(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
離型テープに貼着された粘着テープを所定長さに切断して基板の上面に貼着する粘着テープの貼着装置であって、
上記粘着テープに対して接離する方向に駆動され接近方向に駆動されたときに上記粘着テープを切断するカッタと、
このカッタによって所定の長さに切断された上記粘着テープを上記離型テープとともに上記基板に加圧して貼着する加圧ツールと、
上記離型テープの幅方向に対して軸線を相対的に所定の角度で傾斜させて配置され上記基板に貼着された上記粘着テープの貼着方向に沿って駆動されることで上記粘着テープから上記離型テープを剥離する離型ローラと
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着装置。
【請求項２】
上記カッタは上記粘着テープの幅方向に対して所定の角度で傾斜して配置されていることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項３】
上記カッタは、一側面が垂直面、他側面が傾斜面、先端が平坦面に形成されていて、
上記カッタが前進して粘着テープを切断してから後退するとき、上記垂直面と上記粘着テープの切断された面との接触抵抗によって上記粘着テープの切断部分が上記離型テープから剥離されることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項４】
上記カッタを上昇方向に駆動して上記粘着テープを切断した後で、上記カッタを下降させる前に、このカッタを上記粘着テープの切断方向と交差する方向に駆動する駆動手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項５】
上記離型テープの幅方向に対して上記離型ローラが軸線を所定の角度で傾斜させて配置されていることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項６】
上記基板が載置されこの基板を回転方向に位置決め可能なステージを有し、
上記基板に粘着テープを貼着してから上記離型テープを剥離するときに、上記ステージによって基板を回転させて上記離型テープの幅方向に対して上記離型ローラの軸線を所定の角度で傾斜させることを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項７】
離型テープに貼着された粘着テープを所定長さに切断して基板の上面に貼着する粘着テープの貼着方法であって、
上記粘着テープをカッタによって切断する工程と、
上記カッタによって所定の長さに切断された上記粘着テープを上記離型テープとともに上記基板に加圧して貼着する工程と、
上記離型テープの幅方向に対して軸線を相対的に所定の角度で傾斜させて配置させて配置された離型ローラを上記基板に貼着された上記粘着テープの貼着方向に沿って駆動することで上記基板に貼着された粘着テープから上記離型テープを剥離する工程と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は離型テープに貼着された粘着テープをカッタによって切断してから基板に貼着する粘着テープの貼着装置及び貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルに代表されるフラットパネルディスプレイなどの製造工程においては、ガラス製の基板の側部上面に、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）などの電子部品を異方性導電性部材からなる粘着テープを介して貼着する工程がある。
【０００３】
上記電子部品を上記基板の側部上面に貼着する前に、基板の側部上面に所定の長さに切断された上記粘着テープを貼着する工程がある。粘着テープは離型テープに貼着されていて、これらは供給リールに巻装されている。
【０００４】
基板の側部上面に電子部品を粘着テープによって貼着する場合、まず、離型テープとともに供給リールから繰り出された粘着テープを所定長さに切断する。このときの粘着テープの切断長さは、たとえば上記基板の側部上面に設けられた複数の端子からなる端子部の長さに対応する長さに設定される。
【０００５】
ついで、所定長さに切断された粘着テープを、たとえばチャックなどによって上記離型テープとともに引き出して、テーブルに載置された基板の側部上面の上記端子部に対向するよう位置決めした後、切断された粘着テープを加圧ツールによって基板に加圧して貼着する。
【０００６】
そして、粘着テープを基板に貼着したならば、その粘着テープから離型テープを離型ローラなどによって剥離する。
【０００７】
特許文献１には、供給リールから粘着テープを離型テープとともに繰り出し、その粘着テープのカッタによって切断する部位を保持ブロックに対向させ、その状態でカッタを上昇方向に駆動して上記粘着テープを所定の長さに切断することが示されている。
【特許文献１】特開２００３−５１５１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記カッタの先端部は通常、先端にゆくにつれて鋭利となる楔状に形成されていて、その先端部によって図１２（ａ）に示すように上記粘着テープａを保持ブロックｂに離型テープｃを介して押圧して切断するようにしている。そのとき、粘着テープａを確実に切断するために上記離型テープｃをその厚さの約半分程度まで切断するということがある。つまり、離型テープｃをハーフカットするようにしている。
【０００９】
ところで、粘着テープａを先端が鋭利なカッタによって切断して離型テープｃがハーフカットされると、粘着テープａは粘性に富むため、カッタの先端部によって押圧さて上記離型テープｃのハーフカット部に残留することになる。粘着テープａのハーフカット部に残留した残留部分ｄは、切断部分において離型テープｃのハーフカット部に強固に付着しているばかりか、粘着テープａから分断されずに連続した状態にある。
【００１０】
そのような状態で所定の長さに切断された粘着テープａを、図１２（ｂ）に示すように基板ｅに加圧して貼着した後、上記離型テープｃを、たとえば剥離用のローラなどによって基板ｅに貼着された粘着テープａから矢印Ｒ方向に剥離しようとすると、粘着テープａから分断されずに離型テープｃのハーフカット部に付着残留した残留部分ｄによって粘着テープａが離型テープｃと一緒に捲れ上がるということがあり、そのような場合には粘着テープａの貼着不良を招くということになる。
【００１１】
なお、このような粘着テープａの捲れ上がりは、図１２（ａ）に示す離型テープｃの剥離が開始される端部Ａにおいて発生し、剥離が終了する端部Ｂで発生することはない。
【００１２】
この発明は、粘着テープを切断して基板に貼着してから離型テープを剥離するとき、粘着テープの端部が捲れ上がることがないようにした粘着テープの貼着装置及び切貼着方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明は、離型テープに貼着された粘着テープを所定長さに切断して基板の上面に貼着する粘着テープの貼着装置であって、
上記粘着テープに対して接離する方向に駆動され接近方向に駆動されたときに上記粘着テープを切断するカッタと、
このカッタによって所定の長さに切断された上記粘着テープを上記離型テープとともに上記基板に加圧して貼着する加圧ツールと、
上記離型テープの幅方向に対して軸線を相対的に所定の角度で傾斜させて配置され上記基板に貼着された上記粘着テープの貼着方向に沿って駆動されることで上記粘着テープから上記離型テープを剥離する離型ローラと
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着装置にある。
【００１４】
この発明は、離型テープに貼着された粘着テープを所定長さに切断して基板の上面に貼着する粘着テープの貼着方法であって、
上記粘着テープをカッタによって切断する工程と、
上記カッタによって所定の長さに切断された上記粘着テープを上記離型テープとともに上記基板に加圧して貼着する工程と、
上記離型テープの幅方向に対して軸線を相対的に所定の角度で傾斜させて配置させて配置された離型ローラを上記基板に貼着された上記粘着テープの貼着方向に沿って駆動することで上記基板に貼着された粘着テープから上記離型テープを剥離する工程と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着方法にある。
【００１５】
この発明は、離型テープに貼着された粘着テープを切断する粘着テープの切断装置であって、
上記粘着テープを切断するカッタを有し、このカッタは上記粘着テープの幅方向に対して所定の角度で傾斜して配置されていることを特徴とする粘着テープの切断装置にある。
【００１６】
この発明は、離型テープに貼着された粘着テープを、上記離型テープをハーフカットして切断するカッタを備えた粘着テープの切断装置であって、
上記カッタは、一側面が垂直面、他側面が傾斜面、先端が平坦面に形成されていて、
上記カッタが前進して粘着テープを切断してから後退するとき、上記垂直面と上記粘着テープの切断された面との接触抵抗によって上記粘着テープの切断部分が上記離型テープから剥離されることを特徴とする粘着テープの切断装置にある。
【発明の効果】
【００２４】
この発明によれば、基板に貼着された粘着テープから離型テープを剥離するとき、離型ローラの軸線を離型テープの幅方向に対して相対的に傾斜させて剥離するため、離型テープは切断された粘着テープの幅方向の一端から徐々に剥離される。そのため、離型テープを粘着テープから剥離するときの粘着抵抗が低減されるから、粘着テープの端部が捲れる上がることなく、離型テープを剥離することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態を説明する。
【００２６】
図１乃至図６はこの発明の第１の実施の形態に係る異方性導電性部材からなる粘着テープ２の貼着装置を示し、この貼着装置は基板ステージ５を備えている。この基板ステージ５はベース６を有し、このベース６の上面にＸ駆動源６ａ、Ｙ駆動源６ｂ及びθ駆動源６ｃによってＸ、Ｙ及びθ方向に駆動されるテーブル７が設けられている。
【００２７】
上記テーブル７上には、図２（ａ）に示すように液晶ディスプレイパネルなどの２枚のガラス板を貼り合わせた基板Ｗが供給されて吸着保持されるようになっている。基板Ｗの上面の一側部には複数の端子１ａが所定間隔で形成された端子部１が基板Ｗの一側の長手方向に沿って所定長さで設けられている。
【００２８】
上記端子部１には後述するように所定の長さに切断された、両面粘着性の異方性導電部材からなる上記粘着テープ２が貼着されるようになっている。そして、粘着テープ２が貼着された端子部１には、図２（ｂ）に示すように１つ若しくは複数のＴＣＰなどの電子部品３が圧着される。
【００２９】
図１に示すように、上記粘着テープ２は一側面に透光性の樹脂テープからなる離型テープ８が貼着されて供給リール９に巻かれていて、粘着テープ２を下にして一対のガイドローラ１１にガイドされた部分が上記テーブル７に載置された上記基板Ｗの端子部１の上面に対向して水平に走行するようになっている。
【００３０】
上記テーブル７の上方には加圧ツール１３が上下駆動機構１４によって図中矢印で示す上下方向に駆動可能に設けられている。粘着テープ２は、後述する切断装置２３によって所定長さに切断され、その切断された部分がテーブル７上に載置された基板Ｗの端子部１に対向する位置まで搬送されると、その位置で停止する。
【００３１】
停止後に加圧ツール１３が下降し、上記基板Ｗに粘着テープ２の所定長さに切断された部分が貼着される。その後、上記離型テープ８は、駆動機構１６によって一体的に矢印−Ｘ方向に駆動される第１、第２の離型ローラ１０ａ，１０ｂによって粘着テープ２から剥離され、巻取りリール１２に巻き取られるようになっている。
【００３２】
上記第１の離型ローラ１０ａは図１に示すように離型テープ８の下面側に位置するように配置されている。第２の離型ローラ１０ｂは上記第１の離型ローラ１０ａよりも粘着テープ２の送り方向（図１及び図６に＋Ｘで示す）上流側に上記第１の離型ローラ１０ａと軸線を平行にして配置されている。これら第１、第２の離型ローラ１０ａ，１０ｂは図６に示すように軸線Ｏを上記離型テープ８の幅方向に平行な直線Ｌに対してβで示す所定の角度で傾斜して配置されている。
【００３３】
したがって、第１、第２の離型ローラ１０ａ，１０ｂが駆動機構１６によって図１に示す矢印−Ｘで示す方向に駆動されると、離型テープ８は基板Ｗに貼着された粘着テープ２の送り方向の上流側に位置する幅方向の一端（図６にＥ１で示す）から他端（図６にＥ２で示す）に向かって徐々に剥離されるようになっている。
【００３４】
上記粘着テープ２と離型テープ８との搬送は、搬送手段としての送り装置２０によって行なわれる。この送り装置２０は離型テープ８を挟持可能に形成されたチャック２１を有する。このチャック２１は図示しないガイド体によって回転不能にガイドされ、サーボモータ２２ｂによって回転駆動される駆動ねじ２２ａにより直線駆動されるようになっている。
【００３５】
したがって、上記チャック２１が離型テープ８を挟持した状態で上記駆動ねじ２２ａを回転駆動し、このチャック２１を図１に矢印＋Ｘで示す方向へ駆動すれば、上記離型テープ８とともに粘着テープ２を＋Ｘ方向へ搬送し、この粘着テープ２を所定の位置、つまり基板Ｗの端子部１に対向するよう位置決めできるようになっている。
【００３６】
上記粘着テープ２は基板Ｗよりも搬送方向上流側において、上記切断装置２３によって所定の長さに切断される。この切断装置２３は図３と図４に示すように軸線を垂直にして上記粘着テープ２の下方に配置された駆動手段としてのシリンダ２５を有する。このシリンダ２５のロッド２５ａには駆動部材２６が取付けられている。この駆動部材２６はシリンダ２５によって図１に矢印で示す上下方向に駆動される。
【００３７】
上記駆動部材２６の上面の、上記粘着テープ２の搬送方向の下流側に位置する一端部にはカッタ２７が立設されている。このカッタ２７は先端が鋭利となる楔状に形成された歯部２７ａを有するとともに、この歯部２７ａの、上記粘着テープ２の搬送方向の上流側に位置する一側には上端が平坦面２８ａとなった貼着部２８が一体形成されている。この平坦面２８ａは上記歯部２７ａの先端よりも所定寸法低い位置に形成されている。
【００３８】
上記貼着部２８の平坦面２８ａは、後述するように上記カッタ２７の歯部２７ａが上記粘着テープ２を切断し、かつ上記離型テープ８がハーフカットされたとき、上記粘着テープ２のカッタ２７によって切断される部位近傍で、搬送方向の上流側の部分を押圧するようになっている。
【００３９】
上記平坦面２８ａは上記粘着テープ２が貼着され易いよう、たとえば粗面に形成されている。それによって、上記粘着テープ２の上記平坦面２８ａによって押圧された部分は、その平坦面２８ａに貼着するようになっている。
【００４０】
上記駆動部材２６の上面の、上記粘着テープ２の搬送方向の上流側に位置する他端部には支持片３１が設けられている。この支持片３１には保持孔３２が形成されていて、この保持孔３２には押え部材３３が上下方向にスライド可能に支持されている。
【００４１】
上記押え部材３３の上端面は後述するように粘着テープ２を押圧したとき、その粘着テープ２が貼着されることのない非貼着面に形成されている。非貼着面は、たとえばシリコン樹脂やフッ素樹脂などのような滑沢性を有する樹脂をコーティングすることで形成される。
【００４２】
上記押え部材３３には下端面に開放した保持孔３４が形成されている。この保持孔３４にはばね３５が収容されていて、このばね３５は上記押え部材３３を上昇方向に付勢している。なお、押え部材３３の下端には、ばね３５によって上昇方向に付勢された上記押え部材３３が上記保持孔３４から抜け出るのを阻止する鍔３６が設けられている。
【００４３】
上記押え部材３３がばね３５によって上昇方向に付勢された状態において、押え部材３３の上端面は上記カッタ２７の歯部２７ａの先端と同等或いはわずかに上方に位置している。この実施の形態ではわずかに高い位置に設定されている。
【００４４】
上記切断装置２３の上方には、上記粘着テープ２を挟んで保持部材としての保持ブロック３８が配設されている。上記粘着テープ２の上面に貼着された離型テープ８は上面を上記保持ブロック３８の下面に接触させながら送られるようになっている。
【００４５】
離型テープ８が保持ブロック３８の下面に接触した状態で、上記シリンダ２５が作動して駆動部材２６が上昇方向に駆動されると、粘着テープ２が上記押え部材３３の上端面によって上記保持ブロック３８の下面に押圧保持される。
【００４６】
さらに、駆動部材２６が上昇方向に駆動されると、押え部材３３はばね３５を圧縮変形させて相対的に下方へ変位する。ついで、上記駆動部材２６に設けられたカッタ２７の歯部２７ａの先端が粘着テープ２を切断する。そして、駆動部材２６が上昇限まで駆動されると、上記カッタ２７は粘着テープ２を切断するとともに、離型テープ８の厚さ方向の約半分を切断するハーフカットの位置まで上昇する。
【００４７】
上記駆動部材２６が上昇限まで駆動された後、下降方向に駆動されると、カッタ２７は駆動部材２６とともに下降するが、押え部材３３はばね３５の復元力によって上端面３３ａが粘着テープ２を押圧し続ける。
【００４８】
上記カッタ２７がさらに下降すると、粘着テープ２がカッタ２７に一体形成された貼着部２８の平坦面２８ａに貼着しているため、図５に示すように粘着テープ２のカッタ２７によって切断された部分の搬送方向の上流側に位置する端部が上記離型テープ８から剥離される。
【００４９】
そのとき、粘着テープ２のカッタ２７によって切断される部分の上流側の部分は押え部材３３によって弾性的に保持されているから、上記粘着テープ２の切断された端部が上記離型テープ８から確実に剥離されることになる。
【００５０】
つぎに、上記構成の貼着装置によって基板Ｗの側辺部に粘着テープ２を貼着する場合について説明する。  
まず、上記切断装置２３によって上記粘着テープ２は所定の長さに切断される。つまり、粘着テープ２が送り装置２０によって送られて位置決めされると、シリンダ２５が作動して駆動部材２６を上昇方向に駆動する。
【００５１】
上記カッタ２７が上昇限まで駆動されると、このカッタ２７によって粘着テープ２が切断されるとともに、離型テープ８がハーフカットされる。それと同時に、粘着テープ２のカッタ２７によって切断される部分の近くは押え部材３３の上端面３３ａによって押圧保持される。
【００５２】
上記カッタ２７が上昇限まで駆動されて粘着テープ２を切断し終わると、下降方向に駆動される。上記カッタ２７には貼着部２８が形成され、この貼着部２８の平坦面２８ａには上記粘着テープ２の上記カッタ２７によって切断される箇所の送り方向の上流側の端部が貼着される。
【００５３】
そのため、粘着テープ２を切断後、カッタ２７が下降方向に駆動されると、図５に示すように上記粘着テープ２の切断された部分の搬送方向上流側の端部が上記貼着部２８によって下方へ引張られて上記離型テープ８から剥離される。
【００５４】
それによって、粘着テープ２のカッタ２７による切断箇所の搬送方向上流側の端部は、離型テープ８のハーフカット部に残留する上記粘着テープ２の残留部分２ａから確実に分離されることになる。
【００５５】
このようにして、粘着テープ２を上記切断装置２３によって所定の長さに切断したならば、その切断された部分が基板Ｗの端子部１に対向するよう送り装置２０によって上記粘着テープ２を離型テープ８とともに搬送位置決めする。
【００５６】
粘着テープ２が位置決めされると、加圧ツール１３が下降方向に駆動されて上記粘着テープ２の所定長さに切断された部分が基板Ｗの一側部の上面の端子部１に加圧されて貼着される。粘着テープ２を貼着して加圧ツール１３が上昇すると、一対の離型ローラ１０ａ，１０ｂが駆動機構１６によって−Ｘ方向に駆動されて離型テープ８を粘着テープ２から剥離する。
【００５７】
そのとき、離型テープ８の剥離が開始される粘着テープ２の端部、つまり粘着テープ２のカッタ２７によって切断された箇所の搬送方向上流側に位置する端部は、上述したように離型テープ８のハーフカット部に残留する残留部分２ａと確実に分離されている。
【００５８】
そのため、離型テープ８を離型ローラ１０ａ，１０ｂによって剥離し始めたとき、粘着テープ２の端部がハーフカット部に残留する残留部分２ａを介して離型テープ８に引張られるということがないから、上記粘着テープ２の端部を基板Ｗから捲れ上がらせることなく、上記離型テープ８を上記粘着テープ２から剥離することができる。
【００５９】
上記離型ローラ１０ａ，１０ｂは離型テープ８の幅方向に対して角度βで傾斜して設けられている。そのため、離型ローラ１０ａ，１０ｂが駆動機構１６によって−Ｘ方向に駆動されて離型テープ８を粘着テープ２から剥離するとき、離型テープ８は粘着テープ２の送り方向の上流側に位置する幅方向の一端から徐々に剥離されることになる。
【００６０】
それによって、離型テープ８を粘着テープ２から剥離するとき、離型テープ８が粘着テープ２を引張る力が低減されるから、仮に離型テープ８のハーフカット部に残留する残留部分２ａと粘着テープ２が確実に分断されていないことがあっても、基板Ｗに貼着された粘着テープ２を基板Ｗから捲れ上がらせることなく、上記離型テープ８を上記粘着テープ２から剥離することができる。
【００６１】
また、離型テープ８を粘着テープ２から剥離するときに、幅方向の一端から徐々に剥離されることになるから、幅方向全体を同時に剥離する場合に比べて粘着テープ２の単位面積当たりに加わるに引張り力が増大する。
【００６２】
そのため、一対の離型ローラ１０ａ，１０ｂの駆動にともない粘着テープ２の離型テープ８に残留した残留部分２ａが確実に切断されるから、そのことによっても粘着テープ２が基板Ｗから捲くれ上がるのが防止される。
【００６３】
図７（ａ），（ｂ），（ｃ）はこの発明の第２の実施の形態を示す。この実施の形態は切断装置を構成するカッタ２７が粘着テープ２の幅方向に対して角度θで傾斜して配置されている。上記カッタ２７は第１の実施の形態と同様、シリンダ２５によって上下方向に駆動される。
【００６４】
図７（ｂ）に切断線Ｓで示すように、上記カッタ２７によって粘着テープ２を斜めに切断すると、粘着テープ２を基板Ｗに貼着して離型テープ８を離型ローラ１０によって剥離する際、粘着テープ２の搬送方向上流側に位置する先端面は角度θで傾斜している。
【００６５】
そのため、離型テープ８のハーフカット部に残留する粘着テープ２の残留部分２ａと、離型テープ８の剥離が開始される粘着テープ２の傾斜した先端との接続は非常にわずかで、接続強度も低いから、粘着テープ２の端部が基板Ｗから捲れ上がらせることなく、離型テープ８を剥離することができる。
【００６６】
図８（ａ），（ｂ）はこの発明の第３の実施の形態を示す。この実施の形態は切断装置を構成するカッタ１２７の断面形状の変形例である。図８（ａ）に示すように、このカッタ１２７は粘着テープ２の搬送方向上流側に位置する一側面が垂直面１２７ａに形成され、下流側に位置する他側面が傾斜面１２７ｂに形成されていて、上端面は平坦面１２７ｃとなっている。
【００６７】
そして、上記カッタ１２７は第１の実施の形態と同様、駆動手段としてのシリンダ２５によって図８（ａ）に矢印で示す上下方向に駆動されるようになっている。なお、カッタ１２７の垂直面１２７ａは粘着テープ２が貼着し易い粗面に形成されている。
【００６８】
上記構成のカッタ１２７によって粘着テープ２を切断すると、粘着テープ２の切断される部分は上記カッタ１２７の平坦面１２７ｃによって分断される。しかも、上記カッタ１２７の粘着テープ２の搬送方向上流側に位置する一側面は垂直面１２７ａで、下流側に位置する他側面は傾斜面１２７ｂである。
【００６９】
そのため、上記カッタ１２７によって切断された粘着テープ２の、離型テープ８のハーフカット部に残留する残留部分２ａは、図８（ｂ）に示すように上記カッタ１２７の垂直面１２７ａによって上記粘着テープ２の上流側の端部と分断された状態となる。
【００７０】
そして、離型テープ８をハーフカットして粘着テープ２を切断し終わったならば、カッタ１２７を図８（ｃ）に矢印で示すように下降方向に駆動すると、上記カッタ１２７の上昇時に垂直面１２７ａによって切断された粘着テープ２の上流側の端面が、粗面に形成された上記垂直面１２７ａに摺接或いは貼着して下方へ押し下げられるから、粘着テープ２の切断箇所の上流側の端部が離型テープ８から剥離される。
【００７１】
それによって、粘着テープ２の切断箇所の上流側の端部がハーフカット部に残留する残留部分２ａと連続していたとしても、その残留部分２ａから確実に分断されるから、所定長さに切断された粘着テープ２を基板Ｗに貼着後、離型テープ８を剥離するとき、上記粘着テープ２の端部が離型テープ８によって捲られるのが防止される。
【００７２】
図９（ａ），（ｂ），（ｃ）はこの発明の第４の実施の形態を示す。この実施の形態の切断装置を構成するカッタ２７の断面形状は第１、第２の実施の形態と同様、楔形であるが、カッタ２７を駆動する駆動手段が第１、第２の実施の形態と異なる。
【００７３】
すなわち、上記駆動手段は上記カッタ２７を図９（ａ）に矢印Ｘで示す粘着テープ２の長手方向に沿う水平方向（Ｘ方向）及び矢印Ｚで示す上下方向であるＺ方向に駆動するＸ・Ｚ駆動源４１である。このＸ・Ｚ駆動源４１は、上記カッタ２７を図９（ｂ）にＳ１で示す下降した初期位置からＳ２で示す＋Ｚ方向の上昇位置に駆動して離型テープ８をハーフカットする状態で粘着テープ２を切断する。ついで、Ｓ３で示す−Ｘ方向、つまり粘着テープ２の送り方向の上流側に向かってわずかに駆動した後、Ｓ４で示す−Ｚ方向である下降方向に駆動してから、Ｓ１で示す＋Ｘ方向に駆動して初期位置に戻すようになっている。
【００７４】
このように、上記カッタ２７が粘着テープ２を切断した後、−Ｘ方向に駆動されると、粘着テープ２の切断箇所の上流側に位置する端部が上記カッタ２７の側面によって−Ｘ方向に押圧される。ついで、カッタ２７は−Ｚで示す方向に下降する。
【００７５】
カッタ２７が−Ｚ方向に下降すると、上記粘着テープ２の切断箇所の上流側の端部は、図９（ｃ）に示すようにカッタ２７との接触抵抗によって離型テープ８から剥離されるから、離型テープ８のハーフカット部に残留する粘着テープ２の残留部分２ａに対して確実に分離される。
【００７６】
したがって、所定長さに切断された粘着テープ２を基板Ｗに貼着した後、その粘着テープ２から離型テープ８を剥離する際、剥離端となる上記粘着テープ２の切断時における上流側の端部が離型テープ８のハーフカット部に残留する残留部分２ａによって捲られることなく、離型テープ８を粘着テープ２から剥離することができる。
【００７７】
上記各実施の形態においては、粘着テープ２を所定の長さで切断する際、図１０（ａ）に示すように粘着テープ２を狭い間隔で２箇所に切断線Ｓを形成し、一対の切断線Ｓの間の部分を図１０（ｂ）に示すように除去し、所定寸法で切断された粘着テープ２間に中抜き部４２を形成するようにしてもよい。
【００７８】
このような場合であっても、上述した第１乃至第４の実施の形態のようにして離型テープ８のハーフカット部に残留する粘着テープ２の残留部分２ａを、粘着テープ２の搬送方向下流側に位置する端部と分離することで、離型テープ８の剥離を確実に行うことが可能となる。
【００７９】
上述した第２乃至第４の実施の形態においても、第１の実施の形態と同様、粘着テープ２を基板Ｗに貼着した後、離型テープ８を剥離する際、一対の離型ローラ１０ａ，１０ｂが離型テープ８の幅方向に対して角度βで傾斜していることによって、基板Ｗに貼着された粘着テープ２を基板Ｗから捲れ上がらせることなく、離型テープ８を剥離することが可能となる。
【００８０】
第１の実施の形態では第１、第２の離型ローラ１０ａ，１０ｂの軸線Ｏを上記離型テープ８の幅方向に平行な直線Ｌに対して図６にβで示す所定の角度で傾斜して配置したが、図１１（ａ）に示すように一対の離型ローラ１０ａ，１０ｂを、これらの軸線が離型テープ８の幅方向に沿う直線と平行になるよう配置する。つまり、第１、第２の離型ローラ１０ａ，１０ｂの軸線Ｏを基板Ｗが載置されたステージ５のＹ方向（図１１（ａ）に示す）に沿う移動方向と平行になるよう配置する。
【００８１】
そして、粘着テープ２を加圧ツール１３によって基板Ｗに貼着した後、離型テープ８の剥離を開始する前に、図１１（ｂ）に示すようにステージ５を基板Ｗとともにθ駆動源６ｃによって水平方向に角度βで回転させる。
【００８２】
それによって、粘着テープ２に貼着された離型テープ８は一対の離型ローラ１０ａ，１０ｂの軸線Ｏに対して基板Ｗとともに角度βで傾斜する。したがって、その状態で離型ローラ１０ａ，１０ｂを駆動機構１６によって図１に示す−Ｘ方向に駆動すれば、離型テープ８は基板Ｗに貼着された粘着テープ２の幅方向一端から他端に向かって徐々に剥離されるから、粘着テープ２を基板Ｗから捲れ上がらせることなく、離型テープ８を剥離することができる。
【００８３】
つまり、離型ローラ１０ａ，１０ｂ或いは離型テープ８のいずれかを傾斜させる、つまり離型ローラ１０ａ，１０ｂと離型テープ８を相対的に角度βで傾斜させ、その状態で粘着テープ２から離型テープ８を剥離すれば、粘着テープ２の幅方向の一端から他端に向かって徐々に剥離することができるから、剥離時に離型テープ８が粘着テープ２に加える引張力が低減し、粘着テープ２の捲くれ上りを防止することが可能となる。
【００８４】
また、離型テープ８を粘着テープ２から剥離するときに、幅方向の一端から徐々に剥離されることになるから、幅方向全体を同時に剥離する場合に比べて粘着テープ２の単位面積当たりに加わるに引張り力が増大する。
【００８５】
そのため、一対の離型ローラ１０ａ，１０ｂの駆動にともない粘着テープ２の離型テープ８に残留した残留部分２ａが確実に切断されるから、そのことによっても粘着テープ２が基板Ｗから捲くれ上がるのが防止される。
【００８６】
離型ローラ１０ａ，１０ｂと離型テープ８を相対的に角度βで傾斜させておけば、粘着テープ２を切断する切断装置を構成するカッタは第１乃至第４の実施の形態に示された構造以外のものであっても差し支えない。つまり、切断装置によって粘着テープ２を切断したときに、粘着テープ２と離型テープ８に残留する粘着テープ２の残留部分２ａが確実に分断されていなくとも、粘着テープ２を基板Ｗから捲れあがらせることなく、離型テープ８を剥離することが可能である。
【００８７】
また、離型ローラ１０ａ，１０ｂと離型テープ８の両方を逆方向に傾けることで、これら両者を相対的に傾斜させるようにしてもよい。
【００８８】
また、粘着テープ２を切断するとき、離型テープ８をハーフカットするようにした例を挙げて説明したが、離型テープ８をハーフカットしない場合であっても、粘着テープを切断するとき粘着テープがカッタによって強く押圧されてその一部が離型テープ６に付着残留するから、そのような場合であってもこの発明を適用することで、基板に貼着された粘着テープ２が捲くれ上ることなく、離型テープ６を剥離することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】この発明の第１の実施の形態を示す粘着テープの貼着装置の概略的構成図。
【図２】（ａ）所定長さに切断された粘着テープを基板の一側部の端子部に貼着した状態の平面図、（ｂ）は基板の一側部に電子部品を貼着した平面図。
【図３】切断装置のカッタによって粘着テープを切断するときの説明図。
【図４】上記カッタによって粘着テープを切断した後、カッタが下降したときの説明図。
【図５】上記カッタを下降させることで、粘着テープの端部が離型テープから剥離された状態の説明図。
【図６】離型ローラの配置状態を示す平面図。
【図７】（ａ）はこの発明の第２の実施の形態を示す離型テープ及び粘着テープに対するカッタの配置を示す平面図、（ｂ）はカッタによって切断された粘着テープの下面図、（ｃ）はカッタを示す側面図。
【図８】（ａ）はこの発明の第３の実施の形態を示すカッタの側面図、（ｂ）は粘着テープの切断部分の拡大断面図、（ｃ）はカッタによって粘着テープの端部が離型テープから剥離される状態の説明図。
【図９】（ａ）はこの発明の第４の実施の形態を示すカッタの側面図、（ｂ）はカッタの動きを示す説明図、（ｃ）は粘着テープの端部がカッタによって剥離される状態の説明図。
【図１０】（ａ），（ｂ）は粘着テープを所定の長さに切断する他の実施の形態を示す説明図。
【図１１】（ａ）は基板に粘着テープを貼着したときの平面図、（ｂ）粘着テープを貼着した後、基板をステージとともに角度βで回転させたときの平面図。
【図１２】（ａ）は従来の粘着テープの切断部分を示す拡大断面図、（ｂ）は粘着テープを基盤に貼着してから離型テープを剥離するときの説明図。
【符号の説明】
【００９０】
１…端子部、２…粘着テープ、８…離型テープ、１０ａ，１０ｂ…離型ローラ、１３…加圧ツール、１６…駆動機構、２０…送り装置、２３…切断装置、２７，１２７…カッタ、２８…貼着部、３３…押え部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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