(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学気相堆積チャンバ内で基板上に窒化珪素膜を堆積する方法であって、
（ａ）チャンバ内で基板１枚を支持し、
（ｂ）圧力を１００Ｔｏｒｒ〜３５０Ｔｏｒｒに調節し、基板を約６００℃〜８００℃の温度に加熱し、
（ｃ）珪素ソースガスをチャンバ内に通過させ、
（ｄ）フェイスプレートに対する縦又は垂直の壁の円周エッジを形成する垂直環状の第１のステップ状部分と、前記円周エッジから突出した横方向部及びガスの流れを制限する２つのフランジを含む第２のステップ状部分と、前記フランジ部の１つの領域に一致する単一のリップ部を有する第３の部分とを備えたポンピングプレートを通して、チャンバからガスを除去する、
方法。
【請求項２】
窒化物の層が、毎分４０オングストローム〜毎分５０００オングストロームの速度で形成される請求項１に記載の方法。
【請求項３】
装置であって、
基板を処理のために収容するような構成が与えられたチャンバと、
チャンバにつながった窒素ソースガス源と、
チャンバにつながった珪素ソースガス源と、
窒素ソースガス源から窒素ガスを、珪素ソースガス源から珪素ガスを、チャンバ内に導入することを制御するよう構成されたシステムコントローラと、
チャンバに接続され、１００Ｔｏｒｒから３５０Ｔｏｒｒの圧力を発生させることが可能な、少なくとも１つのポンプと、
システムのオペレーションを指示するためのコンピュータ読み出し可能プログラムを自身の中に統合して有するコンピュータ読み出し可能媒体を備えた、コントローラにつながったメモリであって、該コンピュータ読み出し可能プログラムは、窒素ソースガスと珪素ソースガスとチャンバ内圧力とを制御するための指示を備え、該指示は、チャンバ内の圧力を１００Ｔｏｒｒ〜３５０Ｔｏｒｒに維持するためのパラメータを備える、前記メモリと、
チャンバリッドと多孔フェースプレートにつながったブロッカプレートであって、該多孔フェースプレートはポンピングプレートにつながる、ブロッカプレートと、
を備え、
ポンピングプレートは、フェイスプレートに対する縦又は垂直の壁の円周エッジを形成する垂直環状の第１のステップ状部分と、前記円周エッジから突出した横方向部及びガスの流れを制限する２つのフランジを含む第２のステップ状部分と、前記フランジ部の１つの領域に一致する単一のリップ部を有する第３の部分とを備える装置。
【請求項４】
珪素ガス源が、シラン及びジシランからなる群から選択される請求項１に記載の方法。
【請求項５】
珪素ガス源が、シラン及びジシランからなる群から選択される請求項３に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、概して、集積回路チッププロセスにおける堆積技術に関し、より具体的には、窒化珪素膜の堆積に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路の製造には、半導体（シリコンなど）ウエハ上に物質層を複数層堆積する工程が、概して含まれており、この層のそれぞれは、特定の信号を通したり遮断したりすることに凡そ関係する特定の機能をなす。これらの層の１層以上には、窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）が絶縁体やマスクとして含まれている場合がある。ウエハ上に窒化珪素層を形成する従来からの方法では、プロセスチャンバ内のサセプタ上にウエハを配置させ、珪素ソースガスや窒素ソースガス等のガスとキャリアガスの混合ガスを処理チャンバ内に導入する工程を有している。これらガスは、圧力が約３００ミリトール（mTorr)の処理チャンバ内で結合し、窒化珪素層（膜）を形成する。
【０００３】
処理チャンバは、外付けの加熱ランプにより加熱されるが、この加熱ランプは、光を半導体処理チャンバの透過性の壁に発してチャンバを加熱する。熱電対、パイロメータ、熱カメラ等の温度測定装置を用いて、サセプタ上の位置での温度を検出してもよい。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
窒化珪素層の堆積速度、厚みや均一性は、様々なパラメータにより決まる場合があり、例えばチャンバ内の圧力や温度、チャンバ内に導入されるガスのタイプやウエハ上を通過するガス流量等を挙げることができる。更に、これらパラメータの１つ（例えば温度等）を高くすれば、他のパラメータ（例えば圧力等）に影響を及ぼす場合がある。例えば、高い温度では概して、使用する圧力を低く（例えば３００mTorr）することができる。温度を高くすれば、ウエハ上への窒化珪素層の堆積速度を上げることができるが、高温での堆積には不利益もある。不利益の１つとしては、高温でのプロセスはドーパントが、半導体ウエハのＰ−型導電性の領域（Ｐ−ドープ領域）やＮ−型導電性の領域（Ｎ−ドープ領域）等から外側に拡散すること（アウトディフュージョン）が挙げられる。アウトディフュージョンは、ドープ領域から形成された電子部分（トランジスタ、キャパシタやダイオード等）を破壊することもある。このアウトディフュージョンを防止することは、デバイスの大きさが０．２５μｍよりも小さい場合では非常に重要である。
【０００５】
従来技術で見られる不利な結果を防止しつつ、ウエハ上への窒化珪素層の堆積速度を上げる方法を与えることが望まれる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
半導体ウエハ上に窒化珪素層を形成するための方法と装置を開示する。本発明の一具体例では、キャリアガスと、窒素ソースガスと、珪素ソースガスを有する混合ガスが、およそ１００〜５００Torrの範囲の圧力下の処理チャンバ内に導入されて、処理チャンバ内でウエハ上にＳｉ3Ｎ4膜を形成する。本発明の別の具体例では、反応物をチャンバ内に導入するポンプ輸送チャンネルと連通する複数のガス孔（ガスホール）を側壁に有する円環形状のポンピングプレートを用いて、窒化珪素膜を形成する。本発明の他の特徴及び方法、そしてこれら方法を用いて成る装置について、添付の図面と関連させて以下に説明する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下の記載では、説明の目的で多数の具体的な詳細が、本発明の完全な理解を提供するために記載される。しかしながら、本発明がこれらの具体的な詳細なしで実行可能であることは、当業者には明らかであろう。いくつかの例において、特定の装置、構造および方法は、本発明を不明瞭にしないために記載されていない。
【０００８】
本発明は、シリコン窒化膜層を半導体ウエハといった基板上に形成する方法および装置に関する。実施例において、膜または層は、放射熱または抵抗熱を用いて加熱される枚葉式処理チャンバ内のサセプタに置かれる半導体ウエハ上に形成される。窒素種ガス、シリコン種ガス、及びキャリアガスを含むガス混合気は、Ｓｉ3Ｎ4膜または層を形成するためにチャンバ内に導入される。ウエハは、６００℃〜８００℃のウエハ温度で混合気に曝露される。適切なＳｉ3Ｎ4膜または層を形成するために、処理チャンバの圧力は、概ね１００〜５００トールの範囲で維持される。本発明の実施例において、窒化シリコン層は、ポンピング・プレートが第１のステップ部、第２のステップ部および第３のステップ部を有するポンピング・プレートを使用して形成される。シリコン種ガスおよび窒素種ガスは、Ｓｉ3Ｎ4層または膜を形成するためにチャンバに導入される。一実施例において、チャンバにおけるシランのようなシリコン種ガスの分圧は概ね０.０５〜５トールの範囲であり、アンモニアのような窒素種ガスは３００トール以下の分圧を有する。使用する特定のガスに部分的に依存するシリコンおよび窒素種ガス用に、他の分圧を用いてもよい。
【０００９】
本発明は、Ｓｉ3Ｎ4層の改良された堆積速度および均一性を提供する処理条件を熟慮する。従来技術に教示された以上の反応圧力を増加させることによって、本発明のプロセスは、Ｓｉ3Ｎ4堆積またはウエハに有害な影響を及ぼすことなく低温で作動可能である。Ｓｉ3Ｎ4層は、スペーサ、エッチ・ストップ、ハードマスクまたは誘電体エレメントを形成するために用いることができる。
【００１０】
請求項に係る発明は、抵抗加熱処理チャンバ（図１〜３）及び放射加熱処理チャンバ（図１０〜１１）に関連して記載されているが、処理チャンバの他のタイプが本願明細書において、記載されている技術と共に使われてもよいことは理解されるであろう。
【００１１】
図面を参照すると、低圧化学気相堆積（ＬＰＣＶＤ）チャンバが記載されている。図１〜３は、本発明を実行するのに用いられる抵抗リアクタといったリアクタの一つのタイプの断面図を示す。図１-３はそれぞれ、２つの異なる断面を介してのチャンバの断面図を示しており、各断面はチャンバのおよそ半分を表している。
【００１２】
本実施例において、図１〜３で例示されるＬＰＣＶＤチャンバは、１００トール以上の圧力が維持可能になるような材料から造られる。図解の目的で、概ね８リットルの範囲のチャンバが記載されている。図１は、「ウエハ処理」のポジションにおけるプロセスチャンバ本体４５の内部を示す。図２は、「ウエハ除去」のポジションにおける同一チャンバの図を示す。図３は、「ウエハ搬入」のポジションにおける同一チャンバの断面側面図を示す。各々の場合において、ウエハはチャンバ内での位置を示すために破線で示されている。
【００１３】
図１-３は、単数または複数のプロセスガスとウエハ間で反応（例えばＣＶＤ反応）が起こる反応チャンバ９０を画成するチャンバ本体４５を示す。一実施例において、チャンバ本体４５はアルミニウムから構築され、チャンバ本体４５（例えば「コールドウォール」反応チャンバ）を冷やすために通路を介してポンピングされる水用の通路５５を有する。チャンバ９０のレジデントは、この図では、軸６５で支えられるサセプタ５を含んでいる抵抗ヒータ８０である。サセプタ５は、半導体ウエハ（破線で示す）のような基板を支持するのに十分な表面積を有する。
【００１４】
一方、プロセスガスは、チャンバ本体４５のチャンバ・リッド３０の上面にあるガス分配ポート２０を介して、密封チャンバ９０に入る。プロセスガスは、次いでブロッカプレート２４を通り抜け、ウエハの表面積と整合した区域の周りにガスを分配する。その後、プロセスガスは、この図では抵抗ヒータ８０より上に位置し、チャンバ９０内部のチャンバ・リッド３０に結合する穿孔フェイスプレート２５を通して分配される。本実施例において、フェイスプレート２５とブロッカプレート２４を組合せる１つの目的は、例えばウエハといった基板でプロセスガスの均一分布を起こさせるためである。
【００１５】
ウエハのような基板は、チャンバ本体４５の側部の入口ポート４０を通して、ヒータ８０のサセプタ５上のチャンバ９０に置かれる。処理されるウエハを収容するために、ヒータ８０は、サセプタ５の表面が図３に示すように入口ポート４０の下になるように下げられる。一般的にロボットの搬送機構によって、ウエハは、例えば搬送ブレードを経由してサセプタ５の上位面のチャンバ９０に装填される。一旦装填されると、入口ポート４０が封止され、ヒータ８０は、例えばステップモータといったリフターアセンブリ６０によって、フェイスプレート２５に向かって上位（例えば上方）の方向に進められる。ウエハがフェイスプレート２５（図１参照）から短い距離（例えば４００-７００ミル）である場合、上昇は止まる。ウエハ-プロセス位置において、チャンバ９０は、２つのゾーン、サセプタ５の上位面より上の第１ゾーンと、サセプタ５の下位面の下の第２ゾーンに事実上分割される。一般に膜形成を第１ゾーンに限定することが望ましい。
【００１６】
ここで、ガス・パネルにより制御されるプロセスガスは、ガス分配ポート２０、ブロッカプレート２４および穿孔フェイスプレート２５を通って、チャンバ９０に流入する。プロセスガスは、概して反応するか又は膜をウエハ上に形成するためにウエハと接触する。同時に、例えば窒素といった不活性ボトムパージ・ガスは、第２チャンバ・ゾーンに導入され、そのゾーンにおける膜形成を阻止する。圧力制御システムにおいて、チャンバ９０の圧力は確立され、チャンバ９０に連結する単数または複数の圧力調整器により維持される。一実施例において、例えば、公知技術の様に、圧力は確立されて、チャンバ本体４５に連結するベアトーン圧力調整器（単数/複数）により維持される。本実施例において、ベアトーン圧力調整器（単数/複数）は、１００トール以上のレベルで圧力を維持する。適切な中レベルの圧力範囲は、およそ１００-３００トールである。
【００１７】
残留プロセスガスは、ポンピング・プレート８５を通して、チャンバ９０からチャンバ本体４５（真空ポンプアウト３１）の側部の収集容器にポンピングされる。ポンピング・プレート８５は、基板上に均一なＳｉ3Ｎ4層を生成するガス流パターンに結びつく２つの流れ領域をつくる。
【００１８】
装置２の外部に配置されたポンプ３２は、ポンピング・チャネル４１４０（図１-３のチャネル４１４の下）内に真空圧力を提供し、真空ポンプアウト３１を通してチャンバ９０からプロセス及びパージ・ガス双方を引き出す。ガスは、放出導管３３に沿ってチャンバ９０から放出される。チャネル４１４０を介して放出されたガスの流量は、導管３３に沿って配置されているスロットルバルブ３４により制御されるのが好ましい。処理チャンバ９０内の圧力は、センサー（図示せず）によって、モニタされ、スロットルバルブ３４によって、導管３３の断面積を変化させることにより制御される。コントローラまたはプロセッサは、チャンバ圧力を示すセンサーから信号を受け取って、それに応じてチャンバ９０内で所望の圧力が維持されるようにスロットルバルブ３４を調整するのが好ましい。本発明での使用に適切なスロットルバルブは、マードック（Murdoch）に付与され、Applied Materials社に譲渡された米国特許番号５,０００,２２５に記載されており、その全文は本願明細書に引用される。
【００１９】
一旦ウエハ処理が終了すると、チャンバ９０は、例えば不活性ガス（例えば窒素）によって、パージされてよい。処理およびパージ後に、ヒータ８０は、リフターアセンブリ６０によって、図２に示される位置に向かって下位の方向に進められる（例えば下げられる）。ヒータ８０が移動すると、サセプタ５の表面の開口部または孔を通って延びている末端と、サセプタ５の下位表面からカンチレバー方式で延びている第２の末端とを有するリフト・ピン９５が、チャンバ９０の基部に配置されたリフト・プレート７５に接触する。図２に図示するように、一実施例において、ここで、リフト・プレート７５はウエハ-プロセス位置に残る（つまり、図１に示されたプレートと同位置）。ヒータ８０が、リフターアセンブリ６０の作用で、下位方向に動き続けると、リフト・ピン９５は静止したままであり、最終的にサセプタ５の上位または上面より上に延び、被処理ウエハをサセプタ５の表面から分離させる。サセプタ５の表面は、開口部４０の下の位置へ移動する。
【００２０】
一旦被処理ウエハがサセプタ５の表面から分離されると、ロボット機構の搬送ブレード４１は、リフト・ピン９５のヘッド及びリフト・ピンで支えられるウエハの下の開口部４０を通って挿入される。次に、リフターアセンブリ６０は、ヒータ８０及びリフト・プレート７５を「ウエハ・ロード」位置に向かって下位に移動させる（例えば下げる）。下位の方向にリフト・プレート７５を移動させることによって、リフト・ピン９５もまた、被処理ウエハの表面が搬送ブレードに接触するまで下位の方向に移動する。次いで、被処理ウエハは、例えば、ウエハを取り除いて、ウエハを次の処理ステップへ搬送するロボット搬送機構によって、入口ポート４０を通して取り除かれる。次いで、第２のウエハがチャンバ９０に装填可能である。上記ステップは、一般に、プロセス位置にウエハを持ってくるためには逆転する。１つの適切なリフターアセンブリ６０の詳細な説明は、サンタクララ（カリフォルニア）のApplied Materials社に譲渡された米国特許番号５,７７２,７７３に記載されている。
【００２１】
高温操作（例えばＳｉ3Ｎ4膜を形成するＬＰＣＶＤ処理）において、チャンバ９０内部の反応温度は、７５０℃以上程度の高さが可能である。したがって、チャンバ９０の露出した構成部分は、この種の高温処理と互換性を持たなければならない。この種の材料はまた、プロセスガス、及びチャンバ９０に導入可能なクリーニングケミカル（例えばＮＦ3）といった他の化学製品とも互換性を持たなければならない。材料がプロセスと互換性を持つと仮定した場合、ヒータ８０の露出した表面は様々な材料を含んでよい。例えば、ヒータ８０のサセプタ５及び軸６５は、類似したアルミニウム窒素化合物材を含んでもよい。あるいは、サセプタ５の表面が（１４０W/mKから２００W/mKの熱伝導率を有する９５%純度のオーダーの）高い熱伝導性のアルミニウム窒素化合物材を含み、一方、軸６５が低い熱伝導性のアルミニウム窒素化合物を含んでもよい。結合が同様にチャンバ９０の環境に耐えるように、ヒータ８０のサセプタ５は、概して拡散ボンディングまたは鑞付けで軸６５に結合される。
【００２２】
図１はまたヒータ８０の一部の断面を示しており、サセプタ５の本体および軸６５の断面を含む。この図において、図１は、内部で形成される２つの発熱体、第１の発熱体５０および第２の発熱体５７を有するサセプタ５の本体を示す。各々の発熱体（例えば発熱体５０および発熱体５７）は、サセプタの材料と同様の熱膨張特性を有する材料でできている。適切な材料は、モリブデン（Mo）を含む。各々の発熱体は、巻きつけられた構成のモリブデン材の薄い層を含む。
【００２３】
図１において、第２の発熱体５７は、第１の発熱体５０に対して（図のサセプタの表面と関連して）下位に位置するサセプタ５の本体の平面において、形成される。第１の発熱体５０および第２の発熱体５７は、別々にパワー・ターミナルに連結する。長手方向に延びている開口部および軸６５を通って、サセプタ５の表面を加熱するのに必要なエネルギーを供給する電源に伝導する下位の方向に、パワー・ターミナルは延びている。チャンバ・リッドの開口部を通って延びるのは、２つのパイロメータ、第１のパイロメータ１０および第２のパイロメータ１５である。各々のパイロメータは、サセプタ５の表面（又はサセプタ５上のウエハ表面）の温度データを提供する。また、図１に示されるヒータ８０の断面に熱電対７０があることに注意されたい。熱電対７０は、長手方向に伸びている開口部および軸６５を介して、サセプタ５の上位面または上面のすぐ下の点に向かって延びる。
【００２４】
本発明の一実施例に従って、Ｓｉ3Ｎ4膜をウエハ上に形成した場合、ガスは、キャリアガス２００、窒素種ガス２２０、およびシリコン種ガス２１０を含む。適切なキャリヤ・ガスソースは、水素（Ｈ2）、窒素（Ｎ2）、アルゴン（Ａｒ）およびヘリウム（Ｈｅ）を含むが、これに限定されるものではない。適切な窒素種ガスはアンモニア（ＮＨ3）を含むが、これに限定されるものではない。適切なシリコン種ガスは、シラン、二塩化シラン、およびデシリン(disilene)を含むが、これに限定されるものではない。窒素種ガスおよびシリコン種ガスは組み合わされて、ウエハ上にＳｉ3Ｎ4層を生成する。
【００２５】
使用においては、シリコン種ガス２１０は、処理チャンバ９０への導入前または導入中にキャリアガス２００に混ぜ合わされてもよい。キャリアガスとシリコン種ガスの混合気は、次いでチャンバ９０のガス入口２０に導入される。窒素種ガス２２０もまた、ガス入口２０に導入されて、キャリアガスとシリコン種ガスの混合気と混ざることができる。プロセスガスは、ブロッカプレート２４の複数の穴を通過し、次いでフェイスプレート２５の複数の穴を通過する。これらのガスは、次いで、ガスがウエハにさらされるチャンバ９０に流入する。その後、プロセスガスは、ポンピング・プレート８５を通ってポンピング・チャネル４１４に出る。
【００２６】
ガスの流量は、半導体処理チャンバ９０のサイズに依る。一実施例において、ガスの全流量は、１〜９リットルの処理チャンバの全有効容積に基づいて毎分５〜１５リットルの範囲に及ぶ。チャンバに対する少なくとも１つのガスの割合または総ガス流量は、チャンバ容積のリットルにつき毎分０.５０〜８リットルである。
【００２７】
ガス混合気へのウエハの曝露は、熱化学気相堆積法則に従ってウエハ上に窒化シリコン（Ｓｉ3Ｎ4）層の堆積を引き起こす。昇温状態でウエハにガスを曝露することによって、シリコン種ガスおよび窒素種ガスの分子のより小さい分子への解離が生じる。次いで、より小さい分子は互いに再結合する。このプロセスで起こる一般の化学反応が以下に示される。化学式によると、シランは、一般にアンモニアと反応する：
３ＳｉＨ4+４ＮＨ3-> Ｓｉ3Ｎ4+１２Ｈ2
一般の規則では、チャンバ９０内の温度、したがって、ウエハおよびサセプタの温度がより高くなると、窒化シリコン層は、より速く形成される。
【００２８】
一実施例において、ＳｉＨ4、ＮＨ3およびＮ2は、ＳｉＨ4が毎分１００規格立方センチ（sccm）、ＮＨ3が毎分５規格リットル(slm)、Ｎ2が１０slmで導入され、一方、ウエハは６００℃〜８００℃の温度で加熱される。堆積中、チャンバ圧力は１００〜５００トールで維持される。適切な中レベルの圧力範囲は、１００トール〜３５０トールより大きい。一実施例において、シランの分圧はおよそ０.０５〜５トルの範囲であり、アンモニアはチャンバ内で３００トール以下の分圧を有する。しかしながら、他の分圧が、使用する特定のガスに依存する可能性のあるシリコンおよび窒素種ガスに使われてもよい。
【００２９】
別の実施例において、ガスは以下の割合で使われてよい：ＳｉＨ4：７０ sccm、ＮＨ3：２ slm、Ｎ2：８ slm。更に別の実施例において、ガスは以下の割合で使われてよい：二塩化シラン（ＳｉＨ2Ｃｌ2）：２３０ sccm、ＮＨ3：１,０００ sccm、Ｈ2：９,０００ sccm。Ｎ2がキャリアガスとして用いられた場合、毎分約５０〜５,０００Åの堆積速度が６００℃程度の低温で達成可能である。
【００３０】
上記の実施例には、反応チャンバ内の状態を制御してウエハ上にＳｉ3Ｎ4膜を形成することが記載されていた。手動またはシステムコントローラを用いてこの種の制御を行ってもよいことは理解されよう。前例において、オペレータは、温度を制御するために電源をヒータに合うように調整かつモニタし、圧力を制御するために真空ソースをモニタかつ調整できる。オペレータはまた、手動で個々のガスに関連するバルブを調整してガスの混合および流量を制御できる。
【００３１】
システムコントローラはまた、システム制御と関連するコントロール作業を取り扱うために使用されてもよい。図１は、電源およびガスマニホールドに連結するシステムコントローラまたはプロセッサを示す。コントローラは、温度表示器で測定される温度を記録して、例えば、温度差の相対値を求めて、それに応じて発熱体を調整するアルゴリズムに基づいて、発熱体に供給される電力が制御されるように構成されてもよい。コントローラはまた、処理チャンバへのガスの混合および流量を制御するために構成されてもよい。ＬＰＣＶＤ反応プロセスにおいて、コントローラは、チャンバ圧力を調整するために、真空ソースと同様にチャンバ圧力を測定する圧力表示器に更に連結されてよい。
【００３２】
システムコントローラは、制御信号生成ロジックを供給される。コントローラはまた、オペレータが、例えば所望の反応温度、表示器間の温度差の許容可能な公差（例えば＋−３℃）、反応圧力、および処理チャンバへのガスの流れといった反応パラメータを入力できるユーザ・インタフェースに連結可能である。
【００３３】
制御信号生成ロジックは、例えば、コントローラのメモリといったコンピュータ可読媒体に格納されたコンピュータプログラムであるソフトウェア命令ロジックの形で、システムコントローラに供給される。コンピュータプログラムは、タイミング、ガス混合気、チャンバ圧力、チャンバ温度および特定のプロセスの他のパラメータを命令するインストラクションの集合を含む。フロッピーディスクを含むが、これに限定されるものではない別のメモリ・デバイスに格納されたプログラムといった他のコンピュータプログラムが、システムコントローラを操作するのに用いられてよいことは理解されよう。
【００３４】
コンピュータプログラム・コードは、例えば、６８０００アセンブリー言語、Ｃ、Ｃ++、パスカル、フォートラン等といったコンピュータ可読プログラミング言語で書くことができる。適切なプログラムコードは、一般に、テキストエディタを使用している単一ファイルまたはマルチプル・ファイルに入力される。入力されたコードテキストが高級言語である場合、コードはコンパイルされ、次いで、得られたコンパイラコードは、オブジェクトコードまたはプレコンパイルされたオブジェクトコードにリンクされ、システムはオブジェクトコードを呼び出す。これによって、コンピューターシステムは、コードをメモリにロードし、メモリから中央処理装置がコードを読み込んで実行してプログラムで確認されたタスクを実行する。
【００３５】
本発明の一態様において、プロセス/反応ガス分配の均一性を改善する装置および方法が記載されている。上述したように、シリコン種ガスおよび窒素種ガス（キャリアガスとともに）のようなプロセスガスは、ガス分配ポート２０を通してチャンバ９０に導入される。プロセスガスは、サセプタ５の表面上のウエハの表面にわたるプロセスガスのカスケードのようなシャワーヘッドをつくるブロッカプレート２４およびフェイスプレート２５を介して流れる。ガスがチャンバ９０に導入されると、処理中に所定の圧力が維持されるように、ガスもまた取り除かれる。図１-３に示されるチャンバの構成において、例えば、真空ポンプアウト３１で示される一方の側部でポンプアウトされるように、ガスはチャンバの一側面から取り除かれる。従来技術の装置において、チャンバの一方からのガスの非対称除去は、チャンバ内の圧力差をつくりだした。例えば、チャンバ内でチャンバポンプアウトにより近いポイントで測定された圧力は、ポンプアウトから遠いポイントで測定された圧力とは異なる（より低い）。この圧力差は、ウエハ上への膜堆積の不均一性の一因となっていた。
【００３６】
本発明の一実施形態において、ポンピングプレートが、チャンバのガスの流れを向けるために提供される。本発明のポンピングプレートは、２つのガス流れ領域を定める。それは、サセプタ５の表面上のウエハに向けられるプロセスガスの第１の流れ領域と、主に、チャンバから放出されるガスのポンピングプレートに関する放射型チャネルによって定められる第２の流れ領域とである。２つの領域を作ることによって、より同一の圧力が、チャンバにおいて維持されることができる。本発明は、ウエハを覆う膜のより均一な堆積に寄与する、チャンバの全体にわたる２つの流れ領域の間の静的圧力差が確立されるであろうことを予想する。
【００３７】
図４〜１０を参照し、チャンバのプロセスガスの均一な流れを調整するために利用される本発明の構成部分を、図１〜３に記載した抵抗加熱処理チャンバでの使用に関連して、今詳述する。図４は、処理チャンバの部分の概略断面側面図を示す。図４は、２つのガス流れ領域を説明するための、単一の横断面を通る位置のチャンバ部を説明する。横断面は、ポンピングプレート８５に関するサセプタ５の位置を説明するために、チャンバの中心軸を通っている。ウエハ−プロセス位置で、サセプタ５の部分は、ポンピングプレート８５（サセプタ５を囲むポンピングプレート８５の部分は、この横断面の切欠図である）の環状開口部の中に着座している。
【００３８】
図４の図に示すように、ポンピングプレート８５はチャンバ壁４５の内側チャンバ部４１に置かれている。ポンピングプレート８５の下側と内側チャンバ部４１はチャンバの周りの円周上に延びたチャネル４１４０を画成している。チャネル４１４０は、同じチャンバ領域の部分が、ウエハのロード及び除去のためのエントリポート４０によって利用されるように、チャンバ周りに完全に延びてはいない。一実施形態で、チャネル４１４０は、チャンバ周りにほぼ２７０度延びている。真空ポンプアウト３１はチャネル４１４０にリンクし、チャンバからガスを排出するようになっている。
【００３９】
図４に示すように、ポンピングプレート８５は、（この見地から）垂直環状第１ステップ部４６４を含み、フェイスプレート２５に対する長手方向の円周エッジ又は垂直壁形成している。第２ステップ部４６６は横方向部を含み、円周エッジから突き出している。また、第１ステップ４６４部及び第２のステップ部４６６は、表面プレート２５とチャンバ壁４０及びポンピングプレート８５間のチャネル４１４を画成している。垂直壁は、ガスがチャンバから放出される第２の領域１０１０から、プロセスガスがウエハ（サセプタ５のウエハポケット６に取り付けられる）に向けられる第１の流れ領域１０００を切り離す。第１の流れ領域１０００からのガスは、ポンピングプレート８５の第１の部分４６４のまわりに延びた円周上に位置するホール（ガス孔４９０）を通って、第２の流れ領域１０１０に入る。第２の流れ領域１０１０のガスの流れは放射型であり、第２の流れ領域１０１０はチャンバからガスを排気するためにチャネル４１４０に通じている。
【００４０】
図５及び６は、チャンバによるプロセスガスの一般的な流れ方向の概略図を示す。図５は、サセプタ５の部分を囲むポンピングプレート８５を示す、チャンバを横切る横断面である。図５の、プロセスガスは、チャンバのガス引入口を通して入り、ブロッキングプレート２４及び表面プレート２５を通過するように示されている。第１の流れ領域１０００で、プロセスガスがサセプタ５の表面に到着し、サセプタ５のポケット６内のウエハと反応して、例えば、Ｓｉ3Ｎ4又は他の所望の材料（例えばＳｉＯ2、ポリシリコン等）の膜を形成する。ボトムパージガス１０３０と同様に剰余のプロセスガスは、第２の流れ領域１０１０に向けられ、チャンバから放出される。ガスは、ポンピングプレート８５のまわりで円周上に離隔配置されたガス孔４９０によって、第２の流れ領域１０１０に入る。本実施形態において、ガス孔４９０は、処理中、サセプタ５上のウエハの上面より上にあるように配置される。一般に、ヒータが「ウエハ処理」のポジションにあるときに、ガス孔４９０はウエハの高さに又はウエハより上に少なくとも配置される。
【００４１】
図６は、更にポンピングプレート８５を出入りするガスのプロセス流れを示す。図６は、抵抗型ヒータ、チャンバリッド、ブロッキングプレート及びフェイスプレートのない上面の斜視図である。図６は、実質的にサセプタを囲んで、第２の流れ領域１０１０を画成する、一般にＵ字形のポンピングチャネル４１４を示す。放射状に向きを定められたガス孔４９０は、ポンピングプレートの全ての周辺部のまわりに配置されて、ポンピングチャネル４１４に通じている。ポンピングプレート８５の側壁のガス孔４９０によって、ガスはポンピングチャネル４１４に水平に流れることができる。ポンピングチャネル４１４は、チャネル４１４内の２つの大きい開口部、ポンピングプレート８５の横方向の第２のステップ部４６６の一部分の欠如によって定められる開口部を通してチャネル４１４０に通じている。第２のステップ部４６６は、２つのフランジ部（図７を参照）を含む。第２のフランジ部がチャネル４１４を真空ポンプアウト３１によって占有されるチャネル４１４０の領域から切り離すと共に、一つのフランジ部はチャネル４１４をエントリポート４０から分離する。このようにフランジ部を構成することは、チャネル４１４の均一の圧力を維持するのに役立つ。
【００４２】
ポンピングプレート８５の第１のステップ部４６４のガス孔４９０は、互いに実質的に均一に離隔配置されており、それを図６に示す。更に、ガス孔は、一般にポンピングプレート８５の第１のステップ部４６４に集中している。ポンピングプレート８５の側壁のガス孔４９８の配置及び、第１の流れ領域１０００及び第２の流れ領域１０１０の分割は第１の流れ領域１０００と第２の流れ領域１０１０との間の一様な圧力差を作る。この特徴によって、チャンバ内のガス流れを従来技術構成よりも均一にできる。従来技術でポンピングプレートは、ポンピングプレートに沿った様々な位置で、圧力差の変化を生じていた。それは、非均一のガス流れ領域を結果として生じた。
【００４３】
図７〜１２は、本発明のポンピングプレートの、一実施形態又は実施形態の一部の、異なる図を説明する。図７は、上斜面図、図８は側面図、図９は上面図、及び図１０は底面図である。図１１〜１２は、より明らかに特定の特徴を説明するためのポンピングプレートの部分を示す。
【００４４】
ポンピングプレート８５は、一般に環状部材４６０を含む。位一実施形態において、部材４６０は、アルミニウム合金又は好ましくはＣ２７５アルミニウム合金等の、プロセス互換性を持つ金属を含む一体部分であり、個々の半導体処理チャンバ内に適合するように最適の形に作られる。Ｃ２７５アルミニウム合金は、アルコア  アドバンスト  テクノロジーズ  オブ  イングルウッド（コロラド）(Alcoa Advanced Technologies of Engelwood, Colorado.)で市販されている。部材４６０は、好ましくは、部材４６０の異なる部分と、金属の単一の一体部分から作られるが、ポンピングプレート８５は、接続するか又は一つに結合する部分から構成されることができる。
【００４５】
本願明細書において記載されている特定の構成において、部材４６０は、第１のステップ部４６４、第２のステップ部４６６及び第３のステップ部４６８を含む。第１のステップ部４６４は、チャネル４１４を定めて、第２の流れ領域１０１０を第１の流れ領域１０００から切り離すための垂直側壁を形成する。第２のステップ部４６６は、横方向の部分又はポンピングチャネル４１４のフロアを画成する。第３のステップ部４６８は、処理チャンバの中の所定の位置にポンピングプレート８５を整列するのに役立つ。
【００４６】
図１〜３に関して記載された８リットルの処理チャンバにおいて、第１のステップ部４６８の厚みは、約０．０６インチ〜０．１０インチであり、好ましくは０．０６インチである。図８〜９に関して、例えば、第２のステップ部４６６の内径ＩＤ10は、例えば９．５７２インチであり、外径ＯＤ10は、例えば１１．２５インチである。サセプタ５が、ポンピングプレート８５の環状部材４６０の開口部の範囲内に適合するように、第２のステップ部４６６の内径ＩＤ10はサセプタ５の直径より僅かに大きい。一実施形態において、サセプタ５と第２のステップ部４６６との間は、約０．１２〜０．１８インチ離隔配置されている。第１のステップ部４６４のＩＤ20は、１０．４インチである。第１のステップ部４６４のＯＤ20は、１０．９インチである。図１１に示すように、本実施形態におけるポンピングプレート８５の高さ４８８は、１．２０インチである。ポンピングプレートのベース４８９（第３のステップ部４６８のベース）と、第１のステップ部４６４を通って延びているガス孔４９０の中心位置との間の距離は、０．７２８インチである。
【００４７】
第２のステップ部４６６は、ＯＤ10からＯＤ11まで外部の直径を延びる２つのフランジ部を含む。ＯＤ11は、１２．９３インチの直径から変動する。各々のフランジ部は、それぞれ、環状部材４６０の第１及び第２の部分の２つの半径の間で定められる弧に比例して、ある領域を有する。図９は、５５度の弧に比例した領域を有する双セクションを有する各々のフランジを示す。
【００４８】
第２のステップ部４６６（すなわち横方向の部分）のフランジ部分は、チャネル４１４及び第２の流れ領域１０１０のベースを画成する。各々のフランジ部の間には、チャネル４１４０及び真空ポンプアウト３１に対する開口部が設けられている。一実施形態において、フランジ部間の領域は、７０度の弧に比例している。
【００４９】
図１０の底面図において示すように、第３のステップ部は、ポンピングプレート８５のための台座を作り、内側のチャンバ部４１に載るようになっている。本実施形態において、第３のステップ部４６８は、第２のステップ部４６６のフランジ部分の一つの領域と同じ領域と一致した単一のリップ部を含む。一つの見地において、リップ部は、チャンバのポンピングプレート８５の向きを定めるために役に立つ。
【００５０】
ポンピングプレートの、第１、第２及び第３のステップ部の直径は、個々の堆積装置の特性に依存する。その特性とは、搾穴されたフェイスプレート２５の直径、ポンピングチャネル４１４とチャンバ９０との間の半径の距離、サセプタ５の高さ（すなわち、チャネル４１４とチャンバ９０との間の軸の距離）の高さ、及びサセプタ５の直径等である。
【００５１】
ポンピングプレート８５は、チャネル４１４及び第２の流れ領域１０１０を第１の流れ領域１０００に連通する、第１のステップ部４６４の側壁を通る複数のガス孔４９０を含む。一実施形態において、４８のガス孔４９０が、ポンピングプレート８５に位置する。特に図７〜８に示すように、ガス孔４９０は、ガス孔４９０を通してのプロセスガスの均一の放出を容易にするためにボディ部材４６０の環状開口部４６２のまわりに円周上に離隔配置される。一つの構成で、一つのガス孔４９０は、他のガス孔４９０から７．５度で離隔配置されている。図１１は、一部のポンピングプレート８５の拡大された側面の平面図を示す。図１２は、一つのガス孔の拡大された平面図を示す。図１２は、ガス孔４９０を示し、該ガス孔は凹形側壁を有し、ガス孔の入口及び放出口で、外径４９６が内径４９４より大きくなるようになっている。凹形側壁は、非均一なガス流れの一因となる可能性のあるガスの乱気流の作成を低減するために、好ましくは滑らかである。ガス孔４９０の凹形は、また、全てのガス孔を通した流れの均一性を増加する一因となる、個々のガス孔を通る個々の流れを制限するために役に立つ。図１１〜１２に示すように、ガス孔４９０は、ポンピングプレート８５を通して実質的にまっすぐに延びている。一実施形態において、ガス孔４９０は、約０．１２０〜０．１３０インチ、より好ましくは、０．１２２〜０．１２５インチの直径を有する。
【００５２】
プロセスガスは、比較的狭いガス分散ポート２０（図１〜３）を通って、処理チャンバに入る。均一にプロセスガスを分散するために、本発明の処理チャンバは、ブロッカプレート２４及びフェイスプレート２５を備えている。図１３は、ブロッカプレート２４の平面図を示す。ブロッカプレート２４は、形が実質的に円形で、円周上に配置された固定穴を通してチャンバリッド３０に結合している。ブロッカプレート２４はブロッカプレート２４を穿孔されたフェイスプレート２５に結合させるための貫通穴２３を有する。図１〜３に関して記載されている８リットル処理チャンバに適した実施形態において、ブロッカプレート２４は、０．０１０インチ〜０．０２０インチ、好ましくは０．０１４〜０．０１６インチの直径を有する穴２３を約１，１２２有する。本実施形態において、貫通穴２３は、一般に円形のパターンで配置される。ブロッカプレート２４は、約０．１８０〜約０．１９０インチの範囲の厚みを有する。好ましくは、ブロッカプレート２４の厚みは、０．１８５インチである。ブロッカプレート２４は、ブロッカプレート２４領域の上のガス分散ポート２０を通るプロセスガスの比較的狭い流れを広げることによって、チャンバボディ４５内のガスの均一の流れを引き起こすことに役立つ。
【００５３】
図１４〜１５は、各々フェイスプレート２５の頂部及び側部の平面図を示す。図１６はフェイスプレート２５一部の断面側面の平面図を示す。フェイスプレート２５は円形である。フェイスプレート２５は、一つの見地において、ウエハ上のプロセスガスの均一の分散を援助するために役に立つ。ガスがフェイスプレート２５を接触すると、ブロッカプレート２４の円周の領域に、すでに再分散されているプロセスガスは更に制限される。一実施形態において、フェイスプレート２５の貫通穴は、ブロッカプレート２４の貫通穴と同じ直径を有する。
【００５４】
フェイスプレート２５は、実質的に円形で、円周上に配置された固定穴２６を通してチャンバリッド３０に結合する。フェイスプレート２５の中心部の貫通穴２７がフェイスプレート２５を通って延びている。上記した８リットルの処理チャンバの実施形態で、穿孔されたフェイスプレートの内径は、約９．１０〜９．３０インチであり、穿孔されたフェイスプレート２５の外径は、約１０．７〜１０．１０インチである。フェイスプレート２５は、２つのステップ部を含む。フェイスプレート２５をチャンバに結合させる外側部分３１の厚みは、約０．８００インチであり、貫通穴２７を有する内側部分３２は約０．４００インチである。
【００５５】
一実施形態において、穿孔されたフェイスプレート２５の入口側の入口の貫通穴２７は、プロセスガスがチャンバの反応部分に入る放出口側より大きい直径を有する。これの一つの理由は、適当な直径の貫通穴を形成する上での材料における機械的制約であり、例えば、ドリルビットに損害を与えるといったことである。図１６は、穿孔されたフェイスプレート２５の貫通穴２７の入口と出口との間の直径の差を示す。各々の貫通穴に対する入口２８Ａ（ガス入口は、ブロッカプレート２４に隣接した、穿孔されたフェイスプレート２５の上位の側にある）は、０．０１６インチの出口直径２８Ｂより大きい約０．６２インチの直径を有する。ガス孔の深さは、約０．４００インチである。より小さい直径の開口部は、約０．０３０インチの長さ（参照番号２９によって数字で表されている）を有する。
【００５６】
以下、本発明に従って半導体ウエハを処理する方法について説明する。ウエハは、ロボットのウエハ移送システムの支持ブレード（図示せず）を有するサセプタ５の表面上に、最初に配置される。サセプタ５は、油圧リフト等の、従来の手段によってプロセスチャンバ４５の内の上部処理位置に上がり、ウエハが、プレート８５の中心開口部の範囲内に入る。チャンバ４５はその後適切な負圧に排気される。一方で、ウエハ及びサセプタ５は最適に加熱される。ＳｉＨ4及びＮＨ3等の、プロセスガスは、マニホールドヘッド（図示せず）のチャンバで混合され、ポート２０を通り、ブロッカプレート２４を通り、穿孔されたフェイスプレート２５を経て一様に外側のウエハに一様に分散される。個々のプロセスに従い、プロセスガスは、ウエハに接触して、酸化物又は窒化物膜等の膜を形成する。
【００５７】
堆積プロセスの間、ポンプ３２は、ポンピングチャネル４１４の中で負圧を生成するために動作し、それによって、処理チャンバ９０から、ポンピングプレート８５のガス孔４９０を通してプロセスガス及び／又はプラスマ残渣を引く。加えて、窒素等のパージガス（底部パージガス）１０３０が入口１８を通して向けられ、サセプタ及びポンピングプレート８５間のギャップを通して処理チャンバ９０に入る。パージガスは、チャンバの下部へのプロセスガスの漏洩を最小にする。剰余のガス及びパージガスは、一様にガス孔４９０に及びポンピングチャネル４１４に流れる。出てくるガスは、真空ポンプアウト３１を通して放出されて、ライン３３に沿って放出される。
【００５８】
ポンピングプレート８５は、ガス流を２つの流れ領域に分ける。第１の流れ領域１０００は、サセプタ５（又はサセプタ５上のウエハ）の表面に向けられ、第２の流れ領域１０１０は、チャネル４１４内及びチャネル４１４０と連絡する。一つの方法では、本発明は、第１の流れ領域において測定される圧力と、第２の流れ領域１０３０において測定される圧力の間の圧力差が、チャンバのまわりでどの点においても同じであると考えている。一様な圧力差は、チャンバ全体のガスの均一な流れ及びウエハ上のより均一の膜堆積に寄付する。１００Ｔｏｒｒより大きいチャンバ圧の範囲で作動することによって、プロセスは、１００のＴｏｒｒより少ない範囲で作動している従来のプロセスよりも、堆積速度においてより大きな柔軟性及びウエハ全体の温度敏感度の減少を提供する。温度敏感度の減少は、従来の方法より均一のウエハにわたる膜堆積をもたらす。
【００５９】
図面を参照し、低圧気相堆積（ＬＰＣＶＤ）チャンバを説明する。図１〜３は、本発明を実施するために使用する抵抗型リアクタ等のリアクタの、一つの形態の断面図を示す。図１〜３は、各々２つの異なる横断面によるチャンバの断面図を示し、各々チャンバの約半分を通る図を表す横断面である。
【００６０】
図１〜３で説明するＬＰＣＶＤチャンバは、本実施形態において、１００Ｔｏｒｒ以上の圧力が維持されることができるような材料から作られる。説明の目的で、チャンバは約８リットルで記載されてある。図１は、「ウエハ−処理」位置でのプロセスチャンバボディ４５の内部を説明する。図２は、「ウエハ分離」位置でのチャンバの同じ図を示す。図３は、「ウエハ−ロード」位置でのチャンバの同じ断面側面図を示す。各々のケースにおいて、ウエハはチャンバ内での位置を示すために点線で示される。
【００６１】
図１〜３は、反応チャンバ９０を画成するチャンバボディ４５を示す。ここで、プロセスガス又はガスとウエハとの間の反応が起こる（例えば、ＣＶＤ反応）。チャンバボディ４５は、一実施形態において、アルミニウムであり、またポンプで揚げられる水のための通路５５を有するように作られ、チャンバボディ４５を冷却するようになっている（例えば、「コールドウォール」反応チャンバ）。チャンバ９０内にあるのは、この見地から、軸６５で支えられるサセプタ５を含む抵抗型ヒータ８０である。サセプタ５は、半導体ウエハ（点線に示す）等の、基板を支えるのに十分な表面領域を有する。
【００６２】
プロセスガスは、さもなくば、チャンバボディ４５のチャンバリッド３０の上面のガス分散ポート２０を通して密封されたチャンバ９０に入る。プロセスガスは、その後ブロッカプレート２４を通り抜け、ウエハの表面領域と一致した領域のまわりにガスを分散する。その後、プロセスガスは、この見地から、上記抵抗型ヒータ８０上のフェイスプレート２５を通して分散され、チャンバ９０内でチャンバリッド３０に結合する。本実施形態におけるブロッカプレート２４とフェイスプレート２５との組合せの一つの目的は、基板、例えばウエハ等でプロセスガスの均一の分散を作ることである。
【００６３】
ウエハ等の基板は、チャンバボディ４５の横の部分のエントリポート４０を通してヒータ８０のサセプタ５上のチャンバ９０に置かれる。処理のためにウエハを収納するために、図３に示すように、サセプタ５の表面がエントリポート４０の下になるようにヒータ８０が下げられる。一般的にロボットの移送メカニズムによって、例えば、ウエハはサセプタ５の上位の表面上へ、チャンバ９０に移送ブレードを経由して載せられる。ロードされると、エントリポート４０はシールされる、例えば、ステップモータであるリフタアセンブリ６０によって、ヒータ８０はフェイスプレート２５の方へ上位（例えば、上方）方向に進められる。ウエハがフェイスプレート２５（図１を参照）からの近距離（例えば、４００−７００ミル）になると前進は止まる。ウエハ−プロセス位置で、チャンバ９０は、サセプタ５の上面より上の第１のゾーン及びサセプタ５の下面の下の第２のゾーン２つのゾーンに事実上分割される。一般に膜形成を第１のゾーンに限定することは、望ましい。
【００６４】
この点で、ガスパネルによって制御されるプロセスガスは、ガス分散ポート２０を通り、ブロッカプレート２４、穿孔されたフェイスプレート２５を通り、チャンバ９０に流れる。プロセスガスは、膜をウエハの上に形成するために、ウエハと一般的に反応するか又は接触する。同時に、不活性ボトムパージガス（例えば、窒素）が、そのゾーンでの膜形成を禁止するために第２のチャンバゾーンに導入される。圧力制御システムでチャンバ９０の圧力が確立され、チャンバ９０に結合するレギュレータ又は圧力レギュレータによって維持される。一実施形態において、例えば従来技術において周知のように、圧力はチャンバボディ４５に結合するベアトン(baretone)圧力レギュレータによって確立されて維持される。本実施形態において、ベアトン圧力レギュレータは、１００Ｔｏｒｒ以上のレベルで圧力を維持する。好適な中間レベル圧力範囲はほぼ１００〜３００Ｔｏｒｒである。
【００６５】
残留処理ガスは、チャンバ本体４５の側部（真空ポンプアウト３１）で、チャンバ９０から、ポンピングプレート８５を通って、コレクション容器まで、真空引きされる。ポンピングプレート８５は、基板上に均一なＳｉ3Ｎ4層を生成するガス流パターンを生じさせる２つの流れ領域を生成する。
【００６６】
装置２の外側に配置されたポンプ３２は、（図１−図３内のチャネル４１４下方の）真空引きチャネル４１４０内で真空圧力を提供し、処理ガスとパージガスの両方をチャンバ９０から真空ポンプアウト３１を通して引き出す。ガスは、放電導管３３に沿ってチャンバ９０から放出される。チャネル４１４０を通じて放出されるガスの流量は、導管３３に沿って配置されたスロットルバルブ３４により制御されるのが好ましい。処理チャンバ９０内の圧力は、センサ（図示せず）によってモニタされ、スロットルバルブ３４を用いて導管３３の横断面積を変えることにより制御される。チャンバ圧を表示し、それに応じてスロットルバルブ３４を調節し、チャンバ９０内で所望の圧力を維持するセンサから、コントローラまたはプロセッサが信号を受けるのが好ましい。本発明を用いて使用される適切なスロットルバルブは、マードックに対し発行されアプライドマテリアルズ社に譲渡された、完全な開示内容が本願に参考により導入される、米国特許第５，０００，２２５号に記述されている。
【００６７】
ひとたびウエハ処理が終了すると、チャンバ９０は、例えば不活性ガス（例えば、窒素）によりパージされる。処理およびパージの後、ヒータ８０は、リフターアセンブリ６０により、図２に示される位置まで、下位の方向に進められる。開口または通し孔を通ってサセプタ５内に伸びる端部と、サセプタ５の下位（下部）の面から片持ち梁様式に伸びた第２端部とを有する、リフトピン９５は、ヒータ８０が移動すると、チャンバ９０の基部に位置されたリフトプレート７５に接触する。図２に示されるように、一実施例において、この地点で、リフトプレート７５は、ウエハ処理位置（図１においてプレートが存在した同一位置）に残る。ヒータ８０がリフタアセンブリ６０を介して下位方向に移動を続けると、リフトピン９５は、静止したままになり、最終的にはサセプタ５の上位または上面の上方に伸び、処理済みウエハをサセプタ５の表面から分離する。サセプタ５の表面は、開口４０の下方に移動する。
【００６８】
一旦、処理済みウエハがサセプタ５の表面から分離されると、ロボット機構の搬送ブレード４０は、リフトピン９５のヘッド、および当該リフトピンにより支えられたウエハの下にある開口４０を通って挿入される。次に、リフターアセンブリ６０は、ヒータ８０とリフトプレート７５を、ウエハ装填位置まで、下位に移動（下降）させる。下位方向にリフトプレート７５を移動させることにより、処理済みウエハが搬送ブレードに接触するまで、リフトピン９５も同様に下位方向に移動する。ウエハを取り外し次の処理ステップにウエハを搬送する例えばロボット搬送機構により、処理済みウエハは、その後、入り口４０を通って排除される。第２のウエハは、それから、チャンバ９０に装填されてもよい。上記したステップは、処理位置にウエハを持ってくるため、一般に逆にされる。一つの適切なリフターアセンブリ６０は、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアルズ社に譲渡された米国特許第５，７７２，７７３号に記載されている。
【００６９】
例えばＳｉ3Ｎ4膜を形成する為のＬＰＣＶＤ処理等の高温動作において、チャンバ９０内の反応温度は、７５０℃以上のような高い温度でもよい。したがって、チャンバ９０内に露出される構成部品は、この種の高温処理にて共存できなければならない。この種の材料も、処理ガスや、チャンバ９０に導入される可能性がある他の化学物質（例えば、ＮＦ3）と共存すべきである。材料が処理と共存できるのであれば、ヒータ８０の露出面は、様々な材料から構成されてもよい。たとえば、ヒータ８０のサセプタ５とシャフト６５は、同様のアルミニウム窒素化合物材料から構成されてもよい。代替え的に、サセプタ５の表面は、（１４０ W/mKから ２００ W/mKの熱伝導性を有する９５％純度レベルの）高い熱伝導性アルミニウム窒素化合物から構成されてもよいが、シャフト６５は、低い熱伝導性アルミニウム窒素で構成される。ヒータ８０のサセプタ５は、通常、拡散ボンディングや鑞付けを介してシャフト６５に結合されるが、これは、そのような結合がチャンバ９０の環境に等しく耐えるからである。
【００７０】
図１も、サセプタ５の本体横断面とシャフト６５の横断面を含む、ヒータ８０の一部の横断面を示す。この図において、図１はサセプタ５の本体を示し、その中には２つの加熱素子（第１加熱素子５０、第２加熱素子５７）が形成されている。各加熱素子（例えば、第１加熱素子５０、第２加熱素子５７）は、サセプタの材料に似た熱膨張特性を備えた材料で作られている。適切な材料には、モリブデン（Ｍｏ）がある。各加熱素子は、コイル状に巻かれた構成のモリブデン材の薄膜を含む。
【００７１】
図１において、第１加熱素子５０に対し（図のサセプタ面に関し）下位に置かれたサセプタ５の本体の平面に形成されている。第１加熱素子５０と第２加熱素子５７は、別々に電源ターミナルに結合されている。電源ターミナルは、下位方向に、導電性リードとして、長手方向に伸びた開口通しシャフト６５を介して、電源に伸びており、電源は、サセプタ５の表面を加熱する必要エネルギーを供給する。チャンバリッドの開口を通って伸びているのは、２つのパイロメータ（第１パイロメータ１０，第２パイロメータ１５）である。各パイロメータは、サセプタ５の表面（または、サセプタ５上のウエハの表面）の温度に関する情報を提供する。また、図１に示されるように、ヒータ８０の横断面における記号は、熱電対７０の存在を意味する。熱電対７０は、長手方向に伸びた開口通しシャフト６５を通って、サセプタ５の上位または上面の丁度下方まで伸びている。
【００７２】
ウエハ上にＳｉ3Ｎ4を形成する本発明の一実施例によると、ガスには、キャリアガス２００，窒素ソースガス２２０、シリコンソースガス２１０がある。適切なキャリアガスソースは、水素（Ｈ2）、窒素（Ｎ2）、アルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈe）を含むが、これらに限定されるものではない。適切な窒素ソースガスは、アンモニア（ＮＨ3）を含むが、これらに限定されるものではない。適切なシリコンソースガスは、シラン、二塩化シラン、ジシランを含むが、これらに限定されるものではない。窒素ソースガスおよびシリコンソースガスは、ウエハ上にＳｉ3Ｎ4層を生成する為に結合する。
【００７３】
使用において、シリコンソースガス２１０は、処理チャンバ９０に導入前または導入中、キャリアガス２００と混合される。キャリアガスおよびシリコンソースガスの混合物は、その後、チャンバ９０のガス入口２０に導入される。窒素ソースガス２２０も同様に、ガス入口２０に導入され、キャリアガスとシリコンソースガスの混合物と混合し得る。処理ガスは、ブロッカプレート２４内の複数の孔を通過し、その後、フェースプレート２５内の複数の孔を通過する。これらのガスは、その後、ガスが水に晒されるチャンバ９０内に流される。その後、処理ガスは、ポンピングプレート８５を通り、ポンピングチャネル４１４内に出る。
【００７４】
ガスの流量は、半導体処理チャンバ９０の大きさに依存する。一実施例において、ガスの全流量は、１から９リットルの処理チャンバの全有効容積に基づくと、１分間当たり、５リットルから１５リットルの範囲にある。チャンバに関連する、少なくとも一つのガス流量または全ガス流量は、１リットルチャンバ容積当たり、かつ１分当たり、０．５から８リットルである。
【００７５】
ガスの混合物に対するウエハの露出は、化学気相堆積法原理に従い、ウエハ上に、窒化シリコン（Ｓｉ3Ｎ4）層を堆積させる。高温でガスをウエハに露出することにより、より小さい分子にシリコンソースガス及び窒素ソースガスの分子が解離される。より小さい分子は、その後、互いに再結合する。以下に提供されるのは、この処理で起こる一般的な化学反応である。シランは、化学式によると、一般的にアンモニアと反応する。
【００７６】
３ＳｉＨ4+４ＮＨ3-> Ｓｉ3Ｎ4+１２Ｈ2
一般法則によれば、チャンバ９０の温度が、従ってウエハとサセプタの温度が、高ければ高いほど、窒化シリコン層は速く形成される。
【００７７】
一実施例において、１００毎分標準立法センチメートル（sccm）のＳｉＨ4、５毎分標準リットル（slm）のＮＨ3、１０slmのＮ2の割合で、ＳｉＨ4、ＮＨ3、Ｎ2が導入されるが、ウエハは６００℃から８００℃の間の温度に加熱される。堆積中、チャンバ内の圧力は、１００から５００Torrに維持される。適切な中間レベルの圧力範囲は、１００Torrから３５０Torrより大きい範囲である。一実施例において、シランの分圧は、ほぼ、０．０５から５Torrの範囲にあり、アンモニアは、チャンバ内で３００Torr以下の分圧を有する。しかし、使用される特定ガスに依存する可能性のある他の分圧は、シリコン及び窒素ソースガスに対し使用してもよい。
【００７８】
他の実施例において、以下の比率（ＳｉＨ4:７０sccnm ＮＨ3:２slm, Ｎ2:８slm）でガスが使用されてもよい。更に他の実施例において、以下の比率（ジクロロシラン（ＳｉＨ2Ｃｌ2）:２３０sccnm ＮＨ3:１０００sccm, Ｈ2:９０００sccm）でガスが使用されてもよい。Ｎ2がキャリアガスとして使用される場合、６００℃という低い温度で、毎分約５０〜５０００Åの堆積速度が達成される。
【００７９】
上記実施例は、ウエハ上にＳｉ3Ｎ4膜を形成する為の反応チャンバ内の制御条件が記述されている。この種の制御は、手動あるいはシステムコントローラの援助を持って行われることが分かっている。前例において、オペレータは、温度を制御する為にヒータに対する電源をモニタして調整し、圧力を制御する為に真空ソースをモニタして調整してもよい。オペレータは、また、混合物やガス流量を調整する為に、個々のガスに結合されたバルブを手動で調整してもよい。
【００８０】
また、システム制御に伴う制御タスクを扱う為に、システムコントローラが使われてもよい。図１は、電源及びガスマニフォールドに結合されたプロセッサまたはシステムコントローラを図示する。コントローラは、温度インジケータで測定される温度を記録し、例えば、温度差の相対値を決定し、それに応じて、加熱素子を調整するアルゴリズムに基づき、その加熱素子に供給されるパワーを制御するように、構成されてもよい。コントローラは、また、処理チャンバに対し、ガスの混合および流量を制御するように構成されてもよい。ＬＰＣＶＤ反応処理において、コントローラは、更に、チャンバと真空ソース内の圧力を測定する真空ソース圧力インジケータに結合され、チャンバ内の圧力を調整してもよい。
【００８１】
システムコントローラは、制御信号発生ロジックを供給される。コントローラは、また、オペレータに反応パラメータ（所望の反応温度、インジケータ間の許容可能な温度差の誤差（例えば、３℃）、反応圧力、処理チャンバに対するガス流量）を入力させるユーザインターフェースに結合されてもよい。
【００８２】
制御信号発生ロジックは、コントローラのメモリのようなコンピュータ読み取り可能な媒体に記憶されたコンピュータプログラムである、例えばソフトウエアインストラクションの形式で、システムコントローラに供給される。コンピュータプログラムは、タイミング、ガス混合物、チャンバ圧力、チャンバ温度、特定処理の他のパラメータを指示する一連のインストラクションを含む。フロッピィディスクに限定されるわけではないが、フロッピィディスクを含む他のメモリ装置に記憶されたような他のコンピュータプログラムが、システムやコントローラを動かす為に使用されてもよいことは理解されよう。
【００８３】
コンピュータプログラムコードは、コンピュータ読み取り可能なプログラミング言語（例えば６８０００アセンブリ言語、Ｃ、Ｃ++、パスカル、フォートラン他）で書き込むことができる。適切なプログラムコードは、一般に、テキストエディタを用いて、単一ファイルや複数ファイルに入力される。入力されたコードテキストが高級言語であり、コードがコンパイルされて得られたコンパイラコードが、その後、オブジェクトコードまたはコンパイル前のオブジェクトコードにリンクされる場合、システムはオブジェクトコードを呼び出し、コンピュータシステムにメモリ内でコードをロードさせ、そこから、中央処理装置がコードを読み、実行し、プログラムに特定されたタスクを行う。
【００８４】
本発明の一態様では、処理/反応ガス分配の均一性を改良する装置と方法を説明する。上述したように、処理ガス（例えば、シリコンソースガス、窒素ソースガス）は、（キャリアガスとともに）ガス分配ポート２０を通してチャンバ９０内に導入される。サセプタ５の表面上のウエハ表面にわたり、処理ガスのカスケードのようなシャワーヘッドを作る、ブロッカプレート２４及びフェースプレート２５を通して、処理ガスは流れる。ガスがチャンバ９０に導入されるとき、所定圧力が処理中に維持されるように、ガスもまた排除される。図１から図３に示されるチャンバ構成では、ガスはチャンバの片側から排気され、例えば、真空ポンプアウト３１として示した片方側からポンプ排気される。従来のシステムでは、チャンバの片側からの非対称的な排気によりチャンバ内には圧力差が生じ、例えば、チャンバ内のチャンバポンプアウト付近の点で測定した圧力は、ポンプアウトから遠い点で測定した圧力と異なる（より小さい）。この圧力差は、ウエハ上の膜堆積の非均一性を招いていた。
【００８５】
本発明の一実施例では、チャンバ内のガス流れを導くようポンピングプレートが提供されている。本発明のポンピングプレートは、２つのガス流量領域（サセプタ５の表面上のウエハに導かれた処理ガスの第１流量領域、主としてチャンバから放出されるガスのポンピングプレート周りの放射状チャネルによって規定される第２流量領域）を画成する。２つの領域を生成することにより、より大きなの均一圧力がチャンバ内で維持できる。本発明が意図しているのは、２つの流量領域間の静圧差が、チャンバ全体にわたって確立され、ウエハ全体の、より均一な膜堆積に貢献することである。
【００８６】
図４から図１０を参照して、チャンバ内の処理ガスの一様流を調整する為に利用される本発明の構成部品を、図１から図３に記述された抵抗加熱処理チャンバにおける、それらの使用に関連して詳細に説明する。図４は、処理チャンバの一部の概略的な横断側面図を示す。図４は、２つのガス流領域を図示する為に、一つの横断面を介して、ある位置におけるチャンバの一部を図示する。横断面は、ポンピングプレート８５に関しサセプタ５の配置を図示するため、チャンバの中心軸を通っている。ウエハ処理位置において、サセプタ５の一部は、ポンピングプレート８５（この横断面において、サセプタ５を囲むポンピングプレート８５の一部は、切欠図である）の環状開口内にある。
【００８７】
図４に図示されたように、ポンピングプレート８５は、チャンバ壁４５の内側チャンバ部４１に載っている。ポンピングプレート８５と内側チャンバ部４１の下側は、チャンバの周りを円周上に伸びるチャネル４１４０を画成する。同様のチャンバ領域の一部は、ウエハを装填及び排除するために入り口４０により利用されているので、チャネル４１４０は、完全にはチャンバ周りに伸びていない。一実施例において、チャネル４１４０は、チャンバ周りに、ほぼ伸びている。真空ポンプアウト３１は、チャンバからガスを放出する為に、チャネル４１４０にリンクしている。
【００８８】
図４に示すように、ポンピングプレート８５は、（この図では）フェースプレート２５に対し、細長いか垂直な壁の円周端部を形成する、垂直環状第１階段部４６４を含む。第２階段部４６６は、円周縁から突出する横方向部分を備える。第１階段部４６４と第２階段部４６６は、共に、フェースプレート２５、チャンバ壁４０、ポンピングプレート８５間のチャネル４１４を画成する。垂直壁は、処理ガスが（サセプタ５のウエハポケット６に置かれる）ウエハに向けられる第１流領域１０００を、ガスがチャンバから放出される第２領域１０１０から分離する。第１流領域１０００からガスは、ポンピングプレート８５の第１部４６４周りに伸びる円周上に配置された孔（ガス孔４９０）を通って、第２流領域１０１０に入る。第２流領域１０１０内のガス流は、放射状であり、第２流領域１０１０は、チャンバからガスを排除する為にチャネル４１４０に連通している。
【００８９】
図５及び図６は、チャンバを通る処理ガスの全体的な流れ方向の概略図を示す。図５は、チャンバを貫通した横断面であり、サセプタ５の一部を囲むポンピングプレート８５を示す。図５には、チャンバのガス入り口を通って入り、ブロッキングプレート２４とフェースプレート２５を通過する、処理ガスが図示されている。第１流領域１０００において、処理ガスは、サセプタ５の表面に到達し、サセプタ５のポケット６内のウエハと反応し、例えば、Ｓｉ3Ｎ4 又は他の所望の材料（ＳｉＯ2、ポリシリコンなど）の膜を形成する。底部のパージガス１０３０と残留処理ガスは、チャンバから放出される第２流領域１０１０に向けられる。ガスは、ポンピングプレート８５周りに間隔を開けて円周上に配置されたガス孔４９０により、第２流領域１０１０に入る。この実施例において、ガス孔４９０は、処理中、サセプタ５上のウエハ上面の上方にくるように位置している。一般に、ヒーターがウエハ処理位置にあるとき、ガス孔４９０は、少なくとも、ウエハレベル又はウエハ上方に位置している。
【００９０】
図６は、ポンピングプレート８５に入出するガスの処理の流れを示す。図６は、抵抗ヒータ、チャンバリッド、ブロッキングプレート、フェースプレートを持たない頂部の斜視図である。図６は、実質的にサセプタを囲み、第２流領域１０１０を画成する、概略Ｕ字状のポンピングチャネル４１４を示す。放射状に向きが定められたガス孔４９０は、ポンピングプレートの全周付近に位置し、ポンピングチャネル４１４と連通する。ポンピングプレート８５の側壁にあるガス孔４９０は、ガスをポンピングチャネル４１４内で水平に流れさせる。ポンピングチャネル４１４は、チャネル４１４内の広い２つの開口（ポンピングプレート８５の横方向の第２階段部４６６の断面欠如により画成された開口）と連通している。第２階段部４６６は、２つのフランジ部分（図７参照）から構成されている。一つのフランジ部分は、チャネル４１４を入り口４０から隔離するが、第２のフランジ部分は、チャネル４１４を、真空ポンプアウト３１により占有されたチャネル４１４０の領域から分離する。このようにフランジ部分を構成することは、チャネル４１４における等圧を維持するのを助ける。
【００９１】
ポンピングプレート８５の第１の階ステップ状部分４６４にあるガス孔４９０は、互いに間隔を開けて実質的に均一に配置されて、図６に示されている。その上、ガス孔は、ポンピングプレート８５の第１階ステップ状部分４６４内で、全体的にセンタリングされている。ポンピングプレート８５の側壁におけるガス孔４９８と、第１流領域１０００及び第２流領域１０１０の分割との配置は、第１流領域１０００と第２流領域１０１０間の一貫した圧力差をつくる。この特徴によって、チャンバ内のガス流は、従来構成より、いっそう一様になる。従来技術において、ポンピングプレートは、ポンピングプレートに沿った様々な地点で様々な圧力差を有しており、これが、一様でないガス流領域が生じさせた。
【００９２】
図７から図１２は、本発明のポンピングプレートの一実施例または実施例の一部の異なる図を示す。図７は、上から見た斜視図、図８は、平らな側面図、図９は、平らな上面図、図１０は、平らな底面図である。図１１から図１２は、一定の特徴をより明らかに記述する為に、ポンピングプレートの一部を示す。
【００９３】
ポンピングプレート８５は、概略環状部材４６０を備える。一実施例において、部材４６０は、アルミニウム合金、好ましくはC２７５アルミニウム合金のような、処理互換性金属を備える一体片であり、特定半導体処理チャンバ内部に適合するように適切に形成される。C２７５アルミニウム合金は、コロラド州エンゼルウッドにある、アルコアアドバンストテクノロジ社から商業的に入手可能である。部材４６０は、部材４６０の異なる部分を備えた金属の、単一の一体片から構成されるのが好ましいが、ポンピングプレート８５は、一緒に連結され、又は結合された複数片から構成されてもよい。
【００９４】
ここで説明された特定構成において、部材４６０は、第１階ステップ状部分４６４、第２階ステップ状部分４６６、第３階ステップ状部分４６８を含む。第１階ステップ状部分４６４は、垂直側壁を形成し、チャネル４１４を画成し、第１流領域１０００から第２流領域１０１０を分離する。第２階ステップ状部分４６６は、ポンピングチャネル４１４の床や横方向部分を画成する。第３階ステップ状部分４６８は、処理チャンバ内部の所定位置にポンピングプレート８５を整列させるのに役立つ。
【００９５】
図１〜３を参照して説明してきた８リットル用プロセッシングチャンバにおいては、第１のステップ状部分４６８の厚さは、約０．０６〜０．１０インチであり、好ましくは０．０６インチである。図８〜９を参照すると、第２のステップ状部分４６６の内径ＩＤ10は、例えば９．５７２インチであり、外径ＯＤ10は、例えば１１．２５インチである。第２のステップ状部分４６６の内径ＩＤ10は、サセプタ５の直径よりもわずかに大きいので、サセプタ５は、ポンピングプレート８５の環状部材４６０の開口内に適合する。１つの実施例においては、サセプタ５と第２のステップ状部分４６６の間には、約０．１２〜０．１８インチの間隙がある。第１のステップ状部分４６４のＩＤ20は、１０．４インチである。第１のステップ状部分４６４のＯＤ20は、１０．９インチである。図１１に示すように、本実施例におけるポンピングプレート８５の高さ４８８は、１．２０インチである。ポンピングプレートのベース４８９（第３のステップ状部分４６８のベース）と、第１のステップ状部分４６４を通って伸張しているガス孔４９０の中央点との間の間隔は、０．７２８インチである。
【００９６】
第２のステップ状部分４６６は、ＯＤ10からＯＤ11へと外径が伸張する２つのフランジ部分を備えている。ＯＤ11の直径は、１２．９３インチの値からの範囲である。各々のフランジ部分は、それぞれ、環状部材４６０の第１部分と第２部分の２つの半径の間に規定されるアークに比例する領域を有している。図９は、５５°のアークに比例する領域を有する、２セクションの各々のフランジを示す。
【００９７】
第２のステップ状部分４６６（例えば、側部部分）のフランジ部分は、チャネル４１４及び第２の流領域１０１０のベースを規定する。チャネル４１４０及び真空ポンプアウト３１への開口が、各々のフランジ部分の間に供給されている。１つの実施例において、フランジ部分間の領域は、７０°のアークに比例している。
【００９８】
図１０の底面図に示されるように、第３のステップ状部分は、ポンピングプレート８５がチャンバの内側部分４１上に静止するための座席の作っている。本実施例において、第３のステップ状部分４６８は、第２のステップ状部分４６６のフランジ部分のうちの１つの領域に類似する領域と一致している単一のリップ部分を含んでいる。一つの態様では、リップ部分は、チャンバ内のポンピングプレート８５の向きを定めるために役に立っている。
【００９９】
ポンピングプレートの第１のステップ状部分、第２のステップ状部分、第３のステップ状部分のそれぞれの直径は、個々の堆積装置の特性に左右される。これらの特性とは、穿孔フェースプレート（多孔プレート）２５の直径、ポンピングチャネル４１４とチャンバ９０の間の半径方向距離、サセプタ５の高さ（例えば、チャネル４１４とチャンバ９０との間の軸方向距離）、及びサセプタ５の直径等である。
【０１００】
ポンピングプレート８５は、第１の流領域１０００をチャネル４１４及び第２の流領域１０１０と通じさせる第１のステップ状部分４６４の側壁を通してガス孔４９０を備えている。１つの実施例において、４８個のガス孔４９０がポンピングプレート８５にある。特に、図７〜８に示されるように、ガス孔４９０は、ガス孔４９０を通してプロセスガスの均一吐出しを容易にするために、ボデー部材４６０の環状開口４６２のまわりに円周上に間隔をあけて置かれている。１つの構成では、１つのガス孔４９０は、他のガス孔４９０から、７．５°の間隔に置かれている。図１１は、ポンピングプレート８５の一部を拡大した側面平面図を示す。図１２は、１つのガス孔を拡大した平面図を示す。図１２は凹形側壁を有するガス孔４９０を示し、ガス孔の外径４９６は、ガス孔の注入口及び排気坑で、ガス孔の内径４９４よりも大きい。凹形の側壁は、不均一なガス流動の一因となるかもしれないガスの乱流生成を減らすために滑らかであることが好ましい。また、ガス孔４９０の凹形状は、特定のガス孔の各々を通っての流れを制限するのに役立つ。これは、全てのガス孔を通して均一な流れが増大する一因である。図１１〜１２に示されるように、ガス孔４９０は、ポンピングプレート８５を通って実質的にはまっすぐに伸びている。１つの実施例において、ガス孔４９０は、約０．１２０〜０．１３０インチの範囲の直径を有する。より好ましくは、直径の範囲は、０．１２２〜０．１２５インチである。
【０１０１】
プロセスガスは、比較的狭いガス分配ポート２０（図１〜３）を介して、プロセッシングチャンバに入る。均一にプロセスガスを分配するために、本発明のプロセッシングチャンバは、ブロッカプレート２４及びフェースプレート２５を備えている。図１３は、ブロッカプレート２４の平面図を示す。ブロッカプレート２４は、実質的には円形状であって、円周に配置された結合孔を介して、チャンバふた３０に連結されている。ブロッカプレート２４は、穿孔フェースプレート２５にブロッカプレート２４を結合するのための貫通孔２３を有している。図１〜３を参照して説明した８リットルのプロセッシングチャンバに適している実施例においては、ブロッカプレート２４は、０．０１０インチ〜０．０２０インチの範囲の直径、好ましくは０．０１４インチ〜０．０１６インチの範囲の直径を有する、１１２２個の貫通孔２３を有する。本実施例において、貫通孔２３は、一般的に円パターンに配置されている。ブロッカプレート２４は、約０．１８０〜約０．１９０インチの範囲の厚さを有している。好ましくは、ブロッカプレート２４の厚さは、０．１８５インチである。ブロッカプレート２４は、ブロッカプレート２４の領域にわたって、ガス分配ポート２０を介して、プロセスガスの比較的狭い流れを広めることによって、チャンバボデー４５内にガスの均一な流れを作るのを援助している。
【０１０２】
図１４及び１５は、フェースプレート２５の上面平面図及び側面平面図をそれぞれ示す。図１６は、フェースプレート２５の一部の横断面側平面図を示す。フェースプレート２５は、円形状である。１つの形態では、フェースプレート２５は、ウエハにわたってプロセスガスを均一に分配することを援助する。ガスがフェースプレート２５に接触すると、ブロッカプレート２４の周囲領域にすでに再分配されているプロセスガスがさらに制限される。１つの実施例において、フェースプレート２５の貫通孔は、ブロッカプレート２４の貫通孔と同様の直径を有する。
【０１０３】
フェースプレート２５は、実質的には円形状であって、周囲に配置された固定裂孔２６を介してチャンバふた３０に連結されている。フェースプレート２５の中心部の貫通孔２７は、フェースプレート２５を通って伸張している。上述した８リットルのプロセッシングチャンバの実施例において、穿孔フェースプレートの内径は、約９．１０〜９．３０インチの範囲であり、穿孔フェースプレート２５の外径は、約１０．７〜１０．１０インチである。フェースプレート２５は、２つのステップ状部分を含んでいる。チャンバにフェースプレート２５を連結する外面部分３１の厚さは、約０．８００インチである。一方、貫通孔２７を有する内側部分３２は、約０．４００インチである。
【０１０４】
１つの実施例において、穿孔フェースプレート２５の注入口側面の貫通孔２７は、プロセスガスがチャンバの反応部分に入る、排気坑側面よりも大きな直径を有する。この１つの理由は、材料中に適切な直径の貫通孔を形成することの機械的拘束である（例えば、ドリルの刃先の損壊）。図１６は、穿孔フェースプレート２５にある貫通孔２７の注入口と排気坑の直径の相違を示す。各々の貫通孔への注入口２８Ａは、（ガス注入口は、ブロッカプレート２４に隣接している穿孔フェースプレート２５の上位側面にある）約０．６２インチの直径を有し、この直径は、０１６インチの排気坑直径２８Ｂよりも大きい。ガス孔の深さは、約０．４００インチである。より小さな直径開口部は、約０．０３０インチの長さ（参照符号２９によって表されている）を有する。
【０１０５】
以下、本発明による半導体ウエハのプロセス方法について説明する。まず、ロボットウエハ搬送システムの支持ブレード（図示せず）を使って、サセプタ５の上面の上にウエハを位置させる。従来の手段（例えば水圧エレベータ）を介して、プロセスチャンバ４５内の上部プロセッシング位置内へ、サセプタ５を上昇させる。その結果、ウエハはプレート８５中央の開口内に静止する。その後、チャンバ４５を、適切な真空圧に排気する。その一方で、ウエハ及びサセプタ５を適切に加熱する。プロセスガス（例えばＳｉＨ4及びＮＨ3）を、マニホルドヘッド（図示せず）のチャンバ内で混合し、ブロッカプレート２４を通して注入口２０に導入し且つ穿孔フェースプレート２５を介してウエハにわたって均一に分配させる。特定のプロセスに従い、プロセスガスはウエハに接触して膜（例えば酸化物又は窒化膜）を形成する。
【０１０６】
堆積プロセスの間、ポンプ輸送チャネル４１４内の真空圧を作り出すために、ポンプ３２を作動させる。そして、ポンプ輸送板８５の孔４９０を通して、プロセッシングチャンバ９０からプラズマ残留物及び／又はプロセスガスを出す。加えて、窒素等のパージガス（底部パージガス）１０３０を、注入口１８を通して方向付けて、サセプタとポンプ輸送板８５との間のギャップを通してプロセッシングチャンバ９０内へとに向けることができる。パージガスは、チャンバの下部へのプロセスガスの漏れを最小にする。残留ガス及びパージガスは、ガス孔４９０及びポンプ輸送チャネル４１４内へに均一に流れ込む。脱出するガスは、真空ポンプアウト３１を通って排出し且つライン３３に沿って排出する。
【０１０７】
ポンピングプレート８５は、ガス流を２つの流れ領域に分ける：第１の流れ領域１０００は、サセプタ５（又はサセプタ５上のウエハ）の表面に向けられており、第２の流れ領域１０１０は、チャネル４１４の中で、チャネル４１４０と通じている。１つの態様では、本発明は、第１の流れ領域で測定される圧力と第２の流れ領域１０３０で測定される圧力間の圧差が、チャンバのまわりでどの点においても同様であることを意図している。始終一貫した圧差は、チャンバを通してのより均一なガス流と、ウエハ上での均一な膜堆積とに寄与する。１００トールより大きいチャンバ圧力の範囲においてプロセスを作動すると、１００トール未満の範囲で作動する以前のプロセスに比べ、堆積速度にかなりの融通性が与えられ、ウエハ全体の温度感受性が減少する。温度感受性が減少することにより、従来の方法に比べてより均一な膜がウエハ上に堆積される。
【０１０８】
図１７は、輻射加熱されるプロセッシングチャンバを例示する。これまで、このようなチャンバが、１００トール未満のプロセス圧力又はそれに近いプロセス圧力で使われてきたが、これらの使用は、より高い圧入プロセスに適してもいる。１００トールよりも大きな圧力で作動することに対する設計考慮が意図される。単一基板リアクタ１３１は、上面壁１３２、側壁１３３、及び底部壁１３４を含んでおり、単一基板（例えばウエハ）がロードされるリアクタ１３１を画定している。ウエハは、円筒状に対称的であるウエハのための時間平均環境を供給するために、モータ１３７によって回転するサセプタ１０５上に取り付けられる。予加熱リング１４０は、チャンバ１３０内に支持され且つウエハを囲んでいる。ウエハ及び予加熱リング１４０は、リアクタ１３１の外に取り付けられた複数の高強度ランプ１３８及び１３９からの光によって加熱される。チャンバ１３０の上面壁１３２及び底部壁１３４は、光に対して実質的に透明であって、外部ランプ１３８及び１３９からの光がリアクタ１３１に入って、サセプタ１０５、ウエハ及び予予加熱リング１４０を加熱することを可能にしている。クオーツ（石英）は、上面壁１３２及び底部壁１３４用に有効な材質である。それは、クオーツが、可視及び赤外（ＩＲ）振動数の光に対して透明だからであり、これらの壁全域での大きな圧差を維持することができる比較的高い力価材質だからであり、そして、低速度の脱気を有するからである。
【０１０９】
堆積の間、反応ガスが加熱される予加熱リング１４０の全域へ、ウエハ上に所望の膜を堆積するために矢印１４１の方向のウエハ表面全域へ、そして、排気口３１１内へ、ガス入力ポートから反応ガス流が流れる。ガス入力ポートは、ガスマニホルド（図示せず）に連結されている。ガスマニホルドは、ガス入力ポート内への複数のパイプを介して、１種のガス又はガス混合物がリアクタ１３１に入るように供給している。これらのパイプの入力端部の位置、ガス濃度及び／又は、これらのパイプの各々を通しての流速は、プロセッシング均一性を最適化する反応物ガス流及び濃度のプロフィールをもたらすために選択される。基板の回転、並びに、ランプ１３８及び１３９からの熱が原因となる温度勾配が、リアクタ１３１のガス流プロフィールに影響を及ぼせるが、ガス流プロフィールの優位な形状は、ガス入力ポートから、予加熱リング１４０及びウエハ全域にわたり、排気口３１１への層流である。１つの実施例においては、ウエハの温度は、約６００℃〜約８００℃の範囲である。チャンバ内の圧力は、約１００〜約５００トールの範囲であり、適切な中間レベルの圧力範囲は、１００トールよりも大きく３５０トールまでである。また、より高い圧力（例えば、５００トールに近い圧力）が、堆積速度の融通性とウエハ全域での温度感受性の減少に寄与することは認識されよう。
【０１１０】
図１８は、輻射加熱プロセッシングチャンバ（例えば、図１７に関連して記載されたもの）において、本発明による方法を実行するためのシステム１００を例示しているブロック図である。システム１００は、ガスマニホルド１２０と、サセプタ１６０を収容しているプロセッシングチャンバ２５０と、半導体プロセッシングチャンバ２５０の領域を加熱するシステム１８０（この例では、放射熱システム）を含んでいる。プロセッシングチャンバ２５０は、スリット（図示せず）を有しており、このスリットを通して、プロセッシングチャンバ２５０内のサセプタ１６０上に、基板２６０（例えば、ウエハ）を挿入することができる。プロセッシングチャンバ２５０の一部は、クオーツ等の透明材質でできていてもよい。
【０１１１】
半導体プロセッシングチャンバ２５０の領域を加熱するシステム１８０は、プロセッシングチャンバ２５０の上方及び下方に配置され且つプロセッシングチャンバ２５０内に光エネルギーを方向付ける、加熱ランプ２４０Ａ、２４０Ｂ、２４０Ｃ及び２４０Ｄと、プロセッシングチャンバ２５０内の温度を測定する温度検出器３００（例えば温度計又は熱カメラ）と、コントローラ２８０とを含んでいる。
【０１１２】
温度検出器３００は、サセプタ下部面上の温度を検出するために、位置を定められ且つ一列に並べられている。温度検出器３００は、サセプタ１６０上で測定される温度を示すコントローラ２８０に信号を送る。コントローラ２８０は、電源２９０に連結されている。コントローラ２８０は、加熱ランプ２４０Ａ、２４０Ｂ、２４０Ｃ及び２４０Ｄの各々に電源２９０によって供給される電力を、温度検出器３００によって測定される温度に従い調節する。例えば、測定温度があまりに低くなる場合、加熱ランプ２４０Ａ、２４０Ｂ、２４０Ｃ及び２４０Ｄに供給される電力は増大される。加熱ランプ２４０Ａ、２４０Ｂ、２４０Ｃ及び２４０Ｄの各々に供給される電力は、互いに異なって選択できる。
【０１１３】
ガスマニホルド１２０は、プロセッシングチャンバ２５０に複数（例えば３種）ガスを供給することができる。この例では、ガスには、キャリアガス２００、窒素源ガス２２０及びシリコン源ガス２１０が含まれる。適切なキャリアガスソースには、水素（Ｈ2）、窒素（Ｎ2）、アルゴン（Ａｒ）及びヘリウム（Ｈｅ）が含まれるが、これらに限定されるわけではない。適切な窒素源ガスとしてはアンモニア（ＮＨ3）があるが、これに限定されるわけではない。適切なシリコン源ガスとしては、シラン、ジクロロシラン、ジシランがあるが、これらに限定されるわけではない。窒素源ガス及びシリコン源ガスは結合して、ウエハ２６０上にＳｉ3Ｎ4層をもたらす。
【０１１４】
使用に際し、プロセッシングチャンバ２５０に導入する前又は導入中に、シリコン源ガス２１０をキャリアガス２００と混合することができる。その後、キャリアガスとシリコン源ガスとの混合物は、半導体プロセッシングチャンバ２５０のベースリング（図示せず）内に導入される。また、窒素源ガス２２０も、ベースリングに導入され、キャリヤーガスとシリコン源ガスとの混合物と混合される。これらのガスは、半導体プロセッシングチャンバ２５０内へ流れ込み、そこでガスは、ウエハ２６０に晒される。ガスの流速は、プロセッシングチャンバ２５０の大きさによる。１つの実施例では、ガス全体の流速は、５リットル／分〜１５リットル／分の範囲であり、これは、１〜９リットルのプロセッシングチャンバのトータル有効容積に基づいたものである。チャンバ１リットルに対して、少なくとも１種のガス又は全体ガスの流速は、０．７〜５リットル／分である。ガス混合物にウエハを晒すことにより、熱化学気相堆積原理に従い、ウエハ２６０上に窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）層の堆積が起こる。ウエハは、ランプ２４０Ａ及び２４０Ｂと、サセプタ１６０とによって加熱される。チャンバ内に熱を発生させるために、ランプ２４０Ｃ及び２４０Ｄを使うこともできる。上昇した温度でガスにウエハを晒すことにより、シリコン源ガス及び窒素源ガス分子が小さな分子に分離する。その後、小さな分子は互いに結合する。
【０１１５】
１つの実施例では、１００標準ｃｍ3／分（ｓｃｃｍ）のＳｉＨ4、５標準リットル／分（ｓｌｍ）のＮＨ3、１０ｓｌｍのＮ2で、ＳｉＨ4、ＮＨ3及びＮ2が導入される。一方、ウエハ２６０は、６００℃〜８００℃の間の温度に加熱される。堆積の間、チャンバの圧力は、１００〜５００トールの間に維持される。もう１つの実施例では、以下の比でガスを使うことができる：ＳｉＨ4：７０ｓｃｃｍ、ＮＨ3：２ｓｌｍ、Ｎ2：８ｓｌｍである。さらにもう１つの実施例では、以下の比でガスを使うことができる：ジクロロシラン：２３０ｓｃｃｍ、ＮＨ3：１０００ｓｃｃｍ、Ｈ2：９０００ｓｃｃｍである。キャリアガスとして窒素が使われる場合、６００℃までの低温で約５０〜５０００Å／分の堆積速度を達成することができる。
【０１１６】
上述したプロセッシングチャンバ内でより高い圧力（例えば、１００トールを超える圧力）を使うことによって、より低いチャンバ温度を使うことができる。低温堆積は、多くの理由により望ましい。例えば、より低い温度での堆積は、ウエハのＰ又はＮドープ領域で不純物が拡散し出すリスクを減少させる。Ｐ又はＮドープ領域の外拡散は、トランジスタ等の電気的構成要素の操作に支障を引き起こす可能性があり、０．２５μｍ間隔のドープされた領域から不純物が外へ拡散することを防止又は減少させるには、１００〜５００トールの圧力範囲であることが好ましい。
【０１１７】
図１９は、表Ｉに示された第１の実施例に従って、ウエハ上に薄い窒化珪素膜を堆積する厚さマップである。図１８に示される厚さマップのために、４９点が測定された。エリプソメータを使って、膜の平均厚さは１００４．６Åであり、１%の正確度を有した。これにより、優れた膜均一性が約２０００Å／分の堆積速度で得られたことが示された。
【０１１８】
【表１】
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図２０は、表ＩＩに示された第２の実施例に従って、ウエハ上に薄い窒化珪素膜を堆積する厚さマップである。再び、図２０に示される厚さマップのために４９点が測定された。エリプソメータを使って、膜の平均厚さは９９．７２Åであり、１%の正確度を有した。これにより、優れた膜均一性が約３００Å／分の堆積速度で得られたことが示された。測定された膜の屈折率から、化学量論的膜であることが示された。
【０１１９】
【表２】
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本発明の窒化珪素薄膜は、例えば、シリコン基板にわたって、シリコン酸化物にわたって堆積されるか、又は、標準半導体素子プロセッシングに従って、酸化ケイ素層にはさまれて堆積される。窒化珪素を堆積する前に、基板を特別に前処理することは必要でない。しかし、単結晶シリコンであるにせよ多結晶シリコンであるにせよ、シリコン上に窒化珪素膜を直に堆積する前に、天然のシリコン酸化物が除去されてもよい。これは、窒化珪素堆積に使われるのと同じチャンバか、マルチ-チャンバ真空処理システムの他のチャンバにおいて、標準的前洗浄エッチング工程によって達成される。
【０１２０】
所望の厚さの窒化珪素膜を得るためにプロセッシングパラメータを変えることができる。堆積の間の温度は、例えば、約６００℃〜約８００℃で変えることができる。例えば、堆積温度を８００℃まで上げることによって、堆積速度を上げることができる。このことは、単一の基板プロセッシングチャンバ内において、特定速度で約１０００Åオーダーの厚さの厚い膜を堆積する場合に望ましい。また、堆積速度の変化に影響を及ぼすために、圧力を変えることもできる。一般に、圧力が増大するにつれて堆積速度は増大する。
【０１２１】
窒化珪素膜は、スタンドアロンＬＰＣＶＤチャンバにおいて堆積することができる。あるいは、このようなチャンバはマルチ-チャンバ真空処理システムの部分であることが好ましい。このような場合、本発明のプロセッシングチャンバは、中央搬送チャンバからＬＰＣＶＤチャンバに基板を搬送するために、又はＬＰＣＶＤチャンバから基板を搬送するために、その側壁にポートを有する。
【０１２２】
図２１は、ウエハ上に窒化珪素を堆積する速度が、ウエハ温度、チャンバの圧力、シランガスに対するアンモニアガスの比の流速と関連して示される本発明の１つの実施例を示す。チャンバの圧力は、約１００トール〜２７５トールまで変化した。
【０１２３】
図２２は、チャンバの圧力が約１００トールで維持される本発明の他の実施例を示す。一般に、温度が増大するにつれて窒化珪素の堆積速度は増大する。
【０１２４】
基板プロセッシングチャンバの特定の種類に関して本発明を記載してきたが、装置及び設計の変更は、当業者によってなされ得ることであり、本願明細書に含まれる。本発明は、添付の請求の範囲によって制限されるのみである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一具体例に従った、「ウエハ処理」のポジションにある、抵抗ヒータを備える処理チャンバの側面断面図であり、チャンバの半分ずつ、第１の断面図と第２の断面図に分かれている。
【図２】  図１と同様の側面断面図であり、ウエハ取り出しのポジションにある。
【図３】  図１と同様の側面断面図であり、ウエハ搬入のポジションにある。
【図４】  本発明の一具体例に従った、ポジションにある、処理チャンバの一部の側面断面図である。
【図５】  本発明の一具体例に従った、ポジションにある、処理チャンバの一部の別の側面断面図である。
【図６】  本発明の一具体例に従った、チャンバリッドを取り外した処理チャンバの一部の上面斜視図である。
【図７】  本発明の一具体例に従った、ポンピングプレートの上面斜視図である。
【図８】  本発明の一具体例に従った、ポンピングプレートの側面図である。
【図９】  本発明の一具体例に従った、ポンピングプレートの上面図である。
【図１０】  本発明の一具体例に従った、ポンピングプレートの底面からの図である。
【図１１】  本発明の一具体例に従った、ポンピングプレートの側面断面図である。
【図１２】  本発明の一具体例に従った、シングルガス孔プレートを有するポンピングプレートの側面図である。
【図１３】  本発明の一具体例に従った、ブロッカプレートの上面図である。
【図１４】  本発明の一具体例に従った、フェースプレートの上面図である。
【図１５】  本発明の一具体例に従った、フェースプレートの側面断面図である。
【図１６】  本発明の一具体例に従った、フェースプレートの一部の側面断面図である。
【図１７】  枚葉式放射加熱チャンバの断面概略図である。
【図１８】  本発明の一具体例に従った方法を実施するために用いられるシステムを例示するブロック線図である。
【図１９】  本発明の一具体例に従って堆積された膜の厚み測定を例示する厚みマップである。
【図２０】  本発明の一具体例に従って堆積された膜の厚み測定を例示する厚みマップである。
【図２１】  本発明の一具体例を示すものであり、ウエハ上に堆積した窒化珪素の堆積速度を、チャンバ圧力、シランガス流量、アンモニアガス対シランガスの流量比に対して示す。
【図２２】  本発明の一具体例を示すものであり、圧力が約１００Torrにおいて、窒化珪素の堆積速度を温度に対して示す。
【符号の説明】
３１…真空ポンプアウト、３２…ポンプ、４５…チャンバ本体、８５…ポンピングプレート、９０…チャンバ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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