(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
棒状の発光管の内部に一対の電極が設けられ、発光管の管軸が水平に配置されたフラッシュランプと、該発光管の外方であって、上記管軸に沿って設けられたトリガ部材と、を備え、
該一対の電極に電圧を印加して、該トリガ部材に電圧を印加して該フラッシュランプを点灯させるランプ点灯装置において、
該トリガ部材を該発光管の重力方向下方側に設け、
該電極に直列に接続された第１のスイッチング手段と、該トリガ部材への電圧印加をスイッチング制御する第２のスイッチング手段を設け、第１のスイッチング手段に対して並列に抵抗を接続し、
該第２のスイッチング手段を導通させる第１の信号と、該第１の信号が送出されてから所定の時間が経過した後に、該第１のスイッチング手段を導通させる第２の信号を送出する駆動回路を設けた
ことを特徴とするランプ点灯装置。  
【請求項２】
該発光管の管軸方向に対して直交する断面上で、該発光管の該管軸から引いた重力方向線を基準として０°±４５°の範囲内にトリガ部材を設けた
ことを特徴とする請求項１に記載のランプ点灯装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造や薄膜トランジスタ製造に用いられるアニール装置等に使用されるランプ点灯装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造や薄膜トランジスタ製造においては、フラッシュランプを具備したランプユニットを有するアニール装置が使用されている。例えば、シリコンウエハ表層に浅い拡散層（ｐｎ接合）を形成（イオン注入した不純物活性化）する工程においては、上記ランプアニール装置が使用される。
上述のアニール工程では特にイオン注入した不純物のプロファイルのくずれや形成したパターンの揮発などの問題を回避し、かつ、不純物の良好な活性化状態を得ることが必要である。
また、液晶表示パネル用の薄膜トランジスタ製造においても、基板上に形成された半導体膜を確実かつ均一に活性化させる必要がある。特にガラス基板による場合は係るアニール処理を達成しつつ基板への過度の加熱を防止して基板の伸縮や「そり」の発生を抑制しなければならない。
このようなアニール装置に具備されるフラッシュランプ及びトリガ部材は、例えば特許文献１に記載されている。
【０００３】
図７は、特許文献１に記載されたフラッシュランプ２及びトリガ部材３の説明図である。図７（ａ）はフラッシュランプ２の長手方向に沿った断面図であり、図７（ｂ）はフラッシュランプ２の長手方向に対して垂直方向に沿った断面図（図７（ａ）のＢ−Ｂ断面図）である。
フラッシュランプ２は、例えば石英ガラスからなる棒状の発光管２５の密閉された内部２６に、例えばキセノン（Ｘｅ）ガスからなる発光ガスが封入される。さらに、棒状の発光管２５の内部２６には、その中心軸に延在するように棒状のリード２１，２２に接続された一対の電極２３，２４が対向して配置される。各電極２３，２４に接続されたリード２１，２２は、発光管２５の長手方向における両端から突出する。
フラッシュランプ２の発光管２５の外面には、例えばステンレスからなる棒状の導体３４がトリガ部材３として発光管２５の長手方向に沿って配設される。この棒状の導体３４の両端には、導体３４をフラッシュランプ２に固定するバンド４が発光管２５の外周面に巻き回されて設けられる。
【０００４】
図８は、図７のフラッシュランプ２を点灯させるランプ点灯装置１の回路構成例である。
電源の高圧側と低圧側との間には、コンデンサＣが接続され、電源の高圧側に接続されたコンデンサＣの端子にインダクタンスＬが接続される。インダクタンスＬには、フラッシュランプ２の一方の電極が接続され、フラッシュランプ２の他方の電極は電源の低圧側に接続されたコンデンサＣの端子に接続される。また、トリガコイル７の二次側には、トリガ部材３が接続され、トリガコイル７の一次側にトリガ回路５４が接続される。
【０００５】
図９は、図８に示すランプ点灯装置１の動作を示すタイミングチャートであり、トリガ回路５４からのオン信号により、ランプが点灯する際の動作を示す。
コンデンサＣには、ランプ点灯時（Ｔ３）までに所望の電圧が印加されることで、所望のエネルギーが蓄えられる。
ランプ点灯時（Ｔ３）、トリガ回路５４からトリガ信号が送信される。
トリガ信号により、トリガコイル７の一次側に電圧が印加され、二次側のコイルに昇圧された数キロボルトの高電圧が誘起され、二次側のコイルに接続されたトリガ部材３の導体にこの高電圧が印加される。
これにより、コンデンサＣに接続された一対の電極２３，２４と高電圧が印加されたトリガ部材３との間で絶縁破壊が生じ、コンデンサＣに蓄えられたエネルギーが一対の電極２３，２４間に主放電電流として直ちに投入される。
このようにしてフラッシュランプ２がランプ点灯することで、短時間（短いパルス幅）に極めて高い主放電電流を投入され、極めて高い放射輝度を有する放射光が得られるフラッシュランプ点灯状態となる。
【特許文献１】特開２００１−１８５０８８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したトリガ部材３を有するフラッシュランプ２においては、電極２３，２４間の電圧印加によるランプ始動時、一対の電極２３，２４とトリガ部材３との間で絶縁破壊されることから、発光管２５の内部２６において、発光管２５の中心軸からトリガ部材３側に片寄った発光管２５の内壁又はその近傍で主放電電流が投入されていた。図１０に主放電電流がトリガ部材3 側に片寄って流れている状態を模式的に示す。
近時の要望として、例えばシリコンウエハ表層に浅い拡散層（ｐｎ接合）を形成（イオン注入した不純物活性化）する工程において、シリコンウエハ表層に形成される拡散層の部分をさらに浅く形成したいというものあった。そのためには、フラッシュランプ２のフラッシュパルス幅を従来のものより短くすることで、例えばシリコンウエハ表層における加熱される層を、従来よりさらに浅い位置のみを加熱することが考えられる。
【０００７】
従来においては、例えば１ｍｓのパルス幅で２０Ｊ／ｃｍ2 の照射エネルギーをフラッシュランプに投入していた。このとき、シリコンウエハは８００°Ｃ以上に加熱されていたと推定される。
近時の要望であるパルス幅を短くし、シリコンウエハを加熱するためには、コンデンサ容量を小さくすることでパルス幅を０．１ｍｓとした場合、フラッシュランプからの照射エネルギーが７Ｊ／ｃｍ2 以上となる必要がある。
しかしながら、近時の要望に応えるため、フラッシュランプの照射エネルギーを７Ｊ／ｃｍ2 以上のエネルギーにするためには、４ＫＡ以上の主放電電流が電極間に流れることになる。
これは、従来のパルス幅が１ｍｓ、照射エネルギー２０Ｊ／ｃｍ2 のときの放電電流が２ＫＡであるに対して、極めて高電流化していることなる。
図１０に示すように、主放電電流は、発光管２５の中心軸からトリガ部材３側に片寄った発光管２５の内壁又はその近傍で流れており、発光管２５が主放電電流に曝されることで、従来より極めて高温に加熱されている。
【０００８】
発光管２５を例えば石英ガラスで形成した場合、ランプ点灯を繰り返すことで加熱され、石英ガラスが結晶化した白濁が発生する。石英ガラスが白濁すると、フラッシュランプ２からの放射光が遮光される上、この白濁により発光管２５が破損する問題がある。
従来のパルス幅が１ｍｓ、照射エネルギー２０Ｊ／ｃｍ2 の主放電電流２ＫＡにおいて、発光管２５の白濁は数万回以降で発生していたが、近時に要望に応えるためパルス幅０．１ｍｓ、投入エネルギー７Ｊ／ｃｍ2 の主放電電流４ＫＡとしたとき、発光管２５の白濁が数百回で発生することになり、従来のランプ点灯装置では実用することができなかった。
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、本発明の目的は、発光管の内部に流れる主放電電流が、発光管の内壁又はその近傍で流れることを抑制することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
フラッシュランプの点灯装置において、一対の電極に接続されたコンデンサに電圧が印加された状態で、駆動回路から送信された第１の信号により、トリガ部材に電圧が印加されると、電極間で絶縁破壊される。ここで、フラッシュランプの電極に直列に抵抗が接続されていると、コンデンサに蓄えられたエネルギーの投入が制限され、この制限された電流（予備電流）が電極間で放電される。この制限電流による微弱な電流放電をシマー放電とよばれる。
本発明において、トリガ部材は発光管の重力方向下方側に設けられ、シマー放電は上記トリガ部材により、発光管の内部における重力方向下方側で発生する。シマー放電は、発光管の内部の熱対流により、時間の経過と共に、発光管の上方に移動するが、移動するシマー放電は、所定の時間が経過すると、発光管の管軸又はその近傍を通る。そのとき、上記抵抗に並列に接続されたスイッチング素子を導通させる第２の信号を送信する。
これにより、コンデンサに蓄えられたエネルギーは、抵抗による制限から開放され、直ちにフラッシュランプに投入され、主放電電流が電極間に流れる。すなわち、発光管の管軸又はその近傍で主放電電流を発生できるので、発光管の内壁又はその近傍に主放電電流が流れることを抑制でき、発光管の白濁による遮光や破損を防止することができる。
また、上記において、トリガ部材を、発光管の管軸方向に対して直交する断面上で、該発光管の該管軸から引いた重力方向線を基準として０°±４５°の範囲内に設ける。これにより、主放電電流を発光管の管軸又はその近傍で確実に流すことができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）トリガ部材を発光管の重力方向下方側に設け、シマー放電を発光管の内部における重力方向下方側で発生させ、シマー放電が発光管の管軸又はその近傍を通るとき、スイッチング素子を導通させ、フラッシュランプの電極に直列に接続された抵抗を短絡し、コンデンサに蓄えられたエネルギーをフラッシュランプに投入するようにしたので、発光管の管軸又はその近傍で主放電電流を発生させることができる。
このため、発光管の内壁又はその近傍に主放電電流が流れることを抑制でき、主放電電流が大きくなっても、発光管の白濁による遮光や破損を防止することができる。
（２）トリガ部材を発光管の管軸方向に対して直交する断面上で、該発光管の該管軸から引いた重力方向線を基準として０°±４５°  の範囲で設けることにより、主放電電流を発光管の管軸又はその近傍で確実に流すことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は本発明の実施例のランプ点灯装置の構成例を示す図、図２は本発明に係るランプ点灯装置に具備されるフラッシュランプの説明図であり、図２（ａ）は発光管の管軸方向に沿った断面図、図２（ｂ）は発光管の管軸方向に対して垂直方向に沿った断面図（図２（ａ）のＡ−Ａ断面図）であり、図２（ｂ）はトリガ部材が設けられる範囲を示している。図１及び図２において、前記図７及び図８に示したものと同じものには同一の符号を付して示している。
図１において、本実施例のランプ点灯装置は、フラッシュランプ２と、フラッシュランプ２の発光管の外方に設けられるトリガ部材３と、フラッシュランプ２の一対の電極に接続されるランプ点灯回路１１と、トリガ部材３に電圧を印加するトリガ回路１２と、トリガ部材３に電圧を印加の開始する信号を送信すると共に所定時間経過後にフラッシュランプ２の主放電を開始させる信号を送信するタイマー回路６と、からなる。
【００１２】
ランプ点灯回路１１は、電源の高圧側と低圧側とに接続されたコンデンサＣ１と、電源の高圧側とコンデンサＣ１の高圧側の端子とに接続されたインダクタンスＬ１と、インダクタンスＬ１に接続された一方の電極に対して他方の電極にアノードを接続すると共にカソードをコンデンサＣ１と電源の低圧側との間に接続したサイリスタＳＣＲ１等からなる第１のスイッチング素子５１と、スイッチング素子５１に並列接続された抵抗Ｒ１と、からなり、コンデンサＣ１の低圧側の端子と電源の低圧側とが接地されている。
トリガ回路１２は、電源の高圧側に直列的に接続された抵抗Ｒ２と、抵抗Ｒ２にアノード側が接続されると共にカソード側が電源の低圧側に接続されたサイリスタＳＣＲ２等からなる第２のスイッチング素子５２と、抵抗Ｒ２とスイッチング素子５２のアノード側とに一方の端子が接続されたコンデンサＣ２と、コンデンサＣ２の他方の端子に直列的に接続された一次側コイルＬ２１を有すトリガコイル７と、からなり、トリガコイル７の二次側のコイルＬ２２がトリガ部材３に接続される。
タイマー回路６は、例えば半導体を用いて構成され、第１の信号を送信する第１の信号線ａがトリガ回路１２の第２のスイッチング素子５２のゲートに接続され、第１の信号を送信した後に所定の時間経過したときに第２の信号を送信する第２の信号線ｂがランプ点灯回路１１の第１のスイッチング素子５１のゲートに接続される。
【００１３】
フラッシュランプ２は、図２（ａ）に示すように、例えば石英ガラスからなる棒状の発光管２５の密閉された内部２６に、例えばキセノン（Ｘｅ）ガスからなる希ガスが発光ガスとして封入されたものである。
棒状の発光管２５の内部２６には、その中心軸に延在するように棒状のリード２１，２２に接続された一対の電極（陽極２３及び陰極２４）が対向して配置される。各電極（陽極２３及び陰極２４）に接続された棒状のリード２１，２２は、発光管２５の長手方向における両端から突出する。
このリード２１，２２は例えばタングステン（Ｗ）により形成される。また、一方のリード２１の先端に設けられた陽極２３は例えばタングステン（Ｗ）により形成され、他方のリード２２の先端に設けられた陰極２４は例えばバリウム・アルミネート（ＢａＡｌ2 Ｏ3 ）を含有するタングステン（Ｗ）により形成される。
【００１４】
直管状の発光管２５の外面において、図２（ａ）に示すように、重力方向下方側に発光管２５と並行してトリガ部材３が設けられる。トリガ部材３の長手方向は、発光管２５の内部２６の対向する電極間Ｌ１を発光管２５の外面で結ぶような長さになるように設けられる。トリガ部材３の両端には図示しないバンドが設けられ、発光管２５の外面に固定される。
トリガ部材３は、例えばタングステンからなる棒状の導体３４を用いることができる。また、トリガ部材３としては、金属棒のような導電性部材に限定されるものではなく、トリガ部材３に電圧が印加されたときに、トリガ部材３から発光管２５に電荷を供給できるものであれば良く、例えば誘電性を有する管状の石英ガラスの内部に金属棒を配置したトリガ部材３であってもかまわない。
【００１５】
図２（ｂ）は、トリガ部材３が設けられる発光管２５の重力方向下方側の外面の範囲として、好ましい範囲を示している。
発光管２５の外面において、発光管２５の管軸から引いた重力方向線（図２（ｂ）において、発光管２５の管軸から図面下方に延びる点線で示す垂線）を基準とし、０°±４５°の範囲（図２（ｂ）において、発光管２５の管軸から斜め４５°の図面下方に伸びる２本の点線）の範囲に、トリガ部材３が設けられることが好ましい。
【００１６】
ここで、本発明に係るランプ点灯装置に具備されるフラッシュランプ２の数値例を以下に挙げる。
発光管２５の長手方向における全長Ｌ２は５８０ｍｍであり、電極２３，２４間距離Ｌ１は５００ｍｍである。発光管２５の外径Ｌ３が１３ｍｍであり、発光管２５の内径Ｌ４が１０．５ｍｍであり、発光管２５の内部２６に封入されるキセノン（Ｘｅ）ガスは、４５０Ｔｏｒｒである。
また、本発明に係るランプ点灯装置に具備されるトリガ部材３である導体３４は、発光管２５の外面におけるその長手方向の全長Ｌ５が５４０ｍｍであり、その外径が１ｍｍである。
【００１７】
図３は、図１に示す本発明に係るランプ点灯装置において、タイマー回路６からの第１の信号及び第２の信号によるランプ点灯装置の動作との関係を示すタイミングチャートである。また、図４は、本発明に係るランプ点灯装置に具備されるフラッシュランプの発光管内部の放電の様子を図示したものである。図４（ａ）〜（ｃ）に示すフラッシュランプは、発光管の管軸に沿った断面図と、発光管の管軸に対して垂直方向に沿った断面図を示したものである。
図３に示すタイミングチャートを用いて、ランプ点灯装置の動作について説明すると共に、各タイミングにおけるフラッシュランプでの放電について図４を用いて説明する。
直流電源が始動前、ランプ点灯回路１１のスイッチング素子５１とトリガ回路１２のスイッチング素子５２は共にアノードとカソード間が非導通状態である。
この状態で直流電源を始動すると、フラッシュランプ２の電極間では絶縁破壊が生じず、直流電源に接続されたランプ点灯回路におけるコンデンサＣ１に電圧が印加され、コンデンサＣ１のコンデンサ容量に応じたエネルギーが蓄えられる。
ランプ点灯装置のコンデンサＣ１のコンデンサ容量により、後述する主放電のパルス幅を決まることから、例えば主放電のパルス幅０．１ｍｓのものを得ようとするとき、ランプ点灯装置のコンデンサＣ１のコンデンサ容量は２００μＦのものが用いられる。
同様に、直流電源に接続されたトリガ回路１２におけるコンデンサＣ２に電圧が印加され、コンデンサＣ２のコンデンサ容量に応じたエネルギーが蓄えられる。
【００１８】
ランプ点灯回路１１のコンデンサＣ１に、後述するシマー放電と主放電に必要な電圧である例えば１０ＫＶが印加されると共に、トリガ回路１２のコンデンサＣ２に電極間の絶縁破壊に必要なエネルギーが蓄えられる。
この状態で、タイマー回路６からは、トリガ回路１２のスイッチング素子５２のゲートとを接続する第１の信号線ａに第１の信号が送信され（図３(i) のＴ１時）、トリガ回路のスイッチング素子５２のアノードとカソードとが導通する。
これにより、トリガ回路１２のコンデンサＣ２に蓄えられたエネルギーがスイッチング素子５２を通って直ちに流れる。これに伴いトリガ回路１２のコンデンサＣ２に接続されたトリガコイル７の一次側の電圧が変動し、二次側の電圧変動を誘起され、トリガコイル７の二次側に接続されたトリガ部材３に電圧が印加される。
【００１９】
トリガ部材３に電圧が印加されることで、フラッシュランプ２の発光管の内部の電極間とトリガ部材３との間で絶縁破壊が起こる（図３(iv)のＴ１時）。このとき、ランプ点灯回路のスイッチング素子５１のアノードとカソードとは非導通であるため、ランプ点灯装置のコンデンサＣ１からフラッシュランプ２に投入される電流は、他方の電極に接続された抵抗Ｒ１に制限される（図３(iv)）。この制限された制限電流により、一対の電極とトリガ部材３との間に微弱な制限電流によるシマー放電が生じる。
なお、トリガ部材３への電圧の印加後、タイマー回路６からの第１の信号の送信は終了し、再度トリガ回路１２のスイッチング素子５２のアノードとカソードとは非導通状態となり、トリガ回路１２のコンデンサＣ２にエネルギーが蓄えられる。これにより、トリガ部材３には、絶縁破壊に要する電圧は印加されていない。
【００２０】
タイマー回路６の第１の信号によるフラッシュランプ２の一対の電極とトリガ部材３との間で絶縁破壊されたとき（図３のＴ１時）、フラッシュランプ２の発光管の内部で生じたシマー放電は、図４（ａ）に示すような放電経路を形成する。トリガ部材３は発光管の重力方向側の外面に配置され、シマー放電開始時、シマー放電は一対の電極とトリガ部材３との間での絶縁破壊により生じるため、シマー放電の放電経路は、発光管の内部において重力方向下方側のトリガ部材３に沿つた放電経路を形成する。
フラッシュランプ２で生じたシマー放電は、後述するタイマー回路６からの第２の信号が送信されるまで連続的に放電される。このため、タイマー回路６からの第１の信号の送信時（図３のＴ１時）から、ランプ点灯回路１１のコンデンサＣ１に蓄えられたエネルギーが、フラッシュランプ２に投入されることになる（図３(iii) 及び図３（iv）におけるＴ１〜Ｔ２）。
【００２１】
タイマー回路６からの第１の信号送信時（図３のＴ１時）と第２の信号送信時（図３のＴ２時）との間のＴ１〜Ｔ２において、図４（ｂ）に示すように、フラッシュランプ２でのシマー放電は、熱対流により、重力方向の上方に向かって移動する。
シマー放電が、発光管内部の重力方向下方側から発光管の管軸に移動する所定の時間経過後、例えばＴ１から８０ｍｓ経過後のＴ２に、タイマー回路６から、ランプ点灯回路１１のスイッチング素子５１のゲートとを接続する第２の信号線ｂに第２の信号が送信され（図３(ii)のＴ２時）、ランプ点灯回路１１のスイッチング素子５１のアノードとカソードとが導通する。これにより、ランプ点灯回路１１のコンデンサＣ１に蓄えられたエネルギーの全てが直ちにフラッシュランプ２に投入され、電極間に主放電に必要な極めて高い主放電電流が流れる（図３(iii) 及び図３(iv)のＴ２時）。
【００２２】
タイマー回路６の第２の信号送出時（図３のＴ２時）におけるフラッシュランプの一対の電極間の主放電は、図４（ｃ）に示すように、第２の信号送信直前（図３のＴ２直前）のシマー放電の放電経路に基づいて放電される。
すなわち、シマー放電が発光管の管軸又はその近傍に位置するときに、タイマー回路６から第２の信号を送信すれば、フラッシュランプ２の主放電は発光管の管軸に沿って行なわれる。
これにより、本発明に係るランプ点灯装置は、極めて高い主放電電流を発光管の管軸又はその近傍で発生させることができ、発光管の内壁又はその近傍の主放電電流が流れることを抑制でき、発光管の白濁による遮光や破損を防止することができる。
【００２３】
上記第１の信号を送信してシマー放電を開始させてから、第２の信号を送信して電極間に主放電を発生させるまでの時間（上記Ｔ１〜Ｔ２）として、どの程度の時間が望ましいかを次の実験により確認した。
実験条件としては、発光管断面内径：１０．４ｍｍ、発光長：５００ｍｍ、封入ガス圧：４５０ｔｏｒｒ、トリガ電極：ＳＵＳ３０４、φ１ｍｍのフラッシュランプに対して、シマー電圧１００００Ｖ、シマー電流１００ｍＡ、トリガ電圧１０ｋＶとした場合のシマー放電の位置と滞留時間を調べた。
図５に実験結果を示す。
同図に示すように、シマー放電を開始してから、０〜４０ｍｓではシマー放電の位置は発光管管底から０〜２ｍｍの位置にあり、４０〜７０ｍｓでは発光管管底から２〜４ｍｍの位置に移動する。さらに、７０〜１１０ｍｓでは発光管管底から４〜６ｍｍの位置に移動し、１１０〜１３０ｍｓでは発光管管底から６〜８ｍｍの位置に移動し、１３０ｍｓ以上では発光管管底から８ｍｍ以上の位置に移動する。
シマー放電は蛇行しながら上昇していくが、シマー放電がランプ内表面に触れることがない範囲は、同図から明らかなように４０〜１１０ｍｓの間と考えられる。
すなわち、シマー放電による蛇行は、発光管内の重力方向の下側から上側に移動するとともに大きくなる。このため、シマー放電の位置が２〜６ｍｍの範囲にいるときに主放電を発生させることにより、発光管の内表面に本放電が触れるのを抑制することができると考えられる。
このことから、シマー放電開始から主放電開始までの時間、すなわち上記Ｔ１〜Ｔ２は４０〜１１０ｍｓが望ましいと考えられる。
【００２４】
また、トリガ部材３を設ける範囲について、以下の実験により確認した。
実験条件としては、上記と同様、発光管断面内径：１０．４ｍｍ、発光長：５００ｍｍ、封入ガス圧：４５０ｔｏｒｒ、トリガ電極：ＳＵＳ３０４、φ１ｍｍのフラッシュランプに対して、シマー電圧１００００Ｖ、シマー電流１００ｍＡ、トリガ電圧１０ｋＶとし、トリガ部材（電極）を設ける位置を、発光管の管軸方向に対して直交する断面上で管軸から引いた重力方向線を０°として、０〜６０°の範囲で変えて、シマーの上昇の様子を調べた。
図６に実験結果を示す。
同図に示すように、トリガ部材を０°〜４５°の範囲内に設けた場合には、シマー放電は、発光管の管軸方向に移動したが、トリガ部材を６０°の位置に設けた場合には、シマー放電が発光管の内壁に沿って移動した。
このことから、トリガ部材３は発光管の管軸方向に対して直交する断面上で、この発光管の管軸から引いた重力方向線を基準として０°±４５°の範囲内に設けることが望ましいことが確認された。
上記のように、トリガ部材を設ける範囲を０°±４５°の範囲にすることで、主放電電流を発光管の管軸又はその近傍で確実に流すことができ、発光管の内壁又はその近傍に主放電電流が流れることを抑制し、発光管の白濁による遮光や破損を防止することができる。
【００２５】
なお、上述の説明では本発明に係るランプ点灯装置が具備する第１及び第２のスイッチング素子としてサイリスタＳＣＲ１，ＳＣＲ２を例に上げて説明したが、スイッチング素子としては、外部からの信号を受けて導通・非導通（オン・オフ）ができるものであればその他のものを用いることができる。
具体的には、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ（ＩｎｓｕｌａｔｅｄＧａｔｅ  Ｂｉｐｏｌａｒ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：ＩＧＢＴ）や、バイポーラトランジスタ（Ｂｉｐｏｌａｒ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）や、ＭＯＳＦＥＴ（ｍｅｔａｌ−ｏｘｉｄｅ−ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｆｉｅｌｄ−ｅｆｆｅｃｔ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を本発明に係るランプ点灯装置の第１及び第２のスイッチング素子として用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施例のランプ点灯装置の回路構成を示す図である。
【図２】本発明に係るランプ点灯装置が備えるランプユニットの説明図である。
【図３】本発明に係るランプ点灯装置の動作を示すタイミングチャートである。
【図４】本発明に係るランプ点灯装置において、シマー放電の移動の様子を示す説明図である。
【図５】シマー放電の位置と、その滞留時間の関係を調べた実験結果を示す図である。
【図６】トリガ部材の設置位置とシマー放電の上昇の様子との関係を調べた実験結果を示す図である。
【図７】従来に係るランプ点灯装置が備えるランプユニットの説明図である。
【図８】従来のランプ点灯装置の回路構成の一例を示す図である。
【図９】従来のランプ点灯装置の動作を示すタイミングチャートである。
【図１０】従来のランプ点灯装置によるフラッシュランプの点灯状態を説明する説明図である。
【符号の説明】
【００２７】
１      ランプ点灯装置
１１    ランプ点灯回路
１２    トリガ回路
２      フラッシュランプ
２１    一方のリード
２２    他方のリード
２３    一方の電極
２４    他方の電極
２５    発光管
２６    発光管の内部
２７    発光管の管軸
３      トリガ部材
３４    導体
４      バンド
５１    第１のスイッチング素子
５２    第２のスイッチング素子
６      タイマー回路
７      トリガコイル
８      重力方向
８１    重力方向線
Ｌ１    インダクタンス
Ｃ１    コンデンサ
Ｒ１    抵抗
Ｌ２１  トリガコイルの一次側
Ｌ２２  トリガコイルの二次側
Ｒ２    抵抗
ａ      第１の信号線
ｂ      第２の信号線
Ｌ１    一対の電極（陽極及び陰極）の対向する電極間距離
Ｌ２    発光管の長手方向における全長
Ｌ３    発光管の外径
Ｌ４    発光管の内径
Ｌ５    トリガ部材の導体の長手方向における全長
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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