(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側テーブルの内周側に設けられた内側テーブルに被着体を支持した状態で、当該被着体の外周からはみ出す大きさの接着シートを貼付し、接着シートを被着体の大きさに合わせて切断するシート切断方法において、
前記接着シートを切断した後に、前記外側テーブルと内側テーブルとを接着シートの貼付面に直交する軸を回転中心として相対回転させ、次いで、被着体に貼付された接着シートと、外側の不要接着シートとを分離することを特徴とするシート切断方法。
【請求項２】
前記外側テーブルと内側テーブルとを前記回転中心軸方向に相対変位させて被着体に貼付された接着シートと、外側の不要接着シートとを分離することを特徴とする請求項１記載のシート切断方法。
【請求項３】
前記外側テーブルと内側テーブルとを相対回転又は相対変位させるときに、前記接着シートを外側テーブルに押さえ付けることを特徴とする請求項１又は２記載のシート切断方法。
【請求項４】
前記切断手段、外側テーブル、内側テーブルの少なくとも１つを加熱した状態で前記切断を行うことを特徴とする請求項１、２又は３記載のシート切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート切断方法に係り、更に詳しくは、被着体の外周からはみ出す大きさの接着シートを被着体に貼付した後、当該接着シートを被着体の大きさに合わせて切断するシート切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）には、その回路面形成側に保護シートとしての接着シートが貼付され、当該接着シートを貼付した状態で、裏面研削等、種々の処理を施すものとなっている。
接着シートをウエハに貼付する場合には、ウエハの外周からはみ出す大きさを備えた帯状の接着シートをウエハ上に繰り出して貼付し、その後に、ウエハの大きさに合わせて接着シートを切断する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。ここで、特許文献１に記載された接着シート（ダイボンディングテープ）の切断方法は、外側テーブル（テープサポートテーブル）に吸引凹溝が形成されており、ウエハの大きさに合わせて接着シートを切断したときに、吸引凹溝を減圧してウエハ上に貼付された接着シートの外側にはみ出る不要接着シート部分を立ち上げて切断部位の再接着を防止する手法が採用されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１３４４３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、最近のウエハは、極薄（数十μｍ）の厚みとなるように裏面研削が要求されており、研削後のウエハが搬送工程等において衝撃によって割れてしまわないように、剛性を備えた接着シートや、厚手の接着シートを用いることが必要となる。
そのため、特許文献１に記載された方法では、前記吸引凹溝に沿って接着シートが立ち上がり難くなり、切断部位での再接着を生じてしまう、という不都合を招来する。
また、吸引凹溝を外側テーブルに形成しなければならないため、当該外側テーブル自体の構造も複雑になるばかりでなく、製造コストが高騰する、という不都合もある。
【０００５】
図４は、従来の切断方法で接着シートＳを切断し、搬送アームＨによりウエハＷを持ち上げた状態を示す。
しかしながら、このようなシート切断方法では、切断後にウエハＷに貼付された接着シートＳと、その外側に位置する不要接着シートＳ１とが時間と共に再接着してしまう場合があり、そのような状態で搬送アームＨによりウエハＷを持ち上げると、その切断端面間に接着剤Ａが延びて糸を引くような現象（以下、「糸引き現象」という）が発生する。このような状態で、ウエハＷの裏面研削が行われると、糸状の接着剤Ａが砥石に巻き込まれて、ウエハＷを破損させたり、砥石に纏わり付いて研削精度を低下させる要因となる。
更に、前述のような剛性を備えた接着シートや、厚手の接着シートを採用した場合には、通常のカッターでは切断が困難なため、カッター刃等を加熱して接着シートを溶かしながら切断する場合がある。このような場合、接着剤に加え、基材シートの再接着が原因で糸引き現象が発生する場合がある。
【０００６】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハ等の被着体に貼付された接着シートと、外側の不要接着シートとが再接着しても糸引き現象を発生しないシート切断方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、被着体を支持するテーブル上面に特別な加工を施す必要性のないシート切断方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、外側テーブルの内周側に設けられた内側テーブルに被着体を支持した状態で、当該被着体の外周からはみ出す大きさの接着シートを貼付し、接着シートを被着体の大きさに合わせて切断するシート切断方法において、前記接着シートを切断した後に、前記外側テーブルと内側テーブルとを接着シートの貼付面に直行する軸を中心として相対回転させ、次いで、被着体に貼付された接着シートと、外側の不要接着シートとを分離する、という手法を採っている。
【０００８】
本発明において、前記外側テーブルと内側テーブルとを前記回転中心軸方向に相対変位させて被着体に貼付された接着シートと、外側の不要接着シートとを分離するようにしてもよい。
【０００９】
更に、前記外側テーブルと内側テーブルとを相対回転又は相対変位させるときに、前記接着シートを外側テーブルに押さえ付けることが好ましい。
【００１０】
また、前記切断手段、外側テーブル、内側テーブルの少なくとも１つを加熱した状態で前記切断を行う、という手法を採ることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、接着シートの切断後に、前記外側テーブルと内側テーブルとが接着シートの貼付面に直交する軸を中心として相対回転することで、切断後に再接着が起こっても、その再接着部分は横方向に延びて切れてしまい、被着体に貼付された接着シートと、外側の不要接着シートとが完全に縁が切れた状態となる。このような状態で、被着体に貼付された接着シートと外側の不要接着シートとが分離されるので、糸引き現象が発生することを防止することができる。そのため、例えば、被着体をウエハとして当該ウエハの回路面を保護する接着シートが糸引き現象を起こして砥石に巻き込まれてしまうような不都合を解消することができる。
また、前記接着シートを外側テーブルに押さえ付ける方法を採用すれば、外側テーブルと内側テーブルとを相対回転又は相対変位させたときに、接着シートの捻れや捲れ上がりを確実に解消することができる。
更に、前記切断手段等を加熱させた状態で切断を行えるように構成した場合には、剛性を備えた接着シートや、厚手の接着シートが適用されても、接着シートを溶かして切断することができる。この場合、接着シートを溶かしながら切断した後、この基材シートが再接着して糸引き現象を起こす虞があってもそれを効果的に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１には、本実施形態に係るシート貼付方法が適用されたシート貼付装置の概略正面図が示されている。この図において、シート貼付装置１０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着剤Ａと基材シートＢからなる帯状の接着シートＳが仮着された原反Ｒを繰出可能に支持する支持ローラ１１と、剥離シートＲＬを回収する回収手段１２と、原反Ｒから剥離シートＲＬを剥離するピールプレート１３と、被着体としてのウエハＷを支持するテーブル１５と、接着シートＳをウエハＷの大きさに合わせて切断する切断手段１６と、接着シートＳの繰り出しを兼ねるとともに、前記切断によってウエハＷの外側に生ずる不要接着シートＳ１を巻き取る巻取手段１７とを備えて構成されている。
【００１４】
前記回収手段１２は、駆動ローラ２０と、この駆動ローラ２０との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２１と、剥離シートＲＬを巻き取る回収ローラ１４とからなり、図示しないモータの出力軸に連結されて駆動ローラ２０と回収ローラ１４とが同期回転するようになっている。
【００１５】
前記テーブル１５は、外側テーブルＴ１と内側テーブルＴ２とからなる。外側テーブルＴ１は、図１及び図２に示されるように、平面形状が略方形の底部２３と、当該底部２３の外周に連なる４辺の側部２４とを含み、これら側部２４の内側を円形の凹部２５とした有底容器状に設けられている。この一方、内側テーブルＴ２は、側部２４の内周面との間に隙間Ｃを形成する大きさを備えた円形をなし、その上面は、ウエハＷを吸着保持する吸着面として形成されている。
また、内側テーブルＴ２は、前記底部２３上に配置されたモータ２７と直動モータ２８とを介して前記凹部２５内に配置される。モータ２７は、接着シートＳの貼付面と直交する軸を回転中心として外側テーブルＴ１と内側テーブルＴ２とを平面内で相対回転可能とする一方、直動モータ２８は、外側テーブルＴ１と内側テーブルＴ２とを前記平面に対して直交方向すなわち前記回転中心の軸方向に相対変位させるようになっている。なお、本実施形態では、外側テーブルＴ１及び／又は内側テーブルＴ２の内部には、図示しないヒータを内蔵することができ、これにより、前記接着シートＳを柔らかくして切断しやすくすることができる。
【００１６】
前記切断手段１６は、図示しないヒータによって加熱されるカッター刃３０と、当該カッター刃３０を保持するアーム３１と、このアーム３１を平面内で回転させる回転軸３２と、当該回転軸３２及びアーム３１を介してカッター刃３０をウエハＷの外周に沿って回転させる図示しないモータとを含む。これにより、剛性を備えた基材シートＢや厚手の基材シートＢを有する接着シートＳが採用されても、基材シートＢを溶かしながら切断することができる。
【００１７】
前記巻取手段１７は、図１中左右方向に沿って移動可能に設けられたフレームＦと、当該フレームＦに支持された駆動ローラ３５と、この駆動ローラ３５との間に接着シートＳを挟み込むピンチローラ３６と、不要接着シートＳ１を巻き取る巻取ローラ３７とからなり、図示しないモータの出力軸に連結されて駆動ローラ３５と巻取ローラ３７とが同期回転するようになっている。また、駆動ローラ３５の近傍には、プレスローラ４０が配置されており、当該プレスローラ４０は、上下方向に移動可能に設けられているとともに、前記外側テーブルＴ１及び内側テーブルＴ２の上面に沿って移動可能に設けられている。
【００１８】
次に、本実施形態におけるシート切断方法について、図３をも参照しながら説明する。
【００１９】
初期作業として、支持ローラ１１から原反Ｒを引き出し、ピールプレート１３の先端位置で剥離シートＲＬを剥離し、当該剥離シートＲＬのリード端を回収ローラ１４に固定する。この一方、剥離シートＲＬが剥離された接着シートＳは、そのリード端が巻取ローラ３７に固定される。また、内側テーブルＴ２は、図１に示されるように、載置されるウエハＷの上面が外側テーブルＴ１の上面と同レベルとなるように、図示しないセンサと直動モータ２８によって駆動制御される。
【００２０】
図示しない搬送アームを介してウエハＷが内側テーブルＴ２に移載されると、フレームＦ及びプレスローラ４０が図１中実線位置から二点鎖線位置に下降する。そして、プレスローラ４０が回転して接着シートＳに押圧力を付与しながら左側に移動し、図中左側の側部２４の上まで移動するとともに、駆動ローラ３５は接着シートＳを巻き取りながら右側の側部２４の上まで移動する（図２参照）。これにより、接着シートＳは、外側テーブルＴ１とウエハＷの上面に接着され、且つ、プレスローラ４０、駆動ローラ３５により接着シートＳが外側テーブルＴ１に押さえ付けられた状態に保たれる。
【００２１】
次いで、切断手段１６が下降し、カッター刃３０が接着シートＳを突き刺す位置まで下降した後、ウエハＷの外周に沿って回転することで接着シートＳがウエハＷの大きさに合わせて切断される。
【００２２】
接着シートＳの切断が行われた後、切断手段１６が上方に退避し、内側テーブルＴ２がモータ２７を介して平面内で回転する。この回転により、接着剤Ａや溶けた基材シートＢが再接着していても、図３に示されるように、再接着した接着剤Ａや基材シートＢの一部は横方向へ延びて（図中Ａ１、Ｂ１参照）不要シートＳ１と完全に縁が切れる。なお、内側テーブルＴ２が回転するときは、前記プレスローラ４０と駆動ローラ３５とが接着シートＳを外側テーブルＴ１の上面に押さえ付けた状態を保ち、接着シートＳが捻れたり捲れ上がったりすることはない。内側テーブルＴ２が平面内で回転した後は、直動モータ２８を介して内側テーブルＴ２が上昇し、ウエハＷ上の接着シートＳと、外側テーブルＴ１上の不要接着シートＳ１との間に糸引き現象が発生することなく分離される。
【００２３】
次いで、図示しない搬送アームを介してウエハＷが内側テーブルＴ２上から取り去られて所定位置に搬送され、内側テーブルＴ２が初期の平面高さ位置まで復帰動作する。
【００２４】
この後、支持ローラ１１が回転をロックされた状態で、フレームＦが左方向に移動するとともに、駆動ローラ３５及び巻取ローラ３７が不要接着シートＳ１を巻き取る方向に回転して不要接着シートＳ１の巻き取りを行った後に上昇する。そして、駆動ローラ３５の回転をロックする一方、繰出ローラ１１の回転ロックを解除してフレームＦが右方向に移動し、図１中実線位置に復帰動作して次のシート貼付に備えて接着シートＳの引き出しが行われる。
以後、同様の動作により、接着シートＳの貼付、切断を行うことができる。
【００２５】
従って、このような実施形態によれば、接着シートＳの切断を行った後に、内側テーブルＴ２の平面内での回転により、糸引き現象を防止することができ、その後のウエハＷの裏面研削に際して、糸引き部分が砥石に巻き込まれるような不都合を解消することができる。
【００２６】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、材料、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それら形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２７】
例えば、前記実施形態では、外側テーブルＴ１を固定し、内側テーブルＴ２を回転させる構成を図示説明したが、枚葉の接着シートをウエハＷに貼付して切断する構成とした場合には、内側テーブルＴ１を固定し、外側テーブルＴ１を平面内で回転させてもよい。
また、外側テーブルＴ２を変位させる構成とし、内側テーブルＴ２が相対的に上昇又は下降するように構成してもよい。但し、この場合には、内側テーブルＴ２の支持を外側テーブルＴ１に対して独立して支持する必要を生ずる。
【００２８】
また、切断手段１６としては、移動軌跡が数値制御される多関節型ロボットを用い、当該ロボットのアーム先端にカッター刃を着脱自在に構成してもよい。この構成を採用した場合には、搬送アームをカッター刃に持ち替える構成も採用でき、ウエハＷの搬送をも行うことができる。
【００２９】
また、被着体はウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００３０】
更に、外側テーブルＴ１と内側テーブルＴ２とを相対回転又は相対変位させるときに、接着シートＳを外側テーブルに押さえ付けるものは、プレスローラ４０と駆動ローラ３５以外に、別の押え付け部材を使用してもよい。
【００３１】
また、内側テーブルＴ２は、外側テーブルＴ１に対して相対回転しながら相対変位するようにしてもよく、相対回転の角度は任意に設定することができる。
【００３２】
更に、内側テーブルＴ２の相対回転の後、巻取手段１７によって不要接着シートＳ１を巻き取るようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本実施形態におけるシート切断方法が適用されたシート貼付装置の概略正面図。
【図２】図１の一部概略斜視図。
【図３】内側テーブルを平面内で回転させて上昇させた状態を示す要部拡大図。
【図４】従来の不都合を説明するための図。
【符号の説明】
【００３４】
１０  シート貼付装置
１６  切断手段
２７  モータ
２８  直動モータ
３０  カッター刃
Ｔ１  外側テーブル
Ｔ２  内側テーブル
Ａ  接着剤
Ｓ  接着シート
Ｓ１  不要接着シート
ＲＬ  剥離シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
0005006176.tif 000002
【図２】
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【図３】
0005006176.tif 000004
【図４】
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