(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
各バーンインボードの各ソケット毎に、そのソケットに挿入された被試験デバイスがバーンイン試験の際にパスしたかそれともフェイルしたかを、テスト結果として取得する、テスト結果取得手段と、
各バーンインボードの各ソケット毎に、直近のテスト結果から所定回数分のテスト結果を履歴情報として保持し、新たなテスト結果が取得されるたびに最も古いテスト結果が破棄されて履歴情報が更新される、履歴情報保持手段と、
前記履歴情報保持手段で保持されているテスト結果の履歴情報において、フェイルした回数が第１閾値以上になったソケットについて、バーンイン試験の際に被試験デバイスを挿入しないことを示すマスクを設定する、第１マスク設定手段と、
を備えることを特徴とするバーンインシステム。
【請求項２】
前記テスト結果取得手段で取得したテスト結果に基づいて、各バーンインボードの各ソケット毎に、テスト結果が連続してフェイルした回数をカウントして、連続不良回数として保持する、連続不良回数保持手段と、
前記連続不良回数保持手段で保持されている連続不良回数が第２閾値以上になったソケットについても、前記マスクを設定する、第２マスク設定手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のバーンインシステム。
【請求項３】
前記マスクされているソケットの数が、第３閾値以上になったバーンインボードについては、そのバーンインボード自体をバーンイン試験に使用しないことを示すボードマスクを設定する、第３マスク設定手段を、さらに備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のバーンインシステム。
【請求項４】
前記ボードマスクが設定されたバーンインボードについて、ユーザに通知する、通知手段を、さらに備えることを特徴とする請求項３に記載のバーンインシステム。
【請求項５】
被試験デバイスを挿入するバーンインボードの各ソケットについて、前記マスクが設定されているか否かを判断し、前記マスクが設定されているソケットについては、被試験デバイスを挿入しない、自動挿抜機を、さらに備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のバーンインシステム。
【請求項６】
各バーンインボードの各ソケット毎に、そのソケットに挿入された被試験デバイスがバーンイン試験の際にパスしたかそれともフェイルしたかを、テスト結果として取得する、テスト結果取得手段と、
各バーンインボードの各ソケット毎に、直近のテスト結果から所定回数分のテスト結果を履歴情報として保持し、新たなテスト結果が取得されるたびに最も古いテスト結果が破棄されて履歴情報が更新される、履歴情報保持手段と、
前記履歴情報保持手段で保持されているテスト結果の履歴情報において、フェイルした回数が第１閾値以上になったソケットについて、バーンイン試験の際に被試験デバイスを挿入しないことを示すマスクを設定する、第１マスク設定手段と、
を備えることを特徴とするバーンインシステム用サーバコンピュータ。
【請求項７】
各バーンインボードの各ソケット毎に、そのソケットに挿入された被試験デバイスがバーンイン試験の際にパスしたかそれともフェイルしたかを、テスト結果として取得する工程と、
各バーンインボードの各ソケット毎に、直近のテスト結果から所定回数分のテスト結果を履歴情報として、履歴情報保持手段に保持させ、新たなテスト結果を取得するたびに最も古いテスト結果を破棄して、新たなテスト結果を保持させることにより履歴情報を更新する工程と、
前記履歴情報保持手段で保持されているテスト結果の履歴情報において、フェイルした回数が所定の閾値以上になったソケットについて、バーンイン試験の際に被試験デバイスを挿入しないことを示すマスクを設定する工程と、
を備えることを特徴とするバーンインシステムの制御方法。
【請求項８】
各バーンインボードの各ソケット毎に、そのソケットに挿入された被試験デバイスがバーンイン試験の際にパスしたかそれともフェイルしたかを、テスト結果として取得する工程と、
各バーンインボードの各ソケット毎に、直近のテスト結果から所定回数分のテスト結果を履歴情報として、履歴情報保持手段に保持させ、新たなテスト結果を取得するたびに最も古いテスト結果を破棄して、新たなテスト結果を保持させることにより履歴情報を更新する工程と、
前記履歴情報保持手段で保持されているテスト結果の履歴情報において、フェイルした回数が所定の閾値以上になったソケットについて、バーンイン試験の際に被試験デバイスを挿入しないことを示すマスクを設定する工程と、
を備えることを特徴とするバーンインシステム用サーバコンピュータの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスのバーンイン試験を行うバーンインシステム及びバーンインシステム用サーバコンピュータ関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品等のデバイスの初期不良を顕在化し、初期故障品の除去を行うためのスクリーニング試験の一種であるバーンイン（burn-In）試験を行うシステムとして、バーンインシステムが知られている。このバーンインシステムには、バーンイン試験装置が設けられており、バーンイン試験装置では、被試験デバイス（Device Under Test：ＤＵＴ）である半導体装置を複数装着したバーンインボードをバーンイン試験装置の内部に収容し、所定の電圧を印加して電気的ストレスを与えるとともに、バーンイン装置の内部の空気を加熱して所定の温度の熱ストレスを与えながら、テスト信号を供給して被試験デバイスを駆動させ、初期不良を顕在化させる。
【０００３】
このようなバーンイン試験装置では、数時間から数十時間に亘る長時間のバーンイン試験が行われることから、試験効率を向上させるために、複数の被試験デバイスを１枚のバーンインボードに装着するとともに、このバーンインボードを複数毎、バーンイン試験装置に収容して、バーンイン試験を行うのが一般的である（例えば、特許文献１：特開平１１−９４９００号公報参照）。
【０００４】
このバーンインボードには、被試験デバイスが挿抜されるソケットが複数設けられている。このソケットに被試験デバイスを挿入することにより、バーンインボードに被試験デバイスが装着され、ソケットから抜去することにより、バーンインボードから被試験デバイスが取り外される。このような被試験デバイスの挿抜が繰り返されて、バーンインボードは使用されるため、ソケットが損傷したり、配線が断線したりして、挿入してもバーンイン試験が正しく行われないソケットがどうしても発生してしまう。
【０００５】
このようなソケットは、人手で白いシールを貼るなどして、バーンイン試験の際に使用しないようにして、試験効率を向上させている。また、バーンイン試験装置を管理するホストコンピュータが設けられているバーンインシステムにおいては、このホストコンピュータがバーンインボード毎にテスト結果に関する情報を管理して、１枚のバーンインボードにおける不良率が高くなり、所定の不良率が所定回数以上、連続した場合には、そのバーンインボードの修理や洗浄をユーザに行わせるようにしている（例えば、特許文献２：特開平１１−５２００９号公報）。
【０００６】
しかしながら、ソケットの不良情報をより的確に監視して、バーンインボードの修理や洗浄を行う時期を、より効率的に管理することが望まれている。
【特許文献１】特開平１１−９４９００号公報
【特許文献２】特開平１１−５２００９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで本発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、ソケットの不良情報をより的確に監視して、バーンインボードの修理や洗浄を行う時期を、より効率的に管理できるバーンインシステム及びバーンインシステム用サーバコンピュータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明に係るバーンインシステムは、
各バーンインボードの各ソケット毎に、そのソケットに挿入された被試験デバイスがバーンイン試験の際にパスしたかそれともフェイルしたかを、テスト結果として取得する、テスト結果取得手段と、
各バーンインボードの各ソケット毎に、所定回数分のテスト結果を履歴情報として保持する、履歴情報保持手段と、
前記履歴情報保持手段で保持されているテスト結果の履歴情報において、フェイルした回数が第１閾値以上になったソケットについて、バーンイン試験の際に被試験デバイスを挿入しないことを示すマスクを設定する、第１マスク設定手段と、
を備えることを特徴とする。
【０００９】
この場合、バーンインシステムは、
前記テスト結果取得手段で取得したテスト結果に基づいて、各バーンインボードの各ソケット毎に、テスト結果が連続してフェイルした回数をカウントして、連続不良回数として保持する、連続不良回数保持手段と、
前記連続不良回数保持手段で保持されている連続不良回数が第２閾値以上になったソケットについても、前記マスクを設定する、第２マスク設定手段と、
をさらに備えるようにしてもよい。
【００１０】
また、バーンインシステムは、前記マスクされているソケットの数が、第３閾値以上になったバーンインボードについては、そのバーンインボード自体をバーンイン試験に使用しないことを示すボードマスクを設定する、第３マスク設定手段を、さらに備えるようにしてもよい。
【００１１】
この場合、バーンインシステムは、前記ボードマスクが設定されたバーンインボードについて、ユーザに通知する、通知手段を、さらに備えるようにしてもよい。
【００１２】
また、バーンインシステムは、被試験デバイスを挿入するバーンインボードの各ソケットについて、前記マスクが設定されているか否かを判断し、前記マスクが設定されているソケットについては、被試験デバイスを挿入しない、自動挿抜機を、さらに備えるようにしてもよい。
【００１３】
本発明に係るバーンインシステム用サーバコンピュータは、
各バーンインボードの各ソケット毎に、そのソケットに挿入された被試験デバイスがバーンイン試験の際にパスしたかそれともフェイルしたかを、テスト結果として取得する、テスト結果取得手段と、
各バーンインボードの各ソケット毎に、所定回数分のテスト結果を履歴情報として保持する、履歴情報保持手段と、
前記履歴情報保持手段で保持されているテスト結果の履歴情報において、フェイルした回数が第１閾値以上になったソケットについて、バーンイン試験の際に被試験デバイスを挿入しないことを示すマスクを設定する、第１マスク設定手段と、
を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明に係るバーンインシステムの制御方法は、
各バーンインボードの各ソケット毎に、そのソケットに挿入された被試験デバイスがバーンイン試験の際にパスしたかそれともフェイルしたかを、テスト結果として取得する工程と、
各バーンインボードの各ソケット毎に、所定回数分のテスト結果を履歴情報として、履歴情報保持手段に保持させる工程と、
前記履歴情報保持手段で保持されているテスト結果の履歴情報において、フェイルした回数が所定の閾値以上になったソケットについて、バーンイン試験の際に被試験デバイスを挿入しないことを示すマスクを設定する工程と、
を備えることを特徴とする。
【００１５】
本発明に係るバーンインシステム用サーバコンピュータの制御方法は、
各バーンインボードの各ソケット毎に、そのソケットに挿入された被試験デバイスがバーンイン試験の際にパスしたかそれともフェイルしたかを、テスト結果として取得する工程と、
各バーンインボードの各ソケット毎に、所定回数分のテスト結果を履歴情報として、履歴情報保持手段に保持させる工程と、
前記履歴情報保持手段で保持されているテスト結果の履歴情報において、フェイルした回数が所定の閾値以上になったソケットについて、バーンイン試験の際に被試験デバイスを挿入しないことを示すマスクを設定する工程と、
を備えることを特徴とする。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の各実施形態を説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
【００１７】
図１は、本実施形態に係るバーンインシステム１０の全体構成を説明するブロック図である。この図１に示すように、本実施形態に係るバーンインシステム１０は、ホストコンピュータ２０と、１又は複数の自動挿抜機３０と、１又は複数のバーンイン試験装置３２とを備えて、構成されており、これらは互いにネットワーク４０を介して接続されている。
【００１８】
自動挿抜機３０は、バーンインボードから被試験デバイスを自動的に挿抜するための装置である。図２に例示しているように、一般的には、バーンインボードＢＩＢには、複数のソケットＳＫＴが設けられており、このソケットＳＫＴに被試験デバイスが挿入される。本実施形態においては、このソケットＳＫＴへの被試験デバイスの挿入と抜去は、自動挿抜機３０で行われる。なお、ソケットＳＫＴへの被試験デバイスの挿抜は、自動挿抜機３０ではなく、人手により行うようにすることも可能である。
【００１９】
詳しくは、後述するが、本実施形態に係る自動挿抜機３０は、ホストコンピュータ２０からバーンインボード情報を取得して、正常なソケットＳＫＴに被試験デバイスを挿入し、不良であるソケットＳＫＴには被試験デバイスを挿入しない。
【００２０】
自動挿抜機３０において、被試験デバイスが装着されたバーンインボードＢＩＢは、バーンイン試験装置３２に収容される。この自動挿抜機３０からバーンイン試験装置３２へのバーンインボードＢＩＢの移動は、本実施形態では、複数のバーンインボードＢＩＢをキャリアラックに挿入し、このキャリアラックを人手でバーンイン試験装置３２まで移動し、バーンイン試験装置３２の恒温槽内部にキャリアラックごとバーンインボードＢＩＢを収納する。但し、この自動挿抜機３０からバーンイン試験装置３２へのバーンインボードＢＩＢの移動は、搬送装置を用いて機械的に自動で行うようにすることも可能である。
【００２１】
バーンイン試験装置３２では、被試験デバイスのバーンイン試験を行う。詳しくは、後述するが、バーンイン試験装置３２では、バーンイン試験を実行し、そのテスト結果を、ネットワーク４０を介して、ホストコンピュータ２０に送信する。ホストコンピュータ２０では、このテスト結果を保持するとともに、テスト結果に基づいて、バーンインボード情報を更新する。
【００２２】
バーンイン試験が終了したバーンインボードＢＩＢは、バーンイン試験装置３２から自動挿抜機３０に移動される。このバーンイン試験装置３２から自動挿抜機３０への移動も、本実施形態では、複数のバーンインボードＢＩＢをキャリアラックに挿入し、このキャリアラックを人手で自動挿抜機３０まで移動し、自動挿抜機３０にバーンインボードＢＩＢをセットする。但し、このバーンイン試験装置３２から自動挿抜機３０へのバーンインボードＢＩＢの移動は、搬送装置を用いて機械的に自動で行うようにすることも可能である。
【００２３】
自動挿抜機３０では、セットされたバーンインボードＢＩＢに挿入されている被試験デバイスのテスト結果を、ホストコンピュータ２０から取得し、このテスト結果に基づいて、被試験デバイスの選別を行う。すなわち、バーンインボードＢＩＢから被試験デバイスを抜去しながら、バーンイン試験でパスした被試験デバイスと、バーンイン試験でフェイルした被試験デバイスとを、選別する。
【００２４】
バーンイン試験の全体的な流れは以上の通りであるが、次に、本実施形態に係るバーンインシステム１０において行われるバーンイン試験のための一連の処理について、より詳しく説明する。
【００２５】
図３は、本実施形態に係るバーンインシステム１０において実行される、バーンインボード登録処理の内容の一例を説明するフローチャートを示す図である。本実施形態においては、この図３に示すバーンインボード登録処理は、ホストコンピュータ２０で実行される処理である。また、このバーンインボード登録処理は、例えば、ユーザが、ホストコンピュータ２０の端末から、バーンインボード登録処理の起動をホストコンピュータ２０に指示することにより、実行される処理である。
【００２６】
この図３に示すように、バーンインボード登録処理では、まず、ホストコンピュータ２０は、ユーザに、バーンインボード識別情報を入力させて、バーンインボードＢＩＢの新規登録を行う（ステップＳ１０）。本実施形態においては、バーンインボードＢＩＢには、それぞれ、ユニークなＩＤが、バーンインボード識別情報として付与されている。例えば、図２に示したバーンインボードＢＩＢには、「０００００１」というＩＤがバーンインボード識別情報として付与されている。ユーザは、バーンインボードＢＩＢを見ることにより、そのバーンインボードＢＩＢのＩＤを知ることができる。そして、このＩＤを、バーンインボード識別情報として、端末からホストコンピュータ２０に入力する。
【００２７】
また、本実施形態においては、このバーンインボード識別情報は、図２に示すように、バーンインボードＢＩＢに設けられたバーンインボード識別情報保持部ＭＥＭにも保持されている。このバーンインボード識別情報保持部ＭＥＭは、例えば、ＲＯＭに、「０００００１」という情報を保持させることにより構成することができ、また、抵抗素子やダイオード素子を組み合わせて「０００００１」を意味する情報を保持させることにより構成することもできる。このバーンインボードＢＩＢは、エッジＥＧを所定のエッジコネクタに挿入することにより、ホストコンピュータ２０と電気的に接続される。したがって、ステップＳ１０では、ホストコンピュータ２０が、電気的に接続されたバーンインボードＢＩＢのバーンインボード識別情報保持部ＭＥＭから、バーンインボード識別情報を読み取るようにすることもできる。
【００２８】
次に、図３に示すように、ホストコンピュータ２０は、ステップＳ１０で新規登録されたバーンインボードＢＩＢのバーンインボード情報を格納するためのバーンインボード情報格納テーブルを生成する（ステップＳ１２）。
【００２９】
図４は、本実施形態に係るホストコンピュータ２０で生成されるバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０の構成の一例を示す図である。この図４に示すように、本実施形態においては、１枚のバーンインボードＢＩＢに対して、１つのバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０が生成される。
【００３０】
このバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０には、「バーンインボード識別情報」と、「ボードマスク情報」とが、格納される。「バーンインボード識別情報」には、上述したバーンインボードＢＩＢを識別する情報が格納される。「ボードマスク情報」には、このバーンインボードを継続して使用可能であるか否かを示す情報が格納される。本実施形態においては、このボードマスク情報が「０」である場合には、そのバーンインボード識別情報に対応するバーンインボードＢＩＢは継続してバーンイン試験で使用可能であることを示しており、このボードマスク情報が「１」である場合には、そのバーンインボード識別情報に対応するバーンインボードＢＩＢはバーンイン試験で使用すべきでないことを示している。
【００３１】
さらに、バーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０には、「ソケット番号」と、「マスク情報」と、「連続不良回数」と、「間欠不良情報」と、「テスト結果」とが、格納される。「ソケット番号」は、バーンインボードＢＩＢ上のソケットＳＫＴを識別するための情報であり、１枚のバーンインボードＢＩＢ上のソケットＳＫＴに対して連番で割り付けられている。「マスク情報」は、そのソケット番号に対応するソケットＳＫＴが、マスクされているか否かを示している。マスクされているソケットＳＫＴは、被試験デバイスを挿入してバーンイン試験を行うべきではないことを示しており、自動挿抜機３０は、マスクされているソケットＳＫＴには、被試験デバイスを挿入しない。
【００３２】
「連続不良回数」は、そのソケット番号に対応するソケットＳＫＴに挿入された被試験デバイスが、バーンイン試験のテスト結果において、連続して不良と判定された回数のカウント値を示している。「間欠不良情報」は、そのソケット番号に対応するソケットＳＫＴに挿入された被試験デバイスについての所定回数分のテスト結果を、履歴情報として保持して示している。本実施形態においては、過去８回分のテスト結果のパス／フェイルを、この「間欠不良情報」として保持している。具体的には、「０」は、バーンイン試験で正常であると判定してパスしたテスト結果であることを示しており、「１」は、バーンイン試験で正常ではないと判定してフェイルしたテスト結果であることを示している。また、本実施形態においては、右側の最下位ビットが直近のテスト結果を示しており、左側の最上位ビットが最も古いテスト結果を示している。したがって、この８ビットの間欠不良情報は、新たなテスト結果が生成されるたびに、左側に１ビットシフトされる。
【００３３】
「テスト結果」には、そのソケット番号に対応するソケットＳＫＴに挿入された被試験デバイスのテスト結果が格納される。すなわち、直近のバーンイン試験のテスト結果におけるパス／フェイルが、情報として格納される。
【００３４】
図３におけるバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０を生成するためのステップＳ１２の処理は、例えば、ホストコンピュータ２０のメモリ又はハードディスクドライブに、このバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０を具体的に構成することにより実行されてもよいし、或いは、このバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０を格納するための領域をメモリ又はハードディスクドライブに確保することにより、実行されてもよい。
【００３５】
このステップＳ１２の処理が終了することにより、本実施形態に係るバーンインボード登録処理は、終了する。
【００３６】
図５は、本実施形態に係るバーンインシステム１０において実行される、被試験デバイス挿入処理の内容の一例を説明するフローチャートを示す図である。本実施形態においては、この図５に示す被試験デバイス挿入処理は、自動挿抜機３０で実行される処理である。また、この被試験デバイス挿入処理は、例えば、ユーザが、自動挿抜機３０にバーンインボードＢＩＢと被試験デバイスをセットした上で、自動挿抜機３０のコントローラから、バーンインボードＢＩＢに被試験デバイスを挿入する処理の開始を自動挿抜機３０に指示入力することにより、実行される処理である。
【００３７】
この図５に示すように、被試験デバイス挿入処理では、まず、自動挿抜機３０は、バーンインボード識別情報を取得する（ステップＳ２０）。すなわち、自動挿抜機３０にセットされているバーンインボードＢＩＢから、そのバーンインボードＢＩＢのバーンインボード識別情報を読み込んで取得する。上述したように、本実施形態においては、各バーンインボードＢＩＢのバーンインボード識別情報は、バーンインボード識別情報保持部ＭＥＭに格納されている。このため、自動挿抜機３０は、エッジＥＧを介して電気的に接続されたバーンインボードＢＩＢのバーンインボード識別情報保持部ＭＥＭから、バーンインボード識別情報を読み出して取得する。
【００３８】
次に、自動挿抜機３０は、このバーンインボード識別情報に基づいて、ホストコンピュータ２０に、バーンインボード情報の問い合わせを行う（ステップＳ２２）。具体的には、自動挿抜機３０は、バーンインボード識別情報とともに、ホストコンピュータ２０に、このバーンインボード識別情報に対応するバーンインボードＢＩＢのバーンインボード情報送信要求を、送信する。このバーンインボード情報送信要求を受けたホストコンピュータ２０は、バーンインボード識別情報に対応するバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０を検索し、このバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０に基づいて、バーンインボード情報を、この要求を送信した自動挿抜機３０へ送信する。本実施形態においては、このときホストコンピュータ２０から自動挿抜機３０に送信されるバーンインボード情報は、図４のバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０に格納されている情報のうち、「バーンインボード識別情報」、「ボードマスク情報」、「ソケット番号」、「マスク情報」である。但し、これ以外の情報を含めて、バーンインボード情報として、ホストコンピュータ２０から自動挿抜機３０に送信するようにしてもよい。そして、自動挿抜機３０は、このバーンインボード情報を受信することにより、バーンインボード情報を取得する。
【００３９】
次に、自動挿抜機３０は、取得したバーンインボード情報に基づいて、セットされたバーンインボードＢＩＢは使用可能であるかどうかを判断する（ステップＳ２４）。具体的には、自動挿抜機３０は、取得したバーンインボード情報の「ボードマスク情報」に基づいて、そのバーンインボードＢＩＢにボードマスクが設定されておらず、バーンイン試験で使用可能な設定であるかどうかを判断する。
【００４０】
バーンインボードＢＩＢが使用可能な場合（ステップＳ２４：ＹＥＳ）、すなわち、「ボードマスク情報」に「０」が格納されている場合には、自動挿抜機３０は、そのバーンインボードＢＩＢの正常なソケットＳＫＴのそれぞれに、被試験デバイスを挿入する。具体的には、自動挿抜機３０は、バーンインボード情報の「ソケット番号」と「マスク情報」を参照し、マスクされていないソケット番号に対応するソケットＳＫＴに、被試験デバイスを挿入し、マスクされているソケット番号に対応するソケットＳＫＴには、被試験デバイスを挿入しない。本実施形態では、自動挿抜機３０は、マスク情報が「０」のソケット番号に対応するソケットＳＫＴには被試験デバイスを挿入するが、マスク情報が「１」のソケット番号に対応するソケットＳＫＴには被試験デバイスを挿入しない。これにより、不良ソケットがバーンイン試験に用いられるのを回避することができる。
【００４１】
これに対して、上述したステップＳ２４において、自動挿抜機３０が、セットされたバーンインボードＢＩＢが使用不可能なものであると判断した場合（ステップＳ２４：ＮＯ）、すなわち、すなわち、「ボードマスク情報」に「１」が格納されている場合には、自動挿抜機３０は、このバーンインボードＢＩＢはバーンイン試験に使用できない旨をユーザに通知する（ステップＳ２８）。例えば、この通知は、自動挿抜機３０のコントロール画面にメッセージを表示したり、自動挿抜機３０が備えるプリンタで印刷を行うことにより、ユーザに通知することができる。この通知を受けたユーザは、そのバーンインボードＢＩＢを洗浄したり、修理したりする対応をとる。
【００４２】
このステップＳ２８による通知が終了した後、又は、ステップＳ２６による被試験デバイスの挿入が終了することにより、本実施形態に係る被試験デバイス挿入処理は終了する。
【００４３】
図６は、本実施形態に係るバーンインシステム１０において実行される、バーンイン試験実行処理の内容の一例を説明するフローチャートを示す図である。本実施形態においては、この図６に示すバーンイン試験実行処理は、バーンイン試験装置３２で実行される処理である。また、このバーンイン試験実行処理は、バーンインボードＢＩＢをバーンイン試験装置３２の各スロットに挿入し、バーンインボードＢＩＢをエッジＥＧを介してバーンイン試験装置３２に電気的に接続した上で、例えば、ユーザが、バーンイン試験装置３２のコントローラから、バーンイン試験の開始をバーンイン試験装置３２に指示入力することにより、実行される処理である。
【００４４】
図６に示すように、このバーンイン試験実行処理では、まず、バーンイン試験装置３２は、バーンインボード識別情報を、挿入されたバーンインボードＢＩＢから取得する（ステップＳ４０）。すなわち、バーンイン試験装置３２は、このバーンイン試験装置３２に収納されたバーンインボードＢＩＢのすべてについて、それぞれのバーンインボード識別情報を取得する。上述したように、このバーンインボード識別情報は、バーンインボード識別情報保持部ＭＥＭに保持されているバーンインボード識別情報を、エッジＥＧを介して読み出すことにより、取得できる。
【００４５】
次に、バーンイン試験装置３２は、ホストコンピュータ２０に、バーンインボード情報の問い合わせを行う（ステップＳ４２）。具体的には、バーンイン試験装置３２は、ステップＳ４０で取得したすべてのバーンインボード識別情報とともに、ホストコンピュータ２０に、これらのバーンインボード識別情報に対応するバーンインボードＢＩＢのバーンインボード情報送信要求を、送信する。このバーンインボード情報送信要求を受けたホストコンピュータ２０は、バーンインボード識別情報に対応するバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０をすべて検索し、このバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０に基づいて、バーンインボード情報を、この要求を送信したバーンイン試験装置３２に送信する。本実施形態においては、このときホストコンピュータ２０からバーンイン試験装置３２に送信されるバーンインボード情報は、図４のバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０に格納されている情報のうち、「バーンインボード識別情報」、「ソケット番号」、「マスク情報」である。但し、これ以外の情報を含めて、バーンインボード情報として、ホストコンピュータ２０からバーンイン試験装置３２に送信するようにしてもよい。そして、バーンイン試験装置３２は、このバーンインボード情報を受信することにより、バーンイン試験装置３２に挿入されているバーンインボードＢＩＢのバーンインボード情報を取得する。
【００４６】
次に、バーンイン試験装置３２は、取得したバーンインボード情報に基づいて、バーンイン試験を実行する（ステップＳ４４）。具体的には、バーンイン試験装置３２は、予め定められたシーケンスに従って、バーンイン試験装置３２の恒温槽内部の温度を変化させながら、バーンインボードＢＩＢに挿入された被試験デバイスに、テスト信号を供給することにより、バーンイン試験を行う。このバーンイン試験の際には、マスクされているソケットＳＫＴには、被試験デバイスが挿入されていなことから、テスト信号やテスト電源を供給しない。
【００４７】
このため、バーンイン試験装置３２は、取得したバーンインボード情報の「マスク情報」がマスクされていることを示す「１」になっている「ソケット番号」に対応するソケットＳＫＴには、テスト信号もテスト電源も供給しない。
【００４８】
バーンイン試験においては、テスト信号を供給した被試験デバイスの出力信号が、理論値と合致しているか否かが判断され、理論値と合致した出力信号を出力した被試験デバイスについては、バーンイン試験のテスト結果がパスになり、理論値と合致しない出力信号を出力した被試験デバイスについては、バーンイン試験のテスト結果がフェイルとなる。
【００４９】
このバーンイン試験が終了すると、バーンイン試験装置３２は、ネットワーク４０を介して、各試験デバイスのテスト結果をホストコンピュータ２０に送信する（ステップＳ４６）。すなわち、バーンイン試験装置３２は、各バーンインボードＢＩＢのバーンインボード識別情報とともに、各ソケットＳＫＴ毎のパス／フェイルを示すテスト結果を送信する。このテスト結果を受信したホストコンピュータ２０は、バーンインボード識別情報に基づいて、対応するバーンインボードＢＩＢのバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０を特定し、そのバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０における「テスト結果」に、受信したテスト結果を格納する。すなわち、各ソケット毎に、パス／フェイルがテスト結果として示されているので、そのテスト結果を「ソケット番号」に対応付けて格納する。
【００５０】
これにより、本実施形態に係るバーンイン試験実行処理が終了する。
【００５１】
このバーンイン試験実行処理におけるステップＳ４６のテスト結果の送信を受けたホストコンピュータ２０では、図７に示すテスト結果更新処理が実行される。この図７は、本実施形態に係るバーンインシステム１０のホストコンピュータ２０において実行される、テスト結果更新処理の内容の一例を説明するフローチャートを示す図である。
【００５２】
図７に示すように、このテスト結果更新処理が起動されると、ホストコンピュータ２０は、まず、テスト結果を受信したバーンインボードＢＩＢのバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０における「連続不良回数」を更新する（ステップＳ６０）。すなわち、バーンイン試験装置３２から受信したバーンインボード識別情報に基づいて、バーンインボードＢＩＢを特定し、この特定されたバーンインボードＢＩＢのバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０を特定する。そして、ホストコンピュータ２０は、受信したテスト結果において、フェイルであることを示しているソケット番号に対応する「連続不良回数」を１つカウントアップする。
【００５３】
また、ホストコンピュータ２０は、受信したテスト結果において、パスであることを示しているソケット番号に対応する「連続不良回数」が０以外の値になっている場合には、その「連続不良回数」を０にリセットする。
【００５４】
図４の例では、ソケット番号「１」、「２」、「３」に挿入された被試験デバイスが、バーンイン試験の結果、フェイルしたことを示しているので、図８のバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０に示したように、ソケット番号「１」の連続不良回数が「２」から「３」になり、ソケット番号「２」の連続不良回数が「０」から「１」になり、ソケット番号「３」の連続不良回数が「０」から「１」になる。
【００５５】
また、ソケット番号「４」に挿入された被試験デバイスが、バーンイン試験の結果、パスしたことを示しているので、図８のバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０に示したように、ソケット番号「４」の連続不良回数は、「１」から「０」にリセットされる。
【００５６】
次に、ホストコンピュータ２０は、テスト結果を受信したバーンインボードＢＩＢのバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０における「間欠不良情報」を更新する（ステップＳ６２）。すなわち、「間欠不良情報」を履歴情報として保持する８ビットついて、各ビットを１ビット、上位ビット側にシフトして、最上位ビットを破棄した上で、最下位ビットに最新のテスト結果を格納する。
【００５７】
図４の例では、ソケット番号「１」の間欠不良情報は、「００００００１１」であり、「テスト結果」は、フェイルを示しているので、この間欠不良情報は、更新すると、図８のバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０に示したように、「０００００１１１」となる。また、図４の例では、ソケット番号「３」の間欠不良情報は、「０１０１０１００」であり、「テスト結果」は、フェイルを示しているので、この間欠不良情報は、更新すると、図８のバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０に示したように、「１０１０１００１」となる。
【００５８】
次に、図７に示すように、ホストコンピュータ２０は、マスクの必要なソケットＳＫＴについて、マスクを行う（ステップＳ６４）。本実施形態においては、ホストコンピュータ２０は、例えば、連続不良回数が３回以上、又は、間欠不良が４回以上のソケットＳＫＴについてはマスクをして、バーンイン試験で使用しない設定にする。すなわち、「連続不良回数」が３になったソケットＳＫＴについては、「マスク情報」を０から１に切り替えて、マスクをする。また、「間欠不良情報」の８ビットのうち、４ビットが１になったソケットＳＫＴについても、「マスク情報」を０から１に切り替えて、マスクをする。マスクされたソケットＳＫＴについては、図５のステップＳ２６で説明したように、今後は、被試験デバイスが挿入されないため、バーンイン試験では使われないようになる。
【００５９】
図８の例では、ソケット番号「１」の「連続不良回数」が３になったため、対応する「マスク情報」を１に設定する。また、ソケット番号「３」の「間欠不良情報」の８ビットのうち、４ビットが１になったため、対応する「マスク情報」を１に設定する。
【００６０】
次に、図７に示すように、ホストコンピュータ２０は、このバーンインボードＢＩＢにボードマスクが必要であれば、ボードマスクの設定をする（ステップＳ６６）。具体的には、ホストコンピュータ２０は、例えば、１枚のバーンインボードＢＩＢにつき、マスクされて不良になったソケットＳＫＴが３個以上存在する場合には、そのバーンインボードＢＩＢをマスクする。図８の例では、マスクされたソケットＳＫＴが２個であるので、「ボードマスク情報」は０のままであるが、もし、次のバーンイン試験の結果、マスクされて不良になったソケットＳＫＴが増えて３個以上になった場合には、「ボードマスク情報」を０から１に変更する。
【００６１】
次に、ホストコンピュータ２０は、更新したバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０を格納して保存する（ステップＳ６８）。すなわち、バーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０をメモリ又はハードディスクドライブに格納する。
【００６２】
これにより、本実施形態に係るテスト結果更新処理が終了する。
【００６３】
図９は、本実施形態に係るバーンインシステム１０において実行される、被試験デバイス抜去処理の内容の一例を説明するフローチャートを示す図である。本実施形態においては、この図９に示す被試験デバイス抜去処理は、自動挿抜機３０で実行される処理である。また、この被試験デバイス抜去処理は、例えば、ユーザが、バーンイン試験を終えたバーンインボードＢＩＢを自動挿抜機３０にセットした上で、自動挿抜機３０のコントローラから、バーンインボードＢＩＢから被試験デバイスを抜去する処理の開始を自動挿抜機３０に指示入力することにより、実行される処理である。
【００６４】
この図９に示すように、被試験デバイス抜去処理では、まず、自動挿抜機３０は、バーンインボード識別情報を取得する（ステップＳ８０）。すなわち、上述したステップＳ２０と同様に、自動挿抜機３０は、セットされているバーンインボードＢＩＢから、そのバーンインボードＢＩＢのバーンインボード識別情報を読み込んで取得する。上述したように、本実施形態においては、バーンインボードＢＩＢのバーンインボード識別情報は、バーンインボード識別情報保持部ＭＥＭに格納されているため、自動挿抜機３０は、エッジＥＧを介して電気的に接続されたバーンインボードＢＩＢのバーンインボード識別情報保持部ＭＥＭから、バーンインボード識別情報を読み出して取得する。
【００６５】
次に、自動挿抜機３０は、このバーンインボード識別情報に基づいて、ホストコンピュータ２０に、バーンインボード情報の問い合わせを行う（ステップＳ８２）。具体的には、上述したステップＳ２２と同様に、自動挿抜機３０は、バーンインボード識別情報とともに、ホストコンピュータ２０に、このバーンインボード識別情報に対応するバーンインボードＢＩＢのバーンインボード情報送信要求を、送信する。
【００６６】
このバーンインボード情報送信要求を受けたホストコンピュータ２０は、バーンインボード識別情報に対応するバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０を検索し、このバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０に基づいて、バーンインボード情報を、この要求を送信した自動挿抜機３０へ送信する。本実施形態においては、このときホストコンピュータ２０から自動挿抜機３０に送信されるバーンインボード情報は、図８のバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０に格納されている情報のうち、「バーンインボード識別情報」、「ソケット番号」、「テスト結果」である。但し、これ以外の情報を含めて、バーンインボード情報として、ホストコンピュータ２０から自動挿抜機３０に送信するようにしてもよい。そして、自動挿抜機３０は、このバーンインボード情報を受信することにより、バーンインボード情報を取得する。
【００６７】
次に、自動挿抜機３０は、バーンインボードＢＩＢから被試験デバイスを抜去しながら、取得したバーンインボード情報に含まれているテスト結果に基づいて、抜去した被試験デバイスの分類を行う（ステップＳ８４）。具体的には、自動挿抜機３０は、被試験デバイスを抜去したソケットの「ソケット番号」に対応する「テスト結果」が、パスであるか、フェイルであるかを判断し、その抜去した被試験デバイスを分別する。
【００６８】
１枚のバーンインボードＢＩＢに挿入されているすべての被試験デバイスの抜去が終了した後、ホストコンピュータ２０は、テスト結果をクリアする指示を、ホストコンピュータ２０に送信する（ステップＳ８６）。この指示を受けたホストコンピュータ２０は、そのバーンインボードＢＩＢのバーンインボード情報格納テーブルＴＢ１０における「テスト結果」をクリアする。
【００６９】
これにより、本実施形態に係る被試験デバイス抜去処理は終了する。
【００７０】
以上のように、本実施形態に係るバーンインシステム１０によれば、バーンインボードＢＩＢの各ソケットＳＫＴ毎に、過去の所定回数分のテスト結果におけるパス／フェイルを履歴情報として保持し、この保持している履歴情報のうちフェイルした回数が所定の回数以上になった場合に、そのソケットＳＫＴをマスクして、それ以降のバーンイン試験では被試験デバイスを挿入しないようにした。このため、ソケット不良が発生しているにも拘わらず、被試験デバイスを挿入してバーンイン試験を行ってしまい、本来であれば良品に分類されるべき被試験デバイスを不良品として分類してしまう事態を回避することができる。
【００７１】
また、バーンインボードＢＩＢの各ソケットＳＫＴ毎に、連続してフェイルになった回数をカウントし、この回数が所定回数以上になった場合には、そのソケットＳＫＴをマスクして、それ以降のバーンイン試験では被試験デバイスを挿入しないようにした。このため、ソケット不良が発生しているにも拘わらず、被試験デバイスを挿入してバーンイン試験を行ってしまい、本来であれば良品に分類されるべき被試験デバイスを不良品として分類してしまう事態をより高い精度で回避することができる。
【００７２】
また、１枚のバーンインボードＢＩＢにおいて、使用できないマスクされたソケットＳＫＴが所定の個数以上になった場合には、そのバーンインボードＢＩＢ自体をボードマスクして、ユーザに通知するとともに、そのバーンインボードＢＩＢをバーンイン試験で使用できないようにした。このため、ユーザに、適切な時期に、バーンインボードＢＩＢの洗浄や修理を促すことができるようになる。
【００７３】
なお、本発明は上記実施形態に限定されず種々に変形可能である。例えば、上述した実施形態では、連続不良回数が３回以上である場合に、そのソケットＳＫＴをマスクすることとしたが、連続不良回数に基づいてソケットＳＫＴをマスクするための閾値は、任意に設定可能である。
【００７４】
また、上述した実施形態では、履歴情報として過去８回分のテスト結果を間欠不良情報として保持することとしたが、何回分のテスト結果を保持するかは、任意である。また、テスト結果の履歴情報として保持している間欠不良情報のうち、何回分のテスト結果にフェイルが発生したときに、そのソケットＳＫＴをマスクするかの設定も、任意に変更可能である。また、保持しているテスト結果の履歴情報におけるフェイルの割合に基づいて、ソケットＳＫＴをマスクするか否かを判断するようにすることも可能である。この場合、上記の例では、フェイル４回／過去８回なので、５割という設定であると解釈できる。このように、フェイルの割合に基づいてソケットＳＫＴをマスクするか否かを判断する場合でも、その設定割合は任意である。つまり、保持している履歴情報において、任意に設定された閾値以上のフェイルが発生した場合に、ソケットＳＫＴをマスクするように設計することができる。
【００７５】
また、上述した実施形態では、自動挿抜機３０が、ホストコンピュータ２０からバーンインボード情報を取得して、マスクされていて被試験デバイスを挿入すべきでないソケットＳＫＴがどれであるかを判断するようにしたが、人手で被試験デバイスをソケットＳＫＴに挿入する場合には、人間が判断するようにしてもよい。この場合、例えば、ホストコンピュータ２０に、バーンインボード情報を表示させたり、印刷させたりして、この表示結果又は印刷結果に基づいて、人間が、マスクされていて被試験デバイスを挿入すべきでないソケットＳＫＴがどれであるかを判断すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の一実施形態に係るバーンインシステムの全体的な構成の一例を示すブロック図。
【図２】図１のバーンインシステムで用いられるバーンインボードのレイアウトの一例を示す平面図。
【図３】本実施形態に係るバーンインシステムで実行されるバーンインボード登録処理の一例を説明するフローチャートを示す図。
【図４】本実施形態に係るバーンインシステムが保持するバーンインボード情報格納テーブルの構成の一例を示す図。
【図５】本実施形態に係るバーンインシステムで実行される被試験デバイス挿入処理の一例を説明するフローチャートを示す図。
【図６】本実施形態に係るバーンインシステムで実行されるバーンイン試験実行処理の一例を説明するフローチャートを示す図。
【図７】本実施形態に係るバーンインシステムで実行されるテスト結果更新処理の一例を説明するフローチャートを示す図。
【図８】図４に示したバーンインボード情報格納テーブルが、図７のテスト結果更新処理で更新された状態を示す図。
【図９】本実施形態に係るバーンインシステムで実行される被試験デバイス抜去処理の一例を説明するフローチャートを示す図。
【符号の説明】
【００７７】
１０  バーンインシステム
２０  ホストコンピュータ
３０  自動挿抜機
３２  バーンイン試験装置
４０  ネットワーク
ＢＩＢ  バーンインボード
ＳＫＴ  ソケット
ＥＧ  エッジ
ＭＥＭ  バーンインボード識別情報保持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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