(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、複数種のプロセス処理装置及び検査装置、搬入装置及び搬出装置が設けられ、上記各装置間を連結する搬送装置又は移載装置、及びライン制御装置を備え、複数のガラス基板を順次に上記搬入装置から搬入し、上記複数種のプロセス処理装置及び検査装置にて順次に搬送されるガラス基板に各プロセス処理及び各検査を連続して行う液晶表示装置用カラーフィルタの製造ラインを用い、ガラス基板上にカラーフィルタを構成するパターンを形成する液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、
１）前記製造ライン内でのガラス基板の所要時間を監視するため、製造ラインを複数のゾーンに区分し、
２）該ゾーン内でガラス基板が滞留しても不良とならない時間を許容時間として予めゾーン毎に設定しておき、
３）前記ライン制御装置は、ゾーン毎のガラス基板の所要時間を監視し、ガラス基板の所要時間が、上記許容時間を越えた際には、前記複数種の検査装置の内、抜取検査を行っている検査装置を全数検査に切替える指示をし、
４）全数検査に切替えた検査装置は、当該ゾーンに滞留するガラス基板を全数検査して当該ガラス基板の良否判定を行い、滞留により不良となってしまったガラス基板を前記搬出装置にて回収することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記複数種のプロセス処理装置が、洗浄装置、塗布装置、露光装置、現像装置、及びポストベーク装置で構成され、この順序に設けられている製造ラインを用いたことを特徴とする請求項１記載の液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記複数種の検査装置が、塗布膜の検査を行う複数の検査装置と、着色画素の検査を行う複数の検査装置で構成され、該両複数の検査装置は全数検査又は抜取検査を行うことを特徴とする請求項２記載の液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの製造ラインによる製造に関するものであり、特に、何らかの原因によって、処理に要する時間が規定する所要時間より長くなった際に、当該装置のライン上流に滞留するガラス基板の良否判定を製造ライン内にて行い、滞留により不良となってしまったガラス基板を搬出装置にて回収することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図４は、図３に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
図３、及び図４に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成されたものである。
図３、及び図４はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（４２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。
【０００３】
液晶表示装置の多くに用いられている、上記構造のカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成し、次に、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。ブラックマトリックス（４１）は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素（４２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜（４３）は、透明な電極として設けられたものである。
【０００４】
ブラックマトリックス（４１）は、着色画素（４２）間のマトリックス部（４１Ａ）と、着色画素（４２）が形成された領域（表示部）の周辺部を囲む額縁部（４１Ｂ）とで構成されている。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
【０００５】
このブラックマトリックスの形成は、クロム成膜の製造ラインを用いてガラス基板（４０）上にブラックマトリックスの材料としてのクロム（Ｃｒ）、酸化クロム（ＣｒＯX ）などの金属、もしくは金属化合物を薄膜状に成膜し、成膜された薄膜上に、ブラックマトリックスの製造ラインを用いて、例えば、ポジ型のフォトレジストのエッチングレジストパターンを形成し、次に、成膜された金属薄膜の露出部分のエッチング及びエッチングレジストパターンの剥膜を行い、Ｃｒ、ＣｒＯX などの金属薄膜からなるブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
或いは、ガラス基板（４０）上に、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
【０００６】
また、着色画素（４２）の形成は、このブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、着色画素の製造ラインを用いて、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストの塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜（４３）の形成は、透明導電膜の製造ラインを用いて、着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
【０００７】
図３、及び図４に示すカラーフィルタは、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタとして基本的な機能を備えたものである。液晶表示装置は、このようなカラーフィルタを内蔵することにより、フルカラー表示が実現し、その応用範囲が飛躍的に広がり、ノート型ＰＣ、液晶カラーＴＶなど液晶表示装置を用いた多くの商品が創出された。
多様な液晶表示装置の開発、実用に伴い、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、上記基本的な機能に付随して下記のような、種々な機能が付加されるようになった。
【０００８】
図３に示すカラーフィルタに追加される機能としては、例えば、保護層、フォトスペーサー、配向制御用突起、光路調整層、光散乱層などがあげられる。これら諸機能の内、そのカラーフィルタの用途、仕様にもとづき１機能或いは複数の機能が各種の製造ラインを用いて、図３に示すカラーフィルタに追加される。
【０００９】
図１は、前記各種の製造ラインの内、着色画素の製造ラインの一例を示す説明図である。図１に例示する着色画素の製造ライン（１０）は、プロセス処理装置、検査装置、搬送装置、移載装置、搬入装置、及び搬出装置で構成されている。
プロセス処理装置は、洗浄装置（Ｐ１）、塗布装置（Ｐ２）、露光装置（Ｐ３）、現像装置（Ｐ４）、及びポストベーク装置（Ｐ５）で構成され、検査装置は、ガラス基板上に形成した塗布膜の検査を行う第一検査装置（Ｋ１）、第二検査装置（Ｋ２）、第三検査装置（Ｋ３）と、パターニングした着色画素の検査を行う第四検査装置（Ｋ４）、第五検査装置（Ｋ５）、第六検査装置（Ｋ６）、及び第七検査装置（Ｋ７）で構成される。
【００１０】
また、搬送装置は、第一コンベア（ＣＶ１）、第二コンベア（ＣＶ２）、及び第三コンベア（ＣＶ３）で構成され、移載装置は塗布膜の形成工程における第一ロボット（ＲＢ１）、第二ロボット（ＲＢ２）、第三ロボット（ＲＢ３）、パターニング工程における第四ロボット（ＲＢ４）、第五ロボット（ＲＢ５）、第六ロボット（ＲＢ６）で構成されている。
尚、ガラス基板は図示していないが、ガラス基板の動線を実線矢印で表している。ガラス基板は、搬入装置（ＬＤ）から順次に搬入され、搬送装置及び移載装置により各プロセス処理装置及び検査装置間を順次に搬送される。
【００１１】
図１に示すように、ガラス基板は、搬入装置（ＬＤ）から第一コンベア（ＣＶ１）によって、洗浄装置（Ｐ１）へ搬入され、洗浄装置（Ｐ１）にて洗浄処理が施される。次に、洗浄装置（Ｐ１）から第一ロボット（ＲＢ１）によって、塗布装置（Ｐ２）に移載され、塗布装置（Ｐ２）にてフォトレジストの塗布膜が設けられる。
フォトレジストの塗布膜が設けられたガラス基板は、第二ロボット（ＲＢ２）によって、第一検査装置（Ｋ１）に移載され、第一検査装置（Ｋ１）にて塗布膜の第一不良項目の検査を受ける。
【００１２】
この第一検査後に、ガラス基板は第二検査装置（Ｋ２）に移載され、塗布膜の第二不良項目の検査が行われる。続いて、第三検査装置（Ｋ３）にて第三不良項目の検査が行われる。これら第一〜第三不良項目としては、例えば、塗布膜に付着した異物や塗布膜に発生した白抜け（ピンホール）、ムラ、膜厚などが挙げられる。
【００１３】
以上により塗布膜の検査が終了したガラス基板には、次に、露光装置（Ｐ３）での露光、現像装置（Ｐ４）での現像が施され、第四検査装置（Ｋ４）にて、現像後における着色画素の第一不良項目の検査が行われ、また、第五検査装置（Ｋ５）にて、第二不良項目の検査が行われる。
続いて、ガラス基板には、ポストベーク装置（Ｐ５）にて、ポストベーク処理が施され、第六検査装置（Ｋ６）にて、着色画素の第三不良項目の検査が行われ、また、第七検査装置（Ｋ７）にて、第四不良項目の検査が行われる。第四不良項目の検査が行われた後に、着色画素が形成されたガラス基板は、第三コンベア（ＣＶ３）により搬出装置（ＵＬＤ）へ搬送される。
【００１４】
上記のように、この一例に示す着色画素の製造ラインにおいては、検査装置（（Ｋ１）〜（Ｋ７））は、製造ライン内に組み込まれており、所謂、インラインの検査が行われている。これら検査装置を用いての検査方法は、着色画素の製造ライン内で発生する不良項目の、不良項目としての軽重や発生状況に準じ、また、検査装置の検査に要する所要時間を考慮し、全数検査、或いは抜取検査が選択され、いずれかの検査方法が採用されている。
【００１５】
図１においては、例えば、第一検査装置（Ｋ１）、第二検査装置（Ｋ２）、及び第三検査装置（Ｋ３）など塗布膜の検査装置と、着色画素の検査装置である第四検査装置（Ｋ４）では、全数検査による検査方法を採用しており、また、例えば、第五検査装置（Ｋ５）、第六検査装置（Ｋ６）、及び第七検査装置（Ｋ７）など着色画素の検査装置では、抜取検査による検査方法を採用している。全数検査にするか、或いは抜取検査にするかの検査方法は、適宜に選択される。
これら検査装置で不良と判定されたガラス基板は、当該検査装置以降の各装置を空通しされ、搬出装置（ＵＬＤ）において不良品として回収されるようになっている。
【００１６】
すなわち、正常な作業においては、ガラス基板は、搬入装置（ＬＤ）から順次に搬入され、搬入されたガラス基板には、順次にプロセス処理が施され、また、検査が行われ、着色画素が正常に形成されたガラス基板が順次に搬出装置（ＵＬＤ）に搬送される。
この間、検査装置により不良と判定されたガラス基板は、搬出装置（ＵＬＤ）にて別途回収される。
【００１７】
しかしながら、正常な作業中に、例えば、図１に示す第二ロボット（ＲＢ２）が、何らかの原因で停止した場合には、その原因を特定し修復して運転を再開するのであるが、運転を再開するまでの間は、第一コンベア（ＣＶ１）〜第一検査装置（Ｋ１）間（当該第二ロボットのライン上流）にあるガラス基板は製造ライン内で滞留することになる。
この滞留する時間が長引くと、例えば、製造ラインに浮遊する異物がガラス基板上、或いは塗布膜上に付着して異物不良をもたらすことがある。或いは、滞留する時間が長引くと、例えば、ガラス基板上の塗布膜の膜厚に微小な変化が生じて着色画素の線幅不良や膜厚不良をもたらすことがある。
【００１８】
例えば、上記塗布膜上に異物が付着した場合には、塗布膜の検査を行う第一検査装置〜第三検査装置（Ｋ１〜Ｋ３）にては全数検査を検査方法として採用していることからして、運転再開後に、第一検査装置〜第三検査装置（Ｋ１〜Ｋ３）のいずれかにおいて、滞留したガラス基板が異物不良として検出される可能性は高い。しかし、例えば、上記膜厚に微小な変化の場合には、第五検査装置〜第七検査装置（Ｋ５〜Ｋ７）にては抜取検査を検査方法として採用していることからして、運転再開後に、第五検査装置〜第七検査装置（Ｋ５〜Ｋ７）のいずれかにおいて、滞留したガラス基板が抜取サンプルとして選出され、着色画素の線幅不良や膜厚不良として検出される可能性は低いものとなる。
【００１９】
また、前記第一コンベア（ＣＶ１）〜第一検査装置（Ｋ１）間に滞留するガラス基板の枚数は、正常な作業時に洗浄装置（Ｐ１）又は塗布装置（Ｐ２）内に在り、各装置内で移動中、待機中、処理中のガラス基板の枚数は、例えば、４〜５枚程度であるので、最小で
１０枚程度となる。
しかし、第二ロボット（ＲＢ２）が一時停止しても、洗浄装置（Ｐ１）を作動させて、処理を施したガラス基板を蓄積して待機させるバッファー装置（図示せず）が第一ロボット（ＲＢ１）に隣接して設けられているので、最大で、例えば、数十枚程度のものとなる。
【００２０】
これに対して、抜取検査のサンプリングの頻度は、例えば、１枚／３００枚程度であるので、運転が再開された後に滞留したガラス基板が抜取サンプルとして選出される可能性は低く、相応した枚数のガラス基板は不良品であっても、良品として搬出装置（ＵＬＤ）に収納されることとなる。
このような、不良品であっても良品として扱われるガラス基板には、次工程にて、次の処理が施されることになるので、甚大なロスとなっている。
尚、製造されたカラーフィルタには、出荷前に、改めて全数検査が行われるので、この種の不良品が得意先に納入されることは回避される。
【００２１】
尚、前記正常な作業中に、図１に示す第二ロボット（ＲＢ２）が停止した場合に、製造ラインの第二検査装置（Ｋ２）以降（当該第二ロボットのライン下流）に在った、製造途上のガラス基板には、第二検査装置（Ｋ２）以降の正常な作業が継続して施されるので、これらのガラス基板は正常な品質が保持されたものとなる。
【特許文献１】特開２００１−５３１２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、プロセス処理装置、検査装置、搬送装置、移載装置、搬入装置及び搬出装置で構成されるカラーフィルタの製造ラインにおいて、何らかの原因によって、プロセス処理、検査、搬送、移載、搬入、搬出のいずれかの装置で要する時間が規定する所要時間より長くなった際に、当該装置のライン上流に滞留するガラス基板の良否判定を製造ライン内にて行い、滞留により不良となってしまったガラス基板を搬出装置において不良品として回収することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明は、少なくとも、複数種のプロセス処理装置及び検査装置、搬入装置及び搬出装置が設けられ、上記各装置間を連結する搬送装置又は移載装置、及びライン制御装置を備え、複数のガラス基板を順次に上記搬入装置から搬入し、上記複数種のプロセス処理装置及び検査装置にて順次に搬送されるガラス基板に各プロセス処理及び各検査を連続して行う液晶表示装置用カラーフィルタの製造ラインを用い、ガラス基板上にカラーフィルタを構成するパターンを形成する液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、
１）前記製造ライン内でのガラス基板の所要時間を監視するため、製造ラインを複数のゾーンに区分し、
２）該ゾーン内でガラス基板が滞留しても不良とならない時間を許容時間として予めゾーン毎に設定しておき、
３）前記ライン制御装置は、ゾーン毎のガラス基板の所要時間を監視し、ガラス基板の所要時間が、上記許容時間を越えた際には、前記複数種の検査装置の内、抜取検査を行っている検査装置を全数検査に切替える指示をし、
４）全数検査に切替えた検査装置は、当該ゾーンに滞留するガラス基板を全数検査して当該ガラス基板の良否判定を行い、滞留により不良となってしまったガラス基板を前記搬出装置にて回収することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法である。
【００２４】
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、
前記複数種のプロセス処理装置が、洗浄装置、塗布装置、露光装置、現像装置、及びポストベーク装置で構成され、この順序に設けられている製造ラインを用いたことを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法である。
【００２５】
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、前記複数種の検査装置が、塗布膜の検査を行う複数の検査装置と、着色画素の検査を行う複数の検査装置で構成され、該両複数の検査装置は全数検査又は抜取検査を行うことを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、プロセス処理装置、検査装置、搬送装置、移載装置、搬入装置、搬出装置、及びライン制御装置設けられたカラーフィルタの製造ラインに順次に搬送されるガラス基板に各プロセス処理及び各検査を連続して行うカラーフィルタの製造ラインを用い、ガラス基板上にカラーフィルタを構成するパターンを形成する液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、
１）製造ライン内でのガラス基板の所要時間を監視するため、製造ラインを複数のゾーンに区分し、２）ゾーン内でガラス基板が滞留しても不良とならない時間を許容時間として予めゾーン毎に設定しておき、３）ライン制御装置は、ゾーン毎のガラス基板の所要時間を監視し、ガラス基板の所要時間が、許容時間を越えた際には、検査装置の内、抜取検査を行っている検査装置を全数検査に切替える指示をし、４）全数検査に切替えた検査装置は、当該ゾーンに滞留するガラス基板を全数検査して当該ガラス基板の良否判定を行い、滞留により不良となってしまったガラス基板を前記搬出装置にて回収するので、カラーフィルタの製造ラインにおいて、何らかの原因による滞留により不良となってしまったガラス基板を搬出装置において不良品として回収することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法となる。
また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、前記複数種のプロセス処理装置が、洗浄装置、塗布装置、露光装置、現像装置、及びポストベーク装置で構成され、この順序に設けられている製造ラインを用い、また、前記複数種の検査装置が、塗布膜の検査を行う複数の検査装置と、着色画素の検査を行う複数の検査装置で構成され、該両複数の検査装置は全数検査又は抜取検査を行うので、カラーフィルタの着色画素の形成において、何らかの原因による滞留により不良となってしまったガラス基板を搬出装置において不良品として回収することのできる着色画素の製造方法となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図２は、本発明による液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において用いられるカラーフィルタの製造ラインの一例を示す説明図である。図２は、前記図１に例示する着色画素の製造ラインを基にした製造ラインである。この着色画素の製造ライン（２０）は、プロセス処理装置、検査装置、搬送装置、移載装置、搬入装置、搬出装置、及びライン制御装置で構成されている。
プロセス処理装置は、洗浄装置（Ｐ１）、塗布装置（Ｐ２）、露光装置（Ｐ３）、現像装置（Ｐ４）、及びポストベーク装置（Ｐ５）で構成され、検査装置は、ガラス基板上に形成した塗布膜の検査を行う第一検査装置〜第三検査装置（Ｋ１〜Ｋ３）と、パターニングした着色画素の検査を行う第四検査装置〜第七検査装置（Ｋ４〜Ｋ７）で構成される。
【００２８】
また、搬送装置は、第一コンベア〜第三コンベア（ＣＶ１〜ＣＶ３）で構成され、移載装置は塗布膜の形成工程における第一ロボット〜第六ロボット（ＲＢ１〜ＲＢ６）で構成されている。
尚、ガラス基板は図示していないが、図２中、矢印で示すように、ガラス基板は、搬入装
置（ＬＤ）から順次に搬入され、搬送装置及び移載装置により各プロセス処理装置及び検査装置に順次に搬送され、ガラス基板に各プロセス処理及び各検査が連続して施される。
【００２９】
図２においては、例えば、第一検査装置〜第三検査装置（Ｋ１〜Ｋ３）など塗布膜の検査装置と、着色画素の検査装置である第四検査装置（Ｋ４）では、全数検査による検査方法を採用しており、また、例えば、第五検査装置〜第七検査装置（Ｋ５〜Ｋ７）など着色画素の検査装置では、抜取検査による検査方法を採用している。
これら検査装置で不良と判定されたガラス基板は、当該検査装置以降の各装置を空通しされ、搬出装置（ＵＬＤ）において不良品として回収されるようになっている。
【００３０】
本発明において用いられる液晶表示装置用カラーフィルタの製造ラインでは、製造ライン内でのガラス基板の所要時間を監視するため、製造ラインを複数のゾーンに区分している。ゾーンは、製造ラインでのガラス基板の所要時間を監視する上で適切なものとなるように、ゾーンは適宜に設定し製造ラインを複数のゾーンに区分している。
図２に示す一例においては、製造ラインを第一ゾーン〜第六ゾーン（Ｚ１〜Ｚ６）の６区分としている。
【００３１】
例えば、第二ゾーン（Ｚ２）は、塗布装置（Ｐ２）と、そのライン上流に設けられた第一ロボット（ＲＢ１）で構成されている。また、第三ゾーン（Ｚ３）は、露光装置（Ｐ３）と、そのライン上流に設けられた第二ロボット（ＲＢ２）、第一検査装置（Ｋ１）、第二検査装置（Ｋ２）、第三ロボット（ＲＢ３）、及び第三検査装置（Ｋ３）で構成されている。また、第六ゾーン（Ｚ６）は、搬出装置（ＵＬＤ）と、そのライン上流に設けられた第三コンベア（ＣＶ３）、第七検査装置（Ｋ７）、第六検査装置（Ｋ６）、及び第六ロボット（ＲＢ６）で構成されている。
【００３２】
ゾーン内でのガラス基板の所要時間は、ガラス基板がゾーンへ搬入された時刻（搬入完了時刻）と、ガラス基板が次のゾーンへ搬入された時刻（搬入完了時刻）との間の時間である。この所要時間は、ゾーン内でのプロセス処理、検査、搬送、移載、待機の総時間である。ゾーンを構成する各装置は、ゾーン毎に異なったものなので、この所要時間は、ゾーンによって異なったものとなる。
尚、第一ゾーン（Ｚ１）においては、搬入装置（ＬＤ）からの投入開始時刻と、第二ゾーン（Ｚ２）へ搬入させた時刻との間の時間を指し、また、第六ゾーン（Ｚ６）においては、第六ロボット（ＲＢ６）へ搬入させた時刻と、搬出装置（ＵＬＤ）で回収された時刻との間の時間を指している。
【００３３】
ゾーン内でのガラス基板の許容時間は、ゾーン内でガラス基板が滞留しても、例えば、異物不良、線幅不良などの不良とならない時間である。この許容時間は、ゾーン毎に予め設定しておく。従って、正常な作業中は、上記所要時間は、許容時間内に納まったものとなっている。
【００３４】
本発明におけるライン制御装置（Ｓ）は、ゾーンのガラス基板の所要時間を監視し、ガラス基板の所要時間が、許容時間を越えた際には、複数種の検査装置の内、抜取検査を行っている検査装置を全数検査に切替える指示をする。
図２中、符号（３０）は、基板情報の伝達路を表している。各ゾーンは、ガラス基板がゾーンへ搬入されたという信号を伝達路（３０）を経てライン制御装置（Ｓ）に伝達し、ライン制御装置（Ｓ）は、各ゾーンから伝達された信号より、ガラス基板がゾーンへ搬入された時刻（搬入完了時刻）を照合し、ゾーンでのガラス基板の所要時間を算出する。
【００３５】
ライン制御装置（Ｓ）は、あるゾーン内でのガラス基板の所要時間が予め設定された許容時間を越えた際には、抜取検査を行っている、例えば、第五検査装置〜第七検査装置（
Ｋ５〜Ｋ７）に対して全数検査への切替えを指示する。
全数検査へ切替えた第五検査装置〜第七検査装置（Ｋ５〜Ｋ７）は、当該ゾーンに滞留したガラス基板を全数検査し、当該ガラス基板の良否判定を行う。全数検査で不良と判定されたガラス基板は、当該検査装置以降の各装置を空通しされ、搬出装置（ＵＬＤ）において不良品として回収される。
尚、検査装置が抜取検査から全数検査に切替わる際には、関連する搬送装置及び移載装置は、同時に全数検査に対応した動作に切替わる。
【００３６】
例えば、正常な作業中に、図２に示す第二ゾーン（Ｚ２）内の第二ロボット（ＲＢ２）が、何らかの原因で停止した場合には、その原因を特定し修復して運転を再開するのであるが、運転を再開するまでの間は、第二ゾーン（Ｚ２）内のガラス基板は滞留することになる。
本発明におけるライン制御装置（Ｓ）は、この滞留する時間が長引いて所要時間が許容時間を越えた際に、抜取検査を行っている検査装置を全数検査に切替える指示をするので、第二ゾーン（Ｚ２）内に滞留していたガラス基板には全数検査が施される。
【００３７】
これにより、不良と判定されたガラス基板は、搬出装置（ＵＬＤ）において不良品として別途回収されることになる。
尚、本発明においては、製造ラインは、複数のゾーンに区分されているので、ゾーンを構成する、プロセス処理、検査、搬送、移載、搬入、搬出のいずれの装置に起因した滞留であっても、ゾーン内でのガラス基板の所要時間を監視することによって滞留していたガラス基板の良否判定を行うことができる。
この一例では、第一検査装置〜第四検査装置（Ｋ１〜Ｋ４）を全数検査とし、第五検査装置〜第七検査装置（Ｋ５〜Ｋ７）を抜取検査としたが、検査方法は適宜に設定するものである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】各種の製造ラインの内、着色画素の製造ラインの一例を示す説明図である。
【図２】本発明による液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において用いられるカラーフィルタの製造ラインの一例を示す説明図である。
【図３】液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。
【図４】図３に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０・・・着色画素の製造ライン
２０・・・本発明における着色画素の製造ライン
３０・・・基板情報の伝達路
４０・・・ガラス基板
４１・・・ブラックマトリックス
４２・・・着色画素
４３・・・透明導電膜
ＣＶ１〜ＣＶ３・・・第一コンベア〜第三コンベア
Ｋ１〜Ｋ７・・・第一検査装置〜第七検査装置
ＬＤ・・・搬入装置
Ｐ１・・・洗浄装置
Ｐ２・・・塗布装置
Ｐ３・・・露光装置
Ｐ４・・・現像装置
Ｐ５・・・ポストベーク装置
ＲＢ１〜ＲＢ６・・・第一ロボット〜第六ロボット
Ｓ・・・ライン制御装置
ＵＬＤ・・・搬出装置
Ｚ１〜Ｚ６・・・第一ゾーン〜第六ゾーン
【図１】
0005012415.tif 000002
【図２】
0005012415.tif 000003
【図３】
0005012415.tif 000004
【図４】
0005012415.tif 000005