【手続補正書】
【提出日】平成30年3月26日(2018.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光維持プラズマを形成するための開放プラズマランプであって、
ガス投入部およびガス出力部を含む空洞セクションと、
前記空洞セクションの前記ガス出力部に流体的に結合されたノズル組立体であって、前記ノズル組立体および空洞セクションは、ある容積のガスが、ポンプ源からポンピング照明を受け取ってプラズマを前記ガス内に維持するように配置され、前記維持プラズマは、広帯域放射を発する、ノズル組立体とを備え、
前記ノズル組立体は、ガスの流れを前記空洞セクション内から前記空洞セクションの外部の領域まで確立するように構成され、そのように確立することにより、前記維持プラズマの一部分は、前記ガスの流れによって前記空洞セクションから除去される開放プラズマランプ。
【請求項２】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体が、先細セクションを含むプラズマランプ。
【請求項３】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体が、先細セクションを含むプラズマランプ。
【請求項４】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体が、中細ノズル組立体であるプラズマランプ。
【請求項５】
請求項４に記載のプラズマランプであって、前記中細ノズル組立体が、ドラバルノズル組立体であるプラズマランプ。
【請求項６】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体の１つ以上のセクションが、円筒、切頂長球、切頂偏球、切頂回転楕円体または切頂楕円体の少なくとも１つを含む幾何学的形状を有するプラズマランプ
【請求項７】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記空洞セクションが、円筒、回転楕円体、長球、偏球、または切頂楕円体の少なくとも１つを含む幾何学的形状を有するプラズマランプ。
【請求項８】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記空洞セクションの少なくとも一部分が、前記プラズマによって発せられた前記ポンピング照明および前記広帯域放射の少なくとも一部分に対して透過性であるプラズマランプ。
【請求項９】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体の少なくとも一部分が、前記プラズマによって発せられた前記ポンピング照明および前記広帯域放射の少なくとも一部分に対して透過性であるプラズマランプ。
【請求項１０】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体の少なくとも一部分が、前記プラズマによって発せられた前記ポンピング照明または前記広帯域放射の少なくとも１つに対して不透過性であるプラズマランプ。
【請求項１１】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体が、第１の材料から形成され、前記空洞セクションが、前記第１の材料とは異なる第２の材料から形成されるプラズマランプ。
【請求項１２】
請求項１１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体が、前記空洞セクションに可逆式に機械的に結合可能であるプラズマランプ。
【請求項１３】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体および前記空洞セクションが、同じ材料から形成されるプラズマランプ。
【請求項１４】
請求項１３に記載のプラズマランプであって、前記空洞セクションおよび前記ノズル組立体が、一体式構造を形成するプラズマランプ。
【請求項１５】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体が、前記プラズマランプ内のプラズマの流れの少なくとも１つの特性を制御するように構成されるプラズマランプ。
【請求項１６】
請求項１５に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体が、前記ガスの圧力を制御するように構成されるプラズマランプ。
【請求項１７】
請求項１５に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体が、前記ガスの質量流量を制御するように構成されるプラズマランプ。
【請求項１８】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体が、前記ガスの音速以下の流量を確立するように構成されるプラズマランプ。
【請求項１９】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体が、前記ガスの超音速流量を確立するように構成されるプラズマランプ。
【請求項２０】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体が、前記ガスの層流を確立するように構成されるプラズマランプ。
【請求項２１】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体によって確立された前記ガスの流れが、前記プラズマの外側層を除去するのに適しているプラズマランプ。
【請求項２２】
請求項１に記載のプラズマランプであって、さらにガス供給組立体を備え、前記ガス供給組立体が、ガス供給を含み、前記空洞セクションまたは前記ノズル組立体の少なくとも１つの内部容積部内のガス流量を制御するように構成された、ブロワ、ポンプ、またはファンの少なくとも１つの１つ以上を含むプラズマランプ。
【請求項２３】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記空洞セクションおよびノズル組立体が、前記空洞セクション内の場所において前記プラズマを維持するように構成されるプラズマランプ。
【請求項２４】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記空洞セクションおよびノズル組立体が、前記ノズル組立体内の場所において前記プラズマを維持するように構成されるプラズマランプ。
【請求項２５】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記空洞セクションおよびノズル組立体が、前記ノズル組立体の外部の場所において前記プラズマを維持するように構成されるプラズマランプ。
【請求項２６】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ノズル組立体または前記空洞セクションの少なくとも１つの透過性部分が、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化リチウム、水晶、サファイアまたは石英ガラスの少なくとも１つから形成されるプラズマランプ。
【請求項２７】
請求項１に記載のプラズマランプであって、前記ガスが、
不活性ガス、非不活性ガス、または２つ以上のガスの混合物を含むプラズマランプ。
【請求項２８】
光維持プラズマを形成するためのシステムであって
ポンピング照明を生成するように構成されたポンプ源と、
開放プラズマランプであって、
空洞セクションと、
前記空洞セクションに流体的に結合されたノズル組立体とを備え、
前記ノズル組立体は、ガスの流れを前記空洞セクション内から前記空洞セクションの外部の領域まで確立するように構成され、そのように確立することにより、前記維持プラズマの一部分は、前記ガスの流れによって前記空洞セクションから除去される、開放プラズマランプと、
プラズマを前記ガス内に維持するために、前記ポンプ源からの前記照明を前記ガスに集束させるように配置された反射器要素とを備え、
前記プラズマは、広帯域放射を発するシステム。
【請求項２９】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体が、先細セクションを含むシステム。
【請求項３０】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体が、先細セクションを含むシステム。
【請求項３１】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体が、中細ノズル組立体であるシステム。
【請求項３２】
請求項３１に記載のシステムであって、前記中細ノズル組立体が、ドラバルノズル組立体であるシステム。
【請求項３３】
請求項２８に記載のシステムであって、前記空洞セクションの少なくとも一部分が、前記プラズマによって発せられた前記ポンピング照明および前記広帯域放射の少なくとも一部分に対して透過性であるシステム。
【請求項３４】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体の少なくとも一部分が、前記プラズマによって発せられた前記ポンピング照明および前記広帯域放射の少なくとも一部分に対して透過性であるシステム。
【請求項３５】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体の少なくとも一部分が、前記プラズマによって発せられた前記ポンピング照明または前記広帯域放射の少なくとも一部分に対して不透過性であるシステム。
【請求項３６】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体が、第１の材料から形成され、前記空洞セクションが、前記第１の材料とは異なる第２の材料から形成されるシステム。
【請求項３７】
請求項３６に記載のシステムであって、前記ノズル組立体が、前記空洞セクションに可逆式に機械的に結合可能であるシステム。
【請求項３８】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体および前記空洞セクションが、同じ材料から形成されるシステム。
【請求項３９】
請求項３８に記載のシステムであって、前記空洞セクションおよび前記ノズル組立体が、一体式構造体を形成するシステム。
【請求項４０】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体が、前記プラズマランプ内のプラズマの流れの少なくとも１つの特性を制御するように構成されるシステム。
【請求項４１】
請求項４０に記載のシステムであって、前記ノズル組立体が、前記ガスの圧力を制御するように構成されるシステム。
【請求項４２】
請求項４０に記載のシステムであって、前記ノズル組立体が、前記ガスの質量流量を制御するように構成されるシステム。
【請求項４３】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体が、前記ガスの音速以下の流量を確立するように構成されるシステム。
【請求項４４】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体が、前記ガスの超音速流量を確立するように構成されるシステム。
【請求項４５】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体が、前記ガスの層流を確立するように構成されるシステム。
【請求項４６】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体によって確立された前記ガスの流れが、前記プラズマの外側層を除去するのに適しているシステム。
【請求項４７】
請求項２８に記載のシステムであって、さらにガス供給組立体を備え、前記ガス供給組立体が、ガス供給を含み、前記空洞セクションまたは前記ノズル組立体の少なくとも１つの内部容積部内のガス流量を制御するように構成された、ブロワ、ポンプ、またはファンの少なくとも１つの１つ以上を含むシステム。
【請求項４８】
請求項２８に記載のシステムであって、前記反射器要素が、プラズマを前記ガス内に維持するために、前記ポンプ源からの前記照明を前記空洞セクション内の場所において前記ガスに集束させるように配置されるシステム。
【請求項４９】
請求項２８に記載のシステムであって、前記反射器要素が、プラズマを前記ガス内に維持するために、前記ポンプ源からの前記照明を前記ノズル組立体内の場所において前記ガスに集束させるように配置されるシステム。
【請求項５０】
請求項２８に記載のシステムであって、前記反射器要素が、プラズマを前記ガス内に維持するために、前記ポンプ源からの前記照明を前記ノズル組立体の外部の場所において前記ガスに集束させるように配置されるシステム。
【請求項５１】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ノズル組立体または前記空洞セクションの少なくとも１つの透過性部分が、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化リチウム、水晶、サファイアまたは石英ガラスの少なくとも１つから形成されるシステム。
【請求項５２】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ガスが、
不活性ガス、非不活性ガス、または２つ以上のガスの混合物を含むシステム。
【請求項５３】
請求項２８に記載のシステムであって、前記ポンプ源が、
１つ以上のレーザを含むシステム。
【請求項５４】
請求項５３に記載のシステムであって、前記１つ以上のレーザが、
１つ以上の赤外線レーザを含むシステム。
【請求項５５】
請求項５３に記載のシステムであって、前記１つ以上のレーザが、
ダイオードレーザ、連続波レーザ、または広帯域レーザの少なくとも１つを含むシステム。
【請求項５６】
請求項５３に記載のシステムであって、前記１つ以上のポンプレーザが、
ほぼ一定の出力のレーザ光を前記プラズマにもたらすように構成された１つ以上のレーザを含むシステム。
【請求項５７】
請求項５３に記載のシステムであって、前記１つ以上のポンプレーザが、
変調されたレーザ光を前記プラズマにもたらすように構成された１つ以上の変調されたレーザを含むシステム。
【請求項５８】
請求項２８に記載のシステムであって、前記プラズマによって発せられた前記広帯域放射が、超紫外放射、真空紫外放射、深紫外放射、紫外放射、または可視放射の少なくとも１つを含むシステム。
【請求項５９】
請求項２８に記載のシステムであって、前記反射器要素が、前記維持プラズマによって発せられた広帯域放射の少なくとも一部分を集光し、前記広帯域放射を１つ以上の追加の光学要素に向けるように配置されるシステム。
【請求項６０】
請求項２８に記載のシステムであって、前記反射器要素が、
楕円体形状の集光器要素またはパラボラ集光器要素の少なくとも１つを備えるシステム。
【請求項６１】
請求項２８に記載のシステムであって、さらに、
ガス閉じ込め構造体を備えるシステム。
【請求項６２】
請求項６１に記載のシステムであって、さらに、
ガス再循環サブシステムを備えるシステム。
【請求項６３】
光維持プラズマを形成するためのプラズマランプであって、
ポンプ源からのポンプ照明の吸収時、プラズマを生成するのに適したガスを含むように構成されたガス閉じ込め構造体と、
前記ガス閉じ込め構造体内に配設された対流制御要素であって、前記プラズマの立ち上がりを選択された方向に沿うように向けるためのチャネルを含む対流制御要素とを備えるプラズマランプ。
【請求項６４】
請求項６３に記載のプラズマランプであって、前記ガス閉じ込め構造体が、
プラズマ電球またはプラズマセルの少なくとも１つを備えるプラズマランプ。
【請求項６５】
請求項６３に記載のプラズマランプであって、前記プラズマの立ち上がりを向けるための前記チャネルが、前記対流制御要素の上部分において閉じられるプラズマランプ。
【請求項６６】
請求項６３に記載のプラズマランプであって、前記プラズマの立ち上がりを向けるための前記チャネルが、前記対流制御要素の上部分において開いており、前記対流制御要素は、ガスを、前記対流制御要素の上部分からプラズマ生成領域まで戻すように構成されるプラズマランプ。
【請求項６７】
請求項６３に記載のプラズマランプであって、前記プラズマの立ち上がりを向けるための前記チャネルが、前記対流制御要素の上部分において開いており、前記対流制御要素は、ガスを、前記プラズマランプの外部の領域に伝達するように構成されるプラズマランプ。
【請求項６８】
請求項６３に記載のプラズマランプであって、さらに、
前記対流制御要素の少なくとも１つの表面上に配設された、１つ以上の熱交換構造体を備えるプラズマランプ。
【請求項６９】
請求項６３に記載のプラズマランプであって、
冷却剤サブシステムが１つ以上の冷却剤ループを含み、前記１つ以上の冷却剤ループの一部分は、前記対流制御要素内に形成されたチャネル内に配設され、前記１つ以上の冷却剤ループは、前記対流制御要素から、前記１つ以上の冷却剤ループ内に循環される流体冷却剤に熱を伝達するように構成されるプラズマランプ。
【請求項７０】
請求項６３に記載のプラズマランプであって、前記対流制御要素が、前記プラズマを開始させるように構成された前記プラズマの電極であるプラズマランプ。