(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搭載する処理治具を容器本体内に収納可能な樹脂製の処理治具用収納ケースと、熱可塑性樹脂を含む成形材料を使用して真空成形あるいは圧空成形され、処理治具用収納ケースを上下方向から挟み持つ可撓性の一対のトレーとを備えた緩衝体であって、
処理治具用収納ケースは、前部と後部とがそれぞれ開口した箱形の容器本体と、この容器本体の両側壁内に対向して突出形成され、処理治具のリングフレームを水平に支持する一対の支持片とを含み、容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片の下面後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパの側面には、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成し、
各トレーは、処理治具用収納ケースの容器本体の上半分あるいは下半分に嵌め入れられて被覆する縦断面略Ｕ字形に凹んだ嵌入被覆部と、この嵌入被覆部の周囲に形成されて外方向に伸びる平面視で略枠形のフランジと、このフランジの一部に形成される平面視で略Ｕ字形の凹部と、フランジの残部に形成される平面視で略Ｕ字形の凸部とを含み、嵌入被覆部の凹んだ底を凹凸に形成し、この嵌入被覆部の底の隅部を処理治具用収納ケースの容器本体との接触を回避する接触回避部に形成し、フランジの一部分を折り曲げてベローズを形成するとともに、このベローズを嵌入被覆部と凹部及び凸部との間に介在させ、フランジの凹部と凸部との両端部同士を突き合わせ、
処理治具用収納ケースを一対のトレー間に挟む場合に、一方のトレーの凹部と他方のトレーの凸部とを嵌め合わせ、かつ一方のトレーの凸部と他方のトレーの凹部とを嵌め合わせるようにしたことを特徴とする緩衝体。
【請求項２】
処理治具用収納ケースの容器本体の開口した前部と後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する可撓性の蓋体を備え、この蓋体に、処理治具のリングフレームに干渉する膨出部を形成した請求項１記載の緩衝体。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の緩衝体を収納することを特徴とする梱包体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の基板に関する処理治具用収納ケースを保護する緩衝体及び梱包体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、口径１２インチ（φ３００ｍｍ）の半導体ウェーハをダイシングする場合には、ＳＥＭＩスタンダードＧ７４−０６９９等で推奨されているテープフレームに半導体ウェーハをマウントし、この半導体ウェーハをマウントしたテープフレームをコインスタック型の容器に収納して工場に輸送し、この輸送先の工場でテープフレームをフレームカセットに移し替えて収納し直した後、ダイサー等の加工装置に半導体ウェーハをセットするようにしている（特許文献１、２参照）。
【０００３】
フレームカセットは、図示しないが、一般的にはアルミニウムを使用して前後部がそれぞれ開口した箱形に構成され、１３枚あるいは２５枚のテープフレームを上下に並べて整列収納するよう機能する。
【０００４】
ところで、従来のフレームカセットは、以上のようにアルミニウム製なので、テープフレームとの接触に伴い導電性の異物を発生させたり、重いので取り扱いに支障を来たすという問題があった。
そこで係る問題を解消すべく、アルミニウム製フレームカセットの代わりとして、樹脂製のフレームカセットが提案され、このフレームカセットにテープフレームを収納して直ちに出荷・輸送し、テープフレームの移し替え作業を省く手法が検討されている。
【特許文献１】特開平８‐８０９８９号公報
【特許文献２】特表２００５‐５０８２７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、樹脂製のフレームカセットにテープフレームを収納して出荷・輸送する場合には、段ボール箱等にフレームカセットを適切な形に加工された緩衝材を介して収納・梱包するので、輸送時の振動や衝撃により緩衝材が削れてテープフレームや半導体ウェーハに付着し、後のパッケージ工程や基板実装工程に悪影響を及ぼすという問題が新たに生じることとなる。
【０００６】
また、フレームカセットの出荷・輸送に際し、一般的な緩衝材（発泡ポリスチレンや発泡ポリエチレン等）を使用する場合には、十分な緩衝効果が期待できないので、テープフレームから半導体ウェーハが剥がれたり、半導体ウェーハの破損を招くおそれがある。さらに、一般的な緩衝材は、大きく、嵩張るので、保管スペースやその費用が増大してしまうという問題がある。
【０００７】
本発明は上記に鑑みなされたもので、処理治具や基板に異物が付着するのを抑制し、十分な緩衝効果が期待できる緩衝体及び梱包体を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を搭載する処理治具を容器本体内に収納可能な樹脂製の処理治具用収納ケースと、熱可塑性樹脂を含む成形材料を使用して真空成形あるいは圧空成形され、処理治具用収納ケースを上下方向から挟み持つ可撓性の一対のトレーとを備えたものであって、
処理治具用収納ケースは、前部と後部とがそれぞれ開口した箱形の容器本体と、この容器本体の両側壁内に対向して突出形成され、処理治具のリングフレームを水平に支持する一対の支持片とを含み、容器本体の上下方向に一対の支持片を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片と支持片との間をリングフレーム用の挿入溝に区画形成し、支持片の下面後部に、リングフレームの側部後方に対向するストッパを設けるとともに、このストッパの側面には、リングフレームのがたつきを規制する傾斜面を形成し、
各トレーは、処理治具用収納ケースの容器本体の上半分あるいは下半分に嵌め入れられて被覆する縦断面略Ｕ字形に凹んだ嵌入被覆部と、この嵌入被覆部の周囲に形成されて外方向に伸びる平面視で略枠形のフランジと、このフランジの一部に形成される平面視で略Ｕ字形の凹部と、フランジの残部に形成される平面視で略Ｕ字形の凸部とを含み、嵌入被覆部の凹んだ底を凹凸に形成し、この嵌入被覆部の底の隅部を処理治具用収納ケースの容器本体との接触を回避する接触回避部に形成し、フランジの一部分を折り曲げてベローズを形成するとともに、このベローズを嵌入被覆部と凹部及び凸部との間に介在させ、フランジの凹部と凸部との両端部同士を突き合わせ、
処理治具用収納ケースを一対のトレー間に挟む場合に、一方のトレーの凹部と他方のトレーの凸部とを嵌め合わせ、かつ一方のトレーの凸部と他方のトレーの凹部とを嵌め合わせるようにしたことを特徴としている。
【０００９】
なお、処理治具用収納ケースの容器本体の開口した前部と後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する可撓性の蓋体を備え、この蓋体に、処理治具のリングフレームに干渉する膨出部を形成することができる。
【００１１】
また、本発明においては上記課題を解決するため、請求項１又は２に記載の緩衝体を梱包体に収納することを特徴としている。
【００１２】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも半導体ウェーハ（φ２００ｍｍ、φ３００ｍｍ、φ４５０ｍｍ）や各種のガラス板等が含まれる。処理治具用収納ケースは、全部が樹脂製でも良いし、大部分が樹脂製でも良い。また、成形材料は、熱可塑性樹脂の他、帯電防止剤等の各種フィラーを含有しても良い。トレーや蓋体は、樹脂製のシートを使用して成形することができる。これらは、透明、不透明、半透明を特に問うものではない。
【００１３】
蓋体は、容器本体の開口した前部あるいは後部を着脱自在に開閉するものでも良いし、容器本体の前後部をそれぞれ開閉するものでも良い。また、凹部や凸部は、単数複数を特に問うものではない。さらに、梱包体は、周知の段ボール箱でも良いし、専用の箱等でも良い。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、処理治具や基板に異物が付着するのを抑制し、十分な緩衝効果が期待できるという効果がある。また、支持片のストッパがリングフレームの後部を規制するので、挿入されたリングフレームの位置ずれや脱落を有効に防止することができる。また、ストッパの傾斜面が挿入溝の余分なスペースを徐々に埋めるので、振動に伴うリングフレームの上下方向へのがたつきを抑制することができ、基板やリングフレームの損傷を招くことが少ない。また、トレーを真空成形する場合には、トレーの少量多品種生産や安価な量産化が期待でき、しかも、表面加飾性の自由度を向上させることができる。
また、トレーを圧空成形する場合には、金型に忠実な形状を得ることができるので、高精度なトレーを得ることができる他、シャープなラインやシボを円滑、かつ容易に転写することが可能になる。また、トレーの嵌入被覆部における底の隅部を、処理治具用収納ケースの容器本体との接触を回避する接触回避部とすれば、嵌入被覆部の底の隅部が容器本体の角ばった隅部との接触で損傷するのを抑制し、トレーの反復使用を可能として環境負荷を軽減することが可能になる。さらに、トレーの凹部と凸部とをそれぞれ平面略Ｕ字形に形成し、これら凹部と凸部との両端部同士を突き合わせれば、外部からの気体の流入を防いで密封度を向上させることが可能となる。
【００１５】
また、処理治具用収納ケースの容器本体の開口した前後部の少なくともいずれか一方を着脱自在に開閉する可撓性の蓋体を備え、この蓋体に、処理治具のリングフレームに干渉する膨出部を形成すれば、容器本体に収納された処理治具のがたつきを抑制することができる。
【００１６】
また、トレーの凹部と凸部とをそれぞれ平面略Ｕ字形に形成し、これら凹部と凸部との両端部同士を突き合わせれば、外部からの気体の流入を防いで密封度を向上させることが可能となる。
さらに、トレーの嵌入被覆部における底の隅部を、平面略半円形に形成して処理治具用収納ケースの容器本体との接触を回避する接触回避部とすれば、嵌入被覆部の底の隅部が容器本体との接触で損傷するのを抑制し、トレーの反復使用を可能として環境負荷を軽減することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明に係る緩衝体の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における緩衝体は、図１ないし図１３に示すように、半導体ウェーハＷを搭載する処理治具１を容器本体２０内に収納可能な樹脂製の処理治具用収納ケース１０と、熱可塑性樹脂を含む成形材料を使用して成形され、処理治具用収納ケース１０を挟持する一対のトレー３０と、処理治具用収納ケース１０の容器本体２０の開口した前後部をそれぞれ開閉する一対の蓋体４０とを備え、段ボール箱等からなる梱包体５０に収納・梱包される。
【００１８】
半導体ウェーハＷは、図１に示すように、例えば薄く丸くスライスされた口径３００ｍｍのシリコンウェーハからなり、表裏両面がそれぞれ鏡面に形成されており、周縁部には、位置合わせ用のノッチが平面略半楕円形に選択的に切り欠かれる。
【００１９】
処理治具１は、図１や図２に示すように、半導体ウェーハＷを収納可能な中空のリングフレーム２を備え、このリングフレーム２の裏面に、中空を下方から覆う可撓性の粘着層３が着脱自在に粘着されており、この粘着層３上に半導体ウェーハＷが着脱自在に粘着保持される。リングフレーム２は、所定の樹脂等を含む成形材料を使用して平板に成形され、前部両側には位置決め用の切り欠き４がそれぞれ平面略三角形に形成されており、表面後部の中央には、移動体識別用のＲＦＩＤタグ５が貼着される。
【００２０】
処理治具用収納ケース１０は、図２ないし図５に示すように、半導体ウェーハＷを搭載する処理治具１を出し入れ可能に収納する容器本体２０と、この容器本体２０の両側壁２３内に対設され、処理治具１のリングフレーム２を水平に支持する一対の支持片２６とを備えて透明に構成され、異物の混入を防止する観点からポリエチレン製の包装袋により包装される。
【００２１】
容器本体２０は、図２に示すように、処理治具１を収納可能な大きさを有する矩形の底板２１と、この底板２１に上方から間隔をおいて対向する同形の天板２２と、これら底板２１と天板２２の両側部間を縦に連結する一対の側壁２３とを備え、前後部がそれぞれ開口した矩形の箱形に構成されており、半導体ウェーハＷを搭載した処理治具１、あるいは半導体ウェーハＷを搭載する処理治具１のリングフレーム２を図示しない搬送ロボットを介し水平に複数整列収納するよう機能する。
【００２２】
容器本体２０の底板２１、天板２２、一対の側壁２３は、例えばポリカーボネート等の樹脂を含む成形材料によりそれぞれ射出成形され、ビス等の複数の締結具により組み立てられる。底板２１の内面前端には図２に示すように、下方のリングフレーム２の出し入れに資する矩形溝２４が切り欠かれ、相対向する一対の側壁２３の上部前方間と上部後方間とには図３や図４に示すように、略ハット形を呈する握持操作用のハンドル２５がそれぞれ起伏可能に軸支される。
【００２３】
一対の支持片２６は、図２や図５に示すように、容器本体２０の上下方向に所定の間隔をおいて複数配列され、上下方向において隣接する支持片２６と支持片２６との間がリングフレーム２用の挿入溝２７に区画形成されており、各支持片２６が容器本体２０の前後方向に伸びる細長い板に形成される。各挿入溝２７は、支持片２６と同様に容器本体２０の前後方向に伸長形成され、リングフレーム２の厚さ以上の高さ（幅）を有する。
【００２４】
各支持片２６の下面後部には図５に示すように、リングフレーム２の側部後方に干渉・対向して位置決めするストッパ２８が一体形成され、このストッパ２８の側面には、下方の支持片２６に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面２９が滑らかに形成されており、この傾斜面２９がリングフレーム２の表面後部に隙間をおいて対向する。
【００２５】
なお、図６に示すように、各支持片２６の下面中央部に、リングフレーム２の表面側部に隙間をおいて対向する突起を一体的に突出形成し、この突起を先細りの台形に形成してその両側部を下方の支持片２６に向かうにしたがい徐々に狭まる滑らかな傾斜面２９とすることもできる。
【００２６】
一対のトレー３０は、図７ないし図９に示すように、例えば可撓性のバランスや曲げ強度等に優れるＰＰ等からなる所定のシートを用いてそれぞれ半透明の可撓性に成形される。各トレー３０は、処理治具用収納ケース１０に嵌入されて被覆する嵌入被覆部３１と、この嵌入被覆部３１の周囲から外方向に水平に伸長するフランジ３５と、このフランジ３５の表面の一部に形成される凹溝３８と、フランジ３５の表面の残部に形成される凸条３９とを備えてスタッキング可能に熱成形、具体的には欠けや屑の発生しにくい真空成形法により成形される。
【００２７】
嵌入被覆部３１は、平面略矩形を呈した断面略Ｕ字形、換言すれば、中空の略角錐台形に形成され、その平坦な浅い底には衝撃緩和機能を発揮する変形可能な凹凸３２が形成されており、処理治具用収納ケース１０の上半分あるいは下半分に嵌入されて被覆・保護する。この嵌入被覆部３１の凹凸３２は、嵌入被覆部３１の底の中央部付近に複数の段付き有底円筒部３３が配列されることにより形成される。また、嵌入被覆部３１の底の四隅部は、平面略半円形の半球形に湾曲形成され、処理治具用収納ケース１０の容器本体２０との接触を回避する接触回避部３４を形成する。
【００２８】
フランジ３５は、嵌入被覆部３１の周囲に形成されて平面略枠形を呈し、先端部に折り返し片３６が一体形成されて嵌入被覆部３１の底方向に傾斜しながら指向する。このフランジ３５は、その一部分である末端部側が厚さ方向に連続して折曲形成されることにより内外方向に伸縮する平面略枠形のベローズ３７を形成する。このベローズ３７は、嵌入被覆部３１と凹溝３８及び凸条３９との間に位置し、伸縮することにより強い衝撃を緩和するよう機能する。
【００２９】
凹溝３８は、例えばフランジ３５の半分の先端部寄りに平面略Ｕ字形に凹み形成され、ベローズ３７の半分を外側から包囲しており、対向するトレー３０の凸条３９に着脱自在に嵌合される。また、凸条３９は、例えばフランジ３５の残り半分の先端部寄りに平面略Ｕ字形に突出形成され、その両端部が凹溝３８の両端部に連続して突き合わされるとともに、ベローズ３７の残り半分を外側から包囲しており、対向するトレー３０の凹溝３８に着脱自在に嵌合される。
【００３０】
各蓋体４０は、図１０ないし図１３に示すように、所定の樹脂を含む成形材料により可撓性や弾性を有する横長の断面略皿形に成形され、容器本体２０の開口した前後部に着脱自在に嵌合する。この正面略矩形の蓋体４０は、例えば可撓性のバランスや曲げ強度等に優れるＰＰ等からなる所定のシートを用いて透明に成形され、中央部の上下方向に、リングフレーム２に干渉して位置決め挟持する略線条の突部４１が複数配列形成されており、両側部には、リングフレーム２の両側部に圧接してがたつきを抑制防止する略矩形の膨出部４２がそれぞれ立体的に一体形成される。
【００３１】
各突部４１は、左右方向に直線的に伸長形成され、リングフレーム２に干渉して位置決め挟持する他、蓋体４０の強度や剛性を向上させる。また、蓋体４０の周縁部は、図１１や図１２に示すように、突部４１や膨出部４２側に屈曲して略枠形を呈し、上下部の両側には、容器本体２０の開口した前後部の外周面に係止する係止部４３が一体的に膨出形成される。
【００３２】
梱包体５０は、図８や図９に示すように、開口した上部を複数のフラップ５１により開閉する溝切り形の外装用段ボール箱からなるが、何らこれに限定されるものではない。例えば、テレスコープ形、組み立て形、差込形、ブリス形等の段ボール箱でも良い。
【００３３】
上記において、容器本体２０内に処理治具１のリングフレーム２を収納する場合には、容器本体２０内に処理治具１のリングフレーム２を前方から搬送ロボットにより水平に挿入すれば良い。
すると、容器本体２０の挿入溝２７にリングフレーム２が水平に挿入されてスライドするとともに、一対の支持片２６にリングフレーム２の両側部が下方から略水平に支持され、ストッパ２８の傾斜面２９にリングフレーム２が案内されて接触・停止し、これらにより、容器本体２０内にリングフレーム２が適切に位置決め収納されることになる。
【００３４】
容器本体２０内に処理治具１のリングフレーム２が収納されると、容器本体２０の開口した前後部に蓋体４０がそれぞれ着脱自在に嵌合され、この蓋体４０の複数の突部４１がリングフレーム２の前後部を挟持してその動きを規制することにより、搬送、運搬、輸送時の振動に伴うリングフレーム２の上下方向へのがたつきが抑制防止される。
【００３５】
上記作業の際、ストッパ２８にリングフレーム２の後部が規制されるので、挿入されたリングフレーム２の位置ずれや脱落が有効に防止される。また、ストッパ２８のテーパ形の傾斜面２９が挿入溝２７の余分なスペースを徐々に埋めるので、振動に伴うリングフレーム２の上下方向へのがたつきを抑制防止することができ、半導体ウェーハＷやリングフレーム２の損傷を招くことがない。
【００３６】
次に、必要数のリングフレーム２を収納した処理治具用収納ケース１０を梱包体５０に収納して梱包する場合には、先ず、処理治具用収納ケース１０の開口した前後部に蓋体４０をそれぞれ装着してリングフレーム２やその半導体ウェーハＷのばたつきを事前に抑え、包装袋により処理治具用収納ケース１０を包装し、一対のトレー３０の間に包装した処理治具用収納ケース１０を挟持・内蔵し、対向する一対のトレー３０の凹溝３８と凸条３９とをそれぞれ嵌合させて一対のトレー３０を密着させる。
【００３７】
こうして一対のトレー３０を密着させたら、開口した梱包体５０に一対のトレー３０を上方から収納し、梱包体５０の複数のフラップ５１を曲げて開口部を閉じ、その後、梱包体５０の複数のフラップ５１を粘着テープ等で封止すれば、処理治具用収納ケース１０を梱包して出荷、輸送することができる。
【００３８】
上記構成によれば、処理治具用収納ケース１０をそのままの状態で出荷したり、輸送するのではなく、緩衝材として機能する専用の一対のトレー３０間に処理治具用収納ケース１０を挟持させて出荷、輸送するので、輸送時の振動や衝撃により緩衝材が削れてリングフレーム２や半導体ウェーハＷに付着し、後のパッケージ工程や基板実装工程に悪影響を及ぼすことがない。
【００３９】
また、各トレー３０を、粉砕しやすい発泡材ではなく、シートを用いて成形するので、パーティクルや塵埃の発生を未然に防ぐことができ、しかも、各トレー３０をスタッキング可能な構成に成形するので、省スペースで整理整頓することができる。また、嵌入被覆部３１に凹凸３２を、フランジ３５にはベローズ３７をそれぞれ形成するので、例え梱包体５０が落下して強い衝撃が作用しても、処理治具用収納ケース１０や半導体ウェーハＷに作用する衝撃を和らげて損傷を有効に抑制することができる。
【００４０】
また、対向する一対のトレー３０を密着させる際、細長いＵ字形の凹溝３８と凸条３９とを嵌合させるので、密着度を著しく増大させて緩衝機能の向上を図ることが可能になる。また、各トレー３０が真空成形あるいは圧空成形可能な形状なので、スタッキング時の収まりが良好となる。
【００４１】
また、嵌入被覆部３１の底の四隅部に、容器本体２０の角ばった四隅部との接触を回避する接触回避部３４を形成するので、嵌入被覆部３１の底の隅部が容器本体２０との接触で損傷するのを抑制防止することが可能となる。さらに、凹溝３８と凸条３９の両端部同士を隙間を介して突き合わせるのではなく、連続して突き合わせて外部からの気体の流入を防ぐので、密封機能の大幅な向上が期待できる。
【００４２】
なお、上記実施形態ではトレー３０と蓋体４０とを熱成形したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、ＰＳ、ＰＥ、ＰＥＴ、ＰＶＣ、ＰＡ等からなるシートを用いてトレー３０と蓋体４０とを熱成形等しても良い。また、左右一対のトレー３０の間に処理治具用収納ケース１０を挟持・内蔵しても良い。また、フランジ３５の内方向から外方向に向かうにしたがい、ベローズ３７の山部分と谷部分の間の高低差を変化させ、緩衝機能に変更を加えることも可能である。
【００４３】
また、ベローズ３７の一側部の外側に、強度を向上させる長大溝部を凹み形成するとともに、ベローズ３７の他側部の外側に、強度を向上させる長大突条を膨出形成することも可能である。また、凹溝３８に、ベローズ３７の右半分を包囲させても良いし、そうでなくても良い。さらに、凸条３９に、ベローズ３７の左半分を包囲させても良いし、そうでなくても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係る緩衝体の実施形態における処理治具を模式的に示す斜視説明図である。
【図２】本発明に係る緩衝体の実施形態における処理治具用収納ケースを模式的に示す正面説明図である。
【図３】本発明に係る緩衝体の実施形態における処理治具用収納ケースを模式的に示す平面説明図である。
【図４】本発明に係る緩衝体の実施形態における処理治具用収納ケースを模式的に示す側面説明図である。
【図５】本発明に係る緩衝体の実施形態における処理治具用収納ケースの内部を模式的に示す説明図である。
【図６】本発明に係る緩衝体の実施形態における処理治具用収納ケースの他の内部を模式的に示す説明図である。
【図７】本発明に係る緩衝体の実施形態を模式的に示す平面説明図である。
【図８】本発明に係る緩衝体の実施形態を模式的に示す正面説明図である。
【図９】本発明に係る緩衝体の実施形態における一対のトレーを模式的に示す説明図である。
【図１０】本発明に係る緩衝体の実施形態における蓋体を模式的に示す説明図である。
【図１１】本発明に係る緩衝体の実施形態における蓋体を模式的に示す側面説明図である。
【図１２】本発明に係る緩衝体の実施形態における蓋体を模式的に示す底面説明図である。
【図１３】本発明に係る緩衝体の実施形態における蓋体を模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
【００４５】
１        処理治具
２        リングフレーム
３        粘着層
１０      処理治具用収納ケース
２０      容器本体
２３      側壁
２６      支持片
２７      挿入溝
２８      ストッパ
２９      傾斜面
３０      トレー
３１      嵌入被覆部
３２      凹凸
３３      有底円筒部
３４      接触回避部
３５      フランジ
３７      ベローズ
３８      凹溝（凹部）
３９      凸条（凸部）
４０      蓋体
４１      突部
４２      膨出部
４３      係止部
５０      梱包体
Ｗ        半導体ウェーハ（基板）
【図１】
0004852020.tif 000002
【図２】
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【図３】
0004852020.tif 000004
【図４】
0004852020.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
0004852020.tif 000008
【図８】
0004852020.tif 000009
【図９】
0004852020.tif 000010
【図１０】
0004852020.tif 000011
【図１１】
0004852020.tif 000012
【図１２】
0004852020.tif 000013
【図１３】
0004852020.tif 000014