(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品実装装置に備えられ複数の座標軸の方向に移動することができる可動ユニットと他のユニットとの干渉を防止する制御方法であって、
前記可動ユニットの現在位置を表す現在座標値を取得する位置取得ステップと、
前記可動ユニットの現在の移動速度を表す現在速度値を取得する速度取得ステップと、
前記現在速度値が大きいほど大きなリミットマージンを前記可動ユニットのリミットマージンとして設定するリミットマージン設定ステップと、
前記可動ユニットを移動させようとするときに、前記現在座標値および前記リミットマージンに応じて、前記可動ユニットが前記現在座標値で表される前記現在位置から前記他のユニットとの相対値にて干渉せずに動ける限界点を表すリミット座標値を算出する場合に、前記複数の座標軸のうちの少なくとも１つの動作座標軸の前記リミット座標値を、前記現在座標値で表される前記可動ユニットの前記動作座標軸以外の座標軸における現在位置、及び前記動作座標軸の前記リミットマージンに応じて算出するリミット算出ステップと、
前記可動ユニットの前記現在座標値が前記リミット座標値に達しているか判断する干渉判断ステップと、
前記干渉判断ステップで少なくとも肯定判断された場合に前記可動ユニットの移動を規制する移動規制ステップと
を含むことを特徴とする制御方法。
【請求項２】
前記複数の座標軸のうちの１つは高さ方向の座標軸であり、
前記リミット算出ステップで、前記高さ方向の座標軸とは異なる座標軸の前記リミット座標値を、前記現在座標値で表される前記可動ユニットの高さ位置に応じて算出する
ことを特徴とする請求項１に記載の制御方法。
【請求項３】
複数の座標軸の方向に移動することができる可動ユニットと、
前記可動ユニットと干渉する可能性がある他のユニットと、
前記可動ユニットの動作を制御する制御手段と
を備え、
前記制御手段は、
前記可動ユニットの現在位置を表す現在座標値を取得する位置取得部と、
前記可動ユニットの現在の移動速度を表す現在速度値を取得する速度取得部と、
前記現在速度値が大きいほど大きなリミットマージンを前記可動ユニットのリミットマージンとして設定するリミットマージン設定部と、
前記可動ユニットを移動させようとするときに、前記現在座標値および前記リミットマージンに応じて、前記可動ユニットが前記現在座標値で表される前記現在位置から前記他のユニットとの相対値にて干渉せずに動ける限界点を表すリミット座標値を算出する場合に、前記複数の座標軸のうちの少なくとも１つの動作座標軸の前記リミット座標値を、前記現在座標値で表される前記可動ユニットの前記動作座標軸以外の座標軸における現在位置、及び前記設定されたリミットマージンに応じて算出するリミット算出部と、
前記可動ユニットの前記現在座標値が前記リミット座標値に達しているか判断する干渉判断部と、
前記干渉判断部で少なくとも肯定判断された場合に前記可動ユニットの移動を規制する移動規制部とを有する
ことを特徴とする部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装装置の制御方法に関し、特に前記部品実装装置に備えられる可動ユニットと他のユニットとの干渉を防止する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品実装装置をはじめとする各種の製造機械では、製造装置が備える可動ユニットの移動範囲を所定の範囲内に規制することにより、可動ユニットが他のユニットや作業者と不都合な干渉を起こす事故を防止している（例えば、特許文献１および特許文献２を参照）。
【０００３】
特許文献１には、テープフィーダおよびトレイフィーダから供給される電子部品を移載ヘッドによりピックアップして基板に実装する電子部品実装装置において、機械的なストッパおよびリミットセンサを用いて移載ヘッドの移動範囲を規制する場合に、ストッパの位置を部品の供給形態に応じて移動させ、また、複数のリミットセンサの１つを部品の供給形態に応じて選択的に使用することにより、移載ヘッドの移動範囲を容易かつ迅速に変更可能とする技術が開示されている。
【０００４】
特許文献２には、ＸＹ平面内で平行移動および回転移動自在なステージにて基板を搬送する基板搬送装置において、コントローラにて、ステージの目標位置の座標値とリミット値とを比較し、目標位置の座標値がリミット値を超えると判断される場合に、ステージ駆動機構の制御を中止する技術が開示されている。
【０００５】
この基板搬送装置には、コントローラに加えて、ステージの大きさおよびＸＹ平面内での向きに応じた複数のリミット値を記憶している記憶装置と、実際のステージの大きさおよび向きを検出するセンサとが設けられる。コントローラは、センサによる検出結果に応じたリミット値を記憶装置からレジスタに読み出し、レジスタに設定されたリミット値とステージの目標位置の座標値とを比較する。これにより、ステージの大きさおよび向きによらず、干渉を防止することができる。
【０００６】
なお、特許文献１に示されるような、機械的なストッパやリミットセンサを用いて行う干渉防止制御をハードリミット制御と呼び、特許文献２に示されるような、コントローラのソフトウェア機能として実現される干渉防止制御をソフトリミット制御と呼ぶ。
【特許文献１】特開２００６−３３９４９６号公報
【特許文献２】特開２００２−９４２９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、実際の部品実装装置においてソフトリミット制御を行う場合、従来の技術で考慮されている可動ユニットとしてのステージの大きさや向き以外にも、リミット値に影響を与える多数の条件が存在する。
【０００８】
例えば、可動ユニットの断面形状または可動ユニットと干渉する可能性がある他のユニットの断面形状が高さ方向に異なる場合、用いるべきリミット値は高さに応じて異なる。また、ワークの受け渡しなどのために、可動ユニットが他のユニットの特定部分に進入することが許される場合、用いるべきリミット値を特定部分と他の部分とで区別する必要がある。
【０００９】
しかしながら、多数の条件が存在する部品実装装置において、従来の技術を用いてソフトリミット制御を行うには、条件に適応する多数のリミット値をあらかじめ用意しておく必要がある。これは煩雑であるのみならず、条件の数によっては実際的でない。
【００１０】
また、リミット値を用意するときに位置が定まらない可動の障害物との干渉回避には、従来の技術によるソフトリミット制御は適用できない。
【００１１】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、部品実装装置における多数の条件に適応するソフトリミット制御を、多数のリミット値をあらかじめ用意することなく好適に実行できる制御方法、およびそのような制御方法に従って動作する部品実装装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の制御方法は、部品実装装置に備えられ複数の座標軸の方向に移動することができる可動ユニットと他のユニットとの干渉を防止する制御方法であって、前記可動ユニットの現在位置を表す現在座標値を取得する位置取得ステップと、前記可動ユニットの現在の移動速度を表す現在速度値を取得する速度取得ステップと、前記現在速度値が大きいほど大きなリミットマージンを前記可動ユニットのリミットマージンとして設定するリミットマージン設定ステップと、前記可動ユニットを移動させようとするときに、前記現在座標値および前記リミットマージンに応じて、前記可動ユニットが前記現在座標値で表される前記現在位置から前記他のユニットとの相対値にて干渉せずに動ける限界点を表すリミット座標値を算出する場合に、前記複数の座標軸のうちの少なくとも１つの動作座標軸の前記リミット座標値を、前記現在座標値で表される前記可動ユニットの前記動作座標軸以外の座標軸における現在位置、及び前記動作座標軸の前記リミットマージンに応じて算出するリミット算出ステップと、前記可動ユニットの前記現在座標値が前記リミット座標値に達しているか判断する干渉判断ステップと、前記干渉判断ステップで少なくとも肯定判断された場合に前記可動ユニットの移動を規制する移動規制ステップとを含む。
【００１３】
また、前記複数の座標軸のうちの１つは高さ方向の座標軸であり、前記リミット算出ステップで、前記高さ方向の座標軸とは異なる座標軸の前記リミット座標値を、前記現在座標値で表される前記可動ユニットの高さ位置に応じて算出してもよい。
【００１５】
なお、本発明は、このような制御方法として実現することができるだけでなく、部品実装装置としても実現できる。さらに、このような制御方法を実行するためのプログラム、およびそのプログラムを格納する記憶媒体としても実現することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の制御方法によれば、可動ユニットを移動させようとする都度、前記可動ユニットの現在位置を表す現在座標値、ならびに、前記可動ユニットの移動速度を表す現在速度値に応じて設定されるリミットマージンに応じて前記可動ユニットの前記リミット座標値を算出し、前記可動ユニットの前記現在座標値が前記リミット座標値に達する場合に、干渉が生じると判断して前記可動ユニットの移動を規制する。
【００１７】
その結果、前記可動ユニットの前記現在位置および前記現在の移動速度に応じてリミット座標値を切り替える条件が多岐にわたる場合でも、一々の条件に対応して多数のリミット座標値をあらかじめ用意することなく、好適にソフトリミット制御を行うことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態における部品実装装置および制御方法について、図面を参照しながら説明する。
【００１９】
図１は、本実施の形態のパネル実装機１００の構成を示す斜視図である。
ここで、パネル実装機１００は本発明の部品実装装置の一例である。また、本発明において実装とは、ワークである表示パネル２００に、異方性導電シート（以下「ＡＣＦ」）を介して部品３００を仮圧着および本圧着して装着することをいう。このＡＣＦは、粘着性を有する樹脂シートから成っており、表示パネル２００の電極の上面、あるいは部品３００の下面に予め貼着される。
【００２０】
なお、ワークとは、表示パネル２００としたが、フレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ基板）やガラスエポキシ基板あるいはセラミック基板などの基板であってもよい。またＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）等の半導体部品が実装されたものの場合であってもよい。
【００２１】
パネル実装機１００は、ＡＣＦ貼付装置１１０、仮圧着装置１２０、本圧着装置１３０、および搬送装置１４０から構成される。
【００２２】
ＡＣＦ貼付装置１１０、仮圧着装置１２０、および本圧着装置１３０には、表示パネル２００を真空吸着により支持し、Ｘ軸Ｙ軸（水平）方向、Ｚ軸（上下）方向、およびθ軸（水平面内での回転）方向に移動自在な支持ステージ１１１、支持ステージ１２１、支持ステージ１３１がそれぞれ設けられている。
【００２３】
仮圧着装置１２０には、部品３００を真空吸着により保持し、Ｘ軸Ｙ軸方向、Ｚ軸方向、およびθ軸方向に移動自在な移載ヘッド１２２が設けられている。
【００２４】
ＡＣＦ貼付装置１１０は、表示パネル２００を支持ステージ１１１にて支持し、支持ステージ１１１を移動させることによって表示パネル２００のＡＣＦ貼付箇所を所定の作業位置へ位置付けた後、表示パネル２００にＡＣＦを貼り付ける。
【００２５】
仮圧着装置１２０は、表示パネル２００を支持ステージ１２１にて支持するとともに、部品３００を移載ヘッド１２２にて保持し、支持ステージ１２１および移載ヘッド１２２の少なくともいずれか一方を移動させることによって表示パネル２００と部品３００との位置合わせを行った後、表示パネル２００に対して部品３００を仮圧着する。
【００２６】
本圧着装置１３０は、表示パネル２００を支持ステージ１３１にて支持し、支持ステージ１３１を移動させることによって表示パネル２００を所定の作業位置へ位置付けた後、表示パネル２００に対して部品３００を仮圧着より高い熱と加圧力にて本圧着する。
【００２７】
搬送装置１４０は、ＡＣＦ貼付装置１１０、仮圧着装置１２０、および本圧着装置１３０の間で、表示パネル２００を搬送する。ここで、搬送装置１４０は、それぞれの装置用に複数台備えてもよい。
【００２８】
次に、仮圧着装置１２０による仮圧着動作について詳しく説明する。この仮圧着動作が、本実施の形態におけるソフトリミット制御の対象の一例である。
【００２９】
図２は、仮圧着装置１２０の要部を表す斜視図である。図２には、仮圧着装置１２０とともに、搬送装置１４０および制御装置１５０が示される。
【００３０】
仮圧着装置１２０は、支持ステージ１２１、移載ヘッド１２２、吸着ノズル１２３、仮圧着ステージ１２４、および撮像装置１２５を有している。
【００３１】
支持ステージ１２１は、制御装置１５０からの指令信号に応じて動作する駆動機構によって、表示パネル２００を真空吸着により支持し、Ｘ軸およびＹ軸方向に平行移動しＺ軸方向に上下動するとともにθ軸方向に回転する。
【００３２】
支持ステージ１２１は、ステージ部１２１ａと駆動部１２１ｂとを有し、駆動部１２１ｂはステージ部１２１ａに表示パネル２００を吸着支持して回転移動するための吸着力および回転力を伝える。
【００３３】
移載ヘッド１２２は、制御装置１５０からの指令信号に応じて動作する駆動機構によって、図示しない部品供給装置から供給される部品３００を吸着ノズル１２３にて真空吸着により保持し、移載ヘッド１２２が回転軸まわりにθ軸方向に水平面内で回転し、吸着ノズル１２３がＺ軸方向に上下動するとともにθ軸方向に回転する。
【００３４】
なお、ここでは、移載ヘッド１２２がθ軸方向に水平面内で回転する構成としたが、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に平行移動してもよく、また、回転移動と平行移動とを組み合わせて行える構成としてもよい。
【００３５】
移載ヘッド１２２は、部品３００を保持した吸着ノズル１２３が仮圧着ステージ１２４上に来るまで回転した後、Ｚ軸方向に下降することにより、部品３００を表示パネル２００に仮圧着する。
【００３６】
仮圧着ステージ１２４は、石英などの透明材料にて成り、移載ヘッド１２２が部品３００を表示パネル２００に仮圧着するための反力を与える。
【００３７】
撮像装置１２５は、仮圧着ステージ１２４越しに、支持ステージ１２１にて支持された状態での表示パネル２００の位置認識マーク、および移載ヘッド１２２にて保持された状態での部品３００の位置認識マークを撮像することにより、表示パネル２００および部品３００の位置合わせに必要な情報を制御装置１５０へ供給する。
【００３８】
搬送装置１４０は、制御装置１５０からの指令信号に応じて動作する駆動機構によってＸ軸方向に移動し、ＡＣＦ貼付装置１１０から表示パネル２００を搬送して支持ステージ１２１へ受け渡し、また支持ステージ１２１から表示パネル２００を受け取って本圧着装置１３０へ搬送する。
【００３９】
搬送装置１４０は、表示パネル２００を支持するアーム１４０ａを有している。
制御装置１５０は、支持ステージ１２１、移載ヘッド１２２、吸着ノズル１２３、撮像装置１２５、および搬送装置１４０へ指令信号を送ることにより、上述したそれぞれの動作を制御する。
【００４０】
前述の仮圧着動作では、少なくとも仮圧着装置１２０の支持ステージ１２１、移載ヘッド１２２、および吸着ノズル１２３、ならびに搬送装置１４０が可動ユニットであり、ソフトリミット制御の対象となり得る。
【００４１】
そこで本実施の形態では、好ましい例として、これらの可動ユニットのうち、支持ステージ１２１を対象としたソフトリミット制御について説明する。
【００４２】
図３は、この例のソフトリミット制御に関係するパネル実装機１００の機能的な構成の一例を示す機能ブロック図である。
【００４３】
制御装置１５０は、仮圧着装置１２０および搬送装置１４０を制御する装置であり、具体的には、プロセッサ、メモリ、入出力装置、および通信装置などからなるコンピュータシステムである。
【００４４】
全体制御部１５４およびソフトリミット制御部１６０は、制御装置１５０において、プロセッサがメモリに記憶されているコンピュータプログラムを実行することにより実現されるソフトウェア機能である。
【００４５】
ＮＣ（数値制御）プログラム記憶部１５１、パラメータ記憶部１５３、および動作状態記憶部１５５は、メモリに割り当てられるデータ領域である。
【００４６】
操作部１５２は、オペレータとのインタフェースを実現する液晶表示器およびタッチパネルなどの入出力装置である。
【００４７】
ＮＣプログラム記憶部１５１は、ＮＣプログラムを記憶する。周知のように、ＮＣプログラムは、パネル実装機１００の動作内容を定める情報である。ＮＣプログラムは、例えば操作部１５２を介してオペレータから教示されるか、または上位のプロセスコンピュータから通信で与えられる。ＮＣプログラムの内容は、本発明の特徴部分ではないため、詳細な説明を省略する。
【００４８】
パラメータ記憶部１５３は、パラメータ情報を記憶する。パラメータ情報は、例えば操作部１５２を介してオペレータから入力される。
【００４９】
パラメータ情報は、パネル実装機１００の要部の寸法、可動ユニットの停止余裕距離であるリミットマージンなど、ソフトリミット制御においてリミット座標値を算出するために用いられる種々の数値である。パラメータ情報の具体例については後述する。
【００５０】
全体制御部１５４は、一例として、まず教示モードにて動作し、オペレータから操作部１５２を介して受け付けた教示操作に従って、仮圧着装置１２０に含まれる支持ステージ１２１および搬送装置１４０へ動作の開始および停止などを指令する指令信号を送信することにより、支持ステージ１２１や搬送装置１４０を試行的に移動させる教示動作を行う。
【００５１】
この教示動作にて、支持ステージ１２１や搬送装置１４０の移動位置あるいは移動手順を定めるＮＣプログラムを生成し、生成したＮＣプログラムをＮＣプログラム記憶部１５１に記憶する。
【００５２】
なお、移動位置の教示については、各軸の直接的な移動による教示以外に、操作部１５２を介してオペレータから移動位置を示す数値入力を受け付けることで教示してもよく、また移動位置を示すパラメータ情報を外部から通信あるいは記憶媒体を介してパラメータ記憶部１５３に入力することで教示してもよく、各種の教示モードが使用できる。
【００５３】
全体制御部１５４は、次に、走行モード（移動モードともいう）にて動作し、教示モードにてＮＣプログラム記憶部１５１に記憶されているＮＣプログラムに従って、支持ステージ１２１および搬送装置１４０などの可動ユニットへ、動作の開始および停止などを指令する指令信号を送信することにより、それぞれの可動ユニットを移動させて実際の実装動作を行う。
【００５４】
全体制御部１５４は、また、指令信号に応じて動作するそれぞれの可動ユニットに設けられているセンサから、動作状態を特定する信号（例えば、可動ユニットの現在位置を特定するために例えば１μｍ移動するごとに１回出力されるパルス信号）を継続的に受信し、受信した信号によって特定される動作状態を表すように動作状態記憶部１５５の動作状態情報（例えば、可動ユニットの現在位置の座標値）を更新する。
【００５５】
全体制御部１５４は、さらに、それぞれの可動ユニットから現在速度を特定する信号を受信するか、または前述した現在位置を時間微分することにより、それぞれの可動ユニットの現在の移動速度を示すように動作状態記憶部１５５の動作状態情報（例えば、現在の移動速度を示す現在速度値）を更新してもよい。動作状態情報の具体例については後述する。
【００５６】
ソフトリミット制御部１６０は、ソフトリミット制御の対象となる可動ユニット（例えば支持ステージ１２１）の現在位置の座標値である現在座標値、ならびに可動ユニットと干渉する可能性がある他のユニット（例えば搬送装置１４０）の現在位置の座標値である相手座標値に応じて、可動ユニットが他のユニットと干渉せずに動ける限界点を表すリミット座標値を算出する。そして、現在座標値がリミット座標値に達している場合、全体制御部１５４を制御することにより可動ユニットの移動を規制する。
【００５７】
また、ソフトリミット制御部１６０は、可動ユニットの移動中には、可動ユニットの現在速度が速いほど大きなリミットマージンを可動ユニットのリミットマージンとして設定し、設定されたリミットマージンを用いて算出されるリミット座標値を用いることによって、可動ユニットの現在速度に応じた好適な位置で可動ユニットの移動を規制する。
【００５８】
ソフトリミット制御部１６０の詳細な動作については後述する。
次に、パラメータ情報、および動作状態情報の具体例を説明する。
【００５９】
図４は、パラメータ記憶部１５３に記憶されるパラメータ情報の一例を示す図である。
パラメータ記憶部１５３には、一例として、支持ステージ１２１、搬送装置１４０、仮圧着ステージ１２４、および仮圧着装置１２０の作業領域等の寸法を表すパラメータ情報が記憶される。図４では、具体的な数値の代わりにそれぞれの数値を表す記号を示している。
【００６０】
図５は、動作状態記憶部１５５に記憶される動作状態情報の一例を示す図である。
動作状態記憶部１５５には、一例として、支持ステージ１２１の現在位置および現在速度、ならびに搬送装置１４０の現在位置および現在速度を示す動作状態情報が記憶される。図５では、具体的な数値の代わりにそれぞれの数値を表す記号を示している。
【００６１】
図６（Ａ）および図６（Ｂ）はそれぞれ、支持ステージ１２１、搬送装置１４０、および仮圧着ステージ１２４の寸法および位置を、図４のパラメータ情報および図５の動作状態情報に対応して示す平面図および側面図である。
【００６２】
説明の便宜上、最外側の実線枠で仮圧着装置１２０の作業領域を示し、作業領域の一隅を座標系の原点Ｏｍとする。支持ステージ１２１の位置を表す基準点をＯｓとし、搬送装置１４０の位置を表す基準点をＯｔとする。また、図内の実線で各ユニットの外形を示す。
【００６３】
これらの実線で示される作業領域の境界および他のユニットの外形に対し、可動ユニットとして、例えば支持ステージ１２１の外形が到達できる最大領域となる。
【００６４】
可動ユニットのリミット座標値は、この最大領域に対するリミットマージンＭの手前（点線で示されている）から、さらに可動ユニット自身の寸法に応じた距離を後退した地点として算出される。
【００６５】
リミットマージンＭとは、ソフトリミット制御によって移動を規制される可動ユニットが実際に干渉を生じることなく安全に停止するための余裕距離であり、一例として各ユニットを駆動するモータのトルクが大きいほど小さな値が定められるといったように、装置の特性に依存して定められるパラメータである。
【００６６】
図６（Ａ）および図６（Ｂ）において、支持ステージ１２１、搬送装置１４０、および仮圧着ステージ１２４の寸法を、対応箇所に図４の記号を付して示している。また、支持ステージ１２１および搬送装置１４０の現在位置を、それぞれの基準点に図５の記号を付して示している。
【００６７】
次に、ソフトリミット制御部１６０が行う処理の一例として、図６（Ａ）および図６（Ｂ）に太い破線矢印で示されるように、支持ステージ１２１を搬送装置１４０の下方へ向かって移動させる教示操作をオペレータが行った場合に行われるソフトリミット制御処理について説明する。
【００６８】
この例では、支持ステージ１２１はオペレータの教示操作に従って斜め方向に（つまり、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸のそれぞれを動作座標軸として、各軸のマイナス方向に）移動する。
【００６９】
図７（Ａ）は、オペレータから教示操作を受け付けるために操作部１５２に表示される画面の一例を示す図である。
【００７０】
オペレータは、この画面にて、例えば、左、手前、および下の３つのボタンに同時にタッチすることにより、前述の移動を教示することができる。ここで、左、手前、および下は、それぞれＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸のそれぞれのマイナス方向に対応する。
【００７１】
全体制御部１５４は、ボタンがタッチされている間、ソフトリミット制御を行いながら、タッチされているボタンの方向に支持ステージ１２１を移動させる。
【００７２】
図８は、このような移動に際して行われるソフトリミット制御処理を一般的に表すフローチャートである。以下の説明において、図８のフローチャートに記載の可動ユニットおよび他のユニットが、それぞれ支持ステージ１２１および搬送装置１４０に対応する。
【００７３】
このソフトリミット制御処理は、オペレータの教示操作に従って全体制御部１５４が支持ステージ１２１に対して前述した移動を指令しようとするときに、全体制御部１５４から起動され実行される。
【００７４】
ソフトリミット制御部１６０は、まず、可動ユニットとして一例の支持ステージ１２１が現在位置において既に、作業領域の境界または他のユニットとして一例の搬送装置１４０と干渉するかを判断する。
【００７５】
そのために、位置および／あるいは速度取得部１６１は、支持ステージ１２１および搬送装置１４０の現在位置を表す現在座標値を動作状態記憶部１５５から取得する（Ｓ１１）。
【００７６】
リミット算出部１６２は、支持ステージ１２１が、現在位置から作業領域の境界または搬送装置１４０と干渉せずに動ける限界点を表す可動ユニットのリミット座標値を、この例における支持ステージ１２１の動作座標軸であるＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸のそれぞれについて算出する。Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸の各軸のリミット座標値が、支持ステージ１２１の動作座標軸以外の座標軸の現在座標値、および搬送装置１４０の現在座標値を用いて算出される（Ｓ１２）。
【００７７】
図９（Ａ）および図９（Ｂ）は、このリミット座標値の算出に用いられる要部の位置および限界点を説明する平面図および側面図である。
【００７８】
以下の説明では、簡明のため、支持ステージ１２１の長辺を支持ステージ１２１のθ軸まわりの基準方向とし、その基準方向がＸ軸に平行であるとする。
【００７９】
点線は、前述したように、支持ステージ１２１の外形が到達できる最大領域からリミットマージンＭの手前の地点を表す。斜線を付した点線はそこからさらに、可動ユニットの一例としての支持ステージ１２１の干渉寸法（すなわち、支持ステージ１２１の基準点Ｏｓ＝（ｓ＿ｘ，ｓ＿ｙ）からステージ部１２１ａの外形までの座標軸方向の大きさ）を考慮し後退した限界点を表す。
【００８０】
また、支持ステージ１２１のＸ軸方向の干渉寸法をｓ＿Ｌ（ステージ部１２１ａの長辺の長さの半分）とし、Ｙ軸方向の干渉寸法をｓ＿Ｓ（ステージ部１２１ａの短辺の長さの半分）とする。
【００８１】
また、搬送装置１４０の干渉寸法（すなわち、搬送装置１４０の基準点Ｏｔ＝（ｔ＿ｘ，０）からアーム１４０ａの外形までの座標軸方向の距離）については、Ｘ軸方向の内側の干渉寸法をｔ＿Ｗ１（アーム１４０ａのＸ軸方向の内側長さの半分）とし、Ｘ軸方向の外側の干渉寸法をｔ＿Ｗ２（アーム１４０ａのＸ軸方向の外側長さの半分）とし、また、Ｙ軸方向の凹部の干渉寸法をｔ＿Ｄ１（アーム１４０ａのＹ軸方向の凹部奥行き）とし、Ｙ軸方向の凸部の干渉寸法をｔ＿Ｄ２（アーム１４０ａのＹ軸方向の凸部奥行き）とする。
【００８２】
支持ステージ１２１の基準点Ｏｓ＝（ｓ＿ｘ，ｓ＿ｙ）は、ステージ部１２１ａが作業領域の端および他のユニットと干渉することなく、斜線を付した点線の内側を動くことができる。この範囲は、支持ステージ１２１の高さ方向の位置を表すＺ軸の座標値Ｏｓ＝ｓ＿ｚに応じて異なる。
【００８３】
まず、可動ユニットの一例としての支持ステージ１２１がＸ軸のマイナス方向に向かう場合の限界点を表す可動ユニットのリミット座標値ｌｉｍＸを、（式１）に従って算出する。
【００８４】
【数１】
0004903731.tif 000002
【００８５】
（式１）において条件１−１は、支持ステージ１２１が搬送装置１４０と干渉しないＺ軸の高さにあるか、言い換えれば支持ステージ１２１が搬送装置１４０のアーム１４０ａの下へ潜り込めるかを判断する。
【００８６】
条件１−１が真の場合、支持ステージ１２１の外形は、Ｘ軸の座標値が０で表される作業領域の境界からリミットマージンＭの手前の地点まで移動できる。したがって、ｌｉｍＸを、作業領域の境界からリミットマージンＭおよび支持ステージ１２１のＸ軸方向の干渉寸法ｓ＿Ｌの余裕を持たせた（Ｍ＋ｓ＿Ｌ）とする。
【００８７】
条件１−１が偽の場合、条件１−２により、支持ステージ１２１が搬送装置１４０の通路（Ｘ軸方向の移動領域）外のＹ軸の位置にあるかを判断する。
【００８８】
条件１−２が真の場合、支持ステージ１２１の外形は、作業領域の境界からリミットマージンＭの手前の地点まで移動できる。したがって、ｌｉｍＸを、作業領域の境界からリミットマージンＭおよび支持ステージ１２１の干渉寸法ｓ＿Ｌの余裕を持たせた（Ｍ＋ｓ＿Ｌ）とする。
【００８９】
条件１−２が偽の場合、支持ステージ１２１は、搬送装置１４０と干渉する高さにありかつ搬送装置１４０の通路内に進入していると判断される。この場合、支持ステージ１２１と搬送装置１４０との位置関係によって、さらに条件が分かれる。
【００９０】
条件１−３は、支持ステージ１２１が搬送装置１４０の右側（Ｏｔ＝（ｔ＿ｘ，０）に対しＸ軸のプラス方向）に来るＸ軸の位置にあるかを判断する。
【００９１】
条件１−３が真の場合、支持ステージ１２１は、Ｘ軸のマイナス方向へ動くことで搬送装置１４０のアーム１４０ａの右外側と干渉する可能性がある。したがって、ｌｉｍＸを、Ｘ軸の座標値がｔ＿ｘ＋ｔ＿Ｗ２で表される搬送装置１４０のアーム１４０ａの右外側からリミットマージンＭおよび支持ステージ１２１の干渉寸法ｓ＿Ｌの余裕を持たせた（ｔ＿ｘ＋ｔ＿Ｗ２＋Ｍ＋ｓ＿Ｌ）とする。
【００９２】
条件１−４は、支持ステージ１２１が搬送装置１４０のアーム１４０ａ内に進入しているＸ軸の位置にあるかを判断する。
【００９３】
条件１−４が真の場合、支持ステージ１２１は、Ｘ軸のマイナス方向へ動くことで搬送装置１４０のアーム１４０ａの左内側と干渉する可能性がある。したがって、ｌｉｍＸを、Ｘ軸の座標値がｔ＿ｘ−ｔ＿Ｗ１で表される搬送装置１４０のアーム１４０ａの左内側からリミットマージンＭおよび支持ステージ１２１の干渉寸法ｓ＿Ｌの余裕を持たせた（ｔ＿ｘ−ｔ＿Ｗ１＋Ｍ＋ｓ＿Ｌ）とする。
【００９４】
条件１−４が偽の場合、支持ステージ１２１は、搬送装置１４０のアーム１４０ａの左側（Ｘ軸のマイナス方向）に来るＸ軸の位置にあると判断される。
【００９５】
条件１−４が偽の場合、支持ステージ１２１の外形は、作業領域の境界からリミットマージンＭの手前の地点まで移動できる。したがって、ｌｉｍＸを、作業領域の境界からリミットマージンＭおよび支持ステージ１２１の干渉寸法ｓ＿Ｌの余裕を持たせた（Ｍ＋ｓ＿Ｌ）とする。
【００９６】
次に、支持ステージ１２１がＹ軸のマイナス方向に向かう場合の限界点を表す可動ユニットのリミット座標値ｌｉｍＹを、（式２）に従って算出する。
【００９７】
【数２】
0004903731.tif 000003
【００９８】
（式２）において条件２−１は、支持ステージ１２１が搬送装置１４０と干渉しないＺ軸の高さにあるか、言い換えれば支持ステージ１２１が搬送装置１４０のアーム１４０ａの下へ潜り込めるかを判断する。
【００９９】
条件２−１が真の場合、支持ステージ１２１の外形は、Ｙ軸の座標値が０で表される作業領域の境界からリミットマージンＭの手前の地点に向かって支持ステージ１２１のＹ軸のマイナス方向に移動できる。したがって、ｌｉｍＹを、作業領域の境界からリミットマージンＭおよび支持ステージ１２１のＹ軸方向の干渉寸法ｓ＿Ｓの余裕を持たせた（Ｍ＋ｓ＿Ｓ）とする。
【０１００】
条件２−１が偽の場合、条件２−２により、支持ステージ１２１が搬送装置１４０のアーム１４０ａの外形と干渉する可能性のあるＸ軸の位置にあるかを判断する。
【０１０１】
条件２−２が真の場合、条件２−３により、支持ステージ１２１が搬送装置１４０のアーム１４０ａ内に進入できるＸ軸の位置にあるかを判断する。
【０１０２】
条件２−３が真の場合、支持ステージ１２１は、搬送装置１４０のアーム１４０ａ内に進入して、搬送装置１４０のアーム１４０ａのＹ軸方向の凹部と干渉する可能性がある。したがって、ｌｉｍＹを、Ｙ軸の座標値がｔ＿Ｄ１で表されるアーム１４０ａのＹ軸方向の凹部からリミットマージンＭおよび支持ステージ１２１の干渉寸法ｓ＿Ｓの余裕を持たせた（ｔ＿Ｄ１＋Ｍ＋ｓ＿Ｓ）とする。
【０１０３】
条件２−３が偽の場合、支持ステージ１２１は、搬送装置１４０のアーム１４０ａ内に進入できず、搬送装置１４０のアーム１４０ａのＹ軸方向の凸部と干渉する可能性がある。したがって、ｌｉｍＹを、Ｙ軸の座標値がｔ＿Ｄ２で表されるアーム１４０ａのＹ軸方向の凸部からリミットマージンＭおよび支持ステージ１２１の干渉寸法ｓ＿Ｓの余裕を持たせた（ｔ＿Ｄ２＋Ｍ＋ｓ＿Ｓ）とする。
【０１０４】
条件２−２が偽の場合、および条件２−１が真の場合、支持ステージ１２１の外形は、作業領域の境界からリミットマージンＭの手前の地点まで移動できる。したがって、ｌｉｍＹを、作業領域の境界からリミットマージンＭおよび支持ステージ１２１の干渉寸法ｓ＿Ｓの余裕を持たせた（Ｍ＋ｓ＿Ｓ）とする。
【０１０５】
なお、上記の説明では簡略のため、Ｘ軸およびＹ軸のリミット座標値を算出するにあたって、支持ステージ１２１の大きさがステージ部１２１ａと駆動部１２１ｂとで異なる（平面視にて駆動部１２１ｂがステージ部１２１ａより大きい別例があり得る）ことを無視し、駆動部１２１ｂよりも大きいステージ部１２１ａの寸法を干渉寸法として一律に用いた。
【０１０６】
しかしながら、ステージ部１２１ａおよび駆動部１２１ｂの何れが干渉するかを考慮し、さらに場合を分けてリミット座標値を算出してもよい。
【０１０７】
例えば、駆動部１２１ｂが干渉する場合のリミット座標値は、（式１）および（式２）における、可動ユニットとしてのステージ部１２１ａのＸ軸方向およびＹ軸方向の干渉寸法であるｓ＿Ｌおよびｓ＿Ｓを、それぞれ駆動部１２１ｂのＸ軸方向およびＹ軸方向の干渉寸法であるｓ＿Ｗおよびｓ＿Ｄで置き換えることにより算出できる。
【０１０８】
また、支持ステージ１２１のＺ軸のマイナス方向に向かう限界点を表すリミット座標値も同様にして算出する。
【０１０９】
すなわち、支持ステージ１２１が、下降することでステージ部１２１ａの駆動部１２１ｂから張り出している部分が搬送装置１４０または／および仮圧着ステージ１２４と干渉するＸ軸または／およびＹ軸の領域にあるか否かで場合を分けて、支持ステージ１２１が下降可能な限界点を表すリミット座標値を算出する。
【０１１０】
なお、このように算出される可動ユニットのＺ軸方向のリミット座標値を用いた干渉判断は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の干渉判断と同様に行うことができるため、以下では簡略のため説明を省略する。
【０１１１】
このように、本実施の形態のソフトリミット制御では、リミット座標値を切り替える条件が多岐にわたる場合の複数の条件の一々に対応する複数のリミット座標値をあらかじめ用意しておきその中の１つを選択的に用いる従来の技術とは異なり、統一された数式と少数のパラメータとを用いてリミット座標値を都度計算で求める。
【０１１２】
算出されたリミット座標値を用いて、以下の処理を続行する。
上記判断式（式１、式２）および図３、図８を参照して説明すると、干渉判断部１６３は、支持ステージ１２１のＸ軸の現在座標値ｓ＿ｘがｌｉｍＸに達するかを、例えばＸ軸マイナス方向に移動する場合、ｓ＿ｘ＜ｌｉｍＸの比較を行うことにより判断する。また、支持ステージ１２１のＹ軸の現在座標値ｓ＿ｙがｌｉｍＹに達するかを、例えばＹ軸マイナス方向に移動する場合、ｓ＿ｙ＜ｌｉｍＹの比較を行うことにより判断する（Ｓ１３）。
【０１１３】
可動ユニットのＸ軸およびＹ軸の少なくともいずれか一方で達すると判断された場合（Ｓ１３でＹＥＳ）、支持ステージ１２１は、作業領域の境界または搬送装置１４０との干渉のために移動を開始する余裕がないことを意味している。
【０１１４】
その場合、移動規制部１６４は、全体制御部１５４を制御することにより可動ユニットの一例である支持ステージ１２１の移動を規制する。具体的に、全体制御部１５４は、操作部１５２に移動できないことを示すエラーメッセージを表示し（Ｓ１４）、支持ステージ１２１に対して移動を指令することなく処理を終了する。
【０１１５】
図７（Ｂ）は、操作部１５２に表示されるエラーメッセージの一例を示す図である。この例のエラーメッセージは、前述の（式２）の条件２−２が真（搬送装置１４０のアームとの干渉の可能性あり）の場合に算出されたＹ軸のリミット座標値に、支持ステージ１２１のＹ軸の現在座標値が達している場合（Ｙ軸マイナス動作のリミット）に表示される。
【０１１６】
現在位置において支持ステージ１２１は他のユニットと干渉しないと判断された場合（Ｓ１３でＮＯ）、全体制御部１５４は、支持ステージ１２１に対して移動を指令する（Ｓ３１）。
【０１１７】
この指令を受けて支持ステージ１２１は移動を開始する。支持ステージ１２１が移動するに従って、全体制御部１５４は、動作状態記憶部１５５に保持されている支持ステージ１２１の現在位置を表す現在座標値を更新する。
【０１１８】
位置および／あるいは速度取得部１６１は、支持ステージ１２１の移動中、周期的に（例えば１０ミリ秒の周期で）これらの更新された値を取得する（Ｓ３２）。以下、支持ステージ１２１の移動中に取得される現在座標値を、（ｓ＿ｘ”，ｓ＿ｙ”，ｓ＿ｚ”）と表記して、移動開始前の現在座標値と区別する。
【０１１９】
リミット算出部１６２は、取得された現在速度値に応じてリミットマージンＭを増減させることによって、新たなリミットマージンＭ”を設定する。例えば取得された現在速度値で表されるベクトルの大きさをｖとするとき、リミットマージンＭ”をＭ”＝Ｍ×ｖに従って算出してもよい。
【０１２０】
リミット算出部１６２は、前述した（式１）および（式２）に、支持ステージ１２１の移動中の現在座標値（ｓ＿ｘ”，ｓ＿ｙ”，ｓ＿ｚ”）、および新たなリミットマージンＭ”を代入することによって、支持ステージ１２１の移動中のリミット座標値ｌｉｍＸ”およびｌｉｍＹ”を算出する（Ｓ３３）。
【０１２１】
このようにして、算出されたリミット座標値ｌｉｍＸ”およびｌｉｍＹ”を用いて、以下の処理を続行する。
【０１２２】
干渉判断部１６３は、支持ステージ１２１のＸ軸の現在座標値ｓ＿ｘ”がｌｉｍＸ”に達するかを、例えば支持ステージ１２１がＸ軸マイナス方向に移動する場合、ｓ＿ｘ”＜ｌｉｍＸ”の比較を行うことにより判断する。また、Ｙ軸の現在座標値ｓ＿ｙ”がｌｉｍＹ”に達するかを、例えば支持ステージ１２１がＹ軸マイナス方向に移動する場合、ｓ＿ｙ”＜ｌｉｍＹ”の比較を行うことにより判断する（Ｓ３４）。
【０１２３】
Ｘ軸およびＹ軸の少なくともいずれか一方で達すると判断された場合（Ｓ３４でＹＥＳ）、可動ユニットの一例としての支持ステージ１２１は、移動中に、作業領域の境界または搬送装置１４０との干渉を防止する安全余裕がなくなったことを意味している。
【０１２４】
その場合、移動規制部１６４は、全体制御部１５４を制御することによって支持ステージ１２１に対し緊急停止を指令する（Ｓ３５）。全体制御部１５４は、操作部１５２に移動できないことを示すエラーメッセージを表示し（Ｓ３６）、処理を終了する。
【０１２５】
この場合も、図７（Ｂ）と同様のエラーメッセージが表示される。
支持ステージ１２１に干渉が生じると判断されない限り（Ｓ３４でＮＯ）、オペレータによる移動教示が終了する（例えば、オペレータが移動ボタンを押すのをやめる）まで、ステップＳ３２に戻って処理を続ける（Ｓ３７）。
【０１２６】
全体制御部１５４は、オペレータによる移動教示が終了すると、支持ステージ１２１に対し停止するよう指令する（Ｓ３８）。
【０１２７】
以上のソフトリミット制御処理によれば、支持ステージ１２１および搬送装置１４０の現在位置を表す現在座標値および移動中の位置を表す座標値、ならびに可動ユニットの一例である支持ステージ１２１の移動速度に応じたリミットマージンの値を（式１）および（式２）に統一的に代入することによって、適切なリミット座標値を都度算出して干渉判断に用いることができる。
【０１２８】
そのため、多数の条件に適応した柔軟なソフトリミット制御を、多数の条件の一々に対応する多数のリミット座標値をあらかじめ用意するといった煩雑な作業を必要とせずに、簡便に行うことができる。
【０１２９】
とりわけ、オペレータの教示操作に応じて支持ステージ１２１を移動させようとするときに、支持ステージ１２１の現在位置において、搬送装置１４０、仮圧着ステージ１３４、および作業領域の境界との干渉を判断するので、支持ステージ１２１が移動を開始する余裕がない状況で、オペレータが誤って移動を教示したとしても、支持ステージ１２１の移動は規制され、支持ステージ１２１の干渉は未然に防がれる。
【０１３０】
また、支持ステージ１２１が移動を開始した後は、可動ユニットの一例である支持ステージ１２１の現在速度が大きいほど大きなリミットマージンを用いて干渉を判断する。これにより、支持ステージ１２１を高速に移動させた場合は、リミットマージンが大きくなることで、干渉が適切に防止される。また支持ステージ１２１を低速に移動させた場合は、リミットマージンが小さくなることで、リミットマージンに邪魔されずに支持ステージ１２１を的確に目標地点へ位置付けることができる。
【０１３１】
これらのことから、安全でかつ効率的な教示作業が実現される。
しかも、そのような効果は、適切なリミット座標値を都度算出して干渉判断に用いるという特徴的なソフトリミット制御処理によって、支持ステージ１２１および搬送装置１４０の位置関係、ならびに支持ステージ１２１の移動速度に応じた多数のリミット座標値をあらかじめ用意するといった煩雑な作業を必要とせずに、簡便に得ることができる。
【０１３２】
ここまで、支持ステージ１２１をＸ軸、Ｙ軸、およびＺ軸のマイナス方向に移動させる場合のソフトリミット制御処理について、図８のフローチャートを参照して説明した。同様のソフトリミット制御処理は、移動方向が異なる場合や、他の可動ユニットにも適用できることはもちろんである。
【０１３３】
例えば、支持ステージ１２１をＹ軸のプラス方向、つまり仮圧着ステージ１２４の方向に移動させる場合のソフトリミット制御処理では、リミット算出部１６２は、支持ステージ１２１の現在位置および移動中の位置におけるリミット座標値ｌｉｍＹおよびｌｉｍＹ”を、それぞれ（式３）に従って算出する（図８のＳ１２およびＳ３３のリミット座標の算出）。
【０１３４】
【数３】
0004903731.tif 000004
【０１３５】
（式３）において条件３−１は、支持ステージ１２１が、Ｚ軸方向に０からｂ＿Ｈ１までの高さにある仮圧着ステージ１２４の下部と干渉するＺ軸の高さにあるかを判断する。
【０１３６】
条件３−１が真の場合、支持ステージ１２１の外形は、Ｙ軸の座標値が〔ｍ＿Ｄ〕で表される作業領域のＹ軸プラス方向の境界の手前で、仮圧着ステージ１２４の下部の手前からリミットマージンＭの地点までに向かって支持ステージ１２１のＹ軸プラス方向に移動できる。したがって、ｌｉｍＹを、Ｙ軸の座標値が〔ｍ＿Ｄ−ｂ＿Ｄ１〕で表される仮圧着ステージ１２４の下部の手前からリミットマージンＭおよび支持ステージ１２１のＹ軸方向の干渉寸法ｓ＿Ｓの余裕を持たせた〔ｍ＿Ｄ−ｂ＿Ｄ１−Ｍ−ｓ＿Ｓ〕とする。
【０１３７】
条件３−１が偽の場合、条件３−２により、支持ステージ１２１が、Ｚ軸方向にｂ＿Ｈ１からｂ＿Ｈ２までの高さにある仮圧着ステージ１２４の上部と干渉するＺ軸の高さにあるかを判断する。
【０１３８】
条件３−２が真の場合、支持ステージ１２１の外形は、Ｙ軸の座標値が〔ｍ＿Ｄ−ｂ＿Ｄ２〕で表される仮圧着ステージ１２４の上部の手前からリミットマージンＭの地点までに向かって支持ステージ１２１のＹ軸プラス方向に移動できる。したがって、ｌｉｍＹを、Ｙ軸の座標値が〔ｍ＿Ｄ−ｂ＿Ｄ２〕で表される仮圧着ステージ１２４の上部の手前からリミットマージンＭおよび支持ステージ１２１の干渉寸法ｓ＿Ｓの余裕を持たせた〔ｍ＿Ｄ−ｂ＿Ｄ２−Ｍ−ｓ＿Ｓ〕とする。
【０１３９】
条件３−２が偽の場合、支持ステージ１２１の外形は、Ｙ軸の座標値がｍ＿Ｄで表される作業領域の境界から手前のリミットマージンＭの地点までに向かって支持ステージ１２１のＹ軸プラス方向に移動できる。したがって、ｌｉｍＹを、作業領域の境界からリミットマージンＭおよび支持ステージ１２１の干渉寸法ｓ＿Ｓの余裕を持たせた〔ｍ＿Ｄ−Ｍ−ｓ＿Ｓ〕とする。
【０１４０】
同様に、支持ステージ１２１の移動中のリミット座標値ｌｉｍＹ”も算出するものとする。
【０１４１】
なお、（式３）に従って支持ステージ１２１の移動中の位置におけるリミット座標値ｌｉｍＹ”を算出する場合は、前述と同様に、支持ステージ１２１の現在速度値が大きいほど大きな値に設定されたリミットマージンＭ”が用いられる。
【０１４２】
干渉判断部１６３は、支持ステージ１２１のＹ軸の現在座標値ｓ＿ｙおよび移動中の座標値ｓ＿ｙ”がそれぞれ上記算出された支持ステージ１２１の移動前の現在位置におけるリミット座標値ｌｉｍＹおよび移動中の位置におけるｌｉｍＹ”に達するかを、例えば支持ステージ１２１がＹ軸プラス方向に移動する場合、ｓ＿ｙ＞ｌｉｍＹおよびｓ＿ｙ”＞ｌｉｍＹ”の比較を行うことにより判断する（図８のＳ１３およびＳ３４）。ここで、支持ステージ１２１の移動方向がＹ軸のプラス方向かマイナス方向かに応じて、干渉判断部１６３で判断する干渉判断のための不等号の向きが逆になることに注意する。
【０１４３】
支持ステージ１２１をＹ軸のプラス方向に移動させる場合のソフトリミット処理において、支持ステージ１２１をＹ軸のマイナス方向に移動させる場合とは処理が異なるステップについて説明した。
【０１４４】
このように、支持ステージ１２１を移動させようとする場合のソフトリミット制御処理は、移動方向に応じた算出式を用いてリミット座標値を求め、移動方向に応じた比較判断を行うことで、図８のフローチャートで示される共通の手順に従って行うことができる。
【０１４５】
なお、ここまでは、支持ステージ１２１の長辺がＸ軸の方向と平行である場合について説明したが、支持ステージ１２１がθ軸方向に回転することによって長辺がＸ軸の方向に斜めになっている場合は干渉寸法が変わってくる。
【０１４６】
そこで、支持ステージ１２１の長辺がＸ軸の方向に斜めになっている場合には、移動方向に向かう先端頂点のＸ軸およびＹ軸の現在座標値を求め、支持ステージ１２１の基準点ＯｓのＸ軸およびＹ軸の現在座標値と、求めた先端頂点のＸ軸およびＹ軸の現在座標値との差を支持ステージ１２１の移動方向の干渉寸法として用いる。
【０１４７】
支持ステージ１２１の長辺がθ軸方向の回転によりＸ軸の方向に斜めになっている場合の先端頂点のＸ軸およびＹ軸の現在座標値は、支持ステージ１２１の長辺がＸ軸の方向と平行である場合のθ軸の座標値を０として、その場合の先端頂点のＸ軸およびＹ軸の座標値に、θ軸の現在座標値で表される回転角に応じた変換によって求めることができる。
【０１４８】
次に、支持ステージ１２１をθ軸方向に回転移動させる教示操作をオペレータが行った場合のソフトリミット制御処理について説明する。
【０１４９】
この場合、ソフトリミット制御部１６０は、干渉が生じるかをθ軸の座標値（現在座標値、移動先座標値、および移動中の予測座標値）とθ軸のリミット座標値との比較によって直接判断する代わりに、可動ユニットの一例である支持ステージ１２１の移動前の現在座標値におけるＸ軸、Ｙ軸のリミット座標値において、支持ステージ１２１のθ軸の回転状態にてＸ軸のプラス方向およびマイナス方向、ならびにＹ軸のプラス方向およびマイナス方向の合計４つの方向のうち何れか１つの方向にでも干渉が生じるかで判断する。
【０１５０】
具体的には、リミット算出部１６２は、θ軸のリミット座標値を算出するのではなく、前記のＸ軸およびＹ軸それぞれのプラス方向およびマイナス方向の４方向について合計４つのリミット座標値を算出する。このリミット座標値の算出には、前述のθ軸の現在座標値に応じた干渉寸法が用いられる。
【０１５１】
干渉判断部１６３は、前記の４方向についてそれぞれ、支持ステージ１２１の現在座標値がリミット座標値に達するかを比較判断する。
【０１５２】
そして、いずれか１つの方向にでも、支持ステージ１２１の現在座標値がリミット座標値に達すると判断された場合、支持ステージ１２１は、回転移動を開始する余裕がないことを意味しているので、移動規制部１６４は、全体制御部１５４を制御することにより支持ステージ１２１の回転を規制する。
【０１５３】
支持ステージ１２１のθ軸の回転状態の現在位置において支持ステージ１２１に干渉が生じないと判断された場合、全体制御部１５４は、オペレータの教示操作等に応じて、支持ステージ１２１に対して回転を指令する。この指令を受けて支持ステージ１２１が回転するに従って、全体制御部１５４は、動作状態記憶部１５５の支持ステージ１２１の現在の向きであるθ軸の座標値を更新する。
【０１５４】
ソフトリミット制御部１６０は、この回転中に更新されるθ軸の座標値を用いて、支持ステージ１２１の回転中に、周期的にリミット座標値の算出と干渉判断とを行う。
【０１５５】
以上、本発明のソフトリミット制御方法について、パネル実装機を一例とした実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものも本発明の範囲内に含まれる。
【０１５６】
例えば、実施の形態で説明したソフトリミット制御処理では、教示モードにおける支持ステージ１２１の移動先はあらかじめ分からないため、支持ステージ１２１の移動先における干渉判断を行っていない。
【０１５７】
しかし、教示後に、教示モードでの教示内容に基づいて動作する走行モード（移動モード）では、支持ステージ１２１の移動先はあらかじめ分かるので、支持ステージ１２１の移動前に、現在位置での干渉判断に加えて移動先位置での干渉判断を行い、現在位置および移動先位置のいずれか一方でも干渉すると判断された場合、移動を規制することができる。
【０１５８】
移動先での干渉判断も、現在位置での干渉判断と同様にして行うことができる。すなわち、支持ステージ１２１の移動先を表す移動先座標値（ｓ＿ｘ’，ｓ＿ｙ’，ｓ＿ｚ’）を（式１）および（式２）に代入して移動先でのリミット座標値ｌｉｍＸ’およびｌｉｍＹ’を求め、求めたリミット座標値に移動先座標値ｓ＿ｘ’およびｓ＿ｙ’がそれぞれ達しているかを比較判断すればよい。
【０１５９】
これにより、例えば搬送装置１４０が教示時とは異なる位置にあるといった状況で、支持ステージ１２１が教示された移動を行うと移動先において搬送装置１４０と干渉する場合でも、移動を開始する前にその干渉を正しく検出して移動を規制することにより、干渉を未然に防止することができる。
【０１６０】
なお、前述した教示モードおよび走行モードのほかに、パネル実装機１００の動作電源投入後等の始動時など、可動ユニットの現在位置が不定である場合に、可動ユニットをあらかじめ位置が分かっている地点まで低速に移動させる、原点復帰と呼ばれる動作モードがある。原点復帰モードでは、可動ユニットの位置を正しく取得できないため、前述したソフトリミット制御処理は行わない。
【０１６１】
ここで、教示モード、走行モード、および原点復帰モードなる名称は説明のための一例であり、実際上は、同義の動作モードが異なる名称で表されることはあり得る。
【０１６２】
また、上記の説明では、支持ステージ１２１のステージ部１２１ａの寸法ｓ＿Ｌおよびｓ＿Ｓを干渉寸法として用いたが、支持ステージ１２１がワークを載置している場合には、便宜的にワークの長辺の長さの半分およびワークの短辺の長さの半分を干渉寸法として用いてもよい。
【０１６３】
そうすれば、リミット座標値を算出するための計算式を実質的に変更することなく、パラメータの値の変更のみで、支持ステージ１２１が載置しているワークの大きさに基づく干渉判断に切り替えることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１６４】
本発明は、部品実装装置などの製造機械、とりわけ他のユニットとの干渉を防止する必要がある可動ユニットを備えた製造機械、およびその制御方法して利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１６５】
【図１】実施の形態におけるパネル実装機の構成を示す斜視図
【図２】仮圧着装置の要部の一例を示す斜視図
【図３】ソフトリミット制御に関係するパネル実装機の機能構成の一例を示す機能ブロック図
【図４】パラメータ記憶部に記憶されているパラメータ情報の一例を示す図
【図５】動作状態記憶部に記憶されている動作状態情報の一例を示す図
【図６】（Ａ）および（Ｂ）仮圧着装置の要部の寸法および位置の一例を示す平面図および側面図
【図７】（Ａ）および（Ｂ）教示動作時の画面表示例を示す図
【図８】ソフトリミット制御処理の一例を示すフローチャート
【図９】（Ａ）および（Ｂ）干渉判断の一例を示す平面図および側面図
【符号の説明】
【０１６６】
１００    パネル実装機
１１０    ＡＣＦ貼付装置
１１１    支持ステージ
１２０    仮圧着装置
１２１    支持ステージ
１２１ａ  ステージ部
１２１ｂ  駆動部
１２２    移載ヘッド
１２３    吸着ノズル
１２４    仮圧着ステージ
１２５    撮像装置
１３０    本圧着装置
１３１    支持ステージ
１４０    搬送装置
１４０ａ  アーム
１５０    制御装置
１５１    ＮＣプログラム記憶部
１５２    操作部
１５３    パラメータ記憶部
１５４    全体制御部
１５５    動作状態記憶部
１６０    ソフトリミット制御部
１６１    位置および／あるいは速度取得部
１６２    リミット算出部
１６３    干渉判断部
１６４    移動規制部
２００    表示パネル
３００    部品
【図１】
0004903731.tif 000005
【図２】
0004903731.tif 000006
【図３】
0004903731.tif 000007
【図４】
0004903731.tif 000008
【図５】
0004903731.tif 000009
【図６】
0004903731.tif 000010
【図７】
0004903731.tif 000011
【図８】
0004903731.tif 000012
【図９】
0004903731.tif 000013