【手続補正書】
【提出日】平成30年6月14日(2018.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
式（ＩＡ）、（ＩＩ）、または（ＩＩＡ）で示される化合物。
【化１】
2017530973.tif 000001
（式中、
Ａは、炭素、ケイ素、酸素、または窒素の中心コア部分であり、
Ｌは、結合または２価結合または以下の基、すなわち、
−Ｃ（Ｏ）Ｏ−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−Ｒ４−、−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｒ４−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｏ−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｏ−Ｒ４−Ｏ−、−Ｏ−Ｒ４−、−Ｒ４−Ｏ−Ｒ４−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−Ｒ４−、−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−、−ＮＲ５−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−ＮＲ５−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−、−ＮＲ５−Ｒ４−、−Ｒ４−ＮＲ５−Ｒ４−、−ＮＲ５−Ｒ４−ＮＲ５−、−Ｒ４−、および
【化２】
2017530973.tif 000002
から選択されるスペーサー基であり、ここで、各Ｒ４は、同一であっても異なっていてもよく、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３〜Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、−（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）ａ−（ここで、ａは１〜１０の整数であり、ただし、Ｒ４が−（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）ａ−であるとき、前記基の酸素末端は、炭素またはケイ素のいずれかを含有する結合基にのみ結合される。）から独立して選択される２価基であってハロゲン、−ＯＨ、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ４）アルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキル、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキルオキシから選択される基で置換されていてもよく、かつＲ５は水素、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ６〜Ｃ１０）アラルキルであり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ３ａは、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立して（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル（アルキル上の水素の一部はフッ素で置換されている）、（Ｃ１〜Ｃ１２）ペルフルオロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル（アルキル上の水素の一部はフッ素で置換されている）、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アリールペルフルオロ（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキルから選択され、かつ
Ａｒ１、Ａｒ２、Ａｒ３、およびＡｒ３ａは、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立して（Ｃ６〜Ｃ１２）アリーレン基または（Ｃ６〜Ｃ１２）ヘテロアリーレン基から選択され、ここで、前記基は、ハロゲン、−ＯＨ、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ４）アルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリールオキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ４）アルキルオキシから選択される基で置換されていてもよく、
ただし、以下の化合物
【化３】
2017530973.tif 000003
（式中、ｎは７または１２である）；および
【化４】
2017530973.tif 000004
（式中、ｎは３または５である）；
は除外される。）
【請求項２】
前記式（ＩＡ）で示される化合物。
【化４−１】
2017530973.tif 000005
（式中、
Ｌは、結合基であって、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｃ（Ｏ）−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−（ＣＯ）−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｃ（Ｏ）−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５−から選択され、ここで、ｂは１〜１２の整数であり、Ｒ５は水素、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、フェニル、ナフチル、トリル、またはベンジルであり、
Ｒ１およびＲ２は、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立して（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）ペルフルオロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ８）アリール、（Ｃ６〜Ｃ８）ペルフルオロアリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アラルキル、または（Ｃ６〜Ｃ１０）ペルフルオロアリールペルフルオロアルキルから選択され、かつ
Ａｒ１およびＡｒ２は、同一であるかまたは異なり、互いに独立してフェニレン基またはナフタレン基から選択され、ここで、前記基は、ハロゲン、−ＯＨ、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ４）アルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキル、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキルオキシから選択される基で置換されていてもよく、
ただし、以下の化合物
【化４−２】
2017530973.tif 000006
（式中、ｎは７または１２である）；および
【化４−３】
2017530973.tif 000007
（式中、ｎは３または５である）；
は除外される。）
【請求項３】
Ｌは、結合基であって、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５−から選択され、ここでｂは１〜６の整数であり、Ｒ５は水素、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、フェニル、ナフチル、トリル、またはベンジルであり、
Ｒ１およびＲ２は、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立してメチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、トリフルオロメチル、ペンタフルオロエチル、ヘプタフルオロプロピル、フェニル、ペンタフルオロフェニル、ベンジル、またはヘプタフルオロベンジルから選択され、かつ
Ａｒ１およびＡｒ２は、同一であるかまたは異なり、互いに独立してフェニレン基またはナフタレン基から選択され、ここで、前記基は、フッ素、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、メトキシ、エトキシ、プロポキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブトキシ、ｔｅｒｔ−ブトキシ、フェニル、ナフチル、トリル、ベンジル、フェノキシ、ナフチルオキシ、トリルオキシ、またはベンジルオキシから選択される基で置換されていてもよい、請求項２に記載の化合物。
【請求項４】
メチレンビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
エタン−１，２−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
ブタン−１，４−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
３，３’−（（オキシビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、
３，３’−（（オキシビス（エタン−２，１−ジイル））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（３−（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）プロピル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（２−（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）エチル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェネチル２−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）アセテート、
２−オキソ−２−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）エチル３−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
１，３−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）プロパン−１−オン、
１，３−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）プロパン−２−オン、
（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）メチル３−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
１，２−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）エタン、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（３−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）プロピル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
（Ｎ−メチル−４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンズアミド）メチル４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
Ｎ，Ｎ’−メチレンビス（Ｎ−メチル−４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンズアミド）、
２−エチル−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾイル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
２−（ペルフルオロエチル）−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾイル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
３，３’−（（（（２−エチル−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイル）ビス（オキシ））ビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、および
３，３’−（（（（２−（ペルフルオロエチル）−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイル）ビス（オキシ））ビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）
からなる群から選択される、請求項１に記載の化合物。
【請求項５】
カルベンと反応してカルベン挿入生成物を形成可能なポリマーと、
式（ＩＡ）、（ＩＩ）、または（ＩＩＡ）：
【化５】
2017530973.tif 000008
（式中、
Ａは、炭素、ケイ素、酸素、または窒素の中心コア部分であり、
Ｌは、結合または２価結合または以下の基、すなわち、
−Ｃ（Ｏ）Ｏ−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−Ｒ４−、−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｒ４−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｏ−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｏ−Ｒ４−Ｏ−、−Ｏ−Ｒ４−、−Ｒ４−Ｏ−Ｒ４−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−Ｒ４−、−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−、−ＮＲ５−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−ＮＲ５−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−、−ＮＲ５−Ｒ４−、−Ｒ４−ＮＲ５−Ｒ４−、−ＮＲ５−Ｒ４−ＮＲ５−、−Ｒ４−、および
【化６】
2017530973.tif 000009
から選択されるスペーサー基であり、ここで、各Ｒ４は、同一であっても異なっていてもよく、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３〜Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、−（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）ａ−（ここで、ａは１〜１０の整数であり、ただし、Ｒ４が−（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）ａ−であるとき、前記基の酸素末端は、炭素またはケイ素のいずれかを含有する結合基にのみ結合される）から独立して選択される２価基であってハロゲン、−ＯＨ、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ４）アルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキル、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキルオキシから選択される基で置換されていてもよく、かつＲ５は水素、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ６〜Ｃ１０）アラルキルであり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ３ａは、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立して（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル（アルキル上の水素の一部はフッ素で置換されている）、（Ｃ１〜Ｃ１２）ペルフルオロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル（アルキル上の水素の一部はフッ素で置換されている）、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アリールペルフルオロ（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキルから選択され、かつ
Ａｒ１、Ａｒ２、Ａｒ３、およびＡｒ３ａは、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立して、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリーレン基または（Ｃ６〜Ｃ１２）ヘテロアリーレン基から選択され、ここで、前記基は、ハロゲン、−ＯＨ、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ４）アルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリールオキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ４）アルキルオキシから選択される基で置換されていてもよい）
で示される化合物と、
キャリア溶媒と、
を含む光現像性組成物。
【請求項６】
前記ポリマーが、
ポリシクロオレフィンポリマー、
ポリアクリレート、
ポリビニルブチラール、
ポリビニルトリメチルシラン、
水素化スチレン系ブロックコポリマー、
エチルセルロース、および
ポリ（４−ｔｅｒｔ−ブチル−スチレン）
からなる群から選択される、請求項５に記載の組成物。
【請求項７】
前記ポリマーが、式（ＩＩＩＡ）で示される少なくとも１種の繰返し単位を含むポリシクロオレフィンポリマーであり、前記繰返し単位が式（ＩＩＩ）で示されるモノマーから誘導されたものである、請求項５に記載の組成物。
【化７】
2017530973.tif 000010
（式中、
【化８】
2017530973.tif 000011
は、他の繰返し単位と結合する位置を表し、
ｐは、整数０、１、または２であり、
Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８、およびＲ９は、同一であるかまたは異なり、それぞれ互いに独立して、水素、線状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ１６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ１６）アルケニル、ヒドロキシ（Ｃ１〜Ｃ１６）アルキル、ペルフルオロ（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３〜Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７〜Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、ペルフルオロ（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、ペルフルオロ（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、ジ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキルマレイミド（Ｃ３〜Ｃ６）アルキル、ジ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキルマレイミド（Ｃ２〜Ｃ６）アルコキシ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３〜Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７〜Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルコキシ（Ｃ１〜Ｃ８）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５〜Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１〜Ｃ６）アシルオキシ、（Ｃ１〜Ｃ６）アシルオキシ、オキシラニル（Ｃ０〜Ｃ８）アルキル、オキシラニル（ＣＨ２）ｃＯ（ＣＨ２）ｄ−、ハロゲン、または式（Ａ）：
−（ＣＨ２）ｃ−（ＯＣＨ２−ＣＨ２）ｄ−ＯＲ  （Ａ）
（ここで、
ｃは、整数０、１、２、３、または４であり、
ｄは、整数０、１、２、３、または４であり、かつ
Ｒは、線状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ７〜Ｃ１２）アラルキルである。）で示される基から選択され、上述の置換基はそれぞれハロゲンまたはヒドロキシから選択される基で置換されていてもよい。）
【請求項８】
前記ポリマーが、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−ブチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−（ブト−３−エン−１−イル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−（ブト−２−エン−１−イル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−（ブト−１−エン−１−イル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−ペルフルオロエチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−ｎ−ペルフルオロブチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−ペルフルオロヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
ノルボルネニル−２−トリフルオロメチル−３，３，３−トリフルオロプロパン−２−オール、
１−（３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロピル）−３，４−ジメチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン、
１−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）−３、４−ジメチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン、
１−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）−３，４−ジメチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル（エトキシ）ジメチルシラン、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチルアセテート、および
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメタノール
からなる群から選択される対応するモノマーから誘導される１種以上の繰返し単位を含む、請求項７に記載の組成物。
【請求項９】
前記ポリマーが、無水マレイン酸と式（ＩＩＩＡ）で示される少なくとも１種の繰返し単位とのコポリマーである、請求項７に記載の組成物。
【請求項１０】
前記コポリマーの無水マレイン酸環がアルコールにより少なくとも部分開環されている、請求項９に記載の組成物。
【請求項１１】
前記ポリマーが、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンと、ｎ−ブタノールで開環した無水マレイン酸と、から誘導される繰返し単位を含有するコポリマー、および
５−ｎ−ペルフルオロブチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンと、ｎ−ブタノールで開環した無水マレイン酸と、から誘導される繰返し単位を含有するコポリマー
からなる群から選択される、請求項１０に記載の組成物。
【請求項１２】
前記ポリマーが、
ポリ（５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン）、
ポリ（５−（ブト−３−エン−１−イル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン）、
ポリ（５−ｎ−ペルフルオロブチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン）、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンとビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル（エトキシ）ジメチルシランとのコポリマー、
ノルボルネニル−２−トリフルオロメチル−３，３，３−トリフルオロプロパン−２−オールとビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメタノールとのコポリマー、および
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンとｎ−ブタノールで開環した無水マレイン酸とから誘導される繰返し単位を含有するコポリマー
からなる群から選択される、請求項７に記載の組成物。
【請求項１３】
前記式（ＩＡ）で示される化合物を含み、
前記式（ＩＡ）で示される化合物が、
メチレンビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
エタン−１，２−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
プロパン−１，３−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
ブタン−１，４−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
３，３’−（（オキシビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、
３，３’−（（オキシビス（エタン−２，１−ジイル））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（３−（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）プロピル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（２−（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）エチル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェネチル２−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）アセテート、
２−オキソ−２−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）エチル３−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
１，３−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）プロパン−１−オン、
１，３−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）プロパン−２−オン、
（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）メチル３−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
１，２−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）エタン、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（３−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）プロピル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
（Ｎ−メチル−４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンズアミド）メチル４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、および
Ｎ，Ｎ’−メチレンビス（Ｎ−メチル−４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンズアミド）
からなる群から選択される、請求項５から１２のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１４】
前記式（ＩＩ）または（ＩＩＡ）で示される化合物を含み、
前記式（ＩＩ）または（ＩＩＡ）で示される化合物が、
２−エチル−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾイル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
２−（ペルフルオロエチル）−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾイル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
３，３’−（（（（２−エチル−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイル）ビス（オキシ））ビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、および
３，３’−（（（（２−（ペルフルオロエチル）−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイル）ビス（オキシ））ビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）
からなる群から選択される、請求項５から１２のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１５】
前記キャリア溶媒が、エタノール、イソプロパノール、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、デカン、トルエン、ｐ−メンタン、ベンジルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、アニソール、メチル３−メトキシプロピオネート、テトラヒドロフラン、３−エトキシ−１，１，１，２，３，４，４，５，５，６，６，６−ドデカフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ヘキサン、１，１，１，２，２，３，３，４，４−ノナフルオロ−４−メトキシブタン、１，１，１，２，２，３，４，４，４−ノナフルオロ−３−メトキシブタン、およびそれらの任意の組合せ混合物からなる群から選択される、請求項５から１４のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項１６】
請求項５から１５のいずれか一項に記載の組成物を硬化させてなる硬化物。
【請求項１７】
請求項１６に記載の硬化物を含むデバイスであって、光電子デバイスまたはマイクロ電子デバイスである、デバイス。
【請求項１８】
マイクロ電子デバイスまたは光電子デバイスを作製するための膜の形成方法であって、
請求項５〜１５のいずれか一項に記載の組成物を適切な基材に塗布して膜を形成すること、
マスクを用いて適切な放射線で露光することにより前記膜をパターニングすること、
露光後に前記膜を現像して光パターンを形成すること、および
適切な温度に加熱することにより前記膜を硬化させること、
を含む、方法。
【請求項１９】
前記塗布がスピン塗布により行われる、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記現像が水性現像液により行われる、請求項１８または１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記現像液が水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液である、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記現像が溶媒により行われる、請求項１８または１９に記載の方法。
【請求項２３】
前記溶媒が、デカン、ｐ−メンタン、３−エトキシ−１，１，１，２，３，４，４，５，５，６，６，６−ドデカフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ヘキサン、およびそれらの任意の組合せ混合物からなる群から選択される、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記基材が前記硬化前に２分間〜１０分間にわたり７０℃〜１３０℃の温度で最初にソフトベークされる、請求項１８〜２３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２５】
前記硬化が２０分間〜１８０分間にわたり１２０℃〜２５０℃の温度で行われる、請求項１８〜２４のいずれか一項に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３４】
以上の実施例のいくつかにより本発明を例示してきたが、本発明はそれらにより限定されるものと解釈すべきではない。むしろ、本発明は、ここに開示された一般領域を包含するものであり、その趣旨および範囲から逸脱することなく種々の変更形態および実施形態を行うことが可能である。
なお、この出願により開示される事項には、以下のものが含まれる。
〔１〕  式（ＩＡ）、（ＩＩ）、または（ＩＩＡ）で示される化合物。
【化３４−１】
2017530973.tif 000012
（式中、
Ａは、炭素、ケイ素、酸素、または窒素の中心コア部分であり、
Ｌは、結合または２価結合または以下の基、すなわち、
−Ｃ（Ｏ）Ｏ−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−Ｒ４−、−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｒ４−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｏ−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｏ−Ｒ４−Ｏ−、−Ｏ−Ｒ４−、−Ｒ４−Ｏ−Ｒ４−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−Ｒ４−、−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−、−ＮＲ５−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−ＮＲ５−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−、−ＮＲ５−Ｒ４−、−Ｒ４−ＮＲ５−Ｒ４−、−ＮＲ５−Ｒ４−ＮＲ５−、−Ｒ４−、および
【化３４−２】
2017530973.tif 000013
から選択されるスペーサー基であり、ここで、各Ｒ４は、同一であっても異なっていてもよく、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３〜Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、−（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）ａ−（ここで、ａは１〜１０の整数であり、ただし、Ｒ４が−（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）ａ−であるとき、前記基の酸素末端は、炭素またはケイ素のいずれかを含有する結合基にのみ結合される。）から独立して選択される２価基であってハロゲン、−ＯＨ、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ４）アルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキル、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキルオキシから選択される基で置換されていてもよく、かつＲ５は水素、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ６〜Ｃ１０）アラルキルであり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ３ａは、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立して（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル（アルキル上の水素の一部はフッ素で置換されている）、（Ｃ１〜Ｃ１２）ペルフルオロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル（アルキル上の水素の一部はフッ素で置換されている）、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アリールペルフルオロ（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキルから選択され、かつ
Ａｒ１、Ａｒ２、Ａｒ３、およびＡｒ３ａは、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立して（Ｃ６〜Ｃ１２）アリーレン基または（Ｃ６〜Ｃ１２）ヘテロアリーレン基から選択され、ここで、前記基は、ハロゲン、−ＯＨ、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ４）アルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリールオキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ４）アルキルオキシから選択される基で置換されていてもよく、
ただし、以下の化合物
【化３４−３】
2017530973.tif 000014
（式中、ｎは７または１２である）；および
【化３４−４】
2017530973.tif 000015
（式中、ｎは３または５である）；
は除外される。）
〔２〕  前記式（ＩＡ）で示される、上記〔１〕に記載の化合物。
（式中、
Ｌは、結合基であって、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｃ（Ｏ）−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−（ＣＯ）−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｃ（Ｏ）−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５−から選択され、ここで、ｂは１〜１２の整数であり、Ｒ５は水素、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、フェニル、ナフチル、トリル、またはベンジルであり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ３ａは、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立して（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）ペルフルオロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ８）アリール、（Ｃ６〜Ｃ８）ペルフルオロアリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アラルキル、または（Ｃ６〜Ｃ１０）ペルフルオロアリールペルフルオロアルキルから選択され、かつ
Ａｒ１、Ａｒ２、Ａｒ３、およびＡｒ３ａは、同一であるかまたは異なり、互いに独立してフェニレン基またはナフタレン基から選択され、ここで、前記基は、ハロゲン、−ＯＨ、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ４）アルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキル、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキルオキシから選択される基で置換されていてもよい。）
〔３〕  前記式（ＩＩ）または（ＩＩＡ）で示される、上記〔１〕に記載の化合物。
（式中、
Ｌは、結合基であって、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｃ（Ｏ）−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−（ＣＯ）−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｃ（Ｏ）−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５−から選択され、ここでｂは１〜１０の整数であり、Ｒ５は水素、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、フェニル、ナフチル、トリル、またはベンジルであり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ３ａは、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立して（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）ペルフルオロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ８）アリール、（Ｃ６〜Ｃ８）ペルフルオロアリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アラルキル、または（Ｃ６〜Ｃ１０）ペルフルオロアリールペルフルオロアルキルから選択され、かつ
Ａｒ１、Ａｒ２、Ａｒ３、およびＡｒ３ａは、同一であるかまたは異なり、互いに独立してフェニレン基またはナフタレン基から選択され、ここで、前記基は、ハロゲン、−ＯＨ、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ４）アルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキル、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキルオキシから選択される基で置換されていてもよい。）
〔４〕  Ｌは、結合基であって、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５−から選択され、ここでｂは１〜６の整数であり、Ｒ５は水素、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、フェニル、ナフチル、トリル、またはベンジルであり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ３ａは、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立してメチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、トリフルオロメチル、ペンタフルオロエチル、ヘプタフルオロプロピル、フェニル、ペンタフルオロフェニル、ベンジル、またはヘプタフルオロベンジルから選択され、かつ
Ａｒ１、Ａｒ２、Ａｒ３、およびＡｒ３ａは、同一であるかまたは異なり、互いに独立してフェニレン基またはナフタレン基から選択され、ここで、前記基は、フッ素、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、メトキシ、エトキシ、プロポキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブトキシ、ｔｅｒｔ−ブトキシ、フェニル、ナフチル、トリル、ベンジル、フェノキシ、ナフチルオキシ、トリルオキシ、またはベンジルオキシから選択される基で置換されていてもよい、上記〔２〕に記載の化合物。
〔５〕  Ｌは、結合基であって、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ（ＣＯ）−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ−、−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−Ｏ−（ＣＨ２）ｂ−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５（ＣＯ）−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−、−ＮＲ５−（ＣＨ２）ｂ−ＮＲ５−から選択され、ここでｂは１〜４の整数であり、Ｒ５は水素、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、フェニル、ナフチル、トリル、またはベンジルであり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ３ａは、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立してメチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、トリフルオロメチル、ペンタフルオロエチル、ヘプタフルオロプロピル、フェニル、ペンタフルオロフェニル、ベンジル、またはヘプタフルオロベンジルから選択され、かつ
Ａｒ１、Ａｒ２、Ａｒ３、およびＡｒ３ａは、同一であるかまたは異なり、互いに独立してフェニレン基またはナフタレン基から選択され、ここで、前記基は、フッ素、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、メトキシ、エトキシ、プロポキシ、イソプロポキシ、ｎ−ブトキシ、ｔｅｒｔ−ブトキシ、フェニル、ナフチル、トリル、ベンジル、フェノキシ、ナフチルオキシ、トリルオキシ、またはベンジルオキシから選択される基で置換されていてもよい、上記〔３〕に記載の化合物。
〔６〕  メチレンビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
エタン−１，２−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
ブタン−１，４−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
３，３’−（（オキシビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、
３，３’−（（オキシビス（エタン−２，１−ジイル））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（３−（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）プロピル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（２−（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）エチル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェネチル２−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）アセテート、
２−オキソ−２−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）エチル３−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
１，３−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）プロパン−１−オン、
１，３−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）プロパン−２−オン、
（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）メチル３−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
１，２−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）エタン、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（３−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）プロピル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
（Ｎ−メチル−４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンズアミド）メチル４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、および
Ｎ，Ｎ’−メチレンビス（Ｎ−メチル−４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンズアミド）
からなる群から選択される、上記〔２〕に記載の化合物。
〔７〕  メチレンビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
３，３’−（（オキシビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、
３，３’−（（オキシビス（エタン−２，１−ジイル））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（３−（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）プロピル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（２−（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）エチル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェネチル２−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）アセテート、
１，３−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）プロパン−２−オン、
１，２−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）エタン、および
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（３−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）プロピル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン
からなる群から選択される、上記〔２〕に記載の化合物。
〔８〕  ２−エチル−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾイル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
２−（ペルフルオロエチル）−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾイル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
３，３’−（（（（２−エチル−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイル）ビス（オキシ））ビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、および
３，３’−（（（（２−（ペルフルオロエチル）−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイル）ビス（オキシ））ビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）
からなる群から選択される、上記〔３〕に記載の化合物。
〔９〕  カルベンと反応してカルベン挿入生成物を形成可能なポリマーと、
式（ＩＡ）、（ＩＩ）、または（ＩＩＡ）：
【化３４−５】
2017530973.tif 000016
（式中、
Ａは、炭素、ケイ素、酸素、または窒素の中心コア部分であり、
Ｌは、結合または２価結合または以下の基、すなわち、
−Ｃ（Ｏ）Ｏ−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）Ｏ−Ｒ４−、−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｒ４−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｏ−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｏ−Ｒ４−Ｏ−、−Ｏ−Ｒ４−、−Ｒ４−Ｏ−Ｒ４−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−、−Ｃ（Ｏ）ＮＲ５−Ｒ４−、−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−、−Ｃ（Ｏ）−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−、−ＮＲ５−Ｒ４−ＯＣ（Ｏ）−、−ＮＲ５−Ｒ４−ＮＲ５Ｃ（Ｏ）−、−ＮＲ５−Ｒ４−、−Ｒ４−ＮＲ５−Ｒ４−、−ＮＲ５−Ｒ４−ＮＲ５−、−Ｒ４−、および
【化３４−６】
2017530973.tif 000017
から選択されるスペーサー基であり、ここで、各Ｒ４は、同一であっても異なっていてもよく、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３〜Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）ヘテロアリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）ヘテロアリール（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、−（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）ａ−（ここで、ａは１〜１０の整数であり、ただし、Ｒ４が−（ＣＨ２−ＣＨ２−Ｏ）ａ−であるとき、前記基の酸素末端は、炭素またはケイ素のいずれかを含有する結合基にのみ結合される）から独立して選択される２価基であってハロゲン、−ＯＨ、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ４）アルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキル、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アラルキルオキシから選択される基で置換されていてもよく、かつＲ５は水素、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ６〜Ｃ１０）アラルキルであり、
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、およびＲ３ａは、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立して（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル（アルキル上の水素の一部はフッ素で置換されている）、（Ｃ１〜Ｃ１２）ペルフルオロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル（アルキル上の水素の一部はフッ素で置換されている）、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アリールペルフルオロ（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキルから選択され、かつ
Ａｒ１、Ａｒ２、Ａｒ３、およびＡｒ３ａは、同一であるかまたは異なり、それぞれ独立して、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリーレン基または（Ｃ６〜Ｃ１２）ヘテロアリーレン基から選択され、ここで、前記基は、ハロゲン、−ＯＨ、（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ４）アルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリールオキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ４）アルキル、および（Ｃ６〜Ｃ１２）アリール（Ｃ１〜Ｃ４）アルキルオキシから選択される基で置換されていてもよい）
で示される化合物と、
キャリア溶媒と、
を含む光現像性組成物。
〔１０〕  前記ポリマーが、
ポリシクロオレフィンポリマー、
ポリアクリレート、
ポリビニルブチラール、
ポリビニルトリメチルシラン（ＰＶＴＭＳ）、
水素化スチレン系ブロックコポリマー、
エチルセルロース、および
ポリ（４−ｔｅｒｔ−ブチル−スチレン）
からなる群から選択される、上記〔９〕に記載の組成物。
〔１１〕  前記ポリマーが、式（ＩＩＩＡ）で示される少なくとも１種の繰返し単位を含むポリシクロオレフィンポリマーであり、前記繰返し単位が式（ＩＩＩ）で示されるモノマーから誘導されたものである、上記〔９〕に記載の組成物。
【化３４−７】
2017530973.tif 000018
（式中、
【化３４−８】
2017530973.tif 000019
は、他の繰返し単位と結合する位置を表し、
ｐは、整数０、１、または２であり、
Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８、およびＲ９は、同一であるかまたは異なり、それぞれ互いに独立して、水素、線状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ１６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ１６）アルケニル、ヒドロキシ（Ｃ１〜Ｃ１６）アルキル、ペルフルオロ（Ｃ１〜Ｃ１２）アルキル、（Ｃ３〜Ｃ１２）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１２）ビシクロアルキル、（Ｃ７〜Ｃ１４）トリシクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、ペルフルオロ（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、ペルフルオロ（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、ジ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキルマレイミド（Ｃ３〜Ｃ６）アルキル、ジ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキルマレイミド（Ｃ２〜Ｃ６）アルコキシ（Ｃ１〜Ｃ２）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルコキシ、（Ｃ３〜Ｃ１２）シクロアルコキシ、（Ｃ６〜Ｃ１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ７〜Ｃ１４）トリシクロアルコキシ、（Ｃ１〜Ｃ１２）アルコキシ（Ｃ１〜Ｃ８）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ１〜Ｃ３）アルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリールオキシ、（Ｃ５〜Ｃ１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ１〜Ｃ６）アシルオキシ、（Ｃ１〜Ｃ６）アシルオキシ、オキシラニル（Ｃ０〜Ｃ８）アルキル、オキシラニル（ＣＨ２）ｃＯ（ＣＨ２）ｄ−、ハロゲン、または式（Ａ）：
−（ＣＨ２）ｃ−（ＯＣＨ２−ＣＨ２）ｄ−ＯＲ  （Ａ）
（ここで、
ｃは、整数０、１、２、３、または４であり、
ｄは、整数０、１、２、３、または４であり、かつ
Ｒは、線状または分岐状の（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ５〜Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６〜Ｃ１０）アリール、または（Ｃ７〜Ｃ１２）アラルキルである。）で示される基から選択され、上述の置換基はそれぞれハロゲンまたはヒドロキシから選択される基で置換されていてもよい。）
〔１２〕  前記ポリマーが、式（ＩＩＩＡ）で示される２種以上の異なる繰返し単位を含む、上記〔１１〕に記載の組成物。
〔１３〕  前記ポリマーが、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＮＢ）、
５−ブチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｕＮＢ）、
５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＨｅｘＮＢ）、
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＯｃｔＮＢ）、
５−（ブト−３−エン−１−イル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（１−ブテニルＮＢ）、
５−（ブト−２−エン−１−イル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（２−ブテニルＮＢ）、
５−（ブト−１−エン−１−イル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（３−ブテニルＮＢ）、
５−ペルフルオロエチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（Ｃ２Ｆ５ＮＢ）、
５−ｎ−ペルフルオロブチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（Ｃ４Ｆ９ＮＢ）、
５−ペルフルオロヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（Ｃ６Ｆ１３ＮＢ）、
ノルボルネニル−２−トリフルオロメチル−３，３，３−トリフルオロプロパン−２−オール（ＨＦＡＮＢ）、
１−（３−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）プロピル）−３，４−ジメチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン（ＰｒＤＭＭＩＮＢ）、
１−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）−３、４−ジメチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン（ＢｕＤＭＭＩＮＢ）、
１−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）−３，４−ジメチル−１Ｈ−ピロール−２，５−ジオン（ＨｅｘＤＭＭＩＮＢ）、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）、
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＮＢＴＯＮ）、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル（エトキシ）ジメチルシラン（ＮＢＳｉＭｅ２（ＯＥｔ）、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメチルアセテート（ＭｅＯＡｃＮＢ）、および
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメタノール（ＭｅＯＨＮＢ）
からなる群から選択される対応するモノマーから誘導される１種以上の繰返し単位を含む、上記〔１１〕に記載の組成物。
〔１４〕  前記ポリマーが、無水マレイン酸と式（ＩＩＩＡ）で示される少なくとも１種の繰返し単位とのコポリマーである、上記〔１１〕に記載の組成物。
〔１５〕  前記コポリマーの無水マレイン酸環がアルコールにより少なくとも部分開環されている、上記〔１４〕に記載の組成物。
〔１６〕  前記ポリマーが、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンと、ｎ−ブタノールで開環した無水マレイン酸と、から誘導される繰返し単位を含有するコポリマー、および
５−ｎ−ペルフルオロブチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンと、ｎ−ブタノールで開環した無水マレイン酸と、から誘導される繰返し単位を含有するコポリマー
からなる群から選択される、上記〔１５〕に記載の組成物。
〔１７〕  前記ポリマーが、
ポリ（５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン）（ポリ（ＨｅｘＮＢ））、
ポリ（５−（ブト−３−エン−１−イル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン）（ポリ（１−ブテニルＮＢ））、
ポリ（５−ｎ−ペルフルオロブチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン）（ポリ（Ｃ４Ｆ９ＮＢ））、
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＮＢ）とビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル（エトキシ）ジメチルシラン（ＮＢＳｉＭｅ２（ＯＥｔ）とのコポリマー、
ノルボルネニル−２−トリフルオロメチル−３，３，３−トリフルオロプロパン−２−オール（ＨＦＡＮＢ）とビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イルメタノール（ＭｅＯＨＮＢ）とのコポリマー、および
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンとｎ−ブタノールで開環した無水マレイン酸とから誘導される繰返し単位を含有するコポリマー
からなる群から選択される、上記〔１１〕に記載の組成物。
〔１８〕  前記式（Ｉ）で示される化合物を含む、上記〔９〕に記載の組成物。
〔１９〕  前記式（ＩＡ）で示される化合物が、
メチレンビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
エタン−１，２−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
プロパン−１，３−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
ブタン−１，４−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
３，３’−（（オキシビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、
３，３’−（（オキシビス（エタン−２，１−ジイル））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（３−（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）プロピル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（２−（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）エチル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェネチル２−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）アセテート、
２−オキソ−２−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）エチル３−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
１，３−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）プロパン−１−オン、
１，３−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェニル）プロパン−２−オン、
（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）メチル３−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、
１，２−ビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）エタン、
３−（トリフルオロメチル）−３−（４−（３−（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）フェノキシ）プロピル）フェニル）−３Ｈ−ジアジリン、
（Ｎ−メチル−４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンズアミド）メチル４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート、および
Ｎ，Ｎ’−メチレンビス（Ｎ−メチル−４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンズアミド）
からなる群から選択される、上記〔１８〕に記載の組成物。
〔２０〕  前記式（ＩＩ）または（ＩＩＡ）で示される化合物を含む、上記〔９〕に記載の組成物。
〔２１〕  前記式（ＩＩ）または（ＩＩＡ）で示される化合物が、
２−エチル−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾイル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
２−（ペルフルオロエチル）−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾイル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイルビス（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンゾエート）、
３，３’−（（（（２−エチル−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイル）ビス（オキシ））ビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）、および
３，３’−（（（（２−（ペルフルオロエチル）−２−（（（４−（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン−３−イル）ベンジル）オキシ）メチル）プロパン−１，３−ジイル）ビス（オキシ））ビス（メチレン））ビス（４，１−フェニレン））ビス（３−（トリフルオロメチル）−３Ｈ−ジアジリン）
からなる群から選択される、上記〔２０〕に記載の組成物。
〔２２〕  前記キャリア溶媒が、エタノール、イソプロパノール、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、デカン、トルエン、ｐ−メンタン、ベンジルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、γ−ブチロラクトン（ＧＢＬ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、アニソール、メチル３−メトキシプロピオネート、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、３−エトキシ−１，１，１，２，３，４，４，５，５，６，６，６−ドデカフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ヘキサン（ＨＦＥ−７５００）、１，１，１，２，２，３，３，４，４−ノナフルオロ−４−メトキシブタン、１，１，１，２，２，３，４，４，４−ノナフルオロ−３−メトキシブタン、およびそれらの任意の組合せ混合物からなる群から選択される、上記〔９〕に記載の組成物。
〔２３〕  マイクロ電子デバイスまたは光電子デバイスを作製するための膜の形成方法であって、
上記〔９〕〜〔２２〕のいずれか一項に記載の組成物を適切な基材に塗布して膜を形成すること、
マスクを用いて適切な放射線で露光することにより前記膜をパターニングすること、
露光後に前記膜を現像して光パターンを形成すること、および
適切な温度に加熱することにより前記膜を硬化させること、
を含む、方法。
〔２４〕  前記塗布がスピン塗布により行われる、上記〔２３〕に記載の方法。
〔２５〕  前記現像が水性現像液により行われる、上記〔２３〕に記載の方法。
〔２６〕  前記現像液が水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）水溶液である、上記〔２５〕に記載の方法。
〔２７〕  前記現像が溶媒により行われる、上記〔２３〕に記載の方法。
〔２８〕  前記溶媒が、デカン、ｐ−メンタン、３−エトキシ−１，１，１，２，３，４，４，５，５，６，６，６−ドデカフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ヘキサン（ＨＦＥ−７５００）、およびそれらの任意の組合せ混合物からなる群から選択される、上記〔２７〕に記載の方法。
〔２９〕  前記基材が前記硬化前に２分間〜１０分間にわたり約７０℃〜約１３０℃の温度で最初にソフトベークされる、上記〔２３〕に記載の方法。
〔３０〕  前記硬化が約２０分間〜約１８０分間にわたり約１２０℃〜約２５０℃の温度で行われる、上記〔２３〕に記載の方法。
〔３１〕  上記〔９〕に記載の組成物を硬化させてなる硬化物。
〔３２〕  上記〔３１〕に記載の硬化物を含む光電子デバイスまたはマイクロ電子デバイス。
〔３３〕  １ＭＨｚで３．２以下の誘電定数を有する、上記〔３１〕に記載の硬化物。
〔３４〕  ２５０℃で３０分間硬化させた後に、４００ｎｍで８５％超の透明度を有している、上記〔３１〕に記載の硬化物。