(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リフレクタの下方中央に、該リフレクタの長さ方向に沿って紫外線蛍光灯を配置してなる露光器において、前記紫外線蛍光灯の直下の部分の光量を減少させる手段を備えたことを特徴とする露光器。
【請求項２】
紫外線蛍光灯と被露光体との間にアクリル又はガラスからなる紫外線透過板を配置していない露光器において、紫外線蛍光灯の直下の部分の光量を減少させる手段が、該紫外線蛍光灯の直下位置に該紫外線蛍光灯と平行して配置した、全体が透明なアクリル又はガラスからなり、上面をサンドブラストにより粗面となした所要幅の紫外線透過制限板である請求項１記載の露光器。
【請求項３】
紫外線蛍光灯と被露光体との間にアクリル又はガラスからなる紫外線透過板を配置していない露光器において、紫外線蛍光灯の直下の部分の光量を減少させる手段が、該紫外線蛍光灯の直下位置に該紫外線蛍光灯と平行して配置した、全体が透明なアクリル又はガラスからなり、上面に半透明のフィルタ材を重ねた所要幅の紫外線透過制限板である請求項１記載の露光器。
【請求項４】
紫外線蛍光灯と被露光体との間にアクリル又はガラスからなる紫外線透過板を配置している露光器において、紫外線蛍光灯の直下の部分の光量を減少させる手段が、全体が透明である紫外線透過板の幅方向の中央部をサンドブラストにより粗面となしたことである請求項１記載の露光器。
【請求項５】
紫外線蛍光灯と被露光体との間にアクリル又はガラスからなる紫外線透過板を配置している露光器において、紫外線蛍光灯の直下の部分の光量を減少させる手段が、全体が透明である紫外線透過板の幅方向の中央部に半透明のフィルタ材を重ねたことである請求項１記載の露光器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプリント配線基板の製作工程において用いられる露光器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板の製作、例えばポジ感光基板の製作は、図７乃至図９に示した工程を経て行われる。先ず図７に示す如く、透明なフィルム１００にパターン１０１を作成し、次に、図８に示す如く、積層板の銅箔面にポジティブ感光剤をコーティングしたポジ感光基板１０２に、前記パターン１０１を形成したフィルム１００を重ね、この状態において露光器１０３をもって紫外線による露光を行う。最後に、図９に示す如く、フィルム１００を離別させ、ポジ感光基板１０２を現像材１０４に入れて現像する。これによりパターン以外の感光膜が溶けて銅箔面が現れ、もってポジ感光基板が完成するものである。
【０００３】
そして、斯かるポジ感光基板の製作工程において用いられる前記露光器１０３は、概ね図１０乃至図１３に示す如き構成からなるものであり、二種類のものがある。即ち、図１０及び図１１に示す如く、軸断面三角形状のリフレクタ１０３Ａの中央に、該リフレクタ１０３Ａの長さ方向に沿って紫外線蛍光灯１０３Ｂを配置してなるものと、図１２及び図１３に示す如く、更に該紫外線蛍光灯１０３Ｂと被露光体である前記フィルム１００とポジ感光基板１０２との間にアクリル又はガラスからなる半透明の紫外線透過板１０３Ｃを配置してなるものである。また、該アクリル又はガラスからなる紫外線透過板１０３Ｃは、全体が半透明である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
斯かる露光器１０３による露光は、上記二種類のもののいずれの場合においても紫外線蛍光灯１０３Ｂからの直接の紫外線Ａと、リフレクタ１０３Ａから反射された紫外線Ｂ、Ｃとによって行われる。そして、この場合、紫外線ＡとＢ、Ｃとでは光量が相違し、紫外線Ｂ、Ｃは略同じ光量であるが、、紫外線蛍光灯１０３Ｂの直下の紫外線Ａはこれらよりも多量となる。このため被露光体に対する露光は、紫外線蛍光灯１０３Ｂ直下の中央部分と左右部分とで大きく異なることになる。尚、図１０乃至図１３は紫外線蛍光灯が１本の場合を例にとって説明したが、２本以上を並列して用いる場合にも、各紫外線蛍光灯の露光には同様の問題が生ずる。また、図示はしないが、リフレクタ１０３Ａとしては図示した軸断面三角形状のものの他に、軸断面半円状、半楕円状のものや略平坦なものも考えられるが、これらいずれの場合においても上記と同様の問題がある。
【０００５】
本発明は上記の点に鑑みなされたものであって、紫外線蛍光灯の直下の部分の光量を減少させる手段を備えることにより、紫外線の被露光体に対する露光を全体的に均一化させることができるようになした露光器を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
而して、本発明の要旨とするところは、リフレクタの下方中央に、該リフレクタの長さ方向に沿って紫外線蛍光灯を配置してなる露光器において、前記紫外線蛍光灯の直下の部分の光量を減少させる手段を備えたことを特徴とする露光器にある
【０００７】
また、上記露光器であって、紫外線蛍光灯と被露光体との間にアクリル又はガラスからなる紫外線透過板を配置していない露光器の場合においては、紫外線蛍光灯の直下の部分の光量を減少させる手段は、該紫外線蛍光灯の直下位置に該紫外線蛍光灯と平行して配置した、上面をサンドブラストにより粗面となした所要幅の紫外線透過制限板であるか、或いは該紫外線蛍光灯の直下位置に該紫外線蛍光灯と平行して配置した、上面に半透明のフィルタ材を重ねた所要幅の紫外線透過制限板である。
【０００８】
また、上記露光器であって、紫外線蛍光灯と被露光体との間にアクリル又はガラスからなる紫外線透過板を配置している露光器の場合においては、紫外線蛍光灯の直下の部分の光量を減少させる手段は、全体が透明である紫外線透過板の幅方向の中央部をサンドブラストにより粗面となしたこと、或いは全体が透明である紫外線透過板の幅方向の中央部に半透明のフィルタ材を重ねたことである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は上記の如き構成であり、紫外線蛍光灯の直下の部分の光量を減少させる手段を備えたものであるから、紫外線の被露光体に対する露光を全体的に均一化させることができるものである。もって、配線パターンを全体にわたって均一に形成することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る露光器を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。
【００１１】
図１は本発明の第１実施形態に係る露光器の概略的説明図、図２は下側から看た図である。図中、１は露光器であり、軸断面三角形状のリフレクタ２の下方中央に、該リフレクタ２の長さ方向に沿って紫外線蛍光灯３を配置してなるものである。即ち、該露光器１は、前記従来例として示した図１０及び図１１のものと同様に紫外線蛍光灯３と被露光体との間にアクリル又はガラスからなる紫外線透過板を配置していない構成のものである。
【００１２】
そして、該露光器１は、紫外線蛍光灯３の直下の部分の光量を減少させる手段を備えており、本実施形態においては、紫外線蛍光灯３の直下位置に該紫外線蛍光灯３と平行して配置した、上面をサンドブラストにより粗面４ａとなした所要幅の紫外線透過制限板４をもって該手段としている。尚、該紫外線透過制限板４は全体が透明なアクリル又はガラスからなり、これの上面をサンドブラストにより粗面となすものである。
【００１３】
また、該紫外線透過制限板４の上面のサンドブラストにより粗面となす部分は、該紫外線透過制限板４の長さ方向の全体にわたって行う場合に限らず、図２に示す如く中央部のみを所要の長さにわたって粗面となすようにしてもよい。
【００１４】
而して、本実施形態においては、紫外線蛍光灯３の直下位置に該紫外線蛍光灯３と平行して全体が透明なアクリル又はガラスからなる所要幅の紫外線透過制限板４を配置しており、そして該紫外線透過制限板４の上面はサンドブラストにより粗面となしているから、この粗面により紫外線蛍光灯３からの直接の紫外線Ａは乱反射し、もって紫外線蛍光灯３の直下の部分の光量を減少させることができるものである。そして、これにより紫外線ＡとＢ、Ｃとは略同一の光量となるものである。
【００１５】
次に、図３に示した本発明の第２実施形態について説明する。
本実施形態は、紫外線蛍光灯３の直下の部分の光量を減少させる手段の点において前記第１実施形態と相違するものである。即ち、本実施形態においては紫外線蛍光灯３の直下位置に、該紫外線蛍光灯３と平行して配置した、全体が透明なアクリル又はガラスからなり、上面に半透明のフイルタ材５を重ねた所要幅の紫外線透過制限板６をもって該手段としている。尚、その他の構成については前記第１実施形態と同様であるから、同一の部材には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００１６】
而して、本実施形態においては、紫外線蛍光灯３の直下位置に該紫外線蛍光灯３と平行して全体が透明なアクリル又はガラスからなる所要幅の紫外線透過制限板６を配置しており、そして該紫外線透過制限板６の上面には半透明のフィルタ材５を重ねてあるから、該半透明のフイルタ材５により紫外線蛍光灯３からの直接の紫外線Ａは透過が制限され、もって紫外線蛍光灯３の直下の部分の光量を減少させることができるものである。そして、これにより紫外線ＡとＢ、Ｃは略同一の光量となるものである。
【００１７】
次に、図４及び図５に示した本発明の第３実施形態について説明する。
本実施形態に係る露光器１は、前記図１乃至図３に示した露光器１と異なり、前記従来例として示した図１２及び図１３のものと同様のものであり、紫外線蛍光灯３と被露光体との間にアクリル又はガラスからなる紫外線透過板７を配置してなるものである。
【００１８】
そして、該露光器１は、紫外線蛍光灯３の直下の部分の光量を減少させる手段を備えており、本実施形態においては全体が透明である紫外線透過板７の幅方向の中央部をサンドブラストにより粗面７ａとなしたことをもって該手段としている。
【００１９】
また、紫外線透過板７の幅方向の中央部をサンドブラストにより粗面７ａとなす場合において、紫外線蛍光灯３に沿って紫外線透過板７の長さ方向の全体にわたって行う場合に限らず、図５に示す如く、中央部のみを所要の長さにわたって粗面となすようにしてもよい。
【００２０】
而して、本実施形態においては、紫外線蛍光灯３と被露光体との間に配置した全体が透明である紫外線透過板７の幅方向の中央部をサンドブラストにより粗面７ａとなしたものであるから、該粗面７ａにより紫外線蛍光灯３からの直接の紫外線Ａは乱反射し、もって紫外線蛍光灯３の直下の部分の光量は減少するものである。これにより紫外線透過板７を透過する紫外線ＡとＢ、Ｃとは略同一の光量となるものである。
【００２１】
次に、図６に示した本発明の第４実施形態について説明する。
本実施形態は、紫外線蛍光灯３の直下の部分の光量を減少させる手段の点において前記第３実施形態と相違するものである。即ち、本実施形態においては紫外線蛍光灯３と被露光体との間に配置したアクリル又はガラスからなる全体が透明である紫外線透過板７の幅方向の中央部に半透明のフイルタ材８を重ねたことをもって該手段としている。尚、その他の構成については前記第３実施形態と同様であるから、同一の部材には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００２２】
而して、本実施形態においては、紫外線蛍光灯３と被露光体との間に配置した全体が透明である紫外線透過板７の幅方向の中央部に重ねた半透明のフイルタ材８により紫外線蛍光灯３からの直接の紫外線Ａは透過が制限され、もって紫外線蛍光灯３の直下の部分の光量は減少するものである。これにより紫外線透過板７を透過する紫外線ＡとＢ、Ｃとは略同一の光量となるものである。
【００２３】
尚、上記実施形態においては、リフレクタとして軸断面三角形状のものを例にとって説明したが、本発明におけるリフレクタは、上記軸断面三角形状の他に、軸断面半円状、半楕円状のものや略平坦なものも使用できること勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る露光器の概略的説明図である。
【図２】同露光器の下側から看た図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る露光器の概略的説明図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る露光器の概略的説明図である。
【図５】同露光器の下側から看た図である。
【図６】本発明の第４実施形態に係る露光器の概略的説明図である。
【図７】ポジ感光基板の製作工程の説明図であり、フィルムにパターンを作成する工程を示すものである。
【図８】露光する工程を示すものである。
【図９】現像する工程を示すものである。
【図１０】従来の露光器の概略的説明図である。
【図１１】同露光器の下側から看た図である。
【図１２】従来の他の露光器の概略的説明図である。
【図１３】同露光器の下側から看た図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  露光器
２  リフレクタ
３  紫外線蛍光灯
４  紫外線透過制限板
４ａ  サンドブラストによる粗面
５  半透明のフイルタ材
６  紫外線透過制限板
７  全体が透明である紫外線透過板
７ａ  サンドブラストによる粗面
８  半透明のフイルタ材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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