(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端が水平となされた水平部とこの水平部の左右両側から垂下してなる左右の脚部とを有してなるとともに、それぞれ山部と谷部とが交互に形成され伸縮可能に成形されてなる蛇腹本体と、
この蛇腹本体の水平部に形成された各山部近傍に固定された保護部材と、
を備え、
上記保護部材は、
上記蛇腹本体の上方に位置し該蛇腹本体の幅と同じか又は該幅よりも長尺となされた長さ及び該蛇腹本体の隣合う山部と山部とが最も離間された際における該隣合う山部と山部との距離よりも長尺な幅を有する天板部と、
この天板部の一側から垂下してなる垂下板部と、
この垂下板部の下端から折曲され上記天板部と傾斜した状態で対向してなる傾斜板部と、
この傾斜板部から折曲され上記蛇腹本体を構成する山部近傍に固定された長方形状の固定板部と、をそれぞれ有してなるとともに、
上記個々の天板部は、それぞれ同一の長さ及び幅とされてなる一方、上記個々の垂下板部の高さないし幅は、上記蛇腹本体の一端側から他端側に亘って徐々に短いものとされ、上記個々の傾斜板部の高さないし幅は、該蛇腹本体の一端から他端に亘って徐々に長いものとされ、
上記蛇腹本体の最も他端に固定された保護部材は、該保護部材を構成する天板部の先端が該保護部材を構成する固定板部の位置の上方であるか又は上記蛇腹本体の一端側に位置してなることを特徴とする蛇腹装置。
【請求項２】
前記蛇腹本体の一端には、一方のエンドプレートが固定され、該蛇腹本体の他端には、他方のエンドプレートが固定されてなり、
上記一方のエンドプレートには、上記蛇腹本体が最も伸長された際、前記個々の保護部材のうちで最も該一方のエンドプレートに近い位置に固定された保護部材を構成する天板部の上部に先端が位置する一方の固定保護板部材が固定され又は一方の固定保護板部が形成され、
上記他方のエンドプレートには、上記蛇腹本体が最も伸長された際、前記個々の保護部材のうちで最も該他方のエンドプレートに近い位置に固定された保護部材を構成する天板部の下部に先端が位置する他方の固定保護板部材が固定され又は他方の固定保護板部が形成されてなり、
上記蛇腹本体が最も縮小された際、上記保護部材を構成する個々の天板部の全ては、全て上記一方の固定保護板部材又は一方の固定保護板部と上記他方の固定保護板部材又は他方の固定保護板部との間に収容されるよう構成されてなることを特徴とする請求項１記載の蛇腹装置。
【請求項３】
前記保護部材を構成する個々の天板部の左右両側には、前記蛇腹本体を構成する左右の脚部の少なくとも上端側を保護する側板部がそれぞれ形成されてなるとともに、
前記一方の固定保護板部材又は一方の固定保護板部並びに前記他方の固定保護板部材又は他方の固定保護板部の左右両側には、上記蛇腹本体を構成する左右の脚部の少なくとも上端側を保護する固定側板部がそれぞれ形成されてなることを特徴とする請求項１又は２記載の何れかの蛇腹装置。
【請求項４】
前記蛇腹本体を構成する左右の脚部の下端には、低摩擦抵抗素材からなるシート体が貼付されてなることを特徴とする請求項１，２又は３記載の何れかの蛇腹装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、切断装置，切削装置，穴あけ装置など各種の加工装置に装着される蛇腹装置に関し、特に、ワークを加工する際に発生し又は使用される切削屑や切削液から蛇腹本体を保護する保護部材が複数配置された蛇腹装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
蛇腹装置は、その基本的構成として、交互に形成された山部と谷部とを備え、外部から力が作用することにより、該山部と谷部とが接近し又は離間することで全体として伸縮性が付与されたものであり、その伸縮性から各種の機器のパーツとして使用されている。上記蛇腹装置の伸縮性に遮光性を付加して使用されている例としては、写真機等の光学機器を挙げることができるが、近年では、固定された部材と移動する部材との間に配置され、該固定された部材と移動する部材との間に設けられた駆動機構を塵埃や液体から保護することを目的に、上記切断装置，切削装置等の加工装置の構成要素ともされている。例えば、切断し又は切削されるワークが載置されるテーブルを、ボールネジや直動装置等の駆動機構によって、所定の範囲内に亘って移動自在となした加工装置において、このテーブルの左右両側に蛇腹装置を配置したものがある。蛇腹装置をこのように配置することにより、上記切断又は切削により発生したワークの屑や切削液が上記駆動機構に付着することにより、上記テーブルの位置決め精度を損なうことが防止される。
【０００３】
ところで、こうした加工装置のパーツとして使用される蛇腹装置は、樹脂製シートを折曲することにより山部と谷部を交互に形成したものや、熱溶着可能なシートを折曲するととともに互いに溶着することにより上記山部と谷部とを交互に形成したものが多く、加工装置により加工されるワークの素材や加工環境によっては、上記蛇腹装置が損傷して穴が空いたり、場合によっては、長期間の使用により切断されてしまったりする場合がある。さらに、切削油等の切削液も加工時に使用する場合には、蛇腹装置が損傷することにより、その内側に液体が侵入する危険性もある。他方、蛇腹装置は、装着される加工装置によっては高い伸縮率（最も伸長された際の全長と最も縮小された場合の全長との比率）が要求される場合もあり、こうした高い伸縮率を維持するためには、その素材（素材となるシート）の薄さが要求され、この素材が薄ければ薄いほど、ワークの加工中に損傷する危険性が高い。
【０００４】
そこで、こうした蛇腹本体の損傷を防止し、加工装置に要求される安定した位置決め精度や長期間の使用を確保するために、従来では、蛇腹本体の上部であって各山部又はその近傍に、該蛇腹本体を保護する保護部材をそれぞれ配置し、ワークの加工により発生・飛散した屑がこの保護部材の上面に付着するように構成された蛇腹装置が提案されている（特許文献１，２参照）。上記各保護部材の幅（蛇腹本体の伸縮方向の長さ）は、蛇腹本体のそれぞれ隣合う山部と山部とが最も離間した幅よりも長尺とされていることから、それぞれの先端は、伸縮方向に隣合う保護部材の上面に位置している。したがって、蛇腹本体が最も伸長された状態及び最も縮小された状態において、常に該蛇腹本体の上部はそれぞれの保護部材により保護される。
【特許文献１】登録実用新案第３０５４８４２号公報
【特許文献２】特開２００４−１８６３６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１，２に開示された蛇腹装置では、上述した通り、加工装置に装着されることにより、該加工装置による加工の際に発生・飛散したワークの屑や切削液から蛇腹本体を保護することができる一方、上記蛇腹本体が最も収縮された状態においては、該蛇腹本体の最も一端側又は他端側に配置された保護部材の先端（さらには該保護部材に隣合う保護部材の先端）が該蛇腹装置の一端又は他端から、突出することになる。この結果、加工装置の形状や構造によっては、上記蛇腹装置を装着することが不能となる場合があり、この結果加工装置の形状や構造を変更しなければならない。
【０００６】
そこで、本発明は、こうした従来の蛇腹装置が有する課題を解決するために提案されたものであって、蛇腹本体が最も縮小された場合であっても、該蛇腹本体の最も一端側又は他端側に配置された保護装置が突出することがなく、加工装置の構造や形状を何ら変更することなく装着することが可能となり、ひいては極めて汎用性の高い新規な蛇腹装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した目的を達成するため、第１の発明（請求項１記載の発明）は、上端が水平となされた水平部とこの水平部の左右両側から垂下してなる左右の脚部とを有してなるとともに、それぞれ山部と谷部とが交互に形成され伸縮可能に成形されてなる蛇腹本体と、この蛇腹本体の水平部に形成された各山部近傍に固定された保護部材と、を備え、上記保護部材は、上記蛇腹本体の上方に位置し該蛇腹本体の幅と同じか又は該幅よりも長尺となされた長さ及び該蛇腹本体の隣合う山部と山部とが最も離間された際における該隣合う山部と山部との距離よりも長尺な幅を有する天板部と、この天板部の一側から垂下してなる垂下板部と、この垂下板部の下端から折曲され上記天板部と傾斜した状態で対向してなる傾斜板部と、この傾斜板部から折曲され上記蛇腹本体を構成する山部近傍に固定された長方形状の固定板部と、をそれぞれ有してなるとともに、上記個々の天板部は、それぞれ同一の長さ及び幅とされてなる一方、上記個々の垂下板部の高さないし幅は、上記蛇腹本体の一端側から他端側に亘って徐々に短いものとされ、上記個々の傾斜板部の高さないし幅は、該蛇腹本体の一端から他端に亘って徐々に長いものとされ、上記蛇腹本体の最も他端に固定された保護部材は、該保護部材を構成する天板部の先端が該保護部材を構成する固定板部の位置の上方であるか又は上記蛇腹本体の一端側に位置してなることを特徴とするものである。
【０００８】
この第１の発明に係る蛇腹装置では、蛇腹本体に固定された個々の保護部材の形状は、（共通して）天板部，垂下板部，傾斜板部，固定板部を有してなる一方、個々の垂下板部の高さないし幅は、上記蛇腹本体の一端側から他端側に亘って徐々に短いものとされ、上記個々の傾斜板部の高さないし幅は、該蛇腹本体の一端から他端に亘って徐々に長いものとされ、且つ、上記蛇腹本体の最も他端に固定された保護部材は、該保護部材を構成する天板部の先端が該保護部材を構成する固定板部の位置の上方であるか又は上記蛇腹本体の一端側に位置してなることから、該蛇腹本体が最も縮小された際には、該蛇腹本体の最も他端側に固定された保護部材の天板が他端側から突出しない。したがって、この第１の発明に係る蛇腹装置によれば、切断装置，切削装置，穴あけ装置など各種の加工装置の形状や構造を変更する必要性がなく装着することが可能となり、極めて汎用性の高いものとすることができる。
【０００９】
しかも、この第１の発明に係る蛇腹装置では、個々の保護部材を構成する垂下板部の高さないし幅は、上記蛇腹本体の一端側から他端側に亘って徐々に短いものとされてなることから、この蛇腹装置が最も伸長された際も最も縮小された際にも、各天板部は必ず蛇腹本体の一端側から他端側にかけて徐々に低くなるよう傾斜した状態となる。したがって、この蛇腹装置によれば、各天板部に加工装置の使用により発生・飛散した金属屑等が付着した場合であっても、該金属屑は蛇腹本体の一端側から他端側にかけて移動され易く、さらに切削液等が加工時に使用される場合には、該切削液とともに上記金属屑が蛇腹本体の他端側に流れることとなり、より一層天板部と天板部との間から蛇腹本体の水平部に金属屑や切削液が侵入する危険性を抑制することができる。
【００１０】
なお、上記蛇腹装置は、上記切断装置，切削装置，穴あけ装置など各種の加工装置の構造により、必ずしも、蛇腹本体を構成する水平部が水平となされた状態で該加工装着される必要性はなく、該水平部が鉛直方向に位置するように固定されるものであっても良いし、また該水平部が傾斜した状態で固定されるものであっても良い。また、本発明において、山部とは、左右に谷部を有してなる部位を指す。
【００１１】
また、第２の発明（請求項２記載の発明）は、上記第１の発明において、前記蛇腹本体の一端には、一方のエンドプレートが固定され、該蛇腹本体の他端には、他方のエンドプレートが固定されてなり、上記一方のエンドプレートには、上記蛇腹本体が最も伸長された際、前記個々の保護部材のうちで最も該一方のエンドプレートに近い位置に固定された保護部材を構成する天板部の上部に先端が位置する一方の固定保護板部材が固定され又は一方の固定保護板部が形成され、上記他方のエンドプレートには、上記蛇腹本体が最も伸長された際、前記個々の保護部材のうちで最も該他方のエンドプレートに近い位置に固定された保護部材を構成する天板部の下部に先端が位置する他方の固定保護板部材が固定され又は他方の固定保護板部が形成されてなり、上記蛇腹本体が最も縮小された際、上記保護部材を構成する個々の天板部の全ては、全て上記一方の固定保護板部材又は一方の固定保護板部と上記他方の固定保護板部材又は他方の固定保護板部との間に収容されるよう構成されてなることを特徴とするものである。
【００１２】
この第２の発明に係る蛇腹装置では、一方のエンドプレートには、一方の固定保護板部材が固定され又は一方の固定保護板部が形成され、上記他方のエンドプレートには、他方の固定保護板部材が固定され又は他方の固定保護板部が形成されてなる。そして、この一方の固定保護板部材又は一方の固定保護板部は、蛇腹本体が最も伸長された際、前記個々の保護部材のうちで最も該一方のエンドプレートに近い位置に固定された保護部材を構成する天板部の上部に、先端が位置する。また、上記他方の固定保護板部材又は他方の固定保護板部には、上記個々の保護部材のうちで最も該他方のエンドプレートに近い位置に固定された保護部材を構成する天板部の下部に、先端が位置する。したがって、蛇腹本体の最も一端側に固定された保護部材の天板部により覆われない（カバーされない）該蛇腹本体の部位を、上記一方の固定保護板部材又は一方の固定保護板部により保護することが可能となり、蛇腹本体の最も他端側に固定された保護部材の天板部により覆われない（カバーされない）該蛇腹本体の部位を、上記他方の固定保護板部材又は他方の固定保護板部により保護することが可能となる。
【００１３】
また、この第２の発明では、一方の固定保護板部材等の先端は、蛇腹本体が最も伸長された際に最も一方のエンドプレートに近い位置に固定された保護部材の天板部の上部に位置する一方、上記他方の固定保護板部材等の先端は、最も該他方のエンドプレートに近い位置に固定された保護部材を構成する天板部の下部に位置する。すなわち、この第２の発明では、最も蛇腹本体の一端側に固定された保護部材の天板部の上部には、上記一方の固定保護板部材等の先端が位置していることから、該天板部の先端が異物等の付着により上方に移動するように回動する力が作用しても、上記一方の固定保護板部材等により直接的に該移動が規制され、上記最も蛇腹本体の一端側に固定された保護部材よりも蛇腹本体の他端側に固定された全ての保護部材の上方への移動が間接的に制約される。また、最も蛇腹本体の他端側に固定された保護部材の天板部は、上記他方の固定保護板部材等に直接的に支持され、該保護部材よりも蛇腹本体の一端側に固定された全ての保護部材を構成する天板部は、上記他方の固定保護板部材等に間接的に支持される。したがって、この第２の発明によれば、天板部上に屑等が付着するばかりか、重量を有する異物が不用意に落下した場合であっても、全ての天板部は上記他方の固定保護板部材等により直接的又は間接的に下方から支持されており、蛇腹本体により支持されてはいないことから、蛇腹本体への悪影響が防止できるとともに、上記異物の落下により、該異物に当接した天板部の先端が上方に持ち上がるように回動する力が作用したとしても、該天板部は、間接的に（又は直接的に）上記一方の固定保護板部材等により規制することができる。
【００１４】
また、第３の発明（請求項３記載の発明）は、上記第１又は第２の何れかの発明において、前記保護部材を構成する個々の天板部の左右両側には、前記蛇腹本体を構成する左右の脚部の少なくとも上端側を保護する側板部がそれぞれ形成されてなるとともに、前記一方の固定保護板部材又は一方の固定保護板部並びに前記他方の固定保護板部材又は他方の固定保護板部の左右両側には、上記蛇腹本体を構成する左右の脚部の少なくとも上端側を保護する固定側板部がそれぞれ形成されてなることを特徴とするものである。
【００１５】
この第３の発明では、個々の天板部の左右両側には、蛇腹本体を構成する左右の脚部の少なくとも上端側を保護する側板部がそれぞれ形成され、一方の固定保護板部材又は一方の固定保護板部並びに前記他方の固定保護板部材又は他方の固定保護板部の左右両側には、上記蛇腹本体を構成する左右の脚部の少なくとも上端側を保護する固定側板部がそれぞれ形成されていることから、上記各側板部又は固定側板部により、蛇腹本体の水平部上に該蛇腹本体の左右両側から金属屑や切削液等が侵入する可能性を防止することができるとともに、該蛇腹本体の脚部の少なくとも上端側を保護することが可能となる。
【００１６】
なお、上記各側板部又は固定側板部は、上記各天板部，一方の固定保護板部材又は一方の固定保護板部，他方の固定保護板部材又は他方の固定保護板部の左右両側に形成されていれば良く、その形状や傾斜角度並びにそれらの長さ等は特に限定されるものではない。特に、これら側板部又は固定側板部の長さは、蛇腹本体を構成する左右の脚部の下端近傍まで達する長さとしても良い。
【００１７】
また、第４の発明（請求項４記載の発明）は、上記第１，第２又は第３の何れかの発明において、前記蛇腹本体を構成する左右の脚部の下端には、低摩擦抵抗素材からなるシート体が貼付されてなることを特徴とするものである。
【００１８】
この第４の発明では、蛇腹本体を構成する左右の脚部の下端には、低摩擦抵抗素材からなるシート体が貼付されてなることから、蛇腹本体が最も伸長された際に、左右の脚部の下端が互いに接近するよう変形されこの結果左右の脚部の外側が加工装置に形成された部材に摺接する場合であっても、該部材との摩擦抵抗を低減し、スムーズな蛇腹装置の伸縮動作を実現することができる。なお、上記低摩擦抵抗素材とは、例えば、超高分子量ポリエチレン樹脂，ポリアセタール樹脂（ＰＯＭ），ＡＢＳ樹脂，耐衝撃性ポリスチレン樹脂（ＨＩＰＳ）等を挙げることができる。
【発明の効果】
【００１９】
上記第１の発明（請求項１記載の発明）に係る蛇腹装置では、蛇腹本体に固定された個々の保護部材の形状は、（共通して）天板部，垂下板部，傾斜板部，固定板部を有してなる一方、個々の垂下板部の高さないし幅は、上記蛇腹本体の一端側から他端側に亘って徐々に短いものとされ、上記個々の傾斜板部の高さないし幅は、該蛇腹本体の一端から他端に亘って徐々に長いものとされ、且つ、上記蛇腹本体の最も他端に固定された保護部材は、該保護部材を構成する天板部の先端が該保護部材を構成する固定板部の位置の上方であるか又は上記蛇腹本体の一端側に位置してなることから、該蛇腹本体が最も縮小された際には、該蛇腹本体の最も他端側に固定された保護部材の天板が他端側に突出しない。したがって、この第１の発明に係る蛇腹装置によれば、切断装置，切削装置，穴あけ装置など各種の加工装置の形状や構造を変更する必要性がなく装着することが可能となり、極めて汎用性の高いものとすることができる。
【００２０】
しかも、この第１の発明に係る蛇腹装置では、個々の保護部材を構成する垂下板部の高さないし幅は、上記蛇腹本体の一端側から他端側に亘って徐々に短いものとされてなることから、この蛇腹装置が最も伸長された際も最も縮小された際にも、各天板部は必ず蛇腹本体の一端側から他端側にかけて低くなるよう傾斜した状態となる。したがって、この蛇腹装置によれば、各天板部に加工装置により発生・飛散した金属屑等が付着した場合であっても、該金属屑は蛇腹本体の一端側から他端側にかけて移動され易く、さらに切削液等が加工時に使用される場合には、該切削液とともに金属屑が他端側に流れ易くなり、より一層天板部と天板部との間から蛇腹本体の水平部に金属屑や切削液が侵入する危険性を抑制することができる。
【００２１】
また、第２の発明（請求項２記載の発明）では、一方のエンドプレートには、一方の固定保護板部材が固定され又は一方の固定保護板部が形成され、上記他方のエンドプレートには、他方の固定保護板部材が固定され又は他方の固定保護板部が形成されてなる。そして、この一方の固定保護板部材又は一方の固定保護板部は、蛇腹本体が最も伸長された際、前記個々の保護部材のうちで最も該一方のエンドプレートに近い位置に固定された保護部材を構成する天板部の上部に、先端が位置する。また、上記他方の固定保護板部材又は他方の固定保護板部には、上記個々の保護部材のうちで最も該他方のエンドプレートに近い位置に固定された保護部材を構成する天板部の下部に、先端が位置する。したがって、蛇腹本体の最も一端側に固定された保護部材の天板部により覆われない（カバーされない）該蛇腹本体の部位を、上記一方の固定保護板部材又は一方の固定保護板部により保護することが可能となり、蛇腹本体の最も他端側に固定された保護部材の天板部により覆われない（カバーされない）該蛇腹本体の部位を、上記他方の固定保護板部材又は他方の固定保護板部により保護することが可能となる。
【００２２】
また、この第２の発明では、最も蛇腹本体の一端側に固定された保護部材の天板部の上部には、上記一方の固定保護板部材等の先端が位置していることから、該天板部の先端が上方に移動するように回動する力が作用しても、上記一方の固定保護板部材等により直接的に該移動が規制され、上記最も蛇腹本体の一端側に固定された保護部材よりも蛇腹本体の他端側に固定された全ての保護部材の上方への移動が間接的に制約される。また、最も蛇腹本体の他端側に固定された保護部材の天板部は、上記他方の固定保護板部材等に直接的に支持され、該保護部材よりも蛇腹本体の一端側に固定された全ての保護部材を構成する天板部は、上記他方の固定保護板部材等に間接的に支持される。したがって、この第２の発明によれば、天板部上に屑等が付着するばかりか、重量を有する異物が不用意に落下した場合であっても、全ての天板部は上記他方の固定保護板部材等により直接的又は間接的に下方から支持されており、蛇腹本体により支持されてはいないことから、蛇腹本体への悪影響が防止できるとともに、上記異物の落下により、該異物に当接した天板部の先端が上方に持ち上がるように回動する力が作用したとしても、該天板部は、間接的に（又は直接的に）上記一方の固定保護板部材等により規制することができる。
【００２３】
また、第３の発明（請求項３記載の発明）では、個々の天板部の左右両側には、蛇腹本体を構成する左右の脚部の少なくとも上端側を保護する側板部がそれぞれ形成され、一方の固定保護板部材又は一方の固定保護板部並びに前記他方の固定保護板部材又は他方の固定保護板部の左右両側には、上記蛇腹本体を構成する左右の脚部の少なくとも上端側を保護する固定側板部がそれぞれ形成されていることから、上記各側板部又は固定側板部により、蛇腹本体の水平部上に該蛇腹本体の左右両側から金属屑や切削液等が侵入する可能性を防止することができるとともに、該蛇腹本体の脚部の少なくとも上端側を保護することが可能となる。
【００２４】
また、第４の発明（請求項４記載の発明）では、蛇腹本体を構成する左右の脚部の下端には、低摩擦抵抗素材からなるシート体が貼付されてなることから、蛇腹本体が最も伸長された際に、左右の脚部の下端が互いに接近するよう変形されこの結果左右の脚部の外側が加工装置に形成された部材に摺接する場合であっても、該部材との摩擦抵抗を低減し、スムーズな蛇腹装置の伸縮動作を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明を実施するための最良の形態に係る蛇腹装置１を、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、この実施の形態に係る蛇腹装置１は、半導体ウェーハを切断する図示しない加工装置に装着されるものである。なお、この加工装置は、半導体ウェーハを上面において保持するテーブルと、このテーブルを左右方向（この蛇腹装置１の伸縮方向）に駆動する駆動機構と、上記テーブルの移動空間の両側に位置する一方及び他方の固定部材とから概略構成されてなるものであり、この実施の形態に係る蛇腹装置１は、上記テーブルの左右両側にそれぞれ装着されるものである。
【００２６】
この蛇腹装置１は、図１に示すように、蛇腹本体２と、この蛇腹本体２に固定された保護部材としてのスラット群３とを備えている。上記蛇腹本体２は、図２に示すように、該蛇腹本体２の上面を形成する水平部２ａと、この水平部２ａの左側から垂下してなる左脚部２ｂと、上記水平部２ａの右側から垂下してなる右脚部２ｃとから構成されたいわゆる門型形状に成形されたものである。そして、この蛇腹本体２は、図示しない複数枚貼付された樹脂製シート（符号は省略する。）が上記門型に折曲されるとともに、図１及び図２に示すように、上記水平部２ａ，左脚部２ｂ及び右脚部２ｃにそれぞれ山部２ｄ及び谷部２ｅが交互に形成されるよう折曲されてなるものである。なお、上記左脚部２ｂ及び右脚部２ｃの下端側には、超高分子量ポリエチレン樹脂を素材とした低摩擦抵抗シート４が貼付されている（図１及び図２参照）。この低摩擦抵抗シート４は、上記蛇腹本体２の素材となる樹脂製シートを折曲する前段階において、該樹脂製シートの左右両側に、該樹脂製シートの両端を覆うように貼付されたものである。
【００２７】
また、上記蛇腹本体２を構成する左脚部２ｂの内側と、右脚部２ｃの内側には、それぞれ水遮断部材５，６が貼付されている（図２参照）。これら水遮断部材５，６は、この蛇腹装置１が伸縮動作を繰り返す際に、切削液が蛇腹本体２内において上方に跳ね上げられることを防止するものである。すなわち、この蛇腹装置１が装着される上記加工装置は、上記半導体ウェーハが切断される際に切削液が使用され、該加工装置には、テーブルや蛇腹装置１の上面を通過した切削液が流入する切削液流入溝が左右に形成されており、該蛇腹本体２を構成する上記左脚部２ｂ及び右脚部２ｃの下端側は、この切削液流入溝内に位置した状態で伸縮動作を繰り返すことから、上記水遮断部材５，６は、その際に、切削液が蛇腹本体２内において上方に跳ね上げられることを防止するものである。また、上記蛇腹本体２の水平部２ａの下面であって左側には、図２及び図４に示すように、左制限テープ７が貼付され、右側には右制限テープ８が貼付されている。これら左制限テープ７及び右制限テープ８は、蛇腹本体２が一定以上伸長された場合において緊張され、それ以上該蛇腹本体２が伸長することを防止するものである。
【００２８】
そして、上記蛇腹本体２の一端には、図１及び図５に示すように、一方のエンドプレート１０が固定されている。この一方のエンドプレート１０は、鉄又はステンレススチール等の金属材料からなるものであり、上記蛇腹本体２の幅とほぼ同じ長さを有し、その高さは該蛇腹本体２の上面よりも上方に突出してなる一方の固定板部１０ａと、この一方の固定板部１０ａの上端から逆Ｕ字状に蛇腹本体２の他端側に折曲されてなるＵ字状部１０ｂとから構成されている。なお、この一方のエンドプレート１０は、図５に示すように、蛇腹本体２の最も一端側の部位の内側に配置した押さえ板１１と上記一方の固定板部１０ａとにより該蛇腹本体２の樹脂シートを挟んだ状態でネジ１２により固定されている。そして、上記Ｕ字状部１０ｂの下向きとされた部位には、５つのネジ１３（図４参照）により一方の固定保護板部材１５が固定されている。この一方の固定保護部材１５は、図１及び図５に示すように、一方の固定天板部１５ａと、この固定天板部１５ａの左端から折曲され斜め下方に傾斜してなる固定左側板部１５ｂと、上記固定天板部１５ａの右端から折曲され斜め下方に傾斜してなる固定右側板部１５ｃ（図４参照）と、上記固定天板部１５ａの一端（図５中左側端部）が上方に起立するように折曲されてなる起立板部１５ｄとから構成されている。なお、上記固定天板部１５ａの先端は、図５に示すように、上記固定左側板部１５ｂや固定右側板部１５ｃの端部よりも蛇腹本体２の他端側に突出しているとともに、やや下方に折曲されている。そして、この一方の固定保護板部材１５は、上記起立板部１５ｄが上記５つのネジ１３により上記Ｕ字状部１０ｂに固定されている。なお、上記一方のエンドプレート１０の外側面には、この蛇腹装置１と図示しない加工装置との密着性を向上させるとともに該加工装置を構成するテーブルの駆動に伴い伸縮する蛇腹装置１の振動ないし騒音を吸収するゴム又は発砲樹脂を素材とする弾性板１６が固定されている。
【００２９】
また、上記蛇腹本体２の他端には、図１に示すように、他方のエンドプレート２０が固定されている。この他方のエンドプレート２０は、上記一方のエンドプレート１０と同じ素材からなるものであり、該蛇腹本体２の他端に固定され該蛇腹本体２を構成する水平部２ａの幅とほぼ同じ長さを有してなる（図４参照）とともに、その高さは、図６に示すように、該蛇腹本体２の高さよりもやや上方に突出してなる他方の固定板部２０ａと、この他方の固定板部２０ａの上端から上記一方のエンドプレート１０側に折曲されてなる他方の固定保護板部２０ｂと、上記他方の固定板部２０ａの左端の上端側中途部から上記他方の固定保護板部２０ｂの左端に亘って配置された固定左側板部２０ｃと、上記他方の固定板部２０ａの右端の上端側中途部から上記他方の固定保護板部２０ｂの右端に亘って配置された固定右側板部２０ｄ（図４参照）と、から構成されている。上記他方の固定板部２０ａは、図６に示すように、上記蛇腹本体２の内側に配置された押さえ板２１により該蛇腹本体２の樹脂シートを挟んだ状態でネジ２２により固定されている。また、上記他方の固定保護板部２０ｂは、ほぼ水平か又は基端側が低くなるよう僅かに傾斜してなるものであるとともに、その高さは、上記一方のエンドプレート１０に固定された一方の固定保護部材１５の固定天板部１５ａよりも低い高さとされている。すなわち、この他方の固定保護板部２０ｂの高さと上記固定天板部１５ａの高さとの位置関係は、後述するように、蛇腹装置１が最も収縮した際、この他方の固定保護板部２０ｂの上面と上記一方の固定保護部材１５を構成する固定天板部１５ａの下面との間に後述する個々の保護部材を構成する天板部の全てが収容される位置関係とされている。
【００３０】
そして、上述のように構成された蛇腹本体２の水平部２ａに形成された各山部２ｄには、図１に示すように、上記スラット群３（第１から第１３のスラット３０・・・４２）が固定されている。以下、これらのスラット群３を構成する個々のスラット３０・・・４２について詳細に説明する。これら各スラット３０・・・４２には、図３に示すように、それぞれ共通して、蛇腹本体２の水平部２ａの上方に位置している天板部３０ａ・・・４２ａと、この天板部３０ａ・・・４２ａから垂下してなる垂下板部３０ｂ・・・４２ｂと、この垂下板部３０ｂ・・・４２ｂの下端から折曲され上記天板部３０ａ・・・４２ａと傾斜した状態で対向してなる傾斜板部３０ｃ・・・４２ｃと、この傾斜板部３０ｃ・・・４２ｃから折曲され上記蛇腹本体２を構成する山部２ｄ（図５参照）の近傍に固定された固定板部３０ｄ・・・４２ｄと、上記天板部３０ａ・・・４２ａの左端から下方に傾斜してなる左側板部３０ｅ・・・４２ｅ（図４参照）と、上記天板部３０ａ・・・４２ａの右端から下方に傾斜してなる右側板部３０ｆ・・・４２ｆ（図４参照）とから構成されている。
【００３１】
上記個々の天板部３０ａ・・・４２ａは、図４に示すように、それぞれ蛇腹本体２の幅と同じか又は該幅よりも長尺となされた長さと、該蛇腹本体２に形成された隣合う山部２ｄと山部２ｄとが最も離間された際における該隣合う山部２ｄと山部２ｄとの距離よりも長尺な幅を有する長方形状に成形されてなる。なお、これらの天板部３０ａ・・・４２ａの先端側の中途部は、先端が下方に向くようやや折曲されている（図５及び図６参照）。したがって、例えば、上記一方のエンドプレート１０に最も近い第１のスラット３０の天板部３０ａの先端側は、第２のスラット３１の天板部３１ａ上に必ず位置するとともに、この蛇腹装置１の伸縮動作に伴い、先端は該第２の天板部３１ａ上を摺接し、この第２のスラット３１の天板部３１ａの先端は第３のスラット３２の天板部３２ａ上を摺接する、というように縮小方向に隣合う天板上を摺接する。そして、上記個々の天板部３０ａ・・・４２ａの幅（蛇腹本体２の伸縮方向の長さ）は全て同一とされてなる一方、長さ（蛇腹本体２の伸縮方向と直行する方向の長さ）は、上記第１のスラット３０を構成する天板部３０ａが最も長く、次いで第２・・・第１２のスラット３１・・・４１の天板部３１ａ・・・４１ａは徐々に短いものとされ、第１３のスラット４２を構成する天板部４２ａは最も短いものとされている。但し、これら各天板部３０ａ・・・４２ａの長さは、上記各左側板部３０ｅ・・・４２ｅや右側板部３０ｆ・・・４２ｆの傾斜角度（天板部３０ａ・・・４２ａに対する左側板部３０ｅ・・・４２ｅや右側板部３０ｆ・・・４２ｆの傾斜角度）が広ければ広い程、同一の長さとすることも可能である。
【００３２】
また、図３に示すように、上記個々の天板部３０ａ・・・４２ａから垂下してなる垂下板部３０ｂ・・・４２ｂは、全ての第１ないし第１３のスラット３０・・・４２に共通してそれぞれ長方形状に成形されている。但し、これら個々の垂下板部３０ｂ・・・４２ｂの長さは、上記天板部３０ａ・・・４２ａの長さに対応したものとされ、その一方、高さないし幅は、第１のスラット３０を構成する垂下板部３０ｂが最も長く、第１３のスラット４２を構成する垂下板部４２ｂに至るまで徐々に均等に短いものとされている。また、上記傾斜板部３０ｃ・・・４２ｃは、垂下板部３０ｂ・・・４２ｂの下端から折曲されてなるとともに、上記天板部３０ａ・・・４２ａと傾斜した状態で対向してなり、その形状は長方形状とされている。そして、これら個々の傾斜板部３０ｃ・・・４２ｃの長さは、それぞれ上記天板部３０ａ・・・４２ａの長さに対応しており、その一方、幅ないし高さは、第１のスラット３０を構成する傾斜板部３０ｃが最も短く、第１３のスラット４２を構成する傾斜板部４２ｃに至るまで徐々に均等に長いものとされている。また、上記各固定板部３０ｄ・・・４２ｄは、上記個々の傾斜板部３０ｃ・・・４２ｃから折曲され上記蛇腹本体２を構成する各山部２ｄの近傍に固定されている部位であり、全体形状は長方形状に成形されている。なお、これら第１ないし第１３の保護部材３０・・・４２は、上記各固定板部３０ｄ・・・４２ｄが蛇腹本体２の外側に配置されるとともに該蛇腹本体２の内側には、該固定板部３０ｄ・・・４２ｄの長さよりもやや短いスラット固定プレート４５が配置され、これら固定板部３０ｄ・・・４２ｄとスラット固定プレート４５とにより各山部２ｄの上端側を挟んでそれぞれネジ又はリベット４６（図５参照）により両者を固定した構造で固定されている。また、天板部３０ａ・・・４２ａの左端から下方に傾斜してなる左側板部３０ｅ・・・４２ｅと、上記天板部３０ａ・・・４２ａの右端から下方に傾斜してなる右側板部３０ｆ・・・４２ｆとは、それぞれ同一の形状とされている。
【００３３】
そしてさらに、図６に示すように、上記他方のエンドプレート２０に最も近い第１３のスラット４２は、その構成要素である天板部４２ａの先端位置が、上記固定板部４２ｄの配置位置（最も他端側に形成された山部２ｄの位置）の上方よりも僅かに一方のエンドプレート１０側に位置しているとともに、上記他方のエンドプレート２０を構成する他方の固定保護板部２０ｂ上に位置している。
【００３４】
したがって、上述したこの実施の形態に係る蛇腹装置１を、例えば、上記一方のエンドプレート１０を介して図示しないテーブルに固定する一方、他方のエンドプレート２０を図示しない固定部材に固定する（とともにもう一つの蛇腹装置１を上記テーブルと他方の固定部材に固定する）ことにより、図示しない加工装置に装着し、この状態において上記テーブルが図示しない駆動機構により移動して、図１及び図４に示すように、該蛇腹装置１が最も伸張された際、及び、図７に示すように、最も縮小された際も、蛇腹本体２の上方は、上記一方のエンドプレート１０に固定された一方の固定保護部材１５の固定天板部１５ａと、上記スラット群３（第１ないし第１３のスラット３０・・・４２）を構成する各天板部３０ａ・・・４２ａと、上記他方のエンドプレート２０を構成する他方の固定保護板部２０ｂとにより保護される。また、蛇腹本体２の左側は、上記固定左側板部１５ｂと、第１ないし第１３のスラット３０・・・４２を構成する左側板部３０ｅ・・・４２ｅと、他方のエンドプレート２０を構成する左側板部２０ｃにより保護される。また、蛇腹本体２の右側は、上記固定右側板部１５ｃと、第１ないし第１３のスラット３０・・・４２を構成する右側板部３０ｆ・・・４２ｆと、他方のエンドプレート２０を構成する右側板部２０ｄにより保護される。このとき、上記一方のエンドプレート１０に固定された一方の固定保護部材１５の固定天板部１５ａは、最も高いところに位置し、上記第１ないし第１３のスラット３０・・・４２を構成する天板部３０ａ・・・４２ａは徐々に下方に傾斜しており、上記他方のエンドプレート２０を構成する他方の固定保護板部２０ｂは最も低いとことに位置している。すなわち、一方の固定保護部材１５の固定天板部１５ａから他方の固定保護板部２０ｂに至るまでは傾斜していることから、例えば、加工装置により加工する際に切削液が使用された場合、この切削液は、上記他方のエンドプレート２０側に移動する。
【００３５】
そして、図１に示すように、該蛇腹装置１が最も伸張された状態から、上記テーブルが駆動機構により駆動して、該蛇腹装置１が徐々に縮小されて行くと、一方の固定保護部材１５の固定天板部１５ａは、第１のスラット３０を構成する天板部３０ａ上を他方のエンドプレート２０側に移動し、該第１のスラット３０を構成する天板部３０ａも、第２のスラット３１の天板部３１ａ上を同じように移動し、図７に示すように、蛇腹装置１が最も縮小された場合には、他方のエンドプレート２０を構成する他方の固定保護板部２０ｂ上に第１３のスラット４２の天板部４２ａのほぼ全体が移動し、この天板部４２ａ上に第１２のスラット４３の天板部４３ａのほぼ全体が移動するというように、ほぼ全ての天板部３０ａ・・・４２ａが、他方の固定保護板部２０ｂと一方の固定保護部材１５の固定天板部１５ａとの間に収容され、上記第１３のスラット４２の天板部４２ａの先端は勿論、第１ないし第１２のスラット３０・・・４１を構成する天板部３０ａ・・・４１ａも上記他方の固定板部２０ａよりも図７中左側に突出しない。また、上記各天板部３０ａ・・・４２ａの先端側は、該各天板部３０ａ・・・４２ａの先端が下方に向くようにやや折曲されていることから、上記蛇腹装置１の縮小動作により、各天板部３０ａ・・・４２ａ上に付着した塵埃や屑を他方のエンドプレート２０側に掻きながら移動させられる。
【００３６】
また、上述した蛇腹装置１では、蛇腹本体２を構成する左脚部２ｂ及び右脚部２ｃの下端には、前述した低摩擦抵抗シート４がそれぞれ貼付されていることから、図７に示すように、蛇腹装置１が最も縮小した状態から、図１に示すように、最も伸張される際に、該左脚部２ｂと右脚部２ｃとの下端が互いに接近するよう変形し、この結果、図示しない加工装置の板に摺接することとなった場合であっても、該蛇腹装置１の伸縮動作に影響を受けないことは勿論、摩擦による異音の発生や破れなどを有効に防止することができる。
【００３７】
なお、上記実施の形態に係る蛇腹装置１では、固定左側板部１５ｂ，左側板部３０ｅ・・・４２ｅ，左側板部２０ｃや、固定右側板部１５ｃ，右側板部３０ｆ・・・４２ｆ，右側板部２０ｄをそれぞれ構成要素としたが、本発明は必ずこれらの要素を構成しなければならないものではない。また、上記実施の形態に係る蛇腹装置１では、本発明の構成要素である一方の固定保護板部材として、一方のエンドプレート１０とは別体である上記一方の固定保護板部材１５又はこの一方の固定保護板部材１５を構成する固定天板部１５ａを図示して説明したが、本発明では、上記一方のエンドプレート１０の構成要素として、一方の固定保護部が形成されているものであっても良い。また、上記実施の形態に係る蛇腹装置１では、本発明の構成要素である他方の固定保護板部として、他方のエンドプレート２０に他方の固定保護板部２０ｂを形成したものを図示して説明したが、本発明を構成する上記他方の固定保護板部材が、上記他方のエンドプレート２０に、該他方のエンドプレート２０とは別体の固定保護板部材を固定したものであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】実施の形態に係る蛇腹装置を最も伸長した状態を示す左側面図である。
【図２】図１に示す蛇腹装置を最も縮小した状態における正断面図である。
【図３】図１に示す蛇腹装置の左側断面図である。
【図４】図１に示す蛇腹装置の平面図である。
【図５】図１に示す蛇腹装置の一端側の構成を拡大して示す拡大左側面図である。
【図６】図１に示す蛇腹装置の他端側の構成を拡大して示す拡大左側面図である。
【図７】図１に示す蛇腹装置を最も縮小した状態を拡大して示す拡大左側断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１    蛇腹装置
２    蛇腹本体
２ａ    水平部
２ｂ    左脚部
２ｃ    右脚部
２ｄ    山部
２ｅ    谷部
４    低摩擦抵抗シート
１０    一方のエンドプレート
１５ａ    固定天板部
１５ｂ    固定左側板部
１５ｃ    固定右側板部
２０  他方のエンドプレート
２０ｂ    他方の固定保護板部
２０ｃ    左側板部
２０ｄ    右側板部
３０・・・４２    第１ないし第１３のスラット
３０ａ・・・４２ａ    天板部
３０ｂ・・・４２ｂ    垂下板部
３０ｃ・・・４２ｃ    傾斜板部
３０ｄ・・・４２ｄ    固定板部
３０ｅ・・・４２ｅ    左側板部
３０ｆ・・・４２ｆ    右側板部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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