(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路によって発生された周波数を調整する方法において、
・該集積回路のオシレータにより、第１の周波数を有する第１の信号を発生して、供給し、
・前記第１の周波数を、周波数範囲にしたがって前記集積回路の比較器を使用してタイプに分類し、
該比較器は前記第１の信号を受信して、前記第１の周波数のタイプを指示する出力を発生し、
・該出力を、前記集積回路の周波数シンセサイザで受信し、
・受信された前記出力に基づいて１つの信号経路を、前記周波数シンセサイザ内の複数の経路から選択し、
・第２の周波数を有する第２の信号を、前記選択された信号経路を使用して前記周波数シンセサイザによって発生する方法において、
前記第１の周波数を分類する際に、所定の周波数を有する基準信号を前記比較器で受信し、前記第１の周波数を前記所定の周波数と比較して、前記第１の周波数と前記所定の周波数との比を求め、
前記比を求める際に、前記比較器において基準信号を受信するカウンタを、前記第１の信号が正であるときにイネーブルする
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
受信された前記出力が、前記第１の周波数が第１のタイプに分類されたことを指示する場合、第１の長さの経路（２１２，２１８）を使用することによって信号が発生するように信号経路を選択する請求項１記載の方法。
【請求項３】
受信された前記出力が、前記第１の周波数が第２のタイプに分類されたことを指示する場合、第２の長さの経路（２１２，２１４）を使用することによって信号が発生するように信号経路を選択する請求項２記載の方法。
【請求項４】
受信された前記出力が、前記第１の周波数が第３のタイプに分類されたことを指示する場合、第３の長さの経路（２１２，２１６）を使用することによって信号が発生するように信号経路を選択する請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記第３の長さを、前記第２の長さよりも長く、前記第１の長さよりも短くする請求項４記載の方法。
【請求項６】
前記第１の長さを、前記第２の長さよりも長くする請求項３記載の方法。
【請求項７】
信号経路を複数の経路から選択する際に、第１の周波数のタイプを指示する出力を受信するマルチプレクサによって前記信号経路を選択する請求項１記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、集積回路によって発生された周波数を調整する方法に関している。本発明は、集積回路ウエーハのダイのパラメータを補償するための方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路（ＩＣ）は、典型的には、多くのダイを有するウエーハの一部分として製造される。これらのダイのそれぞれは、予め定義された所定の基準に適合するように設計された集積回路である。しかし、集積回路プロセスは、予め定義されたこれらの基準に適合するようにされてはいるが、最終的に得られたこれらの基準に適合するＩＣでも実質的には分散している。所定の基準の例は、ＩＣが作動する予め決められた速度である。ＩＣの幾つかが、予め決められた基準に適合する許容可能な範囲外である場合には、それらのＩＣは、典型的には破棄される。例えば、ウエーハ上に１０００−２０００個のダイがあることがある。これらのダイ用の予め定義された基準が、ダイの所定の作動速度である場合、このウエーハからは、典型的には、予め定義された作動速度内で作動するには速すぎるような、所定パーセントのダイが製造され、同様に、予め定義された作動速度内で作動するには遅すぎるような、他のパーセントのダイが製造される。これらのダイは、速すぎても遅すぎても典型的には破棄される。ＩＣウエーハの製造コストは高いので、ウエーハの実質的な部分を破棄するのは極めて高価となる。
【０００３】
ウエーハ上の比較的高いパーセントのダイを使用することができることが所望となる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、そのような必要性に応えることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この課題は、本発明によると、集積回路のオシレータにより、第１の周波数を有する第１の信号を発生して、供給し、
・前記第１の周波数を、周波数範囲にしたがって前記集積回路の比較器を使用してタイプに分類し、
該比較器は前記第１の信号を受信して、前記第１の周波数のタイプを指示する出力を発生し、
・該出力を、前記集積回路の周波数シンセサイザで受信し、
・受信された前記出力に基づいて１つの信号経路を、前記周波数シンセサイザ内の複数の経路から選択し、
・第２の周波数を有する第２の信号を、前記選択された信号経路を使用して前記周波数シンセサイザによって発生することによって解決される。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明は、ＩＣパラメータを補償するための方法に関する。本発明の実施例によると、ＩＣウエーハのダイは、ダイを種々異なるタイプに分類する補償回路と接続されている。タイプの例は、高速、通常、および低速を含む。割り当てられたタイプは、予め決められた基準に対するダイの偏差を補償する固有のオシレータで使用される。ダイは、予め決められた基準と比較される。本発明の実施例によると、低速なダイは、比較的短い経路を通って信号を導き、高速なダイは、比較的長い経路を通って信号を導き、そして、通常のダイは、比較的中位の長さの経路を通って信号を導く。従って、ウエーハ上の各ダイは、補償回路と接続されており、それにより、この補償回路が、ダイによって発生される周波数を調節する回路の経路を選択して、ダイの殆ど大部分が、予め決められた基準に適合するようにＩＣの一群を製造することができるようになる。通常ならば、予め決められた基準に適合しないＩＣによって発生される周波数を、予め決められた基準に適合する周波数に調節することによって、多数の有用なＩＣを製造できるようになる。
【０００７】
集積回路によって発生された周波数を調節するための、本発明の実施例によるシステムが提供される。このシステムは、集積回路の第１の周波数で発振するオシレータを有する。システムは、更に、オシレータと接続された速度比較器を有しており、この速度比較器は、第１の周波数を１つのタイプに分類するように構成されている。速度比較器と接続された周波数シンセサイザが設けられており、この周波数シンセサイザにより、第２の周波数の信号が発生される。
【０００８】
また、集積回路によって発生された周波数を調節するための実施例による方法が提供される。この方法は、集積回路の第１の周波数を供給することを含んでいる。また、この方法は、第１の周波数を１つのタイプに分類することを含んでおり、第２の周波数の信号を発生する。
【０００９】
【実施例】
以下、図示の実施例を用いて、本発明を詳細に説明する。以下の説明により、当業者には、本願のコンテキストおよびその特許請求の範囲に開示されている本発明を使用することが可能である。有利な実施例の種々異なる変形実施例は、当業者には極めて容易に想到できることが明らかであり、その中に含まれている一般的な原理は、他の実施例に適用してもよい。従って、本発明は、図示の実施例に限定されるものではなく、以下に開示した原理及び特徴と矛盾しない極めて広範囲に適用し得るものである。
【００１０】
図１は、集積回路の速度を測定するための本発明の実施例の回路のブロック図である。測定回路１００は、パルスインジェクタ１０２、オシレータ１０４，カウンタ１０６、レジスタ１０８およびディジタル速度比較器１１０を含む。パルスインジェクタ１０２は、小さなロジックパルスをオシレータ１０４に供給して、オシレータ１０４がスタートするようにする。オシレータ１０４は、自励型発振器とすることができ、ウエーハ上のダイに属する固有周波数を発生し、ウエーハ上のダイの一部分である。回路１００は、ウエーハ上の各ダイと接続されており、オシレータ１０４は、ウエーハ上の相応のダイに属する固有周波数で発振する。
【００１１】
形成されたオシレータ１０４の周波数は、カウンタ１０６への入力である。オシレータ信号の他にカウンタ１０６は、基準信号１１４を受信する。基準信号１１４は、予め決められた周波数の信号（例えば、２４ＭＨｚ信号）である。オシレータ信号が正になる度に、カウンタ１０６はスタートし、信号が負になる度に、カウンタ１０６はストップする。カウンタ１０６は、ダイに属し、オシレータ１０４によって形成される固有周波数のタイプに対応するバイナリ数を形成する。
【００１２】
カウンタ１０６によって形成されるバイナリ数によって表されるダイのタイプの例は、「高速」、「通常」、および「低速」を含む。高速、通常、および低速を表す周波数の範囲は、設計者によって選択され、可変である。高速、通常、および低速を表す周波数範囲の例は、それぞれ、５４カウント以上、３６〜５４カウント、０〜３６カウントである。このカウントは、固有周波数と水晶の周波数との比である。使用される水晶周波数の例は、約２４ＭＨｚまたは約１５ＭＨｚである。水晶周波数は、基準信号１１４を介して導出される。「通常」の範囲に入る周波数の範囲は、テクノロジによって決定される。パラメータは、アプリケーションによって決定され、これらのパラメータは、「通常」の範囲を定義する。「通常」の範囲よりも高いウエーハ周波数は、「高速」の範囲に入る。同様に、「通常」の範囲よりも低いウエーハ周波数は、「低速」の範囲に入る。
【００１３】
カウンタ１０６によって形成されるバイナリ数は、レジスタ１０８に送信される。レジスタのサイズの例は、６ビットレジスタである。レジスタ１０８の第１の機能は、カウンタ１０６によって発生されたバイナリ数を記憶することにある。バイナリ数は、レジスタ１０８からディジタル速度比較器１１０に送信される。
【００１４】
ディジタル速度比較器１１０は、レジスタ１０８から受信されたバイナリ数を、低速回路、通常回路、および高速回路のようなウエーハタイプを表す種々の状態に変換する。例えば、０〜３６のカウンタ数の範囲が、"００"のディジタル速度比較器１１０の出力となり、つまり、低速回路を表し、３６〜５４のカウンタ数の範囲が、"０１"のディジタル速度比較器"１１０の出力となり、すなわち、通常回路を表し、５４〜１２７のカウンタ数の範囲が、"１０"のディジタル速度比較器の出力となり、すなわち、高速回路を表す。ディジタル速度比較器１１０の出力は、接続部１１２を介して、図２の周波数シンセサイザ２００に送信される。
【００１５】
図２の周波数シンセサイザ回路２００は、ＯＲゲート２０２、一連のＮＡＮゲート２０４Ａ〜２０４Ｆ、一連のバッファ２０６Ａ〜２０６Ｃ、マルチプレクサ（ＭＵＸ）２０８、および他のバッファ２１０を含むように図示されている。バッファ２０６Ａ〜２０６Ｃは、信号を遅延するのに使用される標準的なバッファ、例えば、ＬＢＵＦ１２（シーメンスにより製造されている）である。このバッファ２１０は、発振を負荷から絶縁するために、有利には、例えば、ＬＢＵＦ３２（シーメンスにより製造されている）のような大きなバッファである。バッファ２１０は、例えば、７００個のゲートをドライブすることができるバッファのような、多重ゲートをドライブすることができるサイズのバッファである。
【００１６】
本発明の実施例によると、２つの入力信号１１２Ａおよび１１２Ｂが、ディジタル速度比較器１１０から周波数シンセサイザ回路２００に送信される。入力信号１１２Ａ、１１２ＢはＭＵＸ２０８に送信され、ＭＵＸは、入力信号１１２Ａと１１２Ｂの組合せを分析して、回路２００の経路のどの経路に信号が入力されるべきであるのかを決定する。
【００１７】
入力信号１１２Ａおよび１１２Ｂの種々異なる組合せによって規定される信号の例は、"００"，"１１"，"２１"，および"１０"を含む。これらの組合せは、複数の経路の１つを選択し、例えば、"００"は、低速のダイに対応する経路を選択し、"０１"は、通常のダイに対応する経路を選択し、"１０"は、高速のダイに対応する経路を選択する。
【００１８】
ダイが低速なダイである場合、信号はＭＵＸ２０８から発生され、コネクション２１２を介してＯＲゲート２０２に伝送される。そしてＮＡＮゲート２０４Ａ〜２０４Ｂを介して伝送され、コネクション２１４を介してＭＵＸ２０８に戻される。得られた信号が通常の信号である場合、信号が発生されて、コネクション２１２を介してＯＲゲート２０２に伝送され、ＮＡＮゲート２０４Ａ〜２０４Ｆを介して、そして、コネクション２１６を介してＭＵＸ２０８に戻される。得られた信号が高速の信号である場合、信号はＭＵＸ２０８から送信され、コネクション２１２を介して伝送され、ＯＲゲート２０２、ＮＡＮゲート２０４Ａ〜２０４Ｆを通過し、そして、バッファ２０６Ａ〜２０６Ｃを通り、コネクション２１８を介してＭＵＸ２０８に戻される。
【００１９】
従って、低速のダイによって発生される信号は、最短経路を通って伝送され、高速のダイによって発生された信号は、最長経路を通って伝送され、通常のダイによって発生されたち信号は、低速のダイによって発生された信号によって採用される経路よりも長く、かつ、高速のダイによって発生される信号によって採用される経路よりも短い経路を通って伝送される。その結果、低速のダイによって発生された信号は、回路２００の最短経路を通る経路形成によってスピードアップされ、高速のダイによって発生された信号は、回路２００の最長経路を通る経路形成によってスローダウンされる。従って、複数のダイが回路１００および２００と接続されている場合、これらダイによって発生される信号は、ほぼ同じ周波数であるか、または予め決められた周波数内の小さな範囲内であるように調整される。
【００２０】
回路２００は入力信号２２０を有しており、入力信号２２０は、予め決められた周波数にできる限り近づいて信号が発振するように、信号の発振周波数を制御する。入力信号２２０は、入力信号１１２Ａおよび１１２Ｂと関連して使用される。入力信号１１２Ａおよび１１２Ｂにより、信号周波数の一般的なタイプ、例えば、低速、通常、および高速が定義され、そして、入力信号２２０は、できる限り予め決められた周波数の近傍で信号が発振するようにする。
【００２１】
図３は、集積回路によって形成される周波数を調節するための本発明の実施例の方法の流れ図である。集積回路と関連した周波数が供給される（ステップ３００）。それから、周波数がタイプに分類される（ステップ３０２）。それから、信号が発生され、その際、信号は第２の周波数を有する（ステップ３０４）。
【００２２】
本発明を図示の実施例により説明したが、当業者は、本発明の技術思想の範囲内で、種々の実施例を構成することができる。従って、特許請求の範囲の技術思想から逸脱しない限りで、当業者は多くの変形実施例を構成することができる。
【００２３】
本発明は、ＩＣパラメータの補償システムおよび方法に関する。本発明の実施例によると、ＩＣウエーハのダイが補償回路（１００，２００）と接続されており、この補償回路によりダイが種々のタイプに分類される。タイプの例は、高速、通常、低速を含む。割り当てられたタイプは、特定のオシレータ（２００）で使用され、このオシレータにより、ダイの偏差が、所定の基準（１１４）になるように補償される。本発明の実施例によると、補償回路（１００，２００）内で、低速なダイの場合は、比較的最短経路（２１２，２１４）を通って信号が導かれ、高速なダイの場合は、比較的長い経路（２１２，２１８）を通って信号が導かれ、通常のダイの場合は、中位の長さの経路（２１２，２１６）を通って信号が導かれる。従って、ウエーハ上の各ダイは、補償回路（１００，２００）と接続されており、この補償回路（１００，２００）により、回路（２００）の経路が選択され、ダイによって発生された周波数が調整される。このようにしてダイの殆ど大部分に対して所定の基準（１１４）に適合するようにＩＣのバッチが製造される。所定の基準（１１４）に適合しないＩＣによって発生される周波数を所定の基準（１１４）に適合する周波数に調整することによって、多数の有用なＩＣを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例による集積回路の速度を測定するための回路のブロック図
【図２】  本発明の実施例による集積回路により発生される周波数を調節するための回路のブロック図
【図３】  集積回路により発生される周波数を調節するための本発明の実施例による方法の流れ図
【符号の説明】
１００  測定回路
１０２  パルスインジェクタ
１０４  オシレータ
１０６  カウンタ
１０８  レジスタ
１１０  ディジタル速度比較器
１１２  接続部
２００  周波数シンセサイザ
２０２  ＯＲゲート
２０４Ａ〜２０４Ｆ  ＮＡＮゲート
２０６Ａ〜２０６Ｃ
２１０  バッファ
２０８  マルチプレクサ（ＭＵＸ）
２１２  コネクション
【図１】
0004944288.tif 000002
【図２】
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【図３】
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