(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる種類の作業を行う複数のモジュールを有し、該複数のモジュールのうち少なくとも２つのモジュールが夫々選択的な動作条件を有する樹脂封止装置であって、
前記選択的な動作条件を有する少なくとも２つのモジュール夫々に相当するアイコン、および、当該アイコンに相当する前記モジュールが有する前記動作条件の両方を表示可能な単一のモニタ画面と、
前記モニタ画面に表示される前記アイコンを選択可能な選択手段と、を備え、
該選択手段により前記アイコンを選択することにより、対応する前記動作条件が対応関係を保ちつつ表示される
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記モニタ画面が、第１のモジュールにおいて選択されている前記動作条件と、第２のモジュールにおいて選択されている前記動作条件とが両立不可能状態であるときにその旨を表示する
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記選択手段によって、前記モニタ画面に表示されている特定のアイコンを選択することにより、対応する動作条件表示に切り替わる
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項４】
請求項１または２において、
前記モニタ画面が、前記選択手段によって選択したアイコン、および、当該アイコンに対応する前記動作条件のみを同時に表示可能である
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項５】
請求項１または２において、
前記選択手段によって、前記モニタ画面に表示されている特定のアイコンを選択することにより、対応する動作条件が追加的に表示される
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかにおいて、
前記モニタ画面には、特定の前記モジュールが選択できる動作条件の全てを表示可能であり、
前記モニタ画面に表示される前記動作条件のいずれかを選択可能な条件選択手段を備え、
該条件選択手段によって当該動作条件のいずれかを選択することにより、前記モジュールの現実の前記動作条件を変更可能である
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかにおいて、
前記モニタ画面における前記アイコンが、前記モジュールの現実の配置に対応して配置・表示されている
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップを搭載した被成形品を樹脂にて封止する樹脂封止の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、樹脂封止装置に対する市場の要望は、多様化するとともにその程度も益々高いものとなっている。例えばその１つに、更なる「生産性向上」というものが存在する。生産性を向上させるには種々のアプローチが考えられ、例えば、金型そのものを大きくして一度に樹脂封止できる量を向上させたり、装置自体の動作を早くして単位時間当たりの生産量を向上させる等のアプローチがある。また、装置内に複数の金型を備えた所謂マルチプレス型の樹脂封止装置によって生産性を向上させるというアプローチもある。ここでいう「マルチプレス」とは、１つの装置内に複数の金型を備え、それ以外の材料供給機構や搬送機構などが共用されている樹脂封止装置のことを意味している。
【０００３】
このマルチプレス型の樹脂封止装置として、例えば特許文献１に記載される樹脂封止装置が公知である。この樹脂封止装置では、金型がユニット単位で増設可能に構成されており、必要に応じて金型ユニットを増減させることが可能とされている。またこの樹脂封止装置は、樹脂封止前の被成形品（リードフレーム等）を金型へと搬送するローダ（搬送機構）を備え、このローダが被成形品を複数の金型へと順次搬送している。金型に搬送された被成形品は、金型によってクランプされ、樹脂にて封止される。その後、樹脂封止後の成形品における不要な部分（例えばカル部分など）がゲートブレークされた上で、収納部へと収納される。即ち、被成形品の供給、封止材料としての樹脂の供給、プレス作業、ゲートブレーク作業、収納作業等の異なる種類の作業を行う複数のモジュールが組み合わされて樹脂封止装置が構成されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３００９７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、樹脂封止装置全体が「異なる作業を行う複数のモジュール」が組み合わされる形で構成される場合、夫々のモジュールにおける動作条件が装置全体としてコントロールされている必要がある。例えば、特定の金型には特定の被成形品のみが対応可能であるとした場合をはじめ、更に、特定の樹脂（規定の樹脂の量や質など）にて特定の条件下（例えばプレス圧力や時間、温度など）で作業を行うという広い意味での「動作条件」が装置全体として適合していない限り、求められる品質の樹脂封止を行うことが不可能となる。
【０００６】
より具体的に説明すると、特定の金型（というモジュール）にて樹脂封止をする場合には、ある特定の種類且つ特定の量の樹脂が当該金型へと供給される必要があり、更に、当該特定の種類の樹脂が使用された場合には、冷却を十分に行なった上で十分に時間を掛けてゲートブレークをする必要がある場合を仮定する。こうしたときに、特定の金型が要求する特定の種類の樹脂を樹脂供給部（というモジュール）が供給できない場合（動作条件が適合しない場合）は、そのように段取り替えをしない限り、意図した樹脂封止を行うことは困難である。また、十分に冷却を行う必要があるところ、不十分な冷却状態のままでゲートブレークすれば、意図した通りにゲートブレークを行うことが出来ないばかりか、高価な成形品そのものを破損することにも繋がる。
【０００７】
動作条件の適合を行うには、例えば、異なる作業を行うモジュール毎に夫々の「動作条件」を何らかの形で把握した上で（例えば当該モジュール毎に表示するなど）調整作業を行う必要がある。しかしモジュール毎の表示では、作業者が複数の表示を参照して各モジュール間の動作条件を調整する必要があり、煩雑であるとともに、場合によっては正確な調整作業を阻害する要因ともなりかねない（即ち、調整間違いを誘発しやすい）。
【０００８】
本発明は、このような問題点を解決するべくなされたものであって、作業者による各モジュール間の動作条件の調整作業を簡略化することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、異なる種類の作業を行う複数のモジュールを有し、該複数のモジュールのうち少なくとも２つのモジュールが夫々選択的な動作条件を有する樹脂封止装置であって、前記選択的な動作条件を有する少なくとも２つのモジュール夫々に相当するアイコン、および、当該アイコンに相当する前記モジュールが有する前記動作条件の両方を表示可能な単一のモニタ画面と、前記モニタ画面に表示される前記アイコンを選択可能な選択手段と、を備え、該選択手段により前記アイコンを選択することにより、対応する前記動作条件が対応関係を保ちつつ表示されることにより、上記課題を解決するものである。
【００１０】
即ち、動作条件の調整作業が必要なモジュール（選択的な動作条件を有するモジュール）とその動作条件を、１つのモニタ画面に（同時にまたは順次）表示させることによって、作業者が当該モニタ画面のみを参照することで、モジュール間の調整作業（動作条件の調整作業）の要否を確認可能としたものである。
【００１１】
また、前記モニタ画面が、第１のモジュールにおいて選択されている動作条件と、第２のモジュールにおいて選択されている動作条件とが両立不可能状態であるときにその旨を表示するような構成とすれば、作業者は当該両立不可能と表示された部分のみの調整作業を行うことで足り、場合によっては、その他の部分の確認作業を省略することも可能となる。
【００１２】
また、前記選択手段によって、前記モニタ画面に表示されている特定のアイコンを選択することにより、対応する動作条件表示に切り替わるようにすれば、小さなモニタ画面であっても必要な情報を提供することが可能となる。
【００１３】
また、前記モニタ画面が、前記選択手段によって選択したアイコン、および、当該アイコンに対応する前記動作条件のみを同時に表示可能とすれば、画面を切り替えることなく多くの情報を表示することが可能となる。
【００１４】
また、前記選択手段によって、前記モニタ画面に表示されている特定のアイコンを選択することにより、対応する動作条件を追加的に表示（例えばポップアップ表示など）すれば、小さなモニタ画面であっても必要な情報を同時に表示することが可能となる。
【００１５】
また、前記モニタ画面には、特定の前記モジュールが選択できる動作条件の全てを表示可能であり、前記モニタ画面に表示される前記動作条件のいずれかを選択可能な条件選択手段を備え、該条件選択手段によって当該動作条件のいずれかを選択することにより、前記モジュールの現実の前記動作条件を変更可能とすれば、モニタ画面上での操作によって、調整作業そのものを完了させることができる。
【００１６】
また、前記モニタ画面における前記アイコンを、前記モジュールの現実の配置に対応して配置・表示すれば、例えば、調整作業として実際に装置の段取り替えが必要な場合に、どの位置のモジュールの段取り替えを行えばよいのかを容易に把握することが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明を適用することにより、モジュール間の動作条件の調整作業が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施形態の一例について詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明の実施形態の一例である樹脂封止装置１００の概略構成図（平面図）である。図２乃至図６は、モニタ画面の表示内容を実施形態別に模式的に示した図である。
【００２０】
なお説明の都合上、図１における紙面左右方向をＸ方向、同上下方向をＹ方向、これらＸ方向及びＹ方向のいずれにも直交する方向をＺ方向（高さ方向）として説明する。
【００２１】
<樹脂封止装置の構成>
樹脂封止装置１００は、当該装置の基台となるベース部１０１上に、樹脂封止前の被成形品（リードフレーム、基板など）が供給される基板供給部１０２と、樹脂封止後の成形品が収納される成形品収納部１０４と、これら基板供給部１０２及び成形品収納部１０４との間に並んで配置される４つの金型１０６とが直線的に配置されている。なおこれら４つの金型１０６の形状は夫々異なっている。本実施形態における基板供給部１０２は、通常の樹脂封止に使用される被成形品の供給の他に、指示により、クリーニングに使用されるクリーニング用の被成形品（ダミーフレーム、ダミー基板）を供給することも可能とされている。更に基板供給部１０２の近傍には、基板供給部１０２から取り出された被成形品を旋回させて向きを整える旋回テーブル１０３、旋回テーブル１０３によって向きが整えられた後に被成形品を所定の温度にまで加熱し保温するプレヒータ部１０５が配置されている。更にこれら旋廻テーブル１０３およびプレヒータ部１０５と並んで、封止材料としての樹脂タブレットが供給される樹脂タブレット供給部（樹脂供給部）１０９が配置されている。樹脂タブレット供給部１０９においては、樹脂ホルダ１７０内に樹脂タブレットを収容する態様にて、樹脂の供給が行なわれる。また、樹脂タブレット供給部１０９にはリフタが備わっており、樹脂ホルダ１７０をリフトしてローダ１３０に受け渡すことが可能とされている。なお、本実施形態においては、当該樹脂供タブレット供給部１０９によって、通常の樹脂封止に使用される樹脂の他に、金型クリーニングに使用するクリーニング用樹脂が供給可能とされている。また、クリーニング用樹脂の供給は、クリーニング用樹脂専用の樹脂ホルダ１７０に対して行われる構成とされている。
【００２２】
一方、成形品収納部１０４の近傍には、樹脂封止後の成形品が冷却される冷却ステージ（冷却部）１０７、冷却ステージ１０７にて冷却された成形品の不要部分（カル部）が取り出されるゲートブレーク部１０８が配置されている。 
【００２３】
また、ベース部１０１には基板供給部１０２、成形品収納部１０４、金型１０６の並びと平行して、Ｘ方向ガイド１２０が設置されている。このＸ方向ガイド１２０上には、ローダ１３０及びアンローダ１４０が当該ガイドに沿って自由に移動することが可能に配置されている。これらローダ１３０及びアンローダ１４０は、複数配置された金型１０６に対する搬送機構として機能する。即ち、ローダ１３０は、基板供給部１０２から供給される樹脂封止前の被成形品および樹脂タブレット供給部１０９から供給される樹脂タブレットを所定のタイミングで金型１０６へと搬入する。一方、アンローダ１４０は、それぞれの金型１０６にて樹脂封止された成形品を搬出し、冷却ステージ１０７、ゲートブレーク部１０８を介して、成形品収納部１０４へと収納する機能を有している。
【００２４】
なお、本実施形態においては、前述したように金型１０６が４つ配置されているが、必ずしも４つに限定されるものではなく、１乃至３つ、若しくは５つ以上の金型が配置されていてもよい。また、基板供給部１０２、樹脂タブレット供給部１０９、プレヒータ部１０５、冷却ステージ１０７、ゲートブレーク部１０８、成形品収納部１０４、ローダ１３０およびアンローダ１４０においても上記のように１つずつの構成である必要はなく、場合によっては複数配置構成されていてもよい。更に、基板供給部１０２と成形品収納部１０４とが同じ側に配置されていたり、更にローダ１３０及びアンローダ１４０が単一の搬送機構によって実現されていてもよい。
【００２５】
このように、樹脂封止装置１００は、異なる種類の作業を行う複数のモジュール（基板供給部１０２、旋廻テーブル１０３、成形品収納部１０４、プレヒータ部１０５、金型１０６、冷却ステージ１０７、ゲートブレーク部１０８、樹脂タブレット供給部１０９、ローダ１３０、アンローダ１４０）が組み合わされて構成されている。
【００２６】
また、上記各部（モジュール）は全てケーシング（図示しない）内に収容されており、当該ケーシングの側面に当該樹脂封止装置１００の運転状況等を表示することができるモニタ画面１９０（図１においては示していない：表示内容に関しての詳細は後述する）が配置されている。
【００２７】
<モニタ画面の表示内容>
本実施形態におけるモニタ画面１９０は、例えば図２のような表示がなされている。
【００２８】
４つの金型１０６に相当するアイコンＰ１〜Ｐ４と、樹脂タブレット供給部１０９に相当するアイコンＴＢ１と、ゲートブレーク部１０８に相当するアイコンＧＢ１とが表示されている。なおここではこれらのアイコンのみの表示となっているが、場合によっては、その他のモジュールに相当するアイコンが表示されていてもよい。
【００２９】
また、当該モニタ画面１９０はタッチパネル機能（選択手段）を備えており、指などで特定のアイコンを選択することが可能に構成されている（その他、例えばマウスなどのポインティングデバイス等の選択手段を利用することも可能）。
【００３０】
このように、モニタ画面１９０における画像表示は、当該モニタ画面１９０が備わる樹脂封止装置の実際の配置・構成に対応した配置・表示とされている。即ち、樹脂封止装置１００を構成する各モジュールの実際の配置構成を模式化した表示とされており、モニタ画面と装置との対応関係が一見して把握可能とされている。
【００３１】
なお、当該モニタ画面は、表示内容を切り替えることによって、上記の他にも例えば、生産状況などを表示させることが可能とされている。
【００３２】
<樹脂封止装置全体の作用>
続いて樹脂封止装置１００の作用について説明する。
【００３３】
最初に、基板供給部１０２から樹脂封止前の一枚の被成形品が旋廻テーブル１０３へと搬送される。この搬送は図示せぬ搬送ハンドによって行われる。旋廻テーブル１０３に一枚の被成形品が搬送されると旋廻テーブル１０３が回転する。その後もう１枚の被成形品が旋廻テーブル１０３へと搬送され、計２枚の被成形品が旋廻テーブル１０３上に配置される。その後ローダ１３０によって２枚の被成形品が同時にプレヒータ１０５部に搬送される。ここでは、ローダ１３０のアーム部（図示していない）がＹ方向にスライドした上で、アーム部に備わる爪機構によって被成形品をクランプし、続くプレヒータ部１０５へと搬送する。プレヒータ部１０５では、被成形品が所定の温度にまで加熱され保温される。プレヒータ部１０５は本実施形態では２つ設けられており、そのうちのいずれか（空いている側）に搬送される。
【００３４】
一方、樹脂タブレット供給部１０９においては、封止材料としての樹脂タブレット１８０が樹脂ホルダ１７０へと供給される。その後、プレヒータ部１０５にて保温されている被成形品が、再度ローダ１３０の爪機構によって保持される。更に、樹脂タブレットが収容された樹脂ホルダ１７０がリフタによってリフトされ、ローダ１３０に保持される。即ち、ローダ１３０によって、被成形品および樹脂タブレットが同時に金型１０６へと搬送される。
【００３５】
ローダ１３０によって搬送された被成形品および樹脂タブレットは、所定のタイミングで金型１０６へと投入される。その後、ローダ１３０は、金型１０６から退避し、空になった樹脂ホルダ１７０を装着した状態のまま、樹脂タブレット供給部１０９側へと移動する。
【００３６】
金型１０６において樹脂封止が完了すると、今後はアンローダ１４０によって樹脂封止後のワークが冷却ステージ１０７へと搬送される。冷却ステージ１０７では、樹脂封止後のワークが所定の温度にまで冷却される。その後再びアンローダ１４０によって、ワークが冷却ステージ１０７からゲートブレーク部１０８へと搬送される。ここではワークの不要部分、即ち、カル部に相当する樹脂がゲートブレークされて取り除かれる。不要部分は破棄され、残ったワークが製品収納部１０４へとアンローダ１４０によって搬送される。
【００３７】
このような手順が繰り返されることによって樹脂封止が連続して行われる。
【００３８】
<各モジュールの動作条件について>
樹脂封止装置１００は、前述した通り、異なる作業を行う複数のモジュール（金型１０６というモジュール、樹脂タブレット供給部１０９というモジュール、ゲートブレーク部１０８というモジュールなど）が組み合わされて構成されている。また、これらの各モジュールには、夫々特有の選択的な「動作条件」が存在する。ここでいう「動作条件」とは、夫々のモジュールの動作の条件（速度、動き方など）のみを示しているのではなく、例えば使用可能な材料の種類や、大きさなども含めて動作条件としている。換言すれば、「レシピ」や「許容範囲」と言い換えることも可能である。
【００３９】
例えば、金型１０６の場合は、金型の形（キャビティ形状）が動作条件の１つである。例えば金型のある特定の部分のみを交換することによって、キャビティの形状が選択できるような場合、それが動作条件となる。また、金型の表面処理の種類によって使用可能な樹脂が制限されたり、金型表面のクリーニング手順が制限される場合がある。更に金型毎に耐えられるプレス圧力も異なるため、これらが動作条件となり得る。その他にも、プレスの動きの速度、プレス圧力や時間、温度の条件なども「動作条件」に含まれる。樹脂タブレット供給部１０９であれば、当該供給部から供給される樹脂の種類、量、形状、寸法、レイアウトなどが「動作条件」となる。更にこの樹脂の種類、量、形状等が、当該樹脂が投入される金型をはじめ、当該樹脂が搬送されるローダ１３０（樹脂ホルダ１７０）との関係においても整合している必要がある。ゲートブレーク部１０８であれば、ゲートブレーク部における冷却の有無やその時間、ゲートブレークするスピードや動作タイミング、ゲートブレークする際の折り曲げる方向、ゲートブレーク部そのものの機構（例えば折り曲げ、打ち抜きの別）や種類（被成形品に対するカルの位置の違い）、当該ゲートブレーク部にて使用される治具と金型との整合性などが該当する。被成形品供給部１０２であれば、供給される被成形品（リードフレームや基板）の種類などが該当する。プレヒータ部１０５であれば、プレヒートの有無やプレヒートする温度や時間（樹脂毎に最適温度が異なり、被成形品によっては累積プレヒート時間が制限される場合がある。）などが該当する。冷却部１０７であれば、冷却の有無、冷却温度、冷却時間などが該当する。ローダ１３０やアンローダ１４０であれば、搬送することができる被成形品などの種類が該当する。また、被成形品においても、耐え得るプレス圧力は異なり、耐え得る温度も異なるため、これらも動作条件となる。
【００４０】
このように、樹脂封止装置１００を構成する各モジュールは夫々固有の選択的な動作条件を有していることから、樹脂封止装置１００がスムーズに作業を行って精度のよい樹脂封止を行うためには、モジュール相互間で動作条件が許容されていることが求められる。許容できない場合は、当該モジュールは適合不可となる。
【００４１】
より具体的に説明すると、特定の金型１０６にて樹脂封止をする場合には、ある特定の種類且つ特定の量の樹脂が当該金型へと供給される必要があり、更に、当該特定の種類の樹脂が使用された場合には、冷却を十分に行なった上で十分に時間を掛けてゲートブレークをする必要がある場合を仮定する。こうしたときに、特定の金型１０６が要求する特定の種類の樹脂を樹脂タブレット供給部１０９が供給できない場合（動作条件が適合しない場合）は、そのように段取り替えをしない限り、意図した樹脂封止を行うことは困難である。また、十分に冷却を行う必要があるところ、不十分な冷却状態のままでゲートブレークをすれば、意図した通りにゲートブレークを行うことが出来ないばかりか、高価な成形品その物を破損することにも繋がる。
【００４２】
<モニタ画面を利用した動作条件の調整>
本実施形態の樹脂封止１００におけるモニタ画面１９０には、上述した通り、４つの金型１０６に相当するアイコンＰ１〜Ｐ４と、樹脂タブレット供給部１０９に相当するアイコンＴＢ１と、ゲートブレーク部１０８に相当するアイコンＧＢ１とが表示されている。また、各アイコンをタッチパネルにて選択すると、当該選択されたアイコンに相当するモジュールの動作条件が、画面が切り替わることによって表示される（図２参照）。
【００４３】
なお、各モジュールの動作条件の内容の情報は、例えば各モジュールを組み付けることによって自動的にロードされる構成であってもよいし、作業者が手作業にて入力する構成であってもよい。
【００４４】
即ち、作業者は当該モニタ画面１９０のみを参照しつつ、各モジュールの動作条件が夫々適合可能であるか否かを素早く参照することが可能となっている。その結果、当該モニタ画面を参照することによって判明した不適合なモジュールの動作条件を、例えば段取り替えをすることによって適合するように調整することが容易である。
【００４５】
このときモニタ画面１９０では、表示されている各アイコンが、各モジュールの現実の配置に対応して配置・表示されているので、例えば、どの位置のモジュールの段取り替えを行えばよいのかが容易に把握することが可能である。
【００４６】
また、モニタ画面の表示は上記に限られるものではなく、例えば図３乃至図６に示すような構成とすることも可能である。
【００４７】
図３に示したように、各モジュールの動作条件がロードされた状態で、特定のモジュール（第１のモジュール：例えば金型）にて選択されている動作条件と、他の特定のモジュール（第２の金型：例えばゲートブレーク部）にて選択されている動作条件とが適合しないことを、モニタ画面上に表示する（記号、文字、点滅およびこれらの組み合せなどによって表示する）といった構成を採用することも可能である。このような構成とすれば、作業者は当該両立不可能と表示された部分のみの調整作業を行うことで足り、場合によっては、その他の部分の確認作業を省略することも可能となる。
【００４８】
また、図４に示したように、選択したアイコンＧ２を含む全てのアイコンと、当該アイコンＧ２に対応するゲートブレーク部が選択することのできる動作条件の全てを対応関係を保ちつつ同時に表示可能とすれば、画面を切り替えることなく多くの情報を表示することが可能となる。ここでは、選択されたアイコンＧ２は、選択されていることを示すために他のアイコンとは表示態様が異なっている（例えば形状、模様、色彩の変化およびそれらの組み合わせなどによって、他の選択されていないアイコンと明確に識別できる。）。これにより、表示されている動作条件との対応関係が保たれている。その他にも、例えば図５に示すように、動作条件を表示する部分が、選択したアイコンから所謂「吹き出し」のように表示されることによって、表示されている動作条件と選択されているアイコンとの関係を保つような構成を採用してもよい。
【００４９】
また、選択手段によって、前記モニタ画面に表示されている特定のアイコンを選択することにより、対応する動作条件表示に切り替えるようにすれば、小さなモニタ画面であっても必要な情報を提供することが可能となる。
【００５０】
また、特定のアイコンを選択することによって、対応する動作条件を対応関係を保ちつつ追加的に表示すれば、小さなモニタ画面であっても必要な情報を同時に表示することが可能となる。例えば、図６に示すように、特定のアイコンを選択すれば当該選択に伴って対応するレシピが追加的に（例えばポップアップ表示として）表示される場合である。なおここでは「矢印」によって、選択されたアイコンと表示される動作条件との対応関係が保たれている。また、図６では理解容易のため全てのアイコンに対して動作条件が表示されているが、選択しているものだけが表示されていてもよい。
【００５１】
また、図４および図５にて示しているように、モニタ画面に、特定のモジュールが選択できる動作条件の全てを表示可能とし、表示された動作条件のいずれかを選択可能な条件選択手段（アイコンを選択するための選択手段と共用することも可能）を備え、該条件選択手段によって当該動作条件のいずれかを選択することにより、モジュールの現実の動作条件を変更可能とすれば、モニタ画面上での操作によって、調整作業そのものを完了させることができる。例えば、部品の一部を取り替える等の段取り替えを行う必要のない作業（設定温度の変更、動作速度の変更など）の場合は、画面上でいずれかの動作条件を選択することで、当該選択と連動して実際のモジュールの動作条件の設定が変更されるような構成である。
【００５２】
なお、上記では「トランスファ成形」を行う樹脂封止装置を例に説明しているが、これに限定される趣旨のものではない。その他にも「圧縮成形」など広く樹脂封止方式に関らず適用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
樹脂封止の形式を問わず、異なる種類の作業を行う複数のモジュールが組み合わされて構成される樹脂封止装置に広く適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施形態の一例である樹脂封止装置１００の概略構成図
【図２】モニタ画面の表示構成例を示した図
【図３】モニタ画面の表示構成例を示した図
【図４】モニタ画面の表示構成例を示した図
【図５】モニタ画面の表示構成例を示した図
【図６】モニタ画面の表示構成例を示した図
【符号の説明】
【００５５】
１００…樹脂封止装置
１０１…ベース部
１０２…基板供給部
１０３…旋回テーブル
１０４…成形品収納部
１０５…プレヒータ
１０６…金型
１０７…冷却ステージ
１０８…ゲートブレーク
１０９…樹脂タブレット供給部
１２０…Ｘ方向ガイド
１３０…ローダ
１４０…アンローダ
１７０…樹脂ホルダ
１８０…リードフレーム
１９０…モニタ画面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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