(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部圧力によって伸縮可能な少なくとも１つの空気圧容器と、
前記空気圧容器の前記内部圧力の作用と、重力あるいは鉛直方向外力および／または水平方向外力とがバランスし、鉛直方向および／または水平方向に位置決めされる質量体と、
前記空気圧容器に接続された第１の空気圧制御弁と第２の空気圧制御弁と、
を有し、
前記第１の空気圧制御弁と前記第２の空気圧制御弁を動作させ、前記空気圧容器に供給される圧縮空気の流量を変化させることで、前記質量体の振動を減少させるように前記空気圧力容器の内部空気圧を制御する空気圧式除振装置において、
前記空気圧容器の少なくとも１つについて、
前記第１の空気圧弁には前記質量体の鉛直位置および／または前記水平方向位置を制御する信号が入力され、
前記第２の空気圧制御弁には前記質量体の振動を減少させる信号が入力されることを特徴とする空気圧式除振装置。』
【請求項２】
さらに、前記質量体に接続され、直接力学的影響を及ぼす装置と、前記装置の挙動を検出する挙動検出器または前記質量体に前記空気圧容器を介して力学的影響を及ぼす周辺挙動を検出する挙動検出器を備え、
前記装置の挙動を検出する挙動検出器または前記周辺挙動検出器からの信号に基づき前記第１の空気圧制御弁または前記第２の空気圧制御弁に制御信号を送出し、前記空気圧容器の内部圧力を操作する、
ことを特徴とする請求項１に記載の空気圧式除振装置。
【請求項３】
さらに、前記質量体に接続され、直接力学的影響を及ぼす装置と、前記装置の挙動を検出する挙動検出器および前記質量体に前記空気圧容器を介して力学的影響を及ぼす周辺挙動を検出する挙動検出器を備え、
前記装置の挙動を検出する挙動検出器および前記周辺挙動検出器からの信号に基づき前記第１の空気圧制御弁および前記第２の空気圧制御弁の何れかに制御信号を送出し、前記空気圧容器の内部圧力を操作する、
ことを特徴とする請求項１に記載の空気圧式除振装置。
【請求項４】
前記空気圧制御弁の一方がノズルフラッパ弁であり、他方がスプール弁である
ことを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の空気圧式除振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、動作特性が異なる複数の空気圧制御弁が備えられた空気圧式除振装置に関し、具体的には高精度の除振、圧縮空気の流量の損失を低減することができる除振技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置，半導体評価装置等の超精密な精度を要求される加工装置や検査装置では、（ａ）外部機器からの振動による影響を受ないように、（ｂ）逆に外部機器等に振動を伝えないように、または（ｃ）自装置の動作により自装置自体が振動しないように、加工装置や検査装置の定盤を空気圧容器で支持した空気圧式除振装置が使用されることがある（特許文献１）。
【０００３】
従来、この種の空気圧式除振装置では、変位センサにより検出した定盤の浮上量信号等の変位と、振動センサ（加速度センサや速度センサ）により検出した定盤の振動（たとえば、床から空気圧容器を通して定盤に加わる振動）をそれぞれ制御部に入力し、これらの制御部により生成した制御信号の加算信号を空気圧制御弁に入力しているものが多い。
【０００４】
たとえば、図９に示す除振装置９において、除振装置９は、基台７０上で定盤８０を鉛直方向に支持する空気圧容器９１１と、定盤８０を水平方向に支持する空気圧容器９１２とを備えている。除振装置９では、空気圧容器９１１，９１２の内部に空気を流入させ、または空気圧容器９１１，９１２の内部から空気を流出させて、これら空気圧容器の内部圧力の加減を行うことで、空気圧容器９１１，９１２に力を発生させることができる。
【０００５】
空気圧容器９１１と、空気圧容器９１２とは別個に制御され、制御方式は基本的に同じであり、したがって、図９では空気圧容器９１１についての制御系のみを記載してある。以下、空気圧容器９１１についての制御について説明する。
【０００６】
図９において、空気圧容器９１１の制御系は、空気圧容器９１１の空気圧を調節する空気圧制御弁９２と、空気圧制御弁９２を制御する制御装置９３と、定盤８０の変位を検出する変位センサ９４１と、定盤８０の振動を検出するに振動センサ（加速度センサ）９４２と、基台７０の振動を検出する振動センサ９４３とを備えている。
【０００７】
制御装置９３は、第１制御部９３１、第２制御部９３２、第３制御部９３３、および加算器９３４からなる。第１制御部９３１は変位センサ９４１からの信号に基づきフィードバック制御信号（Ｆ．Ｂ．）を生成し、第２制御部９３２は振動センサ９４２からの信号に基づきフィードバック制御信号を生成し、第３制御部９３３は振動センサ９４３からの信号に基づきフィードフォワード制御信号（Ｆ．Ｆ）を生成する。これらの制御信号は加算器９３４により加算され、制御信号ＣＮＴＲＬとして空気圧制御弁９２に出力され、空気圧制御弁９２は、減圧弁９５から供給される空気を用いて空気圧容器９１１に送出する空気の流量を操作し、空気圧容器９１１の内部圧力、すなわち、空気圧容器９１１が発生する力を制御することができる。
【０００８】
また、図１０に示すような、定盤８０上に振動発生源（移動ステージ等）８１が搭載されている除振装置９を構成することも可能である。この除振装置９では、制御装置９３は、第１制御部９３１、第２制御部９３２、第３制御部９３３、加算器９３４、第４制御部９３５および振動発生源情報取得部９３６からなる。
【０００９】
この除振装置９では、振動発生源８１の駆動・制御装置８２からの駆動情報ＩＮＦ（フィードフォワード制御情報）を、振動発生源情報取得部９３６が取得し、第４制御部９３５は駆動情報ＩＮＦに基づき制御信号を生成する。
【００１０】
第１制御部９３１からのフィードバック制御信号、第２制御部９３２からのフィードバック制御信号、第３制御部９３３からのフォワード制御信号、第４制御部９３５からのフィードフォワード制御信号は、加算器９３４により加算され、制御信号ＣＮＴＲＬとして空気圧制御弁９２に出力され、空気圧制御弁９２は、減圧弁９５から供給される空気を用いて空気圧容器９１１に送出する空気の流量を制御することができる。
【００１１】
従来の除振装置９では、空気圧制御弁９２として、ノズルフラッパー弁（以下、単に「フラッパー弁」と言う）が使用される。図１１（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に示すように、フラッパー弁９２Ａは、ノズル９２４に設けられたフラッパー９２１を、吸気ポートＰＡ側や排気ポートＰＣ側に倒し、あるいは吸気ポートＰＡ側と排気ポートＰＣ側との間で連続的に変化させることで制御を行う。
【００１２】
すなわち、図１１（Ａ）に示すように、フラッパー弁９２Ａは、ノズル９２４の吸気ポートＰＡ側が全開とされているとき（ノズル９２４の排気ポートＰＣ側が全閉されているとき）は、吸気ポートＰＡから制御ポートＰＢに空気を流し、空気圧容器９１１に空気を流入させる。
【００１３】
また、図１１（Ｂ）に示すように、ノズル９２４の吸気ポートＰＡ側および排気ポートＰＣ側が半開されているときは、吸気ポートＰＡから制御ポートＰＢに空気を流すとともに、制御ポートＰＢから排気ポートＰＣに空気を流す。この場合には、吸気ポートＰＡからの吸気と排気ポートＰＣからの排気が同時に行われ、一定の流量を流しながら安定した制御を行うことができる。
【００１４】
さらに、図１１（Ｃ）に示すように、ノズル９２４の吸気ポートＰＡ側が全閉されているとき（ノズル９２４の排気ポートＰＣ側が全開とされているとき）は、空気圧容器９１１から空気を流出させる。
【特許文献１】特開２００７−１０７６０４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
図１１（Ａ）〜（Ｃ）に示した、フラッパー弁９２Ａは、上記のようにフラッパー９２１の動作により吸気や排気を行うことができるが、吸気口が全開の場合を除き、常に排気が行われる（通常、定常時であっても吸気量の半分は排気されてしまう）ので、圧縮空気の損失、つまりは圧縮機の電力損失が膨大となる。
【００１６】
ところで、空気圧容器は、一次積分特性を持っている。このため、振動が発生したときには、図９の制御装置９３の演算部の内部フィードバックループで制御力が一次遅れの飽和特性を示すため、振動を適切に低減することができない場合がある。特に、定盤８０に振動発生源（移動ステージ）８１が搭載されているような場合には、移動ステージの加振力は高速であることや、上記の一次遅れ特性の影響が顕著となることから、満足した制御をすることができない。
【００１７】
この不都合を解消するためには、図１１（Ａ）〜（Ｃ）のフラッパー弁９２Ａとして定格流量が大きいものを使用する必要がある。しかし、フラッパー弁９２Ａは、前述したように定常時であっても、大量の排気を行うので、定格流量の増大は定常時の排気流量を増大させ、結果として空気圧式除振装置のエネルギー効率が悪くなるといった問題がある。
【００１８】
一方、空気圧制御弁として、図１２（Ａ）から(Ｃ)に示すスプール弁９２Ｂを使用することも考えられる。スプール弁９２Ｂは、筒９２２０内部を溝９２２１が刻まれたスプール９２２２が移動し、吸気ポートＰＡから制御ポートＰＢに空気を流し（図１２（Ａ）において、筒９２２０の白三角ａにスプール９２２２の黒三角ｄが一致する点）、あるいは制御ポートＰＢから排気ポートＰＣに空気を流すことができる（図１２（Ｃ）において、筒９２２０の白三角ｃにスプール９２２２の黒三角ｄが一致する点）。
【００１９】
スプール弁９２Ｂは、中立点（図１２（Ｂ)において、筒９２２０の白三角ｂにスプール９２２２の黒三角ｄが一致する点）では、吸気ポートＰＡから流れ込む流量および排気ポートＰＣから流れ出す流量はゼロであるため損失はない。しかし、基本的には、フラッパー弁９２Ａにおけるような半開動作（図１１（Ｂ）参照）を行うこと、すなわち一定の流量を保ちつつ微細な流量の増減を行うことができない。
【００２０】
本発明の目的は、高精度の除振、圧縮空気の流量の損失を低減することもできる空気圧式除振装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
（１）
内部圧力によって伸縮可能な少なくとも１つの空気圧容器と、
前記空気圧容器の前記内部圧力の作用と、重力あるいは鉛直方向外力および／または水平方向外力とがバランスし、鉛直方向および／または水平方向に位置決めされる質量体と、
前記空気圧容器に接続された第１の空気圧制御弁と第２の空気圧制御弁と、
を有し、
前記第１の空気圧制御弁と前記第２の空気圧制御弁を動作させ、前記空気圧容器に供給される圧縮空気の流量を変化させることで、前記質量体の振動を減少させるように前記空気圧力容器の内部空気圧を制御する空気圧式除振装置において、
前記空気圧容器の少なくとも１つについて、
前記第１の空気圧弁には前記質量体の鉛直位置および／または前記水平方向位置を制御する信号が入力され、
前記第２の空気圧制御弁には前記質量体の振動を減少させる信号が入力されることを特徴とする空気圧式除振装置。
本発明では、空気圧容器の内圧をＰ，圧力を受ける面積をＳとすると、質量体Ｍと、Ｐ＊Ｓとがバランスする。
前記質量体の鉛直位置および／または前記水平方向位置を制御する信号は、位置センサにより検出された信号に基づき生成され、前記質量体の振動を減少させる信号は、振動センサにより検出された信号に基づき生成される。
第１の空気圧制御弁と第２の空気圧制御弁は共に空気圧容器に接続され、内壁等により隔たれていない一つの容積の内部圧力を操作する。
第１の空気圧制御弁と第２の空気圧制御弁に供給される圧縮空気の空気圧は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
第１の空気圧制御弁には位置制御信号が入力され、第２の空気圧制御弁には位置制御信号が入力されるが、第１の空気圧制御弁に入力される位置制御信号は直流信号または低周波信号（たとえば数ヘルツから数十ヘルツないし数キロヘルツ）であり、第２の空気圧制御弁に入力される位置制御信号は直流信号または高周波信号（たとえば数十ヘルツないし数キロヘルツ以上）である。
【００２２】
（２）
さらに、前記質量体に接続され、直接力学的影響を及ぼす装置と、前記装置の挙動を検出する挙動検出器または前記質量体に前記空気圧容器を介して力学的影響を及ぼす周辺挙動を検出する挙動検出器を備え、
前記装置の挙動を検出する挙動検出器または前記周辺挙動検出器からの信号に基づき前記第１の空気圧制御弁または前記第２の空気圧制御弁に制御信号を送出し、前記空気圧容器の内部圧力を操作する、
ことを特徴とする（１）に記載の空気圧式除振装置。
【００２３】
（３）
さらに、前記質量体に接続され、直接力学的影響を及ぼす装置と、前記装置の挙動を検出する挙動検出器および前記質量体に前記空気圧容器を介して力学的影響を及ぼす周辺挙動を検出する挙動検出器を備え、
前記装置の挙動を検出する挙動検出器および前記周辺挙動検出器からの信号に基づき前記第１の空気圧制御弁および前記第２の空気圧制御弁の何れかに制御信号を送出し、前記空気圧容器の内部圧力を操作する、
ことを特徴とする（１）に記載の空気圧式除振装置。
【００２４】
（４）
前記空気圧制御弁の一方がノズルフラッパ弁であり、他方がスプール弁である
ことを特徴とする（１）から（３）の何れかに記載の空気圧式除振装置。
【００２５】
〔本発明の応用例・実施態様〕
本発明の応用例あるいは実施態様を以下に記載する。
（Ａ０１）  空気圧容器の内部に空気を流入させ、または前記空気圧容器の内部から空気を流出させて、前記空気圧容器の内部圧力の加減を行うことで、前記空気圧容器に力を発生させるアクチュエータにおいて、
前記空気圧容器に接続され、駆動信号に基づき動作する複数の空気圧制御弁と、
前記複数の空気圧制御弁に加圧空気を供給する１つまたは複数の圧力供給手段と、
を備え、
前記複数の空気圧制御弁は、
前記１つまたは複数の圧力供給手段から供給される加圧空気を用い、前記駆動信号に基づいて得られる流量または圧力を、前記空気圧容器の内部にて合成し、前記空気圧容器に前記力を発生させる、
ことを特徴とする空気圧容器アクチュエータ。
本発明の空気圧容器アクチュエータでは、１つの空気圧制御弁に、
１つの圧力供給手段（たとえば減圧弁等）が設けられることもあるし、２つ以上の空気圧制御弁（全空気圧制御弁である場合もあるし、全空気圧制御弁のうちの一部である場合もある）に１つの圧力供給手段が設けられることがある。
【００２６】
（Ａ０２）  前記複数の空気圧制御弁のうち、少なくとも１つの空気圧制御弁の特性が、他の少なくとも１つの空気圧制御弁の特性と異なることを特徴とする（Ａ０１）に記載の空気圧容器アクチュエータ。
【００２７】
（Ａ０３）  前記各空気圧制御弁の各特性が、前記空気の流入・流出量の特性であることを特徴とする（Ａ０２）に記載の空気圧容器アクチュエータ。
流入量および流出量（流量Ｑ）は、流入の場合に流量は正、流出の場合には流量は負の値として表すことができる。なお、全ての空気圧制御弁は、特性が同一であってもよい。
【００２８】
（Ａ０４）  前記各空気圧制御弁の各特性は、前記空気圧制御弁が前記空気圧容器に与える空気圧の特性であることを特徴とする（Ａ０２）に記載の空気圧容器アクチュエータ。
前記空気圧制御弁は、空気圧容器の内部に空気を流入させるとき（加圧時）には、前記圧力供給手段から加圧空気の供給を受けつつ動作する。前記空気圧制御弁は、前記空気圧容器の内部から空気を流出させるとき（減圧時）には、変換方式によっては、前記圧力供給手段からの加圧空気の供給を受けることなく動作する場合（たとえば、スプール弁の場合）もあるし、前記圧力供給手段からの加圧空気の供給を受けつつ動作する場合（たとえば、フラッパ弁の場合）もある。
【００２９】
（Ａ０５）  前記複数の空気圧制御弁のうち、少なくとも１つの空気圧制御弁に与えられる駆動信号が、他の少なくとも１つの空気圧制御弁に与えられる駆動信号と異なることを特徴とする（Ａ０１）から（Ａ０４）の何れかに記載の空気圧容器アクチュエータ。
たとえば、特性が異なる複数の空気圧制御弁に同一の駆動信号が与えられることがある。たとえば、流量がＱ，２Ｑの２つの空気圧制御弁を接続しておけば、これらを組み合わせて得られる流量を空気圧容器に流入させ、または空気圧容器に流出させることができる。
【００３０】
（Ａ０６）  前記複数の空気圧制御弁のうち、少なくとも１つの空気圧制御弁の駆動方式が、他の少なくとも１つの空気圧制御弁の駆動方式と異なることを特徴とする（Ａ０１）から（Ａ０５）の何れかに記載の空気圧容器アクチュエータ。
全ての空気圧制御弁の駆動方式が同一であってもよい。空気圧制御弁は、通常は駆動方式が異なれば特性が異なるが、駆動方式が異なっていても特性が同一である場合もある。また、駆動方式が同一でも、特性が異なることもある。
【００３１】
（Ａ０７）  前記複数の空気圧制御弁のうち、少なくとも１つの空気圧制御弁の機構上の動作周波数帯域が、他の少なくとも１つの空気圧制御弁の機構上の動作周波数の帯域と異なることを特徴とする（Ａ０１）から（Ａ０６）の何れかに記載の空気圧容器アクチュエータ。
たとえば電磁弁などは、主にＯＮ（給気）、ＯＦＦ（排気）のどちらかで動作し、機構上は典型的には直流動作（周波数はゼロＨｚ）する。このような電磁弁と、機構上は交流動作（周波数はたとえば数Ｈｚ以上）できるフラッパー弁やスプール弁とを組み合わせて使用することもできる。なお、フラッパー弁やスプール弁のうちの少なくとも１つを直流動作させて、他を交流動作させるようにもできる。
【００３２】
（Ａ０８）  前記複数の空気圧制御弁に入力される前記駆動信号が、少なくとも１つの空気圧制御弁を動作させる周波数帯域と、他の少なくとも１つの空気圧制御弁を動作させる周波数帯域とで異なることを特徴とする、請求項１から請求項７の何れかに記載の空気圧容器アクチュエータ。
たとえば、複数の空気圧制御弁が全て同一の空気圧制御弁であっても、少なくとも１つの空気圧制御弁は直流信号（周波数ゼロＨｚに相当）により駆動され、他の少なくとも１つの空気圧制御弁は交流信号（ゼロＨｚよりも高い周波数信号）により駆動される場合もある。
【００３３】
（Ａ０９）  前記空気圧制御弁を２つ備え、一方がノズルフラッパー弁、他方がスプール弁であることを特徴とする（Ａ０１）から（Ａ０８）の何れかに記載の空気圧容器アクチュエータ。
【００３４】
（Ａ１０）  （Ａ０１）から（Ａ０９）の何れかに記載の空気圧容器アクチュエータを少なくとも１つ用いた空気圧容器アクチュエータ制御システムにおいて、
制御対象を鉛直方向、水平方向または鉛直・水平両方向に支持する、前記少なくとも１つの空気圧容器アクチュエータと、
前記制御対象の挙動を検出する複数の挙動検出器、および／または前記制御対象に力学的影響を及ぼす当該制御対象の周囲挙動を検出する複数の挙動検出器と、
前記各挙動検出器からの信号を取得して演算処理を行う制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、取得した前記各挙動検出器からの信号に基づき、前記少なくとも１つの空気圧容器アクチュエータにそれぞれ備えた複数の空気圧制御弁に、駆動信号を送出し、
前記複数の空気圧制御弁は、前記駆動信号に基づいて得られる流量または圧力を、前記空気圧容器の内部にて合成し、前記空気圧容器に前記力を発生させる、
ことを特徴とする空気圧容器アクチュエータ制御システム。
【００３５】
（Ａ１１）  前記制御装置は、前記各挙動検出器から取得した信号を、個別に処理する制御部からなり、
前記制御装置は、前記各制御部により個別に処理した信号を用いて、前記各空気圧制御弁を制御する、
ことを特徴とする（Ａ１０）に記載の空気圧容器アクチュエータ制御システム。
（Ａ１２）  前記定盤に搭載された振動発生源からの情報を取得する振動発生源情報取得部を備え、
前記制御装置は、振動発生源情報取得部からの情報に基づき、前記複数の空気圧制御弁の少なくとも１つに前記駆動信号を送出する制御部を備えたことを特徴とする（Ａ１０）または（Ａ１１）に記載の空気圧容器アクチュエータ制御システム。
【００３６】
（Ａ１３）  （Ａ０９）に記載の空気圧容器アクチュエータを少なくとも１つ用いた（Ａ１０）または（Ａ１１）の何れかに記載の空気圧容器アクチュエータ制御システムにおいて、
前記挙動検出器が、前記制御対象の挙動を検出する変位センサおよび加速度センサの２つからなり、
前記制御装置は前記変位センサからの信号により前記ノズルフラッパー弁を制御し、前記加速度センサからの信号により前記スプール弁を制御する、
ことを特徴とするアクチュエータ制御システム。
変位センサからの信号に含まれる周波数成分は、制御装置においてフィルタにより除去され、直流成分（あるいは、前記周波数よりも低いゼロＨｚ以上から数Ｈｚオーダの周波数成分）がノズルフラッパー弁に与えられる。また、加速度センサからの信号に含まれる直流成分（あるいは、周波数が低い周波数成分）はフィルタにより除去され、これよりも高い周波数成分（直流成分）がスプール弁に与えられる。
【００３７】
（Ａ１４）  （Ａ０９）に記載の空気圧容器アクチュエータを少なくとも１つ用いた（Ａ１２）に記載の空気圧容器アクチュエータ制御システムにおいて、
前記挙動検出器が、前記制御対象の挙動を検出する変位センサおよび加速度センサの２つからなり、
前記定盤に搭載された振動発生源からの情報を取得する振動発生源情報取得部を備え、
前記制御装置は、前記変位センサからの信号および前記加速度センサからの信号の加算信号により前記ノズルフラッパー弁を制御し、前記振動発生源情報取得部が取得した信号により前記スプール弁を制御する、
ことを特徴とするアクチュエータ制御システム。
振動発生源情報取得部は、制御装置とは別個であってもよいし、制御装置の一部に組み込むことができる。
【００３８】
（Ａ１５）  （Ａ０９）に記載の空気圧容器アクチュエータを少なくとも１つ用いた（Ａ１１）に記載の空気圧容器アクチュエータ制御システムにおいて、
前記挙動検出器が、前記制御対象の挙動を検出する変位センサおよび加速度センサ、ならびに当該制御対象の周囲挙動を検出する加速度センサからなり、
前記制御装置は前記変位センサからの信号により前記ノズルフラッパー弁を制御し、前記２つの加速度センサからの信号の加算信号により前記スプール弁を制御する、
ことを特徴とするアクチュエータ制御システム。
【００３９】
（Ａ１６）  （Ａ０９）に記載の空気圧容器アクチュエータを少なくとも１つ用いた（Ａ１２）に記載の空気圧容器アクチュエータ制御システムにおいて、
前記挙動検出器が、前記制御対象の挙動を検出する変位センサおよび加速度センサ、ならびに当該制御対象の周囲挙動を検出する加速度センサからなり、
前記定盤に搭載された振動発生源からの情報を取得する振動発生源情報取得部を備え、
前記制御装置は前記変位センサからの信号および前記２つの加速度センサからの信号の加算信号により前記ノズルフラッパー弁を制御し、前記振動発生源情報取得部からの情報により前記スプール弁を制御する、
ことを特徴とするアクチュエータ制御システム。
【００４０】
（Ａ１７）  （Ａ１０）から（Ａ１６）に記載の空気圧容器アクチュエータ制御システムを有することを特徴とする空気圧駆動式の除振装置。
【発明の効果】
【００４１】
（１）本発明において、複数の空気圧制御弁からの流量または圧力を、空気圧容器の内部にて合成し、空気圧容器に所望の力を発生させるようにしたので、応答性を高めたり、エネルギー消費の効率化を図ったりするなど、制御対象や周囲の挙動に応じて最適な制御を行うことができる。
【００４２】
（２）本発明の応用では、１つの空気圧容器に、異なる動作特性の空気圧制御弁を複数個取り付けるとともに、制御対象自身の挙動や制御対象の周囲挙動を挙動検出器により検出し、前記複数の空気圧制御弁をフィードバック駆動またはフィードフォワード駆動して振動を減衰（ないし解消）させるので、応答性を高めたり、エネルギー消費の効率化を図ったりするなど、制御対象や周囲の挙動に応じて最適な制御を行うことができる。
【００４３】
すなわち、本発明の応用では、１つの空気圧容器について複数の空気圧制御弁を設け、たとえば、流量が小さくてよい制御状態では定格流量が小さい空気圧制御弁を使用し、流量が大きくなる制御状態では定格流量が大きい空気圧制御弁を使用することができる。
【００４４】
また、たとえば、定格流量が小さい空気圧制御弁としてフラッパー弁を使用して制御対象を位置決めするといった直流制御を行う。この場合、その吸気した空気の半分はそのまま排気されるが、定格流量が小さいものを使用するので、消費流量が大きくなることはない。したがって、コンプレッサの電力損失を低減させることが可能となる。また、定格流量が大きい空気圧制御弁としてスプール弁を使用して振動制御（交流制御）を行う。この場合、振動が発生しない限りその排気を行なわずに駆動することができるので、消費流量が大きくなることはない。すなわち、１つの空気圧制御弁の流量を大きくして得られる応答性よりも高くすることが可能となり、しかも定常時の排気流量も前者に比べてはるかに少なくすむ。
【００４５】
本発明の応用では、定盤に備えた振動センサ（挙動検出器）によって検出された周波数の高い振動は、大流量空気圧制御弁を駆動することによって、一次遅れの飽和特性を示すことなく（応答の遅れによるサーボ系の飽和を起こすことなく）速やかに振動を抑制することができる。
【００４６】
また、定盤上の振動センサの信号だけではなく、搭載されたステージなどの駆動装置（振動発生源）の加速度に相当する信号に基づきフィードフォワード制御し、大流量空気圧制御弁に出力することで定盤に直接加えられる周波数の高い加振力または力の大きい加振力に対しても有効に作用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４７】
以下に述べる空気圧制御弁と圧力供給手段とにより空気圧容器アクチュエータが構成される。圧力供給手段は、圧縮空気が供給される構成要素であり、たとえば空気圧制御弁のそれぞれに設けられた減圧弁であってもよいし、複数の空気圧制御弁に共通に設けられた減圧弁であってもよい。また、空気圧容器アクチュエータと、後述する挙動検出器と、制御装置とにより空気圧容器アクチュエータ制御システムが構成される。空気圧容器アクチュエータの作用、および空気圧容器アクチュエータ制御システムの作用の説明は、除振装置の作用の説明に併せて行う。
【００４８】
以下に、上記空気圧容器アクチュエータ制御システムを有する空気圧駆動式の除振装置（本発明の空気圧式除振装置）について説明する。図１において、除振装置１は、空気圧容器１１１，１１２と、第１，第２空気圧制御弁１２１，１２２と、第１，第２挙動検出器１３１，１３２と、第１，第２制御部１４１，１４２からなる制御装置１４とを備えている。空気圧容器１１１，１１２は、制御対象である定盤８０と、基台７０との間に設けられている。なお、制御装置１４は、ＣＰＵの機能やＤＳＰ等のプロセッサにより作製される。
【００４９】
図１では空気圧容器１１１は、定盤８０の下面と基台７０の底面との間に１つが示されている。通常は、空気圧容器１１１は、定盤８０の下面と基台７０の底面との間に複数設けられ、たとえば、空気圧容器１１１は、定盤８０の４隅にそれぞれ１つずつ設けられる。
【００５０】
また、図１では空気圧容器１１２は、定盤８０の図面上の左右側面と、これらの側面に対面する基台７０の図面上の左右内壁面との間にそれぞれ１つ示されている。また、図示はしていないが、空気圧容器１１２は、定盤８０の図面上の前後側面と、これらの側面に対面する基台７０の図面上の前後内壁面との間にもそれぞれ設けられる。なお、空気圧容器１１２は、定盤８０の一側面について１つのみ設けられることもあるし、２つ以上設けられることもある。
【００５１】
後述する図７（Ａ）では、空気圧容器（１１１Ａ〜１１１Ｄ）が定盤８０の下面の四隅に１つずつ（合計４つ）設けられ、空気圧容器が定盤８０の一側面について１つのみ（１１２Ａ〜１１２Ｄの合計４つ）設けられた例を示す。また、後述する図７（Ｂ）では、図１における空気圧容器１１１と定盤８０との接続例を示す（定盤８０と、その側面に空気圧容器１１２Ａ〜１１２Ｄとの接続例は示さないが、実質上図７（Ｂ）と同様である）。
【００５２】
図１では、空気圧容器１１１の制御系のみを示してあるが、空気圧容器１１２の制御も空気圧容器１１１の制御も基本的には同じである。図１では、空気圧容器１１１は、たとえば±２ｍｍ程度の範囲で定盤８０を上下することができる。第１空気圧制御弁１２１と第２空気圧制御弁１２２とは、機構および入出力特性が異なり、したがって、通常、動作特性が異なる。図１では、第１空気圧制御弁１２１は、常時排気を行う小流量型空気圧制御弁（流量Ｑ１）であり、典型的にはフラッパー弁である。また、図１では、第２空気圧制御弁１２２は、駆動時のみ排気を行う大流量型空気圧制御弁（流量Ｑ２）であり、典型的にはスプール弁である。
【００５３】
図１では、図示しない空気圧縮機にて加圧された空気は第１，第２減圧弁１７１，１７２を経由して第１，第２空気圧制御弁１２１，１２２に供給される。必要に応じて、第１，第２減圧弁１７１，１７２からの圧力値を調整することができる。図１では、第１，第２減圧弁１７１，１７２から、空気圧容器１１１に流入する空気の流れ、空気圧容器１１１から第１，第２空気圧制御弁１２１，１２２を介して外部に流出する空気の流れをそれぞれ矢印で示す。Ｑ１，Ｑ２の値は、空気圧容器１１１へ流入する場合には正、空気圧容器１１１から流出する場合には負である。なお、本実施形態および以下の実施形態では、減圧弁は各空気圧制御弁ごとに設けられるが、１つの減圧弁が複数の空気圧制御弁に接続されるようにしてもよい。
【００５４】
図１では、第１挙動検出器１３１は変位センサである。変位センサとして、たとえば、光学式、電気式（電磁式，静電容量式、渦電流式）等の方式のものが使用される。第１挙動検出器１３１は、たとえばミクロンオーダの変位を検出することができる。第２挙動検出器１３２は振動センサである。振動センサとして、たとえば加速度検出式、速度検出式等の方式のものが使用される。第２挙動検出器１３２は、たとえば数百ミリＨｚから数キロヘルツオーダの振動を検出することができる。
【００５５】
第１制御部１４１は、第１挙動検出器１３１からの信号をフィードバック（Ｆ．Ｂ．）することにより第１空気圧制御弁１２１を駆動する（駆動信号ＣＮＴＲＬ１）。また、第２制御部１４２は、第２挙動検出器１３２からの信号をフィードバックすることにより第２空気圧制御弁１２２を駆動する（駆動信号ＣＮＴＲＬ２）。
【００５６】
なお、第１挙動検出器１３１（変位センサ）が検出する変位量は、通常、直流成分および交流成分を含む相対変位量であり、駆動信号ＣＮＴＲＬ１はこの変位量のうち直流成分（または、前記周波数よりも低いゼロＨｚ以上から数Ｈｚオーダの周波数成分）に対応した制御信号である。第２挙動検出器１３２（振動センサ）が検出する物理量（加速度または速度）は、通常、直流成分および交流成分を含み、駆動信号ＣＮＴＲＬ２はこの物理量のうち直流成分（または、直流成分ないし低周波成分）を除去した交流成分に対応した制御信号である。
【００５７】
第１挙動検出器１３１からの信号は、第１制御部１４１に備えたローパスフィルタにより処理され、直流成分（または、直流成分ないし低周波数成分）が第１空気圧制御弁１２１（フラッパー弁）に与えられる。また、第２挙動検出器１３２からの信号は、第２制御部１４２に備えたハイパスフィルタにより除去され、直流成分（または、直流成分ないし低周波数成分）を除去した周波数成分が第２空気圧制御弁１２２（スプール弁）に与えられる。これにより、空気圧制御弁１２１と空気圧制御弁１２２とは、異なる動作周波数帯域で動作することになる。
【００５８】
なお、本実施形態や以下の実施形態において検出器と制御部との間にＡ／Ｄ変換器が設けられ、また、各制御部と空気圧制御弁との間にＤ／Ａ変換器が設けられることがあるが、説明は省略する。
【００５９】
本発明では、基本的には第１空気圧制御弁および第２空気圧制御弁は１つであるが、それぞれを複数とすることができる。図２は、第１空気圧制御弁を複数備えた除振装置の応用例を示す説明図である。
【００６０】
図２において、除振装置１は、第１空気圧制御弁１２１１，１２１２，１２１３，１２１４および第２空気圧制御弁１２２を備えており、図２では、第１空気圧制御弁１２１１，１２１２，１２１３，１２１４も、第２空気圧制御弁１２２もフラッパー弁である。図示しない空気圧縮機にて加圧された空気は第１減圧弁１７１１，１７１２，１７１３，１７１４を経由して、第１空気圧制御弁１２１１，１２１２，１２１３，１２１４に供給され、第２減圧弁１７２を経由して、第２空気圧制御弁１２２に供給される。
なお、たとえば、第１空気圧制御弁１２１１の流量Ｑ１をＱ、第１空気圧制御弁１２１２の流量Ｑ２を２・Ｑ、第１空気圧制御弁１２１３の流量Ｑ３を３・Ｑ、第１空気圧制御弁１２１４の流量Ｑ４を４・Ｑとすることができる。
【００６１】
図２では、図１の実施形態と同様、制御装置１４は第１制御部１４１と第２制御部１４２とを備えている。図２において、第１制御部１４１は、第１挙動検出器１３１からの信号に基づき、どのように複数の空気圧制御弁を使用するかを決定する。すなわち、第１制御部１４１は、第１空気圧制御弁１２１１，１２１２，１２１３，１２１４のうちの１つまたは複数を選択して制御信号ＣＮＴＲＬ１１，ＣＮＴＲＬ１２，ＣＮＴＲＬ１３，ＣＮＴＲＬ１４の何れか１つまたは複数を送出するようにできる。
【００６２】
図２の除振装置１では、第１空気圧制御弁にフラッパー弁を４つ使用しているので、少ない流入・流出量で定盤８０の変位を制御できるときには、小容量の空気圧制御弁を駆動すればよいし、多い流入・流出量で定盤８０の変位を制御しなくてはならないときには、大容量の空気圧制御弁を併せて駆動すればよい。
【００６３】
第１空気圧制御弁１２１１の流量Ｑ１１をＱ、第１空気圧制御弁１２１２の流量Ｑ１２を２・Ｑ、第１空気圧制御弁１２１３の流量Ｑ１３を４・Ｑ、第１空気圧制御弁１２１４の流量Ｑ１４を８・Ｑとすることもできる。この場合には、第１制御部１４１は、第１空気圧制御弁１２１１，１２１２，１２１３，１２１４の１つまたは複数を選択して、対応する制御信号ＣＮＴＲＬ１１，ＣＮＴＲＬ１２，ＣＮＴＲＬ１３，ＣＮＴＲＬ１４の１つまたは複数を送出するようにできる。これにより、少ない流入・流出量で定盤８０の変位を制御できるときには、小容量となるように空気圧制御弁を組み合わせて選択すればよいし、多い流入・流出量で定盤８０の変位を制御しなくてはならないときには、大容量となるように空気圧制御弁を組み合わせて選択すればよい。
なお、図２では第１空気圧制御弁が複数である例を説明したが、第２空気圧制御弁が複数であってもよいし、第１空気圧制御弁および第２空気圧制御弁の双方がそれぞれ複数であってもよい。
【００６４】
第２空気圧制御弁が複数の場合には、第２制御部１４２は、複数の第２空気圧制御弁の何れか１つに所定の周波数帯域の制御信号を送出し、当該第２空気圧制御弁はこの周波数帯域に応じた動作をする。また、第２空気圧制御弁が複数の場合に、第２制御部１４２は、複数の第２空気圧制御弁の１つまたは２つ以上に異なる周波数帯域の制御信号を送出し、各第２空気圧制御弁はこれらの周波数帯域に応じた動作をすることもできる。
【００６５】
また、図２の説明では第１空気圧制御弁および第２空気圧制御弁が、ともにフラッパー弁であるとして説明したが、第１空気圧制御弁および第２空気圧制御弁がともにスプール弁であってもよいし、第１空気圧制御弁がフラッパー弁で第２空気圧制御弁がスプール弁であってもよい。
【００６６】
図３は基台の振動の影響を除去する除振装置の実施形態を示す説明図である。図３の除振装置１は、図１における除振装置１に、基台７０の振動の影響を除去する除振制御を付加したものであり、基台７０に第３挙動検出器１３３（すなわち、制御対象８０の周囲の挙動を検出する検出器であり、図３では加速度センサ）が設けられている。また、第１，第２制御部１４１，１４２に加えて、第３挙動検出器１３３からの信号を取得する第３制御部１４３が設けられている。図３の第３制御部１４３は、第３挙動検出器１３３からの信号をフィードフォワード（Ｆ．Ｆ．）する。図３では、第３制御部１４３からの制御信号ＣＮＴＲＬ３は、加算器１４４により、第２制御部１４２からの制御信号ＣＮＴＲＬ２に加算され、第２空気圧制御弁１２２に送出される。
【００６７】
以上のように、図３の除振装置１では、定盤８０の動きに基づく第１制御部１４１，第２制御部１４２によるフィードバック制御に併せて、基台７０から定盤８０に伝達する振動の第３制御部１４３によるフィードフォワード抑制を行い、外部からの振動をより効果的に除去できる。
【００６８】
本発明では、基本的には第１空気圧制御弁および第２空気圧制御弁からなるが、第３の制御弁を追加することができる。図４は、図１の除振装置に、第３空気圧制御弁および第３制御部を追加した応用例を示す説明図である。
すなわち、図１における除振装置１に、基台７０の振動の影響を除去する除振制御を付加したものであり、基台７０に図３と同様の第３挙動検出器１３３が設けられ、空気圧容器１１１に第３空気圧制御弁１２３が設けられ、第３空気圧制御弁１２３には減圧弁１７３が接続されている。
【００６９】
図４では、第３挙動検出器１３３からの検出信号は、第３制御部１４３に送られる。第３制御部１４３は、第３空気圧制御弁１２３に制御信号ＣＮＴＲＬ３を送出する。これにより、空気圧容器１１１への流入量および空気圧容器１１１からの流出量（Ｑ３）がフィードフォワード制御（Ｆ．Ｆ．）され、外部（周辺装置等）からの振動伝達が抑制される。
【００７０】
図５は定盤に振動発生源（移動ステージ等）が搭載されている場合の除振装置の実施形態を示す説明図である。図５の除振装置１では、定盤８０上には、駆動・制御装置５２により駆動される振動発生源（移動ステージ等の機器）５１が搭載されている。
【００７１】
制御装置１４は、第１制御部１４１と第２制御部１４２と第３制御部１４３と加算器１４４と振動発生源情報取得部１４５とを備えている。図５では、第１挙動検出器１３１からの信号（変位信号）は第１制御部１４１に、第２挙動検出器１３２からの信号（振動信号）は第２制御部１４２に入力され、第１制御部１４１からの制御信号と、第２制御部１４２からの制御信号は、加算器１４４により加算され、ＣＮＴＲＬ１として第１空気圧制御弁１２１に送出される。
【００７２】
また、振動発生源情報取得部１４５は、駆動・制御装置５２における駆動情報ＩＮＦを取得して第３制御部１４３に送出する。駆動情報ＩＮＦは、たとえば、駆動・制御装置５２のモニタ情報（電圧値や電流値、電圧や電流のタイミング等の振動発生源情報：デジタル信号またはアナログ信号）であってもよいし、振動発生源５１から取得した変位情報、振動情報（デジタル信号またはアナログ信号）であってもよい。なお、図５では振動発生源情報取得部１４５は制御装置１４の一部として示してあるが、制御装置１４とは別々に構成することができる。
第３制御部１４３からの信号、すなわちフィードフォワード制御信号は、制御信号ＣＮＴＲＬ２として、第２空気圧制御弁１２２に送出される。
【００７３】
図５でも、第１空気圧制御弁１２１は、常時排気を行う小流量型空気圧制御弁であり、典型的にはフラッパー弁である。また、第２空気圧制御弁１２２は、駆動時のみ給排気を行う大流量型空気圧制御弁であり、典型的にはスプール弁である。図５の除振装置１では、振動発生源５１から定盤８０への振動伝達が抑制される。
【００７４】
図６は定盤に振動発生源が搭載され、かつ基台の振動の影響を除去できる除振装置の実施形態の説明図である。
図６の除振装置１は、図５の除振装置１に、基台７０の振動を除去する除振制御を付加したものであり、基台７０に第３挙動検出器１３３（本実施形態では加速度センサ）が設けられている。また、制御装置１４は、第１制御部１４１、第２制御部１４２、第３制御部１４３、加算器１４４に加えて、振動発生源情報取得部１４５、および第４制御部１４６を含んでいる。第４制御部１４６は、第３挙動検出器１３３からの信号を取得してフィードフォワード制御信号を生成する。第１制御部１４１、第２制御部１４２および第４制御部１４６からの信号は、加算器１４４により加算され、制御信号ＣＮＴＲＬ１として、第１空気圧制御弁１２１に送出される。
【００７５】
振動発生源情報取得部１４５は、駆動・制御装置５２における駆動情報ＩＮＦを取得して第３制御部１４３に送出する。第３制御部１４３は、制御信号ＣＮＴＲＬ２を第２空気圧制御弁１２２に送出する。
以上の各実施形態では、空気圧容器１１１の制御について説明したが、前述したように、空気圧容器１１２の制御も空気圧容器１１１の制御と実質上同じである。ただし、水平方向の除振を行う空気圧容器１１２について、従来の手法（空気圧制御弁として、フラッパー弁のみを使用する）を適用してもよい。
【００７６】
図７（Ａ）の配置図に示すように、通常、除振装置１は、Ｘ方向に駆動する２の空気圧容器１１２Ａ，１１２Ｃと、Ｙ方向に駆動する２つの空気圧容器１１２Ｂ，１１２Ｄとが、水平方向について動作し、定盤８０をＸＹ方向に移動させ、かつＺ軸を中心に回転させるように設けられている。なお、図７（Ａ）では、空気圧容器は、定盤８０の側面の隅の位置にそれぞれ他の空気圧容器と隣接しないように配置されているが、隣接して配置する場合もある。
また、定盤８０の下面に設けられた４つの空気圧容器１１１Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃ，１１１Ｄがそれぞれ鉛直方向に動作し、定盤８０をＺ方向に移動させ、かつＸ軸やＹ軸を中心に回転させるように設けられている。したがって、図７（Ａ）のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の３自由度およびＸ，Ｙ，Ｚ軸の回転の３自由度（φX，φY，φZ）の合計６自由度による制御を行うことができる。
【００７７】
なお、本発明では第１挙動検出器１３１、第２挙動検出器１３２、第３挙動検出器１３３および振動発生源情報取得部１４５からの各信号の一部を、１空気圧制御弁１２１（フラッパー弁）に送出し、残りを第２空気圧制御弁１２２（スプール弁）にしている。１空気圧制御弁１２１に送る信号と、第２空気圧制御弁１２２に送る信号の組み合わせは適宜選択できる。
【００７８】
図７（Ｂ）は、図１の除振装置１に使用される空気圧容器１１１（または１１２）の一例を示す説明図である。図７（Ｂ）の空気圧容器１１１（１１２）は、容器部Ｈと、容器部Ｈ内に収容されたゴム膜Ｒとからなる。図７（Ｂ）では、第１空気圧制御弁１２１（フラッパー弁）および第２空気圧制御弁１２２（スプール弁）の径がそれぞれ２φ，供給圧は０．３ＭＰａの場合を示してあるが、供給圧または空気圧制御弁の径は異なっていてもよい。
【００７９】
以下、空気圧容器に接続される空気圧制御弁が２つの場合の代表的な構成について示す。本発明では、空気圧制御弁が２つの場合には、機構および動作特性が同一（２つの空気圧制御弁の構成が全く同一）であってもよいし、機構および動作特性の少なくとも一方が異なっていてもよい。ここでいう、「動作特性」は、入出力特性（電圧／力特性），応答特性等である。空気圧制御弁のノズル径あるいは管路径が異なる場合や、供給圧が異なる場合にも動作特性が異なることになる。
【００８０】
図８（Ａ）は、第１空気圧制御弁１２１および第２空気圧制御弁１２２がともにフラッパー弁であり機構は同じである。第１空気圧制御弁１２１と第２空気圧制御弁１２２のノズル径は同じ（２φ）であるが、第１空気圧制御弁１２１の供給圧が０．６ＭＰａ、第２空気圧制御弁１２２の供給圧が０．３ＭＰａと異なっているので、互いに動作特性は異なる。
【００８１】
図８（Ｂ）は、第１空気圧制御弁１２１および第２空気圧制御弁１２２がともにフラッパー弁であり機構は同じである。第１空気圧制御弁１２１と第２空気圧制御弁１２２の供給圧は同じ（０．６ＭＰａ）であるが、第１空気圧制御弁１２１のノズル径が２φ、第２空気圧制御弁１２２のノズル径が１０φと異なっているので、互いに動作特性は異なる。
【００８２】
図８（Ｃ）は、第１空気圧制御弁１２１および第２空気圧制御弁１２２がともにスプール弁であり機構は同じである。第１空気圧制御弁１２１と第２空気圧制御弁１２２のノズル径は同じ（２φ）であるが、第１空気圧制御弁１２１の供給圧が０．６ＭＰａ、第２空気圧制御弁１２２の供給圧が０．３ＭＰａと異なっているので、互いに動作特性は異なる。
【００８３】
図８（Ｄ）は、第１空気圧制御弁１２１および第２空気圧制御弁１２２がともにスプール弁であり機構は同じである。第１空気圧制御弁１２１と第２空気圧制御弁１２２の供給圧は同じ（０．６ＭＰａ）であるが、第１空気圧制御弁１２１のノズル径が２φ、第２空気圧制御弁１２２のノズル径が１０φと異なっているので、互いに動作特性は異なる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明の空気圧式除振装置の一実施形態の説明図である。
【図２】第１空気圧制御弁が複数の場合の本発明の空気圧式除振装置の応用例の説明図である。
【図３】基台の振動を検出してフィードフォワードする本発明の空気圧式除振装置の実施形態の説明図である。
【図４】基台の振動を検出してフィードフォワードする本発明の空気圧式除振装置の応用例の説明図である。
【図５】定盤上の振動発生源の情報を取得してフィードフォワードする本発明の空気圧式除振装置の他の実施形態の説明図である。
【図６】基台の振動を検出してフィードフォワードするとともに、定盤上の振動発生源の情報を取得してフィードフォワードする本発明の空気圧式除振装置の他の実施形態の説明図である。
【図７】（Ａ）は定盤および定盤に設けられた空気圧容器の配置を示す図であり、（Ｂ）は、  図７（Ｂ）は、図１の除振装置１に使用される空気圧容器１１の一例を示す説明図である。
【図８】空気圧容器に設けられた第１空気圧制御弁および第２空気圧制御弁の機構が同じ場合を示す説明図であり、（Ａ）はフラッパー弁の供給圧が異なる例を示す説明図、（Ｂ）はフラッパー弁のノズル径が異なる例を示す説明図、（Ｃ）はスプール弁の供給圧が異なる例を示す説明図、（Ｄ）はスプール弁のノズル径が異なる例を示す説明図である。
【図９】従来の、空気圧式除振装置の一例を示す説明図である。
【図１０】従来の、空気圧式除振装置の他の例を示す説明図である。
【図１１】フラッパー弁の動作説明図であり、（Ａ）ノズルの吸気ポートが全開とされている様子を、（Ｂ）はノズルの吸気ポートが半開とされている様子を、（Ｃ）はノズルの吸気ポート側が全閉されている様子を示す図である。
【図１２】スプール弁の動作説明図であり、（Ａ）は吸気ポートから制御ポートに空気を流している様子を示し、（Ｂ）はスプールが中立点にあり吸気ポートも排気ポートも閉状態になっている様子を示し、（Ｃ）は制御ポートから吸気ポートに空気を流している様子を示す図である。
【符号の説明】
【００８５】
１  除振装置
１４  制御装置
５１  振動発生源
５２  振動発生源の駆動・制御装置
７０  基台
８０  定盤
１１１，１１１Ａ，１１１Ｂ，１１１Ｃ，１１１Ｄ  鉛直に動作する空気圧容器
１１２，１１２Ａ，１１２Ｂ，１１２Ｃ，１１２Ｄ  水平に動作する空気圧容器
１２１，１２１１，１２１２，１２１３，１２１４  第１空気圧制御弁
１２２  第２空気圧制御弁
１２３  第３空気圧制御弁
１３１  第１挙動検出器
１３２  第２挙動検出器
１３３  第３挙動検出器
１４１  第１制御部
１４２  第２制御部
１４３  第３制御装置
１４４  加算器
１４５  振動発生源情報取得部
１４６  第３制御装置
１７１  第１減圧弁
１７２  第２減圧弁
１７３  第３減圧弁
ＣＮＴＬ，ＣＮＴＬ１，ＣＮＴＬ２，ＣＮＴＬ３  制御信号
Ｈ  容器部
ＰＡ，ＰＢ，ＰＣ  ポート
Ｒ  ゴム膜
【図１】
0005051450.tif 000002
【図２】
0005051450.tif 000003
【図３】
0005051450.tif 000004
【図４】
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【図５】
0005051450.tif 000006
【図６】
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【図７】
0005051450.tif 000008
【図８】
0005051450.tif 000009
【図９】
0005051450.tif 000010
【図１０】
0005051450.tif 000011
【図１１】
0005051450.tif 000012
【図１２】
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