(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１流体機器の第１接続部と第２流体機器の第２接続部との間に配置したシール部材を介して、前記第１接続部と前記第２接続部とをシールさせる流体機器の接続構造において、
前記第１接続部と前記第２接続部とが接続する接続部分の外周に配置される筒状のガイド部材と、
前記ガイド部材を前記第１流体機器に固定する第１固定部材と、
前記ガイド部材を前記第２流体機器に固定する第２固定部材と、を有し、
前記ガイド部材が、前記第１固定部材に係止される第１係止部と、前記第２固定部材に係止される第２係止部とを有し、
前記第１固定部材は前記第１流体機器に螺合し、
前記第２固定部材は前記第２流体機器に螺合すること、
前記第１固定部材と前記第２固定部材は、一端が閉鎖した円筒形状をなし、閉鎖面に前記ガイド部材が挿通される挿通孔が形成されており、
前記ガイド部材は、前記第１及び前記第２係止部を複数に分割するように両端部からスリットが形成されていること、
を特徴とする流体機器の接続構造。
【請求項２】
請求項１に記載する流体機器の接続構造において、
雌ねじが内周面に形成された環状部材を有し、
前記ガイド部材は、前記雌ねじに螺合する雄ねじ部が形成され、前記雄ねじ部の片側に外周面から突出するストッパ部を有し、
貫通孔が形成されたパネルに前記ストッパ部を突き当てるように前記ガイド部材を前記貫通孔に挿通し、前記環状部材の前記雌ねじを前記ガイド部材の前記雄ねじ部に締め付ける
ことを特徴とする流体機器の接続構造。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する流体機器の接続構造を用いて、流体機器を接続することを特徴とする流体機器ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体機器の接続構造及びその接続構造を備える流体機器ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造工程や液晶製造工程などの薬液制御には、流量制御弁や開閉弁などのバルブ類や、フィルタ、圧力センサや流量センサなどのセンサ類、継手ブロックや流路ブロックなどの配管ブロック類など、流体機器が使用される。近年、装置のコンパクト化のため、これら流体機器の接続部同士を連結部材を用いて直接連結し、ユニット化することが行われている。図２４は、従来の流体機器ユニット１００の一例を示す。
【０００３】
従来の流体機器ユニット１００は、同一構造の第１バルブ１０１Ａと第２バルブ１０１Ｂの接続部をシール部材１０２を介して突き合わせ、第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂの接続部分を連結部材１０３を用いて連結している。第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂは、樹脂製のバルブボディ１０４Ａ，１０４Ｂに駆動部１０５Ａ，１０５Ｂを図示しないボルトで固定したものである。バルブボディ１０４Ａ，１０４Ｂは、流路１０６Ａ，１０６Ｂが側面に開口し、各開口部の周りにフランジ部１０７Ａ，１０７Ｂが突設されている。各フランジ部１０７Ａ，１０７Ｂの接続面には、シール部材１０２を装着するための装着溝１０８Ａ，１０８Ｂが流路１０６Ａ，１０６Ｂの開口部の周りに沿って形成されている。
【０００４】
連結部材１０３は、第１連結ブロック１１０と第２連結ブロック１１１とに分割されている。第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂは、装着溝１０８Ａ，１０８Ｂの間にシール部材１０２を配置してフランジ部１０７Ａ，１０７Ｂの接続面同士を突き合わせ、フランジ部１０７Ａ，１０７Ｂの接続部分の周りを覆うように第１連結ブロック１１０，１１１とを取り付ける。そして、第１及び第２連結ブロック１１０，１１１に上方から図示しないボルトを締結することにより、第１及び第２連結ブロック１１０，１１１を一体化してフランジ部１０７Ａ，１０７Ｂの接続部分を固定する。これにより、第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂは、フランジ部１０７Ａ，１０７Ｂの接続部分でシール部材１０２を押し潰してシールした状態でフランジ部１０７Ａ，１０７Ｂが接続される。
【０００５】
流体機器ユニット１００は、バルブボディ１０４Ａ，１０４Ｂの下面に取り付けた取付ブロック１１２Ａ，１１２Ｂを介して半導体製造装置に組み付けられる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２９０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の流体機器ユニット１００は、第１バルブ１０１Ａと第２バルブ１０１Ｂを連結部材１０３を介してのみ接続するため、接続部分の強度が弱く、取扱いにくかった。
【０００８】
すなわち、流体機器ユニット１００は、例えば、作業者が出荷時に第２バルブ１０１Ｂを手でつかんで持ち上げたときに、第１バルブ１０１Ａの自重が第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂの接続部分に作用し、第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂの接続部分で撓むことがあった。第１及び第２バルブ１０１Ａ，１０１Ｂの接続部分が撓むと、円周方向にほぼ均一であったシール部材１０２のシールバランスが崩れ、シール不良を招く。フランジ部１０７Ａ，１０７Ｂを含むバルブボディ１０４Ａ，１０４Ｂは、樹脂成形品で
あるため、フランジ部１０７Ａ，１０７Ｂの接続面が外力によって塑性変形しやすく、流体機器ユニット１００が見た目上もとの形状に戻っても、シール不良を起こす可能性があった。この場合、作業者は、流体機器ユニット１００が取扱時に変形してシール不良を生じても、不良品を発見することが難しかった。よって、作業者は、流体機器ユニット１００を取り扱う時に細かい注意を払わざるを得ず、流体機器ユニット１００の取扱いにかかる負担が大きかった。
【０００９】
上記問題点を解決するために、本出願人は、特願２００７−８５２３４号において、図２５及び図２６に示す流体機器ユニット２００を提案した。図２５は、出願人が特願２００７−８５２３４号において提案した流体機器の取付構造を示す図である。図２６は、図２５に示す流体機器の取付構造を利用した流体機器ユニット２００の外観斜視図である。
【００１０】
図２５に示すように、流体機器の一例である第１バルブ２０１の下面に係合部２０２を突設し、その係合部２０２をレール２１０のレール溝２１１にスライド可能に係合させて、第１バルブ２０１をレール２１０に取り付ける。図２６に示すように、第１バルブ２０１は、第２バルブ２０３に連結ブロック２０９を用いて接続される。尚、他の第３バルブ２０４や第４バルブ２０５、第５バルブ２０６、継手ブロック２０７、分岐ブロック２０８などの流体機器は、第１バルブ２０１と同様にしてレール２１０に取り付けられ、連結ブロック２０９を用いて互いに連結される。
【００１１】
これによれば、例えば、第１バルブ２０１と第２バルブ２０３との接続部分は、レール部材２１０によって補強され、流体機器ユニット２００を持ち上げた場合に、第１及び第２バルブ２０１，２０３の接続部分が撓んでシールを低下させることがない。
【００１２】
もっとも、例えば、第１及び第２バルブ２０１，２０３の間を確実にシールするためには、第１及び第２バルブ２０１，２０３の接続部を同軸に配置する必要がある。このため、第１及び第２バルブ２０１，２０３は、レール部材２１０から第１及び第２バルブ２０１，２０３の接続部までの高さ寸法を精度良く合わせる必要があった。
【００１３】
これに対して、係合部２０２とレール部材２１０との間に隙間を設ければ、第１及び第２バルブ２０１，２０３は、接続部の高さを調整して同軸に配置することができる。しかし、最近では、流体機器ユニットを使用する装置のコンパクト化が進み、それに伴って流体機器を三次元に配置するケースが増えている。第１及び第２バルブ２０１，２０３の接続部分をレール部材２１０で補強する技術では、第１及び第２バルブ２０１，２０３を二次元にしか配置できず、流体機器の配置設計を制限する。
【００１４】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、流体機器の配置に自由度を持たせつつ、流体機器の接続部分を確実にシールすることができる流体機器の接続構造及びその接続構造を備える流体機器ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するため、本発明の流体機器の接続構造及びその接続構造を備える流体機器ユニットは、以下の構成を有する。
（１）第１流体機器の第１接続部と第２流体機器の第２接続部との間に配置したシール部材を介して、前記第１接続部と前記第２接続部とをシールさせる流体機器の接続構造において、前記第１接続部と前記第２接続部とが接続する接続部分の外周に配置される筒状のガイド部材と、前記ガイド部材を前記第１流体機器に固定する第１固定部材と、前記ガイド部材を前記第２流体機器に固定する第２固定部材と、を有し、前記ガイド部材が、前記第１固定部材に係止される第１係止部と、前記第２固定部材に係止される第２係止部とを有し、前記第１固定部材は前記第１流体機器に螺合し、前記第２固定部材は前記第２流体機器に螺合すること、前記第１固定部材と前記第２固定部材は、一端が閉鎖した円筒形状をなし、閉鎖面に前記ガイド部材が挿通される挿通孔が形成されており、前記ガイド部材は、前記第１及び前記第２係止部を複数に分割するように両端部からスリットが形成されている。
【００１６】
（２）（１）に記載する流体機器の接続構造において、雌ねじが内周面に形成された環状部材を有し、前記ガイド部材は、前記雌ねじに螺合する雄ねじ部が形成され、前記雄ねじ部の片側に外周面から突出するストッパ部を有し、貫通孔が形成されたパネルに前記ストッパ部を突き当てるように前記ガイド部材を前記貫通孔に挿通し、前記環状部材の前記雌ねじを前記ガイド部材の前記雄ねじ部に締め付ける。
【００１７】
（３）（１）又は（２）に記載する流体機器の接続構造を用いて、流体機器を接続する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の流体機器の接続構造は、第１接続部と第２接続部とが接続する接続部分の外周に配置したガイド部材が、第１固定部材によって第１流体機器に固定され、第２固定部材によって第２流体機器に固定され、第１及び第２接続部の同軸性を接続部分で直接出して支持している。そのため、流体機器は、二次元のみならず、三次元にも配置することが可能である。そして、第１及び第２接続部の軸線に対して直角方向に作用する荷重が第１及び第２接続部に作用しても、第１及び第２接続部がガイド部材に支持されて撓まず、シール性能が低下しない。
【００２１】
よって、本発明の流体機器の接続構造によれば、流体機器の配置に自由度を持たせつつ、流体機器の接続部分を確実にシールすることができる。
【００２２】
本発明の流体機器の接続構造は、第１接続部と、シール部材を装着した第２接続部とをガイド部材に挿入して同軸上に配置し、その状態で、第１固定部材を第１流体機器に螺合し、第２固定部材を第２流体機器に螺合する。すると、第１流体機器と第２流体機器が、ガイド部材の第１及び第２係止部に係止される第１固定部材と第２固定部材のねじ送りによって互いに近づく方向に移動し、ガイド部材内で第１接続部と第２接続部をシール部材を介して接続する。
【００２３】
よって、本発明の流体機器の接続構造によれば、ガイド部材に係止される第１及び第２固定部材を第１及び第２流体機器に螺合するだけで、ガイド部材内で第１及び第２接続部の軸を合わせて第１及び第２接続部を接続することができる。
【００２４】
本発明の流体機器の接続構造は、ガイド部材の両端部に形成したスリットを狭めることにより、第１及び第２係止部が設けられた部分の径を小さくして、第１及び第２固定部材の挿通孔にガイド部材を挿通する。ガイド部材の第１及び第２係止部が設けられた部分を第１及び第２固定部材の挿通孔に挿通したら、ガイド部材の両端部に形成したスリットを広げ、第１及び第２係止部を第１及び第２固定部材の挿通孔の縁に係止させる。この状態で、第１固定部材からガイド部材に第１接続部を挿入し、第２固定部材からガイド部材に第２接続部を挿入して、ガイド部材内に第１接続部と第２接続部を同軸上に配置する。
【００２５】
よって、本発明の流体機器の接続構造によれば、第１及び第２固定部材をガイド部材に簡単に装着し、ガイド部材内で第１及び第２接続部を同軸上に容易に配置できる。
【００２６】
本発明の流体機器の接続構造は、パネルにストッパ部を突き当てるようにガイド部材をパネルの貫通孔に挿通し、ガイド部材の雄ねじ部に環状部材の雌ねじを螺合させることにより、ストッパ部と環状部材との間でパネルを挟み込み、ガイド部材をパネルに取り付ける。よって、本発明の流体機器の接続構造によれば、第１流体機器の接続部と第２流体機器の接続部とを同軸に配置した状態で、第１流体機器と第２流体機器を装置のパネルに簡単に取り付けることができる。
【００２７】
本発明の流体機器ユニットは、上記作用効果を有する流体機器の接続構造を用いて流体機器を接続するので、流体機器の配置に自由度を持たせつつ、流体機器の接続部分を確実にシールすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
次に、本発明に係る流体機器の接続構造及びその接続構造を備える流体機器ユニットの実施形態について図面を参照して説明する。
【００２９】
＜流体機器ユニットの回路構成例＞
図１は、本発明の実施形態に係る流体機器ユニット１の回路図である。
本実施形態の流体機器ユニット１０は、例えば、半導体製造装置に組み付けられる。半導体装置は、例えば、処理室を２個備える。各処理室には、ウエハに薬液を供給するノズル１が配置される。尚、以下、各処理室のノズル１を区別するために、「Ａ」，「Ｂ」の添え字を付けて説明する。
【００３０】
ノズル１Ａ，１Ｂには、共通流路２から分岐した供給ライン３Ａ，３Ｂがそれぞれ接続されている。供給ライン３Ａ，３Ｂは、エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂと流量計５Ａ，５Ｂと手動弁６Ａ，６Ｂとが設置され、供給流路２から供給ライン３Ａ，３Ｂに分岐した薬液を流量調整してノズル１Ａ，１Ｂにそれぞれ供給する。流体機器ユニット１０は、図中点線で囲まれた部分をユニット化している。
【００３１】
＜流体機器ユニットの全体構成＞
図２は、図１に示す点線部を具体化した流体機器ユニット１０の外観斜視図である。
流体機器ユニット１０は、第１接続ユニット１１（後述）と第２接続ユニット１２（後述）を用いて、エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂと流量計５Ａ，５Ｂと手動弁６Ａ，６Ｂをパネル９に取り付けて、供給ライン３Ａ，３Ｂを構成している。
【００３２】
流体機器ユニット１０は、Ｔ字形の分岐管７Ａ，７Ｂが第１接続ユニット１１によって接続され、共通流路２を構成している。分岐管７Ａ，７Ｂは、第１接続ユニット１１が装着された端部と反対側の端部に、継手部材８が第１接続ユニット１１を用いて接続されている。
【００３３】
分岐管７Ａ，７Ｂは、第１接続ユニット１１が装着された両端部の間から分岐した管路に、エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂの入力ポートが第１接続ユニット１１を用いて接続されている。エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂの出力ポートは、パネル９を挟んで反対側に配置される流量計５Ａ，５Ｂの入力ポートに、第２接続ユニット１２を用いて接続されている。流量計５Ａ，５Ｂの出力ポートは、パネル９を挟んで反対側に配置される手動弁６Ａ，６Ｂの入力ポートに、第２接続ユニット１２を用いて接続されている。手動弁６Ａ，６Ｂの出力ポートには、継手部材８が第１接続ユニット１１を用いて接続されている。
【００３４】
このように、流体機器ユニット１０は、第１及び第２接続ユニット１１，１２を用いて、エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂと流量計５Ａ，５Ｂと手動弁６Ａ，６Ｂと継手部材８を三次元に配置して、供給ライン３Ａ，３Ｂを構成している。
【００３５】
尚、流体機器ユニット１０は、腐食性の高い薬液を使用することがある。そのため、流体機器ユニット１０を構成する流体機器、つまり、エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂや流量計５Ａ，５Ｂ、手動弁６Ａ，６Ｂ、分岐管７Ａ，７Ｂ、継手部材８は、機能上金属やゴムを材質とする必要がある部品を除き、ＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）やＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＶＤＦ（ふっ化ビニリデン）、ＥＴＦＥ（四ふっ化エチレン・エチレン共重合体）などの耐腐食性がある樹脂を材質とする部品を使用する。
【００３６】
＜第１接続ユニットを用いた流体機器の接続構造＞
図３は、図２に示す第１接続ユニット１１を用いた流体機器の接続構造Ｘの断面図である。分岐管７Ａと分岐管７Ｂ、及び、分岐管７Ａ，７Ｂと継手部材８、分岐管７Ａ，７Ｂとエアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂ、手動弁６Ａ，６Ｂと継手部材８は、それぞれ、第１接続ユニット１１を用いて同様に接続される。そこで、以下の説明では、分岐管７Ａ（「第１流体機器」の一例）と分岐管７Ｂ（「第２流体機器」の一例）との接続部分を例に挙げて流体機器の接続構造Ｘを説明する。
【００３７】
流体機器の接続構造Ｘは、分岐管７Ａ，７Ｂに設けた接続部１３Ａ，１３Ｂの間にシール部材２０を配置し、その状態で、第１接続ユニット１１を用いて分岐管７Ａ，７Ｂを接続している。
【００３８】
＜流体機器に設けられた接続部の構成＞
分岐管７Ａ，７Ｂは、接続部１３Ａ，１３Ｂが円筒状に形成されている。接続部１３Ａ，１３Ｂは、ＰＴＦＥやＰＦＡなどの樹脂を材質とする。接続部１３Ａ，１３Ｂは、外径寸法が分岐管７Ａ，７Ｂの外径寸法より小径になるように設けられている。そのため、分岐管７Ａ，７Ｂの外周面と接続部１３Ａ，１３Ｂの外周面との間には、段差面１４Ａ，１４Ｂが形成されている。
【００３９】
接続部１３Ａ，１３Ｂの端面には、流路１５Ａ，１５Ｂが開口している。接続部１３Ａ，１３Ｂは、シール部材２０を装着するためのシール溝１６Ａ，１６Ｂが、流路１５Ａ，１５Ｂが開口する端面から、流路１５Ａ，１５Ｂの開口部の周りに沿って環状に形成されている。シール溝１６Ａ，１６Ｂは、接続部１３Ａ，１３Ｂの端面と対向する底部に、環状突起１７Ａ，１７Ｂが突設され、その環状突起１７Ａ，１７Ｂを挟んで断面が対称形状をなす。シール溝１６Ａ，１６Ｂの底部は、環状突起１７Ａ，１７Ｂから内側と外側へ向かって傾斜している。分岐管７Ａ，７Ｂの外周面には、段差面１４Ａ，１４Ｂ側から雄ねじ１８Ａ，１８Ｂが形成されている。雄ねじ１８Ａ，１８Ｂは、接続部１３Ａ，１３Ｂと同軸上に設けられてる。
【００４０】
＜シール部材の構成＞
図４は、図３に示すシール部材２０の平面図である。図５は、図４のＡ−Ａ縦断面図である。
図４及び図５に示すように、シール部材２０は、ＰＦＡなどの樹脂を材質とし、短い円筒形状に形作られている。シール部材２０は、両端面に、接続部１３Ａ，１３Ｂの環状突起１７Ａ，１７Ｂに嵌合する環状溝２１，２２が形成されている。シール部材２０は、断面Ｈ型をなし、環状溝２１，２２を挟んで断面が対象形状になっている。環状溝２１，２２の内側内壁と外側内壁面には、肉厚部２３，２４がそれぞれ設けられ、環状溝２１，２２の溝幅が環状突起１７Ａ，１７Ｂの幅寸法より小さくなっている。シール部材２０は、図５に示すように、内周面と外周面に、シール溝１６Ａ，１６Ｂの底部に設けた傾斜と対応するように傾斜が設けられている。
【００４１】
図４及び図５に示すように、シール部材２０の外周面には、複数の張出部２５が外向きに突設され、張出部２５の先端部にガイド部２６が一体に設けられている。図４に示すように、張出部２５とガイド部２６は、取り付けの制限を少なくするために、シール部材２０の円周方向に等間隔に設けられている。図５に示すように、張出部２５は、環状溝２１，２２の間に対応する位置に配置されている。ガイド部２６は、接続部１３Ａ又は接続部１３Ｂの外周に装着されてシール部材２０の脱落を防止するように（図３参照）、張出部２５の両側に延設されている。
【００４２】
＜流体機器ユニットの全体構成＞
図３に示すように、第１接続ユニット１１は、接続部１３Ａ，１３Ｂが接続する接続部分の外周に装着されるガイド部材２７と、ガイド部材２７を分岐管７Ａに固定する第１固定部材２８と、ガイド部材２７を分岐管７Ｂに固定する第２固定部材２９とを有する。ガイド部材２７と第１及び第２固定部材２８，２９は、ＰＶＤＦなどの硬度が高くて剛性がある樹脂を材質とする。
【００４３】
＜ガイド部材の構成＞
図６は、図４に示すガイド部材２７の外観斜視図である。図７は、図６に示すガイド部材の上面図である。図８は、図７に示すガイド部材を図中右側から見た図であって、スリット３４を開いた状態を示す。図９は、図７に示すガイド部材を図中右側から見た図であって、スリット３４を閉じた状態を示す。
ガイド部材２７は、接続部１３Ａ，１３Ｂの外周に装着される本体３１が円筒状に形成されている。本体３１の両端外周面には、第１固定部材２８に係止される第１係止部３２と、第２固定部材２９に係止される第２係止部３３とが、外向きに突設されている。
【００４４】
ガイド部材２７は、第１及び第２係止部３２，３３を分割するように、複数のスリット３４が軸線方向に形成されている。各スリット３４は、ガイド部材２７の一端から他端まで形成され、ガイド部材２７を複数の分割片３５に分割している。分割片３５は、隣の分割片３５と結合部３６を介して連結されている。結合部３６は、薄い膜状をなし、折り目に沿って折り曲げられたり伸ばされたりして伸縮するようになっている。結合部３６は、ガイド部材２７が接続部１３Ａ，１３Ｂの軸を合わせる際に邪魔にならないように、図９に示すように、分割片３５の外部へはみ出さないように折り畳まれる。各分割片３５には、シール部材２０のガイド部２６を収納するための収納溝３７が、軸線方向に長く形成されている。
【００４５】
本実施形態では、ガイド部材２７に３本のスリット３４を形成し、３個の分割片３５を設けている。これに対して、ガイド部材２７にスリット３４を２本又は４本以上形成し、ガイド部材２７を２個又は４個以上に分割しても良いことは言うまでもない。
【００４６】
＜第１及び第２固定部材の構成＞
図１０は、図３に示す流体機器の接続構造Ｘの分解斜視図である。
第１及び第２固定部材２８，２９は、同一形状をなす。第１及び第２固定部材２８，２９は、一端が閉鎖された円筒形状をなす。第１及び第２固定部材２８，２９の閉鎖面には、ガイド部材２７を挿通するための挿通孔４１，４３が中央に形成されている。
【００４７】
挿通孔４１，４３の直径は、スリット３４を閉じてガイド部材２７の分割片３５を互いに当接させた場合（図９参照）における第１及び第２係止部３２，３３の最外径寸法より大きく、且つ、スリット３４を開いてガイド部材２７を接続部１３Ａ，１３Ｂの外周に装着した場合（図３参照）における第１及び第２係止部３２，３３の最外径寸法より小さくなるように、設定されている。第１及び第２固定部材２８，２９の内周面には、接続部１３Ａ，１３Ｂの雄ねじ１８Ａ，１８Ｂに対応する雌ねじ４２，４４がそれぞれ形成されている。
【００４８】
＜第１接続ユニットを用いた流体機器の接続方法＞
分岐管７Ａ，７Ｂは、流体機器の接続構造Ｘを用いて、次のようにして接続される。
図９に示すように、第１接続ユニット１１のガイド部材２７に内向きの力を加え、結合３６を折り曲げながらスリット３４を閉じ、分割片３５を互いに当接させる。この状態で、ガイド部材２７の第１係止部３２を設けた端部を第１固定部材２８の挿通孔４１に挿通し、ガイド部材２７の第２係止部３３を設けた端部を第２固定部材２９の挿通孔４３に挿通する。
【００４９】
そして、ガイド部材２７に加えていた内向きの力を解除する。すると、分割片３５の間で折り畳まれていた結合部３６が復元して、スリット３４を開き、分割片３５を互いに離間させる。この結果、ガイド部材２７の本体３１が径を広げ、第１及び第２係止部３２，３３を、第１及び第２固定部材２８，２９の閉鎖面に設けた挿通孔４１，４３の縁部に引っ掛けて係止させる。
【００５０】
その後、シール部材２０のガイド部２６を分岐管７Ｂに設けた接続部１３Ｂの外周面に沿わせるようにして、接続部１３Ｂに設けたシール溝１６Ｂの環状突起１７Ｂにシール部材２０の環状溝２２を軽く嵌め合わせる。
【００５１】
それから、シール部材２０のガイド部２６にガイド部材２７の収納溝３７を位置合わせし、第２固定部材２９とガイド部材２７とを接続部１３Ｂに嵌め合わせる。そして、第２固定部材２９の雌ねじ４４を分岐管７Ｂの雄ねじ１８Ｂに螺合させる。このとき、ガイド部材２７は、接続部１３Ｂに装着したシール部材２０のガイド部２６が収納溝３７に係合し、回転止めされているため、第２固定部材２９と共回りしない。第２固定部材２９のねじ送りによって、分岐管７Ｂは、接続部１３Ｂをガイド部材２７内へ挿入する。
【００５２】
その後、分岐管７Ａの接続部１３Ａを、第１固定部材２８からガイド部材２７に挿入し、第１固定部材２８の雌ねじ４２を分岐管７Ａの雄ねじ１８Ａに螺合させる。このとき、第１固定部材２８は、ねじ部の推力によって、分岐管７Ａを分岐管７Ｂ側へスライドさせる。言い換えれば、接続部１３Ａがガイド部材２７に挿入される。
【００５３】
第１固定部材２８を回転させていると、接続部１３Ａの端面外周面に、シール部材２０のガイド部２６が装着され、接続部１３Ａの環状突起１７Ａがシール部材２０の環状溝２１に嵌め込まれる。更に第１固定部材２８を回転させると、ねじの推力によって、接続部１３Ａの端面が接続部１３Ｂの端面に押し付けられ、接続部１３Ａ，１３Ｂの環状突起１７Ａ，１７Ｂがシール部材２０の環状溝２１，２２に設けた圧入代２３，２４に圧入され、シール部を構成する。このとき、シール溝１６Ａ，１６Ｂの底部とシール部材２０の内周面及び外周面の端部に設けた傾斜面が当接し、シール部材２０が流路１５Ａ，１５Ｂ側に倒れ込むのを防止する。
【００５４】
このようにして分岐管７Ａ，７Ｂを接続する第１接続ユニット１１は、第１ガイド部材２７の第１係止部３２側の端面と分岐管７Ａの段差面１４Ａとの間に隙間Ｓ１を設け、ガイド部材２７の第２係止部３３側の端面と分岐管７Ｂの段差面１４Ｂとの間に隙間Ｓ２を設ける。第１接続ユニット１１は、隙間Ｓ１，Ｓ２を設けることにより、経時的または熱的にクリープした際に生じた緩みをなくす増し締めが可能となる。
【００５５】
＜第２接続ユニットを用いた流体機器の接続構造＞
図１１は、図２に示す第２接続ユニット１２を用いた流体機器の接続構造Ｙの側面図である。
エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂと流量計５Ａ，５Ｂ、及び、流量計５Ａ，５Ｂと手動弁６Ａ，６Ｂは、それぞれ、第２接続ユニット１２を用いて同様に接続される。そこで、以下の説明では、エアオペレイトバルブ４Ａ（「第１流体機器」の一例）と流量計５Ａ（「第２流体機器」の一例）との接続部分を例に挙げて流体機器の接続構造Ｙを説明する。
【００５６】
流体機器の接続構造Ｙは、第２接続ユニット１２を用いて、パネル９の一方の側面にエアオペレイトバルブ４Ａを配置し、パネル９の他方の側面に流量計５Ａを配置している。
【００５７】
図１２は、図１１に示す流体機器の接続構造ＹのＢ−Ｂ断面図である。
流体機器の接続構造Ｙは、エアオペレイトバルブ４Ａと流量計５Ａが、入力ポート５７と出力ポート５８が接続部１３Ａ，１３Ｂの端面に開口している。エアオペレイトバルブ４Ａと流量計５Ａは、接続部１３Ａ，１３Ｂの他、段差面１４Ａ，１４Ｂ、シール溝１６Ａ，１６Ｂ、環状突起１７Ａ，１７Ｂ、雄ねじ１８Ａ，１８Ｂを備える。接続部１３Ａ，１３Ｂ、段差面１４Ａ，１４Ｂ、シール溝１６Ａ，１６Ｂ、環状突起１７Ａ，１７Ｂ、雄ねじ１８Ａ，１８Ｂは、分岐管７Ａ，７Ｂと同様であるので、説明を省略する。
【００５８】
エアオペレイトバルブ４Ａと流量計５Ａは、接続部１３Ａ，１３Ｂがシール部材５０を介して接続し、その接続部分の周りを支持するように第２接続ユニット１２が配置されている。第２接続ユニット１２は、パネル９の貫通孔９ａに挿通されて支持されている。
【００５９】
図１３は、図１２に示すシール部材５０の縦断面図である。
シール部材５０は、全長がシール部材２０より短いことを除き、シール部材２０と同様に構成されている。
【００６０】
＜第２接続ユニットの全体構成＞
図１２に示すように、第２接続ユニット１２は、エアオペレイトバルブ４Ａの接続部１３Ａと流量計５Ａの接続部１３Ｂとの接続部分の外周にガイド部材５１を配置し、第１及び第２固定部材２８，２９によってガイド部材５１をエアオペレイトバルブ４Ａと流量計５Ａに固定している。また、第２接続ユニット１２は、ガイド部材５１の外周に螺合する環状部材５２によって、パネル９に固定されている。第１及び第２固定部材２８，２９の構成は、既に説明したので、ここではガイド部材５１と環状部材５２の構成を説明する。
【００６１】
＜ガイド部材の構成＞
図１４は、図１２に示すガイド部材５１の外観斜視図である。図１５は、図１４に示すガイド部材５１の上面図である。図１６は、図１５に示すガイド部材５１を図中右側から見た図であって、スリット３４を開いた状態を示す。図１７は、図１５に示すガイド部材５１を図中右側から見た図であって、スリット３４を閉じた状態を示す。
ガイド部材５１は、本体５３の全長がガイド部材２７を構成する本体３１の全長より長く、雄ねじ部５４とストッパ部５５を備える点を除き、ガイド部材２７と同じ構成を有する。
【００６２】
図１４及び図５に示すように、雄ねじ部５４は、ガイド部材５１をパネル９の貫通孔９ａに挿通したときにガイド部材５１をガタつかせないように設けられている。雄ねじ部５４は、軸線方向の全長がパネル９の厚さより大きく設定され、外周面に雄ねじが形成されている。
【００６３】
ストッパ部５５は、雄ねじ部５４の第２係止部３３側の端部に環状に設けられている。ストッパ部５５は、雄ねじ部５４の一端外周面から外向きに突出し、その最外径寸法がパネル９の貫通孔９ａの径より大きくされている。つまり、ストッパ部５５は、ガイド部材５１がパネル９の貫通孔９ａから抜け落ちることを防止している。
【００６４】
＜環状部材の構成＞
環状部材５２は、環状をなし、雄ねじ部５４に螺合する雌ねじ５６が内周面に形成されている。
【００６５】
＜第１接続ユニットを用いた流体機器の接続方法＞
エアオペレイトバルブ４Ａと流量計５Ａは、次のようにして接続される。図１８は、図１１に示す流体機器の接続構造Ｙの分解斜視図である。
ガイド部材５１の第２係止部３３を設けた端部をスリット３４を閉じるように変形させ、第２固定部材２９の挿通孔４３に第２係止部３３を挿通した後、スリット３４を開くようにガイド部材５１を変形させることにより、ガイド部材５１に第２固定部材２９を取り付ける。
【００６６】
それから、流量計５Ａの接続部１３Ｂに設けた環状突起１７Ｂをシール部材５０の環状溝２２に軽く嵌め合わせ、接続部１３Ｂにシール部材５０を装着する。そして、シール部材５０のガイド部２６をガイド部材５１の収納溝３７に位置合わせして、接続部１３Ｂを第２固定部材２９からガイド部材５１へ挿入する。そして、第２固定部材２９の雌ねじ４３を流量計５Ａの雄ねじ１８Ｂに螺合する。
【００６７】
それから、ガイド部材５１のストッパ部５５をパネル９に突き当てるように、ガイド部材５１をパネル９の貫通孔９ａに挿通する。そして、ストッパ部５５と反対側から環状部材５２を雄ねじ部５４に締め付け、ガイド部材５１をパネル９に固定する。
【００６８】
その後、ガイド部材５１の第１係止部３２が設けられた端部をスリット３４を閉じるように変形させ、第１固定部材２８の挿通孔４１に挿通した後、スリット３４を開くように変形させる。これにより、第１固定部材２８がガイド部材５１に装着される。
【００６９】
それから、エアオペレイトバルブ４Ａの接続部１３Ａを第１固定部材２８からガイド部材５１に挿入し、第１固定部材２８の雌ねじ４２をエアオペレイトバルブ４Ａの雄ねじ１８Ａにねじ込む。このねじ送りによって生じる推力によって、接続部１３Ａ，１３Ｂの環状突起１７Ａ，１７Ｂをシール部材５０の環状溝２１，２２に設けた圧入代２３，２４に圧入し、シール部を構成する。
【００７０】
ここで、例えば、エアオペレイトバルブ４Ａと流量計５Ａは、例えば、従来技術で説明したレール部材２１０に取り付けた場合に、接続部１３Ａ，１３Ｂの高さが合わないものであるとする。このような場合でも、本実施形態では、エアオペレイトバルブ４Ａの接続部１３Ａと流量計５Ａの接続部１３Ｂの接続部分を第２接続ユニット１２を用いてパネル９に取り付けるので、ブラケットなどを使用してエアオペレイトバルブ４Ａと流量計５Ａの高さ調節をしなくても、エアオペレイトバルブ４Ａの接続部１３Ａと流量計５Ａの接続部１３Ｂを同軸に配置して簡単に接続できる。
【００７１】
＜動作説明＞
上記流体機器ユニット１０は、分岐管７Ａ，７Ｂが継手部材８を介して薬液の一次側配管と二次側配管に接続される。また、手動弁６Ａ，６Ｂが、継手部材８を介して、ノズル１Ａ，１Ｂに接続される。手動弁６Ａ，６Ｂは、流体機器ユニット１０を半導体製造装置に組み付けた後、弁開される。
【００７２】
エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂが、弁閉状態の間は、一次側配管から供給される薬液は、供給ライン３Ａ，３Ｂに入力せず、ノズル１Ａ，１Ｂからウエハに供給されない。
【００７３】
一方、例えば、エアオペレイトバルブ４Ａが弁開状態にされ、エアオペレイトバルブ４Ｂが弁閉状態である場合には、一次側配管から供給された薬液がエアオペレイトバルブ４Ａから流量計５Ａ、手動弁６Ａへと流れる。薬液は、手動弁６Ａで流量調整された後、ノズル１Ａからウエハに吐出される。手動弁６Ａは、流量計５Ａの測定値を確認しながら開度調整され、ノズル１Ａからウエハに供給する薬液を所望の流量に調整する。
【００７４】
ところで、流体機器ユニット１０は、分岐管７Ａ，７Ｂとエアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂと流量計５Ａ，Ｂと手動弁６Ａ，６Ｂを水平方向に配置している。そして、流体機器ユニット１０は、分岐管７Ａ，７Ｂの上にエアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂを配置し、さらにその上に手動弁６Ａ，６Ｂを配置している。更に、流体機器ユニット１０は、パネル９を挟んでエアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂと流量計５Ａ，５Ｂと手動弁６Ａ，６Ｂを配置している。このように、流体機器ユニット１０は、分岐管７Ａ，７Ｂやエアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂ等の流体機器を三次元に配置してコンパクトにしている。そのため、流体機器の接続部分には、流体機器の自重や何かがぶつかった衝撃などで、接続方向に対して直角方向に荷重がかかることがある。
【００７５】
しかし、例えば、分岐管７Ａ，７Ｂの接続部分は、第１接続ユニット１１に支持されている。具体的には、図３に示すように、剛性がある樹脂を材質とするガイド部材２７が、接続部１３Ａ，１３Ｂの接続部分の周りを覆うように配置され、第１及び第２固定部材２８，２９を介して分岐管７Ａ，７Ｂに固定されている。そのため、接続部１３Ａ，１３Ｂの接続部分に、その接続方向（流路１５Ａ，１５Ｂの軸線）に対して直角方向の荷重が作用しても、ガイド部材２７がその荷重を受け、接続部１３Ａ，１３Ｂを撓ませない。つまり、接続部１３Ａ，１３の環状突起１７Ａ，１７Ｂをシール部材２０の環状溝２１，２２に圧入して構成したシール部を変形させない。
【００７６】
また、例えば、エアオペレイトバルブ４Ａと流量計５Ａの接続部分は、第２接続ユニット１２に支持されている。具体的には、図１２に示すように、剛性がある樹脂を材質とするガイド部材５１は、接続部１３Ａ，１３Ｂの接続部分の周りを覆うように配置され、第１及び第２固定部材２８，２９を介してエアオペレイトバルブ４Ａと流量計５Ａに固定されている。そのため、接続部１３Ａ，１３Ｂの接続部分に、その接続方向（入力ポート５７と出力ポート５８の軸線）に対して直角方向の荷重が作用しても、ガイド部材５１がその荷重を受け、シール部材５０を介して接続する接続部１３Ａ，１３Ｂを撓ませない。特に、ガイド部材５１は、パネル９の貫通孔９ａに挿通され、外周面をパネル９に支持されて補強されているため、第１接続ユニット１１より撓みにくい。すなわち、接続部１３Ａ，１３Ｂの環状突起１７Ａ，１７Ｂをシール部材５０の環状溝２１，２２に圧入して構成したシール部が変形しにくい。
【００７７】
ところで、例えば、ノズル１Ａ，１Ｂが高温の薬液をウエハに供給した後、常温の純水をウエハに供給するような場合には、樹脂製の接続部１３Ａ，１３Ｂや第１及び第２固定部材２８，２９等が、熱膨張と収縮を繰り返してクリープ変形するなどして、第１及び第２固定部材２８，２９の締結力が低下することがある。この場合には、第１及び第２固定部材２８，２９が、初期締結段階で、ガイド部材２７，５１と段差面１４Ａ，１４Ｂとの間に隙間Ｓ１，Ｓ２を設けているため、第１及び第２固定部材２８，２９を増し締めしてシール機能の低下を防ぐことが可能である。
【００７８】
＜作用効果＞
以上説明したように、本実施形態の流体機器の接続構造Ｘ（Ｙ）は、接続部１３Ａと接続部１３Ｂとが接続する接続部分の外周に配置したガイド部材２７（５１）が、第１固定部材２８によって分岐管７Ａ（エアオペレイトバルブ４Ａ）に固定され、第２固定部材２９によって分岐管７Ｂ（流量計５Ａ）に固定され、接続部１３Ａ，１３Ｂの同軸性を接続部分で直接出して支持している（図３、図１２参照）。そのため、分岐管７Ａ，７Ｂ（エアオペレイトバルブ４Ａ、流量計５Ａ）などの各種流体機器は、第１接続ユニット１１（第２接続ユニット１２）を用いれば、二次元のみならず、三次元にも配置することが可能である（図２参照）。そして、接続部１３Ａ，１３Ｂの接続方向に対して直角方向に作用する荷重が接続部１３Ａ，１３Ｂに作用しても、接続部１３Ａ，１３Ｂがガイド部材２７，５１に支持されて撓まないため、接続部１３Ａ，１３Ｂの接続部分（シール部）が変形せず、シール性能を低下させない。
【００７９】
よって、本実施形態の流体機器の接続構造Ｘ（Ｙ）によれば、流体機器４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂ，７Ａ，７Ｂ，８の配置に自由度を持たせつつ、流体機器４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂ，７Ａ，７Ｂ，８の接続部分を確実にシールすることができる。
【００８０】
本実施形態の流体機器の接続構造Ｘ（Ｙ）は、接続部１３Ａと、シール部材２０（５０）を装着した接続部１３Ｂとをガイド部材２７，５１に挿入して同軸上に配置し、その状態で、第１固定部材２８の雌ねじ４２を分岐管７Ａ（エアオペレイトバルブ４Ａ）の雄ねじ１８Ａに螺合し、第２固定部材２９の雌ねじ４４を分岐管７Ｂ（流量計５Ａ）の雄ねじ１８Ｂに螺合する（図１０、図１８参照）。すると、分岐管７Ａと分岐管７Ｂ（エアオペレイトバルブ４Ａと流量計５Ａ）は、ガイド部材２７（５１）の第１及び第２係止部３２，３３に係止される第１固定部材２８と第２固定部材２９のねじ送りによって互いに近づく方向に移動し、ガイド部材２７（５１）内で第１接続部１３Ａと第２接続部１３Ｂをシール部材２０（５０）を介して接続させる（図３、図１２参照）。
【００８１】
よって、本実施形態の流体機器の接続構造Ｘ（Ｙ）によれば、ガイド部材２７（５１）に係止される第１及び第２固定部材２８，２９を分岐管７Ａ，７Ａ（エアオペレイトバルブ４Ａ，流量計５Ａ）などの流体機器に螺合するだけで、ガイド部材２７（５１）内で接続部１３Ａ，１３Ｂの軸を合わせて接続部１３Ａ，１３Ｂを接続することができる。
【００８２】
本実施形態の流体機器の接続構造Ｘ（Ｙ）は、ガイド部材２７（５１）に形成したスリット３４を狭めることにより、第１及び第２係止部３２，３３が設けられた部分の径を小さくして、第１及び第２固定部材２８，２９の挿通孔４１，４３にガイド部材２７（５１）を挿通する。ガイド部材２７（５１）の第１及び第２係止部３２，３３が設けられた部分を第１及び第２固定部材２８，２９の挿通孔４１，４３に挿通したら、ガイド部材２７（５１）に形成したスリット３４を広げ、第１及び第２係止部３２，３３を第１及び第２固定部材２８，２９の挿通孔４１，４３の縁に係止させる。この状態で、第１固定部材２８からガイド部材２７（５１）に接続部１３Ａを挿入し、第２固定部材２９からガイド部材２７（５１）に接続部１３Ｂを挿入して、ガイド部材２７（５１）内に接続部１３Ａと接続部１３Ｂを同軸上に配置する（図１０、図１８参照）。
【００８３】
よって、本実施形態の流体機器の接続構造Ｘ（Ｙ）によれば、第１及び第２固定部材２８，２９をガイド部材２７（５１）に簡単に装着し、ガイド部材２７（５１）内で接続部１３Ａ，１３Ｂを同軸上に容易に配置できる。
【００８４】
本実施形態の流体機器の接続構造Ｙは、パネル９にストッパ部５５を突き当てるようにガイド部材５１をパネル９の貫通孔９ａに挿通し、ガイド部材５１の雄ねじ部５４に環状部材５２の雌ねじ５６を螺合させることにより、ストッパ部５５と環状部材５２との間でパネル９を挟み込み、ガイド部材５１をパネル９に取り付ける（図１８参照）。よって、本実施形態の流体機器の接続構造Ｙによれば、エアオペレイトバルブ４Ａの接続部１３Ａと流量計５Ａの接続部１３Ｂとを同軸に配置した状態で、エアオペレイトバルブ４Ａと流量計５Ａを半導体製造装置のパネル９に簡単に取り付けることができる。
【００８５】
本実施形態の流体機器ユニット１０は、上記作用効果を有する流体機器の接続構造Ｘ，Ｙを用いて流体機器４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂ，７Ａ，７Ｂ，８を接続するので（図２参照）、流体機器４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂ，７Ａ，７Ｂ，８の配置に自由度を持たせつつ、流体機器４Ａ，４Ｂ，５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂ，７Ａ，７Ｂ，８の各接続部分を確実にシールすることができる。
【００８６】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【００８７】
（１）例えば、上記実施形態では、流体機器ユニット１０が、第２接続ユニット１２をパネル９で支持した。これに対して、図１９に示す流体機器ユニット１０Ａのように、第２接続ユニット１２をパネル９で支持しない状態で使用しても良い。
【００８８】
また、図１９に示す第２接続ユニット１２を第１接続ユニット１１に変え、エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂの出力ポートと流量計５Ａ，５Ｂの入力ポートとを接続すると共に、流量計５Ａ，５Ｂの出力ポートと手動弁６Ａ，６Ｂの入力ポートとを接続しても良い。第１接続ユニット１１は、第２接続ユニット１２より全長が短い。そのため、この場合には、エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂの出力ポートと流量計５Ａ，５Ｂの入力ポートとの間、及び、流量計５Ａ，５Ｂの出力ポートと手動弁６Ａ，６Ｂの入力ポートとの間には、図１８に示すロングタイプのシール部材５０ではなく、図１０に示すショートタイプのシール部材２０を使用する。
【００８９】
このように、エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂ及び流量計５Ａ，５Ｂ、手動弁６Ａ，６Ｂは、第１接続ユニット１１と第２接続ユニット１２の何れを使用する場合でも、接続部１３Ａ，１３Ｂを共通して使用できる。接続部１３Ａ，１３Ｂは、エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂや流量計５Ａ，５Ｂ、手動弁６Ａ，６Ｂと一体に加工されるため、第１接続ユニット１１を使用する場合と第２接続ユニット１２を使用する場合とで形状が異なると、エアオペレイトバルブ４Ａ，４Ｂ等の流体機器毎に種類が増え、加工する手間やコストがかかる上に、在庫管理が大変になる。一方、シール部材２０，５０は、流体機器の種類を問わず使用できるため、まとまった数で製作でき、加工の手間やコストがかからず、在庫管理が容易である。従って、第１及び第２接続ユニット１１，１２を使用する場合に、流体機器の接続部１３Ａ，１３Ｂの形状を共通化し、シール部材２０，５０の種類を増やすことの方が、シール部材を共通化し、流体機器の接続部１３Ａ，１３Ｂの形状を変えて流体機器の種類を増やすことより、流体機器ユニットの構造全体から見て、効率が良い。
【００９０】
（２）例えば、上記実施形態では、ガイド部材２７，２１をスリット３４により複数の分割片３５に完全に分割し、各分割片３５を結合部３６を介して連結した。しかし、スリット３４は、第１及び第２固定部材２８，２９の挿通孔４１，４３にガイド部材を挿通するために設ける。
【００９１】
よって、例えば、図２０に示すガイド部材２７Ａのように、本体６１の両端部からスリット６２，６３を所定の深さまで形成して、第１及び第２係止部３２，３３を分割させて複数の爪部６４，６５を設けても良い。
また、例えば、図２１及び図２２に示すガイド部材５１Ａに示すように、本体６５の両端部からスリット６２，６３を所定の深さで形成し、第１及び第２係止部３２，３３を分割させても良い。例えば、スリット６２，６３を雌ねじ部５４及びストッパ部５５まで形成し、複数の爪部６６，６７を設けても良い。
【００９２】
図２０〜図２２に示すガイド部材２７Ａ，５１Ａは、本体６１．６５が円筒状であるため、接続部１３Ａ，１３Ｂの接続方向に対して直角方向に作用する荷重に対する強度を向上させることができるメリットがある。
【００９３】
（３）例えば、上記実施形態では、シール部材２０，５０にガイド部２６を設けた。これに対して、図２３に示すシール部材７０のように、ガイド部２６の代わりに、本体７１の中央部に大径部７２を設けてもよい。この場合、スリット３４を開いたり閉じたりして本体の径を変化させることが可能なガイド部材の内周面に、大径部７２を嵌合させる溝を形成すれば、その溝に大径部７２を嵌合させることによりシール部材７０をガイド部材に対して位置決めできる。
【００９４】
（４）例えば、上記実施形態では、第１及び第２固定部材２８，２９を分岐管７Ａ，７Ｂやエアオペレイトバルブ４Ａ、流量計５Ａに螺合接続させた。これに対して、第１及び第２固定部材２８，２９をピンなどで分岐管７Ａ，７Ｂやエアオペレイトバルブ４Ａ、流量計５Ａ等の流体機器に固定するようにしても良い。
（５）例えば、上記実施形態では、第１及び第２係止部３２，３３をガイド部材２７，５１の両端部に環状に設けた。これに対して。ガイド部材２７，５１の外周面に複数の突起を設け、その突起を第１及び第２係止部としても良い。
（６）例えば、上記実施形態では、シール部材２０，５０の外周面に、張出部２５とガイド部２６を円周方向に等間隔に設けた。これに対して、張出部２５とガイド部２６は必ずしも円周方向に等間隔に設けなくても良い。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明の実施形態に係る流体機器ユニットの回路図である。
【図２】図１に示す点線部を具体化した流体機器ユニットの外観斜視図である。
【図３】図２に示す第１接続ユニットを用いた流体機器の接続構造の断面図である。
【図４】図３に示すシール部材の平面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ断面図である。
【図６】図４に示すガイド部材の外観斜視図である。
【図７】図６に示すガイド部材の上面図である。
【図８】図７に示すガイド部材を図中右側から見た図であって、スリットを開いた状態を示す。
【図９】図７に示すガイド部材を図中右側から見た図であって、スリットを閉じた状態を示す。
【図１０】図３に示す流体機器の接続構造の分解斜視図である。
【図１１】図２に示す第２接続ユニットを用いた流体機器の接続構造の側面図である。
【図１２】図１１に示す流体機器の接続構造のＢ−Ｂ断面図である。
【図１３】図１２に示すシール部材の縦断面図である。
【図１４】図１２に示すガイド部材の外観斜視図である。
【図１５】図１４に示すガイド部材の上面図である。
【図１６】図１５に示すガイド部材を図中右側から見た図であって、スリットを開いた状態を示す。
【図１７】図１５に示すガイド部材を図中右側から見た図であって、スリットを閉じた状態を示す。
【図１８】図１１に示す流体機器の接続構造の分解斜視図である。
【図１９】流体機器ユニットの変形例である。
【図２０】ガイド部材の第１変形例である。
【図２１】ガイド部材の第２変形例である。
【図２２】図２１に示すガイド部材の側面図である。
【図２３】シール部材の変形例である。
【図２４】従来の接続構造を適用した流体機器ユニットの断面図である。
【図２５】出願人が特願２００７−８５２３４号において提案した流体機器の取付構造を示す図である。
【図２６】図２５に示す流体機器の取付構造を利用した流体機器ユニットの外観斜視図である。
【符号の説明】
【００９６】
４Ａ  エアオペレイトバルブ（第１流体機器）
５Ａ  流量計（第２流体機器）
７Ａ  分岐管（第１流体機器）
７Ｂ  分岐管（第２流体機器）
９  パネル
９ａ  貫通孔
１０Ａ  流体機器ユニット
１３Ａ  接続部（第１接続部）
１３Ｂ  接続部（第２接続部）
２０，５０  シール部材
２７，５１  ガイド部材
２８  第１固定部材
２９  第２固定部材
３２  第１係止部
３３  第２係止部
３４  スリット
３５  分割片
３６  結合部
４１，４３  挿通孔
４２  環状部材
５４  雄ねじ部
５５  ストッパ部
５６  雌ねじ
Ｘ，Ｙ  流体機器の接続構造
【図１】
0005009081.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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