(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
その表面に、集積回路装置を載せることができる載置領域と、該載置領域に露出する電極とを備えている回路基板と、
前記電極を覆うように前記回路基板に導電性シートを配置することができる導電性シート配置手段と、
前記回路基板に配置された前記導電性シートの各部位が前記載置領域を通過していくように該導電性シートの各部位と該載置領域との位置関係を変化させる送り手段であって、所定の複数回数ずつ各部位を前記集積回路装置の検査に使用するごとに、前記導電性シートを送る送り手段と、
前記導電性シートの各部位のうち前記送り手段により前記載置領域上を一度通過した通過済部位のそれぞれが、１ローテーションあたり前記複数回数ずつ該載置領域上に再び位置して前記集積回路装置の検査に使用されるように、該導電性シートの各部位と該載置領域との位置関係を変化させる再送手段と、
を備えることを特徴とする集積回路装置の検査装置。
【請求項２】
その表面に、集積回路装置を載せることができる載置領域と、該載置領域に露出する電極とを備えている回路基板と、
前記電極を覆うように前記回路基板に導電性シートを配置することができる導電性シート配置手段と、
前記回路基板に配置された前記導電性シートの各部位が前記載置領域を通過していくように該導電性シートの各部位と該載置領域との位置関係を変化させる送り手段であって、前記導電性シートの１つの部位に対する使用回数の限界の基準である限界使用回数と前記導電性シートを循環させるべき回数とに基づいて定めた所定回数ずつ各部位を前記集積回路装置の検査に使用するごとに、前記導電性シートを送る送り手段と、
前記導電性シートの各部位のうち前記送り手段により前記載置領域上を一度通過した通過済部位のそれぞれが、１ローテーションあたり前記導電性シートを循環させるべき前記回数ずつ該載置領域上に再び位置して前記集積回路装置の検査に使用されるように、該導電性シートの各部位と該載置領域との位置関係を変化させる再送手段と、
を備えることを特徴とする集積回路装置の検査装置。
【請求項３】
前記送り手段は、前記導電性シートが１つの部位に対する限界使用回数がｎ回である場合に、前記導電性シートを循環させるべき回数で前記ｎを除算した値を基準として定めた回数ずつ各部位を前記集積回路装置の検査に使用するごとに、前記導電性シートを送る手段を含むことを特徴とする請求項２に記載の集積回路装置の検査装置。
【請求項４】
その表面に、集積回路装置を載せることができる載置領域と、該載置領域に露出する電極とを備えている回路基板と、
前記電極を覆うように前記回路基板に導電性シートを配置することができる導電性シート配置手段と、
前記回路基板に配置された前記導電性シートの各部位が前記載置領域を通過していくように、該導電性シートの各部位と該載置領域との位置関係を変化させる送り手段と、
前記導電性シート上の各部位を複数のローテーションに分けて分散的に前記集積回路装置の検査に使用するように、前記導電性シートの各部位のうち前記送り手段により前記載置領域上を一度通過した通過済部位が再び当該載置領域を通過していくように該導電性シートの各部位と該載置領域との位置関係を変化させる再送手段と、
を備えることを特徴とする集積回路装置の検査装置。
【請求項５】
前記再送手段により再び該載置領域上を通過させられる前に、前記導電性シートの前記通過済部位を清掃する清掃手段を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の集積回路装置の検査装置。
【請求項６】
前記導電性シートは環状に形成されており、
前記送り手段及び前記再送手段は、前記環状の前記導電性シートをコンベヤ状に循環させる循環機構であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の集積回路装置の検査装置。
【請求項７】
前記載置領域上に敷かれた状態の前記導電性シートに、その面方向に沿う張力を加えることができる張力機構を備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の集積回路装置の検査装置。
【請求項８】
前記導電性シートに加わる張力を調整することができる調整手段を備えることを特徴とする請求項７に記載の集積回路装置の検査装置。
【請求項９】
前記回路基板の面方向に沿って前記載置領域を挟むように備えられて前記環状の前記導電性シートの内周面にそれぞれ接し、少なくとも１つは該導電性シートの外周面側に向かって移動可能であり、その回転に応じて該導電性シートをずらすことができる複数のローラーを備え、
前記循環機構は、前記ローラーが回転することにより実現され、
前記張力機構は、前記導電性シートの内周面側から外周面側に向かって前記少なくとも１つのローラーが移動することにより実現され、
前記調整手段は、前記複数のローラーの位置の調整により実現されることを特徴とする請求項８に記載の集積回路装置の検査装置。
【請求項１０】
前記導電性シートの各部位の使用を１ローテーションさせた後、前記検査使用済部位の清掃を行うことなく再び前記検査使用済部位を前記載置領域上に位置させて次回のローテーションにおける前記導電性シートの前記各部位を使用して前記集積回路装置の検査を行う動作を実行可能であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の集積回路装置の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、集積回路装置の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、下記の特許文献１に開示されているように、導電性シートを用いて、集積回路装置の電気的特性を検査する技術が知られている。この従来技術では、集積回路装置とテスト用回路基板とを、導電性シート（シートコンタクタとも呼称される）を介して電気的に接続している。このように、導電性シートを介在させた状態で検査を行うことにより、高周波領域における測定精度の向上や回路基板の消耗の抑制などを実現している。
【０００３】
この従来の技術では、導電性シートをリール状に巻いて保持している。検査時には、巻かれた導電性シートの一部を引き出して回路基板上に敷く。そして、引き出された導電性シートを、所定回数（１回または複数回）だけ検査に用いる。同一箇所を所定回数使用した後は、導電性シートを更に引き出して未使用部分を回路基板上に位置させ、当該新たな領域を同様に使用する。このようなプロセスを繰り返して、複数の集積回路装置の検査を進めていく。
【０００４】
このような手法によれば、導電性シートの使用済みの部位を、短時間かつ容易に、当該導電性シートの他の未使用部位へと取り替えることができる。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−２４４１１７号公報
【特許文献２】特開平１１−３２６４４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
導電性シートは、検査時における集積回路装置との接触を繰り返すことにより劣化していく。導電性シートの劣化が速ければ、その分だけ、新たな導電性シートに取り替える時期も早まる。生産性の向上の観点からは、１つの導電性シートをできるだけ長期に渡って効率よく使用できることが好ましい。
【０００７】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、導電性シートを効率よく使用しながら集積回路装置の検査を行うことができる集積回路装置の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、上記の目的を達成するため、集積回路装置の検査装置であって、
その表面に、集積回路装置を載せることができる載置領域と、該載置領域に露出する電極とを備えている回路基板と、
前記電極を覆うように前記回路基板に導電性シートを配置することができる導電性シート配置手段と、
前記回路基板に配置された前記導電性シートの各部位が前記載置領域を通過していくように該導電性シートの各部位と該載置領域との位置関係を変化させる送り手段であって、所定の複数回数ずつ各部位を前記集積回路装置の検査に使用するごとに、前記導電性シートを送る送り手段と、
前記導電性シートの各部位のうち前記送り手段により前記載置領域上を一度通過した通過済部位のそれぞれが１ローテーションあたり前記複数回数ずつ該載置領域上に再び位置して前記集積回路装置の検査に使用されるように、該導電性シートの各部位と該載置領域との位置関係を変化させる再送手段と、
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
第１の発明によれば、導電性シート上の未使用部位を順次集積回路装置の検査に使用していった後、それらの使用済の部位を再び載置領域上に位置させ、当該使用済の部位を繰り返し集積回路装置の検査に使用することができる。これにより、導電性シート上の各部位を、複数のローテーションに分けて、分散的に使用することが可能となる。導電性シートの劣化は、各部位を一つ一つ集中的に使用していく使用態様よりも、それぞれの部位を複数のローテーション（換言すれば、複数の時期）に分けて分散的に使用していく使用態様のほうが、緩やかに進行する。第１の発明によれば、この点を活かして、導電性シートの劣化を遅らせつつ検査を進めていくことができる。その結果、導電性シートの利用効率を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
実施の形態１． 
［実施の形態１の構成］
図１は、本発明の実施の形態１にかかる検査装置の構成を説明するための図である。図１には、集積回路装置のテストに用いる回路基板１０が示されている。また、回路基板１０上方には、検査対象の集積回路装置である半導体装置２が図示されている。半導体装置２は、リード電極レスの装置であり、図１の紙面下方を向く面に端子を備えている。回路基板１０の紙面上方側を向く面には、半導体装置２を載せるための領域１２が設けられている。図示しないが、この領域１２（以下、「載置領域１２」とも称す）には、電極パターンが形成されている。
【００１１】
本実施形態の装置は、図１に示すように、環状に形成された導電性シート２４を備えている。導電性シート２４の幅や、回路基板１０と導電性シート２４との位置関係は、図１の紙面上方から見たときに導電性シート２４が載置領域１２を覆うような寸法、位置関係に定められている。
【００１２】
導電性シート２４は、例えば上記の特許文献１、２に記載されているような種々のシート状の異方性導電体を用いて、形成することができる。例えば、樹脂製のシートを基材とし、表面と裏面とを貫通する多数の金線が当該シートに埋め込まれてなる導電性シートを用いて形成することができる。
【００１３】
回路基板１０の両側には、１つずつローラー２６が配置されている。このローラー２６に、環状の導電性シート２４が引っ掛けられている。導電性シート２４の内周面がローラー２６に接しているので、ローラー２６の回転に応じて、導電性シート２４がベルトコンベヤにおけるベルトのように（以下、「コンベヤ状に」とも表現する）循環することになる。このような実施の形態１の構成によれば、ローラー２６の回転に応じて、導電性シート２４の各部位が回路基板１０上を通過していく。
【００１４】
また、本実施形態の装置は、ローラー２６を図１の紙面左右方向（矢印の方向）に移動することができ、かつ、所望の位置でローラー２６を固定できるように構成されている。１組のローラー２６が紙面左右に離れるようにそれぞれ移動することにより、導電性シート２４に張力を加えることができる。そして、ローラー２６の位置を調整することで、導電性シート２４に所望の大きさの張力を加えることができる。なお、２つのローラー２６のうち片方のみを移動可能として、同様の張力調整機能を実現してもよい。
【００１５】
なお、図示しないが、本実施形態の装置は、半導体装置２を載置領域１２へと搬送するための搬送機構を備えている。この搬送機構としては、具体的には、一般的に使用されているコレット等の機構を用いることができる。この搬送機構の動作は、導電性シート２４のスライド移動の動作（つまり、ローラー２６の回転、静止の動作）とリンクするように制御される。なお、搬送機構が半導体装置２を導電性シート２４側に押圧できるようにしてもよい。検査時に半導体装置２を導電性シート２４側に押付けることで、検査中の電気的接触を一層良好なものとすることができるからである。
【００１６】
［実施の形態１の動作］
以下、実施の形態１の動作について説明する。以下、導電性シート２４全体が未使用である状態から検査を開始した場合について説明する。検査時には、先ず、コレット等で検査対象の半導体装置２を回路基板１０上方まで搬送する。ローラー２６を静止した状態で、搬送してきた半導体装置２を、導電性シート２４の載置領域１２上に位置する部位に載せる。これにより、半導体装置２の端子が、導電性シート２４を介して載置領域１２の電極パターンに接続される。この状態で、回路基板１０を用いて集積回路装置の電気的特性を検査する。
【００１７】
検査が終了したら、検査済の半導体装置２を、コレット等を用いて導電性シート２４上から取り除く。続いて、次の検査対象の半導体装置２を載せ、当該半導体装置２に対して同様に検査を行う。本実施形態では、導電性シート２４の同一部分を用いて３回ほど検査を行うものとする。
【００１８】
同一部位に対して検査が３回行われたら、次の検査対象の半導体装置２を載せる前に、ローラー２６を所定角度だけ回転させて導電性シート２４をずらす。その結果、回路基板１０の載置領域１２上に、導電性シート２４の新たな未使用部分が位置する。この状態で、導電性シート２４の当該新たな未使用部分を用いて、新たな半導体装置２を同様に検査する。
【００１９】
このような動作を繰り返すことにより、導電性シート２４が循環しながら、導電性シート２４の各部位が３回ずつ検査に使用されていく。そして、導電性シート２４が一巡すると、測定に使用された使用済みの部分が再び載置領域１２上に位置する。本実施形態では、導電性シート２４の使用済みの部分が再び現れた後、そのまま検査を継続する。このように、本実施形態によれば、導電性シート２４上の各部位を、１巡目で３回ずつ、２巡目で３回ずつ、それぞれ検査に使用していくことができる。
【００２０】
導電性シートの劣化は、各部位を一つ一つ集中的に使用していく使用態様よりも、それぞれの部位を複数のローテーション（換言すれば、複数の時期）に分けて分散的に使用していく使用態様のほうが、緩やかに進行する。つまり、例えば、同一箇所を連続的に６回使用するよりも、複数のローテーションにわけて３回ずつ使用するほうが、劣化の進行が遅い。
【００２１】
実施の形態１によれば、この点を活かし、導電性シート２４上の各領域を複数のローテーションに分けて分散的に使用している。これにより、導電性シートの各領域を１領域ずつ集中的に使用していく場合に比して、導電性シートの寿命を延ばすことができる。その結果、交換頻度を抑えることができ、導電性シートの利用効率が向上する。
【００２２】
また、本実施形態の装置は、導電性シート２４が環状に形成されており、ローラー２６が導電性シート２４をコンベヤ状に循環させる構成とされている。このような構成によれば、導電性シート２４の使用済みの領域を、載置領域１２上まで容易に再送することができる。また、本実施形態の構成によれば、ローラー２６の回転、静止を一方向に向かって繰り返すだけでよく、制御も容易である。
【００２３】
また、本実施形態の装置は、紙面左右方向に２つのローラー２６をそれぞれ移動させ、所望の位置で固定することにより、導電性シート２４に張力を加えることができる。これにより、導電性シート２４に張りを持たせ、たわみの発生を安定的に防止することができる。その結果、導電性シート２４のたわみに起因する回路基板１０と集積回路装置の間の接触不良を、防止することができる。
【００２４】
また、特に、本実施形態では、導電性シート２４を送る機能と、導電性シート２４に張力を加える機能と、当該張力を調整する機能とを、ローラー２６及びローラー２６の位置調整機能を用いて、効率よく実現している。
【００２５】
［実施の形態１に対する比較例］
（第１比較例）
図４、５は、実施の形態１に対する第１比較例を説明するための図である。図４は、比較例としての検査装置を上面から見た図である。紙面表側から、位置決めガイド１１６、導電性シート１１４、回路基板１１０が順次重なっている。導電性シート１１４は、粘着性テープ１１８によって回路基板１１０に貼り付けられている。図５は、図４のA−A線に沿う断面図である。
【００２６】
検査の際には、検査対象の集積回路装置を、位置決めガイド１１６のガイド穴１１７に入れ込む。これにより、導電性シート１１４上に検査対象の集積回路装置が載り、位置決めも達成される。
【００２７】
このような比較例の装置で導電性シート１１４を交換する際には、使用済みの導電性シート１１４を取り除き、長方形に切り出した新たな導電性シートを位置決めガイド１１６の手前から挿入する。挿入した導電性シート１１４は、粘着性テープ１１８にて固定する。比較例の装置の機構では、長方形に切り出された導電性シート１１４のうち、中央側の部分は集積回路装置との接触に用いられる。しかしながら、導電性シート１１４の端部は、位置決めガイド１１６に覆われて集積回路装置の検査には何ら使用されないことになる。その結果、導電性シートの一部が無駄になってしまう。
【００２８】
これに対し、記述した実施の形態１の手法によれば、導電性シートを検査対象物のサイズ分だけずらしていくことにより、比較例で述べたような無駄な部分の発生を出来るだけ抑えることができる。これにより、導電性シート２４を節約できる。
【００２９】
（第２比較例）
図６は、実施の形態１に対する第２比較例を示す図である。この比較例は、リール状に巻かれた導電性シート２１４を備えている。矢印Ｂで指す部分が繰り返し検査に使用されて劣化し、接触性が悪化したら、導電性シート２１４を矢印Cの方向に引き出す。これにより、劣化した部分をスライドさせて、未使用部分と交換する。このような、リールを用いたスライド方式を採用することにより、導電性シートを効率良く使用することができる。
【００３０】
しかしながら、この第２比較例の思想は、導電性シート２１４の１つの部分を、耐用回数に至るまで集中的に連続して使用するというものである。つまり、第２比較例の思想によれば、導電性シートの各部位を、許容限界回数まで集中的に使用しながら１つずつ使用していくことになる。
【００３１】
これに対し、既述したように、実施の形態１では、導電性シート２４上の各部位を、複数のローテーションに分けて分散的に使用することができる。この相違点により、実施の形態１では、導電性シートの寿命を延ばしつつ検査を進めることができるという効果が得られることになる。
【００３２】
尚、上述した実施の形態１では、回路基板１０が前記第１の発明における「回路基板」に、ローラー２６が、前記第１の発明における「送り手段」および「再送手段」に、それぞれ相当している。また、実施の形態１では、環状の導電性シート２４をローラー２６に装着することにより、前記第１の発明における「導電性シート配置手段」が実現されている。
【００３３】
［実施の形態１の変形例］
実施の形態１では、導電性シート２４の各部位を、１ローテーションあたり３回ずつ検査に使用することとしている。「１ローテーションあたり３回ずつ」とは、「導電性シート２４が一回循環する間に各部位が３回ずつ検査に使用される」という意味である。しかしながら、本発明はこのような態様に限定されない。１つの部位を１ローテーションあたり１回ずつ検査に使用していく態様、つまり、集積回路装置の検査を一回行うごとに導電性シート２４をずらしていくという態様でも構わない。このような態様でも、導電性シート２４上の各部位を複数のローテーションに分けて分散的に使用できるからである。
【００３４】
また、逆に、１ローテーションあたりの導電性シートの各部位の使用回数を、実施の形態１より多くしてもよい。例えば、１ローテーション中で、１つの部位あたり４回以上（さらには、数十回、数百回）の検査を行ってもよい。このような態様でも、１つの部位を許容限界回数まで使用しながら導電性シートを１巡させるだけの態様と比較して、導電性シート２４の寿命を延ばすことができるからである。
【００３５】
なお、この１ローテーションあたりの使用回数は、導電性シートの耐久性に応じて適宜決定すればよい。例えば、１つの部位に対する限界使用回数がｎ回である導電性シートを用いる場合、ｎ/３回を基準として定めた所定回数ずつ各部位を使用しながら、導電性シートを３回循環させることができる。
【００３６】
なお、実施の形態１では、ローラー２６を回転させて導電性シート２４をベルトのように循環させることにより、導電性シート２４の各部位が載置領域１２上を通過していくような動作を実現している。これにより、導電性シート２４のそれぞれの部位を載置領域１２上に順次位置させ、使用済み部位を未使用部位に交換していくこととしている。しかしながら、本発明は、このような実施の形態１の機構に限定されるものではない。
【００３７】
ベルトのように導電性シートを循環させる機構ではなく、他の機構を用いてもよい。導電性シートの各部位と回路基板上の載置領域との位置関係を変化させることができる種々の機構を、適宜利用することができる。また、実施の形態１では回路基板１０を固定したが、このような態様に限定されないことはいうまでもない。導電性シートの各部位と載置領域のうち少なくとも一方が面方向に移動すれば（ずれれば）、互いの位置関係が変化するからである。
【００３８】
実施の形態２．
［実施の形態２の構成］
図２は、本発明の実施の形態２を説明するための図である。実施の形態２は、イオナイザ３０と回転ブラシ３２を備えている点を除き、図１に示した実施の形態１と同様の構成を有している。
【００３９】
検査の繰り返しにより、導電性シート２４の表面に異物が溜まることがある。表面に異物が蓄積されると、導電性シート２４の接触性の低下の原因となる。そこで、実施の形態２では、回転ブラシ３２により、導電性シート２４を循環させていく過程で異物（図２の異物３６）を除去できるようにする。これにより、導電性シート２４表面を清掃しながら導電性シート２４を循環させることができ、導電性シート２４の各部位のうち異物蓄積によって一度使用不可能となった部位を、清浄な状態にして再利用することができる。
【００４０】
また、実施の形態２では、回転ブラシ３２により発生した静電気をイオナイザ３０によって除去する。これにより、静電気が残存して検査対象物に悪影響を及ぼすことを、確実に防ぐことができる。
【００４１】
［実施の形態２の変形例］
図３は、実施の形態２の変形例を示す図である。この変形例では、回転ブラシ３２を紙面下方側に配置し、その左下に吸引機４０を配置している。このような構成とすることで、回転ブラシ３２により除去された異物を吸引機４０により吸い取ることができる。その結果、除去された異物が飛散するのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施の形態１の構成を説明するための図である。
【図２】本発明の実施の形態２の構成を説明するための図である。
【図３】実施の形態２の変形例の構成を説明するための図である。
【図４】実施の形態１の比較例の構成を説明するための図である。
【図５】実施の形態１の比較例の構成を説明するための図である。
【図６】実施の形態１の比較例の構成を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０  回路基板
２４  導電性シート
２６  ローラー
３０  イオナイザ
３２  回転ブラシ
３６  異物
４０  吸引機
１１０  回路基板
１１４、２１４  導電性シート
１１６  ガイド
１１７  ガイド穴
１１８  粘着性テープ
【図１】
0004888340.tif 000002
【図２】
0004888340.tif 000003
【図３】
0004888340.tif 000004
【図４】
0004888340.tif 000005
【図５】
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【図６】
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