(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電アクチュエータであって、次の（ａ）〜（ｅ）の構成を有する、
（ａ）上基板と、これに所定の間隔を持って配置された下基板よりなり、
（ｂ）上又は下基板には、少なくとも一方が移動可能な部材が支持部材を介して移動可能に接続され、該移動可能な部材（一方のみが移動可能な場合は該部材と基板）には、それぞれ駆動用電極である第１電極及び第２電極が対向して備わり、該駆動用電極は電圧が印加された時対向方向に移動し得る如く構成されており、
（ｃ）駆動用電極間には両端に吸着電極が存在する弾性部材が配置され、該弾性部材は、両駆動用電極による押圧で歪みを生じエネルギーを蓄積すると共に、長手方向の長さが伸長又は短縮する如く構成され、
（ｄ）弾性部材と上又は下基板との間に出力シートが移動可能に挿入されており、出力シートには弾性部材の一方の端部に存在する吸着電極に対向する位置に対極となる電極を備えており、且つ上又は下基板も弾性部材及び出力シートが有する吸着電極の対極となる電極を対向して有しており、
（ｅ）各吸着電極は、それぞれ別個に対極との間に電圧を印加する手段に電気的に接続され、吸着電極はそれぞれ対極との間に電圧を印加されることにより静電気的に吸着固定される機能を有している、
（ａ）〜（ｅ）を特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
前記弾性部材は、前記第１電極と前記第２電極との間に配設された非線形ばねであることを特徴とする請求項１記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】
前記弾性部材が板ばねであることを特徴とする請求項１又は２記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】
前記弾性部材が弓幹状ばねであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか1項に記載の静電アクチュエータ。
【請求項５】
前記第１電極と前記第２電極が共に可動電極であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の静電アクチュエータ。
【請求項６】
前記第１電極と前記第２電極の一方が固定電極、他方が可動電極であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の静電アクチュエータ。
【請求項７】
前記第１電極が基板に固定され、前記第２電極が移動可能に構成されていることを特徴とする請求項６記載の静電アクチュエータ。
【請求項８】
前記第２電極が基板に固定され、前記第１電極が移動可能に構成されていることを特徴とする請求項６記載の静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電極間の静電引力を効率良く機械的仕事に変換することができる超小型の静電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の電磁アクチュエータの場合には電流を流し放しの状態となるのに対し、静電アクチュエータの場合には、初期の充電時のみに電流が流れるため省エネルギーにも寄与するものである。
【０００３】
また、静電アクチュエータは、半導体製造技術を適用した、いわゆるＭＥＭＳ（Micro Electro-Mechanical System）技術を適用することによって、低コスト、高精度の製作が期待できる。
【０００４】
従来の平行平板型静電アクチュエータは、固定電極Ｋと可動電極Ｍとを対向配置し、両者に電圧を印加して電極間隔を小さくする方向の静電駆動力を得るものである。この場合の静電駆動力Ｆｅはεを比誘電率、真空の誘電率をε０、ｄを電極間隔、Ｓを対向電極面積、Ｖを印加電圧とすれば、
Ｆｅ＝ε・ε０・Ｓ・Ｖ２／２ｄ２  ・・・・（１）
として表される。
【０００５】
上記（１）式より明らかなように、静電引力は電極間隔が小さくなるにつれて、急激に増加していく特性を持っている。従来は静電引力を仕事に変換することができるポテンシャルを持ちながら、初期発生力が弱く、実際には十分な仕事量を取り出すことが出来ない問題を有していた。
【０００６】
そして、変位量が極めて小さいためその適用範囲や用途が制限されていた。そこで、特許文献１では、大きな変位量を発生させることを目的として、ラチェット機構を含む板ばねのばね力を利用した静電式アクチュエータが開示されている。
【０００７】
即ち、可動部材と、板ばねを持ち前記可動部材を第１の方向に変位させる１対の第１駆動部材と、板ばねを持ち前記可動部材を第２の方向に変位させる１対の第２駆動部材とを固定部材上に配置し、前記各駆動部材と固定部材との静電力を利用して可動部材を双方向に変位可能とし、前記固定部材と可動部材との間の静電力を利用して一定位置に保持させる静電式アクチュエータが開示されている。
【０００８】
しかしながら、特許文献１の装置では、駆動力が、可動部材を支持する部材の変形（弾性エネルギー）に消費されているため、外部に取り出せる力はどんどん弱くなるものである。そして、単に大きな変位を得ようとしたものであり、駆動の為の発生力に関しては考慮されていなかった。
【特許文献１】特開平５−２２０６８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたもので、本発明の目的は、ばね、好ましくは非線形ばね、非線形伸び縮みばね、ゴム等の弾性体を支持体としてだけでなく、機械的エネルギーを蓄積する部材として利用することにより、静電引力による仕事を弾性エネルギーに変換してから仕事をさせることを可能とし、静電引力を効率良く機械的仕事に変換でき、大きな力と仕事を生成する事ができる小型の静電アクチュエータを提供することである。更に垂直方向の静電引力をばねに蓄え、出力時は静電引力の働く方向と直交する方向への取り出しを可能とし、省スペース化を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に係る発明は、静電アクチュエータであって、次の（ａ）〜（ｅ）の構成を有する、
（ａ）上基板と、これに所定の間隔を持って配置された下基板よりなり、
（ｂ）上又は下基板には、少なくとも一方が移動可能な部材が支持部材を介して移動可能に接続され、該移動可能な部材（一方のみが移動可能な場合は該部材と基板）には、それぞれ駆動用電極である第１電極及び第２電極が対向して備わり、該駆動用電極は電圧が印加された時対向方向に移動し得る如く構成されており、
（ｃ）駆動用電極間には両端に吸着電極が存在する弾性部材が配置され、該弾性部材は、両駆動用電極による押圧で歪みを生じエネルギーを蓄積すると共に、長手方向の長さが伸長又は短縮する如く構成され、
（ｄ）弾性部材と上又は下基板との間に出力シートが移動可能に挿入されており、出力シートには弾性部材の一方の端部に存在する吸着電極に対向する位置に対極となる電極を備えており、且つ上又は下基板も弾性部材及び出力シートが有する吸着電極の対極となる電極を対向して有しており、
（ｅ）各吸着電極は、それぞれ別個に対極との間に電圧を印加する手段に電気的に接続され、吸着電極はそれぞれ対極との間に電圧を印加されることにより静電気的に吸着固定される機能を有している、
（ａ）〜（ｅ）を特徴とする静電アクチュエータである。
請求項２に係る発明は、前記弾性部材は、前記第１電極と前記第２電極との間に配設された非線形ばねであることを特徴とする請求項１記載の静電アクチュエータである。
請求項３に係る発明は、前記弾性部材が板ばねであることを特徴とする請求項１又は２記載の静電アクチュエータである。
請求項４に係る発明は、前記弾性部材が弓幹状ばねであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の静電アクチュエータである。
請求項５に係る発明は、前記第１電極と前記第２電極が共に可動電極であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の静電アクチュエータである。
請求項６に係る発明は、前記第１電極と前記第２電極の一方が固定電極、他方が可動電極であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の静電アクチュエータである。
請求項７に係る発明は、前記第１電極が基板に固定され、前記第２電極が移動可能に構成されていることを特徴とする請求項６記載の静電アクチュエータである。
請求項８に係る発明は、前記第２電極が基板に固定され、前記第１電極が移動可能に構成されていることを特徴とする請求項６記載の静電アクチュエータである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明により提供される静電アクチュエータによれば、静電引力による仕事をばね、特に非線形伸び縮みばね等を利用した弾性エネルギーに変換してから仕事をさせることが出来るため、静電引力を効率良く機械的仕事に変換でき、大きな力と仕事を生成する事ができ、しかも小型に作ることが可能である。
【００１２】
上記（１）式において、電極面積を１ｍｍ２、電圧１０Ｖ、誘電率を空気の値にした場合の、電極間隔と仕事量との関係を図１に示す。通常の構造の静電アクチュエータにおいては、図１のように例えば初期電極間隔d=5μmの時には初期発生力が1.77×10-5Ｎであり、これ以上の負荷は動かせないからこれが利用できる最大の発生力となる。従ってこの力でdが減少する方向にアクチュエータが動くので、静電アクチュエータだけでできる仕事量Ｗ１は、領域Ｗ１で示される。一方、本発明による静電アクチュエータにおける静電引力から弾性エネルギーへの変換を用いた場合には、たとえばd=0.2μmからdが増加する方向にアクチュエータが動くことになるので、d=0.4μmまで動かす場合には2.77×10-3Ｎの負荷、d=1μmまで動かすなら4.43×10-4Ｎの負荷のものを動かすことが出来る。従って、その仕事量は、電極間隔の変化に応じて領域Ｗ２、領域Ｗ３のようになる。即ち、仕事量はＷ２／Ｗ１＝４．１６倍、Ｗ３／Ｗ１＝６．５倍となり、静電引力のみよりかなり大きな仕事をすることが出来る。また、発生力は、それぞれ２５倍、１５６倍にすることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の特徴は、駆動用電極である第１電極と第２電極の間に印加される電圧によって生ずる静電引力により弾性部材に歪を生じ、エネルギーを蓄積すると共に該弾性部材の長平方向の伸び又は縮みを生ぜしめ、静電吸着用電極により、出力シートを該弾性部材の一端に吸着固定した後、前記駆動用電極間の電圧を解放することにより、該弾性部材の歪を開放し、該弾性部材が元の長さに復元する力により出力シートを移動させることにある。
【００１４】
以下に本発明の実施例について説明する。
【実施例１】
【００１５】
図２は本発明の静電アクチュエータを示すもので、図２（イ）は平面図、図２（ロ）は図２（イ）のＡ−Ａ断面図、図２（ハ）は分解図である。
【００１６】
図２において、静電アクチュエータ１０は、互いに所定間隔をもって配置された基板としての上固定部材３と下固定部材４にはそれぞれ中央部に可動電極１と可動電極２を備えた可動部材１５，１６が支持部材１３，１４（可動部材１６に関する支持部材は図示していないがこれと同様である。）を介して取り付けられている。可動電極１と可動電極２の間または可動部材１５，１６の間には、非線形ばね５，６が配されている。
【００１７】
非線形ばね５，６は分解図にも示すように一対の２つの弓幹状ばねを逆向きに合わせた形状をしており、その両端部には静電吸着用電極７，８を備えている。該静電吸着用電極７と対応する下固定部材４上には静電吸着用電極１１が設けられている。
【００１８】
非線形ばねは、変形（変位）量に従ってばね定数が変化するように変形形状、板厚変化、ばね幅変化、複数のばねの組み合わせ等により実現出来る。図４〜図９のように、種々の形態のばねを利用して非線形伸び縮みばねを接続することも可能である。
【００１９】
また、ポリイミドフィルム等からなる出力シート１７が、上固定部材３と下固定部材４との間で、かつ弓幹状ばねの両端部の下方で下固定部材４との間に挿入配置され、図示で水平方向に移動可能に設けられている。そして、出力シート１７の端部にも静電吸着用電極８に対応する静電吸着用電極１８が設けられており、さらに静電吸着用電極１８に対応する静電吸着用電極１２が固定部材４上に設けられている。
【００２０】
また、可動電極１と可動電極２として説明したが、どちらか一方を固定電極としても良いことは当然である。
【００２１】
次に、出力シート１７の動作を図３（イ）〜図３（ト）を参照して詳述する。
【００２２】
図３（イ）では、全ての電極には電圧は印加されておらず、この状態では何らの作用も生じない。図３（ロ）の如く、下固定部材４の静電吸着用電極１２と出力シート１７の静電吸着用電極１８との間に電圧を印加すると、出力シート１７は下固定部材４に固定される。この状態で、図３（ハ）の如く、可動電極１と可動電極２との間に電圧を印加すると両者間に静電引力が発生し、図３（ニ）の如く非線形ばね５，６は圧縮され、非線形ばねは弾性エネルギーを蓄積する。同時に非線形ばね５，６の両端部は左右に延びる。次に図３（ホ）の如く、非線形ばね５，６の両端部の静電吸着用電極７と下固定部材４の静電吸着用電極１１の間、および非線形ばね５，６の両端部の静電吸着用電極８と出力シート１７の静電吸着用電極１８の間にも電圧を印加する。
【００２３】
この時、非線形ばね５，６の出力シート１７側の端部は、出力シート１７、非線形ばねの両端部、下固定部材４の３者が同時に固定された状態にある。次に、図３（ヘ）の如く、静電吸着用電極７と１１の間に電圧を印加した状態で、可動電極１と可動電極２との間の電圧を解放すると同時に、静電吸着用電極８と１８の間には電圧を印加したままで、静電用吸着用電極１２と１８の間の電圧の印加を解放する。すると、非線形ばね５，６に蓄積された弾性エネルギーが解放され、出力シート１７を吸着した状態のまま、左方へ移動する。図３（ト）の状態で、出力シート１７は１ステップ進行したことになる。この状態では、非線形ばね５，６の位置が左方にずれているが、可動電極１，２の範囲内で、図３（ロ）〜図３（ト）の工程を繰り返すことにより、出力シート１７はいわゆるラチェット運動を繰り返し間欠的に尺取り虫のように左方へ進行する。又は、非線形板ばねを連続的に連結してある板ばねを用いることにより、１つの非線形板ばねが可動電極間から出ていくと次の非線形板ばねが可動電極間に入ってくるように構成することで、前記と同様に出力シートはいわゆるラチェット運動を繰り返し間欠的に左方へ進行する。
【００２４】
ここで、静電吸着用電極７，８，１１，１２，１８は、いずれも弓幹状非線形板ばねおよび出力シート１７を一時的に固定させる為に用いられ、弓幹状非線形板ばねおよび出力シート１７にいわゆるラチェット運動を起こさせるためのもので、以下このような電極をラチェット電極と称する。
【実施例２】
【００２５】
図４は、この実施例の静電アクチュエータ５０は非線形板ばねが斜めに支持された湾曲した板ばねからなるものである。原理的には図４（イ）に示すように、斜めに支持された板ばねは、上方に荷重を加えて移動させられると支持部と荷重点の水平距離が大きくなることから、ばね定数ｋは低下し、逆に下方に移動させられると支持部からの水平距離が小さくなることから、ばね定数ｋは増加する。
【００２６】
静電アクチュエータ５０には、基板５１上の支持部５２，５３から可動電極５４，５５に向けて、非線形板ばね５６，５６’及び５７，５７’が設けられている。ここで、支持部５２及び支持部５３の下部と基板５１には、それぞれ静電吸着用のラチェット電極（図示せず）が設けられている。支持部５３には負荷としての出力部５８が支持されている。
【００２７】
次に、出力部５８の動作を、図４（ロ）〜図４（ニ）を参照して詳述する。
【００２８】
図４（ロ）では、全ての電極には電圧は印加されておらず、この状態では何らの作用も生じない。図４（ハ）の如く、出力部５８が接続された支持部５３と基板５１のラチェット電極に電圧を印加して支持部５３を固定した状態で、可動電極５４と可動電極５５間に電圧を印加すると、両可動電極５４，５５は静電引力により接近し、同時に弧状の非線形板ばね５６，５６’及び弧状の非線形板ばね５７，５７’は弾性エネルギーを蓄えながら変形する。このとき、板ばねの変形に伴って支持部５２は右方に進行する。次に、図４（ニ）の如く、進行方向後方の支持部５２と基板５１のラチェット電極に電圧を印加した後に、可動電極５４と可動電極５５間、および支持部５３と基板５１のラチェット電極の電圧を解放すると非線形板ばね５６，５６’，５７，５７’に蓄積された弾性エネルギーが解放され、可動電極５４と可動電極５５が離れると同時に、支持部５３が出力部５８を押しながら共に右方に移動進行する。その後は以上の操作を繰り返すことにより、大きな力と仕事を生成する事が可能となる。
【００２９】
また、前記可動電極５４，５５のいずれか一方を固定電極としても良いことは当然である。
【００３０】
本実施例の場合には、この縦置きの状態の静電アクチュエータ５０を水平面上で９０度横に倒した状態で使用することもできる。
【実施例３】
【００３１】
図５は、本発明の第３の実施例の静電アクチュエータ６０を示すものである。この実施例の静電アクチュエータ６０は、実施例２の静電アクチュエータ５０を改良したもので、仕事をする際に発生する可能性のある非線形板ばねの座屈の問題を解決したものである。
【００３２】
図５（イ）に示すように、基板６７上に左右のコの字状枠体６５，６６が滑動自在に配され、枠体６５，６６の間に可動電極６３，６４が設けられている。枠体６５及び枠体６６の下部と基板６７には、それぞれ静電吸着用のラチェット電極（図示せず）が設けられている。可動電極６３は枠体６５の上部と斜めに支持された弧状の非線形板ばね６１で接続され、同様に枠体６６の上部と弧状の非線形板ばね６１’で接続されている。また、可動電極６４は同様にして枠体６５の下部と弧状の非線形板ばね６２で接続され、枠体６６の下部と弧状の非線形板ばね６２’で接続されている。そして、枠体６６には負荷としての出力部６８が接続されている。
【００３３】
次に、出力部６８の動作を図５（ロ）〜図５（ニ）を参照して詳述する。動作は実施例５と類似である。
【００３４】
図５（ロ）では、全ての電極には電圧は印加されておらず、この状態では何らの作用も生じない。図５（ハ）の如く、出力部６８が接続された枠体６６と基板６７のラチェット電極に電圧を印加した状態で、可動電極６３と可動電極６４間に電圧を印加すると、両可動電極６３，６４は静電引力で接近し、同時に弧状の非線形板ばね６１，６１’及び弧状の非線形板ばね６２，６２’は弾性エネルギーを蓄えながら変形する。このとき、進行方向の枠体６５は左方に進行する。次に、図５（ニ）の如く、進行方向の枠体６５と基板６７のラチェット電極に電圧を印加した後に、可動電極６３と可動電極６４間の電圧および枠体６６と基板６７のラチェット電極の電圧を解放すると非線形板ばね６１，６１’，６２，６２’に蓄積された弾性エネルギーが解放され、可動電極６３と可動電極６４が離れると同時に、枠体６６が出力部６８と共に左方に移動進行する。その後は以上の操作を繰り返すことにより、大きな力と仕事を生成する事が可能となる。
【００３５】
また、前記可動電極６３，６４のいずれか一方を固定電極としても良いことは当然である。
【００３６】
本実施例の場合にも、実施例２と同様に、縦置きの状態の静電アクチュエータ６０を水平面上で９０度横に倒した状態で使用することもできる。
【実施例４】
【００３７】
図６は、本発明の第４の実施例の静電アクチュエータ７０を示すものである。
【００３８】
図６（イ）は静電アクチュエータ７０の平面図である。図６（ロ）は図６（イ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【００３９】
図６（イ）に示すように、右枠体７２及び左枠体７３は、相互に連結されて中空移動体７４を構成している。この中空移動体７４は基板７１上に配され、中空移動体７４の左枠体７３及び右枠体７２に対向して可動電極７５が設けられ、左枠体７３と可動電極７５の間には、く字状の一対の非線形板ばね７６，７６’が配されている。ここで、右枠体７２の下部と基板７１には、それぞれ静電吸着用のラチェット電極（図示せず）が設けられている。また、右枠体７２は固定電極として作用し、左枠体７３には負荷としての出力部７８が取り付けられている。
【００４０】
ここで、非線形板ばね７４，７４’をく字状とすることの理由は、図７に示すように、非線形板ばねに荷重が掛かった際に荷重点がずれることなく非線形性がでるからである。
【００４１】
次に、静電アクチュエータ７０の動作を、図６（イ）、図６（ハ）〜図６（ト）を参照して詳述する。
【００４２】
図６（イ）では、全ての電極には電圧は印加されておらず、この状態では何らの作用も生じない。図６（ハ）の如く、右枠体７２と基板７１のラチェット電極間に電圧を印加し、右枠体７２を基板７１に固定する。この状態で、図６（ニ）の如く、右枠体７２と可動電極７５間に電圧を印加すると、静電引力で、可動電極７５は一対の非線形板ばね７６，７６’を伸張させながら右枠体７２に引き寄せられる。その結果、図６（ホ）の如く、一対の非線形板ばね７６，７６’には弾性エネルギーが蓄積される。次に、図６（ヘ）の如く、可動電極７５と基板７１間に電圧を印可して、可動電極７５を基板７１に固定した状態で可動電極７５と右枠体７２との間の電圧を開放すると共に、右枠体７２と基板７１のラチェット電極間の電圧を開放する。すると、図６（ト）の如く、一対の非線形板ばね７６，７６’に蓄積された弾性エネルギーが開放され、中空移動体７４が右方に移動するので、左枠体７３に取り付けられた出力部７８が移動する。その後は以上の操作を繰り返すことにより、大きな力と仕事を生成する事が可能となる。
【００４３】
図６では、左枠体７３と可動電極７５との間に一対の非線形板ばねが設けられている例で説明したが、右枠体７２と可動電極７５との間に圧縮ばねとして一対の非線形板ばねを設けてもよいことは当然である。この場合には、固定電極としての右枠体７２と可動電極７５との間の一対の非線形板ばねに蓄積される弾性エネルギーを利用することにより、上述と同様にして左枠体７３に取り付けられた出力部７８を移動させることができる。
【００４４】
図８に、図６に示した静電アクチュエータ７０に使用され得る非線形ばねの例を示す。図８（イ）は、一対のく字状板ばねの両端部が互いに離れているタイプの例である。図８（ロ）は、一対のく字状板ばねの両端部が互いに結合され、いわゆる菱形形状のタイプの例である。図８（ハ）は、図８（ロ）の菱形の頂部に直線のばね部を設けたタイプのものである。図８（ニ）は、楕円形状の板ばねの長軸部の両端に直線のばね部を設けたタイプのものである。図８（ホ）は、楕円形状の板ばねのタイプのものである。
【００４５】
以上説明したように、本件発明によると、ラチェット機構を備えた板ばねの蓄積力を利用するようにしたので、簡単な構成で発生力、変位の大きい実用的で、かつ省エネルギー、超小型の静電アクチュエータを得ることが出来る。
【００４６】
さらに、弓幹状板ばねは、静電引力によりつぶれて行くに従い、該弓幹状板ばね両端部と他部材との接触域が増加するので、ばねに非線形性が出るものである。
【００４７】
また、非線形ばねを線形ばねとしても良いことは当然である。
【００４８】
本発明の静電アクチュエータは、例えば、医療用機器における内視鏡等の多自由度可撓管の駆動部、情報機器におけるＨＤＤのピックアップ、携帯機器における携帯電話のカメラのレンズ移動機構、シャッター移動機構等、各種のアクチュエータに使用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明に係る静電アクチュエータの発生力を示す図である。
【図２】本発明に係る第１実施例の静電アクチュエータを示す図である。
【図３】第１実施例の静電アクチュエータの動作説明図である。
【図４】本発明に係る第２実施例の静電アクチュエータ、及びその動作を示す図である。
【図５】本発明に係る第３実施例の静電アクチュエータ、及びその動作を示す図である。
【図６】本発明に係る第４実施例の静電アクチュエータ、及びその動作を示す図である。
【図７】本発明に係る第４実施例の静電アクチュエータに使用される非線形板ばねを説明する図である。
【図８】本発明に係る第４実施例の静電アクチュエータに使用される非線形板ばねの例を示す図である。
【図９】本発明に用いられる非線形板ばねの例を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１，２，５４，５５，６３，６４，７５    可動電極
３    上固定部材
４    下固定部材
５，６，５６，５６’，５７，５７’，６１，６１’，６２，６２’，７６，７６’    非線形板ばね
７，８，１１，１２，１８    静電吸着用電極
１０，５０，６０，７０    静電アクチュエータ
１３，１４    支持部材
１５，１６    可動部材
１７    出力シート
５１，６７    基板
２４    電極
２７，３７，４７    固定電極
５８，６８    出力部
５２，５３    支持部
６５，６６    枠体
【図１】
0004882065.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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