気的試験を行うことができない。
【００１０】
本発明の目的は、複数の電極を有する電子デバイス、例えば、電極が３つ以上の列に配置され、各列が他の列に対してずれて配置された電子デバイスの各電極に１つのプローブの針先部の針先を隣り合うプローブが互いに接触することなく、各電極に確実に一対一の形で接触させるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係るプローブカードは、複数の接続部が下面に配置された基板と、それぞれが前記接続部に上端において一対一の形に接続された針元部と、該針元部の下端から左右方向へ伸びる針主体部と、該針主体部の先端から下方へ伸びる針先部であって下端に針先を有する針先部を備える複数のプローブをそれぞれ含む第１、第２、第３及び第４のプローブ群とを含む。
【００１２】
前記第１及び第３のプローブ群のプローブの針主体部は対応する前記針元部の下端から前記第２及び第４のプローブ群のプローブの側に伸びており、前記第２及び第４のプローブ群のプローブの針主体部は対応する前記針元部の下端から前記第１及び第３のプローブ群のプローブの側に伸びており、前記第３及び第４のプローブ群のプローブの針先は前後方向に交互に位置されている。
【００１３】
前記複数の接続部は第１及び第２の接続部群のいずれか一方又は他方に属し、前記第１の接続部群に属する接続部と前記第２の接続部群に属する接続部とは前記左右方向に間隔をおいて前記基板の下面に配置されている。各プローブ群に属する前記複数のプローブの前記針先部は前記針主体部の長手方向軸線に対して前記前後方向の一方又は他方の側に曲げられてもよい。
【００１４】
また、前記第３のプローブ群のプローブの針先部の曲げられた方向と前記第４のプローブ群のプローブの針先部の曲げられた方向とは互いに異なってもよい。さらに、前記第３のプローブ群のプローブに最も隣接する、前記第１のプローブ群のプローブのうちの２つのプローブの針先部の曲げられた方向は互いに異なり、また前記第４のプローブ群のプローブに最も隣接する、前記第２のプローブ群のプローブのうちの２つのプローブの針先部の曲げられた方向は互いに異なってもよい。
【００１５】
また、前記最も隣接する、前記第１のプローブ群のプローブのうちの２つのプローブの針先部の針先は互いに前記左右方向にずれており、また前記最も隣接する、前記第２のプローブ群のプローブのうちの２つのプローブの針先部の針先は互いに前記前後方向にずらすことができる。
【００１６】
前記針先は前記前後方向に直線状に位置されてもよい。また、前記第３及び第４のプローブ群は、それぞれ、少なくとも２つのプローブサブ群を含むことができる。さらに、前記２つのプローブサブ群のプローブの針先は前記前後方向に２列構成に位置されてもよく、また各列の針先は直線状に配列されてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係るプローブカードによれば、前記第３及び第４のプローブ群のプローブの針先は前記前後方向に交互に位置されているので、第３及び第４のプローブ群に属するプローブは隣り合うプローブ同士を接触させることなく、プローブを位置させることができる。
【００１８】
特に、電子デバイスの３列以上の電極の中間列の各電極に対して第３及び第４のプローブ群に属するプローブを、隣り合うプローブ同士を接触させることなく、交互に配置させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について説明する。
【００２０】
［用語について］
なお、本発明においては、前後方向とは図２及び図３における電子デバイスの電極の縦列又はプローブの縦列の方向をいい、左右方向とは前後方向に交差する方向であってプローブの針主体部が針先部に続く方向をいい、上下方向とは紙背方向をいう。しかし、それらの方向は、被試験体である電子デバイスを、プローブカードを取り付ける試験装置に配置する際の当該デバイスの姿勢により異なる。
【００２１】
以下、図１〜図４を参照して本発明に係るプローブカードの第一の実施例について説明する。
［第一の実施例］
【００２２】
図１及び図２を参照すると、プローブカード１０は、３列に配置された複数の電極１２を有する半導体集積回路のような電子デバイス１４の電気的特性を測定する通電試験に用いられる。図示した例では、電子デバイス１４の一部が示され、その電極１２は長方形の形状を有する。図示した電極１２に厚みはないが、プローブカード１０は厚みを有するバンプ電極にも適用できる。
【００２３】
プローブカード１０は、複数のプローブ１６、１８、２０、２２、２４、２６を各列の電極１２に、それらの針先がほぼ直線状の配列となる状態に基板２８の下面２８ａに配置している（図２及び図３）。プローブ１６、１８、２４は一方の針押え３０により基板２８に装着されており、プローブ２０、２２、２６は他方の針押え３２により基板２８に装着されている。図示の例では、各プローブは、導電性金属細線から形成されたニードルタイプである。
【００２４】
各プローブは、主体部３４ｂ（図４（Ｂ））において針押え３０、３２に接着剤により針先部３４ａ（図４（Ｂ））が下方へ向いた状態に組み付けられている。各プローブ１６、１８、２０、２２、２４、２６は直径寸法が針先側（針先）ほど小さくなる円錐形（すなわち、テーパ状）の形状を有する。
【００２５】
基板２８は、矩形の開口３６を中央部に有し、開口の周りに複数の配線（図示せず）を有し、それら配線に電気的に個々に接続された複数の接続部（ランド）３８ａ、３８ｂを前記配線の周りに有する配線基板であり、また電気絶縁材料から形成されている。各プローブの後端部は、基板２８に形成された前記配線に半田や導電性接着剤など（被接続部）により電気的に接続されている。
【００２６】
図示した例では、接続部３８ａ、３８ｂは基板２８の下面に間隔をおいて前後方向に左側１列及び右側１列の構成で形成している。図中、左側１列の接続部３８ａはプローブ１６、１８、２４用のランドになる。
【００２７】
同様に、右側１列のうちの接続部３８ｂはプローブ２０、２２、２６用のランドになる。図１及び図２に示すように、各プローブは片持ち梁状に各接続部と接続し、各プローブの針先部３４ａの針先３４ｄは基板２８の開口３６の下方空間３６ａに位置する。図示した例では、接続部を左側１列及び右側１列の構成で形成したが、多数の列で構成できる。
【００２８】
針押え３０、３２は、基板２８の開口３６の対向する２つの辺に対応する箇所の下側に、接着剤、複数のねじ部材等により装着されている。図示の例では、針押え３０、３２は別部材に形成されているが、一部材で形成してもよい。
【００２９】
針押え３０に装着されたプローブ１６、１８、２４は、基板２８からの主体部３４ｂの高さ位置は同じであり、主体部３４ｂは針先部３４ａから同じ方向へ延在している。他方の針押え３２に装着されたプローブ２０、２２、２６は、基板２８からの主体部の高さ位置は同じであり、主体部３４ｂは針先部３４ａから同じ方向へかつプローブ１６、１８、２４と反対方向へ延在させている。
【００３０】
図３は、図１のプローブカード１０の複数のプローブ１６、１８、２０、２２、２４、２６の配置を拡大して示す概略平面図であり、各プローブ１６、１８、２０、２２、２４、２６は、それぞれ、電子デバイス１４の複数の電極１２に一対一の形で接触している。
【００３１】
図において、電子デバイス１４は、第１〜３の電極列４２ａ、４２ｂ、４２ｃから構成される複数の電極１２を有し、各電極列４２ａ、４２ｂ、４２ｃの電極１２は互いに等間隔に配置される。また、各電極列の電極は、その列方向に他の電極列の電極に対してわずかにずれて配置され、各電極列は左右方向に整列していない。
【００３２】
図示した例では、第１の電極列４２ａ及び第２の電極列４２ｂは、それぞれ、第１列及び最終列（第３列）であり、また第３の電極列４２ｃは中間列である。第１の電極列４２ａ及び第２の電極列４２ｂには、それぞれ、８個の電極１２が示され、第３の電極列４２ｃには７個の電極１２が示されている。電子デバイス１４の端部４４から近い電極は順に、第２の電極列４２ｂの第１の電極１２、第３の電極列４２ｃの第１の電極１２、第１の電極列４２ａの第１の電極１２であり、以降この順序で電極が各電極列に配置される。
【００３３】
複数のプローブ１６、１８は最左側に位置して、第１のプローブ群４６ａを形成し、複数のプローブ２０、２２は最右側に位置して、第２のプローブ群４６ｂを形成する。また、複数のプローブ２４は第１のプローブ群４６ａの右側に位置して、第３のプローブ群４６ｃを形成し、複数のプローブ２６は第２のプローブ群４６ｂの左側に位置して、第４のプローブ群４６ｄを形成する。
【００３４】
電子デバイス１４の試験時、第１の電極列４２ａの各電極に対して、第１のプローブ群４６ａの各プローブの針先が一対一の形で接触し、また、第２の電極列４２ｂの各電極に対して、第２のプローブ群４６ｂの各プローブの針先が一対一の形で接触する。第３の電極列４２ｃに対して、第３のプローブ群４６ｃ及び第４のプローブ群４６ｄの各プローブ２４、２６の針先が交互に一対一の形で接触する。
【００３５】
プローブ１６、２０は第１タイプのプローブＡから構成され、プローブ２０、２２は第２タイプのプローブＢ（図４（Ｂ））から構成される。また、プローブ２４、２６は第２タイプのプローブＢから構成される。
【００３６】
第３のプローブ群４６ｃのプローブ２４は、第１のプローブ群４６ａの、互いに隣接しかつ針先部の曲げられた方向が交差するプローブ１６、１８の間に位置される。また、第４のプローブ群４６ｄのプローブ２６は、第２のプローブ群４６ｂの、互いに隣接しかつ針先部の曲げられた方向が交差するプローブ２２及びプローブ２０の間に位置される。
【００３７】
図３の例では、第３のプローブ群４６ｃの各プローブの針先は端部４４と反対の方向（前後方向の後方）に曲げられ、また第４のプローブ群４６ｄの各プローブの針先は端部４４の方向（前後方向の前方）に曲げられている。
【００３８】
図４（Ａ）〜図４（Ｃ）において、第２タイプのプローブＢの形状が示される。第１タイプのプローブＡと第２タイプのプローブＢとは互いに左右対称の形状を有する。
【００３９】
プローブＢは、プローブカード１０の接続部３８ａ等から所定の長さ垂直下方に伸び、９０°に近い鈍角で屈曲する針元部３４ｃとその先端部から直線的に伸びる主体部３４ａと、主体部３４ａから９０°に近い鈍角で下方に屈曲する針先部３４ｂとを含む。プローブＢは全体として針元部３４ｃの端部から針先部３４ｂの針先３４ｄに至るまで一体成形された、連続して漸次縮径する針である。針先部３４ｂは主体部３４ａの長手方向軸線４８に対してΔｘずれた針先３４ｄを有する。また、各プローブの針先部は、針先が針主体部と針先部との境界部よりも相手方のプローブ群に属するプローブの側に位置するように針主体部に対して屈曲されている。
【００４０】
図４（Ｃ）の例では、Δｘずれた針先３４ｄの曲げられた方向は図のプローブＢに向かって見て左である。
【００４１】
図３の例では、プローブ１６、２２、２６の針先部は端部４４の方向に針主体部からに伸び、またプローブ１８、２０、２４の針先部は端部４４とは逆の方向に針主体部から伸びる。なお、各プローブの針先は、対応する電極１２に対し滑って移動すると、その電極１２に擦り作用を与える。これにより、各電極１２の表面に存在する酸化膜のような電気絶縁膜が削り取られるから、プローブと電極とが電気的に確実に接続される。
【００４２】
図５及び図６を参照して本発明に係るプローブカードの第一の実施例の変形例について説明する。
［第一の実施例の変形例］
【００４３】
図５及び図６は、図１〜３に示すプローブの配置に類似するプローブの配置を示す。なお、図１〜３に示すプローブカード及び電子デバイスに使用される構成要素と同じ構成要素には同じ参照番号が付され、その説明が省略される。
【００４４】
図６に示すように、第３のプローブ群４６ｃは複数のプローブ２４ａを含み、第４のプローブ群４６ｄは複数のプローブ２６ａを含む。プローブ２４ａと図３に示すプローブ２４とは基板２８（図５）へのプローブの接続部の位置に関して異なる以外、同一である。同様に、プローブ２６ａと図３に示すプローブ２６とは基板２８へのプローブの接続部の位置に関して異なる以外、同一である。以下、異なる点についてのみ説明する。
【００４５】
図５に示すように、プローブ２４ａの接続部３８ｃはプローブ１６，１８の接続部３８ａの位置より右方向の側に基板２８の下面２８ａに配置される。また、プローブ２６ａの接続部３８ｄはプローブ２０，２２の接続部３８ｂの位置より左方向の側に基板２８の下面２８ａに配置される。
【００４６】
図７及び図８を参照して本発明に係るプローブカードの第二の実施例について説明する。
［第二の実施例］
【００４７】
図７及び図８は、図１〜３に示すプローブの配置とは異なるプローブの配置を示す。なお、図１〜図４に示すプローブカード、電子デバイス及びプローブに使用される構成要素と同じ構成要素には同じ参照番号が付され、その説明が省略される。
【００４８】
図８に示すプローブの配置と、図３に示すプローブの配置とは、第１のプローブ群４６ａのプローブ１６、１８及び第２のプローブ群４６ｂのプローブ２０、２２が電極１２に接触する針先位置の点に関して異なる。以下、異なる点についてのみ説明する。
【００４９】
図７に示すように、第１のプローブ群４６ａのプローブ１８の針先位置は電極１２の左半部分の範囲にあり、第２のプローブ群４６ｂのプローブ２２の針先位置は電極１２の右半部分の範囲にある。
【００５０】
プローブ１６ａとプローブ１６とは同じ第１タイプのプローブＡからなるが、プローブ１６ａの針主体部がプローブ１６の針主体部より長い点で異なる。同様に、プローブ２０ａとプローブ２０とは同じ第２タイプのプローブＢからなるが、プローブ２０ａの針主体部がプローブ２０の針主体部より長い点で異なる。
【００５１】
図９及び図１０を参照して本発明に係るプローブカードの第二の実施例の変形例について説明する。
［第二の実施例の変形例］
【００５２】
図９及び図１０は、図７及び図８に示すプローブの配置に類似するプローブの配置を示す。なお、図７及び図８に示すプローブカード及び電子デバイスに使用される構成要素と同じ構成要素には同じ参照番号が付され、その説明が省略される。
【００５３】
図１０に示すように、第１のプローブ群４６ａは複数のプローブ１６ｂ及び複数のプローブ１８を含み、第２のプローブ群４６ｂは複数のプローブ２０ｂ及び複数のプローブ２２を含む。第３のプローブ群４６ｃは複数のプローブ２４ｂを含み、第４のプローブ群４６ｄは複数のプローブ２６ｂを含む。
【００５４】
プローブ１６ｂと図８に示すプローブ１６ａとは基板２８（図９）へのプローブの接続部の位置に関して異なる以外、同一である。同様に、プローブ２０ｂと図８に示すプローブ２０ａとは基板２８へのプローブの接続部の位置に関して異なる以外、同一である。
【００５５】
プローブ２４ｂと図８に示すプローブ２４ａとは基板２８（図９）へのプローブの接続部の位置に関して異なる以外、同一である。同様に、プローブ２６ｂと図８に示すプローブ２６ａとは基板２８へのプローブの接続部の位置に関して異なる以外、同一である。以下、異なる点についてのみ説明する。
【００５６】
図９に示すように、プローブ１６ｂの接続部３８ａ´はプローブ１８の接続部３８ａの位置より右方向の側に基板２８の下面２８ａに配置される。プローブ２０ｂの接続部３８ｂ´はプローブ２０の接続部３８ｂの位置より左方向の側に基板２８の下面２８ａに配置される。
【００５７】
また、プローブ２４ｂの接続部３８ｃはプローブ１６ｂの接続部３８ａ´の位置より右方向の側に基板２８の下面２８ａに配置される。プローブ２６ｂの接続部３８ｄはプローブ２０ｂの接続部３８ｂ´の位置より左方向の側に基板２８の下面２８ａに配置される。
【００５８】
なお、この変形例に示されたプローブ１６ｂの接続部３８ａ´の位置次第で、プローブ１８と同一長さのプローブをプローブ１６ｂとして使用することができる。同様に、プローブ２０ｂの接続部３８ｂ´の位置次第で、プローブ２２と同一長さのプローブをプローブ２０ｂとして使用することができる。
【００５９】
図１１及び図１２を参照して本発明に係るプローブカードの第三の実施例について説明する。
［第三の実施例］
【００６０】
図１１及び図１２は、図１〜３に示すプローブの配置とは異なるプローブの配置を示す。なお、図１〜図４に示すプローブカード、電子デバイス及びプローブに使用される構成要素と同じ構成要素には同じ参照番号が付され、その説明が省略される。
【００６１】
本実施例において、電子デバイス１４は、第１〜４の電極列５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄから構成される複数の電極１２を有する。第１の電極列５０ａ及び第２の電極列５０ｂの電極１２は互いに等間隔に配置されるが、第３の電極列５０ｃの各電極１２及び第４の電極列５０ｄの各電極１２は互いに不等間隔に配置される。また、各電極列の電極は、その列方向に他の電極列の電極に対してわずかにずれて配置され、各電極列は左右方向に整列していない。
【００６２】
第１の電極列５０ａ及び第２の電極列５０ｂは第１列及び最終列であり、また第３の電極列５０ｃ及び第４の電極列５０ｄは中間列である。第１の電極列５０ａでは７個の電極１２が示され、第２の電極列５０ｂでは８個の電極１２が示され、第３の電極列５０ｃでは４個の電極１２が示され、第４の電極列５０ｃでは３個の電極１２が示されている。
【００６３】
複数のプローブ５６、５８は最左側に位置する第１のプローブ群５４ａを形成し、複数のプローブ６０、６２は最右側に位置される第２のプローブ群５４ｂを形成する。また、複数のプローブ６４、６６は第１のプローブ群５４ａの右側に位置する第３のプローブ群５４ｃを形成し、複数のプローブ６８、７０は第２のプローブ群５４ｂの左側に位置する第４のプローブ群５４ｄを形成する。
【００６４】
第３のプローブ群５４ｃは、プローブ６４を含む第１のプローブサブ群５４ｃ１と、この第１のプローブサブ群５４ｃ１の右側に位置する、プローブ６６を含む第２のプローブサブ群５４ｃ２とを含む。第４のプローブ群５４ｄは、プローブ６８を含む第１のプローブサブ群５４ｄ１と、この第１のプローブサブ群５４ｄ１の左側に位置する、プローブ７０を含む第２のプローブサブ群５４ｄ２とを含む。
【００６５】
電子デバイス１４の試験時、第１の電極列５０ａの各電極１２に対して、第１のプローブ群５２ａの各プローブ５６、５８の針先が一対一の形で接触する。第２の電極列５０ｂの各電極１２に対して、第２のプローブ群５４ｂの各プローブ６０、６２の針先が一対一の形で接触する。
【００６６】
第３の電極列５０ｃの各電極１２に対しては、電子デバイス１４の端部４４から近い電極の順に、第３のプローブ群５４ｃのプローブ６４、同じく第３のプローブ群５４ｃのプローブ６６、第４のプローブ群５４ｄのプローブ７０、第３のプローブ群５４ｃのプローブ６４の各針先が一対一の形で接触する。
【００６７】
第４の電極列５０ｄの各電極１２に対しては、電子デバイス１４の端部４４から近い電極の順に、第４のプローブ群５４ｄのプローブ６８、第３のプローブ群５４ｃのプローブ６４、第４のプローブ群５４ｄのプローブ６８の各針先が一対一の形で接触する。
【００６８】
第１のプローブ群５４ａ及び第２のプローブ群５４ｂは、それぞれ、複数の第１タイプのプローブＡ及び複数の第２タイプのプローブＢを含む。図示した例の第１のプローブ群５４ａにおいて、電子デバイス１４の端部４４から近い順に、プローブ５６（第１タイプのプローブＡ）及びプローブ５８（第２タイプのプローブＢ）が配置され、以降、この順序でプローブ配置がなされる。また、第２のプローブ群５４ｂにおいて、電子デバイス１４の端部４４から近い順に、プローブ６０（第２タイプのプローブＢ）及びプローブ６２（第１タイプのプローブＡ）が配置され、以降、この順序でプローブ配置がなされる
【００６９】
第３のプローブ群５４ｃ及び第４のプローブ群５４ｄは、それぞれ、複数の第２タイプのプローブＢを含む。図示した例では、第３の電極列５４ｃ及び第４の電極列５４ｄの各電極１２に対して、電子デバイス１４の端部４４から近い順に、第３のプローブ群５４ｃのプローブ６４、第４のプローブ群５４ｄのプローブ６８、第３のプローブ群５４ｃのプローブ６６、第４のプローブ群５４ｄのプローブ７０、第３のプローブ群５４ｃのプローブ６４、第４のプローブ群５４ｄのプローブ６８、第３のプローブ群５４ｃのプローブ６４の順に配置されている。
【００７０】
第３のプローブ群５４ｃのプローブ６４、６６は、それぞれ、第１のプローブ群５４ａの、互いに隣接しかつ針先部の曲げられた方向が交差するプローブ５６及びプローブ５８の間に位置する。また、第４のプローブ群５４ｄのプローブ６８、７０は、それぞれ、第２のプローブ群５４ｂの、互いに隣接しかつ針先部の曲げられた方向が交差するプローブ６０及びプローブ６２の間に位置する。
【００７１】
本実施例では、第３のプローブ群５４ｃの各プローブの針先は電子デバイス１４の端部４４の方向とは逆方向（前後方向の後方）に曲げられ、また第４のプローブ群５４ｄの各プローブの針先は電子デバイス１４の端部４４の方向（前後方向の前方）に曲げられている。
【００７２】
図１３及び図１４を参照して本発明に係るプローブカードの第三の実施例の変形例について説明する。
［第三の実施例の変形例］
【００７３】
図１３及び図１４は、図１１及び図１２に示すプローブの配置に類似するプローブの配置を示す。なお、図１１及び図１２に示すプローブの配置に使用される構成要素と同じ構成要素には同じ参照番号が付され、その説明が省略される。
【００７４】
図１４に示すように、第３のプローブ群５４ｃは、第１のプローブサブ群５４ｃ１と、第２のプローブサブ群５４ｃ２とを含む。第１のプローブサブ群５４ｃ１はプローブ６４ａを含み、第２のプローブサブ群５４ｃ２はプローブ６６ａ（図では１個のみ示す）を含む。
【００７５】
プローブ６４ａと図１２に示すプローブ６４とは基板２８へのプローブの接続部の位置に関して異なる以外、同一である。同様に、プローブ６６ａと図５に示すプローブ６６とは基板２８へのプローブの接続部の位置に関して異なる以外、同一である。
【００７６】
プローブ６８ａと図８に示すプローブ６８とは基板２８へのプローブの接続部の位置に関して異なる以外、同一である。同様に、プローブ７０ａと図５に示すプローブ７０とは基板２８へのプローブの接続部の位置に関して異なる以外、同一である。以下、異なる点についてのみ説明する。
【００７７】
図１３に示すように、プローブ６４ａの接続部３８ｃ１はプローブ５６，５８の接続部３８ａの位置より右方向の側にプローブ基板２８の下面２８ａに配置される。また、プローブ６６ａの接続部３８ｃ２はプローブ６４ａの接続部３８ｃ１の位置より右方向の側に基板２８の下面２８ａに配置される。
【００７８】
同様に、プローブ６８ａの接続部３８ｄ１はプローブ６０，６２の接続部３８ｂの位置より左方向の側にプローブ基板２８の下面２８ａに配置される。また、プローブ７０ａの接続部３８ｄ２はプローブ６８ａの接続部３８ｄ１の位置より左方向の側に基板２８の下面２８ａに配置される。
【００７９】
なお、この実施例に示されたプローブ６４ａの接続部３８ｃ１及びプローブ６６ａの接続部３８ｃ２の位置次第で、プローブ５８と同一形状及び同一長さのプローブをプローブ６４ａ、６６ａとして使用することができる。同様に、プローブ６８ａの接続部３８ｄ１及びプローブ７０ａの接続部３８ｄ２の位置次第で、プローブ６０と同一形状及び同一長さのプローブをプローブ６８ａ，７０ａとして使用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
上記実施例及びその変形例において、ニードルタイプのプローブを使用したが、本発明は、国際公開公報ＷＯ２００４／１０２２０７号に記載されているような板状の、いわゆる「ブレードタイプ」のプローブにも適用することができる。
【００８１】
本発明は、上記実施例に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々変更できる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明に係るプローブカードの第一の実施例を電子デバイスとともに示す概略断面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の３−３線に沿って得られた、針押え部材の図示を省略した平面図であって、プローブ配置を概略的に拡大して示す平面図である。
【図４】（Ａ）は本発明に係るプローブカードに使用するプローブの平面図を示し、（Ｂ）は（Ａ）のプローブの側面図を示し、（Ｃ）は（Ａ）のプローブの正面図を示す。
【図５】図１に示すプローブカードの変形例を電子デバイスとともに示す概略断面図である。
【図６】図５の６−６線に沿って得られた、針押え部材の図示を省略した平面図であって、プローブ配置を概略的に拡大して示す平面図である。
【図７】本発明に係るプローブカードの第二の実施例を電子デバイスとともに示す概略断面図である。
【図８】図７の８−８線に沿って得られた、針押え部材の図示を省略した平面図であって、プローブ配置を概略的に拡大して示す平面図である。
【図９】図７に示すプローブカードの変形例を電子デバイスとともに示す概略断面図である。
【図１０】図９の１０−１０線に沿って得られた、針押え部材の図示を省略した平面図であって、プローブ配置を概略的に拡大して示す平面図である。
【図１１】本発明に係るプローブカードの第三の実施例を電子デバイスとともに示す概略断面図である。
【図１２】図１１の１２−１２線に沿って得られた、針押え部材の図示を省略した平面図であって、プローブ配置を概略的に拡大して示す平面図である。
【図１３】図１１に示すプローブカードの変形例を電子デバイスとともに示す概略断面図である。
【図１４】図１３の１４−１４線に沿って得られた、針押え部材の図示を省略した平面図であって、プローブ配置を概略的に拡大して示す平面図である。
【符号の説明】
【００８３】
１０  プローブカード
１６、１６ａ、１６ｂ、１８  プローブ
２０、２０ａ、２０ｂ、２２、６０、６２  プローブ
２４、２４ａ、２４ｂ、６４、６４ａ、６６  プローブ
２６、２６ａ、２６ｂ、６８、６８ａ、７０、７０ａ  プローブ
４６ａ、５４ａ  第１のプローブ群
４６ｂ、５４ｂ  第２のプローブ群
４６ｃ、５４ｃ  第３のプローブ群
４６ｄ、５４ｄ  第４のプローブ群
２８  基板
２８ａ  下面
３４ａ  針主体部
３４ｂ  針先部
３４ｃ  針元部
３４ｄ  針先
３８ａ、３８ａ´、３８ｂ、３８ｂ´  接続部（ランド）
３８ｃ、３８ｃ１、３８ｃ２  接続部（ランド）
３８ｄ、３８ｄ１、３８ｄ２  接続部（ランド）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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