(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１支持対象物を第１支持面で支持する第１支持手段と、
前記第１支持面から間隙を空けた位置に設けられた第２支持面を有し、当該第２支持面で第２支持対象物を支持する第２支持手段と、
前記第１支持面および前記第２支持面に跨って吸引を行い、それら第１支持面上および第２支持面上から異物を除去する異物除去手段とを備え、
前記異物除去手段は、前記間隙を閉塞する閉塞手段を備えていることを特徴とする支持装置。
【請求項２】
前記第１支持面および前記第２支持面の少なくとも一方上の異物を検知する異物検知手段を備え、
前記異物除去手段は、前記異物検知手段の検知結果を基に前記吸引を行うことを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
【請求項３】
第１支持面上および当該第１支持面から間隙を空けた位置に設けられた第２支持面上から異物を除去する異物除去方法であって、
前記間隙を閉塞する閉塞工程と、
前記第１支持面および前記第２支持面に跨って吸引を行い、それら第１支持面上および第２支持面上から異物を除去する異物除去工程とを実施することを特徴とする異物除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持装置および異物除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
第１支持対象物を第１支持面で支持し、第２支持対象物を第２支持面で支持する支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０２０−８７９５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたシート貼付装置ＥＡ（支持装置）では、支持面４２Ａ（第１支持面）上および支持面１２Ａ（第２支持面）上から異物を除去するために、それら第１、第２支持面に跨って吸引を行うと、第１支持面と第２支持面との間隙ＣＬからの空気の流入量が多くなり、第１、第２支持面を吸引する吸引力が十分に担保されず、異物を確実に除去することができないという不都合が発生する（図１（Ｄ）参照）。
【０００５】
本発明の目的は、第１、第２支持面上から確実に異物を除去することができる支持装置および異物除去方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、間隙を閉塞するので、第１、第２支持面を吸引する吸引力が十分に担保され、第１、第２支持面上から確実に異物を除去することができる。
また、異物検知手段の検知結果を基に吸引を行えば、第１、第２支持面に異物が検知されない場合は、吸引を行わないようにすることができるので、無駄なエネルギーを消費することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の一実施形態に係る支持装置の説明図。（Ｄ）は、発明が解決しようとする課題の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本発明の支持装置ＥＡは、第１支持対象物としての被着体ＷＫを第１支持面１２Ａで支持する第１支持手段１０と、第１支持面１２Ａから間隙ＣＬを空けた位置に設けられた第２支持面２２Ａを有し、当該第２支持面２２Ａで第２支持対象物であってフレーム部材としてのリングフレームＲＦを支持する第２支持手段２０と、第１支持面１２Ａおよび第２支持面２２Ａに跨って吸引を行い、それら第１支持面１２Ａ上および第２支持面２２Ａ上から異物を除去する異物除去手段３０と、第１支持面１２Ａ上および第２支持面２２Ａ上の異物を検知する異物検知手段４０とを備え、被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付する貼付手段５０とでシート貼付装置ＥＡ１を構成している。
【００１１】
第１支持手段１０は、駆動機器としての直動モータ１１と、直動モータ１１の出力軸１１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な第１支持面１２Ａを有する内側テーブル１２とを備えている。
【００１２】
第２支持手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１と、リニアモータ２１のスライダ２１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な第２支持面２２Ａを有する外側テーブル２２とを備えている。
外側テーブル２２には、底面で直動モータ１１を支持し、上方に段部２２Ｂが形成された凹部２２Ｃが形成されている。
【００１３】
異物除去手段３０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段３１と、配管３１Ａを介して減圧手段３１に接続され、第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａに跨る長さの吸引口３２Ａが形成された吸引ノズル３２と、間隙ＣＬを閉塞する閉塞手段３３とを備え、異物検知手段４０の検知結果を基に吸引を行う構成となっている。
閉塞手段３３は、駆動機器としての直動モータ３３Ａと、直動モータ３３Ａの出力軸３３Ｂにパッドフレーム３３Ｃを介して支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な吸着パッド３３Ｄと、外側テーブル２２の段部２２Ｂに載置され、間隙ＣＬに対して挿抜可能な閉塞部材３３Ｅとを備えている。
【００１４】
異物検知手段４０は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された検知機器４１を備えている。
【００１５】
貼付手段５０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ５１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ５２と、剥離縁５３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板５３と、被着体ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ５４と、駆動機器としての回動モータ５５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ５５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ５５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、ピンチローラ５５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ５６とを備えている。
【００１６】
以上のシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段５０が回動モータ５５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板５３の剥離縁５３Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ５５Ａの駆動を停止する。
【００１７】
次いで、第２支持手段２０および異物除去手段３０がリニアモータ２１および減圧手段３１を駆動し、吸引ノズル３２での吸引を行いながら外側テーブル２２を左方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、吸着パッド３３Ｄの直下に閉塞部材３３Ｅが位置する挿抜位置ＴＰに外側テーブル２２が到達すると、リニアモータ２１および減圧手段３１の駆動を停止する。これにより、第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上に異物があったとしても、当該第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａが吸引ノズル３２の下方を通過する過程で当該異物が除去される。この際、間隙ＣＬに閉塞部材３３Ｅが挿入されているので、当該間隙ＣＬからの空気の流入量が多くなることはなく、第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａを吸引する吸引力が十分に担保される（図１（Ｂ）参照）。その後、異物除去手段３０が直動モータ３３Ａおよび図示しない減圧手段を駆動し、吸着パッド３３Ｄを下降させて閉塞部材３３Ｅを吸着保持した後、当該吸着パッド３３Ｄを初期位置に復帰させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、間隙ＣＬに挿入されていた閉塞部材３３Ｅを抜き去る（以降この動作を「抜去動作」という）。次に、第２支持手段２０がリニアモータ２１を駆動し、外側テーブル２２を右方へ移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、貼付手段５０の右下方に第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａが位置する載置位置ＰＰに外側テーブル２２が到達すると、リニアモータ２１の駆動を停止する。
【００１８】
そして、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫおよびリングフレームＲＦを第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上に載置すると、第１、第２支持手段１０、２０がそれぞれの図示しない減圧手段を駆動し、第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａでの被着体ＷＫ、リングフレームＲＦの吸着保持を開始する。次いで、第１支持手段１０が直動モータ１１を駆動し、被着体ＷＫの上面とリングフレームＲＦの上面とが同一平面に位置するように内側テーブル１２を昇降させる。その後、第２支持手段２０がリニアモータ２１を駆動し、外側テーブル２２を左方に移動させ、当該外側テーブル２２が所定の位置に到達すると、貼付手段５０が回動モータ５５Ａを駆動し、外側テーブル２２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ５４によってリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫに押圧されて貼付される。次に、先頭の接着シートＡＳ全体がリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫに貼付されて一体物ＵＰが形成され、当該先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板５３の剥離縁５３Ａで所定長さ剥離されると、貼付手段５０が回動モータ５５Ａの駆動を停止する。
【００１９】
そして、外側テーブル２２の初期位置である異物検知手段４０の検知位置ＳＰに当該外側テーブル２２が到達すると、第２支持手段２０がリニアモータ２１の駆動を停止した後、第１、第２支持手段１０、２０がそれぞれの図示しない減圧手段の駆動を停止し、第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａでの被着体ＷＫ、リングフレームＲＦの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、異物検知手段４０が検知機器４１を駆動し、第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上の異物の検知を開始する。検知機器４１での検知の結果、異物検知手段４０が第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上に異物がないと認識すると、第２支持手段２０がリニアモータ２１を駆動し、外側テーブル２２を載置位置ＰＰに移動させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２０】
一方、検知機器４１での検知の結果、異物検知手段４０が第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上に異物があると認識すると、第１支持手段１０および第２支持手段２０が直動モータ１１およびリニアモータ２１を駆動し、内側テーブル１２を初期位置に復帰させるとともに、外側テーブル２２を挿抜位置ＴＰに移動させ、リニアモータ２１の駆動を停止する。その後、異物除去手段３０が直動モータ３３Ａを駆動し、吸着パッド３３Ｄを下降させて閉塞部材３３Ｅを間隙ＣＬに挿入した時点で、図示しない減圧手段の駆動を停止し、吸着パッド３３Ｄでの閉塞部材３３Ｅの吸着保持を解除した後、直動モータ３３Ａを駆動し、吸着パッド３３Ｄを初期位置に復帰させる。次に、第２支持手段２０および異物除去手段３０がリニアモータ２１および減圧手段３１を駆動し、吸引ノズル３２での吸引を行いながら外側テーブル２２を検知位置ＳＰに移動させた後、再び外側テーブル２２を挿抜位置ＴＰへ復帰させ、リニアモータ２１および減圧手段３１の駆動を停止する。これにより、第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上に存在していた異物は、当該第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａが吸引ノズル３２の下方を通過する過程で除去される。この際も、間隙ＣＬに閉塞部材３３Ｅが挿入されているので、第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａを吸引する吸引力が十分に担保される。そして、異物除去手段３０による抜去動作が行われた後、第２支持手段２０がリニアモータ２１を駆動し、外側テーブル２２を載置位置ＰＰに移動させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、間隙ＣＬを閉塞するので、第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａを吸引する吸引力が十分に担保され、第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上から確実に異物を除去することができる。
【００２２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２３】
例えば、第１支持手段１０は、第１支持面１２Ａにその外縁に沿った環状の段部を設け、当該段部で閉塞部材３３Ｅを支持する構成としてもよいし、被着体ＷＫの上面とリングフレームＲＦの上面とが同一平面に位置するように内側テーブル１２を昇降させなくてもよいし、内側テーブル１２が直動モータ１１を介さずに凹部２２Ｃの底面に支持されていてもよいし、内側テーブル１２と外側テーブル２２とが一体的に形成され、第１支持面１２Ａと第２支持面２２Ａとの間に間隙ＣＬが形成されていてもよいし、第１支持面１２Ａで吸着保持ができなくてもよい。
【００２４】
第２支持手段２０は、段部２２Ｂが形成されることなく、凹部２２Ｃの底面で閉塞部材３３Ｅを支持してもよいし、外側テーブル２２を凹部２２Ｃが貫通していてもよいし、第２支持面２２Ａで吸着保持ができなくてもよい。
【００２５】
異物除去手段３０は、図１（Ｃ）に示すように、凹部２２Ｃの底面に支持された駆動機器としての直動モータ３３Ｆの出力軸３３Ｇで閉塞部材３３Ｅを支持し、直動モータ３３Ｆで閉塞部材３３Ｅを上昇させて間隙ＣＬを閉塞する構成を採用してもよいし、間隙ＣＬ全体を閉塞してもよいし、間隙ＣＬを部分的に閉塞してもよいし、塵埃、水分または被着体ＷＫの破片等を異物として吸引してもよいし、外側テーブル２２を移動させずにまたは移動させつつ、吸引ノズル３２を移動させて第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上を吸引してもよいし、外側テーブル２２および吸引ノズル３２の両方を移動させずに、第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上を一括で吸引してもよいし、異物検知手段４０の検知結果を基にすることなく吸引を行ってもよいし、例えば、一体物ＵＰを次工程に搬送した後、毎回第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上を吸引してもよいし、５体や１０体等といった所定数量の一体物ＵＰを次工程に搬送した後、第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上を吸引してもよいし、５分や３０分等といった所定時間が経過した時点で第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上を吸引してもよいし、閉塞部材３３Ｅを内側テーブル１２や外側テーブル２２に固定する閉塞部材固定手段を採用してもよい。
閉塞部材３３Ｅは、材質、種別、形状等は、特に限定されることはなく、例えば、金属、樹脂、プラスチック、ガラス等、どのような材質のものであってもよいし、布やフィルム等のシート部材でもよいし、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。
【００２６】
異物検知手段４０は、内側テーブル１２や外側テーブル２２を移動させずにまたは移動させつつ、検知機器４１を移動させずにまたは移動させて第１、第２支持面１２Ａ、２２Ａ上の異物を検知してもよいし、第１支持面１２Ａ上のみの異物を検知するようにしてもよいし、第２支持面２２Ａ上のみの異物を検知するようにしてもよいし、本発明の支持装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【００２７】
貼付手段５０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込をカッター刃等の切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートＡＳとしてもよいし、支持ローラ５１やガイドローラ５２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反を巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなくファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等の切断手段で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、本発明の支持装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【００２８】
フレーム部材は、リングフレームＲＦ以外に、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。
【００２９】
接着シートＡＳ、第１支持対象物および第２支持対象物の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳおよび第１、第２支持対象物は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、該当するシートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、第１、第２支持対象物としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３０】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１支持手段は、第１支持対象物を第１支持面で支持可能なものであればどのようなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００３１】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３２】
ＥＡ…支持装置
１０…第１支持手段
１２Ａ…第１支持面
２０…第２支持手段
２２Ａ…第２支持面
３０…異物除去手段
３３…閉塞手段
４０…異物検知手段
ＣＬ…間隙
ＲＦ…リングフレーム（第２支持対象物）
ＷＫ…被着体（第１支持対象物）
【要約】
【課題】第１、第２支持面上から確実に異物を除去することができる支持装置および異物除去方法を提供すること。
【解決手段】支持装置ＥＡは、第１支持対象物ＷＫを第１支持面１２Ａで支持する第１支持手段１０と、第１支持面１２Ａから間隙ＣＬを空けた位置に設けられた第２支持面２２Ａを有し、当該第２支持面２２Ａで第２支持対象物ＲＦを支持する第２支持手段２０と、第１支持面１２Ａおよび第２支持面２２Ａに跨って吸引を行い、それら第１支持面１２Ａ上および第２支持面２２Ａ上から異物を除去する異物除去手段３０とを備え、異物除去手段３０は、間隙ＣＬを閉塞する閉塞手段３３を備えている。
【選択図】図１【図１】
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