(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を供給する部品供給装置と、この部品供給装置と基板搬送装置に設けられて位置決めされた基板に電子部品が装着される位置決め部との間に位置した部品認識カメラと、一方向に移動可能な一対のビームに各ビームに沿って前記一方向と直交する他の方向に移動可能に設けられた装着ヘッドとを備え、前記装着ヘッドに設けられた吸着ノズルにより前記部品供給装置から取出されて吸着保持された電子部品を前記部品認識カメラで撮像する電子部品装着装置において、前記各ビームに異なるタイプの装着ヘッドを取り付け、前記装着ヘッドの種類と、１つの前記装着ヘッドあたりの電子部品を認識処理する上での必要な撮像回数とに基づいて、前記部品認識カメラの位置と装着ヘッドの位置とを前記一方向に合わせてから前記装着ヘッドが前記他の方向に移動しながら両者の前記他の方向の位置が一致した際に前記部品認識カメラが撮像するか、前記部品認識カメラの位置と装着ヘッドの位置とを前記他の方向に合わせてから前記ビームが前記一方向に移動しながら両者の前記一方向の位置が一致した際に撮像するか、又は電子部品を認識処理する上での必要な撮像回数が複数回であり前記部品認識カメラの位置と装着ヘッドの位置とが前記一方向及び前記他の方向で一致した際に複数回停止撮像するかに切換え装置で切換えて撮像することを特徴とする電子部品装着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一方向に移動可能な一対のビームに各ビームに沿って前記一方向と直交する他の方向に移動可能に設けられた装着ヘッドに設けられた吸着ノズルに吸着保持された電子部品を部品認識カメラで撮像する電子部品装着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電子部品装着装置は、例えば特許文献１などに開示されている。そして、一般には前記部品認識カメラの上方位置に到達したときに吸着ノズルを停止させて照明装置を点灯させて前記吸着ノズルに吸着保持されている電子部品を撮像したり、吸着ノズルを移動しながら当該吸着ノズルに吸着保持された電子部品を部品認識カメラで撮像したりしている。
【特許文献１】特開平６−６１７００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従って、１台の電子部品装着装置にあっては、複数の装着ヘッドを備えていても、前者の停止撮像認識又は後者のフライ撮像認識のいずれかのみで行うのが通常の電子部品の認識処理であった。このため、同じフライ撮像認識であっても、電子部品の微細化に伴うプリント基板の生産効率化の観点から多様な電子部品装着装置が望まれている。
【０００４】
そこで本発明は、同じフライ撮像認識であっても、電子部品の微細化に伴うプリント基板の生産効率化の観点から多様な電子部品装着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このため第１の発明は、電子部品を供給する部品供給装置と、この部品供給装置と基板搬送装置に設けられて位置決めされた基板に電子部品が装着される位置決め部との間に位置した部品認識カメラと、一方向に移動可能な一対のビームに各ビームに沿って前記一方向と直交する他の方向に移動可能に設けられた装着ヘッドとを備え、前記装着ヘッドに設けられた吸着ノズルにより前記部品供給装置から取出されて吸着保持された電子部品を前記部品認識カメラで撮像する電子部品装着装置において、前記各ビームに異なるタイプの装着ヘッドを取り付け、前記装着ヘッドの種類と、１つの前記装着ヘッドあたりの電子部品を認識処理する上での必要な撮像回数とに基づいて、前記部品認識カメラの位置と装着ヘッドの位置とを前記一方向に合わせてから前記装着ヘッドが前記他の方向に移動しながら両者の前記他の方向の位置が一致した際に前記部品認識カメラが撮像するか、前記部品認識カメラの位置と装着ヘッドの位置とを前記他の方向に合わせてから前記ビームが前記一方向に移動しながら両者の前記一方向の位置が一致した際に撮像するか、又は電子部品を認識処理する上での必要な撮像回数が複数回であり前記部品認識カメラの位置と装着ヘッドの位置とが前記一方向及び前記他の方向で一致した際に複数回停止撮像するかに切換え装置で切換えて撮像することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、撮像認識であっても、各ビームに取り付けられた異なるタイプの装着ヘッドの種類と、１つの装着ヘッドあたりの電子部品を認識処理する上での必要な撮像回数とに基づいて、部品認識カメラの位置と装着ヘッドの位置とを一方向に合わせてから装着ヘッドが他の方向に移動しながら両者の他の方向の位置が一致した際に部品認識カメラが撮像するか、部品認識カメラの位置と装着ヘッドの位置とを他の方向に合わせてからビームが一方向に移動しながら両者の一方向の位置が一致した際に撮像するか、又は電子部品を認識処理する上での必要な撮像回数が複数回であり前記部品認識カメラの位置と装着ヘッドの位置とが前記一方向及び前記他の方向で一致した際に複数回停止撮像するかに切換え装置で切換えて撮像するので、電子部品の微細化に伴うプリント基板の生産効率化の観点から多様な電子部品装着装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下図１に基づき、プリント基板Ｐ上に電子部品を装着する電子部品装着装置１についての実施の形態を説明する。電子部品装着装置１には、プリント基板Ｐを搬送する搬送装置２と、電子部品を供給する部品供給装置３と、Ｙ軸モータ１８により一方向（Ｙ方向）に移動可能な一対のビーム４Ａ、４Ｂと、それぞれ吸着ノズル５を備えて前記各ビーム４Ａ、４Ｂに沿った方向にＸ軸モータ１９により移動可能な装着ヘッド６Ａ、６Ｂとが設けられている。
【００１０】
即ち、前記ビーム４Ａに１つ配設される前記装着ヘッド６Ａは、高速型装着ヘッドと呼ばれ、装着ヘッド６Ａには各バネにより下方へ付勢されている、例えば１２本の吸着ノズル５が円周上に所定間隔を存して配設されており、各装着ヘッド６の３時と９時の位置に位置する吸着ノズル５により並設された複数の部品供給ユニット３Ｂから電子部品を同時に取出しすることも可能である。また、前記ビーム４Ｂに３つ配設される前記装着ヘッド６Ｂは、多機能型装着ヘッドと呼ばれ、各装着ヘッド６Ｂには各バネにより下方へ付勢されている、例えば１本の吸着ノズル５が配設されている。
【００１１】
そして、吸着ノズル５は上下軸モータにより昇降可能であり、またθ軸モータにより鉛直軸周りに回転させることにより、結果として各装着ヘッド６Ａ、６Ｂの各吸着ノズル５はＸ方向及びＹ方向に移動可能であり、垂直線回りに回転可能で、且つ上下動可能となっている。
【００１２】
前記搬送装置２は電子部品装着装置１の前後の中間部に配設され、上流側装置（図１の左方に位置する）からプリント基板Ｐを受け継ぐ基板供給部と、前記各装着ヘッド６の吸着ノズル５に吸着保持された電子部品を装着するために基板供給部から供給されたプリント基板Ｐを位置決め固定する基板位置決め部と、この位置決め部で電子部品が装着されたプリント基板Ｐを受け継いで下流側装置（図１の右方に位置する）に搬送する基板排出部とから構成される。
【００１３】
前記部品供給装置３は前記搬送装置２の手前側と奥側との両外側にそれぞれ配設され、電子部品装着装置１の装置本体に取り付けられるフィーダベース３Ａと、このフィーダベース３Ａ上に複数並設され種々の電子部品を１個ずつ夫々その部品取出し部（部品吸着位置）に供給する部品供給ユニット３Ｂ群とから構成される。
【００１４】
そして、Ｘ方向に長い前後一対の前記ビーム４Ａ、４Ｂは、Ｙ軸モータ１８の駆動により左右一対の前後に延びたガイドに沿って前記各ビーム４Ａ、４Ｂに固定されたスライダが摺動して個別にＹ方向に移動する。前記Ｙ軸モータ１８は、左右一対の基体１Ａ、１Ｂに沿って固定された上下一対の固定子と、前記ビーム４Ａ、４Ｂの両端部に設けられた取付板の下部に固定された可動子９Ａとから成るリニアモータから構成される。
【００１５】
また、前記ビーム４Ａ、４Ｂにはその長手方向（Ｘ方向）にＸ軸モータ１９によりガイドに沿って移動する前記装着ヘッド６が夫々内側に設けられており、前記Ｘ軸モータ１９は各ビーム４Ａ、４Ｂに固定された前後一対の固定子と、各固定子の間に位置して前記装着ヘッド６に設けられた可動子とから成るリニアモーから構成される。
【００１６】
従って、各装着ヘッド６は向き合うように各ビーム４Ａ、４Ｂの内側に設けられ、前記搬送装置２の位置決め部上のプリント基板Ｐや部品供給ユニット３Ｂの部品取出し位置上方を移動する。
【００１７】
また、各装着ヘッド６には基板認識カメラ８が設けられ、位置決めされているプリント基板Ｐに付された位置決めマークを撮像する。１０は電子部品装着装置１に２個設けられる照明ユニットで、各吸着ノズル５に吸着保持された電子部品に照明光を照射する。この照明ユニット１０は、前記吸着ノズル５に吸着保持された電子部品ＤがＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）であったときに、その部品に向けて傾斜した状態で照明光を照射する複数のＢＧＡ反射照明灯であるＢＧＡ照明用ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）や、一般反射照明灯である一般反射照明用ＬＥＤや、透過照明用ＬＥＤや、同軸照明用ＬＥＤなどの照明灯１１と、部品認識カメラ１２などから構成される。
【００１８】
従って、前記各装着ヘッド６Ａ、６Ｂの吸着ノズル５に吸着保持された電子部品を照明灯１１が照明光を照射して、各部品認識カメラ１２で、撮像し、部品認識処理装置で認識処理し、吸着ノズル５の中心に対する位置ズレが把握される。
【００１９】
次に、電子部品の撮像制御に係る制御ブロック図である図２に基づき、以下説明する。先ず、２０は電子部品装着装置１におけるプリント基板Ｐ上に電子部品を装着する部品装着動作に係る動作等を統括制御する制御装置としての制御用マイクロコンピュータ（以下、「制御マイコン」という。）で、ＣＰＵ（セントラル・プロセッシング・ユニット）、ＲＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）、ＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）を備え、ＣＰＵが前記ＲＡＭに記憶されたデータに基づき、前記ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、部品装着に係る動作の制御を行う。前記ＲＡＭには、装着順序毎にプリント基板Ｐへの電子部品の装着座標を示すＮＣデータや、電子部品の特徴である部品ライブラリデータや、前記ＮＣデータに基づいて生産性向上のために最適化された装着順データである最適化データ等が格納されている。
【００２０】
２１は作業者の操作用マイクロコンピュータ（以下、「操作マイコン」という。）であり、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備え、前述したＮＣデータや、部品ライブラリデータや、最適化データ等が格納されており、この操作マイコン２１には操作モニタ２２や、キーボードやマウス等の入力装置２３が接続されている。
【００２１】
２５は画像処理装置としての画像処理マイクロコンピュータ（以下、「画像処理マイコン」という。）であり、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備え、前述した部品ライブラリデータや、部品認識カメラ１２の位置データ等が格納されている。
【００２２】
そして、前記制御マイコン２０、操作マイコン２１及び画像処理マイコン２５は、ＬＡＮ回線２６及びハブ２７を介して接続されている。また、前記制御マイコン２０には、Ｘ軸モータ１９用のＸ軸用サーボアンプ２７や、Ｙ軸モータ１８用のＹ軸用サーボアンプ２８が接続されている。
【００２３】
３０は位置監視回路で、前記Ｘ軸モータ１９、Ｙ軸モータ１８からパルス信号が入力されて部品認識カメラ１２の位置データと一致すると、画像取込回路３１に位置一致信号を発する。位置一致信号を受けた画像取込回路３１は画像取込信号を手前側（図２における左側）又は奥側（図２における右側）の部品認識カメラ１２に出力して露光させると共に照明灯１１にフラッシュ点灯信号を出力して点灯させる。
【００２４】
そして、部品認識カメラ１２で撮像された画像の画像データは画像取込回路３１を介して画像処理マイコン３１に送られ、認識処理され、吸着ノズル５に対する位置ズレが把握される。
【００２５】
次に、認識制御に係るフローチャート図である図３に基づいて、以下説明する。先ず、制御マイコン２０はそのＲＡＭに格納されたプリント基板Ｐの生産運転に必要なＮＣデータや装着順データ等を読み込み取得する。そして、生産運転を開始し、プリント基板Ｐが上流側装置（図示せず）より受継がれて搬送装置２の基板供給部上に存在すると、この基板供給部上のプリント基板Ｐを基板位置決め部へ移動させ、このプリント基板Ｐを位置決めして固定する。
【００２６】
そして、プリント基板Ｐの位置決めがされると、ＮＣデータに従い、例えば奥側のビーム４ＡがＹ軸モータ１８の駆動によりＹ方向に移動すると共にＸ軸モータ１９により装着ヘッド６ＡがＸ方向に移動し、ＮＣデータのステップ番号０００１の電子部品を供給する部品供給ユニット３Ｂの部品取出し位置上方まで移動して上下軸モータの駆動により吸着ノズル５を下降させて部品供給ユニット３Ｂから電子部品を取出す。この場合、装着ヘッド６をＸ方向に移動させると共に回転させ、更に各吸着ノズル５を昇降させることにより、複数の吸着ノズル５が次々と部品供給ユニット３Ｂから電子部品を最大１２個まで取出すことができる。
【００２７】
また、奥側の装着ヘッド６Ａの吸着ノズル５による電子部品の取出しの後、或いは取出しているときに、手前側のビーム４ＢがＹ軸モータ１８の駆動によりＹ方向に移動すると共にＸ軸モータ１９により装着ヘッド６ＢがＸ方向に移動し、対応する部品供給ユニット３Ｂの部品取出し位置上方まで移動して上下軸モータの駆動により吸着ノズル５を下降させて部品供給ユニット３Ｂから電子部品を取出すことができる。この場合、装着ヘッド６Ｂは３個あって、各装着ヘッド６Ｂには吸着ノズル５が１本であるので、ビーム４Ｂでは電子部品を最大３個まで取り出すことができる。
【００２８】
そして、取出した後は両装着ヘッド６Ａ、６Ｂの吸着ノズル５を上昇させて、部品認識カメラ１２による画像の取り込みが開始されることとなる。この場合、制御マイコン２０は前記ＮＣデータに基づいて生産性向上のために最適化された装着順データを作成する。そして、制御マイコン２０はこの作成された装着順データと、吸着ノズル５に吸着されている電子部品数と、装着ヘッドの種類と、電子部品を認識する上で必要な撮像回数とに基づいて、１ビーム当り１回撮像するか否かを判断する。
【００２９】
この場合、撮像すべき電子部品を吸着保持している吸着ノズル５が高速型の装着ヘッド６Ａである場合であって移動しながら撮像するフライ撮像の場合や、同じく撮像すべき電子部品を吸着保持している吸着ノズル５が多機能型の１つの装着ヘッド６Ｂであってフライ撮像の場合には、制御マイコン２０は撮像すべき装着ヘッドのＸ方向における位置を部品認識カメラ１２のＸ方向における位置に合わせるべく、Ｘ軸用サーボアンプ２７を介してＸ軸モータ１９を制御して当該装着ヘッドをＸ方向に移動させて、当該装着ヘッドを部品認識カメラ１２のＹ直線上に配置させる。
【００３０】
この配置後に、制御マイコン２０は画像処理マイコン２５に画像取込に係る命令を出力する。そして、フライ撮像認識が行われることとなるが、部品認識カメラ１２やビームが指定され、当該ビームの装着ヘッドのＹ方向における位置が監視される。
【００３１】
即ち、奥側の装着ヘッド６Ａ又は手前側の所定の装着ヘッド６Ｂがビーム４Ａ又は４ＢのＹ軸モータ１８の駆動により奥側又は手前側の部品認識カメラ１２の上方を通過するが、その通過する前に、この奥側又は手前側の部品認識カメラ１２のＹ方向における位置と奥側の装着ヘッド６Ａ又は手前側の所定の装着ヘッド６ＢのＹ方向における位置とを合わせるので、位置監視回路３０がＹ軸モータ１８からのパルス信号を入力して部品認識カメラ１２の位置データと一致すると、画像取込回路３１に位置一致信号を発し、この位置一致信号を受けた画像取込回路３１は画像取込信号を部品認識カメラ１２に出力して露光させると共に照明灯１１にフラッシュ点灯信号を出力して所定の照明パターンで点灯させる。
【００３２】
従って、画像取込がなされて、撮像された画像に係る画像データが画像取込回路３１から画像処理マイコン２５に送られ、当該電子部品の認識処理がなされ、画像処理マイコン２５から制御マイコン２０に認識処理結果が送られる。このため、制御マイコン２０はＮＣデータの電子部品の装着座標に各電子部品の位置認識結果を加味して、吸着ノズル５が位置ずれを補正しつつ、それぞれ電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。即ち、Ｘ及びＹ方向については各ビーム４Ａ又は４Ｂに対応するＹ軸モータ１８及びその装着ヘッド６Ａ又は６Ｂに係るＸ軸モータ１９により、装着角度についてはθ軸モータにより、結果として各装着ヘッドの各吸着ノズル５はＸ・Ｙ方向及び装着角度が補正され、吸着ノズル５が位置ずれを補正しつつ、各電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。
【００３３】
また、部品供給ユニット３Ｂから電子部品を取出した後に、制御マイコン２０が作成された装着順データと、吸着ノズル５に吸着されている電子部品数と、装着ヘッドの種類と、電子部品を認識する上で必要な撮像回数とに基づいて、１ビーム当り１回撮像するか否かを判断した際に、１ビーム当り１回撮像するものではないと判断すると、次に制御マイコン２０は１装着ヘッド当り１回のみ撮像するか、言い換えると、１装着ヘッド当り複数回撮像するものではないか判断する。
【００３４】
この場合、１装着ヘッド当り１回のみ撮像する、言い換えると、１装着ヘッド当り複数回撮像しないと判断した場合は、撮像すべき電子部品を吸着保持している吸着ノズル５が多機能型の装着ヘッド６Ｂのものであってフライ撮像の場合であって、制御マイコン２０は撮像すべき装着ヘッドのＹ方向における位置を部品認識カメラ１２のＹ方向における位置に合わせるべく、Ｙ軸用サーボアンプ２８を介してＹ軸モータ１８を制御して当該装着ヘッド６Ｂのビーム４ＢをＹ方向に移動させて、当該装着ヘッドを部品認識カメラ１２のＸ直線上に配置させる。
【００３５】
この配置後に、制御マイコン２０は画像処理マイコン２５に画像取込に係る命令を出力する。そして、フライ撮像認識が行われることとなるが、部品認識カメラ１２やビーム４Ｂが指定され、当該ビーム４Ｂの所定の装着ヘッド６ＢのＸ方向における位置が監視される。
【００３６】
即ち、手前側の所定の装着ヘッド６Ｂがビーム４ＢのＸ軸モータ１９の駆動により手前側の部品認識カメラ１２の上方を通過するが、その通過する前に、この手前側の部品認識カメラ１２のＸ方向における位置と手前側の所定の装着ヘッド６ＢのＸ方向における位置とを合わせるので、位置監視回路３０がＸ軸モータ１９からのパルス信号を入力して部品認識カメラ１２の位置データと一致すると、画像取込回路３１に位置一致信号を発し、この位置一致信号を受けた画像取込回路３１は画像取込信号を手前側（図２における左側）の部品認識カメラ１２に出力して露光させると共に照明灯１１にフラッシュ点灯信号を出力して所定の照明パターンで点灯させる。
【００３７】
従って、画像取込がなされて、撮像された画像に係る画像データが画像取込回路３１から画像処理マイコン２５に送られ、当該電子部品の認識処理がなされ、画像処理マイコン２５から制御マイコン２０に認識処理結果が送られる。このため、制御マイコン２０はＮＣデータの電子部品の装着座標に各電子部品の位置認識結果を加味して、吸着ノズル５が位置ずれを補正しつつ、電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。即ち、Ｘ及びＹ方向については各ビーム４Ａ又は４Ｂに対応するＹ軸モータ１８及びその装着ヘッド６Ａ又は６Ｂに係るＸ軸モータ１９により、装着角度についてはθ軸モータにより、結果として各装着ヘッドの各吸着ノズル５はＸ・Ｙ方向及び装着角度が補正され、吸着ノズル５が位置ずれを補正しつつ、各電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。
【００３８】
なお、部品供給ユニット３Ｂから電子部品を取出した後に、制御マイコン２０が作成された装着順データと、吸着ノズル５に吸着されている電子部品数と、装着ヘッドの種類と、電子部品を認識する上で必要な撮像回数とに基づいて、１ビーム当り１回撮像するか否かを判断した際に、１ビーム当り１回撮像するものではないと判断すると、次に制御マイコン２０は１装着ヘッド当り１回のみ撮像するかを判断して、１装着ヘッド当り１回のみ撮像しない、言い換えると、１装着ヘッド当り複数回撮像すると判断した場合は、撮像すべき電子部品を吸着保持している吸着ノズル５が多機能型の装着ヘッド６Ｂのものであって停止撮像の場合である。
【００３９】
即ち、多機能型の装着ヘッド６Ｂで吸着保持している電子部品を例えば、照明パターンを変えて２回撮像する場合であり、この場合は、制御マイコン２０は撮像すべき装着ヘッドのＸ方向及びＹ方向における位置を部品認識カメラ１２のＸ方向及びＹ方向における位置に合わせるように制御する。そして、この配置後に、制御マイコン２０は画像処理マイコン２５に画像取込に係る命令を出力し、停止撮像認識が行われることとなるが、部品認識カメラ１２やビーム４Ｂが指定されるが、既に位置合わせをしているので、当該ビーム４Ｂの装着ヘッド６Ｂの位置は監視されない。
【００４０】
従って、画像取込回路３１は画像取込信号を部品認識カメラ１２に出力して露光させると共に照明灯１１にフラッシュ点灯信号を出力して所定の照明パターンで点灯させて画像取込を行うが、更に画像取込信号を部品認識カメラ１２に出力して露光させると共に照明灯１１にフラッシュ点灯信号を出力して前記所定の照明パターンとは異なる他の照明パターンで点灯させて画像取込を行う
従って、画像取込がなされて、撮像された画像に係る画像データが画像取込回路３１から画像処理マイコン２５に送られ、当該電子部品の認識処理がなされ、画像処理マイコン２５から制御マイコン２０に認識処理結果が送られる。このため、制御マイコン２０はＮＣデータの電子部品の装着座標に各電子部品の位置認識結果を加味して、吸着ノズル５が位置ずれを補正しつつ、それぞれ電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。即ち、Ｘ及びＹ方向については各ビーム４Ａ又は４Ｂに対応するＹ軸モータ１８及びその装着ヘッド６Ａ又は６Ｂに係るＸ軸モータ１９により、装着角度についてはθ軸モータにより、結果として各装着ヘッドの各吸着ノズル５はＸ・Ｙ方向及び装着角度が補正され、吸着ノズル５が位置ずれを補正しつつ、各電子部品をプリント基板Ｐ上に装着する。
【００４１】
なお、ビーム４Ｂに３つ配設される装着ヘッド６Ｂは、それそれの装着ヘッドが共にＸ軸方向に移動するものでも、各装着ヘッドが独立してＸ軸方向に移動するものでもよい。
【００４２】
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】電子部品装着装置の概略平面図である。
【図２】電子部品の撮像制御に係る制御ブロック図である。
【図３】認識制御に係るフローチャート図である。
【符号の説明】
【００４４】
１            電子部品装着装置
２            搬送装置
３            部品供給装置
３Ｂ          部品供給ユニット
４Ａ、４Ｂ    ビーム
５            吸着ノズル
６Ａ、６Ｂ    装着ヘッド
１２          部品認識カメラ
２０          制御マイコン
２５          画像処理マイコン
【図１】
0005031619.tif 000002
【図２】
0005031619.tif 000003
【図３】
0005031619.tif 000004