(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出するノズルにそれぞれ連通する複数の圧力発生室が形成された圧力室プレートと、各圧力発生室に分配される液体が一時的に保持されるリザーバが形成されたリザーバプレートと、前記圧力室プレートと前記リザーバプレートとの間に配されて前記リザーバと各圧力発生室とを連通する供給路が形成された供給路部材とを含む流路ユニットと、前記圧力発生室に圧力を付与する圧力発生素子とを有し、
前記供給路部材が複数枚の供給路プレートで構成され、前記供給路が各供給路プレートを貫通して設けられる供給孔と、隣接する一方の供給路プレートの厚さ方向の一部を除去することによって形成され各供給孔を連通する供給溝とで構成されており、
液体が貯留される貯留手段と前記リザーバとを繋ぐ供給連通路が、前記圧力室プレート及び前記供給路部材を実質的に厚さ方向に貫通して設けられ、
前記供給溝が形成された供給路プレートには、前記供給連通路に対応する領域に前記供給溝と同一深さの凹部が設けられ、該凹部の底面部分に複数のフィルタ孔を有し前記リザーバに供給される液体の異物をトラップするフィルタ部が一体的に設けられ、
前記流路ユニットは、前記リザーバプレートの前記供給路プレートとは反対側の面に接合され前記リザーバ内の圧力変化によって変形するコンプライアンス部を有するコンプライアンスプレートをさらに具備すると共に、該コンプライアンスプレートに前記ノズルが穿設されたノズルプレートが接合されており、
前記コンプライアンスプレートには、少なくとも前記供給路の前記リザーバ側の開口に対向する部分に、当該コンプライアンスプレートの厚さ方向の一部を除去することによって前記コンプライアンス部が形成されており、
前記コンプライアンスプレートの前記供給連通路に対向する部分には、当該コンプライアンスプレートを厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられ、
前記ノズルプレートの前記貫通孔に対向する部分には、当該ノズルプレートの厚さ方向の一部を除去することによって前記コンプライアンス部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記コンプライアンスプレートには、前記供給路の前記リザーバ側の開口に対向する部分及び前記供給連通路に対向する部分に前記コンプライアンス部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記リザーバプレートには、前記供給路に対向する部分と前記供給連通路に対向する部分との間の領域に梁部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液滴としてインク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、ノズルからインク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このインクジェット式記録ヘッドは、一般的に、ノズルに連通する複数の圧力発生室と、複数の各圧力発生室（キャビティ）に連通するリザーバ（共通インク室）とを有する構造である。そして、インクカートリッジ等の貯留手段に貯留されているインクがリザーバ内に取り込まれ、リザーバから各圧力発生室に供給され、圧電アクチュエータ等によって加圧されることでノズルからインク滴が噴射される。
【０００３】
またこのようなインクジェット式記録ヘッドとしては、貯留手段とリザーバとを繋ぐ流路内に、インクの異物を除去するためのフィルタが配されているものがある（例えば、特許文献１，２等参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−７６０９３号公報
【特許文献２】特開２００３−３１１９５１号公報
【特許文献３】特開２００６−２７２８０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなフィルタとしては、例えば、電鋳法により形成されたものや、金属或いは樹脂製のフィルムに多数のフィルタ孔（微細孔）を打ち抜き加工によって形成したものなどがあるが、何れのフィルタにおいても、製造時に反り（カール）が発生してしまう虞がある。そして、例えば、圧力発生室等のインク流路が形成される基板にフィルタを接合する構造の場合、フィルタのカールに起因する接合不良（例えば、フィルタの剥がれなど）、或いはフィルタの基板への位置決め精度が低下するといった問題が発生し、フィルタを介してリザーバに良好にインクを供給することができない虞がある。例えば、特許文献３には、フィルタとなる金属フィルムに凹凸を付与してカールを抑制することが提案されているが、このような構成としてもカールを完全に抑えるのは難しい。
【０００６】
また、例えば、特許文献２に記載のようにインク流路が形成される基板と共に積層された薄板にフィルタが作り込まれている場合であっても、フィルタ周縁にはカールが発生して接合不良や、インクの供給不良といった問題が生じる虞がある。
【０００７】
なお、このような問題は、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、勿論、他の液滴を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、貯留手段からリザーバに液体を良好に供給してノズルから液滴として良好に噴射することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明は、液滴を吐出するノズルにそれぞれ連通する複数の圧力発生室が形成された圧力室プレートと、各圧力発生室に分配される液体が一時的に保持されるリザーバが形成されたリザーバプレートと、前記圧力室プレートと前記リザーバプレートとの間に配されて前記リザーバと各圧力発生室とを連通する供給路が形成された供給路部材とを含む流路ユニットと、前記圧力発生室に圧力を付与する圧力発生素子とを有し、前記供給路部材が複数枚の供給路プレートで構成され、前記供給路が各供給路プレートを貫通して設けられる供給孔と、隣接する一方の供給路プレートの厚さ方向の一部を除去することによって形成され各供給孔を連通する供給溝とで構成されており、液体が貯留される貯留手段と前記リザーバとを繋ぐ供給連通路が、前記圧力室プレート及び前記供給路部材を実質的に厚さ方向に貫通して設けられ、前記供給溝が形成された供給路プレートには、前記供給連通路に対応する領域に前記供給溝と同一深さの凹部が設けられ、該凹部の底面部分に複数のフィルタ孔を有し前記リザーバに供給される液体の異物をトラップするフィルタ部が一体的に設けられ、前記流路ユニットは、前記リザーバプレートの前記供給路プレートとは反対側の面に接合され前記リザーバ内の圧力変化によって変形するコンプライアンス部を有するコンプライアンスプレートをさらに具備すると共に、該コンプライアンスプレートに前記ノズルが穿設されたノズルプレートが接合されており、前記コンプライアンスプレートには、少なくとも前記供給路の前記リザーバ側の開口に対向する部分に、当該コンプライアンスプレートの厚さ方向の一部を除去することによって前記コンプライアンス部が形成されており、前記コンプライアンスプレートの前記供給連通路に対向する部分には、当該コンプライアンスプレートを厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられ、前記ノズルプレートの前記貫通孔に対向する部分には、当該ノズルプレートの厚さ方向の一部を除去することによって前記コンプライアンス部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる本発明では、フィルタ部が比較的厚さの厚い供給路プレートに形成した凹部の底面部分に形成されているため、フィルタ部周囲の剛性が大幅に向上する。したがって、フィルタ部への反りの発生が抑制される。よって、貯留手段からリザーバに液体を良好に供給することができる。また、供給溝と同一深さの凹部とすることで容易にフィルタ部のための凹部と供給溝が得られる。またリザーバ内の圧力変化がコンプライアンス部によって抑制され、液滴を常に良好に噴射することができる。さらに、ノズルプレートにコンプライアンス部を設けることで、フィルタ部とコンプライアンス部との間隔が広がるため、コンプライアンス部の大きさを比較的小さくしてもリザーバ内の圧力変化を抑えることができる。
【００１１】
また前記コンプライアンスプレートには、前記供給路の前記リザーバ側の開口に対向する部分及び前記供給連通路に対向する部分に前記コンプライアンス部が形成されていることが好ましい。これにより、リザーバ内の圧力変化がより確実に抑制される。
【００１３】
さらに、前記リザーバプレートには、前記供給路に対向する部分と前記供給連通路に対向する部分との間の領域に梁部が設けられていることが好ましい。これにより、供給路プレート（供給路部材）を確実に支持することができ、供給路プレートが撓んで剥離してしまうといった問題の発生を防止することができる。
【００１４】
また本発明は、このような液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる本発明では、信頼性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの平面図及びＡ−Ａ′断面図である。
【００１６】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、積層された複数枚の金属製プレートで構成されインクの流路が形成される流路ユニット２０と、この流路ユニット２０に固定されるアクチュエータ装置３０とで構成されている。
【００１７】
流路ユニット２０は、圧力室プレート４０と、第１及び第２の供給路プレート５１，５２からなる供給路部材５０と、リザーバプレート６０と、コンプライアンスプレート７０と、ノズルプレート８０とを具備する。
【００１８】
圧力室プレート４０には、インク流路の一部を構成する複数の圧力発生室４１がその幅方向に沿って並設されている。これらの各圧力発生室４１は、圧力室プレート４０を厚さ方向に貫通して設けられている。圧力室プレート４０の一方面側にはアクチュエータ装置３０が配され、圧力発生室４１の一方側の開口はこのアクチュエータ装置３０によって封止されている。
【００１９】
ここで、アクチュエータ装置３０は、圧力室プレート４０に固定される振動板９０と、振動板９０上に設けられる圧電素子１００とで構成されており、圧力発生室４１の一方側の開口が、振動板９０によって封止されている。すなわち、圧力発生室４１の一方の壁面が振動板９０によって構成されている。圧電素子１００は、振動板９０上の各圧力発生室４１に対向する領域にそれぞれ設けられている。圧電素子１００は、振動板９０上に連続して設けられた下電極膜１０１と、圧力発生室４１毎に独立して設けられた圧電体層１０２と、圧電体層１０２上に設けられた上電極膜１０３とで構成されている。つまり本実施形態では、下電極膜１０１が各圧電素子１００の共通電極となっており、上電極膜１０３が圧電素子１００毎に独立する個別電極となっている。なお圧電体層１０２は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付、或いは印刷により形成されている。
【００２０】
圧力室プレート４０の他方面側には、供給路部材５０を介してリザーバプレート６０が接合されている。リザーバプレート６０には、圧力室プレート４０に形成された複数の各圧力発生室４１に分配されるインクを一時的に保持するリザーバ６１が形成されている。リザーバ６１は、リザーバプレート６０を厚さ方向に貫通して設けられ、また並設された複数の圧力発生室４１の列に亘る長さで形成されている。
【００２１】
圧力室プレート４０とリザーバプレート６０との間に配される供給路部材５０は、第１の供給路プレート５１と、第１の供給路プレート５１に接合される第２の供給路プレート５２との２枚のプレートで構成されている。そして、各圧力発生室４１の他方の開口がこの第１の供給路プレート５１によって封止されている。一方、第２の供給路プレート５２がリザーバプレート６０に接合されて、リザーバ６１の一方の開口がこの第２の供給路プレート５２によって封止されている。これら第１及び第２の供給路プレート５１，５２で構成される供給路部材５０には、各圧力発生室４１とリザーバ６１とをそれぞれ連通する複数の供給路５３が形成されている。
【００２２】
供給路５３は、第１の供給路プレート５１を厚さ方向に貫通して設けられる第１の供給孔５４及び第２の供給路プレート５２を厚さ方向に貫通して設けられる第２の供給孔５５と、これら第１及び第２の供給孔５４，５５を繋ぐ供給溝５６とで構成されている。第１の供給孔５４は、圧力発生室４１の長手方向一端部近傍にそれぞれ開口し、第２の供給孔５５は、リザーバ６１の圧力発生室４１側の端部近傍にそれぞれ開口している。供給溝５６は、第２の供給路プレート５２の第１の供給路プレート５１側の表面に、その厚さ方向の一部を除去することによって形成されている。本実施形態では、供給溝５６は、第２の供給路プレート５２の厚さの半分程度の深さで形成されて、第１の供給孔５４と第２の供給孔５５とを連通している。
【００２３】
なお、上述した振動板９０、圧力室プレート４０、第１の供給路プレート５１及び第２の供給路プレート５２には、これら複数のプレートを実質的に貫通する供給連通孔１１１ａ〜１１１ｃからなりリザーバ６１に連通する供給連通路１１０が設けられている。この供給連通路１１０には、図示しないインクカートリッジ等の貯留手段が接続され、この貯留手段から供給連通路１１０を介してリザーバ６１内にインクが供給されるようになっている。
【００２４】
さらに供給連通路１１０内には、リザーバ６１に供給されるインクの異物をトラップするためのフィルタ部１２０が配されており、本発明では、このフィルタ部１２０が供給路部材５０、具体的には、供給溝５６が形成される第２の供給路プレート５２に、一体的に設けられている。第２の供給路プレート５２には、供給連通路１１０を構成する凹部５７が供給溝５６と同一深さで形成されており、この凹部５７の底面部分に貫通孔である多数のフィルタ孔５８が形成されている。つまり、これら複数のフィルタ孔５８が形成された凹部５７の底面部分がフィルタ部１２０として機能する。
【００２５】
コンプライアンスプレート７０は、リザーバプレート６０の供給路部材５０とは反対側の面に接合されてリザーバ６１の他方の開口を封止すると共に、リザーバ６１内の圧力変化によって変形可能なコンプライアンス部７１を有する。具体的には、コンプライアンスプレート７０のリザーバ６１とは反対側の面に凹部７２が形成されており、この凹部７２の底面部分、つまりコンプライアンスプレート７０の他の部分よりも厚さの薄い部分がコンプライアンス部７１として機能する。そして、このようなコンプライアンス部７１が、リザーバ６１内の圧力変化に伴って変形することで、リザーバ６１内の圧力は常に略一定の状態に保持される。
【００２６】
また、本実施形態では、リザーバプレート６０の、第２の供給孔５５がリザーバ６１側の開口に対向する部分、及び供給連通路１１０に対向する部分に、コンプライアンス部７１Ａ，７１Ｂがそれぞれ独立して設けられている。リザーバ６１内のこれらの部分は、インク滴を噴射する際、インクの強い流れが生じ易い。すなわち、リザーバ６１内の中でも特に圧力変化が生じ易い。したがって、これらの部分にコンプライアンス部７１Ａ，７１Ｂを設けておくことで、リザーバ６１内の圧力変化をこれらコンプライアンス部７１Ａ，７１Ｂの変形によって効果的に吸収することができる。なお、コンプライアンス部７１Ａ，７１Ｂは、必ずしも独立して設けられてなくてもよい。ただし、コンプライアンス部７１の面積をあまり広くすると、コンプライアンスプレート７０の剛性が低下してプレートの撓むといった問題が生じるので、その点を考慮する必要がある。
【００２７】
ノズルプレート８０は、コンプライアンスプレート７０に接合され、各圧力発生室４１に対応する複数のノズル８１が穿設されている。各ノズル８１は、上述した第１及び第２の供給路プレート５１，５２、リザーバプレート６０及びコンプライアンスプレート７０を貫通して設けられるノズル連通路１３０を介して圧力発生室４１に連通している。具体的には、第１及び第２の供給路プレート５１，５２、リザーバプレート６０及びコンプライアンスプレート７０には、各プレートを貫通するノズル連通孔１３１ａ〜１３１ｄがそれぞれ形成されており、ノズル連通路１３０は、これらノズル連通孔１３１ａ〜１３１ｄによって構成されている。そして、ノズルプレート８０に穿設された各ノズル８１は、このノズル連通路１３０を介して各圧力発生室４１の長手方向他方の端部近傍に連通している。
【００２８】
ところで、上述した流路ユニット２０を構成する圧力室プレート４０、第１及び第２の供給路プレート５１，５２、リザーバプレート６０及びコンプライアンスプレート７０は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属プレートで形成されている。また、これら複数の各プレートの材料としては、同一厚さの金属プレートが用いられている。つまり、上記各プレートは、同一の金属プレートを用いて形成されている。このように複数のプレートが同一材料で形成することで材料コストを大幅に削減することができる。したがって、本実施形態の構成のインクジェット式記録ヘッドは、比較的安価に製造することができる。なお、インク滴の吐出特性を良好に維持できるようであれば、上記プレートに加えてノズルプレート８０を他のプレートと同一の金属プレートで形成するようにしてもよい。
【００２９】
そして、このような構成のインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジ（貯留手段）から供給連通路１１０を介してリザーバ６１内にインクを取り込み、リザーバ６１からノズル８１に至るまでインク流路内をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、各圧力発生室４１に対応する各圧電素子１００に電圧を印加して圧電素子１００と共に振動板９０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室４１内の圧力が高まり各ノズル８１からインク滴が噴射される。
【００３０】
ちなみに、上述したインクジェット式記録ヘッドの構成では、圧力発生室４１とノズル８１とがノズル連通路１３０を介して連通されており、圧力発生室４１からノズル８１までの流路が比較的長い。このため、ノズル８１からインク滴をと噴射する際、圧力発生室４１からノズル８１に向かうインクの流れよりも、圧力発生室４１から第１の供給孔５４へ逆流するインクの流れが強くなる虞がある。しかしながら、上述したように供給路部材５０を構成する第２の供給路プレート５２にその面内方向に設けられる供給溝５６を設けて供給路５３の流路抵抗を増加させているため、インクの逆流が抑えられ圧力発生室４１からノズル８１に向かって良好にインクが供給される。
【００３１】
またこのとき、インクカートリッジから供給連通路１１０に供給されるインク中には、異物が含まれている場合があるが、この異物はフィルタ部１２０によって確実に除去される。このため、インク中の異物によるノズル詰まり等の問題の発生を防止することができ、常に良好にインク滴を噴射させることができる。
【００３２】
ここで、上述したように、フィルタ部１２０は、第２の供給路プレート５２に形成された凹部５７の底面部分に形成されている。つまり、フィルタ部１２０の周囲の第２の供給路プレート５２の厚さは、フィルタ部１２０よりも厚くなっている。これにより、フィルタ部１２０の剛性が実質的に向上し、例えば、打ち抜き加工によってフィルタ孔５８を形成する際に、或いはインクの圧力（流れ）によって、発生するフィルタ部１２０の変形が抑えられる。
【００３３】
また、このようなフィルタ部１２０が第２の供給路プレート５２に一体的に設けられていることで、部品点数が減少すると共に製造が容易となるため、製造コストの削減を図ることができる。
【００３４】
ここで、フィルタ部１２０を具備する第２の供給路プレート５２は、例えば、次のような手順で形成される。まず、図３（ａ）に示すように、第２の供給路プレート５２となる金属プレート１５２の一方の面を、例えば、プラズマエッチング、電鋳エッチング等によってハーフエッチングして、供給溝５６及び供給連通路１１０を構成する凹部５７を同時に形成する。上述したように供給溝５６と凹部５７とは同一深さを有するため、エッチングによりこれら供給溝５６と凹部５７とを同時に形成することができる。なお、供給溝５６及び凹部５７は、例えば、レーザ加工によって形成するようにしてもよい。
【００３５】
次いで、図３（ｂ）に示すように、所定形状のパンチ２００を金属プレート１５２に打ち込むことにより、つまり打ち抜き加工により、凹部５７の底面部分に複数のフィルタ孔５８を形成する。これにより、金属プレート１５２にフィルタ部１２０が一体的に形成される。次いで、図３（ｃ）に示すように、金属プレート１５２を再びエッチングして、金属プレート１５２を厚さ方向に貫通するノズル供給連通孔１１１ｂ及び第２の供給孔５５を形成する。これにより、フィルタ部１２０を一体的に有する第２の供給路プレート５２が製造される。なお、上述の例では、第２の供給孔５５をエッチングにより形成するようにしたが、これに限定されず、例えば、フィルタ孔５８を形成する際に、打ち抜き加工によって形成するようにしてもよい。
【００３６】
このように、第２の供給路プレート５２にフィルタ部１２０を一体的に設けるようにすれば、凹部５７を供給溝５６と同時に形成することができるため、フィルタ孔５８を形成する工程以外は、従来の製造方法と同様であり、製造工程の煩雑化が抑えられる。また、流路ユニット２０を構成するプレート（第２の供給路プレート５２）にフィルタ部１２０が一体的に設けられていることで、上記プレートと別体のフィルタを用いる場合に必要なフィルタと供給連通路との高精度な位置決めが不要となる。勿論、フィルタ製造時に、フィルタがカールするといった問題が生じることもない。したがって、歩留まりが大幅に向上し、製造コストの削減を図ることもできる。
【００３７】
（実施形態２）
図４は、実施形態２に係るインクジェット式記録ヘッドの概略を示す斜視図であり、図５は、その平面図及びＢ−Ｂ′断面図である。
【００３８】
本実施形態は、コンプライアンス部の変形例であり、それ以外の構成は実施形態１と同様である。図４及び図５に示すように、コンプライアンスプレート７０Ａには、供給連通路１１０に対向する領域に、当該コンプライアンスプレート７０Ａを厚さ方向に貫通する貫通孔７３が設けられている。この貫通孔７３は、供給連通路１１０よりも若干広い開口面積で形成されている。また貫通孔７３に対向する領域のノズルプレート８０Ａには、ノズルプレート８０Ａの厚さ方向の一部を除去した凹部８２が設けられている。そして、この凹部８２の底面部分がコンプライアンス部８３となっている。
【００３９】
このような本実施形態の構成では、フィルタ部１２０の直下に比較的広い空間（貫通孔７３）を有するため、コンプライアンス部８３までの距離を稼げる。すなわち、フィルタ部１２０を通過したインクの圧力は、フィルタ部１２０とコンプライアンス部８３との間に存在するインク自体によってある程度抑制される。したがって、コンプライアンス部８３の面積が比較的小さくてもリザーバ６１内の圧力変化を確実に抑えることができる。
【００４０】
また、ノズルプレート８０Ａの剛性も過度に減少させなくてすむ。ノズルプレート８０Ａにコンプライアンス部８３を比較的広い面積で形成した場合、コンプライアンス部８３の変形による振動がノズルプレート８０Ａに全体に伝わり、ノズル８１からのインク滴の噴射に悪影響を及ぼす虞がある。しかしながら、本実施形態の構成では、コンプライアンス部８３の面積はフィルタ部１２０よりも若干広い程度と、比較的小さい面積で十分であるため、インク滴の噴射に悪影響を及ぼすことはなく且つリザーバ６１内の圧力変化を確実に抑制することができる。
【００４１】
なお、本実施形態に係るリザーバプレート６０Ａには、リザーバ６１内に圧力発生室４１の列方向に沿って延設される梁部６２が設けられている。すなわち、リザーバプレート６０の、供給路５３に対向する領域と供給連通路１１０に対向する領域との間の領域に梁部６２が延設されている。なお、梁部６２は、リザーバ６１内の供給路５３に向かうインクの流れ方向に交差する方向に延設されているため、この流れを阻害しない程度の大きさで開口部６３が設けられている。
【００４２】
第２の供給路プレート５２の供給溝５６が形成されている部分と、凹部５７（フィルタ部１２０）が形成された部分とは、それぞれ他の部分よりも厚さが薄いため撓みやすく、接着不良等の問題を起こしやすい。しかしながら、このようにリザーバプレート６０Ａに梁部６２が設けられていれば、第２の供給路プレート５２が梁部６２によって支持されるため、接着不良等の問題の発生を防止することができる。
【００４３】
なお、本実施形態では、リザーバプレート６０Ａに梁部６２を一体的に設けるようにしたが、勿論、リザーバプレート６０Ａとは別体である部材によって第２の供給路プレート５２を支持するようにしてもよい。また第２の供給路プレート５２の剛性が確保されていれば、リザーバプレート６０Ａには、梁部６２が設けられてなくてもよい。
【００４４】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の構成は上述したものに限定されるものではない。
【００４５】
例えば、上述の実施形態では、供給路部材５０を構成する第２の供給路プレート５２に供給溝５６を設けるようにしたが、これに限定されず、例えば、図６に示すように、第１の供給路プレート５１に供給溝５６を設けるようにしてもよい。この場合、フィルタ部１２０も第１の供給路プレート５１に形成する。このような構成としても、勿論、上述の実施形態と同様の作用効果が得られる。
【００４６】
また、上述の実施形態では、供給路部材５０が２枚の供給路プレートで構成された例を説明したが、勿論、供給路部材５０は、３枚以上の供給路プレートで構成されていてもよい。何れにしても、供給溝が形成される供給路プレートにフィルタ部が一体的に設けられていればよい。これにより、上述の実施形態と同様の作用効果が得られる。
【００４７】
なお、上述した実施形態では、各層がグリーンシート貼付又は印刷により形成された、いわゆる厚膜型の圧電素子を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットを例示して説明したが、これに限定されず、本発明は、各層が成膜及びリソグラフィ法により形成された（いわゆる薄膜型の）圧電素子や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる（いわゆる縦振動型の）圧電素子を具備するインクジェット式記録ヘッドにも適用することができる。さらに、本発明は、振動板と電極との間に静電気を発生させて静電気力によって振動板を振動させるいわゆる静電式アクチュエータを有するインクジェット式記録ヘッドにも適用可能なものである。
【００４８】
また、このようなインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図７に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４９】
そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００５０】
なお、上述した実施形態においては、本発明の液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液滴を噴射するものにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー及びＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図３】実施形態１に係る第２の供給路プレートの製造方法を示す断面図である。
【図４】実施形態２に係る記録ヘッドの概略斜視図である。
【図５】実施形態２に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図６】他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。
【図７】一実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの概略図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０  インクジェット式記録ヘッド、  ２０  流路ユニット、  ３０  アクチュエータ装置、  ４０  圧力室プレート、  ４１  圧力発生室、  ５０  供給路部材、  ５１  第１の供給路プレート、  ５２  第２の供給路プレート、  ５４  第１の供給孔、  ５５  第２の供給孔、  ５６  供給溝、  ５７  凹部、  ５８  フィルタ孔、  ６０  リザーバプレート、  ６１  リザーバ、  ６２  梁部、  ６３  開口部、  ７０  コンプライアンスプレート、  ７１  コンプライアンス部、  ７２  凹部、  ７３  貫通孔、  ８０  ノズルプレート、  ８１  ノズル、  ８２  凹部、  ８３  コンプライアンス部、  ９０  振動板、  １００  圧電素子、  １１０  供給連通路、  １２０  フィルタ部、  １３０ノズル連通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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