【手続補正書】
【提出日】平成30年4月23日(2018.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨パッドであって、
第１材料で形成された一又は複数の第１フィーチャと、
第４材料で形成されたベース材料層と
を備える複合研磨パッド本体を備え、前記第１材料は、前記一又は複数の第１フィーチャの各々の少なくとも一部を形成する複数の層内に第２材料及び第３材料の液滴を堆積させることによって形成される第１の材料混合物を含み、
前記第４材料は、前記ベース材料層の少なくとも一部を形成する複数の層内に第５材料及び第６材料の液滴を堆積させることによって形成される第２の材料混合物を含み、
前記一又は複数の第１フィーチャは前記ベース材料層から延在し、前記一又は複数の第１フィーチャ各々の表面は前記研磨パッドの研磨面を形成する、研磨パッド。
【請求項２】
前記第１材料は第１硬度を有し、前記第４材料は、前記第１硬度とは異なる第２硬度を有する、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項３】
前記第１硬度は前記第２硬度より高い、請求項２に記載の研磨パッド。
【請求項４】
前記一又は複数の第１フィーチャ及び前記ベース材料層は、前記複合研磨パッド本体の全体で、所定のヤング率、所定の貯蔵弾性率、又は所定の損失弾性率を実現するよう配置される、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項５】
前記一又は複数の第１フィーチャ及び前記ベース材料層は形成された前記複数の層の各々を印刷することによって形成される、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項６】
一又は複数の観察窓を更に備え、前記一又は複数の観察窓は、前記一又は複数の第１フィーチャ、又は前記ベース材料層を貫通して、かつ／或いは、それらに当接して形成される、請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項７】
研磨パッドであって、
第１材料で形成された一又は複数の第１フィーチャと、
第２材料で形成されたベース材料層と
を備える複合研磨パッド本体を備え、前記一又は複数の第１フィーチャの表面は研磨面を形成し、前記第１材料は第１硬度を有し、前記第１材料は第１ポリマー材料と第２ポリマー材料を含み、
前記第２材料は、前記第１硬度より低い第２硬度を有し、前記第２材料は前記第１ポリマー材料と第３ポリマー材料を含み、
前記一又は複数の第１フィーチャは前記ベース材料層から延在し、
前記第１材料中の前記第１ポリマー材料の濃度は、前記第２材料中の前記第１ポリマー材料の濃度より高い、研磨パッド。
【請求項８】
前記一又は複数の第１フィーチャ及び前記ベース材料層は、前記第１材料と第２材料を含む複数の層を堆積させることによって形成される、請求項７に記載の研磨パッド。
【請求項９】
前記一又は複数の第１フィーチャ及び前記ベース材料層は、前記複合研磨パッド本体の全体で、所定のヤング率、又は所定の貯蔵弾性率及び所定の損失弾性率を実現するよう配置される、請求項７に記載の研磨パッド。
【請求項１０】
前記一又は複数の第１フィーチャ及び前記ベース材料層は、印刷によって形成される、請求項７に記載の研磨パッド。
【請求項１１】
一又は複数の観察窓を更に備え、前記一又は複数の観察窓は、前記一又は複数の第１フィーチャ、又は前記ベース材料層を貫通して、かつ／或いは、それらに当接して形成される、請求項７に記載の研磨パッド。
【請求項１２】
前記第１ポリマー材料はアクリル酸を含む、請求項７に記載の研磨パッド。
【請求項１３】
研磨パッドを形成する方法であって、
ターゲット厚に到達するよう、プリンタを用いて複数の複合層を堆積させることを含み、前記複数の複合層を堆積させることは、
表面の一又は複数の第１領域の上に第１材料を堆積させることと、
前記表面の一又は複数の第２領域の上に第２材料を堆積させることとを含み、前記一又は複数の第１領域と前記一又は複数の第２領域とが、前記複数の複合層の各々の連続した部分を形成し、前記方法は更に、
前記第１材料を含む一又は複数の第１フィーチャと、前記第２材料を含む一又は複数の第２フィーチャとを有する複合パッド本体を形成するために、前記複数の複合層を固化させることを含み、前記一又は複数の第１フィーチャと前記一又は複数の第２フィーチャとが、一体型の本体を形成する、方法。
【請求項１４】
前記第１材料は、第３材料及び第４材料の液滴を堆積させることによって形成される、第１の材料混合物を含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記第２材料は、第５材料及び第６材料の液滴を堆積させることによって形成される、第２の材料混合物を含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記複数の複合層を堆積させた後に、プリンタを用いて複数の不連続な層を堆積させることを更に含み、前記不連続な層の各々は、互いから断接されている一又は複数のフィーチャ領域を備える、請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
前記不連続な層の各々を堆積させることは、
一又は複数のフィーチャ領域の各々の上に前記第１材料及び前記第２材料を堆積させることを含み、各フィーチャ領域において前記第２材料が前記第１材料を囲む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記第１材料は一又は複数の熱可塑性ポリマーを含み、前記第２材料は前記第１材料より硬い、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記第１材料は、ポリウレタン、ポリメチルメタクリレート、又はアクリル酸を含む一又は複数の熱可塑性ポリマー、共重合体、グラフト鎖、又はそれらの混合物を含む、請求項１３に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
一実施形態は、複合パッド本体を含む研磨パッドを提供する。この複合パッド本体は、第１材料又は第１の材料混合物で形成された、一又は複数の第１フィーチャと、第２材料又は第２の材料混合物で形成された、一又は複数の第２フィーチャとを含み、一又は複数の第１フィーチャ及び一又は複数の第２フィーチャは、第１材料又は第１の材料混合物、及び、第２材料又は第２の材料混合物を含む複数の層を堆積させることによって、形成される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
別の実施形態は、研磨パッドを形成するための方法を提供する。この方法は、３Ｄプリンタを用いて、ターゲット厚に到達するまで複数の複合層を堆積させることを含む。複数の複合層の各々を堆積させることは、一又は複数の第１領域上に、第１材料又は第１の材料混合物を堆積させることと、一又は複数の第２領域上に、第２材料又は第２の材料混合物を堆積させることとを含み、一又は複数の第１領域と一又は複数の第２領域とが、連続した区域を形成する。方法は、第１材料又は第１の材料混合物の一又は複数の第１フィーチャと、第２材料又は第２の材料混合物の一又は複数の第２フィーチャとを有する複合パッド本体を形成するために、複合層を固化させることを更に含み、一又は複数の第１フィーチャと一又は複数の第２フィーチャとが、一体型の本体を形成する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
一実施形態では、第１材料は、第３材料及び第４材料の液滴を堆積させることによって形成される、第１の材料混合物を含む。一実施形態では、第２材料は、第５材料及び第６材料の液滴を堆積させることによって形成される、第２の材料混合物を含む。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【図１】研磨ステーションの概略断面図である。
【図２Ａ】本開示の一実施形態による研磨パッドの概略的な断面斜視図である。
【図２Ｂ】本開示の一実施形態による研磨パッドの概略的な部分上面図である。
【図２Ｃ】本開示の一実施形態による研磨パッドの概略的な部分断面図である。
【図２Ｄ】本開示の一実施形態による研磨パッドの概略的な部分断面図である。
【図３Ａ】本開示の一実施形態による研磨パッドの概略的な断面斜視図である。
【図３Ｂ】本開示の一実施形態による研磨パッドの概略的な部分上面図である。
【図３Ｃ】本開示の一実施形態による研磨パッドの概略的な部分断面図である。
【図４】本開示の一実施形態による研磨パッドの概略的な透視断面図である。
【図５】本開示の一実施形態による、一又は複数の観察窓を有する研磨パッドの概略的な透視断面図である。
【図６】本開示の一実施形態による、支持用泡状物質層を含む研磨パッドの概略的な透視断面図である。
【図７】本開示の一実施形態による、複数のゾーンを有する研磨パッドの概略断面図である。
【図８】本開示の一実施形態による、図７の研磨パッドの部分拡大断面図である。
【図９】本開示の一実施形態による研磨パッドの概略的な透視断面図である。
【図１０】本開示の一実施形態による研磨パッドの概略的な透視断面図である。
【図１１】図１０の研磨パッドの部分断面図である。
【図１２】本開示の一実施形態による、研磨パッドを製造するための装置の概略断面図である。
【図１３】本開示の一実施形態による、２つの材料の混合物で形成されたフィーチャを有する研磨パッドの概略的な部分断面図である。
【図１４Ａ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｂ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｃ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｄ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｅ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｆ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｇ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｈ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｉ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｊ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｋ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｌ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｍ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｎ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１４Ｏ】本開示の一実施形態による研磨パッド設計の概略図である。
【図１５Ａ−１５Ｂ】本開示の少なくとも１つの実施形態による、複合フィーチャを有する研磨パッドの概略図である。
【図１６Ａ−１６Ｂ】本開示の少なくとも１つの実施形態による、複合フィーチャを有する研磨パッドの概略図である。
【図１７Ａ−１７Ｂ】本開示の少なくとも１つの実施形態による、複合フィーチャを有する研磨パッドの概略図である。
【図１８Ａ−１８Ｂ】本開示の少なくとも１つの実施形態による、複合フィーチャを有する研磨パッドの概略図である。
【図１９】本開示の一実施形態による研磨ステーションの概略断面図である。
【図２０Ａ】本開示の一実施形態による、研磨パッド製造システムの概略斜視図である。
【図２０Ｂ】本開示の別の実施形態による、研磨パッド製造システムの概略図である。
【図２１Ａ】本開示の一実施形態による、３Ｄ印刷ステーションの概略図である。
【図２１Ｂ】本開示の別の実施形態による、３Ｄ印刷ステーションの概略図である。
【図２２】本開示の一実施形態による研磨パッドの概略斜視図である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本開示の実施形態は、複合パッド本体を有する研磨パッドを提供する。この複合パッド本体は、少なくとも２つの異なる材料で形成された、不連続なフィーチャを含む。研磨パッドは、本開示の実施形態による三次元（３Ｄ）印刷プロセスによって作製されうる。例えば、複合パッド本体は、３Ｄプリンタによって、各層が異なる材料又は異なる材料混合物の複数の領域を備える複数の層を、連続して堆積させることによって形成されうる。一部の実施形態では、複数の層は次いで、硬化により固化されうる。複合パッド本体における複数の不連続なフィーチャは、別々の材料又は別々の材料混合物で、一度に形成されうる。３Ｄ印刷の堆積と硬化のプロセスは、不連続なフィーチャが確実に１つにまとめられることを可能にする。不連続なフィーチャの形状寸法は、３Ｄ印刷プロセスを使用して容易に制御されうる。別々の材料又は別々の材料混合物を選ぶことによって、不連続なフィーチャは、ターゲットパッド特性を得るための種々の機械的な、物理的な、化学的な、かつ／又は形状寸法上の特性を有しうる。一実施形態では、複合本体は、異なる機械的特性を有する複数の粘弾性材料で形成されうる。例えば、複合本体は、異なる貯蔵弾性率及び異なる損失弾性率を有する、複数の粘弾性材料で形成されうる。その結果として、複合パッド本体は、第１材料又は第１の材料混合物で形成されたいくつかの弾性フィーチャと、第１材料又は第１の材料混合物よりも固い第２材料又は第２の材料混合物で形成された、いくつかの硬性フィーチャとを含みうる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
図４は、本開示の一実施形態による研磨パッド４００の概略的な透視断面図である。研磨パッド４００は、研磨パッド２００の弾性フィーチャ２０６と同様に軟性かつ弾性である、ベース層４０２を含む。弾性フィーチャ２０６と同様に、ベース層４０２は、一又は複数の弾性ポリマーで形成されうる。研磨パッド４００は、ベース層４０２から延在する、複数の表面フィーチャ４０６を含む。表面フィーチャ４０６の外表面４０８は、軟性材料又は軟性材料の混合物で形成されうる。一実施形態では、表面フィーチャ４０６の外表面４０８は、ベース層４０２と同じ材料、又は同じ材料混合物で形成されうる。表面フィーチャ４０６は、その中に埋めこまれた硬性フィーチャ４０４も含みうる。硬性フィーチャ４０４は、表面フィーチャ４０６よりも硬い材料又は材料混合物で形成されうる。硬性フィーチャ４０４は、研磨パッド２００の硬性フィーチャ２０４の一又は複数の材料に類似した材料で、形成されうる。埋めこまれた硬性フィーチャ４０４は、表面フィーチャ４０６の有効硬度を変化させ、ひいては、研磨のために望ましいターゲットパッド硬度を提供する。外表面４０８の軟性ポリマー層は、不具合を減少させ、研磨されている基板上の平坦度を改善するために使用されうる。代替的には、軟性ポリマー材料は、本開示の他の研磨パッドの表面上に印刷されて、同じ恩恵を提供しうる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
３Ｄ印刷は、別々の材料及び／又は別々の材料混合物で形成された不連続なフィーチャを有する研磨パッドを作製するための、使いやすく、高度に制御可能なプロセスを供与する。一実施形態では、研磨パッドの弾性フィーチャ及び／又は硬性フィーチャは、単一の材料で形成されうる。例えば、研磨パッドの弾性フィーチャは、プリントヘッド１２１０から分配される第１材料で形成されうる。研磨パッドの硬性フィーチャは、プリントヘッド１２１２から分配される第２材料の液滴で形成されうる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
別の実施形態では、弾性フィーチャ及び／又は硬性フィーチャは、２つ以上の材料の混合物で形成されうる。図１３は、２つの材料の混合物で形成された硬性フィーチャ１３０４ａ、１３０４ｂを有する研磨パッド１３００の概略的な部分断面図である。硬性フィーチャ１３０４ａ、１３０４ｂは、第１材料と第２材料との混合物で形成されうる。第１材料は、プリントヘッド１２１０などの第１プリントヘッドによって、液滴１３１６の形態で分配されてよく、第２材料は、プリントヘッド１２１２などの第２プリントヘッドによって、液滴１３１８の形態で分配されうる。液滴１３１６と液滴１３１８との混合物で硬性フィーチャ１３０４ａを形成するために、プリントヘッド１２１２は、まず硬性フィーチャ１３０４ａに対応するピクセルに位置を合わせ、所定のピクセル上に液滴１３１８を分配しうる。プリントヘッド１２１０が、次いで、硬性フィーチャ１３０４ａに対応するピクセルに位置を合わせ、所定のピクセル上に液滴１３１６を分配しうる。その結果として、硬性フィーチャ１３０４ａに液滴１３１６及び液滴１３１８を含む層が付加される。ゆえに、一又は複数の材料の液滴を堆積させることによって形成される第１の材料混合物を含む第１材料と、一又は複数の別の材料の液滴を堆積させることによって形成される第２の材料混合物を含む第２材料とで、研磨パッドが形成されうる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
図１４Ａから図１４Ｏの設計における研磨フィーチャ１４０２ａ〜１４０２ｏは、同一の材料又は同一の材料混合物で形成されうる。代替的には、図１４Ａから図１４Ｏの設計における研磨フィーチャ１４０２ａ〜１４０２ｏの材料組成及び／又は材料特性は、研磨フィーチャごとに変動しうる。個別化された材料組成及び／又は材料特性は、研磨パッドが特定のニーズ向けにカスタマイズされることを可能にする。