(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシングに回転可能に支持される軸体と、
前記軸体に取り付けられ、回転して被圧縮流体を圧縮する羽根車と、
前記被圧縮流体を軸封するように前記ケーシング内へ当該被圧縮流体と同成分の軸封用流体を供給する軸封用流体供給手段とを具備し、
前記軸封用流体供給手段は、前記軸封用流体が流通する軸封用流体供給ラインと、
前記軸封用流体供給ラインに設けられ、当該軸封用流体に含まれる不純物を除去する第１の不純物除去機構と、
前記第１の不純物除去機構の前記軸封用流体の流通方向上流側に設けられ、当該軸封用流体供給手段を洗浄する洗浄剤が流通する洗浄剤流通手段とを具備するものであり、
前記洗浄剤流通手段は、前記洗浄剤が流通する洗浄剤流通ラインと、前記洗浄剤流通ラインを流通する不純物を除去する第２の不純物除去機構とを具備するものである
ことを特徴とする圧縮機。
【請求項２】
請求項１に記載された圧縮機であって、
前記洗浄剤流通手段は、前記洗浄剤の流通速度を制御可能な洗浄剤流速制御手段を具備するものである
ことを特徴とする圧縮機。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載された圧縮機であって、
前記第２の不純物除去機構は、金属からなり網状に形成された第１の濾過手段を具備するものである
ことを特徴とする圧縮機。
【請求項４】
請求項３に記載された圧縮機であって、
前記第１の濾過手段は、当該第１の濾過手段の流体流通方向下流側に配置される第２の濾過手段で除去する不純物よりも１０倍程度以上大きな粒径を有する不純物を除去するものである
ことを特徴とする圧縮機。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載された圧縮機であって、
前記洗浄剤流通ラインにおける前記洗浄剤の流通方向下流側は、前記第１の不純物除去機構の前記軸封用流体の流通方向上流側に連絡する
ことを特徴とする圧縮機。
【請求項６】
請求項３または請求項４に記載された圧縮機であって、
前記洗浄剤流通ラインにおける前記洗浄剤の流通方向下流側は、前記第１の不純物除去機構の前記軸封用流体の流通方向下流側に連絡する
ことを特徴とする圧縮機。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載された圧縮機であって、
前記軸封用流体は、前記羽根車により圧縮された前記被圧縮流体である
ことを特徴とする圧縮機。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載された圧縮機の運転方法であって、
前記軸封用流体供給手段を前記洗浄剤により洗浄してから２４時間経過するまで、前記洗浄剤流通手段を利用して前記軸封用流体を流通するようにした
ことを特徴とする圧縮機の運転方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮機およびその運転方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
製品の製造方法には、原料である製品ガスを圧縮機により所定圧力に圧縮する工程が含まれていることがある。前記圧縮機は、例えばシールガスを用いて被圧縮流体（プロセスガス）への外部流体及び異物の混入を防いでいる。このシールガスは、通常、前記圧縮機とは別に設置されているガス供給源からフィルタエレメントを介して供給されている。例えば、下記特許文献１には、前記シールガスの流通方向で直列に２種類のフィルタエレメント（第１、第２のフィルタエレメント）を設置し、当該シールガス流通方向上流側に配置される第１のフィルタエレメントで気体の流れから大きい粒子を除去し、その下流側に配置される第２のフィルタエレメントで前記第１のフィルタエレメントよりも小さい粒子を除去するようにしている。
【０００３】
シールガスの供給源が圧縮機付近に設置されていない場合には、前記プロセスガスの一部を前記シールガスとして利用している。
【０００４】
【特許文献１】特表２００４−５０８１６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述したプロセスガスにはタール分など油分による汚れ（ポリマ）を含んでいる場合がある。このようなプロセスガスの一部をシールガスとして利用すると、プロセスガスに含まれる前記ポリマなどのフィルタエレメントへの付着により、当該フィルタエレメントの交換頻度が増加する上、圧力損失が増大していた。さらに、前記ポリマのフィルタエレメントへ付着が増大するとそれ自体が機能しなくなる可能性があった。その上、前記ポリマの前記フィルタエレメントへの衝突によりそれ自体の機能を低下させてしまう可能性があった。
【０００６】
そこで、本発明は、前述した問題に鑑み提案されたもので、被圧縮流体（プロセスガス）がポリマなどの付着し易い不純物を含んでいる場合であっても、簡易な構造にて、被圧縮流体の軸封に安定して用いることができる圧縮機およびその運転方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決する第１の発明に係る圧縮機は、ケーシングに回転可能に支持される軸体と、前記軸体に取り付けられ、回転して被圧縮流体を圧縮する羽根車と、前記被圧縮流体を軸封するように前記ケーシング内へ当該被圧縮流体と同成分の軸封用流体を供給する軸封用流体供給手段とを具備し、前記軸封用流体供給手段が、前記軸封用流体が流通する軸封用流体供給ラインと、前記軸封用流体供給ラインに設けられ、当該軸封用流体に含まれる不純物を除去する第１の不純物除去機構と、前記第１の不純物除去機構の前記軸封用流体の流通方向上流側に設けられ、当該軸封用流体供給手段を洗浄する洗浄剤が流通する洗浄剤流通手段とを具備するものであり、前記洗浄剤流通手段が、前記洗浄剤が流通する洗浄剤流通ラインと、前記洗浄剤流通ラインを流通する不純物を除去する第２の不純物除去機構とを具備するものであることを特徴とする。
【０００８】
上述した課題を解決する第２の発明に係る圧縮機は、第１の発明に係る圧縮機であって、前記洗浄剤流通手段が、前記洗浄剤の流通速度を制御可能な洗浄剤流速制御手段を具備するものであることを特徴とする。
【０００９】
上述した課題を解決する第３の発明に係る圧縮機は、第１または第２の発明に係る圧縮機であって、前記第２の不純物除去機構が、金属からなり網状に形成された第１の濾過手段を具備するものであることを特徴とする。
【００１０】
上述した課題を解決する第４の発明に係る圧縮機は、第３の発明に係る圧縮機であって、前記第１の濾過手段が、当該第１の濾過手段の流体流通方向下流側に配置される第２の濾過手段で除去する不純物よりも１０倍程度以上大きな粒径を有する不純物を除去するものであることを特徴とする。
【００１１】
上述した課題を解決する第５の発明に係る圧縮機は、第３または第４の発明に係る圧縮機であって、前記洗浄剤流通ラインにおける前記洗浄剤の流通方向下流側が、前記第１の不純物除去機構の前記軸封用流体の流通方向上流側に連絡することを特徴とする。
【００１２】
上述した課題を解決する第６の発明に係る圧縮機は、第３または第４の発明に係る圧縮機であって、前記洗浄剤流通ラインにおける前記洗浄剤の流通方向下流側が、前記第１の不純物除去機構の前記軸封用流体の流通方向下流側に連絡することを特徴とする。
【００１３】
上述した課題を解決する第７の発明に係る圧縮機は、第１乃至第６の発明の何れか一つに係る圧縮機であって、前記軸封用流体が、前記羽根車により圧縮された前記被圧縮流体であることを特徴とする。
【００１４】
上述した課題を解決する第８の発明に係る圧縮機の運転方法は、第１乃至第７の発明の何れか一つに係る圧縮機の運転方法であって、前記軸封用流体供給手段を前記洗浄剤により洗浄してから２４時間経過するまで、前記洗浄剤流通手段を利用して前記軸封用流体を流通するようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
第１の発明に係る圧縮機によれば、ケーシングに回転可能に支持される軸体と、前記軸体に取り付けられ、回転して被圧縮流体を圧縮する羽根車と、前記被圧縮流体を軸封するように前記ケーシング内へ当該被圧縮流体と同成分の軸封用流体を供給する軸封用流体供給手段とを具備し、前記軸封用流体供給手段が、前記軸封用流体が流通する軸封用流体供給ラインと、前記軸封用流体供給ラインに設けられ、当該軸封用流体に含まれる不純物を除去する第１の不純物除去機構と、前記第１の不純物除去機構の前記軸封用流体の流通方向上流側に設けられ、当該軸封用流体供給手段を洗浄する洗浄剤が流通する洗浄剤流通手段とを具備するものであり、前記洗浄剤流通手段が、前記洗浄剤が流通する洗浄剤流通ラインと、前記洗浄剤流通ラインを流通する不純物を除去する第２の不純物除去機構とを具備するものであることにより、前記洗浄剤により前記軸封用流体供給手段を洗浄するときに、前記洗浄剤および当該洗浄剤により除去された不純物の前記第１の不純物除去機構への流通を抑制して、当該第１の不純物除去機構の不純物の除去機能の低下を抑制することができる。その結果、被圧縮流体（プロセスガス）がポリマなどの付着し易い不純物を含んでいる場合であっても、簡易な構造にて、被圧縮流体の軸封に安定して用いることができる。
【００１６】
第２の発明に係る圧縮機によれば、前記洗浄剤流通手段が、前記洗浄剤の流通速度を制御可能な洗浄剤流速制御手段を具備するものであることにより、第１の発明に係る圧縮機と同様な作用効果を奏する他、前記洗浄剤流速制御手段により前記洗浄剤の流通速度を低減するように制御することで、前記洗浄剤により除去された不純物が当該洗浄剤の流通方向下流側に配置される前記第２の不純物除去機構と衝突したときの衝撃を小さくすることができ、この衝撃による前記第２の不純物除去機構の不純物の除去機能の低下を抑制することができる。
【００１７】
第３の発明に係る圧縮機によれば、前記第２の不純物除去機構が、金属からなり網状に形成された第１の濾過手段を具備するものであることにより、第１および第２の発明に係る圧縮機と同様な作用効果を奏する他、第１の濾過手段自体が所定の強度を有するものとなり、前記洗浄剤により除去された不純物が前記第１の濾過手段と衝突したときの衝撃に耐えることができ、当該第１の濾過手段を長期に亘って使用することができ、運用コストの増加を抑制することができる。
【００１８】
第４の発明に係る圧縮機によれば、前記第１の濾過手段が、当該第１の濾過手段の流体流通方向下流側に配置される第２の濾過手段で除去する不純物よりも１０倍程度以上大きな粒径を有する不純物を除去するものであることにより、第３の発明に係る圧縮機と同様な作用効果を奏する他、前記第１の濾過手段にて所定の粒径以上を有する不純物を除去することができ、当該第１の濾過手段を通過する不純物を所定の粒径よりも小さい粒径しか有さない不純物とすることができ、この不純物が第２の濾過手段に衝突しても質量と流通速度からなる運動エネルギーが抑制され、そのときの衝撃自体が小さいものとなる。その結果、第２の濾過手段をフィルター目詰まりと衝撃による破損の両面から保護し、長期に亘って使用することができ、運用コストの増加を抑制することができる。
【００１９】
第５の発明に係る圧縮機によれば、前記洗浄剤流通ラインにおける前記洗浄剤の流通方向下流側が、前記第１の不純物除去機構の前記軸封用流体の流通方向上流側に連絡することにより、第３および第４の発明に係る圧縮機と同様な作用効果を奏する他、洗浄剤により除去される不純物が第１の不純物除去機構へ直接流入することを抑制することができ、前記第１の不純物除去機構を長期に亘って安定して使用することができ、運用コストの増加を抑制することができる。
【００２０】
第６の発明に係る圧縮機によれば、前記洗浄剤流通ラインにおける前記洗浄剤の流通方向下流側が、前記第１の不純物除去機構の前記軸封用流体の流通方向下流側に連絡することにより、第３および第４の発明に係る圧縮機と同様な作用効果を奏する他、洗浄剤の前記第１の不純物除去機構への流入を防ぐことができる上に、洗浄剤により除去される不純物が第１の不純物除去機構と衝突することを避けることができ、前記第１の不純物除去機構を長期に亘って安定して使用することができ、運用コストの増加を抑制することができる。
【００２１】
第７の発明に係る圧縮機によれば、前記軸封用流体が、前記羽根車により圧縮された前記被圧縮流体であることにより、第１乃至第６の発明に係る圧縮機と同様な作用効果を奏する他、前記軸封用流体の供給源を別途に設ける必要が無く、当該圧縮機自体をコンパクトにすることができる。
【００２２】
第８の発明に係る圧縮機の運転方法によれば、前記軸封用流体供給手段を前記洗浄剤により洗浄してから２４時間経過するまで、前記洗浄剤流通手段を利用して前記軸封用流体を流通するようにしたことにより、前記洗浄剤が前記軸封流体供給手段内で洗浄して除去する不純物を当該軸封流体供給手段内から除去することができ、前記不純物による前記第１の不純物除去手段の前記不純物の除去機能の低下を抑制することができる。その結果、被圧縮流体（プロセスガス）がポリマなどの付着し易い不純物を含んでいる場合であっても、簡易な構造にて、被圧縮流体の軸封に安定して用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、本発明に係る圧縮機およびその運転方法を実施するための最良の形態を実施例に基づき具体的に説明する。
【実施例１】
【００２４】
以下に、本発明の第１の実施例に係る圧縮機につき図面を用いて説明する。ただし、本発明の第１の実施例に係る圧縮機では、配管内の壁面やフィルタエレメントなどへ付着し易いポリマなど不純物を含有する被圧縮流体の一部を当該被圧縮流体の軸封に用いている。
図１は、本発明の第１の実施例に係る圧縮機の概略図である。
【００２５】
本発明の第１の実施例に係る圧縮機５０は、図１に示すように、ケーシング１１と、ケーシング１１内に軸受部１２，１３を介して回転可能に支持される軸体１４と、軸体１４に複数取り付けられ、回転して被圧縮流体Ｇを圧縮する羽根車１５と、ケーシング１１内に固定され、軸体１４に向かって突起状をなし、圧縮された被圧縮流体（被圧縮流体Ｇと同成分の軸封用流体）Ｇ１が後述の被圧縮流体供給機構２０を通じ供給されて、被圧縮流体Ｇを軸封する軸封部１８，１９とを有する。ケーシング１１における羽根車１５近傍には、当該ケーシング内に被圧縮流体Ｇを導入する導入管１６と、羽根車１５により圧縮された被圧縮流体（軸封用流体）Ｇ１を吐出する吐出管１７とが設けられる。
【００２６】
被圧縮流体供給機構（軸封用流体供給手段）２０は、一方の端部が吐出管１７と連結し、他方の端部側が２つに分岐し、ケーシング１１における軸封部１８，１９近傍にそれぞれ連結する送給管２１を有する。送給管２１は、吐出管１７と連絡し、軸封用流体Ｇ１を導入する導入部２１ａと、導入部２１ａと連絡し、２つに分岐して軸封用流体Ｇ１がそれぞれ流通する分岐部２１ｂと、分岐部２１ｂと連絡し、１つに集合して軸封用流体Ｇ１が流通する集合部２１ｃと、集合部２１ｃと連絡すると共に、２つに分岐しケーシング１１における軸封部１８，１９近傍にそれぞれ連絡し、軸封用流体Ｇ１を供給する排出部２１ｄとを有する。よって、送給管２１は軸封用流体Ｇ１が流通する軸封用流体供給ラインをなす。
【００２７】
送給管２１の分岐部２１ｂには、軸封用流体Ｇ１に含まれる不純物を除去する第１の不純物除去機構２２ａ，２２ｂが並列に設けられる。第１の不純物除去機構２２ａ，２２ｂは、軸封用流体Ｇ１に含まれる不純物を粗取りする（捕捉する）フィルタを具備する第１の濾過器２３ａ，２３ｂと、第１の濾過器２３ａ，２３ｂの軸封用流体Ｇ１の流通方向下流側に配置され、第１の濾過器２３ａ，２３ｂよりも小さい不純物を捕捉する第２の濾過器２４ａ，２４ｂとをそれぞれ有する。なお、第１の不純物除去機構２２ａ，２２ｂの軸封用流体Ｇ１の流通方向上流側および下流側に位置して、送給管２１の分岐部２１ｂへの軸封用流体Ｇ１の流通を制御する第１，第２の制御バルブ２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂが設けられる。送給管２１の排出部２１ｄには、軸封部１８，１９への軸封用流体Ｇ１の流通を制御する第３の制御バルブ２７ａ，２７ｂが設けられる。
【００２８】
ただし、上述した送給管２１には、送給管２１を洗浄する洗浄剤が流通する洗浄剤流通機構（洗浄剤流通手段）３０が設けられる。洗浄剤流通機構３０は、送給管２１の導入部２１ａと送給管２１の集合部２１ｃとを連絡する連絡管（洗浄剤流通ライン）３１と、連絡管３１の途中に設けられ、不純物を捕捉して除去する第２の不純物除去機構３２とを有する。第２の不純物除去機構３２は、軸封用流体Ｇ１の流通方向上流側に配置され、不純物を粗取りする（捕捉する）金属からなり網状に形成されたフィルタ、例えば０．０２５ｍｍ程度の大きさの不純物を捕捉可能な１００メッシュのフィルタを具備する第１の濾過器（ストレーナ）３３と、第１の濾過器３３の軸封用流体Ｇ１の流通方向下流側に配置され、第１の濾過器３３に配置されるフィルタよりも目の細かいフィルタを具備し、例えば０．００２ｍｍ程度の大きさの不純物を捕捉して除去する第２の濾過器３４とを有する。ただし、第１の濾過器３３は、第２の濾過器３４にて捕捉して除去可能な不純物よりも１０倍程度以上大きな粒径を有する不純物を捕捉して除去できるように設定される。この時捕捉粒径が１０倍程度異なり、濾過器目詰まりによる流路低減が１／１０とすると約１０００倍以上の運動エネルギーを有する不純物を事前に濾過できることになる。連絡管３１における第２の不純物除去機構３２の軸封用流体Ｇ１の流通方向上流側および下流側に位置して、前記洗浄剤流通機構３０への軸封用流体Ｇ１の流通を制御する洗浄剤流通機構用制御バルブ３５，３６がそれぞれ設けられる。洗浄剤流通機構用制御バルブ３５，３６により、洗浄剤の流通速度を低減するように制御できると共に、軸封用流体Ｇ１の洗浄剤流通機構３０への流入を制御できる。
【００２９】
ここで、圧縮機５０の運転方法について以下に説明する。
第１，第２の制御バルブ２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂを開放する一方、洗浄剤流通機構用制御バルブ３５，３６を閉塞する。これにより、吐出管１７から排出される軸封用流体Ｇ１は、被圧縮流体供給機構２０により軸封部１８，１９へ供給される。すなわち、軸封用流体Ｇ１は、送給管２１の導入部２１ａ、第１の制御バルブ２５ａ，２５ｂ、第１の濾過器２３ａ，２３ｂ、第２の濾過器２４ａ，２４ｂ、第２の制御バルブ２６ａ，２６ｂ、送給管２１の集合部２１ｃおよび排出部２１ｄ、第３の制御バルブ２７ａ，２７ｂを通って、ケーシング１１の軸封部１８，１９のそれぞれへ供給される。これにより、導入管１６から導入された被圧縮流体Ｇをケーシング１１内の羽根車１５近傍に軸封することができる。なお、軸封部１８，１９へ供給された軸封用流体Ｇ１は、羽根車１５から離れる方向へ流通し、ケーシング１１から大気へ排気されている。
【００３０】
続いて、軸封用流体供給機構２０を洗浄剤により洗浄する場合について以下に説明する。
第１，第２の制御バルブ２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂを閉塞する一方、洗浄剤流通機構用制御バルブ３５，３６を開放する。送給管２１の導入部２１ａにおける吐出管１７近傍から洗浄剤を導入する。この洗浄剤は、送給管２１の導入部２１ａ、洗浄剤流通機構３０、送給管２１の集合部２１ｃを通って、送給管２１の排出部２１におけるケーシング１１近傍から排出される。このとき、洗浄剤により、送給管２１の壁面に付着したポリマなどの付着物（不純物）が当該壁面から剥離される。この不純物は送給管２１の導入部２１ａ、洗浄剤流通機構用制御バルブ３５、連絡管３１を通って、第１の濾過器３３にて捕捉される。第１の濾過器３３を通過した不純物は、洗浄剤の流通方向下流側に配置される第２の濾過器３４にて捕捉されて除去される。これにより、送給管２１の導入部２１ａの壁面に付着したポリマなどの不純物を除去することができる。ただし、軸封用流体供給機構３０を洗浄剤により洗浄してから２４時間経過するまで、洗浄剤流通機構３０を利用して軸封用流体Ｇ１を流通するようにする。これにより、送給管２１の導入部２１ａに付着していた洗浄剤を除去することができる上に、送給管２１の壁面に付着していたポリマなどの不純物を当該送給管２１の壁面から剥離させて除去することができる。
【００３１】
よって、第１の濾過器３３にて所定の粒径以上を有する不純物を除去することができ、第１の濾過器３３を通過する不純物を所定の粒径よりも小さい粒径しか有さない不純物とすることができ、この不純物が第２の濾過器３４に衝突してもそのときの衝撃自体が小さいものとなる。その結果、第２の濾過器３４を長期に亘って使用することができ、運用コストの増加を抑制することができる。さらに、洗浄剤の第１の不純物除去機構２２ａ，２２ｂへの流入を防ぐことができる上に、洗浄剤により除去される不純物が第１の不純物除去機構２２ａ，２２ｂと衝突することを避けることができ、第１の不純物除去機構２２ａ，２２ｂを長期に亘って安定して使用することができ、運用コストの増加を抑制することができる。
【００３２】
したがって、上述した本発明の第１の実施例に係る圧縮機５０によれば、ケーシング１１に回転可能に支持される軸体１４と、軸体１４に取り付けられ、回転して被圧縮流体Ｇを圧縮する羽根車１５と、被圧縮流体Ｇを軸封するようにケーシング１１内へ当該被圧縮流体Ｇと同成分の軸封用流体Ｇ１を供給する軸封用流体供給機構２０とを具備し、軸封用流体供給機構２０が、軸封用流体Ｇ１が流通する送給管２１と、送給管２１に設けられ、軸封用流体Ｇ１に含まれる不純物を除去する第１の不純物除去機構２２ａ，２２ｂと、第１の不純物除去機構２２ａ，２２ｂの軸封用流体Ｇ１の流通方向上流側に設けられ、当該軸封用流体供給機構２０を洗浄する洗浄剤が流通する洗浄剤流通機構３０とを具備するものであり、洗浄剤流通機構３０が、洗浄剤が流通する連絡管３１と、連絡管３１を流通する不純物を除去する第２の不純物除去機構３２とを具備するものであることにより、前記洗浄剤により軸封用流体供給機構２０を洗浄するときに、前記洗浄剤および当該洗浄剤により除去された不純物の前記第１の不純物除去機構２２ａ，２２ｂへの流通を抑制して、当該第１の不純物除去機構２２ａ，２２ｂの不純物の除去機能の低下を抑制することができる。その結果、被圧縮流体（プロセスガス）がポリマなどの付着し易い不純物を含んでいる場合であっても、簡易な構造にて、被圧縮流体Ｇの軸封に安定して用いることができる。
【００３３】
さらに、洗浄剤流通機構３０が、洗浄剤流通機構用制御バルブ３５，３６を具備することにより、洗浄剤流通機構用制御バルブ３５，３６で前記洗浄剤の流通速度を低減するように制御することで、前記洗浄剤により除去された不純物が当該洗浄剤の流通方向下流側に配置される第２の不純物除去機構３２と衝突したときの衝撃を小さくすることができ、この衝撃による第２の不純物除去機構３２の不純物の除去機能の低下を抑制することができる。
【００３４】
第２の不純物除去機構３２が、金属からなり網状に形成された第１の濾過器３３を具備するものであることにより、第１の濾過器３３自体が所定の強度を有するものとなり、前記洗浄剤により除去された不純物が第１の濾過器３３と衝突したときの衝撃に耐えることができ、第１の濾過器３３を長期に亘って使用することができ、運用コストの増加を抑制することができる。
【００３５】
軸封用流体Ｇ１が、羽根車１５により圧縮された被圧縮流体Ｇ１であることにより、軸封用流体Ｇ１の供給源を別途に設ける必要が無く、当該圧縮機５０自体をコンパクトにすることができる。
【００３６】
軸封用流体供給機構３０を洗浄剤により洗浄してから２４時間経過するまで、洗浄剤流通機構３０を利用して軸封用流体Ｇ１を流通するようにしたことにより、洗浄剤が軸封流体供給機構２０内で洗浄して除去する不純物を当該軸封流体供給機構２０内から除去することができ、前記不純物による第１の不純物除去機構２２ａ，２２ｂの前記不純物の除去機能の低下を抑制することができる。その結果、被圧縮流体（プロセスガス）がポリマなどの付着し易い不純物を含んでいる場合であっても、簡易な構造にて、被圧縮流体の軸封に安定して用いることができる。
【実施例２】
【００３７】
以下に、本発明の第２の実施例に係る圧縮機につき図面を用いて説明する。なお、本実施例に係る圧縮機は、上述した本発明の第１の実施例に係る圧縮機が有する洗浄剤供給機構を変えたものであり、それ以外は同じである。よって、本実施例において、上記第１の実施例に係る圧縮機と同一部材には、同一符号を付記しその説明を省略する。
図２は、本発明の第２の実施例に係る圧縮機の概略図である。
【００３８】
本発明の第２の実施例に係る圧縮機１００は、図２に示すように、第１の制御バルブ２５ａ，２５ｂにおける軸封用流体Ｇ１の流通方向上流側とその下流側とを連絡するように洗浄剤供給機構６０が設けられる。洗浄剤供給機構６０は、第１の制御バルブ２５ａ，２５ｂの軸封用流体Ｇ１の流通方向上流側とその下流側とを連絡する連絡管（洗浄剤流通ライン）６１ａ，６１ｂと、連絡管６１ａ，６１ｂに設けられ、第２の不純物除去機構の第１の濾過器６２ａ，６２ｂと、これら第１の濾過器６２ａ，６２ｂの洗浄剤流通方向上流側およびその下流側に設けられ、流体（洗浄剤、軸封用流体Ｇ１）の流通を制御可能な制御バルブ６３ａ，６３ｂ，６４ａ，６４ｂとを有する。第２の不純物除去機構の第１の濾過器６２ａ，６２ｂとしては、金属からなり網状に形成された濾過器（ストレーナ）が挙げられる。
【００３９】
よって、本発明の第２の実施例に係る圧縮機１００によれば、上述した第１の実施例に係る圧縮機と同様な作用効果を奏する他、洗浄剤により除去される不純物が第１の不純物除去機構の第２の濾過器２４ａ，２４ｂへ直接流入することを抑制することができ、第２の濾過器２４ａ，２４ｂを長期に亘って安定して使用することができ、運用コストの増加を抑制することができる。
【００４０】
なお、第２の不純物除去機構の第１の濾過器６２ａ，６２ｂをストレーナの代わりに第１の不純物除去機構の第２の濾過器２４ａ，２４ｂと同様、不織布をテフロン（登録商標）のバインダーにより積層し焼結してなるフィルタとしても良い。このような洗浄剤供給機構としても、上記洗浄剤供給機構６０と同様な作用効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の第１の実施例に係る圧縮機の概略図である。
【図２】本発明の第２の実施例に係る圧縮機の概略図である。
【符号の説明】
【００４２】
１１            ケーシング
１２，１３      軸受部
１４            軸体
１５            羽根車
１６            導入管
１７            吐出管
１８，１９      軸封部
２０            軸封流体供給機構
２１            送給管
２２            第１の不純物除去機構
２３ａ，２３ｂ  第１の濾過器
２４ａ，２４ｂ  第２の濾過器
３２            第２の不純物除去機構
３０，６０      洗浄剤供給機構
５０，１００    圧縮機
【図１】
0004975574.tif 000002
【図２】
0004975574.tif 000003