(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面を有し、複数の格納穴が前記第１主面に設けられている、格納プレートを用意する第１工程と、
前記格納プレートの前記第１主面上に、複数の部品を置く第２工程と、
複数の前記部品に加速度を加えることで、前記第１主面上にある複数の前記部品を移動させる第３工程と、
複数の前記部品の少なくとも一部を、前記格納穴内に入れる第４工程と、を備える格納方法であって、
前記格納プレートの、前記格納穴における通気性が、前記格納穴を除く前記第１主面における通気性より低く、
前記第１主面に設けられている気体を通す複数の気体経路から気体が放出されている状態において、前記第１主面上にある複数の前記部品を移動させる、格納方法。
【請求項２】
前記第４工程において、所定の気圧を作用させたとき、前記格納穴に設けられた複数の前記気体経路を通る第１流速が前記格納穴を除く前記第１主面に設けられた複数の前記気体経路を通る気体の第２流速より遅い、請求項１に記載の格納方法。
【請求項３】
前記第４工程において、前記格納穴に設けられた複数の前記気体経路に作用する第１気圧が、前記格納穴を除く前記第１主面に設けられた複数の前記気体経路に作用する第２気圧よりも低い、請求項１または２に記載の格納方法。
【請求項４】
前記第１主面を平面視したとき単位面積当たりの前記気体経路の面積比率において、前記格納穴における第１面積比率が、前記格納穴を除く前記第１主面における第２面積比率より低い、請求項１から３のいずれか１項に記載の格納方法。
【請求項５】
前記第４工程において、１個の前記部品が１個の前記格納穴に入る、請求項１から４のいずれか１項に記載の格納方法。
【請求項６】
前記格納穴の深さ寸法が、前記部品の外形寸法におけるいずれかの辺の長さ寸法と略同等である、請求項１から５のいずれか１項に記載の格納方法。
【請求項７】
前記第１主面を平面視したとき、前記格納穴の形状が略矩形形状である、請求項１から６のいずれか１項に記載の格納方法。
【請求項８】
第１主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴が前記第１主面に設けられている格納プレートであって、
前記第１主面に設けられている気体を通す複数の気体経路を有しており、
前記格納穴における通気性が、前記格納穴を除く前記第１主面における通気性より低い、格納プレート。
【請求項９】
第１主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴が前記第１主面に設けられている格納プレートであって、
前記第１主面に設けられている気体を通す複数の気体経路を有しており、
前記第１主面を平面視したとき単位面積当たりの前記気体経路の面積比率において、前記格納穴における第１面積比率が、前記格納穴を除く前記第１主面における第２面積比率より低い、格納プレート。
【請求項１０】
第１主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴が前記第１主面に設けられている格納プレートであって、
前記第１主面に設けられている気体を通す複数の気体経路を有しており、
所定の気圧を作用させたとき、前記格納穴に設けられた複数の前記気体経路から放出される気体の第１流速が、前記格納穴を除く前記第１主面に設けられた複数の前記気体経路から放出される気体の第２流速より遅い、格納プレート。
【請求項１１】
前記格納穴は、底面と、該底面と前記第１主面をつなぐ側面と、を有しており、
前記側面は、前記第１主面に沿う第１方向における前記第１主面に対する第１方向傾斜角度と、前記第１主面に沿い、前記第１方向に直交する第２方向における前記第１主面に対する第２方向傾斜角度とを有し、
前記第１方向傾斜角度と前記第２方向傾斜角度とが互いに異なる、請求項８から１０のいずれか１項に記載の格納プレート。
【請求項１２】
前記格納穴は、底面と、該底面と前記第１主面をつなぐ側面と、を有しており、
前記側面は、前記第１方向で対向する第１方向第１傾斜角度と第１方向第２傾斜角度とを有し、
前記第１方向第１傾斜角度と前記第１方向第２傾斜角度とが互いに異なる、請求項８から１１のいずれか１項に記載の格納プレート。
【請求項１３】
請求項８から１２のいずれか１項に記載の格納プレートと、複数の前記気体経路につながる主空間を有する主チャンバを備える、格納装置。
【請求項１４】
前記主チャンバは、第１空間を有する第１チャンバ部、第２空間を有する第２チャンバ部を含んでおり、
前記第１チャンバ部は、複数の前記気体経路の内、少なくとも前記格納穴に設けられている複数の前記気体経路とつながれており、
前記第２チャンバ部は、複数の前記気体経路の内、前記格納穴に設けられない複数の前記気体経路とつながれている、請求項１３に記載の格納装置。
【請求項１５】
前記主チャンバに気体を移送させられる気体供給器をさらに備える、請求項１３または１４に記載の格納装置。
【請求項１６】
前記第１主面上にある複数の前記部品を移動させるように、前記部品に加速度を与える加速度付与器をさらに備える、請求項１３から１５のいずれか１項に記載の格納装置。
【請求項１７】
前記加速度付与器は、前記格納プレートの傾斜を変えられる傾斜機構部を有する、請求項１６に記載の格納装置。
【請求項１８】
前記加速度付与器は、前記第１主面に対して気体を供給できる送風部を有する、請求項１６または１７に記載の格納装置。
【請求項１９】
前記加速度付与器は、前記第１主面に磁界を発生できる磁界発生部を有する、請求項１６から１８のいずれか１項に記載の格納装置。
【請求項２０】
前記主チャンバに気体を移送させられる気体供給器と、
前記第１主面上にある複数の前記部品を移動させるように、前記部品に加速度を与える加速度付与器と、
前記加速度付与器が前記部品に与える加速度の大きさと、前記気体供給器が移送する気体の大きさとを、所定の大きさに制御する制御器と、をさらに備える、請求項１３または１４に記載の格納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品の取扱いに便宜を図り得る形態とするため、格納プレートに設けられた複数の格納穴に部品を格納する格納方法、格納プレート、および格納装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品の格納方法は、たとえばＷＯ２０１８／１０５５９１号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１には、複数の格納穴を有する格納プレートを用意し、この格納プレート上に、複数の部品を投入し、その状態で、格納プレートを、所定の軸線まわりに搖動させるとともに、当該軸線方向に振動させることによって、複数の部品を、格納プレート上で移動させながら、各格納穴内に振り込む方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】ＷＯ２０１８／１０５５９１号公報
【特許文献２】特開平９−１３６７１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の方法では、格納プレート上での部品は、格納プレートの表面を摺動する。そのため、複数の部品は、一塊となって重力に基づき転がりかつ攪拌されながら格納プレート上を繰り返し格納プレートの表面と物理的に摩擦しながら移動する。そして、移動する部品のうち、格納穴と位置合わせされたものが格納穴内に入れられる。
【０００５】
上述した格納方法では、格納プレートの表面との摩擦による部品の汚れ、重力に基づく転がりまたは落下が部品に及ぼす衝撃による部品の割れ、欠けなどの問題が発生する懸念がある。
【０００６】
また、特開平９−１３６７１６号公報（特許文献２）に記載の方法を用いて回転プレートの円周に沿って設けたポケットへ部品を受け入れられる部品の個数を増やすには限界があり、格子状に部品を配列させるためには、各部品を保持、位置決めさせる工程が新たに必要になる問題がある。
【０００７】
すなわち、部品の処理数を上げるには、回転プレートの回転速度を増やすことなどが考えられるが、回転速度を増やすと、ポケットと部品との衝撃力も比例して増えてしまう。その結果、割れ、欠けが生じた部品の発生率が増加してしまう問題がある。
【０００８】
本発明の目的は、取り扱われる部品の汚れ、割れ、欠けが生じにくく、複数の部品を整列できる、格納方法、格納プレート、および格納装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様に係る格納方法は、第１主面を有し、複数の格納穴が前記第１主面に設けられている格納プレートを用意する第１工程と、前期格納プレートの前記第１主面上に複数の部品を置く第２工程と、複数の前記部品に加速度を加えることで前記第１主面上にある複数の前記部品を移動させる第３工程と、複数の前記部品の少なくとも一部を前記格納穴内に入れる第４工程とを備え、前記第１主面に設けられている気体を通す複数の気体経路から気体が放出されている状態において、第１主面上にある複数の前記部品を移動させる。
【００１０】
本発明の一態様に係る格納プレートは、第１主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴が前記第１主面に設けられている格納プレートであって、第１主面に設けられている気体を通す複数の気体経路を有している。
【００１１】
本発明の一態様に係る格納装置では、第１主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴が前記第１主面に設けられている格納プレートであって、第１主面に設けられている気体を通す複数の気体経路を有している格納プレートと、複数の気体経路につながる主空間を有する主チャンバを備える。
【００１２】
本発明の一態様に係る格納装置では、第１主面を有し、部品を格納できる複数の格納穴が前記第１主面に設けられている格納プレートであって、第１主面に設けられている気体を通す複数の気体経路を有している格納プレートと、第１主面上にある複数の部品を移動させるように、部品に加速度を与える加速度付与器をさらに備える。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、取り扱われる部品の汚れ、割れ、欠けが生じにくく、複数の部品を整列できる、格納方法、格納プレート、および格納装置を提供できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態による格納方法を実施する格納プレート１１および格納装置１を模式的に示す平面図である。
【図２】図１の線ＩＩ−ＩＩに沿う格納装置１を模式的に示す断面図である。
【図３】図２で示した格納装置１が傾斜した状態を模式的に示す断面図である。
【図４】図１、図２、図３に示した格納装置１の動作の一例を模式的に示す平面図である。
【図５】本発明の第１実施形態の変形例による部品の格納方法を実施する格納装置１を模式的に示した断面図である。
【図６】本発明の第２実施形態による部品の格納方法を実施する格納プレート２１１を模式的に示した断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態の第１変形例による部品の格納方法を実施する格納プレート３１１を模式的に示した断面図である。
【図８】本発明の第２実施形態の第２変形例による部品の格納方法を実施する格納プレート４１１を模式的に示した断面図である。
【図９】本発明の第２実施形態の第３変形例による部品の格納方法を実施する格納プレート５１１を模式的に示した断面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態による部品の格納方法を実施する格納プレート６１１を模式的に示した平面図および断面図である。
【図１１】本発明の第３実施形態の第１変形例による部品の格納方法を実施する格納プレート７１１を模式的に示した平面図および断面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態による部品の格納方法を実施する格納装置２０１を模式的に示した断面図である。
【図１３】本発明の第２実施形態の第１変形例による部品の格納方法を実施する格納装置３０１を模式的に示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（第１実施形態）
図１ないし図６を参照して、本発明の第１実施形態およびその変形例による格納方法、格納プレート１１および格納装置１の構成について説明する。
【００１６】
図１、および図２に示すように、格納装置１は、格納プレート１１と、主チャンバ３１と、加速度付与器７１とを備え、さらに、格納装置１は、気体供給器５１および制御器９１を備えている。格納プレート１１には、それぞれ部品１０１（図２参照）が格納できる複数の格納穴１３が設けられている。なお、図１では、実際に設けたすべての複数の格納穴１３を図示するのではなく、模式的に図示している。各々の格納穴１３は、開口１４、底面１５、側面１６を有する。第１主面を平面視したとき、格納穴１３の形状は、部品１０１が直方体形状である場合、部品１０１の形状に合わせて略矩形形状であることが好ましく、底面１５が矩形状であることが好ましい。複数の格納穴１３は、第１主面１８に沿う第１方向（行方向）と、第１主面１８に沿い第１方向に直交する第２方向（列方向）とに沿って格子状に設けられている。さらに、格納プレート１１の第１主面１８の周縁部には、第１主面１８から突出する枠部が設けることもできる。枠部によって、格納プレート１１の第１主面１８上に置かれた部品１０１が格納プレート１１から脱落することを防止できる。
【００１７】
なお、図示しないが、格納プレート１１は、格納穴１３の側面を構成する貫通孔が形成される上板部と、格納穴１３の底面を構成する下板部とを組み合わせた構造であってもよい。部品１０１の寸法の条件が異なる場合、部品１０１に最適な格納穴１３の寸法も異なる。異なる種類の上板部を用意しておけば、共通の下板部を使用して、部品１０１の寸法の条件変更に迅速に対応することができる。
【００１８】
この実施形態では、部品１０１は各格納穴１３内に１個ずつ入れられる。格納穴１３に振り込まれた部品１０１が、完成品としての部品であるとき、複数の部品１０１が格納プレート１１上に格子状に整列して保持されることにより、当該部品のたとえば測定工程または梱包工程への供給に際して便宜が図られる。また、格納穴１３に振り込まれた部品１０１が、外部電極が形成される前のチップ状の電子部品本体であるとき、複数の電子部品本体が格納プレート１１上に整列して保持されることにより、当該部品本体の外部電極形成のための工程への供給に際して便宜が図られる。
【００１９】
図２、図３に示すように、格納装置１は、格納プレート１１を支持する基台ともなる主チャンバ３１を備えことができる。主空間３２を有する主チャンバ３１は、格納プレート１１を支持する。格納プレート１１が主チャンバ３１に支持されることで、主チャンバ３１の主空間３２が格納プレート１１の第２主面１９により閉じた内部空間を形成する。図１、図２に示すように、主チャンバ３１には、回転軸と回転機とを含む傾斜機構部７１Ａが接続されている。なお、傾斜機構部７１Ａは、格納プレート１１と接続することもできる。
【００２０】
なお、以下の説明において、図１、図２に示すように、水平面内に沿って、かつ互いに直交するＸ軸方向およびＹ軸方向、Ｘ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向を用いることがある。
【００２１】
格納方法を実施するにあたって、まず、図１ないし図３に示すように、格納プレート１１を備える格納装置１を用意する。格納プレート１１の第１主面１８上に複数の部品１０１が置かれる。この状態が図４（１）に模式的に図示されている。図４（１）からわかるように、複数の部品１０１は、格納プレート１１の第１主面１８の図中左端部に寄せて投入される。
【００２２】
図４（１）〜（４）において、複数の部品１０１の集合体を部品群１０１Ａとして図示している。一例として、格納プレート１１に、複数の行および複数の列を有する格子状に並べられ、矩形形状の開口１４の寸法が第１主面１８を平面視して、０．６５ｍｍ〜０．８０ｍｍの正方形形状であり、開口１４の間隔が０．９０ｍｍである格納穴１３が設けられるとき、格納穴１３の個数の約１．５倍の個数の部品１０１が格納プレート１１の第１主面１８上に置かれる。
【００２３】
なお、この実施形態において取り扱われる部品１０１は、略直方体形状を有するチップ状である。一例としては、部品１０１が０．６ｍｍ×０．６ｍｍの平面寸法を有するものである。
【００２４】
次に、気体供給器５１から主チャンバ３１を介して供給された空気が、格納プレート１１の第１主面１８に設けられた複数の気体経路１２から放出される。図４（１）に示すように、空気が放出された状態で、格納プレート１１の第１主面１８に沿って、部品群１０１ＡがＸ軸方向の矢印３９方向へ移動する。そして、この移動の過程において、部品１０１は、各格納穴１３内に１個ずつ入れられる。
【００２５】
なお、気体供給器５１は、具体例として、送風機を用いる例を挙げる。製造工程に設置されている正圧発生源が用いられてもよい。なお、実施形態において、複数の気体経路１２から放出される気体は、空気に限定されない。たとえば、気体として、窒素ガス、アルゴンガスなどの不活性ガスを用いることができる。これにより、気体と部品１０１との化学反応の影響が低減できる。あるいは、気体の所定の構造、たとえば部品１０１の特定の材料との反応性を有する気体を用いことができる。特定の反応性を有する気体により、部品の格納と部品加工を同時に得ることができる。また、大気より湿度を低減させた空気を用いることができる。このとき、気体供給器５１に除湿機構部を含む、あるいは除湿機構部が接続される構成が好ましい。
【００２６】
部品１０１が、図４（１）および図５において矢印３９で示す方向に移動し、空の格納穴１３と位置合わせされたとき、位置合わせされた部品１０１が格納穴１３内に入る。
【００２７】
ここで、第１主面１８に設けられた複数の気体経路１２から空気が略均等に放出された状態では、部品１０１が格納穴１３へ入りにくくなる。そこで、所定の気圧が作用したとき、格納穴１３に設けられた複数の気体経路１２を通る第１流速が格納穴を除く第１主面１８に設けられた複数の前記気体経路１２を通る気体の第２流速より遅くする。これにより、格納穴１３から出る空気の第１流速が、格納穴１３の周囲に位置する第１主面１８から出る空気の第２流速より相対的に遅くなるように差が設けられる。この流速の相対差により、部品１０１が格納穴１３へ入りやすくなる。また、格納穴１３に設けられた複数の気体経路１２を通る気体に作用する第１気圧が、格納穴を除く第１主面１８に設けられた複数の前記気体経路１２を通る気体に作用する第２気圧より低いことが好ましい。
【００２８】
なお、格納プレート１１は、格納穴１３における通気性が、格納穴１３を除く第１主面１８における通気性より低い構成が好ましい。さらに、格納穴１３における通気性が、格納穴１３の周囲に位置する第１主面１８の通気性より低い構成がより好ましい。
【００２９】
さらに、格納プレート１１は、第１主面１８を平面したとき単位面積当たりの気体経路１２の面積比率において、格納穴１３における第１面積比率が、格納穴を除く第１主面における第２面積比率より低い構成が好ましい。
【００３０】
なお、格納プレート１１は、第１主面１８と第２主面１９とに接続される複数の貫通孔によって構成される複数の気体経路１２を有することが好ましい。さらに、多数の細孔が互いに連結された多孔質部を有する構成が好ましい。格納プレート１１は、多孔質部は、少なくとも第１主面１８および格納穴１３の一部に設けられ、主チャンバ３１の主空間３２に接続できるよう設けられ構成が好ましい。格納プレート１１が、多孔質材料によって形成される構成は、構造が簡素で製作が容易でなるため、最も好ましい。
【００３１】
この実施形態では、１個の部品１０１が１個の格納穴１３に入れられる形態を示した。この場合、格納穴１３の深さ寸法は、部品１０１の外形寸法における最も長い辺の長さ寸法とほぼ同じとされる。このように構成されると、部品１０１が、格納穴１３に振り込まれた後、再び外へ飛び出すといった不都合が低減できるばかりでなく、格納穴１３に入った部品１０１の上面と第１主面１８との段差を低減させた状態で部品１０１が整列する。次に当該格納穴１３を越えて通過しようとする部品１０１を格納穴１３に入った部品１０１が支え、かつ通過しようとする部品１０１の移動経路をより平坦なものにするように機能する。したがって、後続する部品１０１を格納プレート１１上で円滑に移動させることができる。この作用効果は、この実施形態のように、部品１０１が直方体形状であるとき、より顕著となる。
【００３２】
図４（１）に示した部品群１０１Ａの矢印３９方向への移動の結果、図４（２）に示すように、部品群１０１Ａは、格納プレート１１の第１主面１８の右側の部分に寄せられる。この移動の途中で、複数の部品１０１が格納穴１３に入れられるので、格納プレート１１の第１主面１８の右側の部分にまで到達する部品１０１の個数は、部品１０１の全個数より減っている。通常、この段階では、すべての格納穴１３が部品１０１で充填されるのではなく、部品１０１が入っていない空のままの格納穴１３がいくつか残される。
【００３３】
次に、空のまま残された格納穴１３に部品１０１を入れるため、図４（２）にＸ軸方向の矢印４０で示すように、格納プレート１１上で、部品群１０１Ａが上記と逆方向へ移動される。この部品群１０１Ａの矢印４０方向への移動の途中において、部品１０１が未格納の格納穴１３に部品１０１が入れられる。
【００３４】
上述した矢印４０方向への移動工程を実施する時間は、通常、前述した矢印３９方向への移動工程を実施する時間より短くされる。言い換えると、矢印４０方向への移動速度は、矢印３９方向への移動速度より高くされる。矢印４０方向への移動工程を実施しようとする段階では、格納穴１３に振り込まれないで残された部品１０１の個数が当初投入された部品１０１の個数より減っている。このような移動速度の変更は、加速度付与器７１により部品１０１に与える加速度を増加させる、Ｘ軸方向の振動成分をより大きくすることにより達成される。加速度を増加させる一例として、制御器９１で制御された傾斜角度駆動器が格納プレート１１の傾斜角度を大きくなるに、格納プレート１１を傾斜させることで達成できる。
【００３５】
図４（２）に示した部品群１０１Ａの矢印４０方向への移動の結果、図４（３）に示すように、部品群１０１Ａは、格納プレート１１の第１主面１８の左側の部分に寄せられる。この段階でも、空のままの格納穴１３がいくつか残されていることがあり、すべての格納穴１３に部品１０１を格納する必要がある場合には、図４（３）に矢印４１で示す方向へ部品群１０１Ａが移動され、図４（４）に示すように、部品群１０１Ａが格納プレート１１の第１主面１８の右側の部分に再び寄せられる。さらに、必要に応じて、部品群１０１Ａの移動方向の切換えが繰り返されることもあり得る。
【００３６】
また、本実施形態では、格納プレート１１の第１主面１８、格納穴１３に設けられた複数の気体経路１２から空気が放出された状態のまま、格納プレート１１の第１主面１８に沿って部品群１０１Ａが移動し、その後、格納穴１３に部品１０１が入れられる。その空気の吹き出しにより、第１主面１８、格納穴１３と部品１０１との衝撃による部品１０１の割れ、欠け、または、第１主面１８との物理的な摩擦による部品１０１の汚れなどの発生が低減できる。部品１０１の数の格納穴１３に対する投入倍率が高くなっても、部品１０１の割れ、欠け、汚れの発生を抑制することもできる。
【００３７】
以上説明した実施形態では、制御器９１が格納プレート１１の傾斜を所定の傾斜に変わるように制御できる傾斜機構部７１Ａを有する加速度付与器７１により、格納プレート１１を駆動させた。これにより、格納プレート１１が水平面に対して所望の傾斜に制御できる。なお、本発明の実施形態は、傾斜機構部７１Ａを有する加速度付与器７１に限定されない。たとえば、図６に示す変形例において、加速度付与器７１は、傾斜機構部７１Ａに加えて、空気を第１主面１８に対して供給する送風機を用いた送風部７１Ｂをさらに有する。この送風部７１Ｂにより、第１主面１８にある部品１０１に加速度を与えて、部品１０１が第１主面１８上を移動させることができる。さらに、加速度付与器７１が第１主面１８に磁界を発生できる磁界発生部を含んでもよい。なお、加速度付与器７１は、傾斜機構部７１Ａ、送風部７１Ｂ、磁界発生部からなる群から選ばれた少なくとも１つの構成を含んでもよい。
【００３８】
また、前述した実施形態では、複数の部品１０１を各格納穴１３内に振り込む工程において、１個の部品１０１が１個の格納穴１３に入る構成が、各の部品１０１の整列間隔を高い精度で得られるため好ましい。ただし、各の部品１０１の整列間隔の精度よりも、工程の処理速度を求める場合では、複数の部品１０１が１個の格納穴１３に入る構成である方が好ましいときがある。
【００３９】
ここで、セラミック部品を製造するために実施される焼成工程において、本発明の実施形態を適用した場合を検討する。焼成工程では、部品１０１としての多数の生のセラミック素体が同時に焼成される。このとき、多数の生のセラミック素体に焼成むらが生じないように、損傷がなく、均一な密度、あるいは間隔で多数のセラミック素体を並べなることが重要となる。本発明の実施形態を適用することで、焼成前の強度が低い生のセラミック素体である部品１０１と、格納プレート１１との物理的接触または摩擦力が低減でき、かつ、複数の格納穴１３内に入れられた適当数の部品１０１としての生のセラミック素体の密度、あるいは間隔が容易に保つことができる。これにより、損傷が低減され、かつ所定の整列状態に保たれた多数の生のセラミック素体が焼成炉内に配置できる。その結果、整列位置の変動の影響が小さく、損傷の少ない、多数の焼成されたセラミック素体を得ることができる。
【００４０】
（第２実施形態）
図６ないし図９を参照して、本発明の第２実施形態およびその第１，第２および第３変形例の格納プレート２１１、３１１、４１１，５１１について説明する。第２実施形態およびその変形例において、第１実施形態に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略することがある。
【００４１】
第２実施形態である格納プレート２１１は、図６に示すように、第１主面１８を平面視して、格納穴１３の位置と重なる格納領域にあって、非格納領域に比べて相対的に通気性が低い低通気性部分を有するマスク部２１１Ａを有する。
【００４２】
第２実施形態の第１変形例である格納プレート３１１は、図７に示すように、多層構造であって、第１主面１８を平面視して、格納穴１３の位置と重なる格納領域にあって、格納穴１３の位置と重ならない非格納領域に比べて相対的に通気性が低い低通気性部分を有するマスク部３１１Ａを有し、マスク部３１１Ａは、格納プレート３１１の厚み方向の中間の位置に配置されている。
【００４３】
第２実施形態の第２変形例である格納プレート４１１は、図８に示すように、格納穴１３の底面１５での通気性が、格納穴１３の位置と重ならない非格納領域の通気性より低くなるように被膜４１１Ｂが配置されている。被膜の材料、形状、配置の割合を選択することで、通気性の変更が容易である点で好ましい。また、被膜４１１Ｂが剥離可能であれば、被膜４１１Ｂが、汚れた場合、損傷した場合に、被膜４１１Ｂを格納プレート４１１から剥離した後、再度被膜処理できる点で好ましい。
【００４４】
第２実施形態の第３変形例である格納プレート５１１は、図９に示すように、格納穴１３を含む格納プレート５１１の中央領域の通気性が、中央領域を囲む環状の周囲領域の通気性より低くなるように、通気性の異なるブロックが組み合わさって構成されている。なお、中央領域および周囲領域のブロックが、それぞれ複数の小ブロックが組み合わさった構成であってもより。具体的には、中央領域のブロックが、小ブロックが格子状、あるいは扇状に組み合わさって構成できる。各小ブロックの通気性を異ならせることにより、目的に応じた通気性の分布を得ることができる点で好ましい。
【００４５】
（第３実施形態）
図１０、図１１を参照して、本発明の第３実施形態およびその第１変形例の格納プレート６１１、７１１について説明する。第３実施形態およびその変形例において、第１実施形態および第２実施形態並びにその実施例に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略することがある。
【００４６】
第３実施形態である格納プレート６１１は、図１０に示すように、格納穴１３の形状が、底面１５と、底面１５と第１主面１８とをつなぐ側面１６とを有している。側面１６は、第１主面１８に沿う第１方向における第１主面に対する第１方向傾斜角度と、第１主面に沿い、第１方向に直交する第２方向における第１主面１８に対する第２方向傾斜角度とが互いに異なっている。
【００４７】
第３実施形態の第１変形例である格納プレート７１１は、図１１に示すように、格納穴１３の側面１６は、第１方向で対向する第１方向第１傾斜角度と第１方向第２傾斜角度とが互いに異なっている。
【００４８】
（第４実施形態）
図１２、図１３を参照して、本発明の第４実施形態およびその第１変形例の格納装置２０１、３０１について説明する。第４実施形態およびその変形例において、第１実施形態なし第３実施形態並びにその実施例に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略することがある。
【００４９】
第４実施形態である格納装置２０１の複数の気体経路１２につながる主空間３２を有する主チャンバ３１は、図１２に示すように、第１空間３４を有する第１チャンバ部３３と、第２空間３６を有する第２チャンバ部３５とを含んでいる。第１チャンバ部３３は、少なくとも格納穴１３に設けられている複数の気体経路１２Ａとつながれており、第２チャンバ部３５は、格納穴１３に設けられない複数の気体経路１２Ｂとつながれている。
【００５０】
第４実施形態の第１変形例である格納装置３０１の主チャンバは、図１３に示すように、第３空間３８を有する第３チャンバ部３７をさらに含んでいる。第３チャンバ部３７の第３空間３８は、第１チャンバ部３３の第１空間３４と、第２チャンバ部３５の第２空間３６と並列につながっている。第１チャンバ部３３、および第２チャンバ部３５は、整流板により形成されている。
【００５１】
以上説明した各実施形態は、例示的なものであり、本発明の範囲内において種々の変形が可能である。たとえば、取り扱われる部品の形状は、直方体形状でなくてもよい。たとえば、部品の形状が、円盤状、円柱状、または角柱状の形状であってもよく。さらには、部品の形状が、螺旋状に巻かれたワイヤからなるコイル状の形状であってもよい。
【００５２】
また、本件で、「部品」と言うときは、完成品としての部品に限らず、たとえば、外部電極が形成される前のチップ状の電子部品本体のように、部品の製造途中の中間製品であって、完成品としての部品のための部品となるべきものをも含む。
【００５３】
また、本発明の範囲は、上述した実施形態に限らず、異なる実施形態間において、構成を部分的に置換したり、組み合わせたりしたものにも及ぶことを指摘しておく。
【符号の説明】
【００５４】
１、２０１、３０１  格納装置
１１、２１１，３１１，４１１，５１１、６１１、７１１  格納プレート
１２  気体経路
１３  格納穴
１４  開口
１５  底面
１６  側面
１８  第１主面
１９  第２主面
３１  主チャンバ
３２  主空間
３３  第１チャンバ部
３４  第１空間
３５  第２チャンバ部
３６  第２空間
３７  第３チャンバ部
３８  第３空間
５１  気体供給器
５１Ａ  送風機
７１  加速度付与器
７１Ａ  傾斜機構部
７１Ｂ  送風部
９１  制御器
１０１  部品
１０１Ａ  部品群
【要約】
【課題】取り扱われる部品の割れ、欠け、汚れが生じにくく、複数の部品を整列できる、格納方法、格納プレート、および格納装置を提供する。
【解決手段】複数の格納穴１３が第１主面１８に設けられている格納プレート１１を用意する第１工程と、第１主面１８上に複数の部品１０１を置く第２工程と、複数の部品１０１に加速度を加えることで、第１主面上にある複数の部品１０１を移動させる第３工程と、複数の部品１０１の少なくとも一部を、格納穴１３内に入れる第４工程を備え、第１主面１８に設けられている気体を通す複数の気体経路１２から気体が放出されている状態において、第１主面１８上にある複数の部品１０１を移動させる格納方法。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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