(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
上向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降した後の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、エンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の座標位置を取得することを特徴とする搬送手段のティーチング方法。
【請求項２】
前記載置部は複数設けられ、
前記保持部を近傍位置に移動させる工程と前記補正量を取得して記憶部に記憶させる工程とを順次各載置部について実行し、各載置部ごとに、前記近傍位置における駆動系座標上の座標位置と前記補正量とを対応付けて記憶部に記憶することを特徴とする請求項１に記載の搬送手段のティーチング方法。
【請求項３】
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
下向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降を開始する時の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、水平方向のエンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置とのずれ分である水平方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、
前記近傍位置に保持部を移動させた後、前記搬送冶具に設けられた計測手段を用いて前記搬送冶具から前記載置台までの高さ方向の距離を求める工程と、
前記高さ方向の距離を求める工程で求めた高さ方向の距離と前記理想位置における前記搬送冶具から前記載置部までの高さ方向の距離との差と、高さ方向のエンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置との差である高さ方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を前記水平方向の補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を取得すると共に、前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置を前記高さ方向の補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置を取得することを特徴とする搬送手段のティーチング方法。
【請求項４】
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
上向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降した後の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、水平方向のエンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置とのずれ分である水平方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を前記水平方向の補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を取得することを特徴とする搬送手段のティーチング方法。
【請求項５】
前記載置部は複数設けられ、
前記保持部を近傍位置に移動させる工程と前記水平方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程とを順次各載置部について実行し、各載置部ごとに、前記近傍位置における駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記水平方向の補正量とを対応付けて記憶部に記憶することを特徴とする請求項４に記載の搬送手段のティーチング方法。
【請求項６】
前記近傍位置に保持部を移動させた後、前記搬送冶具に設けられた計測手段を用いて前記搬送冶具から前記載置台までの高さ方向の距離を求める工程と、
前記工程で求めた高さ方向の距離と前記理想位置における前記搬送冶具から前記載置部までの高さ方向の距離との差と、高さ方向のエンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置との差である高さ方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置を前記高さ方向の補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置を取得することを特徴とする請求項４に記載の搬送手段のティーチング方法。
【請求項７】
前記載置部は複数設けられ、
前記保持部を近傍位置に移動させる工程と、前記水平方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、前記高さ方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を順次各載置部について実行し、各載置部ごとに、前記近傍位置における駆動系座標上の水平方向及び高さ方向の座標位置と前記水平方向の補正量及び前記高さ方向の補正量とを夫々対応付けて記憶部に記憶することを特徴とする請求項３または６に記載の搬送手段のティーチング方法。
【請求項８】
前記搬送冶具は、前記標識を含む領域に対して光を照射する光照射部を備え、
前記記憶させる工程は、前記標識を含む領域に対して光を照射して、前記標識を含む領域における前記光の照射位置を撮像する工程を含むことを特徴とする請求項１、２、４、５のいずれか一つに記載の搬送手段のティーチング方法。
【請求項９】
前記載置部は前記光を反射する反射部であり、
前記標識は前記光を反射しない非反射部であることを特徴とする請求項８記載の搬送手段のティーチング方法。
【請求項１０】
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
下向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降を開始する時の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、エンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記搬送冶具は、前記標識を含む領域に対して光を照射する光照射部を備え、
前記記憶させる工程は、前記標識を含む領域に対して光を照射して、前記標識を含む領域における前記光の照射位置を撮像する工程を含み、
前記載置部は前記光を反射する反射部であり、
前記標識は前記光を反射しない非反射部であり、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の座標位置を取得することを特徴とする搬送手段のティーチング方法。
【請求項１１】
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
下向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降を開始する時の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、水平方向のエンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記搬送冶具は、前記標識を含む領域に対して光を照射する光照射部を備え、
前記記憶させる工程は、前記標識を含む領域に対して光を照射して、前記標識を含む領域における前記光の照射位置を撮像する工程を含み、
前記載置部は前記光を反射する反射部であり、
前記標識は前記光を反射しない非反射部であり、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を取得することを特徴とする搬送手段のティーチング方法。
【請求項１２】
前記載置部は、前記基板処理装置の外部から前記搬送容器を搬入するために載置するロードポート、前記搬送容器内から前記基板を取り出すときに搬送容器を載置するトランスファーステージ及び前記搬送容器を保管するために載置する保管部であることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか一つに記載の搬送手段のティーチング方法。
【請求項１３】
コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項１ないし１２のいずれか一つに記載の搬送手段のティーチング方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【請求項１４】
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、この載置部に対して前記搬送容器を搬送する搬送手段と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、請求項１３記載のプログラムを含む制御部と、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の基板が収納された搬送容器を内部に搬入し、この搬送容器から基板を取り出して処理を行う基板処理装置において、搬送容器を搬送する搬送手段に対してティーチングを行う方法、この方法を記憶した記憶媒体及び基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置の一つとして、多数枚の基板例えば半導体ウェハ（以下「ウェハ」という）に対して熱処理例えば酸化処理や成膜処理を行うバッチ式の縦型基板処理装置がある。このような装置の内部は、例えば隔壁によって、複数枚例えば２５枚のウェハが格納された密閉型のキャリアを装置の内部に搬入する作業エリアと、キャリア内のウェハをウェハボートに移載するローディングエリアと、ウェハに対して熱処理を行う熱処理炉と、に区画されている。この作業エリア側における隔壁には、キャリアを載置するための載置台がトランスファーステージとして設けられており、キャリアが搬送アームによりこのトランスファーステージに載置されると、このキャリア内からローディングエリア側の移載機構によりウェハが取り出されることとなる。そして、順次キャリアをこのトランスファーステージに載置してウェハを取り出して、所定の枚数例えば１００枚となるまでウェハボートにウェハの搬送を行う。ウェハが取り出されたキャリアは、作業エリアの保管部において保管され、熱処理が終了すると再びトランスファーステージに戻されて処理済みのウェハが搬入される。
【０００３】
上記のように、この装置では多数枚のウェハの処理を行うので、この作業エリアには、キャリアを載置する載置部は、例えば外部から装置内に搬入されたキャリアを載置するための２カ所のロードポート、２カ所のトランスファーステージ及び１６カ所の保管部というように、複数箇所例えば２０カ所設けられている。
【０００４】
搬送アームによる各載置部へのキャリアの受け渡し位置に対応する搬送アームの駆動系の座標位置は、設計図面の各寸法等により求まるが、装置を組み立てたときの組み立て誤差や前記駆動系を構成するベルトの伸びなどの駆動系の誤差により、設計上の座標位置と、キャリアと載置部との位置が合う搬送アームの受け渡しのための理想位置と、は現実にはずれてしまう。また、装置の組み立て時に限らず、装置の運転を続けるとボールネジの摩耗等により同様にずれが起こることもある。そのために、例えば装置の立ち上げ時やメンテナンス時に、作業者がティーチングと呼ばれる作業を行い、キャリアの受け渡しを行うときの搬送アームの駆動系の座標上の位置を求めるようにしている。具体的には、搬送アームの座標位置が例えば装置の画面上に表示されているので、キャリアを搬送アームに保持させて、このキャリア及び搬送アームを目視で確認しながらキャリアの受け渡しを行う位置まで搬送アームをマニュアル動作で移動させ、その時の搬送アームの座標位置をキャリアの受け渡し位置として設定している。
【０００５】
このように、作業者がマニュアルでティーチング作業を行っているため、作業者の熟練度や入力ミスなどにより受け渡されるキャリアの位置に誤差が出てくるおそれがある。また、バッチ型の熱処理装置の場合、ティーチングを行う場所が例えば２０カ所程度と多いので、作業が繁雑である上、長い時間がかかる。  
特許文献１には基板処理装置が記載されており、また特許文献２には半導体ウェハの搬送位置の情報取得方法が記載されているが、前述の課題については触れられていない。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−３１４８９０号公報（段落００１０〜００１３、図１）
【特許文献２】特開２００５−２６０１７６号公報（段落０１０５〜０１０８、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、複数の基板が収納された搬送容器を内部に搬入し、この搬送容器から基板を取り出して処理を行う基板処理装置において、搬送容器を搬送する搬送手段のティーチングを行うにあたり、このティーチングを精度高く、また簡便に行うことができるティーチング方法、このティーチング方法が記憶された記憶媒体及び基板処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
また、本発明の搬送手段のティーチング方法は、
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
上向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降した後の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、エンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の座標位置を取得することを特徴とする。
【００１０】
前記載置部は複数設けられ、
前記保持部を近傍位置に移動させる工程と前記補正量を取得して記憶部に記憶させる工程とを順次各載置部について実行し、各載置部ごとに、前記近傍位置における駆動系座標上の座標位置と前記補正量とを対応付けて記憶部に記憶することが好ましい。
【００１１】
更に、本発明の搬送手段のティーチング方法は、
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
下向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降を開始する時の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、水平方向のエンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置とのずれ分である水平方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、
前記近傍位置に保持部を移動させた後、前記搬送冶具に設けられた計測手段を用いて前記搬送冶具から前記載置台までの高さ方向の距離を求める工程と、
前記高さ方向の距離を求める工程で求めた高さ方向の距離と前記理想位置における前記搬送冶具から前記載置部までの高さ方向の距離との差と、高さ方向のエンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置との差である高さ方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を前記水平方向の補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を取得すると共に、前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置を前記高さ方向の補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置を取得することを特徴とする。
【００１２】
更にまた、本発明の別の搬送手段のティーチング方法は、
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
上向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降した後の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、水平方向のエンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置とのずれ分である水平方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を前記水平方向の補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を取得することを特徴とする。
【００１３】
前記載置部は複数設けられ、
前記保持部を近傍位置に移動させる工程と前記水平方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程とを順次各載置部について実行し、各載置部ごとに、前記近傍位置における駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記水平方向の補正量とを対応付けて記憶部に記憶することが好ましい。
前記近傍位置に保持部を移動させた後、前記搬送冶具に設けられた計測手段を用いて前記搬送冶具から前記載置台までの高さ方向の距離を求める工程と、
前記工程で求めた高さ方向の距離と前記理想位置における前記搬送冶具から前記載置部までの高さ方向の距離との差と、高さ方向のエンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置との差である高さ方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置を前記高さ方向の補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の高さ方向の座標位置を取得することが好ましい。
【００１４】
前記載置部は複数設けられ、
前記保持部を近傍位置に移動させる工程と、前記水平方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、前記高さ方向の補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を順次各載置部について実行し、各載置部ごとに、前記近傍位置における駆動系座標上の水平方向及び高さ方向の座標位置と前記水平方向の補正量及び前記高さ方向の補正量とを夫々対応付けて記憶部に記憶することが好ましい。
前記搬送冶具は、前記標識を含む領域に対して光を照射する光照射部を備え、
前記記憶させる工程は、前記標識を含む領域に対して光を照射して、前記標識を含む領域における前記光の照射位置を撮像する工程を含むことが好ましい。  
前記載置部は前記光を反射する反射部であり、
前記標識は前記光を反射しない非反射部であっても良い。  
また、本発明は、
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
下向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降を開始する時の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、エンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記搬送冶具は、前記標識を含む領域に対して光を照射する光照射部を備え、
前記記憶させる工程は、前記標識を含む領域に対して光を照射して、前記標識を含む領域における前記光の照射位置を撮像する工程を含み、
前記載置部は前記光を反射する反射部であり、
前記標識は前記光を反射しない非反射部であり、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の座標位置を取得することを特徴とする。
更に本発明は、
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、前記搬送容器を保持部に保持して前記載置部に上方側から受け渡す搬送手段と、この搬送手段の駆動部に接続されたエンコーダの出力に基づいて、当該エンコーダにより管理される駆動系座標上における前記保持部の座標位置を監視する座標位置監視部と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、を備えた基板処理装置に用いられ、搬送手段をティーチングする方法において、
下向きの視野を有する撮像手段が設けられた搬送治具を前記搬送手段の保持部の予め設定した位置に保持させる工程と、
次いで、前記搬送容器が前記載置部上の予め設定された設定位置に載置されるように前記搬送手段が下降を開始する時の理想位置の近傍位置に当該保持部を移動させる工程と、
その後、前記載置部に設けられた位置ずれ検出用の標識を前記撮像手段により撮像し、その時の前記視野における前記標識の位置と、前記保持部が前記理想位置に位置しているときの前記視野における前記標識の位置と、水平方向のエンコーダの１パルスあたりの移動量と、に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置と前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置とのずれ分である補正量を取得して記憶部に記憶させる工程と、を含み、
前記搬送冶具は、前記標識を含む領域に対して光を照射する光照射部を備え、
前記記憶させる工程は、前記標識を含む領域に対して光を照射して、前記標識を含む領域における前記光の照射位置を撮像する工程を含み、
前記載置部は前記光を反射する反射部であり、
前記標識は前記光を反射しない非反射部であり、
前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を前記補正量により補正して、前記搬送容器を載置部に受け渡すときの搬送手段の下降開始位置に対応した前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を取得することを特徴とする。
前記載置部は、前記基板処理装置の外部から前記搬送容器を搬入するために載置するロードポート、前記搬送容器内から前記基板を取り出すときに搬送容器を載置するトランスファーステージ及び前記搬送容器を保管するために載置する保管部であることが好ましい。
【００１５】
本発明の記憶媒体は、
コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、上記搬送手段のティーチング方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【００１６】
本発明の基板処理装置は、
基板を収納した搬送容器を載置する載置部と、この載置部に対して前記搬送容器を搬送する搬送手段と、前記搬送容器から取り出した基板に対して処理を行う処理部と、上記プログラムを含む制御部と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、複数の基板が収納された搬送容器を内部に搬入し、この搬送容器から基板を取り出して処理を行う基板処理装置において、例えば装置の立ち上げ時に、搬送容器を搬送する搬送手段のティーチングを行う際に、ティーチング用の冶具を搬送手段上における予め設定した位置に保持させて搬送容器が載置される載置部の上方または下方の理想位置の近傍位置例えば設計上では理想位置とみなせる位置に移動させ、載置部に形成された位置ずれ検出用の標識をこの冶具に設けられた撮像手段により撮像し、この撮像結果に基づいて、前記理想位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置からのずれ分である補正量を取得し、前記近傍位置に対応する前記駆動系座標上の水平方向の座標位置を前記補正量により補正して前記理想位置に対応した前記駆動系座標上の座標位置を取得している。従って、上記のティーチングを自動で行うことができるので、ティーチングの精度が作業者の熟練度などに左右されることがないし、また載置部が設けられている場所まで作業者が出向いて作業を行うといったことも不要になり、各載置部毎に画面上で座標位置の確定操作等を行わなくて済むことから、作業が簡便になり、作業時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の基板処理装置の実施の形態の一例について、図１〜図６を参照して説明する。図１中１０はこの基板処理装置の筐体であり、この筐体１０内は、隔壁１１によって、左側の作業エリアＳ１と、右側のローディングエリアＳ２と、に区画されている。作業エリアＳ１は、半導体ウェハ（以下「ウェハ」という）Ｗが多数枚例えば２５枚収納された密閉型の搬送容器であるキャリア（この例では、密閉型のキャリアとしてＦＯＵＰが用いられているが、以下「キャリア」と呼ぶこととする）１の搬送とこのキャリア１の保管とを行うための領域であり、大気雰囲気に保たれている。この作業エリアＳ１には、筐体１０の側方位置に設けられた搬送口２０から外部の図示しない搬送機構により搬入されたキャリア１を載置するために、図２に示すように、例えば手前側と奥側に２カ所に並ぶ載置部であるロードポート２１と、作業エリアＳ１のキャリア１内からローディングエリアＳ２において後述の移載機構４２によりウェハＷを取り出すために、隔壁１１に例えば上下２カ所に取り付けられた載置部であるトランスファーステージ２３と、ロードポート２１とトランスファーステージ２３との間に設けられ、作業エリアＳ１においてキャリア１を搬送するための搬送手段であるキャリア搬送機２２と、作業エリアＳ１内の上方側に設けられ、キャリア１を保管するための載置部である保管部２４と、が設けられている。筐体１０の外側における搬送口２０に対応する位置には、例えばドアＤが設けられており、このドアＤにより搬送口２０が開閉自在に構成されている。
【００１９】
保管部２４は、図２に示すように、例えば縦に４列、横に２列並ぶように組となって設けられており、この保管部２４の組がキャリア搬送機２２によるキャリア１の搬送領域を両側から挟むように、この保管部２４の開口側が当該搬送領域を向くように設置されている。この保管部２４の載置面であるキャリアステージ５０には、図３に示すように、既述のキャリア搬送機２２の搬送領域側が開口する矩形の凹部５１が形成されており、キャリア搬送機２２に設けられた後述の搬送アーム３１がこの凹部５１を介して昇降することによって、このキャリアステージ５０とキャリア搬送機２２との間でキャリア１の受け渡しが行われるように構成されている。また、この凹部５１の側方位置におけるキャリアステージ５０には、例えば円状の開口部５２が位置ずれ検出用の標識として形成されている。この開口部５２は、後述するように、キャリア冶具２によって搬送アーム３１のティーチングを行うときの位置合わせ用の目印である。尚、既述のロードポート２１及びトランスファーステージ２３についても、載置面にはこのキャリアステージ５０と同じ構成となるように、開口部５２と搬送アーム３１が通り抜けるための凹部５１とが形成されている。
【００２０】
キャリア搬送機２２は、筐体１０内において鉛直方向に亘って長く設けられた支柱２５と、既述の保管部２４の組の間を水平方向に伸びるように、この支柱２５の側面に設けられた水平アーム２６と、を備えている。この水平アーム２６は、支柱２５の下方側に設けられたモータＭにより、例えば支柱２５内の図示しないタイミングベルトなどの上下に伴って昇降できるよう構成されている。このモータＭには、図示しないエンコーダが組み合わされており、このエンコーダにおけるエンコーダ値によって水平アーム２６の高さ位置が取得される。また、この水平アーム２６には、モータ３４により図示しないガイド機構を介して当該水平アーム２６に沿って水平移動する２本のアーム３５、３０及び保持部３１ａを備えた関節アームからなる搬送アーム３１が設けられている。この搬送アーム３１は、全体が鉛直回りに回転する動作と保持部３１ａを直進させる動作とを行うように構成され、回転用のモータによるθ方向の移動量と直進用のモータによる進退方向の移動量とにより保持部３１ａの位置が管理される。
【００２１】
保持部３１ａには、例えば３カ所に突起３２が設けられており、キャリア１の下面に形成された凹部にこの突起３２がはめ込まれることにより、搬送アーム３１上においてキャリア１が正確に位置決めされて、当該キャリア１が搬送されるように構成されている。この保持部３１ａには、図示しない変速ギアを介して既述の直進用のモータが接続されており、キャリア１の位置によらずに、キャリア１の進退方向に対して当該キャリア１の向きが維持されるように構成されている。モータＭ、３４及び搬送アーム３１のモータからなる駆動部３３のエンコーダ３８は、図５に示すように、装置コントローラ３６に接続されている。  
この装置コントローラ３６は、座標位置監視部３７、搬送制御部３９及びティーチングデータが保存されるメモリ８を備えている。座標位置監視部３７は、キャリア搬送機２２の各軸を駆動するモータに夫々設けられたエンコーダ３８のパルス数を取得してキャリア搬送機２２の駆動系の座標上の位置、より詳しくは保持部３１ａの駆動系の座標上の座標位置を取得する役割を備えている。また搬送制御部３９は、所定の動作プログラムを含み、ティーチングデータに基づいてキャリア搬送機２２の動作を制御する役割を持っている。またメモリ８内のティーチングデータは、後述のティーチングにより取得された補正量等に基づいて求めたキャリア搬送機２２の各軸におけるエンコーダ３８のパルス指令値、言い換えれば駆動系の座標上における保持部３１ａの座標位置に相当するデータである。尚、既述のロードポート２１及びトランスファーステージ２３についても、この搬送アーム３１と同様に、キャリア１が載置される載置面にはキャリア１の凹部に嵌合する突起が形成されている。
【００２２】
この例では、搬送アーム３１の搬送動作を装置コントローラ３６に覚えさせる作業であるティーチングを行うために、搬送アーム３１上にキャリア１と同形状の搬送冶具であるキャリア冶具（ティーチングを行うための搬送冶具としては、例えばティーチング冶具などといった用語もあるが、この例ではキャリア冶具と呼ぶこととする）２を設置している。このキャリア冶具２の下面には、キャリア冶具２が搬送アーム３１上においてキャリア１と同じ姿勢となるように、つまりキャリア１とキャリア冶具２との間の相対位置が予め分かるように、キャリア１と同様に突起３２がはめ込まれる図示しない凹部が形成されている。このキャリア冶具２の下面における搬送アーム３１と接触する部位から側方に外れた領域には、図６に示すように、例えばキャリアステージ５０上に形成された位置ずれ検出用の標識である開口部５２を含む領域を撮像するための視野が下向きの撮像手段であるカメラ６１と、このカメラ６１の撮像領域に対してビームの断面形状が線状の光例えばレーザー光を照射するためのスリット状の光照射部６２ａ、６２ｂと、が設けられている。この光照射部６２ａ、６２ｂは、この光照射部６２ａ、６２ｂから照射される２本のレーザ光がコンピュータ上で管理されている水平面の直交座標であるＸ−Ｙ座標の座標軸の夫々に平行に照射されるように構成されており、レーザー光のライン状の照射位置がカメラ６１の撮像領域の中央において交差するように向きが設定されている。
【００２３】
既述の開口部５２の形成位置は、キャリア冶具２が搬送アーム３１に保持されて、例えばキャリアステージ５０上に搬送アーム３１が移動し、キャリアステージ５０にキャリア冶具２を引き渡すために下降を始める理想位置である下降開始位置において、カメラ６１の撮像領域の中心位置と開口部５２の中心位置とが一致するように設定されている。尚、同図（ａ）は搬送アーム３１の伸びる方向から見たキャリア冶具２の側面図であり、同図（ｂ）はキャリア冶具２を下側から見た平面図である。  
このキャリア冶具２には、既述の図５に示すように、カメラ６１によりキャリアステージ５０の開口部５２を撮像した時に、このカメラ６１の撮像領域の中心位置と開口部５２の中心位置とのずれ量を計算するための画像コントローラ６４が図示しないケーブルを介して接続されている。
【００２４】
この画像コントローラ６４は、画像データ処理プログラム６Ａと補正量演算プログラム６Ｂとを備えている。画像データ処理プログラム６Ａは、既述のカメラ６１により開口部５２を含む領域を撮像し、この時のカメラ６１の視野において、光照射部６２ａ、６２ｂから照射されたレーザー光が開口部５２の周縁において途切れた座標位置である後述のＰ1〜Ｐ4つまり開口部５２の位置を読み取るためのプログラムである。補正量演算プログラム６Ｂは、後述のように、画像データ処理プログラム６Ａにより取得された位置情報に基づいて、ロードポート２１、トランスファーステージ２３及びキャリアステージ５０にキャリア冶具２を載置するときの搬送アーム３１の実際の座標位置である駆動系座標上の位置が理想位置からどの程度ずれているかを計算し、そのずれ分である補正量を取得するためのプログラムである。この補正量演算プログラム６Ｂは、後述するように、キャリア冶具２とキャリアステージ５０との間の距離を計測する手段に相当する。
【００２５】
理想位置とは、ロードポート２１及びトランスファーステージ２３においては、このロードポート２１及びトランスファーステージ２３の載置面に形成された突起３２にキャリア１の下面の凹部が係合し、キャリア搬送機２２と基板処理装置の外部の図示しない搬送機構あるいは移載機構４２との間において適正にキャリア１の受け渡しが行われる位置の上方における搬送アーム３１の位置であり、キャリアステージ５０においては、例えばキャリア１が保管部２４の側壁に衝突しないように載置されるキャリアステージ５０の中央位置の上方における搬送アーム３１の位置となるように設定されている。従って、この例では理想位置における位置情報は、既述のカメラ６１により撮像された画像の中心位置と開口部５２の中心位置とが一致した情報となる。
【００２６】
この搬送アーム３１の座標位置の補正量は、具体的には後述するように、例えば水平方向については光照射部６２により開口部５２を含むカメラ６１の撮像領域に光を照射して、この開口部５２を含む領域をカメラ６１により撮像し、開口部５２の中心位置とカメラ６１の撮像領域の中心位置とを画像コントローラ６４により比較することにより取得される。高さ方向のずれ量（差）については、後述するように、このカメラ６１により撮像された画像からカメラ６１とキャリアステージ５０との間の距離を計算して、この計算結果と、搬送アーム３１が理想位置に位置しているとしたときのカメラ６１とキャリアステージ５０との間の距離と、に基づいて取得される。
【００２７】
このようなティーチング作業は、既述の装置コントローラ３６の指示により行われて、得られたオフセット量である補正量が装置コントローラ３６に戻されて、記憶部であるメモリ８内にティーチングデータとして保存される。このメモリ８は、後述するように、上記の設計情報から求めた前記駆動系上の座標である設計位置と既述の画像コントローラ６４により計算された補正量とを保存する領域を備えており、またこの補正量に基づいて設計位置を補正した座標である理想位置を保存するための領域を備えている。尚、この理想位置は、例えばティーチングの後キャリア１を搬送する際にこのメモリ８から読み出されて駆動部３３に対して出力される時には、Ｘ−Ｙ−Ｚ座標軸の直交座標から駆動系座標に変換されることとなる。
【００２８】
既述のように、装置の組み立て誤差によって、各載置部毎に設計位置と理想位置との誤差が発生してくることから、つまり各載置部の補正量がまちまちであることから、このティーチング作業は、キャリア１を載置するための夫々の領域に対して行われる。このティーチングを行うためのプログラム６Ａ、６Ｂ及び駆動系のプログラム（処理パラメータの入力操作や表示に関するプログラムも含む）は、コンピュータ記憶媒体例えばフレキシブルディスク、コンパクトディスク、ＭＯ（光磁気ディスク）、ハードディスクなどの記憶部４に格納されて装置コントローラ３６にインストールされる。尚、このティーチング作業は、上記の基板処理装置の立ち上げ時以外にも、例えば基板処理装置の定期的なメンテナンス時に行うようにしても良い。
【００２９】
既述の図１に示すように、既述のトランスファーステージ２３の側方位置における隔壁１１は開口しており、この開口部を塞ぐように、ローディングエリアＳ２側にはシャッター７０が設けられている。このシャッター７０は、キャリア１に設けられた図示しない開閉扉が当該開口部を向くようにキャリア１がトランスファーステージ２３上に載置されると、ローディングエリアＳ２の雰囲気とキャリア１内の雰囲気とが気密に連通するように、当該開閉扉と一体的に開放されるように構成されている。
【００３０】
ローディングエリアＳ２は、ウェハＷに対して熱処理例えば成膜処理や酸化処理を行うための領域であり、不活性ガス例えば窒素ガス雰囲気に保たれている。このローディングエリアＳ２には、下端が炉口として開口した縦型の処理部である熱処理炉４０が設けられ、この熱処理炉４０の下方側には、多数枚のウェハＷを保持するための保持具であるウェハボート４１が昇降機構４１ａにより昇降自在に設置されている。熱処理炉４０の炉口は、蓋体４４により開閉自在に構成されている。このローディングエリアＳ２において、ウェハボート４１と隔壁１１との間には、既述のトランスファーステージ２３に載置されたキャリア１とウェハボート４１との間でウェハＷの受け渡しを行うための移載機構４２が設けられており、この移載機構４２には、例えば複数枚のウェハＷを一括して移載可能なアーム４３が進退自在に設けられている。この移載機構４２は、図示しないモータにより鉛直軸回りに回転自在であり、また昇降軸４５に沿って昇降自在に構成されている。
【００３１】
次に、本発明の搬送手段のティーチング方法について、図７〜図１２を参照して説明する。先ず、例えばこの基板処理装置を立ち上げる際のティーチング作業を行う時には、例えば作業者により、搬送アーム３１上にキャリア冶具２を載置する。次いで、図８（ａ）に示すように、搬送アーム３１を例えば保管部２４内に進入させ、既述の設計情報から求めた下降開始位置Ａ1（ｘＡ1，ｙＡ1，ＺＡ1）に移動させる（ステップＳ６１）。この下降開始位置は、理想位置と同じである場合もあるかもしれないが、通常は理想位置から僅かにずれた近傍位置となる。この下降開始位置において、カメラ６１の下方には開口部５２が相対する。
【００３２】
次いで、図８（ｂ）及び図９に示すように、カメラ６１の撮像領域の中心において交差するように、開口部５２に対して光照射部６２ａ、６２ｂから例えばレーザー光などの光を水平面の直交座標であるＸ−Ｙ座標の座標軸に平行に照射すると共に、カメラ６１により開口部５２を含む領域を撮像する（ステップＳ６２）。すると、図１０（ａ）に示すように、カメラ６１の撮像領域である視野には開口部５２が収まるが、保持部３１ａの設計位置と理想位置とが一致していないと、カメラ６１の中心位置と開口部５２の中心位置とがずれる。この時、レーザー光の十字の照射路が開口部５２の周縁において途切れた画像が得られる。
【００３３】
図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、この時のカメラ６１の撮像領域の中心の座標をＣ0（ｘ0，ｙ0）とすると、レーザー光の照射路が開口部５２の周縁において途切れた部位の座標は、例えば時計回りに夫々Ｐ1（ｘ0，ｙ1）、Ｐ2（ｘ２，ｙ0）、Ｐ3（ｘ0，ｙ３）、Ｐ4（ｘ４，ｙ0）となる。従って、これらの座標Ｐ1〜Ｐ4から、この開口部５２の中心座標Ｃ1（ａ，ｂ）は、例えば
ａ  ＝  ｘ0＋（ｘ２＋ｘ４）／２
ｂ  ＝  ｙ0＋（ｙ１＋ｙ３）／２
として表される。従って、カメラ６１の撮像領域の中心位置と開口部５２の中心位置とのずれ量である補正量Δｘ１及びΔｙ１は、レーザー光の照射路が直交座標のＸ−Ｙ座標と平行になっているので、Ｃ0とＣ1との差を取ることによって、
Δｘ１  ＝  （ｘ２＋ｘ４）／２  
Δｙ１  ＝  （ｙ１＋ｙ３）／２  
となる。この時既述のように、画像コントローラ６４では、撮像倍率からカメラ６１により撮像した画像内における実寸法が分かるので、Ｃ1とＰ1〜Ｐ4との間の距離つまりｘ２、ｘ４、ｙ１、ｙ３の値が求められる。尚、カメラ６１の撮像領域の中心の座標Ａ1と開口部５２の中心の座標Ｂ1とがずれていない場合には、この補正量Δｘ１及びΔｙ１は、ゼロとなる。また、既述の図９は、判別しやすいように、開口部５２に対して照射される２本のレーザ光の一方を示している。
【００３４】
また、高さ方向の距離ｈについては、例えば以下のように算出される。図１１に示すように、例えば光照射部６２からライン状に照射されるレーザー光とキャリア冶具２とのなす角度αと、カメラ６１の撮像領域の中心と光照射部６２との間の距離ｘ１と、は予め設計データなどから明らかである。ところでキャリア冶具２の高さｈが変わると、例えばレーザー光の照射ラインの位置が同図中横方向にずれていくことから、キャリア冶具２の高さ位置に伴って、キャリアステージ５０上に照射されたレーザー光の照射ラインとカメラ６１の撮像領域の中心位置との間の距離ｘ２が変化する。従って、この角度αと距離ｘ１及び距離ｘ２とによって、例えば三角法によりキャリア冶具２とキャリアステージ５０との間の距離ｈが算出される。  
一方、キャリア冶具２が理想位置に位置すると仮定した時の上記の角度α及び距離ｘ１、ｘ２については例えば設計データや計算あるいは実験などにより容易に求まるので、この時のキャリア冶具２の高さｈ０と上記の算出結果とを比較することにより、高さ方向の補正量ΔＺ１（＝｜ｈ０−ｈ｜）が求まる。
【００３５】
そして、既述のように、画像コントローラ６４からこの補正量Δｘ１、Δｙ１及びΔｚ１を装置コントローラ３６のメモリ８に記録する（ステップＳ６３）。また、この補正量Δｘ１、Δｙ１及びΔｚ１により搬送アーム３１の設計座標（詳しくは保持部３１ａの設計座標）Ａ1（ｘＡ1，ｙＡ1，ｚＡ1）を修正し、この座標を修正した理想座標Ｂ1（ｘＢ1，ｙＢ1，ｚＢ1）についてもメモリ８に記録する。これらＸ、Ｙ、Ｚ座標は、搬送アーム３１全体を水平アーム２６に沿って駆動するモータの駆動量、搬送アーム３１を進退させるモータの駆動量及び水平アーム２６の昇降用のモータＭの駆動量つまり搬送アーム３１の駆動系座標上の位置に対応する。そのため、上記の座標の修正は、具体的には補正量Δｘ１、Δｙ１については搬送アーム３１を水平方向に移動させるモータのエンコーダの１パルスあたりの移動量で割った値が駆動系座標上における補正量として用いられ、補正量Δｚ１については搬送アーム３１の昇降用のモータＭのエンコーダの１パルスあたりの移動量で割った値が同様に駆動系座標上における補正量として用いられることとなる。
【００３６】
こうして搬送アーム３１の理想位置が求まると、キャリア１を実際に搬送するときには、搬送アーム３１をこの理想位置に設定した後、予め定めた定型的な動作シーケンスによってキャリアステージ５０の凹部５１を介して下降させてキャリア１をキャリアステージ５０に載置した後、更に下降させて縮退することとなる。  
その後、搬送アーム３１を縮退させて、補正量の未測定の載置部があるか否かを判定し、未測定の載置部がある場合には、同様に順次ティーチングを行う（ステップＳ６４）。このティーチング作業により、図１２に示すように、メモリ８には例えば２０カ所の搬送先に対応する設計位置Ａ1〜Ａ20、補正量（Δｘ１，Δｙ１，Δｚ１）〜（Δｘ２０，Δｙ２０，Δｚ２０）及び理想座標Ｂ1〜Ｂ20が保存される。そして、例えば搬送アーム３１上からキャリア冶具２を取り外し、ティーチング作業を終了する。
【００３７】
次に、この基板処理装置におけるキャリア１の全体の流れについて簡単に説明する。先ず、キャリア１が図示しない外部の搬送手段により搬送口２０を介してロードポート２１に載置されると、搬送アーム３１がこのロードポート２１における理想位置である上方位置から計算された下方位置に移動し、搬送アーム３１を延伸し、次いでこの搬送アーム３１が上昇してキャリア１を受け取る。そして、搬送アーム３１が上方位置において縮退し、トランスファーステージ２３に向かってキャリア１が搬送される。このトランスファーステージ２３において、搬送アーム３１が理想位置に移動して、下方位置に向かって下降してトランスファーステージ２３の載置面にキャリア１が載置され、搬送アーム３１が下方位置において縮退する。
【００３８】
そして、キャリア１の図示しない開閉扉が隔壁１１に密接し、シャッター７０と共にこの開閉扉が開放されて、移載機構４２によりウェハＷがキャリア１から取り出される。ウェハＷはウェハボート４１に移載され、例えば空になったキャリア１は同様に座標が修正された搬送アーム３１によって保管部２４に搬送されて保管される。そして、多数枚例えば１００枚のウェハＷがウェハボート４１に移載されるまで、順次キャリア１が作業エリアＳ１に搬入され、ウェハＷが取り出されて空になったキャリア１が保管部２４に保管されていくこととなる。
【００３９】
その後、ウェハボート４１が上昇して熱処理炉４０内に格納されると共に、熱処理炉４０の下端の炉口が閉じられて、これらのウェハＷに対して所定の熱処理が行われることとなる。熱処理の後には、搬入された順序と逆の順序でウェハＷがキャリア１に戻されて、またキャリア１についても同様に基板処理装置内から搬出される。尚、保管部２４は、基板処理装置内にキャリア１を搬入した時に、一旦未処理のウェハＷが収納されたキャリア１を保管しておくためにも用いられる。
【００４０】
上述の実施の形態によれば、複数のウェハＷが格納されたキャリア１を内部に搬入し、このキャリア１からウェハＷを取り出して処理を行う基板処理装置において、例えば装置の立ち上げ時に、キャリア１の受け渡しを行う搬送アーム３１の位置をティーチングするときに、キャリア冶具２を搬送アーム３１上に載置して、例えばキャリアステージ５０の上方位置にこのキャリア冶具２を移動させ、開口部５２を含む領域をカメラ６１により撮像して、このカメラ６１の撮像領域の中心位置と開口部５２の中心位置との間の水平方向のずれ量を取得している。既述のように、カメラ６１の撮像領域の中心位置と開口部５２の中心位置との相対関係及び搬送アーム３１に保持されたキャリア１とキャリア冶具２との間の位置の相対関係が予め取得されているので、つまりカメラ６１の撮像領域の中心位置と開口部５２の中心位置とが同じ位置となるように設定され、また搬送アーム３１に保持されたキャリア１とキャリア冶具２とが同じ姿勢となるように設定されているので、カメラ６１の撮像領域の中心位置と開口部５２の中心位置との間の水平方向のずれ量を求めることで、キャリア１とキャリアステージ５０との間のずれ量が分かり、従ってこのずれ量に基づいて搬送アーム３１の座標を修正することにより、キャリアステージ５０の上方位置における搬送アーム３１の駆動系座標における位置のティーチングを行うことができる。そのために、作業者のマニュアル動作によらずにティーチング作業を行うことができるので、上記の基板処理装置のように、キャリア１が載置される載置部が多数箇所に設けられていても、作業者の熟練度や入力ミスによるティーチングの誤差を少なくすることができ、またティーチング作業に必要な作業時間を短くすることができる。
【００４１】
また、レーザー光を用いることによって、開口部５２の周縁を容易に判別できるので、上記のティーチング作業を簡便に行うことができる。更に、搬送アーム３１の高さ位置を求めて、キャリアステージ５０とこのキャリア冶具２との間の高さ寸法を求めているので、搬送アーム３１の高さ方向についてもティーチング作業を行うことができる。
【００４２】
上記の搬送手段のティーチング方法では、開口部５２の座標位置（中心座標Ｃ1及び高さ方向の距離ｈ）を別々に求めるようにしたが、一度に求めるようにしても良い。このように３次元的な位置を一度に求める場合には、標識の位置は、例えば以下の参考資料１に記載されているように、例えばスリット光投影法によるステレオ計測などによって求めることができる。
【００４３】
（参考資料１）
書名：三次元画像計測
著者：井口  征士，佐藤  宏介
出版社：昭晃堂（1990/11）
ISBN-10：4785690364
参照頁：91〜97
尚、設計位置において、搬送アーム３１の高さ位置は理想位置からそれ程大きく離れていないので、高さ位置を理想位置に修正せずに、開口部５２を撮像して水平方向の位置ずれ量（補正量）を取得しても良い。
【００４４】
また、視野が上向きのカメラ６１及び光照射部６２をキャリア冶具２の上面に設けて、理想位置を載置部の下方位置において求め、この下方位置の座標に基づいて搬送アーム３１の下降開始位置である上方位置を計算するようにしても良い。尚、上方位置または下方位置よりも載置部に対して近接する位置、あるいは上方位置または下方位置から載置部に対して更に離れた位置において搬送アーム３１のティーチングを行う場合についても、本発明の権利範囲に含まれる。
【００４５】
また、レーザー光が開口部５２の周縁において途切れた位置を利用して当該開口部５２の中心位置を計算するにあたって、キャリアステージ５０などの載置部に開口部５２を形成せずに、この開口部５２に代えて、レーザー光が反射しないように表面処理を施すようにしても良い。更に、カメラ６１により開口部５２を撮像するときに光照射部６２からレーザー光を照射したが、レーザー光を照射せずに、撮像した画像内において開口部５２の周縁を直接読み取るようにしても良い。更にまた、搬送アーム３１が理想位置となる時に、カメラ６１の撮像領域の中心位置と開口部５２の中心位置とが同じ位置となるように設定したが、このような例に限られず、搬送アーム３１が理想位置にある時のカメラ６１の撮像領域と開口部５２との相対的な位置関係が分かるように設定すれば良い。更にまた、上記の例ではカメラ６１により撮像する場所に開口部５２を形成したが、撮像する場所としてはこれ以外にも、例えばキャリアステージ５０に十字のマーカーを描くようにしても良い。また、キャリア冶具２とキャリアステージ５０との間の高さ方向の距離を計測するための手法としては、例えば別途距離計などをキャリア冶具２に設けて、この距離計により計測するようにしても良い。
【００４６】
また、上記の例では搬送アーム３１上にキャリア冶具２（キャリア１）を載せてキャリア冶具２を搬送したが、キャリア冶具２の上面を保持して搬送するようにしても良い。  
本発明は、バッチ式の熱処理装置に適用することに限られず、例えばキャリア１内のウェハＷ等の基板を一括して洗浄液で洗浄する洗浄装置等においても適用でき、この場合、洗浄装置内にキャリア１が取り込まれることから、同様に有効な手法である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の基板処理装置の一例を示す概略図である。
【図２】上記の基板処理装置の一例を示す斜視図である。
【図３】上記の基板処理装置におけるキャリア搬送機の一例を示す斜視図である。
【図４】上記のキャリア搬送機を示す平面図である。
【図５】上記の基板処理装置における制御部の一例を示す概略図である。
【図６】上記の基板処理装置におけるキャリア冶具の一例を示す概略図である。
【図７】上記の基板処理装置において行われるティーチング作業の手順の一例を示すフロー図である。
【図８】上記の基板処理装置において行われるティーチング作業の手順を示す説明図である。
【図９】上記の基板処理装置において行われるティーチング作業の手順を示す説明図である。
【図１０】上記の基板処理装置において行われるティーチング作業の手順を示す説明図である。
【図１１】上記の基板処理装置において行われるティーチング作業の手順を示す説明図である。
【図１２】上記の基板処理装置において行われるティーチング作業によって得られるティーチングデータの一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
Ｓ１  作業エリア
Ｓ２  ローディングエリア
１  キャリア
２  キャリア冶具
５  制御部
６Ａ  画像データ処理プログラム
６Ｂ  補正量演算プログラム
８  メモリ
２１  ロードポート
２３  トランスファーステージ
２４  保管部
３１  搬送アーム
５０  キャリアステージ
５２  開口部
６１  カメラ
６２  光照射部
６３  距離計
【図１】
0004993614.tif 000002
【図２】
0004993614.tif 000003
【図３】
0004993614.tif 000004
【図４】
0004993614.tif 000005
【図５】
0004993614.tif 000006
【図６】
0004993614.tif 000007
【図７】
0004993614.tif 000008
【図８】
0004993614.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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