(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアカセットを載置するために半導体製造装置のフレームの開口を閉塞するプレートの外側に水平に設けられたカセットテーブルと、当該カセットテーブルに載置された前記キャリアカセットの開口に対して蓋体を着脱させるために、前記プレートの内側に昇降可能に配置された蓋体着脱装置とを備えたロードポート装置であって、
前記蓋体着脱装置は、前記プレートの外側に垂直に取り付けられたシリンダと、前記プレートに対して垂直な水平方向に移動可能な連結部材が、前記プレートの外側に配置されたベース体に取り付けられて、当該連結部材が、前記プレートにその上下方向に形成されたスリットに挿通された状態で、前記シリンダのロッドに取り付けられて昇降する水平移動装置と、前記連結部材における前記プレートの内側部分に一体に装着された蓋体着脱具と、を備え、
前記水平移動装置の下方では、前記プレートの外側において、ケース内に閉塞テープが巻取り方向に付勢された状態で巻回された第１閉塞具が前記スリットの下形成端部又は前記水平移動装置のベース体のいずれか一方に取り付けられていると共に、前記第１閉塞具から引き出された閉塞テープの先端部がその他方に取り付けられ、
前記水平移動装置の上方では、前記プレートの内側において、前記水平移動装置の昇降時に、前記第１閉塞具と同一構造の第２閉塞具から、前記シリンダのロッドの上端部に連結したブラケットに取付けられた屈曲体により屈曲されて上方に引き出された閉塞テープの垂直部が前記スリットにほぼ密着するようにして、前記第２閉塞具が前記水平移動装置の連結部材に取り付けられていると共に、前記第２閉塞具の閉塞テープの先端部が前記スリットの上形成端部に取り付けられているか、又は前記プレートの外側において、前記第２閉塞具から引き出された閉塞テープが前記屈曲体により上方に屈曲されて、前記閉塞テープの垂直部が前記スリットにほぼ密着するようにして、前記第２閉塞具が前記ブラケットに取付けられていると共に、閉塞テープの先端部が前記スリットの上形成端部に取付けられ、
前記水平移動装置のベース体の背面には、前記スリットにおける第１及び第２の各閉塞具の各閉塞テープにより閉塞された部分、及び当該スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通された部分を除く残りの部分を閉塞するための閉塞板が取付けられ、
前記シリンダによる蓋体着脱具の昇降、及び前記水平移動装置による蓋体着脱具の水平移動により、前記プレートの外側又は内側において、前記スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通されることにより残存した全ての部分が第１及び第２の各閉塞具から引き出された各閉塞テープ、並びに前記ベース体の背面の閉塞板によりそれぞれ閉塞される構成であることを特徴とするロードポート装置におけるスリット閉塞装置。
【請求項２】
キャリアカセットを載置するために半導体製造装置のフレームの開口を閉塞するプレートの外側に水平に設けられたカセットテーブルと、当該カセットテーブルに載置された前記キャリアカセットの開口に対して蓋体を着脱させるために、前記プレートの内側に昇降可能に配置された蓋体着脱装置とを備えたロードポート装置であって、
前記蓋体着脱装置は、前記プレートの外側に垂直に取り付けられたシリンダと、前記プレートに対して垂直な水平方向に移動可能な連結部材が、前記プレートの外側に配置されたベース体に取り付けられて、当該連結部材が、前記プレートにその上下方向に形成されたスリットに挿通された状態で、前記シリンダのロッドに取り付けられて昇降する水平移動装置と、前記連結部材における前記プレートの内側部分に一体に装着された蓋体着脱具と、を備え、
前記水平移動装置の下方では、前記プレートの外側において、ケース内に閉塞テープが巻取り方向に付勢された状態で巻回された第１閉塞具が前記スリットの下形成端部又は前記水平移動装置のベース体のいずれか一方に取り付けられていると共に、前記第１閉塞具から引き出された閉塞テープの先端部がその他方に取り付けられ、
前記水平移動装置の上方では、同じくプレートの外側において、前記第１閉塞具と同一構造の第２閉塞具が前記スリットの上形成端部に取り付けられていると共に、前記第２閉塞具の閉塞テープの先端部が、前記シリンダのロッドの上端部に連結されたブラケットに取り付けられ、
前記水平移動装置のベース体の背面には、前記スリットにおける第１及び第２の各閉塞具の各閉塞テープにより閉塞された部分、及び当該スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通された部分を除く残りの部分を閉塞するための閉塞板が取付けられ、
前記シリンダによる蓋体着脱具の昇降、及び前記水平移動装置による蓋体着脱具の水平移動により、前記プレートの外側又は内側において、前記スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通されることにより残存した全ての部分が第１及び第２の各閉塞具から引き出された各閉塞テープ、並びに前記ベース体の背面の閉塞板によりそれぞれ閉塞される構成であることを特徴とするロードポート装置におけるスリット閉塞装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセットテーブルに載置されたキャリアカセットの蓋体を着脱させるための蓋体着脱装置を備えたロードポート装置に関し、更に詳しくは半導体製造装置のフレームの開口を閉塞するプレートの内側に配置された蓋体着脱装置の蓋体着脱具と、前記プレートの外側に配置された前記蓋体着脱装置の昇降装置とを連結する部材を挿通するために、プレートにその上下方向に形成されたスリットを閉塞する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術を説明するにあたり本発明の図を援用する。ロードポート装置Ｌは、キャリアカセットＫ（以下、単に「カセット」ということもある。）に収容された多数枚の各基板を、半導体製造装置（以下、単に「製造装置」ということもある。）Ｅに移載するために、前記カセットＫを載置するための装置である (カセットＫは図示せず）。図１に示されるように、当該ロードポート装置Ｌは、製造装置ＥのフレームＦの開口を閉塞するプレート１の外側に水平に設けられたカセットテーブルＴと、当該カセットテーブルＴに載置された前記カセットＫの開口に対して蓋体Ｋａを着脱させるために、前記プレート１の内側に昇降可能に装着された蓋体着脱装置Ｇを備えている。前記カセットテーブルＴに載置されたカセットＫに多段となって収容されている各基板Ｗ (図示せず) は、カセットＫから製造装置Ｅに移載され、当該製造装置Ｅ内で所定の処理が施された後、再度前記カセットＫ内に戻されて、次工程の製造装置Ｅに搬送される。カセットＫとしては、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）が利用されることが多い。
【０００３】
製造装置Ｅのプレート１の内側には、蓋体着脱装置Ｇが昇降可能に装着されている。当該蓋体着脱装置Ｇは、基板Ｗの処理前にはカセットＫの開口を覆っている蓋体Ｋａを取り外し、当該蓋体Ｋａを降下させて前記カセットＫ内の各基板Ｗを前記開口から製造装置Ｅ内へ移載可能にし、一方、基板Ｗの処理後には基板ＷをカセットＫに再収容した後、前記蓋体Ｋａを上昇させて前記開口に装着する。蓋体着脱装置Ｇの昇降はエアシリンダ等の昇降装置３０によって駆動されるが、蓋体着脱装置Ｇ及び前記昇降装置３０の両方を前記プレート１の背面に配置するのはスペースの関係上難しい。このため、例えば特許文献１で示されるように、前記昇降装置３０が前記プレート１の正面に配置されたロードポート装置Ｌは多く存在する。当該形式のロードポート装置Ｌの場合、プレート１の背面側の蓋体着脱装置Ｇは正面側の昇降装置３０と第１連結部材４１を介して連結されていて、プレート１には前記第１連結部材４１を挿通させるためのスリットＳが上下方向Ｚに沿って形成されている。前記昇降装置３０を駆動させると、前記第１連結部材４１が前記スリットＳ内を昇降し、第１連結部材４１と連結した蓋体着脱装置Ｇも同時に昇降する。
【０００４】
基板Ｗを処理する製造装置Ｅにおいて、処理の内容によっては内部がガス雰囲気に維持されているものがある。当該製造装置Ｅに装着するロードポート装置Ｌが前記スリットＳを有するものである場合、運転時には前記製造装置Ｅ内のガスがスリットＳを通って大気中へ漏れ出てしまうため、ランニングコストが増える問題がある。また、前記ガスが、例えば窒素ガスのように無害なものであれば多少漏れ出ても安全であるが、例えば基板Ｗの処理過程で発生したガスが人体に有害であったり、金属腐食作用のあるガスであった場合には、前記ガスが前記スリットＳから僅かしか漏れ出ないとしても問題である。前記スリットＳを閉塞して前記ガスの漏出を防止する必要がある。
【特許文献１】特開２００５−３４７６０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
カセットテーブルに載置されたキャリアカセットの蓋体を着脱させるための蓋体着脱装置を備えたロードポート装置において、製造装置のフレームの開口を閉塞するプレートの内側に配置された蓋体着脱装置と、前記プレートの外側に配置された前記蓋体着脱装置の昇降装置とを連結する部材を挿通するために、プレートの上下方向に形成されたスリットを閉塞することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために請求項１の発明は、キャリアカセットを載置するために半導体製造装置のフレームの開口を閉塞するプレートの外側に水平に設けられたカセットテーブルと、当該カセットテーブルに載置された前記キャリアカセットの開口に対して蓋体を着脱させるために、前記プレートの内側に昇降可能に配置された蓋体着脱装置とを備えたロードポート装置であって、前記蓋体着脱装置は、前記プレートの外側に垂直に取り付けられたシリンダと、前記プレートに対して垂直な水平方向に移動可能な連結部材が、前記プレートの外側に配置されたベース体に取り付けられて、当該連結部材が、前記プレートにその上下方向に形成されたスリットに挿通された状態で、前記シリンダのロッドに取り付けられて昇降する水平移動装置と、前記連結部材における前記プレートの内側部分に一体に装着された蓋体着脱具とを備え、前記水平移動装置の下方では、前記プレートの外側において、ケース内に閉塞テープが巻取り方向に付勢された状態で巻回された第１閉塞具が前記スリットの下形成端部又は前記水平移動装置のベース体のいずれか一方に取り付けられていると共に、前記第１閉塞具から引き出された閉塞テープの先端部がその他方に取り付けられ、前記水平移動装置の上方では、前記プレートの内側において、前記水平移動装置の昇降時に、前記第１閉塞具と同一構造の第２閉塞具から、前記シリンダのロッドの上端部に連結したブラケットに取付けられた屈曲体により屈曲されて上方に引き出された閉塞テープの垂直部が前記スリットにほぼ密着するようにして、前記第２閉塞具が前記水平移動装置の連結部材に取り付けられていると共に、前記第２閉塞具の閉塞テープの先端部が前記スリットの上形成端部に取り付けられているか、又は前記プレートの外側において、前記第２閉塞具から引き出された閉塞テープが前記屈曲体により上方に屈曲されて、前記閉塞テープの垂直部が前記スリットにほぼ密着するようにして、前記第２閉塞具が前記ブラケットに取付けられていると共に、閉塞テープの先端部が前記スリットの上形成端部に取付けられ、前記水平移動装置のベース体の背面には、前記スリットにおける第１及び第２の各閉塞具の各閉塞テープにより閉塞された部分、及び当該スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通された部分を除く残りの部分を閉塞するための閉塞板が取付けられ、前記シリンダによる蓋体着脱具の昇降、及び前記水平移動装置による蓋体着脱具の水平移動により、前記プレートの外側又は内側において、前記スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通されることにより残存した全ての部分が第１及び第２の各閉塞具から引き出された各閉塞テープ、並びに前記ベース体の背面の閉塞板によりそれぞれ閉塞される構成であることを特徴としている。
【０００７】
ロードポート装置のカセットテーブルに載置されたカセットの蓋体の着脱を行う際には、まずシリンダのロッドを突出させて、製造装置のフレームの開口を覆うプレートの背面側の下降端に位置している蓋体着脱装置の蓋体着脱具を上昇端まで移動させ、次に、水平移動装置の連結部材を手前側の前進端まで移動させて、前記カセットの蓋体に前記蓋体着脱具を吸着させて取り外す。請求項１の発明によれば、当該蓋体着脱具の上昇時には、プレートの外側において、第１閉塞具から閉塞テープが引き出されて、引き出されて長くなった分の閉塞テープは水平移動装置の下方部分のスリットを閉塞する。一方、水平移動装置の上方部分では、プレートの内側において、前記蓋体着脱装置の上昇により、屈曲体により屈曲されて第２閉塞具に対して閉塞テープが引き出されたり、或いは巻き戻されたりして、水平移動装置の連結部材に取付けられた第２閉塞具からの閉塞テープは、シリンダのロッドの上端部に連結したブラケットに取付けられた屈曲体により上方に屈曲されて、その引出し長が変化され、引き出された閉塞テープの垂直部により、前記スリットの内側が閉塞される。また、水平移動装置の前後動によっても、第２閉塞具の閉塞テープの引出し長は変化されるが、前記蓋体着脱装置が停止している場合には、第２閉塞具の閉塞テープは、その水平部の長さが変化するのみである。更に、前記水平移動装置のベース体の背面には、前記スリットにおける第１及び第２の各閉塞具の各閉塞テープにより閉塞された部分、及び当該スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通された部分を除く残りの部分を閉塞するための閉塞板が取付けられていて、前記スリットは、下端から上端に向けて、第１閉塞具の閉塞テープ、水平移動装置のベース体の背面の閉塞板、当該水平移動装置の連結部材、及び第２閉塞具の閉塞テープの垂直部の計４つの異なる部材により、全長に亘って閉塞される。よって、半導体製造装置の内部の充填ガスや、基板処理時に発生するガスがスリットを通して外部に漏れ出るのを防止できる。
【０００８】
一方、シリンダのロッドの上端部に連結したブラケットに第２閉塞具が取付けられている場合には、当該第２閉塞具から引き出された閉塞テープは、当該ブラケットに取付けられた屈曲体により上方に屈曲されて、水平移動装置よりも上方部分のスリットを、プレートの外側において閉塞する。
【０００９】
このように、前記シリンダによる蓋体着脱具の昇降、及び前記水平移動装置による蓋体着脱具の水平移動により、前記プレートの外側及び内側において、前記スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通され残りの全ての部分が第１及び第２の各閉塞具から引き出された各閉塞テープ、並びに前記ベース体の背面の閉塞板によりそれぞれ閉塞される構成になっている。
【００１０】
よって、ロードポート装置の作用状態、換言すると、蓋体着脱装置の配置位置とは無関係に、プレートに形成されたスリットの大部分が常に閉塞されるので、製造装置内の充填ガスや基板処理時に発生するガスが当該スリットから漏れ出てしまうのを防止できる。
【００１１】
請求項２の発明は、キャリアカセットを載置するために半導体製造装置のフレームの開口を閉塞するプレートの外側に水平に設けられたカセットテーブルと、当該カセットテーブルに載置された前記キャリアカセットの開口に対して蓋体を着脱させるために、前記プレートの内側に昇降可能に配置された蓋体着脱装置とを備えたロードポート装置であって、前記蓋体着脱装置は、前記プレートの外側に垂直に取り付けられたシリンダと、前記プレートに対して垂直な水平方向に移動可能な連結部材が、前記プレートの外側に配置されたベース体に取り付けられて、当該連結部材が、前記プレートにその上下方向に形成されたスリットに挿通された状態で、前記シリンダのロッドに取り付けられて昇降する水平移動装置と、前記連結部材における前記プレートの内側部分に一体に装着された蓋体着脱具とを備え、前記水平移動装置の下方では、前記プレートの外側において、ケース内に閉塞テープが巻取り方向に付勢された状態で巻回された第１閉塞具が前記スリットの下形成端部又は前記水平移動装置のベース体のいずれか一方に取り付けられていると共に、前記第１閉塞具から引き出された閉塞テープの先端部がその他方に取り付けられ、前記水平移動装置の上方では、同じくプレートの外側において、前記第１閉塞具と同一構造の第２閉塞具が前記スリットの上形成端部に取り付けられていると共に、前記第２閉塞具の閉塞テープの先端部が、前記シリンダのロッドの上端部に連結されたブラケットに取り付けられ、前記水平移動装置のベース体の背面には、前記スリットにおける第１及び第２の各閉塞具の各閉塞テープにより閉塞された部分、及び当該スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通された部分を除く残りの部分を閉塞するための閉塞板が取付けられ、前記シリンダによる蓋体着脱具の昇降、及び前記水平移動装置による蓋体着脱具の水平移動により、前記プレートの外側又は内側において、前記スリットにおける前記水平移動装置の連結部材が挿通されることにより残存した全ての部分が第１及び第２の各閉塞具から引き出された各閉塞テープ、並びに前記ベース体の背面の閉塞板によりそれぞれ閉塞される構成であることを特徴としている。
【００１２】
請求項２の発明によれば、第１及び第２の各閉塞具、及び当該各閉塞具から引き出された閉塞テープの先端のいずれもが、前記プレートに対して垂直な水平方向 (前後方向) には移動しないので、スリット閉塞装置の全体構成が簡易になる利点がある。
【００１３】
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ロードポート装置の蓋体着脱装置において、水平移動装置が上下方向、及び前後方向に移動しても、プレートにその上下方向に形成されたスリットは、第１及び第２の各閉塞具の各閉塞テープ、並びに水平移動装置のベース体の背面側の閉塞板によって常に閉塞される。このため、製造装置内の充填ガスや基板処理時に発生するガスが当該スリットから漏れ出てしまうのを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、最良の実施形態を挙げて本発明について更に詳細に説明する。図１は、製造装置ＥのフレームＦの外側に装着された本発明にかかるロードポート装置Ｌの全体斜視図である。図２は、図１のＡ−Ａ線断面図である。図３は、図２における第１及び第２の各閉塞具１０，２０部分の拡大図である。図４は、前記ロードポート装置ＬのカセットテーブルＴより下側部分を正面から見た図である。図５は、前記ロードポート装置ＬのカセットテーブルＴから下側部分を斜め下方向から見た図である。図６は、水平移動装置４０の平面図である。図７は、前記ロードポート装置Ｌのプレート１の背面における蓋体着脱具６０部分の斜視図である。図８ (イ) は、第２閉塞具２０の平面図である。同 (ロ) は、 (イ) のＢ−Ｂ線断面図である。
【００１６】
図１及び図２を用いてロードポート装置Ｌについて説明する。ロードポート装置Ｌは、製造装置ＥのフレームＦに形成された開口Ｆａを覆うようにして垂直に配置されたプレート１と、カセットＫを載置するために、当該プレート１の正面側、即ちフレームＦの外側に水平となって手前側に突設されたカセットテーブルＴと、前記プレート１の背面側、即ちフレームＦの内側に装着された蓋体着脱装置Ｇとを備えている。プレート１におけるカセットテーブルＴよりも上方部分には、製造装置Ｅと外部との間で基板Ｗを通過させてその受渡しを可能にするための方形状の基板通過口２が形成されている。基板通過口２が方形状をしているのは、当該基板通過口２は製造装置Ｅの内外の間で基板Ｗを受渡しのために通過させる機能を有するだけでなく、蓋体着脱装置ＧによりＦＯＵＰであるカセットＫの蓋体Ｋａを着脱させる際に、前記蓋体Ｋａを通過させる機能も有しているため、基板通過口２はカセットＫの蓋体Ｋａの形状に対して僅かに大きな相似形である必要があるからである。また、カセットテーブルＴは、プレート１に固定されたテーブル本体３と、当該テーブル本体３の上面において基板Ｗの受渡し方向Ｘに沿ってスライド可能に配置されたカセット載置板４を備えている。図２に示されるように、カセット載置板４の上面には、当該カセット載置板４に対してカセットＫを設定位置に位置決めした状態で載置するための位置決め部材５、前記カセットＫが載置されたことを検出するための着座センサ６、及び載置されたカセットＫを係止するためのクランプ具７が設けられている。カセット載置板４は、エアシリンダ等の駆動手段 (図示せず) により前記受渡し方向Ｘに沿って往復動されて、その前進端位置において、カセットＫの開口はプレート１の基板通過口２に臨むようになっている。なお、図中の符号Ｃは、蓋体着脱装置Ｇを被覆して保護するためのカバー体である。
【００１７】
蓋体着脱装置Ｇは、前記基板通過口２に臨んだカセットＫの蓋体Ｋａを着脱するためにロードポート装置Ｌのプレート１の背面側に装着された蓋体着脱具６０と、当該蓋体着脱具６０をプレート１の板面の上下方向Ｚに沿って昇降移動させるために前記プレート１の正面側に配置された昇降装置３０と、前記蓋体着脱具６０を受渡し方向Ｘに沿って進退移動させるための水平移動装置４０を備えている。昇降装置３０は、シリンダ本体３１とロッド３２で構成される。蓋体着脱具６０は水平移動装置４０と第１連結部材４１を介して連結されていて、当該第１連結部材４１は、プレート１のカセットテーブルＴより下部分において幅方向の中央部に上下方向Ｚに沿って形成されたスリットＳに挿通されている。蓋体着脱具６０と第１連結部材４１とは、蓋体着脱具６０の直下に配された第２連結部材６３が第１連結部材４１におけるプレート１の背面側部分に固定されることによって、連結されている。昇降装置３０と水平移動装置４０とは、ロッド３２の後方に配されて当該ロッド３２の昇降を誘導するシリンダ用ガイドレール３４に装着されたガイド体３５と水平移動装置４０のベース体４２を支持する支持板体４３とが固定されることによって連結されている。
【００１８】
図４及び図６を用いて、昇降装置３０について説明する。ロードポート装置Ｌのプレート１の正面側の前記スリットＳのやや側方（本実施例では図４の図面視における左側方）には、高さ方向に沿ってシリンダ用ガイドレール３４が敷設されている。当該シリンダ用ガイドレール３４に装着された１個のガイド体３５は、取付板体３３を介してロッド３２と連結されている。当該取付板体３３は、断面Ｌ字型の長尺部材であって、長尺方向が上下方向Ｚに沿うように配置されて、長尺方向に対して垂直に折れ曲がった上端部３３ａが、ロッド３２の上端部３２ａに螺合状態で固定されていると共に、前記取付板体３３の下端部付近が前記ガイド体３５に固着されている。昇降装置３０は上記構成のため、ロッド３２はシリンダ用ガイドレール３４に沿って昇降する。なお、図中の符号３６は、シリンダ本体３１を挿通してシリンダ本体３１をプレート１に固定するためのシリンダ固定部材３６である。
【００１９】
図４ないし図６を用いて水平移動装置４０について説明する。水平移動装置４０は、水平移動装置４０と蓋体着脱具６０を連結するための第１連結部材４１と、水平移動装置４０の基盤となって水平板部４２ａと垂直板部４２ｂとからなる正面視略Ｔ字型のベース体４２と、当該ベース体４２の水平板部４２ａを下から支持して昇降装置３０のガイド体３５に取り付けられた支持板体４３と、前記水平板部４２ａの上面に受渡し方向Ｘに沿って取り付けられたガイドレール４４と、当該ガイドレール４４に装着されたガイド体４５と、第１連結部材４１の下端部に取り付けられて、かつ前記ガイド体４５の上面に取り付けられることによって第１連結部材４１と共に受渡し方向Ｘに沿って移動可能な移動板体４６とから構成される。水平移動装置４０の駆動手段であるエアシリンダ４７は、前記ベース体４２の水平板部４２ａの下方において、受渡し方向Ｘと直交する水平方向Ｙに沿って配置され、垂直板部４２ｂをロッド４７ａが貫通可能となるように取り付けられていて、当該ロッド４７ａの先端にはラック部４７ｂが形成されている。前記水平板部４２ａには軸部材４８が挿通されていて、当該軸部材４８の下端部にはピニオン部材４９が取り付けられて、当該ピニオン部材４９と前記ラック部４７ｂとが噛合する。軸部材４８の上端部には旋回アーム５１の一端が水平方向に装着されていて、当該旋回アーム５１の他端部には、上方に向けて係合ピン５２が取り付けられている。前記移動板体４６には、前記係合ピン５２の上端部を係合可能な係合孔４６ａが、受渡し方向Ｘと直交する水平方向Ｙに沿うような幅をもって形成されている。エアシリンダ４７のロッド４７ａを出没させてラック部４７ｂと噛合するピニオン部材４９を半回転させることにより、係合ピン５２は係合孔４６ａ内を動きながら旋回し、移動板体４６は受渡し方向Ｘに沿って係合ピン５２の旋回半径の２倍の距離だけ直線移動することとなる。移動板体４６は、第１連結部材４１及び第２連結部材６３を介して蓋体着脱具６０と連結しているので、移動板体４６を直線移動させることによって、カセットテーブルＴのカセット載置板４に載置されて基板通過口２に最も近接して配置されているカセットＫに対して、蓋体着脱具６０を接近・離隔して前記カセットＫの蓋体Ｋａを着脱することができる。なお、本実施例において、第１連結部材４１の上部には配線等を通すための断面コの字型の部材４１ａが取り付けられていて、第１連結部材４１は、前記部材４１ａと共にスリットＳに挿通されている。
【００２０】
次に、図７を用いて蓋体着脱具６０について説明する。蓋体着脱具６０は着脱具本体６１と、着脱具本体６１の前面（基板通過口２と対向する側）に装着された着脱盤６２を備えていて、当該着脱盤６２の上下端部には、カセットＫの蓋体Ｋａを着脱する際に、当該蓋体Ｋａを一時的に保持するための複数の吸盤６２ａ及び爪体６２ｂが設けられている。着脱具本体６１はその下端部において第２連結部材６３と連結していると共に、スリットＳを挿通した第１連結部材４１におけるプレート１の背面側の端面にボルト２６で固定されて連結している。第２連結部材６３は略断面Ｌ字状の部材であって、着脱具本体６１を下から支持する支持部６３ａと、第１連結部材４１の前記端面と連結する連結部６３ｂとから構成される。着脱具本体６１が第２連結部材６３、及び水平移動装置４０の移動板体４６に固定された第１連結部材４１と連結していることによって、蓋体着脱具６０は昇降装置３０のシリンダ本体３１の駆動によって上下方向Ｚに沿って昇降移動すると共に、水平移動装置４０のエアシリンダ４７の駆動によって受渡し方向Ｘに沿って進退移動することが可能となっている。
【００２１】
図３ないし図５を用いてスリット閉塞装置Ｈの一つである第１閉塞具１０について説明する。第１閉塞具１０は、ケース１１及び当該ケース１１内に巻き取られて収容された閉塞テープ１２とからなる。第１閉塞具１０のケース１１は、ロードポート装置Ｌのプレート１の正面側におけるスリットＳの下形成端部Ｓ1 に取り付けられていて、水平移動装置４０がスリットＳの下形成端部Ｓ1 まで下降しても前記水平移動装置４０と前記ケース１１とが干渉しない位置に配置されている。前記ケース１１から引き出された閉塞テープ１２の先端部は、水平移動装置４０の下端部にねじ１３で固定されている。本実施例では、前記先端部は、水平移動装置４０の支持板体４３の下端部に配置されている後述の閉塞板Ｊにねじ留めされていて、ケース１１から引き出された閉塞テープ１２が常にプレート１上を摺動し、スリットＳと閉塞テープ１２との間に隙間が生じない配置になっている。前記第１閉塞具１０のケース１１から引き出された閉塞テープ１２は、プレート１の正面側のスリットＳにおける下形成端部Ｓ1 から支持板体４３の下端部（具体的には閉塞板Ｊの下端部）の位置までを閉塞している。前記閉塞テープ１２は、水平移動装置４０の上昇時、即ち蓋体着脱具６０の上昇時には、ケース１１から閉塞テープ１２が引き出されて伸びていき、水平移動装置４０の下端部以下の部分のスリットＳが前記閉塞テープ１２によって閉塞される。また、前記蓋体着脱具６０の下降時には、引き出されていた閉塞テープ１２は、前記支持板体４３の下端部が下がるにつれて、引込み付勢力によってケース１１内に引き込まれ、巻き取られながら短くなっていく。なお、本実施例では、ケース１１は前記スリットＳの下形成端部Ｓ1 に固定され、閉塞テープ１２の先端部分は水平移動装置４０の下端部（閉塞板Ｊの下端面）に固定されていたが、ケース１１と閉塞テープ１２の先端部分の固定位置を互いに交換した配置にしても良い。
【００２２】
図３、図７及び図８を用いて、第１実施例の第２閉塞具２０について説明する。スリット閉塞装置Ｈにおいて第１閉塞具１０と対をなす第２閉塞具２０は、第１閉塞具１０と同一構成であって、ケース２１と当該ケース２１内に巻き取られて収容された閉塞テープ２２からなる。第２閉塞具２０のケース２１は、ロードポート装置Ｌのプレート１の背面側に配置されている蓋体着脱具６０を支持する第２連結部材６３の連結部６３ｂに固定されていて、ケース２１から水平に( 受渡し方向Ｘに沿って）引き出された閉塞テープ２２は、当該連結部６３ｂに形成されている挿通孔６３ｃ (本実施例ではボルト２６の固定位置の直上）に挿通され、プレート１の背面で屈曲体２４によって９０°上方に屈曲され、プレート１の背面に接した状態でスリットＳの上形成端部Ｓ2 にねじ２３によって固定されている。前記挿通孔６３ｃとして、第１連結部材４１上に取り付けられた部材４１ａを通った配線等を挿通するために元々形成されている孔を利用しても良い。屈曲体２４は、昇降装置３０における取付板体３３の上端部に近い側面に固定されたブラケット２５の先端に取り付けられている。ブラケット２５は、平面視略Ｌ字型の板状部材であって、プレート１の幅方向（受渡し方向Ｘに直交する水平方向Ｙ）に平行な側の端部は前記取付板体３３の上端部に近い側面部分に固定されていて、他方の受渡し方向Ｘに平行な側は、スリットＳの幅と同程度の板幅で当該スリットＳに挿通されて、その端部が僅かにプレート１の背面側に出た状態で屈曲体２４を固定している。前記端部の上面と屈曲体２４の下面との間には、僅かに隙間が形成されているので、当該隙間に閉塞テープ２２が挿通されて上方に屈曲している。第２閉塞具２０は上記のような構成であるため、前記第２閉塞具２０のケース２１から引き出された閉塞テープ２２は、プレート１の背面側のスリットＳにおける上形成端部Ｓ2 から支持板体４３の上端部（具体的にはブラケット２５）の位置までを閉塞している。前記閉塞テープ２２は、水平移動装置４０の下降時、即ち蓋体着脱具６０の下降時には、ケース２１から閉塞テープ２２が引き出されて伸びていき、水平移動装置４０の上端部の位置より上側部分のスリットＳが前記閉塞テープ２２によって閉塞される。また、前記蓋体着脱具６０の上降時には、引き出されていた閉塞テープ２２は、前記ブラケット２５が上昇するにつれて、引込み付勢力によってケース２１内に引き込まれ、巻き取られて短くなっていく。更に、水平移動装置４０が受渡し方向Ｘに沿って前進する際には、屈曲体２４によって閉塞テープ２２が屈曲しているので、当該閉塞テープ２２は、ねじ２３で固定されている先端部分から屈曲体２４までの上下方向Ｚに沿って引き出されている分は一定のままで、屈曲体２４からケース２１までの受渡し方向Ｘに沿って引き出されている分のみが巻き取られて短くなる。一方、水平移動装置４０が受渡し方向Ｘに沿って後退する際には、前記上下方向Ｚに沿って引き出されている分は一定のままで、屈曲体２４からケース２１までの受渡し方向Ｘに沿って引き出されている分のみが引き出されて伸びる。従って、水平移動装置４０が進退移動しても、上下方向Ｚに沿って引き出されている分の閉塞��ープ２２の長さは変わらず、プレート１に接した状態でプレート１と閉塞テープ２２の間に隙間を生じることなく、スリットＳを常に閉塞している。なお、本実施例において、第２連結部材６３の背面側に第２閉塞具２０のケース２１が突出しており、他機材等との干渉を防ぐために、前記ケース２１を左右両側から挟むような一対の保護板６３ｄが形成されている。
【００２３】
次に、図３、図５及び図９を用いて、水平移動装置４０の下端部付近に取り付けられている閉塞板Ｊについて説明する。図９は、閉塞されている部分を示したスリットＳの正面図である。図３及び図５に示されるように、水平移動装置４０において、第１連結部材４１はスリットＳを挿通しているが、当該第１連結部材４１の下側の空間に配されている各部材、即ち、移動板体４６、ガイド体４５、ガイドレール４４、ベース体４２、支持板体４３はスリットＳよりも手前側に配されているため、これら各部材の後方における範囲のスリットＳは閉塞されておらず、開口状態にある。このため、当該開口された部分を閉塞するために、ベース体４２の水平板部４２ａ及び支持板体４３の背面と、これらと対向するスリットＳとの間に形成される空間には閉塞板Ｊが挿入されて、スリットＳの前記開口部分を閉塞するように、前記閉塞板Ｊの下端部は支持板体４３の下端面に固定されている。前記閉塞板Ｊの上端部は、第１連結部材４１の下端面と接触しないように僅かに隙間が形成されている。本実施例では、閉塞板Ｊの下端部が直角に折り曲げられていて、当該直角部分が支持板体４３の背面と下端面とで形成される出隅部分を覆うようにして、閉塞板Ｊは支持板体４３の下端面に取り付けられている。また、第１閉塞具１０の閉塞テープ１２の先端部は、前記閉塞板Ｊの折り曲げられた下端部の下面においてねじ１３で留められている。従って、図９に示されるように、スリットＳの上形成端部Ｓ2 からブラケット２５まではプレート１の背面側の閉塞テープ２２によって、水平移動装置４０が配置されている部分は閉塞板Ｊによって、支持板体４３の下端部からスリットＳの下形成端部Ｓ1 まではプレート１の正面側の閉塞テープ１２によって、スリットＳは閉塞される。なお、スリットＳにおいて、第１連結部材４１の幅がスリットＳの幅よりも若干小さいために、挿通された前記第１連結部材４１とスリットＳとの間に隙間７１が生じている。当該隙間７１は非常に小さいので、隙間７１が生じていてもガスの漏出に対しては問題ない。
【００２４】
次に、図１０ (イ) ないし (ハ) を用いて蓋体着脱装置Ｇを稼動した際の第１及び第２の各閉塞具１０，２０の一連の作用について説明する。図１０ (イ) は、蓋体着脱具６０が上昇端にあって、かつ受渡し方向Ｘに沿って基板通過口２に再接近した状態のロードポート装置Ｌの下側部分の側面図である。同（ロ) は、蓋体着脱具６０が上昇端にあって、受渡し方向Ｘに沿って基板通過口２に最離隔した状態のロードポート装置Ｌの下側部分の側面図である。同 (ハ) は、蓋体着脱具６０が下降端にあって、受渡し方向Ｘに沿って基板通過口２に最離隔した状態のロードポート装置Ｌの下側部分の側面図である。まず、ロードポート装置Ｌのカセット載置板４に載置されたカセットＫの蓋体Ｋａを取り外す際は、蓋体着脱装置Ｇを稼動させ、昇降装置３０のシリンダ本体３１によりロッド３２を上下方向Ｚに沿って突出させて、ロードポート装置Ｌのプレート１の背面の下降端に位置している蓋体着脱具６０を上昇端まで移動させた後に、第１連結部材４１を介して、蓋体着脱具６０を受渡し方向Ｘに沿って基板通過口２の前進端まで移動させる〔図１０ (イ) 〕。蓋体着脱具６０を上昇させる際、プレート１の正面側において、スリットＳの下形成端部Ｓ1 に固定された第１閉塞具１０のケース１１から閉塞テープ１２が引き出される。当該閉塞テープ１２の先端部分は水平移動装置４０の下端部（閉塞板Ｊの下端面) に固定されているので、水平移動装置４０の上昇と共に伸びるスリットＳの開口部分は引き出される閉塞テープ１２によって閉塞されていく。それと同時に、プレート１の背面側においては、第１連結部材４１と連結した第２連結部材６３の背面に固定されている第２閉塞具２０のケース２１内に、閉塞テープ２２が引込み付勢力によって引き込まれて巻き取られていく。当該閉塞テープ２２の先端部分は、プレート１の背面側におけるスリットＳの上形成端部Ｓ2 に固定されているので、水平移動装置４０の上昇と共に閉塞テープ２２によるスリットＳの閉塞部分は短くなっていく。また、引き出されている閉塞テープ２２を上下方向Ｚから受渡し方向Ｘに直角に屈曲させるための屈曲体２４はプレート１の背面極近傍に配置されているため、閉塞テープ２２が巻き取られる際においても、スリットＳと閉塞テープ２２との間に隙間が生じることはなく、常にスリットＳの閉塞状態は保たれている。
【００２５】
次に、蓋体着脱具６０の着脱具本体６１の前面の着脱盤６２に前記カセットＫの蓋体Ｋａを装着させて、当該蓋体Ｋａを取り外す。その後、前記着脱盤６２に前記蓋体Ｋａを装着させた状態で、水平移動装置４０のエアシリンダ４７を駆動させて、蓋体着脱具６０を受渡し方向Ｘに沿って後退させる〔図１０ (ロ) 〕。このとき、第１閉塞具１０において、閉塞テープ１２の先端部分は、受渡し方向Ｘには不動の支持板体４３の下端部に固定されているので、水平移動装置４０のガイド体４５、移動板体４６、及び第１連結部材４１が受渡し方向Ｘに沿って進退移動しても、ケース１１から閉塞テープ１２が引き出されることも引き込まれることも無いのでスリットＳとの間に隙間が生じることはなく、前記閉塞テープ１２によってスリットＳは常に閉塞されている。一方、第２閉塞具２０においては、ケース２１が第２連結部材６３の背面に固定されているので、蓋体着脱具６０の後退によりケース２１も後退する。このとき、前記ケース２１から引き出されている閉塞テープ２２の先端部分はプレート１の背面のスリットＳの上形成端部Ｓ2 に固定されていると共に、前記屈曲体２４は、受渡し方向Ｘには不動の取付板体３３に取り付けられたブラケット２５に固定されているので、蓋体着脱具６０の後退によって、閉塞テープ２２は、先端部分から屈曲体２４までの上下方向Ｚに沿ったスリットＳの閉塞部分においては閉塞状態が維持されて、屈曲体２４からケース２１までの受渡し方向Ｘに沿った水平部分が引き伸ばされることになる。なお、水平移動装置４０を駆動して蓋体着脱具６０を受渡し方向Ｘに沿って前進移動させる際は、蓋体着脱具６０を後退させる場合と逆の関係であって、閉塞テープ２２は、先端部分から屈曲体２４までの上下方向Ｚに沿ったスリットＳの閉塞部分においては閉塞状態が維持され、屈曲体２４からケース２１までの受渡し方向Ｘに沿った水平部分が引込み付勢力によりケース２１内に引き込まれて巻き取られることになる。
【００２６】
蓋体着脱具６０を後退させた状態で、シリンダ本体３１のロッド３２を引き下げて、下降端まで下降させる際は、第１及び第２の各閉塞具１０，２０に対する閉塞テープ１２，２２の引出し、及び引込みが、上昇させる場合と逆の関係になる。即ち、第１閉塞具１０については、水平移動装置４０が下降すると共に、水平移動装置４０の下端部からプレート１の正面側におけるスリットＳの下形成端部Ｓ1 までを閉塞していた閉塞テープ１２は、引込み付勢力によってケース１１に引き込まれて巻き取られていく。一方、第２閉塞具２０については、プレート１の背面側において、ケース２１から閉塞テープ２２が引き出される。このとき、ケース２１から屈曲体２４までの受渡し方向Ｘに沿った水平部分の長さは変わらないが、上下方向Ｚに沿った屈曲体２４からスリットＳの上形成端部Ｓ2 に固定された先端部分までの長さが伸びて、水平移動装置４０の下降と共に伸びるスリットＳの開口部分は、プレート１上を摺動するように引き出された閉塞テープ２２によって閉塞されていく。
【００２７】
以上より、蓋体着脱具６０の上昇、下降、進退移動によらず、即ち蓋体着脱具６０の配置位置とは無関係に、スリットＳは下形成端部Ｓ1 から水平移動装置４０の下端部まではプレート１の正面側から第１閉塞具１０によって閉塞され、水平移動装置４０の上端部分から上形成端部Ｓ2 まではプレート１の背面側から第２閉塞具２０によって閉塞され、更には水平移動装置４０の後方部分は閉塞板Ｊによって閉塞されることにより、スリットＳは常に閉塞される。この結果、内部がガス雰囲気に維持されていたり、基板Ｗの処理工程でガスが発生するような製造装置Ｅにおいて、運転時に製造装置Ｅ内のガスがスリットＳから大気中へ漏れ出てしまうことが防止される。
【００２８】
図１１（イ），（ロ）及び図１２（イ），（ロ）を用いて、その他の実施例について説明する。図１１（イ）は、ケース２１をブラケット２５’に取り付け、閉塞テープ２２の先端部分をプレート１の正面側におけるスリットＳの上形成端部Ｓ2 に固定した場合（第２実施例）の第２閉塞具２０を示した水平移動装置４０の縦断面図である。同（ロ）は、第２実施例の第２閉塞具２０を示した水平移動装置４０の斜視図である。図１２（イ）は、ケース２１をプレート１の正面側におけるスリットＳの上形成端部Ｓ2 に取り付け、閉塞テープ２２の先端部分をブラケット２５’に固定した場合（第３実施例）の第２閉塞具２０を示した水平移動装置４０の縦断面図である。同（ロ）は、第３実施例の第２閉塞具２０を示した水平移動装置４０の斜視図である。図１１に示されるように、第２実施例では、スリット閉塞装置Ｈにおける第２閉塞具２０の取付け位置がプレート１の正面側である点で、第１実施例と相違する。即ち、第２閉塞具２０において、ケース２１は、ブラケット２５’上に固定されていて、当該ケース２１内に収容されて引き出される閉塞テープ２２の先端部は、プレート１の正面側におけるスリットＳの上形成端部Ｓ2 にねじ２３で固定されている。前記ブラケット２５’は、第１実施例におけるブラケット２５と類似の形状であり、一端部はロッド３２の昇降方向（上下方向Ｚ）に沿った取付板体３３の側面部に固定されているが、もう一端部はスリットＳを挿通せずに、閉塞テープ２２の厚み分に対応する隙間を隔ててプレート１に対向していて、引き出された閉塞テープ２２を９０°上方に屈曲させるための屈曲体２４が取り付けられている。第２閉塞具２０が上記のように配置されているため、例えば、昇降装置３０により蓋体着脱具６０を下降させるに伴って、上下方向Ｚに沿って長くなっていく水平移動装置４０より上側部分のスリットＳは、第２閉塞具２０から引き出されていく閉塞テープ２２によって閉塞される。即ち、第２閉塞具２０に収容されていた閉塞テープ２２は受渡し方向Ｘに沿って引き出されていきながら、屈曲体２４によって曲げられて、プレート１の正面側における前記スリットＳを閉塞していく。第２閉塞具２０が上記のように、プレート１の正面側に配置されていて、閉塞テープ２２の先端部が受渡し方向Ｘに沿って移動することがないこと、また、スリットＳは、水平移動装置４０の上側及び下側のいずれの部分においてもプレート１の正面側から閉塞されるので、スリット閉塞装置Ｈの全体構成は簡易になる利点がある。
【００２９】
図１２に示されるように、第３実施例においても、第２実施例と同様に、前記第２閉塞具２０の取付け位置がプレート１の正面側である点で、第１実施例と相違しており、第２実施例とはケース２１と閉塞テープ２２の先端部の各固定位置が入れ替わっている点で相違している。即ち、第２閉塞具２０において、ケース２１はプレート１の正面側におけるスリットＳの上形成端部Ｓ2 に固定されていて、ケース２１内に収容されて引き出される閉塞テープ２２の先端部は、ブラケット２５’におけるプレート１と対向する側の端部にねじ２３で固定されている。第２閉塞具２０が上記のように配置されているため、例えば、昇降装置３０により蓋体着脱具６０を下降させるに伴って、上下方向Ｚに沿って長くなっていく水平移動装置４０より上側部分のスリットＳは、第２閉塞具２０から引き出されていく閉塞テープ２２に閉塞される。また、第２実施例と同様に、第２閉塞具２０がプレート１の正面側に配置されていて、閉塞テープ２２の先端部が受渡し方向Ｘに沿って移動しないことに加えて、第３実施例の場合、ケース２１から閉塞テープ２２が引き出される方向は上下方向Ｚに沿っているので、屈曲体２４のように閉塞テープ２２を屈曲させる部材を設けずに、引き出された閉塞テープ２２はそのままスリットＳを閉塞可能であるため、スリット閉塞装置Ｈの全体構成はより一層簡易にできる利点がある。なお、第２及び第３実施例においても、第１閉塞具１０におけるケース１１と閉塞テープ１２の先端部分の固定（取付け）位置は、第１実施例と同様に互いに交換した配置にしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】製造装置ＥのフレームＦの外側に装着された本発明にかかるロードポート装置Ｌの全体斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図２における第１及び第２の各閉塞具１０，２０部分の拡大図である。
【図４】前記ロードポート装置ＬのカセットテーブルＴより下側部分を正面から見た図である。
【図５】前記ロードポート装置ＬのカセットテーブルＴから下側部分を斜め下方向から見た図である。
【図６】水平移動装置４０の平面図である。
【図７】前記ロードポート装置Ｌのプレート１の背面における蓋体着脱具６０部分の斜視図である。
【図８】(イ) は、第２閉塞具２０の平面図であり、 (ロ) は、 (イ) のＢ−Ｂ線断面図である。
【図９】閉塞されている部分を示したスリットＳの正面図である。
【図１０】(イ) は、蓋体着脱具６０が上昇端にあって、かつ受渡し方向Ｘに沿って基板通過口２に再接近した状態のロードポート装置Ｌの下側部分の側面図であり、（ロ) は、蓋体着脱具６０が上昇端にあって、受渡し方向Ｘに沿って基板通過口２に最離隔した状態のロードポート装置Ｌの下側部分の側面図であり、 (ハ) は、蓋体着脱具６０が下降端にあって、受渡し方向Ｘに沿って基板通過口２に最離隔した状態のロードポート装置Ｌの下側部分の側面図である。
【図１１】（イ）は、ケース２１をブラケット２５’に取り付け、閉塞テープ２２の先端部分をプレート１の正面側におけるスリットＳの上形成端部Ｓ2 に固定した場合（第２実施例）の第２閉塞具２０を示した水平移動装置４０の縦断面図であり、（ロ）は、第２実施例の第２閉塞具２０を示した水平移動装置４０の斜視図である。
【図１２】（イ）は、ケース２１をプレート１の正面側におけるスリットＳの上形成端部Ｓ2 に取り付け、閉塞テープ２２の先端部分をブラケット２５’に固定した場合（第３実施例）の第２閉塞具２０を示した水平移動装置４０の縦断面図であり、（ロ）は、第３実施例の第２閉塞具２０を示した水平移動装置４０の斜視図である。
【符号の説明】
【００３１】
Ｅ：  半導体製造装置（製造装置）
Ｆ：  ロードポート装置のフレーム
Ｇ：  蓋体着脱装置
Ｈ：  スリット閉塞装置
Ｌ：  ロードポート装置
Ｓ：  スリット
Ｔ：  カセットテーブル
Ｘ：  受渡し方向
Ｚ：  上下方向
１：  プレート
１０：第１閉塞具
１２：閉塞テープ
２０：第２閉塞具
２２：閉塞テープ
２４：屈曲体
２５，２５’：屈曲体又は第２閉塞具が取付けられるブラケット
３０：昇降装置
３１：シリンダ本体
３２：ロッド
４０：水平移動装置
４１：第１連結部材
４２：ベース体
４６：移動板体
６０：蓋体着脱具
６１：着脱具本体
６３：第２連結部材
【図１】
0005088046.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
0005088046.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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