(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の層を含むＬＳＩレイアウトパターンに含まれる複数の二次元図形の形状と配置とを示す二次元図形データであって、該複数の二次元図形の各々の形状と配置とを、順序付けられた二次元頂点座標の各々の集合によって示す二次元図形データを、該複数の二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けて格納する二次元図形データ格納部と、
前記複数の二次元図形のうち少なくとも一部の二次元図形が含まれる領域について、該領域に含まれる二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形を特徴づける特徴づけデータの、該領域に含まれる二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けた入力を受け付ける、特徴づけデータ入力受付部と、
前記二次元図形データと前記特徴づけデータとを用いて、前記領域に含まれる前記二次元図形の各々を積層方向に沿って拡張することで生成される各々の三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する、三次元図形データ生成部であって、
前記領域に含まれる前記二次元図形の各々の形状と配置とを示す二次元頂点座標の各々の集合を三次元に拡張することで得られる、該領域に含まれる該二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形の上面の形状と配置とを示す、順序付けられた三次元上面頂点座標の各々の集合と、
前記三次元上面頂点座標の各々の集合に対応する、順序付けられた三次元下面頂点座標の各々の集合と
を用いて前記三次元図形データを生成する、三次元図形データ生成部と、
前記三次元図形データによって形状と配置とが示される三次元図形を、該三次元図形の各々が属する各々の層と対応づけて、所定の積層順序に従って表示する、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示部と
を備え、
前記三次元図形データにおいて、三次元図形の形状と配置とは、該三次元図形を構成する複数の面の各々に対して与えられる順序付けられた三次元頂点座標の集合によって示され、
前記特徴づけデータは、前記三次元図形のうち一部の三次元図形に対しては、自己の属する層の積層方向に関する厚みを示すとともに、該三次元図形のうち別の一部の三次元図形に対しては、該別の一部の三次元図形が、自己以外の三次元図形内部に及ばない範囲で、自己の元となる二次元図形から下位層へと該積層方向に沿って拡張されつつ生成される三次元図形であることを示すデータであり、
前記別の一部の三次元図形において、自己以外の三次元図形内部に及ばない範囲で、自己の元となる二次元図形から前記下位層へと前記積層方向に沿って拡張できる長さが、該二次元図形を構成する複数の部分間で少なくとも一部異なる場合、前記三次元図形データ生成部は、該二次元図形を構成する部分ごとに別個に与えられる下面部分の順序付けられた三次元頂点座標の集合を用いることにより、該二次元図形を構成する前記複数の部分を該複数の部分間で少なくとも一部異なるような長さだけ前記積層方向にそれぞれ拡張して生成される三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する、
三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置。
【請求項２】
前記下位層が前記複数の層のうち最下位の層である、請求項１に記載の三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置。
【請求項３】
前記複数の二次元図形の各々は多角形であり、前記各々の三次元図形は、対応する各々の二次元図形を層の積層方向に沿って拡張することで生成される各々の多面体であり、前記三次元図形データ生成部は、該多面体における各々の面の形状と配置とを示すデータとして前記三次元図形データを生成し、
前記二次元図形データにより形状と配置とが示される二次元図形のうち少なくとも一つが前記領域の外縁によって切断されるとき、前記三次元図形データ生成部は、該切断される二次元図形を前記積層方向に沿って拡張することで生成される三次元図形を該外縁で該積層方向に沿って切断したときの切断面の形状と配置とを示すデータを生成し、該切断される三次元図形のうち該領域の内側にある三次元図形部分の形状と配置とを示すデータを生成する、
請求項１又は２に記載の三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置。
【請求項４】
三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置が実行する表示方法であって、
複数の層を含むＬＳＩレイアウトパターンに含まれる複数の二次元図形のうち少なくとも一部の二次元図形が含まれる領域について、該領域に含まれる二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形を特徴づける特徴づけデータの、該領域に含まれる二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けた入力を受け付ける入力受付工程と、
前記複数の二次元図形の形状と配置とを示す二次元図形データであって、該複数の二次元図形の各々の形状と配置とを、順序付けられた二次元頂点座標の各々の集合によって示す二次元図形データと、前記特徴づけデータとを用いて、前記領域に含まれる前記二次元図形の各々を積層方向に沿って拡張することで生成される各々の三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する生成工程であって、
前記領域に含まれる前記二次元図形の各々の形状と配置とを示す二次元頂点座標の各々の集合を三次元に拡張することで得られる、該領域に含まれる該二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形の上面の形状と配置とを示す、順序付けられた三次元上面頂点座標の各々の集合と、
前記三次元上面頂点座標の各々の集合に対応する、順序付けられた三次元下面頂点座標の各々の集合と
を用いて前記三次元図形データを生成する、三次元図形データ生成工程と、
前記三次元図形データによって形状と配置とが示される三次元図形を、該三次元図形の各々が属する各々の層と対応づけて、所定の積層順序に従って表示する表示工程と
を含み、
前記三次元図形データにおいて、三次元図形の形状と配置とは、該三次元図形を構成する複数の面の各々に対して与えられる順序付けられた三次元頂点座標の集合によって示され、
前記特徴づけデータは、前記三次元図形のうち一部の三次元図形に対しては、自己の属する層の積層方向に関する厚みを示すとともに、該三次元図形のうち別の一部の三次元図形に対しては、該別の一部の三次元図形が、自己以外の三次元図形内部に及ばない範囲で、自己の元となる二次元図形から下位層へと該積層方向に沿って拡張されつつ生成される三次元図形であることを示すデータであり、
前記別の一部の三次元図形において、自己以外の三次元図形内部に及ばない範囲で、自己の元となる二次元図形から前記下位層へと前記積層方向に沿って拡張できる長さが、該二次元図形を構成する複数の部分間で少なくとも一部異なる場合、前記三次元図形データ生成工程は、該二次元図形を構成する部分ごとに別個に与えられる下面部分の順序付けられた三次元頂点座標の集合を用いることにより、該二次元図形を構成する前記複数の部分を該複数の部分間で少なくとも一部異なるような長さだけ前記積層方向にそれぞれ拡張して生成される三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する、
三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示方法。
【請求項５】
コンピュータに、
複数の層を含むＬＳＩレイアウトパターンに含まれる複数の二次元図形のうち少なくとも一部の二次元図形が含まれる領域について、該領域に含まれる二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形を特徴づける特徴づけデータの、該領域に含まれる二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けた入力を受け付ける入力受付手順と、
前記複数の二次元図形の形状と配置とを示す二次元図形データであって、該複数の二次元図形の各々の形状と配置とを、順序付けられた二次元頂点座標の各々の集合によって示す二次元図形データと、前記特徴づけデータとを用いて、前記領域に含まれる前記二次元図形の各々を積層方向に沿って拡張することで生成される各々の三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する生成手順であって、
前記領域に含まれる前記二次元図形の各々の形状と配置とを示す二次元頂点座標の各々の集合を三次元に拡張することで得られる、該領域に含まれる該二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形の上面の形状と配置とを示す、順序付けられた三次元上面頂点座標の各々の集合と、
前記三次元上面頂点座標の各々の集合に対応する、順序付けられた三次元下面頂点座標の各々の集合と
を用いて前記三次元図形データを生成する、三次元図形データ生成手順と、
前記三次元図形データによって形状と配置とが示される三次元図形を、該三次元図形の各々が属する各々の層と対応づけて、所定の積層順序に従って表示させる表示手順と
を実行させるためのプログラムであって、
前記三次元図形データにおいて、三次元図形の形状と配置とは、該三次元図形を構成する複数の面の各々に対して与えられる順序付けられた三次元頂点座標の集合によって示され、
前記特徴づけデータは、前記三次元図形のうち一部の三次元図形に対しては、自己の属する層の積層方向に関する厚みを示すとともに、該三次元図形のうち別の一部の三次元図形に対しては、該別の一部の三次元図形が、自己以外の三次元図形内部に及ばない範囲で、自己の元となる二次元図形から下位層へと該積層方向に沿って拡張されつつ生成される三次元図形であることを示すデータであり、
前記別の一部の三次元図形において、自己以外の三次元図形内部に及ばない範囲で、自己の元となる二次元図形から前記下位層へと前記積層方向に沿って拡張できる長さが、該二次元図形を構成する複数の部分間で少なくとも一部異なる場合、前記三次元図形データ生成手順は、該二次元図形を構成する部分ごとに別個に与えられる下面部分の順序付けられた三次元頂点座標の集合を用いることにより、該二次元図形を構成する前記複数の部分を該複数の部分間で少なくとも一部異なるような長さだけ前記積層方向にそれぞれ拡張して生成される三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する、
三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示プログラム。
【請求項６】
複数の層を含むＬＳＩレイアウトパターンに含まれる複数の二次元図形の形状と配置とを示す二次元図形データであって、該複数の二次元図形の各々の形状と配置とを、順序付けられた二次元頂点座標の各々の集合によって示す二次元図形データを、該複数の二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けて格納する二次元図形データ格納部と、
前記複数の二次元図形のうち少なくとも一部の二次元図形が含まれる領域について、該領域に含まれる二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形を特徴づける特徴づけデータを、該領域に含まれる二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けて外部から受信する、特徴づけデータ受信部と、
前記二次元図形データと前記特徴づけデータとを用いて、前記領域に含まれる前記二次元図形の各々を積層方向に沿って拡張することで生成される各々の三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する、三次元図形データ生成部であって、
前記領域に含まれる前記二次元図形の各々の形状と配置とを示す二次元頂点座標の各々の集合を三次元に拡張することで得られる、該領域に含まれる該二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形の上面の形状と配置とを示す、順序付けられた三次元上面頂点座標の各々の集合と、
前記三次元上面頂点座標の各々の集合に対応する、順序付けられた三次元下面頂点座標の各々の集合と
を用いて前記三次元図形データを生成する、三次元図形データ生成部と、
前記三次元図形データによって形状と配置とが示される三次元図形を、該三次元図形の各々が属する各々の層と対応づけて、所定の積層順序に従って表示することで得られる三次元ＬＳＩレイアウトパターンのデータを外部へと送信する、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ送信部と
を備え、
前記三次元図形データにおいて、三次元図形の形状と配置とは、該三次元図形を構成する複数の面の各々に対して与えられる順序付けられた三次元頂点座標の集合によって示され、
前記特徴づけデータは、前記三次元図形のうち一部の三次元図形に対しては、自己の属する層の積層方向に関する厚みを示すとともに、該三次元図形のうち別の一部の三次元図形に対しては、該別の一部の三次元図形が、自己以外の三次元図形内部に及ばない範囲で、自己の元となる二次元図形から下位層へと該積層方向に沿って拡張されつつ生成される三次元図形であることを示すデータであり、
前記別の一部の三次元図形において、自己以外の三次元図形内部に及ばない範囲で、自己の元となる二次元図形から前記下位層へと前記積層方向に沿って拡張できる長さが、該二次元図形を構成する複数の部分間で少なくとも一部異なる場合、前記三次元図形データ生成部は、該二次元図形を構成する部分ごとに別個に与えられる下面部分の順序付けられた三次元頂点座標の集合を用いることにより、該二次元図形を構成する前記複数の部分を該複数の部分間で少なくとも一部異なるような長さだけ前記積層方向にそれぞれ拡張して生成される三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する、
三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ−Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ：大規模集積回路）設計、製造、評価、解析に関わるデータビューイング及び故障解析等の構造解析等の用途に用いることができる三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置、方法、プログラム、及び三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＳＩ設計データは多層化が進み、多層構造、断面構造も更に複雑化している。この複雑化した多層構造を目視にて把握するには表示ツールを駆使することが有効であるが、従来の一般的なＬＳＩ設計データ表示ツールにおいては二次元平面上での表示機能が備えられているに過ぎず、設計者が表示の拡大／縮小を繰り返し、層ごとの表示／非表示を切り替えながら物理的構造を想像して把握することを強いられており、このような作業には相当の時間を要していた。
【０００３】
ＬＳＩ設計データの三次元可視化に関する文献として特許文献１が挙げられるが、当該文献においては二次元ＬＳＩレイアウトパターンから三次元ＬＳＩレイアウトパターンを生成するための具体的なデータ処理方法が詳細に記載されているわけではなく、また三次元可視化後の構造把握のための様々な手段についても当該文献には記載されていない。特許文献２も二次元データの三次元可視化に関する文献ではあるが、当該文献は電子基板に関するものであり、二次元ＬＳＩレイアウトパターンから三次元レイアウトパターンを生成するための具体的な手法が記載されているわけではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平３−１７１２６０号公報
【特許文献２】国際公開第２０１３／０５８１１７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
以上に鑑み、本発明は、多層化し複雑化されたＬＳＩ設計データの表示において、従来の一般的な表示ツールにおいては二次元表示していたレイアウトパターンを三次元可視化表示することにより構造解析を容易にし、従来技術が有していた上記課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するべく、本発明は、複数の層を含むＬＳＩレイアウトパターンに含まれる複数の二次元図形の形状と配置とを示す二次元図形データを、複数の二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けて格納する二次元図形データ格納部と、複数の二次元図形のうち少なくとも一部の二次元図形が含まれる領域について、領域に含まれる二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形を特徴づける特徴づけデータの、領域に含まれる二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けた入力を受け付ける、特徴づけデータ入力受付部と、二次元図形データと特徴づけデータとを用いて、領域に含まれる二次元図形の各々を積層方向に沿って拡張することで生成される各々の三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する、三次元図形データ生成部と、三次元図形データによって形状と配置とが示される三次元図形を、三次元図形の各々が属する各々の層と対応づけて、所定の積層順序に従って表示する、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示部とを備え、特徴づけデータは、三次元図形のうち一部の三次元図形に対しては、自己の属する層の積層方向に関する厚みを示すとともに、三次元図形のうち別の一部の三次元図形に対しては、別の一部の三次元図形が、自己以外の三次元図形内部に及ばない範囲で、自己の元となる二次元図形から下位層へと積層方向に沿って拡張されつつ生成される三次元図形であることを示すデータである、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置を提供する。
【０００７】
上記表示装置において、下位層とは複数の層のうち最下位の層であってよい。
【０００８】
上記表示装置において、複数の二次元図形の各々は多角形であってよく、各々の三次元図形は、対応する各々の二次元図形を層の積層方向に沿って拡張することで生成される各々の多面体であってよく、三次元図形データ生成部は、多面体における各々の面の形状と配置とを示すデータとして三次元図形データを生成するものであってよく、二次元図形データにより形状と配置とが示される二次元図形のうち少なくとも一つが領域の外縁によって切断されるとき、三次元図形データ生成部は、切断される二次元図形を積層方向に沿って拡張することで生成される三次元図形を外縁で積層方向に沿って切断したときの切断面の形状と配置とを示すデータを生成し、切断される三次元図形のうち領域の内側にある三次元図形部分の形状と配置とを示すデータを生成するものであってよい。
【０００９】
また本発明は、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置が実行する表示方法であって、複数の層を含むＬＳＩレイアウトパターンに含まれる複数の二次元図形のうち少なくとも一部の二次元図形が含まれる領域について、領域に含まれる二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形を特徴づける特徴づけデータの、領域に含まれる二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けた入力を受け付ける入力受付工程と、複数の二次元図形の形状と配置とを示す二次元図形データと特徴づけデータとを用いて、領域に含まれる二次元図形の各々を積層方向に沿って拡張することで生成される各々の三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する生成工程と、三次元図形データによって形状と配置とが示される三次元図形を、三次元図形の各々が属する各々の層と対応づけて、所定の積層順序に従って表示する表示工程とを含み、特徴づけデータは、三次元図形のうち一部の三次元図形に対しては、自己の属する層の積層方向に関する厚みを示すとともに、三次元図形のうち別の一部の三次元図形に対しては、別の一部の三次元図形が、自己以外の三次元図形内部に及ばない範囲で、自己の元となる二次元図形から下位層へと積層方向に沿って拡張されつつ生成される三次元図形であることを示すデータである、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示方法を提供する。
【００１０】
また本発明は、コンピュータに、複数の層を含むＬＳＩレイアウトパターンに含まれる複数の二次元図形のうち少なくとも一部の二次元図形が含まれる領域について、領域に含まれる二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形を特徴づける特徴づけデータの、領域に含まれる二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けた入力を受け付ける入力受付手順と、複数の二次元図形の形状と配置とを示す二次元図形データと特徴づけデータとを用いて、領域に含まれる二次元図形の各々を積層方向に沿って拡張することで生成される各々の三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する生成手順と、三次元図形データによって形状と配置とが示される三次元図形を、三次元図形の各々が属する各々の層と対応づけて、所定の積層順序に従って表示させる表示手順とを実行させるためのプログラムであって、特徴づけデータは、三次元図形のうち一部の三次元図形に対しては、自己の属する層の積層方向に関する厚みを示すとともに、三次元図形のうち別の一部の三次元図形に対しては、別の一部の三次元図形が、自己以外の三次元図形内部に及ばない範囲で、自己の元となる二次元図形から下位層へと積層方向に沿って拡張されつつ生成される三次元図形であることを示すデータである、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示プログラムを提供する。
【００１１】
また本発明は、複数の層を含むＬＳＩレイアウトパターンに含まれる複数の二次元図形の形状と配置とを示す二次元図形データを、複数の二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けて格納する二次元図形データ格納部と、複数の二次元図形のうち少なくとも一部の二次元図形が含まれる領域について、領域に含まれる二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形を特徴づける特徴づけデータを、領域に含まれる二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けて外部から受信する、特徴づけデータ受信部と、二次元図形データと特徴づけデータとを用いて、領域に含まれる二次元図形の各々を積層方向に沿って拡張することで生成される各々の三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する、三次元図形データ生成部と、三次元図形データによって形状と配置とが示される三次元図形を、三次元図形の各々が属する各々の層と対応づけて、所定の積層順序に従って表示することで得られる三次元ＬＳＩレイアウトパターンのデータを外部へと送信する、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ送信部とを備え、特徴づけデータは、三次元図形のうち一部の三次元図形に対しては、自己の属する層の積層方向に関する厚みを示すとともに、三次元図形のうち別の一部の三次元図形に対しては、別の一部の三次元図形が、自己以外の三次元図形内部に及ばない範囲で、自己の元となる二次元図形から下位層へと積層方向に沿って拡張されつつ生成される三次元図形であることを示すデータである、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、多層で複雑に構成された二次元データであるＬＳＩ設計データを層情報定義により三次元可視化することで、製造後の形状により近いＬＳＩレイアウトパターン表示が可能となるとともに、より容易に、且つ短時間で構造を把握することが可能となる。また、設計段階から製造後の形状を把握することが可能となるため、設計、製造、評価、解析の各工程で同一の形状イメージを共有することも期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】二次元ＬＳＩレイアウトパターンの一例を示す図。
【図２Ａ】図１のレイアウトパターン中、上から１番目の層（最上位層）のレイアウトパターンを示す図。
【図２Ｂ】図１のレイアウトパターン中、上から２番目の層のレイアウトパターンを示す図。
【図２Ｃ】図１のレイアウトパターン中、上から３番目の層のレイアウトパターンを示す図。
【図２Ｄ】図１のレイアウトパターン中、上から４番目の層のレイアウトパターンを示す図。
【図２Ｅ】図１のレイアウトパターン中、上から５番目の層（最下位層）のレイアウトパターンを示す図。
【図３】図１に示される二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形を特徴づける特徴づけデータの一例を示す画面イメージ図。
【図４】図１の二次元ＬＳＩレイアウトパターンと図３の特徴づけデータとから決定される三次元構造を、図１のＡ−Ａ’線に沿って切断した時の断面を示す断面図。
【図５】図１の二次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す二次元図形データと、図３の特徴づけデータとを用いて生成される三次元図形データから得られる三次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す画面イメージ図。
【図６】二次元ＬＳＩレイアウトパターンの別の一例を示す図。
【図７Ａ】図６のレイアウトパターン中、上から１番目の層（最上位層）のレイアウトパターンを示す図。
【図７Ｂ】図６のレイアウトパターン中、上から２番目の層のレイアウトパターンを示す図。
【図７Ｃ】図６のレイアウトパターン中、上から３番目の層のレイアウトパターンを示す図。
【図７Ｄ】図６のレイアウトパターン中、上から４番目の層のレイアウトパターンを示す図。
【図７Ｅ】図６のレイアウトパターン中、上から５番目の層のレイアウトパターンを示す図。
【図７Ｆ】図６のレイアウトパターン中、上から６番目の層のレイアウトパターンを示す図。
【図７Ｇ】図６のレイアウトパターン中、上から７番目の層のレイアウトパターンを示す図。
【図７Ｈ】図６のレイアウトパターン中、上から８番目の層のレイアウトパターンを示す図。
【図７Ｉ】図６のレイアウトパターン中、上から９番目の層（最下位層）のレイアウトパターンを示す図。
【図８】図６に示される二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形を特徴づける特徴づけデータの一例を示す画面イメージ。
【図９】図６の二次元ＬＳＩレイアウトパターンと図８の特徴づけデータとから決定される三次元構造を、図６のＡ−Ａ’線に沿って切断した時の断面を示す断面図。
【図１０】図６の二次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す二次元図形データと、図８の特徴づけデータとを用いて生成される三次元図形データから得られる三次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す画面イメージ図。
【図１１】図１の二次元ＬＳＩレイアウトパターンにおける三次元表示対象領域を、Ｂ−Ｂ’線により規定することを示す概念図。
【図１２】図１１のように三次元表示対象領域を規定するときに、図１のレイアウトパターン中、上から１番目の層に属するオブジェクトの二次元図形が切断される様子を示す概念図。
【図１３】図１の二次元ＬＳＩレイアウトパターン中、図１１のＢ−Ｂ’線よりも左側の三次元表示対象領域内のレイアウトパターンを三次元化した場合に、一部のオブジェクトの三次元図形が切断される様子を示す概念図。
【図１４】三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置の構成例を示す図。
【図１５】三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置の動作の一例を示すフローチャート。
【図１６】三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置により生成された二次元、三次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す画面イメージ図。
【図１７】二次元ＬＳＩレイアウトパターン上で三次元表示対象領域を選択するときの画面イメージ図。
【図１８】図１７に示すとおり三次元表示対象領域を選択したときに生成される三次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す画面イメージ図。
【図１９】二次元ＬＳＩレイアウトパターン上で、図１７に示す領域よりも狭い三次元表示対象領域を選択するときの画面イメージ図。
【図２０】図１９に示すとおり三次元表示対象領域を選択したときに生成される三次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す画面イメージ図。
【図２１】二次元ＬＳＩレイアウトパターン上で三次元表示対象領域を選択するときのイメージ図。
【図２２】図２１に示すとおり三次元表示対象領域を選択したときに生成される三次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す画面イメージ図。
【図２３】二次元ＬＳＩレイアウトパターン上で、図２１に示す領域よりも狭い三次元表示対象領域を選択するときの画面イメージ図。
【図２４】図２３に示すとおり三次元表示対象領域を選択したときに生成される三次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す画面イメージ図。
【図２５】ＦｉｎＦＥＴを含むＬＳＩの三次元レイアウトの一例を示す図。
【図２５Ａ】図２５の三次元レイアウト中、オブジェクト３１０の属する層よりも上位層部分を非表示にしたイメージ図。
【図２６】図２５に示すＦｉｎＦＥＴの一部を構成するオブジェクトの二次元レイアウトを示す図（説明を容易にするため、サイズや形状を変更している。）。
【図２６Ａ】図２６に示す二次元図形を三次元に拡張したときの側面の１つを示す図。
【図２７】三次元ＬＳＩレイアウトパターンを利用して三次元空間上での距離を測定するときの画面イメージ図。
【図２８Ａ】三次元ＬＳＩレイアウトパターンの画面イメージ図。
【図２８Ｂ】図２８Ａの三次元ＬＳＩレイアウトパターンにおいて等電位追跡結果を重ね合わせて表示したときの画面イメージ図。
【図２８Ｃ】三次元ＬＳＩレイアウトパターンの透過率を変更した時の画面イメージ図。
【図２８Ｄ】三次元ＬＳＩレイアウトパターンのワイヤーフレーム表示を変更した時の画面イメージ図。
【図２９】サーバ／クライアント型システムにおけるサーバ装置の構成例を示す図。
【図３０】サーバ／クライアント型システムにおけるクライアント装置の構成例を示す図。
【図３１】サーバ／クライアント型システムにおける動作の一例を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の例示的実施形態である三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置、方法、プログラム、及び三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置を、図面を参照しつつ説明する。ただし本発明による三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置、方法、プログラム、及び三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置が以下に説明する具体的態様に限定されるわけではなく、本発明の範囲内で適宜変更可能であることに留意する。後述の実施形態に含まれる個々の機能、機器、要素等は本発明の範囲内で適宜削除・変更可能であるし、実施形態に含まれない任意の機能、機器、要素等を本発明の範囲内で追加することも可能である。例えば、以下の実施形態においては主にＣＰＵ／ＧＰＵがプログラムを実行することにより三次元ＬＳＩレイアウトパターンに関する各種データ処理、制御を行うとして説明するが、本発明を実施するためにこのような構成を用いることは必須ではなく、ＡＳＩＣ（ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  ｓｐｅｃｉｆｉｃ  ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ：特定用途向け集積回路）、組み込みシステム、マイクロコンピュータ等、任意の構成により本発明を実施することが可能である。なお、二次元、三次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す各々の線図間、及び線図と画面イメージ等、各図面どうしの縮尺は必ずしも一致するとは限らず、同一図面内での各オブジェクトの寸法等も必ずしも正確なものとは限らないことに留意する。各図面中に含まれる同様の対象には同様の参照符号を付すが、それら対象の構成、動作が同一であるとは限らない。
【００１５】
１．三次元ＬＳＩレイアウトパターンの生成原理
以下、まずは三次元ＬＳＩレイアウトパターンの生成原理を説明する。図１は二次元ＬＳＩレイアウトパターンの一例を示す図であり、図２Ａ〜図２Ｅは、図１の二次元ＬＳＩレイアウトパターン２００中、それぞれ上から１番目〜５番目の層のレイアウトパターンを示す図である。なお、例えば図２Ａ中に示すオブジェクト「ＭＥＴＡＬ」は１番目の層に属しており、２番目の層のレイアウトパターンを示す図２Ｂ中には示されていないが、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」は上から１番目の層の構成要素であり、１番目の層の厚さを有しているとする（すなわち２番目の層に接している）。他のオブジェクトについても同様であり、例えば図２Ｄ中に示すオブジェクト「ＰＯＬＹ２」は上から４番目の層に属しており、５番目の層のレイアウトパターンを示す図２Ｅ中には示されていないが、オブジェクト「ＰＯＬＹ２」は上から４番目の層の構成要素であり、４番目の層の厚さを有しているとする（後述のとおり、４番目の層と５番目の層との間には酸化膜が存在する）。
【００１６】
二次元ＬＳＩレイアウトパターン２００に含まれる各々の二次元図形の形状と配置とは、一例においては頂点座標の順序付けられた集合により示すことができる。例えば、図２Ａに示す（上から）１番目の層に属するオブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の二次元図形の形状と配置は、二次元ｘｙ座標系中の順序付けられた頂点座標Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５によって示され、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５という順序で頂点を通るように二次元平面上に線分を描いていくことによりオブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の二次元図形（この例では矩形）が得られる。ただし始点Ｐ１と終点Ｐ５との座標は一致するものとする。
【００１７】
図２Ｂに示す２番目の層には、オブジェクト「ＣＯＮＴ１」，「ＣＯＮＴ２」，「ＣＯＮＴ３」が属している。オブジェクト「ＣＯＮＴ１」の二次元図形の形状と配置とは、順序付けられた頂点座標Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８，Ｐ９，Ｐ１０によって示され、Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８，Ｐ９，Ｐ１０という順序で頂点を通るように二次元平面上に線分を描いていくことによりオブジェクト「ＣＯＮＴ１」の二次元図形（この例では正方形）が得られる（始点Ｐ６と終点Ｐ１０との座標は一致するものとする）。オブジェクト「ＣＯＮＴ２」の二次元図形も、それぞれ順序付けられた頂点座標Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３，Ｐ１４，Ｐ１５によってその形状と配置とが同様に示され、オブジェクト「ＣＯＮＴ３」の二次元図形の形状と配置も、順序付けられた頂点座標Ｐ１６，Ｐ１７，Ｐ１８，Ｐ１９，Ｐ２０によって同様に示される。図２Ｃ〜図２Ｅに示す各オブジェクトの二次元図形の形状と配置も、順序付けられた頂点座標の集合によって同様に示される。
【００１８】
ここで、オブジェクト「ＣＯＮＴ１」は図２Ｂに示す２番目の層に属しているが、図２Ｃに示す３番目の層、及び図２Ｄに示す４番目の層のレイアウトパターンにおいてもオブジェクト「ＣＯＮＴ１」が示されている。これは、オブジェクト「ＣＯＮＴ１」が、１番目の層（最上位層）のオブジェクト「ＭＥＴＡＬ」と５番目の層（最下位層）のオブジェクト「ＤＩＦＦ」とを接続するコンタクト要素に対応するためであり、すなわちオブジェクト「ＣＯＮＴ１」は２〜４番目の層の一部を占めて、１番目の層の下面と５番目の層の上面に接している。同様に、オブジェクト「ＣＯＮＴ２」は１番目の層（最上位層）のオブジェクト「ＭＥＴＡＬ」と４番目の層のオブジェクト「ＰＯＬＹ２」とを接続するコンタクト要素に対応するため、２〜３番目の層の一部を占めて、１番目の層の下面と４番目の層の上面に接している。またオブジェクト「ＣＯＮＴ３」は１番目の層（最上位層）のオブジェクト「ＭＥＴＡＬ」と３番目の層のオブジェクト「ＰＯＬＹ１」とを接続するコンタクト要素に対応するため、２番目の層の一部を占めて、１番目の層の下面と３番目の層の上面に接している。
【００１９】
図３は、図１に示される二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形を特徴づける特徴づけデータの一例を示す図（画面イメージ図）であり、図１の二次元ＬＳＩレイアウトパターン２００を三次元に拡張するためのデータが図３には示されている。
【００２０】
図３の表中、１番目の層に対応する１番目の行には
「（順番）１，（定義名）ＭＥＴＡＬ，（レイヤ）０，（厚み）０．２」のデータ値が表示されており、これは１番目の層がオブジェクト「ＭＥＴＡＬ」のレイヤ（層のタイプ）であること、そして１番目の層の厚みが０．２であること（本実施形態において、単位はμｍとする。）を示している。
図３の表中、３番目の層に対応する３番目の行には
「（順番）３，（定義名）ＰＯＬＹ１，（レイヤ）２，（厚み）０．２」のデータ値が表示されており、これは３番目の層がオブジェクト「ＰＯＬＹ１」のレイヤであること、そして３番目の層の厚みが０．２であることを示している。
図３の表中、４番目の層に対応する４番目の行には
「（順番）４，（定義名）ＰＯＬＹ２，（レイヤ）３，（厚み）０．２」のデータ値が表示されており、これは４番目の層がオブジェクト「ＰＯＬＹ２」のレイヤであること、そして４番目の層の厚みが０．２であることを示している。
図３の表中、５番目の層に対応する５番目の行には
「（順番）５，（定義名）ＤＩＦＦ，（レイヤ）４，（厚み）０．４」のデータ値が表示されており、これは５番目の層がオブジェクト「ＤＩＦＦ」のレイヤであること、そして５番目の層の厚みが０．４であることを示している。
【００２１】
ここで、図３の表中、２番目の層に対応する２番目の行には
「（順番）２，（定義名）ＣＯＮＴ，（レイヤ）１，（厚み）空欄」のデータ値が表示されており、これは２番目の層がオブジェクト「ＣＯＮＴ」のレイヤであることを示しているものの、２番目の層の厚みは空欄となっている。本実施形態においては、このように厚みが与えられていない層はコンタクト層であると解釈される。本実施形態におけるコンタクト層とは、その層に属するオブジェクトが、自己以外のオブジェクトの三次元図形内部に及ばない範囲で最下位層まで積層方向に沿って拡張されるような層である。したがって、２番目の層であるコンタクト層に属するオブジェクト「ＣＯＮＴ１」，「ＣＯＮＴ２」，「ＣＯＮＴ３」は、自己以外のオブジェクトの三次元図形内部に及ばない範囲で最下位層である５番目の層まで拡張されることとなる。まずオブジェクト「ＣＯＮＴ１」について見れば、図１〜図２Ｅの二次元レイアウトパターン２００と図４の断面図からわかるとおり、５番目の層に至るまで自己以外のオブジェクトの三次元図形内部に及ぶことはないのであり、したがって５番目の層まで拡張されて、５番目の層に属するオブジェクト「ＤＩＦＦ」と接続される。次にオブジェクト「ＣＯＮＴ２」について見れば、図１〜図２Ｅの二次元レイアウトパターン２００と図４の断面図からわかるとおり、４番目の層において自己以外のオブジェクト「ＰＯＬＹ２」に接触するため、４番目の層まで拡張されて、４番目の層に属するオブジェクト「ＰＯＬＹ２」と接続される。次にオブジェクト「ＣＯＮＴ３」について見れば、図１〜図２Ｅの二次元レイアウトパターン２００と図４の断面図からわかるとおり、３番目の層において自己以外のオブジェクト「ＰＯＬＹ１」に接触するため、３番目の層まで拡張されて、３番目の層に属するオブジェクト「ＰＯＬＹ１」と接続される。
【００２２】
ここで、図３の表中、２番目の行においては厚みが空欄であるが、コンタクト層（２番目の層）の厚みは、図３の表中、「厚み設定」の枠内の「絶縁層」の項目に表示された値で与えられるとする。図３の例においては０．２が表示されており（単位はμｍとする）、すなわち２番目の層の厚みは０．２μｍである。
【００２３】
また、図３の表中、「厚み設定」の枠内の「酸化膜」の項目に表示された値（「０．２」。単位はμｍとする。）は、この例においては最下層である５番目の層に属するオブジェクト「ＤＩＦＦ」と、その一つ上の層である４番目の層に属するオブジェクト「ＰＯＬＹ２」との間に存在する酸化膜の厚みであるとする。したがって、オブジェクト「ＣＯＮＴ１」の厚みは、２番目の層の厚み０．２μｍと、３番目の層の厚み０．２μｍと、４番目の層の厚み０．２μｍと、酸化膜の厚み０．２μｍの合計である０．８μｍであることがわかる。次にオブジェクト「ＣＯＮＴ２」の厚みは、２番目の層の厚み０．２μｍと、３番目の層の厚み０．２μｍとの合計である０．４μｍである。またオブジェクト「ＣＯＮＴ３」の厚みは、２番目の層の厚み０．２μｍである。なお、特徴づけデータにより後述の「貫通オブジェクト」（コンタクト、ビア）であると特定されるオブジェクトは、後述の「通常オブジェクト」とは異なり酸化膜を貫通する。後述のとおりオブジェクト「ＣＯＮＴ１」は「貫通オブジェクト」であるため、酸化膜を貫通する。
【００２４】
図１〜図２Ｅに示す二次元ＬＳＩレイアウトパターン２００と、図３の表に示される特徴づけデータとを用いれば、ＬＳＩレイアウトパターンの三次元構造を把握し、三次元ＬＳＩレイアウトパターンへと拡張することが可能となる。まず図４は、図１の二次元ＬＳＩレイアウトパターンと図３の特徴づけデータとから決定される三次元構造を、図１のＡ−Ａ’線に沿って積層方向（図２Ａ等に示す二次元ｘｙ平面に垂直な方向）に切断した時の断面を示す断面図である（破線により示される積層方向（厚み方向）の数値の単位はμｍとする。）。図３の表に示す特徴づけデータによりＬＳＩレイアウトパターンの積層方向における「厚み」等の構造パラメータが特定されることにより、断面の構造を把握することが可能となる。
【００２５】
また図５は、図１の二次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す二次元図形データと、図３の特徴づけデータとを用いて生成される三次元図形データから得られる三次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す画面イメージ図である。ただし三次元レイアウトパターンの全体を示しているわけではなく、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」，「ＰＯＬＹ１」，「ＤＩＦＦ」の端部は表示されていない。以下、図５で示される各々の三次元図形の生成規則を説明する。
【００２６】
１−１．通常オブジェクトの三次元図形
まずオブジェクト「ＭＥＴＡＬ」について、その二次元図形の形状と配置は、図２Ａを用いて既に説明したとおり頂点座標Ｐ１〜Ｐ５を用いて示すことができるが、ここでは各頂点の座標（ｘ，ｙ）を、
Ｐ１：（０，０．８）
Ｐ２：（０，１．２）
Ｐ３：（３，１．２）
Ｐ４：（３，０．８）
Ｐ５：（０，０．８）
とする（ｘとｙの座標値の単位はμｍとする。他の座標の単位についても同様）。なお、上記座標値は説明の便宜上与えたものであり、図５に示す三次元ＬＳＩレイアウトパターン３００を生成するために用いた二次元図形データとは必ずしも一致するとは限らない（後述の画面イメージについても同様）。
【００２７】
図３の表中、「ＭＥＴＡＬ」に対応する行においては、順番が「１」とされ、厚みが「０．２」とされている。このように、順番として単独の数値が与えられ、且つ、厚みとして単独の数値が与えられているオブジェクトは、単独の層内に配置されるオブジェクト（「通常オブジェクト」）であると認識される。通常オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の二次元図形を三次元図形に拡張するにあたっては、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」に与えられた厚みの値である０．２を用いて、頂点座標Ｐ１〜Ｐ５を二次元から三次元に拡張する。
【００２８】
具体的に、まず図２Ａで示される二次元ＬＳＩレイアウトパターンは、図４の断面図に示されるとおり１番目の層の上面に対応する。ｘｙ平面に直交し、１番目の層から５番目の層へ、すなわち最上位層から最下位層に向かう方向にｚ軸を定義し、さらに図４中の破線とともに示される数値をｚ座標値とみなせば（１番目の層の上面をｚ＝０とすれば）、頂点座標Ｐ１〜Ｐ５は、以下のとおり三次元座標（ｘ，ｙ，ｚ）として表される。
Ｐ１：（０，０．８，０）
Ｐ２：（０，１．２，０）
Ｐ３：（３，１．２，０）
Ｐ４：（３，０．８，０）
Ｐ５：（０，０．８，０）
【００２９】
上記三次元頂点座標Ｐ１〜Ｐ５は、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の三次元図形の上面の頂点座標を示す。オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の厚みは０．２であるから（単位はμｍとする。他の厚みの単位についても同様。）、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の三次元図形の下面の頂点座標は、以下のとおり表される。
Ｐ１’：（０，０．８，０．２）
Ｐ２’：（０，１．２，０．２）
Ｐ３’：（３，１．２，０．２）
Ｐ４’：（３，０．８，０．２）
Ｐ５’：（０，０．８，０．２）
【００３０】
三次元頂点座標Ｐ１〜Ｐ５とＰ１’〜Ｐ５’とにより、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の三次元図形の形状と配置（位置、向き等）とが決定される。具体的に、この三次元図形は、当該三次元図形を構成する、以下の面の集合体として把握することができる。
第１面：Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（上面）。
第２面：Ｐ１’，Ｐ２’，Ｐ３’，Ｐ４’，Ｐ５’の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（底面）。
第３面：Ｐ１，Ｐ２，Ｐ２’，Ｐ１’，Ｐ５の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面１）。
第４面：Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３’，Ｐ２’，Ｐ２の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面２）。
第５面：Ｐ３，Ｐ４，Ｐ４’，Ｐ３’，Ｐ３の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面３）。
第６面：Ｐ４，Ｐ５，Ｐ５’，Ｐ４’，Ｐ４の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面４）。
【００３１】
したがって、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の三次元図形の形状と配置は、上記第１面〜第６面をそれぞれ示す、三次元頂点座標の順序付けられた６つの集合により示されることとなる。
【００３２】
オブジェクト「ＰＯＬＹ１」，「ＰＯＬＹ２」，「ＤＩＦＦ」は、図３の表中で順番として単独の数値が与えられ、且つ、厚みとして単独の数値が与えられているから、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」と同様に「通常オブジェクト」である。「通常オブジェクト」の三次元図形の形状と配置は、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」と同様に対応する二次元座標の頂点座標を三次元に拡張し、「厚み」に応じて下面の頂点座標を導入し、三次元図形を構成する複数の面をそれぞれ示す、三次元頂点座標の順序付けられた複数の集合を生成することにより決定することができる。
【００３３】
１−２．貫通オブジェクト（コンタクト）の三次元図形
既に説明したとおり、図３の表中で２番目の層に対応する厚みが空欄となっていることから、２番目の層はコンタクト層であり、コンタクト層に属するオブジェクトは、自己以外のオブジェクトの三次元図形内部に及ばない範囲で最下位層まで積層方向に沿って拡張される。このように、自己以外のオブジェクトの三次元図形内部に及ばない範囲で下位層まで拡張されるオブジェクトを「貫通オブジェクト」と呼び、特に自己以外のオブジェクトの三次元図形内部に及ばない範囲で「最下位層まで」拡張されるオブジェクトを「コンタクト」と呼ぶ。
【００３４】
オブジェクト「ＣＯＮＴ１」の二次元図形の頂点は、図２Ｂに示されるＰ６，Ｐ７，Ｐ８，Ｐ９，Ｐ１０であり（Ｐ１０はＰ６に一致）、ここでは便宜上、各頂点の座標（ｘ，ｙ）を、
Ｐ６：  （０．８，０．９）
Ｐ７：  （０．８，１．１）
Ｐ８：  （１，１．１）
Ｐ９：  （１，０．９）
Ｐ１０：（０．８，０．９）
とする（ｘとｙの座標値の単位はμｍとする。他の座標値の単位についても同様）。
【００３５】
オブジェクト「ＣＯＮＴ１」は２番目の層に属しており、また１番目の層の厚みが０．２μｍであったことから２番目の層の上面はｚ＝０．２となるから、頂点座標Ｐ６〜Ｐ１０は、以下のとおり三次元座標（ｘ，ｙ，ｚ）として表される。
Ｐ６：  （０．８，０．９，０．２）
Ｐ７：  （０．８，１．１，０．２）
Ｐ８：  （１，１．１，０．２）
Ｐ９：  （１，０．９，０．２）
Ｐ１０：（０．８，０．９，０．２）
【００３６】
上記三次元頂点座標Ｐ６〜Ｐ１０は、オブジェクト「ＣＯＮＴ１」の三次元図形の上面の頂点座標を示す。オブジェクト「ＣＯＮＴ１」は最下層に至るまで他のオブジェクトの三次元図形内部に及ばないので、最下層まで拡張されて最下層に属するオブジェクト「ＤＩＦＦ」の三次元図形と接続される。オブジェクト「ＣＯＮＴ１」の三次元図形の下面の頂点座標は、以下のとおり表される（既に述べたとおり、４番目の層と５番目の層との間には０．２μｍの厚みの酸化膜が存在する。図４参照。）。
Ｐ６’：  （０．８，０．９，１）
Ｐ７’：  （０．８，１．１，１）
Ｐ８’：  （１，１．１，１）
Ｐ９’：  （１，０．９，１）
Ｐ１０’：（０．８，０．９，１）
【００３７】
三次元頂点座標Ｐ６〜Ｐ１０とＰ６’〜Ｐ１０’とにより、オブジェクト「ＣＯＮＴ１」の三次元図形の形状と配置（位置、向き等）とが決定される。具体的に、この三次元図形は、当該三次元図形を構成する、以下の面の集合体として把握することができる。
第１面：Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８，Ｐ９，Ｐ１０の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（上面）。
第２面：Ｐ６’，Ｐ７’，Ｐ８’，Ｐ９’，Ｐ１０’の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（底面）。
第３面：Ｐ６，Ｐ７，Ｐ７’，Ｐ６’，Ｐ１０の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面１）。
第４面：Ｐ７，Ｐ８，Ｐ８’，Ｐ７’，Ｐ７の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面２）。
第５面：Ｐ８，Ｐ９，Ｐ９’，Ｐ８’，Ｐ８の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面３）。
第６面：Ｐ９，Ｐ１０，Ｐ１０’，Ｐ９’，Ｐ９の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面４）。
【００３８】
したがって、オブジェクト「ＣＯＮＴ１」の三次元図形の形状と配置は、上記第１面〜第６面をそれぞれ示す、三次元頂点座標の順序付けられた６つの集合により示されることとなる。
【００３９】
オブジェクト「ＣＯＮＴ２」，「ＣＯＮＴ３」の三次元図形の形状と配置も、オブジェクト「ＣＯＮＴ１」における三次元図形の形状と配置と同様に示すことができる。なお、オブジェクト「ＣＯＮＴ２」は４番目の層の上面でオブジェクト「ＰＯＬＹ２」の三次元図形に接するため、４番目の層の上面まで拡張されることとなり、オブジェクト「ＣＯＮＴ２」の下面の各頂点の三次元座標におけるｚ座標は１ではなく０．６となる。また、オブジェクト「ＣＯＮＴ３」は３番目の層の上面でオブジェクト「ＰＯＬＹ１」の三次元図形に接するため、３番目の層の上面まで拡張されることとなり、オブジェクト「ＣＯＮＴ３」の下面の各頂点の三次元座標におけるｚ座標は１ではなく０．４となる。
【００４０】
以上のとおり、三次元ＬＳＩレイアウトパターンに含まれるべき三次元図形は、当該三次元図形を構成する複数の面をそれぞれ示す、三次元頂点座標の順序付けられた複数の集合を生成することにより決定することができる。そのように生成される各々の三次元図形を、各々の三次元図形が属する各々の層（三次元図形の元となった二次元図形が属する層を、当該三次元図形が属する層とする。）と対応付けて、図３の「順番」項目の値で示される所定の積層順序に従って表示することにより、三次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示することができる。
【００４１】
１−３．貫通オブジェクト（ビア）の三次元図形
貫通オブジェクトの例としては、コンタクト以外に「ビア」が存在する。「ビア」とは、自己以外のオブジェクトの三次元図形内部に及ばない範囲で、指定された貫通開始層から指定された貫通終了層まで拡張されるオブジェクトである。
【００４２】
図６に、ビアを含む二次元ＬＳＩレイアウトパターンの一例を示す。図７Ａ〜図７Ｉに、図６のレイアウトパターン中、上から１番目（最上位層）〜９番目の層（最下位層）のレイアウトパターンをそれぞれ示す。また、図６に示される二次元図形の各々から生成されるべき各々の三次元図形を特徴づける特徴づけデータの一例を図８に示し、図６の二次元ＬＳＩレイアウトパターンと図８の特徴づけデータとから決定される三次元構造を、図６のＡ−Ａ’線に沿って切断した時の断面を示す断面図を図９に示す。さらに、図６の二次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す二次元図形データと、図８の特徴づけデータとを用いて生成される三次元図形データから得られる三次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す画面イメージ図を図１０に示す。
【００４３】
図示される各々のオブジェクトのうち、オブジェクト「ＶＩＡ１−１」，「ＶＩＡ１−２」，「ＶＩＡ１−３」，「ＶＩＡ２−１」，「ＶＩＡ２−２」，「ＶＩＡ２−３」がビアである。オブジェクト「ＶＩＡ１−１」，「ＶＩＡ１−２」，「ＶＩＡ１−３」は２番目の層に属し、オブジェクト「ＶＩＡ２−１」，「ＶＩＡ２−２」，「ＶＩＡ２−３」は６番目の層に属している。なお、図８の表中、定義名の「ＶＩＡ１」とは、ビア層である２番目の層（ビア層としては１番目）を特定するものであり、すなわち図８の表中、「ＶＩＡ１」とは、図６〜図７Ｉ，図９中のオブジェクト「ＶＩＡ１−１」，「ＶＩＡ１−２」，「ＶＩＡ１−３」に対応する。同様に、図８の表中、定義名の「ＶＩＡ２」とは、ビア層である６番目の層（ビア層としては２番目）を特定するものであり、すなわち図８の表中、「ＶＩＡ２」とは、図６〜図７Ｉ，図９中のオブジェクト「ＶＩＡ２−１」，「ＶＩＡ２−２」，「ＶＩＡ２−３」に対応する。
【００４４】
ここで、図８の表中、ビア層である２番目の層に対応する２番目の行には
「（順番）２−４，（定義名）ＶＩＡ１，（レイヤ）１，（厚み）０．２」のデータ値が表示されており、これは２番目の層が、自己以外のオブジェクトの三次元図形内部に及ばない範囲で２番目の層（貫通開始層）〜４番目の層（貫通終了層）を貫通するビアが属する層であり、２番目の層の厚みが０．２μｍであることを示している。レイヤ番号「１」は、２番目の層がビア層であるという層のタイプを表している。
【００４５】
まずオブジェクト「ＶＩＡ１−１」について見れば、図６〜図７Ｉの二次元レイアウトパターン２００と図９の断面図からわかるとおり、５番目の層に至るまで自己以外のオブジェクトの三次元図形内部に及ぶことはないのであり、したがって５番目の層まで拡張されて、５番目の層に属するオブジェクト「Ｍ２」と接続される（２〜４番目の層を貫通する）。次にオブジェクト「ＶＩＡ１−２」について見れば、図６〜図７Ｉの二次元レイアウトパターン２００と図９の断面図からわかるとおり、４番目の層において自己以外のオブジェクト「ＰＯＬＹ２」に接触するため、４番目の層まで拡張されて、４番目の層に属するオブジェクト「ＰＯＬＹ２」と接続される（２〜３番目の層を貫通する）。次にオブジェクト「ＶＩＡ１−３」について見れば、図６〜図７Ｉの二次元レイアウトパターン２００と図９の断面図からわかるとおり、３番目の層において自己以外のオブジェクト「ＰＯＬＹ１」に接触するため、３番目の層まで拡張されて、３番目の層に属するオブジェクト「ＰＯＬＹ１」と接続される（２番目の層を貫通する）。同様に図６〜図７Ｉの二次元レイアウトパターン２００、図８の特徴づけデータの表、図９の断面図からわかるとおり、オブジェクト「ＶＩＡ２−１」は６〜８番目の層を貫通し、オブジェクト「ＶＩＡ２−２」は６〜７番目の層を貫通し、オブジェクト「ＶＩＡ２−３」は６番目の層を貫通する。なお、図８の表中、６番目の層に対応する行の「順番」には「６−９」のデータ値が表示されており、これは６番目の層が、自己以外のオブジェクトの三次元図形内部に及ばない範囲で６番目の層（貫通開始層）〜９番目の層（貫通終了層）を貫通するビアが属する層であることを示しているが、９番目の層にはオブジェクト「ＤＩＦＦ」が属しているため、オブジェクト「ＶＩＡ２−１」〜「ＶＩＡ２−３」のうちいずれも、９番目の層を貫通しない。
【００４６】
オブジェクト「ＶＩＡ１−１」の二次元図形の頂点は、図７Ｂに示されるＰ６，Ｐ７，Ｐ８，Ｐ９，Ｐ１０であり（Ｐ１０はＰ６に一致）、ここでは便宜上、各頂点の座標（ｘ，ｙ）を、
Ｐ６：  （０．８，０．９）
Ｐ７：  （０．８，１．１）
Ｐ８：  （１，１．１）
Ｐ９：  （１，０．９）
Ｐ１０：（０．８，０．９）
とする。
【００４７】
オブジェクト「ＶＩＡ１−１」は２番目の層に属しており、また１番目の層の厚みが０．２μｍであったことから２番目の層の上面はｚ＝０．２となるから、頂点座標Ｐ６〜Ｐ１０は、以下のとおり三次元座標（ｘ，ｙ，ｚ）として表される。
Ｐ６：  （０．８，０．９，０．２）
Ｐ７：  （０．８，１．１，０．２）
Ｐ８：  （１，１．１，０．２）
Ｐ９：  （１，０．９，０．２）
Ｐ１０：（０．８，０．９，０．２）
【００４８】
上記三次元頂点座標Ｐ６〜Ｐ１０は、オブジェクト「ＶＩＡ１−１」の三次元図形の上面の頂点座標を示す。オブジェクト「ＶＩＡ１−１」は５番目の層に至るまで他のオブジェクトの三次元図形内部に及ばないので、５番目の層まで拡張されて５番目の層に属するオブジェクト「Ｍ２」の三次元図形と接続される。オブジェクト「ＶＩＡ１−１」の三次元図形の下面の頂点座標は、以下のとおり表される。
Ｐ６’：  （０．８，０．９，０．８）
Ｐ７’：  （０．８，１．１，０．８）
Ｐ８’：  （１，１．１，０．８）
Ｐ９’：  （１，０．９，０．８）
Ｐ１０’：（０．８，０．９，０．８）
【００４９】
三次元頂点座標Ｐ６〜Ｐ１０とＰ６’〜Ｐ１０’とにより、オブジェクト「ＶＩＡ１−１」の三次元図形の形状と配置（位置、向き等）とが決定される。具体的に、この三次元図形は、当該三次元図形を構成する、以下の面の集合体として把握することができる。
第１面：Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８，Ｐ９，Ｐ１０の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（上面）。
第２面：Ｐ６’，Ｐ７’，Ｐ８’，Ｐ９’，Ｐ１０’の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（底面）。
第３面：Ｐ６，Ｐ７，Ｐ７’，Ｐ６’，Ｐ１０の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面１）。
第４面：Ｐ７，Ｐ８，Ｐ８’，Ｐ７’，Ｐ７の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面２）。
第５面：Ｐ８，Ｐ９，Ｐ９’，Ｐ８’，Ｐ８の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面３）。
第６面：Ｐ９，Ｐ１０，Ｐ１０’，Ｐ９’，Ｐ９の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面４）。
【００５０】
したがって、オブジェクト「ＶＩＡ１−１」の三次元図形の形状と配置は、上記第１面〜第６面をそれぞれ示す、三次元頂点座標の順序付けられた６つの集合により示されることとなる。
【００５１】
オブジェクト「ＶＩＡ１−２」，「ＶＩＡ１−３」の三次元図形の形状と配置も、オブジェクト「ＶＩＡ１−１」における三次元図形の形状と配置と同様に示すことができる。なお、オブジェクト「ＶＩＡ１−２」は４番目の層の上面でオブジェクト「ＰＯＬＹ２」の三次元図形に接するため、４番目の層の上面まで拡張されることとなり、オブジェクト「ＶＩＡ１−２」の下面の各頂点の三次元座標におけるｚ座標は０．８ではなく０．６となる。また、オブジェクト「ＶＩＡ１−３」は３番目の層の上面でオブジェクト「ＰＯＬＹ１」の三次元図形に接するため、３番目の層の上面まで拡張されることとなり、オブジェクト「ＣＯＮＴ３」の下面の各頂点の三次元座標におけるｚ座標は０．８ではなく０．４となる。
【００５２】
オブジェクト「ＶＩＡ２−１」，「ＶＩＡ２−２」，「ＶＩＡ２−３」の三次元図形の形状と配置も、同様の原理で、三次元頂点座標の順序付けられた複数の集合を生成することにより決定することができる。なお、図８の表中、「厚み設定」の枠内の「酸化膜」の項目に表示された値（「０．２」。単位はμｍとする。）は、この例においては最下層である９番目の層に属するオブジェクト「ＤＩＦＦ」と、その一つ上の層である８番目の層に属するオブジェクト「ＰＯＬＹ４」との間に存在する酸化膜の厚みであるとする。したがって、オブジェクト「ＶＩＡ２−１」，「ＶＩＡ２−２」，「ＶＩＡ２−３」の三次元図形の上面のｚ座標は、図８の表に示される各層の厚みからわかるとおり１であるが、酸化膜の厚みを加味すれば、９番目の層のオブジェクト「ＤＩＦＦ」に接続される「ＶＩＡ２−１」の三次元図形の下面のｚ座標は１．８である。オブジェクト「ＶＩＡ２−２」の三次元図形の下面のｚ座標は１．４であり、オブジェクト「ＶＩＡ２−２」の三次元図形の下面のｚ座標は１．２である。
【００５３】
なお、ここまでの説明においては各オブジェクトの二次元図形が四角形である例を用いたが、通常オブジェクト、貫通オブジェクトを含む全てのオブジェクトの二次元図形の形は任意であってよい。例えば、或るオブジェクトの二次元図形がｎ角形（ｎは３以上の整数）であるばあい、当該ｎ角形の形状と配置は（ｎ＋１）個の順序付けられた二次元座標を用いて示すことができ（始点と終点の座標は一致する。）、基本的にはこれまでに説明した原理と同様の原理で三次元図形に拡張することができる。
【００５４】
１−４．領域指定に応じた切断面の生成
ここまでの例においては、図１又は図６中、オブジェクト「ＤＩＦＦ」よりも更に外側の矩形で図示された枠内の領域を三次元表示対象領域とし、二次元ＬＳＩレイアウトパターンにおいて当該領域内に含まれる二次元図形がそれぞれ三次元に拡張されるとして説明を行ったが（図１，図６等の二次元レイアウトパターンにおいては当該領域の外にもオブジェクトが配置されていてよいが、図１，図６等において領域外のオブジェクトは表示を省略した。）、三次元表示対象領域としては任意の領域を選択可能であり、例えば図１，図６等に示されていない全てのオブジェクトを含む全域を選択してもよいし、図１又は図６中の上記矩形で図示された領域よりも小さい領域を選択してもよい。
【００５５】
図１，図６等において選択された領域とは異なる三次元表示対象領域の例を、図１１に示す。図１１に示す二次元ＬＳＩレイアウトパターン（図１と同じ二次元ＬＳＩレイアウトパターンであるとし、その三次元構造も図３の特徴づけデータにより示されるとする。）においては、オブジェクト「ＤＩＦＦ」よりも更に外側の矩形で図示された枠内の領域のうち、Ｂ−Ｂ’線よりも左側の領域が三次元表示対象領域として選択されているものとする。このような三次元表示対象領域の外縁により（Ｂ−Ｂ’線により）、オブジェクト「ＰＯＬＹ１」の二次元図形が切断されることがわかる。
【００５６】
このように三次元表示対象領域の外縁でオブジェクトの二次元図形が切断される場合には、以下の説明するとおり、切断面の形状と配置を示す二次元座標、三次元座標のデータを生成し、三次元ＬＳＩレイアウトパターンにおいて当該切断面も表示することが、ＬＳＩの三次元構造を把握するために有効である。
【００５７】
図１１のように三次元表示対象領域を規定するときに、図１のレイアウトパターン中、上から１番目の層に属するオブジェクトの二次元図形が切断される様子を図１２に示す。オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の二次元図形の形状と配置は、既に説明したとおり順序付けられた頂点座標の集合Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５で示されるが、図１１に示す三次元表示対象領域においては、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の二次元図形のうち、Ｂ−Ｂ’線よりも左側（図１２の座標系で、ｘ座標値の小さくなる側）の二次元図形部分が三次元図形に拡張される。Ｂ−Ｂ’線がｘ＝２．４であるｙ軸に平行な直線であるとすると、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の二次元図形のうち三次元図形に拡張される上記二次元図形部分の頂点座標（ｘ，ｙ）は、
Ｐ１：（０，０．８）
Ｐ２：（０，１．２）
Ｐ３−１：（２．４，１．２）
Ｐ４−１：（２．４，０．８）
Ｐ５：（０，０．８）
となり、順序付けられた頂点座標の集合Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３−１，Ｐ４−１，Ｐ５により当該二次元図形部分の形状と配置とが示される。
【００５８】
上記順序付けられた頂点座標の集合Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３−１，Ｐ４−１，Ｐ５と、図３に示されるオブジェクト「ＭＥＴＡＬ」に対応する特徴づけデータを用いて、上記二次元図形部分を、既に説明した通常オブジェクトの三次元図形の生成と同様の原理で三次元図形部分に拡張することができる。
【００５９】
具体的に、まずオブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の存在する１番目の層の上面におけるｚ座標をｚ＝０とすれば、二次元図形部分の頂点座標Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３−１，Ｐ４−１，Ｐ５は、以下のとおり三次元座標（ｘ，ｙ，ｚ）として表される。
Ｐ１：（０，０．８，０）
Ｐ２：（０，１．２，０）
Ｐ３−１：（２．４，１．２，０）
Ｐ４−１：（２．４，０．８，０）
Ｐ５：（０，０．８，０）
【００６０】
上記三次元頂点座標Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３−１，Ｐ４−１，Ｐ５は、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の上記二次元図形部分を拡張して得られる三次元図形部分の上面の頂点座標を示す。オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の厚みは０．２であるから、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の上記三次元図形部分の下面の頂点座標は、以下のとおり表される。
Ｐ１’：（０，０．８，０．２）
Ｐ２’：（０，１．２，０．２）
Ｐ３−１’：（２．４，１．２，０．２）
Ｐ４−１’：（２．４，０．８，０．２）
Ｐ５’：（０，０．８，０．２）
【００６１】
三次元頂点座標Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３−１，Ｐ４−１，Ｐ５とＰ１’，Ｐ２’，Ｐ３−１’，Ｐ４−１’，Ｐ５’とにより、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の三次元図形部分の形状と配置（位置、向き等）とが決定される。具体的に、この三次元図形部分は、当該三次元図形部分を構成する、以下の面の集合体として把握することができる。
第１面：Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３−１，Ｐ４−１，Ｐ５の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（上面）。
第２面：Ｐ１’，Ｐ２’，Ｐ３−１’，Ｐ４−１’，Ｐ５’の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（底面）。
第３面：Ｐ１，Ｐ２，Ｐ２’，Ｐ１’，Ｐ５の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面１）。
第４面：Ｐ２，Ｐ３−１，Ｐ３−１’，Ｐ２’，Ｐ２の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面２）。
第５面：Ｐ３−１，Ｐ４−１，Ｐ４−１’，Ｐ３−１’，Ｐ３−１の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面３）。
第６面：Ｐ４−１，Ｐ５，Ｐ５’，Ｐ４−１’，Ｐ４−１の順序で頂点を通るように線分を描いて得られる面（側面４）。
【００６２】
したがって、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」の三次元図形を、Ｂ−Ｂ’線において積層方向（ｚ方向）に切断することで得られる三次元図形部分（Ｂ−Ｂ’線よりも左側の部分）の形状と配置は、上記第１面〜第６面をそれぞれ示す、三次元頂点座標の順序付けられた６つの集合により示されることとなる。Ｂ−Ｂ’線に沿って各層のオブジェクトの三次元図形を積層方向に切断する場合、オブジェクト「ＭＥＴＡＬ」以外に、オブジェクト「ＣＯＮＴ３」，「ＰＯＬＹ１」，「ＤＩＦＦ」も同様に切断されるが、それらオブジェクトが切断された時に三次元表示対象領域内にある各三次元図形部分の形状と配置も、同様の原理で三次元頂点座標の順序付けられた複数の集合により示される。そのようにして各三次元図形部分の形状と配置を決定すれば、図５に示す三次元ＬＳＩレイアウトパターンを、図１３中の破線から積層方向に切断したときの切断面を含む三次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示することが可能となり、切断面を含む三次元構造を把握することが容易となる。
【００６３】
２．三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置
次に、これまでに説明した三次元ＬＳＩレイアウトパターンの生成、及び表示を行う三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置の構成と動作を説明する。
【００６４】
２−１．三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置の構成
図１４に、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置の構成例を示す。三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置１は、処理装置２と、記録装置３と、入出力機器４と、ディスプレイ装置５とを備える。
【００６５】
処理装置２は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ：中央処理装置）及びＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ：グラフィックス  プロセッシング  ユニット）６と、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ：ランダム  アクセス  メモリ）等の一時メモリ１１とを備える。ＣＰＵ／ＧＰＵ６が記録装置３に記録されたＬＳＩ設計データ１４を用いて三次元図形データ生成プログラム１２を実行することにより、ＣＰＵ／ＧＰＵ６は、領域指定データ入力受付部７、特徴づけデータ入力受付部８、三次元図形データ生成部９として機能する。一例においては、ＣＰＵが領域指定データ入力受付部７、及び特徴づけデータ入力受付部８として機能し、ＧＰＵが三次元図形データ生成部９として機能する。ただし、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示に関する機能をＣＰＵとＧＰＵにどのように割り当てるかは任意であり、例えばＧＰＵを搭載せずに全ての処理をＣＰＵにより行ってもよい。またＣＰＵ／ＧＰＵ６は、記録装置３に記録された各種プログラム１３を実行することにより、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置１における入出力機器４やディスプレイ装置５の制御等、全体的な動作制御を行う各種制御部１０として機能する。一例においては入出力機器４の動作制御をＣＰＵが行い、ディスプレイ装置５における描画等の制御をＧＰＵが行うが、それら機能の割り当ても任意であり、ＧＰＵを搭載せずにＣＰＵが全て行ってもよい。
【００６６】
領域指定データ入力受付部７は、図１１等を用いて説明した、三次元表示対象領域を指定する入力を受け付ける機能部であり、一例においては、ユーザがマウス等の入出力機器４を用いて、ディスプレイ装置５上に表示された図１１のＢ−Ｂ’線のようなバーを動かすことにより三次元表示対象領域を指定し、指定された三次元表示対象領域を示すデータの入力を領域指定データ入力受付部７が受け付ける（その後の処理のために一時メモリ１１に記録する。）。なお、二次元ＬＳＩレイアウトパターンの全領域を三次元に拡張して三次元ＬＳＩレイアウトパターンとして表示する場合、領域指定は不要であり、したがって領域指定データ入力受付部７を省いても構わない。
【００６７】
特徴づけデータ入力受付部８は、図３、図８の表に示されるような特徴づけデータの入力を受け付ける機能部であり、一例においては、ユーザがマウス、キーボード等の入出力機器４を用いて、ディスプレイ装置５上にウインドウ表示された図３、図８のような表に各項目に対応する内容を入力し、これら入力された内容を示すデータの入力を特徴づけデータ入力受付部８が受け付ける（その後の処理のために一時メモリ１１に記録する。）。
【００６８】
三次元図形データ生成部９は、二次元ＬＳＩレイアウトパターンを示すＬＳＩ設計データ（二次元図形データ）１４と、特徴づけデータ入力受付部８が入力を受け付けた特徴づけデータとを用いて、領域指定データ入力受付部７が入力を受け付けた領域指定データが示す三次元表示対象領域に含まれる二次元図形の各々を積層方向に沿って拡張することで生成される各々の三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データ（各々の三次元図形についての、三次元頂点座標の順序付けられた複数の集合を示すデータ）を生成する機能部である。
【００６９】
各種制御部１０は、既に述べたとおり三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置１における全体的な動作制御を行う機能部であり、その機能の一つとして、三次元図形データ生成部９が生成した三次元図形データを用いて３Ｄ（３−ｄｉｍｅｎｓｉｏｎｓ）グラフィックエンジン等の描画プログラムを実行し、ディスプレイ装置５に三次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示させる。
【００７０】
記録装置３は、ハードディスクドライブ、ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｄｒｉｖｅ）等を備えた記録装置であり、複数の層を含むＬＳＩレイアウトパターンに含まれる複数の二次元図形の形状と配置とを示す二次元図形データ（各々の二次元図形についての、頂点座標の順序付けられた集合を示すデータ）を、複数の二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けて格納する。具体的には、図１等を用いて説明した二次元ＬＳＩレイアウトパターンに含まれる各々の二次元図形の形状と配置とを示す二次元頂点座標の集合を示すデータを、各々の二次元図形が属する各々の層の順番と対応付けて格納する。記録装置３は、ＬＳＩ設計データとして、このような二次元図形データ、及び二次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示するために用いられるその他のデータを格納する。
【００７１】
また記録装置３には、ＣＰＵ／ＧＰＵ６を既に説明したさまざまな機能部として機能させるための三次元図形データ生成プログラム１２、及び各種プログラム１３が記録されている。一例において、各種プログラム１３には、ＬＳＩ設計データ（二次元図形データ）１４に新たなデータを追加したり、既存データの変更、削除を行ったりするためのＬＳＩ設計データ編集プログラム、及びＬＳＩ設計データを用いて二次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示する表示プログラムが含まれており、ＣＰＵが当該プログラムを実行することにより、ユーザは二次元ＬＳＩレイアウトパターンを任意に編集した上で表示できる。
【００７２】
入出力機器４は、ユーザが三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置１に命令やデータを入力するためのマウス、キーボード等の入力デバイス、及び、必要に応じて音声出力を行うためのスピーカー等の出力デバイスを含む。
【００７３】
ディスプレイ装置５は、液晶ディスプレイ装置、有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ：ｏｒｇａｎｉｃ  ｅｌｅｃｔｒｏ−ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイ装置等の表示装置であり、ＣＰＵ／ＧＰＵ６による制御を受けることにより三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示部１５として機能する。三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示部１５は、三次元図形データによって形状と配置とが示される三次元図形を、三次元図形の各々が属する各々の層と対応づけて、所定の積層順序に従って表示する機能部であり、図５，図１０等を用いて説明した三次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示する。
【００７４】
２−２．三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置の動作
次に、図１４に示す構成を備えた三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置の動作の一例を、図１５のフローチャートに従い説明する。
【００７５】
まず三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置１の記録装置３に記録された各種プログラム１３には、既に述べたとおり二次元ＬＳＩレイアウトパターンの表示プログラムが含まれており、当該プログラムがＣＰＵ／ＧＰＵで実行されることにより、ディスプレイ装置５に二次元ＬＳＩレイアウトパターンが表示される（ステップＳ１５０１）。二次元ＬＳＩレイアウトパターン２００を表示した画面イメージを図１６に示す。
【００７６】
次に、領域指定データ入力受付部７は、ユーザがマウス、キーボード等の入出力機器４を用いて指定した領域を示す領域指定データの入力を受け付ける（ステップＳ１５０２）。一例においては、図１７に示すような二次元ＬＳＩレイアウトパターン２００がディスプレイ装置５に表示されている状態で、ユーザはマウスを用いたドラッグ操作により三次元表示対象領域変更バー２０２を上下に動かすことで三次元表示対象領域２０１を任意に変更し、ディスプレイ装置５の画面上に表示されたソフトウェアボタン（不図示）をマウスでクリックする等の操作により、三次元表示対象領域を指定し、指定された領域を示す領域指定データの入力を領域指定データ入力受付部７が受け付け、一時メモリ１１に記憶させる。三次元表示対象領域２０１を囲む、三次元表示対象領域変更バー２０２以外の辺についても、同様にマウスを用いたドラッグ操作で移動可能とすれば、ユーザは更に自由に三次元表示対象領域２０１を指定できる。
【００７７】
次に、三次元図形データ生成部９は、三次元表示対象領域内の二次元図形データを記録装置３から読み取り、一時メモリ１１に記憶させる（ステップＳ１５０３）。図１７の例でいえば、二次元ＬＳＩレイアウトパターン２００に含まれる全ての二次元図形のデータのうち、三次元表示対象領域２０１に含まれる二次元図形のデータを読み取る。三次元表示対象領域２０１の外縁（図１７中、矩形の各辺）により切断される二次元図形が存在する場合、既に述べた切断面表示処理のためにそのような二次元図形のデータも読み取る（切断される二次元図形のオブジェクトを三次元ＬＳＩレイアウトパターンから省く場合は、そのような二次元図形のデータを読み取ることは不要。）。
【００７８】
次に、特徴づけデータ入力受付部７は、ディスプレイ装置５に表示される図３，図８のようなウインドウ表示を利用して入出力機器４から行われる、ユーザによる特徴づけデータの入力を受け付ける（ステップＳ１５０４）。具体的には、図３，図８の表に示される「順番」、「定義名」、「レイヤ」、「厚み」、「絶縁層」、「酸化膜」といったデータ項目への入力内容を示すデータを、各々の層の番号（「順番」の入力値から特定される。）と対応付けて特徴づけデータ入力受付部７が受け付け、これらを一時メモリ１１に記憶させる。
【００７９】
次に、三次元図形データ生成部９は、一時メモリ１１に記憶された二次元図形データと特徴づけデータとを用いて、三次元表示対象領域に含まれる二次元図形の各々を積層方向に沿って拡張することで生成される各々の三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する（ステップＳ１５０５）。既に説明したとおり、ここにおける三次元図形データとは、三次元頂点座標の複数の順序付けられた集合を示すデータであり、例えば三次元図形が６面体である場合、各面に対応して集合を示すデータが生成されるため、一つの三次元図形に対応して合計６つのデータ集合が生成される。既に説明した、領域指定に応じて切断面を生成する態様においては、切断されるオブジェクトのうち三次元表示対象領域内の三次元図形部分の形状と配置とを示すデータが生成される。このように生成された三次元図形データは、一時メモリ１１に記憶された上で、３Ｄグラフィックエンジン等の描画プログラムによる３次元表示処理に用いられることとなる。また後の距離計測等のために、生成された三次元図形データは記録装置３に記録される。
【００８０】
次に、上記３Ｄグラフィックエンジン等の描画プログラムをＣＰＵ又はＧＰＵが実行することによりディスプレイ装置５が制御されて、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示部１５として機能するディスプレイ装置５が、上記生成された三次元図形データによって形状と配置とが示される三次元図形を、三次元図形の各々が属する各々の層と対応づけて、所定の積層順序に従って三次元ＬＳＩレイアウトパターンとして表示する（ステップＳ１５０６）。３Ｄグラフィックエンジンとしては公知、あるいは非公知の任意のエンジンを用いることが可能であるが、一例においては、ＧＰＵが３Ｄグラフィックエンジンを実行することにより、
１）色の指定（ＲＧＢ値）、透過設定
２）形状の指定（点、線、三角形、四角形、…）
３）頂点列の指定（四角形の場合は、第１面の５頂点、第２面の５頂点、…）
という手順で三次元ＬＳＩレイアウトパターンが描画される（ＲＧＢ値、透過設定は入出力機器４を介して随時指定することができる。）。
【００８１】
一例においては、図１６に示すとおり二次元ＬＳＩレイアウトパターン２００に対応して三次元ＬＳＩレイアウトパターン３００が表示される。なお、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置１は、二次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示した状態においては、いつでも三次元ＬＳＩレイアウトパターンの表示命令を受け付けられる待ち状態にあり、一例においては領域指定データが入力されることをトリガとして図１５中のステップＳ１５０２〜Ｓ１５０３が行われ、引き続き特徴づけデータが入力されたことをトリガとしてステップＳ１５０４〜Ｓ１５０６が行われる。このような構成をとることにより、ユーザの要求に応じてリアルタイムで三次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示することができる。なお、上記描画プログラムをＧＰＵが実行することで実現される機能により、ユーザはマウス、キーボード等、入出力機器４からの入力を介して、ディスプレイ装置５に表示された三次元ＬＳＩレイアウトパターンに対して拡大・縮小／回転／移動の各操作をすることが可能であり、これによりＬＳＩレイアウトパターンをさまざまな方位から立体的に認識することができる。
【００８２】
３．三次元ＬＳＩレイアウトパターンのさまざまな例
以下、本実施形態に従って生成することができる三次元ＬＳＩレイアウトパターンのさまざまな例を説明する。
【００８３】
３−１．領域指定に応じた三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示例
図１７は、二次元ＬＳＩレイアウトパターン上で三次元表示対象領域を選択するときの画面イメージ図であり、このように領域指定した状態で生成される三次元ＬＳＩレイアウトパターンの画面イメージを図１８に示す（画面イメージは画面全体のイメージを表示しているわけではなく、説明のために部分的に切り取ったものである。他の画面イメージ図においても基本的には同様。）。ここで、図１７のような二次元ＬＳＩレイアウトパターンにおいて、三次元表示対象領域変更バー２０２を図１９に示すとおり上方に動かした上で三次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示させたときの画面イメージを図２０に示す。図１９においては三次元表示対象領域変更バー２０２によって二次元ＬＳＩレイアウトパターンに含まれる二次元図形の一部が切断されており、これに応じて、図２０に示される三次元ＬＳＩレイアウトパターンにおいてはそれら切断された二次元図形に対応する三次元図形の切断面が表示されていることがわかる。このように、三次元表示対象領域を任意に指定して任意の位置で二次元図形を切断することにより、切断される二次元図形に対応するオブジェクトの三次元図形の切断面を表示させ、断面構造を把握することが可能となる。一例において、図２１〜図２４に示すとおり、二次元ＬＳＩレイアウトパターン中で三次元表示対象領域変更バー２０２を移動させつつ三次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示させれば、同一のオブジェクトの三次元図形におけるさまざまな位置での断面構造を把握することができる。
【００８４】
３−２．複雑な形状の三次元図形を含む三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示例
図２５は、ＦｉｎＦＥＴ（Ｆｉｎ  Ｆｉｅｌｄ−Ｅｆｆｅｃｔ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を含むＬＳＩの三次元レイアウトの一例を示す図であり、図２５Ａは、図２５の三次元レイアウト中、オブジェクト３１０の属する層よりも上位層部分を非表示にしたイメージ図である。図２６は、図２５に示すＦｉｎＦＥＴの一部を構成するオブジェクト３１０の二次元レイアウトを示す図である（説明を容易にするため、サイズや形状を変更している。）。オブジェクト３１０は、その上面と下面の形状が同一ではなく、下面において段差が生じた形状をしているが、このようなオブジェクトの三次元図形を含む三次元ＬＳＩレイアウトも本実施形態でこれまでに説明した原理と同様の原理で生成、表示可能である。
【００８５】
オブジェクト３１０が属する層（オブジェクト３１０の上面が属する層）における、当該オブジェクト３１０の二次元図形は、二次元ｘｙ座標系中の順序付けられた頂点座標Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８，Ｐ９によって示され、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６，Ｐ７，Ｐ８，Ｐ９という順序で頂点を通るように二次元平面上に線分を描いていくことによりオブジェクト３１０の上面の二次元図形が得られる。
【００８６】
図３，図８の表と同様の形式で与えられる、オブジェクト３１０の特徴づけデータにおいて、「厚み」の項目が空欄であり、オブジェクト３１０が「コンタクト」として定義されているとする。既に説明したとおり、「コンタクト」は、自己以外のオブジェクトの三次元図形内部に及ばない範囲で最下位層まで積層方向に沿って拡張されるが、図２６に示すオブジェクト３１０の二次元図形中、斜線部分の領域を最下位層に向かって積層方向に沿って拡張すると、最下位層に到達する前に、別の層に属するオブジェクトの三次元図形と接触する。したがって、図２６に示すオブジェクト３１０の二次元図形を三次元図形に拡張するにあたって、斜線部分の３つの領域（Ｐ１０，Ｐ１１，Ｐ１２，Ｐ１３，Ｐ１４という順序で頂点を通るように二次元平面上に線分を描いていくことにより得られる二次元図形部分と、Ｐ１５，Ｐ１６，Ｐ１７，Ｐ１８，Ｐ１９という順序で頂点を通るように二次元平面上に線分を描いていくことにより得られる二次元図形部分と、Ｐ２０，Ｐ２１，Ｐ２２，Ｐ２３，Ｐ２４という順序で頂点を通るように二次元平面上に線分を描いていくことにより得られる二次元図形部分）は当該別の層の上面までしか拡張されないこととなる。一方、図２６に示すオブジェクト３１０の二次元図形中、斜線部分以外の４つの領域（Ｐ１，Ｐ１０，Ｐ１３，Ｐ８，Ｐ９という順序で頂点を通るように二次元平面上に線分を描いていくことにより得られる二次元図形部分と、Ｐ１１，Ｐ１５，Ｐ１８，Ｐ１２，Ｐ１１という順序で頂点を通るように二次元平面上に線分を描いていくことにより得られる二次元図形部分と、Ｐ１６，Ｐ２０，Ｐ２３，Ｐ１７，Ｐ１６という順序で頂点を通るように二次元平面上に線分を描いていくことにより得られる二次元図形部分と、Ｐ２１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６，Ｐ７，Ｐ２２，Ｐ２１という順序で頂点を通るように二次元平面上に線分を描いていくことにより得られる二次元図形部分）は、最下層まで拡張されることとなる。
【００８７】
このように、二次元図形が部分ごとに異なる長さだけ拡張される場合であっても、そのような拡張により得られる三次元図形を複数の面の集合体として把握できるのであり、これまでに説明した原理と同様の原理で当該三次元図形の形状と配置とを示すデータを与えることができる。具体的に、頂点Ｐ１〜Ｐ２４の三次元頂点座標（ｘ，ｙ，ｚ）が、予め与えられた二次元図形データ、及び特徴づけデータにより与えられる各層の厚みの値から、以下のとおり決定されるとする。
Ｐ１：（１．２，０．３，３）
Ｐ２：（１．２，１．７，３）
Ｐ３：（１，１．７，３）
Ｐ４：（１，２，３）
Ｐ５：（１．７，２，３）
Ｐ６：（１．７，１．７，３）
Ｐ７：（１．５，１．７，３）
Ｐ８：（１．５，０．３，３）
Ｐ９：（１．２，０．３，３）
Ｐ１０：（１．２，０．５，３）
Ｐ１１：（１．２，０．７，３）
Ｐ１２：（１．５，０．７，３）
Ｐ１３：（１．５，０．５，３）
Ｐ１４：（１．２，０．５，３）
Ｐ１５：（１．２，０．９，３）
Ｐ１６：（１．２，１．１，３）
Ｐ１７：（１．５，１．１，３）
Ｐ１８：（１．５，０．９，３）
Ｐ１９：（１．２，０．９，３）
Ｐ２０：（１．２，１．３，３）
Ｐ２１：（１．２，１．５，３）
Ｐ２２：（１．５，１．５，３）
Ｐ２３：（１．５，１．３，３）
Ｐ２４：（１．２，１．３，３)
【００８８】
オブジェクト３１０が属するコンタクト層の厚み（図３，図８の表中、「厚み設定」の「絶縁層」項目のデータ値）が０．２であるとし、上記斜線部分の二次元座標（ｘ，ｙ）範囲に対応する１つ下の層内の領域には、オブジェクト３１０が属するコンタクト層よりも１つ下の層に属するオブジェクトの三次元図形が存在するとする。この場合、図２６に示すオブジェクト３１０の二次元図形のうち斜線部分は、１つ下の層の上面まで、すなわち０．２（μｍ）しか拡張されないため、斜線部分の各頂点に対応する下面部分の頂点座標の、順序付けられた集合は以下のとおり決定される。
（第１の部分）
Ｐ１０’：（１．２，０．５，３．２）
Ｐ１１’：（１．２，０．７，３．２）
Ｐ１２’：（１．５，０．７，３．２）
Ｐ１３’：（１．５，０．５，３．２）
Ｐ１４’：（１．２，０．５，３．２）
（第２の部分）
Ｐ１５’：（１．２，０．９，３．２）
Ｐ１６’：（１．２，１．１，３．２）
Ｐ１７’：（１．５，１．１，３．２）
Ｐ１８’：（１．５，０．９，３．２）
Ｐ１９’：（１．２，０．９，３．２）
（第３の部分）
Ｐ２０’：（１．２，１．３，３．２）
Ｐ２１’：（１．２，１．５，３．２）
Ｐ２２’：（１．５，１．５，３．２）
Ｐ２３’：（１．５，１．３，３．２）
Ｐ２４’：（１．２，１．３，３．２）
【００８９】
一方、図２６に示すオブジェクト３１０の二次元図形のうち斜線部分以外の部分は、最下位層の上面まで拡張される。「絶縁層」項目のデータ値が０．２（μｍ）であり、またコンタクト層と最下位層との間にある層の「厚み」の合計値が０．３（μｍ）であり、「厚み設定」の「酸化膜」項目のデータ値が「０（μｍ）」であったとすると、当該斜線部分以外の部分は、最下位層の上面まで、すなわち０．５（μｍ）だけ拡張されるため、斜線部分以外の部分の各頂点に対応する下面部分の頂点座標の、順序付けられた集合は以下のとおり決定される。
（第１の部分）
Ｐ１’’：（１．２，０．３，３．５）
Ｐ１０’’：（１．２，０．５，３．５）
Ｐ１３’’：（１．５，０．５，３．５）
Ｐ８’’：（１．５，０．３，３．５）
Ｐ９’’：（１．２，０．３，３．５）
（第２の部分）
Ｐ１１’’：（１．２，０．７，３．５）
Ｐ１５’’：（１．２，０．９，３．５）
Ｐ１８’’：（１．５，０．９，３．５）
Ｐ１２’’：（１．５，０．７，３．５）
Ｐ１１’’：（１．２，０．７，３．５）
（第３の部分）
Ｐ１６’’：（１．２，１．１，３．５）
Ｐ２０’’：（１．２，１．３，３．５）
Ｐ２３’’：（１．５，１．３，３．５）
Ｐ１７’’：（１．５，１．１，３．５）
Ｐ１６’’：（１．２，１．１，３．５）
（第４の部分）
Ｐ２１’’：（１．２，１．５，３．５）
Ｐ２’’：（１．２，１．７，３．５）
Ｐ３’’：（１，１．７，３．５）
Ｐ４’’：（１，２，３．５）
Ｐ５’’：（１．７，２，３．５）
Ｐ６’’：（１．７，１．７，３．５）
Ｐ７’’：（１．５，１．７，３．５）
Ｐ２２’’：（１．５，１．５，３．５）
Ｐ２１’’：（１．２，１．５，３．５）
【００９０】
これらの頂点座標を用いれば、オブジェクト３１０の三次元図形を構成する各々の面を順序付けられた三次元頂点座標の集合として表現できる。具体的に、当該三次元図形の下面部分は７つ存在するが、斜線部分に対応する下面部分３つは、Ｐ１０’，Ｐ１１’，Ｐ１２’，Ｐ１３’，Ｐ１４’（第１の部分）と、Ｐ１５’，Ｐ１６’，Ｐ１７’，Ｐ１８’，Ｐ１９’（第２の部分）と、Ｐ２０’，Ｐ２１’，Ｐ２２’，Ｐ２３’，Ｐ２４’（第３の部分）として表現できるし、斜線部分以外の部分に対応する４つの下面部分も、Ｐ１’’，Ｐ１０’’，Ｐ１３’’，Ｐ８’’，Ｐ９’’（第１の部分）と、Ｐ１１’’，Ｐ１５’’，Ｐ１８’’，Ｐ１２’’，Ｐ１１’’（第２の部分）と、Ｐ１６’’，Ｐ２０’’，Ｐ２３’’，Ｐ１７’’，Ｐ１６’’（第３の部分）と、Ｐ２１’’，Ｐ２’’，Ｐ３’’，Ｐ４’’，Ｐ５’’，Ｐ６’’，Ｐ７’’，Ｐ２２’’，Ｐ２１’’（第４の部分）として表現できる。側面についても、例えば図２６中の矢印方向から（右から）見たときに見える側面は、順序付けられた頂点座標の集合Ｐ５，Ｐ５’’，Ｐ６’’，Ｐ６，Ｐ５（第１の部分）と、Ｐ８，Ｐ７，Ｐ７’’，Ｐ２２’’，Ｐ２２’，Ｐ２３’，Ｐ２３’’，Ｐ１７’’，Ｐ１７’，Ｐ１８’，Ｐ１８’’，Ｐ１２’’，Ｐ１２’，Ｐ１３’，Ｐ１３’’，Ｐ８’’，Ｐ８（第２の部分）と、に分割され、これら、それぞれ順序付けられた２つの頂点座標集合として当該側面が表現される。その他の面も、同様に頂点座標の順序付けられた集合を用いて表現される。オブジェクト３１０が最下位層までは拡張されない「ビア」の場合であっても、同様の原理で三次元図形をデータで表現することができる。
【００９１】
以上のとおり、複雑な形状の三次元図形であっても、その各々の面を順序付けられた頂点座標の集合で表現できることに変わりはなく、したがって順序付けられた頂点座標の複数の集合として三次元図形データを生成することができるのであり、したがってそのようなオブジェクトを含む三次元ＬＳＩレイアウトパターンも同様の原理で生成及び表示可能である。
【００９２】
３−３．その他の追加機能
本実施形態に従って表示される三次元ＬＳＩレイアウトパターンを利用して、さまざまな追加機能を実現することができる。図２７は、三次元ＬＳＩレイアウトパターンを利用して三次元空間上での距離を測定するときの画面イメージ図である。ディスプレイ装置５に三次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示した状態で、ユーザがマウス等を用いて三次元ＬＳＩレイアウトパターン３００上の任意の点をクリックすることにより、ＣＰＵにはクリックした点を特定するデータが入力される。ＣＰＵは、３Ｄグラフィックエンジン（各種プログラム１３に含まれるとする）に含まれる各種プログラムを実行することにより、三次元ＬＳＩレイアウトパターンに含まれる三次元図形データ（図１５のフローチャート中、ステップＳ１５０５で生成された際に記録装置３に記録されているとする。）を用いて、当該クリックされた点の三次元レイアウトパターン内での三次元座標を特定し、当該三次元座標をディスプレイ装置５に表示させる（図２７中、Ａ，Ｂ点を参照）。また、三次元ＬＳＩレイアウトパターン中で任意の２点をクリックしたのち、距離計測を指示するソフトウェアボタン（不図示）をマウスでクリックすると、ＣＰＵにはクリックした２点を特定するデータが入力され、２点について上記のとおり三次元ＬＳＩレイアウトパターン内での三次元座標をそれぞれ特定し、３Ｄグラフィックエンジンに含まれる各種プログラムを実行することにより、２点間の三次元ＬＳＩレイアウトパターン内での距離や相対位置を計算し、それらをディスプレイ装置５に表示させる（図２７中には、点Ｃ，Ｄ間、及び点Ｅ，Ｆ間の距離と相対座標がそれぞれ表示されている。）。
その他、図２８Ａ，図２８Ｂに示すとおり、三次元ＬＳＩレイアウトパターン上に等電位追跡結果を重ね合わせて表示することにより（等電位追跡等、各種の解析プログラムも各種プログラム１３に含まれ、ＣＰＵ／ＧＰＵがこれを実行し、三次元ＬＳＩレイアウト上に重ねて表示する。）、ＬＳＩの三次元構造と特性とを把握することが更に容易になる。その他、透過率の変更（図２８Ｃ参照。外部機器（マウス・キーボード等）からの入力により透過率を変更し表示することで本来裏側に隠れてしまう図形を認識することが可能となり視認性を高めている。）、ワイヤーフレーム表示の変更（図２８Ｄ参照。ワイヤーフレームの表示／非表示、太さ、濃淡を変更することで、透過率の変更と同様に視認性を高めることができる）等、さまざまな画像処理プログラム（各種プログラム１３に含まれるとする。）をＣＰＵ／ＧＰＵで実行することにより、三次元ＬＳＩレイアウトパターンの視認性を高めることができる。
【００９３】
４．サーバ／クライアント型システム
本実施形態における三次元図形データの生成、三次元ＬＳＩレイアウトパターンの表示等の処理を同一の装置で行うことは必須ではなく、三次元図形データの生成等をサーバ装置が行い、領域指定データ、特徴づけデータの入力や三次元ＬＳＩレイアウトパターンの表示等をクライアント装置で行うサーバ／クライアント型システム等により処理を複数の装置に分散させてもよい。一例として、サーバ／クライアント型システムにおけるサーバ装置の構成例を図２９に、クライアント装置の構成例を図３０に、それぞれ示す。
【００９４】
４−１．サーバ装置とクライアント装置の構成
図２９に示す三次元ＬＳＩレイアウトパターン生成装置（サーバ装置）１６は、処理装置２−１と、記録装置３−１と、入出力機器４−１と、ディスプレイ装置５−１と、ネットワーク機器１７−１とを備える。
【００９５】
処理装置２−１は、図１４に関連して既に説明したとおりＣＰＵ及びＧＰＵ６−１と、ＲＡＭ等の一時メモリ１１−１とを備える。ＣＰＵ／ＧＰＵ６−１が記録装置３−１に記録されたＬＳＩ設計データ１４を用いて三次元図形データ生成プログラム１２を実行することにより、ＣＰＵ／ＧＰＵ６−１は、三次元図形データ生成部９として機能する。一例においては、ＧＰＵが三次元図形データ生成部９として機能する。またＣＰＵ／ＧＰＵ６−１は、記録装置３−１に記録された各種プログラム１３−１を実行することにより、三次元ＬＳＩレイアウトパターン生成装置１６における入出力機器４−１やディスプレイ装置５−１の制御等、全体的な動作制御を行う各種制御部１０−１として機能する。
【００９６】
三次元図形データ生成部９は、二次元ＬＳＩレイアウトパターンを示すＬＳＩ設計データ（二次元図形データ）１４と、特徴づけデータ受信部１９が受信した特徴づけデータとを用いて、領域指定データ受信部１８が受信した領域指定データが示す三次元表示対象領域に含まれる二次元図形の各々を積層方向に沿って拡張することで生成される各々の三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する機能部である。
【００９７】
各種制御部１０−１は、既に述べたとおり三次元ＬＳＩレイアウトパターン生成装置１６における全体的な動作制御を行う機能部であり、その機能の一つとして、三次元図形データ生成部９が生成した三次元図形データを用いて３Ｄグラフィックエンジン等の描画プログラムを実行し、生成した画像データをネットワーク機器１７−１からクライアント装置２１に送信するために三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ送信部２０を制御する。
【００９８】
記録装置３−１は、図１４に関連して既に説明したとおり、ハードディスクドライブ、ＳＳＤ等を備えた記録装置であり、複数の層を含むＬＳＩレイアウトパターンに含まれる複数の二次元図形の形状と配置とを示す二次元図形データを、複数の二次元図形の各々が属する各々の層と対応付けて格納（記録）し、またＬＳＩ設計データとして、このような二次元図形データ、及び二次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示するために用いられるその他のデータを格納するとともに、既に説明した三次元図形データ生成プログラム１２、及び各種プログラム１３−１を記録している。一例において、各種プログラム１３−１には、ＬＳＩ設計データ（二次元図形データ）１４に新たなデータを追加したり、既存データの変更、削除を行ったりするためのＬＳＩ設計データ編集プログラム、及びＬＳＩ設計データを用いて二次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示する表示プログラムが含まれており、ＣＰＵが当該プログラムを実行することにより、ユーザは二次元ＬＳＩレイアウトパターンを任意に編集した上で表示できる（表示をクライアント装置２１側のみで行うならば表示プログラムは省いてもよい。）。
【００９９】
入出力機器４−１は、図１４に関連して既に説明したとおり、マウス、キーボード等の入力デバイス、及び、必要に応じて音声出力を行うためのスピーカー等の出力デバイスを含む。ディスプレイ装置５−１は、図１４に関連して既に説明したとおり、液晶ディスプレイ装置、有機ＥＬディスプレイ装置等の表示装置である。
【０１００】
ネットワーク機器１７−１は、通信回路、通信アンテナ等を含む、外部のクライアント装置２１と一例においてはインターネット等の通信回線２５を介して、或いは直接に通信するための各種機器であり、三次元図形データ生成プログラム１２、各種プログラム１３−１を実行するＣＰＵ／ＧＰＵ６−１の制御を受けることにより、クライアント装置２１との間で各種データの送受信を行うべく、領域指定データ受信部１８、特徴づけデータ受信部１９、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ送信部２０として機能する。領域指定データ受信部１８は、図１１等を用いて説明した、三次元表示対象領域を指定する入力データをクライアント装置２１から受信する機能部であり（二次元ＬＳＩレイアウトパターンの全領域を三次元に拡張して三次元ＬＳＩレイアウトパターンとして表示する場合、領域指定は不要であり、したがって領域指定データ受信部１８を省いても構わない。）、また特徴づけデータ受信部１９は、図３、図８の表に示されるような特徴づけデータをクライアント装置２１から受信する機能部である（これら受信したデータは、ＣＰＵ／ＧＰＵ６−１によるその後の処理のために一時メモリ１１−１に記録される。）。三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ送信部２０は、三次元図形データ生成プログラム１２、各種プログラム１３−１をＣＰＵ／ＧＰＵ６−１が実行することにより生成される三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ（一例においては画像データ）をクライアント装置２１へと送信するための機能部である。
【０１０１】
図３０に示す三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント装置２１は、処理装置２−２と、記録装置３−２と、入出力機器４−２と、ディスプレイ装置５−２と、ネットワーク機器１７−２とを備える。
【０１０２】
処理装置２−２は、図１４に関連して既に説明したとおりＣＰＵ及びＧＰＵ６−２と、ＲＡＭ等の一時メモリ１１−２とを備える。ＣＰＵ／ＧＰＵ６−２が記録装置３−２に記録された入力受付プログラム２６を実行することにより、ＣＰＵ／ＧＰＵ６−２は、領域指定データ入力受付部７、特徴づけデータ入力受付部８として機能する。またＣＰＵ／ＧＰＵ６−２は、記録装置３−２に記録された各種プログラム１３−２を実行することにより、三次元ＬＳＩレイアウト表示クライアント装置２１における入出力機器４−２やディスプレイ装置５−２の制御等、全体的な動作制御を行う各種制御部１０−２として機能する。
【０１０３】
領域指定データ入力受付部７は、図１１等を用いて説明した、三次元表示対象領域を指定する入力を受け付ける機能部であり、一例においては、ユーザがマウス等の入出力機器４−２を用いて、ディスプレイ装置５−２上に表示された図１１のＢ−Ｂ’線のようなバーを動かすことにより三次元表示対象領域を指定し、指定された三次元表示対象領域を示すデータの入力を領域指定データ入力受付部７が受け付ける（その後の処理のために一時メモリ１１−２に記録する。またこのデータは、ネットワーク機器１７−２によって三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント装置２１から三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６に送信される。）。なお、既に述べたとおり、二次元ＬＳＩレイアウトパターンの全領域を三次元に拡張して三次元ＬＳＩレイアウトパターンとして表示する場合、領域指定は不要であり、したがって領域指定データ入力受付部７を省いても構わない。
【０１０４】
特徴づけデータ入力受付部８は、図３、図８の表に示されるような特徴づけデータの入力を受け付ける機能部であり、一例においては、ユーザがマウス、キーボード等の入出力機器４−２を用いて、ディスプレイ装置５−２上にウインドウ表示された図３、図８のような表に各項目に対応する内容を入力し、これら入力された内容を示すデータの入力を特徴づけデータ入力受付部８が受け付ける（その後の処理のために一時メモリ１１−２に記録する。またこのデータは、ネットワーク機器１７−２によって三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント装置２１から三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６に送信される。）。
【０１０５】
各種制御部１０−２は、既に述べたとおり三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント装置１６における全体的な動作制御を行う機能部であり、その機能の一つとしてディスプレイ装置５−２を制御し、ディスプレイ装置５−２は、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６から受信した三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータにより示される三次元ＬＳＩレイアウトパターンを画像として当該ディスプレイ装置５−２上に表示させる。
【０１０６】
記録装置３−２は、図１４に関連して既に説明したとおり、ハードディスクドライブ、ＳＳＤ等を備えた記録装置であり、入力受付プログラム２６、及び各種プログラム１３−２が記録されている。
【０１０７】
入出力機器４−２は、ユーザが三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント装置２１に命令やデータを入力するためのマウス、キーボード等の入力デバイス、及び、必要に応じて音声出力を行うためのスピーカー等の出力デバイスを含む。
【０１０８】
ディスプレイ装置５−２は、液晶ディスプレイ装置、有機ＥＬディスプレイ装置等の表示装置であり、ＣＰＵ／ＧＰＵ６−２による制御を受けることにより三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示部１５として機能する。三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示部１５は、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６から受信した三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータにより示される三次元ＬＳＩレイアウトパターンを画像として当該ディスプレイ装置５−２上に表示させる。
【０１０９】
ネットワーク機器１７−２は、通信回路、通信アンテナ等を含む、外部の三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６と一例においてはインターネット等の通信回線２５を介して、或いは直接に通信するための各種機器であり、ＣＰＵ／ＧＰＵ６−２の制御を受けることにより、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６との間で各種データの送受信を行うべく、領域指定データ送信部２２、特徴づけデータ送信部２３、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ受信部２４として機能する。領域指定データ送信部２２は、図１１等を用いて説明した、三次元表示対象領域を指定する入力データを三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６へと送信する機能部であり（二次元ＬＳＩレイアウトパターンの全領域を三次元に拡張して三次元ＬＳＩレイアウトパターンとして表示する場合、領域指定は不要であり、したがって領域指定データ送信部２２を省いても構わない。）、また特徴づけデータ送信部２３は、図３、図８の表に示されるような特徴づけデータを三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６に送信する機能部である。三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ受信部２４は、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ（一例においては画像データ）を三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６から受信するための機能部である。
【０１１０】
４−２．サーバ／クライアント型システムの動作
次に、図２９に示す構成を備えた三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置と図３０に示す構成を備えた三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント装置とを含むサーバ／クライアント型システムの動作の一例を、図３１のフローチャートに従い説明する。
【０１１１】
まず三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６の記録装置３−１に記録された各種プログラム１３−１には、図１４の三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置１における各種プログラム１３と同様に、二次元ＬＳＩレイアウトパターンデータの生成プログラムが含まれており、当該プログラムがＣＰＵ／ＧＰＵ６−１で実行されることにより、二次元ＬＳＩレイアウトパターンを示す画像等のデータが生成され、各種プログラム１３−１を実行するＣＰＵの制御を受けるネットワーク機器１７−１が、二次元ＬＳＩレイアウトパターンデータを画像データ等の形式で三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント２１に送信する。三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント装置２１のＣＰＵ／ＧＰＵ６−２は、各種プログラム１３−２を実行することによりディスプレイ装置５−２を制御し、ディスプレイ装置５−２は二次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示する（ステップＳ３１０１）。
【０１１２】
次に、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント２１の領域指定データ入力受付部７は、図１５のフローチャート中のステップＳ１５０２と同様に、ユーザがマウス、キーボード等の入出力機器４−２を用いて指定した領域を示す領域指定データの入力を受け付ける（ステップＳ３１０２）。既に説明したとおり、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント２１の領域指定データ送信部２２は三次元表示対象領域を指定する入力データ（領域指定データ）を三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６へと送信し、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６の領域指定データ受信部１８がこれを受信する（ステップＳ３１０３）。
【０１１３】
次に、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６の三次元図形データ生成部９は、図１５のフローチャート中のステップＳ１５０３と同様に、三次元表示対象領域内の二次元図形データを記録装置３−１から読み取り、一時メモリ１１−１に記憶させる（ステップＳ３１０４）。
【０１１４】
次に、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント２１の特徴づけデータ入力受付部８は、図１５のフローチャート中のステップＳ１５０４と同様に、ディスプレイ装置５−２に表示される図３，図８のようなウインドウ表示を利用して入出力機器４−２から行われる、ユーザによる特徴づけデータの入力を受け付ける（ステップＳ３１０５）。既に説明したとおり、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント２１の特徴づけデータ送信部２３は特徴づけデータを三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６へと送信し、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６の特徴づけデータ受信部１９がこれを受信する（ステップＳ３１０６）。
【０１１５】
次に、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６の三次元図形データ生成部９は、図１５のフローチャート中のステップＳ１５０５と同様に、一時メモリ１１−１に記憶された二次元図形データと特徴づけデータとを用いて、三次元表示対象領域に含まれる二次元図形の各々を積層方向に沿って拡張することで生成される各々の三次元図形の形状と配置とを示す三次元図形データを生成する（ステップＳ３１０７）。既に説明したとおり、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６の三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ送信部２０は三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータを三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント装置２１へと送信し、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント装置２１の三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ受信部２４がこれを受信する（ステップＳ３１０８）。
【０１１６】
次に、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント装置２１の各種制御部１０−２は、既に述べたとおりディスプレイ装置５−２を制御し、ディスプレイ装置５−２は、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示部１５として、三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置１６から受信した三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータにより示される三次元ＬＳＩレイアウトパターンを画像として当該ディスプレイ装置５−２上に表示させる（ステップＳ３１０９）。なお、三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント装置２１は、二次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示した状態においては、いつでも三次元ＬＳＩレイアウトパターンの表示命令を受け付けられる待ち状態にあり、一例においては領域指定データが入力されることをトリガとして図３１中のステップＳ３１０２〜Ｓ３１０４が行われ、引き続き特徴づけデータが入力されたことをトリガとしてステップＳ３１０５〜Ｓ３１０９が行われる。このような構成をとることにより、ユーザの要求に応じてリアルタイムで三次元ＬＳＩレイアウトパターンを表示することができる。マウス、キーボード等の入力を介し、三次元ＬＳＩレイアウトパターンに対して拡大・縮小／回転／移動の各操作をすることが可能であることも、図１５に関連して既に説明したとおりであり、これによりＬＳＩレイアウトパターンをさまざまな方位から立体的に認識することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１１７】
本発明はＬＳＩ設計、製造、評価、解析において、その三次元構造を把握するために用いることができるが、本発明を利用できる範囲はこれらに限られない。
【符号の説明】
【０１１８】
１          三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示装置
２，２−１，２−２
処理装置
３，３−１，３−２
記録装置
４，４−１，４−２
入出力機器（キーボード、マウス等）
５，５−１，５−２
ディスプレイ装置
６，６−１，６−２
ＣＰＵ／ＧＰＵ
７          領域指定データ入力受付部
８          特徴づけデータ入力受付部
９          三次元図形データ生成部
１０，１０−１，１０−２
各種制御部
１１，１１−１，１１−２
一時メモリ（ＲＡＭ）
１２        三次元図形データ生成プログラム
１３，１３−１，１３−２
各種プログラム（ＯＳ、描画プログラム等）
１４        ＬＳＩ設計データ（二次元図形データ）
１５        三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示部
１６        三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ生成装置（サーバ装置）
１７，１７−１，１７−２
ネットワーク機器（通信アンテナ、通信回路等）
１８        領域指定データ受信部
１９        特徴づけデータ受信部
２０        三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ送信部
２１        三次元ＬＳＩレイアウトパターン表示クライアント装置
２２        領域指定データ送信部
２３        特徴づけデータ送信部
２４        三次元ＬＳＩレイアウトパターンデータ受信部
２５        通信回線（インターネット等）
２６        入力受付プログラム
２００      二次元ＬＳＩレイアウトパターン
２０１      三次元表示対象領域
２０２      三次元表示対象領域変更バー
２０３      三次元表示対象領域外
２１１，２１２，２１３
オブジェクト
３００      三次元ＬＳＩレイアウトパターン
３０１，３０２，３０３
切断面
３１０〜３１６
オブジェクト
３１７      ソフトウェアボタン等、画面内のアイコン
ＭＥＴＡＬ，Ｍ１，Ｍ２，ＰＯＬＹ１，ＰＯＬＹ２，ＰＯＬＹ３，ＰＯＬＹ４，ＣＯＮＴ１，ＣＯＮＴ２，ＣＯＮＴ３，ＶＩＡ１−１，ＶＩＡ１−２，ＶＩＡ１−３，ＶＩＡ２−１，ＶＩＡ２−２，ＶＩＡ２−３，ＤＩＦＦ
オブジェクト
【図１】
0006838624.tif 000002
【図２Ａ】
0006838624.tif 000003
【図２Ｂ】
0006838624.tif 000004
【図２Ｃ】
0006838624.tif 000005
【図２Ｄ】
0006838624.tif 000006
【図２Ｅ】
0006838624.tif 000007
【図３】
0006838624.tif 000008
【図４】
0006838624.tif 000009
【図５】
0006838624.tif 000010
【図６】
0006838624.tif 000011
【図７Ａ】
0006838624.tif 000012
【図７Ｂ】
0006838624.tif 000013
【図７Ｃ】
0006838624.tif 000014
【図７Ｄ】
0006838624.tif 000015
【図７Ｅ】
0006838624.tif 000016
【図７Ｆ】
0006838624.tif 000017
【図７Ｇ】
0006838624.tif 000018
【図７Ｈ】
0006838624.tif 000019
【図７Ｉ】
0006838624.tif 000020
【図８】
0006838624.tif 000021
【図９】
0006838624.tif 000022
【図１０】
0006838624.tif 000023
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２５Ａ】
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【図２６】
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【図２６Ａ】
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【図２７】
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【図２８Ａ】
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【図２８Ｂ】
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【図２８Ｃ】
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【図２８Ｄ】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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