(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバー（２）と、真空チャンバー（２）内の空気を排気する真空源（３）とを備えており、
真空チャンバー（２）の内部に、ワークホルダー（８）を支持するテーブル（４）と、貼合ダイヤフラム（５）と、テーブル（４）を貼合ダイヤフラム（５）に向かって押し付け操作するテーブル駆動構造（６）の出力部（７）とが設けられており、
ワークホルダー（８）は、第１ワーク（Ｗ１）が載置される貼合台（２２）と、第２ワーク（Ｗ２）を第１ワーク（Ｗ１）に対して所定の対向隙間をあけた状態で支持する複数個のワーク保持構造（２３）とを備えており、
ワーク保持構造（２３）は、保持枠（２４）と、保持枠（２４）で進出ないし退入自在に支持される支持体（２５）と、支持体（２５）を進出付勢するばね（２６）を含んで構成されており、
前記支持体（２５）は、第１ワーク（Ｗ１）および第２ワーク（Ｗ２）の周縁に同時に接当して、両ワーク（Ｗ１・Ｗ２）を位置決めしており、
保持枠（２４）が、テーブル（４）に固定した保持ベース（２１）で上下スライド自在に支持されて、ばね（３０）で押し上げ付勢されており、
貼合ダイヤフラム（５）は、貼合台（２２）の側へ向かって突弧状に膨張変形できる金属製のダイヤフラム膜（１４）を備えていて、ダイヤフラム膜（１４）の内部に設けた圧力室（１５）が圧力供給源（１６）に連通されており、
真空チャンバー（２）内の空気を真空源（３）で排気し、前記圧力室（１５）に作動流体を供給してダイヤフラム膜（１４）を膨張変形させた状態で、テーブル（４）をテーブル駆動構造（６）で押し付け操作して、第２ワーク（Ｗ２）を第１ワーク（Ｗ１）に対して中央部分から周辺部へ向かって貼合することを特徴とするワーク貼合装置。
【請求項２】
支持体（２５）が、金属製のボールと、一端が半球状に丸められた軸体と、一端が円錐状に形成された軸体の、いずれかひとつで形成してある請求項１に記載のワーク貼合装置。
【請求項３】
真空チャンバー（２）が、固定チャンバー体（１０）と、固定チャンバー体（１０）に対して開閉可能に設けられる可動チャンバー体（１１）とで構成されており、
可動チャンバー体（１１）の内部に貼合ダイヤフラム（５）が固定してある請求項１または２に記載のワーク貼合装置。
【請求項４】
圧力供給源（１６）が、加圧された作動油を圧力室（１５）に供給する油圧シリンダー（３３）と、油圧シリンダー（３３）のピストンロッド（３４）を往復スライド操作するピストン操作機構（３５）と、ピストン操作機構（３５）のスライド体（４３）を動作変換機構を介してスライド駆動するステッピングモーター（３６）と、ステッピングモーター（３６）の作動状態を制御する制御回路（３７）と、圧力室（１５）の油圧圧力を検知する圧力センサー（３８）とで構成されており、
圧力センサー（３８）から出力される検知信号を制御回路（３７）にフィードバックして、ステッピングモーター（３６）の作動状態を制御する請求項１から３のいずれかに記載のワーク貼合装置。
【請求項５】
圧力供給源（１６）が、加圧された作動油を圧力室（１５）に供給する油圧シリンダー（３３）と、油圧シリンダー（３３）のピストンロッド（３４）を往復操作するエアーシリンダー（４７）と、エアーシリンダー（４７）に供給される圧縮空気の圧力を制御する電空レギュレータ（４８）と、電空レギュレータ（４８）の作動状態を制御する制御回路（３７）と、圧力室（１５）の油圧圧力を検知する圧力センサー（３８）とで構成されており、
圧力センサー（３８）から出力される検知信号を制御回路（３７）にフィードバックして、電空レギュレータ（４８）の作動状態を制御する請求項１から３のいずれかに記載のワーク貼合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板やプラスチック板などの平板状のワークどうしを貼合するためのワーク貼合装置に関する。本発明の装置は、例えば液晶基板やプラズマディスプレイ基板を製造する過程で使用する。
【背景技術】
【０００２】
この種のワーク貼合装置において、金属ダイヤフラムを使用して平板状のワークどうしを貼合することは特許文献１に開示されている。そこでは、第１基板を吸着保持した基板ホルダーをＸＹθテーブル上に固定し、第２基板を貼合ヘッドの吸着ヘッドで吸着保持する。貼合ヘッドの下面には圧力室が形成してあり、その下面開口にリング状の金属ダイヤフラムが配置さら、金属ダイヤフラムの内縁に吸着ヘッドが固定してある。ＣＣＤカメラによって両基板の位置調整を行なったのち、吸着ヘッドをＸＹθテーブル側に押し付けて第１基板と第２基板を貼合する。このとき、リング状の金属ダイヤフラムが傾動し、あるいは３次元的に変形して、両基板の貼合面に加わる不均一な圧力を吸収する。つまり、特許文献１における金属ダイヤフラムは、第２基板を吸着する吸着ヘッドのバックアップ体として機能しているに過ぎず、本発明に係る貼合ダイヤフラムとは機能が著しく異なる。
【０００３】
本発明のワーク貼合装置では、金属製のダイヤフラムで一方の基板を他方の基板に押し付けて、両基板の中央から周辺部へ向かって貼合を行なうが、同様の貼合形態を採る液晶パネルの製造装置は特許文献２に公知である。そこでは、上側の貼合テーブルにゴム製のエアーバッグを設けておき、下側のテーブル載置した一対の基板を先のエアーバッグで押し付けて貼合する。
【０００４】
本発明のワーク貼合装置においては、真空チャンバー内で一対の基板を貼合するが、類似する技術として、一対の透明電極の間に設けたシール材を減圧環境下で加熱して硬化させることが特許文献３に開示してある。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２３８２７８号公報（段落番号００３９、図４）
【特許文献２】特開２００１−２５５５４０号公報（段落番号００１５、図３）
【特許文献３】特開昭５９−５７２２１号公報（第３頁左下欄１３〜２０行、第４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１、２のワーク貼合装置は、いずれも大気中において一対の基板を貼合する。そのため、貼合前の両基板の間に空気が存在するのを避けられない。また、貼合時には両基板の間の空気を強制的に排除しながら貼合を行なう必要がある。しかし、基板間の空気を完全に排除するのが難しく、不良品の発生率が高い。とくに大面積の基板を貼合する場合に局部的に空気をかみ込みやすく、製品の歩留まりを向上するうえで大きな障害になっていた。
【０００７】
その点、特許文献３の液晶表示素子の製造方法によれば、一対の透明電極の間に設けたシール材を減圧環境下で加熱して硬化させるので、空気のかみ込みを解消できる。しかし、一対の透明電極は、片方の透明電極の周縁に沿って設けたシール材を介して接合されているだけであるため、一対の基板の全面を貼合する本発明のワーク貼合装置とは、貼合構造が根本的に異なる。
【０００８】
特許文献２の液晶パネルの製造装置は、ゴム製のエアーバッグを一対の基板に押し付けて、両基板の中央から周辺部へ向かって貼合を行なう点で、本願発明のワーク貼合装置と類似する。しかし、エアーバッグを構成するゴム膜自体が弾性変形でき、しかも、伸縮性のある圧縮空気でエアーバッグを膨張させる。そのため、貼合前に仮接合した一対の基板の平面度や平行度のばらつきによって、両基板に一定の圧力を均等に作用させながら貼合させるのが難しく、一対の基板を高い精度で平行に貼合するのが困難であった。
【０００９】
本発明の目的は、空気のかみ込みを解消でき、しかも一対の平板状のワークを高い精度で平行に貼合して、製品の歩留まりを向上できるワーク貼合装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のワーク貼合装置は、真空チャンバー２と、真空チャンバー２内の空気を排気する真空源３とを備えている。真空チャンバー２の内部に、ワークホルダー８を支持するテーブル４と、貼合ダイヤフラム５と、テーブル４を貼合ダイヤフラム５に向かって押し付け操作するテーブル駆動構造６の出力部７とを設ける。ワークホルダー８は、第１ワークＷ１が載置される貼合台２２と、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に対して所定の対向隙間をあけた状態で支持する複数個のワーク保持構造２３とを備えている。ワーク保持構造２３は、保持枠２４と、保持枠２４で進出ないし退入自在に支持される支持体２５と、支持体２５を進出付勢するばね２６を含んで構成する。支持体２５は、第１ワークＷ１および第２ワークＷ２の周縁に同時に接当して、両ワークＷ１・Ｗ２を位置決めしている。保持枠２４は、テーブル４に固定した保持ベース２１で上下スライド自在に支持されて、ばね３０で押し上げ付勢されている。貼合ダイヤフラム５は、貼合台２２の側へ向かって突弧状に膨張変形できる金属製のダイヤフラム膜１４を備えている。ダイヤフラム膜１４の内部に設けた圧力室１５を圧力供給源１６に連通する。以て、真空チャンバー２内の空気を真空源３で排気し、前記圧力室１５に作動流体を供給してダイヤフラム膜１４を膨張変形させた状態で、テーブル４をテーブル駆動構造６で押し付け操作して、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に対して中央部分から周辺部へ向かって貼合することを特徴とする。
【００１１】
支持体２５は、金属製のボールと、一端が半球状に丸められた軸体と、一端が円錐状に形成された軸体の、いずれかひとつで形成する。
真空チャンバー２は、固定チャンバー体１０と、固定チャンバー体１０に対して開閉可能に設けられる可動チャンバー体１１とで構成する。可動チャンバー体１１の内部に貼合ダイヤフラム５を固定する。
【００１３】
圧力供給源１６は、加圧された作動油を圧力室１５に供給する油圧シリンダー３３と、油圧シリンダー３３のピストンロッド３４を往復スライド操作するピストン操作機構３５と、ピストン操作機構３５のスライド体４３を動作変換機構を介してスライド駆動するステッピングモーター３６と、ステッピングモーター３６の作動状態を制御する制御回路３７と、圧力室１５の油圧圧力を検知する圧力センサー３８とで構成する。以て、圧力センサー３８から出力される検知信号を制御回路３７にフィードバックして、ステッピングモーター３６の作動状態を制御する。
【００１４】
別の圧力供給源１６は、加圧された作動油を圧力室１５に供給する油圧シリンダー３３と、油圧シリンダー３３のピストンロッド３４を往復操作するエアーシリンダー４７と、エアーシリンダー４７に供給される圧縮空気の圧力を制御する電空レギュレータ４８と、電空レギュレータ４８の作動状態を制御する制御回路３７と、圧力室１５の油圧圧力を検知する圧力センサー３８とで構成する。以て、圧力センサー３８から出力される検知信号を制御回路３７にフィードバックして、電空レギュレータ４８の作動状態を制御する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のワーク貼合装置は、ワークホルダー８を支持するテーブル４や、貼合ダイヤフラム５を真空チャンバー２内に収容して、第１・第２の両ワークＷ１・Ｗ２を真空環境下で貼合することにより、両ワークＷ１・Ｗ２の貼合面に空気が存在するのを極力避けられるようにした。また、第２ワークＷ２をワークホルダー８のワーク保持構造２３で、第１ワークＷ１に対して所定の対向隙間をあけた状態で支持し、さらに、金属製のダイヤフラム膜１４を突弧状に膨張変形させた状態でテーブル４を駆動して、第２ワークＷ２をダイヤフラム膜１４の突弧面に沿って弾性変形させ、両ワークＷ１・Ｗ２を中央部分から周辺部へ向かって貼合できるようにした。
【００１６】
上記のように、両ワークＷ１・Ｗ２を中央部分から周辺部へ向かって貼合すると、真空チャンバー２内に微量の空気が残っていたとしても、微量の空気を強制的に排除しながら両ワークＷ１・Ｗ２を貼合できる。ダイヤフラム膜１４を金属で形成するので、ダイヤフラム膜１４自体が局部的に弾性変形するのを一掃でき、両ワークＷ１・Ｗ２の平面度や平行度のばらつきに影響されることもなく、両ワークＷ１・Ｗ２を貼合できる。したがって、本発明のワーク貼合装置によれば、空気のかみ込みを解消でき、しかも一対の平板状のワークを高い精度で平行に貼合して製品の歩留まりを向上できる。
【００１７】
固定チャンバー体１０と、固定チャンバー体１０に対して開閉可能な可動チャンバー体１１とで真空チャンバー２を構成し、可動チャンバー体１１の内部に貼合ダイヤフラム５を固定するワーク貼合装置によれば、両ワークＷ１・Ｗ２を出し入れするときの真空チャンバー２の開閉の手間を軽減して、一連の貼合作業に要する時間を短縮できる。また、可動チャンバー体１１を固定チャンバー体１０に被せつけて固定するだけで、貼合ダイヤフラム５を第２ワークＷ２と位置決めした状態の許に正対させて貼合準備を終了できる。
【００１８】
保持枠２４と、同枠２４に組み込まれるボール２５およびばね２６などでワーク保持構造２３を構成し、両ワークＷ１・Ｗ２の周縁にボール２５を接当させて、両ワークＷ１・Ｗ２を同時に位置決めするワークホルダー８によれば、各ワークＷ１・Ｗ２をワークホルダー８に単に取り付けるだけで位置決めを完了して、位置決めの手間を省くことができる。別途位置決め装置を設ける必要がないので、ワーク貼合装置の全体構造を簡素化して、製造コストを削減できる。保持枠２４をテーブル４に固定した保持ベース２１で上下スライド自在に支持してばね３０で押し上げ付勢するのは、ワーク貼合過程でダイヤフラム膜１４が保持枠２４に接当するとき、保持枠２４を沈み込ませて、両ワークＷ１・Ｗ２をダイヤフラム膜１４とテーブル４とで周縁部まで確実に押圧して、強固に貼合するためである。
【００１９】
ステッピングモーター３６を駆動源にして、ピストン操作機構３５を介して油圧シリンダー３３を駆動する圧力供給源１６によれば、圧力センサー３８からの検知信号に基づいてステッピングモーター３６の作動状態を制御回路３７で制御することにより、ダイヤフラム膜１４を所定量だけ正確に膨張変形させ、あるいはダイヤフラム膜１４の縮減度合を正確に設定できる。したがって、両ワークＷ１・Ｗ２を常に一定の条件で的確に貼合して、ばらつきのない貼合結果が得られる。非圧縮性の作動油でダイヤフラム膜１４を膨張変形させるので、圧縮空気で膨張されるゴム製のエアーバッグを用いて貼合を行なう従来の貼合装置に比べて、両ワークＷ１・Ｗ２の平面度や平行度にばらつきがある場合でも、ばらつきの影響を受けることもなく両ワークＷ１・Ｗ２を均等に貼合することができる。
【００２０】
エアーシリンダー４７を駆動源にして油圧シリンダー３３を駆動する圧力供給源１６によれば、圧力センサー３８からの検知信号に基づいて電空レギュレータ４８の作動状態を制御回路３７で制御することにより、ステッピングモーター３６を駆動源とする圧力供給源１６と同様に、ダイヤフラム膜１４の膨張変形量や縮減度合を正確に設定できる。したがって、両ワークＷ１・Ｗ２を常に一定の条件で的確に貼合して、ばらつきのない貼合結果が得られる。また、ピストン操作機構３５やステッピングモーター３６を構成要素とする圧力供給源１６に比べて、圧力供給源１６の全体構造を簡素化して低コスト化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（実施例）  図１ないし図８は本発明に係るワーク貼合装置の実施例を示す。図２において、ワーク貼合装置は、基台１の上部に設けられる真空チャンバー２と、真空チャンバー２内の空気を排気する真空ポンプ（真空源）３と、真空チャンバー２の内部に配置されるテーブル４および貼合ダイヤフラム５などで構成する。真空チャンバー２の下方には、テーブル４を貼合ダイヤフラム５へ向かって押し付け操作するテーブル駆動構造６が設けてあり、同構造６の出力軸（出力部）７がテーブル４の下面側に固定してある。テーブル４の上面には、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２を保持するワークホルダー８が固定してある。
【００２２】
第１ワークＷ１および第２ワークＷ２は、液晶基板やプラズマディスプレイ基板に代表される四角形のガラス基板やプラスチック板体などからなる。本発明のワーク貼合装置は、ガラス基板に別のガラス基板を接着する場合、ガラス基板にプラスチック板体を接着する場合、プラスチック板体に別のプラスチック板体を接着する場合などに使用する。なお、両ワークＷ１・Ｗ２のいずれか一方には、透明な接着剤層が全面にわたって形成してある。
【００２３】
真空チャンバー２は、上向きに開口する箱構造の固定チャンバー体１０と、下向きに開口する箱構造の可動チャンバー体１１とで構成する。可動チャンバー体１１は固定チャンバー体１０でヒンジ（図示していない）を介して揺動開閉可能に支持され、図示していないエアーシリンダーで開閉操作される。固定チャンバー体１０の可動チャンバー体１１との接合面にはシール体１２が配置してあり、このシール体１２によって真空室Ｒ内を封止できるようにしている。可動チャンバー体１１の内面には先の貼合ダイヤフラム５を固定する。貼合ダイヤフラム５は、下向きに開口する本体部１３と、本体部１３の下面開口を塞ぐ金属製のダイヤフラム膜１４とで構成してあり、ダイヤフラム膜１４の内部に設けた圧力室１５が圧力供給源１６に連通してある。
【００２４】
テーブル駆動構造６は、図示していないエアーシリンダーを駆動源にして構成してあり、エアーシリンダーのピストンの昇降動作を先の出力軸７を介してテーブル４に伝える。左右一対の出力軸７は固定チャンバー体１０に設けたスライドブッシュ１８で案内してある。
【００２５】
図３においてワークホルダー８は、テーブル４の上面に固定される４個の保持ベース２１および貼合台２２と、各保持ベース２１で支持されるワーク保持構造２３などで構成する。第１ワークＷ１は貼合台２２の上面に載置される。第２ワークＷ２は、ワーク保持構造２３で第１ワークＷ１に対して所定の対向隙間Ｅ（図４参照）をあけた状態で支持される。
【００２６】
図４においてワーク保持構造２３は、保持枠２４と、保持枠２４で進出ないし退入自在に支持されるボール（支持体）２５と、ボール２５を進出付勢するばね２６で構成する。ボール２５は鋼球に代表される金属製のボールからなる。図３に示すように左右に対向するワーク保持構造２３においては、保持枠２４の前後２個所にボール２５とばね２６が組み込んであり、前後に対向するワーク保持構造２３においては、保持枠２４の左右中にのみボール２５とばね２６が組み込んである。ボール２５は、第２ワークＷ２を支持する進出姿勢と、ばね２６の付勢力に抗して退入操作されて第２ワークＷ２の支持を解除する姿勢とに変位できる。
【００２７】
図４および図５に示すように、保持枠２４の下面側にはスライド軸２７がビス２８で固定してあり、このスライド軸２７を保持ベース２１に設けたガイド穴２９で上下スライド自在に支持している。さらに、保持枠２４と保持ベース２１との間に配置したばね３０で、保持枠２４を押し上げ付勢している。符号３１は、ばね２６の付勢力を調整する調整ねじである。調整ねじ３１でばね２６の付勢力を調整することにより、両ワークＷ１・Ｗ２の対向間隔Ｅを変更できる。
【００２８】
常態におけるボール２５は、ばね２６で進出付勢されて、周面の一部が保持枠２４の内側端面から露出する状態に保持されている。対向するワーク保持構造２３の一方のボール２５を保持枠２４内へ退入させた状態で、第１ワークＷ１を貼合台２２に載置し、ボール２５を進出姿勢に戻すことにより、合計６個のボール２５を第１ワークＷ１の各辺部の周縁に接当させて、第１ワークＷ１を前後、左右に位置決めすることができる（図４参照）。
【００２９】
さらに、第２ワークＷ２を６個のボール２５の上半周面に載置することにより、各辺部の周縁をボール２５で受け止めて、第２ワークＷ２を前後、左右に位置決めすることができる。この位置決め状態における第１ワークＷ１と第２ワークＷ２とは、所定の対向隙間Ｅをあけた状態で上下に対向しており、第２ワークＷ２の上面は、保持枠２４の上面より上方に位置している（図４参照）。対向隙間Ｅの値は両ワークＷ１・Ｗ２の厚みや弾性率などによって異なるが、多くの場合は１〜５ｍｍの範囲内で選択するのが好ましく、この実施例の場合には１ｍｍとした。
【００３０】
貼合ダイヤフラム５の圧力室１５に作動油を送給する圧力供給源１６を図６に示している。圧力供給源１６は、加圧された作動油を圧力室に供給する油圧シリンダー３３と、油圧シリンダー３３のピストンロッド３４を往復スライド操作するピストン操作機構３５と、ピストン操作機構３５を駆動するステッピングモーター３６と、ステッピングモーター３６の作動状態を制御する制御回路３７と、圧力室１６の油圧圧力を検知する圧力センサー３８とで構成する。
【００３１】
ピストン操作機構３５は、対向配置されるフレーム４１で回転自在に支持されるボールねじ軸（送りねじ軸）４２と、ボールねじ軸４２にかみあう雌ねじ体（スライド体）４３と、雌ねじ体４３をスライド案内するガイド軸４４などで構成する。雌ねじ体４３に先のピストンロッド３４の外端が固定してある。ボールねじ軸４２をステッピングモーター３６で回転駆動することにより、雌ねじ体４３をガイド軸４４に沿ってスライド移動させて、ピストンロッド３４を変位させることができる。この実施例においては、ボールねじ軸４２と雌ねじ体４３とが動作変換機構を構成する。
【００３２】
ピストンロッド３４をシリンダーバレル側へ押し込み操作すると、ピストンで加圧された作動油を圧力室１５に供給でき、この状態において貼合ダイヤフラム５のダイヤフラム膜１４は、貼合台２２の側へ向かって突弧状に膨張変形する。このときの突弧のピークはダイヤフラム膜１４の中央に位置している。作動油による加圧を解除すると、ダイヤフラム膜１４は図２に示すように平坦な状態に戻る。なお、ダイヤフラム膜１４の膨出量はごく僅かであるが、図１、図７および図８においては、理解しやすくするためにダイヤフラム膜１４の膨張変形を誇張して表している。
【００３３】
以上のように構成したワーク貼合装置は、以下の手順に従って両ワークＷ１・Ｗ２を貼合する。まず、可動チャンバー１１を開放したのち、先に説明した要領で各ワーク・Ｗ２をワークホルダー８に取り付けて位置決めする。可動チャンバー１１を固定チャンバー体１０に接合して真空室Ｒを閉鎖し、図示していないロック具で可動チャンバー１１を開放不能にロック固定する。この状態で真空室Ｒ内の空気を真空ポンプ３で排気する。並行して、ステンピングモーター３６を正転駆動して、貼合ダイヤフラム５の圧力室１５の圧力が所定値になるまで作動流体を供給する。このとき、圧力センサー３８から出力される検知信号を制御回路３７にフィードバックして、ステッピングモーター３６の作動状態を制御することにより、ダイヤフラム膜１４を所定量だけ正確に膨張変形させることができる。真空室Ｒ内が充分に減圧された状態（−９６ＫＰａ以下）で、図７に示すようにテーブル４をテーブル駆動構造６で押し上げ操作して、第２ワークＷ２と第１ワークＷ１を貼合する。
【００３４】
図８に示すように、テーブル４を押し上げ操作して第２ワークＷ２をダイヤフラム膜１４に接当させた状態では、その板面の中央部分がダイヤフラム膜１４の膨張形状に沿って下向きに弾性変形するが、第２ワークＷ２の周縁はボール２５で依然として支持されている。そのため、両ワークＷ１・Ｗ２はまず中央部分で貼合され、貼合部分が中央部分から周辺部へ向かって拡大する。この状態でステンピングモーター３６を数ステップずつ逆回転駆動してダイヤフラム膜１４の膨張変形量を徐々に減らしながら、テーブル４をダイヤフラム膜１４側へ押し付けることにより、両ワークＷ１・Ｗ２を周縁部まで貼合できる。貼合領域が周縁側へ拡大するのに伴い、ダイヤフラム膜１４の一部が保持枠２４に接当するが、以後は保持枠２４がばね３０の付勢力に抗して下向きに沈み込むので、両ワークＷ１・Ｗ２の周縁部まで確実に貼合できる。なお、ボール２５による第２ワークＷ２の支持は、第２ワークＷ２の周縁に作用する押圧力がばね２６の付勢力に打ち勝った時点で、ボール２５が保持枠２４のボール穴の内部へ退入することで解除される。
【００３５】
以上のように本発明のワーク貼合装置では、真空チャンバー２内で両ワークＷ１・Ｗ２を貼合するので、基本的に両ワークＷ１・Ｗ２の間に空気をかみこむ余地がない。さらに、突弧状に膨張したダイヤフラム膜１４で第２ワークＷ２を受け止めて、中央部分から周辺部へ向かって貼合部分を拡大させるので、仮に僅かな空気が残っていたとしても、空気を周縁側へ排除しながら両ワークＷ１・Ｗ２を適正に貼合できる。また、ステンピングモーター３６によって油圧シリンダー３３のピストンの位置を厳密に制御して、ダイヤフラム膜１４の膨張状態および縮減度合を正確に設定できるので、両ワークＷ１・Ｗ２を常に一定の条件で的確に貼合できる。ダイヤフラム膜１４を金属で形成するので、ダイヤフラム膜１４自体が局部的に弾性変形するのを一掃でき、全体として両ワークＷ１・Ｗ２の平面度や平行度のばらつきに影響されることもなく、両ワークＷ１・Ｗ２を高い精度で平行に貼合できる。
【００３６】
図９は圧力供給源１６の別実施例を示す。そこでは、油圧シリンダー３３と、油圧シリンダー３３のピストンロッド３４を往復操作するエアーシリンダー４７と、エアーシリンダー４７に供給される圧縮空気の圧力を制御する電空レギュレータ４８と、コンプレッサー（圧縮空気源）４９と、電空レギュレータ４８の作動状態を制御する制御回路３７と、圧力室１５の油圧圧力を検知する圧力センサー３８とで圧力供給源１６を構成した。エアーシリンダー４７のピストン５１の直径は、油圧シリンダー３３のピストン５０の直径より大きく設定してあり、両シリンダー３３・４７はピストンロッド３４を共有する関係にあって、いわゆる親子シリンダーとして構成してある。なお、先の実施例と同じ部材には、同じ符号を付してその説明を省略する。
【００３７】
以上のように構成した圧力供給源１６では、圧力センサー３８から出力される検知信号を制御回路３７にフィードバックして電空レギュレータ４８の作動状態を制御することにより、油圧シリンダー３３のピストンの位置を厳密に制御して、ダイヤフラム膜１４の膨張状態および縮減度合を正確に設定できるので、実施例１のワーク貼合装置と同様に、両ワークＷ１・Ｗ２を常に一定の条件で的確に貼合し、高い精度で平行に貼合できる。
【００３８】
上記の実施例以外に、ピストン操作機構３５の動作変換機構は、送りねじ軸と雌ねじ体を動作変換要素とする以外に、ウォームとラックを動作変換要素にして構成できる。真空チャンバー２の可動チャンバー体１１は、揺動開閉する以外にスライド開閉することができる。貼合ダイヤフラム５は、円筒状の本体部１３と円形のダイヤフラム膜１４とで構成することができ、その場合には、ダイヤフラム膜１４を部分球殻状に膨張変形させて、第２ワークＷ２に対する押圧力を均等化できる。ワーク保持構造２３の支持体２５はボール２５である必要はなく、一端が半球状に丸められた軸体や、一端が円錐状に形成された軸体などで構成することができる。貼合ダイヤフラム５を固定チャンバー１０側に設け、テーブル４およびワークホルダー８を可動チャンバー１１側に設けることができる。その場合の第２ワークＷ２は、ワーク保持構造２３で落下不能に保持する。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】貼合状態のワーク貼合装置を示す縦断正面図である。
【図２】貼合前のワーク貼合装置を示す縦断正面図である。
【図３】ワークホルダーの平面図である。
【図４】図３におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図４におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】圧力供給源の概略構造を示す説明図である。
【図７】ワーク貼合時の貼合ダイヤフラムの状態を示す縦断正面図である。
【図８】貼合時のワーク状態を示す説明図である。
【図９】別実施例に係る圧力供給源の概略構造を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
２  真空チャンバー
３  真空源
４  テーブル
５  貼合ダイヤフラム
６  テーブル駆動構造
１４  ダイヤフラム膜
１５  圧力室
１６  圧力供給源
２２  貼合台
２３  ワーク保持構造
Ｗ１  第１ワーク
Ｗ２  第２ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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