(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持台（１）上に脆性材料製板（１０）を支承した状態において、レーザ光を用いて第１の方向に脆性材料製板（１０）を切断し、次いで支持台（１）上に支承した脆性材料製板（１０）に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させ、この状態で、レーザ光を用いて、第１の方向と直交する第２の方向に脆性材料製板（１０）を切断することを特徴とする脆性材料製板切断方法。
【請求項２】
支持台（１）の上面の平坦度を変化させることによって脆性材料製板（１０）に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させる請求項１に記載の脆性材料製板切断方法。
【請求項３】
支持台（１）の上面を凹状に変化させることによって脆性材料製板（１０）に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させる請求項１に記載の脆性材料製板切断方法。
【請求項４】
支持台（１）または脆性材料製板（１０）の平坦度を予め測定し、測定結果に応じて、脆性材料製板（１０）に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させるために、支持台（１）の上面の平坦度を凹状に変化させる請求項１に記載の脆性材料製板切断方法。
【請求項５】
脆性材料製板（１０）を支持台（１）上に吸着させる請求項１から請求項４の何れか一つの請求項に記載の脆性材料製板切断方法。
【請求項６】
脆性材料製板（１０）を支承する支持台（１）と、脆性材料製板（１０）をレーザ光を用いて切断する切断手段（４）と、支持台（１）と切断手段（４）とを相対的に第１の方向に移動させ、その後、第１の方向と直交する第２の方向に移動させる移動手段（２）（３）と、支持台（１）と切断手段（４）とを相対的に第２の方向に移動させる間に、脆性材料製板（１０）の上面の平坦度を変化させることによって脆性材料製板（１０）に切断された部分同士を圧接させるように外力を作用させる外力手段（１ｄ）（１ｅ）（１ｆ）（１ｇ）（１ｉ）（１ｓ１）（１ｓ２）（１ｓ３）（１ｓ４）（１ｓ５）（１ｓ６）（１ｓ７）（１ｓ８）（１ｓ９）とを含むことを特徴とする脆性材料製板切断装置。
【請求項７】
外力手段（１ｄ）（１ｅ）（１ｆ）（１ｇ）（１ｉ）（１ｓ１）（１ｓ２）（１ｓ３）（１ｓ４）（１ｓ５）（１ｓ６）（１ｓ７）（１ｓ８）（１ｓ９）は、支持台（１）の上面の平坦度を変化させることによって脆性材料製板（１０）に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させるものである請求項６に記載の脆性材料製板切断装置。
【請求項８】
外力手段（１ｄ）（１ｅ）（１ｆ）（１ｇ）（１ｉ）（１ｓ１）（１ｓ２）（１ｓ３）（１ｓ４）（１ｓ５）（１ｓ６）（１ｓ７）（１ｓ８）（１ｓ９）は、支持台（１）の上面を凹状に変化させることによって脆性材料製板（１０）に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させるものである請求項６に記載の脆性材料製板切断装置。
【請求項９】
支持台（１）または脆性材料製板（１０）の平坦度を測定する平坦度測定手段（６）をさらに含み、外力手段（１ｄ）（１ｅ）（１ｆ）（１ｇ）（１ｉ）（１ｓ１）（１ｓ２）（１ｓ３）（１ｓ４）（１ｓ５）（１ｓ６）（１ｓ７）（１ｓ８）（１ｓ９）は、測定結果に応じて、脆性材料製板（１０）に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させるために、支持台（１）の上面の平坦度を凹状に変化させるものである請求項６に記載の脆性材料製板切断装置。
【請求項１０】
支持台（１）は、下板部材（１ａ）と、上板部材（１ｂ）と、下板部材（１ａ）および上板部材（１ｂ）を少なくとも中心部において互いに連結する連結部材（１ｋ）と、上板部材（１ｂ）を周辺部と周辺寄り部において下板部材（１ａ）から離間させる離間部材（１ｄ）（１ｅ）（１ｆ）（１ｇ）とを含んでいる請求項６から請求項９の何れか一つの請求項に記載の脆性材料製板切断装置。
【請求項１１】
支持台（１）は、下板部材（１ａ）と、上板部材（１ｂ）と、下板部材（１ａ）および上板部材（１ｂ）を周辺部において所定距離だけ離れた状態で互いに連結する連結部材（１ｈ）と、上板部材（１ｂ）を少なくとも中心部において下板部材（１ａ）に接近させる接近部材（１ｉ）とを含んでいる請求項６から請求項９の何れか一つの請求項に記載の脆性材料製板切断装置。
【請求項１２】
上板部材（１ｂ）は、脆性材料製板（１０）を吸着保持する吸着手段を含んでいる請求項１０または請求項１１に記載の脆性材料製板切断装置。
【請求項１３】
上板部材（１ｂ）は、脆性材料製板（１０）を静電保持する静電手段を含んでいる請求項１０または請求項１１に記載の脆性材料製板切断装置。
【請求項１４】
支持台（１）は、下板部材（１ａ）と、下板部材（１ａ）のうち、第１の方向に延びる周辺部上面に突出した突条部材（１ｊ）とを含んでいる請求項６から請求項９の何れか一つの請求項に記載の脆性材料製板切断装置。
【請求項１５】
下板部材（１ａ）は、脆性材料製板（１０）を吸着保持する吸着手段を含んでいる請求項１４に記載の脆性材料製板切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光を用いて、ガラス板、セラミック板などの脆性材料製板を格子状に切断するための方法およびその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、レーザ光を用いてガラス板をスクライブした後に、レーザ光を用いてガラス板を切断するガラス板切断方法が知られている。【０００３】
そして、レーザ光を用いてガラス板を格子状に切断する方法も提案されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−６１６７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された方法は、一次切断線と直交する方向に二次切断をレーザ切断装置を用いて実行する場合、交差点前でクラックの伝播が止まってしまう不都合を考慮し、このような不都合に拘らず二次切断を行うために、切断線の交差する部分にも予め予備切断溝を設けるようにしている。【０００５】
したがって、レーザ光を用いる切断処理のみならず、余分な予備切断溝の形成処理が必要になり、全体として処理が煩雑化してしまう。そして、この煩雑化は、一次切断線の増加、二次切断線の増加に応じて著しくなってしまう。【０００６】
さらに説明する。【０００７】
特許文献１のガラス基板切断方法では、ガラス基板の保持方法については特に注意を払わず、見かけ上平坦なテーブルを用いることが一般的であった。【０００８】
このようにガラス基板を保持した状態で、ガラス基板を格子状に切断する場合、テーブルの中央部分を例えば回転式モータで支えるため、周辺部が支承されないことがしばしば生じる。そして、テーブルの周辺部が支承されていない場合、自重によりテーブルにたわみが生じ、凸状の反りが生じる。また、テーブルの加工精度の影響を受けて、テーブルに部分的な凸状の反りが生じる。【０００９】
さらに、ガラス基板自体においても、ガラスの平坦度の影響で、部分的に凸状の反りが生じる。【００１０】
このような凸状の反りが生じると、切断された部分が互いに離れてしまい、その部分と交差する方向にガラス基板をレーザ光を用いて切断する場合に、クラックの伝播が中断されてしまう可能性が高くなり、交差方向のガラス基板の切断の成功率が下がる。【００１１】
なお、この不都合は、ガラス板のみならず、セラミック板、ウエハーなどをレーザ光を用いて格子状に切断する場合に、同様に生じると思われる。【００１２】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、余分な予備切断溝を形成することなく、レーザ光を用いて脆性材料製板を格子状に切断することができる脆性材料製板切断方法およびその装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の脆性材料製板切断方法は、支持台上に脆性材料製板を支承した状態において、レーザ光を用いて第１の方向に脆性材料製板を切断し、次いで支持台上に支承した脆性材料製板に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させ、この状態で、レーザ光を用いて、第１の方向と直交する第２の方向に脆性材料製板を切断する方法である。【００１４】
ここで、外力とは、何らかの機構により積極的に与えられる力が一般的であるが、ガラス基板の自重により作用する力のように結果的に与えられる力をも含むことができる。また、脆性材料製板としては、ガラス板、セラミック板、ウエハーなどが例示できる。第１の方向とは、脆性材料製板を最初に切断する方向であり、任意に設定することができる。【００１５】
この場合において、支持台の上面の平坦度を変化させることによって脆性材料製板に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させてもよく、または、支持台の上面を凹状に変化させることによって脆性材料製板に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させてもよい。【００１６】
また、支持台または脆性材料製板の平坦度を測定し、測定結果に基づいて定まる必要性に応じて、脆性材料製板に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させるために、支持台の上面の平坦度を変化させ、および／または支持台の上面を凹状に変化させることが好ましい。【００１７】
さらに、脆性材料製板を支持台上に吸着させることが好ましい。【００１８】
本発明の脆性材料製板切断装置は、脆性材料製板を支承する支持台と、脆性材料製板をレーザ光を用いて切断する切断手段と、支持台と切断手段とを相対的に第１の方向に移動させ、その後、第１の方向と直交する第２の方向に移動させる移動手段と、支持台と切断手段とを相対的に第２の方向に移動させる間に、脆性材料製板の切断された部分同士を圧接させるように外力を作用させる外力手段とを含むものである。【００１９】
ここで、外力とは、何らかの機構により積極的に与えられる力が一般的であるが、ガラス基板の自重により作用する力のように結果的に与えられる力をも含むことができる。また、脆性材料製板としては、ガラス板、セラミック板、ウエハーなどが例示できる。【００２０】
この場合において、外力手段は、支持台の上面の平坦度を変化させることによって脆性材料製板に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させるものであってもよく、または、支持台の上面を凹状に変化させることによって脆性材料製板に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させるものであってもよい。【００２１】
また、支持台または脆性材料製板の平坦度を測定する平坦度測定手段をさらに含み、外力手段として、測定結果に基づいて定まる必要性に応じて、脆性材料製板に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させるために、支持台の上面の平坦度を変化させ、および／または支持台の上面を凹状に変化させるものを採用することが好ましい。【００２２】
これらの場合において、支持台は、下板部材と、上板部材と、下板部材および上板部材を少なくとも中心部において互いに連結する連結部材と、上板部材を周辺部および／または周辺寄り部において下板部材から離間させる離間部材とを含んでいてもよく、または、下板部材と、上板部材と、下板部材および上板部材を周辺部において所定距離だけ離れた状態で互いに連結する連結部材と、上板部材を少なくとも中心部において下板部材に接近させる接近部材とを含んでいてもよい。【００２３】
そして、上板部材は、脆性材料製板を吸着保持する吸着手段を含んでいてもよく、または、脆性材料製板を静電保持する静電手段を含んでいてもよい。【００２４】
さらに、支持台は、下板部材と、下板部材のうち、第１の方向に延びる周辺部上面に突出した突条部材とを含んでいてもよく、この場合において、下板部材は、脆性材料製板を吸着保持する吸着手段を含んでいることが好ましい。【００２５】
本発明の脆性材料製板切断方法であれば、レーザ光を用いて第１の方向に脆性材料製板を切断した後に、脆性材料製板に外力を作用させて切断された部分同士を圧接させ、この状態において、余分な予備切断溝を設けることなく、レーザ光を用いて、第１の方向と直交する第２の方向に脆性材料製板を切断することができ、交差点を超えてクラックを伝播させることができるので、第２の方向における切断の失敗を殆ど皆無にすることができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の脆性材料製板切断方法は、余分な予備切断溝を設ける処理を不要にして全体としての処理を簡単化することができ、しかも、第１の方向と直交する第２の方向における切断の失敗を殆ど皆無にすることができるという特有の効果を奏する。【００２８】
本発明の脆性材料製板切断装置は、余分な予備切断溝を設ける機構を不要にして全体としての構成を簡単化することができ、しかも、第１の方向と直交する第２の方向における切断の失敗を殆ど皆無にすることができるという特有の効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、添付図面を参照して、本発明の脆性材料製板切断方法およびその装置の実施の形態を詳細に説明する。【００３０】
なお、以下においては、脆性材料としてガラスを例にとって説明するが、他の脆性材料を採用する場合にも同様に適用することが可能である。【００３１】
図１は本発明の脆性材料製板切断方法が適用されるガラス板切断装置の一実施形態を示す概略斜視図である。【００３２】
本ガラス板切断装置は、切断対象のガラス板１０を支承する回転テーブル１と、回転テーブル１を、ガラス板と平行な平面内において互いに直交する方向に平行移動させるX軸
駆動部材２、Y軸駆動部材３と、レーザ光を用いてガラス板１０を切断するレーザ切断ユ
ニット４と、回転テーブル１、X軸駆動部材２、Y軸駆動部材３、およびレーザ切断ユニット４を制御するコントローラ５とを有している。なお、６は変位計であり、回転テーブル１の上面、ガラス板１０の上面の平坦度を測定するために使用される。この変位計６としては、機械的変位計、光学的変位計など、従来公知の種々の構成のものが使用可能である。【００３３】
図２はレーザ光を用いてガラス板１０を切断する処理を説明する概略斜視図である。【００３４】
ガラス板１０に対して切断線１０ｂを想定し、切断開始位置に、従来公知の方法によって、切欠（予備切断溝）１０ａを形成する。【００３５】
そして、切欠１０ａを起点として、切断線１０ｂに沿って、先ず、レーザ光（スクライブビーム）４ａを照射して局所的に熱膨張させて圧縮応力を生じさせ、次いで、ミスト（クエンチングウォーター）４ｂを、レーザ光が照射された箇所に供給して局所的に収縮させて引張応力を生じさせる。これらの処理（スクライブ処理）によって、微小クラックを連続成長させることができる。この連続成長された微小クラックをスクライブラインと称する。【００３６】
スクライブ後に、レーザ光（ブレークビーム）４ｃを照射して、微小クラックが連続成長された部分を局所的に熱膨張させて圧縮応力を生じさせ、スクライブラインをガラス板１０の裏面にまで成長させてガラス板１０の切断を達成することができる（図３参照）。なお、スクライブラインがガラス板１０の裏面にまで成長する線をブレークラインと称する。【００３７】
したがって、スクライブビーム４ａの照射、クエンチングウォーター４ｂの供給、ブレークビーム４ｃの照射がこの順にガラス板１０に対して行われるように、Y軸駆動部材３
を動作させることにより、第１の方向にガラス板１０を切断することができる。その後、X軸駆動部材２を動作させて異なる位置を設定し、この状態において、スクライブビーム
４ａの照射、クエンチングウォーター４ｂの供給、ブレークビーム４ｃの照射がこの順にガラス板１０に対して行われるように、Y軸駆動部材３を動作させることにより、異なる
位置において、第１の方向にガラス板１０を切断することができる。以下、同様にして、所望の箇所において、第１の方向にガラス板１０を切断することができる。【００３８】
このようにして第１の方向に所望回数だけガラス板１０を切断した後は、外力を作用させることによって、ガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させ（圧接させ）、第１の方向と直交する第２の方向に、スクライブビーム４ａの照射、クエンチングウォーター４ｂの供給、ブレークビーム４ｃの照射がこの順にガラス板１０に対して行われるように、回転テーブル１を９０度だけ回転させ、この状態でY軸駆動部材３を動作させるこ
とにより、第２の方向にガラス板１０を切断することができる。その後、X軸駆動部材２
を動作させて異なる位置を設定し、この状態において、スクライブビーム４ａの照射、クエンチングウォーター４ｂの供給、ブレークビーム４ｃの照射がこの順にガラス板１０に対して行われるように、Y軸駆動部材３を動作させることにより、異なる位置において、
第２の方向にガラス板１０を切断することができる。以下、同様にして、所望の箇所において、第２の方向にガラス板１０を切断することができる。【００３９】
上記の第２の方向におけるガラス板１０の切断に当たって、外力を作用させることによって、ガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させている（圧接させている）ので、微小クラックは、中断されることなく、連続成長されることになり、余分な予備切断溝を形成する必要がなく、しかも、第２の方向における切断の失敗を殆ど皆無にすることができる。【００４０】
図４は外力を作用させることによって、ガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）機構の一例を示す概略斜視図、図５は外力非作用状態を説明する概略正面図、図６は外力作用状態を説明する概略正面図である。【００４１】
この機構は、回転テーブル１を、方形の下板部材１ａと、方形の上板部材１ｂと、下板
部材１ａと上板部材１ｂとを互いに連結するように、第１の方向と平行な中心軸に沿って介在されたスペーサ１ｃと、連結部材１ｋと、下板部材１ａの隅角部に設けられて上板部材１ｂの隅角部を持ち上げるアクチュエータ１ｄとで構成している。そして、上板部材１ｂは、孔を複数設けてその孔を負圧にし、または多孔質状の表面にしてそれらを負圧にする真空吸着機構を有し、または、静電気の力を利用する静電チャックを有し、または、粘着シートを有することが好ましい。ここで、粘着シートとしては、一般のもの（例えば、ポリオレフィン、ポリエステル、塩化ビニル、ポリイミド、フッ素樹脂などを基材とし、アクリル系、シリコン系、その他の粘着剤からなるもの）、紫外線照射によって粘着力をなくするもの（例えば、ポリオレフィン系樹脂を基材とし、アクリル系粘着剤からなるもの）、または常温で粘着力を持ち、冷却することにより粘着力が低下し、またはなくなるもの（例えば、ＰＥＴフィルムを基材とし、感温性粘着剤からなるもの）が例示できる。【００４２】
この場合には、アクチュエータ１ｄによって上板部材１ｂを凹状に変形させることができ、ガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）ことができる。【００４３】
図７は外力を作用させることによって、ガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）機構の他の例を示す概略斜視図、図８は外力非作用状態を説明する概略正面図、図９は外力作用状態を説明する概略正面図である。【００４４】
この機構は、回転テーブル１を、方形の下板部材１ａと、方形の上板部材１ｂと、下板部材１ａと上板部材１ｂとを互いに連結するように、第１の方向と平行な中心軸に沿って介在されたスペーサ１ｃと、連結部材１ｋと、下板部材１ａの隅角部に設けられてアクチュエータ１ｅにより第２の方向に往復動される可動テーパー部材１ｆと、上板部材１ｂの隅角部に設けられて可動テーパー部材１ｆと係合する固定テーパー部材１ｇとで構成している。そして、上板部材１ｂは、孔を複数設けてその孔を負圧にし、または多孔質状の表面にしてそれらを負圧にする真空吸着機構を有し、または、静電気の力を利用する静電チャックを有し、または、粘着シートを有することが好ましい。ここで、粘着シートとしては、紫外線照射によって粘着力をなくするもの、または常温で粘着力を持ち、冷却することにより粘着力が低下し、またはなくなるものが例示できる。【００４５】
この場合には、アクチュエータ１ｅによって可動テーパー部材１ｆをスペーサ１ｃから離れる方向に移動させ、固定テーパー部材１ｇと係合させることにより、上板部材１ｂを凹状に変形させることができ、ガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）ことができる。【００４６】
以上の実施形態においては、アクチュエータ１ｄ、アクチュエータ１ｅ、可動テーパー部材１ｆ、固定テーパー部材１ｇを隅角部のみに設けているが、隅角部のみならず、中心寄りの他の部分にも設け、これらによる上板部材１ｂの上昇距離を取り付け位置に応じて変化させることが可能であり、同様の作用を達成することができる。【００４７】
図１０は外力を作用させることによって、ガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）機構のさらに他の例を示す概略斜視図、図１１は外力非作用状態を説明する概略正面図、図１２は外力作用状態を説明する概略正面図である。【００４８】
この機構は、回転テーブル１を、方形の下板部材１ａと、方形の上板部材１ｂと、下板部材１ａと上板部材１ｂとを互いに連結するように、第１の方向と平行に両部材の周辺部間に介在された１対の支持ローラ１ｈと、下板部材１ａの、第１の方向と平行な中心軸に沿って設けられて上板部材１ｂの対応する部分を引きつけるアクチュエータ１ｉとで構成している。そして、上板部材１ｂは、孔を複数設けてその孔を負圧にし、または多孔質状
の表面にしてそれらを負圧にする真空吸着機構を有し、または、静電気の力を利用する静電チャックを有し、または、粘着シートを有することが好ましい。ここで、粘着シートとしては、紫外線照射によって粘着力をなくするもの、または常温で粘着力を持ち、冷却することにより粘着力が低下し、またはなくなるものが例示できる。【００４９】
この場合には、アクチュエータ１ｉによって上板部材１ｂを凹状に変形させることができ、ガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）ことができる。【００５０】
図４から図１２の実施形態に適用されるガラス板１０は、１枚のものであっても、2枚
重ね状に一体化されたものであってもよい。【００５１】
図１３は外力を作用させることによって、ガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）機構のさらに他の例を示す概略斜視図である。【００５２】
この機構は、回転テーブル１を、方形の下板部材１ａと、第１の方向と平行に下板部材１ａの互いに対向する周辺部に設けられた長尺突起部材１ｊとで構成している。長尺突起部材１ｊとしては、所定の厚みのテープが例示できる。【００５３】
連結部材１ｊは、アクチュエータ（図示せず）などにより、突起の程度すなわちガラスを変形させる量を変えたり、あるいはガラスを水平にすることも可能である。【００５４】
ただし、図１３の実施態様は、2枚重ね状に一体化されたガラス板のうち、上側のガラ
ス板を格子状に切断する場合にのみ適用可能である。その理由は、切断されていないガラス板が存在していることが、長尺突起部材１ｊの存在に起因する段部、および自重の影響を受けて凹状に変形できるための条件になるからである。しかし、ガラスの裏面つまり切断用ビームの照射側と反対の方向にフイルムやシートなどが貼られていれば１枚のものでも通用ができる。【００５５】
図１４は外力を作用させることによって、ガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）機構のさらに他の例を示す一部切欠概略斜視図である。【００５６】
この機構は、回転テーブル１を、方形の下板部材１ａと、方形の上板部材１ｂと、下板部材１ａと上板部材１ｂとを中心において互いに連結する連結部材１ｋと、下板部材１ａの上面のうち、各辺の所定位置に対応して設けられてアクチュエータ１ｅにより対応する辺と直交する方向に往復動される可動テーパー部材１ｆと、上板部材１ｂの対応する所定位置（可動テーパー部材１ｆに対応する所定位置）に設けられて可動テーパー部材１ｆと係合する固定テーパー部材１ｇと、下板部材１ａの上面のうち、各辺の中心部に設けられて上板部材１ｂの対応する箇所を支承するスペーサ１ｍと、下板部材１ａの下面のうち、各辺の中心部に対応して設けられて、下板部材１ａの外方において連結固定部材１ｐを接離方向に往復動させるアクチュエータ１ｎと、上板部材１ｂの各辺の外側面に形成された係合孔１ｑと、連結固定部材１ｐの上部所定位置に設けられ、対応する係合孔１ｑに係合可能な突出部材１ｒとで構成している。そして、上板部材１ｂは、孔を複数設けてその孔を負圧にし、または多孔質状の表面にしてそれらを負圧にする真空吸着機構を有し、または、静電気の力を利用する静電チャックを有し、または、粘着シートを有することが好ましい。ここで、粘着シートとしては、紫外線照射によって粘着力をなくするもの、または常温で粘着力を持ち、冷却することにより粘着力が低下し、またはなくなるものが例示できる。【００５７】
この場合には、１方向に互いに対向する１対の連結固定部材１ｐを動作させて突出部材
１ｒを係合孔１ｑと係合させ、上板部材１ｂの対応する辺の中心部の上方への変形を阻止し、他の辺に対応するアクチュエータ１ｅによって可動テーパー部材１ｆをスペーサ１ｃから離れる方向に移動させ、固定テーパー部材１ｇと係合させることにより、上板部材１ｂを凹状に変形させることができ、ガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）ことができる。【００５８】
また、上板部材１ｂを凹状に変形させる方向を自由に選択することができる。したがって、ガラス板１０を格子状に切断するに当たって、作業上の都合や切断のし易さを考慮して、第１の方向が図１５中（Ａ）に示すように横方向に設定されても、図１５中（Ｂ）に示すように縦方向に設定されても、簡単に対処することができる。【００５９】
図１６は外力を作用させることによって、ガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）機構のさらに他の例を示す概略斜視図である。【００６０】
この機構は、回転テーブル１を、方形の下板部材１ａと、方形の上板部材１ｂと、下板部材１ａと上板部材１ｂとを、３行３列の９箇所において互いに連結するアクチュエータ１ｓ１，１ｓ２・・１ｓ９とで構成している。そして、上板部材１ｂは、孔を複数設けてその孔を負圧にし、または多孔質状の表面にしてそれらを負圧にする真空吸着機構を有し、または、静電気の力を利用する静電チャックを有し、または、粘着シートを有することが好ましい。ここで、粘着シートとしては、紫外線照射によって粘着力をなくするもの、または常温で粘着力を持ち、冷却することにより粘着力が低下し、またはなくなるものが例示できる。【００６１】
この場合には、第１行および第３行に対応するアクチュエータを突出方向に動作させるとともに、第２行に対応するアクチュエータを引き込み方向に動作させる状態と、第１列および第３列に対応するアクチュエータを突出方向に動作させるとともに、第２列に対応するアクチュエータを引き込み方向に動作させる状態とを選択することによって、上板部材１ｂを凹状に変形させる方向を自由に選択することができる。したがって、ガラス板１０を格子状に切断するに当たって、作業上の都合や切断のし易さを考慮して、第１の方向が図１５中（Ａ）に示すように横方向に設定されても、図１５中（Ｂ）に示すように縦方向に設定されても、簡単に対処することができる。【００６２】
但し、アクチュエータを４行４列以上に配置して、上板部材１ｂの変形度合い（曲率）を任意に設定することも可能である。【００６３】
上記の各実施形態において使用されているアクチュエータとしては、往復動作が可能な空気圧駆動機構、ネジ形状を利用した直線移動機構、ピエゾ素子、回転カム機構、バイメタル効果を利用したものなどが例示できるが、結果として往復動作が可能であれば、他の方式でもよい。そして、アクチュエータの動作量を制御することによって、上板部材１ｂの変形の程度を調整することが可能である。【００６４】
本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、テーブルを変形させる手段としてバイメタル効果を利用するものを採用することが可能であるほか、単にテーブル１を傾斜させ、自重によってガラス板１０の切断された部分同士を互いに接触させるようにすることが可能であり、さらにガラス板１０を全体として挟み込むチャック機構を設けることも可能である。さらにまた、粘着テープを引っ張った状態でガラス板の下面に貼り付けておくことも可能である。【００６５】
また、機械的変位計、光学的変位計などを用いて回転テーブル１の上面、脆性材料製板の上面の平坦度を予め測定し、測定結果に応じて回転テーブル１の上面の平坦度を変化さ
せ、または凹状に反らせることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の脆性材料製板切断方法が適用されるガラス板切断装置の一実施形態を示す概略斜視図である。
【図２】レーザ光を用いてガラス板を切断する処理を説明する概略斜視図である。
【図３】レーザ光を用いてガラス板を切断する処理を説明する概略縦断面図である。
【図４】外力を作用させることによって、ガラス板の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）機構の一例を示す概略斜視図である。
【図５】外力非作用状態を説明する概略正面図である。
【図６】外力作用状態を説明する概略正面図である。
【図７】外力を作用させることによって、ガラス板の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）機構の他の例を示す概略斜視図である。
【図８】外力非作用状態を説明する概略正面図である。
【図９】外力作用状態を説明する概略正面図である。
【図１０】外力を作用させることによって、ガラス板の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）機構のさらに他の例を示す概略斜視図である。
【図１１】外力非作用状態を説明する概略正面図である。
【図１２】外力作用状態を説明する概略正面図である。
【図１３】外力を作用させることによって、ガラス板の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）機構のさらに他の例を示す概略斜視図である。
【図１４】外力を作用させることによって、ガラス板の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）機構のさらに他の例を示す概略斜視図である。
【図１５】ガラス板を格子状に切断する場合の第１の方向と第２の方向とを説明する概略図である。
【図１６】外力を作用させることによって、ガラス板の切断された部分同士を互いに接触させる（圧接させる）機構のさらに他の例を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００６７】
１  回転テーブル（支持台）
２  Ｘ軸移動部材（移動手段）
３  Ｙ軸駆動部材（移動手段）
４  レーザ切断ユニット（切断手段）
６  変位計（平坦度測定手段）
１０  ガラス板（脆性材料製板）
１ａ  下板部材
１ｂ  上板部材
１ｃ  スペーサ
１ｄ  アクチュエータ（外力手段）
１ｅ  アクチュエータ（外力手段）
１ｆ  可動テーパ部材（外力手段）
１ｇ  固定テーパ部材（外力手段）
１ｈ  支持ローラ（外力手段）
１ｉ  アクチュエータ（外力手段）
１ｊ  長尺突起部材
１ｋ  連結部材
１ｓ１・・１ｓ９  アクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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