(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続光を供給する光源と、
相互に異なるタイミングを有する複数のクロック光信号を供給するクロック源と、
外部から立ち上がりクロック選択信号を受けて、前記複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち上がりタイミング光信号として出力する立ち上がりクロック選択部と、
外部から立ち下がりクロック選択信号を受けて、前記複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち下がりタイミング光信号として出力する立ち下がりクロック選択部と、
前記連続光および前記立ち上がりタイミング光信号を受けて、当該立ち上がりタイミング光信号のタイミングで立ち上がる立ち上がり光信号を出力する立ち上がり信号出力部と、
前記連続光および前記立ち下がりタイミング光信号を受けて、当該立ち下がりタイミング光信号のタイミングで立ち上げる立ち下がり光信号を出力する立ち下がり信号出力部と、
前記立ち上がり光信号および前記立ち下がり光信号を合波して、前記立ち上がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち上がり、前記立ち下がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち下がる光試験信号を出力する光試験信号出力部と
を備える光試験信号発生装置。
【請求項２】
前記クロック光信号は、パルスの繰り返し周波数を安定化されたパルス光源により発生される請求項１に記載の光試験信号発生装置。
【請求項３】
前記パルス光源は、モードロックレーザ、モードロックファイバレーザおよび利得スイッチレーザのうちのいずれかを含む請求項２に記載の光試験信号発生装置。
【請求項４】
前記立ち上がり信号出力部および前記立ち下がり信号出力部の少なくとも一方は、前記連続光と、前記立ち上がりタイミング光信号または前記立ち下がりタイミング光信号とを入力され、前記立ち上がり光信号を出力する半導体光増幅器を含む請求項１に記載の光試験信号発生装置。
【請求項５】
前記立ち上がりクロック選択部および前記立ち下がりクロック選択部の少なくとも一方は、前記クロック光信号を個別に入力され、前記立ち上がりクロック選択信号または前記立ち下がりクロック選択信号によりひとつが投入される複数の光スイッチと、前記複数の光スイッチの出力を受けてひとつの光導波路に結合する光合波器とを含む請求項１に記載の光試験信号発生装置。
【請求項６】
前記クロック源は、前記クロック光信号の各々を分岐させて前記立ち上がりクロック選択部および前記立ち下がりクロック選択部に供給する光分岐器を備える請求項１に記載の光試験信号発生装置。
【請求項７】
前記光試験信号出力部は、前記立ち下がり光信号が前記立ち上がり光信号を打ち消すように、前記立ち上がり光信号および前記立ち下がり光信号の位相を相互にずらして合波する光合波器を含む請求項１に記載の光試験信号発生装置。
【請求項８】
連続光を供給する光源と、
相互に異なるタイミングを有する複数のクロック光信号を供給するクロック源と、
外部からの指示に応じて、前記複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち上がりタイミング光信号として出力する立ち上がりクロック選択部と、
外部からの指示に応じて、前記複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち下がりタイミング光信号として出力する立ち下がりクロック選択部と、
前記連続光および前記立ち上がりタイミング光信号を受けて、当該立ち上がりタイミング光信号のタイミングで立ち上がる立ち上がり光信号を出力する立ち上がり信号出力部と、
前記連続光および前記立ち下がりタイミング光信号を受けて、当該立ち下がりタイミング光信号のタイミングで立ち上げる立ち下がり光信号を出力する立ち下がり信号出力部と、
前記立ち上がり光信号および前記立ち下がり光信号を合波して、前記立ち上がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち上がり、前記立ち下がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち下がる光試験信号を出力する光試験信号出力部と
を有する光試験信号発生装置を備え、前記光試験信号により被試験デバイスを試験する試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光試験信号発生装置および試験装置に関する。より詳細には、光信号を処理する機能を有する被試験デバイスを試験する場合に用いられる光試験信号を発生する光試験信号発生装置と、それを備えた試験装置とに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路等の被試験デバイスに試験信号を処理させてその機能および性能を評価する試験装置がある。被試験デバイスの多くは電気信号を取り扱う半導体回路等であるが、近年は、光信号を処理するデバイスも試験の対象となりつつある。
【０００３】
下記の特許文献１には、テスト用光信号発生器が発生したテスト用光信号を、光ファイバを通じてテストヘッドに供給することが記載される。これにより、テストヘッドに対する接続が簡潔になると共に、劣化の少ない試験信号を伝送できる。ただし、特許文献１に記載された装置では、試験対象となる被試験デバイスに入力される試験信号は、テストヘッドにおいて光信号から電気信号に変換される。
【０００４】
また、下記の特許文献２には、２つの強度変調光信号を合成することにより、安定な試験用光信号を発生する光信号発生装置が記載される。これにより、光信号を処理する被試験デバイスにおけるジッタ耐性を評価できる。
【特許文献１】特開２０００−２４９７４６号公報
【特許文献２】特開２００６−０４１６８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような高速デバイス用ＩＣ試験装置または光試験用信号発生装置において用いられる光試験信号は、電気信号として生成された試験信号を電気光変換して発生される。しかしながら、試験信号においては波形の種類、パルス幅等が激しく変化するので、電気光変換素子固有の特性に起因するパターン依存性ジッタが生じてタイミング精度が低下する。また、光変調器を用いて光試験信号を発生させた場合は、帯域の制限により確定的なジッタが発生する。そこで、電気光変換素子または光変調器の特性に依存することなく、高精度な光試験信号を発生する光試験信号発生装置が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決すべく、本発明の第１の形態として、連続光を供給する光源と、相互に異なるタイミングを有する複数のクロック光信号を供給するクロック源と、外部から立ち上がりクロック選択信号を受けて、複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち上がりタイミング光信号として出力する立ち上がりクロック選択部と、外部から立ち下がりクロック選択信号を受けて、複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち下がりタイミング光信号として出力する立ち下がりクロック選択部と、連続光および立ち上がりタイミング光信号を受けて、当該立ち上がりタイミング光信号のタイミングで立ち上がる立ち上がり光信号を出力する立ち上がり信号出力部と、連続光および立ち下がりタイミング光信号を受けて、当該立ち下がりタイミング光信号のタイミングで立ち上げる立ち下がり光信号を出力する立ち下がり信号出力部と、立ち上がり光信号および立ち下がり光信号を合波して、立ち上がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち上がり、立ち下がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち下がる光試験信号を出力する光試験信号出力部とを備える光試験信号発生装置が提供される。
【０００７】
また、本発明の第２の形態として、連続光を供給する光源と、相互に異なるタイミングを有する複数のクロック光信号を供給するクロック源と、外部からの指示に応じて、複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち上がりタイミング光信号として出力する立ち上がりクロック選択部と、外部からの指示に応じて、複数のクロック光信号のうちのひとつを立ち下がりタイミング光信号として出力する立ち下がりクロック選択部と、連続光および立ち上がりタイミング光信号を受けて、当該立ち上がりタイミング光信号のタイミングで立ち上がる立ち上がり光信号を出力する立ち上がり信号出力部と、連続光および立ち下がりタイミング光信号を受けて、当該立ち下がりタイミング光信号のタイミングで立ち上げる立ち下がり光信号を出力する立ち下がり信号出力部と、立ち上がり光信号および立ち下がり光信号を合波して、立ち上がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち上がり、立ち下がりタイミング光信号の立ち上がりタイミングで立ち下がる光試験信号を出力する光試験信号出力部とを有する光試験信号発生装置を備える半導体試験装置が提供される。
【０００８】
なお、上記の概要は、発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。従って、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた発明となり得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが課題の解決に必須であるとは限らない。
【００１０】
図１は、試験装置１００全体の構造を模式的に示す図である。同図に示すように、試験装置１００は、ハンドラ１１０、テストヘッド１３０およびホスト装置１５０を備える。
【００１１】
ハンドラ１１０は、試験の対象となる被試験デバイス１２０を物理的に操作する機能を有する。これにより、多数の被試験デバイスから、試験装置１００が処理できる数の被試験デバイスを順次供給して試験に供する作業を自動化する。また、試験後に、試験結果に応じて被試験デバイス１２０を分別して収納する機能を設ける場合もある。
【００１２】
テストヘッド１３０は、被試験デバイス１２０の仕様に応じたインターフェイスとなるパフォーマンスボード１６０を備え、試験装置１００および被試験デバイス１２０の間の信号伝送路を形成する。また、テストヘッド１３０は、複数のピンエレクトロニクスボード２００（図２参照）を収容して、パフォーマンスボード１６０を介して被試験デバイス１２０に試験信号を供給する。なお、仕様の異なる被試験デバイス１２０を試験する場合は、パフォーマンスボード１６０を交換することにより同じテストヘッド１３０を用いることができる。また、ピンエレクトロニクスボード２００を交換または追加することにより、既存のテストヘッド１３０の機能を変更または追加することができる。
【００１３】
ホスト装置１５０は、接続ケーブル１４０を介してハンドラ１１０およびテストヘッド１３０に接続される。これにより、試験装置１００全体の動作を制御すると共に、制御信号およびデータ信号をハンドラ１１０およびテストヘッド１３０に供給して、被試験デバイス１２０の試験を実行する。接続ケーブル１４０には、電気信号を伝送するメタルケーブルの他に、光信号を伝送する光ファイバケーブルが収容される場合もある。
【００１４】
図２は、試験装置１００におけるテストヘッド１３０の内部構造を模式的に示す図である。同図に示すように、テストヘッド１３０の上部にはパフォーマンスボード１６０が装着される。また、テストヘッド１３０の内部には、複数のピンエレクトロニクスボード２００が収容される。
【００１５】
パフォーマンスボード１６０は、被試験デバイス１２０を装着できるソケット１６２を上面に、パフォーマンスボード１６０自体をピンエレクトロニクスボード２００のいずれかに接続する場合に用いるコネクタ１６４を下面に、それぞれ備える。コネクタ１６４は、両端にコネクタを備えた集合ケーブル１６８により、ピンエレクトロニクスボード２００のコネクタ２０１に電気的に接続される。また、被試験デバイス１２０およびピンエレクトロニクスボード２００は、光ファイバケーブル１６６を介して、相互に光信号を入出力することもできる。
【００１６】
このテストヘッド１３０に装着されたピンエレクトロニクスボード２００は、光試験信号を発生して被試験デバイス１２０に送り出す光ドライバ部３００と、被試験デバイス１２０が試験動作により処理した後に出力した光試験信号を受信して被試験デバイス１２０の動作を評価する光コンパレータ部４００とを備える。また、光ドライバ部３００および光コンパレータ部４００を含むピンエレクトロニクスボード２００全体の動作の基準となるタイミングを発生するタイミング発生器２１０も備える。
【００１７】
光ドライバ部３００は、クロック光信号源３１０、プログラム発生器３２０および光試験信号発生器５００を備える。クロック光信号源３１０は、タイミング発生器２１０から供給されるタイミング信号に従って一定の繰り返し周波数を有するパルス信号であるクロック光信号を発生する。プログラム発生器３２０は、パフォーマンスボード１６０に実装された被試験デバイス１２０において実行される試験内容に従って、後述する光試験信号発生器５００に光試験信号を発生させるプログラムを装備する。光試験信号発生器５００において発生された光試験信号は、光ファイバケーブル１６６を介して被試験デバイス１２０に送り出される。
【００１８】
一方、光コンパレータ部４００は、光電気変換部４１０、データ分離部４２０およびデータ比較部４３０を備える。光電気変換部４１０は、被試験デバイス１２０から受信した光信号を電気信号に変換する。データ分離部４２０は、電気信号に変換された受信信号から有意なデータ列を抽出する。更に、データ比較部４３０は、試験に供されたデータと抽出されたデータとを比較する。これにより、パフォーマンスボード１６０に実装された被試験デバイス１２０の機能、性能、特性等が評価される。
【００１９】
ここで、光試験信号発生器５００は、光信号駆動部５１０、光源５２０および光試験信号出力部５３０を備え、光信号の処理により光試験信号を発生する。即ち、光信号駆動部５１０は、図３を参照して後述するように、プログラム発生器３２０からの指示に基づいて、光試験信号の立ち上がりタイミング信号および立ち下がりタイミング信号を光試験信号出力部５３０に出力する。光源５２０は、連続光を発生して光試験信号出力部５３０に供給する。光試験信号出力部５３０は、連続光と立ち上がりタイミング信号および立ち下がりタイミング信号とを入力されて、立ち上がりタイミング信号のタイミングで立ち上がり、立ち下がりタイミング信号のタイミングで立ち下がる光試験信号を、被試験デバイス１２０に向かって出力する。
【００２０】
なお、光試験信号発生器５００においては、プログラム発生器３２０から光信号駆動部５１０に供給される信号を除いて、全て光信号により処理が実行される。この点も含めて、図３を参照しつつ、光試験信号発生器５００の詳細な構造とその各部の機能について以下に説明する。
【００２１】
図３は、被試験デバイス１２０に供給される光試験信号を発生する光試験信号発生器５００の内部構造を示す図である。同図に示すように、光試験信号発生器５００における光信号駆動部５１０には、光源５２０の発生した連続光と、クロック信号源２２０が発生した複数のクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣと、プログラム発生器３２０が発生した立ち上がりクロック選択信号および立ち下がりクロック選択信号とが入力される。
【００２２】
ここで、クロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣは、同じ周波数にロックされてはいるが、相互に位相が異なる。このようなクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣは、例えば、図２に示すクロック光信号源から供給された単一のクロック光信号を、遅延線等により相互にタイミングを変えることにより発生できる。
【００２３】
光信号駆動部５１０は、光分岐器群３２２、光スイッチ群３２４、３２５および光合波器群３２６を備える。光分岐器群３２２は、３つの光分岐器Ｃ１１、Ｃ１２、Ｃ１３を含み、クロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣの各々をそれぞれ２つに分岐する。分岐されたクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣは、光スイッチ群３２４、３２５にそれぞれ入力される。
【００２４】
このように、光試験信号発生装置において、クロック光信号源は、クロック光信号の各々を分岐させて立ち上がりクロック選択部および立ち下がりクロック選択部に供給する光分岐器を備えていてもよい。これにより、クロック源が発生する一定数のクロック光信号を、立ち上がりクロック選択部および立ち下がりクロック選択部の双方で利用できる。
【００２５】
なお、クロック光信号は、モードロックレーザ、モードロックファイバレーザ、利得スイッチレーザ等のパルスの繰り返し周波数が安定化されたパルス光源を用いて発生することが好ましい。このような低ジッタの高純度パルスに基づいて後述するように光試験信号を発生させることにより、光試験信号のタイミング精度を高くすることができる。
【００２６】
また、クロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣは、モードロックされた個別のパルス光源により発生した複数のパルス光を発生させた後に、同期制御により互いに同期させる方法でも発生できる。このような構造では、クロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣの波長を相互に相違させることもできる。波長差は、光合波器ＡＷＧ１、ＡＷＧ２の設計仕様に応じて決定される。
【００２７】
更に、クロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣが互いに同じ波長の光信号でも差し支えない場合は、単一の光クロックを分岐させたのち、相互に異なる遅延量で遅延させることにより発生させることもできる。分岐により低下した光信号強度は、光増幅器等により補うことができる。
【００２８】
光スイッチ群３２４は、この実施形態では３個の光スイッチＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３を含む。光スイッチＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３の各々は、分岐されたクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣの分岐光のひとつを個別に受ける。光スイッチ群３２５は、３個の光スイッチＳ２１、Ｓ２２、Ｓ２３を含む。光スイッチＳ２１、Ｓ２２、Ｓ２３の各々は、分岐されたクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣの分岐光の他方のひとつを個別に受ける。
【００２９】
また、光スイッチ群３２４に含まれる３つの光スイッチＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３の各々は、プログラム発生器３２０から供給される立ち上がりクロック選択信号Ａ、Ｂ、Ｃを個別に受ける。立ち上がりクロック選択信号Ａ、Ｂ、Ｃは、そのいずれかひとつが選択的に有効になる。また、有効な立ち上がりクロック選択信号Ａ、Ｂ、Ｃを入力された光スイッチＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３のひとつが、クロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣのひとつを出力して、他のクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣは遮断される。
【００３０】
同様に、光スイッチ群３２５に含まれる３つの光スイッチＳ２１、Ｓ２２、Ｓ２３の各々は、プログラム発生器３２０から供給される立ち下がりクロック選択信号ａ、ｂ、ｃを個別に受ける。立ち下がりクロック選択信号ａ、ｂ、ｃは、そのいずれかひとつが選択的に有効になる。有効な立ち下がりクロック選択信号ａ、ｂ、ｃを入力された光スイッチＳ２１、Ｓ２２、Ｓ２３のひとつがクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣのひとつを出力して、他のクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣは遮断される。
【００３１】
光合波器群３２６は、一対の光合波器ＡＷＧ１、ＡＷＧ２を含む。光合波器ＡＷＧ１は、光スイッチ群３２４に含まれる３つの光スイッチＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３の出力をひとつの光導波路に結合する。従って、光スイッチＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３のいずれが投入された場合でも、選択されたクロック信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣのひとつは一定の光導波路に出力される。同様に、光合波器ＡＷＧ２は、光スイッチ群３２５の光スイッチＳ２１、Ｓ２２、Ｓ２３の出力をひとつの光導波路に結合して、選択されたクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣのひとつが一定の光導波路に出力される。
【００３２】
上記のような構造を有する光信号駆動部５１０において、プログラム発生器３２０から立ち上がりクロック選択信号Ａ、Ｂ、Ｃのいずれかが入力されると、それに対応したひとつの光スイッチＳ１１、Ｓ１２、Ｓ１３から、クロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣのひとつが、光合波器ＡＷＧ１を介して立ち上がりタイミング信号として出力される。同様に、プログラム発生器３２０から立ち下がりクロック選択信号ａ、ｂ、ｃのいずれかが入力されると、それに対応したひとつの光スイッチＳ２１、Ｓ２２、Ｓ２３から、クロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣのひとつが、光合波器ＡＷＧ１を介して立ち下がりタイミング信号として出力される。
【００３３】
こうして、光信号駆動部５１０は、立ち上がりクロック選択信号Ａ、Ｂ、Ｃによりクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣを選択することにより、所望のタイミングを有する立ち上がりタイミング信号を出力させることができる。同様に、立ち下がりクロック選択信号ａ、ｂ、ｃによりクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣを選択することにより、所望のタイミングを有する立ち上がりタイミング信号を出力させることができる。
【００３４】
これにより、光信号を電気信号に変換することなく、光試験信号の立ち上がりタイミングおよび立ち下がりタイミングを、所望のタイミングで発生させることができる。なお、光源５２０の発光波長は、試験装置１００において試験の対象となる被試験デバイス１２０において取り扱われる波長１０ｎｍ〜２０ｎｍ程度の光信号の波長が選択される。
【００３５】
ここで、立ち上がりタイミング信号と立ち下がりタイミング信号との時間的な間隔は電気光変換素子等の動作速度に依存することがない。従って、クロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣのタイミングの相違を適切に設定することにより、立ち上がりタイミング信号および立ち下がりタイミング信号の間隔は、クロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣのパルス間隔よりも狭い場合を含む広い範囲で設定できる。
【００３６】
また、光スイッチＳ２１、Ｓ２２、Ｓ２３の動作はクロック信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣを選択することに過ぎない。従って、多くの試験装置に実装される低い動作クロック、例えば５ＧＨｚ程度の動作クロックの電子回路により制御することができる。
【００３７】
上記のような光信号駆動部５１０が出力する立ち上がりタイミング信号および立ち下がりタイミング信号を受ける光試験信号出力部５３０は、ひとつの光分岐器Ｃ２２と、一対の光合波器Ｃ２１、Ｃ２３と、一対の光増幅器ＳＯＡ１、ＳＯＡ２と、位相調節器Ｐ１と、もうひとつの光合波器Ｃ２４とを備える。光分岐器Ｃ２２は、光源５２０から供給される連続光を分岐させて、光合波器Ｃ２１、Ｃ２２に分配する。
【００３８】
一方の光合波器Ｃ２１は、光分岐器Ｃ２２の出力の一方と立ち上がりタイミング信号とを受けて合波した後、光増幅器ＳＯＡ１に入力する。他方の光合波器Ｃ２３は、光分岐器Ｃ２２の出力の一方と立ち下がりタイミング信号とを受けて合波した後、光増幅器ＳＯＡ２に入力する。更に、光増幅器ＳＯＡ１、ＳＯＡ２の出力は、位相調節器Ｐ１を介して光合波器Ｃ２４に入力されて合波された後、光試験信号として外部へ出力される。
【００３９】
ここで、位相調節器Ｐ１は、光合波器Ｃ２４において合波された場合に、光増幅器ＳＯＡ１、ＳＯＡ２の出力が相互に打ち消し合うように、光増幅器ＳＯＡ１、ＳＯＡ２の出力のうち少なくとも一方の位相を調節する。具体的には、例えば一方が他方に対して位相が１８０°ずれるように制御する。
【００４０】
なお、上記光信号発生装置において、光増幅器ＳＯＡ１、ＳＯＡ２は、例えばＧａＡｓ（ガリウム砒素）、ＩｎＰ（インジウム燐）などのＩＩＩ‐Ｖ族化合物半導体等により形成された半導体光増幅器である。この種の光増幅器はキャリアにより励起するので、一旦立ち上がった出力が減衰するまでに時間がかかる。従って、後述するように、立ち上がりエッジの急峻な出力が得られると共に、その出力が一定時間にわたって維持される。
【００４１】
図４は、図３に示した光試験信号発生器５００の動作を説明する波形図である。同図に示すように、プログラム発生器４００から供給される立ち上がりクロック選択信号に基づいて、光信号駆動部５１０の光スイッチ群３２４においてクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣのいずれかが選択され、光試験信号出力部５３０に立ち上がりタイミング信号として入力される。立ち上がりタイミング信号を入力された光増幅器ＳＯＡ１の出力は、急速に高レベルに遷移した後、ホールの緩和に従って徐々に低下する。
【００４２】
また、プログラム発生器４００から供給される立ち下がりクロック選択信号に基づいて、光信号駆動部５１０の光スイッチ群３２５においてクロック光信号ＣＬＫＡ、ＣＬＫＢ、ＣＬＫＣのいずれかが選択され、光試験信号出力部５３０に立ち下がりタイミング信号として入力される。立ち下がりタイミング信号を入力された光増幅器ＳＯＡ２の出力も、同様に、急峻に立ち上がり、徐々に立ち下がる波形で変化する。これら光増幅器ＳＯＡ１、ＳＯＡ２の出力波形は、光増幅器ＳＯＡ１のキャリアに依存することなく一定になる。
【００４３】
位相調節器Ｐ１は、光合波器Ｃ２４において合波された場合に、光増幅器ＳＯＡ１、ＳＯＡ２の出力が相互に打ち消し合うように位相を調節する。従って、光合波器Ｃ２４において、光増幅器ＳＯＡ１の出力と光増幅器ＳＯＡ２の出力とを合波すると、その差分として矩形の光試験信号が出力される。
【００４４】
このように、光試験信号出力部５３０は、いずれも光信号である立ち上がりタイミング信号および立ち下がりタイミング信号により動作する光フリップフロップとして機能して、立ち上がりタイミング信号のタイミングで急峻に立ち上がり、立ち下がりタイミング信号のタイミングで急峻に立ち下がる光試験信号を発生する。従って、立ち下がりおよび立ち下がりの双方において、タイミングジッタの少ない光試験信号を発生させることができる。
【００４５】
また、光試験信号の立ち上がりのタイミングおよび立ち下がりのタイミングを個別に選択することにより、比較的低速のクロック光信号および光スイッチ制御信号に基づいて高速な光試験信号を発生させることができる。これにより、電気光変換素子等の動作速度による制限を受けることなく、高速な光試験信号で試験を実施できる。
【００４６】
このように、光試験信号発生装置において、光試験信号出力部の出力する光試験信号は、低ジッタのパルス信号であるクロック信号により決定されたタイミングで立ち上がりまたは立ち下がるので、高いタイミング精度を有する。また、２０ＧＨｚ程度のクロック光信号から、４０ＧＨｚを越える成分を含む光試験信号を発生させることができる。
【００４７】
以上説明したように、この光試験信号発生器５００は、一貫して光信号による処理で光試験信号を発生するので、電子回路または電子素子の応答速度に律則されることなく高速な光試験信号を発生できる。また、被試験デバイスの直近において光試験信号を発生できるので、伝送による減衰が大きい高速な電気試験信号の信号源として利用することもできる。
【００４８】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加え得ることは当業者に明らかである。また、その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることは、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】ひとつの実施形態に係る試験装置１００の構造を示す模式図である。
【図２】テストヘッド１３０の構造を模式的に示す図である。
【図３】光試験信号発生器５００の全体の構造を示す図である。
【図４】光試験信号出力部５３０の動作を示す波形図である。
【符号の説明】
【００５０】
１００  試験装置、１１０  ハンドラ、１２０  被試験デバイス、１３０  テストヘッド、１４０  接続ケーブル、１５０  ホスト装置、１６０  パフォーマンスボード、１６２  ソケット、１６４、２０１  コネクタ、１６６  光ファイバケーブル、１６８  集合ケーブル、２００  ピンエレクトロニクスボード、２１０  タイミング発生器、３００  光ドライバ部、３１０  クロック光信号源、３２０  プログラム発生器、３２２  光分岐器群、３２４、３２５  光スイッチ群、３２６  光合波器群、４００  光コンパレータ部、４１０  光電気変換部、４２０  データ分離部、４３０  データ比較部、５００  光試験信号発生器、５１０  光信号駆動部、５２０  光源、５３０  光試験信号出力部
【図１】
0004948297.tif 000002
【図２】
0004948297.tif 000003
【図３】
0004948297.tif 000004
【図４】
0004948297.tif 000005