(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多結晶シリコンを破砕して得られ、更にフッ素を含む洗浄液による処理を受けた１個又は複数個の塊状シリコンを、複数枚の梱包材で複数層に梱包し、最内層以外の少なくとも１枚に、水蒸気透過率が１．０ｇ／ｍ2 day （温度４０℃、湿度９０％ＲＨ）以下である非アルミ系の蒸着フィルムからなる水蒸気バリア性のある梱包材を使用すると共に、水蒸気バリア性のある梱包材より内側に乾燥剤を入れて、保管中に梱包材内へ水分が浸透するのを阻止することを特徴とするシリコン梱包方法。
【請求項２】
請求項１に記載のシリコン梱包方法において、非アルミ系の蒸着フィルムはＳｉＯ蒸着フィルムであるシリコン梱包方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体原料、或いは太陽電池原料等に使用される多結晶シリコンの破砕塊の梱包方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン単結晶原料、或いは太陽電池原料等に使用される多結晶シリコンは、シーメンス法と呼ばれる気相法により、ロッド状として製造される。シーメンス法により製造された多結晶シリコンロッドは、破砕塊の状態で袋詰めにされてシリコン単結晶製造メーカーなどのユーザーへ出荷されることが多い。多結晶シリコンの破砕塊はチャンク、クランプ、ナゲット等と呼ばれており、ロッドの破砕後は先ず表面に付着している金属不純物等を除去するためにフッ酸と硝酸の混合液であるフッ硝酸水溶液によるエッチング処理を受ける。次いで水洗処理、乾燥処理を受け、その後さらに表面の再汚染を防止するために複数個ずつ袋詰めにされて出荷される。梱包材としてはポリエチレン袋が一般的に使用される。
【０００３】
このような袋詰めされた塊状多結晶シリコン製品の問題点の一つとして、保存中にシリコン塊の表面にシミが生じることがある。このシミは、一部のシリコン塊の表面の一部分が褐色系に変色する着色現象であり、高純度な原料を必要とするユーザー側からはその防止が強く求められている。そして、そのシミ対策の一つとして、エッチング処理後のシリコン塊の表面に存在するＳｉ−Ｈ結合をＳｉ−Ｏ結合に変換することが、特許文献１により提示されている。
【０００４】
【特許文献１】特許第２８３４６００号公報
【０００５】
この対策は、シミの原因が、エッチング処理後のシリコン塊の表面における異常酸化膜、より具体的にはＳｉ−Ｈ結合にあるとの知見に基づくものであり、エッチング処理をした直後のシリコン塊の表面に酸素含有雰囲気中でマイクロ波の照射、或いは高温空気の照射を行うことにより、その表面に存在するＳｉ−Ｈ結合をＳｉ−Ｏ結合に変換して、シリコン塊の表面全体を健全な酸化膜（ＳｉＯ2 ）で覆うというものである。
【０００６】
しかしながら、この対策の場合、不定形な個々の破砕塊の表面全体にマイクロ波、或いは高温空気をムラなく照射する必要があるが、破砕塊の形状が複雑であるために、それらの均一照射は手法的に容易でない。更に言えば、後述するように、多結晶シリコンの破砕塊は所定量ずつ籠に入れてエッチング処理、水洗処理、乾燥処理を受けるのが一般的であるため、個々の破砕塊の表面全体にマイクロ波、或いは高温空気をムラなく照射することは困難であり、個々の破砕塊の表面全体にマイクロ波、或いは高温空気をムラなく照射するためには籠によるバッチ処理から破砕塊１個ずつの個別処理への転換が必要となる。
【０００７】
このため、この対策は非効率で不経済であるという問題があり、有効性にも問題がないとは言えない。このような事情から、袋詰め多結晶シリコン塊の表面に生じるシミを簡単な手法で確実に防止できる対策が求められている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、袋詰めされた塊状多結晶シリコン製品の表面におけるシミと呼ばれる異常酸化現象の発生を簡単かつ確実に防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明者らはシミの発生原因を多角的に調査した。その結果、以下の事実が判明した。
【００１０】
多結晶シリコンの破砕塊のエッチング、水洗、乾燥は次のようにして行われる。所定量のシリコン塊を耐酸性の籠に入れ、エッチング槽内のフッ硝酸混合溶液に浸漬する。次の水洗工程では、エッチング槽から引き上げた籠を水洗槽内の純水中に浸漬する。複数の水洗槽に順番に送り、清浄度を段階的に上げる。或いは単一の水洗槽で流水により処理する。最後に乾燥を行う。最後の乾燥工程では、水洗槽から引き上げた籠内のシリコン塊を温風等により処理する。
【００１１】
籠内に収容された複数個のシリコン塊は複雑な形状の破砕塊であるため、隣接するシリコン塊の間に十分な隙間ができ、この間をエッチング液、水洗用の純水、乾燥用の温風等が十分に通過するため、いずれの工程でも、籠内の個々のシリコン塊は問題のない処理を受け、その結果、乾燥後のシリコン塊の表面にはエッチング液成分も水分も残留していないと考えられていた。ところが、保存期間中に発生したシミと称される異常酸化膜の部分の成分を分析したところ、その部分から極微量のフッ素成分が確認された。そのフッ素成分はエッチング液中のフッ素成分であると考えられ、もし仮にシリコン塊の表面にフッ素成分が存在した場合は大気中では酸化の進行が促進される可能性のあることが知られている。
【００１２】
このような事実を基礎として、本発明者らは、多結晶シリコンの破砕塊の表面にエッチング液成分が残留する可能性について調査した。その結果、次のことが明らかになった。多結晶シリコンの破砕塊の表面形状は、大小様々な凹凸が複雑に組み合わさった複雑な不定形状である。また、通常の水洗工程では、前述したとおり、複数個の破砕塊を１ロットとして籠に入れて洗浄を行う。これらのため、入念な水洗処理を行っても、破砕塊の複雑な形状の凹部や破砕塊同士の接触部分においては水洗液が滞留する危険を避け得ない。
【００１３】
すなわち、多結晶シリコンの破砕塊の場合、その塊形状、水洗法からして、水切りが局部的に不足する事態を完全に回避することは実質不可能であるので、一部の破砕塊の一部分においては、水切り不足に起因するフッ素成分の残留が生じる懸念を完全には払拭できない。そして、水切りが不足した部分では、そのまま乾燥が進んでも、他の部分より液中成分が多く残るのを避け得ないので、その部分がシミと呼ばれる異常酸化物に発展する可能性が考えられる。
【００１４】
これとは別に、本発明者らは長年の調査から、袋詰めシリコン塊にシミと呼ばれる異常酸化物が発生するのは、もっぱら、夏場の高温多湿の環境下で袋詰めシリコン塊を保管した場合であり、冬場の低温少湿環境下で袋詰めシリコン塊を保管した場合は、同じ条件でエッチング、水洗、乾燥を行い、フッ素成分の残留が皆無ではないはずであるにもかかわらず、異常酸化物が発生しにくい傾向のあることを経験している。
【００１５】
本発明者らは、この保管環境の相違による異常酸化物の発生状況の違いに着目し、保管環境の違いによる袋内の雰囲気変化も、異常酸化物の発生に関与していると考えた。すなわち、多結晶シリコンの破砕塊はポリエチレンフィルムからなる袋の中に封入されているが、ポレエチレンの袋は水分の透過性が高く、高温で多湿の状態に曝されれば袋内に水分が透過する。この袋内への透過水分も、袋詰めされたシリコン塊の異常酸化物の発生に関与しており、より詳しくは、袋内への透過水分が、袋内のシリコン塊の一部分に残留するフッ素成分と結合して、シミと呼ばれる異常酸化物を発生させると、本発明者らは考えた。これは、シリコン塊の表面にフッ素成分が存在した場合、大気中では酸化の進行が促進される考えとも符合する。
【００１６】
これらの事実から、本発明者らは多結晶シリコンのシリコン塊を梱包する袋の材料の選択により、袋の内部を低湿環境に保持するのが、異常酸化物の発生を抑制するに有効と考え、様々な実験を繰り返した。その結果、梱包材料をポリエチレンフィルムから、水蒸気バリア性のある材料に変更するとか、ポリエチレン袋の上から、水蒸気バリア性のある材料の袋で二重に梱包するといった対策が有効であること、更にはその袋内に乾燥剤を入れるのが有効であることが判明した。ちなみに、ポリエチレン袋の場合、温度湿度を管理したクリーンルーム内でシリコン塊を梱包しても、保管中の環境が高温多湿の状況になると水分が透過し、常温環境に放置しておくと袋内で結露が発生し、内部のシリコン塊の表面が濡れることがあり、シリコン塊の表面にフッ素成分が残留する限りは、梱包材の工夫なしでは異常酸化物の発生防止は困難であることを確認できた。
【００１７】
本発明はかかる知見を基礎として完成されたものであり、多結晶シリコンを破砕して得られ、更にフッ素を含む洗浄液による処理を受けた１個又は複数個の塊状シリコンを、複数枚の梱包材で複数層に梱包し、最内層以外の少なくとも１枚に、水蒸気透過率が１．０ｇ／ｍ2 day （温度４０℃、湿度９０％ＲＨ）以下である非アルミ系の蒸着フィルムからなる水蒸気バリア性のある梱包材を使用すると共に、水蒸気バリア性のある梱包材より内側に乾燥剤を入れて、保管中に梱包材内へ水分が浸透するのを阻止することを特徴とするシリコン梱包方法を要旨とする。
【００１８】
具体的には、多結晶シリコンの破砕塊をポリエチレン袋に入れ、それを水蒸気バリア性のある梱包材で外装するというように、塊状シリコンを複数枚の梱包材で複数層に梱包し、最内層以外の少なくとも１枚に水蒸気バリア性のある梱包材を使用する。なぜなら、水蒸気バリア性のある梱包材を最内層に配置すると、角のあるシリコン塊によってダメージを受け、水蒸気バリア性が低下する危険性があるからである。
【００１９】
本発明のシリコン梱包方法によれば、梱包材の外から内への水分浸透が抑制されることにより、梱包材内、すなわちシリコン塊の保存環境を低湿雰囲気に維持することができ、シミと呼ばれる異常酸化物の発生を防止することができる。しかも、水蒸気バリア性のある梱包材により内側に乾燥剤を配置してある。このため、内部に浸透した水分も乾燥剤により吸収され、シミと呼ばれる異常酸化物の発生を、より効果的に防止することができる。梱包材内部の好ましい雰囲気は、湿度が夏期、冬期を問わず７０％以下である。梱包材内部の湿度を７０％以下だと、保管中に梱包材内部の一部のシリコン塊の一部分にシミと呼ばれる異常酸化物が発生する危険性を長期間、安定的に防止することができる。
【００２０】
水蒸気バリア性のある梱包材としては、基材フィルムにＳｉＯを蒸着したＳｉＯ蒸着フィルムが、性能、経済性の点から有効である。水蒸気バリア性のある梱包材といえども、全く水蒸気を透過しないわけではなく、若干の水分透過は避けられないため、乾燥剤を入れることで梱包材内部の湿度を一定に保つのが、より有効である。
【００２１】
水蒸気バリア性のある梱包材料の性能は水蒸気透過率で表される。この値が小さいほど水蒸気バリア性が良くなり、シリコン塊の梱包には適するが、その一方で水蒸気透過率の小さいものは高価である。これらを勘案した結果、水蒸気バリア性のある梱包材料の水蒸気透過率は１．０ｇ／ｍ2 day （温度４０℃、湿度９０％ＲＨ）以下とされる。水蒸気透過率がこれより大きいと、梱包材内への水分浸透が増加し、シミの発生の抑制が困難になると共に、乾燥剤の負担が大きくなり、経済性が悪化する。このような水蒸気透過率を満足するものとしては、アルミ蒸着フィルム〔水蒸気透過率０．７〜１．０ｇ／ｍ2 day （温度４０℃、湿度９０％ＲＨ）程度〕、ＳｉＯ蒸着フィルム〔水蒸気透過率０．１〜０．７ｇ／ｍ2 day （温度４０℃、湿度９０％ＲＨ）程度〕等がある。
【００２２】
一方、蒸着フィルムでもアルミナ蒸着フィルムは、水蒸気透過率が１．５ｇ／ｍ2 day （温度４０℃、湿度９０％ＲＨ）程度と大きく、使用不可である。他方、ポリエチレンフィルムの水蒸気透過率は１０〜２０ｇ／ｍ2 day （温度４０℃、湿度９０％ＲＨ）である。半導体の特性でＰ型不純物の混入の可能性を考慮した場合、アルミ系の蒸着フィルムは、シリコン塊と直接接触しないように、より十分な配慮が必要であるのに対し、非アルミ系のＳｉＯ蒸着フィルムは使いやすく、水蒸気透過率も小さい。
【００２３】
梱包材内部に入れる乾燥剤としては、塩化カルシウム、生石灰、シリカゲル、アルミノシリケート等があるが、製品シリコン塊の品質を保証する点から、潮解（吸湿による液化）を生じないシリカゲルやアルミノシリケートが好ましい。シリカゲルのなかではＡ型のシリカゲルが、梱包材内部の湿度を一定に保つ点から特に好ましい。乾燥剤の使用量は、組み合わせる梱包材料の水素バリア性及び保管日数から予測される水分浸透量を吸収できるように、乾燥剤の能力に応じて決定される。
【００２４】
シリコン塊を梱包材内に袋詰めする作業は低温低湿の雰囲気中で行い、梱包材内の初期雰囲気を低温低湿にしておくのがよい。好ましい雰囲気は、具体的には温度１８〜２２℃、湿度３０〜５０％である。乾燥剤を使用しない場合は、この作業は特に重要である。
【００２５】
本発明のシリコン梱包方法は、多結晶シリコンの破砕塊の表面に存在する極微量のフッ素成分が水分と反応するのを阻止することによりシミの発生を防止するので、フッ素を含む洗浄液による処理を受けたシリコン塊の梱包を前提とする。フッ素を含む洗浄液としては、フッ酸と硝酸の混合液であるフッ硝酸溶液がエッチング能力が高く、シリコン塊の洗浄液として一般的であるが、フッ化水素酸、フッ化アンモニウムなども、シリコン塊の表面を覆う酸化膜の除去などに使用され、これらの洗浄液による処理を受けたシリコン塊でも、残留フッ素成分によるシミが問題になる。このため、本発明はフッ硝酸溶液以外のフッ素を含む洗浄液による処理を受けたシリコン塊にも有効である。
【発明の効果】
【００２６】
本発明のシリコン梱包方法は、多結晶シリコンを破砕して得た塊状シリコンの梱包に、水蒸気バリア性のある梱包材を用い、保管中に梱包材内へ水分が浸透するのを阻止することにより、梱包材内を低湿雰囲気に保つことができるので、シミと呼ばれる異常酸化物の発生を季節にかかわらず防止でき、高品質な製品をユーザーへ安定的に供給することができる。この効果は、その梱包材内に乾燥剤を入れることで更に高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明のシリコン梱包方法の一実施形態を、従来のシリコン梱包方法と比較して示す模式図であり、（ａ）は従来法、（ｂ）は本発明の第１実施形態、（ｃ）は本発明の第２実施形態をそれぞれ示す。
【００２８】
従来のシリコン梱包方法では、（ａ）に示すように、シーメンス法により製造された棒状の多結晶シリコンを破砕して得られた複数個のシリコン塊が製品用の二重のポリエチレン袋内に密封されている。各シリコン塊は、袋詰めの前に、耐酸性の籠を使用したフッ硝酸溶液によるエッチング洗浄処理、水洗処理、乾燥処理を受けている。袋詰めシリコン製品１０は、所定数を１単位として、ポリエチレンシートからなる大袋２０内に密封され、通い容器のパレット３０内に収納されている。このようなシリコン梱包方法では、保存中、特に高温多湿期に、一部のシリコン塊の一部分にシミと呼ばれる異常酸化物が発生するのを避け得ないことは前述したとおりである。
【００２９】
これに対し、図１（ｂ）に示す第１実施形態のシリコン梱包方法では、所定数の袋詰めシリコン製品１０を収容するポリエチレンシートからなる大袋２０が、ＳｉＯ蒸着フィルムからなる水蒸気バリア梱包材４０内に気密に封入され、この状態でパレット３０内に収納されている。水蒸気バリア梱包材４０内にはシリカゲルからなる複数の乾燥剤５０が、大袋２０を取り囲むようにして配置されている。
【００３０】
本実施形態のシリコン梱包方法では、袋詰めシリコン製品１０が水蒸気透過率の低い水蒸気バリア梱包材４０により梱包されているので、外部から梱包材内への水分の浸透が抑制される。梱包材内へ浸透した僅かの水分も乾燥剤５０により吸収される。これにより、水蒸気バリア梱包材４０内の湿度を季節に関係なく７０％以下に維持することができ、その結果、高温多湿下でも袋詰めシリコン製品１０における異常酸化物の発生を防止することができる。
【００３１】
また、図１（ｃ）に示す第２実施形態のシリコン梱包方法では、所定数のポリエチレン袋詰めシリコン製品１０がＳｉＯ蒸着フィルムからなる水蒸気バリア梱包材４０内に直接封入されている。すなわち、ここではポリエチレンシートからなる大袋２０が省略されている。水蒸気バリア梱包材４０内にシリカゲルからなる複数の乾燥剤５０が製品群を取り囲むように配置されていることは、第１実施形態のシリコン梱包方法と同じである。
【００３２】
第２実施形態のシリコン梱包方法でも第１実施形態のシリコン梱包方法と同様に、水蒸気バリア梱包材４０と乾燥剤５０の使用により梱包剤内の湿度を季節に関係なく７０％以下に維持することができ、高温多湿下でも袋詰めシリコン製品１０における異常酸化物の発生を防止することができる。
【００３３】
また、いずれの実施形態のシリコン梱包方法でも、ポリエチレン袋詰めシリコン製品１０内の複数個のシリコン塊は、そのポリエチレン袋を含め、２重以上の梱包材により梱包されており、しかも、水蒸気バリア梱包材４０は最内層から除外されているので、シリコン塊による水蒸気バリア梱包材４０の損傷、及びこれによる余分な水分侵入が防止される。
【実施例】
【００３４】
本発明のシリコン梱包方法の有効性を定量的に検証するために以下の８つの比較試験を行った。
【００３５】
図２に示すように、多結晶シリコンを破砕して採取し、エッチング、水洗、乾燥を終えた１００個のシリコン塊１１（個々の平均重量１００ｇ、平均表面積２３７ｃｍ2 ）を製品用の二重のポリエチレン袋１２内に封入した。シリコン塊１１の封入を終えたポリエチレン袋１２の周囲をＳｉＯ蒸着フィルムからなる袋状の水蒸気バリア梱包材４０で気密に梱包した。使用したＳｉＯ蒸着フィルムの水蒸気透過率は０．１５ｇ／ｍ2 day （温度４０℃、湿度９０％ＲＨ）である。ポリエチレン袋１２と袋状の水蒸気バリア梱包材４０との間にシリカゲルからなる乾燥剤５０を配置した。ポリエチレン袋１２内には湿度記録計６０も収容した。シリカゲルの量は、ＳｉＯ蒸着フィルムの水蒸気透過率及び保管日数をもとに算出した必要最少量とした。一連の梱包作業は温度２０℃、湿度４０％の雰囲気中で行った。
【００３６】
この梱包品を酸化促進のために温度４０℃、湿度９０％の高温多湿槽内に４０日間保管した。保管中のポリエチレン袋１２内の湿度は４０日間、約６０％に維持された。ポリエチレン袋１２内のいずれのシリコン塊１１にもシミは認められなかった。常温下に戻しても袋内に結露は認められなかった（実施例）。
【００３７】
図２に示す梱包形態において、乾燥剤５０を省略した。この梱包品を温度４０℃、湿度９０％の高温多湿槽内に４０日間保管した。保管期間の経過と共にポリエチレン袋１２内の湿度は徐々に上昇したが、７０％まで上昇するのに１５日を要し、３５日経過時点で周辺雰囲気と同じ９０％になった。湿度が９０％に達するまでは、ポリエチレン袋１２内のいずれのシリコン塊１１にもシミは認められなかった。その後シミが発生し始めたが、極めて軽微であり、４０日経過時点では１００個中５個のシリコン塊１１に平均０．７ｃｍ2 の小さなシミが発生した程度であった（比較例１）。
【００３８】
図２に示す梱包形態において水蒸気バリア梱包材４０及び乾燥剤５０を省略した。この梱包品を温度４０℃、湿度９０％の高温多湿槽内に４０日間保管した。２日経過時点でポリエチレン袋１２内の湿度が周辺雰囲気と同じ９０％に達した。４０日経過時点では、５０個のシリコン塊１１に平均０．９ｃｍ2 の比較的大きなシミが発生した。梱包品を常温下に戻すと袋内に結露が認められた（従来例）。
【００３９】
図２に示す梱包形態において、ＳｉＯ蒸着フィルムからなる袋状の水蒸気バリア梱包材４０を、アルミ蒸着フィルム製の袋に変更した。この梱包材の水蒸気透過率は０．９ｇ／ｍ2 day （温度４０℃、湿度９０％ＲＨ）である。シリカゲルの量は、アルミ蒸着フィルムの水蒸気透過率及び保管日数をもとに算出した最少必要量とした。
【００４０】
この梱包品を温度４０℃、湿度９０％の高温多湿槽内に４０日間保管した。保管中のポリエチレン袋１２内の湿度は約６０％に維持された。ポリエチレン袋１２内のいずれのシリコン塊１１にもシミは認められなかった。常温下に戻しても袋内に結露は認められなかった。ただし、使用したシリカゲルの量は、ＳｉＯ蒸着フィルムからなる水蒸気バリア梱包材４０を使用した場合の６倍であった（比較例２−１）
【００４１】
シリカゲルの使用量を、ＳｉＯ蒸着フィルムからなる水蒸気バリア梱包材４０を使用したときと同じ量まで減らした。ポリエチレン袋１２内の湿度が７０％まで上昇するのに７日を要し、１３日経過時点で周辺雰囲気と同じ９０％になった。湿度が９０％に達するまでは、ポリエチレン袋１２内のいずれのシリコン塊１１にもシミは認められなかった。その後シミが発生し始めたが、極めて軽微であり、４０日経過時点では１００個中１５個のシリコン塊１１に平均０．８ｃｍ2 の小さなシミが発生した程度であった（比較例２−２）
【００４２】
シリカゲルを省略した場合は、保管期間の経過と共にポリエチレン袋１２内の湿度は徐々に上昇したが、７０％まで上昇するのに４日を要し、１０日経過時点で周辺雰囲気と同じ９０％になった。湿度が９０％に達するまでは、ポリエチレン袋１２内のいずれのシリコン塊１１にもシミは認められなかった。その後シミが発生し始めたが、極めて軽微であり、４０日経過時点では１００個中１５個のシリコン塊１１に平均０．８ｃｍ2 の小さなシミが発生した程度であった（比較例２−３）。
【００４３】
図２に示す梱包形態において、ＳｉＯ蒸着フィルムからなる袋状の水蒸気バリア梱包材４０を、アルミナ蒸着フィルム製の袋に変更した。この梱包材の水蒸気透過率は１．０ｇ／ｍ2 day （温度４０℃、湿度９０％ＲＨ）より大きい１．５ｇ／ｍ2 day （温度４０℃、湿度９０％ＲＨ）である。シリカゲルの量は、アルミナ蒸着フィルムの水蒸気透過率及び保管日数をもとに算出した最少必要量とした。
【００４４】
この梱包品を温度４０℃、湿度９０％の高温多湿槽内に４０日間保管した。保管中のポリエチレン袋１２内の湿度は約６０％に維持された。ポリエチレン袋１２内のいずれのシリコン塊１１にもシミは認められなかった。常温下に戻しても袋内に結露は認められなかった。ただし、使用したシリカゲルの量は、ＳｉＯ蒸着フィルムからなる水蒸気バリア梱包材４０を使用した場合の１０倍に達した（比較例３−１）。
【００４５】
シリカゲルを省略した場合は、ポリエチレン袋１２内の湿度は、保管開始から３日経過時点で７０％を超え、７日日経過時点で周辺雰囲気と同じ９０％になった。湿度が９０％に達するまでは、ポリエチレン袋１２内のいずれのシリコン塊１１にもシミは認められなかった。その後シミが発生し始め、４０日経過時点では１００個中７０個のシリコン塊１１に平均１．０ｃｍ2 の比較的大きなシミが発生した。梱包品を常温下に戻すと袋内に結露が認められた（比較例３−２）。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明のシリコン梱包方法の一実施形態を、従来のシリコン梱包方法と比較して示す模式図であり、（ａ）は従来法、（ｂ）は本発明の第１実施形態、（ｃ）は本発明の第２実施形態をそれぞれ示す。
【図２】本発明のシリコン梱包方法の有効性を定量的に検証するための実験における梱包形態の模式説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  袋詰めシリコン製品
１１  シリコン塊
１２  ポリエチレン袋
２０  大袋
３０  パレット
４０  水蒸気バリア梱包材
５０  乾燥剤
６０  湿度記録計
【図１】
0005051720.tif 000002
【図２】
0005051720.tif 000003