(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学効果を有する材料で形成され、対向する２つの端面と２つの側面を有する、厚さが３０μｍ以下の基板と、前記基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極とを有する光導波路素子において、
該光導波路に該変調電極の電界が主として作用する光導波路の作用領域と、該光導波路の入射側端部又は出射側端部の少なくともいずれかとは、該端部を含む光導波路の延長線上に該作用領域が配置されないように構成され、
該作用領域は該側面と略平行に配置され、該光導波路の入射側端部又は出射側端部の少なくともいずれかは、該側面に配置されていることを特徴とする光導波路素子。
【請求項２】
請求項１に記載の光導波路素子において、該光導波路の最小曲率半径は、Ｒ２００〜３０００μｍの範囲であることを特徴とする光導波路素子。
【請求項３】
請求２に記載の光導波路素子において、該最小曲率半径が設定されている光導波路部分は、該側面に配置された光導波路の端部に繋がる光導波路を、該側面に略平行な方向に曲げる部分に存在することを特徴とする光導波路素子。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の光導波路素子において、該光導波路はマッハツェンダー型光導波路となる部分を有していることを特徴とする光導波路素子。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の光導波路素子において、該光導波路の入射側端部は該側面の一方に配置され、該入射側端部に入射しない非結合光を除去するため、該側面の他方の少なくとも一部に、該非結合光を除去するための除去手段が形成されていることを特徴とする光導波路素子。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれかに記載の光導波路素子において、該光導波路の出射側端部は該側面に配置され、該出射側端部に導出されない非結合光を除去するため、該側面に配置された該出射側端部に最も近い該端面又は他方の側面に、該非結合光を除去するための除去手段が形成されていることを特徴とする光導波路素子。
【請求項７】
請求項６に記載の光導波路素子において、該光導波路はマッハツェンダー型光導波路となる部分を有し、該除去手段は、該マッハツェンダー型光導波路からの放射モード光の一部が光導波路素子外に放出可能なように構成されていることを特徴とする光導波路素子。
【請求項８】
請求項５乃至７のいずれかに記載の光導波路素子において、該除去手段は光吸収材料で形成されていることを特徴とする光導波路素子。
【請求項９】
請求項２乃至８のいずれかに記載の光導波路素子において、該光導波路の最小曲率半径を有する部分はリッジ構造を有していることを特徴とする光導波路素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路素子に関し、特に、電気光学効果を有する材料で形成され、厚みが３０μｍ以下の基板を含む光導波路素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信分野や光計測分野において、光変調器が多用されている。特に、マルチメディアの発展に伴い情報伝達量は増加傾向にあり、光変調器の変調周波数の広帯域化の実現が求められている。これらを実現する手段の一つとして、ニオブ酸リチウム（ＬＮ）などの電気光学効果を有する基板上に光導波路や変調電極を形成した導波路型光変調器のように、外部変調方式の光導波路素子が利用され、その多様化が進展している。光導波路素子における広帯域の実現には、変調信号であるマイクロ波と光波との速度整合、及び駆動電圧の低減を図る必要がある。
【０００３】
このため、従来より電気光学効果を有する基板の厚みを薄くすることにより、マイクロ波と光波の速度との速度整合条件を満足させ、且つ駆動電圧の低減を同時に図ることが試みられている。
以下の特許文献１又は２においては、３０μｍ以下の厚みを有する薄い基板に、光導波路並びに変調電極を組み込み、該基板より誘電率の低い補強板を該基板に接合し、マイクロ波に対する実効屈折率を下げ、マイクロ波と光波との速度整合を図り且つ基板の機械的強度を高めることが行われている。
【特許文献１】特開昭６４−１８１２１号公報
【特許文献２】特開２００３−２１５５１９号公報
【０００４】
しかし、従来から製造されていたＬＮ基板を用いた光導波路素子とＬＮ基板の厚さを薄くした光導波路素子とを比較した場合、基板の厚みが薄くなるに従い、光導波路から放射又は漏出した光や入射用光ファイバーから光導波路以外に入射した光など（以下、「迷光」という）が光導波路以外の基板内を伝播する傾向が強くなる。特に光導波路素子の基板を薄くした場合、基板の厚み方向の光の閉じ込めが強くなるため、光波は基板の幅方向に扁平した状態で光導波路を伝播する。このような状況下で、光ファイバを伝播してきた光波は、入射用光ファイバーから光導波路以外に漏れる迷光が増大することとなる。
【０００５】
また従来のＬＮ基板は、基板の厚さ（例えば５００〜１０００μｍ）が厚いため、導波路（例えば深さ数μｍ）に影響を及ぼさない領域が十分に有り、迷光となっている光の空間分布密度（以下、「迷光密度」という。）が相対的に低くなり、その結果迷光の影響が特に問題とならなかった。しかし、基板の厚さを導波路の深さ方向の距離と同じ程度に薄くした場合には、基板内における基板表面に沿った方向を伝搬する迷光密度が相対的に高くなるため、迷光が基板内を伝搬し、光導波路に再入射したり、光導波路素子に接続された出射用光ファイバなどに入射するなどの現象が生じ、結果として、出力光のＳ／Ｎ比が著しく劣化する原因となっていた。
【０００６】
本出願人は、特許文献３において、これらの問題を解決する一つの手段として、基板の表面に迷光除去手段を設け、消光比の劣化や光損失の増大などを抑制することを提案した。
なお、迷光は、特許文献３にも開示されているように、フォトリフラクティブ現象を発生させ、光導波路を伝搬する光波を散乱させるなど、光損失の増加の原因でもある。
【特許文献３】特開２００４−９３９０５号公報
【０００７】
また、以下の特許文献４乃至６のように、マッハツェンダー型光導波路の出射側の光導波路を曲げて、マッハツェンダー型光導波路からの放射モード光と光導波路を伝搬する光波とを空間分離する技術も開示されているが、放射モード光が光導波路素子から放射される基板面と出射側光導波路の端部が形成された基板面とが同じ面となっている。このため、光導波路を伝搬する光波と放射モード光との分離が、不十分となっていた。
【特許文献４】特開平５−２２４０４４号公報
【特許文献５】特開平８−１９４１９５号公報
【特許文献６】特許第４０２５７９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、上述した問題を解決し、３０μｍ以下の厚みを有する基板を用いた場合でも、消光比の劣化を改善することが可能な光導波路素子を提供することである。また、本発明に係る他の課題は、光導波路素子全体をより小型化することが可能な光導波路素子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決するため、本発明者らが鋭意研究を重ねた結果、光導波路素子に光波が入射する方向の延長線上に、光導波路に変調電極の電界が主として作用する光導波路の作用領域を配置せず、また、光導波路の出射側端部を含む光導波路の延長線上（光導波路素子から光波が出射する方向と向きが逆でほぼ同じ線上となる。）に作用領域を配置しないことにより、迷光の影響を抑制し、消光比の劣化を改善することを可能としたものである。特に、このような配置を可能とするには、光導波路の曲率半径を小さくする必要があるが、本発明者らは３０μｍ以下の厚みを有する基板では、曲率半径をより小さくできることを見出し、また、作用領域に入射する迷光を除去することが、消光比の一層の改善に寄与することに着目し、本発明を完成させたものである。
【００１０】
請求項１に係る発明は、電気光学効果を有する材料で形成され、対向する２つの端面と２つの側面を有する、厚さが３０μｍ以下の基板と、前記基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極とを有する光導波路素子において、該光導波路に該変調電極の電界が主として作用する光導波路の作用領域と、該光導波路の入射側端部又は出射側端部の少なくともいずれかとは、該端部を含む光導波路の延長線上に該作用領域が配置されないように構成され、該作用領域は該側面と略平行に配置され、該光導波路の入射側端部又は出射側端部の少なくともいずれかは、該側面に配置されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の光導波路素子において、該光導波路の最小曲率半径は、Ｒ２００〜３０００μｍの範囲であることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る発明は、請求項２に記載の光導波路素子において、該最小曲率半径が設定されている光導波路部分は、該側面に配置された光導波路の端部に繋がる光導波路を、該側面に略平行な方向に曲げる部分に存在することを特徴とする。
【００１３】
請求項４に係る発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の光導波路素子において、該光導波路はマッハツェンダー型光導波路となる部分を有していることを特徴とする。
【００１４】
請求項５に係る発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載の光導波路素子において、該光導波路の入射側端部は該側面の一方に配置され、該入射側端部に入射しない非結合光を除去するため、該側面の他方の少なくとも一部に、該非結合光を除去するための除去手段が形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項６に係る発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載の光導波路素子において、該光導波路の出射側端部は該側面に配置され、該出射側端部に導出されない非結合光を除去するため、該側面に配置された該出射側端部に最も近い該端面又は他方の側面に、該非結合光を除去するための除去手段が形成されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項７に係る発明は、請求項６に記載の光導波路素子において、該光導波路はマッハツェンダー型光導波路となる部分を有し、該除去手段は、該マッハツェンダー型光導波路からの放射モード光の一部が光導波路素子外に放出可能なように構成されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項８に係る発明は、請求項５乃至７のいずれかに記載の光導波路素子において、該除去手段は光吸収材料で形成されていることを特徴とする。
【００１８】
請求項９に係る発明は、請求項２乃至８のいずれかに記載の光導波路素子において、該光導波路の最小曲率半径を有する部分はリッジ構造を有していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１に係る発明により、電気光学効果を有する材料で形成され、厚さが３０μｍ以下の基板と、前記基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極とを有する光導波路素子において、該光導波路に該変調電極の電界が主として作用する光導波路の作用領域と、該光導波路の入射側端部又は出射側端部の少なくともいずれかとは、該端部を含む光導波路の延長線上に該作用領域が配置されないように構成するため、入射側端部や出射側端部で発生した迷光が光導波路の作用領域に至るのを抑制することが可能となる。これにより、消光比の劣化を抑制することが可能となる。
【００２０】
さらに請求項１に係る発明により、基板は、対向する２つの端面と２つの側面を有し、作用領域は、該側面と略平行に配置され、光導波路の入射側端部又は出射側端部の少なくともいずれかは、該側面に配置されているため、入射側端部や出射側端部で発生した迷光が光導波路の作用領域に至るのをより効果的に抑制することが可能となる。これにより、消光比の劣化を抑制することが可能となる。
また、本発明を利用することで、光導波路素子に入射用又は出射用光ファイバを接続する際に、光導波路素子の中で最も広い領域を占める作用領域が配置される方向（作用領域の光波の主な伝搬方向）とほぼ直角に光ファイバを接続できるため、光導波路素子全体を実質的に小型化することが可能となる。
【００２１】
請求項２に係る発明により、光導波路の最小曲率半径は、Ｒ２００〜３０００μｍの範囲であるため、光導波路の曲げに要する長さを短縮でき、光導波路素子全体をより一層小型化することが可能となる。しかも、このような最小曲率半径は、基板の厚さを３０μｍ以下にしたことにより光の閉じ込めが強くなり、その結果、２〜３ｄＢ程度の光損失で光導波路を曲げることができ、光導波路の作用領域への迷光を格段に減らすことが可能となった。
【００２２】
請求項３に係る発明により、最小曲率半径が設定されている光導波路部分は、側面に配置された光導波路の端部に繋がる光導波路を、該側面に略平行な方向に曲げる部分に存在するため、光導波路素子の光波の入射又は出射に関わる部分の光導波路の長さをより短くでき、光導波路の作用領域が配置される方向（作用領域の光波の主な伝搬方向）に対する光導波路素子全体のサイズをより小さくすることが可能となる。
【００２３】
請求項４に係る発明により、光導波路はマッハツェンダー型光導波路となる部分を有しているため、入射側端部で発生した迷光がマッハツェンダー型光導波路の作用領域（分岐導波路部分など）に至ることが抑制され、または、マッハツェンダー型光導波路（特に合分岐導波路が再結合する合波点）から発生される放射モード光が出射用端部に到達することが抑制されるため、消光比の劣化をより一層改善した光導波路素子を提供することが可能となる。
【００２４】
請求項５に係る発明により、光導波路の入射側端部が側面の一方に配置された場合に、該入射側端部に入射しない非結合光を除去するため、該側面の他方の少なくとも一部に、該非結合光を除去するための除去手段が形成されているため、非結合光が他方の側面などで反射し、光導波路の作用領域などや他の部分に再入射することが抑制される。
【００２５】
請求項６に係る発明により、光導波路の出射側端部が側面に配置された場合に、該出射側端部に導出されない非結合光を除去するため、該側面に配置された該出射側端部に最も近い該端面又は他方の側面に、該非結合光を除去するための除去手段が形成されているため、光導波路の作用領域などから発生する迷光が基板の端面で反射し、出射側端部に到達することを効果的に抑制することが可能となる。また、出射側端部で反射した迷光が光導波路の作用領域等に再入射することも抑制される。
【００２６】
請求項７に係る発明により、光導波路はマッハツェンダー型光導波路となる部分を有し、除去手段は、該マッハツェンダー型光導波路からの放射モード光の一部が光導波路素子外に放出可能なように構成されているため、光導波路素子における駆動状態のモニタリング等で利用される放射モード光までもが除去手段で除去されることを阻止できる。
【００２７】
請求項８に係る発明により、除去手段は光吸収材料で形成されているため、除去手段に到達した迷光が基板内を再度伝搬することを効果的に抑制できる。
【００２８】
請求項９に係る発明により、光導波路の最小曲率半径を有する部分はリッジ構造を有しているため、基板の厚みを３０μｍ以下にすることによる光閉じ込めの効果を、リッジ構造で更に強くすることができ、最小曲率半径をより一層小さくすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明を好適例を用いて詳細に説明する。
図１は、本発明の光導波路素子に係る第１の実施例を示している。
具体的には、電気光学効果を有する材料で形成され、厚さが３０μｍ以下の基板１と、前記基板に形成された光導波路２１〜２８と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極（信号電極３）とを有する光導波路素子において、該光導波路に該変調電極の電界が主として作用する光導波路の作用領域と、該光導波路の入射側端部又は出射側端部の少なくともいずれかとは、該端部を含む光導波路の延長線上に該作用領域が配置されないように構成することを特徴とする。具体的には、該基板１は、対向する２つの端面（１０，１１）と２つの側面（１２，１３）を有し、該光導波路に該変調電極の電界が主として作用する光導波路の作用領域は、該側面（１２，１３）と略平行に配置され、該光導波路の入射側端部２１は、該側面１３に配置されていることを特徴とする。
なお、符号Ａは入射光、符号Ｂは出射光、符号Ｃは信号電極３に印加される変調信号を意味する。
【００３０】
本発明における「光導波路の作用領域」とは、「光導波路に変調電極の電界が主として作用する」部分を少なくとも含む光導波路の領域を意味しており、光導波路素子として機能する主要部分を示す用語として使用されている。このため、「作用領域」は、電界が作用している部分のみに限定されるものではなく、その電界が作用している部分の周辺の導波路の一部を含む場合もある。例えば、図１に示すマッハツェンダー型光導波路の場合に、分岐導波路２５，２６の平行部分に変調電極を構成する信号電極３の電界が主として印加されるが、「光導波路の作用領域」としては分岐導波路の分岐点や合波点までも（図６の領域Ｄ）、さらには光導波路２４，２７の一部までも含んでも良い。
【００３１】
電気光学効果を有する基板の材料としては、例えば、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムの材料及びこれらの組み合わせが利用可能である。特に、電気光学効果の高いニオブ酸リチウム（ＬＮ）結晶が好適に利用される。
【００３２】
基板に光導波路を形成する方法としては、Ｔｉなどを熱拡散法やプロトン交換法などで基板表面又は裏面に拡散させる方法があるが、これらの熱拡散法やプロトン交換法を用いることなく、図５に示すように、基板１上にリッジ部を設け、該リッジ部を光を導波する光導波路（４６）として使用することも可能である。さらに、Ｔｉなどの熱拡散法やプロトン交換法とリッジ構造を併用することも可能である。
【００３３】
光導波路上やその周辺の基板上には、信号電極３や接地電極（不図示）などの変調電極が形成され、これらの変調電極は、Ｔｉ・Ａｕの電極パターンの形成及び金メッキ方法などにより形成することが可能である。なお、光導波路は、基板１の裏面に形成し、変調電極を同様に裏面又は光導波路と反対側の表面側に形成することも可能である。
【００３４】
また、光導波路などを伝搬する光波が変調電極で吸収・散乱されるのを防止するため、必要に応じて光導波路（又は基板）と電極との間に誘電体ＳｉＯ２等のバッファ層を設けることも可能である。
【００３５】
本発明では、電気光学効果を有する材料で形成された基板１は、厚さが３０μｍ以下の薄板であるため、機械的強度が不足する。これを補うため、基板１に接着層を介して補強板を接合している。
【００３６】
補強板に使用される材料としては、種々のものが利用可能であり、例えば、薄板と同様の材料を使用する他に、石英、ガラス、アルミナなどのように薄板より低誘電率の材料を使用したり、薄板と異なる結晶方位を有する材料を使用することも可能である。ただし、線膨張係数が薄板と同等である材料を選定することが、温度変化に対する光変調器の変調特性を安定させる上で好ましい。仮に、同等の材料の選定が困難である場合には、特許文献２のように薄板と補強板とを接合する接着剤に、薄板と同等な線膨張係数を有する材料を選定する。
【００３７】
基板（薄板）１と補強板との接合には、接着層として、エポキシ系接着剤、熱硬化型接着剤、紫外線硬化性接着剤、半田ガラス、熱硬化性、光硬化性あるいは光増粘性の樹脂接着剤シートなど、種々の接着材料を使用することが可能である。また、直接接合法により、接着剤を使用せず、薄板と補強板とを直接貼り合わせることも可能である。
【００３８】
光変調器を構成する薄板の製造方法は、数百μｍの厚さを有する基板に上述した光導波路や変調電極を作り込み、基板の裏面を研磨し、例えば、３０μｍ以下の厚みに仕上げる方法がある。なお、光導波路や変調電極などの作り込みは、薄板を作成した後に行うことも可能であるが、光導波路形成時の熱的衝撃や各種処理時の薄膜の取り扱いによる機械的衝撃が加わり、薄板が破損する危険性もあるため、光導波路や変調電極を作り込んだ後に基板の裏面を研磨することが好ましい。
【００３９】
本発明の第１の実施例の特徴は、図１に示すような光導波路の配置を行なうことにより、同じ形状を示す図６のように、入射側端部２１で、光導波路に結合しない非結合光（迷光Ｅ）が、光導波路素子の動作特性を左右する光導波路の作用領域Ｄに入射しないよう構成することが可能となることである。これにより、消光比の劣化を抑制することが可能となる。
【００４０】
非結合光Ｅが作用領域Ｄに入射するのをさらに抑制する方法としては、図７に示すように、入射側端部２１が配置された側面と反対側の側面に、非結合光の反射を防止する迷光除去手段７を配置する。
迷光除去手段としては、カーボンブラックなどの光吸収材料を使用することができる。
【００４１】
本発明の光導波路素子は、図１のような光導波路の構成を採用することで、光導波路素子の基板側面１３の側に入射用光ファイバの接続部を配置でき、従来のように、入射用光ファイバ、光導波路素子、及び出射用光ファイバを直線状に配置する場合と比較し、光導波路素子全体を小型化することが可能となる。
【００４２】
図１又は図６のように入射側端部２１から作用領域Ｄに至る光導波路を形成するには、最小曲率半径を有する曲がり部２３の存在が不可欠である。本発明が利用する３０μｍ以下の基板の場合は光波の閉じ込めが強くなり、基板１の厚みにも依存するが、光損失を２〜３ｄＢ程度に抑制しながら、最小曲率半径Ｒ２００〜３０００μｍの範囲のものが実現可能である。従来の数百μｍ程度の基板を用いた場合は、同程度の光損失で最小曲率半径が１０ｍｍ程度が限界であったことを考慮すると、光導波路を９０°曲げた場合でも、曲げに必要な基板の長さが、従来の約半分近く、場合によっては約３分の１以下で足りることとなる。
当然、曲がり部２３に限らず、分岐導波路２５，２６などの光導波路を曲げることで、光導波路素子全体を小型化することも可能である。
【００４３】
図２は、本発明の光導波路素子に係る第２の実施例を示す図である。
具体的には、電気光学効果を有する材料で形成され、厚さが３０μｍ以下の基板１と、前記基板に形成された光導波路４１〜４８と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極（信号電極３）とを有する光導波路素子において、該基板１は、対向する２つの端面（１０，１１）と２つの側面（１２，１３）を有し、該光導波路に該変調電極の電界が主として作用する光導波路の作用領域は、該側面（１２，１３）と略平行に配置され、該光導波路の出射側端部４８は、該側面１３に配置されていることを特徴とする。
【００４４】
光導波路を伝搬する光波の一部は、出射側端部４８で出射用光ファイバなどに入射せず、出射側端部４８で反射し不要光（迷光Ｅ）となるものがある。これに対しても、図８のように出射側端部を配置することにより、このような迷光Ｅが、光導波路の作用領域や他の光導波路に再入射することを抑制できる。そして、このような抑制効果を高めるため、出射側端部４８を設けた側面に対し反対側に位置する側面に、迷光除去手段７−１を設けることも可能である。
【００４５】
また、図８のような光導波路の配置を採用することで、光導波路の作用領域の一部である分岐導波路４３，４４の合波点などから放出される放射モード光（迷光Ｆ）が、出射側端部４８に到達するのを抑制することも可能となる。このため、出射用光ファイバに迷光Ｆが入射することを阻止でき、消光比の劣化などを抑制することが可能となる。そして、図８に示すように、光導波路の出射側端部４８に近い基板端面に、迷光Ｆの反射を防止する迷光除去手段７−２を設けることで、迷光が出射側端部４８に到達するのより一層抑制することが可能となる。
しかも、第１の実施例と同様に、光導波路素子全体を実質的に小型化することも可能となる。
【００４６】
ただし、マッハツェンダー型光導波路を有する光導波路素子の動作状態を監視するため、マッハツェンダー型光導波路からの放射モード光の一部を光導波路素子外で検出する場合には、図８に示すように、迷光除去手段７−２により放射モード光の全部が遮断されないように、迷光除去手段の配置や形状を調整することも可能である。
【００４７】
図４に示すように、第２の実施例では、光導波路の曲がり部４６で最小曲率半径となる。曲率半径については、第１の実施例と同様であるが、さらに、図５（図４の一点鎖線Ｘ−Ｘ’における断面図）に示すように、光導波路がリッジ構造を有する場合には、最小曲率半径をより一層小さくすることが可能となる。たとえば、リッジ構造の凸状部分の高さにも関係するが、凸状部分の高さが約２μｍのリッジ構造を用いて光導波路を形成した場合には、若干の光損失はあるものの実用可能な範囲として、最小曲率半径Ｒは２００μｍとなる。
【００４８】
リッジ構造の形状としては、図５（ａ）に示すように、光導波路部分４６のみ凸部を形成し、その他の部分を光導波路より低く形成するものだけでなく、図５（ｂ）のように光導波路４６に相当する領域の両側に溝６を形成し、光導波路を設ける方法もある。ただし、符号１は基板を示す。
【００４９】
図３は、本発明の光導波路素子に係る第３の実施例を示す図である。
具体的には、電気光学効果を有する材料で形成され、厚さが３０μｍ以下の基板１と、前記基板に形成された光導波路５１〜５９と、該光導波路を伝搬する光波を変調する変調電極（信号電極３）とを有する光導波路素子において、該基板１は、対向する２つの端面（１０,１１）と２つの側面（１２，１３）を有し、該光導波路に該変調電極の電界が主として作用する光導波路の作用領域は、該側面（１２，１３）と略平行に配置され、該光導波路の入射側端部５１及び出射側端部５９は、該側面１３に配置されていることを特徴とする。
これにより、上述した第１及び第２の実施例の機能を併せて実現することが可能となる。
また、必要に応じて、上述した迷光除去手段やリッジ構造も併せて採用することも可能である。
【００５０】
上述した実施例では、光導波路の作用領域にマッハツェンダー型光導波路を用いたものを中心に説明したが、本発明はこれに限らず、ＳＳＢ変調器などで多用されている、ネスト型導波路、具体的には、一つのマッハツェンダー導波路（メインＭＺ導波路）の２つの分岐導波路に他のマッハツェンダー導波路（サブＭＺ導波路）を入れ子型に組み込んだ構造の光導波路を採用することも可能である。
また、上述した実施例では、基板は直方体のものを中心に説明したが、光導波路の入射側端部又は出射側端部が配置される基板面を、該基板の端面や側面などに対して傾斜した面とすることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明によれば、３０μｍ以下の厚みを有する基板を用いた場合でも、消光比の劣化を改善することが可能な光導波路素子を提供することが可能である。また、本発明によれば、光導波路素子全体を、従来のものより小型化することが可能な光導波路素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の光導波路素子の第１の実施例を説明する図である。
【図２】本発明の光導波路素子の第２の実施例を説明する図である。
【図３】本発明の光導波路素子の第３の実施例を説明する図である。
【図４】第２の実施例の光導波路の曲がり部４６を説明する図である。
【図５】図４の光導波路の曲がり部４６の断面図である。
【図６】第１の実施例の迷光Ｅの状態を説明する図である。
【図７】第１の実施例に迷光除去手段７を付加した場合を説明する図である。
【図８】第２の実施例に迷光除去手段７を付加した場合を説明する図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  基板
２，４，５  光導波路
３  変調電極（信号電極）
６  溝
７  迷光除去手段
１０，１１  基板端面
１２，１３  基板側面
２１，４１，５１  光導波路の入射側端部
２８，４８，５９  光導波路の出射側端部
【図１】
0005012624.tif 000002
【図２】
0005012624.tif 000003
【図３】
0005012624.tif 000004
【図４】
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【図５】
0005012624.tif 000006
【図６】
0005012624.tif 000007
【図７】
0005012624.tif 000008
【図８】
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