(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体及びＬＣＤ製造工程の真空ポンプとスクラバーとの間で移送される排気ガスを加熱して排気ガスの固形化を防止する加熱装置であって、
真空ポンプとスクラバーとの間に連結されて排気ガスを内部に流通させ、両端部の一部を除いた残りの部分が伸縮及び屈曲自在にリング状の多数の短管が連続的に結束されてなる連結管と、
前記連結管の両端部を除いた残りの部分の外周面を密着するように包み込む形で設けられ、前記連結管と共に伸縮及び屈曲自在にした内側ベローズ管と、
前記内側ベローズ管の外周面に密着するように設けられ、前記内側ベローズ管を介して前記連結管を加熱するヒーティング部材と、
前記内側ベローズ管を空間を挟んで離間して包み込むと共に外気を遮断して保温雰囲気を作り出し、前記連結管および内側ベローズ管に対応して伸縮及び屈曲自在にした外側ベローズ管と、を備え、
前記ヒーティング部材は、所定幅を有する長く平らな帯状を呈し、前記内側ベローズ管の外周面に螺旋状に巻かれて設けられるとともに、前記ヒーティング部材の側端部が互いに重ならないように離間して巻回されて、前記内側ベローズ管の伸縮及び屈曲の際に干渉されないようになっており、
前記ヒーティング部材は、
電気を供給されて発熱する熱線と、
前記熱線を内包した状態に成形されて、下面が前記内側ベローズ管と接するようにし、
ポリプロピレン樹脂と、前記ポリプロピレン樹脂に対して２０〜３０重量％の微細カーボン粒子とが混合されてなり、前記熱線から発生した熱をスムーズに放出できるようにした下層部と、
前記下層部の上面及び側面を包み込む逆Ｕ字型に成形され、ポリプロピレン樹脂と、前記ポリプロピレン樹脂に対して５０〜６０重量％の微細水酸化アルミニウム粒子とが混合されてなり、前記熱線から発生する熱が、前記下層部の下面を除いた他の部位に放出されないように遮断する上層部と、
前記下層部と上層部の中間境界面上に微細なヒュームドシリカ粒子からなり、前記熱線から発生する熱が、前記下層部の下面を除いた他の部位に放出されないように、前記上層部と共に二重に遮断する中層部と、を備えてなり、
前記熱線から発生した熱が前記内側ベローズ管を介して前記連結管側を向くように誘導することを特徴とする排気ガス加熱用三重配管加熱装置。
【請求項２】
前記連結管の、前記内側ベローズ管が包み込まない先端部外周面と後端部外周面とをそれぞれ離間して包み込む形で設けられて内部空間を形成した状態で、前記外側ベローズ管の開放された先端部及び後端部を塞いで密閉する第１ストッパ部材及び第２ストッパ部材をさらに備え、
前記外側ベローズ管の先端部を密閉する第１ストッパ部材の内部には第１温度センサを設けて前記外側ベローズ管の密閉された内部空間の温度を測定できるようにし、制御器は、前記第１温度センサが測定した温度に基づいて前記熱線を制御して適正温度を維持するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の排気ガス加熱用三重配管加熱装置。
【請求項３】
前記第１ストッパ部材を貫通して前記連結管の先端部に連結される連結短管をさらに備え、
前記連結短管の先端部とスクラバー側の配管の連結部位と、前記連結管の後端部と真空ポンプ側の配管の連結部位とを、それぞれ密閉するように包み込んでその内部に小規模の温度測定空間を形成するが、二分割された半本体が左側と右側で結合してなる密閉ボックスと、各密閉ボックスの内部空間の温度を測定する第２温度センサと、をさらに備えて、前記第２温度センサが測定した密閉ボックスの内部空間の温度に基づいて、制御器が熱線の異常有無および排気ガスの漏れ有無を判断できるようにしたことを特徴とする請求項２に記載の排気ガス加熱用三重配管加熱装置。
【請求項４】
前記連結短管の先端部の連結部位および前記連結管の後端部の連結部位にそれぞれ設けられた密閉ボックスと前記第１ストッパ部材には、漏れた排気ガスを前記スクラバーに案内するための漏洩ガスポートが設けられ、
前記連結管の後端部と真空ポンプ側の配管、前記連結短管の先端部とスクラバー側の配管は、それぞれフランジ結合し、各フランジ結合はリング状のクランプによって行われ、
前記外側ベローズ管の先端部と第１ストッパ部材、前記外側ベローズ管の後端部と第２ストッパ部材は、それぞれフランジ結合し、各フランジ結合は、複数の爪状のクランプによって行われることを特徴とする請求項３に記載の排気ガス加熱用三重配管加熱装置。
【請求項５】
前記内側ベローズ管は、前記外側ベローズ管の折り畳みよりも小さい折り畳みを有して前記連結管の外周面に密着するようにしたことを特徴と請求項１〜４のいずれか１項に記載の排気ガス加熱用三重配管加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体及びＬＣＤ製造装置に係り、特に、窒素ガスを使用せずに少ない熱量だけで排気ガスを効果的に加熱できるように、三重配管構造を有しながらも伸縮及び屈曲が可能なので設置が容易であり、排気ガス漏れ及び過熱を迅速に検知できるようにした半導体及びＬＣＤ製造工程の排気ガス加熱用三重配管加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体製造工程は、大きく前工程（Ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ工程）と後工程（Ａｓｓｅｍｂｌｙ工程）からなり、前工程とは、各種のプロセスチャンバ（Ｃｈａｍｂｅｒ）内でウェハ（Ｗａｆｅｒ）上に薄膜を蒸着し、蒸着された薄膜を選択的にエッチングする過程を繰り返し実行して特定のパターンを加工することにより、いわゆる、半導体チップ（Ｃｈｉｐ）を製造する工程を言い、後工程とは、前記前工程で製造されたチップを個別に分離した後、リードフレームと結合して完成品に組み立てる工程を言う。
【０００３】
このとき、前記ウェハ上に薄膜を蒸着したり、ウェハ上に蒸着された薄膜をエッチングしたりする工程は、プロセスチャンバ内でシラン（Ｓｉｌａｎｅ）、アルシン（Ａｒｓｉｎｅ）及び塩化ホウ素などの有害ガスや水素などのプロセスガスを使用して高温で行われ、前記工程が行われる間、プロセスチャンバ内には、様々な発火性ガスと腐食性異物及び有毒成分を含有する排気ガスが多量に発生する。
【０００４】
したがって、半導体製造工程では、プロセスチャンバを真空状態にする真空ポンプの後側には、前記プロセスチャンバから排出される排気ガスを浄化させた後、大気に放出するスクラバー（Ｓｃｒｕｂｂｅｒ）を設置する。しかし、プロセスチャンバから発生した有毒排気ガスが、プロセスチャンバからの配管を介して真空ポンプ及びスクラバーに至る過程で、簡単に固形化されて蓄積された後、閉塞が起こったりした。
【０００５】
したがって、このように排気ガスが固形化されて閉塞が起こるという問題を解消するための手段として、最近では韓国公開特許公報第２０１０−０１０２３９３号（２０１２．０９．１８）の「混合誘導体を備えた窒素ガスエジェクタ装置」のように反応副産物が流れる配管内部に高温の窒素ガスを噴射して排気ガスと混合することにより、排気ガスの固形化を防止する装置が開示されている。
【０００６】
しかし、このような従来技術による装置の場合、排気ガスの固形化を防止するのに非常に有用に使用されてきたが、高温の窒素を発生させるための別途の設備を備えなければならないうえに、装置の設置が容易ではなかった。また、既存の移送配管と連結された連結部位で排気ガス漏れのおそれがあったが、これに対する対策が不十分なのが現状である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】韓国公開特許公報第２０１０−０１０２３９３号（２０１２．０９．１８）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明は、前記のような従来の諸般問題点を解消するために案出されたもので、その目的は、窒素ガスを使用せずに少ない熱量だけで排気ガスを効果的に加熱できるように、三重配管構造を有しながらも伸縮及び屈曲が可能なので、設置が容易であり、排気ガスの漏れ及び過熱を迅速に検知できるようにした半導体及びＬＣＤ製造工程の排気ガス加熱用三重配管加熱装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の技術的思想による排気ガス加熱用三重配管加熱装置は、半導体及びＬＣＤ製造工程の真空ポンプとスクラバーとの間で移送される排気ガスを加熱して排気ガスの固形化を防止する加熱装置であって、真空ポンプとスクラバーとの間に連結されて排気ガスを内部に流通させ、両端部の一部を除いた残りの部分が伸縮及び屈曲自在にリング状の多数の短管が連続的に結束されてなる連結管と、前記連結管の両端部を除いた残りの部分の外周面を密着するように包み込む形で設けられ、前記連結管と共に伸縮及び屈曲自在にした内側ベローズ管と、前記内側ベローズ管の外周面に密着するように設けられ、前記内側ベローズ管を介して前記連結管を加熱するヒーティング部材と、前記内側ベローズ管を空間を挟んで離間して包み込むと共に外気を遮断して保温雰囲気を作り出し、前記連結管および内側ベローズ管に対応して伸縮及び屈曲自在にした外側ベローズ管と、を備えることをその技術的構成上の特徴とする。
【００１０】
ここで、前記ヒーティング部材は、所定幅を有する長く平らな帯状を呈し、前記内側ベローズ管の外周面に螺旋状に巻かれて設けられるが、前記ヒーティング部材の側端部が互いに重ならないように離間して巻回されて、前記内側ベローズ管の伸縮及び屈曲の際に干渉されないようにしたことを特徴とすることができる。
【００１１】
また、前記ヒーティング部材は、電気を供給されて発熱する熱線と、前記熱線を内包した状態に成形されて、下面が前記内側ベローズ管と接するようにし、ポリプロピレン樹脂と、前記ポリプロピレン樹脂に対して２０〜３０重量％の微細カーボン粒子とが混合されてなり、前記熱線から発生した熱をスムーズに放出できるようにした下層部と、前記下層部の上面及び側面を包み込む逆Ｕ字型に成形され、ポリプロピレン樹脂と、前記ポリプロピレン樹脂に対して５０〜６０重量％の微細水酸化アルミニウム粒子とが混合されてなり、前記熱線から発生する熱が、前記下層部の下面を除いた他の部位に放出されないように遮断する上層部と、前記下層部と上層部の中間境界面上に微細なヒュームドシリカ粒子からなり、前記熱線から発生する熱が、前記下層部の下面を除いた他の部位に放出されないように、前記上層部と共に二重に遮断する中層部と、を備えてなり、前記熱線から発生した熱が前記内側ベローズ管を介して連結配管側を向くように誘導することを特徴とすることができる。
【００１２】
また、前記連結管の、前記内側ベローズ管が包み込まない先端部外周面と後端部外周面とをそれぞれ離間して包み込む形で設けられて内部空間を形成した状態で、前記外側ベローズ管の開放された先端部及び後端部を塞いで密閉する第１ストッパ部材及び第２ストッパ部材をさらに備え、前記外側ベローズ管の先端部を密閉する第１ストッパ部材の内部には第１温度センサを設けて前記外側ベローズ管の密閉された内部空間の温度を測定できるようにし、制御器は、前記第１温度センサが測定した温度に基づいて前記熱線を制御して適正温度を維持するようにしたことを特徴とすることができる。
【００１３】
また、前記第１ストッパ部材を貫通して前記連結管の先端部に連結される連結短管をさらに備え、前記連結短管の先端部とスクラバー側の配管の連結部位と、前記連結管の後端部と真空ポンプ側の配管の連結部位とを、それぞれ密閉するように包み込んでその内部に小規模の温度測定空間を形成するが、二分割された半本体が左側と右側で結合してなる密閉ボックスと、各密閉ボックスの内部空間の温度を測定する第２温度センサと、をさらに備えて、前記第２温度センサが測定した密閉ボックスの内部空間の温度に基づいて、制御器が熱線の異常有無および排気ガスの漏れ有無を判断できるようにしたことを特徴とすることができる。
【００１４】
また、前記連結短管の先端部の連結部位および前記連結管の後端部の連結部位にそれぞれ設けられた密閉ボックスと前記第１ストッパ部材には、漏れた排気ガスを前記スクラバーに案内するための漏洩ガスポートが設けられ、前記連結管の後端部と真空ポンプ側の配管、前記連結短管の先端部とスクラバー側の配管は、それぞれフランジ結合し、各フランジ結合はリング状のクランプによって行われ、前記外側ベローズ管の先端部と第１ストッパ部材、前記外側ベローズ管の後端部と第２ストッパ部材は、それぞれフランジ結合し、各フランジ結合は、複数の爪状のクランプによって行われることを特徴とすることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置は、窒素ガスを使用せずに少ない熱量だけで排気ガスを効果的に加熱できるように、三重配管構造を有しながらも伸縮及び屈曲が可能なので設置が容易であるという利点がある。
【００１６】
また、本発明は、密閉ボックスによって排気ガスの漏れ及び過熱をより迅速に検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置の断面図である。
【図３】図２のＡ部位の拡大図である。
【図４】図２のＢ部位の拡大図である。
【図５】本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置の部分切開図である。
【図６】本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置の分解斜視図である。
【図７】本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置で行われる制御を説明するための参照図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
添付図面に基づき、本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置について詳しく説明する。本発明は多様な変更を加えることができ、様々な形態を有することができる。ここでは、特定の実施形態を図面に例示し、本文で詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定な開示形態に対して限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるすべての変更、均等物乃至代替物を含むものとして理解されるべきである。各図面を説明しながら類似の参照符号を類似の構成要素に対して使用した。添付図面において、構造物の寸法は、本発明の明確性を図るために実際よりも誇張したり、概略的な構成を理解するために実際よりも縮小したりして示したものである。
【００１９】
また、第１及び第２などの用語は様々な構成要素を説明するために使用できるが、前記構成要素は前記用語により限定されてはならない。前記用語は１つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみに使われる。例えば、本発明の権利範囲を逸脱することなく第１構成要素を第２構成要素と命名することができ、同様に第２構成要素を第１構成要素と命名することができる。一方、別に定義しない限り、技術的または科学的な用語を含めて、ここで用いられるすべての用語は、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者によって一般的に理解されるものと同じ意味を有する。一般的に用いられる、辞書に定義されているような用語は、関連技術の文脈上に有する意味と一致する意味を有するものと解釈されるべきであり、本出願で明白に定義しない限り、理想的または過度に形式的な意味と解釈されない。
【００２０】
図１は、本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置の斜視図であり、図２は、本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置の断面図であり、図３は、図２のＡ部位の拡大図であり、図４は、図２のＢ部位の拡大図であり、図５は、本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置の部分切開図であり、図６は、本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置の分解斜視図であり、図７は、本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置で行われる制御を説明するための参照図である。
【００２１】
これら図に示すように、本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置は、連結管１１０、内側ベローズ管１２０、外側ベローズ管１３０、排気ガスを加熱するためのヒーティング部材１４０、センサモジュール１５０、ストッパモジュール１６０を主な構成要素として備え、これらのうち連結管１１０と内側ベローズ管１２０と外側ベローズ管１３０とが三重配管構造を構成して保温効果を最大化し、且つ、これらすべてを伸縮及び屈曲自在にして限られた環境でも容易に設置できるように構成される。
【００２２】
本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置は、このような構成により、設置が簡単で、少ない熱量だけで排気ガスを効果的に加熱することができ、排気ガスの漏れ有無および過熱有無を迅速に検知して処理することができる。
【００２３】
以下、上記各構成要素を中心に、本発明の実施形態に係る排気ガス加熱用三重配管加熱装置についてさらに詳しく説明する。
【００２４】
前記連結管１１０は、真空ポンプとスクラバーとの間に連結されて排気ガスを内部に流通させる。前記連結管１１０は、図２に示すように、両端部の一部を除いた本体の残りの部分が伸縮及び屈曲自在にリング状の多数の短管１１１が連続的に結束されてなる。ここで注目すべき点は、前記連結管１１０の場合、伸縮及び屈曲自在にするために、内側ベローズ管１２０や外側ベローズ管１３０のようにベローズ管を使用せずに多数の短管１１１を連続的に結束してボディを構成している点である。このような構成によれば、連結管１１０が伸縮及び屈曲自在でありながら、その内周面がベローズ管のようにひどくでこぼこせず、比較的滑らかな表面を有することができることから、排気ガスの流れを妨げるという問題を最小限に抑えることができるという利点がある。
【００２５】
前記内側ベローズ管１２０は、連結管１１０の両端部を除いた残りの部分の外周面を密着するように包み込む形で設けられ、折り畳み管とも呼ばれる、折り畳まれたベローズ管として備えられる。このような内側ベローズ管１２０は、前記連結管１１０を１次保温すると共に、ヒーティング部材１４０から発生した熱を連結管１１０に均一に伝達する役割を果たす。前記内側ベローズ管１２０の場合、連結管１１０の外周面にほぼ密着した状態で、それ自体の折り畳みによって連結管１１０との間にある程度の内部空間を形成しているので、ヒーティング部材１４０から発生する熱を加熱管の表面に均一に伝達するのに有用である。このように、前記内側ベローズ管１２０は、ヒーティング部材１４０から供給される熱を連結管１１０に均一に伝え、その伝えられた熱を閉じ込めて保温する役割を果たす。一方、前記内側ベローズ管１２０は、連結管１１０及び外側ベローズ管１３０と共に伸縮及び屈曲自在であるため、全体装置の設置を容易にするのに役立つ。このような内側ベローズ管１２０の構成における一つの留意点は、内側ベローズ管１２０の折り畳みを外側ベローズ管１３０の折り畳みよりも小さく形成して連結管１１０の外周面に最大限密着するようにすると共に、ヒーティング部材１４０と最大限密着するようにした点である。
【００２６】
前記外側ベローズ管１３０は、前記内側ベローズ管１２０と共に連結管１１０を保温する役割を果たし、さらに伸縮及び屈曲自在に構成される。このため、前記外側ベローズ管１３０は、前記内側ベローズ管１２０を、空間を挟んで離間して包み込むと共に外気を遮断して保温雰囲気を作り出し、折り畳まれたベローズ管として備えられて前記連結管１１０及び内側ベローズ管１２０に対応して一緒に伸縮及び屈曲自在にする。このような外側ベローズ管１３０の場合、両端部の開放された部位が大きいので、前記連結管１１０を効果的に保温するためには、その開放部位を遮断して内部空間を密閉する（完全な密閉とは言えないが）ことが重要であるが、前記ストッパモジュール１６０に属する第１ストッパ部材１６１及び第２ストッパ部材１６２がその役割を果たす。これらの第１ストッパ部材１６１及び第２ストッパ部材１６２については後ほど説明する。
【００２７】
前記ヒーティング部材１４０は、内側ベローズ管１２０の外周面に密着するように設けられて前記内側ベローズ管１２０を介して連結管１１０を加熱する役割を果たす。このため、前記ヒーティング部材１４０は、所定幅を有する長く平らな帯状を呈し、前記内側ベローズ管１２０の外周面に螺旋状に巻かれて設けられる。このとき、前記ヒーティング部材１４０の側端部が互いに重ならないように離間して巻回されて前記内側ベローズ管１２０の伸縮及び屈曲の際に妨げられないように柔軟性を確保する。
【００２８】
このようなヒーティング部材１４０は、図５に示したように、電気を供給されて発熱する熱線１４１と、前記熱線１４１を内包した状態に成形されて、下面が前記内側ベローズ管１２０と接するようにして、前記熱線１４１から発生した熱を内側ベローズ管１２０に向かってスムーズに放出できるようにした下層部１４２と、前記下層部１４２の上面及び側面を包み込む逆Ｕ字型に成形され、前記熱線１４１から発生する熱が、前記下層部１４２の下面を除いた他の部位に放出されないように遮断する上層部１４４と、前記下層部１４２と上層部１４４の中間境界面上に形成され、前記下層部１４２と上層部１４４間の熱交換を遮断しながら、前記熱線１４１から発生する熱が、前記下層部１４２の下面を除いた他の部位に放出されないように、前記上層部１４４と共に二重に遮断する中層部１４３と、からなる。
【００２９】
ここで、前記下層部１４２は、熱をスムーズに放出するために、ポリプロピレン樹脂と、前記ポリプロピレン樹脂に対して２０〜３０重量％の微細カーボン粒子とが、熱伝導性物質として混合されてなる。前記上層部１４４は、熱遮断のために、ポリプロピレン樹脂と、前記ポリプロピレン樹脂に対して５０〜６０重量％の熱遮断物質である微細水酸化アルミニウム粒子とが、混合されてなる。前記中層部１４３は、最近効果的な熱遮断物質として脚光を浴びているヒュームドシリカ粒子からなり、前記ヒュームドシリカ粒子は、難燃性セラミック繊維に含浸された状態で重層部１４３を形成する。
【００３０】
このようなヒーティング部材１４０の構成によれば、熱線１４１から発生した熱が、前記連結管１１０が位置した方向に向くように誘導しながら、その逆方向の外部に向かって放出されないように損失を最小限に抑えることができる。
【００３１】
前記ストッパモジュール１６０は、第１ストッパ部材１６１及び第２ストッパ部材１６２、第１温度センサ１６４とバイメタル１６５、ブロックカバー１６６を備えてなる。
【００３２】
前記ストッパモジュール１６０において、前記第１ストッパ部材１６１及び第２ストッパ部材１６２は、前記連結管１１０の、前記内側ベローズ管１２０が包み込まない先端部の外周面と後端部の外周面とを、それぞれ離間して包み込む形で設けられて内部空間を形成した状態で、前記外側ベローズ管１３０の開放された先端部及び後端部を塞いで密閉する。ここで、前記外側ベローズ管１３０の先端部と第１ストッパ部材１６１、前記外側ベローズ管１３０の後端部と第２ストッパ部材１６２は、それぞれフランジ１３１ａ、１６１ａ、１３１ｂ、１６２ａを備えてフランジ結合し、各フランジ間の結合は、複数の爪状のクランプ１３２（ｃｌａｗ  ｔｙｐｅ  ｃｌａｍｐ）によって簡単に行われる。
【００３３】
一方、前記第１ストッパ部材１６１の外周面には、その表面温度を測定する第１温度センサ１６４が設けられる。前記第１温度センサ１６４は、第１ストッパ部材１６１及び第２ストッパ部材１６２によって密閉された外側ベローズ管１３０の内部空間の熱と、前記第１ストッパ部材１６１が直接結合した連結管１１０の先端部からの熱とを伝達されて形成される第１ストッパ部材１６１の表面温度を測定する。このように、前記第１温度センサ１６４が前記第１ストッパ部材１６１の表面温度を測定すると、制御器（図示せず）は、その測定された温度に基づいて熱線１４１の温度を制御して適正温度を維持することができる。また、前記第１プラグモジュール１６０の外側には、電源及びセンサポート１６４と、バイメタル１６５が設けられ、これらが外部に露出されないように覆うブロックカバー１６６も設けられる。
【００３４】
前記センサモジュール１５０は、連結管１１０の先端部と後端部の連結部位にそれぞれ設けられて熱線１４１の異常有無および排気ガスの漏れ有無を検知する役割を果たす。このため、前記センサモジュール１５０は、前記連結管１１０の先端部側に連結された連結短管１６７の先端部とスクラバー側の配管Ｐ２の連結部位と、前記連結管１１０の後端部と真空ポンプ側の配管Ｐ１の連結部位とを、それぞれ密閉するように包み込みでその内部に小規模の温度測定空間を形成する密閉ボックス１５１を備える。前記密閉ボックス１５１は、二分割された半本体１５１ａ、１５１ｂが左側と右側で結合する構成を採用して装置の組立性を向上させるのに寄与する。前記各密閉ボックス１５１には、その内部空間の温度を測定する第２温度センサ１５４が設けられる。これにより、前記第２温度センサ１５４が測定した密閉ボックス１５１の内部空間の温度に基づいて、制御器が熱線１４１の異常有無および排気ガスの漏れ有無を判断することができる。但し、前記連結短管１６７は、図６に示すように、前記第１ストッパ部材１６１の先端部に形成された通孔１６１ｂを挟んで前記連結管１１０の先端部に連結される短い管である。一方、前記第１ストッパ部材１６１の先端部の内側面には内部フランジ１６１ｂが設けられて、前記連結管１１０の先端部に設けられたフランジ１１２ａとフランジ結合する。
【００３５】
このようなセンサモジュール１５０の構成において、連結短管１６７の先端部とスクラバー側の配管Ｐ２の連結部位、連結管１１０の後端部と真空ポンプ側の配管Ｐ１の連結部位を、それぞれ密閉するように包み込む密閉ボックス１５１が備えられているため、前記の連結部位を介して排気ガスが少量だけ漏洩しても、前記第２温度センサ１５４は、すぐに温度変化を検知することができ、これにより、制御器は、より迅速に警告を発しながら、必要な場合は、装置の稼働を停止させることができる。
【００３６】
一方、前記連結短管１６７の先端部の連結部位及び前記連結管１１０の後端部の連結部位にそれぞれ設けられた密閉ボックス１５１と前記第１ストッパ部材１６１には、漏れた排気ガスをスクラバーに案内するための漏洩ガスポート１５３、１６３が設けられる。これらの漏洩ガスポートは、図７に示すようにスクラバーに向かう一つの配管に合流して、排気ガスの漏れ量が多くなくてもすべて安全スクラバーに案内する。
【００３７】
また、前記連結管１１０の後端部と真空ポンプ側の配管Ｐ１、前記連結短管１６７の先端部とスクラバー側の配管Ｐ２は、それぞれのフランジ結合し、各フランジ結合はリング状のクランプ１５６により行われる。そして、前記外側ベローズ管１３０の先端部と第１ストッパ部材１６１、前記外側ベローズ管１３０の後端部と第２ストッパ部材１６２は、それぞれフランジ結合し、各フランジ結合は複数の爪状のクランプ１３２により行われる。このような構成によれば、本発明は、三重配管で比較的複雑な構成を有するにもかかわらず、簡単に組立及び解体を行うことができ、既存の配管の間に簡単に連結することができるということがわかる。
【００３８】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は様々な変化と変更及び均等物を使用することができる。本発明は、前記実施形態を適切に変形して同一に応用できることが明らかである。したがって、前記記載内容は、下記特許請求の範囲の限界によって決まる本発明の範囲を限定するものではない。
【符号の説明】
【００３９】
１１０  連結管
１２０  内側ベローズ管
１３０  外側ベローズ管
１４０  ヒーティング部材
１５０  センサモジュール
１６０  ストッパモジュール  
【図１】
0006857931.tif 000002
【図２】
0006857931.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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