【手続補正書】
【提出日】平成30年6月18日(2018.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インプリントリソグラフィプロセスにおいて、フレキシブルスタンプのレリーフスタンプ面を基板のスタンプレシーブ面に対して接触させる方法であって、当該方法は、
前記フレキシブルスタンプ及び前記基板が保持されるときに、前記フレキシブルスタンプが、前記スタンプレシーブ面の一部上に前記レリーフスタンプ面の一部が前記スタンプレシーブ面と接触する接触領域を創出する一方で、前記レリーフスタンプ面の更なる部分は前記スタンプレシーブ面と接触しないように、局所的に曲げられることができるように、前記フレキシブルスタンプ及び前記基板を保持して操作し、前記接触領域の境界の少なくとも一部がコンタクトフロントを画成し、
前記レリーフスタンプ面を前記スタンプレシーブ面に接触させることで、前記コンタクトフロントが、前記コンタクトフロントに実質的に垂直な移動方向に沿って前記接触領域から遠ざかって、前記基板の前記スタンプレシーブ面に沿って或る移動速さで移動するように、前記コンタクトフロント又はその付近に接触を創出し、及び
接触領域内の前記スタンプレシーブ面から前記レリーフスタンプ面をリリースすることで、前記コンタクトフロントが、前記コンタクトフロントに実質的に垂直な移動方向に沿って前記接触領域に向かって、前記基板の前記スタンプレシーブ面に沿って或る移動速さで移動するように、前記コンタクトフロント又はその付近の接触を破断し、前記移動速さが前記移動方向に沿った第１の所定距離にわたって第１の一定値を持つように、接触が創出又は破断され、前記第１の所定距離は、少なくとも２つの異なる位置のうちの一方を含み、前記移動速さが前記移動方向に沿った第２の所定距離にわたって第２の一定値を持つように、接触が創出又は破断され、前記第２の所定距離は、前記少なくとも２つの異なる位置のうちの他方を含み、前記第１の一定値は前記第２の一定値とは異なる、
ことを有し、
前記第１の所定距離は、第１のレリーフトポグラフィを有する前記レリーフスタンプ面の第１の領域の寸法に対応し、前記第２の所定距離は、前記第１のレリーフトポグラフィとは異なる第２のレリーフトポグラフィを有する前記レリーフスタンプ面の第２の領域の寸法に対応する、
方法。
【請求項２】
前記第１及び第２の所定距離は、前記第１の所定距離及び前記第２の所定距離に関する値が格納されたルックアップテーブルから取り出される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記レリーフスタンプ面を調査して、前記第１の領域及び前記第２の領域をレリーフトポグラフィに基づいて決定し、且つ
前記コンタクトフロントの移動が行われるべき方向に沿って、前記第１の領域から前記第１の所定距離を、及び前記第２の領域から前記第２の所定距離を得る
ことを更に有する請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
当該方法は、前記基板の前記スタンプレシーブ面の上に存在する又は前記スタンプレシーブ面を形成するレジスト層の固化を、該レジスト層が前記レリーフスタンプ面と接触している間に可能にするように、硬化させることを更に有する請求項１乃至３の何れかに記載の方法。
【請求項５】
接触及びリリースの前記移動方向は、同じ、互いに反対、及び互いに向かって角度を為す、のうちの何れか１つであるように選定される、請求項１乃至４の何れかに記載の方法。
【請求項６】
当該方法は更に、前記フレキシブルスタンプを保持するためのスタンプホルダーと、複数のスタンプ係合要素とを設けることを有し、前記スタンプ係合要素の各々が、前記フレキシブルスタンプが前記スタンプホルダーに貼り付けられる第１の設定と、前記フレキシブルスタンプが前記スタンプホルダーから離れるように解放される第２の設定との間で切り換え可能であり、当該方法は更に、接触を創出するために又は接触を破断するために、前記スタンプ係合要素を順次に前記第１の設定から前記第２の設定に切り換えることを有する、請求項１乃至５の何れかに記載の方法。
【請求項７】
当該方法は更に、スタンプ係合面を持つスタンプホルダーと、基板係合面を持つ基板ホルダーとを設けることを有し、前記スタンプ係合面及び前記基板係合面は互いに平行であり且つ互いから或る間隙で離間される、請求項１乃至６の何れかに記載の方法。
【請求項８】
フレキシブルスタンプのレリーフスタンプ面を基板のスタンプレシーブ面に接触させるように装置を制御する制御装置であって、当該制御装置は、前記装置に、
前記フレキシブルスタンプ及び前記基板が保持されるときに、前記フレキシブルスタンプが、前記スタンプレシーブ面の一部上に前記レリーフスタンプ面の一部が前記スタンプレシーブ面と接触する接触領域を創出する一方で、前記レリーフスタンプ面の更なる部分は前記スタンプレシーブ面と接触しないように、局所的に曲げられることができるように、前記フレキシブルスタンプ及び前記基板を保持して操作させるように構成され、前記接触領域の境界の少なくとも一部がコンタクトフロントを画成し、
前記レリーフスタンプ面を前記スタンプレシーブ面に接触させることで、前記コンタクトフロントが、前記コンタクトフロントに実質的に垂直な移動方向に沿って前記接触領域から遠ざかって、前記基板の前記スタンプレシーブ面に沿って或る移動速さで移動するように、前記コンタクトフロント又はその付近に接触を創出させるように構成され、且つ
接触領域内の前記スタンプレシーブ面から前記レリーフスタンプ面をリリースすることで、前記コンタクトフロントが、前記コンタクトフロントに実質的に垂直な移動方向に沿って前記接触領域に向かって、前記基板の前記スタンプレシーブ面に沿って或る移動速さで移動するように、前記コンタクトフロント又はその付近の接触を破断させるように構成され、前記移動速さが前記移動方向に沿った第１の所定距離にわたって第１の一定値を持つように、接触が創出又は破断され、前記第１の所定距離は、少なくとも２つの異なる位置のうちの一方を含み、前記移動速さが前記移動方向に沿った第２の所定距離にわたって第２の一定値を持つように、接触が創出又は破断され、前記第２の所定距離は、前記少なくとも２つの異なる位置のうちの他方を含み、前記第１の一定値は前記第２の一定値とは異なり、且つ前記第１の所定距離は、第１のレリーフトポグラフィを有する前記レリーフスタンプ面の第１の領域の寸法に対応し、前記第２の所定距離は、前記第１のレリーフトポグラフィとは異なる第２のレリーフトポグラフィを有する前記レリーフスタンプ面の第２の領域の寸法に対応する、
制御装置。
【請求項９】
前記フレキシブルスタンプは、前記スタンプレシーブ面の一部上に前記レリーフスタンプ面の一部が前記スタンプレシーブ面と接触する接触領域を創出する一方で、前記レリーフスタンプ面の更なる部分は前記スタンプレシーブ面と接触しないように、局所的に曲げられ、前記接触領域と非接触領域との間の境界の少なくとも一部がコンタクトフロントを画成する、請求項８に記載の制御装置。
【請求項１０】
前記装置は更に、前記フレキシブルスタンプを保持するためのスタンプホルダーと、複数のスタンプ係合要素とを有し、前記スタンプ係合要素の各々が、前記フレキシブルスタンプが前記スタンプホルダーに貼り付けられる第１の設定と、前記フレキシブルスタンプが前記スタンプホルダーから解放される第２の設定との間で切り換え可能である、請求項８に記載の制御装置。
【請求項１１】
前記複数のスタンプ係合要素の各々が、前記フレキシブルスタンプを貼り付ける減圧を提供するための、あるいは前記フレキシブルスタンプを解放する過圧を提供するための開口を有し、当該制御装置は更に、前記複数のスタンプ係合要素の前記開口の各々の前記減圧又は過圧を個別に設定するための切り換え可能な弁を含んだ圧力レギュレータを有する、請求項１０に記載の制御装置。
【請求項１２】
前記複数のスタンプ係合要素の各々が、前記フレキシブルスタンプを貼り付ける磁力を提供するための、あるいは前記フレキシブルスタンプを解放する磁力を提供するための電磁石を有し、当該制御装置は更に、前記複数のスタンプ係合要素の前記電磁石の各個々に対する電気信号を切り換える電気装備を有する、請求項１０に記載の制御装置。
【請求項１３】
前記複数のスタンプ係合要素の各々に関する設定を切り換えることを提供して、該設定が接触又はリリースの間に可変にできるようにするスイッチユニット、を有する請求項１２に記載の制御装置。
【請求項１４】
１つ以上の実行可能命令を格納した非一時的なコンピュータ読み取り可能媒体であって、前記１つ以上の実行可能命令は、プロセッサによって実行されるときに、該プロセッサに、インプリントリソグラフィプロセスにおいてフレキシブルスタンプのレリーフスタンプ面を基板のスタンプレシーブ面に接触させる方法を実行させ、該方法は、
前記フレキシブルスタンプ及び前記基板が保持されるときに、前記フレキシブルスタンプが、前記スタンプレシーブ面の一部上に前記レリーフスタンプ面の一部が前記スタンプレシーブ面と接触する接触領域を創出する一方で、前記レリーフスタンプ面の更なる部分は前記スタンプレシーブ面と接触しないように、局所的に曲げられることができるように、前記フレキシブルスタンプ及び前記基板を保持して操作し、前記接触領域の境界の少なくとも一部がコンタクトフロントを画成し、
前記レリーフスタンプ面を前記スタンプレシーブ面に接触させることで、前記コンタクトフロントが、前記コンタクトフロントに実質的に垂直な移動方向に沿って前記接触領域から遠ざかって、前記基板の前記スタンプレシーブ面に沿って或る移動速さで移動するように、前記コンタクトフロント又はその付近に接触を創出し、及び
接触領域内の前記スタンプレシーブ面から前記レリーフスタンプ面をリリースすることで、前記コンタクトフロントが、前記コンタクトフロントに実質的に垂直な移動方向に沿って前記接触領域に向かって、前記基板の前記スタンプレシーブ面に沿って或る移動速さで移動するように、前記コンタクトフロント又はその付近の接触を破断し、前記移動速さが前記移動方向に沿った第１の所定距離にわたって第１の一定値を持つように、接触が創出又は破断され、前記第１の所定距離は、少なくとも２つの異なる位置のうちの一方を含み、前記移動速さが前記移動方向に沿った第２の所定距離にわたって第２の一定値を持つように、接触が創出又は破断され、前記第２の所定距離は、前記少なくとも２つの異なる位置のうちの他方を含み、前記第１の一定値は前記第２の一定値とは異なり、且つ前記第１の所定距離は、第１のレリーフトポグラフィを有する前記レリーフスタンプ面の第１の領域の寸法に対応し、前記第２の所定距離は、前記第１のレリーフトポグラフィとは異なる第２のレリーフトポグラフィを有する前記レリーフスタンプ面の第２の領域の寸法に対応する、
ことを有する、非一時的なコンピュータ読み取り可能媒体。