(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面と前記第１主面の反対側に設けられた第２主面とを有し、受光により光生成キャリアを生成する光電変換部と、
前記第１主面から前記第２主面まで前記光電変換部を貫通する貫通孔と、
前記貫通孔に導電性材料を充填することにより形成されるスルーホール電極と、
前記第１主面上において前記スルーホール電極と接続される第１主面側電極と、を備え、
前記貫通孔の前記第１主面側の一端部は、複数の第１主面側枝部に分岐しており、
前記複数の第１主面側枝部は、前記第１主面において開口し、
前記第１主面側電極は、前記複数の第１主面側枝部を覆うとともに前記スルーホール電極と接触するように配置される
ことを特徴とする太陽電池。
【請求項２】
前記貫通孔の前記第２主面側の他端部は、複数の第２主面側枝部に分岐しており、
前記第２主面側枝部は、前記第２主面において開口する
ことを特徴とする請求項１に記載の太陽電池。
【請求項３】
前記第１主面又は前記第２主面のいずれか一方の主面上に形成され、前記光生成キャリアを集電する複数の集電電極をさらに備え、
前記スルーホール電極は、前記一方の主面上において、前記複数の集電電極と電気的に接続される
ことを特徴とする請求項１に記載の太陽電池。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スルーホール電極を備える太陽電池に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池は、クリーンで無尽蔵に供給される太陽光を直接電気に変換する。従って、太陽電池は、新しいエネルギー源として期待されている。
【０００３】
太陽電池１枚当りの出力は数Ｗ程度である。従って、家屋やビル等の電源として太陽電池を用いる場合には、複数の太陽電池が配線材によって交互に接続された太陽電池モジュールが用いられる。
【０００４】
一般的に、太陽電池は、受光により光生成キャリアを生成する光電変換部と、光電変換部から光生成キャリアを集電する集電電極とを備える。集電電極は、光電変換部の受光面側及び裏面側に形成される。配線材は、一の太陽電池の受光面側集電電極と、隣接する他の太陽電池の裏面側集電電極とに接続される。
【０００５】
ここで、光電変換部の受光面から裏面まで貫通する貫通孔に導電性材料を充填して形成されるスルーホール電極を備える太陽電池が知られている（非特許文献１）。スルーホール電極は、光電変換部の受光面上で受光面側集電電極と電気的に接続されるため、配線材を光電変換部の裏面側に配設できる。その結果、太陽電池の受光面積を大きくすることができる。
【非特許文献１】Ｋ．Ｍ．Ｂｒｏｅｋ，「Ｔｅｓｔｉｎｇ  Ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎｓ  ｕｓｉｎｇ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ａｄｈｅｓｉｖｅｓ  ｆｏｒ  Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  ｉｎ  ＰＶ  Ｍｏｄｕｌｅｓ」，第２１回ヨーロッパ光起電太陽エネルギー会議，ドレスデン，２００６年
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、貫通孔はレーザ装置などを用いて形成されるため、貫通孔の形成工程において、光電変換部の内部は損傷を受けやすい。そのため、貫通孔の数は少ないことが好ましい。そこで、貫通孔の径を大きくすることが考えられる。これによれば、スルーホール電極の低抵抗を維持しながら、より大きな電流を流すことができるため、貫通孔の数を減らすことができる。
【０００７】
しかしながら、貫通孔への充填に適した低粘度の導電性材料を大径の貫通孔に充填すると、導電性材料が自重により流出しやすい。その結果、太陽電池の製造歩留まりが低下するという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、スルーホール電極を備え、製造歩留まりを向上させた太陽電池を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の特徴に係る太陽電池は、第１主面と第１主面の反対側に設けられた第２主面とを有し、受光により光生成キャリアを生成する光電変換部と、第１主面から第２主面まで光電変換部を貫通する貫通孔と、貫通孔に導電性材料を充填することにより形成されるスルーホール電極とを備え、貫通孔の第１主面側の一端部は、複数の第１主面側枝部に分岐しており、第１主面側枝部は第１主面において開口することを要旨とする。
【００１０】
このように、貫通孔は、開口面積の小さい第１主面側枝部を複数有する。従って、流動性を有する導電性材料を第１主面側枝部に充填しても、第１主面側枝部の開口から導電性材料が流出することを抑制できる。
【００１１】
本発明の特徴において、貫通孔の第２主面側の他端部は、複数の第２主面側枝部に分岐しており、第２主面側枝部は、第２主面において開口することが好ましい。
【００１２】
本発明の特徴において、第１主面又は第２主面のいずれか一方の主面上に形成され、光生成キャリアを集電する複数の集電電極をさらに備え、スルーホール電極は、一方の主面上において、複数の集電電極と電気的に接続されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によると、スルーホール電極を備え、製造歩留まりを向上させた太陽電池を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、図面を用いて、本発明の実施形態について説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には、同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。従って、具体的な寸法等は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１５】
〈１〉第１実施形態
（太陽電池の概略構成）
本発明の第１実施形態に係る太陽電池の概略構成について、図１乃至図３を参照しながら説明する。
【００１６】
図１は、本実施形態に係る太陽電池１の受光面側の平面図である。図２は、本実施形態に係る太陽電池１の裏面側の平面図である。図３は、図２の部分拡大図である。
【００１７】
太陽電池１は、光電変換部１０、受光面側集電電極１５、スルーホール電極２０、受光面側バスバー電極２５及び裏面側集電電極３０を備える。
【００１８】
光電変換部１０は、光が入射する受光面と、受光面の反対側に設けられた裏面とを有する。光電変換部１０は、受光面に光が入射することにより光生成キャリアを生成する。光生成キャリアとは、太陽光が光電変換部１０に吸収されることにより生成される正孔と電子をいう。
【００１９】
光電変換部１０は、半導体ｐｎ接合或いは半導体ｐｉｎ接合等の半導体接合を基本構造として有する。光電変換部１０は、単結晶Ｓｉ、多結晶Ｓｉ等の結晶系半導体材料、ＧａＡｓ、ＩｎＰ等の化合物半導体材料等の半導体材料などにより形成することができる。なお、光電変換部１０は、単結晶シリコン基板と非晶質シリコン層との間に実質的に真性な非晶質シリコン層を挟み込んだ構造、いわゆるＨＩＴ構造を有していてもよい。
【００２０】
受光面側集電電極１５は、光電変換部１０において生成された光生成キャリアを集電する電極である。受光面側集電電極１５は、図１に示すように、光電変換部１０の受光面の略全域に渡って複数本形成される。受光面側集電電極１５は、例えば、熱硬化型の導電性ペーストを用いて印刷法等により形成することができる。なお、受光面側集電電極１５の本数及び形状は、光電変換部１０の大きさなどを考慮して適切に設定される。
【００２１】
スルーホール電極２０は、光電変換部１０の受光面から裏面まで光電変換部１０を貫通する。スルーホール電極２０は、光電変換部１０の受光面から裏面まで光電変換部１０を貫通する貫通孔４０（図４参照）内に形成される。スルーホール電極２０は、貫通孔４０に導電性材料を充填することにより形成される。導電性材料としては、受光面側集電電極１５と同様の材料を用いることができる。
【００２２】
ここで、本実施形態に係るスルーホール電極２０の裏面側の一端部は、４本に分岐する。従って、図３に示すように、スルーホール電極２０は、４つに分離された端面を有する。
【００２３】
また、スルーホール電極２０は、図１に示すように、光電変換部１０の受光面上において、複数本の受光面側集電電極１５と電気的に接続する。従って、複数本の受光面側集電電極１５によって光電変換部１０から集電された光生成キャリアは、一のスルーホール電極２０に集まり、光電変換部１０の裏面側に運ばれる。なお、本実施形態では、５つのスルーホール電極２０の列を２つ平行に形成しているが、スルーホール電極２０の端面の面積やスルーホール電極２０の数は、一のスルーホール電極２０に接続される受光面側集電電極１５の本数や、使用する導電性材料の比抵抗などを考慮して、適切に設定される。
【００２４】
受光面側バスバー電極２５は、光電変換部１０の裏面上において、スルーホール電極２０から光生成キャリアを集電する電極である。受光面側バスバー電極２５は、図２に示すように、所定の方向に沿ってライン状に形成される。ここで、所定の方向とは、光電変換部１０の受光面上で５つのスルーホール電極２０の列が延びる方向である。受光面側バスバー電極２５は、受光面側集電電極１５と同様の材料を用いて形成することができる。
【００２５】
裏面側集電電極３０は、受光面側バスバー電極２５が集電する光生成キャリアとは異なる極性の光生成キャリアを、光電変換部１０から集電する。裏面側集電電極３０は、光電変換部１０の裏面のうち、受光面側バスバー電極２５が形成される領域を除いた略全域に形成される。ただし、本発明は、光電変換部１０の裏面上に形成される集電電極の形状等を限定するものではない。
【００２６】
ここで、裏面側集電電極３０と、スルーホール電極２０及び受光面側バスバー電極２５とは、互いに異なる極性の光生成キャリアを光電変換部１０から収集する。従って、裏面側集電電極３０と、スルーホール電極２０及び受光面側バスバー電極２５とは、図２に示すように、互いに電気的に絶縁されている。また、スルーホール電極２０は、図示しない絶縁膜により、貫通孔４０の内壁を形成する光電変換部１０と電気的に絶縁されている。さらに、受光面側バスバー電極２５は、図示しない絶縁膜により、光電変換部１０の裏面と電気的に絶縁されている。
【００２７】
なお、複数の太陽電池１を電気的に接続するには、一の太陽電池１の受光面側バスバー電極２５と、隣接する他の太陽電池１の裏面側集電電極３０とを配線材によって接続する。従って、配線材は太陽電池１の裏面側にのみ配設される。
【００２８】
（スルーホール電極及び貫通孔の構成）
次に、スルーホール電極２０及び貫通孔４０の構成について、図４及び図５を参照しながら説明する。図４は、図１のＡ−Ａ切断面の拡大断面図である。図５は、図１のＢ−Ｂ切断面の拡大断面図である。
【００２９】
図４及び図５に示すように、光電変換部１０を貫通する貫通孔４０は、１本の受光面側幹部４０ａと４本の裏面側枝部４０ｂとによって構成される。
【００３０】
受光面側幹部４０ａは、太陽電池１の主面に略垂直な方向（以下、「第１方向」という。）に沿って、光電変換部１０の受光面からその内部に延びる。４本の裏面側枝部４０ｂは、光電変換部１０の内部において受光面側幹部４０ａと連なる。裏面側枝部４０ｂは、受光面側幹部４０ａに連なる位置から、光電変換部１０の裏面に向かって放射状に延びる。従って、裏面側枝部４０ｂが延びる方向（以下、「第２方向」という。）は、第１方向に対して傾きを有する。
【００３１】
このように、光電変換部１０の裏面側における貫通孔４０の一端部は、複数の裏面側枝部４０ｂに分岐している。各裏面側枝部４０ｂは、光電変換部１０の裏面において開口する。また、受光面側幹部４０ａは、光電変換部１０の受光面において開口する。
【００３２】
スルーホール電極２０は、貫通孔４０に導電性材料を充填することにより形成される。従って、スルーホール電極２０は、光電変換部１０の内部で４本に分岐する。
【００３３】
ここで、受光面側集電電極１５とスルーホール電極２０との界面における電気抵抗と、受光面側バスバー電極２５とスルーホール電極２０との界面における電気抵抗とは、同等であることが好ましい。従って、受光面側幹部４０ａの受光面における開口面積と、４つの裏面側枝部４０ｂの裏面における開口面積の合計とは、同等であることが好ましい。例えば、受光面側幹部４０ａの直径を０．５ｍｍとし、裏面側枝部４０ｂの直径を０．２５ｍｍとする。
【００３４】
また、スルーホール電極２０の内部抵抗値は一様であることが好ましい。従って、第１方向に垂直な断面における受光面側幹部４０ａの断面積と、第２方向に垂直な断面における各裏面側枝部４０ｂの断面積の合計とは同等であることが好ましい。
【００３５】
また、図５では、スルーホール電極２０と受光面側集電電極１５とを区別しているが、これらは１回の工程で一体的に形成されてもよい。
【００３６】
なお、図示しないが、貫通孔４０の内壁に絶縁加工を施すことにより、或いは、絶縁膜を形成することにより、スルーホール電極２０と光電変換部１０とを電気的に絶縁することが好ましい。
【００３７】
（太陽電池の製造方法）
次に、太陽電池１の製造方法について、図６及び図７を参照しながら説明する。
【００３８】
まず、光電変換部１０に貫通孔４０を形成する。貫通孔４０の形成は、レーザ法、エッチング法、サンドブラスト法などを用いて行うことができる。例えば、レーザ法を用いる場合、まず、光電変換部１０の受光面側からレーザを照射することにより受光面側幹部４０ａを形成する。次に、レーザの照射角度を順次変更することにより４本の裏面側枝部４０ｂを形成する。これにより、図６に示す貫通孔４０が形成される。
【００３９】
なお、貫通孔４０の形成方法はこれに限らず、光電変換部１０の裏面側からレーザを照射することにより裏面側枝部４０ｂと受光面側幹部４０ａとを順次形成してもよい。また、光電変換部１０の受光面側からレーザを照射することにより受光面側幹部４０ａを形成し、また、裏面側からレーザを照射することにより裏面側枝部４０ｂを形成してもよい。
【００４０】
次に、図７に示すように、光電変換部１０の裏面を下にして、光電変換部１０を試料台５０上に載置する。即ち、裏面側枝部４０ｂの開口を下向きにして載置する。続いて、貫通孔４０の内壁に周知の方法によって絶縁膜を形成する。
【００４１】
次に、スクリーン印刷法、オフセット印刷法などの印刷法やインクジェット法を用いて、貫通孔４０内に導電性材料を充填する。これにより、スルーホール電極２０が形成される。導電性材料としては、エポキシ系熱硬化型樹脂に銀粒子を混錬した銀ペーストなどを用いることができる。このような導電性材料は、貫通孔４０内に隙間なく充填されるよう流動性（低い粘性率）を有することが好ましい。
【００４２】
次に、光電変換部１０の受光面上及び裏面上に導電性材料を所定のパターンで配設する。ここで、所定のパターンとは、図１及び図２に示す受光面側集電電極１５、受光面側バスバー電極２５及び裏面側集電電極３０の形状である。導電性材料としては、スルーホール電極２０と同様に、エポキシ系熱硬化型樹脂に銀粒子を混錬した銀ペーストなどを用いることができる。従って、当該工程は、貫通孔４０に導電性材料を充填する工程と併合してもよい。
【００４３】
なお、光電変換部１０の裏面のうち、受光面側バスバー電極２５が形成される部分には、予め絶縁膜を形成しておく。
【００４４】
（作用及び効果）
本実施形態に係る太陽電池１は、光電変換部１０の受光面から裏面まで光電変換部１０を貫通する貫通孔４０を備え、貫通孔４０の裏面側の一端部は複数の裏面側枝部４０ｂに分岐しており、裏面側枝部４０ｂは光電変換部１０の裏面において開口する。
【００４５】
このように、貫通孔４０は、開口面積の小さい裏面側枝部４０ｂを複数有する。従って、流動性を有する導電性材料を裏面側枝部４０ｂに充填しても、裏面側枝部４０ｂの裏面側の開口から導電性材料が流出することを抑制できる。
【００４６】
具体的に、導電性材料は、受光面側幹部４０ａの開口から流し込まれる。裏面側枝部４０ｂの開口面積は小さいため、光電変換部１０を持ち上げたとしても、導電性材料は裏面側枝部４０ｂの開口から流出しにくい。その結果、貫通孔４０内に導電性材料を隙間なく充填できるため、太陽電池１の製造歩留まりを向上させることができる。
【００４７】
このように、貫通孔４０の端面の面積を大きくしても、一の裏面側枝部４０ｂの開口面積が小さいため導電性材料は流出しにくい。このような貫通孔４０に大きな電流を流すことにより、貫通孔４０の数を減らすことができる。
【００４８】
従って、貫通孔４０の形成工程において、光電変換部１０の内部が損傷を受ける機会を減らすことができる。また、貫通孔４０を大径にすることにより、貫通孔４０の内壁の総面積を小さくできる。そのため、貫通孔４０の形成工程において、光電変換部１０の内部が損傷を受ける面積を減少させることができる。
【００４９】
また、より流動性の高い導電性材料を使用できるため、導電性材料の選択自由度が向上させられる。その結果、受光面側集電電極１５、受光面側バスバー電極２５及び裏面側集電電極３０と、スルーホール電極２０とを同組成の材料によって形成することができる。従って、これらの形成を一回で行なうことができるため、製造工程の簡素化や製造コストの低減を図ることができる。
【００５０】
〈２〉第２実施形態
本発明の第２実施形態について、図面を参照しながら説明する。上記第1実施形態と本実施形態との相違点は、貫通孔４０が受光面側枝部４０ｃを有する点である。
【００５１】
図８は、本実施形態に係る太陽電池２の受光面側の平面図である。図９は、本実施形態に係る太陽電池２の裏面側の平面図である。図８及び図９に示すように、太陽電池の概略構成は、上記第１実施形態と同様であるため説明を省略する。
【００５２】
（貫通孔及びスルーホール電極の構成）
次に、本実施形態に係る貫通孔４０及びスルーホール電極２０の構成について、図１０及び図１１を参照しながら説明する。図１０は、図８のＣ−Ｃ切断面の拡大断面図である。図１１は、図８のＤ−Ｄ切断面の拡大断面図である。
【００５３】
図１０及び図１１に示すように、光電変換部１０を貫通する貫通孔４０は、４本の受光面側枝部４０ｃと４本の裏面側枝部４０ｂとを有する。４本の受光面側枝部４０ｃは、所定の方向に沿って、光電変換部１０の受光面からその内部に向かって延びる。４本の裏面側枝部４０ｂは、光電変換部１０の内部で受光面側枝部４０ｃに連なる。従って、本実施形態に係る貫通孔４０は、４本の小径の貫通孔が交差するように形成される。一組の受光面側枝部４０ｃ及び裏面側枝部４０ｂは、一直線状に延びる。
【００５４】
このように、光電変換部１０の裏面側における貫通孔４０の一端部は、複数の裏面側枝部４０ｂに分岐している。各裏面側枝部４０ｂは、光電変換部１０の裏面で開口する。また、光電変換部１０の受光面側における貫通孔４０の他端部は、複数の受光面側枝部４０ｃに分岐している。各受光面側枝部４０ｃは、光電変換部１０の受光面で開口する。
【００５５】
スルーホール電極２０は、貫通孔４０に導電性材料を充填することにより形成される。
【００５６】
ここで、受光面側集電電極１５とスルーホール電極２０との接触抵抗と、受光面側バスバー電極２５とスルーホール電極２０との接触抵抗とは、同等であることが好ましい。従って、４つの受光面側枝部４０ｃの受光面における開口面積の合計と、４つの裏面側枝部４０ｂの裏面における開口面積の合計とは、同等であることが好ましい。例えば、受光面側枝部４０ｃの直径をそれぞれ０．２５ｍｍとし、裏面側枝部４０ｂの直径をそれぞれ０．２５ｍｍとする。
【００５７】
また、スルーホール電極２０の内部抵抗値は一様であることが好ましい。従って、スルーホール電極２０の断面積は、受光面側の端面から裏面側の端面まで一様であることが好ましい。
【００５８】
なお、図１１では、スルーホール電極２０と受光面側集電電極１５とを区別しているが、これらは１回の工程で一体的に形成されていてもよい。
【００５９】
なお、図示しないが、貫通孔４０の内壁に絶縁加工を施すことにより、或いは、絶縁膜を形成することにより、スルーホール電極２０と光電変換部１０とを電気的に絶縁することが好ましい。
【００６０】
（太陽電池の製造方法）
次に、太陽電池２の製造方法について説明する。
【００６１】
まず、光電変換部１０に貫通孔４０を形成する。貫通孔４０の形成は、レーザ法、エッチング法、サンドブラスト法などを用いて行うことができる。例えば、レーザ法を用いる場合、まず、光電変換部１０の受光面側からレーザを照射することにより、受光面側枝部４０ｃと裏面側枝部４０ｂとを連続して形成する。これにより、図１０及び図１１に示す貫通孔４０が形成される。なお、貫通孔４０の形成方法はこれに限らず、光電変換部１０の裏面側からレーザを照射することにより裏面側枝部４０ｂを形成するとともに、光電変換部１０の受光面側からレーザを照射することにより受光面側枝部４０ｃを形成してもよい。
【００６２】
次に、光電変換部１０を試料台５０上に載置する。本実施形態では、受光面側枝部４０ｃと裏面側枝部４０ｂとが小径であるため、いずれを下向きにして載置してもよい。続いて、貫通孔４０の内壁に周知の方法によって絶縁膜を形成する。
【００６３】
次に、スクリーン印刷法、オフセット印刷法などの印刷法やインクジェット法を用いて、貫通孔４０内に導電性材料を充填する。これにより、スルーホール電極２０が形成される。導電性材料としては、エポキシ系熱硬化型樹脂に銀粒子を混錬した銀ペーストなどを用いることができる。このような導電性材料は、貫通孔４０内に隙間なく充填されるよう流動性（低い粘性率）を有することが好ましい。
【００６４】
次に、光電変換部１０の受光面上及び裏面上に導電性材料を所定のパターンで配設する。ここで、所定のパターンとは、図８及び図９に示す受光面側集電電極１５、受光面側バスバー電極２５及び裏面側集電電極３０の形状である。導電性材料としては、スルーホール電極２０と同様に、エポキシ系熱硬化型樹脂に銀粒子を混錬した銀ペーストなどを用いることができる。従って、当該工程は、貫通孔４０に導電性材料を充填する工程と併合してもよい。
【００６５】
なお、光電変換部１０の裏面のうち、受光面側バスバー電極２５が形成される部分には、予め絶縁膜を形成しておく。
【００６６】
（作用及び効果）
本実施形態に係る太陽電池２は、光電変換部１０の受光面から裏面まで光電変換部１０を貫通する貫通孔４０を備え、貫通孔４０の裏面側の一端部は複数の裏面側枝部４０ｂに分岐しており、裏面側枝部４０ｂは光電変換部１０の裏面において開口する。また、貫通孔４０の受光面側の他端部は複数の受光面側枝部４０ｃに分岐しており、受光面側枝部４０ｃは光電変換部１０の裏面において開口する。
【００６７】
このように、受光面及び裏面における貫通孔４０の開口面積は小さい。従って、流動性を有する導電性材料を貫通孔４０に充填しても、貫通孔４０の開口から導電性材料が流出することを抑制できる。
【００６８】
また、貫通孔４０の受光面側の端部及び裏面側の端部が複数本に分岐しているため、貫通孔４０に導電性材料を流し込む工程において、光電変換部のいずれの面を下向きに載置してもよい。
【００６９】
（その他の実施形態）
本発明は上記の実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００７０】
例えば、上記第１実施形態では、貫通孔４０は裏面側でのみ分岐することとしたが、貫通孔４０は受光面側でのみ分岐されていてもよい。この場合には、貫通孔４０に導電性材料を充填する際、受光面を下にして光電変換部１０を載置すればよい。
【００７１】
また、上記第２実施形態では、受光面側幹部４０ａに代えて受光面側枝部４０ｃを形成しているが、受光面側幹部４０ａと受光面側枝部４０ｃの両方を備えていてもよい。
【００７２】
また、上記第１及び第２実施形態では、太陽電池１，２が受光面側バスバー電極２５を備える構成について説明したが、受光面側バスバー電極２５はなくてもよい。この場合には、太陽電池１，２どうしを接続する配線材をスルーホール電極２０に接続すればよい。
【００７３】
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態等を含むことは勿論である。従って、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】第１実施形態に係る太陽電池１の受光面側の平面図である。
【図２】第１実施形態に係る太陽電池１の裏面側の平面図である。
【図３】図２の部分拡大図である。
【図４】図１のＡ−Ａ切断面における拡大断面図である。
【図５】図１のＢ−Ｂ切断面における拡大断面図である。
【図６】第１実施形態に係る太陽電池１の製造方法を説明するための図である（その１）。
【図７】第１実施形態に係る太陽電池１の製造方法を説明するための図である（その２）。
【図８】第２実施形態に係る太陽電池２の受光面側の平面図である。
【図９】第２実施形態に係る太陽電池２の裏面側の平面図である。
【図１０】図８のＣ−Ｃ切断面における断面図である。
【図１１】図８のＤ−Ｄ切断面における断面図である。
【符号の説明】
【００７５】
１…太陽電池
２…太陽電池
１０…光電変換部
１５…受光面側集電電極
２０…スルーホール電極
２５…受光面側バスバー電極
３０…裏面側集電電極
４０…貫通孔
４０ａ…受光面側幹部
４０ｂ…裏面側枝部
４０ｃ…受光面側枝部
５０…試料台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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