(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納したカセットを搬送台車に搭載するとともに、この搬送台車によって前記カセットを基板搬入出ロボットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接するカセット台に移載した後、前記基板搬入出ロボットが前記カセットから基板を搬出又は前記カセットに基板を搬入するカセット搬送方法において、
前記搬送台車は、昇降機構を備えており、この昇降機構の上部に前記カセットを搭載できるとともに、前記昇降機構によって搭載した前記カセットを上下に昇降させることができる下降移載型搬送台車であり、
前記カセット台は、カセットを載置するカセット載置台を有しているとともに、前記下降移載型搬送台車に搭載したカセットが前記カセット載置台よりも上方に位置した状態で、前記下降移載型搬送台車の全てが内部まで移動できる空間が形成されている台車収納型カセット台であり、
前記基板を収納したカセットを搭載した前記下降移載型搬送台車が、前記台車収納型カセット台の内部まで移動する過程と、
前記下降移載型搬送台車が、前記昇降機構を下降させることによって、前記カセットを前記台車収納型カセット台に移載する過程と、
を含むカセット搬送方法。
【請求項２】
前記カセットは、一側面に開口を有したカセット本体とカセット本体の開口を密閉する密閉蓋とにより形成され、前記密閉蓋がカセット本体に対して着脱自在である密閉カセットであり、
前記ロボット収納クリーンルームは、前記密閉蓋及び前記基板を通過させることができるがカセット本体の開口よりも小さい大きさの開口であって前記基板搬入出ロボットによって前記密閉カセットから基板を搬入出するためのカセット用開口を有する隔壁を備えており、且つ、前記カセット用開口の開閉を行う開閉機構が設けられ、且つ、内部を設定クリーン度に維持するためのファンフィルタユニット（ＦＦＵ）を備えている密閉型ロボット収納クリーンルームであり、
前記カセット用開口を前記カセット本体が覆うように前記密閉カセットを前記隔壁に密着させる過程と、
前記カセット用開口を開くと共に前記密閉蓋を取り外す過程と、
前記基板搬入出ロボットが前記カセットから基板を搬出する過程と、
をさらに備えた請求項１に記載のカセット搬送方法。
【請求項３】
前記カセット用開口を開くと共に前記密閉蓋を取り外す過程が、カセット用開口の開閉機構によって同時に行われる請求項２に記載のカセット搬送方法。
【請求項４】
前記基板搬入出ロボットが前記カセットに基板を搬入する過程と、
前記基板の搬入出完了後に密閉蓋を取り付けると共に前記カセット用開口を閉じる過程と、
をさらに備えた請求項２又は３に記載のカセット搬送方法。
【請求項５】
前記密閉カセットの密閉蓋を取り付けると共に前記カセット用開口を閉じる過程が、前記カセット用開口の開閉機構によって同時に行われる請求項４に記載のカセット搬送方法。
【請求項６】
前記密閉カセットを前記隔壁に密着させる際に、クランプ機構で前記密閉カセットをカセット載置台に固定すると共に、スライド機構で前記密閉カセットを前記隔壁に押圧させる請求項２〜５のいずれかに記載のカセット搬送方法。
【請求項７】
前記カセットが、内部が密閉されていないオープンカセットである請求項１に記載のカセット搬送方法。
【請求項８】
前記下降移載型搬送台車が前記台車収納型カセット台の内部まで移動して停止中に、前記台車収納型カセット台に備えられた充電機構から前記下降移載型搬送台車の充電を行う請求項１〜７のいずれかに記載のカセット搬送方法。
【請求項９】
前記下降移載型搬送台車が前記台車収納型カセット台の内部まで移動して停止中に、他の下降移載型搬送台車が前記台車収納型カセット台に隣接した通路を通過する請求項１〜８のいずれかに記載のカセット搬送方法。
【請求項１０】
基板を収納したカセットを搬送台車に搭載するとともに、この搬送台車によって前記カセットを基板搬入出ロボットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接するカセット台に移載した後、前記基板搬入出ロボットが前記カセットから基板を搬出又は前記カセットに基板を搬入するカセット搬送システムにおいて、
前記搬送台車は、昇降機構を備えており、この昇降機構の上部に前記カセットを搭載できるとともに、前記昇降機構によって搭載した前記カセットを上下に昇降させることができる下降移載型搬送台車であり、
前記カセット台は、カセットを載置するカセット載置台を有しているとともに、前記下降移載型搬送台車に搭載したカセットが前記カセット載置台よりも上方に位置した状態で、前記下降移載型搬送台車の全てが内部まで移動できる空間が形成されている台車収納型カセット台であるカセット搬送システム。
【請求項１１】
前記カセットは、一側面に開口を有したカセット本体とカセット本体の開口を密閉する密閉蓋とにより形成され、前記密閉蓋がカセット本体に対して着脱自在である密閉カセットであり、
前記ロボット収納クリーンルームは、前記密閉蓋及び前記基板を通過させることができるがカセット本体の開口よりも小さい大きさの開口であって前記基板搬入出ロボットによって前記密閉カセットから基板を搬入出するためのカセット用開口を有する隔壁を備えており、且つ、前記カセット用開口の開閉を行う開閉機構が設けられ、且つ、内部を設定クリーン度に維持するためのファンフィルタユニット（ＦＦＵ）を備えている密閉型ロボット収納クリーンルームであり、
前記カセット用開口を前記カセット本体が覆うように前記密閉カセットを前記隔壁に密着させ、
前記カセット用開口を開くと共に前記密閉蓋を取り外すことによって、
前記基板搬入出ロボットが前記カセットから基板を搬出可能とする請求項１０に記載のカセット搬送システム。
【請求項１２】
前記カセット用開口の開閉機構が、前記カセット用開口を開くと同時に前記密閉蓋を取り外す請求項１１に記載のカセット搬送システム。
【請求項１３】
前記密閉カセットを前記カセット載置台に固定させるクランプ機構と、
前記カセット載置台をスライドさせるスライド機構と、
をさらに備え、
前記密閉カセットを前記隔壁に押圧させて密着させる請求項１１〜１２のいずれかに記載のカセット搬送システム。
【請求項１４】
前記カセットが、内部が密閉されていないオープンカセットである請求項１０に記載のカセット搬送システム。
【請求項１５】
前記台車収納型カセット台に、前記下降移載型搬送台車用の充電機構が備えられた請求項１０〜１４のいずれかに記載のカセット搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶パネルの製造工程において、液晶基板（以下、基板という）を工場のクリーンルーム内で搬送するのに適した方法及びシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶パネルの製造工程には、基板に、薄膜形成処理、洗浄処理、レジスト塗布等の基板処理を行う工程がある。
図２は、基板処理工程の設備例を示す基板処理工程設備配置図である。
例えば、設備設置クリーンルーム１００内には、基板に基板処理を行う基板処理装置１０２と、基板処理装置１０２に基板を搬入したり基板処理装置１０２から基板を搬出するための基板搬入出ロボット１１０と、基板搬入出ロボット１１０を設置する開放型ロボット収納クリーンルーム３０と、基板を収納したオープンカセット４０を載置するカセット台２０とが配置されている。
また、設備設置クリーンルーム１００内のカセットストック場所１０１には、基板が収納されたオープンカセット４０が置かれている。
そして、オープンカセット４０は、設備設置クリーンルーム１００内の通路を移動する密閉容器一体型搬送台車１０によって、オープンカセットストック場所１０１等からカセット台２０に搬送されたり、カセット台２０から他の場所に搬送される。
【０００３】
図３は、従来技術の密閉容器一体型搬送台車１０からカセット台２０に載置されたオープンカセット４０及び基板搬入出ロボット１１０を設置した従来技術の開放型ロボット収納クリーンルーム３０を示す図であり、図４は、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）１１及びシャッター１５を備えた密閉容器１２とリンクアーム１３及び昇降機構１４を備えた搬送台車１６とが一体に形成された密閉容器一体型搬送台車１０を示す図である。
【０００４】
密閉容器一体型搬送台車１０は、内部のクリーン度を維持するためのファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵという）１１及びシャッター１５を備えた密閉容器１２とリンクアーム１３及び昇降機構１４を備えた搬送台車１６とが一体に形成されていて、オープンカセット４０を密閉容器内１２に位置するリンクアーム１３の上に載置できるようになっている。
なお、オープンカセット４０の底面及びリンクアーム１３に形成された凹凸によって、おおよその位置決めをしている。
そして、リンクアーム１３及び昇降機構１４によってオープンカセット４０を密閉容器１２の内部から他の個所に移載又は他の個所から密閉容器１２の内部に移載できるようになっている。なお、リンクアーム１３及び昇降機構１４は、後述する基板搬入出ロボット１１０と同様の機構であり、リンクアーム１３が、後述する図５の基板搬入出ロボット１１０のアーム機構１１３に相当し、昇降機構１４が図５の基板搬入出ロボット１１０の昇降機構１１２に相当する。また、オープンカセット４０の移載時には、密閉容器１２に備えられたシャッター１５を開閉することによってオープンカセット４０が移載可能になる。
【０００５】
カセット台２０は、開放型ロボット収納クリーンルーム３０に隣接する位置に配置され、基板搬入出ロボット１１０がオープンカセット４０内の基板４１を搬入出するのに適した位置にオープンカセット４０を固定することができる装置である。図３ではオープンカセット４０をカセット台２０の上部に載置し、クランプ機構２１によってオープンカセット４０を固定する装置である。
【０００６】
開放型ロボット収納クリーンルーム３０は、基板処理装置１０２に隣接した位置に配置されて、基板搬入出ロボット１１０を内部に設置し、かつ、内部のクリーン度を維持するためのＦＦＵ３１を備えている。また、基板処理装置１０２に通じる基板処理装置用開口３２を有している。
さらに、開放型ロボット収納クリーンルーム３０には、基板搬入出ロボット１１０を、図２のＹ方向に移動させる機構が備えられていて、基板搬入出ロボット１１０を基板の搬送に適した位置（通常、オープンカセット４０又は基板処理装置１０２の基板搬入口又は搬出口の位置）に適宜移動させることができる。また、開放型ロボット収納クリーンルーム３０は、基板搬入出ロボット１１０を図２のＹ方向以外の方向に移動させる機構を備えてもよい。
【０００７】
このような従来技術において、密閉容器一体型搬送台車１０が、設備設置クリーンルーム１００内を移動してカセット台２０の前で停止すると、密閉容器１２に備えられたシャッター１５が開き、リンクアーム１３及び昇降機構１４によってオープンカセット４０を密閉容器内部からカセット台２０の上に移載する。そして、オープンカセット４０がカセット台２０の上に移載されると、カセット台２０に備えられたクランプ機構２１によって、オープンカセット４０を固定する。このようにして、オープンカセット４０がカセット台２０に載置されると、基板搬入出ロボット１１０によって、オープンカセット４０に収納された基板４１が搬出可能状態になる。
【０００８】
なお、液晶基板の製造工程では一般的に、本発明の出願時点において、設備設置クリーンルーム１００内のクリーン度（以下、全領域クリーン度という）が、ｃｌａｓｓ１０〜１００内の予め定めたクリーン度の範囲（以下、設定クリーン度という）になるように、設備設置クリーンルーム全領域をクリーンにする設備（以下、全領域クリーン設備という）が稼働している。
しかし、設備設置クリーンルーム１００内の設定クリーン度が部分的に低下するおそれのある環境も存在するために、さらに、基板の搬送途中で設定クリーン度低下の影響を受けないように、開放型ロボット収納クリーンルーム３０及び密閉容器一体型搬送台車１０にもＦＦＵを備えて、それぞれの内部を設定クリーン度に維持している。
【０００９】
図５は、基板搬入出ロボット１１０がオープンカセット４０から基板４１を搬出するときのオープンカセット４０及び基板搬入出ロボット１１０の斜視図である。
基板搬入出ロボット１１０は、例えば、図５に示すように、ベース機構１１１と昇降機構１１２と１組のアーム機構１１３とアーム機構の先端に軸支されたハンド部材１１４とを備えている。
【００１０】
ベース機構１１１は、内部に図示しない複数のモータを備えていて昇降機構１１２を昇降させると共に昇降機構１１２をＺ軸の軸心周りに回動させることができる。アーム機構１１３は、昇降機構に軸支された第１のアーム１１３ａと第２のアーム１１３ｂとハンド部材１１４とが連結されて、そのハンド部材１１４を少なくともＸ方向に移動させる機構である。このアーム機構１１３もベース機構１１１内に備えられたモータによって駆動される。
【００１１】
また、ハンド部材１１４は、図示しない真空吸着等の手段によってハンド部材１１４の上面に基板４１を載せて固定させることができる。
なお、図５の例では、１組のアーム機構１１３を備えた基板搬入出ロボット１１０であるが、複数組のアーム機構を備えた基板搬入出ロボット１１０であってもよい。本明細書では、形態を限定しないで基板４１を搬入出できるロボットを基板搬入出ロボット１１０という。
【００１２】
オープンカセット４０は、例えば、図５に示すように、複数のスロットが設けられて複数枚の基板４１を収納するように枠組みされたカセットである。
また、オープンカセット４０は密閉されていないために、カセットに収納された基板４１がカセット周辺の雰囲気に触れて周辺のクリーン度の低下の影響を受ける。
カセット台２０は、前述したように基板搬入出ロボット１１０がオープンカセット４０内の基板４１を搬入出するのに適した位置にオープンカセット４０を固定する装置である。
【００１３】
なお、図５では、説明を簡略化するために、オープンカセット４０とカセット台２０とをそれぞれ１つだけ示し、図２に示した開放型ロボット収納クリーンルーム３０に備えられたＹ方向の移動機構等の図示を省略している。
【００１４】
このような基板搬入出ロボット１１０を用いて、基板４１をカセットから搬出する手順を説明する。
まず、ハンド部材１１４をＸ１方向に移動させてハンド部材１１４を目的とする基板４１の下方に配置されるようにオープンカセット４０内に挿入する。その後、ハンド部材１１４を上昇させて、ハンド部材１１４の上面に目的とする基板４１を載せて固定する。そして、ハンド部材１１４をＸ２方向に移動させれば、基板４１をオープンカセット４０から搬出することができる。
基板４１をオープンカセット４０内に搬入する場合は、上記と逆の手順となる。
【００１５】
なお、基板処理装置１０２に基板４１を搬入したり、基板処理装置１０２から基板４１を搬出するときも、同様に、ハンド部材１１４をＸ方向又はＺ方向に移動させればよい。
【００１６】
図６は、図３に示す従来技術の密閉容器一体型搬送台車１０及び基板搬入出ロボット１１０等の設備動作順序説明図であり、この図６及び図４を参照して前述した設備でオープンカセット４０を搬送台車からカセット台２０に移載して基板搬入出ロボット１１０が基板を搬出できる状態になるまでの手順を説明する。
【００１７】
▲１▼図６（ａ）に示すように、オープンカセット４０を載置した密閉容器一体型搬送台車１０を目的とするカセット台２０の方向に移動させる。
▲２▼図６（ｂ）に示すように、密閉容器一体型搬送台車１０がカセット台２０の前で停止すると、密閉容器一体型搬送台車１０に備えられたシャッター１５が開く（図示せず）。
▲３▼図６（ｃ）に示すように、前述した図４の密閉容器一体型搬送台車１０のリンクアーム１３及び昇降機構１４を可動させて密閉容器一体型搬送台車１０の密閉容器１２内のオープンカセット４０をカセット台２０に移載する。このときに、前述した図３のカセット台２０に備えられたクランプ機構２１によって、オープンカセット４０はカセット台２０に固定される。
▲４▼図６（ｄ）に示すように、密閉容器一体型搬送台車１０のリンクアーム１３及び昇降機構１４を元の位置まで戻すと共にシャッター１５を閉じる。
▲５▼図６（ｅ）に示すように、密閉容器一体型搬送台車１０をカセット台２０の前から他の位置に移動させる。
なお、密閉容器一体型搬送台車１０は、全ての基板４１の処理が終わるまで、カセット台２０の前に停止したままでもよいが、他の密閉容器一体型搬送台車１０の通行の妨げとならないように、通常、他の位置に移動させる。そして、全ての基板４１の処理が終了すると、基板４１を収納したオープンカセット４０をカセット台２０から密閉容器一体型搬送台車１０内に移載して、他の個所に搬送する。このときの作業は、オープンカセット４０を密閉容器一体型搬送台車１０内からカセット台２０に移載するときと逆の手順となる。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
（１）  本発明の出願時点において、液晶基板の製造工程に必要なクリーン度は、ｃｌａｓｓ１０〜１００の予め定めたクリーン度の範囲（設定クリーン度）であり、この設定クリーン度を、製造工程の条件によってｃｌａｓｓ１０に定める場合もあれば、ｃｌａｓｓ１００に定める場合もある。
【００１９】
ここで、設備設置クリーンルーム１００は、全領域の空間が繋がっているために、設備設置クリーンルーム１００の全領域が設定クリーン度になるように、全領域クリーン設備を稼働させている。この全領域クリーン設備は、一般的に、設備設置クリーンルーム１００の上部から下部に向かって設定クリーン度のエアーを流す方式が採用されている。
【００２０】
しかし、設備設置クリーンルーム１００内の全ての領域で設定クリーン度になるように全領域クリーン設備が稼働しているにも関わらず、従来技術では、オープンカセット４０を、ＦＦＵ１１が備えられた密閉容器一体型搬送台車１０によって搬送している。
その理由は、設備設置クリーンルーム１００の構造上、設備設置クリーンルーム１００内の一部に設定クリーン度よりも低下する個所があるために、オープンカセット４０を密閉容器１２内に入れないで露出させた状態のままで搬送すると、その個所でオープンカセット４０内の基板４１にゴミが付着するおそれがあるためである。
【００２１】
なお、開放型ロボット収納クリーンルーム３０は、カセット台２０側の一面が開口しているが、他の側面及び上面が基板処理装置との関係で壁で覆われていることが多いために、全領域クリーン設備の稼働だけでは、開放型ロボット収納クリーンルーム３０は、設定クリーン度よりも低下するおそれがある。そのために、開放型ロボット収納クリーンルーム３０にもＦＦＵ３１を備えて設定クリーン度を維持している。
【００２２】
これまで説明したように従来技術では、設備設置クリーンルーム１００内でも、密閉容器一体型搬送台車１０にもＦＦＵ１１を備えて内部を設定クリーン度に維持して、オープンカセット４０を搬送する必要がある。
【００２３】
しかし、全領域クリーン設備は高価であるだけでなく、電気料金、ＦＦＵ１１のフィルタの目づまりによるメンテナンス等のランニングコストも過大である。
なお、全領域クリーン設備の建設費用及びランニングコストは、要求するクリーン度が高くなるほど増大し、液晶基板の製造工程に必要なクリーン度であるｃｌａｓｓ１０〜１００の範囲にするためには、莫大な費用が必要となる。
【００２４】
さらに、密閉容器一体型搬送台車１０にもＦＦＵ１１及びＦＦＵ駆動のためのバッテリを備える必要があるので、設備費とランニングコストがその分だけ増大することになる。
【００２５】
（２）  近年、基板４１が年々大型化して重量も増大している。それにともない、基板４１を収納したオープンカセット４０も大型化すると共に重量が増大し続けている。その結果、下記のような問題が発生している。
なお、参考データであるが、近年では７００ｍｍ×９００ｍｍ（厚さ１．１ｔ），１０００ｍｍ×１２００ｍｍ（厚さ１．１ｔ）の基板４１が生産されつつある。
ここで、ガラスの比重は２．７８なので、基板４１の重量は、それぞれ、
700(mm)×900(mm)×1.1(t)×2.78／1000／1000≒1.9［kgf］（２０枚で、約３８kgf）
1000(mm)×1200(mm)×1.1(t)×2.78／1000／1000≒3.7［kgf］（２０枚で、約７３kgf）
となるので、このような基板が、例えば２０枚カセットに収納されると、カセット自体の重量も相当重くなる。ちなみに、半導体ウエハの場合は、比重が２．３３であり、直径３００ｍｍの半導体ウエハでも、その重量は１２４gf（２０枚で約２．５kgf）であるので、基板４１は、半導体ウエハに比べて、相当重いことが分かる。
【００２６】
▲１▼  従来技術では、図４に示すように、リンクアーム１３の上にオープンカセット４０を載置しているために、リンクアーム１３の先端が密閉容器一体型搬送台車１０から離隔するに従い、台車の重心がオープンカセット４０側に偏移するために、台車が不安定となり転倒するおそれが発生する。
そのために、密閉容器一体型搬送台車１０の本体部分の重量を、基板４１を収納したオープンカセット４０の重量に応じて増大させる必要があった。しかし、設備設置クリーンルーム１００は、設備構造上、床の耐重量は十分に大ではない。
そこで、密閉容器一体型搬送台車１０の重量が重くなると、設備設置クリーンルーム１００の床の耐重量の裕度が少なくなり、又は耐重量を超えるために、このような重量を増大させた密閉容器一体型搬送台車１０を使用することができない。
また、密閉容器一体型搬送台車１０の重量を増大させるということは、搬送台車が大型化し、搬送台車が通る通路の拡大、設備設置クリーンルーム１００の拡大につながるので設備投資額が増大する。
【００２７】
▲２▼  重量の重いオープンカセット４０を移載するためには、リンクアーム１３及び昇降機構１４を大重量対応型のリンクアーム１３及び昇降機構１４にする必要があり、設備費が増大する。また、大出力のモータ等を使用するためにリンクアーム１３及び昇降機構１４が大型化する。また、密閉容器一体型搬送台車１０自体も大型化してしまう。
さらに、密閉容器一体型搬送台車１０は、その内部に充電式の電池を備えていて、充電された電力を用いて移動等を行っている。そのために、基板４１の大型化に伴い大出力のモータが必要となると、必要となる電力が増大するので、密閉容器一体型搬送台車１０に内蔵されている電池も大型化し重量も増大する。
よって、密閉容器一体型搬送台車１０が大型化すると共に設備費が増大する。
【００２８】
▲３▼  また、密閉容器一体型搬送台車１０が大型化すると、通路幅が増大するために、設備設置クリーンルーム１００の設置面積を有効利用できないだけでなく、設備設置クリーンルーム１００の増設が必要となる場合も生じる。
【００２９】
（３）密閉容器一体型搬送台車１０は、内部に備えた充電式の電池の電力で移動、リンクアーム１３及び昇降機構１４の駆動等を行っているために、設備設置クリーンルーム１００に設置された充電設備まで移動し充電していた。
しかし、このような方式では、設備設置クリーンルーム１００に充電中の搬送台車を設置しておくスペースが必要になるために、設備設置クリーンルーム１００の設置面積を有効利用できない。
【００３０】
（４）図７は、従来の密閉容器一体型搬送台車１０からカセット台２０にオープンカセット４０を移載する密閉容器一体型搬送台車１０が通路に停止中に、他の密閉容器一体型搬送台車１０が同一通路を移動するときの移動方法説明図である。
図７（ａ）に示すように、密閉容器一体型搬送台車１０ａからカセット台２０にオープンカセット４０を移載しているときは、通路が塞がれてしまうために、同一通路を移動中の密閉容器一体型搬送台車１０ｂは、密閉容器一体型搬送台車１０ａからカセット台２０にオープンカセット４０を移載し終えるまで、停止する必要があった。また、搬送効率を高めるために、通路の反対側から移動してくる密閉容器一体型搬送台車１０ｃが通過できるように、密閉容器一体型搬送台車幅２台分の通路幅を確保する必要があった。
【００３１】
また、図７（ｂ）に示すように、移動中の密閉容器一体型搬送台車１０ｂが、オープンカセット４０を移載中の密閉容器一体型搬送台車１０ａを回避して移動を続けることも可能である。しかし、この場合は、停止中の密閉容器一体型搬送台車１０ａと互いに行き違う２台の密閉容器一体型搬送台車（１０ｂ，１０ｃ）との密閉容器一体型搬送台車３台分の通路幅を確保する必要があった。
【００３２】
このように、従来では通路幅を広く設けているので、設備設置クリーンルーム１００の面積が多く必要となる。
しかし、全領域クリーン設備は非常に高価であり、クリーンルームの面積の増加に従って設備費が増大する。
そのために、従来技術のような設備であると、設備設置クリーンルームを設定クリーン度にする全領域クリーン設備費及びランニングコストが増大するという問題があった。
【００３３】
本願発明は、▲１▼設備設置クリーンルーム１００のクリーン度のｃｌａｓｓを引き下げ、全領域クリーン設備費及びランニングコストを低減するか、または、▲２▼設備設置クリーンルーム１００のクリーン度のｃｌａｓｓを従来のとおりとしておき、基板４１が大型化して重量が増大しても、搬送台車の重量の増大及び大型化を抑制して搬送台車の設備費を低減し、通路幅の増大を防ぐか、さらに積極的に通路幅を縮小して、設備設置クリーンルーム１００の設置面積を有効利用し、さらに、▲３▼設備設置クリーンルーム１００のクリーン度のｃｌａｓｓの引き下げと合わせて、上記搬送台車の設備費の低減及び通路幅の縮小を図ることを目的としている。
【００３４】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るカセット搬送方法は、基板を収納したカセットを搬送台車に搭載するとともに、この搬送台車によって上記カセットを基板搬入出ロボットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接するカセット台に移載した後、上記基板搬入出ロボットが上記カセットから基板を搬出又は上記カセットに基板を搬入する。上記搬送台車は、昇降機構を備えており、この昇降機構の上部に上記カセットを搭載できるとともに、上記昇降機構によって搭載した上記カセットを上下に昇降させることができる下降移載型搬送台車である。上記カセット台は、カセットを載置するカセット載置台を有しているとともに、上記下降移載型搬送台車に搭載したカセットが上記カセット載置台よりも上方に位置した状態で、上記下降移載型搬送台車の全てが内部まで移動できる空間が形成されている。このカセット搬送方法は、上記基板を収納したカセットを搭載した上記下降移載型搬送台車が、上記台車収納型カセット台の内部まで移動する過程と、上記下降移載型搬送台車が、上記昇降機構を下降させることによって、上記カセットを上記台車収納型カセット台に移載する過程とを含んでいる。
【００３５】
本発明に係るカセット搬送システムは、基板を収納したカセットを搬送台車に搭載するとともに、この搬送台車によって上記カセットを基板搬入出ロボットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接するカセット台に移載した後、上記基板搬入出ロボットが上記カセットから基板を搬出又は上記カセットに基板を搬入する。上記搬送台車は、昇降機構を備えており、この昇降機構の上部に上記カセットを搭載できるとともに、上記昇降機構によって搭載した上記カセットを上下に昇降させることができる下降移載型搬送台車である。上記カセット台は、カセットを載置するカセット載置台を有しているとともに、上記下降移載型搬送台車に搭載したカセットが上記カセット載置台よりも上方に位置した状態で、上記下降移載型搬送台車の全てが内部まで移動できる空間が形成されている。
【００５６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の詳細を図面に基づいて説明する。
図１は当該出願に係る発明の特徴を最もよく表す図である。
図１は後述する図１６と同じなので、説明は図１６で後述する。
【００５９】
（実施例１）
以下に記載する実施例１は、図１０に示す密閉カセット６０を搭載した図８に示す前方移載型搬送台車５５を密着機構付きカセット台７５まで移動して、上記前方移載型搬送台車５５のリンクアーム５６及び昇降機構５７によって密閉カセット６０を前方にある密着機構付きカセット台７５に移載し、密閉カセット６０を密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に密着させた後に、密閉カセット６０の密閉蓋６１と密閉型ロボット収納クリーンルーム８０のカセット用開口８２を閉じている開閉板９１とを開き、基板搬入出ロボット１１０が密閉カセット６０に収納された基板４１を密閉カセット６０と基板処理装置１０２との間で搬送するカセット搬送方法及びカセット搬送システムに関する実施例である。
【００６０】
図８は、本発明に係る密閉カセット６０を上部に搭載した前方移載型搬送台車５５とスライド機構７８を備えた密着機構付きカセット台７５と基板搬入出ロボット１１０等を設置した本発明に適用する密閉型ロボット収納クリーンルーム８０とを示す図であり、図９は、リンクアーム５６及び昇降機構５７を備えた図８に示す本発明に係る前方移載型搬送台車５５を示す図であり、図１０は、本発明に係る密閉カセット６０の斜視図である。
【００６１】
密閉カセット６０は、図１０に示すように、一側面に開口を有したカセット本体６２とカセット本体６２の開口を密閉する密閉蓋６１とにより形成された基板４１を収納するカセットであり、密閉蓋６１がカセット本体６２に対して着脱自在になっている。
このカセット本体６２の内部は、オープンカセット４０と同様に複数のスロットが設けられていて、複数枚の基板４１を収納できるようになっている。また、密閉カセット６０は、密閉蓋６１が取り付けられた状態では、密閉カセット６０内部を気密に保つことができる。
したがって、設定クリーン度が維持されている環境において、密閉蓋６１を取り外して基板４１をカセット本体６２内に収納し、その後、密閉蓋６１を取り付ければ、図４の密閉容器１２のようにＦＦＵを設けなくても、密閉カセット６０内を設定クリーン度に維持して基板４１を収納できる。
【００６２】
図９に示す前方移載型搬送台車５５は、図４に示した密閉容器一体型搬送台車１０からＦＦＵ１１及びシャッター１５を備えた密閉容器１２を取り除いた構造の搬送台車であり、密閉カセット６０をリンクアーム５６の上に載置し固定できるようになっている。そして、リンクアーム５６及び昇降機構５７によって密閉カセット６０を他の個所に移載できるようになっている。
なお、リンクアーム５６及び昇降機構５７は、密閉容器一体型搬送台車１０のリンクアーム１３及び昇降機構１４と同様である。また、前方移載型搬送台車５５は、密閉カセット６０以外にオープンカセット４０でも載置できる。
また、オープンカセット４０の底面及びリンクアーム５６にぞれぞれ形成された凹凸によって、おおよその位置決めをしている。
【００６３】
密着機構付きカセット台７５は、図８に示すように、密着機構付きカセット台７５の上部に密閉カセット６０等を載置するカセット載置台７７とカセット載置台７７に設けられた密閉カセット６０等を固定するクランプ機構７６とカセット載置台７７をスライドさせるスライド機構７８とを備えたカセット台である。
上記の機構によって、密閉カセット６０をカセット載置台７７に載置してクランプ機構７６によって密閉カセット６０を固定した後、スライド機構７８によってカセット載置台７７をスライドさせて、密閉カセット６０を密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に密着させる。
【００６４】
密閉型ロボット収納クリーンルーム８０は、図８に示すように、基板処理装置１０２に隣接した位置に配置されて、基板搬入出ロボット１１０及び密閉蓋着脱装置９０を内部に設置し、かつ、内部を設定クリーン度に維持するためのＦＦＵ８３を備えている。また、基板搬入出ロボット１１０を図２のＹ方向等に移動させる移動機構（図示せず）も備えている。なお、基板搬入出ロボット１１０は従来と同様である。
【００６５】
この密閉型ロボット収納クリーンルーム８０は、図８に示すように、密着機構付きカセット台７５に載置された密閉カセット６０から基板４１を搬入出するためのカセット用開口８２及び基板処理装置に通じる基板処理装置用開口８１を有した隔壁８４で覆われている。また、カセット用開口８２の開閉は開閉板９１を用いて行う。具体的には、開閉板９１がカセット用開口８２を塞ぐように密着すると、カセット用開口８２が閉じる。そして、開閉板９１が他の位置に移動すると、カセット用開口８２が開く。
なお、この開閉板９１は、後述するように密閉蓋着脱装置９０に支持されているので、密閉蓋着脱装置９０の動作によって、カセット用開口８２の開閉を行うことができる。また、開閉板９１を別の装置によって動作させてもよい。また、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０にカセット用開口８２を開閉する機構を設けてもよい。本明細書では、カセット用開口８２を開閉する機構であれば、形態を限定しないで開閉板９１という。
【００６６】
このように密閉型ロボット収納クリーンルーム８０は、隔壁８４を有して、内部をＦＦＵ８３によって設定クリーン度に維持しているので、カセット用開口８２を閉じると、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０は、独立したクリーンルームになる。
したがって、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０の内部を、その外部のクリーン度に関係なく異なる設定クリーン度に維持することができる。
【００６７】
密閉型ロボット収納クリーンルーム８０内に設置される密閉蓋着脱装置９０は、密閉カセット６０の密閉蓋６１を着脱すると共に、開閉板９１を支持して密閉型ロボット収納クリーンルーム８０のカセット用開口８２を開閉する機能を有する装置である。
なお、前述したように開閉板９１を密閉蓋着脱装置９０に支持しないで、他の装置によって動作させてもよい。
この密閉蓋着脱装置９０の説明は、図１２及び図１３を参照して後述する。
【００６８】
図１１は、図１０の密閉カセット６０の鍵機構を示す図であり、図１１（ａ）は、密閉蓋６１をカセット本体６２に取り付けるときの鍵機構の状態を示す図であり、図１１（ｂ）は、密閉蓋６１をカセット本体６２から取り外すときの鍵機構の状態を示す図である。
なお、それぞれの図は、一部を省略した平面図（鍵穴６３が図示されている図）、一部を省略した底面図及び２つの側面図から構成されている。この図１１を参照して、密閉カセット６０の密閉蓋６１の着脱について説明する。
鍵穴６３に連結した鍵穴回転板６４に連結棒６５の一端側が連結され、連結棒６５の他端側が鍵板６６に連結されている。したがって、鍵穴６３に、鍵を差し込んで回転させると、鍵穴回転板６４が回転中心６４ａを中心に回転し、その回転は連結棒６５によって円弧部分６６ｂと平坦部分６６ｃとが設けられた鍵板６６に伝わり、鍵板６６が回転中心６６ａを中心に回転する。この回転によって、円弧部分６６ｂと平坦部分６６ｃとの位置が変位する。
【００６９】
図１１（ａ）に示すように、円弧部分６６ｂが密閉蓋６１の端部に位置するときは、円弧部分６６ｂが密閉蓋６１の端部から突出して、カセット本体６２に設けられた凹部（図示せず）に入り込むので、密閉蓋６１をカセット本体６２に取り付けることができる。図１１（ｂ）に示すように、平坦部分６６ｃが密閉蓋６１の端部に位置するときは、平坦部分６６ｃが蓋の端部から突出しないので、密閉蓋６１をカセット本体６２から取り外すことができる。
したがって、密閉蓋６１を取り外すときは、平坦部分６６ｃが密閉蓋６１の端部に位置するように、鍵を鍵穴６３に差し込んで回転させればよい。反対に、密閉蓋６１を取り付けるときは、円弧部分６６ｂが密閉蓋６１の端部に位置するように、鍵を鍵穴６３に差し込んで回転させればよい。
【００７０】
図１２は、図８に示す密着機構付きカセット台７５に載置された密閉カセット６０の密閉蓋着脱動作順序説明図であり、図１３は、図１２の要部拡大断面図である。
この図１２及び図１３を参照して、密閉蓋着脱装置９０によって、密閉カセット６０の密閉蓋６１を取り外す手順を説明する。
【００７１】
▲１▼  図１２（ａ）及び図１３（ａ）に示すように、密閉カセット６０の密閉蓋６１が密閉型ロボット収納クリーンルーム８０のカセット用開口８２に対向するように密着機構付きカセット台７５に載置されると、クランプ機構７６（図８）によって密閉カセット６０が固定される。
【００７２】
▲２▼  図１２（ｂ）及び図１３（ｂ）に示すように、密着機構付きカセット台７５に設けられたスライド機構７８（図８）によって、密閉カセット６０のカセット本体６２が密閉型ロボット収納クリーンルーム８０の隔壁８４（図８）に密着する位置までスライドさせる。
このとき、密閉蓋着脱装置９０の吸着機構９５によって密閉蓋６１が吸着されて、開閉板９１に吸着される。また、密閉蓋６１の鍵穴６３（図１１）には、密閉蓋着脱装置９０に設けられた鍵機構９４が差し込まれた状態になるので、鍵機構９４を回転させて、密閉蓋６１をカセット本体６２から取り外し可能な状態にする。
【００７３】
▲３▼  図１２（ｃ）及び図１３（ｃ）に示すように、密閉蓋着脱装置９０のＸ方向スライド機構９２によって、開閉板９１に密閉蓋６１を吸着させた状態で、Ｘ方向に移動させることによって密閉蓋６１をカセット本体６２から取り外す。
なお、カセット用開口８２の大きさよりも、密閉蓋６１の大きさの方が小さいので、密閉蓋６１がカセット用開口８２を通過できる。
このときに、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０のカセット用開口８２は、密閉蓋着脱装置９０がカセット用開口８２から離れるために、カセット用開口８２が塞がれていない状態になるが、カセット本体６２が密着しているために、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０内は設定クリーン度に維持される。
すなわち、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０内及び密閉カセット６０内は、前述したように、設定クリーン度に維持されているために、基板４１が外部雰囲気の影響を受けることはない。
【００７４】
▲４▼  図１２（ｄ）及び図１３（ｄ）に示すように、密閉蓋着脱装置９０の開閉板９１が上下方向スライド機構９３によって下方に移動すると、基板搬入出ロボット１１０によって基板４１を搬入出できる状態になる。
【００７５】
図１４は、Ｏリング８５の取り付け例を示す図である。同図に示すように、隔壁８４にＯリング８５等のシール部材を取り付けて、隔壁８４と開閉板９１との間に生じる隙間及び隔壁８４とカセット本体６２との間に生じる隙間を塞ぐようにすれば、より気密度が増す。なお、Ｏリング等シール部材は、開閉板９１及びカセット本体６２に取り付けてもよく、また、隔壁８４と開閉板９１及びカセット本体６２との両方に取り付けてもよい。
【００７６】
図１５は、本発明の前方移載型搬送台車５５及び密着機構付きカセット台７５を用いた設備動作順序説明図であり、この図１５を参照して前述した設備において密閉カセット６０を前方移載型搬送台車５５から密着機構付きカセット台７５に移載した後に、基板搬入出ロボット１１０が基板を搬出できる状態になるまでの手順を説明する。
【００７７】
▲１▼  図１５（ａ）に示すように、密閉カセット６０を載置した前方移載型搬送台車５５を目的とする密着機構付きカセット台７５台車の方向に移動させる。
▲２▼  図１５（ｂ）に示すように、前方移載型搬送台車５５が密着機構付きカセット台７５の前まで移動する。
▲３▼  図１５（ｃ）に示すように、前方移載型搬送台車５５のリンクアーム５６及び昇降機構５７（図９）を可動させて密閉カセット６０を前方移載型搬送台車５５から密着機構付きカセット台７５に移載する。このときに、密着機構付きカセット台７５に備えられたクランプ機構７６（図８）によって、密閉カセット６０は密着機構付きカセット台７５に固定される。
▲４▼  図１５（ｄ）に示すように、前方移載型搬送台車５５のリンクアーム５６及び昇降機構５７（図９）を元の位置まで戻す。
【００７８】
▲５▼  図１５（ｅ）に示すように、密閉カセット６０が密着機構付きカセット台７５に載置されると、前述したようにスライド機構７８（図８）によって密閉カセット６０のカセット本体６２が密閉型ロボット収納クリーンルーム８０の壁に密着する位置までスライドさせる。
その後、図１２及び図１３に示す手順で、密閉カセット６０の密閉蓋６１を取り外し、基板搬入出ロボット１１０が基板を搬出可能状態にする。
また、前方移載型搬送台車５５を密着機構付きカセット台７５の前から他の位置に移動させる。
なお、前方移載型搬送台車５５は、全ての基板４１の処理が終わるまで、密着機構付きカセット台７５の前に停止したままでもよいが、他の前方移載型搬送台車５５の通行の妨げとなるので、通常、他の位置に移動させる。そして、全ての基板４１の処理が終わってから、基板４１を収納した密閉カセット６０を密着機構付きカセット台７５から前方移載型搬送台車５５に移載して、他の個所に搬送する。このときの作業は、密閉カセット６０を前方移載型搬送台車５５から密着機構付きカセット台７５に移載するときと逆の手順となる。
【００７９】
（実施例２）
以下に記載する実施例２は、図１０に示す密閉カセット６０を搭載した図１６に示す下降移載型搬送台車５０を台車収納型カセット台７０の内部まで移動して、この下降移載型搬送台車５０の昇降機構５１によって密閉カセット６０を台車収納型カセット台７０に移載し、密閉カセット６０を密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に密着させた後に、密閉カセット６０の密閉蓋６１と密閉型ロボット収納クリーンルーム８０のカセット用開口８２とを開き、基板搬入出ロボット１１０が密閉カセット６０に収納された基板４１を密閉カセット６０と基板処理装置１０２との間で搬送するカセット搬送方法及びカセット搬送システムに関する実施例である。
【００８０】
図１６は、本発明に係る密閉カセット６０を上部に載置した下降移載型搬送台車５０と下降移載型搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成した台車収納型カセット台７０と基板搬入出ロボット１１０等を設置した本発明に適用する密閉型ロボット収納クリーンルーム８０とを示す図であり、図１７は、リンクアーム及びＦＦＵを備えていない図１６に示す本発明に係る下降移載型搬送台車５０を示す図であり、図１８は、密閉カセット６０を載置した下降移載型搬送台車５０が、台車収納型カセット台７０に形成された空間内に移動した状態を示す説明図である。
【００８１】
下降移載型搬送台車５０は、図１６及び図１７に示すように、昇降機構５１を備えていて、昇降機構５１の上部に密閉カセット６０を載置できるようになっている搬送台車であり、昇降機構５１によって密閉カセット６０等を上下に昇降させることができる。
なお、密閉カセット６０の底面及び昇降機構５１の上部ににぞれぞれ形成された凹凸によって、おおよその位置決めをしている。
また、下降移載型搬送台車５０は、密閉カセット６０以外にオープンカセット４０でも載置できる。また、従来技術の密閉容器一体型搬送台車１０のようにリンクアームを備えていない。
【００８２】
台車収納型カセット台７０は、図１６及び図１８に示すように、密閉カセット６０を搭載した下降移載型搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成したカセット台であり、台車収納型カセット台７０の上部に密閉カセット６０等を載置するカセット載置台７２とカセット載置台７２に設けられた密閉カセット６０等を固定するクランプ機構７１とカセット載置台７２をスライドさせるスライド機構７３とを備えている。
したがって、密閉カセット６０等をカセット載置台７２に載置してクランプ機構７１によって密閉カセット６０等を固定した後、スライド機構７３によってカセット載置台７２をスライドさせて、密閉カセット６０を密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に密着させる。
【００８３】
また、図１８に示すように、密閉カセット６０の幅よりも昇降機構５１の幅が狭いために、台車収納型カセット台７０のカセット載置台７２に干渉することなく台車収納型カセット台７０に形成された空間内に移動できる。したがって、下降移載型搬送台車５０の昇降機構５１を下降させると、密閉カセット６０を台車収納型カセット台７０のカセット載置台７２の上に移載することができる。
【００８４】
図１６の密閉型ロボット収納クリーンルーム８０、密閉蓋着脱装置９０等は、実施例１と同様であるので、説明を省略する。
【００８５】
また、台車収納型カセット台７０に載置された密閉カセット６０の密閉蓋着脱動作も実施例１と同様であるので、説明を省略する。
【００８６】
図１９は、本発明の下降移載型搬送台車５０及び台車収納型カセット台７０を用いた設備動作順序説明図であり、この図１９を参照して前述した設備において密閉カセット６０を下降移載型搬送台車５０から台車収納型カセット台７０に移載した後に、基板搬入出ロボット１１０が基板を搬出できる状態になるまでの手順を説明する。
【００８７】
▲１▼  図１９（ａ）に示すように、密閉カセット６０を載置した下降移載型搬送台車５０を目的とする台車収納型カセット台７０の方向に移動させる。
【００８８】
▲２▼  図１９（ｂ）に示すように、下降移載型搬送台車５０が台車収納型カセット台７０の前まで移動する。
【００８９】
▲３▼  図１９（ｃ）に示すように、密閉カセット６０を搭載したままで、下降移載型搬送台車５０台車を収納型カセット台７０に形成された空間内に移動する。このとき、密閉カセット６０の密閉蓋６１が、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０の方向に位置するようにする。
その後、下降移載型搬送台車５０の昇降機構５１（図１７）を下降させて、密閉カセット６０を台車収納型カセット台７０に載置し、クランプ機構７１（図１６）によって、密閉カセット６０を固定する。
【００９０】
▲４▼  図１９（ｄ）に示すように、下降移載型搬送台車５０を台車収納型カセット台７０から他の位置に移動させる。
なお、下降移載型搬送台車５０は、密閉カセット６０に収納された全ての基板４１の処理が終わるまで、台車収納型カセット台７０に形成された空間内に停止していてもよいが、通常は他の位置に移動させて、他の密閉カセット６０を搬送する。
【００９１】
▲５▼  図１９（ｅ）に示すように、密閉カセット６０が台車収納型カセット台７０に載置されると、前述したようにスライド機構７３（図１６）によって密閉カセット６０のカセット本体６２が密閉型ロボット収納クリーンルーム８０の壁に密着する位置までスライドさせる。
その後、図１２及び図１３に示す手順で、密閉カセット６０の密閉蓋６１を取り外し、基板搬入出ロボット１１０が基板を搬出可能状態にする。
【００９２】
（実施例３）
以下に記載する実施例３は、後述する図２０に示すように、（密閉カセット６０ではなく）オープンカセット４０を搭載した下降移載型搬送台車５０を台車収納型カセット台７０の内部まで移動して、上記下降移載型搬送台車５０の昇降機構５１によってオープンカセット４０を台車収納型カセット台７０に移載し、開放型ロボット収納クリーンルーム３０に設置された基板搬入出ロボット１１０がオープンカセット４０に収納された基板４１をオープンカセット４０と基板処理装置１０２との間で搬送するカセット搬送方法及びカセット搬送システムに関する実施例である。
【００９３】
図２０は、本発明に係るオープンカセット４０を上部に載置した下降移載型搬送台車５０と下降移載型搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成した台車収納型カセット台７０と基板搬入出ロボット１１０等を設置した本発明に適用する開放型ロボット収納クリーンルーム３０とを示す図である。
【００９４】
開放型ロボット収納クリーンルーム３０、下降移載型搬送台車５０等は、実施例１及び実施例２と同じである。
なお、実施例１のように、オープンカセット４０を開放型ロボット収納クリーンルーム３０に密着させる必要はないので、台車収納型カセット台７０は、オープンカセット４０をスライドさせるスライド機構７３を備えていなくてもよい。
ただし、オープンカセット４０の位置を多少スライドさせた方が、基板搬入出ロボット１１０が基板４１を搬入出しやすい場合は、スライド機構７３を設けてもよい。
【００９５】
このように、オープンカセット４０を下降移載型搬送台車５０を用いて搬送することもできる。
この場合、設備設置クリーンルーム１００の全領域を設定クリーン度に維持することが可能である場合は、リンクアームを用いることなく昇降機構５１によって、カセットを搬送台車からカセット台に移載するので、基板４１が大型化して基板４１の重量が増大しても、従来のように、搬送台車の重心が偏移して、搬送台車が不安定になることがない。
【００９６】
図２１は、本発明の下降移載型搬送台車５０及び台車収納型カセット台７０を用いてオープンカセット４０を搬送するときの設備動作順序説明図であり、この図２１を用いて前述した設備においてオープンカセット４０を下降移載型搬送台車５０から台車収納型カセット台７０に移載した後に、基板搬入出ロボット１１０が基板を搬出できる状態になるまでの手順を説明する。
【００９７】
▲１▼  図２１（ａ）に示すように、オープンカセット４０を載置した下降移載型搬送台車５０を目的とする台車収納型カセット台７０の方向に移動させる。
【００９８】
▲２▼  図２１（ｂ）に示すように、下降移載型搬送台車５０が台車収納型カセット台７０の前まで移動する。
【００９９】
▲３▼  図２１（ｃ）に示すように、下降移載型搬送台車５０がオープンカセット４０を搭載したままで、台車収納型カセット台７０に形成された空間内に移動する。その後、下降移載型搬送台車５０の昇降機構５１（図２０）を下降させて、オープンカセット４０を台車収納型カセット台７０に移載し、クランプ機構７１（図２０）によって、オープンカセット４０を固定する。
【０１００】
▲４▼  図２１（ｄ）に示すように、下降移載型搬送台車５０を台車収納型カセット台７０から他の位置に移動させる。
なお、下降移載型搬送台車５０は、オープンカセット４０に収納された全ての基板４１の処理が終わるまで、台車収納型カセット台７０に形成された空間内に停止していてもよいが、通常は他の位置に移動させて、他のオープンカセット４０を搬送する。
【０１０１】
（実施例４）
図２２を参照して以下に実施例４について説明する。
【０１０２】
図２２は、充電機構７４が備えられた台車収納型カセット台７０及びその充電機構７４から充電することのできる下降移載型搬送台車５０を示す図である。
この図２２に示すように、台車収納型カセット台７０は、充電機構７４を備えていて、下降移載型搬送台車５０は、充電機構７４に対応する位置に充電口５２を備えている。この際、例えば、充電機構７４にプラグを設け、充電口５２にソケットを設ければプラグをソケットに差し込んで充電ができる。
したがって、下降移載型搬送台車５０がオープンカセット４０又は密閉カセット６０を台車収納型カセット台７０に移載するために、台車収納型カセット台７０に形成された空間内に移動したときに充電ができる。
【０１０３】
また、オープンカセット４０又は密閉カセット６０を搬送していなくても、台車収納型カセット台７０に形成された空間内に移動すれば充電ができる。
なお、充電機構７４と充電口５２との位置は、図２２に示した位置に限定されるものではなく、他の位置に設けてもよい。また、充電式の電池の形式も限定されるものではない。
【０１０４】
（実施例５）
図２３を参照して以下に実施例５について説明する。
【０１０５】
図２３は、本発明の下降移載型搬送台車５０から台車収納型カセット台７０にオープンカセット４０又は密閉カセット６０を移載しているときに、他の下降移載型搬送台車５０が同一通路を移動するときの移動方法説明図である。
図２３（ａ）に示すように、下降移載型搬送台車５０ａから台車収納型カセット台７０にオープンカセット４０又は密閉カセット６０を移載する場合は、下降移載型搬送台車５０ａが台車収納型カセット台７０に形成された空間に収納されているので、移載中の下降移載型搬送台車５０ａによって通路が塞がれない。
【０１０６】
また、通路を移動中の下降移載型搬送台車５０ｂも台車収納型カセット台７０に形成された空間で待避することができるので、図２３（ｂ）に示すように、通路の反対側から移動してくる下降移載型搬送台車５０ｃが通路を移動することができる。
したがって、下降移載型搬送台車５０が１台しか通ることができない通路幅であっても、同一通路において、複数台の下降移載型搬送台車５０の移動が可能となる。
【０１０７】
なお、図２３（ｃ）に示すように、下降移載型搬送台車２台分の通路幅にしてもよい。この場合においても、移載中の下降移載型搬送台車５０ａによって、通路が塞がれることがないだけでなく、通路を移動中の下降移載型搬送台車５０ｂと通路の反対側から移動してくる下降移載型搬送台車５０ｃとが同時に通路を移動できるので、搬送効率を高めることができる。
【０１０８】
【発明の効果】
（１）  請求項２、１１のように、基板４１を密閉カセット６０に収納すれば、設備設置クリーンルーム１００のクリーン度に関係なく、ＦＦＵを備えていない搬送台車によって、密閉カセット６０に収納された基板４１を設備設置クリーンルーム１００内で搬送することができる。
また、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０は、隔壁を有し、かつ、その内部を設定クリーン度に維持するためのＦＦＵを備えているので、設定クリーン度を維持している独立したクリーンルームとなっている。
そこで、密閉カセット６０を密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に密着させた後、密閉蓋６１を取り外し、かつ、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０のカセット用開口８２を開けば、密閉カセット６０に収納された基板を、設備設置クリーンルーム１００のクリーン度に関係なく密閉型ロボット収納クリーンルーム８０内に搬入することができる。
【０１０９】
したがって、設備設置クリーンルーム１００の全領域クリーン度を引き下げることができるので、設備設置クリーンルーム１００の設備費を低減させることができる。また、ランニングコストも低減させることができる。
さらに、搬送台車にＦＦＵを備える必要がないので、その分の設備費とランニングコストを低減させることができる。
【０１１０】
即ち、従来技術では、全領域クリーン度をｃｌａｓｓ１０〜１００の予め定めた設定クリーン度になるように全領域クリーン設備を稼働させていたが、本発明では、全領域クリーン度を、例えば、ｃｌａｓｓ１０を１００に引き下げたり、ｃｌａｓｓ１００を１０００に引き下げることも可能になる。
【０１１２】
（２）請求項１、１０のように、搬送台車５０が、カセットを上部に搭載する下降移載型搬送台車５０であり、さらに、カセット台７０が、上記カセットを搭載した下降移載型搬送台車５０をカセット台の内部に収納することができる空間を形成した台車収納型カセット台７０であるカセット搬送システム又はカセット搬送方法であると、
下降移載型搬送台車５０が台車収納型カセット台７０の内部まで移動した後に、リンクアームを用いることなく搬送台車の昇降機構によって、下降移載型搬送台車５０に載置されたカセットを台車収納型カセット台７０に移載することができる。
【０１１３】
したがって、従来必要であった搬送台車のリンクアームが不必要になり、関連するモータ等も不要とになり、搬送台車の構造が簡単になるので、重量も軽くなり、小型化できると共に、その分だけ搬送台車の設備費が低減する。
【０１１４】
また、リンクアームを用いることなく昇降機構だけによって、カセットを搬送台車からカセット台に移載するので、基板４１が大型化して基板４１の重量が増大しても、従来のように、カセット移載時に搬送台車の重心が偏移して、搬送台車が不安定になることがなくなる。
【０１１５】
また、基板４１が大型化して基板４１の重量が増大しても、従来のようにカセット移載時に搬送台車の重心が偏移することがないので、安定化のために搬送台車５０の重量を増加させなくてもよいので、床の耐重量が低い設備設置クリーンルーム１００でも搬送台車５０を使用できる。
【０１１６】
さらに、本発明に係る下降移載型搬送台車５０は小型化できるので、従来の搬送台車の通路幅よりも縮小することができ、設備設置クリーンルーム１００の設置面積を有効利用できる。
【０１１８】
（３）  請求項８、１５のように、台車収納型カセット台７０に、下降移載型搬送台車５０用の充電機構７４が備えられていると、下降移載型搬送台車５０が台車収納型カセット台７０の内部まで移動したときに、下降移載型搬送台車５０の充電ができるので、設備設置クリーンルーム１００に充電中の搬送台車を設置しておくスペースを設ける必要がなくなる。その結果、設備設置クリーンルーム１００の設置面積を有効利用することができる。
また、基板４１が大型化した場合でも、従来の充電中の搬送台車を設置しておくスペースを、基板４１の大型化のために増大するスペースに活用することができるので、設備設置クリーンルーム１００の増設を必要としない。
【０１１９】
（４）請求項９のように、下降移載型搬送台車５０が台車収納型カセット台７０の内部まで移動して停止中に又は内部まで移動して待避させて、他の下降移載型搬送台車５０が、通路を通過できるので、停止又は待避している下降移載型搬送台車５０によって、通路を塞ぐことがなく、搬送効率を高めると共に、従来よりも通路幅を縮小することができる。
また、図７（ｂ）に示した従来の３台分の通路幅が、図２３（ｃ）に示した本発明を利用した２台分の通路幅になるために、基板４１が大型化した場合でも、従来の通路幅のままで通過することができるので、設備設置クリーンルーム１００の増設を必要としない。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、当該出願に係る発明の特徴を最もよく表す図である。
【図２】  図２は、基板処理工程の設備例を示す基板処理工程設備配置図である。
【図３】  図３は、従来技術の密閉容器一体型搬送台車１０からカセット台２０に載置されたオープンカセット４０及び基板搬入出ロボット１１０を設置した従来技術の開放型ロボット収納クリーンルーム３０を示す図である。
【図４】  図４は、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）１１及びシャッター１５を備えた密閉容器１２とリンクアーム１３及び昇降機構１４を備えた搬送台車１６とが一体に形成された密閉容器一体型搬送台車１０を示す図である。
【図５】  図５は、基板搬入出ロボット１１０がオープンカセット４０から基板４１を搬出するときのオープンカセット４０及び基板搬入出ロボット１１０の斜視図である。
【図６】  図６は、図３に示す従来技術の密閉容器一体型搬送台車１０及び基板搬入出ロボット１１０等の設備動作順序説明図である。
【図７】  図７は、従来の密閉容器一体型搬送台車１０からカセット台２０にオープンカセット４０を移載する密閉容器一体型搬送台車１０が通路に停止中に、他の密閉容器一体型搬送台車１０が同一通路を移動するときの移動方法説明図である。
【図８】  図８は、本発明に係る密閉カセット６０を上部に搭載した前方移載型搬送台車５５とスライド機構を備えた密着機構付きカセット台７５と基板搬入出ロボット１１０等を設置した本発明に適用する密閉型ロボット収納クリーンルーム８０とを示す図である。
【図９】  図９は、リンクアーム５６及び昇降機構５７を備えた図８に示す本発明に係る前方移載型搬送台車５５を示す図である。
【図１０】  図１０は、本発明に係る密閉カセット６０の斜視図である。
【図１１】  図１１は、図１０の密閉カセット６０の鍵機構を示す図であり、図１１（ａ）は、密閉蓋６１をカセット本体６２に取り付けるときの鍵機構の状態を示す図であり、図１１（ｂ）は、密閉蓋６１をカセット本体から取り外すときの鍵機構の状態を示す図である。
【図１２】  図１２は、図８に示す密着機構付きカセット台７５に載置された密閉カセット６０の密閉蓋着脱動作順序説明図である。
【図１３】  図１３は、図１２の要部拡大断面図である。
【図１４】  図１４は、Ｏリング８５の取り付け例を示す図である。
【図１５】  図１５は、本発明の前方移載型搬送台車５５及び密着機構付きカセット台７５を用いた設備動作順序説明図である。
【図１６】  図１６は、本発明に係る密閉カセット６０を上部に載置した下降移載型搬送台車５０と下降移載型搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成した台車収納型カセット台７０と基板搬入出ロボット１１０等を設置した本発明に適用する密閉型ロボット収納クリーンルーム８０とを示す図である。
【図１７】  図１７は、リンクアーム及びＦＦＵを備えていない図１６に示す本発明に係る下降移載型搬送台車５０を示す図である。
【図１８】  図１８は、密閉カセット６０を載置した下降移載型搬送台車５０が、台車収納型カセット台７０に形成された空間内に移動した状態を示す説明図である。
【図１９】  図１９は、本発明の下降移載型搬送台車５０及び台車収納型カセット台７０を用いた設備動作順序説明図である。
【図２０】  図２０は、本発明に係るオープンカセット４０を上部に載置した下降移載型搬送台車５０と下降移載型搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成した台車収納型カセット台７０と基板搬入出ロボット１１０等を設置した本発明に適用する開放型ロボット収納クリーンルーム３０とを示す図である。
【図２１】  図２１は、本発明の下降移載型搬送台車５０及び台車収納型カセット台７０を用いてオープンカセット４０を搬送するときの設備動作順序説明図である。
【図２２】  図２２は、充電機構７４が備えられた台車収納型カセット台７０及びその充電機構７４から充電することのできる下降移載型搬送台車５０を示す図である。
【図２３】  図２３は、本発明の下降移載型搬送台車５０から台車収納型カセット台７０に密閉カセット６０を移載しているときに、他の下降移載型搬送台車５０が同一通路を移動するときの移動方法説明図である。
【符号の説明】
１０  密閉容器一体型搬送台車
１０ａ  オープンカセット４０を移載中の密閉容器一体型搬送台車
１０ｂ  通路を移動中の密閉容器一体型搬送台車
１０ｃ  通路の反対側から移動してくる密閉容器一体型搬送台車
１１  ＦＦＵ
１２  密閉容器
１３  リンクアーム
１４  昇降機構
１５  シャッター
１６  搬送台車
２０  カセット台
２１  クランプ機構
３０  開放型ロボット収納クリーンルーム
３１  ＦＦＵ
３２  基板処理装置用開口
４０  オープンカセット
４１  基板
５０  下降移載型搬送台車
５０ａ  密閉カセット６０を移載中の下降移載型搬送台車
５０ｂ  通路を移動中の下降移載型搬送台車
５０ｃ  通路の反対側から移動してくる下降移載型搬送台車
５１  昇降機構
５２  充電口
５５  前方移載型搬送台車
５６  リンクアーム
５７  昇降機構
６０  密閉カセット
６１  密閉蓋
６２  カセット本体
６３  鍵穴
６４  鍵穴回転板
６５  連結棒
６６  鍵板
６６ａ  回転中心
６６ｂ  円弧部分
６６ｃ  平坦部分
７０  台車収納型カセット台
７１  クランプ機構
７２  カセット載置台
７３  スライド機構
７４  充電機構
７５  密着機構付きカセット台
７６  クランプ機構
７７  カセット載置台
７８  スライド機構
８０  密閉型ロボット収納クリーンルーム
８１  基板処理装置用開口
８２  カセット用開口
８３  ＦＦＵ
８４  隔壁
８５  Ｏリング
９０  密閉蓋着脱装置
９１  開閉板
９２  Ｘ方向スライド機構
９３  上下方向スライド機構
９４  鍵機構
９５  吸着機構
１００  設備設置クリーンルーム
１０１  カセットストック場所
１０２  基板処理装置
１１０  基板搬入出ロボット
１１１  ベース機構
１１２  昇降機構
１１３  アーム機構
１１３ａ  第１のアーム
１１３ｂ  第２のアーム
１１４  ハンド部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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