【手続補正書】
【提出日】平成30年5月21日(2018.5.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
本発明を実施するために、発明者らが知っている最良の形態を含めて、本発明の好ましい実施形態が本明細書において記載される。それらの好ましい実施形態の変形態様は、前述の説明を読めば当業者には明らかになるであろう。発明者らは、当業者がそのような変形態様を適宜利用すると予期しており、発明者らは本明細書に具体的に記載したのと別の方法で、本発明が実施されることを意図している。したがって、本発明は、準拠法によって容認されているように、特許請求の範囲に記載される対象の全ての改良及びそれと同等なものを含む。さらに、それらの全ての可能な変形態様における上記の要素の任意の組み合わせは、本明細書で別段の指摘がないか又は文脈によって明確に否定されない限り、本発明によって包含される。
本発明の実施形態としては、以下の実施形態を挙げることができる。
（付記１）
（ａ）アルミナ粒子の表面上にアニオン性ポリマーを含むアルミナ研磨剤粒子と、
（ｂ）シリカ研磨剤、研磨促進化合物、及びそれらの組み合わせからなる群より選択される研磨助剤と
を含有する酸性又は中性のｐＨの水性キャリアを含む研磨組成物で、表面をすり減らす工程を含むアルミニウムの表面を研磨する方法であって、
前記研磨促進化合物が有機酸、無機酸、又はそれらの組み合わせである方法。
（付記２）
前記アルミニウムの表面が、実質的に純粋なアルミニウム又はＣｕ、Ｍｎ、Ｓｉ、Ｍｇ、Ｚｎ、及びそれらの２種以上の組み合わせからなる群より選択される元素で合金化されたアルミニウムを含む、付記１に記載の方法。
（付記３）
前記研磨促進化合物が、２つのカルボン酸基又は２つのホスホン酸基を含むメチレン又はエチリデン部分を含む有機酸を含む、付記１又は２に記載の方法。
（付記４）
前記研磨助剤が、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、マロン酸、シュウ酸、乳酸、酒石酸、カンファースルホン酸、トルエンスルホン酸、ギ酸、硫酸、リン酸、亜リン酸、及びそれらの２種以上の組み合わせからなる群より選択される研磨促進化合物を含む、付記１〜３のいずれか１つに記載の方法。
（付記５）
前記アニオン性ポリマーが、ポリ（２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸）、アクリル酸−２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸コポリマー、ポリスチレンスルホン酸、又はそれらの２種以上の組み合わせを含む、付記１〜４のいずれか１つに記載の方法。
（付記６）
前記アルミナ研磨剤が、約０．０１〜約１５ｗｔ％の範囲の濃度で前記組成物中に存在する、付記１〜５のいずれか１つに記載の方法。
（付記７）
前記研磨組成物が約２〜約７の範囲のｐＨを有する、付記１〜６のいずれか１つに記載の方法。
（付記８）
前記アルミナ研磨剤が、約５０〜約１０００ｎｍの範囲の平均粒子サイズを有する、付記１〜７のいずれか１つに記載の方法。
（付記９）
前記研磨助剤が、コロイダルシリカ、ヒュームドシリカ、又はそれらの組み合わせを含む、付記１〜８のいずれか１つに記載の方法。
（付記１０）
前記シリカが、約５０〜約２００ｎｍの範囲の平均粒子サイズを有する、付記１〜９のいずれか１つに記載の方法。
（付記１１）
前記研磨助剤が、約０．０１〜約５ｗｔ％の範囲の濃度の前記研磨促進化合物と、約０．１〜約１５ｗｔ％の範囲の濃度の前記シリカ研磨剤とを含む、付記１〜１０のいずれか１つに記載の方法。
（付記１２）
酸性又は中性のｐＨの水性キャリアを含む、アルミニウムの表面を研磨するための研磨組成物であって、
（ａ）アルミナ粒子の表面上にアニオン性ポリマーを含むアルミナ研磨剤粒子と、
（ｂ）シリカ研磨剤、研磨促進化合物、及びそれらの組み合わせからなる群より選択される研磨助剤と
を含有し、前記研磨促進化合物が有機酸、無機酸、又はそれらの組み合わせである研磨組成物。
（付記１３）
前記研磨促進化合物が、２つのカルボン酸基若しくは２つのホスホン酸基を含むメチレン若しくはエチリデン部分を含む有機酸、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、マロン酸、シュウ酸、乳酸、酒石酸、カンファースルホン酸、トルエンスルホン酸、ギ酸、硫酸、リン酸、亜リン酸、又はそれらの２種以上の組み合わせを含む、付記１２に記載の研磨組成物。
（付記１４）
前記アニオン性ポリマーが、ポリ（２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸）（ＡＭＰＳ）、アクリル酸−２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸コポリマー（ＡＡ／ＡＭＰＳ）、ポリスチレンスルホン酸、及びそれらの２種以上の組み合わせを含む、付記１２又は１３に記載の研磨組成物。
（付記１５）
約２〜約７の範囲のｐＨを有する、付記１２〜１４のいずれか１つに記載の研磨組成物。
（付記１６）
前記アニオン性ポリマーが、ポリ（２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸）（ＡＭＰＳ）、アクリル酸−２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸コポリマー（ＡＡ／ＡＭＰＳ）、ポリスチレンスルホン酸、又はそれらの２種以上の組み合わせを含み、前記アルミナ研磨剤が、約０．０１〜約１５ｗｔ％の範囲の濃度で前記組成物中に存在して、前記アルミナが、約５０〜約１０００ｎｍの範囲の平均粒子サイズを有する、付記１２〜１５のいずれか１つに記載の研磨組成物。
（付記１７）
前記研磨助剤が、約０．０１〜約５ｗｔ％の範囲の濃度の前記研磨促進化合物と、約０．１〜約１５ｗｔ％の範囲の濃度の前記シリカ研磨剤とを含む、付記１２〜１６のいずれか１つに記載の研磨組成物。
（付記１８）
前記研磨助剤が、コロイダルシリカ、ヒュームドシリカ、又はそれらの組み合わせを含む、付記１２〜１７のいずれか１つに記載の研磨組成物。
（付記１９）
アルミナ粒子の表面上にアニオン性ポリマーを含むアルミナ研磨剤粒子を含有する酸性の水性キャリアを含む研磨組成物で、表面をすり減らす工程を含むアルミニウムの表面を研磨する方法であって、前記アルミナ研磨剤粒子が、表面をすり減らす工程中に、約０．０１〜約１５ｗｔ％の範囲の濃度で前記組成物中に存在する方法。
（付記２０）
前記アルミニウムの表面が、実質的に純粋なアルミニウム又はＣｕ、Ｍｎ、Ｓｉ、Ｍｇ、Ｚｎ、及びそれらの２種以上の組み合わせからなる群より選択される元素で合金化されたアルミニウムを含む、付記１９に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）アルミナ研磨剤粒子の表面上にアニオン性ポリマーを含むアルミナ研磨剤粒子であって、組成物中に０．０１〜１５ｗｔ％の範囲の濃度で存在するアルミナ研磨剤粒子と、
（ｂ）シリカ研磨剤、研磨促進化合物、及びそれらの組み合わせからなる群より選択される研磨助剤であって、０．０１〜５ｗｔ％の範囲の濃度の前記研磨促進化合物及び０．１〜１５ｗｔ％の範囲の濃度の前記シリカ研磨剤を含む、研磨助剤と
を含有する酸性又は中性のｐＨの水性キャリアを含む研磨組成物で、表面をすり減らす工程を含むアルミニウムの表面を研磨する方法であって、
前記研磨促進化合物が、２つのカルボン酸基又は２つのホスホン酸基を含むメチレン又はエチリデン部分を含む有機酸である方法。
【請求項２】
前記アルミニウムの表面が、実質的に純粋なアルミニウム又はＣｕ、Ｍｎ、Ｓｉ、Ｍｇ、Ｚｎ、及びそれらの２種以上の組み合わせからなる群より選択される元素で合金化されたアルミニウムを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記研磨助剤が、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、マロン酸、シュウ酸、酒石酸、及びそれらの２種以上の組み合わせからなる群より選択される研磨促進化合物を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記アニオン性ポリマーが、ポリ（２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸）、アクリル酸−２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸コポリマー、ポリスチレンスルホン酸、又はそれらの２種以上の組み合わせを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記研磨組成物が２〜７の範囲のｐＨを有する、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記アルミナ研磨剤が、５０〜１０００ｎｍの範囲の平均粒子サイズを有する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記研磨助剤が、コロイダルシリカ、ヒュームドシリカ、又はそれらの組み合わせを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記シリカが、５０〜２００ｎｍの範囲の平均粒子サイズを有する、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
アルミニウムの表面を研磨するための研磨組成物であって、
（ａ）アルミナ研磨剤粒子の表面上にアニオン性ポリマーを含むアルミナ研磨剤粒子であって、前記組成物中に０．０１〜１５ｗｔ％の範囲の濃度で存在するアルミナ研磨剤粒子と、
（ｂ）シリカ研磨剤、研磨促進化合物、及びそれらの組み合わせからなる群より選択される研磨助剤であって、０．０１〜５ｗｔ％の範囲の濃度の前記研磨促進化合物及び０．１〜１５ｗｔ％の範囲の濃度の前記シリカ研磨剤を含む、研磨助剤と
を含有する酸性又は中性のｐＨの水性キャリアを含み、前記研磨促進化合物が、２つのカルボン酸基又は２つのホスホン酸基を含むメチレン又はエチリデン部分を含む有機酸である研磨組成物。
【請求項１０】
前記２つのカルボン酸基又は２つのホスホン酸基を含むメチレン又はエチリデン部分が、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、マロン酸、シュウ酸又は酒石酸である、請求項９に記載の研磨組成物。
【請求項１１】
前記アニオン性ポリマーが、ポリ（２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸）（ＡＭＰＳ）、アクリル酸−２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸コポリマー（ＡＡ／ＡＭＰＳ）、ポリスチレンスルホン酸、及びそれらの２種以上の組み合わせを含む、請求項９に記載の研磨組成物。
【請求項１２】
２〜７の範囲のｐＨを有する、請求項９に記載の研磨組成物。
【請求項１３】
前記アニオン性ポリマーが、ポリ（２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸）（ＡＭＰＳ）、アクリル酸−２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸コポリマー（ＡＡ／ＡＭＰＳ）、ポリスチレンスルホン酸、又はそれらの２種以上の組み合わせを含み、前記アルミナが、５０〜１０００ｎｍの範囲の平均粒子サイズを有する、請求項９に記載の研磨組成物。
【請求項１４】
前記研磨助剤が、コロイダルシリカ、ヒュームドシリカ、又はそれらの組み合わせを含む、請求項９に記載の研磨組成物。
【請求項１５】
アルミナ研磨剤粒子の表面上にアニオン性ポリマーを含むアルミナ研磨剤粒子と、２つのカルボン酸基又は２つのホスホン酸基を含むメチレン又はエチリデン部分を含む有機酸から選択される研磨促進化合物とを含有する酸性の水性キャリアを含む研磨組成物で、表面をすり減らす工程を含むアルミニウムの表面を研磨する方法であって、前記アルミナ研磨剤粒子が、表面をすり減らす工程中に、０．０１〜１５ｗｔ％の範囲の濃度で前記組成物中に存在する方法。
【請求項１６】
前記アルミニウムの表面が、実質的に純粋なアルミニウム又はＣｕ、Ｍｎ、Ｓｉ、Ｍｇ、Ｚｎ、及びそれらの２種以上の組み合わせからなる群より選択される元素で合金化されたアルミニウムを含む、請求項１５に記載の方法。