【手続補正書】
【提出日】平成30年5月1日(2018.5.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
囲いと、搬送ユニットとを具備し、
前記囲いは、
その上にターゲット処理マシンを配置するためのベースプレートと、
前記ベースプレートに固定された側壁パネルと、
前記側壁パネルに固定された上壁パネルとを有し、
前記囲いは、前記囲いの側壁にアクセス開口を有し、
前記搬送ユニットは、前記ベースプレートに対して前記搬送ユニットを移動させるための１以上の搬送要素を有し、
前記搬送ユニットは、前記アクセス開口を閉じるために配置されたドアパネルを有する、ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリにおいて、
前記ドアパネルは、たわみ継手によって前記搬送ユニットに装着され、
前記たわみ継手は、少なくとも前記搬送ユニットが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、少なくとも、前記囲いに向かう、又は前記囲いから離れる方向への前記搬送ユニットに対する前記ドアパネルの移動を可能にするように配置され、
前記ドアパネルを備えた前記搬送ユニットは、前記囲いから取り外し可能に配置されていることを特徴とするアセンブリ。
【請求項２】
前記たわみ継手は、ばねマウントを含む請求項１に記載のアセンブリ。
【請求項３】
前記ドアパネルは、前記アクセス開口を閉じるために前記囲いに当接するように配置されている請求項１又は２に記載のアセンブリ。
【請求項４】
前記ドアパネルを備えた前記搬送ユニットは、その全体が前記囲いから取り外し可能である請求項１、２又は３に記載のアセンブリ。
【請求項５】
アセンブリは、位置決め部材と、補足的な位置決め部材とを有し、
前記位置決め部材は、前記ベースプレートに固定して接続され、
前記補足的な位置決め部材は、前記搬送ユニットに固定して接続され、
少なくとも前記位置決め部材と前記補足的な位置決め部材とが互いに連結されたとき、前記位置決め部材及び前記補足的な位置部材は、前記ベースプレート及び前記搬送ユニットを互いに関連付けてアライメントするように配置されている請求項１ないし４のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項６】
前記位置決め部材及び前記補足的な位置決め部材は、各々、第１のアライメント部材と、第１の補足的なアライメント部材との一方を有し、前記第１のアライメント部材及び前記第１の補足的なアライメント部材は、少なくとも前記第１のアライメント部材及び前記第１の補足的なアライメント部材が互いに連結されたとき、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の距離を与えるようになっている請求項５に記載のアセンブリ。
【請求項７】
前記第１のアライメント部材は、ソケットを含み、
前記第１の補足的なアライメント部材は、スピゴットを含み、
前記スピゴットは、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の距離を与えるために、前記ソケットに挿入可能であり、好ましくは、前記スピゴットは、前記ベースプレートに対する前記搬送ユニットの一定の位置を与えるために、前記ソケットに挿入可能である請求項６に記載のアセンブリ。
【請求項８】
前記位置決め部材及び前記補足的な位置決め部材は、各々、第２のアライメント部材と、第２の補足的なアライメント部材との一方を有し、前記第２のアライメント部材及び前記第２の補足的なアライメント部材は、少なくとも前記第２のアライメント部材及び前記第２の補足的なアライメント部材が互いに連結されたとき、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の回転向きを、特に前記ベースプレートにほぼ垂直に延びた軸のまわりの一定の回転向きを与えるようになっている請求項５、６又は７に記載のアセンブリ。
【請求項９】
前記第２のアライメント部材は、接触面を含み、
前記第２の補足的なアライメント部材は、当接部材を含み、
前記当接部材は、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の回転向きを与えるために、前記接触面に当接するように配置可能である請求項８に記載のアセンブリ。
【請求項１０】
前記ベースプレートは、プレ負荷部材を含み、
前記搬送ユニットは、補足的なプレ負荷部材を含み、
前記プレ負荷部材と前記補足的なプレ負荷部材とは、互いに連結されて、前記搬送ユニットの機械的なプレ負荷を前記囲いに向かって前記ドアパネルに与えるように配置されている請求項１ないし９のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項１１】
前記プレ負荷部材及び前記補足的なプレ負荷部材は、アパーチャとホックとの一方を有し、前記ホックは、前記プレ負荷部材と前記補足的なプレ負荷部材とを互いに連結するために前記アパーチャへ移動するように配置されている請求項１０に記載のアセンブリ。
【請求項１２】
アセンブリは、台座を有し、前記台座には、その上に前記搬送ユニットを配置するための搬送ユニット位置が設けられている請求項１ないし１１のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項１３】
前記ベースプレートは、前記台座の上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置されている請求項１２に記載のアセンブリ。
【請求項１４】
前記搬送ユニットは、複数の支持部材を有し、
前記台座の前記搬送ユニット位置は、複数の支持部材接触面を有し、
前記支持部材接触面の各々は、前記支持部材の１つを受けるように配置され、
前記支持部材及び前記支持部材接触面は、前記搬送ユニットと前記台座との間に一定の距離を与えるか、前記台座にほぼ平行に延びた軸のまわりの一定の回転向きを与えるか、あるいはその両方を与えるように配置されている請求項１２又は１３に記載のアセンブリ。
【請求項１５】
前記台座には、前記搬送ユニット位置に配置されたインターフェースユニットが設けられ、前記インターフェースユニットは、少なくとも前記搬送ユニットが前記台座の上の前記搬送ユニット位置に実質的に配置されたとき、前記搬送ユニットに接続可能である請求項１２、１３又は１４に記載のアセンブリ。
【請求項１６】
前記インターフェースユニットは、前記搬送ユニットに設備を与えるために、前記搬送ユニットとテクニカルサービス用接続との間の接続を与えるように配置され、前記設備は、電力供給部、給水部、排出部、真空ダクト及び給気部の１以上を含む請求項１５に記載のアセンブリ。
【請求項１７】
前記インターフェースユニットは、前記接続を与えるために、前記インターフェースユニット又は前記インターフェースユニットの連結ユニットを前記搬送ユニットに向かって移動させるためのアクチュエータを有し、好ましくは、前記アクチュエータは、前記インターフェースユニットを移動させるために配置されているか、前記連結ユニットがほぼ垂直向きである請求項１６に記載のアセンブリ。
【請求項１８】
プレ真空シールと、真空シールとをさらに具備し、これらは、少なくとも前記ドアパネルが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、両方とも前記囲いの前記側壁にある前記アクセス開口のまわりに配置される請求項１ないし１７のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項１９】
前記真空シールは、前記プレ真空シールと前記アクセス開口との間に配置されている請求項１８に記載のアセンブリ。
【請求項２０】
前記プレ真空シールは、少なくとも前記ドアパネルが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、この方向において前記真空シールの厚さよりも大きい距離にわたって前記ドアパネルと前記囲いとの間の方向に延びた可撓性フラップを有する請求項１８又は１９に記載のアセンブリ。
【請求項２１】
前記プレ真空シールは、前記囲いの前記側壁に、好ましくは前記囲いの前記側壁の第１の凹部に配置されている請求項１８、１９又は２０に記載のアセンブリ。
【請求項２２】
前記真空シールは、前記囲いの前記側壁に、好ましくは前記囲いの前記側壁の第２の凹部に配置されている請求項１８、１９、２０又は２１に記載のアセンブリ。
【請求項２３】
前記搬送要素は、ホイール、又は、圧縮空気供給部に接続可能な１以上のエアパッドを有する請求項１ないし２２のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項２４】
前記ホイール又は前記１以上のエアパッドは、前記搬送ユニットの底側に配置されている請求項２３に記載のアセンブリ。
【請求項２５】
前記ドアパネルには、移送開口が設けられ、
アセンブリは、さらに、前記移送開口に実質的に隣接して、前記搬送ユニットの上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置された搬送デバイスを有する請求項１ないし２４のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項２６】
前記搬送デバイスは、前記移送開口を囲んでいるたわみ継手を介して、好ましくは真空ベローズを介して、前記ドアパネルに接続されたロードロックシステムを有する請求項２５に記載のアセンブリ。
【請求項２７】
前記ドアパネルには、１以上の真空ポンプが、好ましくは、１以上のターボ分子ポンプが設けられている請求項１ないし２６のいずれか１に記載のアセンブリ。
【請求項２８】
ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリで使用するための搬送ユニットであって、
前記アセンブリは、囲いと、ドアパネルと、搬送ユニットとを有し、
前記囲いは、前記囲いの側壁にアクセス開口を有し、
前記搬送ユニットは、前記アクセス開口を閉じるために配置された前記ドアパネルを有し、
前記搬送ユニットは、前記囲いに対して前記搬送ユニットを移動させるための、特に、前記囲いに隣接して前記搬送ユニットを位置決めするための、１以上の搬送要素を有し、
前記ドアパネルは、たわみ継手によって前記搬送ユニットに装着され、
前記たわみ継手は、少なくとも前記搬送ユニットが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、少なくとも、前記囲いに向かう、又は前記囲いから離れる方向への前記搬送ユニットに対する前記ドアパネルの移動を可能にするように配置され、
前記ドアパネルを備えた前記搬送ユニットは、前記囲いから取り外し可能に配置されている、搬送ユニット。
【請求項２９】
囲いと、搬送ユニットとを具備するアセンブリにターゲット処理マシンを収容するための方法であって、
前記囲いは、
その上に前記ターゲット処理マシンを配置するためのベースプレートと、
前記ベースプレートに固定された側壁パネルと、
前記側壁パネルに固定された上壁パネルとを有し、
前記囲いは、前記囲いの側壁にアクセス開口を有し、
前記搬送ユニットは、前記ベースプレートに対して前記搬送ユニットを移動させるための１以上の搬送要素を有し、
前記搬送ユニットは、前記アクセス開口を閉じるために配置されたドアパネルを有し、
ｚ  前記ドアパネルは、たわみ継手によって前記搬送ユニットに装着され、
前記たわみ継手は、少なくとも前記搬送ユニットが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、少なくとも、前記囲いに向かう、又は前記囲いから離れる方向への前記搬送ユニットに対する前記ドアパネルの移動を可能にするように配置され、
前記ドアパネルを備えた前記搬送ユニットは、前記囲いから取り外し可能に配置され、
前記方法は、
前記ドアパネルが前記囲いに当接するように、前記囲いに向かって前記搬送ユニットを移動させるステップを含む、方法。
【請求項３０】
前記アセンブリは、プレ真空シールと、真空シールとを有し、これらは、少なくとも前記ドアパネルが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、両方とも前記囲いの前記側壁にある前記アクセス開口のまわりに配置され、
前記方法は、前記ドアパネルが前記プレ真空シールに当接するように、前記囲いに向かって前記搬送ユニットを移動させるステップを含む、請求項２９に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
要約すると、本発明は、ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリに関する。アセンブリは、囲いと、搬送ユニットとを有する。囲いは、その上にターゲット処理マシンを配置するためのベースプレートと、ベースプレートに固定された側壁パネルと、側壁パネルに固定された上壁パネルとを有する。さらに、囲いは、囲いの側壁にあるアクセス開口を有する。搬送ユニットは、ベースプレートに対して搬送ユニットを移動させるための１以上の搬送要素を有する。搬送ユニットは、アクセス開口を閉じるために配置されたドアパネルを有し、ドアパネルは、たわみ継手によって搬送ユニットに移動可能に装着され、少なくとも、囲いに向かう、又は囲いから離れる方向への搬送ユニットに対するドアパネルの移動を可能にする。
出願当初の特許請求の範囲に記載された事項をそのまま以下に付記する。
［１］囲いと、搬送ユニットとを具備し、前記囲いは、その上にターゲット処理マシンを配置するためのベースプレートと、前記ベースプレートに固定された側壁パネルと、前記側壁パネルに固定された上壁パネルとを有し、前記囲いは、前記囲いの側壁にアクセス開口を有し、前記搬送ユニットは、前記ベースプレートに対して前記搬送ユニットを移動させるための１以上の搬送要素を有し、前記搬送ユニットは、前記アクセス開口を閉じるために配置されたドアパネルを有する、ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリにおいて、前記ドアパネルは、たわみ継手によって前記搬送ユニットに装着され、前記たわみ継手は、少なくとも前記搬送ユニットが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、少なくとも、前記囲いに向かう、又は前記囲いから離れる方向への前記搬送ユニットに対する前記ドアパネルの移動を可能にするように配置されていることを特徴とするアセンブリ。
［２］前記たわみ継手は、ばねマウントを含む［１］に記載のアセンブリ。
［３］前記ドアパネルは、前記アクセス開口を閉じるために前記囲いに当接するように配置されている［１］又は［２］に記載のアセンブリ。
［４］前記ドアパネルを備えた前記搬送ユニットは、前記囲いから取り外し可能であり、好ましくは、前記ドアパネルを備えた前記搬送ユニットは、その全体が前記囲いから取り外し可能である［１］、［２］又は［３］に記載のアセンブリ。
［５］アセンブリは、位置決め部材と、補足的な位置決め部材とを有し、前記位置決め部材は、前記ベースプレートに固定して接続され、前記補足的な位置決め部材は、前記搬送ユニットに固定して接続され、少なくとも前記位置決め部材と前記補足的な位置決め部材とが互いに連結されたとき、前記位置決め部材及び前記補足的な位置部材は、前記ベースプレート及び前記搬送ユニットを互いに関連付けてアライメントするように配置されている［１］ないし［４］のいずれか１に記載のアセンブリ。
［６］前記位置決め部材及び前記補足的な位置決め部材は、各々、第１のアライメント部材と、第１の補足的な第１のアライメント部材との一方を有し、前記第１のアライメント部材及び前記第１の補足的な第１のアライメント部材は、少なくとも前記第１のアライメント部材及び前記第１の補足的なアライメント部材が互いに連結されたとき、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の距離を与えるようになっている［５］に記載のアセンブリ。
［７］前記第１のアライメント部材は、ソケットを含み、前記第１の補足的なアライメント部材は、スピゴットを含み、前記スピゴットは、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の距離を与えるために、前記ソケットに挿入可能であり、好ましくは、前記スピゴットは、前記ベースプレートに対する前記搬送ユニットの一定の位置を与えるために、前記ソケットに挿入可能である［６］に記載のアセンブリ。
［８］前記位置決め部材及び前記補足的な位置決め部材は、各々、第２のアライメント部材と、第２の補足的なアライメント部材との一方を有し、前記第２のアライメント部材と及び前記第２の補足的なアライメント部材は、少なくとも前記第２のアライメント部材及び前記第２の補足的なアライメント部材が互いに連結されたとき、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の回転向きを、特に前記ベースプレートにほぼ垂直に延びた軸のまわりの一定の回転向きを与えるようになっている［５］、［６］又は［７］に記載のアセンブリ。
［９］前記第２のアライメント部材は、接触面を含み、前記第２の補足的なアライメント部材は、当接部材を含み、前記当接部材は、前記ベースプレートと前記搬送ユニットとの間に一定の回転向きを与えるために、前記接触面に当接するように配置可能である［８］に記載のアセンブリ。
［１０］前記ベースプレートは、プレ負荷部材を含み、前記搬送ユニットは、補足的なプレ負荷部材を含み、前記プレ負荷部材と前記補足的なプレ負荷部材とは、互いに連結されて、前記搬送ユニットの機械的なプレ負荷を前記囲いに向かって前記ドアパネルに与えるように配置されている［１］ないし［９］のいずれか１に記載のアセンブリ。
［１１］前記プレ負荷部材及び前記補足的なプレ負荷部材は、アパーチャとホックとの一方を有し、前記ホックは、前記プレ負荷部材と前記補足的なプレ負荷部材とを互いに連結するために前記アパーチャへ移動するように配置されている［１０］に記載のアセンブリ。
［１２］アセンブリは、台座を有し、前記台座には、その上に前記搬送ユニットを配置するための搬送ユニット位置が設けられている［１］ないし［１１］のいずれか１に記載のアセンブリ。
［１３］前記ベースプレートは、前記台座の上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置されている［１２］に記載のアセンブリ。
［１４］前記搬送ユニットは、複数の支持部材を有し、前記台座の前記搬送ユニット位置は、複数の支持部材接触面を有し、前記支持部材接触面の各々は、前記支持部材の１つを受けるように配置され、前記支持部材及び前記支持部材接触面は、前記搬送ユニットと前記台座との間に一定の距離を与えるか、前記台座にほぼ平行に延びた軸のまわりの一定の回転向きを与えるか、あるいはその両方を与えるように配置されている［１２］又は［１３］に記載のアセンブリ。
［１５］前記台座には、前記搬送ユニット位置に配置されたインターフェースユニットが設けられ、前記インターフェースユニットは、少なくとも前記搬送ユニットが前記台座の上の前記搬送ユニット位置に実質的に配置されたとき、前記搬送ユニットに接続可能である［１２］、［１３］又は［１４］に記載のアセンブリ。
［１６］前記インターフェースユニットは、前記搬送ユニットに設備を与えるために、前記搬送ユニットとテクニカルサービス用接続との間の接続を与えるように配置され、前記設備は、電力供給部、給水部、排出部、真空ダクト及び給気部の１以上を含む［１５］に記載のアセンブリ。
［１７］前記インターフェースユニットは、前記接続を与えるために、前記インターフェースユニット又は前記インターフェースユニットの連結ユニットを前記搬送ユニットに向かって移動させるためのアクチュエータを有し、好ましくは、前記アクチュエータは、前記インターフェースユニットを移動させるために配置されるか、前記連結ユニットがほぼ垂直向きである［１６］に記載のアセンブリ。
［１８］プレ真空シールと、真空シールとをさらに具備し、これらは、少なくとも前記ドアパネルが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、両方とも前記囲いの前記側壁にある前記アクセス開口のまわりに配置される［１］ないし［１７］のいずれか１に記載のアセンブリ。
［１９］前記真空シールは、前記プレ真空シールと前記アクセス開口との間に配置されている［１８］に記載のアセンブリ。
［２０］前記プレ真空シールは、少なくとも前記ドアパネルが前記囲いの前記アクセス開口の正面に配置されたとき、この方向において前記真空シールの厚さよりも大きい距離にわたって前記ドアパネルと前記囲いとの間の方向に延びた可撓性フラップを有する［１８］又は［１９］に記載のアセンブリ。
［２１］前記プレ真空シールは、前記囲いの前記側壁に、好ましくは前記囲いの前記側壁の第１の凹部に配置されている［１８］、［１９］又は［２０］に記載のアセンブリ。
［２２］前記真空シールは、前記囲いの前記側壁に、好ましくは前記囲いの前記側壁の第２の凹部に配置されている［１８］、［１９］、［２０］又は［２１］に記載のアセンブリ。
［２３］前記搬送要素は、圧縮空気供給部に接続可能な１以上のエアパッドを有する［１］ないし［２２］のいずれか１に記載のアセンブリ。
［２４］前記１以上のエアパッドは、前記搬送ユニットの底側に配置され、好ましくは、床に、特に前記囲いの近くの実質的に閉じた床の上に前記搬送ユニットを実質的にとどまらせるように配置されている［２３］に記載のアセンブリ。
［２５］前記１以上のエアパッドは、前記床の上の前記搬送ユニットの実質的な均衡、安定したとどまり、あるいはその両方を与えるために、前記搬送ユニットの底側に配置されている［２３］に記載のアセンブリ。
［２６］前記ドアパネルには、移送開口が設けられ、アセンブリは、さらに、前記移送開口に実質的に隣接して、前記搬送ユニットの上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置された搬送デバイスを有する［１］ないし［２５］のいずれか１に記載のアセンブリ。
［２７］前記搬送デバイスは、前記移送開口を囲んでいるたわみ継手を介して、好ましくは真空ベローズを介して、前記ドアパネルに接続されたロードロックシステムを有する［２６］に記載のアセンブリ。
［２８］前記ドアパネルには、１以上の真空ポンプが、好ましくは、１以上のターボ分子ポンプが設けられている［１］ないし［２７］のいずれか１に記載のアセンブリ。
［２９］前記１以上の真空ポンプは、可撓管路を介して、好ましくは真空ベローズを介して、前記搬送ユニットに接続されている［２８］に記載のアセンブリ。
［３０］前記可撓管路は、特に、前記搬送ユニットにおいて前記１以上の真空ポンプと真空ダクトとの間の接続を与えるために、前記インターフェースユニットに接続可能であり、前記真空ダクトは、好ましくは、プレ真空ポンプに接続されている［１６］に従属する［２９］に記載のアセンブリ。
［３１］［１］ないし［３０］のいずれか１に記載のアセンブリでの使用を意図し、それに適した搬送ユニット。
［３２］ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリ用の搬送ユニットであって、前記アセンブリは、囲いと、ドアパネルと、搬送ユニットとを有し、前記囲いは、前記囲いの側壁にアクセス開口を有し、前記ドアパネルは、前記アクセス開口を閉じるために配置され、前記搬送ユニットは、前記囲いに対して前記搬送ユニットを移動させるための、特に、前記囲いと前記ドアパネルとの少なくとも一方に隣接して前記搬送ユニットを位置決めするための、１以上の搬送要素を有し、前記搬送要素は、圧縮空気供給部に接続可能な１以上のエアパッドを有する搬送ユニット。
［３３］前記１以上のエアパッドは、前記搬送ユニットの底側に配置され、好ましくは、床に、特に前記囲いの近くの実質的に閉じた床の上に前記搬送ユニットを実質的にとどまらせるように配置されている［３２］に記載の搬送ユニット。
［３４］前記１以上のエアパッドは、前記床の上の前記搬送ユニットの実質的な均衡、安定したとどまり、あるいはその両方を与えるために、前記搬送ユニットの前記底側に配置されている［３３］に記載の搬送ユニット。
［３５］ターゲット処理マシンを収容するためのアセンブリであって、アセンブリは、囲いと、ドアと、搬送ユニットと、前記搬送ユニットを少なくとも支持するための床部とを有し、前記囲いは、前記囲いの側壁にアクセス開口を有し、前記ドアパネルは、前記アクセス開口を閉じるために配置され、前記搬送ユニットは、前記囲いに対して前記搬送ユニットを移動させるための１以上の搬送要素を有し、前記床部は、前記囲いと前記ドアパネルとの少なくとも一方に隣接して配置され、前記床部には、その上に前記搬送ユニットを位置決めするための搬送ユニット位置が設けられているアセンブリ。
［３６］前記囲いは、前記床部の上の並進固定、回転固定、あるいはその両方である位置に配置されている［３５］に記載のアセンブリ。
［３７］前記搬送ユニットは、複数の支持部材を有し、前記床部の前記搬送ユニット位置は、複数の支持部材接触面を有し、前記支持部材接触面の各々は、前記支持部材の１つを受けるように配置され、前記支持部材及び前記支持部材接触面は、前記搬送ユニットと前記床部との間に一定の距離を与えるか、前記床部にほぼ平行に延びた軸のまわりの一定の回転向きを与えるか、あるいはその両方を与えるように配置されている［３５］又は［３６］に記載のアセンブリ。
［３８］前記床部には、前記搬送ユニット位置に配置されたインターフェースユニットが設けられ、前記インターフェースユニットは、少なくとも前記搬送ユニットが前記床部の上の前記搬送ユニット位置に実質的に配置されたとき、前記搬送ユニットに接続可能である［３５］、［３６］又は［３７］に記載のアセンブリ。
［３９］前記インターフェースユニットは、前記搬送ユニットに設備を与えるために、前記搬送ユニットとテクニカルサービス用接続との間の接続を与えるように配置され、前記設備は、電力供給部、給水部、排出部、真空ダクト及び給気部の１以上を含む［３８］に記載のアセンブリ。
［４０］前記インターフェースユニットは、前記接続を与えるために、前記インターフェースユニット又は前記インターフェースユニットの連結ユニットを前記搬送ユニットに向かって移動させるためのアクチュエータを有し、好ましくは、前記アクチュエータは、前記インターフェースユニットを移動させるために配置されるか、前記連結ユニットがほぼ垂直向きである［３９］に記載のアセンブリ。
［４１］前記床部は、台座を、特に、前記搬送ユニットを運ぶための実質的に硬質であるか、単一であるか、その両方である台座を有する［３５］ないし［４０］のいずれか１に記載のアセンブリ。
［４２］前記台座は、前記囲いを運ぶために、好ましくは、前記台座に対して実質的に回転固定、並進固定、あるいはその両方である位置に配置されている［４１］に記載のアセンブリ。