(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空円筒形のシリンダチューブと、該シリンダチューブに挿通する円筒形のリニアガイドとを備え、前記リニアガイドの一方端が固定部材に支持されると共に他方端が前記シリンダチューブの内部に位置し、両者が互いに相対移動可能なように配設されたリニアガイドエアーシリンダであって、
前記シリンダチューブの一方端側を塞ぐとともに、その他方端側の内周に前記リニアガイドに沿って移動するボールブッシュを嵌入する一方、
前記リニアガイドの前記他方端側の外周に、前記シリンダチューブ内壁との間にエアーギャップが形成されるようにしてピストンを取り付け、
前記シリンダチューブの内周における前記ボールブッシュの近傍を前記リニアガイドの外周に接近させて、前記シリンダチューブと前記リニアガイドの間にエアーギャップを形成し、
前記シリンダチューブと前記リニアガイドにより囲まれる空間であって、前記ピストンによって形成される前記エアーギャップと、前記ボールブッシュの近傍に形成される前記エアーギャップで挟まれる領域によって、前記シリンダチューブを移動させるチャンバーを形成し、
前記リニアガイドの内部に、該リニアガイドの前記一方端側から前記チャンバーに連通する細長孔を形成することで、前記細長孔から前記チャンバーにエアーを給排し、
前記チャンバーに供給される前記エアーは、前記ピストンによって形成される前記エアーギャップ、及び前記ボールブッシュの近傍に形成される前記エアーギャップの双方を移動するようになっており、
前記シリンダチューブにおける前記ボールブッシュが嵌入された場所に相当する外周部位が、移動部材によって保持されることを特徴とするリニアガイドエアーシリンダ。
【請求項２】
前記ピストンによって形成される前記エアーギャップ及び／又は前記ボールブッシュの近傍に形成される前記エアーギャップにシール部材を配設したことを特徴とする請求項１に記載のリニアガイドエアーシリンダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、例えばウエブ搬送ラインのダンサーローラーシステムで用いられるエアーシリンダなどに好適で、所謂内筒に沿って外筒が相対移動する構造のリニアガイドエアーシリンダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ラインで搬送されるウエブ（シート状物）張力を適宜に制御するダンサーローラーシステムがある。かかるダンサーローラーは、その回転軸が移動可能なように支持されたアイドルローラーで、ウエブ張力によってその位置が移動し、ウエブ張力によりローラーに加わる力はエアーシリンダでバランスさせる。
図１０は、従来のダンサーローラーシステムのうちの所謂垂直型ダンサーの概略構成図であり、ウエブ１００は、左右に配される細長い円筒形の固定ガイドローラー１０１，１０２及びこれらガイドローラー１０１，１０２の下方で、そのローラー軸がローラー１０１，１０２のローラー軸間の中央位置に配され、且つ、ローラー１０１，１０２のローラー軸に平行に配されるダンサーローラー１０３によって同図中の矢印方向に搬送される一方、ダンサーローラー１０３は、ウエブ１００の張力によって上下方向（同図中の矢印方向Ａ１，Ｂ１）に移動可能なようになっている。しかるに、このダンサーローラー１０３のローラー軸には、細長棒状のダンサーアーム１０４の一端が取り付けられる一方、このダンサーアーム１０４の他端にはバランサ１０５が取り付けられている。そして、ダンサーアーム１０４の、バランサ１０５寄りの所謂ダンサー支点Ｐ１とダンサーローラー１０３との取付点とを適宜な比に内分する点Ｑ1に、当該ダンサーアーム１０４に対し垂直にエアーシリンダ１０６が取り付けられ、このエアーシリンダ１０６でウエブ張力によりローラーに加わる力をバランスさせている。
【０００３】
また、図１１は、所謂水平型ダンサーの概略構成図であり、ウエブ１００は、上下に配される細長円筒状の固定ガイドローラー１０１，１０２及びこれらガイドローラー１０１，１０２の同図では左方で、そのローラー軸がローラー１０１，１０２のローラー軸間の中央位置に配され、且つ、ローラー１０１，１０２のローラー軸に平行に配されるダンサーローラー１０３によって同図中の矢印方向に搬送される一方、ダンサーローラー１０３は、ウエブ１００の張力によって左右方向（同図中の矢印方向Ａ２，Ｂ２）に移動可能なようになっている。このダンサーローラー１０３の中心軸には、上記ダンサーアーム１０４の一端が取り付けられる一方、このダンサーアーム１０４の他端にはバランサ１０５が取り付けられている。そして、ダンサーアーム１０４の、バランサ１０５寄りのダンサー支点Ｐ２とダンサーローラー１０３との取付点とを適宜な比に内分する点Ｑ２に、当該ダンサーアーム１０４に対し直角にエアーシリンダ１０６が取り付けられ、このエアーシリンダ１０６でウエブ張力によりローラーに加わる力をバランスさせている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のダンサーローラーシステムでは、ウエブ張力によりローラーに加わる力をバランスさせるのに、その一端にダンサーローラーを、また、その他端にバランサを取り付けたダンサーアームに対しエアーシリンダを作用させる方法が採られているため、バランサによる慣性力が影響して応答性に欠けるところがあった。また、このような方法を採ると、ダンサー支点Ｐ１やＰ２を中心としてダンサーアームが揺動する場合、これに伴ってエアーシリンダがその支点Ｒ１やＲ２を中心に矢印方向に揺動をする（図１０，１１参照）。このためエアーシリンダには偏荷重が作用し、これがピストン摺動に際し摩擦を増大させ大きなメカロスを生ぜしめる。よって、従来型のエアーシリンダは、上記バランスを取るための装置には適さないという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、偏荷重や横荷重が作用しても低摩擦・低メカロスで作動するリニアガイドエアーシリンダを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１に係るリニアガイドエアーシリンダは、中空円筒形のシリンダチューブと、該シリンダチューブに挿通する円筒形のリニアガイドとを備え、前記リニアガイドの一方端が固定部材に支持されると共に他方端が前記シリンダチューブの内部に位置し、両者が互いに相対移動可能なように配設されたリニアガイドエアーシリンダであって、前記シリンダチューブの一方端側を塞ぐとともに、その他方端側の内周に前記リニアガイドに沿って移動するボールブッシュを嵌入する一方、前記リニアガイドの前記他方端側の外周に、前記シリンダチューブ内壁との間にエアーギャップが形成されるようにしてピストンを取り付け、前記シリンダチューブの内周における前記ボールブッシュの近傍を前記リニアガイドの外周に接近させて、前記シリンダチューブと前記リニアガイドの間にエアーギャップを形成し、前記シリンダチューブと前記リニアガイドにより囲まれる空間であって、前記ピストンによって形成される前記エアーギャップと、前記ボールブッシュの近傍に形成される前記エアーギャップで挟まれる領域によって、前記シリンダチューブを移動させるチャンバーを形成し、前記リニアガイドの内部に、該リニアガイドの前記一方端側から前記チャンバーに連通する細長孔を形成することで、前記細長孔から前記チャンバーにエアーを給排し、前記チャンバーに供給される前記エアーは、前記ピストンによって形成される前記エアーギャップ、及び前記ボールブッシュの近傍に形成される前記エアーギャップの双方を移動するようになっており、前記シリンダチューブにおける前記ボールブッシュが嵌入された場所に相当する外周部位が、移動部材によって保持されることを特徴とする。
本リニアガイドエアーシリンダによれば、上述同様に、リニアガイド（内筒に相当）に沿ってシリンダチューブ（外筒に相当）が相対移動する構造を採って剛性を高め、しかも、ボールブッシュを介して移動するために、偏荷重や横荷重が作用しても低摩擦・低メカロスで作動することができる。
ところで、本リニアガイドエアーシリンダは、作動媒体としてエアーを用いているが、リニアガイド油圧シリンダとして液油を作動媒体とするシリンダにも適用できることはもちろんである。
【０００８】
また、上記発明に係るリニアガイドエアーシリンダは、ボールブッシュに近接した位置の、リニアガイドとシリンダチューブ間にエアーギャップが形成されるようにしたもので、このエアーギャップに上記エアーが供給されるようにして負荷容量を発生させ、これによりリニアガイドとシリンダチューブ間を非接触状態にするように作用させて、上述した低摩擦・低メカロスで作動することを助長するようにしたものである。
【０００９】
また、本発明の請求項２に係るリニアガイドエアーシリンダは、前記ピストンによって形成される前記エアーギャップ及び／又は前記ボールブッシュの近傍に形成される前記エアーギャップにシール部材を配設したことを特徴とする。これにより、チャンバー内圧を高くすることができるので、本エアーシリンダは、例えば、各種金型をセットするときに用いる所謂ダイセットのアクチュエータとして有用である。
ところで、上記シール部材は、Ｏリングやパッキンなど漏洩防止を図ることができる部材であれば特に限定されない。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の第１の実施の形態に係るリニアガイドエアーシリンダを図１，２を参照して説明する。
本リニアガイドエアーシリンダ１の構成を図１を参照して説明する。尚、図１（Ａ）は、当該シリンダ１におけるストローク中央の位置で、シリンダチューブ４がリニアガイド２の中央位置にあるときを示している。また、図１（Ｂ）は、同図（Ａ）のＡ部拡大図である。
本リニアガイドエアーシリンダ１は、図１（Ａ）に示すように、両持復動型シリンダで、細長い円筒形の両端面から当該円筒軸に沿って一対の有底の細長孔２ａ，２ｂがそれぞれ穿設され、本実施の形態では上記両端部が固定部材３ａ，３ｂにそれぞれ支持されたリニアガイド２と、このリニアガイド２によって挿通される態様で配され、当該リニアガイド２の円筒軸に沿って移動可能に配される中空円筒形のシリンダチューブ４とを備えている。本シリンダ１のように、リニアガイド２に沿ってシリンダチューブ４が移動する構造を採ると、剛性が高まるシリンダを構成できる。ところで、上記細長孔２ａ，２ｂはエアー通路であり、リニアガイド２の両端面のエアー給排口２ｃ，２ｄを介してエアー圧縮装置（図示せず）にそれぞれ接続されている。
【００１１】
また、本リニアガイドエアーシリンダ１は、リニアガイド２の略中央外周に、シリンダチューブ４内壁との間に微小隙間が形成されるようにしてピストン５を嵌着するとともに、当該ピストン５の両側にＯリング６ａ，６ｂが添設され、また、シリンダチューブ４の両端内周に、リニアガイド２に沿って移動するボールブッシュ（ボールブッシュＡ）７ａ及びボールブッシュ（ボールブッシュＢ）７ｂがそれぞれ嵌入されており、シリンダチューブ４がこのようなボールブッシュ７ａ，７ｂを介して移動する構造を採ると、偏荷重、あるいは高荷重が作用しても低摩擦・低メカロスで作動するシリンダを構成できる。
【００１２】
ところで、本実施の形態では、ボールブッシュ７ａ，７ｂに近接した位置の、リニアガイド２とシリンダチューブ４間にエアーギャップを形成する場合に、ボールブッシュ７ａ，７ｂの、シリンダチューブ４内の一方側面に受圧部材８ａ，８ｂを設け、これら受圧部材８ａ，８ｂとリニアガイド２間にエアーギャップが形成されるようにしている。尚、ここでは受圧部材８ｂについて説明し、受圧部材８ａは、受圧部材８ｂと同様であるので、その説明は割愛する。
この受圧部材８ｂは、図１（Ｂ）に詳細に示されているように、シリンダチューブ４にピン９によりボールブッシュ７ｂの一方側面に当接する態様で係止され、リニアガイド２との間にエアーギャップＧ１が形成されるように配される。このようなエアーギャップＧ１は、後述するように、本シリンダ１が更なる低摩擦・低メカロスで作動することを可能にしている。
【００１３】
そして、本リニアガイドエアーシリンダ１では、ピストン５の両側で、且つ、リニアガイド２とシリンダチューブ４間の隙間にチャンバー１０ａ，１０ｂが形成される。具体的には、リニアガイド２とシリンダチューブ４間の隙間で、且つ、ピストン５と受圧部材８ａを介してボールブッシュ７ａ間及びピストン５と受圧部材８ｂを介してボールブッシュ７ｂ間でチャンバー１０ａ，１０ｂが形成される。そして、リニアガイド２には、当該リニアガイド２に嵌着されたピストン５の両脇に小孔２ｅ，２ｆがそれぞれ設けられ、チャンバー１０ａが小孔２ｅを介して細長孔２ａに連通し、チャンバー１０ｂが小孔２ｆを介して細長孔２ｂに連通するようになっている。これにより、エアー圧縮装置からチャンバー１０ａまたは１０ｂに供給される圧縮エアーでシリンダチューブ４を移動させることができる。そして、例えばチャンバー１０ａに供給された圧縮エアーは、受圧部材８ａの上記エアーギャップＧ１からリークする一方、シリンダチューブ４の内壁とピストン５の外周面とで形成される微小隙間を通じて、もう一方の受圧部材８ｂに形成されるエアーギャップＧ１からリークするようになっており、これがリニアガイド２とシリンダチューブ４間を非接触状態にするように作用させるので、上述のように、本シリンダ１は、更なる低摩擦・低メカロスで作動することが可能になる。
【００１４】
次に、本シリンダ１の作動を図２を参照して説明する。但し、図２（Ａ）は、ストローク右最大の位置にあるとき、同図（Ｂ）は、ストローク左最大の位置にあるときを示している。
本シリンダ１では、シリンダチューブ４に同図のような偏荷重や横荷重が作用しても低摩擦・低メカロスで作動することができる。例えば、図１の位置から、図２（Ａ）のストローク右最大位置に作動させる場合には、エアー給排口２ｃから圧縮エアーが供給されると、圧縮エアーは、細長孔２ａ、小孔２ｅを介してチャンバー１０ａに流入し、受圧部材８ａを介してボールブッシュ７ａを押圧する一方、チャンバー１０ｂ内のエアーは、シリンダチューブ４の移動に伴って、小孔２ｆ、細長孔２ｂを経てエアー給排口２ｄから流出するので、シリンダチューブ４はリニアガイド２に沿って図２（Ａ）中の矢印方向に移動する。このとき、チャンバー１０ａに流入した圧縮エアーは、受圧部材８ａの上記エアーギャップＧ１からリークする一方、シリンダチューブ４の内壁とピストン５の外周面とで形成される微小隙間を通じて、もう一方の受圧部材８ｂに形成されるエアーギャップＧ１からリークするようになり、上述したように低摩擦・低メカロスで作動することを助長する。
また、図１の位置から、図２（Ｂ）のストローク左最大位置に作動させる場合は、ストローク右最大位置に作動させる場合に準じて圧縮エアーによりシリンダチューブ４が図２（Ｂ）中の矢印方向に移動する。
【００１５】
本発明の第２の実施の形態に係るリニアガイドエアーシリンダを図３，４を参照して説明する。
本リニアガイドエアーシリンダ２０の構成を図３（Ａ）を参照して説明する。尚、図３（Ａ）は、当該シリンダ２０における最大ストローク時で、シリンダチューブ２６がリニアガイド２３の最左端にあるときを示している。また、図３（Ｂ）は、同図（Ａ）のＢ部拡大図である。
本リニアガイドエアーシリンダ２０は、同図（Ａ）に示すように、片持単動型シリンダで、本実施の形態では、一方端が固定部材２１ａ，２１ｂに支持されて水平に保持され、他方端に中空円筒形のピストン２２が取り付けられた細長で中空円筒形のリニアガイド２３と、このリニアガイド２３によって挿通される態様で、且つ、当該リニアガイド２３の円筒軸に沿って移動可能に配され、その一方端側を塞ぐ代わりにシリンダヘッド２４を取り付ける一方、その他方端側にリニアガイド２３に沿って移動する、本実施の形態では２つの同種のボールブッシュ２５を連接したものが嵌入された中空円筒形のシリンダチューブ２６と、ピストン２２を貫通する軸部２７ａの一方端にフランジ部２７ｂを突設し、その他方端が上記シリンダヘッド２４に係止されてなるストップロッド２７とを備えている。
【００１６】
そして、本シリンダ２０では、上記ピストン２２は、リニアガイド２３の他方端側に、シリンダチューブ２６内壁との間にエアーギャップＧ２が形成されるように取り付けられる一方、このピストン２２の片側に形成される空間、即ち、ストップロッド２７の軸外周で、且つ、シリンダチューブ２６及びシリンダヘッド２４により囲まれる空間にチャンバー２８を形成し、このチャンバー２８にシリンダチューブ２６を移動させるためのエアーがリニアガイド２３の中空穴２３ａを通して給排されるようになっている。
【００１７】
ここで、リニアガイド２３の中空部２３ａからチャンバー２８へのエアーの流入について、図３（Ｂ）を参照して説明する。尚、同図中、二点鎖線のストップロッド２７は、本シリンダ２０の作動時での状態を示している。
リニアガイド２３の中空穴２３ａに供給された圧縮エアーは、ピストン２２とストップロッド２７の軸部２７ａとの隙間を通じてチャンバー２８に流入する（同図中の矢印で示す）。ここに流入した圧縮エアーは、シリンダヘッド２４を押圧してチャンバー２８の容積を増大させる方向にシリンダチューブ２６を移動させ、また、本実施の形態では、上述したピストン２２とシリンダチューブ２６との間のエアーギャップＧ２に連なる態様でリニアガイド２３とシリンダチューブ２６との間にエアーギャップＧ２が形成されるようにし、これらエアーギャップＧ２を通じてボールブッシュ２５にリークするようになっており、本シリンダ２０においても、低摩擦・低メカロスで作動することが助長される。
【００１８】
次に、本シリンダ２０の作動を図４を参照して説明する。但し、図４（Ａ）は、図３（Ａ）と同じ最大ストロークの位置にあるとき、同図（Ｂ）は、最小ストロークの位置にあるときを示している。
本シリンダ２０は、シリンダチューブ２６に図４のような偏荷重や横荷重が作用しても低摩擦・低メカロスで作動することができる。例えば、最小ストロークの位置（図４（Ｂ））から最大ストロークの位置（同図（Ａ））に作動させる場合には、圧縮エアーが、エアー圧縮装置（図示せず）に接続されたリニアガイド２３のエアー給排口２３ｂを介して中空穴２３ａに供給されると、圧縮エアーは、ストップロッド２７のフランジ部２７ｂを押圧するとともに、上述のように、チャンバー２８に流入してシリンダヘッド２４を押圧し、シリンダチューブ２６をリニアガイド２３に沿って同図（Ｂ）中の矢印方向に移動させる。また、この圧縮エアーは、チャンバー２８に流入して当該チャンバー２８の容積を増大させ、最大ストロークの位置（同図（Ａ））で最大にする一方、上記エアーギャップＧ２を通じてボールブッシュ２５にリークして、本シリンダ２０が低摩擦・低メカロスで作動することを助長する。
一方、最大ストロークの位置から、最小ストロークの位置に作動させる場合は、上記中空穴２３ａへの圧縮エアーの供給を停止し、シリンダチューブ２６を図５（Ａ）中の矢印方向に押せば、チャンバー２８内のエアーがエアー給排口２３ｂを介して外部に流出してシリンダチューブ２６は同矢印方向に移動するようになる。
【００１９】
本発明の第３の実施の形態に係るリニアガイドエアーシリンダを図５，６を参照して説明する。
本リニアガイドエアーシリンダ３０の構成を図５を参照して説明する。尚、同図は、当該シリンダ３０における中間ストローク時での、シリンダチューブ３３がリニアガイド３１の略中央にあるときを示している。
本リニアガイドエアーシリンダ３０は、同図に示すように、上記シリンダ２０と同様に片持単動型シリンダで、細長い円筒形の一方端面から当該円筒軸に沿って有底の細長孔３１ａが穿設され、本実施の形態では、その一方端が固定部材３２ａ，３２ｂに支持されて水平に保持されたリニアガイド３１と、このリニアガイド３１によって挿通される態様で配され、当該リニアガイド３１の円筒軸に沿って移動可能に配される中空円筒形のシリンダチューブ３３とを備えている。また、本シリンダ３０では、リニアガイド３１の他方端外周に、シリンダチューブ３３内壁との間にエアーギャップＧ３が形成されるようにピストン３４を嵌着する一方、シリンダチューブ３３の一方端側を塞ぐ代わりにシリンダヘッド３６を固定するとともに、その他方端内周にリニアガイド３１に沿って移動するボールブッシュ３５を嵌入する。
【００２０】
そして、本シリンダ３０では、このピストン３４の片側に形成される空間、即ち、リニアガイド３１及びシリンダチューブ３３により囲まれる空間にチャンバー３７を形成し、このチャンバー３７が小孔３１ｂを介して細長孔３１ａに連通するようになっている。これにより、エアー圧縮装置からチャンバー３７に供給される圧縮エアーによりシリンダチューブ３３を移動させることができる。また、本シリンダ３０においても、ボールブッシュ３５に近接した位置の、リニアガイド３１とシリンダチューブ３３間にエアーギャップＧ４を形成するようにしており、これにより、チャンバー３７に流入した圧縮エアーは、このエアーギャップＧ４を通じてボールブッシュ３５にリークする一方、上記エアーギャップＧ３を通じてチャンバー３７とはピストン３４に対し反対側に形成される空間３８にリークするようになっており、上述同様に低摩擦・低メカロスで作動することが助長される。
【００２１】
次に、本シリンダ３０の作動を図６を参照して説明する。但し、図６（Ａ）は、最大ストロークの位置にあるとき、同図（Ｂ）は、最小ストロークの位置にあるときを示している。
本シリンダ３０において、シリンダチューブ３３に図６のような偏荷重や横荷重が作用しても低摩擦・低メカロスで作動することができる。例えば、最小ストロークの位置（図６（Ｂ））から最大ストロークの位置（同図（Ａ））に作動させる場合には、圧縮エアーが、エアー圧縮装置（図示せず）に接続されたリニアガイド３１のエアー給排口３１ｃを介して細長孔３１ａに供給されると、圧縮エアーは、小孔３１ｂを通じてチャンバー３７に流入し、当該チャンバー３７の容積を増大させつつシリンダチューブ３３を押圧して当該シリンダチューブ３３をリニアガイド３１に沿って図６（Ｂ）中の矢印方向に移動させると同時に、チャンバー３７に流入した圧縮エアーは、エアーギャップＧ４を通じてボールブッシュ３５にリークする一方、エアーギャップＧ３を通じて空間３８にリークして、本シリンダ３０が低摩擦・低メカロスで作動することを助長する。尚、チャンバー３７とは反対側の空間３８にエアーが残存しているので、シリンダヘッド３６の排気穴３６ａを外部に開放するか、叉は排気穴３６ａに吸引装置を接続するかして残存エアーを抜く必要がある。
一方、最大ストロークの位置から最小ストロークの位置に作動させる場合には、上記細長孔３１ａへの圧縮エアーの供給を停止し、シリンダチューブ３３を図６（Ａ）中の矢印方向に押せば、チャンバー３７内のエアーがエアー給排口３１ｃを介して外部に流出してシリンダチューブ３３は同矢印方向に移動するようになる。或いは、押す代わりに排気穴３６ａからエアー圧縮装置で圧縮エアーを供給するようにしてシリンダチューブ３３を同矢印方向に移動させるようにしてもよい。
【００２２】
これらシリンダ１，２０，３０の実際の使われ方の一例を示す。ここでは、水平型ダンサーローラーシステムに、片持単動型のシリンダ２０（叉はシリンダ３０でもよい）を用いた例を図７に示す。尚、同図において、図１０の構成部材と同一の部材には同一番号を付しその説明は割愛する。ウエブ１００は、上下に配される細長円筒状の固定ガイドローラー１０１，１０２及びこれらガイドローラー１０１，１０２の同図では前方で、そのローラー軸がローラー１０１，１０２のローラー軸間の中央位置に配され、且つ、ローラー１０１，１０２のローラー軸に平行に配されるダンサーローラー１０３によって同図中の矢印方向に搬送される一方、ダンサーローラー１０３は、ウエブ１００の張力によって同図中の矢印方向Ａ，Ｂに移動可能なようになっている。そして、このダンサーローラー１０３のローラー軸の両端にホルダ４０（移動部材に相当）がそれぞれ取り付けられており、これらホルダ４０にシリンダ２０がそれぞれ配設されている。即ち、これらシリンダ２０は、当該シリンダ２０のシリンダチューブ２６の、ボールブッシュ２５が嵌入された外周部位が上記ホルダ４０によってそれぞれ把持され、当該シリンダ２０のリニアガイド２３の一方端がフランジ４１を介して固定板部材４２にそれぞれ水平に片持ち支持される。
【００２３】
本シリンダ２０を用いると、ダンサーアーム１０４やバランサ１０５を必要とせず、本シリンダ２０をダンサーローラー１０３のローラー軸に直接取り付けることができる。そして、ウエブ張力によりダンサーローラー１０３を介して本シリンダ２０に偏荷重や横荷重が作用しても、本シリンダ２０は低摩擦・低メカロスで作動し、ダンサーローラー１０３を矢印方向Ａ，Ｂに移動させて当該ローラー１０３に加わる力をバランスさせることができる。
【００２４】
ところで、上述した第１の実施の形態に係るエアーシリンダ１では、エアーギャップＧ１を、第２の実施の形態に係るエアーシリンダ２０ではエアーギャップＧ２を、また、第３の実施の形態に係るエアーシリンダ３０ではエアーギャップＧ３，Ｇ４を形成して、低摩擦・低メカロスで作動することが助長されるようになるものについて説明したが、例えばエアーシリンダ１について言えば、図８（Ａ）に示すように、エアーギャップＧ１のところの２箇所にＯリング（シール部材）１１を配設し、また、エアーシリンダ２０について言えば、同図（Ｂ）に示すように、エアーギャップＧ２のところの２箇所にＯリング（シール部材）２９を配設し、エアーのリークを阻止してチャンバー内圧を高くすることができる。このようなエアーシリンダは、例えばダイセットのアクチュエータとして有用である。尚、図８（Ａ）は図１（Ｂ）に、また、図８（Ｂ）は図３（Ｂ）にそれぞれ対応する。
【００２５】
図９は、ダイセットに用いたエアーシリンダの例であり、当該シリンダ４０は、上記エアーシリンダ１においてエアーギャップＧ１のところの２箇所にＯリング１１を配設してなる両持復動型シリンダである。
この例でのダイセットは、エアーシリンダ４０を四隅に配し、それらのリニアガイド２の両端をフランジ４１及び４２で矩形状ベース４３及び４４にそれぞれ固定するとともに、それらのシリンダチューブ４をフランジ４５で矩形状の移動プレート４６にそれぞれ固定してなるものである。このようなダイセットでは、各エアーシリンダ４０のエアー給排口２ｃ，２ｄに圧縮エアーを給排することにより、シリンダチューブ４が同図中の矢印方向に移動するので、移動プレート４６が同矢印方向に移動する。したがって、このダイセットは、例えば同図中のところに金型や被加圧物（二点鎖線で示す）を配置することによって、金型や被加圧物を加圧することができるため、当該ダイセット自体でプレス加工機を構成でき、従来のプレス加工機に比べ小型化され、安価なものとなる。また、このダイセットでは、エアーシリンダ４０が四隅に配され、且つ、当該エアーシリンダ４０が案内ガイドとアクチュエータとを兼ねる構造となっているために、一基のエアーシリンダ４０で得られる加圧能力の４倍の加圧能力が得られるとともに、従来のような案内ガイドとアクチュエータとが別体のプレス加工機で生ずる所謂鐺が発生せず、移動プレート４６のスムーズな移動が可能になる。
【００２６】
【発明の効果】
本発明のリニアガイドエアーシリンダによれば、偏荷重や横荷重が作用しても低摩擦・低メカロスで作動する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施の形態に係るリニアガイドエアーシリンダの構成図である。
【図２】  図１のシリンダの動作説明図である。
【図３】  本発明の第２の実施の形態に係るリニアガイドエアーシリンダの構成図である。
【図４】  図３のシリンダの動作説明図である。
【図５】  本発明の第３の実施の形態に係るリニアガイドエアーシリンダの構成図である。
【図６】  図５のシリンダの動作説明図である。
【図７】  図３のシリンダを用いたダンサーローラーシステムの概略構成図である。
【図８】  図１や図３のエアーギャップのところにＯリングを配設した説明図である。
【図９】  図８のシリンダを用いたダイセットの概略構成図である。
【図１０】  従来のシリンダが用いられるときのダンサーローラーシステムの概略構成図である。
【図１１】  従来のシリンダが用いられるときのダンサーローラーシステムの概略構成図である。
【符号の説明】
１，２０，３０                本姿勢制御装置
２，２３，３１                リニアガイド
２ａ，３１ａ                  細長孔
４，２６，３３                シリンダチューブ
５，２２，３４                ピストン
７ａ                          ボールブッシュ（ボールブッシュＡ）
７ｂ                          ボールブッシュ（ボールブッシュＢ）
１０ａ，１０ｂ，２８，３７    チャンバー
１１，２９                    Ｏリング（シール部材）
２３ａ                        中空穴
２４，３６                    シリンダヘッド
２５，３５                    ボールブッシュ
２７                          ストップロッド
２７ｂ                        フランジ部
G１〜G４                      エアーギャップ
【図１】
0005041641.tif 000002
【図２】
0005041641.tif 000003
【図３】
0005041641.tif 000004
【図４】
0005041641.tif 000005
【図５】
0005041641.tif 000006
【図６】
0005041641.tif 000007
【図７】
0005041641.tif 000008
【図８】
0005041641.tif 000009
【図９】
0005041641.tif 000010
【図１０】
0005041641.tif 000011
【図１１】
0005041641.tif 000012