(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スタブ調整可能素子の調整依存量を調整する方法であって、
前記スタブ調整可能素子の所望の調整依存量を選択するステップと、
調整スタブの２つの導電性ランナを前記調整スタブに沿う第１の位置で電気的に短絡するステップと、
前記調整スタブに沿う前記第１の位置での電気的短絡に起因する実際の調整依存量を決定するために、前記スタブ調整可能素子を試験するステップと、
前記実際の調整依存量に応じて、前記スタブ調整可能素子の前記所望の調整依存量を生成するために、短絡部が位置付けされるべき前記調整スタブに沿う第２の位置を決定するステップと、
前記調整スタブに沿う前記第２の位置で前記短絡部を形成すべく前記調整スタブの前記２つの導電性ランナを電気的に短絡するために、自動位置決め装置を用いるステップとを含む方法。
【請求項２】
調整スタブの２つの導電性ランナを前記調整スタブに沿う第１の位置で電気的に短絡する前記ステップは、自動位置決め装置を用いて、前記２つの導電性ランナを短絡するステップを含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
自動位置決め装置を用いる前記ステップは、ワイヤをワイヤ接着して、前記２つの導電性ランナを電気的に短絡するステップを含む請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記調整スタブに沿う前記第１の位置で電気的な前記短絡を解消するステップを更に含んでいる請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記スタブ調整可能素子の前記所望の調整依存量を生成するために、短絡部が位置付けされるべき前記調整スタブに沿う第２の位置を決定する前記ステップが、前記第１の位置からの移動量として前記第２の位置を決定する請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記スタブ調整可能素子の前記所望の調整依存量を生成するために、短絡部が位置付けされるべき前記調整スタブに沿う第２の位置を決定する前記ステップが、前記スタブ調整可能素子上の既知の基準または基準のセットに対する前記第２の位置を決定するステップを含む請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記スタブ調整可能素子が発振器である請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記調整依存量が周波数である、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
スタブ調整可能素子を調整する方法であって、
前記スタブ調整可能素子の所望の調整依存量を選択するステップと、
調整スタブの２つの導電性ランナを前記調整スタブに沿う第１の位置で電気的に短絡するステップと、
前記調整スタブに沿う前記第１の位置での電気的短絡に起因する実際の調整依存量を決定するために、前記スタブ調整可能素子を試験するステップと、
前記実際の調整依存量に応じて、前記スタブ調整可能素子の前記所望の調整依存量を生成するために、短絡部が位置付けされるべき前記調整スタブに沿う第２の位置を決定するステップと、
前記導電性ランナに沿って、前記第１の位置に近接した、所定数の可能性のある第２のスタブ短絡位置を定めるステップと、
前記実際の調整依存量と前記所望の調整依存量との間の差に応じて、前記第１の位置と前記第２の位置との間の移動量を計算するステップと、
前記第１及び第２の位置の間の移動量に応じて、前記第２の位置として前記所定数の可能性のある第２のスタブ短絡位置のうちの１つを選択するステップと、
前記調整スタブに沿う前記第２の位置で前記短絡部を形成すべく前記調整スタブの前記２つの導電性ランナを電気的に短絡するために、自動位置決め装置を用いるステップとを含む方法。
【請求項１０】
前記第１の位置に近接した、所定数の可能性のある第２のスタブ短絡位置を定める前記ステップが、
前記導電性ランナに沿って等しい間隔で前記所定数の可能性のある第２のスタブ短絡位置を定めるステップを含む請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記第１の位置に近接した、所定数の可能性のある第２のスタブ短絡位置を定める前記ステップが、
前記第１の位置に関して可能性のある第２のスタブ短絡位置の非対称の分布を定めるステップを含む請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記第１の位置に近接した、所定数の可能性のある第２のスタブ短絡位置を定める前記ステップが、
前記第１の位置に関して可能性のある第２のスタブ短絡位置の対称の分布を定めるステップを含む請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
スタブ調整可能素子を調整する装置であって、
前記スタブ調整可能素子が製作される基板を受けるワイヤ・ボンダを含み、前記スタブ調整可能素子は、２つの導電性ランナを備える調整スタブを含み、前記装置はさらに、
前記基板と関連する独自の基板識別子を決定する検出器と、
試験セットとを含み、前記試験セットは、前記調整スタブに沿う第１の位置で前記導電性ランナ間の第１のスタブ短絡部に起因する前記スタブ調整可能素子の実際の調整依存量を決定し、そして、前記実際の調整依存量と前記所望の調整依存量との間の差に応じて、第２のスタブ短絡部を位置付けるための前記調整スタブに沿った第２の位置を固定する前記第１の位置からの移動量を計算するよう動作し、
前記独自の基板識別子に対応する前記スタブ調整可能素子の前記移動量を記憶するためにアクセス可能なデータベースと、
前記ワイヤ・ボンダと前記データベースと前記検出器とに結合されたホスト・プロセッサとを含み、前記ホスト・プロセッサは、（ｉ）前記データベースからの移動量を得、（ｉｉ）前記導電性ランナに沿う所定数の可能性のあるスタブ短絡位置のうちの１つを表すために前記移動量を変換し、（ｉｉｉ）前記第２のスタブ短絡部を位置づけるために前記第２の位置として前記所定数の可能性のあるスタブ短絡位置のうちの１つを選択し、そして（ｉｖ）前記ワイヤ・ボンダに、前記所定数の可能性あるスタブ短絡位置のうちの選択された１つに前記第２のスタブ短絡部を固定させる、ように動作する、装置。
【請求項１４】
前記検出器がカメラである、請求項１３に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電圧制御発振器、特に、電圧制御発振器の動作周波数を正確に設定するためにワイヤ・ボンダを用いる電圧制御発振器の自動調整の方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電圧制御発振器は、電圧制御発振器の動作周波数を微調整するために用いる調整スタブを含むことがしばしばある。スタブは、電圧制御発振器の動作周波数を設定するために採用される。スタブの導電性ランナを横断して設けたスタブ短絡部から、電圧制御発振器の動作周波数が決まる。従来の技術では、電圧制御発振器に関して希望された動作周波数をほぼ生成するスタブに沿う位置にスタブ短絡部を設けていた。電圧制御発振器を励磁し試験して、スタブ短絡部による動作周波数を定めていた。第１のスタブ短絡部に対応する第２のスタブ短絡部の位置が決まると、電圧制御発振器の希望動作周波数が決まっていた。第２のスタブ短絡部の位置は、第１のスタブ短絡部に対応して手動で測定され、電圧制御発振器の動作周波数を微調整するために、スタブに沿って手動で接着されていた。電圧制御発振器が再び励磁され、第２のスタブ短絡部の存在に起因する電圧制御発振器の動作周波数が決まっていた。スタブに沿って手動で配置した第２のスタブ短絡部が、電圧制御発振器の希望動作周波数になると、微調整が終わることになる。しかし、第２のスタブ短絡部がスタブに沿って正確に位置していない場合に、電圧制御発振器の動作周波数が希望周波数にならず、第２のスタブ短絡部を除去しなければならない場合があり、電圧制御発振器の動作周波数を微調整する工程を繰り返していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術の欠点は、第２のスタブ短絡部の位置が、スタブに沿って手動で測定され、ハンダ付け又はサーモソニック溶接のような方式を用いて、規定位置に手動で固定していたことにあった。スタブ短絡部は、しばしばワイヤ製であるが、断面の直径より細い精度で位置することが要求される。電圧制御発振器の動作周波数はスタブに沿うスタブ短絡部の正確な位置設定に依存するので、希望動作周波数を導く位置からの任意の変位は、電圧制御発振器が好ましくない動作周波数で作動する原因になる。このような場合、スタブ短絡部を除去し、希望動作周波数における電圧制御発振器の動作とするようにスタブ短絡部の位置を定めて固定する別の方式が必要になる。このような反復ステップは、非常に高価になる。
【０００４】
従って、必要なことは、スタブ短絡部の正確な位置設定が電圧制御発振器の希望動作周波数を導くように、電圧制御発振器を調整するためにスタブに沿うスタブ短絡部の位置を正確に定める技術である。このような技術は、電圧制御発振器を微調整するコストを下げると思われる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に基づいて、スタブ調整可能素子の動作を微調整するステップは、スタブ調整可能素子に関して希望された調整依存変数を導く距離より好都合に長い距離に、調整スタブの導電性ランナを横断して第１のスタブ短絡部を配置している。そこで、スタブ調整可能素子が、スタブ調整可能素子の動作の初期調整依存変数を決めるために励磁され試験される。第２のスタブ短絡部の位置は、第１のスタブ短絡部の存在と、調整スタブの幾何学的形状と、スタブ調整可能素子の希望とによる、スタブ調整可能素子の調整依存変数に基づいて決まる。第２のスタブ短絡部は、スタブ調整可能素子の希望調整依存変数を導くために、第１のスタブ短絡部の位置に対応して、自動装置を用いて、スタブに沿って正確に位置設定される。スタブ調整可能素子に対応する第１と第２のスタブ短絡部の相対的な位置に基づいて、第１のスタブ短絡部が除去できる。最短のスタブ長を導くスタブ短絡部だけが、調整依存変数に関与する。第２のスタブ短絡部が長いスタブを導くためにスタブに沿って位置することが要求される場合に、第１のスタブ短絡部は、調整依存変数に関与しないように、切断又は除去するように変更しなければならない。スタブ調整可能素子は、スタブ調整可能素子の希望調整依存変数に適合するように再び励磁して試験することができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の実施例に基づいて調整する伝送回線又は調整スタブを有する電圧制御発振器６０を具備する複合集積回路２０である。電圧制御発振器について説明するが、本発明はその説明に制限されないものとする。位相シフタ、遅延線、タイミング転移検出器、インピーダンス・マッチング、及び電圧以外で制御される発振器を備えて構成しているが、それらに限定されるわけでない、任意のスタブ調整装置において、本発明を使用できる。
【０００７】
複合集積回路２０は、１つ又は複数の集積回路２４を含めて、多くの部品２５が組み込まれている基板２２を備えている。好ましい実施例では、基板２２はセラミックであるが、本発明はそれに限定されない。任意の適切な基板材料で十分である。集積回路２４は、Ｓｉ、ＧａＡｓ、ＩｎＰ、又はＳｉＧｅを含有する、しかしそれに限定されない、任意の周知のプロセスで製造できる。集積回路２４上の接着パッド２６は、相互コネクタ３２、調整スタブ３６の導電性ランナ３４、コンデンサ３８、及びハンダ、接着又はエポキシを用いて、基板２２に接着した他の素子又は構成要素を具備する、しかしそれらに限定されない、集積回路２４の外部に位置する他の部品に、ワイヤ・ボンド２８を介して接続している。本発明はワイヤの相互接続に限定されない。相互接続は、フリップ・チップ、テープ自動接着、又はリボンを含めた、しかし、それに限定されない任意の周知のプロセスから可能になる。
【０００８】
複合集積回路２０は、ワイヤ・ボンド５４によりリード５２に結合する接着パッド５０を周辺に備えている。リード５２は、複合集積回路２０が組み込まれているパッケージ部５６を介して延長している。図１に図示してない、リッド、カバー又はオーバーモールド成形物が、パッケージで基板２２を囲うために、パッケージ部５６を補っている。本発明に基づいて動作周波数を微調整するために調整する調整スタブを有する複数の電圧制御発振器も可能である。
【０００９】
電圧制御発振器６０を微調整する際に、導電性ランナ３４を有する調整スタブ３６を用いて、電圧制御発振器６０の動作周波数を定める。導電性ランナ３４ａと３４ｂは、接着パッド２６ａと２６ｂとに結合したランナ３４ａと３４ｂとの末端からある距離に位置するスタブ短絡部６２によって短絡される。ランナ３４は、グランドにビアを介して結合する接着パッド２６ａと２６ｂから離れた末端４２を有する、伝送回線を形成する。導電性ランナを短絡すると、伝送長の有効長が変わる。ランナ３４が金属製の時に、スタブ短絡部６２は、例えば、スタブ３６を形作るランナごとに接着されるワイヤでもかまわない。スタブ３６は、タンク回路を形作るために、固有の静電容量と連動するインダクタンスを定める。作動時に、電圧制御発振器６０は、接着パッド２６ａのような１つの接着パッドに信号を送り、接着パッド２６ｂのような別の接着パッドで信号を受け取る。電圧制御発振器の信号は、接着パッド２６ａから、ワイヤ・ボンド２８ａ、導電性ランナ３４ａ、スタブ短絡部６２、導電性ランナ３４ｂ、ワイヤ・ボンド２８ｂとを経由して、接着パッド２６ｂに進む。スタブの長さは、導電性ランナ３４ａと３４ｂとに沿うスタブ短絡部６２の位置から決まる。少なくともスタブの長さから、時間的な遅延が、電圧制御発振器６０の動作周波数を定める信号に生じる。スタブ長が長く、それに伴い、時間的な遅延が長くなると、電圧制御発振器６０の動作周波数が低くくなる。スタブ長が短く、それに伴い、時間的な遅延が短くなると、電圧制御発振器６０の動作周波数が高くなる。
【００１０】
実施例の電圧制御発振器６０の回路の一部が集積回路２４に存在する。電圧制御発振器６０は、ワイヤ・ボンド２８ａ、２８ｂと接着パッド２６ａ、２６ｂとを介するようにして、調整スタブ３６の導電性ランナ３４ａ、３４ｂと結合している。実施例の導電性ランナ３４ａ、３４ｂは、基板２４の表面に設けた２つの全体的に平行するトレース構造であるが、本発明は、導電性ランナとして全体的に平行するトレース構造に限定されない。好ましい実施例では、導電性ランナ３４ａ、３４ｂは金のような金属製である。当業者は、基板上に導電性ランナを蒸着する方法を熟知していると思われる。
【００１１】
基板２２の長さと幅の形状が許す限り、基板２２の部品のレイアウトに関して、導電性ランナ３４が直線構造になることができる。しかし、導電性ランナ３４が比較的長くて比較的狭いので、基板２２の部品のレイアウトが、直線構造の導電性ランナ３４を収容できな場合がしばしばある。導電性ランナ３４は直線状に限定されない。導電性ランナ３４ａと３４ｂは、限られた高さと幅をもつ基板２２の領域に長い物理的長さを呈するように前後に蛇行してもかまわない。
【００１２】
調整スタブを形成する各々ランナ３４は、同じ長さである必要がない。ランナ３４がライン要素と同様に直線構造の時に、調整スタブを形成する両方のランナが同じ長さになることができる。しかし、導電性ランナ３４がライン要素と同様の直線構造でない時に、導電性ランナが方向的に変動する又は蛇行する時のように、調整スタブのある導電性ランナは、調整スタブの他の導電性ランナよりも長くなるか又は短くなるように、異なる長さになってもかまわない。前述の説明と異なる導電性ランナ３４を有する調整スタブ３６も本発明の範囲に属する。事例から及びそれに限定されず、導電性ランナ３４は、基板２２の反対側に位置してもよいし、断面が不均一であってもよいし、伝送回線や地面のように互いに構造的に異なっていてもかまわない。
【００１３】
前述のように、スタブの導電性ランナを短絡するスタブ短絡部から、スタブの長さが決まるので、電圧制御発振器６０の動作周波数も決まることになる。２つ以上のスタブ短絡部がスタブの導電性ランナに沿う位置に離間して存在するので、短いスタブ長を導くスタブ短絡部だけ、従って、僅かな時間的な遅延を招くスタブ短絡部が、電圧制御発振器６０の動作に関与し、その動作周波数を決めることになる。電圧制御発振器の動作周波数は、短いスタブ長を導くスタブ短絡部だけから電圧制御発振器の動作周波数を決まることを認識して、調節又は微調整する。
【００１４】
本発明に基づいて、複合集積回路２０を製造する際に、第１のスタブ短絡部６２ａ（図１と２を参照）を導電性ランナ３４ａと３４ｂに沿う第１の位置に設けて、導電性ランナ３４ａと３４ｂを短絡し、第１のスタブ長をもつ第１のスタブ３６ａを形成する。スタブ短絡部６２ａは、電圧制御発振器６０の最終的な動作周波数の理論的又は経験的な決定に基づく位置に設けられている。第１のスタブ短絡部６２ａの位置は、電圧制御発振器６０の最終的な動作周波数が、電圧制御発振器６０の希望動作周波数より好都合に低くなるように選択される。スタブ短絡部６２ａは、複合集積回路２０上の既知の基準又はセットの基準とされる自動ワイヤ接着マシンのような方式を用いて、導電性ランナ３４ａと３４ｂに沿って正確に配置され、接着のような方式を用いて固定される。
【００１５】
そこで、電圧制御発振器６０は、試験セットのようにして励磁され試験される。スタブ短絡部６２ａによる電圧制御発振器６０の実際の動作周波数が決まる。電圧制御発振器６０の希望動作周波数が分かると、スタブ３６の幾何学的形状と、スタブ短絡部６２ａによる実際の動作周波数と、第２のスタブ短絡部６２ｂの配置に適したスタブ３６に沿う位置とが決まる。第２のスタブ短絡部６２ｂの位置は、第１のスタブ短絡部６２ａからの移動として、又は、ワイヤ接着マシンのための基準位置のように、複合集積回路２０上の既知の基準又は基準のセットに対応して決まる。第２のスタブ短絡部は、自動接着マシンを用いて、導電性ランナ３４ａと３４ｂに接着して固定される。
【００１６】
ワイヤ接着マシンは、複合集積回路上の基準位置に対応してスタブ短絡部６２の各々末端を正確に定める能力を備えている。第２のスタブ短絡部６２ｂを形成する直線状の導電性ランナに沿う位置は、試験セットから決まり、下記の式から決定される。
【数１】
0004885367.tif 000002
ここで、移動量は、スタブに沿う距離であり、単位はｃｍである。
ｆoperは、第１のスタブ短絡部による動作周波数であり、単位はＨｚである。
ｆdesiredは、希望動作周波数であり、単位はＨｚである。
ｋは、経験的又は理論的に決まる定数である。
【００１７】
式（１）は、第２のスタブ短絡部６２ｂの両端が同じ導電性ランナ上のスタブ短絡部６２ａの対応する末端から等しい距離で移動されることを仮定しているが、本発明はこの仮定に限定されない。このように、調整スタブの物理的距離は、式（１）から決まる移動距離に基づいて変わる。正の移動量は、スタブ長が減少することを意味する。負の移動量は、スタブ長が増加することを意味する。式（１）は、温度補償のためのオフセット移動量を含むように修正できる。
【００１８】
当業者は、調整スタブの半径方向の要素のように、直線状の導電性ランナ以外の幾何学的形状を取り入れるために、又は、同じ導電性ランナ上のスタブ短絡部６２ａの対応する末端から多少離れるようにスタブ短絡部６２ｂの一端を移動するために、式（１）を変更することができるだろう。
【００１９】
第２のスタブ短絡部６２ｂを適用すると、第１のスタブ短絡部６２ａが第２のスタブ短絡部６２ｂよりスタブ長が短くなる場合、第１のスタブ短絡部６２ａは、切断時又は除去時のように、動作周波数に影響しないように変更できると考えられる。第１のスタブ短絡部６２ａが第２のスタブ短絡部６２ｂより長いスタブになる場合に、第１のスタブ短絡部６２ａを変更、切断、又は除去する必要がなくなる。
【００２０】
図３は、電圧制御発振器６０の動作周波数を微調整するシステムを示す。複合集積回路２０がワイヤ・ボンダ７０上に位置している。ワイヤ・ボンダ７０上に位置する時に、複合集積回路２０は、角度方向を含めて、既知の基準に対応して位置するので、複合集積回路２０上の各々ポイントの位置がワイヤ・ボンダの基準に対応して分かることになる。複合集積回路２０上の特長のレイアウトが、ワイヤ・ボンダ７０に提供される。
【００２１】
第１のスタブ短絡部６２ａが、前述のように選択した位置として導電性ランナ３４に固定される。電圧制御発振器６０が、第１のスタブ短絡部６２ａの存在による動作周波数に対して、試験セット７２のように、励磁され試験される。式（１）を採用する試験セット７２は、第２のスタブ短絡部を固定して、電圧制御発振器６０を微調整し、希望周波数で作動するために必要な移動量を計算する。第１のスタブ短絡部６２ａの位置、動作周波数、式（１）を用いて計算した移動量、及び基板２２の温度のような他のパラメータは、カメラ７８で観察した複合集積回路のシリアル・ナンバーと共に、試験セットで収集されて、ローカル・エリア・ネットワーク７６上に転送され、データベース７４に保存される。バーコードのように、シリアル・ナンバー以外の他の識別子も採用できる。他の識別子を採用する時に、カメラ７８が、バーコード・リーダーのように、別の装置に取り替えることができる。代わりに、式（１）から計算した移動を、ｆoper値の範囲、及びルックアップ・テーブルに保存された対応する移動に対して生成できる。このような技術は、オンライン計算をなくして、ｆoperに基づくテーブル・ルックアップの代わりとして、移動量を決めることになる。ｆoper又は移動量のいずれかを保存できる。
【００２２】
複合集積回路２０が、普通は後に、ワイヤ・ボンダ７０上に再び配置される。カメラ７８を用いて、ホスト・プロセッサ８０が、複合集積回路２０のシリアル・ナンバーを識別し、データベース７４に問い合わせて、試験セット７２で決まった移動量を得る。移動量は、導電性ランナ３４に沿う所定の数の可能性のあるスタブ短絡部の位置のなかの１つを表すために、ホスト・プロセッサ８０で変換される。例えば、ホスト・プロセッサは、各々が２つの既知の末端ポイントを有する、７００の所定のスタブ短絡部の位置を識別できる。所定の数の可能性のあるスタブ短絡部の位置は、２．５４ミクロン（０．１０ミル）のように、等しい離間間隔に好都合になり、導電性ランナ３４に沿って増える。所定の数の可能性のあるスタブ短絡部の位置は、第１のスタブ短絡部６２ａに関して対称又は非対称になる。第１のスタブ短絡部６２が導電性ランナに沿って設けてあるので、前述のように、スタブ長より長いスタブ長を導いて、電圧制御発振器６０を希望周波数で作動させるので、第２のスタブ短絡部の大半が、導電性ランナ３４に沿って配置され、スタブ長を短絡することになる。従って、所定数の可能性のあるスタブ短絡部の位置の非対称的な分布が望ましい。
【００２３】
図４に示すように、所定数の可能性のあるスタブ短絡部の位置が、第１のスタブ短絡部６２ａの位置に対応して非対称で分布できる。図４は、スタブ長を短絡するために、５００のスタブ短絡部の位置を表す１２．７×１０-2ｃｍ（５０ミル）を示している。残りの２００のスタブ短絡部の位置は、スタブ長を短絡するために、５．０８×１０-2ｃｍ（２０ミル）のスタブ短絡部の位置を表している。
【００２４】
第１のスタブ短絡部６２からの移動量、又は式（１）で計算した距離が決まると、距離は、７００の所定のスタブ短絡部の位置のなかの１つを表すために変換しなければならない。更なる事例の場合に、距離が３．７４×１０-2ｃｍ（１４．７ミル）に決まると、第２のスタブ短絡部が、ミルの単位の距離の１０倍と決定された所定のスタブ短絡部の位置、又は、スタブ短絡部位置１４７に固定される。前述のように、正の距離はスタブ長の短絡を意味している。別の事例の場合、式（１）から決まった距離が、−１．２９５×１０-2ｃｍ（−５．１ミル）のように、負であると、所定のスタブ短絡部の位置が、距離の絶対値の１０倍の値を５００に加えることによって決定される。従って、−１．２９５×１０-2ｃｍ（−５．１ミル）の場合、第２のスタブ短絡部は、所定のスタブ短絡部位置５５１に位置する。前述のように、式（１）から計算した負の距離は、スタブ長が増えることを意味している。
【００２５】
【発明の効果】
本発明によれば、電圧制御発振器を調整するための、スタブ短絡部の位置を正確に決定する事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づいて調整した電圧制御発振器を有する複合集積回路の平面図である。
【図２】図１の複合集積回路の部分の拡大図である。
【図３】電圧制御発振器を自動的に調整して、スタブ短絡部の位置を正確に定めるシステムの略図である。
【図４】可能性のあるスタブ短絡部の位置の受動性で非対称の構成図である。
【符号の説明】
２０  複合集積回路
２２  基板
２４  集積回路
２５  部品
２６  接着パッド
２８  ワイヤ・ボンド
３２  相互コネクタ
３４  導電性ランナ
３６  調整スタブ
３８  コンデンサ
【図１】
0004885367.tif 000003
【図２】
0004885367.tif 000004
【図３】
0004885367.tif 000005
【図４】
0004885367.tif 000006