(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
端部に排気口が形成された排気胴部を備えた本体と、ゲート退避室を備えたゲート退避部と、前記ゲート退避室から前記排気胴部に移動して前記排気口を閉塞し、かつ前記ゲート退避室に収納されるゲートと、該ゲートを移動させるゲート駆動部と、前記排気胴部に沿って移動可能とされたシャッタと、該シャッタを移動させるシャッタ駆動部と、を備え、
前記本体は、前記排気胴部の側方部に面して前記排気口に連通したゲート退避室の入口が形成され、前記ゲートの前記排気口の閉塞時および前記ゲートの前記ゲート退避室への退避時に前記シャッタによって前記ゲート退避室の入口の閉塞がなされる真空ゲートバルブにおいて、
前記シャッタが、前記排気口の着座部に形成された固定シール部に接触可能とされたシャッタシール部を形成したシャッタリングを備え、前記排気胴部の側方のシャッタ収納室に収納され、胴長方向に移動可能な円筒状に形成され、該固定シール部に対向するようにされ、
前記ゲートは、前記ゲート退避室と前記排気胴部との間のシャッタ移動室を移動可能とされ、その一面側に前記固定シール部に対向して第一ゲートシール部が形成され、第一のゲートシール部の反対面側に前記シャッタシール部に対向して第二のゲートシール部が形成され、
前記固定シール部、前記シャッタシール部、第一のゲートシール部および第二のゲートシール部は前記排気胴部の胴長方向で、前記シャッタ移動室内において同一面上に配設され、
前記シャッタが前記排気胴部の胴長方向に移動され、前記ゲートが前記ゲート退避室に収納され、前記シャッタリングが移動されて前記シャッタシール部が前記固定シール部に接触したときに、該シャッタは、前記ゲート退避室の入口を閉塞し、かつ前記ゲートが前記ゲート退避室から前記排気胴部に移動され、第一のゲートシール部が前記固定シール部に接触して前記排気口を閉塞し、前記シャッタリングが移動され、前記シャッタシール部が第二のゲートシール部に接触したときに、該シャッタは、前記ゲート退避室の入口を閉塞することを特徴とする真空ゲートバルブ。
【請求項２】
請求項１において、前記シャッタシール部はシャッタリングによって形成されて該シャッタリングおよび前記シャッタは互いに着脱自在とされ、前記排気胴部は内周面に円筒状のカバーを備えた前記シャッタ収納室を備え、該シャッタ収納室の側方側に該シャッタ収納室に沿って前記シャッタ駆動部のシャッタ駆動ピストンが設けられ、該シャッタ駆動ピストンは前記シャッタリングに接続されて、該シャッタが、前記排気胴部に沿って動作する前記シャッタ駆動ピストンによって前記排気胴部に沿って移動されることを特徴とする真空ゲートバルブ。
【請求項３】
請求項１において、前記ゲート駆動部と前記シャッタ駆動部は１組の駆動源および駆動力切換装置によって駆動され、前記ゲートが前記ゲート退避室に退避された時に前記シャッタを移動するように制御する制御装置を備えることを特徴とする真空ゲートバルブ。
【請求項４】
請求項１において、前記ゲート退避部は箱状に形成され、前記本体に本体側方から一体化され、かつ着脱自在とされ、前記排気胴部と前記ゲート退避部との間に双方に連通するシャッタ移動室が形成され、前記ゲートには振り子形のゲートが用いられ、該ゲートは前記ゲート退避部および前記シャッタ移動室を揺動することを特徴とする真空ゲートバルブ。
【請求項５】
端部に排気口が形成された排気胴部を備えた本体と、ゲート退避室を備えたゲート退避部と、前記ゲート退避室から前記排気胴部に移動して前記排気口を閉塞し、かつ前記ゲート退避室に収納されるゲートと、該ゲートを移動させるゲート駆動部と、前記排気胴部に沿って移動可能とされてシャッタ移動室に設けられたシャッタと、該シャッタを移動させるシャッタ駆動部と、を備え、
前記本体は、前記排気胴部の側方部に面して前記排気口に連通したゲート退避室の入口が形成され、前記ゲートの前記排気口の閉塞時および前記ゲートの前記ゲート退避室への退避時に前記シャッタによって前記ゲート退避室の入口の閉塞がなされ、
前記シャッタが、前記排気口の着座部に形成された固定シール部に接触可能とされたシャッタシール部を形成したシャッタリングを備え、前記排気胴部の側方のシャッタ収納室に収納され、胴長方向に移動可能な円筒状に形成され、該固定シール部に対向するようにされ、
前記ゲートは、前記ゲート退避室と前記排気胴部との間のシャッタ移動室を移動可能とされ、その一面側に前記固定シール部に対向して第一のゲートシール部が形成され、第一のゲートシール部の反対面側に前記シャッタシール部に対向して第二のゲートシール部が形成された真空ゲートバルブのゲート開閉方法において、
前記固定シール部、前記シャッタシール部、第一のゲートシール部および第二のゲートシール部は前記排気胴部の胴長方向で、前記固定シール部に対して同一面上に配設され、
前記ゲートが前記ゲート退避室に収納され、前記シャッタが前記排気胴部の胴長方向に移動されて、移動した前記シャッタリングの前記シャッタシール部が前記固定シール部に接触したときに該シャッタが前記ゲート退避室の入口を閉塞し、かつ
前記ゲートが前記ゲート退避室から前記排気胴部に移動し、第一のゲートシール部が前記固定シールに接触して、前記排気口を閉塞したときに前記シャッタが前記排気胴部の胴長方向に移動されて、移動したシャッタリングの前記シャッタシール部が第二のシャッタシール部に接触して該シャッタが前記ゲート退避室の入口を閉塞すること
を特徴とする真空ゲートバルブのゲート開閉方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空処理装置間あるいは真空処理装置と真空排気ポンプ間に使用される真空ゲートバルブおよびこの真空ゲートバルブを使用したゲート開閉方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
排気口に設けられたゲートシール面に密接して排気口を閉塞するゲートが設けられる場合に、ゲート（弁体）を排気口から退避させたときにゲート退避室に異物が侵入、付着することがないようにゲート退避口遮蔽手段が設けられる。
【０００３】
特許文献１には、このようなゲート退避口遮蔽手段として排気口を形成する排気通路内に円筒型シャッタを設け、排気通路内を移動させ、ゲートの退避時にゲート退避口を遮蔽することが記載されている。
【０００４】
特許文献２には、弁箱と、弁座と、開口を有する弁板と、この弁板に連結した弁棒と、弁棒駆動機構と、弁板押えと、上記弁箱と上記弁座及び弁板押え間に介挿連結された伸縮自在なベローズとより成り、上記弁板の開、閉位置では上記弁板が常時上記弁座及び上記弁板押えに対接し、上記弁棒駆動機構が占める上記弁箱内のデッドスペースが閉塞されることを特徴とする超高真空ゲート弁が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−４２８７２号公報
【特許文献２】特開平３−２３９８８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載された円筒型のシャッタは排気通路内を移動するものとなっており、また特許文献２に記載された伸縮自在なベローズはデッドスペース内に設けられている。このような従来例の構成によると、ゲートの退避あるいは閉塞移動時にシャッタあるいはベローズは排気に接触することになって排気中の異物が付着するおそれがある。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてゲートの退避および閉塞移動時を含めてゲート開放状態から閉塞状態および閉塞状態から開放状態において、ゲート退避室への異物の侵入、付着を少なくすることのできる真空ゲートバルブおよびこの真空ゲートバルブを用いたゲート開閉方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、端部に排気口が形成された排気胴部を備えた本体と、ゲート退避室を備えたゲート退避部と、前記ゲート退避室から前記排気胴部に移動して前記排気口を閉塞し、かつ前記ゲート退避室に収納されるゲートと、該ゲートを移動させるゲート駆動部と、前記排気胴に沿って移動可能とされたシャッタと、該シャッタを移動させるシャッタ駆動部と、を備え、
前記本体は、前記排気胴部の側方部に面して前記排気口に連通したゲート退避室の入口が形成され、前記ゲートの前記排気口の閉塞時および前記ゲートの前記ゲート退避室への退避時に前記シャッタによって前記ゲート退避室の入口の閉塞がなされる真空ゲートバルブにおいて、
前記シャッタが、円筒状に形成されて前記排気口の着座部に形成された固定シール部に接触可能とされ、該固定シール部に対向するようにしたシャッタシール部を備え、
前記ゲートは、前記ゲート退避室と前記排気胴部との間を移動可能とされ、その一面側に前記固定シール部に対向して第一ゲートシール部が形成され、第一のゲートシール部の反対面側に前記シャッタシール部に対向して第二のゲートシール部が形成され、
前記シャッタは、前記ゲートが前記ゲート退避室に収納され、前記シャッタシール部が移動して前記固定シール部に接触したときに、前記固定シール部に共に接触して前記ゲート退避室の入口を閉塞し、かつ前記ゲートが前記シャッタ退避室から前記排気胴部に移動して第一のゲートシール部が前記固定シール部に接触して前記排気口を閉塞し、前記シャッタシール部が移動して第二のゲートシール部に接触するときに、第二のゲートシール部に共に接触して前記ゲート退避室の入口を閉塞することを特徴とする真空ゲートバルブを提供する。
【０００９】
本発明は、また、前記固定シール部、前記シャッタシール部、第一のゲートシール部および第二のゲートシール部は前記排気胴部の長手方向で、前記シャッタ移動室内において同一面上に配設されることを特徴とする真空ゲートバルブを提供する。
【００１０】
本発明は、また、前記シャッタシール部はシャッタリングによって形成されて該シャッタリングおよび前記シャッタは互いに着脱自在とされ、前記排気胴部は内周面に円筒状のカバーを備えたシャッタ収納室を備え、該シャッタ収納室の側方側に該シャッタ収納室に沿って前記シャッタ駆動部のシャッタ駆動ピストンが設けられ、該シャッタ駆動ピストンは前記シャッタリングに接続されて、該シャッタが、前記排気胴部に沿って動作する前記シャッタ駆動ピストンによって前記排気胴部に沿って移動されることを特徴とする真空ゲートバルブを提供する。
【００１１】
本発明は、また、前記ゲート駆動部と前記シャッタ駆動部は１組の駆動源および駆動力切換装置によって駆動され、前記ゲートが前記ゲート退避室に退避された時に前記シャッタを移動するように制御する制御装置を備えることを特徴とする真空ゲートバルブを提供する。
【００１２】
本発明は、また、前記ゲート退避部は箱状に形成され、前記本体に本体側方から一体化され、かつ着脱自在とされ、前記ゲートには振り子形のゲートが用いられ、該ゲートは前記ゲート退避部および前記シャッタ移動室を揺動することを特徴とする真空ゲートバルブを提供する。
【００１３】
本発明は、端部に排気口が形成された排気胴部を備えた本体と、ゲート退避室を備えたゲート退避部と、前記ゲート退避室から前記排気胴部に移動して前記排気口を閉塞し、かつ前記ゲート退避室に収納されるゲートと、該ゲートを移動させるゲート駆動部と、前記排気胴に沿って移動可能とされて前記シャッタ移動室に設けられたシャッタと、該シャッタを移動させるシャッタ駆動部と、を備え、
前記本体は、前記排気胴部の側方部に面して前記排気口に連通したゲート退避室の入口が形成され、前記ゲートの前記排気口の閉塞時および前記ゲートの前記ゲート退避室への退避時に前記シャッタによって前記ゲート退避室の入口の閉塞がなされ、
前記シャッタが、円筒状に形成されて前記排気口の着座部に形成された固定シール部に接触可能とされ、該前記固定シール部に対向するようにしたシャッタシール部を備え、
前記ゲートは、前記ゲート退避室と前記排気胴部との間を移動可能とされ、その一面側に前記固定シール部に対向して第一のゲートシール部が形成され、第一のゲートシール部の反対面側に前記シャッタシール部に対向して第二のゲートシール部が形成された真空ゲートバルブのゲート開閉方法において、
前記ゲートが前記ゲート退避室に収納し、前記シャッタシール部が移動して前記固定シール部に接触し、前記シャッタが前記固定シール部に接触して前記ゲート退避室の入口を閉塞し、かつ
前記ゲートが前記ゲート退避室から前記排気胴部に移動し、第一のゲートシール部が前記固定シールに接触し、前記排気口を閉塞し、このときに前記シャッタシール部が移動して第二のシャッタシール部に接触し、前記シャッタが第二のシャッタシール部に接触して前記ゲート退避室の入口を閉塞すること
を特徴とする真空ゲートバルブのゲート開閉方法を提供する。
【００１４】
本発明は、また、前記固定シール部、前記シャッタシール部、第一のゲートシール部および第二のゲートシール部は前記排気胴部の長手方向で、前記固定シール部に対して同一面上で移動することを特徴とする真空ゲートバルブのゲート開閉方法を提供する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、上述したシャッタおよびシャッタ移動室を備え、シャッタは、ゲートの退避時にあってもゲートの排気口閉塞時にあってもシャッタ移動室の入口を閉塞し、かつゲートの退避移動時および閉塞移動時に排気胴部から隔離されるようになって、ゲートの開放状態から閉塞状態および閉塞状態から開放状態においてゲート退避室への異物の侵入付着が少ないものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の１実施例を図面に基づいて説明する。
【実施例】
【００１７】
図１は、本発明の実施例の真空ゲートバルブの上面図、図２は側面断面図、図３は下面図である。なお、図２は図３のＡ−Ａ断面図である。
これらの図において、真空ゲートバルブ１００は、本体１１とゲート退避部１２から構成され、本体１１、ゲート退避部１２共箱状に形成され、両者は互いに着脱自在として一体化され、両者間にＯリング１４が配設される。本体１１はゲート退避部１２に比べて高さが高く構成され、上方から見た場合、両者は図１に示すようにほぼ楕円形をなし、中央部が太形とされる。
【００１８】
本体１１は、中央の内部に排気胴部１５が設けられ、この排気胴部１５の側方部に面して排気胴部１５の周囲に独立した形でのシャッタ移動室１６が形成される。すなわち、本体１１の側方部にはその周囲にシャッタ移動室１６を形成したシャッタ移動部１７が設けられる。
【００１９】
ゲート退避部１２は、その内部にゲート退避室１３を備え、このゲート退避室１３は、シャッタ移動室１６を介して排気胴部１５に連通される。排気胴部１５は、円筒状とされ、従ってシャッタ移動室１６も排気胴部１５の周囲で独立した形状とされ、シャッタ移動室１６には排気胴部１５の側方に面してその周囲に入口１８が形成される。排気胴部１５の端部（下側端部，出口端部）には排気口２０が形成される。
【００２０】
ゲート（弁）２１は、排気口２０を閉塞できる大きさが構成され、排気胴部１５、シャッタ移動室１６およびゲート退避室１３を後述するように移動可能である。
【００２１】
シャッタ移動室１６には円筒状のシャッタ２２が排気胴部１５の胴長方向に排気胴部１５に沿って移動可能にして設けられる。
【００２２】
図４に、図１のシャッタ移動室１６およびシャッタ移動室１６付近の構成の詳細構造を示す。
図４において、本体１１は、中央部材３１、上部部材３２および下部部材３３から構成され、それぞれの接着面にはシール材が配設されて一体化され、全体的に筒状の箱体とされている。
【００２３】
中央部材３１の下部方向で下部部材３３の内方向に中央部材３１と下部部材３３によってシャッタ移動室１６が形成される。従って中央部材３１および下部部材３３はシャッタ移動室１６を備えたシャッタ移動部１７を構成する。
【００２４】
シャッタ移動室１６は、後述するように、ゲート２１の振り子回転を許容するように平面方向でゲート退避室１３に向けて漸次拡大した室として形成される。
【００２５】
本体１１の排気胴部１５の壁面には円筒状のカバー３５が下方の排気口２０の方向に延在して嵌め込まれて固着される。
【００２６】
中央部材３１の内壁部には窪みが形成されており、この窪みの前面側はカバー３５で覆われており、シャッタ収納室３６が形成され、このシャッタ収納室３６はその下方部でシャッタ移動室１６と連通してシャッタ移動室１６の一部となる。従って、シャッタ移動室１６はシャッタ収納室３６が上方に向けて突出した形状となる。
【００２７】
シャッタ収納室３６にはシャッタ２２が収納される。シャッタ収納室３６の図で上下方向の長さとカバー３５が窪み覆う長さとは同一長さとされる。シャッタ２２はシャッタ収納室３６を移動可能とされ、かつその下方部のシャッタ移動室１６をゲート２１に向けて移動可能とされる。シャッタ２２を上方に移動したときにはシャッタ２２はシャッタ収納室３６に大部分が収納される。
【００２８】
中央部材３１の内部であってシャッタ収納室３６の側方であってシャッタ収納室３６に沿ってシャッタ駆動部４１が設けてある。シャッタ駆動部４１は、シリンダ４２、Oリング収納室４３、シリンダ４２およびOリング収納室４３を貫通して配置した駆動軸４４の上端に設けたシャッタ駆動ピストン４５、Oリング収納室４３に配設したOリング４６および駆動軸４４の下端に設けたシャッタリング保持部４７から構成される。シャッタ駆動ピストン４５の上端面と上部部材３２の下端面との間のシリンダ４２には駆動源からの空気が導入され、空圧によってシャッタ駆動ピストン４５にOリング４６の押圧力に抗して作用し、駆動軸４４およびシャッタリング保持部４７を下方へと移動させる。
【００２９】
シャッタ２２の下端部の圧側方にはシャッタリング（シールリング）４８が固定され、このシャッタリング４８には左方端部でシャッタリング保持部４７が取り付けられてシャッタリング保持部４７によって保持され、移動される。シャッタリング４８の移動に伴って一体的にシャッタ２２が上下動する。
【００３０】
シャッタリング４８の下端面はシール面として形成してあり、この部分はシャッタシール部４９と称する
ゲート２１の上面にはシャッタシール部４９に対向してＯリング５１が設けてあり、このＯリング５１を含めてここでは第二のゲートシール部５２と称する。
【００３１】
ゲート２１の反対側の面、すなわち下面には他のＯリング５３が設けてあり、このＯリング５３を含めてここでは第一のゲートシール部５４と称する。
【００３２】
下方部材３３に設けた排気口２０の入口部周囲は弁座として構成してあり、この弁座にはゲート２１が着座するが、この着座部に固定のシール部が設けてあり、ここでは固定シール部５５と称する。このように、シャッタ移動部１７には、シャッタ移動室１６の入口１８に対向して固定シール部５５が形成されている。
【００３３】
Ｏリング５１およびＯリング５３はそれぞれシャッタシール部４９と第二のゲートシール部５２、第一のゲートシール部５４と固定シール部５５との間に介在してシール機能およびクッション、ダンバー機能を果す。Ｏリング５１はシール部を構成するに当って必須なものではない。
【００３４】
このように、固定シール部５５、シャッタシール部４９、第一のゲートシール部５４および第二のゲートシール部５２は排気胴部１５の長手方向で、シャッタ移動室１６の内部で同一面（Ａ）上に配設される。シャッタシール部４９は上述のようにシャッタリング４８によって形成されてシャッタリング４８およびシャッタ２２とは、更にシャッタリング４８およびシャッタリング保持部４７とは互いに着脱自在とされる。このように、本体１１には、排気胴部１５の側方部にシャッタ移動室１６が形成されるが、このシャッタ移動室１６と排気胴部１５との間はゲート２１が移動可能なように連通しており、シャッタ移動室１６の入口１８が連通部入口となる。従って、本体１１によって形成されるシャッタ移動部１７には、排気胴部１５の側方部に面して入口１８が形成され、シャッタ２２を収納して排気胴部１５から隔離することの出来るシャッタ移動室１６が形成される。このシャッタ２２の排気胴部１５からの隔離ならびに各シール部のシールおよび入口１８のシャッタ２２による閉塞はこのシャッタ移動室１６内で行われる。そして、シャッタ移動部１７には、シャッタ移動室１６の入口１８に対向して弁座上に固定シール部５５が形成されることになる。そして上述のように、シャッタ２２は、固定シール部５５に対向するようにして下端部にシャッタシール部４９を備える。
【００３５】
図１に示すように、本体１１には、排気胴部１５を囲むようにしてボルト６１が取り付けられるようにしてあり、本体１１を他の部材に固定することができるようにしてある。また、図３に示すように、本体１１には、ゲート２１を操作するためのゲートおよびシャッタ操作部６２が設けてある。
【００３６】
図５および図６は、ゲート２１による真空バルブ１００のゲート開閉状態を示す。図５はゲート２１によるバルブ閉状態を、そして図６はゲート２１によるバルブ開状態を示す。これらの図において、シャッタ移動室１６はゲート退避室１３に連通しており、ゲート２１はシャフト６８を中心としてシャッタ移動室１６およびゲート退避室１３を振り子状回転、すなわち弁体回転をなす。図５は、ゲート２１がシャッタ移動室１６に回動して排気口２０を閉塞した状態を示し、図６は、ゲート２１がゲート退避室１３に回動して排気口２０を開放し、自身はゲート退避室１３に退避した状態を示す。
【００３７】
図７は、ゲートおよびシャッタ駆動源としてのゲートおよびシャッタ操作部６２の構成を示す。
図７において、ゲートおよびシャッタ操作部６２は、操作本体６４、操作本体６４内に配設されるアクチュエータ６５、アクチュエータ６５によって回転駆動される一群の歯車６６，６７、固定回転する歯車６７によって回転操作されるシャフト６８、揺動公転する歯車６６によって揺動操作されるエア切換レバー６９、揺動するエア切換レバー６９によって操作されるエア切換弁７０，７１およびエア切換弁７０，７１にエアを送り出すエア室７２からなる。
【００３８】
供給したエアによってアクチュエータ６５を操作して歯車群６６，６７を回転させる。これに伴ってシャフト６８が回転し、シャフト６８に固定されたゲート２１を振り子回転させ、図５、図６に示す状態を形成する。この場合に、揺動する歯車６６によってエア切換弁７０，７１のエアが切り換えられる。このようにして駆動力切換装置が構成される。エア供給に当たり、前述のメカニカル制御ではなく、シーケンス制御（プログラム化されたコンピュータ制御など）を行う制御装置を設置することもできる。
【００３９】
切り換えられたエアがエア室７２からシリンダ４２の上方部、下方部に導入され、それぞれシャッタ駆動用ピストン４５に作用して、ゲート２１の回動に連動する形でシャッタ２２を上下動させる。このようにして、ゲート駆動部およびシャッタ駆動部４１の一部が形成され、本例の場合１組のエア駆動源が用いられる。ゲート駆動部およびシャッタ駆動部４１を別々の駆動源によって駆動するようにしてもよい。
【００４０】
図５−図７には、振り子タイプのゲート２１（ペンドロールタイプゲート）の例を示したが、直線状を移動することができるゲートを用い、この直線状移動のゲートの移動に連動してシャッタ２２を上下動させるようにしてもよい。
【００４１】
図８は、ゲート２１とシャッタ２２の連動の状態を示す図である。図８（１）は、ゲート２１が排気口２０に対向して位置し、シャッタ２２が下方端移動し、シャッタシール部４９が固定シール部５５に接触した状態を示し、図８（２）はシリンダ４２への切り換えエアの導入によってシャッタ駆動ピストン４５が上方移動してシャッタ２２がシャッタ収納室３６に収納された状態を示してゲート２１が退避可能になったことを示し、図８（３）はシャフト６８の回転によってゲート２１が排気胴部１５からゲート移動室１６を通ってゲート退避室１３に退避した状態を示し、図８（４）はゲート２１がゲート退避室１３に退避したときに、切り換えられたエアがシリンダ４２に導入されてシャッタ２２が下方動して最下点に達してシャッタシール部４９が固定シール部５５に接触した状態を示す。このようにゲート２１とシャッタ２２とはクロスする方向に移動する。なお、これらの図はゲート２１およびシャッタ２２の動作を示す図であってシールリング４８を割愛しているので
、シール状況を正確に示すものではない。
【００４２】
図９は、バルブ閉塞（ＣＬＯＳＥ）から開放（ＯＰＥＮ）までの順序を示す図である。
図９（１）は、バルブ閉の状態を示す。この状態ではゲート２１の第一のゲートシール部５４が固定シール部５５に接触してゲート２１が排気口２０を閉塞し、シャッタシール部４９が第二のゲートシール部５２に接触してシャッタ２２がゲートと共に、シャッタ移動室１６の入口１８を閉塞している状態を示す。これによって、プロセスチャンバーから舞い上がった異物（デポ）が入口１８を介してゲート退避室１３に侵入することが防止される。
図９（２）はゲート２１がゲート退避室１３への退避のためにシャッタ２２が上動した状態をしめす。この状態ではエアが切り換えられ、シャッタ２２はシャッタ収納室３６に収納され、排気胴部１５、シャッタ移動室１６およびゲート退避室１３は連通する。
図９（３）は、ゲート２１がゲート退避室１３に退避した状態を示す。
図９（４）は、ゲート２１がゲート退避室１３に退避した状態で、エアが切り換えられ、シャッタ収納室３６に収納されていたシャッタ２２が下動し、下端に達してシャッタシール部４９が固定シール部５５に接触してシャッタ２２が単独で入口１８を閉塞する。この状態ではバルブ開となる。
【００４３】
図１０は、バルブ開放からバルブ閉塞までの順序を示す図である。ステップは図９に示す順と逆になる。
図１０（１）は、図９（４）に相当し、ゲート２１がゲート退避室１３に退避してシャッタ２２が入口１８を単独で閉塞している状態を示す。この場合には、シャッタシール部４９は固定シール部５５に接触している。
図１０（２）は、図９（３）に相当し、ゲート２１の移動のためにシャッタ２２が上動してシャッタ収納室３６に収納された状態を示す。これによって、ゲート退避室１３、シャッタ移動室１６および排気胴部１５が連通する。
図１０（３）は、図９（２）に相当し、ゲート２１が連通したゲート退避室１３、シャッタ移動室１６および排気胴部１５を移動し、排気口２０の上方に移動した状態を示す。
図１０（４）は、図９（１）に相当し、排気口２０の上方にあったゲート２１が下動して第一のゲートシール部５４が固定シール部５５に接触してゲート２１が排気口２０に移動するとエアが切り換わり、排気口２０を閉塞すると同時に、シャッタ２２が下動してシャッタシール部４９が第二のゲートシール部５２に接触し、シャッタ２２はゲート２１と共に入口１８を閉塞する。この状態はバルブ閉の状態である。
【００４４】
このように、シャッタ２２は、ゲート２１がゲート退避室１３に収納されたときに、シャッタ移動室１６を移動されてシャッタシール部４９が固定シール部５５に接触することによって入口１８を閉塞し、かつゲート２１がシャッタ移動室１６を移動されて第一のゲートシール部５４が固定シール５５に接触することによって排気口２０を閉塞したときに、シャッタ移動室１６を移動されてシャッタシール部４９が第二のゲートシール部５２に接触することによって入口１８を閉塞する。
【００４５】
この場合に、固定シール部５５、シャッタシール部４９、第一のゲートシール部５４および第二のゲートシール部５２は排気胴部１５の長手方向で、固定シール部５５に対して同一面（Ａ）上でシャッタ移動室１６を移動することになる。
【００４６】
ゲート２１が排気口２０を開いた状態の時に、シャッタシール部４９は固定シール部５５に接触して固定シール部５５が排気口２０に露呈されることを防止し、固定シール部５５への異物の付着を防止することができる。ゲート２１が排気口２０を閉じた状態の時に、第一のゲートシール部５４に固定シール部５５に接触し、かつシャッタシール部４９が第ニのゲートシール部５２に接触することによって入口１８を閉塞し、異物がゲート退避室１３に侵入、付着することが防止される。シャッタ２２はシャッタ移動室１６の一部を構成するシャッタ収納室３６にゲート２１の移動時およびゲート２１が排気口２０を閉塞しているときには収納されていて異物がシャッタ２２に付着することが防止される。シャッタ２２は、形成されたシャッタ移動室１６を上下動して、上述のように、シャッタ移動室１６内においてゲート退避室１３への異物の侵入を防止する機能を有する。そして、ゲート２１が排気口２０を閉塞するときに、各シール部はシャッタ移動室１６内において上下方向に同一の垂直線上に配設されて閉塞を確実にして異物の付着を有効に防止する。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施例の上面図。
【図２】本発明の実施例の側面断面図（図３のＡ−Ａ断面図）。
【図３】本発明の実施例の下面図。
【図４】図２の一部詳細図。
【図５】ゲートの回動状況（１）を示す図。
【図６】ゲートの回動状況（２）を示す図。
【図７】ゲートおよびシャッタ操作部の構成図。
【図８】ゲートおよびシャッタの移動を説明する図。
【図９】バルブ閉塞からバルブ開放までの状態を示す図。
【図１０】バルブ開放からバルブ閉塞までの状態を示す図。
【符号の説明】
【００４８】
１１…本体、１２…ゲート退避部、１３…ゲート退避室（ゲート収納室）、１５…排気胴部、１６…シャッタ移動室、１７…シャッタ移動部、１８…入口、２０…排気口、２１…ゲート（弁体）、２２…シャッタ、３１…中央部材、３２…上部部材、３３…下部部材、３５…カバー、３６…シャッタ収納室、４１…シャッタ駆動部、４５…シャッタ駆動ピストン、４８…シャッタリング（シールリング）、４９…シャッタシール部、５１，５３…Ｏリング、５２…第二のゲートシール部、５４…第二のゲートシール部、５５…固定シール部、６２…ゲート操作部（シャッタ駆動源）、１００…真空ゲートバルブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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