(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面にバンプを形成した金属箔に絶縁シート材を重ね合わせると共に前記バンプを前記絶縁シート材に突き刺して貫通させることによって、前記絶縁シート材の上面に前記バンプの先端を突出させた重ね合わせ物を形成し、このバンプの先端に接触させるようにして他の金属箔と前記絶縁シート材とを重ね合わせ、この後、前記金属箔と前記絶縁シート材とを加圧成形して一体化する両面金属箔張り積層板の製造方法において、前記他の金属箔と前記絶縁シート材とを重ね合わせる前に、前記重ね合わせ物の上下に合紙を重ね合わせた状態で上下に反転し、その後、前記重ね合わせ物から前記合紙を除去することを特徴とする両面金属箔張り積層板の製造方法。
【請求項２】
前記重ね合わせ物の上下に合紙を重ね合わせた状態で上下に反転した後、前記金属箔の前記絶縁シート材と重ね合わせていない方の面に付着する異物を除去することを特徴とする請求項１に記載の両面金属箔張り積層板の製造方法。
【請求項３】
前記異物を粘着物で捕捉して除去することを特徴とする請求項２に記載の両面金属箔張り積層板の製造方法。
【請求項４】
前記異物を前記粘着物で捕捉して除去するにあたって、前記金属箔にかかる圧力を０．１〜１００ｋＰａとすることを特徴とする請求項３に記載の両面金属箔張り積層板の製造方法。
【請求項５】
前記金属箔の前記絶縁シート材と重ね合わせていない方の面に付着する前記異物を除去するにあたって、前記金属箔の表面にプラズマを供給することを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の両面金属箔張り積層板の製造方法。
【請求項６】
前記金属箔の前記絶縁シート材と重ね合わせていない方の面に付着する前記異物を除去するにあたって、前記金属箔の表面に紫外線を照射することを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載の両面金属箔張り積層板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板などの製造に用いられる両面金属箔張り積層板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、絶縁層の両面に銅箔等の金属箔を設けた両面金属箔張り積層板であって、絶縁層を貫通するバンプによって両面の金属箔を電気的に接続するもの、所謂、バンプ接続金属箔張り積層板が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような両面金属箔張り積層板の製造は以下のようにして行われる。
【０００３】
まず、金属箔２の上面に複数のバンプ１、１…を形成する。バンプ１は導電ペーストなどを印刷した後に半硬化状態にすることによって、円錐状などの先端（上端）が尖った形状に形成することができる。次に、バンプ１を形成した金属箔２の上面に絶縁シート材３を載置（ビルドアップ）して重ね合わせると共にバンプ１を絶縁シート材３に下側から突き刺して貫通させることによって、絶縁シート材３の上面にバンプ１の先端を突出させる。絶縁シート材３としては樹脂フィルムやプリプレグ（樹脂含浸基材）などを用いることができる。このようにしてバンプ１を形成した金属箔２と絶縁シート材３とを重ね合わせて重ね合わせ物２０を形成し、図３（ａ）に示すように、複数個の重ね合わせ物２０、２０…を順次作製しつつ積載していく。ここで、上下に隣り合う重ね合わせ物２０、２０の間には合紙２１が介在させている。合紙２１は、バンプ１に割れや欠けなどの破損が発生しないように保護する目的及び金属箔２の下面にバンプ１や絶縁シート材３が直接接触しないようにして金属箔２への樹脂や導電性異物などの異物が付着しないようにするための紙である。尚、図３（ａ）では、積載した複数個の重ね合わせ物２０、２０…の一部を図示省略している。
【０００４】
次に、積載した複数個の重ね合わせ物２０、２０…を成形工程に搬送した後、図３（ｂ）に示すように、合紙２１を除去しながら一つの重ね合わせ物２０を積載物から取り出す。この後、取り出した重ね合わせ物２０の上にさらに他の金属箔５を載置（ビルドアップ）する。これにより、他の金属箔５が絶縁シート材３の上面に突出したバンプ１の先端に接触した状態で載置される。次に、図３（ｃ）に示すように、金属箔２、５と絶縁シート材３の重ね合わせたものを上下二枚の成形プレート２２、２２の間に配置し、この後、加熱加圧成形して絶縁シート材３を硬化させることによって、絶縁シート材３から絶縁層を形成すると共に金属箔２、５を絶縁層に接着して一体化する。このようにして両面金属箔張り積層板を形成することができる。
【０００５】
一般に、上記のような両面金属箔張り積層板の製造工程において、金属箔２、５と絶縁シート材３とをビルドアップする時などの周囲の雰囲気は、極力、クリーン度が高い場所で行うことが理想である。しかし、上記のようにして製造される両面金属箔張り積層板には、バンプ１を形成した金属箔２の表面に打痕（凹み）による成形不良が発生することがあった。この打痕は絶縁シート材３から生じる樹脂粉などの異物６が原因で発生するものである。すなわち、絶縁シート材３の表面で発生した異物６が下側の合紙２１の上に落下した後、成形工程への搬送時や成形工程でのハンドリング（作業）などで下側の金属箔２と下側の合紙２１とが相互にずれ動くことによって、異物６が下側の金属箔２と下側の合紙２１との間に入り込み、この状態で加熱加圧成形されることによって、金属箔２の表面（下面）に異物６が押さえ付けられて打痕が発生するのである。そして、このような打痕が発生すると、外観不良だけでなく、その後の回路パターン形成においてもパターン不良の原因にもなっていた。
【特許文献１】特許第３２５１７１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、打痕の発生を少なくすることができる両面金属箔張り積層板の製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法は、上面にバンプ１を形成した金属箔２に絶縁シート材３を重ね合わせると共に前記バンプ１を前記絶縁シート材３に突き刺して貫通させることによって、前記絶縁シート材３の上面に前記バンプ１の先端を突出させた重ね合わせ物２０を形成し、このバンプ１の先端に接触させるようにして他の金属箔５と前記絶縁シート材３とを重ね合わせ、この後、前記金属箔２、５と前記絶縁シート材３とを加圧成形して一体化する両面金属箔張り積層板の製造方法において、前記他の金属箔５と前記絶縁シート材３とを重ね合わせる前に、前記重ね合わせ物２０の上下に合紙２１、２１を重ね合わせた状態で上下に反転し、その後、前記重ね合わせ物２０から前記合紙２１、２１を除去することを特徴とするものである。
【０００８】
本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法は、前記重ね合わせ物２０の上下に合紙２１、２１を重ね合わせた状態で上下に反転した後、前記金属箔２の前記絶縁シート材３と重ね合わせていない方の面に付着する異物６を除去することが好ましい。
【０００９】
本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法は、前記異物６を粘着物７で捕捉して除去することが好ましい。
【００１０】
本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法は、前記異物６を前記粘着物７で捕捉して除去するにあたって、前記金属箔２にかかる圧力を０．１〜１００ｋＰａとすることが好ましい。
【００１１】
本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法は、前記金属箔２の前記絶縁シート材３と重ね合わせていない方の面に付着する前記異物６を除去するにあたって、前記金属箔２の表面にプラズマ９を供給することが好ましい。
【００１２】
本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法は、前記金属箔２の前記絶縁シート材３と重ね合わせていない方の面に付着する前記異物６を除去するにあたって、前記金属箔２の表面に紫外線１０を照射することが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明にあっては、前記他の金属箔５と前記絶縁シート材３とを重ね合わせる前に、前記重ね合わせ物２０の上下に前記合紙２１、２１を重ね合わせた状態で上下に反転し、その後、前記重ね合わせ物２０から前記合紙２１、２１を除去することによって、前記絶縁シート材３の表面に付着している前記異物６を前記合紙２１の上に落下させて除去することができ、前記金属箔２、５の表面に前記異物６が付着しにくくなって、打痕の発生を少なくすることができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００１９】
まず、金属箔２の上面に複数のバンプ（突起物）１、１…を形成する。ここで、金属箔２として導電性のある任意の材質で任意の厚みのものを使用することができ、例えば、厚み８〜１０５μｍの銅箔を用いることができる。バンプ１は銀ペーストなどの導電ペーストを印刷した後に半硬化状態にすることによって、円錐状などの先端（上端）が尖った形状に形成することができる。バンプ１の大きさや間隔などは任意に設定することができ、例えば、底面の直径が８０〜３００μｍで、高さが８０〜３００μｍに設定することができる。
【００２０】
次に、バンプ１を形成した金属箔２の上面に絶縁シート材３を載置（ビルドアップ）して重ね合わせると共にバンプ１を絶縁シート材３に下側から突き刺して貫通させることによって、絶縁シート材３の上面にバンプ１の先端（上端）を突出させる。絶縁シート材３としては樹脂フィルムやプリプレグ（樹脂含浸基材）などを用いることができる。絶縁シート材３の樹脂としてはエポキシ樹脂やフェノール樹脂などの公知のものを用いることができ、プリプレグの基材としてはガラス不織布やガラス織布等の公知のものを用いることができる。また、絶縁シート材３の厚みも任意に設定することができ、例えば、２０〜２００μｍにすることができる。また、バンプ１の先端は絶縁シート材３の上面から５〜２０μｍ突出させるのが好ましい。このようにしてバンプ１を形成した金属箔２と絶縁シート材３とを重ね合わせて重ね合わせ物２０を形成する。
【００２１】
本発明では、図１（ａ）に示すように、複数個の重ね合わせ物２０、２０…を順次作製しつつ積載していくが、このとき、重ね合わせ物２０と合紙２１とを交互に積載するようにする。従って、上下に隣り合う重ね合わせ物２０、２０の間に合紙２１が介在した状態で複数個の重ね合わせ物２０、２０…が積載されている。合紙２１は、バンプ１に割れや欠けなどの破損が発生しないように保護する目的及び金属箔２の下面にバンプ１や絶縁シート材３が直接接触しないようにして金属箔２への樹脂や導電性異物などの異物が付着しないようにするための紙である。合紙２１としては任意のものを用いることができるが、例えば、フィルムの上下面を無ジン紙で挟んで貼り合わせたもので、厚み１００〜１０００μｍに形成されるものを用いるのが好ましい。尚、図１（ａ）（ｂ）では、積載した複数個の重ね合わせ物２０、２０…の一部を図示省略している。
【００２２】
次に、複数個の重ね合わせ物２０、２０…を積載した状態で次工程の成形工程にコンベア等で搬送する。次に、図１（ｂ）に示すように、複数個の重ね合わせ物２０、２０…の全体を合紙２１、２１…とともに積載した状態で上下に反転させる。この反転により、金属箔２の上に載置した絶縁シート材３の上面が下向きとなり、絶縁シート材３の上面に付着していた樹脂粉などの異物６が自重により下側の合紙２１の上に落下して除去される。従って、金属箔２とその上側の合紙２１との間に異物６が進入しにくくなって、異物６による打痕の発生を少なくすることができる。次に、図１（ｃ）に示すように、一つの重ね合わせ物２０を積載物から取り出すが、このとき、重ね合わせ物２０の上下に合紙２１、２１を重ね合わせた状態で取り出す。次に、取り出した重ね合わせ物２０から上側の合紙２１を除去し、金属箔２の上面の光沢面（シャイニー面）を露出させる。次に、金属箔２の上面に付着した樹脂粉などの異物６を除去する。ここで、図１（ｄ）に示すように、異物６を除去するにあたっては粘着物７で捕捉するようにする。粘着物７は異物６を粘着して除去しやすくするためのものであって、松脂のような粘着性のある物質を含有する布などを用いることができ、例えば、「タグラック」と称されるものを用いることができる。また、粘着物７で異物６を除去する場合、金属箔２の上面に付着した異物６を粘着物７で拭き取るようにするが、このときに金属箔２にかかる圧力を０．１〜１００ｋＰａ（０．０１〜１．０ｋｇｆ／ｃｍ２）にするのが好ましい。金属箔２にかかる圧力が０．１ｋＰａより小さいと、異物６の除去が不十分になるおそれがあり、金属箔２にかかる圧力が１００ｋＰａより大きいと、バンプ１が割れて破損したり粘着物７が金属箔２に転写したりして外観不良が生じるおそれがある。このようにして異物６を金属箔２の表面から除去することによって、次工程において、異物６が金属箔２の表面に存在する状態で加圧成形されることが少なくなって、打痕の発生を少なくすることができる。
【００２３】
上記のようにして重ね合わせ物２０の金属箔２の表面から異物６を除去した後、この重ね合わせ物２０から下側の合紙２１を除去してバンプ１を露出させる。この後、重ね合わせ物２０のバンプ１を形成した方の面に他の金属箔５を重ね合わせてビルドアップする。これにより、他の金属箔５が絶縁シート材３の下面に突出したバンプ１の先端に接触した状態で配置される。次に、図１（ｅ）に示すように、金属箔２、５と絶縁シート材３の重ね合わせたものを上下二枚の成形プレート２２、２２の間に配置し、この後、加熱加圧成形して絶縁シート材３を硬化させることによって、絶縁シート材３から絶縁層を形成すると共に金属箔２、５を絶縁層に接着して一体化する。ここで、加熱加圧成形の条件は、絶縁シート材３の樹脂の種類や厚みなどに応じて適宜設定可能であるが、例えば、温度１２５〜１９０℃、圧力０．９８〜１０．３ＭＰａ、時間９０〜１２０分とすることができる。このようにしてバンプ１により両面の金属箔２、５が電気的に接続された両面金属箔張り積層板を形成することができる。
【００２４】
上記のような本発明の両面金属箔張り積層板の製造方法において、重ね合わせ物２０から粘着物７による異物６の除去の後、重ね合わせ物２０に他の金属箔５を重ね合わせる前に、図２に示すように、重ね合わせ物２０の異物６の除去した金属箔２の表面にプラズマ９の供給や紫外線１０の照射を行うことができる。これにより、プラズマ９や紫外線１０で金属箔２の表面に付着している油分等の異物６を分解して除去することができ、油分等の異物６による成形不良を防止することができる。ここで、プラズマ９の供給と紫外線１０の照射とはいずれか一方だけでもよく、また、両方を順次行うようにしてもよい。プラズマ９の供給の条件としては、例えば、真空度１．５ＰａでＣＯ２プラズマを用いた洗浄時間１０分間とすることができ、紫外線１０の照射の条件としては、例えば、紫外線ランプ３００ｎｍ、３００Ｗ×６個、１０分間照射とすることができるが、これらに限定されるものではない。
【００２５】
そして、上記従来例の方法では、打痕による両面金属箔張り積層板の外観不良率が２５％であったが、本発明では打痕による両面金属箔張り積層板の外観不良率が７％に減少した。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示し、（ａ）〜（ｅ）は概略図である。
【図２】同上の他の実施の形態を示す概略図である。
【図３】従来例を示し、（ａ）〜（ｃ）は概略図である。
【符号の説明】
【００２７】
１  バンプ
２  金属箔
３  絶縁シート材
５  金属箔
６  異物
７  粘着物
９  プラズマ
１０  紫外線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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