(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド・スライダを着脱可能なマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムであって、
前記ヘッド・スライダの接続パッドと接触する接続端子と、
前記ヘッド・スライダを、前記接続端子に向けて押圧するクランパと、
前記クランパに結合し、クランプ力を発生させるクランプばねと、
前記クランパを係止することで、面内において前記クランプ力の方向と垂直な双方向への前記クランパの動きを規制するリミッタと、
を有するマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム。
【請求項２】
前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムは、二つのクランプばねを有し、
前記二つのクランプばねは、前記ヘッド・スライダを挟むように、前記面内における前記クランプ力の方向と垂直な方向に配列されている、
請求項１に記載のマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム。
【請求項３】
前記リミッタは、さらに、前記クランパの前記接続端子へ向かう動きを規制する、
請求項１に記載のマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム。
【請求項４】
前記リミッタは、前記接続端子側から前記クランパに向かって延出し、
前記リミッタの先端の一部は、前記クランパに形成されている凹部にあり、
前記先端の一部が前記凹部の内壁に当接することで、前記クランパの動きを規制する、
請求項１に記載のマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム。
【請求項５】
前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムは二つのリミッタを有し、
前記二つのリミッタのそれぞれは、前記二つのクランプばねのそれぞれと前記ヘッド・スライダとの間において、前記クランパに向かって延出し、
前記二つリミッタのそれぞれの先端の一部は、前記クランパに形成されている凹部にあり、
前記先端の一部が前記凹部の内壁に当接することで、前記クランパの動きを規制する、
請求項２に記載のマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム。
【請求項６】
前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムは、前記ヘッド・スライダの接続パッドと接触する複数の接続端子を有し、
前記複数の接続端子の一部は、前記クランパとの間で前記ヘッド・スライダを保持するためのストッパとして働き、
前記複数の接続端子の他の接続端子は、前記ストッパとして働く接続端子よりも前記クランプ力方向における小さいばね定数を有している、
請求項１に記載のマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム。
【請求項７】
前記クランパは、前記ヘッド・スライダに当接して押圧する凸部を有し、
前記凸部は、前記複数の接続端子の配列方向において、二つの前記ストッパとして働く接続端子の間に位置する、
請求項６に記載のマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム。
【請求項８】
前記接続端子は、前記クランプ力方向における弾性と、前記垂直な方向における弾性とを有し、
前記垂直な方向におけるばね定数は、前記クランプ力方向におけるばね定数よりも小さい、
請求項１に記載のマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム。
【請求項９】
前記クランパの前記ヘッド・スライダとの当接位置は、前記接続端子の前記ヘッド・スライダとの当接位置よりも、前記ヘッド・スライダの空気軸受面から遠い位置にある、
請求項１に記載のマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム。
【請求項１０】
サスペンションとそのサスペンションに保持されたヘッド・スライダとを有するヘッド・ジンバル・アセンブリであって、前記サスペンションは、
ジンバルと、
前記ジンバル上に固定され、前記ヘッド・スライダを着脱可能であり、前記ヘッド・スライダの接続パッドと接触する接続端子と、前記ヘッド・スライダを前記接続端子に向けて押圧するクランパと、前記クランパに結合してクランプ力を発生させるクランプばねとを有する、マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムと、
前記クランパを係止することで、面内において前記クランプ力の方向と垂直な双方向への前記クランパの動きを規制するリミッタと、
を有する、ヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１１】
前記リミッタは、前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムに形成されている、
請求項１０に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１２】
前記リミッタは、前記ジンバルに形成されている、
請求項１０に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１３】
前記ヘッド・ジンバル・アセンブリは、
前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムに形成され、面内において前記クランプ力の方向と垂直な双方向への前記クランパの動きを規制する第１のリミッタと、
前記ジンバルに形成され、前記面内における前記クランプ力の方向と垂直な双方向への前記クランパの動きを規制する第２のリミッタと、
を有する、請求項１０に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１４】
前記リミッタは、前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムが固定されているジンバル・タングから突出している、
請求項１２に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１５】
前記リミッタは、前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムが固定されているジンバル・タングから離間した前記ジンバルの胴部から突出している、
請求項１２に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１６】
前記クランプ力と垂直な方向における前記クランパの両側に、前記クランパの動きを規制するリミッタを有している、
請求項１２に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１７】
サスペンションとそのサスペンションに保持されたヘッド・スライダとを有するヘッド・ジンバル・アセンブリであって、前記サスペンションは、
前記ヘッド・スライダの複数の接続パッドと接触する複数の接続端子と、
前記ヘッド・スライダを前記接続端子に向けて押圧するクランパと、
前記クランパに結合してクランプ力を発生させるクランプばねと、
前記クランパを係止することで、面内において前記クランプ力の方向と垂直な双方向への前記クランパの動きを規制するリミッタと、
を有し、
前記複数の接続端子の一部は、前記クランパとの間で前記ヘッド・スライダを保持するためのストッパとして働き、
前記複数の接続端子の他の接続端子は、前記ストッパとして働く接続端子よりも前記クランプ力方向における小さいばね定数を有している、
ヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１８】
前記クランパは、前記ヘッド・スライダに当接して押圧する凸部を有し、
前記凸部は、前記複数の接続端子の配列方向において、二つの前記ストッパとして働く接続端子の間に位置する、
請求項１７に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項１９】
前記他の接続端子は、前記クランプ力方向における弾性と、面内において前記クランプ力の方向と垂直な方向における弾性とを有し、
前記垂直な方向におけるばね定数は、前記クランプ力方向におけるばね定数よりも小さい、
請求項１７に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【請求項２０】
前記クランパの前記ヘッド・スライダとの当接位置は、前記ストッパとして働く接続端子の前記ヘッド・スライダとの当接位置よりも、前記ヘッド・スライダの空気軸受面から遠い位置にある、
請求項１７に記載のヘッド・ジンバル・アセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッド・スライダを着脱可能なマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム（ＭＥＭＳ）及びヘッド・ジンバル・アセンブリに関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスク・ドライブ装置として、光ディスク、光磁気ディスク、あるいはフレキシブル磁気ディスクなどの様々な態様のメディアを使用する装置が知られているが、その中で、ハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）は、コンピュータの記憶装置として広く普及し、現在のコンピュータ・システムにおいて欠かすことができない記憶装置の一つとなっている。さらに、コンピュータにとどまらず、動画像記録再生装置、カーナビゲーション・システム、あるいは携帯電話など、ＨＤＤの用途はその優れた特性により益々拡大している。
【０００３】
ＨＤＤは、データを記憶する磁気ディスクと、磁気ディスクへアクセスするヘッド・スライダとを備えている。ヘッド・スライダは、磁気ディスクとの間のデータ読み出し及び／もしくは書き込みを行うヘッド素子部と、ヘッド素子部がその上に形成されたスライダとを有している。ヘッド素子部は、磁気ディスクへの記録データに応じて電気信号を磁界に変換する記録素子及び／又は磁気ディスクからの磁界を電気信号に変換する再生素子を備えている。
【０００４】
ＨＤＤは、さらに、ヘッド・スライダを磁気ディスク上の所望の位置に移動するアクチュエータを備えている。アクチュエータはボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）によって駆動され、回動軸を中心として回動することによって、回転する磁気ディスク上でヘッド・スライダを半径方向に移動する。これによって、ヘッド素子部が磁気ディスクに形成された所望のトラックにアクセスし、データの読み出し／書き込みを行うことができる。
【０００５】
アクチュエータは弾性を有するサスペンションを備え、ヘッド・スライダはサスペンションに接着剤によって結合されている。磁気ディスクに対向するヘッド・スライダのＡＢＳ（Air Bearing Surface）面と回転している磁気ディスクとの間の空気の粘性による圧力が、サスペンションによって磁気ディスク方向に加えられる圧力とバランスすることによって、ヘッドは磁気ディスク上を一定のギャップを置いて浮上することができる。
【０００６】
ＨＤＤの製造において、スライダ・ダイナミック・エレキテスト（スライダＤＥＴ）と呼ばれるテストが行われる。典型的なスライダＤＥＴは、テスト装置に、ヘッド・スライダとサスペンションのアセンブリであるヘッド・ジンバル・アセンブリ（ＨＧＡ）をセットし、回転する磁気ディスクに対して実際のリード／ライト処理を行う。これによって、ヘッド・スライダの浮上特性や記録再生特性の評価を行う。
【０００７】
スライダＤＥＴにおいて仕様を満足するＨＧＡは次の製造工程へ進み、不合格と判定されたＨＧＡは廃棄される。従って、ヘッド・スライダが仕様を満たさない場合には、ヘッド・スライダが固着されたサスペンションも共に廃棄され、ＨＧＡ製造上の損失となっていた。
【０００８】
ＨＧＡ製造におけるこのサスペンションの損失をなくすため、ヘッド・スライダを着脱可能なスライダＤＥＴ装置が提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。このスライダＤＥＴ装置は、スライダＤＥＴ用のサスペンションを有しており、そのサスペンションは、ヘッド・スライダを着脱可能なソケットを有している。ソケットは、サスペンションのジンバルに接着固定されている。このようにヘッド・スライダ単体でのスライダＤＥＴ装置を使用することによって、ヘッド・スライダを製品としてのサスペンションに搭載する前にテストを行うことができ、ヘッド・スライダの不良によるサスペンションの損失を防止することができる。
【特許文献１】特表２００４−５３１０１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記特許文献１に開示されているソケットは、ヘッド・スライダを配置する孔と、その孔内でヘッド・スライダを信号端子に押し付けることにより保持するためのクランプ・バーとを有している。クランプ・バーによるクランプ力を発生させるため、ビームばねが、孔（ヘッド・スライダ）の前後（リーディング側とトレーリング側）に形成されている。
【００１０】
ソケットはマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム（ＭＥＭＳ）であり、エッチングにより形状が形成されたシリコン基板上に、信号伝送のための金属層がメッキにより形成されている。ヘッド・スライダを着脱するための機構をジンバルに直接形成することもできるが、ＭＥＭＳであるソケットをジンバルに装着することで、スライダＤＥＴに使用するサスペンションの寿命を長くすることができると共に、サスペンション及びスライダＤＥＴの安定性を高めることができる。
【００１１】
ヘッド・スライダのＤＥＴテストを正確に行うためには、ヘッド・スライダがサスペンション（ソケット）内において正しい位置にあり、かつ、正しい方向に負荷（クランプ力）が加えられていることが重要である。このためには、ヘッド・スライダをソケット内に固定するとき、クランパを前後方向にまっすぐに移動し、左右方向（磁気ディスク上にあるときの半径方向）に移動させないことが重要である。
【００１２】
また、スライダＤＥＴにおいて、ＨＧＡの振動によりＭＥＭＳのクランパが磁気ディスクと衝突すると、クランパに対して横方向の力が加わることがある。このような場合にクランパが横方向に大きく動くと、ヘッド・スライダがソケットから外れる、あるいは、ＭＥＭＳが破損することが考えられる。同様のことは、ＭＥＭＳやＨＧＡのハンドリングにおいて、クランパに横方向の衝撃が加わった場合にも起こりうる。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の一態様は、ヘッド・スライダを着脱可能なマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムであって、前記ヘッド・スライダの接続パッドと接触する接続端子と、前記ヘッド・スライダを前記接続端子に向けて押圧するクランパと、前記クランパに結合しクランプ力を発生させるクランプばねと、前記クランパを係止することで面内において前記クランプ力の方向と垂直な双方向への前記クランパの動きを規制するリミッタを有する。これにより、ヘッド・スライダの保持の信頼性を高めることができる。
【００１４】
本発明は、前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムは、二つのクランプばねを有し、前記二つのクランプばねは、前記ヘッド・スライダを挟むように、前記面内における前記クランプ力の方向と垂直な方向に配列されているマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムにおいて特に有用である。
【００１５】
前記リミッタは、さらに、前記クランパの前記接続端子へ向かう動きを規制することが好ましい。これにより、クランパの破損を防ぐことができる。
好ましい例において、前記リミッタは前記接続端子側から前記クランパに向かって延出し、前記リミッタの先端の一部は、前記クランパに形成されている凹部にあり、前記先端の一部が前記凹部の内壁に当接することで、前記クランパの動きを規制する。これにより、シンプルな構造で効果的にクランパの動きを規制することができる。
【００１６】
好ましい例において、前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムは二つのリミッタを有し、前記二つのリミッタのそれぞれは、前記二つのクランプばねのそれぞれと前記ヘッド・スライダとの間において、前記クランパに向かって延出し、前記二つリミッタのそれぞれの先端の一部は、前記クランパに形成されている凹部にあり、前記先端の一部が前記凹部の内壁に当接することで、前記クランパの動きを規制する。これにより、シンプルな構造で効果的にクランパの動きを規制することができる。
【００１７】
前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムは、前記ヘッド・スライダの接続パッドと接触する複数の接続端子を有し、前記複数の接続端子の一部は、前記クランパとの間で前記ヘッド・スライダを保持するためのストッパとして働き、前記複数の接続端子の他の接続端子は、前記ストッパとして働く接続端子よりも前記クランプ力方向における小さいばね定数を有していることが好ましい。これにより、ヘッド・スライダをより確実に保持するとともに、接続端子と接続パッドの接触の信頼性を高めることができる。
【００１８】
前記クランパは、前記ヘッド・スライダに当接して押圧する凸部を有し、前記凸部は、前記複数の接続端子の配列方向において、二つの前記ストッパとして働く接続端子の間に位置することが好ましい。これにより、より確実にヘッド・スライダを保持することができる。
【００１９】
前記接続端子は、前記クランプ力方向における弾性と、前記垂直な方向における弾性とを有し、前記垂直な方向におけるばね定数は、前記クランプ力方向におけるばね定数よりも小さいことが好ましい。これにより、接続端子の劣化を抑制することができる。
前記クランパの前記ヘッド・スライダとの当接位置は、前記接続端子の前記ヘッド・スライダとの当接位置よりも、前記ヘッド・スライダの空気軸受面から遠い位置にあることが好ましい。これにより、より確実にヘッド・スライダを保持することができる。
【００２０】
本発明の他の態様は、サスペンションとそのサスペンションに保持されたヘッド・スライダとを有するヘッド・ジンバル・アセンブリであって、前記サスペンションは、ジンバルと、前記ジンバル上に固定され、前記ヘッド・スライダを着脱可能であり、前記ヘッド・スライダの接続パッドと接触する接続端子と、前記ヘッド・スライダを前記接続端子に向けて押圧するクランパと、前記クランパに結合してクランプ力を発生させるクランプばねとを有する、マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムと、前記クランパを係止することで、面内において前記クランプ力の方向と垂直な双方向への前記クランパの動きを規制するリミッタとを有する。これにより、ヘッド・スライダの保持の信頼性を高めることができる。
【００２１】
好ましくは、前記リミッタは、前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムに形成されている。これにより、マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム単体で存在する場合におけるクランパの破損を効果的に避けることができる。あるいは、前記リミッタは、前記ジンバルに形成されていることが好ましい。これにより、ヘッド・スライダ装着時において、クランパの動きを効果的に規制することができる。
【００２２】
好ましくは、前記リミッタは、前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムに形成され、面内において前記クランプ力の方向と垂直な双方向への前記クランパの動きを規制する第１のリミッタと、前記ジンバルに形成され、前記面内における前記クランプ力の方向と垂直な双方向への前記クランパの動きを規制する第２のリミッタとを有する。これにより、クランパの状態にかかわらず効果的にクランパの動きを規制することができる。
【００２３】
好ましい例において、前記リミッタは、前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムが固定されているジンバル・タングから突出している。これにより、ジンバルの変形によるリミッタとクランパとの衝突の可能性と小さくすることができる。あるいは、前記リミッタは、前記マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムが固定されているジンバル・タングから離間した前記ジンバルの胴部から突出している。これにより、サスペンション設計への小さい影響内でリミッタを配置することができる。あるいは、前記クランプ力と垂直な方向における前記クランパの両側に、前記クランパの動きを規制するリミッタを有している。これにより、加工・組み立ての寸法制度を緩和することができる。
【００２４】
本発明の他の態様は、サスペンションとそのサスペンションに保持されたヘッド・スライダとを有するヘッド・ジンバル・アセンブリであって、前記サスペンションは、前記ヘッド・スライダの複数の接続パッドと接触する複数の接続端子と、前記ヘッド・スライダを前記接続端子に向けて押圧するクランパと、前記クランパに結合してクランプ力を発生させるクランプばねと、前記クランパを係止することで、面内において前記クランプ力の方向と垂直な双方向への前記クランパの動きを規制するリミッタとを有し、前記複数の接続端子の一部は、前記クランパとの間で前記ヘッド・スライダを保持するためのストッパとして働き、前記複数の接続端子の他の接続端子は、前記ストッパとして働く接続端子よりも前記クランプ力方向における小さいばね定数を有している。これにより、ヘッド・スライダをより確実に保持するとともに、接続端子と接続パッドの接触の信頼性を高めることができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、ヘッド・スライダのテストにおいて、ヘッド・スライダの保持の信頼性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下に、本発明の実施の形態を説明する。各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略されている。本形態においては、ディスク・ドライブ装置の一例であるハードディスク・ドライブ（ＨＤＤ）について説明する。本形態は、ヘッド・スライダのダイナミック・エレキテスト（動的電気特性試験：ＤＥＴ）に使用されるサスペンションに特徴を有している。
【００２７】
スライダＤＥＴにおいて欠陥が見つかったヘッド・スライダは廃棄される。本形態のサスペンションに対しては、ヘッド・スライダを着脱可能である。このため、スライダＤＥＴにおいてヘッド・スライダに欠陥が見つかった場合に、サスペンションをヘッド・スライダと共に破棄する必要がない。これによって、ヘッド・スライダの欠陥によりサスペンションが無駄になることを防止し、ＨＧＡの製造における歩留まりを向上することができる。
【００２８】
スライダＤＥＴをパスしたヘッド・スライダは、スライダＤＥＴ装置のサスペンションからとり外されて、製品のサスペンションに実装されて後にＨＤＤに実装される。本明細書において、サスペンションとヘッド・スライダのアセンブリを、ヘッド・ジンバル・アセンブリ（ＨＧＡ）と呼ぶ。ＨＧＡは、ＨＤＤに実装されるデバイスの他、スライダＤＥＴにおけるサスペンションとヘッド・スライダのアセンブリも含む。
【００２９】
本形態のスライダＤＥＴ用サスペンションは、ヘッド・スライダを保持するためのマイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム（ＭＥＭＳ）を有している。ＭＥＭＳは、機械要素と電子回路要素とを一つのシリコン基板に形成したデバイスであり、シリコン基板をエッチングすることにより形成した可動構造を有している。
【００３０】
本形態のＭＥＭＳは、ヘッド・スライダを保持するためのクランパを有しており、このクランパを外力により動かすことでヘッド・スライダの着脱を行うことができる。本形態のＭＥＭＳあるいはサスペンションは、クランパの面内における横方向（ヘッド・スライダの空気軸受面（ＡＢＳ）に平行であって、クランパのクランプ力方向に垂直な方向）における動きを規制するリミッタを有している。
【００３１】
このリミッタにより、クランパの望ましくない動きを規制し、ヘッド・スライダ装着時におけるクランパの横方向における移動、磁気ディスクとの接触によるヘッド・スライダの脱落やＭＥＭＳの破損、あるいはハンドリングにおけるヘッド・スライダの脱落やＭＥＭＳの破損を防止する。
【００３２】
上述のように、ヘッド・スライダは、ＨＤＤに実装される前に、その製造工程においてスライダＤＥＴの対象となる。スライダＤＥＴにおいては、ヘッド・スライダをスライダＤＥＴ用のサスペンションに装着してＨＧＡを構成し、そのＨＧＡをスライダＤＥＴ装置にセットし、回転する磁気ディスクに対して実際のリード／ライト処理を行う。これによって、ヘッド・スライダの浮上特性や記録再生特性の評価を行う。
【００３３】
具体的には、図１のフローチャートに示すように、まず、準備されたスライダＤＥＴ用サスペンションにヘッド・スライダ装着して、ＨＧＡを構成する（Ｓ１１）。この構成されたＨＧＡをスライダＤＥＴ装置にセットし、スライダＤＥＴを実行する（Ｓ１２）。Ｓ１２におけるＤＥＴの評価結果が「エラー」である場合、サスペンションらヘッド・スライダを取り外し、そのヘッド・スライダは廃棄する（Ｓ１３）。別の新たなヘッド・スライダをサスペンションに装着し（Ｓ１４）、スライダＤＥＴを再度行う（Ｓ１２）。
【００３４】
Ｓ１２におけるスライダＤＥＴの評価結果が「パス」である場合、ヘッド・スライダをサスペンションから取り外し、製品としてのサスペンションにそのヘッド・スライダを固着して製品としてのＨＧＡを製造し、そのＨＧＡをＨＤＤに実装する（Ｓ１５）。ＤＥＴ用サスペンションは引き続き、別のヘッド・スライダのＤＥＴに使用される。製品ＨＧＡは、アームやＶＣＭコイルと組み立てられ、それらと共にヘッド・スタック・アセンブリ（ＨＳＡ）を構成する。ＨＳＡ、磁気ディスク、スピンドル・モータなどの部品がベースに実装され、トップ・カバーがベースの開口を覆うように固定される。その後、制御回路基板が実装されて、ＨＤＤが完成する。
【００３５】
以下において、本形態のスライダＤＥＴにおいて用いられるサスペンションについて詳細に説明する。図２（ａ）は、スライダＤＥＴのサスペンション１と、そのサスペンション１上に装着されているスライダ２とから構成されているＨＧＡの全体を示す斜視図である。図２（ｂ）及び（ｃ）は、それぞれ、図２（ａ）における円で囲まれている部分の拡大斜視図と拡大平面図である。図２（ａ）〜（ｃ）は、ＨＧＡの磁気ディスクと対向する面を示している。
【００３６】
サスペンション１は、トレース１１、ジンバル１２（フレクシャとも呼ばれる）、ロード・ビーム１３及びベース・プレート１４、そしてＭＥＭＳ１５を有している。トレース１１はヘッド・スライダ２上の素子の信号を伝送する。トレース１１のリード数は、ヘッド・スライダ２の構成によって変化し、図の例においては、トレース１１は６本のリード線を有している。各リードの一端はヘッド・アンプ（不図示）などの内部回路に接続され、各リードの他端はＭＥＭＳ１５の接続パッドに接続される。リード線とＭＥＭＳ１５の接続パッドとは、典型的には、半田ボールあるいは金ボールによる相互接続により、電気的かつ物理的に接続される。
【００３７】
ロード・ビーム１３は、ステンレス鋼などによって形成され、精密な薄板ばねとして機能する。ロード・ビーム１３の形状は、回動方向と垂直に長く延在し、薄くて軽量であると共に必要な剛性（ジンバル１２よりも大きい）を有する。ロード・ビーム１３の弾性により、ヘッド・スライダ２の浮上力に対抗する荷重を発生させる。この荷重と、ヘッド・スライダ２のＡＢＳと回転している磁気ディスクとの間の空気の粘性による圧力（浮上力）と、がバランスすることによって、ヘッド・スライダ２が所望高さで浮上する。
【００３８】
ジンバル１２は、ロード・ビーム１３の磁気ディスク面側に、レーザ・スポット溶接などによって固定される。ジンバル１２は、例えばステンレス鋼で形成される。ジンバル１２は所望の弾性を有し、変形可能に形成されている。ジンバル１２の前部において、舌片状のジンバル・タング（図２（ａ）〜（ｃ）において不図示）が形成されており、その上にＭＥＭＳ１５が固定されている。ＭＥＭＳ１５は可動部と固定部で構成されており、固定部の一部がジンバル・タングに接着されている。
【００３９】
ジンバル・タングは、ＭＥＭＳ１５及びそこに保持されているヘッド・スライダ２をピッチ方向あるいはロール方向に傾動させることができ、磁気ディスクのトラッキングに高い追従性を発揮する。ＭＥＭＳ１５を除く部分のサスペンション１のデザインはＨＤＤに実装されるサスペンションと同じ、あるいは、スライダＤＥＴ専用にデザインすることができる。
【００４０】
本明細書において、ヘッド・スライダ２とベース・プレート１４とを結ぶ方向を前後方向（図２（ｃ）におけるＹ）、ヘッド・スライダのＡＢＳに平行であって前後方向に垂直な方向を左右方向（図２（ｃ）におけるＸ）と呼ぶ。また、Ｘ、Ｙ方向に対して垂直方向をＺと呼ぶ（図２（ｂ）におけるＺ）。ヘッド・スライダ２が磁気ディスク上を浮上しているとき、円周方向が前後方向であり、半径方向が左右方向である。あるいは、磁気ディスク上で揺動するＨＧＡの揺動方向が左右方向であり、遥動軸（図２（ａ）におけるＰ）とヘッド・スライダ２とを結ぶ方向が前後方向である。これらは、サスペンション１の主面（磁気ディスクと対向する面）に平行な面内において互いに垂直な方向である。また、ベース・プレート１４に対してヘッド・スライダ２は前側にあり、ベース・プレート１４はヘッド・スライダ２の後側にある。ヘッド・スライダ２と磁気ディスクとを結ぶ方向がＺ方向である。
【００４１】
ヘッド・スライダ２は、サスペンション１において、ＭＥＭＳ１５に保持されている。図３（ａ）は、ＭＥＭＳ１５の構造を示す平面図であり、図３（ｂ）は、ＭＥＭＳ１５及びＭＥＭＳ１５に保持されているヘッド・スライダ２を示す平面図である。図３（ａ）及び（ｂ）は、磁気ディスクに向かう面を示している。ＭＥＭＳ１５は、クランパ５１、クランプばね５２ａ、５２ｂ、接続端子５３ａ〜５３ｆ、伝送線５４ａ〜５４ｆ、接続パッド５５ａ〜５５ｆ、リミッタ・バー５６ａ、５６ｂ、固定本体部５８を有している。ヘッド・スライダ２は、ＭＥＭＳ１５の孔５７内において支持される。固定本体部５８は、ジンバル１２に接着されている
【００４２】
ＭＥＭＳ１５は、エッチングにより形状が形成されたシリコン基板上に、信号伝送のための金属層がメッキにより形成されている。ＭＥＭＳ１５は、半導体製造技術を使用することで製造することができる。ヘッド・スライダ２は、孔５７内に位置し、接続端子５３ａ〜５３ｆとクランパ５１との間で挟持される。
【００４３】
クランパ５１は、ヘッド・スライダ２（孔５７）の後側にあり、接続端子５３ａ〜５３ｆはヘッド・スライダ２の前側にある。クランパ５１はクランプばね５２ａ、５２ｂに結合しており、クランプばね５２ａ、５２ｂが、その弾性力によりクランパ５１をヘッド・スライダ２側に引き付ける。クランプばね５２ａ、５２ｂのばね定数は同一であり、バランスされた弾性力をクランパ５１に与える。従って、クランパ５１によるクランプ力の方向は、前後方向である。
【００４４】
クランパ５１は、ヘッド・スライダ２のリーディング端面２１（後端面）に当接し、そのリーディング端面２１を押圧する。具体的には、クランパ５１は、ヘッド・スライダ２に対向する前端面に凸部５１１を有しており、この凸部５１１がリーディング端面２１に当接している。ヘッド・スライダ２のトレーリング端面２２（前端面）には、複数の接続パッド（図の例において６接続パッド）が形成されており、各接続パッドが接続端子５３ａ〜５３ｆに押し付けられている。
【００４５】
ヘッド・スライダ２の装着は、外力によりクランパ５１を後方（接続端子５３ａ〜５３ｆから離れる方向）に平行移動し、拡大された孔５７内にヘッド・スライダ２を配置し、クランパ５１を前方に平行移動する。これにより、孔５７内において、クランパ５１と接続端子５３ａ〜５３ｆにより、ヘッド・スライダ２は保持される。ヘッド・スライダ２の取り外しは、ヘッド・スライダ２を吸着した状態でクランパ５１を後方に平行移動し、ヘッド・スライダ２を孔５７から取り出す。
【００４６】
接続端子５３ａ〜５３ｆは、左右方向に離間して配列されており、それぞれがヘッド・スライダ２の接続パッドに当接することで電気的な接続を得ていると共に、ヘッド・スライダ２のトレーリング端面２２を押圧することで、クランパ５１と共にヘッド・スライダ２を支持している。
【００４７】
接続端子５３ａ〜５３ｆと接続パッド５５ａ〜５５ｆとを、伝送線５４ａ〜５４ｆが接続している。接続パッド５５ａ〜５５ｆと伝送線５４ａ〜５４ｆとは、固定本体部５８上に形成されている。上述のように、接続パッド５５ａ〜５５ｆは、トレースのリード線と接続されており、リード信号やライト信号などのヘッド・スライダ２の信号は、接続端子５３ａ〜５３ｆ、接続パッド５５ａ〜５５ｆ、伝送線５４ａ〜５４ｆが伝送する。
【００４８】
図４（ａ）は、接続端子５３ａ〜５３ｆのヘッド・スライダ２側先端の構造を模式的に示す側面図である。接続端子５３ａ〜５３ｆは、基層のシリコン層５３１、表面の酸化絶縁層５３２、そして酸化絶縁層上に形成された金属層５３３から構成されている。接続パッド５５ａ〜５５ｆ、伝送線５４ａ〜５４ｆは、シリコン基板の表層に形成されている酸化絶縁層層上にメッキで形成された金属層である。
【００４９】
図４（ａ）に示すように、金属層５３３が、酸化絶縁層５３２及びシリコン層５３１よりも、ヘッド・スライダ２（孔５７内）に向かって突出している。このため、金属層５３３のみが、ヘッド・スライダ２の接続パッドに接触し、酸化絶縁層５３２及びシリコン層５３１は、接続パッドから離れている。これにより、金属層５３３と接続パッドとの接触を確実に行うことができると共に、シリコン層５３１が接続パッドと接触することで正確な信号伝送が損なわれることを防ぐことができる。
【００５０】
接続端子５３ａ〜５３ｆは、ヘッド・スライダ２の接続パッドと、確実に接触していることが重要である。本形態のＭＥＭＳ１５において、一部の接続端子は、ヘッド・スライダ２のトレーリング端面２２と当接するストッパとして機能し、他の接続端子は弾性を有している。具体的には、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、両端の接続端子５３ａ、５３ｆはストッパであり、それらの間にある接続端子５３ｂ〜５３ｅは弾性を有している。両端の接続端子５３ａ、５３ｆは、他の接続端子５３ｂ〜５３ｅよりも、非常に大きなばね定数を有していると見ることもできる。
【００５１】
ヘッド・スライダ２が装着されていないとき、中央の接続端子５３ｂ〜５３ｅは、両側の接続端子５３ａ、５３ｆよりも後方に突出している。ヘッド・スライダ２の装着において、中央の接続端子５３ｂ〜５３ｅは、ヘッド・スライダ２に押されて収縮し、ヘッド・スライダ２は、両端の接続端子５３ａ、５３ｆによって止められる。このとき、両端の接続端子５３ａ、５３ｆはほとんど変形することはない。
【００５２】
従って、ヘッド・スライダ２を挟持するクランプ力は、主に、クランパ５１と両端の接続端子５３ａ、５３ｆとの間において加えられる。接続端子５３ａ〜５３ｆがこのような構成を有することによって、全ての接続端子５３ａ〜５３ｆを、ヘッド・スライダ２の接続パッドに確実に接触させることができる。
【００５３】
ヘッド・スライダ２を決まった姿勢において確実に支持するため、ストッパとして機能する接続端子は二つであることが好ましく、また、上述のように両端の接続端子がストッパであることが好ましい。弾性を有する（ばね定数が小さい）中央の接続端子は、典型的には、同一のばね定数を有している。ストッパを接続端子とは別に形成することもできるが、接続端子がストッパとして機能することで、ＭＥＭＳ１５の構造をより単純化することができる。また、凸部５１１は、Ｘ方向において、ストッパとして機能する接続端子の間に位置することが好ましく、特に、本例のように、ストッパとして機能する二つの接続端子の中央に位置することが好ましい。これにより、ヘッド・スライダ２を、確実に保持することができる。
【００５４】
ここで、中央の接続端子５３ｂ〜５３ｅのそれぞれのばね定数は、前後方向よりも、左右方向において小さいことが好ましい。ヘッド・スライダ２の装着において、接続端子５３ｂ〜５３ｅが横方向に押されることがある。このとき、接続端子５３ｂ〜５３ｅがトレーリング端面２２（接続パッド）上をすべると、接続端子５３ｂ〜５３ｅの先端が磨耗する。
【００５５】
磨耗量が多くなれば、ＭＥＭＳ１５を交換しなければならない。接続端子５３ｂ〜５３ｅの横方向における弾性力（ばね定数）を小さくすることにより、ヘッド・スライダ２が保持されているとき、接続端子５３ｂ〜５３ｅは横方向に曲がった状態で維持され、接続端子５３ｂ〜５３ｅの先端が磨耗を防ぎ、ＭＥＭＳ１５の耐久性を高めることができる。一方、前後方向における弾性力（ばね定数）を大きくすることにより、接続端子５３ｂ〜５３ｅの接触をより確実に行うと共に、接続端子５３ｂ〜５３ｅの横方向のすべりを抑えることができる。なお、両端の接続端子５３ａ、５３ｆは、横方向においても高い剛性（大きなばね定数）を有しており、実質的に動くことはない。
【００５６】
図４（ｂ）は、接続端子５３ａ〜５５ｆとクランパ５１との間に挟持されているヘッド・スライダ２を模式的に示す側面図である。図４（ｂ）において、接続端子５３ａ〜５３ｆの内、接続端子５３ａのみが示されている。接続端子５３ａは、ヘッド・スライダ２のトレーリング端面２２上の接続パッド２３に当接している。また、クランパ５１の凸部５１１が、リーディング端面２１に当接している。上述のように、接続パッド５５ａ〜５５ｆの当接点は金属層の端子５３３である。クランパ５１の凸部５１１は、シリコン層５３１の一部である。
【００５７】
図４（ｂ）に示すように、接続端子５３ａの当接位置と凸部５１１の当接位置とは、異なる。図４（ｂ）において、接続端子５３ａの当接位置は、前述したように金属層の端子５３３であり、凸部５１１の当接位置よりも上にある。つまり、接続端子５３ａは、凸部５１１よりもジンバル１２から離れた位置において、ヘッド・スライダ２に当接している。ＨＧＡが磁気ディスク上を浮上しているとき、接続端子５３ａの当接位置は、凸部５１１の当接位置よりも磁気ディスクに近いことになる。
【００５８】
より具体的には、図４（ｂ）に示すように、金属層５３３の当接位置が、凸部５１１の当接面の中心よりも上にある。二つの当接位置がこのようになっていることにより、ヘッド・スライダ２がＭＥＭＳ１５から外れにくくすることができる。他の接続端子５３ｂ〜５３ｆの先端も同様の構造を有している。
【００５９】
クランパ５１は、クランプばね５２ａ、５２ｂに結合しており、振動や衝撃に対して特に上下方向（Ｚ軸方向あるいは遥動軸方向）において動きやすい。これに対して、接続端子５３ａ〜５３ｆの上下方向におけるバネ定数はクランパ５１よりも大きく、特に、接続端子５３ａ、５３ｆの上下方向における動きはほとんど存在しない。図４（ｃ）に例示するように、クランパ５１の凸部５１１が、接続端子５３ａ〜５３ｆよりも上側にある場合、ヘッド・スライダ２のクランパ５１側が上に向かうような回転力が加わり正常にクランプできないかもしくはできたとしても、ＤＥＴ時に磁気ディスクからヘッド・スライダを引き剥がす際の力や、衝撃や振動による力に抵抗する力が不十分となってヘッド・スライダ２がＭＥＭＳ１５から外れやすくなる。
【００６０】
一方、図４（ｂ）に示す本形態のＭＥＭＳ１５は、クランパ５１の凸部５１１が接続端子５３ａ〜５３ｆの当接位置（金属層５３３）よりも下側（ジンバル１２側）にあるので、ヘッド・スライダ２のクランパ５１側が下（ジンバル１２）に向かうような回転力が加わり、ヘッド・スライダ２２をサスペンション１の方向に押し付ける力が働くため、衝撃や振動によりヘッド・スライダ２がＭＥＭＳ１５から外れにくくなり、ヘッド・スライダ２をより確実に保持することができる。
【００６１】
以下において、本形態のクランパ５１のリミッタについて具体的に説明する。まず、ＭＥＭＳ１５に形成されているリミッタを説明する。図３（ａ）、（ｂ）に示すように、ＭＥＭＳ１５は、リミッタ・バー５６ａ、５６ｂを有している。リミッタであるリミッタ・バー５６ａ、５６ｂは、固定本体部５８からクランパ５１に向けて（後方向に）延びており、ヘッド・スライダ２を収容するための孔５７の一部（左右側）を画定し、クランプばね５２ａ、５２ｂとヘッド・スライダ２との間に形成されている。リミッタ・バー５６ａ、５６ｂの位置及び形状は、孔５７の前後方向に延びる中心線において線対称であり、左右方向に配列されている。
【００６２】
可動部の一部である本形態のクランプばね５２ａ、５２ｂは、ヘッド・スライダ２の左右両側にあり、前後方向に弾性をうむ凹凸が配列されている。このため、クランプばね５２ａ、５２ｂは、左右方向（図３（ａ）、（ｂ）における上下方向）において曲がりやすい。同様に、可動部の一部であるクランパ５１は、クランプばね５２ａ、５２ｂに結合しているため、左右方向に振れやすい。
【００６３】
このため、ヘッド・スライダ２の着脱時や、スライダＤＥＴにおいてＭＥＭＳ１５に振動あるいは衝撃が加えられた場合、クランパ５１が動いてヘッド・スライダ２が外れる、あるいはクランプばね５２ａ、５２ｂが破損する可能性がある。リミッタ・バー５６ａ、５６ｂは、このクランパ５１の横方向における動きを規制する。
【００６４】
クランパ５１は、その前端面に凹部５１２ａ、５１２ｂを有しており、固定部であるリミッタ・バー５６ａ、５６ｂの先端の一部が、これら凹部５１２ａ、５１２ｂ内にある。リミッタ・バー５６ａ、５６ｂは、ヘッド・スライダ２の有無に係らず（装着されているときもいないときも）、凹部５１２ａ、５１２ｂ内に常に挿入されている。
【００６５】
クランパ５１が動くと、リミッタ・バー５６ａ、５６ｂが凹部５１２ａ、５１２ｂの内壁にあたり、クランパ５１の横方向の動きを規制する。さらに、リミッタ・バー５６ａ、５６ｂは、クランパ５１の前方への動きを規制する。ＭＥＭＳ１５のハンドリングにおいて、クランパ５１に対して、前方向（接続端子５３ｂ〜５３ｅへ向かう方向）への大きな力が加わることがある。クランプばね５２ａ、５２ｂはシリコンで形成されており、大きな力が加わると破損する。リミッタ・バー５６ａ、５６ｂは、凹部５１２ａ、５１２ｂの内壁と当接することで、前方向に動いているクランパ５１を止める。これにより、クランプばね５２ａ、５２ｂに過大な負荷がかかることを防ぐ。
【００６６】
クランパ５１と凹部５１２ａ、５１２ｂの内壁とは、通常、離間しており、それらの間にギャップが存在するため、リミッタ・バー５６ａ、５６ｂがクランパ５１のクランプ動作を阻害することはない。クランプ５１の動きを確実にとめるため、リミッタ・バー５６ａ、５６ｂは十分な剛性を有していることが重要である。好ましくは、リミッタ・バー５６ａ、５６ｂの一部はジンバル１２に接着されている。
【００６７】
このように、リミッタ・バー５６ａ、５６ｂは、クランパ５１の望ましくない変位を抑制することができるが、特にヘッド・スライダ２が装着されている場合に、クランパ５１の望ましくない変位を必ずしも十分に防ぐことができない場合がある。振動や衝撃がＭＥＭＳ１５に加えられると、図５に示すように、クランパ５１が凸部５１１を支点として回動（振動）する。リミッタ・バー５６ａ、５６ｂは、このようなクランパ５１の動きの規制には必ずしも十分な効果を奏しないことがある。
【００６８】
この動きにより、ヘッド・スライダ２のクランプがはずれる、あるいは、ＭＥＭＳ１５が破損することが考えられる。ＭＥＭＳ１５に形成されたリミッタによっては、このようなクランパ５１の動きを十分に規制することは難しく、ＨＧＡ１に形成されている他のリミッタにより規制することが好ましい。
【００６９】
図６（ａ）、（ｂ）は、このようなリミッタの好ましい例を示している。リミッタ１２１は、ジンバル１２に形成されており、クランパ５１の後端面の中央に形成されている凹部５１３に挿入されている。クランパ５１が凸部５１１を支点として回動すると、凹部５１３の内壁がリミッタ１２１にあたり、リミッタ１２１がクランパ５１の動きを止める。このように、凸部５１１から離れた位置にリミッタ１２１を設けることにより、クランパ５１の凸部５１１の回転変位を効果的に抑えることができる。通常、リミッタ１２１は凹部５１３の内壁から離間しており、クランパ５１のクランプを妨げることはない。
【００７０】
図７（ａ）、（ｂ）に示すように、リミッタ１２１は、ジンバル・タング１２２から延長して形成することができる。図７（ａ）はＭＥＭＳ１５が取り付けられていないサスペンション１の部分拡大図であり、図７（ｂ）は、ＨＧＡの部分拡大図である。リミッタ１２１は、ジンバル・タング１２２の後端の中央から後方に延出しており、途中でＭＥＭＳ１５側に屈曲している。リミッタ１２１の先端は、クランパ５１の凹部５１３内にあり、クランパ５１の回動を規制する。
【００７１】
好ましくは、リミッタ１２１は、その先端にポリイミドなどで形成された柔軟樹脂部材２１１を有しており、クランパ５１がリミッタ１２１に衝突したときの衝撃を低減する。ジンバル１２にリミッタを形成することで、このような柔軟樹脂部材を容易に配置することができる。ここで、リミッタ１２１の本体部分２１２はジンバル・タング１２２と一体であり、これらは同時に形成される。
【００７２】
ＭＥＭＳ１５とジンバル・タング１２２とは一体に動くため、このようにジンバル・タング１２２にリミッタ１２１を形成することにより、ジンバル１２の変形によるリミッタ１２１とクランパ５１との衝突が起こりにくい利点がある。
【００７３】
あるいは、図８（ａ）、（ｂ）に示すように、リミッタ１２１は、ジンバルの胴部１２３から延長して形成することができる。これにより、ジンバル・タング１２２とロード・ビーム１３との間の隙間を損なうことなく、リミッタ１２１を配置することができる。図８（ａ）はＭＥＭＳ１５が取り付けられていないサスペンション１の部分拡大図であり、図８（ｂ）は、ＨＧＡの部分拡大図である。リミッタ１２１は、ジンバル・タング１２２が位置する孔１２４内に、ジンバル・タング１２２の反対側からジンバル・タング１２２に向かって突出している。
【００７４】
リミッタ１２１は、ジンバルの胴部１２３から連続して前方に延出しており、途中でＭＥＭＳ１５側に屈曲している。図７の例と同様に、好ましくは、リミッタ１２１は、その先端に樹脂などで形成された柔軟部材２１１を有しており、クランパ５１がリミッタ１２１に衝突したときの衝撃を低減する。また、リミッタ１２１の本体部分２１２は胴部１２３と一体であり、これらは同時に形成される。
【００７５】
図９（ａ）、（ｂ）は、リミッタの好ましい他の例を示している。本例のサスペンション１は、ＭＥＭＳ１５の左右両外側にリミッタ１２５ａ、１２５ｂを有している。リミッタ１２５ａ、１２５ｂはジンバル１２に形成されており、クランパ５１の凸部５１１から離れた位置において、クランパ５１の変位を規制する。
【００７６】
クランパ５１が凸部５１１を支点として回動すると、その方向によって、リミッタ１２５ａあるいは１２５ｂとぶつかり、リミッタ１２５ａ、１２５ｂが回動しているクランパ５１を係止する。クランパ５１の左右両側において対称な位置にあり、クランパ５１の可動範囲は左右同一である。図の例において、リミッタ１２５ａ、１２５ｂは、クランパ５１の後端の両側面に形成されている突出部のそれぞれに当接する。リミッタ１２５ａ、１２５ｂは、クランパ５１から離れた位置に配置することができるので、加工・組み立ての寸法制度を緩和することができる。
【００７７】
図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、リミッタ１２５ａ、１２５ｂは、ジンバル１２のアーム１２６ａ、１２６ｂに形成することができる。図１０（ａ）はＭＥＭＳ１５が取り付けられていないサスペンション１の部分拡大図であり、図１０（ｂ）は、ＨＧＡの部分拡大図である。ジンバル１２は、ジンバル・タング１２２の左右両側の離れた位置に、ジンバル・タング１２２が位置する孔１２４を画定するアーム１２６ａ、１２６ｂを有している。アーム１２６ａ、１２６ｂは胴部１２３から前方に延出しており、ジンバル・タング１２２を支持すると共に、その自由な動きを可能としている。
【００７８】
リミッタ１２５ａ、１２５ｂは、アーム１２６ａ、１２６ｂから孔１２４の内側に向かって突出しており、これらの形状及び寸法は同一である。リミッタ１２５ａ、１２５ｂはアーム１２６ａ、１２６ｂから連続して延出しており、好ましくは、その先端にポリイミドなどで形成された柔軟樹脂部材２５１ａ、２５１ｂを有している。これによりクランパ５１がリミッタ１２５ａ、１２５ｂに衝突したときの衝撃を低減する。リミッタ１２５ａ、１２５ｂの本体部分はアーム１２６ａ、１２６ｂ（ジンバル１２）と一体であり、これらは同時に形成される。
【００７９】
以上、本発明を好ましい実施形態を例として説明したが、本発明が上記の実施形態に限定されるものではない。当業者であれば、上記の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。本発明は、ヘッド・スライダの左右両側にクランプばねを有するＭＥＭＳ及びＨＧＡに特に有用であるが、他のクランプばね構造を有するＭＥＭＳやＨＧＡに本発明を適用してもよい。また、クランプばねの形状は上記形状に限定されるものではない。
【００８０】
上述のように、クランパはヘッド・スライダと当接する凸部を有していることが好ましく、正確な支持のために凸部の数は２以下であることが好ましいが、本発明はこれらに限定されるものではない。しかし、凸部が一つの場合に、本発明のクランパのリミッタは特に大きな効果を奏することができる。クランパの動きを規制するリミッタは、ＭＥＭＳのみに形成する、ジンバルのみに形成する、あるいはこれらの双方に形成することができる。双方に形成することが最も大きな効果を奏することができる。また、ＭＥＭＳに形成するリミッタの数は、上記好ましい例のように２つに限るものではない。
【００８１】
上記好ましい例において、ヘッド・スライダはＭＥＭＳの孔内に固定されるが、ＭＥＭＳにヘッド・スライダを載置するためのタングを設けることも可能である。しかし、ＭＥＭＳの製造において、シリコンを加工して平坦なタングを形成する必要がある。タングのヘッド・スライダ載置面に凹凸や加工工程で付着した異物などがあると、ヘッド・スライダを正しい姿勢で保持することが難しい。従って、ＭＥＭＳには貫通孔を形成し、貫通孔を通してＭＥＭＳを支持するジンバルにヘッド・スライダを載置し、貫通孔内で保持することが好ましい。
【００８２】
上述のＭＥＭＳと同様の構造を、ジンバルに形成することができる。つまり、複数の接続端子、クランパ及びクランプ・ばねをジンバルに形成し、ヘッド・スライダをジンバル・タングに着脱する。特に、上記複数の接続端子の構造とクランパの構造は、ジンバルにヘッド・スライダを着脱するための構造を形成する場合にも有効である。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本実施形態において、スライダＤＥＴを含むＨＧＡ及びＨＤＤの製造工程を示すフローチャートである。
【図２】本実施形態において、スライダＤＥＴにおけるＨＧＡの全体構成を模式的示す図である。
【図３】本実施形態において、ＭＥＭＳの構造を模式的に示す平面図である。
【図４】本実施形態において、ＭＥＭＳの接続端子構造の模式的に示す図である。
【図５】本実施形態において、凸部を支点として回動するクランパを模式的示す図である。
【図６】本実施形態において、凸部を支点として回動するクランパを規制するリミッタを示す図である。
【図７】本実施形態において、凸部を支点として回動するクランパを規制するリミッタを示す図である。
【図８】本実施形態において、凸部を支点として回動するクランパを規制するリミッタを示す斜視図である。
【図９】本実施形態において、凸部を支点として回動するクランパを規制するリミッタの他の例を示す図である。
【図１０】本実施形態において、凸部を支点として回動するクランパを規制するリミッタの他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００８４】
１  サスペンション、２  ヘッド・スライダ、１１  トレース、１２  ジンバル
１３  ロード・ビーム、１４  ベース・プレート
１５  マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム、２１  リーディング端面
２２  トレーリング端面、２３  接続パッド、５１  クランパ
５２ａ、５２ｂ  クランプばね、５３ａ〜５３ｆ  接続端子、５４ａ〜５４ｆ  伝送線
５５ａ〜５５ｆ  接続パッド、５６ａ、５６ｂ  リミッタ・バー、５７  孔
５８  固定本体部、１２１  リミッタ、１２２  ジンバル・タング、１２３  胴部
１２４  孔、１２５ａ、１２５ｂ  リミッタ、１２６ａ、１２６ｂ  アーム
２１１  柔軟樹脂部材、２１２  本体部分、２５１ａ、２５１ｂ  柔軟樹脂部材
５１１  凸部、５１２ａ、５１２ｂ  凹部、５１２  凹部、５３１  シリコン層
５３２  酸化絶縁層、５３３  金属層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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