(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度を検出する複数の熱電対と、この熱電対を内部に納める保護管とを備えた多点温度センサであって、
全長が前記保護管とほぼ同じ寸法に構成され、前記各熱電対を支持した状態で前記保護管内に挿入されて固定される支持部材と、
当該支持部材に設けられ、前記各熱電対を前記保護管内の設定位置で前記支持部材に固定する固定部とを備え、
当該固定部によって、前記各熱電対の測温接点が前記支持部材の一方の面にすべて向くように配置され、前記測温接点の各金属線が前記支持部材の他方の面に沿って配設されたことを特徴とする多点温度センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の多点温度センサにおいて、
前記固定部が、各設定位置の周囲に前記熱電対の２本の前記金属線をかける切り欠きを備えたことを特徴とする多点温度センサ。
【請求項３】
請求項１に記載の多点温度センサにおいて、
前記固定部が、各設定位置に前記熱電対の２本の前記金属線を通す２つの孔を備えたことを特徴とする多点温度センサ。
【請求項４】
請求項１に記載の多点温度センサにおいて、
前記固定部が、各設定位置に前記熱電対の測温接点を引っ掛けるフックを備えたことを特徴とする多点温度センサ。
【請求項５】
請求項１に記載の多点温度センサにおいて、
前記固定部が、各設定位置に前記熱電対の測温接点を引っ掛けるフランジを備えたことを特徴とする多点温度センサ。
【請求項６】
請求項１に記載の多点温度センサにおいて、
前記支持部材が、前記保護管内に挿入される板状部材で構成されたことを特徴とする多点温度センサ。
【請求項７】
請求項１に記載の多点温度センサにおいて、
前記支持部材が、前記保護管内に挿入される半円棒材で構成されたことを特徴とする多点温度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造装置の拡散炉（熱処理成膜装置）に用いられる多点温度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置の拡散炉等に用いられる多点温度センサとしては、一般に図２に示すような構成のものがある。
【０００３】
多点温度センサは、保護管２と、熱電対３と、磁器管４と、収縮チューブ５と、テフロンチューブ（テフロンは登録商標）６と、ケーブルクランプ７と、コネクタ８とから構成されている。
【０００４】
保護管２はその内部に複数の熱電対３を挿入してこれらの熱電対３を保護するための管である。保護管２は、その先端部が密封されて内部が空洞になっている。熱電対３は、温度を測定する素子である。熱電対３は、２本の異種の金属線の先端部を接合して形成した測温接点を備えている。
【０００５】
磁器管４は、熱電対３を支持する棒材である。磁器管４には、熱電対３の２本の金属線を通す２つの長孔(図示せず)が設けられている。収縮チューブ５は、保護管２の基端部に嵌合して保護管２内を封止すると共に、外部に引き出される熱電対３の金属線を支持する部材である。テフロンチューブ６は、熱電対３の金属線を保護するチューブである。ケーブルクランプ７は、テフロンチューブ６をクランプしてコネクタ８に接続するための部材である。
【０００６】
この多点温度センサ１は、例えば半導体製造装置の拡散炉に設置されて、拡散炉の温度等を測定する。
【０００７】
しかし、この多点温度センサ１では、熱電対３の測温接点の径方向での位置がバラバラになり、正確な温度測定が難しい。このため、熱電対３の測温接点のバラツキを抑えた多点温度センサが提案されている。この多点温度センサの例としては、特許文献１に記載の熱電対がある。
【０００８】
この熱電対１１は、図３に示すように、石英等からなる保護管１２の内部に少なくとも一対の異種金属導線１３Ａ，１３Ｂ、１４Ａ，１４Ｂ、１５Ａ，１５Ｂを挿入してなる熱電対であって、前記異種金属導線１３Ａ，１３Ｂ、１４Ａ，１４Ｂ、１５Ａ，１５Ｂの結合部、つまり温接点１３Ｃ，１４Ｃ，１５Ｃを保護管１２内部中心に位置させるためのガイド部材１７を設けて、熱電対を構成している。これにより、検出温度にバラツキの少ない熱電対を提供する。
【特許文献１】特開平１０−１５３４９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
前記特許文献１の熱電対では、ガイド部材１７によって温接点１３Ｃ，１４Ｃ，１５Ｃを保護管１２内の中心に位置させるように構成されているが、実際には絶縁碍子１６が、図２中の基端側のガイド部材１７から中間のガイド部材１７へかけて中央に、中間のガイド部材１７から先端側のガイド部材１７へかけて中央に、それぞれ曲げられて配設される。
【００１０】
そしてこの場合、絶縁碍子１６の先端の温接点１３Ｃ，１４Ｃ，１５Ｃの位置が径方向で一定（保護管１２）でない場合が多い。また、温接点１３Ｃ，１４Ｃ，１５Ｃの脇を絶縁碍子１６が通るため、この絶縁碍子１６の影響を受けてしまう。このため、温接点１３Ｃ，１４Ｃ，１５Ｃのうち、保護管１２の表面温度の影響を大きく受けたり、絶縁碍子１６で外部からの熱の伝達が悪くなったりしてしまう温接点が発生してしまうことがある。これにより、検出温度にばらつきのある多点温度センサが発生することがある。
【００１１】
また、ガイド部材１７として、先端側のガイド部材１７は温接点１３Ｃのための２つの孔が空けられ、中間のガイド部材１７は温接点１３Ｃ，１４Ｃのための４つの孔が空けられ、基端側のガイド部材１７は温接点１３Ｃ，１４Ｃ，１５Ｃのための６つの孔が空けられる。このため、ガイド部材１７の構造が複雑で種類が多くなって組み立てづらくなる。また、製造も複雑で、製造コストが嵩む。
【００１２】
本発明は、以上の点を考慮してなされたものであり、簡単な構造で、かつ低コストで、検出温度のバラツキを抑えることができる多点温度センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
かかる課題を解決するために、本願発明に係る多点温度センサは、温度を検出する複数の熱電対と、この熱電対を内部に納める保護管とを備えた多点温度センサであって、全長が前記保護管とほぼ同じ寸法に構成され、前記各熱電対を支持した状態で前記保護管内に挿入されて固定される支持部材と、当該支持部材に設けられ、前記各熱電対を前記保護管内の設定位置で前記支持部材に固定する固定部とを備え、当該固定部によって、前記各熱電対の測温接点が前記支持部材の一方の面にすべて向くように配置され、前記測温接点の各金属線が前記支持部材の他方の面に沿って配設されたことを特徴とする。
【００１４】
前記構成により、前記各熱電対が前記固定部で前記支持部材に固定された状態で、この支持部材が前記保護管内に挿入されて固定される。当該固定部によって、前記各熱電対の測温接点が前記支持部材の一方の面にすべて向くように配置され、前記測温接点の各金属線が前記支持部材の他方の面に沿って配設される。
【００１５】
前記固定部は、各設定位置の周囲に設けられ前記熱電対の２本の金属線をかける切り欠きや、各設定位置に設けられ前記熱電対の２本の金属線を通す２つの孔や、各設定位置に設けられ前記熱電対の測温接点を通す１つの孔や、各設定位置に設けられ前記熱電対の測温接点を引っ掛けるフックや、各設定位置に設けられ前記熱電対の測温接点を引っ掛けるフランジを備えることが望ましい。
【００１６】
前記支持部材は、前記保護管内に挿入される板状部材又は半円棒材で構成されることが望ましい。
【発明の効果】
【００１７】
前記各熱電対が前記固定部で前記支持部材に固定された状態で、この支持部材が前記保護管内に挿入されて固定されるため、前記各熱電対を設定位置に正確にかつ確実に固定することができる。これにより、温度測定時に検出温度のバラツキを抑えることができる。さらに、構造が簡単で、低コストで製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明の実施形態について説明する。本実施形態の多点温度センサの全体構成は、従来の多点温度センサと同様である。このため、ここでは前述した保護管２、１２内に挿入される部分を中心に説明する。
【００１９】
［第１実施形態］
第１実施形態の多点温度センサを図１、４、５に基づいて説明する。
【００２０】
本実施形態の多点温度センサでは、各熱電対２１を支持した状態で前記保護管２、１２内に挿入されて固定される支持部材２２を備えている。この支持部材２２は、本実施形態では板状部材２３で構成されている。板状部材２３は、横幅が保護管２、１２の内径とほぼ同じで、全長が保護管２、１２とほぼ同じ寸法の板材で構成されている。この板状部材２３は、保護管２、１２内に挿入される。板状部材２３の基端部は、従来と同様に正確に位置して支持されている。板状部材２３は石英板で構成されている。
【００２１】
板状部材２３には、前記各熱電対２１を前記保護管２、１２内の設定位置で前記板状部材２３に固定する固定部２４が設けられている。この固定部２４は、断面形状がＵ字状又は半円状の切り欠き２５によって構成されている。切り欠き２５は、温度測定対象数の違いに応じた数だけ設けられる。ここでは、４箇所の位置に切り欠き２５が設けられている。
【００２２】
熱電対２１は、２本の金属線２６と、測温接点２７とを備えて構成されている。切り欠き２５は、板状部材２３の設定位置の両側に対向して２つ設けられている。各切り欠き２５に前記熱電対２１の２本の金属線２６がかけられて固定される。金属線２６は、耐熱繊維被覆によって保護された線材を用いる。この耐熱繊維被覆は、セラミックファイバーで構成された織布を用いた被覆材で形成されている。これにより、金属線２６は、耐熱性及び柔軟性に優れた線材となり、板状部材２３に容易に巻き付けることができるようになっている。また、耐熱性及び柔軟性に優れた他の材料を用いて金属線２６を構成しても良い。
【００２３】
各測温接点２７は、すべて板状部材２３の同じ面に設けられている。即ち、板状部材２３の表裏面のうちの一方の面にすべての測温接点２７が向くように配置される。例えば、図１中の上側面に測温接点２７が位置し、２本の金属線２６が両側の各切り欠き２５に２本の金属線２６がかけられて固定される。各金属線２６はすべて、板状部材２３の下側面に沿って配設されている。
【００２４】
この状態で、板状部材２３を前記保護管２、１２内に挿入して固定する。収縮チューブ５には、測温接点２７の向きを示すマークをつけて、多点温度センサの拡散炉への取り付けの際に測温接点２７の向きを分かるようにしておく。
【００２５】
以上の構成の多点温度センサは、前記マークの向きを合わせて拡散炉に取り付け、コネクタ８を外部装置(図示せず)に接続する。多点温度センサの各測温接点２７の位置は、拡散炉内に入れられる半導体ウエハの位置と一致するように設定されており、各測温接点２７が各半導体ウエハの温度（近傍の温度）を測定する。
【００２６】
これにより、前記各熱電対２１の各測温接点２７を設定位置に正確にかつ確実に固定することができ、温度測定時に検出温度のバラツキを抑えることができる。
【００２７】
さらに、構造が簡単で、熱電対２１を板状部材２３に簡単に取り付けることができ、多点温度センサを簡単に組み立て、又は分解することができる。この結果、低コストで製造することができ、メンテナンスが容易でランニングコストも低く抑えることができる。
【００２８】
また、支持部材２２の部品の構造がシンプルで、熱容量が小さく、測定精度に影響を与えることも無くなる。
【００２９】
［変形例］
前記第１実施形態の多点温度センサでは、固定部２４として切り欠き２５を設けたが、図６のように、板状部材２３の各設定位置に前記熱電対２１の２本の金属線２６を通す２つの孔３０を備えてもよい。これにより、前記熱電対２１の２本の金属線２６は２つの孔３０にそれぞれ通されて固定される。各金属線２６はすべて、板状部材２３の下側面に沿って配設されている。
【００３０】
これにより、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００３１】
また、図７のように、板状部材２３の各設定位置に前記熱電対２１の測温接点２７を通す１つの孔３１を備えてもよい。これにより、前記熱電対２１の１本の金属線２６を前記孔３１に通して前記測温接点２７を前記孔３１に位置するように配設する。各金属線２６は、板状部材２３の両側面に沿って前記孔３１をずらした位置を通して配設する。
【００３２】
これにより、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００３３】
また、図８，９のように、板状部材２３の各設定位置に、前記熱電対２１の測温接点２７を引っ掛けるフック３２を備えてもよい。これにより、前記熱電対２１の前記測温接点２７をフック３２に引っ掛けて配設する。各金属線２６は、板状部材２３のうち前記フック３２が位置する側の面に沿って前記フック３２をずらした位置を通して配設される。
【００３４】
これにより、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００３５】
また、図１０，１１のように、板状部材２３の各設定位置に、前記熱電対２１の測温接点２７を引っ掛けるフランジ３３を備えてもよい。これにより、前記熱電対２１の前記測温接点２７をフランジ３３に引っ掛けて配設する。各金属線２６は、板状部材２３のうち前記フランジ３３が位置する側の面に沿って前記フランジ３３をずらした位置を通して配設される。
【００３６】
これにより、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００３７】
また、前記各変形例を適宜組み合わせても良い。例えば、フック３２やフランジ３３と、切り欠き２５や２つの孔３０とを組み合わせ、前記熱電対２１の測温接点２７はフック３２やフランジ３３に引っ掛けて、各金属線２６は切り欠き２５や２つの孔３０を通して板状部材２３の反対側面に配設する。
【００３８】
これによっても、前記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００３９】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
【００４０】
本実施形態の多点温度センサの支持部材２２は、図１２、１３、１４に示すように、丸棒材３５で構成されている。丸棒材３５は、前記各熱電対２１を支持して前記保護管２、１２内に挿入される。
【００４１】
丸棒材３５は、中実の丸棒部３６と、センター支持部３７とから構成されている。丸棒部３６は、保護管２、１２内にその先端部まで挿入される部材である。センター支持部３７は、保護管２、１２の先端部に位置して丸棒部３６の先端部を保護管２、１２の中心に支持するための部材である。センター支持部３７は、丸棒部３６よりも大きい直径の円盤状又は円筒状に形成され、保護管２、１２の内壁面に当接して丸棒部３６の先端部を支持する。センター支持部３７の直径は、保護管２、１２の内径とほぼ同じ内径に設定されている。丸棒部３６の基端部は従来と同様にして支持される。なお、センター支持部３７の直径は、保護管２、１２の内径とよりも小さい内径に設定されて、保護管２、１２の内壁面に接触しない態様もある。使用態様に応じて適宜設定される。丸棒部３６、センター支持部３７は石英で構成されている。
【００４２】
丸棒部３６には、前記各熱電対２１を前記保護管２、１２内の設定位置で前記板状部材２３に固定する固定部３８が設けられている。
【００４３】
固定部３８は、断面形状がＵ字状又は半円状の切り欠き３９によって構成されている。切り欠き３９は、丸棒部３６の設定位置に環状にそれぞれ設けられている。ここでは、４箇所の位置に切り欠き３９が設けられている。
【００４４】
熱電対２１は、その測温接点２７が環状の切り欠き３９に嵌合され、２本の金属線２６が測温接点２７の両側の切り欠き３９に通されて背後に回され、紐４０で固定される。各金属線２６は、丸棒部３６と保護管２、１２との隙間に配設される。基端側に位置する熱電対２１は、先端側の熱電対２１の金属線２６と自己の金属線２６とを合わせて確実に固定する。
【００４５】
各測温接点２７はすべて、丸棒部３６において同じ向きに配設されている。この状態で、丸棒材３５を前記保護管２、１２内に挿入して固定する。収縮チューブ５には、測温接点２７の向きを示すマークをつけて、多点温度センサの拡散炉への取り付けの際に測温接点２７の向きを分かるようにしておく。
【００４６】
以上の構成の多点温度センサは、前記第１実施形態と同様に、前記マークの向きを合わせて拡散炉に取り付け、コネクタ８を外部装置(図示せず)に接続する。多点温度センサの各測温接点２７の位置は、拡散炉内に入れられる半導体ウエハの位置と一致するように設定されており、各測温接点２７が各半導体ウエハの温度（近傍の温度）を測定する。
【００４７】
これにより、前記第１実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００４８】
［変形例］
前記第２実施形態の多点温度センサでは、固定部２４として切り欠き３９を設けたが、図１５のように、丸棒部３６の各設定位置に前記熱電対２１の２本の金属線２６を通す２つの孔４２を備えてもよい。これにより、前記熱電対２１の２本の金属線２６は２つの孔４２にそれぞれ通されて固定される。各金属線２６は、丸棒部３６の背面に沿って配設されている。
【００４９】
これにより、前記第１実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００５０】
また、図１６のように、丸棒部３６の各設定位置に前記熱電対２１の測温接点２７を通す１つの孔４３を備えてもよい。これにより、前記熱電対２１の１本の金属線２６を前記孔４３に通して前記測温接点２７を前記孔４３に位置するように配設する。各金属線２６は、丸棒部３６に沿って前記孔４３をずらした位置を通して配設する。
【００５１】
これにより、前記第１実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００５２】
また、図１７，１８のように、丸棒部３６の各設定位置に、前記熱電対２１の測温接点２７を引っ掛けるフック４４を備えてもよい。これにより、前記熱電対２１の前記測温接点２７をフック４４に引っ掛けて配設する。各金属線２６は、丸棒部３６のうち前記フック４４が位置する側の背面に沿って前記フック３２をずらした位置を通して配設される。
【００５３】
これにより、前記第１実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００５４】
また、図１９，２０のように、板状部材２３の各設定位置に、前記熱電対２１の測温接点２７を引っ掛けるフランジ４５を備えてもよい。これにより、前記熱電対２１の前記測温接点２７をフランジ４５に引っ掛けて配設する。各金属線２６は、丸棒部３６のうち前記フランジ４５が位置する側の背面に沿って前記フランジ４５をずらした位置を通して配設される。
【００５５】
これにより、前記第１実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００５６】
また、前記第１実施形態と同様に、前記各変形例を適宜組み合わせても良い。
【００５７】
［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
【００５８】
本実施形態の多点温度センサの支持部材２２は、図２１、２２、２３に示すように、管棒材４８で構成されている。管棒材４８は、前記各熱電対２１を支持して前記保護管２、１２内に挿入される。
【００５９】
管棒材４８は、前記保護管２、１２の内径とほぼ同様の外径を有した中空の管材で構成されている。管棒材４８は、保護管２、１２内に挿入される部材である。管棒材４８は、保護管２、１２内に挿入された状態で、保護管２、１２の内壁に当接して支持される。
【００６０】
管棒材４８には、前記各熱電対２１を前記保護管２、１２内の設定位置で熱電対２１を固定支持する固定部４９が設けられている。
【００６１】
固定部４９は、切り欠き５０と、固定板５１とから構成されている。切り欠き５０は、管棒材４８の設定位置に設けられている。ここでは、４箇所の位置に切り欠き５０がそれぞれ設けられている。切り欠き５０は、固定板５１の大きさに合わせて形成されている。即ち、切り欠き５０は、固定板５１と同じ寸法に形成されている。これにより、固定板５１が切り欠き５０に嵌合して固定される。固定板５１は切り欠き５０に接着剤等で固定される。
【００６２】
固定板５１は、前記熱電対２１を支持した状態で切り欠き５０に嵌合される板材である。固定板５１は石英板で構成されている。
【００６３】
固定板５１には、前記各熱電対２１を前記保護管２、１２内の設定位置で前記板状部材２３に固定する固定部５２が設けられている。この固定部５２は、前記第１実施形態の固定部２４と同様に、断面形状がＵ字状又は半円状の切り欠き５３によって構成されている。この切り欠き５３は、前記第１実施形態の切り欠き２５と同様に構成されている。
【００６４】
そして、熱電対２１が固定板５１に支持されて、この固定板５１が切り欠き５０に嵌合して固定されることで、前記各熱電対２１の各測温接点２７を設定位置に正確にかつ確実に固定する。このとき、金属線２６は管棒材４８内に通される。
【００６５】
これにより、前記第１実施形態と同様の作用、効果を奏する。
【００６６】
［変形例］
前記第１実施形態の変形例の場合と同様に、固定部５２としての切り欠き５３の代わりに、図２４のように、固定板５１に前記熱電対２１の２本の金属線２６を通す２つの孔５４を備えてもよい。また、図２５のように、固定板５１に前記熱電対２１の測温接点２７を通す１つの孔５５を備えてもよい。また、図２６，２７のように、固定板５１に、前記熱電対２１の測温接点２７を引っ掛けるフック５６を備えてもよい。また、図２８，２９のように、固定板５１に、前記熱電対２１の測温接点２７を引っ掛けるフランジ５７を備えてもよい。
【００６７】
これにより、前記第１実施形態の各変形例と同様の作用、効果を奏することができる。
【００６８】
また、前記第１実施形態の場合と同様に、前記各変形例を適宜組み合わせても良い。
【００６９】
［他の変形例］
前記各実施形態では、支持部材２２として、板状部材２３や丸棒部３６や管棒材４８を用いたが、図３０に示すように、半円棒材５９を用いても良い。この場合、前記熱電対２１の測温接点２７は、円弧面５９Ａに取り付けられたり、平坦面５９Ｂに取り付けられたりする。
【００７０】
図５の切り欠き２５を用いる場合は、測温接点２７は、円弧面５９Ａに取り付けられる。金属線２６は、測温接点２７と反対側の平坦面５９Ｂに通される。図６の２つの孔３０を用いる場合は、測温接点２７は、円弧面５９Ａに取り付けられる。金属線２６は、測温接点２７と反対側の平坦面５９Ｂに通される。図７の１つの孔３１を用いる場合は、測温接点２７は、半円棒材５９に設けられる孔内に取り付けられる。図８，９のフック３２の場合は平坦面５９Ｂに設けられる。図１０，１１のフランジ３３の場合は平坦面５９Ｂに設けられる。
【００７１】
これらの場合も、前記各実施形態及び各変形例と同様の作用、効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる多点温度センサの支持部材を示す斜視図である。
【図２】従来の多点温度センサを示す側面図である。
【図３】従来の多点温度センサを示す側面図である。
【図４】本発明の第１実施形態にかかる多点温度センサの支持部材を保護管に挿入した状態を示す断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態にかかる多点温度センサの板状部材の固定部を示す要部拡大図である。
【図６】本発明の第１実施形態の第１変形例を示す要部拡大図である。
【図７】本発明の第１実施形態の第２変形例を示す要部拡大図である。
【図８】本発明の第１実施形態の第３変形例を示す要部拡大図である。
【図９】本発明の第１実施形態の第３変形例を示す要部拡大図である。
【図１０】本発明の第１実施形態の第４変形例を示す要部拡大図である。
【図１１】本発明の第１実施形態の第４変形例を示す要部拡大図である。
【図１２】本発明の第２実施形態にかかる多点温度センサの支持部材を示す斜視図である。
【図１３】本発明の第２実施形態にかかる多点温度センサの支持部材を保護管に挿入した状態を示す断面図である。
【図１４】本発明の第２実施形態にかかる多点温度センサの丸棒材の固定部を示す要部拡大図である。
【図１５】本発明の第２実施形態の第１変形例を示す要部拡大図である。
【図１６】本発明の第２実施形態の第２変形例を示す要部拡大図である。
【図１７】本発明の第２実施形態の第３変形例を示す要部拡大図である。
【図１８】本発明の第２実施形態の第３変形例を示す要部拡大図である。
【図１９】本発明の第２実施形態の第４変形例を示す要部拡大図である。
【図２０】本発明の第２実施形態の第４変形例を示す要部拡大図である。
【図２１】本発明の第３実施形態にかかる多点温度センサの支持部材を示す斜視図である。
【図２２】本発明の第３実施形態にかかる多点温度センサの支持部材を保護管に挿入した状態を示す断面図である。
【図２３】本発明の第３実施形態にかかる多点温度センサの丸棒材の固定部を示す要部拡大図である。
【図２４】本発明の第３実施形態の第１変形例を示す要部拡大図である。
【図２５】本発明の第３実施形態の第２変形例を示す要部拡大図である。
【図２６】本発明の第３実施形態の第３変形例を示す要部拡大図である。
【図２７】本発明の第３実施形態の第３変形例を示す要部拡大図である。
【図２８】本発明の第３実施形態の第４変形例を示す要部拡大図である。
【図２９】本発明の第３実施形態の第４変形例を示す要部拡大図である。
【図３０】本発明の他の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７３】
２、１２：保護管、２１：熱電対、２２：支持部材、２３：板状部材、２４：固定部、２５：切り欠き、２６：金属線、２７：測温接点、３０：孔、３１：孔、３２：フック、３３：フランジ、３５：丸棒材、３６：丸棒部、３７：センター支持部、３８：固定部、３９：切り欠き、４０：紐、４２：孔、４３：孔、４４：フック、４５：フランジ、４８：管棒材、４９：固定部、５０：切り欠き、５１：固定板、５２：固定部、５３：切り欠き、５４：孔、５５：孔、５６：フック、５７：フランジ、５９：半円棒材、５９Ａ：円弧面、５９Ｂ：平坦面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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