【手続補正書】
【提出日】平成30年10月23日(2018.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークピース処理システムであって、
該システムは、
幅を有する引き出しアパーチャを有するイオン源であって、前記引き出しアパーチャは前記イオン源の側面に位置付けられる、イオン源と、
ワークピースに近接して、前記引き出しアパーチャの１方の側に配置された第１のＬＥＤアレイであって、該第１のＬＥＤアレイは、第２の幅を有し、前記引き出しアパーチャに平行である、第１のＬＥＤアレイと、
前記ワークピースに近接して、前記第１のＬＥＤアレイから前記引き出しアパーチャの反対の側に配置された第２のＬＥＤアレイであって、該第２のＬＥＤアレイは、前記第２の幅を有し、前記引き出しアパーチャに平行である、第２のＬＥＤアレイと、を備え、
前記第１のＬＥＤアレイ及び前記第２のＬＥＤアレイは、各々、複数の列及び少なくとも１つの行で配列された複数のＬＥＤを備える、システム。
【請求項２】
前記第１のＬＥＤアレイ及び前記第２のＬＥＤアレイと通信し、前記複数のＬＥＤを選択的に動作させるコントローラを更に備える、請求項１記載のワークピース処理システム。
【請求項３】
前記コントローラはヒートマップを有するメモリ要素を備え、前記コントローラはヒートマップを用いて前記複数のＬＥＤを選択的に動作させる、請求項２記載のワークピース処理システム。
【請求項４】
前記第１のＬＥＤアレイ及び前記第２のＬＥＤアレイは、前記引き出しアパーチャに近接して、前記イオン源の前記側面に配置される、請求項１記載のワークピース処理システム。
【請求項５】
前記イオン源と前記ワークピースとの間に配置された１つ以上の引き出し電極を更に備え、前記第１のＬＥＤアレイ及び前記第２のＬＥＤアレイは、前記ワークピースに最も近く配置された前記引き出し電極の上に配置される、請求項１記載のワークピース処理システム。
【請求項６】
前記第１のＬＥＤアレイ及び前記第２のＬＥＤアレイからの光は、前記引き出しアパーチャから引き出されたイオンビームにほぼ平行である、請求項１記載のワークピース処理システム。
【請求項７】
前記第１のＬＥＤアレイ及び前記第２のＬＥＤアレイからの光は、焦点を前記引き出しアパーチャから引き出されたイオンビームの方に合わせられる、請求項１記載のワークピース処理システム。
【請求項８】
ワークピース処理システムであって、
該システムは、
幅を有するイオンビームを生成するイオン源であって、前記イオンビームは焦点をワークピースの領域に合わせられる、イオン源と、
複数の列及び少なくとも１つの行で配列された複数のＬＥＤを備える、ＬＥＤアレイと、
前記複数のＬＥＤから放出される光を前記ワークピースの前記領域の方へ向ける、光学装置と、を備える、システム。
【請求項９】
前記イオン源は、ビームラインイオン注入機を備える、請求項８記載のワークピース処理システム。
【請求項１０】
前記光学装置は、レンズ又は集束ミラーを備える、請求項９記載のワークピース処理システム。
【請求項１１】
前記イオン源は、プラズマチャンバを備える、請求項８記載のワークピース処理システム。
【請求項１２】
前記光学装置は、前記プラズマチャンバの壁に配置され、前記複数のＬＥＤから放出される前記光は、前記プラズマチャンバを通過する、請求項１１記載のワークピース処理システム。
【請求項１３】
ワークピース処理方法であって、
該方法は、
ワークピース上の第１の位置を、ＬＥＤアレイの第１のＬＥＤから放出される光で、選択的に加熱する、ステップと、
前記ワークピースをスキャン方向にスキャンする、ステップと、
加熱後に前記第１の位置をイオンビームに照射する、ステップと、を有する、方法。
【請求項１４】
前記第１の位置を、前記ＬＥＤアレイの第２のＬＥＤから放出される光で、選択的に加熱する間に、前記ワークピース上の第２の位置を、前記ＬＥＤアレイの前記第１のＬＥＤから放出される光で、選択的に加熱する、ステップを更に有する、請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
前記第１の位置を、前記イオンビームに照射する間に、前記ワークピース上の第２の位置を、前記ＬＥＤアレイの前記第１のＬＥＤから放出される光で、選択的に加熱する、ステップを更に有する、請求項１３記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ワークピース処理システム及びワークピース処理方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図２ＡはＬＥＤアレイ１００（ＬＥＤアレイ１００ａ、１００ｂ）を用いるシステム２００の第１の実施形態を示す。本実施形態において、イオン源２０１を用いてイオンが創生される。一実施形態において、イオン源２０１はプラズマチャンバであり得て、プラズマチャンバは、外壁に配置されたガス注入口及びＲＦアンテナを有し、ＲＦアンテナは、イオンを創生するために、プラズマチャンバ内のガスにエネルギーを与える。それらのイオンは、イオンビーム２１０として、引き出しアパーチャ２０２を通してイオン源２０１から引き出される。引き出しアパーチャ２０２は、ワークピース２２０に最も近いイオン源２０１の側面２０３に位置付けることができる。イオンビーム２１０は、ワークピース２２０の方へ向けられる。ワークピース２２０は、スキャンの方向２２１にスキャンされる。本例示的実施形態において、イオンビーム２１０は、より長い寸法でありページの中へ入る方向である幅を有するリボンビームである。第１のＬＥＤアレイ１００ａは、イオン源２０１の側面２０３上であって、ワークピース２２０に最も近く、引き出しアパーチャ２０２に近接する表面上に配置される。イオンビーム２１０と同様に、第１のＬＥＤアレイ１００ａの幅は、ページの中へ延びる。第２のＬＥＤアレイ１００ｂは、また、引き出しアパーチャ２０２に近接するイオン源２０１の側面２０３上に配置される。この第２のＬＥＤアレイ１００ｂは、ワークピースに最も近い側面２０３の表面上であって、第１のＬＥＤアレイ１００ａから引き出しアパーチャ２０２の反対側に配置される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
コントローラ２５０は、第１のＬＥＤアレイ１００ａ及び第２のＬＥＤアレイ１００ｂと通信することができる。コントローラ２５０は、処理装置及び処理装置と通信するメモリ要素を備えることができる。メモリ要素は、処理装置により実行される時に、システム２００が、本明細書に説明されるように、動作することを可能にする命令を記憶するために、用いることができる。メモリ要素は、また、他のデータを含むことができる。コントローラ２５０は、また、他の入力を有することができる。例えば、ヒートマップをコントローラ２５０へ供給することができる。このヒートマップは、二次元アレイであり得て、そのアレイの各エントリーは、ワークピース２２０上の物理的位置を表す。各エントリーに記憶される値は、その物理的位置に適用されるべきヒートの設定を表すことができる。コントローラ２５０は、また、他の入力を有することができる。例えば、コントローラ２５０は、ＬＥＤアレイ１００（ＬＥＤアレイ１００ａ、１００ｂ）を適切に制御するように、ワークピース２２０のスキャン速度及びスキャン方向を知ることができる。さらに、コントローラ２５０は、ＬＥＤアレイ１００（ＬＥＤアレイ１００ａ、１００ｂ）の行及び列の数などの構成を認識する。コントローラ２５０は、また、ＬＥＤアレイ１００（ＬＥＤアレイ１００ａ、１００ｂ）とイオンビーム２１０との間の距離及び他の寸法を含む物理的構成を知ることができる。コントローラ２５０は、第１のＬＥＤアレイ１００ａ及び第２のＬＥＤアレイ１００ｂに配置された複数のＬＥＤ１１０を選択的に動作させるために、用いられる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
図２Ｂは、図２Ａのシステムの変形を示す。本構成において、システム２６０は、イオンビーム２１０をイオン源２０１から引き出して、イオンビーム２１０をワークピース２２０の方へ加速するために用いられる引き出し電極２７０を含む。前のように、引き出しアパーチャ２０２は、イオン源２０１の側面２０３の上に配置される。第１のＬＥＤアレイ１００ａ及び第２のＬＥＤアレイ１００ｂは、引き出し電極２７０の上であって、ワークピース２２０に最も近い表面の上に配置される。図２Ｂは引き出し電極２７０の１つの組のみを示すが、任意の数の引き出し電極を含むことができ、かつ、ＬＥＤアレイ１００（ＬＥＤアレイ１００ａ、１００ｂ）はワークピース２２０に最も近いそれらの電極の上に配置されることが理解される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
図４Ａ〜４Ｅは、ワークピース２２０の特定の位置の加熱及び照射を例示する図のシーケンスを示す。これらの図において、ＬＥＤ４００、４１０は第１のＬＥＤアレイ１００ａの部分であり、ＬＥＤ４００はより低い行の中にあり、ＬＥＤ４１０は、ＬＥＤ４００と同じ列の中にあるが、より上の行の中にある。これらのＬＥＤ４００、４１０及びイオンビーム２１０は、空間的に固定していると仮定されるが、一方、ワークピース２２０は、上方の方向に動かさられる。図３及び図４Ａ〜４Ｅは、２つの行を有するＬＥＤアレイ１００（ＬＥＤアレイ１００ａ、１００ｂ）を例示するが、任意の数の行をＬＥＤアレイ１００（ＬＥＤアレイ１００ａ、１００ｂ）に用いることができることは、理解される。シーケンスの各図は、順次時点を表す。図４Ａにおいて、位置３００は、第１のＬＥＤアレイ１００ａのより低い行のＬＥＤ４００に照射される。このＬＥＤ４００は動作させることができ、又は、オフにすることができる。より低い行のＬＥＤ４００を動作させる場合、位置３００は加熱される。図４Ｂに示すように、ワークピース２２０が上方にスキャンされるにつれて、位置３００は、ＬＥＤ４００を過ぎて、第１のＬＥＤアレイ１００ａのより上の行のＬＥＤ４１０の方へ動き始める。図４Ｃにおいて、位置３００は、第１のＬＥＤアレイ１００ａのより上の行のＬＥＤ４１０に今や照射される。再び、このＬＥＤ４１０は動作させることができ、又は、オフにすることができる。図４Ｄに示すように、ワークピース２２０がスキャン方向に動き続けるにつれて、位置３００は、ＬＥＤ４１０を過ぎて、イオンビーム２１０の方へ動き始める。図４Ｅにおいて、位置３００は、イオンビーム２１０に今や照射される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
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