(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱線を収納したシースヒータのシースの両端部から導出したヒータ線（１）、（１）に金属棒状の端子（４）、（４）を接続し、これらヒータ線（１）、（１）と端子（４）、（４）との接続部をアダプタ（11）の中に収納するヒータアダプタにおいて、ヒータ線（１）、（１）とそれに接続した端子（４）、（４）を金属細管状のアダプタ（１１）、（１１）にそれぞれ収納し、そのアダプタ（１１）、（１１）の中に充填した無機絶縁材（１２）、（１２）によりヒータ線（１）、（１）と端子（４）、（４）とをアダプタ（１１）、（１１）に対して絶縁して個々のアダプタ部（２）、（２）を構成し、このアダプタ部（２）、（２）をスリーブ（３）に挿入すると共に、アダプタ（２）、（２）の端部をスリーブ（３）の引出口（１４）、（１４）に嵌め込み、アダプタ部（２）、（２）のアダプタ（１１）、（１１）をスリーブ（３）の引出口（１４）、（１４）に溶接して、シール材１３でシールし、前記端子（４）、（４）に電源接続用のリード線（６）、（６）を接続したことを特徴とするケーブルアダプタ。
【請求項２】
アダプタ（１１）、（１１）をスリーブ（３）の引出口（１４）、（１４）に溶接後、アダプター（１１）、（１１）とスリーブ（３）を２００℃以上に加熱し、その後最低限度７０℃まで下げ、シール材１３でシールする事を特徴とするケーブルアダプタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シースヒータのシースの端部から導出したヒータ線と棒状の導体からなる端子とを接続し、この接続部分を絶縁材を介して金属製の外装パイプで覆い、この端子に電源接続用のリード線を接続するヒータアダプタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のヒータの両端子一体アダプタは、ヒータ線を絶縁状態でシースにより覆ったシースヒータと、このシースヒータの端部から導出したヒータ線と接続された棒状の導体からなる端子と、この端子とヒータ線との接続部分の外側を覆う金属製のアダプタと、このアダプタと前記端子及びヒータ線の間に挿入された絶縁材と、前記端子の外側に嵌め込まれて、アダプタの端子が挿入された端部側に前記絶縁材をアダプタの内部に封止するように嵌合されたシール部材と、アダプタのシースヒータが挿入された端部側に前記絶縁材をアダプタの内部に封止するように嵌合された封止ブロックとを有する。
【０００３】
このような従来のヒータアダプタ部では、シール部材としてエポキシ樹脂が用いられ、アダプタの内部にＭｇＯ等の絶縁材を充填した後、そのアダプタの端部にエポキシ樹脂を詰め込み、これを１２０℃で４時間かけて硬化させてスリーブの端部をシールしていた。
【０００４】
また、ヒータ線と端子との接合は、端子の端面に穿った穴にシースの端部から引き出したヒータ線を嵌め込み、一方向において両側からカシメた後、溶接していた。さらに、アダプタの内部には、絶縁材としてＭｇＯの円筒形のブロックやマグネシア（ＭｇＯ）の粉末を充填していた。
【０００５】
前述のように、従来のヒータアダプタでは、シール部材としてエポキシ樹脂が使用されており、温度管理と硬化までの時間管理をしてもシール部材の表面積により、スリーブ内に湿気が浸入し、絶縁性の低下等により信頼性が低下やすいという課題があった。
【特許文献１】特開２００３−１４２２３４号公報
【特許文献２】特開２００３−１４２２３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような従来のヒータアダプタにおける課題に鑑み、アダプタ内部への湿気の侵入等が起こりにくく、絶縁性等の点で長期にわたって高い信頼性を維持することが出来るヒータアダプタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明では、前記の目的を達成するため、ヒータ線１、１と端子４、４とを接続したものをそれぞれアダプタ１１、１１に収納して個々にアダプタ部２、２を構成し、このアダプタ部２、２をスリーブ３に収納し、そのスリーブ３の引出口１４、１４に嵌め込み、アダプタ部２、２のアダプタ１１、１１をスリーブ３の引出口１４、１４に溶接した後シール材１３でシールした。
【０００８】
ヒータアダプタは、ヒータ線１、１に金属棒状の端子４、４を接続し、これらヒータ線１、１と端子４、４との接続部をアダプタ１１、１１の中に収納すると共にアダプタ１１、１１の中に充填した無機絶縁材１２、１２によりヒータ線１、１と端子４、４とをアダプタ１１、１１に対して絶縁している。
【０００９】
本発明によるヒータアダプタでは、ヒータ線１、１とそれに接続した端子４、４を金属細管状のアダプタ１１、１１にそれぞれ収納し、そのケース１１、１１の中に充填した無機絶縁材１２，１２によりヒータ線１、１と端子４、４とをアダプタ１１、１１に対して絶縁して個々のアダプタ２、２を構成し、このアダプタ２、２をスリーブ３に挿入すると共に、アダプタ部２、２の端部をスリーブ３の引出口１４、１４に嵌め込み、アダプタ２、２のケース１１、１１をスリーブ３の引出口１４、１４に溶接した後シール材１３でシールしている。
【００１０】
このような本発明によるヒータアダプタでは、ヒータ線１、１とそれに接続した端子４、４とを金属細管状のアダプタ１１、１１に収納して絶縁したアダプタ部２、２の端部をスリーブ３に挿入し、このスリーブ３の引出口１４、１４に溶接した後シール材１３でシールしているため、シール部材の表面積が少なく湿気の浸入を少なくすることが出来る。
【００１１】
また、従来のヒータアダプタ部では、ヒータの両端子一体の構造に比べ、
エポキシ樹脂の面積が、1/３倍以下になり、スリーブ内に湿気が浸入し難く、絶縁性の低下の少ない信頼性の高いヒータアダプタを提供することが可能となる。
しかし、スリーブ内に湿気侵入がしづらくなるが絶対ではないので、２００℃以上に加熱して、加熱後最低限７０℃まで下げてから、シール材１３にてシールする。７０℃以下にすると湿気が入ってしまうので、７０℃以下に下げない。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明した通り、本発明によるヒータアダプタ部２では、アダプタ１１内への湿気の浸入が低減され、湿気による絶縁性の低下等が起こり難く、高い信頼性が得られる。また、シール工程も容易となり、品質管理や工程管理がより容易なヒータアダプタが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明では、ヒータ線１、１と端子４、４とを接続したものをそれぞれアダプタ１１、１１に収納して個々にアダプタ部２、２を構成し、このアダプタ部２、２をスリーブ３に収納し、このスリーブ３の引出口１４、１４にアダプタ部２、２を嵌め込み、アダプタ部２、２のアダプタ１１、１１をスリーブ３の引出口１４、１４に溶接した後シール材１３でシールすることにより、前記の目的を達成した。
以下、本発明を実施するための最良の形態について、実施例をあげて詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態であるヒータアダプタを示すものである。その製造工程を図２以下を参照して説明する。
図２に示すように、シーズヒータであるヒータ線１からヒータの芯線を剥き出し、これに棒状の端子４を接続する。このヒータ線１と端子４との接続部分を筒状のアダプタ１１の中に収納し、このアダプタ１１の一端を絞り加工等の手段でヒータ線１のシースにカシメ、この部分を溶接する等してシールする。さらに、このケース１１の中にマグネシア粉末等の無機絶縁材を充填する。これをスエージングにより長手方向に延伸することにより、ケース１１の中に充填した絶縁材の充填密度を高めると共に、細径化する。こうしてヒータ線１の端部にそれぞれアダプタ部２を構成する。
【００１５】
図３に示すように、ヒータ線１、１の両端部にこのようなアダプタ部２、２を構成した後、スリーブ３の中にアダプタ部２、２を挿入し、スリーブ３の引出口１４、１４にアダプタ２、２を嵌め込み、そのケース１１、１１をスリーブ３の引出口１４、１４に溶接した後シール材１３でシールする。アダプタ１１、１１から導出した端子４、４の端部にリード線６、６と接続するための圧着端子等の継手５、５を設ける。
【００１６】
図４に示すように、その端子４、４の継手５、５にリード線６、６を接続し、このリード線６、６を介してヒータ線１、１に電力を供給する。スリーブ３の外周にOリング等のガスケット８を設け、真空チャンバ等に対する気密性を保持する。
【産業上の利用可能性】
【００１７】
本発明は、ヒータアダプタの気密性、水密性を高めることが出来るので、特に真空中で使用するヒータについて外部から電力を供給するためのリード線を接続する構造に適用することが出来る。これにより、真空中で基板を加熱するためのヒータに適用出来る等、真空中での物の加熱に適用することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態であるヒータアダプタを示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態であるヒータアダプタのヒータ線の端末アダプタの構造を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施形態であるヒータアダプタをのヒータ端末とスリーブとの組み立てをする過程を示す断面図である。
【図４】本発明の一実施形態であるヒータアダプタをのヒータ端末とスリーブとの組み立てをした状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００１９】
１    ヒータ線
２    アダプタ部
３    スリーブ
４    端子
５    継手
６    リード線
８    ガスケット
１１  アダプタ
１２  無機絶縁材
１３  シール材
１４  スリーブの引出口
【図１】
0005107095.tif 000002
【図２】
0005107095.tif 000003
【図３】
0005107095.tif 000004
【図４】
0005107095.tif 000005