(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧平板により、基板にフィルムを被着させる平板ラミネート装置において、加圧平板に、温媒体と冷媒体とが交互に移動できる共通の通路体を設け、前記温媒体を貯める加熱装置と、前記冷媒体を貯める冷却装置と、前記通路体から前記加熱装置及び冷却装置を繋ぐ連絡管と、前記加熱装置及び冷却装置の前後の連絡管に設けた替えバルブ又は流量調節バルブと、前記通路体と替えバルブ又は流量調節バルブとの間に設けたポンプとを備え、前記加熱装置と冷却装置の前後の替えバルブ又は流量調節バルブのタイミングは、前後の一方を遅らせることを特徴とする平板ラミネート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加圧平板により、基板にフィルムを被着させる平板ラミネート装置に関するものである。特に、真空中で、回路基板にドライフィルムを被着させる平板ラミネート装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、回路基板にドライフィルムを被着させるラミネート装置は、大気中において、回路基板とドライフィルムを一対の熱ローラで加熱加圧してラミネートしていた。また、回路基板とドライフィルム間の微小な気泡をなくすために、これを真空中でおこなう方法も提案されている（特許文献１）が、送り出し、ラミネート、格納一式を真空チャンバー内で行うのは大がかりなため、ラミネートのみ真空中で行う加熱加圧平板による真空ラミネート装置が多用されている（特許文献２）。ただ、熱ローラでの加熱加圧と異なり、加圧平板によるラミネート方式では、ラミネートされるものが、加圧前に加熱加圧平板の熱により加熱されやすいため、ラミネートされるものを加熱加圧平板から離しておく必要があるが、そのために真空チャンバーを大きくさせることは非効率であるために、従来は、加圧平板を冷却させるために、加圧平板に加熱ヒータのほか冷却手段を設けていた（特許文献３）。
【特許文献１】特開２００５−５９４８６号公報
【特許文献２】特開２０００−１５６９７号公報
【特許文献３】特開平１０−２６４３４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
解決しようとする問題点は、加圧平板を加熱冷却させるために、加圧平板に加熱ヒータのほか別に冷却体を設けると、その分加圧平板の構造が複雑になることや、加圧平板の場所的な温度のむらができやすく、また急速に加熱冷却ができない点である。
本発明の目的は、これらの欠点を解消することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、加圧平板により、基板にフィルムを被着させる平板ラミネート装置において、加圧平板に、温媒体と冷媒体とが交互に移動できる共通の通路体を設け、前記温媒体を貯める加熱装置と、前記冷媒体を貯める冷却装置と、前記通路体から前記加熱装置及び冷却装置を繋ぐ連絡管と、前記加熱装置及び冷却装置の前後の連絡管に設けた替えバルブ又は流量調節バルブと、前記通路体と替えバルブ又は流量調節バルブとの間に設けたポンプとを備え、前記加熱装置と冷却装置の前後の替えバルブ又は流量調節バルブのタイミングは、前後の一方を遅らせることを特徴とする平板ラミネート装置に関する。
【発明の効果】
【０００５】
本発明の平板ラミネート装置は、加圧平板に、温媒体と冷媒体とが移動できる共通の通路体を設けるために、加圧平板の構造が簡素化され、加圧平板の場所的な温度のむらができにくく、また温媒体を冷媒体が押し出して、または、冷媒体が温媒体を押し出して入れ替わるため急速に加熱冷却ができる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明に述べる基板は、片面または両面に、凹凸面をもった板状のものをさす。特に、プリント配線板の製造においては、１０μｍから１ｍｍ程度の凹凸表面をもった、樹脂や金属が積層された回路基板をさし、素子が内蔵される場合もある。
【０００７】
本発明に述べるフィルムは、室温または加温中で、加圧によりの張り付き力を持つフィルムをさす。特に、プリント配線板の製造においては、ドライフィルムをさし、エッチングで残す部分やめっきしない部分のマスクや、部品を実装してはんだ付けするときにはんだが不要な部分などを覆うためのフィルム材料をさす。また、張り合わせる側には、一般に保護フィルムが張られていて、貼り合わせ時にはがされる。
また、フィルムを基板に仮にはった状態（プレラミネート状態：フィルムが基板に部分的にはられた状態で、フィルムと回路基板との間の空気が抜け出ることが可能な状態をさす。）で、真空チャンバー内に挿入するときには、すでに基板と同形状に切断しておいてもかまわないが、フィルムを両面にラミネートまたは、基板の下側にフィルムをおいて下側からラミネートする場合には、フィルムを連続体のまま真空チャンバー内に挿入し、ラミネート後、真空チャンバーから取り出してから切断したほうが量産性の点で好ましい。
【０００８】
本発明に述べる加圧平板は、加圧面が基板かそれ以上の広さの、平板形状のもので、加圧を目的とした平板をさす。被加圧物であるフィルムと接する側には一般的には表面に弾性体を有する。加圧平板は、一般的に銅、アルミニウム、鉄、ステンレスなどの金属、ステンレスや鉄にニッケル、マンガン、モリブデン、シリコンなどを添加した合金等が用いられるが、熱伝導率の高いセラミック等も用いられる。
表面の弾性体は、コーテング等の焼き付けのほか、シート状のものを接着剤で積層したり単に重ねたりして設ける。弾性体の材質は、シリコーンゴム、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、ニトリルブタジエンゴム、クロロプレーンゴムなどの耐熱性のあるエラストマが使用できる。無機ヒイラーを添加したりして硬度を調節する。使用状態により弾性体が劣化する場合には、弾性体の両端をホールド脱着可能タイプにして、定期的に取り替えられるようにするのが好ましい。また、基板の凹凸の状態により取り替えられるようにするのが好ましい。
また、基板の凹凸の状態により、表面が柔らかで背面が硬いような複層の弾性体や硬度の異なる複数枚の弾性体を用いてもかまわない。
【０００９】
本発明に述べる温媒体は、加圧平板を暖める液体状の媒体で、水、エチレングリコールなどまたはその混合体が使用できる。
【００１０】
本発明に述べる冷媒体は、加圧平板を冷やすための液体状の媒体で、水、エチレングリコールなどまたはその混合体が使用できる。本発明では、冷媒体と温媒体とは接触または混じりあうので、同じものを使用する。
【００１１】
本発明に述べる通路体は、加圧平板内または加圧面以外の加圧平板表面に設けた、その内部を冷温媒体が移動するための空洞体で、パイプのように独立体のもののほか、加圧平板内部に設けたトンネル状のものも含まれる。  パイプやトンネル状のものの通路形状は、枝分かれしていてもかまわないが、枝分かれしていていないほうが、また、通路体の内径は一定のほうが、冷温媒体の入れ替えの容易さや効率の点で好ましい。
【００１２】
以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて説明する。図１は、本発明に係るラミネート装置を模式的に示していて、真空チャンバーを閉じ、これからラミネートを始める状態を示している。図２は、本発明に述べる加圧平板の加熱冷却動作を説明するための図である。
【００１３】
図１において、加圧平板を上下に用い、回路基板を水平に挿入し、その表裏両面にフィルムを同時に被着するラミネート装置例の概略を示している。  
真空チャンバー１は、上下に２分割できて、その境界には真空パッキン２を設ける。
真空チャンバー１の開閉は、油圧シリンダ等の上下運動手段３により行う。
また、真空チャンバー１には、真空排気用の排気口４と真空開放用の開放口１２を設ける。
加圧平板５には、温媒体と冷媒体が、移動するための通路体６を加圧平板５内に設ける。また、加圧平板５の加圧面側の表面には弾性体７を設ける。
そして、加圧平板５の片方には、加圧平板５が上下に移動できるための油圧シリンダ等の上下運動手段３を設け、もうひとつの加圧平板５は、真空チャンバー１の内壁に固定する。
【００１４】
図１の装置を使用しての、ラミネートの方法は、まず、真空チャンバー１開いた状態で、回路基板８にフィルム９が仮にはられた状態（プレラミネート状態）で、回路基板８を、真空ラミネート装置の真空チャンバー１内の加圧平板５間に挿入する。（プレラミネート状態とは、フィルムが回路基板に部分的にはられた状態で、フィルムと回路基板との間の空気が抜け出ることが可能な状態をさす。）
次に、上下のフィルム９を真空チャンバー１の境界で挟みながら、真空チャンバー１を閉じて、真空排気後、加圧平板５を加熱し、加圧平板５の間をせばめて、フィルム９を回路基板８にラミネートする。
次に、加圧平板５を冷却しながら、加圧平板５の間を広げ、真空を開放し、真空チャンバー１を開いて、フィルム９と回路基板８を前方に移動させて、真空チャンバー１から取り出す。次に、回路基板８前後のフィルム９を切断する。
また、図１の装置を使用しての、別のラミネートの方法としては、搬送用のフィルムを別に用意し、その上にフィルム９、基板８、フィルム９と重ねて真空チャンバー１内の加圧平板５間に挿入する場合もある。また、搬送用のフィルム、フィルム９、基板８、フィルム９と重ね、さらにその上にカバーフィルムを重ねる方法もある。これらの場合にフィルム９は、連続の長尺体でもかまわないが、基板８程度にすでにカットされている場合もある。  
【００１５】
図２は、加圧平板の加熱冷却動作を説明するための図である。
冷・温媒体は、それぞれ加熱装置と冷却装置により、一定温度に加熱冷却して、必要な量以上をプールしておく。加熱・冷却装置と加圧平板の通路体６とは、連結管１０により連結しており、加熱・冷却装置内の冷・温媒体は、加熱・冷却装置前後の替えバルブ１１により切り替わり、加圧平板の通路体と替えバルブの間に設けたポンプにより移動する。加熱・冷却装置前後の替えバルブ１１のタイミングは、同時でもよいし、一方を遅らせてもかまわない。
また、温媒体から冷媒体に切り替えて、室温程度まで加圧平板の表面温度が下がってきたときに、一時的に切り替えて温媒体を流して、通路体の温度を室温程度の温度にすることにより、冷媒体による加圧平板の表面の結露を防止することができる。また、替えバルブ１１にかえて、流量調整バルブを使用することにより、加熱装置と冷却装置から供給される温媒体と冷媒体の比率を調整することで、同様に結露を防止することができる。また、加熱装置と冷却装置のほかに、それらとパラに（必要であれば温度調節機能付き装置により）室温の媒体をプールしておいて、替えバルブ１１により切り替えて調節することにより、同様に結露を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る平板ラミネート装置の概略図を示している。
【図２】本発明に係る平板ラミネート装置の、加圧平板の加熱冷却動作を説明するための図を示している。
【符号の説明】
【００１７】
１…真空チャンバー、２…真空パッキン、３…上下運動手段、４…排気口、５…加圧平板、６…通路体、７…弾性体、８…回路基板、９…フィルム、１０…連結管、１１…替えバルブ、１２…開放口。
【図１】
0005051440.tif 000002
【図２】
0005051440.tif 000003