(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧雰囲気で粉体を攪拌する攪拌装置であって、
前記粉体を収容する容器と、
前記容器内に設けられる回転羽根と、
前記容器の底の側を保持する保持部と、
前記容器の前記底に設けられた孔を貫通して前記回転羽根に取り付けられる軸部と、
前記軸部と前記保持部との間に設けられるシール部と、
前記軸部と前記孔との隙間から前記保持部内における前記シール部までの領域の少なくとも一部に設けられる粉体捕獲部と、
を備え、
前記粉体捕獲部は、前記軸部と前記孔との隙間に設けられる第１捕獲部を有する、
攪拌装置。
【請求項２】
前記粉体捕獲部は、前記保持部の内部空間における前記軸部の周囲に配置される第２捕獲部を有する、請求項１に記載の攪拌装置。
【請求項３】
前記粉体捕獲部は、前記第２捕獲部が配置された前記内部空間の空いているスペースに埋め込まれる第３捕獲部を有する、請求項２に記載の攪拌装置。
【請求項４】
前記第１捕獲部および前記第２捕獲部における前記粉体の捕集効率は、前記第３捕獲部における前記粉体の捕集効率よりも高い、請求項３記載の攪拌装置。
【請求項５】
前記領域内における前記軸部には庇部が設けられる、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の攪拌装置。
【請求項６】
減圧雰囲気で粉体を攪拌する攪拌装置であって、
前記粉体を収容する容器と、
前記容器内に設けられる回転羽根と、
前記容器の底の側を保持する保持部と、
前記容器の前記底に設けられた孔を貫通して前記回転羽根に取り付けられる軸部と、
前記軸部と前記保持部との間に設けられるシール部と、
前記軸部と前記孔との隙間から前記保持部内における前記シール部までの領域の少なくとも一部に設けられる粉体捕獲部と、
を備え、
前記領域内における前記軸部には庇部が設けられる、
攪拌装置。
【請求項７】
前記庇部は、前記軸部の外周を囲むように設けられる拡径部分を有する、請求項５または請求項６に記載の攪拌装置。
【請求項８】
前記拡径部分は、前記軸部における前記容器から離れる方向に拡径するテーパ形状を有する、請求項７記載の攪拌装置。
【請求項９】
前記庇部の内周の下端から上方向の途中までキー溝が設けられ、前記キー溝と前記軸部との間にはキーが設けられる、請求項５から請求項８のいずれか１項に記載の攪拌装置。
【請求項１０】
前記軸部は、小径部分と大径部分との段差であって前記庇部が載置される段差部を有し、
前記段差部および前記庇部の下端のいずれか一方に凸部、いずれか他方に前記凸部と嵌合する凹部が設けられる、請求項５から請求項８のいずれか１項に記載の攪拌装置。
【請求項１１】
前記回転羽根に重ねて配置され、前記容器に対して固定された固定羽根をさらに備えた、請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の攪拌装置。
【請求項１２】
前記回転羽根の翼部には、前記回転羽根の回転の軌道に沿って延びた貫通孔と、前記貫通孔を開閉自在に塞ぐ開閉弁とが設けられ、
前記開閉弁は、前記回転羽根の一方向への回転でのみ開動作可能に設けられた、請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の攪拌装置。
【請求項１３】
減圧雰囲気で粉体を攪拌する攪拌装置であって、
前記粉体を収容する容器と、
前記容器内に設けられる回転羽根と、
前記容器の底の側を保持する保持部と、
前記容器の前記底に設けられた孔を貫通して前記回転羽根に取り付けられる軸部と、
前記軸部と前記保持部との間に設けられるシール部と、
前記軸部と前記孔との隙間から前記保持部内における前記シール部までの領域の少なくとも一部に設けられる粉体捕獲部と、
を備え、
前記回転羽根の翼部には、前記回転羽根の回転の軌道に沿って延びた貫通孔と、前記貫通孔を開閉自在に塞ぐ開閉弁とが設けられ、
前記開閉弁は、前記回転羽根の一方向への回転でのみ開動作可能に設けられた、
攪拌装置。
【請求項１４】
真空室と、
前記真空室内に設けられる蒸着源と、
前記真空室内に設けられる請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の攪拌装置と、
を備えた、蒸着装置。
【請求項１５】
真空室と、
前記真空室内に設けられる蒸着源と、
前記真空室内に設けられ、減圧雰囲気で粉体を攪拌する攪拌装置とを備え、
前記攪拌装置が、
前記粉体を収容する容器と、
前記容器内に設けられる回転羽根と、
前記容器の底の側を保持する保持部と、
前記容器の前記底に設けられた孔を貫通して前記回転羽根に取り付けられる軸部と、
前記軸部と前記保持部との間に設けられるシール部と、
前記軸部と前記孔との隙間から前記保持部内における前記シール部までの領域の少なくとも一部に設けられる粉体捕獲部と、
を備える、
蒸着装置。
【請求項１６】
前記攪拌装置の前記容器および前記保持部と導通する接地線と、
前記接地線の導電路を接続または切断するスイッチと、をさらに備えた請求項１５記載の蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧雰囲気で粉体を攪拌する攪拌装置および粉体を攪拌しながら蒸着を行う蒸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
粉体を攪拌しながら粉体表面に蒸着を行う装置では、粉体を収容した容器内で攪拌羽根を回転させながら粉体に対して蒸着を行う。容器には攪拌羽根に回転動力を伝えるための軸を貫通させる孔が設けられており、容器の外側に設けられた動力源（モータ）の動力を軸を介して攪拌羽根に伝えている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような粉体の攪拌装置においては、攪拌羽根の軸と、軸を通すための容器の孔との隙間から粉体が容器の外へ漏出することを抑制する必要がある。特に、粉体が微細になるほどシールは困難となり、完全なシールを行うには限界がある。特に、減圧雰囲気で粉体の攪拌および蒸着を行う装置では、攪拌装置が真空室内に配置されていることから、粉体が漏出すると真空室内の汚染を招くことになる。また、漏出した粉体が周辺部材（シールやベアリングなど）に付着すると、周辺部材の性能低下に繋がる。したがって、攪拌装置においては、粉体の漏出に対する十分な対策が望まれる。
【０００４】
本発明の目的は、粉体の漏出抑制とともに粉体が漏出したとしても周辺に与える影響を抑制することができる攪拌装置および蒸着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様は、減圧雰囲気で粉体を攪拌する攪拌装置であって、粉体を収容する容器と、容器内に設けられる回転羽根と、容器の底の側を保持する保持部と、容器の底に設けられた孔を貫通して回転羽根に取り付けられる軸部と、軸部と保持部との間に設けられるシール部と、軸部と孔との隙間から保持部内におけるシール部までの領域の少なくとも一部に設けられる粉体捕獲部と、を備えた攪拌装置である。
【０００６】
このような構成によれば、軸部と孔との隙間から保持部内におけるシール部までの領域の少なくとも一部に粉体捕獲部が設けられることで、容器の孔から漏出した粉体がシール部に至るまでの間に粉体捕獲部で捕獲され、漏出した粉体がシール部や周辺に与える影響を抑制することができる。
【０００７】
上記攪拌装置において、粉体捕獲部は、軸部と孔との隙間に設けられる第１捕獲部を有していてもよい。これにより、軸部と孔部との隙間に入り込んだ粉体が第１捕獲部で捕獲されるため、粉体の外部への漏出を抑制することができる。
【０００８】
上記攪拌装置において、粉体捕獲部は、保持部の内部空間における軸部の周囲に配置される第２捕獲部を有していてもよい。これにより、容器の孔から保持部の内部空間に入り込んだ粉体が軸部の周辺で第２捕獲部により捕獲されるため、粉体の外部への漏出を抑制することができる。
【０００９】
上記攪拌装置において、粉体捕獲部は、第２捕獲部が配置された内部空間の空いているスペースに埋め込まれる第３捕獲部を有していてもよい。これにより、容器の孔から保持部の内部空間に入り込んだ粉体が第３捕獲部で捕獲されるため、粉体の外部への漏出を抑制することができる。
【００１０】
上記攪拌装置において、粉体捕獲部は、軸部と孔との隙間に設けられる第１捕獲部と、保持部の内部空間における軸部の周囲に配置される第２捕獲部と、保持部の内部空間に埋め込まれる第３捕獲部と、を有し、第１捕獲部および第２捕獲部における粉体の捕集効率は、第３捕獲部における粉体の捕集効率よりも高くなっていることが好ましい。軸部の周囲には攪拌機能における重要な要素部材が多いことから、軸部の周囲に漏出する粉体を第１捕獲部および第２捕獲部で効果的に捕獲することで重要な要素部材を粉体から保護することができる。また、保持部の内部空間に埋め込まれた第３捕獲部では、軸部の周囲の広い領域で粉体を捕獲して、内部空間での粉体の浮遊を抑制することができる。
【００１１】
上記攪拌装置において、軸部と孔との隙間から保持部内におけるシール部までの領域内における軸部には庇部が設けられていてもよい。これにより、容器の孔から粉体が漏出したとしても、庇部によって粉体が軸部周辺に到達することを抑制することができる。
【００１２】
上記攪拌装置において、庇部は、軸部の外周を囲むように設けられる拡径部分を有していてもよい。拡径部分は、軸部における容器から離れる方向に拡径するテーパ形状を有していることが好ましい。これにより、容器の孔から粉体が漏出したとしても、庇部の拡径部分によって粉体が軸部周辺に到達することを抑制することができる。拡径部分にテーパ形状が設けられていれば、粉体をテーパ形状に沿って効果的に軸部から離れた方向へ誘導することができる。
【００１３】
上記攪拌装置において、庇部の内周の下端から上方向の途中までキー溝が設けられ、キー溝と軸部との間にはキーが設けられていてもよい。これにより、庇部を軸部に取り付けた際、キーおよびキー溝によって庇部と軸部との軸回りの相対的な位置関係が固定され、軸部と庇部とを一緒に回転させることができる。
【００１４】
上記攪拌装置において、軸部は、小径部分と大径部分との段差であって庇部が載置される段差部を有し、段差部および庇部の下端のいずれか一方に凸部、いずれか他方に凸部と嵌合する凹部が設けられていてもよい。これにより、庇部を軸部に取り付けて段差部に載置する際、凸部と凹部とが嵌合して庇部と軸部との軸回りの相対的な位置関係が固定され、軸部と庇部とを一緒に回転させることができる。
【００１５】
上記攪拌装置において、回転羽根に重ねて配置され、容器に対して固定された固定羽根をさらに備えていてもよい。これにより、回転羽根と固定羽根との間で粉体を効率良く攪拌することができる。
【００１６】
上記攪拌装置において、回転羽根の翼部には、回転羽根の回転の軌道に沿って延びた貫通孔と、貫通孔を開閉自在に塞ぐ開閉弁とが設けられ、開閉弁は、回転羽根の一方向への回転でのみ開動作可能に設けられていてもよい。これにより、回転羽根が一方向へ回転した際には開閉弁が開いて粉体が貫通孔を通過させながら攪拌でき、回転羽根が他方向へ回転した際には開閉弁が閉じて粉体を回転羽根の全体で攪拌できるようになる。
【００１７】
本発明の一態様は、真空室と、真空室内に設けられる蒸着源と、真空室内に設けられる上記攪拌装置と、を備えた蒸着装置である。このような構成によれば、真空室内で攪拌装置における粉体の漏出による影響を抑制しつつ、粉体を攪拌しながら粉体に蒸着を行うことができる。
【００１８】
上記蒸着装置において、攪拌装置の容器および保持部と導通する接地線と、接地線の導電路を接続または切断するスイッチと、をさらに備えていてもよい。これにより、蒸着を行う際にはスイッチで接地線の導電路を切断した状態で行い、蒸着が終了した際にはスイッチで接地線の導電路を接続することで攪拌装置に蓄積された静電気を逃がすことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、容器の孔から粉体が漏れ出ても周辺部材に与える影響を抑制することができる攪拌装置および蒸着装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本実施形態に係る攪拌装置の構成を例示する斜視図である。
【図２】図２は、本実施形態に係る攪拌装置の構成を例示する断面図である。
【図３】図３は、本実施形態に係る攪拌装置の平面図である。
【図４】図４は、本実施形態に係る攪拌装置の粉体捕獲部を例示する拡大断面図である。
【図５】図５は、庇部の他の固定例を示す拡大断面図である。
【図６】図６は、第２捕獲部の取り付け位置を例示する模式断面図である。
【図７】図７は、回転羽根の貫通孔および開閉弁を例示する模式側面図である。
【図８】図８は、蒸着装置の構成を例示する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、同一の部材には同一の符号を付し、一度説明した部材については適宜その説明を省略する。
【００２２】
（攪拌装置）
図１は、本実施形態に係る攪拌装置の構成を例示する斜視図である。
図２は、本実施形態に係る攪拌装置の構成を例示する断面図である。
図３は、本実施形態に係る攪拌装置の平面図である。
図４は、本実施形態に係る攪拌装置の粉体捕獲部を例示する拡大断面図である。
図６は、第２捕獲部の取り付け位置を例示する模式断面図である。図６では、図４に示すＡ−Ａ断面が示される。
【００２３】
本実施形態に係る攪拌装置１は、減圧雰囲気で粉体を攪拌する装置である。攪拌装置１は、粉体Ｐを収容する容器１０と、容器１０内に設けられる回転羽根２１と、容器１０の底の側を保持する保持部３０と、容器１０の底に設けられた孔１０ｈを貫通して回転羽根２１に取り付けられる軸部４０と、軸部４０と保持部３０との間に設けられるシール部５０と、粉体捕獲部６０とを備える。
【００２４】
容器１０は、底が設けられた円筒形の器であって、上側に開口を囲むようにフード１１が設けられる。フード１１は例えば上側が開いたテーパ状の筒形を有し、容器１０内に粉体Ｐを収容する際のガイドとしての役目と、容器１０内に収容された粉体Ｐが攪拌時に外へ漏れないようにする役目とを果たす。容器１０の底の中央部分には回転羽根２１の軸部４０を通すための孔１０ｈが設けられる。
【００２５】
容器１０の底の孔１０ｈの周囲には円筒型の隆起部１２が設けられる。隆起部１２は、容器１０の底の孔１０ｈを囲むように突出しており、孔１０ｈに挿入される軸部４０と、容器１０の粉体Ｐが収容される領域との間を仕切るように設けられる。これにより、容器１０に収容された粉体Ｐが容器１０の孔１０ｈに到達するには隆起部１２を乗り越える必要が生じ、容器１０から孔１０ｈを介して粉体Ｐが漏出することを抑制しやすくなる。
【００２６】
回転羽根２１は、容器１０の内側で回転可能に設けられる。本実施形態では、複数枚（例えば、３枚）の翼部２１１が設けられる。複数枚の翼部２１１はハブ２１２に取り付けられており、ハブ２１２が軸部４０にボルトなどで固定されている。これによって、軸部４０が回転することでハブ２１２を介して複数枚の翼部２１１が容器１０内で回転することになる。
【００２７】
回転羽根２１の翼部２１１には、回転羽根２１の回転の軌道に沿って延びた貫通孔２１１ｈと、貫通孔２１１ｈを開閉自在に塞ぐ開閉弁２１１Ｂとが設けられていてもよい。貫通孔２１１ｈおよび開閉弁２１１Ｂについては後述する。
【００２８】
また、回転羽根２１の上には容器１０に対して固定された固定羽根２２が設けられているとよい。固定羽根２２は複数枚（例えば、３枚）の翼部２２１が設けられる。複数枚の翼部２２１は回転羽根２１の上方において容器１０に固定されており、回転しない。
【００２９】
保持部３０は、容器１０の底の側を保持する部材であって、軸部４０を支持したり、容器１０とモータ等の駆動部７０とを接続する部分であったりする。保持部３０は容器１０の底の外側に密着するように取り付けられる。保持部３０の中央部分には凹部が設けられており、容器１０の底の外側と保持部３０との間で凹部による空間Ｓが設けられる。この空間Ｓは、軸受やシールのための部材を配置するための領域となる。保持部３０の容器１０とは反対側（下側）には支柱７５を介して駆動部７０が取り付けられる。
【００３０】
容器１０および保持部３０は金属（例えば、オーステナイト系ステンレス）によって形成されており、保持部３０には接地線ＥＬが接続される。接地線ＥＬにはスイッチＳＷが設けられている。スイッチＳＷによって接地線ＥＬを容器１０および保持部３０に接続したり、切断したりすることができる。
【００３１】
軸部４０は保持部３０にベアリング３５を介して接続される。ベアリング３５は軸部４０の中央部分に取り付けられ、上下方向に延在する軸部４０を回転可能に支持する。軸部４０の上端側は容器１０の孔１０ｈに挿入される。一方、軸部４０の下端側は駆動部７０の軸７１と連結される。軸部４０は、金属（例えば、オーステナイト系ステンレス）によって形成されていてもよいし、樹脂などの絶縁材料によって形成されていてもよい。また、金属の表面に絶縁材料がコーティングされたもので形成されていてもよい。
【００３２】
軸部４０を支持するベアリング３５は、保持部３０の中央に設けられたベアリング受け用の凹部に嵌め込まれる。軸部４０はベアリング３５の下側から容器１０側に向けて挿入される。軸部４０の途中にはフランジ部分４０ａが設けられており、フランジ部分４０ａがベアリング３５と当接する位置まで軸部４０が挿入されることになる。
【００３３】
シール部５０は、ベアリング３５の上側（軸部４０のフランジ部分４０ａとは反対側）において軸部４０の周囲に配置される。シール部５０は、Ｏリングやオイルシールなどである。保持部３０の空間Ｓには、ベアリング３５およびシール部５０を固定する押さえプレート３７が取り付けられる。
【００３４】
粉体捕獲部６０は、軸部４０と孔１０ｈとの隙間から保持部３０内におけるシール部５０までの領域（以下、「漏出領域Ｒ」と称する。）の少なくとも一部に設けられる。本実施形態において、攪拌対象となる粉体Ｐは、一例として、粒径２０ナノメートル（ｎｍ）以上４００ｎｍ以下程度のカーボンやセラミックス（セリア等）である。このように非常に微細な粉体Ｐを攪拌する際には、孔１０ｈから粉体Ｐが漏出しやすい。このため、粉体捕獲部６０によって粉体Ｐの漏出を抑制する。
【００３５】
具体的には、粉体捕獲部６０は、軸部４０と孔１０ｈとの隙間に設けられる第１捕獲部６１と、保持部３０の空間Ｓにおける軸部４０の周囲に配置される第２捕獲部６２と、保持部３０の空間Ｓに埋め込まれる第３捕獲部６３と、を有する。なお、粉体捕獲部６０は、第１捕獲部６１、第２捕獲部６２および第３捕獲部６３の少なくともいずれかを有していればよいが、全て設けられていることが最良である。本実施形態では、第１捕獲部６１、第２捕獲部６２および第３捕獲部６３の全てが設けられている場合を例として説明する。
【００３６】
第１捕獲部６１は、軸部４０と容器１０の孔１０ｈの周囲に設けられた隆起部１２との間において、軸部４０を囲み、軸部４０に密着するように設けられる。これにより、第１捕獲部６１によって隆起部１２と軸部４０の隙間において孔１０ｈの上を塞ぐことができる。第１捕獲部６１には、例えばフェルト材や不織布が用いられる。
【００３７】
第２捕獲部６２は、保持部３０の空間Ｓにおいて軸部４０を囲み、軸部４０に密着するように設けられる。第２捕獲部６２は、例えば押さえプレート３７の上に固定される。第２捕獲部６２には、例えばフェルト材や不織布が用いられる。
【００３８】
第３捕獲部６３は、保持部３０の空間Ｓの空いているスペースに埋め込まれる。第３捕獲部６３には、例えばグラスウールが用いられる。ここで、第１捕獲部６１および第２捕獲部６２における粉体Ｐの捕集効率は、第３捕獲部６３における粉体Ｐの捕集効率よりも高くなっていることが好ましい。言い換えると、第３捕獲部６３における粉体Ｐの捕集効率は、第１捕獲部６１および第２捕獲部６２における粉体Ｐの捕集効率よりも低いことが好ましい。捕集効率とは、粉体Ｐを含有する空気を捕獲部に通過させたときの粉体Ｐの捕集率のことをいう。例えば、ＪＩＳ  Ｔ  ８００１に規定される粒子捕集効率に準ずるものである。
【００３９】
軸部４０の周囲には攪拌機能における重要な要素部材（シールやベアリングなど）が多い。そこで、軸部４０の周囲に漏出する粉体Ｐを効果的に捕獲するため、第１捕獲部６１および第２捕獲部６２としては捕集効率の高いものを用いることが好ましい。一方、第３捕獲部６３は保持部３０の空間Ｓに埋め込まれる。このため、第３捕獲部６３としては、第１捕獲部６１および第２捕獲部６２に対して相対的に捕集効率の低いものを用いるほうが、形状を変形させやすくなるため、空間Ｓの広い領域を埋めやすい（空間Ｓの形に合わせて敷き詰めやすい）。これにより、保持部３０の空間Ｓの大きさや形に合わせて第３捕獲部６３を埋め込むことができ、空間Ｓでの粉体Ｐの浮遊を効果的に抑制することができる。
【００４０】
このような構成を備えた攪拌装置１によって粉体Ｐの攪拌を行うには、攪拌対象となる粉体Ｐを容器１０に収容した状態で駆動部７０によって軸部４０を回転させる。軸部４０の回転によって回転羽根２１が容器１０内で回転し、容器１０内の粉体Ｐを翼部２１１によって攪拌する。粉体Ｐは回転羽根２１によって攪拌されるとともに、回転羽根２１の回転によって持ち上げられた粉体Ｐは固定羽根２２の翼部２２１によって回転羽根２１の翼部２１１に掻き落とされ、粉体Ｐが均一に攪拌され易くなる。
【００４１】
容器１０内で粉体Ｐを攪拌する際、粉体Ｐの一部が容器１０の孔１０ｈから漏出しようとする。本実施形態では粉体捕獲部６０が設けられることで、容器１０の孔１０ｈから漏出した粉体Ｐをシール部５０に至るまでの間で捕獲することができる。すなわち、容器１０内で攪拌される粉体Ｐの一部は、隆起部１２を乗り越えて孔１０ｈに向かうことがある。孔１０ｈに向かう粉体Ｐは第１捕獲部６１によって捕獲される。
【００４２】
第１捕獲部６１で捕獲しきれなかった粉体Ｐは、孔１０ｈから保持部３０の空間Ｓに入り込む。しかし、空間Ｓには第３捕獲部６３が設けられているため、空間Ｓに入り込んだ粉体Ｐは第３捕獲部６３で捕獲することができる。さらに、第３捕獲部６３で捕獲しきれなかった粉体Ｐがあっても、第２捕獲部６２によって捕獲することができる。
【００４３】
したがって、容器１０の孔１０ｈから漏出する粉体Ｐがあっても、シール部５０に至るまでの間で粉体捕獲部６０によって捕獲することができ、漏出した粉体Ｐがシール部５０やベアリング３５まで到達することを効果的に抑制することができる。このような粉体捕獲部６０が設けられることで、粉体Ｐが孔１０ｈから容器１０の外側へ漏出したとしても粉体捕獲部６０で捕獲できることから、粉体Ｐが軸部４０の周辺部材であるシール部５０やベアリング３５などに与える影響を抑制することが可能となる。
【００４４】
なお、粉体捕獲部６０は容易に取り外しできることから、定期的に取り外して捕獲された粉体Ｐを払い落とすか、新しいものに交換することで綺麗な状態を維持しておくことができる。
【００４５】
（軸部の庇部）
本実施形態に係る攪拌装置１において、軸部４０には庇部４５が設けられている。庇部４５は、軸部４０の外周を囲むように設けられる拡径部分４５１を有する。図４に示す例において、庇部４５は、ベアリング３５側から軸部を挿入できるように、軸部４０と別体で設けられている。なお、本発明において庇部と軸部とは必ずしも別体である必要はなく、組み立てが可能であれば、両者は一体に形成されたものでもよい。軸部４０と庇部４５との間にキー４５５およびキー溝４５６が設けられ、軸部４０と庇部４５が一緒に回転できるようになっている。例えば、庇部４５の内周の一部および軸部４０の外周の一部に互いに向かい合うようにキー溝４５６が設けられ、このキー溝４５６にキー４５５が嵌め込まれている。庇部４５のキー溝４５６は、庇部４５の下端から上方向の途中まで設けられる。これにより、庇部４５を軸部４０の上端側から挿入して、庇部４５の下端からキー溝４５６にキー４５５を嵌め込むことができる。なお、キー４５５は軸部４０と別体でもよいし、一体でもよい。キー４５５が軸部４０と一体に設けられる場合には軸部４０側にキー溝４５６を設ける必要はない。
【００４６】
庇部４５の拡径部分４５１は容器１０から離れる方向（下方向）に拡径するテーパ形状を有している。このような庇部４５が設けられることで、容器１０の孔１０ｈから漏出した粉体Ｐが軸部４０の周辺に到達することを抑制できる。すなわち、容器１０の孔１０ｈから漏出した粉体Ｐが軸部４０に沿って下方にシール部５０の方向に進もうとした場合、テーパになった拡径部分４５１によって軸部４０から径方向に遠ざかる方向に誘導され、効果的に第２捕獲部６２や第３捕獲部６３で捕獲されるようになる。
【００４７】
図５は、庇部の他の固定例を示す拡大断面図である。
図５に示す庇部４５では、庇部４５の下端に凸部４５７が設けられる。また、庇部４５を載置する軸部４０の段差部４０ｂ（小径部分と大径部分との段差）には、凸部４５７と対応した凹部４５８が設けられる。庇部４５を軸部４０に取り付ける際、凸部４５７が凹部４５８に嵌め込まれることで、軸部４０と庇部４５との軸回りの相対的な位置関係が固定され、軸部４０と庇部４５とを一緒に回転させることができるようになる。
【００４８】
図５に示す例では、庇部４５に凸部４５７が設けられ、軸部４０の段差部４０ｂに凹部４５８が設けられているが、庇部４５に凹部４５８、段差部４０ｂに凸部４５７が設けられていてもよい。また、凸部４５７および凹部４５８の代わりに、図４に示すようなキー４５５およびキー溝４５６であってもよい。
【００４９】
なお、本実施形態では庇部４５の拡径部分４５１がテーパ形状を有している例を示したが、テーパ形状以外の形状であってもよい。また、庇部４５は弾性変形可能な材料（例えば、樹脂材料）によって形成されていてもよい。この場合、キー４５５を庇部４５に一体で設けておき、庇部４５を軸部４０に取り付ける際には庇部４５を弾性変形させた状態で軸部４０に装着し、キー４５５をキー溝４５６に嵌め込むようにすればよい。また、庇部４５を左右分割型に形成し、軸部４０に取り付ける際には分割された庇部４５を、軸部４０を間にして挟み込むように合わせて固定してもよい。更に、キー４５５は、軸部４０を長手方向から見た場合に、軸部４０の全周を囲むように軸部４０の外面に設けられた突条であってもよい。これにより、軸部４０に沿った下方への粉体Ｐの進入経路が長くなり、粉体Ｐのシール部５０への到達を阻止しやすくなる。
【００５０】
（回転羽根の貫通孔および開閉弁）
図７（ａ）および（ｂ）は、回転羽根の貫通孔および開閉弁を例示する模式側面図である。
図７（ａ）には回転羽根２１が一方向Ｄ１に回転する場合の状態が示され、図７（ｂ）には回転羽根２１が他方向Ｄ２（一方向Ｄ１とは反対方向）に回転する場合の状態が示される。
回転羽根２１の翼部２１１には、回転羽根２１の回転の軌道に沿って延びた貫通孔２１１ｈが設けられる。また、翼部２１１には、貫通孔２１１ｈを開閉自在に塞ぐ開閉弁２１１Ｂが設けられる。開閉弁２１１Ｂは、ヒンジ２１３によって回動自在に翼部２１１に取り付けられる。貫通孔２１１ｈは、回転の径方向に複数個並べて設けられていてもよい。
【００５１】
図７（ａ）に示すように、回転羽根２１が一方向Ｄ１に回転すると、翼部２１１における回転方向の下手側に開閉弁２１１Ｂが位置することになる。これにより、貫通孔２１１ｈに侵入した粉体Ｐによって開閉弁２１１Ｂが押し開かれ、粉体Ｐは貫通孔２１１ｈを通り抜けることができる。例えば、粉の塊が生じている場合、回転羽根２１に押されて移動する粉体Ｐと、回転羽根２１の貫通孔２１１ｈを通過する粉体Ｐとに分けられ、粉体Ｐの塊を砕きながら均一に攪拌され易くなる。
【００５２】
一方、図７（ｂ）に示すように、回転羽根２１が他方向Ｄ２に回転すると、翼部２１１における回転方向の上手側に開閉弁２１１Ｂが位置することになる。この場合には粉体Ｐによって開閉弁２１１Ｂが押されることで貫通孔２１１ｈを閉じ、粉体Ｐは貫通孔２１１ｈに侵入できない。したがって、粉体Ｐは貫通孔２１１ｈに入ることなく翼部２１１の回転によって攪拌される。
【００５３】
このように、回転羽根２１の回転方向を一方向Ｄ１と他方向Ｄ２とで切り換えることによって、貫通孔２１１ｈを通過させながら粉体Ｐを攪拌する処理と、貫通孔２１１ｈを通過させずに粉体Ｐを攪拌する処理とを切り換えることができ、効果的な攪拌を行うことが可能となる。本実施形態では、粉体Ｐが開閉弁２１１Ｂに当たる際の力で開閉弁２１１Ｂの開閉を行うため、開閉弁２１１Ｂを駆動する動力源は不要であり、複雑な構成を採用する必要はない。
【００５４】
（蒸着装置）
図８は、蒸着装置の構成を例示する模式図である。
本実施形態に係る蒸着装置１００は、真空室１１０と、真空室１１０内に設けられる蒸着源１２０と、真空室１１０内に設けられる攪拌装置１と、を備える。真空室１１０は図示しない真空ポンプによって減圧雰囲気となる。攪拌装置１は、真空室１１０の減圧雰囲気内で使用される。蒸着源１２０は蒸着装置１００の蒸着方式に対応したものが用いられる。蒸着装置１００としては、真空蒸着方式（抵抗加熱方式、電子ビーム加熱方式、アークプラズマ方式など）、スパッタリング、イオンプレーティングなどが挙げられる。攪拌装置１を備えた蒸着装置１００では、粉体Ｐを均一に攪拌しながら粉体Ｐの表面に蒸着物質の薄膜やナノ粒子等を形成させることができる。
【００５５】
また、蒸着装置１００は、攪拌装置１の容器１０および保持部３０と導通する接地線ＥＬと、接地線ＥＬの導電路を接続または切断するスイッチＳＷとを備える。図８の例では、容器１０および保持部３０が真空室１１０と導通しており、真空室１１０が接地線ＥＬによってグランドに接続されている。蒸着を行う際には、スイッチＳＷで接地線ＥＬの導電路を切断し、容器１０および保持部３０をグランドに対して絶縁された状態にする。これにより、粉体捕獲部６０に生じる静電気の作用で粉体Ｐが捕獲され易くなる。
【００５６】
一方、蒸着が終了した際にはスイッチＳＷで接地線ＥＬの導電路を接続する。これにより、蒸着の際の攪拌装置１の動作によって攪拌装置１に蓄積された静電気を除去した後、真空室１１０を大気圧に戻すことができる。攪拌によって粉体Ｐに蓄積された静電気が除去されるため、大気中で粉体Ｐに放電が生じることを防止することができる。
【００５７】
このような蒸着装置１００に上記説明した攪拌装置１が適用されることで、真空室１１０内で攪拌装置１における粉体Ｐの漏出による影響を抑制しつつ、粉体Ｐに対する均一な攪拌および蒸着を行うことができる。
【００５８】
以上説明したように、実施形態に係る攪拌装置１および蒸着装置１００によれば、容器１０の孔１０ｈから粉体Ｐが漏れ出ても周辺に与える影響を抑制することが可能となる。
【００５９】
なお、上記に本実施形態およびその適用例を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、前述の各実施形態またはその適用例に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものや、各実施形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【００６０】
１…攪拌装置、１０…容器、１０ｈ…孔、１１…フード、１２…隆起部、２１…回転羽根、２２…固定羽根、３０…保持部、３５…ベアリング、３７…押さえプレート、４０…軸部、４０ａ…フランジ部分、４０ｂ…段差部、４５…庇部、５０…シール部、６０…粉体捕獲部、６１…第１捕獲部、６２…第２捕獲部、６３…第３捕獲部、７０…駆動部、７１…軸、７５…支柱、１００…蒸着装置、１１０…真空室、１２０…蒸着源、２１１…翼部、２１１Ｂ…開閉弁、２１１ｈ…貫通孔、２１２…ハブ、２１３…ヒンジ、２２１…翼部、４５１…拡径部分、４５５…キー、４５６…キー溝、４５７…凸部、４５８…凹部、Ｄ１…一方向、Ｄ２…他方向、ＥＬ…接地線、Ｐ…粉体、Ｒ…漏出領域、Ｓ…空間、ＳＷ…スイッチ
【要約】
【課題】粉体の漏出抑制とともに粉体が漏出したとしても周辺に与える影響を抑制することができる攪拌装置および蒸着装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様は、減圧雰囲気で粉体を攪拌する攪拌装置１であって、粉体Ｐを収容する容器１０と、容器１０内に設けられる回転羽根２１と、容器１０の底の側を保持する保持部３０と、容器１０の底に設けられた孔１０ｈを貫通して回転羽根２１に取り付けられる軸部４０と、軸部４０と保持部３０との間に設けられるシール部５０と、軸部４０と孔１０ｈとの隙間から保持部２０内におけるシール部５０までの漏出領域Ｒの少なくとも一部に設けられる粉体捕獲部６０と、を備えた攪拌装置１である。
【選択図】図２【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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