(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定処理が行われる表面及び／又は裏面を有する矩形の板部材を保持する保持機構であって、
前記板部材の対向する側面を夫々押圧して該板部材を挟持する、接近離間可能な一対の押圧手段を有し、
前記押圧手段は、
前記板部材の周縁の一部を載置する載置部と、
前記載置部に載設されるとともに前記板部材の側面に接触する接触部と、
前記板部材の周縁が載置部に載置され、前記板部材の側面が接触部に接触された場合に、該板部材を該載置部に圧接する圧接部を備え、
前記圧接部は、前記押圧手段の移動と独立して、前記押圧手段の近接離間方向と同じ方向に移動することを特徴とする保持機構。
【請求項２】
前記接触部は、該圧接部を前記接触部内部に収容する厚みを有するとともに、該圧接部が前記接近離間方向に移動可能とする通路孔を有していることを特徴とする請求項１記載の保持機構。
【請求項３】
前記押圧手段は、平面視における前記板部材の一つの角部を挟む二側面を夫々押圧する第一及び第二押圧部を有し、
前記第一及び第二押圧部は、夫々圧接部と該圧接部に応じる通路孔を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の保持機構。
【請求項４】
前記圧接部は、棒状の形状に形成され、
前記圧接部の先端は、前記載置部側に傾斜面が対向して配置されるテーパ形状に形成されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の保持機構。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかに記載される保持機構と、
前記板部材の表面及び／又は裏面に所定処理を施す処理手段を有し、
前記処理手段は、前記板部材の表裏面に対して直角方向の延長線上に配置され、
前記保持機構は、前記直角方向に対して直角を有する延長線上に配置されていることを特徴とする保持機構を具備する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持機構及び保持機構を具備する装置に関し、より詳しくは、例えば、被検査対象となる基板などの板部材を保持して検査や所望の加工を行う場合に、この板部材を安定して保持することのできる保持機構及び保持機構を具備する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板に形成される配線の良品／不良品を検査するための基板検査装置は、搬送テーブル上に検査対象となる基板が載置され、搬送テーブルにより検査位置に搬送され、検査位置で検査が実施されるように形成されている。このような検査位置での検査方法は、基板の表面・裏面に所定の多針状の検査治具を押圧して検査が実施されていた。
【０００３】
このような多針状の検査治具で行われる検査では、多針状の検査治具を基板に押圧して行われるため、基板を固定して保持する必要があった。
このように基板を保持する技術として、例えば、特許文献１に開示される技術では、基板の各周側面を押圧する複数の部材を設け、これらの部材で基板を押圧することによって、基板を保持している。
この特許文献１に開示される技術では、基板を確実に且つ安定的に保持するために、位置決めを行い、位置決めが行われた基板を真空吸着により固着している。
【０００４】
このように、真空吸着により基板を固定する技術では、検査面側（表面）の反対面側（裏面）に吸着機構を設けている。このため、基板の表面に形成される配線に対して、多針状の検査治具や探針の検査治具（基板上の所望の検査点に接触させるべく移動可能なプローブ（フライングプローブ））を配置することができない問題点を有している。
【０００５】
このような問題点を解決するために、特許文献２で開示されるような保持機構の技術が提案されている。この特許文献２に開示される技術では、基板の表面と裏面の両方面に検査治具を押圧することができるように、基板の対向側面を挟み込むようにして保持する機構が開示されている。
この機構は、基板の角部を挟む二辺を夫々押圧する押圧部を対角に一組配置して、夫々の押圧部を接近又は遠隔させることにより、基板を挟持している。
このように対向する一組の押圧部を設けて基板を挟持すると、基板の表面上方と裏面下方の空間を利用することができ、これらの空間に検査治具を配置することができるようになる。
【０００６】
【特許文献１】特開平５−２２６２１４号公報
【特許文献２】特開平１０−３１９０７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような基板保持機構では、多針状の検査治具のように、基板の表面に対して平面的に当接する検査治具を用いる場合には、検査治具の押圧により基板が多少傾いて位置ズレを起こす場合は少ない。しかし、フライングプローブのように所定の検査点毎に対してプローブが押圧される場合には、そのフライングプローブの押圧により、基板を挟持する一組の押圧部を結ぶ直線軸を回転の中心軸として、基板が回転して位置ズレを起こす場合があった。
これは、フライングプローブを検査治具として利用する場合には、基板に対して略垂直方向から基板を点で押圧することになり、基板が押圧部による中心軸に沿って回動してしまう問題を有していた。
特に、近年では基板に形成される配線がファイン化されており、基板の僅かな位置ズレにより所定の検査点がずれてしまい、検査を正確に行うことができなくなることがあった。
【０００８】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、基板のような板部材を保持する場合に、探針のフライングプローブのような検査治具や所定処理を施すための処理治具（処理手段）を用いる場合であっても、上記の如き位置ズレの問題を発生させないで、安定的に且つ確実に板部材を保持することのできる保持機構を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の発明は、所定処理が行われる表面及び／又は裏面を有する矩形の板部材を保持する保持機構であって、前記板部材の対向する側面を夫々押圧して該板部材を挟持する、接近離間可能な一対の押圧手段を有し、前記押圧手段は、前記板部材の周縁の一部を載置する載置部と、前記載置部に載設されるとともに前記板部材の側面に接触する接触部と、前記板部材の周縁が載置部に載置され、前記板部材の側面が接触部に接触された場合に、該板部材を該載置部に圧接する圧接部を備え、前記圧接部は、前記押圧手段の移動と独立して、前記押圧手段の近接離間方向と同じ方向に移動することを特徴とする保持機構を提供する。
請求項２記載の発明は、前記接触部は、該圧接部を前記接触部内部に収容する厚みを有するとともに、該圧接部が前記接近離間方向に移動可能とする通路孔を有していることを特徴とする請求項１記載の保持機構を提供する。
請求項３記載の発明は、前記押圧手段は、平面視における前記板部材の一つの角部を挟む二側面を夫々押圧する第一及び第二押圧部を有し、前記第一及び第二押圧部は、夫々圧接部と該圧接部に応じる通路孔を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の保持機構を提供する。
請求項４記載の発明は、前記圧接部は、棒状の形状に形成され、前記圧接部の先端は、前記載置部側に傾斜面が対向して配置されるテーパ形状に形成されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の保持機構を提供する。
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４いずれかに記載される保持機構と、前記板部材の表面及び／又は裏面に所定処理を施す処理手段を有し、前記処理手段は、前記板部材の表裏面に対して直角方向の延長線上に配置され、前記保持機構は、前記直角方向に対して直角を有する延長線上に配置されていることを特徴とする保持機構を具備する装置を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の発明によれば、板部材に所定処理を行うために、この板部材を保持する保持機構が、板部材の対向する側面を夫々押圧して該板部材を挟持する、接近離間可能な一対の押圧手段を有しており、さらに、この押圧手段が、板部材の周縁の一部を載置する載置部と、板部材の側面に接触する接触部と、板部材を該載置部位に圧接する圧接部を備えてなり、圧接部が、押圧手段の移動と独立して、前記押圧手段の近接離間方向と同じ方向に移動するので、複雑な部材を用いることなく、また、板部材の表裏面直角方向の空間を利用することなく、板部材を保持することができる。
【００１１】
請求項２記載の発明によれば、この接触部は、圧接部を接触部内部に収容するとともに、圧接部が接近離間方向に移動可能とする通路孔を有しているので、圧接部が接触部の通路孔に収容されて、近接離間方向に移動が可能となる。このため、板部材を近接離間方向に移動させて、板部材を圧接することができる。
【００１２】
請求項３記載の発明によれば、押圧手段が、平面視における前記板部材の一つの角部を挟む二側面を夫々押圧する第一及び第二押圧部を有し、第一及び第二押圧部が、夫々圧接部と該圧接部に応じる通路孔を有しているので、板部材を四点で圧接できる。このため、板部材を安定的に保持することができる。
特に、板部材が正方形の形状を有する部材であれば、圧接部が点対称の位置において板部材を圧接することになるので、極めて安定して保持することができる。
【００１３】
請求項４記載の発明によれば、圧接部が棒状の形状に形成され、圧接部の先端が載置部側に傾斜面が対向して配置されるテーパ形状に形成されているので、圧接部の近接離間移動により、板部材を圧接することができる。
【００１４】
請求項５記載の発明によれば、請求項１乃至４いずれかに記載される保持機構と、板部材の表面及び／又は裏面に所定処理を施す処理手段を有し、処理手段が板部材の表裏面に対して直角方向の延長線上に配置され、保持機構が直角方向に対して直角を有する延長線上に配置されているので、板部材を保持する保持機構が板部材の平面方向に、板部材に所定処理を施す処理手段が板部材の直角方向に配置されることになるので、板部材を処理する処理装置の内部空間を極めて効果的に利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
本発明は、上記の如き基板を保持対象としているが、このような検査対象となる基板に限定されず、板形状の部材で、その表裏面に対して検査や加工などの所定の処理を行う必要があり、これらの処理を行うための処理治具を板部材の各表裏面上に配置しなければならない場合においても利用することができる。
尚、本発明の説明では、本発明を適用する板部材を、上記する基板としているが、これは板部材が基板に限定されるものではない。また、このような基板としては、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や半導体ウェハなどを例示することができる。
【００１６】
図１は、本発明にかかる保持機構を示す平面図である。
この図１で示される一実施形態の保持機構１では、装置（図示せず）内部に固定されるための支持部２の端部に設けられている。この支持部２は、装置内部にある回転軸（図示せず）に固着させるための切欠部２１を有している。この切欠部２１を回転軸に固定することで、回転軸を回転させることにより、この支持部２が回転移動することになる。また、このような回転軸を設け、切欠部２１を有する支持部２を所定間隔で複数設けることにより、回転軸を所定間隔（所定回転角）回転させることによって、連続して板部材に所定処理を行うことができる。
【００１７】
保持機構１は、一対の押圧手段３を有する一定の厚みを有する板状に形成されている。この一対の押圧手段３は、板部材の対向する側面を夫々押圧して、この板部材を挟持するために、接近離間可能に設けられている。図１で示される保持機構１では、一対の押圧手段３として左押圧手段３１と右押圧手段３２を有してなる（左押圧手段と右押圧手段の左右は、図１の紙面に向かって左側と右側として説明する）。
この左押圧手段３１と右押圧手段３２は、一直線上に対向するように配置されており、左押圧手段３１と右押圧手段３２は、この直線上を接近離間可能に移動する。このため、左押圧手段３１と右押圧手段３２の間に板部材が配置された後、左押圧手段３１と右押圧手段３２が近接するように移動することによって、板部材を挟持することになる。
【００１８】
左押圧手段３１と右押圧手段３２は、同じ形状の部材を対向して配置されている。この左押圧手段３１（及び右押圧手段３２）は、少なくとも板部材の側面を押圧することができる部位を有している必要があるが、図１で示す如く、第一押圧部３１１と第二押圧部３１２を有している。この第一押圧部３１１と第二押圧部３１２は、板部材の一つの角部を挟むように形成されている。例えば、図１で示される一実施形態では、板部材の角部が第一押圧部３１１と第二押圧部３１２の間に配置され、板部材の角部に隣接する一方の側面を第一押圧部３１１が接触して押圧することになり、板部材の角部に隣接する他方の側面を第二押圧部３１２が接触して押圧することになる。
このため、第一押圧部３１１と第二押圧部３１２は、板部材の角部と同じ角度を形成して配置されていることになり、板部材が正方形の部材である場合には、90度に配置されるように形成される。
なお、図１で示される如く、第一押圧部３１１と第二押圧部３１２は、互いに接触しないように空間３１３を有してなる。この空間３１３を有することによって、板部材を第一及び第二押圧部が接触して押圧する場合に、板部材と押圧部との遊びを持たせることができ、板部材の側面の直線性が低くても、位置ズレを起こすことなく安定的に押圧することができる。
【００１９】
図２（ａ）は、押圧部を示す拡大平面図であり、図２（ｂ）は、（ａ）で示されるＡ−Ａ線断面図である。
第一押圧部３１１は、載置部４と、接触部５と、圧接部６と、通路孔７と位置決め部８を有している。
載置部４は、板部材の周縁の一部を載置する。第一押圧部３１１の載置部４が、板部材を挟持するまで一時的に保持していることになる。この載置部４は、できるだけ少ない面積に形成されることが好ましく、板部材の裏側（載置部４の表面と接触する板部材の表面）と接触する面積を少なくすることで、板部材の裏側の表面積を大きくし、所定処理を行い安くすることができる。
なお、この載置部４が、第一と第二押圧手段の夫々の第一と第二押圧部に設けられることになり、板部材の周縁（板部材が四角形の場合は周囲四辺）を保持することになる。
【００２０】
接触部５は、載置部４に載設されるとともに板部材の側面に接触する。図２で示される接触部５では、載置部４の紙面上部に当接して設けられている。この接触部５が、押圧手段３が接近移動する場合に、板部材を押圧する部位となる。
【００２１】
圧接部６は、板部材の周縁が載置部４に載置された後、押圧手段３が接近移動して板部材の側面が接触部５に接触された場合に、板部材を載置部４に圧接する。また、この圧接部６は、押圧手段３の移動と独立して、押圧手段３の近接離間方向と同じ方向に移動する。このため、圧接部６が近接離間方向と同方向に移動することになり、板部材の表裏面に所定処理を施す処理手段（検査治具や加工治具）を配置することができる。
【００２２】
図１及び図２で示される圧接部６の一実施形態について説明する。この一実施形態では、圧接部６が棒状の形状に形成されるとともに、圧接部６の先端が載置部４と対向するテーパ形状となる傾斜面６１を有して形成される。
また、この圧接部６は、押圧部３１１（又は３１２）の内部に収容されるように、押圧部３１１には接近離間方向に沿って形成され、圧接部６を収容する通路孔７が形成されている。
図２では、載置部４と接触部５の間にこの通路孔７が形成されていることが示されており、特に、図２（ｂ）では、載置部４、通路孔７と接触部５がこの順番で多層構造になっていることが示されている。
【００２３】
この圧接部６は、通路孔７の内部を接近離間方向に摺動するよう形成されており、圧接部６の先端一部（傾斜面６１）が通路孔７から突出するように形成されている。この圧接部６の突出は、板部材１０が接触部５に挟持された後に行われる。このため、押圧手段により押圧部が接近させられて、接触部５により板部材１０が挟持された後に、さらに、圧接部６が通路孔７から突出し、この傾斜面６１が板部材１０に当接することになる（図３参照）。
このとき、圧接部６の傾斜面６１は、載置部４に対向して傾斜されているので、接近方向に移動させられて生じる接近方向に向く力（Ｂ）が、板部材に当接して載置部４方向へ向く力（Ｃ）へと変更されることになる。つまり、この傾斜面６１を有しているため、圧接部６が板部材に接近方向に当接することにより、板部材１０を載置部４に圧接することになる。
なお、通路孔７は、圧接部７の断面と同じ形状に形成されることにより、できるだけ接触部５が有する板部材との接触面積を大きくしている。
【００２４】
この通路孔７が設けられる位置は、特に限定されるものではないが、板部材の側面の中央位置に当接するように形成されることが好ましい。通路孔７が板部材の側面の中央位置に当接するように形成されることにより、板部材の側面の略中央近傍で、載置部４に圧接することが可能となり、より安定的に保持することが可能になるからである。
なお、板部材の大きさに応じて、押圧手段の大きさを変更することが好ましい。
【００２５】
載置部４と接触部５の板部材が当接する当接面は、一体型の湾曲形状に形成することもできる。載置部４と接触部５の当接面が一体型の湾曲形状に形成されることによって、板部材を湾曲面で載置することができるとともに接触することができるようになる。
【００２６】
位置決め部８は、板部材の大きさに応じて、圧接部６の他端を保持する。この位置決め部８は、板部材の大きさに応じて押圧部の大きさを変更することができ、その変更に応じて、圧接部６の位置が相違するので、この位置の相違に応じて圧接部６を保持することができる。
このような位置決め部８は、所定間隔で圧接部６を固定する溝を複数設けたり、スライド式の固定具を設置して、圧接部６の位置に応じてこの固定具をスライドさせたりして固定することができる。
【００２７】
本発明の押圧手段３と圧接部６は、接近離間方向が同一方向であるため、押圧手段３と圧接部６の駆動を一つの駆動機構９で行うことができる。この駆動機構９は、特に限定されるものではなく、二つの駆動部（押圧手段３と圧接部６）を駆動させることができるように機構を設けておき、夫々の動作を制御することのできる制御機構を設けることにより実現することができる。
特に、圧接部６が板部材を載置部４に圧接して固定することができるようになるので、一方向（押圧手段の接近離間方向）のみの駆動機構であるにもかかわらず、板部材を挟持するとともに、載置部４へ圧接させる一方向と直角方向の物理的力を発生させることが可能となり、極めて安定的に保持することが可能となる。
また、圧接部６が各押圧部に夫々離間して配置されることになるので、板部材を各押圧部から圧接することができるので、板部材に対して均一的な押圧を可能にし、さらなる安定的な保持を可能にしている。
以上が本発明にかかる保持機構の説明である。
【００２８】
本発明の保持機構を利用することによって、所定処理が行われる表面及び／又は裏面を有する矩形の板部材を保持して、処理を施す装置では、板部材の処理が施される表裏面に対して直角方向の延長線上に、処理手段を配置することができるようになる。これは、上記の如く、板部材を保持する保持機構が板部材の該直角方向に対して直角の平面方向の延長線上に配置されるためである。このように処理手段と保持機構を夫々所定の空間に配置することが可能となるので、装置内部の空間を極めて効果的に利用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明は、所定処理が行われる表裏面を有する板部材の保持機構を提供し、特に、板部材でも基板のような電気的特性の検査が行われる部材に対して効果的に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明にかかる一実施形態の平面図である。
【図２】本発明にかかる押圧部の一実施形態を示し、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は断面図である。
【図３】板部材が載置され、圧接部により圧接される様子を示す概略断面図であり、（ａ）板部材載置前、（ｂ）板部材載置後の圧接部の圧接状態を示している。
【符号の説明】
【００３１】
１・・・保持機構
１０・・板部材
３・・・押圧手段
３１・・押圧部
４・・・載置部
５・・・接触部
６・・・圧接部
７・・・通路孔
【図１】
0004999172.tif 000002
【図２】
0004999172.tif 000003
【図３】
0004999172.tif 000004