(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータによるシミュレーション方法であって、
解析対象の回路を構成するセルの優先度情報に基づいて該回路のレイアウトパラメータに重み付けを施し、該重み付けを施した該レイアウトパラメータを物理特性に変換してメモリ部に格納する第１の変換手順と、
該メモリ部から読み出した該物理特性を回路パラメータに変換して該メモリ部に格納する第２の変換手順と、
該メモリ部から読み出した該回路パラメータを含むネットリストに基づいて該回路の解析を行う解析手順とを該コンピュータに実行させることを特徴とする、シミュレーション方法。
【請求項２】
該優先度情報は、該セルの種類又は該回路に含まれる該セルの数であることを特徴とする、請求項１記載のシミュレーション方法。
【請求項３】
該レイアウトパラメータは該セルの形状情報を含み、該物理特性は該セルに含まれるトランジスタの閾値電圧又は該トランジスタを流れる電流を含み、該回路パラメータは該特性を変化させる情報を含むことを特徴とする、請求項１又は２記載のシミュレーション方法。
【請求項４】
該第１の変換手順は、重み付けを施していないレイアウトパラメータを物理特性に変換し、該重み付けを施したレイアウトパラメータから変換した物理特性とマージし、
該第２の変換手順は、マージされた物理特性を該回路パラメータに変換することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項記載のシミュレーション方法。
【請求項５】
該解析手順は、該回路のレイアウト設計段階のタイミング解析を行うことを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項記載のシミュレーション方法。
【請求項６】
コンピュータに回路のシミュレーションを行わせるプログラムであって、
該回路を構成するセルの優先度情報に基づいて該回路のレイアウトパラメータに重み付けを施し、該重み付けを施した該レイアウトパラメータを物理特性に変換してメモリ部に格納する第１の変換手順と、
該メモリ部から読み出した該物理特性を回路パラメータに変換して該メモリ部に格納する第２の変換手順と、
該メモリ部から読み出した該回路パラメータを含むネットリストに基づいて該回路の解析を行う解析手順とを該コンピュータに実行させることを特徴とする、プログラム。
【請求項７】
該優先度情報は、該セルの種類又は該回路に含まれる該セルの数であることを特徴とする、請求項６記載のプログラム。
【請求項８】
該レイアウトパラメータは該セルの形状情報を含み、該物理特性は該セルに含まれるトランジスタの閾値電圧又は該トランジスタに流れる電流を含み、該回路パラメータは該セルの特性を変化させる情報を含むことを特徴とする、請求項６又は７記載のプログラム。
【請求項９】
該第１の変換手順は、重み付けを施していない該レイアウトパラメータを該物理特性に変換し、該重み付けを施した該レイアウトパラメータから変換した該物理特性とマージし、
該第２の変換手順は、マージされた該物理特性を該回路パラメータに変換することを特徴とする、請求項６乃至８のいずれか１項記載のプログラム。
【請求項１０】
該第１の変換手順は、変換に用いる変換式を、該重み付けされた該レイアウトパラメータを用いて得られるフィッティング結果と、該物理特性の実測値との誤差が所定値以下となるように生成することを特徴とする、請求項６乃至９のいずれか１項記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シミュレーション方法及びプログラムに係り、特に半導体集積回路の解析を行うシミュレーション方法、及びそのようなシミュレーションの手順をコンピュータに実行させるプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えばレイアウト設計段階で回路のタイミング解析（シミュレーション）を行う場合、回路を構成するセル（素子）の種類や素子の各部の寸法等に関する情報を含むネットリストを用いていた。しかし、近年、半導体集積回路（LSI）の微細化が進むにつれて、ネットリストに含まれる情報だけでは、回路の特性を十分表せなくなってきている。例えば、同一形状のセル又は回路であっても、レイアウトパターンやレイアウト位置によって回路特性が異なることがある。レイアウトパターンやレイアウト位置によって回路特性が異なる主たる原因としては、トランジスタのポリシリコンゲートのピッチに依存した回路特性の変動やSTI（Shallow Trench Isolation）からの応力による回路特性の変動がある。このような回路特性の変動は、LSIの微細化により顕著になってきており、回路特性の変動によるタイミング解析への影響は複雑化してきている。
【０００３】
ネットリストとデバイス特性の実測データから得られたパラメータに基づいて回路のシミュレーションを行う方法が、例えば特許文献１にて提案されている。
【特許文献１】特開２００４−８６５４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の回路のタイミング解析は、回路のレイアウトパターンやレイアウト位置を考慮していないネットリストに基づいて行っているため、LSIの微細化に伴う回路特性の変動を考慮することができず、解析精度を更に向上することは難しいという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、回路の解析精度を向上することのできるシミュレーション方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題は、コンピュータによるシミュレーション方法であって、解析対象の回路を構成するセルの優先度情報に基づいて該回路のレイアウトパラメータに重み付けを施し、該重み付けを施した該レイアウトパラメータを物理特性に変換してメモリ部に格納する第１の変換手順と、該メモリ部から読み出した該物理特性を回路パラメータに変換して該メモリ部に格納する第２の変換手順と、該メモリ部から読み出した該回路パラメータを含むネットリストに基づいて該回路の解析を行う解析手順とを該コンピュータに実行させることを特徴とするシミュレーション方法により達成できる。
【０００７】
上記の課題は、コンピュータに回路のシミュレーションを行わせるプログラムであって、該回路を構成するセルの優先度情報に基づいて該回路のレイアウトパラメータに重み付けを施し、該重み付けを施した該レイアウトパラメータを物理特性に変換してメモリ部に格納する第１の変換手順と、該メモリ部から読み出した該物理特性を回路パラメータに変換して該メモリ部に格納する第２の変換手順と、該メモリ部から読み出した該回路パラメータを含むネットリストに基づいて該回路の解析を行う解析手順とを該コンピュータに実行させることを特徴とするプログラムにより達成できる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、回路の解析精度を向上することのできるシミュレーション方法及びプログラムを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、本発明のシミュレーションの手順の概略を説明するフローチャートである。図１に示すように、ステップＳ１は回路のレイアウトパターンやレイアウト位置に関するレイアウトパラメータを物理特性に変換し、ステップＳ２は物理特性を回路のレイアウトパラメータを考慮した回路シミュレーションを行なうシミュレータの回路パラメータ、例えばSPICEパラメータに変換する。レイアウトパラメータは、レイアウト情報が数値化される前の例えばＧＤＳから周知の方法で生成可能である。又、物理特性のSPICEパラメータへの変換も、周知の方法で行える。ステップＳ３はSPICEパラメータを含むネットリストに基づいてレイアウト設計段階のタイミング解析等の解析を行う。ネットリストに基づいたタイミング解析自体は、周知の方法で行える。本発明は、ステップＳ１でレイアウトパラメータを物理特性に変換する際に、回路を構成するセルの種類や数等の優先度情報に基づいてセルのレイアウトパラメータに重み付けを施す点に特徴がある。これにより、物理特性に、レイアウトパターンやレイアウト位置によって異なる回路特性を反映させることができる。
【００１０】
ここで、セルとは、回路を構成する単位である。図２はセルの一例を示す図である。図２の例では、セル１０は配線１１により区画された拡散領域１２Ａ，１２Ｂを有するトランジスタである。拡散領域１２Ａ，１２Ｂの図２中横方向の長さ（ソース／ドレイン領域の幅）は夫々SA,SBである。又、配線１１の図２中横方向及び縦方向の長さは夫々L,Wである。回路のレイアウトパラメータには、これらのパラメータSA,SB,L,Wや、ソース領域の面積AS、ドレイン領域の面積AD、ソース領域の周囲長PS、ドレイン領域の周囲長PD等が含まれる。
【００１１】
回路の物理特性は、Vth=Fvth(L, W, SA, SB, ...)、Ids=Fids(L, W, SA, SB, ...)等が含まれる。ここで、Vthはトランジスタの閾値電圧、Idsはトランジスタのソース・ドレイン電流、Fvthは閾値電圧Vthを表す関数、Fidsはソース・ドレイン電流Idsを表す関数を示す。
【００１２】
図３は、ステップＳ１で行う変換に利用可能なテーブルの一例を説明する図である。図３は一例として、拡散領域の形状が互いに異なる３種類のセルCell1, Cell2, Cell3のレイアウトパラメータSA,SB,L,Wと、実際にセルCell1, Cell2, Cell3を作成して測定された物理特性、即ち、閾値電圧Vth及びソース・ドレイン電流Idsの実測値を含むテーブルを示す。優先度情報に基づいてテーブル中のレイアウトパラメータSA,SB,L,Wに重み付けを施してから上記関数Fvth,Fidsの物理特性、即ち、閾値電圧Vth及びソース・ドレイン電流Idsにテーブル中の実測値を代入することで、重み付けされたレイアウトパラメータが物理特性に変換される。図３中、レイアウトパラメータ及び物理特性は夫々任意単位で示す。又、図３及び後述する図８において、セルCell1, Cell2, Cell3の形状は、レイアウトパラメータと物理特性との対応関係がわかりやすいように便宜上図示してあり、実際のテーブルには含まれない。このようなテーブルを用意しておくことで、各セルCell1, Cell2, Cell3のレイアウトパラメータを容易に重み付けしてから物理特性に変換することができる。尚、レイアウトパラメータには、例えばセルCell3のように拡散領域が矩形でない場合には図２中SC1,SC2で示す如き長さ等の情報を含むことは言うまでもない。
【００１３】
ステップＳ２で上記の如き物理特性Vth=Fvth(L, W, SA, SB, ...)、Ids=Fids(L, W, SA, SB, ...)等をSPICEパラメータに変換すると、例えばdelvto mulu0等のセルの特性を変化させるためのパラメータが得られる。delvtoはトランジスタの閾値電圧Vthを変化させるためのパラメータ、mulu0はトランジスタのチャネルを通る電子の移動度を変化させるためのパラメータである。SPICEパラメータdelvto, mulu0をネットリストに反映させると、m01 pch L W AD AS PD PS SA SB delvto mulu0となる。ここで、m01は例えば図２に示すセル１０に付けられた名称（コード）であり、pchはセル１０がｐチャネルトランジスタであることを示す。
【００１４】
SPICEパラメータには、レイアウトパターンやレイアウト位置によって異なる回路特性が反映されているので、このようなSPICEパラメータを含むネットリストにもレイアウトパターンやレイアウト位置によって異なる回路特性が反映されていることになる。
【００１５】
図４は、セルCell1, Cell2, Cell3で構成された回路のレイアウトパラメータの値と対応する実測値との関係を示す図である。図４中、縦軸は実測値を任意単位で示し、横軸はパラメータ値を任意単位で示す。ステップＳ１でレイアウトパラメータを物理特性に変換する際には、回路を構成するセルCell1, Cell2, Cell3の種類や数等の優先度情報に基づいてセルCell1, Cell2, Cell3のレイアウトパラメータに重み付けを施すことで、回路全体としてレイアウトパラメータ値と実測値との間に図４に示す如き略線形な関係Ｉが保たれるようにする。
【００１６】
このように、本発明では、レイアウトパラメータを物理特性に変換する際に、重み付けを用いたフィッティング手法を採用することにより、回路のレイアウトパラメータを考慮したSPICEパラメータを含むネットリストに基づいて回路の解析を行う。このため、回路の解析の結果（シミュレーション結果）と実際に回路を作成して各種特性を測定して得られる実測値との乖離を抑制することができ、LSIの微細化に伴う回路特性の変動を考慮した解析を行うことができるので、解析精度を向上することができる。
【実施例１】
【００１７】
図５は、本発明が適用されるコンピュータシステムの斜視図である。図５に示すコンピュータシステム１００は、CPUやディスクドライブ等を内蔵した本体部１０１、本体部１０１からの指示により表示画面１０２ａ上に回路の解析結果等を表示するディスプレイ１０２、コンピュータシステム１００に種々の情報を入力するためのキーボード１０３、ディスプレイ１０２の表示画面１０２ａ上の任意の位置を指定するマウス１０４及び外部のデータベース等にアクセスして他のコンピュータシステムに記憶されているプログラム等をダウンロードするモデム１０５を有する。
【００１８】
ディスク１１０等の可搬型記録媒体に格納されるか、モデム１０５等の通信装置を使って他のコンピュータシステムの記録媒体１０６からダウンロードされる、コンピュータシステム１００に少なくとも回路の解析を含むシミュレーション機能を持たせるプログラム（シミュレーションソフトウェア又はツール）は、コンピュータシステム１００に入力されてコンパイルされる。プログラムは、コンピュータシステム１００（即ち、後述するCPU２０１）をシミュレーション機能を有する回路設計支援装置（又は、シミュレーションシステム）として動作させる。プログラムは、例えばディスク１１０等のコンピュータ読み取り可能な記録媒体に格納されていても良い。コンピュータ読み取り可能な記録媒体は、ディスク１１０、ＩＣカードメモリ、フロッピー（登録商標）ディスク等の磁気ディスク、光磁気ディスク、CD-ROM等の可搬型記録媒体に限定されるものではなく、モデム１０５やLAN等の通信装置や通信手段を介して接続されるコンピュータシステムでアクセス可能な各種記録媒体を含む。
【００１９】
図６は、コンピュータシステム１００の本体部１０１内の要部の構成を説明するブロック図である。図６中、本体部１０１は、バス２００により接続されたプロセッサ（CPU）２０１、RAMやROM等からなるメモリ部２０２、ディスク１１０用のディスクドライブ２０３及びハードディスクドライブ（HDD）２０４からなる。本実施例では、ディスプレイ１０２、キーボード１０３及びマウス１０４も、バス２００を介してCPU２０１に接続されているが、これらは直接CPU２０１に接続されていても良い。又、ディスプレイ１０２は、入出力画像データの処理を行う周知のグラフィックインタフェース（図示せず）を介してCPU２０１に接続されていても良い。
【００２０】
コンピュータシステム１００において、キーボード１０３やマウス１０４は回路設計支援装置の入力部（又は手段）を構成する。ディスプレイ１０２は、解析結果等のシミュレーション結果を画面１０２ａ上に表示する表示部（又は手段）を構成する。CPU２０１は、解析対象の回路のレイアウトパラメータを物理特性に変換する第１の変換部（又は手段）、物理特性をSPICEパラメータに変換する第２の変換部（又は手段）、及びSPICEパラメータに基づいて回路の解析を行う解析部（又は手段）として機能する。メモリ部２０２、ディスクドライブ１０２及びHDD２０４は、メモリ部（又は手段）を構成する。
【００２１】
尚、コンピュータシステム１００の構成は図５及び図６に示す構成に限定されるものではなく、代わりに各種周知の構成を使用しても良い。
【００２２】
図７は、本発明の第１実施例の動作を説明するフローチャートである。図７に示す処理は、CPU２０１により実行される。図７中、図１と同一ステップには同一符号を付し、その説明は省略する。ここでは説明の便宜上、優先度情報がセルCell1, Cell2, Cell3の種類に応じて設定されており、セルCell1が最も高い優先度「１」、セルCell2が２番目に高い優先度「２」、セルCell3が３番目に高い優先度「３」であるものとする。
【００２３】
図７において、ステップＳ１は、解析対象の回路が例えば２００個のセルで構成されている場合、メモリ部から読み出された、或いは、入力部から入力されたレイアウトパラメータに対して、例えば半数の１００個以上の一定数のセルが最も高い優先度「１」のセルCell1であるとみなす、セルの優先度に応じた重み付けを施してから物理特性に変換してメモリ部に格納する。ステップＳ１が重み付けを施したレイアウトパラメータを物理特性に変換する際に利用可能な図３に示す如きテーブルは、例えばメモリ部に格納されている。ステップＳ２は、物理特性をメモリ部から読み出し、SPICEパラメータに変換してメモリ部に格納する。これにより、１００個のセルについてはレイアウトパラメータが優先度が最も高いセルCell1のレイアウトパラメータにフィッティングされ、ステップＳ３−１ではメモリ部から読み出した、或いは、入力部から入力されたネットリストに基づいて、メモリ部から読み出された回路のレイアウトパラメータを考慮したSPICEパラメータを含むネットリストを生成し、このネットリストに基づいてタイミング解析を行うことができる。ステップＳ３−１のタイミング解析の結果は、必要に応じてメモリ部に格納されると共に表示部に表示される。このため、回路のタイミング解析の結果（シミュレーション結果）と実際に回路を作成して各種特性を測定して得られる実測値との乖離を抑制することができ、LSIの微細化に伴う回路特性の変動を考慮したタイミング解析を行うことができるので、解析精度を向上することができる。
【００２４】
本発明の第１実施例の変形例では、図７に示すステップＳ１において、例えばセルCell1に対しては「ｘ」、セルCell2に対しては「ｙ」、セルCell3に対しては「ｚ」とする、セルの種類に応じた重み付けを施してからレイアウトパラメータを物理特性に変換する。これにより、例えばｘ＝１００，ｙ＝６０，ｚ＝４０で解析対象の回路が２００個のセルで構成されている場合、１００個はセルCell1、６０個はセルCell2、４０個はセルCell3であるとみなし、レイアウトパラメータが優先度の高いセルCell1, Cell2, Cell3の順にフィッティングされる。
【００２５】
図８は、第１実施例の変形例の動作を説明するフローチャートである。図８は、図７に示すステップＳ１が実行する処理を示す。図８では説明の便宜上、テーブルＴｂ１は図３に示すテーブルの一部のみを示し、このテーブルＴｂ１が重み付けによりテーブルＴｂ２のように変換される場合を示す。テーブルＴｂ１，Ｔｂ２で使用するレイアウトパラメータは、例えばTEG（Test Element Group）等の、実測値とシミュレーション値のキャリブレーションが取れているものである。
【００２６】
ステップＳ１０１では、メモリ部に格納されているテーブルＴｂ１のレイアウトパラメータSA,SBに対して、例えばセルCell1に対してはｘ＝３、セルCell2に対してはｙ＝１、セルCell3に対してはｚ＝１なる重み付けを施してテーブルＴｂ２に変換し、このテーブルＴｂ２をメモリ部に格納する。ステップＳ１０２では、テーブルＴｂ２の重み付けされたレイアウトパラメータSA,SBを用いて関数Fvthで表される物理特性、即ち、閾値電圧Vthを計算する。例えば、閾値電圧Vthは、Vth=a*SA+b*SB+c*SA*SB+d*SA2+e*SB2+fなる関数で表され、a,b,c,d,e,fは夫々係数である。尚、物理特性としてソース・ドレイン電流Idsを計算するようにしても、閾値電圧Vthとソース・ドレイン電流Idsの両方を計算するようにしても良い。
【００２７】
ステップＳ１０３では、テーブルＴｂ２の重み付けされたレイアウトパラメータを用いて得られるフィッティング結果Xregと、テーブルＴｂ２の物理特性の実測値Xmeasとの誤差を算出する。誤差は、データの個数をnで示すと、例えば
0004882902.tif 000002
なる式から算出される。ここでは説明の便宜上、閾値電圧Vthのフィッティング結果Xregと実測値Xmeasとの誤差が算出されるものとする。
【００２８】
ステップＳ１０４では、誤差が解析対象の回路について算出された結果の中で最小となったか、或いは、誤差が所定値以下となったか否かを判定する。ステップＳ１０４の判定結果がＮＯであると、処理はステップＳ１０２へ戻り、係数a,b,c,d,eの値を調整し、ステップＳ１０４の判定結果がＹＥＳになるまでステップＳ１０２〜Ｓ１０４が繰り返される。一方、ステップＳ１０４の判定結果がＹＥＳであると、ステップＳ１０５では重み付けされたレイアウトパラメータを物理特性に変換するのに用いる関数、即ち、変換式を確定する。この場合、例えばFvth(SA', SB')が確定される。
【００２９】
このようにして、フィッティング結果Xregと物理特性の実測値Xmeasとの誤差が最小、或いは、所定値以下となるように上記変換式が生成される。
【００３０】
図９は、第１実施例の変形例の効果を説明する図である。図９中、縦軸はフィッティング結果Xregと物理特性の実測値Xmeasの比であるXreg/Xmeasを示し、横軸は解析した各回路に付けられたモニタＩＤを示す。又、●印はレイアウトパラメータに重み付けをしない場合を示し、◆印はレイアウトパラメータに重み付けをした場合を示す。図９からも明らかなように、モニタＩＤが＃３０以降の回路については、フィッティング結果Xregが実測値Xmeasから大幅にずれてしまっている。しかし、モニタＩＤが＃３０以降の回路については優先度情報に基づいて例えばセルCell1に対して例えばｘ＝１００の重み付けをすることにより、より実測値Xmeasに近いフィッティング結果Xregが得られることが確認された。
【００３１】
尚、第１実施例のように、レイアウトパラメータにセルの優先度に応じた重み付けを施した場合も、基本的には図９と同様の傾向が得られることが確認された。
【実施例２】
【００３２】
図１０は、本発明の第２実施例の動作を説明するフローチャートである。図１０中、図７と同一ステップには同一符号を付し、その説明は省略する。
【００３３】
図１０において、ステップＳ１１は、ＧＤＳからセルの種類及び各種類のセルの数を優先度情報として取得する。ＧＤＳは、入力部から入力されても、メモリ部から読み出されても良い。ステップＳ１は、優先度情報に基づき、レイアウトパラメータに、最もセル数の多い種類のセルから順に重み付けを施して物理特性に変換する。その他の処理は、上記第１実施例の場合と同様である。
【００３４】
又、第２実施例によっても、上記第１実施例及びその変形例と同様の効果が得られることが確認された。
【実施例３】
【００３５】
図１１は、本発明の第３実施例の動作を説明するフローチャートである。図１１中、図７と同一ステップには同一符号を付し、その説明は省略する。
【００３６】
図１１において、ステップＳ２１は、ＧＤＳからセルの種類又はセルの数を優先度情報として取得する。ＧＤＳは、入力部から入力されても、メモリ部から読み出されても良い。ステップＳ１−１は、優先度情報に基づき、レイアウトパラメータのうち、回路中の特定の種類のセル又は特定数以上の数を有するセルのみに対して重み付けを施して物理特性に変換する。ステップＳ３１は、レイアウトパラメータを、回路中の全てのセルについて物理特性に変換する。ステップＳ１−２は、ステップＳ１−１で得られた物理特性とステップＳ３１で得られた物理特性をマージした物理特性を求める。ステップＳ１−２で求められる物理特性は、回路中の特定の種類のセル又は特定数以上の数を有するセルの特性を重視したものとなっているので、SPICEパラメータ等を用いて特性のセルに着目して解析を行う場合等に適している。その他の処理は、上記第１実施例の場合と同様である。
【００３７】
又、第３実施例によっても、上記第１実施例及びその変形例と同様の効果が得られることが確認された。
【００３８】
上記各実施例では、SPICEパラメータを含むネットリストがタイミング解析に用いられる場合を説明したが、本発明のようにレイアウトパラメータを物理特性に変換する際に回路を構成するセルの種類や数等の優先度情報に基づいてセルのレイアウトパラメータに重み付けを施し、このような変換により得られた物理特性を変換して得たSPICEパラメータを含むネットリストは、タイミング解析以外の電流や電圧等の解析（シミュレーション）にも使用可能であることは言うまでもない。又、上記のような変換により得られた物理特性を変換して得たSPICEパラメータは、SPICEモデルの各種解析にも使用可能である。
【００３９】
尚、本発明は、以下に付記する発明をも包含するものである。
（付記１）
コンピュータによるシミュレーション方法であって、
解析対象の回路を構成するセルの優先度情報に基づいて該回路のレイアウトパラメータに重み付けを施し、該重み付けを施した該レイアウトパラメータを物理特性に変換してメモリ部に格納する第１の変換手順と、
該メモリ部から読み出した該物理特性を回路パラメータに変換して該メモリ部に格納する第２の変換手順と、
該メモリ部から読み出した該回路パラメータを含むネットリストに基づいて該回路の解析を行う解析手順とを該コンピュータに実行させることを特徴とする、シミュレーション方法。
（付記２）
該優先度情報は、該セルの種類又は該回路に含まれる該セルの数であることを特徴とする、付記１記載のシミュレーション方法。
（付記３）
該レイアウトパラメータは該セルの形状情報を含み、該物理特性は該セルに含まれるトランジスタの閾値電圧又は該トランジスタを流れる電流を含み、該回路パラメータは該特性を変化させる情報を含むことを特徴とする、付記１又は２記載のシミュレーション方法。
（付記４）
該第１の変換手順は、重み付けを施していないレイアウトパラメータを物理特性に変換し、該重み付けを施したレイアウトパラメータから変換した物理特性とマージし、
該第２の変換手順は、マージされた物理特性を該回路パラメータに変換することを特徴とする、付記１乃至３のいずれか１項記載のシミュレーション方法。
（付記５）
該解析手順は、該回路のレイアウト設計段階のタイミング解析を行うことを特徴とする、付記１乃至４のいずれか１項記載のシミュレーション方法。
（付記６）
該解析手順は、該解析の結果を表示部に表示することを特徴とする、付記１乃至５のいずれか１項記載のシミュレーション方法。
（付記７）
該第１の変換手順は、変換に用いる変換式を、該重み付けされた該レイアウトパラメータを用いて得られるフィッティング結果と、該物理特性の実測値との誤差が所定値以下となるように生成することを特徴とする、付記１乃至６のいずれか１項記載のシミュレーション方法。
（付記８）
コンピュータによるシミュレーション方法であって、
解析対象の回路を構成するセルの優先度情報に基づいて該回路のレイアウトパラメータに重み付けを施し、該重み付けを施した該レイアウトパラメータを物理特性に変換してメモリ部に格納する第１の変換手順と、
該メモリ部から読み出した該物理特性を回路パラメータに変換して該メモリ部に格納する第２の変換手順とを該コンピュータに実行させ、
該回路パラメータに、該レイアウトパラメータによって異なる回路特性を反映させたことを特徴とする、シミュレーション方法。
（付記９）
コンピュータに回路のシミュレーションを行わせるプログラムであって、
該回路を構成するセルの優先度情報に基づいて該回路のレイアウトパラメータに重み付けを施し、該重み付けを施した該レイアウトパラメータを物理特性に変換してメモリ部に格納する第１の変換手順と、
該メモリ部から読み出した該物理特性を回路パラメータに変換して該メモリ部に格納する第２の変換手順と、
該メモリ部から読み出した該回路パラメータを含むネットリストに基づいて該回路の解析を行う解析手順とを該コンピュータに実行させることを特徴とする、プログラム。
（付記１０）
該優先度情報は、該セルの種類又は該回路に含まれる該セルの数であることを特徴とする、付記９記載のプログラム。
（付記１１）
該レイアウトパラメータは該セルの形状情報を含み、該物理特性は該セルに含まれるトランジスタの閾値電圧又は該トランジスタに流れる電流を含み、該回路パラメータは該セルの特性を変化させる情報を含むことを特徴とする、付記９又は１０記載のプログラム。
（付記１２）
該第１の変換手順は、重み付けを施していない該レイアウトパラメータを該物理特性に変換し、該重み付けを施した該レイアウトパラメータから変換した該物理特性とマージし、
該第２の変換手順は、マージされた該物理特性を該回路パラメータに変換することを特徴とする、付記９乃至１１のいずれか１項記載のプログラム。
（付記１３）
該解析手順は、該回路のレイアウト設計段階のタイミング解析を行うことを特徴とする、付記９乃至１２のいずれか１項記載のプログラム。
（付記１４）
該解析手順は、該解析の結果を表示部に表示することを特徴とする、付記９乃至１３のいずれか１項記載のプログラム。
（付記１５）
該第１の変換手順は、変換に用いる変換式を、該重み付けされた該レイアウトパラメータを用いて得られるフィッティング結果と、該物理特性の実測値との誤差が所定値以下となるように生成することを特徴とする、付記９乃至１４のいずれか１項記載のプログラム。
（付記１６）
コンピュータによるシミュレーション方法であって、
解析対象の回路を構成するセルの優先度情報に基づいて該回路のレイアウトパラメータに重み付けを施し、該重み付けを施した該レイアウトパラメータを物理特性に変換してメモリ部に格納する第１の変換手順と、
該メモリ部から読み出した該物理特性を回路パラメータに変換して該メモリ部に格納する第２の変換手順とを該コンピュータに実行させ、
該回路パラメータに、該レイアウトパラメータによって異なる回路特性を反映させたことを特徴とする、シミュレーション方法。
【００４０】
以上、本発明を実施例により説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明のシミュレーションの手順の概略を説明するフローチャートである。
【図２】セルの一例を示す図である。
【図３】レイアウトパラメータから物理特性への変換に利用可能なテーブルの一例を説明する図である。
【図４】セルのレイアウトパラメータの値と対応する実測値との関係を示す図である。
【図５】本発明が適用されるコンピュータシステムの斜視図である。
【図６】コンピュータシステムの本体部内の要部の構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の第１実施例の動作を説明するフローチャートである。
【図８】第１実施例の変形例の動作を説明するフローチャートである。
【図９】第１実施例の変形例の効果を説明する図である。
【図１０】本発明の第２実施例の動作を説明するフローチャートである。
【図１１】本発明の第３実施例の動作を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００４２】
１００      コンピュータシステム
１０１      本体部
１０２      ディスプレイ
１０３      キーボード
１１０      ディスク
２０１      ＣＰＵ
２０２      メモリ部
【図１】
0004882902.tif 000003
【図２】
0004882902.tif 000004
【図３】
0004882902.tif 000005
【図４】
0004882902.tif 000006
【図５】
0004882902.tif 000007
【図６】
0004882902.tif 000008
【図７】
0004882902.tif 000009
【図８】
0004882902.tif 000010
【図９】
0004882902.tif 000011
【図１０】
0004882902.tif 000012
【図１１】
0004882902.tif 000013