(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から第１の方向に延びる一対の振動腕と、
前記基部に別々に接続する一対の支持腕と、
前記一対の振動腕、前記基部及び前記一対の支持腕に形成された電極と、
を有し、
それぞれの前記支持腕は、前記第１の方向とは反対の第２の方向に突出するように前記基部から延びる第１の部分と、前記第１の方向に向けて、前記基部よりも前記第２の方向に突出した位置から先端まで延びる第２の部分と、前記第１及び第２の部分を接続する第３の部分と、を含み、
前記基部は、一方の前記支持腕の前記第２の部分と、他方の前記支持腕の前記第２の部分とで挟まれる位置にあり、
前記第３の部分は、前記第１の方向を向く第１の外縁と、前記支持腕のなかで最も前記第２の方向に突出する第２の外縁と、を含み、
前記第２の方向に沿った前記基部から前記第２の外縁までの距離は、前記第２の方向に沿った前記第１及び第２の外縁の間隔よりも大きい音叉型圧電振動片。
【請求項２】
請求項１に記載された音叉型圧電振動片において、
前記第１の部分は、前記第２の方向に沿って延びている音叉型圧電振動片。
【請求項３】
請求項２に記載された音叉型圧電振動片において、
前記第１、２及び３の部分は、接続されてコ字状又はＵ字状をなす音叉型圧電振動片。
【請求項４】
請求項１に記載された音叉型圧電振動片において、
前記第１の部分は、前記第２の方向に対して斜めに延びている音叉型圧電振動片。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載された音叉型圧電振動片において、
前記第１の部分の延びる方向と前記第２の部分の延びる方向とのなす角度であって、前記第１の外縁を内側に配置する内角は、鋭角である音叉型圧電振動片。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載された音叉型圧電振動片において、
前記第２の部分は、前記先端から直線状に延びる第１の直線部と、前記第３の部分から直線状に延びる第２の直線部と、前記第１及び第２の直線部の間で前記一対の振動腕の方向に屈曲する屈曲部と、を含む音叉型圧電振動片。
【請求項７】
請求項１から５のいずれか１項に記載された音叉型圧電振動片であって、前記電極は、前記支持腕に形成された接続電極を含む音叉型圧電振動片と、
前記音叉型圧電振動片を内部に収容するパッケージであって、前記内部に固定電極を有するパッケージと、
前記支持腕で前記音叉型圧電振動片及び前記パッケージを機械的に接合し、前記接続電極及び前記固定電極を電気的に接続する導電性接着剤と、
を含む音叉型圧電振動子。
【請求項８】
請求項７に記載された音叉型圧電振動子において、
前記第２の部分は、前記先端から直線状に延びる第１の直線部と、前記第３の部分から直線状に延びる第２の直線部と、前記第１及び第２の直線部の間で前記一対の振動腕の方向に屈曲する屈曲部と、を含み、
前記導電性接着剤は、前記第２の直線部及び前記屈曲部を避けて前記第１の直線部と前記パッケージを接合し、前記第２の直線部及び前記屈曲部を前記パッケージから浮いた状態に保持する音叉型圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動子に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基部及び基部から延びる一対の振動腕を備え、基部にはさらに支持腕が延びる構造の音叉型圧電振動片が開示されている。支持腕の一部はパッケージに固定されて、基部及び一対の振動腕がパッケージから浮いた状態になる。この構造では、パッケージに加えられた衝撃は、固定部分を介して支持腕に伝えられるので、支持腕に耐衝撃性が要求されている。しかし、支持腕の剛性を高めると他の部分に破損が生じる。例えば、特許文献１には、振動腕の振動がパッケージに伝達されること（振動漏れ）を防止するために、基部に切り込みを形成することが開示されているが、これをウエットエッチングで形成すると材料の結晶方位に起因して切り込みの内面が山形形状になって応力が集中するので破損が生じやすかった。したがって、衝撃を吸収することができる支持腕の構造が望まれている。
【特許文献１】特開２００７−１３３９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、衝撃を吸収することができる音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
（１）本発明に係る音叉型圧電振動片は、
基部と、
前記基部から第１の方向に延びる一対の振動腕と、
前記基部に別々に接続する一対の支持腕と、
前記一対の振動腕、前記基部及び前記一対の支持腕に形成された電極と、
を有し、
それぞれの前記支持腕は、前記第１の方向とは反対の第２の方向に突出するように前記基部から延びる第１の部分と、前記第１の方向に向けて、前記基部よりも前記第２の方向に突出した位置から先端まで延びる第２の部分と、前記第１及び第２の部分を接続する第３の部分と、を含み、
前記基部は、一方の前記支持腕の前記第２の部分と、他方の前記支持腕の前記第２の部分とで挟まれる位置にあり、
前記第３の部分は、前記第１の方向を向く第１の外縁と、前記支持腕のなかで最も前記第２の方向に突出する第２の外縁と、を含み、
前記第２の方向に沿った前記基部から前記第２の外縁までの距離は、前記第２の方向に沿った前記第１及び第２の外縁の間隔よりも大きい。本発明によれば、支持腕が、振動腕が延びる第１の方向とは反対の第２の方向に延びる第１の部分を有し、さらに、振動腕の隣の第２の部分が第２の方向に基部の隣を超える位置まで延びるので、基部から横に延びて振動腕と同じ方向に屈曲する構造の支持腕よりも高い衝撃吸収性能を有する。
（２）音叉型圧電振動片において、
前記第１の部分は、前記第２の方向に沿って延びていてもよい。
（３）音叉型圧電振動片において、
前記第１、２及び３の部分は、接続されてコ字状又はＵ字状をなしてもよい。
（４）音叉型圧電振動片において、
前記第１の部分は、前記第２の方向に対して斜めに延びていてもよい。
（５）音叉型圧電振動片において、
前記第１の部分の延びる方向と前記第２の部分の延びる方向とのなす角度であって、前記第１の外縁を内側に配置する内角は、鋭角であってもよい。
（６）音叉型圧電振動片において、
前記第２の部分は、前記先端から直線状に延びる第１の直線部と、前記第３の部分から直線状に延びる第２の直線部と、前記第１及び第２の直線部の間で前記一対の振動腕の方向に屈曲する屈曲部と、を含んでもよい。
（７）本発明に係る音叉型圧電振動子は、
音叉型圧電振動片であって、前記電極は、前記支持腕に形成された接続電極を含む音叉型圧電振動片と、
前記音叉型圧電振動片を内部に収容するパッケージであって、前記内部に固定電極を有するパッケージと、
前記支持腕で前記音叉型圧電振動片及び前記パッケージを機械的に接合し、前記接続電極及び前記固定電極を電気的に接続する導電性接着剤と、
を含む。
（８）音叉型圧電振動子において、
前記第２の部分は、前記先端から直線状に延びる第１の直線部と、前記第３の部分から直線状に延びる第２の直線部と、前記第１及び第２の直線部の間で前記一対の振動腕の方向に屈曲する屈曲部と、を含み、
前記導電性接着剤は、前記第２の直線部及び前記屈曲部を避けて前記第１の直線部と前記パッケージを接合し、前記第２の直線部及び前記屈曲部を前記パッケージから浮いた状態に保持してもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る音叉型圧電振動片を示す平面図である。図２は、図１に示す音叉型圧電振動片のII−II線断面拡大図である。なお、図１に示す音叉型圧電振動片の底面図は平面図と対称に表れる。
【０００６】
音叉型圧電振動片１０は、相互に反対を向いて厚みを定義する表裏面を有しており、水晶からなる。音叉型圧電振動片１０は、基部１２と、基部１２から第１の方向に延びる一対の振動腕１４と、を含む。
【０００７】
振動腕１４は、相互に反対を向いて厚みを定義する表裏面と、表裏面を両側で接続する側面を有する。一対の振動腕１４は、側面同士が対向するように並列している。図２に示すように、一方の側面（Ｘ軸の＋方向を向く面）は、表裏面の間隔によって定義される振動腕１４の厚みの中央方向に高くなる山型となるように形成されている。振動腕１４には、表裏面に、それぞれ、長手方向に延びる溝１６が形成されている。溝１６によって振動腕１４が動きやすくなって効率的に振動するのでＣＩ値を下げることができる。
【０００８】
音叉型圧電振動片１０は、一対の支持腕１８を含む。一対の支持腕１８は基部１２に別々に接続している。支持腕１８は、振動腕１４が延びる第１の方向とは反対の第２の方向に突出するように（第２の方向に沿って）基部１２から延びる第１の部分２０を有する。支持腕１８は、先端を第１の方向に向けて一対の振動腕１４の隣で先端から第２の方向に基部１２の隣を超える位置まで延びる第２の部分２２を有する。第２の部分２２は、先端から直線状に延びる第１の直線部２６と、第３の部分２４から直線状に延びる第２の直線部２８と、第１及び第２の直線部２６，２８の間で一対の振動腕１４の方向に屈曲する屈曲部３０と、を含む。基部１２は、一方の支持腕１８の第２の部分２２と、もう一方の支持腕１８の第２の部分とで挟まれる位置にある。
【０００９】
支持腕１８は、基部１２から第２の方向にずれた位置で第１及び第２の部分２０，２２を接続する第３の部分２４を有する。第３の部分２４は、第１の方向を向く第１の外縁３２と、支持腕１８のなかで最も第２の方向に突出する第２の外縁３４と、を含む。第２の方向に沿った基部１２から第２の外縁３４までの距離ｂは、第２の方向に沿った第１及び第２の外縁３２，３４の間隔ａよりも大きい。
【００１０】
第１、２及び３の部分２０，２２，２４は、接続されて、折り返すようにコ字状になっているので、屈曲部３０（応力集中しやすい部位）が２箇所ある。変形例として、第１、２及び３の部分２０，２２，２４は、コ字状の代わりにＵ字状に接続してもよい。また、屈曲部３０と振動腕１４との間の距離を短くしても良い。そのようにすれば、Ｘ軸方向に衝撃が加わった際に、屈曲部３０が振動腕１４を受け止めて、変位量を抑制することができ、振動腕１４の折れを防止することができる。
【００１１】
本実施の形態によれば、支持腕１８が、振動腕１４が延びる第１の方向とは反対の第２の方向に延びる第１の部分２０を有し、さらに、振動腕１４の隣の第２の部分２２が第２の方向に基部１２の隣を超える位置まで延びるので、基部１２から横に延びて振動腕１４と同じ方向に屈曲する構造の支持腕１８よりも高い衝撃吸収性能を有する。
【００１２】
一対の振動腕１４、基部１２及び一対の支持腕１８には電極が形成されている。振動腕１４には励振電極３６が形成されている。励振電極３６は、振動腕１４の側面及び溝の内面にそれぞれ分離されて形成されている（図２参照）。１つの振動腕の相互に反対を向く側面に形成された励振電極３６は、振動腕１４の先端部上で電気的に接続され、溝１６の内面に形成された励振電極３６は基部１２の側面上及び支持腕１８の側面上で電気的に接続されている。一方の振動腕１４の側面にある励振電極３６と他方の振動腕１４の溝１６の内面にある励振電極３６とは基部１２上で電気的に接続されて第１のパターンを構成し、一方の振動腕１４の溝１６の内面にある励振電極３６と他方の振動腕１４の側面にある励振電極３６とは基部１２上で電気的に接続されて第２のパターンを構成している。
【００１３】
なお、振動腕１４上で側面に形成された励振電極３６を電気的に接続する電極膜は、振動腕１４の錘の役割を果たしており、その一部を除去することで錘の重さを調整することができる。振動腕１４の先端部の重さが重いほど振動腕１４の振動周波数が低くなり、軽いほど振動腕１４の振動周波数が高くなる。これを利用して周波数調整を行うことができる。そこで、電極膜には、第１及び第２の電極膜除去部３８，４０が形成されている。第１及び第２の電極膜除去部３８，４０から振動腕１４の表面が露出している。
【００１４】
音叉型圧電振動片１０には接続電極４２が形成されている。接続電極４２は、支持腕１８に形成されており、支持腕１８の表面に少なくとも形成され、支持腕１８の側面にも形成されている。接続電極４２は励振電極３６と電気的に接続されている。詳しくは、一方の支持腕１８に形成された接続電極４２は上述した第１のパターンの一部をなす励振電極３６と電気的に接続され、他方の支持腕１８に形成された接続電極４２は上述した第２のパターンの一部をなす励振電極３６と電気的に接続されている。
【００１５】
少なくとも接続電極４２は、Ａｕからなる表面を有し、例えば、１００Å以上３００Å以下の厚みを有する下地のＣｒ膜と、Ｃｒ膜上に形成された２００Å以上５００Å以下の厚みを有するＡｕ膜と、を含む多層構造であってもよい。Ｃｒ膜は水晶との密着性が高く、Ａｕ膜は電気抵抗が低く酸化し難い。
【００１６】
本実施の形態では、溝１６の内面に形成された励振電極３６と側面に形成された励振電極３６との間に電圧を印加する。印加電圧によって、図２に矢印で示すように電界が発生する。励振電極３６は、クロス配線によって交流電源に接続され、駆動電圧としての交番電圧が印加されるようになっている。これにより、振動腕１４は、互いに逆相振動となるように（振動腕１４の先端側が互いに接近・離間するように）励振されて屈曲振動する。また、基本モードで振動するように、駆動電圧としての交番電圧が調整されている。
【００１７】
図３は、本発明の第１の実施の形態に係る音叉型圧電振動子の断面図であり、図４は、図３に示す音叉型圧電振動子の平面図であり、図５は、図３に示す音叉型圧電振動子の底面図である。
【００１８】
音叉型圧電振動子は、音叉型圧電振動片１０を内部に収容するパッケージ４４を有する。パッケージ４４は、音叉型圧電振動片１０が固定される底部４６と、底部４６を囲む枠壁部４８と、を含む。底部４６には、真空引きを行うための通気孔４９が形成され、通気孔４９は、ロウ材（ＡｕＧｅ等）からなるシール部５０で塞がれている。
【００１９】
パッケージ４４（底部４６）の内面には固定電極５２が形成されている。固定電極５２は、Ａｕからなる表面を有する。パッケージ４４（底部４６）の外面には外部端子５４が形成されている。固定電極５２と外部端子５４は図示しない配線で電気的に接続されている。なお、音叉型圧電振動片１０は２つの支持腕１８を有し、パッケージ４４には２つの外部端子５４が形成され、一方の支持腕１８上の接続電極４２が一方の外部端子５４に電気的に接続され、他方の支持腕１８上の接続電極４２が他方の外部端子５４に電気的に接続されている。外部端子５４は、ハンダなどによって回路基板の配線パターン（図示せず）に実装される。
【００２０】
パッケージ４４（底部４６）に音叉型圧電振動片１０が固定されている。音叉型圧電振動片１０は、振動腕１４が基部１２から枠壁部４８に向かって延びるように固定されている。支持腕１８が底部４６に固定されて、振動腕１４がパッケージ４４から浮いた状態になっている。底部４６は、振動腕１４の先端部と対向する領域が低くなっており、振動腕１４が曲がっても底部４６に接触し難いようになっている。
【００２１】
パッケージ４４と音叉型圧電振動片１０の固定は導電性接着剤５６によって図られる。導電性接着剤５６は、第２の直線部２８及び屈曲部３０を避けて、第１の直線部２６とパッケージ４４を接合し、第２の直線部２８及び屈曲部３０をパッケージ４４から浮いた状態に保持している。導電性接着剤５６は、接続電極４２と固定電極５２を電気的及び機械的に接合する。本実施の形態では、導電性接着剤５６によって接続電極４２と固定電極５２のみを接合し、音叉型圧電振動片１０の材料（水晶）とパッケージ４４の材料（セラミックス）は接合しないが、変形例としてはこれらを接合してもよい。
【００２２】
パッケージ４４は、その全体を金属で形成してもよいが、主としてセラミックス等の非金属で形成する場合には、枠壁部４８の上端面はメタライズされている。枠壁部４８の非金属部上に、Ｍｏ（又はＷ）膜、Ｎｉ膜及びＡｕ膜が順に積層されて、上端面はＡｕからなる。上端面は、底部４６の上方を囲む形状をなしている。上端面には、例えばＡｇを含む合金からなるロウ材層を介して、リング５８が固定されている。リング５８は、上端面とオーバーラップして、底部４６の上方を切れ目なく囲む。リング５８は、シーム溶接用のものであり、例えばコバールから構成される層を有する。リング５８には、蓋６０が固定されている。
【００２３】
蓋６０は、音叉型圧電振動片１０が固定されるパッケージ４４とオーバーラップしてパッケージ４４の開口を塞ぐ。蓋６０は、表面及び裏面を貫通する貫通穴６２を有する。貫通穴６２は、円形の開口形状をなしている。蓋６０は、ガラス又は樹脂などの材料からなる光透過性部材６４を含む。光透過性部材６４は、貫通穴６２の内面に密着してなる。
【００２４】
上述した音叉型圧電振動子を使用して、発振器又はセンサを構成することができる。音叉型圧電振動子を含む発振回路で発振器を構成すると、周波数精度の高い交流信号を得ることができる。また、音叉型圧電振動子を使用したセンサは、物理量に応じて音叉型圧電振動片１０の周波数が変動することを利用してその物理量を検出するセンサである。例えば、温度、加速度によって発生する応力、角速度によって発生するコリオリ力などを検出するセンサが例に挙げられる。
【００２５】
次に、本発明の実施の形態に係る音叉型圧電振動子の製造方法を説明する。音叉型圧電振動子の製造方法は、音叉型圧電振動片１０の形成を含む。音叉型圧電振動片１０を水晶から構成する場合、水晶ウエハは、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸からなる直交座標系において、Ｚ軸を中心に時計回りに０度ないし５度の範囲で回転して切り出した水晶Ｚ板であって所定の厚みに切断研磨して得られるものを用いる。１つの水晶ウエハから複数の音叉型圧電振動片１０を連結された状態で切り出し、最終的に個々の音叉型圧電振動片１０に切断する。音叉型圧電振動片１０には、励振電極３６及び接続電極４２を含む電極膜を形成する。
【００２６】
電極膜の一部を除去して第１の電極膜除去部３８を形成する工程は、音叉型圧電振動片１０をパッケージ４４に固定する工程前に行う。つまり、音叉型圧電振動子に組み込む前（水晶ウエハから連結された状態で切り出された複数の音叉型圧電振動片１０を個々に切断する前であっても後でもよい。）に、第１の電極膜除去部３８を形成することで周波数調整を行う。電極膜の一部の除去は、レーザービームによって行う。第１の電極膜除去部３８は、第２の電極膜除去部４０よりも振動腕１４の先端に近いので、振動腕１４を振動しやすくする（周波数を上げる）効果が大きい。第１の電極膜除去部３８の形成による周波数調整プロセスは、おおまかな調整を目的としたもので粗調整ということができる。音叉型圧電振動片１０をパッケージ４４に取り付ける前に既に周波数調整を行っているため、次に行う第２の電極膜除去部４０の形成による電極膜の除去量を少なくすることができる。
【００２７】
音叉型圧電振動子の製造方法では、パッケージ４４を用意する。なお、パッケージ４４の枠壁部４８には、ロウ接合によってリング５８を固定しておく。そして、音叉型圧電振動片１０を底部４６に固定する。その固定には導電性接着剤５６を使用する。その他の詳細は、上述した音叉型圧電振動子の構造の説明から自明な内容が該当する。
【００２８】
音叉型圧電振動子の製造方法は、光透過性部材６４の下面が電極膜と対向するように蓋６０を配置し、枠壁部４８及び蓋６０を接合することを含む。接合は、シーム溶接によって行う。こうして、パッケージ４４の開口を蓋６０によって塞ぐ。シーム接合によって蓋６０を接合するので、局所的な加熱を行うが全体的な加熱はしない。そのため、熱によって音叉型圧電振動片１０に生じる歪みが少ないので、周波数調整のための第２の電極膜除去部４０の形成による電極膜の除去は少ない量の除去で足り、ガスの発生が少ない。なお、シーム接合を行うときに光透過性部材６４の歪みを抑えるため、光透過性部材６４の位置を、シーム接合を行う部分から離してある。
【００２９】
パッケージ４４の開口を蓋６０によって塞いだ後に、パッケージ４４に形成された通気孔４９を介して、蓋６０によって塞がれたパッケージ４４内を真空にし、その後、ロウ材で通気孔４９を塞ぐ。
【００３０】
音叉型圧電振動子の製造方法は、第２の電極膜除去部４０を形成する工程をさらに含む。この工程は、パッケージ４４の開口を蓋６０によって塞いだ後（例えばさらに真空引き工程後）に行う。この工程は、光透過性部材６４を通して、電極膜に対してレーザービームを照射して行う。第２の電極膜除去部４０は、第１の電極膜除去部３８よりも振動腕１４の先端から離れているので、振動腕１４を振動しやすくする（周波数を上げる）効果は小さいが、このことから逆に微調整が可能であると言える。
【００３１】
本実施の形態に係る音叉型圧電振動子の製造方法は、上記プロセスを含み、上述した音叉型圧電振動子の構成から自明の製造プロセスをさらに含む。
【００３２】
（第２の実施の形態）
図６は、本発明の第２の実施の形態に係る音叉型圧電振動片を示す平面図である。本実施の形態では、支持腕１１８の第１の部分１２０は、第２の方向に対して斜めに延びているが、第２の方向に突出している点では第１の実施の形態と同じである。また、支持腕１１８の第２の部分１２２は先端から第２の方向に延びる。支持腕１１８は、基部１１２から第２の方向にずれた位置で第１及び第２の部分１２０，１２２を接続する第３の部分１２４を有する。第１の部分１２０の延びる方向と第２の部分１２２の延びる方向とのなす角度α（第１の外縁１３２を内側に配置する内角）は鋭角である。支持腕１１８の第２の部分１２２は、屈曲部１３０を有し、屈曲部１３０の第１又は第２の直線部１２６，１２８とのなす角度は、第１の実施の形態よりも大きくなっている。本実施の形態のその他の内容は、第１の実施の形態の内容が該当する。
【００３３】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態に係る音叉型圧電振動片を示す平面図である。
【図２】図２は、図１に示す音叉型圧電振動片のII−II線断面拡大図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施の形態に係る音叉型圧電振動子の断面図である。
【図４】図４は、図３に示す音叉型圧電振動子の平面図である。
【図５】図５は、図３に示す音叉型圧電振動子の底面図である。
【図６】図６は、本発明の第２の実施の形態に係る音叉型圧電振動片を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０…音叉型圧電振動片、  １２…基部、  １４…振動腕、  １６…溝、  １８…支持腕、  ２０…第１の部分、  ２２…第２の部分、  ２４…第３の部分、  ２６…第１の直線部、  ２８…第２の直線部、  ３０…屈曲部、  ３２…第１の外縁、  ３４…第２の外縁、  ３６…励振電極、  ３８…第１の電極膜除去部、  ４０…第２の電極膜除去部、  ４２…接続電極、  ４４…パッケージ、  ４６…底部、  ４８…枠壁部、  ４９…通気孔、  ５０…シール部、  ５２…固定電極、  ５４…外部端子、  ５６…導電性接着剤、  ５８…リング、  ６０…蓋、  ６２…貫通穴、  ６４…光透過性部材、  １１２…基部、  １１８…支持腕、  １２０…第１の部分、  １２２…第２の部分、  １２４…第３の部分、  １２６…第１の直線部、  １２８…第２の直線部、  １３０…屈曲部、１３２…第１の外縁
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図１】
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【図６】
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