(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
貯留タンク内の薬液をポンプを介してスリットノズルに供給するとともに供給した薬液の一部を回収して再利用するシステムであって、このシステムは、前記貯留タンクからスリットノズルに至るまでの経路の途中から回収した薬液およびスリットノズルのエア抜きの際に回収した薬液を貯留する第１の回収タンクと、前記第１の回収タンクからの薬液が集められる一時貯留容器と、前記一時貯留容器から前記貯留タンクからの薬液供給配管に繋がる流路とを備えることを特徴とする薬液の再利用システム。
【請求項２】
前記薬液の再利用システムは、スリットノズルの下端部が浸漬するディップ槽から回収した薬液を貯留する第２の回収タンクを更に備え、前記一時貯留容器は、前記第１及び第２の回収タンクからの薬液が集められる一時貯留容器であることを特徴とする請求項１記載の薬液の再利用システム。
【請求項３】
前記薬液の再利用システムは、前記一時貯留容器に集められた薬液の濃度を検出する濃度計と、廃液タンクとを更に備え、前記濃度計により測定される薬液の濃度が所定値以下の場合には一時貯留容器からの配管流路を前記廃液タンクに切り替え、薬液の濃度が所定値を維持している場合には一時貯留容器からの配管流路を前記貯留タンクからの薬液供給配管に繋がる流路に切り替えるバルブとを備えることを特徴とする請求項１または２記載の薬液の再利用システム。
【請求項４】
前記薬液の再利用システムにおいて、前記一時貯留容器は２個設けられ、一方の一時貯留容器が満杯になったならば、第１および／または第２の回収タンクからの流路を他方の一時貯留容器に切り替え、且つ一方の一時貯留容器内の薬液は、濃度が所定値以下の場合には廃液タンクに送り、濃度が所定値を維持している場合には前記貯留タンクからの薬液供給配管に繋がる流路に送るようにしたことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の薬液の再利用システム。
【請求項５】
前記薬液の再利用システムにおいて、前記薬液はホトレジスト液であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の薬液の再利用システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板などの被処理基板の表面に被膜などを形成する塗布液などの薬液を再利用するシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体用レジスト液等の薬液は、需要が年々高まっているが、一方で薬液の回収や再利用が課題となっている。薬液のうちホトレジストの上に盛り付けられる現像液については、その回収方法が特許文献１、２に提案されている。
【０００３】
特許文献１には、スリットノズルで基板上に現像液を液盛りした後、別のノズルで使用済みの現像液を回収し、回収した現像液を再生して利用することが開示されている。また、特許文献２には、基板上に現像液を液盛りした後、吸込みノズルが接続されたケースを基板の上に被せて使用済みの現像液を回収し、回収した現像液を再生して利用することが開示されている。
【特許文献１】特開平８−４５８３２号公報
【特許文献２】特開平１０−１２５４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
現像液は膜自体を構成するものではないため、回収と再利用が比較的容易である。しかしながら、ホトレジスト液やＳＯＧ液或いはカラーフィルター液などの薬液は不純物の混入の問題があり、回収はできても再利用するまでには至っていない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため本発明は、貯留タンク内の薬液をポンプを介してスリットノズルに供給するとともに供給した薬液の一部を回収して再利用するシステムであって、このシステムは、前記貯留タンクからスリットノズルに至るまでの経路の途中から回収した薬液およびスリットノズルのエア抜きの際に回収した薬液を貯留する第１の回収タンクと、前記第１の回収タンクからの薬液が集められる一時貯留容器と、前記一時貯留容器から前記貯留タンクからの薬液供給配管に繋がる流路とを備える。
また、前記薬液の再利用システムは、スリットノズルの下端部が浸漬するディップ槽から回収した薬液を貯留する第２の回収タンクを更に備え、前記一時貯留容器は、前記第１及び第２の回収タンクからの薬液が集められる一時貯留容器である。
【０００６】
またさらに前記薬液の再利用システムは、前記一時貯留容器に集められた薬液の濃度を検出する濃度計と、廃液タンクとを更に備え、前記濃度計により測定される薬液の濃度が所定値以下の場合には一時貯留容器からの配管流路を前記廃液タンクに切り替え、薬液の濃度が所定値を維持している場合には一時貯留容器からの配管流路を前記貯留タンクからの薬液供給配管に繋がる流路に切り替えるバルブとを備える。
【０００７】
前記貯留タンクからスリットノズルに至るまでの経路の途中から回収した薬液とは、例えば、フィルタやポンプから回収される薬液が挙げられる。ポンプ内の圧を抜くエア抜き管内には空気とともに薬液も混じっている。これら第１の回収タンクに集められる薬液は閉鎖系の経路を構成し、汚れていないため、そのまま再利用することが可能である。
【０００８】
またディップ槽から再利用のために回収する薬液としては、スリットノズルへの導入時の薬液、色替えの際にスリットノズルに供給される薬液及びノズルの分解清掃の際にスリットノズルに供給される薬液が挙げられる。
【０００９】
また、前記第１及び第２の回収タンクは１つに限らず、複数に分割してもよい。例えば第１の回収タンクをフィルタからの薬液が導入されるタンクとポンプからの薬液が導入されるタンクに分けてもよい。
【００１０】
また、本発明に係る再利用システムは、前記一時貯留容器を２個設け、一方の一時貯留容器が満杯になったならば、第１および／または第２の回収タンクからの流路を他方の一時貯留容器に切り替え、且つ一方の一時貯留容器内の薬液は、濃度が所定値以下の場合には廃液タンクに送り、濃度が所定値を維持している場合には前記貯留タンクからの薬液供給配管に繋がる流路に送るようにすることが考えられる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、従来汚染されていない薬液であっても回収はするが再利用されていなかったが、再利用が可能となったので、コストダウンが図れる。
また本発明によれば、濃度（汚染の度合い）に応じて回収した薬液を廃液タンクに送るか、再利用するかを自動的に選択することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に本発明を実施するための実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る薬液の再利用システムの全体図である。尚、バルブについては主要なもののみを示した。
【００１３】
図中１Ａ、１Ｂは薬液貯留タンクであり、薬液貯留タンク１Ａ、１Ｂには加圧用の配管２ａ、２ｂが接続され、また薬液貯留タンク１Ａ、１Ｂからの薬液供給管３ａ、３ｂにはバルブＶ１、Ｖ２が設けられ、更に薬液供給管３ａ、３ｂが合流した薬液供給管３は供給用エアベントタンク４に接続され、この薬液供給管３にはバルブＶ３が設けられている。
【００１４】
エアベントタンク４の上面には大気ベント兼加圧用の配管５が接続され、必要に応じて底面にはドレイン管６が接続され、更にエアベントタンク４から薬液供給管７が導出され、この薬液供給管７の先端はスリットノズル８に接続されている。
【００１５】
前記薬液供給管７の途中にはフィルタＦ１、ポンプＰ１、フィルタＦ２が設けられ、これらフィルタＦ１、ポンプＰ１、フィルタＦ２及びスリットノズル８から、それぞれエア抜き管９、１０、１１、１２が導出され、これらエア抜き管９、１０、１１、１２は第１の回収タンク１３に接続されている。この第１の回収タンク１３には大気ベント兼加圧用の配管１４が接続され、底面にはドレイン管１５が接続され、更に第１の回収タンク１３からは回収用配管１６が導出され、この回収用配管１６にはポンプＰ２及びバルブＶ４が設けられている。
【００１６】
回収用配管１６のバルブＶ４よりも上流側部分からは廃棄用配管１７が分岐し、この廃棄用配管１７は廃液タンク１８に接続され、途中にはバルブＶ５が設けられている。
【００１７】
一方、スリットノズル８下端の吐出口の乾燥を防ぐディップ槽１９の底面にはドレイン管２０が接続され、このドレイン管２０にはオーバーフロー管２１が合流し、またドレイン管２０は第２の回収タンク２２に接続され、この第２の回収タンク２２からは回収用配管２３が導出され、この回収用配管２３にはポンプＰ３及びバルブＶ６、Ｖ７が設けられている。
【００１８】
前記回収用配管２３は一時貯留容器３０Ａに接続され、また前記回収用配管２３のポンプＰ３とバルブＶ６の間からは廃棄用配管２４が分岐し、この廃棄用配管２４は廃液タンク１８に接続され、途中にはバルブＶ８が設けられている。
【００１９】
また廃棄用配管２４のバルブＶ６とバルブＶ７の中間からは回収用配管２５が分岐し、この回収用配管２５は一時貯留容器３０Ｂに接続され、回収用配管２５にはバルブＶ９が設けられている。
【００２０】
前記一時貯留容器３０Ａ、３０Ｂからは戻し用配管３１ａ、３１ｂが導出され、これら戻し用配管３１ａ、３１ｂにはバルブＶ１０、Ｖ１１が設けられ、また戻し用配管３１ａ、３１ｂが合流した戻し用配管３２は前記薬液供給管３に接続されている。
【００２１】
また、前記戻し用配管３２には濃度計３３、バルブＶ１２及びフィルタＦ３が設けられ、濃度計３３とバルブＶ１２との間からは前記廃液タンク１８に接続される廃棄用配管３４が分岐し、この廃棄用配管３４にはバルブＶ１３が設けられている。
【００２２】
以下に、上記の配管構成からなるシステムの主な運転パターンを図２乃至図５に基づいて説明する。尚、各パターンにおいて薬液が流れる配管を実線で示し、薬液が流れない配管等は点線で示した。
【００２３】
図２は第１及び第２の回収タンクからの薬液を全て廃液タンクに送る運転パターンを示す図であり、この運転パターンでは、バルブＶ４を閉、バルブＶ５を開、バルブＶ６を閉、バルブＶ８を開とする。この状態では第１及び第２の回収タンク１３、２２に回収された薬液は全て廃液タンク１８に集められる。
【００２４】
図３は第１及び第２の回収タンクからの薬液を一方の一時貯留容器に回収する運転パターンを示す図であり、この運転パターンでは、バルブＶ４を開、バルブＶ５を閉、バルブＶ６、Ｖ７を開、バルブＶ８を閉、バルブＶ９を閉とする。この状態では第１及び第２の回収タンク１３、２２に回収された薬液は全て一方の一時貯留容器３０Ａに回収される。
【００２５】
図４は第１及び第２の回収タンクからの薬液を他方の一時貯留容器に回収する運転パターンを示す図であり、この運転パターンでは、バルブＶ４を開、バルブＶ５を閉、バルブＶ６を開、バルブＶ７を閉、バルブＶ８を閉、バルブＶ９を開とする。この状態では、第１及び第２の回収タンク１３、２２からの薬液は他方の一時貯留容器３０Ｂに回収される。
【００２６】
またこの運転パターンでは、一方の一時貯留容器３０Ａに回収された薬液の濃度を濃度計３３で測定する。なお、必要に応じて測定後の薬液は戻り管（図示せず）により一時貯留容器３０Ａに戻る構成としても良い。濃度が所定値に達していない場合には、バルブＶ１２を閉、バルブＶ１３を開とし、一方の一時貯留容器３０Ａに回収された薬液を廃液タンク１８に廃棄する。
【００２７】
図５は、一方の一時貯留容器に回収した薬液を薬液供給管に送り込む運転パターンを示す図であり、一方の一時貯留容器３０Ａに回収した薬液の濃度が一定以上であれば、バルブＶ１２を開、バルブＶ１３を閉とし、一方の一時貯留容器３０Ａに回収された薬液を薬液供給管３に戻す。
【００２８】
以上の運転パターンの他に、バルブを操作することで、別の運転パターンも可能になる。例えば、第１の回収タンク１３に回収される薬液は閉鎖系経路からの薬液であり、汚れている可能性が低い。そのため、第１の回収タンク１３に回収される薬液を第２の回収タンク２２に回収される薬液から区別し、それぞれを一時貯留容器３０Ａ、３０Ｂに分離して回収し、第１の回収タンク１３に回収される薬液については、濃度を調べることなくそのまま薬液供給管３に戻すパターンも考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に係る薬液の再利用システムの全体図
【図２】第１及び第２の回収タンクからの薬液を全て廃液タンクに送る運転パターンを示す図
【図３】第１及び第２の回収タンクからの薬液を一方の一時貯留容器に回収する運転パターンを示す図
【図４】第１及び第２の回収タンクからの薬液を他方の一時貯留容器に回収する運転パターンを示す図
【図５】一方の一時貯留容器に回収した薬液を薬液供給管に送り込む運転パターンを示す図
【符号の説明】
【００３０】
１Ａ、１Ｂ…薬液貯留タンク、２ａ、２ｂ…加圧用の配管、３、３ａ、３ｂ…薬液供給管、４…供給用のエアベントタンク、５…大気ベント兼加圧用の配管、６…ドレイン管、７…薬液供給管、８…スリットノズル、９、１０、１１、１２…エア抜き管、１３…第１の回収タンク、１４…大気ベント兼加圧用の配管、１５…ドレイン管、１６…回収用配管、１７…廃棄用配管、１８…廃液タンク、１９…ディップ槽、２０…ドレイン管、２１…オーバーフロー管、２２…第２の回収タンク、２３…回収用配管、２４…廃棄用配管、２５…回収用配管、３０Ａ、３０Ｂ…一時貯留容器、３１ａ、３１ｂ…戻し用配管３１ａ、３１ｂ、３２…戻し用配管、３３…濃度計、３４…廃棄用配管、Ｆ１〜Ｆ３…フィルタ、Ｐ１〜Ｐ３…ポンプ、Ｖ１〜Ｖ１３…バルブ。
【図１】
0004954105.tif 000002
【図２】
0004954105.tif 000003
【図３】
0004954105.tif 000004
【図４】
0004954105.tif 000005
【図５】
0004954105.tif 000006