(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に形成された複数の検査導体のそれぞれに対応して配設されて、当該各検査導体の一端に接触する第１電流端子および第１電圧端子、並びに当該各検査導体の他端に接触する第２電圧端子および第２電流端子からなる複数の端子組を有するヘッド部を備えた検査ユニットと、
検査電流を出力する電流源、検査電圧を出力する電圧源、電圧計、電流計および処理部を有し、当該処理部は、前記電流源に対して前記検査電流を前記検査ユニットに供給させ、当該検査電流が前記検査導体に流れて当該検査導体の両端間に発生する両端間電圧を前記電圧計に対して測定させると共に当該検査導体に流れる当該検査電流を前記電流計に対して測定させて当該測定させた両端間電圧および検査電流に基づいて当該検査導体の導通状態を検査する導通検査処理と、前記電圧源に対して前記検査電圧を前記検査ユニットに供給させ、当該検査電圧が印加された前記検査導体間の導体間電圧を前記電圧計に対して測定させると共に当該検査導体間に流れる電流を前記電流計に対して測定させて当該測定させた導体間電圧および電流に基づいて当該検査導体間の絶縁状態を検査する絶縁検査処理とを実行する処理ユニットとを備えた基板検査装置であって、
前記検査ユニットと前記処理ユニットとの間には、前記電流源および前記電圧源のいずれか一方に選択的に接続される信号供給配線、前記電圧計に接続される一対の電圧検出配線、および前記電流計に接続される電流検出配線が配設され、
前記検査ユニットは、
前記複数の端子組を構成する前記各電流端子および前記各電圧端子に一対一で接続された複数のリード配線と、前記信号供給配線、前記一対の電圧検出配線および前記電流検出配線のうちの任意の配線に前記各リード配線を選択的に接続するための複数のスイッチとを有する接続切替部を備え、
前記処理ユニットは、
前記信号供給配線に前記電流源および前記電圧源の一方を選択的に接続するための切替スイッチ、前記信号供給配線と前記一対の電圧検出配線の一方とを接断可能な１つの第１接断スイッチ、および前記一対の電圧検出配線の他方と前記電流検出配線とを接断可能な１つの第２接断スイッチを備えている基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に形成された導体（スルーホールや配線パターン）を検査導体として、その導通検査、および検査導体間の絶縁検査を実行する基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板に形成された検査導体（一例としてスルーホール）の導通検査を実行する基板検査装置として、本願出願人は下記の特許文献１に開示された回路基板検査装置を提案している。また、本願発明者は、検査導体の導通検査だけでなく検査導体間の絶縁検査を実行し得る基板検査装置についても開発している。この基板検査装置の概要について、図４，５を参照して説明する。
【０００３】
この基板検査装置５１は、図４に示すように、検査ユニット２および処理ユニット５３を備え、検査ユニット２側に配設された基板（不図示）に形成された検査導体（配線パターンやビアやスルーホール）Ｗ１，Ｗ２，・・・，Ｗｎ（ｎは２以上の整数）に対する導通検査および絶縁検査を実行し得るように構成されている。検査ユニット２と処理ユニット５３との間には、１本の信号供給配線５、一対の電圧検出配線６ａ，６ｂ、１本の電流検出配線７、および制御用配線８が配設されている。
【０００４】
検査ユニット２は、図４に示すように、検査導体Ｗ１〜Ｗｎにそれぞれ対応して配設された複数の端子組Ｔ１，Ｔ２，・・・，Ｔｎ（ｎは２以上の整数。特に区別しないときには「端子組Ｔ」ともいう）を有するヘッド部１１、および接続切替部１２を備えている。ヘッド部１１は、不図示の移動機構により、基板に対して相対的に接離動可能に構成されている。また、各端子組Ｔ１〜Ｔｎは、一例として、各導体の一端に接触する第１電流端子Ｔａおよび第１電圧端子Ｔｂ、並びに各導体の他端に接触する第２電圧端子Ｔｃおよび第２電流端子Ｔｄで構成されている。例えば、端子組Ｔｎは、検査導体Ｗｎに対応して配設されて、検査導体Ｗｎの一端Ｗｎａに接触する第１電流端子Ｔｎａおよび第１電圧端子Ｔｎｂ、並びに検査導体Ｗｎの他端Ｗｎｂに接触する第２電圧端子Ｔｎｃおよび第２電流端子Ｔｎｄで構成されている。
【０００５】
接続切替部１２は、図４に示すように、端子組Ｔ１，Ｔ２，・・・，Ｔｎの各電流端子および各電圧端子に一対一で接続された複数のリード配線１３，１３，・・・と、複数のスイッチＳａ１〜Ｓａｎ，Ｓｂ１〜Ｓｂｎ，Ｓｃ１〜ＳｃｎおよびＳｄ１〜Ｓｄｎとを備えている。接続切替部１２では、各スイッチＳａ１〜Ｓｄｎが制御用配線８を介して処理部６６によって個別にオン・オフ制御されることにより、各リード配線１３を信号供給配線５、一対の電圧検出配線６ａ，６ｂおよび電流検出配線７のうちの任意の配線（数は限定されない）に選択的に接続可能となっている。
【０００６】
処理ユニット５３は、検査電流（直流電流）Ｉａを出力する電流源２１、検査電圧（直流電圧）Ｖｂを出力する電圧源２２、切替スイッチ２３、電圧計２４、電流計２５、処理部６６、および処理部６６用の動作プログラムを記憶する記憶部６７を有している。処理部６６は、動作プログラムに従い、切替スイッチ２３および接続切替部１２に対する制御を行いつつ、各検査導体Ｗ１〜Ｗｎの導通状態を検査する導通検査処理と、近接する検査導体対のうちの一方の検査導体で構成される組と、他方の検査導体で構成される組との間の絶縁状態を同時に検査する絶縁検査処理とを実行する。
【０００７】
この基板検査装置５１では、処理部６６が、まず、記憶部６７に記憶されている動作プログラムに従い、各検査導体Ｗ１〜Ｗｎに対する導通検査処理を実行する。この導通検査処理では、処理部６６は、切替スイッチ２３を制御して電流源２１を信号供給配線５に接続した状態とし、この状態において接続切替部１２の各スイッチに対する制御を実行して、検査導体Ｗ１，Ｗ２，・・・，Ｗｎの順で検査電流Ｉａを供給しつつ、検査導体に流れる実際の電流値を電流計２５で測定すると共に検査導体の両端間に発生する両端間電圧Ｖａを電圧計２４で測定する。例えば、検査導体Ｗ１の導通検査処理を実行するときには、処理部６６は、図４に示すように、接続切替部１２のスイッチＳａ１，Ｓｂ２，Ｓｃ３およびＳｄ４のみをオン状態（同図中において黒丸で示している）とし、他のスイッチをオフ状態（同図中において白丸で示している）に制御する。
【０００８】
これにより、電流源２１からの検査電流Ｉａが、信号供給配線５、スイッチＳａ１、リード配線１３および第１電流端子Ｔ１ａを経由して検査導体Ｗ１の一端に流れ込む。また、このようにして検査導体Ｗ１に流れ込んだ検査電流Ｉａは、検査導体Ｗ１の他端から第２電流端子Ｔ１ｄ、リード配線１３、スイッチＳｄ４および電流検出配線７を経由して電流計２５に達して、その電流値が電流計２５で測定される。また、電圧計２４は、その一方の入力端子が電圧検出配線６ａ、スイッチＳｂ２、リード配線１３および第１電圧端子Ｔ１ｂを経由して検査導体Ｗ１の一端に接続されると共に、他方の入力端子が電圧検出配線６ｂ、スイッチＳｃ３、リード配線１３および第２電圧端子Ｔ１ｃを経由して検査導体Ｗ１の他端に接続されている。このため、検査電流Ｉａが検査導体Ｗ１に流れることに起因して発生する検査導体Ｗ１の両端間電圧Ｖａが電圧計２４で測定される。処理部６６は、電圧計２４で測定された両端間電圧Ｖａの電圧値と、電流計２５で測定された検査電流Ｉａの電流値とに基づいて検査導体Ｗ１の抵抗値を四端子法で算出すると共に、予め規定された基準抵抗値と比較して、検査導体Ｗ１の導通状態を検査する。また、処理部６６は、その導通検査の結果を記憶部６７に記憶させる。その後、処理部６６は、上記の検査導体Ｗ１のときと同様にして、各検査導体Ｗ２，Ｗ３，・・・，Ｗｎに対する導通検査を順次実行して、最後の検査導体Ｗｎについての導通検査が完了したときに、導通検査処理を完了させる。
【０００９】
次いで、処理部６６は、絶縁検査処理を実行する。この絶縁検査処理では、処理部６６は、切替スイッチ２３を制御して電圧源２２を信号供給配線５に接続した状態とし、この状態において接続切替部１２の各スイッチに対する制御を実行して、近接する検査導体対のうちの一方の検査導体で構成される組と、他方の検査導体で構成される組との間の絶縁状態を同時に検査する絶縁検査処理とを実行する。発明の理解を容易にするため、一方の組は、各検査導体Ｗ１，Ｗ２，・・・，Ｗｎのうちの奇数番目の検査導体で構成され、他方の組は偶数番目の検査導体で構成されているものとする。
【００１０】
この場合、処理部６６は、図５に示すように、接続切替部１２の各スイッチＳａ１〜Ｓｄｎを制御して、一例として奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・で構成されている組に対しては、一対の電流端子（例えば検査導体Ｗ１では電流端子Ｔ１ａ，Ｔ１ｄ）に接続されている各リード配線１３，１３を信号供給配線５に接続し、かつ偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・で構成されている組に対しては、一対の電圧端子（例えば検査導体Ｗ２では電圧端子Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃ）に接続されている各リード配線１３，１３を電流検出配線７に接続する。これにより、奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・が２本のリード配線１３，１３を介して信号供給配線５にそれぞれ接続され、偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・が２本のリード配線１３，１３を介して電流検出配線７にそれぞれ接続される。
【００１１】
また、処理部６６は、電圧検出配線６ａに対しては、一例として奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・のうちのいずれか１つの検査導体に接触させられている各電流端子および各電圧端子のうちのいずれか２つ（本例では一例として検査導体Ｗ１の電流端子Ｔ１ａ，Ｔ１ｄ）に接続されている各リード配線１３，１３を接続し、電圧検出配線６ｂに対しては、一例として偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・のうちのいずれか１つの検査導体に接触させられている各電流端子および各電圧端子のうちのいずれか２つ（本例では一例として検査導体Ｗ２の電圧端子Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃ）に接続されている各リード配線１３，１３を接続する。これにより、奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・のうちのいずれか１つの検査導体（一例として検査導体Ｗ１）が２本のリード配線１３，１３を介して電圧検出配線６ａに接続され、偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・のうちのいずれか１つの検査導体（一例として検査導体Ｗ２）が２本のリード配線１３，１３を介して電圧検出配線６ｂに接続される。この場合、信号供給配線５への奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・の接続、電圧検出配線６ａへの奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・のうちのいずれか１つの検査導体の接続、電圧検出配線６ｂへの偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・のうちのいずれか１つの検査導体の接続、および電流検出配線７への偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・の接続に際して、２本のリード配線１３，１３を介して接続させる理由は、この２本のリード配線１３，１３に接続されている端子（第１電流端子Ｔ１ａなど）と検査導体との間に接触不良が発生したときの絶縁検査処理に対するリスクを軽減させるためである。
【００１２】
この状態では、電圧源２２から信号供給配線５、リード配線１３，１３および一対の電流端子を介して奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・に検査電圧Ｖｂが印加される。一方、偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・は、一対の電圧端子、リード配線１３，１３、電流検出配線７および電流計２５を介してグランド電位となる。これにより、奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・と、偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・との間に電圧が印加された状態となる。電圧計２４は、奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・と偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・との間に印加される検査電圧Ｖｂの電圧値（導体間電圧）Ｖｂ１を一対の電圧検出配線６ａ，６ｂを介して測定して処理部６６に出力し、電流計２５は、奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・と偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・との間に流れる電流（漏れ電流）Ｉｒを電流検出配線７を介して測定して処理部６６に出力する。処理部６６は、入力した電圧Ｖｂ１と電流Ｉｒとに基づいて奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・と偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・との間の抵抗値（絶縁抵抗値）を算出し、この抵抗値に基づいて絶縁検査を行う。また、処理部６６は、その絶縁検査の結果を記憶部６７に記憶させる。これにより、各導体Ｗ１，Ｗ２，・・・，Ｗｎに対する絶縁検査処理が完了する。
【００１３】
このように、この基板検査装置５１によれば、複数の検査導体に対する導通検査と絶縁検査の双方を自動的に実行することができる。
【特許文献１】特開２００３−５７２８５号公報（第４−６頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
ところが、発明者は、上記の基板検査装置５１についてさらに検討した結果、この基板検査装置５１には、以下の解決すべき課題が存在していることを発見した。すなわち、この基板検査装置５１は、絶縁検査処理のときに、電圧計２４が、奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・と偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・との間に印加される電圧Ｖｂ１を一対の電圧検出配線６ａ，６ｂを介して測定する構成を採用している。これにより、この構成では、奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・と偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・との間に印加される電圧を各検査導体Ｗ１，Ｗ２，・・・に近い検査ユニット２側で測定できる結果、原理的には測定精度の向上を図ることができる。しかしながら、この基板検査装置５１では、電圧計２４の電圧測定経路に各電圧検出配線６ａ，６ｂの多くが含まれる構成となるため、検査ユニット２と処理ユニット５３との間の距離が長くなる装置構成とせざるを得ないときには、電圧測定経路も長くなる結果、検査導体に流れる電流が特に少ない絶縁検査処理のときに、電圧計２４による電圧測定に対するノイズの影響が増大するという解決すべき課題が存在している。
【００１５】
本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、絶縁検査処理のときの電圧測定に対するノイズの影響を軽減し得る基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査装置は、基板に形成された複数の検査導体のそれぞれに対応して配設されて、当該各検査導体の一端に接触する第１電流端子および第１電圧端子、並びに当該各検査導体の他端に接触する第２電圧端子および第２電流端子からなる複数の端子組を有するヘッド部を備えた検査ユニットと、検査電流を出力する電流源、検査電圧を出力する電圧源、電圧計、電流計および処理部を有し、当該処理部は、前記電流源に対して前記検査電流を前記検査ユニットに供給させ、当該検査電流が前記検査導体に流れて当該検査導体の両端間に発生する両端間電圧を前記電圧計に対して測定させると共に当該検査導体に流れる当該検査電流を前記電流計に対して測定させて当該測定させた両端間電圧および検査電流に基づいて当該検査導体の導通状態を検査する導通検査処理と、前記電圧源に対して前記検査電圧を前記検査ユニットに供給させ、当該検査電圧が印加された前記検査導体間の導体間電圧を前記電圧計に対して測定させると共に当該検査導体間に流れる電流を前記電流計に対して測定させて当該測定させた導体間電圧および電流に基づいて当該検査導体間の絶縁状態を検査する絶縁検査処理とを実行する処理ユニットとを備えた基板検査装置であって、前記検査ユニットと前記処理ユニットとの間には、前記電流源および前記電圧源のいずれか一方に選択的に接続される信号供給配線、前記電圧計に接続される一対の電圧検出配線、および前記電流計に接続される電流検出配線が配設され、前記検査ユニットは、前記複数の端子組を構成する前記各電流端子および前記各電圧端子に一対一で接続された複数のリード配線と、前記信号供給配線、前記一対の電圧検出配線および前記電流検出配線のうちの任意の配線に前記各リード配線を選択的に接続するための複数のスイッチとを有する接続切替部を備え、前記処理ユニットは、前記信号供給配線に前記電流源および前記電圧源の一方を選択的に接続するための切替スイッチ、前記信号供給配線と前記一対の電圧検出配線の一方とを接断可能な１つの第１接断スイッチ、および前記一対の電圧検出配線の他方と前記電流検出配線とを接断可能な１つの第２接断スイッチを備えている。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１記載の基板検査装置では、絶縁検査処理において、電圧計が、電圧計と同じ処理ユニット内に配設された第１および第２接断スイッチを介して、検査電圧が印加された検査導体間の導体間電圧を測定する。したがって、この基板検査装置によれば、絶縁検査処理での電圧計による電圧測定経路が処理ユニット内で閉じているため、電圧測定経路が検査ユニットまで延びている構成とは異なり、電圧測定に対するノイズの影響を大幅に低減することができる。これにより、この基板検査装置によれば、絶縁検査処理での電圧計による電圧の測定精度を向上させることができるため、精度良く絶縁抵抗値を算出できる結果、この算出した絶縁抵抗値に基づいて高精度の絶縁検査を実行することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係る基板検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
最初に、本発明に係る基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００２０】
この基板検査装置１は、図１に示すように、検査ユニット２および処理ユニット３を備え、検査ユニット２側に配設された基板４に形成されている検査導体（配線パターンやビアやスルーホール）Ｗ１，Ｗ２，・・・，Ｗｎ（ｎは２以上の整数。以下、特に区別しないときには「検査導体Ｗ」ともいう）に対する導通検査および絶縁検査を実行可能に構成されている。この場合、検査ユニット２と処理ユニット３との間には、１本の信号供給配線５、一対の電圧検出配線６ａ，６ｂ、１本の電流検出配線７、および制御用配線８を含むケーブル９が配設されている。
【００２１】
検査ユニット２は、図１，２に示すように、複数の端子組Ｔ１，Ｔ２，・・・，Ｔｎ（ｎは２以上の整数。特に区別しないときには「端子組Ｔ」ともいう）を有するヘッド部１１、および接続切替部１２を備えている。ヘッド部１１は、不図示の移動機構により、基板４に対して相対的に接離動可能に構成されている。また、各端子組Ｔ１〜Ｔｎは、一例として検査導体Ｗ１〜Ｗｎにそれぞれ対応して配設されて、各検査導体の一端Ｗａに接触する第１電流端子Ｔａおよび第１電圧端子Ｔｂ、並びに各検査導体の他端Ｗｂに接触する第２電圧端子Ｔｃおよび第２電流端子Ｔｄで構成されている。例えば、端子組Ｔｎは、検査導体Ｗｎに対応して配設されて、検査導体Ｗｎの一端Ｗｎａに接触する第１電流端子Ｔｎａおよび第１電圧端子Ｔｎｂ、並びに検査導体Ｗｎの他端Ｗｎｂに接触する第２電圧端子Ｔｎｃおよび第２電流端子Ｔｎｄで構成されている。
【００２２】
接続切替部１２は、図２に示すように、端子組Ｔ１，Ｔ２，・・・，Ｔｎの各電流端子Ｔａ，Ｔｄおよび各電圧端子Ｔｂ，Ｔｃに一対一で接続された複数のリード配線１３，１３，・・・と、複数のスイッチ（具体的にはリレー）Ｓａ１〜Ｓａｎ，Ｓｂ１〜Ｓｂｎ，Ｓｃ１〜ＳｃｎおよびＳｄ１〜Ｓｄｎとを備えている。接続切替部１２では、各スイッチＳａ１〜Ｓｄｎが制御用配線８を介して処理ユニット３によって個別にオン・オフ制御されることにより、各リード配線１３を信号供給配線５、一対の電圧検出配線６ａ，６ｂおよび電流検出配線７のうちの任意の配線に選択的に接続可能となっている。
【００２３】
処理ユニット３は、電流源２１、電圧源２２、切替スイッチ２３、電圧計２４、電流計２５、２つの接断（オン・オフ）スイッチ２６，２７、処理部２８、および処理部２８用の動作プログラムなどを記憶する記憶部２９を備えている。電流源２１は、検査電流（直流電流）Ｉａを出力する。電圧源２２は、検査電圧（直流電圧）Ｖｂを出力する。切替スイッチ２３は、処理部２８によって制御されて、電流源２１および電圧源２２のいずれか一方を選択的に信号供給配線５に接続する。電圧計２４は、導通検査のときにはその一対の入力端子（図示せず）に接続されている一対の電圧検出配線６ａ，６ｂ間の電圧を検出して、検出した電圧値を処理部２８に出力し、絶縁検査のときにはその一対の入力端子（図示せず）に接続されている接断スイッチ２６，２７を介して検査電圧Ｖｄを検出して、検出した電圧値を処理部２８に出力する。電流計２５は、一方の入力端子が電流検出配線７に接続され、他方の入力端子がグランドに接続されている。この構成により、電流計２５は、電流検出配線７に流れる電流を検出して、検出した電流値を処理部２８に出力する。接断スイッチ２６（本発明における第１接断スイッチ）は、処理部２８によって制御されて、信号供給配線５と一対の電圧検出配線６ａ，６ｂのうちの一方（一例として電圧検出配線６ａ）とを接断する。接断スイッチ２７（本発明における第２接断スイッチ）は、処理部２８によって制御されて、電流検出配線７と一対の電圧検出配線６ａ，６ｂのうちの他方（一例として電圧検出配線６ｂ）とを接断する。
【００２４】
処理部２８は、上記の動作プログラムに従って作動して、切替スイッチ２３、各接断スイッチ２６，２７、および接続切替部１２に対する制御を実行しつつ、各検査導体Ｗ１〜Ｗｎの導通状態を検査する導通検査処理と、近接する検査導体対のうちの一方の検査導体で構成される組と他方の検査導体で構成される組との間の絶縁状態を同時に検査する絶縁検査処理とを実行する。
【００２５】
次に、基板検査装置１の動作について、図面を参照して説明する。
【００２６】
この基板検査装置１では、処理部２８が、まず、記憶部２９に記憶されている動作プログラムに従い、各検査導体Ｗ１〜Ｗｎに対する導通検査処理を実行する。この導通検査処理では、処理部２８は、切替スイッチ２３を制御して、図２に示すように、電流源２１を信号供給配線５に接続させる。また、処理部２８は、各接断スイッチ２６，２７を制御して、オフ状態に移行させる。次いで、処理部２８は、この状態において接続切替部１２の各スイッチに対する制御を実行して、検査導体Ｗ１，Ｗ２，・・・，Ｗｎの順で検査電流Ｉａを供給しつつ、各検査導体Ｗに流れる検査電流Ｉａを電流計２５で測定すると共に検査導体Ｗの両端間に発生する両端間電圧Ｖａを電圧計２４で測定する。例えば、検査導体Ｗ１の導通検査処理を実行するときには、処理部２８は、図２に示すように、接続切替部１２のスイッチＳａ１，Ｓｂ２，Ｓｃ３およびＳｄ４のみをオン状態（同図中において黒丸で示している）とし、他のスイッチをオフ状態（同図中において白丸で示している）に制御する。
【００２７】
これにより、電流源２１からの検査電流Ｉａが、信号供給配線５、スイッチＳａ１、リード配線１３および第１電流端子Ｔ１ａを経由して検査導体Ｗ１の一端Ｗ１ａに流れ込む。また、このようにして検査導体Ｗ１に流れ込んだ検査電流Ｉａは、検査導体Ｗ１の他端Ｗ１ｂから第２電流端子Ｔ１ｄ、リード配線１３、スイッチＳｄ４および電流検出配線７を経由して電流計２５に達して、その電流値が電流計２５で測定される。また、電圧計２４は、その一方の入力端子が電圧検出配線６ａ、スイッチＳｂ２、リード配線１３および第１電圧端子Ｔ１ｂを経由して検査導体Ｗ１の一端Ｗ１ａに接続されると共に、他方の入力端子が電圧検出配線６ｂ、スイッチＳｃ３、リード配線１３および第２電圧端子Ｔ１ｃを経由して検査導体Ｗ１の他端Ｗ１ｂに接続されている。このため、電圧計２４は、一対の電圧検出配線６ａ，６ｂを介して、検査電流Ｉａが検査導体Ｗ１に流れることに起因して発生する検査導体Ｗ１の両端間電圧Ｖａを測定する。
【００２８】
処理部２８は、電圧計２４で測定された両端間電圧Ｖａの電圧値と、電流計２５で測定された検査電流Ｉａの電流値とに基づいて検査導体Ｗ１の抵抗値を四端子法で算出すると共に、予め規定された基準抵抗値と比較して、検査導体Ｗ１の導通状態を検査する。具体的には、算出した抵抗値が基準抵抗値以下のときには検査導体Ｗ１の導通状態は良好であると判別し、他方、算出した抵抗値が基準抵抗値を超えるときには検査導体Ｗ１の導通状態は不良であると判別する。また、処理部２８は、その導通検査の結果を記憶部２９に記憶させる。その後、処理部２８は、上記の検査導体Ｗ１のときと同様にして、各検査導体Ｗ２，Ｗ３，・・・，Ｗｎに対する導通検査を順次実行して、最後の検査導体Ｗｎについての導通検査が完了したときに、導通検査処理を完了させる。
【００２９】
次いで、処理部２８は、絶縁検査処理を実行する。この絶縁検査処理では、処理部２８は、切替スイッチ２３を制御して、図３に示すように、電圧源２２を信号供給配線５に接続した状態とする。また、処理部２８は、各接断スイッチ２６，２７を制御して、オン状態に移行させる。次いで、処理部２８は、この状態において接続切替部１２の各スイッチに対する制御を実行して、近接する検査導体対のうちの一方の検査導体で構成される組と、他方の検査導体で構成される組との間の絶縁状態を同時に検査する絶縁検査処理とを実行する。発明の理解を容易にするため、本例では、一方の組は各検査導体Ｗ１，Ｗ２，・・・，Ｗｎのうちの奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・で構成され、他方の組は偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・で構成されているものとする。
【００３０】
この場合、処理部２８は、図３に示すように、接続切替部１２の各スイッチＳａ１〜Ｓｄｎを制御して、一例として奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・で構成されている組に対しては、一対の電流端子Ｔａ，Ｔｄ（例えば検査導体Ｗ１では電流端子Ｔ１ａ，Ｔ１ｄ）に接続されている各リード配線１３，１３を信号供給配線５に接続し、かつ偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・で構成されている組に対しては、一対の電圧端子Ｔｂ，Ｔｃ（例えば検査導体Ｗ２では電圧端子Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃ）に接続されている各リード配線１３，１３を電流検出配線７に接続する。これにより、奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・が２本のリード配線１３，１３を介して信号供給配線５にそれぞれ接続され、偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・が２本のリード配線１３，１３を介して電流検出配線７にそれぞれ接続される。また、処理部２８は、各電圧検出配線６ａ，６ｂに対しては、いずれのリード配線１３も接続しないように、接続切替部１２の各スイッチに対する制御を実行する。
【００３１】
この状態では、電圧源２２から信号供給配線５、リード配線１３，１３および一対の電流端子を介して奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・に検査電圧Ｖｂが印加される。一方、偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・は、一対の電圧端子、リード配線１３，１３、電流検出配線７および電流計２５を介してグランド電位となる。これにより、奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・と、偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・との間に電圧が印加された状態となる。電圧計２４は、信号供給配線５と電流検出配線７との間の電圧、すなわち奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・と偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・との間に印加される検査電圧Ｖｂの電圧値（導体間電圧）Ｖｂ１を各接断スイッチ２６，２７を介して測定して処理部２８に出力し、電流計２５は、奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・と偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・との間に流れる電流（漏れ電流）Ｉｒを電流検出配線７を介して測定して処理部２８に出力する。処理部２８は、入力した電圧Ｖｂ１と電流Ｉｒとに基づいて奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・と偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・との間の抵抗値（絶縁抵抗値）を算出し、この抵抗値に基づいて絶縁検査を行う。また、処理部２８は、その絶縁検査の結果を記憶部２９に記憶させる。
【００３２】
このように、この基板検査装置１では、絶縁検査処理において、電圧計２４と同じ処理ユニット３内に配設された各接断スイッチ２６，２７を介して奇数番目の検査導体Ｗ１，Ｗ３，・・・と偶数番目の検査導体Ｗ２，Ｗ４，・・・との間に印加される電圧Ｖｂを測定する。したがって、この基板検査装置１によれば、絶縁検査処理での電圧計２４による電圧測定経路が処理ユニット３内で閉じているため、電圧測定経路が検査ユニット２まで延びている基板検査装置５１とは異なり、電圧測定に対するノイズの影響を大幅に低減することができる。これにより、この基板検査装置１によれば、絶縁検査処理での電圧計２４による電圧の測定精度を向上させることができるため、精度良く絶縁抵抗値を算出できる結果、この算出した絶縁抵抗値に基づいて高精度の絶縁検査を実行することができる。
【００３３】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、絶縁検査処理において、各検査導体Ｗへの電圧印加に使用する端子は上記の例に限定されず、種々変更することができる。一例として、奇数番目の検査導体Ｗに対して電流端子Ｔａ，Ｔｄに代えて電圧端子Ｔｂ，Ｔｃを使用し、偶数番目の検査導体Ｗに対して電流端子Ｔａ，Ｔｄを使用してもよい。また、電流端子Ｔａ，Ｔｄの一方と電圧端子Ｔｂ，Ｔｃの一方との組、および電流端子Ｔａ，Ｔｄの他方と電圧端子Ｔｂ，Ｔｃの他方との組を使用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】基板検査装置１での導通検査処理時における検査ユニット２の接続状態を示す説明図である。
【図３】基板検査装置１での絶縁検査処理時における検査ユニット２の接続状態を示す説明図である。
【図４】基板検査装置５１の構成と共に、導通検査処理時における検査ユニット２の接続状態を示す説明図である。
【図５】基板検査装置５１での絶縁検査処理時における検査ユニット２の接続状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  基板検査装置
２  検査ユニット
３  処理ユニット
４  基板
５  信号供給配線
６ａ，６ｂ  電圧検出配線
７  電流検出配線
１２  接続切替部
２１  電流源
２２  電圧源
２３  切替スイッチ
２４  電圧計
２５  電流計
２６，２７  接断スイッチ
２８  処理部
２９  記憶部
１１  ヘッド部
Ｔ１〜Ｔｎ  端子組
Ｔａ，Ｔｄ  電流端子
Ｔｂ，Ｔｃ  電圧端子
Ｗ  検査導体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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