(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
切断用ワイヤが複数のローラの周囲に巻回されることによりワイヤ列が形成され、前記切断用ワイヤが軸方向に往復駆動され、該切断用ワイヤにスラリが供給されながら前記ワイヤ列に対してワークが切り込み送りされることにより、該ワークが軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断されるワイヤソーによるワークの切断方法において、前記ワークの切断後、前記ワイヤ列から該ワークの引き抜き時にワイヤを２ｍ／ｍｉｎ以下で前進方向及び後退方向への走行距離がそれぞれ１ｍ以下となるように往復走行させながらワークを引き抜き、前記ワーク引き抜き時に供給するスラリの温度を切断終了時の温度よりも高温とすることを特徴とするワイヤソーによるワークの切断方法。
【請求項２】
切断用ワイヤが複数のローラの周囲に巻回されることによりワイヤ列が形成され、前記切断用ワイヤが軸方向に往復駆動され、該切断用ワイヤにスラリが供給されながら前記ワイヤ列に対してワークが切り込み送りされることにより、該ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断するワイヤソーであって、前記ワークの切断後、前記ワイヤ列から該ワーク引き抜き時にワイヤを２ｍ／ｍｉｎ以下で前進方向及び後退方向への走行距離がそれぞれ１ｍ以下となるように往復走行させながらワークを引き抜き、前記ワーク引き抜き時に供給するスラリの温度を切断終了時の温度よりも高温とするよう制御するものであることを特徴とするワイヤソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤソーを用いて、ワーク（例えばシリコンインゴット、化合物半導体のインゴット等）から多数のウェーハを切り出す切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ウエーハの大型化が望まれており、この大型化に伴い、ワークの切断には専らワイヤソーが使用されている。
ワイヤソーは、ワイヤ（高張力鋼線）を高速走行させて、ここにスラリを掛けながら、ワークを押し当てて切断し、多数のウエーハを同時に切り出す装置である（特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、図３に、従来の一般的なワイヤソーの一例の概要を示す。
図３に示すように、ワイヤソー１０１は、主に、ワークを切断するためのワイヤ１０２、ワイヤ１０２を巻回した溝付きローラ１０３、ワイヤ１０２に張力を付与するための機構１０４、切断されるワークを下方へと送り出す機構１０５、切断時にスラリを供給する機構１０６で構成されている。
【０００４】
ワイヤ１０２は、一方のワイヤリール１０７から繰り出され、トラバーサ１０８を介してパウダクラッチ（定トルクモータ１０９）やダンサローラ（デッドウェイト）（不図示）等からなる張力付与機構１０４を経て、溝付きローラ１０３に入っている。ワイヤ１０２がこの溝付きローラ１０３に３００〜４００回程度巻掛けられることによってワイヤ列が形成される。ワイヤ１０２はもう一方の張力付与機構１０４’を経てワイヤリール１０７’に巻き取られている。
【０００５】
また、溝付きローラ１０３は鉄鋼製円筒の周囲にポリウレタン樹脂を圧入し、その表面に一定のピッチで溝を切ったローラであり、巻掛けられたワイヤ１０２が、駆動用モータ１１０によって予め定められた走行距離で往復方向に駆動できるようになっている。
【０００６】
なお、ワークの切断時には、ワーク送り機構１０５によって、ワークは保持されつつ押し下げられ、溝付きローラ１０３に巻回されたワイヤ１０２に送り出される。
また、溝付きローラ１０３、巻掛けられたワイヤ１０２の近傍にはノズル１１５が設けられており、切断時にスラリタンク１１６からワイヤ１０２にスラリを供給できるようになっている。また、スラリタンク１１６にはスラリチラー１１７が接続されており、供給するスラリの温度を調整できるようになっている。
【０００７】
このようなワイヤソー１０１を用い、ワイヤ１０２にワイヤ張力付与機構１０４を用いて適当な張力をかけて、駆動用モータ１１０により、ワイヤ１０２を往復方向に走行させながらワークをスライスする。
【０００８】
前記ワイヤがワークを保持する当て板に到達するまでワークの切り込みを行うことによってワークの切断は完了する。その後、ワークの送り出し方向が逆転することにより、前記ワイヤ列から切断済みワークが引き抜かれることになる。
【０００９】
前記ワイヤ列からワークを引き抜く際に該ワイヤがワークの切断箇所に引っ掛かりワイヤが浮上ってしまうことを防止するためのワイヤソーとして、特許文献２に示されるように、規制手段を構成する一対の規制部材によりワークのワイヤ出入り点近傍位置にてワイヤを押さえ込んでワイヤの浮上りを規制する手段を備えたワイヤソーが示されている。
【００１０】
しかしながら、上記のような一般的なワイヤソーを用いてワークをウェーハ状に切断し、切断されたウェーハの形状を調べてみると、大きなＷａｒｐが生じてしまっていた。
Ｗａｒｐは半導体ウェーハの切断における重要品質の一つであり、製品の品質要求が高まるにつれ、一層の低減が望まれている。
【００１１】
ワークの品質への悪影響の一例として、前記ワーク切断後、ワイヤ列から切断済みワークを引き抜く際、ワーク切断面に残存したスラリによりワーク切断面へダメージを与えるという問題があり、特許文献３に前記ワーク切断面への悪影響を抑制するために、前記ワイヤ列から切断済みワーク引き抜き時にワイヤに付加する張力を高めるワイヤソーが示されている。
【００１２】
【特許文献１】特開平９−２６２８２６号公報
【特許文献２】特開平８−１１０４７号公報
【特許文献３】特開２００３−２７５９５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
一般に、切断用ワイヤに供給されるスラリは、微細な砥粒を油性又は水溶性のクーラントで懸濁したものであり、攪拌を行わない状態では砥粒と液成分とが分離し易いため、切断後のワークには、前記液成分が抜けることにより高粘度化したスラリが残存し易い。従って、この状態でワークをワイヤ列から引き抜くと、当該ワイヤ列からワーク切断面がダメージを受けて当該切断面にいわゆるソーマークが生じやすく、これによってＷａｒｐが悪化して品質を損ねる結果を招く。
【００１４】
前記ソーマークは、ワーク送り方向と垂直方向、すなわちワイヤ走行方向にスジ状に発生する。これは、ワーク表面に残存したスラリをワイヤの走行に伴ってワイヤ走行方向へ移動させることによって発生すると考えられる。
従って、これを防ぐためには、ワーク引き抜きの際にワイヤの走行を停止させれば良いが、ワイヤの走行を停止した状態で、ワークの引き抜きを行うと、ワーク表面に残存したスラリ中で、特に砥粒が凝集してワーク表面に固着した部分でワイヤ列が局所的に引っかかり、切断用ワイヤの断線が発生する結果となる。
【００１５】
本発明は前述のような問題に鑑みてなされたもので、簡単な構成でワイヤソーのワイヤ列により切断したワークをその切断面に悪影響を与えることなく前記ワイヤ列から切断済みワークを引き抜くことができるワイヤソーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明は、切断用ワイヤが複数のローラの周囲に巻回されることによりワイヤ列が形成され、前記切断用ワイヤが軸方向に往復駆動され、該切断用ワイヤにスラリが供給されながら前記ワイヤ列に対してワークが切り込み送りされることにより、該ワークが軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断されるワイヤソーによるワークの切断方法において、前記ワークの切断後、前記ワイヤ列から該ワークの引き抜き時にワイヤを２ｍ／ｍｉｎ以下で走行させながらワークを引き抜くことを特徴とするワイヤソーによるワークの切断方法を提供する。
【００１７】
このように、ワークの切断後、ワイヤ列からワークの引き抜き時にワイヤを２ｍ／ｍｉｎ以下で走行させながらワークを引き抜くことによって、切断後のワークをワイヤ列から引き抜く際、ワーク表面に残存したスラリ中で、特に砥粒が凝集してワーク表面に固着した部分でワイヤ列が局所的に引っかかり切断用ワイヤの断線が発生することなく、ワーク引き抜きによるソーマークを抑制することができる。
【００１８】
このとき、前記ワーク引き抜き時のワイヤの走行を、前進方向及び後退方向への走行距離がそれぞれ１ｍ以下となるように往復走行させることが好ましい。
このように、ワーク引き抜き時のワイヤの走行を、前進方向及び後退方向への走行距離がそれぞれ１ｍ以下となるように往復走行させることで、ワーク表面に固着したスラリを排除し易くなり、ワーク引き抜きにより発生するソーマークを効果的に防ぐことができる。
【００１９】
またこのとき、ワーク引き抜き時に供給するスラリの温度を切断終了時の温度よりも高温とすることが好ましい。
このように、ワーク引き抜き時に供給するスラリの温度を切断終了時の温度よりも高温とすることで、ワーク表面に固着したスラリを排除し易くなり、ワーク引き抜きにより発生するソーマークをより効果的に防ぐことができる。
【００２０】
また、本発明は、切断用ワイヤが複数のローラの周囲に巻回されることによりワイヤ列が形成され、前記切断用ワイヤが軸方向に往復駆動され、該切断用ワイヤにスラリが供給されながら前記ワイヤ列に対してワークが切り込み送りされることにより、該ワークを軸方向に並ぶ複数の箇所で同時に切断するワイヤソーであって、前記ワークの切断後、前記ワイヤ列から該ワーク引き抜き時にワイヤを２ｍ／ｍｉｎ以下で走行させながらワークを引き抜くよう制御するものであることを特徴とするワイヤソーを提供する。
【００２１】
このように、本発明のワイヤソーは、ワークの切断後にワイヤ列からワイヤを２ｍ／ｍｉｎ以下で走行させながらワークを引き抜くよう制御するので、ワイヤの断線やソーマークの発生を抑制でき、ワイヤソーによって切断したワークをその切断面に悪影響を与えることなくワイヤ列から引き抜くことができるものとなっている。
【００２２】
このとき、前記ワーク引き抜き時のワイヤの走行を、前進方向及び後退方向への走行距離がそれぞれ１ｍ以下となるように往復走行させるよう制御するものであることが好ましい。
ワーク表面に固着したスラリを排除するには、ワイヤを一方向へ走行させるよりも、前進方向及び後退方向へのワイヤ走行距離がそれぞれ１ｍ以下となるような短い間隔でワイヤの走行方向を切り換えて往復走行させた方が効果的である。
このように、本発明のワイヤソーは、ワーク表面に固着したスラリを排除し易いものとなっており、ワーク引き抜きにより発生するソーマークを効果的に防ぐことができるものとなっている。
【００２３】
このとき、前記ワーク引き抜き時に供給するスラリの温度を切断終了時の温度よりも高温とするよう制御するものであることが好ましい。
このように、本発明のワイヤソーは、ワーク引き抜き時に供給するスラリの温度を切断終了時の温度よりも高温とするよう制御するものであるので、ワーク表面に固着したスラリを排除し易いものとなっており、ワーク引き抜きにより発生するソーマークを効果的に防ぐことができるものとなっている。
【発明の効果】
【００２４】
本発明ではワイヤソーにおいて、ワークの切断後にワイヤ列からワイヤを２ｍ／ｍｉｎ以下で走行させながらワークを引き抜くよう制御するので、ワイヤが断線することなくソーマークを低減でき、ワイヤソーのワイヤ列により切断したワークをその切断面に悪影響を与えることなく前記ワイヤ列からワークを引き抜くことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下では、本発明の実施の形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
従来のワイヤソーを使用しワークの切断を行うと、ワーク切断後、ワイヤ列から該ワークの引き抜き時に、ワーク表面に残存したスラリをワイヤの走行に伴ってワイヤ走行方向へ移動させることによってソーマークが発生し、Ｗａｒｐが悪化してしまうという問題があった。また、これを防ぐために、ワイヤの走行を停止した状態で、ワークの引き抜きを行うと、ワーク表面に残存したスラリ中で、特に砥粒が凝集してワーク表面に固着した部分でワイヤ列が局所的に引っかかり、切断用ワイヤの断線が発生する結果となる。
【００２６】
そこで、本発明のワイヤソーは、ワークの切断後、ワイヤ列から該ワークの引き抜き時に固着したスラリを排除可能な最低限の速度でワイヤを走行させることとした。すなわち、ワイヤを２ｍ／ｍｉｎ以下で走行させながらワークを引き抜くよう制御することによって、ワイヤの断線が発生することなく、ソーマークが発生しＷａｒｐが悪化するのを抑制してワークを引き抜くことができることを見出した。また、ワーク引き抜き時のワイヤの走行を、前進方向及び後退方向への走行距離がそれぞれ１ｍ以下となるように往復走行させるよう制御する、あるいは、ワーク引き抜き時に供給するスラリの温度を切断終了時の温度よりも高温とするよう制御することによって、ワーク表面に固着したスラリをより排除し易いものとなり、ワーク引き抜きにより発生するソーマークを効果的に防ぐことができるものとできる。
【００２７】
図１は本発明のワイヤソーの一例を示す概略図である。
図１に示すように、本発明のワイヤソー１は、主に、ワークを切断するためのワイヤ２、ワイヤ２を巻回した溝付きローラ３、ワイヤ２に張力を付与するための機構４、切断されるワークを下方へと送り出す機構５、切断時にスラリを供給する機構６で構成されている。
ワイヤ２は、一方のワイヤリール７から繰り出され、トラバーサ８を介してパウダクラッチ（定トルクモータ９）やダンサローラ（デッドウェイト）（不図示）等からなる張力付与機構４を経て、溝付きローラ３に入っている。ワイヤ２がこの溝付きローラ３に３００〜４００回程度巻掛けられることによってワイヤ列が形成される。ワイヤ２はもう一方の張力付与機構４’を経てワイヤリール７’に巻き取られている。これらの構成は、従来と同じである。
【００２８】
図２に本発明で用いることができるワーク送り機構の一例を示す。図２に示すように、ワーク送り機構５のワークは当て板１４に接着されており、また、この当て板１４はワークプレート１３により保持されている。そして、これらの当て板１４、ワークプレート１３を介して、ワーク保持部１１によりワークは保持される。
【００２９】
このワーク送り機構５は、ワークを保持しつつ押し下げるためのワーク保持部１１、ＬＭガイド１２を備えており、コンピュータ制御でＬＭガイド１２に沿ってワーク保持部１１を駆動させることにより、予めプログラムされた送り速度で保持されたワークを送り出すことが可能である。
そして、このようにワーク送り機構５のワーク保持部１１によって保持されたワークは、切断を行う際、ワーク送り機構５により、下方に位置するワイヤ２へと送られる。また、このワーク送り機構５は、ワイヤが当て板１４に到達するまでワークを下方へと送ることによってワークの切断を完了させ、その後、ワークの送り出し方向を逆転させることにより、ワイヤ列から切断済みワークを引き抜くようにする。
【００３０】
また、溝付きローラ３は鉄鋼製円筒の周囲にポリウレタン樹脂を圧入し、その表面に一定のピッチで溝を切ったローラであり、巻掛けられたワイヤ２が、駆動用モータ１０によって往復方向に駆動できるようになっている。
一方、溝付きローラ３に巻掛けされ、切断時に、軸方向に往復走行するワイヤ２の上方にはノズル１５が配置されており、ワークの切断を行うときには、ワイヤ２にスラリを供給することができるようになっている。
【００３１】
また、スラリタンク１６にはスラリチラー１７が配置されており、供給するスラリの温度を調整できるようになっている。なお、当然、図１に示すような構成に限定されず、例えば別の熱交換器を構成することによってスラリの供給温度の調整を行うことができれば良い。
さらに、前述のスラリチラー１７、駆動用モータ１０、ワーク送り機構５は、制御装置２５に接続されている。
【００３２】
この制御装置２５は、ワイヤ２の走行速度の制御を駆動用モータ１０に対して行う機能と、ワイヤ２の前後方向それぞれに往復走行する距離の制御を駆動用モータ１０に対して行う機能、ワイヤ２に供給するスラリの温度の制御をスラリチラー１７に対して行う機能、ワイヤ列に対するワークの切り込み送りおよびワイヤ列からワークを引き抜くためのワーク送りの制御をワーク送り機構５に対して行う機能を有している。
【００３３】
ここで、スラリ供給手段６、すなわち、溝付きローラ３（ワイヤ２）にスラリを供給する手段について述べる。このスラリ供給手段では、スラリタンク１６から、制御装置２５により制御されたスラリチラー１７を介してノズル１５に接続されており、供給されるスラリはスラリチラー１７により供給温度が制御されてノズル１５から溝付きローラ３（ワイヤ２）に供給できるようになっている。スラリ供給温度は制御装置２５によって所望の温度に制御することができるが、特に制御手段はこれに限定されない。
【００３４】
そして、本発明のワイヤソーでは、この制御装置２５で、ワーク送り機構５および駆動用モータ１０を制御することで、ワークの切断後にワイヤ列からワイヤを２ｍ／ｍｉｎ以下で走行させながらワークを引き抜くよう制御し、ワーク引き抜き時のワイヤの走行を、前進方向及び後退方向への走行距離がそれぞれ１ｍ以下となるように往復走行させるように制御し、また、スラリチラー１７を制御することにより、ワーク引き抜き時に供給するスラリの温度を切断終了時の温度よりも高温とするように制御するようになっている。
【００３５】
次に、本発明のワイヤソーを使用したワークの切断方法について説明する。
前記ワイヤ２の軸方向への駆動と、スラリ供給機構６によるワイヤ２へのスラリ供給とが行われた状態で、制御装置２５はＬＭガイド１２に沿ってワーク保持部１１を駆動させ、ワークを下降させて該ワークを、例えば４００〜８００ｍ／ｍｉｎで走行するワイヤ列に対して切り込み送りさせる。前記ワイヤ列に対して切り込み送りさせる時の切り込み送り速度は、例えば０．２〜０．４ｍｍ／ｍｉｎとすることができる。これらの条件は、もちろんこれに限定されるわけではない。
【００３６】
また、ワーク切断時のワイヤの走行を往復走行させることができ、その走行距離は、例えば、４００〜６００ｍとすることができる。切断時にワイヤに供給されるスラリの温度は、例えば、１５℃〜３０℃とされる。これらの条件は、もちろんこれに限定されるわけではない。
このようにしてワークの切断が進められ、ワイヤ列がワーク上面の当て板まで到った時点で、すなわちワークの切断が完了した時点で、切り込み送りを停止させる。
【００３７】
このとき、ワイヤを予め設定されていた２ｍ／ｍｉｎ以下の走行速度で走行させるように駆動用モータ１０を制御装置２５によって制御する。その後、ワーク送り機構５の切り込み送り方向をワーク切断時と逆転させて前記ワークをワイヤ列から上方に引き抜く。
前記ワイヤ列からワークを引き抜く時の送り速度は、例えば５〜１００ｍｍ／ｍｉｎとすることができ、１０〜５０ｍｍ／ｍｉｎとするのがより好ましい。
【００３８】
このように、ワイヤを予め設定されていた２ｍ／ｍｉｎ以下の走行速度で走行させるように駆動用モータ１０を制御装置２５によって制御することによって、本発明のワイヤソーによって切断されたウェーハに生じるＷａｒｐ量およびソーマークを従来のワイヤソーによって切断されたウェーハのものと比べ、低減することができる。
ワイヤ列からのワークの引き抜き時のワイヤの走行速度が２ｍ／ｍｉｎを超えるとソーマークおよびＷａｒｐが発生してしまう。これを防ぐためには、ワイヤの走行速度は２ｍ／ｍｉｎ以下とするのが良く、より好ましくは１ｍ／ｍｉｎ以下が良い。前記ワイヤの走行速度の下限としては特に限定されないが、０．１ｍ／ｍｉｎ以上とすることができる。
【００３９】
さらに、前記ワークをワイヤ列から上方に引き抜いている間、ワイヤの走行を予め設定された１ｍ以下の走行距離で往復走行させるように制御することが可能である。
前記の通り駆動用モータ１０と制御装置２５は接続されており、該制御装置によってワイヤ２が予め設定した走行距離を走行したら走行方向を反転させるように制御することができるようになっている。
【００４０】
こうすることで、ワーク表面に固着したスラリを排除し易くなり、ワーク引き抜きにより発生するソーマークおよびＷａｒｐを効果的に防ぐことができる。
前記ワークのワイヤ列からの引き抜き時のワイヤの往復走行をさせる走行距離は１ｍ以下であることが好ましいが、これ以上であっても良い。前記ワイヤの往復走行をさせる走行距離の下限としては特に限定されないが、０．１ｍ以上とすることができる。
【００４１】
さらに、前記ワークをワイヤ列から上方に引き抜いている間、ワイヤに供給するスラリの温度をワークの切断終了時の温度よりも高温になるように制御することが好ましい。
前記の通り制御装置２５により制御されたスラリチラー１７によりスラリの供給温度が制御され、前記ワークの切り込み送り停止後、ワイヤ列からのワーク引き抜き時において、ワークの切断終了時の温度よりも高温であるスラリが供給される。
【００４２】
このようにワークの引き抜き時に高温のスラリを供給すれば、ワーク表面に固着したスラリを軟化させて排除し易くなり、ワーク引き抜きによりソーマークが発生し、Ｗａｒｐが悪化するのを効果的に防ぐことができる。
前記ワイヤ列からのワーク引き抜き時のスラリ供給温度は、例えば、ワーク切断時のスラリ供給温度が１５℃〜３０℃であれば、３５℃〜５０℃とすることができる。
【００４３】
このように、本発明のワイヤソーを使用した、ワークの切断後、ワイヤ列から該ワークの引き抜き時にワイヤを２ｍ／ｍｉｎ以下で走行させながらワークを引き抜くワークの切断方法では、ワイヤ列により切断したワークをその切断面に悪影響を与えることなく前記ワイヤ列から引き抜くことができる。
【実施例】
【００４４】
以下、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明はこれに限定されない。
（実施例１）
図１に示すようなワイヤソーを用い、ワーク切断時における、ワイヤの走行速度、ワイヤの前進方向及び後退方向への走行距離およびワイヤへ供給するスラリの供給温度をそれぞれ制御して直径８インチ（２００ｍｍ）のシリコンインゴットを本発明の切断方法によりウェーハ状に切断した。
ワークの切断時におけるワイヤの走行速度を６００ｍ／ｍｉｎとし、ワイヤの前進方向及び後退方向への走行距離が５００ｍ以下となるようにワイヤを往復走行させてワークを切断した。また、ワークの切断終了時のスラリ供給温度が２５℃となるようにした。
【００４５】
ワークの切断後、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を２ｍ／ｍｉｎとし、ワークの引き抜き時のワイヤの前進方向への走行距離を１ｍ、ワイヤの後退方向への走行距離を０．５ｍとした。尚、スラリの供給温度は切断終了時と同じにした。
上記条件でワークを切断し、ワーク切断後のワーク表面の状態を調べたところ、ソーマークおよびＷａｒｐ量は従来のワイヤソーを使用した場合と比べ低減されていた。
【００４６】
（実施例２）
上記実施例１において、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を１ｍ／ｍｉｎとした以外は、実施例１と同じ条件でワークを切断し、実施例１と同様の評価を行った。
この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を２ｍ／ｍｉｎ以下である１ｍ／ｍｉｎにすることによって、ワーク表面のソーマークおよびＷａｒｐ量が従来のワイヤソーを使用した場合と比べ低減されており、その低減量は実施例１より大きくなっていることが分かった。
【００４７】
（実施例３）
上記実施例１において、ワークの引き抜き時のスラリ供給温度を３５℃とした以外は、実施例１と同じ条件でワークを切断し、実施例１と同様の評価を行った。
この結果、ワークの引き抜き時のスラリ供給温度をワークの切断終了時のスラリ供給温度より高温である３５℃にすることによって、ワーク表面のソーマークおよびＷａｒｐ量が従来のワイヤソーを使用した場合と比べ低減されており、その低減量は実施例１より大きくなっていることが分かった。
【００４８】
（実施例４）
上記実施例１において、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を１ｍ／ｍｉｎとし、ワークの引き抜き時のスラリ供給温度を３５℃とした以外は、実施例１と同じ条件でワークを切断し、実施例１と同様の評価を行った。
この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を２ｍ／ｍｉｎ以下である１ｍ／ｍｉｎにし、かつ、ワークの引き抜き時のスラリ供給温度をワークの切断終了時のスラリ供給温度より高温である３５℃とすることによって、ワーク表面のソーマークおよびＷａｒｐ量が従来のワイヤソーを使用した場合と比べ大幅に低減されており、その低減量は実施例１〜３より大きくなっていることが分かった。
【００４９】
（実施例５）
上記実施例１において、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を０．５ｍ／ｍｉｎとし、ワークの引き抜き時のワイヤの前進方向への走行距離を０．３ｍ、ワイヤの後退方向への走行距離を０．２ｍとした以外は、実施例１と同じ条件でワークを切断し、実施例１と同様の評価を行った。
【００５０】
この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を２ｍ／ｍｉｎ以下である０．５ｍ／ｍｉｎにし、かつ、ワークの引き抜き時のワイヤの前進方向への走行距離を１ｍ以下である０．３ｍ、ワイヤの後退方向への走行距離を１ｍ以下である０．２ｍとすることによって、ワーク表面のソーマークおよびＷａｒｐ量が従来のワイヤソーを使用した場合と比べ低減されており、その低減量は実施例１より大きくなっていることが分かった。
【００５１】
（実施例６）
上記実施例１において、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を０．５ｍ／ｍｉｎとし、ワークの引き抜き時のワイヤの前進方向への走行距離を０．３ｍ、ワイヤの後退方向への走行距離を０．２ｍとし、ワークの引き抜き時のスラリ供給温度を３５℃とした以外は、実施例１と同じ条件でワークを切断し、実施例１と同様の評価を行った。
【００５２】
この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を２ｍ／ｍｉｎ以下である０．５ｍ／ｍｉｎにし、かつ、ワークの引き抜き時のワイヤの前進方向への走行距離を１ｍ以下である０．３ｍ、ワイヤの後退方向への走行距離を１ｍ以下である０．２ｍとし、ワークの引き抜き時のスラリ供給温度をワークの切断終了時のスラリ供給温度より高温である３５℃にすることによって、ワーク表面のソーマークおよびＷａｒｐ量が従来のワイヤソーを使用した場合と比べ大幅に低減されており、その低減量は実施例１〜３より大きくなっていることが分かった。
【００５３】
（比較例１）
上記実施例１に対し、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を１０ｍ／ｍｉｎとし、ワークの引き抜き時のワイヤの前進方向への走行距離を２０ｍ、ワイヤの後退方向への走行距離を１０ｍとした以外は、実施例１と同じ条件でワークを切断し、実施例１と同様の評価を行った。
【００５４】
この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を２ｍ／ｍｉｎを超える速度である１０ｍ／ｍｉｎにし、かつ、ワークの引き抜き時のワイヤの前進方向への走行距離を１ｍ
を超える２０ｍ、ワイヤの後退方向への走行距離を１ｍを超える１０ｍとすることによって、ワーク表面のソーマークおよびＷａｒｐ量が実施例１より悪化していることが分かった。
【００５５】
（比較例２）
上記実施例１に対し、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を１００ｍ／ｍｉｎとし、ワークの引き抜き時のワイヤの前進方向への走行距離を２００ｍ、ワイヤの後退方向への走行距離を１００ｍとした以外は、実施例１と同じ条件でワークを切断し、実施例１と同様の評価を行った。
【００５６】
この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を２ｍ／ｍｉｎを超える速度である１００ｍ／ｍｉｎにし、かつ、ワークの引き抜き時のワイヤの前進方向への走行距離を１ｍ
を超える２００ｍ、ワイヤの後退方向への走行距離を１ｍを超える１００ｍとすることによって、ワーク表面のソーマークおよびＷａｒｐ量が実施例１より大幅に悪化していることが分かった。
【００５７】
（比較例３）
上記実施例１に対し、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を３ｍ／ｍｉｎとした以外は、実施例１と同じ条件でワークを切断し、実施例１と同様の評価を行った。
この結果、ワイヤ引き抜き時のワイヤの走行速度を２ｍ／ｍｉｎを超える速度である３ｍ／ｍｉｎにすることによって、ワーク表面のソーマークおよびＷａｒｐ量が比較例１よりは良いものの、実施例１より悪化していることが分かった。
【００５８】
表１に、各実施例、比較例における条件とワーク引き抜き時におけるワーク切断面の品質評価結果をまとめたものを示す。
【００５９】
【表１】
0004998241.tif 000002
【００６０】
以上示したように、ワークの切断後、ワイヤ列から該ワークの引き抜き時にワイヤを２ｍ／ｍｉｎ以下で走行させながらワークを引き抜くようよう制御する本発明のワイヤソーを用いることによって、ワイヤ列により切断したワークをその切断面に悪影響を与えることなく前記ワイヤ列から引き抜くことができる。
【００６１】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明のワイヤソーの一例を示す概略図である。
【図２】本装置で用いることができるワーク送り機構の一例を示す概略図である。
【図３】従来のワイヤソーの一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００６３】
１…ワイヤソー、  ２…ワイヤ、  ３…溝付きローラ、
４、４’…ワイヤ張力付与機構、  ５…ワーク送り機構、
６…スラリ供給機構、７、７’…ワイヤリール、
８…トラバーサ、９…定トルクモータ、
１０…駆動用モータ、  １１…ワーク保持部、
１２…ＬＭガイド、  １３…ワークプレート、  １４…当て板、
１５…ノズル、１６…スラリタンク、１７…スタリチラー、
２５…制御装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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