(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応した検査レシピ及び標準サンプルウェーハの測定結果による校正基準・管理基準を記憶したホストコンピュータと、ＩＤ番号が付与された被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハをセットしておくローダと、前記被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハに付与されたＩＤ番号を認識するＩＤ番号認識装置と、前記被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハの品質を検査する検査装置本体と、前記被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハを排出するアンローダを有し、前記ＩＤ番号をレーザーマークにより付与し、前記標準サンプルウェーハのＩＤ番号を認識すると、当該ＩＤ番号の標準サンプルウェーハの測定結果による校正基準・管理基準をホストコンピュータに照合し、その照合結果にもとづき、前記検査装置本体を管理しつつ被検査サンプルウェーハを連続測定するように作動する被検査サンプルウェーハを自動検査する検査装置であって、
前記ＩＤ番号が付与された被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハをセットしておくローダは、少なくとも２つ以上の供給部を具備し、被検査サンプルウェーハを供給する供給カセットと標準サンプルウェーハを供給する専用カセットを有し、
タイマーがさらに設置されており、所定の時間になると前記ローダから標準サンプルウェーハを自動供給するように作動し、
前記ＩＤ番号が付与された被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハを排出するアンローダは、少なくとも２つ以上の排出部を具備し、被検査サンプルウェーハを排出する排出カセットと標準サンプルウェーハを排出する専用カセットを有し、
前記サンプルウェーハの品質を検査する検査装置本体が、酸素濃度測定装置、炭素濃度測定装置又は抵抗率測定装置のうち少なくともひとつの装置であることを特徴とするサンプルウェーハの検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の検査装置によって被検査サンプルウェーハを自動的に検査するにあたり、前記被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハにレーザーマークによってＩＤ番号を付与し、前記被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハに付与されたＩＤ番号をＩＤ番号認識装置により確認し、そのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応した検査レシピをホストコンピュータに照合し測定するとともに、前記標準サンプルウェーハのＩＤ番号を認識すると、当該ＩＤ番号の標準サンプルウェーハの測定結果による校正基準・管理基準をホストコンピュータに照合し、その照合結果にもとづき、前記検査装置本体を管理しつつ前記被検査サンプルウェーハを連続測定することを特徴とするサンプルウェーハの検査方法。
【請求項３】
請求項１記載の検査装置を自動的に校正・点検する管理方法であって、標準サンプルウェーハにレーザーマークによってＩＤ番号を付与しておき、前記検査装置本体に搬入された当該標準サンプルウェーハに対して、当該検査装置本体に付設された前記ＩＤ番号認識装置で当該標準サンプルウェーハのＩＤ番号を自動的に認識し、そのＩＤ番号により測定レシピをホストコンピュータに照合し、該測定レシピに従い測定し、その測定結果により装置の校正・点検を行うことを特徴とする検査装置の管理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、サンプルウェーハの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理方法に関する。
【０００２】
【関連技術】
デバイスを形成する半導体ウェーハの品質として重要であり、かつ基本的な特性（品質）として抵抗率、酸素濃度（格子間酸素濃度）などがある。これらのウェーハ特性はデバイスの設計に応じて品質規格が定まっており、ウェーハ製造工程ではその規格に基づき製造し、品質を保証する必要がある。
【０００３】
これらの品質は、例えば抵抗率などは４探針法を用いた抵抗率測定機が用いられ、酸素濃度（及び炭素濃度）の測定では赤外吸収法を用いたＦＴ−ＩＲ(Fourier Transform Infrared Spectroscopy)などが用いられ評価されている。これらの測定装置については、被検査サンプルウェーハの自動測定（自動化）が進んでいる。図７は従来のサンプルウェーハの自動測定の一例を示す説明図である。
【０００４】
図７に示されるように、被検査用サンプルウェーハＳ1〜Ｓ7にあらかじめＩＤ番号を印字させておき、各測定装置毎に各被検査サンプルウェーハＳ1〜Ｓ7のＩＤ番号読み取り、上位ホストコンピュータ（図示せず）と通信し、その測定レシピの確認及び測定した結果（測定値）を測定した被検査サンプルウェーハと１対１で対応させ保存することが可能となり、測定結果を取り扱う上で非常に効率的に運用することが出来ており、夜間運転等作業の省力化に大きな貢献をしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記検査装置等では、測定値の信頼性を確認するため、例えば１日当たり数回、標準サンプルウェーハ（日常管理サンプルウェーハ）ＳAを測定するといった日常点検を行わなければならず、例えば、図７に示すような自動化ラインでも、一旦装置を止めて、校正・点検を行わなくてはならない。この様な測定機管理は自動化ラインの停止時間が長くなり効率的運用に支障をきたしていた。特に複数の測定装置を連続的に配置した自動検査ラインでは、それぞれの装置を校正・点検する必要があり、作業的にたいへんであった。作業者の負担を減らし自動化での稼働時間を長くすることが必要であった。
【０００６】
図８は従来の自動化ラインの工程順の一例を示す工程図である。例えば、図８に示すように、Ｎｏ．１測定装置１２、例えば４探針式抵抗率測定装置とＮｏ．２測定装置１４、例えばＦＴ−ＩＲによる酸素濃度測定装置を連続的に配置した自動検査ライン１０では、まず、抵抗率測定装置１２、酸素濃度測定装置１４とすべての装置を一旦停止し、自動測定モード（通常測定モード又は被検査サンプルウェーハ測定モードなどということがある）にある装置を標準サンプルウェーハ測定モードに切り替えなければならない。次にローダ１６及びローダ兼アンローダ１８も一旦停止し、装置設定を変えなければならない。例えば、自動供給モードにある装置を標準サンプルウェーハ供給モードに切り替える。さらには、工程中に流れている被検査サンプルウェーハＳ1〜Ｓ7を全て測定終了するまで待つか又は取り除かなければならない。これらの段取りを実施した後、標準サンプルウェーハをセットし測定が始まる。標準サンプルウェーハＳAを測定した後は測定値を管理図に記入したり測定機の異常判断を行わなければならない。なお、図８において、２０はアンローダである。
【０００７】
そこで、本発明は、作業者の負担を軽減し、自動化ラインの停止時間を最小限にして効率化運用を行うことを可能としたサンプルウェーハの検査方法及び検査装置並びに検査装置の管理方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本サンプルウェーハの検査方法は、被検査サンプルウェーハを検査装置によって自動的に検査する方法において、複数の被検査サンプルウェーハを連続して測定している検査途中に、自動的に標準サンプルウェーハの測定を行い、その結果をもとに前記検査装置を自動管理しながら、被検査サンプルウェーハを連続的に測定検査するものである。
【０００９】
このように、被検査サンプルウェーハの測定途中に、自動的に標準サンプルウェーハを測定し、その結果をもとに装置管理（点検や校正）を行えば、装置を止めることなく連続的に被検査サンプルウェーハを評価でき、また作業者の負担は低減する。
【００１０】
本発明のサンプルウェーハの検査方法は、本発明の検査装置によって被検査サンプルウェーハを自動的に検査するにあたり、前記被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハにレーザーマークによってＩＤ番号を付与し、前記被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハに付与されたＩＤ番号をＩＤ番号認識装置により確認し、そのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応した検査レシピをホストコンピュータに照合し測定するとともに、前記標準サンプルウェーハのＩＤ番号を認識すると、当該ＩＤ番号の標準サンプルウェーハの測定結果による校正基準・管理基準をホストコンピュータに照合し、その照合結果にもとづき、前記検査装置本体を管理しつつ前記被検査サンプルウェーハを連続測定することを特徴とする。
【００１１】
このように、ＩＤ番号を付与した標準サンプルウェーハを用いる事で、不規則に標準サンプルウェーハを流したとしても、認識装置によりＩＤ番号を認識し、ホストコンピュータで適切な処理に切り替えられ、装置を止める事なく連続測定できる。
【００１２】
本発明のサンプルウェーハの検査装置は、少なくとも被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応した検査レシピ及び標準サンプルウェーハの測定結果による校正基準・管理基準を記憶したホストコンピュータと、ＩＤ番号が付与された被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハをセットしておくローダと、前記被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハに付与されたＩＤ番号を認識するＩＤ番号認識装置と、前記被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハの品質を検査する検査装置本体と、前記被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハを排出するアンローダを有し、前記ＩＤ番号をレーザーマークにより付与し、前記標準サンプルウェーハのＩＤ番号を認識すると、当該ＩＤ番号の標準サンプルウェーハの測定結果による校正基準・管理基準をホストコンピュータに照合し、その照合結果にもとづき、前記検査装置本体を管理しつつ被検査サンプルウェーハを連続測定するように作動する被検査サンプルウェーハを自動検査する検査装置であって、
前記ＩＤ番号が付与された被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハをセットしておくローダは、少なくとも２つ以上の供給部を具備し、被検査サンプルウェーハを供給する供給カセットと標準サンプルウェーハを供給する専用カセットを有し、
タイマーがさらに設置されており、所定の時間になると前記ローダから標準サンプルウェーハを自動供給するように作動し、
前記ＩＤ番号が付与された被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハを排出するアンローダは、少なくとも２つ以上の排出部を具備し、被検査サンプルウェーハを排出する排出カセットと標準サンプルウェーハを排出する専用カセットを有し、
前記サンプルウェーハの品質を検査する検査装置本体が、酸素濃度測定装置、炭素濃度測定装置又は抵抗率測定装置のうち少なくともひとつの装置であることを特徴とする。このような自動化ラインシステムを構築すれば、自動で検査できる。
【００１３】
なお、前記ＩＤ番号が付与された被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハをセットしておくローダは、少なくとも２つ以上の供給部を具備し、被検査サンプルウェーハを供給する供給カセットと標準サンプルウェーハを供給する専用カセットを有することが好ましい。
【００１４】
ＩＤ番号を認識する方式であるので、ローダをわざわざ区別する必要はないが、このように少なくとも２つ以上の供給部があれば、任意の時間に標準サンプルウェーハを測定しやすくなる。つまり任意の時間で専用カセットからサンプルウェーハを供給するようにすれば何時も決まった時間に測定機の管理ができる。
【００１５】
そこで、本発明の検査装置にはタイマーをさらに設置しておき、所定の時間になるとローダ又は標準サンプル専用カセットから標準サンプルウェーハを自動供給するようにすると好ましい。
【００１６】
また、ＩＤ番号が付与された被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハを排出するアンローダは、少なくとも２つ以上の排出部を具備し、被検査サンプルウェーハを排出する排出カセットと標準サンプルウェーハを排出する専用カセットを有することが好ましい。
【００１７】
このようにすることで、測定後に、被検査サンプルウェーハと標準サンプルウェーハが混合する事がなく仕分け作業が不用になる。
【００１８】
なお、該サンプルウェーハの品質を検査する検査装置本体が、酸素濃度測定装置、炭素濃度測定装置又は抵抗率測定装置のうち少なくともひとつの装置であるようにするのが好適である。
【００１９】
これは、上記した各品質が半導体ウェーハの品質として重要であり、かつ基本的な特性（品質）であり、またＦＴ−ＩＲなどの校正は検量線などで校正できるため、自動校正が行いやすいためである。
【００２０】
本発明の検査装置の管理方法は、標準サンプルウェーハのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応した測定レシピ及び標準サンプルウェーハの測定結果による校正基準・管理基準を記憶したホストコンピュータ、検査装置本体及びＩＤ番号認識装置を有する検査装置を自動的に校正・点検する管理方法であって、標準サンプルウェーハにレーザーマークによってＩＤ番号を付与しておき、前記検査装置本体に搬入された当該標準サンプルウェーハに対して、当該検査装置本体に付設された前記ＩＤ番号認識装置で当該標準サンプルウェーハのＩＤ番号を自動的に認識し、そのＩＤ番号により測定レシピをホストコンピュータに照合し、該測定レシピに従い測定し、その測定結果により装置の校正・点検を行うことを特徴とする。このようにすることで、信頼性の高い検査装置の管理が行える。
【００２１】
上記した被検査サンプルウェーハ及び標準サンプルウェーハに用いられるサンプルウェーハとしては、例えばシリコンウェーハ等の半導体ウェーハ、石英ウェーハ、光ディスク等を例示することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明するが、図示例は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。
【００２３】
図１は、本発明のサンプルウェーハの検査装置の一つの実施の形態を示す全体配置図である。同図において、３０は本発明にかかわるサンプルウェーハの検査装置で、ホストコンピュータ３２を有している。該ホストコンピュータ３２は、少なくとも被検査サンプルウェーハＳ及び標準サンプルウェーハＳAのＩＤ番号及びそのＩＤ番号に対応した検査レシピ、及び管理基準、すなわち標準サンプルウェーハＳAの測定結果による校正基準及び管理基準を記憶している。上記ホストコンピュータ３２には、ローダ３４、ＩＤ番号認識装置３６、検査装置本体３８、及びアンローダ４０が導線Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3及びＬ4によって電気的に接続されている。
【００２４】
上記ローダ３４には、供給カセット４２及び専用カセット４４が設けられている。この供給カセット４２にはＩＤ番号Ｎが付与された被検査サンプルウェーハＳがセットされ、専用カセット４４には同様にＩＤ番号Ｎが付与された標準サンプルウェーハＳAがセットされる。４６は供給カセット４２及び専用カセット４４に隣接して設けられたロボットアームで、供給カセット４２にセットされた被検査サンプルウェーハＳ及び専用カセット４４にセットされた標準サンプルウェーハＳAを次工程、即ちＩＤ番号認識装置３６に搬送するように作動する。
【００２５】
上記被検査サンプルウェーハＳにはあらかじめＩＤ番号Ｎを刻印しておき、また、そのＩＤ番号Ｎと測定条件（測定レシピ）をホストコンピュータ３２に登録しておく。
【００２６】
また、上記標準サンプルウェーハＳAについても、あらかじめＩＤ番号Ｎを刻印しておき、そのＩＤ番号Ｎと測定条件、及び標準値をホストコンピュータ３２に登録する。
【００２７】
図１ではウェーハ状の被検査サンプルウェーハＳをセットする供給カセット４２及び標準サンプルウェーハＳAをセットする専用カセット４４がそれぞれ１基ずつ設けられている場合が示されているが、ローダ３４に設けられるカセット４２，４４の数は限定されず、被検査サンプルウェーハＳ及び標準サンプルウェーハＳAを同じカセットにセットしても良い。但し、少なくとも２基以上のカセット４２，４４があればサンプルウェーハＳ，ＳAの取扱いがしやすい。
【００２８】
例えば、通常の測定時には被検査サンプルウェーハＳを供給カセット４２にセットし、供給カセット４２からＩＤ番号認識装置３６に被検査サンプルウェーハＳを供給する。標準サンプルウェーハＳA等の優先的に検査する必要のある優先サンプルウェーハは専用カセット４４にセットし、専用カセット４４に優先サンプルウェーハがセットされたら供給カセット４２の被検査サンプルウェーハＳよりも優先的に優先サンプルウェーハを供給するなどしても良い。
【００２９】
また、ローダ３４にタイマーをセットすれば、専用カセット４４からＩＤ番号認識装置３６へのサンプルウェーハ供給を設定時間内に行うことができ、作業者の作業が重なった場合などや、逆に一定時間供給を止めることが必要な時に調整でき、作業者の負担を減らすことができる。
【００３０】
ＩＤ番号認識装置３６はローダ３４から搬送されてきた被検査サンプルウェーハＳ及び標準サンプルウェーハＳAに印字されたＩＤ番号Ｎを読み取るものである。ＩＤ番号ＮはサンプルウェーハＳ，ＳAの決められた位置に印字しておき、ＩＤ番号認識装置３６ではサンプルウェーハＳ，ＳAをセンターリングし、決められた位置のＩＤ番号Ｎを読み取るようにしてある。ＩＤ番号認識装置３６は、ＣＣＤカメラ等による読み取り部３５と、画像処理部３７からなり、認識したＩＤ番号Ｎをホストコンピュータ３２に送信する。
【００３１】
なお、被検査サンプルウェーハＳ及び標準サンプルウェーハＳAへのＩＤ番号Ｎの付与はレーザーマークにより行う事が好ましい。自動化ラインでは文字を正確に認識する事が重要であり、レーザーマークによる印字は十分に深く鮮明でありＩＤ番号認識装置３６で読み取りやすいためである。
【００３２】
上記ホストコンピュータ３２では、ＩＤ番号認識装置３６より送られてきたＩＤ番号Ｎをもとに、被検査サンプルウェーハＳ及び標準サンプルウェーハＳAの識別をし、被検査サンプルウェーハＳであれば通常測定モードのままＩＤ番号Ｎに対応した検査レシピを検査装置本体３８に返信する。通常測定モードの測定レシピは通常、サンプルウェーハＳ，ＳAの直径や、測定位置などに関する情報である。ＩＤ番号Ｎが標準サンプルウェーハＳAのものであれば、標準サンプルウェーハ測定モードになる。
【００３３】
その後、サンプルウェーハＳ，ＳAはＩＤ番号認識装置３６から測定部３９を有する検査装置本体３８に搬送ベルト４８によって搬送され、ホストコンピュータ３２の情報をもとに測定される。測定結果をＩＤ番号Ｎと対応させホストコンピュータ３２に記録する。
【００３４】
上記アンローダ４０には、排出カセット５０及び専用カセット５２が設けられている。この排出カセット５０には、被検査サンプルウェーハＳがセットされ、専用カセット４４には標準サンプルウェーハＳAがセットされる。５４は排出カセット５０及び専用カセット５２に隣接して設けられたロボットアームで、測定したサンプルウェーハＳ，ＳAを、検査装置本体３８からアンローダ４０に排出するように作動する。図１ではウェーハ状のサンプルウェーハをセットするカセットが２基ついている場合が示されている。特にアンローダ４０側のカセット５０，５２の数は限定されず、被検査サンプルウェーハＳ及び標準サンプルウェーハＳAを同じカセットにセットしても良い。但し、標準サンプルウェーハＳAは繰り返し測定されるので、少なくとも２基以上のカセットにし、専用のカセットに戻されるようにすれば良い。また、このアンローダ４０側の専用カセット５２が自動的にローダ３４側の専用カセット位置に搬送されるようにすると好ましい。
【００３５】
以上述べたような構造のサンプルウェーハの検査装置３０を用いてサンプルウェーハ、即ち被検査サンプルウェーハＳ及び標準サンプルウェーハＳAを測定し検査する。なお、検査条件において、通常（被検査サンプルウェーハ）測定モードと標準サンプルウェーハ測定モードは通常同じである。通常測定モードと標準サンプルウェーハ測定モードの大きな違いは、測定した結果をどのように処理するかである。通常測定モードでは、基本的にＩＤ番号に対応させ測定結果を単に記録しておくものであるが、標準サンプルウェーハ測定モードでは、測定結果をもとに自動的に管理基準と照合し、測定を続行するかまたは校正、停止するかなどの判断および制御を行い、また管理図等を作成したりもする。
【００３６】
上記のような測定手順を採用することにより、検査工程中に流れている被検査サンプルウェーハＳを全て取り除く必要がなく標準サンプルウェーハＳAを測定することができる。
【００３７】
実際の検査方法としては、通常は、図２に示すように、通常（被検査サンプルウェーハ）測定モードＭに従って被検査サンプルウェーハＳを連続的に検査装置３０に供給し測定する。被検査サンプルウェーハＳの供給の途中で検査装置３０を停止する事なしに標準サンプルウェーハ測定モードＭAに従い標準サンプルウェーハＳAを供給測定し、検査装置３０を点検する。続いて、通常測定モードＭに戻り、被検査サンプルウェーハＳを連続的に検査装置３０に供給して測定する。
【００３８】
標準サンプルウェーハＳAの供給は、一定時間毎に供給されるように設定しても、また特定位置（専用カセット）にセットしたら優先的に測定を開始するように設定しても良い。標準サンプルウェーハＳAの測定頻度などは任意である。
【００３９】
検査手順を図１〜図３によって更に詳しく説明する。図３に示すように、まず、被検査サンプルウェーハＳを供給カセット４２にセットし、標準サンプルウェーハＳAを専用カセット４４にセットする（ステップ１００）。これらのセットされたサンプルウェーハ（被検査サンプルウェーハＳ又は標準サンプルウェーハＳA）は、ＩＤ番号認識装置３６に送られ、ＩＤ番号認識装置３６では供給されたサンプルウェーハＳ，ＳAのＩＤ番号Ｎが読み取られる（ステップ１０２）。この読み取られたＩＤ番号Ｎはホストコンピュータ３２に送られて照合され、被検査サンプルウェーハＳか、標準サンプルウェーハＳAかが判断される（ステップ１０４）。被検査サンプルウェーハＳであれば、測定位置などの測定レシピを受信し、通常測定モードＭのまま測定を続ける（ステップ１０６）。標準サンプルウェーハＳAのＩＤ番号と一致したら、自動で通常測定モードＭから標準サンプルウェーハ測定モードＭAに切り替わり標準サンプルウェーハ測定を行う（ステップ１０８）。
【００４０】
通常測定モードＭ（ステップ１０６）の処理フローを、図４に示す。まず、測定レシピをホストコンピュータ３２から受信し確認する（ステップ１０６Ａ）。この測定レシピに従い被検査サンプルウェーハＳを測定する（ステップ１０６Ｂ）。この測定結果をホストコンピュータ３２に送信し、ＩＤ番号Ｎと対応させ登録する（ステップ１０６Ｃ）。そして、次のサンプルウェーハの測定に入る（ステップ１０６Ｄ）。
【００４１】
標準サンプルウェーハ測定モードＭA（ステップ１０８）の具体的な処理フローを図５に示す。最初に、測定レシピをホストコンピュータ３２から受信し確認する（ステップ１０８Ａ）。この測定レシピに従い標準サンプルウェーハＳAを測定する（ステップ１０８Ｂ）。この測定結果をホストコンピュータ３２に送信し、ＩＤ番号Ｎと対応させ登録する（ステップ１０８Ｃ）。ホストコンピュータ３２では、管理基準に従いこの測定結果が基準値内か否か確認する（ステップ１０８Ｄ）。基準値外であれば校正基準・管理基準にもとづき、検査装置本体を校正、または停止する（ステップ１０８Ｆ）。基準値内であれば次のサンプルウェーハの測定に入る（ステップ１０８Ｅ）。即ち、標準サンプルウェーハＳAの測定結果がホストコンピュータ３２に登録されている管理値以内であれば、検査装置３０を止める事なく被検査サンプルウェーハＳを連続して測定する。
【００４２】
このようにすることで、検査装置３０を連続的に操業できる。つまり、このようなシステムにより作業者による検査装置３０の停止・モード切り替えせずに標準サンプルウェーハＳAを測定することができる。
【００４３】
このように検査装置３０をホストコンピュータ３２による通信制御を可能としておけば、さらに、作業者の負担を軽減でき、測定結果を記録としての残すことができて確実な装置管理が可能となる。
【００４４】
以上のように、標準サンプルウェーハによる点検・校正作業において、作業者の負担の増加なく、自動化ラインの停止時間を最小にとどめ効率的運用を行うことができる。
【００４５】
図１に示した例では、検査装置３０を１台設けた場合を示したが、図６に示すように、第１及び第２の検査装置３０Ａ，３０Ｂを２台並設しても同様に実施できる。なお、図６において、図１と同一又は類似部材は同一符号を用いて説明するが、第１の検査装置３０Ａの各部材にはＡの添え字を、第２の検査装置３０Ｂの各部材にはＢの添え字をそれぞれ付した。また、Ｌ1〜Ｌ7はホストコンピュータと各機器を接続する導線である。２台の検査装置３０Ａ，３０Ｂを並設した場合には、前記したアンローダ４０は検査装置３０Ａ，３０Ｂ間のインターフェイスを兼ねており、前工程の検査装置３０Ａからすればアンローダであり、後工程の検査装置３０Ｂからすればローダとなるので、後工程の検査装置３０Ｂのローダの設置を省略し、前工程の検査装置３０Ａのアンローダ４０をローダとして利用することができる。つまり、排出カセット５０は、前工程の検査装置３０Ａからすれば排出カセットの意味合いを持ち、後工程の検査装置３０Ｂからすれば供給カセットとなる。この排出（供給）カセット５０と専用（優先）カセット５２の間にロボットアーム５４を設け、サンプルウェーハＳ，ＳAの受け渡しをすることは図１の場合と同様である。
【００４６】
但し、このように２台の検査装置を並設した場合、第１の検査工程（装置３０Ａ）用の標準サンプルウェーハ、第２の検査工程（装置３０Ｂ）用の標準サンプルウェーハなど別々にセットできるように複数のカセットを配設するのが好ましい。
【００４７】
【実施例】
以下に実施例をあげて本発明をさらに具体的に説明するが、これらの実施例は例示的に示されるもので限定的に解釈されるべきでないことはいうまでもない。
【００４８】
（実施例１）
図６に示すように、第１の検査工程（装置３０Ａ）として４探針法による抵抗率測定装置、第２の検査工程（装置３０Ｂ）としてＦＴ−ＩＲによる酸素濃度測定装置を並列した自動化された検査工程（ライン）に対しておこなった。抵抗率はＪＩＳ  Ｈ６０２などで標準化されている方法に準じて測定した。酸素濃度はＡＳＴＭ  Ｆ１２３などで標準化されている方法に準じて測定した。
【００４９】
抵抗率や酸素濃度が未知の被検査サンプルウェーハＳを連続して検査した。この被検査サンプルウェーハは高輝度平面研削されたウェーハにレーザーマークでＩＤ番号を印字したものである。ＩＤ番号は特に限定しないが、ＩＤ番号；０１０００１〜０１０１００等の連番を振ってある。ホストコンピュータ３２にはこれらのサンプルウェーハに対する仕様（測定レシピ）が記憶されている。なお、このＩＤ番号の桁数及び記号は任意であり、特に連番で流さなくても良い。
【００５０】
初めに抵抗率測定装置３０Ａのローダ側にある供給カセット４２Ａに被検査サンプルウェーハＳをセットする。これは前段より自動的に供給されても良いが、本実施例では図６のように供給カセット４２Ａと専用カセット４４Ａの２つのカセットを有するローダ３４Ａを用い、被検査サンプルウェーハＳを供給カセット４２Ａに、専用カセット４４Ａには抵抗率用の標準サンプルウェーハＳAをセットしておく。標準サンプルウェーハ（日常管理サンプルウェーハ）ＳAは３水準用意した。日常管理サンプルウェーハのＩＤ番号はＳＴＤＲＥ１（標準値；５Ωｃｍ）、ＳＴＤＲＥ２（標準値；１０Ωｃｍ）、ＳＴＤＲＥ３（標準値；２０Ωｃｍ）である。
【００５１】
抵抗率測定装置３０Ａによって、被検査サンプルウェーハＳを測定した。被検査サンプルウェーハＳはローダ３４の供給カセット４２Ａから順次供給され、ＩＤ番号をＩＤ番号認識装置３６Ａによって認識し、ＩＤ番号に応じて、測定位置などの測定レシピをホストコンピュータ３２で照合し、それに準じて抵抗率測定装置本体３８Ａで測定する。測定後、データをホストコンピュータ３２に記憶し、被検査サンプルウェーハＳを抵抗率測定装置３０Ａと酸素濃度測定装置３０Ｂの間にあるアンローダ（ローダ）４０Ａの排出（供給）カセット５０Ａに収納する。
【００５２】
この様な被検査サンプルウェーハＳの測定をしている途中で、専用カセット４４Ａより標準サンプルウェーハ（日常管理サンプルウェーハ）ＳAを３枚連続して流した。この切り替えはタイマーにより行った。本実施例では被検査サンプルウェーハＳを測定する前及び測定してから３時間毎に標準サンプルウェーハＳAを測定するように設定してある。
【００５３】
ＩＤ番号識別装置３６Ａにより標準サンプルウェーハＳAを自動的に認識し、標準サンプルウェーハＳAの測定モードに入る。測定した結果及び管理基準に従い、連続測定又は校正或いは検査装置の停止を行う。
【００５４】
本実施例では、標準値に対するバラツキにより管理している。例えば、標準サンプルウェーハＳAの標準値（中心値）がある一定の管理幅を外れたら、校正又は検査装置の停止をする。また、得られた１日分の測定結果から、Ｘｂａｒ−Ｒ管理図のような一般的に用いられる手法でも管理してある。管理基準は、その検査装置に応じて設定する。
【００５５】
なお、本実施例では異常が観察されず、全てのサンプルウェーハを検査装置の停止もなく測定する事ができた。
【００５６】
但し、管理基準や管理図から外れた場合、抵抗率測定では、測定のプローブの磨耗などが考えられる。従って装置が自動停止するように設定してある。停止後、プローブを交換し再始動する。抵抗率測定の終了した標準サンプルウェーハＳAは、アンローダ４０Ａの専用カセット５２Ａに収納される。
【００５７】
抵抗率測定が終了した被検査サンプルウェーハＳは、次に酸素濃度測定装置３０Ｂに送られる。被検査サンプルウェーハＳは抵抗率測定装置３０Ａと酸素濃度測定装置３０Ｂの間にあるアンローダ（ローダ）４０Ａの排出（供給）カセット５０Ａから順次供給され、ＩＤ番号をＩＤ番号認識装置３６Ｂによって識別し、ＩＤ番号に応じて、測定位置などの測定レシピをホストコンピュータ３２で照合し、それに準じて酸素濃度測定装置本体３８Ｂで測定する。測定後、データをホストコンピュータ３２に記憶し、被検査サンプルウェーハＳをアンローダ４０Ｂの排出（供給）カセット５０Ｂに収納する。
【００５８】
この様な被検査サンプルウェーハの測定をしている途中で、専用カセット５２Ａより標準サンプルウェーハ（日常管理サンプルウェーハ）ＳAを３枚連続して流した。
【００５９】
標準サンプルウェーハのＩＤはＳＴＤ１（標準値；８ｐｐｍａ−ＡＳＴＭ  '７９）、ＳＴＤ２（標準値；１３ｐｐｍａ−ＡＳＴＭ  '７９）、ＳＴＤ３（標準値；１８ｐｐｍａ−ＡＳＴＭ  '７９）である。
【００６０】
本装置の場合、標準サンプルウェーハはカセットにセットした段階で優先的に流されるように設定してある。本実施例では、抵抗率測定装置及び酸素濃度測定装置の間のアンローダ（ローダ）４０Ａのカセットが２個であり、抵抗率測定が終了した抵抗率の標準サンプルウェーハが専用カセット５２Ａにある場合がある。これを取り外し、酸素濃度用の標準サンプルウェーハをセットした段階で優先的に流れるように設定した。このようにすれば、作業者の都合によりカセットをセットすればよく、また装置を止める事もない。
【００６１】
供給された標準サンプルウェーハはＩＤ番号識別装置３６Ｂにより自動的に認識し、標準サンプルウェーハ測定モードＭAに入る。測定した結果及び管理基準に従い、連続測定又は校正或いは装置の停止を行う。
【００６２】
本実施例では、標準値に対するバラツキにより管理している。例えば、標準サンプルウェーハの標準値（中心値）がある一定の管理幅を外れたら、校正又は装置の停止をする。また、得られた１日分の測定結果から、Ｘｂａｒ−Ｒ管理図のような一般的に用いられる手法でも管理してある。管理基準は、その測定機に応じて設定する。管理幅に収まっていれば、次のサンプルウェーハ（被検査サンプルウェーハ又は標準サンプルウェーハ）を測定する。
【００６３】
なお、本実施例では異常が観察されず、全てのサンプルウェーハが装置の停止もなく測定する事ができた。
【００６４】
但し、管理図から外れた場合、自動的に校正する。酸素濃度測定の場合、検査装置本体を校正する調整手段として検量線を作成し校正するようにしてある。
【００６５】
つまり、複数の水準（例えば１０水準）の標準サンプルウェーハ（校正用サンプルウェーハ）を供給し、これにより検量線を作成し校正するようにしてある。この校正用の標準サンプルウェーハも自動的に流す事により処理できる。また検量線が極端に変化した場合は、検査装置を自動停止するように設定してある。
【００６６】
以上のように抵抗率測定、酸素濃度測定と連続した自動検査工程ではあるが、特に第１の検査工程及び第２の検査工程のぞれぞれの状態を気にする事なくそれぞれ別々に点検する事ができる。
【００６７】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施例は単なる例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００６８】
例えば、標準サンプルウェーハを抵抗率用と酸素濃度用に別けたが、同じサンプルウェーハで兼用できれば更に好ましい。
【００６９】
また、ローダ及びアンローダの数は２つに限定するものではなく１つでもよい。本実施例の場合、好ましくは抵抗率測定装置と酸素濃度測定装置の間のローダ（アンローダ）は供給用カセット、抵抗率標準サンプルウェーハ用カセット、酸素濃度標準サンプルウェーハ用カセットなど３つのカセットにしても良い。
【００７０】
【発明の効果】
以上述べたごとく、本発明のサンプルウェーハの検査方法及び検査装置により、作業者の負担を軽減し、自動化ラインの停止時間を最小限にして効率的運用を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のサンプルウェーハの検査装置の一つの実施の形態を示す全体配置図である。
【図２】  本発明のサンプルウェーハの検査方法の検査フローの１例を示す説明図である。
【図３】  本発明のサンプルウェーハの検査方法の工程順の１例を示すフローチャートである。
【図４】  本発明のサンプルウェーハの検査方法における通常測定モードの工程順の１例を示すフローチャートである。
【図５】  本発明のサンプルウェーハの検査方法における標準サンプル測定モードの工程順の１例を示すフローチャートである。
【図６】  本発明のサンプルウェーハの検査装置の他の実施の形態を示す全体配置図である。
【図７】  従来のサンプルウェーハの検査方法の検査フローの１例を示す説明図である。
【図８】  従来のサンプルウェーハの検査装置の１例を示す全体配置図である。
【符号の説明】
１０：自動検査ライン、１２：抵抗率測定装置、１４：酸素濃度測定装置、１６：ローダ、１８：ローダ兼アンローダ、３０Ａ：第１の検査装置（抵抗率測定装置）、３０Ｂ：第２の検査装置（酸素濃度測定装置）、３２：ホストコンピュータ、３４，３４Ａ：ローダ、３５：読み取り部、３６，３６Ａ，３６Ｂ：ＩＤ番号認識装置、３７：画像処理部、３８：検査装置本体、３８Ａ：抵抗率測定装置本体、３８Ｂ：酸素濃度測定装置本体、３９：測定部、４０，４０Ａ，４０Ｂ：アンローダ、４２，４２Ａ，４２Ｂ：供給カセット、４４，４４Ａ，４４Ｂ：専用カセット、４６：ロボットアーム、４８，４８Ａ，４８Ｂ：搬送ベルト、５０，５０Ａ，５０Ｂ：排出（供給）カセット、５２，５２Ａ：専用カセット、５４：ロボットアーム、Ｌ1〜Ｌ7：導線、Ｍ：通常測定モード、ＭA：標準サンプルウェーハ測定モード、Ｎ：ＩＤ番号、Ｓ：被検査サンプルウェーハ、ＳA：標準サンプルウェーハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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