(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に、導電性繊維からなる支持基材及び粘着剤層が順次積層された検査用粘着シートであって、
前記検査用粘着シートは、
（ａ）前記検査用粘着シートにおける前記粘着剤層上に、回路形成面とは反対側の面を貼り合わせ面として半導体ウェハが固定された状態で、半導体ウェハにおける回路形成面に一方の接続端子を当接すると共に、前記粘着剤層に他方の接続端子を当接して電気的接続を図ることにより、前記半導体ウェハの導通検査をするためのもの、又は、
（ｂ）前記検査用粘着シートにおける前記粘着剤層上に、回路形成面とは反対側の面を貼り合わせ面として半導体ウェハを貼り合わせた後に、前記半導体ウェハを回路形成面側からダイシングし、ダイシング後の半導体チップがそれぞれ固定された状態で、前記半導体チップにおける回路形成面に一方の接続端子を当接すると共に、前記粘着剤層に他方の接続端子を当接して電気的接続を図ることにより、前記半導体チップの導通検査をするためのものであり、
前記支持体の２３℃における引張弾性率は５００ＭＰａ以下であり、
前記粘着剤層中に導電性粒子が含まれている、又は、前記粘着剤層の表面から前記導電性繊維の一部が露出していることにより、前記粘着剤層と前記支持基材との間には、電気的な導通が確保されていることを特徴とする検査用粘着シート。
【請求項２】
前記支持体と前記支持基材との間に他の粘着剤層が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の検査用粘着シート。
【請求項３】
前記支持体は、基材上に他の粘着剤層が設けられた構造であることを特徴とする請求項１に記載の検査用粘着シート。
【請求項４】
前記支持体の最大伸度が１００％以上であることを特徴とする請求項１に記載の検査用粘着シート。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載の検査用粘着シートにおける前記粘着剤層上に、回路形成面とは反対側の面を貼り合わせ面として半導体ウェハを貼り合わせる工程と、
前記半導体ウェハが固定された状態で、導通可能な検査ステージ上に前記検査用粘着シートを載置し、前記半導体ウェハにおける回路形成面に一方の接続端子を当接すると共に、前記粘着剤層に他方の接続端子を当接して電気的接続を図ることにより、前記半導体ウェハの導通検査をする工程と、
前記半導体ウェハを回路形成面側からダイシングし、少なくとも前記支持基材の一部を残した状態で半導体チップを形成する工程と、
前記半導体チップを前記検査用粘着シートからピックアップする工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜４の何れか１項に記載の検査用粘着シートにおける前記粘着剤層上に、回路形成面とは反対側の面を貼り合わせ面として半導体ウェハを貼り合わせる工程と、
前記半導体ウェハを回路形成面側からダイシングし、少なくとも前記支持基材の一部を残した状態で半導体チップを形成する工程と、
ダイシング直後の半導体チップがそれぞれ固定された状態で、導通可能な検査ステージ上に前記検査用粘着シートを載置し、前記半導体チップにおける回路形成面に一方の接続端子を当接すると共に、前記粘着剤層に他方の接続端子を当接して電気的接続を図ることにより、前記半導体チップの導通検査をする工程と、
前記半導体チップを前記検査用粘着シートからピックアップする工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記検査用粘着シートとして、支持基材及び粘着剤層の平面視における形状が前記半導体ウェハと同様のものを使用することを特徴とする請求項５又は６に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査用粘着シート及びそれを用いた半導体装置の製造方法に関する。本発明の検査用粘着シートは、半導体ウェハ又は半導体チップを貼り合わせた状態で導通検査をするための粘着シートであり、ダイシング工程及びピックアップ工程を一貫して行うことが可能なものとして特に有用である。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリコン、ガリウム、砒素などを材料とする半導体ウェハは、大径の状態で製造された後、検査工程により半導体ウェハの導通検査が行われる。その後、半導体ウェハはダイシング用粘着シートに貼付され、ダイシング工程、洗浄工程、エキスパンド工程、ピックアップ工程、マウント工程の各工程が施される。前記ダイシング用粘着シートとしては、例えば、プラスチックフィルムからなる基材上にアクリル系粘着剤等からなる粘着剤層が塗布、形成されたものが挙げられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかしながら、近年、ＩＣカードなどの普及に伴って半導体ウェハの薄型化が進んでおり、その為、検査工程やダイシング用粘着シートへの貼り合せ工程において半導体ウェハが変形（反り）したり破損する問題がある。その結果、これらの工程において安定してハンドリングすることが難しくなっている。また、薄型の半導体ウェハを導通検査用のステージに載置する場合、ステージ上の異物やパーティクルなどにより半導体ウェハ裏面にキズやスクラッチが発生したり、半導体ウェハが破損（クラック）するなどの問題もある。
【０００４】
【特許文献１】特公平４−７０９３７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は前記問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、半導体ウェハ、又は半導体ウェハのダイシングにより形成された半導体チップを貼り合わせた状態でも電気的な導通検査を行うことができ、その検査における半導体ウェハの変形（反り）や破損、裏面のキズやスクラッチの発生を防止することが可能な検査用粘着シート、及びそれを用いた半導体装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明者等は、前記従来の問題点を解決すべく、検査用粘着シート及びそれを用いた半導体装置の製造方法について検討した。その結果、導電性を有する基材フィルム及び粘着剤層を備えた検査用粘着シートを用いることにより、当該粘着シートに固定された状態で半導体ウェハ又は半導体チップの導通検査を行うことが可能になることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００７】
すなわち、本発明に係る検査用粘着シートは、前記の課題を解決する為に、支持体上に、基材フィルム及び粘着剤層が順次積層された検査用粘着シートであって、前記支持体の２３℃における引張弾性率は５００ＭＰａ以下であり、前記基材フィルムは導電性繊維からなり、前記粘着剤層と基材フィルムとの間には電気的な導通経路が設けられていることを特徴とする。
【０００８】
前記構成の検査用粘着シートであると、粘着剤層と基材フィルムとの間で電気的な導通経路が設けられているので、半導体ウェハ、又はダイシングにより形成された半導体チップを固定（一時的な仮固定を含む。）した状態で、導通性に関する検査を実施することが可能になる。すなわち、従来の検査用粘着シートであると、当該粘着シートを貼り合わせた状態で半導体ウェハの導通検査を行うことは想定されていないため、導通経路が確保されていない。その為、半導体ウェハの導通検査を行うことは困難であった。しかし、本発明の検査用粘着シートでは、粘着剤層と基材フィルムの間に導通経路が確保されているため、半導体ウェハを貼り合わせた状態での導通検査が可能となる。また、本発明の検査用粘着シートは、粘着剤層が半導体ウェハを固定することができるので、ダイシング用粘着シートとしても機能する。また、ダイシングの際は半導体ウェハだけでなく粘着剤層をも切断分離することがあるが、そのような場合にも、本発明の検査用粘着シートは粘着剤層と基材フィルムとの間に電気的な導通経路が確保されているため、ダイシング後の半導体チップに対し導通検査が可能となる。
【０００９】
また、支持体の引張弾性率（２３℃）は５００ＭＰａ以下であり、導電性繊維からなる基材フィルムと比較して柔軟性に優れる。その結果、エキスパンドや、半導体チップのピックアップの際のニードルによる突き上げに対しても優れた伸長性を示す。これにより、本発明の検査用粘着シートはエキスパンド工程やピックアップ工程においても使用可能であり、良好なエキスパンド性及びピックアップ性を示す。
【００１０】
前記粘着剤層中には導電性粒子が含まれていることが好ましい。前記構成であると、粘着剤層中には導電性粒子が含まれていることから、面内の任意の方向や厚さ方向等に対し導電性を示すことができる。また、基材フィルムも導電性繊維からなるため、面内の任意の方向及び厚さ方向等に導電性を示す。これにより、粘着剤層と基材フィルムとの間で電気的な導通経路の形成が可能になる。
【００１１】
前記粘着剤層の表面から前記導電性繊維の一部が露出していることを特徴とすることが好ましい。前記構成であると、基材フィルムを構成する導電性繊維の一部が粘着剤層表面から露出していることから、非導電性の粘着剤層により電流の導通が阻害されない。その結果、粘着剤層表面と基材フィルムとの間で電気的な導通経路の確保が可能になる。
【００１２】
前記構成においては、前記支持体と基材フィルムとの間に他の粘着剤層が設けられていてもよい
【００１３】
また、前記構成においては、前記支持体が基材上に他の粘着剤層が設けられた構成であってもよい。
【００１４】
更に、前記構成においては、前記支持体の最大伸度が１００％以上であることが好ましい。
【００１５】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、前記の課題を解決する為に、前記に記載の検査用粘着シートにおける前記粘着剤層上に、回路形成面とは反対側の面を貼り合わせ面として半導体ウェハを貼り合わせる工程と、前記半導体ウェハが固定された状態で、導通可能な検査ステージ上に前記検査用粘着シートを載置し、前記半導体ウェハにおける回路形成面に一方の接続端子を当接すると共に、前記粘着剤層に他方の接続端子を当接して電気的接続を図ることにより、前記半導体ウェハの導通検査をする工程と、前記半導体ウェハを回路形成面側からダイシングし、少なくとも前記基材フィルムの一部を残した状態で半導体チップを形成する工程と、前記半導体チップを前記検査用粘着シートからピックアップする工程とを有することを特徴とする。
【００１６】
前記の検査用粘着シートにおいては、粘着剤層と基材フィルムとの間で電気的な導通経路が形成されていることから、半導体ウェハに検査用粘着シートを貼り付けた状態でも導通検査が可能になる。従来の検査工程では、半導体ウェハを直接検査ステージ上に載置して行っていたため、ステージ上に存在する異物やパーティクルなどにより半導体ウェハの裏面にキズやスクラッチが生じたり、半導体ウェハの破損（クラック）が生じていた。しかし、前記の方法であると、検査用粘着シートに半導体ウェハが固定（一時的な仮固定を含む。）された状態で検査ステージ上に載置されるため、当該検査用粘着シートが保護シートとしての機能も果たすことが可能になる。その結果、半導体ウェハの裏面にキズやスクラッチ、破損が発生するのを防止することができる。
【００１７】
また、本発明に係る半導体装置の製造方法は、前記の課題を解決する為に、前記に記載の検査用粘着シートにおける前記粘着剤層上に、回路形成面とは反対側の面を貼り合わせ面として半導体ウェハを貼り合わせる工程と、前記半導体ウェハを回路形成面側からダイシングし、少なくとも前記基材フィルムの一部を残した状態で半導体チップを形成する工程と、ダイシング直後の半導体チップがそれぞれ固定された状態で、導通可能な検査ステージ上に前記検査用粘着シートを載置し、前記半導体チップにおける回路形成面に一方の接続端子を当接すると共に、前記粘着剤層に他方の接続端子を当接して電気的接続を図ることにより、前記半導体チップの導通検査をする工程と、前記半導体チップを前記検査用粘着シートからピックアップする工程とを有することを特徴とする。
【００１８】
前記の検査用粘着シートにおいては、粘着剤層と基材フィルムとの間で電気的な導通経路が形成されていることから、ダイシング直後の半導体チップに対し、その回路形成面に一方の接続端子を当接すると共に、粘着剤層に他方の接続端子を当接して電気的接続を図ることにより、各々の半導体チップの導通検査が可能になる。その結果、ダイシング前の半導体ウェハに対する検査工程が不要となり、半導体ウェハの変形（反り）や破損の問題を回避することができる。
【００１９】
また、従来の検査工程では、半導体ウェハを直接検査ステージ上に載置して行っていたため、ステージ上に存在する異物やパーティクルなどにより半導体ウェハの裏面にキズやスクラッチが生じたり、半導体ウェハの破損（クラック）が生じていた。しかし、前記の方法であると、検査用粘着シートに各半導体チップが固定（一時的な仮固定を含む。）された状態で検査ステージ上に載置されるため、当該検査用粘着シートが保護シートとしての機能も果たすことが可能になる。その結果、裏面にキズやスクラッチのない半導体チップを製造することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は、前記に説明した手段により、以下に述べるような効果を奏する。
即ち、本発明の検査用粘着シートは粘着剤層と基材フィルムとの間に導通経路が設けられた構成であるので、半導体ウェハ又は半導体チップを検査用粘着シートに固定した状態で、導通検査を行うことができる。その結果、従来、導通検査で生じていた半導体ウェハの変形（反り）や破損の問題を回避することができ、また裏面にキズやスクラッチのない半導体ウェハ又は半導体チップをスループットを向上させて製造することができる。
【００２１】
また、本発明の検査用粘着シートは２３℃における引張弾性率が５００ＭＰａ以下であり、柔軟性に優れているので、良好なエキスパンド性及びピックアップ性を発揮する。その結果、当該検査用粘着シートに半導体チップを貼り合わせた状態でエキスパンド工程及びピックアップ工程を行うことできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の実施の形態について、図１を参照しながら以下に説明する。図１は、本実施の形態に係る検査用粘着シート（以下、「粘着シート」という。）を概略的に示す断面模式図である。但し、説明に不要な部分は省略し、また説明を容易にする為に拡大または縮小等して図示した部分がある。
【００２３】
図１に示すように、本発明に係る粘着シート１０は、支持体１上に、基材フィルム２及びに粘着剤層３が順次積層された構成である。
【００２４】
前記支持体１は、例えば、プラスチックフィルム（基材）単独のものや、当該プラスチックフィルム上に他の粘着剤層が設けられた構造を有する。支持体１がプラスチックフィルム単独からなる場合は、他の粘着剤層が基材フィルム２との貼り合わせのために設けられるのが好ましい。
【００２５】
本発明で支持体１を採用したのは、導電性繊維からなる基材フィルム２のみであると、粘着シート１０全体としての柔軟性が低下し、エキスパンド工程やピックアップ工程において必要な変形を生じず、ピックアップ性が低下するからである。この様な観点から、本発明の支持体１としては、２３℃における引張弾性率として５００ＭＰａ以下、好ましくは４００ＭＰａ以下、さらに好ましくは３５０ＭＰａ以下のものを採用する。また、最大点伸度（伸び）は１００％以上、好ましくは２００％以上、さらに好ましくは２５０％以上のものが望ましい。引張弾性率が５００ＭＰａ以下、最大点伸度が１００％以上であると、支持体１は十分に柔軟性を有し、エキスパンドの際に十分な伸長性を示すことができる。更に、ピックアップの際に、ニードルにより突上げがなされても、その局所的な変形を可能にする。その結果、検査用粘着シート自体に優れたエキスパンド性及びピックアップ性を付与することができる。尚、前記引張弾性率の下限値は、支持体の弾性率が小さすぎると粘着剤層を介して基材フィルムと貼り合せする際に気泡やしわが入るなど剛性不足により作業安定性が低下するという問題が発生することから１０ＭＰａ以上であることが好ましい。また、前記最大点伸度は大きすぎると、エキスパンド工程により支持体が伸びきってしまい逆にピックアップ性が低下するという問題が発生することから２０００％以下であることが好ましい。
【００２６】
前記プラスチックフィルムとしては特に限定されず、その代表的な材料として、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロピレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル（ランダム、交互）共重合体、エチレン−ブテン共重合体、エチレン−へキセン共重合体、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリイミド、ポリエーテルケトン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、セルロース系樹脂およびこれらの架橋体等のポリマーがあげられる。尚、前記例示した材料は、必要に応じて官能基、機能性モノマーや改質性モノマーをグラフトして用いてもよい。
【００２７】
なお、前記プラスチックフィルムは、単層フィルム又は多層フィルムのいずれであってもよく、前記２種以上の樹脂をドライブレンドしたブレンドフィルムであってもよい。多層フィルムは、前記樹脂などを用いて、共押出し法、ドライラミネート法等の慣用のフィルム積層法により製造できる。また、プラスチックフィルムは、無延伸で用いてもよく、必要に応じて一軸又は二軸の延伸処理を施してもよい。このようにして製造されたプラスチックフィルム表面には、必要に応じてマット処理、コロナ放電処理、プライマー処理、架橋処理等の慣用の物理的または化学的処理を施すことができる。
【００２８】
支持体１の厚み（前記プラスチックフィルムが多層フィルムの場合は総厚）は、通常１０〜３００μｍ、好ましくは３０〜２００μｍ程度である。
【００２９】
前記他の粘着剤層としては特に限定されず、公知乃至慣用の粘着剤からなるものを使用できる。具体的には、例えばゴム系、アクリル系、シリコーン系、ポリビニルエーテル系等の各種の粘着剤が用いられる。他の粘着剤層の厚みとしては、１〜５０μｍが好ましく、５〜２０μｍがより好ましい。
【００３０】
前記基材フィルム２は導電性繊維が公知の編み形状で形成された支持基材である。導電性繊維で編み込まれているため、厚み方向や面内の任意の方向に導通経路が形成され得る。従って、ダイシングにより基材フィルム２の一部が切断されても、種々の迂回した導通経路が形成されるため、導電性は常に確保されている。
【００３１】
導電性繊維の編み形状は特に限定されず、公知の編み形状が用いられる。例えば、メッシュタイプ、織布タイプ、不織布タイプなどが使用できる。これらのうち、基材フィルム２の開口度の観点よりメッシュタイプが好適である。ここで、開口度（％）とは繊維基材のオープニングエリアのことであり、下記式にて算出できる。
【００３２】
【数１】
0005060249.tif 000002
【００３３】
前記開口度は１０〜９０％の範囲内であることが好ましく、２０〜７０％の範囲内であることがより好ましい。開口度が１０％未満であると、粘着剤層３が後述の放射線硬化型である場合、基材フィルム２側から照射する放射線の透過性が低下し過ぎる。その結果、粘着剤の硬化が不十分となる場合がある。その一方、開口度が９０％を超えると、基材フィルム２に対する粘着剤層３の投錨性が低下し、半導体チップに粘着剤残りが生じやすい。尚、図２に基材フィルム２に於ける間隙面積割合と光透過率との関係を示す。間隙面積割合とは基材フィルム２の表面積に対する開口部分の占める割合を意味しており、光透過率とほぼ比例関係にあることが示されている。
【００３４】
導電性繊維としては、ポリエステル、ナイロン又はアクリルなどのプラスチック繊維の表面に、銅、ニッケル、アルミ、金若しくは銀などの金属、又はカーボンなどの導電層が形成されたものが挙げられる。また、銅やニッケル、アルミなどの金属で形成された金属繊維なども用いることができる。これらのうち導電性繊維のうち、軽量性、柔軟性、加工性（カット、打ち抜き）、ダイシング工程時のブレードの磨耗性などを考慮すると、プラスチック繊維に導電層が形成された導電性繊維が好適である。
【００３５】
基材フィルム２の厚さは特に限定されず、通常１０〜３００μｍ、好ましくは３０〜２００μｍ、特に好ましくは５０〜１５０μｍである。尚、基材フィルム２は所定の編み形状に導電性繊維が編み込まれた単層からなる基材である。その為、基材フィルム２の厚さは、導電性繊維の直径を種々変更することにより調節することが可能である。
【００３６】
基材フィルム２の導電性については導通検査が可能な範囲であれば特に限定されない。導通検査可能な範囲とは、具体的には、表面抵抗率が１Ω／□以下、好ましくは５×１０−１Ω／□以下、特に好ましくは１×１０−１Ω／□以下である。表面抵抗率が１Ω／□を超えると、面内での任意の方向における導電性が低下し、導通検査が困難になる場合がある。尚、下限値については、実用上の観点から１×１０−４Ω／□以上であることが好ましい。また、体積抵抗率が１×１０−１Ω・ｃｍ以下、好ましくは１×１０−２Ω・ｃｍ以下、特に好ましくは１×１０−３Ω・ｃｍ以下である。体積抵抗率が１×１０−１Ω・ｃｍを超えると、基材フィルム内の繊維同士の接触抵抗が大きくなり、導通が不安定となるため導通検査が困難となる場合がある。尚、下限値については、実用上の観点から１×１０−７Ω・ｃｍ以上であることが好ましい。導電性評価は、三菱化学製Ｌｏｒｅｓｔｅｒ  ＭＰ  ＭＣＰ−Ｔ３５０を用いて、ＪＩＳ  Ｋ７１９４に準じて行い、基材フィルム２表面を測定することにより得られる。このとき、抵抗率補正係数ＲＣＦは４．５３２として、表面抵抗率及び体積抵抗率の算出を行う。なお、体制抵抗率の算出に関しては、基材フィルムの厚みを用いて算出した。
【００３７】
前記粘着剤層３としては、例えば図１（ａ）に示すように、導電性粒子が含有されていることにより少なくとも厚さ方向に対し電気的な導通が確保されているものが挙げられる。粘着剤層３の導電性は、導電性粒子が相互に接触した状態で分散した構造となっていることにより得られている。
【００３８】
前記導電性粒子５の相互接触した状態は、少なくとも膜厚方向に対しなされていることにより当該方向での導電性を可能にする。その結果、ダイシングにより粘着剤層３が完全に切断分離されても基材フィルム２との間で電気的な導通経路の確保を可能にしている。尚、例えば、膜厚方向にのみ導電性を示す異方導電性とする場合には、粘着剤層３中の導電性粒子５が相互に離間した状態で分散させた後、所定の膜厚となる様に膜厚方向に圧縮させることにより厚み方向にのみ導電性粒子５が相互に接触した分散状態にすればよい。この場合、粘着剤層３を構成する粘着剤成分は絶縁性であることが必要となる。
【００３９】
粘着剤層３は、導通検査が可能な範囲で導電性を有していればよい。導通検査が可能な粘着シート１０の導電性とは、具体的にはその表面における表面抵抗率が５Ω／□以下、好ましくは１Ω／□以下、特に好ましくは５×１０−１Ω／□以下である。尚、下限値については、実用上の観点から１×１０−３Ω／□以上であることが好ましい。また、粘着剤層３の体積抵抗率が１×１０−１Ω・ｃｍ以下、好ましくは１×１０−２Ω・ｃｍ以下、特に好ましくは１×１０−３Ω・ｃｍ以下である。尚、下限値については、実用上の観点から１×１０−５Ω・ｃｍ以上であることが好ましい。導電性評価は、三菱化学製Ｌｏｒｅｓｔｅｒ  ＭＰ  ＭＣＰ−Ｔ３５０を用いて、ＪＩＳ  Ｋ７１９４に準じて行い、粘着シート１０の粘着剤表面を測定することにより得られる。このとき、抵抗率補正係数ＲＣＦは４．５３２として、表面抵抗率及び体積抵抗率の算出を行う。なお、体積抵抗率の算出は「基材フィルムと粘着剤層」の合計厚みを用いて算出した。
【００４０】
導電性粒子５の含有量は、粘着剤層３を構成するベースポリマー成分１００重量部に対し１〜５００重量部、好ましくは５〜５００重量部、特に好ましくは１０〜２００重量部である。含有量が１重量部未満であると、導電性粒子５同士の相互接触が困難になり、導電性が低下する場合がある。その一方、含有量が５００重量部を超えると、粘着剤層３に占める導電性粒子の割合が高くなり過ぎて粘着剤層３の粘着性が低下する場合がある。
【００４１】
本発明で用いられる導電性粒子５の種類としては特に限定されず、例えばニッケル、金、銀、銅、アルミ、半田、白金などの金属系粒子、ＩＴＯ（インジウム・スズ酸化物）、ＡＴＩ、酸化チタン、酸化スズ、酸化銅、酸化ニッケルなどの金属酸化物系粒子、ダイアモンド、カーボンブラック、カーボンチューブ、カーボンファイバーなどのカーボン系粒子、ポリスチレンなどのプラスチック粒子の表面に導電層を被覆した複合導電粒子などが挙げられる。また、これら導電性粒子５の形状も特に限定されず、球状、針状、繊維状、フレーク状、スパイク状、コイル状などが挙げられる。
【００４２】
更に、導電性粒子５の大きさとしては特に限定されないが、例えば粒径が１００μｍ以下、好ましくは１ｎｍ〜１００μｍ、特に好ましくは１０ｎｍ〜５０μｍである。粒径が１００μｍを超える場合、粘着剤膜厚バラツキや表面凹凸が大きくなり、ダイシング性が悪化するという不都合がある。尚、当該粒径は、ＢＥＴ法により測定した値である。
【００４３】
また図１（ｂ）に示すように、粘着剤層３の表面に基材フィルム２を構成する導電性繊維１７の一部が露出した構成であってもよい。この様な構成であると、粘着剤層３に導電性粒子５を含有させるなどの導電性を付与することなく、半導体ウェハ等と基材フィルム１との間の導通経路が確保される。その結果、ダイシング機能を低下させることなく導通検査が可能となる。ここで、基材フィルム２は導電性繊維１７が所定の編み形状で構成されており、導電性繊維１７同士の交差部分が凸部となっている。導電性繊維１７が粘着剤層３の表面から一部露出するとは、この交差部分が粘着剤層３に覆われることなくその表面から表出していることを意味する。
【００４４】
基材フィルム２上に形成する前の粘着剤層３の引張弾性率は０．２ＭＰａ以下であることが好ましく、より好ましくは０．０１〜０．１５ＭＰａ、特に好ましくは０．０３〜０．１ＭＰａである。引張弾性率を０．２ＭＰａ以下にすることにより、粘着剤層３を基材フィルム１上に転写しこれを押圧する際に、粘着剤層３が基材フィルム２に埋まり込み易くなり、導電性繊維１７の一部が粘着剤層３の表面から露出させることが可能になる。尚、引張弾性率はＪＩＳ  Ｋ７１２７に準じて測定された値である。尚、引張弾性率の値は、後述の架橋剤の添加量を適宜変更することにより調節可能である。
【００４５】
粘着剤層３の形成材料としては、（メタ）アクリル系ポリマーやゴム系ポリマーなどを含む公知の粘着剤を用いることができる。なかでも、半導体ウェハへの汚染性などの点から、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤が好ましい。
【００４６】
（メタ）アクリル系ポリマーを形成するモノマー成分としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プルピル基、イソプルピル基、ｎ−ブチル基、ｔ−ブチル基、イソブチル基、アミル基、イソアミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、シクロヘキシル基、２−エチルヘキシル基、オクチル基、イソオクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ウンデシル基、ラウリル基、トリデシル基、テトラデシル基、ステアリル基、オクタデシル基、及びドデシル基などの炭素数３０以下、好ましくは炭素数４〜１８の直鎖又は分岐のアルキル基を有するアルキル（メタ）アクリレートが挙げられる。これらアルキル（メタ）アクリレートは１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００４７】
上記以外のモノマー成分としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル（メタ）アクリレート、カルボキシペンチル（メタ）アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマール酸、及びクロトン酸などのカルボキシル基含有モノマー、無水マレイン酸や無水イタコン酸などの酸無水物モノマー、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸４−ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸６−ヒドロキシヘキシル、（メタ）アクリル酸８−ヒドロキシオクチル、（メタ）アクリル酸１０−ヒドロキシデシル、（メタ）アクリル酸１２−ヒドロキシラウリル、及び（４−ヒドロキシメチルシクロヘキシル）メチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有モノマー、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレート、及び（メタ）アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸などのスルホン酸基含有モノマー、２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマーなどが挙げられる。これらモノマー成分は１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００４８】
また、（メタ）アクリル系ポリマーの架橋処理等を目的に多官能モノマーなども必要に応じて共重合モノマー成分として用いることができる。
【００４９】
多官能モノマーとしては、例えば、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、及びウレタン（メタ）アクリレートなどが挙げられる。これら多官能モノマーは１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００５０】
多官能モノマーの使用量は、粘着特性等の観点より全モノマー成分の３０重量％以下であることが好ましく、さらに好ましくは１５重量％以下である。
【００５１】
（メタ）アクリル系ポリマーの調製は、例えば１種又は２種以上のモノマー成分を含む混合物を溶液重合方式、乳化重合方式、塊状重合方式、又は懸濁重合方式等の適宜な方式を適用して行うことができる。
【００５２】
重合開始剤としては、過酸化水素、過酸化ベンゾイル、ｔ−ブチルパーオキサイドなどの過酸化物系が挙げられる。単独で用いるのが望ましいが、還元剤と組み合わせてレドックス系重合開始剤として使用することもできる。還元剤としては、例えば、亜硫酸塩、亜硫酸水素塩、鉄、銅、コバルト塩などのイオン化の塩、トリエタノールアミン等のアミン類、アルドース、ケトース等の還元糖などを挙げることができる。また、アゾ化合物も好ましい重合開始剤であり、２，２’−アゾビス−２−メチルプロピオアミジン酸塩、２，２’−アゾビス−２，４−ジメチルバレロニトリル、２，２’−アゾビス−Ｎ，Ｎ’−ジメチレンイソブチルアミジン酸塩、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス−２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド等を使用することができる。また、上記重合開始剤を２種以上併用して使用することも可能である。
【００５３】
反応温度は通常５０〜８５℃程度、反応時間は１〜８時間程度とされる。また、前記製造法のなかでも溶液重合法が好ましく、（メタ）アクリル系ポリマーの溶媒としては一般に酢酸エチル、トルエン等の極性溶剤が用いられる。溶液濃度は通常２０〜８０重量％程度とされる。
【００５４】
前記粘着剤には、ベースポリマーである（メタ）アクリル系ポリマーの数平均分子量を高めるため、架橋剤を適宜に加えることもできる。架橋剤としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、無水化合物、ポリアミン、カルボキシル基含有ポリマーなどがあげられる。架橋剤を使用する場合、その使用量は引き剥がし粘着力が下がり過ぎないことを考慮し、一般的には、上記ベースポリマー１００重量部に対して、０．０１〜５重量部程度配合するのが好ましい。但し、粘着剤層３の引張弾性率を０．２ＭＰａ以下にするという観点からは、架橋剤の添加量は０．１〜２重量部の範囲内であることが好ましい。また粘着剤層３を形成する粘着剤には、必要により、前記成分のほかに、従来公知の各種の粘着付与剤、老化防止剤、充填剤、老化防止剤、着色剤等の慣用の添加剤を含有させることができる。
【００５５】
半導体チップからの剥離性を向上させるため、粘着剤は、紫外線、電子線等の放射線により硬化する放射線硬化型粘着剤とすることが好ましい。放射線硬化型の粘着剤を用いた場合には、放射線（例えば、紫外線）照射によって粘着剤層３の粘着力が低下するため、粘着剤層３に放射線を照射することによって、粘着シートの剥離を容易に行うことができる。なお、粘着剤として放射線硬化型粘着剤を用いる場合には、前記導電性繊維基材の開口度が１０％以上であるものを用いることが好ましい。
【００５６】
放射線硬化型粘着剤としては、炭素−炭素二重結合等の放射線硬化性の官能基を有し、かつ粘着性を示すものを特に制限なく使用することができる。放射線硬化型粘着剤としては、例えば、前述の（メタ）アクリル系ポリマーに放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合した放射線硬化性粘着剤が挙げられる。
【００５７】
配合する放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分としては、例えば、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、及び１，４−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。これらは１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００５８】
放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分の配合量は、特に制限されるものではないが、粘着性を考慮すると、粘着剤を構成する (メタ）アクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、５〜５００重量部程度であることが好ましく、さらに好ましくは６０〜１５０重量部程度である。
【００５９】
また、放射線硬化型粘着剤としては、ベースポリマーとして、炭素−炭素二重結合をポリマー側鎖または主鎖中もしくは主鎖末端に有するものを用いることもできる。このようなベースポリマーとしては、（メタ）アクリル系ポリマーを基本骨格とするものが好ましい。この場合においては、放射線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を特に加えなくてもよく、その使用は任意である。
【００６０】
前記放射線硬化型粘着剤には、紫外線等により硬化させる場合には光重合開始剤を含有させる。光重合開始剤としては、例えば、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、α−ヒドロキシ−α，α−メチルアセトフェノン、メトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノプロパン−１などのアセトフェノン系化合物、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、アニゾインメチルエーテルの如きベンゾインエーテル系化合物、２−メチル−２−ヒドロキシプロピルフェノンなどのα−ケトール系化合物、ベンジルジメチルケタールなどのケタール系化合物、２−ナフタレンスルホニルクロリドなどの芳香族スルホニルクロリド系化合物、１−フェノン−１，１−プロパンジオン−２−（ｏ−エトキシカルボニル）オキシムなどの光活性オキシム系化合物、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、３，３’−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系化合物、チオキサンソン、２−クロロチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２，４−ジメチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、２，４−ジクロロチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソンなどのチオキサンソン系化合物、カンファーキノン、ハロゲン化ケトン、アシルホスフィノキシド及びアシルホスフォナートなどが挙げられる。
【００６１】
光重合開始剤の配合量は、粘着剤を構成する (メタ)アクリル系ポリマー等のベースポリマー１００重量部に対して、０．１〜１０重量部程度であることが好ましく、さらに好ましくは０．５〜１０重量部程度である。
【００６２】
また前記粘着剤層３の厚みは特に限定されず、従来のダイシング用粘着シートと同様であればよい。具体的には、１〜５０μｍであり、好ましくは３〜２０μｍ、特に好ましくは５〜２０μｍである。厚みが１μｍ未満であると、粘着力が低下し、ダイシングの際の半導体チップの保持が不十分となりチップ飛びが発生する場合がある。その一方、厚みが５０μｍを超えると、粘着剤層３の導電性を確保するために導電性粒子の配合量を増量させる必要があり好ましくない場合がある。更に、半導体ウェハのダイシングの際に生じるが振動が大きくなり過ぎ、半導体チップの欠け（チッピング）が生じる場合がある。尚、前記厚みは、粘着剤層３表面から基材フィルム２を構成する導電性繊維の一部が露出した構成の場合は、基材フィルム２への転写前の厚みを表す。
【００６３】
また、粘着シート１０は、前記粘着剤層３上にセパレータ７が設けられていることが好ましい。セパレータ７を設けることにより積層シート（粘着シート）をロール状にして加熱処理したり、保管することができる。また、粘着シート１０を使用するまでの間、粘着剤層３の表面を埃等から保護することができる。
【００６４】
セパレータ７の構成材料としては、ポリエーテルエーテルケトン，ポリエーテルイミド、ポリアリレート，ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム，ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン−酢酸ビニル共重合体フィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、及びポリカーボネートフィルム等のプラスチックフィルムなどが挙げられる。
【００６５】
セパレータ７の片面には粘着剤層３からの剥離性を高めるため、必要に応じてシリコーン処理、長鎖アルキル処理、フッ素処理等の剥離処理が施されていてもよい。また、必要に応じて、粘着シート１０が環境紫外線によって反応してしまわないように、紫外線透過防止処理等が施されていてもよい。セパレータ７の厚みは、通常５〜２００μｍであり、好ましくは２５〜１００μｍ、さらに好ましくは３８〜６０μｍである。
【００６６】
セパレータ７の粘着剤層３と接触していない表面は、梨地又は凹凸構造になっているものを用いることもできる。
【００６７】
粘着シート１０は、例えばセパレータ７に粘着剤層３を形成した後、それらを基材フィルム２に貼り合せることにより製造できる。このとき、粘着剤層３の表面から基材フィルム１を構成する導電性繊維の一部が露出する構造とする場合には、所定の押圧力で粘着剤層３を押圧するのが好ましい。この場合、押圧力として、０．０１〜１Ｍｐａ、好ましくは０．０５〜０．５ＭＰａ、より好ましくは０．０８〜０．３ＭＰａである。また、押圧時の温度としては、通常２０〜１００℃である。また、別途、基材フィルム２表面に、粘着剤溶液を直接塗布し、乾燥させて（必要に応じて加熱架橋させて）粘着剤層３を形成し、必要に応じてこの粘着剤層３の表面にセパレータ７を貼り合わせることでも製造できる。これら粘着剤層３は１層、又は２層以上積層してもよい。
【００６８】
粘着剤層３上にセパレータ７を設けた積層シートはロール状にして加熱処理することが好ましい。積層シートを加熱処理することにより、粘着剤の特性を安定化させることができる。加熱処理における温度は３０〜６０℃程度であり、処理時間は１２〜１００時間程度である。
【００６９】
粘着シート１０は、シート状、ロ−ル状など、用途に応じて適宜な形状をとり得る。ウェハダイシング用途では、例えば、あらかじめ必要な形状に切断加工されたものが好適に用いられる。また、粘着シート１０の外径サイズは、半導体ウェハの外径サイズよりも大きく、かつ、ダイシングリングの内径よりも小さくてもよい。
【００７０】
また、粘着剤層３の粘着力は、シリコンウェハに対する常温での粘着力（９０度ピール値、剥離速度３００ｍｍ／分）に基づいて、２０Ｎ／２０ｍｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは０．００１〜１０Ｎ／２０ｍｍ、特に好ましくは０．０１〜８Ｎ／２０ｍｍである。尚、粘着剤層３の粘着力をシリコンミラーウェハを用いて規定しているのは、シリコンミラーウェハ表面の粗さの状態が一定程度平滑であること、ダイシング及びピックアップの対象である被加工物としての半導体ウェハ等と同質材料であることによる。また、測定温度２３±３℃に於ける粘着力を基準としているのは、通常ピックアップが行われるのが室温（２３℃）下であることによる。
【００７１】
粘着剤層３は、シリコンからなる半導体ウェハの貼着面に於ける表面有機物汚染増加量ΔＣが５％以下となる剥離性を有していることが好ましい。粘着剤層３がその様な剥離性を有することにより、ピックアップ後の半導体チップに糊残りが生じるのを低減することができる。表面有機物汚染増加量ΔＣ（％）の値は、粘着シート１０を半導体ウェハに２３℃で貼り合わせ、半導体ウェハのダイシング後、ピックアップ直前に於いて２３℃で粘着シート１０を剥離したときの表面有機物汚染量の値Ｃ１（％）から、半導体ウェハの表面有機物汚染量の値Ｃ２（％）を差し引いた値である。また、粘着剤層３が放射線硬化型粘着剤を含み構成される場合、表面有機物汚染増加量ΔＣは、放射線を照射した後に剥離したときの値を示す。
【００７２】
本発明の粘着シート１０は、前記の通り、ピックアップ時の引き剥がし粘着力が低く制御され、または制御可能に設定されている。しかし、粘着力が低いと、前工程であるダイシングを行なう際、切断分離されたチップを保持することができず、ダイシング中にチップが粘着シート１０から剥離する（チップ飛びが発生する）可能性が高い。そのため、放射線照射により硬化して粘着力を低下することが可能な放射線硬化型粘着剤により粘着剤層３を形成し、ダイシング時にはある程度の粘着力を維持しながら、ダイシング工程の後には放射線照射によって、前記粘着力を低下できるものを用いるのが好ましい。また、同様の観点から、加熱により粘着力を低下することが可能な加熱発泡剥離型粘着剤により粘着剤層を形成することも好適である。このような場合には、ダイシング後に、加熱などの公知の操作を加え粘着力を低減してから、ピックアップすることができる。
【００７３】
また、本発明の粘着シート１０は、基材フィルム２及び粘着剤層３の平面視における形状が半導体ウェハと同様のものとしてもよい（図３参照）。
【００７４】
次に、本発明に係る半導体装置の製造方法について説明する。本発明の半導体装置の製造方法は、半導体ウェハを粘着シート１０の粘着剤層３上に貼り合わせるマウント工程と、半導体ウェハ又は半導体チップの検査工程と、半導体ウェハをダイシングするダイシング工程と、半導体チップをピックアップするピックアップ工程とを有する。本発明に係る粘着シート１０は、前述の通り、半導体ウェハを貼り合わせた状態でも導通工程を行うことができるので、ダイシング工程前に半導体ウェハに対し導通検査工程を行ってもよい。また、本発明の粘着シートはダイシング用粘着シートとしての機能も併せ持つので、半導体ウェハを貼り合わせた状態でダイシングして半導体チップを形成し、その工程後に各半導体チップに対し導通検査工程を行ってもよい。尚、本発明の製造方法は、半導体ウェハの厚さが１００μｍ未満、更には５０μｍ未満である場合に好適に適用することができる。
【００７５】
前記マウント工程は、半導体ウェハの裏面（回路形成面とは反対側の面）と粘着剤層３側とが貼り合わせ面となる様に重ね合わせ、圧着ロール等の押圧手段により押圧しながら行う。また、加圧可能な容器（例えばオートクレーブ等）中で、半導体ウェハと粘着シート１０を前記のように重ね、容器内を加圧することにより貼り付けることもできる。この際、押圧手段により押圧しながら貼り付けてもよい。また、真空チャンバー内で、前記と同様に貼り付けることもできる。貼り付けの際の貼り付け温度は何ら限定されないが、２０〜８０℃であることが好ましい。
【００７６】
ダイシング工程の前に半導体ウェハ９の導通検査を行う場合、当該半導体ウェハ９は粘着シート１０を貼り合わせた状態で、導通検査ステージ１３上に載置される（図３（ａ）参照）。導通検査ステージ１３は、粘着シート１０を介して半導体ウェハ９を吸引固定する。吸引固定は、例えば粘着シート１０の周縁部で空気抜けなどを生じることなく確実に行うことができる。粘着シート１０が導通検査ステージ１３に接する部分が基材フィルム２ではなく支持体１であり、当該支持体１は網目状のフィルム等ではないからである。次に、導通検査用端子のうち、一方を半導体ウェハ９の回路形成面（電極）１５に当接し、他方の端子を粘着剤層３に当接し、導通経路を確保する。その後、両端子間に所定の電圧を印加し、そのときの抵抗値より半導体ウェハ９に形成された回路の導通性を確認する。
【００７７】
前記ダイシング工程は、半導体ウェハ９を切断（ダイシング）して半導体チップを形成する工程である。ダイシングは、半導体ウェハの回路面側から常法に従い行われ、ブレードダイシング、レーザーダイシング、プラズマダイシング、又はブレーキング等の公知の方法を用いることができる。また切断方法としては、粘着シート１０まで切り込みを行うフルカットと呼ばれる切断方式等を採用できる。本発明では、粘着シート１０の基材フィルム２と粘着剤層３との間には導通経路が確保されているため、粘着剤層３を完全に切断し、基材フィルム２の一部が切断される場合でも、後述の半導体チップの導通検査工程を行うことができる。本工程で用いるダイシング装置としては特に限定されず、従来公知のものを用いることができる。
【００７８】
ダイシング工程後に半導体チップ１１の導通検査を行う場合、各半導体チップ１１が粘着シート１０に貼り合わされた状態のままで、導通検査ステージ１３上に載置される（図３（ｂ）参照）。次に、導通検査用端子のうち、一方を各半導体チップ１１の回路形成面（電極）１５に当接し、他方の端子を粘着剤層３に当接し、導通経路を確保する。その後、両端子間に所定の電圧を印加し、そのときの抵抗値より半導体チップ１１の導通性を確認する。尚、ダイシング工程により粘着剤層３が完全に切断されている場合には、導通検査ステージ１３に他の端子を当接する。粘着シート１０は基材フィルム２と粘着剤層３との間に導通経路が確保された構造であるため、粘着剤層３が完全に切断され、基材フィルム２の一部まで切り込みがされていても、導通検査が可能となる。
【００７９】
ピックアップ工程は、粘着シート１０に接着固定された半導体チップ１１を剥離する為に行う。ピックアップの方法としては特に限定されず、従来公知の種々の方法を採用できる。例えば、個々の半導体チップ１１を粘着シート１０側からニードルによって突き上げ、突き上げられた半導体チップ１１をピックアップ装置によってピックアップする方法等が挙げられる。
【００８０】
ここで、放射線硬化型粘着剤層又は熱剥離型粘着剤層を有する粘着シート１０を用いる場合には、粘着剤層３を放射線照射又は加熱処理してもよい。これにより粘着性を低下させ、ピックアップの容易化を図る。放射線硬化型の粘着剤層３の場合、放射線照射の際の照射強度、照射時間等の条件は特に限定されず、適宜必要に応じて設定すればよい。また、熱剥離型の粘着剤層３の場合、これを加熱すると、熱発泡性又は熱膨張性成分により粘着剤層３が膨張して、半導体チップ１１との接着面積を著しく減少させることができる。これにより、半導体チップに対する粘着シート１０の粘着力が低下し、半導体チップ１１から粘着シート１０の剥離が容易になる。その結果、半導体チップ１１を損傷させることなくピックアップが可能となる。加熱処理を行う場合に於ける加熱温度、加熱時間等の加熱条件は特に限定されず、適宜必要に応じて設定すればよい。
【実施例】
【００８１】
以下に、この発明の好適な実施例を例示的に詳しく説明する。但し、この実施例に記載されている材料や配合量等は、特に限定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではなく、単なる説明例に過ぎない。
【００８２】
（実施例１）
［基材フィルム］
基材フィルムとして、セーレン（株）製導電性繊維基材（商品名ＳＵＩ−４０−２００４７、厚み８２μｍ、メッシュタイプ、開口度４０％）を使用した。また、本基材の表面抵抗率は６．６×１０−２Ω／□、体積抵抗率は５．３×１０−４Ω・ｃｍであった。
【００８３】
［粘着剤の調製］
メチルアクリレート７０重量部、ブチルアクリレート３０重量部、及びアクリル酸５重量部を酢酸エチル中で共重合させて数平均分子量８０万のアクリル系ポリマーを含む溶液を得た。当該溶液に、１分子中に不飽和結合を６つ含むウレタンオリゴマー（商品名［紫光ＵＶ−１７００Ｂ］、日本合成（株）製）５０重量部、光重合開始剤（商品名「イルガキュア６５１」，チバ・スペシャルティー・ケミカルズ製）３重量部、及びポリイソシアネート化合物（商品名「コロネートＬ」、日本ポリウレタン社製）１．５重量部を加えて、紫外線硬化型粘着剤溶液を得た。この粘着剤溶液に導電性粒子としてインコスペシャルプロダクツ製ニッケルパウダー（商品名タイプ１２３、スパイク状、粒径３〜７μｍφ）１０重量部を加え、導電性粘着剤溶液を作製した。
【００８４】
［ダイシング用粘着シートの作製］
上記で調製した導電性粘着剤溶液を、離型処理された厚さ５０μｍのポリエステル製セパレータの離型処理面に塗布し、８０℃で１０分間加熱架橋して、厚さ１０μｍの紫外線硬化型粘着剤層を形成した。
【００８５】
一方、前記アクリル系ポリマー１００重量部にコロネートＬ２．０重量部を添加して構成される粘着剤溶液を、離型処理された厚さ５０μｍのポリエステル製セパレータの離型処理面に塗布し、８０℃で１０分間加熱架橋して、厚さ５μｍの粘着剤層を形成した。
【００８６】
次いで、基材フィルムの一方の面に紫外線硬化型粘着剤層を貼り合わせ、他方の面に粘着剤層を貼り合わせた。更に、粘着剤層側のセパレータを剥離し、支持体としての軟質塩化ビニルフィルム（厚さ１００μｍ、引張弾性率３３０ＭＰａ、最大点伸度２５０％）に貼り合わせた。これにより、本実施例に係る検査用粘着シートを作製した。引張弾性率はＪＩＳ  Ｋ７１２７（プラスチックフィルム及びシートの引張り試験方法）の引張試験方法に準拠し、２３±２℃の温度、５０±５％の湿度、５０ｍｍの標線間距離及びつかみ間距離、引張は支持体の長さ（ＭＤ）方向、３００ｍｍ／ｍｉｎの速度で試験を行った。
【００８７】
（実施例２）
本実施例においては、前記実施例１と同様にして、ポリエステル製セパレータの離型処理面に、厚さ１０μｍの紫外線硬化型粘着剤層を形成した。次いで、基材フィルムの一方の面に紫外線硬化型粘着剤層を貼り合わせ、他方の面に支持体としての粘着シート（日東電工（株）製、商品名；エレップホルダーＮＢＤ−５１７０Ｋ、引張弾性率２２０ＭＰａ、最大点伸度９８０％）を、その粘着剤層側が貼り合わせ面となる様に貼り合わせた。これにより、本実施例に係る検査用粘着シートを作製した。
【００８８】
（実施例３）
本実施例においては、前記実施例１と同様にして、ポリエステル製セパレータの離型処理面に、厚さ１０μｍの紫外線硬化型粘着剤層を形成した。次いで、基材フィルムの一方の面に紫外線硬化型粘着剤層を貼り合わせ、他方の面に支持体としての粘着シート（日東電工（株）製、商品名；エレップホルダーＤＵ−４００ＳＥ、引張弾性率１６０ＭＰａ、最大点伸度８８０％）を、その粘着剤層側が貼り合わせ面となる様に貼り合わせた。これにより、本実施例に係る検査用粘着シートを作製した。
【００８９】
（実施例４）
本実施例においては、実施例１と同様にして、基材フィルムの一方の面に紫外線硬化型粘着剤層を貼り合わせ、他方の面に粘着剤層を貼り合わせたものを作製し、これを平面視において半導体ウェハと同様の形状となる様にラベル加工した。その後、粘着剤層側のセパレータを剥離し、支持体としての軟質塩化ビニルフィルム（厚さ１００μｍ、引張弾性率３３０ＭＰａ、最大点伸度２５０％）に貼り合わせて、本実施例に係る検査用粘着シートを作製した。
【００９０】
（実施例５）
本実施例においては、前記実施例２と同様にして、ポリエステル製セパレータの離型処理面に、厚さ１０μｍの紫外線硬化型粘着剤層を形成し、次いで、基材フィルムの一方の面に紫外線硬化型粘着剤層を貼り合わせものを作製した。これを平面視において半導体ウェハと同様の形状となる様にラベル加工した。更に、基材フィルムの他方の面に支持体としての粘着シート（日東電工（株）製、商品名；エレップホルダーＮＢＤ−５１７０Ｋ、引張弾性率２２０ＭＰａ、最大点伸度９８０％）を、その粘着剤層側が貼り合わせ面となる様に貼り合わせた。これにより、本実施例に係る検査用粘着シートを作製した。
【００９１】
（比較例１）
本比較例においては、前記実施例１と同様にして、基材フィルム上に紫外線硬化型粘着剤層を形成することにより、本比較例に係る検査用粘着シートを作製した。
【００９２】
（比較例２）
本比較例においては、基材フィルムとして東レ加工（株）製アルミ蒸着ポリエステルフィルム（商品名メタルミーＴＳ、厚み２５μｍ）を使用したこと以外は、前記実施例１と同様にして本比較例に係る検査用粘着シートを作製した。尚、本比較例における基材フィルムの表面抵抗率は１．５Ω／□、体積抵抗率は７．３×１０−３Ω・ｃｍであった。
【００９３】
（比較例３）
本比較例においては、基材フィルムとして軟質塩化ビニルフィルム（厚さ８０μｍ）を用いたこと以外は、前記実施例１と同様にして本比較例に係るダイシング用粘着シートを作製した。尚、本比較例における基材フィルムの表面抵抗率、及び体積抵抗率は測定オーバーであった。
【００９４】
（数平均分子量の測定）
合成したアクリル系ポリマーの数平均分子量は以下の方法で測定した。アクリル系ポリマーをＴＨＦに０．１ｗｔ％で溶解させて、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー）を用いてポリスチレン換算により数平均分子量を測定した。詳しい測定条件は以下の通りである。
ＧＰＣ装置：東ソー製、ＨＬＣ−８１２０ＧＰＣ
カラム：東ソー製、（ＧＭＨＨＲ−Ｈ）＋（ＧＭＨＨＲ−Ｈ）＋（Ｇ２０００ＨＨＲ）
流量：０．８ｍｌ／ｍｉｎ
濃度：０．１ｗｔ％
注入量：１００μｌ
カラム温度：４０℃
溶離液：ＴＨＦ
【００９５】
（導電性）
実施例、及び比較例で得られた検査用粘着シートに対しセパレータを剥離し、ダイシング処理前後での粘着剤表面の導電性を評価した。ダイシング処理は粘着シート単体で行い、すべての粘着シートにおいてそれぞれ基材フィルムがその厚さの１／２の深さまで切り込まれるよう条件を設定した。導電性評価は、三菱化学製Ｌｏｒｅｓｔｅｒ  ＭＰ  ＭＣＰ−Ｔ３５０を用いて、ＪＩＳ  Ｋ７１９４に準じて行い、粘着シートにおける粘着剤層の表面抵抗率及び体積抵抗率を求めた。尚、抵抗率補正係数ＲＣＦは４．５３２として、表面抵抗率及び体積抵抗率の算出を行った。
【００９６】
（引き剥がし粘着力）
実施例、及び比較例で得られた検査用粘着シートを、２０ｍｍ幅で短冊状に切断し、２３±３℃（室温）でシリコンミラーウェハ面（信越半導体株式会社製；ＣＺＮ＜１００＞２．５−３．５（４インチ））に貼付けた。次に、室温雰囲気下で３０分間静置した後、２３±３℃の恒温室で９０°引き剥がし粘着力を測定した（剥離点移動速度３００ｍｍ／ｓｅｃ）。また、シート裏面から窒素雰囲気下で紫外線を照射（１５００ｍＪ／ｃｍ２）し、同様に２３±３℃の恒温室で、９０°引き剥がし粘着力を測定した。
【００９７】
（ダイシング評価）
実施例、及び比較例で得られた検査用粘着シートに、裏面研削された厚さ１００μｍの半導体ウェハ（６インチ）を温度２３±３℃でマウントした後、以下の条件でダイシングした。ダイシング時のチップ飛び、ダイシング後のチップの欠けや割れの発生の有無を評価した。評価は、５０個の半導体チップのうち、一つでもチップ飛び、チップの欠けや割れが発生した場合を×とし、発生しなかった場合を○とした。
【００９８】
［ダイシング条件］
ダイサー：ＤＩＳＣＯ社製、ＤＦＤ−６５１ブレード：ＤＩＳＣＯ社製、２７ＨＥＣＣブレード回転数：３５０００ｒｐｍ、ダイシング速度：５０ｍｍ／ｓｅｃ、ダイシングサイズ：１０ｍｍ×１０ｍｍ
【００９９】
ダイシングの切断深さは、基材フィルムの一部が切断される程度まで行った。比較例３の粘着シートにおいては、基材フィルムにおけるＡｌ蒸着層が切断される程度まで行った。
（ピックアップ）
ダイシング後の半導体チップが各粘着シートから剥離できるかピックアップ性を評価した。具体的には、ダイシング後に粘着シート裏面から窒素雰囲気下で紫外線を照射（１５００ｍＪ／ｃｍ２）し、それらを引き伸ばして、各チップ間を所定の間隔とするエキスパンド工程を行った。更に、各粘着シートの基材フィルム側からニードルによる突き上げ方式で半導体チップをピックアップしピックアップ性の評価を行った。ピックアップは５０個の半導体チップを連続して行い、ピックアップが成功した半導体ウェハの個数をカウントした。
【０１００】
［ピックアップ条件］
ピックアップ装置：ＮＥＣ  Ｍａｃｈｉｎｅｒｙ−１００、ピン数：４本、ピンの間隔：３．５×３．５ｍｍ、ピン先端曲率：０．２５０ｍｍ、ピン突き上げ量：０．５０ｍｍ、吸着保持時間０．２秒、エキスパンド量：３ｍｍ
【０１０１】
（結果）
下記表１から分かる通り、各実施例１〜５の粘着シートにおいては、いずれも紫外線硬化型粘着剤層と基材フィルムとの間に導通経路が形成されており、ダイシング工程の前後で導通検査が可能であることが確認された。更に、ダイシングの際のチップ飛び、チップの欠けや割れは発生せず、極めて良好なダイシング性を示した。加えて、全ての半導体チップに対しピックアップが成功し、良好なピックアップ性を示した。
【０１０２】
その一方、比較例１の粘着シートでは支持体を有していないことから、ピックアップ性が１０％にとどまった。また、比較例２の粘着シートにおいては、Ａｌ蒸着層がダイシングにより切断されたため、ダイシング後の導通経路は確保できなかった。更に、比較例３の粘着シートにおいては、基材フィルムが導電性を有していなかったので、表面抵抗率及び体積抵抗率は測定オーバーであった。その結果、これらの粘着シートではこれを貼り付けた状態で半導体ウェハ又は半導体チップの導通検査を行うことはできなかった。
【０１０３】
【表１】
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【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の実施の一形態に係る検査用粘着シートを概略的に示す断面模式図であって、同図（ａ）は粘着剤層中に導電性粒子が含まれる場合、同図（ｂ）は粘着剤層表面から導電性繊維の一部が露出している場合を表す。
【図２】前記検査用粘着シートの基材フィルムに於ける間隙面積割合と光透過率との関係を示すグラフである。
【図３】前記検査用粘着シートを概略的に示す平面図である。
【図４】前記検査用粘着シートを用いた半導体装置の製造方法を説明するための概略図であって、同図（ａ）は半導体ウェハの検査工程を表し、同図（ｂ）は半導体チップの検査工程を表す。
【符号の説明】
【０１０５】
１    支持体
２    基材フィルム
３    粘着剤層
５    導電性粒子
７    セパレータ
９    半導体ウェハ
１０    ダイシング用粘着シート
１１    半導体チップ
１３    導通検査ステージ
１７    導電性繊維
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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