(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
断熱容器と、前記断熱容器内に収容されるとともに液体窒素を吸収および保持する構造を有する連続気泡を有する繊維集合体を内部に挿入された複数の中空管状容器とを少なくとも備え、前記中空管状容器内を液体窒素以外には前記繊維集合体のみで充填したことを特徴とする液体窒素を用いた携帯用センサー冷却器。
【請求項２】
断熱容器と、前記断熱容器内に収容されるとともに液体窒素を吸収および保持する構造を有する連続気泡を有する繊維集合体を挿入する複数の貫通孔を有する蓮根状容器とを少なくとも備え、前記貫通孔内を液体窒素以外には前記繊維集合体のみで充填したことを特徴とする液体窒素を用いた携帯用センサー冷却器。
【請求項３】
前記繊維集合体を、前記中空管状容器内或いは前記貫通孔内に圧縮挿入したことを特徴とする請求項１または２に記載の液体窒素を用いた携帯用センサー冷却器。
【請求項４】
前記各中空管状容器或いは前記貫通孔の上部に通気性の隔壁を設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体窒素を用いた携帯用センサー冷却器。
【請求項５】
液体窒素による被冷却部周囲にカーボンナノチューブを充填したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体窒素を用いた携帯用センサー冷却器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体窒素を用いた携帯用センサー冷却器に関するものであり、液体窒素冷却を必要とする携帯型容器、特に、高温超電導体を用いたＳＱＵＩＤ非破壊検査装置等の小型電子機器や赤外線センサー等の冷却に用いる冷却器を携帯可能にするための構成に特徴のある液体窒素を用いた携帯用センサー冷却器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、超電導線材、原子力発電所、プラント、航空機、エレベータ或いは遊具の非破壊検査のためにＳＱＵＩＤが用いられるようになってきており、この様なＳＱＵＩＤを始めとする高温超電導デバイスの冷却には、真空断熱容器に蓄えられた液体窒素を用いる方法や、冷凍機を用いる方法が選択されてきた（例えば、特許文献１或いは特許文献２参照）。
【０００３】
また、１個１個のフォトンを観測する天体観測用高感度赤外線センサーや偵察用高感度赤外線センサーも、液体窒素温度で動作させるために、液体窒素による冷却機構が用いられている。
【０００４】
近年、このような液体窒素温度での冷却が必要な電子機器、特に、ＳＱＵＩＤ非破壊検査装置等の小型電子機器においては、必要な時に簡便に検査ができるように、ハンディータイプの小型電子機器への要望が多くなっている。
【特許文献１】特開平０５−３３３１２５号公報
【特許文献２】特表２００６−５２７５４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、真空断熱容器にためられた液体窒素冷却の場合、運搬や測定時に液体があばれるため、液漏れしたり突沸したりする危険を伴い、ハンディー測定機の冷却には向かないという問題がある。
【０００６】
また、冷凍機は価格が高価であること、電池駆動が困難であること、振動ノイズが問題になること、温度の安定性が十分でないことなど、ハンディー型測定器応用への課題が多いという問題がある。
【０００７】
例えば、大型或いは中型の低振動冷凍機の場合には、固定式であるか、或いは移動式の場合にも移動について制限があり、例えば、原子力発電所で事故等が発生した場合に、非破壊検査のための構成が大掛りになるとともに、測定が必要な箇所が狭い箇所であったり或いは入り組んだ箇所の場合には、検査が非常に困難になるという問題がある。
【０００８】
特に、狭い箇所であったり或いは入り組んだ箇所の測定をする場合には、コードレスであることが望ましいが、大型或いは中型の低振動冷凍機の場合には電池駆動が不可能であるためコードレスにできないという問題がある。
【０００９】
また、中型の低振動冷凍機は重量が５〜１０ｋｇであり、大型の低振動冷凍機は重量が２０ｋｇ以上と非常に重く、且つ、価格も２００〜３００万円と非常に高価であるという問題がある。
【００１０】
このような状況の中で、持ち運びが可能で、コードレスで、重量も１Ｋｇ程度で、価格も１万円程度の小型冷却器が望まれているが、この様な要請に応える性能を有する冷却器は存在しないのが現状である。
【００１１】
したがって、本発明は、低コストで携帯可能な液体窒素冷却器を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
図１は本発明の原理的構成図であり、ここで図１を参照して、本発明における課題を解決するための手段を説明する。
なお、図における符号５，６は、それぞれ断熱材及び圧力開放弁である。
図１参照
上記の課題を解決するために、本発明は、液体窒素４を用いた携帯用センサー冷却器であって、断熱容器１と、断熱容器１内に収容されるとともに液体窒素４を吸収および保持する構造を有する連続気泡を有する繊維集合体３を内部に挿入された複数の中空管状容器２とを少なくとも備え、前記中空管状容器２内を液体窒素４以外には前記繊維集合体３のみで充填したことを特徴とする。
【００１３】
このように、連続気泡を有する繊維集合体３により液体窒素４を吸収および保持することによって、運搬や測定時に液体窒素４があばれて、液漏や突沸することを抑制することができる。
また、このような、中空管状容器２を複数備えることによって、図１の下図に示すように、一本の大口径の中空管状容器２を用いた場合に比べて熱の伝達性が向上するとともに、容器が傾いた場合の液体窒素４の漏れ出しを効果的に抑制することができる。
【００１４】
また、この場合の中空管状容器２を円管状容器とすることが望ましく、それによって、製作が容易になるとともに、通常は内部が円筒状の断熱容器１内に高密度で収納することができるとともに、繊維集合体３の挿入が容易になる。
【００１５】
この場合、互いに隣接する円管状容器の間には空隙ができるので、繊維集合体３を充填することが望ましく、それによって、液体窒素４の保持量を多くすることができる。
【００１６】
或いは、中空管状容器２は、断面が多角形の中空管状容器２でも良く、特に、断面が６角形の中空管状容器２の場合には複数の中空管状容器２が密着して最密充填構造となってハニカム構造を構成することができ、同じ容積の断熱容器１に保持することができる単位容積当たりの液体窒素４の保持量を最も多くすることができる。
【００１７】
また、繊維集合体３を内部に挿入する繊維集合体３保持容器は、繊維集合体３を挿入する複数の貫通孔を有する蓮根状容器であっても良く、繊維集合体保持容器の断熱容器１内への収納が容易になる。
【００１８】
なお、毛細管現象による液面の上昇高さは、繊維集合体３の液体窒素４との接触角をθとした場合、ｃｏｓθに比例するので、繊維集合体３の液体窒素４との接触角θが９０度以下である材質からなる繊維集合体３を用いることが望ましく、それによって、繊維集合体３による液体窒素４の保持能力を大きくすることができる。
【００１９】
また、毛細管現象による液面の上昇高さは、毛細管の径、即ち、連続気泡により構成される管の径に反比例するので、繊維集合体３を、中空管状容器２内或いは貫通孔内に圧縮挿入することによって、毛細管の実効的な径を小さくすることができ、それによって、繊維集合体３による液体窒素４の保持能力を大きくすることができる。
【００２０】
また、各中空管状容器２或いは貫通孔の上部に通気性の隔壁を設けても良く、それによって、容器が傾斜した場合にも、液体窒素４の漏れ出しを効果的に抑制することができる。
【００２１】
また、液体窒素４による被冷却部周囲にカーボンナノチューブを充填しても良く、カーボンナノチューブの熱伝導率は大きいので、被冷却部を効率的に冷却することができる。
【００２２】
また、断熱容器１内であって、中空管状容器２の集合体或いは蓮根状容器の上部に、隔壁を設けても良く、それによって、容器が傾斜した場合にも、液体窒素４の漏れ出しを効果的に抑制することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明により、液体窒素を用いた冷却がより安全にしかも容易になり、ハンディー型ＳＱＵＩＤなどの検査機器等が実現可能となる。非破壊検査等、より高感度の計測が容易に行えるようになり、発電所、航空機、プラント等の安全向上に寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
ここで、図２及び図３を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
図２参照  
図２は本発明の液体窒素冷却器の基本構成図であり、真空断熱容器１２を保持する外囲器１１、真空断熱容器１２内に収納される複数の中空管状容器１３、中空管状容器１３内に挿入されて液体窒素を吸収保持する繊維集合体１４、液体窒素の温度を伝達するカーボンナノチューブ１５、カーボンナノチューブを圧縮して内蔵するサファイアロッド１６、サファイアロッドの先端に取付けられたＳＱＵＩＤ等の被冷却物１７、中空管状容器１３の上部に設けられた断熱材１８、気化した窒素ガスを放出する圧力開放弁１９、外囲器１１の上部に取付けられるとともに電装系２１が収容された把手２０、及び、外囲器の側部に取り付けられた携帯情報端末２２から構成される。
【００２５】
図３参照  
図３は、本発明の実施の形態の円管状容器及び繊維集合体の説明図であり、中空管状容器１３は、例えば、ＣｕやＡｌ等の金属或いはガラスエポキシやアクリル等の絶縁体で構成される。
なお、被冷却物１７が赤外線センサー等の場合には中空管状容器１３の材質はＣｕやＡｌ等の金属が望ましが、被冷却物１７がＳＱＵＩＤのように磁場により中空管状容器１３に電流が生じることが望ましくない場合には、ガラスエポキシ等の絶縁体で構成することが望ましい。
【００２６】
また、中空管状容器１３に挿入する繊維集合体１４はガラス繊維やメラミンフォームのような連続気泡をもつ繊維集合体が好適であり、これらの材料は、連続気泡を有しているとともに液体窒素温度で凍結して収縮することがない。
因に、発泡体として典型的なものである発泡スチロールは気泡が連続気泡ではなく、孤立気泡であるため、発泡スチロールは液体窒素温度で凍結して収縮する。
【００２７】
液体窒素は、繊維集合体１４に単に吸収されただけでも安定性を増すが、以下のような毛細管現象の条件下で水がタオルにしみ込むように繊維集合体１４に吸収されると保持力はさらに向上する。
水はタオルに吸収した状態では液体でありながら容易に運搬できるのと同じである。
この場合の毛細管現象による液面の上昇高さｈ〔ｍ〕は、
ｈ＝２Ｔｃｏｓθ／ρｇｒ
で表される。ここで、
Ｔ：表面張力〔Ｎ／ｍ〕
θ：接触角〔度〕
ρ：液体の密度〔ｋｇ／ｍ3 〕
ｇ：重力加速度〔ｍ／ｓ2 〕
ｒ：管の半径〔ｍ〕
【００２８】
この場合、管の半径ｒは繊維集合体１４の連続気泡の半径に相当するので、連続気泡の半径が小さいほど毛細管現象が顕著になり、また、繊維集合体１４の液体窒素に対する接触角θが小さいほど毛細管現象が顕著になる。
なお、θ＞９０°の場合、ｃｏｓθ＜０となるので、ｈ＜０となり毛細管現象が作用しなくなるので、接触角θはθ≦９０°である必要がある。
【００２９】
また、毛細管現象による液面の上昇高さｈは表面張力Ｔに比例するのに対して、液体窒素の表面張力は７７Ｋで０．００７Ｎ／ｍで、２０℃水の０．０７Ｎ／ｍの１／１０と小さいが、液体ヘリウム（４．２Ｋ）の１００倍であり、連続気泡が十分に小さい材料（管の半径ｒが小さいことに相当）を選択すれば、毛細管現象による吸着作用を十分に発揮することができる。
【００３０】
このように、繊維集合体１４に液体窒素を吸収保持させることによって、液体窒素の搬送や測定の際に液体窒素が波立ったりして液漏れしたり突沸することを抑制することができる。
【００３１】
また、繊維集合体１４に液体窒素を吸収保持させる際に、繊維集合体１４を断熱容器に直接入れることでも液体窒素の動きを制限し、保持力を持たせることは可能であるが、さらに、中空管状容器１３に挿入格納することによって、シリンダー状に分離することでさらに液体窒素の動きを制限することができる。
例えば、容器が大きく傾いた場合に、全体を大きな繊維集合体１４で構成した場合には吸収された液体窒素が傾き角に応じて漏れ出す危険があるが、シリンダー状に分離した場合には、中空管状容器１３の管側壁が液体窒素の移動の障壁となるので、液体窒素の漏れ出しを抑制することができる。
【実施例１】
【００３２】
以上を前提として、次に、図４を参照して本発明の実施例１の液体窒素冷却器を説明するが、ここでは、外囲器内部の基本構成のみを説明する。
図４参照  
図４は、本発明の実施例１の液体窒素冷却器の概念的構成図であり、真空断熱容器３１、真空断熱容器３１内に収納される複数の銅製の円管状容器３２、円管状容器３２内に挿入されるメラミンフォームからなる繊維集合体３３、同じくメラミンフォームからなる断熱材３４、気化した窒素ガスを放出する圧力開放弁３５からなる。
【００３３】
この場合の円管状容器３２は、例えば、内径φが１５ｍｍ、肉厚が０．５ｍｍ、長さが８０ｍｍの円管で構成する。
この円管状容器３２に挿入する繊維集合体３３としてのメラミンフォームは液体窒素との接触角が９０度以下であるので毛細管現象を保持力として利用できる。
【００３４】
因に、断熱材として広く用いられているグラスウールも圧縮して繊維間隔をせばめることで同様の効果で液体窒素を吸収できるが、気泡のサイズが０．２μｍのメラミンフォームは同体積でおよそ１．６倍の吸収力をもつことが実験で明らかとなった。
しかも、断熱能力が高いので、液体窒素が少なくなった時にはそれを保持するための断熱材として有効に働く。
【実施例２】
【００３５】
次に、図５を参照して本発明の実施例２の液体窒素冷却器を説明するが、ここでも、外囲器内部の基本構成のみを説明する。
図５参照  
図５は、本発明の実施例２の液体窒素冷却器の概念的構成図であり、真空断熱容器３１、真空断熱容器３１内に収納される複数のガラスエポキシ製の円管状容器４０、円管状容器４０内に挿入されるメラミンフォームからなる繊維集合体３３、同じくメラミンフォームからなる断熱材３４、円管状容器４０の底面側に設けられたカーボンナノチューブ３６、カーボンナノチューブを圧縮して内蔵するサファイアロッド３７、サファイアロッド３７の先端に取付けられたＳＱＵＩＤチップ３８、気化した窒素ガスを放出する圧力開放弁３５からなる。
【００３６】
この実施例２においては、温度の安定が必要なＳＱＵＩＤ素子を冷却するため、熱伝導性に優れたカーボンナノチューブ３６を、ＳＱＵＩＤチップ３８の周辺に用いた構造であり、このカーボンナノチューブ３６は微細繊維集合体であり液体窒素の保持も行う一方で、熱伝導も担うものであり、ハンディー型ＳＱＵＩＤ装置を構成するために有利な構造である。
【実施例３】
【００３７】
次に、図６を参照して本発明の実施例３の液体窒素冷却器を説明するが、ここでも、外囲器内部の基本構成のみを説明する。
図６参照  
図６は、本発明の実施例３の液体窒素冷却器の概念的構成図であり、真空断熱容器３１、真空断熱容器３１内に収納される複数の銅製の円管状容器３２、円管状容器３２内に挿入されるメラミンフォームからなる繊維集合体３３、同じくメラミンフォームからなる断熱材３４、気化した窒素ガスを放出する圧力開放弁３５からなる。
【００３８】
但し、ここでは、メラミンフォームからなる繊維集合体３３を圧縮して挿入する。
例えば、図に示すように、φ１５×５０ｍｍの円管状容器３２内にφ３４×６５ｍｍのメラミンフォームからなる繊維集合体３３を圧縮挿入する。
この場合、メラミンフォームを圧縮なしで挿入して液体窒素を保持したとき、吸収量は２．６ｃｃであったが、メラミンフォームを圧縮挿入した場合の吸収量は４．５ｃｃと増加した。
これは、圧縮によってメラミンフォーム内の連続気泡が収縮して連続気泡の半径ｒが小さくなり、それによって、毛細管現象による液面の高さｈが大きくなるためと考えられる。
【実施例４】
【００３９】
次に、図７を参照して本発明の実施例４の液体窒素冷却器を説明するが、ここでは、中空管状容器の構成のみを説明する。
図７参照  
図７は、本発明の実施例４の液体窒素冷却器内に収容される中空管状容器の概念的構成図であり、中空管状容器４１は断面が正六角形の中空多角柱状であり、この中空管状容器４１を密着させてハニカム構造としたものであり。
このようなハニカム構造は、最密充填構造であるので、真空断熱容器３１内の単位体積あたりのメラミンフォームの体積を増加でき、より小さな容器で多くの液体窒素を保持できる。
【実施例５】
【００４０】
次に、図８を参照して本発明の実施例５の液体窒素冷却器を説明するが、ここでは、中空管状容器の充填構成のみを説明する。
図８参照  
図８は、本発明の実施例５の液体窒素冷却器内に収容される中空管状容器の充填構成図であり、円管状容器３２を密着させて最密充填構造とするともに、円管状容器３２同士の間に形成される空隙もメラミンフォームからなる繊維集合体３９で充填したものである。
【００４１】
この実施例５においては、円管状容器３２同士の間に形成される空隙もメラミンフォームを挿入しているので、真空断熱容器３１内の単位体積あたりのメラミンフォームの体積を増加でき、上述の実施例１に比べてより小さな容器で多くの液体窒素を保持できる。
【実施例６】
【００４２】
次に、図９を参照して本発明の実施例６の液体窒素冷却器を説明するが、ここでも、中空管状容器の構成のみを説明する。
図９参照  
図９は、本発明の実施例６の液体窒素冷却器内に収容される中空管状容器の構成図であり、円管状容器３２の上底面及び下底面に通気口４３を有する隔壁４２を設けたものである。
なお、この場合の隔壁の素材は、ガラスエポキシやアクリル、銅或いはＡｌ等を金属を用いることができる。
【００４３】
この本発明の実施例６においては、円管状容器３２の上底面及び下底面に通気口４３を有する隔壁４２を設けているので、容器の傾きに対する液体窒素の漏れや断熱容器内での偏りを防ぐことができ、ハンディー型測定器に用いる場合により有利になる。
【実施例７】
【００４４】
次に、図１０を参照して本発明の実施例７の液体窒素冷却器を説明するが、ここでも、外囲器内部の基本構成のみを説明する。
図１０参照  
図１０は、本発明の実施例７の液体窒素冷却器の概念的構成図であり、真空断熱容器３１、真空断熱容器３１内に収納される複数の銅製の円管状容器３２、円管状容器３２内に挿入されるメラミンフォームからなる繊維集合体３３、同じくメラミンフォームからなる断熱材３４、断熱材３４内に埋め込まれたガラスエポキシ製の遮蔽板４４、気化した窒素ガスを放出する圧力開放弁３５からなる。
【００４５】
この実施例７においては、上部に遮蔽板４４を設けているので、円管状容器３２から液体窒素が万が一漏れた場合に障壁として作用するため、安全性をより高めることができる。
なお、この遮蔽板４４はガラスエポキシ製に限られるものではなく、アクリルや金属材料を用いることもできる。
【実施例８】
【００４６】
次に、図１１を参照して本発明の実施例８の液体窒素冷却器を説明するが、ここでは、繊維集合体を収容する容器の構成のみを説明する。
図１１参照  
図１１は、本発明の実施例８の液体窒素冷却器を構成する繊維集合体の収容容器の概念的構成図であり、繊維集合体を収容する複数の貫通孔４６を有する例えば、銅製の蓮根状容器４５からなる。
【００４７】
この実施例８においては、繊維集合体の収容容器を一体構成の蓮根状容器４５で構成しているので、収容容器を真空断熱容器３１内に収容する際の工程が簡素化される。
【００４８】
以上、本発明の各実施例を説明してきたが、試作機を作製して冷却効果を確認したので、ここで、図１２及び図１３を参照して試作した本発明による液体窒素冷却器の構造と冷却効果を説明する。
図１２参照  
図１２は、試作機の概念的構成図であり、真空断熱容器１２、真空断熱容器１２内に収納される複数の真鍮製の中空管状容器１３、中空管状容器１３内に挿入されたメラミンフォームからなる繊維集合体１４、中空管状容器１３を保持するアルミメッシュ２３、アルミメッシュ２３の下に設けられ、液体窒素を保持するメラミンフォームからなる繊維集合体２４、中空管状容器１３の上部に設けられたメラミンフォームからなる断熱材１８、断熱材１８内の挿入されたガラスエポキシ製の漏れ防止遮蔽板２５、上蓋２６に取り付けられた圧力開放弁１９からなる。
【００４９】
この場合の中空管状容器１３は、上記の実施例６に示したタイプの中空管状容器を用いており、中空管状容器１３の上底面及び下底面に通気口２８を有する隔壁２７を設けている。
この試作機においては、振動で液体窒素が漏洩することがなく、また、９０度傾置しても漏洩はなかった。
【００５０】
図１３参照  
図１３は、試作機の冷却効果の説明図であり、静置状態における試作機は、図に示すように、液体窒素の量は時間にほぼ比例して減少していくが、３時間にわたり７７Ｋを維持できることが確認された。
【００５１】
以上、本発明の各実施例を説明してきたが、本発明は各実施例に記載された構成・条件等に限られるものではなく各種の変更が可能であり、例えば、真空断熱容器内に収容する中空管状容器のサイズ及び収容本数は、真空断熱容器のサイズに応じて任意であり、真空断熱容器のサイズは、被冷却物の大きさや、必要とする冷却時間に応じて適宜設定するものである。
【００５２】
また、上記の実施例８においては、貫通孔の断面を円形でしているが、正方形や六角形状にしても良いものであり、六角形にした場合には、上記の実施例４のようにハニカム構造となる。
【００５３】
また、上記の実施例８においても、上記実施例６と同様に、貫通孔を覆うように、通気口を有する隔壁を設けても良いものである。
なお、この場合の隔壁は、各貫通孔毎に設けても良いし、貫通孔に応じた通気口を有する一体の隔壁を用いても良いものである。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明の活用例としては、ＳＱＵＩＤや高感度赤外線センサ等の液体窒素温度での冷却が必要な携帯測定機器が典型的なものであるが、携帯測定機器に限られるものではなく、振動が伴う場所等における測定に必要な冷却装置としても用いられるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の原理的構成の説明図である。
【図２】本発明の液体窒素冷却器の基本構成図である。
【図３】本発明の実施の形態の中空管状容器及び繊維集合体の説明図である。
【図４】本発明の実施例１の液体窒素冷却器の概念的構成図である。
【図５】本発明の実施例２の液体窒素冷却器の概念的構成図である。
【図６】本発明の実施例３の液体窒素冷却器の概念的構成図である。
【図７】本発明の実施例４の液体窒素冷却器内に収容される中空管状容器の概念的構成図である。
【図８】本発明の実施例５の液体窒素冷却器内に収容される中空管状容器の充填構成図である。
【図９】本発明の実施例６の液体窒素冷却器内に収容される中空管状容器の概念的構成図である。
【図１０】本発明の実施例７の液体窒素冷却器の概念的構成図である。
【図１１】本発明の実施例８の液体窒素冷却器を構成する繊維集合体の収容容器の概念的構成図である。
【図１２】試作機の概念的構成図である。
【図１３】試作機の冷却効果の説明図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  断熱容器
２  中空管状容器
３  繊維集合体
４  液体窒素
５  断熱材
６  圧力開放弁
１１  外囲器
１２  真空断熱容器
１３  中空管状容器
１４  繊維集合体
１５  カーボンナノチューブ
１６  サファイアロッド
１７  被冷却物
１８  断熱材
１９  圧力開放弁
２０  把手
２１  電装系
２２  携帯情報端末
２３  アルミメッシュ
２４  繊維集合体
２５  漏れ防止遮蔽板
２６  上蓋
２７  隔壁
２８  通気口
３１  真空断熱容器
３２  円管状容器
３３  繊維集合体
３４  断熱材
３５  圧力開放弁
３６  カーボンナノチューブ
３７  サファイアロッド
３８  ＳＱＵＩＤチップ
３９  繊維集合体
４０  円管状容器
４１  中空管状容器
４２  隔壁
４３  通気口
４４  遮蔽板
４５  蓮根状容器
４６  貫通孔
【図１】
0004975554.tif 000002
【図２】
0004975554.tif 000003
【図３】
0004975554.tif 000004
【図４】
0004975554.tif 000005
【図５】
0004975554.tif 000006
【図６】
0004975554.tif 000007
【図７】
0004975554.tif 000008
【図８】
0004975554.tif 000009
【図９】
0004975554.tif 000010
【図１０】
0004975554.tif 000011
【図１１】
0004975554.tif 000012
【図１２】
0004975554.tif 000013
【図１３】
0004975554.tif 000014