(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１８Ｏガスに加速粒子を照射して放射性同位元素を生成するターゲット部に前記１８Ｏガスを供給すると共に、前記１８Ｏガスを液化貯留することによって前記ターゲット部から前記１８Ｏガスを吸引する貯留部を備えたＯガス回収装置において、
前記ターゲット部と前記貯留部とを連絡すると共に、前記１８Ｏガスが双方向に流動する第１のラインと、
前記第１のラインをバイパスする第２のラインと、
前記第２のライン上に配置されると共に、前記ターゲット部から前記貯留部に向けて前記１８Ｏガスを移送するポンプと、
を備えることを特徴とするＯガス回収装置。
【請求項２】
前記第１のラインは、
前記貯留部側の第１の分岐部と、前記ターゲット部側の第２の分岐部と、前記第１の分岐部と前記第２の分岐部との間に配置された第１の主弁と、を有し、
前記第２のラインは、前記第１の分岐部及び前記第２の分岐部に接続されると共に、前記ポンプよりも前記第１の分岐部側に配置された第１の副弁と、前記ポンプよりも前記第２の分岐部側に配置された第２の副弁と、を有することを特徴とする請求項１記載のＯガス回収装置。
【請求項３】
前記１８Ｏガスを補充する第３のラインを更に備え、
前記第１のラインは、前記第２の分岐部と前記ターゲット部との間に配置された第２の主弁と、前記第１の主弁と前記第２の分岐部との間に設けられた第３の分岐部と、を更に有し、
前記第３のラインは、前記第３の分岐部に接続されていることを特徴とする請求項２記載のＯガス回収装置。
【請求項４】
１８Ｏガスに加速粒子を照射して放射性同位元素を生成するターゲット部から前記１８Ｏガスを回収する酸素ガス回収方法において、
第１のラインを介して前記ターゲット部に連絡する貯留部で前記１８Ｏガスを沸点以下に冷却し、前記１８Ｏガスの液化によって前記ターゲット部内の前記１８Ｏガスを回収するステップと、
前記第１のラインを閉じるステップと、
前記第１のラインをバイパスする第２のライン上に配置されたポンプを駆動し、前記ターゲット部内に残留する前記１８Ｏガスを前記第２のラインを介して前記貯留部に移送するステップと、
を含むことを特徴とする酸素ガス回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、１８Ｏガスに加速粒子を照射して放射性同位元素を生成するターゲット部から１８Ｏガスを回収する装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ポジトロン断層撮影法（ＰＥＴ）は、生存被験者のポジトロン放射性医薬品の濃度を測定するための医療用撮影技術である。ＰＥＴ処置においては、ＦＤＧなどの放射性医薬品を被験者の血流に投与し、次に、生体内で放射性医薬品から放出されるポジトロン放射能の分布を放出断層撮影法により撮影する。被験者の組織が放射性医薬品と相互に作用するとき、コンピュータによる再構成手法が行われて組織の断層撮影画像が得られる。ＰＥＴ処置に用いられる放射性医薬品は、例えば、［１８Ｆ］Ｆ２の放射性同位元素の合成によって生成される。［１８Ｆ］Ｆ２は、例えば、特許文献１〜３に記載されている装置によって生成される。
【０００３】
これらの装置は、ターゲット部に１８Ｏガスを供給し、サイクロトロンで発生した陽子ビームを１８Ｏガスに照射する。１８Ｏガスは陽子ビームに衝突すると核反応し、１８Ｆ（−）イオンとなってターゲット部の壁面に付着する。その後、放射化していないＦ２ガスをターゲット部内に投入し、陽子ビームを再度照射する。すると、壁面に付着した１８Ｆ（−）イオンがＦ２と置換されて［１８Ｆ］Ｆ２となり、Ｈｅガスなどと一緒に回収される。［１８Ｆ］Ｆ２を生成する際に使用する１８Ｏガスは希少性が高く高価である。そこで、上記の各装置では、１８Ｏガスを適宜回収して繰り返し使用するために回収ボンベを備えている。回収ボンベは、ターゲット部に連絡しており、回収ボンベを液体窒素で冷却すると、１８Ｏガスが沸点以下になって液化状態になる。すると、回収ボンベとターゲット部との間に差圧が発生し、ターゲット部から１８Ｏガスが吸引されて回収される。
【特許文献１】特表２００３−５２４７８７号公報
【特許文献２】特開２００６−３３６２号公報
【特許文献３】特開２００６−３３６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の装置では、ターゲット部と回収ボンベとの差圧を利用して１８Ｏガスを回収するのみであるため、ターゲット部や管路内に１８Ｏガスが残り易かった。特に、１８Ｏガスを回収するための管路が細くなるほど、または、管路が長くなるほど１８Ｏガスは管路内に残留し易くなるため、管路の径や長さによって、１８Ｏガスの回収効率が低下し易かった。
【０００５】
本発明は、以上の課題を解決することを目的としており、１８Ｏガスの回収効率を向上できるＯガス回収装置及びＯガス回収方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、１８Ｏガスに加速粒子を照射して放射性同位元素を生成するターゲット部に１８Ｏガスを供給すると共に、１８Ｏガスを液化貯留することによってターゲット部から１８Ｏガスを吸引する貯留部を備えたＯガス回収装置において、ターゲット部と貯留部とを連絡すると共に、１８Ｏガスが双方向に流動する第１のラインと、第１のラインをバイパスする第２のラインと、第２のライン上に配置されると共に、ターゲット部から貯留部に向けて１８Ｏガスを移送するポンプと、を備えることを特徴とする。
【０００７】
このＯガス回収装置では、第１のラインを介して貯留部からターゲット部に１８Ｏガスが供給される。また、貯留部において、１８Ｏガスを液化貯留することで第１のラインを介してターゲット部から１８Ｏガスが吸引されて回収される。さらに、ターゲット部に１８Ｏガスが残留していても、ポンプを駆動することで、第２のラインを介して残りの１８Ｏガスを強制的に回収できる。その結果として、管路の太さや長さの影響を受けることなく、１８Ｏガスの回収効率の向上が可能になる。
【０００８】
さらに、第１のラインは、貯留部側の第1の分岐部と、ターゲット部側の第２の分岐部と、第１の分岐部と第２の分岐部との間に配置された第１の主弁と、を有し、第２のラインは、第１の分岐部及び第２の分岐部に接続されると共に、ポンプよりも第１の分岐部側に配置された第１の副弁と、ポンプよりも第２の分岐部側に配置された第２の副弁と、を有すると好適である。このような構成により、第１の主弁、第１の副弁及び第２の副弁の調節によって第１のラインと第２のラインの開閉を調整できる。そして、貯留部において１８Ｏガスを液化状態で貯留してターゲット部から１８Ｏガスを回収する際には、第１の副弁及び第２の副弁を閉じて第１の主弁を開き、ポンプを駆動する際には、第１の主弁を閉じ、第１の副弁及び第２の副弁を開くことによって１８Ｏガスを確実に回収できる。
【０００９】
さらに、１８Ｏガスを補充する第３のラインを更に備え、第１のラインは、第２の分岐部とターゲット部との間に配置された第２の主弁と、第１の主弁と第２の分岐部との間に設けられた第３の分岐部と、を更に有し、第３のラインは、第３の分岐部に接続されていると好適である。このような構成によれば、第３のラインを介して１８Ｏガスを貯留部に補充する場合に、第１の主弁及び第２の主弁を閉じ、第１の副弁及び第２の副弁を開いてポンプを駆動することにより、１８Ｏガスの補充を確実に行うことができる。
【００１０】
また、１８Ｏガスに加速粒子を照射して放射性同位元素を生成するターゲット部から１８Ｏガスを回収する酸素ガス回収方法において、第１のラインを介してターゲット部に連絡する貯留部で１８Ｏガスを沸点以下に冷却し、１８Ｏガスの液化によってターゲット部内の１８Ｏガスを回収するステップと、第１のラインを閉じるステップと、第１のラインをバイパスする第２のライン上に配置されたポンプを駆動し、ターゲット部内に残留する１８Ｏガスを第２のラインを介して貯留部に移送するステップと、を含むことを特徴とする。
【００１１】
このＯガス回収方法によれば、貯留部で１８Ｏガスを沸点以下に冷却し、１８Ｏガスの液化によってターゲット部内の１８Ｏガスを回収した後に、第１のラインを閉じてポンプを駆動するので、ポンプによって１８Ｏガスを回収する負荷が少なくなり、効率的に１８Ｏガスの回収が可能になる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るＯガス回収装置及び酸素ガス回収方法によれば、ターゲット部内に残留する１８Ｏガスの回収効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係るＯガス回収装置を示す図である。図１に示されるように、Ｏガス回収装置１は、[１８Ｏ]Ｏ２（以下、「１８Ｏガス」という）に陽子ビーム（加速粒子）を照射して放射性同位元素である[１８Ｆ]Ｆ２（以下、「１８Ｆガス」という）を生成するターゲット部３に接続されている。ターゲット部３は、１８Ｏガスを収容する反応室と、陽子ビームを反応室内に透過する反応室窓と、反応室内で生成された１８Ｆ（−）イオンが付着する壁部とを備えている。ターゲット部３の反応室の容積は９０ｃｃ程度であり、アルミニウム、銀、ニッケルまたは金めっきされた銅などによって形成されている。
【００１５】
Ｏガス回収装置１は、１８Ｏガスを液化して貯留すると共に、ターゲット部３に１８Ｏガスを供給する貯留手段５と、貯留手段５とターゲット部３とを連絡する管や弁などが設けられたガス流動部７を備える。貯留手段５は、鉛などによって遮蔽された第１のシールド室９内に配置され、ガス流動部７の主要部は、鉛などによって遮蔽された第２のシールド室１１内に配置されている。
【００１６】
貯留手段５は、１８Ｏガスを貯留する回収ボンベ（貯留部）１３と、液体窒素を貯留するデュワー瓶１５と、回収ボンベ１３を降下させてデュワー瓶１５内の液体窒素に浸し、また、回収ボンベ１３を上昇させて液体窒素から引き上げるシリンダ式駆動機構１７とを備えている。回収ボンベ１３を液体窒素内に浸すと、回収ボンベ１３内の１８Ｏガスは、冷却されて液化する。
【００１７】
ガス流動部７は、回収ボンベ１３とターゲット部３とを連絡するメインライン（第１のライン）１９と、ターゲット部３から１８Ｆガスを回収するための１８Ｆガス回収ライン２５と、ターゲット部３にＡｒガスや２％Ｆ２／Ａｒガスを供給したり、ターゲット部３やメインライン１９を真空引きしたりするための付帯ライン２７と、を備えている。さらに、ガス流動部７は、メインライン１９をバイパスするバイパスライン（第２のライン）２１と、回収ボンベ１３に１８Ｏガスを補充するための補充ライン（第３のライン）２３と、を備えている。メインライン１９、１８Ｆガス回収ライン２５、付帯ライン２７、バイパスライン２１及び補充ライン２３に用いられる管は、径が２０ｍｍ〜７０ｍｍ程度のステンレス管である。
【００１８】
メインライン１９は、回収ボンベ１３に近い側から順番に第１配管部１９ａ、第２配管部１９ｂ、第３配管部１９ｃ及び第４配管部１９ｄに区分することができる。第１配管部１９ａの一部は、第２のシールド室１１から露出して回収ボンベ１３に接続されている。また、第４配管部１９ｄの一部は、第２のシールド室１１から露出してターゲット部３に接続されている。
【００１９】
第１配管部１９ａと第２配管部１９ｂとの間には、第１の分岐部１９ｅが形成され、第３配管部１９ｃと第４配管部１９ｄとの間には第２の分岐部１９ｆが形成されている。第１の分岐部１９ｅには、バイパスライン２１の回収ボンベ１３側の端部が接続され、第２の分岐部１９ｆには、バイパスライン２１のターゲット部３側の端部が接続されている。また、第２配管部１９ｂと第３配管部１９ｃとの間には、第３の分岐部１９ｇが形成され、第３の分岐部１９ｇには、補充ライン２３の下流端部が接続されている。
【００２０】
第１配管部１９ａには、第１の電動弁１９ｈが設けられ、第２配管部１９ｂには、常時閉の第１の制御弁（第１の主弁）１９ｊが設けられている。第３配管部１９ｃには、モレキュラーシーブ１９ｋが設けられている。
【００２１】
第４配管部１９ｄには、第４の分岐部１９ｍと第５の分岐部１９ｎとが形成されている。第４の分岐部１９ｍは、第５の分岐部１９ｎよりもターゲット部３側に配置されている。第４配管部１９ｄのターゲット部３側の終端部には、常時閉の第５の制御弁（第２の主弁）１９ｐと圧力計１９ｒとが設けられている。なお、第５の制御弁１９ｐと圧力計１９ｒとは、第２のシールド室１１から露出して設けられている。
【００２２】
１８Ｆガス回収ライン２５は、第４の分岐部１９ｍに接続されている。１８Ｆガス回収ライン２５には、常時閉の第２の制御弁２５ａ、０．２ＭＰａ〜０．３ＭＰａの設定圧に保持する減圧弁２５ｂ及びマスフローコントローラ２５ｃが設けられている。
【００２３】
付帯ライン２７は、第５の分岐部１９ｎに接続されている。付帯ライン２７は、ターゲット部３やメインライン１９を真空引きするための吸引ライン２９を有する。また、吸引ライン２９には、Ａｒガスを供給する第１ガス供給ライン３１が接続され、さらに、２％Ｆ２／Ａｒガスを供給する第２ガス供給ライン３３が接続されている。
【００２４】
吸引ライン２９には、常時閉の制御弁や乾燥のためのソーダライム部などが設けられており吸引ライン２９の下流端部には、真空ポンプ３０が接続されている。真空ポンプ３０の駆動により、吸引ライン２９を介してターゲット部３やメインライン１９が真空引きされる。
【００２５】
第１ガス供給ライン３１は、Ａｒガス供給部３２に接続されており、さらに、逆止弁、常時閉の制御弁、圧力計などが設けられている。第１ガス供給ライン３１を介して１ＭＰａＧ〜１．５ＭＰａＧのＡｒガスがターゲット部３に供給される。第２ガス供給ライン３３は、２％Ｆ２／Ａｒガス供給部３４に接続されており、さらに、逆止弁、常時閉の制御弁、圧力計などが設けられている。第２ガス供給ライン３３を介して０．２ＭＰａＧ〜２ＭＰａＧの２％Ｆ２／Ａｒガスがターゲット部３に供給される。
【００２６】
バイパスライン２１には、ダイヤフラムポンプ（ポンプ）３５が設けられている。ダイヤフラムポンプ３５は、ターゲット部３に近い第２の分岐部１９ｆ側から回収ボンベ１３に近い第１の分岐部１９ｅ側に向けて１８Ｏガスを移送する。また、バイパスライン２１には、ダイヤフラムポンプ３５よりも第２の分岐部１９ｆに近い側に常時閉の第３の制御弁（第２の副弁）２１ａが設けられ、ダイヤフラムポンプ３５よりも第１の分岐部１９ｅに近い側に常時閉の第４の制御弁（第１の副弁）２１ｂが設けられている。
【００２７】
補充ライン２３の下流端部は、メインライン１９の第３の分岐部１９ｇに接続され、上流端部は、１８Ｏガス供給ボンベ３６に接続されている。また、補充ライン２３には、第２の電動弁２３ａが設けられている。なお、補充ライン２３が接続された第３の分岐部１９ｇは、メインライン１９における第１の制御弁（第１の主弁）１９ｊと第５の制御弁（第２の主弁）１９ｐとの間に設けられている。
【００２８】
また、Ｏガス回収装置１は、エアー駆動のための電磁弁３７及び制御部３９を備えている。電磁弁３７は、第１の制御弁１９ｊ、第２の制御弁２５ａ、第３の制御弁２１ａ、第４の制御弁２１ｂ及びシリンダ式駆動機構１７に接続されたエアー供給ライン上に設けられており、電磁弁３７の開閉により各制御弁１９ｊ，２５ａ，２１ａ，２１ｂの開閉やシリンダ式駆動機構１７の駆動が行われる。制御部３９は、電磁弁３７、第１の電動弁１９ｈ、第２の電動弁２３ａ、ダイヤフラムポンプ３５及び付帯ライン２７に設けられた制御弁などに接続されており、ダイヤフラムポンプ３５の駆動制御、第１、第２の電動弁１９ｈ，２３ａの開閉制御、及び付帯ライン２７の開閉制御などを行う。
【００２９】
次に、Ｏガス回収装置１による１８Ｏガスのターゲット部３への供給、ターゲット部３での１８Ｆ（−）イオンの生成、ターゲット部３からの１８Ｏガスの液化回収、ターゲット部３に残留する１８Ｏガスのポンプ回収、ターゲット部３での１８Ｆガスの生成及び１８Ｆガスの回収について順番に説明する。
【００３０】
（１８Ｏガスの供給）
図２に示されるように、制御部３９は、第５の制御弁１９ｐを開き、第２の電動弁２３ａを閉じる（第１のステップ）。その結果として、メインライン１９が開いた状態になる。なお、メインライン１９は、吸引ライン２９を介して適宜に真空引きされている。
【００３１】
次に、制御部３９は、第１の電動弁１９ｈ及び第１の制御弁１９ｊを開き、シリンダ式駆動機構１７を駆動して回収ボンベ１３をデュワー瓶１５の液体窒素から引き上げる。その結果として液相であった１８Ｏは気体状態の１８Ｏガスとなり、体積の膨張によってターゲット部３に供給される（図２の白抜き矢印参照）。制御部３９は、圧力計１９ｒなどを監視しており、ターゲット部３内が所定圧まで達すると、第５の制御弁１９ｐなどを閉じる（第２のステップ）。
【００３２】
（１８Ｆ（−）イオンの生成）
ターゲット部３への１８Ｏガスの供給が終了すると、サイクロトロン（図示せず）で発生した、例えば、１６．５ＭｅＶの陽子ビームをターゲット部３内の１８Ｏガスへ照射する（第３のステップ）。ターゲット部３内では、１８Ｏ（ｐ、ｎ）１８Ｆ核反応によって１８Ｆ（−）イオンが生成され、１８Ｆ（−）イオンはターゲット部３内に設けられた壁部に付着する。所定時間、例えば、４５分程度、陽子ビームを照射した後、陽子ビームの照射を停止する（第４のステップ）。
【００３３】
（１８Ｏガスの液化回収）
図３に示されるように、制御部３９は、第５の制御弁１９ｐを開き、シリンダ式駆動機構１７を駆動して回収ボンベ１３をデュワー瓶１５の液体窒素内に浸して１８Ｏガスを冷却し、沸点以下にする（第５のステップ）。すると、回収ボンベ１３内の１８Ｏガスは液化状態になり、回収ボンベ１３内に負圧が発生する。その結果として、回収ボンベ１３とターゲット部３との間の差圧は、例えば、３０ｋＰａ程度になり、ターゲット部３内に残っている１８Ｏガスはメインライン１９を流動して回収ボンベ１３内に回収される（図３の白抜き矢印参照）。
【００３４】
（１８Ｏガスのポンプ回収）
回収ボンベ１３とターゲット部３との間の差圧によって１８Ｏガスの多くは回収される。しかしながら、回収ボンベ１３内には、まだ、１８Ｏガスが残留しており、残留１８Ｏガスを強制的に回収するためにポンプ回収が行われる。
【００３５】
まず、制御部３９は、第１の制御弁１９ｊを閉じ、代わりに第３の制御弁２１ａ及び第４の制御弁２１ｂを開く（第６のステップ）。その結果として、メインライン１９が閉じ、バイパスライン２１が開いた状態になる。
【００３６】
次に、図１に示されるように、制御部３９は、ダイヤフラムポンプ３５を駆動し、ターゲット部３に残留している１８Ｏガスを強制的に吸引し、回収ボンベ１３に移送する（第７のステップ）。その結果として、ターゲット部３内に残留する１８Ｏガスのほとんどを回収でき（図１の白抜き矢印参照）、１８Ｏガスの回収効率を飛躍的に向上できる。
【００３７】
（１８Ｆガスの生成、回収）
１８Ｏガスの回収が終了すると、制御部３９は、第３の制御弁２１ａ及び第４の制御弁２１ｂを閉じてバイパスライン２１を閉じ、制御部３９は第２ガス供給ライン３３及び第１ガス供給ライン３１を開いて２％Ｆ２／ＡｒガスとキャリアガスとしてのＡｒガスとを同時にターゲット部３内に供給する（第８のステップ）。
【００３８】
ターゲット部３内に２％Ｆ２／ＡｒガスとＡｒガスとが供給されると、制御部３９は、第５の制御弁１９ｐなどを閉じる。すると、ターゲット部３内には、再び陽子ビームが照射される（第９のステップ）。ターゲット部３内に放射化していない２％Ｆ２／ＡｒガスとキャリアガスとしてのＡｒガスとを同時に供給することで、壁部に付着していた１８Ｆ（−）イオンはＦ２に置換されて１８Ｆガスとなる。さらに、この置換は、陽子ビームの照射によって促進される。
【００３９】
その後、制御部３９は、第１ガス供給ライン３１及び第２ガス供給ライン３３を閉じて１８Ｆガス回収ライン２５を開き、ターゲット部３内に生成された１８Ｆガスを回収する（第１０のステップ）。
【００４０】
以上のＯガス回収方法では、１８Ｏガスの液化回収に加えて、ダイヤフラムポンプ３５による強制的な回収を行っており、希少性の高い１８Ｏガスを回収ボンベ１３内に効率良く回収できる。
【００４１】
特に、上記のＯガス回収方法では、回収ボンベ１３とターゲット部３との差圧を利用してターゲット部３内の１８Ｏガスを回収した後に、ダイヤフラムポンプ３５を駆動して残留する１８Ｏガスを回収するので、ダイヤフラムポンプ３５の駆動負荷は少なくて済む。
【００４２】
（１８Ｏガスの補充方法）
次に、回収ボンベ１３内の１８Ｏガスが減った場合の補充方法について説明する。図４に示されるように、１８Ｏガスを補充する場合には、制御部３９は、メインライン１９の第１の電動弁１９ｈ及び第１の制御弁１９ｊを開き、補充ライン２３の第２の電動弁１９ｊを開く（第１のステップ）。この状態で、補充ライン２３は開いた状態になる。
【００４３】
次に、回収ボンベ１３をデュワー瓶１５内に漬け、冷却して１８Ｏガスを液化し、補充ライン２３を開くことで、１８Ｏガス供給ボンベ３６から回収ボンベ１３に向けて１８Ｏガスが補充される。
【００４４】
さらに、回収ボンベ１３内の１８Ｏガスの量が不十分な場合には、制御部３９は、第１の制御弁１９ｊを閉じ、第３の制御弁２１ａ及び第４の制御弁２１ｂを開いてバイパスライン２１を開く（第３のステップ）。次に、制御部３９は、ダイヤフラムポンプ３５を駆動し、１８Ｏガス供給ボンベ３６から１８Ｏガスを吸引し、１８Ｏガスを回収ボンベ１３に移送する（第４のステップ）。その結果として、１８Ｏガスを効率的に補充できる（図４の白抜き矢印参照）。
【００４５】
以上のＯガス回収装置１では、メインライン１９を介して回収ボンベ１３からターゲット部３に１８Ｏガスが供給される。また、回収ボンベ１３において、１８Ｏガスを液化貯留することでメインライン１９を介してターゲット部３から１８Ｏガスが吸引されて回収される。さらに、ターゲット部３に１８Ｏガスが残留していても、ダイヤフラムポンプ３５を駆動することで、バイパスライン２１を介して、残りの１８Ｏガスを強制的に回収できる。その結果として、１８Ｏガスの回収効率を向上させることができる。
【００４６】
なお、本実施形態では、１８Ｏガスの回収効率は、ダイヤフラムポンプ３５の能力（到達圧力）に依存する。例えば、ダイヤフラムポンプ３５を駆動しない場合のターゲット部３の内圧は０．２ＭＰａＧである。ダイヤフラムポンプ３５の到達圧力を、例えば−０．０５ＭＰａＧとすると、ターゲット部３の容量が０．１Ｌであれば、以下の式（１）に示されるように、毎回、０．２５ＮＬの１８Ｏガスを多く回収できることになる。
【００４７】
(0.2MPaG−(−0.05MPaG))/0.1×0.1L=0.25NL・・・（１）
【００４８】
また、Ｏガス回収装置１では、１８Ｏガスの供給、回収が行われるメインライン１９の一部である第４配管部１９ｄを利用して、１８Ｆガスの回収を行っている。回収ボンベ１３とターゲット部３との差圧を利用して１８Ｏガスを回収する場合、第４配管部１９ｄの径が大きい程、１８Ｏガスの回収効率は高くなる。一方で、第４配管部１９ｄは１８Ｆガスの回収にも利用されているために、径が大きくなると、１８Ｆガスの付着に伴う１８Ｆガスの回収ロスが大きくなる。しかしながら、Ｏガス回収装置１では、ダイヤフラムポンプ３５によって１８Ｏガスの強制的な回収を行うので、１８Ｏガスの回収効率を低下させることなく、第４配管部１９ｄの径を小さくでき、１８Ｏガスの回収効率の向上と１８Ｆガスの損失低減とを両立できる。
【００４９】
本発明は上記実施形態に限定されない。例えば、第２のラインに設けられるポンプとしてはダイヤフラムポンプに限定されず、気体を移送可能なポンプであれば適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るＯガス回収装置を示し、１８Ｏガスのポンプ回収時を示す図である。
【図２】Ｏガス回収装置を示し、１８Ｏガスの供給時を示す図である。
【図３】Ｏガス回収装置を示し、１８Ｏガスの液化回収時を示す図である。
【図４】Ｏガス回収装置を示し、１８Ｏガスの補充時を示す図である。
【符号の説明】
【００５１】
１…Ｏガス回収装置、３…ターゲット部、１３…回収ボンベ（貯留部）、１９…メインライン（第１のライン）、１９ｅ…第１の分岐部、１９ｆ…第２の分岐部、１９ｇ…第３の分岐部、１９ｊ…第１の制御弁（第１の主弁）、１９ｐ…第５の制御弁（第２の主弁）、２１…バイパスライン（第２のライン）、２１ａ…第３の制御弁（第２の副弁）、２１ｂ…第４の制御弁（第１の副弁）、２３…補充ライン（第３のライン）、３５…ダイヤフラムポンプ（ポンプ）。
【図１】
0004885809.tif 000002
【図２】
0004885809.tif 000003
【図３】
0004885809.tif 000004
【図４】
0004885809.tif 000005