(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とを備えた切削装置における修正器具であって、
該切削手段は、回転駆動されるスピンドルと、係合軸及び固定フランジを有し該スピンドルの先端部に取り外し可能に固定されたブレードマウントと、中央に装着穴が形成された円形基台の外周に切刃を備え、該装着穴が前記ブレードマウントの係合軸に挿入されて該固定フランジの支持面が前記円形基台の背面を支持するように該ブレードマウントに取り付けられた切削ブレードと、該係合軸の先端に形成されたねじに螺合し該切削ブレードの前記円形基台の前面に作用して該固定フランジと協同して該切削ブレードの前記円形基台を挟持する固定ナットとを具備し、
前記修正器具は、該係合軸を受け入れる開口部と該開口部を囲繞し前記固定フランジの支持面に作用する作用部とを有する作用体と、該作用体と一体的に構成され該作用体を支持する握り体と、該作用体の作用部及び開口部の内側面に貼着され前記固定フランジの支持面及び該係合軸を研磨する研磨シートとから構成され、
前記固定フランジの支持面に該研磨シートが作用して付着したごみを除去して該固定フランジの支持面を滑面に修正するとともに、
該係合軸の外周に該研磨シートが作用して付着したごみを除去して該係合軸の外周を滑面に修正することを特徴とする修正器具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードを取り付ける固定フランジの端面を修正する修正器具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエーハを個々のデバイスに分割する切削装置（ダイシング装置）は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハの分割予定ライン（ストリート）を切削する切削ブレードを回転可能に支持した切削手段とを具備しており、ウエーハを高精度に個々のデバイスに分割することができる。
【０００３】
切削手段は、モータにより回転駆動されるスピンドルと、スピンドルの先端に取り付けられた固定フランジを有するブレードマウントと、このブレードマウントに装着された薄い切刃を有する切削ブレードと、切削ブレードをブレードマウントに固定する固定ナットとから構成される。
【０００４】
最近の切削装置では、スピンドルが６０，０００ｒｐｍ等の非常に高速回転で回転されるため、ウエーハを高精度に切削して個々のデバイスに分割するためには高速回転での回転バランスをとることが非常に重要である。
【０００５】
しかし、切削ブレードは固定ナットの締め付けにより円形基台が固定フランジの支持面に圧接されるため、円形基台の金属粉が固定フランジの支持面に付着して円形基台の固定フランジに対する密着性が経時的に悪化する。
【０００６】
その結果、スピンドルの回転に対して切削ブレードの切刃が蛇行して回転するようになり、切削されたチップ（デバイス）の側面や角部に欠けやクラックが発生してデバイスの品質を低下させるという問題がある。この問題を解決するための、フランジ端面修正治具が特許第３４７２３９０号に開示されている。
【特許文献１】特許第３４７２３９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に開示されたフランジ端面修正治具は有効ではあるが、固定フランジの支持面（端面）を修正するには、チャックテーブルに修正治具をセットし、高精度に修正用チップを固定フランジの支持面に接触させなければならず熟練を要するという問題がある。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡単に誰でも固定フランジの支持面を修正可能な修正器具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とを備えた切削装置における修正器具であって、該切削手段は、回転駆動されるスピンドルと、係合軸及び固定フランジを有し該スピンドルの先端部に取り外し可能に固定されたブレードマウントと、中央に装着穴が形成された円形基台の外周に切刃を備え、該装着穴が前記ブレードマウントの係合軸に挿入されて該固定フランジの支持面が前記円形基台の背面を支持するように該ブレードマウントに取り付けられた切削ブレードと、該係合軸の先端に形成されたねじに螺合し該切削ブレードの前記円形基台の前面に作用して該固定フランジと協同して該切削ブレードの前記円形基台を挟持する固定ナットとを具備し、前記修正器具は、該係合軸を受け入れる開口部と該開口部を囲繞し前記固定フランジの支持面に作用する作用部とを有する作用体と、該作用体と一体的に構成され該作用体を支持する握り体と、該作用体の作用部及び開口部の内側面に貼着され前記固定フランジの支持面及び該係合軸を研磨する研磨シートとから構成され、前記固定フランジの支持面に該研磨シートが作用して付着したごみを除去して該固定フランジの支持面を滑面に修正するとともに、該係合軸の外周に該研磨シートが作用して付着したごみを除去して該係合軸の外周を滑面に修正することを特徴とする修正器具が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の修正器具によると、修正器具の握り体を手で持ち、固定フランジの支持面に研磨シートを接触させて回動することにより、固定フランジの支持面に付着したごみを除去して固定フランジの支持面を滑面に修正できるので、熟練を要することなく誰でも簡単に固定フランジの支持面を滑面に修正できる。
【００１２】
また、開口部の内側面に研磨シートを貼着して係合軸の外周に付着したごみを除去し、係合軸の外周を滑面に修正することができるので、切削ブレードを係合軸に装着する際、かじりを生じることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は半導体ウエーハをダイシングして個々のチップ（デバイス）に分割することのできる本発明実施形態を適用可能な切削装置２の外観を示している。
【００１４】
切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００１５】
図２に示すように、ダイシング対象のウエーハＷの表面においては、第１のストリートＳ１と第２ストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されて多数のデバイスＤがウエーハＷ上に形成されている。
【００１６】
ウエーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウエーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウエーハカセット８中にウエーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウエーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００１７】
ウエーハカセット８の後方には、ウエーハカセット８から切削前のウエーハＷを搬出するとともに、切削後のウエーハをウエーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウエーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウエーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウエーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００１８】
仮置き領域１２の近傍には、ウエーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウエーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００１９】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウエーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２０】
アライメント手段２０は、ウエーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２１】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウエーハＷに対して切削加工を施す切削手段２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２２】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００２３】
図３を参照すると、スピンドルと、スピンドルに装着されるブレードマウントとの関係を示す分解斜視図が示されている。スピンドルユニット３０のスピンドルハウジング３２中には、図示しないサーボモータにより回転駆動されるスピンドル２６が回転可能に収容されている。スピンドル２６はテーパ部２６ａ及び先端小径部２６ｂを有しており、先端小径部２６ｂには雄ねじ３４が形成されている。
【００２４】
３６は係合軸（凸部）３８と、係合軸３８と一体的に形成された固定フランジ４０とから構成されるブレードマウントであり、係合軸３８には雄ねじ４２が形成されている。さらに、ブレードマウント３６は装着穴４３を有している。
【００２５】
ブレードマウント３６は、装着穴４３をスピンドル２６の先端小径部２６ｂ及びテーパ部２６ａに挿入して、ナット４４を雄ねじ３４に螺合して締め付けることにより、図４に示すようにスピンドル２６の先端部に取り付けられる。
【００２６】
図４はブレードマウント３６が固定されたスピンドル２６と、切削ブレード２８との装着関係を示す分解斜視図である。切削ブレード２８はハブブレードと呼ばれ、円形ハブ４８を有する円形基台４６の外周にニッケル母材中にダイヤモンド砥粒が分散された切刃５０が電着されて構成されている。
【００２７】
切削ブレード２８の装着穴５２をブレードマウント３６の係合軸３８に挿入し、固定ナット５４を係合軸３８の雄ねじ４２に螺合して締め付けることにより、図５に示すように切削ブレード２８がスピンドル２６に取り付けられる。
【００２８】
図６を参照すると、切削ブレード２８を装着した切削手段２４の拡大斜視図が示されている。６０は切削ブレード２８をカバーするブレードカバーであり、このブレードカバー６０には切削ブレード２８の側面に沿って伸長する図示しない切削水ノズルが取り付けられている。切削水が、パイプ７２を介して図示しない切削水ノズルに供給される。
【００２９】
６２は着脱カバーであり、ねじ６４によりブレードカバー６０に取り付けられる。着脱カバー６２は、ブレードカバー６０に取り付けられた際、切削ブレード２８の側面に沿って伸長する切削水ノズル７０を有している。切削水は、パイプ７４を介して切削水ノズル７０に供給される。
【００３０】
６６はブレード検出ブロックであり、ねじ６８によりブレードカバー６０に取り付けられる。ブレード検出ブロック６６には発光素子及び受光素子からなる図示しないブレードセンサが取り付けられており、このブレードセンサにより切削ブレード２８の切刃５０の状態を検出する。
【００３１】
ブレードセンサにより切刃５０の欠け等を検出した場合には、切削ブレード２８を新たな切削ブレードに交換する。７６はブレードセンサの位置を調整するための調整ねじである。
【００３２】
次に、図７及び図８を参照して、本発明の実施形態に係る固定フランジ４０の支持面を修正する修正器具８０について説明する。図７（Ａ）は修正器具８０の斜視図、図７（Ｂ）は修正器具８０の一部断面図である。
【００３３】
修正器具８０は、ブレードマウント３６の係合軸３８を受け入れる開口部８２ａとこの開口部８２ａを囲繞し固定フランジ４０の支持面に作用する作用部８２ｂを有する作用体８２と、作用体８２を支持する握り体８４を含んでいる。作用体８２の作用部８２ｂには研磨シート８６が貼着されており、開口部８２ａの内側面にも研磨シート８６が貼着されている。
【００３４】
研磨シート８６としては、住友スリーエム株式会社製の商品名ラッピングフィルムシート、又はダイヤモンドラッピングフィルムシートを採用可能である。これらのフィルムシートは、ポリエステルフィルムにミクロングレードの砥粒がコーティングされて構成されている。
【００３５】
切削装置２によりウエーハＷの切削を続行して、ブレードセンサにより切削ブレード２８の磨耗又は欠けを検出した場合には、切削ブレード２８を新たな切削ブレードと交換する。この時には、図４に示すように、ナット５４を緩めて切削ブレード２８をブレードマウント３６から取り外す。
【００３６】
この時、図８に示すように、本実施形態の修正器具８０をブレードマウント３６の係合軸３８に装着して、握り体８４を手で持って研磨シート８６をブレードマウント３６の固定フランジ４０の支持面に押し付けて矢印８８に示すように修正器具８０を左右に数回回転する。
【００３７】
これにより、ブレードマウント３６の固定フランジ４０の支持面に付着したごみを除去して固定フランジ４０の支持面を滑面に修正できる。また、修正器具８０の開口部８２ａの内側面にも研磨シート８６が貼着されているので、係合軸３８の外周に付着したごみを除去し係合軸３８の外周を滑面に修正することができる。
【００３８】
このように、修正器具８０を使用してブレードマウント３６の固定フランジ４０の支持面及び係合軸３８の外周を滑面に修正した後、新たな切削ブレード２８をブレードマウント３６の係合軸３８に装着して、固定ナット５４を締め付けることにより、新たな切削ブレード２８を滑面に修正された固定フランジ４０の支持面と固定ナット５４で両側から安定して支持することができる。
【００３９】
上述した実施形態によると、修正器具８０の握り体８４を手で持ち、固定フランジ４０の支持面に研磨シート８６を接触させて修正器具８０を回動し、固定フランジ４０の支持面に付着したごみを除去してフランジの支持面を滑面に修正できるので、熟練を要することなく誰でも簡単に固定フランジ４０の支持面を滑面に修正できる。
【００４０】
また、修正器具８０の開口部８２ａの内側面にも研磨シートを貼着したので、ブレードマウント３６の係合軸３８の外周に付着したごみを除去し、係合軸３８の外周を滑面に修正することができる。これにより、切削ブレード２８をブレードマウント３６の係合軸３８に装着する際、かじりが生じることがない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の修正器具が適用可能な切削装置の外観斜視図である。
【図２】フレームと一体化されたウエーハを示す斜視図である。
【図３】スピンドルユニットと、スピンドルに固定されるべきブレードマウントとの関係を示す分解斜視図である。
【図４】スピンドルユニットと、スピンドルに装着されるべきハブブレードとの関係を示す分解斜視図である。
【図５】ハブブレードがスピンドルに装着された状態の斜視図である。
【図６】切削手段の拡大斜視図である。
【図７】図７（Ａ）は本発明実施形態の修正器具の斜視図、図７（Ｂ）は一部断面図である。
【図８】修正器具により固定フランジの支持面を修正する様子を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４２】
２      切削装置
１８    チャックテーブル
２４    切削手段
２６    スピンドル
２８    切削ブレード
３０    スピンドルユニット
３６    ブレードマウント
３８    係合軸
４０    固定ブラケット
４４    固定ナット
８０    修正器具
８２    作用体
８４    握り体
８６    研磨シート
【図１】
0005081600.tif 000002
【図２】
0005081600.tif 000003
【図３】
0005081600.tif 000004
【図４】
0005081600.tif 000005
【図５】
0005081600.tif 000006
【図６】
0005081600.tif 000007
【図７】
0005081600.tif 000008
【図８】
0005081600.tif 000009