(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機ＥＬ素子で構成された画素がマトリクス状に配置された有機ＥＬ表示装置において、
ベース基板上に、列方向及び行方向に沿って複数配置することで前記マトリクス状に配置された前記画素と、
前記列方向に延びて前記画素へ電流を供給する電源線と、
前記列方向に延びて前記画素へ映像信号を供給する映像信号線と、
前記行方向に延びて発光を制御する発光制御線とを備え、
前記画素は、前記有機ＥＬ素子へ流れる電流を制御する画素回路を備え、
前記画素回路は、前記映像信号線から供給された映像信号を保持する保持容量を備え、
前記保持容量は画素の前記列方向で隣接する画素の境界に配置され、
前記保持容量を構成する一方の電極は前記列方向で隣接する２画素分の連続した部材で形成され、前記保持容量を構成する他方の電極は前記列方向で隣接する２画素で分離した部材で形成され、前記一方の電極は前記映像信号線に１つのコンタクトホールを介して接続していることを特徴とする有機ＥＬ表示装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記容量を構成する一方の電極は、チャネル層よりもリンが高濃度に含まれたシリコン膜であることを特徴とする有機ＥＬ表示装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記画素にある回路は、画素の長手方向で画素毎に画素の境界を基準として線対称であることを特徴とする有機ＥＬ表示装置。
【請求項４】
請求項１、２又は３において、
前記画素にある回路は、画素の短手方向で画素毎に画素の境界を基準として線対称であることを特徴とする有機ＥＬ表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は有機ＥＬ表示装置の各画素にある回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
本出願人は、特許文献１に記載されているように、有機ＥＬ表示装置を駆動する画素回路を開発した。
本出願人は、特許文献１の技術を応用した新しい画素回路を開発した。そして、本発明者らは、さらに、画素面積を小さくできる画素回路のレイアウトを考えてきた。従来画素のレイアウトに関しては、特許文献２、特許文献３及び特許文献４がある。
【０００３】
特許文献２乃至４には、従来の２個のトランジスタと１個の容量を１つの画素内に配置する画素回路が開示されている。この画素回路は最も典型的な画素回路である。映像信号線には映像信号が供給されている。選択信号線には選択信号が供給されている。画素にある第１トランジスタ（データ取り込みＴＦＴ）は選択信号によって制御され、画素へ映像信号を取り込む。容量はその映像信号に応じた電位差を保持する。第２トランジスタ（駆動ＴＦＴ）はこの保持した電位差の大きさに応じて制御され、所望の電流を電源線から有機ＥＬ素子へ供給する。
この画素回路の平面レイアウトが特許文献２又は３に開示されている。２つの画素の短手方向の境界に１本の電源線を配置し、その電源線の左右に上記第２トランジスタを設けて有機ＥＬ素子に電流を供給する構造が開示されている。つまり、電源線に対して左右対称な平面レイアウトとし、電源線を左右の画素で共有して、その本数を減らしつつ、電圧降下を抑制しながら高精細化を実現している。
また、特許文献４にも、従来の２個のトランジスタと１個の容量を１つの画素内に配置する画素回路が開示されている。
【０００４】
特許文献２乃至３の技術では、画素回路が入りきらずに精細度を上げることができない場合や、電源線の線幅を狭くせざるを得ず、輝度傾斜が生じてしまう場合や、容量を小さくせざるを得ず、十分な階調表現ができなくなる場合があった。
特許文献４の図１３には、上下の２画素の画素回路が線対称で、左右の２画素の画素回路も線対称で、互いに隣接する４つの画素が点対象となっている画素レイアウトが開示されているが、画素を構成する構成要素（ＴＦＴや容量）を隣接する画素で共有する思想は何ら開示されていない。
【０００５】
【特許文献１】米国特許第６９５００８１号明細書
【特許文献２】米国特許第６９９８７７０号明細書
【特許文献３】米国特許第６５２２０７９号明細書
【特許文献４】米国特許第６７２３５７６号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者らは、特許文献１を応用した画素回路を搭載した高精細な有機ＥＬ表示装置を設計しようとした。その場合、特許文献２及び３のような画素レイアウト方法だけでは、十分な精細度を得られなかった。そこで特許文献２及び３以外にも、画素回路の平面レイアウト効率を上げる手法が必要となった。
本発明の目的は、画素内の利用効率を向上し、高精細な有機ＥＬ表示装置を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、特許文献２が電源線を左右の画素で併用しているように、画素回路を構成する構成要素を隣接する画素で併用できないか考え、容量に着目した。
そこで、画素の短手方向、長手方向又はその両方の画素の境界に容量を配置するようにした。そして、その容量の一方の電極を両方の画素で共有するようにした。
【０００８】
ただ、容量に保持される電位差は画素毎で異なるので、隣接する４つの容量全ての一方の電極を兼用すると実質上アクティブマトリクス駆動できなくなる場合も起きうる。特に、画素の短手方向（映像信号線の法線方向）の画素で併用すると、映像信号の書き込み時間が十分に取れなくなる場合があるので、画素の長手方向（映像信号線の延伸方向）が好ましい。特に、特許文献１の画素回路を採用する場合、映像信号線は容量に接続されるので、映像信号線に接続される容量の下部電極用コンタクトホールで２画素分の接続ができるようになり、画素回路を効率よく配置できるようになる。この場合、容量の一方の電極を構成する半導体層と配線とを接続するために、容量の他方の電極を構成する金属ゲート層に切り欠きやスルーホールを開けておく。
【０００９】
また、電源線の延伸方向に隣接する２画素の境界に容量を配置するようにすることで、さらに画素回路の平面レイアウトの効率も向上するので、精細度を上げることができる。電源線の左右の画素で併用すると、画素の境界には電源線が配置されることになる。従って、他の構成要素を配置するためには、電源線の一部を境界からずらす必要が生じる。電源線の一部を境界からずらすことは、電源線を蛇行させることになるので、配線長が長く抵抗が大きくなり、電圧が降下しやすくなる。有機ＥＬ表示装置の場合、電源線の電圧降下は画質に影響を与えるので、電源線の配線長は延ばしたくない。つまり、電源線を電源線の延伸方向の左右の画素で共有する場合には、電源線の延伸方向とした画素の長手方向の隣接２画素で容量の電極の一方を共有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、無駄の少ない画素回路の平面レイアウトが可能になるので、高い精細度の有機ＥＬ表示装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施例を説明する。
＜等価回路＞
図１は、有機ＥＬ表示装置の表示領域の一部における等価回路図である。図１は８画素分（４×２画素）の等価回路である。左にある４画素を、左上から右下にかけて、第１画素（ＰＩＸ１１）、第２画素（ＰＩＸ１２）、第３画素（ＰＩＸ１３）、第４画素（ＰＩＸ１４）と称する。この４画素が基本画素セットＰＩＸＳを構成する。図１には、ＰＩＸＳを２つ（左側第１画素セット（ＰＩＸＳ１）、右側第２画素セット（ＰＩＸＳ２））配置した。
この第１画素セット（ＰＩＸＳ１）に、画素列毎に１本ずつの第１映像信号線（ＤＡＴＡ１１）、第２映像信号線（ＤＡＴＡ１２）を配置した。
この第２画素セット（ＰＩＸＳ２）に、画素列毎に１本ずつの第３映像信号線（ＤＡＴＡ２１）、第４映像信号線（ＤＡＴＡ２２）を配置した。
そして、第１映像信号線（ＤＡＴＡ１１）と第２映像信号線（ＤＡＴＡ１２）との間に、１本の第１電源線（ＰＯＷＥＲ１）を配置した。この第１電源線（ＰＯＷＥＲ１）を、第１画素（ＰＩＸ１１）、第２画素（ＰＩＸ１２）、第３画素（ＰＩＸ１３）及び第４画素（ＰＩＸ１４）で共用した。つまり、第１電源線（ＰＯＷＥＲ１）から、第１画素（ＰＩＸ１１）、第２画素（ＰＩＸ１２）、第３画素（ＰＩＸ１３）及び第４画素（ＰＩＸ１４）の各々の有機ＥＬ素子ＯＬＥＤ（ＯＬＥＤ１１，２１，３１，４１）に電流を供給するようになっている。
【００１２】
第１画素セット（ＰＩＸＳ１）のある画素行に、画素の短手方向に伸びる配線を８本配置した。上から第１接続電源線（ＭＥＳＨ１２）、第１検出制御線（ＭＳＴ１２）、第１発光制御線（ＩＬＭ１２）、第１リセット制御線（ＲＥＳ１２）、第２リセット制御線（ＲＥＳ３４）、第２発光制御線（ＩＬＭ３４）、第２検出制御線（ＭＳＴ３４）、第２接続電源線（ＭＥＳＨ３４）の順である。別の表現にすると、第１画素（ＰＩＸ１１）及び第２画素（ＰＩＸ１２））と第３画素（ＰＩＸ１３）及び第４画素（ＰＩＸ１４）の境界からそれぞれ対向する境界に向かって（画素の長手方向に）リセット制御線ＲＥＳ、発光制御線ＩＬＭ、検出制御線ＭＳＴ、接続電源線ＭＥＳＨの順に並んでいるといえる。
【００１３】
図２に、第１画素（ＰＩＸ１１）の画素回路の等価回路を示す。
第１電源線（ＰＯＷＥＲ１）を、第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）のソースに接続した。
第１映像信号線（ＤＡＴＡ１１）を、第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）の一端に接続した。
第１リセット制御線（ＲＥＳ１２）を、第１リセットＴＦＴ（ＴＦＴ１１２）のゲートに接続した。
第１発光制御線（ＩＬＭ１２）を、第１発光制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１３）のゲートに接続した。
第１検出制御線（ＭＳＴ１２）を、第１検出制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１４）のゲートに接続した。
第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）のゲートを、第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）の他端に接続した。
第１リセットＴＦＴ（ＴＦＴ１１２）のソースとドレインを、第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）のゲートとドレインの間に接続した。
第１リセットＴＦＴ（ＴＦＴ１１２）と第１発光制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１３）を、第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）のドレインと第１有機ＥＬ素子（ＯＬＥＤ１１）のアノードとの間に接続した。
第１検出制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１４）を、第１映像信号線（ＤＡＴＡ１１）と第１有機ＥＬ素子（ＯＬＥＤ１１）のアノードとの間に接続した。
【００１４】
第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）と第１発光制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１３）との間を結ぶ配線を、第１リセット制御線（ＲＥＳ１２）の下を通過させたため、その重畳部に第１負荷容量（ＡＣＡＰ１１２）が生じる。さらに、第１発光制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１３）と第１有機ＥＬ素子（ＯＬＥＤ１１）との間を結ぶ配線を、第１検出制御線（ＭＳＴ１２）の下を通過させたため、その重畳部に第２負荷容量（ＡＣＡＰ１１３）が生じる。
それぞれの容量の大きさとチャネルの大きさ、ＮＭＯＳ、ＰＭＯＳの種別を纏めると、次の通りである。
第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）は、ＰＭＯＳのトランジスタ、チャネル長は４μｍ、チャネル幅５〜２０μｍのシングルゲート構造である。
第１リセットＴＦＴ（ＴＦＴ１１２）は、ＮＭＯＳのトランジスタ、チャネル長は４μｍ、チャネル幅４μｍの分離されたゲートが直列に２つ接続されているデュアルゲート構造である。
第１発光制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１３）は、ＮＭＯＳのトランジスタ、チャネル長は４μｍ、チャネル幅５〜２０μｍのシングルゲート構造である。
第１検出制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１４）は、ＮＭＯＳのトランジスタ、チャネル長は４μｍ、チャネル幅５〜２０μｍのシングルゲート構造である。
第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）は、８０〜２００ｆＦで、第１負荷容量（ＡＣＡＰ１１２）と第２負荷容量（ＡＣＡＰ１１３）は、１０ｆＦ以下である。これらの容量の大部分は、半導体層と金属ゲート層とをゲート絶縁膜を介して重ねた部分に構成される。
【００１５】
この回路の駆動原理は、他の出願に詳述されているので、本願では簡単に示す。
＜駆動方法＞
この画素回路は、Ａ：階調電圧書き込み期間、Ｂ：掃き出し電圧書き込み期間、Ｃ：焼付き検出期間の３つの期間に分けて駆動される。または、Ｃ：焼付き検出期間を設けずに、Ａ：階調電圧書き込み期間、Ｂ：掃き出し電圧書き込み期間の２つの期間に分けて駆動してもよい。
【００１６】
・期間Ａ
第１映像信号線（ＤＡＴＡ１１）から階調電圧が供給される。デュアルゲートＴＦＴである第１リセットＴＦＴ（ＴＦＴ１１２）をオン、第１発光制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１３）をオン、ＮＭＯＳの第１検出制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１４）をオフにすると、第１有機ＥＬ素子（ＯＬＥＤ１１）と第１映像信号線（ＤＡＴＡ１１）が第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）を介して接続された状態になる。その後、第１リセットＴＦＴ（ＴＦＴ１１２）又は第１発光制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１３）がオフになることで、第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）に電位差が保持される。このとき、第１リセットＴＦＴ（ＴＦＴ１１２）がオンすることで、第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）のドレインとゲートが同電位となるので、第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）のＶｔｈシフトを解消した状態で、階調電圧に応じた電位差を書き込むことができる。
【００１７】
・期間Ｂ
次に、第１映像信号線（ＤＡＴＡ１１）に掃出波ＶＳＷＥＥＰ（三角波）を供給する。この掃出波ＶＳＷＥＥＰは三角波でなくても、ステップ波、階段波、湾曲した波等の２値の間で振幅が時間とともに変化する波形であればよい。第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）が保持した電位差ΔＶに掃出波ＶＳＷＥＥＰの電圧波形が加わった電圧波形が第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）のゲートに入力される。この電位差ΔＶ＋掃出波ＶＳＷＥＥＰの電圧波形によって、第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）がオンする時間及び流れる電流量が決定され、この時間が発光期間となる。従って、階調電圧書き込み期間に保持された電位差が小さい場合、発光期間が短くなる。第１発光制御線（ＩＬＭ１２）にオフ信号が入力されるタイミングで、第１映像信号線（ＤＡＴＡ１１）に掃出波ＶＳＷＥＥＰが供給されなくなる。
【００１８】
・期間Ｃ
次に、第１発光制御線（ＩＬＭ１２）にオフ電圧を供給した状態で、第１検出制御線（ＭＳＴ１２）にオン電圧を供給する。第１有機ＥＬ素子（ＯＬＥＤ１１）と第１映像信号線（ＤＡＴＡ１１）とが接続される。その状態で第１有機ＥＬ素子（ＯＬＥＤ１１）に流れる電流を第１映像信号線（ＤＡＴＡ１１）を介して測定回路に供給する。測定回路は表示領域の外の周辺回路で構成する。電流測定後、第１検出制御線（ＭＳＴ１２）にオフ電圧を供給し、期間Ａに戻る。
【００１９】
＜層構造及び画素回路の平面レイアウト＞
図３に、有機ＥＬ表示装置の層構造を示す。
本発明の画素回路が構成された有機ＥＬ表示装置は、ベース基板（ＳＵＢ）、下地層（ＵＣ）、半導体層（ＦＧ）、ゲート絶縁膜（ゲート酸化膜（ＧＩ層））、金属ゲート層（ＳＧ）、第１層間絶縁膜（ＩＬＩ１）、ソース・ドレイン金属層（ＳＤ）、第２層間絶縁膜（ＩＬＩ２）、第３層間絶縁膜（ＩＬＩ３）、画素電極（ＡＤ）、素子分離膜（ＢＮＫ）、有機層（ＯＥＬ）、共通電極（ＣＤ）の順に積層された層構造を備えている。
【００２０】
ベース基板（ＳＵＢ）を、厚さ０．３〜１．０ｍｍの無アルカリガラスで構成した。
次に、下地層（ＵＣ）を、３０〜３００ｎｍの窒化シリコン膜と、３０〜３００ｎｍの酸化シリコン膜の積層膜で構成した。プラズマＣＶＤで、ベース基板（ＳＵＢ）全面に成膜した。
次に、半導体層（ＦＧ）を、薄膜トランジスタ（以下、ＴＦＴ）の形成箇所に、島状に形成した。アモルファスシリコンをプラズマＣＶＤで成膜し、結晶化アニールを施してポリシリコン化した後、ドライエッチングにより島状にホトリソ加工した。
【００２１】
図５に、第１〜第４画素（ＰＩＸ１１〜１４）における半導体層（ＦＧ）のドーピングパターンを示す。
このドーピングのパターンは、画素の境界線を対称軸として、第１画素（ＰＩＸ１１）と第２画素（ＰＩＸ１２）及び第１画素（ＰＩＸ１１）と第３画素（ＰＩＸ１３）とが線対称であり、さらに、第４画素（ＰＩＸ１４）も第１画素（ＰＩＸ１１）との境界を中心にして、点対称となるので、以下、第１画素（ＰＩＸ１１）を中心に説明する。
また、金属ゲート層（ＳＧ層）も金属ソース・ドレイン層（ＳＤ層）も、同様に、画素の境界線を対称軸として、第１画素（ＰＩＸ１１）と第２画素（ＰＩＸ１２）及び第３画素（ＰＩＸ１３）とが線対称であり、さらに、第４画素（ＰＩＸ１４）も第１画素（ＰＩＸ１１）との境界を中心にして、点対称となるので、第１画素（ＰＩＸ１１）を中心に説明する。
第１配線領域ＤＰ１−１、第２配線領域ＤＰ１−２、ＰＭＯＳである第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）の半導体領域ＰＰ１、第１保持容量ＤＣＡＰの下部電極ＤＰ２には、高濃度のIIIｂ属イオン（窒素、リン、砒素等）が数十ｋｅＶ程度の加速電圧で打ち込まれている。他の半導体領域には、高濃度のＶｂ属イオン（ホウ素、ガリウム、インジウム等）が数十ｋｅＶ程度の加速電圧で打ち込まれている。これらのドーピングは金属ゲート層（ＳＧ）形成前に行ったが、一部形成後に行ってもよい。
【００２２】
第１画素（ＰＩＸ１１）〜第４画素（ＰＩＸ１４）の平面レイアウトを図４に示す。
図１における等価回路の各構成要素（ＴＦＴ及び容量）の第１画素（ＰＩＸ１１）における形成箇所は領域Ａ１〜Ａ５で、金属ソース・ドレイン層（ＳＤ）とのコンタクトホールはコンタクトホールＣＨ１１−１、コンタクトホールＣＨ１１−３、コンタクトホールＣＨ１２、コンタクトホールＣＨ１３−１、コンタクトホールＣＨ１３−２である。
図１における等価回路の各構成要素（ＴＦＴ及び容量）の第２画素（ＰＩＸ１２）における形成箇所はＢ１〜Ｂ５で、金属ソース・ドレイン層（ＳＤ層）とのコンタクトホールはコンタクトホールＣＨ２１−１、コンタクトホールＣＨ２１−３、コンタクトホールＣＨ２２、コンタクトホールＣＨ２３−１、コンタクトホールＣＨ２３−２である。
図１における等価回路の各構成要素（ＴＦＴ及び容量）の第３画素（ＰＩＸ１３）における形成箇所はＣ１〜Ｃ５で、金属ソース・ドレイン層（ＳＤ層）とのコンタクトホールはコンタクトホールＣＨ３１−１、コンタクトホールＣＨ３１−３、コンタクトホールＣＨ３２、コンタクトホールＣＨ３３−１、コンタクトホールＣＨ３３−２である。
図１における等価回路の各構成要素（ＴＦＴ及び容量）の第４画素（ＰＩＸ１４）における形成箇所はＤ１〜Ｄ５で、金属ソース・ドレイン層（ＳＤ層）とのコンタクトホールはコンタクトホールＣＨ４１−１、コンタクトホールＣＨ４１−３、コンタクトホールＣＨ４２、コンタクトホールＣＨ４３−１、コンタクトホールＣＨ４３−２である。
【００２３】
Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、Ｄ１は、第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）、第２保持容量（ＤＣＡＰ２１）、第３保持容量（ＤＣＡＰ３１）、第４保持容量（ＤＣＡＰ４１）の形成箇所である。
Ａ２、Ｂ２、Ｃ２、Ｄ２は、第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）、第２駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ２１１）、第３駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ３１１）、第４駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ４１１）の形成箇所である。
Ａ３、Ｂ３、Ｃ３、Ｄ３は、第１リセットＴＦＴ（ＴＦＴ１１２）、第２リセットＴＦＴ（ＴＦＴ２１２）、第３リセットＴＦＴ（ＴＦＴ３１２）、第４リセットＴＦＴ（ＴＦＴ４１２）形成箇所である。
Ａ４、Ｂ４、Ｃ４、Ｄ４は、第１発光制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１３）、第２光制御ＴＦＴ（ＦＴ２１３）第３光制御ＴＦＴ（ＦＴ３１３）第４発光制御ＴＦＴ（ＴＦＴ４１３）の形成箇所である。
Ａ５、Ｂ５、Ｃ５、Ｄ５は、第１検出制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１４）、第２検出制御ＴＦＴ（ＴＦＴ２１４）、第３検出制御ＴＦＴ（ＴＦＴ３１４）、第４検出制御ＴＦＴ（ＴＦＴ４１４）の形成箇所である。
【００２４】
次に、ゲート酸化膜（ＧＩ層）として、一般にＴＥＯＳ膜として称される厚さ５０〜２００ｎｍの酸化シリコン膜を形成する。プラズマＣＶＤでベース基板（ＳＵＢ）全面に成膜した。
コンタクトホールＣＨ１１−１、コンタクトホールＣＨ１１−２、コンタクトホールＣＨ１１−３、コンタクトホールＣＨ１２、コンタクトホールＣＨ１３−１、コンタクトホールＣＨ１３−２は、後述する第１層間絶縁膜（ＩＬＩ１）形成後、第１層間絶縁膜（ＩＬＩ１）のコンタクトホール形成と同時に形成した。この領域の上には、金属ゲート層（ＳＧ層）を設けないので、金属ゲート層（ＳＧ層）がエッチングストッパとならず、一括エッチング可能となるのである。形成はウェットエッチングでもドライエッチングでもよい。金属ゲート層（ＳＧ層）と半導体層（ＦＧ層）とは直接接続せずに、金属ソース・ドレイン層（ＳＤ層）を介して接続させている。ホトマスクを減らすためである。
次に、金属ゲート層（ＳＧ層）として、ゲート酸化膜（ＧＩ層）上の半導体層（ＦＧ層）との重畳領域（チャネル領域）上に、モリブデン、タングステン、クロム、チタン、タンタル等の高融点金属またはその合金を厚さ５０〜２００ｎｍ形成した。スパッタ成膜した後、ウェットエッチングによりパターン加工した。
【００２５】
ここまでの、第１画素（ＰＩＸ１１）〜第４画素（ＰＩＸ１４）における画素回路の平面レイアウト（ＦＧ＋ＳＧ）を図６に示す。図５の半導体層（ＦＧ層）の平面レイアウトに金属ゲート層（ＳＧ層）の平面レイアウトを加えた図である。
第１画素セット（ＰＩＸＳ１）には、行方向（画素の短辺方向）に伸びる金属ゲート層（ＳＧ層）の配線・電極が１０個ある。図中上から第１接続電源線（ＭＥＳＨ１２）、第１検出制御線（ＭＳＴ１２）、第１発光制御線（ＩＬＭ１２）、第１リセット制御線（ＲＥＳ１２）、第１保持容量電極（ＣＤＥＮ１）及び第２保持容量電極（ＣＤＥＮ２）、第３保持容量電極（ＣＤＥＮ３）及び第４保持容量電極（ＣＤＥＮ４）、第２リセット制御線（ＲＥＳ３４）、第２発光制御線（ＩＬＭ３４）、第２検出制御線（ＭＳＴ３４）、第２接続電源線（ＭＥＳＨ３４）の順である。第１保持容量電極（ＣＤＥＮ１）、第３保持容量電極（ＣＤＥＮ３）は、第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）、第３保持容量（ＤＣＡＰ１３）の上部電極及び第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）及び第3駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ３１１）の金属ゲートとなる。これらの配置を別の表現にすると、第１画素（ＰＩＸ１１）と第３画素（ＰＩＸ１３）の境界からそれぞれ対向する境界に向かって（図中上下縦方向に）ＣＤＥＮ、ＲＥＳ、ＩＬＭ、ＭＳＴ、ＭＥＳＨの順に並んでいるといえる。
【００２６】
さらに詳細な平面レイアウトを第１画素（ＰＩＸ１１）で説明する。
第１保持容量電極（ＣＤＥＮ１）を、領域Ａ１に配置し、第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）の上部電極とした。突出部にコンタクトホールＣＨ１１−４を配置することで、第１リセットＴＦＴ（ＴＦＴ１１２）と接続した。また、別の突出部を第１駆動ＴＦＴ（ＴＦＴ１１１）のゲート電極とした。第１保持容量電極（ＣＤＥＮ１）と第３保持容量電極（ＣＤＥＮ３）との境界が第１画素（ＰＩＸ１１）と第３画素（ＰＩＸ１３）との境界となるように形成した。つまり、長手方向に隣接する画素の境界上に長手方向に隣接する２画素分の容量下部電極を連続した部材として形成し、ゲート絶縁膜ＧＩを介して、その上に、長手方向に隣接する２画素の容量上部電極が長手方向に隣接する画素の境界線で分離された状態で形成されている。
【００２７】
第１リセット制御線（ＲＥＳ１２）を、第１画素（ＰＩＸ１１）において、０度−４５度―９０度―１３５度−１８０度の順に図中上向きに（画素の長手方向）湾曲させた。第１リセット制御線（ＲＥＳ１２）を、湾曲の前後、半導体層（ＦＧ層）の領域Ａ３上を、ゲート酸化膜（ＧＩ層）を介して２回通過させ、第１リセットＴＦＴ（ＴＦＴ１１２）のデュアルゲートとした。これらの第１リセット制御線（ＲＥＳ１２）の湾曲部にコンタクトホールＣＨ１１−２を配置する空間を確保するためである。また、第１リセット制御線（ＲＥＳ１２）は、湾曲後に半導体層（ＦＧ層）上をゲート酸化膜（ＧＩ層）を介して、さらに１回通過させた。この下の半導体層（ＦＧ層）は配線で、交差部に第１負荷容量（ＡＣＡＰ１１２）が生じる。また、これらの第１リセット制御線（ＲＥＳ１２）の湾曲部の中間点（第２リセット制御線（ＲＥＳ３４）の湾曲部の中間点）で、ＩＬＩ１を介して第１電源線（ＰＯＷＥＲ１）と交差させた。この第１リセット制御線（ＲＥＳ１２）で囲まれた領域の第１電源線（ＰＯＷＥＲ１）の幅を狭くした。これは、第１リセット制御線（ＲＥＳ１２）の湾曲部にコンタクトホールＣＨ１２を配置する領域を確保するためである。
【００２８】
第１発光制御線（ＩＬＭ１２）を、第１画素（ＰＩＸ１１）において、０度−４５度―１３５度−１８０度の順に図中上向きに湾曲させた。第１発光制御線（ＩＬＭ１２）を、第１画素（ＰＩＸ１１）の図中上向き湾曲部において、半導体層（ＦＧ層）の幅広部上を、ゲート酸化膜（ＧＩ層）を介して一度通過させた。この交差部に第１発光制御ＴＦＴ（ＴＦＴ１１３）が構成される。この湾曲により第１検出制御線（ＭＳＴ１２）との間に生じた領域にコンタクトホールＣＨ１３−２を配置させることができたので、効率的なレイアウトが可能となっている。
【００２９】
第１検出制御線（ＭＳＴ１２）を、第１画素（ＰＩＸ１１）において、０−４５度―９０度―１３５度−１８０度の順に下向きに湾曲させた。この湾曲により、第１発光制御線（ＩＬＭ１２）との間に生じた領域にコンタクトホールＣＨ１３−２を配置させることができたので、効率的なレイアウトが可能となっている。また、この湾曲により、第１接続電源線（ＭＥＳＨ１２）（第２接続電源線（ＭＥＳＨ３４））との間に生じた領域にコンタクトホールＣＨ１３−１とコンタクトホールＣＨ１４も配置させることできたので、さらに画素回路の効率的な平面レイアウトが可能となっている。
第１接続電源線（ＭＥＳＨ１２）及び第２接続電源線（ＭＥＳＨ３４）を、金属ソース・ドレイン層（ＳＤ層）の第１電源線（ＰＯＷＥＲ１）及び第２電源線（ＰＯＷＥＲ２）とコンタクトホールＣＨ１４及びコンタクトホールＣＨ３４で接続させた。
【００３０】
次に、第１層間絶縁膜（ＩＬＩ１）を、金属ゲート層（ＳＧ層）の上層とＴＥＯＳ膜の上に厚さ１００〜５００ｎｍの酸化シリコンで形成した。プラズマＣＶＤによって成膜した。
この後、前述したように、画素電極（ＡＤ）に接続するコンタクトホールＣＨ１４以外のコンタクトホールＣＨ１１−１、コンタクトホールＣＨ１１−２、コンタクトホールＣＨ１１−３、コンタクトホールＣＨ１１−４、コンタクトホールＣＨ１２、コンタクトホールＣＨ１３−１、コンタクトホールＣＨ１３−２を形成した。この形成はウェットエッチングにより行った。
次に、金属ソース・ドレイン層（ＳＤ層）を、高融点金属／低抵抗金属／高融点金属の積層配線で形成した。各層の厚さは１０〜１００ｎｍ、１００〜５００ｎｍ、１０〜１００ｎｍである。高融点金属はモリブデン、タングステン、クロム、チタン、タンタル等の金属またはその合金で、低抵抗金属はアルミニウムを主体とした金属、またはその合金である。スパッタで成膜した後、ウェットエッチングまたはドライエッチングで所定のパターンに加工することで形成した。
【００３１】
第１画素（ＰＩＸ１１）〜第４画素（ＰＩＸ１４）における画素回路の平面レイアウト（ＦＧ層＋ＳＧ層＋ＳＤ層）を図７に示す。
図６に金属ソース・ドレイン層（ＳＤ層）を加えた平面レイアウトである。
金属ソース・ドレイン層（ＳＤ層）として、第１電源線（ＰＯＷＥＲ１）、第１映像信号線（ＤＡＴＡ１１）、第２映像信号線（ＤＡＴＡ１２）、コンタクトホールＣＨ１１−３とコンタクトホールＣＨ１１−４、コンタクトホールＣＨ１２による低抵抗化膜、コンタクトホールＣＨ１３−１とコンタクトホールＣＨ１４の間の配線を形成した。
【００３２】
第１電源線（ＰＯＷＥＲ１）を、第１画素（ＰＩＸ１１）と第２画素（ＰＩＸ１２）の境界線（画素の長手方向に伸びる境界線）、及び第３画素（ＰＩＸ１３）と第４画素（ＰＩＸ１４）の境界線（画素の長手方向の伸びる境界線）に、その軸が重なるように直線的に配置した。図中縦の画素列１列分（第１画素（ＰＩＸ１１）と第３画素（ＰＩＸ１３））だけでなく、縦の画素列２列分（第１画素（ＰＩＸ１１）、第２画素（ＰＩＸ１２）、第３画素（ＰＩＸ１３）、第４画素（ＰＩＸ１４））の画素回路に接続した。また、第１電源線（ＰＯＷＥＲ１）を、コンタクトホールが隣接配置されている部分で狭く、それ以外の部分では太くした。この幅の変化も左右線対称であるので、コンタクトホールに挟まれた電源線は細くなっているといえる。
第１映像信号線（ＤＡＴＡ１１）は、縦の画素列１列（第１画素（ＰＩＸ１１）と第３画素（ＰＩＸ１３））で共有する配線である。隣接する２本の第１電源線（ＰＯＷＥＲ１）と第２電源線（ＰＯＷＥＲ２）の間には、２本の第２映像信号線（ＤＡＴＡ１２）と第３映像信号線（ＤＡＴＡ２１）を配置した。
【００３３】
次に、第２層間絶縁膜（ＩＬＩ２）を、厚さ０．２〜１μｍの窒化シリコン膜で形成する。プラズマＣＶＤで成膜し、ドライエッチングで所定のパターンに加工する。
次に、第３層間絶縁膜（ＩＬＩ３）として、厚さ０．３〜５μｍのポリイミド、アクリル、エポキシから選択された有機絶縁膜を形成した。樹脂を塗布後、ホト工程のレジストのパターニングと同様の工程で所定のパターンに加工した。この際、画素電極（ＡＤ）に接続するコンタクトホールＣＨ１４を形成した。第３層間絶縁膜（ＩＬＩ３）は、酸化シリコンや窒化シリコンからなる無機絶縁膜を使用してもよい。
次に、第１反射膜（ＲＥＦ１）を、厚さ１０〜１００ｎｍのモリブデン、タングステン、クロム、チタン、タンタル等の高融点金属またはその合金で形成した。さらに、第２反射膜（ＲＥＦ２）を、厚さ５０〜２００ｎｍのアルミニウムや銀を主体とした金属、またはそれらの金属を含む合金で形成した。この第１反射膜（ＲＥＦ１）と第２反射膜（ＲＥＦ２）は、各膜をスパッタで成膜した後、ウェットエッチングで一括エッチングした。
次に、画素電極（ＡＤ）として、厚さ１０〜２００ｎｍのＩＴＯを形成する。この際、金属ソース・ドレイン層（ＳＤ層）と接続するコンタクトホールＣＨ１４の上にも形成した。
【００３４】
第１反射膜（ＲＥＦ１）、第２反射膜（ＲＥＦ２）及び画素電極（ＡＤ）の平面パターンには、次の関係がある。
第２反射膜（ＲＥＦ２）の外縁は第１反射膜ＲＥＦ１の外縁の内側にある。つまり、第２反射膜（ＲＥＦ２）は第１反射膜（ＲＥＦ１）の上に、はみ出ることなく配置されている。
画素電極ＡＤの外縁は、第２反射膜（ＲＥＦ２）の外縁及び第１反射膜（ＲＥＦ１）の外縁の外側にある。つまり、第２反射膜（ＲＥＦ２）及び第１反射膜ＲＥＦの上に、全外縁がはみ出るように配置されている。
【００３５】
次に、素子分離膜（ＢＮＫ）を、厚さ０．３μｍ〜５μｍのポリイミド、アクリル、エポキシから選択される樹脂をホト工程のレジストのパターニングと同様の工程で形成した。この際、第１反射膜（ＲＥＦ１）、第２反射膜（ＲＥＦ２）及び画素電極（ＡＤ）の隙間を覆うだけでなく、外側から第１反射膜（ＲＥＦ１）、第２反射膜（ＲＥＦ２）及び画素電極（ＡＤ）の全ての外縁上を覆いつつ、画素電極（ＡＤ）の中央を露出させるように形成した。
次に、素子分離膜（ＢＮＫ）形成後、酸素プラズマ処理を施した。これは画素電極（ＡＤ）表面の仕事関数を調整するためである。
次に、有機層（ＯＥＬ）を、画素電極（ＡＤ）の素子分離膜（ＢＮＫ）で囲まれた露出領域と素子分離膜（ＢＮＫ）上面に形成した。素子分離膜（ＢＮＫ）上面に筋上の境界が配置されるように、画素の長手方向と同じ方向に同じ色が並ぶ３色のストライプパターンで構成した。この有機層（ＯＥＬ）は蒸着で成膜した。
【００３６】
有機層（ＯＥＬ）は、ホール注入／輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入層で構成した。
ホール注入／輸送層は、例えば、テトラアリールベンジシン化合物（トリフェニルジアミン：ＴＰＤ）、芳香族三級アミン、ヒドラゾン誘導体、カルバゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、アミノ基を有するオキサジアゾール誘導体、ポリチオフェン誘導体、銅フタロシアニン誘導体等を用いることができる。
発光層材料としては電子、ホールの輸送能力を有するホスト材料に、それらの再結合により蛍光もしくはりん光を発するドーパントを添加したもので共蒸着により発光層として形成できるものであれば特に限定は無く、例えば、ホストとしてはトリス（８−キノリノラト）アルミニウム、ビス（８−キノリノラト）マグネシウム、ビス（ベンゾ｛ｆ｝−８−キノリノラト）亜鉛、ビス（２−メチル−８−キノリノラト）アルミニウムオキシド、トリス（８−キノリノラト）インジウム、トリス（５−メチル−８−キノリノラト）アルミニウム、８−キノリノラトリチウム、トリス（５−クロロ−８−キノリノラト）ガリウム、ビス（５−クロロ−８−キノリノラト）カルシウム、（５，７−ジクロル−８−キノリノラト）アルミニウム、トリス（５，７−ジブロモ−８−ヒドロキシキノリノラト）アルミニウム、ポリ［亜鉛（II）−ビス（８−ヒドロキシ−５−キノリニル）メタン］のような錯体、アントラセン誘導体、カルバゾール誘導体、等であっても良い。
また、ドーパントとしてはホスト中で電子とホールを捉えて再結合させ発光するものであって、例えば赤ではピラン誘導体、緑ではクマリン誘導体、青ではアントラセン誘導体などの蛍光を発光する物質やもしくはイリジウム錯体、ピリジナート誘導体などりん光を発する物質であっても良い。
【００３７】
電子輸送層としては、電子輸送性を示し、アルカリ金属と共蒸着することにより電荷移動錯体化しやすいものであれば特に限定は無く、例えばトリス（８−キノリノラート）アルミニウム、トリス（４−メチル−８−キノリノラート）アルミニウム、ビス（２−メチル−８−キノリノラート）−４−フェニルフェノラート−アルミニウム、ビス［２−［２−ヒドロキシフェニル］ベンゾオキサゾラート］亜鉛などの金属錯体や２−（４−ビフェニリル）−５−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール、１，３−ビス［５−（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール−２−イル］ベンゼン等を用いることができる。
【００３８】
電子注入層は電子輸送層に用いた物質に対して電子供与性を示す材料を共蒸着して形成した、例えば、リチウム、セシウムなどのアルカリ金属、マグネシウム、カルシウムなどのアルカリ土類金属、さらには希土類金属等の金属類、あるいはそれらの酸化物、ハロゲン化物、炭酸化物等から選択して電子供与性を示す物質として用いてもかまわない。
共通電極（ＣＤ）として、全画素共通の１０〜２００ｎｍのＩＺＯ、ＺｎＯ、ＩＴＺＯなどの透明導電膜をスパッタで成膜した。図示していないが、この上にアルミニウムや亜鉛等の配線を素子分離膜上に蒸着等で形成した補助配線を設けてもよい。
【００３９】
以上の画素回路の平面レイアウトには、次のような特徴がある。
（１）左右に隣接する第１画素（ＰＩＸ１１）と第２画素（ＰＩＸ１２）及び左右に隣接する第３画素（ＰＩＸ１３）と第４画素（ＰＩＸ１４）は、その縦の境界線で線対称となっている。
（２）上下に隣接する第１画素（ＰＩＸ１１）と第３画素（ＰＩＸ１３）及び上下に隣接する第２画素（ＰＩＸ１２）と第４画素（ＰＩＸ１４）は、その横の境界線で線対称となっている。
（３）第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）の半導体層（ＦＧ層）で構成された下部電極と第３保持容量（ＤＣＡＰ１３）の半導体層（ＦＧ層）で構成された下部電極が連続パターンになっている。つまり、第１画素（ＰＩＸ１１）と第３画素（ＰＩＸ１３）とで容量の下部電極を共有している。
【００４０】
（４）第２保持容量（ＤＣＡＰ１２）の半導体層（ＦＧ層）で構成された下部電極と第４保持容量（ＤＣＡＰ１４）の半導体層（ＦＧ層）で構成された下部電極が連続パターンになっている。つまり、第２画素（ＰＩＸ１２）と第４画素（ＰＩＸ１４）とで容量の下部電極を共有している。
（５）第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）及び第３保持容量（ＤＣＡＰ１３）の下部電極の連続パターンの中央（画素の長手方向の中央）にコンタクトホールを配置している。
（６）第２保持容量（ＤＣＡＰ１２）及び第４保持容量（ＤＣＡＰ１４）の下部電極の連続パターンの中央（画素の長手方向の中央）にコンタクトホールを配置している。
【００４１】
上記（５）及び（６）のように、第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）及び第３保持容量（ＤＣＡＰ１３）の下部電極を分離していれば２つのコンタクトホールを設ける必要が生じるが、第１保持容量（ＤＣＡＰ１１）及び第３保持容量（ＤＣＡＰ１３）の下部電極を連続パターンで構成しているので、１つのコンタクトホールでも接続が取れるようになっている。なお、これらのコンタクトホールは２つに分離してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】有機ＥＬ表示装置の表示領域の一部における等価回路図である。
【図２】第１画素（ＰＩＸ１１）の画素回路の等価回路を示す。
【図３】画素回路を実現するための層構造を示す。
【図４】半導体層（ＦＧ層）の平面レイアウトを示す図である。
【図５】半導体層（ＦＧ層）のドーピングパターン示す図である。
【図６】画素回路の平面レイアウト（ＦＧ層＋ＳＧ層）を示す図である。
【図７】平面レイアウト（ＦＧ層＋ＳＧ層＋ＳＤ層）を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
ＴＦＴ１１１…第１駆動ＴＦＴ、ＴＦＴ１１２…第１リセットＴＦＴ、ＴＦＴ１１３…第１発光制御ＴＦＴ、ＴＦＴ１１４…第１検出制御ＴＦＴ、ＤＣＡＰ１１…第１保持容量、ＤＣＡＰ１２…第２保持容量、ＤＣＡＰ１３…第３保持容量、ＤＣＡＰ１４…第４保持容量、ＰＯＷＥＲ１…第１電源線、ＰＯＷＥＲ２…第２電源線、ＤＡＴＡ１１…第１映像信号線、ＤＡＴＡ１２…第２映像信号線、ＰＩＸ１１…第１画素、ＰＩＸ１２…第２画素、ＰＩＸ１３…第３画素、ＰＩＸ１４…第４画素、ＯＬＥＤ１１…第１有機ＥＬ素子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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