(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送されていく鋳鋼片の表層に金属又は合金を添加し、当該表層をプラズマトーチからのプラズマアークによって溶融する表層溶融処理装置であって、
前記プラズマトーチよりも鋳鋼片の搬送方向後方には、
前記プラズマアークによって溶融する前の鋳鋼片の表面上に粒状の金属又は合金を供給する粒体供給装置と、
前記粒体供給装置によって供給された粒状の金属又は合金を、鋳鋼片の表層に圧入する圧下ロールと、が設けられていることを特徴とする、鋳鋼片の表層溶融処理装置。
【請求項２】
鋳鋼片の表層を前記プラズマアークによって溶融する前に、当該表層を予熱する電磁誘導コイルをさらに有し、
前記粒体供給装置と圧下ロールは、前記電磁誘導コイルよりも鋳鋼片の搬送方向後方に設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の鋳鋼片の表層溶融処理装置。
【請求項３】
前記粒体供給装置は、
内部に前記粒状の金属又は合金を収容することができ、鋳鋼片の搬送方向前方側の前面に鋳鋼片の搬送方向と直角方向に延びる開口部が形成された容器を有し、
前記容器は、上下方向に振動可能であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の鋳鋼片の表層溶融処理装置。
【請求項４】
前記粒体供給装置は、
内部に前記粒状の金属又は合金を収容することができ、鋳鋼片の搬送方向前方側の前面に鋳鋼片の搬送方向と直角方向に延びる開口部が形成された容器と、
前記容器内の前記粒状の金属又は合金を、前記前面の開口部に移動させる移動部材と、を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の鋳鋼片の表層溶融処理装置。
【請求項５】
前記プラズマトーチは、鋳鋼片の搬送方向と直角方向に並列して複数設けられ、
前記粒体供給装置は、前記各プラズマトーチの間にそれぞれ設けられ、かつ前記圧下ロールよりも鋳鋼片の搬送方向後方に設けられた、前記粒状の金属又は合金を供給する供給口を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の鋳鋼片の表層溶融処理装置。
【請求項６】
搬送されていく鋳鋼片の表層をプラズマによって溶融処理する表層溶融処理方法であって、
前記プラズマによって溶融する前の鋳鋼片の表面上に粒状の金属または合金を供給する工程と、
前記鋳鋼片の表面上に供給された粒状の金属又は合金を鋳鋼片の表層に圧入する工程と、
プラズマを用いた加熱によって、前記粒状の金属又は合金が圧入された鋳鋼片の表層を溶融し、当該表層を改質する工程と、を有することを特徴とする、鋳鋼片の表層溶融処理方法。
【請求項７】
前記粒状の金属又は合金を鋳鋼片の表層に圧入する工程後であって、前記鋳鋼片の表層を前記プラズマによって溶融する工程の前に、
前記鋳鋼片に対して誘導予熱を行う工程をさらに有することを特徴とする、請求項６に記載の鋳鋼片の表層溶融処理法方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば鋼の連続鋳造鋳片あるいは圧延途上の鋼片の表層を溶融処理するための表層溶融処理装置及び表層溶融処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば連続鋳造後の鋳片や圧延途中の鋼片等の鋳鋼片を改質する処理方法として、例えば搬送される鋳鋼片の表層を、誘導加熱、プラズマ加熱のいずれか一方、又は双方によって溶融し、この溶融した表層部分に金属又は合金を添加することにより表層を改質する方法が提案されている（特許文献１）。
【０００３】
ところで、このような鋳鋼片の表層の溶融処理においては、鋳鋼片を均一に加熱、溶融し、可能な限り鋳鋼片の表層を均一に溶融処理する必要がある。そこで、例えばプラズマ加熱を用いて鋳鋼片の表層を溶融する場合には、交流磁場の電磁力を用いてプラズマアークを鋳鋼片の搬送方向と直交する方向に往復運動させて、鋳鋼片の表層を溶融し、表面処理を行う方法が提案されている（特許文献２）。
【０００４】
また、鋳鋼片の表層を均一に溶融処理するためには、鋳鋼片の溶融した表層部分に金属又は合金を均一に添加することも重要である。この金属又は合金を添加する方法として、特許文献１には、添加する金属又は合金をワイヤー又はシートの形に加工し、鋳鋼片の溶融した表層部分に添加することが開示されている。また、別の方法として、溶融前の鋳鋼片の表面上に粒状の金属又は合金を鋳鋼片の表面上に配置したり、あるいは粒状の金属又は合金を適宜の気体又は液体と混合し、溶融前の鋳鋼片の表面に対してスプレーノズル等によって噴霧することによって、鋳鋼片の表層に金属又は合金を添加する方法が提案されている（特許文献３）。なお、本願において「鋳鋼片」とは、「鋳片」と「鋼片」を総称したものであり、「鋳片」とは鋳造後の鋼材を、「鋼片」とは鋳片を圧延した後の鋼材を意味している。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１９５５１２号公報
【特許文献２】特開昭５４−１４２１５２号公報
【特許文献３】特開２００６−１２４７６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示されている方法を用いて鋳鋼片の溶融した表層部分に金属又は合金を添加する場合、予め合金を製造したり、ワイヤー又はシートの形に加工したりするのに多大なコストがかかり、金属又は合金の素材コストが高くなっていた。また、特許文献３に開示されている方法を用いて鋳鋼片の溶融した表層部分に金属又は合金を添加する場合には、例えば誘導加熱によって金属を溶融する場合、溶融前の鋳鋼片の表面上の金属又は合金が強磁性であると、誘導加熱の際に発生する磁場に金属又は合金が引き寄せられるため、添加できる金属又は合金は非磁性に限られていた。また、例えばプラズマ加熱によって金属を溶融する場合には、溶融前の鋳鋼片の表面上の金属又は合金が鋳鋼片の表層に吹きつけられるプラズマガスによって飛散するおそれがあり、供給された金属又は合金を有効に用いることができないことがあった。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、鋳鋼片の表層の改質に用いる金属又は合金を効率よく均一に添加し、鋳鋼片の表層の溶融処理を均一に行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の目的を達成するため、本発明は、搬送されていく鋳鋼片の表層に金属又は合金を添加し、当該表層をプラズマトーチからのプラズマアークによって溶融する表層溶融処理装置であって、前記プラズマトーチよりも鋳鋼片の搬送方向後方には、前記プラズマアークによって溶融する前の鋳鋼片の表面上に粒状の金属又は合金を供給する粒体供給装置と、前記粒体供給装置によって供給された粒状の金属又は合金を、鋳鋼片の表層に圧入する圧下ロールと、が設けられていることを特徴としている。
【０００９】
本発明によれば、プラズマトーチよりも鋳鋼片の搬送方向後方には、プラズマアークによって溶融する前の鋳鋼片の表面上に粒状の金属又は合金を供給する粒体供給装置と、粒体供給装置によって供給された粒状の金属又は合金を鋳鋼片の表層に圧入する圧下ロールとが設けられているので、プラズマトーチで発生するプラズマアークによって鋳鋼片の表層を加熱し、溶融する前に、鋳鋼片の表層の改質に用いられる金属又は合金を鋳鋼片の表層に圧入することができる。これによって、鋳鋼片の表層をプラズマアークによって溶融しても、金属又は合金がプラズマアークによって飛散することがなく、粒体供給装置から供給された金属又は合金を有効に用いることができる。また、鋳鋼片の表層に圧入された金属又は合金は、プラズマアークによって鋳鋼片の表層が溶融する際に、当該表層に均一に拡散する。したがって、鋳鋼片の表層に金属又は合金を効率よく均一に添加することができ、鋳鋼片の表層の溶融処理を均一に行うことができる。
【００１０】
鋳鋼片の表層を前記プラズマアークによって溶融する前に、当該表層を予熱する電磁誘導コイルをさらに有し、前記粒体供給装置と圧下ロールは、前記電磁誘導コイルよりも鋳鋼片の搬送方向後方に設けられていてもよい。このように電磁誘導コイルによって鋳鋼片の表層を予熱する場合でも、表層が予熱される前に、金属又は合金が鋳鋼片の表層に圧入されているので、たとえ金属又は合金が強磁性であっても、電磁誘導コイルによって発生する磁場に引き寄せられることがない。したがって、金属又は合金が非磁性、強磁性であるかに関わらず、鋳鋼片の表層に金属又は合金を効率よく添加することができる。
【００１１】
前記粒体供給装置は、内部に前記粒状の金属又は合金を収容することができ、鋳鋼片の搬送方向前方側の前面に鋳鋼片の搬送方向と直角方向に延びる開口部が形成された容器を有し、前記容器は、上下方向に振動可能であってもよい。
【００１２】
前記粒体供給装置は、内部に前記粒状の金属又は合金を収容することができ、鋳鋼片の搬送方向前方側の前面に鋳鋼片の搬送方向と直角方向に延びる開口部が形成された容器と、前記容器内の前記粒状の金属又は合金を、前記前面の開口部に移動させる移動部材と、を有していてもよい。
【００１３】
前記プラズマトーチは、鋳鋼片の搬送方向と直角方向に並列して複数設けられ、前記粒体供給装置は、前記各プラズマトーチの間にそれぞれ設けられ、かつ前記圧下ロールよりも鋳鋼片の搬送方向後方に設けられた、前記粒状の金属又は合金を供給する供給口を有していてもよい。
【００１４】
別な観点による本発明は、搬送されていく鋳鋼片の表層をプラズマによって溶融処理する表層溶融処理方法であって、前記プラズマによって溶融する前の鋳鋼片の表面上に粒状の金属または合金を供給する工程と、前記鋳鋼片の表面上に供給された粒状の金属又は合金を鋳鋼片の表層に圧入する工程と、プラズマを用いた加熱によって、前記粒状の金属又は合金が圧入された鋳鋼片の表層を溶融し、当該表層を改質する工程と、を有することを特徴としている。
【００１５】
前記粒状の金属又は合金を鋳鋼片の表層に圧入する工程後であって、前記鋳鋼片の表層を前記プラズマによって溶融する工程の前に、前記鋳鋼片に対して誘導予熱を行う工程をさらに有していてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、鋳鋼片の表層に金属又は合金を効率よく均一に添加することができ、鋳鋼片の表層の溶融処理を均一に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１及び図２は、本実施の形態にかかる鋳片Ｈの表層溶融処理装置１の構成の概略を示す縦断面図である。鋳片Ｈは、例えば厚さ２５０ｍｍ、幅１２００ｍｍの連続鋳造鋳片であり、０．２質量％の炭素を含有する炭素鋼である。また、本実施の形態の鋳片Ｈの表層の溶融処理において、粒状の金属又は合金として、純分２５質量％のニッケルを含有するフェロニッケルＦを添加して、鋳片Ｈの表層を改質している。添加する粒状の金属又は合金としては、粒の直径が１ｍｍ〜１０ｍｍ程度が例示でき、本実施の形態においては、直径約３ｍｍの粒状のフェロニッケルＦを用いている。
【００１８】
表層溶融処理装置１は、水平方向に搬送される鋳片Ｈの搬送ライン上に設けられている。表層溶融処理装置１は、図１及び図２に示すように、例えば直方体形状のチャンバ２を有している。チャンバ２の側面には、鋳片Ｈを搬入するための搬入口３が形成され、搬入口３には、開閉シャッター４が設けられている。チャンバ２の搬入口３に対向する側面には、鋳片Ｈを搬出するための搬出口５が形成され、搬出口５には、開閉シャッター６が設けられている。チャンバ２内には、鋳片Ｈを搬送するための搬送ローラ７がチャンバ２の外部から連続して設けられる。なお、鋼片Ｈの表層の溶融処理中、チャンバ２の雰囲気は、不活性ガス雰囲気、例えばアルゴンガスや水素とアルゴンガスの混合ガスの雰囲気に維持されている。
【００１９】
チャンバ２の上面には、チャンバ２の上面を貫通するプラズマトーチ８が設けられている。プラズマトーチ８は、鋳片Ｈの搬送方向Ｄと直角方向に沿って、例えば１００ｍｍ間隔で並列に複数、例えば１２本配置されている。プラズマトーチ８は、直流電源（図示せず）からの電圧の印加によって、鋳片Ｈとの間に直流プラズマによるプラズマアークＰを形成することができる。なお、プラズマアークＰを生成するためのプラズマガスとしては、非酸化性ガス、例えばアルゴンガスや水素とアルゴンガスの混合ガスが好ましい。
【００２０】
プラズマトーチ８の下方であって、かつ鋳片Ｈの搬送方向Ｄの前後方、すなわちプラズマトーチ８によって形成されるプラズマアークＰの搬送方向Ｄの前後方には、プラズマアークＰに対して交流磁場を発生させるための電磁コイル９、１０が、対向して平行に設けられている。電磁コイル９、１０は、例えばループ状で、鋳片Ｈの搬送方向Ｄと直角方向に延びている。これらの電磁コイル９、１０は、交流電源（図示せず）からの交流電流の供給によって、電磁コイル９、１０の間に交流磁場を発生させ、プラズマアークＰに周期的に電磁力を作用させる。これによって、プラズマアークＰを、供給される交流の周波数に応じて鋳片Ｈの搬送方向Ｄと直角方向に往復移動させることができる。
【００２１】
チャンバ２内であって、プラズマトーチ８よりも鋳片Ｈの搬送方向Ｄの後方、すなわちプラズマアークＰよりも鋳片Ｈの搬送方向Ｄの後方には、溶融前の鋳片Ｈの表面上に粒状のフェロニッケルＦを供給する粒体供給装置２０が設けられている。粒体供給装置２０は、鋳片Ｈの上方に設けられている。粒体供給装置２０は、図３及び図４に示すように、フェロニッケルＦを収容することができ、鋳片Ｈの表面上にフェロニッケルＦを供給するトレイ２１と、トレイ２１にフェロニッケルＦを供給するためのシュータ２２とを有している。トレイ２１は、その幅が鋳片Ｈの幅（鋳片Ｈの搬送方向Ｄの直角方向）よりも僅かに小さい直方体形状であり、上面２１ａが開口している。また、トレイ２１の鋳片Ｈの搬送方向Ｄ前方側の前面２１ｂは開口し、フェロニッケルＦを鋳片Ｈの表面上に供給するための開口部を構成している。トレイ２１は、振動機構（図示せず）によって、上下方向に振動することができる。シュータ２２は、トレイ２１の上方に設置されている。そして、粒体供給装置２０では、シュータ２２からトレイ２１にフェロニッケルＦが供給され、トレイ２１が上下方向に振動することによって、フェロニッケルＦがトレイ２１の前面２１ｂから鋳片Ｈの表面上に供給される。
【００２２】
粒体供給装置２０とプラズマアークＰ（プラズマトーチ８）との間には、図１〜図４に示すように、粒体供給装置２０によって供給されたフェロニッケルＦを鋳片Ｈの表層に圧入する圧下ロール２３が設けられている。圧下ロール２３は、鋳片Ｈの表面と接するように設けられている。圧下ロール２３は、鋳片Ｈの搬送方向Ｄと直角方向に延び、その長さは鋳片Ｈの幅（鋳片Ｈの搬送方向Ｄの直角方向）より僅かに短くなっている。圧下ロール２３には、鋳片Ｈの表層にフェロニッケルＦを圧入するために３０トン〜１００トンの下向きの力が負荷され、圧下ロール２３は、例えばモータ（図示せず）によって鋳片Ｈの搬送方向Ｄに回転自在となっている。鋳片Ｈを挟んで、圧下ロール２３と対向する位置には、圧下ロール２３に負荷された下向きの力を支持するためのサポートロール２４が設けられている。
【００２３】
本実施の形態にかかる表層溶融処理装置１は以上のように構成されており、次にその表層溶融処理装置１で行われる鋳片Ｈの溶融処理について説明する。本実施の形態においては、鋳片Ｈの上面からの深さが例えば５ｍｍまでの表層について溶融処理を行う。
【００２４】
先ず、搬入口３の開閉シャッター４を開き、鋳片Ｈを例えば５ｍｍ／秒の搬送速度でチャンバ２内に搬入する。鋳片Ｈが粒体供給装置２０の下方まで搬送されると、粒体供給装置２０のトレイ２１を上下方向に振動させて、鋳片Ｈの表面にフェロニッケルＦを連続的に供給する。このとき、トレイ２１内のフェロニッケルＦは、トレイ２１の振動によって鋳片Ｈの搬送方向Ｄと直角方向に均一に拡散する。そうすると、鋳片Ｈの表面に供給されたフェロニッケルＦは、鋳片Ｈの搬送方向Ｄの直角方向に均一に拡散する。
【００２５】
表面上にフェロニッケルＦが供給された鋳片Ｈは、圧下ロール２３の下方まで搬送される。そして、鋳片Ｈが圧下ロール２３の下方を通過する際、鋳片Ｈの表面は圧下ロール２３によって例えば３０トンの力で圧下される。この圧下によって、鋳片Ｈの表面上のフェロニッケルＦが鋳片Ｈの表層に押込まれる。なお、このとき、圧下ロール２３は鋳片Ｈの搬送方向Ｄに回転しているので、圧下ロール２３によって鋳片Ｈの搬送が妨げられることはない。
【００２６】
表層にフェロニッケルＦが圧入された鋳片Ｈは、プラズマトーチ８の下方まで搬送される。そして、プラズマトーチ８に直流電源から電圧が印加され、プラズマトーチ８と鋳片Ｈとの間に直流プラズマによるプラズマアークＰが形成される。同時に、電磁コイル９、１０に交流電源から交流電流を供給し、交流磁場により発生する電磁力によってプラズマアークＰを鋳片Ｈの搬送方向Ｄと直角方向に往復運動させる。
【００２７】
鋳片Ｈの表面にプラズマアークＰが形成されると、そのプラズマアークＰの熱によって、鋳片Ｈの表層が溶融し、鋳片Ｈの表層上にプラズマ溶融部３０が形成される。このプラズマ溶融部３０において、フェロニッケルＦも溶融し、鋳片Ｈの表層にフェロニッケルＦが均一に拡散する。その後、鋳片Ｈは搬出口５から搬出され、例えばチャンバ２の外部の冷却装置（図示せず）において冷却され、鋳片Ｈの表層が凝固する。そして、鋳片Ｈの表層を改質する一連の溶融処理が終了する。
【００２８】
以上の実施の形態によれば、プラズマアークＰの熱によって鋳片Ｈの表層を溶融する前に、フェロニッケルＦを粒体供給装置２０によって鋳片Ｈの表面上に供給し、その表面上に供給されたフェロニッケルＦを圧下ロール２３によって鋳片Ｈの表層に圧入しているので、鋳片Ｈの表層をプラズマアークＰによって溶融した場合でも、フェロニッケルＦがプラズマアークＰによって鋳片Ｈの表層から飛散することがない。これによって、粒体供給装置２０から供給されたフェロニッケルＦを有効に用いることができる。また、トレイ２１が上下方向に振動することによって、粒体供給装置２０からフェロニッケルＦを鋳片Ｈの表面上に供給しているので、この振動により、トレイ２１内のフェロニッケルＦを鋳片Ｈの搬送方向Ｄと直角方向に均一に拡散させることができ、その結果、フェロニッケルＦを鋳片Ｈの表面に均一に拡散させることができる。さらに、鋳片Ｈの表層に圧入されたフェロニッケルＦは、プラズマアークＰによって鋳片Ｈの表層が溶融される際に、当該表層に均一に拡散する。したがって、鋳片Ｈの表層にフェロニッケルＦを効率よく均一に添加することができ、鋳片Ｈの表層の溶融処理を均一に行うことができる。
【００２９】
なお、本実施の形態では、鋳片Ｈの表層を改質するためにフェロニッケルＦのみを添加していたが、例えば異なる種類の金属又は合金を添加する場合においても、本発明は有効である。すなわち、異なる種類の金属又は合金をシュータ２２からトレイ２１に供給すると、トレイ２１が上下方向に振動することによって、供給された金属又は合金がトレイ２１内で均一に拡散し、鋳片Ｈの表層に所望の合金が均一に拡散する。したがって、従来のように予め合金を製造する必要がなく、鋳片Ｈの表層に添加する合金の素材コストを抑えることができる。なお、異なる種類の金属又は合金としては、例えばフェロサルファ、フェロクロム、フェロチタン、フェロシリコン、バナジウム、クロム、チタン、ニッケル、炭素飽和鉄、鋳鉄等を用いることができる。
【００３０】
以上の実施の形態の表層溶融処理装置１において、図５に示すように、鋳片Ｈの表層を溶融する前に、当該表層を予熱するための電磁誘導コイル４０、４１をさらに有していてもよい。電磁誘導コイル４０、４１は、プラズマトーチ８よりも鋳片Ｈの搬送方向Ｄの後方、すなわちプラズマトーチ８によって形成されるプラズマアークＰの搬送方向Ｄの後方であって、圧下ロール２３よりも鋳片Ｈの搬送方向Ｄの前方に、対向して平行に設けられている。電磁誘導コイル４０、４１は、鋳片Ｈの搬送方向Ｄと直角方向に延びている。かかる場合、圧下ロール２３によって、フェロニッケルＦが鋳片Ｈの表層に圧入された後、電磁誘導コイル４０、４１によって鋳片Ｈの表層が予熱される。その後、プラズマアークＰによって鋳片Ｈの表層が溶融し、フェロニッケルＦを鋳片Ｈの表層に均一に拡散させることができる。このように鋳片Ｈの表層を予熱する前に、フェロニッケルＦを鋳片Ｈの表層に圧入するので、フェロニッケルＦのような強磁性の合金でも、電磁誘導コイル４０、４１によって発生する磁場に引き寄せられることがない。したがって、鋳片Ｈの表面上に供給したフェロニッケルＦを有効に用いることができる。また、鋳片Ｈの表層を予め予熱することによって、後続の表層の溶融を効率的に行うことができる。
【００３１】
以上の実施の形態の粒体供給装置２０には、上下方向に振動可能なトレイ２１が設けられていたが、図６及び図７に示すように、トレイ２１を振動させずに、トレイ２１内に水平方向に移動可能な移動部材５０を設けてもよい。移動部材５０は、鋳片Ｈの搬送方向Ｄと直角方向に延び、その長さはトレイ２１の幅（鋳片Ｈの搬送方向Ｄの直角方向）より僅かに短くなっている。かかる場合、シュータ２２からトレイ２１内に供給されたフェロニッケルＦは、移動部材５０の移動によってトレイ２１の開口した前面２１ｂから鋳片Ｈの表面上に間欠的に供給される。このように移動部材５０がトレイ２１内を移動している間に、フェロニッケルＦを鋳片Ｈの搬送方向Ｄの直角方向に均一に拡散させることができ、その結果、フェロニッケルＦを鋳片Ｈの表面に均一に拡散させることができる。
【００３２】
以上の実施の形態の粒体供給装置２０には、トレイ２１とシュート２２とが設けられていたが、図８に示すように、フェロニッケルＦを鋳片Ｈの表面上に供給する供給口６０を複数有するノズル６１が設けられていてもよい。ノズル６１は、鋳片Ｈの搬送方向Ｄと直角方向に延び、圧下ロール２３よりも鋳片Ｈの搬送方向Ｄの後方に設けられている。供給口６０は、鋳片Ｈの搬送方向Ｄから見て、プラズマトーチ８の間に位置するように複数配置されている。かかる場合、フェロニッケルＦは、供給口６０からプラズマトーチ８の間の鋳片Ｈの表面上に供給される。そして、鋳片Ｈの表面上のフェロニッケルＦは、圧下ロール２３によって鋳片Ｈの表層に圧入された後、プラズマアークＰによって発生するプラズマ溶融部３０において溶融される。このとき、プラズマ溶融部３０内には、プラズマアークＰによって、溶融した鋳片Ｈの表面張力誘起流れ６２が発生している。この表面張力誘起流れ６２によって、溶融したフェロニッケルＦを鋳片Ｈの表層内に均一に拡散させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明は、例えば鋼の連続鋳造鋳片あるいは圧延途上の鋼片の表層を溶融処理するための表層溶融処理装置及び表層溶融処理方法に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本実施の形態にかかる表層溶融処理装置の構成の概略を示す縦断面図である。
【図２】本実施の形態にかかる表層溶融処理装置の構成の概略を示す平面図である。
【図３】粒体供給装置の構成の概略を示す縦断面図である。
【図４】粒体供給装置の構成の概略を示す平面図である。
【図５】他の形態にかかる表層溶融処理装置の構成の概略を示す縦断面図である。
【図６】粒体供給装置の構成の概略を示す縦断面図である。
【図７】粒体供給装置の構成の概略を示す平面図である。
【図８】粒体供給装置の構成の概略を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１    表層溶融処理装置
２    チャンバ
３    搬入口
４、６  開閉シャッター
５    搬出口
７    搬送ローラ
８    プラズマトーチ
９、１０  電磁コイル
２０  粒体供給装置
２１  トレイ
２１ａ  上面
２１ｂ  前面
２２  シュータ
２３  圧下ロール
２４  サポートロール
３０  プラズマ溶融部
４０、４１  電磁誘導コイル
５０  移動部材
６０  供給口
６１  ノズル
６２  表面張力誘起流れ
Ｄ    搬送方向
Ｆ    フェロニッケル
Ｈ    鋳片
Ｐ    プラズマアーク
【図１】
0005026222.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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