【手続補正書】
【提出日】平成30年10月1日(2018.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
また、入口流路および出口流路を有すると共に、上記に開示されているジルコニウム含有膜形成組成物のいずれかを含有するキャニスタを備えるジルコニウム含有膜形成組成物送出デバイスが開示されている。本開示のデバイスは以下の態様の１つまたは複数を含み得る。
・ジルコニウム含有膜形成組成物は、１０ｐｐｍｗ未満の金属汚染物の合計濃度を有し；
・入口流路の端部はジルコニウム含有膜形成組成物の表面より上方に位置されており、かつ出口流路の端部はジルコニウム含有膜形成組成物の表面より下方に位置されており；
・入口流路の端部はジルコニウム含有膜形成組成物の表面より下方に位置されており、かつ出口流路の端部はジルコニウム含有膜形成組成物の表面より上方に位置されており；ならびに
・さらに、ダイヤフラムバルブを入口および出口に備える。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
【図１】図１は、本明細書に開示のジルコニウム含有膜形成組成物送出デバイスの一実施形態の側面図である。
【図２】図２は、本明細書に開示のジルコニウム含有膜形成組成物送出デバイスの第２の実施形態の側面図である。
【図３】図３は、Ｚｒ（ＴＭＳＣｐ）（ＮＭｅ２）３の１ＨＮＭＲスペクトルである。
【図４】図４は、Ｚｒ（ＤＭＳＣｐ）（ＮＭｅ２）３の１ＨＮＭＲスペクトルである。
【図５】図５は、Ｚｒ（ＴＭＳＣｐ）（ＯｉＰｒ）３の１ＨＮＭＲスペクトルである。
【図６】図６は、Ｚｒ（ＴＭＳＣｐ）（ＮＭｅ２）３の温度上昇に伴う重量損失割合（ＴＧＡ）または示差温度（ＤＴＡ）を実証する熱重量分析（ＴＧＡ）／示差熱分析（ＤＴＡ）グラフである。
【図７】図７は、Ｚｒ（ＤＭＳＣｐ）（ＮＭｅ２）３の温度上昇に伴う重量損失割合（ＴＧＡ）または示差温度（ＤＴＡ）を実証するＴＧＡ／ＤＴＡグラフである。
【図８】図８は、Ｚｒ（ＴＭＳＣｐ）（ＯｉＰｒ）３の温度上昇に伴う重量損失割合（ＴＧＡ）または示差温度（ＤＴＡ）を実証するＴＧＡ／ＤＴＡグラフである。
【図９】図９は、前駆体Ｚｒ（ＴＭＳＣｐ）（ＮＭｅ２）３を用いた場合における、温度に応じた酸化ジルコニウム薄膜のＡＬＤ成長速度のグラフである。
【図１０】図１０は、前駆体Ｚｒ（ＴＭＳＣｐ）（ＮＭｅ２）３を用いた場合における、前駆体の導入時間に応じた酸化ジルコニウム薄膜のＡＬＤ成長速度のグラフである。
【図１１】図１１は、前駆体Ｚｒ（ＴＭＳＣｐ）（ＮＭｅ２）３を用いた場合における、３００℃で生成される膜のＸ線光電子分光（ＸＰＳ）分析のグラフである。
【図１２】図１２は、前駆体Ｚｒ（ＴＭＳＣｐ）（ＮＭｅ２）３を用いた場合における、３７５℃で生成される膜のＸＰＳ分析のグラフである。
【図１３】図１３は、３２５℃で前駆体Ｚｒ（ＴＭＳＣｐ）（ＮＭｅ２）３を用いた場合における、１：１０のアスペクト比パターンを有するウェハに堆積した膜の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。
【図１４】図１４は、３２５℃で前駆体Ｚｒ（ＴＭＳＣｐ）（ＮＭｅ２）３を用いた場合における、１：４０のアスペクト比パターンを有するウェハに堆積した膜のＳＥＭ写真である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の式の一方
【化１】
2018503247.tif 000001
（式中、各Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８、Ｒ９およびＲ１０は、Ｈ；
Ｃ１−Ｃ５直鎖、分岐もしくは環式アルキル基；
または、Ｃ１−Ｃ５直鎖、分岐もし
くは環式フルオロアルキル基から独立して選択される）
を有するケイ素およびジルコニウム含有前駆体を含むジルコニウム含有膜形成組成物。
【請求項２】
前記前駆体が式Ｉ
【化２】
2018503247.tif 000002
を有する、請求項１に記載のジルコニウム含有膜形成組成物。
【請求項３】
前記前駆体が、（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮＭｅ２）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（メチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨＭｅ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジエチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮＥｔ２）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨＥｔ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮＥｔＭｅ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮｎＰｒ２）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨｎＰｒ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮｉＰｒ２）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨｉＰｒ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮｎＢｕ２）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨｎＢｕ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮｉＢｕ２）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨｉＢｕ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮｓＢｕ２）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨｓＢｕ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮｔＢｕ２）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨｔＢｕ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮＭｅ２）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（メチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨＭｅ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジエチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮＥｔ２）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨＥｔ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮＥｔＭｅ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮｎＰｒ２）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨｎＰｒ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮｉＰｒ２）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨｉＰｒ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮｎＢｕ２）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨｎＢｕ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮｉＢｕ２）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨｉＢｕ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮｓＢｕ２）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨｓＢｕ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮｔＢｕ２）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＮＨｔＢｕ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＭｅ２）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（メチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨＭｅ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジエチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔ２）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨＥｔ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔＭｅ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｎＰｒ２）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＰｒ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｉＰｒ２）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＰｒ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｎＢｕ２）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＢｕ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｉＢｕ２）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＢｕ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｓＢｕ２）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｓＢｕ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｔＢｕ２）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｔＢｕ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＭｅ２）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（メチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨＭｅ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジエチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔ２）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨＥｔ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔＭｅ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮｎＰｒ２）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＰｒ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮｉＰｒ２）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＰｒ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮｎＢｕ２）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＢｕ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮｉＢｕ２）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＢｕ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮｓＢｕ２）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨｓＢｕ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮｔＢｕ２）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨｔＢｕ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＭｅ２）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（メチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨＭｅ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジエチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔ２）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨＥｔ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔＭｅ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｎＰｒ２）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＰｒ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｉＰｒ２）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＰｒ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｎＢｕ２）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＢｕ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｉＢｕ２）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＢｕ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｓＢｕ２）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｓＢｕ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｔＢｕ２）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｔＢｕ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＭｅ２）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（メチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨＭｅ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジエチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔ２）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨＥｔ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔＭｅ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｎＰｒ２）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＰｒ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｉＰｒ２）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＰｒ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｎＢｕ２）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＢｕ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｉＢｕ２）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＢｕ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｓＢｕ２）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｓＢｕ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｔＢｕ２）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｔＢｕ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＭｅ２）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（メチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨＭｅ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジエチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔ２）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨＥｔ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔＭｅ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｎＰｒ２）３）；（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＰｒ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｉＰｒ２）３）；（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＰｒ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｎＢｕ２）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＢｕ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｉＢｕ２）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＢｕ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｓＢｕ２）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブチル
アミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｓＢｕ）３）；（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｔＢｕ２）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｔＢｕ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＭｅ２）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（メチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨＭｅ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジエチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔ２）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨＥｔ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔＭｅ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮｎＰｒ２）３）；（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＰｒ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮｉＰｒ２）３）；（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＰｒ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮｎＢｕ２）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＢｕ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮｉＢｕ２）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＢｕ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮｓＢｕ２）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨｓＢｕ）３）；（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮｔＢｕ２）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＮＨｔＢｕ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＭｅ２）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（メチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨＭｅ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジエチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔ２）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨＥｔ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（エチルメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＥｔＭｅ）３
）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｎＰｒ２）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＰｒ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｉＰｒ２）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロピルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＰｒ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｎＢｕ２）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｎＢｕ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジイソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｉＢｕ２）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｉＢｕ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｓＢｕ２）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｓＢｕ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮｔＢｕ２）３）；
および（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＮＨｔＢｕ）３）
からなる群から選択される、請求項２に記載のジルコニウム含有膜形成組成物。
【請求項４】
前記前駆体が、（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ジメチルアミノ）ジルコニウム（ＩＶ）［Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＮＭｅ２）３］である、請求項３に記載のジルコニウム含有膜形成組成物。
【請求項５】
前記前駆体が式ＩＩ：
【化３】
2018503247.tif 000003
を有する、請求項１に記載のジルコニウム含有膜形成組成物。
【請求項６】
前記前駆体が、（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（メトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＯＭｅ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（エトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＯＥｔ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＯｎＰｒ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＯｉＰｒ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＯｔＢｕ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＯｓＢｕ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＯｎＢｕ）３）；
（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＯｉＢｕ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（メトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＯＭｅ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（エトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＯＥｔ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＯｎＰｒ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＯｉＰｒ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＯｔＢｕ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＯｓＢｕ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＯｎＢｕ）３）；
（ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＤＭＳ−Ｃｐ）（ＯｉＢｕ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（メトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯＭｅ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（エトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）
（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯＥｔ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｎＰｒ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｉＰｒ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｔＢｕ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｓＢｕ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｎＢｕ）３）；
（トリフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｉＢｕ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（メトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯＭｅ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（エトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯＥｔ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯｎＰｒ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯｉＰｒ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯｔＢｕ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯｓＢｕ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯｎＢｕ）３）；
（ジフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（Ｆ２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯｉＢｕ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（メトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯＭｅ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（エトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯＥｔ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｎＰｒ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｉＰｒ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｔＢｕ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｓＢｕ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｎＢｕ）３）；
（モノフルオロシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＨ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｉＢｕ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（メトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯＭｅ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（エトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯＥｔ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロポキシ）ジルコニウ
ム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｎＰｒ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｉＰｒ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｔＢｕ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｓＢｕ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｎＢｕ）３）；
（フルオロジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（ＦＭｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｉＢｕ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（メトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯＭｅ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（エトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯＥｔ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｎＰｒ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｉＰｒ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｔＢｕ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｓＢｕ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｎＢｕ）３）；
（トリス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）３Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｉＢｕ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（メトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯＭｅ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（エトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯＥｔ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯｎＰｒ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯｉＰｒ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯｔＢｕ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯｓＢｕ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯｎＢｕ）３）；
（ビス（トリフルオロメチル）シリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）２ＨＳｉ−Ｃｐ）（ＯｉＢｕ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（メトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯＭｅ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（エトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯＥｔ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−プロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｎＰｒ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソプロポキ
シ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｉＰｒ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｔ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｔＢｕ）３）；
（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｓｅｃ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｓＢｕ）３）；（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（ｎ−ブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｎＢｕ）３）；
および（（トリフルオロメチル）ジメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソブトキシ）ジルコニウム（ＩＶ）（Ｚｒ（（ＣＦ３）Ｍｅ２Ｓｉ−Ｃｐ）（ＯｉＢｕ）３）からなる群から選択される、請求項５に記載のジルコニウム含有膜形成組成物。
【請求項７】
前記前駆体が、（トリメチルシリル）シクロペンタジエニルトリス（イソ−プロポキシ）ジルコニウム（ＩＶ）［Ｚｒ（ＴＭＳ−Ｃｐ）（ＯｉＰｒ）３］である、請求項６に記載のジルコニウム含有膜形成組成物。
【請求項８】
前記組成物が、およそ９５％ｗ／ｗ〜およそ１００％ｗ／ｗの前記前駆体を含む、請求項１に記載のジルコニウム含有膜形成組成物。
【請求項９】
前記組成物が、およそ０．０％ｗ／ｗ〜およそ５．０％ｗ／ｗの不純物を含む、請求項１に記載のジルコニウム含有膜形成組成物。
【請求項１０】
前記不純物が、アルコール；アルキルアミン；ジアルキルアミン；アルキルイミン；シクロペンタジエン；ジシクロペンタジエン；アルキルゲルマン；ＴＨＦ；エーテル；ペンタン；シクロヘキサン；ヘプタン；ベンゼン；トルエン；塩化金属化合物；リチウム、ナトリウムもしくはカリウムアルキルアミド；リチウム、ナトリウムもしくはカリウムアルコキシ；および／または、リチウム、ナトリウムもしくはカリウムシクロペンタジエニルを含む、請求項９に記載のジルコニウム含有膜形成組成物。
【請求項１１】
前記組成物が、およそ０ｐｐｂｗ〜およそ１ｐｐｍｗの金属不純物を含む、請求項１に記載のジルコニウム含有膜形成組成物。
【請求項１２】
前記金属不純物が、アルミニウム（Ａｌ）、砒素（Ａｓ）、バリウム（Ｂａ）、ベリリウム（Ｂｅ）、ビスマス（Ｂｉ）、カドミウム（Ｃｄ）、カルシウム（Ｃａ）、クロム（Ｃｒ）、コバルト（Ｃｏ）、銅（Ｃｕ）、ガリウム（Ｇａ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ハフニウム（Ｈｆ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、インジウム（Ｉｎ）、鉄（Ｆｅ）、鉛（Ｐｂ）、リチウム（Ｌｉ）、マグネシウム（Ｍｇ）、マンガン（Ｍｎ）、タングステン（Ｗ）、ニッケル（Ｎｉ）、カリウム（Ｋ）、ナトリウム（Ｎａ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、トリウム（Ｔｈ）、スズ（Ｓｎ）、チタン（Ｔｉ）、ウラニウム（Ｕ）、および／または亜鉛（Ｚｎ）を含む、請求項１１に記載のジルコニウム含有膜形成組成物。
【請求項１３】
ジルコニウム含有膜を基板上に堆積するプロセスであって、請求項１〜１２のいずれか一項に記載のジルコニウム含有膜形成組成物の蒸気を基板が中に入れられた反応器に導入するステップと、ケイ素およびジルコニウム含有前駆体の少なくとも一部を前記基板上に堆積するステップとを含むプロセス。
【請求項１４】
少なくとも１種の反応体を前記反応器に導入するステップをさらに含み、前記反応体が、Ｈ２、Ｈ２ＣＯ、Ｎ２Ｈ４、ＮＨ３、ＳｉＨ４、Ｓｉ２Ｈ６、Ｓｉ３Ｈ８、ＳｉＨ２Ｍｅ２、ＳｉＨ２Ｅｔ２、Ｎ（ＳｉＨ３）３、これらの水素ラジカル、およびこれらの混合物からなる群から選択される、請求項１３に記載のプロセス。
【請求項１５】
少なくとも１種の反応体を前記反応器に導入するステップをさらに含み、前記反応体が、Ｏ２、Ｏ３、Ｈ２Ｏ、Ｈ２Ｏ２、ＮＯ、Ｎ２Ｏ、ＮＯ２、これらの酸素ラジカル、およびこれらの混合物からなる群から選択される、請求項１３に記載のプロセス。