(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出するタイミングを規定するタイミング信号に基づいて駆動される複数の吐出ノズルが副走査方向に配列するノズル群に対して、前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動させられると共に、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出する前記タイミング信号の周期が第一の周期である第一の被吐出領域と、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出する前記タイミング信号の周期が前記第一の周期とは異なる第二の周期である第二の被吐出領域と、を備える基材の被吐出領域配置方法であって、
前記ノズル群に、前記第一の被吐出領域と前記第二の被吐出領域の両方が同時に対向することがない位置に、前記第一の被吐出領域及び前記第二の被吐出領域を配置することを特徴とする基材の被吐出領域配置方法。
【請求項２】
前記副走査方向において隣り合う前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とを、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置することを特徴とする請求項１に記載の基材の被吐出領域配置方法。
【請求項３】
前記副走査方向において隣り合う前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とを、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルであって、前記基材に向けて前記液状体を吐出するために使用される複数の有効ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置することを特徴とする請求項１に記載の基材の被吐出領域配置方法。
【請求項４】
前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とを、前記副走査方向において、互いに隣り合わない位置に配置することを特徴とする請求項１に記載の基材の被吐出領域配置方法。
【請求項５】
液状体を吐出するタイミングを規定するタイミング信号に基づいて駆動される複数の吐出ノズルが副走査方向に配列するノズル群に対して、前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動させると共に、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出する前記タイミング信号の周期が第一の周期である第一のパネル領域と、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出する前記タイミング信号の周期が前記第一の周期とは異なる第二の周期である第二のパネル領域と、を備えるマザーパネルのパネル領域配置方法であって、
前記ノズル群に、前記第一のパネル領域と前記第二のパネル領域の両方が同時に対向することがない位置に、前記第一のパネル領域及び前記第二のパネル領域を配置することを特徴とするマザーパネルのパネル領域配置方法。
【請求項６】
前記副走査方向において隣り合う前記第一のパネル領域と、前記第二のパネル領域とを、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置することを特徴とする請求項５に記載のマザーパネルのパネル領域配置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する液滴吐出装置を用いて液状体を配置する対象である基材、当該基材における被吐出領域配置方法、液滴吐出装置を用いて液状体を配置することで複数のパネルを形成する対象であるマザーパネル、及び当該マザーパネルにおけるパネル領域配置方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備え、液状体を吐出して描画対象物上の任意の位置に塗布することによって、描画対象物の任意の位置に液状体を配置する液滴吐出装置が知られている。中でも、液状体を液滴として吐出する液滴吐出装置を用いることによって、吐出した液滴を描画対象物上の任意の位置に着弾させて、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などのような機能膜の材料を含む液状体を、任意の位置に任意の量だけ、精度良く塗布することが可能である。塗布された液状体を乾燥させることによって、任意の厚さ及び形状の機能膜を形成することができる。
【０００３】
大面積に効率良く液状体を配置するために、多数の吐出ノズルを副走査方向に並べ、副走査方向と交差する主走査方向において、吐出ノズルと描画対象物を相対移動させながら吐出ノズルから液状体を吐出する。多数の吐出ノズルを有する吐出ヘッドとしては、特許文献１に記載されているように、多数の吐出ヘッドを副走査方向に連ねたものが知られている。
【０００４】
液滴の着弾位置間の距離の最小値（以降、「描画分解能」と表記する。）が小さいほど細密な描画が可能となる。
特許文献１に記載されているインクジェットラインヘッドは、吐出ヘッドを主走査方向に並べて配置することで、副走査方向の吐出ノズルの密度を高くしている。即ち、副走査方向の吐出ノズルの間隔を小さくして、吐出される液状体の間隔を小さくすることによって、副走査方向の描画分解能が高いラインヘッドを実現している。
主走査方向の描画分解能は、主走査方向の吐出ノズルと描画対象物との相対移動速度と、液状体を吐出する吐出周波数と、で定まる吐出間隔（以降、「吐出分解能」と表記する。）によって定まる。特許文献２には、吐出分解能を調節することによって、描画対象物の被描画領域に対して適切な描画分解能を実現できる液滴吐出方法が開示されている。特許文献２に開示された液滴吐出方法では、吐出ヘッドが有する吐出ノズルの吐出分解能を一括して調整することによって、各吐出ノズルごとに個別に調整する方法に比べて、吐出ヘッドの吐出分解能を制御する制御装置の負荷が軽減されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１６６５７４号公報
【特許文献２】特開２００６−１３０４６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、描画対象物のそれぞれの被描画領域における適切な描画分解能が必ずしも一様ではない描画対象物が存在する。例えば、マザー基板に複数の基板を形成する場合であって、マザー基板を効率良く利用するために、異なる基板を同一のマザー基板に形成する場合である。そのような描画対象物においては、被描画領域の適切な描画分解能に合せて、被描画領域ごとに吐出分解能を変更する必要がある。
副走査方向においては、吐出ヘッドごとに、主走査方向の吐出分解能を個別に設定することが可能である。しかし、副走査方向における、吐出ヘッドの境界と、適切な描画分解能が互いに異なる被描画領域の境界とは、必ずしも合致しないため、同一の吐出分解能で吐出する吐出ノズルを有する一つの吐出ヘッドが、適切な描画分解能が互いに異なる被描画領域の境界を跨いで、両方の被描画領域の部分に対向する場合がある。このような場合、吐出ヘッドが有する吐出ノズルの吐出分解能は同一であるため、両方の被吐出領域に並行して、それぞれの被吐出領域に描画するために適切な描画分解能を実現できる吐出分解能で液状体を吐出することはできないという課題があった。境界を挟んだ被吐出領域の部分のそれぞれに向けて、それぞれの被吐出領域に対応した吐出分解能で、個別に吐出を実施すると、吐出作業に要する時間が増大するという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００８】
本適用例にかかる基材は、それぞれのノズル群が、液状体を吐出するタイミングを規定する同一のタイミング信号に基づいて駆動される複数の吐出ノズルを有し、当該複数の吐出ノズルが副走査方向に配列する複数のノズル群に対して、前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動させられると共に、それぞれの前記吐出ノズルから前記液状体が吐出されることによって前記液状体を配置される基材であって、前記吐出ノズルによって前記液状体を適切に配置可能な、前記タイミング信号の周期が第一の周期である第一の被吐出領域と、前記吐出ノズルによって前記液状体を適切に配置可能な前記タイミング信号の周期が、前記第一の周期とは異なる第二の周期である第二の被吐出領域と、を備え、前記主走査方向の相対移動において、同一の前記ノズル群に、前記第一の被吐出領域の部分と、前記第二の被吐出領域の部分との両方が同時に対向することがない位置に、前記第一の被吐出領域及び前記第二の被吐出領域が配置されていることを特徴とする。
【０００９】
この基材によれば、液状体を配置するための吐出ノズルにおけるタイミング信号の適切な周期が互いに異なる第一の被吐出領域の部分と、第二の被吐出領域の部分との両方に、単一のノズル群が同時に対向することがない。このため、液状体を配置するためにこの基材に向けて液状体を吐出する際に、異なる２種類の周期のタイミング信号に基づいて吐出をする必要のあるノズル群は存在しない。これにより、異なる２種類の周期のタイミング信号に基づいて吐出をする必要のあるノズル群が、異なる周期のタイミング信号に基づいて吐出を実施する走査を、それぞれの周期ごとに実施する場合に比べて、吐出作業に要する時間を抑制することができる。
【００１０】
上記適用例にかかる基材において、前記副走査方向において隣り合う前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とが、前記副走査方向において、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置されていることが好ましい。
【００１１】
この基材によれば、タイミング信号の適切な周期が互いに異なる第一の被吐出領域と第二の被吐出領域との間がノズル群の副走査方向の長さより離れている。これにより、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の境界に臨む位置にあるノズル群は、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の一方の部分に対向した状態では他方に対向することがないようにすることができる。
【００１２】
上記適用例にかかる基材において、前記副走査方向において隣り合う前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とが、前記副走査方向において、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルであって、前記基材に向けて前記液状体を吐出するために使用される複数の有効ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置されていることが好ましい。
【００１３】
この基材によれば、タイミング信号の適切な周期が互いに異なる第一の被吐出領域と第二の被吐出領域との間が、副走査方向において複数の有効ノズルが配置されている長さより離れている。これにより、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の境界に臨む位置にあるノズル群の有効ノズルは、その中の少なくとも一つが第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の一方の部分に対向した状態では他方に対向することがないようにすることができる。
【００１４】
上記適用例にかかる基材において、前記複数のノズル群における前記ノズル群の前記副走査方向の長さが一定であって、前記副走査方向において隣り合う前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とが、前記副走査方向における前記第二の被吐出領域と反対側において前記主走査方向に延在する前記第一の被吐出領域の端から、前記第二の被吐出領域の前記第一の被吐出領域側の端までの距離が、前記ノズル群の前記副走査方向の長さの整数倍の長さであって、前記第一の被吐出領域の前記副走査方向の幅より長い長さの中で最小の長さより離れている位置に配置されていることが好ましい。
【００１５】
この基材によれば、基材に対して、第一の被吐出領域における第二の被吐出領域側の境界を含む領域に向けて液状体を配置するノズル群の第二の被吐出領域側の端は、第一の被吐出領域の副走査方向の幅より長い長さの中で最小の長さの位置に位置する。従って、当該ノズル群が、第二の被吐出領域の第一の被吐出領域側の境界に対向することが実質的にないようにすることができる。
【００１６】
上記適用例にかかる基材において、前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とが、前記副走査方向において、互いに隣り合わない位置に配置されていることが好ましい。
【００１７】
この基材によれば、当該基材において、第一の被吐出領域と第二の被吐出領域とが、副走査方向において隣り合う状態は存在しない。このため、副走査方向に延在するノズル群は、第一の被吐出領域と第二の被吐出領域とに同時に対向することはないことから、単一のノズル群がタイミング信号の適切な周期が互いに異なる領域に同時に対向することがない基材を実現することができる。
【００１８】
本適用例にかかる基材の被吐出領域配置方法は、液状体を吐出するタイミングを規定するタイミング信号に基づいて駆動される複数の吐出ノズルが副走査方向に配列するノズル群に対して、前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動させられると共に、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出する前記タイミング信号の周期が第一の周期である第一の被吐出領域と、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出する前記タイミング信号の周期が前記第一の周期とは異なる第二の周期である第二の被吐出領域と、を備える基材の被吐出領域配置方法であって、前記ノズル群に、前記第一の被吐出領域と前記第二の被吐出領域の両方が同時に対向することがない位置に、前記第一の被吐出領域及び前記第二の被吐出領域を配置することを特徴とする。
【００１９】
この基材の被吐出領域配置方法によれば、液状体を配置するための吐出ノズルにおけるタイミング信号の適切な周期が互いに異なる第一の被吐出領域の部分と、第二の被吐出領域の部分との両方に、単一のノズル群が同時に対向することがない。このため、液状体を配置するためにこの基材に向けて液状体を吐出する際に、異なる２種類の周期のタイミング信号に基づいて吐出をする必要のあるノズル群は存在しない。これにより、異なる２種類の周期のタイミング信号に基づいて吐出をする必要のあるノズル群が、異なる周期のタイミング信号に基づいて吐出を実施する走査を、それぞれの周期ごとに実施する場合に比べて、吐出作業に要する時間を抑制することができる。
【００２０】
上記適用例にかかる基材の被吐出領域配置方法において、前記副走査方向において隣り合う前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とを、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置することが好ましい。
【００２１】
この基材の被吐出領域配置方法によれば、タイミング信号の適切な周期が互いに異なる第一の被吐出領域と第二の被吐出領域との間がノズル群の副走査方向の長さより離れている。これにより、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の境界に臨む位置にあるノズル群は、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の一方の部分に対向した状態では他方に対向することがないようにすることができる。
【００２２】
上記適用例にかかる基材の被吐出領域配置方法において、前記副走査方向において隣り合う前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とを、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルであって、前記基材に向けて前記液状体を吐出するために使用される複数の有効ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置することが好ましい。
【００２３】
この基材の被吐出領域配置方法によれば、タイミング信号の適切な周期が互いに異なる第一の被吐出領域と第二の被吐出領域との間が、副走査方向において複数の有効ノズルが配置されている長さより離れている。これにより、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の境界に臨む位置にあるノズル群の有効ノズルは、その中の少なくとも一つが第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の一方の部分に対向した状態では他方に対向することがないようにすることができる。
【００２４】
上記適用例にかかる基材の被吐出領域配置方法において、前記第一の被吐出領域と、前記第二の被吐出領域とを、前記副走査方向において、互いに隣り合わない位置に配置することが好ましい。
【００２５】
この基材の被吐出領域配置方法によれば、当該基材において、第一の被吐出領域と第二の被吐出領域とが、副走査方向において隣り合う状態は存在しない。このため、副走査方向に延在するノズル群は、第一の被吐出領域と第二の被吐出領域とに同時に対向することはないことから、単一のノズル群がタイミング信号の適切な周期が互いに異なる領域に同時に対向することがない基材を実現することができる。
【００２６】
本適用例にかかるマザーパネルは、それぞれのノズル群が、液状体を吐出するタイミングを規定する同一のタイミング信号に基づいて駆動される複数の吐出ノズルを有し、当該複数の吐出ノズルが副走査方向に配列する複数のノズル群に対して、前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動させられると共に、それぞれの前記吐出ノズルから前記液状体が吐出されることによって、前記液状体を配置されるマザーパネルであって、前記吐出ノズルによって前記液状体を適切に配置可能な、前記タイミング信号の周期が第一の周期である第一のパネル領域と、前記吐出ノズルによって前記液状体を適切に配置可能な前記タイミング信号の周期が、前記第一の周期とは異なる第二の周期である第二のパネル領域と、を備え、同一の前記ノズル群に、前記第一のパネル領域の部分と、前記第二のパネル領域の部分との両方が同時に対向することがない位置に、前記第一のパネル領域及び前記第二のパネル領域が配置されていることを特徴とする。
【００２７】
このマザーパネルによれば、液状体を配置するための吐出ノズルにおけるタイミング信号の適切な周期が互いに異なる第一のパネル領域の部分と、第二のパネル領域の部分との両方に、単一のノズル群が同時に対向することがない。このため、液状体を配置するためにこのマザーパネルに向けて液状体を吐出する際に、異なる２種類の周期のイミング信号のそれぞれに基づいて吐出をする必要のあるノズル群は存在しない。これにより、異なる２種類の周期のタイミング信号に基づいて吐出をする必要のあるノズル群が、異なる周期のタイミング信号に基づいて吐出を実施する走査を、それぞれの周期ごとに実施する場合に比べて、吐出作業に要する時間を抑制することができる。
【００２８】
上記適用例にかかるマザーパネルにおいて、前記副走査方向において隣り合う前記第一のパネル領域と、前記第二のパネル領域とが、前記副走査方向において、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置されていることが好ましい。
【００２９】
このマザーパネルによれば、タイミング信号の適切な周期が互いに異なる第一のパネル領域と第二のパネル領域との間がノズル群の副走査方向の長さより離れている。これにより、第一のパネル領域又は第二のパネル領域の境界に臨む位置にあるノズル群は、第一のパネル領域又は第二のパネル領域の一方の部分に対向した状態では他方に対向することがないようにすることができる。
【００３０】
上記適用例にかかるマザーパネルにおいて、前記副走査方向において隣り合う前記第一のパネル領域と、前記第二のパネル領域とが、前記副走査方向において、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルであって、前記マザーパネルに向けて前記液状体を吐出するために使用される複数の有効ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置されていることが好ましい。
【００３１】
このマザーパネルによれば、タイミング信号の適切な周期が互いに異なる第一のパネル領域と第二のパネル領域との間が、副走査方向において複数の有効ノズルが配置されている長さより離れている。これにより、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域の境界に臨む位置にあるノズル群の有効ノズルは、その中の少なくとも一つが第一のパネル領域又は第二のパネル領域の一方の部分に対向した状態では他方に対向することがないようにすることができる。
【００３２】
本適用例にかかるマザーパネルのパネル領域配置方法は、液状体を吐出するタイミングを規定するタイミング信号に基づいて駆動される複数の吐出ノズルが副走査方向に配列するノズル群に対して、前記副走査方向と交差する主走査方向に相対移動させると共に、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出する前記タイミング信号の周期が第一の周期である第一のパネル領域と、前記吐出ノズルから前記液状体を吐出する前記タイミング信号の周期が前記第一の周期とは異なる第二の周期である第二のパネル領域と、を備えるマザーパネルのパネル領域配置方法であって、前記ノズル群に、前記第一のパネル領域と前記第二のパネル領域との両方が同時に対向することがない位置に、前記第一のパネル領域及び前記第二のパネル領域を配置することを特徴とする。
【００３３】
この基材のマザーパネルのパネル領域配置方法によれば、液状体を配置するための吐出ノズルにおけるタイミング信号の適切な周期が互いに異なる第一のパネル領域の部分と、第二のパネル領域の部分との両方に、単一のノズル群が同時に対向することがない。このため、液状体を配置するためにこのマザーパネルに向けて液状体を吐出する際に、異なる２種類の周期のタイミング信号のそれぞれに基づいて吐出をする必要のあるノズル群は存在しない。これにより、異なる２種類の周期のタイミング信号に基づいて吐出をする必要のあるノズル群が、異なる周期のタイミング信号に基づいて吐出を実施する走査を、それぞれの周期ごとに実施する場合に比べて、吐出作業に要する時間を抑制することができる。
【００３４】
上記適用例にかかるマザーパネルのパネル領域配置方法において、前記副走査方向において隣り合う前記第一のパネル領域と、前記第二のパネル領域とを、前記ノズル群が有する複数の前記吐出ノズルの中で前記副走査方向における両端に位置する前記吐出ノズルの中心間距離より大きい間隔を隔てて配置することが好ましい。
【００３５】
このマザーパネルのパネル領域配置方法によれば、タイミング信号の適切な周期が互いに異なる第一のパネル領域と第二のパネル領域との間がノズル群の副走査方向の長さより離れている。これにより、第一のパネル領域又は第二のパネル領域の境界に臨む位置にあるノズル群は、第一のパネル領域又は第二のパネル領域の一方の部分に対向した状態では他方に対向することがないようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、基材、基材の被吐出領域配置方法、マザーパネル、及びマザーパネルのパネル領域配置方法の一実施形態について図面を参照して、説明する。実施形態は、液滴吐出装置の一例であるインクジェット方式の液滴吐出装置を用いて、電気光学装置を構成する機能膜などを製造する工程を例に説明する。
【００３７】
（第一の実施形態）
本実施形態は、液滴吐出装置を用いて、電気光学装置の一例である液晶装置の、機能膜の一例であるカラーフィルタを製造する工程を例に説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、液晶装置の製造ラインに組み込まれており、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備えている。液滴吐出装置は、当該液滴吐出ヘッドに樹脂材料を含む機能液を導入して、描画対象物上に当該機能液を配置することで、液晶装置のカラーフィルタのフィルタ膜などを形成するものである。
【００３８】
＜液滴吐出法＞
最初に、フィルタ膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００３９】
また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒータにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成などに影響を与えない、駆動電圧を調整することによって、液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、材料の組成などに影響を与えないため液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の大きさを容易に調整することができるため液滴の制御性が良いことから、上記ピエゾ方式を用いる。
【００４０】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置１の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。図２は、液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。
【００４１】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７（図３参照）を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、給液ユニット６０（図６参照）と、検査ユニット４と、メンテナンスユニット５と、吐出装置制御部６（図６参照）とを備えている。
【００４２】
吐出ユニット２は、液状体である機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を１２０個備えており、当該液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に移動させると共に移動した位置に保持するためのＹ軸テーブル１２を備えている。ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台２１を有している。給液ユニット６０は、機能液を貯留する貯留タンク（図示省略）を有し、液滴吐出ヘッド１７への機能液の供給を行う。検査ユニット４は、液滴吐出ヘッド１７からの吐出状態を検査するための、吐出検査ユニット１８及び重量測定ユニット１９を有しており、重量測定ユニット１９にはフラッシングユニット１４が併設されている。メンテナンスユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行う吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６を有している。吐出装置制御部６は、これら各ユニットなどを総括的に制御する。重量測定ユニット１９、吐出ユニット２、吐出検査ユニット１８、又はメンテナンスユニット５などを用いて実施される重量測定処理、描画処理、吐出検査処理、及びメンテナンス処理などは、吐出装置制御部６が各ユニットなどを制御して実施される。
【００４３】
液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１Ａを備え、各ユニットなどが、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されている。Ｘ軸テーブル１１は、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されており、ワーク載置台２１をＸ軸方向（主走査方向）に移動させる。
【００４４】
吐出ユニット２のＹ軸テーブル１２は、複数本の支柱７Ａを介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース７，７の上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在している。吐出ユニット２は、それぞれ１２個の液滴吐出ヘッド１７を有するキャリッジユニット５１を、１０個備えている。１０個のキャリッジユニット５１は、１０個のブリッジプレート５２のそれぞれに吊設されている。ブリッジプレート５２は、Ｙ軸スライダ（図示省略）を介して、Ｙ軸テーブル１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸テーブル１２は、ブリッジプレート５２（キャリッジユニット５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。
Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２の駆動と同期して、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、機能液滴を吐出させ、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の描画パターンを描画する。
【００４５】
吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２（図２参照）とを有している。検査描画ユニット１６１は、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、同じくＸ軸第２スライダ２３に固定された重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが一体に設けられたブロックを、吐出検査ブロック４ａと表記する。撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３（図２参照）と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４（図２参照）と、を有している。カメラ移動機構１６４は、Ｙ軸支持ベース７に固定されている。２個の検査カメラ１６３は、カメラ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。
【００４６】
メンテナンスユニット５が備える吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台８の上に配設されている。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット１４１を有し、液滴吐出ヘッド１７を吸引して、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８（図３参照）から機能液を強制的に排出させる。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１５１を有し、吸引後の液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａ（図３参照）を拭き取る（ワイピングを行う）ものである。このようにして、吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７の機能維持又は機能回復を図るための保守作業を実施する。
【００４７】
図１、又は図２に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対のＸ軸リニアモータ２６，２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４，２４と、を備えている。
【００４８】
Ｘ軸第１スライダ２２には、ワーク載置台２１が取り付けられている。Ｘ軸第１スライダ２２は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸第２スライダ２３には、検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが一体に設けられた吐出検査ブロック４ａが取り付けられている。Ｘ軸第２スライダ２３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸リニアモータ２６は、Ｘ軸共通支持ベース２４に並設されており、Ｘ軸第１スライダ２２又はＸ軸第２スライダ２３をＸ軸共通支持ベース２４に沿って移動させることによって、ワーク載置台２１（ワーク載置台２１に載置されたワークＷ）又は吐出検査ブロック４ａをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸第２スライダ２３とは、Ｘ軸リニアモータ２６により個別に駆動可能である。Ｘ軸方向が主走査方向に相当し、Ｙ軸方向が副走査方向に相当する。
【００４９】
ワーク載置台２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向にθ補正するためのθテーブル３２などを有している。図１及び図２におけるワーク載置台２１の位置が、ワークＷの給除材を行うための給除材位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させる。当該給除材位置において、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。また、吸着テーブル３１には、給材されたワークＷをＸ軸方向及びＹ軸方向に寄せこむようにして、これをプリアライメントする機構（図示省略）が組み込まれている。吸着テーブル３１に給材された未処理のワークＷのアライメントは、θテーブル３２を用いて、給除材位置において実施される。ワーク載置台２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、描画前フラッシングユニット１１１の一対の描画前フラッシングボックス１２１，１２１が添設されている。
【００５０】
画像認識ユニット８０は、２台のアライメントカメラ８１と、カメラ移動機構８２と、を有している。カメラ移動機構８２は、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に、Ｙ軸方向に延在して、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように配設されている。アライメントカメラ８１は、カメラホルダ（図示省略）を介して、カメラ移動機構８２に、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されている。カメラ移動機構８２に支持されたアライメントカメラ８１は、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、Ｘ軸テーブル１１の上のワーク載置台２１に載置されたワークＷの各基準マーク（アライメントマーク）（図示省略）を画像認識することができる。２台のアライメントカメラ８１は、カメラ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。
【００５１】
各アライメントカメラ８１は、ワーク載置台２１のＸ軸方向への移動と協働して、カメラ移動機構８２によりＹ軸方向に移動しながら、上記ロボットアームが給材した各種ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を実施する。そして、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正が実施される。
【００５２】
Ｙ軸テーブル１２は、１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモータは、上記した一対のＹ軸支持ベース７，７の上にそれぞれ設置されて、Ｙ軸方向に延在している。２０個（１０組）のＹ軸スライダは、一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに各１０個ずつ摺動自在に支持されている。一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに支持された各１個のＹ軸スライダからなる１組のＹ軸スライダは、吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１が固定されたブリッジプレート５２を両持ちで支持している。吐出ユニット２を構成する１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ固定した１０個のブリッジプレート５２は、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダを介して、一対のＹ軸支持ベース７，７の上に設置されている。
【００５３】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース７，７を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向に移動し、ブリッジプレート５２に吊設されたキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。
【００５４】
キャリッジユニット５１は、１２個の液滴吐出ヘッド１７と、１２個の液滴吐出ヘッド１７を６個ずつ２群に分けて支持するサブキャリッジ５３と、を有するヘッドユニット５４（図４参照）を備えている。また、キャリッジユニット５１は、ヘッドユニット５４をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット５４をブリッジプレート５２に支持させる吊設部材６２と、を備えている。
【００５５】
＜液滴吐出ヘッドの構成＞
次に、液滴吐出ヘッド１７について、図３を参照して説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図である。
【００５６】
図３に示すように、この液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１に連なる方形のヘッド本体７４と、液体導入部７１とヘッド本体７４との間から側方に突出するヘッド基板７３と、を備えている。ヘッド本体７４は、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズル形成プレート７６と、を有している。ノズル形成プレート７６には、ノズル形成面７６ａに開口する吐出ノズル７８が形成されている。液滴吐出ヘッド１７においては、一列あたり１８１個の吐出ノズル７８からなるノズル列７８ｂが２列形成されている。ポンプ部７５には、ピエゾ圧電素子が設けられており、当該ピエゾ圧電素子を駆動することによって、液体導入部７１から供給されてきた機能液を吐出ノズル７８から吐出する。１個の吐出ノズル７８に対応して１個のピエゾ圧電素子が設けられており、それぞれの吐出ノズル７８ごとに独立して機能液を吐出することができる。ヘッド基板７３には、一対のコネクタ７７，７７が設けられている。このコネクタ７７が、ＦＦＣケーブルなどによって、吐出装置制御部６と接続されている中継基板と接続されることで、液滴吐出ヘッド１７が吐出装置制御部６と接続される。
【００５７】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８ｂをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置ずれしている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。吐出ノズル７８のノズルピッチが１４１μｍの場合、２列のノズル列７８ｂの液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴のＹ軸方向における着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０．５μｍである。
吐出ノズル７８から液滴を吐出するタイミングは、ラッチ信号で規定される。１列のノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８には同じラッチ信号が印加され、同じタイミングで液滴を吐出する。１台の液滴吐出ヘッド１７が有する２列のノズル列７８ｂのそれぞれには、２列のノズル列７８ｂ間のＸ軸方向の距離と、液滴吐出ヘッド１７と描画対象物とのＸ軸方向の相対移動速度とから算出できる時間差をつけてラッチ信号を印加する。これにより、２列のノズル列７８ｂの液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴を、Ｙ軸方向に延在する一直線状に着弾させることができる。１台の液滴吐出ヘッド１７が有する吐出ノズル７８がノズル群に相当する。
図３にＬで示した、１台の液滴吐出ヘッド１７が有する吐出ノズル７８において、Ｙ軸方向において両端に位置する吐出ノズル７８のＹ軸方向の中心間距離をノズル群長Ｌと表記する。液滴吐出ヘッド１７が、１８０個の吐出ノズル７８が１４１μｍのノズルピッチで並ぶノズル列７８ｂを２列備え、２列のノズル列７８ｂをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置ずれしている場合、ノズル群長Ｌは、２５３０９．５μｍになる。
【００５８】
＜ヘッドユニット＞
次に、吐出ユニット２のヘッドユニット５４の概略構成について、図４を参照して説明する。図４は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図４に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット５４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【００５９】
図４に示すように、ヘッドユニット５４は、サブキャリッジ５３と、サブキャリッジ５３に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、サブキャリッジ５３に固定されており、ヘッド本体７４がサブキャリッジ５３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズル形成面７６ａが、サブキャリッジ５３の面より突出している。図４は、ノズル形成面７６ａ側から見た図である。１２個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ６個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組５５を２群形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ｂはＹ軸方向に延在している。
【００６０】
一つのヘッド組５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。仮に、ヘッド組５５が有する６個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。即ち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。この直線をノズル群線と表記する。液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組５５を構成している。
【００６１】
ヘッドユニット５４が有する二つのヘッド組５５は、Ｙ軸方向に一つのヘッド組５５のＹ軸方向の長さに相当する間隔を隔てて配置されている。即ち、一つのヘッドユニット５４の吐出ノズル７８から一滴ずつ吐出させて、Ｘ軸方向が同じ位置になるように着弾させると、ノズル群線一本の長さ分の間隔を隔てて、２本のノズル群線が形成される。ヘッドユニット５４を、Ｙ軸方向に、一つのヘッド組５５のＹ軸方向の長さに相当する距離だけ移動させて、同様に２本のノズル群線を形成することで、ノズル群線が４本連なった直線が形成される。当該直線は、設計上では、ノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８の数の４８倍の数の点が、ノズル列７８ｂを構成する吐出ノズル７８のノズルピッチの半分の間隔で、連なっている。１ノズル列あたり１８０個の吐出ノズル７８が、１４１μｍのノズルピッチで形成されている液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット５４の場合は、８６４０個の点が７０．５μｍのピッチ間隔で連なる直線が形成される。
【００６２】
隣り合うヘッドユニット５４も、それぞれのヘッド組５５が、互いにＹ軸方向に一つのヘッド組５５分の間隔を隔てて配置されるように位置することが可能である。従って、ノズル群線の長さ相当のＹ軸方向の移動を挟んで、それぞれ、吐出ユニット２が有する各吐出ノズル７８に一滴ずつ機能液を吐出させることで、Ｙ軸方向に延在する一直線を形成することができる。この、吐出ユニット２が有する全１２０個の液滴吐出ヘッド１７が各二回の吐出で描画できるラインの長さは、ワーク載置台２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。各点に着弾した液滴が、実質的なノズルピッチ（７０．５μｍ）より大きく濡れ広がることによって、帯状に連なる液の膜が形成される。
【００６３】
なお、ノズル列７８ｂの端の方における吐出ノズル７８のいくつかを使用しない場合には、使用しない吐出ノズル７８が、使用する吐出ノズル７８と、Ｙ軸方向において重なるように、液滴吐出ヘッド１７を配置する。この場合の使用する吐出ノズル７８が、有効ノズルに相当する。使用しない吐出ノズル７８が設定されている液滴吐出ヘッド１７においては、使用する吐出ノズル７８の中で、Ｙ軸方向において両端に位置する吐出ノズル７８のＹ軸方向の中心間距離がノズル群長Ｌに相当する。
【００６４】
次に、複数の種類の機能液を並行して扱う場合の、ヘッドユニット５４における、各機能液を吐出させる液滴吐出ヘッド１７の配置例について、図５を参照して説明する。図５は、三色カラーフィルタを形成する場合の、ヘッドユニットにおける各機能液を吐出させる液滴吐出ヘッドの配置例を示す模式図である。
【００６５】
図５に示すように、ヘッドユニット５４における一方のヘッド組５５の液滴吐出ヘッド１７を、一方の端から順番に、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１７ｅ，１７ｆと表記する。ヘッドユニット５４におけるもう一方のヘッド組５５の液滴吐出ヘッド１７を、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１７ｅ，１７ｆと同じ順番に、液滴吐出ヘッド１７ｇ，１７ｈ，１７ｊ，１７ｋ，１７ｍ，１７ｎと表記する。
三色カラーフィルタのフィルタ膜２０５（図７又は図９参照）の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、を形成するための機能液２５２を赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、青色機能液２５２Ｂと表記する（図１２参照）。赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、又は青色機能液２５２Ｂが供給される液滴吐出ヘッド１７を、それぞれ赤色吐出ヘッド１７Ｒ、緑色吐出ヘッド１７Ｇ、青色吐出ヘッド１７Ｂと表記する。
本実施形態のヘッドユニット５４においては、液滴吐出ヘッド１７ａ，１７ｄ，１７ｇ，１７ｋが、赤色吐出ヘッド１７Ｒであり、液滴吐出ヘッド１７ｂ，１７ｅ，１７ｈ，１７ｍが、緑色吐出ヘッド１７Ｇであり、液滴吐出ヘッド１７ｃ，１７ｆ，１７ｊ，１７ｎが、青色吐出ヘッド１７Ｂである。
【００６６】
２台の赤色吐出ヘッド１７Ｒから赤色機能液２５２Ｒを吐出させるＸ軸方向の走査を、１台の液滴吐出ヘッド１７分のＹ軸方向の移動を２回挟んで、３回実施することで、着弾した赤色機能液２５２Ｒの液滴から成るノズル群線を形成できる。略並行して、緑色吐出ヘッド１７Ｇ及び青色吐出ヘッド１７Ｂから緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを吐出させて、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂの液滴から成るノズル群線を形成できる。当該ノズル群線を形成する吐出を、吐出ユニット２の全ての液滴吐出ヘッド１７を用いて２回実施することで、上述したワーク載置台２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応する長さの、赤色機能液２５２Ｒ、緑色機能液２５２Ｇ、又は青色機能液２５２Ｂの液滴から成るノズル群線をそれぞれ１本形成できる。
【００６７】
＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図６を参照して説明する。図６は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、図６に示した制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に入出力する情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。
【００６８】
液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ２ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ６０ｄと、メンテナンスドライバ５ｄと、検査ドライバ４ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。
【００６９】
インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチンなどを記憶したりしている。
【００７０】
ヘッドドライバ２ｄには、吐出ユニット２を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバ２ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。
【００７１】
駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータ２６と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、上記した、アライメントカメラ８１を移動するためのカメラ移動モータや、θ回転機構６１の駆動モータや、θテーブル３２の駆動モータなどである。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ２ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。
【００７２】
メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンスユニット５の吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６と、フラッシングユニット１４とが接続されている。メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、又はフラッシングユニット１４を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。
【００７３】
検査ドライバ４ｄには、検査ユニット４の吐出検査ユニット１８と、重量測定ユニット１９とが接続されている。検査ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット１８、又は重量測定ユニット１９を駆動して、吐出重量や吐出の可否や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。
【００７４】
給液ドライバ６０ｄには、給液ユニット６０が接続されている。給液ドライバ６０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って給液ユニット６０を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。検出部インタフェイス４３には、各種センサを含む検出部４２が接続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。
【００７５】
＜液晶表示パネルの構成＞
次に、電気光学装置の一例である液晶装置としての液晶表示パネルについて説明する。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図７を参照して説明する。図７は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。
【００７６】
図７に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１３（ｋ）参照）とを備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０には、貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１と偏光板２３２とが、配設されている。
【００７７】
素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、画素電極２１７や、走査線２１２及び信号線２１４が、絶縁層２１６上に形成されている。走査線２１２及び信号線２１４は、互いに絶縁された状態で交差するように形成されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４に信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。
【００７８】
素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。
【００７９】
対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルタ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成され、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルタ膜領域２２５が形成されている。フィルタ膜領域２２５には、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。
【００８０】
ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。
【００８１】
対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。
【００８２】
なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８３】
＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図８を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されてガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａ上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図８（ａ）は対向基板の平面構造を模式的に示す図であり、図８（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す図である。
【００８４】
対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図８（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルタ膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該フィルタ膜領域２２５にフィルタ膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。
【００８５】
図８（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには対向基板２２０のＣＦ層２０８と共に、対向基板４２０を構成するＣＦ層４０８がガラス基板４０１となる部分に形成されている。対向基板４２０は、対向基板２２０と実質的に同じ構造をしており、液晶表示パネル２００より表示部の面積が小さい液晶表示パネルを構成する対向基板である。マザー対向基板２０１Ａ上にガラス基板２０１を適宜配置すると、面積的に活用できない部分が生ずる。そこで、ガラス基板２０１より小さいガラス基板４０１のＣＦ層４０８を形成して、当該部分をガラス基板４０１として有効に利用することによって、マザー対向基板２０１Ａを無駄なく利用している。マザー対向基板２０１Ａが、基材又はマザーパネルに相当する。なお、図８においては図をわかりやすくするためにＣＦ層２０８やＣＦ層４０８を形成する領域の相互間の間隔を大きくしてあるが、マザー対向基板２０１Ａを効率良く使用するためには、当該間隔は可能な限り小さくすることが好ましい。言い換えれば、サイズの異なるガラス基板を効率的に配置する配置方法を見出すことにより、マザー対向基板２０１Ａそのもののサイズ設定が明確になり、マザー対向基板２０１Ａを原材料から取り出す効率をも改善することが可能となる。
【００８６】
＜カラーフィルタ＞
次に、対向基板２２０に形成されているＣＦ層２０８及びＣＦ層２０８におけるフィルタ膜２０５（赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂ）の配列について、図９を参照して説明する。図９は、３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図である。
【００８７】
図９に示すように、フィルタ膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルタ膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルタ膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルタ膜領域２２５を埋める膜状のフィルタ膜２０５を形成する。
【００８８】
３色カラーフィルタにおける赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。ストライプ配列は、図９（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂになる配列である。モザイク配列は、図９（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルタ膜２０５一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタ膜２０５が３色となる配列である。デルタ配列は、図９（ｃ）に示したように、フィルタ膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つのフィルタ膜２０５が異なる色となる配色である。
【００８９】
図９（ａ），（ｂ），（ｃ）に示した３色フィルタにおいて、フィルタ膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ２５４」と表記する。）を形成している。一つの絵素フィルタ２５４内の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂのいずれか一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。
【００９０】
＜吐出分解能＞
次に、吐出分解能と、描画対象の形状との関係について、図１０を参照して説明する。吐出ノズル７８からは、当該吐出ノズル７８にラッチ信号によりラッチされた駆動信号（駆動波形）が印加されることによって機能液が吐出される。ラッチ信号の周波数と、吐出ノズル７８と描画対象との主走査方向の相対移動速度と、から定まる描画対象に対する吐出ノズル７８からの吐出位置間の最小距離が、吐出分解能である。吐出された機能液が描画対象に着弾した位置間の最小距離が、描画分解能である。描画対象の適切な描画分解能は、それぞれの描画対象における描画形状によって定まる。吐出ノズル７８が実現するべき吐出分解能は、液滴吐出装置１が描画吐出を実施する描画対象の適切な描画分解能によって定まる。
【００９１】
図１０は、フィルタ膜領域の形状と吐出分解能との関係を示す説明図である。図１０（ａ）は、ＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５を形成するフィルタ膜領域２２５について、好ましい機能液２５２（図１２参照）の着弾点２６３、及び機能液２５２を当該着弾点２６３に着弾させるタイミングで液滴吐出ヘッド１７から吐出させるためのラッチ信号２６２を示している。
１個のフィルタ膜２０５を形成するために、複数の吐出ノズル７８を一斉に駆動して、当該フィルタ膜２０５を形成するべきフィルタ膜領域２２５に機能液２５２を着弾させる。１個の吐出ノズル７８からは、例えば図１０（ａ）に示した４ヶ所の着弾点２６３の位置に、機能液２５２の液滴を着弾させることによって、適正なフィルタ膜２０５が形成される。
【００９２】
一般的に、信号は時間軸に対応して示されるが、吐出ノズル７８とフィルタ膜領域２２５（マザー対向基板２０１Ａ）との相対移動速度は一定であるため、図１０（ａ）に示したラッチ信号２６２は、主走査方向である矢印ａの方向に相対移動する吐出ノズル７８が、当該位置にある時点で印加されているラッチ信号を示している。吐出ノズル７８は、図１０（ａ）の矢印ａの方向に相対移動しながら、ラッチ信号２６２の立ち上がり時に、即ち、図１０（ａ）においてはラッチ信号２６２の立ち上がり部分が記載されている位置において、機能液２５２を吐出する。吐出された機能液２５２は、着弾点２６３の位置に、着弾位置精度の誤差の範囲で、着弾する。なお、吐出ノズル７８から吐出された機能液２５２は、吐出されてから着弾するまでの飛行時間の間に、相対移動方向にも移動するが、当該移動量は概ね一定であるため、図をわかりやすくするために、図１０（ａ）においては、当該移動量は省略している。
【００９３】
赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８においては、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒの着弾点２６３Ｒに向けて吐出する時点においてのみ、赤色機能液２５２Ｒを吐出する。赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８は、着弾点２６３Ｇや着弾点２６３Ｂに着弾する吐出時点においては、吐出は実施しない。同様に、緑色吐出ヘッド１７Ｇ又は青色吐出ヘッド１７Ｂが有する吐出ノズル７８においては、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂの着弾点２６３Ｇ又は着弾点２６３Ｂに向けて吐出する時点においてのみ、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを吐出する。
フィルタ膜領域２２５の主走査方向の配置に対して、ラッチ信号２６２によってラッチされる駆動信号を適切に印加することによって、適切な吐出位置で機能液２５２を吐出させることを可能ならしめて、それぞれのフィルタ膜領域２２５において、略同じ位置に機能液２５２を着弾させることができる。主走査方向に複数の機能液２５２を連続して吐出する場合、その最小の吐出間隔が吐出分解能となる。すなわち、吐出分解能の単位で機能液２５２を配置可能である。主走査方向における機能液２５２の配置は、隔壁２０４で区画された領域のサイズやフィルタ膜２０５の膜厚設定により適宜決定される。
【００９４】
図１０（ｂ）は、ＣＦ層４０８のフィルタ膜４０５（４０５Ｒ，４０５Ｇ，４０５Ｂ）を形成するフィルタ膜領域４２５について、好ましい機能液２５２の着弾点２７３、及び機能液２５２を当該着弾点２７３に着弾させるように液滴吐出ヘッド１７から吐出させるためのラッチ信号２７２を示している。
１個の吐出ノズル７８からは、例えば図１０（ｂ）に示した２ヶ所の着弾点２７３の位置に、機能液２５２の液滴を着弾させることによって、適正なフィルタ膜４０５が形成される。
図１０（ｂ）におけるラッチ信号２７２とフィルタ膜領域４２５との関係は、図１０（ａ）におけるラッチ信号２６２とフィルタ膜領域２２５との関係と同様である。
【００９５】
赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８においては、赤色フィルタ膜４０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域４２５Ｒの着弾点２７３Ｒに向けて吐出する時点においてのみ、赤色機能液２５２Ｒを吐出する。赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８は、着弾点２７３Ｇや着弾点２７３Ｂ、及び隔壁２０４にかかる着弾点２７３Ｋに着弾する吐出時点においては、吐出は実施しない。同様に、緑色吐出ヘッド１７Ｇ又は青色吐出ヘッド１７Ｂが有する吐出ノズル７８においては、緑色フィルタ膜４０５Ｇ又は青色フィルタ膜４０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域４２５Ｇ又はフィルタ膜領域４２５Ｂの着弾点２７３Ｇ又は着弾点２７３Ｂに向けて吐出する時点においてのみ、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを吐出する。
フィルタ膜領域４２５の主走査方向の配置に対して、ラッチ信号２７２によってラッチされる駆動信号を適切に印加することによって、適切な吐出位置で機能液２５２を吐出させることを可能ならしめて、それぞれのフィルタ膜領域４２５において、略同じ位置に機能液２５２を着弾させることができる。
【００９６】
＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図１１、図１２、及び図１３を参照して説明する。図１１は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図１２は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図であり、図１３は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。
【００９７】
図１１に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形成する。
図１１のステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、フィルタ膜領域２２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図１２（ａ）に示すように、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形のフィルタ膜領域２２５が形成される。
【００９８】
次に、図１１のステップＳ２では、フィルタ膜領域２２５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを構成する材料をそれぞれ充填して、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。
【００９９】
より詳細には、図１２（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルタ膜領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１７Ｒを対向させる。当該赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８から、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによって、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板２０１に対して赤色吐出ヘッド１７Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１に形成された全てのフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図１２（ｃ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する。
【０１００】
同様にして、図１２（ｂ）に示した、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂに、図１２（ｃ）に示すように、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能液２５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図１２（ｄ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｇ及びフィルタ膜領域２２５Ｂに緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと合せて、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂからなる３色カラーフィルタが形成される。
【０１０１】
次に、図１１のステップＳ３では、平坦化層を形成する。図１２（ｅ）に示すように、ＣＦ層２０８を構成する赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、図１１のステップＳ４では、対向電極２０７を形成する。図１２（ｆ）に示すように、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５が形成された領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極２０７である。
【０１０２】
次に、図１１のステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施して、対向基板２２０が形成される。
【０１０３】
図１１に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形成する。
図１１のステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６などを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に少なくとも１個のＴＦＴ素子２１５を形成する。
【０１０４】
次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。
【０１０５】
次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成する。
図１３（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１３（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施して、素子基板２１０が形成される。
【０１０６】
次に、ステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせ、図１３（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板を個別の液晶表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板やマザー素子基板を、対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後にステップＳ９を実施する。ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。
【０１０７】
＜マザー対向基板におけるＣＦ層の配置＞
次に、上述したマザー対向基板２０１ＡにおけるＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８の配置について、図１４を参照して説明する。図１４は、吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー対向基板におけるＣＦ層を形成する領域の位置関係と、を示す模式図である。
図１４（ａ）は、ワーク載置台にセットされたマザー対向基板におけるＣＦ層を形成する領域と吐出ユニットとの位置関係を示しており、図１４（ｂ）は、フィルタエレメントの配置ピッチが互いに異なるＣＦ層が隣り合っている部分の周辺の部分拡大図であり、マザー対向基板上のＣＦ層を形成する位置と液滴吐出ヘッドのノズル群長との関係を示している。図１４に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１又は図５に示したＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。
【０１０８】
図１４（ａ）に示したように、ワーク載置台２１にセットされてアライメントされたマザー対向基板２０１Ａに対して、吐出ユニット２を矢印ｂで示した副走査方向に移動させて、副走査方向において吐出ユニット２の吐出ノズル７８を位置決めする。マザー対向基板２０１Ａを矢印ａで示した主走査方向に走査させて、マザー対向基板２０１Ａの適切な部分が吐出ノズル７８に対向した時点で、吐出ノズル７８から機能液２５２を吐出することで、マザー対向基板２０１Ａ上の所定の位置に機能液２５２を配置する。図１０を参照して説明したように、ＣＦ層２０８とＣＦ層４０８とでは、機能液２５２を配置するための主走査方向の適切な吐出タイミングが、互いに異なっている。ＣＦ層２０８又はＣＦ層４０８を形成する領域が、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域に相当し、第一のパネル領域又は第二のパネル領域に相当する。
【０１０９】
図１４（ｂ）に示したように、ＣＦ層２０８とＣＦ層４０８とは、副走査方向において、距離Ｄを隔てて形成される。距離Ｄは、図１４（ｂ）に二点鎖線で示した液滴吐出ヘッド１７のノズル群長Ｌより大きく設定されている。
図１４（ｂ）に示した例では、液滴吐出ヘッド１７ｆがＣＦ層２０８を形成する領域の境界を含む領域に臨む位置にあり、液滴吐出ヘッド１７ｅがＣＦ層４０８を形成する領域の境界を含む領域に臨む位置にある。ＣＦ層２０８の境界とＣＦ層４０８の境界とは、ノズル群長Ｌより大きい距離Ｄを隔てているため、液滴吐出ヘッド１７ｆがＣＦ層４０８を形成する領域に、又は液滴吐出ヘッド１７ｅがＣＦ層２０８を形成する領域に対向することはない。言い換えれば、マザー対向基板２０１Ａに対して、複数の液滴吐出ヘッド１７（吐出ユニット２）を副走査方向においてどのように配置しても、同一の液滴吐出ヘッド１７が異なる吐出タイミングが要求されるＣＦ層２０８とＣＦ層４０８と跨って配置されない。液滴吐出ヘッド１７ｆ又は液滴吐出ヘッド１７ｅの吐出ノズル７８が描画吐出を実施する際の適切な吐出タイミングは、液滴吐出ヘッド１７ｆ又は液滴吐出ヘッド１７ｅのそれぞれにおいて一律である。従って、液滴吐出ヘッド１７ｆには図１０を参照して説明したラッチ信号２６２を印加して機能液２５２の吐出を実施させ、液滴吐出ヘッド１７ｅには図１０を参照して説明したラッチ信号２７２を印加して機能液２５２の吐出を実施させることで、それぞれ適切な吐出タイミングの吐出を実施させることができる。
【０１１０】
＜マザー対向基板におけるＣＦ層の他の配置例＞
次に、マザー対向基板におけるＣＦ層の他の配置例として、マザー対向基板４０１ＡにおけるＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８の配置について、図１５を参照して説明する。マザー対向基板４０１Ａには、マザー対向基板２０１Ａと同様にＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８が、マザー対向基板２０１Ａとは異なる配置で形成される。図１５は、吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー対向基板におけるＣＦ層を形成する領域の位置関係と、を示す模式図である。
図１５（ａ）は、ワーク載置台にセットされたマザー対向基板におけるＣＦ層を形成する領域と吐出ユニットとの位置関係を示しており、図１５（ｂ）は、フィルタエレメントの配置ピッチが互いに異なるＣＦ層が隣り合っている部分の周辺の部分拡大図であり、マザー対向基板上のＣＦ層を形成する位置と液滴吐出ヘッドのノズル群長との関係を示している。図１５に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１又は図５に示したＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。
【０１１１】
図１５（ａ）に示したように、ワーク載置台２１にセットされてアライメントされたマザー対向基板４０１Ａに対して、吐出ユニット２を矢印ｂで示した副走査方向に移動させて、副走査方向において吐出ユニット２の吐出ノズル７８を位置決めする。副走査方向の吐出ノズル７８の位置決めを実施する際は、ＣＦ層４０８を形成する領域の、ＣＦ層２０８とは反対側（図１５においては下側）の境界を基準位置とする。マザー対向基板４０１Ａを矢印ａで示した主走査方向に走査させて、マザー対向基板４０１Ａの適切な部分が吐出ノズル７８に対向した時点で、吐出ノズル７８から機能液２５２を吐出することで、マザー対向基板４０１Ａ上の所定の位置に機能液２５２を配置する。図１０を参照して説明したように、ＣＦ層２０８とＣＦ層４０８とでは、機能液２５２を配置するための主走査方向の適切な吐出タイミングが、互いに異なっている。マザー対向基板４０１Ａが、基材又はマザーパネルに相当する。なお、図１５においては図をわかりやすくするためにＣＦ層２０８やＣＦ層４０８を形成する領域の相互間の間隔を大きくしてあるが、マザー対向基板４０１Ａを形成するための板状材料を効率良く使用するためには、当該間隔は対向基板２２０及び対向基板４２０を形成可能な範囲で小さくすることが好ましい。
【０１１２】
図１５（ａ）及び図１５（ｂ）に示したように、ＣＦ層４０８のＣＦ層２０８とは反対側の境界から、ＣＦ層２０８のＣＦ層４０８側の境界までの距離Ｄ１が、ノズル群長Ｌの整数倍の長さｎＬより大きくなっている。ｎは、（ｎ−１）ＬがＣＦ層４０８の副走査方向の幅より小さく、ｎＬがＣＦ層４０８の副走査方向の幅より大きい整数である。
図１５（ｂ）に示した例では、液滴吐出ヘッド１７ｂがＣＦ層４０８を形成する領域の境界を含む領域に臨む位置にある。当該液滴吐出ヘッド１７ｂは、ＣＦ層４０８を形成する領域の、基準位置とした境界側の端に機能液２５２を配置する液滴吐出ヘッド１７（図１５（ｂ）に示した例では、液滴吐出ヘッド１７ｇ）から数えてｎ番目の液滴吐出ヘッド１７である。距離Ｄ１は長さｎＬより大きいため、液滴吐出ヘッド１７ｂがＣＦ層２０８を形成する領域に対向することはない。
また、液滴吐出ヘッド１７ｃが、ＣＦ層２０８を形成する領域の境界を含む領域に臨む位置にある。当該液滴吐出ヘッド１７ｃは、ＣＦ層４０８を形成する領域の、基準位置とした境界側の端に機能液２５２を配置する液滴吐出ヘッド１７ｇから数えてｎ＋１番目の液滴吐出ヘッド１７である。従って、液滴吐出ヘッド１７ｃは、ＣＦ層４０８を形成する領域の、基準位置とした境界側の端からの距離がｎＬから（ｎ＋１）Ｌの間の領域に対向する。ＣＦ層４０８の副走査方向の幅は長さｎＬより小さいため、液滴吐出ヘッド１７ｃがＣＦ層４０８を形成する領域に対向することはない。
従って、液滴吐出ヘッド１７ｂ又は液滴吐出ヘッド１７ｃの吐出ノズル７８が描画吐出を実施する際の適切な吐出タイミングは、液滴吐出ヘッド１７ｂ又は液滴吐出ヘッド１７ｃのそれぞれにおいて一律である。液滴吐出ヘッド１７ｃには図１０を参照して説明したラッチ信号２６２を印加して機能液２５２の吐出を実施させ、液滴吐出ヘッド１７ｂには図１０を参照して説明したラッチ信号２７２を印加して機能液２５２の吐出を実施させることで、それぞれ適切な吐出タイミングの吐出を実施させることができる。
【０１１３】
＜マザー対向基板におけるＣＦ層の他の配置例＞
次に、マザー対向基板におけるＣＦ層のさらに異なる配置例として、マザー対向基板３０１ＡにおけるＣＦ層３０８及びＣＦ層３２８の配置について、図１６を参照して説明する。図１６は、吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー対向基板におけるＣＦ層を形成する領域の位置関係と、を示す模式図である。図１６に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、図１又は図５に示したＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。
【０１１４】
ＣＦ層３０８は、対向基板３０１を構成するＣＦ層であり、ＣＦ層３０８のフィルタ膜は、フィルタ膜領域３２５に機能液２５２を配置して形成する。ＣＦ層３２８は、対向基板３２１を構成するＣＦ層であり、ＣＦ層３２８のフィルタ膜は、フィルタ膜領域３３５に機能液２５２を配置して形成する。ＣＦ層３０８及びＣＦ層３２８は、ＣＦ層２０８と基本的に同様の構成を有しており、ＣＦ層２０８とは大きさが異なっている。ＣＦ層３０８とＣＦ層３２８とは大きさが異なっている。大きさが異なるために、ＣＦ層３０８とＣＦ層３２８とは、機能液２５２を配置する際の、吐出ノズル７８における適切な吐出タイミングが互いに異なっている。マザー対向基板３０１Ａが、基材又はマザーパネルに相当する。ＣＦ層３０８又はＣＦ層３２８を形成する領域が、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域に相当し、第一のパネル領域又は第二のパネル領域に相当する。なお、図１６においては図をわかりやすくするためにＣＦ層３０８やＣＦ層３２８を形成する領域の相互間の間隔を大きくしてあるが、マザー対向基板３０１Ａを効率良く使用するためには、当該間隔は対向基板３０１及び対向基板３２１を形成可能な範囲で小さくすることが好ましい。
【０１１５】
図１６に示したように、ワーク載置台２１にセットされてアライメントされたマザー対向基板３０１Ａに対して、吐出ユニット２を矢印ｂで示した副走査方向に移動させて、副走査方向において吐出ユニット２の吐出ノズル７８を位置決めする。マザー対向基板３０１Ａを矢印ａで示した主走査方向に走査させて、マザー対向基板３０１Ａの適切な部分が吐出ノズル７８に対向した時点で、吐出ノズル７８から機能液２５２を吐出することで、マザー対向基板３０１Ａ上の所定の位置に機能液２５２を配置する。
【０１１６】
マザー対向基板３０１Ａにおいて、ＣＦ層３０８とＣＦ層３２８とは、主走査方向において隣り合っており、副走査方向においては、ＣＦ層３０８どうし、又はＣＦ層３２８どうしが、並んでおり、ＣＦ層３０８とＣＦ層３２８とが、副走査方向において隣り合う状態は存在しない。従って、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７は、適切な吐出タイミングが互いに異なる領域に同時に対向することはない。
吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７に印加するラッチ信号は、主走査中に切り換え可能であって、ＣＦ層３０８を形成する領域とＣＦ層３２８を形成する領域との間で切り換えられる。そして、液滴吐出ヘッド１７がＣＦ層３０８を形成する領域に向けて機能液２５２を吐出する際は、当該領域において適切な吐出タイミングで吐出を実施し、ＣＦ層３２８を形成する領域に向けて機能液２５２を吐出する際は、当該領域において適切な吐出タイミングで吐出を実施する。
【０１１７】
第一の実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）マザー対向基板２０１Ａにおいて、ＣＦ層２０８の境界とＣＦ層４０８の境界とは、ノズル群長Ｌより大きい距離Ｄを隔てている。このため、単一の液滴吐出ヘッド１７がＣＦ層２０８及びＣＦ層４０８の両方に同時に対向する位置に位置することがない。マザー対向基板２０１Ａに向けて機能液を吐出する吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７が描画吐出を実施する際の適切な吐出分解能は、液滴吐出ヘッド１７それぞれにおいて一律である。液滴吐出ヘッド１７にはラッチ信号２６２又はラッチ信号２７２を印加して機能液２５２の吐出を実施させることで、それぞれ適切な吐出タイミングの吐出を実施させることができる。
これにより、ＣＦ層２０８への吐出とＣＦ層４０８への吐出とを別々の主走査において実施する場合に比べて、液晶表示パネル２００の対向基板２２０及び液晶表示パネルの対向基板４２０を形成するために要する時間を抑制することができる。
【０１１８】
（２）マザー対向基板４０１Ａにおいて、ＣＦ層４０８のＣＦ層２０８とは反対側の境界から、ＣＦ層２０８のＣＦ層４０８側の境界までの距離Ｄ１が、ノズル群長Ｌの整数倍の長さｎＬより大きくなっている。このため、マザー対向基板４０１ＡのＣＦ層４０８を形成する領域に機能液２５２を配置する位置にある液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８が、ＣＦ層２０８を形成する領域に対向する位置に位置することはない。マザー対向基板４０１Ａに向けて機能液を吐出する吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７が描画吐出を実施する際の適切な吐出分解能は、液滴吐出ヘッド１７それぞれにおいて一律である。当該液滴吐出ヘッド１７にはラッチ信号２６２又はラッチ信号２７２を印加して機能液２５２の吐出を実施させることで、それぞれ適切な吐出タイミングの吐出を実施させることができる。
これにより、ＣＦ層２０８への吐出とＣＦ層４０８への吐出とを別々の主走査において実施する場合に比べて、液晶表示パネル２００の対向基板２２０及び液晶表示パネルの対向基板４２０を形成するために要する時間を抑制することができる。
【０１１９】
（３）マザー対向基板３０１Ａにおいて、ＣＦ層３０８とＣＦ層３２８とが、副走査方向において隣り合う状態は存在しない。このため、マザー対向基板３０１Ａに向けて機能液を吐出する吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７は、フィルタエレメントの配置ピッチが互いに異なる領域に同時に対向することはない。ＣＦ層３０８を形成する領域とＣＦ層３２８を形成する領域との間で、印加するラッチ信号を切り換えることによって、液滴吐出ヘッド１７がＣＦ層３０８を形成する領域に向けて機能液２５２を吐出する際と、ＣＦ層３２８を形成する領域に向けて吐出する際とで、それぞれの領域において適切な吐出タイミングで吐出を実施することができる。
これにより、描画吐出を実施する際の適切な吐出タイミングが単一でない液滴吐出ヘッド１７が存在して、当該液滴吐出ヘッド１７がそれぞれの吐出タイミングでの吐出を別々の主走査において実施する場合に比べて、液晶表示パネルの対向基板３０１及び対向基板３２１を形成するために要する時間を抑制することができる。
【０１２０】
（第二の実施形態）
次に、基材、基材の被吐出領域配置方法、マザーパネル、及びマザーパネルのパネル領域配置方法の第二の実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、インクジェット方式の液滴吐出装置を用いて、電気光学装置の一例である有機ＥＬ表示装置を製造する工程において、機能膜の一例である発光層、正孔輸送層などを形成する工程を例に説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、第一の実施形態で説明した液滴吐出装置と実質的に同一のものであるため、液滴吐出装置に関する説明は省略する。
【０１２１】
＜有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）表示装置の構成＞
最初に、有機ＥＬ表示装置の構成について、図１７及び図１８を参照して説明する。図１７は、有機ＥＬ表示装置を示す概略正面図である。図１７（ａ）は、有機ＥＬ表示装置の全体を示す概略正面図であり、図１７（ｂ）は、カラー発光素子の配列例を示す部分拡大図である。図１７（ａ）に示すように、本実施形態の有機ＥＬ表示装置５００は、発光素子である複数の有機ＥＬ素子５０７を有する素子基板５０１と、封止基板５０９とを備えている。有機ＥＬ素子５０７はいわゆるカラー発光素子であり、有機ＥＬ表示装置５００は、赤色素子５０７Ｒ（赤色系）、緑色素子５０７Ｇ（緑色系）、青色素子５０７Ｂ（青色系）の３色の有機ＥＬ素子５０７を有している。有機ＥＬ素子５０７は表示領域５０６に配置されており、当該表示領域５０６に画像が表示される。
【０１２２】
素子基板５０１上の３色の有機ＥＬ素子５０７は、例えば、図１７（ｂ）に示すように、同色系の有機ＥＬ素子５０７が段違いに配置され、３色のカラー発光素子が、任意の隣接する３つの有機ＥＬ素子５０７が異なる色となるように配置されている。各有機ＥＬ素子５０７の平面形状は略円形である。図の上下方向に並ぶ有機ＥＬ素子５０７を一つおきに図の左右方向にずらすことで、有機ＥＬ素子５０７の配置密度を上げている。
【０１２３】
素子基板５０１は、各有機ＥＬ素子５０７に対応した位置に、駆動素子としての複数のスイッチング素子５１２（図１８参照）を備えている。スイッチング素子５１２は、例えば、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子である。また、封止基板５０９よりも一回り大きく、額縁状に張り出した部分には、スイッチング素子５１２を駆動する二つの走査線駆動回路部５０３，５０３と一つのデータ線駆動回路部５０４が設けられている。素子基板５０１の端子部５０２には、これらの走査線駆動回路部５０３又はデータ線駆動回路部５０４と外部駆動回路とを接続するためのフレキシブルな中継基板５０８が実装されている。走査線駆動回路部５０３及びデータ線駆動回路部５０４は、例えば、あらかじめ素子基板５０１の表面に低温ポリシリコンの半導体層を形成して構成する。
なお、図１７においては、走査線駆動回路部５０３などをわかりやすく示すために、表示領域５０６に対して周囲の領域を大きく示している。
【０１２４】
図１８は、有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を含む要部の断面図である。素子基板５０１は、ガラス基板５１０と、複数のスイッチング素子５１２と、絶縁層５１１と、複数の画素電極５１４と、バンク５１５と、を有する。複数のスイッチング素子５１２は、ガラス基板５１０の一方の表面上に形成されている。絶縁層５１１は、スイッチング素子５１２を覆うように形成されている。複数の画素電極５１４はそれぞれ絶縁層５１１上に形成されており、導通層５１４ａを介してスイッチング素子５１２の３つの電極端子のうちの１つに電気的に接続されている。バンク５１５は、複数の画素電極５１４の間に、画素電極５１４が臨む空間をそれぞれの画素電極５１４ごとに区画するように形成されている。
【０１２５】
さらに、バンク５１５によって区画された領域（以降、「画素領域５２１」と表記する。）の画素電極５１４上に形成された正孔輸送層５１６と、正孔輸送層５１６上に積層して形成された発光層５１７と、発光層５１７及びバンク５１５を覆うように設けられた対向電極５１８と、を有する。有機ＥＬ表示装置５００は、素子基板５０１の対向電極５１８に対向して封止基板５０９が配置され、対向電極５１８と封止基板５０９との間に不活性ガス５２０が封入されている。画素電極５１４と、バンク５１５によって区画された領域の当該画素電極５１４上に形成された正孔輸送層５１６と、発光層５１７と、対向電極５１８とが、有機ＥＬ素子５０７に該当する。
【０１２６】
画素領域５２１に、赤色、緑色、青色の光をそれぞれ発光する発光層５１７である、赤色発光層５１７Ｒ（赤色系）、緑色発光層５１７Ｇ（緑色系）、青色発光層５１７Ｂ（青色系）を形成することで、赤色素子５０７Ｒ、緑色素子５０７Ｇ、青色素子５０７Ｂを形成する。赤色素子５０７Ｒ、緑色素子５０７Ｇ、青色素子５０７Ｂを各１個ずつ含む有機ＥＬ素子５０７の組で、画像を構成する最小単位である絵素を形成している。１絵素内の赤色素子５０７Ｒ、緑色素子５０７Ｇ、青色素子５０７Ｂのいずれか一つ又はそれらを組み合わせて選択的に発光させることにより、フルカラー表示を行う。
【０１２７】
＜有機ＥＬ素子の形成＞
次に、有機ＥＬ表示装置５００の素子基板５０１における有機ＥＬ素子５０７を構成する正孔輸送層５１６、発光層５１７、及び対向電極５１８を形成する工程について、図１９及び図２０を参照して説明する。図１９は素子基板の正孔輸送層、発光層、及び対向電極の形成工程を示すフローチャートであり、図２０（ａ）〜（ｅ）は素子基板の正孔輸送層、発光層、及び対向電極の形成工程を示す模式断面図である。
【０１２８】
図１９のステップＳ４１では、図２０（ａ）に示すように、スイッチング素子５１２と、絶縁層５１１と、導通層５１４ａと、画素電極５１４とが形成されたガラス基板５１０の表面に、バンク５１５を形成して隔壁部を形成する。バンク５１５は、例えば、ガラス基板５１０の表面にバンク５１５の材料を含む液状材料を塗布し、乾燥させてバンク膜を形成し、フォトエッチングなどで画素領域５２１などの部分を取り除くことで、形成する。次に、ステップＳ４２では、バンク５１５が形成されたガラス基板５１０を洗浄する。
【０１２９】
次に、ステップＳ４３では、バンク５１５が形成され洗浄されたガラス基板５１０を、正孔輸送層５１６の材料を含む機能液５６０を充填し易くするように、表面処理する。バンク５１５に囲まれた画素領域５２１の底部と、バンク５１５の側面とが、機能液５６０に対して親液性となるように処理し、バンク５１５の頂部は機能液５６０に対して撥液性となるように処理する。この処理によって、画素領域５２１に充填されるべく配置された機能液５６０が画素領域５２１に馴染み易くなると共に、画素領域５２１から溢れ出し難くなる。
【０１３０】
次に、ステップＳ４４では、正孔輸送層材料液を塗布する。図２０（ｂ）に示すように、バンク５１５によって形成された複数の画素領域５２１のそれぞれに正孔輸送層５１６の材料を含む機能液５６０を液滴吐出ヘッド１７から液滴５６０ａとして吐出し、画素領域５２１に機能液５６０を充填する。
【０１３１】
次に、ステップＳ４５では、機能液５６０を乾燥させることによって、正孔輸送層５１６を形成する。機能液５６０が乾燥して、図２０（ｃ）に示すように、正孔輸送層５１６が形成される。
この工程は、乾燥状態を制御して、より均一な正孔輸送層５１６を形成するために、減圧環境下で実施してもよい。画素領域５２１に機能液５６０を充填したガラス基板５１０を減圧環境に投入し、機能液５６０を乾燥させて、正孔輸送層５１６を形成する。なお、機能液５６０は、厳密には、液滴吐出ヘッド１７から液滴５６０ａとして吐出された瞬間から乾燥を開始するが、機能液５６０の溶媒の沸点などを調節することで、常圧ではほとんど乾燥せず、減圧された状態で乾燥するようにすることができる。減圧環境での乾燥工程で殆ど全ての乾燥が行われるようにするためには、機能液５６０は乾燥進行が遅い高沸点溶媒の比率を高くすることが好ましい。
【０１３２】
次に、ステップＳ４６では、発光層材料液を塗布する。図２０（ｃ）に示すように、正孔輸送層５１６が形成された複数の画素領域５２１のそれぞれに、発光層５１７の材料を含む機能液５７０を液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、画素領域５２１に機能液５７０を充填する。
上述したように、有機ＥＬ表示装置５００は、赤色発光層５１７Ｒ（赤色系）、緑色発光層５１７Ｇ（緑色系）、及び青色発光層５１７Ｂ（青色系）の３色の発光層５１７を備え、当該３色の発光層によるカラー表示を行う。
赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、又は青色発光層５１７Ｂの材料を含む機能液５７０を、それぞれ赤色機能液５７０Ｒ、緑色機能液５７０Ｇ、又は青色機能液５７０Ｂと表記する。赤色機能液５７０Ｒ、緑色機能液５７０Ｇ、又は青色機能液５７０Ｂが充填された液滴吐出ヘッド１７を、それぞれ赤色吐出ヘッド１７Ｒ、緑色吐出ヘッド１７Ｇ、又は青色吐出ヘッド１７Ｂと表記する。
【０１３３】
図２０（ｃ）に示すように、赤色発光層５１７Ｒが形成される画素領域５２１に向けて、赤色吐出ヘッド１７Ｒから、赤色機能液５７０Ｒが、液滴５７０Ｒａとして吐出される。同様に、緑色発光層５１７Ｇ、又は青色発光層５１７Ｂが形成される各画素領域５２１に向けて、緑色吐出ヘッド１７Ｇ、又は青色吐出ヘッド１７Ｂから、緑色機能液５７０Ｇ、又は青色機能液５７０Ｂが、液滴５７０Ｇａ、又は液滴５７０Ｂａとして吐出される。
【０１３４】
なお、機能液５６０が画素領域５２１に馴染み易くなると共に画素領域５２１から溢れ出し難くなるようにステップＳ４３で実行した表面処理が、機能液５７０については有効でない場合には、ステップＳ４６を実行する前に、ステップＳ４３で実行した処理と同様の表面処理を実行する。勿論、この場合に実行する処理は、機能液５７０が画素領域５２１に馴染み易くなると共に画素領域５２１から溢れ出し難くなるようにする表面処理である。
【０１３５】
次に、ステップＳ４７では、赤色機能液５７０Ｒ、緑色機能液５７０Ｇ、及び青色機能液５７０Ｂを乾燥させることによって、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、及び青色発光層５１７Ｂを形成する。赤色機能液５７０Ｒ、緑色機能液５７０Ｇ、及び青色機能液５７０Ｂが乾燥して、図２０（ｄ）に示すように、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、及び青色発光層５１７Ｂが形成される。
この工程も、上述した機能液５６０の乾燥工程と同様に、乾燥状態を制御して、より均一な赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、及び青色発光層５１７Ｂを形成するために、減圧環境下で実施してもよい。減圧環境下での乾燥を実施する場合、減圧環境での乾燥工程で殆ど全ての乾燥が行われるようにするためには、赤色機能液５７０Ｒ、緑色機能液５７０Ｇ、及び青色機能液５７０Ｂは、乾燥進行が遅い高沸点溶媒の比率を高くすることが好ましい。
【０１３６】
次に、ステップＳ４８では、対向電極材料液を塗布する。対向電極材料液は、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、及び青色発光層５１７Ｂが形成されたガラス基板５１０の、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、青色発光層５１７Ｂ、及びバンク５１５の全体を覆うように、塗布する。対向電極材料液の塗布にも、液滴吐出装置１を用いることができる。
【０１３７】
次に、ステップＳ４９では、対向電極材料液を乾燥させることによって、対向電極５１８を形成する。なお、対向電極５１８は、真空蒸着によって形成してもよい。真空蒸着によって対向電極５１８を形成する場合は、乾燥工程は必要としない。
図２０（ｅ）に示すように、対向電極５１８を形成して、正孔輸送層５１６、発光層５１７、及び対向電極５１８を形成する工程を終了する。
さらに、正孔輸送層５１６、発光層５１７、及び対向電極５１８の形成工程を実行して形成した素子基板５０１に、封止基板５０９を取り付け、上述した中継基板５０８などを実装して、有機ＥＬ表示装置５００を形成する。
【０１３８】
複数のガラス基板５１０や封止基板５０９からなるマザー基板に、複数の素子基板５０１や封止基板５０９を形成する場合には、複数の有機ＥＬ表示装置５００が形成されたマザー基板を個別の有機ＥＬ表示装置５００に分割する。あるいは、マザー対向基板やマザー封止基板を、素子基板５０１や封止基板５０９に分割する工程を実施した後にステップＳ４９を実施する。
【０１３９】
＜マザー対向基板におけるＣＦ層の配置＞
次に、複数の素子基板５０１を区画形成するマザー素子基板５０１Ａにおける表示領域５０６の配置について、図２１を参照して説明する。図２１は、吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー素子基板における表示領域を形成する領域の位置関係と、を示す模式図である。
図２１（ａ）は、ワーク載置台にセットされたマザー素子基板と吐出ユニットとの位置関係を示しており、図２１（ｂ）は、適切な吐出条件が互いに異なる表示領域が隣り合っている部分の周辺の部分拡大図であり、マザー対向基板上の表示領域を形成する位置と液滴吐出ヘッドのノズル群長との関係を示している。図２１に示したＸ軸方向及びＹ軸方向は、第一の実施形態の図１又は図５に示したＸ軸方向及びＹ軸方向と一致している。
【０１４０】
図２１（ａ）に示したように、ワーク載置台２１にセットされてアライメントされたマザー素子基板５０１Ａに対して、吐出ユニット２を矢印ｂで示した副走査方向に移動させて、副走査方向において吐出ユニット２の吐出ノズル７８を位置決めする。マザー素子基板５０１Ａを矢印ａで示した主走査方向に走査させて、マザー素子基板５０１Ａの適切な部分が吐出ノズル７８に対向した時点で、吐出ノズル７８から機能液５６０又は機能液５７０を吐出することで、マザー素子基板５０１Ａ上の所定の位置に機能液５６０又は機能液５７０を配置する。
【０１４１】
マザー素子基板５０１Ａには、複数の表示領域５０６（素子基板５０１）が形成される。ここで、図１７（ａ）に示した有機ＥＬ表示装置５００の横方向（図１７（ａ）で水平方向）が、主走査方向（図２１（ａ）で矢印ａの方向）となるような、マザー素子基板５０１Ａにおける表示領域５０６（素子基板５０１）の配置方向を、横配置と表記し、横配置と略９０度回転した配置方向を、縦配置と表記する。マザー素子基板５０１Ａを形成するための板状材料に、無駄な部分が少なくなるように素子基板５０１を形成する部分を配置するために、複数の表示領域５０６（素子基板５０１）は、マザー素子基板５０１Ａに横配置で形成されるものと、縦配置で形成されるものがある。
【０１４２】
図１７（ｂ）を参照して説明したように、有機ＥＬ素子５０７は、図１７（ｂ）における上下方向と左右方向とで、素子間の間隔が異なっている。このため、横配置の表示領域５０６と縦配置の表示領域５０６とで、画素領域５２１に正孔輸送層材料液である機能液５６０や発光層材料液である機能液５７０を配置するための適切な描画分解能が異なっている。即ち、機能液５６０や機能液５７０を配置するための主走査方向の適切な吐出タイミングが、互いに異なっている。
以降、横配置の表示領域５０６を、表示領域５０６Ｈと表記し、縦配置の表示領域５０６を、表示領域５０６Ｖと表記する。マザー素子基板５０１Ａが、基材又はマザーパネルに相当する。表示領域５０６Ｈ又は表示領域５０６Ｖを形成する領域が、第一の被吐出領域又は第二の被吐出領域に相当し、第一のパネル領域又は第二のパネル領域に相当する。なお、図２１においては図をわかりやすくするために表示領域５０６Ｈや表示領域５０６Ｖを形成する領域の相互間の間隔を大きくしてあるが、マザー素子基板５０１Ａを形成するための板状材料を効率良く使用するためには、当該間隔は素子基板５０１を形成可能な範囲で小さくすることが好ましい。
【０１４３】
図２１（ｂ）に示したように、表示領域５０６Ｈと表示領域５０６Ｖとは、副走査方向において、距離Ｄ２を隔てて形成される。距離Ｄ２は、図２１（ｂ）に二点鎖線で示した液滴吐出ヘッド１７のノズル群長Ｌより大きく設定されている。
図２１（ｂ）に示した例では、液滴吐出ヘッド１７ｆが表示領域５０６Ｈを形成する領域の境界を含む領域に臨む位置にあり、液滴吐出ヘッド１７ｅが表示領域５０６Ｖを形成する領域の境界を含む領域に臨む位置にある。表示領域５０６Ｈの境界と表示領域５０６Ｖの境界とは、ノズル群長Ｌより大きい距離Ｄ２を隔てているため、液滴吐出ヘッド１７ｆが表示領域５０６Ｖを形成する領域に、又は液滴吐出ヘッド１７ｅが表示領域５０６Ｈを形成する領域に対向することはない。液滴吐出ヘッド１７ｆ又は液滴吐出ヘッド１７ｅの吐出ノズル７８が描画吐出を実施する際の適切な吐出分解能は、液滴吐出ヘッド１７ｆ又は液滴吐出ヘッド１７ｅのそれぞれにおいて一律である。液滴吐出ヘッド１７ｆには、表示領域５０６Ｈにおいて適切な吐出タイミングで吐出を実施させ、液滴吐出ヘッド１７ｅには、表示領域５０６Ｖにおいて適切な吐出タイミングで吐出を実施させることができる。
【０１４４】
第二の実施形態によれば、第一の実施形態によって得られる効果に加えて、以下に記載する効果が得られる。
（１）マザー素子基板５０１Ａにおいて、表示領域５０６Ｈの境界と表示領域５０６Ｖの境界とは、ノズル群長Ｌより大きい距離Ｄ２を隔てている。このため、単一の液滴吐出ヘッド１７が表示領域５０６Ｈ及び表示領域５０６Ｖの両方に同時に対向する位置に位置することがない。マザー素子基板５０１Ａに向けて機能液を吐出する吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７が描画吐出を実施する際の適切な吐出分解能は、液滴吐出ヘッド１７それぞれにおいて一律である。液滴吐出ヘッド１７には、表示領域５０６Ｈ又は表示領域５０６Ｖに液滴を配置するための適切なラッチ信号をそれぞれ印加して機能液２５２の吐出を実施させることで、それぞれ適切な吐出タイミングの吐出を実施させることができる。
これにより、描画吐出を実施する際の適切な吐出分解能が単一でない液滴吐出ヘッド１７が存在して、当該液滴吐出ヘッド１７がそれぞれの吐出分解能での吐出を別々の主走査において実施する場合に比べて、有機ＥＬ表示装置５００の素子基板５０１を形成するために要する時間を抑制することができる。
【０１４５】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１４６】
（変形例１）前記実施形態においては、マザー対向基板４０１Ａにおいて、ＣＦ層４０８のＣＦ層２０８とは反対側の境界を基準にして、当該境界から、ＣＦ層２０８のＣＦ層４０８側の境界までの距離Ｄ１が、ノズル群長Ｌの整数倍の長さｎＬより大きくなっていた。しかし、基準とする境界は、ＣＦ層４０８の境界に限らない。ＣＦ層４０８とは最も離れた位置のＣＦ層２０８のＣＦ層４０８とは反対側の境界を基準にして、当該境界から、ＣＦ層４０８のＣＦ層２０８側の境界までの距離が、ノズル群長Ｌの整数倍の長さより大きくなる位置にＣＦ層４０８及びＣＦ層２０８を配置するマザー基板であってもよい。
【０１４７】
（変形例２）前記実施形態においては、電気光学装置の一例である液晶表示パネル２００のフィルタ膜２０５を形成する際の描画吐出、及び有機ＥＬ表示装置５００の正孔輸送層５１６及び発光層５１７を形成する際の描画吐出について説明したが、形成する膜は、フィルタ膜や正孔輸送層や及び発光層に限らない。形成する膜は、液晶表示装置の画素電極膜や配向膜や対向電極膜や、カラーフィルタなどを保護するためなどに設けるオーバーコート膜などであってもよい。有機ＥＬ表示装置の正極電極膜や陰極電極膜、フォトエッチングなどによってパターンを形成するための膜や、フォトエッチングなどのフォトレジスト膜などであってもよい。
形成する膜を有する装置、又は形成過程において膜を形成する必要がある装置も、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置に限らない。上記したような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある装置であれば、どのような装置であってもよい。
【０１４８】
（変形例３）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるＣＦ層２０８は、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの３色のフィルタ膜を有する３色フィルタであったが、カラーフィルタは、さらに多くの種類のフィルタ膜を有する多色のカラーフィルタであってもよい。多色のカラーフィルタとしては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色のシアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色カラーフィルタや、シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色カラーフィルタなどがあげられる。
【０１４９】
（変形例４）前記実施形態においては、有機ＥＬ表示装置５００は、３色の有機ＥＬ素子を備えることでカラー表示をする有機ＥＬ表示装置であったが、有機ＥＬ表示装置は、カラーフィルタを備えて、当該カラーフィルタによってカラー表示をする有機ＥＬ表示装置であってもよい。カラーフィルタ備える有機ＥＬ表示装置においては、液滴吐出装置を用いて、有機ＥＬ素子やカラーフィルタを形成することができる。
【０１５０】
（変形例５）前記実施形態においては、有機ＥＬ素子５０７は、封止基板側から光を射出するトップエミッション型の有機ＥＬ素子であったが、有機ＥＬ素子はトップエミッション型に限らない。基板側から光を射出するボトムエミッション型の有機ＥＬ素子であってもよい。ボトムエミッション型の有機ＥＬ素子においては、少なくとも基板側の電極を透明な材料で形成する。
【０１５１】
（変形例６）前記実施形態においては、有機ＥＬ素子５０７は、発光層として、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、及び青色発光層５１７Ｂの三色の発光層を備えていたが、有機ＥＬ素子が、当該三色の発光層を備えることは必須ではない。有機ＥＬ素子が備える発光層は、他の色の光を発光する発光層であってもよい。
【０１５２】
（変形例７）前記実施形態においては、有機ＥＬ素子５０７は、赤色発光層５１７Ｒ、緑色発光層５１７Ｇ、又は青色発光層５１７Ｂを一層備えていたが、ひとつの有機ＥＬ素子が、備える発光層が１層であることは必須ではない。例えば、単独の有機ＥＬ素子が、発光層として、赤色発光層、青色発光層、及び緑色発光層の三色の発光層を各一層ずつ備える構成であってもよい。
【０１５３】
（変形例８）前記実施形態においては、有機ＥＬ表示装置５００が備える有機ＥＬ素子５０７は、赤色素子５０７Ｒ、緑色素子５０７Ｇ、及び青色素子５０７Ｂの３種類であったが、有機ＥＬ表示装置が備える有機ＥＬ素子の種類は３種類に限らない。有機ＥＬ表示装置は、さらに多くの種類の有機ＥＬ素子を備える多色の有機ＥＬ表示装置であってもよい。多色の有機ＥＬ表示装置としては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色のシアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色有機ＥＬ表示装置や、シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色有機ＥＬ表示装置などがあげられる。
【０１５４】
（変形例９）前記実施形態においては、有機ＥＬ素子５０７は、画素電極５１４と対向電極５１８の間に、正孔輸送層５１６と発光層５１７が形成されていたが、有機ＥＬ素子がこのような構成であることは必須ではない。有機ＥＬ素子は、発光層のみが画素電極と対向電極とに挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層とが挟まれた構成のものや、正孔注入層と正孔輸送層と発光層と電子輸送層とが挟まれた構成のものや、正孔輸送層と発光層と電子輸送層と正孔注入層と電子注入層とが挟まれた構成のものなどが知られている。有機ＥＬ素子は、これらの構成など、いずれの構成を有する有機ＥＬ素子であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１５５】
【図１】第一の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。
【図２】液滴吐出装置の概略構成を示す側面図。
【図３】液滴吐出ヘッドの概要を示す外観斜視図。
【図４】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図５】三色カラーフィルタを形成する場合の、ヘッドユニットにおける各機能液を吐出させる液滴吐出ヘッドの配置例を示す模式図。
【図６】液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。
【図７】液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。
【図８】（ａ）対向基板の平面構造を模式的に示す図。（ｂ）マザー対向基板の平面構造を模式的に示す図。
【図９】３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図。
【図１０】フィルタ膜領域の形状と吐出分解能との関係を示す説明図。
【図１１】液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。
【図１２】液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１３】液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。
【図１４】（ａ）ワーク載置台にセットされたマザー対向基板におけるＣＦ層を形成する領域と吐出ユニットとの位置関係を示す模式図。（ｂ）適切な吐出条件が互いに異なるＣＦ層が隣り合っている部分の周辺の部分拡大図。
【図１５】（ａ）ワーク載置台にセットされたマザー対向基板におけるＣＦ層を形成する領域と吐出ユニットとの位置関係を示す模式図。（ｂ）適切な吐出条件が互いに異なるＣＦ層が隣り合っている部分の周辺の部分拡大図。
【図１６】吐出ユニットの液滴吐出ヘッドと、マザー対向基板におけるＣＦ層を形成する領域の位置関係と、を示す模式図。
【図１７】（ａ）第二の実施形態における有機ＥＬ表示装置の全体を示す概略正面図。（ｂ）カラー素子の配列例を示す部分拡大図。
【図１８】有機ＥＬ表示装置の有機ＥＬ素子を含む要部の断面図。
【図１９】素子基板の正孔輸送層、発光層、及び対向電極の形成工程を示すフローチャート。
【図２０】素子基板の正孔輸送層、発光層、及び対向電極の形成工程を示す模式断面図。
【図２１】（ａ）ワーク載置台にセットされたマザー素子基板と吐出ユニットとの位置関係を示す模式図。（ｂ）適切な吐出条件が互いに異なる表示領域が隣り合っている部分の周辺の部分拡大図。
【符号の説明】
【０１５６】
１…液滴吐出装置、２…吐出ユニット、６…吐出装置制御部、１７…液滴吐出ヘッド、７８…吐出ノズル、７８ｂ…ノズル列、２００…液晶表示パネル、２０１…ガラス基板、２０１Ａ…マザー対向基板、２０５…フィルタ膜、２０８，４０８…ＣＦ層、２１０…素子基板、２１１…ガラス基板、２２０…対向基板、２２５，２２５Ｂ，２２５Ｇ，２２５Ｒ…フィルタ膜領域、２５２…機能液、２６２，２７２…ラッチ信号、２６３，２６３Ｂ，２６３Ｇ，２６３Ｒ，２７３，２７３Ｂ，２７３Ｇ，２７３Ｋ，２７３Ｒ…着弾点、３０１，３２１…対向基板、３０１Ａ…マザー対向基板、３０８，３２８…ＣＦ層、３２５，３３５…フィルタ膜領域、４０１…ガラス基板、４０１Ａ…マザー対向基板、４０５…フィルタ膜、４０５Ｂ…青色フィルタ膜、４０５Ｇ…緑色フィルタ膜、４０５Ｒ…赤色フィルタ膜、４２０…対向基板、４２５，４２５Ｂ，４２５Ｇ，４２５Ｒ…フィルタ膜領域、５００…有機ＥＬ表示装置、５０１…素子基板、５０１Ａ…マザー素子基板、５０６，５０６Ｈ，５０６Ｖ…表示領域、５０７…有機ＥＬ素子、５１０…ガラス基板、５１６…正孔輸送層、５１７…発光層、５１７Ｂ…青色発光層、５１７Ｇ…緑色発光層、５１７Ｒ…赤色発光層、５６０，５７０…機能液。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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