(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＲＦ信号を出力し、またＲＦ信号を受信する機能を有し、
ＲＦ信号を出力する複数のＲＦソースと、
ＲＦ信号が入出力される複数のポートと、
一端が前記ＲＦソースに接続され、前記ＲＦソースの出力を通過させ、または他端を終端する複数のスイッチ部と、
前記ＲＦソースの各々に対応し、前記スイッチ部を通過したＲＦ信号が入力され、または前記ポートからのＲＦ信号が入力され、進行波と反射波を分離して出力する複数の方向性結合器と、
この方向性結合器の出力が入力され、ＲＦ信号を受信するＲＦレシーバと、
を具備したＲＦソース・レシーバと、
前記ポートに接続されたパワーデバイダと、
を具備したことを特徴とするＲＦソース・レシーバとその自己診断装置。
【請求項２】
前記方向性結合器の各々に接続され、この方向性結合器を複数のポートに選択して接続するマルチプレクサを具備したことを特徴とする請求項１記載のＲＦソース・レシーバとその自己診断装置。
【請求項３】
前記スイッチ部は、一端に接続されているＲＦソースが使用されないときに、他端に接続されている方向性結合器の端子を所定の抵抗で終端するようにしたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＲＦソース・レシーバとその自己診断装置。
【請求項４】
ＲＦ信号を出力し、またＲＦ信号を受信する機能を有し、
ＲＦ信号を出力する複数のＲＦソースと、
ＲＦ信号を受信するＲＦレシーバと、
ＲＦ信号が入出力される複数のポートと、
一端が前記ＲＦソースに接続されると共に他端が前記ポートに接続され、前記ＲＦソースの出力を通過させ、または前記ポートを終端する複数のスイッチ部と、
を具備したＲＦソース・レシーバと、
前記ポートに接続されたパワーデバイダと、
を具備したことを特徴とするＲＦソース・レシーバとその自己診断装置。
【請求項５】
前記スイッチ部は、一端に接続されているＲＦソースが使用されないときに、他端に接続されている前記ポートを所定の抵抗で終端するようにしたことを特徴とする請求項４に記載のＲＦソース・レシーバとその自己診断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＲＦ(Radio Frequency)信号を出力し、またＲＦ信号を受信・測定するＲＦソース・レシーバとその自己診断を行う装置に関し、特に半導体試験装置に用いて好適なＲＦソース・レシーバとその自己診断装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図５に、半導体試験装置に用いられる３ポートのＲＦソース・レシーバの構成を示す。図５において、ＲＦソース・レシーバ１０はＲＦ信号を出力するＲＦソース１１ａ〜１１ｃ、方向性結合器１２ａ〜１２ｃ、マルチプレクサ１３およびＲＦレシーバ１４、スイッチ部１６ａ〜１６ｃで構成されている。ＲＦレシーバ１４は入力が５０Ωの抵抗で終端されている。１５ａ〜１５ｃはＲＦ信号を出力し、また外部からＲＦ信号を入力するポートである。
【０００３】
ＲＦソース１１ａ〜１１ｃの出力はそれぞれスイッチ部１６ａ〜１６ｃを経由して方向性結合器１２ａ〜１２ｃに入力される。スイッチ部１６ａ〜１６ｃは同じ構成を有し、スイッチＳＷと５０Ωの抵抗Ｒで構成されている。このスイッチＳＷを操作することにより、方向性結合器１２ａ〜１２ｃの端子”ｗ”をＲＦソース１１ａ〜１１ｃの出力に接続するか、あるいは抵抗Ｒで終端するかを選択することができる。
【０００４】
方向性結合器はＤＣ(Directional Coupler)とも呼ばれ、伝送路上に流れる高周波信号を進行波と反射波に分離して取り出すことができる部品である。方向性結合器１２ａ〜１２ｃから取り出された信号はマルチプレクサ１３に入力される。マルチプレクサ１３は入力された信号を選択してＲＦレシーバ１４に出力する。ＲＦレシーバ１４は入力された信号を受信・測定する。
【０００５】
このようなＲＦソース・レシーバ１０を自己診断するために、ポート１５ａ〜１５ｃに自己診断回路２０を接続し、任意の２つのポート間でループバックパス(loopback path)を形成して、ＲＦソースの出力をＲＦレシーバで受信・測定して正常に動作しているかどうかを診断する。
【０００６】
具体的には、ポート１５ａと１５ｂを用いてループバックパスを形成するときは、スイッチ部１６ａにより、ＲＦソース１１ａの出力を方向性結合器１２ａの端子”ｗ”に接続し、スイッチ部１６ｂにより、方向性結合器１２ｂの端子”ｗ”を抵抗Ｒで終端する。
【０００７】
ＲＦソース１１ａから出力された信号は、スイッチ部１６ａ及び方向性結合器１２ａを経由して、ポート１５ａから出力される。そして、自己診断回路２０を経由してポート１５ｂへ入力し、方向性結合器１２ｂの端子”ｙ”からマルチプレクサ１３を経由してＲＦレシーバ１４に入力される。ＲＦレシーバ１４で電圧レベルが測定され、信号経路の損失を考慮した範囲内に測定値が入っていれば、経路は正常であると診断される。
【０００８】
同様に、ポート１５ａと１５ｂを用いてループバックパスを形成し、スイッチ部１６ａにより、方向性結合器１２ａの端子”ｗ”を抵抗Ｒで終端し、スイッチ部１６ｂにより、ＲＦソース１１ｂの出力を方向性結合器１２ｂの端子”ｗ”に接続する。
【０００９】
ＲＦソース１１ｂから出力された信号は、スイッチ部１６ｂ及び方向性結合器１２ｂを経由して、ポート１５ｂから出力される。そして、自己診断回路２０を経由してポート１５ａへ入力し、方向性結合器１２ａの端子”ｙ”からマルチプレクサ１３を経由してＲＦレシーバ１４に入力される。ＲＦレシーバ１４で電圧レベルが測定され、信号経路の損失を考慮した範囲内に測定値が入っていれば、経路は正常であると診断される。
【００１０】
また、ポート１５ａと１５ｃを用いてループバックパスを形成するときは、スイッチ部１６ａにより、方向性結合器１２ａの端子”ｗ”を抵抗Ｒで終端し、スイッチ部１６ｃにより、ＲＦソース１１ｃの出力を方向性結合器１２ｃの端子”ｗ”に接続する。
【００１１】
ＲＦソース１１ｃから出力された信号は、スイッチ部１６ｃ及び方向性結合器１２ｃを経由して、ポート１５ｃから出力される。そして、自己診断回路２０を経由してポート１５ａへ入力し、方向性結合器１２ａの端子”ｙ”からマルチプレクサ１３を経由してＲＦレシーバ１４に入力される。ＲＦレシーバ１４で電圧レベルが測定され、信号経路の損失を考慮した範囲内に測定値が入っていれば、経路は正常であると診断される。
【００１２】
このように、従来の診断方法は、ポート１５ａ〜１５ｃのうち任意の２つのポートを自己診断回路２０で接続し、一方の方向性結合器の端子”ｗ”はスイッチ部の抵抗Ｒで終端する。この状態で他方のＲＦソースから信号を出力し、一方の方向性結合器の端子”ｙ”及びマルチプレクサ１３を経由してＲＦレシーバ１４で測定する。
【００１３】
図６に自己診断回路の例を示す。図６（Ａ）はケーブルを用いて出力ポートと入力ポートを接続する自己診断回路である。図６（Ａ）において、２１ａ〜２１ｃはケーブルであり、ポート間を接続している。このケーブル２１ａ〜２１ｃをつなぎかえることにより、任意のポートを他のポートに接続することができる。
【００１４】
図６（Ｂ）は他の自己診断回路の例である。図６（Ｂ）において、２２ａ〜２２ｃはスイッチであり、ポート１５ａ〜１５ｃ間に接続されている。これらのスイッチ２２ａ〜２２ｃのオンオフを制御することにより、任意のポートを他のポートに接続することができる。例えば、ポート１５ａと１５ｃを接続するときは、スイッチ２２ａをオンにして他のスイッチをオフにする。
【特許文献１】特開平１１−３３０８６２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、このような自己診断回路には次のような課題があった。図６（Ａ）のケーブルで接続する構成の自己診断回路は、ケーブル２１ａ〜２１ｃの接続、切り離しを手動で行わなければならず、手間がかかるという課題があった。
【００１６】
また、図６（Ｂ）の自己診断回路はスイッチ２２ａ〜２２ｃのオン、オフを自動で制御することはできるが、そのためには自己診断回路にスイッチを制御する制御装置を組み込まなければならず、構成が複雑になるという課題があった。さらに、寿命が有限な機械的なスイッチを用いなければならないので、スイッチの劣化による特性劣化、あるいはスイッチの故障によって自己診断が行えなくなる可能性があるという課題があった。
【００１７】
従って本発明の目的は、手動操作を必要とせず、かつ自己診断回路側を操作する必要がないＲＦソース・レシーバとその自己診断装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
ＲＦ信号を出力し、またＲＦ信号を受信する機能を有し、
ＲＦ信号を出力する複数のＲＦソースと、
ＲＦ信号が入出力される複数のポートと、
一端が前記ＲＦソースに接続され、前記ＲＦソースの出力を通過させ、または他端を終端する複数のスイッチ部と、
前記ＲＦソースの各々に対応し、前記スイッチ部を通過したＲＦ信号が入力され、または前記ポートからのＲＦ信号が入力され、進行波と反射波を分離して出力する複数の方向性結合器と、
この方向性結合器の出力が入力され、ＲＦ信号を受信するＲＦレシーバと、
を具備したＲＦソース・レシーバと、
前記ポートに接続されたパワーデバイダと、
を具備したものである。自己診断のための構成が簡単になる。
【００１９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、
前記方向性結合器の各々に接続され、この方向性結合器を複数のポートに選択して接続するマルチプレクサを具備したものである。ポートの数を増やすことができる。
【００２０】
請求項３記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の発明において、
前記スイッチ部は、一端に接続されているＲＦソースが使用されないときに、他端に接続されている方向性結合器の端子を所定の抵抗で終端するようにしたものである。自己診断のためのループバックパスへの影響を少なくすることができる。
【００２１】
請求項４記載の発明は、
ＲＦ信号を出力し、またＲＦ信号を受信する機能を有し、
ＲＦ信号を出力する複数のＲＦソースと、
ＲＦ信号を受信するＲＦレシーバと、
ＲＦ信号が入出力される複数のポートと、
一端が前記ＲＦソースに接続されると共に他端が前記ポートに接続され、前記ＲＦソースの出力を通過させ、または前記ポートを終端する複数のスイッチ部と、
を具備したＲＦソース・レシーバと、
前記ポートに接続されたパワーデバイダと、
を具備したものである。自己診断のための構成が簡単になる。
【００２２】
請求項５記載の発明は、請求項４に記載の発明において、
前記スイッチ部は、一端に接続されているＲＦソースが使用されないときに、他端に接続されている前記ポートを所定の抵抗で終端するようにしたものである。自己診断のためのループバックパスへの影響を少なくすることができる。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
請求項１，２，３，４および５の発明によれば、ＲＦソースとＲＦレシーバを具備するＲＦソース・レシーバを自己診断するために、このＲＦソース・レシーバのポートにパワーデバイダを接続した。また、ループバックパスを形成しないＲＦソースを切り離し、方向性結合器又はポートを終端処理するようにした。
【００２４】
ＲＦソース・レシーバの側だけで自己診断のためのループバックパスを切り換えることができ、自己診断回路であるパワーデバイダを操作する必要がないという効果がある。そのため、ケーブルを繋ぎかえる必要がなく、かつスイッチを制御する制御回路を具備した複雑な自己診断回路が不要になるという効果がある。
【００２５】
また、市販のパワーデバイダをそのまま使用することができるので、低コストで自己診断を行うことができるという効果もある。さらに、パワーデバイダは回路インピーダンスとのインピーダンス整合が取られているので、損失を少なくすることができるという効果もある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係るＲＦソース・レシーバとその自己診断装置の一実施例を示す構成図である。なお、図５と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。
【００２７】
図１において、４０は２分配パワーデバイダであり、その３つの端子はＲＦソース・レシーバ１０のポート１５ａ〜１５ｃに接続されている。２分配パワーデバイダは図１に示すように３つの抵抗の一端が共通接続され、他端がそれぞれ３つの端子に接続された構成を有している。これらの抵抗値は回路インピーダンスとインピーダンス整合されるように選択される。例えば、回路インピーダンスが５０Ωのときは、１６．７Ωの抵抗が用いられる。このとき、入出力間で６ｄＢの電力損失が生じる。
【００２８】
なお、パワーデバイダはパワースプリッタと呼ばれることもある。抵抗を用いたものが多いが、トランスや分布常数を用いたものも市販されている。また、分配数は３以上のものも市販されている。
【００２９】
例えば、ポート１５ａと１５ｂを用いてループバックパスを形成するときは、スイッチ部１６ａにより、ＲＦソース１１ａの出力を方向性結合器１２ａの端子”ｗ”に接続し、スイッチ部１６ｂにより、方向性結合器１２ｂの端子”ｗ”を抵抗Ｒで終端する。また、スイッチ部１６ｃにより、方向性結合器１２ｃの端子”ｗ”を抵抗Ｒで終端する。
【００３０】
ＲＦソース１１ａから出力された信号は、スイッチ部１６ａ及び方向性結合器１２ａを経由して、ポート１５ａから出力される。そして、２分配パワーデバイダ４０を経由してポート１５ｂへ入力し、方向性結合器１２ｂの端子”ｙ”からマルチプレクサ１３を経由してＲＦレシーバ１４に入力される。ＲＦレシーバ１４で電圧レベルが測定され、信号経路の損失を考慮した範囲内に測定値が入っていれば、経路は正常であると診断される。
【００３１】
同様に、ポート１５ａと１５ｂを用いてループバックパスを形成し、スイッチ部１６ａにより、方向性結合器１２ａの端子”ｗ”を抵抗Ｒで終端し、スイッチ部１６ｂにより、ＲＦソース１１ｂの出力を方向性結合器１２ｂの端子”ｗ”に接続する。また、スイッチ部１６ｃにより、方向性結合器１２ｃの端子”ｗ”を抵抗Ｒで終端する。
【００３２】
ＲＦソース１１ｂから出力された信号は、スイッチ部１６ｂ及び方向性結合器１２ｂを経由して、ポート１５ｂから出力される。そして、２分配パワーデバイダ４０を経由してポート１５ａへ入力し、方向性結合器１２ａの端子”ｙ”からマルチプレクサ１３を経由してＲＦレシーバ１４に入力される。ＲＦレシーバ１４で電圧レベルが測定され、信号経路の損失を考慮した範囲内に測定値が入っていれば、経路は正常であると診断される。
【００３３】
また、ポート１５ａと１５ｃを用いてループバックパスを形成するときは、スイッチ部１６ａにより、方向性結合器１２ａの端子”ｗ”を抵抗Ｒで終端し、スイッチ部１６ｃにより、ＲＦソース１１ｃの出力を方向性結合器１２ｃの端子”ｗ”に接続する。また、スイッチ部１６ｂにより、方向性結合器１２ｂの端子”ｗ”を抵抗Ｒで終端する。
【００３４】
ＲＦソース１１ｃから出力された信号は、スイッチ部１６ｃ及び方向性結合器１２ｃを経由して、ポート１５ｃから出力される。そして、２分配パワーデバイダ４０を経由してポート１５ａへ入力し、方向性結合器１２ａの端子”ｙ”からマルチプレクサ１３を経由してＲＦレシーバ１４に入力される。ＲＦレシーバ１４で電圧レベルが測定され、信号経路の損失を考慮した範囲内に測定値が入っていれば、経路は正常であると診断される。
【００３５】
このように、本発明の診断方法は、ポート１５ａ〜１５ｃの３つのポートを２分配パワーデバイダ４０で接続し、使用しないＲＦソースに対応する方向性結合器の端子”ｗ”はスイッチ部の抵抗Ｒで終端する。この状態で１つのＲＦソースから信号を出力し、ループバックパスを形成する方向性結合器の端子”ｙ”及びマルチプレクサ１３を経由してＲＦレシーバ１４で測定する。
【００３６】
このようにすることにより、自己診断回路であるパワーデバイダ４０を操作しなくても、任意の２つのポート間でループバックパスを形成することができる。そのため、手動でケーブルを接続、切り離しを行うことなく、またスイッチの制御装置を具備した特別な自己診断回路を用いなくても、任意のポート間でループバックパスを形成して自己診断を行うことができる。前述したように、パワーデバイダは回路インピーダンスとのインピーダンス整合が考慮されているので、不要な反射等が発生することがない。そのため、正確に自己診断を行うことができる。
【００３７】
図２に本発明の他の実施例を示す。なお、図１と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。この実施例はマルチプレクサを用いて、ポートの数を増加させたものである。
図２において、５０はＲＦソース・レシーバであり、ＲＦソース１１ａ〜１１ｃ、スイッチ部１６ａ〜１６ｃ、方向性結合器１２ａ〜１２ｃ、マルチプレクサ１３および５１ａ〜５１ｃ、ＲＦレシーバ１４で構成されている。なお、５２ａ〜５２ｌはＲＦソース・レシーバのポートである。
【００３８】
マルチプレクサ５１ａには方向性結合器１２ａの端子”ｚ”が接続される。マルチプレクサ５１ａはポート５２ａ〜５２ｄの１つを選択して、この選択したポートに方向性結合器１２ａを接続する。マルチプレクサ５１ｂ、５１ｃも同様に、それぞれポート５２ｅ〜５２ｈ、５２ｉ〜５２ｌの１つを選択して方向性結合器１２ｂ、１２ｃに接続する。このようにすることにより、ポートの数を図１実施例の４倍に増やすことができる。６０はパワーデバイダであり、ポート５２ａ〜５２ｌに接続されている。
【００３９】
自己診断を行うときは、マルチプレクサ５１ａ〜５１ｃによって自己診断のためのループバックパスを形成するポートを選択し、使用しないＲＦソースに対応する方向性結合器の端子”ｗ”はスイッチ部の抵抗Ｒで終端するように、スイッチ部１６ａ〜１６ｃを設定する。なお、マルチプレクサ５１ａ〜５１ｃは１入力、４出力以外のものを使用することもできる。具体的な診断方法については、図１に示す実施例と同じため、説明を省略する。
【００４０】
図３に、この実施例で用いるパワーデバイダ６０の例を示す。図３（Ａ）はパワーデバイダとして１１分配パワーデバイダを用いたものである。１１分配パワーデバイダは１２個の抵抗の一端を共通接続し、他端を１２個の端子に接続した構成を有しており、それらの抵抗値は、回路インピーダンスと整合が取れる値が用いられている。１２個の端子はそれぞれポート５２ａ〜５２ｌに接続される。この実施例は、任意の２つのポート間でループバックパスを形成できるが、比較的損失が大きいという特徴がある。
【００４１】
図３（Ｂ）はパワーデバイダとして４つの２分配パワーデバイダを用いた例である。６１ａ〜６１ｄは２分配パワーデバイダである。パワーデバイダ６１ａの３つの端子はポート５２ａ、５２ｅ、５２ｉに接続されている。同様に、パワーデバイダ６１ｂの端子は、ポート５２ｂ、５２ｆ、５２ｊに、パワーデバイダ６１ｃの端子はポート５２ｃ、５２ｇ、５２ｋに、パワーデバイダ６１ｄの端子はポート５２ｄ、５２ｈ、５２ｌに接続されている。４つのパワーデバイダ６１ａ〜６１ｄは、いずれも回路インピーダンスとインピーダンス整合が取れるように、その抵抗値が選択されている。
【００４２】
この実施例では同じパワーデバイダに接続されているポート間のみループバックパスを形成できるという制限はあるが、パワーデバイダによる損失を小さくできるという特徴がある。なお、２分配パワーデバイダでなく、３分配（端子数４）、５分配（端子数６）のパワーデバイダを用いてもよい。
【００４３】
図４にさらに他の実施例を示す。この実施例は、方向性結合器を用いない簡易な構成のＲＦソース・レシーバに適用したものである。なお、図１と同じ要素には同一符号を付し、説明を省略する。
【００４４】
図４において、７０はＲＦソース・ドライバであり、ＲＦソース１１ａ、１１ｂ、ＲＦレシーバ１４、スイッチ部１６ａ、１６ｂ、スイッチ７１ａ、７１ｂ、７２ａ、７２ｂ、抵抗７３で構成されている。７４ａ〜７４ｃはＲＦソース・レシーバ７０のポートである。ＲＦソース１１ａはスイッチ部１６ａを経由してポート７４ａに接続され、ＲＦソース１１ｂはスイッチ部１６ｂ及びスイッチ７１ａを経由してポート７４ｂに接続されている。ＲＦレシーバ１４はスイッチ７２ａを介してポート７４ｃに、スイッチ７１ｂを介してポート７４ｂに接続されている。また、ポート７４ｃにはスイッチ７２ｂを介して抵抗７３が接続されている。
【００４５】
このような構成において、スイッチ部１６ａを操作することにより、ＲＦソース１１ａをポート７４ａに接続し、また切り離すことができる。同様に、スイッチ部１６ｂを操作することにより、ＲＦソース１１ｂをポート７４ｂに接続し、また切り離すことができる。また、スイッチ７１ｂ、７２ａを操作して、ＲＦレシーバ１４をポート７４ｂ、７４ｃに接続することができる。
【００４６】
さらに、スイッチ部１６ａを抵抗Ｒに接続すると、ポート７４ａを終端処理することができ、スイッチ部１６ｂを抵抗Ｒに接続してスイッチ７１ａをオンにすると、ポート７４ｂを終端処理することができる。スイッチ７２ｂをオンにすると、ポート７４ｃに抵抗７３を接続して終端処理を行うことができる。自己診断のための２分配パワーデバイダ４０の端子は、ポート７４ａ〜７４ｃに接続されている。
【００４７】
この実施例でも、ポート７４ａ〜７４ｃのうち、任意の２つのポートを用いてループバックパスを形成して自己診断を行うことができる。
【００４８】
具体的には、スイッチ部１６ａをＲＦソース１１ａに接続し、スイッチ部１６ｂを抵抗Ｒに接続する。スイッチ７１ａ及びスイッチ７２ａをオフ、スイッチ７１ｂ及びスイッチ７２ｂをオンする。この状態で、ＲＦソース１１ａから信号を出力すると、スイッチ部１６ａ、ポート７４ａ、２分配パワーデバイダ４０、ポート７４ｂ及びスイッチ７１ｂを経由してＲＦレシーバ１４ａに入力される。ＲＦレシーバ１４で電圧レベルが測定され、信号経路の損失を考慮した範囲内に測定値が入っていれば、経路は正常であると診断される。
【００４９】
また、スイッチ部１６ａを抵抗Ｒに接続し、スイッチ部１６ｂを操作してＲＦソース１１ｂをスイッチ７１ａに接続する。スイッチ７１ａ及びスイッチ７２ａをオン、スイッチ７１ｂ及びスイッチ７２ｂをオフする。この状態で、ＲＦソース１１ｂから信号を出力すると、スイッチ部１６ｂ、スイッチ７１ａ、ポート７４ｂ、２分配パワーデバイダ４０、ポート７４ｃ及びスイッチ７２ａを経由してＲＦレシーバ１４に入力される。ＲＦレシーバ１４で電圧レベルが測定され、信号経路の損失を考慮した範囲内に測定値が入っていれば、経路は正常であると診断される。
【００５０】
なお、図４に示す実施例において、スイッチ７１ａ及びスイッチ７２ａをショートし、スイッチ７１ｂ、スイッチ７２ｂ及び抵抗７３を無くしてもよい。この場合、スイッチ部１６ｂはポート７４ｂに直接接続され、ＲＦレシーバ１４はポート７４ｃに直接接続される。
【００５１】
また、これらの実施例ではＲＦソースを２〜３個内蔵したＲＦソース・レシーバについて適用したが、４個以上のＲＦソースを内蔵したＲＦソース・レシーバでも同様に適用することができる。また、パワーデバイダは図１、図３に示した構成だけでなく、他の分配数を有するパワーデバイダ、あるいは抵抗を用いないパワーデバイダを用いることもできる。
【００５２】
また、図１及び図２に示す実施例においてＲＦレシーバを２個用いているが、これに限定される必要はなく、ＲＦレシーバが１個、または、ＲＦレシーバが３個以上のＲＦソース・レシーバを用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図３】パワーデバイダの構成図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す構成図である。
【図５】従来のＲＦソース。レシーバと自己診断回路の構成図である。
【図６】従来の自己診断回路の構成図である。
【符号の説明】
【００５４】
１１ａ〜１１ｃ  ＲＦソース
１２ａ〜１２ｃ  方向性結合器
１３，５１ａ〜５１ｃ  マルチプレクサ
１４  ＲＦレシーバ
１５ａ〜１５ｃ，５２ａ〜５２ｌ，７４ａ〜７４ｃ  ポート
１６ａ〜１６ｃ  スイッチ部
５０，７０  ＲＦソース・レシーバ
４０，６０，６１ａ〜６１ｄ  パワーデバイダ
７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，ＳＷ  スイッチ
７３，Ｒ  抵抗
【図１】
0004941746.tif 000002
【図２】
0004941746.tif 000003
【図３】
0004941746.tif 000004
【図４】
0004941746.tif 000005
【図５】
0004941746.tif 000006
【図６】
0004941746.tif 000007