(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロールシャフト本体と、該ロールシャフト本体の外周面に装着したロールブラシとを備え、液晶表示パネルの基板を洗浄するための処理装置にて、搬送される前記基板を洗浄するためのブラシロールシャフトであって、
前記ロールシャフト本体は、ロールシャフト部と、該ロールシャフト部の軸線方向両端に固定されるステンレス鋼製の支軸と、前記ロールシャフト部の外周面の全部及び前記支軸の外周面の少なくとも一部を被覆して形成された外皮部分と、を有しており、
前記ロールシャフト部は、炭素繊維強化プラスチックで作製した円筒状の芯材にて形成され、
前記外皮部分は、ＰＶＣ熱収縮管を熱収縮させることによって形成され、
前記ロールブラシは、前記芯材の外周表面から前記支軸の外周表面に亘って設けられ、
前記支軸は、前記芯材の端部内周面に固定される芯材取付け部と、前記芯材取付け部より前記支軸の軸線方向外方に位置して前記熱収縮管が被覆される熱収縮管被覆部と、を有し、前記熱収縮管被覆部は前記芯材の外周部と同じ外径とされ、
前記熱収縮管は、前記熱収縮管被覆部において、軸線方向外方へと少なくとも１０ｍｍ以上被覆しており、
前記熱収縮管と、前記熱収縮管が被覆される前記ロールシャフト部及び前記支軸の外周面との間には接着剤が設けられる、
ことを特徴とするブラシロールシャフト。
【請求項２】
前記支軸は、前記熱収縮管被覆部より前記支軸の軸線方向外方に位置して前記熱収縮管被覆部に隣接する、前記熱収縮管被覆部外周面より大径とされる支軸端部を有し、前記熱収縮管を熱収縮させた後の前記支軸端部の外径と前記熱収縮管の外径とは同じ径とされることを特徴とする請求項１に記載のブラシロールシャフト。
【請求項３】
前記接着剤は、塩化ビニール系溶媒、エチレン・アクリル酸共重合体（ＥＡＡ）、エチレン・エチルアクリレート共重合体（ＥＥＡ）、エチレン・メチルアクリレート共重合体（ＥＭＡ）、エチレン・メタクリル酸グリシジル共重合体（ＧＭＡ）、又は、エチレン・メチルアクリレート・無水マレイン酸共重合体であることを特徴とする請求項１又は２に記載のブラシロールシャフト。
【請求項４】
ロールシャフト本体と、該ロールシャフト本体の外周面に所定の間隔にて装着した支持ローラとを備え、液晶表示パネルの基板を洗浄するための処理装置にて、前記基板を担持して搬送するための搬送用ロールシャフトであって、
前記ロールシャフト本体は、ロールシャフト部と、該ロールシャフト部の軸線方向両端に固定されるステンレス鋼製の支軸と、前記ロールシャフト部の外周面の全部及び前記支軸の外周面の少なくとも一部を被覆して形成された外皮部分と、を有しており、
前記ロールシャフト部は、炭素繊維強化プラスチックで作製した円筒状の芯材にて形成され、
前記外皮部分は、ＰＶＣ熱収縮管を熱収縮させることによって形成され、
前記支持ローラは、前記芯材の外周表面から前記支軸の外周表面に亘って所定の間隔にて設けられ、
前記支軸は、前記芯材の端部内周面に固定される芯材取付け部と、前記芯材取付け部より前記支軸の軸線方向外方に位置して前記熱収縮管が被覆される熱収縮管被覆部と、を有し、前記熱収縮管被覆部は前記芯材の外周部と同じ外径とされ、
前記熱収縮管は、前記熱収縮管被覆部において、軸線方向外方へと少なくとも１０ｍｍ以上被覆しており、
前記熱収縮管と、前記熱収縮管が被覆される前記ロールシャフト部及び前記支軸の外周面との間には接着剤が設けられる、
ことを特徴とする搬送用ロールシャフト。
【請求項５】
前記支軸は、前記熱収縮管被覆部より前記支軸の軸線方向外方に位置して前記熱収縮管被覆部に隣接する、前記熱収縮管被覆部外周面より大径とされる支軸端部を有し、前記熱収縮管を熱収縮させた後の前記支軸端部の外径と前記熱収縮管の外径とは同じ径とされることを特徴とする請求項４に記載の搬送用ロールシャフト。
【請求項６】
前記接着剤は、塩化ビニール系溶媒、エチレン・アクリル酸共重合体（ＥＡＡ）、エチレン・エチルアクリレート共重合体（ＥＥＡ）、エチレン・メチルアクリレート共重合体（ＥＭＡ）、エチレン・メタクリル酸グリシジル共重合体（ＧＭＡ）、又は、エチレン・メチルアクリレート・無水マレイン酸共重合体であることを特徴とする請求項４又は５に記載の搬送用ロールシャフト。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルの基板を洗浄するための処理装置において用いられる、基板洗浄のためのブラシロールシャフト及び基板搬送のための搬送用ロールシャフトに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルに用いられるガラス製の基板に回路パターンを形成する過程において、現像液、エッチング液、或いは、レジスト剥離液などの処理液によって処理された基板は、図６に示すように、洗浄のためのブラシロールシャフト１０１及び基板搬送のための搬送用ロールシャフト１０２を備えた洗浄処理装置１００へと搬送され、オゾン水やフッ酸過酸化水素などの洗浄液によって洗浄される。
【０００３】
従って、このような処理装置において使用されるブラシロールシャフト及び搬送用ロールシャフトは、処理装置内へと基板と共に持ち込まれる上記処理液、及び、洗浄液などに対して耐性（耐薬品性）を有することが、必要である。そのため、ブラシロールシャフト及び搬送用ロールシャフトとしては、従来、ステンレス鋼製のロールが使用されていた。
【０００４】
しかしながら、長さが２ｍ以上となるブラシロールシャフト及び搬送用ロールシャフトをステンレス鋼にて作製すると、その自重により撓みが生じ、搬送される基板に、洗浄むら等の悪影響を及ぼすことが知られている。
【０００５】
そこで、特許文献１には、炭素繊維によって形成された芯材の外周面を合成樹脂又は金属パイプにて被覆したブラシロールシャフト及び搬送用ロールシャフトが提案されている。
【特許文献１】特開２００６−２０３１７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者らは、斯かる構成のブラシロールシャフト及び搬送用ロールシャフトを更に改良するべく多くの研究実験を行った結果、芯材を炭素繊維強化プラスチックで作製し、外皮部分にＰＶＣ熱収縮管を熱収縮させることによって、極めて好適にロールシャフトを作製し得ることを見出した。
【０００７】
本発明は、斯かる本発明者らの新規な知見に基づきなされたものである。
【０００８】
本発明の目的は、耐薬品性があり、軽量で、撓みが極めて少なく、液晶表示パネルの基板を、洗浄むらなく良好に洗浄することのできるブラシロールシャフト及び搬送用ロールシャフトを提供することである。
【０００９】
本発明の他の目的は、外皮部分を形成する熱収縮管が剥離することがなく、長期使用を可能とするブラシロールシャフト及び搬送用ロールシャフトを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的は本発明に係るブラシロールシャフト及び搬送用ロールシャフトにて達成される。要約すれば、本発明の第一の態様によると、ロールシャフト本体と、該ロールシャフト本体の外周面に装着したロールブラシとを備え、液晶表示パネルの基板を洗浄するための処理装置にて、搬送される前記基板を洗浄するためのブラシロールシャフトであって、
前記ロールシャフト本体は、ロールシャフト部と、該ロールシャフト部の軸線方向両端に固定されるステンレス鋼製の支軸と、前記ロールシャフト部の外周面の全部及び前記支軸の外周面の少なくとも一部を被覆して形成された外皮部分と、を有しており、
前記ロールシャフト部は、炭素繊維強化プラスチックで作製した円筒状の芯材にて形成され、
前記外皮部分は、ＰＶＣ熱収縮管を熱収縮させることによって形成され、
前記ロールブラシは、前記芯材の外周表面から前記支軸の外周表面に亘って設けられ、
前記支軸は、前記芯材の端部内周面に固定される芯材取付け部と、前記芯材取付け部より前記支軸の軸線方向外方に位置して前記熱収縮管が被覆される熱収縮管被覆部と、を有し、前記熱収縮管被覆部は前記芯材の外周部と同じ外径とされ、
前記熱収縮管は、前記熱収縮管被覆部において、軸線方向外方へと少なくとも１０ｍｍ以上被覆しており、
前記熱収縮管と、前記熱収縮管が被覆される前記ロールシャフト部及び前記支軸の外周面との間には接着剤が設けられる、
ことを特徴とするブラシロールシャフトが提供される。
【００１１】
本発明の第二の態様によると、ロールシャフト本体と、該ロールシャフト本体の外周面に所定の間隔にて装着した支持ローラとを備え、液晶表示パネルの基板を洗浄するための処理装置にて、前記基板を担持して搬送するための搬送用ロールシャフトであって、
前記ロールシャフト本体は、ロールシャフト部と、該ロールシャフト部の軸線方向両端に固定されるステンレス鋼製の支軸と、前記ロールシャフト部の外周面の全部及び前記支軸の外周面の少なくとも一部を被覆して形成された外皮部分と、を有しており、
前記ロールシャフト部は、炭素繊維強化プラスチックで作製した円筒状の芯材にて形成され、
前記外皮部分は、ＰＶＣ熱収縮管を熱収縮させることによって形成され、
前記支持ローラは、前記芯材の外周表面から前記支軸の外周表面に亘って所定の間隔にて設けられ、
前記支軸は、前記芯材の端部内周面に固定される芯材取付け部と、前記芯材取付け部より前記支軸の軸線方向外方に位置して前記熱収縮管が被覆される熱収縮管被覆部と、を有し、前記熱収縮管被覆部は前記芯材の外周部と同じ外径とされ、
前記熱収縮管は、前記熱収縮管被覆部において、軸線方向外方へと少なくとも１０ｍｍ以上被覆しており、
前記熱収縮管と、前記熱収縮管が被覆される前記ロールシャフト部及び前記支軸の外周面との間には接着剤が設けられる、
ことを特徴とする搬送用ロールシャフトが提供される。
【００１２】
上記本発明にて、一実施態様によると、前記支軸は、前記熱収縮管被覆部より前記支軸の軸線方向外方に位置して前記熱収縮管被覆部に隣接する、前記熱収縮管被覆部外周面より大径とされる支軸端部を有し、前記熱収縮管を熱収縮させた後の前記支軸端部の外径と前記熱収縮管の外径とは同じ径とされる。
【００１３】
他の実施態様によると、前記接着剤は、塩化ビニール系溶媒、エチレン・アクリル酸共重合体（ＥＡＡ）、エチレン・エチルアクリレート共重合体（ＥＥＡ）、エチレン・メチルアクリレート共重合体（ＥＭＡ）、エチレン・メタクリル酸グリシジル共重合体（ＧＭＡ）、又は、エチレン・メチルアクリレート・無水マレイン酸共重合体である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のブラシロールシャフト及び搬送用ロールシャフトは、耐薬品性があり、軽量で、撓みが極めて少なく、液晶表示パネルの基板を好適に洗浄することができる。更に、本発明によれば、外皮部分を形成する熱収縮管が剥離することがなく、長期使用を可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明に係るブラシロールシャフト及び搬送用ロールシャフトを図面に則して更に詳しく説明する。
【００１６】
実施例１
図１に、液晶表示パネル基板を洗浄するために使用される本発明に係るブラシロールシャフト２０の一実施例を示す。本実施例によると、ブラシロールシャフト２０は、ロールシャフト本体１の外周面に、ロールブラシ２１を装着して作製される。
【００１７】
ロールシャフト本体１については、後で詳しく説明するが、ロールシャフト本体１は、ロールシャフト部２と、ロールシャフト部２の軸線方向両端に固定される支軸１０と、ロールシャフト部２及び支軸１０の外周面に形成された外皮部分３と、を有している。
【００１８】
ロールブラシ２１は、ステンレス鋼などの処理液、洗浄液などに対する耐性（耐薬品性）を有した金属によって断面形状がＵ字状に形成された保持部２２と、保持具に保持されたブラシ毛２３を有し、保持部２２を、ロールシャフト本体１のロールシャフト部（即ち、芯材）２及び支軸１０の外周面に螺旋状に巻きつけて作製される。
【００１９】
次に、図２を参照して、本発明の特徴部を構成するロールシャフト本体１の一実施例について説明する。
【００２０】
本実施例によると、ロールシャフト本体１のロールシャフト部２は、炭素繊維強化プラスチックで作製した円筒状の芯材にて形成される。
【００２１】
また、詳しくは、後述するように、円筒状の芯材２の外周面と、支軸１０の一部（領域１２）の外周面とを覆って形成された外皮部分３は、ＰＶＣ熱収縮管を熱収縮させることによって形成される。好ましくは、熱収縮管３と、芯材２及び支軸１０との間に接着剤層を設ける。
【００２２】
芯材２を形成する炭素繊維強化プラスチックは、強化繊維としての炭素繊維に樹脂を含浸することによって形成される。炭素繊維強化プラスチックは、強化繊維として１００％炭素繊維を使用したものが最も剛性が大であるが、本発明でいう「炭素繊維強化プラスチック」は、必要に応じて、少量、例えば炭素繊維に対して０〜２５体積％程度にて、他の強化繊維、例えば、ガラス繊維又はアラミド繊維を単独で、或いは、複数種混入して含んでいても良い。
【００２３】
また、炭素繊維強化プラスチック製の芯材２は、好ましくは、当業者には周知のフィラメントワインディングにて作製されるが、これに限定されるものではない。例えば、繊維の形態を、一方向に引き揃えられたＵＤ形状の強化繊維シート、２軸に織られた平織り及び朱子織り形状、または、３軸に織られた３軸織りのクロス、等を用いて積層して作製することも可能である。
【００２４】
また、炭素繊維強化プラスチックに使用されるマトリックス樹脂は、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ビニールエステル樹脂、ＭＭＡ樹脂、または、フェノール樹脂のいずれかが使用できる。
【００２５】
炭素繊維強化プラスチックにおける繊維体積含有率は、３０〜７０％、通常、５０〜６０％とされる。
【００２６】
このようにして得られる芯材２は、液晶表示パネル基板洗浄用のブラシロールシャフトに使用されるものとしては、通常、外径ｄ１が４０〜１００ｍｍ、内径ｄ２が３０〜８０ｍｍ、軸線方向の長さＬ１が１０００〜５０００ｍｍとされる。本実施例では、外径ｄ１が６０ｍｍ、内径ｄ２が４５ｍｍ、軸線方向の長さＬ１が１８７０ｍｍの芯材（第１の芯材）と、外径ｄ１が４８ｍｍ、内径ｄ２が３９ｍｍ、軸線方向の長さＬ１が１４７０ｍｍの芯材（第２の芯材）と、の二種類の芯材２を作製した。
【００２７】
上記構成の芯材２の軸線方向両端には、本実施例によれば同じ形状とされる支軸１０が固定される。
【００２８】
図３をも参照して支軸１０について説明する。
【００２９】
本実施例にて、支軸１０は、芯材２の両端部内周面が強固に嵌合され一体とされる芯材取付け部１１と、支軸１０の前記芯材取付け部１１より軸線方向外方（即ち、ロールシャフト本体１の軸線方向両端方向）に位置して、芯材２の外周面と同じ外径ｄ１とされる熱収縮管被覆部１２と、更に外方に位置して、軸受け（図示せず）によって回転可能に支持され、駆動源からの駆動入力を受ける支軸端部１３と、を備えている。
【００３０】
支軸１０は、金属材料にて作製され、本実施例では、ステンレス鋼にて作製した。支軸端部１３には、後述するように、熱収縮管被覆時の芯材２内の膨張した空気を逃すための空気抜き穴１５が形成されている。また、支軸端部１３には、後述するように、ロールシャフト本体１にロールブラシ２１を取り付ける際の、ロールブラシ取付け用の止めねじ穴１４が設けられている。
【００３１】
支軸１０の芯材取付け部１１は、円筒状の炭素繊維強化プラスチック製芯材２の内周面との嵌合をより強固なものとするために、その外周面１１ａにねじ加工を施し、必要により接着剤を介して、圧入するのが良い。
【００３２】
本実施例によると、上記円筒状とされる芯材２の外周表面と、芯材２の軸線方向外方端部と隣接している支軸１０の少なくとも一部の外周面（即ち、本実施例では熱収縮管被覆部１２の外周表面）は、同じ径ｄ１とされ、芯材２の外周表面及び支軸１０の熱収縮管被覆部外周表面に亘って、筒状の熱収縮材、即ち、円筒状の熱収縮管３（３ａ、３ｂ）を被せ、熱収縮させることにより、樹脂製の表面層（外皮部分）が形成される。また、本実施例では、支軸１０の熱収縮管被覆部外周表面は、隣接する支軸端部１３の外周表面より熱収縮管３の収縮被覆後の厚み（ｔ）分だけ小径とされた。
【００３３】
また、熱収縮管３を熱収縮させた後に支軸１０と径差が生じた場合は、後加工により、熱収縮管３或いは支軸１０のいずれか、又は、熱収縮管３と支軸１０の両方を削って同じ径にすることができる。
【００３４】
なお、接着剤を使用する場合には、熱収縮管３を被せる前に、芯材２の表面に、必要に応じて、支軸１０の熱収縮管被覆部表面に接着剤を、接着剤層厚さを１０μｍ程度以下にて薄く塗布する。接着剤としては、上記マトリックス樹脂と同系統の接着剤、塩化ビニール系溶媒、エチレン・アクリル酸共重合体（ＥＡＡ）、エチレン・エチルアクリレート共重合体（ＥＥＡ）、エチレン・メチルアクリレート共重合体（ＥＭＡ）、エチレン・メタクリル酸グリシジル共重合体（ＧＭＡ）、エチレン・メチルアクリレート・無水マレイン酸共重合体、等を使用するのが好ましい。なお、接着剤は、熱収縮管３の内面に予め設けておく構成とすることもできる。
【００３５】
熱収縮管３としては、本発明者らの実験の結果によると、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニール）製の熱収縮管が好ましいことが分かった。ポリオレフィン系の熱収縮管は、接着剤による接着が弱く、長期使用で薬液が芯材２と熱収縮管３の間に侵入して芯材が侵されることがあり、そのため、使用することができなかった。
【００３６】
熱収縮管３は、芯材２をなす炭素繊維強化プラスチックの外径ｄ１の１０１％〜１２５％の大きさの内径を有するものとされる。熱収縮時のしわの発生し難さや、作り易さの点から、１０５％〜１２０％が好ましい。熱収縮管３の厚さ（肉厚）は、熱収縮後において、即ち、芯材２の表面層（外皮部分）厚さｔが０．１ｍｍ〜５．０ｍｍとなるようなものであることが必要である。
【００３７】
本発明者らの研究実験の結果によれば、ＰＶＣ製熱収縮管を使用した場合において、熱収縮後の肉厚ｔが０．１ｍｍ未満では、薄過ぎて剛性、強度が弱く熱収縮管が破損することがあり、使用に耐えなかった。厚さｔ＝０．１ｍｍが熱収縮管３の強度の限界である。
【００３８】
特に、厚さｔを１．０ｍｍ以上とするのが好ましい。これは、熱収縮管の熱収縮後の肉厚ｔを１．０ｍｍ以上とすることにより、十分な耐久性を確保し得るからである。ただ、作業性及び経済性の点から、厚さ５．０ｍｍが最大限度とされる。通常、厚さｔは、１〜２ｍｍ程度とされる。
【００３９】
ロールシャフト本体１の製造方法としては、支軸１０が固着された芯材２に、熱収縮管３を被せ、例えば１００℃程度に加熱して収縮させて密着させて製造するのが、安価に製造する点では、好ましい。この時、熱収縮管３は、支軸１０の外周の所定領域（Ｌ２）より広い範囲において被せて、熱収縮させた後、支軸端部１３部分の所定域（Ｌ２）で示される領域を残して、削り取るようにしても良い。熱収縮管被覆のための加熱時にロールシャフト本体内部で膨張した空気は、支軸端部１３に形成された空気抜き穴１５から逃出し、熱収縮管被覆を好適に行うことができた。
【００４０】
勿論、必要により、熱収縮後において、ロールシャフト本体１の外皮部分を形成する熱収縮管３の外周を研磨しても良い。
【００４１】
上述のように、本実施例のロールシャフト本体１の一つの大きな特徴部分は、支軸１０が芯材２の外周と同じ外径とされる外周部、即ち、熱収縮管被覆部１２を備えており、熱収縮管３が、芯材２の外皮部分３ａとしてのみならず、更に、延長して熱収縮管被覆部１２にも外皮部分３ｂとして一体に熱収縮により被覆されることである。
【００４２】
この熱収縮管被覆部１２に被覆される熱収縮管（外皮部分３ｂ）の長さＬ２は、少なくとも１０ｍｍ以上、好ましくは、２０ｍｍ以上、１００ｍｍ以下、とされる。
【００４３】
本実施例では、ロールシャフト本体１の外径（即ち、熱収縮管の外径ｄ０）は、第１の芯材を使用した場合６２ｍｍ、第２の芯材を使用した場合５０ｍｍであったが、上記熱収縮管被覆部１２の長さＬ２は、両芯材共４９ｍｍとした。
【００４４】
本発明者らは、上記構成のロールシャフト本体１において、熱収縮管被覆部１２の長さＬ２（ｍｍ）と、洗浄液が熱収縮管３ｂの端縁部と熱収縮管被覆部１２の外周表面との間から侵入するまでの時間（月）とについて研究実験を行った。実験の結果を図４に示す。
【００４５】
本発明者らの研究実験の結果によると、図４から分かるように、熱収縮管被覆部１２の長さＬ２が１０ｍｍ未満とされる場合には、洗浄液が熱収縮管３ｂの端縁部と熱収縮管被覆部１２の外周表面との間から侵入し、長期使用により、熱収縮管３が芯材２の表面から剥離した。
【００４６】
また、熱収縮管被覆部１２を被覆する熱収縮管（外皮部分３ｂ）の長さＬ２を１０ｍｍを超える長さとしても、熱収縮管３の剥離防止性能は変わらないことが分かった。
【００４７】
このように、本発明者らの研究実験の結果によると、ロールシャフトの径にかかわらず、上述のように、熱収縮管被覆部１２を被覆する熱収縮管（外皮部分３ｂ）の長さＬ２を少なくとも１０ｍｍ以上とすることにより、好結果を得ることができた。
【００４８】
本実施例では、熱収縮管被覆部１２の全長（Ｌ２）に亘って、即ち、第１の芯材を使用したロールシャフトの場合は、Ｌ２＝４９ｍｍ、第２の芯材を使用したロールシャフトの場合は、Ｌ２＝４０ｍｍの長さで熱収縮管３が熱収縮された。
【００４９】
上記構成とされる、本実施例のロールシャフト本体１を、液晶表示パネルの処理装置と同様の環境下にて、回転数１００〜６００ｒｐｍにて実験したが、耐薬品性があり、軽量で、撓みが極めて少なく、液晶表示パネルなどの基板を何らの洗浄むらもなく好適に洗浄することができた。長期使用においても、熱収縮管３が支軸部１０及び芯材２の表面から剥離することはなかった。
【００５０】
本実施例によると、上述したように、上記構成のロールシャフト本体１の外周面に、ロールブラシ２１を巻き付けて装着し、ブラシロールシャフト２０を作製した。
【００５１】
つまり、ロールブラシ２１は、ステンレス鋼などの処理液、洗浄液などに対する耐性（耐薬品性）を有した金属によって断面形状がＵ字状に形成された保持部２２と、保持具に保持されたブラシ毛２３を有しており、保持部２２を、支軸端部１３の止めねじ穴１５を利用して支軸１０の外周面に取り付け、ロールブラシ２１を、支軸１０及びロールシャフト本体１のロールシャフト部（即ち、芯材）２外周面に螺旋状に巻きつけて作製した。
【００５２】
上記構成とされる、本実施例のブラシロールシャフト２０もまた、液晶表示パネルの処理装置と同様の環境下にて実験したが、当然なことに、耐薬品性があり、軽量で、撓みが極めて少なく、液晶表示パネルなどの基板を何らの洗浄むらもなく好適に洗浄することができた。長期使用においても、熱収縮管３が支軸１０及び芯材２の外周表面から剥離することはなかった。
【００５３】
実施例２
図５に、本発明に従って構成される、液晶表示パネルの基板を担持して搬送する搬送用ロールシャフト３０の一実施例を示す。
【００５４】
本実施例によると、実施例１で説明したロールシャフト本体１の外周面に、支持ローラ３１を装着して搬送用ロールシャフト３０を作製した。ロールシャフト本体１は、実施例１と同様の構成とされ、従って、実施例１の説明を援用し、ここでの再度の説明は省略する。
【００５５】
支持ローラ３１は、ロールシャフト本体１の軸方向に所定間隔で複数配置される。液晶表示パネルの基板は、この支持ローラ３１によって支持されて搬送される。
【００５６】
支持ローラ３１は、ステンレス鋼などの処理液、洗浄液などに対する耐性（耐薬品性）を有した金属によって作製され、ロールシャフト本体１の外周面に取り付けられる。
【００５７】
搬送用ロールシャフト３０の一具体例を示せば、次の通りである。
【００５８】
つまり、ロールシャフト本体１の外径（ｄ０）は４０ｍｍ、長さ（Ｌ０）は１８００ｍｍであり、支持ローラ３１は、ステンレス鋼で作製され、外径（Ｄ）が６０ｍｍ、厚さ（Ｔ）が２０ｍｍの円盤状とされた。各支持ローラ３１は、ロールシャフト本体１の軸方向に２００ｍｍの間隔（Ｈ）でロールシャフト本体１に圧入された。
【００５９】
上記構成とされる、本実施例の搬送用ロールシャフト３０もまた、液晶表示パネルの処理装置と同様の環境下にて実験したが、当然なことに、耐薬品性があり、軽量で、撓みが極めて少なく、液晶表示パネルなどの基板を好適に担持し、搬送することができた。長期使用においても、熱収縮管３が支軸１０及び芯材２の外周表面から剥離することはなかった。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係るブラシロールシャフトの一実施例の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】ロールシャフト本体の一実施例の概略構成を示す縦断面図である。
【図３】芯材の両端に固着される支軸の一実施例の縦断面図である。
【図４】ロールシャフト本体における熱収縮管被覆部の長さ（Ｌ２）と、洗浄液が熱収縮管の端縁部と熱収縮管被覆部の外周表面との間から侵入するまでの時間との関係を示すグラフである。
【図５】本発明に係る搬送用ロールシャフトの一実施例の縦断面図である。
【図６】液晶表示パネルの基板を洗浄するための処理装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００６１】
１      ロールシャフト本体
２      芯材（ロールシャフト部）
３      熱収縮管（外皮部分）
１０    支軸
１１    支軸の芯材取付け部
１２    支軸の熱収縮管被覆部
１３    支軸端部
２０    ブラシロールシャフト
２１    ロールブラシ
２２    保持部
２３    ブラシ毛
３０    搬送用ロールシャフト
３１    支持ローラ
【図１】
0005101311.tif 000002
【図２】
0005101311.tif 000003
【図３】
0005101311.tif 000004
【図４】
0005101311.tif 000005
【図５】
0005101311.tif 000006
【図６】
0005101311.tif 000007