【手続補正書】
【提出日】平成30年5月7日(2018.5.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学機械平坦化のための研磨ヘッドであって、
ハウジングと、
前記ハウジングに固定された可撓性の膜であって、前記可撓性の膜が、基板に接触するための外表面、及び前記ハウジングの内部に面している内表面を備えている、可撓性の膜と、
前記ハウジングの中に配置され、且つ前記可撓性の膜の前記内表面に接触している複数の加圧可能チャンバであって、前記複数の加圧可能チャンバが、少なくとも、第１の加圧可能チャンバ、第２の加圧可能チャンバ、及び第３の加圧可能チャンバを含む、複数の加圧可能チャンバと、
前記ハウジングの中に配置され、且つ前記第１の加圧可能チャンバに連結された第１の圧力供給チャネルと、
前記ハウジングの中に配置され、且つ前記第３の加圧可能チャンバに連結された第２の圧力供給チャネルと、
前記ハウジングの中に配置され、且つ前記第１の圧力供給チャネルを前記第２の加圧可能チャンバに連結している第１の圧力フィードラインと、
前記ハウジングの中に配置され、且つ前記第２の圧力供給チャネルを前記第２の加圧可能チャンバに連結している第２の圧力フィードラインと、
前記第１の圧力フィードラインと連結した第１の手動可動プラグであって、前記第１の手動可動プラグが、第１の位置にあるとき、前記第１の圧力供給チャネルを前記第２の加圧可能チャンバに流体連結し、第２の位置にあるとき、前記第１の圧力供給チャネルを前記第２の加圧可能チャンバから流体分離するように動作可能である、第１の手動可動プラグと、
前記第１の手動可動プラグの調節を可能にする、前記ハウジングを通る開口部と、
前記第２の圧力フィードラインと連結した第２の手動可動プラグであって、前記第２の手動可動プラグが、第１の位置にあるとき、前記第２の圧力供給チャネルを前記第２の加圧可能チャンバに流体連結し、第２の位置にあるとき、前記第２の圧力供給チャネルを前記第２の加圧可能チャンバから流体分離するように動作可能である、第２の手動可動プラグと
を備えている研磨ヘッド。
【請求項２】
前記開口部が、前記ハウジングの上面を通る、請求項１に記載の研磨ヘッド。
【請求項３】
前記開口部が、前記ハウジングの側面を通る、請求項１に記載の研磨ヘッド。
【請求項４】
前記複数の加圧可能チャンバが、
「ｎ」個の単一圧力チャンバであって、各単一圧力チャンバが、別々の圧力供給チャネルに連結された、「ｎ」個の単一圧力チャンバと、
「ｎ−１」個の二重圧力チャンバであって、各二重圧力チャンバが、２つの別々の圧力フィードラインを通して２つの圧力供給チャネルに別々に連結された、「ｎ−１」個の二重圧力チャンバと
を備えており、「ｎ」は、２から２０の間の整数である、請求項１に記載の研磨ヘッド。
【請求項５】
二重圧力チャンバが、各単一圧力チャンバに隣接している、請求項４に記載の研磨ヘッド。
【請求項６】
各圧力フィードラインと連結した手動可動プラグをさらに備えている、請求項４に記載の研磨ヘッド。
【請求項７】
各手動可動プラグのための、前記ハウジングを通る別々の開口部であって、各開口部が、別々の手動可動プラグの調節を可能にする、別々の開口部をさらに備えている、請求項６に記載の研磨ヘッド。
【請求項８】
各手動可動プラグが、ねじ山付きファスナを備えている、請求項６に記載の研磨ヘッド。
【請求項９】
各プラグが、１つ又は複数の密封部材をさらに備えている、請求項８に記載の研磨ヘッド。
【請求項１０】
化学機械平坦化のための研磨システムであって、
研磨アセンブリであって、
第１の端部及び第２の端部を有する回転可能な軸と、
前記回転可能な軸の前記第１の端部に近接して前記回転可能な軸に連結された回転ユニオンと、
前記回転可能な軸の前記第２の端部に連結された研磨ヘッドであって、前記研磨ヘッドが、前記軸の回転によって回転可能であり、前記研磨ヘッドが、
ハウジング、
基板と接触するための可撓性の膜であって、前記ハウジングに固定された可撓性の膜、及び
前記ハウジングの内部にあり、且つ前記可撓性の膜と接触している複数の加圧可能チャンバ
を備えている、研磨ヘッドと、
前記第１の端部から前記第２の端部へと、且つ前記研磨ヘッドの中へと、前記軸を通して設けられた複数の圧力供給チャネルであって、各圧力供給チャネルが、前記回転ユニオンを１つの加圧可能チャンバに連結している、複数の圧力供給チャネルと、
複数の圧力源と、
前記複数の圧力源に接続された入力、及び前記回転ユニオンに連結された出力を有する圧力切替アセンブリであって、前記圧力切替アセンブリが、第１の状態にあるとき、前記複数の圧力源の第１の圧力源を第１の圧力供給チャネルに、且つ前記複数の圧力源の第２の圧力源を第２の圧力供給チャネルに連結するように動作可能であり、第２の状態にあるとき、前記第２の圧力源を前記第１の圧力供給チャネルに、且つ前記第１の圧力源を前記第２の圧力供給チャネルに連結するように動作可能である、圧力切替アセンブリと
を備えている研磨アセンブリ
を備えている研磨システム。
【請求項１１】
研磨ヘッドで基板を研磨する方法であって、前記研磨ヘッドが、ハウジングと、前記ハウジングに固定された可撓性の膜であって、前記可撓性の膜が、基板に接触するための外表面、及び前記ハウジングの内部に面している内表面を備えた、可撓性の膜と、２つ以上の単一圧力チャンバ及び１つ又は複数の二重圧力チャンバを備えた複数の加圧可能チャンバであって、前記複数の加圧可能チャンバが、前記ハウジングの中に配置され、且つ前記可撓性の膜の前記内表面に接触している、複数の加圧可能チャンバと、複数の圧力フィードラインであって、各圧力フィードラインが、１つの二重圧力チャンバを１つの単一圧力チャンバに連結している、複数の圧力フィードラインと、前記圧力フィードラインの各々に配置された手動可動プラグと、を備えており、前記方法は、
第１の基板を前記研磨ヘッドの前記可撓性の膜に固定することと、
前記研磨ヘッドに固定された前記第１の基板を研磨することと、
前記研磨ヘッド内の前記複数の加圧可能チャンバを加圧することによって、第１の圧力プロファイルを前記第１の基板上に加えることと、
前記第１の基板を前記研磨ヘッドから取り外すことと、
第２の圧力プロファイルが前記可撓性の膜上に付与されることを可能にするために、前記研磨ヘッドに配置された少なくとも２つのプラグの位置を変更することと、
第２の基板を前記研磨ヘッドの前記可撓性の膜に固定することと、
前記第２の圧力プロファイルを前記第２の基板に加える間に、前記研磨ヘッドに固定された前記第２の基板を研磨することと
を含む方法。
【請求項１２】
各手動可動プラグが、１つ又は複数の密封部材を有するねじ山付きファスナである、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記研磨ヘッドに配置された少なくとも２つのプラグの位置を変更することが、工具を前記ハウジングの上面の開口部を通して挿入することを含み、前記開口部が、第１のプラグと位置合わせされている、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記第１のプラグを第１の位置から第２の位置に動かすために前記工具を回転させることをさらに含み、前記第１の位置が、第１の二重圧力チャンバを第１の単一圧力チャンバに流体連結するように動作可能であり、前記第２の位置が、前記第１の二重圧力チャンバを前記第１の単一圧力チャンバから流体分離するように動作可能である、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記研磨ヘッドに配置された少なくとも２つのプラグの位置を変更することが、
工具を前記ハウジングの側面の開口部を通して挿入することであって、前記開口部が、第１のプラグと位置合わせされている、挿入することと、
前記第１のプラグを第１の位置から第２の位置に動かすために前記工具を回転させることであって、第１の位置が、第１の二重圧力チャンバを第１の単一圧力チャンバに流体連結するように動作可能であり、第２の位置が、前記第１の二重圧力チャンバを前記第１の単一圧力チャンバから流体分離するように動作可能である、回転させることと
を含む、請求項１２に記載の方法。