(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオン源と、該イオン源で生成される各種のイオンから特定の質量電荷比を有するイオンをプリカーサイオンとして選択して通過させる第１段多重極と、プリカーサイオンを開裂させるコリジョンセル内に配設され、プリカーサイオン及び開裂により生成されたプロダクトイオンを収束させつつ後方へ輸送する第２段多重極と、プロダクトイオンの中の特定の質量電荷比を有するイオンを選択して通過させる第３段多重極と、該第３段多重極を通過したイオンを検出するイオン検出器と、イオン源と第１段多重極との間、第３段多重極とイオン検出器との間、各段の多重極の間、のいずれか又は全てに配設された１乃至複数のイオン輸送光学素子と、質量分析の実施に伴って、前記第１段乃至第３段多重極及び前記イオン輸送光学素子を含む各イオン輸送構成要素にそれぞれ異なるアナログ電圧を印加する電圧印加手段と、を具備するＭＳ／ＭＳ型質量分析装置において、前記電圧印加手段は、
a)後記制御データを受けて保持し、後記同期信号に対応して前記保持した制御データをＤ／Ａ変換したアナログ電圧を、前記各イオン輸送構成要素への印加電圧として出力する複数のＤ／Ａ変換部と、
b)各イオン輸送構成要素への印加電圧の時間的変化を示す一定時間間隔毎の電圧値に対応した制御データがテーブル形式で格納されたパラメータテーブルを保持するテーブル記憶部と、
c)前記テーブル記憶部に保持されているパラメータテーブルの制御データを読み出して対応する各Ｄ／Ａ変換部に送出するとともに、或る時刻に対応した全ての制御データが各Ｄ／Ａ変換部に保持された後に共通の前記同期信号を各Ｄ／Ａ変換部に与える制御データ設定制御部と、
を含むことを特徴とするＭＳ／ＭＳ型質量分析装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＭＳ／ＭＳ型質量分析装置であって、設定された質量分析の条件に応じてパラメータテーブルにおける制御データを生成するデータ生成部をさらに備えることを特徴とするＭＳ／ＭＳ型質量分析装置。
【請求項３】
請求項２に記載のＭＳ／ＭＳ型質量分析装置であって、前記データ生成部で制御データが生成されることで作成されたパラメータテーブルを、それぞれ独立に、前記制御データ設定制御部の動作とは非同期で前記テーブル記憶部に転送する非同期転送部をさらに備えることを特徴とするＭＳ／ＭＳ型質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＭＳ／ＭＳ型質量分析装置に関し、さらに詳しくは、いわゆる三連四重極型の質量分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
分子量が大きな物質の同定やその構造の解析を行うために、質量分析の１つの手法としてＭＳ／ＭＳ分析（タンデム分析）という手法が知られている。ＭＳ／ＭＳ分析を行うために、最も操作や扱いが容易であるのが三連四重極（ＴＱ）型質量分析装置である。
【０００３】
例えば特許文献１などに記載されているように、三連四重極型質量分析装置では、イオン源で生成された試料成分由来のイオンが第１段四重極に導入され、特定の質量（質量電荷比m/z）を有するイオンがプリカーサイオンとして選別される。このプリカーサイオンが、第２段四重極が内装されたコリジョンセルに導入される。コリジョンセルにはアルゴン等の衝突誘起解離（ＣＩＤ）ガスが供給され、コリジョンセル内でプリカーサイオンはＣＩＤガスに衝突して開裂し、各種のプロダクトイオンが生成される。このプロダクトイオンが第３段四重極に導入され、特定の質量を有するプロダクトイオンが選別されて検出器に到達し検出される。なお、各段の四重極、特に第２段四重極は実際には４本のロッド電極から成る構成でなく、例えば８本のロッド電極から成る構成である場合もあるが、ここでは、これらを含めて四重極と呼ぶ。
【０００４】
また三連四重極型質量分析装置では、特定のプロダクトイオンを生じる全てのプリカーサイオンを検出するプリカーサイオンスキャンや、特定の中性断片（中性化学種）が脱離する全てのプリカーサイオンを検出するニュートラルロススキャンなどの、特徴的な質量分析を行うことができる。プリカーサイオンスキャンは、第３段四重極で選別される質量又は質量範囲を固定し、第１段四重極で選別される質量又は質量範囲を走査することで達成される。他方、ニュートラルロススキャンは、第１段四重極で選別される質量又は質量範囲と、第３段四重極で選別される質量又は質量範囲との差を固定しつつ、第１段四重極で選別される質量又は質量範囲を走査することで達成される。
【０００５】
ところで、特許文献１にも記載のように、四重極は、主ロッド電極以外に、プリロッド電極やポストロッド電極を有する場合がある。また、各四重極の間やその前後には、イオンレンズなどの多数のイオン輸送光学素子が配置される。本明細書では、イオンの進行する経路に沿って配設される、これら四重極や各種イオン輸送光学素子などを総称してイオン輸送構成要素と呼ぶ。こうしたイオン輸送構成要素には、高周波電圧や直流電圧、或いは直流電圧に高周波電圧が重畳された合成電圧が印加される。その高周波電圧や直流電圧の多くは、分析対象のイオン或いは通過するイオンの質量に応じて変化させる必要がある。上述したような各種の質量分析を実施する際には第１段四重極や第３段四重極で質量走査が行われ、各イオン輸送構成要素を通過するイオンの質量が時間経過に従って変化するので、それに応じて各構成要素に印加する電圧もリアルタイムで変化させる必要がある。
【０００６】
特に、三連四重極型質量分析装置の場合、第１段四重極で選択されたプリカーサイオンがコリジョンセル内に導入されると、コリジョンセル内でプリカーサイオンはＣＩＤガスに衝突して開裂するのみならず減速する。そのため、コリジョンセル内にプリカーサイオンが導入されてから、それに由来するプロダクトイオンがコリジョンセルから出て来て第３段四重極に入るまでに或る程度の時間が掛かる。こうした時間遅れはイオンの質量に依存するほか、コリジョンセル内に供給されたＣＩＤガスのガス圧（或いは供給量）などにも依存する。そのため、各種の質量分析を行う際に上述の如くリアルタイムで印加電圧を適切に調整しようとすると、その制御は非常に複雑になり、回路構成も煩雑なものとなる。
【０００７】
また、こうした制御をリアルタイムでＣＰＵにより行おうとするとＣＰＵに大きな負荷が掛かる。そのため、高速で高性能のＣＰＵを用意する必要があり、コスト増加要因となる。また、制御プログラムも複雑になり、変更などに対する柔軟性も小さくなる。
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−２７８０２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記課題に鑑みて成されたものであり、その主な目的は、多段の四重極やそのほかのイオン輸送光学素子などの多数のイオン輸送構成要素へ印加する電圧のリアルタイム制御を、ＣＰＵに大きく負担を与えずに的確に行うことができるＭＳ／ＭＳ型質量分析装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために成された本発明は、イオン源と、該イオン源で生成される各種のイオンから特定の質量電荷比を有するイオンをプリカーサイオンとして選択して通過させる第１段多重極と、プリカーサイオンを開裂させるコリジョンセル内に配設され、プリカーサイオン及び開裂により生成されたプロダクトイオンを収束させつつ後方へ輸送する第２段多重極と、プロダクトイオンの中の特定の質量電荷比を有するイオンを選択して通過させる第３段多重極と、該第３段多重極を通過したイオンを検出するイオン検出器と、イオン源と第１段多重極との間、第３段多重極とイオン検出器との間、各段の多重極の間、のいずれか又は全てに配設された１乃至複数のイオン輸送光学素子と、質量分析の実施に伴って、前記第１段乃至第３段多重極及び前記イオン輸送光学素子を含む各イオン輸送構成要素にそれぞれ異なるアナログ電圧を印加する電圧印加手段と、を具備するＭＳ／ＭＳ型質量分析装置において、前記電圧印加手段は、
a)後記制御データを受けて保持し、後記同期信号に対応して前記保持した制御データをＤ／Ａ変換したアナログ電圧を、前記各イオン輸送構成要素への印加電圧として出力する複数のＤ／Ａ変換部と、
b)各イオン輸送構成要素への印加電圧の時間的変化を示す一定時間間隔毎の電圧値に対応した制御データがテーブル形式で格納されたパラメータテーブルを保持するテーブル記憶部と、
c)前記テーブル記憶部に保持されているパラメータテーブルの制御データを読み出して対応する各Ｄ／Ａ変換部に送出するとともに、或る時刻に対応した全ての制御データが各Ｄ／Ａ変換部に保持された後に共通の前記同期信号を各Ｄ／Ａ変換部に与える制御データ設定制御部と、
を含むことを特徴としている。
【００１１】
所定の質量範囲に亘る質量走査が繰り返し実行される場合、上記パラメータテーブルは、その１回の質量走査に対応する時間範囲の印加電圧の変動を反映した制御データを含むものとすることができる。また、その印加電圧は直流電圧と交流電圧（高周波電圧）とを含む。
【００１２】
多重極やイオン輸送光学素子への印加電圧が、直流電圧に高周波電圧が重畳された合成電圧であって、時間経過に伴って直流電圧と高周波電圧とをともに変化させる必要がある場合には、その直流電圧に対応した制御データと、高周波電圧に対応した制御データとをともにパラメータテーブルに含め、異なるＤ／Ａ変換部でアナログ電圧に変換した後に合成（加算）する構成とすればよい。
【００１３】
本発明の一態様として、設定された質量分析の条件に従ってパラメータテーブルにおける制御データを生成するデータ生成部をさらに備える構成とすることができる。ここで、質量分析の条件とは、第１段多重極及び第３段多重極での質量選択や質量走査の条件（質量範囲、走査速度など）、コリジョンセルでの開裂条件、などを含む。また、データ生成部は所定の制御プログラムをＣＰＵで実行することにより実現するものとすることができる。
【００１４】
このデータ生成部でのパラメータテーブルの作成は、実際に質量分析が実施される前に行えばよく、質量分析の実施中に変更されることはない。そこで、データ生成部で作成されたパラメータテーブルは、制御データ設定制御部の動作とは非同期でテーブル記憶部に転送されるようにするとよい。データ生成部の実体がＣＰＵであって、それにより作成されたパラメータテーブルがＣＰＵに付設された内部ＲＡＭに保存され、さらにテーブル記憶部が外部のメモリである場合、ＤＭＡ転送（Direct Memory Access）により内部ＲＡＭから外部メモリにパラメータテーブルが非同期転送されるようにするとよい。
【００１５】
分析実行時に、制御データ設定制御部は、パラメータテーブルにおけるそれぞれの制御データをその先頭から時系列順に読み出す。通常、この読み出し開始が質量走査の開始となる。制御データ設定制御部は、パラメータテーブルにおいて、或る１つの時刻に定められている複数のイオン輸送構成要素に対する印加電圧を決める制御データを全て読み出し、各制御データをそれぞれ対応するＤ／Ａ変換部へと送り、各Ｄ／Ａ変換部はこの制御データを保持する。この動作を上記一定時間間隔の間に完了し、全ての制御データがＤ／Ａ変換部に保持された後に同期信号を送る。すると、各Ｄ／Ａ変換部では、その同期信号に同期して一斉に、保持された制御データがＤ／Ａ変換されたアナログ電圧が出力される（出力が更新される）。同期信号の時間間隔が各イオン輸送構成要素へ印加する電圧を変更可能な最小の時間間隔であり、この時間間隔は任意に決めることができる。
【００１６】
なお、制御データ設定制御部は、同期信号の時間間隔内で上記のような制御データの読み出し及び送り出しを完了する必要があるため、処理の高速性が要求される。そのため、例えばＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）などを利用したハードウエア回路により実現されるものとするとよい。
【発明の効果】
【００１７】
イオン源を発したイオンが、第１段多重極、第２段多重極、第３段多重極と進行して、最終的にその一部がイオン検出器に到達するまでには時間が掛かるが、そうした各段での時間遅延は分析条件に依存するので、それを考慮した制御データを含むパラメータテーブルを生成しておくことにより、各段で適切なイオンの質量選択やイオンの収束などを実行することができる。また、制御データ設定制御部をハードウエア回路で実現することにより、質量分析実行前に作成したパラメータテーブルをテーブル記憶部に格納した後には、電圧制御に関するＣＰＵの負荷は大幅に軽減される。これにより、複雑な電圧制御をリアルタイムで実行するに必要な高性能のＣＰＵを設けずに済み、またＣＰＵを動作させるための制御プログラムもその複雑さが軽減される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の一実施例であるＭＳ／ＭＳ型質量分析装置を、図面を参照して説明する。図１は本実施例によるＭＳ／ＭＳ型質量分析装置の要部の構成図である。図示しないが、この質量分析装置の前段には液体クロマトグラフ（ＬＣ）が接続され、ＬＣのカラムからの溶出液がこの質量分析装置に連続的に供給される。
【００１９】
この質量分析装置は、略大気圧雰囲気に維持される初段のイオン化室１０と、図示しないターボ分子ポンプにより高真空雰囲気に維持される分析室１４との間に、段階的に真空度を高めた三段の中間真空室１１、１２、１３を備える。即ち、多段差動排気系の構成である。試料成分を含む溶出液がエレクトロスプレイ（ＥＳＩ）ノズル１５に供給されると、溶出液はＥＳＩノズル１５で片寄った電荷を付与されつつイオン化室１０中に噴霧される。この帯電した微小液滴は大気ガスと衝突して分裂するとともに乾燥され、その過程で試料成分はイオン化される。生成されたイオンを含む微小液滴は差圧によって脱溶媒管１６に引き込まれる。加熱されている脱溶媒管１６中を通過する間に溶媒の気化は一層進み、イオン化が促進される。
【００２０】
イオンはイオン光軸Ｃの周りに配設された複数の電極板から成るイオンレンズ１７により収束されて、円錐形状であるスキマー１８の頂部に形成されたオリフィスを通過して次の中間真空室１２へ送られる。イオンはイオン光軸の周りに配設された複数のロッド電極から成るイオンガイド１９により収束され、隔壁２０に穿設された通過孔を通過する。さらに同様に、イオンは複数のロッド電極から成るイオンガイド２１により収束され、隔壁２２に穿設された通過孔を通過して分析室１４へと入る。
【００２１】
分析室１４内でまず最初にイオンが導入される第１段四重極２４は、プリロッド電極２３とポストロッド電極２５とを従える。この第１段四重極２４には様々な質量電荷比を有するイオンが導入されるが、特定の質量電荷比を有するイオンのみがプリカーサイオンとして選択的に通過し、それ以外のイオンは途中で発散する。
【００２２】
その内部に、第２段四重極に相当する多重極イオンガイド３０が設置されたコリジョンセル２７は、入射側電極２８と出射側電極２９とを有する。入射側電極２８の手前にはさらにレンズ電極２６が配設されている。このレンズ電極２６、入射側電極２８を経てコリジョンセル２７内に入ったイオン（プリカーサイオン）は、アルゴンガス等の衝突ガスに衝突し、開裂を生じて各種のプロダクトイオンを生成する。このプロダクトイオンや開裂しなかったプリカーサイオンは多重極イオンガイド３０によって収束されつつ進み、出射側電極２９を経てコリジョンセル２７から出射する。第３段四重極３２はプリロッド電極３１を従える。プリロッド電極３１を経て第３段四重極３２に導入された各種のイオンのうち、特定の質量電荷比を有するイオンのみが選択的に通過し、それ以外のイオンは途中で発散する。
【００２３】
第３段四重極３２を通り抜けたイオンはアパーチャ電極３３を経て、イオン検出器３４に達する。イオン検出器３４はコンバージョンダイノード３４ａと二次電子増倍管３４ｂとから成り、到達したイオンの数に応じた電流信号を検出信号として出力する。
【００２４】
例えば第１段四重極２４で選択するプリカーサイオンの質量電荷比を走査する際には、第１段四重極２４のロッド電極へ印加する高周波電圧及び直流電圧を、所定の関係を保ってリアルタイムで変化させる必要がある。また第３段四重極３２で選択するイオンの質量電荷比を走査する場合も同様に、第３段四重極３２のロッド電極へ印加する高周波電圧及び直流電圧を、所定の関係を保ってリアルタイムで変化させる必要がある。また、イオンレンズ１７、イオンガイド１９、２１、３０などにはイオンを収束させつつ輸送するために高周波電圧が印加されるが、最適な輸送効率を達成するための高周波電圧はイオンの質量電荷比に依存する。そのため、通過するイオンに応じて印加電圧はリアルタイムで調整される。質量分析の際にこのように各部に適宜の電圧を印加するために、分析制御部４０により制御される電圧発生部４１が設けられている。また、中央制御部４４は例えばパーソナルコンピュータであり、入力部４５より分析条件などの入力設定を受けて分析制御部４０に指示を与えるとともに、図示しないデータ処理部で作成されたマススペクトルなどを表示部４６に描出する。
【００２５】
本実施例のＭＳ／ＭＳ型質量分析装置は、分析制御部４０及び電圧発生部４１の構成及び動作にその特徴を有している。図２はこれらの概略ブロック構成図、図３は図２中の１つのＤ／Ａ変換部の概略ブロック構成図、図４はパラメータテーブルの構造を示す概念図、図５及び図６は電圧制御動作を説明するための図である。
【００２６】
分析制御部４０は、データ生成部４００、内部ＲＡＭ４０１、ＤＭＡ転送部４０２、走査制御部４０３を含む。例えば分析制御部４０は、ＣＰＵを内蔵したシステム制御用の汎用マイクロコントローラを用いて構成することができる。分析の実行に先立って、質量分析手法、測定試料又は質量範囲、走査速度、コリジョンセル２７内での開裂条件（ＣＩＤガス供給量など）、イオン化極性、などの各種分析条件が設定されると、それに応じてデータ生成部４００は、各部に印加する電圧の時間的な変化を一定時間間隔毎のデジタル値で表した制御データをテーブル形式で記述したパラメータテーブルを作成する。
【００２７】
図４に示すように、パラメータテーブルは、一定時間間隔毎（例えばｔ１、ｔ２、…、ｔｎ、… ）に各イオン輸送構成要素に印加される電圧に対応したｎビットの制御データが格納されたテーブルであり、例えば１回の質量走査に対応した制御データを含むようにすることができる。同じ質量走査を繰り返す場合には、パラメータテーブルの先頭の時刻ｔ１から最後の時刻ｔｎまでの制御データの読み出しを繰り返せばよい。１つの制御データのビット数は、対応して設けられたＤ／Ａ変換部のビット数により異なるが１２〜１６ビット程度である。なお、例えば第１段四重極（Ｑ１）２４、第３段四重極（Ｑ３）３２のように高周波電圧と直流電圧との合成電圧が印加される場合には、図４中に記載のように、制御データは直流電圧ＤＣと高周波電圧ＲＦとに分けて設けられ、Ｄ／Ａ変換部によりそれぞれアナログ電圧に変換された後に加算を行うようにしている。
【００２８】
データ生成部４００では、図４に示したようなパラメータテーブルが作成され、これが内部ＲＡＭ４０１に保存される。ＤＭＡ転送部４０２は、内部ＲＡＭ４０１に保存されているパラメータテーブルを、電圧発生部４１からの転送要求に応じて転送する機能を有する。走査制御部４０３は、質量走査の開始点を決めるスタート信号等の各種の制御信号を電圧発生部４１に与える。
【００２９】
電圧発生部４１は、ＤＭＡ制御部４１０、テーブル保持部４１１、データ読み出し部４１２、タイミング制御部４１３、及び出力される電圧に応じた数だけ用意されたＤ／Ａ変換部４１４を含む。テーブル保持部４１１はパラメータテーブルを保持する容量を持つメモリであり、ＤＭＡ制御部４１０は分析制御部４０からＤＭＡ転送されるパラメータテーブルを構成するデータを受けてこれをテーブル保持部４１１に格納する。このパラメータテーブルのＤＭＡ転送は、後述するデータの読み出しとは非同期で行われる。
【００３０】
データ読み出し部４１２はタイミング制御部４１３から与えられる読み出し開始信号を受けて、テーブル保持部４１１に格納されているパラメータテーブルの制御データをその先頭（つまり時刻ｔ１）から各時刻毎、つまり図４に示したテーブルで横方向に１行ずつ読み出し、それぞれに対応付けられたＤ／Ａ変換部４１４へと送出する。この１行分の制御データの読み出し及び各Ｄ／Ａ変換部４１４への送り出しは、予め決められた時間内、即ち、一定時間間隔で与えられる同期信号（図６（ａ）参照）の時間間隔内で終了するように制御される（図６（ｂ）参照）。
【００３１】
図３に示すように、各Ｄ／Ａ変換部４１４は、クロック信号に応じてシリアル入力されるデータ（制御データ）を１ビットずつ読み込んでパラレル出力に変換するシフトレジスタ５０と、そのシフトレジスタ５０のｎビットの出力を同期信号に応じてラッチするラッチ回路５１と、そのラッチ回路５１のｎビットの出力であるデジタル値に応じたアナログ電圧を出力するＤ／Ａ変換器５２と、を備える。各Ｄ／Ａ変換部４１４へのシリアルデータの入力のタイミングは同一とは限らないが、それぞれシフトレジスタ５０にデータを読み込ませた後に共通の同期信号により同時にラッチ回路５１にデータをラッチさせる。これにより、各Ｄ／Ａ変換部４１４においてアナログ出力、つまり各イオン輸送構成要素に印加する電圧を同期的に更新することができる。
【００３２】
したがって、図６に示したように、或る同期信号と次の同期信号との間の期間に、テーブル保持部４１１に格納されているパラメータテーブルから読み出された１行分の制御データが各Ｄ／Ａ変換部４１４に送られて、それぞれのシフトレジスタ５０に保持される。そして、上記次の同期信号がＤ／Ａ変換部４１４に入力されると、その直後に、各Ｄ／Ａ変換部４１４のアナログ出力が一斉に変化する。これが同期信号の入力毎に繰り返される。
【００３３】
上述したように、このＭＳ／ＭＳ型質量分析装置では、上述のようにＥＳＩノズル１５から発したイオンの一部が最終的にイオン検出器３４に到達するまでの経路は長く、特にコリジョンセル２７内で減速されることでイオンの通過には或る程度の時間が掛かる。そこで、第１段四重極２４で質量選択されたイオンが或る時間ｄ１だけ遅れてコリジョンセル２７に到達し、さらにこのコリジョンセル２７内で開裂により生成されたイオンがまた別の或る時間ｄ２だけ遅れて第３段四重極３２に到達する際の、それぞれの遅延時間ｄ１、ｄ２を考慮してパラメータテーブルが作成される。実際には、各段を通過する際の時間遅延は分析条件に応じてほぼ決まるから、データ生成部４００は設定された分析条件から遅延時間を推算し、その遅延時間だけずれた走査が実行されるように制御データを生成する。
【００３４】
具体的には、例えば遅延時間ｄ１、ｄ２が与えられると、第１段四重極２４の質量走査の開始時点からｄ１だけ遅れて多重極イオンガイド３０での質量走査を開始し、そのの質量走査の開始時点からさらにｄ２だけ遅れて第３段四重極３２の質量走査を開始されるように、制御データの時系列的な変化の開始点の位置をパラメータテーブル上でずらすようにすればよい。これにより、図５に示すように、第１段四重極２４（Ｑ１）、多重極イオンガイド３０（Ｑ２）、第３段四重極３２（Ｑ３）へのそれぞれの印加電圧の変化を時間差を持って行うことができる。この結果、ＥＳＩノズル１５で生成された各種イオンの中で、分析条件に適合したイオンのみが適切に選択され、効率良く輸送されつつ開裂され、さらにそのプロダクトイオンの中で分析条件に適合したイオンのみが適切に選択されてイオン検出器３４に到達し得る。
【００３５】
なお、質量走査の際にリアルタイムで電圧制御を行うには、例えばＤ／Ａ変換部４１４へのデータの送出などの動作の高速性が要求される。そこで、Ｄ／Ａ変換部４１４を除いて、電圧発生部４１は、例えばＦＰＧＡなどを利用したハードウエア回路により実現することが望ましい。この場合、電圧発生部４１全体を１個のＦＰＧＡで実現してもよいが、回路規模、消費電力、或いは入出力ピン数の制限などにより、１個にすることが難しい場合には、複数個に分割してもよい。
【００３６】
また、時間経過に従って電圧値を変化させる必要がないものについては、つまり、単にバイアス直流電圧のみを印加すればよいものについては、上記のような電圧の制御対象から除いてもよい。
【００３７】
また、上記実施例で示した、分析制御部４０や電圧発生部４１、Ｄ／Ａ変換部４１４などのブロック構成はあくまでも一例であり、同等の機能を別の構成で実現できることは当業者であれば容易に理解できる。
【００３８】
また、それ以外の点について、本発明の趣旨の範囲で適宜変更や修正、追加を行っても本願特許請求の範囲に包含されることは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施例によるＭＳ／ＭＳ型質量分析装置の要部の構成図。
【図２】分析制御部及び電圧発生部の概略ブロック構成図。
【図３】図２中の１つのＤ／Ａ変換部の概略ブロック構成図。
【図４】パラメータテーブルの構造を示す概念図。
【図５】電圧制御動作を説明するための図。
【図６】電圧制御動作を説明するための図。
【符号の説明】
【００４０】
１０…イオン化室
１１、１２、１３…中間真空室
１４…分析室
１５…ＥＳＩノズル
１６…脱溶媒管
１７…イオンレンズ
１８…スキマー
１９、２１…イオンガイド
２０、２２…隔壁
２３…プリロッド電極
２４…第１段四重極（第１段多重極）
２５…ポストロッド電極
２６…レンズ電極
２７…コリジョンセル
２８…入射側電極
２９…出射側電極
３０…多重極イオンガイド（第２段多重極）
３１…プリロッド電極
３２…第３段四重極（第３段多重極）
３３…アパーチャ電極
３４…イオン検出器
３４ａ…コンバージョンダイノード
３４ｂ…二次電子増倍管
４０…分析制御部
４００…データ生成部
４０１…内部ＲＡＭ
４０２…ＤＭＡ転送部
４０３…走査制御部
４１…電圧発生部
４１０…ＤＭＡ制御部
４１１…テーブル保持部
４１２…データ読み出し部
４１３…タイミング制御部
４１４…Ｄ／Ａ変換部
４４…中央制御部
４５…入力部
４６…表示部
５０…シフトレジスタ
５１…ラッチ回路
５２…Ｄ／Ａ変換器
【図１】
0005012637.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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