(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
遷移金属窒化物からなり、露光波長に対して吸収性を示し、前記露光波長よりも長い検査波長に対して反射性を示す吸収層と、
前記吸収層の下に配置された多層反射体と、
前記吸収層の上に配置され、前記検査波長に対して低反射性を示す反射防止層と、
前記反射防止層の上に配置され、主成分が炭素であるハードマスク層と、を備えるマスクブランク。
【請求項２】
請求項１記載のマスクブランクであって、
前記ハードマスク層を被覆するレジスト層をさらに備えるマスクブランク。
【請求項３】
請求項１記載のマスクブランクであって、
前記ハードマスク層が、ＨＦ溶液に可溶性であるマスクブランク。
【請求項４】
請求項１記載のマスクブランクであって、
前記ハードマスク層が、その成分のいずれにも、原子番号２４より大きい原子番号を持たないマスクブランク。
【請求項５】
請求項１記載のマスクブランクであって、
前記吸収層の遷移金属窒化物に用いられる遷移金属が、揮発性フッ素化合物又は揮発性塩素化合物と結合するマスクブランク。
【請求項６】
請求項１記載のマスクブランクであって、
前記検査波長が、少なくとも１９３ｎｍであり８００ｎｍを超えないマスクブランク。
【請求項７】
請求項１記載のマスクブランクであって、
前記吸収層の下に配置され、少なくとも１００ナノメートルの露光波長に対して透過性を示す担体基板をさらに備えるマスクブランク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、例えば半導体集積回路を作製するために用いられるフォトマスク及びフォトマスクの製造方法に関する。極紫外線リソグラフィ（ＥＵＶＬ）、ならびに、例えばダブルパターニング又は高ＮＡ液浸リソグラフィなどの、改良型光学リソグラフィプラットホームのようなマスク技術では、吸収層は、レジストマスクによってパターン化される。得られる解像度は、主に、要求されるレジスト厚さ及びレジストの種類に依存する。高解像度を得るためには、薄いレジスト層が必要とされる。他方で、レジスト層から吸収層へのパターン転写中にレジストパターンが消耗するので、レジストは十分に厚くなければならない。
【背景技術】
【０００２】
ＥＵＶリソグラフィに関して、吸収体パターンは通常、吸収体パターンの光学検査中に使用される放射線を反射する。従って、吸収層は通常反射防止層で覆われており、この反射防止層は、その検査波長に対する反射率が吸収層の反射率よりも低い。反射防止層は、その後のマスク検査中のコントラストを強調する。一般に、反射防止層は、レジストパターンを吸収層へ転写する通常のエッチング工程に対して耐久性がある。
【０００３】
更に、通常ＤＵＶ及びＵＶリソグラフィに使用されるような透明なフォトマスクは、クロム含有層を使用しており、マスク上に非透過的な領域を形成する。クロム含有層のパターン化には、通常、揮発性クロム化合物、例えばＣｒＯ２Ｃｌ２を生成する酸素ベースのエッチング工程を必要とする。しかしながら、酸素ベースのエッチング工程は、通常、マスクパターン内のパターン寸法（線幅）に影響を与える等方成分を示す。
【０００４】
米国特許第６，７２０，１１８B２は、ＥＵＶマスクの吸収スタックを開示しており、この吸収スタックは、金属窒化物ベース、例えば窒化チタン又は窒化タンタルベースの吸収層と、フッ素（Ｆ）、酸素（Ｏ）、アルゴン（Ａｒ）、炭素（Ｃ）、水素（Ｈ）、窒素（Ｎ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、及びホウ素（Ｂ）のような非金属を１つ以上含有する別のタンタル化合物又はチタン化合物を含み、吸収層を被覆する反射防止層とを備える。
【特許文献１】米国特許第６，７２０，１１８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
露光波長に対して短い吸収長を有し、高解像度でパターン化される高効率の吸収層を備えたフォトマスク、さらに、このような高効率の吸収層と反射防止層とを含むフォトマスクをパターン化する方法が必要である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施形態によるマスクブランクは、露光波長に対して吸収性を示し、検査波長に対して反射性を示す吸収層を備え、その露光波長は、リソグラフィ工程において、パターンをフォトマスクから例えば半導体ウェハへ転写するのに使用される。露光波長は例えば１３．５ｎｍとすることができる。検査波長は、典型的な光学的欠陥検出手段の波長であり、露光波長より長く、例えば１９３ｎｍ、１９６ｎｍ、又は２４８ｎｍである。
【０００７】
前記吸収層の上に反射防止層が配置され、当該反射防止層は、検査波長に対して低反射性を示す。反射防止層は、吸収層上に直接配置される。さらに、反射防止層の上にハードマスク層が配置される。ハードマスク層は、反射防止層と接触するように反射防止層上に直接配置される。他の実施形態によれば、ハードマスク層と反射防止層との間にさらなる層を配置してもよい。ハードマスク層の成分のいずれにも、有効原子番号４１より大きい有効原子番号をもたない。ハードマスク層にとって好適な材料及び好適なエッチング工程を選択することにより、エッチング速度Ｒ（ＨＭ）を有するハードマスク層の材料と、ハードマスクをパターン化するためにハードマスク層の上に配置され、エッチング速度Ｒ（Ｒｅｓ）を有するレジストとの間の第１エッチング選択比Ｓ１＝Ｒ（ＨＭ）／Ｒ（Ｒｅｓ）は、エッチング速度Ｒ（ＡＲ）を有する反射防止層の材料と前記レジストとの間の第２エッチング選択比Ｓ２＝Ｒ（ＡＲ）／Ｒ（Ｒｅｓ）よりも大きくなる。
【０００８】
したがって、マスクブランクをパターン化するために用いられるレジスト層は、ハードマスクのないものよりも薄くすることができる。さらに、ハードマスク層の成分の原子番号が小さいため、ハードマスク層の上に配置されたレジスト層の電子線描画中の電子の後方散乱が低減される。
【０００９】
別の実施形態によれば、レジスト層がハードマスク層を被覆してもよい。ハードマスク層は、フッ素又は塩素ベースのエッチング工程において、反射防止層のエッチング速度より小さくはないエッチング速度を有するので、例えば１６０ｎｍよりも薄いレジスト層の塗布を容易にすることができる。
【００１０】
ハードマスク層は、ＨＦ水溶液に可溶性であるため、ハードマスク残留物を除去する間の、吸収層、反射防止層、又は下層の損傷が回避される。
【００１１】
ハードマスク層の各主成分は、原子番号を２４、又はそれいかの原子番号、例えば６を有するため、電子線露光中又は任意の荷電粒子による露光中の電子の後方散乱効果を低減することができる。本明細書において、主成分又は成分という用語は、工程の不完全さによる汚染物を含まない。
【００１２】
一実施形態によれば、ハードマスク層はケイ素及び酸素を含有し、例えばハードマスク層は、フッ素ベースのエッチング工程において高いエッチング耐性を示す二酸化ケイ素層又は酸窒化ケイ素層とすることができる。別の実施形態によれば、ハードマスク層は、クロム又は炭素を含むか、又はクロム又は炭素からなる。マスクブランクは、吸収層の下に表面を覆われた又は表面が覆われていない多層反射体が配置されたＥＵＶＬマスクのブランク、又は、少なくとも１９３ｎｍの露光波長に対して透過性を示す担体基板が吸収層を支持している透過型マスクのブランクとすることができる。
【００１３】
本発明の別の実施形態によるフォトマスクは、露光波長に対して透過性を示す担体基板と、当該露光波長に対して非透過性を示し、当該露光波長以上の検査波長に対して反射性を示す吸収層とを含む。吸収層の上に配置された反射防止層は、検査波長に対して低反射性を示す。反射防止層が、検査波長に対して例えばクロムベースの層よりも低い反射率を示すので、本実施形態によるフォトマスクは、欠陥検出中において、コントラストを増大する。
【００１４】
一実施形態によれば、反射防止層の上にハードマスク層が配置され、当該ハードマスク層は、成分のいずれにも原子番号４１より大きい原子番号を持たない。同一のハードマスク層の構造は、ＥＵＶＬマスクにも用いられる。結果として、同一又は実質的には同一の化学エッチングを用いて、透過型マスク及び反射型マスクをパターン化することができる。
【００１５】
他の実施形態によれば、レジスト層がハードマスク層を被覆し、及び／又は、担体基板と吸収層との間に位相シフト層を配置してもよい。
【００１６】
さらなる実施形態によれば、反射防止層及び吸収層がパターン化されて、吸収構造体を有する吸収体パターンが形成され、当該吸収構造体間で、下層、例えば担体基板の一部が露出する。
【００１７】
本発明の別の実施形態は、フォトマスクの製造方法を示しており、ここで、マスクブランクは、吸収層の上に配置された反射防止層と、反射防止層の上方、例えば反射防止層上に直接配置されたハードマスク層とを備える。ハードマスク層はパターン化されてハードマスクを形成し、当該ハードマスクのパターンは、反射防止層へ転写される。その後、反射防止層のパターンは吸収層へ転写されて、下層、例えば担体基板の一部が露出する。ハードマスク層は、レジストマスクパターンをハードマスク層へ転写することによりパターン化される。レジストマスクは薄く、例えば約１００ｎｍ以下にすることができるので、レジストは、高解像度にてパターン化される。反射防止層のパターンが吸収層へ転写される前に、レジストマスクの残留物を除去することができるので、レジスト残留物の除去は、吸収層の下の下層を損傷することがない。
【００１８】
ハードマスク残留物は、反射防止層がパターン化された後に、ウェットエッチング工程によって除去される。
【００１９】
本発明の実施形態の特徴及び利点は、以下の図面の説明から明らかとなろう。図面は必ずしも縮尺通りではなく、本質を示すことに重点を置いている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１Ａ〜図１Ｃは、反射型フォトマスク、例えばＥＵＶリソグラフィマスクを示す。
【００２１】
図１Ａは、ベース部１１０と、吸収スタック１２０と、ハードマスク層１３０とを備えるＥＵＶマスクブランク１００の断面図である。ベース部１１０は、担体基板１１４を備える。担体基板１１４は、ガラス、セラミック、又は熱伸張率の低い別の酸化ケイ素材料、例えば二酸化チタンでドープした二酸化ケイ素とすることができる。ベース部１１０は、多層反射体１１６をさらに備えている。多層反射体１１６は、２０〜１００の二重層（bi-layer）を含むことができ、各二重層は、大きい原子番号を有する第１の材料の第１層１１６ａと、小さい原子番号を有する別の材料の第２層１１６ｂからなる。二重層は、第１層１１６ａ及び第２層１１６ｂの順序が交互になるように配置されている。第１層１１６ａは散乱層として作用する。第２層１１６ｂは、露光放射線波長に対して最小の吸収性を有するスペーサ層として作用する。例えば、第１層１１６ａは、約４２の有効原子番号を有するモリブデン層とすることができ、第２層１１６ｂは、約１４の有効原子番号を有するケイ素層とすることができる。例えば１３．５ｎｍの露光波長に対して、各二重層は、１．５〜３．５ｎｍ厚のモリブデン層及び３．０〜５．０ｎｍ厚のケイ素層からなる。さらに、裏面層１１２は、担体基板１１４において、多層反射体１１６と対向するように設けられている。裏面層は導電性とすることができ、静電チャックを容易にする。裏面層１１２は、例えばクロム層とすることができ、クロム層は約７０ｎｍ厚とすることができる。ベース部１１０は、キャップ層１１８をさらに備えることができ、キャップ層は例えば、ルテニウムから成る層、又はルテニウム含有層であり、約２．０〜約４．０ｎｍ厚とすることができる。
【００２２】
ベース部１１０は、吸収スタック１２０を支持する。吸収スタック１２０は、キャップ層１１８と接触してもよい。別の実施形態によれば、吸収スタック１２０とベース部１１０との間にバッファ層を配置してもよい。吸収スタック１２０は、吸収層１２２と反射防止層１２４とを備える。吸収層１２０は、金属窒化物ベース、例えば、窒化タンタル又は窒化チタンのような遷移金属窒化物ベースであり、約１０ｎｍ〜約９０ｎｍの厚さを有する。吸収層１２２は、露光波長に対応する第１波長に対して吸収性を示し、その露光波長に対する吸収率は５０％以上である。吸収層１２２は通常、第２波長に対して反射性を示し、フォトマスクは、パターン化後においてこの第２波長によって検査される。通常、この反射率は、例えば１９３ｎｍ、１９８ｎｍ、２４８ｎｍ、２５７ｎｍ、２６６ｎｍ、３６５ｎｍ又は４８８ｎｍの標準的な検査波長に対して、４０％以上である。検査波長をさらに長くすることができるが、波長が短い方が解像度が良好となる。さらに、マスク位置調整手段は、可視光波長領域において操作する光学パターン検出に基づいている。
【００２３】
吸収スタック１２０は、反射防止層１２４をさらに備える。反射防止層１２４は、吸収層１２２の上に配置されており、検査波長に対して吸収層１２２より低い反射性を示す。その反射率は通常、それぞれの検査波長に対して１２％未満である。反射防止層１２４は、金属窒化物ベース、例えば、窒化チタン又は窒化タンタル等の遷移金属窒化物ベースであり、塩素、フッ素、アルゴン、水素又は酸素を含む群から選択されたさらなる成分のうちの１つ以上をさらに含んでもよい。反射防止層１２４は、上記のさらなる成分又はそれらの前駆体を含有する環境において、吸収層１２２を処理することにより形成される。別の実施形態によれば、反射防止層は、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）層とすることができる。
【００２４】
ＥＵＶマスクブランク１００は、最も重い成分が原子番号４２未満の原子番号を有するハードマスク層１３０をさらに備える。ハードマスク層１３０は、反射防止層１２４の上に配置されており、この反射防止層１２４と接触する。ハードマスク層１３０は、フッ素ベースのドライエッチング工程において、毎秒１ｎｍ未満のエッチング速度を有する。例えば、最も重い成分の原子番号は、２５未満、例えば２４又は１４である。別の実施形態によれば、最も重い成分の原子番号は、１４未満である。ハードマスク層１３０の厚さは、例えば約１０〜約３０ｎｍである。ハードマスク層１３０は、酸化ケイ素層、例えば二酸化ケイ素層、酸窒化ケイ素層、炭素層、又は、ゲルマニウム及び／又はアルミニウム又はクロムベースの層である。
【００２５】
ハードマスク層１３０は、薄いレジスト層１３０を用いてパターン化される。レジスト層１３０の厚さは、２００ｎｍ未満、例えば約１００ｎｍとすることができ、標準的な吸収スタックをハードマスクなしでパターン化するのに必要となる通常のレジスト厚さよりも薄くすることができる。薄いレジスト層は、レジスト層の高解像度パターン工程を容易にする。フッ素ベースのドライエッチング工程を利用することにより、厚さが３０ｎｍ未満のハードマスク層１３０は、高いエッチング耐性の反射防止層１２４でさえ除去するのに充分である。ハードマスク層１３０の成分の原子番号が小さいため、電子線描画によるレジスト層のパターン化中の電子の後方散乱が低減される。ハードマスク層１３０は、さらに、その後の吸収層１２２のエッチング中に、反射防止層１２４を保護する。検査中及び／又は光学パターン認識中における反射性能を劣化させる反射防止層１２４の反射率の低下は回避される。これにより、側壁角を急勾配にし、面取り部を最小にすることができる。同じハードマスクを使用して、様々な種類のフォトマスクの様々な反射防止層をエッチングすることができる。
【００２６】
図１Ｂは、ベース部１１０と、吸収スタック１２０と、ハードマスク層１３０とを備えるさらなるマスクブランク１０１を示す。更に、マスクブランク１０１は、レジスト層１４０を備える。レジスト層１４０は、例えば、約６０〜約２００ｎｍの厚さを有する電子レジスト層である。レジスト材料は、化学増幅レジスト、自己集合レジスト材料又は非化学増幅レジストである。
【００２７】
図１Ｃは、パターン化されたＥＵＶマスク１０２を示し、このＥＵＶ１０２は、図１Ａ又は図１Ｂを参照して説明したようなマスクブランクから作成される。ＥＵＶマスク１０２は、パターン化されないベース部１１０と、吸収構造体１２０ａを有するパターン化された吸収スタックとを備え、これらの吸収構造体１２０ａは、吸収構造体１２０ａ間のベース部１１０、例えばキャップ層１１８を露出する溝１２０ｂにより分離されている。吸収構造体１２０ａは、溝１２０ｂを完全にエッチングする間、ハードマスク層１３０の残留部分により覆われたままであるので、面取り部は生じない。吸収構造体の段部は急勾配である。その形状寸法は３０ｎｍ未満である。
【００２８】
図２Ａ〜図２Ｃは、例えばＤＵＶ又はＵＶリソグラフィにおいて用いられる透過型フォトマスクを示している。
【００２９】
図２Ａに示すマスクブランク２００は、ガラス又はセラミック、例えばドープした二酸化ケイ素からなる透過性の担体基板２１４を備える。マスクブランク２００は、吸収スタック２２０をさらに備え、この吸収スタック２２０は、担体基板２１４の上に配置された吸収層２２２を含む。吸収層２２２は、担体基板２１４と接触し、厚さが約１０〜約１００ｎｍの窒化タンタル層である。反射防止層２２４は、吸収層２２２を被覆する。反射防止層２２４は、さらなる成分、例えば酸素、フッ素、水素、又はアルゴン等を含有するさらなる窒化タンタル層とすることができ、１０〜１４ｎｍの厚さを有する。
【００３０】
厚さが１０〜３０ｎｍのハードマスク層２３０が、吸収スタック２２０の上に配置されている。吸収／ハードマスク層の構成２２０／２３０は、図１Ａ〜図１ＣのＥＵＶＬマスクの構成と同一とすることができる。フォトマスクの種類には関係しない特有の堆積／パターン化方法を実施してもよい。エッチング方法が酸素ベースの化学エッチングを必要としないので、パターンエッチングは極めて異方性となり、線幅の縮小を回避する。
【００３１】
図２Ｂは、さらなる透過型マスクブランク２０１を示し、このマスクブランク２０１は、図２Ａを参照して説明したように、担体基板２１４と、吸収スタック２２０と、ハードマスク層２３０とを備える、更に、マスクブランク２０１は、厚さが５０〜１６０ｎｍの範囲内、例えば１３０ｎｍであるレジスト層２４０を備える。
【００３２】
図２Ｃは、パターン化された透過型マスク２０２を示し、この透過型マスク２０２は、前記マスクブランク２００、２０１のうちの一方から作成される。パターン化された透過型フォトマスク２０２は、担体基板２１４を備え、この担体基板２１４は、非透過性の構造体２２０ａを支持しており、これらの構造体２２０ａは、担体基板２１４を露出する溝２２０ｂにより分離されている。通常の透過型マスク内の非透過性の部分に用いられるクロムの反射率は、標準的な検査波長に対して約２０％であるのに対して、例えば窒化タンタル又は窒化ケイ素からなる反射防止層の標準的な検査波長に対する反射率は１０％未満である。結果として、光学検査中及び光学パターン認識中のコントラストを改良することができる。
【００３３】
図３Ａ〜図３Ｃは、透過型のハーフトーン（half tone）の位相シフトマスク３００〜３０２を示している。図３Ａに示すようなマスクブランク３００はベース部３１０を備え、このベース部３１０は、担体基板３１４の他に位相シフト層３１６も備える。担体基板３１４は、ガラス、例えばドープした二酸化ケイ素である。位相シフト層３１６は、約１０〜約５０ｎｍの厚さを有するシリカモリブデンである。吸収／ハードマスク層の構成３２０／３３０は、図１Ａ及び図２Ａを参照して説明したマスクブランク１００又は２００の構成と同一である。
【００３４】
図３Ｂは、約５０〜１６０ｎｍ、例えば１３０ｎｍの厚さを有するレジスト層３４０を更に備えるマスクブランク３０１を示している。
【００３５】
図３Ｃは、パターン化された位相シフトマスク３０２を示しており、この位相シフトマスク３０２は、吸収構造体３２０ａを有しており、この吸収構造体３２０ａは、担体基板３１４を露出する溝３２０ｂにより分離されている。他の実施形態によれば、位相シフト層３１６が、最後までエッチングされず、溝３２０ｂの底部において薄くなった層の一部(section)が担体基板３１４を被覆する。
【００３６】
図４Ａ〜図４Ｆは、図１Ａ、図１Ｂ、図２Ａ、図２Ｂ、図３Ａ、又は図３Ｂにおいて説明したようなマスクブランクをパターン化する方法を示している。断面図はＥＵＶＬ反射型マスクを示すが、この方法は、透過型の二成分マスク及び位相シフトマスクにも同様に適用される。
【００３７】
図４Ａに関しては、ベース部４１０により支持される吸収スタック４２０と、吸収スタック４２０を被覆するハードマスク層４３０とを備えるマスクブランクが示されており、ハードマスク層４３０は、吸収スタック４２０において、ベース部４１０と対向するように設けられている。吸収スタック４２０は吸収層４２２を備える。吸収層４２２は、半導体ウェハをパターン化する工程にて、フォトマスクを活用するフォトリソグラフィ工程においてフォトマスクが受けることになる露光放射線の露光波長と等しい第１波長に対して、高い吸収性を示す。露光波長は、例えば１３．５ｎｍである。その露光放射線に対する吸収層の吸収度は、５０％以上である。吸収層４２２は遷移金属窒化物を含有し、遷移金属は、揮発性フッ素化合物、例えば窒化タンタルを生成するように選択される。吸収層４２２は、マスクパターンの欠陥を走査する光学検査法で使用される検査波長と等しい第２波長に対して、反射性を示す。検査波長は、例えば１９３ｎｍ、１９８ｎｍ、２４８ｎｍ、２５７ｎｍ、２６６ｎｍ、３６５ｎｍ、又は４８８ｎｍ、又はそれ以上である。検査波長に対する吸収層の反射率は、４０％以上である。吸収層４２２は、ベース部４１０と接触する。吸収スタック４２０は、吸収層４２２を被覆する反射防止層４２４をさらに備える。反射防止層４２４は、検査波長に対して低反射性を示し、レジスト層をパターン化するのに使用される標準的な化学エッチングに対して、高エッチング耐性を示す。反射防止層４２４の反射率は、例えば１２％未満である。
【００３８】
ハードマスク層４３０は、反射防止層４２４の上方、例えば反射防止層４２４上に直接配置されており、フッ素ベースのエッチング工程では毎秒１ｎｍ未満のエッチング速度を有する。ハードマスク層４３０の最も重い成分の原子番号は、モリブデンの原子番号よりも小さく、例えば２４、又はそれ以下であり、例えば６である。ハードマスク層４３０は、例えば酸化ケイ素、酸窒化ケイ素、ゲルマニウム化合物、炭素、又はクロムを含有するか、又はこれらから構成される。例えば、１０ｎｍ厚のクロムのハードマスクは、約４０〜約９０ｎｍ厚であるＴａＮベースの吸収スタックをパターン化するのに十分なエッチング耐性である。別の実施形態によれば、ハードマスク層４３０と反射防止層４２４との間に別の層を設けてもよい。
【００３９】
マスクブランク４００は、例えば、約６０〜約２００ｎｍ厚、例えば１３０ｎｍである化学増幅電子線レジストを含むレジスト層をさらに備える。レジスト層のないマスクブランク４００が与えられる場合は、最初に、レジスト層が、ハードマスク層４３０上にを堆積される。レジスト層は、任意の種類の荷電粒子を使用する電子線描画装置又は別の器具を用いて、パターン化することができる。ハードマスク層４３０の成分の原子番号が小さいため、モリブデン又はタンタルを含有する下層と比較して、電子散乱は低減する。反射した電子が、描画トラックの外側の電子線レジストの一部を露光するので、後方散乱する電子から生じるフォッギンク効果(fogging effect)を低減することができる。
【００４０】
図４Ａは、電子線レジスト層をパターン化した後のマスクブランク４００を示す。レジスト構造体４４０ａ、例えば線及び点は、ハードマスク層４３０の一部を露出する溝４４０ｂにより分離されている。
【００４１】
図４Ｂを参照すると、レジストパターンはハードマスク層へ転写されて、線状又は点状の構造体４３０ａを有するハードマスクが形成され、これらの構造体４３０ａが、吸収スタック４２０の一部を露出する溝４３０ｂにより分離されている。ハードマスク層４３０へは、例えばＨＦを用いるウェットエッチング工程を使用して、レジストパターンを転写することができる。さらなる実施形態によれば、ウェットエッチング工程の代わりに、又はこれと組み合わせて、フッ素ベースのドライエッチング工程を使用することができる。フッ素ベースの化学エッチングを用いれば、１０〜３０ｎｍ厚の二酸化ケイ素を含有するハードマスク層４３０をエッチングする間、例えば１３０ｎｍ厚の電子線レジストは通常、完全には消耗されない。
【００４２】
図４Ｂに示すように、ハードマスクの形成後、レジストマスク残留物４４０ｃが依然としてハードマスク構造体４３０ａを被覆している。一実施形態によれば、レジスト残留物４４０ｃは、オゾンベースの洗浄工程又はエッチング工程により、続けて除去することができる。吸収スタック４２０は、オゾン洗浄工程中、下にあるベース部４１０の上層を保護するので、ベース部４１０の上層の損傷を回避することができる。別法として、Ｈ２ＳＯ４及びＨ２Ｏ２ベースのウェットストリップ工程（wet strip process）を使用することもできる。
【００４３】
図４Ｃを参照すると、例えばフッ素又は塩素ベースのドライエッチングにより、ハードマスクパターンを反射防止層４２４へ転写することができる。例えば３０ｎｍ厚のハードマスクは、１２ｎｍ〜１８ｎｍの範囲の通常厚さを有するタンタルベースの反射防止層４２４を充分に保護することができる。
【００４４】
図４Ｄに示すさらなる実施形態によれば、反射防止層４２４をパターン化した後に、レジスト残留物４４０ｄを除去することができる。図４Ｄは、例えば線状又は点状の構造体４２４ａを有するパターン化した反射防止層を備えたマスク４００を示しており、これらの構造体４２４ａは、レジスト残留物４４０ｄを除去した後にハードマスク構造体４３０ａにより保護されており、吸収層４２２の一部を露出する溝４２４ｂにより分離される。
【００４５】
図４Ｅを参照すると、その後、パターンは、例えばフッ素又は塩素ベースの化学エッチングにより吸収層４２２ａへ転写される。例えば吸収層４２２がタンタルを含有する場合、反射防止層区域４２４及びハードマスク構造体４３０ａに対するエッチング選択比を高めつつ、吸収層４２２のエッチング速度を高速にすることができる。さらに、フッ素／塩素ベースの化学エッチングは、反射型マスク及び透過型マスクの両方の通常の上層、例えばルテニウム層、ガラス層、及びケイ化モリブデン層を形成する材料上でエッチング停止を促進することができる。
【００４６】
結果として、パターン化工程及び吸収スタック／ハードマスクの構造を、ＥＵＶ反射型マスク、ならびに透過型二成分マスク及び位相シフトマスクに適用することができる。吸収スタック４２０のエッチング中、ハードマスクは、少なくとも部分的に消耗する。
【００４７】
図４Ｅは、部分的に消耗されたハードマスク構造体４３０ｃと、パターン化された反射防止層４２４ａと、ベース部４１０の一部を被覆するパターン化された吸収層４２２ａと、のみを示す。溝４２２ｂは、吸収構造体を分離し、下にあるベース部４１０の上層４１８の一部を露出する。図４ＥではＥＵＶ反射型マスク用の通常のベース部を示すが、ベース部４１０は、透過型フォトマスクの通常のベース部に取り替えることもできる。
【００４８】
図４Ｆに関しては、さらなるＨＦベースのウェットエッチング工程により、ハードマスク残留物４３０ｃを除去することができる。ＨＦベースのウェットエッチング工程は、実質的に、窒化タンタルベースの通常の吸収スタックの特性も、二成分マスクに使用できるようなガラス基板も、位相シフトマスクに使用されるようなケイ化モリブデン層も悪化させることがない。更に、通常の検査波長、例えば２５７ｎｍにて、反射防止層４２４ａの光学特性を維持することができる。
【００４９】
図４Ｆは、吸収体パターンを備えるパターン化したフォトマスク４００を示しており、この吸収体パターンは吸収構造体４２０ａを有し、これらの吸収構造体４２０ａは、下にあるベース部４１０の一部を露出する溝４２０ｂにより分離されている。吸収構造体４２０ａの上端は、吸収体パターン化工程の終わりまで、ハードマスク構造体４３０ｃで被覆されたままであるので、面取り部は発生しない。吸収スタック４２０をパターン化するのに使用される極めて異方性のエッチング工程は、急勾配な側壁角及び優れた輪郭制御（profile control）を実現する。
【００５０】
図５は、マスクの製造方法の、簡素化したフローチャートである。吸収層を被覆する反射防止層と、例えば反射防止層の上方、例えば反射防止層上に直接配置されたハードマスク層とを備えるマスクブランクが準備される（５０２）。ハードマスク層をパターン化して、ハードマスクを形成し（５０４）、ここで、例えば、まずレジスト層を提供して、電子線描画によりパターン化される。ハードマスク層のパターンは、反射防止層へ転写される（５０６）。その後、ハードマスク／反射防止層のパターンは、吸収層へ転写される（５０８）。続いて、ハードマスク層を除去する。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１Ａ】本発明の一実施形態によるハードマスク層を含むＥＵＶマスクブランクの部分的な概略断面図である。
【図１Ｂ】本発明のさらなる実施形態によるハードマスク層及びレジスト層を含むＥＵＶマスクブランクの部分的な概略断面図である。
【図１Ｃ】本発明のさらなる実施形態によるリソグラフィマスクの製造方法から生じる吸収体パターンを含むＥＵＶマスクの部分的な概略断面図である。
【図２Ａ】本発明の別の実施形態による吸収スタック及びハードマスク層を含む透過型フォトマスクブランクの部分的な概略断面図である。
【図２Ｂ】本発明のさらなる実施形態によるハードマスク層及びレジスト層を含む透過型フォトマスクブランクの部分的な概略断面図である。
【図２Ｃ】本発明のさらなる実施形態によるリソグラフィマスクの製造方法から生じる吸収体パターンを含む透過型フォトマスクの部分的な概略断面図である。
【図３Ａ】本発明の別の実施形態による吸収スタック及びハードマスク層を含む透過型位相シフトマスクブランクの部分的な概略断面図である。
【図３Ｂ】本発明のさらなる実施形態によるハードマスク層及びレジスト層を含む透過型位相シフトマスクブランクの部分的な概略断面図である。
【図３Ｃ】本発明のさらなる実施形態によるリソグラフィマスクの製造方法から生じる吸収体パターンを含む透過型位相シフトマスクの部分的な概略断面図である。
【図４Ａ】吸収スタックと、ハードマスク層と、レジスト層とを含むＥＵＶマスクの部分的な概略断面図であり、レジスト層をパターン化した後の、本発明の別の実施形態によるリソグラフィマスクの製造方法を示す図である。
【図４Ｂ】ハードマスク層をパターン化した後の、図４ＡのＥＵＶマスクの部分的な概略断面図である。
【図４Ｃ】吸収スタックの上層をパターン化した後の、図４ＡのＥＵＶマスクの部分的な概略断面図である。
【図４Ｄ】レジスト層残留物を剥奪した後の、図４ＡのＥＵＶマスクの部分的な概略断面図である。
【図４Ｅ】吸収スタックの吸収層をパターン化した後の、図４ＡのＥＵＶマスクの部分的な概略断面図である。
【図４Ｆ】ハードマスク層残留物を除去した後の、図４ＡのＥＵＶマスクの部分的な概略断面図である。
【図５】本発明のさらなる実施形態によるリソグラフィマスクの製造方法を示すフローチャートである。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
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【図５】
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