(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の一側部に電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
上記電子部品を撮像して位置認識する第１の撮像手段と、
この第１の撮像手段の位置認識に基いて上記電子部品を上記基板との実装位置に搬送する第１の搬送位置決め手段と、
上記基板を撮像して位置認識する第２の撮像手段と、
上記第２の撮像手段の視野内で、この第２の撮像手段の位置認識に基いて求められた上記基板の回転角度が上記第１の撮像手段の位置認識に基いて求められた上記電子部品の回転角度と同じになるよう設定してから、その基板を上記実装位置に搬送する第２の搬送位置決め手段と、
上記第１の搬送位置決め手段と上記第２の搬送位置決め手段とによって実装位置に位置決めされた上記基板に上記電子部品を実装する実装手段を具備し、
上記第１の搬送位置決め手段は上記電子部品を上記実装位置に対して接離する方向に駆動する１軸駆動であって、上記第２の搬送位置決め手段は上記基板を水平面方向及びこの水平面方向に対して直交する軸線を中心とする回転方向に駆動する３軸駆動であることを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項２】
上記第１の撮像手段と第２の撮像手段は、それぞれが上記電子部品と上記基板との二箇所を撮像する一対の撮像カメラからなることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項３】
上記第２の搬送位置決め手段は、上記第２の撮像手段の視野内で、この第２の撮像手段の位置認識に基いて求められた上記基板の長手方向に沿う座標が上記第１の撮像手段の位置認識に基いて求められた上記電子部品の長手方向に沿う座標と同じになるよう設定することを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
【請求項４】
基板の一側部に電子部品を実装する電子部品の実装方法であって、
上記電子部品を撮像して位置認識する工程と、
上記電子部品の位置認識に基いてこの電子部品を上記基板との実装位置に第１の搬送位置決め手段によって搬送する工程と、
上記基板を撮像して位置認識する工程と、
上記基板を撮像する視野内で、この基板の位置認識に基いて求められた基板の回転角度が上記電子部品の位置認識に基いて求められたこの電子部品の回転角度と同じになるよう設定してから、その基板を上記実装位置に第２の搬送位置決め手段によって搬送する工程と、
上記実装位置に搬送された上記基板に上記電子部品を実装する工程を具備し、
上記第１の搬送位置決め手段は上記電子部品を上記実装位置に対して接離する方向に駆動する１軸駆動であって、上記第２の搬送位置決め手段は上記基板を水平面方向及びこの水平面方向に対して直交する軸線を中心とする回転方向に駆動する３軸駆動であることを特徴とする電子部品の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板の側辺に電子部品を実装するための電子部品の実装装置及び実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶表示装置の組立工程では、図５（ａ）に示すように基板としての液晶表示パネル１００の一側部に電子部品としての複数の回路基板１０２を複数のＴＣＰ（Tape Carrier Package）１０３を介して接続するということが行われる。
【０００３】
すなわち、図５（ｂ）に示すように、上記液晶表示パネル１００の一側部には複数のＴＣＰ１０３の一辺がテープ状の異方性導電部材１０４によって接続され、これらＴＣＰ１０３の他辺には、１つ若しくは複数、この場合は２つの上記回路基板１０２が同じくテープ状の異方性導電部材１０４によって接続される。
【０００４】
複数のＴＣＰ１０３は一辺が上記回路基板１０２に仮圧着されてから、一括して本圧着（実装）される。ＴＣＰ１０３の他辺に２つの回路基板１０２を接続する場合、１つ目の回路基板１０２を実装、つまり本圧着してから、２つ目の回路基板１０２を本圧着するようにしている。
【０００５】
一般に、液晶表示パネルに接続されたＴＣＰに回路基板を実装する場合、まず、回路基板を搬送テーブルに供給載置する一方、液晶表示パネルを実装テーブルに供給載置する。ついで、搬送テーブルに載置された回路基板の一側の長手方向の一端部と他端部とに設けられた位置合わせマークを一対の第１の撮像カメラで撮像し、その撮像信号が画像処理部で処理される。それによって、上記回路基板のＸ座標、Ｙ座標及び回転角度が算出される。
【０００６】
上記実装テーブルに供給載置された液晶表示パネルは、その一側の長手方向の一端部と他端部とに設けられた位置合わせマークが一対の第２の撮像カメラで撮像され、その撮像信号が画像処理部で処理される。それによって、上記液晶表示パネルのＸ座標、Ｙ座標及び回転角度が算出される。
【０００７】
ついで、回路基板と液晶表示パネルは、回転角度及び長手方向に沿うＹ座標が一致するよう位置補正されてから、Ｘ方向に駆動されて実装位置に設けられたバックアップツール上に搬送位置決めされる。回路基板と液晶表示パネルが上記実装位置に位置決めされると、バックアップツールの上方に配置された加圧ツールが下降方向に駆動される。それによって、上記液晶表示パネルに設けられたＴＣＰに回路基板が実装される。
【０００８】
従来、上記回路基板が供給載置された搬送テーブルと、上記液晶表示パネルが供給載置された実装テーブルは、上記第１、第２の撮像カメラからによって回路基板と液晶表示パネルに設けられたそれぞれ一対の位置合わせマークが撮像された後、その撮像信号を画像処理部で画像処理してアナログ信号からデジタル信号に変換する。そして、そのデジタル信号から回路基板と液晶表示パネルのＸ座標、Ｙ座標および回転角度の座標データを算出する。
【０００９】
ついで、回路基板と液晶表示パネルの座標データを比較し、その比較データに基いて液晶表示パネルの回転角度及びＹ座標に対して回路基板の回転角度及びＹ座標が一致するよう上記回路基板を位置補正してから、実装位置で上記回路基板を上記液晶表示パネルに実装するようにしていた。  
このような先行技術は特許文献１に示されている。
【特許文献１】特開平８−１１４８１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、上記回路基板が載置された搬送テーブルや液晶表示パネルが載置された実装テーブルを駆動する動力伝達機構はバックラッシュや製作精度などの機械的誤差が生じることが避けられないから、その機械的誤差によって駆動精度が影響を受けることが避けられない。
【００１１】
そのため、上述したように、上記第１、第２の撮像カメラからの撮像信号によって算出された座標データに基いて回路基板の回転角度とＹ座標を、液晶表示パネルの回転角度とＹ座標に一致するよう位置補正すると、回路基板の位置決め精度は上記動力伝達機構の駆動精度の影響を受けることになるから、液晶表示パネルに比べて位置決め精度が大幅に低下するということがある。
【００１２】
とくに、最近では液晶表示パネルが大型化する傾向にある。液晶表示パネルが大型化すると、回路基板が長尺化することになる。そのため、搬送テーブルの位置決め精度、とくに回転角度にわずかな誤差が生じても、この搬送テーブルに載置された回路基板の一側の長手方向（Ｙ方向）に沿う一端と他端との寸法誤差が大きくなるから、上記液晶表示パネルに接続されたＴＣＰに上記回路基板を精密に実装できなくなるということがある。
【００１３】
この発明は、基板としての液晶表示パネルと、電子部品としての回路基板とを精密に位置決めして実装することができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明は、基板の一側部に電子部品を実装する電子部品の実装装置であって、
上記電子部品を撮像して位置認識する第１の撮像手段と、
この第１の撮像手段の位置認識に基いて上記電子部品を上記基板との実装位置に搬送する第１の搬送位置決め手段と、
上記基板を撮像して位置認識する第２の撮像手段と、
上記第２の撮像手段の視野内で、この第２の撮像手段の位置認識に基いて求められた上記基板の回転角度が上記第１の撮像手段の位置認識に基いて求められた上記電子部品の回転角度と同じになるよう設定してから、その基板を上記実装位置に搬送する第２の搬送位置決め手段と、
上記第１の搬送位置決め手段と上記第２の搬送位置決め手段とによって実装位置に位置決めされた上記基板に上記電子部品を実装する実装手段を具備し、
上記第１の搬送位置決め手段は上記電子部品を上記実装位置に対して接離する方向に駆動する１軸駆動であって、上記第２の搬送位置決め手段は上記基板を水平面方向及びこの水平面方向に対して直交する軸線を中心とする回転方向に駆動する３軸駆動であることを特徴とする電子部品の実装装置にある。
【００１６】
上記第１の撮像手段と第２の撮像手段は、それぞれが上記電子部品と上記基板との二箇所を撮像する一対の撮像カメラからなることが好ましい。
【００１７】
上記第２の搬送位置決め手段は、上記第２の撮像手段の視野内で、この第２の撮像手段の位置認識に基いて求められた上記基板の長手方向に沿う座標が上記第１の撮像手段の位置認識に基いて求められた上記電子部品の長手方向に沿う座標と同じになるよう設定することが好ましい。
【００１８】
この発明は、基板の一側部に電子部品を実装する電子部品の実装方法であって、
上記電子部品を撮像して位置認識する工程と、
上記電子部品の位置認識に基いてこの電子部品を上記基板との実装位置に第１の搬送位置決め手段によって搬送する工程と、
上記基板を撮像して位置認識する工程と、
上記基板を撮像する視野内で、この基板の位置認識に基いて求められた基板の回転角度が上記電子部品の位置認識に基いて求められたこの電子部品の回転角度と同じになるよう設定してから、その基板を上記実装位置に第２の搬送位置決め手段によって搬送する工程と、
上記実装位置に搬送された上記基板に上記電子部品を実装する工程を具備し、
上記第１の搬送位置決め手段は上記電子部品を上記実装位置に対して接離する方向に駆動する１軸駆動であって、上記第２の搬送位置決め手段は上記基板を水平面方向及びこの水平面方向に対して直交する軸線を中心とする回転方向に駆動する３軸駆動であることを特徴とする電子部品の実装方法にある。
【発明の効果】
【００１９】
この発明によれば、電子部品を撮像してその位置認識をする一方、基板を撮像して位置認識したならば、基板の回転角度を、その基板の撮像視野内で電子部品の回転角度に一致させるようにした。
【００２０】
そのため、基板を撮像しながらその基板の回転角度の補正を行なえるから、基板の回転角度を電子部品の回転角度に一致するよう精密に補正することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。  
図１はこの発明の実装装置の概略的構成図であって、この実装装置はベース１を備えている。このベース１にはテーブルユニット２が設けられている。このテーブルユニット２は上記ベース１上に図中矢印で示すＸ方向に沿って移動可能に設けられたＸテーブル３を有する。このＸテーブル３は上記ベース１の一端に設けられたＸ駆動源４によってＸ方向に沿って駆動されるようになっている。テーブルユニット２は、この発明の第２の搬送位置決め手段を構成している。
【００２２】
上記Ｘテーブル３上にはＹテーブル５がＸ方向と交差するＹ方向に沿って移動可能に設けられている。このＹテーブル５は上記Ｘテーブル３の一側面に設けられたＹ駆動源６によってＹ方向に駆動されるようになっている。
【００２３】
上記Ｙテーブル５にはθテーブル７が水平面と直交する軸線を中心にして回転可能に設けられている。このθテーブル７は上記Ｙテーブル５の一側面に設けられたθ駆動源８によって回転方向に駆動されるようになっている。したがって、上記θテーブル７はＸ、Ｙ及びθ方向の３軸方向に駆動可能となっている。
【００２４】
上記θテーブル７には図５（ａ）、（ｂ）に示すように一側部に接続用の電子部品としての複数のＴＣＰ１０３が異方性導電部材１０４によって接続固定された、基板としての液晶表示パネル１００が供給載置される。この液晶表示パネル１００は、たとえば真空吸着などの手段によって上記θテーブル７に移動不能に保持固定される。なお、液晶表示パネル１００は図１に示すようにＴＣＰ１０３が接続された一側部を含む周辺部全体をθテーブル７の外周面から外方へ突出させている。
【００２５】
上記ＴＣＰ１０３には電子部品としての回路基板１０２が後述する実装位置Ｂに設けられた圧着部１１で接続固定される、つまり実装される。この圧着部１１はＹ方向に沿って細長い板状のバックアップツール１２を有する。このバックアップツール１２は第１のＺ駆動源１３によって図中矢印で示す上下方向である、Ｚ方向に駆動可能となっている。このバックアップツール１２の上部には第１のヒータ１４が内蔵されている。
【００２６】
なお、テーブルユニット２にＺ駆動源を設けてθテーブルをＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に駆動可能とし、バックアップツール１２はＺ方向に駆動しない構成であってもよく、要は液晶表示パネル１００を保持したθテーブル７とバックアップツール１２とが相対的にＺ方向に駆動できる構成であればよい。
【００２７】
バックアップツール１２の上方には、下端面を上記バックアップツール１２の上端面に対向させた加圧ツール１５が配設されている。この加圧ツール１５は下端部に第２のヒータ１６が設けられていて、第２のＺ駆動源１７によってＺ方向に駆動されるようになっている。
【００２８】
したがって、後述するように上記バックアップツール１２の上端面に異方性導電部材１０４を介して回路基板１０２とＴＣＰ１０３を重ね合わせ、その重合部分を上記加圧ツール１５で加圧しながら第１、第２のヒータ１４，１６の熱で加熱すれば、上記異方性導電部材１０４を溶融硬化させて回路基板１０２とＴＣＰ１０３を接続固定することができる。すなわち、液晶表示パネル１００に対してＴＣＰ１０３を介して上記回路基板１０２を本圧着（実装）することができる。
【００２９】
上記回路基板１０２は第１の搬送位置決め手段を構成する搬送テーブル２１によって上記バックアップツール１２上に搬送されるようになっている。上記搬送テーブル２１は図１に示すように、可動体２２の上端面にＸ方向に沿う一端部を固定して設けられている。
【００３０】
上記可動体２２の下端面のＸ方向と交差するＹ方向の両端部には一対のスライダ２３（１つのみ図示）が設けられ、このスライダ２３はガイドレール２５に移動可能に係合している。このガイドレール２５は上記ベース１上に架台２４を介してＸ方向に沿って設けられている。つまり、搬送テーブル２１はＸ方向に沿う１軸方向に駆動されるようになっている。
【００３１】
上記可動体２２は図示しない駆動手段によって上記ガイドレール２５に沿うＸ方向に往復駆動されるようになっている。可動体２２をＸ方向に沿って往復駆動する駆動手段としては、駆動源によって回転駆動されるねじ軸やシリンダを用いてもよいが、この実施の形態ではガイドレール２５に所定間隔で配置された多数の磁石と、上記スライダ２３に設けられた電磁コイルとからなるリニアモータによって構成されている。
【００３２】
上記搬送テーブル２１には上記回路基板１０２が供給載置される。回路基板１０２は一端部を搬送テーブル２１の端面から突出させて供給され、その状態で幅方向の複数個所が複数の保持部材２７（１つのみ図示）によって弾性的に押圧保持される。  
なお、回路基板１０２の一端部の上面には幅方向全長にわたってテープ状の異方性導電部材１０４が予め貼着されている。
【００３３】
上記保持部材２７は弾性を備えた帯板によって屈曲形成されていて、先端部が上記回路基板１０２の上面を弾性的に押圧するとともに、後端は上記可動体２２の側面に設けられた第１のＺシリンダ２９のロッド２９ａに連結固定されている。
【００３４】
したがって、上記第１のＺシリンダ２９のロッド２９ａが突出方向に駆動されれば、上記保持部材２７は図１に鎖線で示すように上昇して先端部が搬送テーブル２１上の回路基板１０２の上面から離れ、この回路基板１０２の保持状態が解除される。それによって、回路基板１０２を上記搬送テーブル２１に対して着脱することができるようになっている。
【００３５】
上記バックアップツール１２の上記可動体２２側の側面には、軸線を垂直にして複数の第２のＺシリンダ３１（１つのみ図示）が搬送テーブル２１の他端、つまりバックアップツール１２側に位置する先端面に開放して形成された複数の凹部２１ａ（１つのみ図示）と対応する間隔で設けられている。
【００３６】
上記第２のＺシリンダ３１のロッド３１ａには受け部材３０が上面を水平にして取り付けられている。この受け部材３０は矩形状で、上記搬送テーブル２１に形成された凹部２１ａ内に入り込む大きさに形成されている。
【００３７】
上記搬送テーブル２１に供給載置された回路基板１０２は、Ｘ方向に駆動されて実装位置Ｂに位置決めされる前に、図４（ａ）に示すようにその長手方向の両端部に設けられた一対の位置合わせマークｍ１が第１の撮像手段として一対の第１の撮像カメラ３３（１のみ図示）によって撮像される。同図においてＳ１は一対の第１の撮像カメラ３３の視野範囲を示す。
【００３８】
上記第１の撮像カメラ３３の撮像信号は図１に示す画像処理部３４に出力され、ここでデジタル信号に変換されてから制御装置３５に出力される。この制御装置３５には図示しない演算処理部が設けられ、上記デジタル信号はこの演算処理部で演算処理される。それによって、上記回路基板１０２のＸ座標、Ｙ座標及び回転角度θ１が算出される。
【００３９】
上記テーブルユニット２のθテーブル７に供給載置された液晶表示パネル１００は、Ｘ方向に駆動されて実装位置に位置決めされる前に、図４（ａ）に示すように一側部の長手方向の両端部に設けられた一対の位置合わせマークｍ２が第２の撮像手段として一対の第２の撮像カメラ３６によって撮像される。同図においてＳ２は一対の第２の撮像カメラ３６の視野範囲を示す。
【００４０】
上記第２の撮像カメラ３６の撮像信号は上記画像処理部３４でデジタル信号に変換されてから上記制御装置３５に出力され、この制御装置３５に設けられた図示しない演算処理部で演算処理されて上記液晶表示パネル１００のＸ座標、Ｙ座標及び回転角度θ２が算出される。
【００４１】
上記回路基板１０２は第１の撮像カメラ３３によって撮像されてＸ座標、Ｙ座標及び回転角度θ１が算出されたならば、算出されたＸ座標に基いて異方性導電部材１０４が設けられた先端部がバックアップツール１２の上方に位置決めされるよう、Ｘ方向に駆動される。
【００４２】
ついで、図２（ａ）に示すように第２のＺシリンダ３１が作動して受け部材３０が上昇方向に駆動され、搬送テーブル２１に形成された凹部２１ａに入り込んで回路基板１０２が支持される。
【００４３】
受け部材３０が回路基板１０２を支持すると、図２（ｂ）に示すように第１のＺシリンダ２９が作動して保持部材２７による回路基板１０２の保持状態を解除した後、上記搬送テーブル２１が後退方向に駆動される。
【００４４】
ついで、図２（ｃ）に示すように上記受け部材３０が第２のＺシリンダ３１によって下降方向に駆動され、回路基板１０２の先端部がバックアップツール１２の上面に支持される。なお、バックアップツール１２は回転角度θ１で傾斜した回路基板１０２の先端部を確実に支持することができる幅寸法を有する。
【００４５】
一方、上記液晶表示パネル１００は第２の撮像カメラ３６によって撮像されてＸ座標、Ｙ座標及び回転角度θ２が算出されたならば、その回転角度θ２が回路基板１０２の回転角度θ１と比較される。そして、これらの回転角度θ１、θ２に差異があると、上記液晶表示パネル１００は図４（ｂ）に示すように第２の撮像カメラ３６の視野内でその回転角度θ２が回路基板１０２の回転角度θ１と一致するよう回転角度が補正される。このとき、液晶表示パネル１００の回転角度を設定するテーブルユニット２のθテーブル７は、θ駆動源８によって図示せぬθ駆動機構が駆動されて回転方向に駆動される。
【００４６】
しかしながら、θ駆動機構はバックラッシュや製作精度などによって駆動誤差が生じるから、制御装置３５での演算結果に基いてθテーブル７を回転方向に駆動しても、その回転角度が演算結果に基く回転角度と異なることがある。
【００４７】
上記θテーブル７の回転駆動は液晶表示パネル１００を撮像した第２の撮像カメラ３６の視野範囲Ｓ２内で行なわれている。そのため、制御装置３５の演算結果に基いて回転駆動されたθテーブル７の回転角度が演算結果と一致しているか否かを第２の撮像カメラ３６によって直ちに確認することができる。仮に、θテーブル７の回転角度が回路基板１０２の回転角度θ１と一致していなければ、その回転角度が一致するようθテーブル７が再度回転駆動される。
【００４８】
したがって、θテーブル７によって液晶表示パネル１００の回転角度を設定するとき、第２の撮像カメラ３６の撮像信号を画像処理部３４にフィードバックしながら行なえば、液晶表示パネル１００の実際の回転角度を第２の撮像カメラ３６の撮像信号から算出された回転角度に一致させることができる。すなわち、撮像カメラ２６の精度内で精密に位置決めすることができる。
【００４９】
つまり、液晶表示パネル１００の回転角度θ２を、θ駆動源８によって駆動される図示せぬθ駆動機構の駆動誤差に影響されることなく、図４（ｂ）に示すように回路基板１０２の回転角度θ１に精密に一致させることができる。
【００５０】
液晶表示パネル１００の回転角度θ２を、回路基板１０２の回転角度θ１に一致させたならば、それと同様、一対の第２の撮像カメラ３６の視野範囲Ｓ２内で液晶表示パネル１００のＹ座標を、回路基板１０２のＹ座標に一致させる。それによって、液晶表示パネル１００のＹ座標を、回路基板１０２のＹ座標に精密に一致させることができる。
【００５１】
このようにして、液晶表示パネル１００の回転角度θ２とＹ座標を回路基板１０２の回転角度θ１とＹ座標に一致させたならば、図３（ａ）に示すように液晶表示パネル１００を実装位置Ｂに向かうＸ方向に駆動し、ＴＣＰ１０３が貼着された一側部をバックアップツール１２上に位置決めされた回路基板１０２の先端部の上方に位置決めする。
【００５２】
液晶表示パネル１００と回路基板１０２のＸ方向の位置決めは、第１の撮像カメラ３３と第２の撮像カメラ３６とによって撮像された撮像信号を画像処理してから演算処理された値に基いて行なわれる。
【００５３】
そのため、テーブルユニット２のＸ方向の位置決め精度に応じて多少の誤差が生じることが考えられる。しかしながら、液晶表示パネル１００と回路基板１０２のＸ方向の位置決め精度はＹ方向に比べて許容範囲が大きいため、Ｘ方向の多少の誤差は問題とはならない。
【００５４】
つまり、液晶表示パネル１００にＴＣＰ１０３を介して回路基板１０２を接続する場合、ＴＣＰ１０３と回路基板１０２に設けられた端子（図示せず）の幅方向（Ｙ方向）の位置決め精度は、端子の幅寸法がμｍ単位で微細化しているために高精度が要求される。それに対し、端子の幅方向と交差するＸ方向の位置決め精度に多少のずれがあっても、端子はＸ方向に沿って細長いため、互いの端子の接続不良を招くことはない。
【００５５】
したがって、液晶表示パネル１００に接続されたＴＣＰ１０３の端子と、回路基板１０２に設けられた端子は、回転方向及びＹ方向にずれが生じないよう、液晶表示パネル１００と回路基板１０２との回転角度θ１、θ２とＹ座標を設定すれば、これらの実装精度を精密に行なうことができる。
【００５６】
図３（ｂ）に示すように、液晶表示パネル１００に接続されたＴＣＰ１０３の一端部がバックアップツール１２上に位置決めされた回路基板１０２の先端部の上方に位置決めされると、加圧ツール１５が下降方向に駆動される。それによって、回路基板１０２をＴＣＰ１０３に本圧着することになる。
【００５７】
このように、回路基板１０２を第１の撮像カメラ３３で撮像し、その撮像信号によってＸ座標、Ｙ座標及び回転角度θ１を算出したならば、回路基板１０２をＸ方向に駆動して先端部をバックアップツール１２上に位置決めする。
【００５８】
一方、液晶表示パネル１００を第２の撮像カメラ３６で撮像してＸ座標、Ｙ座標及び回転角度を算出したなら、その算出に基いて上記第２の撮像カメラ３６の視野範囲Ｓ２内で、この第２の撮像カメラ３６の撮像信号を制御装置３５にフィードバックしならが、液晶表示パネル１００の回転角度θ２とＹ座標が回路基板１０２の回転角度θ１とＹ座標に一致するよう、上記液晶表示パネル１００の駆動制御を繰り返して行なう。
【００５９】
それによって、液晶表示パネル１００を回路基板１０２に対し、θ駆動源８やＹ駆動源６による駆動誤差に左右されることなく、精密に位置決めすることができるから、液晶表示パネル１００に対して回路基板１０２を高精度に実装することができる。
【００６０】
しかも、回路基板１０２は第１の撮像カメラ３３によって撮像したならば、回転角度やＹ座標を制御することなく、Ｘ方向に駆動して実装位置に位置決めするようにした。そのため、回路基板１０２はＸ方向だけの１軸駆動でよいから、回路基板１０２を駆動するための機構や制御を簡略化することができる。
【００６１】
液晶表示パネル１００の一側辺に複数、たとえば２枚の回路基板１０２を実装する場合、１枚目の回路基板１０２を上述したように実装したならば、次の回路基板１０２を搬送テーブル２１に供給する。そして、その回路基板１０２を第１の撮像カメラ３３で撮像してＸ座標、Ｙ座標及び回転角度θ１を算出する。
【００６２】
一方、液晶表示パネル１００はテーブルユニット２のθテーブル７によって実装位置Ｂから位置合わせマークｍ２が第２の撮像カメラ３６によって撮像することができる位置まで後退させる。
【００６３】
そして、２枚目の回路基板１０２の回転角度θ１及びＹ座標に対し、液晶表示パネル１００の回転角度θ２及びＹ座標が一致するよう、第２の撮像カメラ３６の視野範囲Ｓ２内で上記液晶表示パネル１００の位置を補正してから、その液晶表示パネル１００を実装位置Ｂに搬送し、回路基板１０２を実装すればよい。
【００６４】
なお、上記一実施の形態では液晶表示パネルの一側辺部に２つの回路基板を実装する場合について説明したが、１つ或いは３つ以上の回路基板を実装する場合であっても、同じように行なえばよい。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】この発明の一実施の形態の実装装置を示す概略的構成図。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は回路基板をバックアップツールに対して位置決めする順序を示す説明図。
【図３】（ａ），（ｂ）は位置決めされた回路基板を液晶表示パネルに接続されたＴＣＰに実装する説明図。
【図４】（ａ）は回路基板に対して液晶表示パネルを位置決めする前の状態を示す説明図、（ｂ）は回路基板に対して液晶表示パネルを位置決めした状態を示す説明図。
【図５】（ａ）は一側部に２つの回路基板がＴＣＰを介して接続された液晶表示パネルの平面図、（ｂ）は同じく拡大側面図。
【符号の説明】
【００６６】
２…テーブルユニット（第２の搬送位置決め手段）、７…θテーブル、１１…圧着部、１２…バックアップツール、１５…加圧ツール（実装手段）、２１…搬送テーブル（第１の搬送位置決め手段）、３３…第１の撮像カメラ（第１の撮像手段）、３４…画像処理部、３５…制御装置、３６…第２の撮像カメラ（第２の手段）。
【図１】
0004937857.tif 000002
【図２】
0004937857.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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