【手続補正書】
【提出日】平成30年8月10日(2018.8.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査ＬＡＤＡＲ伝送システムによってターゲティングするための複数のレンジポイントを含むショットリストを処理することと、
前記処理されたショットリストの前記レンジポイントをターゲティングするために、ミラー走査位置の閉ループフィードバック制御を使用して、前記処理されたショットリストに基づいて複数の前記ミラー走査位置にミラーを走査することによって、前記走査ＬＡＤＡＲ伝送システムのための動的走査パターンを制御することであって、前記ミラー走査位置が、前記走査ＬＡＤＡＲ伝送システムがターゲティングされる場所を定義する、制御することと、
前記制御された走査ＬＡＤＡＲ伝送システムによって、複数のＬＡＤＡＲパルスを前記動的走査パターンに従って前記処理されたショットリストの前記レンジポイントに向けて伝送することと、
を含む方法。
【請求項２】
環境シーンを表すアプリオリデータを受信することと、
前記アプリオリデータを処理することと、
前記処理に基づいて、ポイント群を定義するために前記環境シーン内の複数のレンジポイントを選択することであって、前記選択されたレンジポイントが、前記環境シーンの全て未満に対応し、前記定義されたポイント群が、前記選択されたレンジポイントを含む、選択することと、
前記ショットリストが、前記環境シーンの全て未満を含むように、前記ポイント群を前記ショットリストに翻訳することと、
をさらに含み、
前記アプリオリデータを処理するステップ、前記選択するステップ、及び前記作成するステップが、プロセッサによって実行される、
請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記アプリオリデータが、複数の画像ポイントを含む、前記環境シーンの画像を含み、前記選択するステップが、前記プロセッサが前記画像ポイントにレンジポイントダウン選択アルゴリズムを適用して、前記画像ポイントのサブセットを前記レンジポイントとして選択することを含む、
請求項２に記載の方法。
【請求項４】
走査ＬＡＤＡＲ伝送システムを備える装置であって、
前記走査ＬＡＤＡＲ伝送システムが、
ミラーを含むビームスキャナであって、（１）制御信号に応答して、前記ミラーを複数のミラー走査位置に走査し、（２）複数の入射するＬＡＤＡＲパルスを複数のレンジポイントに向けて前記ＬＡＤＡＲパルスを伝送するための前記ミラーへ導くように構成される、ビームスキャナと、
前記制御信号が、前記レンジポイントに対して前記走査ＬＡＤＡＲ伝送システムのための動的走査パターンを定義するように、前記ビームスキャナのための前記制御信号を作成するように構成される、ビームスキャナ制御装置と、
前記ビームスキャナ及び前記ビームスキャナ制御装置と動作通信する閉ループフィードバックシステムであって、前記閉ループフィードバックシステムが、（１）前記ミラーのための複数の実ミラー走査位置を感知し、（２）前記ミラーのための前記実ミラー走査位置を示す前記ビームスキャナ制御装置にフィードバック信号を提供するように構成され、前記フィードバック信号が、前記伝送されたＬＡＤＡＲパルスを前記レンジポイントに向けてターゲティングし続けるために、前記ビームスキャナ制御装置によって使用され、前記制御信号を調整する、閉ループフィードバックシステムと、
を備える装置。
【請求項５】
前記閉ループフィードバックシステムが、閉ループ光学フィードバックシステムを備える、
請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記閉ループ光学フィードバックシステムが、
前記ミラーに光を導くように構成されるフィードバック光源と、
（１）前記導かれた光の反射光を感知し、（２）前記感知された偏向に基づいて、前記ミラーについて実走査位置を示すデータを作成するように構成される位置検出装置と、
を備える、
請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記ミラーが、第１のミラー及び第２のミラーを備え、前記ビームスキャナが、前記制御信号に応答して、（１）第１の軸に沿って前記走査ＬＡＤＡＲ伝送システムをターゲティングするために、前記第１の軸に対して前記第１のミラーを走査し、（２）第２の軸に沿って前記走査ＬＡＤＡＲ伝送システムをターゲティングするために前記第１の軸に垂直である前記第２の軸に対して前記第２のミラーを走査するようにさらに構成され、前記第１及び第２のミラーのための前記ミラー走査位置の組み合わせが、前記走査ＬＡＤＡＲ伝送システムがターゲティングされる前記レンジポイントを定義する、
請求項４〜６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記第１及び第２のミラーが、マイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）ミラーを備える、
請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記制御信号が、第１の制御信号及び第２の制御信号を備え、前記ビームスキャナ制御装置が、（１）前記第１のミラーのための前記ミラー走査位置を定義するために前記第１の制御信号を作成し、（２）前記第２のミラーのための前記ミラー走査位置を定義するために前記第２の制御信号を作成するようにさらに構成される、
請求項７〜８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
前記ビームスキャナ制御装置が、前記第１のミラーに共振モードにおいて複数の方向で走査させるために、前記第１の制御信号を作成するようにさらに構成される、
請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記ビームスキャナ制御装置が、前記第２のミラーにポイントツーポイントモードにおいて複数の方向で走査させるために、前記第２の制御信号を作成するようにさらに構成される、
請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記ビームスキャナ制御装置が、前記制御信号のうちの１つを作成し、その制御信号によって制御される前記ミラーにポイントツーポイントモードにおいて複数の方向で走査させるようにさらに構成される、
請求項９に記載の装置。
【請求項１３】
前記ビームスキャナ制御装置が、前記第１のミラーに非共振モードにおいて１つの方向で走査させるために、前記第１の制御信号を作成するようにさらに構成される、
請求項９に記載の装置。
【請求項１４】
前記ビームスキャナ制御装置が、前記第２のミラーにポイントツーポイントモードにおいて複数の方向で走査させるために、前記第２の制御信号を作成するようにさらに構成される、
請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記閉ループ光学フィードバックシステムが、（１）前記第１及び第２のミラーのための複数の実ミラー走査位置を感知し、（２）前記第１のミラーのための前記実ミラー走査位置を示す前記ビームスキャナ制御装置に第１のフィードバック信号を提供し、（３）前記第２のミラーのための前記実ミラー走査位置を示す前記ビームスキャナ制御装置に第２のフィードバック信号を提供するようにさらに構成され、前記第１及び第２のフィードバック信号が、前記伝送されたＬＡＤＡＲパルスを前記レンジポイントに向けてターゲティングし続けるために、前記ビームスキャナ制御装置によって使用され、前記第１及び第２の制御信号をそれぞれ調整する、
請求項９〜１４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１６】
前記ビームスキャナ制御装置が、（１）速軸ミラーとして前記第１のミラーを動作させるために前記第１の制御信号を作成し、（２）遅軸ミラーとして前記第２のミラーを動作させるために前記第２の制御信号を作成する、
請求項９〜１５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１７】
前記第２のミラーが、前記第１のミラーよりも大きいミラー面積を有する、
請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記制御信号が、インターラインスキップを含む動的走査パターンを定義する、
請求項４〜１７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１９】
前記制御信号が、インターラインの迂回を含む動的走査パターンを定義する、
請求項４〜１８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２０】
複数の発射コマンドに応答して、前記ＬＡＤＡＲパルスを生成するように構成された光源と、
前記光源と前記ビームスキャナとの間に位置付けられた光学顕微鏡であって、前記ビームスキャナの前記ミラーへ前記ＬＡＤＡＲパルスを導くように構成される光学顕微鏡と、
前記ビームスキャナの下流に光学的に位置付けられる伝送光学系であって、前記ＬＡＤＡＲパルスを前記レンジポイントに向けて伝送するように構成される伝送光学系と、
をさらに備え、
前記ビームスキャナ制御装置が、前記動的走査パターンを定義するために、前記ビームスキャナのための前記制御信号と協調して、前記光源に複数の発射コマンドを提供するようにさらに構成される、
請求項４〜１９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２１】
（１）第１の電圧波形に基づいて、第１の軸上の第１のミラーを走査すること、及び（２）ターゲティングされたレンジポイントの関数である、第２の電圧波形に基づいて、第２の軸上の第２のミラーを走査することによって、動的走査パターンに従って、複数のレンジポイントに走査ＬＡＤＡＲ伝送システムをターゲティングすることと、
前記走査ミラーによって、前記動的走査パターンに従って複数のＬＡＤＡＲパルスを前記ターゲティングされたレンジポイントに伝送することと、
前記走査ミラーのうちの少なくとも１つに対する閉ループフィードバック制御に基づいて、前記第１及び第２の電圧波形のうちの少なくとも１つを調整することと、
を含む方法。
【請求項２２】
第１の走査可能なミラー及び第２の走査可能なミラーを含むビームスキャナであって、（１）第１の電圧波形に応答し、複数のミラー走査位置に対して第１の軸上の前記第１の走査可能なミラーを走査し、（２）第２の電圧波形に応答し、複数のミラー走査位置に対して第２の軸上の前記第２の走査可能なミラーを走査し、（３）レンジポイントの方に向けて、前記第１の走査可能なミラーから前記第２の走査可能なミラーへのＬＡＤＡＲパルスの反射によって、複数の入射するＬＡＤＡＲパルスを複数のレンジポイントに向けて導くように構成される、ビームスキャナと、
（１）前記第１及び第２の電圧波形の組み合わせが、前記レンジポイントに対して前記ビームスキャナのための動的走査パターンを定義するように、前記ビームスキャナのための前記第１及び第２の電圧波形を作成し、（２）前記第１及び第２の走査可能なミラーのうちの少なくとも１つに対する閉ループフィードバック制御に基づいて、前記第１及び第２の電圧波形のうちの少なくとも１つを調整するように構成される、ビームスキャナ制御装置と、
を備える装置。