【手続補正書】
【提出日】平成29年12月6日(2017.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フローセルと；
前記フローセルが結合している検出装置とを備えるバイオセンサであって、前記フローセルと前記検出装置は、励起光に応えて光放射を生成する生物学的または化学的な物質を有するように構成したフローチャネルを形成し、前記検出装置は、
光センサのセンサアレイと、光ガイドのガイドアレイとを有する装置ベースであって、前記光ガイドは、前記フローチャネルから前記励起光および前記光放射を受け取るように構成された入力領域を有し、前記光ガイドは、前記入力領域から対応光センサに向かって前記装置ベース内に伸長し、かつ、前記励起光をフィルタリングし、前記光放射が前記対応光センサに伝播することを可能にするように構成されたフィルタ材を有し、前記装置ベースは、前記光センサに電気的に結合し、前記光センサにより検出された光子に基づいてデータ信号を送るように構成された装置回路を備える、装置ベースと；
前記フローチャネルと前記装置ベースの間に伸長するシールド層であって、前記シールド層は、対応光ガイドの前記入力領域を基準にして位置決めされた開口を有して、前記光放射が前記開口を通って前記対応入力領域に伝播するようにし、前記シールド層は隣接開口間を伸長し、前記隣接開口間のシールド層へ入射する前記励起光および前記光放射をブロックするように構成される、シールド層を有する、バイオセンサ。
【請求項２】
前記光ガイドの入力領域は、前記シールド層の対応開口内に位置するか、または、前記装置ベース内のある深さに位置する、請求項１に記載のバイオセンサ。
【請求項３】
前記シールド層が前記保護層と前記装置ベースの間にあるように、前記シールド層に沿って伸長する保護層をさらに含み、前記保護層は開口全体に伸長する、請求項１に記載のバイオセンサ。
【請求項４】
（a）前記光ガイドのフィルタ材は有機フィルタ材であり、前記保護層は前記光ガイドの入力領域に沿って直接的に伸長して前記有機フィルタ材を前記シールド層から隔離する、
（b）前記保護層は、対応材料インターフェイスにおいて前記光ガイドの入力領域に沿って直接的に伸長し、前記材料インターフェイスは前記シールド層の対応開口内に位置するか、または、前記装置ベース内のある深さに位置する、または
（c）前記保護層は前記開口内に伸長し、反応くぼみのアレイを形成し、前記反応くぼみは対応開口に向かって伸長するか、または、対応開口内に位置し、任意に、前記反応くぼみは対応ベース面を有し、前記ベース面は前記開口内に位置するか、または、前記装置ベース内のある深さに位置する、請求項３に記載のバイオセンサ。
【請求項５】
前記保護層は複数のサブ層を備え、前記サブ層のうち少なくとも１つは五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）を含む、請求項４に記載のバイオセンサ。
【請求項６】
前記サブ層は、間に低温フィルムを有する２つの五酸化タンタル層（Ｔａ２Ｏ５）を含む、請求項５に記載のバイオセンサ。
【請求項７】
前記装置ベースは周辺クロストークシールドを備え、前記クロストークシールドはそれぞれ、前記対応光ガイドの１つを囲み、前記クロストークシールドは隣接光センサ間の光学的クロストークを低減するように構成される、請求項１に記載のバイオセンサ。
【請求項８】
フローセルと；
前記フローセルが結合している検出装置とを備えるバイオセンサであって、前記フローセルと前記検出装置は、励起光に応じて光放射を生成する生物学的または化学的な物質を有するように構成されたフローチャネルを形成し、前記検出装置は、
光センサのセンサアレイと、光ガイドのガイドアレイとを有する装置ベースであって、前記光ガイドは、前記フローチャネルから前記励起光および前記光放射を受け取るように構成され、前記光ガイドはそれぞれ、前記光ガイドの入力領域から前記センサアレイの対応光センサに向かって中心縦軸に沿って前記装置ベース内に伸長し、前記光ガイドは、前記励起光をフィルタリングし、前記光放射が前記対応光センサに伝播できるように構成されたフィルタ材を備え、前記装置ベースは、前記光センサに電気的に結合し、前記光センサにより検出される光子に基づきデータ信号を送るように構成される、装置ベースを備え；
前記装置ベースには、前記ガイドアレイの対応光ガイドを少なくとも部分的に囲む周辺クロストークシールドが位置し、前記クロストークシールドは、前記縦軸それぞれの周りの前記対応光ガイドを少なくとも部分的に囲み、隣接光センサ間の光学的クロストークを低減する、バイオセンサ。
【請求項９】
（a）前記クロストークシールドは、前記対応光ガイドの入力領域を囲む、
（b）前記クロストークシールドは、前記対応光ガイドを円周方向に囲むクロストークリングを備える、
（c）前記装置ベースは相補型金属酸化物半導体（complementary-metal-oxide semiconductor、ＣＭＯS）を備え、前記装置回路および前記クロストークシールドは装置ベースの誘導体層内に位置する金属素子を備え、前記クロストークシールドは前記装置回路から電気的に分離している、または
（d）前記フローチャネルと前記装置ベースの間に伸長するシールド層をさらに含むバイオセンサであって、前記シールド層は前記ガイドアレイの対応光ガイドの入力領域を基準にして位置決めされた開口を有し、前記開口は前記光放射が前記入力領域に伝播することを可能にし、前記シールド層は隣接開口間を伸長し、前記隣接開口間のシールド層に入射する前記励起光および前記光放射をブロックするように構成され、任意に、前記クロストークシールドは、前記シールド層に隣接するか、または、直接隣接する請求項８に記載のバイオセンサ。
【請求項１０】
前記クロストークシールドは第１クロストークシールドであり、前記装置ベースは第２クロストークシールドを備え、前記ガイドアレイの光ガイドはそれぞれ、対応する第１クロストークシールドおよび第２クロストークシールドにより少なくとも部分的に囲まれ、任意に、
（a）前記第１クロストークシールドおよび前記第２クロストークシールドは、前記対応縦軸に沿って互いに分離して配置される、または
（b）前記第１クロストークシールドおよび前記第２クロストークシールドは異なる寸法を有する請求項９に記載のバイオセンサ。
【請求項１１】
バイオセンサを製造する方法であって、
光センサのセンサアレイと、前記光センサに電気的に結合し、前記光センサにより検出される光子に基づきデータ信号を送るように構成された装置回路とを有する装置ベースを提供するステップであって、前記装置ベースは外面を有する、ステップと；
シールド層を前記装置ベースの外面に適用するステップと；
前記シールド層を貫通する開口を形成するステップと；
対応開口から前記センサアレイの対応光センサに向かい伸長するガイドキャビティを形成するステップと；
フィルタ材を前記ガイドキャビティ内に付着させるステップであって、前記フィルタ材の一部は前記シールド層に沿って伸長する、ステップと；
前記フィルタ材を硬化させるステップと；
前記フィルタ材を前記シールド層から除去するステップであって、前記ガイドキャビティ内のフィルタ材は光ガイドを形成する、ステップと；
保護層を前記シールド層に適用し、前記保護層が前記シールド層に直接的に沿って、前記開口全体に伸長するようにするステップを含む、方法。
【請求項１２】
（a）前記フィルタ材を前記シールド層から除去するステップは、前記ガイドキャビティ内のフィルタ材の一部を除去し、前記フィルタ材の材料レベルが前記開口内に位置するか、または、前記シールド層の下のある深さに位置するようにするステップを含む、
（b）前記保護層は対応材料インターフェイスにおいて前記光ガイドに沿って直接的に伸長し、前記材料インターフェイスは前記対応開口内に位置するか、前記ベース層内のある深さに位置する、
（c）前記フィルタ材は有機フィルタ材であり、前記保護層は前記光ガイドに沿って直接的に伸長し、前記有機フィルタ材を前記シールド層から隔離する、または
（d）前記保護層は、反応くぼみのアレイを形成し、前記反応くぼみは対応開口に向かって伸長するか、または、対応開口内に位置し、任意に、前記反応くぼみは対応ベース面を有し、前記ベース面は前記開口内に位置するか、または、前記装置ベース内のある深さに位置する請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
（a）フローセルを前記装置ベースに結合し、前記保護層と前記フローセルの間にフローチャネルを形成するステップをさらに含む、
（b）前記フィルタ材を前記シールド層から除去するステップは、前記フィルタ材をエッチングするステップか、または、前記フィルタ材を化学的に研磨するステップのうち少なくとも一方を含む、または
（c）前記保護層は五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）を含み、前記保護層は複数のサブ層を備え、前記サブ層のうち少なくとも１つは五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）を含み、任意に、前記サブ層は、間に低温フィルムを有する２つの五酸化タンタル層を含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記装置ベースは、前記ガイドキャビティを形成するステップの前に基板材料を含んだガイド領域を有し、隣接ガイド領域は、前記装置回路を含む回路領域により分離し、前記ガイドキャビティを形成するステップは、前記ガイド領域の基板材料を除去するステップを含み、任意に、
前記装置ベースは、前記ガイドキャビティを形成するステップの前に、前記ガイド領域を囲む周辺クロストークシールドを備え、前記クロストークシールドは、前記光ガイドを形成した後、前記対応光ガイドを少なくとも部分的に囲み、前記クロストークシールドは、隣接光センサ間の光学的クロストークを低減するように構成される、請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
光センサのセンサアレイと、光ガイドのガイドアレイとを有する装置ベースであって、前記装置ベースは外面を有し、前記光ガイドは、励起光および前記外面に近接した生物学的または化学的な物質から生成される光放射を受け取るように構成された入力領域を有し、前記光ガイドは、前記入力領域から対応光センサに向かって前記装置ベース内に伸長し、かつ、前記励起光をフィルタリングし、前記光放射が前記対応光センサに伝播することを可能にするように構成されたフィルタ材を有し、前記装置ベースは、前記光センサに電気的に結合し、前記光センサにより検出された光子に基づいてデータ信号を送るように構成された装置回路を備える、装置ベースと；
前記装置ベースの外面に沿って伸長するシールド層であって、前記シールド層は、対応光ガイドの前記入力領域を基準にして位置決めされた開口を有し、前記光放射が前記開口を通って前記対応入力領域に伝播するようにし、前記シールド層は隣接開口間を伸長し、前記隣接開口間のシールド層へ入射する前記励起光および前記光放射をブロックするように構成される、シールド層とを有する、バイオセンサ。
【請求項１６】
光センサのセンサアレイと光ガイドのガイドアレイとを有する装置ベースを備えるバイオセンサであって、前記装置ベースは外面を有し、前記光ガイドは、励起光および前記外面に近接した生物学的または化学的物質により生成される光放射を受け取るように構成され、前記光ガイドはそれぞれ、前記光ガイドの入力領域から前記センサアレイの対応光センサに向かって、中心縦軸に沿って装置ベース内に伸長し、前記光ガイドは、前記励起光をフィルタリングし、前記光放射が対応光センサに伝播できるように構成されたフィルタ材を備え、前記装置ベースは、前記光センサに電気的に結合し、前記光センサにより検出される光子に基づきデータ信号を送るように送るように構成された装置回路を備え；
前記装置ベースには、前記ガイドアレイの対応光ガイドを囲む周辺クロストークシールドが位置し、前記クロストークシールドは、前記縦軸それぞれの周りの対応光ガイドを少なくとも部分的に囲み、逸脱光線をブロックするか、または、反射するうちの少なくとも一方を行って、隣接光センサ間の光学的クロストークを低減する、バイオセンサ。