(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
主流路と、
前記主流路に連結された複数の分岐流路と、
前記複数の分岐流路毎に設置された複数のドレンバルブと、
を備え、
前記ドレンバルブは、第１ポートと、第２ポートと、ドレンポートと、を有し、
前記第１ポートと前記第２ポートは前記分岐流路に配置され、
前記第２ポートは前記第１ポートと前記主流路との間に配置され、
前記ドレンバルブは、前記第１ポートが前記第２ポートと連通し、且つ、前記ドレンポートが前記第１ポート及び前記第２ポートの両方と連通しないオペレーションモードと、前記第１ポートが前記ドレンポートと連通し、且つ、前記第２ポートが前記第１ポート及び前記ドレンポートの両方と連通しないメンテナンスモードと、に切換可能である集合配管ユニット。
【請求項２】
請求項１において、
前記ドレンポートは前記分岐流路の方向と直交し、且つ、前記複数の分岐流路が並ぶ方向と直交する方向に前記分岐流路から流体を排出するように配置されている集合配管ユニット。
【請求項３】
請求項２において、
前記複数のドレンバルブのドレンポートに連通する共通ドレン流路を備え、該共通ドレン流路は前記分岐流路の方向と直交し、且つ、前記複数の分岐流路が並ぶ方向と直交する方向に前記分岐流路からオフセットして配置されている集合配管ユニット。
【請求項４】
請求項１において、
前記複数の分岐流路毎に設置された複数の流体計測器を更に備え、
前記ドレンバルブは前記流体計測器と前記主流路との間に配置された集合配管ユニット。
【請求項５】
請求項４において、
前記主流路は流体を排出するための出口主流路であり、
前記分岐流路は前記出口主流路の上流側に連結された出口分岐流路である集合配管ユニット。
【請求項６】
請求項１において、
前記主流路は流体を受入れるための入口主流路であり、
前記分岐流路は前記入口主流路の下流側に連結された入口分岐流路である集合配管ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却水等の流体を複数の分岐流路から１つの主流路にまとめて排出したり、あるいは流体を１つの主流路から複数の分岐流路に供給するための集合配管ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、様々な装置や設備において冷却水や洗浄液等の流体が複数の流路に分岐されて供給されることがある。各流路には流量計、温度計、圧力計、バルブ等が設置される。このような流体計測器やバルブは各流路の様々な箇所に設置可能であるが、構成が煩雑になりやすい。これに対し、主流路と、主流路に連結された複数の分岐流路と、複数の分岐流路毎に設置された複数の流体計測器と、がユニット化された集合配管ユニットが知られている（例えば、特許文献１参照）。集合配管ユニットを用いることで、配管をよりシンプルでコンパクトにできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第６２５０５８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、集合配管ユニットを用いることで、メンテナンス作業に問題が生じることがあった。例えば、メンテナンスのために集合配管ユニットのいずれかの分岐流路の流体計測器が外されると、流体計測器が外された部位から流体が流出して他の流体計測器やその周辺部分に流体がかかってしまうことがある。なお、メンテナンスは、メンテナンスの対象である流体計測器が設置されている分岐流路への流体の供給が止められた状態で行われるが、分岐流路に残存している流体が流出する。【０００５】
さらに、メンテナンスの対象の分岐流路に残存している流体が流出するだけでなく、主流路を流れる流体が継続的に流出することがある。例えば、主流路が、流体を排出するための出口主流路である場合、出口主流路の上流側に連結される複数の出口分岐流路は出口主流路を介して相互に連通している。このため、出口主流路を介して他の出口分岐流路を流れる流体がメンテナンスの対象の分岐流路に逆流し、流体が継続的に流出することがある。メンテナンスの対象部位が集合配管ユニットから離れている場合も同様である。例えば、メンテナンスの対象の分岐流路に連通する配管と冷却対象の装置や設備との接続部が外されると、外された部位から流体が継続的に流出することがある。また、主流路が、流体を受入れるための入口主流路である場合、入口主流路が受入れる流体は入口主流路の下流の各入口分岐流路へ流入する。したがって、入口分岐流路に設置されている流体計測器が外されると、流体計測器が外された部位から液体が継続的に流出する。本発明は以上の問題点に鑑みてなされたものであって、メンテナンス作業が容易な集合配管ユニットを提供することをその課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、主流路と、主流路に連結された複数の分岐流路と、複数の分岐流路毎に設置された複数のドレンバルブと、を備える集合配管ユニットにより上記課題を解決したものである。【０００７】
この集合配管ユニットは、複数の分岐流路毎に設置された複数のドレンバルブを備えているので、メンテナンスの対象の分岐流路の流体をドレンバルブから外部に排出できる。したがって、例えば、メンテナンスのために集合配管ユニットから流体計測器が外されても、流体計測器が外された部位から流体が流出して他の流体計測器や周辺部分に流体がかかってしまうことを防止または抑制できる。【０００８】
ドレンバルブは、第１ポートと、第２ポートと、ドレンポートと、を有し、第１ポートと第２ポートは分岐流路に配置され、第２ポートは第１ポートと主流路との間に配置され、ドレンバルブは、第１ポートが第２ポートと連通し、且つ、ドレンポートが第１ポート及び第２ポートの両方と連通しないオペレーションモードと、第１ポートがドレンポートと連通し、且つ、第２ポートが第１ポート及びドレンポートの両方と連通しないメンテナンスモードと、に切換可能であるとよい。【０００９】
メンテナンスモードでは第１ポートがドレンポートと連通するので、メンテナンスの対象の分岐流路の流体を第１ポート及びドレンポートを介して外部に排出できる。さらに、メンテナンスモードでは第２ポートが第１ポート及びドレンポートの両方と連通しないので、ドレンバルブが、主流路からメンテナンスの対象の分岐流路への流体の流入を阻止する。したがって、メンテナンスの対象の分岐流路から流体が継続的に流出することを防止できる。【００１０】
ドレンポートは分岐流路の方向と直交し、且つ、複数の分岐流路が並ぶ方向と直交する方向に分岐流路から流体を排出するように配置されていてもよい。【００１１】
ドレンポートが分岐流路の方向と直交し、且つ、複数の分岐流路が並ぶ方向と直交する方向に分岐流路から流体を排出するので、この集合配管ユニットは分岐流路の方向及び複数の分岐流路が並ぶ方向にコンパクトである。【００１２】
集合配管ユニットは、複数のドレンバルブのドレンポートに連通する共通ドレン流路を備え、該共通ドレン流路は分岐流路の方向と直交し、且つ、複数の分岐流路が並ぶ方向と直交する方向に分岐流路からオフセットして配置されていてもよい。【００１３】
複数のドレンバルブのドレンポートから共通ドレン流路を介して流体が排出されるので、ドレンの構成がシンプルでコンパクトである。【００１４】
複数の分岐流路毎に設置された複数の流体計測器を更に備え、ドレンバルブは、流体計測器と主流路との間に配置されていてもよい。【００１５】
このように配置されたドレンバルブから流体を排出すれば、メンテナンス対象の分岐流路における流体計測器の部位を含む、ドレンバルブよりも主流路から離れた部位の流体が排出される。したがって、流体計測器が外された部位から流体が流出することを防止できる。また、主流路から流体計測器が外された部位への流体の流入を阻止できる。【００１６】
主流路は、液体を排出するための出口主流路であり、分岐流路は出口主流路の上流側に連結された出口分岐流路であってもよい。【００１７】
ドレンバルブが、流体計測器と出口主流路との間に配置されていれば、メンテナンス対象の出口分岐流路に、他の出口分岐流路を流れる流体が出口主流路を介して逆流することを防止できる。【００１８】
また、主流路は流体を受入れるための入口主流路であり、分岐流路は入口主流路の下流側に連結された入口分岐流路であってもよい。【００１９】
メンテナンス対象の入口分岐流路に設置されたドレンバルブをメンテナンスモードに切換えることにより、入口主流路からメンテナンス対象の分岐流路に液体が流入することを阻止できる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、メンテナンス作業が容易な集合配管ユニットを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施形態の集合配管ユニットの全体構造を示す斜視図
【図２】同集合配管ユニットの構成を模式的に示すブロック図
【図３】同集合配管ユニットの正面図
【図４】図３のIV−IVに沿う断面図
【図５】図３のV−Vに沿う断面図
【図６】図３のVI−VIに沿う断面図
【図７】図４のドレンバルブの部分を拡大して示す断面図
【図８】同ドレンバルブの弁体をさらに拡大して示す斜視図
【図９】メンテナンスモードの状態の同ドレンバルブを示す断面図
【図１０】本発明の第２実施形態の集合配管ユニットの構成を模式的に示すブロック図
【図１１】本発明の第３実施形態の集合配管ユニットの構成を模式的に示すブロック図
【図１２】本発明の第４実施形態の集合配管ユニットの構成を模式的に示すブロック図
【図１３】本発明の第５実施形態の集合配管ユニットの構成を模式的に示すブロック図
【図１４】本発明の第６実施形態の集合配管ユニットの構成を模式的に示すブロック図
【図１５】本発明の第７実施形態の集合配管ユニットの構成を模式的に示すブロック図
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図１〜６に示されるように、第１実施形態の集合配管ユニット１０は、入口主流路１２と、入口主流路１２の下流側に連結された複数の入口分岐流路１４と、出口主流路１６と、出口主流路１６の上流側に連結された複数の出口分岐流路１８と、を備えている。入口分岐流路１４の数と出口分岐流路１８の数は同じであり、各入口分岐流路１４は１つの出口分岐流路１８と配管２０を介して連通している。なお、第１実施形態において、入口分岐流路１４の数と出口分岐流路１８の数は４である。入口主流路１２が受入れる冷却水（流体）は複数の入口分岐流路１４を介して冷却対象２２に供給されるようになっている。冷却対象２２は例えば半導体を製造するためのドライエッチング装置や成膜装置である。冷却対象２２を冷却して温度が上昇した冷却水は複数の出口分岐流路１８を介して出口主流路１６から排出されるようになっている。出口主流路１６から排出された冷却水はチラー２４で温度調節された後、再び入口主流路１２に供給される。
【００２３】
入口主流路１２は上下方向に沿って配置され、入口分岐流路１４は水平方向に沿って配置されている。図５に示されるように、入口主流路１２は４つの管要素が上下方向に連結された構成の管の内側に形成されている。入口分岐流路１４は正面（図３に示される面）から見て入口主流路１２から左側に延在している。複数の入口分岐流路１４は上下方向に所定の間隔で並んでいる。入口主流路１２は入口分岐流路１４と直交し、且つ、複数の入口分岐流路１４が並ぶ方向と直交する方向に入口分岐流路１４からオフセットして配置されている。具体的には、正面から見て入口主流路１２は入口分岐流路１４よりも奥側に配置されている。
【００２４】
集合配管ユニット１０は、入口分岐流路１４毎に設置された複数の開閉バルブ２６を備えている。開閉バルブ２６はボールバルブであり、入口ポート２６Ａと出口ポート２６Ｂを備えている。入口ポート２６Ａは正面から見て奥側に配置され入口主流路１２に開口している。出口ポート２６Ｂは正面から見て左側に配置され入口分岐流路１４に開口している。開閉バルブ２６は球状の弁体２６Ｃと、弁体２６Ｃから（正面から見て）前側に延在する軸部２６Ｄと、軸部２６Ｄの先端に取付けられたつまみ部２６Ｅと、を有している。弁体２６Ｃには軸部２６Ｄと同軸の方向及び軸部２６Ｄに垂直な方向に沿うＬ形の孔が形成されている。Ｌ形の孔の一方の端部は常に入口ポート２６Ａに開口している。Ｌ形の孔の他方の端部は弁体２６Ｃの回転に伴い出口ポート２６Ｂに開口したり、出口ポート２６Ｂから離れた位相でハウジングの内面により閉塞されるようになっている。開閉バルブ２６は入口分岐流路１４の一部を構成している。
【００２５】
出口主流路１６は上下方向に沿って配置され、出口分岐流路１８は水平方向に沿って配置されている。出口主流路１６は入口主流路１２と平行に配置されている。出口主流路１６も入口主流路１２と同様に４つの管要素が上下方向に連結された構成の管の内側に形成されている。出口分岐流路１８は正面から見て出口主流路１６から右側に延在している。複数の出口分岐流路１８は上下方向に所定の間隔で並んでいる。出口主流路１６は出口分岐流路１８と直交し、且つ、複数の出口分岐流路１８が並ぶ方向と直交する方向に出口分岐流路１８からオフセットして配置されている。具体的には、正面から見て出口主流路１６は出口分岐流路１８よりも奥側に配置されている。
【００２６】
集合配管ユニット１０は、出口分岐流路１８毎に設置された複数の流量調整バルブ２８と、流量計３０と、を備えている。流量調整バルブ２８はニードルバルブであり、入口ポート２８Ａと出口ポート２８Ｂを備えている。入口ポート２８Ａは正面から見て右側に配置され出口分岐流路１８に開口している。出口ポート２８Ｂは正面から見て奥側に配置され出口主流路１６に開口している。流量調整バルブ２８は切頭円錐台形状の弁体２８Ｃと、弁体２８Ｃから前側に延在する軸部２８Ｄと、軸部２８Ｄの先端に取付けられたつまみ部２８Ｅと、を有している。弁体２８Ｃは出口ポート２８Ｂに配置されている。弁体２８Ｃは軸部２８Ｄの回転に伴い出口ポート２８Ｂの弁座に接近し、あるいは弁座から離間し、これにより流量調整バルブ２８の開度が調整されるようになっている。流量計３０はフラッパ式であり、流量調整バルブ２８の上流側に配置されている。流量調整バルブ２８と流量計３０は、出口分岐流路１８の一部を構成している。
【００２７】
集合配管ユニット１０はさらに、複数の出口分岐流路１８毎に設置された複数のドレンバルブ３２を備えている。ドレンバルブ３２は、流量計（流体計測器）３０と出口主流路１６との間に設置されている。ドレンバルブ３２も出口分岐流路１８の一部を構成している。図７〜９に示されるように、ドレンバルブ３２はボールバルブであり、第１ポート３２Ａと、第２ポート３２Ｂと、ドレンポート３２Ｃと、を有している。第１ポート３２Ａと第２ポート３２Ｂは出口分岐流路１８に配置され、第２ポート３２Ｂは第１ポート３２Ａと出口主流路１６との間に配置されている。具体的には、第１ポート３２Ａは正面から見て右側に配置され出口分岐流路１８に開口している。第２ポート３２Ｂは正面から見て左側に配置され出口分岐流路１８に開口している。ドレンポート３２Ｃは、出口分岐流路１８の方向と直交し、且つ、複数の出口分岐流路１８が並ぶ方向と直交する方向に出口分岐流路１８から流体を排出するように配置されている。具体的には、ドレンポート３２Ｃは正面から見て奥側に配置され後述する共通ドレン流路３４に開口している。ドレンバルブ３２は球状の弁体３２Ｄと、弁体３２Ｄから（正面から見て）前側に延在する軸部３２Ｅと、軸部３２Ｅの先端に取付けられたつまみ部３２Ｆと、を有している。弁体３２Ｄには軸部３２Ｅと垂直な方向に沿う貫通孔が形成されている。貫通孔の両端部は、弁体３２Ｄの回転に伴い第１ポート３２Ａ及び第２ポート３２Ｂに開口したり、第１ポート３２Ａ及び第２ポート３２Ｂから離れた位相でハウジングの内面により閉塞されるようになっている。さらに、図８及び９に示されるように、弁体３２Ｄの外面には、軸部３２Ｅを含む面に沿う円弧形状の溝部が形成されている。溝部の一方の端部は常にドレンポート３２Ｃに開口している。溝部の他方の端部は弁体３２Ｄの回転に伴い第１ポート３２Ａに開口したり、第１ポート３２Ａから離れた位相でハウジングの内面により閉塞されるようになっている。ドレンバルブ３２は、第１ポート３２Ａが弁体３２Ｄの貫通孔を介して第２ポート３２Ｂと連通し、且つ、ドレンポート３２Ｃが第１ポート３２Ａ及び第２ポート３２Ｂの両方と連通しないオペレーションモード（図７）と、第１ポート３２Ａがドレンポート３２Ｃと弁体３２Ｄの溝部を介して連通し、且つ、第２ポート３２Ｂが第１ポート３２Ａ及びドレンポート３２Ｃの両方と連通しないメンテナンスモード（図９）と、に切換可能である。
【００２８】
集合配管ユニット１０は、複数のドレンバルブ３２のドレンポート３２Ｃに連通する共通ドレン流路３４を備えている。共通ドレン流路３４は上下方向に沿って配置されている。共通ドレン流路３４は出口主流路１６に近い位置で出口主流路１６と平行に配置されている。図６に示されるように、共通ドレン流路３４も出口主流路１６及び入口主流路１２と同様に４つの管要素が上下方向に連結された構成の管の内側に形成されている。共通ドレン流路３４は出口分岐流路１８の方向と直交し、且つ、複数の出口分岐流路１８が並ぶ方向と直交する方向に出口分岐流路１８からオフセットして配置されている。具体的には、正面から見て共通ドレン流路３４は出口分岐流路１８よりも奥側に配置されている。
【００２９】
次に、集合配管ユニット１０の作用について説明する。冷却対象２２の冷却が行われる通常の使用の場合、オペレーターは、入口分岐流路１４に設置された開閉バルブ２６のつまみ部２６Ｅを操作し、弁体２６ＣのＬ形の孔の端部が出口ポート２６Ｂに開口した状態にすべての開閉バルブ２６を設定する。また、オペレーターは、出口分岐流路１８に設置されたドレンバルブ３２のつまみ部３２Ｆを操作し、第１ポート３２Ａが弁体３２Ｄの貫通孔を介して第２ポート３２Ｂと連通し、且つ、ドレンポート３２Ｃが第１ポート３２Ａ及び第２ポート３２Ｂの両方と連通しないオペレーションモードにすべてのドレンバルブ３２を設定する。この状態でポンプ（図示省略）が冷却水を送ると、冷却水は入口主流路１２、各入口分岐流路１４、冷却対象２２、各出口分岐流路１８、出口主流路１６、及びチラー２４を循環し、すべての流路において冷却対象２２の冷却が行われる。
【００３０】
一方、いずれかの流路のメンテナンスが行われる場合、オペレーターは、メンテナンスの対象である流路の開閉バルブ２６のつまみ部２６Ｅを操作し、弁体２６ＣのＬ形の孔の一方の端部が出口ポート２６Ｂから離れた位相でハウジングの内面により閉塞される状態に切換える。また、オペレーターは、メンテナンスの対象である流路に設置されたドレンバルブ３２のつまみ部３２Ｆを操作し、第１ポート３２Ａがドレンポート３２Ｃと弁体３２Ｄの溝部を介して連通し、且つ、第２ポート３２Ｂが第１ポート３２Ａ及びドレンポート３２Ｃの両方と連通しないメンテナンスモードにドレンバルブ３２を切換える。この状態でポンプが冷却水を送ると、メンテナンス対象の流路の入口分岐流路１４への冷却水の浸入は開閉バルブ２６により阻止される。冷却水は入口主流路１２、メンテナンスの対象ではない流路の入口分岐流路１４、配管２０、冷却対象２２、配管２０、出口分岐流路１８、出口主流路１６、及びチラー２４を循環し、冷却対象２２はメンテナンス対象の流路を除く流路において冷却される。
【００３１】
メンテナンスの対象の流路に存在していた冷却水はドレンバルブ３２のドレンポート３２Ｃから共通ドレン流路３４に排出される。したがって、例えば、メンテナンスのために集合配管ユニット１０から流量計３０が外されても、流量計３０が外された部位から冷却水が流出して他の流量計３０や周辺部分に冷却水がかかってしまうことを防止または抑制できる。特に、ドレンバルブ３２は、流量計３０と出口主流路１６との間に配置されているので、メンテナンス対象の流路における流量計３０の部位を含む、ドレンバルブ３２よりも出口主流路１６から離れた部位の冷却水が排出される。したがって、流量計３０が外された部位から冷却水が流出することを防止できる。さらに、メンテナンスモードではドレンバルブ３２の第２ポート３２Ｂが第１ポート３２Ａ及びドレンポート３２Ｃの両方と連通しないので、ドレンバルブ３２が、メンテナンスの対象の出口分岐流路１８への出口主流路１６からの冷却水の流入を阻止する。したがって、メンテナンス対象の出口分岐流路１８に、他の出口分岐流路１８を流れる流体が出口主流路１６を介して逆流することを防止できる。これにより、メンテナンスの対象の出口分岐流路１８から冷却水が継続的に流出することを防止できる。
【００３２】
また、ドレンポート３２Ｃは出口分岐流路１８の方向と直交し、且つ、複数の出口分岐流路１８が並ぶ方向と直交する方向に出口分岐流路１８から冷却水を排出するので、集合配管ユニット１０は出口分岐流路１８の方向（正面から見て左右方向）及び複数の出口分岐流路１８が並ぶ方向（上下方向）にコンパクトである。さらに複数のドレンバルブ３２のドレンポート３２Ｃから共通ドレン流路３４を介して冷却水が排出されるので、ドレンの構成がシンプルでコンパクトである。
【００３３】
次に、第２実施形態について説明する。図１０に示されるように、第２実施形態の集合配管ユニット５０は、入口分岐流路１４毎に設置された複数のドレンバルブ５２と、これらドレンバルブ５２に連結された共通ドレン流路５４と、を備えている。なお、第１実施形態の開閉バルブ２６は備えられていない。他の構成は第１実施形態の集合配管ユニット１０と同じであるので同じ構成については図１〜９と同じ符号を付することとして説明を省略する。
【００３４】
ドレンバルブ５２は出口分岐流路１８に設置されたドレンバルブ３２と同じ構成である。なお、ドレンバルブ５２の第１ポート５２Ａと第２ポート５２Ｂの位置関係は、ドレンバルブ３２の第１ポート３２Ａと第２ポート３２Ｂの位置関係と正面から見て左右対称である。具体的には、第１ポート５２Ａと第２ポート５２Ｂは入口分岐流路１４に配置され、第２ポート５２Ｂは第１ポート５２Ａと入口主流路１２との間に配置されている。第１ポート５２Ａは正面から見て左側に配置されている。第２ポート５２Ｂは正面から見て右側に配置されている。ドレンポート５２Ｃは正面から見て奥側に配置され共通ドレン流路５４に開口している。ドレンポート５２Ｃは、入口分岐流路１４の方向と直交し、且つ、複数の入口分岐流路１４が並ぶ方向と直交する方向に入口分岐流路１４から流体を排出するように配置されている。ドレンバルブ５２はドレンバルブ３２の弁体と軸部と同様の弁体と軸部を備えている。ドレンバルブ５２は、第１ポート５２Ａが弁体の貫通孔を介して第２ポート５２Ｂと連通し、且つ、ドレンポート５２Ｃが第１ポート５２Ａ及び第２ポート５２Ｂの両方と連通しないオペレーションモードと、第１ポート５２Ａがドレンポート５２Ｃと弁体の溝部を介して連通し、且つ、第２ポート５２Ｂが第１ポート５２Ａ及びドレンポート５２Ｃの両方と連通しないメンテナンスモードと、に切換可能である。
【００３５】
共通ドレン流路５４は上下方向に沿って配置されている。共通ドレン流路５４は入口主流路１２に近い位置で入口主流路１２と平行に配置されている。共通ドレン流路５４は入口分岐流路１４の方向と直交し、且つ、複数の入口分岐流路１４が並ぶ方向と直交する方向に入口分岐流路１４からオフセットして配置されている。具体的には、正面から見て共通ドレン流路５４は入口分岐流路１４よりも奥側に配置されている。
【００３６】
次に、集合配管ユニット５０の作用について説明する。冷却対象２２の冷却が行われる通常の使用の場合、オペレーターは、入口主流路１２に設置されたドレンバルブ５２のつまみ部を操作し、第１ポート５２Ａが弁体の貫通孔を介して第２ポート５２Ｂと連通し、且つ、ドレンポート５２Ｃが第１ポート５２Ａ及び第２ポート５２Ｂの両方と連通しないオペレーションモードにすべてのドレンバルブ５２を設定する。また、オペレーターは第１実施形態と同様に、出口分岐流路１８に設置されたすべてのドレンバルブ３２もオペレーションモードに設定する。この状態でポンプ（図示省略）が冷却水を送ると、冷却水は入口主流路１２、各入口分岐流路１４、冷却対象２２、各出口分岐流路１８、出口主流路１６、及びチラー２４を循環し、すべての流路において冷却対象２２の冷却が行われる。
【００３７】
一方、いずれかの流路のメンテナンスが行われる場合、オペレーターは、メンテナンスの対象である流路に設置されたドレンバルブ５２のつまみ部を操作し、第１ポート５２Ａがドレンポート５２Ｃと弁体の溝部を介して連通し、且つ、第２ポート５２Ｂが第１ポート５２Ａ及びドレンポート５２Ｃの両方と連通しないメンテナンスモードにドレンバルブ５２を切換える。また、オペレーターは第１実施形態と同様に、メンテナンスの対象である流路に設置されたドレンバルブ３２もメンテナンスモードに切換える。この状態でポンプが冷却水を送ると、メンテナンス対象の入口分岐流路１４への冷却水の浸入はドレンバルブ５２により阻止される。第１実施形態と同様に冷却水は入口主流路１２、メンテナンスの対象ではない流路の入口分岐流路１４、配管２０、冷却対象２２、メンテナンスの対象ではない流路の配管２０、出口分岐流路１８、出口主流路１６、及びチラー２４を循環し、メンテナンス対象の流路を除く流路において冷却対象２２の冷却が行われる。
【００３８】
メンテナンスの対象の流路に存在していた冷却水はドレンバルブ３２のドレンポート３２Ｃから共通ドレン流路３４に排出されるとともにドレンバルブ５２のドレンポート５２Ｃからも共通ドレン流路５４に排出される。すなわち、出口分岐流路１８側だけでなく入口分岐流路１４側でも冷却水が排出されるので、例えば入口分岐流路１４と冷却対象２２との間の配管２０と冷却対象２２との接続部が外される場合、外された部位から冷却水が流出することを防止または抑制できる。また、第２実施形態の集合配管ユニット５０は、ドレンバルブ５２が第１実施形態の開閉バルブ２６の役割を兼ねているので構成がシンプルでコンパクトである。
【００３９】
次に、第３実施形態について説明する。図１１に示されるように、第３実施形態の集合配管ユニット６０は、入口分岐流路１４毎に設置された複数の流量計３０を備えている。なお、出口分岐流路１８に流量計３０は備えられていない。また、集合配管ユニット６０は、第２実施形態と同様に、入口分岐流路１４毎に設置された複数のドレンバルブ５２と、これらドレンバルブ５２に連結された共通ドレン流路５４と、を備えている。ドレンバルブ５２は、流量計３０と入口主流路１２との間に配置されている。他の構成は第１及び第２実施形態の集合配管ユニット１０、５０と同じであるので同じ構成については図１〜１０と同じ符号を付することとして説明を省略する。
【００４０】
集合配管ユニット６０の作用について説明する。ドレンバルブ５２は、流量計３０と入口主流路１２との間に配置されている。したがって、オペレーターが第２実施形態と同様に、メンテナンスの対象である流路に設置されたドレンバルブ５２をメンテナンスモードに切換えることにより、メンテナンス対象の流路における流量計３０の部位を含む、ドレンバルブ５２よりも入口主流路１２から離れた部位の冷却水が排出される。したがって、流量計３０が外された部位から冷却水が流出することを防止できる。また、オペレーターが第１及び第２実施形態と同様に、メンテナンスの対象である流路に設置されたドレンバルブ３２もメンテナンスモードに切換えることにより、入口分岐流路１４側だけでなく出口分岐流路１８側でもドレンバルブ３２から冷却水を排出できるので、例えば出口分岐流路１８と冷却対象２２との間の配管２０と冷却対象２２との接続部が外される場合、外された部位から冷却水が流出することを防止または抑制できる。
【００４１】
次に、第４実施形態について説明する。図１２に示されるように、第４実施形態の集合配管ユニット７０は、第３実施形態の集合配管ユニット６０に対し、出口分岐流路１８毎に設置された複数の流量調整バルブ２８に代えて、入口分岐流路１４毎に設置された複数の流量調整バルブ７２を備える。出口分岐流路１８に流量調整バルブは備えられていない。他の構成は第３実施形態の集合配管ユニット６０と同じであるので同じ構成については図１〜１１と同じ符号を付することとして説明を省略する。流量調整バルブ７２は、出口分岐流路１８に設置された流量調整バルブ２８と同じ構成である。なお、流量調整バルブ７２の入口ポート７２Ａと出口ポート７２Ｂの位置関係は、流量調整バルブ２８の入口ポート２８Ａと出口ポート２８Ｂの位置関係と正面から見て左右対称である。具体的には、入口ポート７２Ａは正面から見て奥側に配置され入口主流路１２に開口している。出口ポート７２Ｂは正面から見て左側に配置され入口分岐流路１４に開口している。集合配管ユニット７０は、第３実施形態の集合配管ユニット６０と同様の作用効果を奏する。
【００４２】
次に、第５実施形態について説明する。図１３に示されるように、第５実施形態の集合配管ユニット８０は、第４実施形態の集合配管ユニット７０に対し、入口分岐流路１８毎に設置された複数の流量計３０に代えて、出口分岐流路１８毎に設置された複数の流量計３０を備える。入口分岐流路１４に流量計は備えられていない。他の構成は第４実施形態の集合配管ユニット７０と同じであるので同じ構成については図１〜１２と同じ符号を付することとして説明を省略する。集合配管ユニット８０は、第２実施形態の集合配管ユニット５０と同様の作用効果を奏する。
【００４３】
次に、第６実施形態について説明する。図１４に示されるように、第６実施形態の集合配管ユニット９０は、第４実施形態の集合配管ユニット７０に対し、出口分岐流路１８毎に設置された複数のドレンバルブ３２に代えて、出口分岐流路１８毎に設置された複数の開閉バルブ９２を備える。出口分岐流路１８にドレンバルブ及び共通ドレン流路は備えられていない。他の構成は第４実施形態の集合配管ユニット７０と同じであるので同じ構成については図１〜１２と同じ符号を付することとして説明を省略する。開閉バルブ９２は、第１実施形態の入口分岐流路１８に設置された開閉バルブ２６と同じ構成である。なお、開閉バルブ９２の入口ポート９２Ａと出口ポート９２Ｂの位置関係は、開閉バルブ２６の入口ポート２６Ａと出口ポート２６Ｂの位置関係と正面から見て左右対称である。具体的には、入口ポート９２Ａは正面から見て右側に配置され出口分岐流路１８に開口している。出口ポート９２Ｂは正面から見て奥側に配置され出口主流路１６に開口している。
【００４４】
集合配管ユニット９０の作用について説明する。第６実施形態では、開閉バルブ９２がメンテナンスの対象の出口分岐流路１８への出口主流路１６からの冷却水の流入を阻止する。したがって、メンテナンス対象の出口分岐流路１８に、他の出口分岐流路１８を流れる流体が出口主流路１６を介して逆流することを防止できる。これにより、メンテナンスの対象の出口分岐流路１８から冷却水が継続的に流出することを防止できる。なお、メンテナンスの対象の流路に存在していた冷却水は第２〜第５実施形態と同様に、ドレンバルブ５２のドレンポート５２Ｃから共通ドレン流路５４に排出される。
【００４５】
次に、第７実施形態について説明する。図１５に示されるように、第７実施形態の集合配管ユニット１００は、第６実施形態の集合配管ユニット９０に対し、入口分岐流路１８毎に設置された複数の流量計３０に代えて、出口分岐流路１８毎に設置された複数の流量計３０を備える。入口分岐流路１４に流量計は備えられていない。他の構成は第６実施形態の集合配管ユニット９０と同じであるので同じ構成については図１〜１４と同じ符号を付することとして説明を省略する。集合配管ユニット１００は、第６実施形態の集合配管ユニット９０と同様の作用効果を奏する。
【００４６】
なお、第１〜第７実施形態において、集合配管ユニット１０、５０、６０、７０、８０、９０、１００は、共通ドレン流路３４及び／または共通ドレン流路５４を備えているが、各ドレンバルブ３２、５２毎に個別のドレン流路が連結されていてもよい。
【００４７】
また、第１〜第７実施形態において、流量計３０はフラッパ式であるが、集合配管ユニット１０、５０、６０、７０、８０、９０、１００は、他のタイプの流量計を備えていてもよい。また、集合配管ユニット１０、５０、６０、７０、８０、９０、１００は、流量計に代えて、または流量計と共に温度計、圧力計等の他の流体計測器を備えていてもよい。この場合も、ドレンバルブは流体計測器と入口主流路または出口主流路との間に配置されていることが好ましい。
【００４８】
また、第２及び第３実施形態において、集合配管ユニット５０、６０は、流量調整バルブ２８と、ドレンバルブ３２と、を備え、ドレンバルブ３２が、メンテナンスの対象の出口分岐流路１８への出口主流路１６からの冷却水の流入を阻止する役割を担っているが、流量調整バルブ２８が、メンテナンスの対象の出口分岐流路１８への出口主流路１６からの冷却水の流入を阻止する役割を担う構成としてもよい。この場合、ドレンバルブ３２が出口分岐流路１８に備えられていない構成としてもよい。
【００４９】
また、第１〜第７実施形態において、ドレンバルブ３２、５２、開閉バルブ２６、９２、流量調整バルブ２８、７２はいずれも手動式であるが、これらのバルブの全部または一部は電動式でもよい。
【００５０】
また、第１〜第７実施形態において、流量調整バルブ２８が備えられているが、集合配管ユニット１０、５０、６０、７０、８０、９０、１００は、流量調整バルブを備えていなくてもよい。
【００５１】
また、第１〜第７実施形態において、入口分岐流路１４と出口分岐流路１８の数が４である例が示されているが、入口分岐流路と出口分岐流路の数は２または３でもよい。また、入口分岐流路と出口分岐流路の数は５以上でもよい。
【００５２】
また、第１〜第７実施形態において、冷却対象２２の例として半導体を製造するためのドライエッチング装置や成膜装置が示されているが、複数の流路で流体が供給される装置や設備であれば冷却対象の種類は特に限定されない。冷却対象は複数の流路を備える１つの装置でもよい。また、冷却対象は１または複数の流路を有する複数の装置で構成される装置あるいは設備でもよい。
【００５３】
また、第１〜第７実施形態において、集合配管ユニット１０、５０、６０、７０、８０、９０、１００は、入口主流路１２及び入口分岐流路１４と、出口主流路１６及び出口分岐流路１８と、を備えているが、出口主流路及び出口分岐流路を備え、入口主流路及び入口分岐流路を備えていない集合配管ユニットにも本発明は適用可能である。また、入口主流路及び入口分岐流路を備え、出口主流路及び出口分岐流路を備えていない集合配管ユニットにも本発明は適用可能である。
【００５４】
また、第１〜第７実施形態において、流体が冷却水である例が示されているが、流体は洗浄液、潤滑油等の他の液体でもよい。また、液相と気相が混在する流体にも本発明は適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、様々な装置や設備において冷却水等の流体を複数の分岐流路から１つの主流路にまとめて排出したり、あるいは流体を１つの主流路から複数の分岐流路に供給するために利用できる。
【符号の説明】
【００５６】
１０、５０、６０、７０、８０、９０、１００    集合配管ユニット
１２    入口主流路
１４    入口分岐流路
１６    出口主流路
１８    出口分岐流路
２０    配管
２２    冷却対象
２４    チラー
２６、９２    開閉バルブ
２６Ａ、２８Ａ、７２Ａ、９２Ａ    入口ポート
２６Ｂ、２８Ｂ、７２Ｂ、９２Ｂ    出口ポート
２６Ｃ、２８Ｃ、３２Ｄ    弁体
２６Ｄ、２８Ｄ、３２Ｅ    軸部
２６Ｅ、２８Ｅ、３２Ｆ    つまみ部
２８、７２    流量調整バルブ
３０    流量計
３２、５２    ドレンバルブ
３２Ａ、５２Ａ    第１ポート
３２Ｂ、５２Ｂ    第２ポート
３２Ｃ、５２Ｃ    ドレンポート
３４、５４    共通ドレン流路
【要約】
メンテナンス作業が容易な集合配管ユニットを提供する。
集合配管ユニット（１０）は、出口主流路（１６）と、出口主流路（１６）に連結された複数の出口分岐流路（１８）と、複数の出口分岐流路（１８）毎に設置された複数のドレンバルブ（３２）と、を備える。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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