(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に像を投影する投影システムと、
前記基板を支持する基板テーブルと、
前記投影システムを備える第１のチャンバと、
前記基板テーブルおよび第１のフレームを備える第２のチャンバと、
前記第２のチャンバを支持するベースフレームと、
前記ベースフレームに結合されかつ前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとを分離する中間フレームと、
前記第１のフレームに結合されかつ前記中間フレームと前記第２のチャンバとにある結合された開口を介して前記第１のチャンバを支持するサポートと、
前記第１のチャンバと前記中間フレームとの間の前記開口に通じる空間を封止する第１のシールと、
前記中間フレームと前記第１のフレームとの間の前記開口に通じる空間を封止する第２のシールと、
を備え、
前記第１のフレームが、前記基板テーブルおよび／または前記投影システムの位置を測定する測定システムを備え、
前記中間フレームが、位置測定のための透明ウィンドウをさらに備え、
前記透明ウィンドウが、前記投影システムおよび／または前記基板テーブルの位置を測定する前記測定システムの光路の一部であり、かつ、前記光路が前記第１及び第２のシールの外側に位置するよう配置された、リソグラフィ装置。
【請求項２】
前記第１のシールおよび／または第２のシールが、アクリルゴム、ブタジエンゴム、ブチルゴム、クロロブチル、ポリエチレンゴム、エピクロルヒドリン、エチレンアクリル、エチレンプロピレンゴム、フッ素エラストマ、水素化ニトリルゴム、イソプレンゴム、天然ゴム、ニトリルゴム、ペルフルオロエラストマ、ポリクロロプレン、ポリノルボルネンゴム、多硫化ゴム、シリコーンゴム、スチレンブタジエンゴム、およびテトラフロロエチレンゴムのいずれか１つ、または組合せを含む、請求項１に記載のリソグラフィ装置。
【請求項３】
前記第１のシールおよび／または第２のシールが、金属または金属含有材料を含む、請求項１又は２に記載のリソグラフィ装置。
【請求項４】
放射ビームをパターニングすること、
投影システムを用いて、前記パターン付き放射ビームを基板上に投影すること、
基板テーブルを用いて基板を支持すること、
第１のチャンバを用いて前記投影システムを収容すること、
第２のチャンバを用いて前記基板テーブルおよび第１のフレームを収容すること、
ベースフレームを用いて前記第２のチャンバを支持すること、
前記ベースフレームに結合された中間フレームを用いて前記第１のチャンバと前記第２のチャンバとを分離すること、
前記第１のフレームに結合されたサポートを用いて、前記中間フレームと前記第２のチャンバとにある結合された開口を介して前記第１のチャンバを支持すること、
前記第１のチャンバと前記中間フレームとの間の前記開口に通じる空間を第１のシールで封止すること、
前記中間フレームと前記第１のフレームとの間の前記開口に通じる空間を第２のシールで封止すること、および
前記第１のフレームに備えられた測定システムで、前記基板テーブルおよび／または前記投影システムの位置を測定すること、
を含み、
前記中間フレームが、位置測定のための透明ウィンドウをさらに備え、
前記透明ウィンドウが、前記投影システムおよび／または前記基板テーブルの位置を測定する前記測定システムの光路の一部であり、かつ、前記光路が前記第１及び第２のシールの外側に位置するよう配置された、デバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
[0001]  本発明は、リソグラフィ装置およびデバイス製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
[0002]  リソグラフィ装置は、基板上、通常は基板のターゲット部分上に所望のパターンを与える機械である。リソグラフィ装置は、例えば、集積回路（ＩＣ）の製造に使用することができる。その場合、マスクまたはレチクルとも呼ばれるパターニングデバイスを用いて、ＩＣの個々の層上に形成すべき回路パターンを作製することができる。このパターンは、基板（例えば、シリコンウェーハ）上のターゲット部分（例えば、１つまたはいくつかのダイの一部を備える）上に転写することができる。パターンの転写は、典型的には、基板上に設けられた放射感応性材料（レジスト）層上に結像することによって行われる。一般に、１枚の基板には、順次パターニングされるターゲット部分が網目状に隣接して含まれることになる。既知のリソグラフィ装置には、パターン全体をターゲット部分上に一括して露光することによって各ターゲット部分に照射を行う、いわゆるステッパと、パターンを放射ビームによって所与の方向（「スキャン」方向）にスキャンし、それと同期してこの方向に平行または逆平行に基板をスキャンすることによって各ターゲット部分に照射を行う、いわゆるスキャナとが含まれる。また、パターンを基板上にインプリントすることによって、パターニングデバイスから基板にパターンを転写することも可能である。
【０００３】
[0003]  真空環境で動作するリソグラフィ装置（例えば、極端紫外もしくはＥＵＶリソグラフィ、電子ビームリソグラフィ、イオンビームリソグラフィ、またはＸ線リソグラフィ）では、リソグラフィ装置のモジュール（例えば、照明システム、マスクテーブル、投影レンズ、またはウェーハテーブル）は、主に汚染からの悪影響を制御するために異なる真空チャンバ内に互いに分離することができる。同時に、これらの分離されたチャンバは、リソグラフィ装置を形成するような形で互いに結合される。かかるチャンバの結合によって問題が生じることがあり、これは、各チャンバが振動（すなわち、動的ノイズ）に対して異なる耐性を有するためであり、こうした振動は通常、リソグラフィ装置内の移動部品（例えば、マスクテーブルまたはウェーハテーブル）によって生じる。一方のチャンバから他方のチャンバへのこうした振動の影響を最小限に抑えるために、リソグラフィ装置は、いわゆる「ノイジーワールド（noisy world）」と、いわゆる「サイレントワールド（silent world）」とに分離されてきている。
【０００４】
[0004]  ノイジーワールドは、実際には、ＩＣ製造工場の床に動的に結合されたベースフレームを含むモジュールによって代表されることができ、ＩＣ製造工場の床は、例えば、かかる工場内を歩く操作者によって生じるあらゆる振動を受ける。
【０００５】
[0005]  一方、サイレントワールドは、考えられ得るどのような原因、特にこうした振動の振動数がより高い部品（例えば、移動平均部品（moving average parts）から外れた移動標準偏差部品（moving standard deviation parts））から生じる振動からの影響を最小限に抑えるように、非接触サポート（例えば、エアフット、エアベアリング、磁力レビテーションなど）を使用することによって、ノイジーワールドから動的に隔離されたモジュールによって代表されることができる。
【０００６】
[0006]  真空チャンバは、その開口領域にシールを含む。ノイジーワールドからサイレントワールドへの振動の影響を最小限に抑えるために、米国特許第６３３３７７５Ｂ１号および米国特許出願公開第２００６／０００７４１４Ａ１号に開示のように、非接触シールが導入されることさえもある。しかし、かかる非接触シールの使用では、分子レベルの粒子（例えば、炭化水素および／または水）が、一方のチャンバから他方のチャンバへと移動するのを防止することが困難となることがあり、これらの粒子がリソグラフィ装置の光学系に到達すると、光学系の動作を妨げ、さらには光学系を汚染する恐れがある。このため、それぞれのデバイス製造方法が妨げられ、それによって製造されるデバイスは、比較的高価および／または低品質となる恐れがある。
【発明の概要】
【０００７】
[0007]  この問題に対する解決策の１つとして、ベローズなどの既知のシールを用いることが考えられるが、かかるベローズでは、ノイジーワールドとサイレントワールドとの間で動的な接触が生じることになり、それによって望ましくない振動がサイレントワールドに伝達される恐れがある。
【０００８】
[0008]  本発明の一態様によれば、基板上に像を投影する投影システムと、基板を支持する基板テーブルと、投影システムを備える第１のチャンバと、基板テーブルおよび第１のフレームを備える第２のチャンバとを備えるリソグラフィ装置が提供される。この装置は、第２のチャンバを支持するベースフレームと、ベースフレームに結合された中間フレームとを備える。中間フレームは、第１のチャンバと第２のチャンバとを分離する。この装置は、第１のフレームに結合されたサポートを備える。サポートは、中間フレームと第２のチャンバとにある結合された開口を介して第１のチャンバを支持する。
【０００９】
[0009]  本発明の一態様によれば、放射ビームをパターニングすること、投影システムを用いて、パターン付き放射ビームを基板上に投影すること、基板テーブルを用いて基板を支持すること、および第１のチャンバを用いて投影システムを収容することを含むデバイス製造方法が提供される。この方法は、第２のチャンバを用いて基板テーブルおよび第１のフレームを収容すること、ベースフレームを用いて第２のチャンバを支持すること、およびベースフレームに結合された中間フレームを用いて第１のチャンバと第２のチャンバとを分離することを含む。この方法は、第１のフレームに結合されたサポートを用いて、中間フレームと第２のチャンバとにある結合された開口を介して第１のチャンバを支持することを含む。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
[0010]  次に、添付の概略図面を参照しながら、本発明の実施形態を単なる例によって説明する。各図面において、対応する符号は対応する部品を示す。
【００１１】
【図１】[0011]本発明の実施形態によるリソグラフィ装置を示す図である。
【図２】[0012]図１のリソグラフィ装置の一部を示す図である。
【図３】[0013]本発明の実施形態による図１のリソグラフィ装置の一部を示す図である。
【図４】[0014]本発明の実施形態によるリソグラフィ装置の一部を示す図である。
【図５】[0015]本発明の実施形態によるリソグラフィ装置の一部として異なる形状を有するベローズを示す図である。
【図６】[0016]本発明の実施形態によるリソグラフィ装置の一部を示す図である。
【図７】[0017]本発明の実施形態によるリソグラフィ装置の一部としてのベローズを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
[0018]  図１は、リソグラフィ装置を概略的に示す。この装置は、放射ビームＢ（例えば、ＵＶ放射、ＤＵＶ放射、ＥＵＶ放射、またはＸ線）を条件付けるように構成された照明システム（イルミネータ）ＩＬと、パターニングデバイス（例えば、マスク）ＭＡを支持するように構築され、パターニングデバイスをあるパラメータに従って正確に位置決めするように構成された第１のポジショナＰＭに接続されたサポート構造（例えば、マスクテーブル）ＭＴと、基板（例えば、レジストコートウェーハ）Ｗを保持するように構築され、基板をあるパラメータに従って正確に位置決めするように構成された第２のポジショナＰＷに接続された基板テーブル（例えば、ウェーハテーブル）ＷＴと、パターニングデバイスＭＡによって、放射ビームＢに与えられたパターンを、基板Ｗのターゲット部分Ｃ（例えば、１つまたは複数のダイを備える）上に投影するように構成された投影システム（例えば、屈折投影レンズシステム）ＰＳとを備える。
【００１３】
[0019]  照明システムは、放射を誘導、成形、または制御するための、屈折式、反射式、磁気式、電磁式、静電式、または他のタイプの光学コンポーネント、あるいはそれらの任意の組合せなど、様々なタイプの光学コンポーネントを含むことができる。
【００１４】
[0020]  サポート構造は、パターニングデバイスを支持し、すなわちその重さに耐える。サポート構造は、パターニングデバイスの向き、リソグラフィ装置の設計、およびその他の条件、例えば、パターニングデバイスが真空環境で保持されているか否かなどに応じた形でパターニングデバイスを保持する。サポート構造は、機械、真空、静電、またはその他のクランプ技術を用いてパターニングデバイスを保持することができる。サポート構造は、例えばフレームまたはテーブルでよく、必要に応じて固定式または可動式とすることができる。サポート構造によって、パターニングデバイスを、例えば投影システムに対して所望の位置に確実に配置することができる。本明細書で使用する用語「レチクル」または「マスク」はいずれも、より一般的な用語「パターニングデバイス」と同義とみなすことができる。
【００１５】
[0021]  本明細書で使用する用語「パターニングデバイス」は、基板のターゲット部分にパターンを形成するように、放射ビームの断面にパターンを与えるのに使用できるどのようなデバイスをも指すものとして広く解釈すべきである。放射ビームに与えられるパターンは、例えば、パターンが位相シフトフィーチャ、またはいわゆるアシストフィーチャを含む場合、基板のターゲット部分の所望のパターンと正確には一致しないことがあることに留意されたい。一般に、放射ビームに与えられるパターンは、集積回路など、ターゲット部分に作製されるデバイスの特定の機能層に対応することになる。
【００１６】
[0022]  パターニングデバイスは、透過型でも反射型でもよい。パターニングデバイスの例には、マスク、プログラマブルミラーアレイ、およびプログラマブルＬＣＤパネルが含まれる。マスクはリソグラフィにおいて周知であり、バイナリ、レベンソン型（alternating）位相シフト、およびハーフトーン型（attenuated）位相シフトなどのマスクタイプ、ならびに様々なハイブリッドマスクタイプが含まれる。プログラマブルミラーアレイの一例として、小型ミラーのマトリクス配列を使用するものがあり、それぞれのミラーは、入射した放射ビームを異なる方向に反射させるように個々に傾斜させることができる。傾斜させたミラーによって、放射ビームにパターンが与えられ、この放射ビームがミラーマトリクスによって反射される。
【００１７】
[0023]  本明細書で使用する用語「投影システム」は、露光放射が使用されるか、または液浸液の使用、もしくは真空の使用など、他の要因に適宜応じて、屈折式、反射式、反射屈折式、磁気式、電磁式、および静電式光学システム、またはそれらのどのような組合せも含めたどのようなタイプの投影システムをも包含するものとして広く解釈すべきである。本明細書で使用する用語「投影レンズ」はいずれも、より一般的な用語「投影システム」と同義とみなすことができる。
【００１８】
[0024]  本明細書で示すように、この装置は、反射型（例えば、反射マスクを使用）のものである。あるいは、この装置は、透過型（例えば、透過マスクを使用）のものでもよい。
【００１９】
[0025]  リソグラフィ装置は、２つ（デュアルステージ）以上の基板テーブル（および／または２つ以上のマスクテーブル）を有するタイプのものでよい。かかる「マルチステージ」機械では、追加のテーブルを並行して使用する、または、１つまたは複数のテーブル上で予備ステップを実行しながら、１つまたは複数の他のテーブルを露光に使用することができる。
【００２０】
[0026]  また、リソグラフィ装置は、投影システムと基板との間の空間を満たすように、比較的高い屈折率を有する液体、例えば水で基板の少なくとも一部分を被覆するタイプのものでもよい。また、リソグラフィ装置の他の空間、例えば、マスクと投影システムとの間に液浸液を与えてもよい。液浸技術は、当技術分野では、投影システムの開口数を増大させることで周知である。本明細書で使用する用語「液浸」は、基板などの構造を液体に浸さなければならないことを意味するのではなく、露光中に、投影システムと基板との間に液体が存在することを意味するにすぎない。
【００２１】
[0027]  図１を参照すると、イルミネータＩＬは、放射源ＳＯから放射ビームを受け取る。例えば、放射源がエキシマレーザである場合、放射源とリソグラフィ装置とは別々の構成要素（entity）とすることができる。このような場合、放射源はリソグラフィ装置の一部を成すとはみなされず、放射ビームは、例えば、適当な誘導ミラーおよび／またはビームエキスパンダを備えるビームデリバリシステムを用いて、放射源ＳＯからイルミネータＩＬに送られる。他の場合、例えば、放射源が水銀ランプである場合は、放射源はリソグラフィ装置の一体部分としてもよい。放射源ＳＯおよびイルミネータＩＬは、望むなら、ビームデリバリシステム（図１に示さず）とともに放射システムと呼ぶことができる。
【００２２】
[0028]  イルミネータＩＬは、放射ビームの角度強度分布を調整するためのアジャスタ（図１に示さず）を備えることができる。一般に、イルミネータの瞳面における強度分布の少なくとも外側および／または内側半径範囲（通常、それぞれσ-outerおよびσ-innerと呼ばれる）は調整することができる。さらに、イルミネータＩＬは、インテグレータＩＮ（図１に示さず）およびコンデンサ（図１に示さず）など、様々な他のコンポーネントを備えてもよい。イルミネータを用いて、断面に所望の均一性および強度分布を持たせるように放射ビームを条件付けることができる。
【００２３】
[0029]  放射ビームＢは、サポート構造（例えば、マスクテーブルＭＴ）上に保持されたパターニングデバイス（例えば、マスクＭＡ）に入射し、そのパターニングデバイスによってパターニングされる。放射ビームＢは、マスクＭＡを越えた後、投影システムＰＳを通過し、それによってこのビームは基板Ｗのターゲット部分Ｃ上に集光することになる。第２のポジショナＰＷおよび位置センサＩＦ２（例えば、干渉計デバイス、リニアエンコーダ、または容量センサ）を用いて、基板テーブルＷＴを、例えば、異なるターゲット部分Ｃが放射ビームＢの経路内に位置するように正確に動かすことができる。同様に、第１のポジショナＰＭおよび別の位置センサＩＦ１を用いて、例えば、マスクライブラリから機械的に取り出した後、またはスキャン中に、マスクＭＡを放射ビームＢの経路に対して正確に位置決めすることができる。一般に、マスクテーブルＭＴの移動は、ロングストロークモジュール（粗動位置決め）およびショートストロークモジュール（微動位置決め）を用いて実現することができ、これらのモジュールは第１のポジショナＰＭの一部を成す。同様に、基板テーブルＷＴの移動も、ロングストロークモジュールおよびショートストロークモジュールを用いて実現することができ、これらのモジュールは第２のポジショナＰＷの一部を成す。ステッパの場合は（スキャナとは違って）、マスクテーブルＭＴは、ショートストロークアクチュエータのみに接続することができ、または固定してもよい。マスクＭＡと基板Ｗとは、マスクアライメントマークＭ１、Ｍ２および基板アライメントマークＰ１、Ｐ２を用いて位置合せすることができる。図示の基板アライメントマークは、ターゲット部分用の位置を占めているが、これらのマークは、ターゲット部分間の空間に配置してもよい（これらのマークは、スクライブレーンアライメントマークとして知られている）。同様に、マスクＭＡ上に２つ以上のダイが設けられている状況では、マスクアライメントマークをダイ間に配置してもよい。
【００２４】
[0030]  図示の装置は、以下のモードの少なくとも１つで使用することができる。
【００２５】
[0031]  １．ステップモードでは、放射ビームに与えられたパターン全体がターゲット部分Ｃ上に一括して投影される間、マスクテーブルＭＴおよび基板テーブルＷＴは、基本的に静止したまま維持される（すなわち、１回の静止露光）。次いで、異なるターゲット部分Ｃを露光できるように、基板テーブルＷＴをＸおよび／またはＹ方向にシフトさせる。ステップモードでは、１回の静止露光で結像されるターゲット部分Ｃの寸法は、露光フィールドの最大寸法に限られる。
【００２６】
[0032]  ２．スキャンモードでは、放射ビームに与えられたパターンがターゲット部分Ｃ上に投影される間、マスクテーブルＭＴおよび基板テーブルＷＴは、同期してスキャンされる（すなわち、１回の動的露光）。基板テーブルＷＴの、マスクテーブルＭＴに対する速度および方向は、投影システムＰＳの拡大（縮小）特性および像反転特性によって決定することができる。スキャンモードでは、１回の動的露光におけるターゲット部分の（非スキャン方向における）幅は、露光フィールドの最大寸法に限られ、ターゲット部分の（スキャン方向における）高さは、スキャン運動の長さによって決まる。
【００２７】
[0033]  ３．別のモードでは、放射ビームに与えられたパターンがターゲット部分Ｃ上に投影される間、マスクテーブルＭＴは、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で基本的に静止したまま維持され、基板テーブルＷＴが移動またはスキャンされる。このモードでは、一般にパルス放射源が使用され、基板テーブルＷＴの移動後毎に、または、スキャン中に連続する放射パルスの合間に、プログラマブルパターニングデバイスが必要に応じて更新される。この動作モードは、上述のタイプのようなプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用した、マスクのないリソグラフィに容易に応用することができる。
【００２８】
[0034]  上述の使用モードの組合せおよび／または変形形態、あるいは全く異なる使用モードを使用することもできる。
【００２９】
[0035]  ＥＵＶリソグラフィ装置では、投影システムＰＳを備える真空チャンバ（投影光学ボックスまたは「ＰＯＢ」とも呼ぶことができる）は、基板テーブルＷＴを備える別の真空チャンバ（「ＷＴ真空チャンバ」）とは分離することができる。ＷＴ真空チャンバは、ＰＯＢよりも数桁高い汚染レベル（光学ミラーの寿命に影響する炭化水素など）を有し、これは、ＷＴ真空チャンバ内の機能性の量が高い（ステージ、ケーブリング、基板を動かすハンドラ、センサなど）ためである。したがって、ＷＴ真空チャンバからＰＯＢへの汚染フローを最小限に抑えなければならない。しかし、既知の設計では、ＷＴ真空チャンバとＰＯＢとの間には以下の２つの漏れ、すなわち、１）ＥＵＶ光が投影システムＰＳからＷＴ真空チャンバ（ウェーハ上部）に入る、ＰＯＢとＷＴ真空チャンバとの間の共有開口、および２）位置センサを取り付けることができる第１のフレーム周囲からベースフレームの方への非接触真空シールがある。第１のフレーム周囲のかかる非接触真空シールを覆って汚染から防止するために、非常に軟性で薄く、気密性の材料でベローズを形成することができる。
【００３０】
[0036]  軟性で薄く、気密性の材料は、それだけに限られるものではないが、アクリルゴム、ブタジエンゴム、ブチルゴム、クロロブチル、任意の化学型のポリエチレンゴム、エピクロルヒドリン、エチレンアクリル、エチレンプロピレンゴム、フッ素エラストマ、水素化ニトリルゴム、イソプレンゴム、天然ゴム、ニトリルゴム、ペルフルオロエラストマ、ポリクロロプレン、ポリノルボルネンゴム、多硫化ゴム、シリコーンゴム、スチレンブタジエンゴム、テトラフロロエチレン（tetra-flouroethylene）ゴムなどを含めたどのような種類のゴムでもよい。ポリイミド、（金属被覆）テフロンもしくは（金属被覆）プラスチック、または（両面）金属被覆箔もまた、ベローズを形成する材料として使用することができる。ベローズは、例えばニッケルで作成された電鋳ベローズでもよい。ベローズは、水平の円形溝および／または螺旋溝を有することができる。
【００３１】
[0038]  軟性で薄く、気密性の材料はまた、金属または所望の剛性仕様を有するどのような材料（または材料の組合せ）でもよい。
【００３２】
[0039]  ベローズは、図７に示すように、厚さが薄く、中空とすることができる。
【００３３】
[0040]  固体力学では、ねじれは、トルクが加えられるために生じる物体のひねりである。円形断面では、結果として生じる剪断応力は、半径に対して垂直となる。
【００３４】
[0041]  ある断面のねじれ定数（または極慣性モーメント）Ｊは、以下のように表すことができる。
Ｊ＝２πＲ３ｔ      （１）
式中、Ｒは外側および内側半径の平均、ｔは壁の厚さである。
【００３５】
[0042]  したがって、剛性はベローズの半径の３乗（Ｒ３）で増大する。
【００３６】
[0043]  したがって、かかる材料の剛性は、シール長（ベローズの外周２πＲ）の関数として決まる。したがって、チャンバ間、より具体的には、（ノイジーワールドの）ベースフレームと、（サイレントワールドの）第１のフレームとの間の空隙を封止するために、リソグラフィ装置にベローズを使用する場合、リソグラフィ装置は、ベローズの回転剛性によって、ベースフレームから第１のフレームに伝達される振動を最小限に抑えるように、「シール長」を最小にしなければならない。
【００３７】
[0044]  本発明の実施形態は、シール長を最小にすることに関する。
【００３８】
[0045]  ベローズの直径および材料に加えて、全体のベローズ形状もまた、影響を及ぼすパラメータとなる。図５に示すように、ノイジーワールドからサイレントワールドにどのような望ましくない振動も伝達されないように、その形状を最適化することができる。設計２の概念を使用したベローズの例が、図７に示されている。
【００３９】
[0046]  影響を及ぼす別のパラメータに、ベローズの厚さがあり、これは、ベローズの厚さがより薄くなると、ベローズはより弱くなるためである。
【００４０】
[0047]  図２は、ベースフレームと第１のフレームとの間に非接触ガスシールを使用したリソグラフィ装置の一部を概略的に示す。図２のサポートは、エアベアリングサポートなど、非接触サポートでよい。図２では、第１のフレームと投影光学ボックスＰＯＢとは互いに接続されており、このアセンブリは、ベースフレームと第１のフレームとの間の動的な接触がないため、動的に隔離されている。
【００４１】
[0048]  非接触ガスシールをベローズと置き換える場合、そのシール長は、第１のフレームの周囲長と同じ程度の大きさ（第１のフレームとベースフレームとの間の全ての開口）になる。比較的長いシール長によって、シールの回転剛性のためノイジーワールドの振動がサイレントワールドに伝達され得るため、サイレントワールドに振動問題が生じることがある。
【００４２】
[0049]  図３は、本発明の実施形態によるリソグラフィ装置の一部の概略図を示し、この実施形態では、非接触ガスシールは使用せず、その代わりにベローズを使用する。図３に示すように、第１のフレームは、投影光学ボックスＰＯＢに接続されるのではなく、分離されており、第１のフレームによって投影光学ボックスＰＯＢおよび投影システムＰＳを支持するために導入された追加のサポートがある。
【００４３】
[0050]  ノイジーワールドからサイレントワールドへの動的な影響を最小限に抑えるには、シール長を最小にしなければならない。この目的で、中間フレームが導入され、これはベースフレームに結合される。ＰＯＢ（第１のチャンバ）と中間フレームとの間にベローズを配置して、サポートと中間フレームとの間の空間を封止する。あるいは、ベローズを中間フレームと第１のフレームとの間に配置して、サポートと中間フレームとの間の空間を封止してもよい。中間フレームは、シール長を最小にするように開口領域が限られている。
【００４４】
[0051]  投影光学ボックスＰＯＢおよび投影システムＰＳおよび第１のフレームを支持するように、比較的小さい貫通孔を有する（ベースフレームと接続された）中間フレームを導入することによって、シール長を最小にすることができる。
【００４５】
[0052]  リソグラフィ装置が投影システムＰＳ制御に対して６ＤＯＦ（自由度）を実現する場合、投影システムＰＳを支持するのに複数のサポート、例えば３つまたは６つのサポートがあってもよい。したがって、中間フレームには、複数の貫通孔、例えば３つまたは６つの貫通孔があってもよい。
【００４６】
[0053]  図４は、本発明の実施形態によるリソグラフィ装置の一部の概略図を示す。中間フレームにある光学系を用いて、この光学系に測定ビームを通過させることができる。かかる測定ビームによって、正確な位置制御を行うように、投影システムＰＳの、第１のフレームおよび／または基板テーブルＷＴに対する位置を検出することができる。
【００４７】
[0054]  本実施形態では、光学系は、中間フレームにどのような（または最小限の）開口も生じないように物理的に配置しなければならないことに留意されたい。これは汚染制御のためであり、中間フレームに余分な開口があると、その開口によって、粒子が通過してＰＯＢ内に入り込むことになり得るからである。
【００４８】
[0055]  さらに、図４には単一の光学系および測定ビームしか示していないが、かかる光学系および測定ビームが複数あってもよい。
【００４９】
[0056]  図６は、本発明の非限定的な実施形態によるリソグラフィ装置を概略的に示す。光学系用チャンバ（例えば、真空チャンバ）と、基板テーブルまたは「基板サポート」用チャンバ（例えば、真空チャンバ）とが、チャンバ間の共有「開口」、すなわち、１つ（または複数）の汚染物質が開口から入るのを防止するためにガス流が維持される、いわゆる動的ガスロック（ＤＧＬ）の非限定的な概念を示すために図示されている。
【００５０】
[0057]  動的ガスロックＤＧＬに使用されるガスは、投影ビーム（例えば、ＥＵＶ）の放射を実質的に吸収せず、一方、汚染物質についてかなり低い拡散係数を有する物質でなければならない。動的ガスロックに使用されてきたかかるガスの例は、Ｈ、Ａｒ、およびＫｒである。Ａｒなどのガスを使用する動的ガスロックが、米国特許第６１９８７９２Ｂ１号に記載されており、ここでは、膜にある孔について記載され、膜によって、投影システム領域が基板領域から分離され、孔によって、投影された放射が基板上に当たることが可能となっている。不活性ガスは、放射ビームの伝達方向にわたって流れる。
【００５１】
[0058]  投影された放射と同じ方向に進む流れを示し、投影された放射を透過させるべき膜またはウィンドウをさらに有する動的ガスロックが、米国特許第６６８３９３６Ｂ２号、米国特許第６６４２９９６Ｂ２号、および欧州特許出願公開第０５３２９６８Ａ１号に記載されている。これらの後者の特許文献の、不活性ガスを誘導する中空管は円錐形でよく、その上端部は膜で被覆され、放射は、基板上に当たる前に、この膜を貫通して進まなければならない。この膜は、不活性ガスが投影システムの方へ上方に流れるのを防止する。
【００５２】
[0059]  図６では、光学系用の第１のチャンバに投影システムＰＳが含まれ、基板テーブル用の第２のチャンバに基板テーブルＷＴが含まれている。第１のチャンバと第２のチャンバとは、上述の動的ガスロックＤＧＬなどの共有開口を介して互いに結合されている。
【００５３】
[0060]  投影システムＰＳは、反射光学系（例えば、ミラー）からなることができ、その表面平坦度は、原子レベルで制御される。かかる光学系は、小さい粒子が第１のチャンバ内に入り込み、光学系の表面に付着した場合に傷つきやすいことがある。
【００５４】
[0061]  したがって、両チャンバとも典型的には、動作中は非常に高い真空レベル下にあるが、投影システムＰＳ用チャンバは、光学系を可能な限り清浄に保たなければならないので、典型的には、基板テーブルＷＴ用チャンバよりも高い圧力で維持され、一方、基板用チャンバは通常、望ましくない分子汚染物質（例えば、レジストからのガス放出、ウェーハステージなどの可動部品によって生じる粒子）源となる。実際には、第１のチャンバは、投影システムＰＳの光学エレメントを清浄に保つために、（チャンバの圧力が非常に低くても）あるガス（例えば、水素、窒素、ヘリウム、または二酸化炭素）でパージすることができる。
【００５５】
[0062]  本明細書では、ＩＣの製造にリソグラフィ装置を使用する特定の例を参照することがあるが、本明細書に記載のリソグラフィ装置は、集積光学システム、磁気ドメインメモリ用の誘導および検出パターン、平面パネルディスプレイ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、薄膜磁気ヘッドなどの製造など、他の用途にも用いることができることを理解されたい。かかる代替の用途では、本明細書にて使用する用語「ウェーハ」または「ダイ」はいずれも、より一般的な用語「基板」または「ターゲット部分」とそれぞれ同義とみなすことができることが当業者には理解されよう。本明細書にて述べる基板は、露光前または露光後に、例えばトラック（典型的には基板にレジスト層を付け、露光したレジストを現像するツール）、第１のツールおよび／またはインスペクションツールを用いて加工することができる。適応可能な場合には、本明細書の開示は、上記およびその他の基板加工ツールにも応用することができる。さらに、基板は、例えば多層ＩＣを作製するために２回以上加工することができ、したがって、本明細書で使用する用語「基板」は、複数の加工層を既に含んだ基板を指すこともある。
【００５６】
[0063]  上記では、光学リソグラフィを例にとって本発明の実施形態の特定の使用例を参照してきたが、本発明は、他の用途、例えば、電子ビームリソグラフィにも使用することができ、状況が許せば、光学リソグラフィに限られないことが理解されよう。
【００５７】
[0064]  本明細書で使用する用語「放射」および「ビーム」は、紫外（ＵＶ）放射（例えば、約３６５、３５５、２４８、１９３、１５７、または１２６ｎｍの波長を有する）および極端紫外（ＥＵＶ）放射（例えば、５〜２０ｎｍの範囲の波長を有する）、ならびにイオンビームまたは電子ビームなどの粒子ビームを含むあらゆるタイプの電磁放射を包含する。
【００５８】
[0065]  用語「レンズ」は、状況が許せば、屈折式、反射式、磁気式、電磁式、および静電式の光学コンポーネントを含む様々なタイプの光学コンポーネントのいずれか１つ、またはそれらの組合せを指すことがある。
【００５９】
[0066]  以上、本発明の特定の実施形態について説明してきたが、本発明は、上記で説明したものとは異なる形で実施することができることが理解されよう。例えば、本発明は、上記で開示した方法を記した１つまたは複数の機械読取可能命令シーケンスを含むコンピュータプログラム、あるいはかかるコンピュータプログラムを中に記憶したデータ記憶媒体（例えば、半導体メモリ、磁気または光学ディスク）の形を取ることができる。
【００６０】
[0067]  上記の説明は例示のものであり、限定を意図するものではない。したがって、以下に記載の特許請求の範囲から逸脱することなく、記載の本発明に改変を行うことができることが当業者には明らかであろう。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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