(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リールに巻かれた長尺シート状のワークをその幅方向を上下方向にして連続的に供給するワーク供給装置と、上記ワークをその幅方向を上下方向にして連続的にリールに巻き取るワーク巻取装置と、上記ワーク供給装置とワーク巻取装置との間に配置されかつその幅方向を上下方向にして搬送される上記ワークに対し化学処理を行う化学処理槽とを具備し、
上記ワークの化学処理槽搬入時にワークの上端および下端をそれぞれクランプする上下端搬送クランプ群を有しかつ上下端搬送クランプ群は独立駆動される一対のエンドレスベルトにそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワークをクランプしながらその幅方向を上下方向にして搬送すると共に、上記ワークの化学処理槽搬出時に上下端搬送クランプが順次開放されて化学処理されたワークのみをその幅方向を上下方向にしてワーク巻取装置のリールに巻き取らせるワーク搬送装置が設けられた化学処理装置において、
上記一対のエンドレスベルトを独立駆動する上下独立した一対のサーボモータと、一対のエンドレスベルトの移動量を検出するセンサーにより、上下端搬送クランプの搬送速度がそれぞれ制御されて上下端搬送クランプが同期しながらワークを搬送するようになっており、
かつ、上方側に配置された一方のエンドレスベルトに上端搬送クランプ群が固定されると共に、下方側に配置された他方のエンドレスベルトに下端搬送クランプ群が鉛直方向へ移動可能な状態で取り付けられて、下端搬送クランプ群の自重により鉛直方向へ力を加えながら上記ワークが搬送されるようになっていることを特徴とする化学処理装置。
【請求項２】
薄膜のワークがワークタルミを発生させることなく化学処理されることを特徴とする請求項１に記載の化学処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブル基板のように極めて薄く柔軟性のある長尺シート状のワークを一定速度で搬送しながら化学処理を行う化学処理装置に係り、特に、ワークタルミを発生させることなく化学処理が行える化学処理装置の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器は極めて薄く柔軟性のあるフレキシブル基板を使用することが多くなってきている。こうしたフレキシブル基板に対応させて、特許文献１には、リールに巻かれた長尺シート状のワーク（基板材料）をその幅方向を上下方向にして（すなわち、ワーク面を垂直方向にして）連続的に供給するワーク供給装置と、上記ワークをその幅方向を上下方向にして連続的にリールに巻き取るワーク巻取装置との間にメッキ処理槽を配置し、ワーク（基板材料）を長尺シート状のままメッキ処理する装置が提案されている。
【０００３】
しかし、特許文献１に記載されたメッキ装置においては、長尺シート状ワーク（基板材料）の上端のみをクランプしながら搬送を行う構造になっているため、上記ワークの幅が広くかつ厚みが極めて薄い場合には、ワークの搬送を行う工程あるいはメッキ処理を行う工程の際にワークにタルミが発生し、ワークの幅方向を上下方向にしながら安定して搬送することが困難となる問題点を有していた。
【特許文献１】特開２００６−１９３７９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、長尺シート状ワークの幅が広くかつ厚みが極めて薄い場合にもワークタルミを発生させることなく安定して化学処理が行える化学処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
すなわち、請求項１に係る発明は、
リールに巻かれた長尺シート状のワークをその幅方向を上下方向にして連続的に供給するワーク供給装置と、上記ワークをその幅方向を上下方向にして連続的にリールに巻き取るワーク巻取装置と、上記ワーク供給装置とワーク巻取装置との間に配置されかつその幅方向を上下方向にして搬送される上記ワークに対し化学処理を行う化学処理槽とを具備し、
上記ワークの化学処理槽搬入時にワークの上端および下端をそれぞれクランプする上下端搬送クランプ群を有しかつ上下端搬送クランプ群は独立駆動される一対のエンドレスベルトにそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワークをクランプしながらその幅方向を上下方向にして搬送すると共に、上記ワークの化学処理槽搬出時に上下端搬送クランプが順次開放されて化学処理されたワークのみをその幅方向を上下方向にしてワーク巻取装置のリールに巻き取らせるワーク搬送装置が設けられた化学処理装置において、
上記一対のエンドレスベルトを独立駆動する上下独立した一対のサーボモータと、一対のエンドレスベルトの移動量を検出するセンサーにより、上下端搬送クランプの搬送速度がそれぞれ制御されて上下端搬送クランプが同期しながらワークを搬送するようになっており、
かつ、上方側に配置された一方のエンドレスベルトに上端搬送クランプ群が固定されると共に、下方側に配置された他方のエンドレスベルトに下端搬送クランプ群が鉛直方向へ移動可能な状態で取り付けられて、下端搬送クランプ群の自重により鉛直方向へ力を加えながら上記ワークが搬送されるようになっていることを特徴とする。
【０００６】
次に、請求項２に係る発明は、
請求項１に記載の発明に係る化学処理装置において、
薄膜のワークがワークタルミを発生させることなく化学処理されることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る化学処理装置によれば、
長尺シート状ワークの化学処理槽搬入時にワークの上端および下端をそれぞれクランプする上下端搬送クランプ群を有しかつ上下端搬送クランプ群は独立駆動される一対のエンドレスベルトにそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワークをクランプしながらその幅方向を上下方向にして搬送すると共に、上記ワークの化学処理槽搬出時に上下端搬送クランプが順次開放されて化学処理されたワークのみをその幅方向を上下方向にしてワーク巻取装置のリールに巻き取らせるワーク搬送装置が設けられている。
【０００８】
そして、長尺シート状ワークの上端および下端をそれぞれクランプしながら搬送する構成になっていることから、上記ワークの幅が広くかつ厚みが極めて薄い場合でもワークの搬送を行う工程あるいは化学処理を行う工程の際にタルミが発生し難いため、ワークの幅方向を上下方向にしながら安定して搬送することが可能となる。
【０００９】
更に、上方側に配置された一方のエンドレスベルトに上端搬送クランプ群が固定され、下方側に配置された他方のエンドレスベルトに下端搬送クランプ群が鉛直方向へ移動可能な状態で取付けられる構造になっていることから、下端搬送クランプ群の自重により鉛直方向へ力を加えながら上記ワークが搬送されるようになるため、ワークタルミの発生をより確実に防止することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
尚、図１は本発明に係る化学処理装置の側面図、図２はその平面図を示しており、また、図３は上記化学処理装置に組み込まれたワーク搬送装置の上端搬送クランプが開放された状態を示す説明図、図４は上記ワーク搬送装置の下端搬送クランプが開放された状態を示す説明図であり、図５はワークの上端および下端がワーク搬送装置の上下端搬送クランプにそれぞれクランプされて搬送される状態を示す説明図である。
【００１２】
まず、本発明に係る化学処理装置は、図１および図２に示すようにリールに巻かれた長尺シート状のワーク１をその幅方向を上下方向にして連続的に供給するワーク供給装置２と、上記ワーク１をその幅方向を上下方向にして連続的にリールに巻き取るワーク巻取装置３と、上記ワーク供給装置２とワーク巻取装置３との間に配置されて上記ワーク１に対しメッキ等の化学処理を行う化学処理槽４と、この化学処理槽４内に未処理のワーク１をその幅方向を上下方向にして搬入しかつ処理後のワーク１をその幅方向を上下方向にして搬出するワーク搬送装置２０とでその主要部が構成されている。
【００１３】
すなわち、リールに巻かれた長尺シート状のワーク１を供給するワーク供給装置２と、このワーク１をリールに巻き取るワーク巻取装置３と、これ等ワーク供給装置２とワーク巻取装置３間に配置された化学処理槽４を備えており、この化学処理槽４は必要な工程に応じて複数の槽により構成されている。また、ワーク１はその幅方向を上下方向にしてワーク供給装置２からワーク巻取装置３へ連続して搬送されるため、上記化学処理槽４への搬入時にワーク１の上端および下端をそれぞれクランプしながら搬送するワーク搬送装置２０が設けられている。
【００１４】
このワーク搬送装置２０は、ワーク１上端をクランプする複数の上端搬送クランプ５並びにワーク１下端をクランプする複数の下端搬送クランプ６と、ゴムが被覆された上側プーリー１０１と所定距離を介し対向配置された上側プーリー１２１との間に巻回され上記上端搬送クランプ５群が取付けられる上側エンドレスベルト８１と、ゴムが被覆された下側プーリー１０２と所定距離を介し対向配置された下側プーリー１２２との間に巻回され上記下端搬送クランプ６群が取付けられる下側エンドレスベルト８２と、上記上側プーリー１０１と下側プーリー１０２にそれぞれ設けられて上側エンドレスベルト８１と下側エンドレスベルト８２とを独立駆動する上下独立した一対のサーボモータ９１、９２と、上記エンドレスベルト８１、８２の近傍に付設されかつ各エンドレスベルトに設けられたマーク（図示せず）を検知して各エンドレスベルトの移動量をそれぞれ検出する光電センサー１１と、上記上側プーリー１０１と下側プーリー１０２の外周面近傍に沿って設けられかつ上端搬送クランプ５群と下端搬送クランプ６群に付帯されたローラー２１、２２（図３および図４参照）が接触するタイミングで上端搬送クランプ５群と下端搬送クランプ６群の各クランプが開放される円弧形状の当て板７を備えている。
【００１５】
そして、上記ワーク１の化学処理槽４搬入時に、上端搬送クランプ５群と下端搬送クランプ６群に付帯されたローラー２１、２２が上記当て板７に押し当てられて各クランプが開放され、かつ、ローラー２１、２２の当て板７との接触が終了して各クランプが閉止するタイミングで、ワーク供給装置２からその幅方向を上下方向にして供給されてきたワーク１の上端および下端を上端搬送クランプ５群と下端搬送クランプ６群とで滑らかにクランプすると共に、上端搬送クランプ５群と下端搬送クランプ６群は独立駆動される一対のエンドレスベルト８１、８２にそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワーク１をクランプしながらその幅方向を上下方向にして化学処理槽４内に搬入させる。
【００１６】
また、化学処理された上記ワーク１の化学処理槽４搬出時には、上端搬送クランプ５群と下端搬送クランプ６群に付帯されたローラー２１、２２が上記当て板７に順次押し当てられて各クランプが開放され、化学処理されたワーク１のみがその幅方向を上下方向にしてワーク巻取装置３のリールに巻き取られる。
【００１７】
尚、上端搬送クランプ５群と下端搬送クランプ６群が取付けられた上側エンドレスベルト８１と下側エンドレスベルト８２は、独立駆動する上下独立したサーボモータ９１、９２とこれ等サーボモータ９１、９２に直結されたゴム被覆の上側プーリー１０１と下側プーリー１０２によって滑り無く回転し、かつ、各エンドレスベルトに設けられた上記マークが光電センサー１１により検出されて各エンドレスベルトの移動量に変換され、この移動量に基づき上下独立したサーボモータ９１、９２により上端搬送クランプ５群と下端搬送クランプ６群の搬送速度が制御されて、上端搬送クランプ５群と下端搬送クランプ６群が同期しながら上記ワーク１を搬送することが可能となる。
【００１８】
ところで、長尺シート状ワーク１の幅寸法に対応させて、上端搬送クランプ５群と下端搬送クランプ６群の間隔を機械的に一定に配置することは機械組立精度上困難である。このため、上端搬送クランプ５群に関しては、図３に示すように上側エンドレスベルト８１に固定して搬送中の基準位置とし、かつ、上端搬送クランプ５群がゴム被覆の上側プーリー１０１位置に搬送されたときには、上側プーリー１０１に設けられた溝１３により位置規制して上側プーリー１０１搬送中の基準位置とする。他方、下端搬送クランプ６群に関しては、図４と図５に示すように下端搬送クランプ６群に長穴１００を開設しかつ下側エンドレスベルト８２の止め具２００を上記長穴１００に嵌入させて下端搬送クランプ６群が鉛直方向へ自由に移動できる構造になっている。そして、下端搬送クランプ６群の自重により上記ワーク１に対し絶えず鉛直方向への力が加わるように構成している。
【００１９】
このような構成を採ることでワーク１搬送時における基準位置が上端搬送クランプ５群により決せられ、かつ、ワーク１幅にならいながらワーク１の搬送を行うことが可能となる。但し、ワーク１が存在しないクランプ開始前の下端搬送クランプ６群に関しては下端搬送クランプ６群の位置を決める必要があるため、図４に示すように下端搬送クランプ６群には専用のベアリング１４が備えられており、下端搬送クランプ６群の位置を決めるための位置決め板１５がクランプ開始前の下端クランプ位置に付帯されている。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本発明に係る化学処理装置によれば、長尺シート状ワークの上端および下端をそれぞれクランプしながら搬送する構成になっており、ワークの幅が広くかつ厚みが極めて薄い場合でもワークの搬送工程あるいは化学処理工程の際にワークタルミが発生し難いため、ワークの幅方向を上下方向にしながら安定して搬送することが可能となる。従って、フレキシブル基板のメッキ等化学処理装置に用いられる産業上の利用可能性を有している。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る化学処理装置の側面図。
【図２】本発明に係る化学処理装置の平面図。
【図３】本発明に係る化学処理装置に組み込まれたワーク搬送装置の上端搬送クランプが開放された状態を示す説明図。
【図４】ワーク搬送装置の下端搬送クランプが開放された状態を示す説明図。
【図５】ワークの上端および下端がワーク搬送装置の上下端搬送クランプにそれぞれクランプされて搬送される状態を示す説明図。
【符号の説明】
【００２２】
１  ワーク
２  ワーク供給装置
３  ワーク巻取装置
４  化学処理槽
５  上端搬送クランプ
６  下端搬送クランプ
７  当て板
１１  光電センサー
１３  溝
１４  ベアリング
１５  位置決め板
２０  ワーク搬送装置
２１  ローラー
２２  ローラー
８１  上側エンドレスベルト
８２  下側エンドレスベルト
９１  サーボモータ
９２  サーボモータ
１００  長穴
１０１  ゴムが被覆された上側プーリー
１０２  ゴムが被覆された下側プーリー
１２１  上側プーリー
１２２  下側プーリー
２００  止め具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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