【手続補正書】
【提出日】平成30年1月5日(2018.1.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
近端部及び遠端部を有する上部アームハウジングを含む上部アームと、
前記上部アームハウジングの前記遠端部に回転するように連結された前腕部ハウジングを有する前腕部と、
前記前腕部ハウジングに回転するように連結されたリスト部材と、
前記リスト部材に連結され、かつ、基板を運ぶよう構成及び適合されたエンドエフェクタと、
どちらもＸ−Ｙ平面で行われる、前記上部アームに対する前記前腕部の独立した回転、及び、前記前腕部に対する前記リスト部材の独立した回転を引き起こすよう構成及び適合された駆動アセンブリであって、更に、
前記上部アームハウジングに回転するように連結された第１駆動プーリ、及び、
前記第１駆動プーリに回転するように連結された第２駆動プーリを含む、駆動アセンブリと
を備える、ロボット装置。
【請求項２】
前記上部アームハウジングは第１パイロットを備え、前記第１駆動プーリは、第１軸受によって前記第１パイロットに回転するように連結される、請求項１に記載のロボット装置。
【請求項３】
前記第１駆動プーリに取り付けられた第２パイロットを備え、前記第２駆動プーリは、第２軸受によって前記第２パイロットに回転するように連結される、請求項１に記載のロボット装置。
【請求項４】
前記上部アームハウジングの遠端部のウェブから延びる、下部パイロット及び上部パイロットと、
前記下部パイロットに対して回転するように連結された第１被駆動プーリと、
前記上部パイロットに対して回転するように連結された第２被駆動プーリと
を備える、請求項１に記載のロボット装置。
【請求項５】
前記第１被駆動プーリをリスト部材駆動プーリに連結する伝達シャフトであって、伝達シャフト支持軸受を用いて、前記下部パイロットと前記上部パイロットの両方によって、回転のために支持される伝達シャフトを備える、請求項４に記載のロボット装置。
【請求項６】
前記前腕部の近端部は前記第２被駆動プーリに直接取り付けられる、請求項４に記載のロボット装置。
【請求項７】
前記上部アームハウジングの第１パイロットの高さを越えて延びる第１シャフトコネクタであって、前記第１駆動プーリの上面に連結する第１シャフトコネクタを備える、請求項１に記載のロボット装置。
【請求項８】
前記上部アームハウジングの第２パイロットの高さを越えて延びる第２シャフトコネクタであって、前記第２駆動プーリの上面に連結する第２シャフトコネクタを備える、請求項１に記載のロボット装置。
【請求項９】
上部アームに対する前腕部の独立した回転、及び、前記前腕部に対するリスト部材の独立した回転を引き起こすよう適合されたロボット駆動アセンブリであって、
前記上部アームの上部アームハウジングに回転するように連結された第１駆動プーリと、
前記第１駆動プーリに回転するように連結された第２駆動プーリと
を備える、ロボット駆動アセンブリ。
【請求項１０】
更に、
前記上部アームの上部アームハウジングの遠端部のウェブから延びる、下部パイロット及び上部パイロットと、
前記下部パイロットに回転するように連結された第１被駆動プーリと、
前記上部パイロットに回転するように連結された第２被駆動プーリと
を備える、請求項９に記載のロボット駆動アセンブリ。
【請求項１１】
前記第１被駆動プーリをリスト部材駆動プーリに連結する伝達シャフトであって、伝達シャフト支持軸受を用いて、前記下部パイロットと前記上部パイロットの両方によって、回転するように支持される伝達シャフトを備える、請求項１０に記載のロボット駆動アセンブリ。
【請求項１２】
電子デバイス処理システムの内部で基板を搬送する方法であって、
上部アーム、前腕部、リスト部材、及び、基板を運ぶよう適合されたエンドエフェクタを有する、ロボット装置を提供することと、
上部アームに対する前腕部の独立した回転、及び、前記前腕部に対するリスト部材の独立した回転を引き起こすよう適合されたロボット駆動アセンブリを提供することと、
前記上部アームの上部アームハウジングに回転するように連結された第１駆動プーリを駆動することと、
前記第１駆動プーリに回転するように連結された第２駆動プーリを駆動することと
を含む、方法。
【請求項１３】
第１被駆動プーリを、前記第１駆動プーリに連結された第１伝達部材と共に駆動することと、
第２被駆動プーリを、前記第２駆動プーリに連結された第２伝達部材と共に駆動することと
を含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記上部アームハウジングのウェブから延びる下部パイロット上に、第１被駆動プーリを提供することと、
前記ウェブから延びる上部パイロット上に、第２被駆動プーリを提供することと、
前記下部パイロット上で回転するように、前記第１被駆動プーリを支持することと、
前記上部パイロット上で回転するように、前記第２被駆動プーリを支持することと
を含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記第１被駆動プーリに連結された伝達シャフトを通じて、前記リスト部材を駆動することを含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
前記ロボット装置を備えた処理チャンバ内に基板を置くことを含み、前記処理チャンバへの入口が非焦点である、請求項１２に記載の方法。
【請求項１７】
上部アームに対する前腕部の独立した回転、及び、前記前腕部に対するリスト部材の独立した回転を引き起こすよう適合されたロボット駆動アセンブリであって、
前記上部アームの上部アームハウジングの第１パイロットに回転するように連結された第１駆動プーリと、
前記第１駆動プーリに回転するように連結された第２駆動プーリと、
前記上部アームハウジングの遠端部のウェブから延びる、下部パイロット及び上部パイロットと、
前記下部パイロットに回転するように連結され、第１伝達部材によって前記第１駆動プーリに連結された、第１被駆動プーリと、
前記上部パイロットに回転するように連結され、第２伝達部材によって前記第２駆動プーリに連結され、かつ、前記前腕部に取り付けられた、第２被駆動プーリと、
前記第１被駆動プーリ及びリスト部材駆動プーリに連結された伝達シャフトと
を備える、ロボット駆動アセンブリ。
【請求項１８】
ロボット装置における、上部アームに対する前腕部の独立した回転、及び、前記前腕部に対するリスト部材の独立した回転を引き起こすよう適合されたロボット駆動アセンブリであって、
上部アームハウジングのベースに連結され、前記ベースから遠ざかるように延びる、第１パイロットと、
前記第１パイロットに回転するように連結された第１駆動プーリと、
前記上部アームハウジングのウェブに連結され、前記ウェブから遠ざかるように延びる、第２パイロットと、
前記第２パイロットに回転するように連結された第２駆動プーリと
を備える、ロボット駆動アセンブリ。
【請求項１９】
前記第１パイロットは、前記上部アームハウジングのベースの取外し可能なベース部分と一体化される、請求項１８に記載のロボット駆動アセンブリ。
【請求項２０】
前記第１パイロットは、前記上部アームハウジングのウェブに連結する取外し可能なアダプタと一体化される、請求項１８に記載のロボット駆動アセンブリ。
【請求項２１】
前記上部アームハウジングの前記ベースは、第１シャフトに連結するよう構成される、請求項１８に記載のロボット駆動アセンブリ。
【請求項２２】
前記第１駆動プーリを第２駆動シャフトに連結するよう構成された第１シャフトコネクタを備える、請求項１８に記載のロボット駆動アセンブリ。
【請求項２３】
前記第１シャフトコネクタは、前記第１パイロットと前記第２パイロットとの間に配置される、請求項２２に記載のロボット駆動アセンブリ。
【請求項２４】
前記第２駆動プーリを第３駆動シャフトに連結するよう構成された第２シャフトコネクタを備える、請求項１８に記載のロボット駆動アセンブリ。
【請求項２５】
前記第２シャフトコネクタは、前記第２パイロットの終端部と前記上部アームハウジングの上面との間に延びる、請求項２４に記載のロボット駆動アセンブリ。
【請求項２６】
近端部及び遠端部を有する上部アームハウジングを含む上部アームと、
前記上部アームハウジングの前記遠端部に回転するように連結された前腕部ハウジングを有する前腕部と、
前記前腕部ハウジングに回転するように連結されたリスト部材と、
前記リスト部材に連結され、かつ、基板を運ぶよう構成及び適合されたエンドエフェクタと、
どちらもＸ−Ｙ平面で行われる、前記上部アームに対する前記前腕部の独立した回転、及び、前記前腕部に対する前記リスト部材の独立した回転を引き起こすよう構成及び適合されたロボット駆動アセンブリであって、更に、
前記上部アームハウジングのベースに連結され、前記ベースから遠ざかるように延びる、第１パイロット、
前記第１パイロットに回転するように連結された第１駆動プーリ、
前記上部アームハウジングのウェブに連結され、前記ウェブから遠ざかるように延びる、第２パイロット、及び、
前記第２パイロットに回転するように連結された第２駆動プーリを含む、ロボット駆動アセンブリと
を備える、ロボット装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
［０００８］別の態様では、ロボット駆動アセンブリが提供される。ロボット駆動アセンブリは、上部アームに対する前腕部の独立した回転、及び、前腕部に対するリスト部材の独立した回転を引き起こすよう適合している。ロボット駆動アセンブリは、上部アームの上部アームハウジングの第１パイロットに回転するように連結された第１駆動プーリと、第１駆動プーリに回転するように連結された第２駆動プーリと、上部アームハウジングの遠端部のウェブから延びる、下部パイロット及び上部パイロットと、下部パイロットに回転するように連結され、第１伝達部材によって第１駆動プーリに連結された、第１被駆動プーリと、上部パイロットに回転するように連結され、第２伝達部材によって第２駆動プーリに連結され、かつ、前腕部に取り付けられた、第２被駆動プーリと、第１被駆動プーリ及びリスト部材駆動プーリに連結された伝達シャフトとを含む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
［００４８］図１Ｆに最も良く示されているように、駆動アセンブリ１１５は、第１被駆動プーリ１３２と第２被駆動プーリ１３４とを含みうる。図示されている実施形態では、上部アームハウジング１０４の遠端部１０４Ｂはウェブ１０４Ｗを含み、第１外側パイロット１３５（下部パイロット）及び第２外側パイロット（上部パイロット）は、ウェブ１０４Ｗから延びる。第１外側パイロット１３５及び第２外側パイロット１３６は、ウェブ１０４Ｗからそれぞれ下向き及び上向きに延びうる。ウェブ１０４Ｗは、上部アームハウジング１０４の残部と一体化されうるか、又は、別個のものでありうる。第１被駆動プーリ１３２は、第１外側パイロット１３５に回転するように連結され、第２被駆動プーリ１３４は、第２外側パイロット１３６に回転するように連結される。回転のための連結は、好適な第３及び第４の軸受１３８、１４０によるものでありうる。伝達シャフト１４２は、第１被駆動プーリ１３２をリスト部材駆動プーリ１４４に連結する。伝達シャフト１４２は、第３軸受１３８及び第５軸受１４５のような伝達シャフト支持軸受を用いて、第１外側パイロット１３５と第２外側パイロット１３６の両方によって、回転するように支持されうる。第５軸受１４５は、第２外側パイロット１３６の内側と伝達シャフト１４２との間に連結されうる。図示されている実施形態では、前腕部１０６の近端部は、例えばボルト等によって第２被駆動プーリ１３４に直接取り付けられ、それによって回転する。