(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定のピッチで２次元配置された複数の受光部と、個々の前記受光部に対応させて矩形の赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタが配列されてなるカラーフィルタと、個々の前記受光部に対応させて複数のマイクロレンズが２次元配置されてなるマイクロレンズアレイとを少なくとも備え、
該マイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズは、有効撮像領域の中心から周辺に向って、対応する受光部に対してずれ量が大きくなるように配置されており、かつ、マイクロレンズの平面形状は、対応する受光部に対するずれ量が大きくなるにしたがって矩形の四隅を大きく除去した形状であるとともに、前記カラーフィルタを構成する各色フィルタの角部に重畳せず、 
前記カラーフィルタを構成する各色フィルタは、有効撮像領域の中心から周辺に向って、対応する受光部に対してずれ量が大きくなるように配置されており、かつ、該ずれ量は対応するマイクロレンズと受光部とのずれ量以下であることを特徴とする固体撮像素子。
【請求項２】
前記マイクロレンズアレイは、前記カラーフィルタ上に直接配設されていることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項３】
前記マイクロレンズアレイは、平坦化層を介して前記カラーフィルタ上に配設されており、前記平坦化層の厚みは０．３μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の固体撮像素子を備えることを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像素子と撮像装置に係り、特にクロストーク発生や感度低下を防止した固体撮像素子と、この固体撮像素子を使用した撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、静止画像、動画像を撮像するデジタルカメラ、ビデオカメラが様々な分野で普及してきている。これらのカメラには、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の固体撮像素子が用いられているが、半導体技術の進歩とともに、固体撮像素子の画素の微細化が一段と進み、カメラ自体の小型化も進んできている。このような固体撮像素子には、カラーフィルタと、受光部に入射する光量を増し感度を向上させるためのマイクロレンズとが各画素の受光部に対応して設けられている。図１０は、このような固体撮像素子のカラーフィルタを構成する各色フィルタの配置を示す図であり、図１１は図１０のＩ−Ｉ線でのカラーフィルタとマイクロレンズを示す断面図であり、図１２は図１０のII−II線でのカラーフィルタとマイクロレンズを示す断面図である。図示のように、カラーフィルタ５１は、平坦化層５２上に形成されており、矩形の赤色フィルタ５１Ｒ、緑色フィルタ５１Ｇ、青色フィルタ５１Ｂが配列されたものである。このカラーフィルタ５１上に平坦化層５３を介してマイクロレンズ５５が配設されている。カラーフィルタ５１を構成する矩形の赤色フィルタ５１Ｒ、緑色フィルタ５１Ｇ、青色フィルタ５１Ｂは、隣接する辺と辺は接しているものの、角部は丸みを帯びているため、空隙部Ｖが存在している。このような空隙部Ｖには、いずれの色のフィルタも存在しないか、もしくは、部分的にしか存在しないため、この部位に入射する光線は、適切な色分離が行われず、また、空隙部Ｖの界面で屈折して迷光となり、その結果、クロストーク等を引き起こすという問題があった。さらに、空隙部Ｖ上の平坦化層５３の表面にも凹凸を生じ、平坦化層５３上に形成されるマイクロレンズの変形等を引き起こすという問題もあった。このようなマイクロレンズの変形は、固体撮像素子の有効撮像領域周辺での感度低下（シェーディング）を防止するために、カラーフィルタの配置ピッチとマイクロレンズの配置ピッチを変える（シェーディング補正）を行う場合に、更に顕著なものとなる。
【０００３】
このような空隙部の発生を防止するために、例えば、ポジ型のカラーレジストの対応するマスクパターン遮光部の寸法調整と、オーバー露光を行うことにより空隙部を生じないように色フィルタを形成したり、各角部に接する各色フィルタのうち、いずれか１色のフィルタで角部を埋めることが提案されている（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００６−２６９７７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述の方法では、適切なオーバー露光とするための紫外線照射エネルギーの制御が必要であり、また、色フィルタのエッジ部をテーパー形状とするために紫外線照射に照度分布をもたせる必要があり、工程管理が煩雑であるという問題があった。
また、上述の方法では、ポジ型のカラーレジストの露光に使用するマスクとして、角部に微小な遮光パターンを設けたマスクを使用することにより、いずれか１色のフィルタで角部が埋められる。しかし、市松状に存在する緑色フィルタと、他の２色のフィルタとでは、角部における露光時のコントラストの減少程度が異なる。このため、角部に微小な遮光パターンを設けたマスクを使用するだけでは、空隙部の発生を防止できない場合があり、また、逆に角部に盛り上がりが発生し、カラーフィルタ上に形成される平坦化層の表面に凹凸を生じ、マイクロレンズの変形等を引き起こすという問題もあった。
【０００５】
一方、カラーフィルタとマイクロレンズとの間に介在させる平坦化層を厚くすることによりカラーフィルタに発生している空隙部を埋めることも可能である。しかし、平坦化層を厚くすると、マイクロレンズアレイの下面から受光部までの距離を大きくなり、固体撮像素子の１画素の寸法が１〜２μｍのような微細化が求められている現状では、カメラレンズからの斜めの入射光線のクロストーク発生（例えば、カラーフィルタの赤色フィルタに入射した光線が青色フィルタや緑色フィルタに対応した受光部に入り込む）や、感度低下（本来、受光部に入射すべき光線が金属電極等でけられ入射光量が低下する）が問題となってくる。
本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、クロストーク発生や感度低下を防止した固体撮像素子とこれを用いた撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的を達成するために、本発明の固体撮像素子は、一定のピッチで２次元配置された複数の受光部と、個々の前記受光部に対応させて矩形の赤色フィルタ、緑色フィルタ、青色フィルタが配列されてなるカラーフィルタと、個々の前記受光部に対応させて複数のマイクロレンズが２次元配置されてなるマイクロレンズアレイとを少なくとも備え、該マイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズは、有効撮像領域の中心から周辺に向って、対応する受光部に対してずれ量が大きくなるように配置されており、かつ、マイクロレンズの平面形状は、対応する受光部に対するずれ量が大きくなるにしたがって矩形の四隅を大きく除去した形状であるとともに、前記カラーフィルタを構成する各色フィルタの角部に重畳せず、前記カラーフィルタを構成する各色フィルタは、有効撮像領域の中心から周辺に向って、対応する受光部に対してずれ量が大きくなるように配置されており、かつ、該ずれ量は対応するマイクロレンズと受光部とのずれ量以下であるような構成とした。
【０００７】
本発明の他の態様として、前記マイクロレンズアレイは、前記カラーフィルタ上に直接配設されているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記マイクロレンズアレイは、平坦化層を介して前記カラーフィルタ上に配設されており、前記平坦化層の厚みは０．３μｍ以下であるような構成とした。
本発明の撮像装置は、上述の本発明の固体撮像素子を備えるような構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
このような本発明の固体撮像素子は、マイクロレンズが、カラーフィルタを構成する各色フィルタの角部に重畳しないので、カラーフィルタの各色フィルタの角部に空隙部や盛り上がり部が存在していても、マイクロレンズは変形のない良好な形状である。また、マイクロレンズの平面形状が矩形の四隅を除去した形状であるため、平面形状が矩形の場合に比べて、マイクロレンズのレンズ面曲率のバラツキが小さくなり、集光効率が向上したものとなる。また、カラーフィルタとマイクロレンズアレイとの間に存在する平坦化層を薄膜化でき、あるいは、平坦化層を省略することができる。これにより、マイクロレンズアレイの下面から受光部までの厚さが小さいものとなり、クロストークが防止され、良好な感度を具備したものとなる。
本発明の撮像装置は、斜め入射に起因するケラレ等のロスが少なく、入射光量に対しての効率分布の少ない高品位のものであり、小型化、薄型化が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
［固体撮像素子］
図１は本発明の固体撮像素子の一実施形態を示す概略構成図である。図１において、固体撮像素子１は、一定の配置ピッチで設けられた複数の受光部３と電極４を備える基板２と、基板２上に絶縁層５を介して順次設けられた遮光層６、パッシベーション層７、平坦化層８、カラーフィルタ９、および、マイクロレンズアレイ１０を有している。
基板２はシリコン基板であり、受光部３はｐｎ接合が形成された公知のフォトダイオードであってよく、通常、正方格子状に配置される。電極４はフォトダイオードである受光部３で発生した信号電荷を転送するものであり、電極４の上面（マイクロレンズアレイ１０側）に遮光膜を備えるものであってもよい。
【００１０】
絶縁層５は、例えば、ＣＶＤ法で成膜した酸化珪素等の透明膜からなり、受光部３と電極４を被覆するように形成されている。遮光層６は、個々の受光部３に対応して配置された複数の開口部を有するものであり、遮光性の金属層（例えば、Ａｌ、Ａｌ／Ｓｉ／Ｃｕ合金等）で形成することができる。また、パッシベーション層７は窒化珪素、二酸化珪素等からなり、平坦化層８は樹脂材料で形成することができる。
カラーフィルタ９は、図２に示されるように、矩形の赤色フィルタ９Ｒ、緑色フィルタ９Ｇ、青色フィルタ９Ｂが配列されたものであり、これらの各色のフィルタは各受光部３に対応している。カラーフィルタ９を構成する緑色フィルタ９Ｇは、角部が接し市松状に配列された非孤立的フィルタである。また、赤色フィルタ９Ｒと青色フィルタ９Ｂは、緑色フィルタ９Ｇの非形成部位に配列された孤立的フィルタである。図示例では、カラーフィルタ９は、各色フィルタの角部が接する部位に空隙部Ｖが存在している。
【００１１】
マイクロレンズアレイ１０は、各受光部３、カラーフィルタ９の各色フィルタに対応して形成された複数のマイクロレンズ１１からなっている。図３はマイクロレンズアレイ１０を説明するための部分平面図であり、受光部３を二点鎖線、カラーフィルタ９の各色フィルタを鎖線、マイクロレンズ１１を実線で示し、他の構成部材は省略している。図３に示されるように、マイクロレンズアレイ１０を構成するマイクロレンズ１１は、対応する受光部３に対してずれを設けて配置されている。そして、本発明では、マイクロレンズ１１の平面形状は、矩形の四隅を除去された形状であるとともに、カラーフィルタ９を構成する各色フィルタの角部９ａに重畳しないものである。受光部３に対してマイクロレンズ１１の配置にずれを設けるのは、シェーディング補正を行うことを目的としたものであり、有効撮像領域の中心から周辺に向って、対応する受光部３に対してずれ量が大きくなるように配置されている。ただし、有効撮像領域の中心では、受光部３とマイクロレンズ１１にずれを設けないものとする。また、有効撮像領域の中心から周辺に向っての対応する受光部３に対するマイクロレンズ１１のずれ量の変化は、漸増するものであってもよく、段階的に大きくなるものであってもよく、さらに、段階的に大きくなる境界領域にずれ量が漸増するような領域をもうけてもよい。尚、図３では、矢印ａで示す方向が有効撮像領域の中心である。
【００１２】
図１〜図３に示す例では、カラーフィルタ９を構成する各色フィルタは、受光部３と同じピッチで配設されているが、シェーディング補正を目的として、カラーフィルタを構成する各色フィルタも、有効撮像領域の中心から周辺に向って、対応する受光部３に対してずれ量が大きくなるように配置されたものであってもよい。図４は、このような例を示す図３に相当する部分平面図である。この例においても、マイクロレンズ１１の平面形状は、矩形の四隅を除去された形状であるとともに、カラーフィルタ９を構成する各色フィルタの角部９ａに重畳しないものである。そして、各画素における受光部３の中心Ｃ１に対して、カラーフィルタの中心Ｃ２とマイクロレンズ１１の中心Ｃ３にはずれが設けられている。この場合、受光部３の中心Ｃ１に対するカラーフィルタの中心Ｃ２のずれ量は、受光部３の中心Ｃ１に対するマイクロレンズ１１の中心Ｃ３のずれ量以下とする。尚、有効撮像領域の中心では、対応する受光部３に対するカラーフィルタ９、マイクロレンズ１１のずれは設けないものとする。また、有効撮像領域の中心から周辺に向っての対応する受光部３に対するカラーフィルタ９、マイクロレンズ１１のずれ量の変化は、漸増するものであってもよく、段階的に大きくなるものであってもよく、さらに、段階的に大きくなる境界領域にずれ量が漸増するような領域をもうけてもよい。
【００１３】
マイクロレンズ１１の平面形状は、上述のように、矩形の四隅を除去された形状であり、カラーフィルタ９を構成する各色フィルタの角部９ａに重畳しないものであれば特に制限はない。図５は、本発明の固体撮像素子を構成するマイクロレンズの平面形状の例を示す図であり、上述の例のような八角形状（図５（Ａ））、八角形状よりも矩形の四隅の除去が小さい形状（図５（Ｂ））、八角形状よりも矩形の四隅の除去が大きい形状（図５（Ｃ））であってもよい。また、六角形状（図５（Ｄ））、矩形の四隅に丸みをもたせて除去した形状（図５（Ｅ））、円形状（図５（Ｆ））であってもよい。また、マイクロレンズアレイ１０を構成するマイクロレンズ１１は、平面形状が２種以上であってもよい。例えば、対応する受光部３に対するずれ量が大きくなるにしたがって、矩形の四隅を大きく除去した平面形状としてもよい。
【００１４】
このように、マイクロレンズ１１の平面形状を、矩形の四隅を除去された形状とすることにより、マイクロレンズ１１のレンズ面曲率のバラツキが小さくなり、集光効率が向上したものとなる。すなわち、図６（Ａ）に示されるように平面形状が矩形のマイクロレンズでは、Ｌ１での断面形状とＬ２での断面形状が図６（Ｂ）に示すものとなり、両者のレンズ面曲率に大きな差が存在する。一方、図６（Ｃ）に示されるように矩形の四隅を除去された平面形状のマイクロレンズでは、Ｌ１での断面形状とＬ２での断面形状は、図６（Ｄ）に示すものとなり、両者のレンズ面曲率の差が小さいものとなる。
ここで、マイクロレンズ１１からなるマイクロレンズアレイ１０の形成方法としては特に制限はないが、例えば、マイクロレンズ材料としてポジ型フォトレジストを用い、塗布、露光、現像のフォトリソグラフィー工程の後、フォトレジストをポストベークして溶融し凸レンズ状に成形する方法を挙げることができる。この成形方法で使用するマイクロレンズ用フォトマスクの一画素分を例示すると、図７のようになる。図７において、一画素２１は、遮光部２２と、その周囲の光透過部２３からなっている。遮光部２２は、矩形の四隅を除去した形状であり、図示例では正八角形状となっているが、例えば、上述の図５（Ｂ）〜図５（Ｆ）のような平面形状のマイクロレンズを形成する場合には、遮光部２２を対応した形状とする。
【００１５】
上述のような本発明の固体撮像素子１は、マイクロレンズ１１がカラーフィルタ９を構成する各色フィルタの角部９ａに重畳しないので、カラーフィルタの各色フィルタの角部に空隙部や盛り上がり部が発生していても、マイクロレンズ１１は変形のない良好な形状である。また、マイクロレンズ１１の平面形状が、矩形の四隅を除去した形状であるため、平面形状が矩形の場合に比べて、マイクロレンズ１１におけるレンズ面曲率のバラツキが小さくなり、集光効率が向上したものとなる。また、カラーフィルタ９にマイクロレンズアレイ１０を直接設けることができる。これにより、マイクロレンズアレイ１０の下面から受光部３までの厚さが小さいものとなり、クロストークが防止され、良好な感度を具備したものとなる。
上述の固体撮像素子の実施形態は例示であり、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。例えば、平坦化層を介してマイクロレンズアレイ１０をカラーフィルタ９上に配設してもよい。上述のように、カラーフィルタの各色フィルタの角部に空隙部や盛り上がり部が発生していても、マイクロレンズ１１はこれらの影響を受けないので、カラーフィルタ９とマイクロレンズアレイ１０との間に介在させる平坦化層の薄膜化が可能である。例えば、平坦化層の厚みは０．３μｍ以下とすることが好ましい。
【００１６】
［撮像装置］
図７は、本発明の撮像装置の一実施形態を示す概略断面図である。図７において、本発明の撮像装置３１は、本発明の固体撮像素子３２を備えた基板３３と、固体撮像素子３２の外側に配した封止用部材３４と、この封止用部材３４を介して固体撮像素子３２と所望の間隙を設けて対向するように配設された保護材３５とを備えている。また、固体撮像素子３２は配線３６、表裏導通ビア３７を介して外部端子３８に接続されている。このようなセラミックパッケージ型の撮像装置３１は、種々のデジタルカメラ、ビデオカメラ等に使用することができ、カメラの高感度化、小型化、薄型化が可能である。
【００１７】
また、図８は、本発明の撮像装置の他の実施形態を示す概略断面図である。図８に示される本発明の撮像装置４１は、携帯電話用カメラモジュールの例であり、本発明の固体撮像素子４２を備えた基板４３と、固体撮像素子４２の外側に配した封止用部材４４と、固体撮像素子４２と所望の間隙を設けて対向するように配設された赤外カットフィルタ４５と、赤外カットフィルタ４５上に配設された鏡筒４６と、この鏡筒４６内に装着されたレンズユニット４７を備えている。このような撮像装置４１は、本発明の固体撮像素子４２がシェーディング補正されていて高感度のものであるため、小型化、薄型化が可能である。
本発明の撮像装置は上述の実施形態に限定されるものではなく、固体撮像素子として本発明の固体撮像素子を備えるものであればよく、従来の種々の撮像装置の構成をそのまま採用することができる。
【実施例】
【００１８】
次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
［実施例１］
まず、画素受光部ピッチ２．０μｍ、画素数２５９２個×１９４４個のフォトダイオードからなるＣＭＯＳセンサーを形成したウェハを用意した。
次に、上記のウェハ上に、以下のようにして、平坦化層、カラーフィルタ、および、マイクロレンズアレイを形成した。
（平坦化層の形成）
パッシベーション層上に、光硬化型アクリル系透明樹脂材料（富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ（株）製  ＣＴ−２０２０Ｌ）をスピン塗布し、次いで、プリベーク、紫外線全面露光、ポストベークを行って平坦化層（厚み０．３μｍ）を形成した。
【００１９】
（カラーフィルタの形成）
ネガ型感光性の赤色材料（Ｒ用材料）、緑色材料（Ｇ用材料）、青色材料（Ｂ用材料）として以下の材料を用意した。
Ｒ用材料：富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ（株）製  ＳＲ−４０００Ｌ
Ｇ用材料：富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ（株）製  ＳＧ−４０００Ｌ
Ｂ用材料：富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ（株）製  ＳＢ−４０００Ｌ
Ｇ、Ｒ、Ｂの形成順序で、上記材料をスピン塗布し、プリベーク、１／５縮小型のｉ線ステッパーによる露光、現像、ポストベークを行って、ＲＧＢカラーフィルタ（厚み０．８μｍ）を形成した。尚、現像液として、富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ（株）製  ＣＤ−２０００の５０％希釈液を使用した。また、カラーフィルタの配置ピッチは、画素受光部と同様に、２．０μｍとした。
尚、形成したカラーフィルタを原子間力顕微鏡を用いて観察した結果、角部に空隙部（深さ０．５μｍ程度）が存在することが確認された。
【００２０】
（マイクロレンズの形成）
カラーフィルタ上に、マイクロレンズ材料としてＪＳＲ（株）製  ＭＦＲ４０１Ｌをスピン塗布し、プリベーク、１／５縮小型のｉ線ステッパーによる露光、現像、後露光、ポストベークによるメルトフローを行って、マイクロレンズを形成した。尚、現像液として、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）の１．１９％液を使用した。
上記の露光において使用したフォトマスクは、図７にて遮光部２２を１辺が０．７０４μｍの正八角形状とし、正八角形遮光部のＸ，Ｙ方向の配列ピッチを、画素受光部ピッチ（２．０μｍ）に対し９９．９９３％の微小スケーリングを掛けて、画素受光部ピッチ（２．０μｍ）に対してずれ量を設けたフォトマスクとした。
このようにカラーフィルタ上に形成されたマイクロレンズを原子間力顕微鏡を用いて観察した結果、マイクロレンズはカラーフィルタを構成する各色フィルタの角部に重畳しておらず、変形等が見られず良好なレンズであることが確認された。
【００２１】
次に、ボンディングパッド部の窓開けを行った。すなわち、ポジレジスト（住友化学（株）製  ｉ線用ポジレジスト  ＰＦＩ−２７）をスピン塗布し、次いで、プリベーク後、ボンディングパッド部およびスクライブ部に対応するパターンを有するフォトマスク用いて露光、現像を行った。これにより、ボンディングパッド部およびスクライブ部に開口を有するレジストパターンが形成され、このレジストパターンをマスクとして酸素アッシングを行って、当該箇所上の平坦化層をエッチング除去した。次いで、レジスト剥離液を用いてポジレジストを除去した。
次いで、ウェハのダイシングを行い、パッケージ組立を行って、本発明の固体撮像素子を作製した。この固体撮像素子におけるマイクロレンズアレイの下面からフォトダイオード（受光部）までの厚さは４．３μｍであった。
【００２２】
［実施例２］
カラーフィルタを形成した後、下記のように平坦化層を形成し、この平坦化層上にマイクロレンズを形成した他は、実施例１と同様に、固体撮像素子を作製した。
（平坦化層の形成）
カラーフィルタ上に、光硬化型アクリル系透明樹脂材料（富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ（株）製  ＣＴ−２０２０Ｌ）をスピン塗布し、次いで、プリベーク、紫外線全面露光、ポストベークを行って上平坦化層（厚み０．１μｍ）を形成した。
平坦化層上に形成されたマイクロレンズを実施例１と同様に観察した結果、変形は見られず良好なレンズであることが確認された。
また、この固体撮像素子におけるマイクロレンズアレイの下面からフォトダイオード（受光部）までの厚さは、実施例１に比べて、新たに設けた平坦化層の厚み分（０．１μｍ）だけ厚いものであった。
【００２３】
［比較例１］
マイクロレンズ形成時の露光において使用したフォトマスクを、図７にて遮光部２２が１辺１．７μｍの正方形であるフォトマスクとした他は、実施例１と同様に、固体撮像素子を作製した。
カラーフィルタ上に形成されたマイクロレンズを確認した結果、有効撮像領域の中心から６００画素目より外側では、マイクロレンズが、カラーフィルタを構成する各色フィルタの角部に重畳し、この角部に存在する空隙部の影響を受けた変形が見られた。
【００２４】
［比較例２］
比較例１と同様にして、カラーフィルタの形成までを行った。
次に、このカラーフィルタを被覆するように、光硬化型アクリル系透明樹脂材料（富士マイクロエレクトロニクスマテリアルズ（株）製  ＣＴ−２０２０Ｌ）をスピン塗布し、次いで、プリベーク、紫外線全面露光、ポストベークを行って平坦化層（０．４μｍ）を形成した。この平坦化層の厚みは、形成した平坦化層の表面に、カラーフィルタの各色フィルタの角部の空隙部の影響を受けた変形が発生しないものとなる最小厚みとした。
次いで、平坦化層上に、比較例１と同様に、マイクロレンズを形成して、固体撮像素子を作製した。
この固体撮像素子において、マイクロレンズを実施例１と同様に観察した結果、変形は見られず良好なレンズであることが確認された。しかし、マイクロレンズアレイの下面からフォトダイオード（受光部）までの厚さは４．７μｍであり、実施例１、２に比べ厚いものであった。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
小型で高信頼性の固体撮像素子、撮像装置が要求される種々の分野において適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の固体撮像素子の一実施形態を示す概略構成図である。
【図２】本発明の固体撮像素子を構成するカラーフィルタの一例を示す図である。
【図３】本発明の固体撮像素子を構成するマイクロレンズ、カラーフィルタ、受光部の配置の一例を説明するための図である。
【図４】本発明の固体撮像素子を構成するマイクロレンズ、カラーフィルタ、受光部の配置の他の例を説明するための図である。図３に示されるフォトマスクの１個のパターンを示す図である。
【図５】本発明の固体撮像素子を構成するマイクロレンズの平面形状を説明するための図である。
【図６】マイクロレンズのレンズ面曲率のバラツキを説明するための図である。
【図７】マイクロレンズ用のフォトマスクの一画素分を示す図である。
【図８】本発明の撮像装置の一例を説明するための図である。
【図９】本発明の撮像装置の他の例を説明するための図である。
【図１０】固体撮像素子のカラーフィルタを構成する各色フィルタの配置を示す図である。
【図１１】図１０のＩ−Ｉ線でのカラーフィルタとマイクロレンズを示す断面図である。
【図１２】図１０のII−II線でのカラーフィルタとマイクロレンズを示す断面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１…固体撮像素子
２…基板
３…受光部
４…電極
５…絶縁層
６…遮光層
７…パッシベーション層
８…平坦化層
９…カラーフィルタ
９Ｇ…緑色フィルタ
９Ｒ…赤色フィルタ
９Ｂ…青色フィルタ
１０…マイクロレンズアレイ
１１…マイクロレンズ
３１，４１…撮像装置
【図１】
0004957564.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004957564.tif 000008
【図８】
0004957564.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0004957564.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0004957564.tif 000013