【手続補正書】
【提出日】平成30年3月20日(2018.3.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハ重量計測装置であって、
半導体ウェハの重量力を測定するための重量力測定デバイスと、
前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出するための検出器による前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の検出に基づいて、前記装置の動作を制御するように構成される制御手段とを含み、
前記制御手段は、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの異なる加速について、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速に対して、前記重量力測定デバイスの出力における誤差を合致させる所定の関係を使用して、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速によって引き起こされる前記重量力測定デバイスの前記出力における前記誤差を求めるように構成される、装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の影響について、前記装置の測定結果を実質的に修正するよう前記装置を制御するように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記装置は、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出するための検出器を含み、
前記制御手段は、前記検出器による前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の検出に基づいて、前記装置の前記動作を制御するように構成される、請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記検出器は前記重量力測定デバイスを含み、
前記制御手段は、前記重量力測定デバイスによる前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の検出に基づいて、前記装置の前記動作を制御するように構成される、請求項１から３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記所定の関係は、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハの加速が入力されると前記重量力測定デバイスの前記出力における誤差を出力するアルゴリズムもしくは方程式か、または、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハの加速の複数の値が前記重量力測定デバイスの前記出力における誤差の対応する値に関連付けられるデータファイルを含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記データファイルはリストまたはルックアップテーブルを含む、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記所定の関係は、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの異なる加速に対する前記重量力測定デバイスの応答を測定することによりあらかじめ求められる、請求項１から６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
システムであって、
請求項１から７のいずれか１項に記載の前記装置と、
前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出するための検出器とを含み、
前記装置の前記制御手段は、前記検出器による前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の検出に基づいて、前記装置の動作を制御するように構成される、システム。
【請求項９】
前記システムは、請求項１〜７のいずれか１項に記載の複数の装置を含み、
前記検出器は、前記複数の装置または前記装置に積載された半導体ウェハの各々の加速を検出するためのものであり、
前記複数の装置の前記制御手段の各々は、前記検出器による前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の検出に基づいて、前記装置の動作を制御するように構成される、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記検出器は、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハの加速を測定するための加速度計、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハに適用される力を測定するための力センサ、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハの位置を測定するための位置センサ、または、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハの速度を測定するための速度センサを含む、請求項１から９のいずれか１項に記載の装置またはシステム。
【請求項１１】
前記検出器は、
重量力測定デバイス、
ロードセル、
天秤、
圧電センサ、
ばね上質量、
静電容量センサ、
歪みセンサ、
光学センサ、または
振動石英センサを含む、請求項１から１０のいずれか１項に記載の装置またはシステム。
【請求項１２】
前記検出器は、前記重量力測定デバイスの力測定方向と平行な方向に、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出するように構成される、請求項１から１１のいずれか１項に記載の装置またはシステム。
【請求項１３】
半導体ウェハ重量計測方法であって、
検出器を使用して半導体ウェハ重量計測装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出することと、
前記検出器による前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の検出に基づいて、前記装置の動作を制御することとを含み、
前記装置は、半導体ウェハの重量力を測定するための重量力測定デバイスを含み、
前記方法は、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの異なる加速について、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速に対して、前記重量力測定デバイスの出力における誤差を合致させる所定の関係を使用して、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速によって引き起こされる前記重量力測定デバイスの前記出力における前記誤差を求めることを含む、方法。
【請求項１４】
前記方法は、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の影響について測定結果を実質的に修正することを含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記所定の関係は、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハの加速が入力されると前記重量力測定デバイスの前記出力における誤差を出力するアルゴリズムもしくは方程式か、または、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハの加速の複数の値が前記重量力測定デバイスの前記出力における誤差の対応する値に関連付けられるデータファイルを含む、請求項１３または請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記データファイルはリストまたはルックアップテーブルを含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記方法は、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの異なる加速に対する前記重量力測定デバイスの応答を測定することによりあらかじめ前記所定の関係を求める
ことを含む、請求項１３〜１６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１８】
前記所定の関係をあらかじめ求めることは、前記重量力測定デバイスまたは前記重量力測定デバイスに積載された半導体ウェハを加速することと、異なる加速に対して前記重量力測定デバイスの前記出力を測定することとを含む、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記装置は、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出するための検出器を含み、
前記方法は、前記検出器による前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の検出に基づいて、前記装置の前記動作を制御することを含む、請求項１３〜１８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２０】
前記検出器は前記重量力測定デバイスを含み、
前記方法は、前記重量力測定デバイスによる前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の検出に基づいて、前記装置の前記動作を制御することを含む、請求項１３〜１９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２１】
前記方法は、前記装置とは別個の検出器を使用して、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出することを含む、請求項１３〜１８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２２】
前記方法は、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハの加速を測定するための加速度計、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハに対する力を測定するための力センサ、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハの位置を測定するための位置センサ、または、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハの速度を測定するための速度センサ
を使用して前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出することを含む、請求項１３〜２１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２３】
前記方法は、
重量力測定デバイス、
ロードセル、
天秤、
圧電センサ、
ばね上質量、
静電容量センサ、
歪みセンサ、
光学センサ、または
振動石英センサ
を使用して、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出することを含む、請求項１３〜２２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２４】
前記方法は、前記力測定デバイスの力測定方向と平行な方向に、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出することを含む、請求項１３〜２３のいずれか
１項に記載の方法。
【請求項２５】
半導体ウェハ重量計測装置の重量力測定デバイスまたは前記重量力測定デバイス上に積載された半導体ウェハの加速に対する前記重量力測定デバイスの応答を特徴付ける方法であって、
前記重量力測定デバイスまたは前記重量力測定デバイスに積載された半導体ウェハの異なる加速について、前記重量力測定デバイスまたは前記重量力測定デバイスに積載された半導体ウェハの加速に対して前記重量力測定デバイスの出力を合致させる関係を求めることを含み、
前記関係を求めることは、
前記重量力測定デバイスまたは前記重量力測定デバイスに積載された半導体ウェハを加速することと、
前記加速に応答して前記重量力測定デバイスの前記出力を測定することとを含む、方法。
【請求項２６】
前記方法は、前記重量力測定デバイスまたは前記重量力測定デバイスに積載された半導体ウェハを振動させることを含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
前記方法は、複数の異なる振動周波数について前記重量力測定デバイスの前記出力を測定することを含む、請求項２５または請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
前記方法は、前記重量力測定デバイスの周波数応答を求めることを含む、請求項２５〜２７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２９】
前記関係は、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハの加速が入力されると前記重量力測定デバイスの前記出力における誤差を出力するアルゴリズムもしくは方程式か、または、
前記装置もしくは前記装置に積載された半導体ウェハの加速の複数の値が前記重量力測定デバイスの前記出力における誤差の対応する値に関連付けられるデータファイルを含む、請求項２５〜２８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項３０】
前記データファイルはリストまたはルックアップテーブルを含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
半導体ウェハ重量計測装置であって、
前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出するための検出器による前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の検出に基づいて、前記装置
の動作を制御するように構成される制御手段を含み、
前記制御手段は、
前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの連続的に変化する加速がいつ瞬間的に実質的に０になるかを予測し、
当該予測された時間において測定を実行するように装置を制御するように構成される、半導体ウェハ重量計測装置。
【請求項３２】
前記装置は、所定期間にわたって、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの前記加速を監視するように構成され、
前記制御手段は、前記予測を実行するためにこの監視の結果を使用するように構成される、請求項３１に記載の半導体装置。
【請求項３３】
前記装置は、所定期間にわたって、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの前記加速の複数の値を記録するように構成され、
前記制御手段は、前記予測を実行するために当該記録された値を使用するように構成される、請求項３１または請求項３２に記載の半導体装置。
【請求項３４】
前記制御手段は、前記記録された値を最良適合する方程式を求めるとともに、前記予測を実行するためにこの方程式を使用するように構成される、請求項３３に記載の半導体装置。
【請求項３５】
前記制御手段は、前記予測された時間に先立って前記装置の状態を変更するように構成される、請求項３１〜３４のいずれか１項に記載の半導体装置。
【請求項３６】
半導体ウェハ重量計測方法であって、
検出器を使用して半導体ウェハ重量計測装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出することと、
前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの連続的に変化する加速がいつ瞬間的に実質的に０になるかを予測することと、
当該予測された時間において測定を実行するように前記装置を制御することとを含む、半導体ウェハ重量計測方法。
【請求項３７】
所定期間にわたって、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの前記加速を監視することと、
前記予測を実行するためにこの監視の結果を使用することとを含む、請求項３６に記載の方法。
【請求項３８】
所定期間にわたって、前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの前記加速の複数の値を記録することと、
前記予測を実行するために当該記録された値を使用することとを含む、請求項３６または請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
前記方法は、前記記録された値を最良適合する方程式を求めることと、前記予測を実行するためにこの方程式を使用することとを含む、請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記方法は、前記予測された時間に先立って前記装置の状態を変更することを含む、請求項３６〜３９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項４１】
半導体ウェハ重量計測装置であって、
前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出するための検出器による前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の検出に基づいて、前記装置の動作を制御するように構成される制御手段と、
前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を能動的に減衰するための能動減衰デバイスとを含み、
前記制御手段は、前記検出器の出力に基づいて前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を能動的に減衰するために前記能動減衰デバイスを制御するように構成され、
前記能動減衰デバイスは圧電アクチュエータを含む、半導体ウェハ重量計測装置。
【請求項４２】
半導体ウェハ重量計測方法であって、
検出器を使用して半導体ウェハ重量計測装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を検出することと、
前記検出器による前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速の検出に基づいて、前記装置の動作を制御することとを含み、
前記方法は、前記検出器の出力に基づいて前記装置または前記装置に積載された半導体ウェハの加速を能動的に減衰するように能動減衰デバイスを制御することを含み、
前記能動減衰デバイスは圧電アクチュエータを含む、半導体ウェハ重量計測方法。