(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品支持体に対する物品移載箇所を経由する天井側の移動経路に沿って移動自在な物品搬送体が設けられ、
前記物品支持体は、天井側に設置された固定枠体に対して前記移動経路に接近する側に突出する物品授受用の突出位置と前記移動経路から離間する側に引退する引退位置とに移動自在に支持され、
前記物品搬送体は、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記突出位置の前記物品支持体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成されている物品搬送設備であって、
前記物品支持体は、前記固定枠体に対して前記移動経路に対する遠近方向に移動自在に支持され且つ前記固定枠体から下方に延びる形状に形成された移動体と、前記移動体の下端部から前記遠近方向に沿って延びるように設けられた載置体とを備え、
前記載置体は、前記移動経路に沿う方向において物品の幅内の幅狭で前記移動体の下端部から前記遠近方向に沿って延びるように設けられた当接載置部と、前記当接載置部において載置された物品の前記遠近方向の中央部が位置する箇所から前記移動経路に沿う前後方向の一端側及び他端側に延びるように設けられて物品の側面部に当接する立壁部分を先端部に備え且つ前記移動経路に対する前記遠近方向において物品よりも幅狭にかつ平面視において前記移動経路に沿って延びる方向の長さが前記移動経路に対する前記遠近方向の長さよりも長く形成された移動規制部とから構成されている物品搬送設備。
【請求項２】
前記物品支持体は、前記移動経路に沿う方向において隣接する状態で複数設けられている請求項１に記載の物品搬送設備。
【請求項３】
前記当接載置部は、前記移動経路に対する遠近方向において物品よりも幅狭に形成され、
前記当接載置部から前記遠近方向に延びるように設けられて物品の側面部に当接する立壁部分を備え且つ前記移動経路に沿う方向において前記当接載置部よりも幅狭に形成された遠近方向移動規制部が設けられている請求項１又は２に記載の物品搬送設備。
【請求項４】
前記当接載置部には、複数の孔部が設けられている請求項１〜３の何れか１項に記載の物品搬送設備。
【請求項５】
前記固定枠体は、前記引退位置の前記物品支持体と前記移動経路に沿う方向及び前記遠近方向において重複するように配設され、前記移動経路に沿う方向において前記当接載置部よりも幅狭でかつ下方を開口させた筒状に形成されている請求項１〜４の何れか１項に記載の物品搬送設備。
【請求項６】
前記遠近方向に間隔を隔てた一対の固定枠体支持用の支持レール体が前記移動経路に沿うように天井側に設けられ、
前記固定枠体は、前記一対の支持レール体の夫々における受け止め支持部にて受け止め支持された状態で前記一対の支持レール体に吊り下げ支持されている請求項１〜５の何れか１項に記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品支持体に対する物品移載箇所を経由する天井側の移動経路に沿って移動自在な物品搬送体が設けられ、前記物品支持体は、天井側に設置された固定枠体に対して前記移動経路に接近する側に突出する物品授受用の突出位置と前記移動経路から離間する側に引退する引退位置とに移動自在に支持され、前記物品搬送体は、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記突出位置の前記物品支持体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成されている物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような物品搬送設備は、物品の移載対象となる物品移載用のステーションが床部側に移動経路に沿って複数設けられ、物品搬送体は、物品を吊り下げ状態で把持自在な把持部を昇降させることにより、ステーション間での物品搬送を行うものである。
物品支持体は、ステーションに搬送する物品を一時的に保管するために設けられている。物品支持体は、通常、移動経路の側脇等に設けられた固定枠体に対して引退する引退位置に位置しており、物品搬送体の移動等を邪魔しないようにしている。物品支持体に物品を保管する場合や物品支持体にて保管している物品を搬送する場合に、物品支持体を引退位置から突出位置に位置変更させて、把持部にて物品支持体へ物品を受け渡したり、把持部にて物品支持体から物品を受け取るようにしている。
【０００３】
このような物品搬送設備は、例えば、クリーンルーム内に設けられ、浄化空気を天井側から下方側に向けて通風させることにより、塵埃の少ない清浄な環境において物品支持体にて物品を一時的に保管するようにしている。そのために、固定枠体等により天井側から下方側への浄化空気の流れを大きく阻害すると、清浄度が低下してしまうことになる。
【０００４】
そこで、従来の物品搬送設備では、物品支持体が、固定枠体に対して遠近方向に移動自在に支持され且つ固定枠体から下方に延びたのち遠近方向の移動経路に接近する側に延びる左右一対の支持アーム体と、左右一対の支持アーム体において遠近方向の移動経路に接近する側に延びる部分同士を連結する連結体とを備えている（例えば、特許文献１参照。）。左右一対の支持アーム体は、遠近方向の移動経路に接近する側に延びる部分が遠近方向の物品の全幅に亘って物品の側面部に当接するように、移動経路に沿う方向において物品の幅よりも大きな間隔を隔てて設けられている。連結体は、遠近方向に間隔を隔てて複数設けられており、複数の連結体の夫々が物品の底部に当接するように構成されている。
【０００５】
従来の物品搬送設備では、固定枠体は、左右一対の支持アーム体の夫々を遠近方向に移動自在に支持するように左右一対設けるだけでよい。よって、移動経路に沿う方向での固定枠体の幅を小さくすることができ、天井側から下方側への浄化空気の流れを固定枠体によって大きく阻害するのを防止できる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−９１４６３号公報（第１７〜２１頁、図１６〜２１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記従来の物品搬送設備では、物品支持体が物品を支持した状態において、左右一対の支持アーム体において遠近方向の移動経路に接近する側に延びる部分が遠近方向の物品の全幅に亘って物品の側面部に当接する。これにより、移動経路に沿う方向において、支持アーム体が物品の遠近方向の全幅に亘って物品の外側に突出することになる。その為に、移動経路に沿う方向において物品の側部に、物品の遠近方向の全幅に亘って下方側への浄化空気の流れを阻害してしまうことになる。よって、清浄度が低下してしまう虞がある。
また、移動経路に沿う方向に複数の物品支持体を設ける場合には、物品支持体同士の間に天井側から下方側への浄化空気の流れを許容するための大きなスペースを設けなければならない。よって、移動経路に沿う方向で物品支持体同士の間に大きな空間が存在することになり、移動経路に沿う方向での設置スペースが大きくなってしまう。
【０００８】
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、物品支持体が物品を支持した状態において上方側から下方側への浄化空気の流れを阻害するのを防止し、清浄度の低下を抑制しながら、物品を保管できる物品搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的を達成するために、本発明に係る物品搬送設備の第１特徴構成は、物品支持体に対する物品移載箇所を経由する天井側の移動経路に沿って移動自在な物品搬送体が設けられ、前記物品支持体は、天井側に設置された固定枠体に対して前記移動経路に接近する側に突出する物品授受用の突出位置と前記移動経路から離間する側に引退する引退位置とに移動自在に支持され、前記物品搬送体は、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記突出位置の前記物品支持体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成されている物品搬送設備において、
前記物品支持体は、前記固定枠体に対して前記移動経路に対する遠近方向に移動自在に支持され且つ前記固定枠体から下方に延びる形状に形成された移動体と、前記移動体の下端部から前記遠近方向に沿って延びるように設けられた載置体とを備え、前記載置体は、前記移動経路に沿う方向において物品の幅内の幅狭で前記移動体の下端部から前記遠近方向に沿って延びるように設けられた当接載置部と、前記当接載置部において載置された物品の前記遠近方向の中央部が位置する箇所から前記移動経路に沿う前後方向の一端側及び他端側に延びるように設けられて物品の側面部に当接する立壁部分を先端部に備え且つ前記移動経路に対する前記遠近方向において物品よりも幅狭にかつ平面視において前記移動経路に沿って延びる方向の長さが前記移動経路に対する前記遠近方向の長さよりも長く形成された移動規制部とから構成されている点にある。
【００１０】
すなわち、物品支持体は、遠近方向に移動自在で且つ下方側に延びる形状である移動体と、その移動体の下端部から遠近方向に沿って延びる載置体とを備えているので、固定枠体としては、移動体を遠近方向に移動自在に支持するだけの構成を備えればよい。これにより、移動経路に沿う方向において固定枠体の幅を小さくでき、固定枠体にて天井側から下方側への浄化空気の流れを阻害するのを防止できる。
載置体は、当接載置部にて物品の底部に当接して物品を載置支持することができ、しかも、移動規制部における立壁部分が移動経路に沿う方向の物品の側面部に当接して移動経路に沿う方向での物品の移動を規制できる。当接載置部は移動経路に沿う方向において物品の幅内の幅狭であり、移動規制部は遠近方向において物品よりも幅狭である。これにより、移動経路に沿う方向において物品の外側に突出する部分は、遠近方向で物品よりも幅狭の移動規制部だけとなり、遠近方向において移動規制部の両側部にて下方側への浄化空気の流れを許容できる。しかも、当接載置部は、移動経路に沿う方向において物品の幅内の幅狭であることから、物品支持体の軽量化及びコストの低減を図ることができる。
【００１１】
以上のことから、物品支持体が物品を支持した状態において天井側から下方側への浄化空気の流れを阻害するのを防止し、清浄度の低下を抑制しながら、物品を保管できつつ、物品支持体の軽量化及びコストの低減を図ることができる物品搬送設備を実現できる。
【００１２】
本発明に係る物品搬送設備の第２特徴構成は、前記物品支持体は、前記移動経路に沿う方向において隣接する状態で複数設けられている点にある。
【００１３】
すなわち、上述の如く、物品支持体が物品を支持した状態において、移動経路に沿う方向の物品の側部において、遠近方向での移動規制部の両側部にて下方側への浄化空気の流れを許容できることから、移動経路に沿う方向において物品支持体同士の間において下方側への浄化空気の流れを許容するスペースを極力小さくすることができる。これにより、移動経路に沿う方向で物品支持体同士の間の間隔を小さくしながら、複数の物品支持体を設けることができる。よって、移動経路に沿う方向に小さなスペースに複数の物品支持体を効率よく設置することができる。
【００１４】
本発明に係る物品搬送設備の第３特徴構成は、前記当接載置部は、前記移動経路に対する遠近方向において物品よりも幅狭に形成され、前記当接載置部から前記遠近方向に延びるように設けられて物品の側面部に当接する立壁部分を備え且つ前記移動経路に沿う方向において前記当接載置部よりも幅狭に形成された遠近方向移動規制部が設けられている点にある。
【００１５】
すなわち、当接載置部は、移動経路に沿う方向において物品の幅内の幅狭であるだけでなく、遠近方向においても物品よりも幅狭に形成されているので、物品支持体にて物品を支持していない状態において、遠近方向の当接載置部と移動経路との間に下方側への浄化空気の流れを許容するスペースを設けることができる。これにより、物品支持体にて物品を支持していない状態においても下方側への浄化空気の流れを阻害するのを防止できる。当接載置部を移動経路に沿う方向において物品の幅内の幅狭とすることにより、物品の底部と当接する部分が小さくなるが、遠近方向移動規制部における立壁部分が遠近方向の物品の側面部に当接して遠近方向での物品の移動を規制することができる。よって、物品支持体にて物品を支持していない状態において浄化空気の流れを阻害するのを防止できながら、物品支持体にて物品を支持するときには物品を安定して支持できる。
【００１６】
本発明に係る物品搬送設備の第４特徴構成は、前記当接載置部には、複数の孔部が設けられている点にある。
【００１７】
すなわち、物品支持体にて物品を支持していない状態において下方側への浄化空気の流れを当接載置部における複数の孔部にて許容することができる。よって、物品支持体にて物品を支持していない状態において浄化空気の流れを阻害するのを的確に防止できる。
【００１８】
本発明に係る物品搬送設備の第５特徴構成は、前記固定枠体は、前記引退位置の前記物品支持体と前記移動経路に沿う方向及び前記遠近方向において重複するように配設され、前記移動経路に沿う方向において前記当接載置部よりも幅狭でかつ下方を開口させた筒状に形成されている点にある。
【００１９】
すなわち、固定枠体が水平方向において引退位置の物品支持体と重複するように設けているので、物品支持体とは別に下方側への浄化空気の流れを阻害することはなく、浄化空気の流れを阻害するのを的確に防止できる。
【００２０】
本発明に係る物品搬送設備の第６特徴構成は、前記遠近方向に間隔を隔てた一対の固定枠体支持用の支持レール体が前記移動経路に沿うように天井側に設けられ、前記固定枠体は、前記一対の支持レール体の夫々における受け止め支持部にて受け止め支持された状態で前記一対の支持レール体に吊り下げ支持されている点にある。
【００２１】
すなわち、物品支持体を天井側に設置するに当たり、単に、一対の支持レール体の夫々における受け止め支持部にて受け止め支持される状態で固定枠体を固定するだけで、固定枠体を天井側に吊り下げ支持する状態で設置することができる。これにより、物品支持体の設置作業の簡素化を図ることができる。一対の支持レール体は、移動経路に沿うように天井側に設けられているので、複数の物品支持体を移動経路に沿う方向に隣接する状態で設置する場合に、複数の物品支持体の夫々における固定枠体を１つずつ天井側に吊り下げ支持するように設置しなくても、単に、複数の物品支持体の夫々における固定枠体を一対の支持レール体に吊り下げ支持するように設置するだけでよい。よって、複数の物品支持体を移動経路に沿う方向に隣接する状態で設置する場合に、設置作業の簡素化という効果が大きなものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明に係る物品搬送設備の実施形態について、図面に基づいて説明する。
この物品搬送設備は、例えば、浄化空気を天井側から下方側に通風させるダウンフロー式の浄化空気通風手段を備えたクリーンルーム内に設けられている。
図１及び図２に示すように、物品搬送設備は、複数の物品処理部１を経由する状態で案内レール２（移動経路に相当する）が設置され、この案内レール２に沿って移動自在な移動車３（物品搬送体に相当する）が設けられている。移動車３が、半導体基板を収納した容器５（物品に相当する）を複数の物品処理部１の間で搬送するように構成されている。物品処理部１では、半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理を行うように構成されている。
【００２３】
移動車３は、容器５を吊り下げ状態で把持する把持部４を昇降自在に備えている。把持部４は、移動車３が停止した状態において、ワイヤ６を巻き取り又は巻き出すことにより、移動車３に近接位置させる上昇位置と移動車３よりも下方側に設置された物品移載用のステーション７との間で物品移載を行う下降位置とに昇降自在に設けられている。ちなみに、図２では、把持部４が上昇位置から下降位置に下降する場合を上方側に示し、把持部４を下降位置から上昇位置に上昇させる場合を下方側に示している。
【００２４】
ステーション７は、容器５を載置支持する床部に設けられた載置台にて構成されている。ステーション７は、物品処理部１にて所定の処理を行う容器５を移動車３から受け取る又は物品処理部１にて所定の処理を行った容器５を移動車３に受け渡すためのものであり、複数の物品処理部１の夫々に対応して配置されている。
移動車３は、把持部４を上昇位置に位置させた状態で案内レール２に沿って移動し、複数のステーション７のうち、移載対象のステーション７に対応する停止位置に停止した状態で把持部４を上昇位置と下降位置との間で昇降させることにより、ステーション７との間で容器５の授受を行うように構成されている。
【００２５】
案内レール２は、図２〜図４に示すように、案内レール用ブラケット８により天井部に固定状態で設置されている。移動車３は、案内レール２の内方空間部に位置する上方車体９と案内レール２の下方に位置する下方車体１２とを前後の連結扞１０，１１にて連結して構成されている。
【００２６】
上方車体９は、案内レール２の内方空間部に設けられるマグネット１３に近接対向させる状態で一次コイル１４を備えている。上方車体９は、マグネット１３と一次コイル１４とからなるリニアモータにより推進力を得るリニアモータ式であり、移動車３は、この推進力によって案内レール２に沿って移動するように構成されている。案内レール２の内方空間部には、上方車体９に備えた走行輪１５に対する走行案内面１６と、上方車体９に備えた振止輪１７に対する振止案内面１８とが形成されている。
案内レール２には給電線１９が設けられ、上方車体９には受電コイル２０が設けられ、交流電流の通電により給電線１９に磁界を発生させ、この磁界により移動車３側での必要電力を受電コイル２０に発生させて、無接触状態で給電を行うように構成されている。
【００２７】
この実施形態では、上方車体９を駆動させる方式として、リニアモータにより推進力を得て駆動させるリニアモータ式を例示しているが、例えば、走行輪１５を回転駆動する電動モータを設け、この電動モータにて走行輪１５を回転駆動させることにより上方車体９を駆動させる方式を用いることもできる。
【００２８】
下方車体１２は、移動車３の前後方向に延びる前後枠体２１、前後枠体２１の前端箇所及び後端箇所から下方側に延びる前後一対の縦枠体２２から構成されている。下方車体１２は、側面視において、下方側が開放されたコ字状に形成され、前後方向の中央部に把持部４を配置している。
【００２９】
把持部４は、上方車体９に対して昇降自在な昇降体２３に設けられ、この昇降体２３は、前後枠体２１に設けられた昇降操作機構２４によって昇降操作自在に支持されている。
昇降操作機構２４は、ドラム駆動用モータ２５により回動自在な回転ドラム２６に４本のワイヤ６を巻き掛けて構成されている。そして、昇降操作機構２４は、回転ドラム２６を正逆回転させて４本のワイヤ６を同時に巻き取り及び巻き出しすることによって、昇降体２３を略水平姿勢に維持しながら昇降操作するように構成されている。
【００３０】
この実施形態では、回転ドラム２６にワイヤ６を巻き掛けた例を示しているが、例えば、回転ドラム２６にベルトを巻き掛けて昇降体２３を昇降操作することもでき、ワイヤ６に限らず、ベルトを用いることもできる。
【００３１】
把持部４には、容器５のフランジ５ａを把持する一対の把持具４ａが設けられている。そして、一対の把持具４ａが把持動作用モータ２７の正逆回転により互いに近づく方向に揺動してフランジ５ａを把持する把持姿勢（図３中実線）と、一対の把持具４ａが互いに離れる方向に揺動して把持を解除する解除姿勢（図３中点線）とに切り換え自在に構成されている。把持部４は、縦軸芯周りで旋回自在に昇降体２３に設けられ、図示は省略するが、把持部４を旋回操作する旋回用モータが設けられている。
【００３２】
ステーション７に搬送する容器５を一時的に保管するために、案内レール２の側脇には、図１及び図５に示すように、案内レール２に対して左右両側に物品保管用の物品支持体２８が設けられている。そして、物品支持体２８は、案内レール２に沿って隣接して並ぶ状態で複数設けられている。
【００３３】
以下、図５〜図１０に基づいて、物品支持体２８について説明する。
複数の物品支持体２８の夫々は、それに対する物品移載箇所に停止した移動車３の把持部４からの容器５の受け取り及び把持部４への容器５の受け渡しを行う案内レール２に接近する側に突出する物品授受用の突出位置（図１０参照）と案内レール２から離間する側に引退する引退位置（図９参照）とに位置変更自在に設けられている。
以下、物品移載箇所に停止した移動車３の前後方向、すなわち案内レール２に沿う方向を「前後方向」と略称し、且つ、物品移載箇所に停止した移動車３に対する遠近方向を「遠近方向」と略称して説明する。
【００３４】
物品移載箇所は、複数の物品支持体２８の夫々に対応して定められている。前後方向において物品支持体２８の幅は移動車３における前後一対の縦枠体２２の間隔よりも小さくなるように形成されている。したがって、物品移載箇所に移動車３が停止した状態において、移動車３における前後一対の縦枠体２２の間に物品支持体２８を挿脱できるように構成されている。
【００３５】
引退位置は、物品支持体２８が引退位置に位置するときに、自己及び自己が載置支持する容器５が移動車３の移動や把持部４の昇降の邪魔にならないように、案内レール２の存在箇所から遠近方向に外れた案内レール２の側脇に定められている。
突出位置は、物品支持体２８が突出位置に位置するときに、物品移載箇所に停止した移動車３において上昇位置に近接する位置に位置する把持部４との間で容器５を授受できるように、物品移載箇所に停止した移動車３における把持部４と水平方向において重複する位置に定められている。
【００３６】
物品支持体２８は、図５〜図８に示すように、引退位置に対応して天井側に設置された固定枠体２９に対して突出位置と引退位置とに移動自在に支持されている。物品支持体２８は、固定枠体２９に対して遠近方向に移動自在に支持され且つ固定枠体２９から下方に延びる形状に形成された移動体３０と、移動体３０の下端部から遠近方向の案内レール２に接近する側に延びるように設けられた載置体３１とを備えている。
【００３７】
固定枠体２９は、遠近方向に間隔を隔てた一対の固定枠体支持用の支持レール体３２に亘る状態で吊り下げ支持されている。固定枠体２９は、吊り下げ支持部３３として、遠近方向の一方側及び他方側の夫々において固定枠体２９から上方に延びる立壁部分３３ａと、立壁部分３３ａの上端部同士を連結する水平連結部分３３ｂとを備えている。一対の支持レール体３２の夫々には、水平連結部分３３ｃにおいて遠近方向の一端部及び他端部の夫々を受け止め支持する受け止め支持部３２ａが設けられている。固定枠体２９は、一対の支持レール体３２の夫々における受け止め支持部３２ａにて受け止め支持された状態で固定することにより、一対の支持レール体３２に吊り下げ支持されるように構成されている。
【００３８】
固定枠体２９を天井側に吊り下げ支持する構成は、上述の構成に限らず、適宜変更が可能である。例えば、固定枠体２９の上端部にボルト取り付け用溝部を設け、このボルト取り付け用溝部に吊り下げ支持体の下端部をボルト固定し、吊り下げ支持体の上端部を天井部にボルト固定することにより、固定枠体２９を天井側に吊り下げ支持することができる。
【００３９】
移動体３０は、上方よりも下方の方が遠近方向での幅が幅狭となる状態で下方に延びる形状に形成された左右一対の支持アーム体３４と、左右一対の支持アーム体３４の上端部同士を連結する上部連結体３５と、左右一対の支持アーム体３４の上端部から下方に延びる部分同士を連結する中間連結体３６とから構成されている。支持アーム体３４及び中間連結体３６には、複数の孔部が形成されており、軽量化が図られている。上部連結体３５には、前後方向の中央部に上方に突出する突出部３７が設けられ、前後方向の一端部に棒状の連係用被操作体３９が立設する状態で設けられている。突出部３７には、その側面部に水平軸心周りで回転自在に支持された左右一対の第１ガイドローラ３８ａが遠近方向に間隔を隔てて２組設けられ、且つ、その上面部に上下軸心周りで回転自在に支持された左右一対の第２ガイドローラ３８ｂが遠近方向に間隔を隔てて２組設けられている。
【００４０】
固定枠体２９は、下方から移動体３０の突出部３７を内部に挿入させた状態で突出部３７の遠近方向での移動を許容するように下方を開放させた筒状に形成されている。固定枠体２９の下方は、前後方向の全長に亘って開放されているのではなく、その中央部のみ開放されており、両側の側壁部２９ａから水平方向に延びる底部２９ｂが設けられている。固定枠体２９の底部２９ｂは、固定枠体２９の内部に挿入された突出部３７に支持された第１ガイドローラ３８ａを遠近方向に案内するように構成されている。固定枠体２９の上部には、下方側に突出する案内レール部２９ｃが遠近方向に沿って設けられている。この案内レール部２９ｃは、固定枠体２９の内部に挿入された突出部３７に支持された第２ガイドローラ３８ｂを遠近方向に案内するように構成されている。これにより、移動体３０は、固定枠体２９に対して遠近方向にスライド移動自在に支持されている。
【００４１】
載置体３１は、前後方向において容器５の幅内の幅狭で移動体３０の下端部から遠近方向の案内レール２に接近する側に延びるように設けられた当接載置部４０と、当接載置部４０から前後方向に延びるように設けられて容器５の側面部に当接する立壁部分４１ａを備え且つ遠近方向において容器５よりも幅狭に形成された移動規制部４１とから構成されている。移動規制部４１は、当接載置部４０において容器５の遠近方向の中央部に相当する箇所から前後方向の一端側及び他端側に延びるように一対設けられている。
【００４２】
これにより、物品支持体２８にて容器５を支持した状態において、前後方向で容器５の外側に突出する部分は、移動規制部４１における立壁部分４１ａだけとなり、その立壁部分４１ａの両側から天井側から下方側への浄化空気の流れを許容できる。よって、物品支持体２８が容器５を支持した状態において天井側から下方側への浄化空気の流れを阻害するのを防止することができ、塵埃の少ない清浄な環境において容器５を保管できる。このように、立壁部分４１ａの両側に下方側への浄化空気の流れを許容できるスペースを設けることにより、図１に示すように、前後方向において物品支持体２８同士の間において下方側への浄化空気の流れを許容するスペースを極力小さくすることができる。これにより、前後方向で物品支持体２８同士の間の間隔を小さくしながら、複数の物品支持体２８を設けることができる。よって、前後方向に小さなスペースに複数の物品支持体２８を効率よく設置することができる。
また、当接載置部４０は、前後方向において容器５の中央部に設けられており、容器５の前後方向の中央部に当接して容器５を載置支持することができ、容器５を安定して支持することができる。しかも、移動規制部４１における立壁部分４１ａが容器５の側面部に当接して、前後方向での容器５の移動を規制することができる。
【００４３】
当接載置部４０は、遠近方向において容器５よりも幅狭に形成されており、遠近方向において案内レール２に接近する側に中空空間を形成するように構成されている。これにより、物品支持体３８が容器５を支持していない状態においても、中空空間にて天井側から下方側への浄化空気の流れを許容でき、物品支持体２８自体を塵埃の少ない清浄な環境としておくことができる。
【００４４】
当接載置部４０には、当接載置部４０から遠近方向に延びるように設けられて容器５の側面部に当接する立壁部分４２ａを備え且つ前後方向において当接載置部４０よりも幅狭に形成された遠近方向移動規制部４２が設けられている。遠近方向移動規制部４２は、前後方向において当接載置部４０の両端部に設けられている。これにより、遠近方向での容器５の移動を規制して容器５を載置支持することができる。当接載置部４０には、容器５を位置決めした状態で載置するために複数の位置決めピンＷが設けられている。位置決めピンＷの配設箇所は、平面視において三角形の各角部となるように設けられている。当接載置部４０には、複数の孔部が形成されており、物品支持体３８が容器５を支持していない状態において下方側への浄化空気の流れを許容するとともに、軽量化が図られている。
【００４５】
移動体３０と当接載置部４０とは、遠近方向に連続する状態で設けられ、且つ、前後方向での幅が同じ又は略同じ幅となるように構成されている。固定枠体２９は、前後方向において移動体３０の中央部に設けられており、移動体３０をバランスよく安定した状態で遠近方向に移動自在に支持することができる。固定枠体２９は、引退位置の物品支持体２８と前後方向及び遠近方向において重複するように配設され、且つ、前後方向において当接載置部４０よりも幅狭に形成されている。これにより、水平方向において物品支持体２８とは異なる箇所で、固定枠体２９にて下方側への浄化空気の流れを阻害してしまうことがない。
【００４６】
固定枠体２９には、遠近方向において物品移載箇所に停止した移動車３に接近する接近位置（図９参照）と物品移載箇所に停止した移動車３から離間する離間位置（図１０参照）とに移動自在に支持された被操作体４３が設けられている。被操作体４３は、接近位置では物品支持体２８を引退位置に操作し、且つ、離間位置では物品支持体２８を突出位置に操作するように、物品支持体２８に連係されている。
【００４７】
被操作体４３は、その長手方向の中央部が固定枠体２９の上部に設けられたコ字状の基体４４に枢支連結されて、その連結箇所である第１揺動軸心Ｐ１周りに揺動自在に設けられている。被操作体４３は、接近位置に位置する状態において、第１揺動軸心Ｐ１から移動車３に接近する側に延びる第１被操作部分４３ａと第１揺動軸心Ｐ１から移動車３から離れる側に延びる第２被操作部分４３ｂとを上下に段差をつけて一体的に形成されている。
【００４８】
被操作体４３は、第１揺動軸心Ｐ１周りでの揺動により接近位置と離間位置とに切換自在で且つ接近位置（図９参照）においては第１被操作部分４３ａが第１揺動軸心Ｐ１よりも物品移載箇所に停止した移動車３に接近する姿勢となるように設けられている。被操作体４３の第１被操作部分４３ａには、被操作体４３が接近位置に位置する状態において、遠近方向に対して交差する方向に沿って第１揺動軸心Ｐ１側に延びる溝部４５が設けられている。この溝部４５は、物品移載箇所に停止した移動車３に接近する側の先端を遠近方向に沿って開口させた形状に形成されている。
【００４９】
被操作体４３が接近位置に位置すると、図９に示すように、物品支持体２８を引退位置に位置させ、且つ、被操作体４３が離間位置に位置すると、図１０に示すように、物品支持体２８を突出位置に位置させるように、被操作体４３の動きと物品支持体２８の動きとを連係させる連係機構４６が設けられている。
【００５０】
連係機構４６は、上下軸心周りに揺動自在な第１リンクアーム４７、第２リンクアーム４８及び第３リンクアーム４９の３つのリンクアームから構成されている。第１リンクアーム４７は、一端部が被操作体４３の第２操作部分４３ｂの一端部に枢支連結され且つ他端部が第２リンクアーム４８の長手方向の途中部分に枢支連結されている。第２リンクアーム４８は、一端部が基体４４に枢支連結され且つ他端部が第３リンクアーム４９の一端部に枢支連結されている。第３リンクアーム４９は、他端部が固定枠体２９に立設された連係用被操作体３９に枢支連結されている。
【００５１】
図９及び図１０に示すように、移動車３には、物品支持体２８を引退位置と突出位置とに変更操作するための操作手段５０が設けられている。操作手段５０は、移動車３に固定されて遠近方向に長尺状のベース５１と、そのベース５１に対して遠近方向に移動自在に設けられた長尺状の操作体５２と、その操作体５２の先端部の下面側に設けられた係合ローラ５３とから構成されている。操作手段５０は、図示を省略したアクチュエータの作動によりベース５１に対して操作体５２を出退させて、係合ローラ５３を遠近方向に移動させる突出作動及び引退作動を行うように構成されている。ちなみに、移動車３には、移動車３の走行方向において右側に位置する物品支持体２８を変更操作するための操作手段５０と、移動車３の走行方向において左側に位置する物品支持体２８を変更操作するための操作手段５０とが設けられている。
【００５２】
係合ローラ５３は、前後方向において被操作体４３の溝部４５の幅と同じ又はその幅よりも小さい直径に形成されている。これにより、係合ローラ５３が、遠近方向での移動により被操作体４３の溝部４５に係脱自在に構成されている。操作手段５０が、突出作動により係合ローラ５３を溝部４５に係合させて被操作体４３を接近位置から離間位置に押し操作し、且つ、引退作動により係合ローラ５３を溝部４５に係合させて被操作体４３を離間位置から接近位置に引き操作し、その後係合ローラ５３を溝部４５から離脱させる押し引き式に構成されている。
【００５３】
操作手段５０が突出作動により係合ローラ５３にて被操作体４３を接近位置から離間位置に操作すると、被操作体４３が離間位置に位置することにより物品支持体２８を突出位置に操作して、物品支持体２８を引退位置から突出位置に位置変更させる。逆に、操作手段５０が引退作動により係合ローラ５３にて被操作体４３を離間位置から接近位置に操作すると、被操作体４３が接近位置に位置することにより物品支持体２８を引退位置に操作して、物品支持体２８を突出位置から引退位置に位置変更させる。
【００５４】
物品支持体２８を引退位置と突出位置とに位置変更させるときの動きについて説明する。
図９に示すように、被操作体４３が接近位置に位置すると、溝部４５の開口部分が遠近方向に開口しているので、操作手段５０が突出作動を行うことにより、係合ローラ５３が遠近方向において移動車３から突出する側に移動して溝部４５の開口から溝部４５に嵌り込んで係合する。そして、係合ローラ５３が溝部４５に係合した状態で遠近方向において移動車３から突出する側に移動することにより、係合ローラ５３が溝部４５の側壁部を押圧しながら移動して被操作体４３を接近位置から離間位置に押し操作する。被操作体４３が接近位置から離間位置に揺動すると、第１リンクアーム４７、第２リンクアーム４８、及び、第３リンクアーム４９が順次揺動して連係用被操作体３９を移動車３に接近する側に移動させることになる。したがって、連係用被操作体３９による移動車３に接近する側への移動によって移動体３０をスライド移動させて、図１０に示すように、物品支持体２８が引退位置から突出位置に位置変更される。
【００５５】
図１０に示すように、被操作体４３が離間位置に位置するときに、操作手段５０が引退作動を行うと、係合ローラ５３が溝部４５に係合した状態で移動車３に接近する側に移動することになり、係合ローラ５３が溝部４５の側壁部を押圧しながら移動して被操作体４３を離間位置から接近位置に引き操作する。被操作体４３が離間位置から接近位置に揺動すると、第１リンクアーム４７、第２リンクアーム４８、及び、第３リンクアーム４９が順次揺動して連係用被操作体３９を移動車３から離れる側に移動させることになる。したがって、連係用被操作体５６による移動車３から離れる側への移動によって移動体３０をスライド移動させて、物品支持体２８が物品授受用位置から物品保管用位置に位置変更される。図９に示すように、被操作体４３が接近位置に位置すると、溝部４５の開口部分が遠近方向に開口しているので、係合ローラ５３が移動車３に接近する側に移動することにより、係合ローラ５３が溝部４５を離脱して移動車３に引退する。
【００５６】
移動車３には、移動車３の動作を制御する台車用制御部が設けられている。そして、台車用制御部は、物品搬送設備全体の動作を管理する管理用コンピュータからの指令、及び、移動車３に設けられた各種センサの検出情報に基づいて、移動車３の移動及び把持部４の昇降作動を制御するとともに、把持動作用モータ２７及び操作手段５０の作動を制御するように構成されている。
【００５７】
例えば、管理用コンピュータから、複数のステーション７のうちから搬送元及び搬送先のステーション７を特定した状態で搬送元のステーション７から搬送先のステーション７に容器５を搬送する搬送指令が指令された場合には、台車用制御部が、搬送元のステーション７から容器５を受け取り、搬送先のステーション７に容器５を卸すべく、移動車３の動作を制御するように構成されている。
【００５８】
搬送元のステーション７から容器５を受け取る場合には、まず、台車用制御部は、搬送元のステーション７に対応する停止位置に移動車３を移動させるべく、移動車３の移動を制御する。次に、台車用制御部は、搬送元のステーション７に対応する停止位置に移動車３を停止させた状態で、上昇位置から下降位置に把持部４を下降させるべく、把持部４の昇降作動を制御する。そして、台車用制御部は、把持部４が下降位置に位置すると、把持動作用モータ２７を作動させて一対の把持具４ａを把持姿勢に切り換え、容器５のフランジ５ａを一対の把持具４ａにて把持して容器５を受け取る。その後、台車用制御部は、下降位置から上昇位置に把持部４を上昇させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、搬送先のステーション７に対応する停止位置に移動車３を移動させるべく、移動車３の移動を制御する。
台車用制御部は、搬送先のステーション７に対応する停止位置に移動車３が停止すると、搬送元のステーション７から容器５を受け取る場合と同様に、把持部４の昇降作動や把持動作用モータ２７の作動を制御することにより、搬送先のステーション７に容器５を卸すように構成されている。
【００５９】
また、管理用コンピュータから、複数の物品支持体２８のうち移載対象の物品支持体２８が特定された状態で物品支持体２８に容器５を保管する保管指令が指令された場合について説明する。
台車用制御部が、まず、移載対象の物品支持体２８に対応する物品移載箇所に移動車３を移動させるべく、移動車３の移動を制御する。次に、台車用制御部は、移載対象の物品支持体２８に対応する物品移載箇所に移動車３を停止させた状態で、操作手段５０を突出作動させる。操作手段５０が突出作動を行うことにより、物品支持体２８を引退位置から突出位置に位置変更させる。台車用制御部は、上昇位置からそれに近接する位置に把持部４を下降させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、把持動作用モータ２７を作動させて一対の把持具４ａを解除姿勢に切り換え、把持部４から物品授受用位置に位置する物品支持体２８に容器５を卸す。その後、台車用制御部は、把持部４を上昇位置まで上昇させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、操作手段５０を引退作動させる。そして、操作手段５０が引退作動を行うことにより、物品支持体２８を突出位置から引退位置に位置変更させる。
【００６０】
管理用コンピュータから、複数の物品支持体２８のうち移載対象の物品支持体２８が特定された状態で物品支持体２８にて保管している容器５を取り出す取出指令が指令された場合について説明する。
台車用制御部は、保管指令が指令された場合と同様に、移動車３の移動を制御することにより、移載対象の物品支持体２８に対応する物品移載箇所に移動車３を停止させる。そして、台車用制御部は、操作手段５０を突出作動させることにより、物品支持体２８を物品保管用位置から物品授受用位置に位置変更させる。その後、台車用制御部は、上昇位置からそれに近接する位置へ把持部４を下降させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、把持動作用モータ２７を作動させて一対の把持具４ａを把持姿勢に切り換え、物品支持体２８から把持部４に容器５を受け取る。そして、台車用制御部は、上昇位置まで把持部４を上昇させるべく、把持部４の昇降作動を制御したのち、操作手段５０を引退作動させる。操作手段５０が引退作動を行うことにより、物品支持体２８を突出位置から引退位置に位置変更させる。
【００６１】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、物品支持体２８が、突出位置において、上昇位置に近接する位置に位置する把持部４との間で容器５を授受するように設けられているが、例えば、突出位置において、上昇位置に位置する把持部４との間で容器５を授受するように物品支持体２９を設けることもできる。
また、突出位置において、物品支持体２８が把持部４との間で容器５を授受する位置については、上昇位置に近接する位置または上昇位置に限らず、上昇位置よりも設定高さだけ下降した位置であってもよい。この場合には、物品支持体２８を突出位置に位置させた状態で、把持部４を上昇位置から設定高さだけ下降させることにより、物品支持体２８と把持部４との間での容器５の授受を行うことができることになる。
【００６２】
（２）上記実施形態では、物品支持体２８を案内レール２に沿って並ぶ状態で複数設けているが、物品支持体２８を設置する数については適宜変更が可能である。また、物品支持体２８の設置位置についても、案内レール２に対して左右両側に設けているが、案内レール２の片側のみに設置することも可能である。
【００６３】
（３）上記実施形態では、移動車３に、移動車３の走行方向において右側に位置する物品支持体２８を変更操作するための操作手段５０と、移動車３の走行方向において左側に位置する物品支持体２８を変更操作するための操作手段５０との２つの操作手段５０を設けているが、例えば、操作手段５０が、移動車３の走行方向に対して右側及び左側の両側に係合ローラを出退自在に備えることにより、移動車３に１つの操作手段を設けて実施することもできる。
【００６４】
（４）上記実施形態では、物品として、半導体基板を収納した容器５を搬送する物品搬送設備を例示したが、搬送する物品は適宜変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】物品搬送設備の平面図
【図２】移動車とステーションとの側面図
【図３】移動車の側面図
【図４】移動車の縦断正面図
【図５】複数の物品支持体を設置したときの斜視図
【図６】物品支持体の斜視図
【図７】物品支持体の側面の斜視図
【図８】物品支持体の分解斜視図
【図９】引退位置における物品支持体の平面図
【図１０】突出位置における物品支持体の平面図
【符号の説明】
【００６６】
２          移動経路（案内レール）
３          物品搬送体（移動車）
２８        物品支持体
２９        固定枠体
３０        移動体
３１        載置体
３２        支持レール体
３２ａ      受け止め支持部
４０        当接載置部
４１        移動規制部
４１ａ      立壁部分
４２        遠近方向移動規制部
４２ａ      立壁部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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