(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つのＨＦ発生器（５）を含む、スパッタ室（１）内のプラズマ放電（ＰＬ）の電気供給用給電ユニットであって、ＨＦ発生器（５）がＨＦ用被制御スイッチユニット（１３）を含み、前記スイッチユニットにより、ＨＦ発生器（５）の出力部（５a）に発生したＨＦ給電信号が少なくとも第一の期間（ｔA）停止され、前記第一の期間は、ＨＦ給電信号が前記出力部にある第二の期間（ｔB）より短く、
さらにＤＣ発生器（２５）が設けられ、その出力信号はＨＦ発生器（５）の出力信号に重畳され、ＤＣ発生器（２５）はＤＣ用被制御スイッチユニット（３３）を含み、それによってＤＣ発生器（２５）の出力部に発生されたＤＣ給電信号は少なくとも第三の期間（ｔC）の間停止され、第三の期間は、ＤＣ給電信号が前記出力部に存在する第四の期間（ｔD）より短いことを特徴とする、給電ユニット。
【請求項２】
ＨＦ用被制御スイッチユニット（１３）が、信号を発生させる火花検出ユニット（６０）の出力部と作用接続された制御入力部（１３s）を有することを特徴とする、請求項１に記載の給電ユニット。
【請求項３】
ＨＦ発生器（５）が、信号を発生させる出力部（７a）がＨＦ発振器（９）と作用接続された給電ユニット（７）を有し、ＨＦ用被制御スイッチユニット（１３）はＨＦ発生器（５）の給電ユニット（７）の出力部（７a）と、ＨＦ発生器（５）の出力部（５a）との間に設けられることを特徴とする、請求項１または２に記載の給電ユニット。
【請求項４】
第一の期間（ｔA）が最長４０μｓｅｃであることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の給電ユニット。
【請求項５】
第一の期間（ｔA）が最長３０μｓｅｃであることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の給電ユニット。
【請求項６】
火花検出ユニット（６０）を作動させる信号が発生してから、第一の期間（ｔA）が始まるまでの時間が最長５０μｓｅｃであることを特徴とする、請求項２から５のいずれかに記載の給電ユニット。
【請求項７】
火花検出ユニット（６０）を作動させる信号が発生してから、第一の期間（ｔA）が始まるまでの時間が最長３０μｓｅｃであることを特徴とする、請求項２から５のいずれかに記載の給電ユニット。
【請求項８】
ＨＦ用被制御スイッチユニットは、火花検出ユニット（６０）の出力部の検出信号によって作動されると、ＨＦ給電を第一の期間（ｔA）の間停止させる単安定マルチバイブレータからの信号で制御されることを特徴とする、請求項２から７のいずれかに記載の給電ユニット。
【請求項９】
前記第一の期間（ｔA）は調整可能であることを特徴とする、請求項８に記載の給電ユニット。
【請求項１０】
ＨＦ給電信号を停止させることを繰り返す自由作動クロックユニット（１５）と、ＨＦ用被制御スイッチユニットの制御入力部が、作用接続され、ＨＦ給電信号の停止期間は、第一の期間（ｔA）に等しいことを特徴とする、請求項１から７のいずれかに記載の給電ユニット。
【請求項１１】
ＤＣ発生器（２５）のＤＣ用スイッチユニット（３３）の制御入力部（３３s）が、信号を発生させる火花検出ユニット（６０）の出力部と作用接続されていることを特徴とする、請求項２に記載の給電ユニット。
【請求項１２】
第三の期間（ｔC）が第一の期間（ｔA）の前に始まり、第一の期間（ｔA）の前または後に終わるように、ＨＦ発生器（５）のＨＦ用被制御スイッチユニット（１３）の制御入力部（１３s）と、ＤＣ発生器（２５）のＤＣ用被制御スイッチユニット（３３）の制御入力部（３３s）とがタイマーユニット（１５，４３，３５）を介して作用接続されていることを特徴とする、請求項１１に記載の給電ユニット。
【請求項１３】
第三の期間（ｔC）が第一の期間（ｔA）の前に始まり、第一の期間（ｔA）の前に終わるように、ＨＦ発生器（５）のＨＦ用被制御スイッチユニット（１３）の制御入力部（１３s）と、ＤＣ発生器（２５）のＤＣ用被制御スイッチユニット（３３）の制御入力部（３３s）とがタイマーユニット（１５，４３，３５）を介して作用接続されていることを特徴とする、請求項１１に記載の給電ユニット。
【請求項１４】
スパッタ室、およびプラズマ放電のためのプラズマ放電セクション（ＰＬ）を備えたスパッタプラントであって、
プラズマ放電セクション（ＰＬ）は、請求項１から１２のいずれかに記載のプラズマ放電セクションの電力供給のための給電ユニット（３）に接続されることを特徴とする、スパッタプラント。
【請求項１５】
スパッタ被覆プラントとして実現され、１つのプラズマ放電電極がＩＴＯターゲットを含むことを特徴とする、請求項１４に記載のスパッタプラント。
【請求項１６】
１つのプラズマ放電電極がマグネトロン電極であることを特徴とする、請求項１４または１５に記載のスパッタプラント。
【請求項１７】
スパッタリングでの火花形成を低減するための方法であって、プラズマ放電（ＰＬ）はＨＦエネルギによって少なくとも供給され、プラズマ放電へのＨＦ給電はＨＦ給電の時間よりも短い時間（ｔA）、ＨＦ用被制御スイッチユニット（１３）によって中断され、
プラズマ放電はＤＣ給電（２５）によっても供給され、ＤＣ給電もＤＣ給電の時間よりも短い時間、ＤＣ用被制御スイッチユニット（３３）によって停止されることを特徴とする、方法。
【請求項１８】
ＤＣ給電は、ＨＦ給電の前に停止されることを特徴とする、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
プラズマ放電のためのプラズマ放電セクションを含むスパッタ室（１）内での火花発生の検出（６０）に基づきＨＦ給電がＨＦ給電期間よりも短時間（ｔA）停止されることを特徴とする、請求項１７または１８に記載の方法。
【請求項２０】
プラズマ放電におけるＤＣ電位の測定により火花発生が検出されることを特徴とする、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
ＨＦ供給が最長４０μｓｅｃの間停止されることと特徴とする、請求項１７から２０のいずれかに記載の方法。
【請求項２２】
ＨＦ供給が最長３０μｓｅｃの間停止されることと特徴とする、請求項１７から２０のいずれかに記載の方法。
【請求項２３】
火花発生の検出から、最長５０μｓｅｃ後、ＨＦ給電が停止されることを特徴とする、請求項１９から２２のいずれかに記載の方法。
【請求項２４】
火花発生の検出から、最長３０μｓｅｃ後に、ＨＦ給電が停止されることを特徴とする、請求項１９から２２のいずれかに記載の方法。
【請求項２５】
ＨＦ給電が繰返し停止されることを特徴とする、請求項１７から２４のいずれかに記載の方法。
【請求項２６】
ＨＦ給電が周期的に停止されることを特徴とする、請求項１７から２４のいずれかに記載の方法。
【請求項２７】
火花発生の検出に基づきＤＣ給電が停止されることを特徴とする、請求項１７に記載の方法。
【請求項２８】
ＤＣ給電がＨＦ給電の前または後に再び提供されることを特徴とする、請求項１７に記載の方法。
【請求項２９】
ＤＣ給電がＨＦ給電の前に再び提供されることを特徴とする、請求項１７に記載の方法。
【請求項３０】
スパッタプロセスで構造部材を製造するための方法であって、スパッタプラズマ放電への給電はＨＦ成分を有し、ＨＦ給電成分は、ＨＦ用被制御スイッチユニット（１３）によって、ＨＦ給電の時間よりも短い時間停止され、
プラズマ放電は、さらに、ＤＣ給電（２５）によって給電され、ＤＣ給電は、ＤＣ用被制御スイッチユニット（３３）によって、ＤＣ給電の時間よりも短い時間停止されることを特徴とする、方法。
【請求項３１】
スパッタリングプロセスによって部品を製造するための方法であって、請求項１９から３０のいずれかに記載の処理によってアーク形成の低減を行なう、方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、請求項１のプリアンブルによる電気供給ユニット、請求項１４に記載のスパッタ装置、ならびに請求項１７のプリアンブルによるスパッタ時の火花を制限する方法、さらには請求項２９による製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この発明は以下の問題点を前提とする。その問題点につきこの発明によって得られる諸認識は一般に、ＨＦ供給スパッタプロセスに適用可能である。
【０００３】
酸化物ターゲットからのＩＴＯ層のマグネトロンスパッタの際にプラズマ放電の供給を受け、ＨＦスパッタおよびＤＣスパッタが組み合わされると、放物線状に火花の発生が見られる。そのような火花（アーク）は、スパッタエッチングであれスパッタ被覆であれ、導電性に劣る材料のＤＣスパッタ時に生じることが知られているので、驚くに値しない。スパッタエッチングにおいても、スパッタ被覆においても工作物を著しく損傷し得るＤＣスパッタ時のアーク発生を避けるには、様々な方法が知られている。例えば、ＤＣ給電へのＨＦ給電成分の重畳、いわゆる中間モードにおける動作点の安定化による処理、あるいはＤＣ給電とは分離しながら比較的低抵抗の電流回路を介してプラズマ放電ギャップ自体を間欠的に短絡させることによるＤＣ給電のチョップ、がある。
【０００４】
したがって、ＨＦ給電がＤＣ給電に重畳されるにもかかわらず前記アークが見られ、ＤＣ給電スパッタ技術の経験からＤＣ給電成分が停止されるとまた、一度発生した火花がさらに燃えたのは、一層驚くべきことであった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、一般にスパッタ被覆やスパッタエッチングであるＨＦスパッタ時の火花の発生を、少なくとも加工中の工作物が損傷を被らないよう迅速に抑えるという、驚くべき課題を前提とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そのためには、請求項１の特徴にしたがって形成された、始めに述べられたような給電ユニットが提案される。したがって、この発明による給電ユニットは、スパッタプラズマ放電のＨＦ給電が短時間停止されるよう形成される。
【０００７】
この発明による給電ユニットの第一の好ましい実施形態では、停止を制御するスイッチユニットが、火花検出ユニットの出力と作用接続された制御入力を有する。それによって、火花が発生するとすぐ、プラズマ放電の高周波給電を停止させることが可能となる。
【０００８】
通常、給電用に設けられたＨＦ発生器は、例えば入力側の網電圧を後接続のＨＦ発振器用の給電直流電圧に変換する給電ユニットを有する。
【０００９】
この発明によるユニットの、好ましい一実施形態においては、高周波給電をこの発明によって停止させるため設けられたスイッチユニットが、この前記ＨＦ発生器内部給電ユニットに後接続、すなわち前記給電ユニットの出力とＨＦ発生器の出力との間に配置される。これは、前記発生器給電ユニットの後から、通常は設置されるが上記の場合発生器の一部とみなされるインピーダンス調整ユニットの出力側までの間で行われ得る。
【００１０】
火花検出ユニットを装備したこの発明による給電ユニットの、好ましい一実施形態では、給電ユニットがＤＣ電位測定ユニットを含み、その出力が好ましくは調整可能な閾値検出ユニットの入力と作用接続され、閾値検出ユニットの出力はまた火花検出ユニットの出力として作用する。
【００１１】
プラズマ放電にＨＦ給電のみが用いられる場合もまた、プラズマ放電ギャップに沿ってＤＣ電位が発生し、電極―暗黒領域については電位降下が、その他のプラズマギャップに沿っては基本的に一定のＤＣ電位が発生することが知られており、その値は低抵抗の火花回路が生じると変化するのが検出可能である。
【００１２】
この発明による給電ユニットの好ましいさらなる実施形態では、ＨＦ給電の停止時間が最長４０μｓｅｃ、好ましくはさらに最長３０μｓｅｃである。
【００１３】
これにより、発生途上の火花が消されるか、後に詳述されるようにそもそも全く発生し得ない、という結果が得られると同時に、安定した放電をすぐに再開することができる。
【００１４】
好ましいさらなる実施形態では、火花検出によって起動するＨＦ給電停止装置が設けられることによって特に、上述の迅速な再接続に加え、火花発生検出後ＨＦ給電が極めて迅速に切られるので、発生途上の火花が完全に形成されることはない。これは、火花検出から高周波給電切断までの時間が最長５０μｓｅｃ、好ましくは最長３０μｓｅｃであるためである。
【００１５】
好ましいさらなる実施形態においては、この発明にしたがって設けられるスイッチユニットが単安定ユニットとして形成される。設置された火花検出ユニットの出力における検出信号を契機として、好ましくは調整可能な期間だけ高周波給電が停止され、その後再び接続される。火花検出ユニットに検知されて、依然として火花を示す測定値が示されると、ＨＦ給電は再び停止される。火花検出に制御されて前記給電は、火花検出ユニットが給電切断をもはや作動させなくなるまで、繰り返し接続および切断される。しかしながらその際の給電切断は、少なくとも発生途中の火花の検出に依存したままである。
【００１６】
しかしながらこれは、好ましいさらなる実施形態において、ＨＦ給電が独自に繰り返し短時間停止されることにより、回避される。
【００１７】
この発明による給電ユニットの好ましいさらなる実施形態においては、前記ＨＦ発生器の他に、出力信号がＨＦ発生器のそれに重畳された、ないしされるＤＣ発生器が設けられる。
【００１８】
さらに好ましくはＤＣ発生器がまた、ＤＣ給電信号を短時間停止させ得る被制御スイッチユニットを有する。
【００１９】
ＨＦ給電の作動ないし停止のために火花検出ユニットが設けられると、このユニットはまたＤＣ給電の停止をも制御可能である。自明のことながらこれは直接行われ得るか、あるいは後に詳述されるように、時間的相関関係をもってＨＦおよびＤＣ給電が停止ないし接続されることによって、行われ得る。
【００２０】
この発明による給電ユニットにおいては、設置された被制御スイッチユニットの時間的に相互依存する制御は好ましくは、ＨＦ給電の前にＤＣ給電が停止されるように行われる。ＨＦ給電はＤＣ給電の前または後、好ましくは後に、再び接続される。
【００２１】
好ましい一実施形態における、この発明の給電ユニットは、Ａｄｖａｎｃｅｄ  Ｅｎｅｒｇｙ社の「ピンナクル（Ｐｉｎｎａｃｌｅ）」型のＤＣ給電の使用により実現される。
【００２２】
この発明によるスパッタ装置の好ましい実施形態は請求項１５および１６、この発明による方法の好ましい実施形態は請求項１８から２８に記載される。
【００２３】
さらにこの発明は、請求項２９に記載の製造方法に関するものであり、それによって得られるスパッタ後の、すなわちスパッタエッチングまたはスパッタ被覆された構造部材は、少なくとも火花による影響が大きく減じられて高品質で、あるいは粗悪品の数が大幅に減じられて製造可能である。
【００２４】
続いて例として図面を参考に、この発明の説明がなされる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
図１には、簡略化された機能ブロック／信号流れ図により、スパッタ室に接続され、この発明によるスパッタ装置を共に形成する、この発明による給電ユニットの第一の実施形態が概略的に示される。
【００２６】
スパッタ室１はスパッタ被覆室、またはスパッタエッチング室であり得るが、図示されたように、さらに二極管スパッタ室または（図示されず）三極管、あるいは複数極管スパッタ室でもあり得る。
【００２７】
いずれにせよ周知のように、スパッタ室１内では少なくとも二つの電極間にプラズマ放電ギャップＰＬが設けられる。
【００２８】
この発明に関してはスパッタ室１のタイプおよび構造は副次的なものであり、重要なのはプラズマ放電給電の少なくとも一部がＨＦエネルギによるという点である。図１では、この発明による給電ユニット３が設けられる。このユニットは、電流供給ユニット７と、ＨＦ発振器ユニット９と、能動または受動式の、場合によっては調整可能な整合ユニット１１（整合箱  Ｍａｔｃｈｂｏｘ）とを備えるＨＦ発生器５を含む。この発明によると、電流供給ユニット７の出力７aと、プラズマ放電ギャップＰＬと接続される発生器５の出力５aとの間に被制御スイッチユニット１３が、例えば図１に示されたように出力５aの直前に接続される。スイッチユニット１３は、自由に発振するタイミングパルス発生器１５の出力１５aと接続される制御入力１３sを有する。スイッチユニット１３は第一の期間ｔAの間、自由発振タイミングパルス発生器１５と接続されるので、出力５aではＨＦ給電が切断され、第二の時間ｔBの間は接続される。タイミングパルス比については以下が勧められる。
−  時比率：            （ｔB／（ｔB＋ｔA））  ≧  ０．９
−  停止時間：            ｔA  ≦  １００  μｓｅｃ
ここでは、被制御スイッチユニット１３は直列チョッパ（図のとおり）として、または１３pに破線で示唆されたように並列チョッパとして形成され得る。
【００２９】
図２は特にこの発明による給電ユニットの、既に図１にその原理が示された自由発振する実施形態の、この発明によるさらなる実施形態を示す。
【００３０】
既に図１において記述された機能ブロックおよび信号については、引き続き同じ参照記号が付された。
【００３１】
図２によると、この発明による給電ユニット２３はＨＦ発生器５以外に、ＤＣ発生器２５を含む。ＨＦ発生器５およびＤＣ発生器２５はここでは、図のように同じ給電ユニット７から給電され得る。
【００３２】
ＤＣ発生器２５はＤＣ電圧発生段２９を含み、通常それに低域フィルターユニット３１と被制御スイッチユニット３３とが後接続される。ＤＣ発生器の出力２５aとＨＦ発生器５の出力５aとは、共に装着された、図１のプラズマ放電ギャップＰＬの電極によっても形成され得る重畳段５０において重畳される。
【００３３】
スイッチユニット１３の制御入力１３sがタイミングパルス発生器１５と作用接続されているように、スイッチユニット３３の制御入力３３sはタイミングパルス発生器３５と作用接続されている。それにより給電ユニット２３の出力２５５aないしＤＣ出力２５aにおけるＤＣ給電信号が接続および切断される。すなわち、ＤＣ給電は第三の期間ｔCの間タイミングパルス発生器３５によって停止され、第四期間ｔDの間接続される。全く共通のものとして実現され得るタイミングパルス発生器１５および３５は共に、基本的には同期ユニット４３で示されたように時間的に相互に依存して操作される。
【００３４】
好ましい実施形態においては、時間比ｔAからｔDは以下のとおりである。
―  時間区分ｔCが時間区分ｔAの前に始まる。すなわち、ＤＣ給電はＨＦ給電
の前に切断される。
―  好ましくはさらに、時間区分ｔCはそれぞれ、時間区分ｔAが終了する前に
終了する。すなわち、ＨＦ給電が再び接続される前にＤＣ給電が接続される    。
【００３５】
時間比は好ましくは以下のとおりである。
０．２５  ≦  ｔC／ｔA    ≦  ０．５
さらに、接続期間ｔBおよびｔDは基本的には、切断期間ｔAないしｔCよりはるかに長い。
【００３６】
図１および図２から、まずＨＦ給電が間欠的に短時間停止され、さらにＤＣ給電が設けられている場合は、これもまた、ＨＦ給電の停止と同期して停止されるようにこの発明の給電ユニットを実現する多くの形態が、当該業者には明らかである。
【００３７】
図３および図４には、図１および図２と同様に、それぞれこの発明による給電ユニットの好ましいさらなる形態が図示されるが、ここではＨＦの、ないしＨＦおよびＤＣの給電中断は自由発振で行われるのではなく、スパッタ室内の火花発生の検出によって作動する。
【００３８】
図３および図４に関しては、図１および図２との相違のみが記される。
図３では、この発明による給電ユニットに火花検出ユニット６０が設けられる。好ましい実施形態ではこのユニットは、プラズマ放電に制限されるＤＣ電位を検出する。好ましくは調整可能な閾値ユニット６２では、例えばプラズマ電位であるこの被制御ＤＣ電位φが、設定された閾値ＳＷに達するかどうかが算出され、そこから火花の発生が推定される。閾値ユニット６２はその出力側において時間制御ユニット６４をトリガーし、このユニット６４は単安定マルチバイブレータとして、好ましくは調整可能な長さｔAの停止制御信号を被制御スイッチユニット１３に与える。したがってこの実施形態では、プラズマ放電ＰＬ内で火花発生が検出されると、例えばプラズマ電位が低抵抗の火花短絡の影響により下がると、ＨＦ給電が短時間、すなわちｔAの間停止される。
【００３９】
続いて、時間制御ユニット６４によりＨＦ給電が再び接続される（ｔB）と、検出ユニット６０を介してさらに、または再び火花発生が検出されない限り、安定したプラズマ放電ＰＬが続く。火花発生がさらに、または再び検出されると、ユニット６２，６４を介してＨＦ給電が再び停止される。ＨＦ給電は、火花がもはや一切検出されなくなるまで、繰り返し切断される。
【００４０】
図３では概略的にスパッタ室１ないしそのプラズマ放電ＰＬに連結されて示された検出ユニット６０は自明のことながらまた、放電比を検出するため直接、放電電極への給電線と作用接続され得るし、またそれが望ましい。
【００４１】
図４には、図２を前提としながら、ＨＦ給電とＤＣ給電とが組み合わされた、同様の火花発生被制御給電ユニットが概略的に示される。
【００４２】
図４では、検出ユニット６０および閾値ユニット６２を介して火花の少なくとも発生が検出されると好ましくは、停止期間ｔCにしたがってＤＣ給電を停止するために、一種の単安定ユニットである時間制御ユニット６６がまず制御される。前記停止時間に依存して、好ましくは調整可能な期間τだけずらされて、ＨＦ給電が時間制御ユニット６８を介してＨＦ給電が停止される。ＤＣ停止相ｔCの間は、ＨＦ給電を繰り返し作動させ、かつさらに火花が検出された場合は、再び停止させることが常に可能である。
【００４３】
図５には、図４に基づくさらなる実施形態が示されるが、そこでは閾値に反応してＤＣ給電および／またはＨＦ給電が停止される。
【００４４】
この図によると検出ユニット６０の出力側の、閾値ユニット６２aでは第一の閾値ＳＷ−ＤＣ、閾値ユニット６２bでは第二の閾値ＳＷ−ＨＦに達するかが調べられる。閾値ＳＷ−ＤＣに達すると、時間制御ユニット６６を介してＤＣ給電が停止され、閾値ＳＷ−ＨＦに達するとユニット６８を介してＨＦ給電が停止される。
【００４５】
ＤＣ給電およびＨＦ給電に時間制御装置および閾値制御装置を設け、最適条件としては時間差をつけてＤＣ給電およびＨＦ給電をそれぞれ短時間停止するには、様々な可能性が開かれていることが当該業者には自明である。
【００４６】
好ましい一実施形態では、火花検出ユニット６０、閾値ユニット６２、時間設定ユニット６６が、図４または５の実施形態におけるＤＣ発生器２５にアドバンスド・エナジー（Ａｄｖａｎｃｅｄ  Ｅｎｅｒｇｙ）社の「ピンナクルＰｉｎｎａｃｌｅ」型のＤＣ給電を使用することによって、実現される。
【００４７】
通常ＤＣ信号はＨＦ発信器の入力から減結合され、かつ反対にＨＦ信号はＤＣ発生器の入力から分離されることを考慮すると、好ましい実施形態ではＨＦ火花検出ユニットがＨＦ発信器に後接続され、ＤＣ火花検出ユニットはＤＣ発生器に後接続されることがわかる。これは図４では６０DCおよび６０HFに破線で示された。これらはそれぞれ、対応する時間設定ユニット６６（ＤＣ）ないし６８（ＨＦ）に作用する。
【００４８】
図３から５の実施形態では、好ましくは検出があるとすぐ、すなわち火花の発生により当該閾値に達すると、ＨＦ給電が停止するまで  ≦  ５０μｓｅｃの期間Ｔが調整される。
【００４９】
好ましい実施例では、この発明による給電ユニットがスパッタ被覆室と、特に好ましくはマグネトロンスパッタ室と組み合わされる。この場合、前記給電は導電性に劣る材料、特に金属酸化物、さらにはＩＴＯの好ましくはマグネトロンスパッタによるスパッタに特に適している。
【００５０】
図４の原理による構造の装置において、０．７５Ｗ／ｃｍ2のＨＦ出力密度ＰＨＦおよび０．７５Ｗ／ｃｍ2のＤＣ給電出力密度ＰＤＣでＩＴＯターゲットからマグネトロンスパッタする場合、火花発生が検出されると、５００μｓｅｃ後には既に給電（ＨＦおよびＤＣ）切断される。１．５Ｗ／ｃｍ2の高いＤＣ出力密度では、この時間がさらに１μｓｅｃより短いものとなった。
【００５１】
この発明による給電ユニット、この発明によるスパッタ装置ないしこの発明による方法によって、火花形成の傾向にあってもＨＦスパッタプロセス、さらにはまたＨＦ／ＤＣスパッタプロセスを制御操作することが可能である。火花発生を１μｓｅｃより短時間に限定できることにより、安定したプロセス操作が可能となる。この発明による製造プロセスにより、上述のようなスパッタエッチングまたはスパッタ被覆による表面品質が大幅に向上し、したがって工作物の粗悪品の数が減る。火花形成によるターゲット、工作物ないし室壁部材の損傷は十二分に防止される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  機能ブロック／信号流れ図で、独自に火花を阻止しながら、この発明による製造を行うためのこの発明によるスパッタ装置において、この発明による方法で処理をする、この発明による給電ユニットの第一の実施形態を示す。
【図２】  ＤＣ給電およびＨＦ給電を備えたさらなる形態を、図１と同様の図で示す。
【図３】  図１に示された技術に基づき、火花発生制御による給電停止の実施形態を示す。
【図４】  図２の技術に基づき、火花発生により作動する給電中断の一実施形態を示す。
【図５】  図４に説明された技術の、さらなる実施形態を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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