(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ取付体のランドに取り付けられる取付部と、連続する複数の鍵形部と、最終段の鍵形部の先端から縦方向へ突出する針先とを含むプローブであって、
当該プローブは、前記取付部及び前記鍵形部が共通の仮想面内を伸びる板状とされ、
各鍵形部は、横方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から縦方向へ伸びる伸長部とを有しており、また初段の鍵形部のアーム部において前記取付部の前記ランドと反対側の箇所に続けられており、さらに隣り合う鍵形部のアーム部が前記伸長部に向けて互いに逆の方向へ伸びるように隣り合う鍵形部が一方の前記伸長部と他方の前記アーム部とにおいて連続され、
また、各鍵形部の前記アーム部及び前記伸長部は、それらが伸びる方向に長い長穴を有する、プローブ
【請求項２】
各鍵形部の前記アーム部は、前記縦方向における一方側の縁部及び他方側の縁部が平行に伸びる帯状の形状を有しており、また前記一方側の縁部及び前記他方側の縁部は同じ長さ寸法を有する、請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
奇数の前記鍵形部を含む、請求項１に記載のプローブ。
【請求項４】
前記取付部は、前記ランドに取り付けられる取付面を有する座部と、該座部から前記縦方向に伸びる延長部とを備え、奇数段目の前記伸長部は前記延長部から前記横方向に間隔をおいて前記縦方向へ伸びる仮想直線上に位置されている、請求項３に記載のプローブ。
【請求項５】
偶数の前記鍵形部を含み、前記取付部は、前記ランドに取り付けられる取付面を有する座部と、該座部から前記縦方向に伸びる延長部とを備え、偶数番目の前記伸長部は前記延長部が伸びる仮想直線上に位置されている、請求項１に記載のプローブ。
【請求項６】
板状又はシート状のプローブ取付体であって少なくとも１つのプローブ配置領域を一方の面に有しかつ前記プローブ配置領域内に複数のランドを有するプローブ取付体と、請求項１から５のいずれか１項に記載された複数のプローブであって平面的に見て前記プローブ配置領域内に位置された複数のプローブとを含み、
少なくとも１つのプローブの少なくとも１つのアーム部は、少なくとも１つの他のプローブのアーム部から前記他のプローブの前記取付部の側又は前記伸長部の側に間隔をおいて前記他のプローブの前記アーム部を横切る方向へ伸びている、電気的接続装置。
【請求項７】
前記プローブ配置領域は矩形の領域であり、前記少なくとも１つのプローブの前記針先は前記矩形の隣り合う２つの辺が交差する隅角部又はその近傍に位置されている、請求項６に記載の電気的接続装置。
【請求項８】
板状又はシート状のプローブ取付体であって少なくとも１つのプローブ配置領域を一方の面に有しかつ前記プローブ配置領域内に複数のランドを有するプローブ取付体と、請求項１から５のいずれか１項に記載された複数の第１のプローブであって平面的に見て前記プローブ配置領域内に位置された複数の第１のプローブと、平面的に見て前記プローブ配置領域内に位置された複数の第２のプローブとを含み、
各第２のプローブは、前記ランドから前記プローブ配置領域と交差する縦方向に伸びる取付部であってこれの一端部において前記ランドに取り付けられた取付部と、該取付部の他端部から横方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から前記取付部の側と反対側に伸びる伸長部と、該伸長部の先端側に設けられた針先とを有し、
少なくとも１つの第１又は第２のプローブの前記アーム部は、少なくとも１つの他のプローブの前記アーム部から前記他のプローブの前記取付部の側又は前記伸長部の側に間隔をおいて前記他のプローブの前記アーム部を横切る方向又はそのアーム部が伸びる方向へ伸びている、電気的接続装置。
【請求項９】
前記プローブ配置領域は矩形の領域であり、前記少なくとも１つの第１又は第２のプローブの前記針先は前記矩形の隣り合う２つの辺が交差する隅角部又はその近傍に位置されている、請求項８に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板状の被検査体の電気的試験に用いるプローブ及びこれを用いた電気的接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路のような平板状の半導体要素すなわち被検査体は、それが仕様書通りに製造されているか否かの電気的試験をされる。この種の試験すなわち検査は、被検査体の電極に個々に押圧される複数の接触子すなわちプローブを備えた、プローブカード、プローブブロック、プローブユニット等、電気的接続装置を用いて行われる。この種の電気的接続装置は、被検査体の電極と、テスターの電気回路とを電気的に接続するために利用される。
【０００３】
この種の電気的接続装置の１つとして、特許文献１に記載されているように、複数のプローブを、配線基板、プローブ基板、プローブシート等のプローブ取付体の平坦な装着部すなわちランドに片持ち梁状に装着したものがある。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５―２０３６０６号公報
【０００５】
上記従来の電気的接続装置において、各プローブは、上記ランドから該ランドと交差する縦方向に伸びる座部すなわち取付部であってこれの一端部において前記ランドに導電性接着剤により取り付けられた取付部と、該取付部の他端部から横方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から前記取付部の側と反対側に伸びる伸長部と、該伸長部の先端側に設けられた針先とを有する。
【０００６】
各プローブは、針先が被検査体の電極に押圧されたとき、アーム部において弾性変形して、針先が被検査体の電極に対し所定量滑り、その電極に擦り作用を与える。
【０００７】
一方、被検査体としての半導体要素すなわち集積回路は、今後小型化及び高密度化されて、各集積回路の電極数を少なくすることなく、電極の配置密度を高くすることを要求される。そのような集積回路の電気的試験に用いる電気的接続装置においては、各集積回路用のプローブの配置領域が狭くなるから、各プローブの横方向長さ寸法を小さくせざるを得ない。
【０００８】
しかし、従来の上記プローブでは、横方向長さ寸法を小さくすると、アーム部の横方向長さ寸法が小さくなる。そのようなプローブでは、アーム部の剛性が大きくなる（弾力性が不足する）から、針先が所定のオーバードライブで被検査体の電極に押圧されたとき、電極に対する針先の押圧力すなわち針圧が大きくなりすぎ、またアーム部において折損することがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、横方向長さ寸法が小さくても、針圧が小さいプローブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るプローブは、プローブ取付体のランドに取り付けられる取付部と、連続する複数の鍵形部と、最終段の鍵形部の先端から縦方向へ突出する針先とを含む。各鍵形部は、横方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から縦方向へ伸びる伸長部とを有しており、また初段の鍵形部のアーム部において前記取付部の前記ランドと反対側の箇所に続けられており、さらに隣り合う鍵形部のアーム部が前記伸長部に向けて互いに逆の方向へ伸びるように隣り合う鍵形部が一方の前記伸長部と他方の前記アーム部とにおいて連続されている。
【００１１】
当該プローブは、前記取付部及び前記鍵形部が共通の仮想面内を伸びる板状とされていてもよい。
【００１２】
各鍵形部の前記アーム部及び前記伸長部は、それらが伸びる方向に長い長穴を有することができる。
【００１３】
各鍵形部の前記アーム部は、前記縦方向における一方側の縁部及び他方側の縁部が平行に伸びる帯状の形状を有しており、また前記一方側の縁部及び前記他方側の縁部は同じ長さ寸法を有することができる。
【００１４】
奇数の前記鍵形部を含むことができる。また、前記取付部は、前記ランドに取り付けられる取付面を有する座部と、該座部から前記縦方向に伸びる延長部とを備え、奇数段目の前記伸長部は前記延長部から前記横方向に間隔をおいて前記縦方向へ伸びる仮想直線上に位置されていてもよい。
【００１５】
当該プローブは、偶数の前記鍵形部を含むことができる。この場合、前記取付部は、前記ランドに取り付けられる取付面を有する座部と、該座部から前記縦方向に伸びる延長部とを備えていてもよく、また偶数番目の前記伸長部は前記延長部が伸びる仮想直線上に位置されていいてもよい。
【００１６】
本発明に係る電気的接続装置は、板状又はシート状のプローブ取付体であって少なくとも１つのプローブ配置領域を一方の面に有しかつ前記プローブ配置領域内に複数のランドを有するプローブ取付体と、上記のような複数のプローブであって平面的に見て前記プローブ配置領域内に位置された複数のプローブとを含む。少なくとも１つのプローブの少なくとも１つのアーム部は、少なくとも１つの他のプローブのアーム部から前記他のプローブの前記取付部の側又は前記伸長部の側に間隔をおいて前記他のプローブの前記アーム部を横切る方向へ伸びている。
【００１７】
本発明に係る他の電気的接続装置は、板状又はシート状のプローブ取付体であって少なくとも１つのプローブ配置領域を一方の面に有しかつ前記プローブ配置領域内に複数のランドを有するプローブ取付体と、上記のような複数の第１のプローブであって平面的に見て前記プローブ配置領域内に位置された複数の第１のプローブと、平面的に見て前記プローブ配置領域内に位置された複数の第２のプローブとを含む。各第２のプローブは、前記ランドから前記プローブ配置領域と交差する縦方向に伸びる取付部であってこれの一端部において前記ランドに取り付けられた取付部と、該取付部の他端部から横方向へ伸びるアーム部と、該アーム部の先端部から前記取付部の側と反対側に伸びる伸長部と、該伸長部の先端側に設けられた針先とを有する。少なくとも１つの第１又は第２のプローブの前記アーム部は、少なくとも１つの他のプローブの前記アーム部から前記他のプローブの前記取付部の側又は前記伸長部の側に間隔をおいて前記他のプローブの前記アーム部を横切る方向又はそのアーム部が伸びる方向へ伸びている。
【００１８】
上記いずれの電気的接続装置においても、前記プローブ配置領域は矩形の領域であり、前記少なくとも１つのプローブの前記針先は前記矩形の隣り合う２つの辺が交差する隅角部又はその近傍に位置されていてもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、連続する複数の鍵形部、ひいては縦方向に間隔をおいた複数のアームが備えられており、しかも隣り合う鍵形部のアーム部が伸長部から互いに逆の方向へ伸びているから、針先が所定のオーバードライブ（押圧力）で被検査体の電極に押圧されたとき、各アーム部において弾性変形する。その結果、横方向長さ寸法が小さくなって、各アーム部の剛性が大きくなっても、総弾性変形量が大きくなって針圧が小さくなり、アーム部における折損が防止される。
【００２０】
また、鍵形部の数が偶数であると、電極に対する針先の滑りが隣り合うアーム部における弾性変形により減殺されて、電極に対する針先の滑り量は小さい。しかし、鍵形部の数が奇数であると、隣のアームにより減殺されない滑りが存在するから、電極に対する針先の滑り量が大きくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
［用語の説明］
【００２２】
以下の実施例の説明において、上下方向とは、図２における上下方向のことをいう。しかし、本発明でいう上下方向は、プローバに対する検査時の被検査体の姿勢により異なる。したがって、本発明でいう上下方向は、実際の検査装置（テスター）に応じて、上下方向、その逆の方向、水平方向、及び水平面に対し傾斜する傾斜方向のいずれかの方向となるように決定してもよい。
【００２３】
［プローブの実施例の説明］
【００２４】
図１を参照するに、プローブ１０は、未切断の矩形をした複数の集積回路すなわち被検査領域をマトリクス状に有する半導体ウエーハを平板状の被検査体１２とする。そのような被検査体１２は、その上面に所定の配置ピッチで配置された複数のパッド電極１４を有している。
【００２５】
プローブ１０は、プローブ取付体１６のランド１８に取り付けられる取付部２０と、取付部２０の下端部に一体的に続く複数の鍵形部２２と、最終段の鍵形部２２に一体的に続きかつ最終段の鍵形部２２の先端から縦方向（下方）へ突出する針先２４とを含む。取付体１６については、複数のプローブ１０を用いる電気的接続装置６０に関連して後に詳細に説明する。
【００２６】
取付部２０は、座部２６と、座部２６から下方へ伸びる延長部２８とを有しており、また座部２６の上端部において半田のような導電性接着剤により対応するランド１８に接着されている。
【００２７】
図示の例では、それぞれが横方向へ伸びるアーム部３０と、アーム部３０に一体的に続きかつアーム部３０の先端部から縦方向へ伸びる伸長部３２とを有するＬ字状をした２つの鍵形部２２を有している。
【００２８】
各鍵形部２２は、初段の鍵形部２２のアーム部３０において延長部２８の下端部に続けられており、また隣り合う鍵形部２２のアーム部３０が伸長部３２から互いに逆の方向へ伸びるように隣り合う鍵形部２２が一方の伸長部３２と他方のアーム部３０とにおいて連続されている、
【００２９】
延長部２８、各アーム部３０及び伸長部３２のそれぞれは、帯板状の形状を有している。延長部２８、各アーム部３０、及び初段の伸長部３２のそれぞれは、それぞれの長手方向に長い長穴３４を有している。
【００３０】
プローブ１０は、導電性材料により板状をしたブレード針とされている。プローブ１０は、総縦方向長さ寸法Ｌ０と、総横方向長さ寸法Ｗ０とを有する。図示の例では、延長部２８，各アーム部３０及び各伸長部３２の幅寸法及び厚さ寸法は同じとされている。しかし、それらの幅寸法及び厚さ寸法は異なっていてもよい。
【００３１】
プローブ１０の伸長部３２は針先部として作用する。針先２４の幅寸法及び厚さ寸法は、延長部２８，各アーム部３０及び各伸長部３２の厚さ寸法同じとすることができる。しかし、針先２４の幅寸法及び厚さ寸法の少なくとも一方を、延長部２８等の厚さ寸法より小さくしてもよい。
【００３２】
プローブ１０は、電気的接続装置に組み立てられて、テスターに取り付けられた状態で、針先２４を被検査体１２の電極１４に所定のオーバードライブ（押圧力）で押圧される。これにより、プローブ１０は、縦方向に間隔をおいた複数のアーム３０を備えており、しかも隣り合うアーム部３０が伸長部３２から互いに逆の方向へ伸びているから、図１に破線で示すように、各アーム部３０において弾性変形する。
【００３３】
上記の結果、プローブ１０においては、その総縦方向長さ寸法は従来のプローブのそれとほぼ同じにしても、総横方向長さ寸法Ｗ０は従来のプローブのそれの１０分の１から５分の１の０．１ｍｍから０．５ｍｍ程度とすることができる。
【００３４】
上記のように横方向長さ寸法Ｗ０が小さくなって、各アーム部３０の剛性が大きくなっても、総弾性変形量が大きくなって針圧が小さくなり、アーム部３０における折損が防止される。
【００３５】
上記の実施例においては、プローブ１０は、２つに鍵形部２２を備えているが、３以上の鍵形部２２を備えていてもよい。
【００３６】
しかし、鍵形部２２の数が偶数であると、電極１４に対する針先２４の滑りが隣り合うアーム部３０における弾性変形により減殺されて、電極１４に対する針先３０の滑り量は小さい。
【００３７】
これに対し、鍵形部２２の数が奇数であると、隣のアーム部３０の弾性変形により減殺されない滑りが存在するから、電極１４に対する針先２４の滑り量が大きくなる。
【００３８】
図２に示すプローブ４０は３つの鍵形部２２を備えている。これに対し、図３に示すプローブ５０は５つの鍵形部２２を有している。
【００３９】
図３に示すプローブ５０においては、アーム部３０のうち、アームとして有効に作用する上下の縁部の有効横方向長さ寸法Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５は、全てのアーム部３０で同じとしてもよいし、アーム部３０毎に異なる値としてもよい。
【００４０】
同様に、図１及び２に示すプローブ１０及び４０においても、アーム部３０の上下の縁部の有効横方向長さ寸法を、全てのアーム部３０で同じとしてもよいし、アーム部３０毎に異なる値としてもよい。
【００４１】
［電気的接続装置の実施例の説明］
【００４２】
図４から図７を参照するに、電気的接続装置６０は、３つの鍵形部２２を備える図２に示す複数のプローブ４０を用い、また未切断の矩形をした複数の集積回路すなわち被検査領域をマトリクス状に有する半導体ウエーハを平板状の被検査体１２とし、そのような複数の被検査領域の通電試験を同時に又は複数回に分けて行うことができるように構成されている。
【００４３】
各被検査領域は、矩形の各辺に所定の配置ピッチで一列に配置された複数のパッド電極１４を上面に有している。各被検査領域の電極１４は、矩形の辺に個々に対応された４つのグループに分けられている。各グループの電極１４は、対応する辺の延在方向に間隔をおいて一列に配置されている。このため、電極１４は矩形の４つの隅角部のそれぞれにも配置されている。
【００４４】
接続装置６０において、取付体１６は、上面及び下面を有する板状又はシート状のものであり、また配線基板、プローブ基板、プローブシート等のように、複数のプローブ４０を取り付けるために絶縁材料で製作された基板又はシートである。図示の例では、取付体１６は配線基板である。
【００４５】
取付体１６が配線基板である場合、取付体１６は、テスターの電気回路に接続される導電性の複数のテスターランドを上面の周縁部に有していると共に、プローブ４０を取り付けるための平坦な複数の取付部すなわち取付ランド１８を下面に有しており、またテスターランドと取付ランド１８とを一対一の形に電気的に接続する複数の配線を内部に有している。
【００４６】
取付体１６がプローブ基板である場合、取付体１６は、配線基板の配線に電気的に接続される平坦な導電性の複数の接続ランドを上面に有すると共に、プローブ４０を取り付けるための平坦な複数の取付ランド１８を下面に有しており、また接続ランドと取付ランド１８とを一対一の形に電気的に接続する複数の配線を内部に有している。
【００４７】
取付体１６がプローブ基板の場合、配線基板とプローブ基板とは、これらを厚さ方向に貫通する複数の位置決めピンにより相対的位置決めをされて、複数のねじ部材により相互に結合されている。
【００４８】
取付体１６がプローブシートである場合、取付体１６は、配線基板、プローブ基板等の配線に電気的に接続される平坦な導電性の複数の接続ランドを上面に有すると共に、プローブ４０を取り付けるための平坦な複数の取付ランド１８を下面に有しており、また接続ランドと取付ランド１８とを一対一の形に電気的に接続する複数の配線を内部に有している。
【００４９】
取付体１６がプローブシートの場合、取付体１６は、配線基板、プローブ基板、支持体等の支持部材に取り付けられて、それに支持される。
【００５０】
取付体１６は、その下面に複数のプローブ配置領域６２を有する。それらのプローブ配置領域６２は、同時に試験すべき集積回路（被検査領域）毎に１対１の関係に割り当てられたている。図は、１つの集積回路用の矩形のプローブ配置領域６２を示すにすぎないが、実際には同時に試験することができる集積回路数と同数の複数のプローブ配置領域６２が備えられている。
【００５１】
各プローブ配置領域６２は、複数のプローブ４０を配置する領域であり、対応する集積回路に備えられている電極数と同数の取付ランド１８を備えている。各ランド１８は、プローブ４０の座部２６を導電性接着剤で取り付けるように、導電性材料で長方形の形状に作られている。各プローブ配置領域６２に配置された複数のプローブ４０は、平面的に見て対応するプローブ配置領域６２内に位置されている。
【００５２】
各被検査領域のランド１８は、矩形（プローブ配置領域６２）の辺に個々に対応された４つのグループに分けられている。各グループのランド１８は、対応する辺が延在する方向に間隔をおいて一列に配置されて、被検査体１２の電極１４に個々に対応されている。
【００５３】
プローブ４０は、矩形の辺に個々に対応されて針先２４が対応する辺と平行の仮想直線上に位置された４つのグループに分けられている。各グループのプローブ４０は、被検査体１２の対応する電極１４に個々に対応されて、針策２４が対応する電極１４と対向可能に取付体１６に配置されている。
【００５４】
針先２４が矩形の隅角部に位置された各隅角プローブ４０ａは、いずれか１つのグループに属するが、いずれのグループにも属さないようにしてもよいし、矩形の隣り合う２つの辺に対応された２つのグループに共通に属するようにしてもよい。しかし、各隅角プローブ４０ａは、矩形の対向する一対の辺の一方が延在する方向にアーム部３０が伸びるように、対応するランド１８に取り付けられている。
【００５５】
針先２４が矩形の隅角部の近傍に位置された各近傍プローブ４０ｂは、図示の例では、矩形の他の対向する一対の辺に対応されたいずれか１つグループに属しており、また対応する辺が延在する方向にアーム部３０が伸びるように、対応するランド１８に取り付けられている。
【００５６】
図示の例では、針先２４を隅角部の近傍とされた１つの近傍プローブ４０ｂが各隅角部の近傍に配置されている。針先２４が矩形の対向する一対の辺に位置された他のプローブ４０ｃ及び４０ｄのそれぞれは、矩形のいずれかの辺に対応するグループに属しており、またアーム部３０が矩形の対応する辺を横切る方向に伸びるように、対応するランド１８に取り付けられている。
【００５７】
各隅角プローブ４０ａの最終段のアーム部３０は、その隅角プローブ４０ａが属するグループの少なくとも１つの他のプローブ４０ｃの最終段のアーム部３０の上側を他のプローブ４０ｃの最終段のアーム部３０を横切る方向へ伸びている。
【００５８】
上記のことから、各隅角プローブ４０ａの最終段のアーム部３０の下端から針先２４までの長さ寸法は他のプローブ４０ｃのそれより大きく、各隅角プローブ４０ａの座部２６の上端から最終段のアーム部３０の上端までの長さ寸法は他のプローブ４０ｃのそれより小さい。
【００５９】
各近傍プローブ４０ｂの最終段のアーム部３０は、その近傍プローブ４０ｂが属するグループの少なくとも１つの他のプローブ４０ｄのアーム部３０の上側をそれら他のプローブ４０ｄを横切る方向へ伸びている。
【００６０】
上記のことから、各近傍プローブ４０ｂの最終段のアーム部３０の下端から針先２４までの長さ寸法は他のプローブ４０ｄのそれより大きく、各近傍プローブ４０ｂの座部２６の上端から最終段のアーム部３０の上端までの長さ寸法は他のプローブ４０ｄのそれより小さい。
【００６１】
矩形の各隅角部の近くに複数の近傍プローブ４０ｂが配置されている場合、針策２４が最も隅角部の近くに位置された各近傍プローブ４０ｂは、例えばその最終段のアーム部３０が他の近傍プローブ４０ｂの最終段のアーム部３０の上側をその他の近傍プローブ４０ｂのアーム部３０の長手方向へ伸びるように、配置することができる。
【００６２】
上記のようにするためには、針先２４が最も隅角部の近くに位置された各最近傍プローブ４０ｂの最終段のアーム部３０の下端から針先２４までの長さ寸法を他の近傍プローブ４０ｂのそれより大きくし、各最近傍プローブ４０ｂの座部２６の上端から最終段のアーム部３０の上端までの長さ寸法を他の近傍プローブ４０ｂのそれより小さくすればよい。
【００６３】
電気的接続装置６０は、針先２４が下方側となる状態に、テスターに取り付けられる。テスターに取り付けられた状態において、電気的接続装置６０は、各プローブ４０の針先２４を被検査体１２のパッド電極１４に押圧される。
【００６４】
これにより、オーバードライブが各プローブ４０に作用し、各プローブ４０はアーム部３０において弾性変形する。この状態で、テスターから取付体１６のランド１８を介して、所定のプローブ４０に通電され、所定のプローブ４０から電気信号がテスターの電気回路に返される。
【００６５】
電気的接続装置６０においては、隅角プローブ４０ａ及び近傍プローブ４０ｂのアーム部３０がそれぞれ他のプローブ４０ｃ及び４０ｄのアーム部３０と干渉しない。その結果、各プローブ４０が横方向へ伸びるアーム部３０を有するにもかかわらず、１つの集積回路の電極数と同数のプローブ４０をその集積回路に対応する大きさのプローブ配置領域６２内に配置することができる。
【００６６】
電気的接続装置６０においては、また、プローブ４０が矩形の隅角部及びその近傍にも配置されるから、電極１４が矩形の隅角部及びその近傍にも配置された被検査体１２の試験にも用いることができる。
【００６７】
電気的接続装置６０においては、さらに、プローブ４０の横方向長さ寸法を小さくすることができる。
【００６８】
隅角プローブ４０ａ及び近傍プローブ４０ｂの最終段のアーム部３０は、上記実施例では、それぞれ、他のプローブ４０ｄ及び４０ｃの最終段のアーム部３０の上側を横方向に伸びているが、他のプローブ４０ｄ及び４０ｃの最終段のアーム部３０の下側を横方向に伸びていてもよい。
【００６９】
また、図示の例では、隅角プローブ４０ａ及び近傍プローブ４０ｂの両者を備えているが、それらの一方のみを備えていてもよい。
【００７０】
さらに、各プローブ４０の針先２４を矩形の辺と平行の仮想直線上に位置させる代わりに、アーム部３０が少なくとも1つの他のプローブ４０のアーム部３０を横切る方向へ伸びている少なくとも1つのプローブ４０を備えていてもよい。
【００７１】
図８を参照するに、電気的接続装置７０は、各近傍プローブとして、図９に示すプローブ７２を用いている。各近傍プローブ７２は、ランド１８から縦方向に伸びる取付部２０と、取付部２０の下端部に一体的に続く１つの鍵形部２２と、鍵形部２２に一体的に続きかつ鍵形部２２の下端から下方に突出する針先２４とを有する。
【００７２】
近傍プローブ７２の取付部２０は、プローブ４０の取付部２０と同様に、座部２６と、座部２６から下方へ伸びる延長部２８とを有しており、また座部２６の上端部において半田のような導電性接着剤により対応するランド１８に接着されている。
【００７３】
近傍プローブ７２の鍵形部２２は、プローブ４０の鍵形部２２と同様に、横方向へ伸びるアーム部３０と、アーム部３０に一体的に続きかつアーム部３０の先端部から縦方向へ伸びる伸長部３２とを有している。
【００７４】
各近傍プローブ７２のアーム部３０は、その近傍プローブ７２が属するグループの少なくとも１つの他のプローブ４０ｃ又は４０ｄの最終段のアーム部３０の上側をそれら他のプローブ４０ｃ又は４０ｄの最終段のアーム部３０を横切る方向へ伸びている。
【００７５】
上記のことから、各近傍プローブ７２のアーム部３０の下端から針先２４までの長さ寸法は他のプローブ４０ｃ又は４０ｄのそれより大きく、各近傍プローブ７２の座部２６の上端から最終段のアーム部３０の上端までの長さ寸法は他のプローブ４０ｃ又は４０ｄのそれより小さい。
【００７６】
各隅角プローブ４０ａの最終段のアーム部３０は、その隅角プローブ４０ａが属するグループの少なくとも近傍プローブ７２の最終段のアーム部３０の上側を近傍プローブ７２の最終段のアーム部３０を伸びる方向へ伸びている。
【００７７】
上記のことから、各隅角プローブ４０ａの最終段のアーム部３０の下端から針先２４までの長さ寸法は近傍プローブ７２のそれより大きく、各隅角プローブ４０ａの座部２６の上端から最終段のアーム部３０の上端までの長さ寸法は近傍プローブ７２のそれより小さい。
【００７８】
電気的接続装置７０も、電気的接続装置６０と同様にして、被検査体１２の電気的試験に用いられる。
【００７９】
電気的接続装置６０及び７０は、いずれも、図２に示すプローブ４０の代わりに、図１又は図３に示すプローブ４０又は５０、若しくは図１又は図３に示すプローブ４０又は５０と図９に示すプローブ７２とを用いてもよい。
【００８０】
上記実施例において、ブレードタイプのプローブとする代わりに、導電性金属細線を用いたニードルタイプのプローブとしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載の趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明に係るプローブの一実施例を示す図である。
【図２】本発明に係るプローブのたの実施例を示す図である。
【図３】本発明に係るプローブのさらに他の実施例を示す図である。
【図４】図２に示すプローブを用いた電気的接続装置の一実施例を示す底面図である。
【図５】図４示す電気的接続装置を図４における矢印５方向から見た斜視図である。
【図６】図４示す電気的接続装置を図４における矢印６方向から見た図である。
【図７】図４示す電気的接続装置を図４における矢印７方向から見た図である。
【図８】電気的接続装置の他の実施例を示す、図５と同様に視図である。
【図９】図８示す電気的接続装置の一部に用いるプローブの実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００８３】
１０，４０，５０，７２  プローブ
１２  被検査体
１４  パッド電極
１６  プローブ取付体
１８  取付ランド
２０  取付部
２２  鍵形部
２４  針先
２６  座部
２８  延長部
３０  アーム部
３２  伸長部
３４  長穴
４０ａ  隅角プローブ
４０ｂ  近傍プローブ
４０ｃ，４０ｄ  他のプローブ
６２  プローブ配置領域
【図１】
0005096825.tif 000002
【図２】
0005096825.tif 000003
【図３】
0005096825.tif 000004
【図４】
0005096825.tif 000005
【図５】
0005096825.tif 000006
【図６】
0005096825.tif 000007
【図７】
0005096825.tif 000008
【図８】
0005096825.tif 000009
【図９】
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