(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローバの側面に近接して設けられたテストヘッドを回転させ、プローバ上に被せるようにした構成のＩＣテスタのテストヘッドにおいて、所定の距離を隔てて対向して配置された外板と、これら外板の内側に配置され、所定の距離を隔てて対向して配置された中板と、前記外板と中板の側面に対向して固定され、一辺が前記対向して配置された外板から突出するように形成された側板と、該側板の突出した辺に固定された支持板により構成されたことを特徴とするＩＣテスタのテストヘッド。
【請求項２】
前記側板の外側にテストボードを着脱するための駆動機構を取付けたことを特徴とする請求項１に記載のＩＣテスタのテストヘッド。
【請求項３】
前記駆動機構をカバーで覆ったことを特徴とする請求項２に記載のＩＣテスタのテストヘッド。
【請求項４】
前記側板が突出した部分の一部に切欠きを設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のＩＣテスタのテストヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローバの側面に近接して設けたテストヘッドを回転させ、プローバ上に被せるようにした構成のＩＣテスタのテストヘッドに関し、テストヘッドの重量軽減と剛性を向上させ、合わせて駆動機構のメンテナンス性を向上させたＩＣテスタのテストヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図２（ａ，ｂ）はこのような回転式のＩＣテスタを示すもので、プローバ１とこのプローバに近接して配置されたテストヘッド２で構成されている。そして、テストヘッド２に設けた回転軸３を矢印Ａ方向に回転させることによりテストヘッド２を矢印Ｂ方向に回転させ、図２（ａ）に示すメンテナンスモードから図２（ｂ）の測定モードにしている。
【０００３】
図３（ａ，ｂ）はこのような回転式ＩＣテスタの従来のテストヘッドの構成を示す斜視ずである。これらの図において、図３（ａ）はテストヘッドの枠体４を、図３（ｂ）は枠体４にピンエレクトロニクスカード５を装着した状態を示している。
【０００４】
図３（ａ）において、６ａ，６ｂは所定の距離ａ１を隔てて対向して配置された四角形（図では長方形）状の外板、７ａ，７ｂは所定の距離ａ２を隔てて対向して配置された外板と同形状の中板である。８ａ，８ｂは側板で、外板６ａ，６ｂおよび中板７ａ，７ｂの側面に固定され、外板６ａ，６ｂと底板（図示省略）により上面が開放された四角形の箱を形成している。
【０００５】
距離ａ２を隔てて対向して設けられた中板７ａ，７ｂで形成される空間Ｃはピンエレクトロニクスカード５の側面が係合可能な幅に形成されている。
また、距離ｂを隔てて対向して設けられた仕切板９ａ，９ｂと側板８ａ，８ｂで形成される空間Ｄには複数の駆動機構１０が配置されている。
【０００６】
１１ａ，１１ｂは側板８ａ，８ｂの外側面に取付けられた長方形の枠板で、その一隅が切り欠かれ、その切り欠かれた部分が側板８ａ，８ｂの外側に突出した状態となっている。
１２は長方形状の支持板で、一方の面の両端部が枠板１１ａ，１１ｂの突出部に固定されている。
【０００７】
１３ａ，１３ｂはＬ字状の連結金具であり、Ｌ状の長辺の背部は支持板１２の他方の面に所定の距離ｅを隔てて固定されている。また、Ｌ状の短辺にはそれぞれ貫通孔１４ａ，１４ｂが形成されており、これらの貫通孔に回転軸３が挿入されて固定されている。
なお、このようなＩＣテスタのテストヘッドの先行技術としては例えば特許文献１，２等が知られている。
【０００８】
【特許文献１】特開平９−１２７１９７号公報
【特許文献２】特開平９−２８８１４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上述のようなＩＣテスタのテストヘッドでは、テストヘッド２の枠体４は外板６と中板７で構成されている。そして、図３（ｂ）に示すように中板７で囲まれた空間Ｃにピンエレニクトロニクスカード５が複数配列され、中板７の両外側の空間Ｄにはテストボード着脱等に用いるための駆動機構１０が取付けられている。そして、その外側に側板８ａ，８ｂが配置されてテストヘッド２の剛性を保っている。
そして、プローバとの接続時には回転軸３に連結された枠板１１ａ，１１ｂがテストヘッド２の側板８の両側から挟みこむようにテストヘッド２を保持するように構成されている。
【００１０】
近年、多ＰＩＮ化によりピンエレクトロニクスカードの実装枚数が増大しそれに伴い、テストヘッドが大型化し重量も増大する傾向にある。
テストヘッド２は支持板１２に保持されてプローバ接続時に回転するので、テストヘッド自身も剛性を保たなければならず、テストヘッド重量は益々増加する。
【００１１】
又、駆動機構１０のメンテナンス時にはテストヘッドから枠板１１を外さなければならず、メンテナンス工数が増大するという課題があった。
従って本発明は、剛性を保ちながら重量を軽減させ、メンテナンス性を改善したテストヘッドを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような課題を達成するための本発明のＩＣテスタのテストヘッドの構成は、請求項１においては、
プローバの側面に近接して設けられたテストヘッドを回転させ、プローバ上に被せるようにした構成のＩＣテスタのテストヘッドにおいて、所定の距離を隔てて対向して配置された外板と、これら外板の内側に配置され、所定の距離を隔てて対向して配置された中板と、前記外板と中板の側面に対向して固定され、一辺が前記対向して配置された外板から突出するように形成された側板と、該側板の突出した辺に固定された支持板により構成されたことを特徴とする。
【００１３】
請求項２においては、請求項１に記載のＩＣテスタのテストヘッドにおいて、
前記側板の外側にテストボードを着脱するための駆動機構を取付けたことを特徴とする。
【００１４】
請求項３においては、請求項２に記載のＩＣテスタのテストヘッドにおいて、
前記駆動機構をカバーで覆ったことを特徴とする。
【００１５】
請求項４においては、請求項１乃至３のいずれかに記載のＩＣテスタのテストヘッドにおいて、
前記側板が突出した部分の一部に切欠きを設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば以下のような効果がある。
請求項１によれば、所定の距離を隔てて対向して配置された外板と、これら外板の内側に配置され、所定の距離を隔てて対向して配置されているので、部品点数を削減し、重量軽減を実現することができ、テストヘッドの剛性を向上させることができる。
【００１７】
請求項２によれば、側板の外側にテストボードを着脱するための駆動機構を取付けたので、テストヘッドを回転軸から外さなくてもテストヘッドのメンテナンスを実施することが出来る。
【００１８】
請求項３によれば、駆動機構をカバーで覆ったので、駆動機構の汚れを防止することができる。
【００１９】
請求項４によれば、側板が突出した部分の一部に切欠きを設けたので、重量の軽減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の実施形態の一例を示す構成図である。
【００２１】
図１において、６ａ，６ｂは所定の距離ａ１を隔てて対向して配置された四角形（図では長方形）状の外板、７ａ，７ｂは所定の距離ａ２を隔てて対向して配置された外板と同形状の中板である。１８ａ，１８ｂは距離ｂ１（外板と中板の長辺）を隔てて対向して設けられた側板で、外板６ａ，６ｂおよび中板７ａ，７ｂの側面に固定され、外板６ａ，６ｂと底板（図示省略）で上面が開放された四角形の箱を形成している。
【００２２】
距離ａ２を隔てて対向して設けられた中板７ａ，７ｂで形成される空間Ｆはピンエレクトロニクスカード５の側面が係合可能な幅に形成されている。
また、側板１８ａ，１８ｂの側面には複数の駆動機構１０が設置されており、この駆動機構１０はカバー１５ａ，１５ｂにより覆われている。
【００２３】
側板１８ａ，１８ｂの一方の辺は外板６ａ，６ｂから突出した状態とされ、突出した部分の一隅が切り欠かれている。
１２は長方形状の支持板で、一方の面の両端部が側板１８ａ，１８ｂの突出部に固定されている。
【００２４】
１３ａ，１３ｂはＬ字状の連結金具であり、Ｌ状の長辺の背部は支持板１２の他方の面に所定の距離ｅを隔てて固定されている。また、Ｌ状の短辺にはそれぞれ貫通孔１４ａ，１４ｂが形成されており、これらの貫通孔に回転軸３が挿入されて固定されている。
【００２５】
上述の構成によれば、ピンエレクトロニクスカード５を実装するエリアの両外側に側板１８ａ，１８ｂを配置している。そして、この側板１８ａ，１８ｂを直接支持板１２に固定している。駆動機構１０は側板の外側に取付けられカバー１４で覆われている。
【００２６】
このように、テストヘッド外板をピンエレクトロニクスカード実装エリアの両外側に配置させて支持板１２に直接固定しているので、図３に示す従来例に比較して重量を軽減することができ、剛性が向上する。又、駆動機構１０を回転軸３から取外すことなく、メンテナンスすることが出来る。
【００２７】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態の一例を示すＩＣテスタのテストヘッドの斜視図である。
【図２】一般的なＩＣテスタの斜視図である。
【図３】従来のＩＣテスタのテストヘッドの斜視図である。
【符号の説明】
【００２９】
１      プローバ
２      テストヘッド
３      回転軸
４      枠体
５      ピンエレクトロニクスカード
６      外板
７      中板
８，１８  側板
９      仕切板
１０    駆動機構
１１    枠板
１２    支持板
１３    連結金具
１４    貫通孔
１５    カバー
【図１】
0004941227.tif 000002
【図２】
0004941227.tif 000003
【図３】
0004941227.tif 000004