【手続補正書】
【提出日】平成30年8月22日(2018.8.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体（１８）における漏洩検知用の装置において、
少なくとも１つの可撓性の壁部（１４，１６）を有し、前記被検体（１８）を収納する検査用チャンバとして設計されたフィルムチャンバ（１２）と、
前記フィルムチャンバ（１２）の内容積部（２０）とガス導通可能に接続された圧力センサ（３０）と、
前記フィルムチャンバ（１２）の内容積部（２０）とガス導通可能に接続された真空ポンプ（２６）とを備えた、装置であって、
前記フィルムチャンバ（１２）の前記内容積部（２０）は、較正弁（３４）を介してガス導通可能な状態で較正チャンバ（３６）に接続されており、前記較正チャンバが較正容積部（３７）を内包していることを特徴とする、装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、前記較正容積部（３７）のサイズが、前記フィルムチャンバ（１２）の前記内容積部（２０）の少なくとも１／１０００であることを特徴とする、装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の装置であって、前記フィルムチャンバ（１２）の前記内容積部（２０）が、通気弁（３２）を介してガス導通可能な状態で前記フィルムチャンバ（１２）の周囲の外気に接続されていることを特徴とする、装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置であって、前記較正チャンバ（３６）が、所定の漏洩速度を有する漏洩試験器（４０）を備えることを特徴とする、装置。
【請求項５】
内容積部（２０）を内包する検査用チャンバを較正するための方法であって、前記検査用チャンバが、少なくとも１つの可撓性の壁部（１４，１６）を有するフィルムチャンバとして設計されており、かつ該検査用チャンバは圧力センサ（３０）および真空ポンプ（２６）と、また較正弁（３４）を介して、較正容積（３７）を内包する較正チャンバ（３６）とガス導通可能な状態で接続されているものである方法であって
前記フィルムチャンバ（１２）を排気するステップと、
排気が完了した後に前記フィルムチャンバ（１２）内の経時的な圧力特性を測定するステップと、
圧力特性を測定しながら、前記較正容積（３７）を前記フィルムチャンバ（１２）の前記内容積部（２０）にガス導通可能な状態で接続するステップとを含み、
前記フィルムチャンバとのガス導通接続が形成される前および前記フィルムチャンバとのガス導通接続がなされている間に前記圧力が測定され、
前記フィルムチャンバ（１２）との接続がなされる前の前記較正チャンバ（３６）内の圧力は、前記フィルムチャンバ（１２）内の圧力よりも高い、または低いものである、方法。
【請求項６】
請求項５に記載の方法であって、前記較正容積部（３７）のサイズが、前記フィルムチャンバ容積部の１／１０００〜１／１００の範囲であり、および、前記フィルムチャンバ（１２）との接続がなされる前の前記較正チャンバ（３０）は、近似的に大気圧であることを特徴とする、方法。
【請求項７】
請求項５または６に記載の方法であって、前記フィルムチャンバ容積部（２０）の容積は以下のように計算されることを特徴とする、方法。
【数１】
2017528725.tif 000001
ここでＶＦはフィルムチャンバ容積部（２０）の容積、ＶＶは較正容積部（３７）の容積、ｐＶはフィルムチャンバ容積部（２０）との接続がなされる前の較正チャンバ（３６）内の圧力、ｐＧは、較正容積部（３７）との接続がなされた後のフィルムチャンバ（１２）内の圧力、ｐＦは、較正容積部（３７）との接続がなされる前のフィルムチャンバ（１２）内の圧力である。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか１項に記載の方法であって、前記フィルムチャンバ容積部（２０）の容積は以下のように計算されることを特徴とする、方法。
【数２】
2017528725.tif 000002
ここでＶＦはフィルムチャンバ容積部（２０）の容積、ＶＶは較正容積部（３７）の容積、ｐＶはフィルムチャンバ容積部（２０）との接続がなされる前の較正チャンバ（３６）内の圧力、ｐＧは較正容積部（３７）との接続がなされた後のフィルムチャンバ（１２）内の圧力、ｐＦは較正容積部（３７）との接続がなされる前のフィルムチャンバ（１２）内の圧力である。
【請求項９】
請求項５〜８のいずれか１項に記載の方法であって、前記フィルムチャンバ容積部（２０）の容積が、前記フィルムチャンバ（１２）に収納された前記被検体（１８）を用いて求められることを特徴とする、方法。
【請求項１０】
請求項５〜９のいずれか１項に記載の方法であって、前記較正容積部（３７）との接続後に測定された圧力の増加に基づいて、前記フィルムチャンバ（１２）内における前記被検体（１８）の有無が判断され、前記被検体（１８）が前記フィルムチャンバ（１２）内に収納されている場合、前記被検体（１８）がない場合よりも圧力の増加が大きいことを特徴とする、方法。
【請求項１１】
請求項５〜１０のいずれか１項に記載の方法であって、さらに、前記被検体（１８）の種類、形状、および／またはサイズが、前記フィルムチャンバ容積部（２０）の容積に基づいて求められることを特徴とする、方法。
【請求項１２】
請求項５〜８のいずれか１項に記載の方法であって、前記較正チャンバ（３６）に所定の漏洩速度を有する漏洩試験器（４０）が備えられており、前記フィルムチャンバ容積部（２０）の容積の決定後に、前記検査漏洩（４０）によって引き起こされる前記フィルムチャンバ（１２）内の圧力の増加に基づいて、前記測定センサ（３０）の較正が行われることを特徴とする、方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
第２の実施形態は、較正チャンバ３６の壁３８が、所定の漏洩速度を有する漏洩試験器（試験用漏洩体）４０を備えるという点のみにおいて第１の実施形態とは異なっている。この漏洩試験器４０は、毛管状の漏洩部を有するものである。圧力ストロークΔｐ後に、図１０の右端に示されるような線形の圧力の増加が、漏洩試験器４０によってさらに引き起こされ、これをシステム全体の較正に使用できる。このように、第２の実施形態においては、圧力の増加Δｐに基づいてフィルムチャンバ容積部２０のを求めた後、検査漏洩４０の線形の圧力の増加を使用して、被検体の漏洩速度を正確に計算することができる。漏洩試験器４０の漏洩速度は既知であるので、漏洩試験器４０によって引き起こされる線形の圧力の増加の勾配によって、図４に示された圧力の増加から、または圧力ストロークΔｐから被検体の漏洩速度を正確に計算することができる。
なお、本発明は、実施の態様として以下の内容を含む。
〔態様１〕
被検体（１８）における漏洩検知用の装置において、
少なくとも１つの可撓性の壁部（１４，１６）を有し、前記被検体（１８）を収納する検査用チャンバとして設計されたフィルムチャンバ（１２）と、
前記フィルムチャンバ（１２）の内容積部（２０）とガス導通可能に接続された圧力センサ（３０）と、
前記フィルムチャンバ（１２）の内容積部（２０）とガス導通可能に接続された真空ポンプ（２６）とを備えた、装置であって、
前記フィルムチャンバ（１２）の前記内容積部（２０）は、較正弁（３４）を介してガス導通可能な状態で較正チャンバ（３６）に接続されており、前記較正チャンバが較正容積部（３７）を内包していることを特徴とする、装置。
〔態様２〕
態様１に記載の装置であって、前記較正容積部（３７）のサイズが、前記フィルムチャンバ（１２）の前記内容積部（２０）の少なくとも１／１０００、（好ましくは約１／１００）であることを特徴とする、装置。
〔態様３〕
態様１または２に記載の装置であって、前記フィルムチャンバ（１２）の前記内容積部（２０）が、通気弁（３２）を介してガス導通可能な状態で前記フィルムチャンバ（１２）の周囲の外気に接続されていることを特徴とする、装置。
〔態様４〕
態様１〜３のいずれか一態様に記載の装置であって、前記較正チャンバ（３６）が、所定の漏洩速度を有する漏洩試験器（４０）を備えることを特徴とする、装置。
〔態様５〕
内容積部（２０）を内包する検査用チャンバを較正するための方法であって、前記検査用チャンバが、少なくとも１つの可撓性の壁部（１４，１６）を有するフィルムチャンバとして設計されており、かつ該検査用チャンバは圧力センサ（３０）および真空ポンプ（２６）と、また較正弁（３４）を介して、較正容積（３７）を内包する較正チャンバ（３６）とガス導通可能な状態で接続されているものである方法であって
前記フィルムチャンバ（１２）を排気するステップと、
排気が完了した後に前記フィルムチャンバ（１２）内の経時的な圧力特性を測定するステップと、
圧力特性を測定しながら、前記較正容積（３７）を前記フィルムチャンバ（１２）の前記内容積部（２０）にガス導通可能な状態で接続するステップとを含み、
前記フィルムチャンバとのガス導通接続が形成される前および前記フィルムチャンバとのガス導通接続がなされている間に前記圧力が測定され、
前記フィルムチャンバ（１２）との接続がなされる前の前記較正チャンバ（３６）内の圧力は、前記フィルムチャンバ（１２）内の圧力よりも高い、または低いものである、方法。
〔態様６〕
態様５に記載の方法であって、前記較正容積部（３７）のサイズが、前記フィルムチャンバ容積部の１／１０００〜１／１００の範囲であり、および、前記フィルムチャンバ（１２）との接続がなされる前の前記較正チャンバ（３０）は、近似的に大気圧であることを特徴とする、方法。
〔態様７〕
態様５または６に記載の方法であって、前記フィルムチャンバ容積部（２０）の容積は以下のように計算されることを特徴とする、方法。
【数３】
2017528725.tif 000003
ここでＶＦはフィルムチャンバ容積部（２０）の容積、ＶＶは較正容積部（３７）の容積、ｐＶはフィルムチャンバ容積部（２０）との接続がなされる前の較正チャンバ（３６）内の圧力、ｐＧは、較正容積部（３７）との接続がなされた後のフィルムチャンバ（１２）内の圧力、ｐＦは、較正容積部（３７）との接続がなされる前のフィルムチャンバ（１２）内の圧力である。
〔態様８〕
態様５〜７のいずれか一態様に記載の方法であって、前記フィルムチャンバ容積部（２０）の容積は以下のように計算されることを特徴とする、方法。
【数４】
2017528725.tif 000004
ここでＶＦはフィルムチャンバ容積部（２０）の容積、ＶＶは較正容積部（３７）の容積、ｐＶはフィルムチャンバ容積部（２０）との接続がなされる前の較正チャンバ（３６）内の圧力、ｐＧは較正容積部（３７）との接続がなされた後のフィルムチャンバ（１２）内の圧力、ｐＦは較正容積部（３７）との接続がなされる前のフィルムチャンバ（１２）内の圧力である。
〔態様９〕
態様５〜８のいずれか一態様に記載の方法であって、前記フィルムチャンバ容積部（２０）の容積が、前記フィルムチャンバ（１２）に収納された前記被検体（１８）を用いて求められることを特徴とする、方法。
〔態様１０〕
態様５〜９のいずれか一態様に記載の方法であって、前記較正容積部（３７）との接続後に測定された圧力の増加に基づいて、前記フィルムチャンバ（１２）内における前記被検体（１８）の有無が判断され、前記被検体（１８）が前記フィルムチャンバ（１２）内に収納されている場合、前記被検体（１８）がない場合よりも圧力の増加が大きいことを特徴とする、方法。
〔態様１１〕
態様５〜１０のいずれか一態様に記載の方法であって、さらに、前記被検体（１８）の種類、形状、および／またはサイズが、前記フィルムチャンバ容積部（２０）の容積に基づいて求められることを特徴とする、方法。
〔態様１２〕
態様５〜８のいずれか一態様に記載の方法であって、前記較正チャンバ（３６）に所定の漏洩速度を有する漏洩試験器（４０）が備えられており、前記フィルムチャンバ容積部（２０）の容積の決定後に、前記検査漏洩（４０）によって引き起こされる前記フィルムチャンバ（１２）内の圧力の増加に基づいて、前記測定センサ（３０）の較正が行われることを特徴とする、方法。