(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光反射量が移送方向の前後においてそれぞれ異なる複数の部分を有する部品の姿勢を選別する部品姿勢選別装置において、
前記部品を移送する移送路と、
前記移送路における前記部品の移送方向に沿って順に配設され、検出感度がそれぞれ異なる少なくとも２つの光反射型センサと、
前記光反射型センサの検出結果により異姿勢と判断された前記部品を排除する部品排除手段とを備え、
前記光反射型センサは、前記部品の第１の部分及び該第１の部分より光反射量の小さい第２の部分の両方を光反射により検出する第１光反射型センサと、前記第１光反射型センサの検出感度より低い検出感度を有し、光反射により前記第１の部分を検出し、前記第２の部分を検出しない第２光反射型センサとを含み、
前記第１及び第２光反射型センサにより、前記部品が移送される時の、前記部品の第１及び第２の部分の前記移送方向における位置が検出されることにより、前記第１及び第２の部分の前記位置の違いによる該部品の正姿勢及び異姿勢を判断し、前記異姿勢で移送される前記部品を前記部品排除手段により排除させるものであって、
前記部品の第１の部分が、前記第１光反射型センサより上流側に配設された第２光反射型センサにより検出されている時に、該部品の第２の部分が前記第１光反射型センサにより検出されない場合、該部品が前記正姿勢で移送されていると判断し、
前記部品の第２の部分が、前記第１光反射型センサにより検出されている時に、該部品の第１の部分が、前記第２光反射型センサの検出位置に至ったことが前記第２光反射型センサにより検出された場合、該部品が前記異姿勢で移送されていると判断する
ことを特徴とする部品姿勢選別装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は部品姿勢選別装置に関し、特に前後で光の反射量が異なる部品の姿勢選別装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１４乃至図１６は従来例の振動パーツフィーダにおける部品姿勢選別装置を示すものであるが、図において公知のようにスパイラル用のトラック１の端部には矢印で示すように上下動して摺動するストッパーピン１０が配設されており、この上流側のトラック部１には光透過孔２、３及び空気吸引孔４が設けられている。５は真空装置、６は制御装置、７は受光素子、８はもう一方の受光素子を表す。光透過孔２、３の上方には光源９が配設されている。図１５で示すように、部品としての水晶振動子Ｍがトラック１上を振動により移送されてきて、その脚部ｈがストッパーピン１０に当接すると図示するように停止する。ここで、光源９からの光線は一方の光透過孔２は透過するが、他方の光透過孔３は水晶振動子Ｍの本体により遮光される。これによって、水晶振動子Ｍは異姿勢であると判断され、図示しない部品排除手段により側方へと排除される。次いで、図１６で示すように、正しい姿勢の水晶振動子Ｍがストッパーピン１２より停止させられると、この時には光源９からの光線はこの本体により光透過孔２、３いずれも遮光されて、受光素子７、８はこれを検知する。これは正姿勢であるので、ストッパーピン１０は図示しない駆動機構により下方へと摺動し、水晶振動子Ｍは図１６において右方へと移送される。以上のようにして水晶振動子Ｍは、正姿勢のみが次工程に供給され、異姿勢はストッパーピン１０の手前で排除される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
以上の従来技術ではストッパーピン１０が上下動しなければならず、水晶振動子Ｍの加工誤差によっては、脚部ｈがストッパーピン１０の上下動に悪影響されないとは限らず、これに引っ掛かって以後の選別作用ができなくなる恐れがある。また、図示しないが、ストッパーピン１０の上下動をさせる駆動部が必要であり、この装置全体を大型化し、またトラブルを発生しやすくする。また、ストッパーピン１０により１個ずつ部品を停止させて正姿勢か異姿勢かを判断しなければならず、次工程への供給効率はそれだけ低いものとなる。
本発明はこのような問題に鑑みてなされ、部品をいちいち停止させずとも連続的にその異姿勢を判別することができ、上述のストッパーピンのようなトラブルを引き起こすような部材を必要としない部品姿勢選別装置を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
以上の課題は、光反射量が移送方向の前後においてそれぞれ異なる複数の部分を有する部品の姿勢を選別する部品姿勢選別装置において、
前記部品を移送する移送路と、
前記移送路における前記部品の移送方向に沿って順に配設され、検出感度がそれぞれ異なる少なくとも２つの光反射型センサと、
前記光反射型センサの検出結果により異姿勢と判断された前記部品を排除する部品排除手段とを備え、
前記光反射型センサは、前記部品の第１の部分及び該第１の部分より光反射量の小さい第２の部分の両方を光反射により検出する第１光反射型センサと、前記第１光反射型センサの検出感度より低い検出感度を有し、光反射により前記第１の部分を検出し、前記第２の部分を検出しない第２光反射型センサとを含み、
前記第１及び第２光反射型センサにより、前記部品が移送される時の、前記部品の第１及び第２の部分の前記移送方向における位置が検出されることにより、前記第１及び第２の部分の前記位置の違いによる該部品の正姿勢及び異姿勢を判断し、前記異姿勢で移送される前記部品を前記部品排除手段により排除させるものであって、
前記部品の第１の部分が、前記第１光反射型センサより上流側に配設された第２光反射型センサにより検出されている時に、該部品の第２の部分が前記第１光反射型センサにより検出されない場合、該部品が前記正姿勢で移送されていると判断し、
前記部品の第２の部分が、前記第１光反射型センサにより検出されている時に、該部品の第１の部分が、前記第２光反射型センサの検出位置に至ったことが前記第２光反射型センサにより検出された場合、該部品が前記異姿勢で移送されていると判断する
ことを特徴とする部品姿勢選別装置、によって解決される。
【０００５】
以上のような構成により、従来のような上下動するストッパーピンに対応する構成はなく、部品の姿勢は連続的に判断されて次工程への正姿勢での供給効率を大幅に向上させることができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態につき、図面を参照して説明する。本発明の実施の形態では図１２Ａで示す部品（水晶振動子）ｍが適用される。円柱状頭部ａはアルミニウムでなり、脚部ｈはステンレスでなる。
図１及び図２は本発明の実施の形態による部品供給装置の全体を示すが、振動パーツフィーダ２１及びこの排出端に接続されるリニア振動パーツフィーダ２２とから成っている。公知のように振動パーツフィーダ２１はボウルＢを備えており、この内側にスパイラル状のトラック２３を形成させており、中央底部２４には、図示せずとも多量の供給すべき部品が収容されている。駆動部は、図示されないが、公知のように電磁石のまわりにボウルＢと固定部とは等角度間隔で配設された板ばねにより結合されており、電磁石の交番吸引力によりねじり振動をボウルＢに行わせる。ボウルＢには図示せずとも部品流量を調節したり、単層、単列にする手段が設けられているとする。リニア振動フィーダ２２は直線的なトラフ２５を有しており、これは後述するような本発明に関わる各種部材を取り付けている。図２において固定部２７とトラフ２５とは前後一対の傾斜板ばね２６ａ、２６ｂとにより結合されており、固定部２７は更に架台２８と防振用の板ばね２９ａ、２９ｂとにより結合されている。
次にリニア振動フィーダ２２の詳細について図３〜図６を参照して説明する。図５及び図６に明示されるように、トラフ２５は移送路形成ブロック３１及びセンサ取り付けブロック３２とから成っており、移送路形成ブロック３１には、やはり図５及び図６に明示されるように、ほぼＵ字形状の直線的なトラック３１ａを形成させている。移送路形成ブロック３１の上壁部には、図３及び図４に示されるように下流側から順番に空気供給又は吸引用パイプ取り付けカップリング４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７、４８及び４９が取り付けられている。これに図示しない空気供給又は吸引用パイプが接続されている。センサ取り付けブロック３２には下流側から順に光反射型センサ５１、５２、５３、５４、５５、５６、５７が取り付けられており、センサ５１〜５６は等角度間隔で配設され、最上流側のセンサ５６と５７との間隔はこれよりも小さい。トラフ２５の端部に近接して直立したストッパー板６０が架台２８に固定されており、これに沿って最上流側の光反射型センサ５０が取り付けられている。この上端部は、移送路形成ブロック３１に形成されたトラック３１ａの底部に形成した孔に臨んでいる。
図７はトラック３１ａに沿って配設された各ファイバセンサと制御器６２への入力関係を示すが、先頭ワーク有無検知用ファイバセンサ５０、２個目ワーク有無検知用ファイバセンサ５１、３個目ワーク有無検知用ファイバセンサ５２、４個目ワーク有無検知用ファイバセンサ５３、５個目ワーク有無検知用ファイバセンサ５４、６個目ワーク有無検知用ファイバセンサ５５がそれぞれ下流側から順に配設されており、これらの出力が制御器６２に供給される。更に上流側には、７個目ワーク有無逆向きワーク選別用ファイバセンサ５６及び同期用ファイバセンサ５７の出力がそれぞれ制御器６２に供給される。
本発明によれば、同期用ファイバセンサ５７の感度は比較的低く設定され、逆向き選別用ファイバセンサ５６の感度は比較的高く設定されている。他のファイバセンサ５０乃至５５の感度は同一である。これらの入力を受けて制御器６２では内蔵するロジックにより電磁弁のソレノイドＳＯＬ１〜ＳＯＬ１８を選択的に駆動する信号を選択的に発生する。電磁弁のソレノイドＳＯＬ３〜ＳＯＬ８は、先頭から７個目乃至２個目の部品吸着用の電磁弁のソレノイドであり、電磁弁ソレノイドＳＬ２は逆向き（異姿勢）ワークを噴出排除するための電磁弁ソレノイドであり、ＳＯＬ１はオーバーフロー用の電磁弁のソレノイドである。
次に図８を参照して移送トラック３１ａの側壁に形成される空気吸引用又は噴出用の孔７１乃至７９と各電磁弁の関係について説明する。
上述したように、移送路形成ブロック３１には空気吸引用又は噴出用の孔７１乃至７９が形成されているのであるが、図８において下流側の第６吸着用孔７１〜第１吸着用孔７６には、それぞれ真空発生器８０乃至８５が接続され、これらは更に電磁切り替え弁８０Ａ、８１Ａ、８２Ａ、８３Ａ、８４Ａ、８５Ａが接続されており、更にこれらは絞り８０Ｂ、８１Ｂ、８２Ｂ、８３Ｂ、８４Ｂ及び８５Ｂが接続されており、これらはカップリング９０Ａ、９０Ｂに接続され、これらカップリング９０Ａ、９０Ｂには図示しない圧縮空気発生源に接続されている。
図８において、最も上流側にある孔７９は重なりワークの除去用であり、これには絞り８８が接続され、次に下流側の孔７８はオーバーフロー解除用の孔で絞り８７及び電磁切り替え弁８７Ａに接続されている。
図９で示すように移送トラック３１ａの側壁部には、上流側から順に重なり除去用の孔７９、オーバーフロー用の空気噴出孔７８、異姿勢排除用の噴出空気孔７７、部品を保持しておくための空気吸引用、すなわち吸着用の孔７６、７５、７４、７３、７２、７１が等ピッチで形成されている。またこれら吸着孔７１乃至７６には、わずか下流側に位置して光反射型ファイバセンサである部品検知センサ５１、５２、５３、５４、５５が配設されている。上述の重なり除去用空気噴出孔７９は、部品の頭部の高さよりは大きいが、この倍よりは小さい高さに形成されている。また、オーバーフロー排除用の７８は他の吸着はなく、５０乃至５５と同レベル、すなわち部品ｍの頭部のほぼ中央部に位置するように形成されている。同期用ファイバセンサ５７は、オーバーフロー解除用噴出孔７８の下流側で異姿勢排除用の空気噴出孔７７より上流側に位置し、逆向き異姿勢選別用のファイバセンサ５６は、空気噴出穴７７より下流側にある。これら空気噴出孔、同期用ファイバセンサ５７及び選別用のセンサ５６とのピッチは、図示する大きさであるが、部品ｍとは図示するような相対的な大きさ関係にある。なお、光反射型ファイバセンサとは、例えば複数本の光ファイバで成り、半分の光ファイバは投光用であり、他の半部は受光用ファイバで成り、投光用ファイバを通ってワークに光が投射され、ワークによって反射される光を受光用ファイバを通って、端部に接続される受光素子によって反射光を受ける。本実施の形態で感度が大とはこの受光素子の感度が大か、この素子の出力の増幅度によって感度の大小を定めている。勿論、本発明はこれらによるものとは限らない。
【０００７】
以上、本発明の実施の形態の構成について説明したが、次にこの作用について説明する。
図１で示すように、振動パーツフィーダ２１のボウルＢの中央底部２４には、図示せずとも多数の部品ｍが収容されている。図示しないねじり振動駆動部の駆動によりボウルＢ内の螺旋状のトラック２３に沿って部品ｍが移送され、リニア振動フィーダ２２に単列、単層で供給される。
【０００８】
リニア振動フィーダ２２の固定部２４内に内蔵される直線振動駆動部によりトラフ２５は直線振動を行い、移送路形成ブロック３１に形成される移送路３１ａに沿って移送される。図６で明示されるように、重なり除去用の空気噴出孔カップリング４９からは常に空気が噴出されており、もし重なっている（単列、単層でボウルＢが供給されても再び重なることがある）部品ｍがここに到来すると振動パーツフィーダ２１のボウルＢ内へと排除される。従ってこの下流側には確実に単層、単列で移送される。図１０で示すように部品ｍの頭部が同期用ファイバセンサ５７に至ると、反射量の大きさが一段と大きくなり、センサ感度は低いが部品ｍの到来を検知する。
図１１では正しい姿勢の部品ｍを示しているが、図１１Ａで示すように、この時、脚部ｈは選別用センサ５６とは対向しないので、光ファイバセンサ５６の反射レベルは何ら変動することはない。よって制御器６２は正しい姿勢と判断し、空気噴出孔７７から何ら空気を噴出せず、図１１Ｂ、図１１Ｃで示すようにそのまま下流側へと移送される。図１１Ｃでは頭部ａが吸着孔７６で吸着されている状態を示す。図１０の部品ｍで示すように、異姿勢の部品ｍ’が同期センサ５７に到来しても、脚部ｈは頭部ａより細く、投射面積も小さく、従って光ファイバセンサ５７への光の反射量が小さい。更に光ファイバセンサ５７の感度は低くしてあるので、何ら感ずることなく（なお図１０においては異姿勢の部品ｍ’の脚部ｈが光ファイバセンサ５７を通過した後を示している）、そのまま下流側へと移送される。下流側の光ファイバセンサ５６の感度はより高く設定されているので、先端の脚部ｈを検知し、今、異姿勢であるので、同期センサ５７が頭部ａを検知すると、この検知出力により空気噴出孔７７から空気を噴出する。よってボウルＢ側へとガイド面Ｓを介して排除される。
なお、脚部ｈは２本で成るが、水平に並んだ時には、部品検知用光ファイバ５６、５７の先端と同一レベルとなるが、上下に並ぶと、これら脚部ｈの間を光ファイバからの光が通る。然しながら、投光はある広がりをもって投射されるので、感度が高いことからも脚部ｈを充分に検知することができる。
図９で示すように、先頭の部品ｍは正姿勢、すなわち頭部を前方にしてストッパー６０に当接して、それ以上の搬送を押さえられる。本実施の形態によれば、ストッパー６０は移送路３１ａの先端とはわずかな隙間ｓをおいて静止部に固定されているので、先頭の部品ｍはリニア振動フィーダ２２の振動で更に移送されんとするが、ストッパー６０で移動が押さえられる。もし、ストッパー６０がトラフ３１と一体的に形成されておれば、これと衝突すると共に振動の反力を受けて大きく後方へと跳ねる。然しながら、このような現象はなく、ストッパー６０とわずかな隙間ｓを維持して図示するような安定姿勢をとる。
ここで図示せずとも上方から真空吸着手段により次工程の要求に応じて部品ｍの頭部ａが吸引されて、１つずつ次工程に供給される。これにより最先端のストッパー６０に沿って下方から延びる光ファイバである部品検出手段５０が部品がないことを検出すると、電磁切替弁８０Ａのソレノイド部ＳＯＬ８が駆動されて、電磁切替弁８０Ａが切り替えられ、前方から２番目の部品吸着孔７４の空気吸着を停止する。これにより２番目の部品ｍは、今や空いている先頭の部品が存在した部位へと運ばれる。更に３番目の部品ｍの吸着している空気孔の吸引作用も電磁弁の切替により停止され、前方へと１ピッチ分（本実施の形態では部品ｍの全長は約１２ｍｍであり、１ピッチは約１６ｍｍである）、移動する。以下、同様にして後続する部品ｍの空気吸着が解かれ、１ピッチずつ前進する。
本実施の形態によれば、その姿勢を判別された直後の部品ｍも、その直後に吸着孔により維持されるが、後続する、まだ姿勢の判別されていない部品ｍは図９で示すように正姿勢の部品ｍの脚部ｈに当接して停止されている。更にこの部品ｍ’に対しても後続する部品ｍの脚部又は頭部が、この図９では脚部ｈに頭部ａが当接する場合には、オーバーフロー排除用の孔７８から空気を噴出させてボウルＢへと排除する。これは図示せずとも別途設けた部品センサが所定時間以上、部品が滞在していると、空気を噴出させるようにしてもよいし、センサ５７又は５５によって所定時間以上、部品の滞在を検知している時に空気を噴出させるようにしてもよい。従って、図９で示すように、先頭から７番目までの部品は全て等ピッチで空気吸引用の孔で吸着されて、その位置を保持し、これに後続する部品は１個のみでこれ以上前方にある部品と当接させてバックプレッシャーにより前方の部品の姿勢を損なうということがない。すなわち、部品を所定数、安定にプールして次工程に供給することができる。勿論、先頭の部品を真空吸着手段により吸着して次工程に供給するタクトを更に大きくしたければ、リニア振動フィーダ２２の振幅を大として移送速度を大とするか、あるいは図９の図示するピッチよりも更に小さくするようにしてこれに応えればよい。
【０００９】
以上述べたように本発明の実施の形態によれば、部品としての水晶振動子ｍを連続的に前後姿勢を判別することができ、次工程の供給効率を高めるのみならず、従来技術のような上下動するストッパー部材を用いることがないのでトラブルが少ない。
【００１０】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００１１】
例えば以上の実施の形態では、下流側に感度の高い光反射型センサ５６を配設し、上流側に感度の低い光反射型センサ５７を配設するようにして、頭部が上流側の光反射型センサ５７、すなわち同期用センサによりその部品の到来を検知した時に、脚部ｈを下流側の光反射型センサ５６が検知しない場合には、これを正姿勢として下流側へとそのまま搬送するようにしたが、この正姿勢を逆にして、すなわち脚部ｈを前方にした姿勢を正しい姿勢とする場合には、上流側の光反射型センサ５７で部品ｍが到来したことを検知した時に、その脚部ｈは下流側の感度の高い光反射型センサ５６で検知されない場合には異姿勢として同期信号を得た直後に噴出孔７７から空気を噴き出してこれを排除するようにし、脚部ｈを下流側の感度の良い光反射型センサ５６で検知した時には、この空気噴出孔７７から何ら空気を噴出せずそのまま次工程に供給すればよい。
【００１２】
また以上の実施の形態では、リニア振動フィーダ２２のトラフ２５の端部に近接してストッパーを設け、先頭の部品はこれに当接することにより停止され、必要に応じて真空吸着手段等により上方へと搬送するようにしたが、このような次工程への供給の仕方に限ることなく、連続的にその端部から外部に所定の姿勢の部品を供給するようにしてもよい。
【００１３】
また以上の実施の形態では、部品位置保持手段として部品を吸着させるように空気吸引作用を用いたが、これに限ることなく、例えば上方からその頭部を押圧するような手段を設けてもよい。また、部品を排除する手段として噴出空気を用いたが、これに限ることなく、プッシュロッドによって異姿勢の部品を側方へ排除するようにしてもよい。
【００１４】
また、本発明に適用される部品ｍとしては、図１２Ａで示すような部品ｍに限ることなく、例えば全体として図１２Ｂで示すように円筒体あるいは平板状であるような部品ｎの図において前方部ｎａの反射量が大きく、後方部ｎｂの反射量が小さいような部品ｎに対してもその前後姿勢を整えて次工程に供給することができる。更に図１２Ｃで示すような頭部Ｐａが円筒体又は平板状であって、脚部Ｐｂが５本あるような場合でも、その光反射量が前方部Ｐａの方が大きく、後方部Ｐｂの方が小さいので、上述の実施の形態と同様にしてその前後姿勢を判別して次工程に供給することができる。
更に図１３Ａで示すような前方部ｇａが円板で、後方部が２本の脚部ｇｂから成る部品ｇであっても、図１３Ｂで示すように前方部ｇａに対する光反射型センサの反射量（面積大）は大きく、後方部ｇｂの光反射量（面積小）は小さいので、やはり上述の実施の形態と同様にこの反射量の違いを利用し、かつ同期センサとしては感度の低い光ファイバセンサを用い、脚部ｇｂの検知には感度の良い光ファイバセンサを用いるようにすれば、上記実施の形態と同様な効果を奏することができる。
【００１５】
また以上の実施の形態では、空気吸引用の孔をトラックの側壁に設けるようにしたが、これに代えてトラックの底壁部に設けるようにしてもよい。この場合の方が吸着力が大きい。頭部が円筒体である場合に、側方に設けた場合には若干の隙間が形成されるので、それだけ吸着力が弱まるが、底壁部に設けた場合には密に接触することにより吸着力を大として、トラフが振動していても安定にその位置を保持させることができる。
【００１６】
また以上の実施の形態では、２番目から６番目の部品をプールするのに上流側の姿勢判別用と同じ光反射型センサを用いたが、これに代えて透過型、すなわち両側壁に対向する光透過孔を形成し、これに整列して発光素子及び受光素子を設け、このオン・オフにより部品の到来を検知し、上記実施の形態と同様に空気吸引用孔に部品を吸着させるようにしてもよい。
【００１７】
また以上の実施の形態では、トラックの側壁に孔を形成し、これに光反射型ファイバセンサを挿通して側方を通る部品の前後姿勢を判別するようにしたが、この配置法に代えて、トラックの上方に光反射型センサを設けるようにしてもよい。
【００１８】
更に、以上の実施の形態では、リニア振動フィーダの直線的なトラフに本発明を適用したが、これに限ることなく螺旋状のトラックを有する振動パーツフィーダの供給端部近傍を直線的にして、ここに上述のリニア振動フィーダのトラフに設けたセンサや空気孔を形成してもよい。然しながら、リニア振動フィーダのトラックに設けたほうが、部品を何個かプールした場合に、次工程に供給するまでその姿勢を乱すことなく安定に維持できる。振動パーツフィーダでは振動によっては相接してその姿勢を乱す恐れがある場合でも、直線的なトラフであれば単なるバックプレッシャーとして働くのみで、大きく姿勢を崩すことがないので、リニア振動フィーダに設けるほうが好ましい。
【００１９】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の部品姿勢選別装置によれば、前後で光反射量の異なる部品を次工程に高効率で、かつトラブルを引き起こすような部材を用いることなく供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による振動部品供給装置の平面図である。
【図２】同側面図である。
【図３】図１におけるリニア振動フィーダの平面図である。
【図４】同リニア振動フィーダの側面図である。
【図５】図２、図３における［５］-［５］線方向の断面図である。
【図６】図３における［６］-［６］線方向の断面図である。
【図７】同装置における光反射型センサの位置関係、及びこれらのオン・オフにより駆動される電磁弁ソレノイドとの関係を示すブロック図である。
【図８】各空気噴出孔又は吸引用孔と、電磁切替弁との関連を示すブロック図である。
【図９】リニア振動フィーダのトラックにおける空気噴出用孔、空気吸引用孔、光ファイバセンサ用の配置を示す正面図である。
【図１０】同作用を示す部分拡大正面図である。
【図１１】正姿勢に対する同作用を示し、Ａは同期用センサに頭部が達した時、Ｂは選別用センサに頭部が達した時、Ｃは吸着孔状頭部ａが吸着している状態を示す。
【図１２】本発明が適用される部品の斜視図又は平面図を示し、Ａは本発明の実施の形態に適用される部品の斜視図、Ｂは前部が光反射量が大きく、後部が光反射量が小さい他部品の平面図、Ｃは第３の部品の平面図である。
【図１３】第４の部品の平面図（Ａ）及び側面図（Ｂ）である。
【図１４】従来技術の部分断面図である。
【図１５】同作用を示すための部分断面図である。
【図１６】同作用を示すための部分断面図である。
【符号の説明】
ｍ    部品
５６  反射型光ファイバセンサ
５７  反射型光ファイバセンサ
７７  空気噴出孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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