(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ループ状をした搬送ラインの直線区間に沿ってその外側方に複数台の製造装置を配設するとともに、該搬送ラインの空間内に、移送機とその両端部に移載機を配置するようにして組み合わせてなるコンベアを配設して構成した工程間搬送システムであって、前記移送機を、搬送ラインの走行レールと平行して直列的に複数配置する搬送物置台と、該搬送物置台間を搬送物のタクト移送を可能とする移送台車とより構成するとともに、前記移載機を、搬送ラインの走行レールを走行する搬送車と搬送物置台との間の搬送物の移載を可能とするように構成し、かつ、２台以上のコンベアを該コンベア間の連接部に１台の移載機を配置して直列的に連接配設したことを特徴とする工程間搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工程間搬送システムに関し、特に、ループ状をした搬送ラインの往路と復路との空間内に、移載機と搬送物の一時保管を可能とした移送機とを組み合わせたコンベアを配置し、工場のスペースを大きくすることなく、搬送物の一時保管と搬送時間の短縮を可能とした工程間搬送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶基板や半導体等の製造工場のクリーンルームにおいては、ループ状をした搬送ラインの往路側及び復路側の走行レール、特に限定されるものではないが、例えば、直線部走行レールに沿って複数台の製造装置を配置し、液晶基板や半導体部品を収納したカセット等の搬送物を、所定の製造装置へ或いは予め定められた工程間を、複数台の無人搬送車を用いて搬送するようにしている。
この無人搬送車としては、工場の地上を走行するＲＧＶ（有軌道式地上搬送車）と、工場の天井部を走行するＯＨＶ（有軌道式天井搬送車）とがある。
【０００３】
また、近年の液晶基板の大型化により、これを収納したカセット等の搬送物及び搬送車も大型化することで工程内搬送設備の搬送ラインのループ長も長くなるとともに、該搬送車を走行させる搬送ラインのコーナ部の回転半径が必然的に大きくなるため、該搬送ラインの往路側走行レールと復路側走行レールとの間隔も広くなり、このループ中間部分に空きスペースが存在するようになっている。
【０００４】
ところで、このような工程間搬送において、搬送車自体も大型になり、これに伴い搬送ラインのコーナ部の回転半径が大きくなっており、これによりループ中間部分に空きスペースがあるのに有効に活用されていないという問題があった。
また、この大型化する搬送車による搬送ラインのコーナ部の回転半径の大径化及び搬送ラインのループ長大化に伴い、これらを収める工場建屋自体も大きくなり、設備費が高価になるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、工程間搬送システムの有する問題点に鑑み、搬送ラインの往復路両走行レール間の空間スペース内に、移送機とその両端部に移載機を配置するようにして組み合わせてなるコンベアを配設することで、長大な搬送ラインにおいても搬送物の搬送時間を短縮できるとともに、搬送物の保管をも行えるようにした工程間搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の工程間搬送システムは、ループ状をした搬送ラインの直線区間に沿ってその外側方に複数台の製造装置を配設するとともに、該搬送ラインの空間内に、移送機とその両端部に移載機を配置するようにして組み合わせてなるコンベアを配設して構成した工程間搬送システムであって、前記移送機を、搬送ラインの走行レールと平行して直列的に複数配置する搬送物置台と、該搬送物置台間を搬送物のタクト移送を可能とする移送台車とより構成するとともに、前記移載機を、搬送ラインの走行レールを走行する搬送車と搬送物置台との間の搬送物の移載を可能とするように構成し、かつ、２台以上のコンベアを該コンベア間の連接部に１台の移載機を配置して直列的に連接配設したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の工程間搬送システムによれば、大型化する搬送物の搬送において長大化する搬送ラインでもその搬送ラインを必要に応じてショートカットして搬送することができ、また搬送ラインの途中での保管及び取り出しも可能であるので、搬送時間が短縮されるとともに、さらには搬送ラインの空間スペースを有効利用することができるので、必要以上に工場のスペースを大きくすることがない。
【０００８】
そして、移送機を、搬送ラインの走行レールと平行して直列的に複数配置する搬送物置台と、該搬送物置台間を搬送物のタクト移送を可能とする移送台車とより構成したことにより、構造が簡単で、移載及び保管、取り出し作業が迅速に、簡易に行うことができる。
【０００９】
また、移載機を、搬送ラインの走行レールを走行する搬送車と搬送物置台との間の搬送物の移載を可能とするように構成したことにより、搬送物の出し入り及び保管作業が短時間に簡易に行うことができる。
【００１０】
また、搬送ラインの走行レール間の空間内に２台以上のコンベアを該コンベア間の連接部に１台の移載機を配置して直列的に連接配設することにより、長い搬送ラインであっても少ない移載機数で効率的な移載、保管を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の工程間搬送システムの実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１２】
図１〜図６に、本発明の工程間搬送システムの一実施例を示す。
液晶基板や半導体等の製造工場において、本発明の工程間搬送システムは、特に限定されるものではないが、例えば、図１に示すように、ループ状の搬送ラインＲの直線区間に沿ってその外側方に複数台の製造装置Ｍ、Ｍを定間隔或いは任意間隔に配設するとともに、このループ状の搬送ラインＲに沿って複数台の無人の搬送車Ｖ、Ｖを走行させ、製造装置Ｍ間を液晶基板や半導体部品を収納したカセット等の搬送物（以下、「カセットＫ」という。）を搬送するようにし、かつループ状の搬送ラインＲの空間内に、移送機とその両端部に移載機を配置するようにして組み合わせてなるコンベアを配設するようにして構成している。
【００１３】
この搬送ラインＲは、往路側走行レールＲ１と大型のカセットを搬送可能なように所要の空間スペースをあけて復路側走行レールＲ２とが平行するように敷設し、かつ両走行レールＲ１、Ｒ２の両端部において敷設するコーナレールＲ３を介して両走行レールＲ１、Ｒ２両端部を接続してループ状に構成する。
また、平行する往路側走行レールＲ１と復路側走行レールＲ２との間には、大型のカセットＫを搬送するのに適した大きさの搬送車Ｖが搬送走行するよう、所要の空間スペースＳをあけるようにし、この空間スペースＳ内に移送機とその両端部に移載機を配置するよう組み合わせてなるコンベアＣを配設する。
この無人の搬送車Ｖとしては、特に限定されるものではないが、例えば、工場の地上を走行する場合はＲＧＶ（有軌道式地上搬送車）を採用し、また工場の天井部を走行する場合はＯＨＶ（有軌道式天井搬送車）を採用する。
【００１４】
コンベアＣは、図２以下に示すように、移送機１とその両端部に移載機２、２を配置するようにして組み合わせ一体となるように構成する。この移送機１は、搬送ラインＲの両走行レールＲ１、Ｒ２と平行し、かつ直列に搬送物置台１１、１１を定間隔に複数配置するとともに、該搬送物置台１１の下方位置で、かつ搬送物置台１１、１１間をカセットＫのタクト移送を可能とするよう、昇降台１３を備えた移送台車１２とより構成する。
【００１５】
この搬送物置台１１は、特に限定されるものではないが、例えば、カセットＫの少なくとも底部の四隅を支持できるよう、カセット底部四隅角部に置台支柱１１ａを４本樹立して構成し、これを１組として定間隔で複数組、例えば、図示の実施例のように５台を直列に配置する。そして、この搬送物置台１１、１１間の下方位置で搬送物置台配置方向に沿って移送台車１２を移動するように配置する。この移送台車１２の１ピッチによる移動量は、直列に配置する搬送物置台１１、１１間長と等しくなるよう設定し、かつ付設の昇降台１３の昇降動作との組み合わせによりカセットＫを隣接する搬送物置台１１、１１間を１ピッチづつ移送するようにする。
なお、この場合、移送台車１２の移動をある搬送物置台１１の下方位置で停止し、昇降台を少し下降することで、カセットＫは、移送台車１２側から移送台車１２が停止した位置の搬送物置台１１上に一時保管されるものとなる。
【００１６】
また、移載機２は、コンベアＣの両端部に配置するもので、特に限定されるものではないが、例えば、この移載機２に搭載した昇降可能な伸縮性の移載アーム２１の伸縮及び昇降動作により、カセットＫを移載機２と搬送ラインＲの往路側走行レールＲ１或いは復路側走行レールＲ２との間で、さらには移載機２とこれに隣接する搬送物置台１１との間で移載できるように構成する。
【００１７】
次に、本発明の工程間搬送システムの作用について説明する。
カセットＫは、無人の搬送車Ｖに搭載されてループ状の搬送ラインＲに沿って所定の順方向に旋回するように走行して搬送され、指定された製造装置Ｍの位置で停止し、該製造装置Ｍとの間でカセットＫの受け渡しを行うようにしている。
ところが、従来の方法では、このカセットＫを往路側の走行レールＲ１に隣接された製造装置Ｍで渡した後、復路側の走行レールＲ２の予め定められたカセット搭載位置に到達するまで該搬送車Ｖは空車でループ状の搬送ラインＲを順方向にほぼ１周走行する必要があった。
【００１８】
また、一方の走行レールＲ１に隣接する製造装置Ｍより受けとったカセットＫを、他方の走行レールＲ２に隣接する指定された製造装置Ｍへ搬送する場合、該搬送車Ｖもやはりループ状の搬送ラインＲを順方向に走行した後でなければ指定された製造装置Ｍへ渡すことができない。このため、搬送時間の短縮は望めないものとなっていた。
【００１９】
しかし、本願発明では、例えば、ループ状の搬送ラインＲの一方の走行レールＲ１を順方向に走行する搬送車Ｖが、指定された製造装置ＭでカセットＫを渡した後、次のカセット搭載指令を受けると、該搬送車Ｖは搬送ラインＲを順方向に走行しているとき、その途中で配置されたコンベアＣの移載機位置に達すると、このコンベアＣの搬送物置台１１に保管されているカセットＫを移載機位置まで移動させた後、移載機２にて空の搬送車Ｖに移載することができる。これにより、搬送車Ｖを実質的にショートカットして搬送することができるので、搬送時間の短縮が可能となる。
【００２０】
また、コンベアＣの搬送物置台１１は搬送ラインＲの走行レールＲ１、Ｒ２に沿って直列的に複数台配置されているので、搬送ラインＲの順方向に走行する複数台の搬送車Ｖにて搬送されるカセット数が、製造装置Ｍに供給される数よりも多い場合、この余剰のカセットＫをコンベアＣの移載機位置で移載機によりコンベアＣの搬送物置台１１に移載して保管することができ、またこれを必要とする近くの製造装置Ｍへ順方向に走行する搬送車Ｖにて供給することができる。
【００２１】
コンベアＣにおけるカセットＫの搬送物置台１１間の移送は、搬送物置台１１の下方位置に配置された移送台車１２を、搬送物置台１１、１１間長と等しい１ピッチの移動と、昇降台１３の昇降動作との組み合わせにより、カセットＫを搭載位置からこれに隣接する搬送物置台１１へと、順次タクト移動させるようにして行い、図示の実施例ではコンベアＣに最大５個のカセットＫを保管することができ、また移送台車１２の移動方向を制御することで、該コンベアＣの左右いずれの側からも出し入れすることができるものとなる。
また、長い搬送ラインでは、走行レール間の空間内に２台以上のコンベアを連接配設し、かつコンベア間の連接部に１台の移載機を配設することにより、長い搬送ラインであっても少ない移載機数で効率的な移載、保管を行うことができる。
【００２２】
以上、本発明の工程間搬送システムについて、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明の工程間搬送システムは、ループ状の搬送ラインの往復路走行レール間の空間内に、移送機とその両端部に移載機を配置して組み合わせてなるコンベアを配設することで、長大な搬送ラインにおいても搬送物の搬送時間を短縮し、かつ搬送物の保管をも行えるという特性を有していることから、液晶基板や半導体等の製造工場の用途に好適に用いることができるほか、例えば、自動倉庫の用途にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の工程間搬送システムの一実施例の全形を示す平面図である。
【図２】本発明の移送機と移載機とを組み合わせたコンベアを示す平面図である。
【図３】同コンベアの正面図である。
【図４】移送機の側面縦断面図である。
【図５】本発明の移載機を示す側面縦断面図である。
【図６】同正面縦断面図である。
【符号の説明】
【００２５】
Ｃ    コンベア
Ｋ    カセット
Ｍ    製造装置
Ｒ    搬送ライン
Ｒ１  往路側走行レール
Ｒ２  復路側走行レール
Ｒ３  コーナレール
Ｓ    空間スペース
Ｖ    無人の搬送車
１    移送機
１１  搬送物置台
１２  移送台車
１３  昇降台
２    移載機
２１  移載アーム
【図１】
0005019043.tif 000002
【図２】
0005019043.tif 000003
【図３】
0005019043.tif 000004
【図４】
0005019043.tif 000005
【図５】
0005019043.tif 000006
【図６】
0005019043.tif 000007