(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機樹脂絶縁層および金属配線層を有するプリント配線板の、前記金属配線層に膜状抵抗素子を形成したプリント配線板の製造方法であって、
１つの有機樹脂絶縁層の一方の面に金属配線層を配して有機樹脂配線板を形成し、
前記有機樹脂配線板の金属配線層に、対となる電極を形成し、
前記電極の相互間に膜状抵抗素子を形成し、
前記配線板における前記金属配線層の側に、積層接着剤を用いずに積層プレスの温度、圧力を付与して前記膜状抵抗素子の抵抗値を変動させ、
前記膜状抵抗素子に抵抗値を調整するためのトリミングを行い、
少なくとも１層の絶縁層を有する回路部材を用意し、
前記有機樹脂配線板の前記膜状抵抗素子が形成された層に当接するように、積層接着剤を介して、前記回路部材を積層する膜状抵抗素子を内蔵したプリント配線板の製造方法において、
積層接着剤を用いずに加える前記積層プレスの温度、圧力および時間は、積層接着剤を用いて前記回路部材を積層する際の温度、圧力および時間以上の条件とする
ことを特徴とする膜状抵抗素子を内蔵したプリント配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプリント配線板の製造方法に係わり、特に抵抗素子を内蔵するプリント配線板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化、高機能化に伴い、部品の実装密度が著しく高くなっている。このため、従来のように抵抗やキャパシタのような受動部品をチップ部品の形態で配線板表面にはんだ付け実装するのではなく、配線板の内面に受動部品を形成し、実装密度を向上させた部品内蔵配線板の検討が行われている。
【０００３】
受動部品の内、抵抗を配線板の内面に形成する手法は、従来からセラミック多層配線板により実用化されている。しかし、抵抗をスクリーン印刷により形成するため、抵抗値のばらつきが大きく、抵抗の焼成後にレーザ或いはサンドブラストによるトリミングを行って所望の抵抗値としなければならない。また、焼成温度が500℃以上と高く、有機樹脂配線板には適用できない。
【０００４】
そして、有機樹脂配線板への試みとして、抵抗の薄膜を全面に形成しエッチングにより所望の抵抗値を得る方法や、低温焼成抵抗のペーストをスクリーン印刷により形成し所望の抵抗値を得る方法が検討されている。これらの配線板の内面に形成される抵抗は、要求される幅広い抵抗値に適用でき、且つ抵抗値のばらつきが少ない、すなわち抵抗パターンの作成精度が高く、抵抗の膜厚が均一なことが要求される。
【０００５】
これに対し、上述の薄膜法は、抵抗パターン精度が高くできるものの薄膜であるために得られる抵抗値の幅が狭い。一方、抵抗ペースト法は得られる抵抗値の幅は広いが、スクリーンで印刷により形成する抵抗パターンの精度や膜厚の均一性に劣っている。このために、抵抗ペースト法においても、抵抗値の精度を向上させるためにはレーザ等のトリミングを行う必要がある。
【０００６】
ただし、抵抗ペースト法により形成した抵抗は、配線板内部への内蔵のために積層プレスを行うと抵抗値が変動してしまうことが分かっている。抵抗値の変動量は、積層条件や、積層接着剤の種類、及び抵抗ペーストの膜厚やサイズ等で異なることから、予め積層プレスによる抵抗値の変動量を予測してトリミングを行い、積層後に所望の抵抗値を得ることは困難である。
【０００７】
特許文献１（P3[０００６]）に記載の抵抗素子内蔵配線板は、抵抗ペーストと電極との間に置換型無電解銀めっき膜を形成することで、高温高湿下における抵抗値の変動を防止している。しかし、積層による抵抗値の変動を抑えることができない。
【０００８】
また、特許文献２（P3[００１２]〜P4[００１３]）に記載されている抵抗素子内蔵配線板は、抵抗値調整のトリミング方法を工夫しており、抵抗値を高くも低くも調整できる。しかし、抵抗値を測定するまで調整方法を決定することができず、工程が煩雑となる。また、抵抗値調整後の積層工程による抵抗値の変動に対しては、何ら考慮されていない。
【０００９】
また、特許文献３（P2[００１１]）に記載されている抵抗素子内蔵配線板は、貫通孔に抵抗ペーストを充填していることから、配線板自体がスペーサーの役割を果たし積層による抵抗値変動を小さく抑えることができる。しかしながら、孔にペーストを充填するだけでは高精度な抵抗値を作り込むことは困難であり、レーザ等のトリミングによる抵抗値の調整もできない構造となっている。
【００１０】
また、特許文献４（P3[０００５]）に記載されている抵抗素子内蔵配線板は、トリミングによる抵抗値の調整時に出力を弱めたレーザにより抵抗を加熱することで抵抗値を変動させ、その後に出力を上げた状態でトリミング加工を行っている。
【００１１】
しかしながら、抵抗を加熱させるためには、抵抗の面積全てを弱いレーザ光でスキャニングしなくてはならず、時間がかかってしまう。また積層時の抵抗値変動は、加熱による変動だけではなく、積層圧力の影響もあり、この手法では抵抗値の変動を完了させることはできない。
【００１２】
特許文献５（P5[００２０]）に記載の抵抗素子内蔵配線板は、抵抗ペーストと電極との間にニッケル系合金薄膜を形成することで、高温高湿下における抵抗値の変動を防止している。しかし、積層による抵抗値の変動を抑えることができない。
【００１３】
図２は、特許文献５に記載されている抵抗ペーストを用いて抵抗素子を内蔵したプリント配線板の製造方法を示す断面図であって、まずポリイミド等の絶縁ベース材の両面に銅箔等の第一および第二の導体層を有する、所謂、両面銅張積層板３１を用意し、所要位置にドリル加工もしくはレーザ加工を用いて貫通スルーホールを形成する。
【００１４】
その後、導電化処理を行ってめっき皮膜を形成し、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて回路パターンを形成することで、両面プリント配線板３２を得る。
【００１５】
次に、抵抗ペーストが接触する電極部にニッケル系合金薄膜３３を形成し、ニッケル系合金薄膜３３により覆われた電極間に、抵抗ペーストによる抵抗３４をスクリーン印刷により形成する。次いで、抵抗３４の抵抗値をレーザ等のトリミングにより除去部を形成して調整する。
【００１６】
この後、樹脂付き銅箔３６等を用いて積層することにより４層構造を形成する。続いて、レーザにより層間導通を行う有底ビアホールを形成し、導電化処理を行ってめっき皮膜を形成し、その後、フォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターンを形成することで、抵抗素子を内蔵したプリント配線板３７を得る。
【特許文献１】特開２００６−２２２１１０号公報
【特許文献２】特開２００４−３３５８２７号公報
【特許文献３】特開２０００−１７４４０５号公報
【特許文献４】特開２００６−２２８７８１号公報
【特許文献５】特開２００６−１５６７４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
伝送線路の終端抵抗やEMI用フィルタ用抵抗などでは、配線板に内蔵した状態により±1%以下の抵抗値精度を安価に作成する技術が望まれている。
【００１８】
しかし、従来の抵抗ペーストにより形成した内蔵抵抗素子では積層前後の抵抗変化に対応できないことから、内蔵した状態により±1%以下の精度で歩留まり良く作製することは困難である。
【００１９】
本発明は上述の点を考慮してなされたもので、抵抗ペーストにより形成した抵抗素子を内蔵したプリント配線板を高精度で安価に歩留まり良く製造する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明では、
有機樹脂絶縁層および金属配線層を有するプリント配線板の、前記金属配線層に膜状抵抗素子を形成したプリント配線板の製造方法であって、
１つの有機樹脂絶縁層の一方の面に金属配線層を配して有機樹脂配線板を形成し、
前記有機樹脂配線板の金属配線層に、対となる電極を形成し、
前記電極の相互間に膜状抵抗素子を形成し、
前記配線板における前記金属配線層の側に、積層接着剤を用いずに積層プレスの温度、圧力を付与して前記膜状抵抗素子の抵抗値を変動させ、
前記膜状抵抗素子に抵抗値を調整するためのトリミングを行い、
少なくとも１層の絶縁層を有する回路部材を用意し、
前記有機樹脂配線板の前記膜状抵抗素子が形成された層に当接するように、積層接着剤を介して、前記回路部材を積層する膜状抵抗素子を内蔵したプリント配線板の製造方法において、
積層接着剤を用いずに加える前記積層プレスの温度、圧力および時間は、積層接着剤を用いて前記回路部材を積層する際の温度、圧力および時間以上の条件とする
ことを特徴とする膜状抵抗素子を内蔵したプリント配線板の製造方法、
を提供するものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、積層の履歴を付与して予め抵抗変動を完了させた抵抗素子に対し、必要なトリミングを行って抵抗値を調整するため、トリミング後の積層によって抵抗値の変動する量が非常に小さく、高い抵抗値精度で安価に歩留まり良く抵抗を製作することができる。この結果、伝送線路の終端抵抗やEMI用フィルタ抵抗など高精度を要求される抵抗素子を内蔵したプリント配線板を安価かつ安定的に製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図１Ａおよび図１Ｂを参照して本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００２３】
図１Ａおよび図１Ｂは、本発明の一実施例における抵抗素子を内蔵するプリント配線板の製造方法を示す断面工程図である。
【００２４】
まず、図１Ａ(1)に示すように、有機樹脂絶縁層としてのポリイミド等の絶縁ベース材１の両面に銅箔等の第一の金属箔２、第二の金属箔３を有する、有機樹脂配線板としての両面銅張積層板４を用意する。そして、第一の金属箔２の所要位置に、通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、抵抗形成用の電極５を設けると同時に回路を形成する。
【００２５】
なお、絶縁ベース材１には25μm厚のポリイミドを用い、金属箔２，３は12μmの電解銅箔を用いた。抵抗値は、抵抗ペーストの幅、膜厚、電極間距離、および抵抗ペーストのシート抵抗値により決定する。ここでは、電極間距離を1.0 mmとした。
【００２６】
次に、図１Ａ(2)に示すように、抵抗が接触する電極部６を形成するために無電解Agめっきの表面処理を行った。めっき厚さは、0.2μm程度である。これは、高温高湿試験における抵抗変化を抑えるためであり、その他に、NiめっきやAuめっき等の貴金属めっき、及びAgペーストの印刷等でも同様の効果があることを確認している。
【００２７】
ここでは電極部６に部分めっきを行っているが、このマスクとしてアサヒ化成製のドライフィルムHY-920を用いた。ここで用いるドライフィルムは、耐酸性であればその他の種類のドライフィルムでも転用することができる。
【００２８】
続いて、図１Ａ(3)に示すように、電極部６に対し抵抗ペーストにより抵抗７を印刷法で形成し、熱硬化した。抵抗ペーストは、シート抵抗値が50Ωのアサヒ化研製TU-50-8を用いた。形成方法としては、スクリーン印刷法を用いたが、ディスペンサーもしくはインクジェット等、その他の方法によっても形成することができる。
【００２９】
スクリーン版は、平織りステンレススクリーン版により、メッシュ数400、乳剤厚10μmの仕様を用いた。また、ボックス型熱風オーブンにより170℃、1時間の熱硬化を行った。
【００３０】
この後、図１Ａ(4)に示すように、真空ラミネータを用い抵抗７に離型フィルムを介して積層プレス以上の温度、圧力（積層履歴）を加え、抵抗７の抵抗値を変動させた。ここでの積層は、温度200℃、圧力4.0Mpa、10分とした。積層履歴を付与する際には、プレスと抵抗との間にクッション材を挿入することが望ましい。
【００３１】
ＳＵＳのような高剛性の板を用いると、局部的にしか圧力が付与されないから良好な結果を得ることができない。その対策として用いるクッション材は、常温での弾性率が２GPa以下のものが好適であり、この実施例１においては、離型フィルムとしても機能する三井化学製のTPXを用いた。
【００３２】
また、この積層履歴の条件は、積層接着剤の積層条件およびオーブンキュア条件よりも高温高圧であることが必要である。適用できる温度範囲は、１５０℃〜３５０℃、圧力範囲は２MPa〜１０MPa、プレス時間は1〜60分であり、使用する積層接着剤によって条件を選定する。
【００３３】
次に、図１Ａ(5)に示すように、ＹＡＧレーザを用いて抵抗７にトリミングにより除去部８を形成し、抵抗測定を行いながら抵抗７の抵抗値を増加させる調整を行った。ここで使用するレーザは、ＹＶＯ４レーザ等、他のレーザ光源であっても同様の効果を得ることができる。
【００３４】
次いで、図１Ｂ(6)に示すように、ポリイミド等の絶縁ベース材９の両面に銅箔等の第一の金属箔１０、第二の金属箔１１を有する、所謂、両面銅張積層板１２に対し、第一の金属箔１０の所要位置に通常のフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて回路を形成した回路部材１２の回路形成面と、抵抗７を形成した面とが当接するように積層接着剤１３を介して積層した。積層条件は、真空ラミネータにより170℃、2.0MPa、４分のプレスを行い、ボックス型熱風オーブンにより180℃、2時間30分のオーブンキュアを行う、というものであった。
【００３５】
続いて、図１Ｂ(7)に示すように、レーザ加工やドリル加工を用いて層間導通用の有底ビアホール１４,１５、スルーホール１６を形成した後に、基板１７のデスミア処理、導電化処理、およびめっき皮膜１８の形成を行った。
【００３６】
そして、図１Ｂ(8)に示すように、第二の金属箔３，１１ならびにめっき皮膜１８に対してフォトファブリケーション手法によるエッチング手法を用いて、回路パターン１９,２０を形成することで、±1%以下の抵抗値精度の抵抗素子を内蔵したプリント配線板２１を得た。なお、上記実施例では回路部材として両面銅張積層板を用いた例を示したが、片面銅張積層板やカバーフィルムの場合であっても同様である。
【００３７】
本発明の手法を用いることで、積層による抵抗値変動を予測し、予め積層による抵抗値変動分をオフセットさせて抵抗の抵抗値調整を行った後に積層を行うのではなく、積層の履歴を予め付与して抵抗値変動を完了させた状態でトリミングにより抵抗値を調整するので、±1%以下の抵抗値精度の内蔵抵抗素子を確実に歩留まり良く形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１Ａ】本発明の一実施例における抵抗素子を内蔵したプリント配線板の製造工程図。
【図１Ｂ】図１Ａに続く製造工程図。
【図２】従来工法による抵抗素子を内蔵したプリント配線板の断面図。
【符号の説明】
【００３９】
１    絶縁ベース材
２    第一の金属箔
３    第二の金属箔
４    両面銅張積層板
５    電極
６    電極部
７    抵抗
８    除去部
９    絶縁ベース材
１０  第一の金属箔
１１  第二の金属箔
１２  回路部材
１３  積層接着剤
１４，１５  有底ビアホール
１６  スルーホール
１７  基板
１８  めっき皮膜
１９，２０  回路パターン
２１  本発明による抵抗素子を内蔵したプリント配線板
３１  両面銅張積層板
３２  両面プリント配線板
３３  ニッケル系合金薄膜
３４  抵抗
３５  除去部
３６  樹脂付き銅箔
３７  従来工法による抵抗素子を内蔵したプリント配線板
【図１Ａ】
0004907479.tif 000002
【図１Ｂ】
0004907479.tif 000003
【図２】
0004907479.tif 000004