(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、このベースに対面して配置した移動テーブルと、この移動テーブルと前記ベースとの間に設けられて両者を連結し、前記移動テーブルを作動する並列的に配置した複数の脚部とを備え、
隣接して対をなす前記脚部の移動テーブル側端部は、継手ユニットを介して前記移動テーブルに接続されており、
前記継手ユニットは、
前記隣接して対をなす脚部の移動テーブル側端部それぞれに連結されたフォーク部と、
このフォーク部を枢着した軸部と、
この軸部に前記移動テーブルの接続凸部を連結する球面軸受と、
を有し、
前記各脚部は伸縮自在であって、
前記移動テーブル側において対をなした側と反対側に隣接して対をなす脚部は、第２継手ユニットを介して前記ベースに接続されており、
前記第２継手ユニットは、
前記反対側に隣接して対をなす脚部のベース側端部それぞれに連結された第２フォーク部と、
この第２フォーク部を枢着する第２軸部と、
この第２軸部に前記ベースの接続凸部を連結する第２球面軸受と、
を有することを特徴とするパラレルメカニズム。
【請求項２】
前記各脚部は、モータによって回転して二方向に作動流体を吐出するポンプと、前記ベースと前記移動テーブルとに接続され、前記ポンプが吐出した作動流体を受ける複動型片ロッドシリンダとを有することを特徴とする請求項１に記載のパラレルメカニズム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ベースと移動テーブルとの間に複数の脚を並列的に配置したパラレルメカニズムに係り、特に空間６自由度を有するパラレルメカニズムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、工作機械の工具やロボットハンドなどのエンドエフェクタに空間６自由度を与える場合、複数のベースのそれぞれと工具やハンドとをリンクによって直列に連鎖したシリアルな機構となっており、シリアルメカニズムと呼ばれている。すなわち、従来のエンドエフェクタの駆動機構は、スライドガイドを用いた直交型のアクチュエータによって、エンドエフェクタを直交したＸＹＺ軸に沿って移動させて３自由度を得、さらに３つのアクチュエータを直列的に配置していわゆるピッチング、ヨーイング、ローリングの３自由度を実現していた。
【０００３】
この機構は、アクチュエータの駆動量とエンドエフェクタの変位量との関係を表すことが容易であり、各移動軸ごとに運動精度を高めることも容易である。そして、工作機械や測定器においては、要求される運動軌跡が直線運動であったために、最も多く普及している。しかし、従来のシリアルメカニズムは、（イ）片持ち梁や両端支持梁などの梁構造をとっている場合が多く、構造部材に自重や外力による曲げモーメントが加わり、撓みが発生しやすい。（ロ）直列的な積み重ね構造であるため、各移動軸の運動誤差や位置決め誤差が累積される。（ハ）構造部材、アクチュエータなどの質量が積み重ねられるため、装置が大型化するとともに、慣性質量が増大してエンドエフェクタの移動速度を大きくできない。（ニ）各軸のアクチュエータへの負荷が異なり、各軸の構造を統一することができず、ユニット化が困難でコストが増大する。（ホ）出力節を各移動軸のスケールや駆動ユニットの延長線上に配置することが難しく、出力節の位置決めや精度が各軸の運動誤差の影響を受けやすい。などの欠点がある。そこで、装置の軽量化が図れ、大きな出力が得られるパラレルメカニズムが注目されている。
【０００４】
パラレルメカニズムは、現在、図７〜図９に示した３つの形態が考えられている。図７は、伸縮型パラレルメカニズムの構造を模式的に示したものである。図７に示したように、パラレルメカニズム１０は、ベース１２に対面して移動テーブル（プラットフォーム）１４が配置してある。そして、ベース１２と移動テーブル１４との間に、シリンダやボールネジなどのような伸縮自在な６つのアクチュエータ１６（１６ａ〜１６ｆ）が並列的に配置してある。これらのアクチュエータ１６は、下端が球面軸受を介してベース１２に取り付けられ、上端が球面軸受を介して移動テーブルに取り付けてある。また、各アクチュエータ１６は、ベース１２、移動テーブル１４の面とトラスを形成するように配置してある。
【０００５】
すなわち、例えば、アクチュエータ１６ａのベース１２への接続部１８ａは、このアクチュエータ１６ａの一側に隣接しているアクチュエータ１６ｂのベース１２への接続部１８ｂに近接している。一方、アクチュエータ１６ａの移動テーブル１４への接続部２０ａは、このアクチュエータ１６ａの他側に隣接しているアクチュエータ１６ｆの移動テーブル１２への接続部２０ｆに近接している。他のアクチュエータについても同様であって、アクチュエータ１６ａとアクチュエータ１６ｂと移動テーブル１４の面とで略三角形が形成される。また、アクチュエータ１６ｂとアクチュエータ１６ｃとベース１２の面とで略三角形が形成される。
【０００６】
このように構成してあるパラレルメカニズム１０は、各アクチュエータ１６が相互に独立して作動するようになっていて、各アクチュエータ１６を矢印２２（２２ａ〜２２ｆ）のように伸縮させることにより、移動テーブル１４に取り付けた工具やハンドなどのエンドエフェクタに空間６自由度を与えることができる。また、パラレルメカニズム１０は、複数のベースを直列的に配置していないため、誤差の累積がないため、姿勢や位置の制御精度を向上することができる。しかも、６つのアクチュエータによって工具などを支えるために大きな剛性が得られ、大型の工具やワークを取り扱ったとしても、ほとんど変形することがなく、大きな出力が得られる。
【０００７】
図８に模式的に示したパラレルメカニズム３０は、屈曲型と称されるものである。このパラレルメカニズム３０は、ベース１２とベース１４とを連結している６本の脚部３２が、上端を移動テーブル１４に連結した直線状のリンク３４と、ベース１２側のＬ字状に屈曲したリンク３６とからなっていて、両者を回転自在に連結するとともに、Ｌ字状リンク３６をベース１２に設けたモータ３８によって、矢印３９のように回転できるようにしてある。そして、リンク３６を回転させることにより、移動テーブル１４に空間６自由度を与えるようにしている。
【０００８】
また、図９に模式的に示したパラレルメカニズム４０は、スライド型または開閉型と称されるものである。このパラレルメカニズム４０は、ベース１２と移動テーブル１４とを連結している脚部４２が直線状のリンクからなっている。また、脚部４２のベース側の支点が矢印４４に示したように直線的に移動させることができるように形成してある。そして、脚部４２のベース側の支点を平面移動させることにより、移動テーブル１４に空間６自由度を与えるようにしてある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、図７に示した従来のパラレルメカニズム１０は、工作機械などに利用して精密加工を行なおうとすると、高速動作が困難となる欠点がある。これは、移動テーブル１４の支持の仕方に起因する。すなわち、アクチュエータ１６ａの支持点２０ａと、アクチュエータ１６ｆの支持点２０ｆとは、異なった位置となっており、両者間にある距離が存在する。このことは、ベース１２側においても同様である。すなわち、パラレルメカニズム１０は、合計１２の支点を有している。
【００１０】
このような構造においては、例えば、移動テーブル１４を図１０（１）の実線に示したように水平に保持した初期状態から、同図の２点鎖線に示したように、水平を維持して移動テーブル１４を上昇させた場合、各アクチュエータ１６の伸長量が同じである。そして、２本のアクチュエータ（例えばアクチュエータ１６ａ、１６ｆ）の延長線上に三角形の仮想頂点ａ、ｄ、ｇが存在する。このとき、アクチュエータ１６ａ、１６ｆの支点ｂ（１８ａ）、ｃ（２０ａ）、ｅ（２０ｆ）、ｆ（１８ｆ）は、三角形ａｄｆの辺上に存在し、仮想頂点ａ、支点ｂ、ｃ、仮想頂点ｄが一直線上にあり、仮想頂点ｄ、支点ｅ、ｆ、仮想頂点ｇが一直線上にある。このことは、移動テーブル１４を水平に保持して平行移動させる限り同じである。
【００１１】
ところが、アクチュエータ１６ａ、１６ｆの伸長量を同じにした場合であっても、同図（２）に示したように、移動テーブル１４を傾斜させたとき、アクチュエータ１６ａ、１６ｆが形成する三角形は二等辺三角形にならず、移動テーブル１２側の仮想頂点が二等辺三角形のときのｄからｄ′にずれる。このことは、ベース１２側の仮想頂点ａ、ｇについても同様である。
【００１２】
パラレルメカニズムは、運動軌跡がシリアルメカニズムのように直線運動ではない。このため、パラレルメカニズム１０の移動テーブル１４の運動軌跡を求める場合、まず各三角形の頂点の座標位置を決定したのち、次に脚（アクチュエータ）の長さを複雑な計算により求める必要がある。そして、移動テーブル１４を図１０（２）に示したように傾斜させた場合にも、二等辺三角形の仮想頂点ｄを基準にして支点ｃ、ｅなどの座標を求めるようになっている。このため、移動テーブル１４が傾斜した状態においては、アクチュエータ１６ａについての仮想頂点ａ、支点ｂ、ｃ、仮想頂点ｄが同一直線上に存在せず、アクチュエータ１６ｆについての仮想頂点ｄ、支点ｅ、ｆ、仮想頂点ｇが同一直線上に存在しないため、さらに複雑な計算が必要となり、計算に多くの時間がかかる。したがって、パラレルメカニズム１０を工作機械などに適用して精密な加工をしようとする場合、移動テーブル１４を高速移動することが困難となる。そして、移動テーブル１４を高速移動させるときには、仮想頂点の位置を近似計算によって求めなければならず、加工精度が低下する。このため、従来のパラレルメカニズム１０を用いた実用的な工作機械においては、５０〜１００μｍ程度の加工精度しか得ることができない。
【００１３】
そこで、このような問題を解決するために、一対のアクチュエータの端部を１つの球面軸受に接続し、この球面軸受を介して移動テーブル１４を支持する構造が提案されている（例えば、「パラレルメカニズムが機械を変える」、日経メカニカル、１９９５年３月２０日号）。この球面軸受は、大きさの異なる半球状のリグを入れ子式に組み合わせるとともに、各半球状リグのそれぞれにアクチュエータの一端を結合し、さらに組み合わせたリグを球面状凹部が設けてあるソケットに挿入し、磁力によってリグをソケットに保持する構造となっている。このため、軸受に作用する圧縮力に対しては充分な強度を得ることができる。しかし、軸受に大きな引張り力が作用すると、リグがソケットから抜けるおそれがあり、重量物を扱うことが困難である。
【００１４】
本発明は、前記従来の欠点を解消するためになされたもので、エンドエフェクタを高精度で高速駆動させることがきるようにすることなどを目的としている。
また、本発明は、引張り力に対しても充分は強度を有するようにすることなどを目的としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
発明者は、パラレルメカニズムについて研究した結果、三角形の３つの頂点が同一の平面上に存在する点に着目した。すなわち、一対の脚の支点が一点にない場合であっても、三角形を形成している平面上に存在していれば、球面軸受などを用いる必要がないことを見出した。本発明は、上記の知見に基づいてなされたもので、上記の目的を達成するために、本発明に係るパラレルメカニズムは、ベースと、このベースに対面して配置した移動テーブルと、この移動テーブルと前記ベースとの間に設けられて両者を連結し、前記移動テーブルを作動する並列的に配置した複数の脚部とを備え、隣接して対をなす前記脚部の移動テーブル側端部は、継手ユニットを介して前記移動テーブルに接続されており、前記継手ユニットは、前記隣接して対をなす脚部の移動テーブル側端部それぞれに連結されたフォーク部と、このフォーク部を枢着した軸部と、この軸部に前記移動テーブルの接続凸部を連結する球面軸受と、を有し、前記各脚部は伸縮自在であって、前記移動テーブル側において対をなした側と反対側に隣接して対をなす脚部は、第２継手ユニットを介して前記ベースに接続されており、前記第２継手ユニットは、前記反対側に隣接して対をなす脚部のベース側端部それぞれに連結された第２フォーク部と、この第２フォーク部を枢着する第２軸部と、この第２軸部に前記ベースの接続凸部を連結する第２球面軸受と、を有することを特徴としている。
【００１６】
また、各脚部は、モータによって回転して二方向に作動流体を吐出するポンプと、ベースと移動テーブルとに接続され、ポンプが吐出した作動流体を受ける複動型片ロッドシリンダとを有する構造にすることができる。
【００１７】
【作用】
上記のごとくなっている本発明に係るパラレルメカニズムは、一対の脚部の軸部への結合部を、これらの脚部によって形成される三角形の作る面と同じ面上に配置し、軸部に設けた自在継手部を介して移動テーブルを取り付けることにより、一対の脚部を一点において連結したのと同様の作用を得ることができる。したがって、移動テーブルを傾斜させた場合であっても、支点の位置を求める演算を迅速に行なうことが可能となり、工具やロボットハンドなどのエンドエフェクタを高速移動させることが可能となる。しかも、構造の簡素化が図れるとともに、引張り力に対しても充分な強度を得ることができる。
【００１８】
脚部が伸縮自在である場合、各脚部のベース側も移動テーブル側と同様の機構を介してベースに連結することにより、高速作動を実現することができる。また、モータに直結した二方向（双方向）吐出型のポンプと、このポンプから受ける作動流体によって作動する複動型片ロッドシリンダとによって脚部を形成することにより、高価な方向制御弁やサーボ弁などを省略することができ、簡素な構造であって安価なものとすることができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明に係るパラレルメカニズムの好ましい実施の形態を、添付図面にしたがって詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係るパラレルメカニズムの説明図であって、伸縮型パラレルメカニズムの展開図の一部を模式的に示したものである。図１において、パラレルメカニズム５０は、ベース１２と移動テーブル１４との間に６つの脚部５２（５２ａ〜５２ｆ）が配設してあって、これらの脚部５２によってベース１２と移動テーブル１４とが連結してある。これらの脚部５２は、詳細を後述するように、複動型片ロッドシリンダからなるアクチュエータ部５４（５４ａ〜５４ｆ）と、アクチュエータ部５４と一体の駆動部５６（５６ａ〜５６ｆ）とからなっている。そして、各アクチュエータ部５４のロッド５８（５８ａ〜５８ｆ）は、一側に隣接しているアクチュエータ部５４のロッド５８とともに、継手ユニット６０（６０ａ〜６０ｃ）を介して移動テーブル１４に接続してある。すなわち、アクチュエータ部５４ａ、５４ｂのロッド５８ａ、５８ｂは、継手ユニット６０ａを介して移動テーブル１４に接続してあり、アクチュエータ部５４ｃ、５４ｄのロッド５８ｃ、５８ｄが継手ユニット６０ｂを介して移動テーブル１４に接続してあり、アクチュエータ部５４ｅ、５４ｆのロッド５８ｅ、５８ｆが継手ユニット６０ｃ（図示せず）を介して移動テーブル１４に接続してある。
【００２０】
一方、各アクチュエータ部５４のボトム側は、他方側において隣接するアクチュエータ部５４のボトム側とともに、継手ユニット６２ａ〜６２ｃを介してベース１２に接続してある。すなわち、継手ユニット６２ａには、アクチュエータ部５４ａとアクチュエータ部５４ｆとのボトム部が連結しており、継手ユニット６２ｂにはアクチュエータ部５４ｂ、５４ｃのボトム部が、継手ユニット６２ｃ（図示せず）にはアクチュエータ部５４ｄ、５４ｅのボトム部が連結している。したがって、各脚部５２は、ベース１２または移動テーブル１４とともに三角形を形成し、トラス構造となっている。そして、各継手ユニット６０、６２は、同一の構造に形成してあって、各脚部５２がベース１２と移動テーブル１４との面に対して任意の方向に傾斜できるようになっている。
【００２１】
すなわち、各継手ユニット６０、６２は、図２に継手ユニット６０ａを例にして示したようになっている。継手ユニット６０ａは、同図（１）に示したように、ロッド５８ａ、５８ｂの先端部に取り付けたフォーク部６４ａ、６４ｂを有している。そして、一方のフォーク部（実施形態の場合、フォーク部６４ａ）が他方のフォーク部６４より小さく形成してあり、より小さいフォーク部６４ａが大きなフォーク部６４ｂの内側に配置してある。また、これらのフォーク部６４（６４ａ、６４ｂ）は、パイプやロッドによって形成した軸部６６に枢着してある。すなわち、フォーク部６４のそれぞれは、図２（２）に示したように、一対の軸受６８ａ、６８ｂを介して軸部６６に回転自在に取り付けてある。さらに、軸部６６の長手方向中央部には、自在継手部７０を介して移動テーブル１４の接続凸部７２が連結してある。この実施形態の場合、自在継手部７０は、球面軸受によって構成してある。
【００２２】
なお、軸部６６は、ベース１２側の継手ユニット６２における第２軸部に相当する。また、自在継手部７０は、継手ユニット６２における第２自在継手部に相当する。
【００２３】
脚部５２は、図３に示したように、アクチュエータ部５４がチューブ７４に対して進退するロッド５８を有する複動型片ロッドシリンダからなっていて、伸縮自在となっている。そして、アクチュエータ部５４は、チューブ７４の側方にタイロッド７６が設けてあって、このタイロッド７６に駆動部５６が固定してある。駆動部５６は、正、逆回転可能な可変速モータ７８と、このモータ７８の出力軸に直結した二方向吐出型の可変容量ポンプ（油圧ポンプ）８０とを備えている。また、油圧ポンプ８０のモータ７８側と反対側には、作動流体である作動油を封入したタンク部８４が設けてある。そして、油圧モータ８０の一方の吐出口は、図４に示したように、配管８６を介してアクチュエータ部５４のロッド側室８８に接続してあり、他方の吐出口が配管９０を介してアクチュエータ部５４のボトム側室９２に接続してある。
【００２４】
さらに、駆動部５６は、モータ７８の油圧ポンプ８０側と反対側に制御部８２が設けてあって、制御部８２によってモータ７８の駆動を制御し、アクチュエータ部５４のロッド５８の伸縮量（進退量）、伸縮速度（進退速度）を制御できるようになっている。また、アクチュエータ部５４は、チューブ７４のボトム部にストロークセンサ９４が取り付けてあって、ロッド５８の進退量（位置）を検出できるようにしてある。さらに、モータ７８には、ロータリエンコーダ９６が設けてあって、モータ７８の回転状態を検出できるようにしてある。これらのストロークセンサ９４とロータリエンコーダ９６との出力信号は、制御部８２に入力するようにしてある。そして、制御部８２は、ストロークセンサ９４とロータリエンコーダ９６の出力信号に基づいて、モータ７８をフィードバック制御する。
【００２５】
なお、配管８６と配管９０との間には、マイクロシャトル弁からなる油量補償部９８が油圧ポンプ８０と並列に設けてある。この油量補償部９８は、ロッド側室８８とボトム側室９２とにおけるロッド５８の有無による容積の相違に基づく作動油の過不足を調整するために設けてある。すなわち、油量補償部９８は、ロッド５８が伸長する場合、ロッド側室８８から吐出される作動油の量が、ボトム側室９２に供給すべき作動油の量より少ないため、図４の実線の矢印に示したように、油圧ポンプ８０が両者の差の不足分を油量補償部９８を介してタンク部８４から吸引し、ボトム側室９２に供給する。一方、ロッド５８がチューブ７４内に後退する場合、ボトム側室９２から吐出される作動油の量が、ロッド側室８８に供給すべき作動油の量より多くなるため、同図の破線の矢印に示したように、過剰な作動油が油量補償部９８を介してタンク部８４に戻される。
【００２６】
このように構成した実施の形態においては、一対のアクチュエータ部５４（例えば、アクチュエータ部５４ａ、５４ｂ）のロッド５８が同一の継手ユニット６０を介して移動テーブル１４に連結していあるとともに、一対のアクチュエータ部５４（例えば、アクチュエータ部５４ｂ、５４ｃ）のチューブ７４のボトム側が同一の継手ユニット６２を介してベース１２に連結してあり、これらの継手ユニット６０、６２の自在継手部７０に移動テーブル１４またはベース１２が連結してあるため、一対のアクチュエータ部５４とベース１２または移動テーブル１４とによって形成される三角形の頂点が、移動テーブル１４を水平面に対して傾斜させたとしてもずれることがなく、各アクチュエータ部５４を任意に作動させたとしても、三角形の頂点の座標を容易に求めることができる。したがって、移動テーブル（エンドエフェクタ）１４の位置、姿勢を迅速に求めることが可能で、パラレルメカニズムを用いた高速加工が可能な精度の高い工作機械などを実現することができる。また、実施形態においては、脚部５２の駆動部５６がモータ７８と、モータ７８によって直接駆動される二方向吐出型の油圧ポンプ８０とによって構成したことにより、高価な方向制御弁やサーボ弁などを必要とせず、簡素な構造とすることができるとともに、安価なものとすることができる。しかも、脚部５２は、アクチュエータ部５４と駆動部５６とを一体化してあるため、複雑な配管を省略することができる。
【００２７】
なお、前記実施の形態においては、継手ユニット６０を伸縮型のパラレルメカニズム５０に適用した場合について説明したが、屈曲型やスライド型のパラレルメカニズムにも適用することができる。また、前記実施の形態においては、油量補償部９８をマイクロシャトル弁を用いて形成した場合について説明したが、例えばパイロット操作チェック弁を対向させて配置したものなど、他の構造であってもよい。さらに、前記実施の形態においては、パラレルメカニズム５０を工作機械に適用する場合について説明したが、例えばフライトシミュレータなど、他の装置にも適用することができる。そして、前記実施形態においては、作動流体が作動油である場合について説明したが、作動流体は水などであってもよい。
【００２８】
図５は、他の実施形態に係る継手ユニットの自在継手部の説明図である。この実施形態に係る自在継手部１００は、本図に図示しない一対のフォーク部６４ａ、６４ｂを枢着した軸部１０２が円筒体によって形成してある。また、移動テーブル１４の接続凸部１０４の先端は、球状接続部１０６となっていて、この球状接続部１０６が軸部１０２に設けた嵌合孔部１０８と嵌合している。
【００２９】
このように形成した自在継手部１００を用いても前記実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、この実施形態においては、円筒体を用いて軸部１０２を形成した場合について説明したが、軸部１０２は中実のロッドであってもよい。また、ベース１２側の継手ユニットの自在継手部についても同様に形成することができる。
【００３０】
図６は、さらに他の実施形態に係る継手ユニットの自在継手部の説明図である。図６において、自在継手部１１０は、自在継手から構成してあって、移動テーブル１４の下面に形成した円柱状の接続凸部１１２に取り付けたブラケット１１４を有している。ブラケット１１４は、図６（２）に示したように、スラスト玉軸受１１６を介して接続凸部１１２に取り付けてあって、接続凸部１１２を中心にして回転自在となっている。そして、ブラケット１１４の下端には、一対の脚部１１８が設けてある。これらの脚部１１８は、本図に図示しないフォーク部６４を枢着した軸部６６の両側に配置してある。また脚部１１８は、軸部６６を貫通し、軸部６６に対して回転自在となっている結合ピン１２０に取り付けてある。
【００３１】
このように形成した自在継手部１１０を有する継手ユニットにおいても前記実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、この実施形態においては、軸部６６をロッドによって形成した場合を示したが、軸部６６は円筒体であってもよい。そして、本発明は、上記に説明した各実施形態に限定されるものではない。
【００３２】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、一対の脚部を連結した軸部に設けた自在継手部を介して移動テーブルを取り付けることにより、一対の脚部を一点において連結したのと同様の作用を得ることができる。したがって、移動テーブルを傾斜させた場合であっても、支点を求める演算を迅速に行なうことが可能となり、工具やロボットハンドなどのエンドエフェクタを高速移動させることが可能となる。しかも、構造の簡素化が図れるとともに、引張り力に対しても充分な強度を得ることができる。
【００３３】
脚部が伸縮自在である場合、各脚部のベース側も移動テーブル側と同様の機構を介してベースに連結することにより、高速作動を実現することができる。また、モータに直結した二方向吐出型のポンプと、このポンプから受ける作動流体によって作動する複動型片ロッドシリンダとによって脚部を形成することにより、高価な方向制御弁やサーボ弁などを省略することができ、簡素な構造であって安価なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る伸縮型パラレルメカニズムの展開図の一部を模式的に示した図である。
【図２】実施の形態に係る継手ユニットの詳細説明図である。
【図３】実施の形態に係る脚部の詳細説明図である。
【図４】実施の形態に係る脚部の油圧回路を示す図である。
【図５】他の実施の形態に係る自在継手部の説明図である。
【図６】さらに他の実施の形態に係る自在継手部の説明図である。
【図７】従来の伸縮型パラレルメカニズムの説明図である。
【図８】従来の屈曲型パラレルメカニズムの説明図である。
【図９】従来のスライド型パラレルメカニズムの説明図である。
【図１０】従来の伸縮型パラレルメカニズムの作用を説明する図である。
【符号の説明】
１２……ベース、１４……移動テーブル、５０……パラレルメカニズム、
５２ａ〜５２ｃ……脚部、５４ａ〜５４ｃ……アクチュエータ部、
５６ａ〜５６ｃ……駆動部、６６、１０２……軸部、７０、１００、
１１０……自在継手部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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