【手続補正書】
【提出日】平成30年10月16日(2018.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨物品を形成する方法であって、
第１の材料と第２の材料の混合物を含む研磨物品の研磨要素を形成することを含み、前記研磨要素を形成することは、
所定の第１の堆積パターンにしたがって、表面全体に第１の材料前駆体の複数の液滴を配置することと、
所定の第２の堆積パターンにしたがって、前記表面全体に第２の材料前駆体の複数の液滴を配置することと、
電磁放射に露出することによって前記第１の材料前駆体と前記第２の材料前駆体の配置された液滴を部分的に硬化して、部分的に硬化されたポリマー層を形成すること
を順に繰り返すことを含み、
前記第２の材料前駆体の組成物は、前記第１の材料前駆体の組成物と異なり、
前記第１の材料前駆体と前記第２の材料前駆体はそれぞれ、一又は複数の樹脂成分と硬化剤とを含み、
前記第１の材料前駆体の少なくともいくつかの液滴と、前記第２の材料前駆体の少なくともいくつかの液滴は、間で部分的に混合可能なように交互に配置される、方法。
【請求項２】
前記第１の材料前駆体の一又は複数の樹脂成分の少なくとも一つが第１のオリゴマーを含み、  前記第２の材料前駆体の一又は複数の樹脂成分の少なくとも一つが第２のオリゴマーを含み、前記第１のオリゴマーと前記第２のオリゴマーがそれぞれ、多官能性ウレタンオリゴマー、ポリエステルアクリレートオリゴマー、ポリエーテルアクリレートオリゴマー、エポキシアクリレートオリゴマー、及びそれらの組み合わせから成る群から選択される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１の材料前駆体の前記一又は複数の樹脂成分の一つが、一官能性アクリレートモノマー、多官能性アクリレートモノマー、及びそれらの組み合わせから成る群から選択されたモノマーである、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の材料前駆体の前記硬化剤が、ベンゾインエーテル、ベンジルケタール、アセチルフェノン、アルキルフェノン、及びホスフィンオキシド、ベンゾフェノン化合物、チオキサントン化合物、及びそれらの組み合わせから成る群から選択された光開始剤を含み、
前記第２の材料前駆体の前記硬化剤が、ベンゾインエーテル、ベンジルケタール、アセチルフェノン、アルキルフェノン、及びホスフィンオキシド、ベンゾフェノン化合物、チオキサントン化合物、及びそれらの組み合わせから成る群から選択された光開始剤を含む、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記第１の材料前駆体中の前記第１のオリゴマー対前記モノマーの重量比率が、約３：１から約１：３の間である、請求項３に記載の方法。
【請求項６】
前記第１の材料前駆体の配置された前記液滴のそれぞれを部分的に硬化した結果、前記液滴は、先に形成されたアクリレートポリマー層の表面に対して約５０度以上の接触角を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第１の材料前駆体と前記第２の材料前駆体の配置された前記液滴を部分的に硬化することがさらに、その下に配置された前記先に形成されたアクリレートポリマー層を硬化する、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記第１の材料前駆体が、約４０℃より高いガラス遷移温度を有する樹脂前駆体成分を、前記第２の材料前駆体よりも多く含み、
前記第２の材料前駆体が、約４０℃より低いガラス遷移温度を有する樹脂前駆体成分を、前記第１の材料前駆体よりも多く含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記第１の材料前駆体の前記一又は複数の樹脂成分が、多官能性ウレタンアクリレートオリゴマーと多官能性アクリレートモノマーとを含み、
前記第２の材料前駆体の前記一又は複数の樹脂成分の少なくとも一つが、多官能性ウレタンアクリレートオリゴマーを含み、前記第１の材料前駆体の前記硬化剤が、アミン共力剤と、ベンゾフェノン化合物及びチオキサントン化合物から成る群から選択された光開始剤とを含み、
前記第２の材料前駆体の前記硬化剤が、ベンゾインエーテル、ベンジルケタール、アセチルフェノン、アルキルフェノン、及びホスフィンオキシド から成る群から選択された光開始剤を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
付加製造システムを使用して前記部分的に硬化されたアクリレートポリマー層を順次複数形成し、前記方法がさらに、前記付加製造システムの処理環境中の酸素濃度を、空気を排出することによって制御することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
第３の材料前駆体の組成物を分配して、第３の材料を含む前記研磨物品の少なくとも一部を形成することと、
電磁放射に露出することによって、分配された前記第３の材料前駆体の組成物を少なくとも部分的に硬化して、前記第３の材料を形成すること
をさらに含み、
前記第３の材料が、２８０ｎｍから３９９ｎｍの間の波長で３５％超の透過率を有し、及び４００ｎｍから８００ｎｍの間の波長で７０％超の透過率を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記第３の材料前駆体の組成物が、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、エポキシ基を含む材料、又はそれらの組み合わせを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
研磨物品の少なくとも一部を形成するための樹脂前駆体組成物であって、
多官能性アクリレートオリゴマーを含む第１の樹脂前駆体成分と、
多官能性アクリレートモノマーを含む第２の樹脂前駆体成分と、
ベンゾインエーテル、ベンジルケタール、アセチルフェノン、アルキルフェノン、及びホスフィンオキシド、ベンゾフェノン化合物、及びチオキサントン化合物から成る群から選択された光開始剤と
を含む前駆体配合物を含み、
前記前駆体配合物が、前記前駆体配合物が分配されて付加製造プロセスの使用によって前記研磨物品の一部を形成することを可能にする粘度を有する、樹脂前駆体組成物。
【請求項１４】
前記第１の樹脂前駆体成分が、２以上の官能性を有する多官能性脂肪族ウレタンアクリレートを含む、請求項１３に記載の樹脂前駆体組成物。
【請求項１５】
前記第２の樹脂前駆体成分が、２−エチルヘキシルアクリレート、オクチルデシルアクリレート、環状トリメチロールプロパンホルマールアクリレート、カプロラクトンアクリレート及びアルコキシル化ラウリルメタクリレートから成る群から選択された材料を含む、請求項１４に記載の樹脂前駆体組成物。
【請求項１６】
前記前駆体配合物の粘度が、７０℃で約１５ｃＰから約３０ｃＰである、請求項１３に記載の樹脂前駆体組成物。
【請求項１７】
前記第１の樹脂前駆体成分が多官能性脂肪族ウレタンアクリレートオリゴマーを含み、前記第２の樹脂前駆体成分が一官能性アクリレートモノマーと多官能性アクリレートモノマーから成る群から選択される、請求項１３に記載の樹脂前駆体組成物。
【請求項１８】
前記第１の樹脂前駆体成分が、硬化されると４０℃超のガラス遷移温度を有し、前記第１の樹脂前駆体成分の量が、前記前駆体配合物の重量中、前記第２の樹脂前駆体成分の量より大きい、請求項１３に記載の樹脂前駆体組成物。
【請求項１９】
研磨物品を形成する方法であって、
第１の前駆体配合物の複数の液滴を第１のパターンで第１の材料組成を含む研磨本体の表面全域に分配することであって、前記第１の前駆体配合物が、多官能性ウレタンアクリレートオリゴマーと、第１の樹脂前駆体成分と、第１の硬化剤とを含む、分配することと、
第２の前駆体配合物の複数の液滴を第２のパターンで前記研磨本体の表面全域に分配することであって、前記第２の前駆体配合物が、多官能性ウレタンアクリレートオリゴマーと、第２の樹脂前駆体成分とを含む、分配することと、
前記第１の前駆体配合物の分配された前記液滴及び前記第２の前駆体配合物の分配された前記液滴を電磁放射に第１の期間露出し、前記第１の前駆体配合物の前記液滴及び前記第２の前駆体配合物の前記液滴を部分的にのみ硬化させることと
を含む、方法。
【請求項２０】
前記第１のパターンで分配された前記第１の前駆体配合物の前記液滴が前記研磨物品の第１の特徴を形成するために使用され、前記第２のパターンで分配された前記第２の前駆体配合物の前記液滴が前記研磨物品の第２の特徴を形成するために使用され、形成された前記第１の特徴が前記研磨物品の研磨表面を成す、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記第１の硬化剤及び前記第２の硬化剤の一方又は両方が、ベンゾインエーテル、ベンジルケタール、アセチルフェノン、アルキルフェノン、及びホスフィンオキシド、ベンゾフェノン化合物、及びチオキサントン化合物から成る群から選択された光開始剤を含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２２】
前記第１の樹脂前駆体成分が、硬化されると４０℃超のガラス遷移温度を有し、前記第２の樹脂前駆体成分が、硬化されると４０℃より低いガラス遷移温度を有する、請求項１９に記載の方法。
【請求項２３】
前記第１の前駆体配合物と前記第２の前駆体配合物の分配された前記液滴を電磁放射に露出することが、空気より低い酸素濃度を有する環境で実施される、請求項１９に記載の方法。
【請求項２４】
第３の前駆体配合物の複数の液滴を分配して前記研磨物品の少なくとも一部を形成することと、
前記第３の前駆体配合物の分配された前記液滴を電磁放射に露出して前記第３の前駆体配合物の前記複数の液滴を少なくとも部分的に硬化すること
をさらに含み、
前記第３の前駆体配合物が、前記電磁放射への露出後、形成された前記研磨物品において、２８０ｎｍから３９９ｎｍの間の波長で３５％超の透過率を有し、及び４００ｎｍから８００ｎｍの間の波長で７０％超の透過率を有する、請求項１９に記載の方法。