【誤訳訂正書】
【提出日】平成30年6月8日(2018.6.8)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１以上の荷電粒子ビームから複数のサブビームを形成するためのサブビームアパーチャアレイであって、
サブビームアパーチャアレイは、１以上のビーム領域を有し、
各ビーム領域は、非規則的な六角形パターンで配置された複数のサブビームアパーチャを有し、
前記非規則的な六角形パターンは、各サブビームアパーチャが、その６つの隣り合うサブビームアパーチャの全てから等間隔でないように配置されているという点で非規則的であり、
前記サブビームアパーチャは、第１の方向において第２の方向に平行なライン上へと投影されたとき、前記サブビームアパーチャが前記ラインに沿って均一に離間されているように配置され、前記第１の方向は前記第２の方向とは異なる、サブビームアパーチャアレイ。
【請求項２】
前記１以上のビーム領域の各々内で、前記サブビームアパーチャは、前記第２の方向において規則的に離間された複数の列で配置され、各列の前記サブビームアパーチャは、前記第２の方向において、同じ列の各隣接しているサブビームアパーチャから、同じ量だけオフセットされている、請求項１に記載のサブビームアパーチャアレイ。
【請求項３】
各列内でのサブビームアパーチャ間の前記オフセットは、一方のビーム領域のサブビームアパーチャと他方のビーム領域の対応する列の隣接しているサブビームアパーチャとの間のオフセットと同じである、請求項２に記載のサブビームアパーチャアレイ。
【請求項４】
単一の列において隣接しているサブビームアパーチャの前記オフセットは、前記サブビームアパーチャの径の比に等しい、請求項２又は３に記載のサブビームアパーチャアレイ。
【請求項５】
前記１以上のビーム領域の各々内で、各列の前記サブビームアパーチャは、前記第１の方向において、隣り合う列の前記サブビームアパーチャに対して互い違いになっている、請求項１ないし４のいずれか１項に記載のサブビームアパーチャアレイ。
【請求項６】
他の全ての列の前記サブビームアパーチャが、前記第２の方向においてアライメントされている、請求項１ないし５のいずれか１項に記載のサブビームアパーチャアレイ。
【請求項７】
前記第２の方向は、前記第１の方向に対してほぼ垂直である、請求項１ないし６のいずれか１項に記載のサブビームアパーチャアレイ。
【請求項８】
前記サブビームアパーチャアレイは、各ビーム領域内で同じ非規則的な六角形パターンを均一に繰り返す、請求項１ないし７のいずれか１項に記載のサブビームアパーチャアレイ。
【請求項９】
１以上のグループの荷電粒子サブビームから複数の小ビームを形成するための小ビームアパーチャアレイであって、
前記１以上のグループの荷電粒子サブビームは、請求項１ないし８のいずれか１項に記載のサブビームアパーチャアレイで生成されて、前記小ビームアパーチャアレイに投影され、
小ビームアパーチャアレイは、複数のグループで配置された複数の小ビームアパーチャを有し、前記小ビームアパーチャの各グループが１つのサブビームに対応し、前記小ビームアパーチャの各グループ内の前記小ビームアパーチャの配置が不均衡アレイを形成し、前記不均衡アレイは、行及び列を含むアレイであり、１以上の列が、前記アレイの他の列に対してシフトされている、小ビームアパーチャアレイ。
【請求項１０】
各グループの前記小ビームアパーチャは、平行四辺形状のアレイを形成している、請求項９に記載の小ビームアパーチャアレイ。
【請求項１１】
各グループの前記小ビームアパーチャは、前記グループの小ビームアパーチャによって形成されたビームスポットの中心から全てオフセットされている、請求項９又は１０に記載の小ビームアパーチャアレイ。
【請求項１２】
複数の荷電粒子サブビームを使用してターゲットを露光するための荷電粒子リソグラフィシステムであって、
荷電粒子ビームを発生させるための荷電粒子発生器と、
請求項１ないし８のいずれか１項に記載のサブビームアパーチャアレイと、
前記ターゲットの表面上に前記サブビームを投影するように構成された投影レンズ系とを具備し、
システムは、１以上のグループで配置された複数の小ビームアパーチャを有する小ビームアパーチャアレイをさらに具備し、前記小ビームアパーチャアレイは、前記サブビームを受信して前記小ビームアパーチャアレイの前記小ビームアパーチャの位置に複数の小ビームを形成するように配置されている、システム。
【請求項１３】
前記小ビームアパーチャアレイは、請求項９ないし１１のいずれか１項に記載の小ビームアパーチャアレイである、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記小ビームアパーチャは、第４の方向において第３の方向に平行なライン上へと投影されたとき、各グループの前記小ビームアパーチャが前記ラインに沿って均一に離間されているように配置され、前記第３の方向は前記第４の方向とは異なる、請求項１２又は１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記第１の方向は、前記第３の方向と同じであり、前記第２の方向は、前記第４の方向と同じである、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
各グループの列内の前記小ビームアパーチャが、前記第４の方向にアライメントされている、請求項１４又は１５に記載のシステム。
【請求項１７】
前記小ビームアパーチャアレイの１つの行内の隣り合う小ビームアパーチャは、前記第３の方向に対して均一な量だけ互いにオフセットされている、請求項１２ないし１６のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項１８】
前記オフセットは、前記隣り合う小ビームアパーチャ間のピッチの比に等しい、請求項１７に記載のシステム。
【請求項１９】
前記比は、前記行内の小ビームアパーチャの数で割った前記隣り合う小ビームアパーチャ間の前記ピッチに等しい、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記サブビームを前記第１の方向に偏向するように配置されたデフレクタと、
前記ターゲットを前記第２の方向に移動させるための可動ステージとをさらに具備する、請求項１２ないし１９のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項２１】
複数の荷電粒子小ビームを使用してターゲットのフィールドを露光するための方法であって、前記フィールドは、第１の方向の長さと、第２の方向の幅とを有し、この方法は、
前記荷電粒子小ビームから非規則的な六角形パターンで配置された複数の別個のグループを形成することを含み、前記非規則的な六角形パターンは、各サブビームアパーチャが、その６つの隣り合うサブビームアパーチャの全てから等間隔でないように配置されているという点で非規則的であり、前記グループは、前記フィールドの幅を横切って均等に離間され、
前記ターゲットを前記第１の方向に移動させて、各小ビームが前記ターゲットの表面上の描画経路に従うように、前記フィールドの対応するストライプの幅を横切って各グループの小ビームを同時に走査することを含み、
各グループの前記小ビームの前記描画経路は、前記第１の方向において均一に離間されている、方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８１】
図９Ｂは、マルチアパーチャアレイ６の一部を示す図である。円形／楕円径６２０は、図９Ａに示されるアパーチャ５２０によって発生されるグループのサブビーム５１０がマルチアパーチャアレイ６上に投影されるところであるアパーチャアレイ６の領域を囲んでいる。各サブビーム５１０は、ビームスポット６２１上に投影され、マルチアパーチャアレイ６にあるグループの小ビームアパーチャ６２０を含む。いくつかの実施の形態では、サブビーム５１０によって形成されたビームスポット６２１は、サブビームアパーチャ５２０と同様の間隔を維持する。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８２】
図１０Ａは、図９Ｂに対する拡大図であり、１つのサブビーム５１０から形成された１つのグループの小ビームアパーチャ６２０を示している。各グループの小ビームアパーチャ６２０は、ビームスポット６２１を形成している。十字マーク７１０は、ビームスポット６２１の中心点を示している。いくつかの実施の形態では、小ビームアパーチャ６２０には、１から４９までの数字が付される。したがって、各小ビームアパーチャ６２０は、上に説明されるように、そのアパーチャの数字及び対応するビーム領域の文字、行の文字、及び列の数字によって識別されることができる。いくつかの実施の形態では、小ビームアパーチャは、約２．７μｍの径を有することができる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８３】
図１０Ａに示される実施の形態では、小ビームアパーチャ６２０は、矩形アレイで配置され、アパーチャは、列において同じ数のアパーチャをもつ行及び列で配置されている。他の配置もまた使用されることができるが、円形のビームスポット内にアパーチャ６２０をコンパクトに配置することが好ましい。図示される実施の形態の一態様は、不均衡アレイパターンでアパーチャを配置している。図１０Ａに示されることができるように、アレイの全ての行が同じ数のアパーチャを含まない。したがって、これは、不均衡アレイの一例である。不均衡アレイもまた、１以上の「シフトされた」列を有するものとして特徴付けられることができ、パターニングスキームは、アレイの他の列に対して１以上の列をシフトする。例えば、図１０Ａでは、右側の３つの列が左側の４つの列に対して１行だけ上方にシフトされている。アパーチャ６２０は、（図１０Ａに示されるような）Ｙ方向、又はＸ方向、又は他の方向に続く列においてアライメントされることができる。