(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
充填液が貯留された充填液タンクと、この充填液タンクと充填ノズルとを連通する充填液通路と、この充填液通路から分岐され、充填液を前記充填液タンクへ還流させる回収通路と、前記充填液通路の回収通路との分岐部よりも下流側に設けられた充填バルブと、前記回収通路に設けられた回収バルブと、充填液通路に設けられ、充填液タンク内の充填液を送液する供給ポンプと、充填液通路の供給ポンプと前記分岐部との間に設けられたフィルタと、前記充填バルブと回収バルブにそれぞれ設けられ、各バルブの開度を調整する駆動手段と、これら駆動手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、充填動作中に前記フィルタの上流側の圧力と下流側の圧力が前記充填バルブの開閉動作により変動しないように前記回収バルブの開度を制御することを特徴とする充填装置。
【請求項２】
充填バルブの開度と回収バルブの開度との関係を記憶する記憶手段を設け、この関係に基づいて充填バルブと回収バルブの開度を制御することを特徴とする請求項１に記載の充填装置。
【請求項３】
前記フィルタの上流側および下流側に圧力検出手段を設け、検出された圧力に応じて回収バルブの開度を制御することをことを特徴とする請求項１に記載の充填装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルタを透過させて不純物を除去したレジスト液を容器内に充填する充填装置に係り、特に、充填動作により生じるフィルタ前後の圧力差を低減するようにした充填装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
レジスト液の充填装置では、液通路にフィルタを配置してレジスト液に含まれる不純物を捕獲するようにしている（例えば、特許文献１または特許文献２参照）。特許文献１に記載されたフォトレジスト塗布装置は、「フォトレジストガロン瓶２１から三方弁１３、ポンプ３、フィルタユニット４、三方弁１４を経て塗布ノズル５に至る供給用配管２について、三方弁１４から直接に三方弁１３に戻る循環用配管８を設け」ている。この装置では、「塗布停止時にはフォトレジストを三方弁１３、ポンプ３、フィルタユニット４、三方弁１４から循環用配管８を経て三方弁１３へ戻る環状ラインを循環させてフォトレジストを停滞させない」ようにしている。
【０００３】
また、特許文献２には、「フィルターにフォトレジスト組成物を通過させ、通過後のフォトレジスト組成物をさらに該フィルターに導き、閉鎖系内で循環させることにより該フォトレジスト組成物中の微粒子を除去することを特徴とする微粒子量の低減されたフォトレジスト組成物の製造方法」が記載されている。この方法では、充填を行う前に、フィルタにフォトレジスト組成物を通過させることによりフォトレジスト組成物中の不純物を除去している。
【特許文献１】特開平１０−１７２８８１号公報（第３−４頁、図３）
【特許文献２】特開２００２−６２６６７号公報（第２−３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記各引用文献に記載された発明の構成では、レジスト液をポンプによって送りフィルタを通過させて不純物等を除去するようにしている。このように充填動作を行わないときにレジスト液の不純物等をフィルタによって除去して減少させていても、充填を行う際には、充填バルブの開閉動作によってフィルタの上流側と下流側とで圧力変動を生じ、この圧力変動が大きいと、レジスト液中の不純物がフィルタを通過して下流側へ流出してしまうことがあるという問題があった。、
【０００５】
本発明は、前記課題を解決するためになされたもので、充填バルブの開閉動作によって生じるフィルタの上流側と下流側との間の圧力変動を極力抑えることにより、フィルタによるレジスト液の濾過精度を向上させることができる充填装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、充填液が貯留された充填液タンクと、この充填液タンクと充填ノズルとを連通する充填液通路と、この充填液通路から分岐され、充填液を前記充填液タンクへ還流させる回収通路と、前記充填液通路の回収通路との分岐部よりも下流側に設けられた充填バルブと、前記回収通路に設けられた回収バルブと、充填液通路に設けられ、充填液タンク内の充填液を送液する供給ポンプと、充填液通路の供給ポンプと前記分岐部との間に設けられたフィルタと、前記充填バルブと回収バルブにそれぞれ設けられ、各バルブの開度を調整する駆動手段と、これら駆動手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、充填動作中に前記フィルタの上流側の圧力と下流側の圧力が前記充填バルブの開閉動作により変動しないように前記回収バルブの開度を制御することを特徴とするものである。
【０００７】
また、請求項２に記載された発明は、充填バルブの開度と回収バルブの開度との関係を記憶する記憶手段を設け、この関係に基づいて充填バルブと回収バルブの開度を制御することを特徴とするものである。
【０００８】
さらに、請求項３に記載された発明は、前記フィルタの上流側および下流側に圧力検出手段を設け、検出された圧力に応じて回収バルブの開度を制御することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の充填装置は、充填動作中にフィルタの上流側と下流側の圧力が前記充填バルブの開閉動作により変動しないように前記回収バルブの開度を制御しているので、レジスト液がフィルタを通過する際の濾過精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
充填液が貯留された充填液タンクと、この充填液タンクから充填ノズルに充填液を送る充填液通路と、充填液通路に前記充填液タンクの充填液を送液する供給ポンプと、この充填液通路から分岐され、充填液を前記充填液タンクに還流させる回収通路と、充填液通路の分岐部よりも下流側に設けた充填バルブと、この充填バルブの開度を調整する駆動手段と、前記回収通路に設けた回収バルブと、この回収バルブの開度を調整する駆動手段と、これら駆動手段の作動を制御する制御手段と、供給ポンプと前記充填液通路の回収通路との分岐部の間に設けたフィルタとを備えており、充填動作中に、前記フィルタの上流側と下流側の圧力が前記充填バルブの開閉動作により変動しないように前記回収バルブの開度を制御することにより、フィルタの上流側と下流側の圧力差を低減するという目的を達成する。
【実施例１】
【００１１】
以下、図面に示す実施例により本発明を説明する。図１は本発明の一実施例に係る充填装置の構成を簡略化して示す概略構成図である。図において、２は充填液（この実施例ではレジスト液）を貯留する充填液タンクであり、充填液通路４を介して、容器６内にレジスト液を充填する充填ノズル８に連通している。この充填液通路４には、充填液タンク２内のレジスト液を送液する供給ポンプ１０と、充填液通路４を連通遮断する充填バルブ１２が設けられている。この充填バルブ１２は、駆動手段としてのサーボモータ（図示せず）によって開閉されるようになっており、バルブ開度を正確に調整することができる。また、前記供給ポンプ１０と充填バルブ１２との間に、供給ポンプ１０によって送り出されるレジスト液を濾過するフィルタ１４が設けられている。
【００１２】
前記充填液通路４の途中（フィルタ１４と充填バルブ１２の間）から分岐して、充填液通路４内を送られてきたレジスト液を充填液タンク２に還流させる回収通路１６が設けられている。なお、充填液通路４の、回収通路１６が接続されている分岐部１８よりも充填液タンク２側を上流部４Ａ、充填ノズル８側を下流部４Ｂと呼ぶことにする。前記回収通路１６には、充填液通路４の上流部４Ａを送られてきたレジスト液の全部または一部を還流させる回収通路１６の開閉を行う回収バルブ２０が設けられている。この回収バルブ２０も図示しない駆動手段としてのサーボモータによって開閉されるようになっており、バルブ開度の正確な調整が可能である。
【００１３】
レジスト液が充填される容器６は、ロードセル２２によって充填重量を測定されており、その検出信号が制御手段（制御装置）２４に入力される。このロードセル２２からの信号によって制御装置２４が、前記充填バルブ１２および回収バルブ２０の駆動手段であるサーボモータを制御してバルブ開度を調整する。
【００１４】
この充填装置では、供給ポンプ１０の駆動により充填液タンク２から充填液通路（充填液通路の上流部４Ａ）に送り出される充填液の流量を、充填する液種に応じて設定するようにしている。また、充填バルブ１２の開度と回収バルブ２０の開度の関係を予め実験により求めておき、その関係を前記制御装置２４に設けた記憶手段に記憶しておく。通路を流れる充填液の圧力は、通路の径や長さ等の条件によって異なるので、その条件の下で、充填バルブ１２を開放した際に、回収バルブ２０の開度をどのように制御したらフィルタ１４の前後の圧力変動を抑えることができるか、データを収集して圧力変動が生じない関係（充填バルブ１２と回収バルブ２０の開度の関係）を求めておく。
【００１５】
図２は、フィルタ１４の前後の圧力変動を低減することができる充填バルブ１２の開度と回収バルブ２０の開度の関係の一例を示すグラフである。このグラフのように充填バルブ１２と回収バルブ２０の開度を制御することができれば、フィルタ１４の上流側の圧力と下流側の圧力の変動を低減することができる。例えば、この実施例では、フィルタ１４の上流側の圧力を２００ＫＰａ、フィルタ１４の下流側の圧力を１７０ＫＰａに設定し、この圧力が変動しないように、充填バルブ１２と回収バルブ２０の開度を制御する。なお、このときの供給ポンプ１０による流量は一定とする。このようにフィルタ１４の上流側と下流側の圧力を設定した値に維持して圧力変動を無くすことにより、フィルタ１４によるレジスト液の濾過精度を向上させることができる。
【実施例２】
【００１６】
図３は本発明の第２の実施例に係る充填装置の概略構成図であり、基本的な構成は前記第１実施例と共通しているので、同一または相当する部分には同一の符号を付してその説明を省略し、相違する部分についてだけ説明する。この実施例では、充填液通路４に設置されたフィルタ１４の上流側と下流側にそれぞれ圧力検出手段（圧力計）２６、２８が設けられており、供給ポンプ１０によって充填液タンク２から充填液通路４の上流部４Ａに送液されフィルタ１４を通過する充填液の、フィルタ１４の上流側における圧力と下流側における圧力を測定している。そして、この測定した圧力に応じて、回収バルブ２０の開度を制御するようにしている。この実施例でも、フィルタ１４の上流側と下流側の圧力変動を低減することができ、フィルタ１４によるレジスト液の濾過精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】充填装置の構成を簡略化して示す概略構成図である。（実施例１）
【図２】前記充填装置の制御の一例を示すグラフである。
【図３】他の実施例に係る充填装置の構成を簡略化して示す概略構成図である。（実施例２）
【符号の説明】
【００１８】
２    充填液タンク
４    充填液通路
４Ａ  充填液通路の上流側（上流部）
４Ｂ  充填液通路の下流側（下流部）
８    充填ノズル
１０    供給ポンプ
１２    充填バルブ
１４    フィルタ
１６    回収通路
１８    分岐部
２０    回収バルブ
２４    制御手段（制御装置）
２６    圧力検出手段（圧力計）
２８    圧力検出手段（圧力計）
【図１】
0005034836.tif 000002
【図２】
0005034836.tif 000003
【図３】
0005034836.tif 000004