(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力される光に対して非線形な光学歪みを生じさせる歪み生成素子、
該光に対し、該歪み生成素子に入力される前に、該歪み生成素子による該光学歪みを予め補償しておく第１の波面制御器、
前記歪み生成素子から出力された光に対して波面の制御を行なう第２の波面制御器、
および該歪み生成素子から出力された光の波面情報および強度分布情報を検出する光検出器を備え、
前記光検出器により検出された光の波面情報および強度分布情報に基づき、前記第１および第２の波面制御器による波面の制御が行われることを特徴とする光制御装置。
【請求項２】
データ信号を担持した信号光と、参照光とを干渉させ、得られた干渉縞がデータ情報として記録されてなるホログラム記録媒体に対し、該参照光を照射して、該データ情報を担持した再生光を出力させるホログラム再生装置として構成された光制御装置において、
前記参照光の光路中に、該参照光の波面を調整する第１の波面制御器を配設するとともに、前記再生光の光路中に、前記再生光の波面を調整する第２の波面制御器を配設し、
該再生光の光路中に光検出器を配設し、
前記データ情報の再生を行う際に、前記光検出器により得られた波面情報および強度分布情報に基づき、前記第１および第２の波面制御器に制御信号を出力する制御手段を設けてなる、ことを特徴とする光制御装置。
【請求項３】
前記光検出器が、カメラと波面センサにより構成されていることを特徴とする請求項１または２記載の光制御装置。
【請求項４】
前記第１の波面制御器による波面制御は、遺伝的アルゴリズムを用いて行われることを特徴とする請求項１から３のうちいずれか１項記載の光制御装置。
【請求項５】
前記遺伝的アルゴリズムの初期集団の遺伝子の設定値を、前記歪み生成素子固有の歪みを補償し得る設定値としたことを特徴とする請求項４記載の光制御装置。
【請求項６】
前記第２の波面制御器による波面制御は、所定のゼルニケ多項式の各次数のゼルニケ係数を０に近づけるようにフィードバック制御を行なうことによりなされることを特徴とする請求項１から５のうちいずれか１項記載の光制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波面制御器と光検出器により光を制御する光制御装置、特に、ホログラム再生装置における光波面の制御技術の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報記録において光ディスクなどの光情報記録媒体が普及しつつある。また、より高速・大容量を目指した次世代光情報記録媒体の研究・開発が活発に行われている。
その中でも、記録容量を大幅に高めることができるという観点から、種々のホログラム記録再生装置が提案されている。
【０００３】
従来の典型的なホログラム記録再生装置は、例えば図７に示されるように構成されている。すなわち、レーザ光源２０１から出射されたコヒーレントなレーザ光束は、発散レンズ２０２およびコリメートレンズ２０３からなるビームエキスパンダにより光束径を拡大され、半波長板２０４を透過し、偏光ビームスプリッタ２０６により２系の光束に分岐され、それぞれ信号光（物体光：実際には空間光変調素子２０８により信号光とされる）および参照光として機能せしめられる。
【０００４】
偏光ビームスプリッタ２０６により分岐された信号光は、偏光ビームスプリッタ２０７を介して空間光変調素子２０８に照射される。
【０００５】
記録すべきデジタル情報はページデータと称される２次元配列に整列され、空間光変調素子２０８に順次表示され、これにより通過する（反射する）光を空間的に変調する。空間光変調素子２０８から出射された信号光は、入射した状態とは偏光方向が変化しており、偏光ビームスプリッタ２０７において反射され、フーリエ変換レンズ２１０によって光学的にフーリエ変換されてホログラム記録媒体２１１へ照射される。このときホログラム記録媒体２１１中の信号光が通過する場所へ、別角度から、偏光ビームスプリッタ２０６で分岐した参照光を同時に照射すると記録媒体２１１内部の体積中に干渉縞が生じ、この縞分布を屈折率分布などの形態で記録媒体２１１の記録領域に転写することによりホログラム記録を行う。
【０００６】
なお、上記光路中には、光束を偏向するための反射ミラー２０５、２２１および光束を適宜通過／遮断するためのシャッタ２０９、２２３が配設されている。
【０００７】
一方、ホログラム記録媒体２１１に記録されたページデータを再生する場合には、上記の如くして記録した際の入射角度と同一角度で参照光を記録媒体２１１に照射せしめることにより、フーリエ変換レンズ（結像レンズ）２１２を介してＣＣＤ（撮像素子(Charge Coupled Device)）カメラ２１３にて撮像することができる。
【０００８】
ところで、ホログラム記録媒体として光感光性樹脂材料（フォトポリマー）を用いた場合、記録媒体内部に屈折率差を生じさせてホログラムを記録する。このとき光重合によりフォトポリマーが収縮する。そのため、記録された干渉縞が歪んでしまい、きれいな再生像が得られず、再生データのＳＮＲ（Signal to Noise Ratio）が低下する。
【０００９】
さらに、ホログラム記録媒体への信号記録時と信号再生時との間で温度差が生じた場合、記録媒体の歪み度合いに差異が生じる。このため、信号再生時には信号記録時と同様の照射条件で参照光を記録媒体に入射させたとしても、記録したビットデータを誤りなく再生することが難しく、再生データのＳＮＲに劣化が生じていた。
【００１０】
記録領域の全体に亘る歪みであれば、再生時において記録媒体に照射する上記参照光の入射角度を調整することにより再生光の波面の乱れを補償して、ＳＮＲを向上することができるが、記録媒体に局所的に不均一な歪みも同時に生じている場合には、上記参照光の入射角度を調整すること等によっては補償しきれない。
【００１１】
そこで、本願発明者は、このような問題を解決しうる、下記特許文献１に記載された発明を特許庁に対して既に開示している。
すなわち、この特許文献１記載の発明は、参照光の光路中に波面制御器を配するとともに、ホログラム記録媒体から出力された再生光の光路中に光検出器を配し、該光検出器により再生光の波面および光強度に関する情報を得、その得られた情報に基づき、記録媒体の前段に配された波面制御器により、再生光の波面の乱れを補償する波面制御を行う、というものである。
【００１２】
【特許文献１】特願２００７−２５５３２２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上記特許文献１に記載のものは、記録媒体中の歪を補償して、記録媒体の各領域から射出される再生光の光強度を一様なものとすることができる、という点で極めて有用な技術である。
【００１４】
しかしながら、この補償は再生光を強度的に満遍なく得るようにしたものであって、再生光の進行方向が記録媒体の各射出領域ごとに変化する、ことに対応したものとはなっていない。このため、再生光に担持されている再生像情報はぼやけて結像される場合が考えられ、再生データのＳＮＲが低下することがありうることから、このようなＳＮＲの低下を抑制し得る方策が望まれる。
【００１５】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、歪み生成素子からの出力光の進行方向を歪み生成素子の全出力領域に亘って揃えることで、再生像情報がぼやけて結像されることを防止しうる光制御装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の光制御装置は、
入力される光に対して非線形な光学歪みを生じさせる歪み生成素子、
該光に対し、該歪み生成素子に入力される前に、該歪み生成素子による該光学歪みを予め補償しておく第１の波面制御器、
前記歪み生成素子から出力された光に対して波面の制御を行なう第２の波面制御器、
および該歪み生成素子から出力された光の波面情報および強度分布情報を検出する光検出器を備え、
前記光検出器により検出された光の波面情報および強度分布情報に基づき、前記第１および第２の波面制御器による波面の制御が行われることを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の光制御装置は、
データ信号を担持した信号光と、参照光とを干渉させ、得られた干渉縞がデータ情報として記録されてなるホログラム記録媒体に対し、該参照光を照射して、該データ情報を担持した再生光を出力させるホログラム再生装置として構成された光制御装置において、
前記参照光の光路中に、該参照光の波面を調整する第１の波面制御器を配設するとともに、前記再生光の光路中に、前記再生光の波面を調整する第２の波面制御器を配設し、
該再生光の光路中に光検出器を配設し、
前記データ情報の再生を行う際に、前記光検出器により得られた波面情報および強度分布情報に基づき、前記第１および第２の波面制御器に制御信号を出力する制御手段を設けてなる、ことを特徴とするものである。
【００１８】
この場合において、前記光検出器は、カメラと波面センサにより構成されていることが好ましい。
【００１９】
また、前記第１の波面制御器による波面制御は、遺伝的アルゴリズムを用いて行われることが好ましい。
【００２０】
また、前記遺伝的アルゴリズムの初期集団の遺伝子の設定値を、前記歪み生成素子固有の歪みを補償し得る設定値とすることが好ましい。
【００２１】
さらに、前記第２の波面制御器による波面制御は、所定のゼルニケ多項式の各次数のゼルニケ係数を０に近づけるようにフィードバック制御を行なうことによりなされることが好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の光制御装置においては、前記歪み生成素子の後段の光路中に光検出器および波面制御器を配設し、この光検出器により検出された光の波面および強度分布に基づき、前記波面制御器による波面の制御（再生光の進行方向の制御）を行なうようにしている。
【００２３】
このように、歪み生成素子からの出力光の進行方向を記録媒体の全領域に亘って揃えることで、該出力光の波面を歪のない良好な状態とすることができる。特に、この光制御装置をホログラム再生装置として構成した場合には、再生光の進行方向を記録媒体の全領域に亘って揃えることで、再生像情報がぼやけて結像されることを防止することができ、再生時のＳＮＲの低下を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、入力される光に対して非線形な光学歪みを生じさせる歪み生成素子２７、この歪み生成素子２７の前後の各々に配された、該歪み生成素子２７により付与される光学歪みを補償する第１および第２波面制御器２６、３６、およびこれら波面制御器２６、３６により制御された光を検出する光検出器３３を備えた光制御装置の一態様を示す概念図である。
【００２５】
まず、非線形な光学歪みを生じさせる歪み生成素子２７の前段に設けた第１波面制御器２６と光検出器３３を用いて、歪み生成素子２７で発生する光学歪みを補償し得る入力波面を求める。ここで、歪み生成素子２７への入力波面に対する出力光強度および波面の対応関係は非線形となるため、本実施形態における光学歪みを補償し得る入力波面の最適化には、遺伝的アルゴリズムを用いた制御方法が適用される(T. Muroi, et. al.，“Improved Intensity and Distribution in Reconstructed Beam Using Adaptive Optics in Holographic Data Storage", ISOM'07,Th-K-02,2007.を参照)。
【００２６】
次に、歪み生成素子２７からの出力光の波面を、この歪み生成素子２７の後段に設けた第２波面制御器３６と光検出器３３により揃える。この系は線形であるため、伝達関数を用いたフィードバック制御 (E. J. Fernandez and P. Artal, "Membrane deformable mirror for adaptive optics: performance limits in visual optics", Opt. Exp., Vol. 11, No. 9, pp. 1056-1069, 2003参照) を適用して、出力光の進行方向を、歪み生成素子２７の全射出領域に亘って揃えることができるようにしている。
【００２７】
以上に説明した２つの制御を組み合わせることにより、非線形な光学歪みを生じさせる歪み生成素子２７の歪みが良好に補償され、波面の揃った出力光が得られることになる。
【００２８】
ここで、上記遺伝的アルゴリズムを用いた制御方法について説明する。
図２は、この第１波面制御器２６における最適化制御において用いられる遺伝的アルゴリズムを説明するためのフローチャートである。
【００２９】
この遺伝的アルゴリズムは、まず個体数ｎからなる第ｋ世代集団Ｐｋを決定する（Ｓ１）。個体の遺伝型は第１波面制御器２６を駆動する複数の駆動部（駆動部No.１〜ｘとする）の設定値とする。適応度は、例えば歪み生成素子２７からの出力光の輝度分布の均一性とする。また、初期状態の集団Ｐ０の各個体に対する第１波面制御器２６の駆動部の設定値をランダムに決定する。次に複製との交叉を行なう。この交叉においては、集団Ｐｋから選択された任意の２個体に対し、第１波面制御器２６の駆動部No.ｘを交叉点として、各駆動部の設定値を入れ替える。複製に係る元の２個体と、新しく交叉して発生した２個体とを合わせた４個体が生成される。これをｎ／２回繰り返すことにより、個体数が２ｎ個の集団Ｐｋ’を作成する（Ｓ２）。この集団Ｐｋ’に対して、確率Ｆｍで突然変異を起こす個体を選択する（Ｓ３）。選択された個体では、ランダムに選ばれた駆動部No.ｘにおいて、その設定値をランダムに決定しなおす。突然変異を経た集団Ｐｋ'’の各個体について、第１波面制御器２６の値を設定し、光検出器３３により出力光の輝度分布を測定し、適応度を求める（Ｓ４）。適応度の高い個体をｎ個選択し（Ｓ５）、第ｋ＋１世代集団Ｐｋ＋１を形成する（Ｓ６）。これを繰り返すことにより、適応度の高い個体が残り、最適化がなされる。これにより、歪み生成素子２７による歪みを補償した光が得られる。
【００３０】
次に、第２波面制御器３６と光検出器３３を用いて行なわれる、上記伝達関数を用いたフィードバック制御について説明する。
【００３１】
まず、入力ベクトルを第２波面制御器３６の駆動部の設定値Ｄ、出力ベクトルをゼルニケ係数Ｚ、伝達関数行列をＡとすると、下記条件式（１）で表される。
【００３２】
【数１】
0004974962.tif 000002
【００３３】
上記条件式（２）中のｄｖは第２の波面制御器３６の駆動部No.ｖの設定値、条件式（３）中のｚｕは出力光のｕ次のゼルニケ係数、条件式（４）中のａｕｖは比例定数である。フィードバック制御は、ｉ回目の波面制御器の設定値をＤｉ、このときのゼルニケ係数をＺｉ、所望のゼルニケ係数をＺｒｅｑ、比例定数をβとすると、下記条件式（５）により行うことができる。
【００３４】
【数２】
0004974962.tif 000003
【００３５】
また、波面を揃えるためには、各次数のゼルニケ係数を０にする必要があるので、条件式（５）のＺｒｅｑは、下記条件式（６）で表される。以上の処理を繰り返すことにより波面を揃えることができる。
【００３６】
【数３】
0004974962.tif 000004
【００３７】
以下、本実施形態について、下記実施例を用いてさらに具体的に説明する。
【００３８】
≪実施例≫
図３は本発明の実施例１に係るホログラム記録再生装置（本発明に係る光制御装置の一態様である）の主要光学系を説明するための概略図である。以下、本装置を情報記録機能と情報再生機能とに分けて説明する。
【００３９】
＜情報記録機能＞
図３に示すように、レーザ光源１０１から出射されたコヒーレントなレーザ光束は、発散レンズ１０２およびコリメートレンズ１０３からなるビームエキスパンダにより光束径を拡大され、半波長板１０４を透過し反射ミラー１０５により反射された後、偏光ビームスプリッタ１０６により２系の光束に分岐され、それぞれ信号光（物体光：実際には空間光変調素子１０８により信号光とされる）および参照光として機能せしめられる。
【００４０】
上記参照光は、第１波面制御器１２６により反射され、光束を適宜通過／遮断するためのシャッタ１２３を介してホログラム記録媒体１１１上の所定の領域に照射される。
【００４１】
一方、上記信号光は、偏光ビームスプリッタ１０７を介して空間光変調素子１０８に照射される。
【００４２】
空間光変調素子１０８としては、液晶表示パネルやＤＭＤ（デジタルマイクロミラーデバイス：Digital Micromirror Device）等のライトバルブが用いられる。空間光変調素子１０８上の各ピクセルがページデータ上の２値のデジタル情報に応じて光を通過（図１の例では反射）／遮断することで、空間的に光を変調する。この変調処理によりページデータ情報を担持した信号光が生成される。
【００４３】
空間光変調素子１０８から出射された信号光は、入射した状態とは偏光方向が変化しており、偏光ビームスプリッタ１０７において反射され、シャッタ１０９を通過した後フーリエ変換レンズ（ＦＴＬ：Fourier Transform Lens）１１０によって光学的にフーリエ変換されてホログラム記録媒体１１１へ照射される。このときホログラム記録媒体１１１中の信号光が照射される領域へ、別角度から、上記参照光が同時に照射されるので、記録媒体１１１内部の体積中に干渉縞が生じ、この縞分布を屈折率分布などの形態で記録媒体１１１の記録領域に転写することによりホログラム記録が行われる。
【００４４】
なお、参照光の光路中のシャッタ１２３の前後にはレンズ１２２、１２４が配設されている。
【００４５】
また、異なるページデータを空間光変調素子１０８に表示させつつ、参照光のホログラム記録媒体１１１への入射角度を少しずつ変化させることにより、互いに異なるページデータを記録媒体１１１中の同一領域へ多重記録することが可能となり、より高密度な情報格納が可能となる。
【００４６】
＜情報再生機能＞
次に、情報再生時においては、シャッタ１２３を通過した参照光は、情報記録時と同様の入射角度および位置において、ホログラム記録媒体１１１の所定の領域に照射される。なお、シャッタ１０９は閉じた状態とされる。
【００４７】
すなわち、所望のページデータを再生する場合には、この所望のページデータを記録した情報記録時と同一の参照光入射条件となるように設定し、参照光を、第１波面制御器１２６等を介してホログラム記録媒体１１１に入射せしめ、所望のページデータ情報を担持した再生光（回折光）をホログラム記録媒体１１１から出力せしめる。この再生光はフーリエ変換レンズ１１２を介して第２波面制御器１３６に照射される。第２波面制御器１３６において反射された再生光は、その一部がハーフミラー１３１において反射されてＣＣＤカメラ１１３において撮像される。さらにハーフミラー１３１を透過した光は、反射ミラー１３２において反射され、波面センサ１３７に照射される。このようにしてホログラム記録媒体１１１における光回折により得られた再生光は、ＣＣＤカメラ１１３と波面センサ１３７にて情報取得がなされることになる。なお、ＣＣＤカメラ１１３において撮像された再生像情報（強度分布情報を含む）と波面センサ１３７により得られた再生光波面情報は計測制御装置１４０に送出される。
【００４８】
ところで、上述したように、上記各波面制御器１２６、１３６により設定される光波面の態様は、計測制御装置１４０からの指示信号（入力された上記再生像情報および再生光波面情報に応じて設定される）に基づいて、制御されるようになっている。すなわち、参照光および再生光は計測制御装置１４０からの指示信号に応じ、波面制御器１２６、１３６によって波面が制御されることになる。
【００４９】
また、上記各波面制御器１２６、１３６としては、液晶表示パネル（ＬＣＤ）やデフォーマブルミラー等を用いることができる。また、波面センサ１３７としては、例えばシャックハルトマンセンサを用いることができる。
【００５０】
本実施例に係るホログラム記録再生装置によれば、遺伝的アルゴリズムを用いて第１波面制御器１２６の制御を行うことによって、ホログラム記録媒体１１１の非線形な歪みによる再生光の波面の乱れを補償することができる。
【００５１】
上記遺伝的アルゴリズムで用いる適応度は再生データのＳＮＲ（ＳＮ比）とし、個体を波面制御器１２６の状態、遺伝子を波面制御器１２６の各駆動部の設定値とする。世代数は５０世代として、第ｋ世代の集団の個体数ｎは２０個とする。図２に示すフローチャートに記載した操作を繰り返し行ない、再生データのＳＮＲ（ＳＮ比）が大きい個体が残るように制御することで、ＳＮＲが改善された再生像が得られる。
【００５２】
図４は遺伝的アルゴリズムの世代数とＳＮＲの関係を示すグラフを表すものである。図４によれば、遺伝的アルゴリズムの世代数が２０〜３０となるまでは、その世代数が増加するのに伴ってＳＮＲが良好となることが明らかである。
【００５３】
なお、初期集団の遺伝型の設定値をホログラム記録媒体１１１特有の大きな歪みを補償するような設定値とすることにより、制御を高速化することが可能となる。
【００５４】
また、本発明においては、適応度を再生像の変動係数の逆数とし、変動係数の逆数が大きい個体が残るように制御を行うことも可能であり、この場合は変動係数の逆数が大きい再生データが得られることになる。
【００５５】
また、本実施例に係るホログラム記録再生装置では、例えば、所定の伝達関数を用いたフィードバック制御を適用して第２波面制御器１３６による波面制御を行うことにより、再生光の進行方向を、ホログラム記録媒体１１１の全射出領域に亘って揃えることが可能となるので、再生像情報がぼやけて結像されることを防止でき、再生時のＳＮＲの低下を阻止することができる。
【００５６】
上記伝達関数を用いたフィードバック制御においては、波面の乱れの指標として、例えば、再生光波面のゼルニケ係数を用いる。始めに第２波面制御器１３６の各駆動部の設定値と、そのときに波面センサ１３７で測定されたゼルニケ係数に基づき、この系の伝達関数を求める。すなわち、上記条件式（５）のＺｒｅｑに上記条件式（６）を適用してフィードバック制御を行うことになる。
【００５７】
図５は、フィードバックの回数と再生光波面のゼルニケ係数の関係を示すグラフを表すものである。図５によれば、少なくともフィードバックの回数が５０回程度となるまでは、フィードバックの回数の増加に応じて、各次数（１〜５次）のゼルニケ係数を０に近づけることができ、これにより再生光の進行方向を記録媒体の全領域に亘って揃えることができる。
【００５８】
なお、上記実施例においては、波面制御を、遺伝的アルゴリズムを用いた非線形制御とフィードバック制御を用いた線形制御の両者を用いて行なっているが、その他の種々の制御手法を用いて上記波面制御を行なうことができる。
【００５９】
なお、本発明の光制御装置としては上記実施形態のものに限られるものではなく、その他の種々の態様の変更が可能である。例えば、装置の光学系を構成する部材の配置としては、必ずしも上記実施形態のものに限られるものではない。
【００６０】
また、本発明の光制御装置は、ホログラム記録再生装置（ホログラム再生装置）以外の種々の光学的な制御装置、例えば、図６に示すような、顕微鏡の光制御装置等に適応することができる。以下、上記実施例１の変更例として、この反射型顕微鏡の光制御装置について概略的に説明するが、この変更例（以下、実施例２と称する）において、対応する部材が上記実施例１の部材に用いられている場合には、図３で用いられている部材の符号に´を付して表すものとする。
【００６１】
すなわち、この実施例２に係る光制御装置において、レーザ光源１０１´から出射されたコヒーレントな照射光は、発散レンズ１０２´およびコリメートレンズ１０３´からなるビームエキスパンダにより光束径を拡大され、第１波面制御器１２６´に照射されて波面が制御される。この後、第１波面制御器１２６´から反射された光束は、ハーフミラー１０６´により直角に反射され、収束レンズ１２２´により、非線形な光学歪みを発生させる歪み生成素子であるサンプル１６１上に収束される。この後、サンプル１６１から出力され、サンプル１６１に関する情報を担持した信号光は、ミラー１６２で反射され、サンプル１６１、収束レンズ１２２´およびハーフミラー１０６´を介して第２波面制御器１３６´に照射される。第２波面制御器１３６´に照射された信号光は波面を制御され、この後ハーフミラー１３１´により２分割され、一方はＣＣＤ１１３´に照射され、他方はミラー１３２´を介して波面センサ１３７´に照射される。
【００６２】
なお、ＣＣＤカメラ１１３´において撮像された再生像情報（強度分布情報を含む）と波面センサ１３７´により得られた再生光波面情報は計測制御装置１４０´に送出される。また、各波面制御器１２６´、１３６´により設定される光波面の態様は、計測制御装置１４０´からの指示信号に基づいて、制御される。
【００６３】
また、各波面制御器１２６´、１３６´による制御の態様は、基本的に実施例１のものと同様とされており、計測制御装置１４０´からの指示信号に応じ、波面制御器１２６´、１３６´によって、照射光および信号光の波面が制御されることになる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施形態に係る光制御装置の主要光学系を示す概略図
【図２】本発明の実施形態に係る光制御装置において用いられる遺伝的アルゴリズムを説明するためのフローチャート
【図３】本発明の実施例１に係るホログラム記録再生装置の主要光学系を示す概略図
【図４】本発明の波面制御に用いる遺伝的アルゴリズムの世代数とＳＮＲとの関係を表わすグラフ
【図５】本発明の波面制御に用いるフィードバック回数とゼルニケ係数との関係を表わすグラフ
【図６】本発明の実施例２に係る反射顕微鏡の光学制御装置の主要光学系を示す概略図
【図７】従来技術に係るホログラム記録再生装置の主要光学系を示す概略図
【符号の説明】
【００６５】
１、１０１、１０１´、２０１      レーザ光源
１０５、１３２、１３２´、１６２、２０５、２２１      ミラー
２６、１２６、１２６´      第１波面制御器
３６、１３６、１３６´      第２波面制御器
２７      歪み生成素子
２１、３１、３２、１０６´、１３１、１３１´      ハーフミラー
３３      光検出器
４０、１４０、１４０´      計測制御装置
１０２、１０２´、２０２      発散レンズ
１０３、１０３´、２０３      コリメートレンズ
１０４、２０４      半波長板
１０６、１０７、２０６、２０７      偏光ビームスプリッタ
１０８、２０８      空間光変調素子
１０９、１２３、２０９、２２３      シャッタ
１１０、１１２、１２２、１２２´、１２４、２１０、２１２    レンズ
１１１、２１１      ホログラム記録媒体
１１３、１１３´、２１３      ＣＣＤカメラ
１３７、１３７´      波面センサ
１６１      サンプル
【図１】
0004974962.tif 000005
【図２】
0004974962.tif 000006
【図３】
0004974962.tif 000007
【図４】
0004974962.tif 000008
【図５】
0004974962.tif 000009
【図６】
0004974962.tif 000010
【図７】
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