(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、この支持体に一端が支持された第一の支持部と、この第一の支持部の他端に支持された第一のアームと第二のアームを有し回転軸を中心として捩れ振動する音叉振動子と、この音叉振動子の振動中心に一端が支持された第二の支持部と、この第二の支持部の他端に支持されたミラー部とを備え、前記ミラー部と前記第二の支持部は回転軸を軸中心として反復回転振動し、前記第一のアームと前記第二のアームは前記振動中心と連結部で連結され、前記音叉振動子の連結部に振動を制御するためのモニター用圧電素子を設けた光学反射素子。
【請求項２】
モニター用圧電素子を、回転軸を中心として少なくともいずれか一方の連結部に設けた請求項１に記載の光学反射素子。
【請求項３】
第一のアームと第二のアームの位相が１８０度異なる方向に撓み振動し、音叉振動子が回転軸を中心として捩れ振動するように音叉振動子を振動させる請求項１に記載の光学反射素子。
【請求項４】
音叉振動子の共振周波数と、ミラー部と第二の支持部で構成された捩れ振動子の共振周波数とが略同一周波数とした請求項１に記載の光学反射素子。
【請求項５】
光学反射素子の基材を弾性部材とした請求項１に記載の光学反射素子。
【請求項６】
弾性部材を金属、水晶、ガラスまたは石英とした請求項５に記載の光学反射素子。
【請求項７】
金属をシリコン、チタン、ステンレス、エリンバーまたは黄銅合金とした請求項６に記載の光学反射素子。
【請求項８】
第一のアーム、および／または第二のアームの少なくとも一面に圧電アクチュエータを設け、音叉振動子の連結部の少なくとも一面にモニター用圧電素子を設けた請求項１に記載の光学反射素子。
【請求項９】
圧電アクチュエータおよびモニター用圧電素子を第一の電極層、圧電体層および第二の電極層からなる積層圧電薄膜とした請求項８に記載の光学反射素子。
【請求項１０】
音叉振動子の同一面に圧電アクチュエータおよびモニター用圧電素子を設けた請求項８に記載の光学反射素子。
【請求項１１】
第一のアームおよび第二のアームと、第二の支持部との間に第三の支持部を設けた請求項１に記載の光学反射素子。
【請求項１２】
第三の支持部を、捩れ振動子の共振周波数の高次の定在波の振動節部に設けた請求項１１に記載の光学反射素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザースキャンユニットなどに用いられる光学反射素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザープリンタなどに用いられるレーザーから発せられた光線を掃引するレーザースキャンユニットとしては、多角形状の回転体の側面にミラーを設けたポリゴンミラーが用いられ、このポリゴンミラーを回転させることにより感光体ドラムの走査面上にレーザー光線を掃引させていた（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−２８１９０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このようなカラーレーザープリンタの普及やプリンタの小型化に伴い、レーザースキャンユニットに用いる光学反射素子の小型化が命題となっている。しかしながら、ポリゴンミラーを用いたレーザースキャンユニットにおいては、ポリゴンミラーを小型化することに加え、このポリゴンミラーを駆動させる駆動装置が別途必要となるため、その小型化が非常に困難なものとなっていた。
【０００４】
そこで、本発明はこのような問題を解決し、レーザースキャンユニットを小型化することができるとともに高精度な制御が可能となる光学反射素子の実現を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
そして、この目的を達成するために、本発明は、光学反射素子を、支持体と、この支持体に一端が支持された第一の支持部と、この第一の支持部の他端に支持された第一のアームと第二のアームを有する音叉振動子と、この音叉振動子の振動中心に一端が支持された第二の支持部と、この第二の支持部の他端に支持されたミラー部を備え、前記音叉振動子の連結部に音叉振動子の振動状態をフィードバック制御するためのモニター用圧電素子を設けた構成としたのである。
【発明の効果】
【０００６】
このような構成とすることで、撓み振動と捩れ振動を組み合わせ、モニター用圧電素子を用いて音叉振動子の振動状態をフィードバック制御することによって、高精度にミラー部の振動を制御することによって、光線を掃引させるための小型の光学反射素子を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における光学反射素子の構成について図面を用いて説明する。
【０００８】
図１は本実施の形態１における光学反射素子の平面図、図２は図１のＡＡ部における断面図、図３は光学反射素子の動作原理を説明するための概念図を示している。
【０００９】
図１〜図３において、光学反射素子は、第一の支持部２、第一のアーム３、第二のアーム４、連結部５からなる音叉振動子６を有し、前記第一の支持部２の一端を支持体１に固定し、前記音叉振動子６の振動中心９に第二の支持部１１の一端を固定し、第二の支持部１１の他端にレーザー光線などの光を反射するためのミラー部１２を有した構成を基本とし、特に前記音叉振動子６の連結部５の一部に音叉振動子６の振動を制御するためのモニター用圧電素子８を設けている。このモニター用圧電素子８は音叉振動子６の連結部５が回転軸１４を中心として捩れたとき、モニター用圧電素子８から捻れの大きさによって出力される電気信号を取り出し、その電気信号である位相、電圧を検出するとともに、その検出した電気信号に応じて駆動用の電気信号をフィードバック制御することによって、音叉振動子６の振動を制御し、結果としてミラー部１２の反復回転振動を高精度に制御できることとなり、経時変化あるいは温度変化などに対して所定の振動状態を補正することができる。
【００１０】
また、光学反射素子を構成する基板材料としては、弾性、機械的強度および高いヤング率を有する弾性部材を基材２０として構成することが生産性の観点から好ましく、この弾性部材としては、金属、水晶、ガラスまたは石英材料を用いることが機械的特性と入手性の観点から好ましい。また、金属をシリコン、チタン、ステンレス、エリンバーまたは黄銅合金とすることによって、振動特性、加工性に優れた光学反射素子を実現することができる。
【００１１】
そして、シリコンなどの基材２０で構成された前記第一のアーム３および第二のアーム４の少なくとも一面には、撓み振動を起こすための圧電アクチュエータ１０を形成している。このとき、モニター用圧電素子８を同時に形成しておくことが生産性の観点から好ましい。そして、この圧電アクチュエータ１０およびモニター用圧電素子８は第一の電極層２１、圧電体層２２および第二の電極層２３の積層体構造からなる薄膜積層型圧電アクチュエータとすることが好ましい。これによって、薄型の音叉振動子６に設計することができる。また、音叉振動子６の厚みを第一のアーム３および第二のアーム４の幅寸法よりも小さくすることによって、小型の光学反射素子を実現することができる。
【００１２】
また、これらの第一の電極層２１、圧電体層２２および第二の電極層２３は音叉振動子６を形成する基材２０の上に順次スパッタリング技術などの薄膜プロセスにより形成することができる。従って、圧電アクチュエータ１０およびモニター用圧電素子８を音叉振動子６の同一面に形成することが生産性の観点から好ましい。
【００１３】
そして、前記圧電体層２２に用いる圧電体材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの高い圧電定数を有する圧電体材料が好ましい。
【００１４】
また、音叉振動子６の共振周波数と、ミラー部１２と第二の支持部１１で構成された捩れ振動子の共振周波数とが略同一周波数となるように振動設計することによって効率良くミラー部１２を反復回転振動させる光学反射素子を実現することができる。
【００１５】
さらに、第一のアーム３、第二のアーム４および連結部５の幅を等幅とすることによって不要な振動モードを抑制した光学反射素子とすることができるとともに、音叉振動子６をコの字状とすることによっても同様の効果を有する光学反射素子とすることができる。これらを組み合わせることによってよりその効果を発揮することができる。
【００１６】
また、第一の支持部２、音叉振動子６、第二の支持部１１およびミラー部１２の基材２０を同一材料とすることによって安定した振動特性と生産性に優れた光学反射素子を実現することができる。
【００１７】
また、第一の支持部２および第二の支持部１１の断面形状は円状とすることが好ましい。これによって、捩れ振動の振動モードが安定し、不要共振も抑制することができ、外乱振動に影響されにくい光学反射素子を実現することができる。
【００１８】
また、ミラー部１２は基材２０の表面を鏡面研磨することによって形成することも可能であり、さらに好ましくは光の反射特性に優れた金やアルミニウムの金属薄膜のミラー膜として形成することも可能である。これらの金属薄膜からなるミラー膜の形成は、圧電アクチュエータ１０およびモニター用圧電素子８を作製する工程において、前記と同様にスパッタリング技術により形成することができる。
【００１９】
このような構成からなる光学反射素子は、シリコンウエハーなどの基材２０の上に薄膜プロセス、フォトリソ技術などの半導体プロセスを応用することによって高精度に、一括して作製することが可能であることから、光学反射素子の小型化、高精度化および生産効率に優れた光学反射素子を実現することができる。
【００２０】
また、第二の支持部１１とミラー部１２とからなる捩れ振動子の捩れ振動を利用することによって、小型のデバイス構造でありながら、ミラー部１２の振れ角を大きくすることが可能となる光学反射素子を実現することができる。
【００２１】
さらに、振動の駆動部である音叉振動子６を構成する第一のアーム３と第二のアーム４の撓み振動と第二の支持部１１とミラー部１２とで形成される捩れ振動子の構成を有していることから設計の自由度が高まり、それぞれの寸法形状を工夫することによってミラー部１２の駆動周波数、振れ角などを広範囲に設計対応することができる光学反射素子を実現することができる。
【００２２】
また、前記第一のアーム３と第二のアーム４に形成した圧電アクチュエータ１０のそれぞれの第一の電極層２１と第二の電極層２３の引き出し電極は個別に引き出し線（図示せず）を形成しながらそれぞれの接続端子２５へ接続し、モニター用圧電素子８の第二の電極層２３は独立した配線パターンを経由して独立した接続端子２５に接続している。これによって所定の電気信号をそれぞれの圧電アクチュエータ１０に印加することができるとともに、モニター用圧電素子８からの電気信号を検出し、その電気信号に対応した駆動信号を印加するフィードバック回路を構成することによって、高精度な制御を可能とする光学反射素子を実現することができる。
【００２３】
次に、このような構成からなる光学反射素子の動作原理について説明する。図３は本実施の形態１における光学反射素子の振動状態を説明するための概念図である。
【００２４】
図１〜図３に示すように、圧電アクチュエータ１０を構成する第一の電極層２１と第二の電極層２３との間に交流の駆動電圧を印加することにより圧電体層２２の面方向に伸び・縮みが発生し、この圧電アクチュエータ１０の変形により、第一のアーム３および第二のアーム４の位相が１８０度異なる方向（矢印方向７ａ、７ｂ）に撓み振動を起こす。このとき、第一のアーム３と第二のアーム４に形成したそれぞれの圧電アクチュエータ１０に印加する駆動信号の正負を反対に印加することによって、第一のアーム３と第二のアーム４とは反対方向に撓み振動をすることになる。
【００２５】
そして、この第一のアーム３と第二のアーム４の振動エネルギーは音叉振動子６の連結部５へと伝播される。これによって、音叉振動子６は振動中心９を振動軸として所定の周波数にて反復回転振動（捩れ振動）をする。このとき、音叉振動子６の連結部５の振動中心９のどちらか一方にモニター用圧電素子８を設けておき、このモニター用圧電素子８の電気信号を用いて電気的にフィードバック制御回路を構成して音叉振動子６を振動制御することによって、音叉振動子６の振動を高精度に制御することができる。
【００２６】
次に、この反復回転振動の振動エネルギーが連結部５に接合された第二の支持部１１に振動エネルギーが伝達され、回転軸１４を中心として、第二の支持部１１とミラー部１２とで構成される捩れ振動子として捩れ振動を起こすようになる。これによって、ミラー部１２に回転軸１４を軸中心として矢印１３の方向に反復回転振動を起こす。このとき、音叉振動子６の反復回転振動の方向と、第二の支持部１１およびミラー部１２で構成される捩れ振動子の反復回転振動の方向は位相が１８０度異なる反対方向に振動することとなる。
【００２７】
このような振動モードを有する振動子を構成し、ミラー部１２にレーザー光源またはＬＥＤ光源などから発生させた光線を入力することによって、ミラー部１２の振れ角度を大きくできる小型の光学反射素子を実現することができる。これらの振動部の振動設計をすることによって、大きく出力光の反射角度を変化させることができ、レーザー光線などの入力光を所定の設計値となるように掃引することができる光学反射素子を実現することができる。
【００２８】
このように、高Ｑ値を有した音叉振動子６を振動源とし、モニター用圧電素子８を用いて音叉振動子６の振動状態を電気的に制御可能とし、この安定した振動エネルギーを第二の支持部１１とミラー部１２からなる捩れ振動子への捩れ振動を発生させる励振エネルギーとして供給することによって、安定した反復回転振動をミラー部１２に発生させることができる。
【００２９】
なお、音叉振動子６の反復回転振動をさせるために、第一のアーム３と第二のアーム４の一面に圧電アクチュエータ１０を形成した場合の光学反射素子を例として説明してきたが、少なくともいずれか一方のみに圧電アクチュエータ１０を形成することによって、前記と同様の光学反射素子の動作を実現することが可能である。これは音叉の振動特性を利用したものであり、どちらか一方のアームを励振させると連結部５を介して他方のアームに運動エネルギーが伝播することによって振動させることが可能となる性質を応用したものである。
【００３０】
次に、モニター用圧電素子８について説明する。モニター用圧電素子８を設ける位置は、回転軸１４を中心として、音叉振動子６の連結部５のどちらか一方に設けることが好ましい。これは回転軸１４を中心として対称に配置すると、モニター用圧電素子８に伸びと縮み応力が働き、モニター用圧電素子８の出力がキャンセルされるためである。従って、図１に示したようにモニター用圧電素子８は回転軸１４の左側あるいは右側の連結部５に偏らせて配置することが好ましい。そして、モニター用圧電素子８の出力を大きくするためには第一のアーム３または第二のアーム４の近傍に配置することが特に好ましい。このとき、モニター用圧電素子８の第二の電極層２３は少なくとも２０μｍ以上の幅を有しておれば良く、このような形状の電極パターンを形成することによって、フィードバック制御回路を構成し、音叉振動子６の振動を制御することができる。そして、第二の電極層２３は接続端子２５の一つに接続している。
【００３１】
なお、モニター用圧電素子８の出力を大きくしたいときには、音叉振動子６の連結部５に回転軸１４を中心として両側に配置し、その出力の位相を反転させて接続することも可能である。
【００３２】
以上のような構成からなる光学反射素子の応用としては、レーザービームプリンタが一例としてあげられる。このレーザービームプリンタなどに用いられる感光ユニットは、光源となるレーザーと、このレーザーから発せられたレーザー光線が照射される感光ドラムと、レーザー光線を反射させるとともにその反射方向を可変させることで、レーザー光線を感光ドラムの走査面上を掃引させる光学反射素子から構成されており、この感光ユニットに用いられる光学反射素子は図１〜図３に示した構成の光学反射素子を用いることによって高精度に制御することができる小型のレーザービームプリンタを実現することができる。
【００３３】
次に、本実施の形態１における光学反射素子の製造方法について説明する。
【００３４】
まず始めに、厚みが０．３ｍｍからなるシリコン基板２０を準備し、その上にスパッタリング法または蒸着法などの薄膜プロセスを用いて白金電極からなる第一の電極層２１を形成している。このとき、シリコン基板２０の厚みは厚くても良い。それによって、ウエハ形状の大きなシリコン基板２０を用いることができるとともに、反りなどが少ないことから、より高精度な光学反射素子を効率よく作製することができる。
【００３５】
その後、この第一の電極層２１の上にチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電材料を用いてスパッタリング法などによって圧電体層２２を形成する。このとき、圧電体層２２と第一の電極層２１との間に配向制御層としてＰｂとＴｉを含む酸化物誘電体を用いることが好ましく、ＰＬＭＴからなる配向制御層を形成することがより好ましい。これによって、圧電体層２２の結晶配向性がより高まり、圧電特性に優れた圧電アクチュエータ１０およびモニター用圧電素子８を形成することができる。
【００３６】
次に、この圧電体層２２の上にチタン／金よりなる第二の電極層２３を形成している。
【００３７】
このとき、金電極の下層のチタンはＰＺＴ薄膜などの圧電体層２２との密着力を高めるために形成しており、チタンの他にクロムなどの金属を用いることができる。
【００３８】
これによって、圧電体層２２との密着性に優れ、かつ金電極とは強固な拡散層を形成していることから密着強度を高めた圧電アクチュエータ１０およびモニター用圧電素子８を形成することができる。そして、このときの白金電極の厚みは０．２μｍ、ＰＺＴ薄膜は３．５μｍ、およびチタン電極は０．０１μｍとし、金電極は０．３μｍで形成している。
【００３９】
次に、フォトリソ技術を用いてエッチングすることによってパターン形成された第一の電極層２１、圧電体層２２および第二の電極層２３を形成している。このとき、第一の電極層２１は接地電極として用いる場合は共通電極として形成しておいても良い、しかしながら第二の電極層２３は第一のアーム３、第二のアーム４およびモニター用圧電素子８の電極パターンは独立して形成しておくことが不可欠であり、その配線パターンは接続端子２５にそれぞれ独立して接続し、制御回路と接続される。
【００４０】
そして、それぞれの電極パターンを形成するため、第二の電極層２３のエッチング液としてはヨウ素／ヨウ化カリウム混合溶液と水酸化アンモニウム、過酸化水素混合溶液からなるエッチング液を用いて所定の電極パターンを形成した。
【００４１】
また、第一の電極層２１、圧電体層２２に用いるエッチング方法としてはドライエッチング法とウエットエッチング法のいずれかの方法、あるいはこれらを組み合わせた方法などを用いることができる。一例として、ドライエッチング法であればフルオロカーボン系のエッチングガス、あるいはＳＦ6ガスなどを用いることができる。圧電体薄膜層を弗酸、硝酸、酢酸および過酸化水素の混合溶液からなるエッチング液を用いてウエットエッチングを行うことによってパターン化された圧電体層２２を形成する。
【００４２】
その後、さらにドライエッチングによって下層の電極薄膜層をエッチングすることによりパターン化された第一の電極層２１を形成することによって、図１および図２に示したような圧電アクチュエータ１０およびモニター用圧電素子８を形成することができる。このとき、第一の電極層２１は接地電極として共通電極パターンとして形成することが生産性の観点から好ましい。
【００４３】
次に、ＸｅＦ2ガスを用いてシリコン基板２０を等方的にドライエッチングすることによって不必要なシリコンを除去し、図１に示したような形状を有した光学反射素子を形成することができる。
【００４４】
なお、シリコン基板などをドライエッチングによって異方性を活用して高精度にエッチングする場合には、エッチングを促進するＳＦ6ガスとエッチングを抑制するＣ4Ｆ8ガスなどを用いて、より直線的にエッチングをすることが好ましい。そして、エッチングの際には、前記ガスを用いた混合ガスを用いること、あるいは交互に前記ガスを切り替えてドライエッチングを行うエッチング方法が可能であり、これらの方法を寸法形状、加工精度に合わせて適宜選択してエッチング加工することが可能であり、以上のような製造方法によって、小型で、振動の制御性に優れた高精度な光学反射素子を一括して効率よく作製することができる。
【００４５】
前記製造プロセスを用いて、第一および第二のアーム３，４の長さ；１．０ｍｍ、幅；０．３ｍｍとし、第一の支持部２の長さ；０．２ｍｍ、幅；０．１ｍｍ、第二の支持部１１の長さ；０．４ｍｍ、幅；０．１ｍｍ、ミラー部１２；１．０×１．０ｍｍとし、モニター用圧電素子８の長さ；０．４ｍｍ、幅；０．０５ｍｍとしたとき、駆動周波数；２２ｋＨｚ、ミラー部１２の振れ角；±１０度の特性を有し、振れ角安定性に優れた光学反射素子を作製することができた。
【００４６】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２における光学反射素子の構成について図面を用いて説明する。
【００４７】
図４は本実施の形態２における光学反射素子の平面図を示している。
【００４８】
本実施の形態２における光学反射素子の基本的な構成は実施の形態１の構成とほぼ同様であり、その詳細な説明は省略し、本実施の形態２における光学反射素子が実施の形態１と大きく異なっている構成について図面を用いて説明する。
【００４９】
図４において、第一のアーム３と第二のアーム４の中間部と第二の支持部１１との間に第三の支持部３０を設けたことを特徴としている。また、モニター用圧電素子８は回転軸１４の右側の連結部５に形成している。これによって、音叉振動子６の反復回転振動のエネルギーを効率よく第二の支持部１１へ伝達することが可能となり、さらに小型の光学反射素子を実現することができる。さらに詳細には、第三の支持部３０を、第二の支持部１１に発生する第二の支持部１１とミラー部１２から構成された捩れ振動子の共振周波数の高次の定在波の振動節部に設けたことを特徴としている。この定在波は１／２、１／３、１／４と示されるように整数分の一で現れてくるものであり、この所定の定在波の振動節部に第三の支持部３０を設けることが好ましい。このように、第三の支持部３０は音叉振動子６の振動中心９に近い位置に配置することが好ましい。これによって、第一のアーム３と第二のアーム４の撓み振動の減衰を抑制しながら効率よくミラー部１２を反復回転振動させることができる。
【００５０】
以上説明してきたように、第三の支持部３０を、第二の支持部１１に発生する捩れ振動子の共振周波数の高次の定在波の振動節部に設けた光学反射素子とすることによって、振れ角安定性に優れるとともに、より小型で振れ角度の大きな光学反射素子を実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、光学反射素子に関して小型化で、高精度な振動制御を可能とする効果を有し、特に電子写真方式の複写機、レーザープリンタ、光学スキャナ用途に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施の形態１における光学反射素子の平面図
【図２】同図１のＡＡ部における断面図
【図３】同動作状態を説明するための模式図
【図４】本発明の実施の形態２における光学反射素子の平面図
【符号の説明】
【００５３】
１  支持体
２  第一の支持部
３  第一のアーム
４  第二のアーム
５  連結部
６  音叉振動子
７ａ、７ｂ  矢印
８  モニター用圧電素子
９  振動中心
１０  圧電アクチュエータ
１１  第二の支持部
１２  ミラー部
１３  矢印
１４  回転軸
２０  基材
２１  第一の電極層
２２  圧電体層
２３  第二の電極層
２５  接続端子
３０  第三の支持部
【図１】
0005045532.tif 000002
【図２】
0005045532.tif 000003
【図３】
0005045532.tif 000004
【図４】
0005045532.tif 000005