(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被着磁体を所定の方向に並設したワークの前記被着磁体を着磁位置で着磁する装置であって、
前記ワークの各前記被着磁体を前記着磁位置に位置させるように前記ワークを移動させるワーク移動手段と、
前記ワークのうち前記着磁位置に存在する前記被着磁体を着磁する着磁手段と、
着磁後の前記被着磁体の着磁量を検査する着磁量検査手段とを備えており、
前記着磁量検査手段は、
前記着磁位置で着磁された被着磁体を前記ワーク移動手段の駆動により前記着磁位置から退避させると共に、次に着磁する未着磁の被着磁体を前記ワーク移動手段の駆動により前記着磁位置に到達させる移動時間を使い、前記着磁された被着磁体の着磁量を検査することを特徴とする着磁装置。
【請求項２】
請求項１において、前記着磁量検査手段は、前記着磁位置で着磁された前記被着磁体の磁束が鎖交可能な導体部材を備えていることを特徴とする着磁装置。
【請求項３】
請求項１または２において、前記ワークの前記被着磁体を前記着磁手段で着磁させるとき、前記着磁量検査手段を前記着磁位置から遠ざけるための可動機構が設けられていることを特徴とする着磁装置。
【請求項４】
請求項１〜３のうちの一項において、前記ワークは、これの軸線回りで周方向に沿って延設されたワーク本体と、前記ワーク本体の周方向に沿って並設された複数の前記被着磁体とを備えていることを特徴とする着磁装置。
【請求項５】
請求項４において、
前記着磁手段は、複数の前記被着磁体の全磁極のうち数磁極ずつ着磁していく分極着磁を実施し、
前記ワーク移動手段は、前記ワーク本体を回転させて前記着磁位置で着磁された前記被着磁体および次に着磁する未着磁の前記被着磁体を移動させ、
前記着磁量検査手段は、前記着磁位置で着磁された前記被着磁体が前記ワーク本体の回転に伴って移動するときの磁束の時間的な変化に基づいて着磁量を検査することを特徴とする着磁装置。
【請求項６】
請求項１〜５のうちの一項において、前記ワークは、モータを構成するロータに使用され、前記着磁量検査手段は、前記モータを構成するステータ素子と前記ステータ素子に巻回された巻線とを有するステータ分割品を備えていることを特徴とする着磁装置。
【請求項７】
請求項１〜６のうちの一項において、前記着磁量検査手段で着磁が充分でないとされた着磁不良の被着磁体を記憶し、前記ワークの被着磁体の全磁極について着磁が終了した後あるいは前記着磁不良の被着磁体が発生した場合にその都度、前記着磁不良の被着磁体に対して再着磁を行わせる制御装置をさらに備えていることを特徴とする着磁装置。
【請求項８】
請求項１〜７のうちの一項において、
前記着磁手段は、ヨーク本体およびヨーク本体に巻回されたコイル部をもつ着磁ヨークと、前記コイル部に着磁電流を通電させる着磁電源とを備え、
前記着磁量検査手段で着磁不良が検査された場合に、
（１）前記着磁ヨークに形成された冷媒通路に冷媒供給装置から冷媒を流して、前記着磁ヨークを速やかに冷却する、
（２）前記ワーク移動手段の駆動による移動速度を前回よりも低下させることにより、前記未着磁の被着磁体が前記着磁位置に到達するまでの時間を前回よりも長くする、
（３）前記着磁ヨークが待機している時間を前回よりも長くして、前回の着磁と次回の着磁との間の時間を前回よりも長くする、
（４）前記着磁ヨークのコイル部に通電する着磁電流を前回よりも増加させる、
の４条件の変更のうち少なくともひとつを採用する制御装置をさらに備えていることを特徴とする着磁装置、
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は複数の被着磁体を所定の方向に並設したワークの被着磁体を着磁する着磁装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
着磁した着磁体をワークに組み込むと、着磁体の強い磁気吸引力および磁気反発力が作用するため、組込操作は容易ではない。特に、着磁体が大型の場合には、組込操作は容易ではない。そこで、未着磁の被着磁体をワークに組み込んだ後、未着磁の被着磁体を着磁手段により着磁する着磁装置が開発されている。このような着磁装置としては特許文献１〜３が開示されている。
【０００３】
特許文献１は着磁装置を開示している。この着磁装置は、中空状の孔をもつ筒形状をなす着磁用ヨークと、着磁用ヨークに設けられる着磁用コイルと、着磁用コイルに接続された着磁用電源と、磁束検査用コイルとを有する。着磁用ヨークの孔の内周部には、複数の着磁磁極が周方向に沿って並設されている。各着磁磁極には着磁用コイルと磁束検査用のコイルとがそれぞれ巻回されている。ワークとして機能するモータ用ロータには、未着磁の複数の被着磁体が取り付けられている。そして、モータ用ロータを移動させて着磁用ヨークの孔内にセットする。この状態では、着磁用ヨークの複数の着磁磁極にはモータ用ロータの各被着磁体が接近状態に対面している。この状態において、着磁用ヨークを構成する着磁用コイルに着磁電流を通電する。これによりモータ用ロータに取り付けられている未着磁の複数の被着磁体（永久磁石材料）の全部を、一度に各着磁磁極により着磁させる。このように被着磁体の全部の着磁を終了した後、モータ用ロータを着磁用ヨークの孔から取り出す。このように取り出すとき、着磁後の被着磁体が移動するため、電磁誘導により誘導起電力が磁束検査用コイルに発生する。この誘導起電力に基づいて、被着磁体の被着磁量が検査される。
【０００４】
特許文献２は回転電機の着磁装置を開示している。この着磁装置は、未着磁の複数の被着磁体を周方向に沿って並設した回転子と、回転子の被着磁体に対面して当該被着磁体を着磁するための着磁ヨークと、着磁後の被着磁体の磁束量を検査する磁束検査ヘッドとを有する。このものによれば、回転子の未着磁の被着磁体を着磁ヨークに接近対面させて着磁させた後、回転子を周方向に再び回動し、次の未着磁の被着磁体を着磁ヨークに接近対面させて着磁させ、その後、回転子を周方向に回動させる。このように着磁体の着磁操作と、回転子の回動操作とを複数回繰り返すことにより、回転子に取り付けられている被着磁体の全部の着磁を終了する。このように被着磁体の全部の着磁を終了した後、磁束検査ヘッドを回転子の外周部に所定のギャップで接近させる。この状態で回転子をモータで回転させつつ、回転子の発生している磁束を磁束検出ヘッドで検査する。これにより着磁の良否を検査する。
【０００５】
特許文献３は着磁装置を開示している。被着磁体を回転させる回転手段と、被着磁体を着磁するための着磁ヘッドと、被着磁体の着磁バラツキを検出するための検出ヘッドとを備えている。このものによれば、各被着磁体を着磁ヘッドで仮着磁させた後、仮着磁後の被着磁体における着磁のバラツキを検出ヘッドで検出する。その後、検出された着磁バラツキを考慮しつつ、被着磁体を補正着磁することにしている。
【特許文献１】特許第３２２４１９３号公報
【特許文献２】特許第３５１３３６０号公報
【特許文献３】特許第３４２０５９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に係る技術によれば、前述したように、被着磁体の全部の着磁を終了した後、モータ用ロータを着磁用ヨークの孔から取り出す。このように取り出すとき、着磁後の被着磁体が移動することに起因する電磁誘導により発生する起電力に基づいて、着磁の良否を検査する。このため、着磁の良否が検査されるのは、モータ用ロータを着磁用ヨークから取り出して離脱させた後、あるいは、離脱中である。このため着磁不良と検査されるときには、着磁用ヨークから離脱させたモータ用ロータを、再着磁のため、着磁用ヨークの孔に再びセットする必要がある。このため着磁不良が発生しない場合にはともかく、着磁不良が発生する場合には、全体として工程時間が長くなり、生産性が低下する。
【０００７】
特許文献２に係る技術によれば、前述したように、回転子をモータで回転させつつ被着磁体の全部の着磁を終了した後、回転子をモータで再び回転させ、回転子の発生している磁束を磁束検出ヘッドで検査することにしている。このように被着磁体の全部を着磁させる着磁工程に対して検査工程が分離独立しており、着磁工程に必要とされる時間と、検査工程に必要とされる時間とがそのまま加算される。従って、回転子を着磁させる全工程時間が長く必要とされ、生産性が充分ではない。
【０００８】
特許文献３に係る技術によれば、前述したように、仮着磁および補正着磁の双方を行うため、１個の被着磁体に対して仮着磁および補正着磁の２回の着磁操作が必要とされる。従って着磁回数が過剰に増加し、時間が長く必要とされる。着磁の際には磁場により着磁ヨークに外側に膨張する力が発生するおそれがある。このため着磁回数の過剰増加により、着磁ヨークの耐用および寿命が短くなるおそれがある。
【０００９】
本発明は上記した実情に鑑みてなされたものであり、ワークの被着磁体の着磁工程および着磁量の検査工程に必要とされる合計時間を短縮させるのに有利な着磁装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
様相１に係る着磁装置は、複数の被着磁体を所定の方向に並設したワークの被着磁体を着磁位置で着磁する装置であって、ワークの各被着磁体を着磁位置に位置させるようにワークを移動させるワーク移動手段と、ワークのうち着磁位置に存在する被着磁体を着磁する着磁手段と、着磁後の被着磁体の着磁量を検査する着磁量検査手段とを具備しており、着磁量検査手段は、着磁位置で着磁された被着磁体をワーク移動手段の駆動により着磁位置から退避させると共に、次に着磁する未着磁の被着磁体をワーク移動手段の駆動により着磁位置に到達させる移動時間を使い、着磁された被着磁体の着磁量を検査することを特徴とする。
【００１１】
本様相によれば、着磁手段は、ワークのうち着磁位置に存在する被着磁体を着磁する。着磁位置で着磁された被着磁体は、ワーク移動手段により、着磁位置から退避される。と共に、次に着磁する未着磁の被着磁体はワーク移動手段により着磁位置に到達する。このように着磁位置で着磁された被着磁体が着磁位置から退避させると共に、未着磁の被着磁体を着磁位置に到達させる移動時間を使い、着磁量検査手段は、着磁後の被着磁体の着磁量を検査する。
このため上記した移動時間は、被着磁体の着磁量を検査する着磁量検査時間として有効に利用される。即ち、移動時間と着磁量検査時間とを部分的にまたは全部重複させることができる。この結果、被着磁体を着磁して移動させる着磁工程と、着磁後の被着磁体の着磁量を検査する検査工程との双方の工程に必要とされる合計時間が短縮される。
更に本様相によれば、着磁の際のワークを移動させる駆動源は、ワーク移動手段である。更に着磁量検査の際にワークを移動させる駆動源も、ワーク移動手段である。このためワークを移動させる駆動源の共通化を図り得る。
【００１２】
上記した被着磁体を着磁する着磁手段は、着磁ヨークを有する構造でも良いし、超電導バルク体を有する構造でも良い。上記した被着磁体は、着磁されるものであれば何でも良いが、着磁前の永久磁石材料部が例示される。永久磁石材料単体でも良い。永久磁石材料と樹脂やゴムとが混在するものでもよい。
ワークおよび被着磁体としては、産業機器、家庭用機器、事務用機器等に使用されるものが例示される。殊に、モータや発電機のロータおよび／またはステータ他、コピー機用の磁気ドラム、センサ類が例示されるが、これらに限定されるものではない。
【００１３】
様相２に係る着磁装置によれば、上記した様相において、着磁量検査手段は、着磁位置で着磁された被着磁体の磁束が鎖交可能な導体部材を備えていることを特徴とする。導体部材は導電材料で形成されている。導電材料としては、例えば銅、銅合金等の金属、炭素鋼、合金鋼、炭素材料があげられる。着磁位置で着磁された被着磁体の磁束が導体部材に鎖交可能である。従って、着磁位置で着磁された被着磁体が着磁位置から退避するとき、退避移動に伴い電磁誘導が発生し、電磁誘導に基づいて導体部材に誘導起電力が発生する。誘導起電力に基づいて着磁体の磁気物理量（磁束量）が検査され、着磁の良否が検査される。
【００１４】
様相３に係る着磁装置によれば、上記した様相において、ワークの被着磁体を着磁手段で着磁させるとき、着磁量検査手段を着磁手段から遠ざけるための可動機構が設けられていることを特徴とする。ワークの被着磁体を着磁手段で着磁させるとき、条件によっては、着磁手段からの漏れ磁束が着磁量検査手段に透過し、これに起因して着磁量検査手段の検査精度に影響を与えるおそれがある。そこで、ワークの被着磁体を着磁させるとき、可動機構は、着磁量検査手段を着磁手段から遠ざける。これにより着磁量検査手段の検査精度が良好に確保される。
様相４に係る着磁装置によれば、上記した様相において、ワークは、これの軸線回りで周方向に沿って延設されたワーク本体と、ワーク本体の周方向に沿って並設された複数個の被着磁体とを備えていることを特徴とする。この場合、ワーク移動手段は、ワークを軸線回りで周方向に沿って回転させる。このようなワークとしては、モータや発電機のロータおよび／またはステータが例示される。
【００１５】
様相５に係る着磁装置によれば、上記した様相において、着磁手段は、複数の被着磁体の全磁極のうち数磁極ずつ着磁していく分極着磁を実施し、ワーク移動手段は、ワーク本体を回転させて着磁位置で着磁された被着磁体および次に着磁する未着磁の被着磁体を移動させ、着磁量検査手段は、着磁位置で着磁された被着磁体がワーク本体の回転に伴って移動するときの磁束の時間的な変化に基づいて着磁量を検査することを特徴とする。これにより、被着磁体が移動するときに、移動時間を有効利用して着磁量を検査できる。また、ワーク移動手段にワーク本体をセットした状態で間欠的に回転させることにより、複数の被着磁体に対して着磁および検査を繰返すことが可能となっている。したがって、着磁および検査に必要とされる時間を短縮でき、生産性が向上する。
【００１６】
様相６に係る着磁装置によれば、上記した様相において、ワークは、モータを構成するロータに使用され、着磁量検査手段は、モータを構成するステータ素子とステータ素子に巻回された巻線とを有するステータ分割品を備えていることを特徴とする。本様相によれば、着磁量検査手段は、ステータをこれの周方向に分割されたステータ分割品を備えている。ステータ分割品は、ステータの一部を構成するステータ素子と、ステータ素子に巻回された巻線とを有する。着磁位置で着磁された被着磁体から発生する磁束とステータ分割品とは、鎖交可能である。このため、着磁位置から退避する移動に伴い電磁誘導が発生し、電磁誘導に基づいてステータ分割品（巻線）に誘導起電力が発生する。誘導起電力に基づいて被着磁体の着磁量（磁束量）が検査される。
【００１７】
ここで、モータはロータとステータとが組み付けられて製造される。モータを構成するステータ分割品を着磁量検査手段が備えており、ステータ素子に巻回された巻線に発生する起電力を検査する。このようにすれば、ワークの被着磁体の着磁量の検査を実機品（モータ）に近い条件で行うことができる。従って、実機品であるモータのモータ性能を反映した検査を実施することができる。
【００１８】
様相７に係る着磁装置によれば、上記した様相において、着磁量検査手段で着磁が充分でないとされた着磁不良の被着磁体を記憶し、ワークの被着磁体の全磁極について着磁が終了した後あるいは前記着磁不良の被着磁体が発生した場合にその都度、前記着磁不良の被着磁体に対して再着磁を行わせる制御装置をさらに備えていることを特徴とする。このため予備着磁および補正着磁の双方を各被着磁体に対して実施する特許文献３に係る技術とは異なり、１個のワークあたりの着磁総回数が低減され、着磁手段の耐用および寿命を長くさせるのに有利である。
【００１９】
様相８に係る着磁装置によれば、上記した様相において、着磁手段は、ヨーク本体およびヨーク本体に巻回されたコイル部をもつ着磁ヨークと、コイル部に着磁電流を通電させる着磁電源とを備え、着磁量検査手段で着磁不良が検査された場合に、（１）前記着磁ヨークに形成された冷媒通路に冷媒供給装置から冷媒を流して、前記着磁ヨークを速やかに冷却する、（２）前記ワーク移動手段の駆動による移動速度を前回よりも低下させることにより、前記未着磁の被着磁体が前記着磁位置に到達するまでの時間を前回よりも長くする、（３）前記着磁ヨークが待機している時間を前回よりも長くして、前回の着磁と次回の着磁との間の時間を前回よりも長くする、（４）前記着磁ヨークのコイル部に通電する着磁電流を前回よりも増加させる、の４条件の変更のうち少なくともひとつを採用する制御装置をさらに備えていることを特徴とする。
【００２０】
ヨーク本体およびコイル部をもつ着磁ヨークと着磁電源とを備える着磁手段では、着磁ヨークによる着磁回数が増加するにつれて、着磁ヨークの発熱により昇温し、コイル部の抵抗が増加し、着磁ヨークで発生する磁場が次第に低下するおそれがある。この場合、着磁不良を発生させる頻度が増加する。本様相８によれば、着磁不良が検査された場合に、着磁不良に対処し易い。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したように本発明によれば、着磁位置で着磁された被着磁体を着磁位置から退避させると共に、次に着磁する未着磁の被着磁体を着磁位置に到達させる移動時間を使い、着磁量検査手段は、着磁された被着磁体の着磁量を検査する。
このようにワークに設けられている被着磁体が着磁位置から退避する移動時間を有効利用し、当該移動時間を使い、ワークの被着磁体の着磁量を検査する。このため、ワークの被着磁体を着磁して移動させる着磁工程と着磁後の被着磁体の着磁量を検査する検査時間との双方の工程に必要とされる合計時間を、短縮させるのに有利となる。よって生産性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
（実施形態１)
以下、本発明の実施形態１について図１〜図６を参照して説明する。図１は着磁前のワーク１を示す。図２は着磁後のワーク１を示す。ワーク１は、多極モータのロータとして用いられるものである。図１に示すように、ワーク１は、これの軸線Ｐ１回りで周方向（矢印ＲＡ方向）に沿って延設された円筒形状またはリング状をなすワーク本体１０と、ワーク本体１０の周方向に沿って並設された複数の被着磁体１２とを備えている。ワーク本体１０は、内周部１０ｉおよび外周部１０ｐと、内周部１０ｉで区画された中央孔１０ｍとを有する。被着磁体１２は未着磁であり、永久磁石を形成する材料で形成されている。ワーク本体１０は、磁束を透過できるように磁性材料（例えば鉄系）で形成されている。本実施形態によれば、ワーク１の被着磁体１２の全部が着磁処理されたときには、図２に示すように、被着磁体１２の外周側がＮ極およびＳ極のうちの一方になり、被着磁体１２の内周側がＮ極およびＳ極のうちの他方（異極）になるように着磁される。従ってワーク本体１０の外周部１０ｐでは、Ｎ極およびＳ極が交互に並設されている。
【００２３】
図３は着磁装置の平面を模式的に示す。図４は着磁装置の側面を模式的に示す。図３および図４に示すように、着磁装置は、ワーク１の被着磁体１２を着磁させるとき、着磁されるべき被着磁体１２が配置される位置である着磁位置２を備える。着磁装置は、基台３と、ワーク１を移動させるワーク移動手段としてのワーク移動装置４と、着磁手段としての可動式着磁装置５と、着磁量検査手段としての着磁量検査装置７とを備えている。基台３は、支柱３０と架台３２とを備えている。ワーク移動装置４は基台３に装備されており、ワーク１の各被着磁体１２が着磁位置２を通過するようにワーク１を移動させるものである。ワーク移動装置４は、自身の軸線Ｐ２の回りで水平方向において回転可能な可動テーブル４０と、可動テーブル４０を回転させる回転軸４１と、回転軸４１を有する駆動機構４２と、可動テーブル４０上に設けられワーク１を設置するワーク設置面４４を有するパレット４３（ワーク設置部）とを備えている。パレット４３はワーク１の中央孔１０ｍに嵌合される取付盤４３ｍを有する。
【００２４】
図３に示すように、可動式着磁装置５は、ワーク１の被着磁体１２に対面可能に基台３に装備された着磁ヨーク５０と、着磁ヨーク５０を移動方向（矢印Ｘ１，Ｘ２方向）に沿って移動させてワーク１の被着磁体１２に接近および離間させるように基台３に装備されたスライド機構５２と、着磁ヨーク５０に着磁電流を通電させる着磁電源５４とを備えている。着磁ヨーク５０は、ヨーク本体と、ヨーク本体に巻回されたコイル部とをもつ。着磁電源５４から大電流の着磁電流（一般的にはパルス電流）を流すことにより、磁場（一般的にはパルス磁場）を発生し、被着磁体１２を着磁させる。着磁電源５４は基台３に隣設されているが、基台３に搭載されていても良い。スライド機構５２は、着磁ヨーク５０の移動方向（矢印Ｘ１，Ｘ２方向）に沿って延設された案内軸５２０と、案内軸５２０に沿って移動する可動部５２２とを備えている。可動部５２２は着磁ヨーク５０を保持している。なおスライド機構５２は単軸型であるが、複軸型でも良い。
【００２５】
着磁量検査装置７は着磁後の被着磁体１２の着磁量を検査するものであり、検査部７０と、検査部７０に信号線７０ｍを介して接続されたフラックスメータ７２とを備えている。フラックスメータ７２は磁束を測定するものであり、基台３に隣設されているが、基台３に搭載されていても良い。図５は検査部７０を示す。図５に示すように、検査部７０は、支持体７３と、支持体７３に支持された導体部材７４（サーチコイル）とを備えている。支持体７３は、樹脂等の非磁性材料で形成されていても良いし、磁性材料で形成されていても良い。導体部材７４は銅、銅合金等の導電材料で形成されており、支持体７３にコイル状に巻回されて支持体７３に取り付けられている。なお、導体部材７４としては、導体部材７４の表面が露出するように支持体７３に埋設されていても良い。図３に示すように、検査部７０は、着磁位置２に接近している着磁ヨーク５０に対して、着磁ヨーク５０に接近しつつも、ワーク１の回転方向（矢印Ｒ１方向）の下流側に配置されている。従って検査部７０は、着磁位置２に接近している着磁ヨーク５０に接近して隣設されている。
【００２６】
さて、ワーク１の被着磁体１２の着磁を実施する場合について説明する。この場合、全磁極のうち数磁極ずつ着磁していく分極着磁が実施される。但し分極着磁に限定されるものではない。
先ず、着磁ヨーク５０を着磁位置２から離間させて待機位置ＷＥに待機させておく。この状態で、パレット４３を介してワーク１を可動テーブル４０のワーク設置面４４に設置してセットする。ワーク１の軸線Ｐ１回りで可動テーブル４０を回動方向（図３に示す矢印Ｒ１方向）に沿ってワーク１と共に回動させ、最初に着磁する未着磁の被着磁体１２を着磁位置２にセットする。このときワーク１の軸線Ｐ１と可動テーブル４０の軸線Ｐ２とは同軸またはほぼ同軸とされている。
【００２７】
また着磁にあたり、スライド機構５２を介して着磁ヨーク５０を矢印Ｘ１方向に移動させてワーク１の外周部に接近させる。即ち、着磁ヨーク５０を着磁位置２に接近させ、着磁ヨーク５０をワーク１の被着磁体１２に接近させる。
ここで、図４に示すように、ワーク１の高さはｈ１として示される。ワーク１は、上面となる軸端面１ｕ，下面となる軸端面１ｄを有する。着磁ヨーク５０の高さはｈ２として示される。着磁ヨーク５０は、上面となる軸端面５０ｕ，下面となる軸端面５０ｄを有する。ｈ１＝ｈ２またはｈ１≒ｈ２に設定されているが、これに限定されるものではない。
上記したように着磁ヨーク５０を着磁位置２に接近させた結果、ワーク１のうち着磁位置２に存在している被着磁体１２と着磁ヨーク５０とが、所定の着磁ギャップを介して接近している状態となる。被着磁体１２と着磁ヨーク５０との間隔である着磁ギャップが大きいほど、着磁ヨーク５０で発生させる磁場のサイズが増加するため、着磁ギャップはできる限り小さい方が好ましい。この状態で、着磁ヨーク５０のコイルに着磁電流を通電する。これにより着磁ヨーク５０に対面していた被着磁体１２が着磁され、磁化される。着磁電流は主にコンデンサの充電電圧（着磁ヨーク励磁電圧）に基づく電流（パルス電流）としているが、これに限定されるものではない。着磁ヨーク励磁電圧が高いほど、大電流が流れ、強い磁場が発生する。着磁後の被着磁体１２の磁場はこの磁場に基づいて決まり、印加磁場が強いほど被着磁体１２は強く着磁される。なお、磁力が飽和に達したフル着磁状態となると、これ以上の強い磁場を被着磁体１２に印加させても被着磁体１２の磁力は強くはならない。
【００２８】
通常では、フル着磁状態に被着磁体１２を着磁させるように着磁ヨーク励磁電圧が設定されており、被着磁体１２の着磁特性のバラツキを考慮してフル着磁に対して充分余裕を持った強い磁場を被着磁体１２に印加させる。着磁ヨーク５０で着磁の際に、発生する磁場により外側に膨張する力が着磁ヨーク５０に発生する。このため着磁ヨーク５０を利用した着磁回数が増加すると、着磁ヨーク５０が損傷し、着磁ヨーク５０の耐用、寿命が低下するおそれがある。また、通電によるジュール熱で着磁ヨーク５０の温度が上昇することでも、着磁ヨーク５０の耐用が低下するおそれがある。上記した分極着磁では、連続する着磁操作数が繰り返され易いことから、着磁ヨーク５０の耐用低下は、着磁ヨーク５０の交換頻度を高めることにしている。
【００２９】
本実施形態によれば、上記したようにワーク１の被着磁体１２を着磁させた後、着磁ヨーク５０を矢印Ｘ２方向に移動させ、着磁位置２から離間させて待機位置ＷＥに戻す。その後、可動テーブル４０を回動方向（矢印Ｒ１方向）に沿って所定角度回動させ、別の未着磁の被着磁体１２を着磁位置２にセットする。可動テーブル４０の回転が停止すると、スライド機構５２により着磁ヨーク５０を矢印Ｘ１方向に移動させ、着磁ヨーク５０を待機位置ＷＥから着磁位置２に再び接近させる。そして、着磁位置２に存在している別の被着磁体１２と着磁ヨーク５０とが、所定の着磁ギャップを介して接近している状態とする。この状態において、着磁ヨーク５０に着磁電流を再び通電する。これにより着磁ヨーク５０に対面していた別の被着磁体１２が着磁される。着磁後、着磁ヨーク５０を矢印Ｘ２方向に移動させ、着磁位置２から離間させ待機位置ＷＥに再び戻す。
【００３０】
その後、駆動機構４２を駆動させて可動テーブル４０を回動方向（矢印Ｒ１方向）に沿って所定角度再び回動させ、更に、別の未着磁の被着磁体１２を着磁位置２にセットする。可動テーブル４０の回転が停止すると、着磁ヨーク５０を矢印Ｘ１方向に再び移動させ、待機位置ＷＥから着磁位置２に接近させる。そして、着磁位置２に存在している別の被着磁体１２と着磁ヨーク５０とが、所定の着磁ギャップを介して接近している状態とする。この状態において、着磁ヨーク５０のコイルに着磁電流を再び通電する。これにより着磁位置２において着磁ヨーク５０に対面していた別の被着磁体１２が着磁される。着磁後、着磁ヨーク５０を矢印Ｘ２方向に移動させ、着磁位置２から離間させ待機位置ＷＥに戻す。
【００３１】
その後、可動テーブル４０を回動方向（矢印Ｒ１方向）に沿って再び回動させ、更に別の未着磁の被着磁体１２を着磁位置２にセットする。そして、着磁位置２に存在している更に別の被着磁体１２と着磁ヨーク５０とが所定の着磁ギャップを介して接近している状態において、着磁ヨーク５０に着磁電流を再び通電する。これにより着磁ヨーク５０に対面していた別の被着磁体１２が着磁される。上記した操作を繰り返すことにより、ワーク１に搭載されているすべての被着磁体１２を着磁させる。
本実施形態によれば、未着磁の複数の被着磁体１２をワーク１に搭載させた後に、被着磁体１２を着磁させて磁化させる。このため着磁されて磁化された後の複数の被着磁体１２をワーク１に搭載させる形態に比較して、被着磁体１２の磁場の影響が抑えられ、被着磁体１２をワーク１に搭載させる搭載作業が容易となる。
【００３２】
ところで、所要のモータ性能を得るためには、多極モータの全磁極（被着磁体１２）の磁力のバランスが良いことが要請される。従って、各被着磁体１２の着磁量が所定の着磁量である必要がある。このため本実施形態によれば、前述したように、被着磁体１２の着磁量を検査する検査部７０を有する着磁量検査装置７が設けられている。
具体的には、図３に示すように、検査部７０は、着磁ヨーク５０に接近しつつ、ワーク１の回転方向（矢印Ｒ１方向）において、着磁ヨーク５０に対して回転方向の下流側に配置されている。そして、着磁位置２でワーク１の被着磁体１２が着磁されると、ワーク１の軸線Ｐ１を中心としてワーク１が回転するため、着磁後の被着磁体１２が着磁位置２から回転方向（矢印Ｒ１方向）に退避移動する。このように着磁後におけるワーク１の回転に基づく退避移動に伴い、着磁直後の被着磁体１２が回転方向（矢印Ｒ１方向）に移動する。このとき、着磁直後の被着磁体１２が検査部７０に対して相対移動する。このため、検査部７０の導体部材７４に鎖交する被着磁体１２の磁束が時間的に変化する。この結果、電磁誘導に基づく誘導起電力が導体部材７４の両端間に発生する。誘導起電力は、基本的には、磁束（φ）の時間あたりの変化分（ｄφ／ｄｔ）に比例する。検査部７０の導体部材７４からの信号に基づいて、フラックスメータ７２は、検査部７０に接近している被着磁体１２の磁束量を測定する。これにより検査部７０に対して相対移動する着磁後の被着磁体１２の着磁量が測定される。制御装置９は、着磁後の被着磁体１２の着磁量を検査する。
【００３３】
図６は誘導起電力に係る電圧を示す。ワーク１の移動速度が比較的速い場合には、磁束（φ）の時間あたりの変化分（ｄφ／ｄｔ）が大きいため、特性線Ｍ１に示すように、電圧が高くなるものの、発生時間は少ない。ワーク１の移動速度が比較的遅い場合には、磁束（φ）の時間あたりの変化分（ｄφ／ｄｔ）が小さいため、特性線Ｍ２に示すように、電圧が低くなるものの、発生時間が長い。フラックスメータ７２は電圧情報を時間で積分して被着磁体１２の磁束量を測定する。
ここで、図４に示すように、検査部７０の高さは、基本的には、ワーク１の高さｈ１とほぼ同様に設定されている。検査部７０は、上面となる軸端面７０ｕ，下面となる軸端面７０ｄを有する。被着磁体１２の着磁量を効果的に検査できるように、被検査部７０の高さは、ワーク１の被着磁体１２の高さに対応するように設定されている。但し、これに限定されるものではなく、被検査部７０の高さは、ワーク１の被着磁体１２の高さよりも短く設定しても良いし、長く設定しても良い。
【００３４】
以上説明したように本実施形態によれば、ワーク１に設けられている各被着磁体１２が着磁位置２から矢印Ｒ１方向に退避する移動時間を有効利用し、当該移動時間において、着磁された被着磁体１２の着磁量を検査する。このため、ワーク１の被着磁体１２の着磁および着磁量の検査に必要とされる時間を短縮させるのに有利となる。よって、多数の被着磁体１２を着磁させるのに適する。このため量産化に適する。
本実施形態によれば、検査部７０は着磁位置２にできるだけ接近して配置されている。このため、着磁した被着磁体１２の着磁量を速やかに検査部７０で検査することができる。従って、検査部７０による検査で得られた着磁量を、後で着磁する被着磁体１２の着磁条件に速やかにフイードバックできる利点が得られ、着磁不良の低減に貢献することができる。
更に本実施形態によれば、着磁の際、被着磁体１２を有するワーク１を回転移動させる駆動源は、ワーク移動装置４である。更に着磁量を検査する際にワーク１を移動させる駆動源も、ワーク移動装置４となる。このためワーク１を移動させる駆動源の共通化を図り得、着磁量を検査する際にワーク１を移動させる専用の駆動源を廃止することができる。
【００３５】
（実施形態２）
本実施形態は上記した実施形態１と基本的には同様の構成および作用効果を有するため、図１〜図６を準用する。以下、相違する部分を中心として説明する。所要のモータ性能を得るためには、多極モータの全磁極（被着磁体１２）の磁力のバランスが要請される。このため実施形態１と同様に、ワーク１に搭載されている各被着磁体１２を着磁させると共に、着磁後にその被着磁体１２の着磁量を検査部７０により検査する。制御装置９は、着磁したものの着磁が充分ではない被着磁体１２を記憶する。
そして、ワーク１の被着磁体１２の全磁極について着磁が終了した後、制御装置９は、着磁が充分ではない被着磁体１２のみを選択する。そして、制御装置９は、着磁が充分ではない被着磁体１２を着磁位置２にセットする指令信号をワーク移動装置４の駆動機構４２に出力する。この状態で、着磁ヨーク５０を矢印Ｘ１方向に移動させ、待機位置ＷＥから着磁位置２に接近させる。これにより着磁が充分ではない被着磁体１２と着磁ヨーク５０とが、所定の着磁ギャップを介して接近している状態とする。この状態において、着磁ヨーク５０に着磁電流を通電し、着磁が充分ではない被着磁体１２を再着磁する。
【００３６】
このように着磁が充分ではない被着磁体１２を再着磁させた後、再着磁後の被着磁体１２の着磁量を検査部７０で検査する。具体的には、ワーク１が回転方向（矢印Ｒ１方向）に移動するため、着磁位置２で再着磁された被着磁体１２が着磁位置２から回転方向（矢印Ｒ１方向）に退避移動する。このように再着磁後におけるワーク１の回転に基づく退避移動に伴い、再着磁直後の被着磁体１２が回転方向（矢印Ｒ１方向）に移動する。このとき、前述したように、検査部７０の導体部材７４に鎖交する磁束の変化により誘導起電力が導体部材７４の両端間に発生する。検査部７０の導体部材７４からの信号に基づいて、フラックスメータは、再着磁後の被着磁体１２の磁束量を測定する。そして制御装置９は、再着磁後の被着磁体１２の着磁量を検査する。
【００３７】
着磁が充分ではない被着磁体１２が複数存在する場合には、着磁が充分ではない別の被着磁体１２を可動テーブル４０の回転により着磁位置２にセットする。この状態で、着磁ヨーク５０を矢印Ｘ１方向に移動させ、待機位置ＷＥから着磁位置２に接近させる。これにより着磁が充分ではない被着磁体１２と着磁ヨーク５０とが所定の着磁ギャップを介して接近している状態とする。この状態において、着磁ヨーク５０に着磁電流を通電し、被着磁体１２を再着磁する。このように再着磁させた後、再着磁後の被着磁体１２の着磁量を検査部７０で検査する。
【００３８】
上記したようにワーク１の被着磁体１２のすべてのうち、着磁が充分ではない別の被着磁体１２のみを着磁位置２に再びセットし、再着磁することにしている。このため予備着度および補正着磁の双方を各被着磁体１２に対して実施する特許文献３に係る技術とは異なり、１個のワーク１あたり、着磁ヨーク５０で被着磁体１２を着磁する着磁総回数が低減される。前述したように、着磁回数の過剰の増加は着磁ヨーク５０の耐用に影響を与える。よって着磁総回数が低減されることは、着磁ヨーク５０の耐用および寿命を長くさせるのに有利である。
【００３９】
再着磁の際には、着磁ヨーク励磁電圧を高圧にする等により、一回目の着磁よりも強い磁場を着磁ヨーク５０で発生させることにできる。このようにすれば、他の被着磁体１２に比較して着磁特性が劣る被着磁体１２であっても、その被着磁体１２を所望の磁力に着磁させることができる。従って、被着磁体１２の着磁特性のバラツキを考慮し、フル着磁可能な余裕を持った強い磁場で被着磁体１２の全部を着磁する方法を採用せずともよい。よって、着磁ヨーク５０に作用する負荷ができるだけ少ない条件で一回目の着磁を行い、一回目の着磁において着磁不充分となった被着磁体１２のみを強く再着磁することができる。この場合、着磁ヨーク５０に作用する負荷を少なくするのに有利であり、着磁ヨーク５０の耐用および寿命を延ばすのに有利となる。
【００４０】
なお再着磁においては、上記したようにワーク１の被着磁体１２の全部について着磁が終了した後、着磁が充分ではない被着磁体１２のみを選択して再着磁させることにしても良いし、あるいは、ワーク１の一の被着磁体１２について着磁が終了した後、着磁が充分ではないことが検査されたら、その都度、その被着磁体１２を着磁位置２に再びセットし再着磁させることにしても良い。被着磁体１２を着磁位置２に再びセットするにあたり、可動テーブル４０を逆方向（矢印Ｒ２方向）に回転させて着磁位置２にセットしても良いし、可動テーブル４０を順方向（矢印Ｒ１方向）に回転させて着磁位置２にセットしても良い。
【００４１】
（実施形態３）
図７は実施形態３を示す。本実施形態は上記した実施形態１と基本的には同様の構成および作用効果を有する。以下、相違する部分を中心として説明する。ワーク１の複数の被着磁体１２について着磁するとき、着磁ヨーク５０による着磁回数が次第に増加する。着磁回数が増加するにつれて、着磁ヨーク５０の発熱により昇温し、コイルの抵抗が増加し、従って、同一の着磁条件では、着磁ヨーク５０で発生する磁場が次第に低下するおそれがある。この場合、着磁不良を発生させる頻度が増加する。そこで本実施形態によれば、着磁された被着磁体１２の着磁不良が検査された場合には、制御装置９は条件を直ちに変更する。条件の変更としては次の（１）〜（４）の少なくともひとつが採用される。
【００４２】
（１）図７に示すように、冷媒を流す冷媒通路５ｅを着磁ヨーク５０に予め形成し、冷媒通路５ｅに冷媒供給装置５ｆを接続しておく。そして、着磁ヨーク５０の昇温に起因する被着磁体１２の着磁不良が検査された場合には、着磁ヨーク５０の冷媒通路５ｅに冷媒供給装置５ｆから冷媒を流し、着磁ヨーク５０を速やかに冷却し、着磁ヨーク５０の過熱を抑える。冷媒としては、空気等の気体、水等の冷却液が例示される。
（２）可動テーブル４０の回転速度（移動速度）を前回よりも低下させることにより、未着磁の被着磁体１２が着磁位置２に到達するまでの時間を前回よりも長くする。これにより前回の着磁と次回の着磁との間の時間が長くなり、その間に着磁ヨーク５０を外気により冷却させることができる。また、着磁ヨーク５０の冷媒通路が形成されている場合には、上記時間の間に、冷媒を流す時間が確保されるため、着磁ヨーク５０の過熱を抑えるのに有利となる。
（３）可動テーブル４０の回転速度を低下させないものの、着磁ヨーク５０が待機位置ＷＥに待機している時間を前回よりも長くし、前回の着磁と次回の着磁との間の時間を前回よりも長くする。その間に着磁ヨーク５０を外気により冷却させることができる。また、前述したように、着磁ヨーク５０の冷媒通路が形成されている場合には、上記時間の間に、冷媒を流す時間が確保されるため、着磁ヨーク５０の過熱を抑えるのに有利となる。
（４）着磁ヨーク５０で発生する磁場が次第に低下するため、着磁ヨーク５０のコイルに通電する電流を前回よりも増加させる。これにより着磁ヨーク５０で発生する磁場の低下を抑える。
なお、被着磁体１２が焼結磁石材料系である場合には、製造ロット毎の着磁特性のバラツキが大きいおそれがある。このような場合であっても、被着磁体１２の着磁不良が検出されたら、着磁条件を速やかに変更させることができ、着磁不良に対処し易い。
【００４３】
（実施形態４）
図８は実施形態４を示す。本実施形態は上記した実施形態１と基本的には同様の構成および作用効果を有する。以下、相違する部分を中心として説明する。着磁量検査装置７の検査部７０Ｂは導体部材７４を有する。ワーク１の被着磁体１２を着磁ヨーク５０で着磁させるとき、条件によっては、着磁ヨーク５０からの漏れ磁束が検査部７０Ｂの導体部材７４に透過し、これに起因して電圧が検査部７０の導体部材７４に発生するおそれがある。この場合、条件によっては、フラックスメータ７２の検査精度に影響を与えるおそれがある。
【００４４】
そこで本実施形態によれば、ワーク１の被着磁体１２を着磁させるとき、検査位置Ｗ１に存在する検査部７０Ｂを検査位置Ｗ１（ワーク１）から遠ざけるための可動機構７００が設けられている。図８に示すように、可動機構７００は、複数の軸状の案内部７０１と、案内部７０１に沿って移動すると共に検査部７０Ｂを有する可動部７０３と、可動部７０３を移動させる駆動源７０５（モータ）とを備えている。ワーク１の被着磁体１２を着磁させるとき、可動機構７００の駆動源７０５が駆動し、検査部７０Ｂをワーク１および着磁ヨーク５０から遠ざける。これにより着磁中の着磁ヨーク５０からの漏れ磁束が検査部７０Ｂの導体部材７４に透過することが抑えられる。
【００４５】
ワーク１の被着磁体１２の着磁が終えたら、可動機構７００の駆動源７０５が逆方向に駆動し、検査部７０Ｂをワーク１に接近させ、着磁された被着磁体１２に接近させる。そして、検査部７０が検査位置Ｗ１に到達して停止したら、可動テーブル４０を回転方向（矢印Ｒ１方向）に回転させる。このとき、検査部７０Ｂは固定されているものの、着磁直後の被着磁体１２が矢印Ｒ１方向に移動する。このため、検査部７０の導体部材７４に鎖交する磁束の変化により誘導起電力が導体部材７４の両端間に発生する。検査部７０の導体部材７４からの信号に基づいて、フラックスメータ７２は被着磁体１２の磁束量を測定する。これにより検査部７０に対して相対移動する着磁後の被着磁体１２の着磁量が測定される。制御装置９は、着磁後の被着磁体１２の着磁量の良否を検査する。
次の被着磁体１２を着磁ヨーク５０で着磁するときには、前述同様に、可動機構７００の駆動源７０５が駆動し、検査部７０Ｂをワーク１および着磁ヨーク５０から遠ざける。
【００４６】
（実施形態５）
図９は実施形態５を示す。本実施形態は上記した実施形態１と基本的には同様の構成および作用効果を有する。以下、相違する部分を中心として説明する。検査部は導体部材７４を有する。ワーク１は、モータを構成するロータに使用される。この場合、着磁後の被着磁体１２から発生する磁束量はモータの出力に大きな影響を与える重要な検査項目である。実際の使用条件に即した条件で、被着磁体１２の磁束を測定することが好ましい。本実施形態をこの点を考慮している。
【００４７】
即ち、着磁量検査装置７の検査部として、ステータ分割品７０Ｅが採用されている。ステータ分割品７０Ｅは、モータに搭載されるステータを周方向に分割した一単位である。ステータ分割品７０Ｅは、磁性材料で形成され突出歯部７７１を有するステータ素子７７２と、ステータ素子７７２の突出歯部７７１に巻回された巻線７７５とを有する。モータはロータとステータとが組み付けられて製造される。
【００４８】
本実施形態によれば、ワーク１に設けられている被着磁体１２を、実施形態１と同様に着磁させる。その後、可動テーブル４０の回転により、その被着磁体１２を着磁位置２から退避させる。このときステータ分割品７０Ｅの巻線７７５に電磁誘導により起電力が発生する。そして、巻線７７５に発生した起電力に基づいてフラックスメータ７２で磁束を測定する。本実施形態においても、実施形態１と同様に、ワーク１に設けられている被着磁体１２を着磁させた後、その被着磁体１２が着磁位置２から退避させる移動時間を有効利用し、当該移動時間において、ステータ分割品７０Ｅでワーク１の被着磁体１２の着磁量を検査する。このため実施形態１と同様に、ワーク１の被着磁体１２の着磁および着磁量の検査に必要とされる時間を短縮させるのに有利となり、量産化に適する。
【００４９】
更に、上記したステータ分割品７０Ｅは、モータの実機品を構成する要素である。このように着磁量検査装置７の検査部として、ステータ分割品７０Ｅを利用している。このため実機品のモータのモータ性能を反映した測定を実施するのに有利となる。よって実際の使用状態に近い状態で、ワーク１の被着磁体１２の磁束を測定できる利点が得られる。
【００５０】
本実施形態においても、検査位置Ｗ１に存在する検査部としてのステータ分割品７０Ｅを検査位置Ｗ１（ワーク１）から遠ざけるための可動機構７００Ｂが設けられている。ワーク１の被着磁体１２を着磁させるとき、可動機構７００Ｂは、検査位置Ｗ１に存在するステータ分割品７０Ｅを検査位置Ｗ１（ワーク１）から退避方向（矢印Ｓ１方向）遠ざける。このためワーク１の被着磁体１２を着磁ヨークで着磁させるとき、フラックスメータ７２の検査精度に影響を与えることが回避される。具体的には、図９に示すように、可動機構７００Ｂは、複数の軸状の案内部７０１と、案内部７０１に沿って移動すると共にステータ分割品７０Ｅを有する可動部７０３と、可動部７０３を移動させる駆動源７０５（モータ）とを備えている。そしてワーク１の被着磁体１２を着磁させるとき、可動機構７００の駆動源７０５が駆動し、ステータ分割品７０Ｅをワーク１および着磁ヨーク５０から遠ざける。これにより着磁中の着磁ヨーク５０からの漏れ磁束がステータ分割品７０Ｅに透過することが抑えられる。
【００５１】
(その他)
上記した実施形態によれば、着磁手段としては着磁ヨークが採用されているが、着磁ヨークに限定されず、着磁コイルでも良いし、あるいは、超電導バルク体を疑似永久磁石として用いたものでも良い。超電導バルク体は、ＲＥ，Ｂａ，Ｃｕを含む酸化物または複合酸化物を母材とし、Ａｇ、Ｐｔ，Ｃｅのうちの１種または２種以上を含む化合物からなる添加物を含有する形態が例示される。ＲＥは、Ｙ，Ｌａ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｅｒ，Ｙｂ，Ｄｙ，Ｈｏのうちの１種または２種以上を意味する。超電導バルク体は例えば溶融凝固法で形成できる。超電導バルク体は、低温で超電導を示す母相と、母相に分散された絶縁性をもつ分散相とを有する組織を備える。分散相の存在に起因する磁束ピン止め点が磁束を捕捉する。故に、外部磁場が取り除かれた後も、超電導バルク体は、強い磁場を発生する擬似的な永久磁石として機能することができる。この場合、超電導バルク体を冷却させる冷却装置が必要とされる。
検査部７０は着座装置における外周側の着磁位置２にできるだけ接近して配置されていることが好ましい。この場合、ワーク１の周長をＬとするとき、ワーク１の周方向において、着磁位置２の端（検査部７０側の端）と検査部７０の端（着磁位置２側の端）との間の距離としては、１／２・Ｌ以内、１／３・Ｌ以内、１／４・Ｌ以内、１／５・Ｌ以内、１／６・Ｌ以内、１／７・Ｌ以内、１／８・Ｌ以内とすることができる。但しこれに限定されるものではない、
【００５２】
上記した実施形態によれば、ワーク１はモータのロータに使用されるものであるが、これに限らず、モータの種類によってはモータのステータとしても良い。更にモータに限らず、流体バルブ等の他の機器でも良い。上記した実施形態によれば、ワーク１は筒形状またはリング形状であり、被着磁体１２が周方向に並設されているが、これに限らず、ワークとしては、直線状に延設された棒形状をなすリニアタイプとしても良い。この場合、被着磁体が一直線状に並設されている構成としても良い。この場合、ワーク移動装置４は、複数の被着磁体を有する棒形状をなすワークを回転ではなく直進させる。
本発明は上記し且つ図面に示した実施形態のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施可能である。ある実施形態に設けられている特有の構造および機能は、他の実施形態においても適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は複数の被着磁体を所定の方向に並設したワークの被着磁体を着磁する着磁装置に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】未着磁の複数の被着磁体を有するワークの平面図である。
【図２】着磁された複数の被着磁体を有するワークの平面図である。
【図３】実施形態１に係り、着磁装置を模式的に示す平面図である。
【図４】実施形態１に係り、着磁装置を模式的に示す側面図である。
【図５】実施形態１に係り、検査部を模式的に示す斜視図である。
【図６】実施形態１に係り、検査部の誘導起電力に係る電圧特性線を示す図である。
【図７】実施形態３に係り、着磁装置を模式的に示す平面図である。
【図８】実施形態４に係り、着磁装置を模式的に示す平面図である。
【図９】実施形態６に係り、着磁量検査装置の要部を模式的に示す平面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１はワーク、１０はワーク本体、１２は被着磁体、２は着磁位置、３は基台、４はワーク移動装置（ワーク移動手段）、４０は可動テーブル。４２は駆動機構、５は可動式着磁装置（着磁手段）、５０は着磁ヨーク、５２はスライド機構、５４は着磁電源、７は着磁量検査装置（着磁量検査手段）、７０は検査部、７３は支持体、７４は導体部材を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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