【手続補正書】
【提出日】平成30年1月5日(2018.1.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハまたは他の基板（１１０）上に金属材料または半導体材料からなるナノ粒子を塗布するための組立体であって、
（ａ）液体を収容する液体タンク（１４、１５０）と、
（ｂ）前記液体タンク（１４、１５０）内に配置された金属片または半導体片（８、８０）と、
（ｃ）前記液体タンク（１４、１５０）内の液体中に配置された前記金属片または半導体片（８、８０）からナノ粒子を除去するためのレーザ（１３）と、
（ｄ）金属粒子を含有する液体を基板上に塗布するための手段（１００）とを備え、
（ｅ）前記ウエハまたは他の基板（１１０）は、前記液体タンク（１４、１５０）の外部に配置され、
（ｆ）前記液体（１、１０）は、硬化性ポリマまたは他の硬化性プラスチック材料であり、
（ｇ）ナノ粒子を含む液体を前記基板（１１０）上に塗布するための噴出孔（１００）を備え、前記金属片または半導体片（８０）は、噴出孔（１００）前面の領域に配置されていることを特徴とする、組立体。
【請求項２】
前記金属（８、８０）は、金、銀、銅、パラジウム、アルミニウム、ニッケル、スズ、これらの金属の合金またはシリコン系半導体であることを特徴とする、請求項１に記載の組立体。
【請求項３】
前記金属片または半導体片（８、８０）からナノ粒子を除去する領域に液流を生成するための液流生成手段（１７、３０、５０）を備えることを特徴とする、請求項１または２に記載の組立体。
【請求項４】
前記液流生成手段は、ポンプ（１７）であることを特徴とする、請求項３に記載の組立体。
【請求項５】
前記液流生成手段は、小径を有する通路（６０）を介して前記液体を圧送する超音波ハンマ（５０）を含むことを特徴とする、請求項３に記載の組立体。
【請求項６】
前記噴出孔（１００）は、封閉タンク（１５０）に一体化され、
前記タンクは、加圧された液体が前記タンクに進入する液体入口（６０）を備えることを特徴とする、請求項１から５のいずれか１項に記載の組立体。
【請求項７】
前記タンクは、ガラス板または別の透明カバーによって、前記レーザ側で封閉されることを特徴とする、請求項１から６のいずれか１項に記載の組立体。
【請求項８】
ウエハまたは他の基板（１１０）上に金属材料または半導体材料からなるナノ粒子を塗布するための組立体であって、
（ａ）液体を収容する液体タンク（１４、１５０）と、
（ｂ）前記液体タンク（１４、１５０）内に配置された金属片または半導体片（８、８０）と、
（ｃ）前記液体タンク（１４、１５０）内の液体中に配置された前記金属片または半導体片（８、８０）からナノ粒子を除去するためのレーザ（１３）と、
（ｄ）金属粒子を含有する液体を基板上に塗布するための手段（１００）とを備え、
（ｅ）前記ウエハまたは他の基板（１１０）は、前記液体タンク（１４、１５０）の外部に配置され、
（ｆ）前記液体（１、１０）は、硬化性ポリマまたは他の硬化性プラスチック材料であり、
（ｇ）前記液体タンクは、ポンプを備えるチャンバ（１４）であり、前記ポリマまたは前記プラスチック材料は、前記ポンプによって、タンク（２）から前記チャンバ（１４）に圧送され、
（ｈ）前記チャンバ（１４）の厚さは、レーザ光（１２）の照射範囲において薄くなることを特徴とする、組立体。
【請求項９】
前記金属片または半導体片（８、８０）は、前記チャンバ（１４）の底部に配置され、
前記チャンバ（１４）の上面は、ガラス板によって封閉され、
前記レーザ光（１２）は、前記チャンバ（１４）の前記ガラス板を介して、前記金属片または半導体片（８、８０）に照射される、請求項８に記載の組立体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
一般的に、使用された金属は、特別な性質を有する。特に、使用された金属は、金、パラジウム、銅、アルミニウム、ニッケル、銀およびスズである。これらの金属は、高価であり、多少毒性を有する。これらの金属の蒸着を行う時に、金属材料が損失する可能性がある。また、これらの金属を取扱う人間が金属を吸込むまたは皮膚が金属に接触する可能性がある。その結果、人間の健康を害する危険性がある。
液体内で行われるレーザアブレーションは、ＤＥ  １０  ２０１０  ０１８  ０７３  Ａ１、ＤＥ  １０  ２０１０  ０５５  ４０４  Ａ１およびＪＰ  ２００６−１２２８４５  Ａに記載されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
好ましくは、組立体は、金属片または半導体片からナノ粒子を除去する領域に液流を生成するための液流生成手段を備える。液流生成手段は、ポンプであってもよい。また、液流生成手段は、小径を有する通路を介して液体を圧送する超音波ハンマを含んでもよい。液流生成手段は、同一のレーザビームを用いてナノ粒子を液体内に均一に分布させることを保証する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
実施形態の説明
図１は、金属ナノ粒子を生成するための組立体を示す概略図である。この組立体は、例えば、数字１で示されるエポキシド化合物などの液状ポリマを貯蔵するタンク２を備える。数字２０で示され、ポリマの密度を検出するためのセンサが、タンク２に設けられている。液状ポリマは、ポンプ１７によって、パイプライン１８を介して矢印の方向に輸送される。パイプライン１８は、チャンバ１４に連結される。金属片または半導体片８が、チャンバ１４の底部に配置されている。用途に応じて、金属片または半導体片８は、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、スズ（Ｓｎ）、またはこれらの金属の合金から製造されてもよく、シリコン系半導体材料から製造されてもよい。金属片または半導体片８の表面は、ポリマに囲まれる。チャンバ１４の上面は、ガラス板によって封閉される。走査システムを備えるレーザ１３は、チャンバ１４の上方に配置されている。レーザ光１２は、チャンバ１４のガラス板を介して、金属片または半導体片８上に向けられる。金属粒子（ナノ粒子）は、金属片または半導体片８の表面から除去される。このような除去工程によって除去されたナノ粒子は、ポリマ液に収容される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図２は、ポリマ液を基材に直接塗布する組立体を示している。ポリマ液１０は、タンク２００に収容されている。タンク２００の下端には、出口が設けられている。この出口は、細長いチャンバ４０と連通する。ハンマ５０がチャンバ４０内に配置されている。ハンマ５０は、超音波発生装置３０によって、矢印５２の方向に沿って前後に移動される。チャンバ４０は、狭いチャネル６０を介して、チャンバ１５０と連通する。チャンバ１５０は、下端に向かって円錐状になる。毛細管または噴出孔１００は、チャンバ１５０の下端と一体化されている。基板１１０は、噴出孔１００の下方に配置されている。基板１１０または噴出孔１００もしくはその両方は、噴出孔から噴出した材料を基板の所望の場所に塗布するように、移動可能に構成されている。