(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレキシブル基板とプローブ基板とを重ねた状態で、プローブ支持体と固定部材との間に挟み込んで固定し、
前記プローブ基板のプローブと、
電極パターンの電極部と
を画像撮影装置および移動機構を用いて位置決めしたのち接触させることにより、前記電極パターンの導通検査を行う導通検査装置であって、
前記プローブ支持体における前記フレキシブル基板と前記プローブ基板とが固定される部分を、外形が四角錐に形成されたプローブ固定部で構成し、
前記固定部材を、
前記プローブ基板と前記フレキシブル基板の接合部の幅方向の長さよりも長く設定され、中央部に前記プローブ基板と前記フレキシブル基板の接合部とを位置決めする凹部が形成された押さえ具と、
前記押さえ具の両端側を前記プローブ固定部の四角錐の各表面に着脱自在に固定するボルトからなる固定具と
で構成し、
前記プローブ固定部の内部中央に、収容凹部と、前記収容凹部から前記プローブ固定部の先端を介して外部に通じる通光路とを設け、前記収容凹部に、前記画像撮影装置に向けて発光装置を取り付けたことを特徴とする導通検査装置。
【請求項２】
前記プローブ基板と前記フレキシブル基板の接合部と、前記押さえ具との間に弾性層を介在させた請求項１に記載の導通検査装置。
【請求項３】
前記プローブ基板と前記フレキシブル基板の間に異方性導電ゴムからなる層を介在させた請求項１または２に記載の導通検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブ基板とフレキシブル基板の接合部をプローブ支持体に着脱自在に固定した導通検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、電極パターンを有する基板の回線を電気導通の有無により検査することが行われており、例えば、特開２０００−２４９７３８号公報に開示された装置がある。この装置は、基板の電極パターンに対し、下面にプローブを突出させたプローブ支持体を移動させて、電極パターンの電極部とプローブを接触させることにより、電極パターンの導通の有無を検査するものである。そして、電極パターンとプローブとの位置決めはＣＣＤカメラによる撮影画像に基づいて行われる。
【０００３】
前記装置では、プローブのプローブ支持体への取り付けは、プローブ支持体の内側で圧縮ばねにプローブを支持させることによってなされ、そのプローブの先端部はプローブ支持体の下端に設けられた被取付体の孔を挿通して、被取付体の下面から進退自在になっている。また、従来の他の装置には、プローブ支持体に対して、プローブ基板をねじで固定したり、接着剤で固定したものもある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の装置では、プローブ支持体の被取付体にプローブが挿通するための孔を設けるため、被取付体に取り付けるプローブの数や被取付体の小型化に制限がある。したがって、この装置では、プローブ支持体に多数のプローブを取り付けることができず、複雑な形状の電極パターンの導通検査ができないという問題や、微細電極パターンを有する基板の導通検査ができないという問題がある。
【０００５】
また、プローブ基板をねじでプローブ支持体に固定すると、多数のプローブの取付けは可能になるが、プローブ基板がねじ止めされた一部の部分に応力が集中してしまい、プローブ基板が破損し易いという問題がある。一方、プローブ基板を接着剤でプローブ支持体に固定すると、プローブ基板の取替え時の作業性が悪くなるという問題がある。さらに、ねじを用いた場合と接着剤を用いた場合の双方において、プローブ基板と、プローブ基板に接合されるフレキシブル基板との接合部に剥離が生じ易いという問題がある。
【０００６】
【発明の概要】
本発明は、上記した問題に対処するためになされたもので、その目的は、プローブ基板に対して応力の集中をなくすことによりプローブ基板の破損を防止するとともに、プローブ基板とフレキシブル基板の接合部の剥離を防止し、さらには、プローブ基板の着脱が容易になる導通検査装置を提供することである。
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明に係る導通検査装置の特徴は、フレキシブル基板とプローブ基板とを重ねた状態で、プローブ支持体と固定部材との間に挟み込んで固定し、プローブ基板のプローブと、電極パターンの電極部とを画像撮影装置および移動機構を用いて位置決めしたのち接触させることにより、電極パターンの導通検査を行う導通検査装置であって、プローブ支持体におけるフレキシブル基板とプローブ基板とが固定される部分を、外形が四角錐に形成されたプローブ固定部で構成し、固定部材を、プローブ基板とフレキシブル基板の接合部の幅方向の長さよりも長く設定され、中央部にプローブ基板とフレキシブル基板の接合部とを位置決めする凹部が形成された押さえ具と、押さえ具の両端側をプローブ固定部の四角錐の各表面に着脱自在に固定するボルトからなる固定具とで構成し、プローブ固定部の内部中央に、収容凹部と、収容凹部からプローブ固定部の先端を介して外部に通じる通光路とを設け、収容凹部に、画像撮影装置に向けて発光装置を取り付けたことにある。
【０００８】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、プローブ基板とフレキシブル基板の接合部に押さえ具を当て、その押さえ具の両端側を固定具によって、プローブ支持体の表面に着脱自在に固定することにより、プローブ基板をプローブ支持体に取り付けることができる。そして、前記接合部が当接する押さえ具の長さは接合部の幅よりも長く形成されているため、押さえ具の押圧力による応力が接合部の幅方向全体に分散して、特定箇所に応力が集中するということがなくなり、応力集中によるプローブ基板の破損がなくなる。
【０００９】
また、プローブ基板とフレキシブル基板は、プローブ支持体と押さえ具によって、互いに押圧されるようになり、この結果、プローブ基板とフレキシブル基板の接合部の剥離が防止される。これらの効果を奏することによって、さらに、強固な締め付け固定が可能になる。また、固定具が着脱自在であるため、プローブ基板の取り付けや交換が容易になる。さらに、プローブ基板をプローブ支持体の表面に固定するため、多数のプローブの取り付けが可能になる。また、本発明によると、発光装置からの透過光を利用してプローブや電極パターンの撮影をすることができるため、ハレーションがなくなって、良好な画像を得ることができる。この結果、精度のよい位置決めができ、適正な導通検査が行えるようになる。
【００１０】
また、本発明の他の構成上の特徴は、プローブ基板とフレキシブル基板の接合部と、押さえ具との間に弾性層を介在させたことにある。これによると、接合部に対する接触面が柔らかくなるため、さらに、接合部にかかる応力を分散させることができるとともに、押さえ具の押圧によって、プローブ基板が傷つくといったことが防止できる。
【００１１】
また、本発明の他の構成上の特徴は、プローブ基板とフレキシブル基板の間に異方性導電ゴムからなる層を介在させたことにある。これによると、プローブ基板のプローブとフレキシブル基板の配線との導電性が良好になり、プローブとフレキシブル基板の配線の接触部に多少のずれが生じていても正常に導通するようになる。この結果、電極パターンの導通が良好であるにもかかわらず、導通していないと判断するような誤った検査結果がなくなる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。図１は同実施形態に係る導通検査装置に備わったプローブヘッドを示す正面図であり、図２はその主要部分の底面図である。このプローブヘッド１０は、シート状の基板に設けられた電極パターンが適正に導通しているかどうかを検査するものであり、中央のコネクタ取付け部１１と、そのコネクタ取付け部１１の側面に連なって取り付けられた２個の枠状のコネクタ取付け部１２ａ，１２ｂと、コネクタ取付け部１１の下面に取り付けられたプローブ固定部１３とからなるプローブ支持体１４を備えている。
【００１４】
コネクタ取付け部１１は、正面に作業用の窓部１１ａが設けられ、図３および図４に示すように、左右側面および背面にも同様の作業用の窓部１１ｂ，１１ｃ，１１ｄが設けられた四角立体の枠状に形成され、その内部に、取付け片１１ｅが設けられている。そして、この取付け片１１ｅに複数個のコネクタ１５が取り付けられている。コネクタ取付け部１２ａ，１２ｂは、ともに縦断面形状がコ字状の枠状体に形成され、そのコ字状の縦片１２ｃ，１２ｄに、それぞれ複数個のコネクタ１５が取り付けられている。
【００１５】
プローブ固定部１３は、上部側部分の形状が四角状で、下部側部分の形状が略四角錐に形成され、上部側部分がボルト１６ａ，１６ｂおよびボルト１６ｃ，１６ｄによって、コネクタ取付け部１１の下面に取り付けられている。そして、プローブ固定部１３の内部には、収容凹部１３ａが設けられて、その収容凹部１３ａの底面に、外部に通じる通光路１３ｂが設けられている。また、収容凹部１３ａ内には、ＬＥＤからなる発光体１７が収容されて、発光体１７から発光される光が通光路１３ｂを通って下方に放射されるようになっている。この発光体１７は、２個のボルト１７ａ，１７ｂによって、収容凹部１３ａ内に固定されている。
【００１６】
また、プローブ固定部１３の下面四箇所には、先端に細線状のプローブ１８ａが突出したプローブ基板１８が、押さえ具としての押さえ板１９ａ，１９ｂ，１９ｃと固定具としてのボルト２０ａ，２０ｂ，２０ｃによって固定されている。このうち、図３（ｂ）に示した面とその面と対称位置にある面へのプローブ基板１８の取り付け構造は、図５および図６に示すようになっている。
【００１７】
すなわち、プローブ基板１８の上に異方性導電ゴムからなるシート層２１を積層し、そのシート層２１の上面に、さらにフレキシブル基板２２の端部側を積層して接合部２２ａを形成している。そして、この接合部２２ａの上面を、弾性ゴム層２３を介して、押さえ板１９ａで押圧した状態で、プローブ固定部１３の下面（図５および図６では上面になっている）にボルト２０ａで固定している。
【００１８】
これをより詳しく説明すると、押さえ板１９ａは、下面中央部に凹部１９ｄが形成され、その凹部１９ｄ内に、弾性ゴム層２３と、プローブ基板１８、シート層２１およびフレキシブル基板２２からなる接合部２２ａとを、弾性ゴム層２３を凹部１９ｄの奥側にして重ねた状態で位置決めしている。そして、押さえ板１９ａの両端の肉圧部１９ｅに設けられた挿通穴（図示せず）にボルト２０ａを挿通させ、このボルト２０ａのねじ部をプローブ固定部１３に設けたねじ穴（図示せず）に螺合させることにより、接合部２２ａを押さえ板１９ａの薄肉部１９ｆでプローブ固定部１３に押圧した状態で固定している。
【００１９】
また、図４（ｂ）示した面とその面と対称位置にある面には、それぞれ内側と外側の２個のプローブ基板１８が取り付けられている。内側のプローブ基板１８は、幅広の押さえ板１９ｂとボルト２０ｂとによって、図５および図６に示したプローブ基板１８と同様、シート層２１およびフレキシブル基板２２とともに、弾性ゴム層２３を介して、プローブ固定部１３の下面に固定されている。
【００２０】
そして、押さえ板１９ｂの下面に、内側のプローブ１８と同様、フレキシブル基板２２等とで構成された外側のプローブ基板１８の接合部２２ａが、幅の狭い押さえ板１９ｃおよびボルト２０ｃによって固定されている。なお、押さえ板１９ａは、押さえ板１９ｂと比較して、幅は略等しく、長さは短く設定されている。また、押さえ板１９ｂは、押さえ板１９ｃと比較して、幅は狭く、長さは略等しく設定されている。
【００２１】
これらのプローブ基板１８は、それぞれ接合部２２ａでフレキシブル基板２２に接続されたのち、コネクタ取付け部１１，１２ａ，１２ｂに設けられたコネクタ１５に接続され、さらに、コネクタ１５によって接続されたフラットケーブル２４を介して図示せぬ検査装置に接続されている。また、このプローブ固定部１３の下面に固定される六個のプローブ基板１８の先端に突出するプローブ１８ａの平面上における全体形状は、導通検査が行われる電極パターンにおける電極部（図示せず）と同形になるように設定され、その電極部にプローブ１８ａの先端部を接触させることにより導通の検査が行えるようになっている。
【００２２】
このように構成されたプローブヘッド１０は、図７ないし図９に示した導通検査装置の本体部分２５に、図１０に示した状態に組み付けられる。すなわち、図７は、画像撮影装置および画像撮影装置を移動させる移動機構を含む本体部分２５の概略を示す正面図であり、図８および図９はその各部分を示す平面図である。この本体部分２５は、台部２６の上面に、画像撮影装置としてのＣＣＤカメラ２７と、そのＣＣＤカメラ２７を移動させるＸ軸移動機構２８およびＹ軸移動機構２９が設けられて構成されている。
【００２３】
ＣＣＤカメラ２７は台部２６の上面と平行する水平面内で移動可能に組付けられており、Ｘ軸移動機構２８によって、Ｘ軸方向（図７ないし図９における台部２６の長手方向に沿う方向）に移動可能で、Ｙ軸移動機構２９によって、Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動可能になっている。
【００２４】
Ｘ軸移動機構２８は、台部２６の上面に配設されたモータ３０と、このモータ３０の回転軸３０ａに連結されＸ軸方向に延びるボールねじ３１と、縦断面形状が凹形のレール部３２と、レール部３２に沿って移動する移動部材３３とで構成されている。レール部３２は、支持部材３４ａ，３４ｂを介して台部２６の上面にＸ軸方向に沿って取り付けられており、その凹部内に移動部材３３が摺動可能に取り付けられている。また、移動部材３３にはねじ穴（図示せず）が設けられて、このねじ穴にボールねじ３１が螺合している。
【００２５】
前記レール部３２の凹部両端には、それぞれ図示せぬ穴部が設けられた壁部３２ａ，３２ｂが、その上部側を凹部から上方に突出させた状態で取り付けられており、壁部３２ａの穴部には、モータ３０の回転軸３０ａが挿通し、壁部３２ｂの穴部にはボールねじ３１の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モータ３０の駆動により、回転軸３０ａが回転すると、回転軸３０ａとともにボールねじ３１が回転し、それによって、移動部材３３がレール部３２に沿って移動する。
【００２６】
Ｙ軸移動機構２９は、移動部材３３の上面に取り付けられたレール部３５と、このレール部３５の一端に固定されたモータ３６と、このモータ３６の回転軸３６ａに連結されたボールねじ３７と、レール部３５に沿って移動する移動部材（図１１（ｂ）参照）３８とで構成されている。レール部３５はレール部３２と同形に形成されており、レール部３２と直交するＹ軸方向に沿って配設され、その凹部内に移動部材３８が摺動可能に取り付けられている。また、移動部材３８にはねじ穴３８ａが設けられて、このねじ穴３８ａにボールねじ３７が螺合している。
【００２７】
そして、この移動部材３８の下部側の両側には、突条３８ｂ，３８ｃが突設され、この突条３８ｂ，３８ｃに対応するレール部３５の両内側面には突条３８ｂ，３８ｃと摺接する溝部がそれぞれ設けられている。これによって、移動部材３８は、レール部３５から浮き上がったり、がたついたりすることなく、レール部３５に沿ってスムーズに移動できる。なお、この突条と溝部は、移動部材３３とレール部３２にも形成されており、それによって、移動部材３３は、レール部３２に沿ってスムーズに移動可能になっている。
【００２８】
さらに、レール部３２と同様、レール部３５の両端にも、それぞれ穴部が設けられた壁部３５ａ，３５ｂが取り付けられており、壁部３５ａの穴部には、モータ３６の回転軸３６ａが挿通し、壁部３５ｂの穴部にはボールねじ３７の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モータ３６を駆動させると、回転軸３６ａおよびボールねじ３７が回転し、それによって、移動部材３８がレール部３５に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００２９】
また、移動部材３８の上面には、図１１（ａ），（ｂ）に示すような板状のキャリッジベース３９が取り付けられ、そのキャリッジベース３９の一端に上下調節部４０を介してＣＣＤカメラ２７が取り付けられている。上下調節部４０の下面には、ＣＣＤカメラ２７の高さを調節する調節ねじ４０ａが設けられ、前側面には、調節ねじ４０ａによって調節された高さにＣＣＤカメラ２７を固定するための固定ねじ４０ｂが設けられている。また、上下調節部４０の上方には、断面Ｌ形の取り付け片４１が取付けられ、その水平部４１ａの上面にリング状の照明装置４２が取り付けられている。なお、水平部４１ａには、ＣＣＤカメラ２７のレンズ部２７ａが挿通する挿通穴が設けられており、レンズ部２７ａは、この挿通穴および照明装置４２の中心穴を挿通して、その上端を上方に露呈させている。
【００３０】
また、キャリッジベース３９の他端には、水平状の取り付け片４３が取り付けられ、その取り付け片４３の上面に、内部がケーブル４５を収容する空洞４４ａになったキャタピラー状のケーブルガイド４４の先端部が固定されている。なお、レール部３５の先端部にも同様のケーブルガイド４６の先端部が固定されている。
【００３１】
また、台部２６の上面におけるＸ軸移動機構２８の周囲に対応する部分には、それぞれ支柱４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄがボルト４８ａ，４８ｂ，４８ｃ，４８ｄによって固定されている。そして、その支柱４７ａ，４７ｂの上面および支柱４７ｃ，４７ｄの上面にそれぞれ、上面が水平面に形成された細板状の基台４９ａおよび４９ｂが掛け渡されている。
【００３２】
さらに、台部２６の上面における支柱４７ａ，４７ｂおよび支柱４７ｃ，４７ｄを囲む両外側部分には、基台４９ａ，４９ｂの上面と略高さの等しい平板状の支持板５０ａ，５０ｂがボルト５１ａ，５１ｂの固定により立設されている。そして、基台４９ａ，４９ｂおよび支持板５０ａ，５０ｂの上面にそれぞれ架け渡された状態で、５本のシャフト５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅが一定間隔を保って載置されている。これらのシャフト５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅは、すべて同径同長で真っ直ぐの丸棒で形成されている。
【００３３】
また、基台４９ａ，４９ｂおよび支持板５０ａ，５０ｂの上面における各シャフト５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅの間およびシャフト５２ｅの前方側部分（シャフト５２ｅ側を前方側とし、シャフト５２ａ側を後方側とする。）には、図９に示すように、それぞれ、水平板５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄ，５３ｅ，５３ｆが、各シャフト５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅを、多少の自由度を持たせた状態で位置決めするように取り付けられている。なお、水平板５３ｂと５３ｃの間には、ＣＣＤカメラ２７のレンズ部２７ａおよび照明装置４２を上方に露呈するための窓部となる隙間が設けられ、その隙間に透明のアクリル板からなる透かし部５３ｇが取り付けられている。
【００３４】
台部２６の上面におけるＸ軸方向に沿う両側の後方側（シャフト５２ａの両端側）には、それぞれ柱５４ａ，５４ｂが立設され、各シャフト５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５２ｄ，５２ｅおよび水平板５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄ，５３ｅ，５３ｆの周囲には枠台５５が設けられている。そして、枠台５５の前方側には、操作パネル５６が設けられている。
【００３５】
また、台部２６の後方には、ＸＹテーブル駆動装置（一部しか図示していない）５７が設置されている。このＸＹテーブル駆動装置５７には、Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構（ともに台部２６の内部に設置されている）およびθ軸移動機構５８が備わっている。そして、このＸＹ駆動装置５７は、図１２に示したＸＹテーブル５９を支持するとともに、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向（水平面上で回転する方向）に移動させる。ＸＹテーブル５９は、係合穴５９ａをθ軸移動機構５８のモータ５８ａに連結された係合軸５８ｂに係合させて、ＸＹテーブル駆動装置５７のＸＹテーブル取付部５７ａに固定されている。そして、モータ５８ａを駆動させることにより、θ軸方向に回転する。
【００３６】
また、台部２６の内部に設置されたＸ軸移動機構、Ｙ軸移動機構は、Ｘ軸移動機構２８、Ｙ軸移動機構２９と同様に構成され、それぞれ備わったモータを駆動させることにより、ＸＹテーブル５９をθ軸移動機構５８とともに、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。
【００３７】
ＸＹテーブル５９の下面には、枠状のベース６０が取り付けられ、ベース６０の上面に、図１３に示した透明アクリル板からなる固定テーブル６１が取り付けられている。ベース６０の下面両側には、一対の細径のシャフト６２が、シャフト支持部６２ａによって取り付けられている。この一対のシャフト６２は、シャフト５２ｂ，５２ｃ等と直交して点接触できる状態で配設されており、これによってベース６０および固定テーブル６１の水平度が良好に保たれる。
【００３８】
また、ベース６０の上面における両側中央部には、ガイドピン６３ａ，６３ｂが立設されており、このガイドピン６３ａ，６３ｂに対応するＸＹテーブル５９における取付け部５９ｂの部分には、挿通穴を有するベアリング等からなる摺動支持部５９ｂ，５９ｃが設けられている。このため、摺動支持部５９ｂ，５９ｃの挿通穴にガイドピン６３ａ，６３ｂを挿通させることにより、ベース６０は、ＸＹテーブル５９に対して上下に摺動できるようになっている。
【００３９】
固定テーブル６１は、複数の電極パターンがプリントされたシート状の基板を固定するためのもので、上面に格子状のエア抜き用線状溝６１ａおよび幅広の浅い溝６１ｂが設けられている。また、この固定テーブル６１には、エア抜き用の吸引装置（図示せず）がホース６４ａおよび継手６４ｂ等を介して接続されており、固定テーブル６１上にシート状の基板を設置した状態で、吸引装置を駆動させると、固定テーブル６１の上面に基板が吸引固定される。
【００４０】
また、柱５４ａ，５４ｂの上端を結ぶ部分にはレール部を備えた支持部（図示せず）が架け渡されており、この支持部に、前述したプローブヘッド１０をそれぞれＺ軸方向（上下方向）に移動させるためのＺ軸移動機構が設けられている。そして、この機構に、連結部材６５を介して２個のプローブヘッド１０が吊設されている。
【００４１】
なお、この導通検査装置には、前述した各装置等の他に、画像処理装置や位置制御用のマイクロコンピュータが設けられており、ＣＣＤカメラ２７が捉える画像を画像処理して位置データに変換するとともに、電極パターンの電極部とプローブ１８ａとの二つの位置データの差を補正データとしてＸ軸移動機構２８、Ｙ軸移動機構２９およびＸＹテーブル駆動装置５７のＸ軸移動機構、Ｙ軸移動機構およびθ軸移動機構５８に出力する機能を有する。
【００４２】
このような構成において、基板に設けられた複数の電極パターンに沿って、その各電極パターンの導通検査を行う際には、ＣＣＤカメラ２７でプローブヘッド１０を撮影しながら、Ｘ軸移動機構２８およびＹ軸移動機構２９を駆動してＣＣＤカメラ２７のレンズ部２７ａがプローブヘッド１０のプローブ１８ａの真下に位置するようにする。
【００４３】
そして、ＸＹテーブル５９に取り付けられた固定テーブル６１の上面にシート状基板を載置するとともに、エア抜き用の吸引装置を作動させて、固定テーブル６１の上面と基板の間を吸気することにより、基板を固定テーブル６１上に固定する。ついで、ＸＹテーブル駆動装置５７のＸ軸移動機構およびＹ軸移動機構を駆動して、ワークの電極パターンの位置が透かし部５３ｇの位置に合うように、固定テーブル６１を移動させる。つぎに、θ軸移動機構５８を駆動して、電極パターンの縦横の並びがＹ軸方向およびＸ軸方向に揃うように、固定テーブル６１を回転させる。
【００４４】
そして、電極パターンの並びがＹ軸方向およびＸ軸方向に揃った状態で、ＣＣＤカメラ２７によって電極パターンのうちの最初に導通検査をする電極パターンを撮影しながら、ＸＹテーブル駆動装置５７のＸ軸移動機構およびＹ軸移動機構を駆動して、その電極パターンの位置とプローブヘッド１０のプローブ１８ａの位置を合わせて一致させる。
【００４５】
そして、Ｚ軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド１０を下降させて、プローブ１８ａを電極パターンの被接触部に接触させる。これによって、電極パターンが導通しているかどうかの検査ができ、その結果が、検査装置に表示される。ついで、次の電極パターンの検査を行う場合には、Ｚ軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド１０を上昇させ、その状態で、Ｘ軸移動機構またはＹ軸移動機構を駆動して、次の電極パターンの位置とプローブヘッド１０の位置を合わせる。
【００４６】
そして、Ｚ軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド１０を下降させて、プローブ１８ａを電極パターンの電極部に接触させる。これによって、この電極パターンが導通しているかどうかの検査ができる。なお、この導通検査装置には、２個のプローブヘッド１０が設けられているため、最初の検査終了後、他のプローブヘッド１０の位置にＣＣＤカメラ２７を移動させ、そのプローブヘッド１０と、その下方の電極パターンの位置決めを行い、その電極パターンの導通検査を行うことができる。このように、プローブヘッド１０が２個備わっており、かつ、ＣＣＤカメラ２７が移動可能になっているため、二箇所で順次操作を進めることができる。
【００４７】
上記の操作を繰り返すことにより、すべての電極パターンについて導通検査を行うことができる。また、プローブヘッド１０のプローブ基板１８を他のプローブ基板と交換する際には、ボルト２０ａ，２０ｂ，２０ｃを緩めることによって、押さえ板１９ａ，１９ｂ，１９ｃを外し、プローブ基板１８とフレキシブル基板２２の接合部をプローブ支持体１４から離す。つぎに、プローブ基板１８を接合部の他の部分から剥離して取り除き、新たに取り付けるプローブ基板の端部をその接合部に組み合わせる。
【００４８】
そして、その接合部を、押さえ板１９ａ，１９ｂ，１９ｃの凹部１９ｄ内に入れた状態で、押さえ板１９ａ，１９ｂ，１９ｃをプローブ固定部１３の所定位置に位置決めし、ボルト２０ａ，２０ｂ，２０ｃで固定する。これによって、プローブ基板の交換ができる。また、全部のプローブ基板を交換するのではなく、破損等が生じて交換の必要がでた場合には、その対象のプローブ基板を固定している押さえ板とボルトを着脱操作することによって、そのプローブ基板の交換を行う。
【００４９】
このように、この導通検査装置では、押さえ板１９ａ，１９ｂ，１９ｃとボルト２０ａ，２０ｂ，２０ｃとで、プローブ基板１８とフレキシブル基板２２の接合部２２ａを固定するため、プローブ基板１８の着脱が容易になる。また、接合部２２ａと押さえ板１９ａ，１９ｂ，１９ｃの間にそれぞれ弾性ゴム層２３を配設しているため、接合部２２ａにおけるプローブ基板１８に破損が生じなくなるとともに、プローブ基板１８とフレキシブル基板２２の剥離が生じなくなる。このため、検査不良もなくなる。
【００５０】
また、押さえ板１９ａ，１９ｂ，１９ｃとボルト２０ａ，２０ｂ，２０ｃからなる複数個の固定部材を一個のプローブ支持体１４に取り付け可能ができるため、多数のプローブ基板１８を取り付けることができるようになる。さらに、ＣＣＤカメラ２７で電極パターンやプローブ１８ａを撮影する際、ＣＣＤカメラ２７側に取り付けられた照明装置４２で被撮影物側を照射して、鮮明な画像が得られるようにしているとともに、プローブヘッド１０に設けた発光体１７を発光させることにより、ハレーションの発生を防止し、良好な画像が得られるようにしている。
【００５１】
また、透かし部５３ｇおよび固定テーブル６１が透明体で構成されているため、ＣＣＤカメラ２７、電極パターンおよびプローブヘッド１０を一直線上に位置させることができる。このため、ＣＣＤカメラ２７の撮影角度にいわゆるオフセットがなくなって、電極パターンの精度のよい位置決めができ、その結果、適正な導通検査ができるようになる。
【００５２】
なお、前記実施形態では、押さえ具を、凹部１９ｄが設けられた押さえ板１９ａ，１９ｂ，１９ｃで構成しているが、本発明は、これに限定するものではなく、凹部のない平板でもよいし、断面形状が四角や丸の棒状体でもよい。また、丸棒を複数個連ねて一体化した板状体でもよく、要は、接合部２２ａの幅方向全体に押さえ具の押圧力による応力を分散させて固定できるものであれば何でも良い。  さらに、弾性層もゴムに限らず、発泡スチロールやスポンジ等、層状に形成でき弾性を有するものであれば何でも使用することができる。また、透かし部５３ｇを透明の板で構成しているが、透かし部５３ｇは何もない単なる窓で構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態による導通検査装置に備わったプローブヘッドの正面図である。
【図２】  プローブヘッドの要部を示す底面図である。
【図３】  （ａ）はプローブヘッドの左側面図であり、（ｂ）はその下面における一面を説明する図である。
【図４】  （ａ）はプローブヘッドの背面図であり、（ｂ）はその下面における一面を説明する図である。
【図５】  プローブの固定状態を示す斜視図である。
【図６】  プローブの固定状態を示す縦断面図である。
【図７】  導通検査装置の本体部分を示す概略正面図である。
【図８】  図７の平面図である。
【図９】  導通検査装置の本体部分にシャフトと水平板を並設した状態を示す平面図である。
【図１０】  ＸＹテーブルがＸＹテーブル駆動装置に取り付けられた状態を示す正面図である。
【図１１】  （ａ）はＣＣＤカメラが取り付けられたキャリッジベースの平面図であり、（ｂ）はその正面図である。
【図１２】  ＸＹテーブルの平面図である。
【図１３】  （ａ）は固定テーブルの平面図であり、（ｂ）はその一部を切り欠いた正面図である。
【符号の説明】
１０…プローブヘッド、１３…プローブ固定部、１３ａ…収容凹部、１３ｂ…通光路、１４…プローブ支持体、１７…発光体、１８…プローブ基板、１８ａ…プローブ、１９ａ，１９ｂ．１９ｃ…押さえ板、２０ａ，２０ｂ．２０ｃ…ボルト、２１…シート層、２２…フレキシブル基板、２２ａ…接合部、２３…弾性ゴム層、２７…ＣＣＤカメラ、２８…Ｘ軸移動機構、２９…Ｙ軸移動機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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