(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送システムにおいて、
システムベースと、
該システムベースに設けられ、薄板を搬送する搬送ユニットと、
前記システムベースに設けられ、上面にエアを噴出する枠状のノズルが形成され、前記枠状のノズルが垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するように構成され、薄板を浮上させる四角形の複数の浮上ユニットと、を備え、
前記搬送方向に沿って直線状に延びたストレート部における複数の前記浮上ユニットの前記枠状のノズルの配列状態は、前記搬送方向に沿って千鳥配列になっていることを特徴とする浮上搬送システム。
【請求項２】
薄板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送システムにおいて、
システムベースと、
該システムベースに設けられ、薄板を搬送する搬送ユニットと、
前記システムベースに設けられ、薄板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を備え、
前記搬送方向を第１搬送方向から該第１搬送方向と異なる第２搬送方向へ転換するコーナ部における大部分の前記浮上ユニットのユニット中心は、前記第１搬送方向と前記第２搬送方向との交角を二等分する仮想の二等分線に平行でかつ前記仮想の二等分線に直交する方向に沿って等間隔に設定された複数の仮想の第１平行線と、前記仮想の二等分線に直交する仮想の直交線に平行でかつ前記仮想の二等分線の長手方向に沿って等間隔に設定された複数の仮想の第２平行線との交点に一致するようになっていることを特徴とする浮上搬送システム。
【請求項３】
前記コーナ部における大部分の前記浮上ユニットは、角形であって、同じ向きを指向していることを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送システム。
【請求項４】
前記コーナ部における大部分の前記浮上ユニットは、円形であることを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばガラス基板等の薄板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、浮上搬送システムについては種々の開発がなされており、浮上搬送システムの先行技術として特許文献１に示すものがある。そして、先行技術に係る浮上搬送システムの構成等について説明すると、次のようになる。
【０００３】
即ち、浮上搬送システムは、搬送方向へ延びたシステムベースを備えている。そして、システムベースには、薄板を搬送方向へ搬送する搬送ユニットが設けられている。具体的には、システムベースにおける搬送方向に対して直交する直交方向の一端側及び他端側には、薄板を搬送する複数の搬送ローラが前記直交方向に平行な軸心周りに回転可能にかつ搬送方向に沿って間隔を置いてそれぞれ設けられている。また、システムベースの適宜位置には、複数の搬送ローラを回転させる搬送ローラ回転用モータが設けられている。
【０００４】
システムベースには、薄板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向及び前記直交方向に沿って等間隔に設けられており、各浮上ユニットの上面には、エアを噴出するノズルがそれぞれ形成されている。そして、複数の浮上ユニットの配列状態は、格子配列になっている。
【０００５】
従って、複数の浮上ユニットのノズルからエアを噴出させる。そして、搬送ローラ回転用モータの駆動によって複数の搬送ローラを回転させる。これにより、薄板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送することができる。
【特許文献１】特開２００５−７５４９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、先行技術に係る浮上搬送システムにあっては、複数の浮上ユニットの配列状態が格子配列になっているため、浮上搬送システムに、搬送幅と略同じ幅であってかつ浮上ユニットによる浮上作用を発揮しない複数の非浮上作用帯域が搬送方向に沿って間隔を置いて存在することになる。そのため、極めて変形し易い薄板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する場合に、非浮上作用帯域に進入した薄板の一部が浮上ユニットの縁部に干渉することがあり、浮上搬送システムによる薄板の搬送作業の支障を招くという問題がある。なお、前述の問題は、浮上搬送システムにおける、搬送方向に沿って直線状に延びたストレート部だけでなく、搬送方向を第１搬送方向から該第１搬送方向と異なる第２搬送方向へ転換するコーナ部においても生じる。
【０００７】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の特徴は、薄板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送システムにおいて、システムベースと、該システムベースに設けられ、薄板を搬送する搬送ユニットと、前記システムベースに設けられ、上面にエアを噴出する枠状のノズルが形成され、前記枠状のノズルが垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するように構成され、薄板を浮上させる四角形の複数の浮上ユニットと、を備え、前記搬送方向に沿って直線状に延びたストレート部における複数の前記浮上ユニットの前記枠状のノズルの配列状態は、前記搬送方向に沿って千鳥配列になっていることを要旨とする。
【０００９】
ここで、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、中間部材を介して間接的に設けられたことを含む意である。
【００１０】
第１の特徴によると、前記浮上搬送システムの前記ストレート部における複数の前記浮上ユニットの前記枠状のノズルの配列状態が前記搬送方向に沿って千鳥配列であるため、前記浮上搬送システムの前記ストレート部に、搬送幅と略同じ幅であってかつ前記浮上ユニットによる浮上作用を発揮しない非浮上作用帯域が発生することがない。
【００１１】
なお、本願の明細書において、搬送幅とは、薄板の搬送領域の幅のことをいい、搬送幅と略同じ幅とは、搬送幅に近い幅も含む意である。
【００１２】
本発明の第２の特徴は、薄板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する浮上搬送システムにおいて、システムベースと、該システムベースに設けられ、薄板を搬送する搬送ユニットと、前記システムベースに設けられ、薄板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を備え、前記搬送方向を第１搬送方向から該第１搬送方向と異なる第２搬送方向へ転換するコーナ部における大部分の前記浮上ユニットのユニット中心は、前記第１搬送方向と前記第２搬送方向との交角を二等分する仮想の二等分線に平行でかつ前記仮想の二等分線に直交する方向に沿って等間隔に設定された複数の仮想の第１平行線に直交する仮想の直交線、又は該仮想の直交線に平行でかつ前記仮想の二等分線の長手方向に沿って等間隔に設定された複数の仮想の第２平行線との交点に一致するようになっていることを要旨とする。
【００１３】
第２の特徴によると、前記浮上搬送システムの前記コーナ部における大部分の前記浮上ユニットのユニット中心は、複数の前記仮想の第１平行線と複数の前記仮想の第２平行線との交点に一致するようになっているため、前記浮上搬送システムの前記コーナ部に、搬送幅と略同じ幅であってかつ前記浮上ユニットによる浮上作用を発揮しない非浮上作用帯域が発生することがない。また、同じ理由により、前記浮上搬送システムの前記コーナ部における前記第１搬送方向の浮上性能と前記第２搬送方向の浮上性能を略同じレベルに保つことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の第１の特徴によれば、前記浮上搬送システムの前記ストレート部に前記非浮上作用帯域が発生することがないため、極めて変形し易い薄板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する場合であっても、薄板の一部が前記浮上ユニットの縁部に干渉することを十分に抑えて、前記浮上搬送システムによる薄板の搬送作業の能率を向上させることができる。
【００１５】
本発明の第２の特徴によれば、前記浮上搬送システムの前記コーナ部に前記非浮上作用帯域が発生することがないため、極めて変形し易い薄板を浮上させた状態で搬送方向へ搬送する場合であっても、薄板の一部が前記浮上ユニットの縁部に干渉することを十分に抑えて、前記浮上搬送システムによる薄板の搬送作業の能率を向上させることができる。特に、前記浮上搬送システムの前記コーナ部における前記第１搬送方向の浮上性能と前記第２搬送方向の浮上性能を略同じレベルに保つことができるため、前記浮上搬送システムの前記コーナ部において薄板の前記搬送方向を前記第１搬送方向から前記第２搬送方向へ適切に転換することができ、前記浮上搬送システムによる薄板の搬送作業の能率を更に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の実施形態について図１から図５を参照して説明する。
【００１７】
ここで、図１は、本発明の実施形態に係る浮上搬送システムの平面図、図２は、本発明の実施形態に係る第１浮上搬送装置の平面図、図３は、本発明の実施形態に係る第２浮上搬送装置の平面図、図４は、本発明の実施形態に係る搬送方向転換装置の平面図、図５は、本発明の実施形態の変形例に係る搬送方向転換装置の平面図である。なお、図面中、「Ｆ」は、前方向、「Ｐ」は、後方向、「Ｌ」は、左方向、「Ｒ」は、右方向を指す。
【００１８】
本発明の実施形態に係る浮上搬送システム１は、クリーン搬送の分野で用いられ、例えばガラス基板等の薄板Ｗを浮上させた状態で搬送方向へ搬送するシステムである。そして、浮上搬送システム１は、薄板Ｗを浮上させた状態で第１搬送方向（本発明の実施形態にあっては、前後方向）Ｄ１へ搬送する第１浮上搬送装置３と、この第１浮上搬送装置３の近傍に配設されかつ薄板Ｗを浮上させた状態で第１搬送方向Ｄ１に対して直交する第２搬送方向（本発明の実施形態にあっては、左右方向）Ｄ２へ搬送する第２浮上搬送装置５と、第１浮上搬送装置３の搬送領域の下流側と第２浮上搬送装置５の搬送領域の上流側との中継領域に配設されかつ薄板Ｗの搬送方向を第１搬送方向Ｄ１から第２搬送方向Ｄ２に転換する搬送方向転換装置７とを備えている。ここで、第１浮上搬送装置３は、浮上搬送システム１の一部であって第１搬送方向Ｄ１に沿って直線状に延びた第１ストレート部に相当し、第２浮上搬送装置５は、浮上搬送システム１の一部であって第２搬送方向Ｄ２に沿って直線状に延びた第２ストレート部に相当し、搬送方向転換装置７は、浮上搬送システム１のコーナ部に相当する。
【００１９】
浮上搬送システム１の第１浮上搬送装置３の具体的な構成は、次のようになる。
【００２０】
即ち、図１及び図２に示すように、第１浮上搬送装置３は、第１搬送方向Ｄ１へ延びた第１搬送装置本体９を備えており、この第１搬送装置本体９は、浮上搬送システム１のシステムベースの一部を構成するものである。
【００２１】
第１搬送装置本体９には、薄板Ｗを第１搬送方向Ｄ１へ搬送する第１搬送ユニット１１が設けられている。より具体的には、第１搬送装置本体９の左端側及び右端側（換言すれば、第２搬送方向Ｄ２の一端側及び他端側）には、薄板Ｗを搬送する複数の第１搬送ローラ１３（複数の左寄りの第１搬送ローラ１３と複数の右寄りの第１搬送ローラ１３）が第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転可能かつ第１搬送方向Ｄ１に沿って間隔を置いて設けられている。また、第１搬送装置本体９の適宜位置には、複数の第１搬送ローラ１３を回転させる一対の第１搬送ローラ回転用モータ（第１搬送ローラ回転用アクチュエータの一例）１５Ａ，１５Ｂが設けられている。ここで、一方の第１搬送ローラ回転用モータ（左寄りの第１搬送ローラ回転用モータ）１５Ａの出力軸（図示省略）は、複数の左寄りの第１搬送ローラ１３のローラ軸（図示省略）にウォーム及びホイール等からなる連動機構（図示省略）を介して連動連結してあって、同様に、他方の第１搬送ローラ回転用モータ（右寄りの第１搬送ローラ回転用モータ）１５Ｂの出力軸（図示省略）は、複数の右寄りの第１搬送ローラ１３のローラ軸（図示省略）に連動機構（図示省略）を介して連動連結してある。
【００２２】
第１搬送装置本体９には、エアの圧力によって薄板Ｗを浮上させる複数の四角形の浮上ユニット１７が設けられており、各浮上ユニット１７の上面には、エアを噴出する枠状のノズル１９がそれぞれ形成されている。また、各浮上ユニット１７の上面と薄板Ｗの裏面との間に略均一な圧力の空気溜まり層をそれぞれ発生させるため、各浮上ユニット１７の枠状のノズル１９は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するように構成されている。
【００２３】
そして、浮上搬送システム１の第１ストレート部に相当する第１浮上搬送装置３における複数の浮上ユニット１７の枠状のノズル１９の配列状態は、第１搬送方向Ｄ１に沿って千鳥配列になっている。
【００２４】
浮上搬送システム１の第２浮上搬送装置５の具体的な構成は、次のようになる。
【００２５】
即ち、図１及び図３に示すように、第２浮上搬送装置５は、第２搬送方向Ｄ２へ延びた第２搬送装置本体２１を備えており、この第２搬送装置本体２１は、浮上搬送システム１のシステムベースの一部を構成するものである。
【００２６】
第２搬送装置本体２１には、薄板Ｗを第２搬送方向Ｄ２へ搬送する第２搬送ユニット２３が設けられている。より具体的には、第２搬送装置本体２１の前端側及び後端側（換言すれば、第１搬送方向Ｄ１の一端側及び他端側）には、薄板Ｗを搬送する複数の第２搬送ローラ２５（複数の前寄りの第２搬送ローラ２５と複数の後寄りの第２搬送ローラ２５）が第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転可能かつ第２搬送方向Ｄ２に沿って間隔を置いて設けられている。また、第２搬送装置本体２１の適宜位置には、複数の第２搬送ローラ２５を回転させる一対の第２搬送ローラ回転用モータ（第２搬送ローラ回転用アクチュエータの一例）２７Ａ，２７Ｂが設けられている。ここで、一方の第２搬送ローラ回転用モータ（前寄りの第２搬送ローラ回転用モータ）２７Ａの出力軸（図示省略）は、複数の前寄りの第２搬送ローラ２５のローラ軸（図示省略）にウォーム及びホイール等からなる連動機構（図示省略）を介して連動連結してあって、同様に、他方の第２搬送ローラ回転用モータ（右寄りの第２搬送ローラ回転用モータ）２７Ｂの出力軸（図示省略）は、複数の右寄りの第２搬送ローラ２５のローラ軸（図示省略）に連動機構（図示省略）を介して連動連結してある。
【００２７】
第２搬送装置本体２１には、エアの圧力によって薄板Ｗを浮上させる複数の四角形の浮上ユニット２９が設けられており、各浮上ユニット２９の上面には、エアを噴出する枠状のノズル３１がそれぞれ形成されている。また、各浮上ユニット２９の上面と薄板Ｗの裏面との間に略均一な圧力の空気溜まり層をそれぞれ発生させるため、各浮上ユニット２９の枠状のノズル３１は、垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成されている。
【００２８】
そして、浮上搬送システム１の第２ストレート部に相当する第２浮上搬送装置５における複数の浮上ユニット２９の枠状のノズル３１の配列状態は、第２搬送方向Ｄ２に沿って千鳥配列になっている。
【００２９】
浮上搬送システム１の搬送方向転換装置７の具体的な構成は、次のようになる。
【００３０】
即ち、図１及び図４に示すように、搬送方向転換装置７は、転換装置本体３３を備えており、この転換装置本体３３は、浮上搬送システム１のシステムベースの一部を構成するものである。
【００３１】
転換装置本体３３の左端側及び右端側には、第１浮上搬送装置３の搬送領域から薄板Ｗを受け取る複数の受取ローラ（複数の左寄りの受取ローラと複数の右寄りの受取ローラ）３５が第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転可能かつ第１搬送方向Ｄ１に沿って間隔を置いて設けられている。また、転換装置本体３３の前側の適宜位置には、複数の受取ローラ３５を回転させる一対の受取ローラ回転用モータ（受取ローラ回転用アクチュエータの一例）３７Ａ，３７Ｂが設けられている。ここで、一方の受取ローラ回転用モータ（左寄りの受取ローラ回転用モータ）３７Ａの出力軸（図示省略）は、複数の左寄り受取ローラ３５のローラ軸（図示省略）にウォーム及びホイール等からなる連動機構（図示省略）を介して連動連結してあって、同様に、他方の受取ローラ回転用モータ（右寄りの受取ローラ回転用モータ）３７Ｂの出力軸（図示省略）は、複数の右寄りの受取ローラ３５のローラ軸（図示省略）に連動機構（図示省略）を介して連動連結してある。
【００３２】
転換装置本体３３の前端側及び後端側には、薄板Ｗを第２浮上搬送装置５の搬送領域に送り出す複数の送出ローラ（複数の前寄りの送出ローラと複数の後寄りの送出ローラ）３９が第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転可能かつ第２搬送方向Ｄ２に沿って間隔を置いて設けられている。また、転換装置本体３３の左側の適宜位置には、複数の送出ローラ３９を回転させる一対の送出ローラ回転用モータ（送出ローラ回転用アクチュエータの一例）４１Ａ，４１Ｂが設けられている。ここで、一方の送出ローラ回転用モータ（前寄りの送出ローラ回転用モータ）４１Ａの出力軸（図示省略）は、複数の前寄りの送出ローラ３９のローラ軸（図示省略）にウォーム及びホイール等からなる連動機構（図示省略）を介して連動連結してあって、同様に、他方の送出ローラ回転用モータ（後寄りの送出ローラ回転用モータ）４１Ｂの出力軸（図示省略）は、複数の後寄りの送出ローラ３９のローラ軸（図示省略）に連動機構（図示省略）を介して連動連結してある。
【００３３】
なお、転換装置本体３３の前端側には、薄板Ｗの第１搬送方向Ｄ１の移動を規制する複数のストッパ４３が設けられている。
【００３４】
転換装置本体３３には、エアの圧力によって薄板Ｗを浮上させる複数の浮上ユニット４５が複数の受取ローラ３５及び複数の送出ローラ３９に囲まれるように設けられており、各浮上ユニット４５の上面には、エアを噴出する複数のノズル４７がそれぞれ形成されている。ここで、大部分の浮上ユニット４５は、四角形であって、同じ向きを指向しており、残りの浮上ユニット４５は、三角形である。なお、大部分の浮上ユニット４５を四角形とし、残りの浮上ユニット４５を三角形とする代わりに、図５に示すように、大部分の浮上ユニット４５の形状を円形とし、残りの浮上ユニット４５の形状を半円形にしても構わない。
【００３５】
そして、浮上搬送システム１のコーナ部に相当する搬送方向転換装置７における大部分の浮上ユニット４５のユニット中心は、複数の仮想の第１平行線ＶＰ１と仮想の第２平行線ＶＰ２との交点に一致するようになっている。ここで、複数の仮想の第１平行線ＶＰ１とは、第１搬送方向Ｄ１と第２搬送方向Ｄ２との交角を二等分する仮想の二等分線Ｖに平行でかつ仮想の二等分線Ｖに直交する方向に沿って等間隔に設定された複数の仮想線のことをいい、複数の仮想の第２平行線ＶＰ２とは、仮想の二等分線Ｖに直交する仮想の直交線ＶＣに平行でかつ仮想の二等分線Ｖの長手方向に沿って等間隔に設定された複数の仮想線のことをいう。
【００３６】
次に、本発明の実施形態の作用について説明する。
【００３７】
第１浮上搬送装置３における複数の浮上ユニット１７のノズル１９からエアを噴出させつつ、一対の第１搬送ローラ回転用モータ１５Ａ，１５Ｂの駆動によって複数の第１搬送ローラ１３を同期して回転させる。これにより、第１浮上搬送装置３の搬送領域に搬入された薄板Ｗを浮上させた状態で第１搬送方向Ｄ１へ搬送することができる。
【００３８】
薄板Ｗが第１浮上搬送装置３の搬送領域における下流側の所定位置を通過する前に、搬送方向転換装置７における複数の浮上ユニット４５のノズル４７からエアを噴出させつつ、一対の受取ローラ回転用モータ３７Ａ，３７Ｂの駆動によっての複数の受取ローラ３５を同期して回転させる。これにより、複数の受取ローラ３５によって第１浮上搬送装置３の搬送領域から薄板Ｗを受け取ることができる。
【００３９】
複数の受取ローラ３５による薄板Ｗを受け取った後に、一対の受取ローラ回転用モータ３７Ａ，３７Ｂの駆動を停止すると共に、一対の送出ローラ回転用モータ４１Ａ，４１Ｂの駆動によって複数の送出ローラ３９を同期して回転させる。これにより、複数の送出ローラ３９によって薄板Ｗを第２浮上搬送装置５の搬送領域に送り出すことができる。
【００４０】
薄板Ｗを第２浮上搬送装置５の搬送領域に送り出す前又は送り出す際に、第２浮上搬送装置５における複数の浮上ユニット２９のノズル３１からエアを噴出させつつ、一対の第２搬送ローラ回転用モータ２７Ａ，２７Ｂの駆動によって複数の第２搬送ローラ２５を同期して回転させておく。これにより、第２浮上搬送装置５の搬送領域に送り出された薄板Ｗを浮上させた状態で第２搬送方向Ｄ２へ搬送することができる。なお、各ノズル３１が垂直方向に対してユニット中心側へ傾斜するようにそれぞれ構成されているため、各浮上ユニット２９の上面と薄板Ｗの裏面との間に略均一な圧力の空気溜まり層をそれぞれ発生させることができる。
【００４１】
前述の動作により、薄板Ｗを浮上させた状態で第１搬送方向Ｄ１へ搬送して、第２搬送方向Ｄ２へ搬送することができる（浮上搬送システム１の一般的な作用）。
【００４２】
前述の浮上搬送システム１の一般的な作用の他に、第１浮上搬送装置３（換言すれば、浮上搬送システム１の第１ストレート部）における複数の浮上ユニット１７の枠状のノズル１９の配列状態が第１搬送方向Ｄ１に沿って千鳥配列であるため、浮上搬送システム１の第１ストレート部に、搬送幅と略同じ幅であってかつ浮上ユニット１７による浮上作用を発揮しない非浮上作用帯域が発生することがない。同様に、第２浮上搬送装置５（換言すれば、浮上搬送システム１の第２ストレート部）における複数の浮上ユニット２９の枠状のノズル３１の配列状態が第２搬送方向Ｄ２に沿って千鳥配列であるため、浮上搬送システム１の第２ストレート部に、搬送幅と略同じ幅であってかつ浮上ユニット２９による浮上作用を発揮しない非浮上作用帯域が発生することがない。
【００４３】
更に、搬送方向転換装置７（換言すれば、浮上搬送システム１のコーナ部）における大部分の浮上ユニット４５のユニット中心は、複数の仮想の第１平行線ＶＰ１と複数の仮想の第２平行線ＶＰ２との交点に一致するようになっているため、浮上搬送システム１のコーナ部に、搬送幅と略同じ幅であってかつ浮上ユニット４５による浮上作用を発揮しない非浮上作用帯域が発生することがない。また、同じ理由により、浮上搬送システム１のコーナ部における第１搬送方向Ｄ１の浮上性能と第２搬送方向Ｄ２の浮上性能を略同じレベルに保つことができる。
【００４４】
以上の如き、本発明の実施形態によれば、浮上搬送システム１の第１ストレート部、第２ストレート部、及びコーナ部に非浮上作用帯域が発生することがないため、極めて変形し易い薄板Ｗを浮上させた状態で搬送方向へ搬送する場合であっても、薄板Ｗの一部が浮上ユニット１７，２９，４３の縁部に干渉することを十分に抑えて、浮上搬送システム１による薄板Ｗの搬送作業の能率を向上させることができる。
【００４５】
特に、浮上搬送システム１のコーナ部における第１搬送方向Ｄ１の浮上性能と第２搬送方向Ｄ２の浮上性能を略同じレベルに保つことができるため、浮上搬送システム１のコーナ部において薄板Ｗの搬送方向を第１搬送方向Ｄ１から第２搬送方向Ｄ２へ適切に転換することができ、浮上搬送システム１による薄板Ｗの搬送作業の能率を更に向上させることができる。
【００４６】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、例えば、エアの圧力によって薄板Ｗを浮上させる浮上ユニット１７，２９，４５の代わりに、超音波を利用して薄板Ｗを浮上させる浮上ユニットを用いたり、搬送方向転換装置７において薄板Ｗの搬送方向を第１搬送方向Ｄ１に対して直交する第２搬送方向Ｄ２へ転換する代わりに、第１搬送方向Ｄ１と異なる別の第２搬送方向へ転換するようにしたりする等、その他、種々の態様で実施可能である。
【００４７】
また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施形態に係る浮上搬送システムの平面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る第１浮上搬送装置の平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る第２浮上搬送装置の平面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る搬送方向転換装置の平面図である。
【図５】本発明の実施形態の変形例に係る搬送方向転換装置の平面図である。
【符号の説明】
【００４９】
Ｄ１        第１搬送方向
Ｄ２        第２搬送方向
Ｖ          二等分線
ＶＣ        直交線
Ｗ          薄板
ＶＰ１      仮想の第１平行線
ＶＰ２      仮想の第２平行線
１          浮上搬送システム
３          第１浮上搬送装置
５          第２浮上搬送装置
７          搬送方向転換装置
１１          第１搬送ユニット
１７          浮上ユニット
２３          第２搬送ユニット
２９          浮上ユニット
３５          受取ローラ
３９          送出ローラ
４５          浮上ユニット
【図１】
0005012278.tif 000002
【図２】
0005012278.tif 000003
【図３】
0005012278.tif 000004
【図４】
0005012278.tif 000005
【図５】
0005012278.tif 000006