(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空糸膜を被処理液中に浸漬して、被処理液を中空糸膜の外側から中空内部へと通過させることによってろ過を行なうようにしたろ過装置において、屈曲された複数本の中空糸膜と、各中空糸膜の両端部を固定する固定部と、固定部に設けられ、中空糸膜の両端の開口を介して中空糸膜内と連通される通液部とを備えて形成される膜モジュールと、上下が開口する筒状に形成され、中空糸膜の屈曲部が下向きになる姿勢で膜モジュールが内部に配置されるユニットパネルと、中空糸膜の下側においてユニットパネル内に配置され、中空糸膜の軸線方向と直交する方向で放射状に気体を被処理液中に散気する気体噴出部とを備えて形成される散気ユニットと、を具備し、
膜モジュールの下端に上下に開口する筒状のスカート部を設け、
気体噴出部から散気される気体によって生じる被処理液の流れを整流する整流部を、中空糸膜の下端より下側に配置して、ユニットパネルの内側に一体的にして散気ユニットに設け、
整流部に膜モジュールのスカート部を嵌合して取り付けることによって、膜モジュールをユニットパネル内に配置して成ることを特徴とするろ過装置。
【請求項２】
中空糸膜の下端の屈曲部の内側に通して中空糸膜の下端部を保持する保持部を、保持部の両端をスカート部の内周に保持させて膜モジュールに設け、スカート部の下端部に被処理液が流通する切欠部を形成して成ることを特徴とする請求項１に記載のろ過装置。
【請求項３】
ユニットパネルの下端部に被処理液が流通する切欠部を形成して成ることを特徴とする請求項１又は２に記載のろ過装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理液をろ過処理する膜分離式のろ過装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水などの被処理液を膜モジュールに通してろ過し、固液分離処理するにあたって、膜モジュールとして中空糸膜モジュールを用いることが従来から行なわれている。
【０００３】
図９は中空糸膜モジュールを用いたろ過装置の一例を示すものであり、一端が閉塞し他端が開口する中空糸膜を束ねると共に両端をそれぞれ結束し、開口側の端部に通液部２１を設けて中空糸膜モジュール２０を形成するようにしてある。そして中空糸膜の閉塞側の端部が下に、開口側の端部が上になる姿勢で中空糸膜モジュール２０を隔壁２２内に配置して被処理液中に浸漬してあり、通液部２１を集液配管２３に接続してある。このものにあって、集液配管２３から通液部２１内を吸引すると、被処理液は中空糸膜モジュール２０の各中空糸膜に外側から中空内部へと通過してろ過され、このろ過された被処理液は通液部２１から集液配管２３を通して排出されるようになっている（特許文献１参照）。
【０００４】
このように中空糸膜モジュール２０の各中空糸膜に被処理液を通してろ過することによって、被処理液を固液分離処理するにあたって、中空糸膜モジュール２０の各中空糸膜の表面にろ過された固形分が付着し、中空糸膜に目詰まりが発生するおそれがある。
【０００５】
このため、上記の特許文献１では、中空糸膜モジュール２０の下側に散気管２４を配置し、散気管２４からエアなどの気体を散気させるようにしてあり、この散気された気体による作用や、散気によって発生する被処理液の上昇流の作用で、中空糸膜モジュール２０の各中空糸膜に振動を与え、中空糸膜の表面に固形分が付着することを防ぐと共に、付着した固形分を中空糸膜の表面から剥ぎ取るようにしている。
【特許文献１】特開２００７−８３１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように散気管２４から気体を散気させて中空糸膜モジュール２０の各中空糸膜を洗浄するにあたって、散気管２４の噴出口は気体を上方へ噴出させるために上向きに開口しており、被処理液中を沈降する固形分で噴出口が詰まり易い。このため、散気管２４に気体の噴出むらが発生したり、気体が噴出されなくなったりして、中空糸膜モジュール２０の一部や全部が洗浄できなくなることがあるという問題があった。
【０００７】
また散気管２４から噴出される気体は、散気管２４の直上へと上昇するだけであって、中空糸膜モジュール２０の広い範囲に散気気体を作用させることができないものであり、中空糸膜モジュール２０の全体を均一に洗浄することが難しいという問題もあった。
【０００８】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、気体噴出部が詰まって気体の噴出ムラが発生したりすることなく、気体噴出部から広い範囲で膜モジュールの中空糸膜の全体に散気させて均一に洗浄することができるろ過装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るろ過装置は、中空糸膜１を被処理液中に浸漬して、被処理液を中空糸膜１の外側から中空内部へと通過させることによってろ過を行なうようにしたろ過装置において、屈曲された複数本の中空糸膜１と、各中空糸膜１の両端部を固定する固定部２と、固定部２に設けられ、中空糸膜１の両端の開口を介して中空糸膜１内と連通される通液部３とを備えて形成される膜モジュール４と、上下が開口する筒状に形成され、中空糸膜１の屈曲部が下向きになる姿勢で膜モジュール４が内部に配置されるユニットパネル５と、中空糸膜１の下側においてユニットパネル５内に配置され、中空糸膜１の軸線方向と直交する方向で放射状に気体を被処理液中に散気する気体噴出部６とを備えて形成される散気ユニット７と、を具備し、膜モジュール４の下端に上下に開口する筒状のスカート部１０を設け、気体噴出部６から散気される気体によって生じる被処理液の流れを整流する整流部８を、中空糸膜１の下端より下側に配置して、ユニットパネル５の内側に一体的にして散気ユニット７に設け、整流部８に膜モジュール４のスカート部１０を嵌合して取り付けることによって、膜モジュール４をユニットパネル５内に配置して成ることを特徴とするものである。
【００１０】
この発明によれば、散気ユニット７の気体噴出部６から散気して、膜モジュール４の中空糸膜１を洗浄するにあたって、気体噴出部６は中空糸膜１の軸線方向と直交する方向で放射状に、つまり水平方向で放射状に気体を被処理液中に散気するようにしたので、気体噴出部６の気体を噴出する噴出口１５は横向きに開口しているものであって、噴出口１５が詰まることを防ぐことができると共に、散気気体は水平方向に噴出された後に上昇するものであって、気体噴出部６の直上だけでなく広い範囲で膜モジュール４の中空糸膜１に散気することができ、散気気体による作用や、散気によって発生する被処理液の上昇流の作用で、中空糸膜１を広い範囲で均一に洗浄することができるものである。また膜モジュール４はユニットパネル５で囲われているものであって、散気によって発生する被処理液の上昇流が外方へ流れることをユニットパネル５で規制することができ、被処理液の上昇流による中空糸膜１の洗浄効果を高く得ることができるものである。
【００１２】
この発明によれば、被処理液の流れを整流部８で整流することによって、被処理液の上昇速度を高めることができ、中空糸膜１の洗浄効果を高めることができるものである。
【００１４】
この発明によれば、膜モジュール４の中空糸膜１を整流部８に対して位置決めした状態で取り付けることができると共に、膜モジュール４がユニットパネル５内で位置ずれすることを防ぐことができるものである。
【００１５】
また更なる発明は、中空糸膜１の下端の屈曲部の内側に通して中空糸膜１の下端部を保持する保持部９を、保持部９の両端をスカート部１０の内周に保持させて膜モジュール４に設け、スカート部１０の下端部に被処理液が流通する切欠部１１を形成して成ることを特徴とするものである。
【００１６】
この発明によれば、中空糸膜１の屈曲した下端部を保持部９とスカート部１０で保持して、中空糸膜１が絡み合わないようにすることができると共に、気体噴出部６からの散気で生じる被処理液の流れがスカート部１０で遮断されることを切欠部１１で防ぐことができるものである。
【００１７】
また更なる発明は、ユニットパネル５の下端部に被処理液が流通する切欠部１２を形成して成ることを特徴とするものである。
【００１８】
この発明によれば、気体噴出部６からの散気で生じる被処理液の流れがユニットパネル５で遮断されることを切欠部１２で防ぐことができるものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、散気ユニット７の気体噴出部６から散気して、膜モジュール４の中空糸膜１を洗浄するにあたって、気体噴出部６の気体を噴出する噴出口１５は横向きに開口しているものであって、噴出口１５が詰まることを防ぐことができると共に、散気気体は水平方向に噴出された後に上昇するものであって、気体噴出部６の直上だけでなく広い範囲で膜モジュール４の中空糸膜１に散気することができ、散気気体による作用や、散気によって発生する被処理液の上昇流の作用で、中空糸膜１を広い範囲で均一に洗浄することができるものである。また膜モジュール４はユニットパネル５で囲われているものであって、散気によって発生する被処理液の上昇流が外方へ流れることをユニットパネル５で規制することができ、被処理液の上昇流による中空糸膜１の洗浄効果を高く得ることができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００２１】
図２は膜モジュール４の一例を示すものであり、中空糸膜１を備えて形成してある。中空糸膜１はＰＰ、ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥなどの樹脂素材や、セラミックなどの素材から、サブミクロンオーダーの微細孔を有する中空糸状に形成されるものであり、この多数本の中空糸膜１を引き揃えて束ね、これを中央部でＵ字状に屈曲すると共に両端部を固定部２で固定するようにしてある。固定部２は樹脂成形などで形成されるものであり、内部を密閉された中空にして集水部２７が形成してある。各中空糸膜１の両端は固定部２の集水部２７内に開口させてある。固定部２の集水部２７はろ過液出口２８でのみ開口されるものであり、この集水部２７とろ過液出口２８で通液部３が形成されるようにしてある。
【００２２】
各中空糸膜１の屈曲部の内側には直線の棒で形成される保持部９が通してあり、保持部９の両端は上下に開口する筒状のスカート部１０の対向する内面に固定してある。スカート部１０は筒状であればよく、円筒や角筒などその形状は任意である。このスカート部１０の上面に立設した複数本の支柱２９の上端に、上記の固定部２が固定してあり、中空糸膜１をＵ字状に垂れ下げた固定部２をスカート部１０で支持すると共に、中空糸膜１の屈曲した端部を保持部９で保持するようにしてある。このように中空糸膜１の上端を固定する固定部２と、中空糸膜１の屈曲した下端部を保持する保持部９は、スカート部１０及び支柱２９で連結されているので、中空糸膜１の長さを一定に保つことができるものであり、また多数の中空糸膜１の並びの方向を規制することができるものである。
【００２３】
上記のように形成される膜モジュール４は、図１のように、中空糸膜１の軸線方向が上下方向となり、且つ中空糸膜１の屈曲部が下向きになる姿勢で散気ユニット７に組み込んで使用されるものである。散気ユニット７はユニットパネル５、整流部８、気体噴出部６を備えて形成されるものである。ユニットパネル５は、複数本のフレーム柱３１間にパネル３０を張って上下に開口する筒状に形成されるものであり（図７参照）、フレーム柱３１の下端に設けた脚部３２で、被処理水が満たされている処理槽内に設置されるようになっている。
【００２４】
整流部８はユニットパネル５の下部内に設けてある。整流部８はユニットパネル５に一体的に固定されているものである。固定の手段は特に限定されないが、例えば、整流部８の側端部に側方へ連結片３４を突出して設け、連結片３４の先端をユニットパネル５のフレーム支柱３１に結合することによって、連結片３４を介してユニットパネル５内に整流部８を一体的に固定するようにしてある。膜モジュール４は、その下端のスカート部１０を、整流部８の上部外周に上から嵌め込んで嵌合させることによって、ユニットパネル５内に取り付けるようにしてある。
【００２５】
また気体噴出部６は、外周の複数個所に外側方へ向けて放射状に開口する噴出口１５を設けて形成されるものであり、整流部８の下側においてユニットパネル５の下端部内に設けられるものである。気体噴出部６には送気管３３が接続してあり、エアなどの気体が送気管３３を通して気体噴出部６に供給されるようにしてある。気体噴出部６は中空糸膜１の軸線方向での直下位置において、スカート部１０の下面の開口の中央部の下側の位置に配置されるものである。気体噴出部６をユニットパネル５内の所定位置に取り付ける方法は、整流部８に気体噴出部６を結合したり、ユニットパネル５に気体噴出部６を結合したりするなど任意の方法で行なうことができるが、送気管３３で気体噴出部６を支持することによってユニットパネル５内の所定位置に気体噴出部６を取り付けるようにしてもよい。
【００２６】
上記のように膜モジュール４と散気ユニット７からなる本発明のろ過装置は、水などの被処理液が供給される処理槽内に、膜モジュール４と散気ユニット７を被処理液中に浸漬させた状態で設置されるものであり、膜モジュール４の通液部３にはろ過液排出配管３５が接続してある。そして、ろ過液排出配管３５を通して通液部３内を吸引すると、被処理液は膜モジュール４の各中空糸膜１に外側から中空内部へと通過してろ過される。また膜モジュール４の外部より水圧などの外圧をかけることによっても、被処理液は各中空糸膜１に外側から中空内部へと通過してろ過することができる。このように中空糸膜１に外側から中空内部へと通過する際に固液分離されてろ過された被処理液は、中空糸膜１の両端の開口から通液部３の集液部２７に流入し、ろ過液出口２８からろ過液排出配管３５を通して排出されるようになっている。
【００２７】
このとき、中空糸膜１の屈曲した下端部は自由端となっており、中空糸膜１がこの屈曲端部で絡み合うと、中空糸膜１の通液効率が低下し、また絡み合った中空糸膜１の隙間に固形物が溜まって中空糸膜１の表面に付着し易い。このため、本発明では上記のように中空糸膜１の屈曲部の内側に保持部９を通して拘束するようにしてあり、中空糸膜１が屈曲端部で絡み合うことを未然に防ぐようにしてある。
【００２８】
一方、このように膜モジュール４で被処理液をろ過しながら、送気管３３からエアなどの気体を気体噴出部６に供給して、噴出口１５から被処理液中に気体を噴出して散気を行なうようにしてある。このように気体噴出部６から散気すると、散気した気体は被処理液中を浮力で上昇し、スカート部１０の内側を通過して膜モジュール４の中空糸膜１に作用する。また散気気体が被処理液中を上昇することによって、被処理液に上昇流が生じ、この被処理液の上昇流がスカート部１０の内側を通過して中空糸膜１に作用する。そしてこの散気気体の作用や、被処理液の流れの作用で、中空糸膜１が振動し、中空糸膜１の表面に固形物が堆積して付着することを防止したり、中空糸膜１の表面に付着した固形物を剥離させたりして、中空糸膜１に目詰まりが生じることを防ぐ洗浄を行なうことができるものである。
【００２９】
ここで、噴出口１５は上記のように気体噴出部６の外周に外側方へ向けて放射状に開口して形成されているものであり、気体は噴出口１５から中空糸膜１の軸線方向と直交する方向で、すなわち図３（ｂ）に示すように略水平な横方向で放射状に噴出されるものである。このように気体噴出部６から気体が放射状に噴出されると、図３（ａ）に矢印で示すように、気体は横方向に広がった後に浮力で上方へ上昇することになり、広い範囲で散気気体が上昇することになる。また散気気体の上昇で生じる被処理液の上昇流も広い範囲で発生することになる。従って、広い範囲で膜モジュール４の中空糸膜１に散気気体や被処理液の上昇流を作用させることができるものであり、気体噴出部６の直上だけでなく広い範囲で中空糸膜１を洗浄することができ、中空糸膜１の洗浄をむらなく均一に行なうことができるものである。
【００３０】
このとき、気体噴出部６の噴出口１５から噴出される気体の噴出圧力が高いと、気体の横方向への広がりは大きく、噴出圧力が小さいと気体の横方向への広がりは小さくなる。従って気体の噴出圧力を調整することによって気体の広がりを調整して、中空糸膜１の洗浄範囲を調整することが可能になるものである。また気体の噴出圧力を変化させ、例えば噴射圧力を「高」「低」「高」「低」と繰り返して変化させると、気体の噴射の広がりの範囲も「広」「狭」「広」「狭」と変化し、気体噴出部６が小さなものであっても、中空糸膜１に散気気体や被処理液の流れを効果的に作用させることができ、中空糸膜１の洗浄を効果的に行なうことができるものである。
【００３１】
上記のように気体噴出部６から気体を散気することによって、散気気体の作用と、散気気体が被処理液を上昇することによって生じる被処理液の上昇流の作用で、膜モジュール４の中空糸膜１を洗浄することができる。そしてこの被処理液の流れが上方に中空糸膜１へと向かうことによって、中空糸膜１の洗浄に寄与することができるが、発生する流れは一般的に乱流であり、水平方向などへの流れも発生し、上昇流の速度が鈍くなって、中空糸膜１の洗浄の効率を高く得ることができないことがある。
【００３２】
このため本発明では、中空糸膜１と気体噴出部６との間に整流部８を設け、被処理液の流れを整流部８で整流するようにしてある。整流部８は図４に示すように、鉛直方向に立てて配置される平板状の整流板３７によって形成されるものであり、図の実施の形態では中心支柱３８に複数枚の整流板３７の各側端を固定することによって、放射状に配置された複数枚の整流板３７で整流部８を形成するようにしてある。そして、気体噴出部６からの散気で生じる被処理液の流れは、整流部８の各整流板３７に沿って整流され、鉛直上方へのみの上昇流となるように整流されるものであり、被処理液の上昇流の速度を高めることができるものである。このようにスカート部１０内での被処理液の上昇流の速度を高めて中空糸膜１に作用させることができるものであり、中空糸膜１の洗浄効果を高く得ることができるものである。
【００３３】
ここで、既述のように、膜モジュール４はスカート部１０を整流部８に上から嵌め込んで嵌合させることによって、ユニットパネル５内に取り付けるようにしてあるが、図４のように、整流部８を放射状に配置した複数枚の整流板３７で形成する場合、整流板３７の枚数に応じた多角形の筒状にスカート部１０を形成し、スカート部１０の多角形筒の角部内に各整流板３７の先端部を嵌め込むようにして、整流部８にスカート部１０を嵌合させることができるものである。また整流部８の下端部にはユニットパネル５に結合固定するための連結片３４が一箇所あるいは複数個所において突設してあり、スカート部１０の下端がこの連結片３４の上に係合載置されることによって、整流部８にスカート部１０を嵌合した状態で保持できるようにしてある。このように膜モジュール４は、スカート部１０を整流部８に嵌合させることによってユニットパネル５内に取り付けられているものであり、膜モジュール４の中空糸膜１を整流部８に対して位置決めした状態で取り付けることができると共に、膜モジュール４を鉛直に立設させた状態に保ち、またユニットパネル５内で位置ずれすることを防ぐことができるものである。
【００３４】
また上記のように、膜モジュール４のスカート部１０の下面開口の下側に配置された気体噴出部６から散気し、スカート部１０内で被処理液に上昇流を生じさせて中空糸膜１の洗浄を行なうにあたって、気体噴出部６はこのようにスカート部１０の下面開口の下側に配置されているために、スカート部１０の下面開口の中央部が気体噴出部６で塞がれて、下面開口からスカート部１０内に流入する被処理液の流れの一部が阻害される。すなわち、図５（ａ）に矢印で示すように、スカート部１０内に下面開口から流入する被処理液の流れの一部が気体噴出部６で遮られて、気体噴出部６からの散気でスカート部１０内において生じる被処理液の上昇流の流量や速度が十分に得られなくなるおそれがある。尚、説明の都合上、図５において整流部８の記載は省略している。
【００３５】
そこで本発明では、図５（ｂ）に示すように、スカート部１０の下端部に切欠部１１を設け、スカート部１０内への被処理液の流入が、スカート部１０の下面開口だけでなく、切欠部１１を通したスカート部１０の側面からも生じるようにしてある。すなわち図５（ｂ）に矢印で示すように、スカート部１０の下面開口からの被処理液の流れに、切欠部１１を通したスカート部１０の側面からの被処理液の流れが加わり、気体噴出部６からの散気でスカート部１０内において生じる被処理液の上昇流の流量や速度を高めることができるものであり、中空糸膜１の洗浄効果を高く得ることができるものである。上記の切欠部１１はスカート部１０に一箇所設ける他、等間隔などで複数個所に設けるようにしてもよく、また切欠部１１の形状は、図の実施の形態のように逆Ｖ字形に形成する他、半円形、方形など任意に形成することができる。
【００３６】
また、上記のように気体噴出部６からの散気によって被処理液に上昇流を生じさせ、この被処理液の流れで中空糸膜１の洗浄を行なうにあたって、被処理液の流れは、スカート部１０内から上昇して中空糸膜１を洗浄しながら膜モジュール４の上方へ抜ける（図６（ａ）にイ矢印で示す）。しかしスカート部１０の上面の開口から上昇した一部の流れは、図６（ａ）のロ矢印のようなスカート部１０内に下面の開口から吸引される流れに引き寄せられて、図６（ａ）にハ矢印で示すように、中空糸膜１を洗浄しないまま膜モジュール４の外側方へ流れてスカート部１０へとショートパスすることがある。
【００３７】
そこで本発明では、図６（ｂ）に示すように、膜モジュール４を上下が開口する筒状のユニットパネル５内に配置するようにしてあり、膜モジュール４の外周をユニットパネル５で囲むようにしてある。このように膜モジュール４の外周をユニットパネル５で囲むことによって、被処理液はユニットパネル５で規制されて上方へと流れるものであり、中空糸膜１を洗浄しないまま膜モジュール４の外側方へ流れることを防いで、被処理液の上昇流で中空糸膜１を効率良く洗浄することができるものである。
【００３８】
ユニットパネル５のパネル３０は樹脂板、金属板など任意の材質で形成することができるものであり、フレーム支柱３１で補強されるようにしてある。そしてフレーム支柱３１の下端に設けた脚部３２で水槽などの処理槽の底面に容易に設置することができるようにしてある。フレーム支柱３１は、ユニットパネル５の形状が単独で保持できるような構造であればよく、溶接やボルト止めなど任意の方法で組み立てることができ、本数、形状、構造は任意であり、また桟などを設けてもよい。
【００３９】
また図６（ｂ）に矢印で示すように、膜モジュール４の中空糸膜１を洗浄しながら上昇した被処理液の流れは、ユニットパネル５の上面の開口から上方へ抜け、次にユニットパネル５の外側に沿って下降した後に、気体噴出部６からの散気で被処理液に生じる上昇流に引かれて、ユニットパネル５内に下面の開口から流入する、というように被処理液に循環流が生じる。そして図７の実施の形態では、ユニットパネル５のパネル３０の下端に切欠部１２が形成してあり、ユニットパネル５内への被処理液の流入が、ユニットパネル５の下面開口だけでなく、切欠部１２を通したユニットパネル５の側面からも生じるようにしてある。従って、ユニットパネル５の下面開口からの被処理液の流れに、切欠部１２を通したユニットパネル５の側面からの被処理液の流れが加わり、気体噴出部６からの散気でユニットパネル５内において生じる被処理液の上昇流の流量や速度を高めることができるものであり、中空糸膜１の洗浄効果を高く得ることができるものである。切欠部１２はユニットパネル５に一箇所設ける他、複数個所に設けるようにしてもよく、また切欠部１２の形状は逆Ｖ字形に形成する他、半円形、方形など任意に形成することができる。
【００４０】
図８（ａ）（ｂ）は本発明の他の実施の形態を示すものであり、ユニットパネル５内にノズル４０を設け、高圧流体配管４１から供給される高圧エアや高圧液などの高圧流体を噴出するようにしたものである。このようにユニットパネル５内においてノズル４０から高圧流体を噴出させることによって、気体噴出部６からの散気のみでは被処理液に生じさせることができない流れを生成させ、被処理液の流れによる中空糸膜１の洗浄効果を高めることができるようにしたものである。
【００４１】
図８（ａ）の実施の形態では、ユニットパネル５内の下端部において、パネル３０と膜モジュール４との間の位置に、ノズル４０を上方へ向けて配置するようにしてある。このものでは、ノズル４０から上方へ高圧流体を噴出すると、ユニットパネル５内で膜モジュール４の周囲で被処理液の上昇流が生じ、気体噴出部６からの散気で被処理液に生じる上昇流が加速されることになり、この加速された被処理液の流れで中空糸膜１を効果的に洗浄することができるものである。ノズル４０は単独であっても、複数であってもよく、また配置の位置は特に限定されない。さらにノズル４０からの高圧流体の噴出は連続的であっても、断続的であってもよい。
【００４２】
図８（ｂ）の実施の形態では、膜モジュール４の中空糸膜１に対向させてノズル４０を配置するようにしてあり、高圧流体を中空糸膜１に吹き当てるようにしてある。このものではノズル４０から高圧流体を中空糸膜１に吹き当てることによって、気体噴出部６からの散気で被処理液に生じる上昇流では達成できない強力な剥離力で、中空糸膜１の表面に付着する固形物を剥離することができるものであり、中空糸膜１の洗浄効果を高く得ることができるものである。この場合も、ノズル４０は単独であっても、複数であってもよく、また配置の位置は特に限定されない。さらにノズル４０からの高圧流体の噴出はろ過の運転時であっても、停止時であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施の形態を示す正面断面図である。
【図２】同上の膜モジュールの正面断面図である。
【図３】同上の一部を示すものであり、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は平面断面図である。
【図４】同上の一部を示すものであり、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は平面断面図である。
【図５】同上の一部を示すものであり、（ａ）（ｂ）はそれぞれ正面断面図である。
【図６】同上の実施の形態を示すものであり、（ａ）（ｂ）はそれぞれ正面断面図である。
【図７】同上の他の実施の形態を示す斜視図である。
【図８】同上のさらに他の実施の形態を示すものであり、（ａ）（ｂ）はそれぞれ正面断面図である。
【図９】従来例を示す一部破断した斜視図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  中空糸膜
２  固定部
３  通液部
４  膜モジュール
５  ユニットパネル
６  気体噴出部
７  散気ユニット
８  整流部
９  保持部
１０  スカート部
１１  切欠部
１２  切欠部
１５  噴出口
【図１】
0004996379.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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