【手続補正書】
【提出日】平成30年1月11日(2018.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、
前記フレームに接続され、少なくとも１つの駆動軸を有する駆動セクションと、
基板を保持するように構成されるエンドエフェクタを有する少なくとも１つのアームであって、伝達リンクおよび前記少なくとも１つのアームが互いに対して移動するように、前記少なくとも１つのアームに可動に連結される伝達リンクによって前記駆動セクションに接続され、前記少なくとも１つのアームに対する前記エンドエフェクタの延伸および後退をもたらす少なくとも１自由度の軸を有する少なくとも１つのアームと、
前記フレームおよび前記エンドエフェクタに接続され、前記少なくとも１自由度の軸を定める案内路を画定する軸受けと
を備える搬送装置。
【請求項２】
前記軸受けが、線形軸受けを備える請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記伝達リンクが、２軸の堅固なリンクを備える請求項１記載の搬送装置。
【請求項４】
少なくとも１つの枢動リンクが、前記２軸の堅固なリンクを前記少なくとも１つのアームに接続し、前記少なくとも１つの枢動リンクが、前記２軸の堅固なリンクに枢動可能に連結される請求項３記載の搬送装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つのアームが、前記少なくとも１つのアームを前記伝達リンクに接続する枢動ジョイントと、前記少なくとも１自由度の軸に沿った前記エンドエフェクタの線形移動をもたらすように構成される線形開放ジョイントとを含む請求項１記載の搬送装置。
【請求項６】
前記駆動セクションが、同軸駆動セクションである請求項１記載の搬送装置。
【請求項７】
前記伝達リンクが、ロストモーションスイッチを備える請求項１記載の搬送装置。
【請求項８】
前記ロストモーションスイッチが、前記駆動セクションによってトルクを与えられるクランク部材を備え、前記クランク部材が、それぞれの駆動リンクによって少なくとも１つのそれぞれのアームに接続される請求項７記載の搬送装置。
【請求項９】
前記少なくとも１つのアームが、前記駆動セクションの共通の駆動軸に接続されるデュアルアームを備え、各アームは、エンドエフェクタと、前記共通の駆動軸から独立してそれぞれのエンドエフェクタの延伸および後退をもたらす自由度の軸とを有する請求項１記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記デュアルアームが、基板の取り出しおよび配置のために、反対方向へと延伸するように対向関係を有する請求項９記載の搬送装置。
【請求項１１】
前記デュアルアームが、基板の取り出しおよび配置のために、共通の方向に延伸する請求項９記載の搬送装置。
【請求項１２】
前記少なくとも１つのアームが、前記伝達リンクによって支持される請求項１記載の搬送装置。
【請求項１３】
前記少なくとも１つのアームが、前記伝達リンクから独立した前記軸受けにより支持される請求項１記載の搬送装置。
【請求項１４】
前記伝達リンクが、堅固な屈曲部を含む請求項１記載の搬送装置。
【請求項１５】
前記堅固な屈曲部が、前記エンドエフェクタから離れるように延伸する請求項１４記載の搬送装置。
【請求項１６】
前記堅固な屈曲部の内部が、別の伝達リンクの枢動軸を含む請求項１４記載の搬送装置。
【請求項１７】
伝達の剛性が、前記エンドエフェクタの移動の２５ミクロン未満の精細度を画定する請求項１記載の搬送装置。
【請求項１８】
前記駆動セクションが、３軸駆動部を含む請求項１記載の搬送装置。
【請求項１９】
前記少なくとも１つのアームが、共通の枢動軸を有し、前記３軸駆動部の共通の駆動軸に接続されるデュアルアームを備え、前記共通の駆動軸が、前記デュアルアームを前記枢動軸周りで一体として回転させるように構成されている請求項１８記載の搬送装置。
【請求項２０】
前記少なくとも１つのアームが、デュアルアームを備え、各アームは、それぞれのアームを独立して延伸および後退させるための駆動軸を含む請求項１８記載の搬送装置。
【請求項２１】
前記駆動セクションが、前記搬送装置の全てのアーム用の共通の枢動軸を備える５軸駆動セクションであって、前記駆動セクションの共通の駆動軸は、前記搬送装置のアームの全てに接続され、前記搬送装置の全てのアームを前記共通の枢動軸周りで一体として枢動させるように構成される請求項１記載の搬送装置。
【請求項２２】
フレームと、
少なくとも２つの駆動軸を有する駆動セクションと、
複数のアームであって、前記複数のアームのそれぞれが、それぞれのエンドエフェクタと、前記複数のアームの他のアームからは独立した少なくとも１自由度の軸とを有する、複数のアームと、
前記複数のアームを前記駆動セクションに接続する少なくとも１つの伝達リンクと、
前記複数のアームを前記フレームに連結させ、少なくとも１つのアームの自由度の軸を定める少なくとも１つの軸受けと
を備える処理装置であって、
前記少なくとも１つの伝達リンクおよび前記少なくとも１つの軸受けは、２５ミクロン未満の精細度で、前記少なくとも１自由度の軸に沿う前記エンドエフェクタの移動をもたらす、剛性のある伝達部を形成する処理装置。
【請求項２３】
前記少なくとも１つの伝達リンクが、ロストモーションスイッチリンクを含む請求項２２記載の処理装置。
【請求項２４】
前記駆動セクションが、各アームに共通する共通の駆動軸を画定し、前記少なくとも１自由度の軸が、前記共通の駆動軸から独立している請求項２２記載の処理装置。
【請求項２５】
前記駆動セクションが、同軸駆動セクションである請求項２２記載の処理装置。
【請求項２６】
前記複数のアームの少なくとも２つが、基板の取り出しおよび配置のために、反対方向に延伸するように対向構成を有する請求項２２記載の処理装置。
【請求項２７】
前記複数のアームの少なくとも２つが、基板の取り出しおよび配置のために、共通の方向に延伸する請求項２２記載の処理装置。
【請求項２８】
前記複数のアームが、前記少なくとも１つの伝達リンクから支持される請求項２２記載の処理装置。
【請求項２９】
前記複数のアームが、前記少なくとも１つの伝達リンクから独立した前記少なくとも１つの軸受けから支持される請求項２２記載の処理装置。
【請求項３０】
前記少なくとも１つの伝達リンクのそれぞれが、堅固な屈曲部を含む請求項２２記載の処理装置。
【請求項３１】
前記堅固な屈曲部が、それぞれのエンドエフェクタから離れるように延伸する請求項３０記載の処理装置。
【請求項３２】
前記堅固な屈曲部の内部が、別の伝達リンクの枢動軸を含む請求項３０記載の処理装置。
【請求項３３】
前記駆動セクションが、３軸駆動部を含む請求項２２記載の処理装置。
【請求項３４】
前記複数のアームが、共通の枢動軸を有し、前記３軸駆動部の共通の駆動軸に接続されるデュアルアームを備え、前記共通の駆動軸は、前記デュアルアームを前記枢動軸周りで一体として回転させるように構成されている請求項３３記載の処理装置。
【請求項３５】
前記複数のアームが、デュアルアームを備え、各アームは、それぞれのアームを独立して延伸および後退させるための駆動軸を含む請求項３３記載の処理装置。
【請求項３６】
前記駆動セクションが、前記複数のアームの全てのための共通の枢動軸を備える５軸駆動セクションであって、前記駆動セクションの共通の駆動軸が、前記複数のアームの全てに接続され、前記複数のアームの全てを前記共通の枢動軸周りで一体として枢動させるように構成される請求項２２記載の処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
第１および第２のキャリッジ４２０、４２１により生じるあらゆる粒子を実質的に封じ込めるために、軸受け４００、４０１および第１および第２のキャリッジ４２０、４２１の少なくとも一部を覆って任意の適切なカバー３１０Ｃが設けられてもよい。この態様において、アーム３００、３０１は、積み重ねられた配置で互いに対して上下に位置するものとして示されているが、別の態様において、アームは、隣り合って位置していてもよいし、他の任意の適切な配置を有していてもよい。一態様において、１つまたは複数の適切なセンサまたはエンコーダ１２３Ｃ、１２３Ｄは、フレーム３０１Ｆ上に配置されてもよく、エンドエフェクタの位置を決定するために、キャリッジ４２０、４２１または移送アーム３００、３０１の１つまたは複数と相互作用するように構成されてもよい。別の態様において、１つまたは複数のセンサ１２３Ａ、１２３Ｂは、エンドエフェクタおよび／またはその上の基板の位置を決定するため、エンドエフェクタおよび／またはその上の基板を検出するために移送チャンバ（図１Ｂ）に配置されてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
移送ユニットモジュール１０４は、単一のベース部材３１０上に２つの移送アーム３００、３０１を有するものとして上述されているが、別の態様においては、単一の移送アームが単一のベース部材３１０上に位置してもよい。さらに別の態様においては、１つまたは複数のベース部材３１０は、各ベース部材３１０が少なくとも１つの移送アーム３００、３０１を含むように、上下に積み重ねられてもよい。積み重ねられるベース部材３１０およびそれぞれの移送アームは、移送ユニットモジュール内に分配されてもよいそれぞれのベース部材３１０の少なくとも１つの移送アーム３００、３０１を駆動させるために、共通の駆動セクションまたは駆動モータによって駆動されてもよい。移送ユニットモジュール１０４のアーム３００、３０１は、図３Ａ〜４Ｃには、（例えば、アームは反対方向に延びる）対向するアームとして示されているが、別の態様においてアームおよび伝達リンク機構は、互いに対して任意の適切な配置／構成を有していてもよい。例えば、図５Ａは、開示される実施形態の態様による移送ユニットモジュール１０４Ａを示す。移送ユニットモジュール１０４Ａは、本明細書に記載される移送ユニットモジュールと実質的に同様であってもよい。この態様において、ベース部材３１０ＦＡは、駆動部２００の１つの駆動シャフト２８０Ｓ（図２Ａおよび２Ｂ）に連結される一方で、共通のクランク部材３２１Ａは、駆動部２００の別の駆動シャフト２８０ＡＳに連結される。ここでクランク部材は、（任意の適切な方法で駆動部２００に連結されてもよい）近位の中心部分と、対向する遠位端とを有するように、共通の軸４７０の両側に延びる。駆動リンク３２２は、上述のものと実質的に同様の方法でアーム３００をクランク部材３２１Ａに連結させるために、枢動軸４７４Ａで遠位端に枢動可能に連結されてもよい。駆動リンク３２３は、上述のものと実質的に同様の方法でクランク部材３２１Ａをアーム３０１に連結させるために、枢動軸４７３Ａで反対側の遠位端に枢動可能に連結されてもよい。この態様において、各アームに関する延伸／後退軸Ｒ、および共通の軸４７０周りでの矢印Ｔの方向における一体としてのアームの回転軸に沿った独立した自由度は、２つの駆動軸の駆動セクションを用いて達成される。クランク部材３２１Ａが矢印３９８Ａの方向に回転すると、駆動リンク３２２が、軸Ｒ１に沿って延びるようにアーム３００を押す一方で、アーム３０１は実質的に静止したままであるか、および／または、延伸位置から後退されるように、移送ユニットモジュール１０４Ａは、上述のものと実質的に同様の方法で動作してもよい。クランク部材３２１Ａが矢印３９８Ｂの方向に回転すると、駆動リンク３２３が、軸Ｒ１に沿って延びるようにアーム３０１を押す一方で、アーム３００は実質的に静止したままであるか、および／または、延伸位置から後退される。ここで、アーム３００、３０１の延伸および後退は連結されているが、別の態様において、アーム３００、３０１の延伸および後退は、本明細書に記載されるような、各アーム３００、３０１用の分離し離れている独立して駆動されるクランク部材を提供することによって連結を解かれてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
次に図５Ｆ、６Ａおよび６Ｂを参照すると、開示される実施形態の態様による移送ユニットモジュール１０４Ｄが示されている。移送ユニットモジュール１０４Ｄは、本明細書に記載されるものと実質的に同様であってもよい。この態様において、移送ユニットモジュール１０４Ｄは、図１Ｂ〜１Ｄに示されるような隣り合う基板保持ステーション内へ、実質的に同時に、または異なる時点で、基板を取り出す／配置するように構成される。この態様においては、各アーム３００、３０１、３００Ａ、３０１Ａが、それぞれの延伸／後退軸Ｒに沿う、また共通の軸４７０周りでの一体としてのアームの回転のための、独立した自由度を有するように、少なくとも５軸の駆動システムが提供されてもよい。別の態様においては、例えば、各ベース部材３１０Ｆ１、３１０Ｆ２に、本明細書に記載されるような、各ベース部材３１０Ｆ１、３１０Ｆ２に共通のＺ軸移動をもたらす独立したＺ軸移動、１つまたは複数のベース部材３１０Ｆ１、３１０Ｆ２の枢動、および１つまたは複数のベース部材３１０Ｆ１、３１０Ｆ２の方向Ｙへの移動を提供するために、付加的な駆動軸が設けられてもよい。ベース部材は、駆動インターフェース部６６０（図６Ｂ）と、駆動インターフェース部６６０に隣り合って（または他の任意の適切な配置で）取り付けられる１つまたは複数の移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡとを含んでもよい。各移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡは、上述の移送アーム部３７１、３７１Ａ、３７１Ｂ、３７１Ｃ、３７１Ｅ（図５Ａ〜５Ｅ）の１つまたは複数と実質的に同様であってもよい。理解され得るように、駆動インターフェース部６６０が共通の軸４７０周りで回転されると、移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡは、駆動インターフェース部６６０と一緒に一体として回転する。この態様において、移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡは、例示目的のために、移送アーム部３７１Ｃと実質的に同様のものとして示されている。ここで駆動インターフェース部６６０は、上述のものと実質的に同様の方法で、駆動部２００のシャフト２８０Ｓなどのシャフトに取り付けられてもよい。移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡは、任意の適切な方法で駆動インターフェース部６６０に取り付けられてもよい。一態様において、移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡは、移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡの延伸および後退軸Ｒ１、Ｒ２、Ｒ１Ａ、Ｒ２Ａの間の距離および角度が固定されるように、任意の適切な方法で駆動インターフェース部６６０に静止して取り付けられてもよい。別の態様においては、後述のように、移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡの延伸および後退軸の間の距離および角度の１つまたは複数は、例えば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１２年９月１４日に出願され、「Ｗａｆｅｒ  Ｃｅｎｔｅｒ  Ｆｉｎｄｉｎｇ  ｗｉｔｈ  Ｋａｌｍａｎ  Ｆｉｌｔｅｒ」と題された米国特許出願第１３／６１７，３３３号明細書、２０１１年４月１２日に発行され、「Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ｗｉｔｈ  Ｏｎ−Ｔｈｅ−Ｆｌｙ  Ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ  Ｃｅｎｔｅｒｉｎｇ」と題された米国特許第７，９２５，３７８号明細書、２０１０年１２月２８日に発行され、「���ａｆｅｒ  Ｃｅｎｔｅｒ  Ｆｉｎｄｉｎｇ  ｗｉｔｈ  Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅｓ」と題された米国特許第７，８５９，６８５号明細書、２０１２年９月１８日に発行され、「Ｗａｆｅｒ  Ｃｅｎｔｅｒ  Ｆｉｎｄｉｎｇ  ｗｉｔｈ  Ｋａｌｍａｎ  Ｆｉｌｔｅｒ」と題された米国特許第８，２７０，７０２号明細書、２０１０年９月７日に発行され、「Ｗａｆｅｒ  Ｃｅｎｔｅｒ  Ｆｉｎｄｉｎｇ」と題された米国特許第７，７９２，３５０号明細書、２０１１年２月２２日に発行され、「Ｗａｆｅｒ  Ｃｅｎｔｅｒ  Ｆｉｎｄｉｎｇ」と題された米国特許第７，８９４，６５７号明細書、２０１２年２月２８日に発行され、「Ｗａｆｅｒ  Ｃｅｎｔｅｒ  Ｆｉｎｄｉｎｇ  ｗｉｔｈ  Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅｓ」と題された米国特許第８，１２５，６５２号明細書、および２０１２年８月２８日に発行され、「Ｗａｆｅｒ  Ｃｅｎｔｅｒ  Ｆｉｎｄｉｎｇ  ｗｉｔｈ  Ｃｈａｒｇｅ−Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅｓ」と題された米国特許第８，２５３，９４５号明細書に記載のものと実質的に同様の方法で、例えば、移送チャンバ内で基板Ｓを検出するよう位置するセンサ１２３Ａ、１２３Ｂなどの任意の適切なセンサを用いる、自動のワークピース／基板のセンタリングを可能にしてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
図６Ｃも参照すると、この例において、各移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡは、ベース部材３１０Ｆ１、３１０Ｆ２と、各ベース部材３１０Ｆ１、３１０Ｆ２に取り付けられる駆動部２００Ａ、２００Ｂとを含む。駆動部２００Ａ、２００Ｂは、任意の適切な方法で各駆動部ハウジング２００ＡＨ、２００ＢＨに少なくとも部分的に取り付けられる１つまたは複数の駆動モータ６０１Ａ、６０１Ｂを含んでいてもよい。駆動部ハウジング２００ＡＨ、２００ＢＨは、密封チャンバを形成し、密封チャンバは、（密封チャンバを形成する）駆動インターフェース部６６０に取り付けられると、アーム３００、３０１、３００Ａ、３０１Ａが動作する環境から隔離または密封される大気環境内に駆動部２００、２００Ａ、２００Ｂのモータが配置されるように、駆動部２００の内部と、密封して大気連通する。各駆動部２００Ａ、２００Ｂは、上述のモータおよび伝達リンク機構と実質的に同様の、１つまたは複数の適切な駆動モータ６０１Ａ、６０１Ｂと、１つまたは複数の伝達リンク機構３２０Ａ、３２０Ｂとを含んでいてもよい。この態様において、各駆動モータ６１０Ａ、６１０Ｂは、２つの駆動シャフトを含む回転駆動モータであってもよく、上述のものと実質的に同様の方法で各移送アーム部を動作させるために、一方の駆動シャフトは、クランク部材３２１Ｃ、３２１Ｅのそれぞれ１つを回転させ、他方の駆動シャフトは、クランク部材３２１Ｄ、３２１Ｆのそれぞれ１つを回転させる。ここで、クランク部材３２１Ｃ、３２１Ｄの回転軸（駆動部６０１Ｂの回転軸と一致していてもよい）およびクランク部材３２１Ｅ、３２１Ｆの回転軸（駆動部６０１Ａの回転軸と一致していてもよい）は、共通の回転軸４７０からオフセットされている。理解され得るように、駆動モータ６０１Ａ、６０１Ｂの駆動シャフト上に、任意の適切なエンコーダ／位置センサが位置してもよい。別の態様においては、それぞれのキャリッジ４００、４２１（例えば、図４Ａ〜４Ｅ参照）の位置を検出するために、任意の適切なエンコーダ／位置センサが、トラック４００、４０１、４００Ａ、４０１Ａに隣接して配置されてもよい。トラック４００、４０１、４００Ａ、４０１Ａに隣接して位置するエンコーダ／位置センサは、ロボットアームが動作する環境からエンコーダ／位置センサを隔離するために、薄壁の筐体などの任意の適切な筐体に、任意の適切な方法で包囲されるか、あるいは密封されてもよい。分離壁または筐体壁を通して動作するセンサの例は、例えば、その開示内容の全てが、参照により本明細書に組み込まれる、２０１３年１１月１３日に出願され、「Ｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｆｅｅｄｂａｃｋ  ｆｏｒ  Ｓｅａｌｅｄ  Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔｓ」と題された米国仮特許出願第６１／９０３，７２６号明細書、２０１３年１１月１３日に出願され、「Ｓｅａｌｅｄ  Ｒｏｂｏｔ  Ｄｒｉｖｅ」と題された米国仮特許出願第６１／９０３，８１３号明細書に見られる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
次に図８Ａおよび８Ｂを参照すると、ファセットに連結される処理ステーション１３０へ、および処理ステーション１３０から基板を搬送するため、角度βがファセット間の角度α、θ（図１Ａおよび１Ｃを参照）と略等しくなるように、自動のワークピースのセンタリングを可能にする目的で、および／または、延伸／後退軸を、移送チャンバの傾斜したファセット１００Ｆ１〜１００Ｆ８に位置合わせする目的で、延伸／後退軸Ｒ１、Ｒ２、Ｒ１Ａ、Ｒ２Ａの間の角度βを変更するために、移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡの１つまたは複数は、移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡの別のものに対して枢動可能であってもよい。例えば、上述の１つまたは複数の移送ユニットモジュールと実質的に同様であってもよい移送ユニットモジュール１０４Ｄ１は、駆動インターフェース部６６０と実質的に同様の駆動インターフェース部６６０Ａを含んでいてもよい。この態様において、駆動インターフェース部６６０Ａは、例えば、固定される支持部材７００によってなど、任意の適切な方法で、移送アーム部３７１ＤＡの駆動部ハウジング２００ＢＨへの連結のために構成されてもよい。駆動インターフェース部６６０Ａは、移送アーム部３７１Ｄの（上述の駆動部ハウジング２００ＡＨと実質的に同様であってもよい）駆動部ハウジング２００ＡＨ’との連結のために構成されてもよい。ここで駆動インターフェース部６６０Ａは、（上述の駆動モータの１つまたは複数と実質的に同様であってもよい）任意の適切な駆動モータ８００を含んでいてもよい。角度βを変更するために移送アーム部３７１Ｄが矢印Ｔ２の方向において（移送アーム部３７１Ｄの各アームに共通である）軸Ｘ１周りで枢動可能であるように、駆動シャフト８００Ｄは、ハウジング２００ＡＨ’に連結するために駆動インターフェース部６６０Ａの壁を通って延伸してもよい。理解され得るように、移送アーム部３７１Ｄのアームにより保持される１つまたは複数の基板Ｓは、例えば、移送アーム部３７１ＤＡおよび駆動インターフェース部６６０Ａの両方を一体として共通の軸４７０周りで回転させることにより、基板保持ステーション（例えば、処理ステーション１３０など）に対してセンタリングされてもよいが、移送アーム部３７１Ｄのアームにより保持される１つまたは複数の基板Ｓは、軸Ｘ１周りで移送アーム部３７１Ｄを回転させることによってセンタリングされてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
別の態様において、図８Ｃに見られるように、両方の移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡの駆動部ハウジング２００ＡＨ’、２００ＢＨ’（駆動部ハウジング２００ＡＨ’と実質的に同様であってもよい）は、各駆動部が角度βを変更するためにそれぞれの駆動部８００によってそれぞれの方向Ｔ１、Ｔ２へそれぞれの軸Ｘ１、Ｘ２周りで枢動するよう構成されるように、駆動インターフェース部６６０Ａ’（駆動インターフェース部６６０Ａと実質的に同様であってもよい）に枢動可能に取り付けられてもよい。ここで自動のワークピースのセンタリングは、移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡの１つまたは複数を、互いに独立して、任意の所定量だけ回転させることによって実施されてもよい。一態様において、両方の移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡは、軸４７０周りで一体として回転されてもよいが、移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡにより保持される１つまたは複数の基板Ｓは、１つまたは複数の移送アーム部３７１Ｄ、３７１ＤＡをそれぞれの軸Ｘ１、Ｘ２周りで回転させることによってセンタリングされてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのアームは、少なくとも１つのアームを伝達リンクに接続する枢動ジョイントと、少なくとも１自由度の軸に沿ったエンドエフェクタの線形移動をもたらすように構成される線形開放ジョイントとを含む。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
開示される実施形態の１つまたは複数の態様によれば、処理装置は、フレームと、少なくとも２つの駆動軸を有する駆動セクションと、複数のアームであって、複数のアームのそれぞれが、それぞれのエンドエフェクタと、複数のアームの他のアームからは独立した少なくとも１自由度の軸とを有する、複数のアームと、複数のアームを駆動セクションに接続する少なくとも１つの伝達リンクと、複数のアームをフレームに連結させ、少なくとも１つのアームの自由度の軸を定める少なくとも１つの軸受けとを含み、少なくとも１つの伝達リンクおよび少なくとも１つの軸受けは、２５ミクロン未満の精細度で、少なくとも１自由度の軸に沿うエンドエフェクタの移動をもたらす、剛性のある伝達部を形成する。