(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端部へ向かって上向きに傾斜して延びるように配置されるフォークを備え、そのフォーク上に搬送物を載せて搬送するロボット用ハンドであって、
前記フォークには、少なくとも第１位置と、この第１位置よりも先端部側の第２位置とに移動可能な加重部材が設けられており、
前記加重部材は、前記フォーク上に前記搬送物が載せられていないときに前記第２位置に配置されることにより前記フォークの先端部を下方へ向かって撓ませる、ロボット用ハンド。
【請求項２】
前記フォークは、前記加重部材を前記第１位置と前記第２位置との間で移動可能に収容する移動空間を内部に有する、請求項１に記載のロボット用ハンド。
【請求項３】
前記フォークには、前記加重部材を前記第１位置と前記第２位置との間で移動可能に保持する保持部材が取り付けられている、請求項１に記載のロボット用ハンド。
【請求項４】
前記保持部材は、前記加重部材を前記第１位置と前記第２位置との間で移動可能に収容する移動空間を内部に有する、請求項３に記載のロボット用ハンド。
【請求項５】
前記加重部材を前記第１位置と前記第２位置との間で移動させる移動機構を備える、請求項１〜４のいずれか１項に記載のロボット用ハンド。
【請求項６】
前記移動機構は、前記加重部材を移動させる駆動部と、その駆動部による前記加重部材の移動方向を前記第１位置から前記第２位置へ向かう方向と前記第２位置から前記第１位置へ向かう方向とに相互に切り替える移動方向切替部とを含む、請求項５に記載のロボット用ハンド。
【請求項７】
前記加重部材を移動させる駆動部と、
その駆動部による前記加重部材の移動方向を前記第１位置から前記第２位置へ向かう方向と前記第２位置から前記第１位置へ向かう方向とに相互に切り替える移動方向切替部とを備え、
前記駆動部は、前記移動空間内へ流体を供給するための供給部と、前記移動空間内から流体を排出するための排出部とを有し、
前記移動方向切替部は、前記供給部からの流体を前記移動空間内の前記加重部材に対して前記基端部側の空間に導入するとともに前記移動空間内の前記加重部材に対して前記先端部側の空間から前記排出部へ流体を排出させて前記加重部材を前記第１位置から前記第２位置へ移動させる第１状態と、前記供給部からの流体を前記移動空間内の前記加重部材に対して前記先端部側の空間に導入するとともに前記移動空間内の前記加重部材に対して前記基端部側の空間から前記排出部へ流体を排出させて前記加重部材を前記第２位置から前記第１位置へ移動させる第２状態とを相互に切り替える流体給排切替部を有する、請求項２または４に記載のロボット用ハンド。
【請求項８】
前記加重部材は、前記搬送物を載せていない前記フォークにおいて前記第２位置に配置されたときに、そのフォークに前記搬送物を載せたときと略等しい撓みを生じさせるような重量を有する、請求項１〜７のいずれか１項に記載のロボット用ハンド。
【請求項９】
前記加重部材は、前記フォークに複数設けられ、これら各加重部材は、少なくとも前記第１位置と前記第２位置とに個別に移動可能に設けられている、請求項１〜７のいずれか１項に記載のロボット用ハンド。
【請求項１０】
複数の前記加重部材のうち所定数の加重部材を前記第２位置へ移動させるとともに所定数の加重部材を前記第１位置へ移動させる移動機構を備える、請求項９に記載のロボット用ハンド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロボット用ハンドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネル用ガラス基板等の搬送物を搬送するために搬送用ロボットが用いられており、このような搬送用ロボットの一例が下記の特許文献１に開示されている。
【０００３】
下記特許文献１に開示された搬送用ロボットは、フォークが取り付けられた二次元または三次元の移動を行うロボット用ハンドを有しており、前記フォークはハンドへの取り付け部から突出するように延びている。この搬送用ロボットは、収納ラック内に多段に載置された搬送物間に前記フォークを差し込んだ後、そのフォークを上昇させて搬送物を載せ、その状態でハンドを移動させることにより搬送物を搬出する。
【０００４】
そして、前記ロボット用ハンドには、フォークが長いものである場合にそのフォークが自重によって撓み、その先端部が垂れ下がるのを補正するための先端位置調整手段が設けられている。この先端位置調整手段は、フォークの基端部から少し先端部寄りの部分を押し上げることによりフォークの先端部を持ち上げてその垂れ下がりを補正するように構成されている。
【特許文献１】特開２００６−１１０６６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、最近では搬送物の大型化が進み、それに伴って搬送物の重量も増加している。このため、フォークは、自重による撓みに加えて搬送物の重量に起因する撓みが大きくなる傾向にある。
【０００６】
この場合において、上記特許文献１の技術によれば、前記搬送物の重量増加に起因して増加するフォークの先端部の垂れ下がりを補正するために前記先端位置調整手段によってフォークの先端部をより持ち上げ、フォークの上向き角度をより大きくすることが必要となる。
【０００７】
しかしながら、この場合には、搬送物を載せたときのフォークの先端部の垂れ下がりは補正されるものの、搬送物を載せているときと載せていないときのフォークの撓みの差が増大し、これによって収納ラックへの搬送物の載置または取り出しの際に不都合が発生する。
【０００８】
すなわち、フォークに載せた搬送物を収納ラックの各段に載置する際には、搬送物をラックに載置した後、フォークの撓みが復元して大きな角度で上向きになり、そのフォークの先端が載置した搬送物の下面に当たるのを避けるためにフォークを大きく降下させることが必要となり、この場合には１つ下の段に載置された搬送物にフォークが当たる虞がある。一方、この下段の搬送物にフォークが当たるのを避けるためには、上向きに復元したフォークの先端が前記載置した搬送物の下面に擦れた状態で当該フォークを引き出さざるを得なくなる虞がある。また、収納ラックの各段に載置された搬送物を取り出す際には、フォークを取り出すべき搬送物の下に差し込むときに大きな角度で上向きのフォークの先端がその搬送物に当たったり、それを避けるためにフォークをより降下させた状態で差し込もうとするとフォークの基端部側が下段の搬送物に当たる虞がある。
【０００９】
そこで、このような問題点を解消するために、収納ラックの各段の間隔を大きくすることが考えられるが、この場合には、収納量を確保するために収納ラックの高さを増大せざるを得ず、それに伴って収納ラックの設置場所の天井高さの増大や搬送用ロボットの到達高さの増大が必要になる等の別の問題点が生じる。
【００１０】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、搬送物を多段に収納する収納ラックの高さを増大させることなく、収納ラックの各段の搬送物に対するフォークの意図しない当接を回避しながら搬送物の載置または取り出しを行うことが可能なロボット用ハンドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明によるロボット用ハンドは、先端部へ向かって上向きに傾斜して延びるように配置されるフォークを備え、そのフォーク上に搬送物を載せて搬送するロボット用ハンドであって、前記フォークには、少なくとも第１位置と、この第１位置よりも先端部側の第２位置とに移動可能な加重部材が設けられており、前記加重部材は、前記フォーク上に前記搬送物が載せられていないときに前記第２位置に配置されることにより前記フォークの先端部を下方へ向かって撓ませる。
【００１２】
このロボット用ハンドでは、フォーク上に搬送物を載せるときには加重部材を第１位置に配置してフォークに搬送物の重量による撓みを生じさせる一方、フォーク上に搬送物を載せていないときには加重部材をその第１位置よりも先端部側の第２位置に移動させてフォークに加重部材の重量による撓みを生じさせることができる。これにより、搬送物を載せているときと載せていないときのフォークの撓みの差を小さくすることができる。さらに、このロボット用ハンドでは、フォークが先端部へ向かって上向きに傾斜して延びるように配置されるので、そのフォークの傾きによって搬送物の重量または加重部材の重量によりフォークに撓みが生じたときのフォーク先端部の垂れ下がりが相殺される。従って、このロボット用ハンドでは、収納ラックの各段の間隔を大きくしなくても、収納ラックに対する搬送物の載置または取り出し時に収納ラックの各段の搬送物とフォークとの意図しない当接を回避することができ、その結果、収納ラックの高さを増大させることなく、収納ラックの各段の搬送物に対するフォークの意図しない当接を回避しながら搬送物の載置または取り出しを行うことができる。
【００１３】
上記ロボット用ハンドにおいて、前記フォークは、前記加重部材を前記第１位置と前記第２位置との間で移動可能に収容する移動空間を内部に有するのが好ましい。
【００１４】
このように構成すれば、加重部材の移動に伴って加重部材またはそれを保持する部分から磨耗粉が生じたとしてもその磨耗粉をフォーク内部の移動空間内で保持することができる。このため、加重部材をフォークの外部に取り付けて基端部側と先端部側の間で移動させる構成と異なり、フォークの外部で前記磨耗粉が発生するのを防ぐことができ、その磨耗粉が搬送物に付着して搬送物が汚れるのを防ぐことができる。
【００１５】
上記ロボット用ハンドにおいて、前記フォークには、前記加重部材を前記第１位置と前記第２位置との間で移動可能に保持する保持部材が取り付けられていてもよい。
【００１６】
このように構成すれば、フォーク内部の構造を簡略化しつつ、加重部材を第１位置と第２位置とに移動可能な構造を構成することができる。
【００１７】
この場合において、前記保持部材は、前記加重部材を前記第１位置と前記第２位置との間で移動可能に収容する移動空間を内部に有するのが好ましい。
【００１８】
このように構成すれば、加重部材の移動に伴って加重部材または保持部材から磨耗粉が生じたとしてもその磨耗粉を保持部材内部の移動空間で保持することができる。このため、フォーク及び保持部材の外部で前記磨耗粉が発生するのを防ぐことができ、その磨耗粉が搬送物に付着して搬送物が汚れるのを防ぐことができる。
【００１９】
上記ロボット用ハンドにおいて、前記加重部材を前記第１位置と前記第２位置との間で移動させる移動機構を備えるのが好ましい。
【００２０】
このように構成すれば、移動機構によって加重部材を第１位置と第２位置との間で移動させることができるので、使用者が手動で加重部材を移動させる場合に比べて使用者の作業負担を軽減することができる。
【００２１】
この場合において、前記移動機構は、前記加重部材を移動させる駆動部と、その駆動部による前記加重部材の移動方向を前記第１位置から前記第２位置へ向かう方向と前記第２位置から前記第１位置へ向かう方向とに相互に切り替える移動方向切替部とを含むのが好ましい。
【００２２】
このように構成すれば、移動方向切替部による切り替え動作により１つの駆動部で加重部材の第１位置から第２位置への移動と第２位置から第１位置への移動とを両方行うことができるので、加重部材を第１位置から第２位置へ移動させる駆動部と第２位置から第１位置へ移動させる駆動部とを個別に設ける場合に比べて移動機構の構成を簡素化することができる。
【００２３】
上記移動空間内において加重部材を前記第１位置と前記第２位置との間で移動させる場合の具体的な構成として、前記加重部材を移動させる駆動部と、その駆動部による前記加重部材の移動方向を前記第１位置から前記第２位置へ向かう方向と前記第２位置から前記第１位置へ向かう方向とに相互に切り替える移動方向切替部とを備え、前記駆動部は、前記移動空間内へ流体を供給するための供給部と、前記移動空間内から流体を排出するための排出部とを有し、前記移動方向切替部は、前記供給部からの流体を前記移動空間内の前記加重部材に対して前記基端部側の空間に導入するとともに前記移動空間内の前記加重部材に対して前記先端部側の空間から前記排出部へ流体を排出させて前記加重部材を前記第１位置から前記第２位置へ移動させる第１状態と、前記供給部からの流体を前記移動空間内の前記加重部材に対して前記先端部側の空間に導入するとともに前記移動空間内の前記加重部材に対して前記基端部側の空間から前記排出部へ流体を排出させて前記加重部材を前記第２位置から前記第１位置へ移動させる第２状態とを相互に切り替える流体給排切替部を有していてもよい。
【００２４】
上記ロボット用ハンドにおいて、前記加重部材は、前記搬送物を載せていない前記フォークにおいて前記第２位置に配置されたときに、そのフォークに前記搬送物を載せたときと略等しい撓みを生じさせるような重量を有するのが好ましい。
【００２５】
このように構成すれば、フォーク上に搬送物を載せていないときに加重部材を前記第２位置に配置すれば、そのフォークの撓みをそのフォーク上に搬送物を載せているときの撓みと略等しくすることができる。これにより、搬送物を載せているときと載せていないときのフォークの撓みの差をほぼなくすことができる。
【００２６】
上記ロボット用ハンドにおいて、前記加重部材は、前記フォークに複数設けられ、これら各加重部材は、少なくとも前記第１位置と前記第２位置とに個別に移動可能に設けられていてもよい。
【００２７】
このように構成すれば、重量の異なる各搬送物をフォーク上に載せて搬送する場合に、各加重部材の前記第２位置への配置の仕方により搬送物を載せていないときにフォークの先端部に掛ける荷重をその搬送物の重量に合わせて調節することができる。このため、各重量の搬送物を載せたときのフォークの撓みと合うようにその搬送物を載せていないときのフォークの撓みを調節することができる。これにより、重量の異なる各搬送物をフォーク上に載せて搬送する場合でも、その各搬送物を載せているときと載せていないときにおけるフォークの撓みの差を小さくすることができる。
【００２８】
この場合において、複数の前記加重部材のうち所定数の加重部材を前記第２位置へ移動させるとともに所定数の加重部材を前記第１位置へ移動させる移動機構を備えるのが好ましい。
【００２９】
このように構成すれば、フォーク上に搬送物を載せていないときに移動機構によりそのフォーク上に載せるべき搬送物の重量に応じた重量の加重部材を第２位置に配置することができる。これにより、使用者が手動でそのような各加重部材の移動を行う場合に比べて使用者の作業負担を軽減することができる。
【発明の効果】
【００３０】
以上説明したように、本発明のロボット用ハンドによれば、搬送物を多段に収納する収納ラックの高さを増大させることなく、収納ラックの各段の搬送物に対するフォークの意図しない当接を回避しながら搬送物の載置または取り出しを行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
【００３２】
図１は、本発明の一実施形態による搬送用ロボットの概略的な全体構成を示した側面図である。図２は、図１に示した搬送用ロボットにより収納ラック１１０へガラス基板１００を装入または取り出す際の状態を示した斜視図である。図３は、ロボット用ハンド６を構成する１つのフォーク１０の上面図であり、図４は、そのフォーク１０を先端側から見た図である。図５は、図４に示したフォーク１０のＶ−Ｖ線に沿った断面図であり、図６は、図３に示したフォーク１０のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。図７は、ガラス基板１００を載せたフォーク１０の撓みを示した図であり、図８は、ガラス基板１００を載せていないときのフォーク１０の加重部材１３による撓みを示した図である。まず、図１〜図８を参照して、本発明の一実施形態によるロボット用ハンド６及びそれを備えた搬送用ロボットの構成について説明する。
【００３３】
本実施形態による搬送用ロボットは、後述するフォーク１０上に搬送物としての液晶パネル用のガラス基板１００を載せて搬送するものである。この搬送用ロボットは、図２に示すように、多段式の収納ラック１１０の各段へのガラス基板１００の載置または収納ラック１１０の各段に載置されたガラス基板１００の取り出しを行う。そして、この搬送用ロボットは、図１に示すように、ベース部２と、アーム部４と、ロボット用ハンド６とを備えている。
【００３４】
前記ベース部２は、搬送用ロボットの基台となる部分であり、このベース部２上に前記アーム部４が搭載されている。
【００３５】
前記アーム部４は、第１支持部４ａ、第２支持部４ｂ、第１関節部４ｃ、第２関節部４ｄ及び第３関節部４ｅを有している。
【００３６】
前記第１支持部４ａは、所定方向に直線的に延びる棒状の部材であり、前記ベース部２上に前記第１関節部４ｃを介して取り付けられている。これにより、第１支持部４ａは、第１関節部４ｃによってベース部２に対して関節駆動するように構成されている。
【００３７】
前記第２支持部４ｂは、前記第１支持部４ａと同様に直線的に延びる棒状の部材である。この第２支持部４ｂは、前記第２関節部４ｄを介して前記第１支持部４ａの先端部に接続されている。これにより、第２支持部４ｂは、第２関節部４ｄによって第１支持部４ａに対して関節駆動するように構成されている。
【００３８】
前記第３関節部４ｅは、前記第２支持部４ｂの先端部と前記ロボット用ハンド６の後述するハンドベース８とを繋いでおり、この第３関節部４ｅによって前記ロボット用ハンド６が第２支持部４ｂに対して関節駆動するように構成されている。そして、このアーム部４の前記各関節部４ｃ，４ｄ，４ｅにおける関節駆動によって前記ロボット用ハンド６を三次元の各方向へ移動させることができるようになっている。
【００３９】
前記ロボット用ハンド６は、ガラス基板１００の搬送時にガラス基板１００を載せて支持するものである。このロボット用ハンド６は、ハンドベース８と、複数のフォーク１０と、第１検知部１１ａ（図３参照）と、第２検知部１１ｂと、複数の吸着パッド１２と、加重部材１３（図５参照）と、移動機構１４と、吸着機構１６とを有する。
【００４０】
前記ハンドベース８は、上記したように前記アーム部６の第３関節部４ｅに接続されている。このハンドベース８の上面に前記複数のフォーク１０が取り付けられている。
【００４１】
前記複数のフォーク１０は、その上にガラス基板１００を載せるものである。各フォーク１０は、前記ハンドベース８から突出するように設けられており、互いに平行に間隔をあけて配置されている。各フォーク１０は、ＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック）などで形成された直線的に延びる角棒状の部材からなる。そして、本実施形態では、ガラス基板１００の搬送時には前記第３関節部４ｅによりロボット用ハンド６が上向きに傾斜した姿勢で保持されることによって、各フォーク１０が先端部へ向かって上向きに傾斜して延びるように配置される。
【００４２】
各フォーク１０は、その上にガラス基板１００を載せることによりそのガラス基板１００の重量によって撓み、フォーク１０の先端部が垂れ下がろうとするが、フォーク１０の上向きの傾きによって先端部の垂れ下がりは相殺され、フォーク１０の先端部近傍及びフォーク１０上に載せられたガラス基板１００の姿勢が略水平に保持される。
【００４３】
各フォーク１０の内部には、図５及び図６に示すように、移動空間１０ａと、第１給排路１０ｂと、第２給排路１０ｃと、吸引路１０ｄとが形成されている。
【００４４】
前記移動空間１０ａは、フォーク１０の基端部から先端部に亘ってその長さ方向に延びており、前記加重部材１３をフォーク１０の基端部でかつ前記ハンドベース８上に位置する第１位置Ｐ１とフォーク１０の先端部に位置する第２位置Ｐ２との間で移動可能に収容するものである。
【００４５】
前記第１給排路１０ｂは、前記移動空間１０ａ内の加重部材１３に対して基端部側の空間に空気を給排するための経路である。この第１給排路１０ｂは、フォーク１０の基端部側の端面から移動空間１０ａの一方端部へ貫通するように延びている。
【００４６】
前記第２給排路１０ｃは、前記移動空間１０ａ内の加重部材１３に対して先端部側の空間に空気を給排するための経路である。この第２給排路１０ｃは、フォーク１０の基端部側の端面から先端部へ前記移動空間１０ａに沿って延び、その先端部で屈曲して前記移動空間１０ａの他方端部に繋がっている。
【００４７】
前記吸引路１０ｄは、前記吸着機構１６により前記吸着パッド１２にガラス基板１００を吸着させる際に真空吸引するための経路である。この吸引路１０ｄは、フォーク１０の基端部側の端面から先端部までフォーク１０の長さ方向に延びている。また、この吸引路１０ｄには、前記各吸着パッド１２に対応する箇所でフォーク１０の上面へ延びる複数の吸引孔１０ｅが設けられている。
【００４８】
上記した移動空間１０ａ、第１給排路１０ｂ、第２給排路１０ｃ及び吸引路１０ｄは、フォーク１０内で水平方向にレイアウトされており、それらがフォーク１０の厚み方向にレイアウトされる場合に比べてフォーク１０の厚みの増大が抑制されている。
【００４９】
また、フォーク１０の側壁の前記第１位置Ｐ１に対応する箇所には、その側壁の内外を貫通し、移動空間１０ａと連通する貫通孔１０ｆが設けられており、同側壁の前記第２位置Ｐ２に対応する箇所には、同様の貫通孔１０ｇが設けられている。
【００５０】
前記第１検知部１１ａは、前記加重部材１３が前記第１位置Ｐ１に配置されたことを検知するものである。この第１検知部１１ａは、フォーク１０の側壁の外面の前記第１位置Ｐ１側の貫通孔１０ｆに対応する位置に取り付けられており、移動空間１０ａ内の加重部材１３が第１位置Ｐ１に配置されたときには前記貫通孔１０ｆを通じてそのことを検知するように構成されている。この第１検知部１１ａとしては、光電センサや電磁誘導式の近接センサまたは磁力式のシリンダスイッチなどが用いられる。
【００５１】
前記第２検知部１１ｂは、前記加重部材１３が前記第２位置Ｐ２に配置されたことを検知するものである。この第２検知部１１ｂは、フォーク１０の側壁の外面の前記第２位置Ｐ２側の貫通孔１０ｇに対応する位置に取り付けられており、移動空間１０ａ内の加重部材１３が第２位置Ｐ２に配置されたときには前記貫通孔１０ｇを通じてそのことを検知するように構成されている。この第２検知部１１ｂとしては、前記第１検知部１１ａと同様のものが用いられる。
【００５２】
前記複数の吸着パッド１２は、フォーク１０上にガラス基板１００を載せるときにそのガラス基板１００を吸着して安定的に保持するために用いられるものである。各吸着パッド１２は、図３及び図４に示すように、フォーク１０の上面の前記各吸引孔１０ｅに対応する箇所に設置されているとともに、そのフォーク１０の先端部から基端部へ向かって間隔をあけて配置されている。吸着パッド１２の中央部分には、上下に貫通する孔部１２ａ（図６参照）が形成されており、この孔部１２ａの位置と前記吸引孔１０ｅの位置が合うように吸着パッド１２が配設され、当該孔部１２ａと前記吸引孔１０ｅが連通している。
【００５３】
前記加重部材１３は、フォーク１０上にガラス基板１００が載っていないときにそのフォーク１０にガラス基板１００が載っているときと略等しい撓みを生じさせるものである。
【００５４】
具体的には、この加重部材１３は、前記フォーク１０の内部の移動空間１０ａに適合する矩形状に形成されており、前記移動空間１０ａ内で移動可能に収容されることにより前記第１位置Ｐ１と前記第２位置Ｐ２とに配置可能に設けられている。加重部材１３は、ガラス基板１００を載せていないフォーク１０において第２位置Ｐ２に配置されたときに、そのフォーク１０にガラス基板１００を載せたときと略等しい撓みを生じさせるような重量を有している。
【００５５】
そして、この加重部材１３は、フォーク１０上にガラス基板１００を載せているときには、図７に示すように前記第１位置Ｐ１へ配置してフォーク１０に加重部材１３の重量による撓みを生じさせないようにする一方、フォーク１０上にガラス基板１００を載せていないときには、図８に示すように前記第２位置Ｐ２へ配置して加重部材１３の重量をフォーク１０の先端部に掛け、ガラス基板１００を載せているときと略等しい撓みをフォーク１０に生じさせる。
【００５６】
また、加重部材１３は、ステンレス鋼やタングステン合金などによって形成されている。加重部材１３にタングステン合金などの比重の大きい材料を用いた場合には、コンパクト化を図ることが可能である。
【００５７】
前記移動機構１４は、図５に示すように、前記加重部材１３を第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で移動させるものであり、本実施形態では圧縮空気で加重部材１３を動かすようになっている。なお、前記圧縮空気は、本発明の流体の概念に含まれるものである。この移動機構１４は、駆動部２０と、移動方向切替部２２とを有している。
【００５８】
前記駆動部２０は、前記移動空間１０ａ内の加重部材１３を移動させるために移動空間１０ａ内へ空気の給排を行うものであり、圧縮空気を移動空間１０ａへ供給するための供給部２０ａと、移動空間１０ａから空気を排出するための排出管２０ｂとによって構成されている。
【００５９】
前記供給部２０ａは、圧縮空気を送り出すコンプレッサ２０ｃと、そのコンプレッサ２０ｃからの圧縮空気を前記第１給排路１０ｂまたは前記第２給排路１０ｃへ供給するための供給管２０ｄとを有している。供給管２０ｄは、コンプレッサ２０ｃと前記移動方向切替部２２の後述する切替弁２２ｃとを繋いでおり、この供給管２０ｄの途中には供給する圧縮空気の圧力調整のための減圧弁２０ｅが設けられている。なお、この減圧弁２０ｅの代わりに圧縮空気の流量を調節するスピードコントローラを設けてもよい。
【００６０】
前記排出管２０ｂは、前記移動方向切替部２２の後述する切替弁２２ｃと接続されるものであり、この排出管２０ｂを通って前記移動空間１０ａ内の空気が排気される。なお、この排出管２０ｂは、本発明の排出部の概念に含まれるものである。
【００６１】
前記移動方向切替部２２は、移動空間１０ａへ空気が給排される方向を切り替えることにより前記駆動部２０による加重部材１３の移動方向を前記第１位置Ｐ１から前記第２位置Ｐ２へ向かう方向と前記第２位置Ｐ２から前記第１位置Ｐ１へ向かう方向とに相互に切り替えるものである。この移動方向切替部２２は、第１接続管２２ａと、第２接続管２２ｂと、切替弁２２ｃとによって構成されている。
【００６２】
前記第１接続管２２ａは、その一端部が前記第１給排路１０ｂに接続されているとともに他端部が前記切替弁２２ｃを介して前記供給管２０ｄ及び前記排出管２０ｂに接続されている。この第１接続管２２ａは、前記供給管２０ｄを通じて供給される圧縮空気を第１給排路１０ｂへ流したり、第１給排路１０ｂを通じて排出される前記移動空間１０ａ内の空気を前記排出管２０ｂへ流すものである。
【００６３】
前記第２接続管２２ｂは、その一端部が前記第２給排路１０ｃに接続されているとともに他端部が前記切替弁２２ｃを介して前記供給管２０ｄ及び前記排出管２０ｂに接続されている。この第２接続管２２ｂは、前記供給管２０ｄを通じて供給される圧縮空気を第２給排路１０ｃへ流したり、第２給排路１０ｃを通じて排出される前記移動空間１０ａ内の空気を前記排出管２０ｂへ流すものである。
【００６４】
前記切替弁２２ｃは、前記供給管２０ｄ及び前記排出管２０ｂと前記第１接続管２２ａ及び前記第２接続管２２ｂとの間に接続されており、これら相互間の空気の流れる経路を切り替えるためのものである。この切替弁２２ｃは、本発明の流体給排切替部の概念に含まれるものである。
【００６５】
具体的には、切替弁２２ｃは、圧縮空気により移動空間１０ａ内の加重部材１３を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２へ移動させる第１状態と加重部材１３を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１へ移動させる第２状態とを相互に切り替えることができるように構成されている。
【００６６】
前記第１状態では、切替弁２２ｃは、前記供給部２０ａの供給管２０ｄからの圧縮空気を前記第１接続管２２ａ及び前記第１給排路１０ｂを通じて移動空間１０ａ内の加重部材１３に対して基端部側の空間に導入することにより、その圧縮空気で加重部材１３を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２へ移動させる一方、移動空間１０ａ内の加重部材１３に対して先端部側の空間からこの加重部材１３によって押し出される空気を前記第２給排路１０ｃ及び前記第２接続管２２ｂを通じて前記排出管２０ｂへ排出させる。
【００６７】
一方、前記第２状態では、切替弁２２ｃは、前記供給部２０ａの供給管２０ｄからの圧縮空気を前記第２接続管２２ｂ及び前記第２給排路１０ｃを通じて移動空間１０ａ内の加重部材１３に対して先端部側の空間に導入することにより、その圧縮空気で加重部材１３を第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１へ移動させる一方、移動空間１０ａ内の加重部材１３に対して基端部側の空間からこの加重部材１３によって押し出される空気を前記第１給排路１０ｂ及び前記第１接続管２２ａを通じて前記排出管２０ｂへ排出させる。
【００６８】
前記吸着機構１６は、フォーク１０上に載せたガラス基板１００を真空吸引により前記吸着パッド１２に吸着させるものである。この吸着機構１６は、吸引装置１６ａと、吸引管１６ｂと、スピードコントローラ１６ｃと、電磁弁１６ｄとを有する。
【００６９】
前記吸引装置１６ａは、真空吸引を行うものであり、この吸引装置１６ａと前記フォーク１０の吸引路１０ｄが前記吸引管１６ｂを介して繋がっている。これにより、吸引装置１６ａの真空吸引が吸引管１６ｂ、吸引路１０ｄ、吸引孔１０ｅ及び吸着パッド１２の孔部１２ａを通じて吸着パッド１２上に載ったガラス基板１００の下面に及ぼされ、そのガラス基板１００の下面が吸着パッド１２に吸着されるようになっている。
【００７０】
前記スピードコントローラ１６ｃは、前記吸引管１６ｂの途中に設けられており、前記吸引装置１６ａによる吸引量を調節するためのものである。
【００７１】
前記電磁弁１６ｄは、前記吸引管１６ｂのうち前記スピードコントローラ１６ｃよりも前記吸引路１０ｄ側に設けられている。この電磁弁１６ｄの開閉により前記吸着パッド１２へ吸引装置１６ａの真空吸引を及ぼさせるか否かが制御され、それによって、吸着パッド１２へのガラス基板１００の吸着と開放が切り替えられるようになっている。
【００７２】
図９〜図１１は、本実施形態による搬送用ロボットの動作を説明するための図である。次に、図９〜図１１を参照して、本実施形態による搬送用ロボットの動作について説明する。
【００７３】
まず、収納ラック１１０に多段に載置されたガラス基板１００を取り出す際の動作では、加重部材１３をフォーク１０の先端部の第２位置Ｐ２へ配置してフォーク１０を撓ませるとともにロボット用ハンド６を上向きに所定角度だけ傾斜させて、撓んだフォーク１０の先端部が略水平に配置されるようにする。
【００７４】
この際、使用者が図略のコントローラを操作することに応じて移動機構１４（図５参照）において切替弁２２ｃの切り替え動作が実行され、コンプレッサ２０ｃから供給される圧縮空気が供給管２０ｄ、第１接続管２２ａ及び第１給排路１０ｂを通じて移動空間１０ａ内に基端部側から導入され、その圧縮空気の圧力によって加重部材１３が第２位置Ｐ２へ移動する。加重部材１３が移動して第２位置Ｐ２へ配置されたことは、第２検知部１１ｂによって検知されて確認される。そして、加重部材１３の移動に伴って移動空間１０ａの先端部側から空気が押し出され、その空気は第２給排路１０ｃ、第２接続管２２ｂ及び排出管２０ｂを通じて排気される。
【００７５】
なお、上記切替弁２２ｃの切り替え動作は、搬送用ロボットによるガラス基板１００の搬送の前工程からの制御信号や上位プログラムからのガラス基板１００の情報に基づく自動切替によって実行されてもよい。
【００７６】
次に、上記の状態で、図９に示すように取り出すべきガラス基板１００の下にフォーク１０を差し込む。この際、フォーク１０が上記したように撓んでいるので、収納ラック１１０の各段の間隔があまり大きくなくても、フォーク１０の先端が取り出すべきガラス基板１００に当たったり、それを避けるためにロボット用ハンド６を下げすぎてフォーク１０の基端部側が下段のガラス基板１００に当たるといった不都合が生じるのを防ぐことができる。
【００７７】
次に、図１０に示すようにアーム部４によりロボット用ハンド６を上昇させるとともに、移動機構１４（図５参照）により加重部材１３を第２位置Ｐ２からフォーク１０の基端部側の第１位置Ｐ１へ移動させる。
【００７８】
この際、移動機構１４における切替弁２２ｃの切り替え動作により、コンプレッサ２０ｃから供給される圧縮空気を供給管２０ｄ、第２接続管２２ｂ及び第２給排路１０ｃを通じて移動空間１０ａに先端部側から導入し、その圧縮空気の圧力によって加重部材１３を第１位置Ｐ１へ移動させる。加重部材１３が移動して第１位置Ｐ１へ配置されたことは、第１検知部１１ａによって検知されて確認される。そして、加重部材１３の移動に伴って移動空間１０ａの基端部側から空気が押し出され、その空気は第１給排路１０ｂ、第１接続管２２ａ及び排出管２０ｂを通じて排気される。
【００７９】
加重部材１３が第１位置Ｐ１へ移動することにより加重部材１３の重量によるフォーク１０の撓みがなくなるが、それと同時に図１１に示すようにガラス基板１００がフォーク１０上に載ることによってそのガラス基板１００の重量による撓みがフォーク１０に生じる。このガラス基板１００によるフォーク１０の撓みは、前記加重部材１３によるフォーク１０の撓みと略等しくなる。
【００８０】
また、ガラス基板１００をフォーク１０上に載せるときには、吸着機構１６によりガラス基板１００を吸着パッド１２（図３参照）に吸着させる。
【００８１】
具体的には、吸着機構１６の電磁弁１６ｄを開状態にすることによって吸引装置１６ａによる真空吸引を吸引路１０ｄ（図５参照）の各吸引孔１０ｅから各吸着パッド１２に及ぼさせ、その吸引力によってガラス基板１００の下面を各吸着パッド１２に吸着させる。これにより、ガラス基板１００がフォーク１０に安定的に保持される。そして、ガラス基板１００をフォーク１０上に載せた状態でロボット用ハンド６を水平に後退させてフォーク１０及びガラス基板１００を収納ラック１１０内から抜き出すことによりガラス基板１００を搬出する。
【００８２】
一方、収納ラック１１０の各段にガラス基板１００を載置する動作では、上記したガラス基板１００を取り出す際と逆の動作を行う。
【００８３】
すなわち、図１１のようにロボット用ハンド６を上向きに傾けた姿勢で保持するとともに第１位置Ｐ１に加重部材１３を配置し、その状態のロボット用ハンド６のフォーク１０上にガラス基板１００を載せてそのフォーク１０とガラス基板１００を収納ラック１１０の載置すべき段の上側の位置に水平に差し込む。
【００８４】
その後、ロボット用ハンド６を降下させてガラス基板１００を段上に載置するとともに、加重部材１３を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２へ移動させる。
【００８５】
この際、切替弁２２ｃの切り替え動作により、上記と同様にしてコンプレッサ２０ｃからの圧縮空気を移動空間１０ａに基端部側から導入し、その圧縮空気の圧力によって加重部材１３を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２へ移動させる。
【００８６】
フォーク１０上のガラス基板１００が前記段上に載置されることによりそのガラス基板１００の重量によるフォーク１０の撓みがなくなるが、それと同時に加重部材１３が第２位置Ｐ２へ移動することにより加重部材１３の重量による撓みがフォーク１０に生じる。この撓みは、ガラス基板１００を載せていたときのフォーク１０の撓みと略等しくなる。
【００８７】
また、ガラス基板１００を段上に載置するときには、吸着機構１６によるガラス基板１００の吸着パッド１２（図３参照）への吸着を開放する。
【００８８】
具体的には、吸着機構１６の電磁弁１６ｄを閉状態にすることによって吸引装置１６ａの真空吸引が各吸着パッド１２に付与されないようにし、それによって吸着パッド１２へのガラス基板１００の吸着作用を解除する。これにより、フォーク１０からガラス基板１００が離れて前記段上に載置される。そして、ガラス基板１００を載置した後、ロボット用ハンド６を水平に後退させてフォーク１０を収納ラック１１０内から抜き出す。
【００８９】
この際、フォーク１０が加重部材１３の重量により上記のように撓んでいることによって、フォーク１０の先端が載置したガラス基板１００の下面に擦りながらフォーク１０が抜き出されたり、それを避けるためにロボット用ハンド６を下げすぎてフォーク１０の基端部側が下段のガラス基板１００に当たるといった不都合が生じるのを防ぐことができる。
【００９０】
以上説明したように、本実施形態では、フォーク１０上にガラス基板１００を載せるときには加重部材１３をフォーク１０の基端部側の第１位置Ｐ１に配置してフォーク１０にガラス基板１００の重量による撓みを生じさせる一方、フォーク１０上にガラス基板１００を載せていないときには加重部材１３をフォーク１０の先端部側の第２位置Ｐ２に移動させてフォーク１０に加重部材１３の重量による撓みを生じさせることができる。そして、加重部材１３は、ガラス基板１００を載せていないフォーク１０において第２位置Ｐ２に配置されたときに、そのフォーク１０にガラス基板１００を載せたときと略等しい撓みを生じさせるような重量を有するので、ガラス基板１００を載せているときと載せていないときのフォーク１０の撓みの差をほぼなくすことができる。さらに、本実施形態では、フォーク１０が先端部へ向かって上向きに傾斜して延びるように配置されるので、そのフォーク１０の傾きによってガラス基板１００の重量または加重部材１３の重量によりフォーク１０に撓みが生じたときのフォーク１０の先端部の垂れ下がりが相殺される。従って、本実施形態では、収納ラック１１０の各段の間隔を大きくしなくても、収納ラック１１０に対するガラス基板１００の載置または取り出し時に収納ラック１１０の各段のガラス基板１００とフォーク１０との意図しない当接を回避することができ、その結果、収納ラック１１０の高さを増大させることなく、収納ラック１１０の各段のガラス基板１００に対するフォーク１０の意図しない当接を回避しながらガラス基板１００の載置または取り出しを行うことができる。
【００９１】
また、本実施形態では、フォーク１０が加重部材１３を第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で移動可能に収容する移動空間１０ａを内部に有するので、加重部材１３の移動に伴って加重部材１３またはフォーク１０の加重部材１３を保持する部分から磨耗粉が生じたとしてもその磨耗粉をフォーク１０内部の移動空間１０ａ内で保持することができる。このため、加重部材１３をフォーク１０の外部に取り付けて基端部側と先端部側の間で移動させる構成と異なり、前記磨耗粉がガラス基板１００に付着してガラス基板１００が汚れるのを防ぐことができる。
【００９２】
また、本実施形態では、加重部材１３を第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で移動させる移動機構１４を備えるので、使用者が手動で加重部材１３を移動させる場合に比べて使用者の作業負担を軽減することができる。
【００９３】
また、本実施形態では、移動機構１４が、加重部材１３を圧縮空気の圧力によって移動させる供給部２０ａを含む駆動部２０と、その駆動部２０による加重部材１３の移動方向を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２へ向かう方向と第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１へ向かう方向とに相互に切り替える切替弁２２ｃを含む移動方向切替部２２とを有するので、移動方向切替部２２の切替弁２２ｃによる切り替え動作により１つの駆動部２０で加重部材１３の第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２への移動と第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１への移動とを両方行うことができる。このため、加重部材１３を第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２へ移動させる駆動部と第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１へ移動させる駆動部とを個別に設ける場合に比べて移動機構１４の構成を簡素化することができる。
【００９４】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００９５】
例えば、図１２〜図１４に示す上記実施形態の第１変形例のように、フォーク１０に重量の異なる２つの加重部材１３を設けるとともに、その各加重部材１３を個別に第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で移動させる移動機構１４を設けることによって、重量の異なるガラス基板１００をフォーク１０上に載せて搬送するときにその各ガラス基板１００の重量によってフォーク１０に生じる撓みに応じた量の撓みをガラス基板１００を載せていないときのフォーク１０に生じさせるようにしてもよい。
【００９６】
具体的には、この第１変形例では、フォーク１０の内部に２つの移動空間１０ａ，１０ａが設けられており、その各移動空間１０ａ内にそれぞれ加重部材１３が基端部側の第１位置Ｐ１と先端部側の第２位置Ｐ２との間で移動可能に収容されている。各加重部材１３は、異なる重量を有しており、その各重量は、搬送すべき異なる重量のガラス基板１００によってフォーク１０に生じる撓みと略等しい撓みをその加重部材１３が第２位置Ｐ２に配置されたときにガラス基板１００を載せていないフォーク１０に生じさせることが可能な重量となっている。
【００９７】
フォーク１０の内部には、各移動空間１０ａにそれぞれ繋がる第１給排路１０ｂと第２給排路１０ｃが個別に設けられており、フォーク１０の各移動空間１０ａに対応する各側壁の外面には第１検知部１１ａと第２検知部１１ｂがそれぞれ設けられている。すなわち、この第１変形例では、フォーク１０に上記実施形態と同様の移動空間１０ａ、第１給排路１０ｂ、第２給排路１０ｃ、第１検知部１１ａ及び第２検知部１１ｂが２セット設けられている。そして、この各セットはフォーク１０の幅方向に並んで配置されており、この各セット間でフォーク１０の幅方向の中心位置に吸引孔１０ｅを有する吸引路１０ｄが設けられている。
【００９８】
この第１変形例の移動機構１４は、２つの移動方向切替部２２を有している。各移動方向切替部２２の第１接続管２２ａと第２接続管２２ｂはそれぞれ対応する前記第１給排路１０ｂと前記第２給排路１０ｃに接続されている。そして、この第１変形例では、供給管２０ｄが途中で２本に分岐しており、その分岐した各端部が２つの移動方向切替部２２の各切替弁２２ｃにそれぞれ接続されている一方、反対側の１本の端部がコンプレッサ２０ｃに接続されている。これにより、コンプレッサ２０ｃから供給される圧縮空気を前記２つの移動空間１０ａ，１０ａにそれぞれ導入できるようになっている。
【００９９】
また、排出管２０ｂも前記供給管２０ｄと同様に途中で２本に分岐しており、その分岐した各端部が２つの移動方向切替部２２の各切替弁２２ｃにそれぞれ接続されている。これにより、前記２つの移動空間１０ａ，１０ａから排出される空気が排出管２０ｂの分岐した各端部から流入するとともに反対側の１本の端部から排気されるようになっている。
【０１００】
そして、この第１変形例では、移動機構１４において２つの移動方向切替部２２の各切替弁２２ｃの切り替え動作により２つの加重部材１３のうち一方を第２位置Ｐ２へ移動させるとともに他方を第１位置Ｐ１へ移動させる。
【０１０１】
具体的には、一方の切替弁２２ｃの切り替え動作により、その切替弁２２ｃに繋がる第１接続管２２ａへコンプレッサ２０ｃからの圧縮空気を流すとともにその切替弁２２ｃに繋がる第２接続管２２ｂから排出管２０ｂへ空気を流せる状態とすることによって、一方の移動空間１０ａ内の加重部材１３に対して基端部側の空間に圧縮空気を導入するとともにその移動空間１０ａ内の加重部材１３に対して先端部側の空間から空気を排出させ、その加重部材１３を圧縮空気の圧力で第２位置Ｐ２へ移動させる。同時に他方の切替弁２２ｃの切り替え動作により、その切替弁２２ｃに繋がる第２接続管２２ｂへコンプレッサ２０ｃからの圧縮空気を流すとともにその切替弁２２ｃに繋がる第１接続管２２ａから排出管２０ｂへ空気を流せる状態とすることによって、他方の移動空間１０ａ内の加重部材１３に対して先端部側の空間に圧縮空気を導入するとともにその移動空間１０ａ内の加重部材１３に対して基端部側の空間から空気を排出させ、その加重部材１３を圧縮空気の圧力で第１位置Ｐ１へ移動させる。
【０１０２】
このような２つの切替弁２２ｃの制御により、２つの加重部材１３，１３のうちフォーク１０上に載せるガラス基板１００に対応した重量を有する一方の加重部材１３を第２位置Ｐ１へ配置するとともに他方の加重部材１３を第１位置Ｐ１へ配置する。これにより、フォーク１０上にガラス基板１００を載せていないときにそのガラス基板１００を載せたときと略等しい撓みをフォーク１０に生じさせる。このため、異なる重量を有する２つのガラス基板１００のどちらを搬送する場合であってもフォーク１０上にガラス基板１００を載せているときと載せていないときの撓みの差をほぼなくすことができる。
【０１０３】
上記２つの切替弁２２ｃの切り替え動作は、使用者が図略のコントローラにより切り替えの操作を行うことに応じて実行されるようにすればよい。この場合には、使用者がガラス基板１００の種類を判断してそのガラス基板１００に対応した重量の加重部材１３を第２位置Ｐ２へ配置し、ガラス基板１００を載せていないフォーク１０にそのガラス基板１００を載せたときと略等しい撓みを生じさせることができる。
【０１０４】
なお、この切替弁２２ｃの切り替え動作は、搬送用ロボットによるガラス基板１００の搬送の前工程からの制御信号や上位プログラムなどからのガラス基板１００の情報に応じた自動切替によって実行されるようにしてもよい。この場合には、前記前工程や前記上位プログラムからガラス基板１００の重量が指示され、その重量に応じた加重部材１３が切替弁２２ｃの自動切替によって第２位置Ｐ２に配置される。
【０１０５】
この第１変形例による上記以外の構成及び動作は、上記実施形態と同様である。
【０１０６】
この第１変形例では、２つの加重部材１３，１３がそれぞれ異なる重量を有するとともに第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２とに個別に配置可能にフォーク１０に設けられているので、重量の異なる各ガラス基板１００をフォーク１０上に載せて搬送する場合に、各加重部材１３の第２位置Ｐ２への配置の仕方によりガラス基板１００を載せていないときにフォーク１０の先端部に掛ける荷重をそのガラス基板１００の重量に合わせて調節することができる。このため、各重量のガラス基板１００を載せたときのフォーク１０の撓みと合うようにそのガラス基板１００を載せていないときのフォーク１０の撓みを調節することができる。これにより、重量の異なる各ガラス基板１００をフォーク１０上に載せて搬送する場合でも、その各ガラス基板１００を載せているときと載せていないときにおけるフォーク１０の撓みの差をほぼなくすことができる。
【０１０７】
また、この第１変形例では、２つの加重部材１３のうち一方を第２位置Ｐ２へ移動させるとともに他方を第１位置Ｐ１へ移動させる移動機構１４を備えているので、フォーク１０上にガラス基板１００を載せていないときに移動機構１４によりそのフォーク１０上に載せるべきガラス基板１００に対応する重量の一方の加重部材１３のみを第２位置Ｐ２に配置することができる。これにより、使用者が手動でそのような各加重部材１３の移動を行う場合に比べて使用者の作業負担を軽減することができる。
【０１０８】
この第１変形例の上記以外の効果は、上記実施形態による効果と同様である。
【０１０９】
また、この第１変形例では、フォーク１０に２つの加重部材１３を設ける場合について説明したが、さらに多くの重量の異なる加重部材１３をフォーク１０に第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２に配置可能に設けてもよい。この場合には、さらに多くの重量の異なるガラス基板１００の搬送時にそのガラス基板１００を載せているときと載せていないときのフォーク１０の撓みの差をなくすことができる。
【０１１０】
また、図１５に示す上記実施形態の第２変形例のように、加重部材１３をフォーク１０の外部に基端部側の第１位置Ｐ１と先端部側の第２位置Ｐ２とに配置可能に設けてもよい。
【０１１１】
具体的には、図１５に示すように、フォーク１０の外部に保持部材３０を取り付け、この保持部材３０によって加重部材１３を第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２とに移動可能に保持するようにしてもよい。この場合、保持部材３０の内部に加重部材１３を第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で移動可能に収容する移動空間１０ａを設けることが好ましく、フォーク１０の内部には、吸引路１０ｄと吸引孔１０ｅのみを形成する。
【０１１２】
この第２変形例の構成によれば、フォーク１０内部の構造を簡略化しつつ、加重部材１３を第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２とに移動可能な構造を構成することができる。
【０１１３】
また、この第２変形例の構成では、加重部材１３の移動に伴って加重部材１３または保持部材３０から磨耗粉が生じたとしてもその磨耗粉を保持部材３０内部の移動空間１０ａで保持することができる。このため、フォーク１０及び保持部材３０の外部で前記磨耗粉が発生するのを防ぐことができ、その磨耗粉がガラス基板１００に付着してガラス基板１００が汚れるのを防ぐことができる。
【０１１４】
なお、保持部材としては、その外部で加重部材を第１位置と第２位置との間で移動可能に支持するようなもの、例えば加重部材を移動可能に支持するレール状のもの等であってもよい。
【０１１５】
また、上記実施形態及び変形例において、搬送すべきガラス基板１００が変更されてその重量が変わったときにはそれに応じて加重部材１３を異なる重量のものに取り替えてもよい。これにより、さらに多くの異なる重量のガラス基板１００に対応することができる。
【０１１６】
また、上記実施形態及び変形例では、加重部材１３として搬送すべきガラス基板１００の重量と略等しい重量のものを用いたが、ガラス基板１００の重量と異なる重量の加重部材を用いてもよい。この場合には、ガラス基板１００を載せたときにそのガラス基板１００の重量によってフォーク１０に生じる撓み量と、ガラス基板１００を載せていないときに加重部材の重量によって付与するフォークの撓み量とが異なるが、加重部材を用いず、ガラス基板１００を載せていないときにフォーク１０に撓みを付与しない構成に比べてガラス基板１００を載せているときと載せていないときのフォーク１０の撓みの差を小さくすることは可能である。
【０１１７】
また、フォーク１０に複数の加重部材を設けるとともに、それら各加重部材を第２位置Ｐ２と第１位置Ｐ１とに配置する組み合わせによってガラス基板１００を載せていないときにフォーク１０に付与する撓み量をフォーク１０にガラス基板１００を載せたときの撓み量と略等しくなるように調節してもよい。
【０１１８】
具体的には、複数の加重部材のうち合計でガラス基板１００と略等しい重量となる所定数の加重部材を第２位置Ｐ２へ配置するとともに残りの加重部材を第１位置Ｐ１に配置することによって、ガラス基板１００を載せていないフォーク１０にガラス基板１００を載せたときと略等しい撓みを付与する。この場合、各加重部材は、それぞれ異なる重量を有していても、等しい重量を有していてもよい。
【０１１９】
このような構成でも、重量の異なる各ガラス基板１００をフォーク１０上に載せて搬送する場合に、各重量のガラス基板１００を載せたときのフォーク１０の撓みと合うようにそのガラス基板１００を載せていないときのフォーク１０の撓みを調節することができ、各重量のガラス基板１００を載せているときと載せていないときにおけるフォーク１０の撓みの差を小さくすることができる。
【０１２０】
また、加重部材を上記実施形態で示した第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２以外の位置に配置してもよい。例えば、フォーク１０の長さ方向における加重部材の位置を任意に調節できるような構造を構成してもよい。
【０１２１】
この構成によれば、フォーク１０の支点から加重部材の位置までの距離を任意に調節することができ、それにより加重部材によってフォーク１０に付与される撓み量を任意に調節することができる。この場合には、フォーク１０の長さ方向における加重部材の位置を調節することによって、フォーク１０に載せるガラス基板１００の重量に合わせてそのガラス基板１００を載せていないときのフォーク１０の撓み量をそのガラス基板１００を載せたときのフォーク１０の撓み量と略等しくなるように調節することができる。
【０１２２】
また、搬送物としては上記したガラス基板１００以外の種類のものを適用可能である。
【０１２３】
また、移動空間１０ａ内で加重部材１３を動かす流体として上記した空気以外の種類の流体を用いてもよい。例えば、空気以外の種々の気体や油などの液体を加重部材１３を動かす流体として用いてもよい。
【０１２４】
また、加重部材１３を第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２の間で移動させるための移動機構は上記のような圧縮空気を用いる形態に限らない。例えば、ボールねじやチェーン、ワイヤ、プーリ等の機械的手段を用いた移動機構により加重部材を第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２の間で移動させるようにしてもよい。
【０１２５】
また、フォーク１０に加重部材が複数設けられている場合には、加重部材を移動させる駆動部は複数設けられていてもよい。すなわち、各加重部材を移動させる駆動部が個別に設けられていてもよい。
【０１２６】
また、加重部材としては、上記のような固形の錘以外のものを用いることも可能である。例えば、所定の重量を有する液体を加重部材として用いてもよい。この場合には、搬送物を載せていないフォークにおいて第２位置に配置されたときに、そのフォークに搬送物を載せたときと略等しい撓みを生じさせるような重量分の液体の加重部材をフォークの基端部側の第１位置と先端部側の第２位置との間で移動させることができるような移動装置を設けることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【０１２７】
【図１】本発明の一実施形態による搬送用ロボットの概略的な全体構成を示した側面図である。
【図２】図１に示した搬送用ロボットにより収納ラックへガラス基板を装入または取り出す際の状態を示した斜視図である。
【図３】ロボット用ハンドを構成する１つのフォークの上面図である。
【図４】図３のフォークを先端側から見た図である。
【図５】図４に示したフォークのＶ−Ｖ線に沿った断面図である。
【図６】図３に示したフォークのＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【図７】ガラス基板を載せたフォークの撓みを示した図である。
【図８】ガラス基板を載せていないときのフォークの加重部材による撓みを示した図である。
【図９】本発明の一実施形態による搬送用ロボットの動作を説明するための図である。
【図１０】本発明の一実施形態による搬送用ロボットの動作を説明するための図である。
【図１１】本発明の一実施形態による搬送用ロボットの動作を説明するための図である。
【図１２】本発明の一実施形態の第１変形例によるフォークの図３に対応する上面図である。
【図１３】図１２に示したフォークの水平方向の断面図である。
【図１４】図１２に示したフォークのＸＩＶ−ＸＩＶ線に沿った断面図である。
【図１５】本発明の一実施形態の第２変形例によるフォークの水平方向の断面図である。
【符号の説明】
【０１２８】
６  ロボット用ハンド
１０  フォーク
１０ａ  移動空間
１４  移動機構
２０  駆動部
２０ａ  供給部
２０ｂ  排出管（排出部）
２２  移動方向切替部
２２ｃ  切替弁（流体給排切替部）
３０  保持部材
１００  ガラス基板（搬送物）
Ｐ１  第１位置
Ｐ２  第２位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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