(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物に照射するＸ線を発射するＸ線源を内蔵し、Ｘ線の外部への漏洩を遮蔽するＸ線遮蔽手段を内部に備えたＸ線防護箱において、Ｘ線防護箱の外角部に沿ってＸ線の漏洩を遮蔽するＸ線遮蔽部材を外部に設けたことを特徴とするＸ線防護箱。
【請求項２】
請求項１に記載されたＸ線防護箱であって、前記外角部に設けたＸ線遮蔽部材を覆うための外装カバーを設けたことを特徴とするＸ線防護箱。
【請求項３】
請求項１または２に記載されたＸ線防護箱を使用することを特徴とするＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線源を内蔵し被検査物にＸ線を照射するためのＸ線防護箱及びこのＸ線防護箱を使用して被検査物の形状、形状欠陥、物理、化学特性を検査するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線は内蔵物の形状検査や試料分析に広く利用されている。例えばＸ線を被検査物に照射しその透過光を検出して画像を合成し、被検査物の形状や特性の判別、良否の判定等を行うＸ線検査装置６は、図３に示すように例えばベルトコンベア７によって搬入された被検査物２を収容してＸ線４を照射しその形状を検査し合否を判定する装置であって、Ｘ線４を発生するＸ線源３と、透過したＸ線４の強度を検出する個々のＸ線センサを平面状に集合させたＸ線検出器５を内設するとともに、Ｘ線４の外部への漏洩を防護する手段を備えたＸ線防護箱１００と、その下部に配設されたＸ線検査装置６全体を制御する制御ユニット８からなるＸ線検査装置本体９と検査結果の合否を表示する表示ユニット１０から構成されている。前記Ｘ線検査装置本体９はＸ線防護箱１００と制御ユニット８を図示しないが機械的にはネジを用い、電気的にはケーブルを用いて結合している。また前記制御ユニット８と表示ユニット１０とはケーブルを用いて結合されている。
【０００３】
前記制御ユニット８は、図４に示すように前記Ｘ線源３を作動するための高電圧電源８１、前記Ｘ線検出器５を動作させる駆動部８２と、Ｘ線防護箱１００内のＸ線源３からのＸ線４を被検査物２に照射してＸ線検出器５で検出されたＸ線強度に比例した検出信号を順次画像処理して画像化する画像処理部８３、合成された画像を判別してその合否を決定してその判定結果を記憶し、表示部ユニット１０に表示データを送信するとともにＸ線検査装置本体９を制御する制御部８４及びこれらの構成要素に必要な電圧を供給する電源部８５から構成されている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
図３に示したＸ線検査装置６において、前記ベルトコンベア７によって搬送されてくる被検査物２は一定速度でＸ線防護箱１００内を通過するが、その間Ｘ線４が照射され、透過したＸ線４の強度はＸ線検出器５によって検出されるとともにその検出信号は順次前記画像処理部８３に送られ画像化される。この画像は予め制御部８４内に記憶されている標準画像と比較され、その合否が判定される。この判定結果は制御部８４から表示ユニット１０に送られ表示される。
【０００５】
前記Ｘ線防護箱１００には、従来種々のＸ線漏洩防止手段が採用されているが、その一例を図５に示す。このＸ線防護箱１００は、前記被検査物２を搬入するための鉛ゴム製のれん１０１ａを設けた前面パネル１０１、後面パネル１０２、上面、下面パネル１０３、１０４及び右側、左側パネル１０５、１０６をＬ形フレーム１０７に溶接またはネジ止めにより結合して構成されている。各パネルは鉛製のＸ線遮蔽部材１０８が嵌め込まれ金属板１０９により一体的に固定されている。前記Ｌ形フレーム１０７にはＸ線源１１０から発射されるＸ線４で直接照射される直接線４Ａを遮蔽するための直接線・散乱線遮蔽部材１１１が固着され、さらに直接線４Ａが右側パネル１０５の内壁に当たって散乱する散乱線４Ｂを遮蔽するための散乱線遮蔽部材１１２が右側パネル１０５とＬ形フレーム１０７の境界を覆うように固着されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−３９４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記Ｘ線防護箱１００は、その角部から漏洩するＸ線４の直接線４Ａと散乱線４Ｂを遮蔽するために直接線・散乱線遮蔽部材１１１と散乱線遮蔽部材１１２の２種類のＸ線遮蔽部品が必要となる。また、これらの遮蔽部品はすべてＸ線防護箱１００のパネル内側に取り付けられるために作業者はＸ線防護箱１００の内部に身体を入れて作業をしなければならず特に角部における作業性が困難であるという問題がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、Ｘ線遮蔽部品の取り付けが容易なＸ線防護箱及びこのＸ線防護箱を使用するＸ線検査装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するため、本発明のＸ線防護箱は、被検査物に照射するＸ線を発射するＸ線源を内蔵し、Ｘ線の外部への漏洩を遮蔽するＸ線遮蔽手段を内部に備えたＸ線防護箱において、Ｘ線防護箱の外角部に沿ってＸ線の漏洩を遮蔽するＸ線遮蔽部材を外部に設けている。
さらに、本発明のＸ線防護箱は前記Ｘ線防護箱に前記外角部に設けたＸ線遮蔽部材を覆うための外装カバーを設けている。
また、本発明のＸ線検査装置は前記Ｘ線防護箱を使用している。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のＸ線防護箱及びこのＸ線防護箱を使用したＸ線検査装置は、角部からの散乱線の漏洩を遮蔽する散乱線遮蔽用部材を無くすことができるので部品コストが下がる。また、角部からの直接線、散乱線の漏洩を遮蔽する直接線・散乱線遮蔽部材の内部取付作業を外部取付作業に変更されるので作業性が良くなり組立工数が減少する。さらには外装カバーを設けることで装置全体の見栄えを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施例によるＸ線防護箱の構成を示す斜視図（Ａ）とＢ−Ｂ断面右上図（Ｂ）である。
【図２】他の実施例によるＸ線防護箱の構成を示す斜視図（Ａ）とＣ−Ｃ断面右上図（Ｂ）である。
【図３】Ｘ線検査装置の構成を示す構成図である。
【図４】Ｘ線検査装置に用いられる制御ユニットの内部構成を示す図である。
【図５】従来のＸ線防護箱の外観斜視図（Ａ）とＡ−Ａ断面右上図（Ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の最良の形態のＸ線防護箱は、被検査物に照射するＸ線を発射するＸ線源を内蔵し、Ｘ線の外部への漏洩を遮蔽するＸ線遮蔽手段を内部に備えたＸ線防護箱において、Ｘ線防護箱の外角部に沿ってＸ線の漏洩を遮蔽するＸ線遮蔽部材を設け、さらにその外側を覆う外装カバーを設けたものである。また、本発明のＸ線検査装置は前記Ｘ線防護箱を使用するものである。
【実施例１】
【００１２】
本発明の実施例を図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の実施例によるＸ線防護箱１の外観斜視図（Ａ）とそのＢ−Ｂ断面右上図（Ｂ）、図２は他の実施例によるＸ線防護箱１の外観斜視図（Ａ）とそのＣ−Ｃ断面右上図（Ｂ）である。
【００１３】
前記Ｘ線防護箱１は、図１（Ａ）に示すように前記被検査物２（図３参照）を搬入するために鉛ゴム製の短冊形ののれん１１ａが設けられた前面パネル１１と、検査された被検査物２を搬出するために前記のれん１１ａと同様なのれん（図示省略）が設けられた後面パネル１２と、上面パネル１３及び下面パネル１４と、右側パネル１５と左側パネル１６を図１（Ｂ）に示すＬ形フレーム１７に図示しないが溶接又は螺合により互いに密着するように結合して形成されている。これら各パネル１１、１２、１３、１４、１５、１６には厚さが約１０ｍｍ程度の鉛製のＸ線遮蔽部材１８が嵌め込まれ金属板１８ａで一体的に固定されている。そしてさらに、このＸ線防護箱１には内設されているＸ線源３から発射されるＸ線４が前記Ｘ線遮蔽部材１８を通って外部へ直接漏洩する直接線４Ａと、一旦右側パネル１５の内面に当たって散乱する散乱線４Ｂを遮蔽するために、同質のＸ線遮蔽部材１９Ａ、１９Ｂが右側パネル１５の周辺の角部の外面に沿って貼着されている。
【００１４】
上記Ｘ線防護箱１内のＸ線源３から発射されたＸ線４は円錐状に広がって右側パネル１５に向かって放射され、前記被検査物２を透過するかあるいは透過光を検出する後述のＸ線検出器５（図２参照）を直接照射する。Ｘ線４の一部は直接線４Ａとして図１（Ｂ）に示すようにＬ形フレーム１７部分に照射され右側パネル１５の遮蔽力の弱い角部から直接線４Ａが外部へ漏洩しようとするが、Ｘ線遮蔽部材１９Ａ、１９Ｂによって漏洩が阻止される。また、右側パネル１５の内壁に当たった後内壁に沿って四方に散乱する散乱線４Ｂも右側パネル１５の角部から外部に漏洩しようとするが外側に貼着されたＸ線遮蔽部材１９Ａ、１９Ｂにより外部への漏洩が阻止される。これにより、Ｘ線防護箱１の各部からの漏洩Ｘ線量は１マイクロシーベルト（μＳｖ）以下に抑えられる。
【００１５】
図２は本発明の他の実施例によるＸ線防護箱１Ａの形状を示す外観斜視図（Ａ）とＣ−Ｃ断面右上図（Ｂ）である。このＸ線防護箱１Ａは前記Ｘ線防護箱１のＸ線遮蔽部材１９Ａ、１９Ｂを覆う樹脂又は金属製の外装カバー２０を装着したもので、このＸ線防護箱１Ａの外観を良好にすることができる。
【００１６】
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、例えば前面パネル１１ののれん１１ａの代わりにＸ線遮蔽部材を装着した開閉扉を設けるようにしてもよい。また、Ｘ線防護箱１の形状は直方体に限るものではなく例えば円筒型にすることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００１７】
本発明のＸ線防護箱は、Ｘ線を照射して物体の形状や形状の欠陥を検査するＸ線検査装置、物理的、化学的特性を検査するＸ線分析計に用いることができる。
【符号の説明】
【００１８】
１  Ｘ線防護箱
１１  前面パネル
１１ａ  のれん
１２  後面パネル
１３  上面パネル
１４  下面パネル
１５  右側パネル
１６  左側パネル
１７  Ｌ形フレーム
１８  Ｘ線遮蔽部材
１９Ａ  Ｘ線遮蔽部材
１９Ｂ  Ｘ線遮蔽部材
２  被検査物
３  Ｘ線源
４  Ｘ線
４Ａ  直接線
４Ｂ  散乱線
５  Ｘ線検出器
６  Ｘ線検査装置
７  ベルトコンベア
８  制御ユニット
８１  高電圧電源
８２  駆動部
８３  画像処理部
８４  制御部
８５  電源部
９  Ｘ線検査装置本体
１０  表示ユニット
２０  外装カバー
１００  Ｘ線防護箱
１０１  前面パネル
１０１ａ  のれん
１０２  後面パネル
１０３  上面パネル
１０４  下面パネル
１０５  右側パネル
１０６  左側パネル
１０７  Ｌ形フレーム
１０８  Ｘ線遮蔽部材
１０９  金属板
１１０  Ｘ線源
１１１  直接線・散乱線遮蔽部材
１１２  散乱線遮蔽部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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