(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のリストコネクタ及び第１のブレードに連結され、前記第１のブレードを第１の方向に延長するように構成された第１のフログレッグリンケージ、および
第２のリストコネクタ及び第２のブレードに連結され、前記第１のブレードを前記第１の方向に整列させながら、前記第２のブレードを、前記第１の方向と反対の第２の方向に延長するように構成された第２のフログレッグリンケージ
を備えるデュアルブレードロボットであって、
前記第２のフログレッグリンケージが、前記第１のブレードおよび前記第２のブレードがそれぞれ後退位置にあるときに前記第２のリストコネクタが前記第１のリストコネクタと部分的に重なるように、前記第１のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされており、
前記第１のブレードおよび前記第２のブレードがそれぞれ前記後退位置にある間、前記第１のブレードは前記第１の方向に向けられ、前記第２のブレードは前記第２の方向に向けられる、デュアルブレードロボット。
【請求項２】
ハブ、および
前記ハブに回転可能に連結された第１の部材
をさらに備え、
前記第１のフログレッグリンケージが、第１の位置で前記第１の部材に回転可能に連結され、前記第２のフログレッグリンケージが、第２の位置で前記第１の部材に回転可能に連結される、請求項１に記載のデュアルブレードロボット。
【請求項３】
第１のブレードに連結され、前記第１のブレードを第１の方向に延長するように構成された第１のフログレッグリンケージ、
第２のブレードに連結され、前記第２のブレードを第２の方向に延長するように構成された第２のフログレッグリンケージであって、前記第２のフログレッグリンケージが、前記第１のブレードおよび前記第２のブレードがそれぞれ後退位置にあるときに前記第１のフログレッグリンケージと部分的に重なるように、前記第１のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされている、前記第２のフログレッグリンケージ、
第１の軸を有するハブ、
前記ハブに回転可能に連結されて前記第１の軸を中心に回転可能な第１の部材、および
前記ハブに回転可能に連結されて前記第１の軸を中心に回転可能な第２の部材
を備え、
前記第１のフログレッグリンケージが、
第１の端部および第２の端部を有する第１のアームであって、前記第１のアームの前記第１の端部は前記第１の部材に回転可能に連結されて第２の軸を中心に回転可能であり、前記第１のアームの前記第２の端部は前記第１のブレードに回転可能に連結されて第３の軸を中心に回転可能である、前記第１のアームと、
第１の端部および第２の端部を有する第２のアームであって、前記第２のアームの前記第１の端部は前記第２の部材に回転可能に連結されて第４の軸を中心に回転可能であり、前記第２のアームの前記第２の端部は前記第１のブレードに回転可能に連結されて第５の軸を中心に回転可能である、前記第２のアームと
を含み、
前記第２のフログレッグリンケージが、
第１の端部および第２の端部を有する第３のアームであって、前記第３のアームの前記第１の端部は前記第２の部材に回転可能に連結されて第６の軸を中心に回転可能であり、前記第３のアームの前記第２の端部は第２のブレードに回転可能に連結されて前記第３の軸を中心に回転可能である、前記第３のアームと、
第１の端部および第２の端部を有する第４のアームであって、前記第４のアームの前記第１の端部は前記第１の部材に回転可能に連結されて第７の軸を中心に回転可能であり、前記第４のアームの前記第２の端部は前記第２のブレードに回転可能に連結されて前記第５の軸を中心に回転可能である、前記第４のアームと
を含み、
前記第１のアームが前記第２のアームと名目上同一平面上に位置し、前記第３のアームが前記第４のアームと名目上同一平面上に位置し、前記第３のアームおよび前記第４のアームが、それぞれ前記第１のアームおよび前記第２のアームから垂直方向にオフセットされており、
前記第１のブレードおよび前記第２のブレードがそれぞれ前記後退位置にある間、前記第１のブレードは前記第１の方向に向けられ、前記第２のブレードは前記第２の方向に向けられる、
デュアルブレードロボット。
【請求項４】
前記第１のブレードが、前記ハブから前記第１の方向に外側へと延びるように構成されており、前記第２のブレードが、前記ハブから前記第１の方向とは異なる前記第２の方向に、外側へと延びるように構成されており、前記第１のブレードと前記第２のブレードは名目上同一平面上に位置している、請求項３に記載のデュアルブレードロボット。
【請求項５】
前記第１のブレードが、前記ハブに向かって内側へと後退するように構成されており、前記第２のブレードが、前記ハブに向かって内側へと後退するように構成されている、請求項３に記載のデュアルブレードロボット。
【請求項６】
前記第３のアームが、前記第１のブレードおよび前記第２のブレードがそれぞれ後退位置にあるときに前記第１のアームと部分的に重なるように構成されており、前記第４のアームが、前記第１のブレードおよび前記第２のブレードがそれぞれ後退位置にあるときに前記第２のアームと部分的に重なるように構成されている、請求項５に記載のデュアルブレードロボット。
【請求項７】
前記第１のアームが、前記第２の軸に隣接する弓状部分と、前記第３の軸に隣接する直線状部分とを有し、前記第２のアームが、前記第４の軸に隣接する弓状部分と、前記第５の軸に隣接する直線状部分とを有し、前記第３のアームが、前記第６の軸に隣接する弓状部分と、前記第３の軸に隣接する直線状部分とを有し、前記第４のアームが、前記第７の軸に隣接する弓状部分と、前記第５の軸に隣接する直線状部分とを有する、請求項３に記載のデュアルブレードロボット。
【請求項８】
前記第１のフログレッグリンケージおよび前記第２のフログレッグリンケージが、第１のチャンバ内に配置される、請求項１に記載のデュアルブレードロボット。
【請求項９】
移送チャンバ、
前記移送チャンバに連結されたロードロック、
前記移送チャンバに連結された処理チャンバ、および
前記移送チャンバ内に配置された、第１のリストコネクタに連結された第１のブレードおよび第２のリストコネクタに連結された第２のブレードを有するデュアルブレードロボットであって、前記第１のブレードを第１の方向に延長するように、かつ、前記第１のブレードを前記第１の方向に整列させながら、前記第２のブレードを、前記第１の方向と反対の第２の方向に延長するように構成された第１のフログレッグリンケージおよび第２のフログレッグリンケージを有するデュアルブレードロボット
を備えるクラスタツールであって、
前記第２のフログレッグリンケージが、前記第１のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされており、前記第２のリストコネクタは、前記第１のフログレッグリンケージおよび前記第２のフログレッグリンケージがそれぞれ後退位置にあるときに前記第１のリストコネクタと部分的に重なり、
前記第１のフログレッグリンケージおよび前記第２のフログレッグリンケージがそれぞれ前記後退位置にある間、前記第１のブレードは前記第１の方向に向けられ、前記第２のブレードは前記第２の方向に向けられる、
クラスタツール。
【請求項１０】
前記第１のフログレッグリンケージが、
第１の端部および第２の端部を有する第１のアームであって、前記第１のアームの前記第１の端部は第１の部材に回転可能に連結されて第１の軸を中心に回転可能であり、前記第１のアームの前記第２の端部は前記第１のブレードに回転可能に連結されて第２の軸を中心に回転可能である、前記第１のアームと、
第１の端部および第２の端部を有する第２のアームであって、前記第２のアームの前記第１の端部は第２の部材に回転可能に連結されて第３の軸を中心に回転可能であり、前記第２のアームの前記第２の端部は前記第１のブレードに回転可能に連結されて第４の軸を中心に回転可能である、前記第２のアームと
を含む、請求項９に記載のクラスタツール。
【請求項１１】
前記ロードロック、前記処理チャンバおよび前記移送チャンバのそれぞれが排気されるように構成されている、請求項９に記載のクラスタツール。
【請求項１２】
前記処理チャンバが低圧化学気相堆積操作のために構成されている、請求項９に記載のクラスタツール。
【請求項１３】
前記処理チャンバがエピタキシャル成長操作のために構成されており、前記第１のブレードおよび前記第２のブレードのそれぞれが石英を含む、請求項１０に記載のクラスタツール。
【請求項１４】
第１のチャンバと第２のチャンバとの間で基板を移送する方法であって、
移送チャンバ、
前記移送チャンバに連結された第１のチャンバ、
前記移送チャンバに連結された第２のチャンバ、および
前記移送チャンバ内部に配置された、第１のリストコネクタおよび第１のブレードに連結された第１のフログレッグリンケージと第２のリストコネクタおよび第２のブレードに連結された第２のフログレッグリンケージとを有するデュアルブレードロボットであって、第１のフログレッグリンケージは、前記第１のブレードを第１の方向に延長するように構成され、前記第２のフログレッグリンケージは、前記第１のブレードを前記第１の方向に整列させながら、前記第２のブレードを、前記第１の方向と反対の第２の方向に延長するように構成されている、前記デュアルブレードロボット、
を有する処理ツールを提供すること、
前記第１のフログレッグリンケージに連結された前記デュアルブレードロボットの前記第１のブレードが前記第１のチャンバ内に配置されるように、前記第１のフログレッグリンケージを延長すること、
前記第１のブレードを用いて前記第１のチャンバから基板を回収すること、および
前記基板を乗せた状態で前記第１のブレードが前記第１のチャンバから出るように、前記第１のフログレッグリンケージを後退させること
を含み、
前記第１のチャンバから前記第１のフログレッグリンケージを後退させた後、前記第１のリストコネクタが、前記デュアルブレードロボットの前記第２のリストコネクタと部分的に重なり、
前記第１のチャンバから前記第１のフログレッグリンケージを後退させた後、前記第１のブレードが前記第１の方向に向けられ、前記第２のブレードが前記第２の方向に向けられる、方法。
【請求項１５】
前記基板がウエハである、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記第１のブレードが前記第２のチャンバと整列するように、前記基板を乗せた状態で前記第１のブレードを移動させること、
前記基板を乗せた状態で前記第１のブレードが前記第２のチャンバ内に配置されるように、前記第１のフログレッグリンケージを延長すること、
前記第１のブレードが前記第２のチャンバを出るように、前記第１のフログレッグリンケージを後退させること、
を含み、
前記第２のチャンバから前記第１のフログレッグリンケージを後退させた後、前記第１のフログレッグリンケージが前記デュアルブレードロボットの前記第２のフログレッグリンケージと部分的に重なり、前記第１のブレードが前記第２のチャンバを出たとき、前記基板は前記第２のチャンバ内に残る、請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
前記第２のフログレッグリンケージに連結された前記デュアルブレードロボットの前記第２のブレードが前記第１のチャンバ内に配置されるように、前記第２のフログレッグリンケージを延長すること、
前記第２のブレードを用いて前記第１のチャンバからさらなる基板を回収すること、および
前記さらなる基板を乗せた状態で前記第２のブレードが前記第１のチャンバから出るように、前記第２のフログレッグリンケージを後退させること
をさらに含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記第１のチャンバがロードロックチャンバであり、前記第２のチャンバが処理チャンバである、請求項１４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願
［００１］本出願は、２０１７年９月１９日出願の米国特許出願第１５／７０８８０６号「垂直方向にオフセットされた水平方向に部分的に重なり合うフログレッグリンケージを含むデュアルブレードロボットおよびそれを含むシステムと方法」（Ａｔｔｏｒｎｅｙ  Ｄｏｃｋｅｔ  Ｎｏ．２５４８１／ＵＳ）の優先権を主張するものであり、これは、すべての目的のために、参照により本明細書にその全体が組み込まれる。
【０００２】
分野
［００２］本開示の実施形態は、電子デバイス製造に関し、具体的には、チャンバ間で基板を搬送するように適合されたロボットに関する。
【背景技術】
【０００３】
［００３］電子デバイス製造システムは、処理チャンバおよび１つまたは複数のロードロックチャンバ等の多重チャンバを有する処理ツールを含むことができる。そのような処理チャンバおよび１つまたは複数のロードロックチャンバは、例えば、基板がそれぞれの処理チャンバと１つまたは複数のロードロックチャンバとの間で搬送され得るクラスタツールに含まれ得る。これらのシステムは、様々なチャンバ間で基板を移動させるために１つまたは複数のロボットを使用することができ、いくつかの実施形態では、１つまたは複数のロボットが移送チャンバ内に常駐することができる。
そのような移動の間、基板は、１つまたは複数のロボットのエンドエフェクタ（「ブレード」と呼ばれることもある）上に支持されてもよい。
【０００４】
［００４］クラスタツールのような電子デバイス製造システムの処理チャンバが、堆積、酸化、窒化、エッチング、研磨、洗浄、リソグラフィ、計測学等のような基板（例えば、パターン化されたおよびパターン化されていない、マスクされたウエハ、グラスプレート、シリカ含有物品等の両方のシリコン含有ウエハ）上で任意の数の処理を実行するために使用され得る。
【０００５】
［００５］そのような処理および／またはクラスタツール内で、複数のチャンバが、例えば、移送チャンバの周りに分散され得る。ロボットは、移送チャンバ内に収容されても、様々なチャンバ間で基板を搬送するように構成および適合されてもよい。例えば、移送は、処理チャンバ間、または処理チャンバと１つまたは複数のロードロックチャンバとの間で行われ得る。スリットバルブは、各チャンバを環境的に隔離することを可能にするために、それぞれのチャンバの入口に配置することができる。
【０００６】
［００６］処理および／またはクラスタツール操作の動作および／または能率を改善するロボットの装置、装置および方法を設計することが有益である。
【発明の概要】
【０００７】
［００７］第１の例示的実施形態では、デュアルブレードロボットは、第１のブレードに連結され、第１の方向に第１のブレードを延長するように構成された第１のフログレッグリンケージと、第２のブレードに連結され、第２の方向に第２のブレードを延長するように構成された第２のフログレッグリンケージとを含み、第２のフログレッグリンケージは、第１のブレードおよび第２のブレードがそれぞれ後退位置にあるときに第２のフログレッグリンケージが第１のフログレッグリンケージに部分的に重なるように、第１のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされている。
【０００８】
［００８］第２の例示的実施形態では、クラスタツールは、移送チャンバと、移送チャンバに連結されたロードロックと、移送チャンバに連結された処理チャンバと、移送チャンバ内に配置されたデュアルブレードロボットとを含み、デュアルブレードロボットは、第１のフログレッグリンケージと  第２のフログレッグリンケージとを有し、第２のフログレッグリンケージは、第１のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされ、第２のフログレッグリンケージは、第１のフログレッグリンケージおよび第２のフログレッグリンケージがそれぞれ後退位置にあるときに、第１のフログレッグリンケージに部分的に重なる。
【０００９】
［００９］第３の例示的実施形態では、第１のチャンバと第２のチャンバとの間で基板を移送する方法は、第１のフログレッグリンケージに連結されたデュアルブレードロボットの第１のブレードが第１のチャンバ内に配置されるように第１のフログレッグリンケージを延長することと、第１のチャンバから基板を検索することと、第１のブレードが第１のブレード上の基板と共に第１のチャンバを出るように第１のフログレッグリンケージを後退させることとを含み、第１のフログレッグリンケージは第１のチャンバから第１のフログレッグリンケージを後退させた後にデュアルブレードロボットの第２のフログレッグリンケージに部分的に重なる。
【００１０】
［００１０］代替実施形態では、ロボットは、第１の軸を有するハブと、各々がハブに回転可能に連結されて第１の軸を中心に回転可能である第１の部材および第２の部材と、第１の端部および第２の端部を有し、第１の端部は第１の部材に回転可能に連結されて第２の軸を中心に回転可能であり、第２の端部は第１のブレードに回転可能に連結されて第３の軸を中心に回転可能である第１のアームと、第１の端部および第２の端部を有し、第１の端部は第２の部材に回転可能に連結されて第４の軸を中心に回転可能であり、第２の端部は第１のブレードに回転可能に連結されて第５の軸を中心に回転可能である第２のアームと、第１の端部および第２の端部を有し、第１の端部は第２の部材に回転可能に連結されて第６の軸を中心に回転可能であり、第２の端部は第２のブレードに回転可能に連結されて第３の軸を中心に回転可能である第３のアームと、第１の端部および第２の端部を有し、第１の端部は第１の部材に回転可能に連結されて第７の軸を中心に回転可能であり、第２の端部は第２のブレードに回転可能に連結されて第５の軸を中心に回転可能である第４のアームとを含み、第１のアームは第２のアームと名目上同一平面上にあり、第３のアームは第４のアームと名目上同一平面上にあり、第３のアームおよび第４のアームは、それぞれ第１のアームおよび第２のアームから垂直方向にオフセットされている。
【００１１】
［００１１］別の代替実施形態では、システムは、容積を規定する第１のチャンバと、第１のチャンバによって規定される容積内に配置されるデュアルブレードロボットとを含み、デュアルブレードロボットは、第１の軸を有するハブと、各々が中心のハブに回転可能に連結されて第１の軸を中心に回転可能である第１の部材および第２の部材と、第１の端部および第２の端部を有し、第１の端部が第２の軸で第１の部材に連結され、第２の端部が第３の軸で第１のブレードに回転可能に連結される第１のアームと、第１の端部および第２の端部を有し、第１の端部が第４の軸で第２の部材に回転可能に連結され、第２の端部が第５の軸で第１のブレードに回転可能に連結される第２のアームと、第１の端部および第２の端部を有し、第１の端部が第６の軸で第２のブレードに回転可能に連結され、第２の端部が第３の軸で第２のブレードに回転可能に連結される第３のアームと、第１の端部および第２の端部を有し、第１の端部が第７の軸で第１の部材に回転可能に連結され、第２の端部が第５の軸で第２のブレードに回転可能に連結される第４のアームとを含み、第１のアームは第２のアームと名目上同一平面上にあり、第３のアームは第４のアームと名目上同一平面上にあり、第３のアームおよび第４のアームは、それぞれ第１のアームおよび第２のアームから垂直方向にオフセットされている。
【００１２】
［００１２］さらなる代替実施形態では、クラスタツールは、移送チャンバと、移送チャンバに連結されたロードロックと、移送チャンバに連結されたプロセスチャンバと、移送チャンバ内に配置された、フログレッグクロスリンケージを有するデュアルブレードウエハハンドリングロボットとを含み、フログレッグクロスリンケージは、第１の端部および第２の端部を有し、第１の端部は第１の部材に回転可能に連結されて第１の軸を中心に回転可能であり、第２の端部は第１のブレードに回転可能に連結されて第２の軸を中心に回転可能である第１のアームと、第１の端部および第２の端部を有し、第１の端部は第２の部材に回転可能に連結されて第３の軸を中心に回転可能であり、第２の端部は第１のブレードに回転可能に結合されて第４の軸を中心に回転可能である第２のアームと、第１の端部および第２の端部を有し、第１の端部は第２の部材に回転可能に連結されて第５の軸を中心に回転可能であり、第２の端部は第２のブレードに回転可能に連結されて第２の軸を中心に回転可能である第３のアームと、第１の端部および第２の端部を有し、第１の端部は第１の部材に回転可能に連結されて第６の軸を中心に回転可能であり、第２の端部は第２のブレードに回転可能に連結されて第４の軸を中心に回転可能である第４のアームとを含み、第１のアームは第２のアームと名目上同一平面上にあり、第３のアームは第４のアームと名目上同一平面上にあり、第３および第４のアームは、それぞれ第１および第２のアームから垂直方向にオフセットされている。
【００１３】
［００１３］多数の他の特徴が、本発明のこれらおよび他の実施形態に従って提供される。
本発明の実施形態の他の特徴および態様は、以下の詳細な記載、添付の図面、および特許請求の範囲からより完全に明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１Ａ】１つまたは複数の実施形態によるデュアルブレードロボットの側面図である。
【図１Ｂ】１つまたは複数の実施形態によるデュアルブレードロボットの等角図である。
【図１Ｃ】いくつかの実施形態による、後退位置にあるデュアルブレードロボットの側面図である。
【図１Ｄ】いくつかの実施例によるデュアルブレードロボットの分解図である。
【図２Ａ】１つまたは複数の実施形態によるデュアルブレードロボットの上面図である。
【図２Ｂ】１つまたは複数の実施形態によるデュアルブレードロボットの上面図である。
【図３】１つまたは複数の実施形態によるデュアルブレードロボットを含む電子デバイス処理システムを示している。
【図４】１つまたは複数の実施形態による、第１のチャンバと第２のチャンバとの間で基板を移送する方法を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
［００２２］本開示による種々の実施形態は、第１のフログレッグリンケージと、第１のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされるように構成された第２のフログレッグリンケージとを含むュアルブレードロボットであって、さらに、デュアルブレードロボットのブレードが後退するとき第２のフログレッグリンケージが第１のフログレッグリンケージと水平方向に部分的に重なるように構成されたデュアルブレードロボットを提供する。このような構成は、ブレードが後退するときのデュアルブレードロボットの全体的なフットプリントを減少させ、そうでない場合にデュアルブレードロボットを収容する移送チャンバ内で使用可能であるよりも長いブレードの使用を可能にする。例えば、いくつかの実施形態では、高温処理を行う処理チャンバ（例えば、エピタキシャル成長および／または堆積チャンバ）内に基板を配置するか、またはそこから基板を回収するために、石英ブレード等の比較的長いおよび／または高温のブレードを使用することができる。リスト部のようなデュアルブレードロボットの一部が処理チャンバの高温環境にさらされるのを避けるために、長いブレードを採用して、ブレードのみが基板の配置または取り出しの間に処理チャンバ内に延びるようにしてもよい。ブレードが両方向に延びるデュアルブレードロボット構成では、長いブレードの使用は、デュアルブレードロボットの全体的なフットプリントを増大させ、ロボットが移送チャンバ内に収まらなくなる場合がある。ここに記載される実施形態は、移送チャンバ内での使用に適した全体的な（後退時の）フットプリントを維持しながら、より長いブレードの使用を可能にするデュアルブレードロボット、システムおよび方法を提供する。
【００１６】
［００２３］例示的な実施形態によるロボット、ロボットを含む電子デバイス処理システム、およびロボットの操作方法の様々な態様のさらなる詳細は、図１Ａ−４を参照して説明される。
【００１７】
［００２４］図１Ａを参照すると、デュアルブレードロボット１００の第１の例示的な実施形態が開示されている。ロボット１００は、様々なチャンバとの間で、例えば、処理チャンバとの間で、および／またはロードロックチャンバとの間で、基板を移送するために有用であり、またそのように構成することができる。しかしながら、デュアルブレードロボット１００は、小型のデュアルブレードロボットが適している他の環境でも有用であり得る。図１Ａは、第１のブレード１０４ａに連結され、第１のブレード１０４ａを第１の方向Ｄ１に延長するように構成された第１のフログレッグリンケージ１０２ａと、第２のブレード１０４ｂに連結され、第２の方向Ｄ２に第２のブレード１０４ｂを延長するように構成された第２のフログレッグリンケージ１０２ｂとを有する例示的なデュアルブレードロボット１００を示しており、第２のフログレッグリンケージ１０２ｂは、第１のブレード１０４ａおよび第２のブレード１０４ｂがそれぞれ後退位置にあるときに第２のフログレッグリンケージ１０２ｂが第１のフログレッグリンケージ１０２ａと部分的に重なるように（図１Ａ参照）、第１のフログレッグリンケージ１０２ａから垂直方向にオフセットされている。
【００１８】
［００２５］いくつかの実施形態では、デュアルブレードロボット１００は、第１のブレード１０４ａおよび第２のブレード１０４ｂが名目上同一平面上にあるように（例えば、いくつかの実施形態では、互いに対して＋／１度未満の傾斜を有する、および／または互いの面からのずれが垂直方向に＋／１ｍｍ未満であるように）構成される。例えば、第１のブレード１０４ａおよび第２のブレード１０４ｂは、実質的に同一平面Ｐ１内で延び且つ同一平面Ｐ１内で後退するように位置決めされる。いくつかの実施態様において、第２のブレード１０４ｂは、第２のブレード１０４ｂの支持面が、第１のブレード１０４ａの支持面と実質的に同一平面内にあるように（図１Ａ参照）成形される。一般に、第１のブレード１０４ａ、第２のブレード１０４ｂ、または第１および第２のブレード１０４ａ、１０４ｂの両方は、第１のブレード１０４ａおよび第２のブレード１０４ｂが名目上同一平面上に位置するように成形され得る。追加的にまたは代替え的に、第１および第２のブレード１０４ａ、１０４ｂのうちの１つまたは複数は、１つまたは複数のアダプタ、ブラケット等を使用することによって、名目上同一平面上に位置するように配置することができる。
【００１９】
［００２６］具体的に、デュアルブレードロボット１００の例示的な実施形態を図１Ｂに示す。図１Ｂを参照すると、デュアルブレードロボット１００は、第１の軸Ａ１を有するハブ１０６を含む。第１の部材１０８ａおよび第２の部材１０８ｂは、第１の軸Ａ１においてハブ１０６に回転可能に連結されている。第１のアーム１１０は、第１の端部１１１ａおよび第２の端部１１１ｂを有し、その第１の端部１１１ａは、第２の軸Ａ２において第２の部材１０８ｂに回転可能に連結されている。第１のアーム１１０の第２の端部１１１ｂは、（下部リストコネクタ１１２ａの）第３の軸Ａ３において回転可能に連結されている。第１のアーム１１０と名目上同一平面上にある第２のアーム１１４は、第１の端部１１５ａおよび第２の端部１１５ｂを有し、その第１の端部１１５ａは、第４の軸Ａ４において第１の部材１０８ａに回転可能に連結されている。第２のアーム１１４の第２の端部１１５ｂは、（下部リストコネクタ１１２ａの）第５の軸Ａ５において回転可能に連結されている。第３のアーム１１６は、第１の端部１１７ａおよび第２の端部１１７ｂを有し、その第１の端部１１７ａは、第６の軸Ａ６において第２の部材１０８ｂに回転可能に連結されている。第３のアーム１１６の第２の端部１１７ｂは、（上部リストコネクタ１１２ｂの）第３の軸Ａ３において回転可能に連結されている。第３のアーム１１６と名目上同一平面上にある第４のアーム１１８は、第１の端部１１９ａおよび第２の端部１１９ｂを有し、その第１の端部１１９ａは、第７の軸Ａ７において第１の部材１０８ａに回転可能に連結されている。第４のアーム１１８の第２の端部１１９ｂは、（上部リストコネクタ１１２ｂの）第５の軸Ａ５において回転可能に連結されている。
【００２０】
［００２７］図１Ｂに示すように、第３のアーム１１６は、第１のアーム１１０から垂直方向にオフセットされており、第４のアーム１１８は、第２のアーム１１４から垂直方向にオフセットされている。いくつかの実施態様では、このオフセットは、約１から約８ｍｍの範囲であるが、これより大きいまたはより小さい垂直オフセットを採用してもよい。垂直オフセットは、例えば、第３のアーム１１６および／または第４のアーム１１８の下側にそれぞれ配置されたスペーサ１２０ａ、１２０ｂによって提供される。第３のアーム１１６および／または第４のアーム１１８をオフセットするための任意の他の方法を使用することができる。スペーサ１２０ａ、１２０ｂは、アルミニウムまたは別の適切な材料から形成することができる。以下にさらに説明するように、第１のアーム１１０と第３のアーム１１６、および第２のアーム１１４と第４のアーム１１８の間に垂直オフセットを設けることによって、上部リストコネクタ１１２ｂが下部リストコネクタ１１２ａ（図１Ａおよび図１Ｂ参照）と部分的に重なり、第１および第２のブレード１０４ａおよび１０４ｂがより完全に後退できるようになる。これにより、デュアルブレードロボット１００は、図１Ａおよび１Ｂに示されるように、完全に後退するときにより小さなフットプリントを占めるようになる。
【００２１】
［００２８］図１Ｃは、本明細書に提供されるいくつかの実施形態による、後退位置にあるデュアルブレードロボット１００の側面図である。図１Ｃを参照すると、上部および下部リストコネクタ１１２ａ、１１２ｂは、部分的に重なり合っており、ブレード１０４ａ、１０４ｂが名目上同一平面上に位置する（例えば、実質的に同一平面Ｐ１内において伸長および後退する）ように構成されている。いくつかの実施形態では、第１のブレード１０４ａは、ハブ１０６から第１の方向Ｄ１に外側へと延びるように構成され、第２のブレード１０４ｂは、ハブ１０６から第１の方向Ｄ１とは異なる第２の方向Ｄ２に（例えば反対方向、但し他の方向を使用してもよい）外側へと延びるように構成され、第１および第２のブレードは、名目上同一平面上に位置する。
さらに、第１のブレード１０４ａは、ハブ１０６に向かって内側に後退するように構成され、第２のブレード１０４ｂは、ハブ１０６に向かって内側に後退するように構成される。
【００２２】
［００２９］図１Ｄは、本明細書に提供されるいくつかの実施形態によるデュアルブレードロボット１００の分解図である。図１Ｄを参照すると、いくつかの実施形態では、第１のアーム１１０は、その第１の端部１１１ａに隣接する弓状部分と、その第２の端部１１１ｂに隣接する直線状部分とを有している。第２のアーム１１４は、その第１の端部１１５ａに隣接する弓状部分と、その第２の端部１１５ｂに隣接する直線状部分とを有している。第３のアーム１１６は、その第１の端部１１７ａに隣接する弓状部分と、その第２の端部１１７ｂに隣接する直線状部分とを有している。第４のアーム１１８は、その第１の端部１１９ａに隣接する弓状部分と、その第２の端部１１９ｂに隣接する直線状部分とを有している。アーム部分には他の形状を採用してもよい。図１Ｄに示すように、リストコネクタ１１２ａおよび１１２ｂは、デュアルブレードロボット１００上に設置されたときに、ブレード１０４ａ、１０４ｂが名目上同一平面上に位置するように機械加工することができる。例えば、リストコネクタ１１２ａには、ブレード１０４ａが取り付けられるポケット１２２が設けられる。リストコネクタ１１２ｂは同様に構成することができ、各ポケットは、それらが名目上同一平面上に位置するようにブレード１０４ａおよび１０４ｂを位置決めする深さを有することができる。ポケットの深さは、リストコネクタ１１２ａ、１１２ｂの高さ、第３のアームと第４のアーム１１６と１１８との垂直オフセット等の要因に依存し得る。
【００２３】
［００３０］第１のブレード１０４ａおよび第２のブレード１０４ｂは、ブレードに意図された用途に適合する１つまたは複数の任意の適切な材料から形成することができる。図１Ａおよび図１Ｂの実施例では、第１のブレード１０４ａおよび第２のブレード１０４ｂはそれぞれ、少なくとも部分的に石英から構成されている。ブレードを記述するために使用されることがある別の用語がエンドエフェクタであることに留意されたい。
【００２４】
［００３１］図２Ａは、本開示の１つまたは複数の実施形態よる、図１Ｂに等角図で示したデュアルブレードロボット１００の上面図である。図２Ｂは、本開示の１つまたは複数の実施形態による、図１Ｂに等角図で示したデュアルブレードロボット１００の側面図である。
【００２５】
［００３２］図１Ａ〜図２Ｂのデュアルブレードロボット１００と共に使用するのに適した電子デバイス処理ツール３００の例示的一実施形態を図３に示す。図３は、移送チャンバ３０２、移送チャンバ３０２に連結されたロードロックチャンバ３０４、移送チャンバ３０２に連結された処理チャンバ３０６、移送チャンバ３０２内に配置されたデュアルブレードロボット１００、およびデュアルブレードロボット１００（および／または移送チャンバ３０２、ロードロックチャンバ３０４および／または処理チャンバ３０６）に連結されたロボットコントローラ３０８を含む、クラスタツールといった電子デバイス処理ツール３０８の例示的一実施形態の概略図である。
【００２６】
［００３３］移送チャンバ３０２は、少なくとも１つのロードロックチャンバ３０４とインターフェースし、少なくとも１つの処理チャンバ３０６とインターフェースし、デュアルブレードロボット１００を収容するように構成することができる。移送チャンバ３０２は、例えば、基準大気圧未満の圧力まで排気されるように構成することができる。
【００２７】
［００３４］ロードロックチャンバ３０４は、ファクトリインターフェース（図示せず）、またはファクトリインターフェースの１つまたは複数の負荷ポートにドッキングされた１つまたは複数の基板キャリア（例えば、前方開口型統一ポッド（ＦＯＵＰ））から基板を受け取ることができる他のシステム構成要素とインターフェースするように構成することができる。ロードロックチャンバ３０４は、処理チャンバ３０６に基板を供給するか、または処理チャンバ３０６から基板を受け取るために、デュアルブレードロボット１００のブレードの出入りを可能にするように構成することができる。
【００２８】
［００３５］処理チャンバ３０６は、エッチング、堆積、酸化、窒化、シリサイド化、エピタキシャル成長、選択的エピタキシャル成長、レジスト剥離、洗浄、リソグラフィ等を含むが、これらに限定されない任意の適切な処理の操作のために構成することができる。処理チャンバ３０６は、デュアルブレードロボット１００のブレードの出入りを可能にするように構成することができる。
【００２９】
［００３６］上述したように、デュアルブレードロボット１００は、第１のブレードに連結され、第１のブレードを第１の方向に延長するように構成された第１のフログレッグリンケージと、第２のブレードに連結され、第２のブレードを第２の方向に延長するように構成された第２のフログレッグリンケージとを含むことができ、第２のフログレッグリンケージは、第１のブレードおよび第２のブレードがそれぞれ後退位置にあるときに、第２のフログレッグリンケージが第１のフログレッグリンケージに部分的に重なるように、第１のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされている（例えば、図１Ａ−２Ｂ参照）。
【００３０】
［００３７］ロボットコントローラ３０８は、デュアルブレードロボット１００に連結され、その操作を指示する制御信号をデュアルブレードロボット１００に供給するように構成することができる。ロボットコントローラ３０８によって生成される制御信号は、限定されないが、電子信号、光信号、磁気信号、および／または電磁信号であり得る。いくつかの例示的実施態様において、ロボットコントローラ３０８は、制御信号を生成する処理のデジタル回路を含む。そのようなデジタル回路は、限定しないが、１つまたは複数のマイクロプロセッサ、１つまたは複数のマイクロコントローラ、１つまたは複数のフィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、１つまたは複数の埋め込みプロセッサを含む１つまたは複数のシステムオンチップ（ＳｏＣ）集積回路、または個別のデジタルコンポーネントを含み得る。ロボットコントローラ３０８は、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、および埋め込みプロセッサのような（限定されないが）計算リソースによる使用のための、記憶されたデーターおよび記憶された命令をさらに含み得る。ロボットコントローラ３０８は、ＦＰＧＡの機能性を動的に変更するためのＦＰＧＡコンフィギュレーションデータをさらに含み得る。
【００３１】
［００３８］いくつかの実施形態では、ロボットコントローラ３０８は、デュアルブレードロボット１００の整備および保守を容易にし、デュアルブレードロボット１００の操作および動作状態に関する情報を提供するために、ネットワーク通信インターフェースを含む。
【００３２】
［００３９］いくつかの実施態様において、ロボットコントローラ３０８はさらに、デュアルブレードロボット１００から信号を受け取るように構成される。デュアルブレードロボット１００からロボットコントローラ３０８によって受け取られた信号は、デュアルブレードロボット１００が所定の動作パラメータに従って動作しているか否かを判断するために、ロボットコントローラ３０８によって使用され得る。ロボットコントローラ３０８は、ロボット１００を制御するためのコントローラに専用であってもよく、またはクラスタツール３００、移送チャンバ３０２、ロードロックチャンバ３０４、および／または処理チャンバ３０６を制御するコントローラおよび／または制御システムの一部であってもよい。
【００３３】
［００４０］本開示の実施形態による、電子デバイス処理システム、例えばクラスタツール内部で基板を搬送する例示的な方法４００が提供され、図４を参照して説明される。方法４００は、ブロック４０２において、移送チャンバ、移送チャンバに連結された第１のチャンバ、移送チャンバに連結された第２のチャンバ、および第１のフログレッグリンケージおよび第２のフログレッグリンケージを有するデュアルブレードロボット（例えば、図３の処理ツール３００を参照）を有する処理ツールを提供することを含む。
【００３４】
［００４１］方法４００は、続いてブロック４０４において、デュアルブレードロボットの第１のフログレッグリンケージに連結されている第１のブレードの少なくとも一部が移送チャンバに連結されている第１のチャンバ内に配置されるように、移送チャンバ内に配置されている第１のフログレッグリンケージを延長する。いくつかの例示的な実施形態では、第１のチャンバは、ロードロックチャンバまたは処理チャンバである。例えば、図３を参照すると、第２のブレード１０４ｂをロードロックチャンバ３０４内へと延長するために、第１の部材１０８ａが反時計回りに回転し、第２の部材１０８ｂが時計回りに回転する。これにより、第１のアーム１１０、第２のアーム１１４、第３のアーム１１６および第４のアーム１１８はロードロックチャンバ３０４に向かって伸びる。図３に示すように、第３のアーム１１６は第１のアーム１１０と部分的に重なり、第４のアーム１１８は第２のアーム１１４と部分的に重なる。
【００３５】
［００４２］図３の延長位置において、リストコネクタ１１２ｂは、第２のブレード１０４ｂがロードロックチャンバ３０４内に延びるように（ロードロックチャンバ３０４内部に基板を配置するため、またはロードロックチャンバ３０４から基板を回収するために）、ロードロックチャンバ３０４の近傍に配置される。
【００３６】
［００４３］方法４００は、続いてブロック４０６において、第１のブレードを用いて第１のチャンバから基板を回収する。いくつかの例示的な実施形態では、基板は、ウエハまたはグラスプレートである。ウエハは、半導体製造に使用される種類のものであってよい。ガラスプレートは、ディスプレイ製造等に使用される種類のものであってよい。図３の実施例では、第２のブレード１０４ｂは、ロードロックチャンバ３０４から基板３１０を回収する。１つまたは複数の実施形態では、ロボット１００は、垂直運動を伴わずに基板３１０を回収することができる（例えば、ロードロックチャンバ３０４は、基板３１０を垂直方向に割出して、基板３１０を第２のブレード１０４ｂ上に配置することができる）。
【００３７】
［００４４］方式４００は、続いてブロック４０８において、基板を支持しながら、第１のブレードが第１のチャンバを出て、第１のフログレッグリンケージが第１のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされているデュアルブレードロボットの第２のフログレッグリンケージと部分的に重なるように、第１のフログレッグリンケージを後退させる。例えば、図３を参照すると、ロードロックチャンバ３０４から基板３１０を回収した後、第１の部材１０８ａを時計回りに回転させ、第２の部材１０８ｂを反時計回りに回転させることができる。これにより、第１のアーム１１０、第２のアーム１１４、第３のアーム１１６および第４のアーム１１８は、ハブ１０６に向かって後退する（図１Ｂ参照）。図１Ｂに示すように、第３のアーム１１６は第１のアーム１１０と部分的に重なり、第４のアーム１１８は第２のアーム１１４と部分的に重なる。図１Ｂの後退位置では、リストコネクタ１１２ｂは、リスト接続部１１２ａの上方に配置される（図２Ｂも参照）。
【００３８】
［００４５］同様に、第１のブレード１０４ａは、第１の部材１０８ａを時計回りに回転させ、第２の部材１０８ｂを反時計回りに回転させることによって、ロードロックチャンバまたは処理チャンバ内へと延びることができる。これにより、第１のアーム１１０、第２のアーム１１４、第３のアーム１１６および第４のアーム１１８は、ハブ１０６から離れるように外側へと延びる。
【００３９】
［００４６］本開示のさらなる実施形態は、基板を回収するために第２のブレードを操作することを含む。例えば、第２のフログレッグリンケージに連結されたデュアルブレードロボットの第２のブレードが第１のチャンバ内に配置されるように第２のフログレッグリンケージを延長し、第２のブレードを用いて第１のチャンバから追加の基板を回収し、第２のブレードが第２のブレード上に追加の基板を有して第１のチャンバを出るように、第２のフログレッグリンケージを後退させる。後退位置では、第２のフログレッグリンケージは、第２のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされている第１のフログレッグリンケージと部分的に重なる。
【００４０】
［００４７］例示的な方法４００は、クラスタツールの以下の例示的構成を用いて実施することができるが、他の電子デバイス処理システムを用いて実施されてもよい。例示的なクラスタツール構成は、中にデュアルブレードロボットが配置される移送チャンバを含み得る。１つまたは複数のロードロックチャンバを移送チャンバに連結することができ、１つまたは複数の処理チャンバを移送チャンバに連結することができる。１つまたは複数のロードロックチャンバ、１つまたは複数の処理チャンバ、および移送チャンバは、排気されるように構成されてもよい。このような排気は、低圧処理操作を容易にし得る。様々な例示的な実施形態において、第１のブレードは、少なくとも部分的に石英で形成され得る。
【００４１】
［００４８］本開示による例示的な方法は、基板を回収した後、基板が送達されるロードロックチャンバまたは処理チャンバと第１のブレードが位置合わせされるように、第１のブレードを移送チャンバ内部で水平面内で回転させることをさらに含むことができる。基板を回収する方法と同様に、基板送達は、基板が送達されるチャンバ内に第１のブレードが配置されるように、第１のフログレッグリンケージを延長することを含み得る。基板が送達され、第１のブレードから回収された後、第１のブレードは、第１のフログレッグリンケージの後退によって後退させられる。
【００４２】
［００４９］上述した例示的な方法では、第２のフログレッグリンケージは、第１のフログレッグリンケージおよび第１のブレードと同様に、デュアルブレードロボットの第２のブレードを延長および後退させるように動作する。例示的な実施形態では、第１のブレードおよび第２のブレードは、名目上同一平面上に位置し、第２のフログレッグリンケージは、第１のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされている。
【００４３】
［００５０］このように、部分的に重なり合うフログレッグリンケージを有するデュアルブレードロボットが開示された。デュアルブレードロボットは、フログレッグ構成において互いに同一平面上に位置し、それぞれが第１のブレードに回転可能に連結された第１のアームおよび第２のアームと、フログレッグ構成において互いに同一平面上に位置し、それぞれが第２のブレードに回転可能に連結された第３のアームおよび第４のアームとを含み、第３のアームおよび第４のアームは第１のアームおよび第２のアームから垂直方向にオフセットされている。第３および第４のアームは、第１および第２のブレードが後退位置にあるときに、第１および第２のアームの少なくとも一部と部分的に重なるように構成される。ロボットおよびを含むロボット電子デバイス処理システムを操作する方法が、他の多数の態様と同様に提供される。
【００４４】
［００５１］明らかなように、ここに記載されるデュアルブレードロボット１００は、小型の構成を提供し、したがって有利には２つのブレードの各々を、移送チャンバ内部に適合させたまま長くすることができる（例えば、かつロボットおよび／またはブレードは回転可能である）。
【００４５】
［００５２］前述の記載は、例示的な実施形態のみを開示している。本開示の範囲内にある上記に開示された装置、システム、および方法の修正は、当業者には容易に明らかであろう。したがって、本開示は、その例示的な実施形態に関連して提供されたが、特許請求の範囲によって定義されるように、他の実施形態がその範囲に含まれ得ることを理解されたい。
また、本願は以下に記載する態様を含む。
（態様１）
第１のブレードに連結され、前記第１のブレードを第１の方向に延長するように構成された第１のフログレッグリンケージ、および
第２のブレードに連結され、前記第２のブレードを第２の方向に延長するように構成された第２のフログレッグリンケージ
を備えるデュアルブレードロボットであって、
前記第２のフログレッグリンケージが、前記第１のブレードおよび前記第２のブレードがそれぞれ後退位置にあるときに前記第２のフログレッグリンケージが前記第１のフログレッグリンケージと部分的に重なるように、前記第１のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされている、デュアルブレードロボット。
（態様２）
前記第１の方向と前記第２の方向は、互いの反対方向である、態様１に記載のデュアルブレードロボット。
（態様３）
ハブ、および
前記ハブに回転可能に連結された第１の部材
をさらに備え、
前記第１のフログレッグリンケージが、第１の位置で前記第１の部材に回転可能に連結され、前記第２のフログレッグリンケージが、第２の位置で前記第１の部材に回転可能に連結される、態様１に記載のデュアルブレードロボット。
（態様４）
第１の軸を有するハブ、
前記ハブに回転可能に連結されて前記第１の軸を中心に回転可能な第１の部材、および
前記ハブに回転可能に連結されて前記第１の軸を中心に回転可能な第２の部材
をさらに備え、
前記第１のフログレッグリンケージが、
第１の端部および第２の端部を有する第１のアームであって、前記第１のアームの前記第１の端部は前記第１の部材に回転可能に連結されて第２の軸を中心に回転可能であり、前記第１のアームの前記第２の端部は前記第１のブレードに回転可能に連結されて第３の軸を中心に回転可能である、前記第１のアームと、
第１の端部および第２の端部を有する第２のアームであって、前記第２のアームの第１の端部は前記第２の部材に回転可能に連結されて第４の軸を中心に回転可能であり、前記第２のアームの前記第２の端部は前記第１のブレードに回転可能に連結されて第５の軸を中心に回転可能である、前記第２のアームと
を含み、
前記第２のフログレッグリンケージが、
第１の端部および第２の端部を有する第３のアームであって、前記第３のアームの前記第１の端部は前記第２の部材に回転可能に連結されて第６の軸を中心に回転可能であり、前記第３のアームの前記第２の端部は第２のブレードに回転可能に連結されて前記第３の軸を中心に回転可能である、前記第３のアームと、
第１の端部および第２の端部を有する第４のアームであって、前記第４のアームの前記第１の端部は前記第１の部材に回転可能に連結されて第７の軸を中心に回転可能であり、前記第４のアームの前記第２の端部は前記第２のブレードに回転可能に連結されて前記第５の軸を中心に回転可能である、前記第４のアームと
を含み、
前記第１のアームが前記第２のアームと名目上同一平面上に位置し、前記第３のアームが前記第４のアームと名目上同一平面上に位置し、前記第３のアームおよび前記第４のアームが、それぞれ前記第１のアームおよび前記第２のアームから垂直方向にオフセットされている、態様１に記載のデュアルブレードロボット。
（態様５）
前記第１のブレードが、前記ハブから前記第１の方向に外側へと延びるように構成されており、前記第２のブレードが、前記ハブから前記第１の方向とは異なる前記第２の方向に、外側へと延びるように構成されており、前記第１のブレードと前記第２のブレードは名目上同一平面上に位置している、態様４に記載のデュアルブレードロボット。
（態様６）
前記第１のブレードが、前記ハブに向かって内側へと後退するように構成されており、前記第２のブレードが、前記ハブに向かって内側へと後退するように構成されている、態様４に記載のデュアルブレードロボット。
（態様７）
前記第３のアームが、前記第１のブレードおよび前記第２のブレードがそれぞれ後退位置にあるときに前記第１のアームと部分的に重なるように構成されており、前記第４のアームが、前記第１のブレードおよび前記第２のブレードがそれぞれ後退位置にあるときに前記第２のアームと部分的に重なるように構成されている、態様６に記載のデュアルブレードロボット。
（態様８）
前記第１のアームが、前記第２の軸に隣接する弓状部分と、前記第３の軸に隣接する直線状部分とを有し、前記第２のアームが、前記第４の軸に隣接する弓状部分と、前記第５の軸に隣接する直線状部分とを有し、前記第３のアームが、前記第６の軸に隣接する弓状部分と、前記第３の軸に隣接する直線状部分とを有し、前記第４のアームが、前記第７の軸に隣接する弓状部分と、前記第５の軸に隣接する直線状部分とを有する、態様４に記載のデュアルブレードロボット。
（態様９）
前記第１のフログレッグリンケージおよび前記第２のフログレッグリンケージが、第１のチャンバ内に配置される、態様１に記載のデュアルブレードロボット。
（態様１０）
移送チャンバ、
前記移送チャンバに連結されたロードロック、
前記移送チャンバに連結された処理チャンバ、および
前記移送チャンバ内に配置された、第１のブレードおよび第２のブレードを有するデュアルブレードロボットであって、第１のフログレッグリンケージおよび第２のフログレッグリンケージを有するデュアルブレードロボット
を備えるクラスタツールであって、
前記第２のフログレッグリンケージが、前記第１のフログレッグリンケージから垂直方向にオフセットされており、前記第２のフログレッグリンケージは、前記第１のフログレッグリンケージおよび前記第２のフログレッグリンケージがそれぞれ後退位置にあるときに前記第１のフログレッグリンケージと部分的に重なる、
クラスタツール。
（態様１１）
前記第１のフログレッグリンケージが、
第１の端部および第２の端部を有する第１のアームであって、前記第１のアームの前記第１の端部は第１の部材に回転可能に連結されて第１の軸を中心に回転可能であり、前記第１のアームの前記第２の端部は第１のブレードに回転可能に連結されて第２の軸を中心に回転可能である、前記第１のアームと、
第１の端部および第２の端部を有する第２のアームであって、前記第２のアームの前記第１の端部は第２の部材に回転可能に連結されて第３の軸を中心に回転可能であり、前記第２のアームの前記第２の端部は前記第１のブレードに回転可能に連結されて第４の軸を中心に回転可能である、前記第２のアームと
を含む、態様１０に記載のクラスタツール。
（態様１２）
前記第２のフログレッグリンケージが、
第１の端部および第２の端部を有する第３のアームであって、前記第３のアームの前記第１の端部は前記第２の部材に回転可能に連結されて第５の軸を中心に回転可能であり、前記第３のアームの前記第２の端部は前記第２のブレードに回転可能に連結されて前記第２の軸を中心に回転可能である、前記第３のアームと、
第１の端部および第２の端部を有する第４のアームであって、前記第４のアームの前記第１の端部は前記第１の部材に回転可能に連結されて第６の軸を中心に回転可能であり、前記第４のアームの前記第２の端部は前記第２のブレードに回転可能に連結されて前記第４の軸を中心に回転可能である、前記第４のアームと
を含み、
前記第１のアームが前記第２のアームと名目上同一平面上に位置し、前記第３のアームが前記第４のアームと名目上同一平面上に位置し、前記第３のアームおよび前記第４のアームはそれぞれ前記第１のアームおよび前記第２のアームから垂直方向にオフセットされており、前記デュアルブレードロボットは、前記第１のブレードおよび前記第２のブレードが後退位置にあるときに、前記移送チャンバ内部で前記第１の軸を中心として前記第１のブレードおよび前記第２のブレードが回転可能であるような大きさを有する、態様１１に記載のクラスタツール。
（態様１３）
前記処理チャンバが低圧化学気相堆積操作のために構成されている、態様１０に記載のクラスタツール。
（態様１４）
前記処理チャンバがエピタキシャル成長操作のために構成されており、前記第１のブレードおよび前記第２のブレードのそれぞれが石英を含む、態様１０に記載のクラスタツール。
（態様１５）
第１のチャンバと第２のチャンバとの間で基板を移送する方法であって、
移送チャンバ、
前記移送チャンバに連結された第１のチャンバ、
前記移送チャンバに連結された第２のチャンバ、および
前記移送チャンバ内部に配置されたデュアルブレードロボットであって、第１のフログレッグリンケージと第２のフログレッグリンケージとを有する前記デュアルブレードロボット
を有する処理ツールを提供すること、
前記第１のフログレッグリンケージに連結された前記デュアルブレードロボットの第１のブレードが前記第１のチャンバ内に配置されるように、前記第１のフログレッグリンケージを延長すること、
前記第１のブレードを用いて前記第１のチャンバから基板を回収すること、および
前記基板を乗せた状態で前記第１のブレードが前記第１のチャンバから出るように、前記第１のフログレッグリンケージを後退させること
を含み、前記第１のフログレッグリンケージが、前記第１のチャンバから前記第１のフログレッグリンケージを後退させた後、前記デュアルブレードロボットの第２のフログレッグリンケージと部分的に重なる、方法。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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