(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から液体が供給される流路、該流路と連通している複数の液体加圧室およびこれら複数の液体加圧室にそれぞれ連通した複数の液体吐出孔を有しており、前記複数の液体加圧室がマトリクス状に２次元的かつ規則的に配置された流路部材と、
該流路部材に積層されており、圧電セラミック体、該圧電セラミック体の内部に設けられている共通電極および前記圧電セラミック体の表面に前記複数の液体加圧室に対応してそれぞれ設けられている複数の駆動電極を有する複数の変位素子と、
該複数の変位素子上に積層されており、ドライバＩＣおよび該ドライバＩＣを前記複数の駆動電極にそれぞれ電気的に接続している複数の配線を有する接続基板と
を具備し、前記ドライバＩＣから前記駆動電極に印加される駆動電圧によって前記変位素子を変位させ、当該変位素子に対向する前記液体加圧室内の液体を加圧して前記液体吐出孔より液滴として吐出させる液体吐出ヘッドであって、前記接続基板の上面に、積層方向から見たときに前記複数の駆動電極に対応する領域を覆うように、面積が、前記複数の駆動電極に対応する領域より広く、該領域の１０４％以下の金属部材が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドに関し、特に、文字や画像の記録に用いるインクジェット式プリンタに搭載される液体吐出ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した記録装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成や液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ＥＬディスプレイの製造といった工業用途にも、広く利用されている。
【０００３】
このようなインクジェット方式の記録装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが、印刷ヘッドとして搭載されており、この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒーターを備え、ヒーターによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、インク滴として吐出させるサーマルヘッド方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を変位素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔よりインク滴として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。
【０００４】
圧電方式のインクジェットヘッドとして、平板状の圧電セラミックアクチュエータ上に設けられた、変位素子を駆動する電圧が印加される駆動電極と、電圧を印加するドライバＩＣ（Integrated Circuit）とをフレキシブル基板であるＣＯＦ（Chip On Film）で接続するもの知られている。（例えば特許文献１を参照。）。
【特許文献１】特開２００５−８８５７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の液体吐出ヘッドは、駆動電極を高密度に配置することができるという利点があるものの、変位素子を駆動する際に発熱するドライバＩＣからＣＯＦを通じて伝わる熱により、圧電セラミック体内の温度差が大きくなるという問題があった。
【０００６】
つまり、圧電セラミック体の中で、ＣＯＦを介してのドライバＩＣまでの距離が近い部分の温度が、ドライバＩＣから遠い部分の温度より高くなるってしまう。そして、圧電セラミック体の圧電特性は、一般的に温度依存性があるため、圧電セラミック体内の温度の差により、変位素子の変位量などに差が生じ、吐出される液体の量や速度などが変わってしまった。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、ドライバＩＣの発熱によって生じる圧電セラミック体の温度差を少なくできる液体吐出ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドは、外部から液体が供給される流路、該流路と連通している複数の液体加圧室およびこれら複数の液体加圧室にそれぞれ連通した複数の液体吐出孔を有しており、前記複数の液体加圧室がマトリクス状に２次元的かつ規則的に配置された流路部材と、該流路部材に積層されており、圧電セラミック体、該セラミック体の内部に設けられている共通電極および前記圧電セラミック体の表面に前記複数の液体加圧室に対応して設けられている複数の駆動電極を有する複数の変位素子と、該複数の変位素子上に積層されており、ドライバＩＣおよび該ドライバＩＣを前記複数の駆動電極にそれぞれ電気的に接続している複数の配線を有する接続基板を具備し、前記ドライバＩＣから前記駆動電極に印加される駆動電圧によって前記変位素子を変位させ、当該変位素子に対向する液体加圧室内の液体を加圧して前記液体吐出孔より液滴として吐出させる液体吐出ヘッドであって、前記接続基板の上面に、積層方向から見たときに前記複数の駆動電極に対応する領
域を覆うように、面積が、前記複数の駆動電極に対応する領域より広く、該領域の１０４％以下の金属部材が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の液体吐出ヘッドによれば、外部から液体が供給される流路、該流路と連通している複数の液体加圧室およびこれら複数の液体加圧室にそれぞれ連通した複数の液体吐出孔を有しており、前記複数の液体加圧室がマトリクス状に配置された流路部材と、該流路部材に積層されており、圧電セラミック体、該圧電セラミック体の内部に設けられている共通電極および前記圧電セラミック体の表面に前記複数の液体加圧室に対応してそれぞれ設けられている複数の駆動電極を有する複数の変位素子と、該複数の変位素子上に積層されおり、ドライバＩＣおよび該ドライバＩＣを前記複数の駆動電極にそれぞれ電気的に接続している複数の配線を有する接続基板とを具備し、前記ドライバＩＣから前記駆動電極に印加される駆動電圧によって前記変位素子を変位させ、当該変位素子に対向する液体加圧室内の液体を加圧して前記液体吐出孔より液滴として吐出させる液体吐出ヘッドであって、前記接続基板の上面に、積層方向から見たときに前記複数の駆動電極に対応する領域を覆うように、面積が、前記複数の駆動電極に対応する領域より広く、該領域の１０４％以下の金属部材を設けたことにより、前記ドライバＩＣから前記接続基板を介して伝わってきた熱が、熱伝導性の高い前記金属部材を伝わって前記複数の駆動電極に対応する領域を覆っている前記接続基板に伝わり、さらにその熱は圧電セラミック体に伝わる。この際、金属部材の熱伝導性が高いため、前記複数の駆動電極に対応する領域の前記圧電セラミック層内の温差が少なくなり、液体吐出孔から吐出される液体の量や速度に生じる差が少なくなる。
【００１１】
また、前記金属部材は、前記複数の駆動電極に対応する領域よりも広い面積を覆っている場合、温度の低くなる前記金属部材の端部が前記接続基板の前記複数の駆動電極に対応する領域から離れるため、前記圧電セラミック体の前記複数の駆動電極に対応する領域内の温度差をより少なくできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
図１（ａ）は、本実施形態にかかる液体吐出ヘッドの斜視図であり、図１（ｂ）は、その概略断面図である。図１（ｂ）では内部構造は省略してある。
【００１４】
流路部材１３に圧電アクチュエータ１１が積層され、圧電アクチュエータ１１の流路部材１３が接続された面と反対側の面に接続基板２が接続され、接続基板２の圧電アクチュエータ１１が接続された面と反対側の面に金属部材４が接続されている。また、接続基板２には、ドライバＩＣ３が実装されている。
【００１５】
詳細は後述するが、本発明の液体吐出ヘッドでは、外部回路（図示せず）からの入力に従ってドライバＩＣ３が駆動電圧を発生し、この駆動電圧が接続基板２に設けられた配線を伝わり、圧電アクチュエータ１１内の変位素子がこの駆動電圧により変位し、流路部材１３に設けられた液体吐出孔１３ｃより、液体が吐出される。１３ｄは、流路部材１３内に液体を供給する液体供給孔である。
【００１６】
図２（ａ）は、図１の本実施形態にかかる液体吐出ヘッドの一部である圧電アクチュエータ１１と流路部材１３とが積層されたものの部分縦断面図であり、図２（ｂ）は、をその上面図である。
【００１７】
流路部材１３には、複数の液体加圧室１３ａと複数の液体加圧室１３ａにそれぞれ連通した複数の液体吐出孔１３ｃがマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に配置され、複数の液体加圧室１３ａは隔壁１３ｂで仕切られている。流路部材１３には、圧電セラミック体１９が複数の液体加圧室１３ａを覆うように積層されている。圧電セラミック体１９の内部には、共通電極１５が設けられ、圧電セラミック体１９の流路部材１３と接合している面と反対の面は液体加圧室１３ａと対応して、複数の駆動電極１６が設けられている。駆動電極１６は１００個／ｃｍ２以上設けることが可能である。圧電セラミック体１９には、駆動電極１６と共通電極１５に挟まれた圧電セラミック層１４と流路部材１３と接合している圧電セラミック層１２が含まれる。圧電セラミック層１２は振動板として働く。
【００１８】
液体加圧室１３ａのマトリクス状の配置は、図示した格子状の配置以外に、千鳥状の配置など、２次元的かつ規則的なものでもよい。千鳥状の配置では、各液体加圧室１３ａ間の距離を大きくできるので、クロストークを減らすために好ましい。
【００１９】
そして、駆動電極１６、圧電セラミック層１４、共通電極１５および圧電セラミック層１２から変位素子１７が構成され、駆動電極１６に駆動電圧を印加すると、変位素子１７が変位し、液体加圧室１３ａの体積が変化し、液体加圧室１３ａ内の液体が、液体吐出孔１３ｃから吐出される。
【００２０】
複数の駆動電極１６に対応する領域２２は、その中に圧電アクチュエータ１１の全ての駆動電極１６を含む。複数の駆動電極１６に対応する領域２２内の圧電セラミック体１９の温度に差があると、圧電特性の温度依存性のために、変位素子１７の変位特性がばらつき、液体吐出ヘッドから吐出される液滴の量や速度がばらつくことになる。
【００２１】
複数の駆動電極１６にはそれぞれ複数のランド２０が電気的に接続される。ランド２０は直下の流路部材１３の中に液体加圧室１３ａや液体加圧１３ａ間や液体加圧室１３ａと液体供給孔１３ｄとをつなぐ流路（図示せず）がない領域まで引き回され、後述の接続基板２に銀ペーストや半田などの接続導体（図示せず）を介して電気的に接続される。
【００２２】
図３（ａ）は、図１の本実施形態にかかる液体吐出ヘッドの一部である接続基板２、ドライバＩＣ３および金属部材４が接続されたものの縦断面図であり、図３（ｂ）は、その上面図である。
【００２３】
接続基板１１には複数の配線２４が設けられ、複数の配線２４は、接続基板１１の一端近くで、銀ペーストや半田などの接続導体２６を介してドライバＩＣ３と電気的に接続される。また、複数の配線２４は、接続基板１１の他端近くで、銀ペーストや半田などの接続導体（図示せず）およびランド２０を介して圧電アクチュエータ１１の複数の駆動電極１６と電気的に接続される。図では省略してあるが、複数の配線２４は少なくとも複数の駆動電極１６の数より多くあり、ドライバＩＣ３と複数の駆動電極１６とを電気的に接続する。また、複数の配線２４の一部は、ドライバＩＣ３と共通電極１５とを電気的に接続する。複数の配線２４の圧電アクチュエータ１１に接続される側の接続端子は、複数の駆動電極１６の占める領域２２と同じ形状の領域２２に配置される。
【００２４】
金属部材４は、複数の駆動電極１６の占める領域２２と同形状または複数の駆動電極１６の占める領域２２より大きい相似形状で、接続基板１１の接続端子が配置された領域２２の、圧電アクチュエータ１１の接続される面とは反対側の面に接合される。
【００２５】
以上のような液体吐出ヘッドにおいて液体吐出孔１３ｃから液体を吐出するために、外部回路から信号に従ってドライバＩＣ３が駆動電圧を印加すると、ドライバＩＣ３が発熱する。その熱は接続基板２を介して、圧電セラミック体１９に伝わる。しかし、この際、熱は主に接続基板２や圧電セラミック体１９よりも熱抵抗の少ない金属部材４を伝わり、複数の駆動電極１６に対応する領域２２に広がる。このため、金属部材４はその中で温度差が少なくなり、ひいては、圧電セラミック体の中の温度差が少なくなる。そして、圧電アクチュエータ１１内にある複数の変位素子１７において、圧電セラミック体１９の温度差に起因する圧電特性の変動により生じる吐出される液体の量や速度のバラツキが抑制できる。
【００２６】
なお、流路部材の内部の液体の粘度が変動しないように、流路部材１３にヒーターなどを付けて温度調整をすることも行われているが、接続基板２を介してのドライバＩＣ３までの距離が近い圧電セラミック体１９の温度が、ドライバＩＣ３から遠い圧電セラミック体１９の温度より高くなることを改善する効果は少ない。
【００２７】
また金属部材の端部は、金属部材の中央と比較して、空気中などに逃げる熱が多いため、わずかに温度が低くなる。そのため、金属部材４は複数の駆動電極１６に対応する領域２２よりも広い面積を覆っていることが好ましい。その面積は複数の駆動電極１６に対応する領域２２に対して１０２〜１０５％の面積であることが好ましい。面積が大きすぎると、金属部材４の端部から放熱する量が増えるため、徐々に金属部材４の均熱化の効果が少なくなってしまう。また、金属部材４の形状は、複数の駆動電極１６に対応する領域２２と略相似形であり、それぞれの面積中心が一致するように接続されることが好ましい。
【００２８】
また、本発明の金属部材４は、放熱を目的とするものではなく、均熱を目的とするものであり、放熱をよくするためのフィンなどを備えていない方が好ましい。フィンなどが備えられていると、ドライバＩＣ３から遠い圧電セラミック体１９まで熱が伝わりにくくなり、均熱化を阻害することがある。
【００２９】
金属部材の材質としては、熱伝導率の高く、銅、銀、ニッケルなどが好ましく、熱伝導率の高く、低コストの銅が特に好ましい。また、熱伝導率が高い金属板（箔を含む）であることが好ましい。
【００３０】
次に、この液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。
【００３１】
ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミックスと有機組成物からなるテープの成形を行い、複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、その表面に共通電極１５となる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を挿入する。
【００３２】
ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、その後有機金ペーストを用いて焼成体表面に駆動電極１６を印刷して焼成した後、Ａｇペーストを用いてランド２０を印刷し、焼成する。
【００３３】
ついで、接続基板２の配線２４の端部の接続端子と駆動電極１６接続されたランド２０の位置をあわせて加圧した状態で温度をかけて半田を溶融し接合させる。ドライバＩＣ３の接続基板２への実装も同様にして半田で行なう。さらに、接着剤などを用いて金属部材４である厚さ５００μｍの銅箔が、複数の駆動電極１６に対応する領域２２に位置合わせされて接続される。
【００３４】
ここで接続基板２は、ポリイミド樹脂などの内部に銅箔により配線２４が形成されたフレキシブル基板であることが好ましい。接続基板２は圧電セラミック体１９に伝わる熱が少なくなるように、熱抵抗が大きいことが好ましい。また、配線２４は、ドライバＩＣ３は配線基板の両側に形成された配線上に各々同数ずつ、好ましくは各々１つずつ搭載されたものである。
【００３５】
次に、流路部材１３は圧延法等により得られ、液体吐出孔１３ｃおよび液体加圧室１３ａはエッチングにより所定の形状に加工されて設けられる。この流路部材１３は、Ｆｅ―Ｃｒ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系の群から選ばれる少なくとも１種によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Ｆｅ−Ｃｒ系がより好ましい。
【００３６】
圧電アクチュエータ１１と流路部材１３とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータ１１や流路部材１３への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が１００〜１５０℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータ１１と流路部材１３とを加熱接合することができ、これにより液体吐出ヘッドを得ることができる。そして外部からに信号により、ドライバＩＣ３から、接続基板２の配線２４を介して、共通電極１５と所定の駆動電極１６との間に電圧が印加されると、電圧が印加された駆動電極１６直下の圧電セラミック層１４が変位して、液体加圧室１３ａ内の液体が加圧され、液体吐出孔１３ｃより液滴が吐出される。
【００３７】
このような構成を採用することにより、複数の液体吐出孔１３ｃから吐出される液体の速度や量にばらつきの生じ難い液体吐出ヘッドができる。
【００３８】
以上、本発明の一実施形態について示したが、本発明は上述した実施形態のみに限らず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更や改良したものにも適用できることは言うまでもない。
【００３９】
図４は、本発明の液体吐出ヘッドの別の実施形態である。
【００４０】
図４（ａ）は、本実施形態にかかる液体吐出ヘッドの斜視図であり、図１（ｂ）は、その概略断面図であり、図４（ｃ）は、図４（ａ）一部である接続基板１０２、ドライバＩＣ１０３および金属部材１０４が接続されたものの上面図である。図４（ｂ）では内部構造は省略してある。
【００４１】
流路部材１１３に４個の圧電アクチュエータ１１１が積層され、各圧電アクチュエータ１１１の流路部材１１３が接続された面と反対側の面に接続基板１０２が接続され、接続基板１０２の圧電アクチュエータ１１１が接続された面と反対側の面に金属部材１０４が接続されている。また、接続基板１０２には、ドライバＩＣ３が実装されている。
【００４２】
圧電アクチュエータ１１１の内部構造は、図２（ａ）と同様である。圧電アクチュエータ１１１は台形の形状をしており、駆動電極も台形状に配置されており、複数の駆動電極に対応する領域も台形である。金属部材１０４は、複数の駆動電極に対応する領域と合同の形状をしている。
【００４３】
図４（ａ）に示すように、台形状の複数の圧電アクチュエータ１１１を、長手中心線Ｃに対して、圧電アクチュエータ１１１の台形状の配置の長辺と短辺が交互になるように配置することにより、液体吐出孔が長い距離にわたって配置された液体吐出ヘッドにできるとともに、流路部材１１３の短手方向の長さを短くでき、液体吐出ヘッドを小型化できる。このような、液体吐出ヘッドでは、インクを長い距離にわたって吐出できるラインプリンタなどが実現できる。
【００４４】
このような液体吐出ヘッドでは、各圧電アクチュエータ１１１を駆動するドライバＩＣ１０３が交互に別方向から接続されるので、各圧電アクチュエータ１１１で生じる温度差に起因する吐出特性のばらつきの傾向が逆になるため、吐出結果に対する影響が大きくなる。例えば、この液体吐出ヘッドをラインプリンタに使用した場合、隣り合う圧電アクチュエータ１１１で吐出特性のばらつきの傾向が逆になることにより印刷結果に差が生じている可能性がある。そのため、本発明の液体吐出ヘッドは、このような液体吐出装置に特に好適に用いられる。
【００４５】
図５（ａ）は、図４（ａ）に示した液体吐出ヘッドにバックエンドを接合したものであり、図５（ｂ）、（ｃ）は、その縦断面図であり、ドライバＩＣ１０３の実装方法の一例である。
【００４６】
バックエンド１２８は、流路部材１１３に接続される。バックエンド１２８の中には、液体をろ過するフィルターや、液体の急激な流動を防ぐダンパーなどが形成されている。液体は液体供給管１２８ａからバックエンド１２８に入り、液体供給管１２８ｂを通して流路部材１１３に入る。バックエンド１２８の材料や製造方法は基本的には流路部材１１３と同じであるが、必要に応じて、中にダンパーを構成するゴム膜などが積層される。
【００４７】
ドライバＩＣ１０３には、接続基板１０２以外に放熱する経路をある方が好ましく、バックエンド１２８に接合することが好ましい。接合位置は図５（ｃ）に示したように、バックエンド１２８の上面以外に、側面や下面でもよい。ドライバＩＣ１０３をバックエンド１２８の上面あるいは下面に接合することにより、液体吐出ヘッドの短手方向の長さを短くでるので好ましい。また、ドライバＩＣ１０３をバックエンド１２８の上面あるいは側面に接合することにより、空気の対流などで圧電アクチュエータ１１１へ熱が伝わることが抑制できるので好ましい。
【００４８】
以下、実施例を挙げて本発明について詳細に説明するが、本発明は以下の実施例のみに限定されるものではない。
【実施例１】
【００４９】
まず、図１に示した液体吐出ヘッドを作製した。すなわち、平均粒径が０．５μｍのＰｂＺｒＴｉＯ３系粉末を、バインダおよび有機溶剤とともに混合して圧電材料のスラリーを調合し、しかる後に、得られたスラリーを用いてロールコータ法で厚み３０μｍのグリーンシートを作製した。
【００５０】
一方、Ａｇ−Ｐｄ粉末を、混合比が質量比でＡｇ：Ｐｄ＝７：３となるように配合し、有機粘結剤と溶媒とを所定量混合して導電性ペーストを調製した。
【００５１】
次に、導電性ペーストを塗布したグリーンシートおよび電極ペーストを塗布していないグリーンシートを積層し、熱を加えて圧着して母体積層体を形成し、この母体積層体を切断して積層体を形成し、酸素雰囲気中、１０００℃で２時間保持して焼成を行なって、圧電アクチュエータ本体を形成した。
【００５２】
次に、この圧電アクチュエータ本体１９の一方の表面にＡｕを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷して７５０℃で焼付けを行って駆動電極部を形成した。
【００５３】
さらに、Ａｇを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷して６００℃で焼付けを行って外部配線基板との接続端子となる接続端子を形成した。
【００５４】
次に、この圧電アクチュエータ本体１１を流路部材３にエポキシ系接着剤で接合し、図１に示した液体吐出トヘッドを得た。
【００５５】
次に、接続基板２の配線２４の端部の接続端子と、駆動電極１６に接続されたランド２０とを２１０℃で半田溶着した。さらに、接続基板２の配線２４の端部の接続端子と、ドライバＩＣ３とを２１０℃で半田溶着した。
【００５６】
次に、厚さ５００μｍの複数の駆動電極１６に対応する領域２２と合同の銅金属板をエポキシ樹脂で、複数の駆動電極１６に対応する領域に位置合わせして、接続基板１１の圧電アクチュエータ１１と反対側の面に接着した。
【００５７】
同様にして、金属部材４が接着されていない液体吐出ヘッドを作製した。また、金属部材４として、複数の駆動電極１６に対応する領域２２と相似形で、面積が領域２２の１０４％の銅金属板を、領域２２と金属部材４の面積重心を合わせた接着した液体吐出ヘッドを作製した。
【００５８】
得られた各液体吐出ヘッドに、水を溶媒とするインクを供給し、全ての駆動電極１６にピーク電圧２５Ｖ、周波数２ｋＨｚ、デューティー比８０％の駆動電圧波形を印加して、全ての変位素子１７をした。１時間駆動した後、複数の駆動電極に対応する領域２２の中でドライバＩＣに最も近いＡ部と最も遠いＢ部の温度を非接触式の温度センサで計測し比較した。なお、評価した液体吐出ヘッドには、評価の為にＡ部およびＢ部の金属部材４と接続電極２に孔を開け、圧電アクチュエータ１１の表面の温度を直接測定した。
【００５９】
金属板を備えない液体吐出ヘッドでは温度差が２．１℃、複数の駆動電極に対応する領域２２と合同の金属板を備えた液体吐出ヘッドでは温度差は、０．９℃、複数の駆動電極に対応する領域２２に対して１０４％の面積の金属板を備えた液体吐出ヘッドでは温度差は、０．７℃であった。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】（ａ）は、本発明の一実施形態にかかる液体吐出ヘッドを示す概略斜視図であり、（ｂ）は、その縦段面図である。
【図２】（ａ）は本発明の一実施形態にかかる液体吐出ヘッドに用いられる圧電アクチュエータおよび流路部材の構造を示す概略断面図であり、（ｂ）はその上面図である。
【図３】（ａ）は本発明の一実施形態にかかる液体吐出ヘッドに用いられる接続基板、金属部材、ドライバＩＣの概略段面図であり、（ｂ）はその上面図である。
【図４】（ａ）本発明の別の一実施形態にかかる液体吐出ヘッドは本発明液体吐出ヘッドの概略斜視図であり、（ｂ）は、その縦段面図である。
【図５】（ａ）本発明の別の一実施形態にかかる液体吐出ヘッドは本発明液体吐出ヘッドの概略斜視図であり、（ｂ）および（ｃ）は、その縦段面図である。
【図６】（ａ）は、従来の液体吐出ヘッドを示す概略斜視図であり、（ｂ）は、その縦段面図であり、（ｃ）それに用いられる圧電アクチュエータおよび流路部材の縦断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
２、１０２・・・接続基板
３、１０３・・・ドライバＩＣ
４、１０４・・・金属部材
１１、１１１・・・圧電アクチュエータ
１２、１４・・・圧電セラミック層
１３、１１３・・・流路部材
１３ａ・・・液体加圧室
１３ｂ・・・隔壁
１３ｃ・・・液体吐出孔
１３ｄ、１１３ｄ・・・液体供給孔
１５・・・共通電極
１６・・・駆動電極
１７・・・変位素子
１９・・・圧電セラミック体（圧電アクチュエータ本体）
２０・・・ランド
２２、１２２・・・複数の駆動電極に対応する領域、複数の接続端子が形成された領域
２４・・・配線
２６・・・接続電極
１２８・・・バックエンド
１２８ａ、１２８ｂ・・・液体供給管
【図１】
0004949158.tif 000002
【図２】
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【図３】
0004949158.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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