(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルス状管電圧を出力するとともにパルス幅が切替え可能な管電圧制御部と、フィラメントに所定のフィラメント電流を流して該フィラメントを発熱させるフィラメント加熱部とを有するＸ線管制御部を備え、透視開始の指令が入力されると、前記管電圧制御部が前記パルス状管電圧を出力し始めるとともに、前記フィラメント加熱部がフィラメント電流を増大させてフィラメントを加熱し、前記フィラメントから放出される熱電子をターゲットに衝突させて発生させたＸ線によって被検体の透視を行うＸ線装置であって、
前記管電圧制御部は、前記指令が入力されてから前記フィラメントの温度が定常の透視状態の温度に到達するまでの所定の期間、前記パルス状管電圧のパルス幅を定常の透視状態のパルス幅よりも広くなるよう切替えることを特徴とするＸ線装置。
【請求項２】
前記所定の期間が、前記指令が入力されてから管電流が定常の透視状態の７０％〜１００％に到達するまでの間の期間であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線装置。
【請求項３】
前記所定の期間が、前記指令が入力されてから前記フィラメントの温度が定常の透視状態の７０％〜１００％に到達するまでの間の期間であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線装置。
【請求項４】
前記所定の期間が終了する時間を予め測定及び記憶しておき、前記時間になると、前記パルス状管電圧のパルス幅を定常の透視状態のパルス幅に切替えることを特徴とする請求項２または３に記載のＸ線装置。
【請求項５】
前記所定の期間が、本透視の前に行われる予備透視で得られた透視画像を観察することによって事前に決定及び記憶されていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線装置。
【請求項６】
前記所定の期間中に、前記パルス幅が段階的に狭くなるよう切替えられることを特徴とする請求項１に記載のＸ線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検体にＸ線を曝射してその透視画像を得るＸ線装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、Ｘ線装置は、透視対象や透視目的毎に様々な種類のものが開発されている。その１つとして、被検体に曝射するＸ線をパルス状とすることにより被検体の被曝量を低減することができるパルス透視モードを備えたＸ線装置が知られている。
【０００３】
図７は、パルス透視モードを備えた従来のＸ線装置のブロック図である。Ｘ線装置１’は、主に、Ｘ線を発生する回転陽極型のＸ線管１０と、該Ｘ線管１０のフィラメント電流ＩＦ及びパルス状管電圧ＶＴを制御するＸ線管制御部２０’と、被検体２を載置するテーブル３と、イメージインテンシファイア（Ｉ．Ｉ．）４等からなる系と、オペレータからの各種指令を受け付ける入力部８と、該指令に基づいて各部を制御する制御部９とを備える。Ｘ線管１０の内部には、タングステン等から構成されるターゲット１１とフィラメント１２とが備えられている。また、Ｘ線管制御部２０’は管電圧制御部２１とフィラメント加熱部２２とを有している。
【０００４】
透視を行わない待機状態において、管電圧制御部２１から出力されるパルス状管電圧ＶＴの電圧値は０［Ｖ］である。また、フィラメント加熱部２２はフィラメント１２に向かって微小なフィラメント電流ＩＦを流し、フィラメント１２を予備加熱している。
【０００５】
被検体２の透視は、オペレータが入力部８を介してその旨の指令を入力することによって開始される。該指令が入力されて透視状態となると、フィラメント加熱部２２はフィラメント１２を加熱するべくフィラメント電流ＩＦを増大させる。これとともに、管電圧制御部２１は所定のパルス幅を有するパルス状管電圧ＶＴを出力し始める。これにより、フィラメント１２から放出された熱電子がターゲット１１に勢いよく衝突し、管電圧制御部２１からターゲット１１に管電流ＩＴが流れるとともに、ターゲット１１から被検体２に向かってＸ線が曝射される。そして、被検体２を透過してきたＸ線は、Ｉ．Ｉ．４で可視像に変換された後に適宜画像処理が行われ、モニタ７で被検体２の透視画像が観察される。
【０００６】
図８に、Ｘ線装置１’の動作波形を示す。この図において、（Ａ）はフィラメント電流ＩＦ、（Ｂ）はフィラメント温度ＴＦ、（Ｃ）はパルス状管電圧ＶＴ、（Ｄ）は管電流ＩＴ、（Ｅ）は被検体２に向かって曝射されるＸ線のＸ線量ＸＲの波形を示す。いずれの波形においても、時間ｔ１において待機状態から透視状態への切替えが行われ、時間ｔ２において透視状態から待機状態への切替えが行われるものとする。
【０００７】
時間０〜ｔ１の待機状態において、フィラメント１２には予備加熱のための微小なフィラメント電流ＩＦ０が流れ、フィラメント１２はそれに応じた温度ＴＦ０となっている。また、このとき、管電圧制御部２１はパルス状管電圧ＶＴを出力していない。したがって、待機時に被検体２に向かって曝射されるＸ線のＸ線量ＸＲは０であるか、または極めて微量である。
【０００８】
時間ｔ１において透視開始の指令が入力されると、フィラメント電流ＩＦはＩＦ０からＩＦ１に直ちに増加する（図８（Ａ）参照）。これとともに、管電圧制御部２１は電圧値ＶＴ１のパルス状管電圧ＶＴを出力し始める（図８（Ｃ）参照）。このとき、図８（Ｂ）に示すフィラメント温度ＴＦは、電流ＩＦ１に応じた温度ＴＦ１にすぐには到達せず、熱慣性に従って緩やかに増加していく。したがって、管電流ＩＴ及びＸ線量ＸＲも、それぞれ、目標とする管電流ＩＴ１及びＸ線量ＸＲ１に向かって緩やかに増加していく（図８（Ｄ）（Ｅ）参照）。
【０００９】
すなわち、図７に示す従来のＸ線装置１’では、透視開始後の一定期間の間、Ｘ線量ＸＲが不足しており、好適な透視画像を観察することができないという問題を有していた。このような問題に鑑み、従来から、透視開始直後から目標とするＸ線量ＸＲを確保し、好適な透視画像を得ることを意図した各種のＸ線装置が検討されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平８−１９５２９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献１に係るＸ線装置では、図９に示すように、透視開始直後にフィラメント電流ＩＦをＩＦ１までオーバーシュートさせることによってフィラメント１２の温度上昇を加速させ、Ｘ線量ＸＲが目標とするＸ線量ＸＲ１に到達するまでの時間を短縮している。しかしながら、一般にフィラメント電流ＩＦのオーバーシュート量を精度良く制御するのは困難であり、フィラメント１２に過大な電流が流れることにより、フィラメント１２が損傷したり劣化したりするおそれがあった。
【００１１】
この他にも、透視開始後の一定期間の間、パルス状管電圧ＶＴを上昇させることによりＸ線量ＸＲの不足を補うようにしたＸ線装置や、フィラメント電流ＩＦやパルス状管電圧ＶＴの設定は変更せずに、画像処理部６における処理を変更することによってＸ線量ＸＲの不足を補うようにしたＸ線装置も知られている。しかしながら、パルス状管電圧ＶＴの上昇は、最終的に得られる透視画像のコントラストが低下するという問題があった。また、画像処理の変更は、フィラメント温度が所定の温度に到達した後に透視画像が明るくなりすぎるという問題があった。
【００１２】
そこで、本発明は、透視開始直後から安定して好適な透視画像を得ることができるＸ線装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本願発明者は、上記課題を解決するために鋭意検討を重ねた結果、透視開始直後からフィラメント温度が所定温度に到達するまでの間、パルス状管電圧ＶＴのパルス幅を定常の透視状態のパルス幅よりも広げることにより、被検体にＸ線を曝射する時間を長くすれば好適な透視画像が得られることを見出し、本発明を完成させた。
【００１４】
すなわち、本発明に係るＸ線装置は、パルス状管電圧を出力するとともにパルス幅が切替え可能な管電圧制御部と、フィラメントに所定のフィラメント電流を流して該フィラメントを発熱させるフィラメント加熱部とを有するＸ線管制御部を備え、透視開始の指令が入力されると、前記管電圧制御部が前記パルス状管電圧を出力し始めるとともに、前記フィラメント加熱部がフィラメント電流を増大させてフィラメントを加熱し、前記フィラメントから放出される熱電子をターゲットに衝突させて発生させたＸ線によって被検体の透視を行うＸ線装置であって、前記管電圧制御部は、前記指令が入力されてから前記フィラメントの温度が定常の透視状態の温度に到達するまでの所定の期間、前記パルス状管電圧のパルス幅を定常の透視状態のパルス幅よりも広くなるよう切替えることを特徴とする。
なお、本明細書中の用語「定常の透視状態」とは、透視状態のうち、フィラメント温度が目標とする温度（例えば、図２（Ｂ）のＴＦ１）に到達した後の状態を意味する。一旦、定常の透視状態となった後にフィラメント温度が変動して目標とする温度を下回った場合でも、その変動が微小であれば定常の透視状態は継続しているものとする。
【００１５】
上記Ｘ線装置において、前記所定の期間は、前記指令が入力されてから管電流が定常の透視状態の７０％〜１００％に到達するまでの間の期間、または前記指令が入力されてから前記フィラメントの温度が定常の透視状態の７０％〜１００％に到達するまでの間の期間とすることができる。
【００１６】
また、前記所定の期間が終了する時間を予め測定及び記憶しておき、前記時間になると、前記パルス状管電圧のパルス幅を定常の透視状態のパルス幅に切替えられるようにしてもよい。
【００１７】
また、前記所定の期間は、本透視の前に行われる予備透視で得られた透視画像を観察することによって事前に決定及び記憶されるようにしてもよい。
【００１８】
さらに、前記所定の期間中に、前記パルス幅が段階的に狭くなるよう切替えられるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、透視開始直後から安定して好適な透視画像を得ることができるＸ線装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るＸ線装置の好ましい実施形態について説明する。
【実施例１】
【００２１】
図１は、実施例１に係るＸ線装置のブロック図である。このＸ線装置１は、被検体２に曝射するためのＸ線を発生する回転陽極型のＸ線管１０と、該Ｘ線管１０のフィラメント電流ＩＦ及びパルス状管電圧ＶＴを制御するＸ線管制御部２０と、被検体２を載置するテーブル３とを備える。Ｘ線管１０の内部には、タングステン等から構成されるターゲット１１とフィラメント１２とが備えられている。
【００２２】
Ｘ線管制御部２０は、管電圧制御部２１と、フィラメント加熱部２２と、タイマ２３とを有する。このうち、管電圧制御部２１は、Ｘ線管１０に向けて出力するパルス状管電圧ＶＴの電圧値及びパルス幅を任意に制御することができる。また、タイマ２３は、透視開始の指令（後述）を受けた後、所定時間が経過したことを管電圧制御部２１に通知する。
【００２３】
この他、Ｘ線装置１は、Ｉ．Ｉ．４、カメラ５及び画像処理部６からなる系と、該系で得られた透視画像を表示するモニタ７と、オペレータからの各種指令を受け付ける入力部８と、該指令に基づいて各部を制御する制御部９とを備える。Ｉ．Ｉ．４は、被検体２を透過してきたＸ線のＸ線量ＸＲを検出して、このＸ線量ＸＲを可視像に変換する。カメラ５及び画像処理部６は、Ｉ．Ｉ．４で得られた可視像の撮影と画像処理とを行い、モニタ７に表示するための透視画像を生成する。
【００２４】
また、入力部８からは、透視を開始及び終了する旨の指令と、フィラメント電流ＩＦ及びパルス状管電圧ＶＴの設定値が入力される。必要に応じて、入力部８は被検体２の種別（状態）や透視画像のコントラスト等の各種条件の入力も受け付ける。本実施例において、入力部８はフットペダルを有し、オペレータがフットペダルを踏み込むと透視開始の指令が制御部９を通して各部に伝達され、踏むのを止めると透視終了の指令が各部に伝達される。
【００２５】
待機状態、すなわち入力部８のフットペダルが踏み込まれていない状態において、管電圧制御部２１が出力するパルス状管電圧ＶＴの電圧値は０［Ｖ］である。また、フィラメント加熱部２２はフィラメント１２に向かって微小なフィラメント電流ＩＦを流し、フィラメント１２を予備加熱している。
【００２６】
フットペダルが踏み込まれて透視状態となると、フィラメント１２を加熱するべくフィラメント加熱部２２がフィラメント電流ＩＦを増大させるとともに、管電圧制御部２１は所定のパルス幅を有するパルス状管電圧ＶＴを出力し始める。これにより、フィラメント１２から放出された熱電子がターゲット１１に勢いよく衝突し、管電圧制御部２１からターゲット１１に管電流ＩＴが流れるとともに、ターゲット１１から被検体２に向かってＸ線が曝射される。そして、被検体２を透過してきたＸ線はＩ．Ｉ．４で検出され、被検体２の透視画像が生成される。
【００２７】
図２に、実施例１に係るＸ線装置１の動作波形を示す。この図において、（Ａ）はフィラメント電流ＩＦ、（Ｂ）はフィラメント温度ＴＦ、（Ｃ）はパルス状管電圧ＶＴ、（Ｄ）は管電流ＩＴ、（Ｅ）は被検体２に向かって曝射されるＸ線のＸ線量ＸＲの波形を示す。いずれの波形においても、時間ｔ１において待機状態から透視状態への切替えが行われ、時間ｔ４において透視状態から待機状態への切替えが行われるものとする。
【００２８】
時間０〜ｔ１の待機状態において、フィラメント１２には予備加熱のための微小なフィラメント電流ＩＦ０が流れ、フィラメント１２はそれに応じた温度ＴＦ０となっている。また、このとき、管電圧制御部２１はパルス状管電圧ＶＴを出力していない。したがって、待機時に被検体２に向かって曝射されるＸ線のＸ線量ＸＲは０であるか、または極めて微量である。
【００２９】
時間ｔ１において透視開始の指令が入力されると、フィラメント電流ＩＦはＩＦ０からＩＦ１に直ちに増加する（図２（Ａ）参照）。このとき、図２（Ｂ）に示すフィラメント温度ＴＦは熱慣性に従って緩やかに増加し、時間Ｔ３（本実施例では、透視開始から２ｓ後）において電流ＩＦ１に応じた温度ＴＦ１に到達する。したがって、管電流ＩＴ及びＸ線量ＸＲも、それぞれ、目標とする管電流ＩＴ１及びＸ線量ＸＲ１に向かって緩やかに増加していく（図２（Ｄ）（Ｅ）参照）。
【００３０】
前記の通り、タイマ２３は、透視開始の指令が入力されてから所定期間が経過したことを管電圧制御部２１に通知する。本実施例では、該指令の入力後１ｓが経過した時点（時間ｔ２）で１回目の通知がされ、さらに１ｓ（合計２ｓ）が経過した時点（時間ｔ３）で２回目の通知がされる。すなわち、本実施例では、フィラメント温度ＴＦが所定の温度ＴＦ１に到達するまでの期間を、時間ｔ１〜ｔ２の期間と、時間ｔ２〜ｔ３の期間とに分割している。
【００３１】
分割する期間の数は２つに限らず、３つ以上にすることもできる。例えば、０．５ｓ後に１回目の通知がされ、その０．５ｓ後に２回目の通知がされ、さらに１ｓ（合計２ｓ）後に３回目の通知がされるようにしてもよい。なお、期間の分割は必須ではく、定常の透視状態となる時間ｔ３において１回目の通知が行われるようにしてもよいが、制御をあまり複雑化することなく好適な透視画像を得るという観点から、２〜３つの期間に分割するのが好ましい。
【００３２】
所定時間を決定する方法としては種々の方法が考えられるが、本実施例では、予備透視で得られた透視画像を参照して決定される。予備透視とは、本透視の前に透視条件を決定するために行われるもので、据付調整時に人体を模擬したファントムで実際に透視を行うことで実施する。オペレータは、予備透視で得られた透視画像を見て、透視開始の指令を入力してから何ｓ経てば所望の透視画像が得られるのかを判断する。そして、例えば２ｓ後に所望の透視画像が得られると判断した場合には、入力部８を通して、タイマ２３に「２ｓ」を記憶させる。定常の透視状態となるまでの期間を複数の期間に分割したい場合には、通知を行う各時間の入力を行う。
【００３３】
再び図２を参照して、時間ｔ１において透視状態になると、管電圧制御部２１は所定のパルス幅を有するパルス状管電圧ＶＴの出力を開始する（図２（Ｃ）参照）。パルス状管電圧ＶＴのパルス幅は、タイマ２３からの通知を受ける度に段階的に狭くなっていく。
【００３４】
図２（Ｃ）に示すように、本実施例では、１回目の通知を受けるまでの期間（時間ｔ１〜ｔ２）、すなわち最初の１ｓ間はパルス幅が６ｍｓ（Ｄｕｔｙ比５０％）に制御される。そして、１回目の通知を受けてから２回目の通知を受けるまでの期間（時間ｔ２〜ｔ３）は、パルス幅が５ｍｓ（Ｄｕｔｙ比５０％）に制御される。その後、時間ｔ３において定常状態となると、パルス幅は４ｍｓ（Ｄｕｔｙ比５０％）に切替えられる。以後、管電圧制御部２１は、透視終了の指令があるまで４ｍｓのパルス幅でパルス状管電圧ＶＴを出力し続ける。
【００３５】
パルス状管電圧ＶＴのパルス幅が変化すると、それに応じて被検体２に曝射されるＸ線のパルス幅も変化する。つまり、本実施例において、Ｘ線のパルス幅は、時間ｔ１〜ｔ２の期間は約６ｍｓに制御され、時間ｔ２〜ｔ３の期間は約５ｍｓに制御され、定常の透視状態となった時間ｔ３以降は約４ｍｓに制御される（図２（Ｅ）参照）。
【００３６】
以上をまとめると、本実施例に係るＸ線装置では、透視開始後の所定期間、Ｘ線のパルス幅が定常の透視状態よりも広くなるように制御される。すなわち、本実施例に係るＸ線装置では、フィラメント温度が目標とする温度に到達するまでの間、Ｘ線の曝射時間が定常の透視状態よりも長めに制御される。これにより、透視開始直後のＸ線量の不足が補われ、透視開始直後から安定して好適な透視画像を得ることができる。
【実施例２】
【００３７】
図３に、実施例２に係るＸ線装置のブロック図を示す。このＸ線装置１のＸ線管制御部２０は、タイマ２３に替えて電流センサ２４を有している。その他の構成については、実施例１に係るＸ線装置と同様なので、ここでは説明を省略する。
【００３８】
電流センサ２４は、管電圧制御部２１とターゲット１１の間に配置され、管電圧制御部２１からターゲット１１に向かって流れる管電流ＩＴを検知する。そして、管電流ＩＴが所定の電流値に到達すると、電流センサ２４から管電圧制御部２１にその旨が通知される。
【００３９】
図４（Ｄ）に示すように、本実施例では、管電流ＩＴが所定電流ＩＴ１の８０％まで上昇した際（時間ｔ２）に１回目の通知がされる。そして、時間ｔ２において、管電流ＩＴが所定電流ＩＴ１の９５％まで上昇すると２回目の通知がされる。通知を受ける度に、管電圧制御部２１から出力されるパルス状管電圧ＶＴのパルス幅が段階的に狭くなっていくのは、実施例１と同様である。
【００４０】
ここで、一般的に、管電流ＩＴが定常の透視状態の７０％に到達すると、定常の透視状態とほぼ遜色のない透視画像が得られることが知られている。したがって、パルス状管電圧ＶＴのパルス幅は、管電流ＩＴが定常の透視状態の７０％〜１００％に到達したときに、定常の透視状態のパルス幅に切替えるのが望ましい。
【実施例３】
【００４１】
図５に、実施例３に係るＸ線装置のブロック図を示す。このＸ線装置１のＸ線管制御部２０は、タイマ２３に替えて温度センサ２５を有している。その他の構成については、実施例１に係るＸ線装置と同様なので、ここでは説明を省略する。
【００４２】
温度センサ２５は、フィラメント１２の近傍に配置され、フィラメント温度ＴＦを直接または間接的に検知する。そして、フィラメント温度ＴＦが所定の温度に到達すると、温度センサ２５から管電圧制御部２１にその旨が通知される。
【００４３】
図６（Ｂ）に示すように、本実施例では、フィラメント温度ＴＦが所定温度ＴＦ１の８０％まで上昇した際（時間ｔ２）に１回目の通知がされる。そして、時間ｔ２において、フィラメント温度ＴＦが所定温度ＴＦ１の９５％まで上昇すると２回目の通知がされる。通知を受ける度に、管電圧制御部２１から出力されるパルス状管電圧ＶＴのパルス幅が段階的に狭くなっていくのは、実施例１と同様である。
【００４４】
ここで、一般的に、フィラメント温度ＴＦが定常の透視状態の７０％に到達すると、定常の透視状態とほぼ遜色のない透視画像が得られることが知られている。したがって、パルス状管電圧ＶＴのパルス幅は、フィラメント温度ＴＦが定常の透視状態の７０％〜１００％に到達したときに、定常の透視状態のパルス幅に切替えるのが望ましい。
【００４５】
結局、実施例２及び３に係るＸ線装置でも、透視開始から所定期間のＸ線のパルス幅が定常の透視状態よりも広くなるように制御され、これにより、透視開始直後のＸ線量の不足が補われ、透視開始直後から安定して好適な透視画像を得ることができる。
【００４６】
さらに、実施例２及び３では、実際の管電流または実際のフィラメント温度を検知して、その結果に応じてパルス幅の切替えが行われるようになっている。したがって、フィラメントのバラツキ等によって、フィラメントの熱慣性の程度が変化した場合においても、その状況に応じてパルス状管電圧のパルス幅を切替えることができるので、Ｘ線のパルス幅をより最適に制御することができる。
【００４７】
なお、実施例２及び３に係るＸ線装置に実施例１のタイマ２３を付加することもできる。この構成では、例えば、最初の透視においては電流センサ２４または温度センサ２５によって管電流ＩＦまたはフィラメント温度ＴＦがリアルタイムに検知され、それに基づいてパルス幅の切替えが行われる。このとき、タイマ２３は、透視開始の指令が入力されてからパルス幅が切替えられるまでの時間を測定及び記憶する。そして、２回目以降の透視においては、実際のフィラメント温度ＴＦ等を参照することなく、タイマ２３に記憶された時間に基づいてパルス幅の切替えが行われる。
【００４８】
これにより、タイマ２３のみを使用する単純な制御を行うだけで、２回目以降の透視においても、電流センサ２４または温度センサ２５を用いたのと同等のパルス幅の最適な制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】実施例１に係るＸ線装置のブロック図である。
【図２】実施例１に係るＸ線装置の動作波形であって、（Ａ）〜（Ｅ）はそれぞれフィラメント電流、フィラメント電圧、パルス状管電圧、管電流、Ｘ線量の動作波形である。
【図３】実施例２に係るＸ線装置のブロック図である。
【図４】実施例２に係るＸ線装置の動作波形であって、（Ａ）〜（Ｅ）はそれぞれフィラメント電流、フィラメント電圧、パルス状管電圧、管電流、Ｘ線量の動作波形である。
【図５】実施例３に係るＸ線装置のブロック図である。
【図６】実施例３に係るＸ線装置の動作波形であって、（Ａ）〜（Ｅ）はそれぞれフィラメント電流、フィラメント電圧、パルス状管電圧、管電流、Ｘ線量の動作波形である。
【図７】従来のＸ線装置のブロック図である。
【図８】従来のＸ線装置の動作波形であって、（Ａ）〜（Ｅ）はそれぞれフィラメント電流、フィラメント電圧、パルス状管電圧、管電流、Ｘ線量の動作波形である。
【図９】他の従来のＸ線装置の動作波形であって、（Ａ）〜（Ｅ）はそれぞれフィラメント電流、フィラメント電圧、パルス状管電圧、管電流、Ｘ線量の動作波形である。
【符号の説明】
【００５０】
１      Ｘ線装置
２      被検体
３      テーブル
４      Ｉ．Ｉ．
５      カメラ
６      画像処理部
７      モニタ
８      入力部
９      制御部
１０    Ｘ線管
１１    ターゲット
１２    フィラメント
２０    Ｘ線管制御部
２１    管電圧制御部
２２    フィラメント加熱部
２３    タイマ
２４    電流センサ
２５    温度センサ
【図１】
0005071676.tif 000002
【図２】
0005071676.tif 000003
【図３】
0005071676.tif 000004
【図４】
0005071676.tif 000005
【図５】
0005071676.tif 000006
【図６】
0005071676.tif 000007
【図７】
0005071676.tif 000008
【図８】
0005071676.tif 000009
【図９】
0005071676.tif 000010