(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面が第１の面内に位置するウェハの周縁部における所定の角度位置で前記ウェハの検出部を検出するセンサと、
第１の面内に表面が位置するウェハの周縁における等間隔の複数の回転角度位置のそれぞれに選択的に当接する第１爪部を先端部に備えた複数の第１アームと、
前記複数の第１アームの基部を前記第１の面に平行な第２の面内で保持し、前記第１の面に直交する軸廻りに回転自在に支持された第１シリンダと、
前記ウェハの周縁における等間隔の複数の回転位置のそれぞれに選択的に当接する第２爪部を先端部に備えた複数の第２アームと、
前記複数の第２アームの基部を前記第１の面に平行で前記第２の面と異なる第３の面内で且つ前記複数の第１アームと異なる回転位置で保持し、前記軸廻りに回転自在に支持された第２シリンダと、
前記第１シリンダ及び前記第２シリンダのそれぞれに個別に回転力を供給する第１駆動部及び第２駆動部と、
前記センサの検出結果に基づいて前記第１爪部及び第２爪部の位置、並びに前記第１駆動部及び前記第２駆動部の動作を制御する制御手段と、
を備えたアライナ装置。
【請求項２】
前記第１アーム及び前記第２アームは、前記第１爪部及び前記第２爪部を前記ウェハの周縁に当接する露出位置と前記第１の面外の退避位置との間に揺動自在に支持する請求項１に記載のアライナ装置。
【請求項３】
前記第１シリンダ及び前記第２シリンダは、それぞれ前記複数の第１アーム及び前記複数の第２アームを前記ウェハの半径方向に沿って往復移動自在に保持する請求項１に記載のアライナ装置。
【請求項４】
前記第１アームは前記第１爪部を一体的に備え、前記第２アームは前記第２爪部を一体的に備えた請求項３に記載のアライナ装置。
【請求項５】
前記第２爪部は、前記露出位置で前記退避位置にある前記第１爪部に前記ウェハの周方向に重ならない請求項１又は２に記載のアライナ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体製造に用いられ、円形薄板状のウェハの位置決めに使用されるアライナ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造には、円形薄板状のウェハに対する複数の処理が含まれる。各処理は、個別の処理装置を用いて行われる。ウェハは、１つの処理装置での処理が終了する毎に次の処理を行う処理装置へロボットを介して搬送される。各処理装置でウェハに適正な処理を施すためには、各処理装置に対してウェハを正確な位置に適正な回転角度で搬送する必要がある。このため、半導体製造には、ウェハを予め定められた基準角度に位置決めするアライナ装置が用いられる（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
アライナ装置は、ウェハをその周縁部における複数の回転角度位置で爪によって挟持しつつ垂直な軸廻りに回転させながら、エッジセンサでウェハの周縁部に形成されているノッチ又はオリフラ等の検出部を検出する。エッジセンサは、ウェハの周縁部でウェハを厚さ方向（垂直方向）に挟む発光部と受光部とを備え、発光部から受光部に向けて光を照射し、半径方向の受光位置に応じた検出信号を受光部から出力する。
【０００４】
ところが、ウェハは不規則な回転角度でアライナ装置に搬入されるため、ウェハの検出部にアライナ装置の爪が当接する可能性がある。爪がウェハの検出部に当接すると、エッジセンサによって検出部を検出することができず、ウェハの回転角度を調整することができない。
【０００５】
このため、従来のアライナ装置では、エッジセンサで検出部を検出できなかった場合には、ロボットのハンドやステージに一旦ウェハを載置して爪をウェハの周縁部から離間させた後、爪を所定量回転させて再度ウェハの周縁部に当接させる持ち替え処理を行う。この処理によってウェハの周縁部における検出部が形成されていない部分に爪を当接させることができ、エッジセンサによって検出部を確実に検出することができる。
【特許文献１】特開平１１−２３３５９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来のアライナ装置では、ウェハの持ち替え処理時に爪によって挟持していたウェハをハンドやステージに載置するため、ウェハを挟持している爪を昇降させる必要があり、ウェハの回転角度制御が長時間化するとともに、構造が複雑化する問題があった。
【０００７】
この発明の目的は、２組の爪でウェハを交互に挟持できるようにすることにより、ウェハを変位させることなくウェハの持ち替え処理を行うことができるようにし、ウェハの回転角度制御の短時間化、及び構造の簡略化を実現できるアライナ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明のアライナ装置は、複数の第１アーム、複数の第２アーム、第１シリンダ、第２シリンダ、第１駆動部、第２駆動部を備えている。センサは、表面が第１の面内に位置するウェハの周縁部における所定の角度位置でウェハの検出部を検出する。複数の第１アーム及び複数の第２アームは、第１の面内に表面が位置するウェハの周縁における等間隔の複数の回転角度位置のそれぞれに選択的に当接する爪部を先端部に備えている。第１シリンダは、複数の第１アームの基部を第１の面に平行な第２の内で保持し、第１の面に垂直な軸廻りに回転自在にされている。第２シリンダは、複数の第２アームの基部を第１の面に平行で第２の面と異なる第３の面内で且つ複数の第１アームと異なる回転位置で保持し、第１の面に垂直な軸廻りに回転自在にされている。第１駆動部及び第２駆動部は、それぞれ第１シリンダ及び第２シリンダのそれぞれに個別に回転力を供給する。
【０００９】
この構成では、同時に複数の第１アーム及び複数の第２アームの各爪部をウェハの周縁に当接させることで、ウェハが複数の第１アーム及び複数の第２アームで同時に挟持される。この状態から複数の第１アーム又は複数の第２アームの何れか一方の各爪部をウェハの周縁部から離間させると、複数の第２アーム又は複数の第１アームの残る他方の各爪部のみでウェハが挟持される。
【００１０】
したがって、複数の第１アーム及び複数の第２アームとの間でウェハを持ち替える際に、ウェハを変位させる必要がなく、複数の第１アーム及び複数の第２アームをウェハの表面に直交する方向に移動させる必要がない。
【００１１】
この構成において、第１シリンダ及び第２シリンダは、それぞれ複数の第１アーム及び複数の第２アームをウェハの半径方向に沿って往復移動自在に保持するものであってもよい。ウェハのサイズの変化に対応できるとともに、複数の第１アームと複数の第２アームとを、互いに干渉することなく、ウェハの表面に直交する軸廻りに自由に回転させることができる。
【００１２】
また、ウェハの周縁部に形成された検出部を検出する検出手段と、検出手段の検出結果に基づいて複数の第１アーム、複数の第２アーム、第１駆動部及び第２駆動部の動作を制御する制御手段と、をさらに備えてもよい。例えば、複数の第１アームのみがウェハを挟持している状態で複数の第１アームをウェハの表面に直交する軸廻りに回転させても検出手段が検出部を検出しなかった場合に、複数の第２アームのみによってウェハを挟持させた状態で複数の第２アームを回転させて検出部を検出する作業を簡略化できる。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、ウェハを変位させることなく複数の第１アーム及び複数の第２アームとの間でウェハを持ち替えることができる。このため、ウェハの回転角度位置の調整作業を短時間化でき、構造を簡略化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、この発明の第１の実施形態に係るアライナ装置の外観図である。図２は、同アライナ装置の平面図である。図３は、図２におけるＸ−Ｘ方向の断面図である。アライナ装置１０は、ウェハ１００を所定の搬入位置から変位させることなくウェハ１００の回転角度を制御する。このため、アライナ装置１０は、一例として、３本の第１アーム１Ａ〜１Ｃ、第２アーム２Ａ〜２Ｃ、第１シリンダ３（図１には現れない。）、第２シリンダ４、第１モータ５、第２モータ６、３個のセンサ７Ａ〜７Ｃ、支持体８を備えている。
【００１５】
ウェハ１００は、図示しないロボットハンドにより、図１中に二点鎖線で示す搬入位置に搬入される。搬入位置に位置しているウェハ１００の表面が、この発明の第１の面である。
【００１６】
支持体８は、円筒形状を呈し、搬入位置にあるウェハ１００の下方でウェハ１００と同軸上で回転自在に配置されている。
【００１７】
図３に示すように、支持体８は、内部に第１シリンダ３及び第２シリンダ４を収納している。支持体８の内部には、下方から支持体８と同軸上に回転軸３１が挿入されている。回転軸３１は、中空軸４１を貫通している。回転軸３１及び中空軸４１は、アライナ装置１０の図示しないフレームにそれぞれ軸受３１１及び軸受４１１を介して回転自在に支持されている。
【００１８】
第１シリンダ３は、回転軸３１の上端に取り付けられており、支持体８の内周面に固定されている。第２シリンダ４は、中空軸４１の上端に取り付けられており、ベアリング４２２，４２３によって回転軸３１に対して回転自在にされており、ベアリング４２４によって支持体８の内周面に回転自在にされている。したがって、第１シリンダ３は、支持体８及び回転軸３１と一体的に、且つ第２シリンダ４及び中空軸４１とは独立して回転する。第２シリンダ４は、中空軸４１と一体的に、且つ第１シリンダ３、支持体８及び回転軸３１とは独立して回転する。
【００１９】
図２及び図３に示すように、第１シリンダ３は、第１の面に平行な第２の面内で第１アーム１Ａ〜１Ｃのそれぞれの基部を等間隔の回転角度（１２０度）の位置で保持している。第２シリンダ４は、第２アーム２Ａ〜２Ｃのそれぞれの基部を第１の面に平行で第２の面と異なる第３の面内で等間隔の回転角度（１２０度）の位置で保持している。上下方向において、第１アーム１Ａ〜１Ｃは、第２アーム２Ａ〜２Ｃと重ならない。
【００２０】
図１に示すように、支持体８の周面には、円周方向に沿って窓部８Ａ〜８Ｃ（図１には窓部８Ａは現れない。）が形成されている。支持体８の窓部８Ａ〜８Ｃを挟む上側の部分と下側の部分とは、第１アーム１Ａ〜１Ｃのそれぞれの下方に位置する窓部８Ａ〜８Ｃのそれぞれの間で繋がっている。支持体８の下端部の周面には、歯付プーリ３２が固定されている。
【００２１】
第１アーム１Ａ〜１Ｃのそれぞれは、支持体８の上端部近傍から延出している。第１アーム１Ａ〜１Ｃのそれぞれの先端部には、この発明の第１爪部である爪部１１Ａ〜１１Ｃのそれぞれが、第１アーム１Ａ〜１Ｃの長手方向に平行な退避位置と第１アーム１Ａ〜１Ｃの長手方向に直交する露出位置との間に揺動自在に支持されている。爪部１１Ａ〜１１Ｃのそれぞれは、露出位置でウェハ１００の周縁部における等間隔の回転角度位置に当接する。
【００２２】
第２アーム２Ａ〜２Ｃのそれぞれは、窓部８Ａ〜８Ｃのそれぞれから延出している。第２アーム２Ａ〜２Ｃのそれぞれの先端部には、この発明の第２爪部である爪部２１Ａ〜２１Ｃのそれぞれが、第２アーム２Ａ〜２Ｃの長手方向に平行な退避位置と第２アーム２Ａ〜２Ｃの長手方向に直交する露出位置との間に揺動自在に支持されている。爪部２１Ａ〜２１Ｃのそれぞれは、露出位置でウェハ１００の周縁部における等間隔の回転角度位置に当接する。
【００２３】
爪部１１Ａ〜１１Ｃと爪部２１Ａ〜２１Ｃとは、ともに露出位置で所定の搬入位置にあるウェハ１００を挟持できる。
【００２４】
図３に示すように、第１アーム１Ｂは、ピストン１４Ｂを備えたエアシリンダ１２Ｂを収納している。回転軸３１、第１シリンダ３及び第１アーム１Ｂには、エアポンプ３１３からエアシリンダ１２Ｂに連通する圧気路３１２が形成されている。圧気路３１２には、バルブ３１４が配置されている。バルブ３１４を開成して圧気をエアシリンダ１２Ｂ内に供給すると、ピストン１４Ｂがスプリング１３Ｂの弾性力に抗して移動し、爪部１１Ｂが退避位置から露出位置に揺動する。バルブ３１４を開成して圧気路３１２内の圧気を開放すると、スプリング１３Ｂの弾性力によって爪部１１Ｂが露出位置から退避位置に揺動する。第１アーム１Ａ，１Ｃも第１アーム１Ｂと同様に構成されている。
【００２５】
第２アーム２Ｃは、ピストン２４Ｃを備えたエアシリンダ２２Ｃを収納している。中空軸４１、第２シリンダ４及び第２アーム２Ｃには、エアポンプ４１３からエアシリンダ２２Ｂに連通する圧気路４１２が形成されている。圧気路４１２には、バルブ４１４が配置されている。バルブ４１４を開成して圧気をエアシリンダ２２Ｃ内に供給すると、ピストン２４Ｃがスプリング２３Ｃの弾性力に抗して移動し、爪部２１Ｃが退避位置から露出位置に揺動する。バルブ４１４を開成して圧気路４１２内の圧気を開放すると、スプリング２３Ｃの弾性力によって爪部２１Ｃが露出位置から退避位置に揺動する。第２アーム２Ａ，２Ｂも第２アーム２Ｃと同様に構成されている。
【００２６】
この発明の第１駆動部である第１モータ５の回転軸５Ａには、歯付プーリ５１が固定されている。歯付プーリ３２と歯付プーリ５１とには、コッグドベルト５２が張架されている。回転軸５Ａの回転は、歯付プーリ３２、歯付プーリ５１及びコッグドベルト５２を介して支持体８に伝達される。したがって、第１モータ５を駆動すると、第１アーム１Ａ〜１Ｃが支持体８、第１シリンダ３及び回転軸３１とともに回転する。
【００２７】
この発明の第２駆動部である第２モータ６の回転軸６Ａには、歯付プーリ６１が固定されている。歯付プーリ３２と歯付プーリ６１とには、コッグドベルト６２が張架されている。回転軸６Ａの回転は、歯付プーリ３２、歯付プーリ６１及びコッグドベルト６２を介して支持体８に伝達される。したがって、第２モータ６を駆動すると、第２アーム２Ａ〜２Ｃが第２シリンダ４及び中空軸４１とともに回転する。
【００２８】
なお、圧気路３１２中で回転軸３１の下端部とバルブ３１４との間には、自在継手が配置されており、回転軸３１の回転によっても圧気路３１２内における圧気の流通に支障を来すことがない。また、圧気路４１２中で中空軸４１とバルブ４１４との間には、可撓性チューブが配置されており、中空軸４１の回転によっても圧気路４１２内における圧気の流通に支障を来すことがない。
【００２９】
図１及び図２に示すように、センサ７Ａ〜７Ｃは、ウェハ１００の周縁部における等間隔の回転角度位置（１２０度）でウェハ１００の上面に対向して配置されている。センサ７Ａ〜７Ｃは、アライナ装置１０の図示しないフレームに固定されており、第１アーム１Ａ〜１Ｃ及び第２アーム２Ａ〜２Ｃが回転しても回転しない。センサ７Ａ〜７Ｃは、ウェハ１００の周縁部の一部に形成されているノッチ又はオリフラ等の検出部を検出する。
【００３０】
図４は、アライナ装置の制御部のブロック図である。アライナ装置１０は、図示しないフレーム上に、制御部２００を備えている。この発明の制御手段である制御部２００は、ＲＯＭ２０２及びＲＡＭ２０３を備えたＣＰＵ２０１に、モータドライバ２０４，２０５、ソレノイドドライバ２０６，２０７、センサ７Ａ〜７Ｃ等を接続して構成されている。
【００３１】
ＲＯＭ２０２は、ＣＰＵ２０１の動作を規定するプログラムが格納されている。ＣＰＵ２０１には、センサ７Ａ〜７Ｃの検出信号が入力される。ＣＰＵ２０１は、ＲＯＭ２０２に格納されているプログラムに従って、センサ７Ａ〜７Ｃの検出結果に応じてモータドライバ２０４，２０５、ソレノイドドライバ２０６，２０７に駆動データを出力する。
【００３２】
モータドライバ２０４，２０５には、それぞれ第１モータ５及び第２モータ６が接続されている。モータドライバ２０４，２０５は、駆動データに基づいて第１モータ５及び第２モータ６を駆動する。
【００３３】
ソレノイドドライバ２０６，２０７には、それぞれバルブ３１４，４１４のソレノイド３０１，３０２が接続されている。ソレノイドドライバ２０６，２０７は、駆動データに基づいてソレノイド３０１，３０２を駆動する。
【００３４】
図５は、アライナ装置におけるウェハの回転角度制御時の制御部の処理手順を示すフローチャートである。図６（Ａ）〜（Ｄ）は、同回転角度制御時の動作状態を示す図である。ウェハの回転角度制御時に、ＣＰＵ２０１は、バルブ３１４，４１４を開成し、第１アーム１Ａ〜１Ｃの爪部１１Ａ〜１１Ｃと第２アーム２Ａ〜２Ｃの爪部２１Ａ〜２１Ｃを退避位置に位置させてウェハの搬入を待機する（Ｓ１，Ｓ２）。ウェハ１００は、図示しないロボットハンドに保持されて図６（Ａ）に示すように所定の搬入位置に水平に搬入される。
【００３５】
ウェハ１００が搬入位置に達すると、ＣＰＵ２０１は、バルブ３１４を閉成し、図６（Ｂ）に示すように、第１アーム１Ａ〜１Ｃの爪部１１Ａ〜１１Ｃを露出位置に位置させ、爪部１１Ａ〜１１Ｃにウェハ１００を挟持させる（Ｓ３）。
【００３６】
次いで、ＣＰＵ２０１は、ロボットハンドの退出を待機する（Ｓ４）。ＣＰＵ２０１は、ロボットハンドが退出すると、第１モータ５を駆動して第１アーム１Ａ〜１Ｃを１２０度の角度範囲で回転させ（Ｓ５）、センサ７Ａ〜７Ｃの検出信号をフェッチする（Ｓ６）。
【００３７】
第１アーム１Ａ〜１Ｃが１２０度回転する間にセンサ７Ａ〜７Ｃの何れかがウェハ１００の検出部を検出した場合、ＣＰＵ２０１は、第１モータ５の駆動を停止して第１アーム１Ａ〜１Ｃの回転を停止し（Ｓ７）、検出結果に基づいてウェハ１００の回転角度を制御する（Ｓ１４）。
【００３８】
第１アーム１Ａ〜１Ｃが１２０度回転する間にセンサ７Ａ〜７Ｃの何れもがウェハ１００の検出部を検出しなかった場合、ＣＰＵ２０１は、第１モータ５の駆動を停止して第１アーム１Ａ〜１Ｃの回転を停止する（Ｓ８）。次いで、ＣＰＵ２０１は、バルブ４１４を開成して第２アーム２Ａ〜２Ｃの爪部２１Ａ〜２１Ｃを露出位置に位置させる（Ｓ９）。ウェハ１００は、図６（Ｃ）に示すように、爪部１１Ａ〜１１Ｃが挟持している部分とは異なる部分で爪部２１Ａ〜２１Ｃによっても挟持される。さらに、ＣＰＵ２０１は、バルブ３１４を閉成して爪部１１Ａ〜１１Ｃを退避位置に移動する（Ｓ１０）。ウェハ１００は、図６（Ｄ）に示すように、爪部２１Ａ〜２１Ｃのみによって挟持される。
【００３９】
爪部２１Ａ〜２１Ｃのみがウェハ１００を挟持している状態で、ＣＰＵ２０１は、第１モータ５及び第２モータ６を駆動して第１アーム１Ａ〜１Ｃ及び第２アーム２Ａ〜２Ｃを回転させ（Ｓ１１）、センサ７Ａ〜７Ｃの検出信号をフェッチする（Ｓ１２）。
【００４０】
Ｓ６でセンサ７Ａ〜７Ｃの何れもが検出部を検出しなかった場合、爪部１１Ａ〜１１Ｃの何れかがウェハ１００の検出部を挟持しているものと考えられる。そこで、爪部２１Ａ〜２１Ｃによってウェハ１００の周縁における爪部１１Ａ〜１１Ｃが挟持している部分とは異なる部分であって検出部が形成されていない部分を挟持し、ウェハ１００を１２０度
回転させてセンサ７Ａ〜７Ｃによる検出部の検出を行う（Ｓ１２）。
【００４１】
Ｓ１１で第２アーム２Ａ〜２Ｃとともに第１アーム１Ａ〜１Ｃを回転させるのは、露出位置にある爪部２１Ａ〜２１Ｃと退避位置にある爪部１１Ａ〜１１Ｃとの干渉を避けるためである。
【００４２】
なお、Ｓ１１で爪部２１Ａ〜２１Ｃが爪部１１Ａ〜１１Ｃに当接する直前まで第２アーム２Ａ〜２Ｃを反時計方向に回転させた後、爪部２１Ａ〜２１Ｃが爪部１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ａに当接する直前まで時計方向に回転させることもできる。これによって、第１アーム１Ａ〜１Ｃを回転させることなく、検出部を検出することができる。
【００４３】
センサ７Ａ〜７Ｃの何れかが検出部を検出すると、ＣＰＵ２０１は、第１モータ５及び第２モータ６の駆動を停止して第１アーム１Ａ〜１Ｃ及び第２アーム２Ａ〜２Ｃの回転を停止し（Ｓ１３）、検出結果に基づいてウェハ１００の回転角度を制御する（Ｓ１４）。
【００４４】
ウェハ１００の回転角度制御が完了すると、ＣＰＵ２０１は、ロボットアームの進入を待って爪部１１Ａ〜１１Ｃ又は爪部２１Ａ〜２１Ｃを退避位置に移動させた後（Ｓ１６）、ＣＰＵ２０１は、ロボットハンドにウェハ１００を搬出させる（Ｓ１７）。
【００４５】
以上のように、表面が第１の面に位置しているウェハ１００の周縁の互いに異なる部分を爪部１１Ａ〜１１Ｃ及び爪部２１Ａ〜２１Ｃで選択的に挟持することで、ウェハ１００を上下方向に変位させることなくウェハ１００を持ち替えることができる。これによって、ウェハの回転角度制御を短時間化することができるとともに、アライナ装置の構成を簡略化することができる。
【００４６】
また、爪部１１Ａ〜１１Ｃを備える第１アーム１Ａ〜１Ｃと爪部２１Ａ〜２１Ｃを備える第２アーム２Ａ〜２Ｃとを互いに異なる面に配置することで、互いに干渉することなく回転させることができる。
【００４７】
なお、アライナ装置１０ではウェハ１００の検出部を３個のセンサ７Ａ〜７Ｃで検出することとしたが、これに限るものではない。第１アーム１Ａ〜１Ｃ及び第２アーム２Ａ〜２Ｃを３６０度回転させることにより、単一のセンサでウェハ１００の検出部を検出することもできる。
【００４８】
図７は、この発明の第２の実施形態に係るアライナ装置の側面断面図である。図７に示すアライナ装置１１０は、第１シリンダ３及び第２シリンダ４に代えて、第１シリンダ１０３及び第２シリンダ１０４を備えた点でアライナ装置１０と相違しており、その他の構成はアライナ装置１０と同様である。なお、第１アーム１Ｃ及び第２アーム２Ｂは、図７に現れない。
【００４９】
第１シリンダ１０３は、第１アーム１Ａ〜１Ｃをウェハ１００の半径方向に沿って所定範囲内で移動自在に保持する。第２シリンダ１０４は、第２アーム２Ａ〜２Ｃをウェハ１００の半径方向に沿って所定範囲内で移動自在に保持する。第１シリンダ１０３及び第２シリンダ１０４には、第１アーム１Ａ〜１Ｃ及び第２アーム２Ａ〜２Ｃを水平方向に移動させるための移動機構が備えられている。この移動機構は、例えばモータ、ソレノイド又はエアシリンダ等の種々のアクチュエータから適宜選択できる。
【００５０】
第１アーム１Ａ〜１Ｃ及び第２アーム２Ａ〜２Ｃをウェハ１００の半径方向に沿って移動させることで、ウェハ１００のサイズの変化に対応することができる。また、第１アーム１Ａ〜１Ｃを内側に移動させることで、露出位置にある爪部２１Ａ〜２１Ｃが退避位置にある爪部１１Ａ〜１１Ｃにウェハ１００の周方向に沿って重ならないようにすることができる。これによって、爪部１１Ａ〜１１Ｃと爪部２１Ａ〜２１Ｃとが干渉することなく、第２アーム２Ａ〜２Ｃを自由に回転させることができる。
【００５１】
図８（Ａ）〜（Ｃ）は、この発明の第３〜５の実施形態に係るアライナ装置の側面断面図である。
【００５２】
図８（Ａ）に示すアライナ装置１２０は、第１アーム１Ａ〜１Ｃ及び第２アーム２Ａ〜２Ｃに代えて、第１アーム１０１Ａ〜１０１Ｃ及び第２アーム１０２Ａ〜１０２Ｃを備えた点で、アライナ装置１１０と相違している。アライナ装置１１０のその他の構成は、アライナ装置１１０と同様である。なお、第１アーム１０１Ｃ及び第２アーム１０２Ｂは、図８（Ａ）に現れない。
【００５３】
第１シリンダ１０３及び第２シリンダ１０４を備えることにより、第１アーム１Ａ〜１Ｃ及び第２アーム２Ａ〜２Ｃのウェハ１００の半径方向の移動によって爪部１１Ａ〜１１Ｃ及び爪部２１Ａ〜２１Ｃを退避位置と露出位置との間に移動させることができる。このため、爪部１１Ａ〜１１Ｃ及び爪部２１Ａ〜２１Ｃを揺動させるための構成が不要になる。そこで、アライナ装置１２０では、第１アーム１０１Ａ〜１０１Ｃのそれぞれに爪部１１１Ａ〜１１１Ｃを一体的に設け、第２アーム１０２Ａ〜１０２Ｃのそれぞれに爪部１２１Ａ〜１２１Ｃを一体的に設けている。これによって、構成を簡略化できる。
【００５４】
図８（Ｂ）に示すアライナ装置１３０は、第２アーム２Ａ〜２Ｃに代えて、第２アーム１３２Ａ〜１３２Ｃを備えた点で、アライナ装置１０と相違している。アライナ装置１３０のその他の構成は、アライナ装置１０と同様である。なお、第１アーム１Ｃ及び第２アーム１３２Ｂは、図８（Ｂ）に現れない。
【００５５】
第２アーム１３２Ａ〜１３２Ｃは、爪部１４１Ａ〜１４１Ｃの支点を、退避位置に位置する爪部１１Ａ〜１１Ｃの外側に配置している。露出位置にある爪部２１Ａ〜２１Ｃが退避位置にある爪部１１Ａ〜１１Ｃにウェハ１００の周方向に沿って重ならない。これによって、第２シリンダ４に第２アーム１３２Ａ〜１３２Ｃをウェハ１００の半径方向に沿って移動自在にすることなく、爪部１１Ａ〜１１Ｃと爪部１４１Ａ〜１４１Ｃとの干渉を回避しつつ第２アーム１３２Ａ〜１３２Ｃを単独で自由に回転させることができる。
【００５６】
図８（Ｃ）に示すアライナ装置１４０は、第１シリンダ１４３と第２シリンダ１４４とを搬入位置にあるウェハ１００を挟んで上下に配置したものである。第１アーム１４１Ｃ及び第２アーム１４２Ｂは、図８（Ｃ）には現れない。
【００５７】
この構成によっても、第１アーム１Ａ〜１Ｃの爪部１１Ａ〜１１Ｃと第２アーム２Ａ〜２Ｃの爪部２１Ａ〜２１Ｃとの間で、ウェハ１００を変位させることなく持ち替えることができる。また、露出位置にある爪部２１Ａ〜２１Ｃが、退避位置にある爪部１１Ａ〜１１Ｃにウェハ１００の周方向に沿って重ならないようにすることができる。第１シリンダ１４３と第２シリンダ１４４とを上下対称の形状とすることができ、第１アーム１４１Ａ〜１４１Ｃと第２アーム１４２Ａ〜１４２Ｃとを上下対称の形状とすることができる。これによって、部品点数を削減できる。アライナ装置１４０の構成に、アライナ装置１１０〜１３０の構成を組み合わせることもできる。
【００５８】
なお、上記の実施形態では、何れも３本ずつの第１アーム及び第２アームを備えた例を示したが、第１アーム及び第２アームを２本ずつ備えることもできる。
【００５９】
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】この発明の第１の実施形態に係るアライナ装置の外観図である。
【図２】同アライナ装置の平面図である。
【図３】図２におけるＸ−Ｘ方向の断面図である。
【図４】同アライナ装置の制御部のブロック図である。
【図５】アライナ装置におけるウェハの回転角度制御時の制御部の処理手順を示すフローチャートである。
【図６】（Ａ）〜（Ｄ）は、同回転角度制御時の動作状態を示す図である。
【図７】この発明の第２の実施形態に係るアライナ装置の側面断面図である。
【図８】（Ａ）〜（Ｃ）は、の発明の第３〜５の実施形態に係るアライナ装置の側面断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１−第１アーム
２−第２アーム
３−第１シリンダ
４−第２シリンダ
５−第１モータ
６−第２モータ
７Ａ〜７Ｃ−センサ
１０−アライナ装置
１１Ａ〜１１Ｃ−爪部
２１Ａ〜２１Ｃ−爪部
【図１】
0004892496.tif 000002
【図２】
0004892496.tif 000003
【図３】
0004892496.tif 000004
【図４】
0004892496.tif 000005
【図５】
0004892496.tif 000006
【図６】
0004892496.tif 000007
【図７】
0004892496.tif 000008
【図８】
0004892496.tif 000009