(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子がそれから発する光ビームを液滴吐出方向と交差する方向に向けて配置されており、その光ビームが液滴に衝突することにより生ずる散乱光が受光素子で受光されて、その受光データから液吐出不良が検出される液吐出不良検出装置において、
前記発光素子が、前記光ビームの断面楕円形状のビーム径の長手方向が前記液滴吐出方向と直角方向に向き、短手方向が前記液滴吐出方向に向くように配置され、前記受光素子が、前記発光素子が発する断面楕円形状光ビームのビーム径の短手方向に隣接して配置されていることを特徴とする液吐出不良検出装置。
【請求項２】
前記光ビームが通過する開口を有するアパーチャ部材が設置されていることを特徴とする、請求項１に記載の液吐出不良検出装置。
【請求項３】
前記アパーチャ部材が、前記光ビームのビーム断面形状と一致する開口形状を有していることを特徴とする、請求項２に記載の液吐出不良検出装置。
【請求項４】
前記アパーチャ部材が、前記光ビームのビーム径の短手方向のみで前記光ビームのフレア部を遮る開口形状を有していることを特徴とする、請求項２に記載の液吐出不良検出装置。
【請求項５】
前記光ビームのビーム径の短手方向における前記光ビームの前記受光素子側のみのフレア部を遮るように、ナイフエッジが設置されていることを特徴とする、請求項１に記載の液吐出不良検出装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１に記載される液吐出不良検出装置と、その液吐出不良検出装置で検出された液吐出不良箇所の液吐出不良を回復する単独回復装置とが備えられていることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、インクジェット方式を用いて、用紙等の記録材に画像を記録するプリンタ、コピー、ファクシミリなどのインクジェット記録装置に関する。および、そのようなインクジェット記録装置などにおいて、インク滴等の液滴の吐出不良を検出する液吐出不良検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザ光発生部が、それから発する光ビームを液滴吐出方向と交差する方向に向けて配置されており、その光ビームが液滴を横切るときにできる影を検知している装置としては、例えば特許文献１に開示されているようなものがある。
【０００３】
特許文献１に開示されている装置では、液滴の飛翔経路にレーザ光を発生するレーザ光発生部と、レーザ光の強度を電気信号に変換する光電変換部と、電気信号を処理する信号処理部とを備えている。そして、信号処理部は、液滴がレーザ光を通過するときの光電変換部の信号強度と液滴の重量との関係式を記憶しており、該関係式に基づいて、光電変換部から入力された信号強度に対応する液滴の重量を計算している。この装置では、レーザ光を集光する集光部を備えており、この集光部で集光するレーザ光の集光位置に、液滴吐出ヘッドからの液滴を吐出している。これにより、空間分解能を高くし、得られる信号強度を強くしている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６‐４７２３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、この種の装置では、液滴吐出箇所が複数箇所ある場合、集光部を移動させるなど、集光位置を移動する必要があるため、その駆動機構が必要となり、装置の複雑化、高コストが懸念される。
【０００６】
そこで、この発明の目的は、装置の複雑化を招いたり、コスト高を招いたりすることなく、液滴の吐出不良を正確に検出することができる液吐出不良検出装置、およびそのような液吐出不良検出装置を備えるインクジェット記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的を達成するため、請求項１に係る発明は、半導体レーザ等の発光素子がそれから発する光ビームを液滴吐出方向と交差する方向に向けて配置されており、その光ビームがインク滴等の液滴に衝突することにより生ずる散乱光がフォトダイオード等の受光素子で受光されて、その受光データから液吐出不良が検出される液吐出不良検出装置において、前記発光素子が、前記光ビームの断面楕円形状のビーム径の長手方向が前記液滴吐出方向と直角方向に向き、短手方向が前記液滴吐出方向に向くように配置され、前記受光素子が、前記発光素子が発する断面楕円形状光ビームのビーム径の短手方向に隣接して配置されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の液吐出不良検出装置において、前記光ビームが通過する開口を有するアパーチャ部材が設置されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項３に係る発明は、請求項２に記載の液吐出不良検出装置において、前記アパーチャ部材が、前記光ビームのビーム断面形状と一致する開口形状を有していることを特徴とする。
【００１１】
請求項４に係る発明は、請求項２に記載の液吐出不良検出装置において、前記アパーチャ部材が、前記光ビームのビーム径の短手方向のみで前記光ビームのフレア部を遮る開口形状を有していることを特徴とする。
【００１２】
請求項５に係る発明は、請求項１に記載の液吐出不良検出装置において、前記光ビームのビーム径の短手方向における前記光ビームの前記受光素子側のみのフレア部を遮るように、ナイフエッジが設置されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項６に係る発明は、請求項１ないし５のいずれか１に記載される液吐出不良検出装置と、その液吐出不良検出装置で検出された液吐出不良箇所の液吐出不良を回復する単独回復装置とが備えられていることを特徴とするインクジェット記録装置である。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に係る発明によれば、受光素子が、発光素子が発する断面楕円形状光ビームのビーム径の短手方向に隣接して配置されているので、液滴が吐出されていないときに光ビームが受光素子に入って電圧値が飽和状態となり、受光データからの液吐出不良の検出が不可能となるようなことなく、受光素子を光ビームの光軸に近付けて受光素子が光強度の強い散乱光を受光することを可能とし、装置の複雑化を招いたり、コスト高を招いたりすることなく、液滴の吐出不良を正確に検出することができる。
【００１６】
また、発光素子が、光ビームのビーム径の長手方向を液吐出方向と直角方向に向けて配置されているので、光ビームと直交する方向の検知範囲を広くすることで、液吐出不良検出装置の組み付け精度や、ノズル列と光ビームの位置精度などを緩やかとし、製作を容易としてコスト高を招くことなく、液滴の吐出不良を正確に検出することができる。
【００１７】
請求項２に係る発明によれば、光ビームが通過する開口を有するアパーチャ部材が設置されているので、光ビームのフレア部を遮ることで、受光素子の電圧値が飽和状態となる心配なく、受光素子をより光ビームの光軸に近付けて受光素子がさらに光強度の強い散乱光を受光することを可能とし、装置の複雑化を招いたり、コスト高を招いたりすることなく、なお一層液滴の吐出不良を正確に検出することができる。
【００１８】
請求項３に係る発明によれば、アパーチャ部材が、光ビームのビーム断面形状と一致する開口形状を有しているので、光ビームのすべてのフレア部を完全に遮ることで、受光素子の電圧値が飽和状態となる心配なく、受光素子をより光ビームの光軸に近付けて受光素子がさらに光強度の強い散乱光を受光することを可能とし、より一層液滴の吐出不良を正確に検出することができる。
【００１９】
請求項４に係る発明によれば、アパーチャ部材が、光ビームのビーム径の短手方向のみで光ビームのフレア部を遮る開口形状を有しているので、短手方向のみの精度を確保すればよく、製作や組付けを容易としてコスト高を招くことなく、より一層液滴の吐出不良を正確に検出することができる。
【００２０】
請求項５に係る発明によれば、光ビームのビーム径の短手方向における光ビームの受光素子側のみのフレア部を遮るように、ナイフエッジが設置されているので、より簡略化した部材で短手方向のみの精度を確保すればよく、製作や組付けを容易としてコスト高を招くことなく、より一層液滴の吐出不良を正確に検出することができる。
【００２２】
請求項６に係る発明によれば、請求項１ないし５のいずれか１に記載される液吐出不良検出装置が備えられているので、液滴が吐出されていないときに光ビームが受光素子に入って電圧値が飽和状態となり、受光データからの液吐出不良の検出が不可能となるようなことなく、受光素子を光ビームの光軸に近付けて受光素子が光強度の強い散乱光を受光することを可能とし、装置の複雑化を招いたり、コスト高を招いたりすることなく、液滴の吐出不良を正確に検出することができる。また、液吐出不良検出装置で検出された液吐出不良箇所の液吐出不良を回復する単独回復装置が備えられているので、少ない液滴消費で効率よく液吐出不良箇所の液吐出不良を回復することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照しつつ、この発明の実施の最良形態につき説明する。
図１には、インクジェット記録装置に備える液吐出不良検出装置の一例を、インクジェットヘッドとともに示す。
【００２４】
図中符号１０が、インクジェット記録装置のインクジェットヘッドである。図示例のインクジェットヘッド１０には、下向きにヘッドノズル面１１が設けられている。ヘッドノズル面１１には、複数のノズルＮ１、Ｎ２、………Ｎｘ、………Ｎｎを直線的に並べてあけてノズル列が形成されている。各ノズルからは、選択的に液滴であるインク滴１２が吐出される。
【００２５】
また、図中符号１８が、インクジェットヘッド１０の各ノズルＮ１、Ｎ２、………Ｎｘ、………Ｎｎからのインク滴１２の吐出不良を検出する液吐出不良検出装置である。図示液吐出不良検出装置１８には、発光素子１３、その発光素子１３から発した光を平行なレーザ光ＬＢとするコリメートレンズ１４、フォトダイオード等の受光素子１５などが設けられている。
【００２６】
液吐出不良検出装置１８は、発光素子１３が、それから発する光ビームＬＢを、ノズル面１１から吐出するインク滴１２の液吐出方向と交差する方向に向けて配置され、ヘッドノズル面１１から一定距離離れた位置において、発光素子１３から発するレーザ光ＬＢの光軸Ｌがノズル列と平行となるように設けられている。
【００２７】
一方、受光素子１５は、断面楕円形状のレーザ光ＬＢのビーム径を外れた位置に受光面１７が位置するように、この例ではレーザ光ＬＢの光軸Ｌに対して角度θ開いた下方位置に配置されている。
【００２８】
そして、ヘッドノズル面１１のノズルＮｘからインク滴１２を吐出し、そのインク滴１２にレーザ光ＬＢが衝突することにより散乱光Ｓを生じ、その散乱光Ｓのうち、特に前方散乱光Ｓ３が受光素子１５の受光面１７で受光されてその受光素子１５の光出力を電圧値（光出力値）として計測することにより受光データを得、その受光データから、インク滴１２の吐出の有無、曲がりなどの液吐出不良が検出されるようになっている。
【００２９】
ところで、この例では、受光素子として半導体レーザが使用されている。半導体レーザを使用した場合、垂直・水平方向にそれぞれ角度を持って発光する。一般的な半導体レーザでは、垂直・水平方向の角度は、それぞれ１４°／３０°となっている。このような光をコリメートレンズ１４で平行光にした場合、図２に示すような、縦横比が異なる断面楕円形状となる。
【００３０】
図２には、光ビームＬＢのビーム径の長手方向の距離をＸ、短手方向の距離をＹとするときのそれぞれＸ方向、Ｙ方向における光強度分布を示す。これより、光強度は、光ビームＬＢの中心（光ビームＬＢの光軸Ｌ）で最も強く、縁に行くにしたがい低下するガウシアン分布となっていることが判る。
【００３１】
図３には、図１に示す液吐出不良検出装置１８における受光素子１５の配置角度θと受光素子１５の光出力値との関係を示す。
図から判るとおり、散乱光Ｓは、角度依存特性を持っており、角度θが大きくなるにつれて、散乱光Ｓの光強度は低下している。つまり、光ビームＬＢの光軸Ｌ付近で散乱光Ｓの光強度が最も強く、そこから離れるにつれて低くなっている。したがって、受光素子１５の位置により、得られる光出力値は変化することになる。
【００３２】
ただし、角度θが小さくなり、光ビームＬＢのビーム径内に受光素子１５が入って図中点線以下となると、光ビームＬＢが直接受光素子１５の受光面１７に入り、図３中一点鎖線で示すようにインク滴１２を吐出していないときの電圧値が飽和状態となってしまう。そこで、この例では、受光素子１５は、光ビームＬＢのビーム径外に配置するようにされる。
【００３３】
図４には、光ビーム照射方向から見た、インクジェットヘッド１０と光ビームＬＢと受光素子１５の位置関係を示す。
この例では、発光素子１３が、光ビームＬＢの断面楕円形状のビーム径の長手方向がインク滴吐出方向と直角方向（水平方向）に向き、短手方向がインク滴吐出方向（垂直方向）に向くように配置され、図中実線で示すように、受光素子１５が、発光素子１３が発する光ビームＬＢのビーム径の短手方向に隣接して、受光面１７が光ビームＬＢ内に入り込まないようにして、なるべく光軸Ｌに近付けて配置されている。
【００３４】
図５には、インク滴吐出時の受光素子１５の光出力値を示す。
図中実線は、受光素子１５がビーム径の短手方向に隣接して配置された場合、点線は、図４において点線で示すように受光素子１５がビーム径の長手方向に隣接して配置された場合である。
【００３５】
ここで、光ビームＬＢの短手方向に配置した受光素子を１５Ａ、長手方向に配置した受光素子１５Ｂとし、それぞれの受光素子１５Ａ、１５Ｂから光軸Ｌまでの距離がそれぞれＸａ、Ｘｂとなるようにする。また、これらの距離Ｘａ、Ｘｂは、インク滴１２を吐出していないときの光出力値が同じになる距離である。
【００３６】
光軸Ｌから受光素子１５Ｂまでの距離Ｘｂに比べ、光軸Ｌから受光素子１５Ａまでの距離Ｘａの方が短いため、光出力値は大きくなり、受光素子１５Ａの光出力値Ｖａは、受光素子１５Ｂの光出力値Ｖｂよりも大きくなる（Ｖａ＞Ｖｂ）。
【００３７】
このように、光ビームＬＢの短手方向に受光素子１５Ａを配置することにより、散乱光Ｓの強い部分を受光することができるため、光出力値が大きくなる。すなわち、光軸Ｌからの距離が短いと、角度θが小さくなり、図３に示す散乱光の角度依存性に基づき、光出力値が大きくなる。
【００３８】
なお、長手方向に置いた受光素子１５Ｂを光軸Ｌに近付けると、光出力値を大きくすることができるが、すでに説明したとおり光軸Ｌに近付けると、光ビームＬＢが受光素子１５Ｂの受光面１７に入り、インク滴１２を吐出していないときの電圧値が飽和状態となってしまうため、散乱光Ｓの計測が不可能となってしまう。
【００３９】
図６には、インクジェット記録装置に備える液吐出不良検出装置１８の他例を、インクジェットヘッド１０とともに示す。
この図６に示す例では、図１に示す液吐出不良検出装置１８において、コリメートレンズ１４のレーザ光照射方向下流にアパーチャ部材２０を設置したものであり、図１と対応する部分には、図１と同一の符号を付している。アパーチャ部材２０には、光ビームＬＢが通過する開口２１があけられている。
【００４０】
これにより、発光素子１３から発した光をコリメートレンズ１４で平行な光ビームＬＢにした後、アパーチャ部材２０の開口２１を通して、光ビームＬＢのうちのフレア部ＬＢｆを遮る。
【００４１】
図７には、光ビーム照射方向から見た、インクジェットヘッド１０と光ビームＬＢと受光素子１５とアパーチャ部材２０の位置関係を示す。
アパーチャ部材２０がない場合、フレア部ＬＢｆの影響により、受光素子１５は、図中点線で示す距離Ｘｄの位置までしか近付けることができないが、アパーチャ部材２０を入れた場合、フレア部ＬＢｆを遮っているので、受光素子１５は、図中実線で示す距離Ｘｃまで近付けることができる。
【００４２】
図８には、インク滴吐出時の受光素子１５の光出力値を示す。
図中実線で示す受光素子１５Ｃの方が、図中点線で示す受光素子１５Ｄの位置より光軸Ｌに近付けて配置することができるから、光出力値が大きくなり、受光素子１５Ｃの光出力値Ｖｃが受光素子１５Ｄの光出力値Ｖｄより大きくなる（Ｖｃ＞Ｖｄ）。すなわち、この例のように、アパーチャ部材２０を設置することにより、光出力値をさらに大きくすることができる。
【００４３】
ここで、光ビームＬＢは、主光部ＬＢｍとフレア部ＬＢｆで構成されており、フレア部ＬＢｆは、主光部ＬＢｍに比べて光強度は低い。しかし、主光部ＬＢｍに比べて光強度が低いフレア部ＬＢｆでも、受光素子１５に入光した場合、インク滴１２を吐出していないときの電圧値が飽和することもあり、光軸Ｌに受光素子１５を近付けられないため、インク滴吐出時の光出力値が低下することとなる。
【００４４】
図９には、光ビームＬＢのビーム断面形状と一致する形状の開口２１を有するアパーチャ部材２０を使用した場合における、光ビーム照射方向から見た、インクジェットヘッド１０と光ビームＬＢと受光素子１５との位置関係を示す。
【００４５】
このようなアパーチャ部材２０を使用すると、光ビームＬＢのすべてのフレア部ＬＢｆを完全に遮ることで、受光素子１５をより光ビームＬＢの光軸Ｌに近付けて受光素子１５がさらに光強度の強い散乱光Ｓを受光することを可能とし、より一層インク滴１２の吐出不良を正確に検出することができる。
【００４６】
図１０には、光ビームＬＢのビーム径の短手方向のみで光ビームＬＢを絞る形状の開口２１を有しているアパーチャ部材２０を使用した場合における、光ビーム照射方向から見た、インクジェットヘッド１０と光ビームＬＢと受光素子１５との位置関係を示す。
【００４７】
このようなアパーチャ部材２０を使用すると、短手方向のみの精度を確保すればよく、製作や組付けを容易としてコスト高を招くことなく、より一層液滴の吐出不良を正確に検出することができる。
【００４８】
図１１には、インクジェット記録装置に備える液吐出不良検出装置１８のさらに他例を、インクジェットヘッド１０とともに示す。
この図１１に示す例では、図１に示す液吐出不良検出装置１８において、コリメートレンズ１４のレーザ光照射方向下流にナイフエッジ２２を設置したものであり、図１と対応する部分には、図１と同一の符号を付している。ナイフエッジ２２は、断面楕円形状の光ビームＬＢのビーム径の短手方向における光ビームＬＢの受光素子１５側のみのフレア部を遮るように設けられている。
【００４９】
図１２には、その光ビーム照射方向から見た、インクジェットヘッド１０と光ビームＬＢと受光素子１５とナイフエッジ２２の位置関係を示す。
【００５０】
上述した例では、アパーチャ部材２０を入れてフレア部ＬＢｆを遮ったが、受光素子１５が配置されている側にナイフエッジ２２を挿入して、フレア部ＬＢｆの一部を遮るこのようなナイフエッジ２２を使用すると、より簡略化した部材で短手方向の下側のみの精度を確保すればよく、製作や組付けを容易としてコスト高を招くことなく、より一層液滴の吐出不良を正確に検出することができる。
【００５１】
ところで、上記では、光ビームＬＢは平行光として扱ってきたが、光ビームＬＢを受光素子１５の位置で焦点を結ぶようにしてもよい。基本的な構成は、図１と同じであり、コリメートレンズ１４と発光素子１３の距離を調節することにより、焦点を設けることができる。
【００５２】
図１３には、このようにして、光ビームＬＢの焦点が、受光素子１５の配置位置に設けられている例を示す。
焦点位置では、光ビームＬＢの径が小さくなることから、この焦点を受光素子１５の位置に合わすことにより、受光素子１５をより光ビームＬＢの光軸Ｌに近付けて光軸Ｌから受光素子１５までの距離Ｘｅを小さくし、受光素子１５がさらに光強度の強い散乱光を受光することを可能として受光素子１５の光出力値を大きくし、装置の複雑化を招いたり、コスト高を招いたりすることなく、なお一層液滴の吐出不良を正確に検出することができる。
【００５３】
なお、ビーム径が通常より小さい光ビームＬＢでも、上述したと同様の効果が得られる。ビーム径を小さくする方法として、光の拡散角が小さい、例えば７°／１４°の発光素子１３を使えばよい。または、レンズのバックフォーカスが短く、ＮＡも小さいレンズを使ってもよい。
【００５４】
また、焦点を作る方法として、発光素子１３とコリメートレンズ１４の距離を調節することを挙げたが、コリメートレンズ１４を別の特性のレンズ、例えば焦点を結ぶような凸レンズなどにしてもよい。
【００５５】
さて、これまでの説明では、断面楕円形状の光ビームＬＢのビーム径の長手方向がインク滴吐出方向に対して直角の方向となるように、発光素子１３が配置されていた。このようにすると、光ビームと直交する方向の検知範囲を広くして、液吐出不良検出装置１８の装置本体への組み付け精度や、ノズル列と光ビームＬＢの位置精度などを緩やかとし、製作を容易としてコスト高を招くことなく、液滴の吐出不良を正確に検出することができる。しかし、レーザ光ＬＢの短手方向の光強度分布に比べて長手方向の方は、緩やかに変化するため、小さい曲がりなどの検知には向かない。
【００５６】
ここで、異常吐出したインク滴１２Ｂが光軸Ｌ以外を通過する場合、光ビームＬＢがガウシアン分布になっているため、正常吐出した光軸Ｌを通過するインク滴１２Ａに比べて光出力値は低くなる。この光出力値の低下から曲がりを検知することができる。そこで、小さい曲がりが発生している場合、光ビームＬＢのガウシアン分布の傾斜が急になっていれば、緩やかな時に比べ光出力値の低下の割合が大きくなるため、容易に曲がりとして検知することができる。
【００５７】
このことより、小さい曲がりの検知を行う場合、図１４に示すように光ビームＬＢの短手方向をインク滴吐出方向に対して直角の方向に向けることで、曲がりを容易に検知することができる。この場合、受光素子１５は、光ビームＬＢの光軸Ｌから近いところが最も光出力値が高いため、同じく図示するように光ビームＬＢの短手方向に隣接して配置した方がよい。
【００５８】
不良検出箇所の単独回復装置の例としては、ノズルの清掃、連続吐出、部分吸引などを行う公知装置が考えられる。このような単独回復装置で、上記液吐出不良検出装置で検出された液吐出不良箇所の液吐出不良を回復して、インクの無駄な消費や、時間の節約を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】インクジェット記録装置に備える液吐出不良検出装置の一例を、インクジェットヘッドとともに示す図である。
【図２】その光ビームのビーム径の長手方向の距離をＸ、短手方向の距離をＹとするときのそれぞれＸ方向、Ｙ方向における光強度分布を示す図である。
【図３】図１に示す液吐出不良検出装置における受光素子の配置角度θと受光素子の光出力値との関係を示す図である。
【図４】その光ビーム照射方向から見た、インクジェットヘッドと光ビームと受光素子の位置関係を示す図である。
【図５】そのインク滴吐出時の受光素子の光出力値を示す図である。
【図６】インクジェット記録装置に備える液吐出不良検出装置の他例を、インクジェットヘッドとともに示す図である。
【図７】その光ビーム照射方向から見た、インクジェットヘッドと光ビームと受光素子とアパーチャ部材の位置関係を示す図である。
【図８】そのインク滴吐出時の受光素子の光出力値を示す図である。
【図９】光ビームのビーム断面形状と一致する開口形状を有するアパーチャ部材を使用した場合における、光ビーム照射方向から見た、インクジェットヘッドと光ビームと受光素子との位置関係を示す図である。
【図１０】光ビームのビーム径の短手方向のみで光ビームを絞る開口形状を有しているアパーチャ部材を使用した場合における、光ビーム照射方向から見た、インクジェットヘッドと光ビームと受光素子との位置関係を示す図である。
【図１１】インクジェット記録装置に備える液吐出不良検出装置のさらに他例を、インクジェットヘッドとともに示す図である。
【図１２】その光ビーム照射方向から見た、インクジェットヘッドと光ビームと受光素子とナイフエッジの位置関係を示す図である。
【図１３】光ビームの焦点が、受光素子の配置位置に設けられている例を示す図である。
【図１４】光ビーム照射方向から見た、インクジェットヘッドと光ビームと受光素子の別の位置関係を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０    インクジェットヘッド
１１    ヘッドノズル面
１２    インク滴
１３    発光素子
１４    コリメートレンズ
１５    受光素子
１５Ａ、１５Ｂ    受光素子
１５Ｃ、１５Ｄ    受光素子
１７    受光素子の受光面
１８    液吐出不良検出装置
２０    アパーチャ部材
２１    開口
２２    ナイフエッジ
ＬＢ    光ビーム
ＬＢｍ  光ビームの主光部
ＬＢｆ  光ビームのフレア部
Ｌ      光ビームの光軸
Ｎ１、Ｎ２、………Ｎｘ、………Ｎｎ    ノズル
Ｓ      散乱光
Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３    前方散乱光
Ｘ、Ｘａ、Ｘｂ、Ｘｃ、Ｘｄ、Ｘｅ      光ビームのビーム径の長手方向の距離
Ｙ      光ビームのビーム径の短手方向の距離
θ      光ビームの光軸に対する受光素子の配置角度
【図１】
0004996438.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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