【手続補正書】
【提出日】平成30年9月28日(2018.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズの第１のアレイを備える第１の透明ウェーハと、
レンズの第２のアレイを備える第２の透明ウェーハと、前記レンズの第２のアレイの各レンズが前記レンズの第１のアレイの対応するレンズとレンズ対を形成する、
前記第１の透明ウェーハと前記第２の透明ウェーハとの間に配置され、開口部のアレイを含むスペーサ材料を備える第１のスペーサウェーハと、各レンズ対の少なくとも１つのレンズが前記開口部のアレイの開口部内に延在する、
前記第１の透明ウェーハ上に設けられた第１の位置合わせマークと、前記第１の位置合わせマークが前記レンズの第１のアレイの第１のレンズの周囲に配置された反復マークの第１のセットを備える、
前記第２の透明ウェーハ上に設けられた第２の位置合わせマークと、前記第２の位置合わせマークが前記反復マークの第１のセットに相補的で前記レンズの第２のアレイの第２のレンズの周囲に配置された反復マークの第２のセットを備え、前記第１のレンズ及び前記第２のレンズが１つのレンズ対を形成する、
を備える光学ウェーハスタック。
【請求項２】
前記反復マークの第１のセットが、同心円状の環の第１のセットを備え、前記反復マークの第２のセットが、同心円状の環の第２のセットを備える、請求項１に記載の光学ウェーハスタック。
【請求項３】
前記第１の位置合わせマークが前記第２の位置合わせマークと位置合わせされたとき、前記同心円状の環の第１及び第２のセットが、前記第１の透明ウェーハの表面に直交するトップダウンの観点から見られたとき、連続する円形状を形成する、請求項２に記載の光学ウェーハスタック。
【請求項４】
前記第１のレンズ、前記第２のレンズ及び前記開口部のアレイの開口部の周囲の前記スペーサ材料の一部が、光軸を有するレンズスタックを形成する、請求項１に記載の光学ウェーハスタック。
【請求項５】
前記第１の位置合わせマークがトップダウンの観点から前記第２の位置合わせマークと位置合わせされたとき、前記第１のレンズの中心及び前記第２のレンズの中心が、２ミクロンの公差内で前記レンズスタックの前記光軸と位置合わせする、請求項４に記載の光学ウェーハスタック。
【請求項６】
前記第１の位置合わせマークの第１の平面と前記第２の位置合わせマークの第２の平面との間の光学的中点において設けられたビームスプリッタ層をさらに備える、請求項４に記載の光学ウェーハスタック。
【請求項７】
前記第１の位置合わせマークがトップダウンの観点から前記第２の位置合わせマークと位置合わせされたとき、前記第１のレンズの中心及び前記第２のレンズの中心が、２５０ｎｍの公差内で前記レンズスタックの前記光軸と位置合わせする、請求項６に記載の光学ウェーハスタック。
【請求項８】
前記反復マークの第１のセット及び前記反復マークの第２のセットが、５μｍの線幅を有する同心円状の環を備える、請求項１に記載の光学ウェーハスタック。
【請求項９】
レンズの第３のアレイを含む第３の透明ウェーハと、
前記第２の透明ウェーハと前記第３の透明ウェーハとの間に配置され、開口部のアレイを含む前記スペーサ材料を備える第２のスペーサウェーハと、
前記第３の透明ウェーハ上に設けられた第３の位置合わせマークと、前記第３の位置合わせマークが、前記反復マークの第１及び第２のセットと相補的で前記レンズの第３のアレイの第３のレンズの周囲に配置された反復マークの第３のセットを備え、前記第３のレンズが、前記第１のレンズ及び前記第２のレンズと光学スタックを形成する、
をさらに備える、請求項１に記載の光学ウェーハスタック。
【請求項１０】
レンズの第３のアレイを含む第３の透明ウェーハと、
前記第２の透明ウェーハと前記第３の透明ウェーハとの間に配置され、開口部のアレイを含む前記スペーサ材料を備える第２のスペーサウェーハと、
前記第３の透明ウェーハ上に設けられた第３の位置合わせマークと、前記第３の位置合わせマークが前記レンズの第３のアレイの第３のレンズの周囲に配置された反復マークの第３のセットを備え、前記第３のレンズが前記レンズの第２のアレイの第４のレンズと対を形成する、
前記第２の透明ウェーハ上に設けられた前記第４の位置合わせマークと、前記第４の位置合わせマークが、前記反復マークの第３のセットに相補的で前記第４のレンズの周囲に配置された反復マークの第４のセットを備える、
をさらに備える、請求項１に記載の光学ウェーハスタック。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
[0095]上記は、様々な異なる実施形態に関連して説明されているが、１つの実施形態からの特徴又は要素は、本開示の教示から逸脱することなく、他の実施形態と組み合わせられ得る。ただし、それぞれの実施形態の間での特徴の組合せは、必ずしもそれに限定されるとは限らない。本開示の様々な実施形態について説明した。これら及び他の実施形態は、以下の特許請求の範囲内にある。
以下に、本願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［Ｃ１］
レンズの第１のアレイを備える第１の透明ウェーハと、
レンズの第２のアレイを備える第２の透明ウェーハと、前記レンズの第２のアレイの各レンズが前記レンズの第１のアレイの対応するレンズとレンズ対を形成する、
前記第１の透明ウェーハと前記第２の透明ウェーハとの間に配置され、開口部のアレイを含むスペーサ材料を備える第１のスペーサウェーハと、各レンズ対の少なくとも１つのレンズが前記開口部のアレイの開口部内に延在する、
前記第１の透明ウェーハ上に設けられた第１の位置合わせマークと、前記第１の位置合わせマークが前記レンズの第１のアレイの第１のレンズの周囲に配置された反復マークの第１のセットを備える、
前記第２の透明ウェーハ上に設けられた第２の位置合わせマークと、前記第２の位置合わせマークが前記反復マークの第１のセットに相補的で前記レンズの第２のアレイの第２のレンズの周囲に配置された反復マークの第２のセットを備え、前記第１のレンズ及び前記第２のレンズが１つのレンズ対を形成する、
を備える光学ウェーハスタック。
［Ｃ２］
前記反復マークの第１のセットが、同心円状の環の第１のセットを備え、前記反復マークの第２のセットが、同心円状の環の第２のセットを備える、［Ｃ１］に記載の光学ウェーハスタック。
［Ｃ３］
前記第１の位置合わせマークが前記第２の位置合わせマークと位置合わせされたとき、前記同心円状の環の第１及び第２のセットが、前記第１の透明ウェーハの表面に直交するトップダウンの観点から見られたとき、連続する円形状を形成する、［Ｃ２］に記載の光学ウェーハスタック。
［Ｃ４］
前記第１のレンズ、前記第２のレンズ及び前記開口部のアレイの開口部の周囲の前記スペーサ材料の一部が、光軸を有するレンズスタックを形成する、［Ｃ１］に記載の光学ウェーハスタック。
［Ｃ５］
前記第１の位置合わせマークがトップダウンの観点から前記第２の位置合わせマークと位置合わせされたとき、前記第１のレンズの中心及び前記第２のレンズの中心が、２ミクロンの公差内で前記レンズスタックの前記光軸と位置合わせする、［Ｃ４］に記載の光学ウェーハスタック。
［Ｃ６］
前記第１の位置合わせマークの第１の平面と前記第２の位置合わせマークの第２の平面との間の光学的中点において設けられたビームスプリッタ層をさらに備える、［Ｃ４］に記載の光学ウェーハスタック。
［Ｃ７］
前記第１の位置合わせマークがトップダウンの観点から前記第２の位置合わせマークと位置合わせされたとき、前記第１のレンズの中心及び前記第２のレンズの中心が、２５０ｎｍの公差内で前記レンズスタックの前記光軸と位置合わせする、［Ｃ６］に記載の光学ウェーハスタック。
［Ｃ８］
前記反復マークの第１のセット及び前記反復マークの第２のセットが、５μｍの線幅を有する同心円状の環を備える、［Ｃ１］に記載の光学ウェーハスタック。
［Ｃ９］
レンズの第３のアレイを含む第３の透明ウェーハと、
前記第２の透明ウェーハと前記第３の透明ウェーハとの間に配置され、開口部のアレイを含む前記スペーサ材料を備える第２のスペーサウェーハと、
前記第３の透明ウェーハ上に設けられた第３の位置合わせマークと、前記第３の位置合わせマークが、前記反復マークの第１及び第２のセットと相補的で前記レンズの第３のアレイの第３のレンズの周囲に配置された反復マークの第３のセットを備え、前記第３のレンズが、前記第１のレンズ及び前記第２のレンズと光学スタックを形成する、
をさらに備える、［Ｃ１］に記載の光学ウェーハスタック。
［Ｃ１０］
レンズの第３のアレイを含む第３の透明ウェーハと、
前記第２の透明ウェーハと前記第３の透明ウェーハとの間に配置され、開口部のアレイを含む前記スペーサ材料を備える第２のスペーサウェーハと、
前記第３の透明ウェーハ上に設けられた第３の位置合わせマークと、前記第３の位置合わせマークが前記レンズの第３のアレイの第３のレンズの周囲に配置された反復マークの第３のセットを備え、前記第３のレンズが前記レンズの第２のアレイの第４のレンズと対を形成する、
前記第２の透明ウェーハ上に設けられた前記第４の位置合わせマークと、前記第４の位置合わせマークが、前記反復マークの第３のセットに相補的で前記第４のレンズの周囲に配置された反復マークの第４のセットを備える、
をさらに備える、［Ｃ１］に記載の光学ウェーハスタック。
［Ｃ１１］
透明ウェーハを位置合わせする方法であって、
第１の透明ウェーハのレンズの第１のアレイの第１のレンズの周囲に反復マークの第１のセットを配置することと、
第２の透明ウェーハのレンズの第２のアレイの第２のレンズの周囲に反復マークの第２のセットを配置することと、前記反復マークの第２のセットが前記反復マークの第１のセットに相補的である、
前記反復マークの第１のセットだけでなく前記第１の透明ウェーハを介して前記反復マークの第２のセットも見ることと、
前記反復マークの第１及び第２のセットの重なりを使用して前記第１の透明ウェーハを前記第２の透明ウェーハに位置合わせすることと
を備える方法。
［Ｃ１２］
前記見ることが、前記反復マークの第１及び第２のセットの画像データを取り込むことを備え、前記位置合わせすることが、ハードウェアプロセッサを介して、前記反復マークの第１及び第２のセットが位置合わせされているかどうかを決定するために、前記画像データを少なくとも１つのテンプレート画像と比較することを備える、［Ｃ１１］に記載の方法。
［Ｃ１３］
前記反復マークの第１のセットと前記反復マークの第２のセットとの間の光学的中点においてビームスプリッタ層を配置することと、
前記反復マークの第２のセットに顕微鏡の対物レンズを焦点合わせすることと、
前記ビームスプリッタ層を介した前記反復マークの第１のセットの反射だけでなく前記反復マークの第２のセットも見ることと、
前記顕微鏡の対物レンズを介して見られた前記反復マークの第１及び第２のセットの重なりを使用して前記第１の透明ウェーハを前記第２の透明ウェーハに位置合わせすることと
をさらに備える、［Ｃ１１］に記載の方法。
［Ｃ１４］
前記焦点合わせすること、見ること、及び位置合わせすることが、１つ以上の物理的コンピュータデバイスによってプログラム的に実行される、［Ｃ１３］に記載の方法。
［Ｃ１５］
前記第１の位置合わせマークを含む前記第１の透明ウェーハの部分と前記第２の位置合わせマークを含む前記第２の透明ウェーハの第２の部分の両方を緑色光、青色光又は赤外光に露光することと、
前記顕微鏡の対物レンズを介して前記第１の位置合わせマーク及び前記第２の位置合わせマークから反射された前記緑色光、青色光又は赤外光の画像を取り込むことと
をさらに備える、［Ｃ１１］に記載の方法。
［Ｃ１６］
前記第１の透明ウェーハを前記第２の透明ウェーハに位置合わせすることが、前記反復マークの第１のセットと前記反復マークの第２のセットとの位置ずれによって生成されたモアレ効果を排除することを備える、［Ｃ１１］に記載の方法。
［Ｃ１７］
コンピュータ実行可能命令を用いて構成された非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記コンピュータ実行可能命令が、実行されると、
第１の透明ウェーハのレンズの第１のアレイの第１のレンズの周囲の反復マークの第１のセットと第２の透明ウェーハのレンズの第２のアレイの第２のレンズの周囲の反復マークの第２のセットとを見るために画像取り込みシステムを焦点合わせすることと、前記反復マークの第２のセットが前記反復マークの第１のセットに相補的である、
前記画像取り込みシステムから画像データを受信することと、前記画像データが前記反復マークの第１及び第２のセットを表す、
前記画像データ内で前記反復マークの第１及び第２のセットの重なりによって形成されたパターンを識別することと、
前記重なりによって形成された前記パターンをデータレポジトリ内に記憶された複数のパターンテンプレートと比較することと、
前記重なりによって形成された前記パターンが前記複数のパターンテンプレートのうちの位置合わせされたパターンテンプレートと一致することを決定することに応答して、適切な位置合わせ決定を出力することと、
前記重なりによって形成された前記パターンが前記複数のパターンテンプレートのうちのモアレ効果パターンと一致することを決定することに応答して、位置合わせ命令を出力することと
をハードウェアプロセッサに行わせる非一時的コンピュータ可読媒体。
［Ｃ１８］
実行されると、前記ハードウェアプロセッサに、前記位置ずれパターンに関連付けられた再位置合わせベクトルを検索することによって前記位置合わせ命令を生成させる命令をさらに記憶された、［Ｃ１７］に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
［Ｃ１９］
実行されると、前記ハードウェアプロセッサに、前記反復マークの第２のセットに顕微鏡の対物レンズを焦点合わせさせる命令をさらに記憶された、［Ｃ１７］に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。
［Ｃ２０］
前記画像データが、前記第１の反復マークと前記第２の反復マークとの間の光学的中点において配置されたビームスプリッタ層を介した前記反復マークの第１のセットの表現を含む、［Ｃ１９］に記載の非一時的コンピュータ可読媒体。