(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素含有ガスを加熱下で分解する分解処理剤であって、水酸化アルミニウムと水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとからなることを特徴とする分解処理剤。
【請求項２】
前記フッ素含有ガスがＣＦ４であることを特徴とする請求項１に記載の分解処理剤。
【請求項３】
前記水酸化アルミニウムを２０質量部以上４５質量部以下，前記水酸化カルシウムを５４質量部以上７９質量部以下，前記炭酸カルシウムを１質量部以上１５質量部以下の範囲で含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の分解処理剤。
【請求項４】
前記水酸化アルミニウムの平均粒径が５０μｍ以上１００μｍ以下であり、前記水酸化カルシウムおよび前記炭酸カルシウムの平均粒径が１μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の分解処理剤。
【請求項５】
Ｘ線回折チャートにおける２θ＝２９．３°〜２９．５°の範囲に現れる炭酸カルシウムのピーク強度をＩＣとし、２θ＝３４．０°〜３４．２°の範囲に現れる水酸化カルシウムのピーク強度をＩＯＨとしたとき、ＩＣ／ＩＯＨの値が０．１以上０．８以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の分解処理剤。
【請求項６】
水分量が１．０質量％以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の分解処理剤。
【請求項７】
形状が柱状であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の分解処理剤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、環境に有害な影響を与えるフッ素含有ガスの分解処理剤に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
化学的に極めて安定しているフロンは、爆発引火などの危険がないこと、人体にも無害であることなどの優れた性質を有することから様々な分野で広範囲に使用されてきた。しかしながら、フロンによるオゾン層破壊が問題となり、フロンに代わってカーエアコン等の冷媒用のハイドロフルオロカーボン類（ＨＦＣ）や半導体製造プロセスでのエッチングおよびクリーニングガスとして用いられるＣＦ４，Ｃ２Ｆ６等のパーフルオロカーボン類（ＰＦＣ）やフッ化硫黄（ＳＦ６）等の代替フロンが用いられてきた。
【０００３】
しかしながら、これらの代替フロンは、オゾン層は破壊しないものの、そのまま大気中に放出されると化学的に安定しており長時間にわたって温室効果を及ぼすことから、地球温暖化への影響が懸念されている。さらに、代替フロンに代わって用いられているパーフルオロエーテル類（ＰＦＥ）やハイドロフルオロエーテル類（ＨＦＥ）についても、代替フロンより温室効果が低いものの地球温暖化へ影響を与えるため、ＨＦＣ，ＰＦＣ等の代替フロンや代替フロンに代わるＰＦＥ，ＨＦＥ等のフッ素含有ガスの排出にあたっては、地球環境に影響を与えない無害な物質に分解して排出する必要がある。
【０００４】
また、半導体製造プロセスに使用された後で排出されるフッ素含有ガスには、毒性の強いＨＦ，ＳｉＦ４，ＣＯＦ２等のフッ素含有ガスも含まれるため、その分解処理には耐食性のある材料を選定して、安全に処理しなければならない。これらのフッ素含有ガスの分解処理は分解処理装置によって実施される。
【０００５】
図２は、従来の分解処理装置の概略図である。
【０００６】
この分解処理装置20は、フッ素含有ガス供給ライン22を流れるフッ素含有ガスと、窒素ガス供給ライン23を流れる窒素ガスとを混合してガス導入管26を通して反応容器27に導入し、反応容器27内の分解処理剤21を加熱することによりフッ素含有ガスを分解して、この分解生成ガスをガス排出管31を通して外部へ排出する構成となっており、ガスを採取して分解処理剤21の分解処理効果を確認するために、ガス導入管26にサンプリングポート25ａが、またガス排出管31にサンプリングポート25ｂがそれぞれ設けてある。なお、反応容器27内の分解処理剤21を加熱する手段は、反応容器27の外側に設置され断熱材29により覆われたヒーター32が用いられ、分解処理剤21の温度を感知する温度センサー28の感知信号を受けて温度制御装置30によりヒーター32の発熱を制御することによって分解処理剤21の温度がコントロールされている。
【０００７】
このようにフッ素含有ガスを分解処理剤21へ接触させて地球環境に影響を与えない無害な物質に分解して排出するために、種々の分解処理剤が提案されている。
【０００８】
例えば、特許文献１では、ハロゲンとしてフッ素のみを含有するハロゲン化合物を加水分解するために使用する触媒であって、Ａｌ酸化物を含んでなるフッ素含有化合物の分解処理用触媒が提案されている。これによれば、ＣＦ４，Ｃ２Ｆ６などのようにハロゲンとしてフッ素のみを含有するハロゲン化合物を効率よく分解処理できるというものである。また、ベーマイト粉末と硝酸ニッケル６水和物とからなるＡｌ−Ｎｉ系の分解処理用触媒や、ベーマイト粉末と硝酸コバルト６水和物とからなるＡｌ−Ｃｏ系の分解処理用触媒が提案されている。
【０００９】
また、特許文献２では、酸化アルミニウムおよびアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含んだフルオロカーボンの分解処理剤が提案されている。これによれば、フッ素含有ガスであるフルオロカーボンと分解処理剤との反応により酸化アルミニウムの表面にフッ化アルミニウムが生成するが、フッ化アルミニウムはアルカリ土類金属の酸化物と反応して酸化アルミニウムが再生されるので、長時間連続して分解処理できるというものである。また、水蒸気が共存する場合には、水蒸気がフッ化アルミニウムと反応して腐食性ガスであるフッ化水素が発生するものの、このフッ化水素は直ちにアルカリ土類金属と反応して消失するので、分解処理装置から腐食性ガスが排出されることはないというものである。
【００１０】
また、本願出願人も、特許文献３に示すように、フッ素化合物を加熱下で分解するための分解処理剤であって、水酸化アルミニウムと周期律表第２Ａ族元素の水酸化物を含有する分解処理剤を提案した。この分解処理剤は、短時間で分解処理剤の性能を低下させることなく、また、腐食性ガスを排出することなく600〜750℃の比較的低い温度で安定的にフッ素化合物を分解処理することができるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開2001−232152号公報
【特許文献２】特開2002−224565号公報
【特許文献３】特開2005−95730号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献１に開示された分解処理剤および特許文献２に開示された分解処理用触媒は、高い分解処理能力はあるものの、その分解処理能力を長時間にわたって維持できていなかった。このため、短時間で分解処理剤または分解処理用触媒を交換しなければならず、交換頻度が高く分解処理装置の稼働効率が低下するという問題があった。また、水や酸素を供給して分解処理能力を向上させるかまたは反応槽を複数準備して連続処理を行なうとすると、分解処理装置が大型化してしまうという問題があった。
【００１３】
また、本願出願人が特許文献３にて提案した分解処理剤は、高い分解処理能力を持ち、特許文献１に開示された分解処理剤および特許文献２に開示された分解処理用触媒よりも分解処理能力の持続時間は改善されているものの、更なる分解処理能力の向上および長時間にわたって分解処理能力を維持することが求められている。
【００１４】
さらに、フッ素の原料となる蛍石（フッ化カルシウム）は、増加する需要に応じて採掘量が増加しているが、埋蔵量の限界から資源枯渇することが懸念されている。そのため、分解処理剤には、フッ素含有ガスを地球環境に影響を与えない無害な物質に分解処理する一方で、分解処理して生じた生成物が再利用に適した形態で回収できるものであることが求められている。
【００１５】
本発明は、上記課題を解決すべく案出されたものであり、高い分解処理能力を長時間にわたって維持することができるとともに、分解処理して生じた生成物をフッ素原料として再利用に適した形態で回収可能な分解処理剤を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の分解処理剤は、フッ素含有ガスを加熱下で分解する分解処理剤であって、水酸化アルミニウムと水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとからなることを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の分解処理剤は、上記構成において、前記フッ素含有ガスがＣＦ４であることを特徴とするものである。
【００１８】
また、本発明の分解処理剤は、上記各構成において、前記水酸化アルミニウムを20質量部以上45質量部以下，前記水酸化カルシウムを54質量部以上79質量部以下，前記炭酸カルシウムを１質量部以上15質量部以下の範囲で含むことを特徴とするものである。
【００１９】
また、本発明の分解処理剤は、上記各構成において、前記水酸化アルミニウムの平均粒径が50μｍ以上100μｍ以下であり、前記水酸化カルシウムおよび前記炭酸カルシウムの平均粒径が１μｍ以上10μｍ以下であることを特徴とするものである。
【００２０】
また、本発明の分解処理剤は、上記各構成において、Ｘ線回折チャートにおける２θ＝29.3°〜29.5°の範囲に現れる炭酸カルシウムのピーク強度をＩＣとし、２θ＝34.0°〜34.2°の範囲に現れる水酸化カルシウムのピーク強度をＩＯＨとしたとき、ＩＣ／ＩＯＨの値が0.1以上0.8以下であることを特徴とするものである。
【００２１】
また、本発明の分解処理剤は、上記各構成において、水分量が1.0質量％以下であることを特徴とするものである。
【００２２】
また、本発明の分解処理剤は、上記各構成において、形状が柱状であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の分解処理剤によれば、フッ素含有ガスを加熱下で分解する分解処理剤であって、水酸化アルミニウムと水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとからなることにより、加熱された分解処理剤の成分である水酸化アルミニウムおよび水酸化カルシウムは、脱水反応によって表面がそれぞれ酸化アルミニウムおよび酸化カルシウムとなり、これらと分解処理剤のもう１つの成分である炭酸カルシウムと、脱水反応により生じた水（水蒸気）とがフッ素含有ガスと反応することによって、高い分解処理能力を得ることができる。また、酸化アルミニウムとフッ素含有ガスとの反応により、表面が酸化アルミニウムから分解処理能力の活性が失われるフッ化アルミニウムとなるが、水酸化カルシウムの脱水反応より生成される表面の酸化カルシウム，炭酸カルシウムまたは脱水反応によって生じた水（水蒸気）が速やかに反応して表面を酸化アルミニウムに再生することができるので、高い分解処理能力を長時間にわたって維持することができる。さらに、高い分解処理能力を長時間にわたって維持することができるので、分解処理剤の交換頻度が減少し、分解処理装置１の稼働効率を向上させることができる。また、分解処理後の分解処理剤をフッ素原料として再利用に適した形態で回収することができる。
【００２４】
また、本発明の分解処理剤によれば、フッ素含有ガスがＣＦ４であるときには、浄化装置や酸素の供給装置を設置しなくても有害ガスを排出することなく分解処理をすることができるので、コンパクトな分解処理装置とすることができる。
【００２５】
また、本発明の分解処理剤によれば、水酸化アルミニウムを20質量部以上45質量部以下，水酸化カルシウムを54質量部以上79質量部以下，炭酸カルシウムを１質量部以上15質量部以下の範囲で含むときには、水酸化アルミニウムおよび水酸化カルシウムが脱水反応により生じる水（水蒸気）となる適度な水酸基を有しているので、高い分解処理能力を得ることができる。また、水酸化アルミニウムの脱水反応により生成される表面の酸化アルミニウムとフッ素含有ガスとの反応によって、表面が分解処理能力の活性が失われるフッ化アルミニウムとなるが、このフッ化アルミニウムの量に対して、脱水反応によって表面が酸化カルシウムとなった水酸化カルシウムおよび炭酸カルシウムがそのフッ化アルミニウムと速やかに反応して表面を酸化アルミニウムに再生可能とすることができる量で確保されているので、高い分解処理能力を長時間にわたって維持することができる。
【００２６】
また、本発明の分解処理剤によれば、水酸化アルミニウムの平均粒径が50μｍ以上100μｍ以下であり、水酸化カルシウムおよび炭酸カルシウムの平均粒径が１μｍ以上10μｍ以下であるときには、水酸化アルミニウムの脱水反応により生成される表面の酸化アルミニウムとフッ素含有ガスとの反応により、表面が酸化アルミニウムから分解処理能力の活性が失われるフッ化アルミニウムとなるが、このフッ化アルミニウムの周りに、水酸化アルミニウムの平均粒径と比較して平均粒径が小さい、脱水反応によって表面が酸化カルシウムとなった水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとが分散しているものとなるので、これらがフッ化アルミニウムと速やかに反応して無害なフッ化カルシウムとすることができて表面を酸化アルミニウムに再生することができるので、高い分解処理能力を長時間にわたって維持することができる。
【００２７】
また、本発明の分解処理剤によれば、Ｘ線回折チャートにおける２θ＝29.3°〜29.5°の範囲に現れる炭酸カルシウムのピーク強度をＩＣとし、２θ＝34.0°〜34.2°の範囲に現れる水酸化カルシウムのピーク強度をＩＯＨとしたとき、ＩＣ／ＩＯＨの値が0.1以上0.8以下であるときには、炭酸カルシウムと水酸化カルシウムの割合をより良好な範囲とでき、フッ素含有ガスの分解処理能力をより向上させることができる。
【００２８】
また、本発明の分解処理剤によれば、水分量が1.0質量％以下であるときには、高い分解処理能力を得ることができる。
【００２９】
また、本発明の分解処理剤によれば、形状が柱状であるときには、分解処理剤同士の間の隙間が分解処理するフッ素含有ガスを流通させる流路として好適なものとなり、分解処理剤とフッ素含有ガスとの反応を促進することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の分解処理剤を用いたフッ素含有ガスの分解処理装置の実施の形態の一例を示す概略図である。
【図２】従来の分解処理装置の例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明のフッ素含有ガスの分解処理剤の実施の形態の例について説明する。
【００３２】
図１は、本発明の分解処理剤を用いたフッ素含有ガスの分解処理装置の実施の形態の一例を示す概略図である。
【００３３】
この分解処理装置１は、フッ素含有ガス供給ライン３を流れるフッ素含有ガスと、窒素ガス供給ライン４を流れる窒素ガスとを混合してガス導入管６を通して反応容器７に導入し、反応容器７内の分解処理剤２を加熱することによりフッ素含有ガスを分解して、この分解生成ガスをガス排出管11を通して外部へ排出する構成となっており、ガスを採取して分解処理剤２の分解処理効果を確認するために、ガス導入管６にサンプリングポート５ａが、またガス排出管11にサンプリングポート５ｂがそれぞれ設けてある。なお、反応容器７内の分解処理剤２を加熱する手段には、反応容器７の外側に設置されて断熱材９により覆われたヒーター12が用いられ、分解処理剤２の温度を感知する温度センサー８の感知信号を受けて温度制御装置10によりヒーター12の発熱を制御することによって分解処理剤２の温度がコントロールされている。
【００３４】
そして、このフッ素含有ガスの分解処理に用いる分解処理剤２が水酸化アルミニウムと水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとからなることが重要である。分解処理剤２が水酸化アルミニウムと水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとからなることにより、従来と比較して高い分解処理能力を長時間にわたって維持することが可能となり、分解処理能力の向上によって分解処理剤２の交換頻度が減少し、分解処理装置１の稼働効率を向上させることができる。
【００３５】
本発明の分解処理剤２が高い分解処理能力を長時間にわたって維持できる理由については明らかではないが、以下に記載の反応が主であることによるものと考えられる。
【００３６】
フッ素含有ガスがＣＦ４の場合を例に挙げて説明する。
【００３７】
（１）加熱して行なわれる分解処理の際に、分解処理剤２の成分である水酸化アルミニウム（Ａｌ（ＯＨ）３）および水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）２）は、それぞれ脱水反応によって表面が酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）および酸化カルシウム（ＣａＯ）となると考えられる。
【００３８】
【化１】
0005031783.tif 000002
【００３９】
（２）（１）の脱水反応により、水酸化アルミニウムおよび水酸化カルシウムは、表面がそれぞれ酸化アルミニウムおよび酸化カルシウムとなり、この酸化アルミニウムおよび酸化カルシウムと、分解処理剤２のもう１つの成分である炭酸カルシウム（ＣａＣＯ３）と、脱水反応により生じた水（水蒸気）（Ｈ２Ｏ）とがフッ素含有ガス（この例ではＣＦ４）と反応するため、高い分解処理能力を得ることができると考えられる。特に、酸化カルシウムと炭酸カルシウムについては、この反応によって無害なフッ化カルシウム（ＣａＦ２）とすることができる。また、水酸化アルミニウムおよび水酸化カルシウムは、脱水反応によって表面がそれぞれ酸化アルミニウムおよび酸化カルシウムとなり、表面がこれらに覆われることによって、水酸化アルミニウムおよび水酸化カルシウムの内部の脱水反応を抑制し、分解処理に必要な水を分解処理剤２の内部に留まらせてフッ素含有ガスの分解処理に用いることができるので、高い分解処理能力を長時間にわたって維持できると考えられる。また、炭酸カルシウムは、水酸化アルミニウムおよび水酸化カルシウムの表面に接触することによって、上記と同様に水酸化アルミニウムおよび水酸化カルシウムの表面を覆って脱水反応を抑制していると考えられる。
【００４０】
【化２】
0005031783.tif 000003
【００４１】
（３）（２）において、酸化アルミニウムとフッ素含有ガスとの反応によって酸化アルミニウムは分解処理能力の活性が失われるフッ化アルミニウム（ＡｌＦ３）となるが、このフッ化アルミニウムは酸化カルシウム，炭酸カルシウムまたは水（水蒸気）との反応によって表面を酸化アルミニウムに再生することができるので、高い分解処理能力を長時間にわたって維持できると考えられる。
【００４２】
【化３】
0005031783.tif 000004
【００４３】
（４）また、（２）における水（水蒸気）とフッ素含有ガスとの反応によって、および（３）における水（水蒸気）とフッ化アルミニウムとの反応によって有害であるフッ化水素（ＨＦ）が生じるが、このフッ化水素についても酸化カルシウムまたは炭酸カルシウムとの反応によって無害であるフッ化カルシウムとすることができる。さらに、この反応によって水（水蒸気）を再生することができるので、高い分解処理能力を長時間にわたって維持できるものと考えられる。
【００４４】
【化４】
0005031783.tif 000005
【００４５】
このように本発明のフッ素含有ガスの分解処理剤２は、これらの反応が繰り返されることによって高い分解処理能力を長時間にわたって維持することができると考えられ、分解処理能力の向上により分解処理剤２の交換頻度が減少し、分解処理装置１の稼働効率を向上させることができる。また、従来と同様の分解処理能力であれば、分解処理剤２の量を少なくできるので分解処理装置１のコンパクト化を図ることができる。また、本発明の分解処理剤２を用いてフッ素含有ガスを分解処理して生じたフッ化カルシウムは、純度が高く再利用に適した形態で回収することができるので、酸処理することによってフッ素ガスを再利用することができる。
【００４６】
また、本発明の分解処理剤２は、処理するフッ素含有ガスがＣＦ４であることが好ましい。フッ素含有ガスがＣＦ４であるときには、上記分解処理方法に示すように、有害ガスを排出することなく本発明の分解処理剤２のみで分解処理することができる。一方、フッ素含有ガスがＣＦ４以外のときには、反応によって一酸化炭素（ＣＯ）を生成する場合があり、一酸化炭素を浄化するための浄化装置や一酸化炭素に酸素を加えて無害化するための酸素の供給装置等を設置することが必要となる場合がある。これに対し、処理するフッ素含有ガスがＣＦ４であるときには、特別に浄化装置や酸素の供給装置を設置しなくてもよいので、コンパクトな分解処理装置１とすることができる。
【００４７】
また、本発明の分解処理剤２は、水酸化アルミニウムを20質量部以上45質量部以下，水酸化カルシウムを54質量部以上79質量部以下，炭酸カルシウムを１質量部以上15質量部以下の範囲で含むことが好ましい。この範囲内であれば、水酸化アルミニウムおよび水酸化カルシウムが脱水反応により生じる水（水蒸気）となる適度な水酸基を有しているので、高い分解処理能力を得ることができる。また、水酸化アルミニウムの脱水反応により生成される表面の酸化アルミニウムとフッ素含有ガスとの反応によって、表面が分解処理能力の活性が失われるフッ化アルミニウムとなっても、このフッ化アルミニウムの量に対して、脱水反応によって表面が酸化カルシウムとなった水酸化カルシウムおよび炭酸カルシウムがそのフッ化アルミニウムと速やかに反応して表面を酸化アルミニウムに再生可能とすることができる量で確保されているので、高い分解処理能力を長時間にわたって維持することができる。
【００４８】
一方、水酸化アルミニウムの含有量が20質量部未満では、水酸化アルミニウムが有している水酸基が少なくなるので、高温に加熱した際の脱水反応によって生じる水（水蒸気）の量が少なくなり、分解処理能力が低下する傾向がある。また、再生される酸化アルミニウムの量が少なくなることでもあるために、寿命が短くなる傾向がある。他方、水酸化アルミニウムの含有量が45質量部を超えると、脱水反応により生成される表面の酸化アルミニウムとフッ素含有ガスとの反応によってフッ化アルミニウムとなるが、このフッ化アルミニウムの量に対して、脱水反応によって表面が酸化カルシウムとなった水酸化カルシウムおよび炭酸カルシウムの量が不足することとなり、分解処理能力が低下したり、フッ化アルミニウムと水（水蒸気）との反応によって生じるフッ化水素が分解処理できずに流出したりすることとなる傾向がある。
【００４９】
また、水酸化カルシウムの含有量が54質量部未満では、水酸化アルミニウムと同様に水酸化カルシウムが有している水酸基が少なくなるので、高温に加熱した際の脱水反応によって生じる水（水蒸気）の量が少なくなる。また、分解処理能力の活性が失われるフッ化アルミニウムと反応してこれを無害化するための酸化カルシウムの量が不足することとなるので、分解処理能力が低下する傾向がある。また、水酸化カルシウムの含有量が79質量部を超えると、水酸化アルミニウムの含有量が少なくなるということであるので、再生される酸化アルミニウムの量も減ることから、寿命が短くなる傾向がある。
【００５０】
さらに、炭酸カルシウムの含有量が１質量部未満では、分解処理能力が低下する傾向がある。その理由は明らかではないが、炭酸カルシウムは水酸化アルミニウムおよび水酸化カルシウムと接触することによって水酸化アルミニウムおよび水酸化カルシウムの内部の脱水反応を抑制することができると考えられるが、１質量部未満では脱水反応を抑制する効果が小さくなるからであろうと考えられる。他方、炭酸カルシウムの含有量が15質量部を超えると、水酸化アルミニウムおよび水酸化カルシウムの含有量が少なくなり、高温に加熱した際の脱水反応によって生じる水（水蒸気）の量が少なくなるので、分解処理能力が低下する傾向がある。また、ＣＯ２の排出量が多くなり、温室効果ガスとして地球環境に悪影響を及ぼすおそれがあると言われているガスの排出量が増える傾向がある。
【００５１】
本発明の分解除理剤２は、水酸化アルミニウムを28質量部以上35質量部以下，水酸化カルシウムを63質量部以上70質量部以下，炭酸カルシウムを２質量部以上８質量部以下の範囲で含むことが、上記の効果がより安定して得られるという点で好ましい。
【００５２】
なお、本発明の分解処理剤２における水酸化アルミニウム，水酸化カルシウムおよび炭酸カルシウムのそれぞれの含有量については、分解処理剤をＸ線回折（ＸＲＤ）測定し、そのデータをリートベルト法で解析することにより行なう。リートベルト法については、「結晶解析ハンドブック」（日本結晶学会「結晶解析ハンドブック」編集委員会編  共立出版株式会社  1999年９月発行）のｐ．492−499に記載されている方法を用いる。具体的には、評価対象の試料をディフラクトメーター法で測定した２θ＝10°以上130°以下の範囲のＸ線回折パターンに対して、ＲＩＥＴＡＮ−2000プログラムを使用することにより、水酸化アルミニウム，水酸化カルシウムおよび炭酸カルシウムの含有量を求めることができる。
【００５３】
また、本発明の分解処理剤２は、水酸化アルミニウムの平均粒径が50μｍ以上100μｍ以下であり，水酸化カルシウムおよび炭酸カルシウムの平均粒径が１μｍ以上10μｍ以下であることが好ましい。このような平均粒径の水酸化アルミニウム，水酸化カルシウムおよび炭酸カルシウムから構成される分解処理剤２であれば、水酸化アルミニウムは加熱されて脱水反応することによって表面が酸化アルミニウムとなり、フッ素含有ガスと反応して分解処理能力の活性が失われるフッ化アルミニウムとなるが、このフッ化アルミニウムの周りに、水酸化アルミニウムの平均粒径と比較して平均粒径が小さい、脱水反応によって表面が酸化カルシウムとなった水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとがよく分散しているものとなるので、これらがフッ化アルミニウムと速やかに反応して無害なフッ化カルシウムとすることができて表面を酸化アルミニウムに再生することができるので、高い分解処理能力を長時間にわたって維持することができる。
【００５４】
これに対し、水酸化アルミニウムの平均粒径が50μｍ未満では、水酸化アルミニウムの表面積が増加し、脱水反応によって生じる水（水蒸気）の量が多くなるために、高い分解処理能力は得られるものの高い分解処理能力を長時間にわたって維持することが難しくなる傾向がある。また、水酸化アルミニウムの平均粒径が100μｍを超えると、水酸化アルミニウムの内部の水が脱水しにくくなり、フッ素含有ガスの分解処理に用いる水の量が少なく、分解処理能力が低下する傾向がある。
【００５５】
また、水酸化カルシウムの平均粒径が１μｍ未満では、水酸化カルシウムの表面積が増加し、脱水反応によって生じる水（水蒸気）の量が多くなるために、高い分解処理能力は得られるものの高い分解処理能力を長時間にわたって維持することが難しくなる傾向がある。また、水酸化カルシウムの平均粒径が10μｍを超えると、水酸化カルシウムの内部の水が脱水しにくくなり、フッ素含有ガスの分解処理に用いられる水の量が少なくなるので、分解処理能力が低下する傾向がある。
【００５６】
また、炭酸カルシウムの平均粒径が１μｍ未満では、粒が凝集しやすく分解処理剤２の全体に均一に分散させることが難しくなるので、水酸化アルミニウムおよび水酸化カルシウムと接触して脱水反応を抑制する効果が小さくなり、また、水酸化アルミニウムの脱水反応により生成される表面の酸化アルミニウムとフッ素含有ガスとが反応して生成されるフッ化アルミニウムと速やかに反応して表面を酸化アルミニウムに再生させる効果が小さくなるので、高い分解処理能力を長時間にわたって維持することが難しくなる傾向がある。
【００５７】
また、炭酸カルシウムの平均粒径が10μｍを超えると、特に本発明の分解処理剤２の成分である水酸化アルミウムとの接触面積が小さくなり、脱水反応の抑制効果が小さくなって、水酸化アルミニウムの脱水反応により生成される表面の酸化アルミニウムとフッ素含有ガスとが反応して生成されるフッ化アルミニウムと速やかに反応して表面を酸化アルミニウムに再生させる効果が小さくなる傾向がある。また、フッ素含有ガスとの接触面積も小さくなるので、分解処理能力が低下する傾向がある。なお、水酸化アルミニウムの平均粒径を55μｍ以上80μｍ以下，水酸化カルシウムと炭酸カルシウムの平均粒径を３μｍ以上８μｍ以下とすれば、上記の効果がより安定して得られるという点で好ましい。
【００５８】
また、本発明の分解処理剤２は、Ｘ線回折チャートにおける２θ＝29.3°〜29.5°の範囲に現れる炭酸カルシウムのピーク強度をＩＣとし、２θ＝34.0°〜34.2°の範囲に現れる水酸化カルシウムのピーク強度をＩＯＨとしたとき、ＩＣ／ＩＯＨの値が0.1以上0.8以下であるものとすれば、分解処理剤２中の炭酸カルシウムと水酸化カルシウムとの割合をより好適範囲とすることができ、分解処理剤２の表面の活性が高まり、フッ素含有ガスの分解処理能力をより向上させることができる。
【００５９】
なお、本発明の分解処理剤２のＸ線回折チャートにおけるＩＣ／ＩＯＨの値は、市販のＸ線回折装置を用いて本発明の分解処理剤２表面のＸ線回折測定を実施した後、そのＸ線回折チャートの２θ＝29.3°〜29.5°の範囲に現れる炭酸カルシウムのピーク強度ＩＣと、２θ＝34.0°〜34.2°の範囲に現れる水酸化カルシウムのピーク強度ＩＯＨとを読み取り、この比率（ＩＣ／ＩＯＨ）を算出することによって求めることができる。また、Ｘ線回折チャートの中で、炭酸カルシウムおよび水酸化カルシウムのピークを２θ＝29.3°〜29.5°および２θ＝34.0°〜34.2°としたのは、物質の同定に用いられるＪＣＰＤＳ（Joint Committee on Powder Diffraction Standards）カードにおいて、上記範囲の角度（２θ）に最も高いピークが現れることが確認されており、本発明の分解処理剤２のように、水酸化アルミニウムと水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとからなるものであっても、炭酸カルシウムおよび水酸化カルシウムの最も高いピークが現れる可能性が高いからである。
【００６０】
また、本発明の分解処理剤２は、水分量が1.0質量％以下であることが好ましい。これにより、フッ素含有ガスの高い分解処理能力を維持することができる。水分量が1.0質量％を超えるときには、フッ素含有ガスの処理の際に分解処理剤２が加熱されることによって分解処理剤２に変形やクラックが生じて、フッ素含有ガスの分解処理能力が低下する傾向がある。分解処理剤２の水分量を1.0質量％以下とするには、分解処理剤２の成形体を50℃以上150℃以下の温度で乾燥して整粒機を用いて整粒した後、室温が20℃以下であり、湿度が30％以下の場所で保管するのがよい。なお、この水分量の測定方法については、ＪＩＳ  Ｒ  1639−３−1999に準拠して測定することができる。
【００６１】
また、本発明の分解処理剤２は、水酸化アルミニウムと水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとからなり、特に優れた分解処理能力を発揮するために形状の制限を受けるものではないが、それら成分の粒の形状が柱状であることが好ましい。それは、この分解処理剤２を図１に示す例の反応容器７内に充填して分解処理装置１に用いるときに、分解処理剤２同士の間の隙間が分解処理するフッ素含有ガスを流通させる流路として好適なものとなり、分解処理剤２とフッ素含有ガスとの反応を促進できるからである。なお、フッ素含有ガスの流路となり、分解処理剤２とフッ素含有ガスとの反応を促進する分解処理剤２の形状としては、外径がφ0.5ｍｍ以上５ｍｍ以下であり長さが１ｍｍ以上10ｍｍ以下である柱状であって、整粒機等によって形状が整えられ、端部に丸みを帯びていることが好ましい。
【００６２】
また、本発明の分解処理剤２は、粉末としての嵩密度が0.5ｇ／ｃｍ３以上1.2ｇ／ｃｍ３以下であることが好ましい。嵩密度が0.5ｇ／ｃｍ３未満であるときには、分解処理剤２の反応容器７内への充填量が少なくなり、分解に寄与できる分解処理剤２の量が少なくなる傾向がある。また、嵩密度が1.2ｇ／ｃｍ３を超えると通気抵抗が高くなり、反応容器７内にフッ素含有ガスを流しにくくなる傾向がある。より良好にフッ素含有ガスを流して、分解処理を行なうには、分解処理剤２の嵩密度を0.6ｇ／ｃｍ３以上1.0ｇ／ｃｍ３以下とするのがよい。なお、分解処理剤２の粉末としての嵩密度の測定方法については、ＪＩＳ  Ｒ  1628−1997に準拠して測定することができる。
【００６３】
また、本発明の分解処理剤２は、比表面積（ＢＥＴ）が３ｃｍ２／ｇ以上60ｃｍ２／ｇ以下であることが好ましい。分解処理剤２の比表面積が３ｃｍ２／ｇ未満である場合には、フッ素含有ガスと分解処理剤２との接触面積が少なくなり分解処理能力が低下する傾向がある。また、比表面積が60ｃｍ２／ｇを超えると、フッ素含有ガスと分解処理剤２との接触面積が大きすぎて分解処理剤２の寿命が短くなる傾向がある。なお、分解処理剤２の比表面積の測定方法については、ＪＩＳ  Ｒ  1626−1996に準拠したＢＥＴ（Brunauer，Emmett and Teller）法により測定することができる。測定装置としては、例えばマウンテック社製  Ｍａｃｓｏｒｂ  ＨＭ  ｍｏｄｅｌ−1220を用いて測定することができる。
【００６４】
また、本発明の分解処理剤２は、不可避不純物として、Ｍｇ，Ｓｉ，Ｐ，Ｓ，Ｃｌ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｇａ，Ｓｒ，Ｙ，Ｚｒを酸化物換算で合計２質量％以下含有していてもよい。これらの不可避不純物を酸化物換算で合計２質量％を超えて含有すれば、分解処理剤２のフッ素含有ガスの分解処理能力が低下するとともに、フッ素含有ガスと不可避不純物とが反応して、分解不能な化合物を形成する可能性があるために好ましくない。なお、分解処理剤２中の不可避不純物であるＭｇ，Ｓｉ，Ｐ，Ｓ，Ｃｌ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｇａ，Ｓｒ，Ｙ，Ｚｒの含有量については、ＩＣＰ発光分光分析装置を用いて金属元素の含有量を測定し、酸化物に換算することにより確認することができる。
【００６５】
また、本発明の分解処理剤２は、その形状が柱状であるとともに、５％以上50％以下の気孔率を有していることが好ましい。気孔率が５％未満となると、フッ素含有ガスと接触する柱状の分解処理剤２の表面積が相対的に小さくなることとなって、分解処理能力が低下する場合がある。また、気孔率が50％を超えると、柱状の分解処理剤２の強度が相対的に低下するために形状を保持することが困難になる場合があり、反応容器７内に柱状の分解処理剤２を充填したときに砕けやすくなって、砕けた分解処理剤２の細かな粒がフッ素含有ガスの流路となる分解処理剤２同士の隙間に入り、フッ素含有ガスの流路を十分に確保できなくなって分解処理能力が低下する場合がある。なお、分解処理剤２の気孔率については、アルキメデス法を用いて測定することができる。
【００６６】
次に、本発明の分解処理剤２の製造方法の詳細について説明する。
【００６７】
まず、純度が99％以上で平均粒径が50μｍ以上100μｍ以下の水酸化アルミニウム粉末と、純度が99％以上で平均粒径が１μｍ以上10μｍ以下の水酸化カルシウム粉末および炭酸カルシウム粉末とを準備する。そして、水酸化アルミニウムを20質量部以上45質量部以下，水酸化カルシウムを54質量部以上79質量部以下，炭酸カルシウムを１質量部以上15質量部以下の範囲で所定量秤量し、混合攪拌機に入れて混合攪拌する。
【００６８】
次に、ニーダー等の混練機を用いて水を加えながら10分以上２時間以下の範囲で混練した後、押出成形機を用いて、外径がφ0.5ｍｍ以上５ｍｍ以下の長尺成形体を成形し、この長尺成形体の長さを１ｍｍ以上10ｍｍ以下に切断して柱状の成形体を得る。
【００６９】
さらに、この柱状の成形体を乾燥機内で50℃以上150℃以下の温度で10分以上５時間以下の範囲で乾燥した後、整粒機を用いて整粒することにより、本発明の分解処理剤２を得る。なお、押出成形機を用いて成形を実施する他にも、加圧プレス成形機やスパルタン・リューザー（ダルトン（株）製）等の各種造粒機による成形も可能である。
【００７０】
上記製造方法により作製された本発明の分解処理剤２は、図１に示す例の反応容器７に0.5〜２ｇ／ｃｍ３の密度で充填され、分解処理装置１にセットして用いられる。そして、本発明の分解処理剤２が、水酸化アルミニウムと水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとからなることにより、高い分解処理能力を長時間にわたって維持することが可能となり、分解処理剤２の交換頻度が減少し、分解処理装置１の稼働効率を向上させることができる。
【００７１】
以上、本発明の実施の形態の例について説明したが、本発明の分解処理剤２は、上述の内容に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲内であれば種々変更してもよいことは言うまでもない。例えば、フッ素含有ガスとその他のガスの混合ガスとを分解するために、本発明の分解処理剤２とその他のガスを分解可能な分解処理剤とを混合して用いることもできる。
【実施例１】
【００７２】
以下、本発明の実施例を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００７３】
本発明の分解処理剤の実施例と、比較例としてＡｌ−Ｎｉ系およびＡｌ−Ｃｏ系の分解処理剤とを作製し、ＣＦ４の分解率を比較する試験を実施した。
【００７４】
まず、実施例として本発明の分解処理剤の試料を作製した。１次原料として、純度が99％以上であり平均粒径が70μｍの水酸化アルミニウムと、純度が99％以上であり平均粒径が５μｍの水酸化カルシウムと、純度が99％以上であり平均粒径が５μｍの炭酸カルシウムとを準備した。そして、水酸化アルミニウムを35質量部，水酸化カルシウムを60質量部，炭酸カルシウムを５質量部となるように秤量して混合攪拌機を用いて乾式混合した。その後、ニーダーを用いて水を加えながら混練し、坏土を得た。
【００７５】
次に、この坏土を押出成形機の坏土投入口から押出成形機内に投入し、真空ポンプを作動させて押出成形機内を真空引きしながら、φ３〜５ｍｍの外径となる金型より坏土を押し出して成形し、これを３〜10ｍｍの長さに切断して成形体とした。そして、この成形体を乾燥機に入れて100℃で30分乾燥し、乾燥後の成形体を整粒機により形状を整え、外径がφ２ｍｍ，長さが２〜８ｍｍの本発明の分解処理剤の試料を得た。
【００７６】
そして、図１に示す例の分解処理装置１を用いてＣＦ４ガスの分解処理を行なった。実施例である本発明の分解処理剤の試料を内径が30ｍｍのステンレス製（ＳＵＳ）の反応容器７に60ｍｌ充填し、分解処理装置１にセットした。次に、分解処理剤の試料を加熱し、800℃に温度制御した後、ＣＦ４ガスと窒素ガスとの混合ガスを20ｍｌ／ｍｉｎの流量で流してＣＦ４ガスの分解処理を行なった。その後、分解処理開始から24，72，168，480，720，1000時間経過後のＣＦ４ガスの分解率を算出した。なお、分解率は、サンプリングポート５ａから分解処理前のガスを、サンプリングポート５ｂから分解処理後のガスをそれぞれ採取し、ガスクロマトグラフ分析を行なってＣＦ４濃度を測定し、分解処理前のＣＦ４濃度の測定値から分解処理後のＣＦ４濃度の測定値を差し引いた値を分解処理前のＣＦ４濃度の測定値で除して百分率で表したもので算出した。
【００７７】
次に、比較例１の試料を作製した。まず、ベーマイト粉末を準備し、乾燥機に入れて120℃で１時間乾燥した。そして、この乾燥粉末に硝酸ニッケル６水和物（Ｎｉ（ＮＯ３）２・６Ｈ２Ｏ）を加えて混練し、250〜300℃で２時間乾燥した。さらに、700℃で２時間焼成し、得られた焼成物を粉砕し篩い分けをして0.5〜１ｍｍの粒径に揃えることにより、比較例１であるＡｌ−Ｎｉ系の分解処理剤の試料を得た。
【００７８】
次に、比較例２の試料を作製した。比較例１で用いた硝酸ニッケル６水和物を硝酸コバルト６水和物（Ｃｏ（ＮＯ３）２・６Ｈ２Ｏ）とした以外は比較例１と同様の工程で比較例２であるＡｌ−Ｃｏ系の分解処理剤の試料を得た。
【００７９】
そして、比較例１のＡｌ−Ｎｉ系の分解処理剤の試料と比較例２のＡｌ−Ｃｏ系の分解処理剤の試料とを用いて、実施例である本発明の分解処理剤の試料と同様に、図１に示す例の分解処理装置１を用いてＣＦ４ガスの分解処理を行なった。内径が30ｍｍのステンレス製の反応容器７を２つ準備し、それぞれのステンレス製の反応容器７に60ｍｌ充填し、分解処理装置１にセットした。次に、分解処理剤を加熱し、800℃に温度制御した後、ＣＦ４ガスと窒素ガスとの混合ガスを20ｍｌ／ｍｉｎの流量で流してＣＦ４ガスの分解処理を行ない、本発明の分解処理剤の試料と同様に分解処理開始から経過した時間毎にＣＦ４濃度を測定し、ＣＦ４ガスの分解率を算出した。なお、分解率が90％未満となった時点で分解処理を終了した。結果を表１に示す。
【００８０】
【表１】
0005031783.tif 000006
【００８１】
表１に示す結果から分かる通り、比較例１のＡｌ−Ｎｉ系の分解処理剤の試料および比較例２のＡｌ−Ｃｏ系の分解処理剤の試料では、分解処理開始から480時間経過後までは90％以上の分解率を示していたが、時間の経過に伴って分解率の低下が見られた。
【００８２】
これに対し、実施例の本発明の分解処理剤の試料は、1000時間経過後も分解率の低下がなく、高い分解処理能力を長時間にわたって維持できることが分かった。
【実施例２】
【００８３】
次に、実施例１と同様の１次原料を用いて、本発明の分解処理剤を構成する水酸化アルミニウム，水酸化カルシウムおよび炭酸カルシウムを表２に示す含有量となるように秤量した。そして、実施例１と同様の工程により、本発明の分解処理剤の実施例である試料Ｎｏ．１〜21を作製した。これらの試料を用い、実施例１と同様の条件で分解処理装置１を用いてＣＦ４ガスの分解処理を行ない、分解処理開始から480，720，1000時間経過後のＣＦ４ガスの分解率を実施例１と同様にして算出した。結果を表２に示す。
【００８４】
【表２】
0005031783.tif 000007
【００８５】
表２に示す結果から分かる通り、水酸化アルミニウムと水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとからなる本発明の分解処理剤の実施例である試料Ｎｏ．１〜21は、480時間経過後の分解率が全て96％以上であり、分解処理能力が高いことが確認された。また、720時間経過後においても90％以上の分解率を示しており高い分解処理能力を長時間にわたって維持できることが確認された。
【００８６】
また、水酸化アルミニウムを20質量部以上45質量部以下，水酸化カルシウムを54質量部以上79質量部以下，炭酸カルシウムを１質量部以上15質量部以下の範囲で含む試料Ｎｏ．３〜６，８，９，11〜13，15〜17は、1000時間経過後においても95％以上の分解率を示していた。また、より好ましい範囲である水酸化アルミニウムを28質量部以上35質量部以下，水酸化カルシウムを63質量部以上70質量部以下，炭酸カルシウムを２質量部以上８質量部以下の範囲で含む試料Ｎｏ．８，９，12，13，16は、1000時間経過後の分解率が99％であり、高い分解処理能力をより長時間にわたって維持できることが確認された。
【実施例３】
【００８７】
次に、水酸化アルミニウム，水酸化カルシウムおよび炭酸カルシウムについて、平均粒径が表３に示す値の１次原料を用いて、実施例２の試料Ｎｏ.13と同様に、水酸化アルミニウムを35質量部，水酸化カルシウムを60質量部，炭酸カルシウムを５質量部となるように秤量した。そして、実施例１と同様の工程により、本発明の分解処理剤の実施例である試料Ｎｏ．22〜44を作製した。これらの試料を用い、実施例１と同様の条件で分解処理装置１を用いてＣＦ４ガスの分解処理を行ない、分解処理開始から480，720，1000時間経過後のＣＦ４ガスの分解率を実施例１と同様にして算出した。結果を表３に示す。
【００８８】
【表３】
0005031783.tif 000008
【００８９】
表３に示す結果から分かる通り、水酸化アルミニウムの平均粒径が50μｍ以上100μｍ以下であり、水酸化カルシウムおよび炭酸カルシウムの平均粒径が１μｍ以上10μｍ以下である試料Ｎｏ．23〜25，27〜32，35〜38，40〜42は、480時間経過後の分解率が99％，720時間経過後の分解率が98％以上であり、1000時間経過後の分解率が95％以上であることから、これら分解処理剤を加熱することによって、水酸化アルミニウムは脱水反応し、表面が酸化アルミニウムとなりフッ素含有ガスと反応して分解処理能力の活性が失われるフッ化アルミニウムとなるが、このフッ化アルミニウムの周りに、水酸化アルミニウムの平均粒径と比較して小さい、脱水反応によって表面が酸化カルシウムとなった水酸化カルシウムと炭酸カルシウムとがよく分散しており、これらがフッ化アルミニウムと速やかに反応して無害なフッ化カルシウムとすることができて表面を酸化アルミニウムに再生することができるので、高い分解処理能力を長時間にわたって維持できることが確認された。
【００９０】
また、水酸化アルミニウムの平均粒径が55μｍ以上80μｍ以下であり、水酸化カルシウムと炭酸カルシウムの平均粒径が３μｍ以上８μｍ以下である試料Ｎｏ．24，25，29〜31，36，37，40は、1000時間経過後の分解率が98％以上であり、高い分解処理能力をより長時間にわたって維持できることが確認された。
【実施例４】
【００９１】
次に、実施例１と同様の１次原料を用いて、本発明の分解処理剤を構成する水酸化アルミニウム，水酸化カルシウムおよび炭酸カルシウムを表４に示す含有量となるように秤量した。そして、実施例１と同様の工程により、本発明の分解処理剤の実施例である試料Ｎｏ．45〜51を作製した。そしてこれらの試料について、Ｘ線回折装置（ＢｒｕｋｅｒＡＸＳ社製  ＡＤＶＡＮＣＥ）により、測定範囲２θ＝10°〜90°，ＣｕＫα測定の条件でＸ線回折測定を実施し、そのＸ線回折チャートから、２θ＝29.3°〜29.5°の範囲に現れる炭酸カルシウムのピーク強度ＩＣと、２θ＝34.0°〜34.2°の範囲に現れる水酸化カルシウムのピーク強度ＩＯＨとを読み取り、ＩＣ／ＩＯＨの値を算出した後、実施例１と同様の条件で分解処理装置１を用いてＣＦ４ガスの分解処理を行ない、分解処理開始から480，720，1000時間経過後のＣＦ４ガス分解率を実施例１と同様にして算出した。結果を表４に示す。
【００９２】
【表４】
0005031783.tif 000009
【００９３】
表４に示す結果から分かる通り、ＩＣ／ＩＯＨの値が0.1未満もしくは0.8を超える試料Ｎｏ．45および51に比べて、ＩＣ／ＩＯＨの値が0.1以上0.8以下の試料Ｎｏ．46〜50は、1000時間経過後においても98％以上の分解率を示しており、高い分解処理能力をより長時間にわたって維持できることが確認された。
【実施例５】
【００９４】
次に、実施例１と同様の１次原料を用いて、実施例４の試料Ｎｏ．48と同様となるように秤量し、実施例１と同様の工程により本発明の分解処理剤を作製した。そして、この分解処理剤の水分量をＪＩＳ  Ｒ  1639−３−1999に準拠して測定したところ0.7％であった。その後、この分解処理剤の半分の量を、室温が20℃であり、湿度が20％の場所Ａに、残り半分を、室温が30℃であり、湿度が50％の場所Ｂにそれぞれ３ヶ月間保管し、保管後の状態を確認した。そして、これら場所Ａおよび場所Ｂに保管していた分解処理剤の水分量を測定したところ、場所Ａに保管していた分解処理剤では1.0質量％であり、場所Ｂに保管していた分解処理剤では3.0質量％であった。
【００９５】
次に、これらの分解処理剤を用い、実施例１と同様の条件で分解処理装置１を用いてＣＦ４ガスの分解処理を行なったところ、場所Ｂに保管していた分解処理剤は、変形やクラックが生じており、フッ素含有ガスの分解率が低下していた。これに対し、場所Ａに保管していた分解処理剤は、1000時間経過後においても99％の分解率を示しており、高い分解処理能力をより長時間にわたって維持できることが確認された。
【００９６】
これらの結果より、本発明の分解処理剤を用いれば、フッ素含有ガスの分解処理能力の向上により分解処理剤の交換頻度が減少し、分解処理装置の稼働効率を向上させることができるとともに、フッ素含有ガスを分解処理して生じたフッ化カルシウムは、純度が高く再利用に適した形態で回収することができ、酸処理することによってフッ素ガスを再利用することができるので好適であることが確認できた。
【符号の説明】
【００９７】
１：分解処理装置
２：分解処理剤
３：フッ素含有ガス供給ライン
４：窒素ガス供給ライン
５ａ，５ｂ：サンプリングポート
６：ガス導入管
７：反応容器
８：温度センサー
９：断熱材
10：温度制御装置
11：ガス排出管
12：ヒーター
【図１】
0005031783.tif 000010
【図２】
0005031783.tif 000011