(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定プレートと可動プレートとの間に設けられたフローティング機構において、
前記固定プレートの一方の面に一方の面が接して設けられたブロック状のホルダーと、
前記固定プレートの他方の面から所定の深さに形成されたホルダー穴と、
このホルダー穴の底面から前記ホルダー穴と同心に前記ホルダーに設けられた小径の貫通ねじ孔と、
一端にこの貫通ねじ孔と螺合するねじ部を有し途中に鍔部を有し他端が前記可動プレートに係止手段により係止されるスタッドと、
前記鍔部に一端が取り付けられ他端が前記固定プレートの前記他方の面から所定寸法突出して配置され鉛直方向のフローティングを確保するコイルスプリングと、
前記可動プレートに設けられ前記可動プレートと前記スタッドとの間に所定隙間が設けられ水平方向のフローティングを確保する隙間孔と、
前記可動プレートを前記固定プレートに固定する固定手段と
を具備し、前記鉛直方向のフローティングが不要の場合には前記スタッドをねじ込み前記鍔部を前記ホルダー穴の底面に押し付けて鉛直方向のフローティングを規正し、
前記水平方向のフローティングをも不要の場合には前記固定手段を使用して前記可動プレートと前記固定プレートとを固定するようにしたこと
を特徴とするフローティング機構。
【請求項２】
前記コイルスプリングの前記他端に接する鍔部を有し前記隙間孔と前記スタッドとの間に設けられ前記隙間孔と前記スタッドとの間にそれぞれ隙間を有するリング状の隙間リング
を具備したことを特徴とする請求項１記載のフローティング機構。
【請求項３】
前記係止手段は、前記可動プレートの外側表面と前記スタッドの他端に一面が接するワッシャプレートと、
このワッシャプレートを前記スタッドの他端に固定する固定ねじと
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項２の何れかに記載のフローティング機構。
【請求項４】
前記固定手段は、前記固定プレートに設けられたねじ穴と、
前記可動プレートに設けられこのねじ穴に螺合する雄ねじと
を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のフローティング機構。
【請求項５】
前記隙間リングの前記鍔部と前記可動プレートとの間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体
を具備したことを特徴とする請求項２乃至請求項４の何れかに記載のフローティング機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水平方向及び鉛直方向に動作可能なフローティング機構に関するものである。
例えばＬＳＩテスタのテストヘッドの上部に配置されたＤＵＴ部のハンドラへの接続とプローバへの接続動作時に用いて好適なフローティング機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、面実装コネクタ同士の嵌合およびアライメントを必要とする電子部品の検査を行うための装置として、可動部材と固定部材とを備えたフローティングユニットが用いられる場合がある。
この種のフローティングユニットにおいて、検査用コネクタの形成された部材を可動部材上に載置して、前記検査用コネクタに検査対象である被検査用コネクタを嵌合させることで、被検査用コネクタの導通性能等を検査することができる。
【０００３】
フローティング機構に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−２０８７８５
【特許文献２】特開２００６−３２０４８号公報
【０００５】
図５は本発明が適用される、例えば、ＬＳＩテスト装置の外観を示す斜視図で、１はテストヘッド、２はテストヘッド上に配置されたＤＵＴ（Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）である。
図５においてＤＵＴ２はテストヘッド１の複数（例えば３〜４）個所に設けられたフローティング機構によりＸＹＺ方向に動作可能に構成されている。
なお、以下、水平方向をＸＹ方向、鉛直方向をＺ方向と称する。
【０００６】
図６はＸＹＺ方向に動作可能なフローティング機構の従来例を示す断面構成図であり、前述の複数箇所に設けられたフローティング機構の一つを示している。
図６おいて、１０はホルダーであり、表面に大径穴１１が形成され、この穴の底部中央に大径穴の径よりも小さな径を有する貫通孔１２が形成されている。
【０００７】
１３は固定プレートとして機能するテストヘッド部で、ホルダー１０に形成された大径穴１１と略同じ径の貫通孔１４を有しており、この貫通孔１４が大径穴１１を上方へ延長する状態で複数個の固定ねじ１５によりホルダー１０に固定されている。
【０００８】
１６は大径穴１１内に配置された外径が大径穴１１の内径よりわずかに小さなコイルスプリングであり、一端が大径穴１１の底部に接し他端はテストヘッド部１３の表面から突出した状態となっている。
１７はコイルばね１６および貫通孔１２を貫通して配置されたスタッドであり、一端にはカラー１８が固定ねじ１９により固定されている。
【０００９】
スタッド１７の他端は可動プレートとして機能するＤＵＴベース部２０に当接し、固定ねじ２１により固定されている。
なお、スタッド１７の外径は貫通孔１２の内径に対して片側でａ１で示す程度の隙間（例えば１ｍｍ）を有するように小さく形成されており、ＤＵＴベース部２０がＸＹ方向に最大２ｍｍ程度動作可能なように形成されている。
【００１０】
また、可動プレートであるＤＵＴベース部２０はコイルばね１６に当接した状態で所定の隙間ｂを有しており、ＤＵＴベース部２０がＺ方向に例えば４ｍｍ程度動作可能なように形成されている。
２２は段付き孔、２３はねじ孔であり、ＤＵＴベース部２０をテストヘッド１３に固定する際に使用する。
【００１１】
図７はＤＵＴベース部２０を固定ねじ２４を用いてテストヘッド部１３に固定した状態を示す断面図である。
図に示すようにコイルばね１６の長さが押圧により短縮されスタッド１７の下方が図６に示す隙間ｂだけ突出した状態となっている。
【００１２】
上述において図６の状態（固定ねじ２４でＤＵＴベース部２０をテストヘッド部１３に固定しない状態）によれば、ハンドラ接続時においてＸＹＺ方向のフローティング動作が可能である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
このような装置においては、以下の間題点がある。
例えば、ＬＳＩテスタのプローバ接続時には、接続条件として、Ｚ方向のフローティングがあっては困るという問題があり、Ｚ方向のフローティングは固定した状態で、ＸＹ方向のフローティングのみを用いて接続をしなければならない。
他の方法としてプローバの接続媒体であるプローブリングにフローティング機能を持たせることも可能であるが、その場合はコスト高になるという問題があった。
【００１４】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、
例えば、固定プレートと可動プレートとを有するＬＳＩテスタのＤＵＴ部のフローティング動作において、ハンドラ接続用動作（鉛直方向及び水平方向の接続用動作）とプローバ接続用動作（水平方向の接続用動作）を同一構成のフローティング機構を用いて動作可能とし、接続の容易性とコスト低減を可能としたフローティング機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１のフローティング機構においては、
固定プレートと可動プレートとの間に設けられたフローティング機構において、前記固定プレートの一方の面に一方の面が接して設けられたブロック状のホルダーと、前記固定プレートの他方の面から所定の深さに形成されたホルダー穴と、このホルダー穴の底面から前記ホルダー穴と同心に前記ホルダーに設けられた小径の貫通ねじ孔と、一端にこの貫通ねじ孔と螺合するねじ部を有し途中に鍔部を有し他端が前記可動プレートに係止手段により係止されるスタッドと、前記鍔部に一端が取り付けられ他端が前記固定プレートの前記他方の面から所定寸法突出して配置され鉛直方向のフローティングを確保するコイルスプリングと、前記可動プレートに設けられ前記可動プレートと前記スタッドとの間に所定隙間が設けられ水平方向のフローティングを確保する隙間孔と、前記可動プレートを前記固定プレートに固定する固定手段とを具備し、前記鉛直方向のフローティングが不要の場合には前記スタッドをねじ込み前記鍔部を前記ホルダー穴の底面に押し付けて鉛直方向のフローティングを規正し、前記水平方向のフローティングをも不要の場合には前記固定手段を使用して前記可動プレートと前記固定プレートとを固定するようにしたことを特徴とする。
【００１６】
本発明の請求項２のフローティング機構においては、請求項１記載のフローティング機構において、
前記コイルスプリングの前記他端に接する鍔部を有し前記隙間孔と前記スタッドとの間に設けられ前記隙間孔と前記スタッドとの間にそれぞれ隙間を有するリング状の隙間リングを具備したことを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項３のフローティング機構においては、請求項１又は請求項２記載のフローティング機構において、
前記係止手段は、前記可動プレートの外側表面と前記スタッドの他端に一面が接するワッシャプレートと、このワッシャプレートを前記スタッドの他端に固定する固定ねじとを具備したことを特徴とする。
【００１８】
本発明の請求項４のフローティング機構においては、請求項１乃至請求項３の何れかに記載のフローティング機構において、
前記固定手段は、前記固定プレートに設けられたねじ穴と、前記可動プレートに設けられこのねじ穴に螺合する雄ねじとを具備したことを特徴とする。
【００１９】
本発明の請求項５のフローティング機構においては、請求項２乃至請求項４の何れかに記載のフローティング機構において、
前記隙間リングの前記鍔部と前記可動プレートとの間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体を具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
スタッドが鉛直方向および水平方向の動作を機能できる状態と、鉛直方向の動作を規制状態に切替できるので、例えば、ハンドラ接続用動作（鉛直方向と水平方向）とプローバ接続用動作（水平方向）を同一構成のフローティング機構を用いて切替えて動作させることがでるフローティング機構が得られる。
【００２１】
したがって、鉛直方向及び水平方向の接続用動作と水平方向の接続用動作が同一のフローティング機構にて可能となり、接続の容易性確保と共通化によるコスト低減を実現できるフローティング機構が得られる。
【００２２】
また、鉛直方向のフローティング機能を規制する場合に、コイルスプリングの圧縮が無い為に、スプリング圧縮の力が必要でなく、スタッドをホルダーにねじ込むだけで、余計な力を加えることなく、鉛直方向のフローティング機能を容易に規制することができるフローティング機構が得られる。
【００２３】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
コイルスプリングの他端に接する鍔部を有し、隙間孔とスタッドとの間に設けられ、隙間孔とスタッドとの間にそれぞれ隙間を有する、リング状の隙間リングが設けられたので、固定プレートと可動プレートとの傾き誤差を容易に吸収できるフローティング機構が得られる。
また、コイルスプリングの他端が、隙間孔に引っ掛かる恐れがなく、磨耗を生じる恐れもなく、確実に動作できるフローティング機構が得られる。
【００２４】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
係止手段は、可動プレートの外側表面とスタッドの他端に一面が接するワッシャプレートと、このワッシャプレートをスタッドの他端に固定する固定ねじが設けられたので、安価な係止手段を実現できるフローティング機構が得られる。
【００２５】
本発明の請求項４によれば、次のような効果がある。
固定手段は、固定プレートに設けられたねじ穴と、可動プレートに設けられこのねじ穴に螺合する雄ねじとが設けられたので、安価な固定手段を実現できるフローティング機構が得られる。
【００２６】
本発明の請求項５によれば、次のような効果がある。
隙間リングの鍔部と可動プレートとの間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体が設けられたので、フローティング動作に必要な力を軽減できるフローティング機構が得られる。特に、可動プレート部分の重量が大きい場合に有効な効果が得られるフローティング機構が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１のＺ方向の動作を固定しＸＹ方向のみフローティング動作をさせるようにした状態を示す要部構成説明図、図３は図１のＸＹＺ方向の全てのフローティング動作を固定した状態を示す要部構成説明図である。
図において、図５と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図５との相違部分のみ説明する。
【００２８】
ホルダー３１は、固定プレート３２の一方の面に一方の面が接して設けられブロック状をなす。
この場合は、ホルダー３１は、固定プレート３２にねじ３１１により固定されている。
ホルダー穴３３は、固定プレート３２の他方の面から所定の深さに形成されている。
貫通ねじ孔３４は、ホルダー穴３３の底面から、ホルダー穴３３と同心に、ホルダー３１に設けられ小径をなす。
【００２９】
スタッド３５は、一端にこの貫通ねじ孔３４と螺合するねじ部３６を有し途中に鍔部３７を有し他端が可動プレート３８に係止手段３９により係止される。
この場合は、係止手段３９は、可動プレート３８の外側表面とスタッド３５の他端に一面が接するワッシャプレート３９１と、このワッシャプレート３９１をスタッド３５の他端に固定する固定ねじ３９２とを有する。
スタッド３５の一端には、カラー４１がねじ４２により固定されている。
【００３０】
コイルスプリング４３は、鍔部３７に一端が取り付けられ、他端が固定プレート３２の他方の面から所定寸法ｂ突出して配置され、鉛直方向のフローティングを確保する。
隙間孔４４は、可動プレート３８に設けられ、可動プレート３８とスタッド３５との間に所定隙間が設けられ水平方向のフローティングを確保する。
【００３１】
固定手段４５は、可動プレート３８を固定プレート３２に固定する。
この場合は、固定手段４５は、固定プレート３２に設けられたねじ穴４５１と、可動プレート３８に設けられ、このねじ穴４５１に螺合するねじ４５２を有する。
【００３２】
隙間リング４６は、コイルスプリング４３の他端に接する鍔部４６１を有し、隙間孔４４とスタッド３５との間に設けられ、隙間孔４４とスタッド３５との間にそれぞれ隙間ａ１，ａ２を有する。
図１の構成によれば、可動プレート３８は、隙間ａ１，ａ２，ｂにより、ＸＹＺ方向に動作可能である。
【００３３】
図２はスタッド３５の一端に形成されたねじ部３６をホルダー３１の底部に形成された貫通ねじ孔３４にねじ込んで、鍔部３７をホルダー穴３３の底面に押し付けて鉛直方向のフローティングを規正した状態を示す。
このような状態ではＺ方向の動作が規制され、可動プレート３８はＸＹ方向のみフローティング動作が可能である。
【００３４】
図３は図２の状態に加え、固定プレート３２に設けられたねじ穴４５１に可動プレート３８に設けられ、このねじ穴４５１に螺合するねじ４５２をねじ込んで可動プレート３８と固定プレート３２の動作も固定した状態を示している。
これによりＸＹＺ方向の全てのフローティング動作が固定される。
【００３５】
この結果、
スタッド３５が鉛直方向のフローティング動作を機能できる状態と、鉛直方向のフローティング動作を機能できない規制状態に切替できるので、例えば、ハンドラ接続用動作（鉛直方向と水平方向）とプローバ接続用動作（水平方向）を同一構成のフローティング機構を用いて切替えて動作させることがでるフローティング機構が得られる。
【００３６】
したがって、鉛直方向及び水平方向の接続用動作と水平方向の接続用動作が同一のフローティング機構にて可能となり、接続の容易性確保と部品共通化によるコスト低減を実現できるフローティング機構が得られる。
【００３７】
また、鉛直方向のフローティング機能を規制する場合に、コイルスプリング４３の圧縮が無い為に、スプリング圧縮の力が必要でなく、スタッド３５をホルダー３１にねじ込むだけで、余計な力を加えることなく、鉛直方向のフローティング機能を容易に規制することができるフローティング機構が得られる。
【００３８】
コイルスプリング４３の他端に接する鍔部４６１を有し、隙間孔４４とスタッド３５との間に設けられ、隙間孔４４とスタッド３５との間にそれぞれ隙間を有する、リング状の隙間リング４６が設けられたので、固定プレート３２と可動プレート３８との傾き誤差をも容易に吸収できるフローティング機構が得られる。
また、コイルスプリング４３の他端が、隙間孔４４に引っ掛かる恐れがなく、磨耗を生じる恐れもなく、確実に動作できるフローティング機構が得られる。
【００３９】
係止手段３９は、可動プレート３８の外側表面とスタッド３５の他端に一面が接するワッシャプレート３９１と、このワッシャプレート３９１をスタッド３５の他端に固定する固定ねじ３９２が設けられたので、安価な係止手段３９を実現できるフローティング機構が得られる。
【００４０】
固定手段４５は、固定プレート３２に設けられたねじ穴４５１と、可動プレート３８に設けられこのねじ穴４５１に螺合するねじ４５２とが設けられたので、安価な固定手段４５を実現できるフローティング機構が得られる。
【００４１】
図４は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図４において、５１は、隙間リングの鍔部４４１と可動プレート３８との間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体である。
【００４２】
この結果、隙間リングの鍔部４４１と可動プレート３８との間に設けられ摩擦係数が小さなスペース体５１が設けられたので、フローティング動作に必要な力を軽減できるフローティング機構が得られる。特に、可動プレート３８の部分の重量が大きい場合に有効な効果が得られるフローティング機構が得られる。
【００４３】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１のＺ方向の動作を固定しＸＹ方向のみフローティング動作をさせるようにした状態を示す要部構成説明図である。
【図３】図１のＸＹＺ方向の全てのフローティング動作を固定した状態を示す要部構成説明図である。
【図４】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図５】従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。
【図６】従来より一般に使用されているフローティング機構の要部構成説明図である。
【図７】図６のＺ方向の動作を固定しＸＹ方向のみフローティング動作をさせるようにした状態を示す要部構成説明図である。
【符号の説明】
【００４５】
１      テストヘッド
２      ＤＵＴ
１０    ホルダー
１１    大径穴
１２    貫通孔
１３    テストヘッド部
１４    貫通孔
１５    固定ねじ
１６    コイルスプリング
１７    スタッド
１８    カラー
１９    固定ねじ
２０    ＤＵＴベース部
２１    固定ねじ
２２    段付き孔
２３    ねじ孔
２４    固定ねじ
３１    ホルダー
３２    固定プレート
３３    ホルダー穴
３４    貫通ねじ孔
３５    スタッド
３６    ねじ部
３７    鍔部
３８    可動プレート
３９    係止手段
３９１  ワッシャプレート
３９２  固定ねじ
４１    カラー
４２    ねじ
４３    コイルスプリング
４４    隙間孔
４５    固定手段
４５1  ねじ穴
４５２  ねじ
４６    隙間リング
４６１  鍔部
５１    スペース体
【図１】
0005003581.tif 000002
【図２】
0005003581.tif 000003
【図３】
0005003581.tif 000004
【図４】
0005003581.tif 000005
【図５】
0005003581.tif 000006
【図６】
0005003581.tif 000007
【図７】
0005003581.tif 000008