(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ナノフィルトレーション膜で非透過室と透過室とに区分されたＮＦ膜モジュールの複数個と，前記各ＮＦ膜モジュールの透過水を逆浸透膜にて膜分離するＲＯ膜モジュールと，被処理水が流れる１本の被処理水移送管路とを備え，前記各ＮＦ膜モジュールの各々に，前記ナノフィルトレーション膜を洗浄する膜洗浄手段が設けられている構成であって，
前記被処理水移送管路に，前記各ＮＦ膜モジュールの非透過室に被処理水を流入させる入口管路と前記各ＮＦ膜モジュールの非透過室から被処理水を戻す出口管路との対が，各ＮＦ膜モジュール毎に接続されており，前記各入口管路と出口管路とにそれぞれ通水を継断する切り替え手段が設けられていると共に，前記被処理水移送管路のうち各ＮＦ膜モジュールの入口管路と出口管路との接続部の間の各部位に，それぞれ通水を継断する切り替え手段が設けられている，
逆浸透膜を使用した水処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載した水処理装置の使用方法であって，
前記全てのＮＦ膜モジュールで膜分離を行う状態を基準にしつつ，任意の一部のＮＦ膜モジュールについて前記ナノフィルトレーション膜の洗浄を定期的に行うにおいて，
各ＮＦ膜モジュールの各々で被処理水の膜分離が行われる工程では，前記各ＮＦ膜モジュールの入口管路と出口管路とは通水して前記被処理水移送管路は各ＮＦ膜モジュールの入口管路と出口管路との間で通水を遮断することにより，上流側のＮＦ膜モジュールの非透過室から下流側のＮＦ膜モジュールの非透過室に向けて被処理水を順次流しており，
前記一部洗浄工程では，前記一部のＮＦ膜モジュールについて前記入口管路と出口管路との通水を遮断すると共に，被処理水移送管路のうち前記通水が遮断された入口管路と出口管路との接続部間を通水状態にすることにより，他のＮＦ膜モジュールについては非透過室への被処理水の流入・排出を継続させて膜分離を継続して行い，かつ，前記一部のＮＦ膜モジュールについては前記膜洗浄手段を運転してナノフィルトレーション膜の洗浄を行う，
逆浸透膜を使用した水処理装置の使用方法。
【請求項３】
ナノフィルトレーション膜で非透過室と透過室とに区分されたＮＦ膜モジュールの複数個と，前記各ＮＦ膜モジュールの透過水を逆浸透膜にて膜分離するＲＯ膜モジュールとを備え，前記各ＮＦ膜モジュールの各々に，前記ナノフィルトレーション膜を前記非透過室の側から洗浄する膜洗浄手段が設けられており，任意の各ＮＦ膜モジュールの非透過室への被処理水の流入と排出とを継断できる切り替え手段を設けることにより，任意のＮＦ膜モジュールで非処理水の膜分離を継続しつつ他のＮＦ膜モジュールについては膜分離を停止して膜洗浄を行うことが可能な構成であって，
前記各ＮＦ膜モジュールの群よりも上流側に，それら各ＮＦ膜モジュールの群に被処理水を供給するためのメインポンプが配置されている一方，
前記各ＮＦ膜モジュールの非透過室の各々に，それら非透過室から排出された非処理水を再び非透過室に流入させる循環管路が，前記各循環管路は前記メインポンプよりも下流側に位置して互いに独立した状態に接続されており，かつ，非処理水が循環ポンプによって前記循環管路と非透過室とを循環している状態と非透過室への被処理水の流入・排出が継続的に行われる状態とを切り替える切り替え手段が設けられている，
逆浸透膜を使用した水処理装置。
【請求項４】
前記各ＮＦ膜モジュールの循環管路に被処理水の入口管路と出口管路とを接続することよにより，継続的に供給される被処理水が循環管路と非透過室との間に強制循環されつつ前記ナノフィルトレーション膜による膜分離が行われるようになっている，
請求項３に記載した逆浸透膜を使用した水処理装置。
【請求項５】
請求項３又は４に記載した水処理装置の使用方法であって，
前記各ＮＦ膜モジュールの各々について非透過室への被処理水の流入・排出を継続的に行うことで非処理水の膜分離を全てのＮＦ膜モジュールで行う状態を基準にしつつ，任意の一部のＮＦ膜モジュールについて前記ナノフィルトレーション膜を洗浄するという一部洗浄工程を定期的に行うにおいて，
前記一部洗浄工程では，前記一部のＮＦ膜モジュールについては非透過室への新たな被処理水の流入と排出とを遮断して非処理水を循環ポンプにて非透過室と循環管路とに循環させる一方，他のＮＦ膜モジュールについては非透過室への被処理水の継続的な流入・排出を行ってナノフィルトレーション膜による膜分離を行う継続して行い，更に，前記一部のＮＦ膜モジュールについてナノフィルトレーション膜の洗浄が修了したら，循環していた非処理水を外部に排出する，
逆浸透膜を使用した水処理装置の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，逆浸透膜を使用して，例えば，海水から淡水を得るとか，或いは，地下水又は埋立地浸出水等のように不純物を含む廃水から清水を得るようにした水処理装置及びその使用方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
逆浸透膜を使用して，海水から淡水を得るとか，或いは，地下水又は埋立地浸出水等のように不純物を含む廃水から清水を得ることは，従来から良く知られている。
【０００３】
しかし，海水又は廃水を，前記逆浸透膜を使用したＲＯ膜モジュールに直接に供給すると，前記逆浸透膜（ＲＯ膜）に目詰まりが発生しやすくなるため，逆浸透膜の膜洗浄を頻繁に行うようにしなければならない煩わしさがあるばかりか，逆浸透膜（ＲＯ膜）の耐久性が低下するという問題がある。
【０００４】
そこで，先行技術としての特許文献１及び２は，前記した問題を解消するために，前記逆浸透膜を使用したＲＯ膜モジュールの前段に，ナノフィルトレーション膜を使用したＮＦ膜モジュールを設け，前記海水又は廃水を，先ず，前記ＮＦ膜モジュールに供給して非透過水と透過水とに膜分離し，このＮＦ膜モジュールで膜分離された透過水を前記ＲＯ膜モジュールに供給することを提案している。
【０００５】
この場合，特許文献２は，前記ＮＦ膜モジュールを，前段のＮＦ膜モジュールと次段のＮＦ膜モジュールとの複数個にして，前記海水又は廃水を，先ず，前段のＮＦ膜モジュールに供給して非透過水と透過水とに膜分離し，前段のＮＦ膜モジュールで膜分離されなかった非透過水を次段のＮＦ膜モジュールに供給して非透過水と透過水とに膜分離し，これら各ＮＦ膜モジュールで膜分離された透過水をＲＯ膜モジュールに供給するように構成することによって，エネルギー消費量の低減，各膜の耐久性の向上，装置の小型化等を図るようにしている。
【特許文献１】特開２００２−２８２８５５号公報
【特許文献２】特開２００３−２００１６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
これら先行技術のように，海水又は廃水を先にＮＦ膜モジュールに供給すると，このＮＦ膜モジュールにおけるナノフィルトレーション膜に目詰まりが発生することになるから，このＮＦ膜モジュールは，その目詰まりを解消するための膜洗浄を定期的に行うようにしなければならない。
【０００７】
しかし，前記した各先行技術における構成では，ＲＯ膜モジュールの運転を停止した状態にして，前記ＮＦ膜モジュールの膜洗浄を行うようにしなければならず，前記ＮＦ膜モジュールの膜洗浄を行うたびにＲＯ膜モジュールの膜分離を停止しなければならないから，装置全体としての稼動率が低いのであった。
【０００８】
本発明は，前記先行技術のように，前記ＲＯ膜モジュールの前段にＮＦ膜モジュールを設けることを前提として，前記ＲＯ膜モジュールによる膜分離を停止することなくＮＦ膜モジュールの膜洗浄ができるようにすることを技術的課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明は水処理装置に関するもので，この水処理装置は，ナノフィルトレーション膜で非透過室と透過室とに区分されたＮＦ膜モジュールの複数個と，前記各ＮＦ膜モジュールの透過水を逆浸透膜にて膜分離するＲＯ膜モジュールと，被処理水が流れる１本の被処理水移送管路とを備え，前記各ＮＦ膜モジュールの各々に，前記ナノフィルトレーション膜を洗浄する膜洗浄手段が設けられている構成において，前記被処理水移送管路に，前記各ＮＦ膜モジュールの非透過室に被処理水を流入させる入口管路と前記各ＮＦ膜モジュールの非透過室から被処理水を戻す出口管路との対が，各ＮＦ膜モジュール毎に接続されており，前記各入口管路と出口管路とにそれぞれ通水を継断する切り替え手段が設けられていると共に，前記被処理水移送管路のうち各ＮＦ膜モジュールの入口管路と出口管路との接続部の間の各部位に，それぞれ通水を継断する切り替え手段が設けられている。
【００１０】
本発明における請求項２は，請求項１に記載した水処理装置の使用方法であり，前記全てのＮＦ膜モジュールで膜分離を行う状態を基準にしつつ，任意の一部のＮＦ膜モジュールについて前記ナノフィルトレーション膜の洗浄を定期的に行われる。
そして，各ＮＦ膜モジュールの各々で被処理水の膜分離が行われる工程では，前記各ＮＦ膜モジュールの入口管路と出口管路とは通水して前記被処理水移送管路は各ＮＦ膜モジュールの入口管路と出口管路との間で通水を遮断することにより，上流側のＮＦ膜モジュールの非透過室から下流側のＮＦ膜モジュールの非透過室に向けて被処理水を順次流す。
他方，前記一部洗浄工程では，前記一部のＮＦ膜モジュールについて前記入口管路と出口管路との通水を遮断すると共に，被処理水移送管路のうち前記通水が遮断された入口管路と出口管路との接続部間を通水状態にすることにより，他のＮＦ膜モジュールについては非透過室への被処理水の流入・排出を継続させて膜分離を継続して行い，かつ，前記一部のＮＦ膜モジュールについては前記膜洗浄手段を運転してナノフィルトレーション膜の洗浄を行うものである。
【００１１】
請求項３の発明は水処理装置に関するものであり，この発明に係る装置は，ナノフィルトレーション膜で非透過室と透過室とに区分されたＮＦ膜モジュールの複数個と，前記各ＮＦ膜モジュールの透過水を逆浸透膜にて膜分離するＲＯ膜モジュールとを備え，前記各ＮＦ膜モジュールの各々に，前記ナノフィルトレーション膜を前記非透過室の側から洗浄する膜洗浄手段が設けられており，任意の各ＮＦ膜モジュールの非透過室への被処理水の流入と排出とを継断できる切り替え手段を設けることにより，任意のＮＦ膜モジュールで非処理水の膜分離を継続しつつ他のＮＦ膜モジュールについては膜分離を停止して膜洗浄を行うことが可能な構成である。
更に請求項３の発明では，前記各ＮＦ膜モジュールの群よりも上流側に，それら各ＮＦ膜モジュールの群に被処理水を供給するためのメインポンプが配置されている一方，前記各ＮＦ膜モジュールの非透過室の各々に，それら非透過室から排出された非処理水を再び非透過室に流入させる循環管路が，前記各循環管路は前記メインポンプよりも下流側に位置して互いに独立した状態に接続されており，かつ，非処理水が循環ポンプによって前記循環管路と非透過室とを循環している状態と非透過室への被処理水の流入・排出が継続的に行われる状態とを切り替える切り替え手段が設けられている。
請求項４の発明は，請求項３において，前記各ＮＦ膜モジュールの循環管路に被処理水の入口管路と出口管路とを接続することよにより，継続的に供給される被処理水が循環管路と非透過室との間に強制循環されつつ前記ナノフィルトレーション膜による膜分離が行われるようになっている。
【００１２】
請求項５の発明は請求項３又は４に記載した水処理装置の使用方法であり，この発明では，前記各ＮＦ膜モジュールの各々について非透過室への被処理水の流入・排出を継続的に行うことで非処理水の膜分離を全てのＮＦ膜モジュールで行う状態を基準にしつつ，任意の一部のＮＦ膜モジュールについて前記ナノフィルトレーション膜を洗浄するという一部洗浄工程を定期的に行う。
そして，前記一部洗浄工程では，前記一部のＮＦ膜モジュールについては非透過室への新たな被処理水の流入と排出とを遮断して非処理水を循環ポンプにて非透過室と循環管路とに循環させる一方，他のＮＦ膜モジュールについては非透過室への被処理水の継続的な流入・排出を行ってナノフィルトレーション膜による膜分離を行う継続して行い，更に，前記一部のＮＦ膜モジュールについてナノフィルトレーション膜の洗浄が修了したら，循環していた非処理水を外部に排出する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では，ＲＯ膜モジュールの前処理としてのＮＦ膜モジュールを複数個にして，この複数個の各ＮＦ膜モジュールのうち任意の一部のＮＦ膜モジュールによる膜分離を継続した状態で，残りのＮＦ膜モジュールについてその膜分離を停止して膜洗浄を行える。
【００１４】
これにより，ＮＦ膜モジュールに対する膜洗浄を行うたびごとに，ＲＯ膜モジュールによる膜分離を停止することを必要としないから，装置全体としての稼動率を大幅に向上できる。
【００１５】
この場合において，請求項４の発明では，前記各ＮＦ膜モジュールにおける非透過室内における非透過水を強制循環することにより，前記各ＮＦ膜モジュールにおいて，そのナノフィルトレーション膜における非透過側の表面の流速を早くすることができるから，前記ナノフィルトレーション膜における分離効率を向上できるとともに，このナノフィルトレーション膜における目詰まりの発生を抑制できて，前記各ＮＦ膜モジュールにおける膜洗浄の頻度を低減することができる。
【００１６】
また，請求項１，２の発明では，前記ＲＯ膜モジュールに対して，複数のＮＦ膜モジュールにおける透過水を供給できるから，ＲＯ膜モジュールを高い回収率で運転することができる一方，上流側に位置したＮＦ膜モジュールの非透過室から排出された非処理水は次の段のＮＦ膜モジュールの非透過室に流入するため，不純物又は有害物等を含む非透過水の量を，ＮＦ膜モジュールにおける複数段にわたる膜分離によって，大幅に少なくすることができる。
【００１７】
前記各ＮＦ膜モジュールにおけるナノフィルトレーション膜に対する逆洗浄を，前記ＲＯ膜モジュールを透過した純度の高い透過水によって行うと，前記各ＮＦ膜モジュールのナノフィルトレーション膜における目詰まりを解消するための逆洗浄を高い効率で行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下，本発明の実施の形態を，図１の図面に基づいて説明する。
【００１９】
この図において，符号１は被処理廃水タンクを示し，この被処理廃水タンク１内には，処理する目的であるところのカルシウム及び硫酸等の有害な不純物を含む被処理廃水が，廃水供給管路２より供給されている。
【００２０】
また，符号３はナノフィルトレーション膜（ＮＦ膜）を使用した第１段ＮＦ膜モジュールを，符号４は同じくナノフィルトレーション膜（ＮＦ膜）を使用した第２段ＮＦ膜モジュールを，符号５は同じくナノフィルトレーション膜（ＮＦ膜）を使用した第３段ＮＦ膜モジュールを，そして，符号６は逆浸透膜（ＲＯ膜）を使用したＲＯ膜モジュールを各々示す。
【００２１】
前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５の各々における非透過室３′，４′，５′の側には，循環ポンプ３ａ，４ａ，５ａと，その吸い込み側に逆止弁３ｂ，４ｂ，５ｂとを備えた循環管路３ｃ，４ｃ，５ｃが接続され，当該非透過室３′，４′，５′内における非透過水を強制循環させ得るように構成している。
【００２２】
前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５における循環管路３ｃ，４ｃ，５ｃには，逆止弁３ｂ，４ｂ，５ｂを挟んで循環ポンプ３ａ，４ａ，５ａに近い部位には入口管路７，８，９が接続され，逆止弁３ｂ，４ｂ，５ｂを挟んで循環ポンプ３ａ，４ａ，５ａと反対側には出口管路１０，１１，１２が各々接続されており，各入口管路７，８，９にはその通水を継断する供給バルブ１３，１４，１５が設けられ，前記各出口管路１０，１１，１２にはその通水を継断する排出バルブ１６，１７，１８が設けられている。供給バルブ１３，１４，１５と排出バルブ１６，１７，１８は切り替え手段である。
【００２３】
また，前記ＲＯ膜モジュール６における非透過室６′の側には，循環ポンプ６ａを備えた循環管路６ｂが設けられ，当該非透過室６′内における非透過水を強制循環させ得るように構成している。
【００２４】
前記被処理廃水タンク１内における被処理廃水を，メインポンプ１９を備えた被処理水移送管路２０にて，前記第１段ＮＦ膜モジュール３における循環管路３ｃに供給バルブ１３を介して供給し，この第１段ＮＦ膜モジュール３における非透過水を，排出バルブ１６より排出して，前記第２段ＮＦ膜モジュール４における循環管路４ｃに供給バルブ１４を介して供給し，第２段ＮＦ膜モジュール４における非透過水を，排出バルブ１７より排出して，前記第３段ＮＦ膜モジュール５における循環管路５ｃに供給バルブ１５を介して供給し，この第３段ＮＦ膜モジュール５における非透過水を，排出バルブ１８より管路２１を介して排出するようにしている。
【００２５】
この場合，被処理水移送管路２０のうち，前記第１段ＮＦ膜モジュール３における供給バルブ１３と排出バルブ１６との接続部の間，前記第２段ＮＦ膜モジュール４における供給バルブ１４と排出バルブ１７との接続部の間，及び前記第３段ＮＦ膜モジュール５における供給バルブ１５と排出バルブ１８との接続部の間の各々に，通水を継断する切換バルブ２２，２３，２４を設けている。 切換バルブ２２，２３，２４は切り替え手段の一部であり，これらを各切換バルブ２２，２３，２４を全て閉じているときには，被処理水移送管路２０からの処理すべき廃水は，先ず，第１段ＮＦ膜モジュール３に供給され，この第１段ＮＦ膜モジュール３における非透過水が，第２段ＮＦ膜モジュール４に供給され，この第２段ＮＦ膜モジュール４における非透過水が，第３段ＮＦ膜モジュール５に供給され，この第３段ＮＦ膜モジュール５における非透過水は，出口管路１２から管路２１を介して排出するような状態になっている。このため，全てのＮＦ膜モジュール３，４，５で被処理水の膜分離が行われる。
他方，任意のＮＦ膜モジュール３，４，５を洗浄するため，以下に述べるように，前記三段のＮＦ膜モジュール３，４，５のうち少なくとも任意の二つのＮＦ膜モジュールを使用して二段の膜分離を行う一方，残り一つのＮＦ膜モジュールにおける膜分離を停止する状態に選択的に切り換え可能に構成している。
【００２６】
すなわち，前記第１段ＮＦ膜モジュール３における供給バルブ１３及び排出バルブ１６を閉じると同時に，この第１段ＮＦ膜モジュール３における後述する透過水排出バルブ２５も閉じて第１段ＮＦ膜モジュール３における膜分離を停止する一方，第１段ＮＦ膜モジュール３における切換バルブ２２を開き，第２段ＮＦ膜モジュール４及び第３段ＮＦ膜モジュール５における切換バルブ２３，２４を閉じ，更に，第２段ＮＦ膜モジュール４における供給バルブ１４及び排出バルブ１７を開くと同時に，第３段ＮＦ膜モジュール５における供給バルブ１５及び排出バルブ１８を開くことにより，被処理廃水は，第１段ＮＦ膜モジュール３に供給されることなく，先ず，第２段ＮＦ膜モジュール４に供給され，この第２段ＮＦ膜モジュール４における非透過水が第３段ＮＦ膜モジュール５に供給され，この第３段ＮＦ膜モジュール５における非透過水が，前記管路２１を介して排出されるというように，前記第２段ＮＦ膜モジュール４と前記第３段ＮＦ膜モジュール５とで二段の膜分離を行う。
【００２７】
また，前記第２段ＮＦ膜モジュール４における供給バルブ１４及び排出バルブ１７を閉じると同時に，この第２段ＮＦ膜モジュール４における後述する透過水排出バルブ２６も閉じて第２段ＮＦ膜モジュール４における膜分離を停止する一方，第２段ＮＦ膜モジュール４における切換バルブ２３を開き，第１段ＮＦ膜モジュール３及び第３段ＮＦ膜モジュール５における切換バルブ２２，２４を閉じ，更に，第１段ＮＦ膜モジュール３における供給バルブ１３及び排出バルブ１６を開くと同時に，第３段ＮＦ膜モジュール５における供給バルブ１５及び排出バルブ１８を開くことにより，被処理廃水は，先ず，第１段ＮＦ膜モジュール３に供給され，この第１段ＮＦ膜モジュール３における非透過水が，第２段ＮＦ膜モジュール４に供給されることなく，第３段ＮＦ膜モジュール５に供給され，この第３段ＮＦ膜モジュール５における非透過水が，前記管路２１を介して排出されるというように，前記第１段ＮＦ膜モジュール３と前記第３段ＮＦ膜モジュール５とで二段の膜分離を行う。
【００２８】
更にまた，前記第３段ＮＦ膜モジュール５における供給バルブ１５及び排出バルブ１８を閉じると同時に，この第３段ＮＦ膜モジュール５における後述する透過水排出バルブ２７も閉じて第３段ＮＦ膜モジュール５における膜分離を停止する一方，第３段ＮＦ膜モジュール５における切換バルブ２４を開き，第１段ＮＦ膜モジュール３及び第２段ＮＦ膜モジュール４における切換バルブ２２，２３を閉じ，更に，第１段ＮＦ膜モジュール３における供給バルブ１３及び排出バルブ１６を開くと同時に，第２段ＮＦ膜モジュール４における供給バルブ１４及び排出バルブ１７を開くことにより，被処理廃水は，先ず，第１段ＮＦ膜モジュール３に供給され，この第１段ＮＦ膜モジュール３における非透過水が第２段ＮＦ膜モジュール４に供給され，この第２段ＮＦ膜モジュール４における非透過水が，第３段ＮＦ膜モジュール５に供給されることなく，前記管路２１を介して排出されるというように，前記第１段ＮＦ膜モジュール３と前記第２段ＮＦ膜モジュール４とで二段の膜分離を行う。
【００２９】
一方，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５の各々における透過水を，透過水排出バルブ２５，２６，２７より取り出し，管路２８を介して前記ＲＯ膜モジュール６における循環管路６ｂに供給し，前記ＲＯ膜モジュール６における非透過水を，前記管路２１を介して排出排出する一方，前記ＲＯ膜モジュール６における透過水を，管路２９を介して溜め槽３０に溜める。
【００３０】
この構成において，被処理廃水タンク１内に廃水供給管路２より供給された被処理廃水は，第１段ＮＦ膜モジュール３に供給され，この第１段ＮＦ膜モジュール３において，非透過水と透過水とに膜分離される。
【００３１】
前記第１段ＮＦ膜モジュール３における非透過水は，第２ＮＦ膜モジュール４に供給され，この第２段ＮＦ膜モジュール４において，非透過水と透過水とに膜分離される。
【００３２】
前記第２段ＮＦ膜モジュール４における非透過水は，第３ＮＦ膜モジュール５に供給され，この第３段ＮＦ膜モジュール５において，非透過水と透過水とに膜分離される。
【００３３】
これら各段のＮＦ膜モジュール３，４，５における透過水は，前記ＲＯ膜モジュール６に供給され，不純物を含む不透過水と，カルシウム及び硫酸等の有害な不純物を殆ど含まない純度の高い透過水とに膜分離され，純度の高い透過水は，溜め槽３０に溜められて，適当な水使用箇所に供給される。
【００３４】
一方，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５における非透過水及び前記ＲＯ膜モジュール６における非透過水は，管路２１より排出され，例えば，特開昭５１−１０２３５７号公報等に記載されているように，蒸発濃縮装置５７に供給して，ここで高い濃度に蒸発濃縮し，次いで，この濃縮水を，乾燥固形化装置５８に供給して，ここで乾燥して固形化するように処理される。
【００３５】
この場合において，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５の非透過室３′，４′５′の側においては，非透過水が強制循環していることにより，そのナノフィルトレーション膜（ＮＦ膜）の表面における流速が早くなり，前記ナノフィルトレーション膜における分離効率を向上できるとともに，このナノフィルトレーション膜における目詰まりの発生を抑制できる。
【００３６】
また，前記ＲＯ膜モジュール６の非透過室側においても，非透過水が強制循環していることにより，その逆浸透膜の表面における流速が早くなり，前記逆浸透膜における分離効率を向上できるとともに，この逆浸透膜における目詰まりの発生を抑制できる。
【００３７】
そして，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５に対する被処理廃水の供給を，循環管路３ｃ，４ｃ，５ｃのうち逆止弁３ｂ，４ｂ，５ｂの下流側に対して入口管路７，８，９より行う一方，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５からの非透過水の排出を，循環管路３ｃ，４ｃ，５ｃのうち逆止弁３ｂ，４ｂ，５ｂの上流側に対して出口管路１０，１１，１２より行うことにより，濃度の低い被処理廃水が，前記膜分離によって濃度が高くなった非透過水に混じることを阻止することができて，非透過水を高い濃度に維持できるから，この非透過水を，前記したように，蒸発濃縮装置５７にて蒸発濃縮にて処理するとか，或いは，この蒸発濃縮に次いで固形化する場合に，これらにおける負荷を低減することができる。
【００３８】
そして，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５におけるＮＦ膜は，以下に述べるような方法にて膜洗浄するように構成している。
【００３９】
すなわち，前記溜め槽３０内における純度の高い透過水を，逆洗浄用ポンプ３１にて汲み出し，管路３２を介して，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５における透過室側に設けた逆洗浄用バルブ３３，３４，３５に送る。
【００４０】
そして，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５のうち，例えば，第１段ＮＦ膜モジュール３において目詰まりが発生すると，前記した要領により，第２段ＮＦ膜モジュール４及び第３段ＮＦ膜モジュール５における膜分離を継続した状態で，当該第１段ＮＦ膜モジュール３における膜分離を停止し，この第１段ＮＦ膜モジュール３に対する逆洗浄用バルブ３３のみを開くことにより，その透過室に，前記ＲＯ膜モジュール６における純度の高い透過水が供給されるから，当該第１段ＮＦ膜モジュール３におけるナノフィルトレーション膜を逆洗浄することができ，この逆洗浄により，ナノフィルトレーション膜を逆向きに非透過室３′，４′，５′に透過した洗浄水は，バルブ３７付き排水管路３８によって洗浄水タンク３６に排出される。
【００４１】
次に，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５のうち，例えば，第２段ＮＦ膜モジュール４において目詰まりが発生すると，前記した要領により，第１段ＮＦ膜モジュール３及び第３段ＮＦ膜モジュール５における膜分離を継続した状態で，当該第２段ＮＦ膜モジュール４における膜分離を停止し，この第２段ＮＦ膜モジュール４に対する逆洗浄用バルブ３４のみを開くことにより，その透過室に，前記ＲＯ膜モジュール６における純度の高い透過水が供給されるから，当該第２段ＮＦ膜モジュール４におけるナノフィルトレーション膜を逆洗浄することができ，この逆洗浄により，ナノフィルトレーション膜を逆向きに非透過室３′，４′，５′側に透過した洗浄水は，洗浄水タンク３６に，バルブ３８付き排水管路４０より排出される。
【００４２】
次に，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５のうち，例えば，第３段ＮＦ膜モジュール５において目詰まりが発生すると，前記した要領により，第１段ＮＦ膜モジュール３及び第２段ＮＦ膜モジュール４における膜分離を継続した状態で，当該第３段ＮＦ膜モジュール５における膜分離を停止し，この第３段ＮＦ膜モジュール５に対する逆洗浄用バルブ３５のみを開くことにより，その透過室に，前記ＲＯ膜モジュール６における純度の高い透過水が供給されるから，当該第３段ＮＦ膜モジュール５におけるナノフィルトレーション膜を逆洗浄することができ，この逆洗浄により，ナノフィルトレーション膜を逆向きに非透過室３′，４′，５′側に透過した洗浄水は，洗浄水タンク３６に，バルブ４１付き排水管路４２より排出される。
【００４３】
この純度の高い透過水による逆洗浄は，例えば，１〜２時間の間隔ごとに１分間程度行う。
【００４４】
また，前記各段のＮＦ膜モジュール３，４，５における非透過室３′，４′，５′側の洗浄は，以下に述べるようにして洗浄される。
【００４５】
すなわち，洗浄水タンク３６内に溜めた洗浄水に，汚れに応じて最適の洗浄薬品を加え，これをポンプ４３にて汲み出し，フィルタ４４にて濾過する。
【００４６】
この濾過した洗浄水を，前記第１段ＮＦ膜モジュール３が膜分離を停止しているときに，その非透過室３′の側にバルブ４５付き管路４６を介して供給し，この洗浄水を，前記バルブ３７付き排水管路３８を介して前記洗浄水タンク３６内に戻すという循環を行うことにより，非透過室３′の側の洗浄を行い，この洗浄の際にナノフィルトレーション膜を透過した洗浄水は，バルブ４７付き管路４８を介して前記洗浄水タンク３６内に戻される。
【００４７】
次に，前記第２段ＮＦ膜モジュール４が膜分離を停止しているときには，前記フィルタ４４にて濾過した洗浄水を，当該第２段ＮＦ膜モジュール４における非透過室４′側に，バルブ４９付き管路５０を介して供給し，この洗浄水を，前記バルブ３９付き排水管路４０を介して前記洗浄水タンク３６内に戻すという循環を行うことにより，非透過室４′側の洗浄を行い，この洗浄の際にナノフィルトレーション膜を透過した洗浄水は，バルブ５１付き管路５２を介して前記洗浄水タンク３６内に戻される。
【００４８】
次に，前記第３段ＮＦ膜モジュール５が膜分離を停止しているときには，前記フィルタ４４にて濾過した洗浄水を，当該第３段ＮＦ膜モジュール５における非透過室５′側に，バルブ５３付き管路５４を介して供給し，この洗浄水を，前記バルブ４１付き排水管路４２を介して前記洗浄水タンク３６内に戻すという循環を行うことにより，非透過室５′側の洗浄を行い，この洗浄の際にナノフィルトレーション膜を透過した洗浄水は，バルブ５５付き管路５６を介して前記洗浄水タンク３６内に戻される。
【００４９】
なお，この各段のＮＦ膜モジュール３，４，５における非透過室３′，４′，５′側の洗浄は，希薄アルカリ水溶液の洗浄水を，２〜３日に一回の間隔で１時間程度の時間だけ循環させることによって行うことに加えて，酸性の洗浄水を１週間に一回の間隔で１時間程度の時間だけ循環させることによって行う。これらの操作は，予めプログラムされた制御に基づいて自動的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明における実施の形態を示すフローシートである。
【符号の説明】
【００５１】
１  被処理廃水タンク
３，４，５  ＮＦ膜モジュール
３′，４′，５′  非透過室
６  ＲＯ膜モジュール
３ａ，４ａ，５ａ，６ａ  循環ポンプ
３ｂ，４ｂ，５ｂ  逆止弁（切り替え手段）
３ｃ，４ｃ，５ｃ  ＮＦ膜モジュール用の循環管路
６ｂ  ＲＯ膜モジュール用の循環管路
７，８，９  入口管路
１０，１１，１２  出口管路
１３，１４，１５  供給バルブ
１６，１７，１８  排出バルブ
１９  メインポンプ
２０  被処理水移送管路
２２，２３，２４  切換バルブ（切り替え手段）
２５，２６，２７  透過水排出バルブ
３１  逆洗浄用ポンプ
３３，３４，３５  逆洗浄用バルブ
【図１】
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