(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動板と、
前記可動板の平面視にて、前記可動板を介して互いに対向して設けられ、前記可動板を回動可能に支持する１対の支持部と、
前記各支持部と前記可動板とを連結する１対の連結部と、
前記可動板を回動させる駆動手段とを有し、
前記各連結部は、前記可動板の平面視にて、前記支持部から前記可動板と反対側へ向けて延出する軸部と、前記支持部と反対側に位置する該軸部の端部から前記可動板側へ向けて折り返して形成され、前記軸部の端部と前記可動板の回動中心軸から離間した離間部とを連結する折り返し部とを有し、
前記折り返し部は、前記可動板の平面視にて、前記軸部の端部から前記可動板の回転中心軸に対して互いに反対方向に向けて２つに分岐し、該分岐した先端のそれぞれが、前記可動板へ向けて折り返されて形成され、前記軸部の先端と前記可動板の回動中心軸から互いに反対方向へ離間した１対の前記離間部のそれぞれとを連結することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記１対の離間部は、前記可動板の平面視にて、前記回動中心軸に対して対称的に位置している請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記１対の離間部は、それぞれ、前記可動板の前記回動中心軸から遠位に位置している請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記折り返し部は、前記回動中心軸を介して対向するよう設けられた１対の長尺部を有し、該１対の長尺部は、それぞれ、前記回動中心軸と略平行な方向に沿って設けられている請求項１ないし３のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記折り返し部は、前記１対の長尺部の前記可動板と反対側の端部同士を連結する接続部を有し、該接続部は、前記可動板の平面視にて、前記回動中心軸と直交する方向に延在している請求項４に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記各連結部の前記軸部は、互いに同軸的に設けられている請求項１ないし５のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項７】
前記駆動手段は、前記１対の折り返し部に沿って設けられたコイルと、前記可動板の平面視にて、前記回動中心軸に対して直交する向きの磁界を発生する磁界発生部とを備え、前記コイルに、周期的に変化する電圧を印加することにより、前記１対の軸部を捩り変形させつつ前記可動板を回動させるよう構成されている請求項１ないし６のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項８】
前記磁界発生部は、前記可動板の平面視にて、前記回動中心軸に直交する方向に前記可動板を介して対向配置された１対の永久磁石を有し、前記１対の永久磁石は、対向する面側同士が互いに異なる極性となっている請求項７に記載のアクチュエータ。
【請求項９】
前記駆動手段は、前記可動板および前記折り返し部に対して対向配置された電極を有し、該電極への通電により前記電極と前記可動板との間に発生する静電引力を利用して、前記可動板を回動させるよう構成されている請求項１ないし６のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
前記可動板の一方の板面には、光反射性を有する光反射部が設けられている請求項１ないし１０のいずれかに記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
光反射性を有する光反射部を備える可動板と、
前記可動板の平面視にて、前記可動板を介して互いに対向して設けられ、前記可動板を回動可能に支持する１対の支持部と、
前記各支持部と前記可動板とを連結する１対の連結部と、
前記可動板を回動させる駆動手段とを有し、
前記各連結部は、前記可動板の平面視にて、前記支持部から前記可動板と反対側へ向けて延出する軸部と、前記支持部と反対側に位置する該軸部の端部から前記可動板へ向けて折り返して形成され、前記軸部の端部と前記可動板の回動中心軸から離間した離間部とを連結する折り返し部とを有し、
前記折り返し部は、前記可動板の平面視にて、前記軸部の端部から前記可動板の回転中心軸に対して互いに反対方向に向けて２つに分岐し、該分岐した先端のそれぞれが、前記可動板へ向けて折り返されて形成され、前記軸部の先端と前記可動板の回動中心軸から互いに反対方向へ離間した１対の前記離間部のそれぞれとを連結することを特徴とする光スキャナ。
【請求項１２】
光反射性を有する光反射部を備える可動板と、
前記可動板の平面視にて、前記可動板を介して互いに対向して設けられ、前記可動板を回動可能に支持する１対の支持部と、
前記各支持部と前記可動板とを連結する１対の連結部と、
前記可動板を回動させる駆動手段とを有し、
前記各連結部は、前記可動板の平面視にて、前記支持部から前記可動板と反対側へ向けて延出する軸部と、前記支持部と反対側に位置する該軸部の端部から前記可動板へ向けて折り返して形成され、前記軸部の端部と前記可動板の回動中心軸から離間した離間部とを連結する折り返し部とを有し、
前記折り返し部は、前記可動板の平面視にて、前記軸部の端部から前記可動板の回転中心軸に対して互いに反対方向に向けて２つに分岐し、該分岐した先端のそれぞれが、前記可動板へ向けて折り返されて形成され、前記軸部の先端と前記可動板の回動中心軸から互いに反対方向へ離間した１対の前記離間部のそれぞれとを連結する光スキャナを備えることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レーザープリンタ等にて光走査により描画を行うための光スキャナとして、捩り振動子で構成されたアクチュエータを用いたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１には、反射ミラーと、反射ミラーを支持する固定枠部と、反射ミラーと固定枠部とを連結する１対のバネ部とを備えるアクチュエータが開示されている。このアクチュエータでは、各バネ部が、反射ミラーと間隔を隔てて設けられた連結体と、反射ミラーと連結体とを連結する第１のバネ部と、第１のバネ部と反対側で連結体と固定枠部とを連結する第２のバネ部を有している。
このようなアクチュエータは、例えば、雰囲気温度や、反射ミラーへ照出される光などによって昇温し、反射ミラーや、各バネ部が熱膨張してしまう。特許文献１のアクチュエータでは、バネ部が、固定枠部と反射ミラーとの間に設けられているため、第１のバネ部および第２のバネ部の、その長手方向への変位が阻害されてしまう。
【０００３】
そのため、各バネ部が、熱膨張による変形を緩和するように湾曲、座屈し、反射ミラーがその厚さ方向へ変位してしまう。その結果、反射ミラーの回動中心軸がずれてしまい、所望の回動特性を発揮することができない。
特に、特許文献１のアクチュエータを光スキャナとして用いた場合などには、反射ミラーの回動中心軸がずれることにより、光源から反射ミラーまでの光路長が変化してしまい、反射ミラーで反射した反射光を対象物の所望の位置に走査させることができない。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１９１９５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、環境温度に対する影響を緩和または防止し、所望の振動特性を発揮することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、可動板と、
前記可動板の平面視にて、前記可動板を介して互いに対向するよう設けられ、前記可動板を回動可能に支持する１対の支持部と、
前記各支持部と前記可動板とを連結する１対の連結部と、
前記可動板を回動させる駆動手段とを有し、
前記各連結部は、前記可動板の平面視にて、前記支持部から前記可動板と反対側へ向けて延出する軸部と、該軸部の先端から前記可動板側へ向けて折り返すよう形成され、前記軸部の先端と前記可動板の回動中心軸から離間した離間部とを連結する折り返し部とを有することを特徴とする。
これにより、環境温度に対する影響を緩和または防止し、所望の振動特性を発揮することができるアクチュエータを提供することができる。
【０００７】
本発明のアクチュエータでは、前記折り返し部は、前記可動板の平面視にて、前記軸部の先端から反対方向へ向けて分岐し、該分岐した先端のそれぞれが、前記可動板へ向けて折り返すよう形成され、前記軸部の先端と前記可動板の回動中心軸から互いに反対方向へ離間した１対の前記離間部のそれぞれとを連結することが好ましい。
これにより、可動板を回動中心軸に対して両側から支持することができ、よって、可動板の挙動（回動時の挙動）が安定する。
【０００８】
本発明のアクチュエータでは、前記１対の離間部は、前記可動板の平面視にて、前記回動中心軸に対して対称的に位置していることが好ましい。
これにより、可動板を回動中心軸に対して対称的に回動させることができ、アクチュエータの回動特性が向上する。
本発明のアクチュエータでは、前記１対の離間部は、それぞれ、前記可動板の前記回動中心軸から遠位に位置していることが好ましい。
これにより、可動板をバランスよく支持するとともに、回動に伴う可動板の撓みや反りを抑制することができる。その結果、アクチュエータの回動特性が向上する。
【０００９】
本発明のアクチュエータでは、前記折り返し部は、前記回動中心軸を介して対向するよう設けられた１対の長尺部を有し、該１対の長尺部は、それぞれ、前記回動中心軸と略平行な方向に沿って設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエータの熱膨張をより効果的に緩和または防止することができる。その結果、アクチュエータは、環境温度によらず、所望の回動特性を発揮・維持することができる。
【００１０】
本発明のアクチュエータでは、前記折り返し部は、前記１対の長尺部の前記可動板と反対側の端部同士を連結する接続部を有し、該接続部は、前記可動板の平面視にて、前記回動中心軸と直交する方向に延在していることが好ましい。
これにより、比較的に簡単な構成で、接続部を介して、軸部と１対の長尺部とを接続することができる。
【００１１】
本発明のアクチュエータでは、前記各連結部の前記軸部は、互いに同軸的に設けられていることが好ましい。
これにより、１対の軸部を軸として、可動板を円滑に回動させることができ、優れた回動特性を発揮することができる。
本発明のアクチュエータでは、前記駆動手段は、前記１対の折り返し部に沿って設けられたコイルと、前記可動板の平面視にて、前記回動中心軸に対して直交する向きの磁界を発生する磁界発生部とを備え、前記コイルに、周期的に変化する電圧を印加することにより、前記１対の軸部を捩り変形させつつ前記可動板を回動させるよう構成されていることが好ましい。
これにより、１対の永久磁石により発生する磁界とコイル内を流れる電流とが作用する領域を比較的大きくすることができ、よって、省電力化を図りつつ、大きな駆動力で可動板を回動させることができる。
【００１２】
本発明のアクチュエータでは、前記磁界発生部は、前記可動板の平面視にて、前記回動中心軸に直交する方向に前記可動板を介して対向配置された１対の永久磁石を有し、前記１対の永久磁石は、対向する面側同士が互いに異なる極性となっていることが好ましい。
これにより、極めて簡単に、コイルの周辺に磁界を発生させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記駆動手段は、前記可動板および前記折り返し部に対して対向配置された電極を有し、該電極への通電により前記電極と前記可動板との間に発生する静電引力を利用して、前記可動板を回動させるよう構成されていることが好ましい。
これにより、省電力化を図りつつ、可動板を大きい駆動力で回動させることができる。
本発明のアクチュエータでは、前記可動板の一方の板面には、光反射性を有する光反射部が設けられていることが好ましい。
これにより、アクチュエータを光スキャナとして用いることができる。
【００１３】
本発明の光スキャナは、光反射性を有する光反射部を備える可動板と、
前記可動板の平面視にて、前記可動板を介して互いに対向するよう設けられ、前記可動板を回動可能に支持する１対の支持部と、
前記各支持部と前記可動板とを連結する１対の連結部と、
前記可動板を回動させる駆動手段とを有し、
前記各連結部は、前記可動板の平面視にて、前記支持部から前記可動板と反対側へ向けて延出する軸部と、該軸部の先端から前記可動板へ向けて折り返すよう形成され、前記軸部の先端と前記可動板の回動中心軸から離間した離間部とを連結する折り返し部とを有することを特徴とする。
これにより、環境温度に対する影響を緩和または防止し、所望の振動特性を発揮することができる光スキャナを提供することができる。
【００１４】
本発明の画像形成装置は、光反射性を有する光反射部を備える可動板と、
前記可動板の平面視にて、前記可動板を介して互いに対向するよう設けられ、前記可動板を回動可能に支持する１対の支持部と、
前記各支持部と前記可動板とを連結する１対の連結部と、
前記可動板を回動させる駆動手段とを有し、
前記各連結部は、前記可動板の平面視にて、前記支持部から前記可動板と反対側へ向けて延出する軸部と、該軸部の先端から前記可動板へ向けて折り返すよう形成され、前記軸部の先端と前記可動板の回動中心軸から離間した離間部とを連結する折り返し部とを有する光スキャナを備えることを特徴とする。
これにより、優れた描画特性を発揮する画像形成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞
まず、本発明のアクチュエータの第１実施形態を説明する。
図１は、本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す斜視図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１に示すアクチュエータが備えるコイルに印加する電圧の波形の一例を示す図、図４は、図１に示すアクチュエータの部分省略平面図、図５は、図１に示すアクチュエータの駆動を示す図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言い、図２、図３中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。また、図１に示すように、互いに直交する３軸をそれぞれ、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸とする。また、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向」、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向」、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」とも言う（図２、図４、図７〜図１０、図１２についても同様）。
【００１６】
アクチュエータ１は、図１に示すような基体２と、基体２を支持する対向基板３と、図２に示すような駆動手段４とを有している。以下、これらについて順次説明する。
図１に示すように、基体２は、可動板２１と、可動板２１を回動可能に支持する１対の支持部２２、２３と、各支持部２２、２３と可動板２１とを連結する１対の連結部２４、２５とを備えている。
【００１７】
可動板２１は、ｘ−ｙ平面にて、略長方形状をなしている。また、この可動板２１は、その長手方向が、ｙ軸方向に沿って設けられている。このような可動板２１の上面には、光反射性を有する光反射部２１１が設けられている。このような光反射部２１１を設けることにより、アクチュエータ１を光スキャナとして用いることができる。
なお、可動板２１の形状としては、特に限定されず、例えば、ｘ−ｙ平面にて、円状をなしていてもよい。
【００１８】
１対の支持部２２、２３は、ｘ軸方向にて、可動板２１を介して互いに対向するよう設けられている。具体的には、可動板２１の図１中左側に支持部２２、右側に支持部２３が設けられている。
このような支持部２２、２３は、それぞれ、可動板２１および連結部２４、２５の厚さ（すなわち、Ｚ軸方向の長さ）よりも厚くなっており、その下面が可動板２１の下面よりも図２中下側に位置している。このような支持部２２、２３の下面は、それぞれ、対向基板３の上面と接合している。
【００１９】
本実施形態では、支持部２２、２３は、ｘ−ｙ平面にて、略正方形状をなしている。なお、ｘ−ｙ平面での支持部２２、２３の形状は、特に限定されず、例えば、円形状であってもよいし、５角形以上の多角形状であってもよい。
図１に示すように、連結部２４、２５は、それぞれ、ｘ−ｙ平面にて、略「Ｅ」字状をなしている。このような連結部２４は、可動板２１よりも左側に位置し、可動板２１と支持部２２とを連結している。同様に、連結部２５は、可動板２１よりも右側に位置し、可動板２１と支持部２３とを連結している。
【００２０】
連結部２４は、支持部２２から可動板２１と反対側（すなわち、図１中左側）に向けて延出する軸部２４１を有しており、これと同様に、連結部２５は、支持部２３から可動板２１と反対側（すなわち、図１中右側）に向けて延出する軸部２５１を有している。
軸部２４１、２５１は、それぞれ、長手形状をなしていてｘ軸方向に延在している。また、軸部２４１、２５１は、それぞれ、弾性変形可能である。このような軸部２４１、２５１は、互いに同軸的に設けられており、この軸（回動中心軸Ｘ）を中心として、可動板２１が回動するよう構成されている。軸部２４１、２５１を同軸的に設けることにより、可動板２１をその軸、すなわち、回動中心軸Ｘまわりに円滑に回動させることができ、優れた回動特性を発揮することができる。
【００２１】
本実施形態では、軸部２４１、２５１は、互いに同一形状かつ同一寸法をなしている。なお、軸部２４１、２５１の形状は、これに限定されず、例えば、軸部２４１、２５１の長手方向の長さが、互いに異なっていてもよいし、断面形状が異なっていてもよい。
また、図１に示すように、連結部２４は、軸部２４１の先端（すなわち、図１中左側の端）から可動板２１側へ折り返すように形成され、軸部２４１の先端と可動板２１とを連結する折り返し部２４２を有している。
【００２２】
折り返し部２４２は、ｘ−ｙ平面にて、回動中心軸Ｘに対して対称的に設けられている。また、折り返し部２４２は、軸部２４１の先端からｙ軸方向へ、かつ、互いに反対方向へ分岐し、この分岐した端が、それぞれ、途中でｘ軸方向へ、かつ、可動板２１へ向けて向きを変えるよう形成されている。すなわち、折り返し部２４２は、ｘ−ｙ平面にて、略「コ」字状をなしている。これにより、可動板２１を回動中心軸Ｘに対して両側から支持することができ、よって、可動板２１の挙動（回動時の挙動）が安定する。
【００２３】
具体的には、折り返し部２４２は、ｘ−ｙ平面にて、軸部２４１（すなわち回動中心軸Ｘ）を介して対向するよう設けられた１対の長尺部２４２ａ、２４２ｂと、この長尺部２４２ａ、２４２ｂ同士を接続する接続部２４２ｃとで構成されている。
１対の長尺部２４２ａ、２４２ｂは、それぞれ、ｘ軸方向に沿って設けられている。したがって、１対の長尺部２４２ａ、２４２ｂは、それぞれ、軸部２４１の延在方向と同じ方向に延在している。
【００２４】
長尺部２４２ａは、その右側の端にて、可動板２１の回動中心軸Ｘからｙ軸方向へ離間した離間部２１ａと接続している。これと同様に、長尺部２４２ｂは、その右側の端にて、可動板２１の回動中心軸Ｘからｙ軸方向へ離間した離間部２１ｂと接続している。
このような１対の離間部２１ａ、２２ｂは、ｘ−ｙ平面にて、回動中心軸Ｘに対して対称的に位置している。これにより、可動板２１を回動中心軸Ｘに対して対称的に回動させることができ、可動板２１の挙動が安定する。その結果、アクチュエータ１の回動特性が向上する。
【００２５】
また、１対の離間部２１ａ、２２ｂは、それぞれ、ｘ−ｙ平面にて、可動板２１の回動中心軸Ｘから最も遠位に位置している。これにより、可動板２１をバランスよく支持するとともに、回動に伴う可動板２１の撓みや反りを抑制することができる。その結果、アクチュエータ１の回動特性が向上する。
このような長尺部２４２ａ、２４２ｂは、それぞれ、弾性変形可能であってもよいし、実質的に弾性変形しないものであってもよい。特に、長尺部２４２ａ、２４２ｂが実質的に弾性変形しないものである場合には、長尺部２４２ａ、２４２ｂが、可動板２１の回動時に撓むことがないため、可動板２１の挙動が極めて安定する。
本実施形態では、長尺部２４２ａ、２４２ｂは、互いに同一形状かつ同一寸法をなしている。なお、長尺部２４２ａ、２４２ｂは、互いにことなる形状（平面視形状や断面形状を含む）であってもよい。
【００２６】
接続部２４２ｃは、長手形状をなしていて、ｙ軸方向に沿って延在している。このような接続部２４２ｃは、長尺部２４２ａ、２４２ｂの図１中左側の端同士を接続している。
また、接続部２４２ｃは、長手方向の略中央にて、軸部２４１の先端と接続している。これにより、軸部２４１と１対の長尺部２４２ａ、２４２ｂとが、接続部２４２ｃを介して接続することとなる。特に、本実施形態では、接続部２４２ｃがＹ軸方向に延在するよう形成されているため、比較的簡単な構成で、接続部２４２ｃを介して、軸部２４１と１対の長尺部２４２ａ、２４２ｂとを接続することができる。
【００２７】
一方、連結部２５も、連結部２４が備える折り返し部２４２と同様の構成の折り返し部２５２を有している。すなわち、折り返し部２５２は、ｘ−ｙ平面にて、軸部２５１を介して互いに対向するよう設けられた１対の長尺部２５２ａ、２５２ｂと、この長尺部２５２ａ、２５２ｂ同士を接続する接続部２５２ｃとで構成されている。このような折り返し部２５２は、前述した折り返し部２４２と同様の構成であるため、その説明を省略する。
【００２８】
なお、本実施形態では、連結部２４、２５は、ｘ−ｙ平面にて、可動板２１の重心と交わりｙ軸方向に伸びる線分に対して、対称的に設けられている。
以上のような基体２は、例えば、シリコンを主材料として構成されていて、可動板２１と、支持部２２、２３と、連結部２４、２５とが一体的に形成されている。このように、シリコンを主材料とすることにより、優れた回動特性を実現できるとともに、優れた耐久性を発揮することができる。また、微細な処理が可能であり、アクチュエータ１の小型化を図ることができる。
【００２９】
また、基体２は、後述するように、ＳＯＩ基板等の積層構造を有する基板から、可動板２１と、支持部２２、２３と、連結部２４、２５とを形成したものであってもよい。
以上のような基体２の下面側には、対向基板３が設けられていて、支持部２２、２３の下面と対向基板３の上面とが接合している。対向基板３と支持部２２、２３との接合方法としては、特に限定されず、例えば、接着剤などを介して接合してもよいし、陽極接合などの各種接合方法を用いてもよい。
【００３０】
対向基板３は、板状をなしている。また、対向基板３のＹ軸方向の長さが、基体２のＹ軸方向の長さよりも長くなっていて、アクチュエータ１を上側から見たときに、対向基板３のＹ軸方向の両端部が基体２から露出している。そして、この露出している部分に永久磁石４１、４２が設けられている。
このような対向基板３は、例えば、ガラス、各種セラミックス、シリコン、またはＳｉＯ２を主材料として構成されている。
【００３１】
次いで、駆動手段４について説明する。
図２に示すように、駆動手段４は、前述した１対の永久磁石４１、４２と、基体２に設けられたコイル４３と、コイル４３に電圧を印加する電源回路４４とを有している。
コイル４３は、基体２の下面に設けられている。すなわち、コイル４３は、光反射部２１１が設けられた面と反対側の面に設けられている。そのため、光反射部２１１での光走査がコイル４３によって阻害されてしまうことを確実に防止することができる。
【００３２】
また、コイル４３は、折り返し部２４２、２５２に沿って設けられている。言い換えれば、コイル４３は、基体２の外周部（外周近傍）に沿って設けられている。したがって、コイル４３は、ｘ軸方向に沿って延在する１対のｘ軸方向延在部４３１、４３２と、ｙ軸方向に沿って延在する１対のｙ軸方向延在部とを有している。
以上のようなコイル４３には、電源回路４４が電気的に接続されていて、電源回路４４によって、コイル４３に所望の電圧を印加できるようになっている。
【００３３】
永久磁石４１、４２は、ｙ軸方向にて基体２を介して対向して設けられている。具体的には、図２にて、基体２の左側に永久磁石４１、右側に永久磁石４２が設けられている。
このような永久磁石４１、４２は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って延在するよう設けられており、永久磁石４１と永久磁石４２とで形成される空間内に、基体２の全域が含まれている。また、永久磁石４１、４２は、対向する面側同士が、互いに反対の極性となっていて、１対の永久磁石４１、４２間にｙ軸方向の磁界Ｈが発生している。このように、１対の永久磁石４１、４２を用いることにより、極めて簡単に、コイル４３に作用させる磁界Ｈを発生させることができる。
【００３４】
本実施形態では、図２に示すように、永久磁石４１の左の面側がＮ極、右の面側がＳ極となっており、永久磁石４２の左の面側がＮ極、右の面側がＳ極となっている。
永久磁石４１、４２のｘ軸方向の長さは、それぞれ、基体２のｘ軸方向の長さよりも若干長くなっている。これにより、コイル４３のｘ軸方向延在部４３１、４３２の全域に磁界Ｈを作用させ、可動板２１を効率的に回動させることができる。
【００３５】
また、図２に示すように、永久磁石４１、４２の上面は、それそれ、コイル４３よりも上側に位置し、永久磁石４１、４２の下面は、それそれ、コイル４３よりも下側に位置している。これにより、可動板２１の回動に伴って、Ｘ軸方向延在部４３１、４３２がｚ軸方向に変位しても、ｘ軸方向延在部４３１、４３２に磁界Ｈを確実に作用させることができる。その結果、可動板２１を円滑に回動させることができる。
【００３６】
このような永久磁石４１、４２としては、特に限定されず、例えば、ネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石などを用いることができる。
以上のような構成のアクチュエータ１は、次のようにして駆動する。なお、図４は、アクチュエータ１の平面図であるが、説明の便宜上、基体２の図示を省略している。
例えば、電源回路４４により、図３に示すような交番電圧をコイル４３に印加する。すると、図４に示すように、コイル４３に時計回りの電流Ｉ１が流れる第１の状態と、反時計回りの電流Ｉ２が流れる第２の状態とが交互に切り換わる。
【００３７】
第１の状態では、電流Ｉ１と磁界Ｈとの作用により、ｘ軸方向延在部４３１に上向きの力（電磁力）が加わるとともに、ｘ軸方向延在部４３２に下向きの力が加わる。この力により、軸部２４１、２５１が捩り変形しながら、長尺部２４２ａ、２５２ａが上側に、長尺部２４２ｂ、２５２ｂが下側に変位する。その結果、可動板２１が図５（ａ）に示すように、回動中心軸Ｘを中心として時計回りに傾斜する。
【００３８】
一方、第２の状態では、電流Ｉ２と磁界Ｈとの作用により、ｘ軸方向延在部４３１に下向きの力が加わるとともに、ｘ軸方向延在部４３２に上向きの力が加わる。この力により、軸部２４１、２５１が捩り変形しながら、長尺部２４２ａ、２５２ａが下側に、長尺部２４２ｂ、２５２ｂが上側に変位する。その結果、可動板２１が図５（ｂ）に示すように、回動中心軸Ｘを中心として反時計回りに傾斜する。
【００３９】
このような第１の状態と第２の状態とが交互に繰り返されることにより、可動板２１が回動中心軸まわりに回動することとなる。
特に、本実施形態では、ｘ軸方向延在部４３１、４３２を流れる電流Ｉ１、Ｉ２の向きと、磁界Ｈの向きとを直交させることができ、より効率的に前述の電磁力を発生させることができる。これにより、可動板２１を円滑かつ効率的に回動させることができる。
【００４０】
また、基体２の外周部に沿ってコイル４３を設けたため、ｘ軸方向延在部４３１、４３２のＸ軸方向の長さを比較的長くすることができる。これにより、磁界Ｈとｘ軸方向延在部４３１、４３２を流れる電流Ｉ１、Ｉ２とが作用する領域を比較的大きくすることができ、その結果、省電力化を図りつつ、大きな駆動力で可動板２１を回動させることができる。
【００４１】
なお、駆動手段４の構成としては、前述したものに限定されず、例えば、１対の永久磁石４１、４２に変えて電磁石を用いてもよい。電磁石としては、例えば、ｘ−ｙ平面視にて、基体２を介して両端が対向するように設けられた磁心と、磁心に巻きつけられたコイルを有していて、コイルに通電することにより、磁心の両端部の間に磁界を発生させるものが挙げられる。
【００４２】
また、１対の永久磁石４１、４２に変えて、１つの永久磁石と、この永久磁石を磁化方向（すなわち、両極を結ぶ線分と平行な方向）にて狭持するよう設けられた１対のヨークとを用い、各ヨークの永久磁石と反対側の端部が、ｘ−ｙ平面にて、基体２を介して互いに対向するよう設けてもよい。
また、電源回路４４によりコイル４３に印加する電圧としては、交番電圧に限定されず、例えば、直流電圧を間欠的に印加するものであってもよい。
【００４３】
以上、アクチュエータ１の構成について詳述した。
このようなアクチュエータ１では、基体２の下側に設けられたコイル４３に通電することにより駆動するよう構成されているが、このコイル４３への通電により、コイル４３が発熱し、この熱により、アクチュエータ１が昇温する。また、例えば、アクチュエータ１を光スキャナとして用いた場合には、光反射部２１１で反射しきれなかった光が熱に変換され、この熱により、アクチュエータ１が昇温する。また、雰囲気温度の変化などによっても、アクチュエータ１が昇温する。
これらのような熱の影響でアクチュエータ１が昇温すると、基体２が熱膨張を起こしてしまう場合があるが、本発明のアクチュエータにあっては、このような基体の熱膨張を許容することができ、熱膨張が起こったとしても、所望の振動特性を発揮、維持することができる。
【００４４】
以下、これについて詳述する。
基体２が熱膨張を起こすと、ｘ軸方向に延在している軸部２４１、２４２、長尺部２４２ａ、２４２ｂ、２５２ａ、２５２ｂが、それぞれ、ｘ軸方向（すなわち長手方向）に伸張する。
軸部２４１は、その基端部が支持部２２に支持されているため、前記伸張により、軸部２４１の先端部（接続部２４２ｃ側の端部）が、可動板２１と反対側（すなわち図１中左側）に向けて変位する。
【００４５】
同様に、軸部２５１は、基端部が支持部２３に支持（固定）されているため、前記伸張により、軸部２５１の先端部（接続部２５２ｃ側の端部）が、可動板２１と反対側（すなわち、図１中右側）に向けて変位する。
長尺部２４２ａ、２５２ａについて言えば、長尺部２４２ａが可動板２１側へ伸張しようとする力と、長尺部２５２ａが可動板２１側へ伸張しようとする力とが反発し、その結果、前記伸張により、長尺部２４２ａの接続部２４２ｃ側の端が図１中左側に向けて変位するとともに、長尺部２５２ａの接続部２５２ｃ側の端が図１中右側に向けて変位する。
【００４６】
長尺部２４２ｂ、２５２ｂについても同様に、前記伸張により、長尺部２４２ｂの接続部２４２ｃ側の端が図１中左側に向けて変位するとともに、長尺部２５２ｂの接続部２５２ｃ側の端が図１中右側に向けて変位する。
以上より、連結部２４について言えば、軸部２４１、長尺部２４２ａおよび長尺部２４２ｂのそれぞれの図１中左側の端が、接続部２４２ｃとともに、図１中左側へ向けて変位する。アクチュエータ１は、接続部２４２ｃの図１中左側に、前記変位を阻害する部材等を一切設けられておらず、熱膨張による前記変位を確実に許容する。
【００４７】
同様に、連結部２５について言えば、軸部２５１、長尺部２５２ａおよび長尺部２５２ｂのそれぞれの図１中右側の端が、接続部２５２ｃとともに、図１中右側へ向けて変位する。
以上のように、連結部２４、２５の熱膨張が許容されることにより、軸部２４１、２４２、長尺部２４２ａ、２４２ｂ、２５２ａ、２５２ｂが、ｚ軸方向に撓んだり、座屈したりすることを緩和または防止することができる。その結果、可動板２１のｚ軸方向への不本意な変位を緩和または防止することができ、環境温度によらず回動中心軸Ｘをほぼ一定に保つことができる。その結果、アクチュエータ１は、環境温度によらず、所望の回動特性を発揮・維持することができる。
【００４８】
特に、本実施形態では、長尺部２４２ａ、２４２ｂがｘ軸方向へ延在し、軸部２４１、１対の長尺部２４２ａ、２４２ｂが互いに平行となるよう設けられている。そのため、これら３つの部分の熱膨張による伸張方向をｘ軸方向に揃えることができ、これにより、基体２の熱膨張をより効果的に許容することができる。その結果、アクチュエータ１は、環境温度によらず、所望の回動特性を発揮・維持することができる。
【００４９】
また、前述したように、可動板２１のｚ軸方向への不本意な変位を緩和または防止することができるため、アクチュエータ１を光スキャナに用いた場合には、光源から光反射部２１１までの光路長（離間距離）および光反射部２１１から走査対象物までの光路長を所望の距離に保つことができる。その結果、アクチュエータ１は、環境温度によらず、所望の走査特性を維持することができる。
【００５０】
なお、本実施形態では、基体２の下面にコイル４３を設け、このコイル４３への通電により、可動板２１を回動させるよう構成されている。前述したように、コイル４３は、通電により発熱するため、基体２の熱膨張の一因となるものである。したがって、このような構成のコイル４３（駆動手段４）と基体２とを組み合わせることで、アクチュエータ１は、省電力化を図りつつ、大きい駆動力を得ることができ、かつ、環境温度によらず、所望の回動特性を発揮・維持することができる。
【００５１】
以上のようなアクチュエータ１は、例えば、次のようにして製造することができる。
図６は、アクチュエータ１の製造方法を示す図（図１中Ａ−Ａ線断面図に対応する図）である。なお、以下では、説明の便宜上、図６中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
［Ａ１］まず、図６（ａ）に示すように、基体２を形成するためのＳＯＩ基板７を用意する。このようなＳＯＩ基板７は、Ｓｉ層７１と、ＳｉＯ２層７２と、Ｓｉ層７３とが積層した積層構造をなしている。
【００５２】
次いで、図６（ｂ）に示すように、Ｓｉ層７１の上面に、可動板２１と、支持部２２、２３と、連結部２４、２５との平面視形状に対応する形状をなすレジストマスクＭ１を形成するとともに、Ｓｉ層７３の下面に、支持部２２、２３の平面視形状に対応する形状をなすレジストマスクＭ２を形成する。
次いで、レジストマスクＭ１を介して、Ｓｉ層７１をエッチングする。その後、レジストマスクＭ１を除去する。これにより、図６（ｃ）に示すように、可動板２１と、支持部２２、２３の一部と、連結部２４、２５とが一体的に形成されたＳｉ層７１が得られる。なお、このとき、ＳｉＯ２層７２は、エッチングのストップ層として機能する。このようなエッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、以下の各工程におけるエッチングにおいても、同様の方法を用いることができる。
【００５３】
次いで、レジストマスクＭ２を介してＳｉ層７３をエッチングする。その後、レジストマスクＭ２を除去する。これにより、図６（ｄ）に示すように、支持部２２、２３の下部分が形成されたＳｉ層７３が得られる。このとき、ＳｉＯ２層７２は、エッチングのストップ層として機能する。
次いで、支持部２２、２３の平面視形状に対応する部分を除いて、ＳｉＯ２層７２を除去することで、図６（ｅ）に示すように、支持部２２、２３の中央部分が形成されたＳｉＯ２層７２を得ることができる。
【００５４】
次いで、図６（ｆ）に示すように、可動板２１の上面に、金属膜を形成し、光反射部２１１を形成する。金属膜の形成方法としては、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、金属箔の接合等が挙げられる。以上より、可動板２１と、支持部２２、２３と、連結部２４、２５とが一体的に形成された基体２が得られる。
また、基体２の下面に、折り返し部２４２、２５２に沿ってコイル４３を設ける。コイル４３は、例えば、導電性を有する線材を巻回して形成する。コイル４３と基体２との接合方法としては、特に限定されず、例えば、接着剤を介して接合してもよい。
【００５５】
［Ａ２］次いで、シリコン基板をエッチングし、所定の形状に形成された対向基板３を用意し、その上面に、例えば接着剤を介して、１対の永久磁石４１、４２を接合する。その後、工程［Ａ１］で得られた基体２が１対の永久磁石４１、４２の間に位置するように、支持部２２、２３の下面と、対向基板３の上面とを接合する。支持部２２、２３と対向基板３との接合方法については特に限定されないが、例えば、接着剤を介して接合してもよいし、直接接合してもよい。以上より、図６（ｇ）に示すようなアクチュエータ１が得られる。
【００５６】
＜第２実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第２実施形態について説明する。
図７は、本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す平面図である。なお、説明の便宜上、図７中の左側を「左」、右側を「右」と言う。
以下、第２実施形態のアクチュエータについて、前述した実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００５７】
本発明の第２実施形態にかかるアクチュエータ１Ａは、連結部２４、２５の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態のアクチュエータ１とほぼ同様である。また、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
なお、連結部２４、２５は、互いに同様の構成であるため、連結部２４について代表して説明し、連結部２５については、その説明を省略する。
【００５８】
図７に示すように、１対の長尺部２４２ａ、２４２ｂは、互いの離間距離（図７中Ｌ１）が可動板２１から接続部２４２ｃ、すなわち、図７中右側から左側に向けて漸増するように設けられている。言い換えれば、１対の長尺部２４２ａ、２４２ｂは、互いの離間距離Ｌ１が、可動板２１から離間するに連れて増加するように設けられている。
このような第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００５９】
＜第３実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第３実施形態について説明する。
図８は、本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す平面図である。なお、説明の便宜上、図８中の左側を「左」、右側を「右」と言う。
以下、第３実施形態のアクチュエータについて、前述した実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６０】
本発明の第３実施形態にかかるアクチュエータ１Ｂは、連結部２４、２５の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態のアクチュエータ１とほぼ同様である。また、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
なお、連結部２４、２５は、互いに同様の構成であるため、連結部２４について代表して説明し、連結部２５については、その説明を省略する。
【００６１】
図８に示すように、１対の長尺部２４２ａ、２４２ｂは、互いの離間距離（図８中Ｌ２）が可動板２１から接続部２４２ｃ、すなわち、図７中右側から左側に向けて漸減するように設けられている。言い換えれば、１対の長尺部２４２ａ、２４２ｂは、互いの離間距離Ｌ２が、可動板２１から離間するに連れて減少するように設けられている。
このような第３実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００６２】
＜第４実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第４実施形態について説明する。
図９は、本発明のアクチュエータの第４実施形態を示す平面図である。
以下、第４実施形態のアクチュエータについて、前述した実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６３】
本発明の第４実施形態にかかるアクチュエータ１Ｃは、連結部２４、２５の構成（形状）が異なる以外は、第１実施形態のアクチュエータ１とほぼ同様である。また、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
なお、連結部２４、２５は、互いに同様の構成であるため、連結部２４について代表して説明し、連結部２５については、その説明を省略する。
【００６４】
図９に示すように、接続部２４２ｃは、ｘ−ｙ平面にて、円弧状をなしている。なお、このような接続部２４２ｃは、曲率半径が全域にわたってほぼ等しくなっていてもよいし、異なる部分を有していてもよい。
このような第３実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００６５】
＜第５実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第５実施形態について説明する。
図１０は、本発明のアクチュエータの第５実施形態を示す平面図、図１１は、図１０に示すアクチュエータの駆動を示す図である。
以下、第５実施形態のアクチュエータについて、前述した実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６６】
本発明の第５実施形態にかかるアクチュエータ１Ｄは、駆動手段の構成が異なる以外は、第１実施形態のアクチュエータ１とほぼ同様である。また、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
駆動手段４Ｄは、可動板２１の下面に設けられた永久磁石４１Ｄと、永久磁石４１Ｄと対向するように対向基板３の上面に設けられたコイル４３Ｄと、コイル４３Ｄに電圧を印加する電源回路４４とを有している。
【００６７】
永久磁石４１Ｄは、板状をなしている。また、永久磁石４１Ｄは、Ｓ極とＮ極とを結ぶ線分がｙ軸と平行となるように設けられている。本実施形態では、永久磁石４１Ｄの長尺部２４２ａ、２５２ａ側がＮ極、長尺部２４２ｂ、２５２ｂ側がＳ極となっている。永久磁石４１Ｄと可動板２１との接合方法としては、特に限定されず、例えば、接着剤を介して接合することができる。
【００６８】
コイル４３Ｄは、ｘ−ｙ平面にて、永久磁石４１Ｄの外周を覆うように設けられている。コイル４３Ｄには、電源回路４４が接続されていて、この電源回路４４により、コイル４３Ｄに所定の電圧を印加することができる。
例えば、電源回路４４によりコイル４３Ｄに図３に示すような交番電圧を印加すると、ｚ軸方向の磁界が発生し、かつ、その磁界の向きが周期的に切り換わる。すなわち、コイル４３Ｄの上側付近がＮ極、下側付近がＳ極となる第１の状態と、コイル４３Ｄの上側付近がＳ極、下側付近がＮ極となる第２の状態とが交互に切り換わる。
【００６９】
以下、アクチュエータ１Ｄの駆動について、図１１に基づいて説明するが、図１１は、図１０中Ｂ−Ｂ線断面図に相当するものである。
前記第１の状態では、図１１（ａ）に示すように、永久磁石４１Ｄの左側が、コイル４３Ｄへの通電により発生する磁界との反発力により上側へ変位するとともに、永久磁石４１Ｄの右側が、前記磁界との吸引力により下側へ変位する。これにより、可動板２１が時計回りに傾斜する。
【００７０】
反対に、前記第２の状態では、図１１（ｂ）に示すように、永久磁石４１Ｄの左側が下側へ変位するとともに、永久磁石４１Ｄの右側が上側へ変位する。これにより、可動板２１が反時計回りに傾斜する。
このような第１の状態と第２の状態とを交互に繰り返すことにより、可動板２１が回動中心軸Ｘまわりに回動する。
このような第５実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００７１】
＜第６実施形態＞
次に、本発明のアクチュエータの第６実施形態について説明する。
図１２は、本発明のアクチュエータの第６実施形態を示す斜視図、図１３は、図１２に示すアクチュエータが備える固定電極に印加する電圧の波形の一例を示す図である。
以下、第６実施形態のアクチュエータについて、前述した実施形態のアクチュエータとの相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００７２】
本発明の第６実施形態にかかるアクチュエータは、駆動手段の構成が異なる以外は、第１実施形態のアクチュエータ１とほぼ同様である。また、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
アクチュエータ１Ｅの駆動手段４Ｅは、対向基板３の上面に設けられた１対の固定電極４５１Ｅ、４５２Ｅと、固定電極４５１Ｅ、４５２Ｅに電圧を印加する電源回路４４とを有している。
【００７３】
固定電極４５１Ｅ、４５２Ｅは、それぞれ、薄膜状をなしている。このような固定電極４５１Ｅ、４５２Ｅは、ｘ−ｙ平面視にて、回動中心軸Ｘを介して対向するように設けられている。具体的には、ｘ−ｙ平面視にて、回動中心軸Ｘよりも長尺部２４２ａ、２５２ａ側に固定電極４５１Ｅが位置し、長尺部２４２ｂ、２５２ｂ側に固定電極４５２Ｅが位置している。
【００７４】
固定電極４５１Ｅは、基体２よりもｘ軸方向の長さが長く、長尺部２４２ａ、２５２ａと、可動板２１の回動中心軸Ｘより長尺部２４２ａ、２５２ａ側の部位とに対向するよう形成されている。
同様に、固定電極４５２Ｅは、基体２よりもｘ軸方向の長さが長く、長尺部２４２ｂ、２５２ｂと、可動板２１の回動中心軸Ｘより長尺部２４２ｂ、２５２ｂ側の部位とに対向するよう形成されている。
【００７５】
このような固定電極４５１Ｅ、４５２Ｅは、電源回路４４に接続されていて、この電源回路４４から所定の電圧が印加されるようになっている。
このような構成のアクチュエータ１Ｅは、例えば、次のようにして駆動する。
例えば、基体２をアースしておき、固定電極４５１Ｅに、図１３（ａ）に示すような波形の電圧を印加し、固定電極４５２Ｅに、図１３（ｂ）に示すような波形の電圧を印加する。
【００７６】
固定電極４５１Ｅに電圧が印加されている状態では、基体２と固定電極４５１Ｅとの間に静電引力が生じ、基体２が固定電極４５１Ｅの方へ引きつけられる。これにより、軸部２４１、２５１すなわち、回動中心軸Ｘを中心として、可動板２１が対向基板３に対して傾斜する（この状態を「第１の状態」という）。
特に、本実施形態では、前述したように、可動板２１のみならず長尺部２４２ａ、２５２ａも固定電極４５１Ｅと対向しているため、固定電極４５１Ｅと基体２とが対向する領域を比較的大きくすることができる。これにより、基体２と固定電極４５１Ｅとの間に生じる静電引力を大きくすることができ、省電力化を図りつつ、可動板２１を大きい駆動力で回動させることができる。このことは、固定電極４５２Ｅについても同様である。
【００７７】
反対に、固定電極４５２Ｅに電圧が印加されている状態では、基体２と固定電極４５２Ｅとの間に静電引力が生じ、基体２が固定電極４５２Ｅの方へ引きつけられる。これにより、回動中心軸Ｘを中心として、可動板２１が対向基板３に対して第１の状態とは反対側へ傾斜する（この状態を「第２の状態」という）。
このような第１の状態と第２の状態とを交互に繰り返すことにより、可動板２１が回動中心軸Ｘまわりに回動する。
【００７８】
なお、基体２は、各固定電極４５１Ｅ、４５２Ｅと対向する面に、絶縁膜（図示せず）が設けられている。これにより、基体２と各固定電極４５１Ｅ、４５２Ｅとの間での短絡が発生するのが好適に防止される。
このような第６実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００７９】
以上、各実施形態に示したアクチュエータは、光反射部を備えているため、例えば、レーザープリンタ、バーコードリーダー、走査型共焦点レーザー顕微鏡、イメージング用ディスプレイ等の画像形成装置に備える光スキャナに好適に適用することができる。なお、本発明の光スキャナは、前述したアクチュエータと同様の構成であるため、その説明を省略する。
【００８０】
ここで、図１４に基づき、画像形成装置の一例として、第１実施形態で示したアクチュエータ１をイメージング用ディスプレイの光スキャナとして用いた場合を説明する。なお、スクリーンＳの長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。また、回動中心軸ＸがスクリーンＳの横方向と平行であり、回動中心軸ＹがスクリーンＳの縦方向と平行である。
【００８１】
画像形成装置（プロジェクタ）９は、レーザーなどの光を照出する光源装置９１と、複数のダイクロイックミラー９２、９２、９２と、１対のアクチュエータ１、１とを有している。
光源装置９１は、赤色光を照出する赤色光源装置９１１と、青色光を照出する青色光源装置９１２と、緑色光を照出する緑色光源装置９１３とを備えている。
【００８２】
各ダイクロイックミラー９２は、赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
このようなプロジェクタ９は、図示しないホストコンピュータからの画像情報に基づいて、光源装置９１（赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３）から照出された光をダイクロイックミラー９２で合成し、この合成された光がアクチュエータ１、１によって２次元的に走査され、スクリーンＳ上でカラー画像を形成するように構成されている。
【００８３】
具体的には、１対のアクチュエータ１、１は、回動中心軸が互いに直交するよう配置されている。そして、ダイクロイックミラー９２で合成された光が、１つ目のアクチュエータ１によってスクリーンＳの横方向に走査（主走査）され、この主走査された光が、２つ目のアクチュエータ１によってさらにスクリーンＳの縦方向に走査（副走査）される。これにより、２次元カラー画像をスクリーンＳ上に形成することができる。
【００８４】
以上、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明のアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。また、各実施形態を好適に組み合わせることもできる。
【００８５】
また、前述した実施形態では、駆動手段として電磁駆動、静電駆動を用いたものを説明したが、可動板を回動させることができれば、これに限定されない。
また、前述した実施形態では、折り返し部が分岐し、可動板と２箇所で接続しているものについて説明したが、これに限定されず、例えは、折り返し部が分岐しておらず、可動板と１箇所で接続しているもの、すなわち、折り返し部が１つの長尺部を有するものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明のアクチュエータの第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１に示すアクチュエータが備えるコイルに印加する電圧の波形の一例を示す図である。
【図４】図１に示すアクチュエータの部分省略平面図である。
【図５】図１に示すアクチュエータの駆動を示す図である。
【図６】アクチュエータの製造方法を示す図である。
【図７】本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す平面図である。
【図８】本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す平面図である。
【図９】本発明のアクチュエータの第４実施形態を示す平面図である。
【図１０】本発明のアクチュエータの第５実施形態を示す平面図である。
【図１１】図１０に示すアクチュエータの駆動を示す図である。
【図１２】本発明のアクチュエータの第６実施形態を示す斜視図である。
【図１３】図１２に示すアクチュエータが備える固定電極に印加する電圧の波形の一例を示す図である。
【図１４】本願発明の画像形成装置の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００８７】
１〜１Ｅ……アクチュエータ  ２……基体  ２１……可動板  ２１ａ、２１ｂ……離間部  ２１１……光反射部  ２２、２３……支持部  ２４、２５……連結部  ２４１、２５１……軸部  ２４２、２５２……折り返し部  ２４２ａ、２４２ｂ、２５２ａ、２５２ｂ……長尺部  ２４２ｃ、２５２ｃ……接続部  ３……対向基板  ４、４Ｄ、４Ｅ……駆動手段  ４１、４２、４１Ｄ……永久磁石  ４３、４３Ｄ……コイル  ４３１、４３２……Ｘ軸方向延在部  ４４……電源回路  ４５１Ｅ、４５２Ｅ……固定電極  ７……ＳＯＩ基板  ７１、７３……Ｓｉ層  ７２……ＳｉＯ２層  ９‥‥‥プロジェクタ  ９１‥‥‥光源装置  ９１１‥‥‥赤色光源装置  ９１２‥‥‥青色光源装置  ９１３‥‥‥緑色光源装置  ９２‥‥‥ダイクロイックミラー  Ｓ‥‥‥スクリーン  Ｈ……磁界
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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