(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線状に延びるベース部と該ベース部に対して転動体を介してスライド移動するスライド体とから成り、前記ベース部には、位置決めされた外向きの一対の第一の転動体配設溝が設けられ、前記スライド体には、前記第一の転動体配設溝と夫々対向する内向きの第二の転動体配設溝が設けられ、この内向きの第二の転動体配設溝の一方は位置決めされており、前記対向する第一の転動体配設溝と第二の転動体配設溝とで前記転動体が配設される転動路が構成された直線運動装置であって、前記第二の転動体配設溝の他方は、前記スライド体に設けられる第二レール体に形成され、前記スライド体には、前記他方の転動体配設溝が形成される前記第二レール体の全長にわたって圧接状態で介在部材が固定された介在部材付きの第二レール体が設けられ、更に、この介在部材の前記第二レール体が取り付けられる面は、前記第二レール体を位置決め取り付けする取り付け基準面に設定され、この介在部材により反りや捩れが解消された前記第二レール体が設けられた介在部材は、前記スライド体に取り付けられる際、この第二レール体付きの介在部材を前記スライド体に対して移動調整し前記転動体への予圧を調整して該スライド体に取り付けるものであることを特徴とする直線運動装置。
【請求項２】
請求項１記載の直線運動装置において、前記一方の第二の転動体配設溝は、前記スライド体に形成された取り付け基準面により位置決めされて該スライド体に取り付けられた第二レール体に形成されていることを特徴とする直線運動装置。
【請求項３】
直線状に延びるベース部と該ベース部に対して転動体を介してスライド移動するスライド体とから成り、前記ベース部には、第一の転動体配設溝が形成された一対の第一レール体が前記ベース部に形成される取り付け基準面により夫々位置決めされた状態にして前記第一の転動体配設溝が外向きとなるように取り付けられており、前記スライド体には、前記第一の転動体配設溝と夫々対向する第二の転動体配設溝が夫々形成された一対の第二レール体が該第二の転動体配設溝が内向きとなるように取り付けられており、この対向する第一の転動体配設溝と第二の転動体配設溝とで前記転動体が配設される転動路が構成され、前記一方の第二レール体が、前記スライド体に形成される取り付け基準面により位置決めされて取り付けられた直線運動装置であって、前記スライド体には、前記他方の第二レール体の全長にわたって圧接状態で介在部材が固定された介在部材付きの第二レール体が設けられ、更に、この介在部材の前記他方の第二レール体が取り付けられる面は、前記他方の第二レール体を位置決め取り付けする取り付け基準面に設定され、この介在部材により反りや捩れが解消された前記他方の第二レール体が設けられた介在部材は、前記スライド体に取り付けられる際、この他方の第二レール体付きの介在部材を前記スライド体に対して移動調整し前記転動体への予圧を調整して該スライド体に取り付けるものであることを特徴とする直線運動装置。
【請求項４】
請求項１〜３いずれか１項に記載の直線運動装置において、前記他方の第二レール体は四角柱体であり、この他方の第二レール体の４つの側面のうちの２面が前記介在部材に当接するように構成されていることを特徴とする直線運動装置。
【請求項５】
請求項１〜４いずれか１項に記載の直線運動装置において、前記スライド体は、基部の左右両側に夫々袖部を垂設した断面視略逆凹状体であり、前記介在部材は、前記スライド体の基部の下面に当接し該基部の下面と平行な平行部と前記スライド体の一方の袖部の内側面に当接し前記平行部から垂設される垂直部とを有し、この垂直部の内側面が前記他方の第二レール体が位置決め取り付けされる前記取り付け基準面に設定され、前記他方の第二レール体は前記平行部の下面と前記垂直部の内側面とに夫々当接するように取り付けられていることを特徴とする直線運動装置。
【請求項６】
直線状に延びるベース部と該ベース部に対して転動体を介してスライド移動するスライド体とから成り、前記ベース部には、位置決めされた外向きの一対の第一の転動体配設溝が設けられ、前記スライド体には、前記第一の転動体配設溝と夫々対向する第二の転動体配設溝が夫々形成された一対の第二レール体が該第二の転動体配設溝が内向きとなるように取り付けられており、この対向する第一の転動体配設溝と第二の転動体配設溝とで該転動体が配設される転動路が構成された直線運動装置であって、前記一方の前記第二レール体は、前記スライド体に形成される取り付け基準面により位置決めされて取り付けられており、前記他方の第二レール体は、その断面積が前記一方の第二レール体の断面積の２倍以上５倍以下となるように設定され、この他方の第二レール体は、前記スライド体に取り付ける際、この他方の第二レール体を前記スライド体に対して移動調整し前記転動体への予圧を調整して該スライド体に取り付けるものであることを特徴とする直線運動装置。
【請求項７】
請求項６記載の直線運動装置において、前記第一の転動体配設溝は、前記ベース部に形成された取り付け基準面により位置決めされて該ベース部に取り付けられた第一レール体に形成されていることを特徴とする直線運動装置。
【請求項８】
請求項７記載の直線運動装置において、前記スライド体は、基部の左右両側に夫々袖部を垂設した断面視略逆凹状体であり、前記他方の第二レール体は、前記スライド体の基部の下面に当接し該基部の下面と平行な平行部と前記スライド体の一方の袖部の内側面に当接し前記平行部から垂設される垂直部とを有するものであることを特徴とする直線運動装置。
【請求項９】
請求項１〜８いずれか１項に記載の直線運動装置を２つ以上用いたテーブル装置であって、前記スライド体にはテーブルが架設され、このテーブルは前記直線運動装置間に設けた駆動機構により往復直線移動し得るように構成されていることを特徴とするテーブル装置。
【請求項１０】
請求項９記載のテーブル装置において、前記テーブルの全長は前記直線運動装置のスライド体の全長より短く設定されていることを特徴とするテーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直線運動装置及びテーブル装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、図１に図示したように、直線状に延びるベース部41と該ベース部41に対して転動体42を介してスライド移動するスライド体43とから成る直線運動装置が提案されている。このベース部41には、第一の転動体配設溝44ａ・44ｂが形成される一対の第一レール体45ａ・45ｂが前記ベース部41に形成される取り付け基準面46ａ・46ｂにより夫々位置決めされた状態にして前記第一の転動体配設溝44ａ・44ｂが外向きとなるように取り付けられており、また、前記スライド体43には、前記第一の転動体配設溝44ａ・44ｂと夫々対向する第二の転動体配設溝47ａ・47ｂが形成される一対の第二レール体48ａ・48ｂが前記スライド体43に前記第二の転動体配設溝47ａ・47ｂが内向きとなるように取り付けられており、この対向する第一の転動体配設溝44ａ・44ｂと第二の転動体配設溝47ａ・47ｂとで転動体42が配設される転動路49ａ・49ｂが形成される。尚、図中、符号50は転動体42を保持する転動体保持器である。
【０００３】
ところで、一対の第一レール体45ａ・45ｂ及び一方の第二レール体48ａは、図２に図示したようにスライド体43に形成された取り付け基準面46ａ・46ｂ・51ａに対してバイスＶ等で圧接して位置決めされた状態で止めネジ52により固定されるが、他方の第二レール体48ｂは、例えば特許文献１に開示されるように、この他方の第二レール体48ｂを調整ネジ53によりスライド体43に対して移動調整することで、転動体42に付与する予圧を調整しているため、この他方の第二レール体48ｂは基準面51ｂに圧接して位置決め固定することができない。
【０００４】
具体的には、従来の予圧調整は以下の（１）〜（６）の手順で行っている。
【０００５】
（１）ベース部41に第一レール体45ａ・45ｂを取り付け基準面46ａ・46ｂにバイス等で圧接した状態で止めネジ52により固定すると共に、スライド体43に一方の第二レール体48ａを取り付け基準面51ａにバイス等で圧接した状態で止めネジ52により固定する（図３（ａ））。
【０００６】
（２）他方の第二レール体48ｂをスライド体43（の基準面51ｂ）に仮止めする（図３（ｂ））。
【０００７】
（３）第一レール体45ａ・45ｂと第二レール体48ａ・48ｂとの間に転動体42を保持した転動体保持器50を挿入配設する（図３（ｃ））。
【０００８】
（４）第一レール体45ａ・45ｂ及び第二レール体48ａ・48ｂの端部に転動体保持器50の転落を防止するストッパーネジ54を取り付け、ダイヤルゲージ55により振れを計測しながら以下の（イ），（ロ），（ハ）の手順を繰り返して隙間がなくなるまで予圧を調整する（図３（ｄ））。
【０００９】
（イ）スライド体43をベース部41に対して一方側に（ストロークエンドまで）スラ
イド移動させ、図３（ｅ）中の〇部分の調整ネジ53を締め付けて他方の第二レ
ール体48ｂを微動調整する。
【００１０】
（ロ）スライド体43をベース部41に対して他方側に（ストロークエンドまで）スラ
イド移動させ、図３（ｆ）中の〇部分の調整ネジ53を締め付けて他方の第二レ
ール体48ｂを微動調整する。
【００１１】
（ハ）スライド体43がベース部41の略中央に位置するようにスライド移動させ、図
３（ｇ）中の○部分の調整ネジ53を締め付けて他方の第二レール体48ｂを微動
調整する。
【００１２】
（５）トルクレンチを用い所定のトルクになるように上記（イ），（ロ），（ハ）の手順を繰り返して最終調整を行う。
【００１３】
（６）仮止めしてある第二レール体48ｂをスライド体43に固定する。
【００１４】
【特許文献１】特開平７−３０２８２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
従って、他方の第二レール体48ｂはスライド体43の取り付け面51ｂに対し（バイス等で圧接されて）位置決め固定されておらず、よって、他のレール体に比しレール体に生じているレールの反りや捩れが解消され難く、この直線運動装置を用いて構成されるテーブル装置のピッチング，ヨーイング若しくは真直度等の姿勢精度が製品ごとにバラついて精度や動摩擦抵抗に悪影響を与えている。また、その結果、位置精度もテーブル装置ごとにバラついたり悪化したりしているのが現状である。
【００１６】
また、ボールネジやリニアモーターを駆動機構としてベースレールに対してテーブルを往復移動させるテーブル装置は、駆動機構の左右両側に上記第一レール体及び第二レール体を一組ずつ設けてテーブルの往復移動をガイドしているが、左右の第一レール体及び第二レール体との間隔が広くなり、テーブルが予圧や荷重で変形し、精度悪化の原因となっている。
【００１７】
本発明は、上述のような現状に鑑みなされたものであり、従来反りや捩れを解消し難かった予圧調整用の第二レール体に反りや捩れが生じ難くなり、それだけ高精度なガイドが可能となる極めて実用性に秀れた直線運動装置及びテーブル装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【００１９】
直線状に延びるベース部１と該ベース部１に対して転動体２を介してスライド移動するスライド体３とから成り、前記ベース部１には、位置決めされた外向きの一対の第一の転動体配設溝４ａ・４ｂが設けられ、前記スライド体３には、前記第一の転動体配設溝４ａ・４ｂと夫々対向する内向きの第二の転動体配設溝７ａ・７ｂが設けられ、この内向きの第二の転動体配設溝７ａ・７ｂの一方は位置決めされており、前記対向する第一の転動体配設溝４ａ・４ｂと第二の転動体配設溝７ａ・７ｂとで前記転動体２が配設される転動路９ａ・９ｂが構成された直線運動装置であって、前記第二の転動体配設溝７ａ・７ｂの他方は、前記スライド体３に設けられる第二レール体８ｂに形成され、前記スライド体３には、前記他方の転動体配設溝７ｂが形成される前記第二レール体８ｂの全長にわたって圧接状態で介在部材12が固定された介在部材12付きの第二レール体８ｂが設けられ、更に、この介在部材12の前記第二レール体８ｂが取り付けられる面は、前記第二レール体８ｂを位置決め取り付けする取り付け基準面11に設定され、この介在部材12により反りや捩れが解消された前記第二レール体８ｂが設けられた介在部材12は、前記スライド体３に取り付けられる際、この第二レール体８ｂ付きの介在部材12を前記スライド体３に対して移動調整し前記転動体２への予圧を調整して該スライド体３に取り付けるものであることを特徴とする直線運動装置に係るものである。
【００２０】
また、請求項１記載の直線運動装置において、前記一方の第二の転動体配設溝７ａは、前記スライド体３に形成された取り付け基準面10により位置決めされて該スライド体３に取り付けられた第二レール体８ａに形成されていることを特徴とする直線運動装置に係るものである。
【００２１】
また、直線状に延びるベース部１と該ベース部１に対して転動体２を介してスライド移動するスライド体３とから成り、前記ベース部１には、第一の転動体配設溝４ａ・４ｂが形成された一対の第一レール体５ａ・５ｂが前記ベース部１に形成される取り付け基準面６ａ・６ｂにより夫々位置決めされた状態にして前記第一の転動体配設溝４ａ・４ｂが外向きとなるように取り付けられており、前記スライド体３には、前記第一の転動体配設溝４ａ・４ｂと夫々対向する第二の転動体配設溝７ａ・７ｂが夫々形成された一対の第二レール体８ａ・８ｂが該第二の転動体配設溝７ａ・７ｂが内向きとなるように取り付けられており、この対向する第一の転動体配設溝４ａ・４ｂと第二の転動体配設溝７ａ・７ｂとで前記転動体２が配設される転動路９ａ・９ｂが構成され、前記一方の第二レール体８ａが、前記スライド体３に形成される取り付け基準面10により位置決めされて取り付けられた直線運動装置であって、前記スライド体３には、前記他方の第二レール体８ｂの全長にわたって圧接状態で介在部材12が固定された介在部材12付きの第二レール体８ｂが設けられ、更に、この介在部材12の前記他方の第二レール体８ｂが取り付けられる面は、前記他方の第二レール体８ｂを位置決め取り付けする取り付け基準面11に設定され、この介在部材12により反りや捩れが解消された前記他方の第二レール体８ｂが設けられた介在部材12は、前記スライド体３に取り付けられる際、この他方の第二レール体８ｂ付きの介在部材12を前記スライド体３に対して移動調整し前記転動体２への予圧を調整して該スライド体３に取り付けるものであることを特徴とする直線運動装置に係るものである。
【００２２】
また、請求項１〜３いずれか１項に記載の直線運動装置において、前記他方の第二レール体８ｂは四角柱体であり、この他方の第二レール体８ｂの４つの側面のうちの２面が前記介在部材12に当接するように構成されていることを特徴とする直線運動装置に係るものである。
【００２３】
また、請求項１〜４いずれか１項に記載の直線運動装置において、前記スライド体３は、基部13の左右両側に夫々袖部14・15を垂設した断面視略逆凹状体であり、前記介在部材12は、前記スライド体３の基部13の下面に当接し該基部13の下面と平行な平行部16と前記スライド体３の一方の袖部14の内側面に当接し前記平行部16から垂設される垂直部17とを有し、この垂直部17の内側面が前記他方の第二レール体８ｂが位置決め取り付けされる前記取り付け基準面11に設定され、前記他方の第二レール体８ｂは前記平行部16の下面と前記垂直部17の内側面とに夫々当接するように取り付けられていることを特徴とする直線運動装置に係るものである。
【００２４】
また、直線状に延びるベース部１と該ベース部１に対して転動体２を介してスライド移動するスライド体３とから成り、前記ベース部１には、位置決めされた外向きの一対の第一の転動体配設溝４ａ・４ｂが設けられ、前記スライド体３には、前記第一の転動体配設溝４ａ・４ｂと夫々対向する第二の転動体配設溝７ａ・７ｂが夫々形成された一対の第二レール体８ａ・８ｂが該第二の転動体配設溝７ａ・７ｂが内向きとなるように取り付けられており、この対向する第一の転動体配設溝４ａ・４ｂと第二の転動体配設溝７ａ・７ｂとで該転動体２が配設される転動路９ａ・９ｂが構成された直線運動装置であって、前記一方の前記第二レール体８ａは、前記スライド体３に形成される取り付け基準面10により位置決めされて取り付けられており、前記他方の第二レール体８ｂは、その断面積が前記一方の第二レール体８ａの断面積の２倍以上５倍以下となるように設定され、この他方の第二レール体８ｂは、前記スライド体３に取り付ける際、この他方の第二レール体８ｂを前記スライド体３に対して移動調整し前記転動体２への予圧を調整して該スライド体３に取り付けるものであることを特徴とする直線運動装置に係るものである。
【００２５】
また、請求項６記載の直線運動装置において、前記第一の転動体配設溝４ａ・４ｂは、前記ベース部１に形成された取り付け基準面６ａ・６ｂにより位置決めされて該ベース部１に取り付けられた第一レール体５ａ・５ｂに形成されていることを特徴とする直線運動装置に係るものである。
【００２６】
また、請求項７記載の直線運動装置において、前記スライド体３は、基部13の左右両側に夫々袖部14・15を垂設した断面視略逆凹状体であり、前記他方の第二レール体８ｂは、前記スライド体３の基部13の下面に当接し該基部13の下面と平行な平行部56と前記スライド体３の一方の袖部14の内側面に当接し前記平行部56から垂設される垂直部57とを有するものであることを特徴とする直線運動装置に係るものである。
【００２７】
また、請求項１〜８いずれか１項に記載の直線運動装置を２つ以上用いたテーブル装置であって、前記スライド体３にはテーブル20が架設され、このテーブル20は前記直線運動装置間に設けた駆動機構21により往復直線移動し得るように構成されていることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
【００２８】
また、請求項９記載のテーブル装置において、前記テーブル20の全長は前記直線運動装置のスライド体３の全長より短く設定されていることを特徴とするテーブル装置に係るものである。
【発明の効果】
【００２９】
本発明は上述のように構成したから、従来反りや捩れを解消し難かった予圧調整用の第二レール体に反りや捩れが生じ難くなり、それだけ高精度なガイドが可能となる極めて実用性に秀れた直線運動装置及びテーブル装置となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００３１】
介在部材12をスライド体３に対して移動調整し予圧を調整することが可能となるため、第二レール体８ｂをスライド体３に対して移動調整する必要がない。従って、この第二レール体８ｂは介在部材12の取り付け基準面11により位置決めされ、よって、第二レール体８ｂの反りや捩れを解消することが可能となり、それだけ製品ごとに精度がバラつかず、高精度なガイドが可能となる。
【実施例】
【００３２】
本発明の具体的な実施例について図４〜図９に基づいて説明する。
【００３３】
本実施例は、直線状に延びるベース部１と該ベース部１に対して転動体２を介してスライド移動するスライド体３とから成り、前記ベース部１には、第一の転動体配設溝４ａ・４ｂが形成される一対の第一レール体５ａ・５ｂが前記ベース部１に形成される取り付け基準面６ａ・６ｂにより夫々位置決めされた状態にして前記第一の転動体配設溝４ａ・４ｂが外向きとなるように取り付けられており、前記スライド体３には、前記第一の転動体配設溝４ａ・４ｂと夫々対向する第二の転動体配設溝７ａ・７ｂが夫々形成される一対の第二レール体８ａ・８ｂが該第二の転動体配設溝７ａ・７ｂが内向きとなるように取り付けられており、この対向する第一の転動体配設溝４ａ・４ｂと第二の転動体配設溝７ａ・７ｂとで前記転動体２が配設される転動路９ａ・９ｂが構成された直線運動装置であって、一方の前記第二レール体８ａは、前記スライド体３に形成される取り付け基準面10により位置決めされて取り付けられており、他方の前記第二レール体８ｂは、前記スライド体３に、この他方の第二レール体８ｂを位置決めする取り付け基準面11により位置決めされて該他方の第二レール体８ｂが取り付けられた介在部材12が設けられており、この介在部材12は前記スライド体３に設けられる際、この他方の第二レール体８ｂ付きの介在部材12を前記スライド体３に対して移動調整し前記転動体２への予圧を調整して該スライド体３に設けられているものである。
【００３４】
各部を具体的に説明する。
【００３５】
図４に図示したように、ベース部１は金属製のレール状体であり、このベース部１の上面にして幅方向の略中央部には左右両側面（ベース部１が設置される設置面に対して垂直な垂直面）が夫々取り付け基準面６ａ・６ｂに設定される凸部18が形成されている。この凸部18はベース部１の長手方向に延設され、ベース部１（及び凸部18）は第一レール体５ａ・５ｂと略同じ長さに設定されている。また、ベース部１の上面にして凸部18の左右両側には、第一レール体５ａ・５ｂが載置される平坦な載置面部19が夫々設けられている。
【００３６】
図５に図示したように、第一レール体５ａ・５ｂとしては、断面視略Ｖ字状の第一の転動体配設溝４ａ・４ｂが形成された取り付け基準面６ａ・６ｂと略同じ長さの四角柱状の金属製のレールが採用されている。この第一レール体５ａ・５ｂは、夫々バイス等で前記凸部18の左右両側面に夫々全長にわたって締め付けられて圧接された状態で、この第一レール体５ａ・５ｂの挿通孔20を挿通し載置面部19に穿設されたネジ穴61に螺着される止めネジ22により取り付け固定されている。従って、第一レール体５ａ・５ｂの反りや捩れは可及的に阻止されることになる。
【００３７】
スライド体３は、断面視方形状の基部13の左右両側に夫々袖部14・15を垂設した金属製の断面視略逆凹状体であり、ベース部１の長手方向に延設されベース部１と略同じ長さに設定されている。この袖部15の内側面が前記一方の第二レール体８ａを位置決めする取り付け基準面10に設定されている。
【００３８】
一方の第二レール体８ａとしては、断面視略Ｖ字状の第二の転動体配設溝７ａが形成された取り付け基準面10と略同じ長さの四角柱状の金属製のレールが採用されている。この一方の第二レール体８ａは、バイス等で前記袖部15の内側面に全長にわたって締め付けられて圧接された状態で、スライド体３の挿通孔23を挿通しこの一方の第二レール体８ａに穿設されたネジ穴24に螺着される止めネジ22により取り付け固定されている。従って、一方の第二レール体８ａの反りや捩れは可及的に阻止されることになる。尚、袖部14・15の内側面は夫々前記ベース部１が設置される設置面に対して略垂直な垂直面に設定されている。
【００３９】
介在部材12は、図６に図示したように、スライド体３の基部13の下面に当接する該基部13の下面と平行な平行部16と、この平行部16から垂下（垂設）される前記スライド体３の一方の袖部14の内側面に当接する前記基部13の下面に対して垂直な垂直部17とから成る断面視略Ｌ字状体に構成されている。介在部材12は、ベース部１及びスライド体３と略同じ長さに設定され、その断面積は少なくとも他方の第二レール体８ｂより大きく設定されている。この介在部材12の垂直部17の内側面が他方の第二レール体８ｂの取り付け基準面11に設定され、この介在部材12の前記平行部16の下面と前記垂直部17の内側面とに夫々当接するように前記他方の第二レール体８ｂが該介在部材12に取り付け固定されている。また、平行部16の下面にして垂直部17の内側には他方の第二レール体８ｂが載置される平坦な載置面部25が設けられている。
【００４０】
従って、他方の第二レール体８ｂが取り付けられる介在部材12は断面視略Ｌ字状体となり、それだけスライド体３の軌道面に対する水平方向の断面二次モーメントが大きく剛性に秀れた構成となり、他方の第二レール体８ｂを取り付け基準面11に圧接した際、一層良好に反りや捩れが解消されることになる。
【００４１】
具体的には、介在部材12は他方の第二レール体８ｂが取り付けられた際に、一方の第二レール体８ａの断面積の２．５倍以上５倍以下の断面積となるようにその断面積が設定される、即ち、第二レール体８ａ・８ｂ同士の断面積が同じ場合、介在部材12の断面積は第二レール体８ａ・８ｂの１．５倍以上４倍以下とする。これは、１．５倍未満であると介在部材12自体の剛性が不十分となり他方の第二レール体８ｂの矯正を行い難く、４倍より大きくするとスライド体３の肉厚が薄くなり過ぎたり装置の高背化を招いたりするため好ましくないからである。尚、介在部材12は断面視略Ｌ字状体に限らず、断面視略方形状体等、他の構成としても良いが、スライド体３の軌道面に対する水平方向の断面二次モーメントを考慮すると上述のような断面視略Ｌ字状体とするのが好ましい。
【００４２】
また、この介在部材12をスライド体３に設けることで、スライド体３の剛性も良好となり、よって、装置全体の変形が抑制され、一層高精度なガイドが可能となる。
【００４３】
尚、少なくとも上記垂直部17に相当する部分があれば、介在部材12による予圧調整は可能であるが、できるだけ他方の第二レール体８ｂの反りや捩れを解消するためには上述したように介在部材12は（過度の大型化を招かない範囲で）断面二次モーメントが大きい形状に設定するのが望ましい。
【００４４】
他方の第二レール体８ｂとしては、断面視略Ｖ字状の第二の転動体配設溝７ｂが形成された取り付け基準面11と略同じ長さの四角柱状の金属製のレールが採用されている。この他方の第二レール体８ｂは、バイス等で前記垂直部17の内側面に全長にわたって締め付けられて圧接された状態で、この他方の第二レール体８ｂの挿通孔26を挿通し平行部16に穿設されたネジ穴27に螺着される止めネジ22により取り付け固定されている。従って、他方の第二レール体８ｂの反りや捩れは可及的に阻止されることになる。
【００４５】
また、夫々対向する第一レール体５ａの第一の転動体配設溝４ａ及び第二レール体８ａの第二の転動体配設溝７ａの間に形成される転動路９ａと、第一レール体５ｂの第一の転動体配設溝４ｂ及び第二レール体８ｂの第二の転動体配設溝７ｂの間に形成される転動路９ｂには、金属製の円柱状の転動体２（コロ）が交互に９０度異なる向きとなるように保持される転動体保持器28が夫々挿入配設され、スライド体３が転動体２を介してベース部１に対してスライド移動するように構成されている（所謂クロスローラガイド）。図中、符号29は、転動体保持器の転動路からの脱落を防止するストッパーネジ30が螺着されるストッパーネジ穴である。
【００４６】
また、袖部14の側面には貫通孔31が複数並設状態に設けられ、これらの貫通孔31には、基部13の下面と当接し袖部14の内側面を基準面33とする介在部材12のスライド体３に対する位置を調整するための調整ネジ32が夫々設けられている。
【００４７】
他の第二レール体８ｂが取り付けられた介在部材12は、以下の（１）〜（５）の手順で予圧調整を行った後、スライド体３の挿通孔34を挿通し介在部材12の平行部16に穿設されたネジ穴35及び平行部16及び垂直部17に穿設されたネジ穴36に螺着される止めネジ22によりスライド体３に固定される。
【００４８】
（１）ベース部１に第一レール体５ａ・５ｂを取り付け基準面６ａ・６ｂにバイス等で圧接した状態で止めネジ22により固定すると共に、スライド体３に一方の第二レール体８ａを取り付け基準面10にバイス等で圧接した状態で止めネジ22により固定すると共に、他方の第二レール体８ｂは、介在部材12の取り付け基準面11にバイス等で圧接した状態で止めネジ22により固定する（図７（ａ））。
【００４９】
（２）介在部材12をスライド体３（の基準面33）に仮止めする（図７（ｂ））。
【００５０】
（３）第一レール体５ａ・５ｂと第二レール体８ａ・８ｂとの間に転動体２を保持した転動体保持器28を挿入配設する（図７（ｃ））。
【００５１】
（４）第一レール体５ａ・５ｂ及び第二レール体８ａ・８ｂの端部に転動体保持器の転落を防止するストッパーネジ30を取り付け、ダイヤルゲージ37により振れを計測しながら以下の（イ），（ロ），（ハ）の手順を繰り返して隙間がなくなるまで予圧を調整する（図７（ｄ））。
【００５２】
（イ）スライド体３をベース部１に対して一方側に（ストロークエンドまで）スラ
イド移動させ、図７（ｅ）中の○部分の調整ネジ32を締め付けて介在部材12を
微動調整する。
【００５３】
（ロ）スライド体３をベース部１に対して他方側に（ストロークエンドまで）スラ
イド移動させ、図７（ｆ）中の○部分の調整ネジ32を締め付けて介在部材12を
微動調整する。
【００５４】
（ハ）スライド体３がベース部１の略中央に位置するようにスライド移動させ、図
７（ｇ）中の○部分の調整ネジ32を締め付けて介在部材12を微動調整する。
【００５５】
（５）トルクレンチを用い所定のトルクになるように上記（イ），（ロ），（ハ）の手順を繰り返して最終調整を行う。
【００５６】
従って、本実施例によれば、いずれのレール体も取り付け基準面にバイス等で圧接した状態で固定することができ、反りや捩れが可及的に抑制された状態となり、それだけ高精度なガイドが可能となる。また、製品ごとのバラつきも可及的に小さくなる。
【００５７】
また、以上の構成の直線運動装置Ａを用いてテーブル装置を構成した場合、秀れた作用効果が発揮される。
【００５８】
具体的には、図８に図示したように、上記直線運動装置Ａの前記スライド体３にテーブル20を架設し、このテーブル20を前記直線運動装置Ａ間に設けた駆動機構21（本実施例においてはボールネジ機構。リニアモーター機構等の他の機構を採用しても良い）により往復直線移動し得るように構成されている。尚、各直線運動装置Ａのベース部１は連設された構成としている。また、テーブル20は左右のスライド体３に夫々止めネジ22により固定されると共に、駆動機構21により移動する移動体（図示省略）にも止めネジ22により固定されている。図中、符号38はモーター、39はボールネジである。
【００５９】
従って、従来は左右の第一レール体及び第二レール体との間隔が広くなり、テーブルが予圧や荷重で変形し、精度悪化の原因となっていたが、上述のように駆動機構21の左右に夫々本実施例に係る直線運動装置Ａを夫々設けた場合には、第一レール体と第二レール体との間隔は狭いままで使用することができ、それだけテーブル20の変形を抑制可能で、高い精度で往復移動可能なテーブル装置を実現可能となる。
【００６０】
また、複数のスライド体３を中間テーブルとし、これらをテーブル20により連結するため、テーブル20の変形は一層良好に防止され、高精度を出せることになる。
【００６１】
また、テーブル20の全長を前記直線運動装置Ａのスライド体３より短く設定した場合には、具体的には、ストロークエンドにおいて平面視においてベース部１からはみ出さないように設定した場合には、長いレール体を用いてもモーター38にテーブル20が干渉しないため、それだけ装置高さを低く設定することが可能となり、また、モーター38を干渉しない位置まで後退させる必要がなく、それだけ装置長さを短くでき、よって、従来に比し同一ストロークでもよりコンパクトな構成のテーブル装置を実現可能となる。
【００６２】
また、２つに限らずより多くの直線運動装置Ａを用いてテーブル装置を構成しても良い。
【００６３】
尚、本実施例に係る直線運動装置は、一対の第一レール体８ａ及び一対の第二レール体９ｂを用いる所謂レール４本タイプとしているが、第一の転動体配設溝４ａ・４ｂを直接ベース部１の左右両側面に形成して第一レール体を一本化する所謂レール３本タイプとした場合等でも同様である。
【００６４】
また、本実施例においては、他方の第二レール体８ｂと介在部材12とを別体構成とした場合について説明しているが、これらを一体とした構成、即ち、図９に図示したように他方の第二レール体８ｂをその断面積が前記一方の第二レール体８ａの１．５倍以上（好ましくは２倍以上５倍以下）の断面視略Ｌ字状体（若しくは断面視略方形状体）に構成しても良い。この場合、（予圧調整用の）他方の第二レール体８ｂ自体に反りや捩れが生じ難い構成となり、それだけ高精度のガイドを実現可能となる。尚、図９では、他方の第二レール体８ｂは、上記介在部材12と同様に上記平行部56と上記垂直部57とで構成され、この垂直部57の内側面に第二の転動体配設溝７ｂを形成した構成である。また、ストッパーネジ穴58、平行部56に穿設されたネジ穴59並びに平行部56及び垂直部57に穿設されるネジ穴60についても上記介在部材12に形成したものと同様である。
【００６５】
本実施例は上述のように構成したから、介在部材12をスライド体３に対して移動調整することで予圧を調整することが可能となるため、第二レール体８ｂをスライド体３に対して移動調整する必要がなく、従って、一方の第二レール体８ａはスライド体３の取り付け基準面10に例えばバイス等で圧接して位置決めすると共に、他方の第二レール体８ｂは介在部材12の取り付け基準面11により同様に位置決めすることが可能となり、よって、いずれの第二レール体８ａ・８ｂにおいても取り付け基準面10・11によって位置決めして反りや捩れを解消することが可能となり、それだけ製品ごとに精度がバラつかず、高精度なガイドが可能となる。
【００６６】
よって、本実施例は、従来反りや捩れを解消し難かった予圧調整用の第二レール体に反りや捩れが生じ難くなり、それだけ高精度なガイドが可能となる極めて実用性に秀れたものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】従来例の概略説明斜視図である。
【図２】バイスによる圧接を説明する概略説明図である。
【図３】従来例の予圧調整手順を説明する概略説明図である。
【図４】本実施例の概略説明斜視図である。
【図５】本実施例の要部の拡大概略説明断面図である。
【図６】本実施例の要部の拡大説明分解斜視図である。
【図７】本実施例の予圧調整手順を説明する概略説明図である。
【図８】本実施例の使用状態説明図である。
【図９】別例の要部の拡大概略説明斜視図である。
【符号の説明】
【００６８】
１  ベース部
２  転動体
３  スライド体
４ａ・４ｂ  第一の転動体配設溝
５ａ・５ｂ  第一レール体
６ａ・６ｂ  取り付け基準面
７ａ・７ｂ  第二の転動体配設溝
８ａ・８ｂ  第二レール体
９ａ・９ｂ  転動路
10・11  取り付け基準面
12  介在部材
13  基部
14・15  袖部
16・56  平行部
17・57  垂直部
20  テーブル
21  駆動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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