(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を照射するレーザ光源と、
回折・散乱光の強度分布を検出する光検出器と、
前記レーザ光源と光検出器との間に配置されるフローセルと、
前記フローセルの上側接続口と接続される上側配管と、
前記フローセルの下側接続口と接続される下側配管と、
前記上側配管或いは下側配管の少なくともどちらか一方と接続され、分散媒と粒子群とを含む被測定液をフローセルに供給するポンプとを備えるレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置であって、
前記フローセル中での被測定液の流速を調整可能とするように、前記ポンプを制御するポンプ制御部を備え、
前記被測定液を調整する供給源と下側配管とが、下側取付部を介して接続されており、
前記フローセル中のレーザ光照射範囲における被測定液の進行方向と垂直となる断面積が、前記下側配管における被測定液の進行方向と垂直となる断面積より小さいことを特徴とする粒度分布測定装置。
【請求項２】
前記被測定液に含まれる粒子群は、気泡粒子群であることを特徴とする請求項１に記載の粒度分布測定装置。
【請求項３】
前記ポンプは、ギヤポンプであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の粒度分布測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フローセルを用いて粒子群の粒度分布を測定するレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置においては、分散媒中に分散状態の粒子群にレーザ光を照射することにより、粒子群で回折・散乱されたレーザ光の空間的な強度分布を光検出器で検出して、その測定結果からフラウンホーファ回折理論やミーの散乱理論に基づく演算を行うことによって、粒子群の粒度分布を算出している。
このような粒度分布測定装置において、分散媒として媒液（例えば、水等）を用いる場合には、フローセルが使用されることがある。フローセルを使用した測定では、媒液中に粒子群が均一に分散された被測定液がフローセル内を流れるようにして、フローセル内の被測定液にレーザ光を照射する。
【０００３】
ところで、近年、マイクロバブル（例えば、数μｍの粒子径の気泡粒子）、ナノバブル（例えば、数十〜数百ｎｍの粒子径の気泡粒子）と呼称されるような気泡粒子を、様々な分野・目的へ応用をすることが期待されている。例えば、洗剤を気泡粒子の周りに吸着させてから、洗浄対象物に投入することにより、洗浄対象物に付着した汚れと洗剤とが接触する面積を大きくすることができ、その結果、少量の洗剤で効果的な洗浄を行うことが考えられている。そのため、気泡粒子群を発生させる気泡発生装置等の研究・開発が進められつつある。
また、気泡粒子の効果や性質は、気泡粒子の大きさ、すなわち粒子径に大きく依存することが見出されている。例えば、洗浄対象物の洗浄を行うときには、気泡粒子の粒子径が小さいほど気泡粒子の表面積が増えることになり、気泡粒子と汚れとの接触する総面積も増大することになる。つまり、粒子径が小さい気泡粒子（特に、ナノバブル）が多くあれば、少量の洗剤でより効果的な洗浄を行うことができる。そこで、気泡発生装置等の研究・開発には、気泡粒子の大きさの把握、すなわち気泡粒子群の粒度分布を測定することが重要になってくる。
【０００４】
そこで、上述したようなフローセルを使用したレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置を用いて、気泡発生装置等で発生した気泡粒子群の粒度分布を測定することが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
ここで、粒度分布測定装置の一例について説明する。図５は、従来の粒度分布測定装置１００の構成を示す図である。なお、図５中では、光学系の構成を表す模式図と、データサンプリング回路やコンピュータからなる信号処理系の構成を表すブロック図とを併記して示している。
フローセル１１０の上側接続口は、上側取付部１４ｂと上側配管３１とを介して吸引ポンプ２３０と接続されているとともに、フローセル１１０の下側接続口は、下側取付部１４ａと下側配管３０とを介して分散槽２１と接続されている。
また、分散槽２１は、気泡発生装置２とも接続されている。
このような構成により、吸引ポンプ２３０の電源を入れて吸引ポンプ２３０を駆動させることによって、媒液Ｌが分散槽２１内に供給されていくともに、気泡発生装置２を駆動させることによって、気泡粒子群Ｐが分散槽２１内に投入されていくと、分散槽２１内で媒液Ｌ中に気泡粒子群Ｐが分散してなる被測定液Ｓが生成されていく。そして、分散槽２１で生成された被測定液Ｓは、フローセル１１０内を下方から上方に次々と流れていく。
【０００５】
このように被測定液Ｓがフローセル１１０内を流れている状態で、レーザ光源１２ａからのレーザ光を、集光レンズ１２ｂ、空間フィルタ１２ｃ、コリメータ１２ｄを介してフローセル１１０に前方向（左から右へ）に向かうように照射する。これにより、レーザ光は、フローセル１１０内の気泡粒子群Ｐで回折・散乱して、空間的に回折・散乱光の強度分布パターンが生ずることになる。この回折・散乱光のうち、フローセル１１０から略前方向への回折・散乱光は、集光レンズ１３ａを介して前方散乱光センサ（光検出器）１３ｂの受光面上に集光されて、リング状の回折・散乱像を結ぶ。また、フローセル１１０から後方への散乱光は、後方散乱光センサ（光検出器）１３ｄによって検出され、フローセル１１０から下方への散乱光は、側方散乱光センサ（光検出器）１３ｃによって検出される。
【０００６】
リングディテクタ１３ｂ、後方散乱光センサ１３ｄ及び側方散乱光センサ１３ｃの各光センサの検出信号は、増幅アンプ８、マルチプレクサ７及びＡ−Ｄ変換器９からなるデータサンプリング回路６０によって順次デジタル化され、コンピュータ５０に送信される。
コンピュータ５０では、この回折・散乱光の空間強度分布の測定データ（デジタル化された検出信号）と、予め記憶させた気泡粒子及び媒液Ｌの屈折率とを用いて、ミーの散乱理論やフラウンホーファの回折理論に基づいた公知の演算が行われることにより、気泡粒子群Ｐの粒度分布が算出される。
【特許文献１】特開２００７―２６３８７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、気泡発生装置２等で発生した気泡粒子群Ｐの粒度分布を測定する場合に、粒度分布測定装置１００を用いると、被測定液Ｓがフローセル１１０内を流れる際に、フローセル１１０の内壁面の近辺ではフローセル１１０の内壁面との摩擦力が働くので被測定液Ｓの流速が遅くなるため、被測定液Ｓに含有される気泡粒子群Ｐがフローセル１１０の内壁面に付着することがあった。その結果、気泡粒子群Ｐの粒度分布を正確に算出することができないことがあった。
【０００８】
ここで、粒度分布測定装置１００における取付部１４とフローセル１１０との一例について詳細に説明する。図６は、粒度分布測定装置１００における取付部１４とフローセル１１０とを示す分解斜視図である。
フローセル１１０は、ガラス製の四角筒形状であり、その下端部に四角形状の下側接続口１１０ａを有するとともに、その上端部に四角形状の上側接続口１１０ｂを有するものである。そして、フローセル１１０内においては、被測定液Ｓの進行方向と垂直となる断面積が、下側接続口１１０ａから上側接続口１１０ｂまで一定の面積Ｄｚ（例えば、３ｍｍ×２６ｍｍ）となっている。
下側配管３０と上側配管３１とは、合成ゴムや軟質プラスチックで形成された円筒形状であり、被測定液Ｓの進行方向と垂直となる断面積が面積Ｄｙ（例えば、２８ｍｍ２）となっている。なお、面積Ｄｙは、面積Ｄｚより小さくなっている。
下側取付部１４ａは、下側配管３０の断面積Ｄｙと下側接続口１１０ａの面積Ｄｚとを円滑に接続するような空洞部を有する。また、上側取付部１４ｂは、上側配管３１の断面積Ｄｙと上側接続口１１０ｂの面積Ｄｚとを円滑に接続するような空洞部を有する。
このような構成において、フローセル１１０の下側接続口１１０ａは、下側取付部１４ａを介して下側配管３０と接続されるとともに、フローセル１１０の上側接続口１１０ｂは、上側取付部１４ｂを介して上側配管３１と接続される。
これにより、フローセル１１０を取り付けた状態で、吸引ポンプ２３０を駆動させることによって、被測定液Ｓが、下側接続口１１０ａからフローセル１１０内に流入し、そして、フローセル１１０内を下方から上方へ流れ、その後、上側接続口１１０ｂから流出することになる。
【０００９】
このとき、フローセル１１０中における被測定液Ｓの進行方向と垂直となる断面積Ｄｚ（例えば、７８ｍｍ２）は、下側配管３０における被測定液Ｓの進行方向と垂直となる断面積Ｄｙ（例えば、２８ｍｍ２）より大きくなるように変化することに伴い、フローセル１１０中での被測定液Ｓの流速Ｖ１１０は、下側配管３０中での被測定液Ｓの流速Ｖ３０より遅くなる。さらに、フローセル１１０の内壁面の近辺ではフローセル１１０の内壁面との摩擦力が働くので、被測定液Ｓの流速Ｖ１１０は非常に遅いものとなっていた。つまり、被測定液Ｓに含有される気泡粒子群Ｐがフローセル１１０の内壁面に付着することが多かった。さらに、フローセル１１０の隅部には、被測定液Ｓの流れがほとんど生じず、気泡粒子群Ｐがたまることもあった。
【００１０】
なお、フローセル１１０の下側接続口１１０ａと下側取付部１４ａとの間に、整流板を配置することにより、フローセル１１０の隅部に気泡粒子群Ｐがたまることを防止することも考えられるが、整流板を配置したときには、気泡粒子群Ｐが整流板との衝突によって破壊されたり互いに結合したりすることで、その粒子径が変化してしまうことがあった。つまり、気泡粒子群Ｐの粒度分布を算出する場合には、フローセル１１０の下側接続口１１０ａと下側取付部１４ａとの間に、整流板を配置することはできなかった。
そこで、本発明は、フローセルの内壁面に粒子群が付着することを防止することで、粒子群の粒度分布を正確に算出することができる粒度分布測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するためになされた本発明の粒度分布測定装置は、レーザ光を照射するレーザ光源と、回折・散乱光の強度分布を検出する光検出器と、前記レーザ光源と光検出器との間に配置されるフローセルと、前記フローセルの上側接続口と接続される上側配管と、前記フローセルの下側接続口と接続される下側配管と、前記上側配管或いは下側配管の少なくともどちらか一方と接続され、分散媒と粒子群とを含む被測定液をフローセルに供給するポンプとを備えるレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置であって、前記フローセル中での被測定液の流速を調整可能とするように、前記ポンプを制御するポンプ制御部を備え、前記被測定液を調整する供給源と下側配管とが、下側取付部を介して接続されており、前記フローセル中のレーザ光照射範囲における被測定液の進行方向と垂直となる断面積が、前記下側配管における被測定液の進行方向と垂直となる断面積より小さいようにしている。
【００１２】
本発明の粒度分布測定装置によれば、フローセル中での被測定液の流速を調整可能とするように、ポンプを制御するポンプ制御部を備える。これにより、使用者が、フローセル内に被測定液を流した場合に、粒子群がフローセルの内壁面に付着していると判断したときには、フローセル中での被測定液の流速を速くするように、ポンプを制御する。つまり、フローセル中でのレイノルズ数を上げていくことで乱流を発生させることにより、フローセルの内壁面に粒子群が付着することを防止する。そして、使用者は、フローセル中での被測定液の流速を速くしていき、粒子群がフローセルの内壁面に付着していないと判断すると、粒子群の粒度分布の測定を開始する。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、本発明の粒度分布測定装置によれば、フローセルの内壁面に粒子群が付着することを防止することで、粒子群の粒度分布を正確に算出することができる。
【００１４】
（その他の課題を解決するための手段及び効果）
また、上記発明において、前記被測定液に含まれる粒子群は、気泡粒子群であるようにしてもよい。
本発明の粒度分布測定装置によれば、整流板を配置する必要がなくなるので、気泡粒子群の粒度分布を正確に算出することができる。
【００１５】
ここで、「被測定液の進行方向と垂直となる断面積」とは、被測定液の進行方向と垂直となる面における被測定液が流れる面積のことをいう。
また、「供給源」としては、例えば、気泡発生装置等で発生した気泡粒子を媒液に投入することにより被測定液を調整する分散槽や、ビール等のように元々気泡が含まれる被測定液を貯留するタンク等が挙げられる。
本発明の粒度分布測定装置によれば、フローセルにおける被測定液の進行方向と垂直となる断面積は、下側配管における被測定液の進行方向と垂直となる断面積より小さくなるので、フローセル中での被測定液の流速は、下側配管中での被測定液の流速より遅くなることがない。つまり、フローセル中でのレイノルズ数が、下側配管中でのレイノルズ数より極端に下がることがない。よって、フローセルの内壁面に粒子群が付着することを防止することができる。
また、上記発明において、前記ポンプは、ギヤポンプであるようにしてもよい。
本発明の粒度分布測定装置によれば、脈流を防止することができる上に、フローセル中での被測定液の流速を容易に調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれる。
【００１７】
図１は、本発明に係るレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置の構成を示す図である。図２は、粒度分布測定装置１における取付部１４とフローセル１１とを示す分解斜視図である。なお、図１中では、光学系の構成を表す模式図と、データサンプリング回路やコンピュータからなる信号処理系の構成を表すブロック図とを併記して示している。
【００１８】
粒度分布測定装置１は、レーザ光（平行光束）を照射する照明光学系１２と、回折・散乱光の強度分布を検出する測定光学系１３と、照明光学系１２と測定光学系１３との間に配置されるフローセル１１と、下側取付部１４ａを介してフローセル１１の下側接続口１１ａと接続される下側配管３０と、上側取付部１４ｂを介してフローセル１１の上側接続口１１ｂと接続される上側配管３１と、被測定液Ｓをフローセル１１に供給する流量調整機構付ギヤポンプ（流量調整機構付吸引ポンプ）２３と、気泡粒子群Ｐの粒度分布を算出するコンピュータ（制御部）４０と、マルチプレクサ７、増幅アンプ８及びＡ／Ｄ変換器９からなるデータサンプリング回路６０とにより構成される。
【００１９】
フローセル１１は、ガラス製の四角筒形状であり、その下端部に四角形状の下側接続口１１ａを有するとともに、その上端部に四角形状の上側接続口１１ｂを有するものである。そして、フローセル１１内において、下側接続口１１ａ付近と上側接続口１１ｂ付近とでは、被測定液Ｓの進行方向と垂直となる断面積が面積Ｄｚ（例えば、３ｍｍ×２６ｍｍ）となっているが、レーザ光照射範囲１１ｃでは、被測定液Ｓの進行方向と垂直となる断面積が面積Ｄｘ（例えば、１ｍｍ×２６ｍｍ）となっている。これにより、レーザ光照射範囲１１ｃにおける被測定液Ｓの進行方向と垂直となる断面積Ｄｘは、下側配管３０における被測定液Ｓの進行方向と垂直となる断面積Ｄｙより小さくなるので、レーザ光照射範囲１１ｃ中での被測定液Ｓの流速Ｖ１１ｃは、下側配管３０中での被測定液Ｓの流速Ｖ３０より遅くなることがない。つまり、レーザ光照射範囲１１ｃ中でのレイノルズ数が、下側配管３０中でのレイノルズ数より極端に下がることがない。
なお、フローセル１１は、側接続口１１ａ付近と上側接続口１１ｂ付近との面積Ｄｚと、レーザ光照射範囲１１ｃの面積Ｄｘとを円滑に接続するような３０°のテーパを有する。また、フローセル１１の外形は、下側接続口１１ａから上側接続口１１ｂまで一定の面積となっている。つまり、レーザ光照射範囲１１ｃでは、下側接続口１１ａ付近と上側接続口１１ｂ付近とより壁厚が厚くなっている。よって、従来の粒度分布測定装置に使用できるようになっている。
【００２０】
下側配管３０と上側配管３１とは、合成ゴムや軟質プラスチックで形成された円筒形状であり、被測定液Ｓの進行方向と垂直となる断面積が面積Ｄｙ（例えば、２８ｍｍ２）となっている。なお、面積Ｄｙは、面積Ｄｘより大きくなっている。
そして、下側配管３０は、分散槽２１と接続されている。また、上側配管３１は、流量調整機構付ギヤポンプ２３と接続されている。
【００２１】
下側取付部１４ａは、下側配管３０の断面積Ｄｙと下側接続口１１ａの面積Ｄｚとを円滑に接続するような空洞部を有する。また、上側取付部１４ｂは、上側配管３１の断面積Ｄｙと上側接続口１１ｂの面積Ｄｚとを円滑に接続するような空洞部を有する。
このような構成において、フローセル１１の下側接続口１１ａは、下側取付部１４ａを介して下側配管３０と接続されるとともに、フローセル１１の上側接続口１１ｂは、上側取付部１４ｂを介して上側配管３１と接続される。
【００２２】
これにより、フローセル１１を取り付けた状態で、流量調整機構付ギヤポンプ２３の電源を入れて流量調整機構付ギヤポンプ２３を駆動させることによって、媒液Ｌが分散槽２１内に供給されていくともに、気泡発生装置２を駆動させることによって、気泡粒子群Ｐが分散槽２１内に投入されていくと、分散槽２１内で媒液Ｌ中に気泡粒子群Ｐが分散してなる被測定液Ｓが生成されていく。分散槽２１内で生成された被測定液Ｓは、下側接続口１１０ａからフローセル１１内に流入し、そして、フローセル１１内を下方から上方へ流れ、その後、上側接続口１１ｂから流出することになる。このとき、フローセル１１のレーザ光照射範囲１１ｃ中における被測定液Ｓの進行方向と垂直となる断面積Ｄｘ（例えば、２６ｍｍ２）は、下側配管３０における被測定液Ｓの進行方向と垂直となる断面積Ｄｙ（例えば、２８ｍｍ２）より小さくなるように変化することに伴い、フローセル１１中での被測定液Ｓの流速Ｖ１１ｃは、下側配管３０中での被測定液Ｓの流速Ｖ３０より遅くなることはないようになっている。
【００２３】
ところで、流量調整機構付ギヤポンプ２３は、被測定液Ｓをフローセル１１に供給するものであるが、本実施形態に係る流量調整機構付ギヤポンプ２３は、被測定液Ｓをフローセル１１に供給する量を調整することができるようになっている。図３は、流量調整機構付ギヤポンプの一例を示す断面図である。流量調整機構付ギヤポンプ２３は、取り入れ口と排出口とを有する外箱を備え、その内部に歯車２３ａ、２３ｂが配置されている。そして、歯車２３ａ、２３ｂが互いにかみ合いながら回転することにより、被測定液Ｓが外箱と歯車２３ａ、２３ｂとの間を通過して、取り入れ口から排出口へ流れるようになっている。本発明に係る流量調整機構付ギヤポンプ２３では、歯車２３ａ、２３ｂの回転速度を速くしたり、歯車２３ａ、２３ｂの回転速度を遅くしたりすることができるように、歯車２３ａ、２３ｂを回転させるモータ（図示せず）の回転速度の制御が、後述するポンプ制御部４３から出力される制御信号が与えられることにより実行されるようになっている。これにより、フローセル１１中での被測定液Ｓの流速Ｖ１１ｃを変化することができる。つまり、レーザ光照射範囲１１ｃ中でのレイノルズ数を上げていくことで乱流を発生させることができるようになっている。
【００２４】
照射光学系１２は、レーザ光源１２ａと、集光レンズ１２ｂと、空間フィルタ１２ｃと、コリメートレンズ１２ｄとによって構成される。このような構成において、レーザ光源１２ａで発生されたレーザ光は、集光レンズ１２ｂと、空間フィルタ１２ｃと、コリメートレンズ１２ｄとを通過して平行光束とされ、前方向（左から右へ）に向かうようにフローセル１１に照射されるようになっている。これにより、フローセル１１内に被測定液Ｓが下方から上方へ流れるように導入されていると、平行光束はフローセル１１内の気泡粒子群Ｐで回折・散乱して、空間的に回折・散乱光の強度分布が生ずる。
【００２５】
測定光学系１３は、前方向に対して６０°以内を進行する回折・散乱光を集光する集光レンズ１３ａと、集光レンズ１３ａの焦点位置に置かれたリングディテクタ（光検出器）１３ｂと、フローセル１１の後方への散乱光を検出する後方散乱光センサ（光検出器）１３ｄと、下方への散乱光を検出する側方散乱光センサ（光検出器）１３ｃとによって構成されている。
リングディテクタ１３ｂは、互いに異なる半径を持つリング状ないしは半リング状の受光面を持つ複数（例えば、６４個）の光検出素子を、集光レンズ１３ａの光軸を中心とするように同心円状に配置してあり、各光検出素子には、それぞれの位置に応じた回折・散乱角度を持つ光が入射するようにしてある。したがって、各光検出素子の検出信号は、各回折・散乱角度ごとの光の強度を表すことになる。
このような構成において、前方向に対して６０°以内の回折・散乱光は、集光レンズ１３ａを介してリングディテクタ１３ｂの受光面上に集光されて、リング状の回折・散乱像を結ぶようになる。
【００２６】
また、前方向に対して６０°を越えることになる後方への散乱光は、後方散乱光センサ（光検出器）１３ｄによって検出される。後方散乱光センサ１３ｄは、複数（例えば、４個）の光検出素子を、順番に並ぶように配置してあり、各光検出素子には、それぞれの位置に応じた回折・散乱角度を持つ光が入射するようにしてある。したがって、各光検出素子の検出信号は、各回折・散乱角度ごとの光の強度を表すことになる。
さらに、前方向に対して６０°を越えることになる下方への散乱光は、側方散乱光センサ（光検出器）１３ｃによって検出される。
リングディテクタ１３ｂ、後方散乱光センサ１３ｄ及び側方散乱光センサ１３ｃの各光センサの検出信号は、増幅アンプ８、マルチプレクサ７及びＡ−Ｄ変換器９からなるデータサンプリング回路６０によって順次デジタル化され、コンピュータ４０に送信される。
【００２７】
コンピュータ４０においては、ＣＰＵ４１やメモリ（図示せず）を備え、さらにモニタ画面等を有する表示装置（図示せず）と、入力装置４５であるキーボードやマウスとが連結されている。また、ＣＰＵ４１が処理する機能をブロック化して説明すると、気泡粒子群Ｐの粒度分布を算出する測定部４２と、流量調整機構付ギヤポンプ２３を制御するポンプ制御部４３とを有する。
【００２８】
測定部４２は、Ａ／Ｄ変換器９からの検出信号に基づいて、気泡粒子群Ｐの粒度分布を算出する制御を行う。
具体的には、Ａ／Ｄ変換器９からの検出信号、つまり回折・散乱光の空間強度分布データと、予め記憶させている気泡粒子及び媒液Ｌの屈折率とを用いて、フラウンホーファ回折理論やミーの散乱理論に基づいた公知の演算が行われることによって、気泡粒子群Ｐの粒度分布を算出する。
【００２９】
ポンプ制御部４３は、入力装置４５からの操作信号に基づいて、流量調整機構付ギヤポンプ２３のモータの回転速度を制御する制御信号を出力する。
例えば、使用者が、フローセル１１内に被測定液Ｓを流した場合に、気泡粒子群Ｐがフローセル１１の内壁面に付着していると判断したときには、フローセル１１中での被測定液Ｓの流速Ｖ１１ｃを速くするように、入力装置４５を用いて流量調整機構付ギヤポンプ２３のモータの回転速度を現在のモータの回転速度より速くする。そして、使用者は、気泡粒子群Ｐがフローセル１１の内壁面に付着していないと判断するときまで、流量調整機構付ギヤポンプ２３のモータの回転速度を速くしていく。
【００３０】
次に、粒度分布測定装置１による測定方法について説明する。図４は、粒度分布測定装置１による測定方法を示すフローチャートである。
まず、ステップＳ１０１の処理において、下側取付部１４ａと上側取付部１４ｂとの間に、フローセル１１を取り付ける。
次に、ステップＳ１０２の処理において、流量調整機構付ギヤポンプ２３を駆動させることによって、被測定液Ｓをフローセル１１に供給する。
【００３１】
次に、ステップＳ１０３の処理において、使用者は、気泡粒子群Ｐがフローセル１１の内壁面に付着しているか否かを判断する。気泡粒子群Ｐがフローセル１１の内壁面に付着していると判断したときには、ステップＳ１０４の処理において、入力装置４５を用いて流量調整機構付ギヤポンプ２３のモータの回転速度を速くして、ステップＳ１０３の処理に戻る。つまり、気泡粒子群Ｐがフローセル１１の内壁面に付着していないと判断するときまで、ステップＳ１０３及びＳ１０４の処理は繰り返し実行されることになる。
【００３２】
そして、気泡粒子群Ｐがフローセル１１の内壁面に付着していないと判断したときには、ステップＳ１０５の処理において、フローセル１１内を流れる被測定液Ｓにレーザ光を照射することにより、回折・散乱光の強度分布をリングディテクタ１３ｂ、側方散乱光センサ１３ｄ及び後方散乱光センサ１３ｃで測定して、その強度分布の測定結果から被測定液Ｓに含まれる気泡粒子群Ｐの粒度分布を算出する。
そして、ステップＳ１０５の処理を終了したときには、本フローチャートを終了させる。
【００３３】
以上のように、本発明の粒度分布測定装置１によれば、フローセル１１の内壁面に粒子群が付着することを防止することで、気泡粒子群Ｐの粒度分布を正確に算出することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、フローセルを用いて粒子群の粒度分布を測定する場合に好適に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係るレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置の構成を示す図である。
【図２】図１に示す粒度分布測定装置における取付部とフローセルとを示す分解斜視図である。
【図３】流量調整機構付ギヤポンプの一例を示す図である。
【図４】粒度分布測定装置による測定方法を示すフローチャートである。
【図５】従来のレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置の構成を示す図である。
【図６】図５に示す粒度分布測定装置における取付部とフローセルとを示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００３６】
１    粒度分布測定装置
１１  フローセル
１１ａ  下側接続口
１１ｂ  上側接続口
１２ａ  レーザ光源
１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ  光検出器
２３  流量調整機構付ギヤポンプ  
３０  下側配管
３１  上側配管
４３  ポンプ制御部
【図１】
0005012679.tif 000002
【図２】
0005012679.tif 000003
【図３】
0005012679.tif 000004
【図４】
0005012679.tif 000005
【図５】
0005012679.tif 000006
【図６】
0005012679.tif 000007