(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
孔が形成された形状及びサイズが同じである複数のプレートが、側面が互いに揃えられ、前記孔が互いに連通してなる流路を形成するように、所定の位置関係で積層されることによって構成されており、
各プレートの前記側面には、前記複数のプレートの積層方向に互いに連なるスリットが形成されており、
前記スリットの開口幅が、複数の前記孔が前記流路を形成可能とする前記複数のプレートの位置ずれの許容誤差以下であることを特徴とする流路ユニット。
【請求項２】
前記複数のプレートが一方向に長尺な矩形形状を有しており、
前記スリットが、各プレートの長辺及び短辺のそれぞれに形成されていることを特徴とする請求項１に記載の流路ユニット。
【請求項３】
各プレートの長手方向の一端部には、前記積層方向に関して互いに重なる基準点が設けられており、
前記スリットが、各プレートの他端部に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の流路ユニット。
【請求項４】
前記基準点が、各プレートの前記一方向と直交する方向の中央に形成された貫通孔からなり、
各プレートの他端部には、前記積層方向に関して互いに重なる前記一方向に長尺な長穴が形成されており、
前記長穴は、各プレートの前記直交する方向の中央において貫通して形成されていることを特徴とする請求項３に記載の流路ユニット。
【請求項５】
前記スリットが、各プレートの一端部にさらに形成されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の流路ユニット。
【請求項６】
前記スリットが、各プレートの中心に対して点対称に配置されていることを特徴とする請求項５に記載の流路ユニット。
【請求項７】
各プレートの側面には、前記スリットに対する位置関係が同じで前記積層方向に互いに連なり、各プレートの位置ずれを修正するための切欠きがさらに形成されており、
前記切欠きの開口幅が、前記スリットの開口幅よりも大きいことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の流路ユニット。
【請求項８】
前記複数のプレートが一方向に長尺な矩形形状を有しており、
前記切欠きが、各プレートの長辺及び短辺に形成されていることを特徴とする請求項７に記載の流路ユニット。
【請求項９】
前記複数のプレートのうち最も外側に配置された１枚のプレートに形成された孔が、当該プレート以外の他のプレートに形成された前記孔よりもその径が小さいノズル孔であり、
前記ノズル孔が形成されたプレート及び当該プレートに隣接して積層されたプレートに形成された前記スリットが、これら２枚のプレートを除く他のプレートよりも幅が狭いことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の流路ユニット。
【請求項１０】
孔及び側面に形成されたスリットを有する形状及びサイズが同じである複数のプレートが、側面が互いに揃えられ、前記孔が互いに連通してなる流路を形成し、前記スリットが互いに連なるように所定の位置関係で積層されることによって構成された流路ユニットの、前記複数のプレートの積層方向に直交する方向に関する前記プレートの位置ずれを検査する検査装置であって、
前記流路ユニットを支持する支持台と、
前記支持台に支持された前記流路ユニットを構成する各プレートに形成された前記スリットを前記側面と直交する方向から撮像するカメラと、
前記積層方向にレーザを照射するレーザ照射部と、
前記レーザ照射部から照射されたレーザを前記スリットを介して受光するレーザ受光部とを備えていることを特徴とする検査装置。
【請求項１１】
前記複数のプレートが一方向に長尺な矩形形状を有しており、
前記複数のプレートの長手方向の一側面と当接可能に配置された第１当接部と、
前記複数のプレートの短手方向の一側面と当接可能に配置された第２当接部とをさらに備えていることを特徴とする請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１２】
孔及び側面に形成されたスリットを有する形状及びサイズが同じである複数のプレートが、側面が互いに揃えられ、前記孔が互いに連通してなる流路を形成し、前記スリットが互いに連なるように所定の位置関係で積層されることによって構成された流路ユニットの、前記複数のプレートの積層方向に直交する方向に関する前記プレートの位置ずれを検査する検査方法であって、
前記流路ユニットを支持台上に載置する載置工程と、
前記支持台に載置された前記流路ユニットを構成する各プレートに形成された前記スリットをカメラで前記側面と直交する方向から撮像する撮像工程とを備えており、
前記載置工程の後であって前記撮像工程の前には、
前記スリット内において、前記複数のプレートの積層方向にレーザを照射するレーザ照射工程をさらに備えていることを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のプレートが積層されることによって流路が形成された流路ユニット、この流路ユニットを構成する複数のプレートの位置ずれを検査する検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、プリンタなどのインクジェットヘッドに用いられる流路ユニットは、孔が形成された複数のプレートを積層して形成されている。複数のプレートに形成された孔は積層されることで互いに連通して、インクが流れるインク流路を形成している。このインク流路を流れるインクは、最下層のプレートに形成されたノズル孔から吐出される。このとき、複数のプレートを精度良く積層しないと、形成されるインク流路の容量や流路抵抗などにばらつきが生じ、ノズル孔からのインク吐出性能が乱れてしまう。
【０００３】
そこで、２枚のプレートを位置合わせするために、位置ずれを検査する方法として、特許文献１には、受け台に第１の電子部品であるプレートを保持し、その上方に位置する位置調整機構の下面に第２の電子部品であるプレートを保持し、カメラで第１の電子部品と第２の電子部品との位置ずれを検査する方法が記載されている。第１の電子部品には、厚み方向に貫通した位置合わせ穴が形成されている。受け台には、位置合わせ穴と対応する位置に透視孔が形成されている。第２の電子部品の第１電子部品と対向する面には、位置合わせ穴と対応する位置に位置合わせ穴よりも小さなアライメントマークが形成されている。さらに、第２の電子部品の第１電子部品と対向する面には、接着剤の役割を果たすドライフィルムレジストが成膜されている。このドライフィルムレジストには、アライメントマークと対応する位置に、透視孔が形成されている。
【０００４】
この特許文献１に記載の位置ずれを検査する方法としては、カメラを受け台の下方に位置合わせ穴と対応するように配置し、上方に向かって撮像することにより、焦点深度内に位置合わせ穴とアライメントマークとを保持する。この状態で、位置合わせ穴の中心とアライメントマークの中心とのずれを検査している。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１２８２２４号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の位置ずれを検査する方法においては、プレートの積層枚数が増加していくにつれて、受け台の最下層のプレートと位置調整機構に保持された上層に積層されるプレートとの距離が離れてしまい、全てのプレートを焦点深度内に保持することが困難となる。すると、位置ずれを検査するたびにカメラの焦点を最下層のプレートに合わせたり、位置調整機構に保持されたプレートに合わせたりしなければならず、検査効率が低下する。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、検査効率を向上させる流路ユニット、検査装置及び検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の流路ユニットは、孔が形成された形状及びサイズが同じである複数のプレートが、側面が互いに揃えられ、前記孔が互いに連通してなる流路を形成するように、所定の位置関係で積層されることによって構成されており、各プレートの前記側面には、前記複数のプレートの積層方向に互いに連なるスリットが形成されており、前記スリットの開口幅が、複数の前記孔が前記流路を形成可能とする前記複数のプレートの位置ずれの許容誤差以下であることを特徴とする。
【０００９】
本発明の流路ユニットによると、流路を形成可能な許容誤差以下の幅を有するスリットが、各プレートの側面に形成されているので、カメラでこれらスリットの積層方向に関する連なりを容易に検査することが可能になる。すなわち、同一平面を構成する複数のプレートの側面のそれぞれにスリットが形成されていることで、カメラの焦点を一度合わせるだけで複数のスリットの連なりを容易に検査可能となる。このため、複数のプレートの位置ずれの検査効率を向上させることができる。
【００１０】
また、前記複数のプレートが一方向に長尺な矩形形状を有しており、前記スリットが、各プレートの長辺及び短辺のそれぞれに形成されていることが好ましい。これにより、長手方向及びこれに直交する短手方向に関してプレートの位置ずれを検査することが可能になる。そのため、検査精度がより高くなる。
【００１１】
さらに、各プレートの長手方向の一端部には、前記積層方向に関して互いに重なる基準点が設けられており、前記スリットが、各プレートの他端部に形成されていることが好ましい。これにより、基準点から離れることでプレートの位置ずれ量が比較的大きな他端部を検査することが可能になる。そのため、検査精度がより高くなる。
さらに、前記基準点が、各プレートの前記一方向と直交する方向の中央に形成された貫通孔からなり、各プレートの他端部には、前記積層方向に関して互いに重なる前記一方向に長尺な長穴が形成されており、前記長穴は、各プレートの前記直交する方向の中央において貫通して形成されていることが好ましい。
【００１２】
加えて、前記スリットが、各プレートの一端部にさらに形成されていることが好ましい。これにより、プレートの位置ずれを一端部においても検査することが可能になる。そのため、検査精度がより一層高くなる。
【００１３】
また、前記スリットが、各プレートの中心に対して点対称に配置されていることが好ましい。これにより、各プレートにおけるスリットの位置を設計しやすくなる。
【００１４】
さらに、各プレートの側面には、前記スリットに対する位置関係が同じで前記積層方向に互いに連なり、各プレートの位置ずれを修正するための切欠きがさらに形成されており、前記切欠きの開口幅が、前記スリットの開口幅よりも大きいことが好ましい。これにより、複数のプレートの側面に互いに連なる切欠きが形成されているので、当接部に切欠きを押し当てることで、プレートの位置ずれを修正することが可能になる。
【００１５】
加えて、前記複数のプレートが一方向に長尺な矩形形状を有しており、前記切欠きが、各プレートの長辺及び短辺に形成されていることが好ましい。これにより、長手方向及びこれに直交する短手方向に関してプレートの位置ずれを修正することが可能になる。
【００１６】
また、前記複数のプレートのうち最も外側に配置された１枚のプレートに形成された孔が、当該プレート以外の他のプレートに形成された前記孔よりもその径が小さいノズル孔であり、前記ノズル孔が形成されたプレート及び当該プレートに隣接して積層されたプレートに形成された前記スリットが、これら２枚のプレートを除く他のプレートよりも幅が狭いことが好ましい。これにより、ノズル孔が形成されたプレートと当該プレートに隣接して積層されたプレートとの位置ずれを高精度に検査することが可能になる。
【００１７】
本発明の検査装置は、孔及び側面に形成されたスリットを有する形状及びサイズが同じである複数のプレートが、側面が互いに揃えられ、前記孔が互いに連通してなる流路を形成し、前記スリットが互いに連なるように所定の位置関係で積層されることによって構成された流路ユニットの、前記複数のプレートの積層方向に直交する方向に関する前記プレートの位置ずれを検査する検査装置である。前記流路ユニットを支持する支持台と、前記支持台に支持された前記流路ユニットを構成する各プレートに形成された前記スリットを前記側面と直交する方向から撮像するカメラと、前記積層方向にレーザを照射するレーザ照射部と、前記レーザ照射部から照射されたレーザを前記スリットを介して受光するレーザ受光部とを備えていることを特徴とする。
【００１８】
本発明の検査装置によると、カメラの焦点を一度合わせて撮像することで、複数のスリットの連なりを容易に検査可能となる。このため、流路ユニットを構成する複数のプレートの位置ずれの検査効率が向上する。加えて、複数のプレートのうちどのプレートがどの程度ずれているのかを検査することができるので、ずれ量が許容誤差範囲内であるかどうかを判断することもできる。また、レーザ照射部とレーザ受光部とを有していることで、複数のスリットの連なりをより容易に検査可能となる。
【００２０】
さらに、前記複数のプレートが一方向に長尺な矩形形状を有しており、前記複数のプレートの長手方向の一側面と当接可能に配置された第１当接部と、前記複数のプレートの短手方向の一側面と当接可能に配置された第２当接部とをさらに備えていることが好ましい。これにより、第１及び第２当接部を有しているので、複数のプレートの側面をこれら当接部に押し当てることで、長手方向及びこれに直交する短手方向に関してプレートの位置ずれを修正することができる。
【００２１】
本発明の検査方法は、孔及び側面に形成されたスリットを有する形状及びサイズが同じである複数のプレートが、側面が互いに揃えられ、前記孔が互いに連通してなる流路を形成し、前記スリットが互いに連なるように所定の位置関係で積層されることによって構成された流路ユニットの、前記複数のプレートの積層方向に直交する方向に関する前記プレートの位置ずれを検査する検査方法である。前記流路ユニットを支持台上に載置する載置工程と、前記支持台に載置された前記流路ユニットを構成する各プレートに形成された前記スリットをカメラで前記側面と直交する方向から撮像する撮像工程とを備えている。そして、前記載置工程の後であって前記撮像工程の前には、前記スリット内において、前記複数のプレートの積層方向にレーザを照射するレーザ照射工程をさらに備えていることを特徴とする。
【００２２】
本発明の検査方法によると、撮像工程において、各プレートの側面に形成されたスリットに対して、カメラの焦点を一度合わせて撮像することで、複数のスリットの連なりを容易に検査可能となる。このため、流路ユニットを構成する複数のプレートの位置ずれの検査効率が向上する。加えて、複数のプレートのうちどのプレートがどの程度ずれているのかを検査することができるので、ずれ量が許容誤差範囲内であるかどうかを判断することもできる。また、レーザ照射工程において、複数のスリットの連なりをより容易に検査可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。以下に述べる実施形態は、インクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用したものである。図１は、本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの概略斜視図である。図２は、ノズルプレートの概略平面図である。図３は、インクジェットヘッドの部分断面図である。
【００２５】
図１〜図３に示すように、インクジェットヘッド１は、一方向に長尺な矩形形状を有する流路ユニット４と、流路ユニット４の上面に固定されたアクチュエータユニット２１とを有している。流路ユニット４は、上から、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６，２７，２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０が積層された積層構造を有している。
【００２６】
図３に示すように、キャビティプレート２２は、圧力室１０となる多数の孔が形成された金属プレートである。ベースプレート２３は、各圧力室１０とこれに対応するアパーチャ１２とを連通させるための多数の連通孔、及び、各圧力室１０とこれに対応するノズル孔８とを連通させるための多数の連通孔が形成された金属プレートである。アパーチャプレート２４は、各アパーチャ１２となる孔、及び、各圧力室１０とこれに対応するノズル孔８とを連通させるための多数の連通孔が形成された金属プレートである。サプライプレート２５は、各アパーチャ１２と副マニホールド流路５ａとを連通させるための多数の連通孔、及び、各圧力室１０とこれに対応するノズル孔８とを連通させるための多数の連通孔が形成された金属プレートである。マニホールドプレート２６，２７，２８は、副マニホールド流路５ａとなる孔、及び、各圧力室１０とこれに対応するノズル孔８とを連通させるための多数の連通孔が形成された金属プレートである。カバープレート２９は、各圧力室１０とこれに対応するノズル孔８とを連通させるための多数の連通孔が形成された金属プレートである。ノズルプレート３０は、他の金属プレート２２〜２９に形成された孔よりも径の小さなノズル孔８が多数形成された金属プレートである。
【００２７】
これら９枚の金属プレート２２〜３０は、積層構造の内部に多数の個別インク流路３２が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。図示しないインク供給口から流し込まれたインクは、副マニホールド流路５ａを介して各個別インク流路３２に流れ込む。個別インク流路３２においては、副マニホールド流路５ａから流れ込んだインクが圧力室１０を経てノズル孔８に到達する。
【００２８】
また、図１及び図２に示すように、流路ユニット４は、基準穴５１（基準点）、長穴５２、３つの切り欠き５３〜５５及び４つのスリット５６〜５９を有している。これら基準穴５１、長穴５２、３つの切り欠き５３〜５５及び４つのスリット５６〜５９は、各金属プレート２２〜３０に形成された孔が積層して形成されているため、ノズルプレート３０について説明して、残りのプレート２２〜２９については省略する。
【００２９】
ノズルプレート３０には、長手方向の一端部（図２中左側端部）における短手方向（面内方向に関する長手方向と直交する方向）中央に基準穴５１ａが形成されている。基準穴５１ａは、平面形状が円状であり、ノズルプレート３０の厚み方向に貫通して形成されている。各金属プレート２２〜３０が、各金属プレート２２〜３０に形成された基準穴の中心を積層方向に対して同じ位置に配置して積層されることにより、流路ユニット４の積層方向に貫通した基準穴５１が形成される。
【００３０】
また、ノズルプレート３０には、長手方向の他端部（図２中右側端部）における短手方向中央に長穴５２ａが形成されている。長穴５２ａは、平面形状が長手方向に沿った楕円形状であり、ノズルプレート３０の厚み方向に貫通して形成されている。各金属プレート２２〜３０が、各金属プレート２２〜３０に形成された長穴の中心を積層方向に対して同じ位置に配置して積層されることにより、流路ユニット４の積層方向に貫通した長穴５２が形成される。
【００３１】
さらに、ノズルプレート３０には、長手方向の基準穴５１ａが形成されている側の一端中央に矩形状に切り欠かれた切り欠き５３ａが形成されている。また、ノズルプレート３０には、短手方向の一端（図２中上側端部）側における両端近傍に、切り欠き５３ａと同様に矩形状に切り欠かれた切り欠き５４ａ，５５ａが形成されている。各金属プレート２２〜３０が、各金属プレート２２〜３０に形成された切り欠きの中心を積層方向に対して同じ位置に配置して積層されることにより、流路ユニット４の積層方向に貫通した切り欠き５３〜５５が形成される。なお、３つの切り欠き５３〜５５は、機械加工で形成されているため、面精度が高くなっている。詳しくは後述するが、３つの切り欠き５３〜５５は、積層されている金属プレート２２〜３０の位置ずれを補正するためのものである。
【００３２】
また、ノズルプレート３０には、切り欠き５３ａが形成された一端における切り欠き５４ａが形成された一端側に矩形状に切り欠かれたスリット５６ａが形成されている。さらに、ノズルプレート３０には、切り欠き５４ａが形成された一端における切り欠き５３ａが形成された一端側に矩形状に切り欠かれたスリット５７ａが形成されている。また、ノズルプレート３０には、スリット５６ａ，５７ａとノズルプレート３０の中心に対して点対称な位置に矩形状に切り欠かれたスリット５８ａ，５９ａが形成されている。各金属プレート２２〜３０が、スリットの中心を積層方向に対して同じ位置に配置して積層されることにより、流路ユニット４の積層方向に貫通したスリット５６〜５９が形成される。
【００３３】
各スリット５６〜５９の開口幅は、図４に示すように、金属プレート２２〜３０が積層したときに、個別インク流路３２同士のインク吐出特性が所定値以下となる金属プレート同士のずれ量以下の幅に設定されている。この位置ずれの最大許容差としては、印字品質の劣化が認識されない最大ずれ量に相当し、これに対応したスリットの開口幅（例えば、５０μｍ：Ｓ１）となっている。さらに、カバープレート２９及びノズルプレート３０に形成されているスリットの開口幅Ｓ２は、他の金属プレート２２〜２８に形成されているスリットの開口幅Ｓ１よりも狭くなっている。これは、金属プレート２２〜２９に形成されている孔よりもノズルプレート３０に形成されているノズル孔８の方がその径が小さいためである。このように、ノズルプレート３０とこのノズルプレート３０と隣接して積層されるカバープレート２９に形成されたスリットの開口幅を、他の金属プレート２２〜２８に形成されたスリットの開口幅よりも狭くすることで、ノズルプレート３０とノズルプレート３０に隣接して積層されたカバープレート２９との位置ずれを高精度に検査することが可能になる。
【００３４】
図３に示すように、アクチュエータユニット２１は、各圧力室１０内のインクに対して吐出エネルギーを付与する多数のアクチュエータを構成するものである。アクチュエータユニット２１に図示しない駆動ドライバから所定の電圧パルスが供給されることにより、圧力室１０内のインクに圧力波（吐出エネルギー）が発生し、圧力室１０に連通するノズル孔８からインク滴が吐出される。
【００３５】
以上説明した流路ユニット４によると、スリット５６〜５９がインク吐出特性が揃った個別インク流路３２を形成可能な許容誤差以下の開口幅を有し、積層構造体の側面に形成されているので、カメラでこれらスリット５６〜５９の積層方向に関する連なりを容易に検査することが可能になる。すなわち、金属プレート２２〜３０（積層構造体）の側面に、カメラの焦点を一度合わせるだけで、各スリット５６〜５９の連なり全体を検査可能となる。このため、各金属プレート２２〜３０の位置ずれの検査効率が向上する。
【００３６】
また、金属プレート２２〜３０の長手方向及びこれに直交する短手方向のそれぞれにスリット５５〜５９が形成されているため、長手方向及び短手方向に関して金属プレート２２〜３０の位置ずれを検査することが可能になる。そのため、検査精度がより高くなる。結果的に、組立て精度が向上する。
【００３７】
さらに、基準穴５１から離れた短手方向の一端にスリット５８が形成されていることで、金属プレート２２〜３０の位置ずれ量が比較的大きな箇所においても検査することが可能になる。そのため、検査精度がより高くなる。結果的に、組立て精度がさらに向上する。
【００３８】
加えて、スリット５６，５７に対してスリット５８，５９が、各金属プレート２２〜３０の中心に対して点対称に配置されていることで、各金属プレート２２〜３０におけるスリット５６〜５９の位置を設計しやすくなる。
【００３９】
また、切欠き５３〜５５が、各金属プレート２２〜３０の長辺及び短辺に形成されていることで、長手方向及びこれに直交する短手方向に関して金属プレート２２〜３０の位置ずれを修正することが可能になる。
【００４０】
さらに、切欠き５３〜５５の開口幅が、スリット５６〜５９の開口幅よりも大きいことで、後述のように修正ピンに切欠き５３〜５５を押し当てることで、各金属プレート２２〜３０の位置ずれを修正することが可能になる。
【００４１】
次に、流路ユニット４を構成する積層された金属プレート２２〜３０の位置ずれを検査し、補正する検査装置について、図５を参照して説明する。図５は、検査装置の概略斜視図である。
【００４２】
図５に示すように、検査装置１００は、金属プレート２２〜３０の積層方向に直交する方向（金属プレート２２〜３０の長辺方向及び短辺方向）に関する位置ずれを検査する検査ユニット１１０と、金属プレート２２〜３０の積層方向に直交する方向に関する位置ずれを補正する補正ユニット１５０と、検査ユニット１１０を操作する操作ユニット１９０とを有している。この検査装置１００は、操作ユニット１９０を操作して、検査ユニット１１０で金属プレート２２〜３０の位置ずれを検査し、位置ずれしていた場合に、補正ユニット１５０でその位置ずれを補正する。
【００４３】
検査ユニット１１０は、直方体の検査台１１１と、流路ユニット４を支持する支持台１１２と、支持台１１２を一方向に搬送する搬送機構１１５と、流路ユニット４に形成された４つのスリット５６〜５９を撮像するカメラ１２０，１２１と、レーザを照射して受光するレーザ検査部１２２，１２３とを有している。
【００４４】
支持台１１２は、矩形状をしており、その大きさは金属プレート２２〜３０とほぼ同じ大きさである。また、支持台１１２には、流路ユニット４を載置したときに、スリット５６，５７と積層方向に関して重なるように切り欠き１１２ａ、及び、スリット５８，５９と積層方向に関して重なるように切り欠き１１２ｂが形成されている。さらに、支持台１１２は、上方に突出した先細りの位置決めピン１１３，１１４を有している。位置決めピン１１３，１１４は、支持台１１２に流路ユニット４を載置したときに、基準穴５１及び長穴５２が挿入されるような位置に固設されている。位置決めピン１１３，１１４の径は、基準穴５１及び長穴５２の径よりも小さくなっている。
【００４５】
搬送機構１１５は、検査台１１１の上面に一方向に延在した搬送レール１１６と、搬送レール１１６の一端に設けられた駆動機構１１７とを有している。搬送レール１１６には、回転機構１１８が支持されている。回転機構１１８は、その下面部が搬送レール１１６に沿って摺動可能であるとともに、その上面部が搬送レール１１６に対して回転可能に構成されている。そして、支持台１１２の下面の中心と回転機構１１８の上面部とが固設されている。駆動機構１１７は、図示しない駆動モータを駆動させて、回転機構１１８を搬送レール１１６に沿って移動させる。それにともない、支持台１１２が搬送レール１１６に沿って移動する。また、駆動機構１１７は、図示しない回転モータを駆動させて、回転機構１１８を回転させ、支持台１１２をその中心を軸として１８０度回転させる。
【００４６】
カメラ１２０は、検査台１１１の上面における搬送レール１１６の延在方向と直交する方向の一端に、搬送レール１１６の延在方向に直交する方向に撮像方向を向けて設けられている。カメラ１２０は、支持台１１２に支持された流路ユニット４が搬送レール１１６に沿って移動してきた際に、流路ユニット４のスリット５６が形成されている側面６６と直交する方向からスリット５６を撮像可能となっている。また、カメラ１２０は、流路ユニット４が回転機構１１８の回転により１８０度回転することで、スリット５８が形成されている側面６８と直交する方向からスリット５８を撮像可能となっている。
【００４７】
カメラ１２１は、検査台１１１の上面における駆動機構１１７の左方に、搬送レール１１６の延在方向に撮像方向を向けて設けられている。カメラ１２１は、支持台１１２に支持された流路ユニット４が搬送レール１１６に沿って移動してきた際に、流路ユニット４のスリット５７が形成されている側面６７と直交する方向からスリット５７を撮像可能となっている。また、カメラ１２１は、流路ユニット４が回転機構１１８の回転により１８０度回転することで、スリット５９が形成されている側面６９と直交する方向からスリット５９を撮像可能となっている。
【００４８】
レーザ検査部１２２は、検査台１１１の上面に設けられており、レーザを照射するレーザ照射部１２４ａ，１２４ｂと、レーザ照射部１２４ａ，１２４ｂから出射されたレーザ光を受光するレーザ受光部１２５ａ，１２５ｂとを有している。レーザ照射部１２４ａ，１２４ｂ及びレーザ受光部１２５ａ，１２５ｂは、支持台１１２に支持された流路ユニット４が搬送レール１１６に沿って移動してきた際に、レーザ照射部１２４ａ，１２４ｂから出射されたレーザ光が、スリット５６，５７を介してレーザ受光部１２５ａ，１２５ｂに受光可能な位置に設けられている。
【００４９】
レーザ検査部１２３は、検査台１１１の上面に設けられており、レーザ光を照射するレーザ照射部１２６ａ，１２６ｂと、レーザ照射部１２６ａ，１２６ｂから出射されたレーザ光を受光するレーザ受光部１２７ａ，１２７ｂとを有している。レーザ照射部１２６ａ，１２６ｂ及びレーザ受光部１２７ａ，１２７ｂは、支持台１１２に支持された流路ユニット４が搬送レール１１６に沿って移動してきた際に、レーザ照射部１２６ａ，１２６ｂから出射されたレーザ光が、スリット５８，５９を介してレーザ受光部１２７ａ，１２７ｂに受光可能な位置に設けられている。
【００５０】
補正ユニット１５０は、直方体の補正台１５１と、位置ずれをしている流路ユニット４を載置する載置台１５２と、上方に突出した先細りの位置決めピン１５３，１５４とを有している。位置決めピン１５３，１５４は、載置台１５２に流路ユニット４を載置したときに、基準穴５１及び長穴５２が挿入されるように固設されている。位置決めピン１５３，１５４の径は、位置決めピン１１３，１１４の径と同様である。
【００５１】
また、補正ユニット１５０は、載置台１５２に流路ユニット４を載置したときに、切り欠き５３〜５５と当接可能な修正ピン１６０〜１６２（第１当接部，第２当接部）と、載置台１５２を挟んで修正ピン１６０〜１６２と対向する位置に押し込みブロック１７０〜１７２と、押し込みブロック１７０〜１７２を修正ピン１６０〜１６２側に移動可能な押し込みネジ１８０〜１８２とを有している。
【００５２】
押し込みブロック１７０は、補正台１５１に形成された穴１５１ａ内に配置され、補正台１５１の上面から突出している。押し込みブロック１７０は、その側面において補正台１５１の側面からねじ込まれている押し込みネジ１８０の先端と当接しており、押し込みネジ１８０を締めることで、修正ピン１６０側に移動し、載置台１５２に載置されている流路ユニット４に当接する。さらに、押し込みネジ１８０を締めると、押し込みブロック１７０は、流路ユニット４と当接した状態で、修正ピン１６０側に移動し、流路ユニット４を修正ピン１６０と当接させることで、金属プレート２２〜３０の長手方向に関する位置ずれを解消する。
【００５３】
押し込みブロック１７１，１７２は、押し込みブロック１７０と同様の構成を有し、載置台１５２に載置されている流路ユニット４を補正台１５１の側面からねじ込まれている押し込みネジ１８１，１８２を締めることで、修正ピン１６１，１６２と当接させ、金属プレート２２〜３０の短手方向に関する位置ずれを解消する。
【００５４】
操作ユニット１９０は、操作ボタン１９１を有している。この操作ボタン１９１を操作することにより、流路ユニット４の位置ずれ検査が開始される。
【００５５】
以上説明した検査装置１００によると、レーザ検査部１２２，１２３を有し、複数のスリットの連なりをレーザ光が通過できるか否かで、ずれ量が許容誤差範囲内であるかどうかを迅速に判断することができる。流路ユニット４がレーザ検査部１２２，１２３を一度横切れば、この判断が可能で、位置ずれに対する検査効率が高い。
【００５６】
また、カメラ１２０，１２１を有し、その焦点を一度合わせ撮像することで、スリット５６〜５９全体を同時に検査可能である。これにより、各金属プレート２２〜３０のうち、どのプレートがどの程度ずれているかを特定することができる。これにより、修正ピン１６０〜１６２による修正作業が確実にできるとともに、組立工程の改善に繋がる。
【００５７】
さらに、修正ピン１６０〜１６２を有していることで、金属プレート２２〜３０の切り欠き５３〜５５をこれら修正ピン１６０〜１６２に押し当てることで、長手方向及び短手方向に関して金属プレート２２〜３０の位置ずれを修正することができる。このとき、金属プレート２２〜３０の側面ではなく、切り欠き５３〜５５をこれら修正ピン１６０〜１６２に押し当てて位置ずれを修正するため、金属プレート２２〜３０の側面全てを精度よく形成する必要がなく、切り欠き５３〜５５のみ精度よく形成すればよい。
【００５８】
続いて、流路ユニット４の積層方向に直交する方向に関する位置ずれを検査する一連の動作について、図６を参照して説明する。図６は、位置ずれを検査する一連の動作のフローチャートである。
【００５９】
各金属プレート２２〜３０は、熱硬化性樹脂を介して積層されている。位置ずれを検査する際には、熱硬化させる前の未硬化の積層体４ａの状態で検査を行う。まず、検査ユニット１１０の支持台１１２上に金属プレート２２〜３０が積層されて構成された積層体４ａを載置する（Ｓ１：載置工程）。次に、操作ユニット１９０の操作ボタン１９１を押して、駆動機構１１７の駆動モータを駆動して、回転機構１１８とともに支持台１１２を搬送レール１１６に沿って移動させる。そして、積層体４ａに形成されたスリット５６〜５９が、それぞれレーザ照射部１２４ａ，１２４ｂ，１２６ａ，１２６ｂとレーザ受光部１２５ａ，１２５ｂ，１２７ａ，１２７ｂとを結ぶ直線上に位置したときに、駆動機構１１７の駆動モータを停止して、支持台１１２の移動を停止させる（Ｓ２）。
【００６０】
この状態で、各レーザ照射部１２４ａ，１２４ｂ，１２６ａ，１２６ｂから各レーザ受光部１２５ａ，１２５ｂ，１２７ａ，１２７ｂに対して、つまり各金属プレート２２〜３０の積層方向にレーザ光を照射して（Ｓ３）、全てのレーザ受光部１２５ａ，１２５ｂ，１２７ａ，１２７ｂでレーザ光を受光できているか否かを判断する（Ｓ４：照射工程）。全てのレーザ受光部１２５ａ，１２５ｂ，１２７ａ，１２７ｂでレーザ光を受光できた場合（Ｓ４：Ｙｅｓ）、この積層体４ａは位置ずれしていないと判断し、積層体を焼成して固めることにより、流路ユニット４を形成する。
【００６１】
レーザ受光部１２５ａ，１２５ｂ，１２７ａ，１２７ｂの少なくとも１つでレーザ光を受光できていない場合（Ｓ４：Ｎｏ）、金属プレート２２〜３０のいずれかのプレートが積層方向に直交する方向にずれてレーザ光を遮断しているため、この積層体４ａは位置ずれしていると判断する。そして、駆動機構１１７の駆動モータを駆動して、回転機構１１８とともに支持台１１２を搬送レール１１６に沿ってさらに移動させる。そして、スリット５６，５７が、カメラ１２０，１２１の撮像範囲に位置したときに、駆動機構１１７の駆動モータを停止して、支持台１１２の移動を停止する（Ｓ５）。
【００６２】
そして、カメラ１２０，１２１で、スリット５６，５７を撮像し、スリット５６，５７の連なりからどのプレートがどの程度位置ずれしているのか判断する（Ｓ６）。
【００６３】
続いて、駆動機構１１７の回転モータを駆動して、回転機構１１８を１８０度回転させ、支持台１１２をその中心を軸として１８０度回転させる（Ｓ７）。そして、カメラ１２０，１２１で、スリット５８，５９を撮像し、スリット５８，５９の連なりからどのプレートがどの程度位置ずれしているのか判断する（Ｓ８：撮像工程）。このように、カメラ１２０，１２１で全ての側面６６〜６９と直交する方向から各スリット５６〜５９を撮像することで、位置ずれの部位や方向や量などの傾向を評価することができる。
【００６４】
次に、補正ユニット１５０の載置台１５２に積層体４ａを載置する（Ｓ９）。そして、押し込みネジ１８０〜１８２を適宜締めることで、積層体４ａの位置ずれを解消する（Ｓ１０）。このとき、Ｓ６及びＳ８で評価した積層体４ａの位置ずれの方向や量を基にして、押し込みネジ１８０〜１８２の締め込み量、すなわち、押し込みブロック１７０〜１７２の移動量を調整することも可能となる。こうすれば、位置ずれの修正を迅速且つ適正に行うことができ、位置ずれの修正検査時間を短縮することができる。
【００６５】
以上説明した検査方法によると、レーザ検査部１２２，１２３を有し、複数のスリットの連なりをレーザ光が通過できるか否かで、ずれ量が許容誤差範囲内であるかどうかを迅速に判断することができる。流路ユニット４がレーザ検査部１２２，１２３を一度横切れば、この判断が可能で、位置ずれに対する検査効率が高い。
【００６６】
また、カメラ１２０，１２１を有し、その焦点を一度合わせ撮像することで、スリット５６〜５９全体を同時に検査可能である。これにより、各金属プレート２２〜３０のうち、どのプレートがどの程度ずれているかを特定することができる。これにより、修正ピン１６０〜１６２による修正作業が確実にできる。さらに、位置ずれの部位、方向、量などの傾向の評価結果から、組立工程を改善することができる。
【００６７】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述した実施形態においては、補正ユニット１５０で流路ユニット４の位置ずれを補正していたが、流路ユニット４の位置ずれを検査するだけであれば、補正ユニット１５０は備えていなくてもよい。このとき、流路ユニット４は、切り欠き５３〜５５を形成していなくてもよい。
【００６８】
また、本実施形態においては、流路ユニット４の全ての辺にスリット５６〜５９を形成していたが、流路ユニット４の位置ずれ方向や量など傾向が予め把握できていた場合などにおいては、その位置ずれしやすい箇所にのみスリットを設けてもよい。つまり、スリットは任意の箇所に形成可能である。
【００６９】
さらに、本実施形態においては、流路ユニット４に基準穴５１及び長穴５２を設けていたが、流路ユニット４の側面にガイドが設けられている場合など流路ユニット４に基準穴５１及び長穴５２は設けなくてもよい。このとき、支持台１１２に、位置決めピン１１３，１１４を設けなくてよい。
【００７０】
加えて、本実施形態においては、カバープレート２９及びノズルプレート３０に形成されるスリットの開口幅を他の金属プレート２２〜２８に形成されるスリットの開口幅よりも狭くしていたが、カバープレート２９及びノズルプレート３０に対して高精度に位置ずれを検査する必要がなければ、カバープレート２９及びノズルプレート３０に形成されるスリットの開口幅は他の金属プレート２２〜２８に形成されるスリットの開口幅と同様であってもよい。また、全ての金属プレート２２〜３０の位置ずれを高精度に検査したいのであれば、金属プレート２２〜３０に形成されるスリットの開口幅をカバープレート２９及びノズルプレート３０に形成されるスリットの開口幅と同様に狭くしてもよい。
【００７１】
また、副マニホールド流路５ａの出口から圧力室１０までの流路抵抗やアクチュエータによって誘起される圧力波の伝搬特性を均一にするという観点から、カバープレート２９及びノズルプレート３０のスリットの開口幅に関わらず、キャビティプレート２２、ベースプレート２３及びアパーチャプレート２４のスリットの開口幅を他の金属プレート２５〜２８より狭くしてもよい。これにより、インク吐出後の圧力室にインクを補給するリフィル特性やインクの吐出精度が揃うことになる。
【００７２】
また、本実施形態においては、レーザ検査部１２２，１２３によるレーザ照射工程を備えていたが、レーザ検査部１２２，１２３は備えず、レーザ照射工程を行わなくてもよい。この場合、許容誤差に対する位置ずれの大小関係については、カメラ１２０，１２１による撮像結果をパターン認識して判定すればよい。
【００７３】
さらに、本実施形態においては、回転機構１１８により支持台１１２を１８０度回転させて、カメラ１２０，１２１で側面６８，６９と直交する方向からスリット５８，５９を撮像していたが、新たに、２台のカメラを備えて、これらのカメラにより側面６８，６９と直交する方向からスリット５８，５９を撮像してもよい。このとき、回転機構１１８は設けなくてよい。
【００７４】
また、本発明は、上述の実施形態のようなインクジェットヘッドの流路ユニットに限定されず、液体を吐出する流路ユニットであれば、様々な流路ユニットに適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの概略斜視図である。
【図２】流路ユニットの概略平面図である。
【図３】インクジェットヘッドの部分断面図である。
【図４】流路ユニットに形成されたスリットの拡大平面図である。
【図５】検査装置の概略斜視図である。
【図６】位置ずれを検査する一連の動作のフローチャートである。
【符号の説明】
【００７６】
１  インクジェットヘッド
４  流路ユニット
８  ノズル孔
２２  キャビティプレート
２３  ベースプレート
２４  アパーチャプレート
２５  サプライプレート
２６〜２８  マニホールドプレート
２９  カバープレート
３０  ノズルプレート
３２  個別インク流路
５１  基準穴
５３〜５５  切り欠き
５６〜５９  スリット
６６〜６９  側面
１００  検査装置
１１０  検査ユニット
１２０，１２１  カメラ
１２４ａ，１２４ｂ，１２６ａ，１２６ｂ  レーザ照射部
１２５ａ，１２５ｂ，１２７ａ，１２７ｂ  レーザ受光部
１５０  補正ユニット
１６０〜１６２  修正ピン
【図１】
0004998118.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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