(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフィルムの片側に、紫外線硬化型剥離粘着層を有するキャリアシートの当該剥離粘着層上に、所定の電極パターンを形成した後、当該電極パターンの形成された剥離粘着層上にセラミックスラリーによりセラミックグリーンシートを成形するセラミックグリーンシートの製造方法であって、
前記紫外線硬化型剥離粘着層の形成材は、ベースポリマー、分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個有する低分子化合物及び光重合開始剤を含むことを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項２】
紫外線硬化型剥離粘着層のステンレスに対する常温（２３℃）における粘着力が、紫外線照射前で０．１Ｎ／２０ｍｍを超え、紫外線照射後に０．１Ｎ／２０ｍｍ以下になるものであることを特徴とする請求項１記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項３】
前記低分子化合物の分子量は５０００以下である請求項１または２記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項４】
前記低分子化合物の使用量は、前記ベースポリマー１００重量部に対して、１〜１００重量部である請求項１〜３いずれかに記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜４いずれかに記載の製造方法によりセラミックグリーンシートを製造した後、得られたセラミックグリーンシートを他のセラミックグリーンシート上に積層する工程、およびセラミックグリーンシートから紫外線照射によりキャリアシートを剥離する工程を施すことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜４いずれかに記載のセラミックグリーンシートの製造方法または請求項５記載の積層セラミック電子部品の製造方法に用いられる、ベースフィルムの片側に、紫外線硬化型剥離粘着層を有するセラミックグリーンシート用キャリアシートであって、
前記紫外線硬化型剥離粘着層の形成材は、ベースポリマー、分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個有する低分子化合物及び光重合開始剤を含むセラミックグリーンシート用キャリアシート。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はセラミックグリーンシートの製造方法に関する。また、本発明は、前記セラミックグリーンシートの積層体の製造工程を含む、積層セラミック電子部品の製造方法、また当該セラミックグリーンシートの製造方法に用いられるセラミックグリーンシート用キャリアシートに関する。さらには、本発明は、前記積層セラミック電子部品の製造方法により得られた積層セラミック電子部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
積層セラミックコンデンサやインダクタのような積層セラミック電子部品は、内部に電極を必要とするため、内部電極を設けたセラミックグリーンシートの所定枚数を積層し、加熱焼成し、さらに外部電極を端部に塗布することにより製造している。特に、積層セラミックコンンデンサなどは小型化、高性能化が要求されるために、限られた厚みの中で前記セラミックグリーンシートの積層数をより多くする必要がある。そのため、セラミックグリーンシートの厚みを薄くするなどして、その積層回数を増やしている。
【０００３】
セラミックグリーンシートの積層法としては、セラミックグリーンシート上に、内部電極となる電極パターンを形成した後に、セラミックグリーンシートの所定枚数を積層する方法がある。しかしながら、この方法ではセラミックグリーンシート上に電極を印刷する工程を経るため、電極分の厚みにより凸部を生じ、積層数を増やすことでその厚み分が積算され、セラミックグリーンシート同士のズレなどが生じて理想とする積層精度を達成することができない。また、セラミックグリーンシートを積層した後には一体化を計るために高い圧力でプレスを行うが、この際、電極のある部分と電極ない部分とで受ける圧力の違いにより、剥がれなどが生じる可能性が高く、欠陥や歩留まりの低下を招く。
【０００４】
上記セラミックグリーンシートの積層法の問題を解決した方法として、たとえば、キャリアシート上に、内部電極となる電極パターンを形成した後に、セラミックスラリーによりセラミックグリーンシートを形成し、次いで、得られたセラミックグリーンシートを他のセラミックグリーンシートに積層する操作を繰り返す方法が提案されている（特開平６−６１０９０号公報等）。かかる方法で得られるセラミックグリーンシートは、その内部に電極が埋め込まれたいるため、電極の凸部が無く、理想的な積み重ねや薄膜化が可能となる。また積層後のプレス工程で生じていた圧力むらが無くなり、より良い一体化が製品の良品化率が向上し、高積層化による高性能化を図ることができる。
【０００５】
前記セラミックグリーンシートの積層方法では、最終的には剥離されるキャリアシート上にセラミックグリーンシートが形成されるため、キャリアシートには得られたセラミックグリーンシートから容易に剥離することができる剥離性が要求される。さらには、キャリアシートには、内部電極となる電極パターンを形成する際に電極のズレがないようにパターン精度を確保することが要求される。しかし、従来知られているセラミックグリーンシート用キャリアシートで前記要求を満足するものは知られていない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、パターン精度よく電極を形成でき、しかもセラミックグリーンシートの形成後にはキャリアシートを容易に剥離することができるセラミックグリーンシートの製造方法、すなわち、内部電極の埋め込まれた高精度のセラミックグリーンシートを効率よく製造する方法を提供することを目的とする。
【０００７】
また、本発明は、前記セラミックグリーンシートの製造方法により製造したセラミックグリーンシートを積層して積層セラミック電子部品を製造する方法を提供すること、さらには、当該製造方法により作製される積層セラミック電子部品を提供することを目的とする。
【０００８】
また、本発明は、前記セラミックグリーンシートの製造方法、積層セラミック電子部品の製造方法に用いるセラミックグリーンシート用キャリアシートを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、前記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、以下のセラミックグリーンシート用キャリアシートを用いた方法により、前記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１０】
すなわち、本発明は、ベースフィルムの片側に、紫外線硬化型剥離粘着層を有するキャリアシートの当該剥離粘着層上に、所定の電極パターンを形成した後、当該電極パターンの形成された剥離粘着層上にセラミックスラリーによりセラミックグリーンシートを成形するセラミックグリーンシートの製造方法であって、前記紫外線硬化型剥離粘着層の形成材は、ベースポリマー、分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個有する低分子化合物及び光重合開始剤を含むことを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法、に関する。
【００１１】
上記本発明のセラミックグリーンシートの製造方法では、キャリアシートに剥離性を付与するために、シリコーン処理等により剥離処理されたフィルムを使用する代わりに、紫外線硬化型剥離粘着層を有するキャリアシートを用いている。前記紫外線硬化型剥離粘着層は、紫外線照射により硬化し、三次元網目状化する性質を有するものである。かかる紫外線硬化型剥離粘着層は紫外線照射により容易に粘着性を失って剥離性を示し、セラミックグリーンシートを形成または積層した後に紫外線照射することにより、セラミックグリーンシートとキャリアシートとを容易に分離することができる。また、紫外線硬化型剥離粘着層は、ある程度の粘着性を示し、セラミックスラリーを塗布することによるセラミックグリーンシートの成形工程では塗布時の濡れ性を確保しており、形成した内部電極パターンの位置精度を崩すことなく、キャリアシート側にパターン精度よく電極パターンを形成したグリーンシートを製造できる。
【００１２】
前記セラミックグリーンシートの製造方法において、紫外線硬化型剥離粘着層のステンレスに対する常温（２３℃）における粘着力が、紫外線照射前で０．１Ｎ／２０ｍｍを超え、紫外線照射後に０．１Ｎ／２０ｍｍ以下になるものであることが好ましい。紫外線硬化型剥離粘着層は、紫外線照射により粘着性が低下して、剥離を容易にすることができるものである。紫外線硬化型剥離粘着層の粘着力は、キャリアシート上での電極形成時に印刷ズレや、電極を金属箔の転写（移し変え）で行う場合に転写不良を起さず、精度の良い電極パターンが得るには、常温（２３℃）、紫外線照射前で０．１Ｎ／２０ｍｍを超えるものが好ましく、０．１５Ｎ／２０ｍｍ以上、さらには０．２Ｎ／２０ｍｍ以上であるのが好ましい。また、紫外線照射後には粘着力が、０．１Ｎ／２０ｍｍ以下、さらには０．０５Ｎ／２０ｍｍ以下になるよう調整したものが好ましい。粘着力は通常の粘着力測定（ＪＩＳ  Ｃ  ２１０７）に準ずる、対ステンレス板（ＳＵＳ３０４ＢＡ）に対する粘着力である（測定条件：幅２０ｍｍ、荷重２ｋｇ）。
【００１３】
また本発明は、前記製造方法によりセラミックグリーンシートを製造した後、得られたセラミックグリーンシートを他のセラミックグリーンシート上に積層する工程、およびセラミックグリーンシートから紫外線照射によりキャリアシートを剥離する工程を含むことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法、に関する。
【００１４】
前記製造方法により製造したセラミックグリーンシートは、紫外線照射により容易にキャリアシートと剥離して、分離することができ、またセラミックグリーンシートの積層体は電極ズレがなく高精度のものが得られる。特に、積層数が１００層を超える高積層セラミックコンデンサ等の製造には、効果的に作用することができる。
【００１５】
また本発明は、前記セラミックグリーンシートの製造方法または前記積層セラミック電子部品の製造方法に用いられる、ベースフィルムの片側に紫外線硬化型剥離粘着層を有するセラミックグリーンシート用キャリアシート、に関する。
【００１６】
かかるセラミックグリーンシート用キャリアシートを用いることにより、パターン精度よく内部電極を形成でき、しかもキャリアシートはセラミックグリーンシートから容易に剥離でき、効率的にセラミックグリーンシート、その積層体、さらには積層セラミック電子部品を製造できる。
【００１７】
さらに本発明は、前記積層セラミック電子部品の製造方法により得られた積層セラミック電子部品、に関する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態についての詳細を図面を参照しながら説明する。  図１は、ベースフィルム１ａの片側に紫外線硬化型剥離粘着層１ｂを有するセラミックグリーンシート用キャリアシート１である。
【００１９】
キャリアシート１の基材であるベースフィルム１ａとしては、紫外線照射されることから光透過性のものが用いられるが、かかる支持体となる各種プラスチックフィルムを特に制限なく使用できる。一般的にはポリエステルフィルムを用いるのが好適である。その他のプラスチックフィルムとしては、たとえば、ポリイミドフィルム、ポリメチルペンテン、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンナフタレートなどの耐熱性を兼ね備えたフィルムを用いるのが好ましい。また、ベースフィルム１ａとしてはこれらを複合したフィルムを用いることもできる。また、ポリオレフィン系や塩化ビニルなどの、比較的柔軟なフィルムを使用し、剥離の際、若干の延伸を行い剥離の補助をすることができるフィルムも好適に用いことができる。ベースフィルム１ａの厚さは、通常１０〜２００μｍ程度である。
【００２０】
紫外線硬化型剥離粘着層１ｂの形成材としては、形成する電極パターンを固定するため、通常、若干の粘着性を有するベースポリマーを含む粘着剤に、紫外線硬化による剥離性を付与するための分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個有する低分子化合物（以下、光重合性化合物という）および光重合開始剤を配合したものを用いる。
【００２１】
ベースポリマーとしては、たとえば、天然ゴム、各種合成ゴム等のゴム系ポリマーやアクリル系ポリマー等があげられる。アクリル系ポリマーとしては、アクリル酸アルキルエステルおよび／またはメタクリル酸アルキルエステル（アルキル基としては、炭素数１〜２０、好ましくは１〜１０のものである。かかるアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、2 −エチルヘキシル基、イソオクチル基、イソノニル基、イソデシル基、ドデシル基、ラウリル基、トリデシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル、オクタデシル基、ノナデシル基、エイコシル基等があげられる）を主成分として、これらにアクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、アクリル酸ヒドロキシプロピル、メタクリル酸ヒドロキシプロピル、Ｎ−メチロールアクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、酢酸ビニル、スチレン、イソプレン、ブタジエン、イソプレン、ビニルエーテル等を共重合したものなどがあげられる。上記のベースポリマーは、ベースポリマー中に光重合性炭素−炭素二重結合を持つものであってもよい。
【００２２】
また、前記粘着剤にはベースポリマーに加えて架橋剤を適宜に加えることもできる。架橋剤の具体例としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、アジリジン化合物、メラミン系化合物や金属塩系化合物、金属キレート系化合物、アミノ樹脂系化合物や過酸化物などの加硫剤があげられる。ベースポリマーや光重合性化合物の種類、使用量に応じて、架橋剤の種類、使用量等を調整することにより紫外線照射前と紫外線照射後の粘着力が前記範囲になるように調整することができる。通常、ベースポリマー１００重量部に対して、架橋剤１〜５重量部程度とするのが好ましい。
【００２３】
光重合性化合物は、その分子量が通常１万以下程度であるのが良く、より好ましくは、紫外線照射による紫外線硬化型剥離粘着層１ｂの三次元網状化が効率よくなされるように、その分子量が５０００以下である。分子内に有する光重合性炭素−炭素二重結合の数は２〜６個程度のものが好ましい。特に好ましい光重合性化合物としては、例えばトリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ぺンタエリスリトールモノヒドロキシトリアクリレート、ぺンタエリスリトールテトラアクリレート、ジぺンタエリスリトールモノヒドロキシぺンタアクリレート、ジぺンタエリスリトールヘキサアクリレートなどがあげられる。光重合性化合物は、１種を単独で用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００２４】
光重合性化合物の使用量は、通常、上記ベースポリマー１００重量部に対して、１〜１００重量部程度、好ましくは５〜５０重量部の範囲とするのがよい。光重合性化合物の使用量が少なすぎると紫外線硬化型剥離粘着層１ｂの紫外線照射による三次元網状化が不十分となり、粘着力低下の程度が小さすぎて、キャリアシート１からの分離が困難となる。一方、その使用量が多すぎると、光重合開始剤が残留するなどして、問題を生じることとなる。光重合開始剤としては、例えば、イソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、クロロリオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン、2 −ヒドロキシメチルフェニルプロパンなどがあげられる。光重合開始剤は１種を単独で用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００２５】
光重合開始剤の使用量は、通常、上記ベースポリマー１００重量部に対して０．１〜５重量部程度、好ましくは０．５〜２重量部の範囲とするのがよい。光重合開始剤の使用量が少なすぎると、紫外線照射後の三次元網状化が不十分となり、キャリアシート１からの分離が不十分となる。一方、その使用量が多すぎると、残留する開始剤で問題を生じる。なお、必要に応じて、光重合促進剤としてトリエチルアミン、テトラエチルぺンタアミンジメチルアミノエタノールなどのアミン化合物を併用してもよい。
【００２６】
さらに、紫外線硬化型剥離粘着層１ｂの形成材には、必要により、従来公知の各種の粘着付与剤、老化防止剤、充填剤、老化防止剤、着色剤等の慣用の添加剤を含有させることができる。また、剥離性を向上させる目的で、加熱することで、膨張するマイクロカプセル状の発泡剤を配合することもできる。
【００２７】
紫外線硬化型剥離粘着層１ｂの厚さ（塗布乾燥後）は、通常１〜１５０μｍ程度、好ましくは５〜１５μｍ程度である。
【００２８】
本発明のキャリアシート１は、ベースフィルム１ａ上に若干粘着性のある紫外線硬化型剥離粘着層１ｂが形成されたものであるが、その作成方法は特に制限されない。たとえば、ベースフィルム１ａに、直接、前記粘着剤（前記粘着剤に光重合性化合物および光開始剤を配合したもの）を塗布して紫外線硬化型剥離粘着層１ｂを形成する方法のほか、容易に剥離可能なセパレータ、剥離処理を施したフィルム上に前記粘着剤を塗布して紫外線硬化型剥離粘着層１ｂを形成した後、これをベースフィルム１ａ上に移着させる方法などを採用することもでき、適宜に方式を選んで作成することができる。
【００２９】
本発明のセラミックグリーンシート２の製造方法は、まず、図２のように前記キャリアシート１に形成された紫外線硬化型剥離粘着層１ｂに、所定の電極パターン２ａを形成した後、図３のように当該電極パターン２ａの形成された紫外線硬化型剥離粘着層１ｂ上に、電極パターン２ａを覆うようにセラミックスラリーを塗布、乾燥してセラミックバインダー層２ｂを形成することにより行う。
【００３０】
電極パターン２ａの形成方法は特に制限されず、たとえば、内部電極となる導電ペーストを印刷する方法があげられる。導電ペーストとしては、パラジウム合金またはニッケル等を主体とした導電ペーストがあげられ、印刷方法としてはスクリーン印刷法等があげられる。電極パターン２ａの厚みはできるだけ薄層にすることが望ましい。乾燥後の厚みとして、通常１〜１．５μｍとなるように調整するのが望ましい。また、電極パターン２ａの形成方法としては、パターン化された箔状金属を、キャリアシート１の紫外線硬化型剥離粘着層１ｂの粘着性を利用して転写する方法等を採用できる。更に薄膜からなる電極パターン２ａを得るためには、パターンメッキまたはパターン蒸着を利用することができる。
【００３１】
セラミックバインダー層２ｂを形成するセラミックスラリーとしては、チタン酸バリウムやチタン酸カルシウムなどのセラミック原料粉末と有機バインダーを含んでなり、希釈用溶剤などにより粘度調整されたスラリーが用いられる。セラミックスラリーの塗布法は一般的なシート成形方法を採用でき、たとえば、ドクターブレード法、リバースコート法などにより行うことができる。乾燥後のセラミックグリーンシート２の厚みは、２〜５μｍ程度が好ましく、乾燥後の厚みが前記範囲になるように均一に塗布する。セラミックスラリーの乾燥温度は、キャリアシート１の紫外線硬化型剥離粘着層１ｂが硬化してしまわないように１００℃程度以下で溶剤分を乾燥させるのが好ましい。
【００３２】
こうして図３に示すような、キャリアシート１の紫外線硬化型剥離粘着層１ｂ面に、所定パターンで内部電極となる金属パターン２ａを配列し、かつ両面とも平滑となるセラミックグリーンシート２が形成される。セラミックグリーンシート２は電極２ａと一体に、キャリアシート１と分離するため、電極２ａによる凸部はできない。セラミックグリーンシート２は厚みが一定で平滑面同士の積層となるので、重ね合わせが容易で、積算による厚みの影響を気にすることなく、低圧力でのプレスで高積層ができる。
【００３３】
図３に示す、キャリアシート１上に形成されたセラミックグリーンシート２は、図４または図５に示すように、他のセラミックグリーンシートと積層してセラミックグリーンシート積層体とするが、その際には一般的な紫外線照射装置により紫外線を照射してセラミックグリーンシート２からキャリアシート１を剥離する。
【００３４】
たとえば、図４（ａ）のように、キャリアシート１に紫外線照射して、キャリアシート１とセラミックグリーンシート２を分離した後、セラミックグリーンシート２のみを吸着して、図４（ｂ）のようにセラミックグリーンシート２を順次に積み重ねて積層する方法があげられる。図４（ｂ）では、ベースとなるセラミックグリーンシート３上にセラミックグリーンシート２をまず積層し、順次にセラミックグリーンシート２を積層している。キャリアシート１への紫外線照射量は、特に制限されないが、通常、５０〜１０００ｍＪ／ｃｍ2 程度である。
【００３５】
また、図５（ａ）のようにセラミックグリーンシート２を、ベースのセラミックグリーンシート３上に重ね合わせ、さらに熱プレスを用いて圧着加熱した後に、キャリアシート１に紫外線照射することで、図５（ｂ）（ｃ）のようにセラミックグリーンシート２を転写して積層するとともに、キャリアシート１を剥離する方法があげられる。その後、この操作を順次、繰り返して電極パターンを精度良く合わせて、圧着加熱を繰り返してセラミックグリーンシート２積層する。圧着加熱の条件は特に制限されないが、通常、２０〜５０℃程度、１×１０5 〜１×１０8 Ｐａ程度のような条件である。
【００３６】
前記セラミックグリーンシート２の積層にあたっては、予め、セラミックグリーンシート２をキャリアシート１ごと、精度良く打ち抜いた後に、順次に積層とキャリアシート１を剥離を行うことにより、積層時の重ね合わせ精度をコントロールすることもできる。
【００３７】
前記セラミックグリーンシート積層体は、これを切断してチップ化する工程、チップを焼成する工程、さらにはチップに外部電極を形成する工程を施すことにより積層セラミックコンデンサ等の電子部品となる。
【００３８】
【実施例】
以下に、実施例によって本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらによって何等限定されるものではない。なお、各例中の部、％は重量基準である。
【００３９】
実施例１
アクリル酸ブチル１００部、アクリロニトリル５部およびアクリル酸５部を共重合して得られた共重合体からなるポリマー１００部（固形分４０％のトルエン溶液を換算）に対し、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業社製：コロネートＬ）６部、ジぺンタエリスリトールモノヒドロキシぺンタアクリレート１５部およびα−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン１部を添加し混合して紫外線硬化型剥離粘着剤を調製した。当該粘着剤を、ポリエステルフィルム（５０μｍ）に、乾燥後の粘着剤層の厚みが１０μｍとなるように、アプリケータを使用して塗布し、１３０℃で、熱風乾燥機に３分間投入して乾燥して、所望のキャリアシートを得た。
【００４０】
実施例２
アクリル酸ブチル１００部、アクリロニトリル５部およびアクリル酸５部を共重合して得られた共重合体からなるポリマー１００部（固形分４０％のトルエン溶液を換算）に対し、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業社製：コロネートＬ）１０部、ジぺンタエリスリトールモノヒドロキシぺンタアクリレート１５部およびα−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン１部を添加し混合して紫外線硬化型剥離粘着剤を調製した。当該粘着剤を、ポリエステルフィルム（５０μｍ）に、乾燥後の粘着剤層の厚みが１０μｍとなるように、アプリケータを使用して塗布し、１３０℃で、熱風乾燥機に３分間投入して乾燥して、所望のキャリアシートを得た。
【００４１】
実施例３
アクリル酸ブチル１００部、アクリロニトリル５部およびアクリル酸５部を共重合して得られた共重合体からなるポリマー１００部（固形分４０％のトルエン溶液を換算）に対し、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業社製：コロネートＬ）８部、ジぺンタエリスリトールモノヒドロキシぺンタアクリレート１５部およびα−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン１部を添加し混合して紫外線硬化型剥離粘着剤を調製した。当該粘着剤を、ポリエステルフィルム（５０μｍ）に、乾燥後の粘着剤層の厚みが１０μｍとなるように、アプリケータを使用して塗布し、１３０℃で、熱風乾燥機に３分間投入して乾燥して、所望のキャリアシートを得た。
【００４２】
比較例１
アクリル酸ブチル１００部、アクリロニトリル５部およびアクリル酸５部を共重合して得られた共重合体からなるポリマー１００部（固形分４０％のトルエン溶液を換算）に対し、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業社製：コロネートＬ）１５部を添加し混合して粘着剤を調製した。当該粘着剤を、ポリエステルフィルム（５０μｍ）に、乾燥後の粘着剤層の厚みが１０μｍとなるように、アプリケータを使用して塗布し、１３０℃で、熱風乾燥機に３分間投入して乾燥して、所望のキャリアシートを得た。
【００４３】
比較例２
アクリル酸ブチル１００部、アクリロニトリル５部およびアクリル酸５部を共重合して得られた共重合体からなるポリマー１００部（固形分４０％のトルエン溶液を換算）に対し、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業社製：コロネートＬ）１部を添加し混合して粘着剤を調製した。当該粘着剤を、ポリエステルフィルム（５０μｍ）に、乾燥後の粘着剤層の厚みが１０μｍとなるように、アプリケータを使用して塗布し、１３０℃で、熱風乾燥機に３分間投入して乾燥して、所望のキャリアシートを得た。
【００４４】
（粘着力の測定）
実施例または比較例で得られたキャリアシートの常温（２３℃）での紫外線照射前の粘着力（Ｎ／２０ｍｍ）と紫外線照射後の粘着力（Ｎ／２０ｍｍ）を調べた。粘着力はステンレス板（ＳＵＳ３０４ＢＡ）に対する粘着力である。紫外線照射後の粘着力は、キャリアシートをステンレス板に貼り合わせた後、高圧水銀ランプ（４０Ｗ／ｃｍ）で１５ｃｍの距離から２０秒間紫外線照射した後の粘着力である。結果を表１に示す。
【００４５】
【表１】
0004888929.tif 000002
【００４６】
（セラミックグリーンシートおよびその積層体の製造）
実施例または比較例で得られたキャリアシート上へ、スクリーン印刷法を用いて、導電ペーストを所定のパターン状に塗布し、９０℃で１分間乾燥を行った。その上から、セラミックスラリーとして、アクリル系樹脂をバインダーとしたチタン酸バリウムを、アプリケーターを使用して塗布し、温度（７０℃）で乾燥して、厚さ３μｍのセラミックグリーンシートを製造した。得られたセラミックグリーンシートを、別途、前記同様のセラミックスラリー（アクリル系樹脂をバインダーとしたチタン酸バリウム）により形成されたベースのセラミックグリーンシート（厚さ３０μｍ）にハンドローラで貼り合わせ、さらにラミネータで貼り合せてセラミックグリーンシートを積層し後、高圧水銀ランプ（４０Ｗ／ｃｍ）を１５ｃｍの距離から２０秒間照射してキャリアシートを取り除いた。更にこの上に同様にして、セラミックグリーンシートを１０層積層した。セラミックグリーンシート積層体について以下の評価を行った。結果を表２に示す。
【００４７】
（電極ズレ）
得られたセラミックグリーンシートを積層体を切断し、内部の電極パターンの寸法にズレが発生しているか否かを確認した。
【００４８】
（積層性：剥離性）
セラミックグリーンシートを積層する際に、キャリアシートの剥離が良好に行われるか否かを評価した。
【００４９】
【表２】
0004888929.tif 000003
比較例ではセラミックグリーンシートがキャリアシートから剥離できず電極ズレを確認できない。
【図面の簡単な説明】
【図１】セラミックグリーンシート用キャリアシートの断面図である。
【図２】セラミックグリーンシート用キャリアシート上に内部電極を形成した場合の断面図である。
【図３】セラミックグリーンシート用キャリアシート上にセラミックグリーンシートを形成した場合の断面図である。
【図４】セラミックグリーンシートとキャリアシートを分離して製造したセラミックグリーンシート積層体の断面図である。
【図５】セラミックグリーンシートとキャリアシートを分離して製造したセラミックグリーンシート積層体の断面図である。
【符号の説明】
１    キャリアシート
１ａ  ベースフィルム
１ｂ  紫外線硬化型剥離粘着層
２    セラミックグリーンシート
２ａ  内部電極
２ｂ  セラミックバインダー層
３    ベースのセラミックグリーンシート
【図１】
0004888929.tif 000004
【図２】
0004888929.tif 000005
【図３】
0004888929.tif 000006
【図４】
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【図５】
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