(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面にスクライブ線が刻み付けられたワークをスクライブ線に沿って分断するワークのブレイク方法であって、
伸縮可能なシートに前記ワークの裏面を貼り付けるワーク接着工程と、
前記ワークが貼り付けられた前記シートをシート引張り手段によって引張るシート引張り工程と、
前記シート引張り手段によって前記シートを引張った状態で、前記ワークの周囲に隙間を空けて枠部材を前記シートに貼り付け、前記シートの張力を前記枠部材内に閉じ込める枠部材貼り付け工程と、
前記シートの張力を前記枠部材内に閉じ込めた状態で、前記スクライブ線を前記ワークの裏面まで到達させるワーク分断工程と、を備え、
分断された前記ワークが前記シートの引張り力によって離間することを特徴とするワークのブレイク方法。
【請求項２】
前記ワーク分断工程では、
前記シートを引張った状態で、前記ワークの表面側が湾曲の外側になるように前記ワークを湾曲させ、これにより、前記スクライブ線を前記ワークの裏面まで到達させることを特徴とする請求項１に記載のワークのブレイク方法。
【請求項３】
表面にスクライブ線が刻み付けられたワークをスクライブ線に沿って分断するワークのブレイク装置であって、
前記ワークの裏面が貼り付けられる伸縮可能なシートをシート引張り手段によって引張った状態で、前記ワークの周囲に隙間を空けて前記シートに貼り付けられる枠部材と、  前記枠部材内に前記シートの張力を閉じ込めた状態で、前記スクライブ線を前記ワークの裏面まで到達させるワーク分断手段と、を備え、
分断された前記ワークが前記シートの引張り力によって離間することを特徴とするワー
クのブレイク装置。
【請求項４】
表面にスクライブ線が刻み付けられたワークをスクライブ線に沿って分断するワークのブレイク方法であって、
前記ワークの裏面をシートに貼り付けるワーク接着工程と、
前記シートをブレイク台に密着させて、前記ワークの表面が湾曲の外側になるように前記ワークを湾曲させ、これにより前記ワークの表面の前記スクライブ線を前記ワークの裏面まで到達させて前記ワークを分断するワーク分断工程と、を備え、
前記ブレイク台には、前記ブレイク台の高い位置から低い位置に高低差を付けてエアーを吸引する複数の吸着穴が配列され、
前記シートを前記吸着穴により吸着することによって、前記ワークを前記ブレイク台に密着させ、
前記複数の吸着穴が前記ワークの裏面を避けてシートのみを吸引するように配列されることを特徴とするワークのブレイク方法。
【請求項５】
前記ワーク分断工程は、
縦横に複数のスクライブ線が刻み付けられた前記ワークを、ブレイク台に沿って湾曲させて、前記ワークを複数の短冊に分断する短冊分断工程と、
その後、前記ブレイク台から退避させた前記シートを、前記ブレイク台に対して、前記シートが含まれる平面内で相対的に９０度回転させる相対回転工程と、
短冊に分断された前記ワークを、前記ブレイク台に沿って再び湾曲させて、前記ワークを複数のチップに分断するチップ分断工程と、を備えることを特徴とする請求項４に記載のワークのブレイク方法。
【請求項６】
表面にスクライブ線が刻み付けられたワークをスクライブ線に沿って分断するワークのブレイク装置であって、
前記ワークを湾曲させるためのブレイク台と、
前記ワークの裏面が貼り付けられたシートを前記ブレイク台に密着させて、前記ワークの表面が湾曲の外側になるように前記ワークを湾曲させるシート密着手段と、を備え、
前記ワークの表面の前記スクライブ線を前記ワークの裏面まで到達させて前記ワークを分断し、
前記密着手段は、前記ブレイク台の高い位置から低い位置に高低差を付けて配列され、エアーを吸引する複数の吸着穴を有し、
前記シートを前記吸着穴により吸着することによって、前記ワークを前記ブレイク台に密着させ、
前記複数の吸着穴が前記ワークの裏面を避けてシートのみを吸引するように配列されることを特徴とするワークのブレイク装置。
【請求項７】
表面にスクライブ線が刻み付けられたワークをスクライブ線に沿って分断するワークのブレイク装置であって、
前記ワークを湾曲させるためのブレイク台と、
前記ワークの裏面が貼り付けられたシートを前記ブレイク台に密着させて、前記ワークの表面が湾曲の外側になるように前記ワークを湾曲させるシート密着手段と、を備え、
前記ワークの表面の前記スクライブ線を前記ワークの裏面まで到達させて前記ワークを分断し、
前記密着手段は、前記ブレイク台の高い位置から低い位置に高低差を付けて配列され、エアーを吸引する複数の吸着穴を有し、
前記シートを前記吸着穴により吸着することによって、前記ワークを前記ブレイク台に密着させ、
前記密着手段はさらに、高い位置から低い位置の前記吸着穴に順番にエアーを吸引させる複数の電磁弁を備えることを特徴とするワークのブレイク装置。
【請求項８】
前記ブレイク装置は、縦横に複数のスクライブ線が刻み付けられた前記ワークを、ブレイク台に沿って湾曲させて、前記ワークを複数の短冊に分断し、その後、前記ブレイク台から退避させた前記シートを、前記ブレイク台に対して、前記シートが含まれる平面内で相対的に９０度回転させ、その後、短冊に分断された前記ワークを、前記ブレイク台に沿って再び湾曲させて、前記ワークを複数のチップに分断することを特徴とする請求項６又は７に記載のワークのブレイク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ、ガラス等の脆性材料からなるワークをブレイクするワークのブレイク方法及び装置、スクライブ及びブレイク方法、並びにブレイク機能付きスクライブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ、ガラス等の脆性材料からなるワークを所定の形状にブレイク（分断）する方法として、ワークを回転刃に送り込み、さいの目状に分断するダイシング方法が採用されていた。このダイシング方法では、ワークの回転刃に送り込まれた部分が体積除去される。【０００３】
近年、ダイシング方法に替わって、ワークの表面にスクライブ装置によりスクライブ線を刻み付けた後、ブレイク装置により刻み線に沿ってクラックを成長させてワークをブレイクする方法が用いられるようになってきた（例えば特許文献１、段落[０００１]〜[０００４]参照）。【０００４】
図２９は従来のブレイク方法の原理図を示す。このブレイク方法においては、２つの支持点１ａ，１ｂ間にワーク２を載せ、ブレイクヘッド３で支持点１ａ，１ｂ間に上方向から加圧力を与える。加圧力はスクライブ線が刻まれた側とは反対側から与えられる。支持点１ａ，１ｂ間に加圧力を与えることにより、ワーク２に曲げモーメントが発生し、この曲げモーメントによってスクライブ線が刻まれた部分に引張り応力が発生する。この引張り応力によって、スクライブ線のクラックが表面から裏面に向かって（この図２９では下から上に向かって）進展する。クラックがワークの裏面まで達すると、ワークが分断される。【０００５】
しかし、図２９に示される従来のブレイク方法にあっては、ブレイクする際に、ワークの裏面において分断されたワーク同士が擦れ、図中Ａ部で示されるワークの裏面にチッピング（細片の欠け現象）が発生する。またブレイクヘッドからの加圧力が増大すると、ワークに歪を与える要因ともなる。【０００６】
この問題を解決する技術として、図３０に示されるように、特許文献２には、「一対のガラス基板Ｓ１，Ｓ２を接合してなるガラス基板接合体Ｗを、その液晶セル毎の分断線に沿って切り欠き溝が形成されたガラス基板Ｓ１表面を上にして球面の支持ヘッド７１上に載置し、これに十分にフレキシブルな押えシート７３を被装し、排気管７１ｂを通じて押えシート７３と支持ヘッド表面７１ａ等で囲まれたガラス基板接合体Ｗを収容する空間内のエアーを排出し、ガラス基板接合体Ｗを、球面をなす支持ヘッド表面７１ａに密着させることにより、ガラス基板Ｓ１を切り欠き溝に沿って分断する方法」が開示されている（特許文献２、請求項１参照）。【０００７】
【特許文献１】特開平９−２０２６３５号公報
【特許文献２】特開２００４−３５４８３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献２に記載のブレイク方法にあっては、ガラス基板接合体Ｗの上に押えシート７３が被せられるので、この押えシート７３の弾性力が、ガラス基板Ｓ１の切り欠き溝ｄが開くのを妨げる。したがって、やはりガラス基板Ｓ１の分断面が擦れてチッピングが発生するおそれがある。しかも、押えシート７３を取り外すと、最終的に分断されたガラス基板接合体Ｗがばらばらになり、ガラス基板接合体Ｗの扱いも困難になる。【０００９】
そこで本発明は、スクライブ線が刻まれたワークを分断する際に、ワークの分断面に擦れによるチッピングが発生するのを防止できるワークのブレイク方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、表面にスクライブ線が刻み付けられたワーク(5,51)をスクライブ線(5c)に沿って分断するワークのブレイク方法であって、伸縮可能なシート(9,53)に前記ワーク(5,51)の裏面を貼り付けるワーク接着工程と、前記ワーク(5,51)が貼り付けられた前記シート(9,53)をシート引っ張り手段(10,11)によって引張るシート引張り工程と、前記シート引張り手(10,11)段によって前記シート(9,53)を引張った状態で、前記ワーク(5,51)の周囲に隙間を空けて枠部材(12,60)を前記シート(9,53)に貼り付け、前記シート(9,53)の張力を前記枠部材(12,60)内に閉じ込める枠部材貼り付け工程と、前記シート(9,53)の張力を前記枠部材(12,60)内に閉じ込めた状態で、前記スクライブ線(5c)を前記ワーク(5,51)の裏面まで到達させるワーク分断工程と、を備え、分断された前記ワーク(5,51)が前記シート(9,53)の引張り力によって離間することを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、分断されるのと同時にワークが引き離されるので、分断されたワーク同士の擦れが少なくなり、裏面にチッピングが発生するのを防止できる。また、ワークに引張り力を与えることで、引張り力がワーク分断の補助となるので、より小さな力でブレイクすることができる。さらに、ワークをシートに貼り付けるので、ワークをブレイクした後に、分断されたワークがばらばらになることもなく、擦れることもない。よってワークのハンドリングが容易になる。さらに、ワークを引張った後、引張り力を除去したとしても、ワークに引張り力を与え続けることができる。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のワークのブレイク方法において、前記ワーク分断工程では、前記シート(9)を引張った状態で、前記ワーク(5)の表面側が湾曲の外側になるように前記ワーク(5)を湾曲させ、これにより、前記スクライブ線(5c)を前記ワーク(5)の裏面まで到達させることを特徴とする。【００１３】
この発明によれば、曲げモーメントと引張り力の併用で、厚みのあるワークもチッピングを発生させることなく、分断することができる。【００１６】
請求項３に記載の発明は、表面にスクライブ線が刻み付けられたワーク(5,51)をスクライブ線(5c)に沿って分断するワークのブレイク装置であって、前記ワーク(5,51)の裏面が貼り付けられる伸縮可能なシート(9,53)をシート引張り手段(10,11)によって引張った状態で、前記ワーク(5,51)の周囲に隙間を空けて前記シート(9,53)に貼り付けられる枠部材(12,60)と、枠部材(12,60)内に前記シート(9,53)の張力を閉じ込めた状態で、前記スクライブ線(5c)を前記ワーク(5,51)の裏面まで到達させるワーク分断手段と、を備え、分断された前記ワーク(5,51)が前記シート(9,53)の引張り力によって離間することを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、分断されるのと同時にワークが引き離されるので、分断されたワーク同士の擦れが少なくなり、裏面にチッピングが発生するのを防止できる。また、曲げモーメントと引張り力の併用で、厚みのあるワークもチッピングを発生させることなく、分断することができる。さらに、ワークをシートに貼り付けるので、ワークをブレイクした後に、分断されたワークがばらばらになることもなく、擦れることもない。よってワークのハンドリングが容易になる。さらに、ワークを引張った後、引張り力を除去したとしても、ワークに引張り力を与え続けることができる。
【００２２】
請求項４に記載の発明は、表面にスクライブ線(52)が刻み付けられたワーク(51)をスクライブ線(52)に沿って分断するワーク(51)のブレイク方法であって、前記ワーク(51)の裏面をシート(53)に貼り付けるワーク接着工程と、前記シート(53)をブレイク台(55)に密着させて、前記ワーク(51)の表面が湾曲の外側になるように前記ワーク(51)を湾曲させ、これにより前記ワーク(51)の表面の前記スクライブ線(52)を前記ワーク(51)の裏面まで到達させて前記ワーク(51)を分断するワーク分断工程と、を備え、前記ブレイク台(55)には、前記ブレイク台(55)の高い位置から低い位置に高低差を付けてエアーを吸引する複数の吸着穴（56）が配列され、前記シート(53)を前記吸着穴(56)により吸着することによって、前記ワーク(51)を前記ブレイク台(55)に密着させ、前記複数の吸着穴(56)が前記ワーク(51)の裏面を避けて前記シート(53)のみを吸引するように配列されることを特徴とする。
【００２３】
この発明によれば、シートがワークの裏面側にあるので、ワークの表側のスクライブ線が開いてワークが割れるのをシートが妨げない。したがって、ワークの分断面が擦れてチッピングが発生するのを防止することができる。しかも、ワークをシートに貼り付けることで、分断後のワークがばらばらになることもない。また、吸着穴からエアーを吸引することで、ワークをブレイク台に沿って湾曲させることができる。吸着穴はワークの下面を避けてシートのみを吸着する位置に配置される。なぜならば、ワークの下面に吸着穴を配置すると、せっかくシートの引張り力によって分断されたワーク同士を引き離そうとしているのに、吸着穴の吸着によってワーク同士が離れ難くなるからである。
【００２４】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のワークのブレイク方法において、前記ワーク分断工程は、縦横に複数のスクライブ線(52)が刻み付けられた前記ワーク(51)を、ブレイク台(55)に沿って湾曲させて、前記ワーク(51)を複数の短冊に分断する短冊分断工程と、その後、前記ブレイク台(55)から退避させた前記シート(53)を、前記ブレイク台(55)に対して、前記シート(53)が含まれる平面内で相対的に９０度回転させる相対回転工程と、短冊に分断された前記ワーク(51)を、前記ブレイク台(55)に沿って再び湾曲させて、前記ワーク(51)を複数のチップに分断するチップ分断工程と、を備えることを特徴とする。
【００２５】
この発明によれば、縦横にスクライブ線が刻み付けられたワークを、チッピングを発生させることなく、チップに分割することができる。そして、半円柱形状のブレイク台を用いて二工程でワークを分断しているので、球面形状のブレイク台を用いて一工程でワークを分断する場合に比べて、ブレイク台に沿って湾曲させる際にスクライブ線に沿った力が働き難くなり、ワークの分断面が擦れることもない。【００３０】
請求項６に記載の発明は、表面にスクライブ線(52)が刻み付けられたワーク(51)をスクライブ線(52)に沿って分断するワークのブレイク装置であって、前記ワーク(51)を湾曲させるためのブレイク台(55)と、前記ワーク(51)の裏面が貼り付けられたシート(53)を前記ブレイク台(55)に密着させて、前記ワーク(51)の表面が湾曲の外側になるように前記ワーク(51)を湾曲させるシート密着手段(56)と、を備え、前記ワーク(51)の表面の前記スクライブ線(52)を前記ワーク(51)の裏面まで到達させて前記ワーク(51)を分断し、前記密着手段(56)は、前記ブレイク台(55)の高い位置から低い位置に高低差を付けて配列され、エアーを吸引する複数の吸着穴(56)を有し、前記シート(53)を前記吸着穴(56)により吸着することによって、前記ワーク(51)を前記ブレイク台(55)に密着させ、前記複数の吸着穴(56)が前記ワーク(51)の裏面を避けて前記シート(53)のみを吸引するように配列されることを特徴とする。
【００３１】
この発明によれば、シートがワークの裏面側にあるので、ワークの表側のスクライブ線が開いてワークが割れるのをシートが妨げない。したがって、ワークの分断面が擦れてチッピングが発生するのを防止することができる。しかも、ワークをシートに貼り付けることで、分断後のワークがばらばらになることもない。また、吸着穴からエアーを吸引することで、ワークをブレイク台に沿って湾曲させることができる。吸着穴はワークの下面を避けてシートのみを吸着する位置に配置される。なぜならば、ワークの下面に吸着穴を配置すると、せっかくシートの引張り力によって分断されたワーク同士を引き離そうとしているのに、吸着穴の吸着によってワーク同士が離れ難くなるからである。
【００３４】
請求項７に記載の発明は、表面にスクライブ線(52)が刻み付けられたワーク(51)をスクライブ線(52)に沿って分断するワークのブレイク装置であって、前記ワーク(51)を湾曲させるためのブレイク台(55,65)と、前記ワーク(51)の裏面が貼り付けられたシート(53)を前記ブレイク台(55,65)に密着させて、前記ワーク(51)の表面が湾曲の外側になるように前記ワーク(51)を湾曲させるシート密着手段(56,66)と、を備え、前記ワーク(51)の表面の前記スクライブ線(52)を前記ワーク(51)の裏面まで到達させて前記ワーク(51)を分断し、前記密着手段(56,66)は、前記ブレイク台(55,65)の高い位置から低い位置に高低差を付けて配列され、エアーを吸引する複数の吸着穴(56,66)を有し、前記シート(53)を前記吸着穴(56,66)により吸着することによって、前記ワーク(51)を前記ブレイク台(55,65)に密着させ、前記密着手段はさらに、高い位置から低い位置の前記吸着穴(56,66)に順番にエアーを吸引させる複数の電磁弁(63)を備えることを特徴とする。
【００３５】
この発明によれば、ワークの高い位置から低い位置に向かって確実にワークをブレイク台に密着させることができる。【００３８】
請求項８に記載の発明は、請求項６又は７に記載のワークのブレイク装置において、前記ブレイク装置は、縦横に複数のスクライブ線が刻み付けられた前記ワーク(51)を、ブレイク台(55)に沿って湾曲させて、前記ワーク(51)を複数の短冊に分断し、その後、前記ブレイク台(55)から退避させた前記シート(53)を、前記ブレイク台(55)に対して、前記シート(53)が含まれる平面内で相対的に９０度回転させ、その後、短冊に分断された前記ワーク(51)を、前記ブレイク台(55)に沿って再び湾曲させて、前記ワーク(51)を複数のチップに分断することを特徴とする。
【００３９】
この発明によれば、縦横にスクライブ線が刻み付けられたワークを、チッピングを発生させることなく、チップに分割することができる。そして、ブレイク台を用いて二工程でワークを分断しているので、球面形状のブレイク台を用いて一工程でワークを分断する場合に比べて、ブレイク台に沿って湾曲させる際にスクライブ線に沿った力が働き難くなり、ワークの分断面が擦れることもない。
【発明の効果】
【００４０】
以上の請求項１乃至８に記載の発明によれば、スクライブ線が刻まれたワークを分断する際に、ワークの分断面に擦れによるチッピングが発生するのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の第１の実施形態におけるワークのブレイク方法の原理図
【図２】曲げモーメントにより発生する曲げ応力を示す図
【図３】本発明の第２の実施形態におけるワークのブレイク方法の原理図
【図４】シートを用いてワークに引張り力を与える方法の模式図
【図５】本発明の第１の実施形態におけるブレイク装置を示す斜視図
【図６】ワークに引張り力を付与させるためのテンション付与機構を示す斜視図
【図７】ブレイク装置によって発生するクラックを示す図（図中（Ａ）は本実施形態のブレイク装置を使用した場合を示し、図中（Ｂ）は比較例として従来のブレイク装置を使用した場合を示す）
【図８】本発明の第２の実施形態におけるブレイク機能付きスクライブ装置を示す斜視図
【図９】上記図８のブレイク機能付きスクライブ装置を示す図（図中（Ａ）は平面図を示し、図中（Ｂ）は側面図を示す）
【図１０】上記図８のブレイク機能付きスクライブ装置によって発生するクラックを示す図（図中（Ａ）は本実施形態のスクライブ装置を使用した場合を示し、図中（Ｂ）は比較例として従来のスクライブ装置を使用した場合を示す）
【図１１】本発明の第３の実施形態におけるブレイク機能付きスクライブ装置を示す斜視図
【図１２】上記図１１のブレイク機能付きスクライブ装置によって発生するクラックを示す図（図中（Ａ）は本実施形態のブレイク機能付きスクライブ装置を使用した場合を示し、図中（Ｂ）は比較例として従来のスクライブ装置を使用した場合を示す）
【図１３】エキスパンド治具外観を示す図
【図１４】試作治具によるシート引張り状況を示す写真
【図１５】エキスパンド状態でのシリコンウェーハ分断を示す写真
【図１６】クロススクライブ品の分断（Ｄ−６５０）を示す図
【図１７】分断後のワークの面性状（Ｄ−６７５）を示す写真
【図１８】本発明の第４の実施形態におけるブレイク装置を示す斜視図
【図１９】ワークをシートに貼り付けた状態を示す断面図（図中（Ａ）はワークを湾曲させる前の状態を示し、図中（Ｂ）はワークを湾曲させた状態を示す）
【図２０】半円柱形のブレイク台の平面図
【図２１】図２０のブレイク台の底面図
【図２２】ワークをシートに貼り付けた状態で伸縮可能なシートを引張った例を示す斜視図
【図２３】ブレイク台に形成される吸着穴の他の例を示す平面図
【図２４】ブレイク台を箱で囲った例を示す斜視図
【図２５】吸引経路に電磁弁を設けた例を示す斜視図
【図２６】本発明の第５の実施形態におけるブレイク装置を示す斜視図（図中（Ａ）はシートを突き上げる前を示し、図中（Ｂ）はシートを突き上げている段階を示す）
【図２７】球面形状のブレイク台を示す側面図
【図２８】球面形状のブレイク台を示す平面図
【図２９】従来のブレイク方法の原理図
【図３０】従来のブレイク装置を示す断面図（図中（Ａ）はワークを吸着する前を示し、図中（Ｂ）はワークを吸着した後を示す）。
【符号の説明】
【００４２】
５…ワーク
５ｃ…スクライブ線
５ｄ…クラック
９…シート
１０，１１…固定側及び移動側からなるエキスパンド治具（シート引張り手段）
１４ａ，１４ｂ…ステージからなるテンション付与機構（シート引張り手段）
１２…リング（枠部材）
１６…ブレイクヘッド（ワーク分断手段）
２０…スクライブヘッド（ワーク分断手段）
２２…クランプ治具（シート引張り手段）
Ｐ…引張力
Ｍ…曲げモーメント
５１…ワーク
５２…スクライブ線
５３…シート
５５，６５…ブレイク台
５６，６６…吸着穴（シート密着手段）
６３…電磁弁
６４…シート固定台（シート密着手段）
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
図１は、本発明の第１の実施形態におけるワークのブレイク方法の原理図を示す。半導体ウェーハ又はガラス等の板状のワークの表面には、あらかじめスクライブ装置によりスクライブ線が刻み付けられる。スクライブ装置は、先端が尖ったポイント又は自由に回転する薄板円盤（ホイール）をカッターとしてワークの表面に押し付け、ワークの表面に沿ってカッターを移動させることで、ワークの表面にスクライブ線を刻む。【００４４】
ワークの表面にスクライブ線を刻み付けた後、ワーク５をブレイク装置にセットする。ブレイク装置は、スクライブ線が刻み付けられた側５ａが湾曲の外側になるようにワーク５に曲げモーメントを与える。具体的には、２つの支持点６ａ，６ｂ（テーブル）間にワーク５を載せ、ブレイクヘッド７で支持点６ａ，６ｂ間のワーク５に上方向から加圧力を与える。加圧力はスクライブ線が刻まれた側５ａとは反対側から与えられる。支持点６ａ，６ｂ間に加圧力を与えることにより、ワーク５に曲げモーメントが発生し、この曲げモーメントによってスクライブ線が刻まれた部分に、曲げ応力として引張り応力が発生する。引張り応力によってクラックが表面から裏面に向かって（この図１では下から上に向かって）進展する。【００４５】
ワーク５に曲げモーメントを与えるのと同時に、ワーク５にはスクライブ線と直交する方向に引張り力Ｐが与えられる。ワーク５に引張り力Ｐを与えることで、分断されるのと同時にワーク５が引き離されるので、分断されたワーク５同士の擦れが少なくなり、裏面（スクライブ側の反対側）にチッピングが発生するのを抑制できる。また、ワーク５に引張り力Ｐを与えることで、引張り力Ｐがワーク分断の補助となるので、より小さなブレイクヘッド７の加圧力でワーク５をブレイクすることができる。【００４６】
なお、ワーク５に引張り力を与えるだけで、ワーク５をブレイクできる場合には、ワーク５に曲げモーメントを与えないこともある。そして、ワーク５に曲げモーメントを与える場合でも、ブレイクヘッド７の替わりにブレイクローラーを用いることもできるし、テーブルに直線状に伸びる突起を形成し、突起の両側のテーブルにワークを吸引する吸引装置を設け、突起の部分を頂点にしてワークを湾曲させてもよい。【００４７】
図２は、曲げモーメントにより発生する曲げ応力を示す。ワーク５に曲げモーメントＭを作用させると、曲げモーメントＭによりワークには曲げ応力σが発生する。曲げ応力σの分布は図示されるようになり、中立軸５ｅよりも下側では引張り応力が、上側では圧縮応力が生じている。ワーク５の上側で生じている圧縮応力σがワーク５の擦れを生じさせる原因になる。ワークに与えられる引張り力Ｐが圧縮応力σより小さくても、分断されるのと同時にワーク５を引き離すことができるので、ワーク５の擦れを少なくすることができる。そして、ワーク５の引張り力Ｐを曲げモーメントＭによりワーク５の上側に発生する圧縮応力σ以上に大きくすると、ワーク５に圧縮応力が生じることがなくなるので、ワーク５の擦れを生じさせる原因を無くすことができる。【００４８】
図３は、本発明の第２の実施形態におけるワークのブレイク方法の原理図を示す。この実施形態では、ワーク５の表面にスクライブ線を刻み付けながら、スクライブ線と直交する方向にワーク５に引張り力Ｐを与えて、ワーク５をブレイクする。すなわち、この実施形態では、ワーク５にスクライブ線を刻み付けるスクライブ工程とワークを分断するブレイク工程とが同時に行なわれる。【００４９】
ワーク５にスクライブ線を刻みつけながらワーク５に引張り力Ｐを与えることで、クラック５ｄがワークの厚さ方向（図３では上から下に向かって）に進展する。クラック５ｄが裏面５ｂにまで到達すると、ワーク５がブレイクされる。また、ワーク５に引張り力を与えることで、分断されるのと同時にワーク５が引き離されるので、分断されたワーク５の擦れが少なくなり、ワーク５の裏面５ｂにチッピングが発生するのを抑制できる。【００５０】
ワーク５の厚さが厚い場合、ワーク５に引張り力を与えるだけでは、クラックが裏面５ｂまで進展しないこともある。この場合、引張り力を与えると共に、スクライブ線が刻み付けられた側５ａが湾曲の外側になるように、ワーク５に曲げモーメントを与える。【００５１】
図４は、シート９を用いてワーク５に引張り力を与える方法の原理図を示す。まず図４（Ａ）に示されるように、伸縮可能なシート９にワーク５を貼り付ける。シート９には予め粘着性が付与されている。シート９の両端は、シート引張り手段として、例えば固定側１０と、固定側１０に対して可動する可動側１１とからなるエキスパンド治具にクランプされる。ワーク５をシート９に貼り付けた状態で、エキスパンド治具の可動側１１を移動させてシート９を所定の方向に引張り、シート９に引張り力（テンション）をかける。この例では、ワーク５をＸ方向のみに引張った例を示しているが、Ｘ方向のみに限られることはなく、Ｘ方向及びＸ方向に直交するＹ方向の２方向に引張ってもよい。【００５２】
次に図４（Ｂ）に示されるように、テンションを保持したままワーク５の周囲に枠部材としてのリング１２を貼り付け、リング１２の外側のシートを切断する。リング１２の外側のシートを切断した状態を図４（Ｃ）に示す。ワーク５の周囲とリング１２との間には、隙間が空けられていて、ワーク５とリング１２との間のシート９にテンションが閉じ込められる。一方、ワーク５はテンションをかける前にシート９に張られているので、ワーク５が貼り付けられた部分のシート９には、テンションがかかることはない。【００５３】
次に、テンションをかけたワーク５をブレイク装置又はブレイク機能付きスクライブ装置に搬送し、図４（Ｄ）に示されるように、ブレイク装置又はブレイク機能付きスクライブ装置でワーク５をブレイクする。ワーク５にはテンションがかけられているので、分断と同時にワーク５同士が引き離され、ワーク５間に隙間が空く。最後にＵＶ照射等により、シート９の粘着性を除去し、ワーク５をシート９から剥離させる。【００５４】
以上に記載のようなシート９によるワーク５へのテンション付与方法は、ワーク５のサイズが小さい半導体ウェーハに好適に用いることができる。【００５５】
上記のブレイク原理を実現させるワーク５のブレイク方法及びブレイク装置を説明する。図５は、本発明の第１の実施形態におけるブレイク装置を示す。ブレイク装置のテーブル２３には、スクライブ線５ｃが刻み付けられたワーク５の表面を下側にしてワーク５がセットされる。スクライブ線５ｃの直上には、ワーク分断手段として、スクライブ線５ｃの方向に伸びるバー状のブレイクヘッド１６が配置される。ブレイク装置は、ワーク５の上面からブレイクヘッド１６を押圧して、スクライブ線が刻み付けられた側が外側になるようにワーク５を湾曲させる。【００５６】
（ワーク接着工程・シート引張り工程）
表面にスクライブ線５ｃが刻みつけられたワーク５は、その裏面が伸縮可能なシート９に貼り付けられる。そして、ワーク５に引張り力Ｐを付与できるように、ワーク５が貼り付けられたシート９は引張られる。図６はワーク５に引張り力を付与させるためのシート引張り手段としてのテンション付与機構を示す。ワーク５をシート９に貼り付け、シート９を一対のステージ１４ａ，１４ｂにバキューム等により固定する。その後、ステージ１４ａ，１４ｂを相反する方向に移動させてシート９を引張る。なお、双方のステージ１４ａ，１４ｂを反対方向に移動させてもよいし、一方のステージ１４ａを固定し、残りの一方のステージ１４ｂのみを移動させてもよい。この他にも、図９に示されるように、ワーク５をシート９に貼り付け、その後、シート９の両端をクランプしたクランプ治具２２でシート９を引張ってもよい。また、ワークのＸ方向のみに引張り力を与えているが、テンション付与機構を２組設け、互いに直交するＸ方向及びＹ方向に引張り力を与えてもよい。勿論、図４に示されるリング１２を用いてもよい。【００５７】
（ワーク分断工程）
図５に示されるように、シート９を引張った状態で、ワーク分断手段としてのブレイクヘッド１６によりワーク５の表面側が湾曲の外側になるようにワーク５を湾曲させる。そして、ワーク５を湾曲させることにより、ワーク５の表面のスクライブ線５ｃをワーク５の裏面まで到達させる。図７（Ａ）はワーク５に発生するクラック５ｄを示す。ワーク５に引張り力Ｐを与えることで、クラック５ｄを進展させることができるので、ブレイクヘッド１６からの小さい加圧力でワーク５をブレイクすることができる。また、分断した後、ワーク５同士が離れるので、ワークエッジにチッピングが発生するのを抑制でき、分断面に余計な負荷（ダメージ）をかけずにブレイクすることができる。図７（Ｂ）はワーク５に引張力を付与しない場合の比較例を示す。ワーク５に引張力を付与しない場合、水平方向に逃げ場がないので、ブレイクヘッド１６をワーク５に押圧すると、裏面のＡ部にチッピングが発生し、またワーク５の分断面も擦れてダメージを受けてしまう。なおワークが薄い場合、曲げモーメントＭを与えなくても、引張り力Ｐのみで分断することもできる。この場合、曲げモーメントＭを与えるブレイクヘッド１６が不要になる。【００５８】
図８及び図９は、本発明の第２の実施形態におけるブレイク機能付きスクライブ装置を示す。図８はブレイク機能付きスクライブ装置の斜視図を示し、図９（Ａ）はブレイク機能付きスクライブ装置の平面図を示し、図９（Ｂ）はブレイク機能付きスクライブ装置の側面図を示す。このブレイク機能付きスクライブ装置は、スクライブ工程とブレイク工程を同時に行うもので、ワーク５を支持するテーブル１８と、ワーク５に当接するカッター１９を有するスクライブヘッド２０（ワーク分断手段）と、スクライブヘッド２０を直線的に移動させる移動機構２１とを備える。スクライブヘッド２０には、例えば磁歪振動子又はピエゾ素子等の振動子が設けられる。発信器からの電流により磁歪振動子を振動させ、この振動子によりカッター１９を振動させる。カッター１９を振動させると、カッター１９からワーク５に衝撃力が与えられるので、ワーク５の厚さ方向にクラックが進展する。スクライブヘッド２０を移動させる移動機構２１は、ボールねじ機構等の周知の移動機構である。ワークに当接するカッター１９を移動させると、ワーク５の表面にスクライブ線５ｃが刻み付けられる。【００５９】
（ワーク接着工程・シート引張り工程）
表面にスクライブ線５ｃが刻みつけられたワーク５は、その裏面が伸縮可能なシート９に貼り付けられる。そして、ワーク５に引張り力Ｐを付与できるように、ワーク５が貼り付けられたシート９は引張られる。すなわち、図９に示されるように、ワーク５をシート９に貼り付け、その後、シート９の両端をクランプしたクランプ治具２２でシート９を引張る。勿論、クランプ治具２２の替わりに図６に示されるテンション付与機構を用いてシート９を引張ってもよい。【００６０】
（ワーク分断工程）
図８に示されるように、シート９を引張った状態で、ワーク分断手段としてのスクライブヘッド２０によりワーク５の表面にスクライブ線５ｃを刻み付けると共に、ワーク５の表面のスクライブ線５ｃをワーク５の裏面まで到達させる。図１０（Ａ）は発生するクラック５ｄを示す。ワーク５に引張り力Ｐを与えることで、スクライブヘッド２０のカッター１９によって発生する垂直クラック５ｄを更に成長させることができ、最終的にはフルカットも可能になる。ワーク５に引張り力Ｐを与えることで、カッター１９からの荷重が低荷重でも大きな垂直クラック５ｄを形成することができる。また、垂直クラック５ｄの逃げ場が作られるので、分断面にも余計な負荷（ダメージ）がかかることもない。図１０（Ｂ）はワーク５に引張力Ｐを付与しない場合の比較例を示す。ワーク５に引張力Ｐを付与しない場合、垂直クラック５ｄが成長しにくく、かつ垂直クラック５ｄの逃げ場がないので、ワーク５の分断面に余計な負荷（ダメージ）がかかってしまう。長い垂直クラック５ｄを形成するために、カッター１９の荷重を大きくすると、分断面にも大きな負荷がかかり、分断した製品の品質・破壊強度が落ちてしまう。【００６１】
図１１は、本発明の第３の実施形態におけるブレイク機能付きスクライブ装置を示す。上記第２の実施形態のブレイク機能付きスクライブ装置に、ワークに曲げモーメントＭを付与している点がこの実施形態の特徴である。曲げモーメントＭは、スクライブ線５ｃが刻み付けられた側が湾曲の外側になるように付与される。ワーク５の厚みが厚くなると、引張り力Ｐの付与だけではワークを分断できなくなる。そこで、ワーク５に曲げモーメントＭも付与して、ワークの分断を容易にしている。ワークに曲げモーメントを与える方式には、３点曲げにより曲げモーメントを与える方式や、スクライブ線を境にワークを保持する一対のテーブルのうちの一方を他方に対して所定の角度傾ける方式や、スクライブ線を境にワークを保持する一対のクランプ装置のうちの一方を他方に対して所定角度傾ける方式が用いられる。スクライブヘッド２０、移動機構２１は上記第２の実施形態のスクライブ装置と同一なので、同一の符号を附してその説明を省略する。【００６２】
図１２（Ａ）は第３の実施形態のブレイク機能付きスクライブ装置を使用した場合に発生するクラックを示す。ワーク５に引張り力Ｐ及び曲げモーメントＭを与えることで、スクライブ装置によって発生する垂直クラック５ｄを更に成長させることができ、最終的にはフルカットも可能になる。図１２（Ｂ）はワーク５に引張力Ｐ・曲げモーメントＭを付与しない場合の比較例を示す。ワーク５に引張力・曲げモーメントを付与しない場合、垂直クラック５ｄが成長しにくく、また垂直クラック５ｄの逃げ場もないので、ワーク５の分断面に余計な負荷（ダメージ）がかかってしまう。長い垂直クラックを形成するために、カッター１９の荷重を大きくすると、分断面にも大きな負荷がかかり、分断した製品の品質・破壊強度が落ちてしまう。
【実施例】
【００６３】
（１）装置概要
エキスパンドの効果を調べるため、エキスパンド機構のみの試験用治具を試作した（図１３）。外観寸法は４１０ｍｍ×４５０ｍｍである。この試験用治具では、Ｘ方向のみ、及びＸ・Ｙ方向の複合した方向にシートにテンションを付与することが可能である。シートのクランプは溝付き板を組合せ、ねじで固定する。この溝付き板によりシートの全幅をクランプすることができる。テンションの調整は目盛を見ながら、図中「引張り部」のねじで行なう。【００６４】
（２）エキスパンド適用シートの概要
使用したダイシングテープは、シリコンウェーハをダイシングする際に一般的に使用するＤ−６５０及びエキスパンド用テープＤ−６７５（リンテック（Adwill）社製，幅３００ｍｍ，厚さ８０μｍ）である。適切な長さにカットして用いた。【００６５】
（３）ウェーハブレイクにおけるエキスパンドの効果
シリコンウェーハをダイシングテープ（Ｄ−６７５）上に貼り付けてＸ，Ｙ方向にそれぞれ１５ｍｍ引張った。ワークをシート引張り方向（Ｘ方向）にのみ引張った場合、シート引張り方向（Ｘ方向）と直交方向（Ｙ方向）にシワができたが（図１４（ａ））、直交方向にも同距離エキスパンドすると、シワは見られなくなった（図１４（ｂ））。
ワークを分断（手割り）したところ、分断できた箇所に隙間ができた（図１５）。隙間は約３４０μｍだった。分断して一旦開いた隙間は時間経過と共に徐々に広がる傾向を見せ、数時間経過後、別の場所を新たに分断したところ、隙間は先の開き幅より狭くなることを確認した。【００６６】
（４）クロススクライブしたワークの場合
クロススクライブを行なったワークでエキスパンドの効果を調べた。エキスパンド距離はどちらも１５ｍｍである。Ｘ方向を分断（手割）した結果（図１６）、スクライブ線を外れてしまったが、分断箇所には隙間が発生している。また、クロス方向も同様に隙間は見られ、第１分断箇所よりも幅は広かった。エキスパンドの順番が影響しているものと考えられる。シートからリングを外して、数時間放置すると、隙間は収縮するが、ゼロになることはなかった。【００６７】
（５）ダイシングテープＤ−６７５の場合
ダイシングテープの素材をエキスパンド用であるＤ−６７５に変えて、エキスパンドブレーク試験を行なった。エキスパンド距離はＸ，Ｙ方向共に２０ｍｍとした。分断した結果、両方向共に分断箇所でテンションが開放され、隙間が現れた。引張り方向による隙間の幅は、先のＤ−６５０テープと同様にＸ方向に広く、Ｙ方向には若干狭くなっている。スクライブによる垂直クラックが浅く、手割りで分断している影響が大きいため、刻み線位置を外れる場合が少なくない。刻み線位置を分断できた場合は、一直線に分断できており、エッジ部には大きなチッピングは見られず、分断後のワーク表面にパーティクルの付着は見られなかった（図１７）。分割面性状は手割りのため良好とはいえないが、直角度はほぼ良好といえる。【００６８】
（６）まとめ
本試験内で得られた結果を以下にまとめる。
従来使用しているダイシングテープでも十分エキスパンドできることを確認した。
ワークを分断すると同時に分断箇所に隙間ができた。
クロスでエキスパンドした場合、引張る順番（Ｘ，Ｙ）でテンションの大きさが変わるようだが、どちらの方向でもエキスパンドの効果が見られた。
ブレイク直後及び搬送中にワーク同士が擦れないため、チッピングは発生せず、シリコン表面へのパーティクル付着は見られなかった。
スクライブ試験においてもエキスパンドの効果が十分得られると思われることから、品質の良いブレイクが可能と考えられる。【００６９】
以下、本発明の第４の実施形態のブレイク装置について説明する。図１８乃至図２１は、本発明の第４の実施形態におけるブレイク装置を示す。図１８に示されるように、ワーク５１としての薄板状の半導体ウェーハには、あらかじめ、スクライバーにより縦横に格子状のスクライブ線５２が刻み付けられている。スクライブ線５２は、例えば、先端が尖った角錐工具（ポイント）又は自由に回転する薄板円盤（ホイール）をワークの表面に押し付け、ワーク５１の表面に沿ってこれらの工具を移動させることで、ワーク５１の表面にスクライブ線５２を刻む。工具をワーク５１に沿って移動させる際、工具を振動させてもよい。【００７０】
（ワーク接着工程）
ワーク５１の表面にスクライブ線５２を刻み付けた後、図１９（Ａ）に示されるように、ワーク５１のスクライブ線５２が刻み付けられた側を表側にして、ワーク５１の裏面をシート５３に貼り付ける。シート５３には、粘着性のある樹脂製のものが用いられる。例えば、搬送時にチップ状の半導体ウェーハが貼り付けられる搬送用シートと同様なものが用いられる。この第４の実施形態のブレイク装置では、第１の実施形態のブレイク装置と異なり、シート５３に引張り力を付与することもあるし、付与しないこともある。【００７１】
図１８に示されるように、シート５３に貼り付けられたワーク５１は、シート５３を裏側にして中高のブレイク台５５に載せられる。ブレイク台５５は半円柱をなし、その表面にはシート密着手段として複数の吸着穴５６が開けられる。吸着穴５６は吸引経路５７に接続され、吸引経路５７は最終的に一つの吸引口５８に通じている。この図１８では、ブレイク台５５の中央部分の吸着穴５６は省略されているが、実際にはブレイク台５５の周方向に複数設けられている。吸引口５８には図示しない真空ポンプが接続され、吸引口５８からエアーが吸引される。【００７２】
図２０は半円柱形のブレイク台５５の平面図を示し、図２１は裏面図を示す。複数の吸着穴５６は、ブレイク台５５の最高部（ラインｈ１上）に配列され、その上、ブレイク台５５の最高部のみならず、最高部から低い位置（ラインｈ２）に向かって高低差を付けて複数列配列されている。図２０で横方向の一列が同じ高さの吸着穴５６である。図中Ｗ１，Ｗ２はサイズの異なる円形ワークの平面形状を示す。吸着穴５６は、ワーク５１の周囲又はワーク５１の下面を避けてシート５３のみを吸引するように配列されている。そして、低い位置の列の吸着穴５６は、高い位置の列よりも多数配列される。これらの吸着穴５６は、ブレイク台５５の裏面に形成された吸引溝５９に接続される。図２１に示されるように、吸引溝５９は縦方向及び横方向に伸び、最終的には吸引口５８に接続される。ブレイク台５５は図示しない平らな表面を有する基台に載せられ、基台の表面とブレイク台の吸引溝５９との間がエアーを吸引する通路になる。【００７３】
（ワーク分断工程）
ワーク５１が貼り付けられたシート５３をブレイク台５５に載せた後、吸引口５８からエアーを吸引すると、吸引口５８に繋がった吸着穴５６が空気を吸引し、シート５３がブレイク台５５に密着する。シート５３とブレイク台５５との間の距離が狭いほど、圧力が下がり易いから、自然にブレイク台５５の高い位置から低い位置に向かって順を追って、すなわちワーク５１の中央部から両端側に向かって順番にシート５３がブレイク台５５に密着する。シート５３がブレイク台５５に密着すると、シート５３に貼り付けられるワーク５１も、図１９（Ｂ）に示されるように、スクライブ線５２が湾曲の外側になるようにブレイク台５５に沿って湾曲する。すると、ワーク５１に曲げモーメントが発生し、ワーク５１のスクライブ線５２が刻まれた側に引張り応力が発生する。この引張り応力によって、クラック５４がワーク５１の表面から裏面に向かって進展してワーク５１が分断される。ここで、ワーク５１がブレイク台５５に沿って湾曲する段階でワーク５１が分断される。よって、ワーク５１は中央部から両端側に向かって徐々に分断される（図１８でいえば、半円柱のブレイク台５５の最高部から左右にスクライブ線５２に沿って、分断が発生・進行する）。【００７４】
シート５３をワーク５１の裏側にしたのは、図１９に示されるように、ワーク５１へのクラック５４の進展を容易にするためである。仮にシート５３をワーク５１の表側に貼り付けると、シート５３がその弾性力によってスクライブ線５２の溝が開くのを妨げるので、割ることが困難になる。また、ブレイク台５５を半円柱形にし、ワーク５１のスクライブ線５２をブレイク台の中心線５５ａに平行に配置することで、湾曲されたワーク５１の法線方向に応力が働く。このため、ワーク５１の断面が擦れてチッピングが発生するのを防止することができる。【００７５】
以上の分断工程では、縦方向及び横方向のスクライブ線５２うちの縦方向のみ、すなわちブレイク台５５の中心線５５ａに平行なスクライブ線５２のみにて、ワーク５１が分断される。縦横のうちの一方向の分断が終わった段階で、ワーク５１はシート５３上で短冊に分断される（短冊分断工程）。次に、吸着穴５６による吸着を解除し、シート５３をブレイク台５５から退避させる。そして、シート５３又はブレイク台５５のいずれか一方をシート５３が含まれる平面、例えば水平面内で９０度回転させる（相対回転工程）。そうすると、縦横の残りの一方のスクライブ線５２がブレイク台５５の中心線５５ａに平行になる。そして、再度吸着穴５６からエアーを吸引し、短冊に分断されたワーク５１をブレイク台５５に沿って再び湾曲させて、ワーク５１を複数のチップに分断する（チップ分断工程）。ワーク分断工程を短冊分断工程とチップ分断工程に分けることで、縦横にスクライブ線が刻み付けられたワーク５１を、チッピングを発生させることなく、チップに分断することができる。【００７６】
図２２は、ワーク５１をシート５３に貼り付けた状態で伸縮可能なシート５３を引張った例を示す。ワーク５１を分断するときにワーク５１に引張り力が働くと、ワーク５１の分断と同時にワーク５１同士が引き離され、ワーク５１間に隙間が空くので、ワーク５１の分断面同士が接触するのをより防止することができる。したがって、図２２に示されるように、ワーク５１を分断する前に、ワーク５１をシート５３に貼り付けた状態で、伸縮可能なシート５３に引張り力を与えてもよい。具体的には、シート５３の周囲をＸ方向及びＹ方向に引張り、シート５３にＸ方向及びＹ方向に引張り力（テンションｔ）をかける。このテンションｔを保持したまま、ワーク５１の周囲に枠部材６０を貼り付ける。ワーク５１の周囲と枠部材６０との間には、間隔が空けられていて、ワーク５１の周囲に露出するシート５３にテンションが閉じ込められる。なお、ワーク５１に引張り力を付与するときは、吸着穴５６はワーク５１の下面を避けてシート５３のみを吸着する位置に配置されるのが望ましい。なぜならば、ワーク５１の下面に吸着穴５６を配置すると、せっかくシート５３の引張り力によって分断されたワーク同士を引き離そうとしているのに、吸着穴５６の吸着によってワーク５１同士が離れ難くなるからである。【００７７】
ところで、従来は縦横のスクライブ線５２が刻み付けられた半導体ウェーハをチップに分断できるブレイク装置は存在しなかった。なぜならば、ワーク５１を短冊に加工した段階で残りのスクライブ線５２が一直線上に並ばなくなる。ブレードによる分断では、アライメントが不可欠で、スクライブ線５２とブレード及びその受け刃との位置関係に精度が要求されるところ、ワーク５１を９０度回転させたとき、スクライブ線通りにブレードを落とせなくなり、チップ化が不可能になる。しかし、本実施形態では、ワーク５１を容易に短冊状に分断する短冊分断工程でも、９０度回転させてチップ化するチップ分断工程でも、スクライブ線５２が一直線上にあることが要求されない。したがって、チップ化が可能になる。【００７８】
図２３は、ブレイク台５５に形成される吸着穴５６の他の例を示す。この例では、ブレイク台５５の表面にブレイク台５５の中心線５５ａと平行な方向に伸びる溝６１が形成される。吸着穴５６は溝６１に繋がっていて、一列の吸着穴５６が溝６１によってグループ化される。吸着穴５６を溝６１でグループ化すれば、ブレイク台５５の中心線方向において、均等にワーク５１を吸着することができる。また、図２４に示されるように、シート５３のブレイク台５５への吸着をより強固にするために、ブレイク台５５の周囲を箱６２で囲うことも有効である。【００７９】
図２５は、高い位置から低い位置の吸着穴５６に順番にエアーを吸引させるために、吸引経路５７に複数の電磁弁６３を設けた例を示す。複数の吸着穴５６は中央の最高位置から左右の低い位置まで配列される。そして、吸引経路５７は吸着穴５６の高さに応じて複数設けられ、一つの吸引経路５７に同じ高さの複数の吸着穴５６が接続される。各吸引経路５７には電磁弁６３が設けられている。電磁弁６３は、高い位置の吸着穴５６に接続される吸引経路５７から、低い位置の吸着穴５６に接続される吸引経路へと順番に開にする。例えば、この図２５に示されるように、電磁弁６３は１，２，３…，７等順番に開く。電磁弁６３を設けると、ワーク５１の中央部から外側に向かって確実に目視でもわかる程度の順番でワーク５１をブレイク台５５に密着させることができる。【００８０】
図２６は、本発明の第５の実施形態におけるブレイク装置を示す。この実施形態では、シート５３をブレイク台５５に密着させるシート密着手段を、シート固定台１４とシート押付け機構とで構成する。すなわち、図２６（Ａ）に示されるように、ブレイク台５５を挟んで一対のシート固定台１４を配置し、シート５３の両端部をシート固定台１４でクランプする。そして、図２６（Ｂ）に示されるように、押し付け機構によりブレイク台５５を下からシート５３に向かってせり上げ、シート５３をブレイク台５５に密着させている。押し付け機構には、ボールねじ等の周知の一軸移動機構が用いられる。なお、シート５３に対するブレイク台５５の移動は相対的なものであるから、ブレイク台５５をせり上げる替わりに、シート固定台１４を押し下げてもよい。【００８１】
シート５３は、ブレイク台５５の突き上げによって、ブレイク台５５に押し付けられ、ブレイク台５５の表面に沿って湾曲する。シート５３がブレイク台５５に密着すると、シート５３に貼り付けられるワーク５１もブレイク台５５に沿って湾曲する。ワーク５１がブレイク台５５に沿って湾曲する段階でワーク５１が分断されるので、ワーク５１が中央部から両端側に向かって徐々に分断されながら、分断されたワーク５１が順番にブレイク台５５に密着する。以上によりワーク５１が短冊に分割される。ワーク５１を短冊に分割した後、ブレイク台５５をシート５３から下方に退避させて、シート５３の両端部をシート固定台１４から取り外す。次に、シート５３を水平面内で９０度回転させた後、再度シート５３をシート固定台１４に保持させる。勿論、シート５３をシート固定台１４に付け替える替わりに、ブレイク台５５を水平面内で９０度回転させる回転機構を設けてもよい。最後に、再度ブレイク台５５をせり上げて短冊に分割したワーク５１をチップに分割する。【００８２】
この第５の実施形態のブレイク装置によれば、ブレイク台５５に吸着穴５６を設けなくても、シート５３をブレイク台５５に密着させることができる。しかも、シート５３をブレイク台５５で突き上げる際、シート５３には引張り力が自然に働くので、分断されたワーク５１同士の分断面が擦れるのを防止することができる。【００８３】
図２７及び図２８は、ブレイク台６５の他の例を示す。図２７はブレイク台６５の側面図を、図２８はブレイク台６５の側面図をそれぞれ示す。ワーク５１を一遍にチップに分割するときには、ブレイク台６５をこの例のように、球面の一部に形成してもよい。この場合、図２８に示されるブレイク台の平面図において、吸着穴６６はブレイク台６５の最高部Ｃを中心にした同心円上に配列される。そして、吸着穴６６は吸引経路６７に接続され、吸引経路６７は一つの吸引口６８に通じている。吸着穴６６からエアーを吸引すると、ワーク５１の中央部から外周側に向かって順番にワーク５１をブレイク台６５に密着させることができる。【００８４】
なお、本発明は上記実施形態に限られることなく、本発明の要旨を変更しない範囲で様々に変更可能である。例えば、ワークには半導体ウェーハの替わりに薄いガラス基板を用いてもよい。また、ワーク接着工程において、ワークにスクライブ線を刻み付けた後にワークをシートに貼り付けてもよいし、ワークをシートに貼り付けた後にワークにスクライブ線を刻み付けてもよい。さらに、半円柱形のブレイク台は半円筒形であってもよい。【００８５】
本明細書は、２００５年１月５日出願の特願２００５−０００５５４、２００５年５月１９日出願の特願２００５−１４６５５１および２００５年１２月２６日出願の特願２００５−３７３４６０に基づく。この内容はすべてここに含めておく。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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