(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
底板と、前記底板の上方に設けられる中枠と、前記中枠の上方に設けられる上部蓋とを含むレチクルケースであって、
前記底板、中枠及び上部蓋で囲んで開口を有する収納キャビティを形成し、
前記開口の一側にドアパネルがさらに設けられ、
前記底板に複数のレチクルホルダーが設けられ、
各前記レチクルホルダーと前記中枠との間に横方向間隙が設けられ、
前記中枠の対向して設けられる左側面と右側面の縦断面はＨ形構造を含み、前記Ｈ形構造の桟と前記底板との間には第一縦方向隙間が形成され、前記Ｈ形構造の内側に位置する第一垂直辺の下面と前記底板との間には第二縦方向隙間が形成され、
前記Ｈ形構造の第一垂直辺の下面とケース内レチクル下面との間の距離は、
レチクルの厚さより小さく、
フォークで前記レチクルをピックアップする際のフォーク上面の垂直方向可動空間より小さくなく、
前記Ｈ形構造の桟と上部蓋との間に第三縦方向隙間が形成される、
ことを特徴とするレチクルケース。
【請求項２】
前記底板上に設けられ、前記Ｈ形構造の外側に位置する第二垂直辺に対応する底板取付柱をさらに含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のレチクルケース。
【請求項３】
前記ドアパネルにバーコード走査領域がさらに設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載のレチクルケース。
【請求項４】
前記中枠は、両端が前記左側面と右側面に連結される後側面をさらに含み、
前記左側面及び右側面にそれぞれ上部蓋ロック部材が設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載のレチクルケース。
【請求項５】
前記複数のレチクルホルダーは、前記開口の一側に近づく２つの第一ホルダーと、
前記開口の一側から離れる２つの第二ホルダーと、
を含むことを特徴とする請求項４に記載のレチクルケース。
【請求項６】
二つの前記第一ホルダーと前記中枠の左、右側面との間の距離が同じである、
ことを特徴とする請求項５に記載のレチクルケース。
【請求項７】
二つの前記第二ホルダーと前記中枠の後側面との間の距離が同じである、
ことを特徴とする請求項５に記載のレチクルケース。
【請求項８】
前記第二ホルダーの位置は前記第二ホルダーのレチクル位置決め面と前記中枠の後側面との間の距離が、
レチクルをピック／リリースする際のレチクルフォークのレチクル位置決め面と前記中枠の後側面との間の距離より大きくなるように設置される、
ことを特徴とする請求項５に記載のレチクルケース。
【請求項９】
前記第二ホルダーの位置は、
前記第二ホルダーの側面と、
レチクルをピック／リリースする際のレチクルフォークの側面と、
の間の最小距離が２ｍｍよりも大きくなるように設置される、
ことを特徴とする請求項５に記載のレチクルケース。
【請求項１０】
前記Ｈ形構造の第一垂直辺の下面とケース内レチクル下面との間の距離は、
３ｍｍより大きく、前記レチクルの厚さより小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載のレチクルケース。
【請求項１１】
前記上部蓋と前記中枠の後側面の上部は、
可動的に連結されることを特徴とする請求項４に記載のレチクルケース。
【請求項１２】
前記上部蓋と前記ドアパネルとの間が可動的に連結される、
ことを特徴とする請求項１に記載のレチクルケース。
【請求項１３】
前記上部蓋の上面に識別領域が設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載のレチクルケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体製造分野に関し、具体的に、レチクルケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、半導体分野ではレチクルを貯蔵及び保護するためにケースが用いられるものであり、現在一般的に用いられる６インチレチクルケースには、ニコン（Ｎｉｋｏｎ）ケース、キャノン（ＣＡＮＯＮ）ケース及びＳＭＩＦ（標準メカニカルインターフェース）ケースの３種類がある。実際の生産過程で、レチクルのピック／リリースはレチクル搬送ロボットフォークによって実現される。ケースの構造には制限があり、特にＮＩＫＯＮケースについてはピック／リリースロボットフォークは何れも真空吸着によってレチクルを固定すものであり、さらに、ピック／リリースロボットフォークにはレチクル保護構造がないため、実際の使用過程で、真空吸着によってレチクルを固定するこのと信頼性が低く、材料の安全を保証することができないという問題がある。その他、ピック／リリースロボットフォークがレチクルを移動させる過程で、衝突の可能性もあり、これは材料の安全に対して深刻な影響を及ぼす。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、従来技術に存在する材料の安全性が保証され得ない問題を解決するためのレチクルケースを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
前記技術問題を解決するために、本発明の技術方案によるレチクルケースにおいて、底板と、前記底板の上方に設けられる中枠と、前記中枠の上方に設けられる上部蓋とを含み、前記底板、中枠及び上部蓋は囲まれて開口を有する収納キャビティを形成し、前記レチクルケースは、前記開口部の一側にドアパネルがさらに設けられ、前記底板に複数のレチクルホルダーが設けられ、各前記レチクルホルダーと前記中枠との間に横方向間隙が設けられ、前記中枠の縦断面はＨ形構造を含み、前記Ｈ形構造の桟と前記底板との間及び前記Ｈ形構造の内側に位置する第一垂直辺の下面と前記底板との間には縦方向隙間が形成される。
【０００５】
さらに、前記Ｈ形構造の桟と上部蓋との間に縦方向隙間が形成される。
【０００６】
さらに、前記底板上に設けられ、前記Ｈ形構造の外側に位置する第二垂直辺に対応する底板取付柱をさらに含む。
【０００７】
前記Ｈ形構造の第一垂直辺の下面とケース内レチクル下面との間の距離は前記レチクルの厚さより小さく、フォークでレチクルをピックアップする際のフォーク上面の垂直方向可動空間より小さくない。
【０００８】
さらに、前記ドアパネルにバーコード走査領域がさらに設けられる。
【０００９】
さらに、前記中枠は、対向して設けられる左側面と右側面、及び両端が前記左側面と右側面に連結される後側面を含み、前記左側面及び右側面にそれぞれ上部蓋ロック部材が設けられる。
【００１０】
さらに、前記複数のレチクルホルダーは前記開口の一側に近づく２つの第一ホルダーと、前記開口の一側から離れる２つの第二ホルダーとを含む。
【００１１】
さらに、二つの前記第一ホルダーと前記中枠の左、右側面との間の距離は同じである。
【００１２】
さらに、二つの前記第二ホルダーと前記中枠の後側面との間の距離は同じである。
【００１３】
さらに、前記第二ホルダーの位置は前記第二ホルダーのレチクル位置決め面と前記中枠の後側面との間の距離がレチクルをピック／リリースする際のレチクルフォークのレチクル位置決め面と前記中枠の後側面との間の距離より大きくなるように設置される。
【００１４】
さらに、前記第二ホルダーの位置は前記第二ホルダーの側面とレチクルをピック／リリースする際のレチクルフォークの側面との間の最小距離は２ｍｍよりも大きくなるように設置される。
【００１５】
さらに、前記Ｈ形構造の第一垂直辺の下面とケース内レチクル下面との間の距離は３ｍｍより大きく、且つ前記レチクルの厚さより小さい。
【００１６】
さらに、前記上部蓋と前記中枠の後側面の上部は可動的に連結される。
【００１７】
さらに、前記上部蓋と前記ドアパネルとの間は可動的に連結される。
【００１８】
さらに、前記上部蓋の上面に識別領域が設けられる。
【００１９】
本発明によるレチクルケースは、底板と、前記底板の上方に設けられる中枠と、前記中枠の上方に設けられる上部蓋とを含み、前記底板、中枠及び上部蓋で囲んで開口を有する収納キャビティを形成し、前記開口部にはドアパネルが設けられ、前記底板には複数のレチクルホルダーが設けられ、前記レチクルホルダーと前記中枠との間に間隙が設けられ、前記中枠の縦断面はＨ形構造であり、前記Ｈ形構造の桟及び内側に位置する第一垂直辺の下面と前記底板との間に間隙が設けられる。レチクルを貯蔵し、またフォークでレチクルをピック／リリースするように底板、中枠及び上部蓋で囲んで開口を有する収納キャビティを形成し、前記底板にはレチクルを支持するための複数のレチクルホルダーが設けられ、前記レチクルホルダーと中枠との間に間隙が設けられて、ケースが真空吸着型フォークと物理的挟持型フォークによるピックアップに同時に適応されるようにすることができる。同時に、中枠の縦断面はＨ形構造であり、Ｈ形構造の桟及び第一垂直辺の下面と底板との間に間隙を設けて、ケースがレチクル保護装置無しフォークとレチクル保護装置付きフォークによるピックアップに同時に適応されるようにすることができて、兼用性を大幅に向上した。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明のレチクルケースの構造を示す図である。
【図２】本発明のレチクルケースの分解立体図である。
【図３】本発明の第一ホルダー及び第二ホルダーの配置図である。
【図４】本発明の底板と中枠の構造を示す図である。
【図５】本発明の中枠の断面サイズ図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付図面を結合して本発明について詳しく説明する。
図１〜図５に示すように、本発明はレチクルケースを提供するものであり、底板１と、前記底板１の上方に設けられる中枠２と、前記中枠２の上方に設けられる上部蓋３とを含み、レチクル７を貯蔵するように前記底板１、中枠２及び上部蓋３で囲んで開口を有する収納キャビティを形成し、レチクル７のサイズは５インチまたは６インチであってもよく、収納キャビティの大きさはレチクル７のサイズとマッチングする。前記開口部の一側にはドアパネル４が設けられ、前記底板１には複数のレチクルホルダーが設けられ、前記レチクルホルダーと前記中枠２との間に横方向の間隙が設けられて、ケースが真空吸着型フォークと物理的挟持型フォークによるピックアップに同時に適応されるようにすることができる。前記中枠２の縦断面はＨ形構造を含み、図５は中枠２の一側のＨ形構造を示す。前記Ｈ形構造の桟２１及び内側に位置する第一垂直辺２２の下面と前記底板１との間に縦方向間隙を設けて、レチクル保護装置付きフォークにおけるフォーク保護部に可動空間を提供して、レチクル保護装置無しフォークとレチクル保護装置付きフォークによるピックアップに同時に適応されるようにすることができる。
【００２２】
好ましくは、前記Ｈ形構造の桟２１と上部蓋３との間に隙間が設けられてスプリングアセンブリ８（図２参照）の可動空間を確保し、スプリングアセンブリ８は上部蓋３と底板１との間に設けられ、本実施例では２つのスプリングアセンブリ８がそれぞれ上部蓋３の左右両側に設けられる。前記スプリングアセンブリ８は逆Ｌ字状構造であり、横辺８１は上部蓋３の左側または右側に設けられ、垂直側辺８２は横辺８１に可動的に連結され、垂直辺８２の下端（使用状態で、上部蓋３が中枠２の上を覆う時）は前記Ｈ形構造の桟２１と上部蓋３との間の間隙と対応して、スプリングの作用によりケース全体が上部蓋３によって閉じられて押されるようにする。
【００２３】
好ましくは、図４及び図５に示すように、前記底板１に複数の底板取付柱１１が設けられており、前記底板取付柱１１の位置は外側に位置する前記Ｈ形構造の第２垂直辺２３に対応する。従来技術に比べて、底板取付柱１１の位置が中央から端部に移動されることで、フォークの進入進出に十分な空間を提供する。
【００２４】
好ましくは、前記Ｈ形構造の内側の第一垂直辺２２の下面と、レチクルをピック／リリースする時のレチクル７（即ち、ケース内に位置するレチクル）の上面と、の間の距離をレチクル７とケースとの間の位置決め基準とする。
【００２５】
図５に示すように、本実施例において、桟２１と上部蓋３との間の距離はｄ１＝１２ｍｍであり、桟２１の下面と底板１との間の距離はｄ２であり、好ましくは１７ｍｍである。それにより、レチクル保護装置を有するフォークがレチクルをピック／リリースする高い位置から低い位置まで移動する際に必要な可動空間を保証する。レチクル７の支持高さ、即ちレチクル７の下面から底板１までの距離はｄ８であり、好ましくは１０ｍｍであり、少なくとも距離ｄ８がフォークの厚さとレチクルをリリースする際にフォークの下面に必要な垂直方向の可動空間の和より小さくないことが保証され第一垂直辺２２の下面とレチクル７の上面との間の距離はｄ３であり、好ましくは１１ｍｍであり、レチクル７とケースとの間の位置決め基準として距離ｄ３を測定することによって第一垂直辺２２の下面とレチクル７の下面との間の距離が計算され、距離ｄ４は前記レチクル７の厚さより小さいが、フォークでレチクルをピックアップする際のフォーク上面の垂直方向の可動空間よりは小さくないことが必要であり、好ましくは、ｄ４＞３ｍｍである。
【００２６】
好ましくは、前記ドアパネル４上には材料を簡便に監視及び管理するためのバーコード走査領域４１がさらに設けられる。
【００２７】
好ましくは、前記中枠２は、対向して設けられる左側面２４と右側面２５、及び両端がそれぞれ前記左側面２４と右側面２５に連結される後側面２６を含み、前記左側面２４及び右側面２５に上部蓋３をロッキングするための上部蓋ロック部材２７がそれぞれ設けられている。
【００２８】
図３に示すように、前記複数のレチクルホルダーは、前記開口の一側に近づく２つの第一ホルダー５１と、前記開口の一側から離れる２つの第二ホルダー５２とを含む。好ましくは、２つの前記第一ホルダー５１と前記中枠２の左側面２４及び右側面２５の間の距離は同じである。即ち左側の第一ホルダー５１と左側面２４との間の距離は右側の第一ホルダー５１と右側面２５との間の距離は同じで、両方ともａ５である。好ましくは、２つの前記第二ホルダー５２と前記中枠２の後側面２６との間の距離は同じである。
【００２９】
好ましくは、前記第二ホルダー５２のレチクル位置決め面と前記中枠の後側面２６との間の距離は、レチクル７をピック／リリースする時レチクルフォークのレチクル位置決め面と前記中枠２の後側面２６との間の距離より大きい。図３において、第二ホルダー５２の位置決め面と前記中枠の後側面２６との間の距離はａ１＝１２ｍｍであり、プレートピック／リリースプレートが最も遠い位置に進入した時においてレチクル７の位置決め面と中枠２の後側面２６までの距離はａ３＝１１ｍｍであり、本実施例において、ａ３−ａ１＝１ｍｍである。
第二ホルダー５２から中枠２の左右側面までの側方向距離は同一であり、図３では左側の第二ホルダー５２から中枠２の左側面２４までの距離ａ２のみを示しているが、この距離ａ２はレチクルフォークがケースに進入進出してレチクルをピック／リリースするときにおいて、レチクルフォークの側面から第二ホルダー５２の側面までの距離はａ４＞２ｍｍであることが必要であり、本実施例ではａ４＝１４．５ｍｍである。
【００３０】
好ましくは、前記上部蓋３の上面には識別領域６、即ちロゴ領域が設けられて、作業者がケースを混用するリスクが減小される。
【００３１】
主に図２によれば、前記上部蓋３は前記中枠２の後側面２６の上部に可動的に連結され、例えばピボット連結されて、上部蓋３が中枠２に対して回転されることができるようにすることにより、上部蓋３の開閉が実現される。
ドアパネル４も上部蓋３に対して回動することができるように、前記上部蓋３と前記ドアパネル４の間も可動的に連結され、それにより、ドアパネル４の開閉を実現して簡便にレチクル７をピック／リリースすることができる。
【００３２】
前述したように、本発明によって提供されるレチクルケースは、底板１と、前記底板１の上方に設けられる中枠２と、前記中枠２の上方に設けられる上部蓋３とを含み、前記底板１、中枠２及び上部蓋３は囲んで開口を有する収納キャビティを形成する。前記開口部にはドアパネル４が設けられ、前記底板１には複数のレチクルホルダーが設けられ、前記レチクルホルダーと前記中枠２との間に間隙が設けられ、前記中枠２の縦断面はＨ形構造である。前記Ｈ形構造の桟２１と内側に位置する第１垂直辺２２の下面と前記底板１との間には隙間が形成されている。レチクル７を貯蔵し、フォークでレチクル７をピック／リリースするために、底板１、中枠２及び上部蓋３で囲まれて開口部を有する収納キャビティが形成され、底板１にはレチクル７を支持する複数のレチクルホルダーが設けられ、レチクルホルダーと中枠２との間に隙間を設けて、ケースが真空吸着型フォークと物理的挟持型フォークによるピックアップに同時に対応できるようにすることができ、同時に、中枠２の縦断面をＨ形構造に形成し、Ｈ形構造の桟２１及び第一垂直辺２２の下面と底板１との間に間隙を設けて、ケースがレチクル保護装置無しフォークとレチクル保護装置付きフォークによるピックアップに同時に適応するようにすることができて、兼用性が大幅に向上された。
【００３３】
明細書において本発明の実施形態について説明したが、これらの実施形態は単なる例示であり、本発明の保護範囲を限定するのではない。本発明の要旨を逸脱しない範囲内で行う様々な省略、置き換え、及び変更はいずれも本発明の保護範囲内に含まれるべきである。
【符号の説明】
【００３４】
１：底板、１１：底板取付柱、２：中枠、２１：桟、２２：第一垂直辺、２３：第二垂直辺、２４：左側面、２５：右側面、２６：後側面、２７：上部蓋ロック部材、３：上部蓋、４：ドアパネル、４１：バーコード走査領域、５１：第一ホルダー、５２：第二ホルダー、６：識別領域、７：レチクル、８：スプリングアセンブリ、８１：横辺、８２：垂直辺
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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