(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着性シートの一方の面に第１の剥離シートが仮着されるとともに、他方の面に第２の剥離シートが仮着された帯状の原反を繰り出す繰出手段と、前記原反を繰り出す過程で第１の剥離シート側から第２の剥離シートまで達する閉ループ状の切り込みを形成して当該切り込みで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートとして形成する切込手段と、前記貼付用シートの外側に位置する外側接着性シート部分とこれの上面に位置する第１の剥離シート部分とを外側不要シートとする一方、前記貼付用シート上に位置する第１の剥離シート部分を内側不要シートとして回収する回収手段と、前記外側不要シートと内側不要シートとを連結部材を介して連結する連結手段とを含み、
前記外側不要シートを回収するときに前記内側不要シートを同時に回収可能としたことを特徴とする貼付用シート製造装置。
【請求項２】
前記連結手段は、連結用接着テープの供給手段と、前記連結用接着テープを保持して前記切り込みを横切るように第１の剥離シートに貼付する押圧手段とを備えていることを特徴とする請求項１記載の貼付用シート製造装置。
【請求項３】
前記連結用接着テープは、原反繰出方向先端側における切り込み部分を横切るように貼付されることを特徴とする請求項２記載の貼付用シート製造装置。
【請求項４】
接着性シートの一方の面に第１の剥離シートが仮着されるとともに、他方の面に第２の剥離シートが仮着された帯状の原反を繰り出す工程と、
前記原反を繰り出す過程で第１の剥離シート側から第２の剥離シートまで達する閉ループ状の切り込みを形成して当該切り込みで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートとして形成する工程と、
前記貼付用シートの外側に位置する外側接着性シート部分とこれの上面に位置する第１の剥離シート部分とを外側不要シートとする一方、前記貼付用シート上の第１の剥離シート部分を内側不要シートとしてこれらを相互に連結する連結工程と、
前記外側不要シートと内側不要シートとを同時に回収する回収工程とを含むことを特徴とする貼付用シート製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は貼付用シート製造装置及び製造方法に係り、特に、半導体ウエハ等の被着体に貼付することに適した貼付用シート製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）には、ダイシングに先立ってダイボンディング用の接着シートを貼付することが行われている。ダイボンディング用のシートをウエハに貼付する場合には、接着性シートに剥離シートが仮着された帯状の原反を用い、接着性シートをウエハに貼付した後に、接着性シートと剥離シートとをウエハの大きさに合うように切断してウエハ外周側部分を不要シートとして回収する構成が採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５７８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の構成においては、接着性シートをウエハ形状に切断する切断手段が必要となるうえ、この切断後に接着性シートの上面に位置する剥離シートを剥離するシート剥離手段も必要となる。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ウエハ等の被着体に接着するときに、前述した剥離手段や切断手段を必要とすることのない貼付用シート製造装置及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明に係る接着シート製造装置は、接着性シートの一方の面に第１の剥離シートが仮着されるとともに、他方の面に第２の剥離シートが仮着された帯状の原反を繰り出す繰出手段と、前記原反を繰り出す過程で第１の剥離シート側から第２の剥離シートまで達する閉ループ状の切り込みを形成して当該切り込みで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートとして形成する切込手段と、前記貼付用シートの外側に位置する外側接着性シート部分とこれの上面に位置する第１の剥離シート部分とを外側不要シートとする一方、前記貼付用シート上に位置する第１の剥離シート部分を内側不要シートとして回収する回収手段と、前記外側不要シートと内側不要シートとを連結部材を介して連結する連結手段とを含み、
前記外側不要シートを回収するときに前記内側不要シートを同時に回収可能に設ける、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記連結手段は、連結用接着テープの供給手段と、前記連結用接着テープを保持して前記切り込みを横切るように第１の剥離シートに貼付する押圧手段とを備えた構成が採用されている。
【０００８】
また、前記連結用接着テープは、原反繰出方向先端側における切り込み部分を横切るように貼付する、という構成を採ることができる。
【０００９】
更に、本発明に係る接着シート製造方法は、接着性シートの一方の面に第１の剥離シートが仮着されるとともに、他方の面に第２の剥離シートが仮着された帯状の原反を繰り出す工程と、
前記原反を繰り出す過程で第１の剥離シート側から第２の剥離シートまで達する閉ループ状の切り込みを形成して当該切り込みで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートとして形成する工程と、
前記貼付用シートの外側に位置する外側接着性シート部分とこれの上面に位置する第１の剥離シート部分とを外側不要シートとする一方、前記貼付用シート上の第１の剥離シート部分を内側不要シートとしてこれらを相互に連結する連結工程と、
前記外側不要シートと内側不要シートとを同時に回収する回収工程とを含む、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、３層構造となる原反を用い、連結手段を介して外側不要シートと内側不要シートとを連結するように構成したから、連続する外側不要シートを巻き取ることによって不連続な内側不要シートも同時に回収できることとなる。従って、貼付用シート上に剥離シートが残るようなことはなくなり、被着体に貼付用シートを貼付した後、第２の剥離シートを剥離するだけで足りることとなり、貼付用シートを被着体に貼付する装置において、切断手段や剥離手段を設ける必要はなくなる。
更に、ダイボンディングシートのような剛性の低いシートの外側不要シートを巻き取る場合、その上面に位置する第１の剥離シートと共に巻き取ることで、外側不要シートが切れて巻取不良が発生するようなことを防止することができる。
また、前記切り込みを横切るように第１の剥離シートに連結用接着テープを貼付する構成であるため、外側不要シートと内側不要シートとの連結を簡易に行うことができる。特に、原反繰出方向先端側における切り込み部分を横切るように連結用接着テープを貼付する構成とした場合には、連結用テープの消費量を抑制することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１２】
図１には、本実施形態に係る貼付用シート製造装置の概略正面図が示され、図２には貼付用シートを製造する過程における要部拡大斜視図が示されている。これらの図において、貼付用シート製造装置１０は、接着性シートＳの一方の面（図中上面）に第１の剥離シートＡが仮着されるとともに、他方の面（図中下面）に第２の剥離シートＢが仮着された帯状の原反Ｒを繰り出す繰出手段１１と、前記原反Ｒを繰り出す過程で第１の剥離シートＡ側から第２の剥離シートＢまで達する閉ループ状の切り込みＣを形成して当該切り込みＣで囲まれる接着性シート部分を貼付用シートＳ１として形成する切込手段１２と、前記貼付用シートＳ１の外側に位置する外側接着性シート部分Ｓ２とこの上面側に位置する外側剥離シート部分Ａ１とを外側不要シートＤとする一方、前記貼付用シートＳ１上に位置する内側剥離シート部分Ａ２を内側不要シートＥとして回収する回収手段１４と、前記外側不要シートＤと内側不要シートＥとを連結用接着テープＴを介して連結する連結手段１５と、前記第２の剥離シートＢと貼付用シートＳ１とを巻き取る巻取手段１６とを備えて構成されている。ここで、本実施形態では、前記接着性シートＳは、特に、ウエハの裏面に接着され、ダイシング後のチップをリードフレームにボンディングする際に利用される感熱接着性の接着シートにより構成されている。
【００１３】
前記繰出手段１１はロール状に巻回された原反Ｒを支持する支持ローラ１９の下方に配置された駆動ローラ２０と、当該駆動ローラ２０との間に原反Ｒを挟み込むピンチローラ２１と、前記駆動ローラ２０を回転させるモータＭ１とにより構成されている。
【００１４】
前記切込手段１２は、第１の剥離シートＡ側に配置されたダイカットローラ２３と、第２の剥離シートＢ側に配置され、図示しない機構によりダイカットローラ２３と同期回転するアンビルローラ２４と、ダイカットローラ２３を回転させるモータＭ２とからなる。ダイカットローラ２３は、ローラ本体２３Ａと、当該ローラ本体２３Ａの外周面に設けられた切断刃２３Ｂとからなる。この切断刃２３Ｂは、平面に展開したときに、ウエハ形状と略同形となるように形成されており、従って、切込手段１２を通過した後の原反Ｒには、略円形の切り込みＣ（図２参照）が形成されることとなる。なお、ローラ本体２３Ａには、図１に示されるように、切断刃不存在領域２３Ｃが形成されて原反Ｒの素通しが行えるようになっており、当該切断刃不存在領域２３Ｃがアンビルローラ２４側に位置したときに、原反Ｒの繰出速度を変化させて貼付用シートＳ１の形成間隔を任意に設定することができる。また、切断刃２３Ｂは、ウエハに形成されたＶノッチやオリエンテーションフラットに対応した形状とすることもできる。
【００１５】
前記回収手段１４は、剥離用ブロック２６と、この剥離用ブロック２６の上方に配置された回収ローラ２７と、当該回収ローラ２７を回転させるモータＭ３とを含む。剥離用ブロック２６は、外側不要シートＤ及び内側不要シートＥを第２の剥離シートＢ及び貼付用シートＳ１から剥離するためのものであり、本実施形態では、略水平方向に対して直交する上方に剥離できるガイド面を備えて構成されているが、特に限定されるものではなく、ローラや、板状のブレード材で構成してもよい。
【００１６】
前記連結手段１５は、連結用接着テープＴの供給手段３０と、連結用テープＴを前記切り込みＣ部分に貼付する押圧手段３１とからなる。供給手段３０は、帯状剥離シートＲＬの一方の面に連結用テープＴが仮着されたテープ原反ＴＲを繰出可能に支持するテープ原反支持ローラ３３と、前記帯状剥離シートＲＬのシート巻取ローラ３４と、これらテープ原反支持ローラ３３及びシート巻取ローラ３４の間に配置されて前記帯状剥離シートＲＬから連結用接着テープＴを剥離するピールプレート３６とからなる。この一方、押圧手段３１は、下面側に図示しない吸着孔が形成された吸着グリッド３８を備え、当該吸着グリッド３８は、シリンダ３９を介して上下方向に沿って進退可能に設けられている。なお、ここでは図示省略しているが、第２の剥離シートＢ側には、吸着グリッド３８による押圧力の受け面となる受け台が設けられる。
【００１７】
前記巻取手段１６は、巻取駆動ローラ４０と、当該巻取駆動ローラ４０との間に第２の剥離シートＢ及び貼付用シートＳ１を挟み込むピンチローラ４１と、巻取駆動ローラ４０を回転させるモータＭ４と、巻取ローラ４３と、巻取ローラ４３を所定のトルクで回転させるモータＭ５とにより構成されている。
【００１８】
次に、本実施形態における貼付用シートの製造方法について説明する。
【００１９】
図１に示されるように、ロール状の原反Ｒを所定長さ引き出して、駆動ローラ２０とピンチローラ２１との間と、ダイカットローラ２３とアンビルローラ２４との間に通紙する。そして、第１の剥離シートＡ及び接着性シートＳを第２の剥離シートＢから剥離し、当該第１の剥離シートＡ及び接着性シートＳのリード端を回収ローラ２７に固定する。この一方、第２の剥離シートＢは、駆動ローラ４０とピンチローラ４１との間を通紙してそのリード端を巻取ローラ４３に固定し、これにより初期設定を完了する。なお、この初期設定段階では、ダイカットローラ２３及び、各ピンチローラ２１、４１は、図示しない駆動手段によってアンビルローラ２４及び、各駆動ローラ２０、４０の上方へ退避し、所定のクリアランスを確保するようになっている。
【００２０】
次に、図示しない制御装置を介して装置の駆動が開始される。すなわち、繰出手段１１のモータＭ１が回転することにより原反Ｒが引き出されるとともに、回収手段１４及び巻取手段１６のモータＭ３、Ｍ４、Ｍ５がそれぞれ駆動して回収及び巻取がそれぞれ開始される。同時に、切込手段１２のモータＭ２を介してダイカットローラ２３が回転し、切断刃２３Ｂによって第１の剥離シートＡ側から第２の剥離シートＢに達する深さの切り込みＣが形成される。この切り込みＣにより接着性シートＳは貼付用シートＳ１と外側接着性シート部分Ｓ２とに区分される。また、第１の剥離シートＡは、内側剥離シート部分Ａ２と、外側剥離シート部分Ａ１とに区分される。
【００２１】
原反Ｒが切込手段１２を通過した後において、第１の剥離シートＡに対し、切り込みＣが形成された部分に連結用接着テープＴが貼付される。すなわち、連結用接着テープＴが供給手段３０から吸着グリッド３８に一枚ずつ供給され、原反繰出方向先端側における切り込みＣを横切るように、つまり、外側剥離シート部分Ａ１と内側剥離シート部分Ａ２を跨ぐように貼付される（図２参照）。なお、連結用接着テープＴの貼付は、切り込みＣの原反繰出方向先端側が所定位置に達したことを図示しないセンサが検出することによりタイミング調整される。
【００２２】
連結手段１５の下部領域を通過した原反Ｒは、外側不要シートＤ及び内側不要シートＥが前記剥離用ブロック２６で上方に剥離されることとなり、第２の剥離シートＢ上には、貼付用シートＳ１のみが残され、当該貼付用シートＳ１が残された第２の剥離シートＢが順次巻取ローラ４３に巻き取られることとなる。
【００２３】
従って、このような実施形態によれば、巻取手段１６によってロール状に巻き取られた製品は、例えば、別途のシート貼付装置に装填され、第２の剥離シートＢと共に貼付用シートＳ１が加熱されてウエハの裏面に接着される。その後、第２の剥離シートＢが貼付用シートＳ１から剥離されて貼付が完了する。このように、シート貼付装置内にウエハ形状に合わせて切断する切断手段や、貼付用シートＳ１上の剥離シートを剥離する剥離手段を設ける必要がなくなる。
【００２４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００２５】
例えば、前記実施形態では、感熱性の接着シートを接着性シートＳとして用いた場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、感圧接着性の接着シートや、エネルギー線硬化型の接着シート等を用いることもできる。
【００２６】
また、貼付用シートＳ１の平面形状は円形に限定されるものではなく、被着体の平面形状に応じて種々の形状が採用可能であり、これに応じた閉ループをなすダイカットローラ２３を用いればよい。更に、切込手段１２のダイカットローラ２３に替え、平面内に切断刃が形成されたプレス型を用いてもよい。
【００２７】
更に、連結部材は、連結用テープＴとして感圧接着性の接着テープや、感熱接着性の接着テープを使用することができ、感熱接着性の接着テープを使用する場合は、吸着グリッド３８に加熱手段を設ければよい。
【００２８】
また、連結部材は、原反Ｒの繰出方向先端側のみならず、複数個所に貼付するように構成してもよいし、本実施形態に示した枚葉タイプに替え、連続した帯状の連結テープを第１の剥離シートＡの繰り出し方向に沿って連続して貼付するような構成としてもよい。
【００２９】
更に、接着性シートとして、基材の両面に接着剤層を有する原反を対象とすることもできる。
【００３０】
なお、前記巻取手段１６の前段すなわち回収手段１４との間に、ウエハ等を被着体としたシート貼付装置を介在させることもでき、この場合には、巻取手段１６で第２の剥離用シートＢのみを巻き取ることとなる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本実施形態に係る貼付用シート製造装置の概略正面図。
【図２】前記貼付用シートを製造する工程を示す要部拡大斜視図。
【符号の説明】
【００３２】
１０  貼付用シート製造装置
１１  繰出手段
１２  切込手段
１４  回収手段
１５  連結手段
３０  供給手段
３１  押圧手段
Ａ  第１の剥離シート
Ａ１  外側剥離シート部分
Ａ２  内側剥離シート部分
Ｂ  第２の剥離シート
Ｃ  切り込み
Ｄ  外側不要シート
Ｅ  内側不要シート
Ｒ  原反
Ｓ  接着性シート
Ｓ１  貼付用シート
Ｓ２  外側接着性シート部分
Ｔ  連結用接着テープ（連結部材）
【図１】
0004866312.tif 000002
【図２】
0004866312.tif 000003