(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理順番が指定された１以上のコマンドが格納され得るコマンド格納部と、
前記コマンド格納部に格納されている各コマンドに対して、他のコマンドと同期して実行するか、または非同期で実行するかについて指定する情報である同期指定情報が格納され得る同期指定情報格納部と、
前記同期指定情報格納部に格納された同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドが終了後に実行し、非同期で実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドの終了を待たずにコマンドを実行するよう、前記コマンド格納部に格納されているコマンドを前記処理順番に従って実行するコマンド実行部とを備えた情報処理装置。
【請求項２】
処理順番が指定された１以上のコマンドが格納され得るコマンド格納部と、
前記コマンド格納部に格納されている各コマンドに対して、他のコマンドと同期して実行するか、または非同期で実行するかについて指定する情報である同期指定情報を受け付けるための画面を構成する画面構成部と、
前記画面構成部が構成した画面を出力する画面出力部と、
前記画面出力部が出力した画面の各コマンドに対する前記同期指定情報を受け付ける指定受付部と、
前記指定受付部が受け付けた同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドが終了後に実行し、非同期で実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドの終了を待たずにコマンドを実行するよう、前記コマンド格納部に格納されているコマンドを前記処理順番に従って実行するコマンド実行部とを備えた情報処理装置。
【請求項３】
前記コマンド実行部は、前記指定受付部が受け付けた同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドを、直前の、同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドの実行終了後に、実行する請求項２記載の情報処理装置。
【請求項４】
処理順番が指定された１以上のコマンドが格納され得るコマンド格納部と、前記コマンド格納部に格納されている各コマンドに対して、他のコマンドと同期して実行するか、または非同期で実行するかについて指定する情報である同期指定情報が格納され得る同期指定情報格納部と、コマンド実行部とを用いて行われる情報処理方法であって、
前記コマンド実行部が、前記同期指定情報格納部に格納された同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドが終了後に実行し、非同期で実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドの終了を待たずにコマンドを実行するよう、前記コマンド格納部に格納されているコマンドを前記処理順番に従って実行するコマンド実行ステップを備えた情報処理方法。
【請求項５】
処理順番が指定された１以上のコマンドが格納され得るコマンド格納部と、画面構成部と、画面出力部と、指定受付部と、コマンド実行部とを用いて行われる情報処理方法であって、
前記画面構成部が、前記コマンド格納部に格納されている各コマンドに対して、他のコマンドと同期して実行するか、または非同期で実行するかについて指定する情報である同期指定情報を受け付けるための画面を構成する画面構成ステップと、
前記画面出力部が、前記画面構成ステップで構成した画面を出力する画面出力ステップと、
前記指定受付部が、前記画面出力ステップで出力した画面の各コマンドに対する前記同期指定情報を受け付ける指定受付ステップと、
前記コマンド実行部が、前記指定受付ステップで受け付けた同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドが終了後に実行し、非同期で実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドの終了を待たずにコマンドを実行するよう、前記コマンド格納部に格納されているコマンドを前記処理順番に従って実行するコマンド実行ステップとを備えた情報処理方法。
【請求項６】
コンピュータを、
格納されている処理順番が指定された１以上のコマンドに対して、他のコマンドと同期して実行するか、または非同期で実行するかについて指定する情報である格納されている同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドが終了後に実行し、非同期で実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドの終了を待たずにコマンドを実行するよう、前記処理順番に従って実行するコマンド実行部として機能させるためのプログラム。
【請求項７】
コンピュータに、
格納されている処理順番が指定された１以上の各コマンドに対して、他のコマンドと同期して実行するか、または非同期で実行するかについて指定する情報である同期指定情報を受け付けるための画面を構成する画面構成ステップと、
前記画面構成ステップで構成した画面を出力する画面出力ステップと、
前記画面出力ステップで出力した画面の各コマンドに対する前記同期指定情報を受け付ける指定受付ステップと、
前記指定受付ステップで受け付けた同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドが終了後に実行し、非同期で実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドの終了を待たずにコマンドを実行するよう、前記格納されているコマンドを前記処理順番に従って実行するコマンド実行ステップとを実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造装置を用いた半導体製造プロセス等に用いられる情報処理装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体製造装置として、モジュール単位で装置状況とコマンドを同一画面上に表示し、装置状況をみながらコマンドを入力できるようにしたもの等がある。（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、従来の製造装置として、いわゆるバッチ式縦型熱処理装置がある（例えば、特許文献２および特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００７−１８０５８２号公報（第１頁、第１図等）
【特許文献２】特許３５４３９９６号公報（第１頁、第１図等）
【特許文献３】特開２００２−２５９９７号公報（第１頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の情報処理装置においては、同期的に実行させることが可能なコマンドや、非同期、例えば並列的に実行可能なコマンドを組み合わせて、シーケンシャルに処理を実行させるためには、制御のためのプログラム等を作り込む必要があり、ユーザが自由に１以上のコマンドを組み合わせて、所望の処理を実行させることを容易に行うことができない、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の情報処理装置は、処理順番が指定された１以上のコマンドが格納され得るコマンド格納部と、前記コマンド格納部に格納されている各コマンドに対して、他のコマンドと同期して実行するか、または非同期で実行するかについて指定する情報である同期指定情報が格納され得る同期指定情報格納部と、前記同期指定情報格納部に格納された同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドが終了後に実行し、非同期で実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドの終了を待たずにコマンドを実行するよう、前記コマンド格納部に格納されているコマンドを前記処理順番に従って実行するコマンド実行部とを備えた情報処理装置である。
【０００６】
かかる構成により、コマンドについて他のコマンドと同期して実行させるコマンドであるか、非同期で実行させるコマンドであるかを指定する情報を蓄積することで、同期的に実行可能なコマンドと、非同期に実行可能なコマンドとを組み合わせた所望の処理を実行させる際に、ユーザが、同期、非同期の制御を行うためのプログラムを記述する必要が無くなる。この結果、同期的に実行可能なコマンドと、非同期に実行可能なコマンドとを組み合わせた所望の処理を、ユーザが、容易に指定して実行させることが可能となる。
【０００７】
また、本発明の情報処理装置は、処理順番が指定された１以上のコマンドが格納され得るコマンド格納部と、前記コマンド格納部に格納されている各コマンドに対して、他のコマンドと同期して実行するか、または非同期で実行するかについて指定する情報である同期指定情報を受け付けるための画面を構成する画面構成部と、前記画面構成部が構成した画面を出力する画面出力部と、前記画面出力部が出力した画面の各コマンドに対する前記同期指定情報を受け付ける指定受付部と、前記指定受付部が受け付けた同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドが終了後に実行し、非同期で実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドの終了を待たずにコマンドを実行するよう、前記コマンド格納部に格納されているコマンドを前記処理順番に従って実行するコマンド実行部とを備えた情報処理装置である。
【０００８】
かかる構成により、コマンドについて他のコマンドと同期して実行させるコマンドであるか、非同期で実行させるコマンドであるかを指定する情報を入力することで、同期的に実行可能なコマンドと、非同期に実行可能なコマンドとを組み合わせた所望の処理を実行させる際に、ユーザが、同期、非同期の制御を行うためのプログラムを記述する必要が無くなる。この結果、同期的に実行可能なコマンドと、非同期に実行可能なコマンドとを組み合わせた所望の処理を、ユーザが、容易に指定して実行させることが可能となる。
【０００９】
さらに、コマンドが、他のコマンドと同期して実行させるコマンドであるか、非同期で実行させるコマンドであるかを指定する情報を、画面出力部が出力した画面に対して入力することができるため、同期的に実行可能なコマンドと、非同期に実行可能なコマンドとを組み合わせた所望の処理を、ユーザが、容易に指定して実行させることができる。
【００１０】
また、本発明の情報処理装置は、前記情報処理装置において、前記コマンド実行部は、前記指定受付部が受け付けた同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドを、直前の、同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドの実行終了後に、実行する情報処理装置である。
【００１１】
かかる構成により、同期が必要なコマンドを、非同期のコマンドの実行が終了しているか否かに関係なく、直前の同期コマンドに対して同期させて実行させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明による情報処理装置等によれば、ユーザが、同期的に実行可能なコマンドと、非同期に実行可能なコマンドとを組み合わせた所望の処理を、容易に実行させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、情報処理装置等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
【００１４】
（実施の形態）
図１は、本実施の形態における情報処理装置のブロック図である。
【００１５】
また、図２は、本実施の形態における情報処理装置を備えた製造装置管理システムの概念図である。
【００１６】
情報処理装置１０は、製造装置２００と、通信回線等を介して、情報の送受信が可能となるように、直接または間接的に接続されている。情報処理装置１０は、例えば、複数の製造装置２００の動作等を制御する装置である。情報処理装置１０と、複数の製造装置２００とは、例えば、インターネットや、無線や有線のＬＡＮ等のネットワークで接続されていてもよいし、ブルートゥース（登録商標）等の近距離無線通信により接続されていても良い。また、信号線で直接接続されていても良い。また、情報処理装置１０は製造装置２００のいずれか一つの内部等に組み込まれていても良く、情報処理装置１０を製造装置２００の一部と考えても良い。なお、ここでは製造装置２００が１つの場合を例に挙げて説明しているが、情報処理装置１０は複数の製造装置２００と接続されていても良い。複数の製造装置２００は異なる製造装置であっても良いし、同じ製造装置であってもよいし、同じ製造装置を含むものであってもよい。
【００１７】
情報処理装置１０は、コマンド格納部１０１、画面構成部１０２、画面出力部１０３、指定受付部１０４、同期指定情報格納部１０５、コマンド実行部１０６を具備する。
【００１８】
コマンド格納部１０１は、処理順番が指定された１以上のコマンドが格納され得る。コマンドとは、例えば、情報処理装置１０に所望の処理を実行させるための命令等である。また、コマンドを所定の処理を実行するためのプログラムや実行ファイル等と考えるようにしても良い。また、コマンドには、命令により制御する対象となる装置や命令を実行する対象となる装置等を指定する情報である対象情報等が含まれていても良い。また、これらの対象情報等が、各コマンドと対応付けられて管理されていてもよい。このような場合、コマンド部分が同じであっても、異なる対象情報等と対応付けられたコマンドは、異なるコマンドとして扱うようにしても良い。処理順番が指定されたコマンドとは、具体的には、コマンドの実行開始の順番が指定されていることを意味する。コマンドの処理順番はどのように指定されていても良いし、この処理順番がどのように管理されても良い。例えば、処理順番を定義する管理表等を用いて管理されても良いし、コマンドに処理順番を示す情報等を付与しても良い。コマンド格納部１０１に格納されている各コマンドが、他のコマンドに対して同期させて実行可能なコマンドであるか、非同期で実行可能なコマンドであるかは問わない。コマンド格納部１０１にコマンドが格納されるタイミング等は問わない。例えば工場出荷時等にコマンドが格納されていても良いし、ユーザが適宜格納できるようにしても良い。コマンド格納部１０１は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００１９】
画面構成部１０２は、コマンド格納部１０１に格納されている各コマンドに対して、他のコマンドと同期して実行するか、または非同期で実行するかについて指定する情報である同期指定情報を受け付けるための画面を構成する。ここでは、説明のため、同期されて実行されるコマンド、言い換えれば同期的に実行されるコマンドを同期型コマンド、非同期で実行されるコマンドを非同期型コマンドと称する。同期して実行するとは、他の所定のコマンド、例えば直前に実行開始されたコマンドが終了するまで待って実行することを意味する。また、非同期で実行するとは、他の所定のコマンド、例えば直前に実行開始されたコマンドが終了するまで待たずに実行されることを意味する。同期型コマンドは、例えば、直前に実行されたコマンドに同期して実行されるコマンドである。同期型コマンドは、例えば、他のコマンドに対して同時に実行されず、排他的に実行されるコマンドと考えても良い。具体的には、同期型コマンドは、直前に開始されたコマンドの実行が終了した後に、実行されるコマンドである。なお、ここで述べる直前に開始されたコマンドとは、一つ前に実行が開始された同期型コマンドおよび非同期型コマンドのいずれと考えても良い。あるいは、直前に開始されたコマンドを、直前、すなわち一つ前に実行が開始された同期型コマンド、あるいは直前、すなわち一つ前に実行が開始された非同期型コマンドのいずれかのみに限定するようにしても良い。かかることは非同期コマンドについても同様である。ここでは、同期型コマンドを、直前に実行された同期型コマンドに同期して実行されるコマンド、すなわち直前に開始された同期型コマンドの実行が終了した後に、実行されるコマンドとする場合を例に挙げて説明する。非同期型コマンドは、直前に実行されたコマンドに同期せずに実行されるコマンドである。非同期型コマンドは、具体的には、直前に実行開始されたコマンド等の処理の終了を待たずに、実行されるコマンドである。非同期型コマンドは、例えば、他のコマンドに応じて行われる処理に対して並列に実行されるコマンドである。例えば、非同期型コマンドは、直前に実行開始されたコマンドの開始後から、そのコマンドの終了前の、任意のタイミングや、予め設定されたタイミングやトリガーに応じて実行開始されても良い。また、例えば、非同期型コマンドは、直前に実行開始されたコマンドの直後に実行開始されても良い。同期指定情報は、具体的にはコマンド格納部１０１に格納されているコマンドを同期型コマンドとするか、非同期型コマンドのいずれにするかを指定する情報である。同期指定情報は、結果的に、各コマンドに対して、他のコマンド、例えば直前に実行が開始されたコマンド等と同期して実行するか、あるいは非同期で実行するかのいずれであるかを指定できる情報であればよい。例えば、同期指定情報は、各コマンドが、同期型コマンドおよび非同期型コマンドのいずれであるかを択一的に指定する情報であってもよい。また、同期指定情報は、各コマンドが同期型コマンドであるか否かを択一的に指定する情報であってもよいし、各コマンドが非同期型コマンドであるか否かを択一的に指定する情報であってもよい。同期指定情報を受け付けるための画面とは、例えば、同期指定情報の入力インターフェースとして利用される画面である。ここで述べる画面とは、例えば画面を表示するためのビットマップ等のデータと考えても良い。具体的には、画面構成部１０２は、コマンド格納部１０１に格納されている各コマンドを示す情報、例えば、コマンドの名称や、コマンドの番号や、コマンドの処理順番、コマンドの文字列の一部等の識別情報等を表示するとともに、各コマンドに対しての同期識別情報の入力を受け付けるための、フィールドやボタンやチェックボックス等の入力用のオブジェクト等を表示するための画面を構成する。画面構成部１０２は、例えば、同期指定情報を受け付けるための画面を構成する情報である画面構成情報を格納している図示しない格納部等から画面構成情報を読み出して、当該画面構成情報と、コマンド格納部１０１に格納されているコマンドを管理する情報等とを用いて、画面を構成する。画面構成情報は、例えば、ＨＴＭＬ、罫線等の情報、画面を構成するための設定情報、画面構成プログラムなどである。画面構成情報は、テンプレートの情報と考えても良い。なお、画面構成部１０２は、必ずしもコマンド格納部１０１に格納されている全てのコマンドに対して、同期指定情報を受け付けるための画面を構成する必要はなく、一部のコマンドに対してのみ、同期指定情報を受け付けるための画面を構成してもよい。通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。画面構成部１０２の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００２０】
画面出力部１０３は、画面構成部１０２が構成した画面を出力する。画面出力部１０３画出力する画面構成部１０２が構成した画面は、上述したような同期指定情報を受け付けるための入力インターフェースの画面等である。ここで述べる出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタによる紙等への印刷、外部の装置への送信等を含む概念である。画面出力部１０３は、は、ディスプレイやプリンタ等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。出力部は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。
【００２１】
指定受付部１０４は、画面出力部１０３が出力した画面に対する同期指定情報を受け付ける。例えば、指定受付部１０４は、画面出力部１０３が出力した上述したような同期指定情報を受け付けるための入力インターフェースの画面等に対する、コマンド格納部１０１に格納されている各コマンドに対する同期指定情報を受け付ける。指定受付部１０４は、具体的には、マウスやキーボード等を操作して画面に行われた操作に対応した同期指定情報を受け付ける。同期指定情報の受付とは、例えば、入力手段からの受付や、他の機器等から送信される入力信号の受信や、記録媒体等からの情報の読み出し等である。同期指定情報の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指定受付部１０４は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。なお、指定受付部１０４が受け付けた同期指定情報は、例えば、各同期指定情報が対応する各コマンドと対応付けられて、後述する同期指定情報格納部１０５や、メモリやハードディスク等の記憶媒体（図示せず）に蓄積される。
【００２２】
同期指定情報格納部１０５には、同期指定情報が、例えば、指定受付部１０４が受け付けた各同期指定情報が対応する各コマンドと対応づけて、格納される。例えば、同期指定情報と対応するコマンドとが、一つのレコードの２つの属性値として格納される。ここで述べる格納とは、一時記憶も含む概念である。同期指定情報格納部１０５は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００２３】
コマンド実行部１０６は、指定受付部１０４が受け付けた同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンド（すなわち同期型コマンド）については、直前のコマンドが終了後に実行し、非同期で実行することが指定されているコマンド（すなわち非同期型コマンド）については、直前のコマンドの実行終了を待たずにコマンドを実行するよう、コマンド格納部１０１に格納されているコマンドを処理順番に従って実行する。同期指定情報は、例えば、同期指定情報格納部１０５等から適宜読み出すようにしても良い。コマンド実行部１０６は、例えば、コマンド格納部１０１に格納されている各コマンドを、予め指定されている処理順番に従って実行開始する。そして、同期型コマンドについては、処理順番が直前であるコマンドの実行が終了した時点で、実行を開始する。また、非同期型コマンドについては、処理順番が直前であるコマンドの終了を待たずに実行を開始する。具体的には、コマンド実行部１０６は、非同期コマンドを直前のコマンド終了後、例えば直後に実行させても良い。また、直前のコマンドの終了前までに非同期型コマンドを実行させるようにしても良い。非同期型コマンドの終了するタイミングやトリガー等は問わない。コマンド実行部１０６は、例えば、同期指定情報を参照して、指定された処理順番に応じて実行するコマンドが同期型コマンドか非同期型コマンドであるかを判断し、その実行開始するタイミングを決定して、各コマンドを実行させてもよい。また、コマンド実行部１０６は、同期指定情報を参照して、コマンド格納部１０１に格納されている処理順番が指定されている１以上のコマンドを、実行を開始するタイミングを指定する情報も含めて書き出して、この書き出したコマンドを実行するようにしても良い。なお、同期型コマンドや非同期型コマンドを実行したり、終了したりする処理については、公知技術であるので説明は省略する。コマンド実行部１０６は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。コマンド実行部１０６の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００２４】
なお、コマンド実行部１０６の実行結果に応じた制御情報等が、例えば、情報処理装置１０から製造装置２００等に対して出力あるいは送信されたり、コマンド実行部１０６の実行結果に応じた処理状況を示す情報等が、モニタ等に表示されてもよい。なお、このような送信や表示等の出力を行う出力部等については、公知技術であるので、ここでは説明を省略する。
【００２５】
製造装置２００は、被処理基板、例えば、有機膜用のガラス基板や半導体ウエハ、液晶パネル基板等に対する所定の半導体製造プロセスを行う装置である。製造装置２００は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処理を行う。製造装置２００は、例えば、有機ＥＬディスプレイ用の成膜装置や、半導体ウエハ製造装置等の製造装置、液晶パネル製造装置、プラズマディスプレイ用パネル製造装置等である。製造装置２００内には、複数の温度調整や、バルブの制御等の、製造装置２００の動作の制御等に用いられる１以上のデバイス（図示せず）が設けられていても良い。上述した情報処理装置１０がこれらのデバイス等に対して、コマンドを実行するようにしても良い。
【００２６】
図３は、製造装置２００の一例を示す図である。ここでは、製造装置２００がＲＬＳＡ（ＲａｄｉａｌＬｉｎｅＳｌｏｔＡｎｔｅｎｎａ）プラズマＣＶＤ装置を例に挙げて説明しているが、製造装置２００は、他の製造装置であっても良い。
【００２７】
ＲＬＳＡプラズマＣＶＤ装置は、天井面が開口された円筒状の処理容器３００を有している。天井面の開口には、シャワープレート３０５が嵌め込まれている。処理容器３００とシャワープレート３０５とは、処理容器３００の内壁の段差部とシャワープレート３０５の下面外周部との間に配設されたＯリング３１０により密閉され、これにより、プラズマ処理を施す処理室Ｕが形成されている。たとえば、処理容器３００はアルミニウム等の金属からなり、シャワープレート３０５はアルミニウム等の金属または誘電体からなり、電気的に接地されている。
【００２８】
処理容器３００の底部には、ウエハＷを載置するサセプタ（載置台）３１５が絶縁体３２０を介して設置されている。サセプタ３１５には、整合器３２５ａを介して高周波電源３２５ｂが接続されていて、高周波電源３２５ｂから出力された高周波電力により処理容器３００の内部に所定のバイアス電圧を印加するようになっている。また、サセプタ３１５には、コイル３３０ａを介して高圧直流電源３３０ｂが接続されていて、高圧直流電源３３０ｂから出力された直流電圧により基板Ｇを静電吸着するようになっている。また、サセプタ３１５の内部には、ヒータ３３１が設けられており、ヒータ用電源３３２から供給する電力により、ウエハＷを加熱するようになっている。また、サセプタ３１５の内部には、ウエハＷを冷却するために冷却水を供給する冷却ジャケット３３５が設けられている。
【００２９】
シャワープレート３０５は、その上部にてカバープレート３４０により覆われている。カバープレート３４０の上面には、ラジアルラインスロットアンテナ３４５が設けられている。ラジアルラインスロットアンテナ３４５は、多数の図示しないスロットが形成されたディスク上のスロット板３４５ａとスロット板３４５を保持するディスク上のアンテナ本体３４５ｂとスロット板３４５ａとアンテナ本体３４５ｂとの間に設けられ、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）などの誘電体から形成される遅相板３４５ｃとから構成されている。ラジアルラインスロットアンテナ３４５は、例えばスモール、ラージ等の大きさの異なるものや、パターンＡ、パターンＢ等のスロットパターン等が異なるものが用意されており、用途等に応じて適宜取り替え可能である。ラジアルラインスロットアンテナ３４５には、同軸導波管３５０を介して外部にマイクロ波発生器３５５が設置されている。
【００３０】
処理容器３００には、真空ポンプ（図示せず）が取り付けられていて、ガス排出管３６０を介して処理容器３００内のガスを排出することにより、処理室Ｕを所望の真空度まで減圧するようになっている。
【００３１】
ガス供給源３６５は、複数のバルブＶ、複数のマスフローコントローラＭＦＣ、１種類以上の第一の材料ガスおよび１種類以上の第二の材料ガスを供給する複数の材料ガス供給源３６５ａから構成されている。ガス供給源３６５は、各バルブＶの開閉および各マスフローコントローラＭＦＣの開度をそれぞれ制御することにより、所望の濃度のガスを処理容器３００の内部に供給するようになっている。このようにして、第一の材料ガスが、第１の流路３７０ａを通って、シャワープレート３０５を貫通するガス導入管３７５から処理室Ｕの上方に供給され、第二の材料ガスが、第２の流路３７０ｂを通って一体型ガスパイプ３８０から第１のガスより下方に供給される。かかる構成によれば、マイクロ波発生器３５５からスロットおよびシャワープレート３０５を介して処理室Ｕ内に入射されたマイクロ波により、各種ガスからプラズマが生成され、生成されたプラズマにより基板上に膜が成膜される。
【００３２】
製造装置２００には、さらに、図示しない１以上の制御部が設けられていてもよい。また、この各制御部の制御対象、例えば制御対象物や圧力や温度等の制御対象となる項目、等は少なくとも一部が同じであっても良いし、異なるものであっても良い。制御部は、予め設定された処理対象物に対する処理の条件等を設定するレシピのパラメータの値や、製造装置２００に対し予め設定された、通常はユーザが変更できないスタティックなパラメータの値等に応じて製造装置２００の様々な動作を制御する。例えば、処理温度が設定されている場合、制御部は、図示しない１以上の温度検出部の検出した温度に応じて、ヒータ等の出力をいわゆるフィードバック制御して、処理容器３００内の温度を、設定値により設定された温度となるように制御する。また、制御部は、処理容器３００内の圧力を、設定値により設定された圧力となるように制御する。例えば、このような制御は、予め格納されている基準値を、制御の目標値として行われても良い。なお、制御部は、これ以外の製造装置２００全体の制御、例えば、ガス流量の制御や、弁開閉の制御等も行うが、これらの制御は公知技術であるのでここでは説明を省略する。上述したパラメータの値は、図示しないメモリ等の記憶媒体に蓄積され、必要に応じて制御部により読み出される。この蓄積は一時記憶も含む。これらのパラメータの値をどのように受け付け、どのように記憶媒体等に蓄積するか等は問わない。例えば、製造装置２００の図示しない受付部等によりユーザ等から入力されるパラメータの値を記憶媒体に蓄積しても良い。情報処理装置１０等の他の装置から出力されるパラメータの値を、製造装置２００の図示しない受付部で受け付けて、記憶媒体等に蓄積してもよい。また、蓄積する代わりに、制御部が直接、パラメータの値を受け付けて動作を制御指定も良い。また、制御部は、図示しない温度検出部等が検出した情報を、図示しない出力部等を介して、情報処理装置１０に出力するようにしても良い。制御部は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。制御部の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００３３】
次に、情報処理装置の動作について図４のフローチャートを用いて説明する。なお、ここでは、説明を簡単にするために、コマンドが非同期型コマンドである場合、すぐに当該非同期コマンドをコマンド実行部１０６で実行させる場合を例に挙げて説明する。また、同期コマンドについては、直前の同期コマンドの実行が終了した場合に、当該同期コマンドの実行を開始する場合を例に挙げて説明する。
【００３４】
（ステップＳ４０１）画面構成部１０２は、同期指定情報を受け付ける画面を構成するか否かを判断する。画面構成部１０２は、画面の構成を行うか否かをどのように判断してもよい。例えば、図示しない受付部等を介してユーザから画面を構成する指示を受け付けた場合に、同期指定情報を受け付ける画面を構成することを決定しても良い。画面を構成する場合、ステップＳ４０２に進み、構成しない場合、ステップＳ４０６に進む。
【００３５】
（ステップＳ４０２）画面構成部１０２は、同期指定情報を受け付ける画面を構成する。例えば、画面構成部１０２は、コマンド格納部１０１に格納されているコマンドの処理順番やコマンドの識別情報等の情報を取得し、この取得した情報と、図示しない格納部から読み出した画面構成情報とを用いて、同期指定情報を受け付ける画面を構成する。
【００３６】
（ステップＳ４０３）画面出力部１０３は、ステップＳ４０２において構成した画面を出力、例えば表示する。
【００３７】
（ステップＳ４０４）指定受付部１０４は、ステップＳ４０２において出力した同期指定情報を受け付ける画面に対する同期指定情報を受け付ける。具体的には、指定受付部１０４は、コマンド格納部１０１に格納されている各コマンドに対する同期指定情報を受け付ける。
【００３８】
（ステップＳ４０５）指定受付部１０４は、ステップＳ４０４において受け付けた同期指定情報を、図示しないメモリ等の記憶媒体等に蓄積する。そして、ステップＳ４０１に戻る。
【００３９】
（ステップＳ４０６）コマンド実行部１０６は、コマンド格納部１０１に格納されている１以上のコマンドを実行するか否かを判断する。コマンド実行部１０６は、コマンドの実行を行うか否かをどのように判断してもよい。例えば、ユーザから、コマンドを実行する指示を受け付けた場合にコマンドを実行することを判断しても良い。また、他の装置等から、コマンドを実行する指示を受け付けた場合にコマンドを実行することを判断しても良い。コマンドを実行する場合、ステップＳ４０７に進み、コマンドを実行しない場合、ステップＳ４０１に戻る。
【００４０】
（ステップＳ４０７）コマンド実行部１０６は、指定受付部１０４が同期指定情報を受け付けているか否かを判断する。例えば、指定受付部１０４が同期指定情報を蓄積する記憶媒体等に同期指定情報が蓄積されているか否かを判断する。蓄積されている場合、ステップＳ４０８に進み、蓄積されていない場合、ステップＳ４０２に戻る。なお、ステップＳ４０２に戻る代わりに、同期指定情報が指定されていないことを示すエラー表示等を行って、ステップＳ４０１に戻るようにしても良い。
【００４１】
（ステップＳ４０８）コマンド実行部１０６は、カウンターＫに１を代入する。
【００４２】
（ステップＳ４０９）コマンド実行部１０６は、コマンド格納部１０１からＫ番目に実行するコマンド（以下、Ｋ番目のコマンドと称す）を読み出す。
【００４３】
（ステップＳ４１０）コマンド実行部１０６は、Ｋ番目のコマンドを実行開始する。
【００４４】
（ステップＳ４１１）コマンド実行部１０６は、ステップＳ４０４において受け付けた、Ｋ番目のコマンドに対応した同期指定情報を読み出して、Ｋ番目のコマンドが同期型コマンドであるか否かを判断する。同期型コマンドである場合、ステップＳ４１２へ進み、同期型コマンドでない場合、即ち非同期型コマンドである場合、ステップＳ４１３へ進む。
【００４５】
（ステップＳ４１２）コマンド実行部１０６は、一つ前に実行した同期型コマンド、すなわち直前に実行した同期型コマンドの実行が終了するまで待つ。実行が終了した場合、ステップＳ４１３に進む。なお、コマンド実行部１０６は、どのように直前の同期型コマンドの実行が終了したか否かを判断してもよい。同期型コマンドが、例えば、他の装置、例えば製造装置２００等を制御するためのコマンドである場合、当該コマンドに応じた製造装置２００等による動作が終了したことを示す情報等を受け付けた場合に、コマンドの実行を終了したと判断しても良い。
【００４６】
（ステップＳ４１３）コマンド実行部１０６は、カウンターＫを１インクリメントする。
【００４７】
（ステップＳ４１４）コマンド実行部１０６は、コマンド格納部１０１にＫ番目のコマンドがあるか否かを判断する。ある場合、ステップＳ４０９に戻り、ない場合、ステップＳ４１５に進む。
【００４８】
（ステップＳ４１５）コマンド実行部１０６は、全てのコマンドの実行が終了したか否かを判断する。終了した場合、ステップＳ４０１に進み、終了していない場合、ステップＳ４１５に戻る。
【００４９】
なお、図４のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【００５０】
以下、本実施の形態における情報処理装置の具体的な動作について説明する。ここでは、例として、製造装置２００が、バルブの開閉や温度調節等を行うための、図示しない「ＤＲＰ１」、「ＶＢ１−Ｐ１」、「ＶＢ２−Ｐ１」、「ＶＢ３−Ｐ１」「ＴＭＰ１」、「ＴＭＰ２」等の識別情報を有するデバイス等を備えており、情報処理装置１０がこれらのデバイスに対してコマンドを実行する場合について説明する。
【００５１】
図５は、コマンド格納部１０１に格納されているコマンドを管理するためのコマンド管理表を示す図である。ここでは、コマンド管理表に格納されている複数のコマンドが、一連の処理を実行するために用いられるセットであるいわゆるマクロを構成している場合を例に挙げて説明する。コマンド管理表は、「ＩＤ」、「マクロ名」、「順番」、「デバイス名」、「コマンド」という項目を有している。「ＩＤ」は、コマンドのレコードを管理するための識別情報である。
「マクロ名」は、各コマンドが属するマクロを識別する情報である。「順番」は、コマンドの処理順番を示す。「コマンド」は、コマンドを特定するためのコマンドの名称を示す。各コマンドの名称はコマンドに１対１で対応付けられている。なお、「コマンド」をコマンド自身と考えるようにしてもよい。当該コマンド管理表は、例えば図示しないメモリ等の記録媒体に蓄積される。
【００５２】
図６は、同期指定情報を受け付けるための画面を構成する際に利用される画面構成情報の一例を示すための図である。画面構成情報は、図示しない格納部等に格納されている。画面構成情報は、コマンド格納部１０１に格納されている各コマンドについての同期指定情報を受け付けるための画面のレイアウトを定義するためのスタイルファイル、言い換えればテンプレートであるとする。この画面構成情報において、「［］」は、変数を示し、「［］」の中の文字列は、図５に示した項目名に対応する。例えば、「［コマンド］」は、図３の「コマンド」の項目に対応する。また、チェックボックス６１は、コマンドが同期型であることを示す同期指定情報を受け付けるための表示用のオブジェクト、チェックボックス６２は、コマンドが非同期型であることを示す同期指定情報を受け付けるための表示用のオブジェクトである。横に「＃１」がつけられた点線で囲まれた領域は、図５に示したコマンド管理表のレコードの数だけ、この点線で囲まれた領域の情報が繰り返し表示されることを示している。このようなスタイルファイルは、例えばＨＴＭＬ等により構成可能である。
【００５３】
まず、ユーザがマウスやキーボード等を操作して、情報処理装置１０のメニュー等から、情報処理装置１０に対して、「マクロ名」が「第一処理」であるマクロを構成するコマンドに対して同期指定情報を入力するための画面をモニタ（図示せず）に表示する指示を与えたとする。
【００５４】
画面構成部１０２は、図示しない格納部等に格納されている図６に示したような画面構成情報を読み出し、当該画面構成情報と、図５に示したコマンド管理表により管理されているコマンドについての情報とを用いて、同期指定情報を受け付ける画面を構成する。具体的には、画面構成部１０２は、図示しない格納部から読み出した図６に示すような画面構成情報が示すスタイルファイルに、図５のコマンド管理表から読み出した項目の値を、レコード順に順次配置して、同期指定情報を受け付ける画面を構成する。そして、画面構成部１０２が構成した画面を、画面出力部１０３がモニタ等に表示する。表示例を図７に示す。なお、同期、非同期の指定を受け付ける必要の無いコマンド等、例えば非同期で行うことが確定しているコマンド等については、図５に示したコマンド管理表において、予め同期、非同期の指定を受け付けが不要であることを示すための項目をさらに設けるようにし、この項目に、同期、非同期の指定の受け付けが不要であることを示す情報が入力されている場合、これらのコマンドについては、同期指定情報を受け付けるための画面等を表示しないようにしても良い。あるいはこれらのコマンドについてはチェックボックス６１等を表示しないようにしても良い。
【００５５】
次に、ユーザがマウス等を操作して、図７に示したような同期指定情報を受け付ける画面の各コマンドに対応したチェックボックス６１またはチェックボックス６２上にポインターを移動させ、マウスボタン等をクリックすると、指定受付部１０４は、クリックされたチェックボックスに応じた同期指定情報を受け付ける。例えば、チェックボックス６１に対してクリックが行われると、指定受付部１０４は、クリックされたチェックボックス６１と同じ列のコマンドに対して、同期型コマンドであることを指定する同期指定情報を受け付ける。また、チェックボックス６２に対してクリックが行われると、指定受付部１０４は、クリックされたチェックボックス６２に同じ列のコマンドに対して、非同期型コマンドであることを指定する同期指定情報を受け付ける。また、クリックされたチェックボックスにはチェックマークが表示される。図８に同期指定情報の入力を受け付けた場合の表示例を示す。図８において、例えば、処理順番が「２」のコマンド、すなわち制御対象のデバイスが「ＶＢ１−Ｐ１」であるコマンド「オープン」については、同期型コマンドであることを指定する同期指定情報を受け付けている。また、処理順番が「３」のコマンド、すなわち制御対象のデバイスが「ＶＢ２−Ｐ１」であるコマンド「オープン」については、非同期型コマンドであることを指定する同期指定情報を受け付けている。
【００５６】
次に、ユーザが、マウス等を操作して、図７に示したような同期指定情報を受け付ける画面の「決定」ボタン７０等を押す、あるいは同様のメニュー操作等を行うことで、同期指定情報の受け付けが終了して、指定受付部１０４は、受け付けた同期指定情報を同期指定情報格納部１０５等に蓄積する。
【００５７】
図９は、指定受付部１０４が受け付け、同期指定情報格納部１０５等に蓄積した同期指定情報を管理するための同期指定情報管理表である。同期指定情報管理表は、「ＩＤ」、「同期」、「非同期」という項目を有している。「ＩＤ」は、コマンドを特定するための識別情報であり、図５の「ＩＤ」に相当する。「同期」は同じレコードの「ＩＤ」に対応するコマンドが、同期型コマンドであることを示す情報であり、値が「１」であれば、図５に示したコマンド管理表のうちの、「ＩＤ」の値が同じであるレコードのコマンドが、同期型であることを示す。「非同期」は、同じレコードの「ＩＤ」に対応するコマンドが、非同期型コマンドであることを示す情報であり、値が「１」であれば、図５に示したコマンド管理表のうちの、「ＩＤ」の値が同じであるレコードのコマンドが、非同期型であることを示す。また、両方の値が「−」であれば、同期指定情報が未指定であることを示す。図８の「同期」に対応したチェックボックス６１にチェックマークが入っているコマンドについては、図５に示したコマンド管理表が示す当該コマンドの「ＩＤ」の値と、同じ「ＩＤ」の値を有する図９の同期指定情報管理表のレコードの「同期」の項目値として「１」が蓄積される。また、図８において、「非同期」に対応したチェックボックス６２にチェックマークが入っているコマンドについては、図５に示したコマンド管理表が示す当該コマンドの「ＩＤ」の値と、同じ「ＩＤ」の値を有する図９の同期指定情報管理表のレコードの「非同期」の項目値として「１」が蓄積される。また、「同期」および「非同期」の項目値「−」は、項目値が蓄積されていないことを示す。同期指定情報管理表は、例えば、図示しないメモリ等の格納部やコマンド格納部１０１等に蓄積して管理するようにすればよい。なお、ここでは、「ＩＤ」という項目で、上述したコマンド管理表と、同期指定情報管理表とのレコードを対応付けているが、上述したコマンド管理表と、同期指定情報管理表とを、一つの管理表でまとめて管理するようにしても良い。
【００５８】
次に、ユーザがメニュー等を操作して、同期指定情報を指定した結果を表示する指示を情報処理装置１０に与えたとする。画面出力部１０３は、図５に示したコマンド管理表、および図９に示した同期指定情報管理表の情報を用いて、同期指定情報が指定されたコマンドのリストをモニタ等に表示する。図１０に表示例を示す。図１０において、「ステップ情報」は、図５の「順番」の値と、コマンドであることを示す情報、ここでは「動作」という文字列とを組み合わせた項目である。例えば「２．動作」とは、処理される「順番」が「２」番目のコマンドであることを示している。「デバイス」、「コマンド」は、図５の「デバイス」、「コマンド」にそれぞれ相当する。「その他詳細」は、コマンドが同期型コマンドであるか否かを示す項目であり、図９において「同期」の項目値が「１」の場合、同期型コマンドであることを示すため、「その他詳細」の項目値が「待機」と表示される。「タイムアウト」は、コマンドの終了をタイムアウトで判断するか否かを示す項目であり、図９において「非同期」の項目値が「１」の場合、非同期型コマンドであることを示すため、この項目値が「完了待ちなし」と表示される。
【００５９】
次に、ユーザがコマンド格納部１０１に格納されているコマンドを実行する指示を情報処理装置１０に与えたとする。
【００６０】
まず最初に、コマンド実行部１０６は、図５に示したコマンド管理表の「順番」が「１」であるレコードのコマンドを、コマンド格納部１０１から読み出す。そして、読み出したコマンドの実行を開始する。ここでは、例えば、図５に示した「起動」というコマンドを読み出し、「ＤＲＰ１」というデバイスに対して読み出したコマンドを実行する。
【００６１】
次に、コマンド実行部１０６は、図５に示したコマンド管理表で管理されているコマンドの中から、「順番」の値が、直前に読み出したコマンドの「順番」の次の順番であるコマンドをコマンド格納部１０１から読み出す。そして、読み出したコマンドについて、図８に示した同期指定情報管理表を参照して、同期型コマンドであるか、非同期型コマンドであるか否かを判断する。例えば、ここでは、処理順番が２番目のコマンドである「ＶＢ１−Ｐ１」に対する「オープン」というコマンドをコマンド管理表から読み出す。また、コマンド管理表からこのコマンドに対応した「ＩＤ」である「００２」を読み出す。そして図９に示した同期指定情報管理表の、「ＩＤ」の項目が「００２」であるレコードの、「同期」または「非同期」の項目のうちのいずれが「１」であるかを判断する。ここでは、「同期」が「１」であるため、コマンド実行部１０６は、次に実行する「ＶＢ１−Ｐ１」に対する「オープン」というコマンドが同期型コマンドであると判断する。
【００６２】
このため、コマンド実行部１０６は、直前に実行している「ＤＲＰ１」というデバイスに対する「オープン」というコマンドが終了したか否かを判断し、終了した場合に、次の「ＶＢ１−Ｐ１」に対する「オープン」というコマンドを実行する。終了していない場合、終了するまで「ＶＢ１−Ｐ１」に対する「オープン」というコマンドの実行を待機する。
【００６３】
ここで、「ＤＲＰ１」に対する「オープン」というコマンドの実行が終了して、コマンド実行部１０６により同期型コマンドである「ＶＢ１−Ｐ１」に対する「オープン」というコマンドが実行開始されたとする。
【００６４】
コマンド実行部１０６は、図５に示したコマンド管理表で管理されているコマンドの中から、「順番」の値が、直前に読み出した「順番」が「２」であるコマンドの次の順番のコマンドである「ＶＢ２−Ｐ１」に対する「オープン」というコマンドをコマンド格納部１０１から読み出す。また、コマンド管理表からこのコマンドに対応した「ＩＤ」である「００３」を読み出す。
【００６５】
そして、コマンド実行部１０６は、上記と同様に、読み出した「ＩＤ」と同期指定情報管理表とを用いて、この「ＶＢ２−Ｐ１」に対する「オープン」というコマンドが同期型コマンドであるか、非同期型コマンドであるか否かを判断する。ここでは、同期指定情報管理表において、「ＩＤ」が「００３」であるレコードの「同期」の項目値が「１」であるため、同期型コマンドであると判断する。
【００６６】
このため、コマンド実行部１０６は、直前に実行している「ＶＢ１−Ｐ１」というデバイスに対する「オープン」というコマンドの終了を待って、次の「ＶＢ２−Ｐ１」に対する「オープン」というコマンドを実行開始する。
【００６７】
コマンド実行部１０６は、図５に示したコマンド管理表で管理されているコマンドの中から、「順番」の値が、直前に読み出した「順番」が「３」であるコマンドの次の順番のコマンドである「ＴＭＰ１」というデバイスに対する「起動」というコマンドをコマンド格納部１０１から読み出す。また、コマンド管理表からこのコマンドに対応した「ＩＤ」である「００４」を読み出す。
【００６８】
そして、コマンド実行部１０６は、上記と同様に、読み出した「ＩＤ」と同期指定情報管理表を参照して、この「ＴＭＰ１」というデバイスに対する「起動」というコマンドが同期型コマンドであるか、非同期型コマンドであるか否かを判断する。ここでは、同期指定情報管理表において、「ＩＤ」が「００４」であるレコードの「非同期」の項目値が「１」であるため、非同期型コマンドであると判断する。
【００６９】
このため、コマンド実行部１０６は、直前に実行している「ＶＢ２−Ｐ１」というデバイスに対する「オープン」というコマンドの終了を待たずに、次の「ＴＭＰ１」というデバイスに対する「起動」というコマンドを実行する。
【００７０】
また、同様に、コマンド実行部１０６は、「順番」が「５」である「ＴＭＰ２」というデバイスに対する「起動」というコマンドについても、このコマンドに対応する「非同期」の項目値が「１」であるため、非同期型コマンドであると判断して、直前に実行している「ＴＭＰ１」というデバイスに対する「起動」というコマンドの終了を待たずに、「ＴＭＰ２」というデバイスに対する「起動」というコマンドを実行させる。
【００７１】
つぎに、コマンド実行部１０６は、上記の「ＶＢ２−Ｐ１」というデバイスに対する「オープン」というコマンドの場合と同様に、「順番」が「６」である「ＶＢ１−Ｐ３」というデバイスに対する「オープン」というコマンドについては、このコマンドに対応する「同期」の項目値が「１」であるため、同期型コマンドであると判断する。そして、直前に実行している同期型コマンドである「ＶＢ２−Ｐ１」というデバイスに対する「オープン」というコマンドが終了したか否かを判断し、終了した場合、「ＶＢ１−Ｐ３」というデバイスに対する「オープン」を実行する。終了していない場合、「ＶＢ２−Ｐ１」というデバイスに対する「オープン」というコマンドが終了するまで「ＶＢ１−Ｐ３」というデバイスに対する「オープン」の実行を待機する。
【００７２】
以下、上記と同様にして、コマンド格納部１０１に格納されているコマンドが実行される。
【００７３】
ここで、図１１を用いて、上記のコマンド格納部１０１に格納されている各コマンドが実行されるタイミングについて説明する。ここでは、「ＤＲＰ１」、「ＶＢ１−Ｐ１」、「ＶＢ２−Ｐ１」、「ＴＭＰ１」、「ＴＭＰ２」「ＶＢ３−Ｐ１」は、コマンドの実行対象となるデバイス２００ａ〜２００ｆであり、各デバイス２００ａ〜２００ｆは各コマンドによる制御終了後に、情報処理装置１０に対してコマンドの実行が完了したことを示す完了応答を返すものとする。
【００７４】
例えば、デバイス２００ａである「ＤＲＰ１」から、「起動」というコマンドの実行に対する完了応答が情報処理装置１０に送られた場合に、デバイス２００ｂである「ＶＢ１−Ｐ１」に対する「オープン」というコマンドが実行される。また、「ＶＢ１−Ｐ１」から、「オープン」というコマンドの実行に対する完了応答が、情報処理装置１０に送られた場合に、デバイス２００ｃである「ＶＢ２−Ｐ１」に対する「オープン」というコマンドが実行される。また、「ＶＢ２−Ｐ１」から、「オープン」というコマンドの実行に対する完了応答が、情報処理装置１０に送られた場合に、デバイス２００ｆである「ＶＢ３−Ｐ１」に対する「オープン」というコマンドが実行される。これにより、デバイス２００ａ〜２００ｃ、およびデバイス２００ｆは同期的にシーケンシャルに制御されることとなる。
【００７５】
また、「ＶＢ２−Ｐ１」に対する「オープン」というコマンドが実行された直後に、「ＶＢ２−Ｐ１」からの「オープン」というコマンドに対する完了応答を待たずに、デバイス２００ｄである「ＴＭＰ１」に対する「起動」というコマンドが実行される。
【００７６】
また、同様に、「ＴＭＰ１」に対する「起動」というコマンドが実行された直後に、「ＴＭＰ１」からの「起動」というコマンドに対する完了応答を待たずに、デバイス２００ｅである「ＴＭＰ２」に対する「起動」というコマンドが実行される。
【００７７】
この結果、デバイス２００ｄとデバイス２００ｅとを、他のデバイスとは並列的に動作させることが可能となる。
【００７８】
以上、本実施の形態によれば、コマンド実行部１０６が実行するコマンドが、他のコマンドと同期して実行させるコマンドであるか、非同期で実行させるコマンドであるかを指定する情報を、画面出力部１０３が出力した画面に対して、入力することができるため、同期的に実行可能なコマンドと、非同期に実行可能なコマンドとを組み合わせた所望の処理を、ユーザが、容易に指定して実行させることが可能となる。
【００７９】
なお、上記実施の形態においては、画面出力部１０３が出力した画面の各コマンドに対して指定受付部１０４が受け付けた同期指定情報を、同期指定情報格納部１０５等に蓄積する場合について説明したが、本発明においては、予めコマンドに対応づけられた同期指定情報が同期指定情報格納部１０５に格納されているようにしても良い。そして、コマンド実行部１０６が、予め格納されている同期指定情報に応じて、コマンドを同期して実行させるか否かを判断するようにしても良い。また、この格納された同期指定情報は、画面出力部１０３が出力した画面の各コマンドに対して受け付けた同期指定情報でなくてもよく、例えば、図９に示したような同期指定情報とコマンドとを対応づけた情報が格納されたファイル等を図示しない受付部等から受け付けるようにしてもよい。この同期指定情報とコマンドとを対応づけた情報はどのような形式の情報であってもよく、例えば、対応する同期指定情報とコマンドとの組をタブやスペース等で区切って、異なる行に配置したテキスト情報等であっても良いし、図９や、図１０の表示例に示したような表形式のデータであってもよい。また、このような表形式のデータにおいては、一般的な表計算ソフトのいわゆるスプレッドシートのように、各データがセル等に入力されているものであっても良いし、データの列間がスペースやタブで区切られ、データの行間が改行コード等で区切られた情報であってもよい。
【００８０】
また、上記実施の形態において、コマンドの一つに「非同期で動作させている１以上のコマンドが終了するまで待つ」というコマンドがある。当該コマンドが存在する場合は、前に動作させている１以上の非同期コマンドが終了するまで待ち、その後、次のコマンドを実行する処理を行う。
【００８１】
なお、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。
【００８２】
また、上記各実施の形態では、情報処理装置がスタンドアロンである場合について説明したが、情報処理装置は、スタンドアロンの装置であってもよく、サーバ・クライアントシステムにおけるサーバ装置であってもよい。後者の場合には、出力部や受付部は、通信回線を介して入力を受け付けたり、画面を出力したりすることになる。
【００８３】
また、上記各実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＭＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。
【００８４】
なお、上記各実施の形態における情報処理装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータを、格納されている処理順番が指定された１以上のコマンドに対して、他のコマンドと同期して実行するか、または非同期で実行するかについて指定する情報である格納されている同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドが終了後に実行し、非同期で実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドの終了を待たずにコマンドを実行するよう、前記処理順番に従って実行するコマンド実行部として機能させるためのプログラムである。
【００８５】
また、このプログラムは、コンピュータを、格納されている処理順番が指定された１以上の各コマンドに対して、他のコマンドと同期して実行するか、または非同期で実行するかについて指定する情報である同期指定情報を受け付けるための画面を構成する画面構成部と、前記画面構成ステップで構成した画面を出力する画面出力部と、前記画面出力ステップで出力した画面の各コマンドに対する前記同期指定情報を受け付ける指定受付部と、前記指定受付ステップで受け付けた同期指定情報により同期して実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドが終了後に実行し、非同期で実行することが指定されているコマンドについては、直前のコマンドの終了を待たずにコマンドを実行するよう、前記格納されているコマンドを前記処理順番に従って実行するコマンド実行部として機能させるためのプログラムである。
【００８６】
なお、上記プログラムにおいて、上記プログラムが実現する機能には、ハードウェアでしか実現できない機能は含まれない。例えば、情報を取得する取得部や、情報を出力する出力部などにおけるモデムやインターフェースカードなどのハードウェアでしか実現できない機能は、上記プログラムが実現する機能には含まれない。
【００８７】
また、このプログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
【００８８】
図１２は、上記プログラムを実行して、上記実施の形態による情報処理装置を実現するコンピュータの外観の一例を示す模式図である。上記実施の形態は、コンピュータハードウェア及びその上で実行されるコンピュータプログラムによって実現される。
【００８９】
図１２において、コンピュータシステム５００は、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｋ  Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）ドライブ５０５、ＦＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｋ）ドライブ５０６を含むコンピュータ５０１と、キーボード５０２と、マウス５０３と、モニタ５０４とを備える。
【００９０】
図１３は、コンピュータシステムを示す図である。図１３において、コンピュータ５０１は、ＣＤ−ＲＯＭドライブ５０５、ＦＤドライブ５０６に加えて、ＭＰＵ（Ｍｉｃｒｏ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）５１１と、ブートアッププログラム等のプログラムを記憶するためのＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）５１２と、ＭＰＵ５１１に接続され、アプリケーションプログラムの命令を一時的に記憶すると共に、一時記憶空間を提供するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）５１３と、アプリケーションプログラム、システムプログラム、及びデータを記憶するハードディスク５１４と、ＭＰＵ５１１、ＲＯＭ５１２等を相互に接続するバス５１５とを備える。なお、コンピュータ５０１は、ＬＡＮへの接続を提供する図示しないネットワークカードを含んでいてもよい。
【００９１】
コンピュータシステム５００に、上記実施の形態による情報処理装置の機能を実行させるプログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ５２１、またはＦＤ５２２に記憶されて、ＣＤ−ＲＯＭドライブ５０５、またはＦＤドライブ５０６に挿入され、ハードディスク５１４に転送されてもよい。これに代えて、そのプログラムは、図示しないネットワークを介してコンピュータ５０１に送信され、ハードディスク５１４に記憶されてもよい。プログラムは実行の際にＲＡＭ５１３にロードされる。なお、プログラムは、ＣＤ−ＲＯＭ５２１やＦＤ５２２、またはネットワークから直接、ロードされてもよい。
【００９２】
プログラムは、コンピュータ５０１に、上記実施の形態による情報処理装置の機能を実行させるオペレーティングシステム（ＯＳ）、またはサードパーティプログラム等を必ずしも含んでいなくてもよい。プログラムは、制御された態様で適切な機能（モジュール）を呼び出し、所望の結果が得られるようにする命令の部分のみを含んでいてもよい。コンピュータシステム５００がどのように動作するのかについては周知であり、詳細な説明は省略する。
【００９３】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
以上のように、本発明にかかる情報処理装置等は、半導体製造プロセス等に用いられる情報処理装置として適しており、特に、同期して実行させるコマンドと非同期で実行させるコマンドとを含むコマンドを実行させる情報処理装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】実施の形態における情報処理装置のブロック図
【図２】同実施の形態における情報処理装置を備えた製造装置管理システムの概念図
【図３】同実施の形態における製造装置２００の一例を示す図
【図４】同実施の形態における情報処理装置の動作について説明するフローチャート
【図５】同実施の形態におけるコマンド管理表を示す図
【図６】同実施の形態における画面構成情報の一例を示す図
【図７】同実施の形態における情報処理装置の表示例を示す図
【図８】同実施の形態における情報処理装置の表示例を示す図
【図９】同実施の形態における同期指定情報管理表の一例を示す図
【図１０】同実施の形態における情報処理装置の表示例を示す図
【図１１】同実施の形態における情報処理装置の動作を説明するための図
【図１２】同実施の形態による情報処理装置を実現するコンピュータの外観の一例を示す模式図
【図１３】同実施の形態による情報処理装置を実現するコンピュータシステムの一例を示す図
【符号の説明】
【００９６】
１０  情報処理装置
２００  製造装置
６１、６２  チェックボックス
１０１  コマンド格納部
１０２  画面構成部
１０３  画面出力部
１０４  指定受付部
１０５  同期指定情報格納部
１０６  コマンド実行部
【図１】
0004975656.tif 000002
【図２】
0004975656.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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