(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気検査用のコンタクトプローブであって、
一端を被測定体に接触させる導電性のプローブピンと、
前記プローブピンの長手方向の一部または全部を覆い、前記プローブピンが前記長手方向に滑らかに移動可能に支持する導電性の第１のスリーブと、
前記第１のスリーブの前記長手方向の一部または全部を覆い、前記第１のスリーブを前記長手方向に移動可能に支持する導電性の第２のスリーブと、
前記第２のスリーブ内に設けられ、一端が前記プローブピンの他端を支持する弾性体と、
前記弾性体の他端を支持し、第２のスリーブ内の所定の位置に係止する係止ブロックと、
前記第２のスリーブに前記プローブピンの前記一端と電気的導通を有するリード線とを備え、
前記第１のスリーブの外面には前記第１のスリーブの前記第２のスリーブに対する位置を外部から可視的に判別する判別マークを備え、
前記第１のスリーブは前記第２のスリーブに対して、第１の力を前記長手方向に受けることにより移動し、前記係止ブロックは前記第１の力より大きな第２の力を前記長手方向に受けることにより、前記第２のスリーブ内の所定の位置から外れ、前記第２のスリーブ内を前記長手方向に前記第２の力より小さな力で移動することを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
請求項１項における前記判別マークの一部または全部が前記第２のスリーブに隠れることによりコンタクトプローブを不良と判定する判定方法。
【請求項３】
請求項１記載のコンタクトプローブを使用する電気検査用試験機。
【請求項４】
請求項３記載の電気検査用試験機を用いたプリント板ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気検査用のコンタクトプローブに関し、特にニードルタイプのプローブピンを有するコンタクトプローブ、コンタクトプローブを使用する電気検査用試験機及びこれを用いたプリント板ユニットの製造方法に関わる。
【背景技術】
【０００２】
従来より、電子機器に用いられるプリント板ユニット（プリント配線板上にＬＳＩ等の電子部品が実装されたユニット）においては、電子部品が確実にプリント配線板上に実装されているかを電気的に検査するため、プリント配線板上に検査用のテストパッドを設け、そこにプローブを接触させて電気的な導通検査が行われている。
【０００３】
例えば、プローブの先端に取り付けられたニードルタイプのプローブピンは、プローブのスリーブにバネを介して支えられ、その先端を検査用のパッドに対して縦方向に接触，加圧することにより電気的な接触を得るようになっている。
【０００４】
図８にプローブの従来例Ａを示す。プローブ８０の縦断面図であって、先端のプローブピン８１が円筒状のスリーブ８２の内部を摺動する。プローブピン８１の後端とスリーブ８２のフタ８４との間にバネ８３を配してあり、被測定体（図示省略）にプローブピン８１の先端が所望の押付力で接触するようになっている。プローブピン８１の先端とリード線８５との間は電気的導通性が保たれた構造になっている。
【０００５】
図９にプローブの従来例Ｂを示す。表面に絶縁処理を施された、あるいは絶縁体で作られたホルダ９５、ホルダ９６にプローブ９１乃至プローブ９４が保持されている。各プローブにおけるリード線は記載を省略してある。ａ）の図はプローブ９１は未だ被測定体と接触していない初期状態を示し、ｂ）の図は被測定体のプリント板ユニット表面にあるパターン９７に接触している図示す。
【０００６】
プローブピン９２−１の先端をほぼ一定加重で安定してパターン９７の検査用パッドに接触させることが必要であるが、数千枚、数万枚のプリント板ユニットを試験しているうちに、ｃ）の図に示すようにプローブ９３におけるプローブピン９３−１に曲がり（図示省略）や、ハンダのフラックス等による表面の汚れ１００により、プローブピン９３−１のスリーブ９３−２に対する摺動性が阻害されて被測定体との電気的接触が不安定となる。
【０００７】
また、ｄ）の図に示すプローブ９４のプローブピン９４−１がスリーブ９４−２に押し込まれると、プローブピン９４−１の表面の汚れ１０１によりプローブピン９４−１がスリーブ９４−２へ入り込む動きが阻害され、プリント板ユニットにおける表面層のパターン９８に接触するプローブピン９４−１の先端に過度の力が加わり、拡大図９９に示すようにプローブピン９４−１の先端は表面層のパターン９８を突き破り、内面にある下層のパターンに接触することにより、期待する正しい測定ができなくなる。
【０００８】
実装された電子部品との安定した正しい電気的接触が得られなければ、不良でないプリント板ユニットを不良と判定してしまう要因ともなる。
【０００９】
このような不具合を低減させる公知の技術の一つが、特許文献１に示されている。特許文献１においては、被接触体に対して二重構造のコンタクトピンとしている。具体例として、第１のコンタクトプローブと第２のコンタクトプローブとの間に引掛りが発生したり、あるいは第１のばねが故障し、第１のコンタクトプローブが第２のコンタクトプローブ内に押し込まれたままの状態になった場合には、第２のばねの力による第２のコンタクトプローブのみによって被接触体との接触状態を維持する。また、第２のコンタクトプローブと収納管との間に引掛り等が発生し、第２のコンタクトプローブが収納管内に押し込まれたままの状態になった場合には、第１のばねの力による第１のコンタクトプローブのみによって被接触体との接触状態を維持するようになっている。
【００１０】
上記の構造においては、コンタクトピンの伸縮障害が１箇所で発生しても、他の伸縮個所で伸縮してプリント板ユニットの破損を防ぐことを意図しているが、コンタクトピンの伸縮障害を起こしているプローブをさらに使用していくうちに他の伸縮個所も伸縮障害を起こす可能性がある。
【００１１】
その結果、試験対象のプリント板ユニットに鋭利な針先を必要以上の力で押し付けることとなり、表面層のパターンを突き破り内面にあるパターンとショートし、障害を発生することとなる。
【００１２】
このように、単に伸縮個所を増やすことは延命措置とはなっても根本的は解決方法とはならない。
【特許文献１】特開昭６０−０７３４６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、以上のような問題を解決するため、内部に弾性体を設けてプローブピンが伸縮するプローブにおいて、プローブ内部にリミッタを設け、プローブピンの表面の汚れやプローブピンの曲がり等による伸縮障害が発生した場合でも、所定以上の力がプローブピンに働くと、リミッタが作動し、プローブピンが被測定体の表面に所定以上の力を加えることなく、かつプローブが障害を起こしているか否かを外観から判別しやすいプローブピンを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の請求項１に記載の発明は、電気検査用のコンタクトプローブであって、
一端を被測定体に接触させる導電性のプローブピンと、前記プローブピンの長手方向の一部または全部を覆い、前記プローブピンが前記長手方向に滑らかに移動可能に支持する導電性の第１のスリーブと、前記第１のスリーブの前記長手方向の一部または全部を覆い、前記第１のスリーブを前記長手方向に移動可能に支持する導電性の第２のスリーブと、前記第２のスリーブ内に設けられ、一端が前記プローブピンの他端を支持する弾性体と、前記弾性体の他端を支持し、第２のスリーブ内の所定の位置に係止する係止ブロックと、前記第２のスリーブに前記プローブピンの前記一端と電気的導通を有するリード線とを備え、前記第１のスリーブの外面には前記第１のスリーブの前記第２のスリーブに対する位置を外部から可視的に判別する判別マークを備え、前記第１のスリーブは前記第２のスリーブに対して、第１の力を前記長手方向に受けることにより移動し、前記係止ブロックは前記第１の力より大きな第２の力を前記長手方向に受けることにより、前記第２のスリーブ内の所定の位置から外れ、前記第２のスリーブ内を前記長手方向に前記第２の力より小さな力で移動することを特徴とするコンタクトプローブである。
【００１５】
請求項１記載の発明によれば、例えばプローブピン、弾性体としてのコイル状バネ、第１のスリーブ、第２のスリーブはベリリウム銅でつくられている。第２のスリーブの第１のスリーブが出入りする端とは反対側の端にはリード線が設けられており、プローブピンが被測定体と接触する先端とリード線とは電気的導通性が保たれている。
【００１６】
第２のスリーブの内側には係脱可能な係止ブロックが設けられ、プローブピンの先端に所定以上の力が加わると、係止ブロックは加わる力の方向に離脱して第２のスリーブの内側を動くようになっている。
【００１７】
プローブピン先端の被測定体に対する接触加重の規定値を例えば１５０ｇ重とし、係止ブロックはプローブピンの軸方向に２００ｇ重以上の力を受けると第２のスリーブの内側で係止されている位置から外れて移動するようになっているとする。
【００１８】
プローブピンと第１のスリーブとの動きがしぶくなった場合でも、第２のスリーブに対し第１のスリーブが摺動してさらに弾性体が縮められ、弾性体にかかる力が２００ｇ重となった時に、第２のスリーブ内にある係止ブロックが外れて第１のスリーブが第２のスリーブ内を力の方向に摺動し、第２のスリーブ内に第１のスリーブの一部または全部が隠れるようになっている。
【００１９】
ここで、第１のスリーブと摺動するプローブピンの摺動部分の、軸方向に垂直な断面の形状は、円、楕円、矩形、三角形等でもよく、これに伴い、第１のスリーブ、第２のスリーブの軸方向に垂直な断面形状は共に円筒形、あるいは楕円形、矩形、三角形等の外周形状をもったものでも構わない。
【００２０】
本発明の請求項１に記載の発明は、前記第１のスリーブの外面には外部からの可視範囲内に可視的な判別マークを備え、前記判別マークは前記係止部の移動に伴い前記可視範囲内からその一部または全部が隠れることを特徴とする請求項１に記載のコンタクトプローブである。
【００２１】
請求項１記載発明によれば、第１のスリーブの外面に帯状、円形、三角形といった外部より可視的に判別できる判別マークを付し、第１のスリーブが第２のスリーブの内側に入り込んでいるか否かを外部から可視的に観測できるようにする。
【００２２】
第１のスリーブの外面に設けられた好ましくは際立った色をもつ判別マーク、またはケガキやエッチング技術により形成される線状の判別マークを付け、第２のスリーブに第１のスリーブが隠れるのを外部から光学顕微鏡あるいは目視により、判別マークが隠れているか否かを観測する。
【００２３】
本発明の請求項２に記載の発明は、請求項１項における前記判別マークの一部または全部が前記可視範囲内から隠れることによりコンタクトプローブを不良と判定する判定方法である。
【００２４】
請求項２記載の発明によれば、第１のスリーブの外面に付した帯状、円形、三角形といった外部から可視的に判別できる判別マークにより、第２のスリーブに第１のスリーブが隠れるのを外部から光学顕微鏡あるいは目視により観測し、マークが隠れていることにより、プローブに異常があることを検知する。
【００２５】
本発明の請求項３に記載の発明は、請求項１記載のコンタクトプローブを使用する電気検査用試験機である。
【００２６】
本発明の請求項４に記載の発明は、請求項３記載の電気検査用試験機を用いたプリント板ユニットの製造方法である。
【発明の効果】
【００２７】
第２のスリーブの内側に係脱自在な係止ブロックを設け、所定以上に力がプローブピンの先端に加わると、係止ブロックが第２のスリーブから外れて力の方向に第２のスリーブの内側を摺動して動き、被測定体に所定の力を超える力が加わることのないようにする。さらに、障害の生じているプローブを第１のスリーブの外面に付けられた判別マークが第２のスリーブに隠れているかどうかにより検出できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
図１は、本発明による第一の実施例を示す図である。以下、コンタクトプローブは単にプローブと呼ぶ。図のａ）はプローブピン１の先端に力がかかっていない場合のプローブ２００の縦断面図を示し、図のｂ）はプローブピン１の先端に所定以上の力がかかって第２のスリーブ内に設けられている係止ブロックであるストッパ５が係止位置から外れている場合のプローブ３００の縦断面図を示す。
【００２９】
図のａ）において、プローブ２００は、プローブピン１、プローブピン１が内部を摺動する第１のスリーブ２、第１のスリーブ２が内部を摺動する第２のスリーブ４と、プローブピン１の後端と第２のスリーブ４内のストッパ５に係合するバネ３と、第２のスリーブ４内のストッパ５を係止しているストッパ係止突起４−１、第２のスリーブ４の後端に例えばカシメによって固定されたフタ４−２、リード線６から構成されている。各部は電気的導通性が保たれるよう、例えばベリリウム銅でできている。各部はより良好な電気的導通性が保たれるよう、好ましくは、ベリリウム銅の表面に例えば金メッキが施されていてもよい。
【００３０】
図１においては、つるまきバネでできたバネ３を１つ用いた実施例を示しており、プローブピン１と第１のスリーブ２とは通常状態においては滑らかに摺動するようになっており、プローブピン１の先端には通常の接触力として例えば１５０ｇ重の力を被測定体にかけるようになっている。第１のスリーブ２と第２のスリーブ４とは、例えば軸方向に１８０ｇ重の力がかかったとき摺動し始めるようになっている。ストッパ係止突起４−１は、例えば第２のスリーブ４の外周の１箇所を均一に突き出し加工されて内部に線状に生じた凸部、あるいは第２のスリーブ４の外周を等間隔に点状に突き出し加工されて内部に生じた３点以上の突起であり、ストッパ５を係止している。
【００３１】
ストッパ５は軸方向に図左から右の方向に例えば２００ｇ重の力が加わるとストッパ係止突起４−１を乗り上げ図の右側に移動するようになっている。ストッパ５、フタ４−２に図示されている穴状の部分は空気の逃げ穴である。
【００３２】
図１において、プローブピン１と第１のスリーブ２とが、例えばプローブピン１の表面にハンダのフラックスが付着し摺動性が悪くなった場合、プローブピン１の先端に１８０ｇ重の力が加わると第１のスリーブ２は第２のスリーブ４内を右に摺動し始め、さらにプローブピン１の先端に２００ｇ重の力が加わった時、ストッパ係止突起４−１からストッパ５が外れて図の右側に移動する。
【００３３】
ストッパ５がストッパ係止突起４−１から外れた状態を示した図が、ｂ）の図である。ａ）の図と比較して、第１のスリーブ２が右側に移動し、プローブピン１も右側に移動し、プローブピン１の先端も被測定体から離れる方向に移動していることが分かる。
【００３４】
本図に示す実施例においては、プローブピン１と第１のスリーブ２とは正常に摺動する状態では、プローブピン１に１８０ｇ重以上の力を加えなければ、プローブ２００は繰り返し使用できるが、プローブピン１と第１のスリーブ２とが正常に摺動しなくなった場合には、プローブピン１に１８０ｇ重以上の力が加わると第１のスリーブ２は第２のスリーブ４の内側を図の右側に向かって移動する。
【００３５】
図２は、本発明による第二の実施例を示す図である。本図は、プローブ２０の縦断面図を示している。図のａ）は、プローブ２０のプローブピン２１の先端に力が加わっていない時の状態を示す図であり、図のｂ）はストッパ２６に所定以上の力が加わって、ストッパ２６が係止位置から外れて第２のスリーブ２４の内側を図の右方向に動いた後の状態を示す図である。
【００３６】
プローブ２０は、プローブピン２１、プローブピン２１が内部を摺動する第１のスリーブ２２、第１のスリーブ２２が内部を摺動する第２のスリーブ２４と、プローブピン２１の後端と第２のスリーブ２４内のストッパ２６に係合する第１のバネ２３と、第１のスリーブ２２とストッパ２６に係合する第２のバネ２５と、第２のスリーブ２４内のストッパ２６を係止しているストッパ係止突起２４−１、第２のスリーブ２４の後端に例えばカシメによって固定されたフタ２４−２、リード線２７から構成されている。
【００３７】
本実施例においては、ストッパ２６は第１のスリーブ２２の後端に固定されている。第２のバネ２５は、第２のスリーブ内部の図の左側に位置する端面とストッパ２６に係合して予め圧縮された状態で配置されている。
【００３８】
プローブピン２１の先端とリード線２７とは電気的導通性が保たれるよう、各部は例えばベリリウム銅でできている。各部はより良好な電気的導通性が保たれるよう、好ましくは、ベリリウム銅の表面に例えば金メッキが施されていてもよい。
【００３９】
図２においては、つるまきバネでできた第１のバネ２３と第２のバネ２５の２つのバネを用いた実施例を示しており、プローブピン２１と第１のスリーブ２２とは通常状態においては滑らかに摺動するようになっており、また、第１のスリーブ２２と第２のスリーブ２４も滑らかに摺動するようになっている。ストッパ係止突起２４−１は、例えば第２のスリーブ２４の外周部に、外周に沿って一周を均一に突き出し加工され内側に線状に生じた凸部、あるいは第２のスリーブ２４の外周を３点以上等間隔に点状に突き出し加工されて作られた内側方向の突起であり、ストッパ２６を係止している。
【００４０】
ストッパ２６は軸方向に図の左から右の方向に例えば２００ｇ重の力が加わるとストッパ係止突起２４−１を乗り上げ図の右側に移動するようになっている。ストッパ２６、フタ２４−２に図示されている穴状の部分は空気の逃げ穴である。
【００４１】
図２において、プローブピン２１と第１のスリーブ２２と間で、例えばプローブピン２１の表面にハンダのフラックスが付着し摺動性が悪くなった場合、プローブピン２１の先端に力が加わり、第１のバネ２３と第２のバネ２５を合わせて２００ｇ重の力がストッパ２６に対して図の右方向にかかると、ストッパ係止突起２４−１からストッパ２６が外れて図の右側に移動し、第１のスリーブ２２も第２のスリーブ２４内に一部または全部が引き込まれ、これに伴いプローブピン２１も図の右側に移動し被測定体から離れる方向に動き、プローブピン２１の先端は被測定体に対して所望の力がかけられずにプローブ２０は使用不能となるようになっている。
【００４２】
また、プローブピン２１と第１のスリーブ２２と間の摺動性は正常でも、万が一、第１のスリーブ２２と第２のスリーブ２４との摺動性が悪くなって摺動しなくなった場合、プローブピン２１の先端に力が加わり、第１のバネ２３と第２のバネ２５を合わせ２００ｇ重の力がストッパ２６に対して図の右方向にかかると、ストッパ係止突起２４−１からストッパ２６が外れて図の右側に移動し、プローブピン２１は第１のスリーブ２２内に一部または全部が引き込まれプローブ２０は使用不能となるようになっている。
【００４３】
本実施例においては、ストッパ２６がストッパ係止突起２４−１から外れたときに、予め圧縮されて配置されている第２のバネ２５が伸び、確実にストッパ５をストッパ係止突起２４−１から離れた図の右側へ移動させることにより、第１のスリーブ２２が第２のスリーブ２４の内部に引き込まれ、かつ、プローブピン２１が被測定体から離れるようになっている。
【００４４】
図３は、本発明による第三の実施例を示す図である。本図においては、プローブ３０の縦断面図を示している。プローブ３０は、プローブピン３１、プローブピン３１が内部を摺動する第１のスリーブ３２、第１のスリーブ３２が内部を摺動する第２のスリーブ３５と、プローブピン３１の後端と第１のスリーブ３２の後端に固定された止具３４とに係合する第１のバネ３３と、第２のスリーブ３５の内側に設けたストッパ係止突起３５−１に係止されたストッパ３７と、止具３４とストッパ３７に係合する第２のバネ３６と、第２のスリーブ３５の後端に例えばカシメによって固定されたフタ３５−２、リード線３８から構成されている。
【００４５】
プローブピン３１の先端とリード線３８とは間は電気的導通性が保たれるよう、各部は例えばベリリウム銅でできている。各部はより良好な電気的導通性が保たれるよう、好ましくは、ベリリウム銅の表面に例えば金メッキが施されていてもよい。
【００４６】
図３においては、つるまきバネでできた第１のバネ３３と第２のバネ３６の２つのバネを用いた実施例を示しており、プローブピン３１と第１のスリーブ３２とは通常状態においては滑らかに摺動するようになっており、また、第１のスリーブ３２と第２のスリーブ３５も滑らかに摺動するようになっている。ストッパ係止突起３５−１は、例えば第２のスリーブ３５の外周に沿って均一に突き出し加工され内部に線状に生じた凸部、あるいは第２のスリーブ４の外周を等間隔に点状に突き出し加工されて内部に生じた３点以上の突起であり、ストッパ３７を係止している。
【００４７】
ストッパ３７は軸方向に図左から右の方向に例えば２００ｇ重の力が加わるとストッパ係止突起３５−１を乗り上げ図の右側に移動するようになっている。ストッパ３７、フタ３５−２に図示されている穴状の部分は空気の逃げ穴である。
【００４８】
図３において、プローブピン３１と第１のスリーブ３２と間で、例えばプローブピン３１の表面にハンダのフラックスが付着し摺動性が悪くなった場合、プローブピン３１の先端から被測定体に力が加わり、第２のバネ３６により２００ｇ重の力がストッパ３７に対して図の右側にかかると、ストッパ係止突起３５−１からストッパ３７が外れて図の右側に移動し、第１のスリーブ３２も第２のスリーブ３５内に一部または全部が引き込まれ、これに伴いプローブピン３１も図の右側に移動し被測定体から離れる方向に動くようになっている。ここで、ストッパ３７が外れた時の図は省略してある。
【００４９】
図４は、本発明による第四の実施例を示す。図のａ）はプローブ４０の斜視外観図であり、第１のスリーブ４２の外面の一部に判別マーク４２−１を印した図である。
【００５０】
ここで、プローブ４０の内部構造は、例えば図２に示すプローブ２０と同じものとする。
プローブ４０が正常状態の場合には、図のａ）に示す外観を示しているが、プローブピン４１と第１のスリーブ４２との間で摺動性が悪くなり、スリーブ４２の内部に設けられているストッパ（図示省略）に２００ｇ重の力が働き、異常状態になったプローブ４００の外観図を図のｂ）に示す。第１のスリーブ４２の表面に印されていた判別マーク４２−１は第２のスリーブ４３の内側に隠れて外観からは見えない状態となり、かつ、プローブピン４１の先端も第２のスリーブ４３側に移動している。
【００５１】
判別マーク４２−１は、第１のスリーブ４２の表面で、かつ、第２のスリーブ４３に近い位置に、例えばエッチングによって作られた三角形、円形、帯状といった形状のマークが付けられ、あるいはケガキによって付けたれた線であり、マークの色は好ましくは、第１のスリーブ４２の表面にあって際立つ、例えば赤、金、白等に着色されていても構わない。
【００５２】
図５は、本発明による第五の実施例を示す。図はいずれも本発明のプローブの斜視外観図を示し、ａ）の図は第１のスリーブ外面に三角形の判別マーク５２−１をもつプローブ５０の図、ｂ）の図は第１のスリーブ外面に円形の判別マーク５２−２をもつプローブ５０−１の図、ｃ）の図は第１のスリーブ外面に帯状の判別マーク５２−３をもつプローブ５０−２の図を示す。ここで、いずれのプローブの内部構造も、例えば図２に示すプローブ２０と同じものとする。
【００５３】
図５において、判別マークはｃ）の図に示す帯状の判別マーク５２−３が好ましく、どの方向からも見やすい特徴がある。
【００５４】
図６は、本発明による試験機の一実施例を示す。ａ）の図は本発明によるプローブを装着した図、ｂ）の図は装着したプローブにより被測定体の試験を行っている図を示す。
【００５５】
試験機６０は、被測定体であるプリント板ユニット６１を載せるベース６０−１と、継手６０−２、高さ方向への支柱６０−３、支柱６０−３に沿って上下に可動な可動部６０−４、可動部６０−４に支持されて高さ方向に可動な例えばアクリル樹脂で作られたホルダ６０−５、ホルダ６０−５は複数のプローブ６０を保持する穴をもち、各穴の所定位置にプローブ６２をネジ止めし、可動部６０−４によって下方の試験位置へと移動し、ｂ）の図に示すように各プローブピン６２−１の先端がプリント板ユニット６１の各テストパッド６１−１に例えば１５０ｇ重の加重で接触するようになっている。
【００５６】
各プローブ６２のリード線６２−３は、試験機６０の動き及びプローブを介してプリント板ユニット６１の電気的試験を行う制御ユニット６０−６に接続されている（図示省略）。
【００５７】
ｂ）の図において、ベース６０−１とホルダ６０−５との間を横から光学顕微鏡（図示省略）あるいは目視にてプローブ６２の第２のスリーブ６２−２の外面に印されている認識マーク（図示省略）が正常に見えているかどうかにより、各プローブ６２の異常を検知するようになっている。
【００５８】
なお、試験機６０は、本説明における方向に設置されても、あるいは、逆さでも、９０度回転した位置に設置されても構わない。
【００５９】
図７は、本発明によるプリント板ユニット試験の一フロー図を示す。図６に示す試験機を用い、ホルダ６０−５にプローブ６２を取り付け（Ｓ７０）、試験機にプリント板ユニットをセットする初期位置にセットする（Ｓ７１）。そして、例えばコンピュータを内臓した制御ユニット６０−６により可動部６０−４を動かしてホルダ６０−５を試験位置まで移動し（Ｓ７２）、被試験体にプローブ６２を所望の力をかけて接触させ、被試験体に所定の試験を行う（Ｓ７３）。
【００６０】
試験結果が正常かどうかを判定する（Ｓ７４）。例えば制御ユニット６０−６に設定されている各試験項目における許容値を外れた値が測定された場合にはアラーム音で知らせるようになっている。
【００６１】
試験結果が正常である場合には良品と判定する（Ｓ７９−１）。
【００６２】
試験結果が正常でない場合には試験機の横から光学顕微鏡あるいは目視にて該当するプローブ６２の第２のスリーブ６２−２の外面に印されている判別マークが正常に見えているかどうかを確認（Ｓ７５）し、判別マークが見えていない不良プローブは交換する（Ｓ７６）。判別マークが見えている場合は、制御ユニット６０−６とプローブ６２間の接続等を確認した後、再試験を行う（Ｓ７７）。
【００６３】
再試験の結果（Ｓ７８）、正常と判断されたプリント板ユニットは良品と判定（Ｓ７９−１）し、異常と判断されたプリント板ユニットは不良品と判定（Ｓ７９−２）する。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明による第一の実施例
【図２】本発明による第二の実施例
【図３】本発明による第三の実施例
【図４】本発明による第四の実施例
【図５】本発明による第五の実施例
【図６】本発明による試験機の一実施例
【図７】本発明によるプリント板ユニット試験の一フロー図
【図８】プローブの従来例Ａ
【図９】プローブの従来例ＢＡ
【符号の説明】
【００６５】
１、２１、３１、４１、５１、８１  プローブピン
２、２２、３２、４２、５２        第１のスリーブ
３、８３                          バネ
４、２４、３５、４３、５３        第２のスリーブ
５、２６、３７                    ストッパ
６、２７、３８、４４、５４、８５  リード線
２３、３３                        第１のバネ
２５、３６                        第２のバネ
３４                              止具
６０                              試験機
６１                              プリント板ユニット
８２                              スリーブ
８４                              フタ
９５、９６                        ホルダ
９７、９８                        パターン
１００、１０１                    汚れ
２０、３０、４０、５０、６２、    プローブ
８０、９１、９２、９３、９４、
２００、３００、４００
【図１】
0005012281.tif 000002
【図２】
0005012281.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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