(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被成型品を保持する被成型品保持体と；
高さの低い円錐台状もしくは角錐台状に形成され上面に微細な転写パターンが形成されている型を、この型の斜面を押圧して、前記上面が中央部に向かうにしたがって徐々に凸になるように変形させて保持し、前記被成型品保持体に対して相対的に接近・離反する方向で移動する型保持体と；
を有することを特徴とする転写装置。
【請求項２】
請求項１に記載の転写装置において、
前記型保持体の中央部には、貫通孔が設けられていることを特徴とする転写装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の転写装置において、
前記型保持体は、
前記型の下面が接触する保持部を備えた保持部構成部材と；
前記型の斜面に接触する傾斜面を備えた傾斜面構成部材と；
前記保持部構成部材と前記傾斜面構成部材とに係合し、前記傾斜面構成部材で前記型を前記保持部構成部材に押し付けるために前記傾斜面構成部材を前記保持部構成部材の側に押圧する押圧部材と；
を備えて構成されていることを特徴とする転写装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の転写装置を用いて、型に形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写することを特徴とする転写方法。
【請求項５】
型に形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写装置の型保持装置であって、
前記型の下面が接触する保持部を備えた保持部構成部材と；
前記型の斜面に接触する傾斜面を備えた傾斜面構成部材と；
前記保持部構成部材と前記傾斜面構成部材とに係合し、前記傾斜面構成部材で前記型を前記保持部構成部材に押し付けるために前記傾斜面構成部材を前記保持部構成部材の側に押圧する押圧部材と；
を備えて構成されていることを特徴とする転写装置の型保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転写装置、この転写装置を用いた転写方法および型保持装置に係り、特に、型に形成されている微細な転写パターンを被成型品に転写するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子線描画法などで石英基板等に超微細な転写パターンを形成して型（モールド）を作製し、被成型品として被転写基板表面に形成されたレジスト膜に前記型を所定の圧力で押圧して、当該型に形成された転写パターンを転写するナノインプリント技術が研究開発されている（たとえば、非特許文献１参照）。
【０００３】
ナノオーダーの微細なパターン（転写パターン）を低コストで成型する方法としてリソグラフィ技術を用いたインプリント法が考案されている。この成型法は大別して熱インプリント法とＵＶインプリント法とに分類される。
【０００４】
熱インプリント法では、型を基板に押圧し、熱可塑性ポリマからなる樹脂が十分に流動可能となる温度になるまで加熱して微細パターンに樹脂を流入させたのち、型と樹脂をガラス転移温度以下になるまで冷却し、基板に転写された微細パターンを固化させたのち型を引き離す。
【０００５】
ＵＶインプリント法では、光を透過できる透明な型を使用し、ＵＶ硬化性液に型を押しつけてＵＶ放射光を加える。適当な時間放射光を加えて液を硬化させ微細パターンを転写したのち型を引き戻す。
【０００６】
ハードディスクやＣＤ、ＤＶＤなど回転式の記憶装置では、最近、高密度のデータをディスクに形成するための記憶媒体（記録媒体）を成型する手段として、こうしたナノインプリント技術を活用する方法への関心が高くなってきている。
【０００７】
微細な転写パターンの転写を行うための従来の転写装置２００は、図７に示すように、被成型品Ｗを被成型品保持体２０２で保持し、型Ｍを型保持体２０４で保持し、型保持体２０４を被成型品保持体２０２に対して相対的に移動して型Ｍを被成型品Ｗに近づけ、型Ｍで被成型品Ｗを押圧して、型Ｍに形成されている微細な転写パターンを被成型品Ｗに転写している。
【０００８】
なお、転写装置２００に関連する文献としてたとえば特許文献１を掲げることができる。
【非特許文献１】Precision Engineering Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 25(2001) 192-199
【特許文献１】特開２００４−３４３００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来の転写装置２００では、たとえば、ＵＶインプリント法で転写を行うために、型保持体２０４に貫通孔２０６が設けられており、紫外線（図示しない紫外線発生器が発生する紫外線）が、貫通孔２０６と型Ｍとを通過して、型Ｍで押圧されている被成型品Ｗの紫外線硬化性樹脂の薄膜に照射され、転写が行なわれている。
【００１０】
また、従来の転写装置２００では、型Ｍの上方に位置している貫通孔２０６に、紫外線を透過させるバックアップガラス２０８を配置して、転写の際に被成型品Ｗから受ける力によって型Ｍが変形することを防ぎ、均一な転写をするようにしている。
【００１１】
なお、転写装置２００において、被成型品保持体２０２が保持している被成型品Ｗと型保持体２０４が保持している型Ｍとのアライメントをたとえば自動的に調整する場合がある。この場合、たとえば、型Ｍに形成されているアイマーク（アライメントマーク）と、被成型品Ｗに形成されているアイマークとを、貫通孔２０６内に設けられているカメラＣＭを用いて撮影し、この撮影した映像を画像処理して、型Ｍに対する被成型品Ｗの相対的な位置（たとえば、図７の左右方向や図７の紙面に直角な方向）を調整するようになっている。
【００１２】
この場合、カメラＣＭの対物レンズと型Ｍや被成型品Ｗとの間の焦点距離（被写界深度）等の関係から、型ＭにカメラＣＭをできるだけ近づけることが望ましいのであるが、バックアップガラス２０８が設けられているので、カメラＣＭが型Ｍから離れてしまう。
【００１３】
そこで、型ＭにカメラＣＭを近づけ、また、装置の構成を簡素化するために、バックアップガラス２０８を設けることなく、型Ｍによる被成型品Ｗへの転写を行うと、本来平板状であるべき型Ｍが、転写によって被成型品Ｗから受ける反力等により、図８に二点差線で示すように、中央部に向かうにしたがって上に凸になるように（被成型品Ｗから離れるように）ごく僅かに変形してしまう。そして、型Ｍの中央部では転写の押圧力が不十分になり、型Ｍの中央部に設けられている微細な転写パターンが被成型品Ｗに転写されない現象（いわゆる中抜け現象）が発生してしまうという問題がある。
【００１４】
本発明は、前記問題点に鑑みてなられたものであり、型に形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写装置およびこの転写装置を用いた転写方法において、型が薄い場合であっても、型をバックアップする部材を設けることなく、型の中央部に設けられている微細な転写パターンが被成型品に転写されない現象が発生することを防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
請求項１に記載の発明は、被成型品を保持する被成型品保持体と、高さの低い円錐台状もしくは角錐台状に形成され上面に微細な転写パターンが形成されている型を、この型の斜面を押圧して、前記上面が中央部に向かうにしたがって徐々に凸になるように変形させて保持し、前記被成型品保持体に対して相対的に接近・離反する方向で移動する型保持体とを有する転写装置である。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の転写装置において、前記型保持体の中央部には、貫通孔が設けられている転写装置である。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の転写装置において、前記型保持体は、前記型の下面が接触する保持部を備えた保持部構成部材と、前記型の斜面に接触する傾斜面を備えた傾斜面構成部材と、前記保持部構成部材と前記傾斜面構成部材とに係合し、前記傾斜面構成部材で前記型を前記保持部構成部材に押し付けるために前記傾斜面構成部材を前記保持部構成部材の側に押圧する押圧部材とを備えて構成されている転写装置である。
【００１９】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の転写装置を用いて、型に形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写方法である。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、型に形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写装置の型保持装置であって、前記型の下面が接触する保持部を備えた保持部構成部材と、前記型の斜面に接触する傾斜面を備えた傾斜面構成部材と、前記保持部構成部材と前記傾斜面構成部材とに係合し、前記傾斜面構成部材で前記型を前記保持部構成部材に押し付けるために前記傾斜面構成部材を前記保持部構成部材の側に押圧する押圧部材とを備えて構成されている転写装置の型保持装置である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、型に形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写する転写装置、この転写装置を用いた転写方法および型保持装置において、型が薄い場合であっても、型をバックアップする部材を設けることなく、型の中央部に設けられている微細な転写パターンが被成型品に転写されない現象が発生することを防止することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１は、本発明の実施形態に係る転写装置１の概略構成を示す正面図である。
【００２３】
転写装置１は、型（モールド）Ｍの面（たとえば平面状の上面）Ｍａに形成されている微細な転写パターンを、被成型品（被成型素材）Ｗの面（たとえば平面状の上面）Ｗａに、面Ｍａを面Ｗａに面接触させて押圧することにより転写する装置である。被成型品Ｗとしては、情報記録用ディスク（たとえば、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ハードディスク用の記録媒体）や液晶表示装置のバックライトの導光板等を考えることができる。
【００２４】
転写は、たとえば前述したＵＶインプリント法でなされるものであり、転写装置１が、図２（ａ）〜（ｃ）に示されている工程を担当するものである。
【００２５】
ここで、ＵＶインプリント法による転写について図２を用いて説明する。
【００２６】
図２（ａ）で示す矢印の方向に型Ｍを移動し、図２（ｂ）に示すように、型Ｍで被成型品Ｗを小さい力で押圧し、紫外線を照射し、ＵＶ硬化樹脂（紫外線硬化樹脂）Ｗ２を硬化させる。この後、図２（ｂ）で示す矢印の方向に型Ｍを移動して、型Ｍを被成型品Ｗから離すと、図２（ｃ）に示すように、被成型品Ｗ（紫外線硬化樹脂Ｗ２）に微細な転写パターンが転写される。なお、型Ｍは、紫外線が透過する石英ガラス等で構成されているものとする。
【００２７】
上記転写後、図２（ｃ）に示す状態において、硬化した紫外線硬化樹脂Ｗ２をマスキング部材にして、エッチングによって基材Ｗ１に微細な転写パターンを形成し、この後、硬化した紫外線硬化樹脂Ｗ２をたとえば溶剤で取り除けば、図２（ｄ）に示すように、基材Ｗ１への微細な転写パターンの転写が完了する。
【００２８】
また、転写装置１は、ベースフレーム３を備えており、このベースフレーム３には、被成型品保持体５と型保持体（型保持装置）７とが設けられている。型保持体７は、型Ｍの部位（たとえば平面状の面）Ｍａの中央部側での被成型品Ｗへの転写不良を回避するために、図３に二点鎖線で示すように、中央部が凸になるようにして型Ｍを保持するように構成されている。
【００２９】
すなわち、型保持体７は、微細な転写パターンが形成されている型Ｍの平面状の部位Ｍａが、この部位Ｍａの中央に向かうにしたがって本来の部位Ｍａの形態（平面状の形態）に比べて徐々に僅かに凸になるように、型Ｍをたとえば弾性変形させて保持するように構成されている。なお、型Ｍの上記弾性変形は、たとえば曲げモーメントが発生するような力を型Ｍに加えることによりなされている。
【００３０】
被成型品保持体５は、被成型品（円形な平板状もしくは矩形な平板状に形成され厚さ方向の一方の面Ｗａに微細な転写パターンが転写される被成型品）Ｗを、たとえば真空吸着によって保持するように構成されている。被成型品保持体５は、平面状の保持部９を備えており、この平面状の保持部９に被成型品Ｗの厚さ方向の他方の面が接触して、被成型品Ｗが保持されるようになっている。
【００３１】
型保持体７は、被成型品保持体５の側（図１の下側）で型Ｍを保持するものであり、被成型品保持体５が被成型品Ｗを保持する側（被成型品保持体５の上側）で被成型品保持体５から離れて設けられている。また、型保持体７は、転写をするために被成型品保持体５に対して接近・離反する方向（図１の上下方向）で被成型品保持体５に対して相対的に移動するようになっている。以下、型保持体７が移動するものとして説明をするが、型保持体７に代えてまたは加えて、被成型品保持体５が図１の上下方向に移動する構成であってもよい。
【００３２】
型Ｍは、高さの低い（薄い）円錐台状に形成されており、上面（型Ｍの高さ方向でお互いが平行に対向している２つの面のうちで面積が小さいほうの面）Ｍａに微細な転写パターンが形成されている。上面Ｍａはすでに理解されるように平面状に形成されている。すなわち、微細な転写パターンを無視すると上面Ｍａは平面になっている。さらに説明すれば、たとえば、微細な転写パターンの頂上部が一つの平面上に存在しており、微細な転写パターンの底部が、上記一つの平面と平行な別の１つの平面上に存在している。
【００３３】
また、型保持体７は、型Ｍの環状の斜面（円錐台の側面）Ｍｂをたとえばほぼ全周にわたって押圧し、上面Ｍａが中央部に向かうにしたがって徐々に僅かに凸になるように型Ｍを弾性変形させて（図３の二点鎖線参照）、型Ｍを一体的に保持するようになっている。
【００３４】
なお、型保持体７は、たとえば、型Ｍの斜面Ｍｂの押圧力を変えることによって型Ｍの凸の量（図３に二点鎖線で示す突出量Δｔ）を調節することができるように構成されている。
【００３５】
さらに、型保持体７は、たとえば、被成型品保持体５の保持部９と平行で対向している平面状の保持部１１を備えており、この平面状の保持部１１に型Ｍの下面（型Ｍの高さ方向でお互いが並び平行に対向している２つの面のうちで面積が大きいほうの面；転写パターンが形成されていない面）Ｍｃが接触して、型Ｍの斜面Ｍｂが保持部１１の方向に押圧されて、型Ｍが保持されるようになっている。
【００３６】
なお、図1、図３、図４等では、型Ｍの上面Ｍａが下側に位置し、型Ｍの下面Ｍｃが上側に位置している。
【００３７】
型保持体７の中央部には、型保持体７で保持される型Ｍの上面Ｍａや下面Ｍｃに直交する方向（図１の上下方向；型Ｍの厚さ方向）に貫通している貫通孔（たとえば円柱状の貫通孔）１３が設けられている。型保持体７の保持部１１は、平面な環状（たとえば円環状）に形成されており、貫通孔１３の周辺で、たとえば、貫通孔１３に隣接して設けられている。なお、型保持体７の保持部１１は、型保持体７で保持される型Ｍの下面Ｍｃの外周から離れている。
【００３８】
型保持体７についてさらに説明する。
【００３９】
型保持体７は、保持部構成部材１５と傾斜面構成部材１７と押圧部材１９とを備えて構成されている。保持部構成部材１５は、保持部１１を備えて円環状等の環状に形成されている。傾斜面構成部材１７は、型Ｍの凸なテーパ状の斜面Ｍｂに面接触する凹なテーパ状の傾斜面２１を備えて円環状等の環状に形成されている。貫通孔１３は、保持部構成部材１５に設けられている。
【００４０】
押圧部材１９は、円環状等の環状に形成されており、保持部構成部材１５と傾斜面構成部材１７とに係合している。そして、傾斜面構成部材１７の傾斜面２１で型Ｍを保持部構成部材１５の保持部１１に押し付けるために、押圧部材１９が、傾斜面構成部材１７を保持部構成部材１５の側（図１や図３等の上側）に押圧するように構成されている。
【００４１】
傾斜面構成部材１７を介して押圧部材１９で型Ｍを保持部構成部材１５側に押し付けることにより、型Ｍが保持部１１と傾斜面２１との間に挟まれて、型保持体７で型Ｍを保持するようになっている。
【００４２】
型保持体７（保持部構成部材１５）は、被成型品保持体５に対して接近もしくは離反する方向で移動自在な移動部材２３に一体的に設けられている。
【００４３】
移動部材２３は、たとえば、転写装置１全体の動作を制御する制御装置（図示せず）で制御されるサーボモータ等のアクチュエータとボールねじとを用いて、移動位置決めされるようになっている。また、移動部材２３には、保持部構成部材１５と同様にして貫通孔（貫通孔１３につながっている貫通孔）２５が設けられている。図示しない紫外線発生装置が発生した紫外線が、貫通孔２５と貫通孔１３と型Ｍとを通って、被成型品Ｗに照射されるようになっている。また、貫通孔２５と貫通孔１３とには、型Ｍと被成型品Ｗとのアライメントを調整するためのカメラＣＭを設置することができるようになっている。
【００４４】
例を掲げてさらに詳しく説明すると、保持部構成部材１５は、所定の厚さの円板の中央に円柱状の貫通孔１３をあけた円環状に形成されている。そして、図１では上側に位置している基端部の円環状の平面２７が、移動部材２３に面接触して移動部材２３にボルト等の締結具により一体的に設けられている。保持部構成部材１５の先端部には、円環状の保持部（凸部）１１が設けられている。この保持部１１は、貫通孔１３の外側周辺で貫通孔１３に隣接して設けられている。また、保持部構成部材１５の外周には雄ねじ２９が形成されている。
【００４５】
型Ｍが型保持体７に保持されている状態で型Ｍの厚さ方向（図１の矢印ＡＲ１の方向）から見ると、型保持体７やこの保持部１１や貫通孔１３の中心と型Ｍの中心とがお互いに一致し、保持部１１や貫通孔１３が型Ｍの下面Ｍｃの内側に位置している。
【００４６】
傾斜面構成部材１７は、型Ｍよりも薄い所定の厚さの円板の中央に円錐台状の貫通孔をあけた円環状に形成されている。前記貫通孔の斜面が傾斜面２１を構成している。また、傾斜面構成部材１７の先端部の外周には、段差３１が設けられており、この段差３１によって、平面状で円環状の被係合部３３が形成されている。
【００４７】
押圧部材１９は、型Ｍよりも厚い所定の厚さの円板の中央に貫通孔をあけた円環状に形成されている。押圧部材１９の基端部側の内周には、保持部構成部材１５の雄ねじ２９と螺合する雌ねじ３５が形成されている。押圧部材１９の先端部側の内周には、内径が雌ねじ３５の内径よりも小さいフランジ部３７が設けられており、このフランジ部３７に形成されている円環状で平面状の係合部３９が、傾斜面構成部材１７の円環状の被係合部３３に面接触するようになっている。
【００４８】
そして、移動部材２３に一体的に保持された保持部構成部材１５に型Ｍを適宜配置し、傾斜面構成部材１７を型Ｍに適宜配置し、押圧部材１９を保持部構成部材１５に適宜配置して、雄ねじ２９と雌ねじ３５とを螺合させて締めると、図１や図３に示すように、保持部構成部材１５と傾斜面構成部材１７とで型Ｍが挟まれて、型Ｍが型保持体７で保持されるようになっている。
【００４９】
また、図３に示すように、傾斜面構成部材１７により型Ｍの斜面Ｍｂの全周に加えられる力Ｆ２と、この力Ｆ２の反力（保持部構成部材１５の保持部１１から型Ｍが受ける反力）Ｆ３とによって、型Ｍに曲げモーメントが発生し、型Ｍが中央部に向かうにしたがって二点鎖線で示すように凸状に弾性変形するようになっている。
【００５０】
なお、型Ｍの斜面Ｍｂに垂直な力Ｆ１で型Ｍを押すように構成してもよい。この場合、力Ｆ１の分力として力Ｆ２と力Ｆ４とが発生する。分力Ｆ４は、型Ｍを圧縮する力であり、この分力Ｆ４によっても型Ｍが二点鎖線で示すように変形することになる。
【００５１】
さらに、保持部構成部材１５の雄ねじ２９に対する押圧部材１９の雌ねじ３５の締め具合を調節することにより、力Ｆ２を調整することができ、二点鎖線で示す型Ｍの変形量（たとえば、図３に示す「Δｔ」の値）を調節することができるようになっている。
【００５２】
なお、型Ｍが型保持体７に保持されている状態で型Ｍの厚さ方向から見ると、型保持体７（保持部１１や貫通孔１３や雄ねじ２９）の中心と傾斜面構成部材１７（傾斜面２１や被係合部３３）の中心と型Ｍの中心と押圧部材１９（雌ねじ３５や係合部３９）の中心とがお互いに一致している。また、型Ｍが型保持体７に保持されている状態では、微細な転写パターンが形成されている型Ｍの面Ｍａが、傾斜面構成部材１７や押圧部材１９よりも、被成型品Ｗ側（図１や図３の下側）に僅かに突出している。
【００５３】
ここで、転写装置１の動作について説明する。
【００５４】
まず、型Ｍを型保持体７に設置する動作について説明する。
【００５５】
初期状態として、移動部材２３が被成型品保持体５から離れており、保持部構成部材１５のみが移動部材２３に取り付けられているものとする。
【００５６】
この初期状態において、型Ｍを保持部１１に接触させて適宜設置し、傾斜面構成部材１７の傾斜面２１が型Ｍの斜面Ｍｂに接触するようにして、傾斜面構成部材１７を適宜設置する。
【００５７】
続いて、押圧部材１９の雌ねじ３５を保持部構成部材１５の雄ねじ２９に螺合させ、押圧部材１９の係合部３９が傾斜面構成部材１７の被係合部３３に接触するようにして、押圧部材１９を設置する。
【００５８】
続いて、押圧部材１９の雌ねじ３５の締め具合いを適宜調節して、型Ｍの面Ｍａが適宜に凸（転写したときに中抜けが発生しないような凸面）になるようにする。
【００５９】
ここで、型保持体７で型Ｍを上述したように保持したときにおける型Ｍの変形を有限要素法で求めたので、この結果を図５に示す。なお、図５では、型Ｍの変形量を誇張して描いてある。
【００６０】
図５は、円錐台状の型Ｍの１／４を示してあり、図５に二点鎖線で示してある型Ｍは、型保持体７で保持していないとき（外力が加わっていない）型Ｍの本来の形状を示しており、上面Ｍａと下面Ｍｃとが平面状になっている。
【００６１】
図５に実線で示してある型Ｍは、型保持体７で保持したときの変形した型Ｍの形状を示しており、微細な転写パターンが形成されている型Ｍの面Ｍａが型Ｍの中央部に向かうにしたがって、徐々に凸（図５では下側に凸）になっている。一方、面Ｍａと対向している面Ｍｃは、型Ｍの中央部に向かうにしたがって、徐々に凹になっている。
【００６２】
次に、型Ｍから被成型品Ｗに微細な転写パターンを転写をする動作について説明する。
【００６３】
まず、初期状態として、型Ｍがこの中央部で適宜の凸になった状態で型保持体７に設置されており、被成型品保持体５が、転写前の被成型品Ｗを保持しているものとする。この初期状態では、型Ｍと被成型品Ｗはお互いが離れている。
【００６４】
この初期状態において、前記制御装置の制御の下、型保持体７を下降させて型Ｍで被成型品Ｗを押圧し、紫外線発生装置から紫外線を発生し、被成型品Ｗに紫外線を照射する。
【００６５】
続いて、被成型品Ｗの紫外線硬化樹脂Ｗ２が硬化した後、型保持体７を上昇し、被成型品Ｗから型Ｍを離す。この後、転写済みの被成型品Ｗを次の被成型品（転写前の被成型品）Ｗに交換すれば、前記初期状態に戻る。
【００６６】
なお、カメラＣＭで型Ｍと被成型品Ｗとのアライメントを自動調節する場合には、型保持体７を下降させて型Ｍで被成型品Ｗを押圧する直前（型Ｍと被成型品Ｗとはお互いに離れているとき）に、型保持体７の下降を停止し、前記制御装置の制御の下、カメラＣＭを型Ｍの近くに配置し（図１参照）、型Ｍのアイマーク（アライメントマーク）と被成型品ＷのアイマークとをカメラＣＭで撮影する。この撮影した映像を、前記制御装置で画像処理し、型Ｍと被成型品Ｗとのアライメントを自動調節する。
【００６７】
なお、自動調節に際しては、被成型品保持体５が、型保持体７の移動方向とは直交する方向（たとえば、図１の左右方向や図１の紙面に直交する方向）に、図示しないサーボモータ等のアクチュエータで、型保持体７に対して相対的に移動位置決め自在になっているものとする。
【００６８】
転写装置１によれば、微細な転写パターンが形成されている型Ｍの部位Ｍａを、この中央に向かうにしたがって徐々に凸になるように変形させる構成であるので、型Ｍが薄くてプレス方向（型Ｍの厚さ方向）で剛性が小さい場合であっても、バックアップガラス等の型Ｍをバックアップする部材を設けることなく、型Ｍの中央部に設けられている微細な転写パターンが被成型品Ｗに転写されない現象（いわゆる中抜け現象）が発生することを防止することでき、正確な転写を行うことができる。
【００６９】
なお、上記中抜け現象を防止するために、型Ｍの中央部を被成型品Ｗ側で予め僅かに凸に加工しておくことも考えられるが、この加工は難しく、修正（型のたわみ調整）等の対応も難しく、採用することは困難である。
【００７０】
また、転写装置１によれば、型Ｍの斜面Ｍｂを押圧して型Ｍを保持しているので、型Ｍを保持しているときに型Ｍにかかる力Ｆ２と力Ｆ３とによって型Ｍが弾性変形して、微細な転写パターンが形成されている型Ｍの部位Ｍａが、この中央に向かうにしたがって徐々に凸になる。したがって、簡素な構成で転写の際の中抜け現象の発生を抑制することができる。
【００７１】
また、転写装置１によれば、型保持体７の中央部にバックアップガラスが存在しない貫通孔１３が設けられているので、この貫通孔１３にカメラＣＭを設置すれば、カメラＣＭを型Ｍに近づけることができ、従来よりも、正確な映像を得ることができ、この映像を画像処理して型Ｍに対する被成型品Ｗのアライメントの調整を、従来よりも正確に行うことができる。
【００７２】
また、転写装置１によれば、型保持体７で型Ｍを保持すべく押圧部材１９によって型Ｍを押圧したときに、型Ｍの斜面Ｍｂと傾斜面構成部材１７の傾斜面２１とがお互いに面接触しやすくなっており、安定した状態で型Ｍを保持することができる。
【００７３】
すなわち、傾斜面構成部材１７と押圧部材１９とが一体で形成されていると、傾斜面２１以外の部分（雌ねじ３５が形成されている部分等）の剛性が高いゆえに傾斜面２１が変形しにくく、傾斜面２１と型Ｍの斜面Ｍｂとがお互いに面接触しにくくなり、型保持体７で型Ｍを安定して保持し難くなってしまう。しかし、傾斜面構成部材１７と押圧部材１９とが別体になっているので、傾斜面構成部材１７で型Ｍを押すときに、傾斜面構成部材１７の剛性が比較的に小さくなっており、傾斜面構成部材１７が変形しやすくなっている。そして、型Ｍの斜面Ｍｂと傾斜面構成部材１７の傾斜面２１とがお互いに面接触し、型保持体７により安定した状態で型Ｍを保持することができる。
【００７４】
また、傾斜面構成部材１７と押圧部材１９とが一体で形成されていると、転写をする毎に、傾斜面２１から受ける力によって雌ねじ３５がごく僅かではあるが弾性変形し、雌ねじ３５にゆるみ等の不具合いが発生するおそれがある。しかし、傾斜面構成部材１７と押圧部材１９とが別体になっているので、転写するときにおける押圧部材１９の雌ねじ３５の変形を少なくすることができ、雌ねじ３５のゆるみを防止することができる。
【００７５】
なお、傾斜面構成部材１７と押圧部材１９とが別体になっていることが望ましいが、押圧部材１９と傾斜面構成部材１７を一体で構成してあってもよい。また、型Ｍと傾斜面構成部材１７とを一体としたような形態で型を形成し、押圧部材１９で前記一体とした型を押圧し、前記一体とした型の面（微細な転写パターンが形成されている面）がこの中央部に向かうにしたがって僅かに凸になるように保持する構成であってもよい。
【００７６】
図４は、型保持体７ａの変形例を示す図である。
【００７７】
図４に示す型保持体７ａは、保持部構成部材１５ａや押圧部材１９ａの円周を分配（たとえば当分配）する位置に設けられた複数のボルト等の締結部材によって、押圧部材１９ａを保持部構成部材１５ａに固定している点が、図１や図２に示す型保持体７とは異なり、その他の点は、図１や図２に示す型保持体７とほぼ同様に構成されており、ほぼ同様の効果を奏する。
【００７８】
なお、図４に示す寸法ｈ１を適宜調節することによって、型Ｍの面Ｍａの突出量を適宜調節することができる。寸法ｈ１は、傾斜面構成部材１７に接触する押圧部材１９ａの接触面（円環状に形成された平面状の係合部）３９と、保持部構成部材１５ａに接触する押圧部材１９ａの接触面（円環状の平面）４１との間の距離である。
【００７９】
また、型Ｍの全周を傾斜面構成部材１７で押圧しているが、必ずしも全周である必要はなく、型Ｍの斜面Ｍｂを部分的に押圧して型Ｍを保持し凸になるように変形させる構成であってもよい。
【００８０】
なお、上記説明では、型Ｍが円錐台状である場合を例に掲げたが、型Ｍが、角錐台（たとえば、四角錐台）状に形成されていてもよい。
【００８１】
この場合、保持部構成部材１５，１５ａ、貫通孔１３、保持部１１、傾斜面構成部材１７、押圧部材１９，１９ａも、型Ｍの形状にあわせて、多角形な環状（たとえば矩形な環状）に形成されているものとする。さらに、傾斜面構成部材１７を、たとえば型Ｍの辺の数にあわせて、分割してあってもよい。このように分割することによって、傾斜面構成部材１７が製作しやすくなる。
【００８２】
ここで、型保持体７で四角錐台状に形成された型Ｍを上述したように適宜保持したときにおける型Ｍの変形を有限要素法で求めたので、この結果を図６に示す。なお、図６では、図５の場合と同様にして、型Ｍの変形量を誇張して描いてある。また、図６は、四角錐台状の型Ｍの１／４を示してあり、図６に二点鎖線で示してある型Ｍは、型保持体７ａで保持していないとき（外力が加わっていない）型Ｍの本来の形状を示しており、上面Ｍａと下面Ｍｃとが平面状になっている。
【００８３】
図６に実線で示してある型Ｍは、型保持体７ａで保持したときの変形した型Ｍの形状を示しており、微細な転写パターンが形成されている型Ｍの面Ｍａが型Ｍの中央部に向かうにしたがって、徐々に凸（図６では下側に凸）になっている。一方、面Ｍａと対向している面Ｍｃは、型Ｍの中央部に向かうにしたがって、徐々に凹になっている。
【００８４】
ところで、上記説明では、図７に示すバックアップガラス２０８を完全に除去しているが、図７で示すバックアップガラス２０８の上側に凹部（図７の破線参照）４３を設け、バックアップガラス２０８を従来よりも薄くした構成であってもよい。これにより、カメラＣＭを型Ｍに近づけることができる。
【００８５】
さらに、転写装置１において、上述した熱インプリント法によって被成型品Ｗへの転写を行ってもよい。この場合、型Ｍを金属等の紫外線が透過しない部材で構成してあってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の実施形態に係る転写装置１の概略構成を示す正面図である。
【図２】ＵＶインプリント法による転写についての概要を示す図である。
【図３】型保持体７の概略構成を示す図である。
【図４】型保持体７の変形例である型保持体７ａの概略構成を示す図である。
【図５】円錐台状の型Ｍの変形状態を示す図である。
【図６】四角錐台状の型Ｍの変形状態を示す図である。
【図７】従来の転写装置２００の概略構成を示す図である。
【図８】従来の転写装置２００で転写を行うときの型Ｍの変形状態を示す図である。
【符号の説明】
【００８７】
１  転写装置
５  被成型品保持体
７、７ａ  型保持体
１３  貫通孔
１５、１５ａ  保持部構成部材
１７  傾斜面構成部材
１９、１９ａ  押圧部材
２１  傾斜面
Ｍ  型
Ｗ  被成型品
【図１】
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【図２】
0005081662.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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