(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ内であって、当該チャンバの一端側と他端側との両者間に多孔質材料を介在させて支持し、
チャンバの一端側に設けられたガス供給部から、当該チャンバ内にオゾンガスと不飽和炭化水素ガスを供給し、
チャンバの他端側に設けられたガス排出部から、当該チャンバ内のガスを吸気して当該チャンバ外に排出することにより、
多孔質材料における外周側表面と内部側表面とを改質する方法であって、
チャンバ内に、オゾンガスと不飽和炭化水素ガスを交互に供給することを特徴とする多孔質材料の改質方法。
【請求項２】
多孔質材料は、支持部により支持し、
支持部は、
ガス供給部とガス排出部との両者間方向に交差した交差方向に延在した形状であって、
当該両者間方向に貫通した複数個の貫通孔が設けられ、
支持部におけるガス供給部側に、多孔質材料を支持する支持面が形成されていることを特徴とする請求項１記載の多孔質材料の改質方法。
【請求項３】
ガス供給部は、
不飽和炭化水素ガスをチャンバ内に噴き出す噴出口と、オゾンガスをチャンバ内に噴き出す噴出口と、が形成されているシャワーヘッドを備えていることを特徴とする請求項１または２記載の多孔質材料の改質方法。
【請求項４】
チャンバは、内圧が大気圧よりも低圧に制御されることを特徴とする請求項１〜３のうち何れかに記載の多孔質材料の改質方法。
【請求項５】
チャンバ内に供給されるオゾンガスは、オゾン濃度が２０体積％以上であることを特徴とする請求項１〜４のうち何れかに記載の多孔質材料の改質方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多孔質材料の表面を改質する改質装置，改質方法に係るものであって、例えば多孔質材料において改質効果を得られ易くする技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
種々の分野で適用されている多孔質材料においては、目的に応じて親水性に改質することにより、当該多孔質材料の諸特性を向上させることが検討されている。
【０００３】
例えば、フィルム状，薄板状の多孔質材料（例えば、貼り合わせフィルム，印刷物，水処理用分離膜，フィルター）の場合、バリア性，耐久性，濡れ性（接着性）等の向上を図ることが一例として挙げられる。また、電気電子機器等の構成部材（例えば電池の場合、セパレータ，電極等）に適用される多孔質材料の場合、電気的特性等（例えば電池の場合、電池性能）の向上を図ることが一例として挙げられる。また、人工臓器等の生体材料の培養等に適用される多孔質材料（例えば細胞培養テンプレート）の場合、生体親和性等の向上を図ることが一例として挙げられる。
【０００４】
改質方法としては、コロナ放電処理，プラズマ処理，ＵＶオゾン処理等を利用した改質方法（例えば特許文献１に示す方法；以下、単に気相下改質方法と適宜称する）や、薬液（混酸等）やオゾン水等の液体（以下、改質液と適宜称する）を利用した改質方法（例えば特許文献２，３に示す方法；以下、単に液相下改質方法と適宜称する）が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許６０５７０３０号公報
【特許文献２】国際公開第２０１３／１９１０５２号
【特許文献３】国際公開第２０１４／２０３８９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述のような改質方法の場合、多孔質材料の外周側表面を改質できたとしても、例えば当該多孔質材料の内部側に形成された微小孔等（以下、単に内部貫通孔と適宜称する）による表面（以下、単に内部側表面と適宜称する）については、十分に改質することが困難（例えば内部貫通孔の孔径が小さくなるに連れて困難）であり、改質効果が十分に得られないおそれがあった。
【０００７】
液相下改質方法の場合、例えばコロナ放電処理，プラズマ処理，ＵＶオゾン処理と比較すると、内部側表面を少なからず改質（例えば、内部側表面のうち外周側表面近傍が改質）できる可能性があるものの、多孔質材料に残存している改質液を除去するための後処理工程等（例えば、多孔質材料の乾燥工程や、改質液の廃棄処理工程等）を要することになる。すなわち、改質において、高コスト化や作業煩雑化等を招くおそれがあった。
【０００８】
本発明は、前述のような技術的課題に鑑みてなされたものであって、多孔質材料において改質効果を得られ易くする改質技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明の一態様は、チャンバの一端側に設けられ、当該チャンバ内にオゾンガスと不飽和炭化水素ガスを供給するガス供給部と、チャンバの他端側に設けられ、当該チャンバ内のガスを吸気して当該チャンバ外に排出するガス排出部と、チャンバ内におけるガス供給部とガス排気部との両者間に多孔質材料を介在させて支持する支持部と、を備えていることを特徴とする多孔質材料の改質装置である。
【００１０】
支持部は、ガス供給部とガス排出部との両者間方向に交差した交差方向に延在した形状であって、当該両者間方向に貫通した複数個の貫通孔が設けられ、支持部におけるガス供給部側に、多孔質材料を支持する支持面が形成されていることを特徴とするものでも良い。
【００１１】
ガス供給部は、不飽和炭化水素ガスをチャンバ内に噴き出す噴出口と、オゾンガスをチャンバ内に噴き出す噴出口と、が形成されているシャワーヘッドを備えていることを特徴とするものでも良い。
【００１２】
チャンバは、内圧が大気圧よりも低圧に制御される。チャンバ内に供給されるオゾンガスは、オゾン濃度が２０体積％以上であることを特徴とするものでも良い。
【００１３】
他の態様は、チャンバ内であって、当該チャンバの一端側と他端側との両者間に多孔質材料を介在させて支持し、チャンバの一端側に設けられたガス供給部から、当該チャンバ内にオゾンガスと不飽和炭化水素ガスを供給し、チャンバの他端側に設けられたガス排出部から、当該チャンバ内のガスを吸気して当該チャンバ外に排出することにより、多孔質材料における外周側表面と内部側表面とを改質することを特徴とする多孔質材料の改質方法である。また、チャンバ内に、オゾンガスと不飽和炭化水素ガスを交互に供給することを特徴としても良い。
【発明の効果】
【００１４】
以上示したように本発明によれば、多孔質材料において改質効果を得られ易くなるように貢献可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態の一例である改質装置を説明するための概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の実施形態の多孔質材料の改質装置，改質方法は、単に気相下改質方法や液相下改質方法を適用して多孔質材料を改質する手法（以下、単に従来手法と適宜称する）とは、全く異なるものである。
【００１７】
すなわち、本実施形態においては、チャンバの一端側に設けられたガス供給部と、当該チャンバの他端側に設けられたガス排出部と、の両者間に多孔質材料を介在させて支持した状態で、ガス供給部からオゾンガスと不飽和炭化水素ガスを供給し、ガス排出部によりチャンバ内のガスを吸気して当該チャンバ外に排出するものである。
【００１８】
このような本実施形態によれば、チャンバ内に供給したオゾンガスおよび不飽和炭化水素ガスは、ガス供給部と多孔質材料との間（例えば多孔質材料の近傍や内部貫通孔内）で混合ガスとなって反応し、酸化種（ＯＨラジカル等）を発生させる。そして、当該酸化種を含んだ混合ガス（以下、単に酸化種含有ガスと適宜称する）は、当該多孔質材料の外周側表面に沿ってガス排出部に流動、または当該多孔質材料の内部貫通孔に沿ってガス排出部に流動（すなわち、多孔質材料の内部側表面に沿って通過して流動）して排出されることとなる。
【００１９】
これにより、従来手法と比較して、多孔質材料の内部側表面が改質され易くなり、所望の諸特性を付与することが可能となる。また、液相下改質方法のような後処理工程等（例えば、多孔質材料を乾燥する工程や、改質液の後処理工程（廃棄処理）等）は不要であるため、当該液相下改質方法と比較すると、高コスト化や作業煩雑化等を招くおそれを抑制できる。
【００２０】
本実施形態の多孔質材料の改質装置，改質方法は、前述のようにチャンバ内においてガス供給部とガス排出部との両者間に多孔質材料を介在させて支持し、ガス供給部からチャンバ内に供給されたオゾンガスと不飽和炭化水素ガスをガス排出部から吸気して排出できる構成であれば良く、種々の分野（例えば、多孔質材料分野，改質分野，チャンバ分野，オゾンガス分野，不飽和炭化水素ガス分野等）の技術常識を適宜適用して設計変形することが可能である。
【００２１】
≪本実施形態の一例である改質装置１≫
図１は、本実施形態の一例である改質装置１の構成を説明するものである。改質装置１は、改質対象である多孔質材料１０を出し入れ自在に収容可能なチャンバ２を有している。チャンバ２の上端側（一端側）には、ガス供給部３が設けられており、当該チャンバ２の下端側（他端側）には、ガス排出部４が設けられている。また、チャンバ２内におけるガス供給部３とガス排出部４との間には、多孔質材料１０を支持する支持部５が設けられている。
【００２２】
このような改質装置１において、不飽和炭化水素供給装置３１の不飽和炭化水素ガスおよびオゾン発生装置３２のオゾンガスを、ガス供給部３を介してチャンバ２内にそれぞれ供給することにより、当該チャンバ２内に収容されている多孔質材料１０を改質できることとなる。チャンバ２内のガスは、ガス排出部４により吸気して当該チャンバ２外に排出できる。
【００２３】
改質装置１の各構成要素は、例えば特許４９６８０２８号公報の図１，図２に示すような構成や、特許６０５２４７０号公報の図５，図６に示すような構成を適宜適用することが可能であり、その一例として以下に示すものが挙げられる。
【００２４】
＜ガス供給部３＞
ガス供給部３においては、チャンバ２の上端側に設けられたシャワーヘッド３０を有し、当該シャワーヘッド３０に不飽和炭化水素供給装置３１およびオゾン発生装置３２が接続された構成となっている。
【００２５】
不飽和炭化水素供給装置３１は、所望の不飽和炭化水素ガスを充填したボンベ（図示省略）や、当該ボンベに充填された不飽和炭化水素ガスの供給及びその停止を行うバルブ（図示省略）等を有し、当該ボンベとシャワーヘッド３０との間が配管３１ａにより接続されている。そして、配管３１ａ，シャワーヘッド３０を介して、不飽和炭化水素ガスをチャンバ２内に供給できる構成となっている。
【００２６】
不飽和炭化水素ガスは、オゾンガスと反応して酸化種を発生させて多孔質材料１０を親水性に改質できるものであれば、種々の態様を適用することが可能である。例えば、オゾンをオゾニド等の不安定な中間体を経てケトンやカルボン酸等に分解するものを適用することが挙げられる。具体例としては、エチレン等の２重結合を有する炭化水素（アルケン）やアセチレン等の３重結合を有する炭化水素（アルキン）の不飽和炭化水素を含有するガスが挙げられる。また、不飽和炭化水素は、ブチレン等の低分子量のもの（例えば、炭素数が１０程度以下のもの）が挙げられる。
【００２７】
オゾン発生装置３２は、無声放電等により低濃度のオゾンを生成する低濃度オゾン生成部（図示省略）や、低濃度オゾンを液化分留して高濃度のオゾンを生成する高濃度オゾン生成部（図示省略）等を有し、各生成部とシャワーヘッド３０との間が配管３２ａにより接続されている。そして、当該各生成部により発生した所望濃度のオゾンガスを、配管３２ａ，シャワーヘッド３０を介して、チャンバ２内に供給できる構成となっている。前記高濃度オゾン生成部の具体例としては、明電舎製ピュアオゾンジェネレータ（ＭＰＯＧ≡ＭＰ）が挙げられる。このようなオゾン生成部を有した構成によれば、オゾン濃度２０体積％以上１００体積％以下の高濃度オゾンガスの供給が可能となる。
【００２８】
オゾンガスは、前述の不飽和炭化水素ガスと反応して酸化種を発生させて多孔質材料１０を親水性に改質できるものであれば、種々の態様を適用することが可能である。オゾン濃度は、適宜設定することが可能であり、その一例としては、オゾン濃度が２０体積％以上、好ましくは５０体積％以上、さらに好ましくは９０体積％以上のオゾンガスを適用することが挙げられる。
【００２９】
シャワーヘッド３０は、チャンバ２の上端側に設けられている。このシャワーヘッド３０において、後述のガス排出部４や支持部５と対向する部位３０ａには、不飽和炭化水素供給装置３１と連通（配管３１ａを介して連通）し不飽和炭化水素ガスが噴き出す噴出口３１ｂと、オゾン発生装置３２と連通（配管３２ａを介して連通）しオゾンガスが噴き出す噴出口３２ｂと、がそれぞれ複数個形成されている。
【００３０】
噴出口３１ｂ，３２ｂは、部位３０ａに対して、所定間隔（等間隔等）で分散配置するように形成されている。このような噴出口３１ｂ，３２ｂにより、後述の支持部５に支持された多孔質材料１０に対して、不飽和炭化水素ガス，オゾンガスをそれぞれ均一分散させて吹き付けるように噴出（図中では、それぞれ白抜き矢印，黒抜き矢印のように噴出）できる。そして、不飽和炭化水素ガス，オゾンガスは、例えば多孔質材料１０近傍や内部貫通孔内で混合されて反応し、酸化種（ＯＨラジカル等）を含んだ酸化種含有ガスとなる。
【００３１】
＜ガス排出部４＞
ガス排出部４においては、チャンバ２の下端側に設けられた排出口４０を有し、当該排出口４０の排出方向側（下流側）の配管４０ａには、排気バルブ４１，オゾンキラー４２，真空ポンプ４３が接続されている。そして、真空ポンプ４３の吸引力によって、チャンバ２内を減圧状態（内圧が大気圧よりも低圧な状態）に維持するように制御して、当該チャンバ２内のガス（例えば酸化種含有ガス）を吸気し、当該ガスをチャンバ２外に排出できる構成となっている。
【００３２】
チャンバ２内の減圧状態は、例えば不飽和炭化水素供給装置３１及びオゾン発生装置３２から各々のガスを供給している間において、多孔質材料１０の所望の改質を実施できる範囲で、適宜調整することが可能である。例えば、排気バルブ４１の開度を適宜制御し、真空ポンプ４３を適宜稼動させることにより、チャンバ２内の減圧状態を調整することが可能である。具体例としては、チャンバ２内を数千Ｐａ以下（例えば１０００Ｐａ程度以下）、好ましくは数百Ｐａ以下（例えば１３０Ｐａ程度）になるように、減圧調整することが挙げられる。また、真空ポンプ４３は、オゾンに耐性のある構成（例えば、ドライポンプ）を適用することが好ましい。
【００３３】
排出口４０は、チャンバ２の下端側において、図１に示すように単に１個形成された構成に限定されるものではなく、複数個形成された構成であっても良い。排出口４０を複数個形成する場合には、チャンバ２の下端側において、支持部５と対向する部位２ａに対して、各排出口４０を所定間隔（等間隔等）で分散配置するように形成することが挙げられる。また、排出口４０の形状も、特に限定されるものではなく、適宜設定することが可能である。例えば、図１に示すように平板状の支持部５で被覆できる程度の大きさの形状にすることが挙げられる。
【００３４】
＜支持部５＞
支持部５においては、チャンバ２内におけるガス供給部３とガス排出部４との両者間に位置し、当該両者間方向に交差した方向（図１では図示水平方向）に延在した平板状の形状となっている。また、支持部５には、当該支持部５の肉厚方向（前記両者間方向）に貫通した複数個の貫通孔５０が設けられている。そして、支持部５のガス供給部３側の支持面５１により、多孔質材料１０を支持できる構成となっている。
【００３５】
貫通孔５０は、酸化種含有ガスが当該貫通孔５０を通過できる形状であって、目的とする多孔質材料１０を支持できるように、適宜形成することが挙げられる。このような貫通孔５０が形成された支持部５の具体例としては、メッシュ状の金網から成るサンプルホルダが挙げられる。
【００３６】
また、支持部５には、例えば改質性能の向上を図る目的で、当該支持部５を所望の位置に適宜移動（例えば図１の図示水平方向）させる移動機構（例えば移動ステージ等；図示省略）や、多孔質材料１０を適宜加熱する加熱機構（例えば熱電対や赤外線ヒータ等；図示省略）等を備えても良い。
【００３７】
図１の支持部５の場合、排出口４０を被覆するように、当該支持部５の外周縁側が開口縁部４０ｂに支持固定された構成となっている。
【００３８】
＜多孔質材料１０＞
多孔質材料１０においては、酸化種含有ガスが内部貫通孔を通過して流動できる程度の多孔性を有するものであって、支持部５で支持して改質可能なものであれば、特に限定されるものではない。
【００３９】
例えば、多孔質材料１０の形状としては、固形状，フィルム状，シート状，布状，繊維状等の種々の形状のものが挙げられる。多孔質材料１０の適用対象の一例としては、貼り合わせフィルム，印刷物，水処理用分離膜，フィルター，電池構成部材（セパレータ，電極等），細胞培養テンプレート等が挙げられる。
【００４０】
多孔質材料１０が樹脂を用いてなる場合（例えば多孔質プラスチックフィルムの場合）、当該樹脂としては、熱可塑性樹脂だけでなく熱硬化性樹脂も挙げられる。当該樹脂の具体例としては、ポリエステル樹脂，アラミド系樹脂，オレフィン系樹脂，ポリプロピレン樹脂，ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）樹脂，ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂等の材料を単独または組み合わせて形成されたものが挙げられる。その他、ＰＥ（ポリエチレン），ＰＯＭ（ポリオキシメチレン、または、アセタール樹脂），ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン），ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル、ブタジエン、スチレン共重合合成樹脂），ＰＡ（ポリアミド），ＰＦＡ（４フッ化エチレン、パーフルオロアルコキシエチレン共重合体），ＰＩ（ポリイミド），ＰＶＤ（ポリ二塩化ビニル），ＰＣ（ポリカーボネート），ＰＥＮ（１）（ポリエーテルニトリル），ＰＥＮ（２）（ポリエチレンナフタレート）等を材料としたものも挙げられる。
【００４１】
＜その他＞
オゾンガスと不飽和炭化水素ガスの供給比率，改質処理時間，改質処理温度、オゾンガスと不飽和炭化水素ガスとの混合ガス（酸化種が生成されている場合には酸化種含有ガス）の全圧、シャワーヘッド３０と多孔質材料１０との両者間距離は、例えば改質装置１の形態や多孔質材料１０等に応じて、適宜設定することが可能である。
【００４２】
供給比率の一例としては、モル比で、オゾン：不飽和炭化水素＝１：１〜４：１、より好ましくは２：１〜４：１の割合で設定することが挙げられる。
【００４３】
改質処理時間の一例としては、数分以下（例えば１分以下）、より好ましくは、数秒〜数十秒（例えば３秒〜２０秒）に設定することが挙げられる。この改質処理時間が長くなると（例えば数分超であると）、多孔質材料１０自体が変形や変色（例えば白濁）したり、当該多孔質材料１０表面が粗くなる可能性があるため、適宜設定することが好ましい。したがって、多孔質材料１０が改質によって変形や変色しない程度や、当該多孔質材料１０表面が粗くならない程度で、改質処理時間を適宜長く設定してもよい。
【００４４】
改質処理温度の一例としては、比較的低温に設定することが挙げられるが、改質処理の効果をあげるために、多孔質材料１０が変形，変質しない範囲で多孔質材料１０を加熱して加温してもよい。例えば、多孔質材料１０が樹脂を用いてなるものの場合には、ガラス転位温度以下の範囲で加温することが挙げられる。
【００４５】
オゾンガスと不飽和炭化水素ガスとの混合ガスの全圧の一例としては、数Ｐａ〜数千Ｐａ程度、より好ましくは、５０Ｐａ〜５００Ｐａの中真空から低真空の範囲に制御することが挙げられる。これは、オゾンと不飽和炭化水素との反応やその過程で生じるオゾニド等の不安定な中間体が急激に分解反応を起こしたり、反応の制御が不能となることを、抑制できる可能性がある。
【００４６】
シャワーヘッド３０と多孔質材料１０との両者間距離は、シャワーヘッド３０によるガス流の均一化（すなわち、改質処理の均一化）を損なわないように、適宜設定することが挙げられる。その一例としては、当該両者間距離を数ｍｍ〜数十ｍｍ程度（例えば５ｍｍ程度）に設定することが挙げられる。
【００４７】
以上のように構成された改質装置１を適用して多孔質材料１０の改質を試みたところ、当該多孔質材料１０の外周側表面の改質だけでなく、内部側表面が改質されていることを確認できた。
【００４８】
すなわち、改質装置１によれば、チャンバ２内に供給された不飽和炭化水素ガスおよびオゾンガスによる酸化種含有ガスを、例えば図１中の点線矢印で示すように、多孔質材料１０の外周側表面に沿ってガス排出部４に流動、または当該多孔質材料１０の内部貫通孔に沿ってガス排出部４に流動（すなわち、多孔質材料１０の内部側表面に沿って通過して流動）させることができ、多孔質材料１０において所望の改質が可能であることが判る。
【００４９】
以上、本発明において、記載された具体例に対してのみ詳細に説明したが、本発明の技術思想の範囲で多彩な変更等が可能であることは、当業者にとって明白なことであり、このような変更等が特許請求の範囲に属することは当然のことである。
【００５０】
例えば、図１のガス供給部３において、シャワーヘッド３０の替わりにノズルを適用した構成とすることが挙げられる。具体例としては、配管３１ａ，３２ａの先端にノズル（図示省略）をそれぞれ接続し、当該各ノズルの噴出口を多孔質材料１０に対向させた構成が挙げられる。このような構成の場合、当該各ノズルの噴出口から多孔質材料１０に対して、不飽和炭化水素ガス，オゾンガスをそれぞれ均一分散させて吹き付けるように噴出することにより、図１の改質装置１と同様の作用効果を奏することが可能となる。
【００５１】
また、オゾンガスと不飽和炭化水素ガスは、チャンバ２内に対して同時に供給（以下、単に同時供給と適宜称する）しても良く、それぞれ交互に供給（例えば時間差を設けて供給；以下、単に交互供給と適宜称する）しても良い。この交互供給としては、まず不飽和炭化水素ガスのみを先行して供給し、当該不飽和炭化水素ガスの供給を停止して所定時間経過後（例えば、供給した不飽和炭化水素ガスが多孔質材料１０近傍や内部貫通孔内に残存等している間）に、オゾンガスのみを供給する手法が挙げられる。もしくは、不飽和炭化水素ガスを供給後、チャンバ２内のガスを完全に排気し、内部側表面（多孔質材料１０の微細孔表面）にガス分子が吸着された状態でオゾンガスのみを供給させても良い。これにより、多孔質材料１０において、より細部を均質に改質することが可能となる。
【００５２】
前記同時供給の場合、不飽和炭化水素ガスおよびオゾンガスは、内部貫通孔内に流動する前に混合されて、酸化種含有ガスとなる傾向がある。このように内部貫通孔内に流動する前の酸化種含有ガスは、例えば多孔質材料１０が肉厚構造であったり内部貫通孔が比較的微細の場合、当該酸化種含有ガスが内部貫通孔内全域に分散する前に、酸化種が失活してしまうことも考えられる。
【００５３】
一方、前記交互供給の場合、先行して供給されて内部貫通孔内に流動した不飽和炭化水素ガスは、当該内部貫通孔内に追随して流動したオゾンガスと混合されて、酸化種含有ガスとなる傾向がある。このような内部貫通孔内の混合による酸化種含有ガスの場合、前記同時供給による酸化種含有ガスと比較して、酸化種の失活前に内部貫通孔内全域に分散させることが容易となる。一方で、内部側表面に吸着した不飽和炭化水素分子にオゾンガスのみを反応させる場合、当該不飽和炭化水素分子の吸着した内部側表面のみでオゾンガスが反応し改質される。これにより、たとえオゾンガスが高濃度ではなくても（例えばオゾン濃度が２０体積％未満であっても）、多孔質材料１０の所望の改質が実現し易くなる。
【符号の説明】
【００５４】
１…改質装置
１０…多孔質材料
２…チャンバ
３…ガス供給部
３０…シャワーヘッド
３１…不飽和炭化水素供給装置
３２…オゾン発生装置
４…ガス排出部
４３…真空ポンプ
５…支持部
【要約】
【課題】多孔質材料において改質効果を得られ易くする改質技術を提供する。
【解決手段】改質装置１のチャンバ２の一端側にはガス供給部３を設け、当該チャンバ２の他端側にはガス排出部４を設ける。チャンバ２内におけるガス供給部３とガス排出部４との間には、多孔質材料１０を支持する支持部５を設ける。そして、不飽和炭化水素供給装置３１の不飽和炭化水素ガスおよびオゾン発生装置３２のオゾンガスを、ガス供給部３を介してチャンバ２内にそれぞれ供給することにより、当該チャンバ２内に収容されている多孔質材料１０の外周側表面および内部側表面を改質する。チャンバ２内のガスは、ガス排出部４により吸気して当該チャンバ２外に排出する。
【選択図】図１【図１】
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