(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオンを加速するためのパルス電圧が印加される第１加速電極を備える第１加速部と、  フライトチューブと、  前記第１加速部と前記フライトチューブとの間に配置され、前記イオンを加速するための電圧が印加される第２加速電極を備える第２加速部と、  前記イオンを検出するイオン検出器と、  前記第１加速部、前記第２加速部、およびフライトチューブに配置された複数の電極のうち、少なくとも一組の電極の間の静電容量を調節する容量調節部とを備える分析装置。
【請求項２】
請求項１に記載の分析装置において、  前記第１加速電極は、第１電極と、前記第１電極と比べて前記第２加速部からより近い位置にある第２電極とを備え、  前記容量調節部は、前記第１電極と、前記第２加速電極および前記フライトチューブに配置されたフライトチューブ電極の少なくとも一つとの間の静電容量を調節する分析装置。
【請求項３】
請求項２に記載の分析装置において、  前記容量調節部は、前記第１電極と前記第２加速電極または前記フライトチューブ電極との間に、前記第２電極と前記第２加速電極または前記フライトチューブ電極との間の浮遊容量に基づく静電容量を発生させる分析装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載の分析装置において、  前記容量調節部は、前記第１電極と、前記第２加速部において前記第１加速部から最も近い位置に配置された前記第２加速電極との間の静電容量を調節する分析装置。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか一項に記載の分析装置において、  前記容量調節部は、前記第２加速電極と、他の前記第２加速電極または前記フライトチューブに配置された電極との間の静電容量を調節する分析装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  飛行時間型質量分析計（以下、適宜ＴＯＦ−ＭＳと呼ぶ）では、パルス電圧および定電圧により生じた電場によりイオンが加速され、加速されたイオンが検出器において検出されるまでの飛行時間に基づいて各イオンのｍ／ｚ（質量電荷比）が測定される。上記パルス電圧や定電圧が測定条件により意図せず変化すると、飛行時間の測定精度が低下する。精密な質量分析においては、測定条件による飛行時間のばらつきを数ｐｐｍ程度以下まで抑制することが求められるため、様々な原因で起こるばらつきをそれぞれ改善する必要がある。【０００３】  このようなばらつきを抑制する方法として、例えば、特許文献１では、パルス電圧を印加する周期（以下、パルス周期と呼ぶ）が変化した際に起こる、パルス電圧の電圧降下等による飛行時間のばらつきを、ＴＯＦ−ＭＳを構成する各電極に印加する電圧を変化させることで低減している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１７／０６８７２９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  イオンを加速させるためにパルス電圧や定電圧が印加される複数の電極の間に、浮遊容量が発生する。この浮遊容量が原因で、電極に印加されるパルス電圧が、定電圧が印加されている他の電極の電圧変動を引き起こす問題があった。この電圧変動は、接地したコンデンサと各電極とを直接接続することにより低減できると考えられるが、この方法でも上記電圧変動を完全に解消することはできない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本発明の第１の態様によると、分析装置は、イオンを加速するためのパルス電圧が印加される第１加速電極を備える第１加速部と、フライトチューブと、前記第１加速部と前記フライトチューブとの間に配置され、前記イオンを加速するための電圧が印加される第２加速電極を備える第２加速部と、前記イオンを検出するイオン検出器と、前記第１加速部、前記第２加速部、およびフライトチューブに配置された複数の電極のうち、少なくとも一組の電極の間の静電容量を調節する容量調節部とを備える。  本発明の第２の態様によると、第１の態様の分析装置において、前記第１加速電極は、第１電極と、前記第１電極と比べて前記第２加速部からより近い位置にある第２電極とを備え、前記容量調節部は、前記第１電極と、前記第２加速電極および前記フライトチューブに配置されたフライトチューブ電極の少なくとも一つとの間の静電容量を調節することが好ましい。  本発明の第３の態様によると、第２の態様の分析装置において、前記容量調節部は、前記第１電極と前記第２加速電極または前記フライトチューブ電極との間に、前記第２電極と前記第２加速電極または前記フライトチューブ電極との間の浮遊容量に基づく静電容量を発生させることが好ましい。  本発明の第４の態様によると、第２または第３の態様の分析装置において、前記容量調節部は、前記第１電極と、前記第２加速部において前記第１加速部から最も近い位置に配置された前記第２加速電極との間の静電容量を調節することが好ましい。  本発明の第５の態様によると、第１から第４までのいずれかの態様の分析装置において、前記容量調節部は、前記第２加速電極と、他の前記第２加速電極または前記フライトチューブに配置された電極との間の静電容量を調節することが好ましい。
【発明の効果】
【０００７】  本発明によれば、パルス電圧や定電圧が印加される複数の電極の間の静電容量を精密に調節することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、一実施形態の分析装置の構成を示す概念図である。
【図２】図２は、容量調節部を含む回路の構成を示す概念図である。
【図３】図３（Ａ）は、容量調節部により静電容量が調節されていない場合の第２加速電極の電圧を示すグラフであり、図３（Ｂ）は、容量調節部により静電容量が調節された後の第２加速電極の電圧を示すグラフである。
【図４】図４（Ａ）は、容量調節部により静電容量が調節されていない場合のフライトチューブ電極の電圧を示すグラフであり、図４（Ｂ）は、容量調節部により静電容量が調節された後のフライトチューブ電極の電圧を示すグラフである。
【図５】図５は、情報処理部の構成を示す概念図である。
【図６】図６（Ａ）は、比較例における、パルス周期を変化させた場合の飛行時間のずれを示すグラフであり、図６（Ｂ）は、比較例における、パルス幅を変化させた場合の飛行時間のずれを示すグラフである。
【図７】図７（Ａ）は、実施例１における、パルス周期を変化させた場合の飛行時間のずれを示すグラフであり、図７（Ｂ）は、実施例１における、パルス幅を変化させた場合の飛行時間のずれを示すグラフである。
【図８】図８（Ａ）は、実施例２における、パルス周期を変化させた場合の飛行時間のずれを示すグラフであり、図８（Ｂ）は、実施例２における、パルス幅を変化させた場合の飛行時間のずれを示すグラフである。
【図９】図９（Ａ）は、実施例３における、パルス周期を変化させた場合の飛行時間のずれを示すグラフであり、図９（Ｂ）は、実施例３における、パルス幅を変化させた場合の飛行時間のずれを示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】  以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【００１０】−第１実施形態−  図１は、本実施形態の分析装置を説明するための概念図である。分析装置１は、測定部１００と、情報処理部４０とを備える。測定部１００は、液体クロマトグラフ１０と、質量分析計２０とを備える。
【００１１】  液体クロマトグラフ１０は、移動相容器１１ａ，１１ｂと、送液ポンプ１２ａ，１２ｂと、試料導入部１３と、分析カラム１４とを備える。質量分析計２０は、イオン化部２１１を備えるイオン化室２１と、イオンレンズ２２１を備える第１真空室２２ａと、イオン化室２１から第１真空室２２ａへイオンを導入する管２１２と、イオンガイド２２２を備える第２真空室２２ｂと、第３真空室２２ｃと、分析室３０とを備える。第３真空室２２ｃは、第１質量分離部２３と、コリジョンセル２４と、イオンガイド２５とを備える。コリジョンセル２４は、イオンガイド２４０とＣＩＤガス導入口２４１とを備える。
【００１２】  分析室３０は、イオン輸送電極３０１と、第１加速部３１０と、第２加速部３２０と、フライトチューブ３３０と、リフレクトロン電極３４０と、バックプレート３５０と、検出部３６０とを備える。第１加速部３１０は、押出電極３１１ａと、引出電極３１１ｂとを備える。以下では、第１加速部３１０に含まれる電極（押出電極３１１ａおよび引出電極３１１ｂ）を第１加速電極３１１と呼び、第２加速部３２０に含まれる電極を第２加速電極３２１と呼ぶ。
【００１３】  液体クロマトグラフ（ＬＣ）１０の種類は特に限定されない。移動相容器１１ａおよび１１ｂは、バイアルやボトル等の液体を格納可能な容器を備え、それぞれ異なる組成の移動相を格納する。移動相容器１１ａおよび１１ｂに格納されている移動相をそれぞれ移動相Ａおよび移動相Ｂと呼ぶ。送液ポンプ１２ａおよび１２ｂからそれぞれ出力された移動相Ａおよび移動相Ｂは、流路の途中で混合され、試料導入部１３へと導入される。送液ポンプ１２ａおよび１２ｂは、それぞれ移動相Ａおよび移動相Ｂの流量を変化させることにより、時間によって分析カラム１４に導入される移動相の組成を変化させる。
【００１４】  試料導入部１３は、オートサンプラー等の試料導入装置を備え、試料Ｓを移動相に導入する（矢印Ａ１）。試料導入部１３により導入された試料Ｓは、適宜不図示のガードカラムを通過して分析カラム１４に導入される。
【００１５】  分析カラム１４は、固定相を備え、導入された試料Ｓの各成分を、移動相と固定相とに対する当該成分の親和性の違いを利用して異なる保持時間で溶出させる。分析カラム１４の種類や固定相は特に限定されない。分析カラム１４から溶出された溶出試料は、質量分析計２０のイオン化室２１に導入される（矢印Ａ２）。分析カラム１４の溶出試料は、分析装置１のユーザー（以下、単に「ユーザー」と呼ぶ）による分注等の操作を必要とせず、オンライン制御により質量分析計２０に入力されることが好ましい。
【００１６】  質量分析計２０は、分析カラム１４から導入された溶出試料に対してタンデム質量分析を行う直交加速型のＴＯＦ−ＭＳである。イオン化された溶出試料Ｓｅの経路を、一点鎖線の矢印Ａ３により模式的に示した。
【００１７】  質量分析計２０のイオン化室２１は、導入された溶出試料Ｓｅをイオン化する。イオン化の方法は特に限定されないが、本実施形態のように液体クロマトグラフィ／タンデム質量分析（ＬＣ／ＭＳ／ＭＳ）を行う場合にはエレクトロスプレー法（ＥＳＩ）が好ましく、以下の実施形態でもＥＳＩを行うものとして説明する。イオン化部２１１から出射されイオン化された溶出試料Ｓｅは、イオン化室２１と第１真空室２２ａの圧力差等により移動し、管２１２を通過して第１真空室２２ａに入射する。
【００１８】  第１真空室２２ａ、第２真空室２２ｂ、第３真空室２２ｃおよび分析室３０は、この順に真空度が高くなっており、分析室３０では例えば１０−３Ｐａ以下等の圧力まで排気されている。第１真空室２２ａに入射したイオンは、イオンレンズ２２１を通過して第２真空室２２ｂに導入される。第２真空室２２ｂに入射したイオンは、イオンガイド２２２を通過して第３真空室２２ｃに導入される。第３真空室２２ｃに導入されたイオンは、第１質量分離部２３へと出射される。第１質量分離部２３に入射するまでの間に、イオンレンズ２２１やイオンガイド２２２等は、通過するイオンを電磁気学的作用により収束させる。
【００１９】  第１質量分離部２３は、四重極マスフィルタを備え、四重極マスフィルタに印加される電圧に基づく電磁気学的作用により、設定されたｍ／ｚを有するイオンをプリカーサーイオンとして選択的に通過させてコリジョンセル２４に向けて出射する。
【００２０】  コリジョンセル２４は、イオンガイド２４０によりイオンの移動を制御しながら、衝突誘起解離（Ｃｏｌｌｉｓｉｏｎ  Ｉｎｄｕｃｅｄ  Ｄｉｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ；ＣＩＤ）によりイオン化された溶出試料Ｓｅを解離させ、フラグメントイオンを生成する。ＣＩＤの際にイオンが衝突させられるアルゴンや窒素等を含むガス（以下、ＣＩＤガスと呼ぶ）は、コリジョンセル内で所定の圧力になるようにＣＩＤガス導入口２４１から導入される（矢印Ａ４）。生成されたフラグメントイオンを含むイオンは、イオンガイド２５に向けて出射される。イオンガイド２５を通過したイオンは、分析室３０に入射する。
【００２１】  分析室３０に入射したイオンは、イオン輸送電極３０１により移動を制御されつつイオン輸送電極３０１を通過し、第１加速部３１０に入射する。第１加速部３１０の押出電極３１１ａは、検出するイオンの極性と同一の極性のパルス電圧が印加され、イオンを押出電極３１１ａから遠ざかる向きに加速する加速電極である。第１加速部３１０の引出電極３１１ｂは、イオンがその内部を通過できるように格子状に形成されている。引出電極３１１ｂは、検出するイオンの極性と反対の極性のパルス電圧が印加され、押出電極３１１ａと引出電極３１１ｂとの間に有るイオンを引出電極３１１ｂに近づくように加速する加速電極である。押出電極３１１ａおよび引出電極３１１ｂに印加されるパルス電圧の波高の絶対値は数千Ｖ等である。押出電極３１１ａおよび引出電極３１１ｂには、パルス電圧が印加されないときには、数十Ｖ等の電圧が適宜印加されている。第１加速部３１０において、押出電極３１１ａおよび引出電極３１１ｂに印加されたパルス電圧により生じた電場により加速されたイオンは、第２加速部３２０に入射する。図１では、第１加速部３１０により加速されたイオンの経路を矢印Ａ５で模式的に示した。
【００２２】  第２加速部３２０の第２加速電極３２１には、検出するイオンの極性と反対の極性の、例えば数千Ｖの大きさの電圧が印加される。第２加速部３２０を通過するイオンは、第２加速電極３２１に印加された電圧により生じた電場により加速されつつ適宜収束作用を受け、フライトチューブ３３０に囲まれた空間に入射する。
【００２３】  フライトチューブ３３０は、フライトチューブ電極を備え、フライトチューブ電極に印加された電圧によりイオンの移動を制御し、イオンが飛行する空間を画定する。フライトチューブ電極にも、イオンの極性と反対の極性の、数千Ｖ等の大きさの電圧が印加される。
【００２４】  リフレクトロン電極３４０およびバックプレート３５０には、正イオン検出時にはフライトチューブ電圧よりも高い電圧が印加され、この電圧により生じた電場によりイオンの進行方向を変化させる。進行方向が変化させられたイオンは、矢印Ａ５により模式的に示した折り返し軌道に沿って移動し、検出部３６０に入射する。なお、負イオン検出時には、リフレクトロン電極３４０およびバックプレート３５０には、フライトチューブ電圧よりも低い電圧が印加される。
【００２５】  検出部３６０は、マルチチャンネルプレート等のイオン検出器を備え、入射したイオンを検出する。検出モードは正イオンを検出する正イオンモードと、負イオンを検出する負イオンモードとのいずれでもよい。イオンを検出して得た検出信号は不図示のＡ／Ｄ変換器によりＡ／Ｄ変換され、デジタル信号となって情報処理部４０に入力される（矢印Ａ６）。
【００２６】（容量調節部７について）  容量調節部７は、コンデンサ等の、接続する２点間に静電容量を発生させる素子を備える。容量調節部７は、第１加速部３１０、第２加速部３２０およびフライトチューブ３３０に配置された複数の電極のうち、少なくとも一組の電極の間の静電容量を調節する。
【００２７】  図２は、容量調節部７を含む回路の構成を模式的に示す図である。分析装置１は、抵抗６１ａ、６１ｂ、６１ｃおよび６２と、ＧＮＤ９１に接続された第２加速電極電源９１と、ＧＮＤ９４に接続されたフライトチューブ電源９３とを備える。図２では、図１とは反対に、上から順に、押出電極３１１ａ、引出電極３１１ｂ、第２加速電極３２１ａ、３２１ｂ、３２１ｃ、３２１ｄ、およびフライトチューブ電極３３１が示されている。イオンは図中右方向から入射し（矢印Ａ７）、押出電極３１１ａ等に印加された電圧により生じた電場により加速され図中下方向へと出射される（矢印Ａ８）。
【００２８】  例えば、正イオンを検出する場合、押出電極３１１ａおよび引出電極３１１ｂには、それぞれ＋数千Ｖおよび−数千Ｖのパルス電圧が印加され、パルス電圧が印加されていないときには、数十Ｖ等の電圧が印加される。図２では、押出電極３１１ａおよび引出電極３１１ｂにこれらの電圧を印加する回路は省略されている。
【００２９】  第２加速部３２０に含まれる電極のうち、最も引出電極３１１ｂに近い位置にある電極（以下、適宜、引出電極側加速電極Ｐと呼ぶ）は、第２加速電極電源９１により、定電圧が印加される。フライトチューブ電極３３１は、フライトチューブ電源９３により、定電圧が印加される。引出電極側加速電極Ｐおよびフライトチューブ電極３３１の電圧は、当該電圧を測定し、測定結果に基づいて当該電圧を調節するフィードバック制御により安定化されている。
【００３０】  抵抗６１ａは、引出電極側加速電極Ｐと第２加速電極３２１ｂとの間を接続する。抵抗６１ｂは、第２加速電極３２１ｂと３２１ｃとの間を接続する。抵抗６１ｃは、第２加速電極３２１ｃと３２１ｄとの間を接続する。抵抗６２は、第２加速電極３２１ｄとフライトチューブ電極３３１との間を接続する。抵抗６１ａ、６１ｂ、６１ｃおよび６２により、第２加速部３２０における、引出電極側加速電極Ｐ以外の第２加速電極３２１ｂ〜３２１ｄの電圧が設定される。
【００３１】 例えば、正イオンを検出する場合、引出電極側加速電極Ｐの電圧は−３ｋＶ、フライトチューブ電極３３１の電圧は−７ｋＶに設定され、第２加速電極３２１ｂ〜３２１ｄの電圧はそれぞれ−３ｋＶと−７ｋＶとの間の値に設定される。負イオンを検出する場合は、正イオンを検出する場合の符号を反転させた電圧値とすることができる。
【００３２】  容量調節部７は、押出電極３１１ａと引出電極側加速電極Ｐとの間に配置された第１コンデンサ７１、押出電極３１１ａとフライトチューブ電極３３１との間に配置された第２コンデンサ、隣り合う第２加速電極間のそれぞれに配置された第３コンデンサ８１ａ、８１ｂおよび８１ｃ、ならびに、第２加速電極３２１ｄとフライトチューブ電極３３１との間に配置された第４コンデンサ８２を備える。容量調節部７はこれらのコンデンサにより、パルス電圧を印加する際の第２加速電極３２１およびフライトチューブ電極３３１の電圧を安定化するように各電極間の容量を調節している。以下では、コンデンサが「ＡとＢとの間に配置された」と記載する場合には、コンデンサの両端がＡおよびＢにそれぞれ接続される意味を含む。
【００３３】  従来の分析装置では、第１加速電極３１１に印加されるパルス電圧が、第２加速部３２０に含まれる電極や、フライトチューブ電極３３１に電圧変動を引き起こしていた。
【００３４】  図３（Ａ）は、容量調節部７を有しない従来の分析装置において、引出電極に負のパルス電圧を印加した際の、引出電極側加速電極の電圧変動を示すグラフである。ここでは、引出電極側加速電極には定電圧として約−３ｋＶが印加されている。引出電極と引出電極側加速電極との間の浮遊容量を原因として、引出電極へのパルス電圧の印加により、１１Ｖのパルス状のノイズが観察されている。
【００３５】  引出電極側加速電極の電圧は、当該電圧を測定し、測定された当該電圧に基づいて電圧を調整するフィードバック制御により安定化されている。ここで、パルス周期が変化すると、フィードバック制御による電圧の調整量が変化し、そのため引出電極側加速電極の電圧が変化する。以下では、フィードバック制御において、パルス周期より長い所定の時間の電圧の算術平均による平均値に基づいて電圧が調整される場合を例に説明する。
【００３６】  例えば、パルス周期を５００μｓ（パルス周波数２ｋＨｚ）とし、パルス幅を１０μｓとした場合、上記のような１１Ｖのパルス状ノイズがあると、パルス電圧が引出電極に印加されていないときの引出電極側加速電極の電圧Ｖｏは、以下の式（１）により表される。Ｖｏ＝−（３ｋＶ−（１０μｓ／５００μｓ）×１１Ｖ）＝−２９９９．７８Ｖ…（１）一方、パルス電圧が引出電極に印加されているときの引出電極側加速電極の電圧Ｖ１は、以下の式（２）により表される。Ｖ１＝−２９９９．７８Ｖ−１１Ｖ＝−３０１０．７８Ｖ  …（２）
【００３７】  パルス周期を１２５μｓ（パルス周波数８ｋＨｚ）に変化させ、パルス幅を１０μｓとした場合、上記のような１１Ｖのパルス状ノイズがあると、パルス電圧が引出電極に印加されていないときの引出電極側加速電極の電圧Ｖｏは、以下の式（３）により表される。Ｖｏ＝−（３ｋＶ−（１０μｓ／１２５μｓ）×１１Ｖ）＝−２９９９．１２Ｖ…（３）一方、パルス電圧が引出電極に印加されているときの引出電極側加速電極の電圧Ｖ１は、以下の式（４）により表される。Ｖ１＝−２９９９．１２Ｖ−１１Ｖ＝−３０１０．１２Ｖ  …（４）
【００３８】  式（１）〜（４）から、パルス周期が５００μｓから１２５μｓに変化する際に、従来の分析装置では、引出電極側加速電極の電圧が０．６６Ｖ変化してしまうことがわかる。これは、精密な質量測定等において無視できない値である。
【００３９】  次に、パルス周期を変えずにパルス幅を変化させる場合を考える。パルス周期を１２５μｓとし、パルス幅を３μｓに変化させた場合、上記のような１１Ｖのパルス状ノイズがあると、パルス電圧が引出電極に印加されていないときの引出電極側加速電極の電圧Ｖｏは、以下の式（５）により表される。Ｖｏ＝−（３ｋＶ−（３μｓ／１２５μｓ）×１１Ｖ）＝−２９９９．７３６Ｖ…（５）一方、パルス電圧が引出電極に印加されているときの引出電極側加速電極の電圧Ｖ１は、以下の式（６）により表される。Ｖ１＝−２９９９．７３６Ｖ−１１Ｖ＝−３０１０．７３６Ｖ  …（６）
【００４０】  式（３）〜（６）から、パルス幅が１０μｓから３μｓに変化する際に、従来の分析装置では、引出電極側加速電極の電圧が０．６１６Ｖ変化してしまうことがわかる。これは、精密な質量測定等において無視できない値である。
【００４１】  図３（Ｂ）は、押出電極と引出電極側加速電極との間に２５ｐＦのコンデンサ（図２中の第１コンデンサ７１に対応）を配置した場合に、引出電極に負のパルス電圧を印加した際の、引出電極側加速電極の電圧変動を示すグラフである。引出電極側加速電極には定電圧として約−３ｋＶが印加されている。図３（Ｂ）の場合には、引出電極へのパルス電圧の印加により、０．６Ｖのパルス状のノイズが観察されている。この値は図３（Ａ）の場合の１１Ｖより大きく減少している。
【００４２】  例えば、パルス周期を５００μｓとし、パルス幅を１０μｓとした場合、上記のような０．６Ｖのパルス状ノイズがあると、パルス電圧が引出電極に印加されていないときの引出電極側加速電極の電圧Ｖｏは、以下の式（７）により表される。Ｖｏ＝−（３ｋＶ−（１０μｓ／５００μｓ）×０．６Ｖ）＝−２９９９．９８８Ｖ…（７）一方、パルス電圧が引出電極に印加されているときの引出電極側加速電極の電圧Ｖ１は、以下の式（８）により表される。Ｖ１＝−２９９９．９８８Ｖ−０．６Ｖ＝−３０００．５８８Ｖ  …（８）
【００４３】  パルス周期を１２５μｓに変化させ、パルス幅を１０μｓとした場合、上記のような０．６Ｖのパルス状ノイズがあると、パルス電圧が引出電極に印加されていないときの引出電極側加速電極の電圧Ｖｏは、以下の式（９）により表される。Ｖｏ＝−（３ｋＶ−（１０μｓ／１２５μｓ）×０．６Ｖ）＝−２９９９．９５２Ｖ…（９）一方、パルス電圧が引出電極に印加されているときの引出電極側加速電極の電圧Ｖ１は、以下の式（１０）により表される。Ｖ１＝−２９９９．９５２Ｖ−０．６Ｖ＝−３０００．５５２Ｖ  …（１０）
【００４４】  式（７）〜（１０）から、パルス周期が５００μｓから１２５μｓに変化する際に、第１コンデンサ７１を備える分析装置では、引出電極側加速電極の電圧の変化を３６ｍＶに抑えられることがわかる。これは、第１コンデンサ７１が無い場合での０．６６Ｖの電圧変動と比べ、著しく小さい値である。
【００４５】  次に、パルス周期を変えずにパルス幅を変化させる場合を考える。パルス周期を１２５μｓとし、パルス幅を３μｓに変化させた場合、上記のような０．６Ｖのパルス状ノイズがあると、パルス電圧が引出電極に印加されていないときの引出電極側加速電極の電圧Ｖｏは、以下の式（１１）により表される。Ｖｏ＝−（３ｋＶ−（３μｓ／１２５μｓ）×０．６Ｖ）＝−２９９９．９８５６Ｖ…（１１）一方、パルス電圧が引出電極に印加されているときの引出電極側加速電極の電圧Ｖ１は、以下の式（１２）により表される。Ｖ１＝−２９９９．９８５６Ｖ−０．６Ｖ＝−３０００．５８５６Ｖ  …（１２）
【００４６】  式（９）〜（１２）から、パルス幅が１０μｓから３μｓに変化する際に、第１コンデンサ７１を備える分析装置では、引出電極側加速電極の電圧の変化を３３．６ｍＶに抑えられることがわかる。これは、第１コンデンサ７１が無い場合での０．６１６Ｖの電圧変動と比べ、著しく小さい値である。  
【００４７】  以上から、分析装置１では、第１コンデンサ７１を備えることにより、パルス周期の変化による引出電極側加速電極Ｐの電圧の変化を低減することができる。これにより、様々なｍ／ｚを有するイオンに対し、ｍ／ｚの値から予想される飛行時間に合わせたパルス周期を設定することができ、当該イオンを効率的に検出し、かつ正確に飛行時間を測定することができる。  なお、引出電極側加速電極ＰとＧＮＤの間にコンデンサを配置することによっても、パルス電圧による引出電極側加速電極Ｐの電圧変動を低減することができるが、この場合に配置されるコンデンサの静電容量は、第１コンデンサ７１の静電容量よりはるかに大きくなる。従って、検出するイオンの極性を反転させる場合に、時間がかかってしまったり、あるいは第２加速電極電源９１等の出力パワーの増大が必要となる。
【００４８】  第１コンデンサ７１の静電容量は、分析装置１ごとに、引出電極３１１ｂに印加されたパルス電圧による引出電極側加速電極Ｐの電圧変動が小さくなるように適宜設定することができる。好ましくは、第１コンデンサ７１の静電容量は、引出電極３１１ｂと引出電極側加速電極Ｐとの間の浮遊容量に基づいて設定される。例えば、押出電極３１１ａと引出電極３１１ｂとに、反対の極性で同じ大きさのパルス電圧が印加されるとするとする。この場合、第１コンデンサ７１の配置により、引出電極３１１ｂと引出電極側加速電極Ｐとの間の浮遊容量と同じだけの静電容量を、押出電極３１１ａと引出電極側加速電極Ｐとの間に発生させる。これにより、引出電極３１１ｂに印加されたパルス電圧による引出電極側加速電極Ｐの電圧変動は、押出電極３１１ａに印加されたパルス電圧による引出電極加速電極３２１の電圧変動により相殺されることになり、引出電極側加速電極Ｐの電圧変動が減少する。
【００４９】  図４（Ａ）は、容量調節部７を有しない従来の分析装置において、引出電極に負のパルス電圧を印加した際の、フライトチューブ電極の電圧変動を示すグラフである。ここでは、フライトチューブ電極には定電圧として約−７ｋＶが印加されている。引出電極とフライトチューブ電極との間の浮遊容量を原因として、引出電極へのパルス電圧の印加により、３５０ｍＶのパルス状のノイズが観察されている。
【００５０】  フライトチューブ電極の電圧は、当該電圧を測定し、測定された当該電圧に基づいて電圧を調整するフィードバック制御により安定化されている。ここで、パルス周期が変化すると、フィードバック制御による電圧の調整量が変化し、そのためフライトチューブ電極の電圧が変化する。以下では、フィードバック制御において、パルス周期より長い所定の時間の電圧の算術平均による平均値に基づいて電圧が調整される場合を例に説明する。
【００５１】  例えば、パルス周期を５００μｓ（パルス周波数２ｋＨｚ）とし、パルス幅を１０μｓとした場合、上記のような３５０ｍＶのパルス状ノイズがあると、パルス電圧が引出電極に印加されていないときのフライトチューブ電極の電圧Ｖｏは、以下の式（１０１）により表される。Ｖｏ＝−（７ｋＶ−（１０μｓ／５００μｓ）×０．３５Ｖ）＝−６９９９．９９３Ｖ…（１０１）一方、パルス電圧が引出電極に印加されているときのフライトチューブ電極の電圧Ｖ１は、以下の式（１０２）により表される。Ｖ１＝−６９９９．９９３Ｖ−０．３５Ｖ＝−７０００．３４３Ｖ  …（１０２）
【００５２】  パルス周期を１２５μｓ（パルス周波数８ｋＨｚ）に変化させ、パルス幅を１０μｓとした場合、上記のような３５０ｍＶのパルス状ノイズがあると、パルス電圧が引出電極に印加されていないときのフライトチューブ電極の電圧Ｖｏは、以下の式（１０３）により表される。Ｖｏ＝−（７ｋＶ−（１０μｓ／１２５μｓ）×０．３５Ｖ）＝−６９９９．９７２Ｖ…（１０３）一方、パルス電圧が引出電極に印加されているときの引出電極側加速電極の電圧Ｖ１は、以下の式（１０４）により表される。Ｖ１＝−６９９９．９７２Ｖ−０．３５Ｖ＝−７０００．３２２Ｖ  …（１０４）
【００５３】  式（１０１）〜（１０４）から、パルス周期が５００μｓから１２５μｓに変化する際に、従来の分析装置では、フライトチューブ電極の電圧が２１ｍＶ変化してしまうことがわかる。これは、精密な質量測定等において無視できない値である。
【００５４】  次に、パルス周期を変えずにパルス幅を変化させる場合を考える。パルス周期を１２５μｓとし、パルス幅を３μｓに変化させた場合、上記のような０．３５Ｖのパルス状ノイズがあると、パルス電圧が引出電極に印加されていないときのフライトチューブ電極の電圧Ｖｏは、以下の式（１０５）により表される。Ｖｏ＝−（７ｋＶ−（３μｓ／１２５μｓ）×０．３５Ｖ）＝−６９９９．９９１６Ｖ…（１０５）一方、パルス電圧が引出電極に印加されているときの引出電極側加速電極の電圧Ｖ１は、以下の式（１０６）により表される。Ｖ１＝−６９９９．９９１６Ｖ−０．３５Ｖ＝−７０００．３４１６Ｖ  …（１０６）
【００５５】  式（１０３）〜（１０６）から、パルス幅が１０μｓから３μｓに変化する際に、従来の分析装置では、フライトチューブ電極の電圧が１９．６ｍＶ変化してしまうことがわかる。これは、精密な質量測定等において無視できない値である。
【００５６】  図４（Ｂ）は、押出電極とフライトチューブ電極との間に０．５ｐＦのコンデンサ（図２中の第２コンデンサ７２に対応）を配置した場合に、引出電極に負のパルス電圧を印加した際の、フライトチューブ電極の電圧変動を示すグラフである。フライトチューブ電極には定電圧として約−７ｋＶが印加されている。図４（Ｂ）の場合には、引出電極へのパルス電圧の印加により、２５ｍＶのパルス状のノイズが観察されている。この値は図４（Ｂ）の場合の３５０ｍＶより大きく減少している。
【００５７】  例えば、パルス周期を５００μｓとし、パルス幅を１０μｓとした場合、上記のような２５ｍＶのパルス状ノイズがあると、パルス電圧が引出電極に印加されていないときのフライトチューブ電極の電圧Ｖｏは、以下の式（１０７）により表される。Ｖｏ＝−（７ｋＶ−（１０μｓ／５００μｓ）×０．０２５Ｖ）＝−６９９９．９９９５Ｖ  …（１０７）一方、パルス電圧が引出電極に印加されているときのフライトチューブ電極の電圧Ｖ１は、以下の式（１０８）により表される。Ｖ１＝−６９９９．９９９５Ｖ−０．０２５Ｖ＝−７０００．０２４５Ｖ  …（１０８）
【００５８】  パルス周期を１２５μｓに変化させ、パルス幅を１０μｓとした場合、上記のような２５ｍＶのパルス状ノイズがあると、パルス電圧が引出電極に印加されていないときのフライトチューブ電極の電圧Ｖｏは、以下の式（１０９）により表される。Ｖｏ＝−（７ｋＶ−（１０μｓ／１２５μｓ）×０．０２５Ｖ）＝−６９９９．９９８Ｖ  …（１０９）一方、パルス電圧が引出電極に印加されているときのフライトチューブ電極の電圧Ｖ１は、以下の式（１１０）により表される。Ｖ１＝−６９９９．９９８Ｖ−０．０２５Ｖ＝−７０００．０２３Ｖ  …（１１０）
【００５９】  式（１０７）〜（１１０）から、パルス周期が５００μｓから１２５μｓに変化する際に、第２コンデンサ７２を備える分析装置では、フライトチューブ電極の電圧の変化を１．５ｍＶに抑えられることがわかる。これは、第２コンデンサ７２が無い場合での２１ｍＶの電圧変動と比べ、著しく小さい値である。
【００６０】  次に、パルス周期を変えずにパルス幅を変化させる場合を考える。パルス周期を１２５μｓとし、パルス幅を３μｓに変化させた場合、上記のような２５ｍＶのパルス状ノイズがあると、パルス電圧が引出電極に印加されていないときのフライトチューブ電極の電圧Ｖｏは、以下の式（１１１）により表される。Ｖｏ＝−（７ｋＶ−（３μｓ／１２５μｓ）×０．０２５Ｖ）＝−６９９９．９９９４Ｖ  …（１１１）一方、パルス電圧が引出電極に印加されているときのフライトチューブ電極の電圧Ｖ１は、以下の式（１１２）により表される。Ｖ１＝−６９９９．９９９４Ｖ−０．０２５Ｖ＝−７０００．０２４４Ｖ  …（１１２）
【００６１】  式（１０９）〜（１１２）から、パルス幅が１０μｓから３μｓに変化する際に、第２コンデンサ７２を備える分析装置では、フライトチューブ電極の電圧の変化を１．４ｍＶに抑えられることがわかる。これは、第２コンデンサ７２が無い場合での１９．６ｍＶの電圧変動と比べ、著しく小さい値である。  
【００６２】  このように、分析装置１では、第２コンデンサ７２を備えることにより、パルス周期の変化によるフライトチューブ電極３３１の電圧の変化を低減することができる。これにより、様々なｍ／ｚを有するイオンに対し、ｍ／ｚの値から予想される飛行時間に合わせたパルス周期を設定することができ、当該イオンを効率的に検出し、かつ正確に飛行時間を測定することができる。  なお、フライトチューブ電極３３１とＧＮＤの間にコンデンサを配置することによっても、パルス電圧によるフライトチューブ電極３３１の電圧変動を低減することができるが、この場合に配置されるコンデンサの静電容量は、第２コンデンサ７２の静電容量よりはるかに大きくなる。従って、検出するイオンの極性を反転させる場合に、時間がかかってしまったり、あるいはフライトチューブ電源９３等の出力パワーの増大が必要となる。
【００６３】  第２コンデンサ７２の静電容量は、分析装置１ごとに、引出電極３１１ｂに印加されたパルス電圧によるフライトチューブ電極３３１の電圧変動が小さくなるように適宜設定することができる。好ましくは、第２コンデンサ７２の静電容量は、引出電極３１１ｂとフライトチューブ電極３３１との間の浮遊容量に基づいて設定される。例えば、押出電極３１１ａと引出電極３１１ｂとに、反対の極性で同じ大きさのパルス電圧が印加されるとするとする。この場合、第２コンデンサ７２の配置により、引出電極３１１ｂとフライトチューブ電極３３１との間の浮遊容量と同じだけの静電容量を、押出電極３１１ａとフライトチューブ電極３３１との間に発生させる。これにより、引出電極３１１ｂに印加されたパルス電圧によるフライトチューブ電極３３１の電圧変動は、押出電極３１１ａに印加されたパルス電圧によるフライトチューブ電極３３１の電圧変動により相殺されることになり、フライトチューブ電極３３１の電圧変動は減少する。
【００６４】  引出電極と、引出電極側加速電極以外の第２加速電極のそれぞれとの間の浮遊容量を原因として、引出電極のパルス電圧により引出電極側加速電極以外の第２加速電極の電圧が変化し得る。
【００６５】  分析装置１では、隣り合う第２加速電極３２１の間に第３コンデンサ８１ａ、８１ｂおよび８１ｃが配置されている。また、分析装置１では、第２加速部３２０において最もフライトチューブ側に配置された第２加速電極３２１ｄと、フライトチューブ電極３３１との間に第４コンデンサ８２が配置されている。第３コンデンサ８１ａ、８１ｂ、８１ｃおよび第４コンデンサ８２は、抵抗６１ａ、６１ｂ、６１ｃおよび６１ｄとそれぞれ並列に配置されている。  なお、第２加速部３２０に配置される第２加速電極３２１の数、第３コンデンサ８１ａ、８１ｂおよび８１ｃの数、抵抗６１ａ、６１ｂおよび６１ｃの数は、特に限定されない。
【００６６】  第３コンデンサ８１ａ、８１ｂおよび８１ｃ、ならびに第４コンデンサ８２のそれぞれの静電容量は、引出電極３１１ｂと第２加速電極３２１ｂ〜３２１ｄのそれぞれとの浮遊容量よりも大きいことが好ましい。これにより、電圧変動の少ない引出電極側加速電極Ｐおよびフライトチューブ電極３３１と第２加速電極３２１ｂ〜３２１ｄとがコンデンサを介して結合されるため、第２加速電極３２１ｂ〜３２１ｄの電圧変動が小さくなる。
【００６７】  図５は、分析装置１の情報処理部４０の構成を示す概念図である。情報処理部４０は、入力部４１と、通信部４２と、記憶部４３と、出力部４４と、制御部５０とを備える。制御部５０は、装置制御部５１と、解析部５２と、出力制御部５３とを備える。
【００６８】  情報処理部４０は、電子計算機等の情報処理装置を備え、適宜ユーザーとのインターフェースとなる他、様々なデータに関する通信、記憶、演算等の処理を行う。情報処理部４０は、測定部１００の制御や、解析、表示の処理を行う処理装置となる。  なお、情報処理部４０は、液体クロマトグラフ１０および／または質量分析計２０と一体になった一つの装置として構成してもよい。また、分析装置１が用いるデータの一部は遠隔のサーバ等に保存してもよく、分析装置１で行う演算処理の一部は遠隔のサーバ等で行ってもよい。測定部１００の各部の動作の制御は、情報処理部４０が行ってもよいし、各部を構成する装置がそれぞれ行ってもよい。
【００６９】  情報処理部４０の入力部４１は、マウス、キーボード、各種ボタンおよび／またはタッチパネル等の入力装置を含んで構成される。入力部４１は、測定部１００が行う測定や制御部５０が行う処理に必要な情報等を、ユーザーから受け付ける。
【００７０】  情報処理部４０の通信部４２は、インターネット等のネットワークを介して無線や有線の接続により通信可能な通信装置を含んで構成される。通信部４２は、測定部１００の測定に必要なデータを受信したり、解析部５２の解析結果等の制御部５０が処理したデータを送信したり、適宜必要なデータを送受信する。
【００７１】  情報処理部４０の記憶部４３は、不揮発性の記憶媒体を備える。記憶部４３は、検出部３６０から出力された検出信号に基づく測定データ、および制御部５０が処理を実行するためのプログラム等を記憶する。
【００７２】  情報処理部４０の出力部４４は、出力制御部５３により制御され、液晶モニタ等の表示装置および／またはプリンターを含んで構成され、測定部１００の測定に関する情報や、解析部５２の解析結果等を、表示装置に表示したり印刷媒体に印刷して出力する。
【００７３】  情報処理部４０の制御部５０は、ＣＰＵ等のプロセッサを含んで構成される。制御部５０は、測定部１００の制御や、測定データの解析等、記憶部４３等に記憶されたプログラムを実行することにより各種処理を行う。
【００７４】  制御部５０の装置制御部５１は、入力部４１を介した入力等に応じて設定された測定条件等に基づいて、測定部１００の測定動作を制御する。装置制御部５１は、第１加速電極３１１、第２加速電極３２１およびフライトチューブ電極３３１に印加される電圧を制御し、例えば検出するイオンの極性に応じて第２加速電極３２１およびフライトチューブ電極３３１に印加される電圧を反転させる。
【００７５】  解析部５２は、測定データの解析を行う。解析部５２は、検出部３６０から出力された検出信号における飛行時間を予め取得した較正データに基づいてｍ／ｚに変換し、検出されたイオンのｍ／ｚと検出強度とを対応させる。解析部５２は、保持時間と検出強度とを対応させたマスクロマトグラムに対応するデータを作成したり、ｍ／ｚと検出強度とを対応させたマススペクトルに対応するデータを作成したりする。解析部５２の行う解析方法は特に限定されない。
【００７６】  出力制御部５３は、測定部１００の測定条件または、マスクロマトグラム若しくはマススペクトル等の解析部５２の解析結果についての情報等を含む出力画像を作成し、出力部４４に出力させる。
【００７７】  上述の実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。（１）本実施形態の分析装置１は、イオンを加速するためのパルス電圧が印加される第１加速電極３１１を備える第１加速部３１０と、フライトチューブ３３０と、第１加速部３１０とフライトチューブ３３０との間に配置され、イオンを加速するための電圧が印加される第２加速電極３２１を備える第２加速部３２０と、検出部３６０と、第１加速部３１０、第２加速部３２０、およびフライトチューブ３３０に配置された複数の電極のうち、少なくとも一組の電極の間の静電容量を調節する容量調節部７とを備える。これにより、パルス電圧が押出電極３１１または引出電極３１２に印加される頻度が変化しても、容量調節部７と接続された電極の電圧の変化を低減することができ、飛行時間のばらつきを抑制することができる。また、接地したコンデンサと各電極とを接続して当該電極の電圧変動を抑える場合よりも、配置するコンデンサの容量を小さくすることができ、検出するイオンの極性を変えるため各電極の電圧を変化させる場合に切替時間を短くすることができる。
【００７８】（２）本実施形態の分析装置１は、液体クロマトグラフ１０を備える。これにより、液体クロマトグラフ１０から同時に異なるｍ／ｚを有する分子が溶出した場合でも、パルス頻度を高めて効率的かつ正確にこれらの分子を検出することができる。
【００７９】（３）本実施形態に係る分析装置１において、第１加速電極３１１は、押出電極３１１ａと、押出電極３１１ａと比べて第２加速部３２０からより近い位置にある引出電極３１１ｂとを備え、容量調節部７は、押出電極３１１ａと、第２加速電極３２１およびフライトチューブ３３０に配置されたフライトチューブ電極３３１のうち少なくとも一つとの間の静電容量を調節することができる。これにより、第１加速電極３１１に印加されるパルス電圧による、第２加速電極３２１またはフライトチューブ電極３３１の電圧変動を抑制することができる。
【００８０】（４）本実施形態に係る分析装置１において、容量調節部７は、押出電極３１１ａと第２加速電極３２１またはフライトチューブ電極３３１との間に、引出電極３１１ｂと第２加速電極３２１またはフライトチューブ電極３３１との間の浮遊容量に基づく静電容量を発生させることができる。これにより、押出電極３１１ａと引出電極３１１ｂに、反対の極性で同じ大きさのパルス電圧を加える場合に、第２加速電極３２１またはフライトチューブ電極３３１の電圧変動を著しく抑制することができる。
【００８１】（５）本実施形態に係る分析装置１において、容量調節部７は、押出電極３１１ａと、第２加速部３２０において第１加速部３１０から最も近い位置に配置された引出電極側加速電極Ｐとの間の静電容量を調節する。これにより、第２加速部３２０に含まれる電極のうち、パルス電圧による影響が最も大きい引出電極側加速電極Ｐの電圧変動を抑え、効率的に飛行時間のずれを低減させることができる。
【００８２】（６）本実施形態に係る分析装置１において、容量調節部７は、第２加速電極３２１と、他の第２加速電極３２１またはフライトチューブ電極３３１との間の静電容量を調節する。これにより、パルス電圧による第２加速電極３２１の電圧変動を低減し、飛行時間のずれを抑制することができる。
【００８３】  次のような変形も本発明の範囲内であり、上述の実施形態と組み合わせることが可能である。以下の変形例において、上述の実施形態と同様の構造、機能を示す部位に関しては、同一の符号で参照し、適宜説明を省略する。（変形例１）  上述の実施形態において、容量調節部７は、コンデンサによりＴＯＦ−ＭＳにおける各電極間の静電容量を調整するものとしたが、接続する２点間に静電容量を発生させることができれば、金属板等を利用するものでもよく、その態様は特に限定されない。
【００８４】（変形例２）  上述の実施形態の分析装置１は液体クロマトグラフ‐タンデム質量分析計としたが、液体クロマトグラフを備えなくてもよく、液体クロマトグラフ以外の分離分析装置を備えてもよい。質量分析計２０をタンデム質量分析計でないＴＯＦ−ＭＳにしてもよい。
【００８５】（変形例３）  容量調節部７は、上述の実施形態で示した第１コンデンサ７１、第２コンデンサ７２、第３コンデンサ８１ａ、８１ｂおよび８１ｃ、ならびに第４コンデンサ８２の他、第１加速部３１０、第２加速部３２０およびフライトチューブ３３０に配置される任意の電極間に配置することができる。これにより、電極間の静電容量を調整することができ、また、検出するイオンの極性を切り替えるため、これらの電極に印加する電圧を反転させる場合に短い時間で切替を行うことができる。
【００８６】  本発明は上記実施形態の内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【実施例】
【００８７】  以下の実施例では、ＴＯＦ−ＭＳを用い、パルス周期を変化させてｍ／ｚが既知の標準試料を検出し、パルス周期の変化による飛行時間のずれを測定した。【００８８】（比較例）  容量調節部７を配置しない状態、すなわち押出電極と、第２加速電極またはフライトチューブ電極との間にコンデンサ等が配置されていないＴＯＦ−ＭＳを用いて、標準試料を質量分析した。（ａ）パルス幅を１０μｓに固定し、パルス周期を５００μｓから１２５μｓに変化させた場合、および（ｂ）パルス周期を１２５μｓに固定し、パルス幅を３μｓから１０μｓに変化させた場合のそれぞれの条件で質量分析を行った。パルス周期およびパルス幅に関する（ａ）および（ｂ）の条件は、後述の実施例１〜３でも同様である。【００８９】  図６（Ａ）は、上述の（ａ）の場合の、パルス周期による飛行時間のずれを示すグラフである。標準試料の成分のｍ／ｚを横軸にとり、パルス周期が５００μｓの場合を基準とした、パルス周期が１２５μｓの場合の飛行時間のずれを縦軸に示した（後述する図７（Ａ）、図８（Ａ）および図９（Ａ）でも同様）。おおよそ８〜９ｐｐｍの飛行時間のずれが検出された。【００９０】  図６（Ｂ）は、上述の（ｂ）の場合の、パルス幅による飛行時間のずれを示すグラフである。標準試料の成分のｍ／ｚを横軸にとり、パルス幅が３μｓの場合を基準とした、パルス幅が１０μｓの場合の飛行時間のずれを縦軸に示した（後述する図７（Ｂ）、図８（Ｂ）および図９（Ｂ）でも同様）。おおよそ７〜９ｐｐｍの飛行時間のずれが検出された。【００９１】（実施例１）  押出電極と引出電極側加速電極との間に２５ｐＦの静電容量のコンデンサを配置し、押出電極とフライトチューブ電極との間に０．５ｐＦの静電容量のコンデンサを配置し、各第２加速電極およびフライトチューブ電極間にコンデンサを配置していないＴＯＦ−ＭＳを用いて、標準試料を質量分析した。【００９２】  図７（Ａ）は、上述の（ａ）の場合の、パルス周期による飛行時間のずれを示すグラフである。おおよそ５〜６ｐｐｍの飛行時間のずれが検出され、比較例（８〜９ｐｐｍ）に比べて飛行時間のずれが減少した。【００９３】  図７（Ｂ）は、上述の（ｂ）の場合の、パルス幅による飛行時間のずれを示すグラフである。おおよそ５〜６ｐｐｍの飛行時間のずれが検出され、比較例（７〜９ｐｐｍ）に比べて飛行時間のずれが減少した。【００９４】（実施例２）  隣接する第２加速電極間および、第２加速電極のうち最もフライトチューブ側にある電極とフライトチューブ電極との間にそれぞれ１０００ｐＦの静電容量のコンデンサを配置し、押出電極と第２加速電極またはフライトチューブ電極との間にコンデンサを配置していないＴＯＦ−ＭＳを用いて、標準試料を質量分析した。【００９５】  図８（Ａ）は、上述の（ａ）の場合の、パルス周期による飛行時間のずれを示すグラフである。おおよそ３〜５ｐｐｍの飛行時間のずれが検出され、比較例（８〜９ｐｐｍ）に比べて飛行時間のずれが減少した。【００９６】  図８（Ｂ）は、上述の（ｂ）の場合の、パルス幅による飛行時間のずれを示すグラフである。おおよそ３〜５ｐｐｍの飛行時間のずれが検出され、比較例（７〜９ｐｐｍ）に比べて飛行時��のずれが減少した。【００９７】（実施例３）  押出電極と引出電極側加速電極との間に２５ｐＦの静電容量のコンデンサを配置し、押出電極とフライトチューブ電極との間に０．５ｐＦの静電容量のコンデンサを配置し、隣接する第２加速電極間および、第２加速電極のうち最もフライトチューブ側にある電極とフライトチューブ電極との間に１０００ｐＦの静電容量のコンデンサを配置したＴＯＦ−ＭＳを用いて、標準試料を質量分析した。【００９８】  図９（Ａ）は、上述の（ａ）の場合の、パルス周期による飛行時間のずれを示すグラフである。飛行時間のずれは１ｐｐｍ以下に減少した。【００９９】  図９（Ｂ）は、上述の（ｂ）の場合の、パルス幅による飛行時間のずれを示すグラフである。飛行時間のずれは１ｐｐｍ以下に減少した。
【符号の説明】
【０１００】１…分析装置、７…容量調節部、１０…液体クロマトグラフ、１４…分析カラム、２０…質量分析計、２１…イオン化室、２３…第１質量分離部、２４…コリジョンセル、３０…分析室、４０…情報処理部、５０…制御部、７１…第１コンデンサ、７２…第２コンデンサ、８１ａ，８１ｂ，８１ｃ…第３コンデンサ、８２…第４コンデンサ、９１…第２加速電極電源、９３…フライトチューブ電源、１００…測定部、３１０…第１加速部、３１１…第１加速電極、３１１ａ…押出電極、３１１ｂ…引出電極、３２０…第２加速部、３２１、３２１ａ，３２１ｂ，３２１ｃ，３２１ｄ…第２加速電極、３３０…フライトチューブ、３３１…フライトチューブ電極、３４０…リフレクトロン電極、３６０…検出部、Ｐ…引出電極側加速電極、Ｓ…試料。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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