(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行に設置され、互いに接近し離間することのできる第一、第二のベースフレームと、
前記第一、第二のベースフレーム間を橋渡しするスライドフレームと、
前記第一のベースフレームと前記スライドフレームの一部とを連結する第一の連結部材と、前記第二のベースフレームと前記スライドフレームの他の一部とを連結する第二の連結部材とを備え、
前記第一の連結部材には、前記第一のベースフレームの縦長方向に沿ってスライドする第一のスライド機構が設けられ、前記第二の連結部材には、前記第二のベースフレームの縦長方向に沿ってスライドする第二のスライド機構が設けられ、
前記第一の連結部材には、前記第一のベースフレームに対する前記スライドフレームの角度を変化させることができる第一の回転機構が設けられ、前記第二の連結部材には、前記第二のベースフレームに対する前記スライドフレームの角度を変化させることができる第二の回転機構が設けられ、
前記連結部材には、前記スライドフレームを、前記第一、第二のベースフレームの縦長方向と交差する方向に沿ってスライドさせることのできる補助スライド機構が設けられていることを特徴とするサイズ可変ステージ。
【請求項２】
前記補助スライド機構の交差する方向は、前記第一、第二のベースフレームの縦長方向と所定の角度ψをなす方向である請求項１記載のサイズ可変ステージ。
【請求項３】
前記補助スライド機構の交差する方向は、前記スライドフレームの縦長方向である請求項１記載のサイズ可変ステージ。
【請求項４】
前記補助スライド機構は、前記スライドフレームをスライドさせる限界範囲が規定されている請求項１記載のサイズ可変ステージ。
【請求項５】
前記補助スライド機構は、前記第一の連結部材及び前記第二の連結部材のうち、少なくともいずれか１つの連結部材に設置されている請求項１記載のサイズ可変ステージ。
【請求項６】
前記第一の連結部材には、前記スライドフレームの縦長方向と直角な方向に回転軸を持ち、前記スライドフレームを揺動させることのできる第一の補助回転機構が設けられ、前記第二の連結部材には、前記スライドフレームの縦長方向と直角な方向に回転軸を持ち、前記スライドフレームを揺動させることのできる第二の補助回転機構が設けられている請求項１記載のサイズ可変ステージ。
【請求項７】
前記第一、第二の回転機構及び前記第一、第二の補助回転機構は、球面回転機構で兼用される請求項６記載のサイズ可変ステージ。
【請求項８】
前記スライドフレームには、光学検査ヘッドが装着可能である請求項１記載のサイズ可変ステージ。
【請求項９】
請求項８記載のサイズ可変ステージを用いた液晶基板の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スライドフレームの斜め配置によりサイズダウン可能なサイズ可変ステージに関するものである。このサイズ可変ステージは、カラーフィルタの光学特性、液晶基板の膜厚などを測定する液晶基板の移動式検査装置などに好適に用いることができる。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタ基板、ＴＦＴ基板、カラーフィルタ基板とＴＦＴ基板とを貼り合わせた液晶表示基板（総合して「液晶基板」という）は、近年ますます大型化しており、例えば最新の規格（Ｇ１０）では、液晶基板のサイズは約３ｍ×３ｍとなっている。
このような液晶基板の性能試験を行う検査装置は、液晶基板を支持するためフレームで構成したステージと、液晶基板に光を照射してその透過光や反射光を測定する光学検査ヘッドとを含むものである。
【０００３】
前記検査装置は、液晶基板の検査地（以下「現地」という）まで搬送する必要があるが、液晶基板の大型化に伴い、検査装置も大型化している。特に、液晶基板を支持するフレームは、車両に搭載できないほどの大きさとなる。
そこで、（１）検査装置を部品単位で現地まで輸送し、現地にて最終組立を行うことが考えられる。この方法では、全体動作確認や性能確認は、現地で初めて行うことになるため、問題があった場合、部品を再度取り寄せしなければならずリスクが大きい。また現地での組立作業工数が増加し、作業効率が悪くなるという問題がある。あわせて、制約の多い現地でユニットを取り扱うため作業安全面にも問題がある。
【０００４】
また、（２）いったん全体動作確認や性能確認されたものをユニット単位に分割し、それらを輸送し、現地にて復元することも考えられる。この方法では、復元のための調整作業が必要になり、また、専門性を要する作業にもなる。
したがって好ましい方法は、（３）全体動作確認や性能確認された検査装置をそのまま現地に輸送することであり、大型化する前の小型サイズの液晶基板用の検査装置は、このように最終組立まで行われたものを現地に輸送していた。
【特許文献１】特開2001-130622号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、大型化した検査装置になれば、そのまま車両にも搭載できないほどの大きさとなるので、サイズダウン可能なサイズ可変ステージが要望されている。
そこで本発明は、フレームを簡単に折り畳んで運ぶことのできるサイズ可変ステージ及び液晶基板の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のサイズ可変ステージは、互いに平行に設置され、互いに接近し離間することのできる第一、第二のベースフレームと、前記第一、第二のベースフレーム間を橋渡しする少なくとも１本のスライドフレームと、前記第一のベースフレームと前記スライドフレームの一部とを連結する第一の連結部材と、前記第二のベースフレームと前記スライドフレームの他の一部とを連結する第二の連結部材とを備えている。
【０００７】
前記第一の連結部材は、前記第一のベースフレームの縦長方向に沿ってスライドする第一のスライド機構を有し、前記第二の連結部材は、前記第二のベースフレームの縦長方向に沿ってスライドする第二のスライド機構を有する。
前記第一の連結部材には、前記第一のベースフレームに対する前記スライドフレームの角度を変化させることができる第一の回転機構が設けられ、前記第二の連結部材には、前記第二のベースフレームに対する前記スライドフレームの角度を変化させることができる第二の回転機構が設けられている。
【０００８】
そして本発明のサイズ可変ステージでは、前記連結部材には、前記スライドフレームを、前記第一、第二のベースフレームの縦長方向と交差する方向に沿ってスライドさせることのできる補助スライド機構が設けられている。
前記「交差する方向」とは、前記第一、第二のベースフレームの縦長方向と所定の角度ψをなす方向、例えば直角な方向でもよい。また「前記交差する方向」は前記スライドフレームの縦長方向でもよい。
【０００９】
この構成のサイズ可変ステージによれば、前記第一、第二の連結部材のスライド機構、回転機構を利用して、ベースフレーム同士の幅方向を縮めたり広げたりすることができる。したがって、輸送時ベースフレームとスライドフレームとを一切分離せずに折り畳むことができ、現地搬入後は、現地復元作業を容易に行うことができる。これにより、輸送前と同等の装置性能を、現地復元後も保証できる。
【００１０】
特に本発明のサイズ可変ステージは、補助スライド機構を備えている。もしこの補助スライド機構がなければ、スライドフレームを動かすときに、前記スライド機構、回転機構だけでは、スライドフレームを動かすときに大きな力が必要となり、前記第一、第二のベースフレーム間の間隔をスムーズに変えられない場合がある。そこで、補助スライド機構があれば、スライドフレーム自体を実質的に伸び縮みさせることができる。これにより、前記スライド機構、回転機構だけではスムーズに動かないときに、前記補助スライド機構を利用して前記第一、第二のベースフレーム間の間隔を容易に変えることができる。特に重いフレームを動かすとき、前記補助スライド機構が役立つ。
【００１１】
前記補助スライド機構は、前記スライドフレームをスライドさせる限界範囲が規定されていることが好ましい。この限界範囲がなければ、前記スライドフレームを動かすと、スライドフレームが前記連結部材から抜け落ちてしまうおそれがあるからである。
また、前記補助スライド機構は、前記第一の連結部材及び前記第二の連結部材のうち、少なくともいずれか１つの連結部材に設置されていればよい。
【００１２】
前記第一の連結部材には、前記スライドフレームの縦長方向と直角な方向に回転軸を持ち、前記スライドフレームを揺動させることのできる第一の補助回転機構が設けられ、前記第二の連結部材には、前記スライドフレームの縦長方向と直角な方向に回転軸を持ち、前記スライドフレームを揺動させることのできる第二の補助回転機構が設けられていることが好ましい。この第一、第二の補助回転機構がなければ、サイズ可変ステージを折り畳んで移動させるときに、第一、第二のベースフレームが上下動すれば、第一、第二の回転機構に過大な力が加わる。この第一、第二の補助回転機構によって前記スライドフレームを揺動させることにより、第一、第二の回転機構がダメージを受けるのを防止することができる。
【００１３】
前記第一、第二の回転機構及び前記第一、第二の補助回転機構は、球面回転機構を用いれば、１つの球面回転機構で両方の回転を実現することができる。
前記スライドフレームに光学検査ヘッドを装着して基板の光学検査をすることができる。
また、本発明の液晶基板の検査装置は、前記サイズ可変ステージを用いて現地での検査を可能にしたものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本実施の形態に係るサイズ可変ステージの全体を示す斜視図である。図２はサイズ可変ステージの平面図、図３は正面図である。
サイズ可変ステージは、金属（例えばアルミニウムや鉄）や合成樹脂などでできた角棒状の部材（フレームという）を組み合わせて四角い枠を形成して垂直に立て、これらの四角い枠同士を水平に設置された中間フレームＩＦで連結した形状をしている。四角い枠は、本発明の実施形態では合計４つあり、外側フレーム枠２つと、内側フレーム枠２つとからなる。図面左側の外側フレーム枠と左側の内側フレーム枠と左側の中間フレームＩＦ１を総称して一方側支持部１といい、右側の外側フレーム枠と右側の内側フレーム枠と右側の中間フレームＩＦ２を総称して他方側支持部２という。
【００１５】
各フレームを組み合わせて四角い枠を形成する場合、直交したフレーム同士を、ボルト等の締結具を用いて連結させてもよく、溶接、蝋付けなどにより直交するフレーム同士の連結を行ってもよい。
中間フレームＩＦによって枠同士を連結するのも同様に、ボルト等の締結具を用いて行ってもよく、溶接、蝋付けなどの手段によって行ってもよい。
【００１６】
一方側支持部１と他方側支持部２との間には、固定用フレームＦＸが着脱可能に設置されている。サイズ可変ステージを折り畳もうとする時には、一方側支持部１と他方側支持部２が矢印Ａ方向に接近することのできるように、この固定用フレームＦＸは取り外される。そして、一方側支持部１と他方側支持部２の底面には、一方側支持部１と他方側支持部２が矢印Ａ方向に移動することができるように、ローラ（図示せず）が取り付けられ、床面にはこのローラを導くレールが布設されている。したがって、一方側支持部１と他方側支持部２は、互いに平行の状態を保ったまま、互いに接近し離間することができる。
【００１７】
一方側支持部１は、四角の枠状に組まれた外側フレーム枠と、四角の枠状に組まれた内側フレーム枠とを有し、他方側支持部２は、四角の枠状に組まれた外側フレーム枠と、四角の枠状に組まれた内側フレーム枠とを有する。外側フレーム枠と内側フレーム枠との間は中間フレームＩＦ１，ＩＦ２で連結されている。
一方側支持部１において、外側フレーム枠を形成する四角の枠のうち、上側の水平に渡されたフレームをベースフレームＢＦ１１といい、内側フレーム枠を形成する四角の枠のうち、上側の水平に渡されたフレームをベースフレームＢＦ１２という。
【００１８】
また、他方側支持部２において、外側フレーム枠を形成する四角の枠のうち、上側の水平に渡されたフレームをベースフレームＢＦ２１といい、内側フレーム枠を形成する四角の枠のうち、上側の水平に渡されたフレームをベースフレームＢＦ２２という。
ベースフレームＢＦ１１又はベースフレームＢＦ１２は、「第一のベースフレーム」を構成し、ベースフレームＢＦ２１又はベースフレームＢＦ２２は、「第二のベースフレーム」を構成する。
【００１９】
そして、ベースフレームＢＦ１１とベースフレームＢＦ２１との間を架橋する少なくとも１本の長尺状のスライドフレームＳＦ１と、ベースフレームＢＦ１２とベースフレームＢＦ２２との間を架橋する少なくとも１本の長尺状のスライドフレームＳＦ２とが備えられている。
スライドフレームＳＦ１がベースフレームＢＦ１１と接触する部位には、連結部材Ｃ１１が介在され、スライドフレームＳＦ１がベースフレームＢＦ２１と接触する部位には、連結部材Ｃ２１が介在されている。また、スライドフレームＳＦ２がベースフレームＢＦ１２と接触する部位には、連結部材Ｃ１１が介在され、スライドフレームＳＦ２がベースフレームＢＦ２２と接触する部位には、連結部材Ｃ２２が介在されている。
【００２０】
連結部材Ｃ１１又は連結部材Ｃ１２は、「第一の連結部材」を構成し、連結部材Ｃ２１又は連結部材Ｃ２２は、「第二の連結部材」を構成する。
図４は、スライドフレームＳＦ１とベースフレームＢＦ１１との間に設けられる連結部材の側面図を示し、図５は正面図を示す。図６は分解斜視図である。
連結部材は、本実施の形態では４つ装備されているが、代表して連結部材Ｃ１１，Ｃ２１の構造を説明する。他の連結部材については、Ｃ１２はＣ１１と同一構造であり、Ｃ２２はＣ２１と同一構造である。
【００２１】
連結部材Ｃ１１は、ベースフレームＢＦ１１の縦長方向Ｂに沿ってスライドするスライド板３２と、スライド板３２の上に搭載され前記縦長方向Ｂと所定の角度ψをなし、かつ水平である方向Ｅに沿ってスライドするとともに、ベースフレームＢＦ１１に対するスライドフレームＳＦ１の角度（例えば図７；θ参照）を変化させるための回転ベアリング機構３３が取り付けられた補助スライド板３４と、回転ベアリング機構３３の上に搭載され、垂直軸Ｖの回りに回転するとともに、スライドフレームを揺動させるためスライドフレームＳＦ１の縦長方向Ｃと直角な水平方向Ｄに回転軸を持つ回転ベアリング機構３３が取り付けられた回転板３５とが設けられている。さらに、回転板３５の上には、スライドフレームＳＦ１が補助板３８を介して装着されている。
【００２２】
さらに詳細に説明すると、ベースフレームＢＦ１１の水平な上面には、ベースフレームＢＦ１１の縦長方向Ｂに延びた２本のレール３１が敷かれている。スライド板３２の下面には、この２本のレール３１上を回転可能な車輪（図示せず）が設けられている。この車輪の設置によって連結部材Ｃ１１は、ベースフレームＢＦ１１の上を縦長方向Ｂに自由に移動することができる。なお、ベースフレームＢＦ１１の上面には、連結部材Ｃ１１がベースフレームＢＦ１１の両端から脱落しないように、ストッパが設けられていることが好ましい。ストッパの形状は連結部材Ｃ１１を止めることさえできれば任意であるが、例えば、図６に示すように、ベースフレームＢＦ１１の上面に立設されたピンＰのようなものであってもよい。
【００２３】
スライド板３２の上面には、前記縦長方向Ｂと所定の交差角度ψをなす方向Ｅに沿って２本のレール３７ａが敷かれているとともに、スライド板３２の上部には、下面両辺に溝部３７ｂが形成され、これらの溝部３７ｂに前記レール３７ａ上を回転する車輪（図示せず）が装着された補助スライド板３４が設置されている。前記交差角度ψは０°＜ψ＜１８０°を満足する角度であればよいが、特に４５°＜ψ＜１３５°であることが好ましい。例えばψは直角（９０°）であってもよい。
【００２４】
この補助スライド板３４の設置によってスライドフレームＳＦ１は、スライド板３２の上を方向Ｅに自由に移動することができる。このように、この車輪とレール３７ａとにより、「補助スライド機構３７」が実現される。なお、スライド板３２の上面又は補助スライド板３４の下面には、スライドフレームＳＦ１がスライド板３２の端から脱落しないように、ストッパが設けられていることが好ましい。ストッパの形状は補助スライド板３４を止めることさえできれば任意である。例えば、スライド板３２の上面に立設されたピンのようなものであってもよい。
【００２５】
また、補助スライド板３４の上面には回転ベアリング機構３３が設置されている。回転ベアリング機構３３は補助スライド板３４に取り付けられた外心軸受部３３ａと、外心軸受部３３ａに対して自在に回転することのできる内心軸部３３ｂとからなる。回転板３５は、内心軸部３３ｂに固定される。この構造により、回転板３５は、補助スライド板３４に対して、自在に回転でき、その回転中心軸は垂直軸Ｖである。なお、内心軸部３３ｂを補助スライド板３４に取付け、回転板３５を外心軸受部３３ａに取り付けても良い。
【００２６】
回転板３５の上には、スライドフレームＳＦ１の縦長方向Ｃと直角な水平方向Ｄに回転軸を持つ補助回転ベアリング機構３９が設置されている。補助回転ベアリング機構３９は、スライドフレームＳＦ１を、図５に示すスライドフレームＳＦ１の縦長方向Ｃと直角な水平方向Ｄの回りに、回転角φに沿って揺動させるものである。補助回転ベアリング機構３９の上には、補助板３８が装着され、その上にスライドフレームＳＦ１が装着される。なお、補助回転ベアリング機構３９の自由な回転を制限するため、その回転角を一定範囲に規制するストッパ（図示せず）を設けることが望ましい。
【００２７】
他の連結部材Ｃ１２，Ｃ２１，Ｃ２２のうち、Ｃ１１と同じ一方側支持部１に属する連結部材Ｃ１２は、Ｃ１１と同じ構造である。
他方側支持部２に属する連結部材Ｃ２１，Ｃ２２は、図１１に示すように、補助スライド機構が省略されていても良い。すなわち、補助スライド板３４とスライド板３２とが直接固定されている。この構造では、スライドフレームＳＦ１，ＳＦ２は、方向Ｅに沿って自由に移動することができないが、スライドフレームＳＦ１，ＳＦ２の他端が、連結部材Ｃ１１，Ｃ１２によって移動可能であるので、サイズ可変ステージを折り畳んだり拡張したりするとき、スライドフレームＳＦ１，ＳＦ２をスムーズに動かすことができることに変わりない。なお、連結部材Ｃ２１，Ｃ２２においても、補助スライド機構３７を設けた構造、すなわちスライドフレームＳＦ１，ＳＦ２が方向Ｅに沿って自由に移動することができる構造としてもよい。
【００２８】
このサイズ可変ステージの折り畳み動作を説明すると、作業者は、図２のサイズ可変ステージが拡張された状態で、ボルトを外して、一方側支持部１と他方側支持部２との間に介在している固定用フレームＦＸを取り除く。そしてスライドフレームＳＦ１，ＳＦ２を手で持って斜めに押していくと、前述したスライド板３２によるベースフレームＢＦ１１の縦長方向Ｂに沿ってスライドする動作と、回転ベアリング機構３３によるθ方向の回転動作との協働により、スライドフレームＳＦ１，ＳＦ２は、折り畳まれていく。このとき、特に折り畳み初期の段階では、作業者の力の方向と、一方側支持部１と他方側支持部２とが接近する方向とは直角に近い状態であり、作業者は過大な力を強いられる。
【００２９】
そこで、補助スライド機構３７が作用する。すなわち、スライド動作と回転動作だけではスライドフレームＳＦ１，ＳＦ２がスムーズに動かないときに、補助スライド機構３７を利用してスライドフレームＳＦ１，ＳＦ２の長さを実質的に変化させることができる。このスライドフレームＳＦ１，ＳＦ２が短くなる方向は、一方側支持部１と他方側支持部２とが接近する方向であるので、スライドフレームＳＦ１，ＳＦ２を手で持って斜めに押して行ったとき、スライドフレームＳＦ１，ＳＦ２をスムーズに動かすことができるようになる。
【００３０】
補助回転ベアリング機構３９は、一方側支持部１と他方側支持部２とが完全に水平に設置されていない場合に役に立つ。すなわち、サイズ可変ステージを設置する床面が完全に水平でなく、ベースフレームＢＦ１１の上面とベースフレームＢＦ２１の上面とが同一水平面でない場合、スライドフレームＳＦ１，ＳＦ２を折り畳んでいくと、スライドフレームＳＦ１の一端と他端とが相対的に上下動し、スライドフレームＳＦ２の一端と他端とが相対的に上下動することがあるが、この動きを補助回転ベアリング機構３９のφ方向の回転動作によって吸収することができる。従って、連結部材Ｃ１１の可動部分、具体的には回転ベアリング機構３３にストレスがかかることを防止することができる。
【００３１】
図７はサイズ可変ステージを折り畳んだ状態を示す平面図であり、図８は正面図である。一方側支持部１と他方側支持部２との間には固定用取付治具４０が介在され、一方側支持部１と他方側支持部２とは、固定用取付治具４０を介してボルトで固定されている。この状態で輸送が可能になっている。
サイズ可変ステージを現地で拡張して組み立てるときは、いままでと逆の作業を行う。すなわち、固定用取付治具４０を取り外し、スライドフレームＳＦ１，ＳＦ２を拡張していく。このとき、補助スライド機構３７があるために、スライド動作と回転動作だけではスライドフレームＳＦ１，ＳＦ２がスムーズに動かないときに、補助スライド機構３７を利用してスライドフレームＳＦ１，ＳＦ２の長さを変化させることができる。このスライドフレームＳＦ１，ＳＦ２が長くなる方向は、一方側支持部１と他方側支持部２とが離間していく方向であるので、スライドフレームＳＦ１，ＳＦ２をスムーズに動かすことができるようになる。
【００３２】
一方側支持部１と他方側支持部２との距離が所定の距離になったら、両部の間に固定用フレームＦＸを挿入し、ボルトなどで固定する。この状態で、スライドフレームＳＦ１，ＳＦ２間に液晶基板を支持して、スライドフレームＳＦ１，ＳＦ２に光学検査ヘッドＯＨを取付け、その液晶基板の光学測定を行う。
図９，図１０は本発明の他の実施形態に係る、回転ベアリング機構３３と補助回転ベアリング機構３９の動作を１つの球面回転機構４１で兼用した場合の連結部材Ｃ１１ａの構造を示す側面図と正面図である。
【００３３】
連結部材Ｃ１１ａは、ベースフレームＢＦ１１の縦長方向Ｂに沿ってスライドするスライド板３２と、スライド板３２の上に搭載され、補助スライド機構３７を有するとともに、球面回転機構４１が取り付けられた補助スライド板３４と、球面回転機構４１の上に搭載された回転板３６ａとを備えている。
球面回転機構４１は、補助スライド板３４の上に設けられた球面体と、その球面体の球面を覆い、球面に沿って任意の回転運動することのできる球面カバーとからなるものである。球面回転機構４１は、垂直軸Ｖの回りに回転することもでき（図９；θ参照）、スライドフレームの縦長方向Ｃと直角な水平回転軸Ｄの回りにも回転することもできる（図１０；φ参照）。したがって、ベースフレームＢＦ１１とスライドフレームＳＦ１とを平面視したときの交差角θを変化させることができるとともに、スライドフレームを揺動させることもできるので、図４〜図６の連結部材Ｃ１１と同じ作用をすることができる。
【００３４】
以上で、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の実施はそれに限定されるものではない。例えば、ベースフレームの数は最低限２本、それらを橋渡しするスライドフレームの数は少なくとも１本あれば本発明の実施は可能である。また、補助スライド機構は、スライド板３２と補助スライド板３４との間に設けられていたが、他の部位、例えば図１２に示すように、補助板３８とスライドフレームＳＦ１との間に設けられていても良い。この場合、補助板３８にレールを敷き、スライドフレームＳＦ１の底面に、このレール上を転がる車輪を設ける。レールの方向、すなわち補助スライド機構３７′のスライド方向は、スライドフレームＳＦ１が補助板３８に対して、スライドフレームＳＦ１の縦長方向Ｃに沿ってスライドが可能となるように決定すればよい。また今までの説明では、サイズ可変ステージを液晶基板の検査装置に適用することを想定した。しかし、本発明のサイズ可変ステージは、液晶基板の検査に限らず、折り畳み可能なことが求められるあらゆる用途に利用することができる。例えば、大型の積み荷を収容するためのフレーム、大型商品陳列用フレーム等に使用すれば、荷物を収容しないとき、折り畳んだ状態で倉庫に設置したり、折り畳んだ状態で輸送したりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施形態に係るサイズ可変ステージの全体を示す斜視図である。
【図２】サイズ可変ステージの平面図である。
【図３】サイズ可変ステージの正面図である。
【図４】スライドフレームとベースフレームとの間に設けられた連結部材を示す側面図である。
【図５】連結部材の正面図である。
【図６】連結部材の分解斜視図である。
【図７】サイズ可変ステージを折り畳んだ状態を示す平面図である。
【図８】サイズ可変ステージを折り畳んだ状態を示す正面図である。
【図９】回転ベアリング機構と補助回転ベアリング機構の動作を１つの球面回転機構で兼用した場合の連結部材の構造を示す側面図である。
【図１０】同連結部材の構造を示す正面図である。
【図１１】補助スライド機構が省略された連結部材を示す分解斜視図である。
【図１２】補助スライド機構を、補助板３８とスライドフレームＳＦ１との間に設けた連結部材を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  一方側支持部
２  他方側支持部
３７  補助スライド機構
ＢＦ１１，ＢＦ１２，ＢＦ２１，ＢＦ２２  ベースフレーム
Ｃ１１，Ｃ１２，Ｃ２１，Ｃ２２  連結部材
ＦＸ  固定用フレーム
ＩＦ１，ＩＦ２  中間フレーム
ＯＨ  光学検査ヘッド
ＳＦ１，ＳＦ２  スライドフレーム
【図１】
0004903648.tif 000002
【図２】
0004903648.tif 000003
【図３】
0004903648.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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