(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂組成物を主に含む絶縁層と、
前記絶縁層の上に積層された、繊維幅が１０００ｎｍ以下の微細繊維状セルロースを主に含むセルロース繊維層と、
前記セルロース繊維層の上に積層された、カーボンナノチューブを主に含むカーボンナノチューブ層とを有し、
前記カーボンナノチューブ層の膜の厚さが２０μｍ以下であり、
積層体全体の膜の厚さが１２０μｍ以下である、積層体。
【請求項２】
前記カーボンナノチューブ層は、水分散型のカーボンナノチューブを用いて形成されている、請求項１に記載の積層体。
【請求項３】
前記カーボンナノチューブ層の上に、樹脂組成物を主に含む絶縁層が積層され、当該絶縁層の上に繊維幅が１０００ｎｍ以下の微細繊維状セルロースを主に含むセルロース繊維層がさらに積層され、当該セルロース繊維層の上に、カーボンナノチューブを主に含む、膜の厚さが７μｍ以下のカーボンナノチューブ層がさらに積層された、請求項１または２に記載の積層体。
【請求項４】
前記カーボンナノチューブ層の上に前記絶縁層を積層する場合に、当該カーボンナノチューブ層の一部に前記絶縁層が積層されない積層パターンで、前記絶縁層が形成されている、請求項３に記載の積層体。
【請求項５】
前記微細繊維状セルロースは、繊維幅が１００ｎｍ以下のセルロースナノファイバーである、請求項１に記載の積層体。
【請求項６】
前記セルロース繊維層および前記カーボンナノチューブ層の２層での膜厚が１〜１０μｍである、請求項１に記載の積層体。
【請求項７】
近傍界の電磁波を吸収および反射するための、請求項１ないし６のいずれかに記載の積層体。
【請求項８】
遠方界の電磁波を吸収するための、請求項１ないし６のいずれかに記載の積層体。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の積層体を有するコーティング部材。
【請求項１０】
樹脂組成物を主に含む絶縁層用塗材を塗布し、
前記絶縁層用塗材の上に、繊維幅が１０００ｎｍ以下の微細繊維状セルロースを主に含むセルロース繊維塗材を塗布し、
前記セルロース繊維塗材の上に、カーボンナノチューブを主に含むカーボンナノチューブ塗材を塗布する、積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カーボンナノチューブの層を有する積層体、コーティング部材、および積層体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電磁波などのノイズを低減するために、銅やアルミニウムなどの金属薄膜や、フェライト系金属粉体を含む金属薄膜を、ポリエチレン樹脂などの可撓性のある絶縁層に積層した積層体が知られている。しかしながら、金属薄膜を用いた積層体は、厚さが１００μｍ以上と厚く用途が限定されてしまうという問題があった。そのため、近年、絶縁層の上に、導電性物質としてカーボンナノチューブ層を積層することで、厚さを薄くした積層体（ノイズ抑制シート）が開発されている（たとえば特許文献１，２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−１２３３０３号公報
【特許文献２】特開２０１８−１９５８５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
積層体のノイズ抑制性能を向上させるためには、特許文献２のように、カーボンナノチューブ層をカーボンナノチューブと樹脂とを混合した層とするよりも、特許文献１のように、カーボンナノチューブ単体からなる層をポリエチレン樹脂などの可撓性のある絶縁層の上に積層することが好ましい。しかしながら、カーボンナノチューブの表面はマイナスの電荷を帯びたパイ電子を豊富に含むため、同じく表面がマイナスの電荷を帯びる樹脂にカーボンナノチューブを積層する場合に電気的な反発が生じてしまう場合や、カーボンナノチューブが乾燥時に凝集してしまう場合があり、カーボンナノチューブと絶縁層との密着性が低くなり、穴（凹部）や版目（模様）が生じるなどして、安定した積層体を得ることができないという問題があった。
【０００５】
本発明は、カーボンナノチューブ層が安定して積層された積層体、それを有するコーティング部材、および積層体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る積層体は、樹脂組成物を主に含む絶縁層と、前記絶縁層の上に積層された、繊維幅が１０００ｎｍ以下の微細繊維状セルロースを主に含むセルロース繊維層と、前記セルロース繊維層の上に積層された、カーボンナノチューブを主に含むカーボンナノチューブ層とを有し、前記カーボンナノチューブ層の膜の厚さが２０μｍ以下であり、積層体全体の膜の厚さが１２０μｍ以下である。
上記積層体において、前記カーボンナノチューブ層は、水分散型のカーボンナノチューブを用いて形成されているように構成することができる。
上記積層体において、前記カーボンナノチューブ層の上に、樹脂組成物を主に含む絶縁層が積層され、当該絶縁層の上に繊維幅が１０００ｎｍ以下の微細繊維状セルロースを主に含むセルロース繊維層がさらに積層され、当該セルロース繊維層の上に、カーボンナノチューブを主に含む、膜の厚さが７μｍ以下のカーボンナノチューブ層がさらに積層されるように構成することができる。  
上記積層体において、前記カーボンナノチューブ層の上に前記絶縁層を積層する場合に、当該カーボンナノチューブ層の一部に前記絶縁層を積層しない積層パターンで、前記絶縁層が形成されるように構成することができる。
上記積層体において、前記微細繊維状セルロースは、繊維幅が１００ｎｍ以下のセルロースナノファイバーであるように構成することができる。
上記積層体において、前記セルロース繊維層および前記カーボンナノチューブ層の２層での膜厚が１〜１０μｍであるように構成することができる。
上記積層体において、近傍界の電磁波を吸収および反射するための積層体であるように構成することができる。
上記積層体において、遠方界の電磁波を吸収するための積層体であるように構成することができる。
本発明に係るコーティング部材は、上記積層体を有するコーティング部材である。
本発明に係る積層体の製造方法は、樹脂組成物を主に含む絶縁層用塗材を塗布し、前記絶縁層用塗材の上に、繊維幅が１０００ｎｍ以下の微細繊維状セルロースを主に含むセルロース繊維塗材を塗布し、前記セルロース繊維塗材の上に、カーボンナノチューブを主に含むカーボンナノチューブ塗材を塗布する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、カーボンナノチューブ層が安定して積層された積層体、それを有するコーティング部材、および積層体の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施形態に係る積層体の断面を示す模式図である。
【図２】近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対する、従来の積層体の電磁波吸収特性および電磁波反射特性を示すグラフである。
【図３】近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対する、第１実施形態に係る積層体の電磁波吸収特性および電磁波反射特性を示すグラフである。
【図４】近傍界の５〜２０ＧＨｚの電磁波に対する、従来の積層体および第１実施形態に係る積層体の電磁波吸収特性を示すグラフである。
【図５】第２実施形態に係る積層体の断面を示す模式図である。
【図６】近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対する、第２実施形態に係る積層体の電磁波吸収特性および電磁波反射特性を示すグラフである。
【図７】近傍界の５〜２０ＧＨｚの電磁波に対する、従来の積層体および第２実施形態に係る積層体の電磁波吸収特性を示すグラフである。
【図８】（Ａ）は、遠方界の１８〜３０ＧＨｚの電磁波に対する、第２実施形態に係る積層体の比誘電率を示すグラフであり、（Ｂ）は、遠方界の４０〜６５ＧＨｚ以上の電磁波に対する、第２実施形態に係る積層体の比誘電率を示すグラフである。
【図９】第３実施形態に係るコーティング部材の断面を示す模式図である。
【図１０】他の実施形態に係る積層体の断面を示す模式図である。
【図１１】他の実施形態に係る積層体の断面を示す模式図である。
【図１２】他の実施形態に係る積層体の断面を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明に係る積層体およびコーティング部材を、図面に基づいて説明する。本発明に係る積層体は、電磁波を反射および／または吸収するフィルム状部材であり、絶縁層と導電層とを有し、絶縁層の上側に導電層が積層された構造を有する。なお、以下においては、本発明に係る積層体およびコーティング部材の実施形態として、近傍界の電磁波を反射および／または吸収するとともに、平面波の電磁波も吸収することで、ノイズを効果的に抑制することができる積層体およびコーティング部材を例示して説明する。また、以下においては、導電層に対して絶縁層側（図の下側）を「下」または「下側」と称し、絶縁層に対して導電層側（図の上側）を「上」または「上側」と称す。また、本発明において、「の上に積層され」とは、ある層に直に積層される場合も含み、また、ある層の上に直に積層されず、ある層の上側に積層される場合も含む。
【００１０】
≪第１実施形態≫
図１は、第１実施形態に係る積層体１の断面を示す模式図である。図１に示すように、第１実施形態に係る積層体１は、樹脂絶縁層１０、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０、および、カーボンナノチューブ層４０を順に有する。具体的には、積層体１では、樹脂絶縁層１０の上に絶縁コート層２０が積層され、絶縁コート層２０の上にセルロース繊維層３０が積層され、セルロース繊維層３０の上にカーボンナノチューブ層４０が積層される。なお、第１実施形態に係る積層体１において、樹脂絶縁層１０、絶縁コート層２０およびセルロース繊維層３０は絶縁層を構成し、カーボンナノチューブ層４０は導電層を構成する。
【００１１】
＜樹脂絶縁層１０＞
樹脂絶縁層１０としては、絶縁質のものであればよく、ポリイミド（ＰＩ）；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル系樹脂；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）などのポリオレフィン系樹脂；ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ナイロン（Ｎｙｌｏｎ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアリレート（ＰＡＲ）などの各種アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、フッ素系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、ビニル系樹脂などが挙げられる。また、樹脂絶縁層１０として、樹脂シートを用いることができ、この場合、ＰＩシートまたはポリエステルシートが好ましく、特に、ＰＩシートまたはＰＥＴシートの使用が好ましい。なお、樹脂絶縁層１０は、上記樹脂組成物を主に含む層であり、具体的には、上記樹脂組成物を５０％以上、より好ましくは８０％以上含むものである。
【００１２】
樹脂絶縁層１０は、単層構造であってもよく、２層または３層以上の多層構造であってもよい。樹脂絶縁層１０の形状（外形）は、長尺状、フィルム状、テープ状、板状など、シート状（薄い平面状）であることが好ましい。樹脂絶縁層１０の厚さは、積層体１の用途に応じて適宜設定することができるが、本実施形態では、積層体１の膜厚を薄くするために、樹脂絶縁層１０の厚さは１〜１００μｍとすることが好ましく、１〜２０μｍとすることもできる。
【００１３】
＜絶縁コート層２０＞
絶縁コート層２０は、図１に示すように、樹脂絶縁層１０の上に積層される。絶縁コート層２０は、樹脂絶縁層１０と、後述するセルロース繊維層３０との間の密着性を高めるための層であり、たとえば、水系のエステルまたはウレタン樹脂を主に含んだ層とすることができる。また、本実施形態に係る絶縁コート層２０は、絶縁コート層２０の上に塗布されるカーボンナノチューブ層４０を支持し、カーボンナノチューブ層４０にカーボンナノチューブを一定量含む一定の膜厚を確保させる作用も有する。なお、絶縁コート層２０は、積層体１に必須な構成ではなく省略することもできるが、カーボンナノチューブ層４０において一定の膜厚を確保する必要がある場合には形成することが好ましい。
【００１４】
＜セルロース繊維層３０＞
セルロース繊維層３０は、図１に示すように、絶縁コート層２０の上に積層され、繊維幅（繊維の平均径）が１０００ｎｍ以下の繊維状セルロースを主に含む。このような繊維状セルロースとして、繊維幅が１００ｎｍ以下のセルロースナノファイバーが好ましい。セルロース繊維層３０の厚さは、積層体１の用途に応じて適宜設定することができるが、本実施形態では、積層体１の膜厚を薄くするために、絶縁コート層２０とセルロース繊維層３０とを合わせた２層の厚さが１〜５μｍとされる。なお、セルロース繊維層３０は、繊維幅が１０００ｎｍ以下の繊維状セルロースを主に含む層であり、具体的には、上記繊維状セルロースを５０％以上、より好ましくは８０％以上含む層である。
【００１５】
繊維状セルロースの原材料として用いるパルプ繊維としては、たとえば、竹パルプ、広葉樹晒クラフトパルプ（ＬＢＫＰ）、広葉樹未晒クラフトパルプ（ＬＵＫＰ）などの広葉樹クラフトパルプ（ＬＫＰ）、針葉樹晒クラフトパルプ（ＮＢＫＰ）、針葉樹未晒クラフトパルプ（ＮＵＫＰ）などの針葉樹クラフトパルプ（ＮＫＰ）などの化学パルプ；ストーングランドパルプ（ＳＧＰ）、加圧ストーングランドパルプ（ＰＧＷ）、リファイナーグランドパルプ（ＲＧＰ）、ケミグランドパルプ（ＣＧＰ）、サーモグランドパルプ（ＴＧＰ）、グランドパルプ（ＧＰ）、サーモメカニカルパルプ（ＴＭＰ）、ケミサーモメカニカルパルプ（ＣＴＭＰ）、晒サーモメカニカルパルプ（ＢＴＭＰ）などの機械パルプ；茶古紙、クラフト封筒古紙、雑誌古紙、新聞古紙、チラシ古紙、オフィス古紙、段ボール古紙、上白古紙、ケント古紙、模造古紙、地券古紙、更紙古紙などから製造される古紙パルプ；古紙パルプを脱墨処理した脱墨パルプ（ＤＩＰ）などが挙げられる。これらは、本発明の効果を損なわない限り、単独で用いてもよく、複数種を組み合わせて用いてもよい。これらパルプ繊維を、ビーター処理法、ＤＤＲ法、グラインダー法、水中カウンターコリジョン法、ホモジナイザー、ボールミル、ロールミル、カッターミルなどの機械的処理により解繊、あるいは、酸素処理や酸処理などの化学的処理（たとえばＴＥＭＰＯ酸化処理）による解繊することで、繊維状セルロースが得られる。
【００１６】
また、セルロース繊維層３０は、本発明の効果を損なわない限り、その他の製紙用薬剤を任意に含有していてもよい。その他の製紙用薬剤としては、例えば顔料、染料、填料、サイズ剤、耐摩耗性向上剤、耐水化剤、界面活性剤、ワックス、防錆剤、導電剤、紙粉脱落防止剤等が挙げられる。これらは、本発明の効果を損なわない限り、単独で用いてもよく、複数種を組み合わせて用いてもよい。
【００１７】
＜カーボンナノチューブ層４０＞
カーボンナノチューブ層４０は、図１に示すように、セルロース繊維層３０の上に積層される。カーボンナノチューブ層４０は、カーボンナノチューブを主に含む層である。カーボンナノチューブ層４０の厚さも、積層体１の用途に応じて適宜設定することができるが、積層体１の膜厚を薄くする場合には、カーボンナノチューブ層４０の厚さを、０．１〜７μｍとすることが好ましい。なお、カーボンナノチューブ層４０は、カーボンナノチューブを主に含む層であり、具体的には、カーボンナノチューブを５０％以上、より好ましくは８０％以上含む層である。
【００１８】
このように、本実施形態に係る積層体１では、積層体１の厚さを薄くする場合には、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０、およびカーボンナノチューブ層４０を合わせた層（絶縁コート層２０を省略する場合は、セルロース繊維層３０およびカーボンナノチューブ層４０を合わせた層）の厚さが１〜１０μｍとされる。このように、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０、およびカーボンナノチューブ層４０を合わせた層（絶縁コート層２０を省略する場合は、セルロース繊維層３０およびカーボンナノチューブ層４０を合わせた層）の厚さを薄くすることで、積層体１全体の膜厚を３０μｍ以下とすることができ、従来と比べて、厚さの薄い積層体１を提供することができる。
【００１９】
なお、カーボンナノチューブは、特に限定されず、アーク放電法、レーザ蒸発法、化学気相蒸着法（ＣＶＤ法）などの各種方法により製造されたものと用いることができる。また、カーボンナノチューブの構造も、特に限定されないが、高い導電性を確保するために、アセチレン骨格など、炭素間に三重結合を有する構造とすることが好ましい。また、カーボンナノチューブは、単層（例えば１〜３層、典型的には１層または２層）であってもよく、多層（例えば４層〜２００層、典型的には４層〜６０層）であってもよいが、カーボンナノチューブ層４０を、主として多層カーボンナノチューブで構成することが好ましい。また、単層カーボンナノチューブと多層カーボンナノチューブとを任意の割合（単層カーボンナノチューブ：多層カーボンナノチューブの質量比が例えば１００：０〜５０：５０、好ましくは１００：０〜８０：２０）で含んで構成としてもよい。あるいは、カーボンナノチューブは、気相成長炭素繊維(vapor-grown carbon fiber,  VGCF)であってもよい。
【００２０】
また、カーボンナノチューブの長さや直径も、特に限定されないが、本実施形態に係るカーボンナノチューブ層４０では、以下のように構成することができる。たとえば、カーボンナノチューブの長さを、１００μｍ以下とすることができ、好ましくは２０〜３０μｍとすることができる。また、カーボンナノチューブの直径を、５０ｎｍ以下とすることができ、好ましくは２０ｎｍ以下とすることができる。
【００２１】
積層体１の単位面積（１平方センチメートル）当たりのカーボンナノチューブ層４０の重さ（すなわち固形分換算目付量）も、特に限定されないが、０．１μｇ以上、好ましくは０．５μｇ以上とすることができる。これにより、積層体１の表面に良好な導電性を付与することができる。なお、カーボンナノチューブ層４０の重さの上限は特に限定されないが、カーボンナノチューブ層４０の目付量が多すぎると、カーボンナノチューブ層４０がセルロース繊維層３０から剥がれやすくなる場合があり得る。剥離抑制の観点から、樹脂絶縁層１０の単位面積（１平方センチメートル）当たりのカーボンナノチューブ層４０の重さは、３０μｇ以下、好ましくは１５μｇ以下、より好ましくは３．５μｇ以下にすることが適当である。
【００２２】
＜積層体の製造方法＞
本実施形態に係る積層体１の製造方法の概要を説明する。本実施形態の積層体１は、たとえば下記（１）,（２）の工程により製造することができる。
（１）シート状の樹脂絶縁層１０を用意し、樹脂絶縁層１０の上に絶縁コート層２０を塗布し、乾燥させた後、セルロース繊維層３０を塗布する。絶縁コート層２０およびセルロース繊維層３０の塗布は、グラビア印刷、フレキソ印刷、シルクスクリーン印刷およびオフセット印刷などの手法により行うことができる。
（２）セルロース繊維層３０を乾燥させた後、セルロース繊維層３０の上に、カーボンナノチューブを含むカーボンチューブ層形成用スラリーを塗布し、さらに乾燥させることで、セルロース繊維層３０上にカーボンナノチューブ層４０を形成する。なお、カーボンナノチューブ層４０の塗布も、グラビア印刷、フレキソ印刷、シルクスクリーン印刷およびオフセット印刷などの手法により行うことができる。
なお、カーボンナノチューブ層４０は、上記印刷手法において、カーボンナノチューブ層形成用スラリーを連続して塗布することで、カーボンナノチューブ層４０の厚みを調整することができる。同様に、絶縁コート層２０およびセルロース繊維層３０も連続して塗布することで厚みを調整することができる。
【００２３】
カーボンナノチューブ層４０は、カーボンナノチューブと液状媒体とを含んだカーボンナノチューブ層形成用スラリーをセルロース繊維層３０の上に塗布し、加熱により液状溶媒を揮発させることで形成される。本実施形態に係るカーボンナノチューブ層形成用スラリーは、カーボンナノチューブを液状溶媒である水に分散させた水分散型のスラリーである。そのため、カーボンナノチューブ層形成用スラリーを乾燥して形成されたカーボンナノチューブ層４０は、水が揮発した後、有機溶媒残渣や樹脂バインダをほとんど含まない状態とすることができる。
【００２４】
なお、カーボンナノチューブ層形成用スラリーは、液状溶媒（水）の含有割合が９５質量％以上である（換言すれば、溶媒以外の成分すなわち不揮発分の含有割合が５質量％未満である）ものが好ましく、上記割合が９７％以上である液状媒体がさらに好ましい。また、液状溶媒として、水以外に、アルコールと水との混合液を用いることもできる。また、カーボンナノチューブ層形成用スラリーは、本発明の目的から逸脱しない範囲において、上記以外の種々の添加剤を含ませることができる。添加剤の好適例として、例えば、界面活性剤、消泡剤、酸化防止剤、分散剤、粘度調整剤などが挙げられる。
【００２５】
カーボンナノチューブ層形成用スラリーを乾燥させる際の加熱温度は、液状媒体の組成（特に溶媒の沸点）などを勘案して適宜設定することができる。通常は、該乾燥温度をおおよそ４０℃〜２５０℃（例えばおおよそ６０℃〜１５０℃）程度とすることが好ましい。乾燥後、必要に応じて、加熱処理や洗浄処理等を施し、カーボンナノチューブ層４０中に含まれる添加剤を除去してもよい。
【００２６】
（実施例１）
ここで、図２および図３に基づいて、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対する、従来の積層体と第１実施形態に係る積層体１との電磁波吸収特性および電磁波反射特性の測定結果について説明する。図２は、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対する、従来の積層体の電磁波吸収特性（図２の上側）および電磁波反射特性（図２の下側）を示すグラフであり、縦軸は電磁波吸収率（ｄＢ）および電磁波反射率（ｄＢ）を示し、横軸は周波数（ＧＨｚ）を示している。また、図２において、（Ａ）は積層体で遮断せずに測定した測定結果であり、（Ｂ）は従来の積層体（市販製品１）を用いて測定した測定結果であり、（Ｃ）は従来の積層体（市販製品２）を用いて測定した測定結果であり、（Ｄ）は従来の積層体（市販製品３）を用いて測定した測定結果である。なお、図２および図３に示す例では、マイクロストリップライン法（ＩＥＣ６２３３３−２に準拠）により、測定周波数が５ＧＨｚまでの測定装置を用いて、電磁波吸収性能と電磁波反射特性を測定した。
【００２７】
図２に示すように、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対して、従来の積層体である（Ｂ）〜（Ｄ）では、周波数によって電磁波吸収率が大きくばらついた。また、従来の積層体である（Ｂ）〜（Ｄ）では、電磁波反射率も、周波数によってばらつき、特定の波長で反射が大きくなるため、シールド対象物であるモジュールなどに悪影響が出ることも懸念された。
【００２８】
これに対して、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対する、第１実施形態に係る積層体１の電磁波吸収特性および電磁波反射特性の測定結果を図３に示す。なお、図３において、（Ｅ）は樹脂絶縁層１０の膜厚が１２．０μｍの本実施形態に係る積層体１を用いて測定した測定結果を示し、（Ｆ）は樹脂絶縁層１０の膜厚が４．５μｍの積層体１を用いて測定した測定結果を示す。また、図３においては、参考のために、従来の積層体での測定結果を示す上記（Ｂ）〜（Ｄ）を、（Ｅ），（Ｆ）よりも細い線で示している。
【００２９】
図３に示すように、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対して、第１実施形態に係る積層体１である（Ｅ），（Ｆ）では、膜厚を薄くしながらも、従来の積層体である（Ｂ）〜（Ｄ）と比べて、５ＧＨｚまでの周波数帯域において高い電磁波吸収率を得ることができることがわかった。また、第１実施形態に係る積層体１である（Ｅ），（Ｆ）では、周波数に応じて電磁波吸収率が緩やかにカーブしているが、従来の積層体（Ｂ）〜（Ｄ）と比べて、その変動は緩やかになっている。このように、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対して、第１実施形態に係る積層体１である（Ｅ），（Ｆ）では、従来の積層体である（Ｂ）〜（Ｄ）と比べて、電磁波吸収率が高く、また周波数に対する電磁波吸収率の変動が緩やかで安定することがわかった。また、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対して、第１実施形態に係る積層体１である（Ｅ），（Ｆ）では、図３下側に示すように、電磁波反射率も、従来の積層体（Ｂ）〜（Ｄ）と比べて変動が緩やかで安定した。
【００３０】
次に、図４に基づいて、近傍界の５〜２０ＧＨｚの電磁波に対する、従来の積層体および第１実施形態に係る積層体１の電磁波吸収特性の測定結果について説明する。図４は、近傍界の５〜２０ＧＨｚの電磁波に対する、従来の積層体および第１実施形態に係る積層体１の電磁波吸収特性を示すグラフである。なお、図４においては、従来の積層体として上記（Ｂ）の積層体を用い、第１実施形態に係る積層体１として上記（Ｆ）の積層体を用いた。また、図４に示す例では、マイクロストリップライン法（ＩＥＣ６２３３３−２に準拠）により、測定周波数が５〜２０ＧＨｚの測定装置を用いて、電磁波吸収性能と電磁波反射特性を測定した。
【００３１】
図４に示すように、第１実施形態に係る積層体１である（Ｆ）は、図３に示す近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波と同様に、近傍界の５〜２０ＧＨｚ以下の電磁波に対しても、従来の積層体である（Ｂ）〜（Ｄ）と比べて、高い電磁波吸収率を得ることができることがわかった。また、図示していないが、第１実施形態に係る積層体１は、３０ＧＨｚ以上の電磁波に対しても、従来と比べて、高い電磁波吸収率を得ることがわかった。さらに、図４に示すように、従来の積層体では、電磁波の周波数に応じて電磁波吸収特性にバラツキが生じるという問題があったが、本実施形態に係る積層体１では、電磁波の周波数に応じた電磁波吸収特性のバラツキを抑制することができ、電磁波吸収の周波数依存性が小さくなることも分かった。
【００３２】
以上のように、第１実施形態に係る積層体１は、樹脂絶縁層１０と、絶縁コート層２０と、セルロース繊維層３０と、カーボンナノチューブ層４０とを有し、樹脂絶縁層１０の上に絶縁コート層２０を積層し、絶縁コート層２０の上にセルロース繊維層３０を積層し、セルロース繊維層３０の上にカーボンナノチューブ層４０を積層することで、積層体１の膜厚を薄くしながらも、安定性に優れた積層体を提供することができる。すなわち、従来では、電磁波を遮断するために、銅やアルミニウムなどの金属薄膜や、フェライト系金属粉体を含む金属薄膜を絶縁層に積層する構造であるため、厚さが１００μｍ程度と厚くなってしまい、また、表面抵抗率が低く電磁波の反射が強すぎて電磁波の吸収が少ないという問題があり、重たく、用途が限定されてしまうなどの問題があった。また、このような問題を解決するために、カーボンナノチューブ層を有する構成とした場合にも、カーボンナノチューブ層と、樹脂などからなる絶縁層との密着性が低く、安定した積層体を得ることができないという問題があった。これらの問題に対して、第１実施形態に係る積層体１では、樹脂絶縁層１０の上にカーボンナノチューブ層４０を直接積層するのではなく、樹脂絶縁層１０（および絶縁コート層２０）の上にセルロース繊維層３０が積層され、その上にカーボンナノチューブ層４０が積層される。樹脂絶縁層１０（および絶縁コート層２０）とセルロース繊維層３０との密着性、および、セルロース繊維層３０とカーボンナノチューブ層４０との密着性はそれぞれ高いため、このような構造とすることで、カーボンナノチューブ層４０が安定して積層された積層体１を提供することができる。このように、第１実施形態では、カーボンナノチューブ層４０を有することで積層体１全体として膜厚が３０μｍ以下と薄く、また、カーボンナノチューブ層４０を有していてもカーボンナノチューブ層４０が安定して積層された積層体１を提供することができる。
【００３３】
さらに、図２および図３に示すように、第１実施形態に係る積層体１では、膜厚を薄くしながらも、従来と比べて、近傍界の電磁波に対する電磁波吸収特性および電磁波反射特性を向上することもできる。具体的には、積層体１は、カーボンナノチューブ層４０の表面抵抗率が５０〜１０００Ω/□であるため、従来と比べて、電磁波の吸収特性を安定して確保することができる。その結果、近傍界の電磁波を吸収する能力を高めることができ、ノイズ抑制効果を高くすることができる。また、本実施形態では、カーボンナノチューブ層４０の下に絶縁コート層２０が存在することで、さらなるノイズ抑制効果を奏することができる。すなわち、第１実施形態に係る積層体１では、近傍界の電磁波をカーボンナノチューブ層４０により吸収することで、ノイズ抑制効果を発揮することができるが、カーボンナノチューブ層４０の膜厚が薄い場合、カーボンナノチューブ層４０で電磁波の一部を吸収できずに、一部の電磁波が通過してしまう場合がある。しかしながら、カーボンナノチューブ層４０の下に、絶縁コート層２０を形成することで、カーボンナノチューブ層４０と絶縁コート層２０との間に表面抵抗率の差の大きい境界面が形成され、カーボンナノチューブ層４０を通過した電磁波が上記境界面において反射され、反射された電磁波をカーボンナノチューブ層４０で反射吸収することができる。これにより、本実施形態に係る積層体１では、より高いノイズ抑制効果を奏することができる。また、本実施形態に係る積層体１は、従来と比べて、周波数に応じて電磁波吸収特性がバラつく電磁波吸収の周波数依存性が小さい点でも有利である。
【００３４】
加えて、第１実施形態に係る積層体１では、ノイズ抑制範囲（電磁波の吸収範囲）として、ミリ波の入り口である３０ＧＨｚまでの電磁波吸収性能を有している。これは、５Ｇ（第５世代移動通信システム）で使用される３．５ＧＨｚ帯、４．６〜５ＧＨｚ帯、２８ＧＨｚ帯の全ての周波数帯域をカバーでき、本実施形態に係る積層体１を５Ｇ対応通信機器のノイズ抑制シートなどに応用することで、５Ｇ対応通信機器のノイズ抑制部材として期待される。
【００３５】
≪第２実施形態≫
次に、第２実施形態に係る積層体１ａについて説明する。図５は、第２実施形態に係る積層体１ａの断面を示す模式図である。図５に示すように、第２実施形態に係る積層体１ａは、カーボンナノチューブ層４０の上に、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０およびカーボンナノチューブ層４０がさらに積層されていること以外は、第１実施形態に係る積層体１と同様の構造を有する。
【００３６】
図５に示すように、第２実施形態に係る積層体１ａでは、１層目のカーボンナノチューブ層４０の上に２層目の絶縁コート層２０がさらに積層され、２層目の絶縁コート層２０の上に２層目のセルロース繊維層３０がさらに積層され、２層目のセルロース繊維層３０の上に２層目のカーボンナノチューブ層４０がさらに積層されている。このように、第２実施形態に係る積層体１ａでは、カーボンナノチューブ層４０を複数積層することで、積層体１ａ全体でのカーボンナノチューブ層４０の厚みを大きくし、これにより、ノイズをより低減することができる。
【００３７】
なお、カーボンナノチューブ層４０を複数積層すると、カーボンナノチューブ層４０の成形性が低下する場合があるため、第２実施形態に係る積層体１ａでは、カーボンナノチューブ層４０の上に絶縁コート層２０とセルロース繊維層３０とを積層し、この上にカーボンナノチューブ層４０を積層する構造としている。また、カーボンナノチューブ層４０の上に絶縁コート層２０を積層する場合は、カーボンナノチューブ層４０を乾燥させた後に絶縁コート層２０を積層させている。なお、絶縁コート層用スラリーはアルコール溶媒を用いているため、カーボンナノチューブ層４０の上に絶縁コート層２０を直接積層する場合も、絶縁コート層２０の上にカーボンナノチューブ層４０を積層する場合と異なり、安定して積層することができる。
【００３８】
また、図５に示す例では、カーボンナノチューブ層４０を２層積層する構成を例示しているが、この構成に限定されず、カーボンナノチューブ層４０を３層または４層以上積層する構成とすることができる。
【００３９】
（実施例２）
次に、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対する、第２実施形態に係る積層体１ａの電磁波吸収特性および電磁波反射特性について説明する。図６は、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対する、第２実施形態に係る積層体１ａの電磁波吸収特性および電磁波反射特性を示すグラフである。なお、図６において、（Ｇ）は１２μｍの樹脂絶縁層１０を２層重ねた積層体１ａを用いて測定した測定結果を示し、（Ｈ）は４．５μｍの樹脂絶縁層１０を２層重ねた積層体１ａを用いて測定した測定結果を示し、（Ｉ）は４．５μｍの樹脂絶縁層１０を３層重ねた積層体１ａを用いて測定した測定結果を示す。なお、図６においても、図３と同様に、従来の近傍用シールド膜を示す上記（Ｂ）〜（Ｄ）を、（Ｇ）〜（Ｉ）よりも細い線で示す。また、図６に示す例でも、マイクロストリップライン法（ＩＥＣ６２３３３−２に準拠）により、測定周波数が５ＧＨｚまでの測定装置を用いて、電磁波吸収性能と電磁波反射特性を測定した。
【００４０】
図６に示すように、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対して、第２実施形態に係る積層体１ａである（Ｇ）〜（Ｉ）では、膜厚を薄くしながらも、従来の積層体である（Ｂ）〜（Ｄ）と比べて、大部分の周波数帯域において電磁波吸収率を高くすることができた。また、第２実施形態に係る積層体１ａである（Ｇ）〜（Ｉ）では、カーボンナノチューブ層４０を２層有するため、第１実施形態に係る積層体１である（Ｅ），（Ｆ）と比べても、電磁波吸収率を高くすることができた。
【００４１】
さらに、第２実施形態に係る積層体１ａである（Ｇ）〜（Ｉ）では、第１実施形態に係る積層体１である（Ｇ）〜（Ｉ）と同様に、周波数に応じて電磁波吸収率が緩やかにカーブしているが、従来の積層体である（Ｂ）〜（Ｄ）と比べて、電磁波吸収率の変動は緩やかで全体的に安定している。
【００４２】
加えて、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対して、第２実施形態に係る積層体１ａである（Ｇ）〜（Ｉ）では、図６に示すように、特定の周波数帯域における電磁波吸収率を特に高くすることもできた。たとえば、１２μｍの樹脂絶縁層１０を２層重ねた積層体１ａである（Ｇ）では、５．０〜５．５ＧＨｚ周辺の周波数帯域の電磁波吸収率を特に高くすることができ、また、４．５μｍの樹脂絶縁層１０を３層重ねた積層体１ａである（Ｉ）では、５．３〜５．８ＧＨｚ周辺の周波数帯域の電磁波吸収率を特に高くすることができた。このように、樹脂絶縁層１０、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０およびカーボンナノチューブ層４０の各層の層厚や積層数など、積層の態様を変えることで、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対して、積層体１ａの電磁波吸収特性を調整することができることが分かった。
【００４３】
さらに、近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波に対して、第２実施形態に係る積層体１ａである（Ｇ）〜（Ｉ）では、第１実施形態に係る積層体１である（Ｅ），（Ｆ）と同様に、従来の積層体である（Ｂ）〜（Ｄ）と比べて、電磁波反射率も全体的に変動が緩やかとなり安定化した。
【００４４】
次に、図７に基づいて、近傍界の５〜２０ＧＨｚの電磁波に対する、従来の積層体および第２実施形態に係る積層体１ａの電磁波吸収特性の測定結果について説明する。図７は、近傍界の５〜２０ＧＨｚの電磁波に対する、従来の積層体および第２実施形態に係る積層体１ａの電磁波吸収特性を示すグラフである。なお、図７においては、従来の積層体として上記（Ｂ）の積層体を用い、第２実施形態に係る積層体１ａとして上記（Ｈ）の積層体を用いた。また、図７に示す例では、マイクロストリップライン法（ＩＥＣ６２３３３−２に準拠）により、測定周波数が５〜２０ＧＨｚの測定装置を用いて、電磁波吸収性能と電磁波反射特性を測定した。
【００４５】
図７に示すように、第２実施形態に係る積層体１ａである（Ｈ）は、図６に示す近傍界の５ＧＨｚ以下の電磁波と同様に、近傍界の５〜２０ＧＨｚ以下の電磁波に対しても、従来の積層体である（Ｂ）〜（Ｄ）と比べて、高い電磁波吸収率を得ることができることがわかった。また、図示していないが、第２実施形態に係る積層体１ａは、３０ＧＨｚ以上の電磁波に対しても、従来と比べて、高い電磁波吸収率を得ることがわかった。さらに、図７に示すように、従来の積層体では、電磁波の周波数に応じて電磁波吸収特性にバラツキが生じるという問題があったが、第２実施形態に係る積層体１ａでは、電磁波の周波数に応じた電磁波吸収特性のバラツキを抑制することができ、電磁波吸収の周波数依存性が小さくなることも分かった。
【００４６】
次に、図８に基づいて、遠方界の１８〜６５ＧＨｚの電磁波に対する、従来の積層体および第２実施形態に係る積層体１ａの誘電率特性の測定結果について説明する。図８（Ａ）は、遠方界の１８〜３０ＧＨｚの電磁波に対する、第２実施形態に係る積層体１ａの比誘電率を示すグラフであり、図８（Ｂ）は、遠方界の４０〜６５ＧＨｚ以上の電磁波に対する、第１実施形態に係る積層体１ａの比誘電率を示すグラフである。なお、図８（Ａ）に示す例では、導波管法により、ネットワークアナライザーを用いてＳ１１（積層体に対する反射波の減衰）とＳ２１（積層体に対する透過波の減衰）を計測することで、積層体１ａの比誘電率を算出した。また、図８（Ｂ）に示す例では、自由空間法により、同じくネットワークアナライザーを用いて比誘電率を測定した。
【００４７】
図８（Ａ）および図８（Ｂ）に示すように、第２実施形態に係る積層体１ａでは、遠方界の１８〜６５ＧＨｚの電磁波に対して、比誘電率の実部と虚部とに大きな差があり、電気が流れやすく、かつ、熱エネルギーに変換しやすい性質、すなわち、遠方界の電磁波を吸収する性質があることが分かった。なお、積層体１ａが電気の流れ易い性質である場合、表面抵抗率も下がる傾向にあり、電磁波の反射が強くなる傾向にあるが、樹脂絶縁層１０、絶縁コート層２０またはカーボンナノチューブ層４０の膜厚などを調整することで、積層体１ａの表面抵抗率を調整することができ、その結果、遠方界の電磁波の吸収特性および反射特性を適宜調整することができると考えられる。
【００４８】
以上のように、第２実施形態に係る積層体１ａでは、近傍界の電磁波を吸収および反射する機能と、遠方界の電磁波を吸収する機能とを有し、近傍界におけるノイズ抑制の用途（たとえば、スマートフォンのバッテリから発生するノイズを抑制する用途など）に加えて、遠方界の電磁波の吸収しノイズを抑制する用途（たとえば、車載装置から発信された電磁波レーザを車載装置から離れた位置で吸収することでレーザの散乱を防止する用途など）において利用可能な積層体を提供することができる。なお、遠方界の電磁波を吸収する機能は、カーボンナノチューブ層４０に起因するため、第１実施形態に係る積層体１においても、遠方界の電磁波を吸収する機能を有するものと考えられる。ただし、第２実施形態に係る積層体１ａでは、カーボンナノチューブ層４０の上に、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０およびカーボンナノチューブ層４０をさらに積層することで、積層体１ａ全体でのカーボンナノチューブ層４０の厚みを大きくすることができ、これにより、第１実施形態に係る積層体１と比べて、遠方界および近傍界の電磁波に対する電磁波の吸収特性やノイズ抑制効果をより高く発揮することができる。すなわち、カーボンナノチューブ層４０では近傍界および遠方界の電磁波を吸収することができるが、カーボンナノチューブ層４０の厚みが薄いため、一部の電磁波がカーボンナノチューブ層４０を通過してしまう場合がある。しかしながら、第２実施形態に係る積層体１ａでは、１層目のカーボンナノチューブ層４０と２層目のカーボンナノチューブ層４０との間に２層目の絶縁コート層２０が介在し、さらに、１層目のカーボンナノチューブ層４０の下に１層目の絶縁コート層２０も存在する。これにより、第２実施形態に係る積層体１ａでは、カーボンナノチューブ層４０と絶縁コート層２０との間の表面抵抗率の大きな差により、電磁波を反射する境界面が多重に形成されることとなり、カーボンナノチューブ層４０を通過した電磁波が複数の境界面において多重に反射されて、反射された電磁波が各カーボンナノチューブ層４０でそれぞれ吸収されることとなるため、第１実施形態に係る積層体１と比べて、電磁波の吸収特性が高くノイズ抑制効果が高くなる。
【００４９】
また、１層目のカーボンナノチューブ層４０の上に絶縁コート層２０およびセルロース繊維層３０を積層し、その上に２層目のカーボンナノチューブ層４０を積層する構造とすることで、積層体１ａの成形性の低下を抑制することができる。なお、第２実施形態に係る積層体１ａでは、第１実施形態に係る積層体１と比べて、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０、カーボンナノチューブ層４０をさらに有するため、積層体１ａ全体の膜厚は厚くなるが、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０およびカーボンナノチューブ層４０の３層での厚さは約１〜１２μｍであるため、従来と比べて、厚みが十分に薄い積層体１ａを提供することができる。さらに、第２実施形態に係る積層体１ａでは、各層の積層態様を様々に変えることで、図６に示す（Ｇ）の積層体１ａのように、特定の周波数における電磁波吸収特性を調整することもできる。
【００５０】
なお、第２実施形態に係る積層体１ａにおいて、カーボンナノチューブ層４０を複数積層する際に、カーボンナノチューブ層４０の膜厚を層ごとに変えることで、あるいは、カーボンナノチューブ層４０の間の積層される絶縁コート層２０の膜厚を変えることで、特定の周波数帯域におけるシールド性能を調整することもできる。また、カーボンナノチューブ層４０の上に絶縁コート層２０を積層する場合に、絶縁コート層２０をカーボンナノチューブ層４０の特定の部分に敢えて形成せずに、積層方向においてカーボンナノチューブ層４０が繋がっている（たとえば１層目のカーボンナノチューブ層４０と２層目のカーボンナノチューブ層４０とが繋がっている）部分と、絶縁コート層２０がカーボンナノチューブ層４０の上に被覆された部分とを有するように、絶縁コート層２０を特定のパターンで形成する構成としてもよい。この場合、カーボンナノチューブ層４０が繋がった導電性の高い部分と、絶縁コート層２０がカーボンナノチューブ層４０に被覆された、電磁波を高効率で吸収する部分とを一度に形成することができ、相乗効果でより高い電磁波吸収性能を確保することが可能となる。なお、セルロース繊維層３０は、極少量かつ極めて薄いため、セルロース繊維層３０を通常に形成しても、製造後の積層体１ａでは、カーボンナノチューブ層４０の上に絶縁コート層２０を積層していない部分では、カーボンナノチューブ層４０が繋がることができる。さらに、カーボンナノチューブ層４０（カーボンナノチューブ）が持つ高い熱伝導率を利用して、本実施形態に係る積層体１ａを熱拡散シートに利用することもできる。この場合、カーボンナノチューブ層４０を絶縁コート層２０で全面覆った層と、上述した絶縁コート層２０のパターンを形成した層とを適宜形成することで、熱拡散効果を調整することもできる。
【００５１】
≪第３実施形態≫
次に、第３実施形態に係るコーティング部材２について説明する。図９は、第３実施形態に係るコーティング部材２の断面を示す模式図である。図９に示すように、第３実施形態に係るコーティング部材２は、樹脂絶縁層１０の下側に、接着層５０および離型フィルム６０を有すること以外は、第１実施形態に係る積層体１と同様の構造を有する。
【００５２】
接着層５０は、他の部材に接着するための粘着性のある層であり、たとえば、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリビニルエーテル系樹脂またはウレタン系樹脂など、公知のものを用いることができる。また、離型フィルム６０は、接着層５０から容易に切り離せるフィルムであり、離型フィルム６０を接着層５０から切り離すことで、積層体１（第３実施形態の樹脂絶縁層１０、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０およびカーボンナノチューブ層４０からなる積層体１）を、対象物に接着することができる。
【００５３】
以上のように、第３実施形態に係るコーティング部材２は、樹脂絶縁層１０、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０からなる積層体１を、対象物に接着するための部材であり、対象物に積層体１によるシールド性能を容易に付与することが可能である。
【００５４】
以上、本発明の好ましい実施形態例について説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態例の記載に限定されるものではない。上記実施形態例には様々な変更・改良を加えることが可能であり、そのような変更または改良を加えた形態のものも本発明の技術的範囲に含まれる。
【００５５】
たとえば、上述した第１〜第３実施形態において、図１および図５に示す積層体１，１ａ、並びに、図９に示すコーティング部材２の最も表層にあるカーボンナノチューブ層４０の上に、電磁波吸収性能を疎外しない範囲において、樹脂絶縁層をさらに設けることで、カーボンナノチューブの炭素繊維の脱落を防止する構成とすることもできる。
【００５６】
さらに、上述した第２実施形態に係る積層体１ａでは、１層目のカーボンナノチューブ層４０の上に、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０およびカーボンナノチューブ層４０をさらに積層した構成を例示したが、この構成に限定されず、所望するノイズの低減度合に応じて、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０およびカーボンナノチューブ層４０を複数積層する構成（たとえば３層、４層などと複数積層する構成）とすることもできる。また、図１０および図１１に示すように、第１実施形態に係る積層体１を、接着層５０を介して、複数重ねる構成としてもよい。たとえば図１０に示す積層体１ｂでは、１層目のカーボンナノチューブ層４０の上に、接着層５０を介して、２層目のカーボンナノチューブ層４０を積層し、その上に、セルロース繊維層３０、絶縁コート層２０、樹脂絶縁層１０を順に積層した構成としている。また、図１１に示す積層体１ｃでは、１層目のカーボンナノチューブ層４０の上に、接着層５０を介して、樹脂絶縁層１０をさらに積層し、その上に、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０、カーボンナノチューブ層４０を順に積層する構成としている。このように構成することで、ノイズ抑制効果を高めることができることに加えて、特定の周波数帯域におけるノイズ抑制特性を調整することもできる。また、図示していないが、第２実施形態に係る積層体１ａを、接着層５０を介して、複数重ねる構成とすることもできる。
【００５７】
さらに、電磁波吸収性能を向上させるための積層例として、図１２（Ａ）に示すように、第１実施形態に係る積層体１と同様に、樹脂絶縁層１０の一方の面上に、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０およびカーボンナノチューブ層４０を順次積層させるとともに、樹脂絶縁層１０の反対側の面においても、絶縁コート層２０、セルロース繊維層３０およびカーボンナノチューブ層４０を順次積層させて、積層体１ｄを構成することができる。また、図１２（Ｂ）に示すように、図１２（Ａ）に示す２つの積層体１ｄを、接着層５０を挟んで積層させて、積層体１ｅを構成することもできる。また、３つ以上の積層体１ｄを接着層５０により積層させる構成とすることもできる。
【符号の説明】
【００５８】
１，１ａ〜１ｄ…積層体
１０…樹脂絶縁層
２０…絶縁コート層
３０…セルロース繊維層
４０…カーボンナノチューブ層
２…コーティング部材
５０…接着層
６０…離型フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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