Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成30年9月4日(2018.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ｉ）少なくとも１つの第１の平行配置チャネル及び少なくとも１つの第２の平行配置チャネルと、（ｉｉ）前記少なくとも１つの第１の平行配置チャネルに光源光を提供する少なくとも１つの光源と、を含むマルチチャネルプレートであって、前記少なくとも１つの第１の平行配置チャネルは、光透過部を含み、第１の照明機能として前記光源光を前記光透過部から下流に及び前記マルチチャネルプレートから外に提供し、前記少なくとも１つの第２の平行配置チャネルは、前記第１の照明機能とは異なる追加機能を提供し、前記第１の平行配置チャネル及び前記第２の平行配置チャネルは、単一ポリマー体の一部であり、１つ又は複数のチャネル壁は、チャネルキャビティを迂回し、当該マルチチャネルプレートは、該マルチチャネルプレートの長さよりもそれぞれ小さい高さ及び幅を持ち、該幅は、該高さの少なくとも４倍である、マルチチャネルプレート。
【請求項２】
前記第１の照明機能を有する前記第１の平行配置チャネルと前記第１の照明機能とは異なる少なくとも１つの追加機能を有する前記第２の平行配置チャネルとの反復構造を含む、請求項１に記載のマルチチャネルプレート。
【請求項３】
前記第１の平行配置チャネルは、チャネル壁と一体化された前記単一ポリマー体の一部である光学系を含む、請求項１又は２に記載のマルチチャネルプレート。
【請求項４】
前記光源は前記第１の平行配置チャネル内に少なくとも１つの発光部品を含み、前記少なくとも１つの発光部品は、マルチＬＥＤストリップ、レーザーダイオード、単一のライドガイド、パターン化された単一のライドガイド、ルミネッセント材料のコーティング／フィルム、前記ルミネッセント材料の透明なコーティング／フィルムから成るグループのうちの少なくとも１つである、請求項１乃至３の何れか一項に記載のマルチチャネルプレート。
【請求項５】
前記第１の平行配置チャネルは、前記少なくとも１つの発光部品を収容する、前記第１の平行配置チャネルの断面よりも小さい断面を持つサブチャネルを含む、請求項４に記載のマルチチャネルプレート。
【請求項６】
前記第２の平行配置チャネルの少なくとも一部は、光に対して透過性ではない、請求項１乃至５の何れか一項に記載のマルチチャネルプレート。
【請求項７】
前記少なくとも１つの第２の平行配置チャネルが、光電池と、流体密管、コネクタ又はノズルの様な流体用の流体輸送手段と、懸架手段と、電気ケーブルの様な電気機器と、ＩＣＴ機器と、検出器／センサと、回路と、電力源と、電気コネクタと、充電コントローラと、バッテリシステムと、インバータとから成る機能群から選択された、前記第１の照明機能とは異なる前記少なくとも１つの追加機能を提供する、請求項１乃至６の何れか一項に記載のマルチチャネルプレート。
【請求項８】
チャネル壁の厚さは、当該マルチチャネルプレートの長さ、幅、及び／又は高さに亘って異なる、請求項１乃至７の何れか一項に記載のマルチチャネルプレート。
【請求項９】
当該マルチチャネルプレートの少なくとも一部は、ルミネッセント材料を含む、請求項１乃至８の何れか一項に記載のマルチチャネルプレート。
【請求項１０】
請求項１乃至９の何れか一項に記載のマルチチャネルプレートを複数含む園芸用構築体であって、１つ又は複数の前記マルチチャネルプレートが、園芸用構築体に含まれる植物に光並びに水及び肥料の１つ又は複数を与える基礎構造に含まれる、園芸用構築体。
【請求項１１】
請求項１乃至９の何れか一項に記載のマルチチャネルプレートを複数と、１つ又は複数のコネクタとを含むパーツキットであって、前記１つ又は複数のコネクタは、設置された隣接するマルチチャネルプレートを互いに接続する、パーツキット。
【請求項１２】
前記１つ又は複数のコネクタは、第１のマルチチャネルプレートの第２の平行配置チャネルと、第２のマルチチャネルプレートの第２の平行配置チャネルとの間の流体密接続を提供する、請求項１１に記載のパーツキット。
【請求項１３】
前記１つ又は複数のコネクタの少なくとも１つが、１８０°に等しくない角度で隣接するマルチチャネルプレートを接続する、請求項１１又は１２に記載のパーツキット。
【請求項１４】
請求項１乃至９の何れか一項に記載のマルチチャネルプレートを製造する方法であって、
ａ．押し出し出発材を準備するステップと、
ｂ．前記押し出し出発材を前記マルチチャネルプレートにマルチチャネル押し出しするステップであって、中間冷却又は加熱を含む、ステップと、
ｃ．光源を前記マルチチャネルプレートに設けるステップと、
を含む、方法。
【請求項１５】
前記押し出し出発材は、ガラス材料を含む、請求項１４に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月24日(2018.8.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気活性材料を含む層；および
該電気活性材料を含む層の表面に配置した無機リチウムイオン伝導性層
を含み、
該電気活性材料が、リチウムインターカレーション化合物であることを特徴とする、リチウムインターカレーション電極。
【請求項２】
無機リチウムイオン伝導性層を、電気活性材料を含む層上に付着させる工程
を含み、
該電気活性材料が、リチウムインターカレーション化合物であることを特徴とする、リチウムインターカレーション電極を製造する方法。
【請求項３】
前記電気活性材料の少なくとも一部が、電解質と直接接触している、請求項１記載のリチウムインターカレーション電極。
【請求項４】
前記電気活性材料の少なくとも一部が、電解質と直接接触している、請求項２記載の方法。
【請求項５】
前記無機リチウムイオン伝導性層がリチウムを含む、第１の、請求項１記載のリチウムインターカレーション電極；
第２の電極；および
電解質
を含み、
該第１のリチウムインターカレーション電極の少なくとも一部が、該電解質と直接接触している、電気化学電池。
【請求項６】
前記無機リチウムイオン伝導性層がリチウムを含む、第１の、請求項１記載のリチウムインターカレーション電極、および第２の電極を含む電気化学電池にサイクルを行う工程；並びに
前記第１のリチウムインターカレーション電極から分解される種、または電解質から分解される種が、該第２の電極に存在するのを実質的に抑制する工程
を含む方法。
【請求項７】
前記リチウムイオン伝導性層が、少なくとも１μｍの厚さを有する、請求項１記載の電極。
【請求項８】
前記電気活性材料を含む層が多孔質である、請求項１記載の電極。
【請求項９】
前記電気活性材料を含む層が、前記電気活性材料の複数の粒子を含む、請求項１記載の電極。
【請求項１０】
前記電気活性材料の複数の粒子の少なくとも一部がコーティングを有する、請求項９記載の電極。
【請求項１１】
前記リチウムイオン伝導性層がセラミック材料を含む、請求項１記載の電極。
【請求項１２】
前記セラミック材料が、酸化リチウム、窒化リチウム、リチウムオキシスルフィド、Ｌｉ１０ＧｅＰ２Ｓ１２、および／またはＬｉ７Ｌａ３Ｚｒ２Ｏ１２を含む、請求項１１記載の電極。
【請求項１３】
前記リチウムイオン伝導性層が実質的に連続である、請求項１記載の電極。
【請求項１４】
前記リチウムイオン伝導性層が実質的に多孔質である、請求項１記載の電極。
【請求項１５】
前記リチウムイオン伝導性層が、約２０μｍ以下の表面粗さＲｚを有する、請求項１記載の電極。
【請求項１６】
前記電気活性材料を含む層の複数の粒子が、約１５μｍ以下の平均最大断面寸法を有する、請求項９記載の電極。
【請求項１７】
前記電解質が液体電解質である、請求項５記載の電気化学電池。
【請求項１８】
前記電気活性材料を含む層が、約１０〜約７０体積％の気孔率を有する、請求項８記載の電極。
【請求項１９】
前記電極がカソードである、請求項１記載の電極。
【請求項２０】
前記電気活性材料が、層状酸化物、遷移金属ポリアニオン酸化物、および／またはスピネルである、請求項１記載の電極。
【請求項２１】
前記電気活性材料が、リチウムコバルト酸化物、リン酸鉄リチウム、リチウムニッケル酸化物、リチウムマンガン酸化物、リチウムニッケルコバルトアルミニウム酸化物、および／またはリチウムニッケルコバルトマンガン酸化物である、請求項１記載の電極。
【請求項２２】
前記リチウムイオン伝導性層が、少なくとも１体積％および７０体積％未満の気孔率を有する、請求項１記載の電極。
【請求項２３】
前記リチウムイオン伝導性層の気孔率が、１０体積％以上および７０体積％未満である、請求項２２記載の電極。
【請求項２４】
前記リチウムイオン伝導性層が非晶質無機材料を含む、請求項１記載の電極。
【請求項２５】
前記リチウムイオン伝導性層が、第１の電極および第２の電極の間の種の輸送を実質的に阻害するように構成されている、請求項５記載の電気化学電池。
【請求項２６】
前記種が、第１の電極から分解した種および／または電解質から分解した種を含む、請求項２５記載の電気化学電池。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月19日(2018.7.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極組立体と、
前記電極組立体を電解液とともに封止する外装材と、を含み、
前記電極組立体及び外装材は、曲げの時に長さ方向に対する収縮及び弛緩のためのパターンが同一の方向性を有するようにそれぞれ形成され、
前記パターンが形成された領域は、下記の数式１による増加した表面積比率（Ｓｄｒ）が、０．５〜４０．０を満足する領域を含むフレキシブルバッテリー：
［数式１］
【数１】
2017527969.tif 000001
この際、前記パターンが形成された一領域の表面積は、横の長さがＬｘ（ｍｍ）、縦の長さがＬｙ（ｍｍ）であるバッテリー一領域を基準にした時の表面積を意味する。
【請求項２】
前記パターンは、
前記外装材の少なくとも一面に形成される第１パターンと、
前記電極組立体に前記第１パターンと同一の方向に形成される第２パターンと、を含み、
前記第１パターン及び第２パターンは、互いに一致するように配置されることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルバッテリー。
【請求項３】
前記パターンは、長さ方向に沿って複数の山部及び谷部が交互に形成され、
前記山部及び谷部は、弧形断面、多角断面、及び、これらが相互組合された断面を有するように設けられることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルバッテリー。
【請求項４】
それぞれの山部及び谷部は、前記電極組立体及び外装材の幅方向と平行な方向に、連続的又は非連続的に形成されることを特徴とする請求項３に記載のフレキシブルバッテリー。
【請求項５】
前記パターンは、前記電極組立体及び外装材に全体的に形成されるか、又は部分的に形成されることを特徴とする請求項３に記載のフレキシブルバッテリー。
【請求項６】
隣合う山部の間隔又は谷部の間隔は、等間隔又は不等間隔を有するように形成されるか、又は、等間隔と不等間隔とが相互組合された形態に設けられることを特徴とする請求項３に記載のフレキシブルバッテリー。
【請求項７】
前記パターンは、長さ方向に沿って連続的に形成されるか、又は非連続的に形成されることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルバッテリー。
【請求項８】
前記外装材は、前記電極組立体及び電解液を収容する収容部を形成するための第１領域と、前記第１領域を取り囲むように配置され、シール部を形成するための第２領域と、を含み、
前記パターンのうち外装材に形成されるパターンは、前記第１領域にのみ形成されることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルバッテリー。
【請求項９】
前記バッテリーの断面厚さは、０．２〜５ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルバッテリー。
【請求項１０】
前記数式１による増加した表面積比率（Ｓｄｒ）は、３．０〜２３．０であることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルバッテリー。
【請求項１１】
電極組立体と、
前記電極組立体を電解液とともに封止する外装材と、を含み、
前記電極組立体及び外装材は、曲げの時に長さ方向に対する収縮及び弛緩のためのパターンが同一の方向性を有するようにそれぞれ形成され、
前記パターンが形成された領域は、下記の数式２によるθが５．０゜〜４７゜を満足する領域を含むフレキシブルバッテリー：
［数式２］
【数２】
2017527969.tif 000002
前記ｈは、フレキシブルバッテリーに形成されたパターンにおいて隣接する山及び谷の最高点と最低点との間の平均垂直距離（ｍｍ）であり、前記ｐは、隣接する二つの山それぞれの最高点間の平均水平距離（ｍｍ）を意味する。
【請求項１２】
前記パターンが形成された領域は、前記数式２によるθが５．０゜〜３１゜を満足する領域を含むことを特徴とする請求項１１に記載のフレキシブルバッテリー。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれかに記載のフレキシブルバッテリーと、
前記外装材の表面を覆う軟質のハウジングと、を含み、
前記ハウジングは、充電対象機器との電気的な連結のための少なくとも一つの端子部が設けられる補助バッテリー。
【請求項１４】
電極組立体が電解液とともに外装材により封止されるフレキシブルバッテリーの製造方法において、
前記電極組立体及び外装材は、曲げの時に長さ方向に対する収縮及び弛緩のためのパターンをそれぞれ含み、
前記パターンは、前記電極組立体に形成されるパターンと前記外装材に形成されるパターンとが互いに一致し、下記数式１による増加した表面積比率（Ｓｄｒ）が０．５〜４０．０を満足する領域を含むように、電極組立体及び外装材を同時に加圧して形成されるフレキシブルバッテリーの製造方法：
［数式１］
【数３】
2017527969.tif 000003
この際、前記パターンが形成された一領域の表面積は、横の長さがＬｘ（ｍｍ）、縦の長さがＬｙ（ｍｍ）であるバッテリーの一領域を基準にしたときの表面積を意味する。
【請求項１５】
請求項１３に記載の補助バッテリーを含むモバイル電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】フレキシブルバッテリー、その製造方法、フレキシブルバッテリーを含む補助バッテリー、及び、モバイル電子機器
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月18日(2018.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
式
Ｌｉｐ□ｑＮｉｘＭｎｙＣｏｚＯ２
（式中、□は、想定空孔含有量を表し、ｐ＋ｑ＋ｘ＋ｙ＋ｚ＝２、０．０６＜ｑ＜０．１５、０．８８＜ｐ＜１．０１、０．１＜ｘ＜０．４５、０．０５＜ｙ＜０．６、及び０．０５＜ｚ＜０．５である。）
で表されるリチウム遷移金属酸化物を含むカソード組成物であって、
前記リチウム遷移金属酸化物が、Ｏ３タイプ構造を有し、
Ｌｉ金属箔を対電極として使用し、１ＭのＬｉＰＦ６を含有するカーボネート系電解質を使用して前記組成物を試験した場合、３０℃で１０ｍＡ／ｇを使用した、Ｌｉに対する、２．０〜４．８Ｖでの不可逆容量が、１０％未満である、カソード組成物。
【請求項２】
式
Ｌｉｐ□ｑＮｉｘＭｎｙＣｏｚＯ２
（式中、□は、想定空孔含有量を表し、ｐ＋ｑ＋ｘ＋ｙ＋ｚ＝２、０．０５＜ｑ＜０．１５、０．８＜ｐ＜１．０２、０．０５＜ｘ＜０．４５、０．０５＜ｙ＜０．６、０．０５＜ｚ＜０．６、及び０．１４＜ｐ＊ｘ＜０．３４である。）
で表されるリチウム遷移金属酸化物を含み、
前記リチウム遷移金属酸化物が、Ｏ３タイプ構造を有する、カソード組成物。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月1日(2018.8.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
方法のためのコンピュータ実行可能命令を実行する際に、１つまたは複数のプロセッサによって実行される方法であって、
ストレージ階層における故障領域およびデータストレージプールにおける利用可能なストレージリソースを記述する１つまたは複数のコンピューティングデバイスによってデータを取得するステップと、
前記ストレージ階層の１つまたは複数のレベル内の前記利用可能なストレージリソースに関連するデバイスの動作特性を、１つまたは複数のコンピューティングデバイスによって確認するステップと、
記述された前記故障領域と、前記ストレージ階層の１つまたは複数のレベル内のデバイスの確認された前記動作特性とに基づいて、前記データストレージプール内の１つまたは複数の特定のデータストレージデバイスに、前記１つまたは複数のコンピューティングデバイスによるメタデータの分配を割り当てるステップと
を含み、
前記割り当ては、前記メタデータの少なくとも一部を受信するように構成されたデータストレージプール内の特定数のデータストレージデバイスに対する、故障領域の使用の数を最大化するように実行される方法。
【請求項２】
前記メタデータは、データがデータストレージプールに記憶される、対応する位置を見つけるために使用可能である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記動作特性は、正常性、データ接続タイプ、メディアタイプ、または現在のメタデータステータスを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
割り当てられたメタデータを受信するために使用される、前記データストレージプール内の１つまたは複数の特定のデータストレージデバイスの数は、前記データストレージプールについて指定された１つまたは複数の弾力的制約条件に少なくとも部分的に基づいている、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記弾力的制約条件は、動作可能のまま前記データストレージプールによって容認されるデバイス障害の数を特定する、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記故障領域がデータセンター、ラック、筐体、データストレージデバイス、およびストレージ階層におけるストレージユニットレベルを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
指定された数のデータストレージデバイスは、データストレージプールについて指定された１つまたは複数の弾力的制約条件に少なくとも部分的に基づいている、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
少なくとも部分的にハードウェアに実装された１つまたは複数のモジュールを備えるシステムであって、前記１つまたは複数のモジュールは、
複数の並列スレッドを使用して複数のデータストレージデバイスを同時にフォーマットするステップと、
同時フォーマットされた前記複数のデータストレージデバイスを単一のトランザクションを介してデータストレージプールに追加するステップと、
前記追加に応じて、前記データストレージプール内の各データストレージデバイスの動作特性に基づいて、前記データストレージプールにおけるメタデータの分配を割り当てるステップと、
前記複数の並列スレッドを使用して前記データストレージプールから少なくとも１つまたは複数の、他のデータストレージデバイスを除去するステップと、
前記データストレージプール内に残っている各データストレージデバイスの動作特性に基づいて、前記データストレージプール内のメタデータの分配の再均衡化するステップと
を含む動作を実行するように構成されている、システム。
【請求項９】
前記動作特性は、正常性、データ接続タイプ、メディアタイプ、または現在のメタデータステータスを含む、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記割り当ては、前記データストレージプール内の利用可能なストレージリソースのストレージ階層における故障領域に少なくとも部分的に基づく、請求項８に記載のシステム。
【請求項１１】
前記割り当ては、前記メタデータの少なくとも一部を受信するように構成されたデータストレージプール内の特定数のデータストレージデバイスに対する、故障領域の使用の数を最大化するように実行される、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
複数のデータストレージデバイスのデータストレージプールへの追加に応答して、データストレージプール単一データストレージデバイス内のメタデータを更新するステップをさらに含む、請求項８に記載のシステム。
【請求項１３】
少なくとも部分的にハードウェアに実装された１つまたは複数のモジュールを備えるシステムであって、前記１つまたは複数のモジュールは、
データストレージプール内のメタデータの分配を再均衡化するための指示を受信するステップと、
前記データストレージプールについて指定された弾力的制約条件を記述するデータを取得するステップと、
記述された前記弾力的制約条件に基づいて、前記データストレージプール内の１つまたは複数の特定のデータストレージデバイスへのメタデータの再分配を割り当てるステップと
を含む動作を実行するように構成されており、
前記割り当ては、前記データストレージプール内の利用可能なストレージリソースのストレージ階層における故障領域に少なくとも部分的に基づき、
前記割り当ては、メタデータの少なくとも一部を受信するように構成されたデータストレージプール内の特定数のデータストレージデバイスのための故障領域の使用の数を最大にするように実行される、システム。
【請求項１４】
前記弾力的制約条件は、動作可能のまま前記データストレージプールによって容認されるデバイス障害の数を特定する、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
データストレージプール内のメタデータの割り当て再分配は、データストレージプール内のデバイスの動作特性に少なくとも部分的に基づく、前記動作特性は、健康を含む、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１６】
前記動作特性は、正常性、データ接続タイプ、メディアタイプ、または現在のメタデータステータスを含む、請求項１５に記載のシステム。
【請求項１７】
前記複数の並列スレッドを使用して前記データストレージプールから少なくとも１つまたは複数の、他のデータストレージデバイスを除去するステップと、
前記データストレージプール内に残っている各データストレージデバイスの動作特性に基づいて、前記データストレージプール内のメタデータの分配の再均衡化するステップと
をさらに含む、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１８】
メタデータは、データがデータストレージプールに記憶される対応する位置を見つけるために使用可能である、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１９】
前記故障領域がデータセンター、ラック、筐体、データストレージデバイス、およびストレージ階層におけるストレージユニットレベルを含む、請求項１３に記載のシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月27日(2018.8.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シェル部分、及び開放前面を画定するドアフレームを備える容器部分と、
前記ドアフレームに受け入れられるような大きさのドアであって、前記ドアを前記容器部分に係止するためのラッチ機構を備えるドアと、
ウェーハを受け入れる領域を画定するための前記容器部分内に位置する１対のウェーハ棚構成要素と
を備え、
前記ウェーハ棚構成要素のそれぞれは、複数の着座部分を有し、ウェーハ縁部を係合するための前記着座部分上で露出されるポリブチレンテレフタレートポリマーは前記ウェーハは縁部に対して摩擦耐性がある、フロントオープニングウェーハ容器。
【請求項２】
３００ｍｍ又は４５０ｍｍのウェーハを受け入れるように構成されるとともに開放前面及び前記ウェーハを受け入れるように構成された１組の積み重ねられた傾斜部を有する容器部分を備え、前記傾斜部のそれぞれは棚間のウェーハの着座位置に通じ、１対の組の棚は複数の棚上の着座位置を提供し、前記開放前面を閉じるためにドアが前記容器部分によって受け入れられるような大きさにされ、前記ドアは、前記容器部分内で前記１組の積み重ねられた傾斜部と協働する１組の積み重ねられた傾斜部を有し、
前記容器部分の前記１組の積み重ねられた傾斜部は、前記ドアの前記積み重ねられた傾斜部に比べて前記ウェーハの縁部に対する滑り摩擦が小さいポリマーで形成される、フロントオープニングウェーハ容器。
【請求項３】
前記ポリマーは、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリテトラフルオロエチレン、ペルフルオロアルコキシアルカン、又はその組み合わせを含む、請求項２に記載のフロントオープニングウェーハ容器。
【請求項４】
前記母材はポリカーボネートであり、前記ポリマーは、オーバーモールド成型することによって前記ポリカーボネートに接合されるポリブチレンテレフタレートである、請求項２に記載のフロントオープニングウェーハ容器。
【請求項５】
開放前面及び前記開放前面を閉じるためのドアを有する容器部分を備え、前記容器部分は、棚上の着座位置を画定する複数の棚及び高い棚間の着座位置を画定する複数の傾斜部を備え、前記棚は第１のポリマー材料で形成され、前記複数の傾斜部は第２のポリマー材料で形成されるフロントオープニングウェーハ容器。
【請求項６】
前記複数の棚は、前記容器部分の１つの面にある第１の１組の積み重ねられた棚と、前記容器部分の前記１つの面とは反対側の面にある第２の１組の積み重ねられた棚とを備え、前記複数の傾斜部は、前記容器部分の前記１つの面にある第１の１組の積み重ねられた傾斜部と、前記容器部分の前記反対側の面にある第２の１組の積み重ねられた傾斜部とを備える、請求項５に記載のフロントオープニングウェーハ容器。
【請求項７】
前記第１のポリマー材料は、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリテトラフルオロエチレン、ペルフルオロアルコキシアルカン、又はその組み合わせを含む、請求項５に記載のフロントオープニングウェーハ容器。
【請求項８】
前記第１のポリマー材料はポリブチレンテレフタレートであり、前記第２のポリマー材料はポリカーボネートである、請求項５に記載のフロントオープニングウェーハ容器。
【請求項９】
ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリテトラフルオロエチレン、ペルフルオロアルコキシアルカン、又はその組み合わせから、１組の積み重ねられた傾斜部を備える予備形成品を形成することと、
ウェーハ棚構成要素用の型に前記予備形成品を挿入することと、
前記型内に母材を注入することによって前記予備形成品上に前記母材をオーバーモールド成型し、ウェーハ棚構成要素を形成することと、
成型された前記ウェーハ棚構成要素を前記型から取り除くことと、
容器部分内に前記ウェーハ棚構成要素を設置することと
を含む、ウェーハ容器を製造する方法。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月14日(2018.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤレスネットワークにおけるピアツーピア（Ｐ２Ｐ）通信を容易にする基地局によって実施可能な方法であって、
前記ワイヤレスネットワークは、ロングタームエボリューション（ＬＴＥ（登録商標））ネットワークを備え、
ＷＡＮ通信のためにワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）アップリンク（ＵＬ）スペクトルにおいてサブフレームの第１のグループを、前記基地局において指定することと、
Ｐ２Ｐ通信のために前記ＷＡＮ  ＵＬスペクトルにおいてサブフレームの第２のグループを、前記基地局において指定することと、
Ｐ２Ｐ制御情報およびＰ２Ｐデータを通信するために、Ｐ２Ｐモバイルエンティティがサブフレームの前記第２のグループにおけるＷＡＮ物理層チャネルを使用することを、前記基地局において可能にすることと、ここにおいて、前記可能にすることは、
前記Ｐ２Ｐ制御情報を搬送するために、前記Ｐ２Ｐモバイルエンティティが物理アップリンク制御チャネル（ＰＵＣＣＨ）を使用することを可能にすることと、
前記Ｐ２Ｐデータを搬送するために、前記Ｐ２Ｐモバイルエンティティが物理ダウンリンク共有チャネル（ＰＤＳＣＨ）を使用することを可能にすることと
を備える、
を備える方法。
【請求項２】
前記Ｐ２Ｐデータは、前記ＰＤＳＣＨ上で直交周波数分割多重（ＯＦＤＭ）コード化される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
サブフレームの前記第１のグループを指定することは、前記ＷＡＮ  ＵＬスペクトルの第１のインタレースを非共有インタレースとして割り当てることを備え、前記非共有インタレースは、前記ＷＡＮ通信のためのＵＬサブフレームの第１のシーケンスを備える、
サブフレームの前記第２のグループを指定することは、前記ＷＡＮ  ＵＬスペクトルの第２のインタレースを共有インタレースとして割り当てることを備え、前記共有インタレースは、Ｐ２Ｐ通信が可能であるＵＬサブフレームの第２のシーケンスを備える、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第１のインタレースのうちの少なくとも１つのサブフレーム上でモバイルエンティティからＵＬデータを受信することをさらに備える、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
ワイヤレスネットワークにおけるピアツーピア（Ｐ２Ｐ）通信を容易にするワイヤレス通信装置であって、
前記ワイヤレスネットワークは、ロングタームエボリューション（ＬＴＥ）ネットワークを備え、
ＷＡＮ通信のためにワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）アップリンク（ＵＬ）スペクトルにおいてサブフレームの第１のグループを、基地局において指定するための手段と、
Ｐ２Ｐ通信のために前記ＷＡＮ  ＵＬスペクトルにおいてサブフレームの第２のグループを、前記基地局において指定するための手段と、
Ｐ２Ｐ制御情報およびＰ２Ｐデータを通信するために、Ｐ２Ｐモバイルエンティティがサブフレームの前記第２のグループにおけるＷＡＮ物理層チャネルを使用することを、前記基地局において可能にするための手段と、ここにおいて、可能にするための前記手段は、
前記Ｐ２Ｐ制御情報を搬送するために、前記Ｐ２Ｐモバイルエンティティが物理アップリンク制御チャネル（ＰＵＣＣＨ）を使用することを可能にするための手段と、
前記Ｐ２Ｐデータを搬送するために、前記Ｐ２Ｐモバイルエンティティが物理ダウンリンク共有チャネル（ＰＤＳＣＨ）を使用することを可能にするための手段と
を備える、
を備えるワイヤレス通信装置。
【請求項６】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の方法を実現するための命令を備えたコンピュータプログラム。
【請求項７】
ワイヤレスネットワークにおけるピアツーピア（Ｐ２Ｐ）通信のためのモバイルエンティティによって実施可能な方法であって、
Ｐ２Ｐ通信のために指定されたワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）アップリンク（ＵＬ）スペクトルにおいてサブフレームのグループを識別することと、
サブフレームの前記グループに対応するＷＡＮ物理層チャネル上で別のモバイルエンティティとＰ２Ｐデータを通信することと
を備え、
前記ワイヤレスネットワークは、ロングタームエボリューション（ＬＴＥ）ネットワークを備え、
前記通信することは、（ａ）物理アップリンク制御チャネル（ＰＵＣＣＨ）上でＰ２Ｐ制御情報を、および（ｂ）物理ダウンリンク共有チャネル（ＰＤＳＣＨ）上で前記Ｐ２Ｐデータを、送信または受信することを備える、方法。
【請求項８】
前記Ｐ２Ｐデータは、前記ＰＤＳＣＨ上で直交周波数分割多重（ＯＦＤＭ）コード化される、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
通信することは、前記ＷＡＮ  ＵＬスペクトルの共有インタレース上で前記Ｐ２Ｐデータを送信または受信することを備え、前記共有インタレースは、Ｐ２Ｐ通信が可能であるＵＬサブフレームのシーケンスを備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
ワイヤレスネットワークにおけるピアツーピア（Ｐ２Ｐ）通信のためのワイヤレス通信装置であって、
Ｐ２Ｐ通信のために指定されたワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）アップリンク（ＵＬ）スペクトルにおいてサブフレームのグループを識別するための手段と、
サブフレームの前記グループに対応するＷＡＮ物理層チャネル上で別のモバイルエンティティとＰ２Ｐデータを通信するための手段と
を備え、
前記ワイヤレスネットワークは、ロングタームエボリューション（ＬＴＥ）ネットワークを備え、
通信するための前記手段は、（ａ）物理アップリンク制御チャネル（ＰＵＣＣＨ）上でＰ２Ｐ制御情報を、および（ｂ）物理ダウンリンク共有チャネル（ＰＤＳＣＨ）上で前記Ｐ２Ｐデータを、送信または受信するための手段を備える、ワイヤレス通信装置。
【請求項１１】
請求項７ないし９のいずれか一項に記載の方法を実現するための命令を備えたコンピュータプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成30年6月8日(2018.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置によるワイヤレス通信のための方法であって、
複数のセグメントを含む進行中の送信バーストのセグメントを監視するステップであって、前記複数のセグメントは、前記送信バースト内に残るセグメント数として残存長を指示する制御情報を含む、ステップと、
前記監視されたセグメントにおいて送信される制御情報に基づいて、前記進行中の送信バーストの残存長を決定するステップとを含む、方法。
【請求項２】
前記制御情報が、各セグメントにおいてではなく周期的に送信され、前記セグメントを監視するステップは、前記制御情報が送信されるセグメントを監視するステップを含むか、または、
セグメントが、前記送信バーストの波形が送信される最小時間単位を含む、または、
前記監視されたセグメントに含まれる前記制御情報は、前記進行中の送信バーストの残りのセグメント数を指示するカウンタを含み、前記カウンタは、送信バーストの連続するセグメントごとにデクリメントされる、請求項1に記載の方法。
【請求項３】
前記送信バーストの前記残存長中に1つまたは複数の無線構成要素の電源を切るステップをさらに含むか、または、
前記送信バーストの前記残存長中に、送信バースト間の通信のスペクトル効率に比べて減少したスペクトル効率において通信するステップをさらに含むか、または、
送信バーストにおいて1つのセグメントのみを監視するステップと、前記送信バーストの残りのセグメントに対して1つまたは複数の無線構成要素の電源を切るステップとを含むか、または、
前記監視されたセグメントにおいて送信される制御情報に基づいて、前記進行中の送信バーストの優先順位を決定するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
【請求項４】
前記送信バーストの最後のセグメントを監視するステップと、
前記最後のセグメントに含まれる制御情報に基づいて、送信バースト間の持続時間を決定するステップとをさらに含む、請求項1に記載の方法。
【請求項５】
前記最後のセグメントに含まれる前記制御情報は、送信バースト間の前記持続時間を、送信バースト間のセグメント数として指示する、請求項4に記載の方法。
【請求項６】
送信バースト間の前記セグメントのうちの1つまたは複数の間に、送信バースト中の通信のスペクトル効率に比べて増加したスペクトル効率において通信するステップをさらに含む、請求項4に記載の方法。
【請求項７】
装置によるワイヤレス通信のための方法であって、
複数のセグメントを含む進行中の送信バーストの残存長を決定するステップと、
前記送信バーストの複数のセグメントにおいて、前記進行中の送信バーストの前記残存長を指示する制御情報を送信するステップであって、前記制御情報は、前記残存長を前記送信バースト内に残るセグメント数として指示する、送信するステップとを含む、方法。
【請求項８】
前記制御情報が、各セグメントにおいてではなく、周期的に送信されるか、または、
セグメントが、前記送信バーストの波形が送信される最小時間単位を含む、請求項7に記載の方法。
【請求項９】
前記送信バーストの前記残存長を指示する制御情報は、前記送信バーストの各セグメントにおいて送信される、請求項7に記載の方法。
【請求項１０】
前記送信バーストの前記残存長を指示する前記制御情報は、前記進行中の送信バーストの残りのセグメント数を指示するカウンタを含み、前記カウンタは、前記送信バーストの連続するセグメントごとにデクリメントされる、請求項9に記載の方法。
【請求項１１】
送信バースト間の持続時間を決定するステップと、
前記送信バーストの最後のセグメントにおいて、次の送信バーストの開始前の持続時間を指示する制御情報を送信するステップとをさらに含む、請求項7に記載の方法。
【請求項１２】
前記最後のセグメントにおいて送信される前記制御情報は、前記次の送信バーストの開始前の前記持続時間を、送信バースト間のセグメント数として指示する、請求項11に記載の方法。
【請求項１３】
前記進行中の送信バーストの前記少なくとも1つのセグメントにおいて、前記進行中の送信バーストの優先順位を送信するステップをさらに含む、請求項7に記載の方法。
【請求項１４】
請求項1から13のいずれか一項に記載の方法を実行するように構成される手段を備える、ワイヤレス通信のための装置。
【請求項１５】
請求項1から13のいずれか一項に記載の方法を実行するように構成される、1つまたは複数のプロセッサによって実行可能なコードを含む、ワイヤレス通信のためのコンピュータ可読記録媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月17日(2018.7.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
デバイスツーデバイス（Ｄ２Ｄ）近接サービス通信のために構成された１つまたは複数の周波数帯域を識別することと、
前記識別された１つまたは複数の周波数帯域に基づいて、周波数帯域組合せパラメータについての近接サービス記録を決定することであって、前記周波数帯域組合せパラメータは非Ｄ２Ｄ通信に関連する、決定することと、
サービングセルに、前記近接サービス記録を示す情報をシグナリングすることとを備える、ワイヤレス通信のための方法。
【請求項２】
前記識別された１つまたは複数の周波数帯域に基づいて、近接サービス周波数帯域リストを決定することと、
サービングセルに、前記近接サービス周波数帯域リストを示す情報を備える近接サービス能力記録を送ることとをさらに備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記近接サービス記録を決定することは、
前記周波数帯域組合せを使用して前記非Ｄ２Ｄ通信のための第１の能力構成を決定することと、
Ｄ２Ｄ近接サービス通信のために構成された前記識別された１つまたは複数の周波数帯域に基づいて、前記非Ｄ２Ｄ通信のための第２の能力構成を決定することとを備える、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
サービングセルに、Ｄ２Ｄ近接サービスがアクティブであることを示す情報を含む開始メッセージを送ることをさらに備える、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
サービングセルに、Ｄ２Ｄ近接サービスが非アクティブであることを示す情報を含む停止メッセージを送ることをさらに備える、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記非Ｄ２Ｄ通信は、キャリアアグリゲーション通信を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
デバイスツーデバイス（Ｄ２Ｄ）近接サービス通信のために構成された１つまたは複数の周波数帯域を識別するための手段と、
前記識別された１つまたは複数の周波数帯域に基づいて、周波数帯域組合せパラメータについての近接サービス記録を決定するための手段であって、前記周波数帯域組合せパラメータは非Ｄ２Ｄ通信に関連する、決定するための手段と、
サービングセルに、前記近接サービス記録を示す情報をシグナリングするための手段とを備える、ワイヤレス通信のための装置。
【請求項８】
周波数帯域組合せパラメータについての近接サービス記録を示す情報を受信することであって、前記周波数帯域組合せパラメータはモバイルデバイスのための非デバイスツーデバイス（Ｄ２Ｄ）通信に関連する、受信することと、
前記近接サービス記録に基づいて、前記モバイルデバイスの非Ｄ２Ｄ通信のための能力構成を決定することとを備える、ワイヤレス通信のための方法。
【請求項９】
前記近接サービス記録は、前記周波数帯域組合せパラメータについての能力低減記録を備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記モバイルデバイスから、Ｄ２Ｄ近接サービス通信がアクティブであるという開始メッセージを受信することをさらに備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
前記モバイルデバイスから、Ｄ２Ｄ近接サービス通信が非アクティブであるという停止メッセージを受信することをさらに備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
前記近接サービス記録に基づいて、前記モバイルデバイスのための１つまたは複数のリソースをスケジュールすることをさらに備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１３】
近接サービス周波数帯域リストと、１つまたは複数の近接サービス通信パラメータとを示す情報を備える近接サービス能力記録を受信することをさらに備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１４】
周波数帯域組合せパラメータについての近接サービス記録を示す情報を受信するための手段であって、前記周波数帯域組合せパラメータはモバイルデバイスのための非デバイスツーデバイス（Ｄ２Ｄ）通信に関連する、受信するための手段と、
前記近接サービス記録に基づいて、前記モバイルデバイスの非Ｄ２Ｄ通信のための能力構成を決定するための手段とを備える、ワイヤレス通信のための装置。
【請求項１５】
ワイヤレス通信のためのコンピュータ実行可能なコードを記憶するコンピュータ可読媒体であって、前記コードは、請求項１−６、および／または８−１３のうちのいずれか一項に従う方法を行うためにプロセッサによって実行可能である、コンピュータ可読媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月9日(2018.7.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
上記のように、精密制御研磨ヘッド２０２及び研磨パッド２０４は、研磨中、基板２１２に対して回転し得る。この結果、圧力制御パッド２２０もまた、基板２１２に対して回転する。圧力制御パッド２２０によって印加された局所的圧力による局所的研磨は、径方向の円周全体に沿って行われ得る。ある実施形態では、研磨ヘッド２０２及び研磨パッド２０４を回転する代わりに、モータ２０６が研磨パッドを振動させて、圧力制御パッド２２０に対応する箇所の基板表面２１４から材料を取り除く。その後、圧力制御パッド２２０は、異なる箇所から材料を取り除くため、その異なる箇所へと移動され得る。圧力制御パッドの箇所は、基板の所望の厚さプロファイルと実際の厚さプロファイルとに基づいて、あらかじめ決められていることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月8日(2018.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持ステムに結合され、基板支持面を有するチャック本体であって、体積抵抗率の値が、２５０℃〜７００℃の範囲の温度で１×１０７Ω・ｃｍ〜１×１０１５Ω・ｃｍである、チャック本体と、
前記チャック本体に埋め込まれ、電源に接続されている電極と
を備える静電チャック。
【請求項２】
前記チャック本体は、熱伝導率の値が６０Ｗ／ｍ・Ｋ〜１９０Ｗ／ｍ・Ｋの間である、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記チャック本体の前記基板支持面は、
各々が０．０５ｍｍ〜５ｍｍの長さと０．０５ｍｍ〜５ｍｍの幅を有する複数の正方形の突起部を更に含む、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記チャック本体は、比誘電率が８〜１０である窒化アルミニウム（ＡｌＮ）を含む、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項５】
前記チャック本体は、窒化アルミニウムから成り、以下の元素、Ｓｉ、Ｆｅ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｋ、Ｎａ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ及びＹを含む、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項６】
前記チャック本体は、窒化アルミニウムから成り、少なくともＳｉ、Ｆｅ、Ｃａ、及びＹを含み、Ｓｉの含有量は３ｐｐｍ〜４８ｐｐｍであり、Ｆｅの含有量は２ｐｐｍ〜１６ｐｐｍであり、Ｃａの含有量は５〜２２５であり、Ｙの含有量は０．０１ｐｐｍ〜８０５ｐｐｍである、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項７】
前記チャック本体は、Ｎａ及びＣｒを更に含み、Ｎａの含有量は０．０１ｐｐｍ〜５．４ｐｐｍであり、Ｃｒの含有量は０．０１ｐｐｍ〜３ｐｐｍである、請求項６に記載の静電チャック。
【請求項８】
前記チャック本体は、Ｍｇ、Ｋ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｕ及びＺｎを更に含み、Ｍｇ、Ｋ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｕ及びＺｎの各々の含有量は、１ｐｐｍ未満である、請求項６に記載の静電チャック。
【請求項９】
前記基板支持面が、酸化イットリウム、イットリウム・アルミニウム・ガーネット、又は酸化アルミニウムシリコンマグネシウムイットリウムでコーティングされている、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項１０】
前記チャック本体の周縁部及び底面が、誘電体材料又はセラミック材料で作られた絶縁層でコーティングされている、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項１１】
前記チャック本体の周縁部が、誘電体材料又はセラミック材料で作られた誘電体リングによって覆われている、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項１２】
支持ステムに結合され、基板支持面を有するチャック本体であって、体積抵抗率の値が、２５０℃〜７００℃の温度で１×１０７Ω・ｃｍ〜１×１０１５Ω・ｃｍであり、熱伝導率の値が、６０Ｗ／ｍ・Ｋ〜１９０Ｗ／ｍ・Ｋであり、少なくともＳｉ、Ｆｅ、Ｃａ、及びＹを含む窒化アルミニウムから成る、チャック本体
を備え、Ｓｉの含有量は３ｐｐｍ〜４８ｐｐｍであり、Ｆｅの含有量は２ｐｐｍ〜１６ｐｐｍであり、Ｃａの含有量は５〜２２５であり、Ｙの含有量は０．０１ｐｐｍ〜８０５ｐｐｍである、静電チャック。
【請求項１３】
基板支持面を有する窒化アルミニウム本体であって、体積抵抗率の値が、４５０℃〜６５０℃の温度で１×１０９Ω・ｃｍ〜１×１０１２Ω・ｃｍであり、少なくとも前記基板支持面の周縁部が絶縁層でコーティングされている、窒化アルミニウム本体
を備える、静電チャック。
【請求項１４】
前記窒化アルミニウム本体は、熱伝導率の値が１７０Ｗ／ｍ・Ｋである、請求項１３に記載の静電チャック。
【請求項１５】
前記窒化アルミニウム本体は、少なくともＳｉ、Ｆｅ、Ｃａ、及びＹを含む、請求項１３に記載の静電チャック。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
幾つかの実施形態では、静電チャック１２８上に固定された基板の特性が、プラズマプロセス中にモニタされてもよい。幾つかの実施形態では、静電チャック１２８上に固定された基板の平坦度が、プラズマプロセス中にモニタされてもよい。一実施形態では、静電チャック１２８上に固定された基板の平坦度は、基板がその上に固定された静電チャック１２８の特性を測定することによって、モニタすることができる。静電チャック１２８の特性は、面板１４６に接続されたセンサ１７４によって測定することができる。センサ１７４は、面板１４６とインピーダンス整合回路１７３との間に接続されたＶＩプローブであってもよい。幾つかの実施形態において、面板１４６と電極１２３との間の静電容量は、面板１４６と電極１２３との間に配置された基板１２１の平坦度によってもたらされるので、センサ１７４は、面板１４６と電極１２３との間の静電容量を測定するように構成することができる。静電チャック１２８などの静電チャックは、その上に配置された基板の平坦度が下がる場合、容量性リアクタンスが増加し得る。基板が平坦でなく、例えばプラズマの熱で変形した場合、基板と静電チャック１２８との間の空隙の不均一な分布が存在する。したがって、静電チャック内の基板の平坦度の変動は、静電チャックの虚数インピーダンスの変動によって測定され得るプラズマリアクタの静電容量の変動をもたらす。そのような場合、センサ１７４は、面板１４６と電極１２３によって形成されるコンデンサの電圧および電流を測定することによって、静電チャック１２８のインピーダンスを測定し、それによって、その上に固定された基板の平坦度をモニタするように構成されてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
ヒータ２８８は、動作温度ならびに本体２２８の上面２０２および基板１２１にわたるその均一性を制御するために、任意の所定のパターンで配置することができる。例えば、ヒータ２８８は、本体２２８の上面２０２にわたって単一の加熱ゾーンまたは複数の独立して、方位的に制御可能な加熱ゾーンを提供するように配置されてもよい。ヒータ２８８の位置およびレイアウトは、動作温度およびチャック表面にわたる温度分布、または温度プロファイルに直接影響を及ぼす。このような温度プロファイルは、ある期間にわたって実質的に一貫していてもよいし、ヒータ素子の各々への電力を動的に調整することによって、異なるが有効なものに変更されてもよい。本体２２８内に埋め込まれたインシトゥ温度センサに基づく閉ループ温度制御を使用して、正確な動作温度および本体２２８と基板表面にわたる温度勾配を維持することができる。チャック機能と組み合わせた１つ、２つ、３つ、４つまたはそれ以上のゾーンヒータなどの異なるヒータゾーン構成が、プロセス要求に応じて可能であると考えられる。ヒータ２２８の位置およびレイアウトならびに膜堆積中の動作温度は、膜の厚さ、均一性、応力、誘電率または屈折率などを制御するために、当業者によって操作することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月16日(2018.8.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のブレードと、
第１の軸を中心に前記第１のブレードを回転させる第１の回転機構と、
第２のブレードと、
第２の軸を中心に前記第２のブレードを回転させる第２の回転機構と、
第４の軸を中心に前記第１のブレードを枢動させる第１の枢動機構であって、前記第４の軸は前記第１の軸に対して傾斜している、第１の枢動機構と、
第５の軸を中心に前記第２のブレードを枢動させる第２の枢動機構であって、前記第５の軸は前記第２の軸に対して傾斜している、第２の枢動機構と
を備える、開創器。
【請求項２】
第３の軸において前記第１のブレードおよび前記第２のブレードを平行移動させるアクチュエータをさらに備える、請求項１に記載の開創器。
【請求項３】
前記第３の軸は、前記第１の軸、前記第２の軸、または前記第１の軸および前記第２の軸の両方に対して垂直である、請求項２に記載の開創器。
【請求項４】
第６の軸において前記第１のブレードおよび前記第２のブレードを摺動させるアクチュエータをさらに備える、請求項１に記載の開創器。
【請求項５】
前記第６の軸は、前記第１の軸、前記第２の軸、または前記第１の軸および前記第２の軸の両方に対して垂直である、請求項４に記載の開創器。
【請求項６】
第３のブレードをさらに備える、請求項１に記載の開創器。
【請求項７】
前記第１のブレード、前記第２のブレード、および前記第３のブレードのうちの少なくとも１つが、平坦状ブレードである、請求項６に記載の開創器。
【請求項８】
少なくとも１つのブレードが取外し可能である、請求項６に記載の開創器。
【請求項９】
第７の軸を中心に前記第３のブレードを枢動させる第３の枢動機構をさらに備え、前記第７の軸は、前記第４の軸に対して傾斜している、請求項６に記載の開創器。
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月6日(2018.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
食品を調理する空気フライ機器であって、
上部支持部と、垂直回転軸周りに回転力を発生するためのギア装置を有する基部と、
該上部支持部上に設けられた容器と、
通気可能な底部を持つ食品バスケットであって、側部間隙が該容器の壁部と該食品バスケットの壁部との間に設けられ、底部間隙が該容器の底部と該通気可能な底部との間に設けられる様に、該容器内に設置される該食品バスケットと、
該容器の上部に設けられた上部蓋装置であって、該食品バスケット内の食品が高温空気の貫通流動によって調理されるように、該側部間隙と該底部間隙と該通気可能な底部とを流れて該食品バスケットに向かう循環空気流としての高温空気流を発生するために第一加熱手段と通気手段を持つシステムを備える、該上部蓋装置とを含み、
前記ギア装置は、少なくとも該食品バスケット内に配置された食品と該食品バスケット内の該高温空気流との間に相対的回転運動を提供する様に構成される、
空気フライ機器。
【請求項２】
前記ギア装置は、上記の相対的回転運動を生じるために該食品バスケットを垂直回転軸周りに回転駆動する様に構成される、請求項１に記載の空気フライ機器。
【請求項３】
前記ギア装置は、該食品バスケットを直接結合により回転駆動する様に構成される、請求項２に記載の空気フライ機器。
【請求項４】
前記食品バスケットは、該容器に対して固定されており、該ギア装置は、該バスケット内の該食品を垂直回転軸周りに回転攪拌駆動する様に構成される、請求項１に記載の空気フライ機器。
【請求項５】
前記基部は、該食品バスケットを支持するための食品攪拌具を備える、請求項１乃至４のうちのいずれか１項に記載の空気フライ機器。
【請求項６】
前記基部は、該上部支持部を熱するための第二発熱体を備える、請求項１乃至５のうちのいずれか１項に記載の空気フライ機器。
【請求項７】
該食品バスケットに向かって空気を上方に案内するための、該食品バスケット下の該容器内に設けられた空気案内部材を更に備える、請求項１乃至６のうちのいずれか１項に記載の空気フライ機器。
【請求項８】
前記ギア装置は、該空気案内部材を回転駆動する様に構成される、請求項１乃至７に記載の空気フライ機器。
【請求項９】
更に食品攪拌子を該食品バスケット内に備え、該ギア装置は該食品攪拌子を回転駆動するように構成された、請求項１乃至８のうちのいずれか1項に記載の空気フライ機器。
【請求項１０】
前記第一加熱手段と前記第二加熱手段とを二元熱供給手段として備え、
第一加熱モードでは、該第一発熱体からの対流熱が該通気手段により発生される空気流に供給され、
第二加熱モードでは、該第二発熱体からの熱が該食品バスケット内、及び／又は該容器内の該食品に供給される、
請求項１乃至９のうちのいずれか１項に記載の空気フライ機器。
【請求項１１】
該食品バスケットに対して該食品バスケット内の食品を攪拌するための第一回転手段と、
該食品バスケットと該高温空気流との間に相対的運動を提供する第二回転手段と、
から成る二元回転機構を更に備える、請求項１乃至１０のうちのいずれか1項に記載の空気フライ機器。
【請求項１２】
前記機器は少なくとも第一動作モードと第二動作モードを備える多重モードの食品調理機器であって、
該第一動作モードは食品が該食品バスケット内に配置され、熱が主に該第一加熱手段により供給された状態である高温空気モード、
該第二動作モードは食品が該食品バスケット内、及び／又は該容器内に配置され、熱が下から主に該第二加熱手段により供給された状態である料理モードである、
請求項１乃至１１のうちのいずれか１項に記載の空気フライ機器。
【請求項１３】
第三動作モードは、食品が該食品バスケット内に配置され、熱が該第一加熱手段と該第二加熱手段とから供給される二元加熱モードである、請求項１２に記載の空気フライ機器。
【請求項１４】
一時的に該上部蓋装置を該容器に結合するための補助機構を更に備える、請求項１乃至１３のうちのいずれか１項に記載の空気フライ機器。