【手続補正書】
【提出日】平成30年10月5日(2018.10.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、及び
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン由来の繰り返し単位を含有するコポリマー
からなる群より選択されるポリマー、
ｂ）化学式（ＩＩ）で表される光塩基発生剤
【化４】
2018511819.tif 000001
［上記式において、Ｒ３は、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ６）アルキルである。］、及び
ｃ）担体溶媒
を含む、光イメージ化可能な溶媒現像性ネガティブトーン組成物。
【請求項２】
前記ポリマーは、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、及び
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
からなる群より選択される、請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
前記ポリマーは、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、及び
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
からなる群より選択される、請求項１に記載の組成物。
【請求項４】
前記光塩基発生剤は、１−（１−フェニルエチル）オクタヒドロピロロ［１，２−ａ］ピリミジンである、請求項１から３のいずれか一項に記載の組成物。
【請求項５】
ａ）５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
ｂ）１−（１−フェニルエチル）オクタヒドロピロロ［１，２−ａ］ピリミジン、及び
ｃ）担体溶媒
を含む、光イメージ化可能な溶媒現像性ネガティブトーン組成物。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＨｅｘＮＢ）、
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＯｃｔＮＢ）、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＤｅｃＮＢ）、
５−パーフルオロエチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（Ｃ２Ｆ５ＮＢ）、
５−ｎ−パーフルオロブチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（Ｃ４Ｆ９ＮＢ）、
５−パーフルオロヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（Ｃ６Ｆ１３ＮＢ）、
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）、
２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）及び
２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＤｅｃＮＢ）、
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）、
２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）及び
２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
これらのコポリマー又はターポリマーの非限定的な例としては、下記のものを含む。
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＤｅｃＮＢ）、５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するターポリマー、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＤｅｃＮＢ）、５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するターポリマー、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＤｅｃＮＢ）、５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するターポリマーなど。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
ＤｅｃＮＢ：５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、ＰＥＮＢ：５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、ＥＯＮＢ：２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン、ＣＰＴＸ：１−クロロ−４−プロポキシ−１，９ａ−ジヒドロ−９Ｈ−チオキサンテン−９−オン、ＣＧＩ−９０：１−（１−フェニルエチル）オクタヒドロピロロ［１，２−ａ］ピリミジン、Ａ−１８７又は３−ＧＴＳ：トリメトキシ（３−（オキシラン−２−イルメトキシ）プロピル）シラン、別称３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ＭＡＫ：メチルアミルケトン、ＰＢＧ：光塩基発生剤、ｐｐｈｒ又はｐｈｒ：樹脂１００部当たりの部数、Ｒ．Ｔ．：室温、ＬＣ−ＭＳ：液体クロマトグラフィ−質量分光法、ＧＰＣ：ゲル透過クロマトグラフィ、Ｍｗ：重量平均分子量、ＰＤＩ：多分散指数。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
以上の特定の例により本発明を説明してきたが、本発明はそれらにより限定されるものと解釈すべきではない。むしろ、本発明は、ここに開示された一般領域を包含するものであり、その趣旨及び範囲から逸脱することなく種々の変更形態及び実施形態を行うことが可能である。
〔１〕
ａ）化学式（Ｉ）のモノマー由来の化学式（ＩＡ）の１つ以上の繰り返し単位を有するポリマー、
ｂ）光塩基発生剤、及び
ｃ）担体溶媒
を含む、光イメージ化可能な溶媒現像性ネガティブトーン組成物。
【化１４−１】
2018511819.tif 000002
［上記式において、
【化１４−２】
2018511819.tif 000003
は、他の繰り返し単位との結合が生じる位置を示し、
Ｒ１は、（Ｃ６−Ｃ１８）アルキル；パーフルオロ（Ｃ１−Ｃ１８）アルキル；（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ６）アルキル；−（ＣＨ２）ａ−ＣＯ２Ｒ２（ここで、ａは０〜４の整数であり、Ｒ２は水素及び（Ｃ１−Ｃ４）アルキルから選択される。）；
【化１４−３】
2018511819.tif 000004
であり、
ここで、ｂは０〜１０の整数であり、
ｃは０、１、２、３又は４の整数であり、
Ｒは、水素、直鎖もしくは分岐鎖（Ｃ１−Ｃ６）アルキル、（Ｃ５−Ｃ８）シクロアルキル、（Ｃ６−Ｃ１０）アリール又は（Ｃ７−Ｃ１２）アラルキルである。］
〔２〕
前記ポリマーは、
５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＨｅｘＮＢ）、
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＯｃｔＮＢ）、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＤｅｃＮＢ）、
５−パーフルオロエチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（Ｃ２Ｆ５ＮＢ）、
５−ｎ−パーフルオロブチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（Ｃ４Ｆ９ＮＢ）、
５−パーフルオロヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（Ｃ６Ｆ１３ＮＢ）、
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）、
２−（４（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）及び
２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）
からなる群より選択された相応するモノマー由来の１つ以上の繰り返し単位を含む、上記〔１〕に記載の組成物。
〔３〕
前記ポリマーは、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＤｅｃＮＢ）、
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）、
２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）及び
２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）
からなる群より選択された相応するモノマー由来の１つ以上の繰り返し単位を含む、上記〔１〕に記載の組成物。
〔４〕
前記ポリマーは、
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）、
２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）及び
２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）
からなる群より選択された相応するモノマー由来の１つ以上の繰り返し単位を含む、上記〔２〕に記載の組成物。
〔５〕
前記ポリマーは、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＤｅｃＮＢ）、５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するターポリマー、
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＤｅｃＮＢ）、５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するターポリマー、及び
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＤｅｃＮＢ）、５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するターポリマー
からなる群より選択される、上記〔１〕に記載の組成物。
〔６〕
前記ポリマーは、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、及び
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）及び２−（４−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ブチル）オキシラン（ＥＨＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー
からなる群より選択される、上記〔１〕に記載の組成物。
〔７〕
前記ポリマーは、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー、及び
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＢｅｎＮＢ）及び２−（６−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）ヘキシル）オキシラン（ＥＯＮＢ）由来の繰り返し単位を含有するコポリマー
からなる群より選択される、上記〔１〕に記載の組成物。
〔８〕
前記光塩基発生剤は、化学式（ＩＩ）で表される、上記〔１〕に記載の組成物。
【化１４−４】
2018511819.tif 000005
［上記式において、Ｒ３は、（Ｃ１−Ｃ６）アルキル又は（Ｃ６−Ｃ１０）アリール（Ｃ１−Ｃ６）アルキルである。］
〔９〕
前記光塩基発生剤は、
１−ベンジルオクタヒドロピロロ［１，２−ａ］ピリミジン、
１−（１−フェニルエチル）オクタヒドロピロロ［１，２−ａ］ピリミジン、
１−（１−フェニルプロピル）オクタヒドロピロロ［１，２−ａ］ピリミジン、
１−（１−（ｏ−トリル）エチル）オクタヒドロピロロ［１，２−ａ］ピリミジン、及び
１−（１−（ｐ−トリル）エチル）オクタヒドロピロロ［１，２−ａ］ピリミジン
からなる群より選択される、上記〔１〕に記載の組成物。
〔１０〕
前記光塩基発生剤は、
１−ベンジルオクタヒドロピロロ［１，２−ａ］ピリミジン、及び
１−（１−フェニルエチル）オクタヒドロピロロ［１，２−ａ］ピリミジン
からなる群より選択される、上記〔１〕に記載の組成物。
〔１１〕
前記光塩基発生剤は、１−（１−フェニルエチル）オクタヒドロピロロ［１，２−ａ］ピリミジンである、上記〔１〕に記載の組成物。
〔１２〕
光増感剤、
酸化防止剤、及び
接着促進剤
からなる群より選択された１つ以上の添加剤をさらに含む、上記〔１〕に記載の組成物。
〔１３〕
前記光増感剤は、
【化１４−５】
2018511819.tif 000006
である、上記〔１２〕に記載の組成物。
〔１４〕
前記接着促進剤は、
【化１４−６】
2018511819.tif 000007
からなる群より選択される、上記〔１２〕に記載の組成物。
〔１５〕
前記接着促進剤は、
【化１４−７】
2018511819.tif 000008
である、上記〔１２〕に記載の組成物。