(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＰＮ接合部を有する半導体基板の一主面側の全面にシリコン窒化膜からなる第１の反射防止膜を形成する第１工程と、
前記第１の反射防止膜上にアルミ粉末または銀を含むペーストを印刷した後に焼成して電極を形成する第２工程と、
前記電極を覆って封止する電極部保護層を前記電極上のみに形成する第３工程と、
前記電極部保護層を形成した前記半導体基板上に前記半導体基板の表面の屈折率よりも低い屈折率を有する第２の反射防止膜を一次粒子径が５ｎｍ〜３００ｎｍの粒子と溶媒とを含む液を塗布して形成する第４工程と、
を含むことを特徴とする太陽電池セルの製造方法。
【請求項２】
前記第１工程は、
前記第１の反射防止膜としてシリコン窒化膜をプラズマ支援化学蒸気堆積法により形成する工程であること、
を特徴とする請求項１に記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項３】
前記電極部保護層が、樹脂層からなること、
を特徴とする請求項１または２に記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項４】
前記第２の反射防止膜が、ジルコニア、チタニア、酸化シリコン、酸化インジウム、酸化タングステン、酸化マグネシウム、酸化イットリウム、酸化錫、五酸化アンチモン、酸化セシウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、酸化アルミ、酸化亜鉛、炭化珪素、フッ化マグネシウム、硫化亜鉛、硫化セレン、窒化ガリウム、窒化アルミニウムおよび窒素化ホウ素からなる群より選択される一種の粒子であり粒子径が５ｎｍ〜３００ｎｍである粒子からなる第１の膜、または前記の群より選択される二種以上の粒子であり粒子径が５ｎｍ〜３００ｎｍである粒子の混合物からなる第２の膜、または前記第１の膜および／または前記第２の膜の積層膜からなること、
を特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つに記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１つに記載の太陽電池セルの製造方法を含むことを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基材表面の光入射側に基材と空気の間の屈折率を有する膜を堆積し、大気から基材に向けて断続的あるいは連続的に屈折率を変化させることにより、基材表面の光反射（フレネル反射）を低減することができることが既に知られている。このことを利用して太陽電池セルあるいはモジュールの光入射側に、セル表面あるいはモジュールよりも空気の屈折率に近い膜を堆積し、基材から大気の屈折率へ連続的あるいは断続的に屈折率を変化させることにより、セルあるいはモジュール基材表面の光反射を低減させることができる（光反射防止効果）。
【０００３】
この光反射防止効果は、基材から大気へ向かう屈折率が断続的に減少するよりも連続的に減少していくことが、反射率低減の観点から好ましい。このような屈折率が連続的に変化する膜の形成方法としては、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）や薬液によるエッチングにより凹凸構造を導入する方法、エアロゲルや粒子を塗布あるいはガスや液体とともに基材に噴出させるなどの手法により空孔分布を有する多孔質膜を作製する方法がある。このような階段屈折率構造あるいは傾斜屈折率構造を導入することによって反射率を低減させ、太陽電池の短絡電流密度を高めることができる。
【０００４】
このような例として例えば特許文献１ならびに特許文献２がある。このような反射防止膜の材料としては、光の干渉効果も取り入れたシリコン窒素化膜やフッ化マグネシウムがよく用いられている。そして、これらの凹凸構造あるいは多孔質膜では、光の散乱を防ぎ、光透過性を高く保つために、凹凸の周期あるいは空孔径は、太陽電池が吸収できる光の波長よりも小さいほうが望ましいことが知られている。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−３２６７８４号公報
【特許文献２】特開２００５−２４９９８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、本願発明者は、太陽電池にこのような溶液あるいは分散液を原料とする多孔質膜を適用する場合、反射防止膜を作製する際の太陽電池基材上への溶液などの塗布により電気的特性が低下することを見いだした。そこで、本願発明者は、この原因を究明すべく鋭意研究を重ねた結果、微粒子や分散媒、原料ゾルなどが電極と太陽電池基材との間に侵入することにより太陽電池の長期信頼性、電気的特性が劣化する、という問題の存在が本願発明者の研究により明らかとなった。ここで、曲線因子とは太陽電池の最大出力仕事率を短絡電流と開放電圧との積で除した値である。これに対して、これまで電気的特性の劣化、特に曲線因子の劣化を防ぐ方法は提案されておらず、このような劣化を防止するために本願発明に到達したものである。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、曲線因子の劣化を防ぎながら、液相から製膜される光反射低減効果の高い反射防止膜により光反射を低減させることにより短絡電流を増大した、太陽電池特性に優れた太陽電池セルを製造可能な太陽電池セルの製造方法および太陽電池モジュールの製造方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる太陽電池セルの製造方法は、ＰＮ接合部を有する半導体基板の一主面側の全面にシリコン窒化膜からなる第１の反射防止膜を形成する第１工程と、前記第１の反射防止膜上にアルミ粉末または銀を含むペーストを印刷した後に焼成して電極を形成する第２工程と、前記電極を覆って封止する電極部保護層を前記電極上のみに形成する第３工程と、前記電極部保護層を形成した前記半導体基板上に前記半導体基板の表面の屈折率よりも低い屈折率を有する第２の反射防止膜を一次粒子径が５ｎｍ〜３００ｎｍの粒子と溶媒とを含む液を塗布して形成する第４工程と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、曲線因子の劣化を防ぎながら、液相から製膜される光反射低減効果の高い反射防止膜により光反射が低減させることにより短絡電流を増大した、太陽電池特性に優れた太陽電池セルが得られる、という効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、本発明にかかる太陽電池セルおよびその製造方法、太陽電池モジュールおよびその製造方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【００１１】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの概略構成を示す断面図である。実施の形態１にかかる太陽電池セルは、太陽電池基板であってｐｎ接合を有する半導体基板１と、半導体基板１の受光面側の面（表面）に形成された第一の反射防止膜２と、半導体基板１の受光面と反対側の面（裏面）に形成された裏面電極３と、半導体基板１の受光面側の面（表面）において第一の反射防止膜２に囲まれて形成された受光面側電極４と、第一の反射防止膜２と受光面側電極４とを覆って受光面側電極４を封止するように形成された電極部保護層５ａ（以下、電極部保護層を総称して電極部保護層５と呼ぶ場合がある）と、電極部保護層５ａを覆って上に形成された第二の反射防止膜６と、を備える。受光面側電極４としては、太陽電池セルのバス電極およびグリッド電極を含み、図１においてはグリッド電極の長手方向に垂直な断面における断面図を示している。
【００１２】
このように形成された実施の形態１にかかる太陽電池セルは、液相からなる反射防止膜材から形成された第二の反射防止膜６を備えるとともに、液相からなる反射防止膜材料や分散液が半導体基板１まで浸透することによる欠陥準位の形成が防止され、太陽電池の出力電気的特性の一つである曲線因子を低下させること無く、短絡電流と光電変換効率とに優れた太陽電池セルである。
【００１３】
つぎに、以上のように構成された実施の形態１にかかる太陽電池セルの製造方法について図２−１〜図２−５を参照して説明する。図２−１〜図２−５は、実施の形態１にかかる太陽電池セルの製造方法を説明するための断面図である。まず、体積抵抗率が１〜５Ω・ｃｍのｐ型多結晶シリコン基板を、加熱したアルカリ溶液中に浸漬して表面をエッチングすることにより、シリコン基板の切り出し時に発生してｐ型多結晶シリコン基板表面近くに存在するダメージ領域を取り除いた。そして、このようにしてアルカリ溶液による異方性エッチングを用いて表面の疎面化を行った後、このｐ型多結晶シリコン基板をオキシ塩化リン（ＰＯＣｌ３）ガス雰囲気中、約８００〜９００℃で加熱することにより、ｐ型多結晶シリコン基板表面に半導体ｐｎ接合を形成した。
【００１４】
つぎに、このｐ型多結晶シリコン基板をフッ化水素酸水溶液中に浸漬し、ｐ型多結晶シリコン基板表面に形成されたリンガラスを除去して、ｐｎ接合を有する半導体基板１を得た（図２−１）。この半導体基板１上に、プラズマ支援化学蒸気堆積（ＰＥＣＶＤ：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）法により、シリコン窒素化膜を形成し、第一の反射防止膜２を得た（図２−２）。このシリコン窒素化膜（第一の反射防止膜２）の屈折率をエリプソメーターによって測定したところ、約２．３であった。
【００１５】
つぎに、半導体基板１の裏面およびその受光面にそれぞれアルミ粉末および銀を含むペーストを印刷したのち、焼成して裏面電極３と受光側電極４とを形成して、太陽電池セルを作製した（図２−３）。そして、このようにして作製した太陽電池セルを用いて、実際に電池を作動させ、太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。
【００１６】
つぎに、１３重量部のジルコニア粒子が分散したメタノール溶液（一次粒径１０〜１２ナノメートル）をイソプロパノールで１００倍に希釈することにより、ジルコニア粒子が凝集した塗布溶液（ジルコニア微粒子分散液）を作製し、これを受光面側の第一の反射防止膜２であるシリコン窒素化膜と受光面側電極４の上に噴霧塗布することにより、第一の反射防止膜２および受光面側電極４上にジルコニア粒子が凝集したジルコニア粒子層である電極部保護層５ａを形成した（図２−４）。噴霧塗布法を用いることにより、低コストかつ高速な製膜が可能となり、工業的に有利となる。この電極部保護層５ａの屈折率を測定したところ、約１．６であった。
【００１７】
電極部保護層５ａとして用いるジルコニア粒子の粒径は、一次粒径５ｎｍ〜３００ｎｍが好ましい。これは、粒子の粒径が大きくなりすぎる場合には光の散乱が生じて光反射が増大し、また粒径が小さすぎる場合には粒子が二次粒径のおおきな凝集を生じて光の散乱が生じることで光反射が増大してしまうためである。また同時に、電極部保護層５として透明粒子膜を用いることにより、それ単体でフレネル反射を低減する反射防止膜として機能し、かつ、応力の小さい電極保護膜を形成することができ、保護膜形成による曲線因子の低下を防ぎながら太陽電池の短絡電流を増大させることができる。また、空孔率や粒子を混合することによって屈折率を制御できるため、反射防止膜として機能する電極部保護層として最適な屈折率を選択できる。また、溶液あるいは分散液から形成される、５ｎｍ〜３００ｎｍの空孔径を有する多孔質層も同様に使用可能である。
【００１８】
電極部保護層５ａに使用する粒子の凝集度および屈折率は、保護層形成に用いる粒子分散液に酸あるいはアルカリ溶液を加えることによって制御することができる。このようにして形成された電極部保護層５ａの上に、粒子からなる第二の反射防止膜６として、フッ化マグネシウム粒子層を形成し（図２−５）、太陽電池セルを作製した（サンプル１）。フッ化マグネシウム粒子層は、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）粒子をスピンコート法により電極部保護層５ａ上に約１００ナノメートルの厚さで塗布することにより形成した。このフッ化マグネシウム粒子層の屈折率を測定したところ、約１．２であった。
【００１９】
第二の反射防止膜６として用いる粒子の粒径は、５〜３００ナノメートルが好ましい。これは、粒子の粒径が大きくなりすぎる場合には光の散乱が生じて光反射が増大し、また粒径が小さすぎる場合には粒子が凝集を生じて光の散乱が生じることで光反射が増大してしまうためである。
【００２０】
このようなフッ化マグネシウム粒子による第二の反射防止膜６が形成されたサンプル１の太陽電池セルを用いて、実際に電池を作動させ、太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。そして、上述の電極部保護層５ａと第二の反射防止膜６とを塗布する前の太陽電池セルの太陽電池出力特性との差を求め、電極部保護層５ａおよび第二の反射防止膜６の太陽電池出力特性への影響を評価した。電極部保護層ａ５および第二の反射防止膜６の形成前後の太陽電池出力特性の差を表１に示す。
【００２１】
また、サンプル２の太陽電池セルとして、上記電極部保護層５ａの形成用の塗布溶液に１体積部のフッ化水素酸を加える以外は上記と同様にして太陽電池セルを作製した。これにより、電極部保護層５ａとしてフッ化水素酸を含有した電極部保護層５ａ’、および第二の反射防止膜６を有するサンプル２の太陽電池セルを得た。なお、電極部保護層（フッ化水素酸含有）５ａ’と第二の反射防止膜６とを塗布形成する前に、太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。
【００２２】
また、このようなジルコニア粒子からなる電極部保護層（フッ化水素酸含有）５ａ’およびフッ化マグネシウム粒子からなる第二の反射防止膜６を備えたサンプル２の太陽電池セルについて、電極部保護層（フッ化水素酸含有）５ａ’と第二の反射防止膜６とを塗布形成した後の太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。そして、電極部保護層（フッ化水素酸含有）５ａ’および第二の反射防止膜６を塗布形成する前後における太陽電池出力特性の差を求め、電極部保護層（フッ化水素酸含有）５ａ’および第二の反射防止膜６の太陽電池出力特性への影響を評価した。電極部保護層（フッ化水素酸含有）５ａ’および第二の反射防止膜６の形成前後における太陽電池出力特性の差を表１に示す。
【００２３】
また、比較試料であるサンプル３の太陽電池セルとして、上記のサンプル１の太陽電池セルの製造方法において電極部保護層５ａを塗布形成する工程のみを除いた方法により、電極部保護層５ａを備えず、第二の反射防止膜６を備えた太陽電池セルを作製した。なお、第二の反射防止膜６を塗布形成する前に、太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。
【００２４】
また、このような電極部保護層５ａを備えずに第二の反射防止膜６を備えたサンプル３の太陽電池セルについて、第二の反射防止膜６を塗布形成した後の太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。そして、第二の反射防止膜６を塗布形成する前後における太陽電池出力特性の差を求め、第二の反射防止膜６の太陽電池出力特性への影響を評価した。第二の反射防止膜６の形成前後における太陽電池出力特性の差を表１に示す。
【００２５】
【表１】
0005014223.tif 000002
【００２６】
表１からわかるように、サンプル１、サンプル２、サンプル３の太陽電池セルにおいては、電極部保護層５ａ、５ａ’の有無にかかわらず、第一の反射防止膜２および第二の反射防止膜６を形成することにより短絡電流密度が向上した。その一方で、電極部保護層５ａとしてのジルコニア粒子層を備えないサンプル３の太陽電池セルでは、第二の反射防止膜６を塗布することによって曲線因子が低下することが今回始めて見出された。これは、第一の反射防止膜２であるシリコン窒素化膜が存在しない、受光側電極４と太陽電池基材（半導体基板１）との導通部において、反射防止膜原料を構成する微粒子および溶媒、分散媒が、太陽電池基材（半導体基板１）まで到達し、太陽電池基材（半導体基板１）内に欠陥順位を形成したためである。
【００２７】
そこで、微粒子や溶媒を透過させない電極部保護層５ａ、ａ’を受光側電極４部分に形成することによって、この曲線因子の劣化を防ぐことができると考えられる。実際に、電極部保護層５ａとしてジルコニア粒子層を導入したサンプル１の太陽電池セルでは、反射防止膜塗布によって曲線因子は低下せず、短絡電流密度の増加のみが生じ、太陽電池特性をサンプル３の太陽電池セルよりも向上させることができた。
【００２８】
ここで、凝集したジルコニア粒子は、二次粒径が十分に大きいため太陽電池基材（半導体基板１）まで侵入せず、曲線因子の劣化を生じずに電極保護層５、５ａ’として機能している。電極保護層５、５ａ’として粒子層を用いることによって、太陽電池基板（半導体基板１）と電極保護層５、５ａ’との界面で応力が生じず、一様な連続膜に比べて曲線因子の低下が生じにくいという利点がある。また室温で製膜可能なため、温度変化と材料の膨張係数の差異に伴う応力発生も防ぐことができる。このように、電極部保護層５、５ａ’としてジルコニア凝集粒子を用いることにより、成膜時の温度変化や膜の膨張係数の違いに起因する応力の小さい電極保護膜５、５ａ’を形成することができ、電極保護膜５、５ａ’の形成による曲線因子の低下を防ぐことができる。
【００２９】
さらに、ジルコニア粒子層の屈折率は約１．６程度であり、フッ化マグネシウムとシリコン窒素化膜の間の屈折率を有しているため、ジルコニア粒子層は電極保護層５、５ａ’であると同時にフレネル反射を低減させる反射防止膜としても機能しており、第二の反射防止膜６塗布前後における短絡電流密度の増分がサンプル３の太陽電池セルよりも増大した（サンプル１）。このことから電極保護層単体でも曲線因子を低下させずに短絡電流を増大させることが出来る反射防止膜として機能することがわかる。そして、空孔率や粒子を混合することによって電極部保護層５、５ａ’の屈折率を制御できるため、反射防止膜としても機能する電極部保護層として最適な屈折率を選択できる。また、表１からわかるように、電極保護層形成用の塗布溶液にフッ化水素酸を加えることによって曲線因子がさらに改善されることが見出された（サンプル２）。
【００３０】
以上のような実施の形態１にかかる太陽電池セルの製造方法によれば、無機微粒子層であるジルコニア粒子層からなる電極部保護層５ａまたは電極部保護層（フッ化水素酸含有）５ａ’を受光側電極４上に形成して受光面側電極４を封止することにより、その後の太陽電池セルの製造過程において液相からなる反射防止膜材料や分散液が受光面側電極４と半導体基板１との間に侵入、浸透することに起因した半導体基板１内における欠陥準位の形成を防いで塗布型反射防止膜を形成することができる。これにより、第二の反射防止膜６塗布前後の比較において、太陽電池の出力電気的特性の一つである曲線因子を低下させること無く、短絡電流密度と光電変換効率とを向上させることができる、という従来にない顕著な効果を奏するものであり、太陽電池特性の劣化、特に曲線因子の劣化を防ぎながら光反射が低減することによる短絡電流の増大した太陽電池特性を有する太陽電池セルを作製することができる。
【００３１】
なお、上記においては、太陽電池基板の一例として多結晶シリコン基板を用いる場合について説明したが、太陽電池基板はこれに限定されるものではなく、単結晶シリコン、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、インジウムリン（ＩｎＰ）などを基板として用いてもよく、また、反射防止膜としては、単層のみでなく、異なる材料を積層した多層構造のものを用いてもよい。また、液相を太陽電池セルに塗布する方法としては刷毛による塗布などを用いてよい。
【００３２】
また、上記においては、電極部保護層５、５ａ’の一例としてジルコニア粒子が凝集したジルコニア粒子層を用いる場合について説明したが、電極部保護層５、５ａ’に用いる粒子はこれに限定されるものではなく、ジルコニアの他に、チタニア、酸化シリコン、酸化インジウム、酸化タングステン、酸化マグネシウム、酸化イットリウム、酸化錫、五酸化アンチモン、酸化セシウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、酸化アルミ、酸化亜鉛、炭化珪素、フッ化マグネシウム、硫化亜鉛、硫化セレン、窒化ガリウム、窒化アルミニウムおよび窒素化ホウ素のうちのいずれかの微粒子の凝集物、またはこれらの微粒子の任意の組み合わせによる混合物を用いることができる。電極部保護層５、５ａ’の粒子にこのような無機粒子を用いることにより、透明性が高い電極部保護層が形成でき、短絡電流を向上させることができる。
【００３３】
実施の形態２．
実施の形態２においては、電極部保護層５としてアモルファスチタニア層からなる電極部保護層（アモルファスチタニア）５ｂを形成したこと以外は、実施の形態１のサンプル１の太陽電池セルと同様にしてサンプル４の太陽電池セルを作製した。なお、サンプル４の太陽電池セルの構成はサンプル１と同様であるため、詳細な説明は省略する。
【００３４】
電極部保護層５ｂとしてのアモルファスチタニア層は、裏面電極３および受光面側電極４の形成後に、電極部保護層５ｂの前駆体溶液としてジルコニア微粒子分散液の代わりに４重量部のペルオキシチタン酸溶液をイソプロパノールで５倍に希釈し、受光面側の第一の反射防止膜２であるシリコン窒素化膜と受光面側電極４の上に噴霧塗布し、ホットプレート上で太陽電池セルを１００度で５分間加熱することにより形成した。
【００３５】
なお、サンプル４の太陽電池セルにおいてもサンプル１の太陽電池セルと同様に、裏面電極３と受光側電極４とを形成後、電極部保護層５ｂの形成前に、太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。
【００３６】
また、このようなアモルファスチタニア層の電極部保護層５ｂを備えたサンプル４の太陽電池セルについて、電極部保護層５ｂと第二の反射防止膜６とを塗布形成した後の太陽電池出力特性として、サンプル１の太陽電池セルと同様に光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。
【００３７】
そして、上述の電極部保護層５ｂと第二の反射防止膜６とを塗布形成する前後における太陽電池セルの太陽電池出力特性の差を求め、電極部保護層５ｂおよび第二の反射防止膜６の太陽電池出力特性への影響を評価した。電極部保護層５ｂおよび第二の反射防止膜６の形成前後における太陽電池出力特性の差を表２に示す。また、比較試料として、実施の形態１において作製したサンプル３の太陽電池セルにおける第二の反射防止膜６の形成前後における太陽電池出力特性の差を表２に示す。
【００３８】
【表２】
0005014223.tif 000003
【００３９】
表２からわかるように、電極部保護層５ｂとしてアモルファスチタニア層を形成したサンプル４の太陽電池セルでは、第二の反射防止膜６を塗布することによって曲線因子は低下せず、短絡電流密度の増加のみが生じ、太陽電池特性の比較試料であるサンプル３の太陽電池セルよりも向上させることができた。
【００４０】
さらに、今回使用したアモルファスチタニアの屈折率は約１．８であり、フッ化マグネシウムとシリコン窒素化膜の間の屈折率を有しているため、アモルファスチタニア層は電極保護層５ｂであると同時にフレネル反射を低減させる反射防止膜としても機能しており、第二の反射防止膜６の形成前後における短絡電流密度の増分がサンプル３の太陽電池セルよりも増大した。さらに、アモルファスチタニア層は、サンプル１での電極部保護層５ａであるジルコニア粒子が凝集したジルコニア粒子層よりも透明性が高いため、第二の反射防止膜６の形成後における太陽電池出力特性として、ジルコニア粒子の凝集体を電極部保護層５として使用した場合よりも大きな短絡電流密度を得ることができた。
【００４１】
以上のような実施の形態２にかかる太陽電池セルの製造方法によれば、アモルファスチタニア層からなる電極部保護層５ｂを受光側電極４上に形成して受光面側電極４を封止することにより、その後の太陽電池セルの製造過程において液相からなる反射防止膜材料や分散液が受光面側電極４と半導体基板１との間に侵入、浸透することに起因した半導体基板１内における欠陥準位の形成を防いで塗布型反射防止膜を形成することができる。電極部保護層５にアモルファス物質を用いることにより、より緻密かつ光散乱による反射率増大の無い電極部保護層を形成することができ、短絡電流を向上させることができる。また、膜の密度によって屈折率を制御できるため、反射防止膜として機能する電極部保護層として最適な屈折率を選択できる。これにより、第二の反射防止膜６の塗布形成の前後における比較において、太陽電池の出力電気的特性の一つである曲線因子を低下させること無く、短絡電流密度と光電変換効率とを向上させることができる、という従来にない顕著な効果を奏するものであり、太陽電池特性の劣化、特に曲線因子の劣化を防ぎながら光反射が低減することによる短絡電流の増大した太陽電池特性を有する太陽電池セルを作製することができる。
【００４２】
なお、上記においては、アモルファスからなる電極部保護層５の一例としてアモルファスチタニアを用いる場合について説明したが、電極部保護層５に用いるアモルファス物質はこれに限定されるものではなく、ジルコニア、チタニア、酸化シリコン、酸化インジウム、酸化タングステン、酸化マグネシウム、酸化イットリウム、酸化錫、五酸化アンチモン、酸化セシウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、酸化アルミ、酸化亜鉛、炭化珪素、フッ化マグネシウム、硫化亜鉛、硫化セレン、窒化ガリウム、窒化アルミニウムおよび窒素化ホウ素からなる群より選択される一種のアモルファス膜、または前記の群より選択される二種以上のアモルファスの複合膜を用いることができる。
【００４３】
このような各材料を混合することによって屈折率を制御できるため、反射防止膜として機能する電極部保護層５として最適な屈折率を選択できる。また、各材料のみからなる膜あるいは各材料の混合膜を積層し、屈折率が太陽電池側に向かうに従って太陽電池セル周囲の環境の屈折率から太陽電池セル表面の屈折率に近づいていくように積層膜を構成することによって、反射防止膜として機能する電極部保護層を形成することができる。
【００４４】
実施の形態３．
図３は、実施の形態３にかかるサンプル５の太陽電池セルの概略構成を示す断面図である。実施の形態３においては、電極部保護層５としてエチレンビニル酢酸樹脂層からなる電極部保護層５ｃを形成したこと以外は、サンプル１の太陽電池セルと同様にしてサンプル５の太陽電池セルを作製した。図３においてサンプル１と共通する部材についてはサンプル１（図１）と同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００４５】
電極部保護層５ｃとしてのエチレンビニル酢酸樹脂層は、裏面電極３および受光面側電極４の形成後に、ジルコニア微粒子層の代わりに厚み約２００マイクロメートルのエチレンビニル酢酸樹脂を受光側電極４上に載置し、ホットプレート上で太陽電池セルを１００度で１０分間加熱し、軟化させることにより形成した。また、エチレンビニル酢酸樹脂層は、図３に示すように、受光面側電極４を覆って受光面側電極４を封止するように受光面側電極４の上部にのみ形成した。
【００４６】
なお、サンプル５の太陽電池セルにおいてもサンプル１の太陽電池セルと同様に、裏面電極３と受光側電極４とを形成後、電極部保護層５ｃの形成前に、太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。
【００４７】
また、このようなエチレンビニル酢酸樹脂層の電極部保護層５ｃを備えたサンプル５の太陽電池セルについて、電極部保護層５ｃと第二の反射防止膜６とを塗布形成した後の太陽電池出力特性として、サンプル１の太陽電池セルと同様に光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。
【００４８】
そして、上述の電極部保護層５ｃと第二の反射防止膜６とを塗布形成する前後における太陽電池セルの太陽電池出力特性の差を求め、電極部保護層５ｃおよび第二の反射防止膜６の太陽電池出力特性への影響を評価した。電極部保護層５ｃおよび第二の反射防止膜６の形成前後における太陽電池出力特性の差を表３に示す。また、比較試料として、実施の形態１において作製したサンプル３の太陽電池セルにおける第二の反射防止膜６の形成前後における太陽電池出力特性の差を表３に示す。
【００４９】
【表３】
0005014223.tif 000004
【００５０】
表３からわかるように、電極部保護層５ｃとしてエチレンビニル酢酸樹脂層を形成したサンプル５の太陽電池セルでは、第二の反射防止膜６を塗布することによって曲線因子は低下せず、短絡電流密度の増加のみが生じ、太陽電池特性の比較試料であるサンプル３の太陽電池セルよりも向上させることができた。
【００５１】
以上のような実施の形態３にかかる太陽電池セルの製造方法によれば、エチレンビニル酢酸樹脂層からなる電極部保護層５ｃを受光側電極４上に形成して受光面側電極４を封止することにより、その後の太陽電池セルの製造過程において液相からなる反射防止膜材料や分散液が受光面側電極４と半導体基板１との間に侵入、浸透することに起因した半導体基板１内における欠陥準位の形成を防いで塗布型反射防止膜を形成することができる。また、電極保護層５に樹脂を用いることにより、密着性が高い電極部保護層５が形成でき、信頼性を向上させることができる。これにより、第二の反射防止膜６の塗布形成の前後における比較において、太陽電池の出力電気的特性の一つである曲線因子を低下させること無く、短絡電流密度と光電変換効率とを向上させることができる、という従来にない顕著な効果を奏するものであり、太陽電池特性の劣化、特に曲線因子の劣化を防ぎながら光反射が低減することによる短絡電流の増大した太陽電池特性を有する太陽電池セルを作製することができる。
【００５２】
なお、樹脂によって電極部保護層５を形成する際には、硬化のなど際に半導体基板１に応力がかからないように収縮の小さい樹脂を選択した上で、十分薄い樹脂層を作製する必要がある。
【００５３】
実施の形態４．
実施の形態４においては、電極部保護層５として高沸点溶剤であるシリコーンオイルの膜からなる電極部保護層５ｄを形成したこと以外は、サンプル１の太陽電池セルと同様にしてサンプル６の太陽電池セルを作製した。なお、サンプル６の太陽電池セルの構成はサンプル１と同様であるため、詳細な説明は省略する。
【００５４】
電極部保護層５ｄとしてのシリコーンオイルの膜は、裏面電極３および受光面側電極４の形成後に、ジルコニア微粒子層の代わりにシリコーンオイル（商品名：ＫＦ−９９、信越化学工業、屈折率１．３９６）を半導体基板１の受光面側にスピンコート法により塗布することにより形成した。
【００５５】
なお、サンプル６の太陽電池セルにおいてもサンプル１の太陽電池セルと同様に、裏面電極３と受光側電極４とを形成後、電極部保護層５ｄの形成前に、太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。
【００５６】
また、電極部保護層５ｄとしてシリコーンオイルの膜を備えたサンプル６の太陽電池セルについて、電極部保護層５ｄと第二の反射防止膜６とを塗布形成した後の太陽電池出力特性として、サンプル１の太陽電池セルと同様に光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。
【００５７】
そして、上述の電極部保護層５ｄと第二の反射防止膜６とを塗布形成する前後における太陽電池セルの太陽電池出力特性の差を求め、電極部保護層５ｄおよび第二の反射防止膜６の太陽電池出力特性への影響を評価した。電極部保護層５ｄおよび第二の反射防止膜６の形成前後における太陽電池出力特性の差を表４に示す。また、比較試料として、実施の形態１において作製したサンプル３の太陽電池セルにおける第二の反射防止膜６の形成前後における太陽電池出力特性の差を表４に示す。
【００５８】
【表４】
0005014223.tif 000005
【００５９】
表４からわかるように、電極部保護層５ｄとしてシリコーンオイルの膜を形成したサンプル６の太陽電池セルでは、第二の反射防止膜６を塗布することによって曲線因子は低下せず、短絡電流密度の増加のみが生じ、太陽電池特性の比較試料であるサンプル３の太陽電池セルよりも向上させることができた。
【００６０】
以上のような実施の形態４にかかる太陽電池セルの製造方法によれば、高沸点溶剤であるシリコーンオイルの膜からなる電極部保護層５ｄを受光側電極４上に形成して受光面側電極４を封止することにより、その後の太陽電池セルの製造過程において液相からなる反射防止膜材料や分散液が受光面側電極４と半導体基板１との間に侵入、浸透することに起因した半導体基板１内における欠陥準位の形成を防いで塗布型反射防止膜を形成することができる。また、電極保護層５に高沸点溶剤を用いることにより、密着性が高い電極部保護層５が形成でき、信頼性を向上させることができる。これにより、第二の反射防止膜６の塗布形成の前後における比較において、太陽電池の出力電気的特性の一つである曲線因子を低下させること無く、短絡電流密度と光電変換効率とを向上させることができる、という従来にない顕著な効果を奏するものであり、太陽電池特性の劣化、特に曲線因子の劣化を防ぎながら光反射が低減することによる短絡電流の増大した太陽電池特性を有する太陽電池セルを作製することができる。
【００６１】
実施の形態５．
図４は、実施の形態５にかかるサンプル７の太陽電池セルの概略構成を示す断面図である。サンプル７の太陽電池セルは、半導体基板１と、第一の反射防止膜２と、裏面電極３と、受光面側電極４と、第一の反射防止膜２上に形成された第二の反射防止膜６と、を備える。図４においてサンプル１と共通する部材についてはサンプル１（図１）と同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００６２】
このように形成された実施の形態５にかかる太陽電池セルは、液相からなる反射防止膜材から形成された第二の反射防止膜６を備えるとともに、液相からなる反射防止膜材料や分散液が半導体基板１まで浸透することによる欠陥準位の形成が防止され、太陽電池の出力電気的特性の一つである曲線因子を低下させること無く、短絡電流と光電変換効率とに優れた太陽電池セルである。
【００６３】
つぎに、以上のように構成された実施の形態５にかかる太陽電池セルの製造方法について図５−１〜図５−３を参照して説明する。図５−１〜図５−３は、実施の形態５にかかる太陽電池セルの製造方法を説明するための断面図である。まず、体積抵抗率が１〜５Ω・ｃｍのｐ型多結晶シリコン基板を、加熱したアルカリ溶液中に浸漬して表面をエッチングすることにより、シリコン基板の切り出し時に発生してｐ型多結晶シリコン基板表面近くに存在するダメージ領域を取り除いた。そして、このようにしてアルカリ溶液による異方性エッチングを用いて表面の疎面化を行った後、このｐ型多結晶シリコン基板をオキシ塩化リン（ＰＯＣｌ３）ガス雰囲気中、約８００〜９００℃で加熱することにより、ｐ型多結晶シリコン基板表面に半導体ｐｎ接合を形成した。
【００６４】
つぎに、このｐ型多結晶シリコン基板をフッ化水素酸水溶液中に浸漬し、ｐ型多結晶シリコン基板表面に形成されたリンガラスを除去して、ｐｎ接合を有する半導体基板１を得た。この半導体基板１上に、プラズマ支援化学蒸気堆積（ＰＥＣＶＤ：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）法により、シリコン窒素化膜を形成し、第一の反射防止膜２を得た。このシリコン窒素化膜（第一の反射防止膜２）の屈折率をエリプソメーターによって測定したところ、約２．３であった。
【００６５】
つぎに、半導体基板１の裏面およびその受光面にそれぞれアルミ粉末および銀を含むペーストを印刷したのち、焼成して裏面電極３と受光側電極４とを形成して、太陽電池セルを作製した（図５−１）。そして、このようにして作製した太陽電池セルを用いて、実際に電池を作動させ、太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。ここまでは、サンプル１の太陽電池セルの製造方法と同様である。
【００６６】
つぎに、作製された太陽電池セルの受光面側電極４部分を電極部保護層５ｅであるマスキングテープにより覆って保護し、受光面側電極４を封止した（図５−２）。そして、２重量部の二酸化チタン微粒子分散液を水で１０倍に希釈し、これを受光面側の第一の反射防止膜２であるシリコン窒素化膜の上に第二の反射防止膜としてスプレー法により噴霧塗布した。
【００６７】
ついで、ジルコニア粒子が分散したイソプロパノール溶液を、上記で作製された二酸化チタン微粒子層の上にスプレー法により噴霧塗布し、第二の反射防止膜として二酸化チタン微粒子層の上に約４０ナノメートルのジルコニア粒子層を形成した。
【００６８】
そして、ジルコニア分散液とフッ化マグネシウムを１対２の体積比で混合した溶液を、太陽電池セル上にスプレー法により噴霧塗布し、二酸化チタン微粒子層とジルコニア粒子層との積層体上にジルコニアとフッ化マグネシウムとの混合層を形成した。このジルコニアとフッ化マグネシウムとの混合層の屈折率を測定したところ、屈折率は約１．４だった。
【００６９】
さらに、フッ化マグネシウムが分散したイソプロパノール溶液を、太陽電池セル上にスプレー法により噴霧塗布し、二酸化チタン微粒子層、ジルコニア粒子層、ジルコニアとフッ化マグネシウムとの混合層の積層体上にフッ化マグネシウム粒子層を形成した。これにより、二酸化チタン微粒子層、ジルコニア粒子層、ジルコニアとフッ化マグネシウムとの混合層およびフッ化マグネシウム粒子層が積層されてなる第二の反射防止膜６を得た。第二の反射防止膜６の形成に噴霧塗布法を用いることにより、低コストかつ高速な製膜が可能となり、工業的に有利となる。
【００７０】
第二の反射防止膜６の形成後、受光面側電極４部分に貼付された電極部保護層５ｅであるマスキングテープを剥がして、サンプル７の太陽電池セルを得た（図５−３）。サンプル７の太陽電池セルについて、第二の反射防止膜６を塗布形成した後の太陽電池出力特性として、サンプル１の太陽電池セルと同様に光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。
【００７１】
そして、上述の第二の反射防止膜６を塗布形成する前後における太陽電池セルの太陽電池出力特性の差を求め、電極部保護層５ｅおよび第二の反射防止膜６の太陽電池出力特性への影響を評価した。電極部保護層５ｅおよび第二の反射防止膜６の形成前後における太陽電池出力特性の差を表５に示す。
【００７２】
また、比較試料として、受光面側電極４を保護するための電極部保護層５ｅであるマスキングテープを貼付しないこと以外は上記と同様にして第二の反射防止膜６を塗布形成してサンプル８の太陽電池セルを作製した。なお、第二の反射防止膜６を塗布形成する前に、太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。
【００７３】
また、サンプル８の太陽電池セルについて、第二の反射防止膜６を塗布形成した後の太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。そして、第二の反射防止膜６を塗布形成する前後における太陽電池出力特性の差を求め、第二の反射防止膜６の太陽電池出力特性への影響を評価した。第二の反射防止膜６の形成前後における太陽電池出力特性の差を表５に示す。
【００７４】
【表５】
0005014223.tif 000006
【００７５】
表５からわかるように、第二の反射防止膜６の塗布形成前に、電極部保護層５ｅとしてのマスキングテープにより受光面側電極４を保護したサンプル７の太陽電池セルでは、第二の反射防止膜６を塗布することによって曲線因子は低下せず、短絡電流密度の増加のみが生じ、太陽電池特性の比較試料であるサンプル８の太陽電池セルよりも向上させることができた。
【００７６】
以上のような実施の形態５にかかる太陽電池セルの製造方法によれば、マスキングテープからなる電極部保護層５ｄを受光側電極４上に形成して受光面側電極４を封止することにより、その後の太陽電池セルの製造過程において液相からなる反射防止膜材料や分散液が受光面側電極４と半導体基板１との間に侵入、浸透することに起因した半導体基板１内における欠陥準位の形成を防いで塗布型反射防止膜を形成することができる。これにより、第二の反射防止膜６の塗布形成の前後における比較において、太陽電池の出力電気的特性の一つである曲線因子を低下させること無く、短絡電流密度と光電変換効率とを向上させることができる、という従来にない顕著な効果を奏するものであり、太陽電池特性の劣化、特に曲線因子の劣化を防ぎながら光反射が低減することによる短絡電流の増大した太陽電池特性セルを有する太陽電池を作製することができる。
【００７７】
実施の形態６．
図６は、実施の形態６にかかるサンプル９の太陽電池モジュールの概略構成を示す図である。サンプル９の太陽電池モジュールは、半導体基板１と、第一の反射防止膜２と、裏面電極３と、受光面側電極４と、第一の反射防止膜２上に形成された第二の反射防止膜６と、封止材７と、透明基板８と、保護基板９と、を備える。なお、図６においてサンプル１と共通する部材についてはサンプル１（図１）と同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００７８】
このように形成された実施の形態６にかかる太陽電池モジュールは、液相からなる反射防止膜材から形成された第二の反射防止膜６を備えるとともに、液相からなる反射防止膜材料や分散液が半導体基板１まで浸透することによる欠陥準位の形成が防止され、太陽電池の出力電気的特性の一つである曲線因子を低下させること無く、短絡電流と光電変換効率とに優れた太陽電池モジュールである。
【００７９】
つぎに、以上のように構成された実施の形態６にかかる太陽電池セルの製造方法について図７−１〜図７−４を参照して説明する。まず、体積抵抗率が１〜５Ω・ｃｍのｐ型多結晶シリコン基板を、加熱したアルカリ溶液中に浸漬して表面をエッチングすることにより、シリコン基板の切り出し時に発生してｐ型多結晶シリコン基板表面近くに存在するダメージ領域を取り除いた。そして、このようにしてアルカリ溶液による異方性エッチングを用いて表面の疎面化を行った後、このｐ型多結晶シリコン基板をオキシ塩化リン（ＰＯＣｌ３）ガス雰囲気中、約８００〜９００℃で加熱することにより、ｐ型多結晶シリコン基板表面に半導体ｐｎ接合を形成した。
【００８０】
つぎに、このｐ型多結晶シリコン基板をフッ化水素酸水溶液中に浸漬し、ｐ型多結晶シリコン基板表面に形成されたリンガラスを除去して、ｐｎ接合を有する半導体基板１を得た。この半導体基板１上に、プラズマ支援化学蒸気堆積（ＰＥＣＶＤ：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）法により、シリコン窒素化膜を形成し、第一の反射防止膜２を得た。このシリコン窒素化膜（第一の反射防止膜２）の屈折率をエリプソメーターによって測定したところ、約２．３であった。
【００８１】
つぎに、半導体基板１の裏面およびその受光面にそれぞれアルミ粉末および銀を含むペーストを印刷したのち、焼成して裏面電極３と受光側電極４とを形成して、太陽電池セルを作製した（図７−１）。
【００８２】
つぎに、作製された太陽電池セルの受光面側電極４部分を電極部保護層５ｅであるマスキングテープにより覆って保護し、受光面側電極４を封止した（図７−２）。そして、２重量部の二酸化チタン微粒子分散液を水で１０倍に希釈し、これを受光面側の第一の反射防止膜２であるシリコン窒素化膜の上に第二の反射防止膜としてスプレー法により噴霧塗布した。
【００８３】
ついで、ジルコニア粒子が分散したイソプロパノール溶液を、上記で作製された二酸化チタン微粒子層の上にスプレー法により噴霧塗布し、第二の反射防止膜として二酸化チタン微粒子層の上に約４０ナノメートルのジルコニア粒子層を形成した。ここまでは、サンプル７の太陽電池セルの製造方法と同様である。
【００８４】
これにより、二酸化チタン微粒子層とジルコニア粒子層とが積層されてなる塗布型反射防止膜である第二の反射防止膜６を得た。
【００８５】
第二の反射防止膜６の形成後、受光面側電極４部分に貼付された電極部保護層５ｅであるマスキングテープを剥がし、第二の反射防止膜６の形成面上には、封止材７としてのエチレンビニル酢酸樹脂フィルムと透明基板８としてのガラス基板とこの順で積層配置し、また裏面側には封止材７としてのエチレンビニル酢酸樹脂フィルムと保護基板９としてのポリエチレンテレフタラート樹脂とこの順で積層配置し、表裏両面から圧力を加えながら真空下、１００〜２００℃で加熱することにより（図７−３）、サンプル９の太陽電池モジュールを作製した。
【００８６】
このようにして作製したサンプル９の太陽電池モジュールについて、太陽電池出力特性として、サンプル１の太陽電池セルと同様に光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。
【００８７】
また、比較試料として、二酸化チタン微粒子層とジルコニア粒子層とが積層されてなる第二の反射防止膜６を形成しないこと以外はサンプル９と同様にしてサンプル１０の太陽電池モジュールを作製した。また、サンプル８の太陽電池セルについて、太陽電池出力特性として、光電変換効率（％）、曲線因子（％）、短絡電流密度（ｍＡ／ｃｍ２）、開放電圧（Ｖ）を測定した。サンプル１０とサンプル９との太陽電池特性の差を表６に示す。
【００８８】
【表６】
0005014223.tif 000007
【００８９】
表６からわかるように、電極部保護層５ｅとしてのマスキングテープにより受光面側電極４を保護して塗布型反射防止膜である第二の反射防止膜６を塗布形成したサンプル９の太陽電池モジュールでは、サンプル１０の太陽電池モジュールと比較して、第二の反射防止膜６を塗布することによって曲線因子は低下せず、短絡電流密度の増加のみが生じ、サンプル１０の太陽電池モジュールよりも向上させることができた。
【００９０】
以上のような実施の形態６にかかる太陽電池モジュールの製造方法によれば、塗布型反射防止膜である第二の反射防止膜６を形成する際に、マスキングテープからなる電極部保護層５ｅを受光側電極４上に形成して受光面側電極４を封止するため、その後の太陽電池モジュールの製造過程において液相からなる反射防止膜材料や分散液が受光面側電極４と半導体基板１との間に侵入、浸透することに起因した半導体基板１内における欠陥準位の形成を防いで塗布型反射防止膜を形成することができる。これにより、塗布型反射防止膜である第二の反射防止膜６を形成しない太陽電池モジュールとの比較において、太陽電池の出力電気的特性の一つである曲線因子をほぼ低下させること無く、短絡電流密度と光電変換効率とを向上させることができる、という従来にない顕著な効果を奏するものであり、太陽電池特性の劣化、特に曲線因子の劣化を防ぎながら光反射が低減することによる短絡電流の増大した太陽電池特性を有する太陽電池モジュールを作製することができる。
【００９１】
なお、上述した実施の形態１〜実施の形態６において、第二の反射防止膜６には、ジルコニア、チタニア、酸化シリコン、酸化インジウム、酸化タングステン、酸化マグネシウム、酸化イットリウム、酸化錫、五酸化アンチモン、酸化セシウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、酸化アルミ、酸化亜鉛、炭化珪素、フッ化マグネシウム、硫化亜鉛、硫化セレン、窒化ガリウム、窒化アルミニウムおよび窒素化ホウ素からなる群より選択される一種の粒子であり粒子径が５ｎｍ〜３００ｎｍである粒子からなる第１の膜、または前記の群より選択される二種以上の粒子であり粒子径が５ｎｍ〜３００ｎｍである粒子の混合物からなる第２の膜、または前記第１の膜および／または前記第２の膜の積層膜を用いることができる。これにより、低温、低衝撃で第二の反射防止膜６を形成することができ、太陽電池特性への悪影響が小さく、透明性が高いため、大きな反射防止効果が得られる。
【００９２】
また、なお、上述した実施の形態１〜実施の形態６において、第二の反射防止膜６には、ジルコニア、チタニア、酸化シリコン、酸化インジウム、酸化タングステン、酸化マグネシウム、酸化イットリウム、酸化錫、五酸化アンチモン、酸化セシウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、酸化アルミ、酸化亜鉛、炭化珪素、フッ化マグネシウム、硫化亜鉛、硫化セレン、窒化ガリウム、窒化アルミニウムおよび窒素化ホウ素からなる群より選択される一種のアモルファス膜、または前記の群より選択される二種以上のアモルファス膜の積層膜を用いることができる。これにより、低温、低衝撃で第二の反射防止膜６を形成することができ、太陽電池特性への悪影響が小さく、透明性が高く信頼性の高い反射防止効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００９３】
以上のように、本発明にかかる太陽電池セルの製造方法は、液相からなる反射防止膜材から形成される反射防止膜により光反射を低減させることにより短絡電流を増大した、太陽電池特性に優れた太陽電池セルを形成する場合に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの概略構造を示す断面図である。
【図２−１】本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの製造方法を説明するための断面図である。
【図２−２】本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの製造方法を説明するための断面図である。
【図２−３】本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの製造方法を説明するための断面図である。
【図２−４】本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの製造方法を説明するための断面図である。
【図２−５】本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルの製造方法を説明するための断面図である。
【図３】本発明の実施の形態３にかかる太陽電池セルの概略構成を示す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態５にかかる太陽電池セルの概略構成を示す断面図である。
【図５−１】本発明の実施の形態５にかかる太陽電池セルの製造方法を説明するための断面図である。
【図５−２】本発明の実施の形態５にかかる太陽電池セルの製造方法を説明するための断面図である。
【図５−３】本発明の実施の形態５にかかる太陽電池セルの製造方法を説明するための断面図である。
【図６】本発明の実施の形態６にかかる太陽電池モジュールの概略構成を示す断面図である。
【図７−１】本発明の実施の形態６にかかる太陽電池モジュールの製造方法を説明するための断面図である。
【図７−２】本発明の実施の形態６にかかる太陽電池モジュールの製造方法を説明するための断面図である。
【図７−３】本発明の実施の形態６にかかる太陽電池モジュールの製造方法を説明するための断面図である。
【図７−４】本発明の実施の形態６にかかる太陽電池モジュールの製造方法を説明するための断面図である。
【符号の説明】
【００９５】
１  半導体基板
２  第一の反射防止膜２
３  裏面電極３
４  受光面側電極
５、５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ  電極部保護層
６  第二の反射防止膜
７  封止材
８  透明基板
９  保護基板
【図１】
0005014223.tif 000008
【図２−１】
0005014223.tif 000009
【図２−２】
0005014223.tif 000010
【図２−３】
0005014223.tif 000011
【図２−４】
0005014223.tif 000012
【図２−５】
0005014223.tif 000013
【図３】
0005014223.tif 000014
【図４】
0005014223.tif 000015
【図５−１】
0005014223.tif 000016
【図５−２】
0005014223.tif 000017
【図５−３】
0005014223.tif 000018
【図６】
0005014223.tif 000019
【図７−１】
0005014223.tif 000020
【図７−２】
0005014223.tif 000021
【図７−３】
0005014223.tif 000022
【図７−４】
0005014223.tif 000023