(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にめっき処理を行うためのめっき装置であって、
前記めっき装置に搬入された基板および前記めっき装置から搬出する基板を搬送するための第１の搬送ロボットを収容した第１のロボット室と、
基板にめっき処理を行うためのめっきモジュールを収容しためっき室と、
基板にめっき処理の前処理を行うための前処理モジュールを収容した第１の処理室と、
前記前処理モジュールと前記めっきモジュールとの間で基板を搬送するための第２の搬送ロボットを収容した第２のロボット室と、
前記第１のロボット室と前記第１の処理室との間に配置された第１の扉と、
前記第１の処理室と前記第２のロボット室との間に配置された第２の扉と、
前記第１の扉と前記第２の扉が同時に開かないように前記第１の扉と前記第２の扉の開閉を制御するように構成された制御装置と、
を含む、
めっき装置。
【請求項２】
基板にめっき処理の後処理を行うための後処理モジュールを収容した第２の処理室と、
前記第２のロボット室と前記第２の処理室との間に配置された第３の扉と、
前記第２の処理室と前記第１のロボット室との間に配置された第４の扉と、
をさらに含み、
前記制御装置は、前記第３の扉と前記第４の扉が同時に開かないように前記第３の扉と前記第４の扉の開閉を制御するように構成される、
請求項１に記載のめっき装置。
【請求項３】
前記第２の搬送ロボットは、めっき処理が行われる前の基板を搬送するための第１のハンドと、めっき処理が行われた後の基板を搬送するための、前記第１のハンドの下部に配置された第２のハンドと、
を含む、
請求項１または２に記載のめっき装置。
【請求項４】
前記前処理モジュールは、基板の回転方向の位置を調整するためのアライナ、基板に純水または脱気水を供給するためのプリウェットモジュール、または基板にエッチング処理液を供給するためのプリソークモジュール、の少なくとも１つを含む、
請求項１から３のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項５】
前記後処理モジュールは、基板に洗浄液を供給するための洗浄モジュール、基板を回転させて乾燥させるためのスピンリンスドライヤ、基板の外周部に処理液を供給するためのエッジバックリンスモジュール、の少なくとも１つを含む、
請求項２、および請求項２を引用する請求項３、４のいずれか一項に記載のめっき装置。
【請求項６】
めっき装置に搬入された基板および前記めっき装置から搬出する基板を搬送するための第１の搬送ロボットを収容した第１のロボット室と、基板にめっき処理の前処理を行うための前処理モジュールを収容した第１の処理室と、の間に配置された第１の扉を開くステップと、
前記第１の扉を開くステップの後に、基板を前記第１の搬送ロボットによって前記前処理モジュールに受け渡す第１の受け渡しステップと、
前記第１の受け渡しステップの後に前記第１の扉を閉じるステップと、
前記第１の扉を閉じるステップの後に、前記第１の処理室と、基板にめっき処理を行うためのめっきモジュールと前記前処理モジュールとの間で基板を搬送するための第２の搬送ロボットを収容した第２のロボット室と、の間に配置された第２の扉を開くステップと、
前記第２の扉を開くステップの後に、基板を前記第２の搬送ロボットによって前記前処理モジュールから受け取る第１の受け取りステップと、
を含む、
めっき装置の動作制御方法。
【請求項７】
前記第２のロボット室と、基板にめっき処理の後処理を行うための後処理モジュールを収容した第２の処理室と、の間に配置された第３の扉を開くステップと、
前記第３の扉を開くステップの後に、基板を前記第２の搬送ロボットによって前記後処理モジュールに受け渡す第２の受け渡しステップと、
前記第２の受け渡しステップの後に前記第３の扉を閉じるステップと、
前記第３の扉を閉じるステップの後に、前記第２の処理室と前記第１のロボット室との間に配置された第４の扉を開くステップと、
前記第４の扉を開くステップの後に、基板を前記第１の搬送ロボットによって前記後処理モジュールから受け取る第２の受け取りステップと、
をさらに含む、
請求項６に記載のめっき装置の動作制御方法。
【請求項８】
第１の受け取りステップは、前記第２の搬送ロボットのめっき処理が行われる前の基板を搬送するための第１のハンドを用いて行われ、
第２の受け渡しステップは、前記第２の搬送ロボットのめっき処理が行われた後の基板を搬送するための第２のハンドを用いて行われる、
請求項７に記載のめっき装置の動作制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、めっき装置、およびめっき装置の動作制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
めっき装置の一例としてカップ式の電解めっき装置が知られている。カップ式の電解めっき装置は、基板にめっき処理を行うためのめっきモジュールを備える。めっきモジュールは、被めっき面を下方に向けて基板（例えば半導体ウェハ）を保持し、基板をめっき液に浸漬させて基板とアノードとの間に電圧を印加することによって、基板の表面に導電膜を析出させる。  【０００３】
カップ式の電解めっき装置は、めっきモジュールの他、様々な構成要素を備えている。例えば、めっき装置は、めっき装置に搬入された基板およびめっき装置から搬出する基板を搬送するための第１の搬送ロボットと、基板のノッチの方向を調整するためのアライナと、を備える。また、めっき装置は、めっき処理の前処理を行うための前処理モジュールと、めっき処理の後処理を行うための後処理モジュールと、各モジュール間で基板を搬送するための第２の搬送ロボットと、を備えている。【０００４】
第１の搬送ロボットは、めっき装置に搬入された基板をアライナに搬送し、アライナによってノッチの方向が調整された基板を第２の搬送ロボットに渡す。第２の搬送ロボットは、第１の搬送ロボットから受け取った基板を前処理モジュールに搬送し、前処理が終了した基板をめっきモジュールに搬送する。第２の搬送ロボットは、めっき処理が終了した基板を後処理モジュールに搬送し、後処理が終了した基板を第１の搬送ロボットに渡す。第１の搬送ロボットは、第２の搬送ロボットから受け取った基板をめっき装置から搬出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１８−９２１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来のめっき装置は、めっき処理に関連して発生するパーティクルのコンタミネーションを抑えるための構成要素の配置および動作制御に改善の余地がある。【０００７】
すなわち、めっき装置においては、めっきモジュールにおいてめっき処理に起因するパーティクルが発生し、めっきモジュールが収容された空間から他の構成要素が収容された空間にパーティクルが混入するおそれがある。例えば、従来技術では、第１の搬送ロボットと第２の搬送ロボットとの間で基板の受け渡しを行うことにより、第１の搬送ロボットを収容する部屋と第２の搬送ロボットを収容する部屋が連通状態になることがある。これにより、パーティクルが第２の搬送ロボットを収容する部屋から第１の搬送ロボットを収容する部屋に混入すると、めっき装置から搬出される基板にパーティクルが付着するおそれがある。このようなパーティクルのコンタミネーションは、めっき処理された基板の品質の悪化を招き、その結果、生産歩留まりを悪化させるおそれがある。【０００８】
そこで、本願は、パーティクルのコンタミネーションを抑えるためのめっき装置の構成要素の配置および動作制御を最適化することを１つの目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
一実施形態によれば、基板にめっき処理を行うためのめっき装置であって、前記めっき装置に搬入された基板および前記めっき装置から搬出する基板を搬送するための第１の搬送ロボットを収容した第１のロボット室と、基板にめっき処理を行うためのめっきモジュールを収容しためっき室と、基板にめっき処理の前処理を行うための前処理モジュールを収容した第１の処理室と、前記前処理モジュールと前記めっきモジュールとの間で基板を搬送するための第２の搬送ロボットを収容した第２のロボット室と、前記第１のロボット室と前記第１の処理室との間に配置された第１の扉と、前記第１の処理室と前記第２のロボット室との間に配置された第２の扉と、前記第１の扉と前記第２の扉が同時に開かないように前記第１の扉と前記第２の扉の開閉を制御するように構成された制御装置と、を含む、めっき装置が開示される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本実施形態のめっき装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、本実施形態のめっき装置の全体構成を示す平面図である。
【図３】図３は、第２の搬送ロボットのハンドの構成を概略的に示す図である。
【図４】図４は、本実施形態のめっき装置の動作制御のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００１２】
＜めっき装置の全体構成＞  図１は、本実施形態のめっき装置の全体構成を示す斜視図である。図２は、本実施形態のめっき装置の全体構成を示す平面図である。図１、２に示すように、めっき装置１０００は、ロードポート１００、第１の搬送ロボット１１０、アライナ１２０、めっきモジュール４００、洗浄モジュール５００、スピンリンスドライヤ６００、第２の搬送ロボット７００、および、制御モジュール８００を備える。
【００１３】
ロードポート１００は、図示していないFOUPなどのカセットに収納された基板をめっき装置１０００に搬入したり、めっき装置１０００からカセットに基板を搬出したりするためのモジュールである。ロードポート１００は、第１の搬送ロボット１１０を収容する第１のロボット室１１５に隣接して配置される。本実施形態では３台のロードポート１００が水平方向に並べて配置されているが、ロードポート１００の数および配置は任意である。
【００１４】
第１の搬送ロボット１１０は、基板を搬送するためのロボットであり、ロードポート１００、アライナ１２０、およびスピンリンスドライヤ６００の間で基板を受け渡すように構成される。第１の搬送ロボット１１０は、第１のロボット室１１５に収容される。
【００１５】
アライナ１２０は、基板のオリエンテーションフラットやノッチなどの位置を所定の方向に合わせるためのモジュールである。アライナ１２０は、基板にめっき処理の前処理を行うための前処理モジュールの一種である。アライナ１２０は、第１のロボット室１１５に隣接する第１の処理室１２５に収容される。本実施形態では２台のアライナ１２０が上下方向に並べて配置されているが、アライナ１２０の数および配置は任意である。本実施形態では前処理モジュールの一例としてアライナ１２０を説明したが、これに限定されない。前処理モジュールは、基板に純水または脱気水を供給するためのプリウェットモジュールを含んでいてもよい。プリウェットモジュールは、めっき処理前の基板の被めっき面を純水または脱気水などの処理液で濡らすことで、基板表面に形成されたパターン内部の空気を処理液に置換する。また、前処理モジュールは、基板にエッチング処理液を供給するためのプリソークモジュールを含んでいてもよい。プリソークモジュールは、めっき処理前の基板の被めっき面に形成したシード層表面等に存在する電気抵抗の大きい酸化膜を硫酸や塩酸などの処理液でエッチング除去してめっき下地表面を洗浄または活性化するプリソーク処理を施すように構成される。
【００１６】
めっきモジュール４００は、基板にめっき処理を施すためのモジュールである。本実施形態では、上下方向に２台かつ水平方向に６台並べて配置された１２台のめっきモジュール４００のセットが２つあり、合計２４台のめっきモジュール４００が設けられているが、めっきモジュール４００の数および配置は任意である。めっきモジュール４００は、めっき室４０５に収容される。
【００１７】
洗浄モジュール５００は、めっき処理後の基板に残るめっき液等を除去するために基板に洗浄処理を施すように構成される。本実施形態では１台の洗浄モジュール５００が第１の処理室１２５に配置されているが、洗浄モジュール５００の数および配置は任意である。洗浄モジュール５００は、基板にめっき処理の後処理を行うための第１の後処理モジュールの一種である。
【００１８】
スピンリンスドライヤ６００は、洗浄処理後の基板を高速回転させて乾燥させるためのモジュールである。本実施形態では２台のスピンリンスドライヤが上下方向に並べて配置されているが、スピンリンスドライヤの数および配置は任意である。スピンリンスドライヤ６００は、基板にめっき処理の後処理を行うための第２の後処理モジュールの一種である。スピンリンスドライヤ６００は、第２の処理室６０５に収容される。本実施形態では、第１の後処理モジュールとして洗浄モジュール５００を使用し、第２の後処理モジュールとしてスピンリンスドライヤ６００を使用する例を示したが、これに限定されない。上記の例に限らず、第１の後処理モジュールまたは第２の後処理モジュールとして、基板の外周部に処理液を供給するためのエッジバックリンスモジュールを使用することもできる。  
【００１９】
第２の搬送ロボット７００は、めっき装置１０００内の複数のモジュール間で基板を搬送するための装置である。具体的には、第２の搬送ロボット７００は、アライナ１２０を含む前処理モジュール、めっきモジュール４００、洗浄モジュール５００を含む第１の後処理モジュール、スピンリンスドライヤ６００を含む第２の後処理モジュールの間で基板を搬送する。第２の搬送ロボット７００は、第１の処理室１２５、めっき室４０５、第２の処理室６０５に隣接する第２のロボット室７０５に収容される。
【００２０】
図３は、第２の搬送ロボットのハンドの構成を概略的に示す図である。図３に示すように、第２の搬送ロボット７００は、第１のハンド７２０と、第２のハンド７３０と、第１のハンド７２０および第２のハンド７３０を保持するためのアーム７１０と、を備える。第１のハンド７２０は、めっき処理が行われる前の基板Ｗｆを搬送するためのドライ専用ハンドである。第２のハンド７３０は、めっき処理が行われた後の基板Ｗｆを搬送するためのウェット専用ハンドであり、第１のハンド７２０の下部に配置される。これにより、第２のハンド７３０が保持する基板Ｗｆから第１のハンド７２０へめっき液などの液体が垂れ落ちるのを防止することができる。  
【００２１】
第１のロボット室１１５は、最もクリーンな状態を保つ必要がある領域である。このため、第１のロボット室１１５の内部は、めっきモジュール４００外部、第１の処理室１２５、第２の処理室６０５、第２のロボット室７０５、およびめっき室４０５のいずれよりも高い圧力に常時維持されている。一方、めっきプロセスのようなウェットプロセスは薬液の蒸発による分子レベルのパーティクルが発生するため、めっき室４０５は最もダーティな領域となる。したがって、めっき室４０５の内部には負圧が形成される。めっきモジュール４００内部は、第１のロボット室１１５、第１の処理室１２５および第２の処理室６０５、第２のロボット室７０５、めっき室４０５の順番に圧力が低くなるように調整されている。
【００２２】
制御モジュール８００は、めっき装置１０００の複数のモジュールを制御するように構成され、例えばオペレータとの間の入出力インターフェースを備える一般的なコンピュータまたは専用コンピュータから構成することができる。制御モジュール８００は、制御室８０５に収容される。
【００２３】
本実施形態のめっき装置１０００において、第１のロボット室１１５、第１の処理室１２５、第２の処理室６０５、第２のロボット室７０５、およびめっき室４０５は、相互に隔離されている。これにより、めっき装置１０００は、第１の搬送ロボット１１０、アライナ１２０および洗浄モジュール５００、スピンリンスドライヤ６００、第２の搬送ロボット７００、およびめっきモジュール４００がそれぞれ、隔離された部屋に配置されているミニエンバイロメント環境を実現している。めっき装置１０００は、基板の受け渡しを行うときにのみ各部屋間の隔離を限定的に開放するように構成される。以下、この点について説明する。
【００２４】
制御モジュール８００は、めっき装置１０００の様々な構成要素を収容する複数の部屋を仕切る扉の開閉を制御するように構成される。具体的には、図２に示すように、めっき装置１０００は、第１のロボット室１１５と第１の処理室１２５との間に配置された第１の扉１１７を備える。制御モジュール８００は、第１の扉１１７の開閉を制御するように構成される。制御モジュール８００は、例えば、第１の搬送ロボット１１０からアライナ１２０へ基板を受け渡すときに、第１の扉１１７を開く。
【００２５】
めっき装置１０００は、第１の処理室１２５と第２のロボット室７０５との間に配置された第２の扉１２７を備える。制御モジュール８００は、第２の扉１２７の開閉を制御するように構成される。制御モジュール８００は、例えば、アライナ１２０によってノッチの方向が調整された基板を第２の搬送ロボット７００が受け取るときに、第２の扉１２７を開く。
【００２６】
また、めっき装置１０００は、第２のロボット室７０５と第２の処理室６０５との間に配置された第３の扉７０７を備える。制御モジュール８００は、第３の扉７０７の開閉を制御するように構成される。制御モジュール８００は、例えば、めっき処理が施された基板を第２の搬送ロボット７００からスピンリンスドライヤ６００へ受け渡すときに、第３の扉７０７を開く。
【００２７】
また、めっき装置１０００は、第２の処理室６０５と第１のロボット室１１５との間に配置された第４の扉６０７を備える。制御モジュール８００は、第４の扉６０７の開閉を制御するように構成される。制御モジュール８００は、例えば、スピンリンスドライヤ６００によって乾燥処理が施された基板を第１の搬送ロボット１１０が受け取るときに、第４の扉６０７を開く。
【００２８】
また、めっき装置１０００は、第２のロボット室７０５とめっき室４０５との間に配置された複数の第５の扉４０７を備える。制御モジュール８００は、第５の扉４０７の開閉を制御するように構成される。制御モジュール８００は、例えば、第２の搬送ロボット７００がめっきモジュール４００に基板を受け渡すときに、第５の扉４０７を開く。
【００２９】
制御モジュール８００は、第１の扉１１７と第２の扉１２７が同時に開かないように第１の扉１１７と第２の扉１２７の開閉を制御するように構成されている。さらに、制御モジュール８００は、第３の扉７０７と第４の扉６０７が同時に開かないように第３の扉７０７と第４の扉６０７の開閉を制御するように構成される。
【００３０】
すなわち、本実施形態のめっき装置１０００は、最もクリーンな状態を保つ必要がある第１のロボット室１１５へのパーティクルのコンタミネーションを抑えるように構成されている。具体的には、めっき装置１０００は、第１の搬送ロボット１１０と第２の搬送ロボット７００との間で基板の受け渡しは行わず、アライナ１２０またはスピンリンスドライヤ６００を介して基板の受け渡しを行うように構成される。ここで、第１の搬送ロボット１１０からアライナ１２０へ基板を受け渡すときに第１の扉１１７は開かれるが、このとき第２の扉１２７は閉じられている。また、アライナ１２０によってノッチの方向が調整された基板を第２の搬送ロボット７００が受け取るときに第２の扉１２７は開かれるが、このとき第１の扉１１７は閉じられている。さらに、めっき処理が施された基板を第２の搬送ロボット７００からスピンリンスドライヤ６００へ受け渡すときに第３の扉７０７は開かれるが、このとき第４の扉６０７は閉じられている。さらに、スピンリンスドライヤ６００によって乾燥処理が施された基板を第１の搬送ロボット１１０が受け取るときに第４の扉６０７は開かれるが、このとき第３の扉７０７は閉じられている。
【００３１】
これにより、第１のロボット室１１５と第２のロボット室７０５は連通状態にはならないので、第２の搬送ロボット７００に付着したパーティクルが第１のロボット室１１５に混入するのを抑制することができる。このように本実施形態のめっきモジュール４００は、構成要素の配置および動作制御が最適化されているので、第１のロボット室１１５にパーティクルが混入するのを抑制することができ、その結果、めっきモジュール４００から搬出される基板にパーティクルが付着するのを抑制することができる。
【００３２】
なお、制御モジュール８００は、第２の扉１２７と第５の扉４０７についても同様に、両者が同時に開かないように第２の扉１２７と第５の扉４０７の開閉を制御するように構成されている。さらに、制御モジュール８００は、第３の扉７０７と第５の扉４０７についても同様に、両者が同時に開かないように第３の扉７０７と第５の扉４０７の開閉を制御するように構成される。
【００３３】
次に、めっき装置１０００の一連の動作制御の一例を説明する。図４は、本実施形態のめっき装置１０００の動作制御のフローチャートである。まず、めっき装置１０００は、カセットに収納された基板をロードポート１００に受け入れる（ステップ１０２）。続いて、めっき装置１０００は、第１の搬送ロボット１１０によってロードポート１００のカセットから基板を取り出す（ステップ１０４）。続いて、制御モジュール８００は、第１の扉１１７を開く（ステップ１０６）。続いて、めっき装置１０００は、第１の搬送ロボット１１０によって基板をアライナ１２０に受け渡す（第１の受け渡しステップ１０８）。続いて、制御モジュール８００は、第１の扉１１７を閉じる（ステップ１１０）。
【００３４】
続いて、めっき装置１０００は、アライナ１２０によって基板のオリエンテーションフラットやノッチなどの位置を所定の方向に合わせる（ステップ１１２）。続いて、制御モジュール８００は、第２の扉１２７を開く（ステップ１１４）。続いて、めっき装置１０００は、方向を合わせた基板を第２の搬送ロボット７００の第１のハンド７２０によってアライナ１２０から受け取る（第１の受け取りステップ１１６）。続いて、制御モジュール８００は、第２の扉１２７を閉じる（ステップ１１８）。
【００３５】
続いて、制御モジュール８００は、第５の扉４０７を開く（ステップ１２０）。続いて、めっき装置１０００は、第２の搬送ロボット７００の第１のハンド７２０によって基板をめっきモジュール４００へ受け渡す（ステップ１２２）。続いて、制御モジュール８００は、第５の扉４０７を閉じる（ステップ１２４）。続いて、めっき装置１０００は、めっきモジュール４００によって基板にめっき処理を施す（ステップ１２６）。続いて、制御モジュール８００は、第５の扉４０７を開く（ステップ１２８）。続いて、めっき装置１０００は、第２の搬送ロボット７００の第２のハンド７３０によって基板をめっきモジュール４００から受け取る（ステップ１３０）。続いて、制御モジュール８００は、第５の扉４０７を閉じる（ステップ１３２）。
【００３６】
続いて、制御モジュール８００は、第２の扉１２７を開く（ステップ１３４）。続いて、めっき装置１０００は、第２の搬送ロボット７００の第２のハンド７３０によって基板を洗浄モジュール５００へ受け渡す（ステップ１３６）。続いて、制御モジュール８００は、第２の扉１２７を閉じる（ステップ１３８）。続いて、めっき装置１０００は、洗浄モジュール５００によって基板に洗浄処理を施す（ステップ１４０）。
【００３７】
続いて、制御モジュール８００は、第２の扉１２７を開く（ステップ１４２）。続いて、めっき装置１０００は、第２の搬送ロボット７００の第２のハンド７３０によって基板を洗浄モジュール５００から受け取る（ステップ１４４）。続いて、制御モジュール８００は、第２の扉１２７を閉じる（ステップ１４６）。
【００３８】
続いて、制御モジュール８００は、第３の扉７０７を開く（ステップ１４８）。続いて、めっき装置１０００は、第２の搬送ロボット７００の第２のハンド７３０によって基板をスピンリンスドライヤ６００へ受け渡す（第２の受け渡しステップ１５０）。続いて、制御モジュール８００は、第３の扉７０７を閉じる（ステップ１５２）。
【００３９】
続いて、めっき装置１０００は、スピンリンスドライヤ６００によって基板に乾燥処理を施す（ステップ１５４）。続いて、制御モジュール８００は、第４の扉６０７を開く（ステップ１５６）。続いて、めっき装置１０００は、乾燥処理が施された基板を第１の搬送ロボット１１０によって受け取る（第２の受け取りステップ１５８）。続いて、制御モジュール８００は、第４の扉６０７を閉じる（ステップ１６０）。続いて、めっき装置１０００は、第１の搬送ロボット１１０によって基板をロードポート１００のカセットへ搬送する（ステップ１６２）。最後に、めっき装置１０００は、ロードポート１００から基板を収納したカセットを搬出する（ステップ１６４）。
【００４０】
以上のように、本実施形態によれば、複数の構成要素がそれぞれ隔離された部屋に配置されているミニエンバイロメント環境を実現しためっき装置において、第１のロボット室１１５と第２のロボット室７０５が連通状態にならないように、隔離された部屋間の扉の開閉が制御される。これにより、第２の搬送ロボット７００に付着したパーティクルが第１のロボット室１１５に混入するのを抑制することができる。
【００４１】
以上、いくつかの本発明の実施形態について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
【００４２】
本願は、一実施形態として、基板にめっき処理を行うためのめっき装置であって、前記めっき装置に搬入された基板および前記めっき装置から搬出する基板を搬送するための第１の搬送ロボットを収容した第１のロボット室と、基板にめっき処理を行うためのめっきモジュールを収容しためっき室と、基板にめっき処理の前処理を行うための前処理モジュールを収容した第１の処理室と、前記前処理モジュールと前記めっきモジュールとの間で基板を搬送するための第２の搬送ロボットを収容した第２のロボット室と、前記第１のロボット室と前記第１の処理室との間に配置された第１の扉と、前記第１の処理室と前記第２のロボット室との間に配置された第２の扉と、前記第１の扉と前記第２の扉が同時に開かないように前記第１の扉と前記第２の扉の開閉を制御するように構成された制御装置と、を含む、めっき装置を開示する。
【００４３】
さらに、本願は、一実施形態として、基板にめっき処理の後処理を行うための後処理モジュールを収容した第２の処理室と、前記第２のロボット室と前記第２の処理室との間に配置された第３の扉と、前記第２の処理室と前記第１のロボット室との間に配置された第４の扉と、をさらに含み、前記制御装置は、前記第３の扉と前記第４の扉が同時に開かないように前記第３の扉と前記第４の扉の開閉を制御するように構成される、めっき装置を開示する。
【００４４】
さらに、本願は、一実施形態として、前記第２の搬送ロボットは、めっき処理が行われる前の基板を搬送するための第１のハンドと、めっき処理が行われた後の基板を搬送するための、前記第１のハンドの下部に配置された第２のハンドと、を含む、めっき装置を開示する。
【００４５】
さらに、本願は、一実施形態として、前記前処理モジュールは、基板の回転方向の位置を調整するためのアライナ、基板に純水または脱気水を供給するためのプリウェットモジュール、または基板にエッチング処理液を供給するためのプリソークモジュール、の少なくとも１つを含む、めっき装置を開示する。
【００４６】
さらに、本願は、一実施形態として、前記後処理モジュールは、基板に洗浄液を供給するための洗浄モジュール、基板を回転させて乾燥させるためのスピンリンスドライヤ、基板の外周部に処理液を供給するためのエッジバックリンスモジュール、の少なくとも１つを含む、めっき装置を開示する。
【００４７】
さらに、本願は、一実施形態として、めっき装置に搬入された基板および前記めっき装置から搬出する基板を搬送するための第１の搬送ロボットを収容した第１のロボット室と、基板にめっき処理の前処理を行うための前処理モジュールを収容した第１の処理室と、の間に配置された第１の扉を開くステップと、前記第１の扉を開くステップの後に、基板を前記第１の搬送ロボットによって前記前処理モジュールに受け渡す第１の受け渡しステップと、前記第１の受け渡しステップの後に前記第１の扉を閉じるステップと、前記第１の扉を閉じるステップの後に、前記第１の処理室と、基板にめっき処理を行うためのめっきモジュールと前記前処理モジュールとの間で基板を搬送するための第２の搬送ロボットを収容した第２のロボット室と、の間に配置された第２の扉を開くステップと、前記第２の扉を開くステップの後に、基板を前記第２の搬送ロボットによって前記前処理モジュールから受け取る第１の受け取りステップと、を含む、めっき装置の動作制御方法を開示する。
【００４８】
さらに、本願は、一実施形態として、前記第２のロボット室と、基板にめっき処理の後処理を行うための後処理モジュールを収容した第２の処理室と、の間に配置された第３の扉を開くステップと、前記第３の扉を開くステップの後に、基板を前記第２の搬送ロボットによって前記後処理モジュールに受け渡す第２の受け渡しステップと、前記第２の受け渡しステップの後に前記第３の扉を閉じるステップと、前記第３の扉を閉じるステップの後に、前記第２の処理室と前記第１のロボット室との間に配置された第４の扉を開くステップと、前記第４の扉を開くステップの後に、基板を前記第１の搬送ロボットによって前記後処理モジュールから受け取る第２の受け取りステップと、をさらに含む、めっき装置の動作制御方法を開示する。
【００４９】
さらに、本願は、一実施形態として、第１の受け取りステップは、前記第２の搬送ロボットのめっき処理が行われる前の基板を搬送するための第１のハンドを用いて行われ、第２の受け渡しステップは、前記第２の搬送ロボットのめっき処理が行われた後の基板を搬送するための第２のハンドを用いて行われる、めっき装置の動作制御方法を開示する。
【符号の説明】
【００５０】
１１０  第１の搬送ロボット
１１５  第１のロボット室
１１７  第１の扉
１２０  アライナ
１２５  第１の処理室
１２７  第２の扉
４００  めっきモジュール
４０５  めっき室
４０７  第５の扉
５００  洗浄モジュール
６００  スピンリンスドライヤ
６０５  第２の処理室
６０７  第４の扉
７００  第２の搬送ロボット
７０５  第２のロボット室
７０７  第３の扉
７２０  第１のハンド
７３０  第２のハンド
８００  制御モジュール
８０５  制御室
１０００  めっき装置
【要約】
パーティクルのコンタミネーションを抑えるためのめっき装置の構成要素の配置および動作制御を最適化する。
基板にめっき処理を行うためのめっき装置１０００は、めっき装置１０００に搬入された基板およびめっき装置１０００から搬出する基板を搬送するための第１の搬送ロボット１１０を収容した第１のロボット室１１５と、基板にめっき処理を行うためのめっきモジュール４００を収容しためっき室４０５と、基板にめっき処理の前処理を行うための前処理モジュールを収容した第１の処理室１２５と、前処理モジュールとめっきモジュール４００との間で基板を搬送するための第２の搬送ロボット７００を収容した第２のロボット室７０５と、第１のロボット室１１５と第１の処理室１２５との間に配置された第１の扉１１７と、第１の処理室１２５と第２のロボット室７０５との間に配置された第２の扉１２７と、第１の扉１１７と第２の扉１２７が同時に開かないように第１の扉１１７と第２の扉１２７の開閉を制御するように構成された制御モジュール８００と、を含む。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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