(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上に遮光部と透光部と半透光部とを有するグレートーンマスクであって、
前記遮光部は、
透明基板上に形成されるＣｒ膜を有し、
前記半透光部は、
前記Ｃｒ膜にＣｒエッチング液を用いるエッチングを施すことにより前記透明基板上に形成される開口と、前記開口に形成される半透光膜とを有し、
前記半透光膜は、
５〜１５原子％のＡｌを含み、残部がＮｉからなる膜であって、
１０〜４０容量％の窒素ガスを含み、残部がアルゴンガスからなる混合ガスを用いた反応性スパッタリング法を利用して形成されて、波長３６５ｎｍ〜４３６ｎｍの範囲における透過率の最大値と最小値の差が１．０％以下、又は、波長３００ｎｍ〜５００ｎｍの範囲における透過率の最大値と最小値の差が４．０％以下になる窒化物であることを特徴とするグレートーンマスク。
【請求項２】
請求項１に記載のグレートーンマスクであって、
前記透光部は、
複数の前記開口の中から選択される前記開口であって、
前記選択される開口の前記半透光膜を、ＩＴＯエッチング液、希塩酸溶液、希硝酸溶液からなる群から選択される液を用いてエッチングすることにより形成され、
前記半透光部は、
前記選択される開口の前記半透光膜がエッチングされるときに、ネガレジストからなるレジストパターンより覆われて、前記レジストパターンを除去することにより形成される前記半透光膜を有することを特徴とするグレートーンマスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グレートーンマスクに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄膜トランジスタ液晶表示装置（TFT-LCD:Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display ）の製造工程においては、コストダウンを図るために、グレートーンマスクが用いられる。グレートーンマスクは、１枚のマスクを用いても多階調の露光量を表現できる。そのため、グレートーンマスクを用いる製造工程は、中間階調を表現できないフォトマスクを用いる場合に比べて、マスクの数量、すなわちフォトリソ工程の工程数を少なくできる。グレートーンマスクは、上記TFT-LCD の他に、フラットパネルディスプレイの製造工程においても多用されている。
【０００３】
グレートーンマスクは、光を遮光する遮光部と、光を透過する開口部と、光を半透過する半透光部とを有する。グレートーンマスクから得られる露光量が二種類である場合、開口部は、１００％の露光量を与えることにより露光部分を形成し、遮光部は、０％の露光量を与えることにより未露光部分を形成する。そして、半透光部は、０％と１００％との間の中間の露光量を与えることにより中間露光部分を形成する。半透光部の露光量は、半透光膜の透過率により決定されるものであり、ＴＦＴ基板製造工程に求められる条件に応じて５〜７０％の範囲で選択される。なお、本発明における透過率とは、光の透過率である。
【０００４】
グレートーンマスクは、半透光部の構造に応じて，スリットマスクとハーフトーンマスクに分類される。図１０（ａ）、（ｂ）は、それぞれスリットマスクを示す平面図及び断面図である。
【０００５】
図１０において、スリットマスク４０の半透光部４１は、基板Ｓの上に解像限界のピッチからなるスリットパターン４２を有し、このスリットパターン４２により中間の露光量を得る。しかし、スリットパターン４２は、フォトマスクのサイズが１ｍ×１ｍ以上へ大型化するに従って描画データを大幅に増大させるため、スリットマスク４０を用いる製造工程において、描画時間の長期化と生産コストの増大を招いてしまう。この結果、グレートーンマスクを用いる製造工程においては、その描画データを少なくする技術が望まれている。
【０００６】
ハーフトーンマスクは、半透光部の構造に応じて二種類に分類される。図１１（ａ）、（ｂ）及び図１２（ａ）、（ｂ）は、それぞれ異なるタイプのハーフトーンマスクを示す平面図及び断面図である。
【０００７】
図１１において、ハーフトーンマスク５０は、基板Ｓの上に半透光膜５０Ｔを有し、半透光膜５０Ｔの上に遮光膜５０Ｕを有する。ハーフトーンマスク５０の遮光部５１は、これら半透光膜５０Ｔと遮光膜５０Ｕとからなる二層構造で構成され、半透光部５２は、半透光膜５０Ｔの単層構造により構成される。ハーフトーンマスク５０の製造工程では、半透光膜５０Ｔと遮光膜５０Ｕとの間のエッチング性の差を利用するハーフエッチングにより、中間の膜厚からなる半透光部５２を得る（例えば、非特許文献１）。
【０００８】
非特許文献１は、上記構成の半透光膜５０ＴとしてＮｉ系膜を用い、この半透光膜５０Ｔのエッチング技術としてＩＴＯ（Indium Tin Oxide ）エッチング液（ＨＣｌ＋ＦｅＣ
ｌ３系、又はＨＮＯ３＋ＦｅＣｌ３系）、ＦｅＣｌ３溶液、又は希塩酸溶液を用いるウェットエッチングを提案する。また、非特許文献１は、遮光膜５０ＵとしてＣｒ膜を用い、この遮光膜５０Ｕのエッチング技術としてＣｒエッチング液（硝酸第二セリウムアンモニウムを含む溶液）を用いるウェットエッチングを提案する。非特許文献１は、これら遮光膜（Ｃｒ膜）と半透光膜（Ｎｉ系膜）とからなる二層膜に対して、上記エッチング液を用いた選択エッチングを施すことにより中間の膜厚を得る。また、この他に、半透光膜と遮光膜との間に組成の異なるエッチストッパ層を設け、半透光膜のエッチングをエッチストッパ層でストップさせてストッパー層を除去することにより半透光部を得る構造も提案されている。
【０００９】
一方、図１２において、ハーフトーンマスク６０は、基板Ｓの上に遮光膜６０Ｕを有し、遮光膜６０Ｕの上に半透光膜６０Ｔを有する。ハーフトーンマスク６０の遮光部６１は、これら半透光膜６０Ｔと遮光膜６０Ｕとからなる二層構造で構成されて、半透光部６２は、半透光膜６０Ｔの単層構造により構成される（例えば、特許文献１）。
【００１０】
特許文献１は、上記構成の遮光膜６０ＵとしてＣｒ膜を用い、半透光膜６０Ｔとして酸化Ｃｒ膜（ＣｒＯｘ膜）を提案する。特許文献１は、Ｃｒ膜フォトマスクパターンをフォトリソ工程で形成した後、マスク開口部の一部に酸化Ｃｒ膜（ＣｒＯｘ膜）等の半透光膜６０Ｔを成膜することにより半透光部６２を得る。これによって、特許文献１は、大型Ｃｒフォトマスクの製造工程や製造設備を利用することができる。半透光膜の材質としては、ＣｒＯｘ膜の他に、ＭｏＳｉ膜（モリブデンシリサイド膜）、金属Ｔａ膜、金属Ａｌ膜、金属Ｓｉ膜、ＳｉＯｘ（酸化ケイ素膜）、ＳｉＯｘＮｙ（酸化窒化珪素膜）を用いることができる。
【非特許文献１】ＷＯ２００７／０１８０８６６
【特許文献１】特開２００６−１８００１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献１において遮光膜と半透光膜とをＣｒ系材料で構成する場合、半透光膜のエッチング工程において、遮光膜と半透光膜との間のエッチングの選択性が得難くなるため、グレートーンマスクの加工上の制約が多くなる。また、透過率の特性不良や修復不能な欠陥がある場合、グレートーンマスクの製造工程においては、以降の工程を進め難くなり、最終的には製造工程を再び最初の工程から進めなければならなくなる。この結果、遮光膜と半透光膜とをＣｒ系材料で構成する技術は、製造コストの大幅な増大を招いてしまう。
【００１２】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、加工性の向上と製造コストの低下とを可能にしたグレートーンマスクを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
大型Ｃｒフォトマスクの製造工程では、マスクの洗浄処理液として、一般的に、５０〜１２０℃の熱濃硫酸処理と、無機アルカリ処理（例えば、５％水酸化カリウム水溶液：４０℃）のいずれか一方が用いられる。そのため、大型Ｃｒフォトマスクの製造工程では、膜材料に耐熱濃硫酸性と耐アルカリ性の少なくともいずれか一方の耐性が求められる。また、レジストプロセスにおける熱処理やグレートーンマスクの使用時における露光処理においては、プロセス耐性の指標として耐熱性が求められる。
【００１４】
Ｃｒ膜ブランクスを用いるグレートーンマスクにおいて、上記大型Ｃｒフォトマスクの製造工程を利用するためには、半透光膜に対して、これら耐熱濃硫酸性と耐アルカリ性の
少なくともいずれか一方の耐性と耐熱性とが求められる。純Ｎｉ金属膜は、耐熱性（耐酸化性）、耐アルカリ性、及びＣｒ膜ブランクスとの間のエッチングの選択性に優れている一方、透明基板との間の密着性が乏しいため、上記半透光膜の構成材料として用いると、フォトマスクのパターンを透明基板から剥離し易くしてしまう。
【００１５】
本発明者らは、Ｎｉへの添加元素として種々の添加元素を検討した結果、添加元素としてＡｌとＣｒのいずれか一方を用いることにより、半透光膜と透明基板との間の密着性を向上でき、かつ、添加元素によるＮｉの耐熱性（耐酸化性）、耐アルカリ性、エッチングの選択性が損なわれないことを見出した。しかも、本発明者らは、半透光膜をＮｉ−Ａｌ、Ｎｉ−Ｃｒの窒化物で構成することにより、半透光膜とＣｒ膜ブランクスとの間のエッチングの選択性、すなわち各種エッチング液に対するエッチング速度の差を、さらに向上できることを見出した。
【００３６】
請求項１に記載の発明は、透明基板上に遮光部と透光部と半透光部とを有するグレートーンマスクであって、前記遮光部は、透明基板上に形成されるＣｒ膜を有し、前記半透光部は、前記Ｃｒ膜にＣｒエッチング液を用いるエッチングを施すことにより前記透明基板上に形成される開口と、前記開口に形成される半透光膜とを有し、前記半透光膜は、５〜１５原子％のＡｌを含み、残部がＮｉからなる膜であって、１０〜４０容量％の窒素ガスを含み、残部がアルゴンガスからなる混合ガスを用いた反応性スパッタリング法を利用して形成されて、波長３６５ｎｍ〜４３６ｎｍの範囲における透過率の最大値と最小値の差が１．０％以下、又は、波長３００ｎｍ〜５００ｎｍの範囲における透過率の最大値と最小値の差が４．０％以下になる窒化物であることを要旨とする。
【００３７】
請求項１に記載の発明によれば、半透光膜は、波長３６５ｎｍ〜４３６ｎｍの範囲にける透過率の最大値と最小値の差が１．０％以下、又は波長３００ｎｍ〜５００ｎｍの範囲における透過率の最大値と最小値の差が４．０％以下になる。したがって、分光透過率曲線が平滑であって、ｉ線（波長３６５ｎｍ）、ｈ線（波長４０５ｎｍ）、ｇ線（波長４３６ｎｍ）のそれぞれで透過率の値が略同じ、すなわち透過率に関して波長依存性を有しなしない半透光膜を形成することができる。この結果、請求項１に記載の発明は、上記各域の露光プロセスにそれぞれ適用することができる。しかも、半透光膜がＮｉ−Ａｌ、Ｎｉ−Ｃｒの窒化物により構成されるため、請求項１に記載の発明は、半透光膜とＣｒ膜ブランクスとの間のエッチングの選択性を向上させることができる。
【００３８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のグレートーンマスクであって、前記透光部は、複数の前記開口の中から選択される前記開口であって、前記選択される開口の前記半透光膜を、ＩＴＯエッチング液、希塩酸溶液、希硝酸溶液からなる群から選択される液を用いてエッチングすることにより形成され、前記半透光部は、前記選択される開口の前記半透光膜がエッチングされるときに、ネガレジストからなるレジストパターンより覆われて、前記レジストパターンを除去することにより形成される前記半透光膜を有することを要旨とする。
【００３９】
請求項２に記載の発明によれば、半透光部の領域が小さい場合、レジストパターンの領域が小さくなるため、ネガレジストを用いるフォトリソ工程の工程時間が短くなる。したがって、請求項２に記載の発明は、グレートーンマスクの生産性を向上させることができる。また、請求項２に記載の発明は、ネガレジストのパターン領域を最小にすることができる、すなわち半透光膜の領域を最小にすることができる。そのため、グレートーンマスクに対して、Ｃｒフォトマスクが本来有している低反射特性（Ｃｒフォトマスクの低反射
特性と同じ反射率、例えば波長４３６ｎｍの光の反射率５．０〜１５．０％、波長６００ｎｍの光の反射率１５．０〜２５．０％）を十分に与えることができる。
【発明の効果】
【００４０】
上記したように、本発明によれば、加工性の向上と低コストを可能にしたグレートーンマスクを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
（第一の製造方法）
図１（ａ）〜（ｉ）は、それぞれグレートーンマスクの製造工程を示す工程図である。図１（ａ）は、大型フォトマスク用のＣｒ膜ブランクス１０を示す。Ｃｒ膜ブランクス１０は、基板Ｓと遮光膜１１とを有する。基板Ｓとしては、例えばガラス基板を用いることができ、遮光膜１１としては、基板Ｓの表面上に直接的もしくは間接的に形成されるＣｒ膜を用いることができる。なお、本発明における遮光膜１１は、反射防止膜を含む構成であっても良い。図１（ａ）において、遮光膜１１は、その表面に塗布されたポジレジストからなるレジスト膜１２を有する。
【００４２】
図１（ｂ）は、レジスト膜１２のフォトリソ工程を示す工程図である。Ｃｒ膜ブランクス１０は、レジスト膜１２に応じた露光光による露光、現像、及びプリベークを経ることにより、遮光膜１１の上にレジストパターン１２Ｐを形成する。
【００４３】
図１（ｃ）は、遮光膜１１のエッチング工程を示す工程図である。レジストパターン１２Ｐを有するＣｒ膜ブランクス１０は、レジストパターン１２ＰをマスクとしてＣｒエッチング液を用いるウェットエッチングを経ることにより、レジストパターン１２Ｐから露出する遮光膜１１を除去する。これにより、Ｃｒ膜ブランクス１０は、遮光膜１１によって囲まれる第一開口１１ａ及び第二開口１１ｂを形成する。なお、本発明におけるＣｒエッチング液とは、硝酸第二セリウムアンモニウムを含む溶液であって、調整された市販のものを用いることができる。
【００４４】
図１（ｄ）は、レジストパターン１２Ｐの除去工程を示す工程図である。第一開口１１ａ及び第二開口１１ｂを有するＣｒ膜ブランクス１０は、レジスト膜１２に応じた洗浄液（アルカリ液）を用いる洗浄処理を経ることにより、遮光膜１１上にあるレジストパターン１２Ｐを除去する。これにより、Ｃｒ膜ブランクス１０は、第一開口１１ａ及び第二開口１１ｂを有するＣｒフォトマスク１３を形成する。
【００４５】
図１（ｅ）は、半透光膜１４の成膜工程を示す工程図である。Ｃｒフォトマスク１３は、スパッタリング法あるいは反応性スパッタリング法を用いた成膜処理を経ることにより、基板Ｓの全体にわたり半透光膜１４を積層する。これにより、Ｃｒフォトマスク１３は、半透光膜１４からなる半透光部１５を第一開口１１ａに形成する。半透光膜１４は、半透光部１５において中間の露光量を得るためのものであり、半透光膜１４から得られる露光量は、半透光膜１４の透過率により決定される。半透光膜１４の透過率は、自身の膜厚により調整され、ＴＦＴ−ＬＣＤ製造工程に求められる条件に応じて５〜７０％の範囲で選択される。
【００４６】
半透光膜１４としては、Ａｌを添加元素とするＮｉ合金（以下単に、Ｎｉ−Ａｌという。）、Ｃｒを添加元素とするＮｉ合金（以下単に、Ｎｉ−Ｃｒという。）、及びこれらの酸化物、酸窒化物、窒化物からなる群から選択される少なくともいずれか一種を用いる。すなわち、半透光膜１４としては、Ｎｉを主成分とする材料であって、かつ、添加物とし
てＡｌ又はＣｒを含む材料、もしくはこれらの酸化物、酸窒化物、窒化物を用いる。なお、Ｎｉを主成分とする材料とは、添加物としてのＡｌもしくはＣｒを除く残部が、実質的にＮｉ、もしくはＮｉの酸化物、酸窒化物、窒化物であって、不純物としては、成膜に起因する元素（例えば、スパッタガスやターゲット中の不純物等）を含んでも良い。
【００４７】
半透光膜１４の成膜方法としては、スパッタリング法や反応性スパッタリング法を用いることができる。反応性スパッタリング法においては、例えば１０〜４０容量％の窒素ガスを含み、残部がアルゴンガスからなる混合ガスを用いて、波長３６５ｎｍ〜４３６ｎｍの範囲における透過率の最大値と最小値の差が１．０％以下、又は、波長３００ｎｍ〜５００ｎｍの範囲における透過率の最大値と最小値の差が４．０％以下になる窒化物を成膜することができる。これによれば、ｉ線（波長３６５ｎｍ）、ｈ線（波長４０５ｎｍ）、ｇ線（波長４３６ｎｍ）のそれぞれで透過率の値が略同じ、すなわち透過率に関して波長依存性を有しない半透光膜１４を形成することができる。
【００４８】
半透光膜１４の成膜工程では、半透光部１５の透過率に関する検査が実行される。この際、半透光部１５に特性不良が認められる場合、あるいは半透光部１５にピンホールやパーティクル等の修正不能な欠陥が認められる場合、半透光膜１４は、ＩＴＯエッチング液、ＦｅＣｌ３溶液、希塩酸溶液、希硝酸溶液からなる群から選択される少なくとも１つの液を用いて除去される。半透光膜１４は、これらのエッチング液の下において遮光膜１１との間に十分な選択性を有するため、Ｃｒフォトマスク１３から選択的に除去される。Ｃｒフォトマスク１３は、半透光膜１４を除去した後に所定の洗浄処理を経て、再度、半透光膜１４の成膜処理を経ることにより、再び半透光部１５を形成する。これにより、Ｃｒフォトマスク１３は、半透光膜１４の成膜工程を再び実行するだけで再生することができる。半透光膜１４の成膜工程と半透光膜１４の除去工程とは、良好な半透光部１５が得られるまで何度も繰り返すことができる。これにより、Ｃｒフォトマスク１３の利用効率が向上される。なお、本発明におけるＩＴＯエッチング液とは、ＨＣｌ＋ＦｅＣｌ３系、又はＨＮＯ３＋ＦｅＣｌ３系の溶液であって、調整された市販のものを用いることができる。
【００４９】
図１（ｆ）は、レジストの塗布工程を示す工程図である。半透光膜１４の成膜工程を経たＣｒフォトマスク１３は、半透光膜１４の全体にわたって再度ポジレジストを塗布されることによりレジスト膜１６を形成する。
【００５０】
図１（ｇ）は、レジスト膜１６のフォトリソ工程を示す工程図である。レジスト膜１６を有するＣｒフォトマスク１３は、レジスト膜１６に応じた露光光による露光、現像、及びプリベークを経ることにより、半透光膜１４の上であって、第二開口１１ｂ上を除いた領域に、レジストパターン１６Ｐを形成する。
【００５１】
図１（ｈ）は、半透光膜１４のエッチング工程を示す工程図である。レジスト膜１６のフォトリソ工程を経たＣｒフォトマスク１３は、レジストパターン１６Ｐをマスクとして、ＩＴＯエッチング液、ＦｅＣｌ３溶液、希塩酸溶液、希硝酸溶液からなる群から選択される少なくとも一つの液を用いるウェットエッチング処理を経ることにより、レジストパターン１６Ｐから露出する半透光膜１４を除去する。これにより、Ｃｒフォトマスク１３は、半透光膜１４の除去された透光部１７を第二開口１１ｂに形成する。なお、半透光膜１４のエッチング工程においては、半透光膜１４としてＮｉ−Ｃｒを用いる場合、遮光膜１１のエッチング工程と同じく、Ｃｒエッチング液を用いて半透光膜１４をエッチングしても良い。
【００５２】
図１（ｉ）は、レジストパターン１６Ｐの除去工程を示す工程図である。半透光膜１４のエッチング工程を経たＣｒフォトマスク１３は、レジストパターン１６Ｐに応じた洗浄
液（アルカリ液）を用いる洗浄処理を経ることにより、半透光膜１４上のレジストパターン１６Ｐを除去する。これにより、Ｃｒフォトマスク１３は、半透光膜１４からなる半透光部１５を第一開口１１ａに形成し、基板Ｓのみからなる透光部１７を第二開口１１ｂに形成する。そして、Ｃｒフォトマスク１３は、半透光部１５と透光部１７とを除く領域に、遮光膜１１と半透光膜１４とからなる遮光部１８を形成し、これら半透光部１５、透光部１７、及び遮光部１８からなるグレートーンマスク２０を形成する。
【００５３】
なお、上記レジスト膜１２のフォトリソ工程、遮光膜１１のエッチング工程、レジストパターン１２Ｐの除去工程により、第一工程が構成される。また、半透光膜１４の成膜工程、レジストの塗布工程、レジスト膜１６のフォトリソ工程、半透光膜１４のエッチング工程、レジストパターン１６Ｐの除去工程により、第二工程が構成される。
【００５４】
（第二の製造方法）
以下、本発明を具体化した第二実施形態を図面に従って説明する。第二実施形態は、第一実施形態における第二開口１１ｂを省略したものであるため、以下においては、この変更点について詳細に説明する。図２（ａ）〜（ｉ）は、それぞれグレートーンマスクの製造工程を示す工程図である。
【００５５】
図２（ａ）〜（ｆ）の各工程は、それぞれＣｒフォトマスク１３のレイアウトが異なる以外は、図１（ａ）〜（ｆ）の各工程と同じである。すなわち、図２（ａ）〜（ｆ）の各工程は、第一実施形態における第二開口１１ｂを形成しない点において図１（ａ）〜（ｆ）の各工程と異なり、その他の点においては、図１（ａ）〜（ｆ）の各工程と同じ構成である。そのため、図２（ｅ）における半透光膜１４の成膜工程においても、必要に応じてＣｒフォトマスク１３を再生することができる。
【００５６】
図２（ｇ）は、レジスト膜１６のフォトリソ工程を示す工程図である。半透光膜１４の上のレジスト膜１６は、レジスト膜１６に応じた露光光による露光、現像、及びプリベークを経ることにより、半透光膜１４の上であって、第一開口１１ａを含む領域にレジストパターン１６Ｐを形成する。
【００５７】
図２（ｈ）は、半透光膜１４及び遮光膜１１のエッチング工程を示す工程図である。レジストパターン１６Ｐを有するＣｒフォトマスク１３は、レジストパターン１６ＰをマスクとしてＩＴＯエッチング液、ＦｅＣｌ３溶液、希塩酸溶液、希硝酸溶液からなる群から選択される少なくとも一つの液を用いるウェットエッチング処理を経ることにより、レジストパターン１６Ｐから露出する半透光膜１４を除去する。次いで、Ｃｒフォトマスク１３は、レジストパターン１６ＰをマスクとしてＣｒエッチング液を用いるウェットエッチング処理を経ることにより、レジストパターン１６Ｐから露出する遮光膜１１を除去する。これにより、Ｃｒフォトマスク１３は、レジストパターン１６Ｐから露出する領域に半透光膜１４及び遮光膜１１の除去された透光部１７を形成する。なお、半透光膜１４及び遮光膜１１のエッチング工程において、半透光膜１４としてＮｉ−Ｃｒを用いる場合は、Ｃｒエッチング液のみを用いて半透光膜１４と遮光膜１１とを一括してエッチングしても良い。
【００５８】
図２（ｉ）は、レジストパターン１６Ｐの除去工程を示す工程図である。半透光膜１４及び遮光膜１１のエッチング工程を経たＣｒフォトマスク１３は、レジストパターン１６Ｐに応じた洗浄液（アルカリ液）を用いる洗浄処理を経ることにより、半透光膜１４上にあるレジストパターン１６Ｐを除去する。これにより、Ｃｒフォトマスク１３は、半透光膜１４からなる半透光部１５を第一開口１１ａに形成し、透光部１７を基板Ｓの上に形成する。そして、Ｃｒフォトマスク１３は、半透光部１５と透光部１７とを除く領域に遮光膜１１と半透光膜１４とからなる遮光部１８を形成し、これら半透光部１５、透光部１７
、及び遮光部１８からなるグレートーンマスク２０を形成する。
【００５９】
（第三の製造方法）
以下、本発明を具体化した第三実施形態を図面に従って説明する。第三実施形態は、第一実施形態におけるレジスト膜１６をネガレジストに変更したものであるため、以下においては、この変更点について詳細に説明する。図３（ａ）〜（ｉ）は、それぞれグレートーンマスクの製造工程を示す工程図である。
【００６０】
図３（ａ）〜（ｅ）の各工程は、それぞれＣｒフォトマスク１３のレイアウトが異なる以外は、図１（ａ）〜（ｅ）の各工程と同じである。そのため、図２（ｅ）における半透光膜１４の成膜工程においても、必要に応じてＣｒフォトマスク１３を再生することができる。
【００６１】
図３（ｆ）は、レジストの塗布工程を示す工程図である。Ｃｒフォトマスク１３は、半透光膜１４の全体にわたってネガレジストを塗布されることにより、レジスト膜１６を形成する。
【００６２】
図３（ｇ）は、レジスト膜１６のフォトリソ工程を示す工程図である。レジスト膜１６を有するＣｒフォトマスク１３は、レジスト膜１６に応じた露光光による露光、現像、及びプリベークを経ることにより、半透光膜１４の上であって第一開口１１ａ上の領域に、レジストパターン１６Ｐを形成する。
【００６３】
図３（ｈ）は、半透光膜１４のエッチング工程を示す工程図である。レジストパターン１６Ｐを有するＣｒフォトマスク１３は、レジストパターン１６ＰをマスクとしてＩＴＯエッチング液、ＦｅＣｌ３溶液、希塩酸溶液、希硝酸溶液からなる群から選択される少なくとも一つの液を用いるウェットエッチング処理を経ることにより、レジストパターン１６Ｐから露出する半透光膜１４を除去する。これにより、Ｃｒフォトマスク１３は、半透光膜１４の除去された透光部１７を第二開口１１ｂに形成する。また、Ｃｒフォトマスク１３は、遮光膜１１上の殆どの領域から半透光膜１４を選択的に除去することにより、遮光膜１１のみからなり低反射特性を発現する遮光部１８を形成する。
【００６４】
図３（ｉ）は、レジストパターン１６Ｐの除去工程を示す工程図である。Ｃｒフォトマスク１３は、レジストパターン１６Ｐに応じた洗浄液（アルカリ液）を用いる洗浄処理を経ることにより、半透光膜１４の表面上にあるレジストパターン１６Ｐを除去する。これにより、Ｃｒフォトマスク１３は、半透光膜１４からなる半透光部１５を第一開口１１ａに形成する。そして、半透光部１５と透光部１７とを除く領域には、遮光膜１１のみからなる遮光部１８が形成され、Ｃｒフォトマスク１３は、これら半透光部１５、透光部１７、及び遮光部１８からなるグレートーンマスク２０を形成する。
【００６５】
（実施例１）
基板Ｓとして、厚さが５．０ｍｍの石英基板、又は厚さが４．８ｍｍの青板ガラスを用いた。半透光膜１４の成膜条件として、スパッタリング法を用い、真空チャンバ内に設けられる石英ヒーターを用いることにより、成膜中の基板Ｓを１５０〜２００℃に加熱した。また、スパッタガスとして５０ｓｃｃｍのＡｒガスを用い、成膜時の圧力を４．０×１０−１Ｐａに調整した。半透光膜１４の膜厚は、スパッタリングターゲットに投入する電力値により調整した。すなわち、スパッタリングターゲットに約０．８ｋＷ（パワー密度０．３Ｗ／ｃｍ２）を投入することにより、半透光膜１４の透過率が３０〜５０％になる膜厚、すなわち５〜２０ｎｍの半透光膜１４を得た。
【００６６】
この際、以下の組成からなるスパッタリングターゲットを用いて実施例１の半透光膜１
４を得た。なお、各スパッタリングターゲットを用いて得た半透光膜１４の組成比は、それぞれ対応するスパッタリングターゲットの組成比と実質的に同じ組成比である。
・Ｎｉ９０原子％−Ａｌ１０原子％（厚さ：４ｍｍ）
・Ｎｉ８５原子％−Ａｌ１５原子％（厚さ：４ｍｍ）
・Ｎｉ９２原子％−Ｃｒ８原子％（厚さ：６ｍｍ）
・Ｎｉ７８原子％−Ｃｒ２２原子％（厚さ：６ｍｍ）
また、以下の組成からなるスパッタリングターゲットを用いて比較例の半透光膜１４を得た。なお、各スパッタリングターゲットを用いて得た半透光膜１４の組成比は、それぞれ対応するスパッタリングターゲットの組成比と実質的に同じ組成比である。
・Ｎｉ９１原子％−Ｔｉ９原子％（厚さ：４ｍｍ）
・Ｎｉ８２原子％−Ｔｉ１８原子％（厚さ：４ｍｍ）
・Ｎｉ９１原子％−Ｚｒ９原子％（厚さ：４ｍｍ）
・Ｎｉ８４原子％−Ｔａ７原子％−Ｔｉ９原子％（厚さ：４ｍｍ）
・Ｎｉ６３−Ｍｏ２２原子％−Ｔｉ１５原子％（厚さ：６ｍｍ）
・Ｎｉ（厚さ３ｍｍ）
・Ｃｒ（厚さ６ｍｍ）
そして、各半透光膜１４に関して、それぞれ透過率の膜厚依存性、耐アルカリ性、耐熱性、エッチングレート、及び密着性を計測した。
【００６７】
図４は、「Ｎｉ９０原子％−Ａｌ１０原子％」から得た半透光膜１４の透過率に関する膜厚依存性を示す図であり、図５は、「Ｎｉ９２原子％−Ｃｒ８原子％」から得た半透光膜１４の透過率に関する膜厚依存性を示す図である。
【００６８】
図４及び図５に示すように、半透光膜１４の透過率は、自身の膜厚により一義的に規定されるため、膜厚を調整することにより制御できる。「Ｎｉ９０原子％−Ａｌ１０原子％」から得た半透光膜１４の場合、５ｎｍ〜４０ｎｍの膜厚範囲において、５〜５０％の透過率が得られる。また、「Ｎｉ９２原子％−Ｃｒ８原子％」からなる半透光膜１４の場合、５ｎｍ〜４０ｎｍの膜厚範囲において、５〜６０％の透過率が得られる。
【００６９】
図６及び表１は、それぞれ各実施例及び比較例の耐アルカリ性を示す図及び表である。また、図７及び表２は、それぞれ各実施例及び比較例の耐熱性を示す図及び表である。
耐アルカリ性の評価においては、各半透光膜１４にアルカリ処理を施し、該処理の前後における透過率の差分（透過率差ΔＴ）を指標にした。アルカリ処理としては、各半透光膜１４を３％−水酸化カリウム水溶液（４０℃）に３０分間浸漬する処理を用い、透過率としては、波長３６５ｎｍにおける透過率を計測した。
【００７０】
耐熱性の評価においては、各半透光膜１４に熱処理を施し、該処理の前後における透過率の差分（透過率差ΔＴ）を指標にした。熱処理としては、各半透光膜１４を２００℃の大気燃焼炉に投入して、３０分、６０分、１２０分の処理時間の下で熱処理を行い、透過率としては、波長３６５ｎｍにおける透過率を計測した。
【００７１】
図６及び表１に示すように、「Ｎｉ９０原子％−Ａｌ１０原子％」、「Ｎｉ８５原子％−Ａｌ１５原子％」、「Ｎｉ９０原子％−Ｃｒ１０原子％」及び「Ｎｉ９２原子％−Ｃｒ８原子％」から得た半透光膜１４は、それぞれ比較例の「Ｎｉ」及び「Ｃｒ」と同等の変化量ΔＴを示し、同等の耐アルカリ性を有する。一方、他の比較例は、「Ｎｉ」及び「Ｃｒ」よりも大幅に高い変化量ΔＴを示し、「Ｎｉ」及び「Ｃｒ」に比べて明らかに低い耐アルカリ性である。したがって、Ｎｉ−Ａｌ、又はＮｉ−Ｃｒからなる半透光膜１４では、Ｎｉの耐アルカリ性を損なわれないことが分かる。すなわち、Ｎｉ−Ａｌ、又はＮｉ−Ｃｒからなる半透光膜１４は、Ｃｒフォトマスクの洗浄工程に耐えうる耐アルカリ性を持っていることが分かる。
【００７２】
図７及び表２に示すように、「Ｎｉ９０原子％−Ａｌ１０原子％」、「Ｎｉ８５原子％−Ａｌ１５原子％」、「Ｎｉ９０原子％−Ｃｒ１０原子％」、及び「Ｎｉ９２原子％−Ｃｒ８原子％」から得た半透光膜１４は、それぞれ比較例の「Ｎｉ」及び「Ｃｒ」と同等の変化量ΔＴを示し、同等の耐熱性を有する。一方、他の比較例は、「Ｎｉ」及び「Ｃｒ」よりも大幅に高い変化量ΔＴを示し、「Ｎｉ」及び「Ｃｒ」に比べて明らかに低い耐熱性である。したがって、Ｎｉ−Ａｌ、又はＮｉ−Ｃｒからなる半透光膜１４は、Ｎｉの耐熱性を損なわないことが分かる。すなわち、Ｎｉ−Ａｌ、又はＮｉ−Ｃｒからなる半透光膜１４は、Ｃｒフォトマスクの各種工程（洗浄工程、塗布工程、除去工程等）に耐え得る耐熱性を持っていることが分かる。
【００７３】
Ｎｉ−Ａｌ、又はＮｉ−Ｃｒからなる半透光膜１４に関して上記性質が得られる理由は、添加元素であるＣｒがそれ自身耐アルカリ性に優れており、さらにＡｌ及びＣｒは膜表面上に、それらの酸化物からなる不動体層を形成し易いためである。すなわち、Ｎｉ−Ａｌ、又はＮｉ−Ｃｒからなる半透光膜１４は、純Ａｌや純Ｃｒと同様に表面上に不動体層を形成し、この結果、耐アルカリ性を得ることができ、かつ、内部に酸化が進まないため、耐熱性を損なうことが無い。
【００７４】
表３は、各実施例及び比較例のエッチングレートと密着性を示す表である。
エッチングレートの評価においては、エッチング液として、Ｃｒエッチング液（室温）、ＩＴＯエッチング液（室温）、４０％−ＦｅＣｌ３溶液（室温）、１８％−ＨＣｌ溶液（３０℃）、及び２３％−ＨＮＯ３溶液（３０℃）を用いた。
【００７５】
密着性の評価においては、基板Ｓの上に成膜される各半透光膜１４（ただし、膜厚は密着性の比較評価が適切に行われる１００ｎｍ以上とした）にそれぞれ接着テープを接着し、該接着テープを剥がす際に半透光膜１４が剥がれるか否かを検出した、すなわちテープ剥離テストを実施した。表３に示す○印は、密着性が良好であることを示し、×印は密着性が不良を示す。
【００７６】
表３において、実施例の各半透光膜１４は、比較例に比べて、ＩＴＯエッチング液、ＦｅＣｌ３溶液、希塩酸溶液、希硝酸溶液に対するエッチングレートを増大させる。したがって、Ｎｉ−Ａｌ又はＮｉ−Ｃｒからなる半透光膜１４は、Ｃｒフォトマスク１３に積層される状態において、その加工性を向上できる。また、Ｎｉ−Ａｌ、又はＮｉ−Ｃｒからなる半透光膜１４は、半透光膜１４の成膜工程において、Ｃｒフォトマスク１３を再生させることができる。
【００７７】
詳述すると、Ａｌを添加元素とするＮｉ合金からなる半透光膜１４は、いずれもＣｒエッチング液に不溶であるが、ＩＴＯエッチング液、４０％−ＦｅＣｌ３溶液、１８％−ＨＣｌ溶液、２３％−ＨＮＯ３溶液に可溶である。反対に、比較例としてのＣｒは、Ｃｒエッチング液に可溶であるが、ＩＴＯエッチング液、４０％−ＦｅＣｌ３溶液、１８％−ＨＣｌ溶液、２３％−ＨＮＯ３溶液に不溶である。したがって、Ａｌを添加元素とするＮｉ合金からなる半透光膜１４は、Ｃｒエッチング液、ＩＴＯエッチング液、４０％−ＦｅＣｌ３溶液、１８％−ＨＣｌ溶液、及び２３％−ＨＮＯ３溶液を用いることにより、遮光膜１１に対して高いエッチングの選択性を得られることが分かる。
【００７８】
また、Ｎｉ−Ｃｒからなる半透光膜１４は、いずれも４０％−ＦｅＣｌ３溶液、１８％−ＨＣｌ溶液、２３％−ＨＮＯ３溶液に不溶であるが、Ｃｒエッチング液、ＩＴＯエッチング液に可溶である。したがって、Ｎｉ−Ｃｒからなる半透光膜１４は、ＩＴＯエッチング液を用いることにより、遮光膜１１に対して高いエッチングの選択性を得られることが分かる。
【００７９】
なお、添加元素がＣｒの場合、Ｃｒ含有量が多くなるとエッチングの選択性が乏しくなるため、含有量の上限値は２５原子％以下であることが好ましい。
表３において、各半透光膜１４は、比較例としての「Ｎｉ」を除き、いずれも優れた密着性を有する。したがって、添加元素としてのＡｌとＣｒは、それぞれ半透光膜１４と基板Ｓとの間の密着性を向上できることが分かる。すなわち、Ｎｉ−Ａｌ、又はＮｉ−Ｃｒからなる半透光膜１４は、Ｃｒフォトマスクの各製造工程（洗浄工程、塗布工程、除去工程、成膜工程等）に耐え得る密着性を持っていることが分かる。
【００８０】
（実施例２）
基板Ｓとして、厚さが５．０ｍｍの石英基板を用いた。半透光膜１４の成膜条件として、反応性スパッタリング法を用い、真空チャンバ内に設けられる石英ヒーターを用いることにより、成膜中の基板Ｓを１５０〜２００℃に加熱した。また、スパッタガスとして、５０ｓｃｃｍのＡｒガスを用い、反応ガスとして２５ｓｃｃｍの窒素ガスを用いて、成膜時の圧力を５．０×１０−１Ｐａに調整した。半透光膜１４の膜厚は、スパッタリングターゲットに投入する電力値により調整した。すなわち、スパッタリングターゲットに約０．８ｋＷ（パワー密度０．３Ｗ／ｃｍ２）を投入することにより、半透光膜１４の透過率が３０〜５０％になる膜厚、すなわち５〜２０ｎｍの半透光膜１４を得た。
【００８１】
この際、スパッタリングターゲットとして「Ｎｉ９０原子％−Ａｌ１０原子％」からなるターゲットを用いることにより、実施例２の半透光膜１４を得た。
また、反応ガスとしての窒素ガスの流量を０ｓｃｃｍに変更し、その他の条件を同じくしてＮｉ−Ａｌからなる半透光膜１４を得た。また、スパッタリングターゲットを「Ｃｒ」からなるターゲットに変更し、反応ガスを酸素ガスに変更することにより、「酸化Ｃｒ（ＣｒＯｘ）」からなる比較例の半透光膜１４を得た。
【００８２】
そして、各半透光膜１４に関して、分光透過率、屈折率（ｎ）、消衰係数（ｋ）、耐アルカリ性、耐熱性、エッチングレート、及び密着性を計測した。分光透過率、屈折率（ｎ）、消衰係数（ｋ）の測定結果を図８、図９、及び表４に示す。耐アルカリ性に関する測定結果を、図６及び表１に示し、耐熱性に関する測定結果を図７及び表２に示す。また、エッチングレートと密着性に関する測定結果を表３に示す。
【００８３】
図８は、実施例２の半透光膜１４の分光透過率を示す図であり、図９は、Ｎｉ−Ａｌからなる半透光膜１４の分光透過率を示す図である。また、表４は、各半透光膜１４の波長３６５〜４３６ｎｍの範囲における透過率、透過率の均一性、光学定数、及び組成比を示す表である。なお、透過率の均一性は、波長３６５〜４３６ｎｍの範囲で透過率の最大値と最小値を用いて、均一性＝最大値−最小値に基づいて算出した。また、屈折率（ｎ）、消衰係数（ｋ）は、分光透過率、分光反射率、及び膜厚を測定し、ＲＴ法を用いて算出した。組成比は、オージェ分光分析装置を用いて計測した。
【００８４】
図８及び図９に示すように、実施例２の半透光膜１４は、Ｎｉ−Ａｌからなる半透光膜１４に比べて、波長３００〜５００ｎｍの範囲における透過率を均一にする。表４に示すように、実施例２の半透光膜１４は、波長３６５〜４３６ｎｍの範囲における透過率の均一性として０．６％を有し、Ｎｉ−Ａｌからなる半透光膜１４の１．３％に比べて、波長依存性の無い分光透過率を示す。詳述すると、実施例２の半透光膜１４の透過率は、波長４３５ｎｍで最小値３７．０％を示し、波長３６７ｎｍで最大値３７．６％を示すことが分かった。一方、Ｎｉ−Ａｌからなる半透光膜１４は、波長４３６ｎｍで最小値３７．６％を示し、波長３７８ｎｍで最大値３８．９％を示すことが分かった。
【００８５】
なお、実施例２の半透光膜１４は、波長３００〜５００ｎｍの範囲における透過率の均
一性としても１．０％を有し、Ｎｉ−Ａｌからなる半透光膜１４の４．４％に比べて、波長依存性の小さい分光透過率を示す。詳述すると、実施例２の半透光膜１４の透過率は、波長４３５ｎｍで最小値３７．０％を示し、波長３１０ｎｍで最大値３８．０％を示すことが分かった。一方、Ｎｉ−Ａｌからなる半透光膜１４は、波長３００ｎｍで最小値３４．５％を示し、波長３７８ｎｍで最大値３８．９％を示すことが分かった。
【００８６】
図６及び図７に示すように、実施例２の半透光膜１４は、実施例１の半透光膜１４と比べて、略同じ耐アルカリ性、及び耐熱性を有する。すなわち、実施例２の半透光膜１４は、Ｃｒフォトマスクの各種工程（洗浄工程、塗布工程、除去工程等）に耐え得る耐アルカリ性、及び耐熱性を有する。
【００８７】
表３に示すように、実施例２の半透光膜１４は、実施例１におけるＮｉ−Ａｌからなる半透光膜１４と比べて、略同じエッチングレートと密着性を有する。すなわち、実施例２の半透光膜１４は、Ｃｒフォトマスク１３に積層される状態において、その加工性を向上できる。また、実施例２の半透光膜１４は、半透光膜１４の成膜工程において、Ｃｒフォトマスク１３を再生させることができる。
【００８８】
なお、Ｎｉ−Ａｌの酸化物及び酸窒化物からなる半透光膜１４においても、実施例２と同様の耐アルカリ性、耐熱性、エッチングレート、及び密着性を得られることが認められた。また、Ｎｉ−Ｃｒの酸化物、酸窒化物、及び窒化物からなる半透光膜１４においても、実施例１におけるＮｉ−Ｃｒと同様の耐アルカリ性、耐熱性、エッチングレート、及び密着性を得られることが認められた。
【００８９】
（実施例３）
実施例２に示す成膜条件を用いて第三の製造方法に示す各工程を実行し、実施例３のグレートーンマスク２０を得た。この際、半透光膜１４のエッチング工程におけるエッチング液として、３０℃に加温した２３％−ＨＮＯ３溶液を用いた。そして、グレートーンマスク２０の半透光部１５における透過率、遮光部１８における反射率を、及び光学濃度を測定した。半透光部１５における透過率、遮光部１８における光学濃度の測定結果を表５に示す。
【００９０】
表５において、遮光部１８は、光学濃度（ＯＤ値）として３．７を有し、Ｃｒ膜単体の光学濃度（３．０〜４．０）と略同じ値を有することが分かる。遮光部１８は、反射率として１１．３（％：波長４３６ｎｍ）、２２．０（％：波長６００ｎｍ）を有し、低反射Ｃｒフォトマスクと同じ低反射特性（５．０〜１５．０（％：波長４３６ｎｍ）、１５．０〜２５．０（％：波長６００ｎｍ））を有することが分かる。
【００９１】
（実施例４）
第三の製造方法における半透光膜１４の成膜工程にて、Ｃｒフォトマスク１３を再生し、その他の点を実施例３と同じくして実施例４のグレートーンマスク２０を得た。この際、Ｃｒフォトマスク１３を再生するために必要とする半透光膜１４のエッチング液として、室温のＩＴＯエッチング液を用いた。そして、グレートーンマスク２０の半透光部１５における透過率、遮光部１８における反射率、及び光学濃度を測定した。実施例４のグレートーンマスク２０においても、実施例３と同様の光学特性を得られることが認められた。
【００９２】
【表１】
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【００９３】
【表２】
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【００９４】
【表３】
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【００９５】
【表４】
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【００９６】
【表５】
0005080198.tif 000006
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
【００９７】
（１）上記実施形態では、基板Ｓ上にＣｒ膜を形成したＣｒ膜ブランクス１０にＣｒエ
ッチング液を用いるエッチングを施すことにより基板Ｓ上に第一開口１１ａを形成する工程する。次いで、第一開口１１ａに、Ｎｉ−Ａｌ、Ｎｉ−Ｃｒ、及びこれらの酸化物、酸窒化物、窒化物からなる群から選択される少なくともいずれか一種からなる半透光膜１４を成膜することにより第一開口１１ａに半透光部１５を形成する。
【００９８】
したがって、半透光膜１４が、耐熱性、耐アルカリ性、及び基板Ｓとの間の密着性に優れた材料であり、かつ、Ｃｒ膜ブランクス１０との間のエッチングの選択性に優れた材料により構成される。よって、上記実施形態では、エッチング工程や洗浄工程に関して、大型Ｃｒフォトマスクの製造工程を利用することができる。そのため、上記実施形態では、グレートーンマスク２０の加工性を向上すると共に製造コストを低減することができる。
【００９９】
（２）上記実施形態では、反応性スパッタリング法を用いて半透光膜１４を成膜するため、半透光膜１４の中に含まれる酸素や窒素の濃度を広範囲にわたって調整することができる。
【０１００】
（３）上記実施形態では、半透光膜１４の成膜方法の１つとして、１０〜４０容量％の窒素ガスを含み、残部がアルゴンガスからなる混合ガスを用いた反応性スパッタリング法を利用する。そして、波長３６５ｎｍ〜４３６ｎｍの範囲における透過率の最大値と最小値の差が１．０％以下、又は、波長３００ｎｍ〜５００ｎｍの範囲における透過率の最大値と最小値の差が４．０％以下になる窒化物を半透光膜１４として利用する。
【０１０１】
したがって、分光透過率曲線が平滑であって、ｉ線（波長３６５ｎｍ）、ｈ線（波長４０５ｎｍ）、ｇ線（波長４３６ｎｍ）のそれぞれで透過率の値が略同じ、すなわち透過率に関して波長依存性を有しない半透光膜１４を形成することができる。この結果、グレートーンマスク２０は、露光プロセスの波長領域を拡張することができる。
【０１０２】
（４）上記実施形態では、半透光膜１４として、５〜１５原子％のＡｌを含み、残部がＮｉからなる膜、あるいは、５〜２５原子％のＣｒを含み、残部がＮｉからなる膜を利用する。したがって、グレートーンマスク２０では、半透光膜１４と基板Ｓとの間の密着性が十分に得られる。また、半透光膜１４の中に含まれるＡｌあるいはＣｒの含有量が規定されるため、過剰なＡｌあるいはＣｒの添加を抑えることができ、半透光膜１４の機械的な強度や加工性の低下を抑制させることができる。
【０１０３】
（５）上記実施形態では、ネガレジストを用いてレジストパターン１６Ｐを形成し、レジストパターン１６Ｐから露出する半透光膜１４を、ＩＴＯエッチング液、ＦｅＣｌ３溶液、希塩酸溶液、希硝酸溶液からなる群から選択される液を用いてエッチングすることにより透光部１７を形成する。次いで、レジストパターン１６Ｐを除去することにより半透光部１５を形成する。
【０１０４】
したがって、半透光部１５の領域が小さい場合、レジストパターン１６Ｐの領域が小さくなるため、ネガレジストを用いるフォトリソ工程の工程時間を短くすることができ、グレートーンマスク２０の生産性を向上させることができる。また、ネガレジストのパターン領域を最小にすることができるため、半透光膜１４の領域を最小にすることができる。この結果、グレートーンマスク２０に対して、Ｃｒフォトマスクが本来有している低反射特性を十分に与えることができる。
【０１０５】
（６）上記実施形態では、Ｎｉ−Ａｌ、あるいはＮｉ−Ｃｒを主成分とする半透光膜１４を成膜することにより半透光部１５を形成し、半透光膜１４上であって半透光部１５を含む領域にポジレジストからなるレジストパターン１６Ｐを形成する。
【０１０６】
Ｎｉ−Ａｌを用いる場合、レジストパターン１６Ｐから露出する半透光膜１４を、ＩＴＯエッチング液、ＦｅＣｌ３溶液、希塩酸溶液、希硝酸溶液からなる群から選択される液を用いてエッチングする。そして、レジストパターン１６Ｐから露出する遮光膜１１を除去することにより透光部１７を形成し、レジストパターン１６Ｐを除去することにより半透光部１５を形成する。
【０１０７】
Ｎｉ−Ｃｒを用いる場合、レジストパターン１６Ｐから露出する半透光膜１４を、Ｃｒエッチング液を用いてエッチングし、さらにレジストパターン１６Ｐから露出する遮光膜を、Ｃｒエッチング液を用いてエッチングすることにより透光部１７を形成する。そして、レジストパターン１６Ｐを除去することにより半透光部１５を形成する。
【０１０８】
したがって、上記実施形態によれば、透光部１７の割合が大きい場合、透光部１７を除いた領域にポジレジストを用いる分だけ、フォトリソ工程の工程時間を短くすることができ、半透光膜１４の除去工程を容易にすることができる。この結果、ポジレジストを用いて半透光膜１４を除去する場合、エッチング液を変更するだけで、大型Ｃｒフォトマスクの製造工程を利用することができる。さらに、Ｎｉ−Ｃｒを主成分とする半透光膜を用いる場合は、Ｃｒエッチング液を用いることができるため、大型Ｃｒフォトマスクのエッチング設備を変更することなく利用することができる。
【０１０９】
（７）上記実施形態では、半透光膜１４を成膜した後、半透光部１５の透過率に関する検査が実行される。そして、半透光部１５に特性不良等が認められる場合、半透光膜１４は、ＩＴＯエッチング液、ＦｅＣｌ３溶液、希塩酸溶液、希硝酸溶液からなる群から選択される少なくとも一つの液によりエッチングされ、その後、遮光膜１１の上には、再び半透光膜１４が成膜される。したがって、半透光部１５の透過率検査において特性不良等が発生した場合、半透光膜１４のみが除去されため、遮光膜１１にダメージを与えることなく、Ｃｒフォトマスク１３を再利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】（ａ）〜（ｉ）は、それぞれ第一実施形態のグレートーンマスクの製造工程を示す工程図。
【図２】（ａ）〜（ｉ）は、それぞれ第二実施形態のグレートーンマスクの製造工程を示す工程図。
【図３】（ａ）〜（ｉ）は、それぞれ第三実施形態のグレートーンマスクの製造工程を示す工程図。
【図４】半透光膜の膜厚と透過率の関係を示す図。
【図５】半透光膜の膜厚と透過率の関係を示す図。
【図６】半透光膜の耐アルカリ性を示す図。
【図７】半透光膜の耐熱性を示す図。
【図８】半透光膜の分光透過率を示す図。
【図９】半透光膜の分光透過率を示す図。
【図１０】（ａ）、（ｂ）は、それぞれ従来のグレートーンマスクを示す平面図及び断面図。
【図１１】（ａ）、（ｂ）は、それぞれ従来のグレートーンマスクを示す平面図及び断面図。
【図１２】（ａ）、（ｂ）は、それぞれ従来のグレートーンマスクを示す平面図及び断面図。
【符号の説明】
【０１１１】
Ｓ…基板、１０…Ｃｒ膜ブランクス、１１ａ…第一開口、１１ｂ…第二開口、１２Ｐ，１６，１６Ｐ…レジストパターン、１４…半透光膜、１５…半透光部、１７…透光部、１
８…遮光部、２０…グレートーンマスク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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