(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系測定機本体からの射出光が照射されて光学的検査が行われる被検物を保持し、前記射出光の光軸に対して垂直な仮想平面内で前記被検物の位置調整が可能な保持ステージを備える測定架台において、
前記保持ステージには、固定部材と、前記被検物を保持するとともに前記固定部材に対して移動可能な可動部材と、前記可動部材を移動させる移動機構と、が備えられ、
前記固定部材には、前記仮想平面に平行なスライド面が形成され、
前記可動部材は、前記スライド面に沿って２方向に直線的移動が可能であり、
前記移動機構には、前記可動部材を一方の方向へ移動させる第一移動手段と、前記可動部材を他方の方向へ移動させる第二移動手段と、が備えられ、
前記第一移動手段は、前記他方の方向に並んだ複数の接点を介して前記可動部材に当接され、
前記第二移動手段は、前記一方の方向に並んだ複数の接点を介して前記可動部材に当接されている、ことを特徴とする測定架台。
【請求項２】
前記接点には、前記光軸に平行な軸線周りに回転する回転体が設けられている、ことを特徴とする請求項１に記載の測定架台。
【請求項３】
前記スライド面に沿った方向から前記可動部材に当接する当接部材が備えられ、前記当接部材が当接する前記可動部材の被当接面、及び前記当接部材の当接面のうちの少なくとも一方は、前記可動部材の径方向内側から外側に向かうに従い、前記スライド面との距離が漸次小さくなるように傾斜されている、ことを特徴とする請求項１または２に記載の測定架台。
【請求項４】
前記可動部材を前記スライド面側に向けて付勢する弾性部材が備えられている、ことを特徴とする請求項１または２に記載の測定架台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学系測定機本体により被検物を測定する際に用いられる測定架台に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学素子の面形状を検査する干渉計には、干渉計本体のほか、被検物である光学素子と干渉計本体との位置決めを行うための測定架台が備えられている。従来の測定架台としては、下記の特許文献１に記載されているように、被検物を保持する保持ステージが複数層の可動板からなる構成のものがある。
【０００３】
詳しく説明すると、従来の測定架台は、脚部によって支持された定盤の上面に保持ステージが設置されている。保持ステージは、定盤の上面に固定された基板（固定部材）と、基板の上方に配置されて基板に対して一方の方向に移動可能な第一テーブル（可動部材）と、第一テーブルの上方に配置されて第一テーブルに対して他方の方向に移動可能な第二テーブル（可動部材）と、を備えている。第二テーブルの上面には高さ調整リングが設けられ、高さ調整リング上にレンズホルダを介して光学素子（被検物）が載置される。また、定盤の下面からガイドが垂設され、このガイドに沿って移動可能なスライダーに干渉計本体（光学系測定機本体）が固定されている。また、上記した定盤、基板、及び第一、第二テーブルにはそれぞれ孔が形成されており、干渉計本体から射出された光が上記孔を通過して光学素子に照射される構成になっている。上記した構成からなる従来の測定架台によれば、スライダーをガイドに沿って移動させることで、干渉計本体と光学素子との光軸方向の位置決めを行うことができ、また、第一テーブルと第二テーブルとをそれぞれ移動させることで、干渉計本体と光学素子との光軸垂直方向の位置決めを行うことができる。
【特許文献１】特許第３３２８９６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の測定架台では、保持ステージが２枚のテーブルから構成されているため、その厚さ寸法が大きく、測定架台の全長（全高）が高くなるという問題がある。
【０００５】
また、被検物の光学素子の曲率半径が小さい場合、干渉計本体の基準レンズを光学素子に近づける必要がある。このとき、従来の測定架台では、保持ステージが厚い分、定盤の下面位置から光学素子までの距離が長くなるため、基準レンズを定盤や保持ステージの孔の内側に深く入り込ませなければならない。このため、干渉計本体の先端の位置を目視で確認がしにくく、干渉計本体の先端が光学素子に衝突するおそれがあるという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記した従来の問題が考慮されたものであり、保持ステージの厚み寸法を小さくし、全長が低く、且つ、光学系測定機本体を被検物に近づけ易い測定架台及び干渉計を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る測定架台は、光学系測定機本体からの射出光が照射されて光学的検査が行われる被検物を保持し、前記射出光の光軸に対して垂直な仮想平面内で前記被検物の位置調整が可能な保持ステージを備える測定架台において、前記保持ステージには、固定部材と、前記被検物を保持するとともに前記固定部材に対して移動可能な可動部材と、前記可動部材を移動させる移動機構と、が備えられ、前記固定部材には、前記仮想平面に平行なスライド面が形成され、前記可動部材は、前記スライド面に沿って２方向に直線的移動が可能であり、前記移動機構には、前記可動部材を一方の方向へ移動させる第一移動手段と、前記可動部材を他方の方向へ移動させる第二移動手段と、が備えられ、前記第一移動手段は、前記他方の方向に並んだ複数の接点を介して前記可動部材に当接され、前記第二移動手段は、前記一方の方向に並んだ複数の接点を介して前記可動部材に当接されている、ことを特徴としている。
このような特徴により、可動部材をスライド面に沿って２方向にそれぞれ移動させることで、被検物が、光軸に対して垂直な仮想平面内で任意の位置に配置され、被検物と光学系測定機本体との光軸垂直方向の位置決めが行われる。
さらに、第一移動手段によって可動部材を一方側に移動させる際、可動部材は第二移動手段と可動部材との接点によって一方側へガイドされる。一方、第二移動手段によって可動部材を他方側に移動させる際、可動部材は第一移動手段と可動部材との接点によって他方側へガイドされる。
【０００８】
また、本発明に係る測定架台は、前記接点に、前記光軸に平行な軸線周りに回転する回転体が設けられていることが好ましい。
これにより、第一又は第二移動手段によって移動する可動部材を複数の接点によってガイドする際、その接点に設けられた回転体が回転することで、可動部材が移動する際の摩擦力が軽減される。
【０００９】
また、本発明に係る測定架台は、前記スライド面に沿った方向から前記可動部材に当接する当接部材が備えられ、前記当接部材が当接する前記可動部材の被当接面、及び前記当接部材の当接面のうちの少なくとも一方は、前記可動部材の径方向内側から外側に向かうに従い、前記スライド面との距離が漸次小さくなるように傾斜されていることが好ましい。
これにより、可動部材が当接部材によってスライド面に押さえ付けられた状態となり、可動部材がスライド面に平行に移動して位置調整が行われる。
【００１０】
また、本発明に係る測定架台は、前記可動部材を前記スライド面側に向けて付勢する弾性部材が備えられている構成であってもよい。
これにより、可動部材が弾性部材によってスライド面に押さえ付けられた状態となり、可動部材がスライド面に平行に移動して位置調整が行われる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る測定架台及び干渉計によれば、可動部材が２方向にスライドするため、２つの可動部材（テーブル）を重ねた構成の従来の保持ステージと比較して、保持ステージの厚み寸法を小さくすることができる。これにより、測定架台や干渉計の全長を低くすることができる。また、保持ステージの厚み寸法が小さい分、光学系測定機本体の先端を保持ステージの内側に深く入れ込ませなくても、光学系測定機本体の先端を被検物に近づけることができるので、光学系測定機本体を被検物に近接させ易く、光学系測定機本体と被検物との衝突を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明に係る測定架台及び干渉計の実施の形態について、図面に基いて説明する。
【００１６】
［第１実施形態］
まず、本発明の第１実施形態について説明する。
図１は本発明の一例である干渉計１を表した側面図であり、図２は本発明の一例である測定架台２を表した平面図であり、図３は図２に示すＡ−Ａ間の断面図であり、図４は図２に示すＢ−Ｂ間の断面図であり、図５は図２に示すＣ−Ｃ間の断面図である。
なお、本実施の形態では、後述する干渉計本体３から射出される射出光の光軸Ｏ方向（図１における縦方向）を鉛直方向とし、前記光軸Ｏに対して垂直な方向（図１における横方向）を水平方向とする。
【００１７】
図１に示す干渉計１は、レンズ等の被検物Ｘに光を照射してその被検物Ｘの面形状を測定する検査装置であり、その概略構成としては、被検物Ｘを検査するための光を被検物Ｘに向けて射出する干渉計本体３（本発明の光学系測定機本体に相当する。）と、干渉計本体３を保持するとともに被検物Ｘがセットされる測定架台２と、を備えている。
【００１８】
測定架台２は、水平に配置された基盤４と、基盤４の上方に間隔をあけて配置された保持ステージ５と、基盤４と保持ステージ５（後述する固定板１０）とを連結するようにそれらの間に架設された複数のガイド６（本実施の形態では２本）と、基盤４と保持ステージ５との間に配置されてガイド６に沿って移動可能な移動台７と、移動台７をガイド６に沿って移動させる鉛直移動機構８と、が備えられている。干渉計本体３は、複数のガイド６間の中央位置で荷重分布が略均等になるようにして、上記した移動台７上に固定されている。これにより移動台７がガイド６に沿って移動される際に、移動台７が水平に保たれる。
【００１９】
図１、図２に示すように、保持ステージ５は、被検物Ｘを保持して仮想水平面（干渉計本体３からの射出光の光軸Ｏに対して垂直な仮想平面）内で被検物Ｘの位置調整を行うものである。保持ステージ５の概略構成としては、基盤４と平行に配置された固定板１０（固定部材）と、固定板１０に形成された孔１０ａ内に配置されて被検物Ｘを保持するとともに固定板１０に対して移動可能な１つ（一枚）からなる可動板１１（可動部材）と、固定板１０に形成された孔１０ａ内で可動板１１を移動させる水平移動機構１２（本発明の移動機構に相当する。）と、が備えられている。
【００２０】
固定板１０には、図１、図３に示すように、上面側に、円形の孔１０ａが形成されているとともに、この孔１０ａの底面側には、仮想水平面に平行なスライド面１０ｂが形成されている。詳しく説明すると、孔１０ａの底面側の外周部には段差部１０ｃが孔１０ａ全周に亘って形成されており、この段差部１０ｃの水平な上面がスライド面１０ｂとなっている。
【００２１】
また、固定板１０には、図２に示すように、上面側に、孔１０ａの中心に対して３方向に、後述する第一移動手段２０が収容される溝状の第一凹部１０ｄと、後述する第二移動手段２１が収容される溝状の第二凹部１０ｅと、後述する押付手段２２が収容される凹状の第三凹部１０ｆと、が形成されている。第一、第二、第三凹部１０ｄ，１０ｅ，１０ｆは、孔１０ａの外周に配設されている。第一、第二凹部１０ｄ，１０ｅは、孔１０ａの半径延長線上に形成されており、第一凹部１０ｄと第二凹部１０ｅとは互いに直交する方向にそれぞれ延在されてハ字状（逆Ｖ字状）に形成されている。第一、第二凹部１０ｄ，１０ｅの一端は、孔１０ａの内方に向けて開放されており、第一、第二凹部１０ｄ，１０ｅの他端は、固定板１０の側方に向けて開放されている。第三凹部１０ｆは、第一、第二凹部１０ｄ，１０ｅに対して孔１０ａを挟んで反対側に配設されており、孔１０ａの外周円の接線方向に延在されている。第三凹部１０ｆの孔１０ａ側（図２における下側）は、孔１０ａの内方に開放されており、その反対側（図２における上側）は、側壁面１０ｇにより閉塞されている。なお、固定板１０の上面における円形の孔１０ａおよび第一、第二、第三凹部１０ｄ，１０ｅ，１０ｆの各開口を、可動板１１等を取り外した際に、固定板１０の上面側で一枚のカバー部材（不図示）により覆うことができ、且つカバー部材を上面側で位置決めできるようにするために、固定板１０の上面における円形の孔１０ａ及び第一、第二、第三凹部１０ｄ，１０ｅ，１０ｆの各開口を含むようにして、固定板１０の上面には段差部１０ｍが形成されている。
【００２２】
可動板１１は、円環状の部材であり、この可動板１１上に、円環状のレンズホルダ９（図４、図５に示す）を介して被検物Ｘがセットされる。図２、図３に示すように、可動板１１は、固定板１０の孔１０ａ内に収容されている。可動板１１の外径は、固定板１０の孔１０ａの下面側の内径（円環状のスライド面１０ｂの内径、すなわち段差部１０ｃの内径）よりも大きく、可動板１１の外周部が固定板１０のスライド面１０ｂ上に載置されている。また、可動板１１の外径は、固定板１０の孔１０ａの上面側の内径よりも小さく、可動板１１は孔１０ａの内側でスライド面１０ｂに沿ってスライド可能になっている。
【００２３】
図２、図４、図５に示すように、可動板１１の外周部の一部は、光軸Ｏに平行して穿設された略有底円筒形状の一部側面が開口された凹部１１ａとなっており、この可動板１１の外周部の凹部１１ａには、光軸Ｏに平行な軸線Ｐ周りに軸回転自在なローラー１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ（本発明の回転体に相当する。）がビスにて固定されて設けられている。そして、これらのローラー１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃを介して、後述する当接部材２６，３０が可動板１１に当接されている。詳しく説明すると、可動板１１の外周部のうち、一方の方向（Ｙ１方向）に延在する第一凹部１０ｄに対向する位置には、上記Ｙ１方向に直交する他方の方向（Ｙ２方向）に並べて配設された複数（図２では２つ）のローラー１３Ａが設けられている。また、可動板１１の外周部のうち、Ｙ２方向に延在する第二凹部１０ｅに対向する位置には、上記Ｙ１方向に並べて配設された複数（図２では２つ）のローラー１３Ｂが設けられている。また、可動板１１の外周部のうち、第三凹部１０ｆに対向する位置には、１つのローラー１３Ｃが設けられている。
【００２４】
上記したローラー１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃは、上記したように、可動板１１の外周部に形成された平面視略円形の凹部１１ａの内側にそれぞれ配置されている。この凹部１１ａの内周面のうち、可動板１１の径方向外側の部分は開口されており、ローラー１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃの外周面の一部は、凹部１１ａの開口部分から可動板１１の側方に露出され、後述する当接部材２６，３０が当接されている。
【００２５】
後述する当接部材２６，３０が当接する可動板１１の被当接面１１ｂ、つまり可動板１１ａの開口部分から露出されたローラー１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃの外周面は、可動板１１の径方向内側から外側に向かうに従い、上記スライド面１０ｂとの距離が漸次小さくなるように傾斜されている。詳しく説明すると、上記したローラー１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃの下部外周面は、下方に向かうに従い漸次拡径されたテーパー面となっており、このローラー１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃの下部の一部は、凹部１１ａの開口部分から可動板１１の径方向外側へ突出されている。
【００２６】
水平移動機構１２は、可動板１１を２方向（Ｙ１方向及びＹ２方向）へそれぞれ直線的に移動させるための機構であり、その概略構成としては、可動板１１をＹ１方向へ移動させる第一移動手段２０と、可動部材１１をＹ２方向へ移動させる第二移動手段２１と、可動板１１を第一移動手段２０及び第二移動手段２１の各当接部材２６に押し付ける押付手段２２と、を備えている。
【００２７】
第一移動手段２０は、その少なくとも一部が固定板１０の第一凹部１０ｄ内に配置されており、Ｙ２方向に並んだ複数の接点（Ｙ２方向に並んだローラー１３Ａと当接部材２６との接点）を介して可動板１１に当接されている。第一移動手段２０の概略構成としては、Ｙ１方向に延在する貫通穴２３ａを有するベース部２３と、前記貫通穴２３ａ内に挿通されたネジ２４と、ネジ２４を軸回転させるためのツマミ２５と、スライド面１０ｂに沿った方向（Ｙ１方向）からローラー１３Ａを介して可動板１１に当接するとともにネジ２４の進退に応じてＹ１方向に移動する当接部材２６と、当接部材２６をＹ１方向に案内するガイド部材２７と、を備えている。
【００２８】
ベース部２３は、固定板１０の第一凹部１０ｄ内に一対のビス等で固定されており、その幅方向の中央部分に貫通穴２３ａが形成されている。貫通穴２３ａの少なくとも一部（図２では基端部）は雌ネジ孔２３ｂになっており、この雌ネジ孔２３ｂにネジ２４が螺合されている。ネジ２４の両端部は貫通穴２３ａの両端からそれぞれ突出されており、ネジ２４の先端部（可動板１１側の端部）は、当接部材２６に対して回転自在に取り付けられ、ネジ２４の基端部（可動板１１側の反対側の端部）には、ツマミ２５が設けられている。
【００２９】
ガイド部材２７は、ベース部２３の先端面からＹ１方向に突設された棒状の部材である。ガイド部材２７は、ベース部２３の幅方向の両側部分にそれぞれ配設されており、当接部材２６に形成されたガイド孔２６ａ内に挿入されている。当接部材２６は、ベース部２３と可動板１１との間に配置されており、当接部材２６の先端部の下側の隅角部は、可動板１１の凹部１１ａの開口部分から露出されたローラー１３Ａのテーパー面（被当接面１１ｂ）に当接されている。
【００３０】
第二移動手段２１は、その少なくとも一部が固定板１０の第二凹部１０ｅ内に配置されており、第一移動手段２０と比較して向きが異なるだけで、その構成は同一である。
【００３１】
図２、図５に示すように、押付手段２２は、固定板１０の第三凹部１０ｆ内、つまり、第一移動手段２０の中心軸線Ｌ１と第二移動手段２１の中心軸線Ｌ２の二等分線の延長線Ｌ３上に配置されており、可動板１１を上記延長線Ｌ３方向（Ｙ３方向）で押圧するものである。押付手段２２の概略構成としては、スライド面１０ｂに沿った方向（Ｙ３方向）からローラー１３Ｃを介して可動板１１に当接する当接部材３０と、当接部材３０をＹ３方向に沿って可動板１１側へ付勢する弾性部材３１と、当接部材３０をＹ３方向に案内するガイド部材３２と、を備えている。
なお、上記した延長線Ｌ３上に、第三凹部１０ｆに対向する位置のローラー１３Ｃが配設されている。
【００３２】
当接部材３０は、固定板１０の第三凹部１０ｆの側壁面１０ｇと可動板１１との間に配置されており、当接部材３０の先端部（可動板１１側の端部）の下側の隅角部は、可動板１１の凹部１１ａの開口部分から露出されたローラー１３Ｃのテーパー面（被当接面１１ｂ）に当接されている。弾性部材３１は、例えばコイルスプリング等からなるものであり、当接部材３０に形成された弾性部材用孔３０ａ内に配置されている。弾性部材用孔３０ａは、Ｙ３方向に延在する孔であり、当接部材３０の基端面側が開放されているとともに当接部材３０の先端面側が閉塞された有底孔になっている。弾性部材３１は、弾性部材用孔３０ａの底面と固定板１０の第三凹部１０ｆの側壁面１０ｇとの間に介装されている。ガイド部材３２は、第三凹部１０ｆの側壁面１０ｇからＹ３方向に突設された棒状の部材であり、当接部材３０に形成されたガイド孔３０ｂ内に挿入されている。
【００３３】
次に、上記した構成からなる測定架台２の作用について説明する。
【００３４】
まず、可動板１１の上に配置したレンズホルダ９を介して被検物Ｘを載置し、保持ステージ５に被検物Ｘをセットする。
次に、鉛直移動機構８によって移動台７をガイド６に沿って移動させる。これにより、移動台７上の干渉計本体３が昇降し、被検物Ｘと干渉計本体３との鉛直方向の位置決めが行われる。
【００３５】
また、保持ステージ５の水平移動機構１２によって可動板１１を固定板１０のスライド面１０ｂに沿ってＹ１方向及びＹ２方向にそれぞれ移動させる。これにより、可動板１１上の被検物Ｘが水平方向に移動し、被検物Ｘが仮想水平面内で任意の位置に配置され、被検物Ｘと干渉計本体３との水平方向の位置決めが行われる。このとき、可動板１１は、固定板１０の孔１０ａ内に収容されており、その孔１０ａ内で水平移動する。また、当接部材２６，３０が当接する可動板１１の被当接面１１ｂが、可動部材１１の径方向内側から外側に向かうに従い、スライド面１０ｂとの距離が漸次小さくなるように傾斜しているため、可動部材１１が当接部材２６，３０によってスライド面１０ｂに押さえ付けられた状態となる。これにより、可動部材１１がスライド面１０ｂに平行に移動して位置調整が行われる。
【００３６】
また、第一移動手段２０は、Ｙ２方向に並んだ複数の接点（ローラー１３Ａ）を介して可動板１１に当接されており、第二移動手段２１は、Ｙ１方向に並んだ複数の接点（ローラー１３Ｂ）を介して可動板１１に当接されているため、水平移動機構１２によって可動板１１を移動させる際、上記した接点（ローラー１３Ａ，１３Ｂ）がガイドとなる。詳しく説明すると、第一移動手段２０によって可動板１１をＹ１方向に移動させる際、可動板１１は、第二移動手段２１と可動板１１との接点、つまりＹ１方向に並んだ複数のローラー１３ＢによってＹ１方向にガイドされる。一方、第二移動手段２１によって可動板１１をＹ２方向に移動させる際、可動板１１は、第一移動手段２０と可動板１１との接点、つまりＹ２方向に並んだ複数のローラー１３ＡによってＹ２方向にガイドされる。また、上記した接点にローラー１３Ａ，１３Ｂが設けられているため、ローラー１３Ａ，１３Ｂが回転することで、可動板１１が移動する際の摩擦力が軽減される。
【００３７】
上記した構成からなる測定架台２及び干渉計１によれば、可動板１１が固定板１０の孔１０ａ内に形成されたスライド面１０ｂによってＹ１方向及びＹ２方向にスライドするため、保持ステージ５の厚み寸法を小さくすることができる。これにより、測定架台２や干渉計１の全長（全高）を低くすることができる。また、保持ステージ５の厚み寸法が小さい分、干渉計本体３の先端を保持ステージ５の内側に深く入れ込まなくても、干渉計本体３の先端を被検物Ｘに近づけることができるので、干渉計本体３を被検物Ｘに近づけ易く、干渉計本体３が被検物Ｘに衝突することを防止することができる。
【００３８】
また、可動板１１が固定板１０の孔１０ａ内に収容されているため、保持ステージ５の厚さ寸法を一層小さくすることができ、測定架台２や干渉計１の全長を更に低くすることができるとともに、干渉計本体３の先端を被検物Ｘに近づけることができ、干渉計本体３と被検物Ｘとの衝突が防止される。
【００３９】
また、当接部材２６，３０が当接する可動板１１の被当接面１１ｂが傾斜しており、可動部材１１が当接部材２６，３０によってスライド面１０ｂに押さえ付けられた状態となり、可動部材１１がスライド面１０ｂに平行に移動して位置調整が行われるため、可動板１１の水平方向の位置調整精度を向上させることができる。
【００４０】
また、第一移動手段２０によって可動板１１をＹ１方向に移動させる際、可動板１１は第二移動手段２１と可動板１１との接点によってＹ１方向にガイドされ、第二移動手段２１によって可動板１１をＹ２方向に移動させる際、可動板１１は第一移動手段２０と可動板１１との接点によってＹ２方向にガイドされるため、可動板１１をＹ１方向及びＹ２方向に確実に移動させることができ、被検物Ｘを所定の位置に正確に配置することができる。
【００４１】
また、上記した接点に設けられたローラー１３Ａ，１３Ｂが回転することで、可動板１１が移動する際の摩擦力が軽減されるため、可動板１１をスムーズに移動させることができ、被検物Ｘを所定の位置に容易に配置することができる。
【００４２】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。なお、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付してその説明を省略する。
図６は本発明の一例である測定架台２を表した平面図であり、図７は図６に示すＤ−Ｄ間の断面図である。
【００４３】
図６、図７に示すように、可動板１１の外周部には、可動部材１１をスライド面１０ｂ側に向けて付勢する弾性部材１００が設けられている。詳しく説明すると、可動板１１の外周部のうち、第一移動手段２０に対向する凹部１１ａと第二移動手段２１に対向する凹部１１ａとの中間位置、第一移動手段２０に対向する凹部１１ａと押付手段２２に対向する凹部１１ａとの中間位置、及び第二移動手段２１に対向する凹部１１ａと押付手段２２に対向する凹部１１ａとの中間位置、の３ヶ所の位置には、底部中央に円形の貫通孔１１ｄが形成された略円形状の凹部１１ｃがそれぞれ形成されている。前記凹部１１ｃ内には、コイルスプリング等の弾性部材１００が配置され、この弾性部材１００の内側に押さえピン１０１が挿通されている。押さえピン１０１は、固定板１０のスライド面１０ｂに立設され、凹部１１ｃ底の貫通孔１１ｄに挿通されて凹部１１ｃの内側に配置されている。貫通孔１１ｄを挿通する押さえピン１０１の下部は、貫通孔１１ｄよりも小径であり、押さえピン１０１に対する可動板１１の移動は許容されている。押さえピン１０１の下部には、凹部１１ｃの底面上に載置されたカラー１０２が外装されている。押さえピン１０１の上端には、その径方向外側に突出するフランジ１０１ａが設けられており、このフランジ１０１ａとカラー１０２との間に、弾性部材１００が介装されている。この弾性部材１００は、フランジ１０１ａから反力を取ってカラー１０２を凹部１１ｃの底面に押し付けるものである。
【００４４】
なお、本実施形態では、可動板１１の外周部に設けられたローラー１１３は、上述した第１実施形態と異なり、その外周面にテーパー面が形成されてなく、円柱形状のローラー１１３となっている。
【００４５】
上記した構成からなる測定架台２及び干渉計１によれば、可動部材１１が弾性部材１００によってスライド面１０ｂに押さえ付けられた状態となり、可動部材１１がスライド面１０ｂに平行に移動して位置調整が行われる。これにより、可動板１１の水平方向の位置調整精度を向上させることができる。
【００４６】
以上、本発明に係る測定架台及び干渉計の実施の形態について説明したが、本発明は上記した第１、第２実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、上記した実施形態では、可動板１１が、互いに直交するＹ１方向とＹ２方向にそれぞれ移動可能になっているが、本発明は、可動板１１が２方向に移動可能になっていればよく、可動板が、互いに直交する２方向に移動可能になっていることに限られない。つまり、直交しない２方向にそれぞれ移動可能な可動板であってもよい。
【００４７】
また、上記した実施形態では、干渉計本体３が上向きに光を射出するような向きに配設され、干渉計本体３の上方に保持ステージ５が配設された構成（上向き式）になっているが、本発明は、上記した干渉計１（測定架台２）を上下反転させた構成（下向き式）であってもよく、或いは、上記した干渉計１（測定架台２）を９０度傾倒させた構成（横向き式）であってもよい。すなわち、干渉計本体３が下向きに光を射出するような向きに配設され、干渉計本体３の下方に保持ステージ５が配設された構成であってもよく、或いは、干渉計本体３が横方向に光を射出するような向きに配設され、干渉計本体３の側方に保持ステージ５が縦置きに配設された構成であってもよい。
【００４８】
また、上記した実施形態では、可動板１１の外周部にローラー１３Ａ，１３Ｂ，１３ｃが取り付けられ、第一移動手段２０（当接部材２６）と可動板１１との接点、第二移動手段２１（当接部材２６）と可動板１１との接点、及び押付手段２２（当接部材３０）と可動板１１との接点に、それぞれローラー１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃが設けられた構成になっているが、本発明は、当接部材２６，３０の先端にローラー等の回転体が設けられた構成であってもよい。更に、本発明は、上記接点にローラー等の回転体が設けられていない構成にすることも可能であり、例えば、当接部材２６，３０の先端（当接面）と可動板１１の被当接面１１ｂとが、摩擦抵抗の少ない平滑な面に形成されていてもよい。
【００４９】
また、上記した実施形態では、第一移動手段２０で可動板１１を移動させる際、第二移動手段２１と可動板１１との接点がガイドとなり、第二移動手段２１で可動板１１を移動させる際、第一移動手段２０と可動板１１との接点がガイドとなるが、本発明は、別途ガイドが備えられた構成にすることも可能である。
【００５０】
また、上記した実施形態では、当接部材２６，３０が当接する可動板１１の被当接面１１ｂが傾斜しているが、本発明は、可動板１１の被当接面が傾斜してなく、当接部材２６，３０の当接面が、可動部材の径方向内側から外側に向かうに従い、スライド面との距離が漸次小さくなるように傾斜されていてもよい。また、可動板１１の被当接面及び当接部材２６，３０の当接面がそれぞれ上記のように傾斜されていてもよい。
【００５１】
また、上記した実施形態では、可動板１１が１つ（一枚）からなっていて固定板１０の孔１０ａ内に収容されているが、本発明は、可動板１１が一枚からなっていれば固定板１０上に配置されていてもよい。
また、上記した実施形態では、光学系測定機本体として干渉計本体３が用いられているが、本発明は、干渉計本体以外の光学系測定機本体を用いることも可能であり、被検物に光を照射して光学的検査を行う光学系測定機本体であれば適宜使用することが可能である。
【００５２】
その他、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した変形例を適宜組み合わせてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の第１実施形態を説明するための干渉計の側面図である。
【図２】本発明の第１実施形態を説明するための測定架台の平面図である。
【図３】図２に示すＡ−Ａ間の断面図である。
【図４】図２に示すＢ−Ｂ間の断面図である。
【図５】図２に示すＣ−Ｃ間の断面図である。
【図６】本発明の第２実施形態を説明するための測定架台の平面図である。
【図７】図２に示すＤ−Ｄ間の断面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  干渉計
２  測定架台
３  干渉計本体
５  保持ステージ
１０  固定板（固定部材）
１０ａ  孔
１０ｂ  スライド面
１１  可動板（可動部材）
１１ｂ  被当接面
１２  水平移動機構（移動機構）
１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、１１３  ローラー（回転体）
２０  第一移動手段
２１  第二移動手段
２６  当接部材
３０  当接部材
１００  弾性部材
Ｏ  光軸
Ｘ  被検物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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