(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開閉可能な蓋体を上部に有するとともに、所定の大きさの取付孔を底部に有する真空槽と、
該真空槽に部分的に取り付けるために構成された装置であって、前記真空槽内に配置されるべき第１の構成部と、該第１の構成部に連結され、前記真空槽外に配置されるべき第２の構成部と、前記第１の構成部と前記第２の構成部との連結部に前記真空槽の取付孔より小さい大きさで設けられた取付部とを有する装置構成部と、
前記真空槽の取付孔の近傍の所定の部位に前記真空槽の底部の一方の側から係合し且つ当該真空槽の底部の一方の側において着脱自在に取付可能な第１の係合部と、前記真空槽の底部の他方の側から前記装置構成部の取付部と係合し且つ当該真空槽の底部の他方の側において当該装置構成部の取付部が着脱自在に取付可能な第２の係合部とを有する取付アダプタとを備えたことを特徴とする真空装置。
【請求項２】
開閉可能な蓋体を上部に有するとともに、所定の大きさの取付孔を底部に有する真空槽と、
該真空槽内で対象物を移動可能に構成された搬送機構部と、該搬送機構部に連結され、前記搬送機構部を駆動させるための駆動機構部と、前記搬送機構部と前記駆動機構部との連結部分に前記真空槽の取付孔より小さい大きさで設けられた取付部とを有する搬送ロボットと、
前記真空槽の取付孔の近傍の所定の部位に前記真空槽の底部の一方の側から係合し且つ当該真空槽の底部の一方の側において着脱自在に取付可能な第１の係合部と、前記真空槽の底部の他方の側から前記搬送ロボットの取付部と係合し且つ当該真空槽の底部の他方の側において当該搬送ロボットの取付部が着脱自在に取付可能な第２の係合部とを有する取付アダプタとを備えたことを特徴とする真空装置。
【請求項３】
前記取付アダプタは、前記第１の係合部及び前記第２の係合部としての、前記搬送ロボットの取付部の外形に対応して所定の大きさで環状に形成されたプレート部と、前記真空槽の当該所定の部位と前記搬送ロボットの取付部との隙間を埋めることが可能なスペーサ部とから構成されていることを特徴とする請求項２記載の真空装置。
【請求項４】
前記取付アダプタの第１の係合部及び第２の係合部には、それぞれ、所定のねじのねじ部を貫通可能な貫通孔が複数配列されてなる第１の貫通孔列及び第２の貫通孔列が形成されていることを特徴とする請求項２又は３のいずれか１記載の真空装置。
【請求項５】
前記取付アダプタには、シール部材が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の真空装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空槽に取り付けるべき装置構成部として特に搬送ロボットを着脱可能に構成した真空装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、真空装置のうちの特定の真空槽には、例えば成膜やエッチングの対象物である基板等を搬送するための搬送ロボットが設けらている。この種の搬送ロボットは、例えば、基板を把持可能なアーム部材を備えた搬送機構部と、この搬送機構部を駆動させる駆動機構部とから構成されている。また、搬送機構部と駆動機構部とが連結した部分の外周には、フランジ状の取付部が設けられている。一方、真空槽の底部には、搬送ロボットの取付部より小さな取付孔が設けられている。
【０００３】
従来、このような搬送ロボットは、真空槽の上側から取り付ける場合と、真空槽の下側から取り付ける場合とがある。例えば、搬送ロボットを真空槽の上側から取り付ける場合には、駆動機構部を真空槽の取付孔に挿入し、また、搬送ロボットを真空槽の下側から取り付ける場合には、搬送機構部を真空槽の取付孔に挿入し、そして、それぞれの場合において、搬送ロボットの取付部を真空槽の取付孔の縁部分に対して合わせた状態で双方をボルトなどを用いて固定している。これにより、搬送ロボットは、上側部分の搬送機構部が真空槽内に配置される一方で、下側部分の駆動機構部が真空槽の下側に配置されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような従来の真空装置においては、搬送ロボットをメインテナンスのため定期的に真空槽から取り外す必要があるが、その際に真空槽の設置状況によっては、真空槽の上側又は下側に搬送ロボットを移動させるための空間を確保できないことがある。
【０００５】
そのため、上側から固定した搬送ロボットを引き上げる空間の大きさが十分にない場合、真空槽自体を広い空間のある場所に移動しなければならず、そのような取り外し作業に手間がかかるという問題があった。また、下側から固定した搬送ロボットを取り外す場合においても真空槽の下側に設置された種々の障害物を除去しなければならず、上記同様取り外し作業に手間がかかるという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、真空槽自体の設置状況によらず搬送ロボットの取り外し作業を容易に行うことが可能な真空装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためになされた請求項１記載の発明は、開閉可能な蓋体を上部に有するとともに、所定の大きさの取付孔を底部に有する真空槽と、該真空槽に部分的に取り付けるために構成された装置であって、前記真空槽内に配置されるべき第１の構成部と、該第１の構成部に連結され、前記真空槽外に配置されるべき第２の構成部と、前記第１の構成部と前記第２の構成部との連結部に前記真空槽の取付孔より小さい大きさで設けられた取付部とを有する装置構成部と、前記真空槽の取付孔の近傍の所定の部位に前記真空槽の底部の一方の側から係合し且つ当該真空槽の底部の一方の側において着脱自在に取付可能な第１の係合部と、前記真空槽の底部の他方の側から前記装置構成部の取付部と係合し且つ当該真空槽の底部の他方の側において当該装置構成部の取付部が着脱自在に取付可能な第２の係合部とを有する取付アダプタとを備えたことを特徴とする真空装置である。
【０００８】
請求項１記載の発明の場合、開閉可能な蓋体を上部に有するとともに、取付アダプタが、装置構成部の取付部に対し第２の係合部が真空槽の底部の他方の側（例えば下側）から係合し且つ着脱自在に取付可能であって、さらに、第１の係合部が真空槽の底部の一方の側である上側から係合し且つ装置構成部の取付部が着脱自在に取付可能であることから、取付アダプタを真空槽から取り外すことにより、取付アダプタを取り付けたままの装置構成部を蓋体を開いて真空槽の上側から抜くことができるとともに、装置構成部の取付部を取付アダプタから取り外すことにより、装置構成部のみを真空槽の下側から抜くことができる。
【０００９】
その結果、装置構成部を真空槽の上側又は下側のいずれからでも取り外せることができるため、真空槽自体の設置状況によらず装置構成部の取り外し作業を容易に行うことができる。
【００１０】
一方、請求項２記載の発明は、開閉可能な蓋体を上部に有するとともに、所定の大きさの取付孔を底部に有する真空槽と、該真空槽内で対象物を移動可能に構成された搬送機構部と、該搬送機構部に連結され、前記搬送機構部を駆動させるための駆動機構部と、前記搬送機構部と前記駆動機構部との連結部分に前記真空槽の取付孔より小さい大きさで設けられた取付部とを有する搬送ロボットと、前記真空槽の取付孔の近傍の所定の部位に前記真空槽の底部の一方の側から係合し且つ当該真空槽の底部の一方の側において着脱自在に取付可能な第１の係合部と、前記真空槽の底部の他方の側から前記搬送ロボットの取付部と係合し且つ当該真空槽の底部の他方の側において当該搬送ロボットの取付部が着脱自在に取付可能な第２の係合部とを有する取付アダプタとを備えたことを特徴とする真空装置である。
【００１１】
請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の発明において装置構成部を搬送ロボットとした場合と同様に、真空槽自体の設置状況によらず搬送ロボットの取り外し作業を容易に行うことができる。
【００１２】
また、請求項３記載の発明のように、請求項２記載の発明において、取付アダプタは、第１の係合部及び第２の係合部としての、搬送ロボットの取付部の外形に対応して所定の大きさで環状に形成されたプレート部と、真空槽の当該所定の部位と搬送ロボットの取付部との隙間を埋めることが可能なスペーサ部とから構成されていることも効果的である。
【００１３】
請求項３記載の発明によれば、真空槽の上側から真空槽に係合するとともに搬送ロボットを真空槽の下側から支持できるような取付アダプタの形状を、必要最小の大きさの形状にすることができる。
【００１４】
さらに、請求項４記載の発明のように、請求項２又は３のいずれか１項記載の発明において、取付アダプタの第１の係合部及び第２の係合部には、それぞれ、所定のねじのねじ部を貫通可能な貫通孔が複数配列されてなる第１の貫通孔列及び第２の貫通孔列が形成されていることも効果的である。
【００１５】
請求項４記載の発明の場合、取付アダプタの第１の貫通孔列及び第２の貫通孔列に対応して真空槽の当該所定の部位及び搬送ロボットの取付部にそれぞれ第１の雌ねじ群及び第２の雌ねじ群を形成すれば、これらに対応する第１のボルト群及び第２のボルト群をすべて同じ側から締結することができるため、ボルトの取り外しの際にドライバ等の工具を一方向から用いることができ、その結果このような取り外しの作業性が向上するという利点がある。
【００１６】
さらにまた、請求項５記載の発明において、請求項１〜４のいずれか１項記載の発明において、取付アダプタには、シール部材が設けられていることも効果的である。
【００１７】
請求項５記載の発明によれば、取付アダプタにシール部材を設けたことから、このような取付アダプタを真空槽と搬送ロボットとの間に介在させても、真空槽の気密性を損なうことはない。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る真空処理装置の好ましい実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本実施の形態の真空装置の概略構成を示す図である。図２は、同真空装置の取付アダプタの要部を示す図である。
【００１９】
図１に示すように、本実施の形態の真空装置１は、例えば基板Ｍに対して成膜処理やエッチング処理等の真空処理を行うことが可能な複数の真空処理槽４と、各真空処理槽４に基板Ｍを搬送する際に中継となる搬送室としての真空槽２を有している。この真空槽２は、各真空処理槽４とゲートバルブ５を介して接続されるとともに、これらの真空処理槽４とともに図示しない真空排気系に接続されている。
【００２０】
本実施の形態の場合、真空槽２は、所定の長さの脚部材３によって支持されることによって地上から所定の高さに設置されるようになっている。
真空槽２の上部には、天板６が設けられており、この天板６は、ヒンジ７を中心に回動して開閉できるように構成されている。
【００２１】
真空槽２の底部には、搬送ロボット（装置構成部）１０が取り付けられるようになっている。この搬送ロボット１０は、所定の大きさの本体ケース部１１を有しており、本体ケース部１１の上側中央部には、基板Ｍを移動させるための搬送機構部（第１の構成部）１２が設けられている。この搬送機構部１２は、センタ駆動軸１３に連結されたアーム部材１４が所定の方向に所定の距離だけ移動するように構成されている。
【００２２】
本体ケース部１１内には、搬送機構部１２を駆動させるための駆動機構部（第２の構成部、詳細は図示しない）１５が設けられている。この駆動機構部１５は、所定の動力をセンタ駆動軸１３に伝達させるように構成されている。本体ケース部１１の上側部分には、その外周部分より張り出した連結フランジ部１６が形成されている。
【００２３】
一方、真空槽２の底部には、搬送ロボット１０の連結フランジ部１６の外形に対応してそれより所定量だけ大きい取付孔２１が形成されている。
この取付孔２１の内周部分には、図２に示すように、上段部分２２と下段部分２３とからなる段差状の受部２４が形成されている。さらに、この受部２４の下段部分２３は、上段部分２２より取付孔２１側に張り出して、取付孔２１内に配置される搬送ロボット１０の連結フランジ部１６に対して所定の間隔をおくように形成されている。
そして、図１に示すように、本実施の形態の場合、以下に説明する取付アダプタ３０によって搬送ロボット１０が真空槽２に取り付けられるようになっている。
【００２４】
図２に示すように、この取付アダプタ３０は、所定の大きさで環状に形成されたプレート部３１を有している。ここで、プレート部３１は、搬送ロボット１０の本体ケース部１１の形状に応じて形成される。例えば、本体ケース部１１が円筒形又は四角柱である場合には、それぞれに対応して、連結フランジ部１６と同様にプレート部３１も、円形のリング状又は四角形の枠状になる。
【００２５】
また、プレート部３１の大きさについては、その外形が真空槽２の上段部分２２の内側面の間隔より小さく、プレート部３１の幅が真空槽２の下段部分２３と搬送ロボット１０の連結フランジ部１６との間隔より大きくなるように形成されている。
【００２６】
このようなプレート部３１の下方配置側の部位には、プレート部３１に応じてリング状又は四角形枠状のスペーサ部３２が突出形成されている。また、スペーサ部３２の厚さは、真空槽２の下段部分２３の内側面と搬送ロボット１０の連結フランジ部１６の外周面との間隔より若干小さく設定されている。
【００２７】
そして、このような構成により、取付アダプタ３０のスペーサ部３２を境にして、プレート部３１の外側の部分には、真空槽２の受部２４のうち下段部分２３に真空槽２の上側から係合可能な第１の係合部３１ａが形成される一方で、プレート部３１の内側の部分には、搬送ロボット１０の連結フランジ部１６が真空槽２の下側から係合可能な第２の係合部３１ｂが形成されるようになっている。
【００２８】
プレート部３１の第１の係合部３１ａには、本実施の形態で用いられるボルト（３４ａ、３４ｂ）のねじ部の外形より大きい貫通孔が所定の間隔ごとに複数配列されてなる第１の貫通孔列３３ａが形成されており、第２の係合部３１ｂにも、同様の第２の貫通孔列３３ｂが形成されている。
【００２９】
一方、真空槽２の下段部分２３には、取付アダプタ３０の第１の貫通孔列３３ａにはめられるべき第１のボルト群３４ａのねじピッチに対応して第１の雌ねじ群３５ａが形成されている。また、搬送ロボット１０の連結フランジ部１６にも、同様に、取付アダプタ３０の第２の貫通孔列３３ｂにはめられるべき第２のボルト群３４ｂのねじピッチに対応して第２の雌ねじ群３５ｂが形成されている。
【００３０】
また、取付アダプタ３０は、真空槽２の気密性を保つため、環状のシール部材４０とともに真空槽２に取り付けられるようになっている。このシール部材４０は、スペーサ部３２の根元部分の周囲であってプレート部３１の下面に配置される。
【００３１】
そして、図１に示すように、取付アダプタ３０は、この第２の係合部３１ｂが搬送ロボット１０の連結フランジ部１６に当接した状態で双方が第２のボルト群３４ｂによって締結されることにより、搬送ロボット１０に取り付けられる。
【００３２】
さらに、搬送ロボット１０が取り付けられた取付アダプタ３０は、この第１の係合部３１ａが真空槽２の下段部分２３に支持された状態で双方が第１のボルト群３４ａによって締結されることにより、真空槽２に取り付けられる。
【００３３】
このように真空槽２に取り付けられた搬送ロボット１０のうち、搬送機構部１２は、真空槽２内に配置される一方で、駆動機構部１５は、真空槽２の下側に配置されるようになっている。また、搬送ロボット１０は、その下面が地上より所定の高さ分だけ高くなるように設置され、その下側に受台４１が配置されている。
【００３４】
図３は、同真空装置の搬送ロボットについて上側から取り外す動作を示す図である。図４は、同真空装置の搬送ロボットについて下側から取り外す動作を示す図である。
【００３５】
本実施の形態において、図３に示すように、搬送ロボット１０をメインテナンスのため真空槽２から取り外す際に真空槽２の設置状況によって真空槽２の下側に搬送ロボット１０を引き出すための空間を十分に確保できず、真空槽２の上側から搬送ロボット１０を引き出す場合、真空槽２の天板６を開けて取付アダプタ３０の第１の係合部３１ａと真空槽２の下段部分２３とを固定している第１のボルト群３４ａをすべて外す。
【００３６】
これにより、取付アダプタ３０を取り付けたままの搬送ロボット１０を、真空槽２の上側から抜くことができるため、例えばクレーン（図示せず）を用いて引き上げることによって真空槽２から取り外す。
【００３７】
一方、図４に示すように、真空槽２の上側に搬送ロボット１０を引き出すための空間を十分に確保できず、真空槽２の下側から搬送ロボット１０を引き出す場合、真空槽２の天板６を開けて取付アダプタ３０の第２の係合部３１ｂと搬送ロボット１０の連結フランジ部１６とを固定している第２のボルト群３４ｂをすべて外す。
【００３８】
これにより、取付アダプタ３０を真空槽２に取り付けたままにして、搬送ロボット１０のみを、真空槽２の下側から抜くことができるため、真空槽２から取り外して受台４１上に載置する。
【００３９】
以上述べたように本実施の形態によれば、搬送ロボット１０を下側から抜ける状態で取り付けた取付アダプタ３０を、真空槽２に上側から抜ける状態で取り付けることによって、このような搬送ロボット１０を真空槽２の上側又は下側のいずれからでも取り外せるようにしたことから、真空槽２自体の設置状況によらず搬送ロボット１０の取り外し作業を容易に行うことができる。
【００４０】
一方、上述のことは、裏を返せば、真空槽２自体の設置状況によらず搬送ロボット１０の取り付け作業を真空槽２の上側又は下側のいずれからでも行うことができることにつながる。
【００４１】
また、本実施の形態によれば、取付アダプタ３０に第１の貫通孔列３３ａ及び第２の貫通孔列３３ｂを形成し、これらに対応して真空槽２の下段部分２３及び搬送ロボット１０の連結フランジ部１６にそれぞれ第１の雌ねじ群３５ａ及び第２の雌ねじ群３５ｂを形成したことから、第１のボルト群３４ａ及び第２のボルト群３４ｂのヘッド部分をすべて同じ側に配列できるため、ボルトの取り外しの際にドライバ等の工具を一方向から用いることができ、その結果このような取り外しの作業性が向上するという利点がある。
【００４２】
さらに、本実施の形態によれば、取付アダプタ３０にシール部材４０を設けたことから、このような取付アダプタ３０を真空槽２と搬送ロボット１０との間に介在させても、真空槽２の気密性を損なうことはない。
【００４３】
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上記実施の形態においては、真空槽２に取り付けられるべき装置構成部の一例として搬送ロボット１０を挙げたが、本発明はこれに限られることなく、真空槽２内に配置されるべき構成部分と、真空槽２外に配置されるべき構成部分とからなるものに適用することができる。
【００４４】
また、上記実施の形態においては、取付アダプタ３０を取り付けた状態の搬送ロボット１０を真空槽２の上側から抜けるようにしたが、本発明は、真空槽２の上段部分２２及び下段部分２３、並びに、取付アダプタ３０の連結フランジ部１６及びスペーサ部３２の上下関係を逆にすることによって、取付アダプタ３０を取り付けた状態の搬送ロボット１０を真空槽２の下側から抜けるようにし、搬送ロボット１０のみを真空槽２の上側から抜けるようにすることもできる。
【００４５】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、真空槽自体の設置状況によらず搬送ロボットの取り外し作業を容易に行うことが可能な真空装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態の真空装置の概略構成を示す図である。
【図２】同真空装置の取付アダプタの要部を示す図である。
【図３】同真空装置の搬送ロボットについて上側から取り外す動作を示す図である。
【図４】同真空装置の搬送ロボットについて下側から取り外す動作を示す図である。
【符号の説明】
２…真空槽  ６…天板（蓋体）  １０…搬送ロボット（装置構成部）  １２…搬送機構部（第１の構成部）  １５…駆動機構部（第２の構成部）  １６…連結フランジ部（取付部）  ２１…取付孔  ３０…取付アダプタ  ３１…プレート部  ３１ａ…第１の係合部  ３１ｂ…第２の係合部  ３２…スペーサ部  ３３ａ…第１の貫通孔列  ３３ｂ…第２の貫通孔列  ４０…シール部材
【図１】
0004906999.tif 000002
【図２】
0004906999.tif 000003
【図３】
0004906999.tif 000004
【図４】
0004906999.tif 000005