(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道に沿って走行すると共に、被搬送物を搬送する搬送車であって、
本体部と、
走行時に、前記本体部及び前記被搬送物の少なくとも一部が接触する可能性のある障害物を検知可能な第１検知手段と、
当該搬送車の存在を示す存在提示信号を、前記軌道における前記本体部の後方に向けて発信する発信手段と、
前記軌道における前記本体部の前方に存在すると共に、当該搬送車と同一構成を有する前方走行車が備える前記発信手段と同一構成を有する発信手段から発信された存在提示信号を受信する受信手段と、
前記第１検知手段により前記障害物が検知された場合に、前記検知された障害物への衝突を避けるように当該搬送車の走行を制御する走行制御手段と
を備え、
前記第１検知手段は、
前記前方走行車における後面の相異なる部分を、夫々検知可能な複数のセンサを有しており、
前記走行制御手段は、
前記存在提示信号が受信され且つ前記複数のセンサが同時期に前記障害物を前記部分で夫々検知した場合に、当該搬送車が低速で走行するように前記走行を制御しつつ、前記検知された障害物と当該搬送車との間の車間距離が、前記存在提示信号が受信されない場合より短くなるように、前記走行を制御し、
前記存在提示信号が受信されず且つ前記複数のセンサのうち少なくとも何れかが前記障害物を検知した場合に、当該搬送車が直ちに停止するように前記走行を制御する
ことを特徴とする搬送車。
【請求項２】
前記第１検知手段は、前記第１検知手段を中心として所定の第１範囲内で、前記障害物を検知可能であり、
前記発信手段は、前記発信手段を中心として前記第１範囲よりも広い第２範囲内で受信可能となるように前記存在提示信号を発信し、
前記受信手段は、前記発信手段が前記第２範囲内に存在する場合に、前記存在提示信号を受信する
ことを特徴とする請求項１に記載の搬送車。
【請求項３】
前記障害物を、前記第１範囲に含まれる第３範囲内で検知可能な第２検知手段を更に備え、
前記走行制御手段は、
前記検知された障害物が前記第３範囲内で検知された場合に、当該搬送車が直ちに停止するように前記走行を制御する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送車。
【請求項４】
前記走行制御手段は、
前記障害物が前記第１検知手段により検知されてから、前記第２検知手段により検知されるまでの間、当該搬送車が低速で走行するように前記走行を制御する
ことを特徴とする請求項３に記載の搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容された容器などの被搬送物を、軌道上で搬送する搬送車の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送車として、例えば走行に伴って、走行経路における搬送車の前方にある障害物を監視する際に、複数のセンサにおける検知エリアのパターンを、走行経路の形状に沿わせるように変化させるものがある（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２２２３２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した特許文献１によれば、複数のセンサによって検知される障害物が、前方を走行する搬送車（以下、単に「前方走行車」と言う）であっても、走行経路を横切る人や走行経路に落下した部品等であっても、搬送車は、障害物から同一の距離をとった後方位置で停止されてしまう。
【０００５】
特に本願発明者の知るところによれば、このような同一の距離は、例えば、最高速で走行する搬送車が、障害物を検知してから完全に停止するまでに必要な制動距離であって、搬送車との衝突を回避するために比較的長めに設定されている。ここで、障害物を、規定速度で走行している前方走行車、又は移載等で停止している前方走行車とする場合に、前方走行車と、これに続く搬送車との間にとる車間距離を、上述した同一の距離とする。この場合に、前方走行車が移載等のために停止するのに伴って、後続の複数の搬送車も停止される。すると、後続の複数の搬送車が、前方走行車が停止する走行経路と接続される他の走行経路まで連なり、複数の走行経路で渋滞が生じてしまいかねないという技術的問題点がある。
【０００６】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、渋滞を防止しつつ、効率よく走行可能な搬送車を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の搬送車は上記課題を解決するために、軌道に沿って走行すると共に、被搬送物を搬送する搬送車であって、本体部と、走行時に、前記本体部及び前記被搬送物の少なくとも一部が接触する可能性のある障害物を検知可能な第１検知手段と、当該搬送車の存在を示す存在提示信号を、前記軌道における前記本体部の後方に向けて発信する発信手段と、前記軌道における前記本体部の前方に存在すると共に、当該搬送車と同一構成を有する前方走行車が備える前記発信手段と同一構成を有する発信手段から発信された存在提示信号を受信する受信手段と、前記第１検知手段により前記障害物が検知された場合に、前記検知された障害物への衝突を避けるように当該搬送車の走行を制御し、前記存在提示信号が受信されたことを条件に、前記検知された障害物と当該搬送車との間の車間距離が、前記存在提示信号が受信されない場合より短くなるように、当該搬送車の走行を制御する走行制御手段とを備える。
【０００８】
本発明の搬送車によれば、その動作時には、例えば天井或いはその付近に敷設されたレール等の軌道上を走行する、例えばビークル、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）、ＯＨＳ（Ｏｖｅｒ  Ｈｅａｄ  Ｓｈｕｔｔｌｅ）等の搬送車によって、例えばＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）等の荷或いは被搬送物は搬送される。この搬送時に、例えば、軌道における搬送車の前方において、搬送車を管理する管理者、搬送される被搬送物の一部等が過って進入してしまうことがある。また、該前方を走行する前方走行車に、搬送車が達することがある。これら搬送車の前方に存在する管理者、被搬送物の一部、及び前方走行車等は全て障害物と見なされる。
【０００９】
このため先ず、走行中に、例えば赤外線、超音波等の信号を発信し、障害物に反射した赤外線、超音波等の反射信号を受信する反射型センサ等の第１検知手段によって、障害物が検知される。この検知の際には、障害物が前方走行車であるか否かを問わずに検知される。この後、コントローラ、メモリ等を含んでなる走行制御手段によって、第１検知手段により障害物が検知された場合に、この検知された障害物への衝突を避けるように当該搬送車の走行が制御される。即ち、衝突回避用の処理或いは動作（以下、適宜「衝突回避用処理」と称する）が実行される。よって、障害物への衝突は起こらない。但し、このような衝突回避用処理を、障害物が検知された場合に、無条件に実行するのではなく、次のように、衝突回避用処理に先んじて又は遅れて、前方走行車が存在する場合用の処理或いは動作が、衝突回避用処理に代えて実行される。
【００１０】
即ち、このような障害物を検知するのに相前後して又は並行して、例えば受光装置、受波装置等を含んでなる受信手段によって、前方走行車における、例えば投光装置、送波装置等を含んでなる発信手段から発信された、例えば赤外線、超音波等の存在提示信号が受信される。この受信された存在提示信号から、当該搬送車の前方に前方走行車が存在することが示される。
【００１１】
よって、上述の如く第１検知手段により障害物が検知された以後に、又はこのような第１検知手段により障害物が検知される以前に、走行制御手段によって、受信手段で存在提示信号が受信されたことを条件に、この検知された障害物と当該搬送車との間の車間距離が、存在提示信号が受信されない場合より短くなるように、当該搬送車の走行が制御される。即ち、存在提示信号が受信されると、障害物は前方走行車であるものとして、車間距離を短くする処理或いは動作（以下、適宜「前詰め処理」と称する）を実行可能となる。
尚、この車間距離の長さは、同一の形態に構成される複数の搬送車について、相互衝突を回避可能である、例えば２０ｃｍの最小長さであってもよい。これにより、前方走行車が移載等のために停止しても、後続の複数の搬送車について最小長さの車間距離を相互間でとることによって、複数の搬送車が、前方走行車が停止する軌道より他の軌道まで連なる事態を回避することも可能となる。
【００１２】
以上の結果、複数の軌道における渋滞を防止しつつ、搬送車を効率よく走行させることが可能となる。
【００１３】
本発明の搬送車の一の態様では、前記第１検知手段は、前記第１検知手段を中心として所定の第１範囲内で、前記障害物を検知可能であり、前記発信手段は、前記発信手段を中心として前記第１範囲よりも広い第２範囲内で受信可能となるように前記存在提示信号を発信し、前記受信手段は、前記発信手段が前記第２範囲内に存在する場合に、前記存在提示信号を受信する。
【００１４】
この態様によれば、第１検知手段によって、障害物が、所定の第１範囲内で検知される。ここに「所定の第１範囲」は、衝突回避用処理を衝突前に完了可能な範囲として設定される。例えば、軌道及びその近傍に沿っており、当該搬送車の前面から前方へ２００ｃｍの距離をとった範囲であってもよい。この後、検知された結果に基づいて、コントローラ、メモリ等を含んでなる走行制御手段によって、衝突回避用処理が実行される。
【００１５】
他方で、このような第１範囲よりも広い第２範囲に当該搬送車があると、前方走行車の発信手段から発信された存在提示信号が、当該搬送車の受信手段により受信されるので、第１検知手段により障害物として検知される以前に、この障害物は前方走行車であるものとして、衝突回避用処理を適時に実行可能となる。よって、衝突回避用処理を実行するのに先立って、前詰め処理を適時に開始することが可能となり、無駄に衝突回避用処理を実行しないで済む。
【００１６】
尚、第２範囲を第１範囲よりも狭く設定することも可能である。この場合、先ず、衝突回避用処理が開始されてから、前方走行車が存在するか否かが発覚し、その時点で、前詰め処理の実行が開始される。よって、衝突する可能性を低減する観点或いは装置故障時等の異常時における安全を期す観点からは有利となる。
【００１７】
本発明の搬送システムの他の態様では、前記障害物を、前記第１範囲に含まれる第３範囲内で検知可能な第２検知手段を更に備え、前記走行制御手段は、前記存在提示信号が受信されず且つ前記障害物が前記第１範囲内で検知された場合、又は前記検知された障害物が前記第３範囲内で検知された場合に、当該搬送車が直ちに停止するように前記走行を制御する。
【００１８】
この態様によれば、走行中に、例えば第１検知手段による検知の後に、例えば赤外線、超音波等の信号を発信し、障害物に反射した赤外線、超音波等の反射信号を受信する反射型センサ等の第２検知手段によって、障害物である前方搬送車が第３範囲内で検知される。ここに「第３範囲」は、第１範囲に含まれており、例えば、当該搬送車の前面から前方へ２０ｃｍの距離をとった領域であってもよい。すると、走行制御手段によって、衝突回避用処理の一つとして、当該搬送車が停止される。これにより、搬送車が前方走行車に追突するのを防止できる。
【００１９】
一方で、走行中に、存在提示信号が受信されないまま、第１検知手段によって、障害物が所定の第１範囲内で検知される。すると、走行制御手段によって、衝突回避用処理の一つとして、当該搬送車が停止される。これにより、搬送車が障害物に衝突するのを防止できる。
【００２０】
よっていずれの場合にも、確実に搬送車が障害物に衝突するのを防止できる。
【００２１】
この態様によれば、前記走行制御手段は、前記障害物が前記第１検知手段により検知されてから、前記第２検知手段により検知されるまでの間、当該搬送車が低速で走行するように前記走行を制御してもよい。
【００２２】
このように構成すれば、走行中に、例えば前方走行車が、先ず、より遠方を検知対象とする第１範囲内で検知された後に、より近方を検知対象とする第３範囲内で検知されるまで、走行制御手段によって、搬送車が低速で走行される。これにより、障害物への衝突を安全確実に回避することが可能となると共に、前方走行車との間に一定の距離以上の車間距離をとって、前方搬送車の後を搬送車に追走させることも可能となる。
【００２３】
本発明の搬送システムの他の態様では、前記第１検知手段は、前記前方走行車における後面の相異なる部分を、夫々検知可能な複数のセンサを有しており、前記走行制御手段は、前記存在提示信号が受信されたことを条件に、前記複数のセンサが同時期に前記障害物を前記部分で夫々検知した場合に、前記車間距離が、前記存在提示信号が受信されない場合より短くなるように、当該搬送車の走行を制御する。
【００２４】
この態様によれば、走行中に、例えば当該搬送車における前面の中央、右側、及び左側等に夫々取り付けられた中央センサ、右センサ、及び左センサ等の複数のセンサによって、前方走行車の検出が行われる。ここに「相異なる部分」は、例えば前方走行車における後面の中央部、右部、及び左部等であって、当該搬送車の前面に取り付けられている複数のセンサの検知領域に夫々対応している。複数のセンサの検知領域について、例えば上述した左部よりも中央部が突出している場合に、中央部の検知領域を左部のものより短くする等、検知領域（又は検知距離）に差異があってもよい。具体的には、例えば、中央センサが中央部について、右センサが右部について、左センサが左部について障害物を検知する。この場合に、例えば、搬送車が検知領域の差異を考慮した所定距離を走行する間（即ち、時期）に、これら３つのセンサが、各部（中央部、右部、及び左部）で障害物を検知すると、検知された障害物が前方走行車と断定される。例えば、上述した３つのセンサによって検知された結果に基づいて、走行制御手段によって、当該搬送車の走行が制御される。尚、走行制御手段によって、３つのセンサによる検知の結果により、一度、障害物が前方走行車と断定されると、例えば、３つのセンサ全てが検知しなくなるまで継続して、障害物が前方走行車と断定されてもよい。
【００２５】
尚、複数のセンサにより、前方走行車における後面の同一部分を、冗長的に検知するのでもよい。このように構成すれば、冗長性を持って確実に、特定の一部分を検知できる。
【００２６】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００２８】
先ず、実施形態に係る搬送車を適用する搬送システムの構成について説明する。ここに図１は、実施形態に係る搬送車及び前方走行車の一状態を模式的に示し、図２は、図１の搬送車の前面における複数のセンサの配置を示す。
【００２９】
図１において、搬送システム１００は、軌道１、ビークル３、及び搬送コントローラ１０を備える。軌道１は、ビークル３が走行するためのレールである。軌道１上には、ビークル３の他に、前走ビークル３ｘが存在している。前走ビークル３ｘは、本実施形態に係る「前方走行車」の一例として、ビークル３と同一に構成されている。
【００３０】
ビークル３は、本実施形態に係る「搬送車」の一例として、軌道１に沿って走行すると共に、不図示の製造装置やストッカにＦＯＵＰを搬送する。図２において、ビークル３は、本体部３ａ、複数のセンサ５〜７、投光部８、及び制御部９を備える。複数のセンサ５〜７は、３つの衝突防止センサ５、前詰めセンサ６、及び前走検出センサ７を含む。これらのセンサ５〜７は、本体部３ａの前面に取り付けられている。
【００３１】
３つの衝突防止センサ５は、本発明に係る「第１検知手段」の一例として、所定の検知領域で、障害物を検知する。３つの衝突防止センサ５は、超音波を発し、発された超音波の反射波を受け取ることで、走行時に障害となる障害物の有無を検出する超音波センサである。図２に示すように、３つの衝突防止センサ５は、前方センサ５ａ、右方センサ５ｂ、及び左方センサ５ｃを含む。前方センサ５ａは、本体部３ａの前面下側に取り付けられており、ビークル３の前方における障害物を検知可能とする。右方センサ５ｂは、本体部３ａの前面右側に取り付けられており、ビークル３の前右方における障害物を検知可能とする。左方センサ５ｃは、本体部３ａの前面左側に取り付けられており、ビークル３の前左方における障害物を検知可能とする。
【００３２】
図１において、３つの衝突防止センサ５は、相異なる検知領域を夫々設定している。前方センサ５ａ及び右方センサ５ｂは、検知領域として、本体部３ａの前面から走行方向へ距離Ｌ３をとった領域（即ち、本発明に係る「第１範囲」の一例）を設定しており、障害物が前走ビークル３ｘであれば、前走ビークル３ｘの後面中央及び後面右方を検知可能とする。左方センサ５ｃは、検知領域として、本体部３ａの前面から走行方向へ距離Ｌ２をとった領域（即ち、本発明に係る「第１範囲」の一例）を設定しており、障害物が前走ビークル３ｘであれば、前走ビークル３ｘの後面左方を検知可能とする。図１に示すように、前走ビークル３ｘについて、後面左方に対応する距離Ｌ２は、後面中央及び後面右方に対応する距離Ｌ３より長く設定されており、これら距離Ｌ２，Ｌ３は、前走ビークル３ｘの後面の形状に対応している。各衝突防止センサ５は、設定された検知領域に障害物が存在している場合に、障害物がある旨の信号を制御部９に送る。
【００３３】
前詰めセンサ６は、本発明に係る「第２検出手段」の一例として、３つの衝突防止センサ５に含まれる所定の検知領域で、障害物を検知可能とする。前詰めセンサ６は、３つの衝突防止センサ５と同様にして超音波センサである。図２に示すように、前詰めセンサ６は、本体部３ａの前面上側に取り付けられており、ビークル３の前方における障害物を検知可能とする。図１において、前詰めセンサ６は、検知領域として、本体部３ａの前面から走行方向へ距離Ｌ４をとった領域（即ち、本発明に係る「第３範囲」の一例）を設定している。図１に示すように、距離Ｌ４は、距離Ｌ２，Ｌ３より短く設定されており、障害物が前走ビークル３ｘであることに関わらず、ビークル３が何かしらの障害物に衝突することを防止する距離（言い換えれば、ビークル３及び前走ビークル３ｘ間の車間距離、並びに前詰め距離）として設定される。前詰めセンサ６は、設定された検知領域に障害物が存在している場合に、障害物がある旨の信号を制御部９に送る。
【００３４】
前走検出センサ７は、本発明に係る「受信手段」の一例として、受光部のみを備える受光センサであって、３つの衝突防止センサ５の検知領域より広い所定の検出領域で、所定の光を受光する。図２に示すように、前走検出センサ７は、本体部３ａの前面上側に取り付けられており、前走ビークル３ｘから後述する識別光を検出する。図１において、前走検出センサ７は、検知領域として、本体部３ａの前面から走行方向へ距離Ｌ１をとった領域（即ち、本発明に係る「第２範囲」の一例）を設定している。図１に示すように、距離Ｌ１は、距離Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４より長く設定される。前走検出センサ７は、設定された検出領域内で識別光を受光した場合に、前走ビークル３ｘが存在している（言い換えれば、障害物がビークル３である）旨の存在提示信号を制御部９に送る。
【００３５】
投光部８は、本実施形態に係る「発信手段」の一例として、障害物を識別するための識別光を発光する。投光部８は、本体部３ａの後面に取り付けられており、ビークル３の後方へ識別光を発光する。投光部８は、この発光によって、当該ビークル３の存在を示している。
【００３６】
制御部９は、搬送コントローラ１０からの搬送指示に従って、ビークル３の各部を制御する。制御部９は、本発明に係る「走行制御手段」の一例として、障害物の断定結果に応じて、ビークル３の走行を制御する。
【００３７】
次に、制御部９の走行制御について説明する。
【００３８】
制御部９は、前走検出センサ７で検出或いは受信された存在提示信号に基づいて、前走ビークル３ｘの有無を判定する。また、制御部９は、３つの衝突防止センサ５からの信号に基づいて、障害物が前走ビークル３ｘであると断定する。本実施形態では特に、ビークル３が所定の距離（例えば、２００ｍｍ）走行する間に、３つの衝突防止センサ５による検出が確認される。即ち、３つの衝突防止センサ５の各々から、障害物がある旨の信号を受信することで、障害物が前走ビークル３ｘであると断定する。更に、制御部９は、前詰めセンサ６からの信号に基づいて、ビークル３を停止させるか否かを判定する。
【００３９】
制御部９は、これら複数のセンサ５〜７の判定又は断定の結果に基づいて、不図示の駆動部を制御する。制御部９は、前走検出センサ７からの存在提示信号を受け取って前走ビークル３ｘが存在すると判定され、且つ障害物が前走ビークル３ｘであると断定された場合に、駆動部を制御して、ビークル３の走行速度を低速に切り替える。この後、制御部９は、複数のセンサ５〜７から受け取る信号に応じて、走行速度を通常通り又は低速に切り替える。この切り替えによって、ビークル３が前走ビークル３ｘに付き従うように走行する追走が可能となる。
【００４０】
一方で、制御部９は、前走検出センサ７からの存在提示信号を受け取らず前走ビークル３ｘが存在しないと判定され、且つ３つの衝突防止センサ５のうちの一つからでも信号を受け取った場合に、障害物と衝突するのを防止するために、ビークル３を停止させる。また、制御部９は、前走ビークル３ｘが存在すると判定され、且つ前詰めセンサ６から信号を受け取った場合にも、前走ビークル３ｘに追突するのを防止するために、ビークル３を停止させる。
【００４１】
このように、制御部９は、前走ビークル３ｘの存在を検知した場合に、３つの衝突防止センサ５の検知領域より狭い前詰めセンサ６の検知領域内で前走ビークル３ｘが検知されるまで、ビークル３を停止させない。従って、前走ビークル３ｘの存在が検知されない場合と比較して、ビークル３と前走ビークル３ｘとの間の車間距離が、最小で前詰めセンサ６の検知領域（即ち、距離Ｌ４）まで短くなる（言い換えれば、前詰めされる）。
（走行制御処理）
【００４２】
次に、本実施形態に係る搬送車の走行制御処理について図３を参照して説明する。図３は、本実施形態の走行制御処理を示すフローチャートである。尚、図３に示される走行制御処理において、図１に示すように、軌道１上を、前走ビークル３ｘに続いて、ビークル３が走行する場合を想定する。
【００４３】
図３において、先ず、軌道１上を走行するビークル３の前走検出センサ７によって、前走ビークル３ｘの投光部８が発光している識別光が、受光されたか否かが判定される（ステップＳ５１）。この判定の結果、受光されない場合に（ステップＳ５１:ＮＯ）、ビークル３から距離Ｌ１をとった検出領域内に前走ビークル３ｘが存在しないとして、３つの衝突防止センサ５によって、ビークル３から距離Ｌ２，Ｌ３をとった２つの検出領域のうち、何れかの検出領域内に障害物が存在しているか否かが判定される（ステップＳ５２）。この判定の結果、何れの検知領域内にも存在していない場合に（ステップＳ５２：ＮＯ）、制御部９によって、ビークル３が通常速度で走行され（ステップＳ５３）、ステップＳ５１の処理が再度行われる。
【００４４】
一方、ステップＳ５２の判定の結果により、例えば距離Ｌ２をとった検知領域内に障害物が存在している場合に（ステップＳ５２：ＹＥＳ）、障害物との衝突を防止するために、ステップＳ５９の処理が行われる。
【００４５】
一方、ステップＳ５１の判定の結果により、識別光が受光された場合に（ステップＳ５１：ＹＥＳ）、前走ビークル３ｘが存在しているとして、上述したステップＳ５２の処理が行われる。ステップＳ５２の判定の結果、何れの検知領域内にも前走ビークル３ｘが存在していない場合に（ステップＳ５２：ＮＯ）、ビークル３が通常速度で走行され（ステップＳ５４）、ステップＳ５１の処理が再度行われる。
【００４６】
一方、ステップＳ５２の判定の結果により、３つの衝突防止センサ５によって、例えば、先ずビークル３から距離Ｌ２をとった検知領域内に前走ビークル３ｘが存在している場合に（ステップＳ５２：ＹＥＳ）、もう１つの検知領域である、ビークル３から距離Ｌ３をとった検知領域内にも前走ビークル３ｘが存在しているか否かが判定される（ステップＳ５５）。この判定の結果、もう１つの距離Ｌ３をとった検知領域内（言い換えれば、全ての検知領域内）に存在していない場合に（ステップＳ５５：ＮＯ）、制御部９によって、例えば不図示のエンコーダによる検出値から、ビークル３が所定の距離（例えば、何れかの検知領域内での存在が最初に確認されてから２００ｍｍ）走行したか否かが判定される（ステップＳ５６）。この判定の結果、未だ所定の距離走行していない場合に（ステップＳ５６：ＮＯ）、制御部９によって、ビークル３が所定の低速で走行され（ステップＳ６０）、ステップＳ５１の処理が再度行われる。
【００４７】
一方、ステップＳ５６の判定の結果により、全ての検知領域内に前走ビークル３ｘの存在が確認できずに、ビークル３が所定の距離走行した場合に（ステップＳ５６：ＹＥＳ）、ステップＳ５９の処理が行われる。
【００４８】
一方、ステップＳ５５の判定の結果により、もう１つの距離Ｌ３をとった検知領域内（言い換えれば、全ての検知領域内）に前走ビークル３ｘが存在している場合に（ステップＳ５５：ＹＥＳ）、制御部９によって、ビークル３が所定の低速で走行される（ステップＳ５７）。続いて、前詰めセンサ６によって、ビークル３から距離Ｌ４をとった検知領域内に前走ビークル３ｘが存在しているか否かが判定される（ステップＳ５８）。この判定の結果、存在していない場合に（ステップＳ５８：ＮＯ）、制御部９によって、ステップＳ５１の処理が再度行われる。
【００４９】
一方、ステップＳ５８の判定の結果により、距離Ｌ４をとった検知領域内に前走ビークル３ｘが存在している場合に（ステップＳ５８：ＹＥＳ）、制御部９によって、前走ビークル３ｘにビークル３が追突するのを防止するために、ビークル３が停止される（ステップＳ５９）。これにより、一連の走行制御処理が終了される。
【００５０】
このように、前走ビークル３ｘが移載等のために停止しても、後続の複数のビークル３について距離Ｌ４を最小長さとする車間距離を相互間でとることによって、複数のビークル３が、前走ビークル３ｘが停止する軌道１より他の軌道まで連なる事態を回避することが可能となる。従って、複数の軌道における渋滞を防止しつつ、ビークル３を効率よく走行させることが可能となる。
【００５１】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】実施形態に係る搬送車及び前方走行車の一例を示す模式図である。
【図２】実施形態に係る複数のセンサの配置を示す模式図である。
【図３】実施形態に係る走行制御処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５３】
１…軌道、３…搬送車、５…衝突防止センサ、６…前詰めセンサ、７…前走検出センサ、８…投光部、９…制御部、１０…搬送コントローラ、１００…搬送システム
【図１】
0005071222.tif 000002
【図２】
0005071222.tif 000003
【図３】
0005071222.tif 000004