(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在されるベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
前記シート本体を貫通する貫通空間と、
前記第２本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第１溝集合体と、
前記第１本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第２溝集合体と、を備え、
前記第１溝集合体は、第１方向に延びる複数の第１主流溝を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向に延びる複数の第２主流溝を含み、
前記第２主流溝の流路断面積は、前記第１主流溝の流路断面積よりも大きく、
前記シート本体は、前記貫通空間を複数の通路に区画する複数のランド部を有し、
複数の前記ランド部は、前記第１方向に直交する第２方向において互いに離間し、
前記第２主流溝の幅は、互いに隣り合う一対の前記ランド部の間のギャップよりも小さい、ベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項２】
作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在されるベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
前記シート本体を貫通する貫通空間と、
前記第２本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第１溝集合体と、
前記第１本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第２溝集合体と、を備え、
前記第１溝集合体は、第１方向に延びる複数の第１主流溝を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向に延びる複数の第２主流溝を含み、
前記第２主流溝の流路断面積は、前記第１主流溝の流路断面積よりも大きく、
前記シート本体は、前記貫通空間を複数の通路に区画する複数のランド部を有し、
複数の前記ランド部のうちの少なくとも一つに、前記第１溝集合体および前記第２溝集合体が設けられている、ベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項３】
前記ランド部に設けられた前記第２主流溝の本数は、当該ランド部に設けられた第１主流溝の本数よりも少ない、請求項２に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項４】
作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在されるベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
前記シート本体を貫通する貫通空間と、
前記第２本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第１溝集合体と、
前記第１本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第２溝集合体と、を備え、
前記第１溝集合体は、第１方向に延びる複数の第１主流溝を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向に延びる複数の第２主流溝を含み、
前記第２主流溝の流路断面積は、前記第１主流溝の流路断面積よりも大きく、
前記シート本体は、前記第１方向に延びる、前記貫通空間を複数の通路に区画する複数のランド部を有し、
前記第２溝集合体は、前記第１方向において、前記ランド部の一側に配置されている、ベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項５】
作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在されるベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
前記シート本体を貫通する貫通空間と、
前記第２本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第１溝集合体と、
前記第１本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第２溝集合体と、を備え、
前記第１溝集合体は、第１方向に延びる複数の第１主流溝を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向に延びる複数の第２主流溝を含み、
前記第２主流溝の流路断面積は、前記第１主流溝の流路断面積よりも大きく、
前記シート本体は、前記貫通空間を複数の通路に区画する複数のランド部を有し、
前記第１方向に直交する第２方向において互いに隣り合う一対の前記ランド部に、前記第２方向において互いに隣り合う前記第２溝集合体が設けられ、
一方の前記ランド部に設けられた前記第２溝集合体の前記第２主流溝の前記第１方向における長さは、他方の前記ランド部に設けられた前記第２溝集合体の前記第２主流溝の前記第１方向における長さよりも長い、ベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項６】
作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在されるベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
前記シート本体を貫通する貫通空間と、
前記第２本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第１溝集合体と、
前記第１本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第２溝集合体と、を備え、
前記第１溝集合体は、第１方向に延びる複数の第１主流溝を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向に延びる複数の第２主流溝を含み、
前記第２主流溝の流路断面積は、前記第１主流溝の流路断面積よりも大きく、
前記シート本体は、前記貫通空間を複数の通路に区画する複数のランド部を有し、
複数の前記ランド部のうちの少なくも一つに、複数の前記第２溝集合体が設けられている、ベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項７】
前記第２主流溝の幅は、前記第１主流溝の幅よりも大きい、請求項１〜６のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項８】
前記第２主流溝の深さは、前記第１主流溝の深さよりも大きい、請求項１〜７のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項９】
前記シート本体に設けられ、前記第１溝集合体と前記第２溝集合体とに連通する連通部を備えた、請求項１〜８のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項１０】
前記連通部は、前記貫通空間の壁面に設けられた、前記第１溝集合体から前記第２溝集合体に延びる連通凹部を含む、請求項９に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項１１】
前記第１溝集合体は、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記第１主流溝に連通する第１連絡溝を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記第２主流溝に連通する第２連絡溝、を含み、
前記連通凹部は、前記第１連絡溝および前記第２連絡溝の少なくとも一方に延びている、請求項１０に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項１２】
前記連通部は、前記シート本体を貫通する、前記第１溝集合体から前記第２溝集合体に延びる貫通孔を含む、請求項９に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項１３】
前記第１溝集合体は、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記第１主流溝に連通する第１連絡溝を含み、
前記第１主流溝は、前記第１連絡溝と連通する第１交差部を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記第１主流溝に連通する第２連絡溝を含み、
前記第２主流溝は、前記第２連絡溝と連通する第２交差部を含み、
前記貫通孔は、前記第１交差部および前記第２交差部の少なくとも一方に延びている、請求項１２に記載のベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項１４】
作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在されるベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
前記シート本体を貫通する貫通空間と、
前記第２本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第１溝集合体と、
前記第１本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第２溝集合体と、
前記シート本体に設けられ、前記第１溝集合体と前記第２溝集合体とに連通する連通部と、を備え、
前記第１溝集合体は、第１方向に延びる複数の第１主流溝を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向に延びる複数の第２主流溝を含み、
前記第２主流溝の流路断面積は、前記第１主流溝の流路断面積よりも大きく、
前記連通部は、前記シート本体を貫通する、前記第１溝集合体から前記第２溝集合体に延びる貫通孔を含み、
前記第１溝集合体は、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記第１主流溝に連通する第１連絡溝を含み、
前記第１主流溝は、前記第１連絡溝と連通する第１交差部を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記第１主流溝に連通する第２連絡溝を含み、
前記第２主流溝は、前記第２連絡溝と連通する第２交差部を含み、
前記貫通孔は、前記第１交差部および前記第２交差部の少なくとも一方に延びている、ベーパーチャンバ用のウィックシート。
【請求項１５】
第１シートと、
第２シートと、
前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、請求項１〜４および１４のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシートと、を備えた、ベーパーチャンバ。
【請求項１６】
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容された電子デバイスと、
前記電子デバイスに熱的に接触した、請求項１５に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。
【請求項１７】
前記第２溝集合体は、前記ベーパーチャンバの平面視で前記電子デバイスと重なる領域とは異なる領域に配置されている、請求項１６に記載の電子機器。
【請求項１８】
第１シートと、
第２シートと、
前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、請求項１〜１４のいずれか一項に記載のベーパーチャンバ用のウィックシートと、を備え、
前記作動流体は、凍結膨張性を有している、ベーパーチャンバ。
【請求項１９】
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容された電子デバイスと、
前記電子デバイスに熱的に接触した、請求項１８に記載のベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。
【請求項２０】
前記第２溝集合体は、前記ベーパーチャンバの平面視で前記電子デバイスと重なる領域に配置されている、請求項１９に記載の電子機器。
【請求項２１】
前記第２溝集合体は、前記第１方向において前記電子デバイスよりも外側にはみ出している、請求項２０に記載の電子機器。
【請求項２２】
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容された電子デバイスと、
前記電子デバイスに熱的に接触した、作動流体が封入されるベーパーチャンバと、を備え、
前記ベーパーチャンバは、
第１シートと、
第２シートと、
前記第１シートと前記第２シートとの間に介在されたベーパーチャンバ用のウィックシートと、を備え、
前記作動流体は、凍結膨張性を有し、
前記ベーパーチャンバ用のウィックシートは、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
前記シート本体を貫通する貫通空間と、
前記第２本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第１溝集合体と、
前記第１本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第２溝集合体と、を備え、
前記第１溝集合体は、第１方向に延びる複数の第１主流溝を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向に延びる複数の第２主流溝を含み、
前記第２主流溝の流路断面積は、前記第１主流溝の流路断面積よりも大きく、
前記シート本体は、前記貫通空間を複数の通路に区画する第１重合ランド部および第２重合ランド部を有し、
前記第１重合ランド部および前記第２重合ランド部は、前記第１方向に直交する第２方向において互いに離間し、
前記第１重合ランド部および前記第２重合ランド部に、前記第２溝集合体が設けられ、
前記第１重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体と、前記第２重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体は、前記ベーパーチャンバの平面視で前記電子デバイスと重なる領域に配置され、
前記第１重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体は、前記第２重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体よりも、前記ベーパーチャンバの平面視で、前記第１方向に直交する第２方向における前記電子デバイスの中心側に位置し、
前記第１重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体の前記第１方向における長さは、前記第２重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体の前記第１方向における長さよりも長い、電子機器。
【請求項２３】
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容された電子デバイスと、
前記電子デバイスに熱的に接触した、作動流体が封入されるベーパーチャンバと、を備え、
前記ベーパーチャンバは、
第１シートと、
第２シートと、
前記第１シートと前記第２シートとの間に介在されたベーパーチャンバ用のウィックシートと、を備え、
前記作動流体は、凍結膨張性を有し、
前記ベーパーチャンバ用のウィックシートは、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
前記シート本体を貫通する貫通空間と、
前記第２本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第１溝集合体と、
前記第１本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第２溝集合体と、を備え、
前記第１溝集合体は、第１方向に延びる複数の第１主流溝を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向に延びる複数の第２主流溝を含み、
前記第２主流溝の流路断面積は、前記第１主流溝の流路断面積よりも大きく、
前記シート本体は、前記貫通空間を複数の通路に区画する重合ランド部および非重合ランド部を有し、
前記重合ランド部および前記非重合ランド部は、前記第１方向に直交する第２方向において離間するとともに互いに隣り合い、
前記重合ランド部および前記非重合ランド部に、前記第２溝集合体が設けられ、
前記重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体は、前記ベーパーチャンバの平面視で、前記電子デバイスと重なる領域に配置され、
前記非重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体は、前記ベーパーチャンバの平面視で、前記電子デバイスと重なる領域とは異なる領域に配置されている、電子機器。
【請求項２４】
前記重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体の前記第１方向における長さは、前記非重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体の前記第１方向における長さよりも長い、請求項２３に記載の電子機器。
【請求項２５】
第１シートと、
第２シートと、
前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、請求項６に記載のベーパーチャンバ用のウィックシートと、を備え、
前記作動流体は、凍結膨張性を有している、ベーパーチャンバ。
【請求項２６】
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容された複数の電子デバイスと、
複数の前記電子デバイスに熱的に接触した、請求項２５に記載のベーパーチャンバと、を備え、
複数の前記電子デバイスは、前記第１方向において互いに異なる領域に配置され、
前記第１本体面に、前記電子デバイスの各々に対応する複数の前記第２溝集合体が設けられ、
前記第２溝集合体は、前記ベーパーチャンバの平面視で、対応する前記電子デバイスと重なる領域に配置されている、電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよび電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
モバイル端末等の電子機器には、発熱を伴う電子デバイスが用いられている。この電子デバイスの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）またはパワー半導体等が挙げられる。モバイル端末の例としては、携帯端末またはタブレット端末等が挙げられる。【０００３】
このような電子デバイスは、ヒートパイプ等の放熱装置によって冷却されている（例えば、特許文献１参照）。近年では、電子機器の薄型化のために、放熱装置の薄型化が求められている。放熱装置として、ヒートパイプより薄型化できるベーパーチャンバの開発が進められている。ベーパーチャンバは、封入された作動流体が電子デバイスの熱を吸収して拡散することにより、電子デバイスを冷却する。【０００４】
より具体的には、ベーパーチャンバ内の作動液は、電子デバイスに近接した部分（蒸発部）で電子デバイスから熱を受ける。このことにより、作動液が蒸発して作動蒸気に変化する。その作動蒸気は、ベーパーチャンバ内に形成された蒸気流路部内で、蒸発部から離れる方向に拡散して冷却される。そして、作動蒸気は、凝縮して作動液に変化する。ベーパーチャンバ内には、毛細管構造（ウィックとも称する）としての液流路部が設けられている。このことにより、作動液は、蒸気流路部から液流路部に入り込む。その後、作動液は、液流路部を流れて、蒸発部に向かって輸送される。そして、蒸発部に輸送された作動液は、再び蒸発部で熱を受けて蒸発する。このことにより、作動流体が、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながらベーパーチャンバ内を還流する。このようにして、電子デバイスの熱を拡散している。この結果、ベーパーチャンバの放熱効率が高められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−８２６９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、性能低下を抑制できるベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよび電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、第１の解決手段として、
作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在されるベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
前記シート本体を貫通する貫通空間と、
前記第２本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第１溝集合体と、
前記第１本体面に設けられ、前記貫通空間と連通した第２溝集合体と、を備え、
前記第１溝集合体は、第１方向に延びる複数の第１主流溝を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向に延びる複数の第２主流溝を含み、
前記第２主流溝の流路断面積は、前記第１主流溝の流路断面積よりも大きい、ベーパーチャンバ用のウィックシート、
を提供する。【０００８】
なお、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記第２主流溝の幅は、前記第１主流溝の幅よりも大きい、
ようにしてもよい。【０００９】
また、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記第２主流溝の深さは、前記第１主流溝の深さよりも大きい、
ようにしてもよい。【００１０】
また、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記シート本体は、前記貫通空間を複数の通路に区画する複数のランド部を有し、
複数の前記ランド部は、前記第１方向に直交する第２方向において互いに離間し、
前記第２主流溝の幅は、互いに隣り合う一対の前記ランド部の間のギャップよりも小さい、
ようにしてもよい。【００１１】
また、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記シート本体は、前記貫通空間を複数の通路に区画する複数のランド部を有し、
複数の前記ランド部のうちの少なくとも一つに、前記第１溝集合体および前記第２溝集合体が設けられ、
前記ランド部に設けられた前記第２主流溝の本数は、当該ランド部に設けられた第１主流溝の本数よりも少ない、
ようにしてもよい。【００１２】
また、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記シート本体は、前記第１方向に延びる、前記貫通空間を複数の通路に区画する複数のランド部を有し、
前記第２溝集合体は、前記第１方向において、前記ランド部の一側に配置されている、
ようにしてもよい。【００１３】
また、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記シート本体は、前記貫通空間を複数の通路に区画する複数のランド部を有し、
前記第１方向に直交する第２方向において互いに隣り合う一対の前記ランド部に、前記第２方向において互いに隣り合う前記第２溝集合体が設けられ、
一方の前記ランド部に設けられた前記第２溝集合体の前記第２主流溝の前記第１方向における長さは、他方の前記ランド部に設けられた前記第２溝集合体の前記第２主流溝の前記第１方向における長さよりも長い、
ようにしてもよい。【００１４】
また、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記シート本体は、前記貫通空間を複数の通路に区画する複数のランド部を有し、
複数の前記ランド部のうちの少なくも一つに、複数の前記第２溝集合体が設けられている、
ようにしてもよい。【００１５】
また、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記シート本体に設けられ、前記第１溝集合体と前記第２溝集合体とに連通する連通部を備える、
ようにしてもよい。【００１６】
また、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記連通部は、前記貫通空間の壁面に設けられた、前記第１溝集合体から前記第２溝集合体に延びる連通凹部を含む、
ようにしてもよい。【００１７】
また、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記第１溝集合体は、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記第１主流溝に連通する第１連絡溝を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記第２主流溝に連通する第２連絡溝、を含み、
前記連通凹部は、前記第１連絡溝および前記第２連絡溝の少なくとも一方に延びている、ようにしてもよい。【００１８】
また、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記連通部は、前記シート本体を貫通する、前記第１溝集合体から前記第２溝集合体に延びる貫通孔を含む、
ようにしてもよい。【００１９】
また、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記第１溝集合体は、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記第１主流溝に連通する第１連絡溝を含み、
前記第１主流溝は、前記第１連絡溝と連通する第１交差部を含み、
前記第２溝集合体は、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記第１主流溝に連通する第２連絡溝を含み、
前記第２主流溝は、前記第２連絡溝と連通する第２交差部を含み、
前記貫通孔は、前記第１交差部および前記第２交差部の少なくとも一方に延びているようにしてもよい。【００２０】
本発明は、第２の解決手段として、
第１シートと、
第２シートと、
前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートと、を備えた、ベーパーチャンバ、
を提供する。【００２１】
本発明は、第３の解決手段として、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容された電子デバイスと、
前記電子デバイスに熱的に接触した、上述した第２の解決手段によるベーパーチャンバと、を備えた、電子機器、
を提供する。【００２２】
なお、上述した第３の解決手段による電子機器において、
前記第２溝集合体は、前記ベーパーチャンバの平面視で前記電子デバイスと重なる領域とは異なる領域に配置されている、
ようにしてもよい。【００２３】
また、上述した第２の解決手段によるベーパーチャンバにおいて、
前記作動流体は、凍結膨張性を有している、
ようにしてもよい。【００２４】
本発明は、第４の解決手段として、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容された電子デバイスと、
前記電子デバイスに熱的に接触した、上述した第２の解決手段によるベーパーチャンバと、を備えた、電子機器。【００２５】
なお、上述した第４の解決手段による電子機器において、
前記第２溝集合体は、前記ベーパーチャンバの平面視で前記電子デバイスと重なる領域に配置されている、ようにしてもよい。【００２６】
また、上述した第４の解決手段による電子機器において、
前記第２溝集合体は、前記第１方向において前記電子デバイスよりも外側にはみ出している、
ようにしてもよい。【００２７】
また、上述した第４の解決手段による電子機器において、
前記シート本体は、前記貫通空間を複数の通路に区画する第１重合ランド部および第２重合ランド部を有し、
前記第１重合ランド部および前記第２重合ランド部は、前記第１方向に直交する第２方向において互いに離間し、
前記第１重合ランド部および前記第２重合ランド部に、前記第２溝集合体が設けられ、
前記第１重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体と、前記第２重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体は、前記ベーパーチャンバの平面視で前記電子デバイスと重なる領域に配置され、
前記第１重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体は、前記第２重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体よりも、前記ベーパーチャンバの平面視で、前記第１方向に直交する第２方向における前記電子デバイスの中心側に位置し、
前記第１重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体の前記第１方向における長さは、前記第２重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体の前記第１方向における長さよりも長い、
ようにしてもよい。【００２８】
また、上述した第４の解決手段による電子機器において、
前記シート本体は、前記貫通空間を複数の通路に区画する重合ランド部および非重合ランド部を有し、
前記重合ランド部および前記非重合ランド部は、前記第１方向に直交する第２方向において離間するとともに互いに隣り合い、
前記重合ランド部および前記非重合ランド部に、前記第２溝集合体が設けられ、
前記重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体は、前記ベーパーチャンバの平面視で、前記電子デバイスと重なる領域に配置され、
前記非重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体は、前記ベーパーチャンバの平面視で、前記電子デバイスと重なる領域とは異なる領域に配置されている、
ようにしてもよい。【００２９】
また、上述した第４の解決手段による電子機器において、
前記重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体の前記第１方向における長さは、前記非重合ランド部に設けられた前記第２溝集合体の前記第１方向における長さよりも長い、
ようにしてもよい。【００３０】
本発明は、第５の解決手段として、
第１シートと、
第２シートと、
前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、上述した第１の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートと、を備え、
前記作動流体は、凍結膨張性を有している、ベーパーチャンバ、
を提供する。【００３１】
本発明は、第６の解決手段として、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容された複数の電子デバイスと、
複数の前記電子デバイスに熱的に接触した、上述した第５の解決手段によるベーパーチャンバと、を備え、
複数の前記電子デバイスは、前記第１方向において互いに異なる領域に配置され、
前記第１本体面に、前記電子デバイスの各々に対応する複数の前記第２溝集合体が設けられ、
前記第２溝集合体は、前記ベーパーチャンバの平面視で、対応する前記電子デバイスと重なる領域に配置されている、電子機器、
を提供する。【００３２】
本発明は、第７の解決手段として、
作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在されるベーパーチャンバ用のウィックシートであって、
第１本体面と、前記第１本体面とは反対側に設けられた第２本体面と、を有するシート本体と、
前記シート本体の前記第１本体面から前記第２本体面に貫通し、前記作動流体の気体が通る蒸気流路部と、
前記第２本体面に設けられ、前記蒸気流路部と連通して前記作動流体の液体が通る液流路部と、
前記第１本体面に設けられ、前記蒸気流路部と連通して前記作動流体の液体を貯蔵する液貯蔵部と、を備えた、ベーパーチャンバ用のウィックシート、
を提供する。【００３３】
なお、上述した第７の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、前記作動流体の液体が通る複数の液流路主流溝を有し、
前記液貯蔵部内に、前記シート本体から突出して前記第１シートに当接する複数の液貯蔵突出部が設けられ、
互いに隣り合う一対の前記液貯蔵突出部の間のギャップは、前記液流路主流溝の幅よりも大きい、
ようにしてもよい。【００３４】
また、上述した第７の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、第１方向に延びる、前記作動流体の液体が通る複数の液流路主流溝を有し、
前記液貯蔵部は、前記第１方向に直交する第２方向において互いに隣り合う前記液貯蔵突出部の間に設けられた、前記第１方向に延びる複数の液貯蔵主流溝を有している、
ようにしてもよい。【００３５】
また、上述した第７の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記シート本体は、前記蒸気流路部を複数の蒸気通路に区画する複数のランド部を有し、
互いに隣り合う一対の前記液貯蔵突出部の間のギャップは、互いに隣り合う一対の前記ランド部の間のギャップよりも小さい、
ようにしてもよい。【００３６】
また、上述した第７の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記シート本体は、前記蒸気流路部を複数の蒸気通路に区画する複数のランド部を有し、
前記液貯蔵部は、前記ランド部の各々に設けられている、
ようにしてもよい。【００３７】
また、上述した第７の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記シート本体は、第１方向に延びる、前記蒸気流路部を複数の蒸気通路に区画する複数のランド部を有し、
前記液貯蔵部は、前記第１方向において、前記ランド部の一側に配置されている、
ようにしてもよい。【００３８】
また、上述した第７の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記シート本体に設けられ、前記液流路部と前記液貯蔵部とに連通する連通部を更に備える、
ようにしてもよい。【００３９】
また、上述した第７の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記連通部は、前記蒸気流路部の壁面に設けられた、前記液流路部から前記液貯蔵部に延びる連通凹部を含む、
ようにしてもよい。【００４０】
また、上述した第７の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、第１方向に延びる、前記作動流体の液体が通る複数の液流路主流溝と、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記液流路主流溝に連通する液流路連絡溝と、を有し、
前記液貯蔵部は、前記第１方向に延びる複数の液貯蔵主流溝と、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記液貯蔵主流溝に連通する液貯蔵連絡溝と、を有し、
前記連通凹部は、前記液流路連絡溝および前記液貯蔵連絡溝の少なくとも一方に延びている、
ようにしてもよい。【００４１】
また、上述した第７の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記連通部は、前記シート本体を貫通して、前記液流路部から前記液貯蔵部に延びる貫通孔を含む、
ようにしてもよい。【００４２】
また、上述した第７の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートにおいて、
前記液流路部は、第１方向に延びる、前記作動流体の液体が通る複数の液流路主流溝と、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記液流路主流溝に連通する液流路連絡溝と、を有し、
前記液流路主流溝は、前記液流路連絡溝と連通する液流路交差部を更に含み、
前記液貯蔵部は、前記第１方向に延びる複数の液貯蔵主流溝と、前記第１方向とは異なる方向に延びる、前記液貯蔵主流溝に連通する液貯蔵連絡溝と、を有し、
前記液貯蔵主流溝は、前記液貯蔵連絡溝と連通する液貯蔵交差部を更に含み、
前記貫通孔は、前記液流路交差部および前記液貯蔵交差部の少なくとも一方に延びている、
ようにしてもよい。【００４３】
また、本発明は、第８の解決手段として、
第１シートと、
第２シートと、
前記第１シートと前記第２シートとの間に介在された、上述した第７の解決手段によるベーパーチャンバ用のウィックシートと、を備えた、ベーパーチャンバ、
を提供する。【００４４】
なお、上述した第８の解決手段によるベーパーチャンバにおいて、
前記作動流体が蒸発する蒸発領域を備え、
前記液貯蔵部は、前記蒸発領域とは異なる領域に配置されている、
ようにしてもよい。【００４５】
また、上述した第８の解決手段によるベーパーチャンバにおいて、
作動流体は、凍結膨張性を有している、
ようにしてもよい。【００４６】
また、上述した第８の解決手段によるベーパーチャンバにおいて、
前記作動流体が蒸発する蒸発領域を備え、
前記液貯蔵部は、前記蒸発領域に配置されている、
ようにしてもよい。【００４７】
また、本発明は、第９の解決手段として、
ハウジングと、
前記ハウジング内に収容された電子デバイスと、
前記電子デバイスに熱的に接触した上述した第８の解決手段によるベーパーチャンバと、を備えた、電子機器、
を提供する。
【発明の効果】
【００４８】
本発明によれば、性能低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態による電子機器を説明する模式斜視図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態によるベーパーチャンバを示す上面図である。
【図３】図３は、図２のベーパーチャンバを示すＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図４は、図３の下側シートの上面図である。
【図５】図５は、図３の上側シートの下面図である。
【図６】図６は、図３のウィックシートの上面図である。
【図７】図７は、図３のウィックシートの下面図である。
【図８Ａ】図８Ａは、図３の部分拡大断面図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、図８Ａの他の一例を示す部分拡大断面図である。
【図８Ｃ】図８Ｃは、図８Ａの他の一例を示す部分拡大断面図である。
【図９】図９は、図６に示す液流路部の部分拡大上面図である。
【図１０】図１０は、図７に示す液貯蔵部の部分拡大下面図である。
【図１１】図１１は、図７のＢ−Ｂ線に沿った部分断面図である。
【図１２】図１２は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、ウィックシートの準備工程を説明するための図である。
【図１３】図１３は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、エッチング工程を説明するための図である。
【図１４】図１４は、第１の実施の形態によるベーパーチャンバの製造方法において、接合工程を説明するための図である。
【図１５】図１５は、第１変形例として、液流路部を示す部分拡大上面図である。
【図１６】図１６は、第１変形例として、液貯蔵部を示す部分拡大下面図である。
【図１７】図１７は、第２変形例として、液流路部を示す部分拡大上面図である。
【図１８】図１８は、第２変形例として、液貯蔵部を示す部分拡大下面図である。
【図１９】図１９は、第３変形例として、液貯蔵部を示す部分拡大下面図である。
【図２０】図２０は、第３変形例として、液貯蔵部を示す部分拡大下面図である。
【図２１】図２１は、第３変形例として、液貯蔵部を示す部分拡大下面図である。
【図２２】図２２は、第５変形例として、図３のウィックシートの下面図である。
【図２３】図２３は、第６変形例として、図３のウィックシートの下面図である。
【図２４】図２４は、本発明の第２の実施の形態によるベーパーチャンバにおいて、ウィックシートを示す下面図である。
【図２５】図２５は、図２４のＣ−Ｃ線に沿った部分断面図である。
【図２６】図２６は、一般的なベーパーチャンバにおいて、電子デバイスの発熱量が多い場合の作動流体の還流の様子を説明するための模式図である。
【図２７】図２７は、一般的なベーパーチャンバにおいて、電子デバイスの発熱量が少ない場合の作動流体の還流の様子を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００５０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺及び縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００５１】
また、本明細書において用いる、幾何学的条件と、物理的特性と、幾何学的条件または物理的特性の程度を特定する用語と、幾何学的条件または物理的特性を示す数値等については、厳密な意味に縛られることなく解釈することとする。そして、これらの幾何学的条件、物理的特性、用語、および数値などについては、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。幾何学的条件を特定する用語の例としては、「長さ」、「角度」、「形状」または「配置」等が挙げられる。幾何学的条件を特定する用語の例としては、「平行」、「直交」または「同一」等が挙げられる。さらに、図面を明瞭にするために、同様の機能を期待し得る複数の部分の形状を、規則的に記載している。しかしながら、厳密な意味に縛られることなく、当該機能を期待できる範囲内で、当該部分の形状は互いに異なっていてもよい。また、図面においては、部材同士の接合面などを示す境界線を、便宜上、単なる直線で示しているが、厳密な直線であることに縛られることはなく、所望の接合性能を期待できる範囲内で、当該境界線の形状は任意である。
【００５２】
（第１の実施の形態）
図１〜図２１を用いて、本発明の第１の実施の形態におけるベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。本実施の形態におけるベーパーチャンバ１は、発熱を伴う電子デバイスＤとともに電子機器ＥのハウジングＨに収容されており、電子デバイスＤを冷却するための装置である。電子機器Ｅの例としては、携帯端末またはタブレット端末等のモバイル端末等が挙げられる。電子デバイスＤの例としては、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）またはパワー半導体等が挙げられる。電子デバイスＤは、被冷却装置と称する場合もある。
【００５３】
ここではまず、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が搭載される電子機器Ｅについて、タブレット端末を例にとって説明する。図１に示すように、電子機器Ｅは、ハウジングＨと、ハウジングＨ内に収容された電子デバイスＤと、ベーパーチャンバ１と、を備えている。図１に示す電子機器Ｅでは、ハウジングＨの前面にタッチパネルディスプレイＴＤが設けられている。ベーパーチャンバ１は、ハウジングＨ内に収容されて、電子デバイスＤに熱的に接触するように配置される。このことにより、電子機器Ｅの使用時に電子デバイスＤで発生する熱をベーパーチャンバ１が受けることができる。ベーパーチャンバ１が受けた熱は、後述する作動流体２ａ、２ｂを介してベーパーチャンバ１の外部に放出される。このようにして、電子デバイスＤは効果的に冷却される。電子機器Ｅがタブレット端末である場合には、電子デバイスＤは、中央演算処理装置等に相当する。
【００５４】
次に、本実施の形態によるベーパーチャンバ１について説明する。図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが封入された密封空間３を有しており、密封空間３内の作動流体２ａ、２ｂが相変化を繰り返すことにより、上述した電子デバイスＤが冷却される。作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、エタノール、メタノールまたはアセトン等、およびそれらの混合液が挙げられる。なお、作動流体２ａ、２ｂは、凍結膨張性を有していてもよい。すなわち、作動流体２ａ、２ｂは、凍結時に膨張する流体であってもよい。凍結膨張性を有する作動流体２ａ、２ｂの例としては、純水、または純水にアルコールなどの添加物を加えた水溶液等が挙げられる。
【００５５】
図２および図３に示すように、ベーパーチャンバ１は、下側シート１０と、上側シート２０と、ベーパーチャンバ用のウィックシート３０と、を備えている。下側シート１０は、第１シートの一例である。上側シート２０は、第２シートの一例である。ベーパーチャンバ用のウィックシート３０は、下側シート１０と上側シート２０との間に介在されている。ベーパーチャンバ用のウィックシートを、以下、単にウィックシート３０と記す。本実施の形態では、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０が、この順番で積層されている。
【００５６】
ベーパーチャンバ１は、概略的に薄い平板状に形成されている。ベーパーチャンバ１の平面形状は任意であるが、図２に示すような矩形状であってもよい。ベーパーチャンバ１の平面形状は、例えば、１辺が１ｃｍで他の辺が３ｃｍの長方形であってもよく、１辺が１５ｃｍの正方形であってもよく、ベーパーチャンバ１の平面寸法は任意である。本実施の形態では、一例として、ベーパーチャンバ１の平面形状が、後述するＸ方向を長手方向とする矩形状である例について説明する。この場合、図４〜図７に示すように、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０は、ベーパーチャンバ１と同様の平面形状を有していてもよい。また、ベーパーチャンバ１の平面形状は、矩形状に限られることはなく、円形状、楕円形状、Ｌ字形状またはＴ字形状等、任意の形状であってもよい。
【００５７】
図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、作動流体２ａ、２ｂが蒸発する蒸発領域ＳＲと、作動流体２ａ、２ｂが凝縮する凝縮領域ＣＲと、を有している。
【００５８】
蒸発領域ＳＲは、平面視で電子デバイスＤと重なる領域であり、電子デバイスＤが取り付けられる領域である。蒸発領域ＳＲは、ベーパーチャンバ１の任意の場所に配置できる。本実施の形態においては、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一側（図２における左側）に、蒸発領域ＳＲが形成されている。蒸発領域ＳＲに電子デバイスＤからの熱が伝わり、この熱によって作動流体の液体が蒸発領域ＳＲにおいて蒸発する。電子デバイスＤからの熱は、平面視で電子デバイスＤに重なる領域だけではなく、電子デバイスＤが重なる領域の周辺にも伝わり得る。このため、蒸発領域ＳＲは、平面視で、電子デバイスＤに重なっている領域とその周辺の領域とを含む。ここで平面視とは、ベーパーチャンバ１が電子デバイスＤから熱を受ける面および受けた熱を放出する面に直交する方向から見た状態である。熱を受ける面とは、上側シート２０の後述する第２上側シート面２０ｂに相当する。熱を放出する面とは、下側シート１０の後述する第１下側シート面１０ａに相当する。例えば、図２に示すように、ベーパーチャンバ１を上方から見た状態、または下方から見た状態が、平面視に相当している。なお、作動流体の気体を作動蒸気２ａと記し、作動流体の液体を、作動液２ｂと記す。
【００５９】
凝縮領域ＣＲは、平面視で電子デバイスＤと重ならない領域であって、主として作動蒸気２ａが熱を放出して凝縮する領域である。凝縮領域ＣＲは、蒸発領域ＳＲの周囲の領域と言うこともできる。凝縮領域ＣＲにおいて作動蒸気２ａからの熱が下側シート１０に放出され、作動蒸気２ａが凝縮領域ＣＲにおいて冷却されて凝縮する。
【００６０】
なお、ベーパーチャンバ１がタブレット端末内に設置される場合、タブレット端末の姿勢によっては、上下関係が崩れる場合もある。しかしながら、本実施の形態では、便宜上、電子デバイスＤから熱を受けるシートを上述の上側シート２０と称し、受けた熱を放出するシートを上述の下側シート１０と称する。このため、下側シート１０が下側に配置され、上側シート２０が上側に配置された状態で、ベーパーチャンバ１の構成を説明する。
【００６１】
図３に示すように、下側シート１０は、ウィックシート３０とは反対側に設けられた第１下側シート面１０ａと、第１下側シート面１０ａとは反対側に設けられた第２下側シート面１０ｂと、を有している。第２下側シート面１０ｂは、ウィックシート３０の側に設けられている。下側シート１０は、全体的に平坦状に形成されていてもよい。下側シート１０は、全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第１下側シート面１０ａに、上述のハウジングＨの一部を構成するハウジング部材Ｈａが取り付けられる。第１下側シート面１０ａの全体が、ハウジング部材Ｈａで覆われてもよい。図４に示すように、下側シート１０の四隅に、アライメント孔１２が設けられていてもよい。
【００６２】
図３に示すように、上側シート２０は、ウィックシート３０の側に設けられた第１上側シート面２０ａと、第１上側シート面２０ａとは反対側に設けられた第２上側シート面２０ｂと、を有している。第１上側シート面２０ａは、ウィックシート３０の側に設けられている。上側シート２０は、全体的に平坦状に形成されていてもよい。上側シート２０は、全体的に一定の厚さを有していてもよい。この第２上側シート面２０ｂに、上述の電子デバイスＤが取り付けられる。図５に示すように、上側シート２０の四隅に、アライメント孔２２が設けられていてもよい。
【００６３】
図３に示すように、ウィックシート３０は、シート本体３１と、シート本体３１に設けられた蒸気流路部５０と、液流路部６０と、液貯蔵部７０と、を備えている。シート本体３１は、第１本体面３１ａと、第１本体面３１ａとは反対側に設けられた第２本体面３１ｂと、を有している。第１本体面３１ａは、下側シート１０の側に配置されている。第２本体面３１ｂは、上側シート２０の側に配置されている。蒸気流路部５０と液流路部６０と液貯蔵部７０とにより、上述した密封空間３が構成されている。
【００６４】
下側シート１０の第２下側シート面１０ｂとシート本体３１の第１本体面３１ａとは、拡散接合されていてもよい。第２下側シート面１０ｂと第１本体面３１ａとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。同様に、上側シート２０の第１上側シート面２０ａとシート本体３１の第２本体面３１ｂとは、拡散接合されていてもよい。第１上側シート面２０ａと第２本体面３１ｂとは、互いに恒久的に接合されていてもよい。なお、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０は、拡散接合ではなく、恒久的に接合できれば、ろう付け等の他の方式で接合されていてもよい。なお、「恒久的に接合」という用語は、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密封空間３の密封性を維持可能な程度に、接合されていることを意味する用語として用いている。下側シート１０とウィックシート３０とが恒久的に接合されることにより、ベーパーチャンバ１の動作時に、下側シート１０とウィックシート３０との接合が維持できていればよい。上側シート２０とウィックシート３０とが恒久的に接合されることにより、ベーパーチャンバ１の動作時に、上側シート２０とウィックシート３０との接合が維持できていればよい。
【００６５】
本実施の形態によるウィックシート３０のシート本体３１は、枠体部３２と、複数のランド部３３と、を含んでいる。枠体部３２は、図３、図６および図７に示すように、平面視で矩形枠状に形成されている。ランド部３３は、枠体部３２内に設けられている。枠体部３２およびランド部３３は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。枠体部３２の内側に、蒸気流路部５０が画定されている。すなわち、枠体部３２の内側であって、ランド部３３の周囲を作動蒸気２ａが流れる。
【００６６】
本実施の形態では、ランド部３３は、平面視で、Ｘ方向を長手方向として細長状に延びていてもよい。ランド部３３の平面形状は、細長の矩形状になっていてもよい。Ｘ方向は、第１方向の一例である。Ｘ方向は、図６における左右方向に相当する。また、各ランド部３３は、Ｙ方向において等間隔に離間している。Ｙ方向は、第２方向の一例である。Ｙ方向は、図６における上下方向に相当する。各ランド部３３は、互いに平行に配置されていてもよい。各ランド部３３の周囲を作動蒸気２ａが流れて、凝縮領域ＣＲに向かって輸送される。これにより、作動蒸気２ａの流れが妨げられることを抑制している。ランド部３３の幅ｗ１（図８Ａ参照）は、例えば、１００μｍ〜１５００μｍであってもよい。ここで、ランド部３３の幅ｗ１は、Ｙ方向におけるランド部３３の寸法である。幅ｗ１は、ウィックシート３０の厚さ方向において後述する貫通部３４が存在する位置における寸法を意味している。
【００６７】
枠体部３２および各ランド部３３は、下側シート１０に拡散接合されるとともに、上側シート２０に拡散接合される。このことにより、ベーパーチャンバ１の機械的強度を向上できる。後述する下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａは、ランド部３３の側壁を構成している。シート本体３１の第１本体面３１ａおよび第２本体面３１ｂは、枠体部３２および各ランド部３３にわたって、平坦状に形成されていてもよい。
【００６８】
蒸気流路部５０は、シート本体３１を貫通する貫通空間の一例である。蒸気流路部５０は、主として、作動蒸気２ａが通る流路である。蒸気流路部５０は、第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに貫通している。
【００６９】
図６および図７に示すように、本実施の形態における蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とを有している。第１蒸気通路５１は、枠体部３２とランド部３３との間に形成されている。この第１蒸気通路５１は、枠体部３２の内側であってランド部３３の外側に連続状に形成されている。第１蒸気通路５１の平面形状は、矩形枠状になっている。第２蒸気通路５２は、互いに隣り合うランド部３３の間に形成されている。第２蒸気通路５２の平面形状は、細長の矩形状になっている。複数のランド部３３によって、蒸気流路部５０は、第１蒸気通路５１と複数の第２蒸気通路５２とに区画されている。
【００７０】
図３に示すように、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、シート本体３１の第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに延びている。第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２は、第１下側シート面１０ａに設けられた下側蒸気流路凹部５３と、上側シート２０面２０ｂに設けられた上側蒸気流路凹部５４とによってそれぞれ構成されている。下側蒸気流路凹部５３と上側蒸気流路凹部５４とが連通して、蒸気流路部５０の第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２が、第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂにわたって延びている。
【００７１】
下側蒸気流路凹部５３は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第１本体面３１ａからエッチングされることによって形成されている。下側蒸気流路凹部５３は、第１本体面３１ａに凹状に形成されている。このことにより、下側蒸気流路凹部５３は、図８Ａに示すように、湾曲状に形成された壁面５３ａを有している。この壁面５３ａは、下側蒸気流路凹部５３を画定し、第２本体面３１ｂに向かって膨らむような形状で湾曲している。このような下側蒸気流路凹部５３は、第１蒸気通路５１の一部（下半分）および第２蒸気通路５２の一部（下半分）を構成している。
【００７２】
上側蒸気流路凹部５４は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂからエッチングされることによって形成されている。上側蒸気流路凹部５４は、第２本体面３１ｂに凹状に形成されている。このことにより、上側蒸気流路凹部５４は、図８Ａに示すように、湾曲状に形成された壁面５４ａを有している。この壁面５４ａは、上側蒸気流路凹部５４を画定し、第１本体面３１ａに向かって膨らむような形状で湾曲している。このような上側蒸気流路凹部５４は、第１蒸気通路５１の一部（上半分）および第２蒸気通路５２の一部（上半分）を構成している。
【００７３】
図８Ａに示すように、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと、上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが連接して貫通部３４が形成されている。壁面５３ａと壁面５４ａはそれぞれ貫通部３４に向かって湾曲している。このことにより、下側蒸気流路凹部５３と上側蒸気流路凹部５４とが互いに連通している。本実施の形態では、第１蒸気通路５１における貫通部３４の平面形状は、第１蒸気通路５１と同様に矩形枠状になっている。第２蒸気通路５２における貫通部３４の平面形状は、第２蒸気通路５２と同様に細長の矩形状になっている。下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａと上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａとが合流し、稜線によって画定されていてもよい。当該稜線は、図８Ａに示すように、蒸気通路５１、５２の内側に張り出すように形成されていてもよい。この貫通部３４において第１蒸気通路５１の平面面積が最小になっているとともに、第２蒸気通路５２の平面面積が最小になっている。このような貫通部３４の幅ｗ２（図８Ａ参照）は、例えば、４００μｍ〜１６００μｍであってもよい。ここで、貫通部３４の幅ｗ２は、Ｙ方向において互いに隣り合うランド部３３の間のギャップに相当する。
【００７４】
Ｚ方向における貫通部３４の位置は、第１下側シート面１０ａと上側シート２０面２０ｂとの中間位置でもよい。あるいは、貫通部３４の位置は、中間位置から下側にずれた位置でもよく、または上側にずれた位置でもよい。下側蒸気流路凹部５３と上側蒸気流路凹部５４とが連通すれば、Ｚ方向における貫通部３４の位置は任意である。
【００７５】
また、本実施の形態では、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２の断面形状が、内側に張り出すように形成された稜線によって画定された貫通部３４を含むように形成されているが、これに限られることはない。例えば、第１蒸気通路５１の断面形状および第２蒸気通路５２の断面形状は、台形状や矩形状であってもよく、あるいは樽形の形状になっていてもよい。
【００７６】
このように構成された第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２を含む蒸気流路部５０は、上述した密封空間３の一部を構成している。図３に示すように、本実施の形態による蒸気流路部５０は、主として、下側シート１０と、上側シート２０と、上述したシート本体３１の枠体部３２およびランド部３３によって画定されている。各蒸気通路５１、５２は、作動蒸気２ａが通るように比較的大きな流路断面積を有している。
【００７７】
ここで、図３は、図面を明瞭にするために、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２などを拡大して示している。これらの蒸気通路５１、５２の個数や配置は、図２、図６および図７とは異なっている。
【００７８】
ところで、図示しないが、蒸気流路部５０内に、ランド部３３を枠体部３２に支持する支持部が複数設けられていてもよい。また、互いに隣り合うランド部３３同士を支持する支持部が設けられていてもよい。これらの支持部は、Ｘ方向においてランド部３３の両側に設けられていてもよく、Ｙ方向におけるランド部３３の両側に設けられていてもよい。支持部は、蒸気流路部５０を拡散する作動蒸気２ａの流れを妨げないように形成されていることが好ましい。例えば、ウィックシート３０のシート本体３１の第１本体面３１ａおよび第２本体面３１ｂのうちの一方の側に配置されて、他方の側には、蒸気流路凹部をなす空間が形成されるようにしてもよい。このことにより、支持部の厚さをシート本体３１の厚さよりも薄くでき、第１蒸気通路５１および第２蒸気通路５２が、Ｘ方向およびＹ方向において分断されることを防止できる。
【００７９】
図６および図７に示すように、ウィックシート３０のシート本体３１の四隅に、アライメント孔３５が設けられていてもよい。
【００８０】
また、図２に示すように、ベーパーチャンバ１は、Ｘ方向における一側の端縁に、密封空間３に作動液２ｂを注入する注入部４を更に備えていてもよい。図２に示す形態では、注入部４は、蒸発領域ＳＲの側に配置されている。注入部４は、蒸発領域ＳＲの側の端縁から外側に突出している。
【００８１】
より具体的には、注入部４は、下側注入突出部１１と、上側注入突出部２１と、ウィックシート注入突出部３６と、を含んでいてもよい。下側注入突出部１１は、図４に示すように、下側シート１０を構成する部分である。上側注入突出部２１は、図５に示すように、上側シート２０を構成する部分である。ウィックシート注入突出部３６は、図６および図７に示すように、シート本体３１を構成する部分である。ウィックシート注入突出部３６に注入流路３７が形成されている。この注入流路３７は、シート本体３１の第１本体面３１ａから第２本体面３１ｂに延びており、Ｚ方向においてシート本体３１（より詳細には、ウィックシート注入突出部３６）を貫通している。また、注入流路３７は、蒸気流路部５０に連通している。この注入流路３７を通過して、作動液２ｂが密封空間３に注入される。なお、液流路部６０の配置によっては、注入流路３７は液流路部６０に連通するようにしてもよい。ウィックシート注入突出部３６の上面および下面は、平坦状に形成されている。下側注入突出部１１の上面および上側注入突出部２１の下面も、平坦状に形成されている。各注入突出部１１、２１、３８の平面形状は等しくてもよい。
【００８２】
なお、本実施の形態では、注入部４は、ベーパーチャンバ１のＸ方向における一対の端縁のうちの一側の端縁に設けられている例が示されている。しかしながら、このことに限られることはなく、注入部４は、任意の位置に設けることができる。また、ウィックシート注入突出部３６に設けられた注入流路３７は、作動液２ｂを注入できれば、シート本体３１を貫通していなくてもよい。この場合、シート本体３１の第１本体面３１ａおよび第２本体面３１ｂのうちの一方からのみのエッチングで、蒸気流路部５０に連通する注入流路３７を形成できる。
【００８３】
液流路部６０は、図３、図６および図８Ａに示すように、ウィックシート３０のシート本体３１の第２本体面３１ｂに設けられている。液流路部６０は、主として作動液２ｂが通る流路であってもよい。この液流路部６０は、上述した密封空間３の一部を構成している。液流路部６０は、蒸気流路部５０に連通している。液流路部６０は、作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するための毛細管構造として構成されている。液流路部６０は、ウィックと称する場合もある。本実施の形態においては、液流路部６０は、ウィックシート３０の各ランド部３３の第２本体面３１ｂに設けられている。液流路部６０は、各ランド部３３の第２本体面３１ｂの全体にわたって形成されていてもよい。各ランド部３３の第１本体面３１ａには、液流路部６０は設けられていなくてもよい。
【００８４】
図９に示すように、液流路部６０は、第１溝集合体の一例である。より具体的には、液流路部６０は、複数の液流路主流溝６１と、複数の液流路連絡溝６５と、を含んでいる。液流路主流溝６１は、第１主流溝の一例である。液流路連絡溝６５は、第１連絡溝の一例である。液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５は、作動液２ｂが通る溝である。液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１に連通している。
【００８５】
各液流路主流溝６１は、図９に示すように、Ｘ方向に延びている。液流路主流溝６１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるような流路断面積を有している。液流路主流溝６１の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。このことにより、液流路主流溝６１は、作動蒸気２ａから凝縮した作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに輸送するように構成されている。各液流路主流溝６１は、Ｘ方向に直交するＹ方向に、等間隔に離間して配置されていてもよい。
【００８６】
液流路主流溝６１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０のシート本体３１の第２本体面３１ｂからエッチングされることによって形成されている。このことにより、液流路主流溝６１は、図８Ａに示すように、湾曲状に形成された壁面６２を有している。この壁面６２は、液流路主流溝６１を画定し、第１本体面３１ａに向かって膨らむような形状で湾曲している。
【００８７】
図８Ａおよび図９に示すように、液流路主流溝６１の幅ｗ３は、例えば、５μｍ〜１５０μｍであってもよい。液流路主流溝６１の幅ｗ３は、第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。幅ｗ３は、Ｙ方向における寸法に相当している。また、図８Ａに示すように、液流路主流溝６１の深さｈ１は、例えば、３μｍ〜１５０μｍであってもよい。深さｈ１は、Ｚ方向における寸法に相当している。
【００８８】
図９に示すように、各液流路連絡溝６５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各液流路連絡溝６５は、Ｙ方向に延びている。液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１に垂直に形成されている。いくつかの液流路連絡溝６５は、互いに隣り合う液流路主流溝６１同士を連通している。他の液流路連絡溝６５は、第１蒸気通路５１または第２蒸気通路５２と、液流路主流溝６１とを連通している。すなわち、当該液流路連絡溝６５は、Ｙ方向におけるランド部３３の端縁から、当該端縁に隣り合う液流路主流溝６１に延びている。このようにして、第１蒸気通路５１と液流路主流溝６１とが連通されているとともに、第２蒸気通路５２と液流路主流溝６１とが連通されている。
【００８９】
液流路連絡溝６５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるような流路断面積を有している。液流路連絡溝６５の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。各液流路連絡溝６５は、Ｘ方向に、等間隔に離間して配置されていてもよい。
【００９０】
液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１と同様に、エッチングによって形成されている。液流路連絡溝６５は、液流路主流溝６１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有している。図９に示すように、液流路連絡溝６５の幅ｗ４は、液流路主流溝６１の幅ｗ３と等しくてもよい。しかしながら、幅ｗ４は、幅ｗ３よりも大きくてもよく、または小さくてもよい。幅ｗ４は、Ｘ方向における寸法に相当している。液流路連絡溝６５の深さは、液流路主流溝６１の深さｈ１と等しくてもよい。しかしながら、液流路連絡溝６５の深さは、深さｈ１よりも深くてもよく、または浅くてもよい。
【００９１】
図９に示すように、互いに隣り合う液流路主流溝６１の間に、凸部列６３が設けられている。各凸部列６３は、Ｘ方向に配列された複数の凸部６４を含んでいる。凸部６４は、液流路突出部の一例である。凸部６４は、液流路部６０内に設けられている。凸部６４は、シート本体３１から突出して上側シート２０に当接している。各凸部６４は、平面視で、Ｘ方向が長手方向となるように矩形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う凸部６４の間に、液流路主流溝６１が介在されている。Ｘ方向において互いに隣り合う凸部６４の間に、液流路連絡溝６５が介在されている。液流路連絡溝６５は、Ｙ方向に延びており、Ｙ方向において互いに隣り合う液流路主流溝６１同士を連通している。このことにより、これらの液流路主流溝６１の間で作動液２ｂが往来可能になっている。
【００９２】
凸部６４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図９に示すように、凸部６４の平面形状が、矩形状になっている。凸部６４の平面形状とは、シート本体３１の第２本体面３１ｂの位置における平面形状に相当している。
【００９３】
本実施の形態においては、凸部６４は、千鳥状に配置されている。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列６３の凸部６４が、Ｘ方向において互いにずれて配置されている。このずれ量は、Ｘ方向における凸部６４の配列ピッチの半分であってもよい。凸部６４の幅ｗ５は、例えば、５μｍ〜５００μｍであってもよい。凸部６４の幅ｗ５は、第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。幅ｗ５は、Ｙ方向における寸法に相当している。なお、凸部６４の配置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列６３の凸部６４が、Ｘ方向においても整列される（図１９参照）。
【００９４】
液流路主流溝６１は、液流路交差部６６を含んでいる。液流路交差部６６は、第１交差部の一例である。液流路交差部６６は、液流路主流溝６１のうち液流路連絡溝６５と連通する部分である。液流路交差部６６において、液流路主流溝６１と液流路連絡溝６５とがＴ字状に連通している。このことにより、一の液流路主流溝６１と、一方の側の液流路連絡溝６５とが連通している液流路交差部６６において、他方の側の液流路連絡溝６５が当該液流路主流溝６１に連通することを回避できる。このことにより、当該液流路交差部６６において、液流路主流溝６１の壁面６２が両側で切り欠かれることを防止でき、壁面６２の一方の側を残存できる。例えば、一の液流路交差部６６において、図９における上側の液流路連絡溝６５と下側の液流路連絡溝６５とが液流路主流溝６１に連通することを回避できる。この場合、当該液流路交差部６６において、図９における上側の壁面６２と下側の壁面６２との両方が切り欠かれることを防止できる。このことにより、液流路交差部６６においても、液流路主流溝６１内の作動液に毛細管作用を付与できる。このため、蒸発領域ＳＲに向かう作動液２ｂの推進力が液流路交差部６６で低下することを抑制できる。
【００９５】
液貯蔵部７０は、図３、図７および図８Ａに示すように、ウィックシート３０のシート本体３１の第１本体面３１ａに設けられている。液貯蔵部７０は、主として作動液２ｂを貯蔵する部分であってもよい。この液貯蔵部７０は、上述した密封空間３の一部を構成している。液貯蔵部７０は、蒸気流路部５０に連通しているとともに、蒸気流路部５０を介して液流路部６０に連通している。本実施の形態においては、液貯蔵部７０は、ウィックシート３０の各ランド部３３の第１本体面３１ａに設けられている。
【００９６】
図７および図１１に示すように、本実施の形態による液貯蔵部７０は、Ｘ方向においてランド部３３の一側に配置されていてもよい。液貯蔵部７０は、Ｘ方向においてランド部３３の中心よりも当該一側に形成されていてもよい。液貯蔵部７０は、蒸発領域ＳＲの側に配置されていてもよく、図７に示すようにランド部３３の左側に配置されていてもよい。より具体的には、液貯蔵部７０は、Ｘ方向におけるランド部３３の一対の端縁のうち蒸発領域ＳＲの側の端縁から他方の端縁に向かって所定の位置まで連続状に形成されている。図７においては、液貯蔵部７０は、左側の端縁から右側の端縁に向かって所定の位置まで形成されている。本実施の形態による液貯蔵部７０は、蒸発領域ＳＲに配置されていてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、液貯蔵部７０の一部が、蒸発領域ＳＲの外側にはみ出していてもよい。液貯蔵部７０の少なくとも一部が蒸発領域ＳＲに配置されている場合、電子デバイスＤの熱を受けて、液貯蔵部７０に貯蔵されている作動液２ｂが蒸発しやすくなる。また、液貯蔵部７０は、電子デバイスＤと重なる領域に配置されていてもよい。
【００９７】
図１０に示すように、液貯蔵部７０は、第２溝集合体の一例である。より具体的には、液貯蔵部７０は、複数の液貯蔵主流溝７１と、複数の液貯蔵連絡溝７５と、を含んでいる。液貯蔵主流溝７１は、第２主流溝の一例である。液貯蔵連絡溝７５は、第２連絡溝の一例である。液貯蔵主流溝７１および液貯蔵連絡溝７５は、作動液２ｂが通る溝である。液貯蔵連絡溝７５は、液貯蔵主流溝７１に連通している。
【００９８】
各液貯蔵主流溝７１は、図１０に示すように、Ｘ方向に延びている。液貯蔵主流溝７１は、図７および図１１に示すように、Ｘ方向におけるランド部３３の蒸発領域ＳＲの側の端縁から他側の端縁に向かって所定の位置まで連続状に形成されている。液貯蔵主流溝７１は、液貯蔵部７０のＸ方向範囲を画定している。液貯蔵主流溝７１は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるような流路断面積を有している。液貯蔵主流溝７１の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。しかしながら、液貯蔵主流溝７１の流路断面積は、上述した液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくてもよい。液貯蔵主流溝７１内の作動液２ｂに作用する毛細管力は、液流路主流溝６１内の作動液２ｂに作用する毛細管力よりも小さくなっていてもよい。このようにして、液貯蔵主流溝７１は、作動液２ｂを液貯蔵部７０内に引き込むことができるとともに、作動液２ｂの貯蔵量を確保できる。各液貯蔵主流溝７１は、Ｘ方向に直交するＹ方向に、等間隔に離間して配置されていてもよい。
【００９９】
液貯蔵主流溝７１は、後述するエッチング工程において、ウィックシート３０のシート本体３１の第１本体面３１ａからエッチングされることによって形成されている。このことにより、液貯蔵主流溝７１は、図８Ａに示すように、湾曲状に形成された壁面７２を有している。この壁面７２は、液貯蔵主流溝７１を画定し、第２本体面３１ｂに向かって膨らむような形状で湾曲している。
【０１００】
図８Ａおよび図１０に示すように、液貯蔵主流溝７１の幅ｗ６は、上述した液流路主流溝６１の幅ｗ３よりも大きくてもよい。幅ｗ６は、例えば、１０μｍ〜２５０μｍであってもよい。なお、液貯蔵主流溝７１の幅ｗ６は、第１本体面３１ａにおける寸法を意味している。幅ｗ６は、Ｙ方向における寸法に相当している。また、図８Ａに示すように、液貯蔵主流溝７１の深さｈ２は、上述した液流路主流溝６１の深さｈ１よりも大きくてもよい。深さｈ２は、例えば、５μｍ〜２００μｍであってもよい。深さｈ２は、Ｚ方向における寸法に相当している。
【０１０１】
図１０に示すように、各液貯蔵連絡溝７５は、Ｘ方向とは異なる方向に延びている。本実施の形態においては、各液貯蔵連絡溝７５は、Ｙ方向に延びている。液貯蔵連絡溝７５は、液貯蔵主流溝７１に垂直に形成されている。いくつかの液貯蔵連絡溝７５は、互いに隣り合う液貯蔵主流溝７１同士を連通している。他の液貯蔵連絡溝７５は、第１蒸気通路５１または第２蒸気通路５２と、液貯蔵主流溝７１とを連通している。すなわち、当該液貯蔵連絡溝７５は、Ｙ方向におけるランド部３３の端縁から、当該端縁に隣り合う液貯蔵主流溝７１に延びている。このようにして、第１蒸気通路５１と液貯蔵主流溝７１とが連通されているとともに、第２蒸気通路５２と液貯蔵主流溝７１とが連通されている。
【０１０２】
液貯蔵連絡溝７５は、主として、作動液２ｂが毛細管作用によって流れるような流路断面積を有している。液貯蔵連絡溝７５の流路断面積は、蒸気通路５１、５２の流路断面積よりも小さい。しかしながら、液貯蔵連絡溝７５の流路断面積は、上述した液流路連絡溝６５の流路断面積よりも大きくてもよい。液貯蔵連絡溝７５内の作動液２ｂに作用する毛細管力は、液流路連絡溝６５内の作動液２ｂに作用する毛細管力よりも小さくなっていてもよい。このようにして、液貯蔵連絡溝７５は、作動液２ｂを液貯蔵部７０内に引き込むことができるとともに、作動液２ｂの貯蔵量を確保できる。各液貯蔵連絡溝７５は、Ｘ方向に、等間隔に離間して配置されていてもよい。
【０１０３】
液貯蔵連絡溝７５は、液貯蔵主流溝７１と同様に、エッチングによって形成されている。液貯蔵連絡溝７５は、液貯蔵主流溝７１と同様の湾曲状に形成された壁面（図示せず）を有している。図１０に示すように、液貯蔵連絡溝７５の幅ｗ７は、液貯蔵主流溝７１の幅ｗ６と等しくてもよい。しかしながら、幅ｗ７は、幅ｗ６よりも大きくてもよく、または小さくてもよい。幅ｗ７は、Ｘ方向における寸法に相当している。液貯蔵連絡溝７５の深さは、液貯蔵主流溝７１の深さｈ２と等しくてもよい。しかしながら、液貯蔵連絡溝７５の深さは、深さｈ２よりも深くてもよく、または浅くてもよい。
【０１０４】
図１０に示すように、互いに隣り合う液貯蔵主流溝７１の間に、凸部列７３が設けられている。各凸部列７３は、Ｘ方向に配列された複数の凸部７４を含んでいる。凸部７４は、液貯蔵突出部の一例である。凸部７４は、液貯蔵部７０内に設けられている。凸部７４は、シート本体３１から突出して下側シート１０に当接している。各凸部７４は、平面視で、Ｘ方向が長手方向となるように矩形状に形成されている。Ｙ方向において互いに隣り合う凸部７４の間に、液貯蔵主流溝７１が介在されている。Ｘ方向において互いに隣り合う凸部７４の間に、液貯蔵連絡溝７５が介在されている。液貯蔵連絡溝７５は、Ｙ方向に延びており、Ｙ方向において互いに隣り合う液貯蔵主流溝７１同士を連通している。このことにより、これらの液貯蔵主流溝７１の間で作動液２ｂが往来可能になっている。
【０１０５】
凸部７４は、後述するエッチング工程においてエッチングされることなく、ウィックシート３０の材料が残る部分である。本実施の形態では、図１０に示すように、凸部７４の平面形状が、矩形状になっている。凸部７４の平面形状とは、シート本体３１の第１本体面３１ａの位置における平面形状に相当している。
【０１０６】
本実施の形態においては、凸部７４は、千鳥状に配置されている。より具体的には、互いに隣り合う凸部列７３の凸部７４が、Ｘ方向において互いにずれて配置されている。このずれ量は、Ｘ方向における凸部７４の配列ピッチの半分であってもよい。凸部７４の幅ｗ８は、例えば、１０μｍ〜１００μｍであってもよい。凸部７４の幅ｗ８は、第１本体面３１ａにおける寸法を意味している。幅ｗ８は、Ｙ方向における寸法に相当している。なお、凸部７４の配置は、千鳥状であることに限られることはなく、並列配列されていてもよい。この場合、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列７３の凸部７４が、Ｘ方向においても整列される（図１９参照）。
【０１０７】
このようにして、液貯蔵主流溝７１の幅ｗ６は、液流路主流溝６１のｗ３よりも大きくてもよい。幅ｗ６は、Ｙ方向において互いに隣り合う一対の凸部７４のギャップに相当している。また、液貯蔵主流溝７１の幅ｗ６は、貫通部３４の幅ｗ２よりも小さくてもよい。幅ｗ２は、Ｙ方向において互いに隣り合う一対のランド部３３の間のギャップに相当している。
【０１０８】
本実施の形態においては、上述したように、液貯蔵部７０の液貯蔵主流溝７１の流路断面積が、液流路部６０の液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくなっている。この流路断面積の関係を満たすために、図８Ａに示す例では、液貯蔵主流溝７１の幅ｗ６が、液流路主流溝６１の幅ｗ３よりも大きくなっており、液貯蔵主流溝７１の深さｈ２が、液流路主流溝６１の深さｈ１よりも大きくなっている。しかしながら、このことに限られることはなく、液貯蔵主流溝７１の流路断面積が液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きければ、幅および深さの関係は任意である。例えば、図８Ｂに示すように、幅ｗ６が幅ｗ３よりも大きければ、深さｈ２は深さｈ１と等しくてもよい。この場合においても、液貯蔵主流溝７１の流路断面積を液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくできる。また、図８Ｃに示すように、深さｈ２が深さｈ１よりも大きければ、幅ｗ６は幅ｗ３と等しくてもよい。この場合においても、液貯蔵主流溝７１の流路断面積を液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくできる。なお、本明細書における溝の流路断面積とは、溝が延びる方向に直交する方向に沿う断面における溝の占める面積に相当する。例えば、液流路主流溝６１の流路断面積は、液流路主流溝６１のＹ方向に沿う断面における溝６１（または溝６１の壁面６２によって画定される空間）が占める面積に相当する。
【０１０９】
また、ランド部３３に設けられた液貯蔵主流溝７１の本数は、当該ランド部３３に設けられた液流路主流溝６１の本数よりも少なくてもよい。本実施の形態においては、ランド部３３は、Ｘ方向に延びており、細長の矩形状になっている。そして、第１本体面３１ａにおけるランド部３３の幅と、第２本体面３１ｂにおけるランド部３３の幅が等しくなっている。この場合、液貯蔵主流溝７１の流路断面積を、液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくできる。
【０１１０】
液貯蔵主流溝７１は、液貯蔵交差部７６を含んでいる。液貯蔵交差部７６は、第２交差部の一例である。液貯蔵交差部７６は、液貯蔵主流溝７１のうち液貯蔵連絡溝７５と連通する部分である。液貯蔵交差部７６において、液貯蔵主流溝７１と液貯蔵連絡溝７５とがＴ字状に連通している。このことにより、一の液貯蔵主流溝７１と、一方の側の液貯蔵連絡溝７５とが連通している液貯蔵交差部７６において、他方の側の液貯蔵連絡溝７５が当該液貯蔵主流溝７１に連通することを回避できる。このことにより、当該液貯蔵交差部７６において、液貯蔵主流溝７１の壁面７２が両側で切り欠かれることを防止でき、壁面７２の一方の側を残存できる。例えば、一の液貯蔵交差部７６において、図１０における上側の液貯蔵連絡溝７５と下側の液貯蔵連絡溝７５とが液貯蔵主流溝７１に連通することを回避できる。この場合、当該液貯蔵交差部７６において、図１０における上側の壁面７２と下側の壁面７２との両方が切り欠かれることを防止できる。このことにより、液貯蔵交差部７６においても、液貯蔵主流溝７１内の作動液に毛細管作用を付与できる。
【０１１１】
ところで、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０を構成する材料は、熱伝導率が良好な材料であれば特に限られることはないが、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０は、例えば、銅または銅合金を含んでいてもよい。この場合、各シート１０、２０、３０の熱伝導率を高めることができ、ベーパーチャンバ１の放熱効率を高めることができる。また、作動流体２ａ、２ｂとして純水を使用する場合には、腐食することを防止できる。なお、所望の放熱効率を得るとともに腐食を防止できれば、これらのシート１０、２０、３０には、アルミニウムやチタン等の他の金属材料や、ステンレスなどの他の金属合金材料を用いることもできる。
【０１１２】
また、図３に示すベーパーチャンバ１の厚さｔ１は、例えば、１００μｍ〜１０００μｍであってもよい。ベーパーチャンバ１の厚さｔ１を１００μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１の機能を適切に発揮できる。一方、厚さｔ１を１０００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。
【０１１３】
下側シート１０の厚さｔ２は、例えば、６μｍ〜１００μｍであってもよい。下側シート１０の厚さｔ２を６μｍ以上にすることにより、下側シート１０の機械的強度を確保できる。一方、下側シート１０の厚さｔ２を１００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。同様に、上側シート２０の厚さｔ３は、下側シート１０の厚さｔ２と同様に設定されていてもよい。上側シート２０の厚さｔ３と、下側シート１０の厚さｔ２は、異なっていてもよい。
【０１１４】
ウィックシート３０の厚さｔ４は、例えば、５０μｍ〜４００μｍであってもよい。ウィックシート３０の厚さｔ４を５０μｍ以上にすることにより、蒸気流路部５０を適切に確保できる。このため、ベーパーチャンバ１の機能を適切に発揮できる。一方、４００μｍ以下にすることにより、ベーパーチャンバ１の厚さｔ１が厚くなることを抑制できる。
【０１１５】
次に、このような構成からなる本実施の形態のベーパーチャンバ１の製造方法について、図１２〜図１４を用いて説明する。なお、図１２〜図１４では、図３の断面図と同様の断面を示している。
【０１１６】
ここでは、初めに、ウィックシート３０の作製工程について説明する。
【０１１７】
まず、図１２に示すように、準備工程として平板状の金属材料シートＭを準備する。金属材料シートＭは、第１材料面Ｍａと、第２材料面Ｍｂと、を含んでいる。金属材料シートＭは、所望の厚さを有する圧延材で形成されていてもよい。
【０１１８】
準備工程の後、エッチング工程として、図１３に示すように、金属材料シートＭを、第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂからエッチングする。このことにより、金属材料シートＭに、蒸気流路部５０、液流路部６０および液貯蔵部７０を形成する。
【０１１９】
より具体的には、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂに、フォトリソフィー技術によって、パターン状のレジスト膜（図示せず）が形成される。続いて、パターン状のレジスト膜の開口を介して、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂがエッチングされる。このことにより、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂがパターン状にエッチングされて、図１３に示すような蒸気流路部５０、液流路部６０および液貯蔵部７０が形成される。なお、エッチング液には、例えば、塩化第二鉄水溶液等の塩化鉄系エッチング液、または塩化銅水溶液等の塩化銅系エッチング液を用いることができる。
【０１２０】
エッチングは、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂを同時にエッチングしてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、第１材料面Ｍａと第２材料面Ｍｂのエッチングは別々の工程として行われてもよい。また、蒸気流路部５０、液流路部６０および液貯蔵部７０が同時にエッチングで形成されてもよく、別々の工程で形成されてもよい。
【０１２１】
また、エッチング工程においては、金属材料シートＭの第１材料面Ｍａおよび第２材料面Ｍｂをエッチングすることにより、図６および図７に示すような所定の外形輪郭形状が得られる。すなわち、ウィックシート３０の端縁が形成される。
【０１２２】
このようにして、本実施の形態によるウィックシート３０が得られる。
【０１２３】
ウィックシート３０の作製工程の後、接合工程として、図１４に示すように、下側シート１０、上側シート２０およびウィックシート３０が接合される。なお、下側シート１０および上側シート２０は、所望の平面形状および所望の厚さを有する圧延材で形成されていてもよい。
【０１２４】
より具体的には、まず、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０をこの順番で積層する。この場合、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂにウィックシート３０の第１本体面３１ａが重ね合わされ、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂに、上側シート２０の第１上側シート面２０ａが重ね合わされる。この際、下側シート１０のアライメント孔１２と、ウィックシート３０のアライメント孔３５と、上側シート２０のアライメント孔２２とを利用して、各シート１０、２０、３０が位置合わせされる。
【０１２５】
続いて、下側シート１０、ウィックシート３０および上側シート２０が仮止めされる。例えば、スポット的に抵抗溶接を行って、これらのシート１０、２０、３０が仮止めされてもよく、レーザ溶接でこれらのシート１０、２０、３０が仮止めされてもよい。
【０１２６】
次に、下側シート１０と、ウィックシート３０と、上側シート２０とが、拡散接合によって恒久的に接合される。拡散接合とは、真空や不活性ガス中などの制御された雰囲気中で、下側シート１０とウィックシート３０と上側シート２０とを積層方向に加圧するとともに加熱して、接合面に生じる原子の拡散を利用して接合する方法である。加圧する際には、下側シート１０とウィックシート３０とが密着するとともにウィックシート３０と上側シート２０とが密着する。拡散接合は、各シート１０、２０、３０の材料を融点に近い温度まで加熱するが、融点よりは低いため、各シート１０、２０、３０が溶融して変形することを回避できる。より具体的には、ウィックシート３０の枠体部３２および各ランド部３３における第１本体面３１ａが、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂに拡散接合される。また、ウィックシート３０の枠体部３２および各ランド部３３における第２本体面３１ｂが、上側シート２０面の第１上側シート面２０ａに拡散接合される。このようにして、各シート１０、２０、３０が拡散接合されて、下側シート１０と上側シート２０との間に、蒸気流路部５０と液流路部６０と液貯蔵部７０とを有する密封空間３が形成される。この段階では、密封空間３は、上述した注入流路３７は封止されていない。上述した注入部４においては、下側シート１０の下側注入突出部１１とウィックシート３０のウィックシート注入突出部３６とが拡散接合される。また、このウィックシート注入突出部３６と上側シート２０の上側注入突出部２１とが拡散接合される。
【０１２７】
接合工程の後、注入部４から密封空間３に作動液２ｂが注入される。この際、作動液２ｂは、液流路部６０の各液流路主流溝６１と各液流路連絡溝６５で構成される空間の合計体積よりも多い注入量で注入されてもよい。
【０１２８】
その後、上述した注入流路３７が封止される。例えば、注入部４にレーザ光を照射し、注入部４が部分的に溶融して注入流路３７を封止するようにしてもよい。このことにより、密封空間３と外部との連通が遮断されて、作動液２ｂが封入された密封空間３が得られる。このため、密封空間３内の作動液２ｂが外部に漏洩することが防止される。なお、注入流路３７の封止のためには、注入部４をかしめてもよく（または押圧して塑性変形してもよく）、またはろう付けしてもよい。
【０１２９】
以上のようにして、本実施の形態によるベーパーチャンバ１が得られる。
【０１３０】
次に、ベーパーチャンバ１の作動方法、すなわち、電子デバイスＤの冷却方法について説明する。
【０１３１】
上述のようにして得られたベーパーチャンバ１は、モバイル端末等のハウジングＨ内に設置される。上側シート２０の第２上側シート面２０ｂに、被冷却装置であるＣＰＵ等の電子デバイスＤが取り付けられる。密封空間３内の作動液２ｂは、その表面張力によって、密封空間３の壁面に付着する。より具体的には、作動液２ｂは、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａ、上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａ、液流路部６０の液流路主流溝６１の壁面６２および液流路連絡溝６５の壁面に付着する。また、作動液２ｂは、下側シート１０の第２下側シート面１０ｂのうち下側蒸気流路凹部５３に露出した部分にも付着し得る。さらに、作動液２ｂは、上側シート２０の第１上側シート面２０ａのうち上側蒸気流路凹部５４、液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５に露出した部分にも付着し得る。
【０１３２】
この状態で電子デバイスＤが発熱すると、蒸発領域ＳＲ（図６および図７参照）に存在する作動液２ｂが、電子デバイスＤから熱を受ける。受けた熱は潜熱として吸収されて作動液２ｂが蒸発し、作動蒸気２ａが生成される。生成された作動蒸気２ａの多くは、密封空間３を構成する下側蒸気流路凹部５３および上側蒸気流路凹部５４内で拡散する（図６の実線矢印参照）。各蒸気流路凹部５３、５４内の作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲから離れる。作動蒸気２ａの多くは、比較的温度の低い凝縮領域ＣＲに輸送される。図６および図７においては、作動蒸気２ａの多くは、蒸気流路部５０における右側の部分に輸送される。凝縮領域ＣＲにおいて、作動蒸気２ａは、主として下側シート１０に放熱して冷却される。下側シート１０が作動蒸気２ａから受けた熱は、ハウジング部材Ｈａ（図３参照）を介して外気に伝達される。
【０１３３】
作動蒸気２ａは、凝縮領域ＣＲにおいて下側シート１０に放熱する。このことにより、作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲにおいて吸収した潜熱を失って凝縮し、作動液２ｂが生成される。生成された作動液２ｂは、各蒸気流路凹部５３、５４の壁面５３ａ、５４ａおよび下側シート１０の第２下側シート面１０ｂおよび上側シート２０の第１上側シート面２０ａに付着する。ここで、蒸発領域ＳＲでは作動液２ｂが蒸発し続けている。このため、液流路部６０のうち蒸発領域ＳＲ以外の領域（すなわち、凝縮領域ＣＲ）における作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かって輸送される（図６の破線矢印参照）。このことにより、各壁面５３ａ、５４ａ、第２下側シート面１０ｂおよび第１上側シート面２０ａに付着した作動液２ｂは、液流路部６０に移動する。この際、作動液２ｂは、液流路連絡溝６５を通過して液流路主流溝６１に入り込む。このようにして、各液流路主流溝６１および各液流路連絡溝６５に、作動液２ｂが充填される。このため、充填された作動液２ｂは、各液流路主流溝６１の毛細管作用により、蒸発領域ＳＲに向かう推進力を得る。このようにして、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。
【０１３４】
液流路部６０においては、各液流路主流溝６１が、対応する液流路連絡溝６５を介して、隣り合う他の液流路主流溝６１と連通している。このことにより、互いに隣り合う液流路主流溝６１同士で、作動液２ｂが往来し、液流路主流溝６１でドライアウトが発生することが抑制されている。このため、各液流路主流溝６１内の作動液２ｂに毛細管作用が付与されて、作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向かってスムースに輸送される。
【０１３５】
なお、凝縮領域ＣＲにおいて凝縮した作動液２ｂの一部は、液流路部６０ではなく、ウィックシート３０の第１本体面３１ａに設けられた液貯蔵部７０に輸送される。より具体的には、各壁面５３ａ、５４ａ、および第２下側シート面１０ｂおよび第１上側シート面２０ａに付着した作動液２ｂの一部は、液貯蔵連絡溝７５を通過して液貯蔵主流溝７１に入り込む。このようにして、各液貯蔵主流溝７１および各液貯蔵連絡溝７５に、作動液２ｂが充填される。このため、作動液２ｂは、各液貯蔵主流溝７１の毛細管作用および各液貯蔵連絡溝７５の毛細管作用により推進力を得て、液貯蔵部７０の内部に向かってスムースに移動する。
【０１３６】
液流路部６０によって蒸発領域ＳＲに達した作動液２ｂは、電子デバイスＤから再び熱を受けて蒸発する。作動液２ｂから蒸発した作動蒸気２ａは、蒸発領域ＳＲ内の液流路連絡溝６５を通って、流路断面積が大きい下側蒸気流路凹部５３および上側蒸気流路凹部５４に移動する。そして、作動蒸気２ａは、各蒸気流路凹部５３、５４内で拡散する。一方、液貯蔵部７０が蒸発領域ＳＲに配置されている。このことにより、液貯蔵部７０内の作動液２ｂも同様にして蒸発し、各蒸気流路凹部５３、５４内で拡散する。このようにして、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を還流する。このことにより、電子デバイスＤの熱が輸送されて放出される。この結果、電子デバイスＤが冷却される。
【０１３７】
電子デバイスＤが発熱を停止している間、蒸発領域ＳＲ内の作動液２ｂは蒸発することなく、液流路部６０の液流路主流溝６１および液流路連絡溝６５に充填されて留まる。このため、凝縮領域ＣＲ内の作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲに向けて輸送されずに留まる。液流路部６０内の作動液２ｂの一部は、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａまたは上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａを流れて、液貯蔵部７０の液貯蔵主流溝７１および液貯蔵連絡溝７５に移動する。このことにより、これらの溝７１、７５に作動液２ｂが充填されて留まる。密封空間３に封入される作動液２ｂの量が、液流路主流溝６１と液流路連絡溝６５とで構成される空間の合計体積よりも多い場合には、作動液２ｂの一部は、液貯蔵主流溝７１および液貯蔵連絡溝７５に充填されやすい。このため、作動液２ｂは、液流路部６０だけでなく、液貯蔵部７０にも分散されて留まることができる。
【０１３８】
この状態で、ベーパーチャンバ１を搭載した電子機器Ｅが、作動流体２ａ、２ｂの凝固点より低い温度環境下に置かれて、液流路部６０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、作動流体２ａ、２ｂの膨張力が弱められる。このことにより、膨張による力を受けて上側シート２０が変形することが抑制される。このため、電子デバイスＤが取り付けられる上側シート２０の第２上側シート面２０ｂの平坦度が低下することを抑制でき、第２上側シート面２０ｂと電子デバイスＤとの間に隙間が形成されることを抑制できる。この場合、電子デバイスＤからの熱伝導が阻害されることを抑制でき、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。同様に、液貯蔵部７０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、膨張力が弱められる。このことにより、膨張による力を受けて下側シート１０が変形することが抑制される。このため、下側シート１０の第１下側シート面１０ａの平坦度が低下することを抑制できる。
【０１３９】
このように本実施の形態によれば、ウィックシート３０のシート本体３１の第２本体面３１ｂに液流路部６０が設けられ、第２本体面３１ｂとは反対側に位置する第１本体面３１ａに液貯蔵部７０が設けられている。液貯蔵部７０の液貯蔵主流溝７１の流路断面積は、液流路部６０の液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくなっている。このことにより、電子デバイスＤが発熱を停止している間、作動液２ｂを、液流路部６０だけでなく、液貯蔵部７０に分散して貯蔵できる。このため、作動液２ｂの凝固点より低い温度環境下において、液流路部６０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、上側シート２０に作用する膨張力を低減できる。この場合、上側シート２０が変形することを抑制できる。また、液貯蔵部７０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、下側シート１０に作用する膨張力を低減できる。この場合、下側シート１０が変形することを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の変形を抑制でき、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。また、電子デバイスＤが発熱している間では、電子デバイスＤからの熱を受けて、液貯蔵部７０内の作動液２ｂが蒸発できる。このため、電子デバイスＤの熱をより一層拡散でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。
【０１４０】
また、本実施の形態によれば、ウィックシート３０のシート本体３１の第２本体面３１ｂに液流路部６０が設けられ、第２本体面３１ｂとは反対側に位置する第１本体面３１ａに液貯蔵部７０が設けられている。液貯蔵部７０の液貯蔵主流溝７１の流路断面積は、液流路部６０の液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きい。このことにより、液貯蔵主流溝７１内の作動液２ｂに作用する毛細管力を、液流路主流溝６１内の作動液２ｂに作用する毛細管力よりも小さくできる。電子デバイスＤが発熱している間に、液貯蔵部７０への作動液２ｂの移動量を低減できる。このため、作動液２ｂの蒸発領域ＳＲへの輸送機能の低下を抑制でき、熱輸送効率の低下を抑制できる。また、上述したように、液貯蔵主流溝７１の流路断面積を、液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくすることにより、各液貯蔵主流溝７１で構成される空間の合計体積を増大できる。このため、電子デバイスＤが発熱を停止している間、液貯蔵部７０による作動液２ｂの貯蔵量を増大できる。
【０１４１】
また、本実施の形態によれば、液貯蔵主流溝７１の幅が、液流路主流溝６１の幅よりも大きい。このことにより、液貯蔵主流溝７１の流路断面積を、液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくできる。このため、熱輸送効率の低下を抑制できるとともに、作動液２ｂの貯蔵量を増大できる。
【０１４２】
また、本実施の形態によれば、液貯蔵主流溝７１の深さが、液流路主流溝６１の深さよりも大きい。このことにより、液貯蔵主流溝７１の流路断面積を、液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくできる。このため、熱輸送効率の低下を抑制できるとともに、作動液２ｂの貯蔵量を増大できる。
【０１４３】
また、本実施の形態によれば、各ランド部３３に、液流路部６０および液貯蔵部７０が設けられ、ランド部３３に設けられた液貯蔵主流溝７１の本数が、当該ランド部３３に設けられた液流路主流溝６１の本数よりも少ない。このことにより、液貯蔵主流溝７１の流路断面積を、液流路主流溝６１の流路断面積よりも大きくできる。このため、熱輸送効率の低下を抑制できるとともに、作動液２ｂの貯蔵量を増大できる。
【０１４４】
また、本実施の形態によれば、ウィックシート３０のシート本体３１の第２本体面３１ｂに、作動液２ｂが通る液流路部６０が設けられ、第２本体面３１ｂとは反対側に位置する第１本体面３１ａに、液貯蔵部７０が設けられている。液貯蔵部７０は、平面視で蒸発領域ＳＲに配置されている。このことにより、電子デバイスＤが発熱を停止している間、作動液２ｂを、液流路部６０だけでなく、液貯蔵部７０に分散して貯蔵できる。このため、作動液２ｂの凝固点より低い温度環境下において、液流路部６０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、上側シート２０に作用する膨張力を低減できる。この場合、上側シート２０が変形することを抑制できる。また、液貯蔵部７０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、下側シート１０に作用する膨張力を低減できる。この場合、下側シート１０が変形することを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の変形を抑制でき、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。また、電子デバイスＤが発熱している間では、電子デバイスＤからの熱を受けて、液貯蔵部７０内の作動液２ｂを蒸発できる。このため、電子デバイスＤの熱をより一層拡散でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。
【０１４５】
また、本実施の形態によれば、液貯蔵部７０内に、ウィックシート３０のシート本体３１から突出して下側シート１０に当接する複数の凸部７４が設けられている。互いに隣り合う一対の凸部７４の間のギャップ（液貯蔵主流溝７１の幅ｗ６に相当）が、液流路部６０の液流路主流溝６１の幅よりも大きくなっている。このことにより、液貯蔵部７０内の作動液２ｂに作用する毛細管力を、液流路部６０内（液流路主流溝６１内）の作動液２ｂに作用する毛細管力よりも小さくできる。電子デバイスＤが発熱している間に、液貯蔵部７０への作動液２ｂの移動量を低減できる。このため、作動液２ｂの蒸発領域ＳＲへの輸送機能の低下を抑制でき、熱輸送効率の低下を抑制できる。また、上述したように、凸部７４の間のギャップを液流路主流溝６１の幅よりも大きくすることにより、液貯蔵部７０の各液貯蔵主流溝７１と各液貯蔵連絡溝７５で構成される空間の合計体積を増大できる。このため、電子デバイスＤが発熱を停止している間、液貯蔵部７０による作動液２ｂの貯蔵量を増大できる。
【０１４６】
また、本実施の形態によれば、液貯蔵部７０は、液流路部６０の液流路主流溝６１が延びる方向であるＸ方向に直交するＹ方向において互いに隣り合う凸部７４の間に設けられた液貯蔵主流溝７１を有しており、液貯蔵主流溝７１が、Ｘ方向に延びている。電子デバイスＤが発熱を停止した後、作動液２ｂは、凝縮領域ＣＲから蒸発領域ＳＲに向かって概略的にはＸ方向に流れるが、液貯蔵部７０に達した作動液２ｂは、液貯蔵主流溝７１内に容易に入り込むことができる。そして、液貯蔵主流溝７１内をＸ方向にスムースに流れることができ、液貯蔵部７０の蒸発領域ＳＲの側の端縁に容易に達することができる。このため、液貯蔵部７０に作動液２ｂを速やかに引き込むことができ、作動液２ｂの貯蔵量を速やかに増大できる。ベーパーチャンバ１の周囲温度が急激に低下した場合には、液貯蔵部７０に作動液２ｂを速やかに引き込むことができる。このことにより、作動液２ｂの凍結時に上側シート２０および下側シート１０に作用する膨張力を効果的に低減できる。このため、ベーパーチャンバ１の変形を効果的に抑制できる。
【０１４７】
また、本実施の形態によれば、互いに隣り合う一対の凸部７４の間のギャップが、互いに隣り合う一対のランド部３３の間のギャップ（貫通部３４の幅ｗ２に相当）よりも小さくなっている。このことにより、液貯蔵部７０内の作動液２ｂに、毛細管力が作用できる。このため、液貯蔵部７０内に、作動液２ｂを引き込むことができ、電子デバイスＤが発熱を停止している間、作動液２ｂを貯蔵できる。
【０１４８】
また、本実施の形態によれば、液貯蔵部７０は、各ランド部３３の第１本体面３１ａに設けられている。このことにより、作動液２ｂを、各液貯蔵部７０に分散して貯蔵できる。このため、作動液２ｂの凝固点より低い温度環境下において、液流路部６０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、上側シート２０が変形することをより一層抑制できる。また、液貯蔵部７０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、下側シート１０が変形することをより一層抑制できる。
【０１４９】
また、本実施の形態によれば、液貯蔵部７０は、Ｘ方向において、ランド部３３の一側に配置されている。このことにより、蒸発領域ＳＲが、Ｘ方向においてベーパーチャンバ１の一側に形成される場合には、液貯蔵部７０を、蒸発領域ＳＲに配置できる。このため、電子デバイスＤが発熱している間、液貯蔵部７０内の作動液２ｂが蒸発でき、電子デバイスＤの熱をより一層拡散できる。この結果、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。
【０１５０】
（第１変形例）
なお、上述した本実施の形態においては、電子デバイスＤが発熱を停止している間、液流路部６０内の作動液２ｂの一部が、液貯蔵部７０に移動して貯蔵される例について説明した。この例では、作動液２ｂは、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａまたは上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａを流れる。しかしながら、このことに限られることはなく、シート本体３１に、液流路部６０と液貯蔵部７０とを連通した複数の連通部８０が設けられていてもよい。連通部８０は、蒸発領域ＳＲ内に位置していてもよい。また、連通部８０は、平面視で電子デバイスＤと重なる領域内に位置していてもよい。
【０１５１】
例えば、図１５および図１６に示す第１変形例のように、連通部８０は、蒸気流路部５０の壁面に設けられた連通凹部８１を含んでいてもよい。連通凹部８１は、液流路部６０から液貯蔵部７０に延びていてもよい。図１５および図１６に示す第１変形例では、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａに沿って、Ｚ方向に延びる連通凹部８１が設けられている。
【０１５２】
連通凹部８１は、液流路部６０の液流路連絡溝６５および液貯蔵部７０の液貯蔵連絡溝７５の少なくとも一方に延びていてもよい。図１５および図１６に示す第１変形例では、連通凹部８１の一端は、液流路連絡溝６５に延びており、連通凹部８１の他端は、液貯蔵連絡溝７５に延びている。なお、連通凹部８１は、液流路連絡溝６５に連通されていなくてもよく、あるいは、液貯蔵連絡溝７５に連通されていなくてもよい。更には、連通凹部８１は、液流路連絡溝６５および液貯蔵連絡溝７５のいずれにも連通されていなくてもよい。連通凹部８１の流路断面形状は、図１５および図１６に示すように矩形状でもよく、あるいは、半円形状または半楕円形状等の湾曲形状に形成されていてもよい。連通凹部８１の流路断面形状は、平面視での形状に相当する。
【０１５３】
図１５に示すように、連通凹部８１の幅ｗ９は、液流路連絡溝６５の幅ｗ４（図９参照）よりも大きくてもよい。幅ｗ９は、Ｘ方向における寸法に相当している。このことにより、連通凹部８１内の作動液２ｂに作用する毛細管力を、液流路連絡溝６５内の作動液２ｂに作用する毛細管力よりも小さくできる。この場合、連通凹部８１内に作動液２ｂが滞留することを抑制できる。また、この場合、連通凹部８１は、凸部６４を切り欠くように形成される。また、連通凹部８１の幅ｗ９は、液貯蔵連絡溝７５の幅ｗ７（図１０参照）よりも小さくてもよい。このことにより、連通凹部８１内の作動液２ｂに、毛細管力が作用でき、作動液２ｂが液貯蔵部７０に移動できる。連通凹部８１の幅ｗ９は、例えば、２０μｍ〜３００μｍであってもよい。なお、連通凹部８１の幅ｗ９は、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。
【０１５４】
このように第１変形例によれば、電子デバイスＤが発熱を停止している間、液流路部６０内の作動液２ｂの一部が、連通部８０を通って液貯蔵部７０に移動できる。このことにより、液流路部６０から液貯蔵部７０への作動液２ｂの移動量が増大し、液貯蔵部７０における作動液２ｂの貯蔵量を増大できる。
【０１５５】
また、第１変形例によれば、連通部８０は、蒸気流路部５０の壁面に設けられた、液流路部６０から液貯蔵部７０に延びる連通凹部８１を含んでいる。このことにより、液流路部６０から液貯蔵部７０への作動液２ｂの流路抵抗を減らすことができる。このため、液流路部６０内での作動液２ｂの滞留量を減らすことができる。液流路部６０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、膨張力を弱めることができる。また、液貯蔵部７０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、膨張力を弱めることができる。この結果、膨張による力を受けて上側シート２０および下側シート１０が変形することを抑制できる。さらに第１変形例によれば、連通凹部８１が、液流路連絡溝６５および液貯蔵連絡溝７５に延びていることにより、液流路部６０から液貯蔵部７０への作動液２ｂの流路抵抗をより一層減らすことができる。
【０１５６】
（第２変形例）
また、図１５および図１６に示す第１変形例とは異なり、図１７および図１８に示す第２変形例のように、連通部８０は、シート本体３１を貫通して、液流路部６０から液貯蔵部７０に延びる貫通孔８２を含んでいてもよい。図１７および図１８に示す第２変形例では、貫通孔８２は、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａまたは上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａではなく、平面視でランド部３３の内部に位置している。貫通孔８２は、下側蒸気流路凹部５３の壁面５３ａおよび上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａで切り欠かれないような位置に形成されている。すなわち、貫通孔８２は、平面視で、閉じた輪郭形状を有している。図１７および図１８では、貫通孔８２が矩形状に形成されている例が示されている。しかしながら、貫通孔８２の平面形状は、円形状等の任意の形状であってもよい。
【０１５７】
貫通孔８２は、液流路部６０の液流路交差部６６および液貯蔵部７０の液貯蔵交差部７６の少なくとも一方に延びていてもよい。図１７および図１８に示す第２変形例では、貫通孔８２の一端は、液流路交差部６６に延びており、上述した液流路交差部６６に位置している。貫通孔８２の他端は、液貯蔵交差部７６に延びている。なお、貫通孔８２は、液流路主流溝６１または液流路連絡溝６５に連通されていれば、液流路交差部６６に連通されていなくてもよい。あるいは、貫通孔８２は、液貯蔵主流溝７１または液貯蔵連絡溝７５に連通されていれば、液貯蔵交差部７６に連通されていなくてもよい。貫通孔８２の流路断面形状は、図１７および図１８に示すように矩形状でもよく、あるいは、円形状または楕円形状等の湾曲状に形成されていてもよい。貫通孔８２の流路断面形状は、平面視での形状に相当する。
【０１５８】
図１７に示すように、貫通孔８２の幅ｗ１０は、液流路連絡溝６５の幅ｗ４（図９参照）よりも大きくてもよい。幅ｗ１０は、Ｘ方向における寸法に相当している。このことにより、貫通孔８２内の作動液２ｂに作用する毛細管力を、液流路連絡溝６５内の作動液２ｂに作用する毛細管力よりも小さくできる。この場合、貫通孔８２内に作動液２ｂが滞留することを抑制できる。また、この場合、貫通孔８２は、凸部６４を切り欠くように形成される。また、貫通孔８２の幅ｗ１０は、液貯蔵連絡溝７５の幅ｗ７（図１０参照）よりも小さくてもよい。このことにより、貫通孔８２内の作動液２ｂに、毛細管力が作用でき、作動液２ｂが液貯蔵部７０に移動できる。貫通孔８２の幅ｗ１０は、例えば、１０μｍ〜１００μｍであってもよい。なお、貫通孔８２の幅ｗ１０は、ウィックシート３０の第２本体面３１ｂにおける寸法を意味している。また、図１８に示すように、液流路主流溝６１のＹ方向における配列ピッチと液貯蔵主流溝７１のＹ方向における配列ピッチとの関係により、貫通孔８２が、液貯蔵交差部７６からはみ出すように形成されている例が示されている。しかしながら、このことに限られることはなく、これらの溝６１、７１の配列ピッチにもよるが、貫通孔８２は、液貯蔵交差部７６からはみ出さないようにしてもよい。
【０１５９】
このように第２変形例によれば、電子デバイスＤが発熱を停止している間、液流路部６０内の作動液２ｂの一部が、貫通孔８２を通って液貯蔵部７０に移動できる。このことにより、液流路部６０から液貯蔵部７０への作動液２ｂの移動量が増大し、液貯蔵部７０における作動液２ｂの貯蔵量を増大できる。とりわけ、貫通孔８２は、平面視でランド部３３の内部に位置しているため、液流路部６０から液貯蔵部７０への作動液２ｂの流路抵抗を減らすことができる。このため、液流路部６０内での作動液２ｂの滞留量を低減できる。液流路部６０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、膨張力を弱めることができる。この結果、膨張による力を受けて上側シート２０が変形することを抑制できる。また、液貯蔵部７０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、膨張力を弱めることができる。この結果、膨張による力を受けて下側シート１０が変形することを抑制できる。
【０１６０】
また、第２変形例によれば、連通部８０は、シート本体３１を貫通して、液流路部６０から液貯蔵部７０に延びる貫通孔８２を含んでいる。このことにより、液流路部６０から液貯蔵部７０への作動液２ｂの流路抵抗をより一層減らすことができる。このため、液流路部６０内での作動液２ｂの滞留量をより一層減らすことができる。液流路部６０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、膨張力をより一層弱めることができる。さらに、第２変形例によれば、貫通孔８２が、液流路交差部６６および液貯蔵交差部７６に延びていることにより、液流路部６０から液貯蔵部７０への作動液２ｂの流路抵抗をより一層減らすことができる。
【０１６１】
（第３変形例）
また、上述した本実施の形態においては、液貯蔵部７０内に設けられた凸部７４が、平面視で、Ｘ方向が長手方向となるように矩形状に形成されている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、凸部７４の平面形状は任意である。
【０１６２】
例えば、図１９に示すように、凸部７４が、平面視で円形状に形成されていてもよく、あるいは、図示しないが楕円形状に形成されていてもよい。また、図１９に示す例では、凸部７４は、並列配列されている例が示されている。より具体的には、Ｙ方向において互いに隣り合う凸部列７３の凸部７４が、Ｘ方向においても整列されている。
【０１６３】
また、例えば、図２０に示すように、凸部７４が、平面視で正方形状に形成されていてもよい。図２０に示す例では、凸部７４は、千鳥状に配置されている例が示されているが、並列配列されていてもよい。
【０１６４】
また、例えば、図２１に示すように、凸部７４が、平面視で十字形状に形成されていてもよい。図２１に示す例では、凸部７４の平面形状が、丸みを帯びた十字形状に形成されている。また、図２１に示す例では、凸部７４は、千鳥状に配置されている例が示されているが、並列配列されていてもよい。また、凸部７４は、平面視で星形多角形状で形成されていてもよい。
【０１６５】
（第４変形例）
また、上述した本実施の形態においては、液貯蔵部７０が、ウィックシート３０の各ランド部３３の第１本体面３１ａに設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、液貯蔵部７０は、全てのランド部３３に設けられていなくてもよい。例えば、任意の一のランド部３３のみに液貯蔵部７０が設けられていてもよく、いくつかのランド部３３に液貯蔵部７０が設けられていてもよい。例えば、電子デバイスＤの平面形状が小さい場合には、電子デバイスＤで覆われる領域に応じて、任意のランド部３３に選択的に液貯蔵部７０を設けてもよい。また、ベーパーチャンバ１が単純な矩形状ではない場合も、同様である。
【０１６６】
（第５変形例）
また、図２２に示すように、液貯蔵部７０は、ベーパーチャンバ１の平面視で電子デバイスＤと重なる領域に配置されていてもよい。
【０１６７】
図２２に示す例では、複数のランド部３３のうちの一部のランド部３３に液貯蔵部７０が設けられている。電子デバイスＤが、複数のランド部３３に重なっている。電子デバイスＤは、複数のランド部３３に跨がって配置されている。図２２においては、７つのランド部３３が示されており、電子デバイスＤは、３つのランド部３３に重なっている。残りの４つのランド部３３には、電子デバイスＤは重なっていない。電子デバイスＤと重なっている３つのランド部３３を、重合ランド部９１、９２と称し、電子デバイスＤと重なっていない４つのランド部３３のうち、重合ランド部９１、９２と隣り合っているランド部３３を、第１非重合ランド部９３と称する。電子デバイスＤと重なっていない４つのランド部３３のうち、重合ランド部９１、９２と隣り合っていないランド部３３を、第２非重合ランド部９４と称する。
【０１６８】
第１非重合ランド部９３は、３つの重合ランド部９１、９２のＹ方向における両側に配置されている。第１非重合ランド部９３に対して重合ランド部９１、９２とは反対側に、第２非重合ランド部９４が配置されている。図２２における最も下側と最も上側に、第２非重合ランド部９４が配置され、これら２つの第２非重合ランド部９４の間に、２つの第１非重合ランド部９３が配置されている。そして、２つの第１非重合ランド部９３の間に、３つの重合ランド部９１、９２が配置されている。図２２において３つの重合ランド部９１、９２のうち最も下側の重合ランド部（後述する第２重合ランド部９２）と、下側の第１非重合ランド部９３とが、Ｙ方向において互いに隣り合っている。同様に、図２２において３つの重合ランド部９１、９２のうち最も上側の重合ランド部（後述する第２重合ランド部９２）と、上側の第１非重合ランド部９３とが、Ｙ方向において互いに隣り合っている。
【０１６９】
重合ランド部９１、９２の各々に液貯蔵部７０が設けられている。重合ランド部９１、９２に設けられた液貯蔵部７０は、平面視で電子デバイスＤと重なる領域に配置されている。これらの液貯蔵部７０は、Ｘ方向において電子デバイスＤよりも外側にはみ出していてもよい。重合ランド部９１、９２に設けられた液貯蔵部７０は、Ｘ方向における両側で、電子デバイスＤよりも外側にはみ出している。図２２に示す例においては、重合ランド部９１、９２に設けられた液貯蔵部７０は、電子デバイスＤよりも左側にはみ出すとともに右側にはみ出している。
【０１７０】
３つの重合ランド部９１、９２は、１つの第１重合ランド部９１と、２つの第２重合ランド部９２と、を含んでいる。第１重合ランド部９１のＹ方向における両側に、第２重合ランド部９２が配置されている。各第２重合ランド部９２は、第１重合ランド部９１にＹ方向において互いに隣り合っている。第１重合ランド部９１に設けられた液貯蔵部７０と、第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０とは、Ｙ方向において互いに隣り合っている。第１重合ランド部９１に設けられた液貯蔵部７０は、第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０よりも、平面視で、Ｙ方向における電子デバイスＤの中心側に位置している。すなわち、第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０は、第１重合ランド部９１に設けられた液貯蔵部７０よりも電子デバイスＤの中心から遠ざかっている。図２２においては、第１重合ランド部９１に設けられた液貯蔵部７０が、電子デバイスＤの中心に重なっている。第１重合ランド部９１に設けられた液貯蔵部７０のＸ方向における長さＬ１は、第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０のＸ方向における長さＬ２よりも長くなっている。第１重合ランド部９１に設けられた液貯蔵部７０は、第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０よりも電子デバイスＤから外側へのはみ出し量が大きい。長さＬ１、Ｌ２は、液貯蔵部７０の液貯蔵主流溝７１のＸ方向における長さであってもよい。液貯蔵部７０が複数の液貯蔵主流溝７１を含んでいる場合には、液貯蔵主流溝７１の長さの最大値であってもよい。
【０１７１】
第１非重合ランド部９３の各々に液貯蔵部７０が設けられている。第１非重合ランド部９３に設けられた液貯蔵部７０は、平面視で電子デバイスＤと重なる領域とは異なる領域に配置されている。すなわち、当該液貯蔵部７０は、電子デバイスＤと重なっていない。第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０と、第１非重合ランド部９３に設けられた液貯蔵部７０とは、Ｙ方向において互いに隣り合っている。第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０のＸ方向における長さＬ２は、第１非重合ランド部９３に設けられた液貯蔵部７０のＸ方向における長さＬ３よりも長くなっている。なお、図２２には、長さＬ３が、電子デバイスＤと等しい例が示されている。しかしながら、このことに限られることはなく、当該液貯蔵部７０は、Ｘ方向において電子デバイスＤよりも外側にはみ出していてもよい。あるいは、当該液貯蔵部７０のＸ方向における長さは、電子デバイスＤのＸ方向における長さよりも短くてもよい。長さＬ３は、長さＬ１、Ｌ２と同様に、液貯蔵部７０の液貯蔵主流溝７１のＸ方向における長さであってもよい。
【０１７２】
第２非重合ランド部９４には、図２２に示すように、液貯蔵部７０は設けられていなくてもよい。しかしながら、このことに限られることはなく、第２非重合ランド部９４に、液貯蔵部７０が設けられていてもよい。
【０１７３】
このように第５変形例によれば、液貯蔵部７０は、ベーパーチャンバ１の平面視で電子デバイスＤと重なる領域に配置されている。このことにより、液貯蔵部７０を、電子デバイスＤから熱を受けやすい領域に配置できる。このため、電子デバイスＤが発熱をしている間では、電子デバイスＤからの熱を受けて、液貯蔵部７０内の作動液２ｂが蒸発できる。このため、電子デバイスＤの熱をより一層拡散でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。
【０１７４】
また、第５変形例によれば、液貯蔵部７０は、Ｘ方向において電子デバイスＤよりも外側にはみ出している。このことにより、電子デバイスＤと重なる領域の周辺において、電子デバイスＤから伝わる熱を利用して液貯蔵部７０内の作動液２ｂが蒸発できる。より具体的には、電子デバイスＤと重なる領域にＸ方向で隣接する領域において、電子デバイスＤの熱を利用して液貯蔵部７０内の作動液２ｂが蒸発できる。このため、作動液２ｂの蒸発量を増大できる。この結果、電子デバイスＤの熱をより一層拡散でき、電子デバイスＤの冷却効率をより一層向上できる。
【０１７５】
また、第５変形例によれば、第１重合ランド部９１に設けられた液貯蔵部７０は、第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０よりも、平面視で、Ｙ方向における電子デバイスＤの中心側に位置している。そして、第１重合ランド部９１に設けられた液貯蔵部７０のＸ方向における長さＬ１は、第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０のＸ方向における長さＬ２よりも長くなっている。このことにより、電子デバイスＤの中心側に位置する液貯蔵部７０のＸ方向における長さを長くできる。このため、電子デバイスＤの中心付近と重なる液貯蔵主流溝７１内の作動液２ｂの充填量を増大できる。この結果、電子デバイスＤの中心付近において作動液２ｂの蒸発量を増大でき、電子デバイスＤの中心付近を効率良く冷却できる。
【０１７６】
また、第５変形例によれば、互いに隣り合う一対の第２重合ランド部９２および第１非重合ランド部９３の各々に、液貯蔵部７０が設けられている。第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０が、電子デバイスＤと重なる領域に配置され、第１非重合ランド部９３に設けられた液貯蔵部７０が、電子デバイスＤと重なる領域とは異なる領域に配置されている。このことにより、電子デバイスＤと重なる領域の周辺において、電子デバイスＤから伝わる熱を利用して、液貯蔵部７０内の作動液２ｂが蒸発できる。より具体的には、電子デバイスＤと重なる領域にＹ方向で隣接する領域において、電子デバイスＤの熱を利用して液貯蔵部７０内の作動液２ｂが蒸発できる。このため、作動液２ｂの蒸発量を増大できる。この結果、電子デバイスＤの熱をより一層拡散でき、電子デバイスＤの冷却効率をより一層向上できる。
【０１７７】
また、第５変形例によれば、第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０のＸ方向における長さＬ２は、第１非重合ランド部９３に設けられた液貯蔵部７０のＸ方向における長さＬ３よりも長い。このことにより、電子デバイスＤと重なる液貯蔵部７０のＸ方向における長さを長くできる。このため、電子デバイスＤと重なる液貯蔵主流溝７１内の作動液２ｂの充填量を増大できる。この結果、電子デバイスＤと重なる領域において作動液２ｂの蒸発量を増大でき、電子デバイスＤを効率良く冷却できる。
【０１７８】
なお、上述した第５変形例においては、第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０が、Ｙ方向において全体的に電子デバイスＤと重なっている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０は、Ｙ方向の一部の範囲において電子デバイスＤと重なっていてもよい（図２３参照）。この場合、当該液貯蔵部７０は、Ｙ方向の残りの範囲において電子デバイスＤと重ならない。また、図２２においては、電子デバイスＤが、第２重合ランド部９２に設けられた液貯蔵部７０よりもＹ方向において外側にはみ出している例が示されている。しかしながら、このことに限られることはなく、電子デバイスＤは、第２重合ランド部９２の縁に一致するようにしてもよい。この場合、第２本体面３１ｂにおける上側蒸気流路凹部５４の壁面５４ａの縁に、電子デバイスＤの縁が重なる。
【０１７９】
また、上述した第５変形例においては、電子デバイスＤが、３つの重合ランド部９１、９２に設けられた液貯蔵部７０に重なっている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、電子デバイスＤが重なる液貯蔵部７０が設けられる重合ランド部９１、９２の個数は、任意である。また、３つの重合ランド部９１、９２のＹ方向における両側に非重合ランド部９３、９４が２つずつ設けられる例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、３つの重合ランド部９１、９２のＹ方向における両側にそれぞれ設けられる非重合ランド部９３、９４の個数は、１つであってもよく、または３つ以上であってもよい。
【０１８０】
（第６変形例）
また、図２３に示すように、ベーパーチャンバ１は、複数の電子デバイスＤに熱的に接触していてもよい。
【０１８１】
より具体的には、図２３に示すように、第２本体面３１ｂに、複数の電子デバイスＤが取り付けられている。ここでは、一例として、２つの電子デバイスＤ１、Ｄ２が第２本体面３１ｂに取り付けられている例が示されているが、電子デバイスＤの個数は、３つ以上であってもよい。２つの電子デバイスＤは、Ｘ方向において互いに異なる領域に配置されている。図２３における左側の電子デバイスＤを第１電子デバイスＤ１と称し、右側の電子デバイスＤを第２電子デバイスＤ２と称する。
【０１８２】
第１本体面３１ａに、電子デバイスＤ１、Ｄ２の各々に対応する複数の液貯蔵部７０が設けられていてもよい。この場合、液貯蔵部７０は、平面視で、対応する電子デバイスＤ１、Ｄ２と重なる領域に配置されていてもよい。
【０１８３】
複数のランド部３３のうちの一部のランド部３３に、液貯蔵部７０が設けられている。各電子デバイスＤ１、Ｄ２は、図２２に示す例と同様に、複数のランド部３３に重なっている。複数のランド部３３は、図２２に示す例と同様に、３つの重合ランド部９１、９２と、２つの第１非重合ランド部９３と、２つの第２非重合ランド部９４と、を含んでいる。３つの重合ランド部９１、９２の各々に、第１電子デバイスＤ１と重なる液貯蔵部７０と、第２電子デバイスＤ２と重なる液貯蔵部７０とが設けられている。第１非重合ランド部９３には、図２２に示す例と同様に、第１電子デバイスＤ１と重なる液貯蔵部７０が設けられている。しかしながら、第１非重合ランド部９３には、第２電子デバイスＤ２と重なる液貯蔵部７０は設けられていない。第２非重合ランド部９４には、液貯蔵部７０は設けられていない。
【０１８４】
２つの電子デバイスＤ１、Ｄ２のＸ方向における寸法は、互いに異なっていてもよい。この場合、２つの液貯蔵部７０のＸ方向における長さは、互いに異なっていてもよい。なお、図２３においては、液貯蔵部７０のＸ方向における長さが、電子デバイスＤ毎に、等しくなっている例を示している。第１電子デバイスＤ１と重なる液貯蔵部７０についてより具体的に説明する。重合ランド部９１、９２に設けられた液貯蔵部７０のＸ方向における長さＬ１、Ｌ２は、互いに等しくなっている。長さＬ１、Ｌ２と、第１非重合ランド部９３に設けられた液貯蔵部７０のＸ方向における長さＬ３も等しくなっている。しかしながら、このことに限られることはなく、液貯蔵部７０のＸ方向における長さＬ１、Ｌ２、Ｌ３は、図２２に示すように、ランド部毎に異なっていてもよい。第２電子デバイスＤ２と重なる液貯蔵部７０についても同様である。
【０１８５】
このように第６変形例によれば、ベーパーチャンバ１が複数の電子デバイスＤ１、Ｄ２に熱的に接触し、第１本体面３１ａに、電子デバイスＤ１、Ｄ２の各々に対応する複数の液貯蔵部７０が設けられている。そして、液貯蔵部７０は、ベーパーチャンバ１の平面視で、対応する電子デバイスＤ１、Ｄ２と重なる領域に配置されている。このことにより、各液貯蔵部７０を、対応する電子デバイスＤ１、Ｄ２から熱を受けやすい領域に配置できる。このため、各電子デバイスＤ１、Ｄ２が発熱をしている間では、各電子デバイスＤ１、Ｄ２からの熱を受けて、各液貯蔵部７０内の作動液２ｂが蒸発できる。このため、各電子デバイスＤ１、Ｄ２の熱をより一層拡散でき、各電子デバイスＤ１、Ｄ２の冷却効率を向上できる。
【０１８６】
また、第６変形例によれば、複数のランド部３３のうちの少なくとも一つに、対応する電子デバイスＤ１、Ｄ２に重なる複数の液貯蔵部７０が設けられている。このことにより、ランド部３３のうち、対応する電子デバイスＤ１、Ｄ２と重なる領域に液貯蔵部７０をそれぞれ設けることができる。このため、各液貯蔵部７０を、対応する電子デバイスＤ１、Ｄ２から熱を受けやすい領域に配置できる。
【０１８７】
ここで、第６変形例において、２つの電子デバイスＤ１、Ｄ２は、同時に発熱していなくてもよい。例えば、第１電子デバイスＤ１が発熱し、第２電子デバイスＤ２が発熱を停止している場合には、第１電子デバイスＤ１に重なる液貯蔵部７０内の作動液２ｂが、第１電子デバイスＤ１からの熱を受けて蒸発できる。第２電子デバイスＤ２に重なる液貯蔵部７０内の作動液２ｂは、貯蔵され続けることができる。
【０１８８】
なお、上述した第６変形例においては、３つの重合ランド部９１、９２に、２つの液貯蔵部７０がそれぞれ設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、２つの液貯蔵部７０が設けられる重合ランド部９１、９２の個数は、３つに限られることはなく、任意である。例えば、そのような重合ランド部９１、９２の個数は、１つであってもよい。例えば、第１重合ランド部９１に、２つの液貯蔵部７０が設けられて、第２重合ランド部９２には、１つの液貯蔵部７０が設けられるようにしてもよい。この場合、第１重合ランド部９１に、第１電子デバイスＤ１と重なる液貯蔵部７０と、第２電子デバイスＤ２と重なる液貯蔵部７０とが設けられていてもよい。第２重合ランド部９２の一方に、第１電子デバイスＤ１と重なる液貯蔵部７０が設けられて、第２電子デバイスＤ２と重なる液貯蔵部７０は設けられていなくてもよい。第２重合ランド部９２の他方に、第２電子デバイスＤ２と重なる液貯蔵部７０が設けられて、第１電子デバイスＤ１と重なる液貯蔵部７０は設けられていなくてもよい。すなわち、重合ランド部９１、９２には、第１電子デバイスＤ１と重なる液貯蔵部７０と、第２電子デバイスＤ２と重なる液貯蔵部７０とのうちの少なくとも一方が設けられていてもよい。
【０１８９】
また、上述した第６変形例においては、第１本体面３１ａに、対応する電子デバイスＤ１、Ｄ２に平面視で重なるように複数の液貯蔵部７０が設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはない。例えば、第１本体面３１ａに、２つの電子デバイスＤ１、Ｄ２の一方に重なる液貯蔵部７０が設けられている場合には、他方に重なる液貯蔵部７０は設けられていなくてもよい。電子デバイスＤの個数が３つ以上である場合も同様である。すなわち、全ての電子デバイスＤに重なるように複数の液貯蔵部７０が第１本体面３１ａに設けられていてもよい。しかしながら、第１本体面３１ａに、一部の電子デバイスＤに重なる液貯蔵部７０が設けられ、他の一部の電子デバイスＤに重なる液貯蔵部７０は設けられていなくてもよい。
【０１９０】
（第２の実施の形態）
次に、図２４〜図２７を用いて、本発明の第２の実施の形態におけるベーパーチャンバ用のウィックシート、ベーパーチャンバおよび電子機器について説明する。
【０１９１】
図２４〜図２７に示す第２の実施の形態においては、液貯蔵部が、平面視で蒸発領域とは異なる領域に配置されている点が主に異なり、他の構成は、図１〜図２３に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図２４〜図２７において、図１〜図２３に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【０１９２】
本実施の形態においては、図２４に示すように、本実施の形態による液貯蔵部７０は、Ｘ方向においてランド部３３の一側に配置されていてもよい。液貯蔵部７０は、Ｘ方向においてランド部３３の中心よりも当該一側に形成されていてもよい。液貯蔵部７０は、蒸発領域ＳＲとは反対側に配置されていてもよく、図２４に示すように、ランド部３３の右側に配置されていてもよい。液貯蔵部７０は、平面視で蒸発領域ＳＲとは異なる領域に配置されている。液貯蔵部７０は、凝縮領域ＣＲに配置されている。この場合、液貯蔵部７０は、電子デバイスＤと重なる領域とは異なる領域に配置されている。より具体的には、液貯蔵部７０は、図２４および図２５に示すように、Ｘ方向においてランド部３３の蒸発領域ＳＲとは反対側の部分に配置されている。液貯蔵部７０の液貯蔵主流溝７１は、Ｘ方向においてランド部３３の蒸発領域ＳＲとは反対側の端縁から、蒸発領域ＳＲの側の端縁に向かって所定の位置まで連続状に形成されている。図２４においては、液貯蔵部７０は、右側の端縁から左側の端縁に向かって所定の位置まで形成されている。このようにして、液貯蔵部７０のＸ方向範囲が画定されている。液貯蔵部７０のその他の構成は、第１の実施の形態における液貯蔵部７０と同様の構成を有しているため、ここでは詳細な説明は省略する。
【０１９３】
一般的なベーパーチャンバ１においては、上述したように、作動流体２ａ、２ｂが、相変化、すなわち蒸発と凝縮とを繰り返しながら密封空間３内を環流して電子デバイスＤの熱を輸送して放出する。作動流体２ａ、２ｂの環流は、ベーパーチャンバ１の全範囲で形成できる。このことにより、ベーパーチャンバ１の全範囲で作動蒸気２ａが熱を放出でき、熱を放出する領域を広くできる。このため、ベーパーチャンバ１の放熱効率が向上でき、電子デバイスＤを効率良く冷却できる。この場合、ベーパーチャンバ１の温度差を小さくでき、温度を均等化できる。
【０１９４】
しかしながら、電子デバイスＤの発熱量が多い場合、図２６に示すように、凝縮領域ＣＲにおいて凝縮した作動液２ｂは、蒸発領域ＳＲの中心まで輸送され難くなる。すなわち、電子デバイスＤの発熱量が多いため、蒸発領域ＳＲの中心に到達する前に作動液２ｂが蒸発しやすくなる。このことにより、作動流体２ａ、２ｂの環流は、蒸発領域ＳＲの中心付近を除いた範囲で形成され、蒸発領域ＳＲの中心の温度が上昇し得る。このため、電子デバイスＤの冷却効率が低下し得る。その結果として、ベーパーチャンバ１において、温度が高い領域ＴＨと温度が低い領域ＴＬとが形成され、温度差が大きくなり得る。
【０１９５】
一方、電子デバイスＤの発熱量が少ない場合、図２７に示すように、凝縮領域ＣＲにおいて凝縮した作動液２ｂの一部が、蒸発領域ＳＲの液流路部６０内に滞留されやすくなる。すなわち、電子デバイスＤの発熱量が少ないため、蒸発領域ＳＲにおける作動液２ｂの蒸発量が少なくなる。そして、蒸発領域ＳＲに向かう作動液２ｂの輸送量が低減し、作動液２ｂが、凝縮領域ＣＲの液流路部６０内に滞留しやすくなる。このことにより、作動流体２ａ、２ｂの環流は、蒸発領域ＳＲの側の端部付近（図２７における右側の端部付近）を除いた範囲で形成され、当該端部付近の作動液２ｂが液流路部６０内に滞留し得る。このため、作動蒸気２ａが熱を放出する領域が狭くなるため、ベーパーチャンバ１の放熱効率が低下し得る。その結果として、ベーパーチャンバ１において、温度が高い領域ＴＨと温度が低い領域ＴＬとが形成され、温度差が大きくなり得る。
【０１９６】
これに対して本実施の形態によるベーパーチャンバ１において、電子デバイスＤが発熱している間、凝縮領域ＣＲにおいて凝縮した作動液２ｂの一部は、蒸発領域ＳＲではなく、ウィックシート３０の第１本体面３１ａに設けられた液貯蔵部７０に輸送される。そして、作動液２ｂは、液貯蔵部７０に貯蔵される。本実施の形態による液貯蔵部７０は、凝縮領域ＣＲに配置されているため、液貯蔵部７０内の作動液２ｂは、蒸発し難く、液貯蔵部７０内に貯留される。
【０１９７】
電子デバイスＤの発熱量が多い場合には、凝縮領域ＣＲにおいて凝縮した作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲの中心まで輸送できる。すなわち、電子デバイスＤの発熱量が多い場合であっても、液流路部６０内の作動液２ｂだけではなく、液貯蔵部７０に貯蔵された作動液２ｂをも蒸発領域ＳＲの中心に向かって輸送でき、蒸発領域ＳＲへの作動液２ｂの輸送量を増大できる。このことにより、蒸発領域ＳＲの中心にも作動液２ｂが到達でき、作動流体２ａ、２ｂの環流を、ベーパーチャンバ１の全範囲で形成できる。このため、蒸発領域ＳＲの中心の温度を低下でき、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。その結果として、ベーパーチャンバ１の温度差を小さくでき、温度を均等化できる。
【０１９８】
一方、電子デバイスＤの発熱量が少ない場合、凝縮領域ＣＲにおいて凝縮した作動液２ｂの一部を、液貯蔵部７０に貯蔵でき、蒸発領域ＳＲのうち液流路部６０に作動液２ｂが滞留することを抑制できる。このことにより、作動流体２ａ、２ｂの環流を、ベーパーチャンバ１の全範囲で形成できる。このため、作動蒸気２ａが熱を放出する領域を広くできるため、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。その結果として、ベーパーチャンバ１の温度差を小さくできる。
【０１９９】
このように本実施の形態によれば、ウィックシート３０のシート本体３１の第２本体面３１ｂに、作動液２ｂが通る液流路部６０が設けられ、第２本体面３１ｂとは反対側に位置する第１本体面３１ａに、液貯蔵部７０が設けられている。液貯蔵部７０は、平面視で蒸発領域ＳＲとは異なる領域に配置されている。このことにより、作動液２ｂを、液流路部６０だけでなく、液貯蔵部７０に分散して貯蔵できる。電子デバイスＤの発熱量が多い場合には、液貯蔵部７０に貯蔵されている作動液２ｂを蒸発領域ＳＲに送り込むことができ、作動流体２ａ、２ｂの環流の範囲を増大できる。このため、電子デバイスＤの冷却効率を向上できる。また、電子デバイスＤの発熱量が少ない場合には、蒸発領域ＳＲのうち液流路部６０に作動液２ｂが滞留することを抑制でき、作動流体２ａ、２ｂの環流の範囲を増大できる。このため、作動蒸気２ａが熱を放出する領域を広くでき、ベーパーチャンバ１の放熱効率を向上できる。この結果、電子デバイスＤの発熱量によらずに、ベーパーチャンバ１の性能低下を抑制できる。
【０２００】
また、本実施の形態によれば、上述したように、液貯蔵部７０に作動液２ｂを貯蔵できる。このことにより、電子デバイスＤが発熱を停止している間、作動液２ｂを、液流路部６０だけでなく、液貯蔵部７０に分散して貯蔵できる。このため、作動液２ｂの凝固点より低い温度環境下において、液流路部６０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、上側シート２０に作用する膨張力を低減でき、上側シート２０が変形することを抑制できる。また、液貯蔵部７０内の作動液２ｂが凍結して膨張した場合であっても、下側シート１０に作用する膨張力を低減でき、下側シート１０が変形することを抑制できる。この結果、ベーパーチャンバ１の変形を抑制できる。
【０２０１】
また、本実施の形態によれば、液貯蔵部７０内に、ウィックシート３０のシート本体３１から突出して下側シート１０に当接する複数の凸部７４が設けられている。互いに隣り合う一対の凸部７４の間のギャップ（液貯蔵主流溝７１の幅ｗ６に相当）が、液流路部６０の液流路主流溝６１の幅ｗ３よりも大きくなっている。このことにより、液貯蔵部７０内の作動液２ｂに作用する毛細管力を、液流路部６０内（液流路主流溝６１内）の作動液２ｂに作用する毛細管力よりも小さくできる。電子デバイスＤが発熱している間に、液貯蔵部７０への作動液２ｂの移動量を低減できる。このため、作動液２ｂの蒸発領域ＳＲへの輸送機能の低下を抑制でき、熱輸送効率の低下を抑制できる。また、上述したように、凸部７４の間のギャップを液流路主流溝６１の幅ｗ３よりも大きくすることにより、液貯蔵部７０の各液貯蔵主流溝７１と各液貯蔵連絡溝７５で構成される空間の合計体積を増大できる。このため、液貯蔵部７０による作動液２ｂの貯蔵量を増大でき、電子デバイスＤの発熱量が少ない場合には、作動液２ｂが凝縮領域ＣＲの液流路部６０に滞留することをより一層抑制できる。
【０２０２】
また、本実施の形態によれば、液貯蔵部７０は、液流路部６０の液流路主流溝６１が延びる方向であるＸ方向に直交するＹ方向において互いに隣り合う凸部７４の間に設けられた液貯蔵主流溝７１を有しており、液貯蔵主流溝７１が、Ｘ方向に延びている。このことにより、液貯蔵部７０内の作動液２ｂはＸ方向に流れることができ、液貯蔵部７０から流出する作動液２ｂは、Ｘ方向の推進力を有することができる。このため、液貯蔵部７０から流出する作動液２ｂを、蒸発領域ＳＲにスムースに輸送できる。
【０２０３】
また、本実施の形態によれば、互いに隣り合う一対の凸部７４の間のギャップが、互いに隣り合う一対のランド部３３の間のギャップ（貫通部３４の幅ｗ２に相当）よりも小さくなっている。このことにより、液貯蔵部７０内の作動液２ｂに、毛細管力が作用できる。このため、液貯蔵部７０内に、作動液２ｂを引き込むことができ、作動液２ｂを貯蔵できる。
【０２０４】
また、本実施の形態によれば、液貯蔵部７０は、各ランド部３３の第１本体面３１ａに設けられている。このことにより、作動液２ｂを、各液貯蔵部７０に分散して貯蔵できる。このため、電子デバイスＤの発熱量が多い場合には、蒸発領域ＳＲに送り込む作動液２ｂの量を増大でき、電子デバイスＤの冷却効率をより一層向上できる。電子デバイスＤの発熱量が少ない場合には、液流路部６０に作動液２ｂが滞留することをより一層抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱効率をより一層向上できる。
【０２０５】
また、本実施の形態によれば、液貯蔵部７０は、Ｘ方向において、ランド部３３の一側に配置されている。このことにより、蒸発領域ＳＲが、Ｘ方向においてベーパーチャンバ１の一側に形成される場合には、液貯蔵部７０を、蒸発領域ＳＲとは異なる領域に配置できる。このため、電子デバイスＤの発熱量が多い場合には、蒸発領域ＳＲに送り込む作動液２ｂの量を増大でき、電子デバイスＤの冷却効率をより一層向上できる。電子デバイスＤの発熱量が少ない場合には、液流路部６０に作動液２ｂが滞留することをより一層抑制でき、ベーパーチャンバ１の放熱効率をより一層向上できる。
【０２０６】
なお、上述した本実施の形態においては、第１の実施の形態と同様に、第１の実施の形態の変形例として述べた第１変形例、第２変形例、第３変形例および第４変形例を適用できる。
【０２０７】
例えば、第２の実施の形態において、第１変形例のように、連通部８０を設けることにより、液流路部６０と液貯蔵部７０との間で、作動液２ｂがスムースに移動できる。このことにより、液流路部６０から液貯蔵部７０への作動液２ｂの移動量が増大し、液貯蔵部７０における作動液２ｂの貯蔵量を増大できる。また、電子デバイスＤの発熱量が多い場合には、液貯蔵部７０に貯蔵されている作動液２ｂを蒸発領域ＳＲにスムースに送り込むことができる。作動流体２ａ、２ｂの環流の範囲を効果的に増大できる。このため、電子デバイスＤの冷却効率をより一層向上できる。また、電子デバイスＤの発熱量が少ない場合には、蒸発領域ＳＲのうち液流路部６０に作動液２ｂが滞留することをより一層抑制でき、作動流体２ａ、２ｂの環流の範囲を増大できる。このため、ベーパーチャンバ１の放熱効率をより一層向上できる。
【０２０８】
また、第１変形例のように、連通部８０が連通凹部８１を含むことにより、液流路部６０と液貯蔵部７０との間の作動液２ｂの流路抵抗を減らすことができる。このことにより、電子デバイスＤの発熱量が多い場合には、電子デバイスＤの冷却効率をより一層向上できる。電子デバイスＤの発熱量が少ない場合には、ベーパーチャンバ１の放熱効率をより一層向上できる。さらに第１変形例によれば、連通凹部８１が、液流路連絡溝６５および液貯蔵連絡溝７５に延びていることにより、液流路部６０と液貯蔵部７０との間の作動液２ｂの流路抵抗をより一層減らすことができる。
【０２０９】
例えば、第２の実施の形態において、第２変形例のように連通部８０が貫通孔８２を含むことにより、液流路部６０と液貯蔵部７０との間の作動液２ｂの流路抵抗を減らすことができる。このことにより、電子デバイスＤの発熱量が多い場合には、電子デバイスＤの冷却効率をより一層向上でき、電子デバイスＤの発熱量が少ない場合には、ベーパーチャンバ１の放熱効率をより一層向上できる。さらに第２変形例によれば、貫通孔８２が、液流路交差部６６および液貯蔵交差部７６に延びていることにより、液流路部６０と液貯蔵部７０との間の作動液２ｂの流路抵抗をより一層減らすことができる。
【０２１０】
また、上述した本実施の形態による液貯蔵部７０と、第１の実施の形態による液貯蔵部７０とを組み合わせてもよい。この場合、ウィックシート３０の各ランド部３３に、２つの液貯蔵部７０が設けられる。一方の液貯蔵部７０は、平面視で蒸発領域ＳＲに配置され、他方の液貯蔵部７０は、平面視で凝縮領域ＣＲに配置されている。蒸発領域ＳＲ内の液貯蔵部７０と、凝縮領域ＣＲ内の液貯蔵部７０とは、Ｘ方向において互いに離間していてもよい。この場合には、第１の実施の形態の液貯蔵部７０により得られる効果と、第２の実施の形態の液貯蔵部７０により得られる効果の両方を得ることができる。
【０２１１】
本発明は上記各実施の形態および各変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記各実施の形態および各変形例に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。各実施の形態および各変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【要約】
本発明によるベーパーチャンバ用のウィックシートは、作動流体が封入されるベーパーチャンバの第１シートと第２シートとの間に介在される。このベーパーチャンバ用のウィックシートは、第１本体面と第２本体面とを有するシート本体と、シート本体を貫通する貫通空間と、第２本体面に設けられ、貫通空間と連通した第１溝集合体と、第１本体面に設けられ、貫通空間と連通した第２溝集合体と、を備えている。第２溝集合体の第２主流溝の流路断面積は、第１溝集合体の第１主流溝の流路断面積よりも大きい。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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