【誤訳訂正書】
【提出日】平成30年2月7日(2018.2.7)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００６】
そのような複数の装置に伴う１つの問題は、極低温であることが多い冷却流体が、回転プラテンに供給されなければならないということである。回転プラテンに極低温供給管を連結すべく使用される現存の複数の回転ユニオンは、そのような複数の低温状態下での、および多数のサイクルにわたっての長期の使用には不向きであると証明された。理解され得るように、極低温流体の漏出は極めて望ましくないものであり、従って、極低温流体供給部を回転プラテンに連結するための改良された装置が必要とされる。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２６】
ここで図４を参照すると、図２および図３に関して説明されたものなどの回転プラテン装置用の例示的な回転ユニオン３００が開示される。開示される回転ユニオン３００は、回転動作が必要とされる様々な極低温利用の任意のものにおいて使用され得ることが理解されるであろう。従って、それは図２および図３のプラテン装置での使用に限定されない。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２９】
いくつかの実施形態において、駆動ブロック部３１０および第１の管継手３０２は、回転プラテン装置２００のベース２０２ａに対して回転可能であり得る。一方で、第２の管継手３０４は回転プラテン２０４に対して固定であり得る（図３参照）。他の実施形態において、第２の管継手３０４は、回転プラテン装置２００のベース２０２ａに対して固定され得る。一方で、駆動ブロック部３１０および第１の管継手３０２は、回転プラテン２０４に対して固定され得る。特定の装置に関係なく、プラテン２０４がベース２０２ａに対して回転するとき、第１および第２の管継手３０２、３０４は互いに対して回転し得て、コイル状管部３０６は回転に適応すべく屈曲し得る。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３０】
図４−図７を参照すると、駆動ブロック部３１０は、ステム係合部３１６と、コイル状管部３０６に接続するための連結部３１８と、第１の管継手３０２に接続するための管連結部３２０とを含み得る。図示されないが、駆動ブロック部３１０は、極低温流体がコイル状管部３０６と第１の管継手３０２との間を流れることを可能にする内部の流路もまた含む。図６および図７においてより明らかに示されるように、ステム係合部３１６はステム３２２に接続し得て、ステム３２２は、今度は、ブッシュ３３２によってベース部３０８に接続される。この装置は、ステム３２２がベース部３０８に対して回転することを可能にする。円板状部材３２４は、ステム係合部３１６とステム３２２との間に配置され得る。円板状部材３２４は、組立体のその他の部分を望ましくない量だけ冷却することによる、コイル状管部３０６内の温度の低下を最小限にする断熱材料を備える。ステム係合部３１６は複数の留め具３２６によってステム３２２に固定され得る。中央および周辺蓋状断熱部材３２８、３３０は、ステム係合部３１６の上に設けられ得る。蓋状断熱部材３３０はカバー３４２（図１１）の望ましくない冷却を防ぐための断熱材料を備える。中央蓋状断熱部材３２８は、後により詳細に説明される、保護ブラケット３４０（図９）を受ける溝３２９を含み得る。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３３】
しかしながら、例示された連結３３６は、その可撓性の巻付き／巻戻り特性を最大限に利用すべく、コイル状管部３０６に対して動作中に限定的な移動の自由を与える１つのやり方である。理解されるように、この装置は排他的なものではなく、動作中にコイル状管部３０６の移動を制限すべく、他の複数の装置もまた使用され得る。例えば、図８に示されるように、代替的な拘束装置が例示される。図４の実施形態と同様に、図８の実施形態の回転ユニオン３００は、第１および第２の管継手３０２、３０４と、コイル状管部３０６と、駆動ブロック部３１０と、円筒壁部３０９を有するベース部３０８とを含む。円筒壁部３０９中の１または複数の開口部３１１が設けられて、それらを通って第２の管継手３０４が突き出ることができるようにし得る。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３５】
このように配置されることによって、動作中にコイル状管部３０６が巻付き、かつ巻戻るとき、可撓支持部材３１５ａ−ｃは、所望の経路に沿って管部分を前後に誘導もしながら、管部分３０６が屈曲することを可能にする。前述したように、この装置は、複数の部品が互いに擦れ合う可能性を最小限にし、組立体の使用寿命を高める。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
前記ベースに回転可能に連結されるプラテンと、
前記ベースと前記プラテンとの間に連結されたコイル状管部であって、前記コイル状管部は、前記プラテンの非回転位置に関連付けられる第１の形状、および前記プラテンの回転位置に関連付けられる第２の形状を有するコイル状管部と、
前記コイル状管部の移動を制御可能に制限するための拘束装置と
を備え、
前記第１の形状において前記コイル状管部は第１の曲げ半径を有し、前記第２の形状において前記コイル状管部は第２の曲げ半径を有し、前記第１の曲げ半径と前記第２の曲げ半径とは異なる
回転プラテン装置。
【請求項２】
前記コイル状管部の第１の端部および第２の端部に関連付けられる第１の管継手および第２の管継手をさらに備え、前記第１の管継手は極低温流体源から極低温流体を受け取るためのものであり、前記第２の管継手は前記プラテンに極低温流体を供給するためのものである
請求項１に記載の回転プラテン装置。
【請求項３】
前記コイル状管部が前記第１の形状と前記第２の形状との間を移動するとき、前記コイル状管部の移動を制御可能に制限するためのクランプ部材を備える
請求項１または２に記載の回転プラテン装置。
【請求項４】
前記コイル状管部が前記第１の形状と前記第２の形状との間を移動するとき、前記コイル状管部の移動を制御可能に制限するための周辺外壁を有するユニオンベース部材を備える
請求項１から３の何れか一項に記載の回転プラテン装置。
【請求項５】
前記コイル状管部と前記第１の管継手との間に連結される駆動ブロック部をさらに備え、前記駆動ブロック部は、極低温流体が前記コイル状管部と前記第１の管継手との間を流れることを可能にする流路を備える
請求項２に記載の回転プラテン装置。
【請求項６】
前記コイル状管部を有し、前記プラテンを冷却すべく極低温流体を供給するための回転ユニオンと、
前記駆動ブロック部に連結されるステムとを備え、前記ステムは、前記回転ユニオンのベース部に回転可能に連結されており、前記ベース部は前記ベースに固定されている
請求項５に記載の回転プラテン装置。
【請求項７】
前記プラテンに対して固定される保護部材をさらに備え、前記保護部材は前記駆動ブロック部に連結され、前記保護部材は、前記プラテンおよび前記ベースが互いに対して回転するとき、前記回転ユニオンを通して回転力を伝える
請求項６に記載の回転プラテン装置。
【請求項８】
ベース部材であり、前記ベース部材に接続される周辺外壁およびカバーを有するベース部材を備え、前記ベース部材、前記周辺外壁、および前記カバーは、前記コイル状管部が前記第１の形状と前記第２の形状との間を移動するとき、前記コイル状管部の移動を制御可能に制限する
請求項１から７の何れか一項に記載の回転プラテン装置。
【請求項９】
前記コイル状管部を有し、前記プラテンを冷却すべく極低温流体を供給するための回転ユニオンと、
前記プラテンから極低温流体を排水するための第２の回転ユニオンとをさらに備え、前記第２の回転ユニオンは前記ベースと前記プラテンとの間に連結され、前記第２の回転ユニオンはコイル状管部を備え、前記コイル状管部は、前記プラテンの非回転位置に関連付けられる第１の形状、および前記プラテンの回転位置に関連付けられる第２の形状を有し、
前記第１の形状において前記コイル状管部は第１の曲げ半径を有し、前記第２の形状において前記コイル状管部は第２の曲げ半径を有し、前記第１の曲げ半径と前記第２の曲げ半径とは異なり、
前記回転ユニオンおよび前記第２の回転ユニオンは、前記プラテンを挟んだ一対の回転ユニオンである
請求項１から５の何れか一項に記載の回転プラテン装置。
【請求項１０】
半導体処理用の回転ユニオンであり、前記回転ユニオンは、
ベース部と、
前記ベース部に回転可能に連結されるステムと、
第１の端部において前記ステムに接続され、第２の端部において第１の管継手に接続される駆動ブロック部と、
第１の端部および第２の端部を有するコイル状管部であり、前記第１の端部は前記駆動ブロック部に連結され、前記第２の端部は第２の管継手に連結されるコイル状管部と、
前記コイル状管部の移動を制御可能に制限するための拘束装置と
を備え、
前記コイル状管部は、前記回転ユニオンの非回転位置に関連付けられる第１の形状、および前記回転ユニオンの回転位置に関連付けられる第２の形状を有し、
前記第１の形状において、前記コイル状管部は第１の曲げ半径を有し、前記第２の形状において、前記コイル状管部は第２の曲げ半径を有し、前記第１の曲げ半径と前記第２の曲げ半径とは異なる
回転ユニオン。
【請求項１１】
前記第１の管継手は極低温流体源から極低温流体を受け取るためのものであり、前記第２の管継手はプラテンに極低温流体を供給するためのものである
請求項１０に記載の回転ユニオン。
【請求項１２】
前記回転ユニオンは、前記コイル状管部が、前記第１の形状と前記第２の形状との間を移動するとき、前記コイル状管部の移動を制御可能に制限するためのクランプ部材を備える
請求項１０または１１に記載の回転ユニオン。
【請求項１３】
前記ベース部は、前記コイル状管部が、前記第１の形状と前記第２の形状との間を移動するとき、前記コイル状管部の移動を制御可能に制限するための周辺外壁を有する
請求項１０から１２の何れか一項に記載の回転ユニオン。
【請求項１４】
前記駆動ブロック部は、極低温流体が前記コイル状管部と前記第１の管継手との間を流れることを可能にする流路を備える
請求項１０から１３の何れか一項に記載の回転ユニオン。
【請求項１５】
前記ベース部は、前記ベース部に接続される、周辺外壁およびカバーを有し、前記ベース部、前記周辺外壁、および前記カバーは、前記コイル状管部が、前記第１の形状と前記第２の形状との間を移動するとき、前記コイル状管部の移動を制御可能に制限する
請求項１０から１４の何れか一項に記載の回転ユニオン。