【手続補正書】
【提出日】平成30年5月14日(2018.5.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのパラメータ（ｘ，ｙ）のパラメータ範囲（１５０）で、前記少なくとも１つのパラメータ（ｘ，ｙ）に応じた補正光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）を求める方法であって、
測定を実行するステップであり、前記測定は、空間分解センサ（１４１，１４３）を用いて実行される放射線測定であり、前記空間分解センサ（１４３）は種々の測定位置に配置され、前記空間分解センサ（１４１）は複数の部分センサを有し、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値を前記パラメータ範囲（１５０）の複数の別個の非重複部分領域（１５１）で提供するステップと、
前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値を滑らかな関数と前記パラメータ範囲（１５０）の前記部分領域（１５１）に割り当てられた部分領域関数とにより近似する近似を用いて、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値の補正を実行するステップと、
を含み、前記滑らかな関数を用いて、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の推移を前記パラメータ範囲（１５０）において再現可能であり、
前記部分領域関数を用いて、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の個別変化を前記パラメータ範囲（１５０）の前記部分領域（１５１）で引き起こすことができる方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、
前記少なくとも１つのパラメータは空間座標（ｘ，ｙ）である方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の方法において、
前記パラメータ範囲は像視野（１５０）を表す方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法において、
前記部分領域関数を用いて、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）を関連する部分領域（１５１）それぞれで同じ値だけ変更可能である方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法において、
前記補正は前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の補正値の形成を含む方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法において、
前記近似は前記部分領域関数の係数を求めることを含み、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値を前記部分領域関数の前記係数を用いて補正する方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の方法において、前記近似は、
部分領域関数及び前記滑らかな関数の基底関数から関数行列を形成するステップと、
前記関数行列の擬似逆行列を形成するステップと、
前記関数行列の前記擬似逆行列に前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値のベクトルを乗算して、前記部分領域関数の係数及び前記滑らかな関数の前記基底関数の係数を含む係数ベクトルを形成するステップと
を含む方法。
【請求項８】
請求項７に記載の方法において、
前記補正は、
部分領域関数の行列に前記部分領域関数の係数のベクトルを乗算して積を形成するステップと、
前記積を前記積の平均値を除いて前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値のベクトルから減算するステップと
を含む方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法において、
ゼロ平均値を有する部分領域関数を利用する方法。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の方法において、前記近似及び前記補正は、
部分領域関数及び前記滑らかな関数の基底関数から関数行列を形成するステップと、
前記関数行列の前記擬似逆行列を形成するステップと、
前記関数行列の前記擬似逆行列から、前記部分領域関数の係数を生成可能にする部分行列を形成するステップと、
部分領域関数の行列に前記部分行列を乗算して積を形成するステップと、
前記積を恒等行列から減算して補正行列を形成するステップと、
前記補正行列に前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値のベクトルを乗算するステップと
を含む方法。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の方法において、
前記補正は、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の近似推移の形成を含む方法。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の方法において、
前記補正は、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の少なくとも１つの補完値の形成を含み、
前記光学変数の前記補完値は、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値が得られない前記少なくとも１つのパラメータの値に属する方法。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の方法において、
前記近似及び前記補正は、
部分領域関数及び前記滑らかな関数の基底関数から関数行列を形成するステップと、
前記関数行列の前記擬似逆行列を形成するステップと、
前記関数行列の前記擬似逆行列から、前記滑らかな関数の前記基底関数の係数を生成可能にする部分行列を形成するステップと、
前記滑らかな関数の基底関数の行列に前記部分行列を乗算して推移生成行列を形成するステップと、
前記推移生成行列に前記光学変数（Ｚ２、Ｚ３、Ｚ４）の測定値のベクトルを乗算するステップと
を含む方法。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか１項に記載の方法において、
前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値を、前記パラメータ範囲（１５０）の少なくとも１つのさらに別の部分領域（１５２）で提供し、該さらに別の部分領域（１５２）は、前記別個の非重複部分領域（１５１）の少なくとも１つと重複し、前記近似を、前記さらに別の部分領域（１５２）に割り当てられたさらに別の部分領域関数で実行し、該さらに別の部分領域関数を用いて、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の個別変化を前記パラメータ範囲（１５０）の前記さらに別の部分領域（１５２）で引き起こすことができる方法。
【請求項１５】
光学系（１００，１０１）の結像光学ユニット（１３０）を調整する方法であって、
前記結像光学ユニット（１３０）からの放射線（１１５）によって照射され得る空間分解センサ（１４１，１４３）を用いて、補正光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）を求めるために請求項１〜１４のいずれか１項に記載の方法を実行し、
前記結像光学ユニット（１３０）を、前記補正光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）に基づいて調整する方法。
【請求項１６】
少なくとも１つのパラメータ（ｘ，ｙ）のパラメータ範囲（１５０）で前記少なくとも１つのパラメータ（ｘ，ｙ）に応じた補正光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）を求める装置であって、
前記パラメータ範囲（１５０）の複数の別個の非重複部分領域（１５１）で前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値を提供することができる、空間分解センサ（１４１，１４３）を用いる放射線測定装置（１４１，１４３，１６０）であって、前記空間分解センサ（１４３）は種々の測定位置に配置され、前記空間分解センサ（１４１）は複数の部分センサを有する、放射線測定装置（１４１，１４３，１６０）と、
前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値を補正する評価デバイス（１６０）であり、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値を滑らかな関数と前記部分領域（１５１）に割り当てられた部分領域関数とにより近似する近似を用いて補正を実行するよう具現された評価デバイス（１６０）と
を備え、前記滑らかな関数を用いて、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の推移を前記パラメータ範囲（１５０）において再現可能であり、
前記部分領域関数を用いて、前記光学変数（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の個別変化を前記パラメータ範囲（１５０）の前記部分領域（１５１）で引き起こすことができる装置。
【請求項１７】
２つの空間座標（ｘ，ｙ）に応じた複数の補正波面収差（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）を像視野（１５０）で求める方法であって、
空間分解センサ（１４１，１４３）を用いて放射線測定を実行するステップであり、前記複数の波面収差（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値を前記像視野（１５０）の複数の別個の非重複部分領域（１５１）で提供するステップと、
前記波面収差（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値を前記波面収差（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）に割り当てられた複数の滑らかな関数と前記像視野（１５０）の前記部分領域（１５１）に割り当てられた部分領域関数とにより近似する近似を用いて、前記複数の波面収差（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値の共通補正を実行するステップと
を含み、前記滑らかな関数を用いて、前記像視野（１５０）における前記複数の波面収差（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の推移を再現可能であり、
前記部分領域関数を用いて、前記複数の波面収差（Ｚ２，Ｚ３，Ｚ４）の測定値に対する前記空間分解センサ（１４１，１４３）の不正確な位置決めの影響を再現可能である方法であって、
前記空間分解センサ（１４３）は種々の測定位置に配置され、又は前記空間分解センサ（１４１）は複数の部分センサを有する方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の方法において、
前記補正は、
前記複数の波面収差の補正値の形成、
前記複数の波面収差の近似推移の形成、
前記波面収差の少なくとも１つの、前記波面収差の測定値が得られない空間座標に属する少なくとも１つの補完値の形成
の少なくとも１つを含む方法。