(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を仕切る仕切りバルブであって、
前記流路に挿入されるとともに互いに対向して連通し前記流路を形成する第１開口部および第２開口部を有する弁箱と、
前記弁箱内の中空部内に位置して前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記回転軸に前記弁体を接続する中立弁部と、
前記中立弁部に対して前記流路方向に位置移動可能として前記弁体に設けられる可動弁枠部と、
前記中立弁部と前記可動弁枠部とを接続する弁枠付勢部と、
前記可動弁枠部に対して板摺動シール部を介して前記流路方向に位置移動可能として前記弁体に設けられる可動弁板部と、
前記可動弁枠部と前記可動弁板部とを接続する弁板付勢部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁枠部を前記第１開口部の周縁に接触する弁閉塞位置に向けて移動可能な弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部を駆動する駆動部と、
を具備し、
前記弁枠付勢部が、
前記中立弁部と前記可動弁枠部との一方に基部が固定されるとともに前記流路方向に立設されて前記中立弁部と前記可動弁枠部との摺動方向を規制する枠ガイドピンと、
前記中立弁部と前記可動弁枠部との他方に設けられ前記枠ガイドピンの先端に近接する位置が摺動可能に貫通する貫通孔と、
前記枠ガイドピンにおける基部の周囲および前記貫通孔の周囲を前記流路方向の逆向きに付勢する枠コイルバネと、
を有する
ことを特徴とする仕切りバルブ。
【請求項２】
前記弁枠付勢部が、前記可動弁枠部の周方向に互いに均等距離離間して複数設けられる
ことを特徴とする請求項１記載の仕切りバルブ。
【請求項３】
複数の前記弁枠付勢部が、前記可動弁板部の中心を通る同一直線上で前記中心に対して対向する位置に配される
ことを特徴とする請求項１または２記載の仕切りバルブ。
【請求項４】
前記弁枠付勢部の前記貫通孔には、前記枠ガイドピンの基部に向けて、前記枠ガイドピンの周囲を囲み摺動位置を規制する規制筒が設けられる
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか記載の仕切りバルブ。
【請求項５】
前記弁枠付勢部の前記枠ガイドピンには、基部に拡径した受圧部が設けられ、前記受圧部が前記枠コイルバネの付勢力を受ける
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか記載の仕切りバルブ。
【請求項６】
前記弁板付勢部が、前記可動弁枠部と前記可動弁板部との摺動方向を規制する板ガイドピンを有し、
前記板ガイドピンと前記弁枠付勢部の前記枠ガイドピンとが平行に配置される
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか記載の仕切りバルブ。
【請求項７】
前記弁板付勢部が、前記弁枠付勢部と前記可動弁板部の中心とを通る直線上で前記弁枠付勢部より前記中心に近接する位置に配される
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか記載の仕切りバルブ。
【請求項８】
前記弁箱付勢部が、前記可動弁枠部を押圧可能な伸縮ロッド（可動部）を有し、
前記伸縮ロッド（可動部）の軸線と前記弁枠付勢部の前記枠ガイドピンの軸線とが一致して配置される
ことを特徴とする請求項１から７いずれか記載の仕切りバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は仕切りバルブに関し、特に逆圧キャンセルの可能な振り子バルブに用いて好適な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空装置等においては、チャンバー、配管、ポンプなどの間で、異なる真空度の２つの空間の間を仕切り、仕切られた２つの空間をつなげる仕切りバルブが設けられている。このような仕切りバルブとしては、様々な形態の弁が知られている。
【０００３】
本発明者らは、高い信頼性の仕切り動作が可能であり、１００％の逆圧キャンセル率が実現できる、仕切りバルブを開発し、特許出願を行った（特許文献１）。この仕切りバルブにおいては、流路を横断して形成される弁箱と、流路方向と平行な軸線の回転軸により回転可能な中立弁部と、中立弁部に対して流路方向に摺動可能な可動弁部として、弁箱の流路の開口部に押しつけられてシール可能な第１可動弁部と、第１可動弁部に対して流路方向に摺動可能とされる第２可動弁部と、第１可動弁部を開口部に押しつけてシール動作可能な第１付勢部と、第１可動弁部と前記第２可動弁部との厚み寸法を調整が可能な第２付勢部と、第１可動弁部を中立弁部に対して付勢する第３付勢部と、を設けた。
【０００４】
仕切りバルブが設置される装置・製造ライン等においては、大口径化が求められているとともに、同時に、可動弁部の軽量化が求められていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第６３５８７２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、大口径化にともなって弁体の周方向の長さが増加する。このため、バルブを閉塞した際に、シールを維持するＯリングが開口部周辺の弁箱表面に貼り付いた状態となり、バルブを開くときに、この貼り付いたＯリングを剥がすために必要な作動力が大きくなる。
ところが、特許文献１の技術では、大口径化にともなって、貼り付いたＯリングを剥がすためには、第１〜第３付勢部の動作が充分でない場合があるということがわかった。
【０００７】
また、大口径化にともなって、弁体の重量が増大する。このため、バルブを開くときに、弁体を弁箱の内部で回転可能な姿勢とする必要があるが、姿勢制御が必要な弁体の重量が大きくなる。
ところが、特許文献１の技術における第１〜第３付勢部では、大口径化にともなって、弁体の姿勢制御をおこなう動作のための付勢力が充分でない可能性があった。
【０００８】
さらに、大口径化にともなって弁体の重量が増加し、弁体を駆動するために必要な駆動力も大きくなる。したがって、特許文献１の技術における可動弁部に対して作用するモーメントも増加する。このため、モーメントに抗して姿勢制御をおこなう必要があるが、特許文献１の技術における第１〜第３付勢部では、大口径化にともなって、この姿勢制御のための付勢力が充分でない可能性があった。
【０００９】
また、特許文献１の技術における第３付勢部（補助バネ）は、板バネとされているが、この構成では、交換等のメンテナンスの際に、弁体自体を分解しなければならないため、作業工程と作業時間とを削減したいという要求があった。
さらに、板バネとされている第３付勢部（補助バネ）において、極めて多数回の使用における動作信頼性、つまり、部品の信頼性を向上するとともに長寿命化を図り、メンテナンス回数を削減したいという要求があった。
【００１０】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１．仕切りバルブにおいて大口径化を容易に実現すること。
２．弁体における弁開動作を容易にすること。
３．弁体の姿勢制御を確実におこなうこと。
４．弁動作における確実性を向上すること。
５．メンテナンスの容易性を向上すること。
６．部品の長寿命化を図ること。
７．メンテナンス頻度を低減すること。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の仕切りバルブは、流路を仕切る仕切りバルブであって、
前記流路に挿入されるとともに互いに対向して連通し前記流路を形成する第１開口部および第２開口部を有する弁箱と、
前記弁箱内の中空部内に位置して前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記回転軸に前記弁体を接続する中立弁部と、
前記中立弁部に対して前記流路方向に位置移動可能として前記弁体に設けられる可動弁枠部と、
前記中立弁部と前記可動弁枠部とを接続する弁枠付勢部と、
前記可動弁枠部に対して板摺動シール部を介して前記流路方向に位置移動可能として前記弁体に設けられる可動弁板部と、
前記可動弁枠部と前記可動弁板部とを接続する弁板付勢部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁枠部を前記第１開口部の周縁に接触する弁閉塞位置に向けて移動可能な弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部を駆動する駆動部と、
を具備し、
前記弁枠付勢部が、
前記中立弁部と前記可動弁枠部との一方に基部が固定されるとともに前記流路方向に立設されて前記中立弁部と前記可動弁枠部との摺動方向を規制する枠ガイドピンと、
前記中立弁部と前記可動弁枠部との他方に設けられ前記枠ガイドピンの先端に近接する位置が摺動可能に貫通する貫通孔と、
前記枠ガイドピンにおける基部の周囲および前記貫通孔の周囲を前記流路方向の逆向きに付勢する枠コイルバネと、
を有する
ことにより上記課題を解決した。
本発明の仕切りバルブは、前記弁枠付勢部が、前記可動弁枠部の周方向に互いに均等距離離間して複数設けられることができる。
本発明において、複数の前記弁枠付勢部が、前記可動弁板部の中心を通る同一直線上で前記中心に対して対向する位置に配されることが好ましい。
本発明の仕切りバルブには、前記弁枠付勢部の前記貫通孔には、前記枠ガイドピンの基部に向けて、前記枠ガイドピンの周囲を囲み摺動位置を規制する規制筒が設けられることが可能である。
また、本発明において、前記弁枠付勢部の前記枠ガイドピンには、基部に拡径した受圧部が設けられ、前記受圧部が前記枠コイルバネの付勢力を受ける手段を採用することもできる。
本発明の仕切りバルブは、前記弁板付勢部が、前記可動弁枠部と前記可動弁板部との摺動方向を規制する板ガイドピンを有し、
前記板ガイドピンと前記弁枠付勢部の前記枠ガイドピンとが平行に配置されることができる。
また、本発明の仕切りバルブは、前記弁板付勢部が、前記弁枠付勢部と前記可動弁板部の中心とを通る直線上で前記弁枠付勢部より前記中心に近接する位置に配されることができる。
本発明においては、前記弁箱付勢部が、前記可動弁枠部を押圧可能な伸縮ロッド（可動部）を有し、
前記伸縮ロッド（可動部）の軸線と前記弁枠付勢部の前記枠ガイドピンの軸線とが一致して配置されることができる。
【００１２】
本発明の仕切りバルブは、流路を仕切る仕切りバルブであって、
前記流路に挿入されるとともに互いに対向して連通し前記流路を形成する第１開口部および第２開口部を有する弁箱と、
前記弁箱内の中空部内に位置して前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記弁体を回転駆動可能な回転駆動部と、
前記回転軸に前記弁体を接続する中立弁部と、
前記中立弁部に対して前記流路方向に位置移動可能として前記弁体に設けられる可動弁枠部と、
前記中立弁部と前記可動弁枠部とを接続する弁枠付勢部と、
前記可動弁枠部に対して板摺動シール部を介して前記流路方向に位置移動可能として前記弁体に設けられる可動弁板部と、
前記可動弁枠部と前記可動弁板部とを接続する弁板付勢部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁枠部を前記第１開口部の周縁に接触する弁閉塞位置に向けて移動可能な弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部を駆動する駆動部と、
を具備し、
前記弁枠付勢部が、
前記中立弁部と前記可動弁枠部との一方に基部が固定されるとともに前記流路方向に立設されて前記中立弁部と前記可動弁枠部との摺動方向を規制する枠ガイドピンと、
前記中立弁部と前記可動弁枠部との他方に設けられ前記枠ガイドピンの先端に近接する位置が摺動可能に貫通する貫通孔と、
前記枠ガイドピンにおける基部の周囲および前記貫通孔の周囲を前記流路方向の逆向きに付勢する枠コイルバネと、
を有する。
これにより、前記弁枠付勢部によって、中立弁部に対して可動弁枠部を流路方向に摺動可能とする。
【００１３】
具体的には、前記弁体によって前記開口部を閉塞する閉弁動作においては、前記弁箱付勢部によって押圧された可動弁枠部が流路方向に移動する。この際、前記弁枠付勢部は、中立弁部に対する可動弁枠部の移動方向を規制する。
また、前記弁箱付勢部の押圧が解除される開弁動作では、前記弁枠付勢部の付勢力によって、可動弁枠部が流路方向中央位置に移動する。
【００１４】
これら閉弁動作および開弁動作の際に、前記弁枠付勢部によって、中立弁部に対する可動弁枠部の移動方向を規制できる。その結果、弁体の姿勢が傾かないようにすることができる。このため、弁体で発生する変形を抑制することが可能となる。
これらにより、仕切りバルブを大口径化してもシール性を維持、または、向上することが容易となる。
【００１５】
さらに、開弁動作の際には、前記開口部から可動弁枠部離間して前記開口部を開放する。このとき、前記弁枠付勢部は、開口部の周囲の弁箱内面に貼り付いている可動弁枠部に設けられたＯリング等のシール部材を引き剥がして離間させるために充分な付勢力を有することができる。同時に、弁体の姿勢が傾かないようにすることができる。
これらにより、弁動作確実性を向上することができる。
【００１６】
本発明の仕切りバルブは、前記弁枠付勢部が、前記可動弁枠部の周方向に互いに均等距離離間して複数設けられる。
これにより、可動弁枠部が開口部に当接した状態から離間させる開弁動作時に、可動弁枠部の周方向において均等間隔に配置された前記弁枠付勢部が、均等な付勢力を可動弁枠部に作用させることが可能となる。これにより、開弁動作時に中立弁部に対して可動弁枠部が傾いた姿勢となることなく、開口部から可動弁枠部を離間させることが可能となる。このため、弁体で発生する変形を抑制することが可能となる。
また、仕切りバルブを大口径化してもシール性を維持、または、向上することが容易となる。
【００１７】
本発明において、複数の前記弁枠付勢部が、前記可動弁板部の中心を通る同一直線上で前記中心に対して対向する位置に配される。
これにより、可動弁枠部が開口部に当接した状態から離間させる開弁動作時に、可動弁枠部の径方向において中心に対して対向する位置に配置された前記弁枠付勢部が、直径の両端位置で均等な付勢力を可動弁枠部に作用させることが可能となる。
【００１８】
これにより、開弁動作時に中立弁部に対して可動弁枠部が傾いた姿勢となることなく、開口部から可動弁枠部を離間させることが可能となる。このため、弁体で発生する変形を抑制することが可能となる。
また、仕切りバルブを大口径化してもシール性を維持、または、向上することが容易となる。
なお、直径の両端に前記弁枠付勢部が配置されたセットを、周方向に等間隔で複数セット設けることができる。
【００１９】
本発明の仕切りバルブには、前記弁枠付勢部の前記貫通孔には、前記枠ガイドピンの基部に向けて、前記枠ガイドピンの周囲を囲み摺動位置を規制する規制筒が設けられる。
これにより、規制筒がその内部で摺動する枠ガイドピンの摺動方向を規制して、枠ガイドピンが傾くことを防止できる。したがって、枠ガイドピンによって接続される中立弁部と可動弁作部とが摺動時に傾いてしまうことを防止できる。
【００２０】
この姿勢制御は次の場合に有効となる。
閉弁動作において、前記弁箱付勢部に押圧されて、可動弁枠部が中立弁部に対して流路方向に移動する場合。
開弁動作において、前記弁箱付勢部の押圧が解除されて、前記弁枠付勢部の付勢力によって、可動弁枠部が中立弁部に対して流路方向に移動する場合。
弁体の振り子運動時に、枠ガイドピンの軸方向と交差する方向に可動弁枠部と中立弁部との間に回転モーメントが作用した場合。
上記を含み、弁体の姿勢が変化する方向の力が前記弁箱付勢部に働いた場合。
【００２１】
これらにより、弁体で発生する変形を抑制することが可能となる。
また、仕切りバルブを大口径化してもシール性を維持、または、向上することが容易となる。
【００２２】
また、本発明において、前記弁枠付勢部の前記枠ガイドピンには、基部に拡径した受圧部が設けられ、前記受圧部が前記枠コイルバネの付勢力を受ける。
この場合、前記枠コイルバネは、前記枠ガイドピンの基部の前記受圧部における周囲および前記貫通孔の周囲に接触して、前記枠ガイドピンの付近で、前記中立弁部と前記可動弁枠部とを枠ガイドピンの軸方向に互いに離間する方向に付勢する。
これにより、中立弁部に対して可動弁枠部が開口部に向かって移動された際に、枠コイルバネの付勢力により、前記可動弁枠部を枠ガイドピンの軸方向に沿って前記中立弁部に近接する方向に移動することができる。
また、弁箱付勢部によって可動弁枠部を押圧して、流路方向の中央に位置する中立弁部に対して、枠ガイドピンの軸線方向に沿って、可動弁枠部を開口部に向かって移動することができる。
これにより、弁体で発生する変形を抑制することが可能となる。
また、仕切りバルブを大口径化してもシール性を維持、または、向上することが容易となる。
【００２３】
可動弁枠部の移動方向を規制する前記枠ガイドピンと、枠コイルバネの付勢力を受ける前記受圧部とが、一体とされている。このため、枠コイルバネの付勢力の受けと、可動弁枠部とが中立弁部との位置規制を一部品でおこなうことができるとともに、メンテナンス等において前記弁枠付勢部の取り外しにかかる作業時間と作業工程とを削減することができる。
【００２４】
本発明の仕切りバルブは、前記弁板付勢部が、前記可動弁枠部と前記可動弁板部との摺動方向を規制する板ガイドピンを有し、
前記板ガイドピンと前記弁枠付勢部の前記枠ガイドピンとが平行に配置される。
これにより、前記弁板付勢部によって、可動弁板部が可動弁枠部に対して摺動する際に、可動弁板部の移動方向を規制する板ガイドピンが枠ガイドピンと平行なため、可動弁板部と可動弁枠部との移動方向が流路方向と平行な方向に規制される。したがって、可動弁板部の移動によって、可動弁枠部に流路方向と斜め方向に応力やモーメントが作用してしまうことを抑制できる。
したがって、可動弁板部と可動弁枠部との移動に起因して、可動弁枠部と中立弁部との移動に影響を与えることを防止できる。
【００２５】
また、弁体が流路方向に対して傾くなど、弁体の姿勢が変化した場合であっても、板ガイドピンと枠ガイドピンとが平行なため、可動弁板部と可動弁枠部との移動方向と、可動弁枠部と中立弁部との移動方向とを平行に維持することができる。このため、これら可動弁板部と可動弁枠部と中立弁部との移動に支障が出ることがない。
【００２６】
特に、前記弁箱付勢部によって、可動弁枠部が開口部を閉塞・開放する場合であっても、板ガイドピンと枠ガイドピンとの平行が維持される。これにより、流路方向の差圧が逆向きとなる逆圧状態においても、可動弁板部の動作が、可動弁枠部と中立弁部との移動に悪影響を及ぼすことがない。
したがって、弁体で発生する変形を抑制することが可能となる。
また、仕切りバルブを大口径化してもシール性を維持、または、向上することが容易となる。
【００２７】
また、本発明の仕切りバルブは、前記弁板付勢部が、前記弁枠付勢部と前記可動弁板部の中心とを通る直線上で前記弁枠付勢部より前記中心に近接する位置に配される。
これにより、前記弁板付勢部と前記弁枠付勢部と前記弁箱付勢部とを可動弁枠部の周方向で近接させることができ、強度・剛性が必要な部分を小さくして、他の部分での軽量化をおこなうことが容易となる。
また、前記弁箱付勢部によって可動弁枠部を押圧する場合や、弁体が流路方向に対して傾くなど、弁体の姿勢が変化した場合であっても、板ガイドピンと枠ガイドピンとが平行なため、可動弁板部と可動弁枠部との移動方向と、可動弁枠部と中立弁部との移動方向とを平行に維持することができる。
【００２８】
このため、これら可動弁板部と可動弁枠部と中立弁部との移動に支障が出ることがない。
これにより、弁体で発生する変形を抑制することが可能となる。
また、仕切りバルブを大口径化してもシール性を維持、または、向上することが容易となる。
【００２９】
本発明においては、前記弁箱付勢部が、前記可動弁枠部を押圧可能な伸縮ロッド（可動部）を有し、
前記伸縮ロッド（可動部）の軸線と前記弁枠付勢部の前記枠ガイドピンの軸線とが一致して配置される。
これにより、前記弁箱付勢部によって、可動弁枠部が開口部を閉塞する場合に、可動弁枠部の位置移動を規制する枠ガイドピンを弁板箱勢部の伸縮ロッド（可動部）が押圧することになるため、伸縮ロッド（可動部）の押圧力によって、可動弁枠部の移動においてモーメントが発生することがない。
【００３０】
したがって、可動弁枠部にねじれの位置となる力が作用しないので、可動弁枠部で発生する変形を抑制することができる。これにより、シール性を向上することが可能となる。また、同時に可動弁枠部を移動させる作用力を削減しても動作の確実性を維持することができる。
これにより、仕切りバルブを大口径化することが容易となる。
【００３１】
さらに、弁閉塞時に、可動弁枠部に設けられたＯリング等のシール部材が開口部周囲の弁箱内面に貼り付いて閉まった場合でも、弁箱付勢部が可動弁枠部を押圧する位置をＯリング等のシール部材に近接させることができるため、貼り付いたＯリングを容易に剥がすことが可能となる。
【００３２】
また、前記枠ガイドピンの基部に受圧部が設けられ、前記受圧部が前記コイルバネの付勢力を受ける構成とした場合には、受圧部が弁箱付勢部の伸縮ロッド（可動部）によって押圧する構成とすることが可能となる。これにより、位置規制力とコイルバネの反力と伸縮ロッド（可動部）の押圧力とを受ける部品を一部品として、強度および剛性の強い材質とすることが可能となる。
【００３３】
この場合、可動弁板部などの軽量化が必要な部品を軽い材質とし、強度が必要な枠ガイドピン、板ガイドピン、規制筒、受圧部等を強度および剛性の強い材質とすることで、軽量化と強度維持とを同時に実現することが可能となる。
これらにより、弁体で発生する変形を抑制することが可能となる。
また、仕切りバルブを大口径化してもシール性を維持、または、向上することが容易となる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば、大口径化と軽量化とを実現し、かつ、動作確実性を向上した仕切りバルブを提供することができるという効果を奏することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路と直交する断面図であり、弁体の退避位置と弁開口遮蔽位置とを示す。
【図２】本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブの構成を示す流路に沿った断面図であり、弁体の弁開口遮蔽位置を示す。
【図３】本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブにおける弁体の縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブにおける弁体を流路と直交する方向視した上面図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブにおける弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブにおける油圧駆動手段および弁箱付勢部を示す説明図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブにおける弁体の縁部を示す流路に沿った拡大断面図であり、可動弁枠による弁閉塞状態を示す。
【図８】図７における弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
【図９】本発明の第１実施形態に係る仕切りバルブにおける弁体の縁部を示す流路に沿った拡大断面図であり、可動弁板部による逆圧キャンセルとなる弁閉塞状態を示す。
【図１０】図９における弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明に係る仕切りバルブの第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
また、以下の説明に用いる各図においては、各構成要素を図面上で認識し得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法及び比率が実際のものとは適宜に異ならせてある。
本発明の技術範囲は、以下に述べる実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００３７】
図１は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路と直交する断面図である。
図２は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路に沿った断面図である。
図３は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。
図において、符号１００は、仕切りバルブである。
【００３８】
本実施形態に係る仕切りバルブ１００は、第１空間と第２空間とをつなげている流路Ｈを仕切り、また、この仕切り状態を開放する。つまり、仕切りバルブ１００は、流路Ｈを閉鎖した状態と、第１空間と第２空間とをつなぐ状態と、を切り替える。
仕切りバルブ１００は、図１，図２に示すように、弁箱１０と、中空部１１と、弁体５と、回転軸２０と、回転駆動部２１と、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と、弁板付勢部（保持バネ）８０と、弁枠付勢部９０と、油圧駆動手段（駆動部）７００と、を備える。
【００３９】
弁箱１０の内部には中空部１１が形成される。弁箱１０は、中空部１１を有するフレームによって構成される。
弁箱１０には、中空部１１を挟んで互いに対向するように第１開口部１２ａおよび第２開口部１２ｂが設けられる。
【００４０】
第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂまでは中空部１１を介して連通される。
第１開口部１２ａから第２開口部１２ｂに向かって流路Ｈが設定されている。
第１開口部１２ａと第２開口部１２ｂとは、略同一輪郭を有する。
第１開口部１２ａは、円形輪郭を有する。
【００４１】
第１開口部１２ａは、第１空間に露出されている。
第２開口部１２ｂは、円形輪郭を有する。第２開口部１２ｂは、第２空間に露出されている。つまり、仕切りバルブ１００は、第１空間と第２空間との間に挿入される。
なお、以下の説明において、この流路Ｈに沿った方向を流路Ｈ方向と称することがある。
【００４２】
中空部１１内には、弁体５が配置される。
弁体５は、弁閉塞位置において第１空間と第２空間とを遮断可能とされる。
弁体５は、位置切り替え部としての回転軸２０に支持される。
回転軸２０は、流路Ｈ方向とほぼ平行に延在する軸線を有する。回転軸２０は、弁箱１０を貫通する。回転軸２０は、回転駆動部２１により回転駆動可能である。
【００４３】
回転軸２０には、接続部材（不図示）が固着されている。
接続部材は、例えば、略平板状の部材である。接続部材は、回転軸２０の一端に対してネジ等によって固着される。
回転軸２０には、接続部材（不図示）を介して弁体５が固定される。
あるいは、回転軸２０には、接続部材（不図示）を介さずに弁体５が直接接続されてもよい。
回転軸２０は、弁体５の位置切り替え部として機能する。
【００４４】
図４は、本実施形態における仕切りバルブの弁体を示す流路と直交する方向視した上面図である。
弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂを閉塞可能である。
弁体５は、弁閉塞位置と弁開口遮蔽位置と弁開放位置（退避位置）との間で動作する。
弁体５は、退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能である。
弁閉塞位置において、弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂに対して閉塞状態（図７〜図１０）になる。
弁開放位置（退避位置）において、弁体５は、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂから退避した開放状態（図１に破線で示す）になる。
弁体５は、中立弁部３０、および、可動弁部４０から構成されている。
【００４５】
中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に延在する。中立弁部３０は、回転軸２０の軸線に対して直交する方向に平行な面に含まれるように配置される。
【００４６】
中立弁部３０は、図１〜図３に示すように、円形部３０ａと回転部３０ｂとを有する。
円形部３０ａは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや大きなリング状とされる。
円形部３０ａの径方向内側となる位置には、可動弁部４０が配置される。
円形部３０ａの内周は、流路Ｈ方向視して、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂとほぼ重なるように配置される。
回転部３０ｂは、回転軸２０と円形部３０ａとの間に位置する。
回転部３０ｂは、回転軸２０の回転に伴って円形部３０ａを回転させる。
【００４７】
回転部３０ｂは、回転軸２０から円形部３０ａに向けて拡径するように延在する平板形状で形成されている。
回転部３０ｂは、回転軸２０から円形部３０ａに向けて複数本の腕が延びたアーム形状とされてもよい。
これら回転軸２０および中立弁部３０は、弁箱１０に対して回動はするが、流路Ｈ方向には位置変動しない。
【００４８】
円形部３０ａと回転部３０ｂとは、一体とされてもよい。
この場合、平板状の中立弁部３０に可動弁部４０の嵌合される貫通孔が形成されて円形部３０ａとされる。
また、円形部３０ａの周方向の一部分が、径方向外側向きに延長された部分が回転部３０ｂとされる。
【００４９】
円形部３０ａにおける流路Ｈ方向の厚み寸法は、回転部３０ｂの流路Ｈ方向の厚み寸法とほぼ等しくなるように形成される。
円形部３０ａにおける中立弁部３０の径方向内側には、円フランジ部３０ｃが周設される。
【００５０】
円フランジ部３０ｃにおける流路Ｈ方向の厚み寸法は、円形部３０ａの流路Ｈ方向の厚み寸法よりも小さくなるように形成される。
円フランジ部３０ｃは、円形部３０ａの内周面において、流路Ｈ方向で第１開口部１２ａに近接する位置に周設される。
【００５１】
流路Ｈ方向において、円フランジ部３０ｃよりも第２開口部１２ｂに近接する位置には、後述する可動弁枠部６０の外枠板６０ｅが位置する。
円フランジ部３０ｃは、後述する可動弁枠部６０の外枠板６０ｅと接続される。
円フランジ部３０ｃと外枠板６０ｅとは、外周クランク部６０ｃの径方向外側に位置する。
【００５２】
円フランジ部３０ｃにおける中立弁部３０の径方向となる幅寸法は、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向となる幅寸法とほぼ等しく設定される。
円形部３０ａおよび円フランジ部３０ｃは、外周クランク部６０ｃに対して可動弁枠部６０の径方向外側となる位置に周設される。
なお、円形部３０ａと回転部３０ｂとは、流路Ｈ方向の厚み寸法が等しくなるように形成することもできる。
【００５３】
可動弁部４０は略円板状とされる。
可動弁部４０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向の位置が変更可能に接続される。
つまり、可動弁部４０は、中立弁部３０に対して厚さ方向のみ摺動可能として接続される。
可動弁部４０は、流路Ｈ方向に互いに移動可能な２つの部分からなる。つまり、可動弁部４０は、可動弁枠部６０（スライド弁枠）と可動弁板部５０（カウンター板）とを備える。
【００５４】
可動弁枠部６０は、円形部３０ａと略同心状の略円環状とされる。
可動弁枠部６０は、円形部３０ａにおける径方向内側に位置する。
可動弁枠部６０は、円形部３０ａに嵌合される。
【００５５】
可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。
可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に位置移動可能とされる。
つまり、可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対して、振り子動作可能な位置と、第１開口部１２ａに接触可能な位置との間で移動可能とされる。
【００５６】
可動弁枠部６０は、外周クランク部６０ｃと、内枠板６０ｄと、外枠板６０ｅと、を有する。
可動弁枠部６０は、内枠板６０ｄと外周クランク部６０ｃと外枠板６０ｅとが接続されて、径方向におけるリング状の断面形状が、略Ｚ字形状とされている。
【００５７】
外周クランク部６０ｃは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや大きな輪郭を有するリング状または円筒状に形成される。
外周クランク部６０ｃは、可動弁枠部６０の外縁における全周に形成される。
外周クランク部６０ｃは、流路Ｈ方向における中立弁部３０の厚さ寸法とほぼ等しい流路Ｈ方向の厚さ寸法を有する。
【００５８】
外周クランク部６０ｃは、摺動面６０ｂを有する。
摺動面６０ｂは、流路Ｈ方向と平行な軸線を有する円筒面である。
摺動面６０ｂは、外周クランク部６０ｃの内周面において周方向の全長に設けられる。
摺動面６０ｂは、後述する可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃの摺動面５０ｂと互いに摺動可能として対向状態に位置する。
外周クランク部６０ｃには、内周クランク部５０ｃが嵌合している。
【００５９】
内枠板６０ｄは、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向内側となる位置に周設される。
内枠板６０ｄは、外周クランク部６０ｃの流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する端部に周設される。
内枠板６０ｄは、弁板５０ｄと平行なフランジ状に形成される。
【００６０】
内枠板６０ｄは、流路Ｈ方向における外周クランク部６０ｃの厚さ寸法よりも小さな流路Ｈ方向の厚さ寸法を有する。
内枠板６０ｄよりも流路Ｈ方向における第２開口部１２ｂに近接する位置には、後述する内周クランク部５０ｃが位置する。
内枠板６０ｄにおける可動弁枠部６０の径方向となる幅寸法は、内周クランク部５０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向となる幅寸法とほぼ等しく設定される。
【００６１】
外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向外側となる位置に周設される。
外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃの流路Ｈ方向における第２開口部１２ｂに近接する端部に周設される。
【００６２】
外枠板６０ｅは、外周クランク部６０ｃよりも流路Ｈ方向寸法の小さい突条として、外周クランク部６０ｃにおける可動弁枠部６０の径方向外側に周設される。
外枠板６０ｅよりも流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する位置には、円フランジ部３０ｃが位置する。
外枠板６０ｅには、後述するように、複数の弁枠付勢部９０が配置される。
外枠板６０ｅには、弁枠付勢部９０を内蔵する付勢部穴６８が複数配置される。
【００６３】
可動弁枠部６０と中立弁部３０との間には、弁枠付勢部（補助バネ）９０が配置される。
可動弁枠部６０は、弁枠付勢部（補助バネ）９０によって、中立弁部３０に対して流路Ｈ方向における位置が変更可能に接続される。
可動弁枠部６０と円形部３０ａとは、同心状の二重円環とされる。
【００６４】
可動弁枠部６０には、弁箱内面１０Ａに対向（当接）する表面に、弁枠シールパッキン６１が周設される。
弁枠シールパッキン６１は、円形となる外周クランク部６０ｃと内枠板６０ｄとの境界位置に配置される。
【００６５】
弁枠シールパッキン６１は、第１開口部１２ａの形状に対応して円環状に形成される。弁枠シールパッキン６１は、例えば、Ｏリング等からなるシール部とされる。
弁枠シールパッキン６１は、第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着可能である。
弁枠シールパッキン６１は、可動弁枠部６０に同心状として配置される。
【００６６】
弁枠シールパッキン６１は、閉弁時に第１開口部１２ａの周縁となる弁箱内面１０Ａに接触して、可動弁枠部６０および弁箱内面１０Ａによって押圧される。これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。
弁枠シールパッキン６１は、外周クランク部６０ｃの第１開口部１２ａに対向する端面に設けられる。
弁枠シールパッキン６１は、外周クランク部６０ｃにおける最外周に近接する位置に設けられる。
【００６７】
可動弁板部５０は、円形部３０ａと略同心状の円形輪郭を有する板体とされる。
可動弁板部５０は、可動弁枠部６０における外周クランク部６０ｃの径方向内側に嵌合される。
つまり、可動弁板部５０の径方向外側となる位置には、可動弁板部５０の周囲を囲むように可動弁枠部６０が配置される。
【００６８】
可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃと可動弁枠部６０とは、同心状の二重円環とされる。
可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に対して流路Ｈ方向に摺動可能とされる。
可動弁板部５０は、可動弁枠部６０に対して流路Ｈ方向に位置移動可能とされる。
【００６９】
ここで、可動弁板部５０は、次の３つの位置の間で移動可能とされる。
第１の位置は、振り子動作可能な位置にある可動弁枠部６０と中立弁部３０とに対して同様に可動弁板部５０が振り子動作可能な位置である。
【００７０】
第２の位置は、可動弁枠部６０が第１開口部１２ａに接触可能な位置にある場合に、第１の位置における可動弁枠部６０に対する可動弁板部５０と同じ位置である。
第３の位置は、第２の位置における可動弁枠部６０に対して、可動弁板部５０が第2開口部１２ｂに接触可能な位置である。
【００７１】
可動弁板部５０は、内周クランク部５０ｃと、弁板５０ｄと、を有する。
可動弁板部５０は、弁板５０ｄにおける第１開口部１２ａに対向する面の周縁位置に内周クランク部５０ｃが周設されて、直径を通る断面形状が、略Ｕ字形状とされている。
弁板５０ｄは、内周クランク部５０ｃの径方向内側を密閉するように設けられる。
弁板５０ｄは、流路Ｈ方向と略直交する方向に配置された平板状とされる。
【００７２】
内周クランク部５０ｃは、リング状または軸方向寸法が径方向寸法に比べて短い円筒状に形成される。
内周クランク部５０ｃは、可動弁板部５０の外縁における全周に形成される。
内周クランク部５０ｃは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや大きな外周輪郭を有する。
【００７３】
内周クランク部５０ｃは、第１開口部１２ａおよび／または第２開口部１２ｂの輪郭よりやや小さな内周輪郭を有する。
内周クランク部５０ｃは、外周クランク部６０ｃよりも小さな厚さ寸法、つまり、流路Ｈ方向寸法を有する。
内周クランク部５０ｃは、弁板５０ｄよりも大きな厚さ寸法、つまり、流路Ｈ方向寸法を有する。
【００７４】
内周クランク部５０ｃは、摺動面５０ｂを有する。
摺動面５０ｂは、流路Ｈ方向と平行な軸線を有する円筒面である。
摺動面５０ｂは、内周クランク部５０ｃの外周面において周方向の全長に設けられる。
内周クランク部５０ｃと外周クランク部６０ｃとは、摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとが接触した状態で嵌合している。
摺動面５０ｂと可動弁枠部６０の摺動面６０ｂとは、互いに摺動可能として対向状態に位置する。
【００７５】
内周クランク部５０ｃには、弁板付勢部（保持バネ）８０が収容される付勢部穴５８と周溝５９とが可動弁板部５０の周方向に交互に配置される。
弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁板部５０の周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。
複数の弁板付勢部（保持バネ）８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましい。
【００７６】
本実施形態では、互いに離間する弁板付勢部（保持バネ）８０の配置として、弁板５０ｄの中心Ｏから見て、４個の弁板付勢部（保持バネ）８０が同じ角度位置（９０度）で離間するように配置された構成例を示す。
弁板５０ｄの中心Ｏから見て、弁板付勢部（保持バネ）８０の角度位置は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠付勢部９０との角度位置と重なるように構成される。
【００７７】
付勢部穴５８は、上記のような弁板付勢部（保持バネ）８０の配置に対応して、内周クランク部５０ｃの周方向に等間隔に４箇所設けられる。
周溝５９は、隣接する付勢部穴５８の間を結ぶように内周クランク部５０ｃの周方向に周設される。
【００７８】
付勢部穴５８および周溝５９は、流路Ｈ方向における内周クランク部５０ｃの第１開口部１２ａに対向する面に開口を有する。
内周クランク部５０ｃには、周溝５９によって、周溝５９を挟んで流路Ｈ方向に立設された内周壁５９ａと、外周壁５９ｂと、内周壁５９ａおよび外周壁５９ｂの間の底部５９ｃとが形成される。
【００７９】
内周壁５９ａと外周壁５９ｂとは、流路Ｈ方向に延在する。
底部５９ｃは、弁板５０ｄと略平行な流路Ｈ方向と直交する方向に延在する。
内周壁５９ａは、可動弁板部５０の径方向において、周溝５９よりも内側に周設される。
【００８０】
周溝５９には、底部５９ｃの表面（底面）と内周壁５９ａの表面（側面）との間を湾曲して接続する湾曲部５９ｄが設けられる。
周溝５９には、底部５９ｃの表面（底面）と外周壁５９ｂの表面（側面）との間を湾曲して接続する湾曲部５９ｅが設けられる。
【００８１】
周溝５９の底部５９ｃは、付勢部穴５８の底部５８ｃよりも流路Ｈ方向において、第１開口部１２ａに近接した位置とされる。つまり、周溝５９の底部５９ｃは、付勢部穴５８の底部５８ｃよりも厚く形成されている。
付勢部穴５８は、後述する弁板付勢部８０を収納可能として、略円筒状に形成される。
付勢部穴５８の底部５８ｃは平面状とされており、湾曲部５９ｄ，５９ｅと同程度の曲率半形を有する湾曲部は設けないことができる。
【００８２】
内周壁５９ａには、可動弁板部５０の径方向内側に弁板５０ｄが接続される。
可動弁板部５０において、内周クランク部５０ｃの内周壁５９ａと、弁板５０ｄの周縁部分とが、周溝５９の底部５９ｃよりも周溝５９の開口に近接した位置で接続される。
さらに、内周壁５９ａの径方向内側には、流路Ｈ方向となる可動弁板部５０の厚さ方向において、内周クランク部５０ｃの中心位置よりも第１開口部１２ａに近接する位置に弁板５０ｄが接続されることが好ましい。
【００８３】
なお、内周壁５９ａと弁板５０ｄとが接続される位置としては、流路Ｈ方向において、第１開口部１２ａに近接した位置となる内周壁５９ａの端部位置から、内周クランク部５０ｃの中心位置までの間で適宜設定することができる。
内周壁５９ａと弁板５０ｄとが接続される位置として、流路Ｈ方向において、内周クランク部５０ｃの中心位置よりも、第１開口部１２ａに近接した位置となる内周壁５９ａの端部側に近接した位置に設定することができる。
【００８４】
外周壁５９ｂには、可動弁板部５０の径方向外側に、摺動面５０ｂが周設される。
外周壁５９ｂには、可動弁板部５０の径方向外側に、板摺動シール部としてＯリング等からなる摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２が配される。
外周壁５９ｂには、摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２を収容するための溝５２ｍが周設される。
【００８５】
摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２は、外周溝５６よりも周溝５９の開口に近接した位置、つまり、流路Ｈ方向における外周壁５９ｂの端部に近接する位置に設けられる。
溝５２ｍは、外周溝５６よりも周溝５９の開口に近接した位置、つまり、流路Ｈ方向における外周壁５９ｂの端部に近接した位置に設けられる。
溝５２ｍは、流路Ｈ方向となる可動弁板部５０の厚さ方向において、外周壁５９ｂの第１開口部１２ａに近接した位置に配される。
【００８６】
外周壁５９ｂには、可動弁板部５０の径方向外側となる位置に、Ｏリング等からなるカウンタークッション（シール部材）５１を収容するための溝５１ｍの設けられた突条が周設される。
溝５１ｍは、突条における第２開口部１２ｂに近接した位置となる端面に設けられる。
溝５１ｍの設けられた突条は、流路Ｈ方向となる可動弁板部５０の厚さ方向において、外周壁５９ｂの第２開口部１２ｂに近接して位置する。
溝５１ｍは、可動弁板部５０の径方向において、外周壁５９ｂよりも外側に位置する。
【００８７】
可動弁板部５０の径方向において、外周壁５９ｂの外周面には、外周溝５６が設けられる。
外周溝５６は、流路Ｈ方向における溝５２ｍと溝５１ｍとの間に位置する。
外周溝５６は、摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２に接しないように配置される。
【００８８】
摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２は、内周クランク部５０ｃと外周クランク部６０ｃとの間に配される。
摺動シールパッキン５２により、摺動時における摺動面５０ｂと摺動面６０ｂとのシール状態を維持する。
【００８９】
摺動面５０ｂ、摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２、摺動面６０ｂは、板摺動シール部を構成する。
【００９０】
可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、弁板付勢部８０（保持バネ）によって接続される。
【００９１】
可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、図２に符号Ｂ１，Ｂ２で示された往復方向に、互いに相対的な摺動が可能である。
往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の面に垂直な方向である。往復方向Ｂ１，Ｂ２とは、回転軸２０の軸方向に平行な流路Ｈ方向である。
【００９２】
可動弁板部５０には、弁箱内面１０Ｂに対向（当接）する表面に、カウンタークッション（シール部材）５１が周設される。
カウンタークッション（シール部材）５１は、第２開口部１２ｂの形状に対応して円環状に形成される。
カウンタークッション（シール部材）５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに密着可能である。
【００９３】
カウンタークッション（シール部材）５１は、Ｏリング等からなるシール部とされる。
カウンタークッション（シール部材）５１は、内周クランク部５０ｃの第２開口部１２ｂに対向する端面に設けられる。
カウンタークッション（シール部材）５１は、外周壁５９ｂの径方向外側の位置に周設された突条に設けられる。
【００９４】
カウンタークッション（シール部材）５１は、突条の下面に設けられた溝５１ｍに収容される。
カウンタークッション（シール部材）５１は、内周クランク部５０ｃにおける最外周位置に設けられる。
【００９５】
カウンタークッション（シール部材）５１は、閉弁時に第２開口部１２ｂの周縁となる弁箱内面１０Ｂに接触して、可動弁板部５０および弁箱内面１０Ｂによって押圧される。
これにより、第１空間と第２空間とが仕切り状態となる。
【００９６】
カウンタークッション（シール部材）５１は、弾性体である。
カウンタークッション（シール部材）５１は、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとの衝突時に、弾性変形する。
カウンタークッション（シール部材）５１は、可動弁板部５０が弁箱内面１０Ｂに衝突する際の衝撃を緩和する。これにより、ゴミの発生を防ぐことが可能となる。
【００９７】
カウンタークッション（シール部材）５１と摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２と弁枠シールパッキン６１とは、ほぼ同一円筒面上に配置される。
つまり、カウンタークッション（シール部材）５１と摺動シールパッキン（摺動シール部材）５２と弁枠シールパッキン６１とが、流路Ｈ方向視して、互いに重なるように配置される。
このため、約１００％の逆圧キャンセル率が得られる。
【００９８】
可動弁板部５０には気抜き穴５３が設けられる。
気抜き穴５３は、外周溝５６の内部と、カウンタークッション５１よりも中心Ｏに近接する位置で内周クランク部５０ｃの第２開口部１２ｂに対向する面とを連通する。
可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとが衝突した際に、可動弁板部５０と弁箱内面１０Ｂとカウンタークッション５１とによって密閉空間が形成される。気抜き穴５３は、この密閉空間から気体を除去する。
【００９９】
弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁板部５０の付勢部穴５８に内蔵される。
弁板付勢部８０は、流路Ｈ方向視して可動弁枠部６０と可動弁板部５０とが重なる領域、つまり、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄと可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃとに配置される。
【０１００】
弁板付勢部（保持バネ）８０は、可動弁板部５０の周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。
弁板付勢部８０を設ける箇所は、３箇所以上が好ましい。
複数の弁板付勢部８０は、２個を一組（セット）として配置される。
一組の弁板付勢部８０は、それぞれ可動弁板部５０の中心Ｏを通る直径の両端となる位置に配置される。
【０１０１】
複数の弁板付勢部８０は、組（セット）ごとに、可動弁板部５０の周方向に互いに離間して設けられる。
具体的な複数の弁板付勢部８０の配置としては、図４に示すように、弁板５０ｄの中心Ｏから見て、４個の弁板付勢部８０が同じ角度位置（９０°）に配された構成を示すことができる。
【０１０２】
弁板付勢部８０は、可動弁板部５０の動きを流路Ｈ方向に誘導（規制）する。
弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０との流路Ｈ方向となる厚み寸法を変更可能である。
弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の動く往復方向Ｂ１，Ｂ２へ可動弁板部５０を連動させる。
【０１０３】
図５は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄと、可動弁板部５０の内周クランク部５０ｃとを接続する。
【０１０４】
弁板付勢部８０は、板ガイドピン８１と、コイルバネ８２と、受圧部８３と、蓋部５８ｆと、規制筒８５と、を有する。
板ガイドピン８１は、太さ寸法が略均一の棒状体で構成されている。
板ガイドピン８１は、ボルト状とされる。
【０１０５】
板ガイドピン８１は、弁板付勢部８０内を貫通する。
板ガイドピン８１は、流路Ｈ方向に立設される。
板ガイドピン８１の基部８１ｂは、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄに固設される。
板ガイドピン８１の基部８１ｂは、内枠板６０ｄを貫通する。
板ガイドピン８１の長軸部は、内枠板６０ｄから付勢部穴５８に向けて立設される。
【０１０６】
板ガイドピン８１は、内周クランク部５０ｃの付勢部穴５８と同軸に配置される。
板ガイドピン８１の先端８１ａは、付勢部穴５８の内部に位置する。
板ガイドピン８１の先端８１ａには、板ガイドピン８１の長軸部よりも径寸法を拡径した受圧部８３が設けられる。
受圧部８３は、付勢部穴５８の底部５８ｃと当接可能であるか、底部５８ｃと当接しない程度の位置に配置される。
受圧部８３は、板ガイドピン８１の先端８１ａにフランジ状に周設される。
受圧部８３は、板ガイドピン８１から径方向外側に向いて突出する。
【０１０７】
板ガイドピン８１の長軸部には、径方向外側に規制筒８５が摺動可能に位置する。
規制筒８５は、板ガイドピン８１の長軸部と同軸の筒状とされる。
規制筒８５は、板ガイドピン８１の摺動位置および摺動方向を規制する。
規制筒８５は、一方の端部が、付勢部穴５８を塞ぐ蓋部５８ｆに接続される。
規制筒８５の軸方向寸法は、板ガイドピン８１の軸方向寸法よりも小さい。
規制筒８５の径方向内側には、板ガイドピン８１と接触するブシュ８５ａが配置される。
【０１０８】
蓋部５８ｆは、付勢部穴５８の開口を塞ぐように配置される。
蓋部５８ｆは、付勢部穴５８の開口位置に固定される。
蓋部５８ｆには貫通孔として孔部５８ｇが設けられる。
孔部５８ｇは、規制筒８５と同軸かつ同径とされる。
孔部５８ｇおよび規制筒８５には、板ガイドピン８１が嵌合している。
【０１０９】
蓋部５８ｆの内枠板６０ｄに近接する位置には、さらに、固定蓋５８ｆ１が蓋部５８ｆと接触するように設けられる。
固定蓋５８ｆ１は、付勢部穴５８の開口に対する蓋部５８ｆの固定を補強する。
固定蓋５８ｆ１には、孔部５８ｇよりも大きな貫通孔が同心状に設けられる。
【０１１０】
コイルバネ（保持バネ）８２は、例えばらせん状のスプリングなどの弾性部材とされる。コイルバネ（保持バネ）８２は、付勢部穴５８の軸線と平行な付勢軸を有する配置とされている。
コイルバネ（保持バネ）８２は、可動弁板部５０の付勢部穴５８に内蔵される。
コイルバネ（保持バネ）８２は、二重螺旋とされて、径寸法の異なる内コイルバネ８２ａと、外コイルバネ８２ｂとを有する。
【０１１１】
内コイルバネ８２ａと、外コイルバネ８２ｂとは、いずれも板ガイドピン８１と同軸に配置される。
コイルバネ（保持バネ）８２は、二重に設けて付勢力を強化したが、一重とすることもできる。
【０１１２】
コイルバネ（保持バネ）８２は、一端が蓋部５８ｆに当接し、他端が受圧部８３に当接している。
コイルバネ（保持バネ）８２は、これら蓋部５８ｆと受圧部８３とを押圧するように付勢されている。
【０１１３】
蓋部５８ｆおよび固定蓋５８ｆ１には、付勢部穴５８の内部で底部５８ｃ付近と、蓋部５８ｆよりも内枠板６０ｄに近接する位置となる空間と、を連通する気抜き穴８５ｂが設けられる。
板ガイドピン８１の基部８１ｂおよび内枠板６０ｄには、蓋部５８ｆよりも内枠板６０ｄに近接する位置となる空間と、内枠板６０ｄよりも弁箱内面１０Ａに近接する中空部１１と、を連通する気抜き穴８５ｃが設けられる。
【０１１４】
規制筒８５のブシュ８５ａよりも蓋部５８ｆに近接する位置には、Ｏリング等のシール部材８５ｄが周設されてもよい。
【０１１５】
板ガイドピン８１と規制筒８５とが、互いに軸方向に摺動することにより、板ガイドピン８１と規制筒８５との軸方向角度が変化せずに、板ガイドピン８１と規制筒８５との流路Ｈ方向の位置が変化する。
これにより、板ガイドピン８１の基部８１ｂの固定された内枠板６０ｄと、規制筒８５の一端が固定された蓋部５８ｆとが、流路Ｈ方向に互いに移動する。
これにより、可動弁枠部６０と可動弁板部５０との位置規制を誘導する。
【０１１６】
コイルバネ（保持バネ）８２は、互いに離間する方向に蓋部５８ｆと受圧部８３とを押圧する。
受圧部８３、板ガイドピン８１の先端８１ａ、板ガイドピン８１の基部８１ｂ、内枠板６０ｄは、互いに固定されているため、互いの位置関係が変化しない。
このため、コイルバネ（保持バネ）８２は、蓋部５８ｆと内枠板６０ｄとが流路Ｈ方向に近接する向きに、蓋部５８ｆと受圧部８３とを常時付勢する。
【０１１７】
ここで、内枠板６０ｄと蓋部５８ｆとが離間するように流路Ｈ方向に移動した場合には、蓋部５８ｆと受圧部８３との距離が減少する。
これにより、コイルバネ（保持バネ）８２が収縮する。
この場合でも、受圧部８３、板ガイドピン８１の先端８１ａ、板ガイドピン８１の基部８１ｂ、内枠板６０ｄは、互いに固定されているため、位置関係が変化しない。
【０１１８】
このため、収縮したコイルバネ（保持バネ）８２は、蓋部５８ｆと内枠板６０ｄとが流路Ｈ方向に近接する向きに、蓋部５８ｆと受圧部８３とをさらに付勢する。
これにより、蓋部５８ｆと板ガイドピン８１の拡径した受圧部８３とが離間する方向に、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに移動することになる。
【０１１９】
弁板付勢部８０においては、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、孔部５８ｇを貫通した板ガイドピン８１が、規制筒８５（ブシュ８５ａ）によって軸方向の向きを規制された状態で、蓋部５８ｆおよび規制筒８５に対して板ガイドピン８１の軸方向に移動する。
すると、コイルバネ（保持バネ）８２が板ガイドピン８１の軸方向に収縮する。
収縮したコイルバネ（保持バネ）８２によって、付勢部穴５８を塞ぐ蓋部５８ｆが、可動弁枠部６０の内枠板６０ｄに対して近接する方向に付勢される。
【０１２０】
これにより、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、流路Ｈ方向の厚み寸法が縮小する方向に、弁板付勢部８０の付勢力を受けることになる。
【０１２１】
弁板付勢部８０により、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、摺動方向が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。
また、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、可動弁板部５０および可動弁枠部６０の姿勢が変化せずに平行移動を行うことができる。
【０１２２】
弁板付勢部８０（保持バネ）と弁枠付勢部（補助バネ）９０とは、互いに逆方向となる流路Ｈ方向に付勢可能な付勢力を有するように設けられる。
【０１２３】
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０の円フランジ部３０ｃと、流路Ｈ方向視して円フランジ部３０ｃと重なる可動弁枠部６０の位置規制部となる外枠板６０ｅと、の間に配置される。
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０に対して、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向における中央位置に向けて付勢する。
【０１２４】
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、外枠板６０ｅの付勢部穴６８に内蔵される。
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、流路Ｈ方向視して中立弁部３０と可動弁枠部６０とが重なる領域、つまり、中立弁部３０の円フランジ部３０ｃと可動弁枠部６０の外枠板６０ｅとに配置される。
【０１２５】
複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、円フランジ部３０ｃの周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。
弁枠付勢部（補助バネ）９０を設ける箇所は、弁板付勢部８０に対応して３箇所以上が好ましい。
複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、２個を一組（セット）として配置される。
一組の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、それぞれ可動弁枠部６０の中心Ｏを通る直径の両端となる位置に配置される。
【０１２６】
複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０は、組（セット）ごとに、可動弁枠部６０の周方向に互いに離間して設けられる。
具体的な複数の弁枠付勢部（補助バネ）９０の配置としては、図４には、可動弁枠部６０の中心Ｏから見て、４個の弁枠付勢部（補助バネ）９０が同じ角度位置（９０°）に配された構成を示すことができる。
【０１２７】
弁板５０ｄの中心Ｏから見て、円フランジ部３０ｃの周方向における弁枠付勢部（補助バネ）９０の角度位置は、可動弁板部５０の周方向における弁板付勢部（保持バネ）８０の角度位置と重なるように構成される。
弁枠付勢部（補助バネ）９０と弁板付勢部（保持バネ）８０とは、弁板５０ｄの中心Ｏを通る同一の直線上に配置される。
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中心Ｏを通る直線上で、弁板付勢部（保持バネ）８０よりも弁板５０ｄの中心Ｏから離間した位置に配置される。
【０１２８】
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０と可動弁枠部６０との動きを流路Ｈ方向に誘導（規制）する。
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０と可動弁枠部６０との流路Ｈ方向となる厚み寸法を変更可能である。
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、円フランジ部３０ｃに対して往復方向Ｂ１，Ｂ２へ可動弁枠部６０を往復動させる。
【０１２９】
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、中立弁部３０の円フランジ部３０ｃと可動弁枠部６０の外枠板６０ｅとを接続する。
付勢部穴６８は、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅに設けられる。
付勢部穴６８は、流路Ｈ方向に軸線を有する円筒状に形成される。
付勢部穴６８は、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅを貫通するように設けられる。
【０１３０】
付勢部穴６８において、外枠板６０ｅにおける第２開口部１２ｂに対向する面の開口は、後述するように受圧部９３によって閉塞される。
付勢部穴６８において、流路Ｈ方向において、第１開口部１２ａに近接する位置の開口は閉塞されない。
つまり、付勢部穴６８は、可動弁板部５０の付勢部穴５８と同じ向きに開口する。
付勢部穴６８は、外枠板６０ｅでの可動弁枠部６０の径方向において、径方向内側寄りとなる外周クランク部６０ｃに近接した位置に設けられる。
【０１３１】
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、枠ガイドピン９１と、枠コイルバネ９２と、規制筒９５と、を有する。
枠ガイドピン９１は、太さ寸法が略均一の棒状体で構成されている。
枠ガイドピン９１は、弁枠付勢部（補助バネ）９０内を貫通する。
枠ガイドピン９１は、流路Ｈ方向に立設される。
枠ガイドピン９１は、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅに固設される。
枠ガイドピン９１は、外枠板６０ｅの付勢部穴６８と同軸に配置される。
枠ガイドピン９１の基部９１ｂには、枠ガイドピン９１の長軸部よりも径寸法を拡径した受圧部９３が設けられる。
【０１３２】
受圧部９３は、付勢部穴６８における流路Ｈ方向での第２開口部１２ｂに対向する位置に固定される。
受圧部９３は、付勢部穴６８における流路Ｈ方向での第２開口部１２ｂに向かう開口を閉塞している。
受圧部９３は、付勢部穴６８の底部を形成している。
つまり、枠ガイドピン９１の基部９１ｂは、受圧部９３として付勢部穴６８の底部を形成している。
受圧部９３は、付勢部穴６８の開口に螺合可能としてもよい。この場合、枠ガイドピン９１はボルト状とされることができる。
【０１３３】
受圧部９３は、可動弁枠部６０において、後述する弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０に対向する面に露出している。
枠ガイドピン９１の基部９１ｂは、可動弁枠部６０の外枠板６０ｅに固定される。
【０１３４】
枠ガイドピン９１の長軸部は、外枠板６０ｅの付勢部穴６８から円フランジ部３０ｃに向けて立設される。
円フランジ部３０ｃには第１開口部１２ａに対向する面に凹部３０ｃｍが設けられる。
凹部３０ｃｍの中央位置には、流路Ｈ方向に円フランジ部３０ｃを貫通する貫通孔３０ｇが設けられる。
貫通孔３０ｇには、枠ガイドピン９１の先端９１ａに近接する位置が摺動可能として貫通している。
【０１３５】
したがって、枠ガイドピン９１の先端９１ａは、円フランジ部３０ｃを貫通する。
枠ガイドピン９１の先端９１ａは、円フランジ部３０ｃに設けられた凹部３０ｃｍに位置することが可能である。
枠ガイドピン９１の先端９１ａは、流路Ｈ方向において、弁枠シールパッキン６１よりも弁箱内面１０Ａに近接しないように軸方向長さが設定される。
枠ガイドピン９１の先端９１ａの周囲に中立スペーサ９４が設けられる。
【０１３６】
中立スペーサ９４は、Ｃリング９４ａによって、枠ガイドピン９１の先端９１ａ位置に取り付けられている。
中立スペーサ９４は、Ｃリング９４ａは、凹部３０ｃｍの内部に位置することが可能である。
【０１３７】
枠ガイドピン９１の軸方向中央に位置する長軸部には、枠ガイドピン９１に対して摺動可能な規制筒９５が径方向外側に位置する。
規制筒９５は、枠ガイドピン９１の長軸部と同軸の筒状とされる。
規制筒９５は、枠ガイドピン９１の摺動位置および摺動方向を規制する。
規制筒９５の軸方向寸法は、枠ガイドピン９１の軸方向寸法よりも小さい。
規制筒９５の径方向内側には、枠ガイドピン９１と接触するブシュ９５ａが配置される。
【０１３８】
規制筒９５における一方の端部には、フランジ部９５ｆが周設される。
フランジ部９５ｆは、円フランジ部３０ｃにおける凹部３０ｃｍの裏面となる位置に固定接続される。
規制筒９５は、フランジ部９５ｆによって、円フランジ部３０ｃにおける外枠板６０ｅに対向する面に固定される。
【０１３９】
フランジ部９５ｆおよび規制筒９５には、流路Ｈ方向に延在する貫通孔９５ｇを有する。
貫通孔９５ｇは、フランジ部９５ｆおよび規制筒９５において連通している。
貫通孔９５ｇは、貫通孔３０ｇと同軸位置とされる。
貫通孔９５ｇには、貫通孔３０ｇと同様に枠ガイドピン９１の先端９１ａに近接する位置が摺動可能として貫通している。
【０１４０】
枠コイルバネ９２は、補助バネとして弁枠付勢部（補助バネ）９０を構成する。
枠コイルバネ９２は、付勢部穴６８の内部に収納されている。
枠コイルバネ９２は、枠ガイドピン９１の周囲となる位置に、同軸状態に配置される。
【０１４１】
枠コイルバネ９２は、例えばスプリングなどの弾性部材とされて、付勢部穴６８の軸線と平行な付勢軸を有する配置とされている。
枠コイルバネ９２の一端は、枠ガイドピン９１における基部９１ｂの周囲である受圧部９３に当接している。
枠コイルバネ９２の他端は、貫通孔９５ｇの周囲となるフランジ部９５ｆに当接している。
枠コイルバネ９２は、枠ガイドピン９１の基部９１ｂの周囲と、貫通孔９５ｇの周囲のフランジ部９５ｆとを、流路Ｈ方向にそれぞれ逆向きに付勢する。
枠コイルバネ９２は、たとえば、二重に設けて、付勢力を強化することもできる。
【０１４２】
弁枠付勢部（補助バネ）９０においては、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して移動する際に、円フランジ部３０ｃに固定された規制筒９５の貫通孔９５ｇの軸方向に、枠ガイドピン９１が軸方向に移動する。
この際、枠ガイドピン９１は、ブシュ９５ａに対して摺動する。
すると、枠ガイドピン９１の先端９１ａは、凹部３０ｃｍから弁箱内面１０Ａに向けて突出する。
【０１４３】
これにより、規制筒９５のフランジ部９５ｆと、付勢部穴６８の底部である受圧部９３とが、流路Ｈ方向に近接する。
この際、枠コイルバネ９２が収縮する。
収縮した枠コイルバネ９２の付勢力によって、受圧部９３とフランジ部９５ｆとが、互いに離間する方向に押圧される。
【０１４４】
つまり、付勢部穴６８の底部の受圧部９３と円フランジ部３０ｃの裏面のフランジ部９５ｆとが、流路Ｈ方向に互いに離間するように、位置移動することになる。
これにより、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して位置移動することになる。
【０１４５】
このように、弁枠付勢部（補助バネ）９０によって、中立弁部３０と可動弁枠部６０との流路Ｈ方向における厚み寸法を変更可能となる。
弁枠付勢部（補助バネ）９０は、流路Ｈ方向には位置移動しない中立弁部３０に対して、可動弁枠部６０を往復方向Ｂ１，Ｂ２へ位置移動させる。
【０１４６】
このとき、弁枠付勢部（補助バネ）９０では、規制筒９５が枠ガイドピンの軸方向が傾かないようにできる。
これにより、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に位置移動する際に、可動弁枠部６０の移動方向が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。
したがって、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対する姿勢が変化せずに平行移動を行うことができる。
【０１４７】
つまり、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に移動した際に、弁枠付勢部（補助バネ）９０により、可動弁枠部６０が回転軸２０の軸線に直交する姿勢を維持する状態を維持することができる。すなわち、弁枠付勢部（補助バネ）９０により、可動弁枠部６０が回転軸２０の軸線に対して傾かない状態を維持することができる。
【０１４８】
同時に、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向以外に移動しないように規制することができる。
具体的には、円形部３０ａに嵌合されている可動弁枠部６０が、周方向に移動してしまうことを防止できる。
これにより、弁体５の振り子動作において、中立弁部３０に対する可動弁枠部６０の保持状態を安定させて、仕切りバルブ１００の動作安定性を向上することができる。
【０１４９】
さらに、可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向に位置移動した際にも、枠ガイドピン９１と板ガイドピン８１とが平行なことにより、弁板付勢部８０により可動弁板部５０が追従して往復方向Ｂ１，Ｂ２へ位置移動する。なお、弁板５０ｄに流路Ｈ方向の差圧が印加されている場合には、この限りではない。
【０１５０】
ここで、流路Ｈ方向における可動弁枠部６０の位置移動に関して、弁板付勢部（保持バネ）８０および弁枠付勢部（補助バネ）９０により、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、これらの摺動方向が、往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。
また、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との互いの姿勢が変化せずに、相対的に平行移動を行うことができる。
【０１５１】
弁箱１０には、複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が内蔵されている。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０をシール面に向く方向に押圧する昇降機構を構成している。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧駆動手段（駆動部）７００に接続されており油圧によって駆動される。
【０１５２】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を流路Ｈ方向において第１開口部１２ａに近接する方向に付勢可能な位置、つまり、第２開口部１２ｂの周囲となる位置に配置される。
【０１５３】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、油圧駆動部（固定部）７１と、伸縮ロッド（可動部）７２とを有する。
油圧駆動部（固定部）７１は、油圧駆動手段（駆動部）７００に接続されている。油圧駆動部（固定部）７１は、油圧駆動手段７００から供給された油圧（加圧非圧縮性流体）によって伸縮ロッド（可動部）７２を伸縮可能とされる。
油圧駆動部（固定部）７１は、中空部１１に対して弁箱内面１０Ｂよりも外側となるフレームの内部に埋め込まれた配置とされる。
【０１５４】
伸縮ロッド（可動部）７２は、流路Ｈ方向に沿って固定部７１から第１開口部１２ａに近接する方向に伸長自在とされる。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０には、油圧駆動時に、作動流体である油が、真空側となる中空部１１に漏れないように、多段のシール手段が設けられる。
伸縮ロッド（可動部）７２の周囲には、例えば、可動弁枠部６０に近接する位置にリング状のシール部材（Ｏリング）７５が設けられる。伸縮ロッド（可動部）７２は、油圧駆動部（固定部）７１と真空側となる中空部１１とにおける境界をシールした状態で伸縮自在とされる。
【０１５５】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を第１開口部１２ａに向けて移動させる機能を有する。弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａに当接させ、可動弁枠部６０を弁箱内面１０Ａに押圧して、流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。
【０１５６】
複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、可動弁枠部６０の姿勢を変化させずに押圧可能な位置として弁箱１０に配される。
具体的には、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、伸縮ロッド（可動部）７２の軸線が、弁枠付勢部（補助バネ）９０の枠ガイドピン９１の軸線と一致するように配置される。
【０１５７】
伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、弁枠付勢部（補助バネ）９０を押圧する場所は、枠ガイドピン９１の基部９１ｂとなるように配置される。
つまり、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、弁枠付勢部（補助バネ）９０を押圧する場所は、枠ガイドピン９１の受圧部９３となるように配置される。
【０１５８】
複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第２開口部１２ｂの輪郭の周囲に沿って互いに離間して設けられる。
複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、第２開口部１２ｂの輪郭の周方向に互いに離間した等間隔として複数設けられる。
【０１５９】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を設ける箇所は、弁枠付勢部（補助バネ）９０に対応して３箇所以上が好い。
複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、２個を一組（セット）として配置される。
一組の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、それぞれ第２開口部１２ｂの中心Ｏを通る直径（直線）における両端の外側となる位置に配置される。
一組の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁枠付勢部（補助バネ）９０と同様に、それぞれ可動弁枠部６０の中心Ｏを通る直径の両端となる位置に配置される。
【０１６０】
複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、組（セット）ごとに、第２開口部１２ｂの輪郭の周方向に互いに離間して設けられる。
具体的な複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の配置としては、図４には、第２開口部１２ｂの中心Ｏから見て、４個の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が同じ角度位置（９０°）に配された構成を示すことができる。
【０１６１】
第２開口部１２ｂの中心Ｏから見て、円フランジ部３０ｃの周方向における弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の角度位置は、可動弁板部５０の周方向における弁板付勢部（保持バネ）８０および弁枠付勢部（補助バネ）９０の角度位置と重なるように構成される。
【０１６２】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁枠付勢部（補助バネ）９０と弁板付勢部（保持バネ）８０とは、弁板５０ｄの中心Ｏを通る同一の直線上に配置される。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁枠付勢部（補助バネ）９０と同様に、中心Ｏを通る直線上で、弁板付勢部（保持バネ）８０よりも弁板５０ｄの中心Ｏから離間した位置に配置される。
【０１６３】
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）における流路連通状態（図３，図５）から閉弁状態（図７〜図１０）とする場合に、油圧によって伸縮ロッド（可動部）７２を伸張させる。
【０１６４】
このとき、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、先端部７２ａの当接した可動弁枠部６０を付勢する。これにより、可動弁枠部６０が流路Ｈ方向に第１開口部１２ａに向けて移動する。弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａに密着する。
【０１６５】
複数の弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０においては、伸縮ロッド（可動部）７２の伸長動作がいずれもほぼ同時に動作可能とされる。
【０１６６】
ここで、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａは、伸縮ロッド（可動部）７２の軸線を延長した位置にある受圧部９３に当接する。
受圧部９３は、付勢部穴６８の底部位置に固定されているため、伸縮ロッド（可動部）７２の押圧力は、受圧部９３および外枠板６０ｅを介して、外周クランク部６０ｃに伝達される。
【０１６７】
この際、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する位置規制は、枠ガイドピン９１と規制筒９５とによっておこなわれる。
この枠ガイドピン９１の軸線と伸縮ロッド（可動部）７２との軸線が一致していることにより、可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対する流路Ｈ方向への移動において、移動方向に対して、この移動方向への押圧力が一致する位置・方向に作用する。
【０１６８】
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０による可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する移動において、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する姿勢は非常に安定する。
【０１６９】
同時に、中立弁部３０に対する流路Ｈ方向への移動において、移動方向に対して、可動弁枠部６０の移動方向への押圧力が一致する位置・方向に作用するため、可動弁枠部６０にモーメントが発生することを抑制できる。
したがって、可動弁枠部６０における変形発生を抑制することができる。
【０１７０】
これにより、可動弁枠部６０の動作確実性を向上して、可動弁枠部６０におけるシール性を向上することが可能となる。
可動弁枠部６０における変形発生を抑制することにより、可動弁枠部６０に対する可動弁板部５０の流路Ｈ方向への移動をスムーズにおこなうことが可能となる。
【０１７１】
図６は、図２における油圧駆動手段および付勢部（押しつけシリンダ）を示す説明図である。
油圧駆動手段７００は、図６に示すように、油圧発生部７０１と、油圧管７０２と、切替弁（スプール弁）８００と、駆動部７０５と、制御部（コントローラ）７０６と、電源７０７と、を有する。
【０１７２】
油圧発生部７０１は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の油圧駆動部（固定部）７１に油圧を供給する油圧を発生させる。
油圧管７０２は、油圧発生部７０１から油圧駆動部（固定部）７１に接続される。
切替弁（スプール弁）８００は、油圧管７０２に設けられて可動弁枠部６０の開動作終了時に油圧供給を切断するとともに、油圧管７０２に設けられて回転軸２０の回転が閉位置となっていることを検出して油圧供給を切り替え可能である。
【０１７３】
駆動部７０５は、油圧発生部７０１を駆動するモータ等である。
駆動部７０５は、制御部（コントローラ）７０６に接続されて制御される。
駆動部７０５は、電源７０７に接続されて、駆動部７０５を駆動するための電力を供給される。
また、油圧発生部７０１は、ノーマルクローズが可能な構成とされている。
【０１７４】
以下、本実施形態に係る仕切りバルブ１００の動作を詳細に説明する。
【０１７５】
まず、本実施形態に係る仕切りバルブ１００において、弁体５が、図１に破線で示すように、流路Ｈが設けられていない中空部１１とされる退避位置にある状態を考える。このとき、可動弁部４０は、弁箱内面１０Ａおよび弁箱内面１０Ｂのいずれにも接していない。
この状態で、回転駆動部２１によって回転軸２０を符号Ｒ０１で示された方向（流路Ｈの方向に交差する方向）に回転させる。すると、中立弁部３０および可動弁部４０が方向Ｒ０１に沿って振り子運動で回転移動する。この回転によって、弁体５は、退避位置から、図１に実線で示すように、第１開口部１２ａに対向する位置とされる弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）に移動する。
【０１７６】
弁体５が弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）にある状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が、流路Ｈ方向における第１開口部１２ａに近接する方向に、伸縮ロッド（可動部）７２を伸長する。伸縮ロッド（可動部）７２は、可動弁枠部６０に当接して、可動弁枠部６０を押圧する。可動弁枠部６０は、第１開口部１２ａに近接する方向に移動する。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０によって、可動弁枠部６０が弁箱内面１０Ａに当接する。このとき、弁枠シールパッキン６１が第１開口部１２ａの周囲に位置する弁箱内面１０Ａに密着する。これにより、図７〜図１０に示すように、流路Ｈが閉鎖される（閉弁動作）。
【０１７７】
逆に、流路Ｈが閉鎖された状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、伸縮ロッド（可動部）７２を縮退させる。これにより、伸縮ロッド（可動部）７２から可動弁枠部６０への付勢力が減少する。
すると、弁枠付勢部９０の付勢力によって、弁箱１０の内面から可動弁枠部６０が引き離される。可動弁枠部６０と弁箱内面１０Ａとは、密閉状態が解除される。これにより、図２，図３，図５に示すように、流路Ｈを開放する（解除動作）。
可動弁部４０における閉弁動作および解除動作は、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０による機械的な当接動作と、弁枠付勢部９０による機械的な分離動作と、によっておこなわれる。
【０１７８】
解除動作の後に、回転駆動部２１によって回転軸２０を符号Ｒ０２で示された向きに回転させる。すると、可動弁部４０が、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）から退避位置に移動する（退避動作）。
この解除動作と退避動作とにより、可動弁部４０を弁開状態とする弁開動作が行われる。
一連の動作（閉弁動作、解除動作、退避動作）において、弁板付勢部８０は、可動弁枠部６０と可動弁板部５０とを連動させる。
【０１７９】
［弁体が退避動作可能位置（ＦＲＥＥ）の状態］
図２，図３，図５には、弁開口遮蔽位置（摺動準備位置）におる可動弁部４０（可動弁枠部６０、可動弁板部５０）が、弁箱１０の何れの弁箱内面１０Ａ、１０Ｂとも接していない状態を示す。この状態を、弁体がＦＲＥＥな状態と称する。
弁体がＦＲＥＥな状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０の伸縮ロッド（可動部）７２は、縮退した状態にある。このとき、伸縮ロッド（可動部）７２は、弁箱内面１０Ｂから突出せず、弁箱内面１０Ａよりも固定部７１に近接した位置に埋没した状態にある。つまり、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０は、弁体５と接していない。
また、枠ガイドピン９１は、凹部３０ｃｍから突出していない。
【０１８０】
図７は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。
図８は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
次に、弁体がＦＲＥＥな状態から、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０を駆動する。すると、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａが、図７，図８に矢印Ｆ１で示すように、可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接する。
このとき、伸縮ロッド（可動部）７２の先端部７２ａは、受圧部９３に当接する。
【０１８１】
これにより、可動弁枠部６０は、弁箱内面１０Ａに向けて移動する。さらに可動弁枠部６０が移動して、弁枠シールパッキン６１が弁箱内面１０Ａに接した状態が、閉弁位置の状態（閉弁状態）である。
また、枠ガイドピン９１は、凹部３０ｃｍから突出する。
【０１８２】
このとき、可動弁板部５０は、弁板付勢部（保持バネ）８０によって、可動弁枠部６０と同じ方向へ移動する。同時に、可動弁板部５０と可動弁枠部６０とは、摺動シールパッキン５２を介して摺動シール状態を維持する。
弁体がＦＲＥＥな状態において、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０が可動弁枠部６０を弁箱１０の弁箱内面１０Ａに接触させて流路Ｈを閉鎖する（閉弁動作）。
【０１８３】
［弁体が弁閉位置（正圧ｏｒ差圧無）の状態］
図７，図８には、上記の閉弁動作により流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、正圧／差圧無の弁閉状態と称する。正圧／差圧無の弁閉状態とは、弁体５が弁箱１０の一方の内面と接した状態であり、他方の内面とは接していない状態である。つまり、正圧／差圧無の弁閉状態では、弁体５の可動弁枠部６０が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接する。同時に、弁体５が第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂとは接していない。
【０１８４】
正圧／差圧無の弁閉状態では、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０において、伸縮ロッド（可動部）７２が可動弁枠部６０に向く方向へ伸延した状態を維持する。つまり、先端部７２ａを可動弁枠部６０の下面６０ｓｂに当接させた状態を維持する。また、弁枠シールパッキン６１が弁箱１０の第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接した状態を維持する。
また、枠ガイドピン９１は、凹部３０ｃｍから突出した状態を維持する。
【０１８５】
［弁体が逆圧位置の弁閉状態］
図９は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。
図１０は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
図９，図１０には、逆圧状態で流路Ｈが閉鎖された状態を表す。
この状態を、逆圧の弁閉状態と称する。逆圧の弁閉状態とは、弁体５が、流路Ｈ方向における両方の弁箱内面１０Ａ，１０Ｂと接した状態である。つまり、逆圧の弁閉状態では、弁体５の可動弁枠部６０が第１開口部１２ａの周囲の弁箱内面１０Ａと接した状態を保ちながら、弁体５の可動弁板部５０が第２開口部１２ｂの周囲に位置する弁箱内面１０Ｂにも接した状態である。ここで、逆圧とは、閉弁状態から開弁状態の方向へ弁体に対して圧力が加わることである。
【０１８６】
伸縮ロッド（可動部）７２が伸長した状態で、弁体５が逆圧を受けた場合、弁板付勢部８０により、可動弁板部５０は可動弁枠部６０に対して往復方向Ｂ２（図９，図１０）に摺動しながら移動する。可動弁枠部６０と可動弁板部５０の間は、摺動シールパッキン５２を介してシール状態が維持される。
これにより、可動弁板部５０は、第２開口部１２ｂの周囲の弁箱内面１０Ｂに衝突する。このとき、カウンタークッション５１が、可動弁板部５０における衝突による衝撃を緩和する。弁体５の受けた力を弁箱１０の弁箱内面１０Ｂ（裏側のボディ）で受けさせる機構が、逆圧キャンセル機構である。
【０１８７】
さらに、逆圧の弁閉状態から正圧／差圧無とする。この状態において、弁枠付勢部９０の枠コイルバネ９２の付勢力により、可動弁枠部６０を弁箱１０の内面から引き離し、可動弁枠部６０を退避させることによって、流路Ｈを開放する（解除動作）。
【０１８８】
本実施形態の仕切りバルブ１００においては、弁板付勢部（保持バネ）８０および弁枠付勢部（補助バネ）９０が上記の構成とされたことにより、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが互いに摺動する際に、中立弁部３０と可動弁枠部６０と可動弁板部５０とにおける位置規制を、それぞれ正確におこなうことが可能となる。
つまり、中立弁部３０と可動弁枠部６０とにおける位置規制を正確におこなうことが可能となる。同時に、可動弁枠部６０と可動弁板部５０とにおける位置規制を正確におこなうことが可能となる。
特に、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との摺動方向が、いずれも往復方向Ｂ１，Ｂ２からずれないように規制できる。
【０１８９】
また、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０とが摺動した際にも、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との互いの姿勢が変化せずに、相対的に平行移動を行うことができる。
【０１９０】
さらに、弁体５が振り子動作する際にも、中立弁部３０と可動弁板部５０と可動弁枠部６０との互いの姿勢が変化せずに、互いに一体的な位置関係を維持したまま振り子動作を行うことができる。
【０１９１】
本実施形態の仕切りバルブ１００においては、伸縮ロッド（可動部）７２が可動弁枠部６０を押圧した際に、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する位置規制は、枠ガイドピン９１と規制筒９５とによっておこなわれる。
弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁板付勢部（保持バネ）８０と弁枠付勢部（補助バネ）９０とが上記の構成とされたことにより、可動弁枠部６０は、中立弁部３０に対する流路Ｈ方向への移動において、移動方向に対して、この移動方向への押圧力が一致する位置・方向に作用する。
【０１９２】
したがって、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０による可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する移動において、可動弁枠部６０の中立弁部３０に対する姿勢を非常に安定させることができる。
【０１９３】
同時に、伸縮ロッド（可動部）７２に押圧された可動弁枠部６０が中立弁部３０に対して流路Ｈ方向へ移動する際、この可動弁枠部６０の移動方向と、伸縮ロッド（可動部）７２からの押圧力の作用方向とが一致する。また、可動弁枠部６０の移動方向に対して、伸縮ロッド（可動部）７２からの押圧力が同一直線上となる位置で可動弁枠部６０に作用する。
これにより、可動弁枠部６０にモーメントが発生してしまうことを抑制できる。したがって、可動弁枠部６０における変形発生を抑制することができる。
これらにより、可動弁枠部６０におけるシール性を向上して、可動弁枠部６０の動作確実性を向上することが可能となる。
【０１９４】
また、可動弁枠部６０における変形発生を抑制することにより、中立弁部３０に対する可動弁枠部６０の流路Ｈ方向への移動をスムーズにおこなうことが可能となる。
これにより、可動弁枠部６０におけるシール性を向上して、可動弁枠部６０の動作確実性を向上することが可能となる。
【０１９５】
また、可動弁枠部６０における変形発生を抑制することにより、可動弁枠部６０に対する可動弁板部５０の流路Ｈ方向への移動をスムーズにおこなうことが可能となる。
これにより、可動弁枠部６０および可動弁板部５０におけるシール性を向上して、可動弁枠部６０の動作確実性を向上することが可能となる。
【０１９６】
さらに、シール性と動作確実性とを向上することで、仕切りバルブ１００の大口径化をおこなうことが容易となる。
【０１９７】
本実施形態の仕切りバルブ１００においては、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁板付勢部（保持バネ）８０と弁枠付勢部（補助バネ）９０とが上記の構成とされたことにより、弁体５における軽量化を図ることができる。これにより、仕切りバルブ１００の大口径化をおこなうことが容易となる。
【０１９８】
本実施形態の仕切りバルブ１００においては、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁板付勢部（保持バネ）８０と弁枠付勢部（補助バネ）９０とが上記の構成とされたことにより、部品の長寿命化を図ることができる。
【０１９９】
本実施形態の仕切りバルブ１００においては、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁板付勢部（保持バネ）８０と弁枠付勢部（補助バネ）９０とが上記の構成とされたことにより、メンテナンス時等における各付勢部７０，８０，９０のいずれかの交換を容易とすることができる。つまり、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁板付勢部（保持バネ）８０と弁枠付勢部（補助バネ）９０とのいずれかの交換を容易とすることができる。これにより、交換等の作業時間を短縮し、作業工程を削減することが可能となる。
【０２００】
なお、枠ガイドピン９１、規制筒９５、ブシュ９５ａ、伸縮ロッド（可動部）７２、は、いずれも摺動耐性および変形耐性の高い材質とすることができる。特に、弁体５の軽量化を図る場合、これらの部品をより剛性の高いステンレス鋼等で構成することが好ましい。
これにより、伸縮ロッド（可動部）７２によって押圧される枠ガイドピン９１等の変形を抑制し、部品の長寿命化を図ることができる。
また、互いに摺動する枠ガイドピン９１、規制筒９５、ブシュ９５ａの劣化を抑制し、部品の長寿命化を図ることができる。
【０２０１】
本実施形態においては、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０と弁板付勢部（保持バネ）８０と弁枠付勢部（補助バネ）９０とが二組で４個ずつ設けられた構成としたが、これ以外にも、三組で６個ずつ、あるいは、四組で８個ずつなど、仕切りバルブ１００の口径にあわせて、他の設置組数とすることも可能である。
また、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０および弁枠付勢部（補助バネ）９０と、弁板付勢部（保持バネ）８０とが、それぞれ異なる組数として配置されることもできる。この場合でも、弁箱付勢部（押しつけシリンダ）７０および弁枠付勢部（補助バネ）９０は同じ組数とすることが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【０２０２】
本発明は、真空装置等における真空度や温度あるいはガス雰囲気等性質の異なる２つの空間を、連結している流路を仕切る状態と、この仕切り状態を開放した状態と、を切り替える用途の仕切りバルブに広く適用できる。
【符号の説明】
【０２０３】
５…弁体
１０…弁箱
１１…中空部
１２ａ…第１開口部
１２ｂ…第２開口部
２０…回転軸
２１…回転駆動部
３０…中立弁部
３０ａ…円形部
３０ｂ…回転部
３０ｃ…円フランジ部
３０ｃｍ…凹部
３０ｇ…貫通孔
４０…可動弁部
５０…可動弁板部
５０ｂ…摺動面（板摺動シール部）
５０ｃ…内周クランク部
５０ｄ…弁板
５１…カウンタークッション（シール部材）
５２…摺動シールパッキン（摺動シール部材；板摺動シール部）
５３…気抜き穴
５６…外周溝
５８…付勢部穴
５８ｃ…底部
５８ｆ…蓋部
５８ｆ１…固定蓋
５８ｇ…孔部
５９…周溝
６０…可動弁枠部
６０ｂ…摺動面
６０ｃ…外周クランク部
６０ｄ…内枠板
６０ｅ…外枠板
６１…弁枠シールパッキン（シール部材）
７０…弁箱付勢部（押しつけシリンダ）
７１…油圧駆動部（固定部）
７２…伸縮ロッド（可動部）
８０…弁板付勢部（保持バネ）
８１…板ガイドピン
８２…コイルバネ（保持バネ）
８３…受圧部
８５…規制筒
８５ａ…ブシュ
８５ｂ，８５ｃ…気抜き穴
９０…弁枠付勢部（補助バネ）
９１…枠ガイドピン
９２…枠コイルバネ
９３…受圧部
９４…中立スペーサ
９５…規制筒
９５ａ…ブシュ
９５ｆ…フランジ部
９５ｇ…貫通孔
１００…仕切りバルブ
７００…油圧駆動手段（駆動部）
Ｏ…中心
【図１】
0006864040.tif 000002
【図２】
0006864040.tif 000003
【図３】
0006864040.tif 000004
【図４】
0006864040.tif 000005
【図５】
0006864040.tif 000006
【図６】
0006864040.tif 000007
【図７】
0006864040.tif 000008
【図８】
0006864040.tif 000009
【図９】
0006864040.tif 000010
【図１０】
0006864040.tif 000011