(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クラッド層および前記クラッド層に被覆されるコア層を備えるフィルムと、
前記フィルムの少なくとも片面に形成される粘着剤層と、
前記フィルムに接しない側の前記粘着剤層の表面に形成され、互いに間隔を隔てて配置された複数の突起部分であって、前記フィルムおよび前記粘着剤層の主面に直交する面による断面視において、前記粘着剤層の前記表面から、前記複数の突起部分における前記粘着剤層の前記表面に対向する反対面に向かって、幅狭となる略半楕円形状に形成されるとともに、背面視略円形状であるような、粘着性が実質的に残存しない、複数の突起部分と
を備える光導波路フィルムであり、
前記粘着剤層は、その表面で各前記突起部分を支持し得る程度の硬さに形成され、
前記突起部分は、前記光導波路フィルムを被着体へ押圧することにより、各前記突起部分が前記粘着剤層内に入り込み、被着体と接触する前記粘着剤層の表面積が増大するように、形成されていることを特徴とする、光導波路フィルム。
【請求項２】
各前記突起部分が、エポキシ樹脂を含有する硬化性樹脂組成物から形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の光導波路フィルム。
【請求項３】
各前記突起部分が、整列して配置されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の光導波路フィルム。
【請求項４】
クラッド層および前記クラッド層に被覆されるコア層を備えるフィルムを形成する工程と、
前記フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を形成する工程と、
前記フィルムに接しない側の前記粘着剤層の表面に形成され、互いに間隔を隔てて配置された複数の突起部分であって、前記フィルムおよび前記粘着剤層の主面に直交する面による断面視において、前記粘着剤層の前記表面から、前記複数の突起部分における前記粘着剤層の前記表面に対向する反対面に向かって、幅狭となる略半楕円形状に形成されるとともに、背面視略円形状であるような、粘着性が実質的に残存しない、複数の突起部分を、エポキシ樹脂を含有する硬化性樹脂組成物から形成する工程と
を備える光導波路フィルムの製造方法であり、
前記粘着剤層を形成する工程では、前記粘着剤層を、その表面で各前記突起部分を支持し得る程度の硬さに形成するとともに、
前記突起部分を形成する工程では、前記光導波路フィルムを被着体へ押圧することにより、各前記突起部分が前記粘着剤層内に入り込み、被着体と接触する前記粘着剤層の表面積が増大するように、前記突起部分を形成することを特徴とする、光導波路フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路フィルムおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、光基板の上に設けられる複数の光学素子間を、光導波路フィルムによって光学的に接続することが知られている。このような光導波路フィルムは、光基板に配置する時に、正確な光路を確保すべく、光基板に対する精密な位置決めが必要とされる。
このような光導波路フィルムとして、例えば、複数の光配線層からなり、シリコン基板の上に硬化型接着剤層を介して形成される光配線フィルムが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。この提案では、まず、液状の硬化型接着剤層（未硬化）を光配線フィルムに塗工し、次いで、液状の硬化型接着剤層を介して光配線フィルムをシリコン基板に対して位置決めして、その後、硬化により所望の接着力を有する硬化型接着剤層を形成するとともに、光配線フィルムをシリコン基板に固定している。
【特許文献１】特開２００２−１１６３３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、特許文献１では、光配線フィルムのシリコン基板への固定において、液状の硬化型接着剤層が流動して、光配線フィルムと光学素子との接続部分に至り、それが光配線層の光路を妨害するおそれがある。
一方、予め高い接着力を有するシート状の接着剤層を用いれば、接着剤層が流動しにくいため、光路を妨害するおそれがないものの、接着剤層の初期接着力が高いため、接着剤層を光基板に接触させると、すぐに光導波路フィルムが光基板に固定される。そのため、位置決めにおいて、光導波路フィルムの光基板に対する配置を調整することが困難である。その結果、光導波路フィルムの光基板に対する精度のよい位置決めが困難である。
【０００４】
本発明の目的は、位置決め時には、剥離が容易で、優れた位置決め精度を得ることができ、位置決め後には、フィルムを確実に固定することができる、接続信頼性の高い光導波路フィルムおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明の光導波路フィルムは、クラッド層および前記クラッド層に被覆されるコア層を備えるフィルムと、前記フィルムの少なくとも片面に形成される粘着剤層と、前記フィルムに接しない側の前記粘着剤層の表面に形成され、互いに間隔を隔てて配置された複数の突起部分であって、前記フィルムおよび前記粘着剤層の主面に直交する面による断面視において、前記粘着剤層の前記表面から、前記複数の突起部分における前記粘着剤層の前記表面に対向する反対面に向かって、幅狭となる略半楕円形状に形成されるとともに、背面視略円形状であるような、粘着性が実質的に残存しない、複数の突起部分とを備える光導波路フィルムであり、前記粘着剤層は、その表面で各前記突起部分を支持し得る程度の硬さに形成され、前記突起部分は、前記光導波路フィルムを被着体へ押圧することにより、各前記突起部分が前記粘着剤層内に入り込み、被着体と接触する前記粘着剤層の表面積が増大するように、形成されていることを特徴としている。
また、本発明の光導波路フィルムでは、各前記突起部分が、エポキシ樹脂を含有する硬化性樹脂組成物から形成されていることが好適である。
また、本発明の光導波路フィルムでは、各前記突起部分が、整列して配置されていることが好適である。
【０００６】
また、本発明の光導波路フィルムの製造方法は、クラッド層および前記クラッド層に被覆されるコア層を備えるフィルムを形成する工程と、前記フィルムの少なくとも片面に粘着剤層を形成する工程と、前記フィルムに接しない側の前記粘着剤層の表面に形成され、互いに間隔を隔てて配置された複数の突起部分であって、前記フィルムおよび前記粘着剤層の主面に直交する面による断面視において、前記粘着剤層の前記表面から、前記複数の突起部分における前記粘着剤層の前記表面に対向する反対面に向かって、幅狭となる略半楕円形状に形成されるとともに、背面視略円形状であるような、粘着性が実質的に残存しない、複数の突起部分を、エポキシ樹脂を含有する硬化性樹脂組成物から形成する工程と
を備える光導波路フィルムの製造方法であり、前記粘着剤層を形成する工程では、前記粘着剤層を、その表面で各前記突起部分を支持し得る程度の硬さに形成するとともに、前記突起部分を形成する工程では、前記光導波路フィルムを被着体へ押圧することにより、各前記突起部分が前記粘着剤層内に入り込み、被着体と接触する前記粘着剤層の表面積が増大するように、前記突起部分を形成することを特徴としている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の光導波路フィルムおよびその製造方法によれば、光導波路フィルムは、被着体への初期接着においては、突起部分が形成された粘着剤層の表面を被着体と接触させるので、初期接着力を低減させることができる。そのため、位置決め時における剥離を容易にして、優れた位置決め精度を得ることができる。
また、粘着剤層は、被着体への初期接着後の接着においては、互いに間隔を隔てて配置される複数の突起部分から露出する粘着剤層の表面により、十分な接着力を確保でき、フィルムを被着体に確実に固定させることができる。
【０００８】
さらにまた、粘着剤層は、その表面で突起部分を支持し得る程度の硬さに形成されているので、被着体への初期接着における粘着剤層の流動が抑制されて、粘着剤層によるコア層の光路の妨害を防止することができる。
そのため、位置決め時においては、フィルムの被着体に対する接着および剥離を繰り返して、フィルムの被着体に対する配置を調整しながら優れた位置決め精度で位置決めできる一方、位置決め後においては、フィルムを被着体に確実に固定することができ、さらには、優れた接続信頼性を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、本発明の光導波路フィルムの一実施形態の幅方向（長手方向に直交する方向）に沿う断面図、図２は、図１に示す光導波路フィルムの背面図、図３は、図１に示す光導波路フィルムの製造方法を示す工程図、図４は、図１に示す光導波路フィルムのフィルムの製造方法を示す工程図である。
図１および図２において、この光導波路フィルム１は、長手方向に延びる平帯状に形成されており、フィルム２と、粘着剤層３と、複数の突起部分４とを備えている。
【００１０】
フィルム２は、光導波路であって、光導波路フィルム１の外形形状に対応するように形成されている。また、フィルム２は、クラッド層としてのアンダークラッド層５およびオーバークラッド層７と、アンダークラッド層５およびオーバークラッド層７に被覆されるコア層６とを備えている。より具体的には、フィルム２は、アンダークラッド層５と、アンダークラッド層５の上に形成されるコア層６と、アンダークラッド層５の上に、コア層６を被覆するように形成されるオーバークラッド層７とを備えている。
【００１１】
コア層６は、アンダークラッド層５の上面において複数（３本）設けられ、長手方向に延び、幅方向において互いに間隔を隔てて並列配置されている。また、コア層６の長手方向両端部は、複数の光学素子と光学的に接続されるための接続部分とされている。各コア層６は、断面視略矩形状に形成されている。
粘着剤層３は、フィルム２の片面、より具体的には、アンダークラッド層５の下面に設けられている。また、粘着剤層３は、突起部分を支持し得る程度の硬さに形成されている。この粘着剤層３は、その２５℃の貯蔵弾性率が、例えば、０．０１〜１．０ＭＰａである。なお、２５℃の貯蔵弾性率は、周波数１Ｈｚのねじりモードにて温度−２０℃から２００℃まで５℃／ｍｉｎで昇温させた動的粘弾性測定から得られる２５℃のねじり貯蔵弾性率Ｇ’として求められる。
【００１２】
各突起部分４は、粘着剤層３の表面、より具体的には、粘着剤層３の表面（下面）に形成されている。また、各突起部分４は、背面視略円形状で、断面視において下方に向かうに従って幅狭となる略半楕円形状に形成されている。また、各突起部分４は、背面視において互いに間隔を隔てて、整列して配置されている。また、突起部分４は、例えば、粘着剤層３よりも粘着性（表面タック性）の低い樹脂として形成され、好ましくは、粘着性が実質的に残存しない樹脂として形成される。
【００１３】
次に、この光導波路フィルム１の製造方法について、図３および図４を参照して説明する。
まず、この方法では、図３（ａ）に示すように、フィルム２を用意する。
フィルム２を用意するには、図４（ａ）に示すように、まず、基材１２を用意する。基材１２は、板状をなし、この基材１２を形成する材料としては、例えば、シリコン、ガラスなどのセラミック材料、例えば、銅、アルミニウム、ステンレス、鉄合金などの金属材料、例えば、ポリイミド、ガラス−エポキシ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの樹脂材料が挙げられる。好ましくは、後述する除去の容易性の観点から、金属材料が挙げられる。基材１２の厚みは、例えば、１０〜５０００μｍ、好ましくは、１０〜１５００μｍである。
【００１４】
次いで、この方法では、図４（ｂ）に示すように、基材１２の上に、アンダークラッド層５を形成する。
アンダークラッド層５を形成する材料としては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、またはこれらのフッ素化樹脂や重水素化樹脂、さらには、フルオレン誘導体樹脂などの樹脂材料が挙げられる。これら樹脂材料は、好ましくは、感光剤を配合して、感光性樹脂として用いられる。好ましくは、感光性ポリイミド樹脂（原料としては、感光性ポリアミック酸樹脂や感光性フッ素化ポリアミック酸樹脂）および感光性フルオレン誘導体樹脂（原料としては、感光性フルオレン誘導体）が挙げられる。
【００１５】
アンダークラッド層５を、基材１２の上に形成するには、例えば、上記した樹脂のワニス（樹脂溶液）を調製して、そのワニスを基材１２の上に、例えば、キャスティング、スピンコートなどによって塗布した後、乾燥し、必要により加熱する。なお、感光性樹脂が用いられる場合には、ワニスの塗布および乾燥後に、フォトマスクを介して露光し、必要により、露光後加熱した後、現像し、次いで、加熱する。
【００１６】
このようにして形成されるアンダークラッド層５の厚みは、例えば、５〜１００μｍである。
次いで、この方法では、図４（ｃ）に示すように、コア層６を、アンダークラッド層５の上に形成する。
コア層６を形成する材料としては、アンダークラッド層５の樹脂材料よりも、屈折率が高くなる樹脂材料が挙げられる。このような樹脂材料としては、例えば、上記と同様の樹脂材料が挙げられる。
【００１７】
コア層６を形成するには、例えば、上記した樹脂のワニス（樹脂溶液）を調製して、そのワニスを、アンダークラッド層５の表面に塗布した後、乾燥し、必要により硬化させる。また、感光性樹脂が用いられる場合には、ワニスの塗布および乾燥後に、フォトマスクを介して露光し、必要により、露光後加熱した後、現像し、次いで、加熱する。
このようにして形成されるコア層６の厚みは、例えば、５〜１００μｍであり、幅は、例えば、５〜１００μｍである。
【００１８】
次いで、この方法では、図４（ｄ）に示すように、オーバークラッド層７を、アンダークラッド層５の上に、コア層６を被覆するように形成する。
オーバークラッド層７を形成する材料としては、上記したアンダークラッド層５と同様の樹脂材料が挙げられる。なお、アンダークラッド層５とオーバークラッド層７とは、同一の樹脂材料から形成してもよく、また、異なる樹脂材料から形成することもできる。
【００１９】
オーバークラッド層７を、アンダークラッド層５の上に形成するには、例えば、上記した樹脂のワニス（樹脂溶液）を調製して、そのワニスをコア層６を含むアンダークラッド層５の上に、例えば、キャスティング、スピンコートなどによって塗布した後、乾燥し、必要により加熱する。なお、感光性樹脂が用いられる場合には、ワニスの塗布および乾燥後に、フォトマスクを介して露光し、必要により、露光後加熱した後、現像し、次いで、加熱する。
【００２０】
このようにして形成されるオーバークラッド層７の厚みは、例えば、５〜１００μｍである。
その後、この方法では、図４（ｅ）に示すように、基材１２を除去する。基材１２の除去として、例えば、エッチング、剥離などが用いられる。
このようにして、アンダークラッド層５およびオーバークラッド層７と、これらに被覆されるコア層６とを備えるフィルム２を用意する。
【００２１】
次いで、この方法では、図３（ｂ）に示すように、アンダークラッド層５の下面に粘着剤層３を形成する。
粘着剤層３は、粘着剤組成物から形成されており、このような粘着剤組成物としては、例えば、アクリル系粘着剤組成物が挙げられる。
アクリル系粘着剤組成物は、例えば、アクリル系ポリマーを含有している。
【００２２】
アクリル系ポリマーは、主として、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含有し、その他として、反応性官能基を有する反応性官能基含有ビニルモノマーを含有するアクリル系モノマーを重合することにより得られる。
（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、メタクリル酸アルキルエステルおよび／またはアクリル酸アルキルエステルであって、例えば、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓｅｃ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ネオペンチル、（メタ）アクリル酸イソペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸へプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルへキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル（（メタ）アクリル酸ステアリル）、（メタ）アクリル酸イソオクタデシル（（メタ）アクリル酸イソステアリル）などの（メタ）アクリル酸アルキル（炭素数４〜１８の直鎖または分岐アルキル）エステルなどが挙げられる。これら（メタ）アクリル酸アルキルエステルは、単独使用または２種以上併用することができる。
【００２３】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルの配合割合は、アクリル系モノマー１００重量部に対して、例えば、８５〜９９．５重量部である。
反応性官能基含有ビニルモノマーとしては、例えば、カルボキシル基含有ビニルモノマーが挙げられ、このようなカルボキシル基含有ビニルモノマーとして、例えば、（メタ）アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、イタコン酸、クロトン酸、ケイ皮酸などの不飽和カルボン酸、例えば、無水フマル酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸などの不飽和ジカルボン酸無水物、例えば、イタコン酸モノメチル、イタコン酸モノブチル、２−アクリロイルオキシエチルフタル酸などの不飽和ジカルボン酸モノエステル、例えば、２−メタクリロイルオキシエチルトリメリット酸、２−メタクリロイルオキシエチルピロメリット酸などの不飽和トリカルボン酸モノエステル、例えば、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレートなどのカルボキシアルキルアクリレートなどが挙げられる。
【００２４】
また、反応性官能基含有ビニルモノマーとしては、上記したカルボキシル基含有ビニルモノマーの他に、例えば、（メタ）アクリル酸グリシジル、（メタ）アクリル酸メチルグリシジルなどのエポキシ基含有ビニルモノマー、例えば、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、アクリル酸２−ヒドロキシブチル、アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸エチレングリコール、（メタ）アクリル酸プロピレングリコールなどのヒドロキシル基含有ビニルモノマー、例えば、（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ビニルカルボン酸アミドなどのアミド基含有ビニルモノマー、例えば、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチルなどのアミノ基含有ビニルモノマー、例えば、アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノ基含有ビニルモノマー、例えば、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのマレイミド系のイミド基含有ビニルモノマー、例えば、Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミドなどのイタコンイミド系のイミド基ビニル含有モノマー、例えば、Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミドなどのスクシンイミド系のイミド基含有ビニルモノマー、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有ビニルモノマー、例えば、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートなどのイソシアネート基含有ビニルモノマー、例えば、（メタ）アクリル酸メトキシエチレングリコール、（メタ）アクリル酸メトキシプロピレングリコールなどが挙げられる。
【００２５】
これら反応性官能基含有ビニルモノマーのうち、好ましくは、カルボキシル基含有ビニルモノマー、ヒドロキシル基含有ビニルモノマーが挙げられる。
反応性官能基含有ビニルモノマーの配合割合は、アクリル系モノマー１００重量部に対して、例えば、０．５〜１５重量部である。
アクリル系粘着剤組成物を得るには、上記したアクリル系モノマーを、有機溶媒中において、開始剤の存在下で溶液重合させる。
【００２６】
有機溶媒としては、アクリル系モノマーを溶解できればよく、例えば、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの脂肪族カルボン酸エステル、例えば、トルエン、キシレン、ベンゼンなどの芳香族炭化水素、例えば、ペンタン、ヘキサン、ヘプタンなどの脂肪族炭化水素などが挙げられる。これら有機溶媒は、単独使用または２種以上併用することができる。好ましくは、脂肪族カルボン酸エステルが挙げられる。
【００２７】
有機溶媒の配合割合は、アクリル系モノマー１００重量部に対して、例えば、２００重量部以下である。
開始剤としては、例えば、熱重合開始剤、光重合開始剤などが挙げられ、好ましくは、熱重合開始剤が挙げられる。そのような熱重合開始剤としては、例えば、ベンゾイルパーオキサイド、ラウロイルパーオキシドなどの過酸化物系開始剤、例えば、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス（２−メチルブチロニトリル）などのアゾ系開始剤などが挙げられる。これら開始剤は、単独使用または２種以上併用することができる。開始剤のうち、好ましくは、アゾ系開始剤が挙げられる。
【００２８】
開始剤の配合割合は、アクリル系モノマー１００重量部に対して、例えば、０．０５〜１重量部である。
そして、アクリル系モノマー、有機溶媒、および、開始剤を配合して、これらを必要により加熱する。加熱温度（重合温度）は、例えば、５〜６０℃に設定される。また、重合時間は、例えば、１〜３０時間に設定される。
【００２９】
そして、このような溶液重合によって、アクリル系粘着剤組成物を、アクリル系ポリマーが有機溶媒に溶解されたアクリル系ポリマー溶液として得ることができる。
なお、上記したアクリル系モノマーを、有機溶媒を用いない塊状重合などによって、重合させて、得られた重合体を粉砕した後、有機溶媒に溶解させることによって、アクリル系粘着剤組成物を、アクリル系ポリマー溶液として得ることもできる。
【００３０】
また、アクリル系粘着剤組成物は、必要により、架橋剤などの添加剤を含んでいる。
架橋剤としては、例えば、ポリイソシアネートまたはその誘導体が挙げられる。ポリイソシアネートの誘導体としては、例えば、ポリオール変性体（例えば、トリメチロールプロパン変性体など。）、カルボジイミド変性体、ビウレット変性体、アロファネート変性体、多量体（２量体以上の多核体）などが挙げられる。架橋剤としては、好ましくは、トリレンジイソシアネートのトリメチロールプロパン変性体（付加体）が挙げられる。これら架橋剤は、単独使用または２種以上併用することができる。
【００３１】
架橋剤の配合割合は、アクリル粘着剤組成物の固形分１００重量部に対して、例えば、０．５〜５重量部である。
その後、得られたアクリル系ポリマー溶液を、シリコーン処理などの剥離処理がなされた離型フィルムの処理面に塗布し、その後、加熱して乾燥させることにより、粘着剤層３を離型フィルムの処理面に形成する。加熱条件は、例えば、１〜１０分間、８０〜１５０℃である。
【００３２】
その後、離型フィルムに形成された粘着剤層３をアンダークラッド層５の下面に転写して、離型フィルムを粘着剤層３から引き剥がす。
このようにして形成される粘着剤層３の厚みは、例えば、１０μｍ以上、好ましくは２０μｍ以上、通常、４００μｍ以下である。
次いで、この方法では、図３（ｃ）に示すように、粘着剤層３の表面（下面）に、突起前駆体８を形成する。
【００３３】
突起前駆体８は、例えば、硬化性樹脂と開始剤とを含有する硬化性樹脂組成物から形成する。
硬化性樹脂は、例えば、熱や光などによって硬化および重合できる樹脂であって、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド（熱硬化性ポリイミド）、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂（熱硬化性ウレタン樹脂）などが挙げられる。好ましくは、エポキシ樹脂が挙げられる。
【００３４】
エポキシ樹脂としては、例えば、脂環族系エポキシ樹脂、芳香族系エポキシ樹脂、含窒素環系エポキシ樹脂などが挙げられ、好ましくは、脂環族系エポキシ樹脂が挙げられる。
脂環族系エポキシ樹脂としては、例えば、水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、３，４−エポキシシクロヘキセニルメチル−３’，４’−エポキシシクロヘキセンカルボキシレートなどが挙げられる。これら硬化性樹脂は、単独使用または２種類以上併用することができる。
【００３５】
開始剤としては、例えば、熱重合開始剤、光重合開始剤などが挙げられ、好ましくは、硬化時または重合時における突起前駆体８の形状保持の観点から、光重合開始剤が挙げられる。そのような光重合開始剤としては、例えば、光酸発生剤が挙げられ、より具体的には、ジアゾニウム塩、スルホニウム塩、ヨードニウム塩、ホスホニウム塩、セレニウム塩などのオニウム塩が挙げられる。また、これらの対イオンとしては、例えば、ＣＦ３ＳＯ３−、ＢＦ４−、ＰＦ６−、ＡｓＦ６−、ＳｂＦ６−などのアニオンが挙げられる。光酸発生剤としては、スルホニウム塩とＳｂＦ６−との塩として、より具体的には、４，４’-ビス[ジ（βヒドロキシエトキシ）フェニルスルフィニオ]フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロアンチモネートが挙げられる。これら開始剤は、単独使用または２種以上併用することができる。
【００３６】
開始剤の配合割合は、硬化性樹脂１００重量部に対して、例えば、０．１〜１０重量部である。
そして、硬化性樹脂および開始剤を配合して、硬化性樹脂組成物を調製する。なお、硬化性樹脂組成物を、希釈剤（例えば、プロピオンカーボネートなど）を適宜の割合で配合した硬化性樹脂組成物のワニスとして調製することもできる。
【００３７】
その後、調製した硬化性樹脂組成物（またはそのワニス）を、例えば、自動分注装置を用いて、塗布する。
自動分注装置は、少なくとも、シリンジと、シリンジを移動可能に支持するアームと、シリンジからの分注量を制御するポンプとを備えており、このような自動分注装置として、例えば、ＳＨＯＴＭＡＳＴＥＲ３００（全自動ディスペンサ、武蔵エンジニアリング社製）などが挙げられる。
【００３８】
硬化性樹脂組成物（またはそのワニス）の塗布条件は、シリンジ先端部および粘着剤層３の表面との間の距離が、例えば、１０〜１００μｍ、分注圧（吐出圧）が、例えば、０．０１〜１ＭＰａである。また、シリンジの内径は、例えば、０．１〜０．３μｍ、分注時間（各突起部分４に対応する塗布時間）が、例えば、０．０５〜０．５秒である。
このように硬化性樹脂組成物（またはそのワニス）を塗布することにより、粘着剤層３の下面（フィルム２を上下反転させたときには、粘着剤層３の上面）において、互いに間隔を隔てて整列して配置される突起前駆体８を形成することができる。
【００３９】
次いで、図３（ｄ）に示すように、突起前駆体８を硬化させて、複数の突起部分４を形成する。
突起前駆体８は、例えば、熱、光などにより、硬化させる。好ましくは、光により硬化させる。
このような光としては、例えば、可視光、紫外線、電子線（例えば、Ｘ線、α線、β線、γ線など）などが挙げられ、好ましくは、紫外線が挙げられる。紫外線の照射量は、例えば、１０〜１００００ｍＪ／ｃｍ２である。
【００４０】
なお、突起前駆体８の硬化後、必要により、硬化後加熱する。硬化後加熱の温度は、例えば、８０〜１５０℃であり、加熱時間は、例えば、１０〜１２０分間である。
このようにして形成される各突起部分４は、その最大厚み（図１参照）Ｔが、１０〜１００μｍ、好ましくは、２０〜９０μｍであり、各突起部分４の直径（図１参照）Ｄが、例えば、１００〜１０００μｍ、好ましくは、２００〜８００μｍであり、各突起部分４間の間隔（図１参照）Ｌが、例えば、２〜１０ｍｍ、好ましくは、３〜８ｍｍである。
【００４１】
また、突起部分４は、粘着剤層３の単位面積（ｃｍ２）当たりに対して、例えば、０．１〜１０％、好ましくは、０．５〜５％の割合で設けられる。
これにより、光導波路フィルム１を得ることができる。
また、この光導波路フィルム１において、後の実施例で詳述する突起部分４が形成された粘着剤層３の初期接着力は、例えば、０．５Ｎ／ｃｍ以下、好ましくは、０．２Ｎ／ｃｍ以下、通常、０．１Ｎ／ｃｍ以上であり、突起部分４が形成された粘着剤層３の圧着後接着力は、例えば、１Ｎ／ｃｍ以上、好ましくは、１．２Ｎ／ｃｍ以上、通常、３Ｎ／ｃｍ以下である。
【００４２】
次に、光導波路フィルム１を光基板９に固定する方法について、図１を参照して説明する。
この方法では、光導波路フィルム１を、光学素子（図示せず）を備える光基板９（仮想線で示す）に固定させる。
光導波路フィルム１の光基板９への固定では、まず、光導波路フィルム１を光基板９に対して上方から光学素子と隣接するように位置決めしながら、一旦、粘着剤層３の下面（突起部分４から露出する粘着剤層３の下面）を、光基板９の上面と接触（初期接着）させる。
【００４３】
次いで、コア層６の接続部分と光学素子の接続部分とが光学的に接続されるように、光導波路フィルム１が光基板９に対して位置決めされていれば、そのまま光導波路フィルム１を下方に圧着させて、光導波路フィルム１を光基板９に固定させる。
一方、光導波路フィルム１が光基板９に対して位置決めされていなければ、光導波路フィルム１を上方に引き上げて、粘着剤層３を光基板９から引き剥がし、光導波路フィルム１を光基板９に対して位置決め（位置修正）しながら、粘着剤層３の下面を光基板９の上面と接触させる。その後、コア層６の接続部分と光学素子の接続部分とが光学的に接続されるように、光導波路フィルム１が光基板９に対して位置決めされていれば、光導波路フィルム１を光基板９に固定させる。なお、光導波路フィルム１が光基板９に対して位置決めされていなければ、上記した剥離および接着を繰り返す。
【００４４】
そして、この光導波路フィルム１は、光基板９への初期接着においては、突起部分４が形成された粘着剤層３の下面を光基板９と接触させるので、初期接着力を低減させることができる。すなわち、光基板９への初期接着においては、突起部分４に被覆される粘着剤層３の表面は、光基板９との間に突起部分４に介在されるため、粘着剤層３の初期接着力が低減される。とりわけ、各突起部分４が整列して配置されているので、粘着剤層３の初期接着力を均一に低減させることができる。
【００４５】
そのため、位置決め時における剥離を容易にして、優れた位置決め精度を得ることができる。
また、粘着剤層３は、光基板９への初期接着後の接着においては、互いに間隔を隔てて配置される複数の突起部分４から露出する粘着剤層３の表面により、十分な接着力を確保できる。すなわち、光基板９への初期接着後の接着においては、光導波路フィルム１が下側に押圧されることにより、突起部分４が光基板９に対して下方に付勢されるとともに、突起部分４はその反作用によって光基板９から上方に付勢されるので、突起部分４が光基板９からの付勢によって粘着剤層３内に入り込む（図１の仮想線参照）。これにより、光基板９と接触できる粘着剤層３の表面積が増大されるので、粘着剤層３は、十分な接着力を確保できる。とりわけ、各突起部分４が整列して配置されているので、十分な接着力を粘着剤層３の下面全体にわたって確保できる。
【００４６】
そのため、初期接着後の接着において、フィルム２を光基板９に確実に固定させることができる。
さらにまた、粘着剤層３は、その表面で突起部分４を支持し得る程度の硬さに形成されているので、光基板９への初期接着における粘着剤層３の流動が抑制されて、粘着剤層３によるコア層６の光路の妨害を防止することができる。
【００４７】
そのため、位置決め時においては、フィルム２の光基板９に対する接着および剥離を繰り返して、フィルム２の光基板９に対する配置を調整しながら優れた位置決め精度で位置決めできる一方、位置決め後においては、フィルム２を光基板９に確実に固定することができ、さらには、優れた接続信頼性を確保することができる。
なお、突起部分４は、粘着剤層３の表面において、整列して配置されていればよく、その整列の態様は限定されず、例えば、碁盤目状、千鳥状などの適宜の配置で整列させて配置することができる。
【００４８】
また、上記した説明では、突起部分４が形成される粘着剤層３をアンダークラッド層５の下面のみに設けたが、例えば、粘着剤層３を、アンダークラッド層５の下面に加え、さらに、オーバークラッド層７の上面に設けることもできる。
さらにまた、例えば、図示しないが、粘着剤層３をアンダークラッド層５の下面でなく、オーバークラッド層７の上面のみに設けることもできる。
【実施例】
【００４９】
以下に実施例および比較例を挙げて、本発明をより具体的に説明する。ただし、本発明は、以下の実施例および比較例に何ら制限されるものではない。なお、以下の説明において、「部」および「％」は、特に明記のない限り、重量基準である。
実施例１
（アクリル系粘着剤組成物の調製）
冷却管、窒素導入管、温度計および攪拌機を備えた４つ口フラスコに、アクリル酸ブチル１００部、アクリル酸１部、アクリル酸４−ヒドロキシブチル０．３部、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．１部および酢酸エチル２００部を加えて、緩やかに攪拌しながら、１時間窒素ガスを導入した。その後、窒素ガスを導入しながら、フラスコ内の液温を５５〜６０℃に保って、１０時間重合させた。
【００５０】
その後、アクリル系ポリマー溶液の固形分１００部に対してトリレンジイソシアネートのトリメチロールプロパン変性体（コロネートＬ、日本ポリウレタン社製）１部を添加して、攪拌しながら混合することにより、アクリル系粘着剤組成物を調製した。
（粘着剤層の形成）
アクリル系粘着剤組成物を、シリコーン処理（剥離処理）した厚み３８μｍの離型フィルム（ＰＥＴ製、東レ製）の表面に塗布した後、これを１３０℃の乾燥機に３分間投入して乾燥させることにより、厚み１００μｍの粘着剤層を離型フィルムの処理面に形成した。
【００５１】
（フィルムの作製）
まず、厚み２５μｍのステンレス基材（大きさ２００×３００ｍｍ）を用意した（図４（ａ）参照）。次いで、表１の処方に従ってフルオレン誘導体ワニスＡを調製した。次いで、このフルオレン誘導体ワニスＡを、ステンレス基材の表面に塗布し、１００℃で１５分間加熱することにより、乾燥した。その後、フォトマスクを介して露光して、次いで、現像した後、１００℃で２０分間、加熱して硬化させることにより、ステンレス基材の上に、アンダークラッド層を形成した（図４（ｂ）参照）。アンダークラッド層の波長６３３ｎｍにおける屈折率は１．５８５であった。また、アンダークラッド層の厚みは２０μｍであった。
【００５２】
また、表１の処方に従ってフルオレン誘導体ワニスＢを調製した。次いで、このフルオレン誘導体ワニスＢを、アンダークラッド層の表面に塗布し、１００℃で３０分間加熱することにより、乾燥した。その後、フォトマスクを介して露光し、次いで、１００℃で６０分間露光後加熱した後、現像した。その後、１００℃で１０分間、加熱して硬化させることにより、アンダークラッド層の上に、コア層を形成した（図４（ｃ）参照）。このコア層の波長６３３ｎｍにおける屈折率は１．６１５であった。また、コア層の厚みは５μｍ、幅は５μｍであった。
【００５３】
次いで、フルオレン誘導体ワニスＡを、コア層を含むアンダークラッド層の表面に塗布し、１００℃で１５分間加熱することにより、乾燥した。その後、フォトマスクを介して露光し、次いで、現像した。その後、１００℃で２０分間、加熱して硬化させることにより、アンダークラッド層の上に、コア層を被覆するように、オーバークラッド層を形成した（図４（ｄ）参照）。このオーバークラッド層の波長６３３ｎｍにおける屈折率は１．５８５であった。また、アンダークラッド層の厚みは２０μｍであった。
【００５４】
その後、ステンレス基材をエッチングにより除去した（図４（ｅ）参照）。
これにより、アンダークラッド層、コア層およびオーバークラッド層を備えるフィルムを用意した。
【００５５】
【表１】
0004870627.tif 000002
【００５６】
（粘着剤層の形成）
フィルムのアンダークラッド層の下面と、粘着剤層の上面（離型フィルムと接触している下面と反対側の上面）とを貼り合わせ、その後、離型フィルムを粘着剤層から引き剥がした（図３（ｂ）参照）。
（突起前駆体の形成）
水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（アデカレジンＥＰ−４０８０、ＡＤＥＫＡ社製）７０部および３，４−エポキシシクロヘキセニルメチル−３’，４’−エポキシシクロヘキセンカルボキシレート（セロキサイド２０２１Ｐ、ダイセル化学社製）３０部に対して４，４’-ビス[ジ（βヒドロキシエトキシ）フェニルスルフィニオ]フェニルスルフィド−ビス−ヘキサフルオロアンチモネートの５０％プロピオンカーボネート溶液１部を混合して攪拌することにより、硬化性樹脂組成物のワニスを調製した。
【００５７】
次いで、硬化性樹脂組成物のワニスを、全自動ディスペンサ（自動分注装置、ＳＨＯＴＭＡＳＴＥＲ３００、武蔵エンジニアリング社製）を用いて、上下反転した光導波路フィルムの粘着剤層の表面（上面）に塗布した。全自動ディスペンサの塗布条件は、シリンジ先端部および粘着剤層の間の距離を４０μｍ、吐出圧を０．０８ＭＰａ、各突起部分に対応する吐出（塗布）時間（各突起部分に対応する塗布時間）を０．２秒に設定した。また、シリンジの内径は０．１２μｍであった。
【００５８】
これにより、粘着剤層の表面に突起前駆体を形成した（図３（ｃ）参照）。
（突起部分の形成）
形成した突起前駆体を、照射量２０００ｍＪ／ｃｍ２で上方から紫外線照射して硬化させた。その後、１２０℃で３０分間、硬化後加熱することにより、粘着剤層の表面に、互いに間隔を隔てて碁盤目状に整列して配置される複数の突起部分を形成した。各突起部分の厚みが８０μｍ、直径が７４０μｍであった。また、各突起部分間の間隔が３．３ｍｍであり、粘着剤層の単位面積当たりに対する突起部分の割合（占有割合）は、３．６％であった。
【００５９】
これにより、フィルムと粘着剤層と突起部分とを備える光導波路フィルムを形成した。
実施例２
水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂７０部に代えて、水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂１００部を用い、３，４−エポキシシクロヘキセニルメチル−３’，４’−エポキシシクロヘキセンカルボキシレートを用いなかった以外は、実施例１と同様にして、硬化性樹脂組成物のワニスを調製して、突起前駆体を形成し、続いて、突起部分を形成して、光導波路フィルムを得た。全自動ディスペンサの塗布条件は、吐出時間を０．０８秒に設定した。また、各突起部分の厚みが４２μｍ、直径が５３０μｍであった。また、各突起部分間の間隔が３．４ｍｍであり、粘着剤層の単位面積当たりに対する突起部分の割合は、１．８％であった。
【００６０】
実施例３
実施例１と同様にして、硬化性樹脂組成物のワニスを調製して、突起前駆体を形成し、続いて、突起部分を形成して、光導波路フィルムを得た。全自動ディスペンサの塗布条件は、吐出時間を０．０８秒に設定した。また、各突起部分の厚みが２８μｍ、直径が３８０μｍであった。また、各突起部分間の間隔が３．６ｍｍであり、粘着剤層の単位面積当たりに対する突起部分の割合は、０．９％であった。
【００６１】
比較例１
実施例１の突起部分を形成しなかった以外は、実施例１と同様にして、光導波路フィルムを得た。
（評価）
１）初期接着力
実施例１〜３および比較例１の光導波路フィルムにおいて、粘着剤層の表面をシリコンからなる光基板に、圧力１ｋＰａで接触させて貼り合わせた。その後、光導波路フィルムの一端を５０ｍｍ／ｍｉｎの速度で光基板の表面に対して９０°の方向に剥離して、その抵抗力を測定した。この測定において、光導波路フィルムの一端から１０ｍｍ剥離するまで測定せず、１０ｍｍを超過してから測定を開始して、最低の抵抗力を初期接着力として算出した。その結果を表２に示す。
２）圧着後接着力（９０°ピール試験）
実施例１〜３および比較例１において、粘着剤層を、シリコンからなる光基板に、圧力４００ｋＰａ、温度１３０℃のロールにて貼り合わせた。その後、２３℃で３０分間放置し、光導波路フィルムの一端を５０ｍｍ／ｍｉｎの速度で光基板の表面に対して９０°の方向に剥離して、その抵抗力を測定した（９０°ピール試験）。９０°ピール試験において、光導波路フィルムの一端から１０ｍｍ剥離するまで測定せず、１０ｍｍを超過してから測定を開始して、最低の抵抗力を圧着後接着力として算出した。その結果を表２に示す。
【００６２】
【表２】
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【００６３】
３）貯蔵弾性率（Ｇ’）
実施例１において形成した粘着剤層について、動的粘弾性測定装置（ＡＲＥＳ、ティー・エイ・インスツルメント社製）を用いて、周波数１Ｈｚのねじりモードにて温度−２０℃から２００℃まで５℃／ｍｉｎで昇温させて、２５℃における貯蔵弾性率を算出した。実施例１の粘着剤層の２５℃における貯蔵弾性率は、０．１ＭＰａであった。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の光導波路フィルムの一実施形態の幅方向に沿う断面図である。
【図２】図１に示す光導波路フィルムの背面図である。
【図３】図１に示す光導波路フィルムの製造方法を示す工程図であって、（ａ）は、フィルムを用意する工程、（ｂ）は、アンダークラッド層の下面に粘着剤層を形成する工程、（ｃ）は、粘着剤層の表面に突起前駆体を形成する工程、（ｄ）は、突起前駆体を硬化させて、複数の突起部分を形成する工程を示す。
【図４】図１に示す光導波路フィルムのフィルムの製造方法を示す工程図であって、（ａ）は、基材を用意する工程、（ｂ）は、基材の上に、アンダークラッド層を形成する工程、（ｃ）は、コア層を、アンダークラッド層の上に形成する工程、（ｄ）は、オーバークラッド層を、アンダークラッド層の上に、コア層を被覆するように形成する工程、（ｅ）は、基材を除去する工程を示す。
【符号の説明】
【００６５】
１      光導波路フィルム
２      フィルム
３      粘着剤層
４      突起部分
５      アンダークラッド層
６      コア層
７      オーバークラッド層
【図１】
0004870627.tif 000004
【図２】
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【図３】
0004870627.tif 000006
【図４】
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