【手続補正書】
【提出日】平成30年5月8日(2018.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
図における要素に関する記載は、別段の指定がない限り、他の図の対応する要素に等しく適用されると理解すべきである。本発明は、前述した特定の実施形態に限定されると考えてはならないが、それは、このような実施形態が、本発明の種々の態様の説明を容易にするために詳細に説明しているためである。むしろ、本発明は、添付の請求項及びそれらの均等物によって規定される本発明の範囲に入る種々の変更、等価なプロセス、及び代替的なデバイスを含む、本発明のすべての態様に及ぶと理解すべきである。
以下、本発明の態様を説明する。
〔態様１〕
第１の外側主表面及び第１の内側主表面を有する第１の金属層と、
前記第１の金属層に隣接する第１のポリマー層であって、前記第１の内側主表面が前記第１のポリマー層に対向する、第１のポリマー層と、
第２の外側主表面及び第２の内側主表面を有する第２の金属層であって、前記第２の金属層が、前記第１の金属層と反対側の前記第１のポリマー層に隣接して配置されており、前記第２の内側主表面が前記第１のポリマー層に対向する、第２の金属層と、を備える、可撓性フィルムであって、
前記可撓性フィルムが、１つ以上のＭＥＭＳ素子を含み、各ＭＥＭＳ素子が、
前記第１の金属層における第１の金属領域であって、第１の穿孔を含む、第１の金属領域と、
前記第１のポリマー層における第１のボイド領域と、
前記第２の金属層における第２の金属領域であって、前記第１の金属領域に対する運動が可能な部分を含む、第２の金属領域と、を含む、可撓性フィルム。
〔態様２〕
第１の連続開放領域が前記第１の金属層の前記第１の外側主表面から前記第２の金属層の前記第２の内側主表面までの間に延びるように、前記第１のボイド領域が前記第１の穿孔と整列している、態様１に記載の可撓性フィルム。
〔態様３〕
前記第１の連続開放領域が前記第１の金属層の前記第１の外側主表面から前記第２の金属層の前記第２の外側主表面までの間に延びるように、前記第２の金属領域が、前記第１のボイド領域と整列したパターンを含む、態様２に記載の可撓性フィルム。
〔態様４〕
前記第１の穿孔が、１〜約１００個の孔を含み、各孔が約３０マイクロメートル〜約２００マイクロメートルの直径を有する、態様１に記載の可撓性フィルム。
〔態様５〕
各ＭＥＭＳ素子が、前記第２の金属層から前記第１の金属層まで延びる１つ以上のビアを更に含む、態様１に記載の可撓性フィルム。
〔態様６〕
各ＭＥＭＳ素子が、バネ共振器、サーペンタイン共振器、固定ガイド固定（fixed-guided-fixed）共振器、片持ち梁、クランプ膜、及び相互嵌合コム駆動（inter-digitated comb-drive）共振器からなる群から選択される、態様１に記載の可撓性フィルム。
〔態様７〕
前記第１のポリマー層と反対側の前記第２の金属層に隣接する第２のポリマー層と、
第３の外側主表面及び第３の内側主表面を有する第３の金属層であって、前記第３の金属層が、前記第２の金属層と反対側の前記第２のポリマー層に隣接して配置されており、前記第３の内側主表面が前記第２のポリマー層に対向する、第３の金属層と、を更に備え、
各ＭＥＭＳ素子が、
前記第２のポリマー層における第２のボイド領域と、
前記第３の金属層における第３の金属領域であって、第２の穿孔を含む、第３の金属領域と、を更に含む、態様１に記載の可撓性フィルム。
〔態様８〕
第２の連続開放領域が前記第３の金属層の前記第３の外側主表面から前記第２の金属層の前記第２の外側主表面までの間に延びるように、前記第２のボイド領域が前記第２の穿孔と整列している、態様７に記載の可撓性フィルム。
〔態様９〕
前記運動が前記第２の外側主表面に実質的に垂直な方向においてである、態様１に記載の可撓性フィルム。
〔態様１０〕
前記運動が実質的に前記第２の外側主表面を含む平面においてである、態様１に記載の可撓性フィルム。
〔態様１１〕
前記１つ以上のＭＥＭＳ素子が複数のＭＥＭＳ素子である、態様１に記載の可撓性フィルム。
〔態様１２〕
前記第１の外側主表面が、第１の自立表面である、又は第１の外側ポリマー層若しくは第１の接着剤層に直接隣接しており、前記第２の外側主表面が、第２の自立表面である、又は第２の外側ポリマー層若しくは第２の接着剤層に直接隣接している、態様１に記載の可撓性フィルム。
〔態様１３〕
非平面状表面を有する三次元物体と、
前記非平面状表面に形状適合的に取り付けられた連続フィルムと、を備え、前記連続フィルムが、ポリマー層及び１つ以上のＭＥＭＳ素子を含み、前記１つ以上のＭＥＭＳ素子の各々が、
第１の外側主表面及び第１の内側主表面を有する第１の金属層であって、前記第１の金属層が前記ポリマー層に隣接して配置されており、前記第１の内側主表面が前記ポリマー層に対向し、前記第１の金属層が第１の穿孔を含む、第１の金属層と、
前記ポリマー層における第１のボイド領域と、
第２の外側主表面及び第２の内側主表面を有する第２の金属層であって、前記第２の金属層が、前記第１の金属層と反対側の前記ポリマー層に隣接して配置されており、前記第２の内側主表面が前記ポリマー層に対向する、第２の金属層と、を含み、
連続開放領域が前記第１の金属層の前記第１の外側主表面から前記第２の金属層の前記第２の内側主表面までの間に延びるように、前記第１のボイド領域が前記第１の穿孔と整列しており、前記第２の金属層の一部分が前記第１の金属層に対する運動が可能である、物品。
〔態様１４〕
前記連続開放領域が前記第１の金属層の前記第１の外側主表面から前記第２の金属層の前記第２の外側主表面までの間に延びるように、前記第２の金属層が前記第１のボイド領域と整列したパターンを含む、態様１３に記載の物品。
〔態様１５〕
前記三次元物体が平行六面体であり、前記１つ以上のＭＥＭＳ素子が複数のＭＥＭＳ加速度計を含み、各ＭＥＭＳ加速度計が前記平行六面体の個別の面に取り付けられている、態様１３に記載の物品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の外側主表面及び第１の内側主表面を有する第１の金属層と、
前記第１の金属層に隣接する第１のポリマー層であって、前記第１の内側主表面が前記第１のポリマー層に対向する、第１のポリマー層と、
第２の外側主表面及び第２の内側主表面を有する第２の金属層であって、前記第２の金属層が、前記第１の金属層と反対側の前記第１のポリマー層に隣接して配置されており、前記第２の内側主表面が前記第１のポリマー層に対向する、第２の金属層と、を備える、可撓性フィルムであって、
前記可撓性フィルムが、１つ以上のＭＥＭＳ素子を含み、各ＭＥＭＳ素子が、
前記第１の金属層における第１の金属領域であって、第１の穿孔を含む、第１の金属領域と、
前記第１のポリマー層における第１のボイド領域と、
前記第２の金属層における第２の金属領域であって、前記第１の金属領域に対する運動が可能な部分を含む、第２の金属領域と、を含む、可撓性フィルム。
【請求項２】
第１の連続開放領域が前記第１の金属層の前記第１の外側主表面から前記第２の金属層の前記第２の内側主表面までの間に延びるように、前記第１のボイド領域が前記第１の穿孔と整列している、請求項１に記載の可撓性フィルム。
【請求項３】
前記第１の連続開放領域が前記第１の金属層の前記第１の外側主表面から前記第２の金属層の前記第２の外側主表面までの間に延びるように、前記第２の金属領域が、前記第１のボイド領域と整列したパターンを含む、請求項２に記載の可撓性フィルム。
【請求項４】
各ＭＥＭＳ素子が、バネ共振器、サーペンタイン共振器、固定ガイド固定（fixed-guided-fixed）共振器、片持ち梁、クランプ膜、及び相互嵌合コム駆動（inter-digitated comb-drive）共振器からなる群から選択される、請求項１に記載の可撓性フィルム。
【請求項５】
前記第１のポリマー層と反対側の前記第２の金属層に隣接する第２のポリマー層と、
第３の外側主表面及び第３の内側主表面を有する第３の金属層であって、前記第３の金属層が、前記第２の金属層と反対側の前記第２のポリマー層に隣接して配置されており、前記第３の内側主表面が前記第２のポリマー層に対向する、第３の金属層と、を更に備え、
各ＭＥＭＳ素子が、
前記第２のポリマー層における第２のボイド領域と、
前記第３の金属層における第３の金属領域であって、第２の穿孔を含む、第３の金属領域と、を更に含む、請求項１に記載の可撓性フィルム。
【請求項６】
前記第１の外側主表面が、第１の自立表面である、又は第１の外側ポリマー層若しくは第１の接着剤層に直接隣接しており、前記第２の外側主表面が、第２の自立表面である、又は第２の外側ポリマー層若しくは第２の接着剤層に直接隣接している、請求項１に記載の可撓性フィルム。
【請求項７】
非平面状表面を有する三次元物体と、
前記非平面状表面に形状適合的に取り付けられた連続フィルムと、を備え、前記連続フィルムが、ポリマー層及び１つ以上のＭＥＭＳ素子を含み、前記１つ以上のＭＥＭＳ素子の各々が、
第１の外側主表面及び第１の内側主表面を有する第１の金属層であって、前記第１の金属層が前記ポリマー層に隣接して配置されており、前記第１の内側主表面が前記ポリマー層に対向し、前記第１の金属層が第１の穿孔を含む、第１の金属層と、
前記ポリマー層における第１のボイド領域と、
第２の外側主表面及び第２の内側主表面を有する第２の金属層であって、前記第２の金属層が、前記第１の金属層と反対側の前記ポリマー層に隣接して配置されており、前記第２の内側主表面が前記ポリマー層に対向する、第２の金属層と、を含み、
連続開放領域が前記第１の金属層の前記第１の外側主表面から前記第２の金属層の前記第２の内側主表面までの間に延びるように、前記第１のボイド領域が前記第１の穿孔と整列しており、前記第２の金属層の一部分が前記第１の金属層に対する運動が可能である、物品。
【請求項８】
前記連続開放領域が前記第１の金属層の前記第１の外側主表面から前記第２の金属層の前記第２の外側主表面までの間に延びるように、前記第２の金属層が前記第１のボイド領域と整列したパターンを含む、請求項７に記載の物品。
【請求項９】
前記三次元物体が平行六面体であり、前記１つ以上のＭＥＭＳ素子が複数のＭＥＭＳ加速度計を含み、各ＭＥＭＳ加速度計が前記平行六面体の個別の面に取り付けられている、請求項７に記載の物品。