(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧力室が規則的に形成されたキャビティユニットに前記各圧力室内の液体を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータが接合された液滴吐出ヘッドと、
前記圧電アクチュエータに電圧を印加する電圧印加手段と
を備えた液滴吐出装置であって、
前記圧電アクチュエータは、前記圧力室の中央部分に対応する第１の活性部と、前記圧力室の前記中央部分よりも外周側の部分に対応する第２の活性部とを備え、
前記第１の活性部及び前記第２の活性部は、それぞれ、前記電圧印加手段により電圧を印加された場合に、前記圧力室に向かう第１の方向に伸張するとともにその第１の方向と直交する第２の方向に収縮する変形状態となるように構成され、
前記電圧印加手段は、前記第１の活性部に電圧を印加するときは前記第２の活性部に電圧を印加しない一方、前記第１の活性部に電圧を印加しないときは前記第２の活性部に電圧を印加するものであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記第２の活性部は、前記圧力室の外周縁よりも内側の領域を含むことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記第１の活性部は、第１の電位及びそれと異なる第２の電位が選択的に付与される個別電極と、前記第１の電位が付与される第１の定電位電極との間に挟まれた圧電材料を含んで構成され、
前記第２の活性部は、前記個別電極と、前記第２の電位が付与される第２の定電位電極との間に挟まれた圧電材料を含んで構成される
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記個別電極は、前記第１の活性部に対応する領域と前記第２の活性部に対応する領域に跨ってこれらの領域をともに占めるように形成され、
前記第１の定電位電極は、前記第１の活性部に対応する領域を占めるように形成され、
前記第２の定電位電極は、少なくとも前記第２の活性部に対応する領域を占めるように形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記第１の活性部は、前記個別電極に前記第２の電位が付与され前記第１の定電位電極に前記第１の電位が付与されたときに印加される電圧の方向と同じ方向に分極されており、
前記第２の活性部は、前記個別電極に前記第１の電位が付与され前記第２の定電位電極に前記第２の電位が付与されたときに印加される電圧の方向と同じ方向に分極されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記第１の電位は正の電位であり、前記第２の電位はグランド電位であることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記第１の電位はグランド電位であり、前記第２の電位は正の電位であることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記第２の定電位電極は、隣り合う前記圧力室と共有されていることを特徴とする請求項７記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記圧電アクチュエータは、少なくとも１層の圧電材料層を有するものであり、
この圧電材料層の一方の面側に前記個別電極を形成し、他方の面側に前記第１の定電位電極と前記第２の定電位電極を形成することで、前記第１の活性部と前記第２の活性部を
同一の圧電材料層に形成することを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記他方の面側に形成された前記第１の定電位電極と前記第２の定電位電極は、前記圧電材料層よりも薄い絶縁層を挟んで隔離されていることを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
前記絶縁層は、前記圧電材料層と同じ材料からなることを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
前記第１の定電位電極は、隣接する２つの前記圧力室に挟まれてこれらと列をなすように形成されており、
前記第２の定電位電極は、２つの前記圧力室の一方の側にのみ形成されていることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項１３】
前記圧電アクチュエータは、複数の圧電材料層を有するものであり、
前記第１の定電位電極又は前記第２の定電位電極が、前記複数の圧電材料層の前記圧力室と最も離れて位置する最離間層の前記圧力室とは反対側の面である最離間面上に形成され、
前記個別電極は、前記各圧電材料層のいずれかの面であって、且つ前記最離間面とは異なる面上に形成され、
前記最離間面の前記圧力室の外周縁よりも外側の領域に、前記個別電極への入力端子となる表面電極が形成され、
前記個別電極は、前記圧電材料層を貫通するスルーホールを通じて前記表面電極と導通していることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１４】
前記第２の活性部は、前記複数の圧電材料層のうちの前記最離間層以外の層に形成されており、
前記表面電極は、隣接する前記圧力室との間の領域に形成されていることを特徴とする請求項１３に記載の液滴吐出装置。
【請求項１５】
複数の圧力室が規則的に形成されたキャビティユニットに、前記各圧力室内の液体を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータが接合された液滴吐出ヘッドと、
前記圧電アクチュエータに印加する電圧印加手段と
を備えた液滴吐出装置であって、
前記圧電アクチュエータは、前記圧力室の中央部分に対応して位置する第１の部分と、前記圧力室の前記中央部分よりも外周側の部分に対応して位置する第２の部分とを備え、
前記電圧印加手段は、前記圧力室の容積を変化させるために前記第１の部分に対する電圧の印加と非印加を切り替えるとともに、この切り替えによる前記第１の部分の変形が隣接する前記圧力室に伝播するのを抑制するように、前記第２の部分に対する電圧の印加と非印加を切り替えるもので、前記第１の部分に電圧を印加するときは前記第２の部分に電圧を印加しない一方、前記第１の部分に電圧を印加しないときは前記第２の部分に電圧を印加するものであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１６】
複数の圧力室が規則的に形成されたキャビティユニットに前記各圧力室内の液体を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータが接合された液滴吐出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧力室の中央部分に対応する第１の活性部と、
前記圧力室の前記中央部分よりも外周側の部分に対応する第２の活性部と、
前記第１の活性部に対応する領域と前記第２の活性部に対応する領域に跨ってこれらの領域をともに占めるように形成され第１の電位及びそれと異なる第２の電位が選択的に付与される個別電極と、
前記第１の活性部に対応する領域を占めるように形成され前記第１の電位が付与される第１の定電位電極と、
少なくとも前記第２の活性部に対応する領域を占めるように形成され前記第１の電位と異なる第２の電位が付与される第２の定電位電極とを有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリンタなどの液滴吐出装置及び、インクジェットヘッドなどの液滴吐出ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液滴吐出装置の１つとして、複数の圧力室が規則的に形成されたキャビティユニットに、前記各圧力室内のインクを選択的に吐出させるための圧電アクチュエータが接合されたインクジェットヘッドと、前記圧電アクチュエータに電圧を印加する電圧印加手段とを備えたインクジェットプリンタが知られている。そして、前述したような圧電アクチュエータとしては、積層型の縦効果アクチュエータを用いるもの（例えば特許文献１参照）や、ユニモルフアクチュエータを用いるものが知られている（例えば特許文献２参照）。
【０００３】
そのようなインクジェットプリンタのインクジェットヘッドにおいて、ノズル数を増加させて記録の高画質・高品質を確保するために、圧力室の高密度化の要求がある。圧力室を高密度化して配列すると、隣接する圧力室間の距離が短くなるので、駆動時に、隣接する圧力室への影響、いわゆるクロストークの問題が生じる。
【０００４】
つまり、インクジェットヘッドは、例えば図３９及び図４０に示すように、３つの圧電材料層１１２ａ，１１２ｂ，１１２ｃからなる圧電アクチュエータ１１２が、圧力室１１４ａが規則的に形成されるキャビティユニット１１４の上側に拘束プレート１１５を介して接合されてなる。そして、圧電材料層１１２ａの上面側に、各圧力室１１４ａに対応して個別電極１２１が、下面側に定電位電極１２２（グランド電位）がそれぞれ設けられ、また、圧電材料層１１２ｃの上面側に個別電極１２１が、下面側に定電位電極１２２がそれぞれ設けられている。このような構成であると、個別電極１２１と定電位電極１２２にて挟まれる領域（圧電材料層）が、個別電極１２１に選択的に正の電位を付与することで、圧力室１１４ａの容積を変化させて、ノズル穴１１４ｂからインクを吐出させる活性部Ｓとして機能する。このようなインク吐出のための変形は、インクを吐出する圧力室だけでなく、図４１に示すように、圧電材料層１１２ａ〜１１２ｃの変形により、その圧力室１１４ａに隣接する圧力室１１４ａにも影響する。
【０００５】
そのため、隣接する圧力室１１４について吐出特性が変動する不具合（例えば、ノズル穴１１４ｂから意図しないインクの吐出がなされるといった不具合）、すなわちクロストークの問題が生じていた。
【０００６】
このようなクロストークの問題を解消するため、様々な対策が提案されている。例えば、特許文献３には、圧力発生室１２の幅方向両側の隔壁１１間に亘って梁部１００を設けることで、隔壁１１の剛性を向上させて、隣接する圧力発生室間でクロストークが発生するのを防止したものが記載されている。
【０００７】
また、特許文献４には、各加圧液室４を隔絶する側壁５に、ノズル板３から所定深さと所定幅を有する弾性体７が配設することで、機械的クロストークを減少させるようにしたものが記載されている。
【特許文献１】特開２００５−５９５５１号公報
【特許文献２】特開２００５−３１７９５２号公報
【特許文献３】特開２００２−２５４６４０号公報（図２）
【特許文献４】特開２００２−１９１１３号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、これらの対策も圧力室（インク吐出ｃｈ）の高密度化が進むにつれて、完全なものではなくなってきた。
【０００９】
この発明は、高密度化しても、個別電極の数、つまり信号線の数を増やすことなく、クロストークを抑制することができる液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１の発明は、複数の圧力室が規則的に形成されたキャビティユニットに前記各圧力室内の液体を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータが接合された液滴吐出ヘッドと、前記圧電アクチュエータに電圧を印加する電圧印加手段とを備えた液滴吐出装置であって、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室の中央部分に対応する第１の活性部と、前記圧力室の前記中央部分よりも外周側の部分に対応する第２の活性部とを備え、前記第１の活性部及び前記第２の活性部は、それぞれ、前記電圧印加手段により電圧を印加された場合に、前記圧力室に向かう第１の方向に伸張するとともにその第１の方向と直交する第２の方向に収縮する変形状態となるように構成され、前記電圧印加手段は、前記第１の活性部に電圧を印加するときは前記第２の活性部に電圧を印加しない一方、前記第１の活性部に電圧を印加しないときは前記第２の活性部に電圧を印加するものであることを特徴とする。ここで、「活性部」は、電圧の印加・非印加で、変形状態になったり、非変形状態になったりする部分を意味する。また、「第２の活性部」は、圧力室に対応する部分と圧力室間の桁部に対応する部分とに跨って存在する場合のほか、圧力室に対応する部分から外れて桁部に対応する部分にしか存在しない場合と、圧力室に対応する部分にしか存在しない場合も含む。「第１の方向」とは、圧力室と活性部が並ぶ方向、すなわち圧電アクチュエータとキャビティユニットとの積層方向を意味する。
【００１１】
このようにすれば、圧力室の中央部分に対応する第１の活性部と、前記圧力室の中央部分よりも外周側の部分に対応する第２の活性部とは、電圧の印加・非印加によって逆方向の変形が生じるので、圧力室の配置を高密度化して、隣り合う圧力室同士が接近するようになっても、第１の活性部の変形が、隣接する圧力室に伝達される際に、第２の活性部分の変形によってキャンセルされ、第１の活性部の変形が、隣接する圧力室へ伝播する、いわゆるクロストークが抑制される。
【００１２】
この場合、請求項２に記載のように、請求項１の液滴吐出装置において、前記第２の活性部は、前記圧力室の外周縁よりも内側の領域を含むことが望ましい。
【００１３】
このようにすれば、第１の活性部だけでなく、第２の活性部も圧力室の容積変化に貢献することとなり、第１の活性部だけによる場合よりも圧力室の容積を大きく変化させることができる。よって、圧電アクチュエータに電圧を印加して、圧力室内の液体を選択的に吐出させる吐出効率（前記電圧を印加したときの吐出量）を向上させることが可能となる。
【００１４】
請求項３に記載のように、請求項１又は２の液滴吐出装置において、前記第１の活性部は、第１の電位及びそれと異なる第２の電位が選択的に付与される個別電極と、前記第１の電位が付与される第１の定電位電極との間に挟まれた圧電材料を含んで構成とされ、前記第２の活性部は、前記個別電極と、前記第２の電位が付与される第２の定電位電極との間に挟まれた圧電材料を含んで構成とすることができる。
【００１５】
このようにすれば、個別電極に、第１の電位と第２の電位とを選択的に付与するだけで、第１の活性部の変形と第２の活性部の変形（元の状態に復帰）とを完全に同時に行わせることができる。よって、第１の活性部の変形が隣の圧力室に伝播しようとするのが、第２の活性部の変形によって打ち消され、高精度のタイミング制御を要することなく、クロストークが抑制される。
【００１６】
請求項４に記載のように、請求項１〜３のいずれかの液滴吐出装置において、前記個別電極は、前記第１の活性部に対応する領域と前記第２の活性部に対応する領域に跨ってこれらの領域をともに占めるように形成され、前記第１の定電位電極は、前記第１の活性部に対応する領域を占めるように形成され、前記第２の定電位電極は、少なくとも前記第２の活性部に対応する領域を占めるように形成されることが望ましい。
【００１７】
このようにすれば、請求項１〜３の構成を実現するための、電極を効率よく配置して、無駄のない配置が可能となる。
【００１８】
請求項５の発明は、請求項３又は４の液滴吐出装置において、前記第１の活性部は、前記個別電極に前記第２の電位が付与され前記第１の定電位電極に前記第１の電位が付与されたときに印加される電圧の方向と同じ方向に分極されており、前記第２の活性部は、前記個別電極に前記第１の電位が付与され前記第２の定電位電極に前記第２の電位が付与されたときに印加される電圧の方向と同じ方向に分極されている構成とすることができる。
【００１９】
このようにすれば、第１及び第２の活性部において、駆動時における電圧の印加方向と分極時における電圧の印加方向を全て揃えることができ、電極を、駆動時（活性部の変形時）だけでなく、製造の際における分極時にも利用することができる。また、駆動時における電圧の印加方向と分極時における電圧の印加方向（分極方向）とが同じで、駆動時に圧電材料層に逆電界が印加されないため、活性部の変形劣化の発生が抑制される。
【００２０】
これら請求項３〜５のいずれかの液滴吐出装置の場合には、請求項６に記載のように、前記第１の電位は正の電位であり、前記第２の電位はグランド電位である構成とすることができるし、逆に、請求項７に記載のように、前記第１の電位はグランド電位であり、前記第２の電位は正の電位である構成とすることもできる。
【００２１】
このようにすれば、正の電位とグランド電位との２種類の電位を、各個別電極に選択的に付与することによって、簡単に駆動制御することができる。
【００２２】
請求項８に記載のように、請求項７の液滴吐出装置において、前記第２の定電位電極は、隣り合う前記圧力室と共有されていることが望ましい。
【００２３】
このようにすれば、第２の定電位電極の数を減らして、電極全体としての簡素化が図れる。
【００２４】
請求項９に記載のように、請求項７の液滴吐出装置において、前記圧電アクチュエータは、少なくとも１層の圧電材料層を有するものであり、この圧電材料層の一方の面側に前記個別電極を形成し、他方の面側に前記第１の定電位電極と前記第２の定電位電極を形成することで、前記第１の活性部と前記第２の活性部を同一の圧電材料層に形成する構成とすることができる。ここで、「圧電材料層」は、いわゆるグリーンシートを焼成して製作する圧電シートのほか、いわゆるＡＤ法（エアロゾルデポジション法）のような製法で製作するものも含む。
【００２５】
このようにすれば、少なくとも１層の圧電材料層を有するだけで、必要な電極の配置を
実現できるので、材料コスト面で有利となる。
【００２６】
請求項１０に記載のように、請求項９の液滴吐出装置において、前記他方の面側に形成された前記第１の定電位電極と前記第２の定電位電極とは、前記圧電材料層よりも薄い絶縁層を挟んで隔離されている構成とすることができる。
【００２７】
このようにすれば、第１の定電位電極と第２の定電位電極とが絶縁層を挟んで隔離されるので、第１の定電位電極と第２の定電位電極とを近接して形成しても、それらがショートすることがない。よって、第１の活性部と第２の活性部を近接して配置することが可能となり、小型化を図る上で有利となる。
【００２８】
請求項１１に記載のように、請求項１０の液滴吐出装置において、前記絶縁層は、前記圧電材料層と同じ材料からなる構成とすることができる。
【００２９】
このようにすれば、前記絶縁層は、前記圧電材料層と同じ材料を用いるので、製造が簡単で、コスト面でも有利となる。
【００３０】
請求項１２に記載のように、請求項７の液滴吐出装置において、前記第１の定電位電極は、隣接する２つの前記圧力室に挟まれてこれらと列をなすように形成されており、前記第２の定電位電極は、２つの前記圧力室の一方の側にのみ形成されている構成とすることができる。
【００３１】
このようにすれば、圧力室の一方の側に第２の活性部が配置され、前記一方の側についてのみクロストークが抑制される。
【００３２】
請求項１３の発明は、請求項３〜５のいずれかの液滴吐出装置において、前記圧電アクチュエータは、複数の圧電材料層を有するものであり、前記第１の定電位電極又は前記第２の定電位電極が、前記複数の圧電材料層の前記圧力室と最も離れて位置する最離間層の前記圧力室とは反対側の面である最離間面上に形成され、前記個別電極は、前記各圧電材料層のいずれかの面であって、且つ前記最離間面とは異なる面上に形成され、前記最離間面の前記圧力室の外周縁よりも外側の領域に、前記個別電極への入力端子となる表面電極が形成され、前記個別電極は、前記圧電材料層を貫通するスルーホールを通じて前記表面電極と導通している構成とすることができる。
【００３３】
このようにすれば、複数の圧電材料層を有する場合に、表面電極やスルーホールを利用して、無理のない個別電極の配置を実現することができる。
【００３４】
請求項１４に記載のように、請求項１３の液滴吐出装置において、前記第２の活性部は、前記複数の圧電材料層のうちの前記最離間層以外の層に形成されており、前記表面電極は、隣接する前記圧力室との間の領域に形成されている構成とすることができる。
【００３５】
このようにすれば、第２の活性部と緩衝することなく、隣接する圧力室との間の領域に表面電極が形成されるため、表面電極を形成する位置の自由が向上する。
【００３６】
請求項１５の発明は、複数の圧力室が規則的に形成されたキャビティユニットに、前記各圧力室内の液体を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータが接合された液滴吐出ヘッドと、前記圧電アクチュエータに印加する電圧印加手段と、を備えた液滴吐出装置であって、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室の中央部分に対応して位置する第１の部分と、前記圧力室の前記中央部分よりも外周側の部分に対応して位置する第２の部分とを備え、前記電圧印加手段は、前記圧力室の容積を変化させるために前記第１の部分に対す
る電圧の印加と非印加を切り替えるとともに、この切り替えによる前記第１の部分の変形が隣接する前記圧力室に伝播するのを抑制するように、前記第２の部分に対する電圧の印加と非印加を切り替えるもので、前記第１の部分に電圧を印加するときは前記第２の部分に電圧を印加しない一方、前記第１の部分に電圧を印加しないときは前記第２の部分に電圧を印加するものであることを特徴とする。
【００３７】
このようにすれば、圧力室の容積を変化させるために第１の部分に対する電圧の印加と非印加を切り替え、この切り替えによる前記第１の部分の変形が隣接する前記圧力室に伝播するのを抑制するように、前記第２の部分に対する電圧の印加と非印加を切り替えるよにしているので、クロストークが抑制される。
【００３８】
請求項１６の発明は、複数の圧力室が規則的に形成されたキャビティユニットに前記各圧力室内の液体を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータが接合された液滴吐出ヘッドであって、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室の中央部分に対応する第１の活性部と、前記圧力室の前記中央部分よりも外周側の部分に対応する第２の活性部と、前記第１の活性部に対応する領域と前記第２の活性部に対応する領域に跨ってこれらの領域をともに占めるように形成され第１の電位及びそれと異なる第２の電位が選択的に付与される個別電極と、
前記第１の活性部に対応する領域を占めるように形成され前記第１の電位が付与される第１の定電位電極と、
少なくとも前記第２の活性部に対応する領域を占めるように形成され前記第１の電位と異なる第２の電位が付与される第２の定電位電極とを有することを特徴とする。
【００３９】
このようにすれば、圧力室の中央部分に対応する第１の活性部と、前記圧力室の前記中央部分よりも外周側の部分に対応する第２の活性部とは、電圧の印加・非印加によって逆方向の変形が生じる構成とすることができるので、第１の活性部の変形が隣接する圧力室に伝播するクロストークが抑制される。
【発明の効果】
【００４０】
本発明は、圧力室の中央部分に対応する第１の活性部と、前記圧力室の前記中央部分よりも外周側の部分に対応する第２の活性部とは、電圧の印加・非印加によって逆方向の変形が生じるようにしているので、圧力室の配置を高密度化しても、活性部の変形が隣接する圧力室に伝播するクロストークを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。
（実施例１）
図１（ａ）は本発明にかかるインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）の概略構成を示す概略構成図、図１（ｂ）は本発明にかかるキャビティユニット、圧電アクチュエータ及びフレキシブル配線板（ＣＯＰ）の関係を示す説明図である。
【００４２】
本発明に係るインクジェットプリンタ１は、図１（ａ）に示すように、インクカートリッジ（図示せず）が搭載されるキャリッジ２の下面に、記録用紙Ｐ（記録媒体）に記録するためのインクジェットヘッド３（液滴吐出ヘッド）が設けられている。キャリッジ２は、プリンタフレーム４内に設けられるキャリッジ軸５とガイド板（図示せず）とによって支持され、記録用紙Ｐの搬送方向Ａと直交する方向Ｂにおいて往復移動する構成とされている。図示しない給紙部からＡ方向に搬送される記録用紙Ｐは、プラテンローラ（図示せず）とインクジェットヘッド３との間に導入されて、インクジェットヘッド３から記録用紙Ｐに向けて吐出されるインクにより所定の記録がなされ、その後排紙ローラ６にて排紙される。
【００４３】
また、図１（ｂ）に示すように、インクジェットヘッド３は、キャビティユニット１１と、圧電アクチュエータ１２とを下側から順に備え、圧電アクチュエータ１２の上面に駆動信号を供給するフレキシブル配線板１３（信号線）が設けられている。
【００４４】
キャビティユニット１１は、図２に示すように、複数枚のプレート部材からなる積層体１４を含む。その積層体１４の上側には、トッププレート１５が設けられる一方、下側には、ノズル穴１６ａを有するノズルプレート１６及びノズル穴１６ａに対応して貫通穴１７ａを有するスペーサプレート１７を貼り合わせてなるプレートアッセンブリ１８が一体に貼り付けられている。そして、トッププレート１５の上側に、各圧力室１４Ａａ内のインク（液体）を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータ１２が接合されている。また、キャビティユニット１１の開孔１１ａには、インク内に含有される塵埃などを捕獲するためのフィルタ１９が設けられる。ノズルプレート１６は、（積層体１４を構成する）キャビティプレート１４Ａの１つの圧力室１４Ａａについて、１つのノズル穴１６ａがそれぞれ設けられた合成樹脂（例えばポリイミド樹脂）のプレートである。なお、ノズルプレート１６は金属プレートとしてもよい。
【００４５】
積層体１４は、図３に示すように、上側から順にキャビティプレート１４Ａ、ベースプレート１４Ｂ、アパチャープレート１４Ｃ、２枚のマニホールドプレート１４Ｄ，１４Ｅ、及びダンパープレート１４Ｆがそれぞれ重ねられて金属拡散接合されたものである。これら６枚のプレート１４Ａ〜１４Ｆは、各ノズル穴１６ａ毎に個別にインク流路が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。ここで、キャビティプレート１４Ａは、複数の圧力室１４Ａａとして機能する開口が、ノズル列に対応して規則的に形成された金属プレートである。ベースプレート１４Ｂは、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａ（共通インク室）から各圧力室１４Ａａへの連通穴１４Ｂａ及び各圧力室１４Ａａから各ノズル穴１６ａへの連通穴１４Ｂｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。アパチャープレート１４Ｃには、それの上面に、各圧力室１４Ａａとマニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａとを連通する連通路２１が凹部通路として形成されるとともに、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａ（共通インク室）から各圧力室１４Ａａへの連通穴１４Ｃａ及び各圧力室１４Ａａからノズル穴１６ａへの連通穴１４Ｃｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート１４Ｄ，１４Ｅは、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａに加えて、各圧力室１４Ａａから各ノズル穴１６ａへの連通穴１４Ｄｂ，１４Ｅｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。ダンパープレート１４Ｆは、下面に凹部として形成されるダンパー室１４Ｆａのほか、各圧力室１４Ａａを各ノズル穴１６ａに連通する連通穴１４Ｆｂが設けられた金属プレートである。
【００４６】
このように、キャビティユニット１１は、複数のノズル穴１６ａ、複数のノズル穴１６ａの各々に連通する複数の圧力室１４Ａａ及びこの圧力室１４Ａａに供給するインクを一時的に貯留するマニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａを含む構成とされる。
【００４７】
圧電アクチュエータ１２は、図４に示すように、複数層の圧電材料層１２ａ，１２ｂ，１２ｃを積層して形成されている。圧電材料層１２ａ〜１２ｃは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料（圧電シート）からなり、その厚み方向において分極している（図６（ａ）（ｂ）参照）。
【００４８】
そして、圧電アクチュエータ１２は、圧力室１４Ａａを平面視したとき（キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２との積層方向から見たとき）、圧力室１４Ａａの中央部分に対応する第１の活性部Ｓ１１，Ｓ１２，Ｓ１３（第１の部分）と、圧力室１４Ａａの中央部分よりも外周側の左右部分に対応する第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２（第２の部分）とを備える。ここで、圧力室１４Ａａの中央部分とは、ノズル穴１６ａが配列されているノズル列方向Ｘにおける中央部分である。
【００４９】
第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２は、隣り合う圧力室１４Ａａを仕切る壁である桁部１４Ａｂに対応する領域だけでなく、圧力室１４Ａａの外周縁１４Ａａａよりも内側部分（中央部分側）に対応する領域を含む構成とされる。
【００５０】
第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３は、各圧力室１４Ａａ毎に設けられる個別電極２１と第１の定電位電極２２Ａ，２２Ｂとの間に圧電材料層１２ａ，１２ｃが挟まれる部分を有する。一方、第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２は、個別電極２１と第２の定電位電極２３との間に圧電材料層１２ａ，１２ｂが挟まれる部分を有する。なお、電極２１，２２Ａ，２２Ｂは、Ａｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなる。
【００５１】
各個別電極２１には、フレキシブル配線板１３（信号線）を通じて、駆動信号を供給するドライバＩＣ９０（図１（ｂ）参照）が電気的に接続される。このドライバＩＣ９０及びフレキシブル配線板１３によって、圧電アクチュエータ１２の第１及び第２の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３，Ｓ２１，Ｓ２２に駆動電圧を印加する電圧印加手段が構成される。
【００５２】
つまり、圧力室１４Ａａの容積を変化させるために、個別電極２１には、フレキシブル配線板１３を通じて、第１の電位（グランド電位）及びそれと異なる第２の電位（例えば２０Ｖ）が選択的に印加される。また、第１の定電位電極２２Ａ，２２Ｂは、第１の電位（グランド電位）が常時付与され、第２の定電位電極２３は、第２の電位（例えば２０Ｖ）が常時付与される。
【００５３】
このように、圧電アクチュエータ１２は、各圧力室１４Ａａに対応する個別電極２１を有し、この個別電極２１に駆動信号として、第１の電位（グランド電位）と第２の電位（正の電位）とが選択的に付与されることで圧力室１４Ａａの容積を変化させてノズル穴１６ａからインクを吐出させる構成とされる。
【００５４】
さらに詳述すると、個別電極２１は、ノズル列方向Ｘに直交する方向Ｙにおいては圧力室１４Ａａより短く（図６（ｂ）参照）、ノズル列方向Ｘにおいて圧力室１４Ａａより長く、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３に対応する領域と第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２に対応する領域とに跨ってこれらの領域をともに占めるように形成される。そして、第１の定電位電極２２Ａ，２２Ｂは、ノズル列方向Ｘにおいて圧力室１４Ａａより短く、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３に対応する領域を占めるように形成される。そして、圧力室１４Ａａ側に位置する第１の定電位電極２２Ｂは、圧力室１４Ａａより離れて位置する第１の定電位電極２２Ａよりもノズル列方向Ｘに長く形成される。つまり、各個別電極２１は、第１及び第２の定電位電極２２Ａ，２２Ｂ，２３について共有される。
【００５５】
第２の定電位電極２３は、第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２に対応する領域及び、ノズル列方向に直交する方向において隣り合う圧力室１４Ａａ間の桁部１４Ａｂに対応する領域を占めるように形成されている。つまり、第２の定電位電極２３は、桁部１４Ａｂに対応する領域を含めて圧力室１４Ａａのノズル列方向側部に対応する領域まで延び、圧力室１４Ａａのノズル列方向において隣り合う２つの圧力室１４Ａａ，１４Ａａについて共有される。
【００５６】
具体的には、圧力室１４Ａａから最も離れた圧電材料層１２ａにおいて、一方の面（図４において上側の面）側に個別電極２１を形成し、他方の面（図４において下面）側に第１の定電位電極２２Ａと第２の定電位電極２３を交互に形成することで、第１の活性部Ｓ１１と第２の活性部Ｓ２１とが同一の圧電材料層１２ａに並んで形成される。また、圧電材料層１２ｂにおいて、一方の面（図４において上側の面）側に第１の定電位電極２２Ａと第２の定電位電極２３を交互に形成し、他方の面（図４において下側の面）側に個別電極２１を形成することで、圧電材料層１２ａの第１の活性部Ｓ１１と第２の活性部Ｓ２１とに対応する第１の活性部Ｓ１２と第２の活性部Ｓ２２とが並んで形成される。さらに、圧力室１４Ａａに最も近い圧電材料層１２ｃにおいて、一方の面（図４において上側の面）側に個別電極２１を形成し、他方の面（図４において下側の面）側に第１の定電位電極２２Ｂを形成することで、第１の活性部Ｓ１３を形成している。この第１の活性部Ｓ１３は、定電位電極２２Ｂが定電位電極２２Ａよりもノズル列方向Ｘに長いことから、第１の活性部Ｓ１１，Ｓ１２よりもノズル列方向の長さが長くなっている。
【００５７】
また、各圧電材料層１２ａ〜１２ｃの電極２１，２２Ａ，２２Ｂ，２３は、平面視で見ると、図５に示すように配置されている。即ち、圧電材料層１２ａ，１２ｃの上面側（第１層、第３層）には、各圧力室１４Ａａに対応して個別電極２１がノズル列方向において一定ピッチで形成されている。そして、隣り合う個別電極２１は、ノズル列方向において半ピッチずれて形成され、それらの列の間において、各個別電極２１の、フレキシブル配線板１３の接続端子（図示せず）に接続される接続端子部２１ａが千鳥状に形成されている。
【００５８】
圧電材料層１２ａの下面側（第２層）には、各圧力室１４Ａａに対応して第１の定電位電極２２Ａがノズル列方向において一定ピッチで形成され、それらの一端部が、グランド電位とされノズル列方向に延びている第１の共通電極２２Ａａに接続されている。また、第１の定電位電極２２Ａの間に第２の定電位電極２３がそれぞれ形成され、それらの一端部も、正の電位（例えば２０Ｖ：一定）とされ、ノズル列方向Ｘに延びる第２の共通電極２３ａに接続されている。そして、隣り合う圧力室１４Ａａの間には、圧電材料層１２ａの上面側の個別電極２１を、それの下側に位置する圧電材料層１２ｃの上面側の個別電極２１にスルーホール２４（内部に導電性材料を充填）を利用して電気的に接続するための中間電極２５が千鳥状に形成されている（図６（ｂ）参照）。
【００５９】
圧電材料層１２ｃの下面側には、圧力室１４Ａａに対応して各第１の定電位電極２２Ｂがノズル列方向Ｘに一定ピッチで形成され、それらの一端部が、グランド電位とされノズル列方向Ｘに延びている第１の共通電極２２Ｂａに接続されている。なお、圧力室１４Ａａ側に位置する第１の定電位電極２２Ｂは、圧力室１４Ａａとは離れている第１の定電位電極２２Ａよりも、ノズル列方向Ｘの長さが長く形成されている。
【００６０】
なお、図６（ａ）（ｂ）に示すように、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３は、個別電極２１に第２の電位が付与され第１の定電位電極２２Ａ，２２Ｂに第１の電位が付与されて変形するときに印加される電圧の方向と同じ方向（分極方向）に分極されている。一方、第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２は、個別電極２１に第１の電位が付与され第２の定電位電極２３に第２の電位が付与されて変形するときに印加される電圧の方向と同じ方向に分極されている。つまり、電圧が印加される方向と分極方向が同じである。ここで、図６（ａ）（ｂ）において、「ＯＮ時有効」な部分は、個別電極２１に第２の電位を付与した場合に電圧（２０Ｖ）が印加される部分である第１の活性部に、「ＯＦＦ時有効」の部分は、個別電極２１に第１の電位を付与した場合に電圧（２０Ｖ）が印加される部分である第２の活性部にそれぞれ対応している。
【００６１】
第１の定電位電極２２Ａ，２２Ｂは、常時第１の電位（グランド電位）とされ、第２の定電位電極２３は、常時第２の電位（正の電位）とされる。そして、個別電極２１には、第１の電位（グランド電位）と第２の電位（正の電位）とが、圧力室１４Ａａの容積を変化させるために選択的に付与される。つまり、次の表１に示すように、分極時と駆動時とは電圧の印加方向は同一であるが、第１の定電位電極２２Ａ，２２Ｂは常時グランド電位（０Ｖ）とされ、第２の定電位電極２３には常時正の電位（２０Ｖ：一定）とされ、個別電極２１には正の電位（２０Ｖ：一定）が付与されたり、その付与が解除されたりする（図２７（ａ）参照）。よって、個別電極２１に正の電位が付与されるときには、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３に電圧が印加されるが、第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２には電圧が印加されず、一方、個別電極２１に正の電位が付与されず個別電極２１がグランド電位とされるときには、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３に電圧が印加されず、第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２に電圧が印加されることになる。ここで、駆動時において電極間に印加される電圧は
、表１に示すように、分極時に印加される電圧よりも小さく、電極間に繰り返し電圧を印加することによる劣化を抑制するようになっている。
【００６２】
【表１】
0004915381.tif 000002
このように電極２１，２２Ａ，２２Ｂ，２３を配置することで、前記電圧印加手段により、個別電極２１に第２の電位（グランド電位）を付与する、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３への電圧の非印加時（待機時）では、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３は、第１及び第２の方向Ｚ，Ｘにおいて伸縮しない、変形しない状態となる。このとき、第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２は、電圧印加状態となり、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚ（第１の方向）に伸張し、その積層方向Ｚと直交するノズル列方向Ｘ（第２の方向）に収縮しようとするので、拘束プレートとしてのトッププレート１５の働きによって、ノズル列方向側部に位置する第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２が、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形する。この第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２の変形が、図７（ａ）に示すように、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくするのに寄与し、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａにインクを多く吸い込むのに貢献する。
【００６３】
一方、個別電極２１に第１の電位（正の電位：２０Ｖ）を付与する、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３への電圧の印加時（駆動時）には、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３は、分極方向と同じ方向に電圧が印加され、圧電横効果により、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚに伸張し、その積層方向Ｚと直交するノズル列方向Ｘに収縮して、圧力室１４Ａａ内の方向へ突出変形する状態となる。一方、トッププレート１５は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、上側に位置する圧電材料層１２ｃと下側に位置するトッププレート１５との間で分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じる。このことと、トッププレート１５がキャビティプレート１４Ａに固定されていることとが相俟って、圧電材料層１２ｃ及びトッププレート１５は圧力室１４Ａａ側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このため、圧力室１４Ａａの容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル穴１６ａからインクが吐出される。
【００６４】
この第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３への電圧の印加時には、第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２は、電圧の非印加状態となるので、第１及び第２の方向Ｚ，Ｘにおいて伸縮しない、変形しない状態に戻ることになる。よって、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３が、圧力室１４Ａａの方向へ突出変形する際には、第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２は、変形しない状態に戻るので、図７（ｂ）に示すように、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３の変形の影響が第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２によってキャンセルされ、隣の圧力室１４Ａａにはほとんど及ばず、クロストークが抑制される。つまり、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３に対する電圧の印加と非印加との切替えによる第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３の変形が、隣接する圧力室１４Ａａに伝播するのを抑制するように、第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２に対する電圧の印加と非印加が切り替えられる。
【００６５】
その後、個別電極２１を、第１の定電位電極２２Ａ，２２Ｂと同じ電位（グランド電位）に戻すと、前述したように、第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３は変形しない状態となり、第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２は、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形し、圧力室１４Ａａの容積が元の容積に戻るので、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａ内にインクを吸い込むことになる。
【００６６】
このような第１の活性部Ｓ１１〜Ｓ１３及び第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２の変形により、インクの吐出動作が繰り返され、各吐出動作において、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくして吐出効率を高めると共に、クロストークが抑制される。
【００６７】
なお、前記実施例１及び従来例（図４０参照）について、隣接圧力室の断面積の変化の割合を求めたところ、表２に示すように、従来例の場合には２４％であるのに対し実施例１の場合には１１％となり、実施例１の場合には従来例に比べて変化割合がほぼ半減し、クロストークの抑制効果が発揮されることがわかる。
【００６８】
【表２】
0004915381.tif 000003
前記実施例１では、第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２が、ノズル列方向Ｘにおける圧力室１４Ａａの中央部分よりも外周側の部分に対応する領域と、桁部１４Ａｂに対応する領域との間に跨って配置されているが、図８に示すように構成することも可能である。つまり、第２の定電位電極２３Ａを、圧力室１４Ａａに対応する領域と関係なく、桁部１４Ａｂに対応する領域のみに設け、第２の活性部Ｓ２１ａ，Ｓ２２ａが、桁部１４Ａｂに対応する領域にしか存在しないように構成することができる。この場合には、第２の活性部Ｓ２１ａ，Ｓ２２ａに対し電圧が印加されて第２の活性部Ｓ２１ａ，Ｓ２２ａが変形しても、圧力室１４Ａａの容積の拡大には寄与しないが、クロストークの抑制効果は発揮される。
【００６９】
また、逆に、図９に示すように、第２の活性部Ｓ２１ｂ，Ｓ２２ｂが圧力室１４Ａａの外周側の部分に対応する領域にしか存在しないように構成することも可能である。つまり第２の定電位電極２３Ｂを、桁部１４Ａｂに対応する領域と関係なく、圧力室１４Ａａの中央部分よりも外周側の部分に対応する領域のみに設けることもできる。この場合には、前述した第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２が圧力室１４Ａａの中央部分よりも外周側の部分に対応する領域と、桁部１４Ａｂに対応する領域との間に亘って配置されているもの（図４参照）に比べて、第２の活性部Ｓ２１ｂ，Ｓ２２ｂのノズル列方向長さが短くなる。よって、クロストークの抑制効果と容積変化に寄与する効果の程度は劣るものの、それらの効果を発揮する点は、前述したものと同じである。
【００７０】
さらに、図１０に示すように、キャビティプレート１４Ａの上側に、トッププレートを設けることなく、層厚さが薄い絶縁層１２ｅを介して圧電材料層１２ｄを設け、この圧電材料層１２ｄに、第１及び第２の活性部を形成する構成とすることも可能である。この場合には、圧電材料層１２ｄには、圧電材料層１２ｂと同様に、一方の面（上面）には第１及び第２の定電位電極２２Ａ，２３が交互に形成され、他方の面（下面）には個別電極２１が形成されている。これにより、各圧力室１４Ａａの中央部分に対応する第１の活性部Ｓ１１，Ｓ１２，Ｓ１３ａ，Ｓ１４が、それの外周側の部分に対応する第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ２３，Ｓ２４がそれぞれ形成される。
【００７１】
なお、分極方向と、電圧印加時に有効なＯＮ時有効な部分（第１の活性部）と、電圧非印加時に有効なＯＦＦ時有効な部分（第２の活性部）との関係を、図１１（ａ）（ｂ）に示す。
【００７２】
このようにすれば、第１の活性部Ｓ１１，Ｓ１２，Ｓ１３ａ，Ｓ１４及び第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ２３，Ｓ２４は共に、ユニモルフ変形ではなく、縦効果の変形をするので、第２の活性部Ｓ２１〜Ｓ２４は、ユニモルフ変形のように圧力室１４Ａａから離れるように反り返る変形（つまり圧力室１４Ａａを拡大する方向への変形）はできない。そのため、クロストークの抑制効果は得られるが、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくする効果は得られない。
【００７３】
また、桁部１４Ａｂに対応する領域にのみ第２の定電位電極２３Ａを設ける構造（図８参照）についても、同様に、圧力室１４Ａａ側に、層厚さが薄い絶縁層１２ｅを介して圧電材料層１２ｄを設ける構造とすることができるのはもちろんである。この場合には、図１２に示すように、圧電材料層１２ｄには、圧電材料層１２ｂと同様に、一方の面（上面）には第１及び第２の定電位電極２２Ａ，２３Ａが交互に配され、他方の面（下面）には個別電極２１が配される。これにより、各圧力室１４Ａａの中央部分に対応する第１の活性部Ｓ１１，Ｓ１２，Ｓ１３ａ、Ｓ１４が、それの外周側の部分に対応する第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ２３，Ｓ２４がそれぞれ形成される。
【００７４】
なお、分極方向と、電圧印加時に有効なＯＮ時有効な部分（第１の活性部）と、電圧非印加時に有効なＯＦＦ時有効な部分（第２の活性部）との関係を、図１３（ａ）（ｂ）に示す。
【００７５】
前記実施例１のように、同一面上に第１及び第２の定電位電極２２Ａ，２３を、ノズル列方向Ｘにおいて交互に形成する場合には、それらの電極の間隔を大きくすることができないので、それら電極のノズル列方向の長さを長くすることができない。しかしながら、次の実施例２に示すように、層厚が薄い絶縁層を利用して、それらの長さを長くすることも可能である。
（実施例２）
この例では、図１４に示すように、圧電アクチュエータは、圧電材料層１２ａと圧電材料層１２ｂとの間にそれら圧電材料層１２ａ，１２ｂよりも層厚さが薄い絶縁層１２ｆを挟んだ積層構造とされる。なお、この絶縁層１２ｆは、圧電材料層１２ａ〜１２ｄと同じ材料から形成することができる。
【００７６】
この絶縁層１２ｆの一方の面（上面）側に第１の定電位電極２２Ｂだけが、他方の面（下面）側に第２の定電位電極２３だけがそれぞれ、一定の間隔でもって形成されている。これにより、第１の定電位電極２２Ｂと第２の定電位電極２３とは、絶縁層１２ｆを介して電気的に隔離されるが、実施例１の場合と同様に、圧電材料層１２ａと圧電材料層１２ｂとの間に形成される。これにより、各圧力室１４Ａａの中央部分に対応する第１の活性
部Ｓ１１ａ，Ｓ１２ａ，Ｓ１３が、それの外周側の部分に対応する第２の活性部Ｓ２１ｃ，Ｓ２２がそれぞれ形成される。
【００７７】
このように、第１の定電位電極２２Ｂと第２の定電位電極２３とを絶縁層１２ｆを挟んで隔離されている構成とすることで、圧電材料層１２ａと圧電材料層１２ｂとの間に形成される第１の定電位電極２２Ｂのノズル列方向の長さを長くすることができ、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくする上で有利な電極配置が実現される。この実施例２の場合も、表２に示すように、隣接圧力室の断面積の変化の割合は１１％で、実施例１の場合と同様に従来例に比べて変化割合がほぼ半減し、クロストークの抑制効果が発揮されることがわかる。
【００７８】
このような層厚さが薄い絶縁層を利用して、次の実施例３に示すような構造とすることも可能である。
（実施例３）
この例では、図１５に示すように、実施例２における最も上側の圧電材料層１２ａを省略し、その代わりに、圧電材料層１２ｃとトッププレート１５との間に、絶縁層１２ｆと同様に層厚さが薄い別の絶縁層１２ｇが配置され、その絶縁層１２ｇの上面側に第２の定電位電極２３が、下面側に第１の定電位電極２２Ｂがそれぞれ形成されている。この場合、圧電材料層１２ｂの下面側に配置した個別電極２１を挟んで、第１及び第２の定電位電極２２Ｂ，２３が対称に形成されていることになる。これにより、各圧力室１４Ａａの中央部分に対応する第１の活性部Ｓ１２ａ，Ｓ１３ａが、それの外周側の部分に対応する第２の活性部Ｓ２２，Ｓ２３がそれぞれ形成される。
【００７９】
また、前述したような圧電材料層は、少なくとも１層あればよく、次の実施例４に示すように構成することもできる。
（実施例４）
この例では、図１６に示すように、圧電材料層１２ａの一方の面（上面）側に個別電極２１が形成され、他方の面（下面）側に第１及び第２の定電位電極２２Ｂ，２３が、ノズル列方向において交互に形成されている。これにより、各圧力室１４Ａａの中央部分に対応する第１の活性部Ｓ１１ａが、それの外周側の部分両側に対応する第２の活性部Ｓ２１，Ｓ２１がそれぞれ形成される。
【００８０】
このようにすれば、トップフレート１５が拘束プレートとして機能し、実施例１〜３のものよりも圧電材料層の数が少なく変形量は小さくなるものの、圧電材料層１２ａが１層であっても、ユニモルフ変形による優れた吐出効率を実現することができる。
【００８１】
このような圧電材料層が１層の場合も、次の実施例５に示すように、層厚が薄い絶縁層を利用した構造とすることもできる。
（実施例５）
この例では、図１７に示すように、圧電材料層１２ａとトッププレート１５との間に絶縁層１２ｈを挟んだ構造となっている。圧電材料層１２ａの上面側に個別電極２１が、下面側に第２の定電位電極２３がそれぞれ形成されている。そして、絶縁層１２ｈの下面側に第１の定電位電極２２Ｂが形成されている。これにより、各圧力室１４Ａａの中央部分に対応する第１の活性部Ｓ１１ｂが、それの外周側の部分に対応する第２の活性部Ｓ２１がそれぞれ形成される。
【００８２】
この場合も、電圧の印加・非印加により、図１８（ａ）（ｂ）に示すように、クロストークの抑制効果が発揮されることがわかる。この実施例５の場合は、表２に示すように、隣接圧力室の断面積の変化の割合は２％で、従来例に比べて変化割合が大幅に低減され、クロストークの抑制効果が、とくに大きいことがわかる。
【００８３】
前述した実施例のように、第１の活性部の両側に第２の活性部を設ける必要はなく、第１の活性部の一方の側についてだけクロストークの抑制効果を発揮させるだけでよければ、実施例６に示すように、第２の活性部を、第１の活性部の一方の側だけに設けることも可能である。
（実施例６）
この例では、図１９に示すように、個別電極２１Ａが、圧力室１４Ａａに対応する領域の一部及び桁部１４Ａｂに対応する領域に配置されている。
【００８４】
そして、圧電材料層１２ａの一方の面（上面）側には個別電極２１Ａが、他方の面（下面）側に個別電極２１Ａの各側部に対応して第１及び第２の定電位電極２２Ａ，２３Ａがそれぞれ形成されている。また、圧電材料層１２ｃの上面側に個別電極２１Ａが、下面側に第１の定電位電極２２Ａがそれぞれ形成されている。これにより、各圧力室１４Ａａの中央部分に対応する第１の活性部Ｓ１１，Ｓ１２，Ｓ１３ａが、それの外周側の部分に対応する第２の活性部Ｓ２１ｃ，Ｓ２２ｃがそれぞれ形成される。
【００８５】
このようにすれば、第２の活性部Ｓ２１ｃ，Ｓ２２ｃが配置されている側についてのみクロストークの抑制効果が発揮される。
【００８６】
また、次の実施例７のように、第１の定電位電極をノズル列方向に沿って延びるように形成し、ノズル列方向に列状に形成される各圧力室に共通のものとすることも可能である。
（実施例７）
この例では、図２０に示すように、４つの圧電材料層１２ａ〜１２ｄを有し、圧力室１４Ａａから最も離れた圧電材料層１２ａの一方の面（上面）側に個別電極２１が、他方の面（下面）側に第２の定電位電極２３がそれぞれ形成されている。そして、圧電材料層１２ａから圧力室１４Ａａ寄りに３番目の圧電材料層１２ｃの一方の面側に第１の定電位電極２２Ｃが、他方の面側に個別電極２１Ｂがそれぞれ形成されている。そして、圧電材料層１２ａから圧力室１４Ａａ寄りに４番目の圧電材料層１２ｄの圧力室１４Ａａ側に第１の定電位電極２２Ｃが形成されている。これにより、各圧力室１４Ａａの中央部分に対応する第１の活性部Ｓ１１’，Ｓ１３，Ｓ１４が、それの外周側の部分に対応する第２の活性部Ｓ２１’がそれぞれ形成される。
【００８７】
そして、各圧電材料層１２ａ〜１２ｄの電極２１，２１Ｂ，２２Ｃ，２３は、平面視で見ると、図２１に示すように配置されている。即ち、圧電材料層１２ａの上面側（第１層）及び圧電材料層１２ｃの下面側（第３層）には、圧力室１４Ａａに対応して各個別電極２１，２１Ｂが一定ピッチでノズル列方向Ｘに形成されている。そして、隣り合う各個別電極２１，２１Ｂは、ノズル列方向において半ピッチずれて形成され、それらの間において、各個別電極２１，２１Ｂの接続端子部２１ａ，２１Ｂａが千鳥状に形成されている。そして、フレキシブル配線板１３の接続端子（図示せず）が個別電極２１の接続端子部２１ａに接続され、この各個別電極２１の接続端子部２１ａが、圧電材料層１２ａ〜１２ｃを貫通するスルーホール２４（内部に導電性材料を充填）並びに圧電材料層１２ａの下面側及び圧電材料層１２ｃの上面側に形成した中間電極２５を介して、各個別電極２１Ｂの接続端子部２１Ｂａに電気的に接続されている（図２２（ｂ）参照）。なお、圧電材料層１２ａの上面側の個別電極２１は、圧電材料層１２ｃの下面側の個別電極２１Ｂよりもノズル列方向長さが長く形成されている。
【００８８】
また、圧電材料層１２ａの下面側には、圧力室１４Ａａに対応して第２の定電位電極２３がそれが一定ピッチでノズル列方向に形成され、それらの一端部がノズル列方向に延びている共通電極２３ａに接続されている。また、圧電材料層１２ｃの上面側及び圧電材料
層１２ｄの下面側には、圧力室１４Ａａに対応して第１の定電位電極２２Ｃがノズル列方向に延びるようにそれぞれ形成されている。
【００８９】
このように第１の定電位電極２２Ｃがノズル列方向Ｘに形成され、ノズル列方向の各圧力室１４Ａａで共有されるようにしているので、電極２１，２１Ｂ，２２Ｃ，２３の配置が簡便になり、コンパクト化を図る上で有利である。なお、分極方向と、電圧印加時に有効なＯＮ時有効な部分（第１の活性部）と、電圧非印加時に有効なＯＦＦ時有効な部分（第２の活性部）との関係を、図２２（ａ）（ｂ）に示す。
【００９０】
前述した実施例１，２，４〜７では、フレキシブル配線板１３との接続部が、圧力室から最も離れた圧電材料層１２ａ上に配置されるようになっているので、ハンダによる接続時における、そのハンダの流れ込みよる変形特性のバラツキが生じるおそれがあるので、次の実施例８のように圧電材料層１２ａとそれの内側に位置する圧電材料層１２ｂとの間に個別電極を配置するようにして、実施例３の場合と同様に、そのような不具合が回避することができる。
（実施例８）
この例では、圧電アクチュエータを構成する複数の圧電材料層のうち、圧力室から最も離れた圧電材料層（最離間層）の一方の面（最離間面）側に接続用の表面個別電極を、他方の面側に個別電極をそれぞれ形成している。
【００９１】
図２３に示すように、個別電極２１と表面個別電極２１ｂとは、圧電材料層１２ａを貫通するスルーホール２４（内部に導電性材料を充填）によって導通されている。そして、第１の定電位電極２２Ｄが、最も圧力室１４Ａａ寄りの圧電材料層１２ｃの圧力室１４Ａａ側の面に形成されている。一方、第２の定電位電極２３Ａは、複数の圧電材料層１２ａ〜１２ｃの、圧力室１４Ａａと最も離れて位置する圧電材料層１２ａの圧力室１４Ａａとは反対側の面である最離間面１２ａａ上に形成されている。
【００９２】
個別電極２１は、圧電材料層１２ａの圧力室１４Ａａ側の面上に形成されている。つまり各圧電材料層１２ａ〜１２ｃのいずれかの面であって最離間面１２ａａとは異なる面である圧電材料層１２ａ（最離間層）の圧力室１４Ａａ側の面上に形成されている。そして、最離間面１２ａａの圧力室１４Ａａの外周縁よりも外側の領域（桁部１４Ａｂに対応する領域）に、個別電極２１への入力端子となる表面個別電極２１ｂが形成されている。この表面個別電極２１ｂと、個別電極２１とが、圧電材料層１２ａを貫通するスルーホール（導電性材料２４）を通じて導通している。表面個別電極２１ｂは、隣接する圧力室１４Ａａとの間の領域（いわゆる桁部１４Ａｂに対応する領域）に形成されている。
【００９３】
これにより、圧力室１４Ａａの中央部分に対応して第１の活性部Ｓ１１，Ｓ１２が、それの外周側の部分に第２の活性部Ｓ２２’がそれぞれ形成される。よって、第２の活性部Ｓ２２’は、複数の圧電材料層１２ａ〜１２ｃのうちの最離間層（圧電材料層１２ａ）以外の層である、圧力室１４Ａａ側の圧電材料層１２ｂ，１２ｃに形成されていることになる。
【００９４】
また、各圧電材料層１２ａ〜１２ｃの面上に形成される電極２１，２２Ｄ，２３Ａは、平面視で見ると、図２４に示すように配置されている。即ち、圧電材料層１２ａ，１２ｃ（第１層、第３層）の上面側には、各圧力室１４Ａａに対応して第２の定電位電極２３Ａが一定ピッチでノズル列方向に形成され、隣り合う第２の定電位電極２３Ａは、ノズル列方向に半ピッチずれて形成されている。そして、圧電材料層１２ａの上面側の第２の定電位電極２３Ａのノズル列方向の間には、各個別電極２１に対応して表面個別電極２１ｂが形成され、それら表面個別電極２１ｂの、第２の定電位電極２３Ａの反対側の端部は、隣接する圧力室１４Ａａとの間の部位まで延び、フレキシブル配線板１３の接続端子に接続
される接続端子部２１Ｂａとして千鳥状に形成されている。
【００９５】
圧電材料層１２ａの下面側には、圧力室１４Ａａに対応して個別電極２１がそれが一定ピッチでノズル列方向に形成され、それらの接続端子部２１ａが、圧電材料層１２ａを貫通するスルーホール２４（内部に導電性材料を充填）を利用して表面個別電極２１ｂの接続端子部２１Ｂａにそれぞれ接続されている（図２５（ａ）参照）。
【００９６】
圧電材料層１２ｃの下面側には、隣り合う２列の圧電室１４Ａａに対して共通となる第１の定電位電極２２Ｄが、ノズル列方向に延びるように形成されている。
【００９７】
このように、フレキシブル配線板１３の接続端子が接続される接続端子部２１Ｂａが、駆動時に変形しない桁部１４Ａｂに対応する領域上に形成されているので、フレキシブル配線板１３の接続端子との接続時にハンダが流れ込んでも、各第１の活性部についての変形特性のバラツキが起こりにくくなる。
【００９８】
なお、分極方向と、電圧印加時に有効なＯＮ時有効な部分（第１の活性部）と、電圧非印加時に有効なＯＦＦ時有効な部分（第２の活性部）との関係を、図２５（ａ）（ｂ）に示す。そして、電圧の印加・非印加により、図２６（ａ）（ｂ）に示すように、クロストークの抑制効果が発揮されることがわかる。この実施例８の場合は、表２に示すように、隣接圧力室の断面積の変化の割合は１２％で、実施例１の場合と同様に従来例に比べて変化割合がほぼ半減し、クロストークの抑制効果が発揮されることがわかる。
【００９９】
そして、前述した実施例１〜７では、図２７（ａ）に示すように、第１の活性部への電圧の印加時（つまり個別電極に第２の電位を付与したとき）に吐出されるが、この実施例８及び後述する実施例１０の場合には、図２７（ｂ）に示すように、逆に、第１の活性部への電圧の印加が解除されたとき（つまり個別電極に第１の電位を付与したとき）に吐出されるようになっている。
【０１００】
また、実施例８と同様に表面個別電極を利用する場合であっても、次の実施例９のようにすることで、実施例１〜７と同様に、第１の活性部への電圧の印加時に吐出するようにすることも可能である（図２７（ａ）参照）。
（実施例９）
この例では、図２８に示すように、圧電アクチュエータを２層構造として、上側の圧電材料層１２ａの上面側に第２の定電位電極２３Ｃが、下面側に個別電極２１がそれぞれ形成されている。そして、下側の圧電材料層１２ｂの下面側に第１の定電位電極２２Ｃが形成されている。これにより、各圧力室１４Ａａの中央部分に対応する第１の活性部Ｓ１２が、それの外周側の部分に対応する第２の活性部Ｓ２１がそれぞれ形成される。
【０１０１】
このようにすれば、フレキシブル配線板１３（ＣＯＰ）との接合部となる個別表面電極２１ｃが、図２９に示すように、圧力室１４Ａａの間の桁部１４Ａｂに対応する領域に形成される。それに加えて、第２の定電位電極２３Ｃと個別電極２１との間に電圧が印加される時間が短いので、実施例８の場合とは異なり、マイグレーションによる短絡が回避される。
【０１０２】
また、各圧電材料層１２ａ，１２ｂの上下面における電極は、平面視で見ると、図２９に示すように配置されている。即ち、圧電材料層１２ａの上面側には、圧力室１４Ａａに対応して各第２の定電位電極２３Ｃが一定ピッチでノズル列方向に形成され、それらのノズル列方向に直交する方向の両側部分が共通電極２３Ｃａ，２３Ｃｂにて接続されている。そして、隣り合う第２の定電位電極２３Ｃ，２３Ｃは、ノズル列方向において半ピッチずれて形成され、隣り合う共通電極２３Ｃａ，２３Ｃｂの間であって第２の定電位電極２
３Ｃが形成されている側とは反対側において、フレキシブル配線板１３の接続端子に接続される表面個別電極２１ｃが形成されている。
【０１０３】
圧電材料層１２ａの下面側には、各圧力室１４Ａａに対応して個別電極２１が一定ピッチでノズル列方向に形成され、それらの一部が、圧電材料層１２ａの上面の表面個別電極２１ｃにスルーホール２４（内部に導電性材料を充填）を利用して電気的に接続するための接続端子部２１ａとなるように突出して形成されている。
【０１０４】
圧電材料層１２ｂの下面側には、圧力室１４Ａａに対応して第１の定電位電極２２Ｃがそれが一定ピッチでノズル列方向に形成され、それらの端部が、隣接する第１の定電位電極２２Ｃと接続部２２Ｃａを介して相互に接続されている。
【０１０５】
なお、分極方向と、電圧印加時に有効なＯＮ時有効な部分（第１の活性部）と、電圧非印加時に有効なＯＦＦ時有効な部分（第２の活性部）との関係を、図３０（ａ）（ｂ）に示す。そして、電圧の印加・非印加により、図３１（ａ）（ｂ）に示すように、クロストークの抑制効果が発揮されることがわかる。
【０１０６】
また、次の実施例１０のように構成することで、実施例９と同様にマイグレーションによる短絡を防止し、かつ実施例８と同様に、表面個別電極を利用して、第１の活性部への電圧の印加が解除されたときに吐出するようにできる（図２７（ｂ）参照）。
（実施例１０）
この例では、図３２に示すように、圧電材料層１２ａの上面側に第１の定電位電極２２Ｄが、下面側に個別電極２１がそれぞれ形成され、また、圧電材料層１２ｃの上面側に第２の定電位電極２３Ｄが、下面側に第１の定電位電極２２Ｅがそれぞれ形成されている。個別電極２１は、圧電材料層１２ａを貫通するスルーホール２４（内部に導電性材料を充填）を利用して表面個別電極２１ｃにそれぞれ接続されている（図３３（ｂ）参照）。これにより、圧力室１４Ａａの中央部分に対応して第２の活性部Ｓ２２が、それの外周側の部分に第１の活性部Ｓ１１，Ｓ１２’がそれぞれ形成される。
【０１０７】
この場合、分極方向と、電圧印加時に有効なＯＮ時有効な部分（第１の活性部）と、電圧非印加時に有効なＯＦＦ時有効な部分（第２の活性部）との関係は、図３３（ａ）（ｂ）に示すとおりである。そして、電圧の印加・非印加により、図３４（ａ）（ｂ）に示すように、クロストークの抑制効果が発揮されることがわかる。
【０１０８】
この場合も、実施例９の場合と同様に、接続時におけるハンダの流れ込みよる変形特性のバラツキが生じることが回避され、また、第１の定電位電極２２Ｄ，２２Ｅと個別電極２１との間に電位差が生じる時間が短く、マイグレーションによる短絡が回避される。
【０１０９】
さらに、次の実施例１１のように構成することで、表面個別電極あるいはスルーホールを利用することなく、積層数を少なくして、実施例８，１０と同様に、第１の活性部への電圧の印加が解除されたときに吐出するようにすることもできる（図２７（ｂ）参照）。（実施例１１）
この例では、図３５に示すように、圧電材料層１２ａの上面側に個別電極２１が、下面側に第２の定電位電極２３Ｅがそれぞれ形成され、圧電材料層１２ｂの下面側に第１の定電位電極２２Ｆが形成されている。これにより、圧力室１４Ａａの中央部分に対応して第１の活性部Ｓ２１が、それの外周側の部分に第２の活性部Ｓ１１’がそれぞれ形成される。なお、待機時に、個別電極２１にグランド電位が付与されるのは、実施例８や実施例１０と同様である。
【０１１０】
また、各圧電材料層１２ａ，１２ｂの上下面における電極は、平面視で見ると、図３６
に示すように配置されている。即ち、圧電材料層１２ａの上面側には、各圧力室１４Ａａに対応して個別電極２１が一定ピッチでノズル列方向に形成され、それらの間に、個別電極の一部が突出し、その突出部分が、フレキシブル配線板１３の接続端子に接続される接続端子部２１ａとなるように千鳥状に形成されている。
【０１１１】
圧電材料層１２ａの下面側には、各圧力室１４Ａａに対応して第２の定電圧電極２３Ｅが一定ピッチでノズル列方向に形成され、それらの一端部が、それらの間に位置する共通電極２３Ｅａに電気的に接続されている。また、圧電材料層１２ｂの下面側には、ノズル列方向の圧力室１４Ａａに共通の電極となるようにノズル列方向に延びる第１の定電位電極２２Ｅが形成されている。
【０１１２】
なお、分極方向と、電圧印加時に有効なＯＮ時有効な部分（第１の活性部）と、電圧非印加時に有効なＯＦＦ時有効な部分（第２の活性部）との関係は、図３７（ａ）（ｂ）に示すとおりである。そして、電圧の印加・非印加により、図３８（ａ）（ｂ）に示すように、クロストークの抑制効果が発揮されることがわかる。この実施例１１の場合は、表２に示すように、隣接圧力室の断面積の変化の割合は３％で、従来例に比べて変化割合が大幅に低減され、クロストークの抑制効果に優れていることがわかる。
【０１１３】
このようにすれば、スルーホールによる接合がなく、積層数が少ないので、安価に製造することができる。また、断面積変化が大きくなるが、クロストークの抑制効果には優れる。
【０１１４】
また、次の実施例１２，１３のように構成することで、圧力室列方向において隣接する圧力室間の列内クロストークを防止するだけでなく、隣の圧縮室列に属し前記圧縮室列方向に直交する方向において隣接する圧力室との間の列間クロストークも抑制することができる。
（実施例１２）
この例では、図３９に示すように、圧電アクチュエータ１２は、平面的に見たとき（すなわちキャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２との積層方向から見たとき）、圧力室１４Ａａの中央部分に対応する第１の活性部Ｓ３１（第１の部分）と、圧力室１４Ａａの中央部分に対し、前記所定方向即ち圧力室列方向Ｘにおける両側部分に対応して設けられる第２の活性部Ｓ３２（第２の部分）と、圧力室１４Ａａの中央部分に対し、圧力室列方向Ｘと直交（交差）する方向Ｙ（交差方向）における一側部分に対応して設けられる第３の活性部Ｓ３３（第３の部分）とを備える。ここで、圧力室１４Ａａの中央部分とは、圧力室１４Ａａが配列されている圧力室列方向Ｘ（ノズル穴１６ａが配列されているノズル列方向でもある）における中央部分である。
【０１１５】
第２の活性部Ｓ３２は、隣り合う圧力室１４Ａａを仕切る壁である桁部１４Ａｂに対応する領域だけでなく、圧力室１４Ａａの外周縁１４Ａａａよりも内側部分（中央部分側）に対応する領域も含んでいる。また、第３の活性部Ｓ３３は、圧力室１４Ａａの外周縁よりも外側の領域、すなわち隣の圧力室列に属し隣り合う圧力室１４Ａａとを仕切る壁である桁部１４Ａｃに対応する領域を含んでいる。
【０１１６】
第１の活性部Ｓ３１は、各圧力室１４Ａａ毎に設けられる個別電極２１と第２の定電位電極２３Ｆとの間に挟まれた圧電材料（圧電材料層１２ａ）を含んで構成される。第２の活性部Ｓ３２および第３の活性部Ｓ３３は、個別電極２１と第１の定電位電極２３Ｇとの間に挟まれた圧電材料（圧電材料層１２ａ，１２ｂ）を含んで構成される。
【０１１７】
そして、圧電アクチュエータ１２は、個別電極２１に駆動信号として、正の電位（第１の電位）とグランド電位（第２の電位）とが選択的に付与されることで圧力室１４Ａａの容積を変化させてノズル穴１６ａからインクを吐出させる。
【０１１８】
さらに詳述すると、個別電極２１は、図３９および図４０に示すように、圧力室列方向Ｘにおいて圧力室１４Ａａより長く、かつ圧力室列方向Ｘに直交する方向Ｙにおいては圧力室１４Ａａより短く、第１の活性部Ｓ３１に対応する領域、第２の活性部Ｓ３２に対応する領域および第３の活性部Ｓ３３に対応する領域とに跨ってこれらの領域をともに占めるように形成されている。第２の定電位電極２３Ｆは、圧力室列方向Ｘにおいて圧力室１４Ａａより短く、第１の活性部Ｓ３１に対応する領域を占めるように形成されている。圧力室１４Ａａ側に位置する第１の定電位電極２２Ｇは、圧力室１４Ａａより離れて位置する第２の定電位電極２３Ｆよりも圧力室列方向Ｘにおいて長く形成されている。つまり、各個別電極２１は、第１及び第２の定電位電極２２Ｇ，２３Ｆについて共有される。
【０１１９】
個別電極２１は、前記直交方向Ｙの一側において第２の定電位電極２３Ｆより長く形成されている部分を有し、第１の定電位電極２２Ｇは、個別電極２１が第２の定電位電極２３Ｆより長く形成されている部分において、前記直交方向Ｙにおいて個別電極２１と同等若しくはそれ以上の長さに形成されている部分を有する。
【０１２０】
第１の定電位電極２２Ｇは、第２の活性部Ｓ３２に対応する領域まで延び、圧力室列方向Ｘにおいて隣り合う圧力室１４Ａａ間の桁部１４Ａｂに対応する領域を占めるように形成されている。つまり、第１の定電位電極２２Ｇは、桁部１４Ａｂに対応する領域を含めて圧力室列方向Ｘの側部に対応する領域まで延び、圧力室列方向Ｘにおいて隣り合う２つの圧力室１４Ａａ，１４Ａａについて共有される。また、第１の定電位電極２２Ｇは、第３の活性部Ｓ３３に対応する領域に延び、圧力室列方向Ｘに直交する方向Ｙにおいて隣り合う圧力室１４Ａａ間の桁部１４Ａｃに対応する領域も占めるように形成されている。つまり、第１の定電位電極２２Ｇは、桁部１４Ａｃに対応する領域を含めて前記直交方向Ｙの側部に対応する領域まで延び、前記直交方向Ｙにおいて隣り合う２つの圧力室１４Ａａ，１４Ａａについても共有される。
【０１２１】
具体的には、圧力室１４Ａａから離れた上側の圧電材料層１２ａの上面側に個別電極２１を形成し、下面側に第２の定電位電極２３Ｆを形成することで、第１の活性部Ｓ３１が形成される。また、圧力室１４Ａａ側の圧電材料層１２ｂの下面側に第１の定電位電極２２Ｇを形成することで、第２および第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３が形成される。
【０１２２】
また、各圧電材料層１２ａ，１２ｂの電極２１，２３Ｆ，２２Ｇは、平面的に見ると、各層において、図４０に示すように配置されている。即ち、圧電材料層１２ａの上面側（第１層）には、各圧力室１４Ａａに対応して個別電極２１が圧力室列方向Ｘにおいて一定ピッチで形成されている。そして、圧力室列方向Ｘに直交する方向Ｙにおいて隣り合う個別電極２１は、圧力室列方向Ｘにおいて半ピッチずれて形成され、それらの列の間において、各個別電極２１の、フレキシブル配線板１３の接続端子（図示せず）に接続される接続端子部２１ａが千鳥状に形成されている。
【０１２３】
圧電材料層１２ａの下面側（第２層）には、各圧力室１４Ａａに対応して第２の定電位電極２３Ｆが圧力室列方向Ｘにおいて一定ピッチで形成され、隣り合う第２の定電位電極２３Ｆは、圧力室列方向Ｘにおいて半ピッチずれて形成され、それらの一端部が、圧力室列方向Ｘに延在する接続電極２３Ｆａに接続されている。また、第１の定電位電極２２Ｇは、接続端子部２１ａが反対側に位置する２列の個別電極２１，２１について共有するように形成されている。
【０１２４】
なお、図４１〜図４３に示すように、第１の活性部Ｓ３１は、個別電極２１にグランド電位が付与され第２の定電位電極２３Ｆに正の電位が付与されて変形するときに印加される電圧の方向と同じ方向（分極方向）に分極されている。一方、第２および第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３は、個別電極２１に正の電位が付与され第１の定電位電極２２Ｇにグランド電位が付与されて変形するときに印加される電圧の方向と同じ方向に分極されている。つまり、インク吐出動作時に、電圧が印加される方向と分極方向が同じである。
【０１２５】
第２の定電位電極２３Ｆは、常時正の電位とされ、第１の定電位電極２２Ｇは、常時グランド電位とされる。そして、個別電極２１には、正の電位とグランド電位とが、圧力室１４Ａａの容積を変化させるために選択的に付与される。つまり、分極時と駆動時とは電圧の印加方向は同一であるが、第２の定電位電極２３Ｆは常時正の電位とされ、第１の定電位電極２２Ｇには常時グランド電位とされ、個別電極２１には前記正の電位が付与されたり、その付与が解除されてグランド電位とされたりする。よって、個別電極２１がグランド電位とされるときには、第１の活性部Ｓ３１に電圧が印加されるが、第２および第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３には電圧が印加されず、一方、個別電極２１に正の電位が付与されるときには、第１の活性部Ｓ３１に電圧が印加されず、第２および第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３に電圧が印加されることになる。ここで、駆動時において電極間に印加される電圧は、分極時に印加される電圧よりも小さく、電極間に繰り返し電圧を印加することによる劣化を抑制するようになっている。
【０１２６】
このように電極２１，２３Ｆ，２２Ｇを配置することで、インクを吐出させる場合には，まず、前記電圧印加手段により、個別電極２１にグランド電位を付与する。これにより、第１の活性部Ｓ３１は、分極方向と同じ方向に電圧が印加され、圧電横効果により、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚ（第１の方向）において伸張し、その積層方向Ｚと直交する方向Ｘ，Ｙ（第２の方向）において収縮して、圧力室１４Ａａ内の方向へ突出変形する待機状態となる。
【０１２７】
続いて、個別電極２１に正の電位（例えば２０Ｖ）を付与すると、第１の活性部Ｓ３１は、積層方向Ｚ、それに直交する方向Ｘ，において伸縮しない、変形しない状態となる。このとき、第２および第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３は、電圧印加状態となり、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚ（第１の方向）に伸張し、その積層方向Ｚと直交する二方向Ｘ，Ｙ（第２の方向）に収縮しようとするので、拘束プレートとしてのトッププレート１５の働きによって、圧力室列方向Ｘの両側部に位置する第２の活性部Ｓ３２，Ｓ３２や圧力室列方向Ｘに直交する方向Ｙの一側部に位置する第３の活性部Ｓ３３が、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形する。この第２および第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３の変形が、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくするのに寄与し、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａにインクを多く吸い込むのに貢献する。
【０１２８】
それから、再び、個別電極２１にグランド電位を付与すると、第１の活性部Ｓ３１は、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚにおいて伸張し、その積層方向Ｚと直交する方向Ｘ，Ｙにおいて収縮して、圧力室１４Ａａ内の方向へ突出変形する。このため、圧力室１４Ａａの容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル穴１６ａからインクが吐出される。
【０１２９】
この個別電極２１にグランド電位を付与し第１の活性部Ｓ３１が駆動して、インクが吐出される際には、個別電極２１および第１の定電位電極２２Ｇがともにグランド電位で、第２および第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３は電圧の非印加状態となる。よって、第２および第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３は、いずれの方向Ｚ，Ｘ，Ｙにおいても伸縮しない、変形しない状態に戻ることになる。よって、第１の活性部Ｓ３１が、圧力室１４Ａａの方向（積層方向Ｚ）へ突出変形する際には、第２および第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３は、変形しない状態に戻る（これは、積層方向Ｚに収縮し積層方向Ｚと直交する二方向Ｘ，Ｙに伸張することと等価である）ので、第１の活性部Ｓ３１の変形の影響が第２および第３の活性部Ｓ３２の変形によって打ち消されるようにして抑制され（図４の部分Ｐ１，Ｐ２参照）、圧力室列方向Ｘやそれに直交する方向Ｙにおいて隣となる圧力室１４Ａａにはほとんど及ばず、クロストークが抑制される。つまり、第１の活性部Ｓ３１に対する電圧の印加・非印加との切替えによる第１の活性部Ｓ３１（第１の部分）の変形が、圧力室１４Ａａの圧力室列方向Ｘにおける両側およびその方向Ｘに直交する方向Ｙの一側において隣接する圧力室１４Ａａに伝播するのを抑制するように、第２および第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３（第２および第３の部分）に対する電圧の印加と非印加が切り替えられる。
【０１３０】
その後、個別電極２１を、第２の定電位電極２３Ｆと同じ電位（正の電位）に戻すと、前述したように、第１の活性部Ｓ３１は変形しない状態となり、第２および第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３は、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形するので、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａ内にインクを吸い込むことになる。
【０１３１】
このような第１〜第３の活性部Ｓ３１〜Ｓ３３の変形により、インクの吐出動作が繰り返され、各吐出動作において、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくして吐出効率を高めると共に、三方向についてのクロストークが抑制される。
【０１３２】
前記実施の形態では、圧力室列方向Ｘに直交する方向Ｙの他側においては隣接する圧力室１４Ａａに伝播するのを抑制することができないので（図３９の部分Ｐ３参照）、個別電極２１は、前記直交方向Ｙの一側だけでなく、両側において第２の定電位電極２３Ｆより長く形成されている部分を有するようにして、前記直交する方向Ｙのいずれの側においても隣接する圧力室１４Ａａに伝播するのを抑制することができるようにすることも可能である。
【０１３３】
この場合は、例えば図４４〜図４７に示すように、圧電アクチュエータ１２’は、第１〜第３の活性部Ｓ３１〜Ｓ３３に加えて、圧力室１４Ａａの中央部分に対して、前記直交方向Ｙにおける他側部分に対応する第４の活性部Ｓ３４をさらに備える。各第２の定電位電極２３Ｆを接続する接続電極２３Ｆａを、前述した実施の形態よりも、前記方向Ｙにおいて圧力室１４Ａａの中央部分寄りに形成することで、個別電極２１が、前記方向Ｙの一側だけでなく他側においても、第２の定電位電極２３Ｆより長く形成されている部分を有する（図４４の部分Ｐ１２，Ｐ１３）。この第４の活性部Ｓ３４（図４４の部分Ｐ１３に対応）は、第２および第３の活性部と同様に、個別電極２１と第１の定電位電極２２Ｇとの間に挟まれた圧電材料（圧電材料層１２ａ，１２ｂ）を含んで構成される。また、第１の定電位電極２２Ｇは、全面に形成される。
【０１３４】
そして、第１の活性部Ｓ３１に電圧を印加するときは第４の活性部Ｓ３４に電圧を印加しない一方、第１の活性部Ｓ３１に電圧を印加しないときは第４の活性部Ｓ３４に電圧を印加するように構成され、前記電圧印加手段により電圧を印加された場合に、第２および第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３と同様に、積層方向Ｚにおいて伸張するとともにそれに直交する方向Ｘ，Ｙにおいて収縮する変形状態となるようになっている。
【０１３５】
よって、第４の活性部Ｓ３４によって、第２及び第３の活性部Ｓ３２，Ｓ３３と同様に、第１の活性部Ｓ３１の変形の影響が、隣接する圧力室１４Ａａに伝播する列間クロストークが抑制される。なお、第４の活性部Ｓ３４が占める領域は、平面的に見て、第３の活性部Ｓ３３が占める領域よりも小さいので、第３の活性部Ｓ３３よりも若干劣るものの、第４の活性部Ｓ３４によっても列間クロストークの抑制効果は発揮される。
【０１３６】
また、その場合、圧力室列方向Ｘにおいて、第２の定電位電極２３Ｆを圧力室列方向Ｘにおいて隣の第２の定電位電極２３Ｆに接続するための接続電極が同一側に２つ配置しているが、図４８〜図５１に示すように、その一方の接続電極２３Ｆａａを前記方向Ｙの一側に、その他方の接続電極２３Ｆａｂを前記方向Ｙの他側にそれぞれ配置することも可能である。このようにすれば、圧力室１４Ａａの変形の影響をキャンセルする活性部（図４７の部分Ｐ２１〜Ｐ２４に対応）を、平面的に見て、圧力室１４Ａａの周囲にバランスよく形成することができ、クロストークを抑制する部分をより効果的に形成することができる。なお、接続電極２３Ｆａａ，２３Ｆａｂが設けられている部分Ｐ２５，Ｐ２６は、抑制効果を発揮できない。また、この実施の形態の場合も、第４の活性部Ｓ３４による列間クロストークの抑制効果は、第３の活性部Ｓ３３よりも若干劣るものの、第４の活性部Ｓ３４によっても列間クロストークの抑制効果は発揮される。
【０１３７】
この実施例１２では、前記圧力室の中央部分に対し、前記所定方向と直交する方向における一側に対応して第３の活性部を設けているが、例えば図５２に示すように、圧力室１４Ａａ’が圧力室列方向Ｘ（所定の方向）に直交する方向に対し傾斜して設けられているような場合には、その傾斜方向に対応する交差方向Ｖにおける一側に第３の活性部を設けたり、両側に第３及び第４の活性部を設けることもできる。
（実施例１３）
この例では、図５３〜図５５に示すように、少なくとも２層の圧電材料層１２ａ，１２ｂが上下に積層された積層体を有し、平面的に見て、各圧力室１４Ａａに対応して設けられる複数の個別電極２１と、各個別電極２１との間に圧電材料層１２ａ，１２ｂを挟む第１の共通定電位電極２２Ｈと、複数の開口２３Ｇａを有し各個別電極２１との間に圧電材料層１２ａを挟む第２の共通定電位電極２３Ｇとを備える。そして、前記積層体を構成する２層の圧電材料層１２ａ，１２ｂの間に第２の共通定電位電極２３Ｇが形成され、前記積層体（圧電材料層１２ａ，１２ｂ）の一方の面つまり、上側の圧電材料層１２ａの上面側に個別電極２１が、他方の面つまり下側の圧電材料層１２ｂの下面側に第１の共通定電位電極２２Ｈがそれぞれ形成されている。
【０１３８】
また、各個別電極２１と第１の共通定電位電極２２Ｈとに挟まれる圧電材料（圧電材料層１２ａ，１２ｂ）のうち各個別電極２１の中央部分に対応する部分により複数の第１の活性部Ｓ４１が形成され、各個別電極２１と第２の共通定電位電極２３Ｇとに挟まれる圧電材料（圧電材料層１２ａ）によって第２の活性部Ｓ４２が形成される。
【０１３９】
そして、圧電アクチュエータ１２は、図５５（ｃ）に示すように、圧力室１４Ａａを平面視したとき（キャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２との積層方向から見たとき）、圧力室１４Ａａに対応して設けられる第１の活性部Ｓ４１（第１の部分）と、圧力室１４Ａａの中央部分よりも外周側に対応する第２の活性部Ｓ４２（第２の部分）とを備えることになる。ここで、圧力室１４Ａａの中央部分とは、圧力室１４Ａａが配列されている圧力室列方向Ｘにおいてもそれに直交する方向Ｙにおいてもほぼ中央に位置する部分である。つまり、第１の活性部Ｓ４１の周囲に第２の活性部Ｓ４２が形成されている。また、第２の活性部Ｓ４２は、圧力室列方向Ｘにおいてもそれに直交する方向Ｙにおいても、圧力室１４Ａａの外周縁１４Ａａａよりも内側部分（中央部分側）に対応する領域だけでなく、隣り合う圧力室１４Ａａを仕切る壁である桁部１４Ａｂ，１４Ａｃに対応する領域を含む構成とされる。
【０１４０】
また、個別電極２１は、平面的に見て、圧力室１４Ａａに対応する領域外に配置された前記電圧印加手段により電圧を印加するための接続端子部２１ａを有する。第２の共通定電位電極２３Ｇは、平面的に見て、個別電極２１の接続端子部２１ａと重複する部分も有するので、前記重複する部分と接続端子部２１ａとによって挟まれた圧電材料層１２ａによっても第２の活性部Ｓ４２の一部が構成されるようになっている。なお、隣り合う圧力室列においては、個別電極２１は、圧力室列方向Ｘにおいて半ピッチずつずれて形成され、それらの列の間において、各個別電極２１の、フレキシブル配線板１３の接続端子（図示せず）に接続される接続端子部２１ａが千鳥状に形成されている。
【０１４１】
第２の共通定電位電極２３Ｇの開口２３Ｇａは、平面的に見て、圧力室１４Ａａより小さく１４Ａａ圧力室の形状に倣った形状であり、この開口２３Ｇａも、隣り合う圧力室列においては、圧力室列方向Ｘにおいて半ピッチずつずれて形成されている。
【０１４２】
また、各個別電極２１には、フレキシブル配線板１３（信号線）を通じて、駆動信号を供給するドライバＩＣ９０が電気的に接続される。このドライバＩＣ９０及びフレキシブル配線板１３によって、圧電アクチュエータ１２の第１及び第２の活性部Ｓ４１，Ｓ４２に駆動電圧を印加する電圧印加手段が構成される。
【０１４３】
具体的には、圧力室１４Ａａの容積を変化させるために、個別電極２１には、フレキシブル配線板１３を通じて、グランド電位（第１の電位）及びそれと異なる正の電位（第２の電位：例えば２０Ｖ）が選択的に付与される。また、第１の共通定電位電極２２Ｈは、グランド電位が常時付与され、第２の共通定電位電極２３Ｇは、正の電位が常時付与される。
【０１４４】
このように、圧電アクチュエータ１２は、各圧力室１４Ａａに対応する個別電極２１を有し、この個別電極２１に駆動信号として、グランド電位と正の電位とが選択的に付与されることで圧力室１４Ａａの容積を変化させてノズル穴１６ａからインクを吐出させる構成とされる。
【０１４５】
さらに詳述すると、個別電極２１は、平面的に見て、圧力室列方向Ｘにおいてもそれに直交する方向Ｙにおいても圧力室１４Ａａより長く、第１の活性部Ｓ４１に対応する領域と第２の活性部Ｓ４２に対応する領域とに跨ってこれらの領域をともに占めるように形成される。そして、第１の共通定電位電極２２Ｈは、第１の活性部Ｓ４１に対応する領域を占めるように形成される。そして、第２の共通定電位電極２３Ｇは、平面的に見て、第２の活性部Ｓ４２に対応する領域及び、圧力室列方向Ｘやそれに直交する方向Ｙにおいて隣り合う圧力室１４Ａａ間の桁部１４Ａｂ，１４Ａｃ対応する領域を占めるように形成されている。つまり、第２の共通定電位電極２３Ｇは、桁部１４Ａｂに対応する領域を含めて圧力室１４Ａａの圧力室列方向側部に対応する領域まで延び、圧力室１４Ａａの圧力室列方向Ｘにおいて隣り合う２つの圧力室１４Ａａ，１４Ａａについて共有される。
【０１４６】
なお、図５５（ａ）（ｂ）に示すように、第１の活性部Ｓ４１は、個別電極２１に正の電位が付与され第１の共通定電位電極２２Ｈにグランド電位が付与されて変形するときに印加される電圧の方向と同じ方向（分極方向）に分極されている。一方、第２の活性部Ｓ４２は、個別電極２１にグランド電位が付与され第２の共通定電位電極２３Ｇに正の電位が付与されて変形するときに印加される電圧の方向と同じ方向に分極されている。つまり、電圧が印加される方向と分極方向が同じである。ここで、図５５（ａ）〜（ｃ）において、「ＯＮ時有効」な部分は、個別電極２１に正の電位を付与した場合に電圧（２０Ｖ）が印加される部分である第１の活性部に、「ＯＦＦ時有効」の部分は、個別電極２１にグランド電位を付与した場合に電圧（２０Ｖ）が印加される部分である第２の活性部にそれぞれ対応している。
【０１４７】
第１の共通定電位電極２２Ｈは、常時グランド電位とされ、第２の共通定電位電極２３Ｇは、常時正の電位とされる。そして、個別電極２１には、グランド電位と正の電位とが、圧力室１４Ａａの容積を変化させるために選択的に付与される。分極時と駆動時とは電圧の印加方向は同一であるが、第１の共通定電位電極２２Ｈは常時グランド電位（０Ｖ）とされ、第２の共通定電位電極２３Ｇには常時正の電位（２０Ｖ：一定）とされ、個別電極２１には正の電位（２０Ｖ：一定）が付与されたり、その付与が解除されたりする（図５６参照）。よって、個別電極２１に正の電位が付与されるときには、第１の活性部Ｓ４１に電圧が印加されるが、第２の活性部Ｓ４２には電圧が印加されず、一方、個別電極２１に正の電位が付与されず個別電極２１がグランド電位とされるときには、第１の活性部Ｓ４１に電圧が印加されず、第２の活性部Ｓ４２に電圧が印加されることになる。ここで、駆動時において電極間に印加される電圧は、分極時に印加される電圧よりも小さく、電極間に繰り返し電圧を印加することによる劣化を抑制するようになっている。
【０１４８】
このように電極２１，２２Ｈ，２３Ｇを配置することで、待機状態においては、前記電圧印加手段により、個別電極２１がグランド電位とされることで、第１の活性部Ｓ４１１は、分極方向と同じ方向に電圧が印加され、圧電横効果により、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚに伸張し、その積層方向Ｚと直交する方向Ｘ，Ｙに収縮して、圧力室１４Ａａ内の方向へ突出変形しようとする。一方、トッププレート１５は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、上側に位置する圧電材料層１２ｂと下側に位置するトッププレート１５との間で分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じる。このことと、トッププレート１５がキャビティプレート１４Ａに固定されていることとが相俟って、図５７（ｂ）に示すように、圧電材料層１２ｂ及びトッププレート１５は圧力室１４Ａａ側に凸となるように変形した状態になる（ユニモルフ変形）。
【０１４９】
インク吐出時においては、まず、前記電圧印加手段により、個別電極２１に正の電位が付与され、第１の活性部Ｓ４１は、圧力室列方向及びそれに直交する方向Ｘ，Ｙにおいて伸縮しない、変形しない状態となる。このとき、第２の活性部Ｓ４２は、電圧印加状態となり、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚ（第１の方向）に伸張し、その積層方向Ｚと直交する方向Ｘ，Ｙ（第２の方向）に収縮しようとするので、拘束プレートとしてのトッププレート１５の働きによって、圧力室列方向側部に位置する第２の活性部Ｓ４２が、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形する。この第２の活性部Ｓ４２の変形が、図５７（ａ）に示すように、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくするのに寄与し、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａにインクを多く吸い込むのに貢献する。
【０１５０】
それから、個別電極２１が再びグランド電位とされ、第１の活性部Ｓ４１には分極方向と同じ方向に電圧が印加されることで、前述した場合と同様に、圧力室１４Ａａ内の方向へ突出変形する状態となる。このため、圧力室１４Ａａの容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル穴１６ａからインクが吐出される。
【０１５１】
この第１の活性部Ｓ４１への電圧の印加時には、第２の活性部Ｓ４２は、電圧の非印加状態となるので、積層方向Ｚ及びそれの直交する方向Ｘ，Ｙにおいて伸縮しない、変形しない状態に戻ることになる。よって、第１の活性部Ｓ４１が、圧力室１４Ａａの方向（積層方向Ｚ）へ突出変形する際には、第２の活性部Ｓ４２は、変形しない状態に戻る（これは、積層方向Ｚに収縮し積層方向Ｚと直交する二方向Ｘ，Ｙに伸張することと等価である）ので、図５７（ａ）に示すように、第１の活性部Ｓ４１の変形の影響が第２の活性部Ｓ４２の変形によって打ち消されるようにしてキャンセルされ、周囲に位置する隣の圧力室１４Ａａ（つまり圧力室列方向Ｘにおいて隣接する圧力室１４Ａａや圧力室列方向Ｘに直交する方向において隣接する圧力室１４Ａａ）にはほとんど及ばず、クロストークが抑制される。つまり、第１の活性部Ｓ４１に対する電圧の印加と非印加との切替えによる第１の活性部Ｓ４１の変形が、隣接する圧力室１４Ａａに伝播するのを抑制するように、第２の活性部Ｓ４２に対する電圧の印加と非印加が切り替えられる。
【０１５２】
その後、再度インクを吐出する場合には、個別電極２１が、第１の共通定電位電極２２Ｈと同じ電位（グランド電位）に戻され、前述したように、第１の活性部Ｓ４１は変形しない状態となり、第２の活性部Ｓ４２は、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形し、圧力室１４Ａａの容積が元の容積に戻るので、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａ内にインクを吸い込むことになる。
【０１５３】
このように、第１の活性部Ｓ４１及び第２の活性部Ｓ４２の変形が繰り返され、各吐出動作において、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくして吐出効率を高めると共に、クロストークが抑制される。
【０１５４】
前記実施例では、各圧電材料層１２ａ，１２ｂとトッププレート１５（拘束プレート）の厚さが一緒であるので、トッププレート１５も含めて圧電アクチュエータ１２が変形する際に、変形が生じない中立面が下側の圧電材料層１２ｂの厚さ方向中間部位に位置するようになる。そのため、圧電アクチュエータ１２の変形を、圧力室１４Ａａを変形させて、インクを吐出させるのに有効に活用することができない。
【０１５５】
そこで、キャビティユニット１１の上側にトッププレート１５を介して圧電アクチュエータ１２が積層されてなるので、図５８及び図５９（ａ）（ｂ）に示すように、トップフレート（拘束プレート）の厚さと、圧電アクチュエータ１２’（圧電材料層１２ａ’，１２ｂ’）の厚さとを同じにすれば、圧電アクチュエータ１２’（下側の圧電材料層１２ｂ’）の下面が、第１及び第２の活性部Ｓ４１，Ｓ４２が変形する際に、変形しない中立面（面内に伸縮しない中立面）となり、圧電アクチュエータ１２’（第１及び第２の活性部Ｓ４１，Ｓ４２）の変形を有効に活用することができる。
【０１５６】
また、前述した実施の形態のように、上側の圧電材料層の上面側に個別電極を、下面側に第２の共通定電位電極を設ける必要はなく、図６０及び図６１、図６２（ａ）〜（ｃ）に示すように、上側の圧電材料層１２ａ’の上面側に第２の共通定電位電極２３Ｇが、下面側に個別電極２１がそれぞれ形成される構造とすることも可能である。この場合には、個別電極２１への配線のために、各個別電極２１に接続端子部２１ａに対し、導電性材料が充填されたスルーホール２４が形成され、個別電極２１の接続端子部２１ａを上側の圧電材料層１２ａ’の上面側に導き出すことが必要である。また、第１の共通定電位電極２２Ｈは、個別電極２１の中央部分に対応して形成され、それらが圧力室列方向Ｘに延びる接続電極部２２Ｈａに接続され、接続電極部２２Ｈａがそれら第１の共通定電位電極２２Ｈの共通電極となっている。
【０１５７】
この実施例では、平面的に見て、圧力室１４Ａａを長円形状、個別電極２１を矩形状としているが、本発明においては、圧力室や、それに対応する形状を有する個別電極の形状はそれらに制限されるものではなく、図６３（ａ）（ｂ）に示すように形成することも可能である。図６３（ａ）に示す場合は、平面的に見て、圧力室１４Ａａ’も個別電極も共に楕円形状とした場合であり，図６３（ｂ）に示す場合は、圧力室１４Ａａ’は楕円形状であるが、個別電極を圧力室長手方向に長い八角形状としたものであり、第１の活性部Ｓ４１と第２の活性部Ｓ４２との関係を示している。
【０１５８】
前述した実施例では、第２の定電位電極には、正の電位が付与されるので、次の実施例１４に示すように、第２の定電位電極を構成することで、それのインピーダンスを低減して、電圧降下を抑制し、いずれの圧力室１４Ａａに連通するノズルについても、等しい吐出性能が得られるようにすることができる。
（実施例１４）
この例の場合には、図６４〜図６７に示すように、平面的に見たとき（すなわちキャビティユニット１１と圧電アクチュエータ１２との積層方向から見たとき）、各圧力室１４Ａａに対応する複数の個別電極２１と、各圧力室１４Ａａの外周側部分に対応して形成され各個別電極２１との間に圧電材料層１２ａ，１２ｂを挟む第１の共通定電位電極２２Ｋと、各個別電極２１の中央部分に対応して形成され各個別電極２１との間に圧電材料層１２ａを挟む第２の共通定電位電極２３Ｋとを備える。つまり、前記積層体を構成する圧電材料層１２ａ，１２ｂの間に第２の共通定電位電極２３Ｋが形成され、積層体（圧電材料層１２ａ，１２ｂ）の上面（一方の面）に個別電極２１が第２の共通定電位電極２３Ｋとともに圧電材料層１２ａを挟むように形成され、下面（他方の面）に第１の共通定電位電極２２Ｋが第２の共通定電位電極２３Ｋとともに圧電材料層１２ｂを挟むようにそれぞれ形成されている。ここで、個別電極２１の中央部分とは、圧力室１４Ａａが配列されている圧力室列方向Ｘ（ノズル穴１６ａが配列されているノズル列方向でもある）における中央部分である。
【０１５９】
個別電極２１は、圧力室１４Ａａの外部に配置された接続端子部２１ａを有し、この接続端子部２１ａに前記電圧印加手段により電圧を印加するようになっている。
【０１６０】
第２の共通定電位電極２３Ｋは、隣接する圧力室列の間において圧力室列方向に延在する第１の部分２３Ｋａを複数有し、隣り合う２つの第１の部分２３Ｋａの間にはこれらを連結すべく各圧力室１４Ａａに対応して設けられた第２の部分２３Ｋｂを複数有し、これら第２の部分２３Ｋｂは圧力室列方向と直交（交差）する方向に延在するようになっている。これにより、第２の共通定電位電極２３Ｋは網状に形成されている。インピーダンスの低減が図られている。よって、インピーダンスの低減により電圧降下が抑制され、いずれの圧力室１４Ａａに連通するノズルについても、等しい吐出性能が得られる。
【０１６１】
また、第１の共通定電位電極２２Ｋは、圧力室列を構成する複数の圧力室１４Ａａに重複するように、圧力室列方向に延在する第３の部分２２Ｋａを複数有するとともに、これら複数の第３の部分２２Ｋａの端部を連結する第４の部分２２Ｋｂを有する。なお、第３の部分２２Ｋａは、第２の共通定電位電極２３Ｋの第１の部分２３Ｋａと重複しないように設けられている。
【０１６２】
そして、各個別電極２１と第２の共通定電位電極２３Ｋ（第２の部分２３Ｋｂ）とに挟まれた圧電材料層により形成される複数の第１の活性部Ｓ５１と、各個別電極２１と第１の共通定電位電極２２Ｋ（第３の部分２２Ｋａ）とに挟まれた圧電材料層によって形成される第２の活性部Ｓ５２とを備える。ここで、第１の活性部Ｓ５１の形成に関与する第２の共通定電位電極２３Ｋを網状に形成し、インピーダンスの低減を図っているので、第２の共通定電位電極２３Ｋにおいて電圧降下が抑制され、いずれの圧力室１４Ａａに連通するノズルについても、等しい吐出性能が得られる。
【０１６３】
各個別電極２１には、フレキシブル配線板１３（信号線）を通じて、駆動信号を供給するドライバＩＣ９０が電気的に接続される。このドライバＩＣ９０及びフレキシブル配線板１３によって、圧電アクチュエータ１２の第１及び第２の活性部Ｓ５１，Ｓ５２に電圧を印加する電圧印加手段が構成される。
【０１６４】
そして、圧電アクチュエータ１２は、個別電極２１に駆動信号として、正の電位（第１の電位）とグランド電位（第２の電位）とが選択的に付与されることで圧力室１４Ａａの容積を変化させてノズル穴１６ａからインクを吐出させる。
【０１６５】
さらに詳述すると、個別電極２１は、図６５および図６６に示すように、平面的に見て矩形状で、圧力室列方向Ｘにおいて圧力室１４Ａａより長く、かつ圧力室列方向Ｘに直交する方向Ｙにおいては圧力室１４Ａａより短く、第１の活性部Ｓ５１に対応する領域および第２の活性部Ｓ５２に対応する領域に跨ってこれらの領域をともに占めるように形成されている。そして、第２の共通定電位電極２３Ｋは、圧力室列方向Ｘにおいて圧力室１４Ａａより短く、第１の活性部Ｓ５１に対応する領域を占めるように形成されている。そして、圧力室１４Ａａ側に位置する第１の共通定電位電極２２Ｋは、第２の共通定電位電極２３Ｋよりも圧力室列方向Ｘにおいて長く形成されている。つまり、各個別電極２１は、第１及び第２の共通定電位電極２２Ｋ，２３Ｋについて共有される。
【０１６６】
第１の共通定電位電極２２Ｋは、第２の活性部Ｓ５２に対応する領域及び、圧力室列方向Ｘにおいて隣り合う圧力室１４Ａａ間の桁部１４Ａｂに対応する領域を占めるように形成されている。つまり、第１の共通定電位電極２２Ｋは、桁部１４Ａｂに対応する領域を含めて圧力室列方向Ｘの側部に対応する領域まで延び、圧力室列方向Ｘにおいて隣り合う圧力室１４Ａａについて共有される。
【０１６７】
具体的には、上側の圧電材料層１２ａの上面側に個別電極２１を形成し、下面側に第２の共通定電位電極２３Ｋを形成することで、第１の活性部Ｓ５１が形成される。また、下側の圧電材料層１２ｂの下面側に第１の共通定電位電極２２Ｋを形成することで、第２の活性部Ｓ５２が形成される。
【０１６８】
また、各圧電材料層１２ａ，１２ｂの電極２１，２２Ｋ，２３Ｋは、平面的に見ると、各層において、図６６に示すように配置されている。即ち、圧電材料層１２ａの上面側（第１層）には、各圧力室１４Ａａに対応して個別電極２１が圧力室列方向Ｘにおいて一定ピッチで形成されている。そして、隣り合う個別電極２１は、圧力室列方向Ｘにおいて半ピッチずれて形成され、それらの列の間において、各個別電極２１の、フレキシブル配線板１３の接続端子（図示せず）に接続される接続端子部２１ａが千鳥状に形成されている。
【０１６９】
圧電材料層１２ａの下面側（第２層）には、各圧力室１４Ａａに対応して第２の共通定電位電極２３Ｋの第２の部分２３Ｋｂが配置されるように形成され、各第２の部分２３Ｋｂに両端部が隣接する圧力室列の間において圧力室列方向に延在する第１の部分２３Ｋａにそれぞれ連結されている。また、第１の共通定電位電極２２Ｋの第３の部分２２Ｋａは、隣り合う２つの第１の部分２３Ｋａの間において、圧力室列方向に延在しているので、第２の共通定電位電極２３Ｋの第１の部分２３Ｋａと重複しないようになっている。
【０１７０】
また、図６７に示すように、第１及び第２の共通定電位電極２２Ｋ，２３Ｋへの配線の接続のために、圧電材料層１２ａの上面側のアクチュエータの端部中央には第１の共通定電位電極２２Ｋに接続され導電性材料が充填されたスルーホールを通じて導通された接続端子２６Ａが形成され、前記端部両側には第２の共通定電位電極２３Ｋに接続され導電性材料が充填されたスルーホールを通じて導通された接続端子２６Ｂが形成されている。
【０１７１】
なお、図６４に示すように、第１の活性部Ｓ５１は、個別電極２１に第２の電位（グランド電位）が付与され第２の共通定電位電極２３Ｋに第１の電位（正の電位）が付与されて変形するときに印加される電圧の方向と同じ方向（分極方向）に分極されている。一方、第２の活性部Ｓ５２は、個別電極２１に第１の電位が付与され第１の共通定電位電極２２Ｋに第２の電位が付与されて変形するときに印加される電圧の方向と同じ方向に分極されている。つまり、インク吐出動作時に、電圧が印加される方向と分極方向が同じである。
【０１７２】
第２の共通定電位電極２３Ｋは、常時正の電位とされ、第１の共通定電位電極２２Ｋは、常時グランド電位とされる。そして、個別電極２１には、正の電位とグランド電位とが、圧力室１４Ａａの容積を変化させるために選択的に付与される。つまり、分極時と駆動時とは電圧の印加方向は同一であるが、第２の共通定電位電極２３Ｋは常時正の電位とされ、第１の共通定電位電極２２Ｋには常時グランド電位とされ、個別電極２１には前記正の電位が付与されたり、その付与が解除されてグランド電位とされたりする。よって、個別電極２１がグランド電位とされるときには、第１の活性部Ｓ５１に電圧が印加されるが、第２の活性部Ｓ５２には電圧が印加されず、一方、個別電極２１に正の電位が付与されるときには、第１の活性部Ｓ５１に電圧が印加されず、第２の活性部Ｓ５２に電圧が印加されることになる。ここで、駆動時において電極間に印加される電圧は、分極時に印加される電圧よりも小さく、電極間に繰り返し電圧を印加することによる劣化を抑制するようになっている。
【０１７３】
このように電極２１，２２Ｋ，２３Ｋを配置することで、インクを吐出させる場合には，まず、前記電圧印加手段により、個別電極２１にグランド電位を付与する。これにより、第１の活性部Ｓ５１は、分極方向と同じ方向に電圧が印加され、圧電横効果により、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚ（第１の方向）において伸張し、その積層方向Ｚと直交する方向Ｘ，Ｙ（第２の方向）において収縮して、圧力室１４Ａａ内の方向（積層方向Ｚ）へ突出変形する待機状態となる。
【０１７４】
続いて、個別電極２１に第１の電位（正の電位：２０Ｖ）を付与すると、第１の活性部Ｓ５１は、積層方向Ｚ、それに直交する方向Ｘ，Ｙにおいて伸縮しない、変形しない状態となる。このとき、第２の活性部Ｓ５２は、電圧印加状態となり、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚ（第１の方向）に伸張し、その積層方向Ｚと直交する二方向Ｘ，Ｙ（第２の方向）に収縮しようとするので、拘束プレートとしてのトッププレート１５の働きによって、圧力室列方向Ｘの両側部に位置する第２の活性部Ｓ５２，Ｓ５２が、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形する。この第２の活性部Ｓ５２の変形が、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくするのに寄与し、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａにインクを多く吸い込むのに貢献する。
【０１７５】
それから、再び、個別電極２１にグランド電位を付与すると、第１の活性部Ｓ５１は、圧力室１４Ａａに向かう積層方向Ｚにおいて伸張し、その積層方向Ｚと直交する方向Ｘ，Ｙにおいて収縮して、圧力室１４Ａａ内の方向（積層方向Ｚ）へ突出変形する。このため、圧力室１４Ａａの容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル穴１６ａからインクが吐出される。
【０１７６】
この個別電極２１にグランド電位を付与し第１の活性部Ｓ５１が駆動して、インクが吐出される際には、個別電極２１および第１の共通定電位電極２２Ｋがともに第２の電位で、第２の活性部Ｓ５２は電圧の非印加状態となる。よって、第２の活性部Ｓ５２は、いずれの方向Ｚ，Ｘ，Ｙにおいても伸縮しない、変形しない状態に戻ることになる。よって、第１の活性部Ｓ５１が、圧力室１４Ａａの方向へ突出変形する際には、第２の活性部Ｓ５２は、変形しない状態に戻る（これは、積層方向Ｚに収縮し積層方向Ｚと直交する二方向Ｘ，Ｙに伸張することと等価である）ので、第１の活性部Ｓ５１の変形の影響が第２の活性部Ｓ５２の変形によって打ち消されるようにして抑制され、圧力室列方向Ｘやそれに直交する方向Ｙにおいて隣となる圧力室１４Ａａにはほとんど及ばず、クロストークが抑制される。つまり、第１の活性部Ｓ５１に対する電圧の印加・非印加との切替えによる第１の活性部Ｓ５１（第１の部分）の変形が、圧力室１４Ａａの圧力室列方向Ｘにおける両側において隣接する圧力室１４Ａａに伝播するのを抑制するように、第２の活性部Ｓ５２（第２の部分）に対する電圧の印加と非印加が切り替えられる。
【０１７７】
その後、個別電極２１を、第２の共通定電位電極２３Ｋと同じ電位（正の電位）に戻すと、前述したように、第１の活性部Ｓ５１は変形しない状態となり、第２の活性部Ｓ５２は、圧力室１４Ａａから離れる方向に反るように変形するので、マニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから圧力室１４Ａａ内にインクを吸い込むことになる。
【０１７８】
このような第１及び第２の活性部Ｓ５１，Ｓ５２の変形により、インクの吐出動作が繰り返され、各吐出動作において、圧力室１４Ａａの容積変化を大きくして吐出効率を高めると共に、クロストークが抑制される。
【０１７９】
この実施例の場合には、平面的に見て、圧力室１４Ａａの外部（桁部１４Ａｂ）に配置される個別電極２１の接続端子部２１ａと第２の共通定電位電極２３Ｋとで挟まれる部分（圧電材料層１２ａ）も第１の活性部として機能するので、その部分が、インク吐出時に第１の活性部全体が変形するのを抑制する方向に作用するおそれがあるので、図６８に示すように、第２の共通定電位電極２３Ｋは、平面的に見て、個別電極２１の接続端子部２１ａと重複する部位は開口２３Ｋｃ（空所）となるように構成することもできる。これらの開口２３Ｋｃは第１の部分２３Ｋａに形成される。
【０１８０】
また、第２の共通定電位電極２３Ｋの第２の部分２３Ｋｂは、圧力室列方向Ｘと直交する方向Ｙに設けているが、圧力室１４Ａａと重複する部分を有すればよく、例えば図１１に示すように、圧力室列方向Ｘに対し傾斜する方向Ｖにそって第２の部分２３Ｋｂ’を設けるようにしてもよい。（所定の方向）に直交する方向に対し傾斜して設けられているような場合には、その傾斜方向に対応する交差方向Ｖにおける一側に第３の活性部を設けたり、両側に第３及び第４の活性部を設けることができる。
【０１８１】
前記実施の形態は、液滴吐出装置がインクジェット式の記録装置である場合について説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、着色液を微小液滴として塗布、あるいは導電液を吐出して配線パターンを形成するなどする他の液滴吐出装置などにも適用することができる。
【０１８２】
また、記録媒体として記録用紙だけでなく、樹脂、布など各種のものを、また吐出する液体としてインクだけでなく、着色液、機能液など各種のものを適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１８３】
【図１】図１（ａ）は本発明にかかるインクジェットプリンタ（液滴吐出装置）の概略構成を示す概略構成図、図１（ｂ）は本発明にかかるキャビティユニット、圧電アクチュエータ及びフレキシブル配線板（ＣＯＰ）の関係を示す説明図である。
【図２】キャビティユニットの上側に圧電アクチュエータを貼り付けた状態を示す斜視図である。
【図３】キャビティユニットを、構成要素である各プレートに分解し、それらをトッププレート共に示す図である。
【図４】実施例１の概略断面図である。
【図５】圧電アクチュエータの各圧電材料層における電極の配置の説明図である。
【図６】（ａ）（ｂ）はそれぞれ、実施例１についての分極方向と、電圧印加時に有効なＯＮ時有効な部分（第１の活性部）と、電圧非印加時に有効なＯＦＦ時有効な部分（第２の活性部）との関係を示す説明図である。
【図７】（ａ）（ｂ）はそれぞれ第１の活性部に電圧を非印加・印加したときの、圧力室の容積変化を示す説明図である。
【図８】実施例１の変形例についての図４と同様の図である。
【図９】実施例１の、他の変形例についての図４と同様の図である。
【図１０】実施例１の、別の変形例についての図４と同様の図である。
【図１１】（ａ）（ｂ）はそれぞれ、実施例１の、別の変形例（図１０参照）についての、図６（ａ）（ｂ）と同様な図である。
【図１２】実施例１の、さらに別の変形例についての図４と同様の図である。
【図１３】（ａ）（ｂ）はそれぞれ、実施例１の、さらに別の変形例（図１２参照）についての、図６（ａ）（ｂ）と同様な図である。
【図１４】実施例２についての図４と同様の図である。
【図１５】実施例３についての図４と同様の図である。
【図１６】実施例４についての図４と同様の図である。
【図１７】実施例５についての図４と同様の図である。
【図１８】（ａ）（ｂ）はそれぞれ実施例５についての、図７（ａ）（ｂ）と同様な図である。
【図１９】実施例６についての図４と同様の図である。
【図２０】実施例７についての図４と同様の図である。
【図２１】実施例７についての図５と同様な図である。
【図２２】（ａ）（ｂ）はそれぞれ実施例７についての、図６（ａ）（ｂ）と同様な図である。
【図２３】実施例８についての図４と同様の図である。
【図２４】実施例８についての図５と同様な図である。
【図２５】（ａ）（ｂ）はそれぞれ、実施例８についての、図６（ａ）（ｂ）と同様な図である。
【図２６】（ａ）（ｂ）はそれぞれ実施例８についての、図７（ａ）（ｂ）と同様な図である。
【図２７】（ａ）（ｂ）はそれぞれタイミングチャート図である。
【図２８】実施例９についての図４と同様の図である。
【図２９】実施例９についての図５と同様な図である。
【図３０】（ａ）（ｂ）はそれぞれ、実施例９についての、図６（ａ）（ｂ）と同様な図である。
【図３１】（ａ）（ｂ）はそれぞれ実施例９についての、図７（ａ）（ｂ）と同様な図である。
【図３２】実施例１０についての図４と同様の図である。
【図３３】（ａ）（ｂ）はそれぞれ、実施例１０についての、図６（ａ）（ｂ）と同様な図である。
【図３４】（ａ）（ｂ）はそれぞれ実施例１０についての、図７（ａ）（ｂ）と同様な図である。
【図３５】実施例１１についての図４と同様の図である。
【図３６】実施例１１についての図５と同様な図である。
【図３７】（ａ）（ｂ）はそれぞれ、実施例１１についての、図６（ａ）（ｂ）と同様な図である。
【図３８】（ａ）（ｂ）はそれぞれ実施例１１についての、図７（ａ）（ｂ）と同様な図である。
【図３９】実施例１２における圧電アクチュエータの各圧電材料層における電極の配置の説明図である。
【図４０】圧電材料層毎に電極の配置を示す図である。
【図４１】図３９のＡ−Ａ線における断面図である。
【図４２】図３９のＢ−Ｂ線における断面図である。
【図４３】図３９のＣ−Ｃ線における断面図である。
【図４４】変形例についての図３９と同様の図である。
【図４５】圧電材料層毎に電極の配置を示す図である。
【図４６】図４４のＤ−Ｄ線における断面図である。
【図４７】図４４のＦ−Ｆ線における断面図である。
【図４８】他の変形例についての図３９と同様の図である。
【図４９】圧電材料層毎に電極の配置を示す図である。
【図５０】図４８のＧ−Ｇ線における断面図である。
【図５１】図４８のＨ−Ｈ線における断面図である。
【図５２】交差方向の説明図である。
【図５３】実施例１３の概略断面図である。
【図５４】圧電アクチュエータの各圧電材料層における電極の配置の説明図である。
【図５５】（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ、実施例１３についての分極方向と、電圧印加時に有効なＯＮ時有効な部分（第１の活性部）と、電圧非印加時に有効なＯＦＦ時有効な部分（第２の活性部）との関係を示す説明図である。
【図５６】タイミングチャート図である。
【図５７】（ａ）（ｂ）はそれぞれ第１の活性部に電圧を非印加・印加したときの、圧力室の容積変化を示す説明図である。
【図５８】実施例１３の変形例についての図５３と同様の図である。
【図５９】（ａ）（ｂ）はそれぞれ変形例についての図５５（ａ）（ｂ）と同様の図である。
【図６０】実施例１３のさらに別の変形例についての図５３と同様の図である。
【図６１】（ａ）（ｂ）はそれぞれ、前記別の変形例についての、図５４と同様な図である。
【図６２】（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ、前記別の変形例についての図５５（ａ）（ｂ）（ｃ）と同様の図である。
【図６３】（ａ）（ｂ）はそれぞれ圧力室の形状の変形例についての説明図である。
【図６４】実施例１４の圧電アクチュエータの各圧電材料層における電極の配置を示す断面図である。
【図６５】同圧電材料層毎に電極の配置を示す図である。
【図６６】同圧電材料層毎に電極を示す図である。
【図６７】同圧電材料層毎の電極パターンを示す図である。
【図６８】実施例１４の変形例についての、圧電材料層毎に電極の配置を示す図である。
【図６９】従来例についての概略断面図である。
【図７０】従来列についての、分極方向と、電圧印加時に有効な部分と、電圧非印加時に有効な部分との関係を示す説明図である。
【図７１】従来例の活性部に電圧を印加したときの、圧力室の容積変化を示す説明図である。
【符号の説明】
【０１８４】
Ｓ１１，Ｓ１２，Ｓ１３    第１の活性部
Ｓ２１，Ｓ２２    第２の活性部
１    インクジェットプリンタ
３    インクジェットヘッド
１２    圧電アクチュエータ
１２ａ〜１２ｃ    圧電材料層
１４Ａａ    圧力室
１４Ａｂ    桁部
２１    個別電極
２２，２２Ａ，２２Ｂ    第１の定電位電極
２３    第２の定電位電極
２４    スルーホール
【図１】
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【図２】
0004915381.tif 000005
【図３】
0004915381.tif 000006
【図４】
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【図５】
0004915381.tif 000008
【図６】
0004915381.tif 000009
【図８】
0004915381.tif 000010
【図９】
0004915381.tif 000011
【図１０】
0004915381.tif 000012
【図１１】
0004915381.tif 000013
【図１２】
0004915381.tif 000014
【図１３】
0004915381.tif 000015
【図１４】
0004915381.tif 000016
【図１５】
0004915381.tif 000017
【図１６】
0004915381.tif 000018
【図１７】
0004915381.tif 000019
【図１９】
0004915381.tif 000020
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
0004915381.tif 000029
【図３０】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３５】
0004915381.tif 000033
【図３６】
0004915381.tif 000034
【図３７】
0004915381.tif 000035
【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
0004915381.tif 000040
【図４４】
0004915381.tif 000041
【図４５】
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【図４６】
0004915381.tif 000043
【図４７】
0004915381.tif 000044
【図４８】
0004915381.tif 000045
【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
0004915381.tif 000048
【図５２】
0004915381.tif 000049
【図５３】
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【図５４】
0004915381.tif 000051
【図５５】
0004915381.tif 000052
【図５６】
0004915381.tif 000053
【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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【図６３】
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【図６４】
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【図６５】
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【図６６】
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【図６７】
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【図６８】
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【図６９】
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【図７０】
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【図７】
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【図１８】
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【図２６】
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【図３１】
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【図３４】
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【図３８】
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【図５７】
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【図７１】
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