(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射する複数のノズルを有するヘッド本体と、該ヘッド本体に前記液体を供給する液体供給路が設けられた第１の部材と第２の部材と第３の部材とを含む供給部材とを具備し、
前記供給部材が、
前記第１の部材と前記第２の部材との間に設けられ、所定の液体供給路に対応する位置にフィルタ部を備える第１のフィルタと、
前記第２の部材と前記第３の部材との間に設けられ、所定の液体供給路に対応する位置にフィルタ部を備える第２のフィルタと、を具備し、
前記第１のフィルタのフィルタ部と前記第２のフィルタのフィルタ部とが、異なる面に設けられており、
前記第１の部材と前記第２の部材との間には、前記第１の部材と前記第２の部材との間に前記第１のフィルタが挟持された状態で前記第１の部材、前記第２の部材及び前記第１のフィルタを固定する一体成形により形成された第１のアウター部が設けられ、
前記第２の部材と前記第３の部材との間には、前記第２の部材と前記第３の部材との間に前記第２のフィルタが挟持された状態で前記第２の部材、前記第３の部材及び前記第２のフィルタを固定する一体成形により形成された第２のアウター部が設けられ、
且つ前記第１のアウター部が前記第１のフィルタの前記第１の部材と前記第２の部材とで挟持された領域の周囲に設けられていると共に、前記第２のアウター部が前記第２の部材と前記第３の部材とで挟持された領域の周囲に設けられ、
前記第１のアウター部と前記第２のアウター部とが一体的に形成され、前記第２の部材に設けられた空間連通部で繋がっていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第１のフィルタが前記第１の部材と第２の部材とで挟持された領域の外側まで突出して設けられ、当該第１のフィルタの前記第１の部材と前記第２の部材とで挟持された領域の外側まで突出した領域の一部が前記第１のアウター部によって挟持され、且つ前記第２のフィルタが前記第２の部材と前記第３の部材とで挟持された領域の外側まで突出して設けられ、当該第２のフィルタの前記第２の部材と前記第３の部材とで挟持された領域の外側まで突出した領域の一部が前記第２のアウター部によって挟持されていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記第１のフィルタ及び前記第２のフィルタには複数の貫通部が設けられ、前記第１のフィルタの前記貫通部に対応する部分が前記第１のアウター部によって挟持され、前記第２のフィルタの前記貫通部に対応する部分が前記第２のアウター部によって挟持されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記第１のアウター部と前記第２のアウター部とが、前記供給部材の平面視において異なる位置に存在することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記液体供給路には、前記第１及び第２のフィルタの前後に流路が広くなったフィルタ室がそれぞれ設けられており、何れかの流路の各フィルタ室も互いに略同一形状であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記第１及び第２のフィルタのそれぞれが、複数の液体供給路に亘って連続して設けられていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及びそれを具備する液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、インクが充填された液体貯留手段であるインクカートリッジから、このインクカートリッジに着脱可能に挿入されるインク供給体となるインク供給針及びインクカートリッジが保持されるカートリッジケース等の供給部材に形成されたインク流路を介してヘッド本体にインクが供給され、ヘッド本体に設けられた圧電素子等の圧力発生手段を駆動させることによりヘッド本体に供給されたインクがノズルから吐出される。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジのインク内に存在する気泡、あるいはインクカートリッジを着脱する際にインク内に混入した気泡がヘッド本体に供給されてしまうと、この気泡によるドット抜け等の吐出不良が発生するという問題がある。このような問題を解決するために、インクカートリッジに挿入されるインク供給針と供給部材（カートリッジケース）との間にインク内の気泡やゴミ等を除去するためのフィルタを設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−２１１１３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のようなインクジェット式記録ヘッドは、従来から小型化が図られているが、さらなる小型化が望まれている。しかしながら、特許文献１のような構成では、供給部材のインク供給針が固定される領域にフィルタが設けられているため、供給部材はフィルタの面積に応じた大きさを有する必要があり、ヘッドの小型化を図るのが難しいという問題がある。
【０００５】
例えば、インク供給針の間隔を短くして供給部材を小型化することが考えられるが、インク供給針をフィルタと共に供給部材に溶着するための領域が必要であるため、隣り合うインク供給針の間隔を短くするは難しい。また、例えば、フィルタ自体の面積を小さくすることが考えられるが、動圧が上がるため圧電素子等の圧力発生手段を駆動する駆動電圧を上げなくてはならないという問題がある。また、インク供給針と供給部材とを熱溶着により固定すると、両者間に隙間が形成されてしまう虞があり、この隙間からインクが漏出してしまうという問題もある。さらに、供給部材にフィルタとインク供給針とをそれぞれ個別に固定すると、製造コストが高コストになってしまうという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、ヘッドを小型化することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明は、液体を噴射する複数のノズルを有するヘッド本体と、該ヘッド本体に前記液体を供給する液体供給路が設けられた第１の部材と第２の部材と第３の部材とを含む供給部材とを具備し、前記供給部材が、前記第１の部材と前記第２の部材との間に設けられ、所定の液体供給路に対応する位置にフィルタ部を備える第１のフィルタと、前記第２の部材と前記第３の部材との間に設けられ、所定の液体供給路に対応する位置にフィルタ部を備える第２のフィルタと、を具備し、前記第１のフィルタのフィルタ部と前記第２のフィルタのフィルタ部とが、異なる面に設けられており、前記第１の部材と前記第２の部材との間には、前記第１の部材と前記第２の部材との間に前記第１のフィルタが挟持された状態で前記第１の部材、前記第２の部材及び前記第１のフィルタを固定する一体成形により形成された第１のアウター部が設けられ、前記第２の部材と前記第３の部材との間には、前記第２の部材と前記第３の部材との間に前記第２のフィルタが挟持された状態で前記第２の部材、前記第３の部材及び前記第２のフィルタを固定する一体成形により形成された第２のアウター部が設けられ、且つ前記第１のアウター部が前記第１のフィルタの前記第１の部材と前記第２の部材とで挟持された領域の周囲に設けられていると共に、前記第２のアウター部が前記第２の部材と前記第３の部材とで挟持された領域の周囲に設けられ、前記第１のアウター部と前記第２のアウター部とが一体的に形成され、前記第２の部材に設けられた空間連通部で繋がっていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
【００１０】
また、前記第１のフィルタが前記第１の部材と第２の部材とで挟持された領域の外側まで突出して設けられ、当該第１のフィルタの前記第１の部材と前記第２の部材とで挟持された領域の外側まで突出した領域の一部が前記第１のアウター部によって挟持され、且つ前記第２のフィルタが前記第２の部材と前記第３の部材とで挟持された領域の外側まで突出して設けられ、当該第２のフィルタの前記第２の部材と前記第３の部材とで挟持された領域の外側まで突出した領域の一部が前記第２のアウター部によって挟持されていることが好ましい。これにより、第１及び第２のフィルタを第１及び第２のアウター部によって確実に保持して、第１及び第２のフィルタの拠れや剥がれが発生するのを防止することができる。
【００１１】
また、前記第１のフィルタ及び前記第２のフィルタには複数の貫通部が設けられ、前記第１のフィルタの前記貫通部に対応する部分が前記第１のアウター部によって挟持され、前記第２のフィルタの前記貫通部に対応する部分が前記第２のアウター部によって挟持されていることが好ましい。これにより、第１及び第２のアウター部を一体成形により形成する際、これら第１及び第２のアウター部が各貫通部を貫通した状態で確実に形成される。したがって、液体供給路を確実に封止でき、液他の漏出を防止することができる。
【００１２】
また、前記第１のアウター部と前記第２のアウター部とが、前記供給部材の平面視において異なる位置に存在することが好ましい。これにより、第１及び第２のアウター部を各液体供給路に近接して設けることができ、液体供給路をより確実に封止して液他の漏出を防止することができる。
【００１３】
また、前記液体供給路には、前記第１及び第２のフィルタの前後に流路が広くなったフィルタ室がそれぞれ設けられており、何れかの流路の各フィルタ室も互いに略同一形状であることが好ましい。これにより、各フィルタ室での圧力損失や排気性などが、流路によらずほぼ一定となる。
【００１４】
また、前記第１及び第２のフィルタのそれぞれが、複数の液体供給路に亘って連続して設けられていることが好ましい。これにより、第１及び第２のフィルタが各部材間により確実に保持される。
【００１５】
さらに本発明は、このような液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる本発明では、小型化した液体噴射装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略斜視図である。本発明の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置１０は、図１に示すように、インク滴を吐出する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１１がキャリッジ１２に固定され、この記録ヘッド１１には、ブラック（Ｂ）、ライトブラック（ＬＢ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色のインクが貯留された液体貯留手段であるインクカートリッジ１３がそれぞれ着脱可能に固定されている。インクカートリッジ１３は、各色のインクが貯留される複数の貯留部１３ａを有し、例えば、本実施形態では、中央に配された貯留部１３ａの周囲に４つの貯留部１３ａが配されて構成されている。
【００１７】
記録ヘッド１１が搭載されたキャリッジ１２は、装置本体１４に取り付けられたキャリッジ軸１５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モータ１６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト１７を介してキャリッジ１２に伝達されることで、キャリッジ１２はキャリッジ軸１５に沿って移動される。一方、装置本体１４にはキャリッジ軸１５に沿ってプラテン１８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン１８上を搬送されるようになっている。
【００１８】
ここで、本実施形態に係る記録ヘッド１１について説明する。なお図２は、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略斜視図である。図３はインクジェット式記録ヘッドの概略を示す上面図であり、図４は供給部材の要部を示す図であり図３のＡ−Ａ′断面図である。また図５は第１及び第２のフィルタの平面図である。
【００１９】
図２〜図５に示すように、記録ヘッド１１は、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３からのインクが供給される流路を有する供給部材３０と、供給部材３０のインクカートリッジ１３とは反対側の面に固定されたヘッド本体５０とを具備する。
【００２０】
供給部材３０は、例えば、第１の部材３１と第２の部材３２とで構成されるカートリッジケース３３と、カートリッジケース３３（第２の部材３２）の一方面側に設けられて複数のインク供給針３４を一体的に有する第３の部材である供給体３５と、カートリッジケース３３を構成する第１の部材３１と第２の部材３２との間に配される第１のフィルタ３６と、カートリッジケース３３と供給体３５との間に配される第２のフィルタ３７とを有する。
【００２１】
カートリッジケース３３は、複数の分割部材、本実施形態では、上述した第１の部材３１及び第２の部材３２の２つの分割部材からなり、これら第１の部材３１と第２の部材３２とが固定されてなる。そして第２の部材３２には供給体３５が固定され、第１の部材３１にはヘッド本体５０が固定されている。またカートリッジケース３３には、一端が供給体３５側の面に開口し他端がヘッド本体５０側の面に開口してインクカートリッジ１３からのインクをヘッド本体５０に供給するための複数のインク供給路３８が設けられている。すなわち各インク供給路３８は、各色のインクに対応してそれぞれ独立して第１の部材３１及び第２の部材３２を貫通して設けられている。
【００２２】
供給体３５は、各色のインクがそれぞれ貯留されたインクカートリッジ１３の各貯留部１３ａにそれぞれ挿入される複数（５つ）のインク供給針３４を一体的に有する。各インク供給針３４には、貫通路３９が形成されており、この貫通路３９を介してインクカートリッジ１３の各貯留部１３ａとインク供給路３８とが連通されている。
【００２３】
第１のフィルタ３６は、第１の部材３１と第２の部材３２との間に挟持され、所定のインク供給路３８に対応する位置に配されてインク供給路３８内のインク内の気泡や異物を除去するためのフィルタ部３６ａを有する。例えば、本実施形態では、第１のフィルタ３６には、供給体３５の中央部に配されたインク供給針３４Ａに連通するインク供給路３８Ａに対応する位置に貫通孔３６ｂが設けられ、インク供給針３４Ａの周囲に配されたインク供給路３８Ｂのそれぞれに対応する位置にフィルタ部３６ａが設けられている（図５（ａ）参照）。
【００２４】
第２のフィルタ３７は、カートリッジケース３３を構成する第２の部材３２と供給体３５との間に挟持されており、所定のインク供給路３８に対応する位置に配されてインク供給路３８内のインク内の気泡や異物を除去するためのフィルタ部３７ａを有する。例えば本実施形態では、第２のフィルタ３７には、第１のフィルタ３６とは逆に、供給体３５の中央部に配されたインク供給針３４Ａに連通するインク供給路３８Ａに対応する位置にフィルタ部３７ａが設けられており、インク供給針３４Ａの周囲に配された各インク供給針３４Ｂに連通するインク供給路３８Ｂに対応する位置にそれぞれ貫通孔３７ｂが設けられている（図５（ｂ）参照）。
【００２５】
つまり本発明では、インク内の気泡や異物を除去するための各フィルタ部３６ａ，３７ａを、同一平面上に設けるのではなく、異なる二つの面、本実施形態では、カートリッジケース３３を構成する第１の部材３１と第２の部材３２との接続部分及びカートリッジケース３３と供給体３５との接続部分に設けるようにしている。
【００２６】
このように異なる面にフィルタ部３６ａ，３７ａを設けることで、異なる面に設けられた各フィルタ部３６ａ，３７ａ同士の間隔を狭くすることができるため、供給部材３０の小型化を図ることができる。また供給部材３０の小型化に伴い記録ヘッド１１全体の小型化を図ることができる。さらに供給部材３０の小型化を図りつつ、フィルタ部３６ａ，３７ａの面積を広げ、動圧を低下させてヘッド本体５０に設けられた圧力発生手段の駆動電圧を低減することもできる。
【００２７】
なおインク供給針３４Ａの貫通路３９Ａ及び第２の部材３２のインク供給路３８Ａとの接続部分には、他の領域よりも内径の大きい（流路が広くなった）フィルタ室４０Ａが形成されており、このフィルタ室４０Ａ内に第２のフィルタ３７のフィルタ部３７ａが配されている。このフィルタ室４０Ａは、例えば、本実施形態では、第２のフィルタ３７側ほど内径が大きくなるように形成されている。さらに第１の部材３１のインク供給路３８Ｂと第２の部材３２のインク供給路３８Ｂとの接続部分にもフィルタ室４０Ｂが形成されており、このフィルタ室４０Ｂ内に第１のフィルタ３６のフィルタ部３６ａが配されている。これらのフィルタ室４０Ａ，４０Ｂは、各フィルタ部３７ａ，３６ａの面積を大きく確保してインクが通過する際の抵抗をできるだけ小さくするために設けられている。
【００２８】
また、本実施形態では、インク供給針３４Ａと第２の部材３２との接続部分に設けられるフィルタ室４０Ａと、第１の部材３１と第２の部材３２との接続部分に設けられるフィルタ室４０Ｂとは、異なる形状で形成されているが、略同一形状に形成されていることが好ましい。これにより、各インク供給路３８Ａ，３８Ｂにおけるフィルタ室４０Ａ，４０Ｂでの圧力損失や排気性などをほぼ一定にすることができ、インク供給性を均一にしてインク滴の噴射特性を均一化することができる。
【００２９】
ここで、カートリッジケース３３を構成する第１の部材３１と第２の部材３２とは、第１のフィルタ３６を挟持した状態で、これら第１の部材３１と第２の部材３２との接続部分に設けられた第１のアウター部４１によって固定されている。すなわち、第１の部材３１及び第２の部材３２と第１のフィルタ３６とが第１のアウター部４１によって一体的に固定されている。また、カートリッジケース３３を構成する第２の部材３２と供給体３５とは、第２のフィルタ３７を挟持した状態で、これら第２の部材３２と供給体３５との接続部分に設けられた第２のアウター部４２によって固定されている。すなわち第２の部材３２及び供給体３５と共に第２のフィルタ３７がこの第２のアウター部４２によって一体的に固定されている。
【００３０】
具体的には、第１の部材３１と第２の部材３２との接続部分の外周には、これら第１の部材３１と第２の部材３２とにそれぞれ形成された溝部で構成される空間部４３が形成されており、第１のフィルタ３６は、この空間部４３内に突出する大きさを有する。また本実施形態では、第１の部材３１と第２の部材３２との接続部分の外周だけでなく、各インク供給路３８の周囲にもそれぞれ空間部４４が設けられている。この空間部４４内に位置する第１のフィルタ３６には、貫通部４５がインク供給路３８の周方向で複数設けられている（図５（ａ）参照）。そして、これらの空間部４３，４４内に設けられた樹脂材料からなる第１のアウター部４１によって、これら第１の部材３１及び第２の部材３２と第１のフィルタ３６とが一体的に固定されている。つまり第１のアウター部４１が、第１のフィルタ３６の、第１の部材３１と第２の部材３２とで挟持された領域の周縁部に設けられて、第１の部材３１及び第２の部材３２と第１のフィルタ３６とが一体的に固定されている。
【００３１】
また、第２の部材３２と供給体３５との接続部分の外周にも空間部４６が設けられ、第２のフィルタ３７はこの空間部４６内に突出する大きさを有する。また本実施形態では、第２の部材３２と供給体３５との接続部分の外周だけでなく、各インク供給路３８の周囲にもそれぞれ空間部４７が設けられている（図３参照）。この空間部４７内に位置する第２のフィルタ３７には、貫通部４８がインク供給路３８の周方向で複数設けられている（図５（ｂ）参照）。そして、各空間部４６，４７内に設けられた樹脂材料からなる第２のアウター部４２によって、これら第２の部材３２及び供給体３５と第２のフィルタ３７とが一体的に固定されている。つまり第２のアウター部４２が、第２のフィルタ３７の、第２の部材３２と供給体３５とで挟持された領域の周縁部に設けられて、第２の部材３２及び供給体３５と第２のフィルタ３７とが一体的に固定されている。
【００３２】
このような第１のアウター部４１は、第１の部材３１、第２の部材３２及び第１のフィルタ３６と共に一体成形することによって形成されている。同様に、第２のアウター部４２も、第２の部材３２、供給体３５及び第２のフィルタ３７と共に一体成形することによって形成されている。なお供給体３５及び第１の部材３１には、各インク供給路３８の周囲に設けられた空間部４４，４７に連通する充填孔４９が設けられており、これらの充填孔４９を介して各インク供給路３８の周囲の空間部４４，４７に樹脂材料を充填することによって第１及び第２のアウター部４１，４２が形成されている。
【００３３】
このように本発明の構成では、一体成形により形成された第１及び第２のアウター部４１，４２によって、第１及び第２の部材３１，３２で構成されるカートリッジケース３３と、供給体３５と、第１及び第２のフィルタ３６，３７とが一体化されているため、カートリッジケース３３に供給体３５や第１及び第２のフィルタ３６，３７を溶着するための領域が不要となり、各インク供給路３８の間隔をさらに短くして、ヘッドの小型化を図ることができる。またヘッドの小型化しても各フィルタ部３６ａ，３７ａを所望の面積で確保することができるため、動圧の上昇も抑えられる。
【００３４】
さらに、第１のアウター部４１によって第１の部材３１に第２の部材３２と第１のフィルタ３６とを同時に固定することができ、また第２のアウター部４２によって第２の部材３２に第２のフィルタ３７と供給体３５とを同時に固定することができるため、製造工程を簡略化してコストの削減を図ることができる。
【００３５】
また、カートリッジケース３３を構成する第１の部材３１と第２の部材３２とを第１のアウター部４１によって固定すると共にカートリッジケース３３と供給体３５とを第２のアウター部４２によって固定しているため、二つの部材間に隙間が形成されるのを防止して、インク供給路３８内のインクがこの隙間から外部に漏出するのを防止することができる。
【００３６】
なお、これら第１のアウター部４１と第２のアウター部４２とは、供給部材３０の平面視において異なる位置に存在することが好ましい。言い換えれば、供給部材３０の平面視において、第１の部材３１と第２の部材３２との間に形成される空間部４４と、供給体３５と第２の部材３２との間に設けられる空間部４７とが異なる位置に存在することが好ましい。これにより、各インク供給路３８を確実に密封してインク供給路３８内のインクが外部に漏出するのをより確実に防止することができる。
【００３７】
このような供給部材３０のインク供給路３８の他方側、すなわち、供給体３５とは反対側にはヘッド本体５０が設けられている。ここで、ヘッド本体５０の一例について説明する。なお、図６は、ヘッド本体の分解斜視図であり、図７は、ヘッド本体の断面図である。
【００３８】
図示するように、ヘッド本体５０を構成する流路形成基板６０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には二酸化シリコンからなる弾性膜６１が形成されている。この流路形成基板６０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室６２が、幅方向に並設された列が２列形成されている。また、各列の圧力発生室６２の長手方向外側には、リザーバ形成基板６３に設けられるリザーバ部６４と連通し、各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバ６５を構成する連通部６６が形成されている。また、連通部６６は、インク供給路６７を介して各圧力発生室６２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板６０に形成された液体流路として、圧力発生室６２、連通部６６及びインク供給路６７が設けられている。
【００３９】
また、流路形成基板６０の開口面側には、ノズル開口６８が形成されたノズルプレート６９が接着剤７０によって固着されている。なお、ノズルプレート６９のノズル開口６８は、各圧力発生室６２のインク供給路６７とは反対側で連通する位置に穿設されている。この例では、流路形成基板６０に圧力発生室６２が並設された列を２列設けたため、１つのヘッド本体５０にノズル開口６８の並設されたノズル列が２列設けられている。このようなノズルプレート６９としては、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属基板などが挙げられる。
【００４０】
一方、流路形成基板６０の開口面とは反対側には、弾性膜６１上に、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子７１が形成されている。
【００４１】
このような圧電素子７１が形成された流路形成基板６０上には、リザーバ６５の少なくとも一部を構成するリザーバ部６４を有するリザーバ形成基板６３が接合されている。このリザーバ部６４は、例えば、リザーバ形成基板６３を厚さ方向に貫通して圧力発生室６２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板６０の連通部６６と連通されて各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバ６５を構成している。
【００４２】
また、リザーバ形成基板６３の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部７２が設けられている。
【００４３】
さらに、リザーバ形成基板６３上には、各圧電素子７１を駆動するための半導体集積回路（ＩＣ）等からなる駆動回路７３が設けられている。この駆動回路７３の各端子は、図示しないボンディングワイヤ等を介して各圧電素子７１の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動回路７３の各端子には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等の外部配線７４を介して外部と接続され、外部から外部配線７４を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。
【００４４】
また、このようなリザーバ形成基板６３上には、コンプライアンス基板７５が接合されている。コンプライアンス基板７５のリザーバ６５に対向する領域には、リザーバ６５にインクを供給するためのインク導入口７６が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板７５のリザーバ６５に対向する領域のインク導入口７６以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部７７となっており、リザーバ６５は、可撓部７７により封止されている。この可撓部７７により、リザーバ６５内にコンプライアンスを与えている。
【００４５】
また、コンプライアンス基板７５上には、ヘッドケース７８が固定されている。ヘッドケース７８は、インク導入口７６に連通すると共に供給部材３０のインク供給路３８に連通して、供給部材３０からのインクをインク導入口７６に供給するインク供給連通路７９が設けられている。このヘッドケース７８には、コンプライアンス基板７５の可撓部７７に対向する領域に溝部８０が形成され、可撓部７７の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース７８には、リザーバ形成基板６３上に設けられた駆動回路７３に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動回路保持部８１が設けられており、外部配線７４は、駆動回路保持部８１を挿通して駆動回路７３と接続されている。
【００４６】
このようなヘッド本体５０は、インクカートリッジ１３からのインクをインク供給路３８からインク供給連通路７９及びインク導入口７６を介して取り込み、リザーバ６５からノズル開口６８に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路７３からの記録信号に従い、各圧力発生室６２に対応するそれぞれの圧電素子７１に電圧を印加して圧電素子７１をたわみ変形させることにより、各圧力発生室６２内の圧力が高まりノズル開口６８からインク滴が吐出する。
【００４７】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。
【００４８】
例えば、上述の実施形態では、第１のアウター部４１と、第２のアウター部４２とがそれぞれ完全に独立して設けられている。つまり、第１のアウター部４１と、第２のアウター部４２とは別々に成形されている。しかしながら、例えば、図８に示すように、第１の部材３１と第２の部材３２との接続部分に設けられた空間部４４と、供給体３５と第２の部材３２との接続部分に設けられた空間部４７とを連通する空間連通部１００を第２の部材３２に設け、第１のアウター部４１と第２のアウター部４２とを同時に成形し、実質的に一体化するようにしてもよい。このように空間連通部１００を設けて一度に成形することで、各空間部４４，４７に樹脂材料をより確実に充填して、第１及び第２のアウター部４１，４２を良好に形成することができる。
【００４９】
また、上述の実施形態では、第１のフィルタ及び第２のフィルタは、その周縁部が空間部に突出する程度の大きさで形成されているが、これに限定されず、第１のフィルタ及び第２のフィルタを、その周縁部が空間部に突出しない程度の大きさとして、これら第１のフィルタ及び第２のフィルタが、供給体、カートリッジケースを構成する第１及び第２の部材で挟持されるようにしてもよい。このような構成としても、勿論、各部材を良好に固定することができる。さらに例えば、第２のフィルタには複数のフィルタ部が一体的に形成されていたが、勿論、各フィルタ部はそれぞれ独立していてもよい。
【００５０】
また、上述の実施形態では、供給体３５に複数のインク供給針３４が一体的に設けるようにしたが、これに限定されず、各インク供給針はそれぞれ独立していてもよい。この場合、各インク供給針のそれぞれが供給体に相当する。
【００５１】
また、上述した実施形態では、複数のインク供給針３４を有するインクジェット式記録ヘッド１１を例示したが、これら複数のインク供給針の配置は特に限定されず、例えば、一列に並設されていてもよい。
【００５２】
また、上述した実施形態では、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３をカートリッジケース３３に着脱自在となるように構成した例を説明したが、これに限定されず、例えば、液体貯留手段として、インクタンク等を記録ヘッド１１とは異なる位置に設け、液体貯留手段と記録ヘッド１１とをチューブなどの供給管を介して接続するようにしてもよい。すなわち、上述した実施形態では、供給体として針状のインク供給針３４を具備する構成を例示したが、供給体（インク供給針）は、針状のものに限定されるものではない。
【００５３】
さらに、上述した実施形態では、複数のインク供給路３８に対して１つのヘッド本体５０が設けられた構成を例示したが、インクの色毎に複数のヘッド本体を設けるようにしてもよい。このような場合には、各インク供給路が各ヘッド本体に連通する、すなわち、各インク供給路が各ヘッド本体に設けられたノズル開口が並設されたノズル列毎に連通するように設けられていてもよい。もちろん、インク供給路はノズル列毎に連通しなくてもよく、１つのインク供給路が複数のノズル列に連通していてもよく、また、１列のノズル列を２つに分け、それぞれにインク供給路が連通していてもよい。すなわち、インク供給路は、複数のノズル開口からなるノズル開口群に連通していればよい。
【００５４】
また、上述の実施形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド１１を例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施形態に係る記録装置の概略斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの概略斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの上面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る供給部材の要部を示す断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る第１及び第２のフィルタを示す平面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るヘッド本体を示す分解斜視図である。
【図７】本発明の一実施形態に係るヘッド本体を示す断面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る供給部材の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１０  インクジェット式記録装置、  １１  インクジェット式記録ヘッド（記録ヘッド）、  １３  インクカートリッジ、  １３ａ  貯留部、  ３０  供給部材、  ３１  第１の部材、  ３２  第２の部材、  ３３  カートリッジケース、  ３４  インク供給針、  ３５  供給体、  ３６  第１のフィルタ、  ３７  第２のフィルタ、  ３６ａ，３７ａフィルタ部、  ３６ｂ，３７ｂ  貫通孔、  ３８  インク供給路、  ３９  貫通路、  ４０Ａ，４０Ｂ  フィルタ室、  ４１  第１のアウター部、  ４２  第２のアウター部、  ５０  ヘッド本体、  ３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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