【手続補正書】
【提出日】平成30年1月24日(2018.1.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上流側横方向可変バンドパス光学フィルタと、
下流側横方向可変バンドパス光学フィルタと、を備える光学フィルタにおいて、
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの下流に、光学ビームの光路に沿って距離Ｌだけ離間して順次設けられ、
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、それぞれ、前記光路に垂直な第１の方向に沿って、相互に連係して漸次変化し、それにより互いに同じ依存度を有するバンドパス中心波長を有し、
前記光学ビームの光平行性に対する前記光学フィルタの分光選択性の依存度は、前記光学ビームの前記光平行性に対する前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの分光選択性の対応する依存度と比べて小さい、光学フィルタ。
【請求項２】
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの前記バンドパス中心波長は前記第１の方向に単調増加する、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項３】
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの前記バンドパス中心波長は前記第１の方向に非線形に増加する、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項４】
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの前記バンドパス中心波長は、前記バンドパス中心波長の前記第１の方向に沿ったｘ座標に対する依存度が実質的に等しい、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項５】
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの帯域幅に相当する、前記第１の方向に沿った横方向距離Δｘ１は、前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの帯域幅に相当する、前記第１の方向に沿った横方向距離Δｘ２よりも大きい、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項６】
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタと前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタとの間に、屈折率ｎを有する透明媒体をさらに備える、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項７】
Ｌ／ｎは０．２ｍｍよりも大きく、１５ｍｍよりも小さい、請求項６に記載の光学フィルタ。
【請求項８】
Ｌ／ｎ＝Δｘ１／θであり、式中、Δｘ１は前記第１の方向に沿った横方向の距離であり、これは、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの帯域幅に相当し、θは、前記光学フィルタの受光角である、請求項６に記載の光学フィルタ。
【請求項９】
前記透明媒体は透明基板を含み、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは該透明基板の両側に配置される、請求項６に記載の光学フィルタ。
【請求項１０】
前記屈折率ｎは前記第１の方向に沿って変化する、請求項６に記載の光学フィルタ。
【請求項１１】
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの前記バンドパス中心波長は互いに位置合わせされ、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの同一のバンドパス中心波長に対応する位置同士を結ぶ線が、前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの法線に対して４５度未満の角度をなす、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項１２】
前記角度は前記第１の方向に沿って変化する、請求項１１に記載の光学フィルタ。
【請求項１３】
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタを互いに傾斜して設け、前記距離Ｌが前記第１の方向に沿って変化するようにした、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項１４】
前記光路中に設けた開口をさらに備え、該開口の幅は前記第１の方向に沿って変化する、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項１５】
前記光路中に設けたスペクトル反応平坦化フィルタをさらに備え、前記光学フィルタのスペクトル反応を平坦化する、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項１６】
前記スペクトル反応平坦化フィルタは、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタまたは前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタ上、またはその間に設けられる、請求項１５に記載の光学フィルタ。
【請求項１７】
前記光路中に、付加的な横方向可変バンドパス光学フィルタをさらに備え、前記付加的な横方向可変バンドパス光学フィルタのバンドパス中心波長は、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの前記バンドパス中心波長と連係して変化する、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項１８】
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、それぞれ、バンドパス中心波長、および対応するバンドパス中心波長の１０％と同程度の３ｄＢパスバンドを含む、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項１９】
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタまたは前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの少なくとも一方は、３つ以上の異なる材料を含む薄膜層を備える、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項２０】
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタまたは前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの少なくとも一方は、薄膜積層、準波長格子、または二色性ポリマーを含む、請求項１に記載の光学フィルタ。
【請求項２１】
上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび下流側横方向可変バンドパス光学フィルタを備えた光学フィルタと、
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの下流の光学ビームの光路中に設けた光学センサと、を備える、光学分光計において、
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの下流に、前記光路に沿って距離Ｌだけ離間して順次設けられ、
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、それぞれ、前記光路に垂直な第１の方向に沿って、相互に連係して漸次変化し、それにより互いに同じ依存度を有するバンドパス中心波長を有し、
前記光学ビームの光平行性に対する前記光学フィルタの分光選択性の依存度は、前記光学ビームの前記光平行性に対する前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの分光選択性の対応する依存度と比べて小さい、光学分光計。
【請求項２２】
前記光学ビームを提供する光源をさらに備え、前記光学ビームは集束光線または拡散光線を含む、請求項２１に記載の光学分光計。
【請求項２３】
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの上流の前記光路中に設けた散光器をさらに備え、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタ上の前記光学ビームの強度分布がより均一になるようにした、請求項２１に記載の光学分光計。
【請求項２４】
前記光学センサは、前記第１の方向に沿って配置した画素を有する光検出器アレイを含む、請求項２１に記載の光学分光計。
【請求項２５】
前記光検出器アレイは、前記光学ビームが単色のときスペクトル線が前記光検出器アレイ上に形成されるように配置した画素の二次元アレイを含み、該スペクトル線は、前記光検出器アレイの列に対して鋭角をなす、請求項２４に記載の光学分光計。
【請求項２６】
前記光検出器アレイは画素の二次元アレイを備え、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、それぞれ、前記第１の方向に直交する第２の方向に並んで配置した複数のセグメントを含み、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの各セグメントは、前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの１つのセグメントに対応し、専用の波長域において動作する、請求項２４に記載の光学分光計。
【請求項２７】
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタと前記光検出器アレイとの間の前記光路中に設けた集束素子をさらに備え、前記光検出器アレイ上に前記光学ビームを集束する、請求項２４に記載の光学分光計。
【請求項２８】
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは前記光検出器アレイと接触している、請求項２４に記載の光学分光計。
【請求項２９】
前記光路中に窓を設けて前記光学ビームを入射させるようにした筐体をさらに備え、該窓は前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタを含み、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは空隙により離間される、請求項２１に記載の光学分光計。
【請求項３０】
上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび下流側横方向可変バンドパス光学フィルタを備える光学フィルタで光学ビームをフィルタリングするステップと、
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの下流において第１の方向に沿った光パワー分布を検出するステップと、を含み、
前記フィルタリングするステップにおいて、
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタの下流に、光学ビームの光路に沿って距離Ｌだけ離間して順次設けられ、
前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタおよび前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタは、それぞれ、前記光路に垂直な前記第１の方向に沿って、相互に連係して漸次変化し、それにより互いに同じ依存度を有するバンドパス中心波長を有し、
前記光学ビームの光平行性に対する前記光学フィルタの分光選択性の依存度は、前記光学ビームの前記光平行性に対する前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの分光選択性の対応する依存度と比べて小さい、方法。
【請求項３１】
前記光パワー分布は、光検出器アレイを用いて検出する、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタを前記光検出器アレイ上に堆積するステップをさらに含む、請求項３１に記載の方法。
【請求項３３】
前記光検出器アレイを注封材料で注封し、前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタの開口部を覆うことなく、前記光検出器アレイを絶縁するステップをさらに含む、請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
前記光学フィルタは、前記上流側横方向可変バンドパス光学フィルタと前記下流側横方向可変バンドパス光学フィルタとの間に、屈折率ｎを有する透明媒体をさらに備える、請求項２１に記載の光学分光計。