(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井部で区画された天井懐空間を加圧チャンバとして利用する天井内加圧チャンバ方式の防爆クリーンルームの前記天井部の外周端部と、該外周端部と略水平方向に対向する建物構成部材の一面との間の気密性を確保するための構造であって、
前記建物構成部材の一面に固着される断面方形状の角管状に形成された固着部と、
前記固着部と別体形成され、前記固着部から前記建物構成部材の一面と略水平方向に隙間をあけて垂設される垂下部と、
前記垂下部と一体形成され、前記垂下部の下端部側から前記天井部の下方に、前記天井部と上下方向に隙間をあけて突設される突出部と、からなるスペーサー部材が前記天井部の外周端部に沿って略水平方向に延設され、
前記天井部と前記スペーサー部材の突出部との間に介設される第１の気密部材と、
前記建物構成部材の一面と前記スペーサー部材の垂下部との間に介設される第２の気密部材と、
前記建物構成部材の一面と前記スペーサー部材の固着部との間に介設される、高粘着性を有する帯状の粘弾性体である第３の気密部材と、
を備える、防爆クリーンルームの天井部気密構造。
【請求項２】
前記第１の気密部材と前記第２の気密部材とがそれぞれ、前記天井部で区画された室内側に露出している、
請求項１に記載の防爆クリーンルームの天井部気密構造。
【請求項３】
前記建物構成部材である壁材が、複数の壁パネルを横方向に並設し、隣り合う前記壁パネルの間の上下方向に延びる目地部にシール材を充填して形成されている、
請求項１または請求項２に記載の防爆クリーンルームの天井部気密構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、防爆仕様のクリーンルームの天井部気密構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば半導体、液晶、精密機器、医薬品の製造、研究開発など、様々な技術分野において、外調機、空調機、高性能フィルタなどで外気や還気を処理し、清浄化、調温、調湿した空気を給気、循環し、作業空間を清浄な陽圧環境で保持するように構成したクリーンルームが用いられている。
【０００３】
一方、可燃性ガス、薬液の反応による反応性ガスなど、爆発性、発火性を有する薬品、物品などを取り扱う防爆クリーンルームにおいては、防爆性とともに作業空間の高度な気密性が求められる。
【０００４】
また、半導体や液晶の製造に係る技術分野などでは、防爆性、気密性とともに、例えばＩＳＯ１４６４４−１のＣｌａｓｓ１〜Ｃｌａｓｓ３の規格を満たすなど、高レベルの清浄度が求められる防爆スーパークリーンルームの需要が高まっている。
【０００５】
ここで、特許文献１には、一般のクリーンルームにおいて、格子状の天井下地と天井材（天井パネル）を備えてなる吊り天井の天井部の壁側端部と、壁材との間の気密性を確保するための構造が開示されている。
【０００６】
この特許文献１のクリーンルームの天井部気密構造は、縦片と下横片と上横片とを備えて略コ字状に形成され、縦片の上端部側を壁材にビス止め固定して天井部の外周端部と壁材との間に配設されるアルミニウム製のスペーサー部材の見切り緑と、下横片と天井材の下面との間に介設されてこの隙間部分を遮断する第１の気密部材のシリコンコーキングと、縦片の下端部側と壁材との間に介設されてこの隙間部分を遮断する第２の気密部材のシリコンコーキングと、を備えて構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−９３３２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一方、一般のクリーンルームは、例えば、ＵＬＰＡフィルタやＨＥＰＡフィルタなどの高性能フィルタとファンとを一体に備えたファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵという）を天井下地に支持させて天井部を構成し、外調機や空調機で処理した空気をファンの駆動とともに天井裏空間、すなわち、天井懐から高性能フィルタを通じて室内の作業空間に給気するように構成されている。
【０００９】
しかしながら、このような構成を防爆クリーンルームに採用しようとした場合、例えば、通常のクリーンルーム用のＦＦＵよりも高さ方向の厚みが倍以上で、非常に大型、大重量の防爆仕様のＦＦＵを用いることが必要になる。その分、厚みに応じた過度の天井内懐の高さが必要になり、コスト増、構造空間的な効率低下を招くことになる。
【００１０】
また、防爆仕様のＦＦＵは静穏性が低く、その敷設率（天井下地、防爆仕様の装置などの必要設備を除いた天井部のＦＦＵを設置可能な領域（総面積）に対するＦＦＵを設置する領域（ＦＦＵ設置面積）の割合）を高くすると、作業空間での作業に支障をきたすほどの騒音が発生するという不都合が生じる。
防爆性とともに高清浄度が求められる防爆スーパークリーンルームでは、防爆仕様のＦＦＵの敷設率を１００％に近づけるように設計されるため、その騒音の影響はより深刻なものになる。
【００１１】
このような事由により、防爆スーパークリーンルームを含む防爆クリーンルームにおいては、吊り天井の天井部に防爆仕様のＦＦＵを設置することは現実的でなく、他の清浄度を確保する手法、手段が強く求められていた。
【００１２】
これに対し、本願の発明者は、天井裏空間を加圧チャンバとして利用し、ＦＦＵではなく、フィルタ（高性能フィルタを備え、ファンを備えていないユニットを含む）を天井下地に支持させて防爆クリーンルームの天井部を構成することにより、上記の不都合を解決できることを見出した。
【００１３】
すなわち、本願の発明者は、上階の床スラブなどの上部建物躯体に接続した複数の吊りボルトによって、格子状の天井下地、及び天井下地に支持して設置した防爆仕様のフィルタからなる天井部を吊り下げ支持して天井裏空間を形成し、外調機、空調機で処理した空気を供給して天井裏空間を加圧チャンバとして利用し、高圧側の天井裏空間から自動的にフィルタを通じて低圧側の作業空間に清浄空気を給気することで、上記の不都合を解決できることを見出した。
【００１４】
しかしながら、天井裏空間を加圧チャンバとして利用する構造を防爆クリーンルームに適用しようとした場合には、天井部の外周端部と壁材の壁面との間の隙間部分の気密性を確保することが難しいという新たな課題が発生した。
【００１５】
すなわち、天井裏空間を加圧チャンバとして利用する構造を防爆クリーンルームに適用する場合には、天井部の外周端部と壁材の壁面の間の隙間部分のより一層高度な気密性（遮断性、密閉性）が必要になることが本願の発明者の鋭意研究によって確認された。
例えば、特許文献１に開示された気密構造を採用した場合においては、天井裏空間側が作業空間側よりも高圧であるため、見切り縁の縦片の上端部側を壁材に固着した固着部分（見切り縁の縦片と壁材との間のわずかな隙間）から加圧空気が、見切り縁の縦片の下端部側と壁材との隙間に充填したシリコンコーキング（第２の気密部材）に上方から押圧作用し、この隙間部分のシリコンコーキングに変形などが生じて気密性が早期に損なわれてしまうことが、本願の発明者の鋭意研究によって確認された。
【００１６】
したがって、天井内加圧チャンバ方式の防爆クリーンルームでは、気密性の確保が非常に重要であり、天井部の外周端部と壁材（建物構成部材）との間の隙間部分の気密性を長期にわたり安定的に確保できる手法、すなわち、信頼性の高い気密構造を開発することが急務とされていた。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の防爆クリーンルームの天井部気密構造の一態様は、天井部で区画された天井懐空間を加圧チャンバとして利用する天井内加圧チャンバ方式の防爆クリーンルームの前記天井部の外周端部と、該外周端部と略水平方向に対向する建物構成部材の一面との間の気密性を確保するための構造であって、前記建物構成部材の一面に固着される固着部と、前記固着部から前記建物構成部材の一面と略水平方向に隙間をあけて垂設される垂下部と、前記垂下部の下端部側から前記天井部の下方に、前記天井部と上下方向に隙間をあけて突設される突出部と、からなるスペーサー部材が前記天井部の外周端部に沿って略水平方向に延設され、前記天井部と前記スペーサー部材の突出部との間に介設される第１の気密部材と、前記建物構成部材の一面と前記スペーサー部材の垂下部との間に介設される第２の気密部材と、前記建物構成部材の一面と前記スペーサー部材の固着部との間に介設される第３の気密部材と、を備える構成とした。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の防爆クリーンルームの天井部気密構造の一態様によれば、第１の気密部材、第２の気密部材だけでなく、第３の気密部材を適所に備えることによって、天井内加圧チャンバ方式の防爆クリーンルームの天井部の外周端部と壁材などの建物構成材との間の隙間部分の気密性を長期にわたって安定的に確保することができ、信頼性の高い気密構造を実現することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】一態様の防爆クリーンルームを示す正面図（立断面図）である。
【図２】一態様の防爆クリーンルーム、及び天井部（天井下地）を示す平断面図（天井見上げ図）である。
【図３】一態様の天井部の天井下地を示す斜視図である。
【図４】（ａ）は一態様の防爆クリーンルームの天井部気密構造を示す立断面図であり、（ｂ）は一態様の防爆クリーンルームの天井部気密構造のスペーサー部材のビス固定機構を示す斜視図である。
【図５】（ａ）は一態様の防爆クリーンルームの壁材及び天井部気密構造を示す正面図（立面図）であり、（ｂ）は（ａ）のＳ部を示す図であり、壁パネルの目地部とスペーサー部材の取合い部分を示す平断面図である。
【図６】一態様の防爆クリーンルームの天井部気密構造の変更例を示す立断面図である。
【図７】一態様の防爆クリーンルームの角部における天井部気密構造の隣り合うスペーサー部材の連結部分を示す壁材の前面側且つ上方側から見た斜視図である。
【図８】一態様の防爆クリーンルームの天井部気密構造の隣り合うスペーサー部材の連結部分を示す立断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図１から図８を参照し、一実施形態に係る防爆クリーンルームの天井部気密構造について説明する。
【００２１】
はじめに、本実施形態の防爆クリーンルーム１は、防爆スーパークリーンルームを含む防爆仕様のクリーンルームであり、図１に示すように、天井裏空間２を加圧チャンバとして利用するとともに天井下地３に一体にフィルタ４を設置し、外調機５、空調機６を通じて天井裏空間２に供給した空気Ａをフィルタ４で処理しつつ室内の作業空間７に給気し、且つ床８などを通じて作業空間７内の空気Ａを外部に取り出して空調機６に還気することで、一連の循環経路を形成して室内空気Ａを循環させるように構成されている。
【００２２】
より具体的に、防爆クリーンルーム１の空調システムは、室内負荷処理用の空調機６と外気負荷処理用の外調機５をウォールシャフト１９内に設置し、これら空調機６、外調機５で処理した空気Ａをウォールシャフト１９から送気して天井裏空間２を作業空間７よりも高圧にし、天井裏空間２を加圧チャンバとして利用しつつ複数のフィルタ４を通じて清浄空気Ａ（ＳＡ）を作業空間７に給気するように構成されている。
【００２３】
本実施形態の防爆クリーンルーム１に具備されて天井裏空間２を形成する吊り天井構造１０は、いわゆるシステム天井やグリッド天井と呼ばれるものであり、その具体的な構成は、図１、図２、図３に示すように、断面略逆Ｔ字状に形成され、水平の一方向Ｔ１に延設されるとともに一方向Ｔ１に直交する他方向Ｔ２に所定の間隔をあけて配設される複数のメインバー１１と、上端を建物の上部構造に固着し、下端側をメインバー１１に接続して配設された複数の吊りボルト１２と、他方向Ｔ２に延び、隣り合うメインバー１１に両端部をそれぞれ、接続金具を用いて接続して架け渡され、一方向Ｔ１に所定の間隔をあけて配設される複数のサブバー１３と、複数のメインバー１１及び複数のサブバー１３からなる格子状（略格子状を含む）の天井下地３に一体に取り付けられる複数の防爆仕様のフィルタ４と、からなる。
【００２４】
格子状の天井下地３、複数のフィルタ４によって天井部１５が構成され、天井部１５には、防爆仕様の照明装置などの不図示の必要設備が取り付けられている。
【００２５】
ＵＬＰＡフィルタやＨＥＰＡフィルタなどの高性能フィルタを備えたフィルタ４は、格子状の天井下地３の隣り合うメインバー１１と隣り合うサブバー１３とで形成された開口部１６に応じた大きさの略方形箱状に形成されており、複数の開口部１６にそれぞれ、逆Ｔ字状のメインバー１１とサブバー１３の略水平方向に突出する張出し部分に載置するようにして設置される。このとき、図４（ａ）に示すように、開口部１６を形成する隣り合うメインバー１１、隣り合うサブバー１３の各張出し部分の支持面である上面と略方形箱状のフィルタ４の外周縁側の下面との間に隙間が生じないようにフィルタ設置用の気密部材１７を介在させてこの部分の気密性を確保し、フィルタ４は各開口部１６を閉塞するように設置されている。
【００２６】
本実施形態の防爆クリーンルーム１が防爆スーパークリーンルームである場合には、例えば、敷設率が１００％となるように、複数のフィルタ４が天井下地３に設置されるが、必ずしも１００％でなくてもよい。
【００２７】
また、本実施形態の防爆クリーンルーム１は、図５（ａ）（図１、図２、図４（ａ））に示すように、壁材２０が防爆仕様の仕上げパネルである壁パネル２１を用いて形成されている。壁材２０は、複数の壁パネル２１を横方向に並設し、隣り合う壁パネル２１の間の鉛直方向Ｔ３に延びる目地部２２にシール材２３を充填して形成されている。
【００２８】
一方、本実施形態の防爆クリーンルーム１の天井部気密構造２５は、図１及び図４（ａ）に示すように、天井部１５の外周端部１５ａと、この外周端部１５ａと略水平方向（Ｔ１、Ｔ２）に対向する壁材２０の壁面との間の気密性を確保するための構造である。
【００２９】
本実施形態では、以下、天井部１５の外周端部１５ａと略水平方向（Ｔ１、Ｔ２）に対向する建物構成部材が壁材２０であるものとして説明を行うが、建物構成部材を壁材２０に限定する必要はなく、梁材や柱材であってもよい。本実施形態では、天井部１５の外周に配設されたメインバー１１によって天井部１５の外周端部１５ａが形成されているものとするが、天井パネルなどの天井材によって天井部１５の外周端部１５ａが形成されていてもよい。また、上記の「略水平方向」は水平方向を含む横方向（Ｔ１、Ｔ２）を意味する。
【００３０】
本実施形態の防爆クリーンルームの天井部気密構造２５は、図４（ａ）に示すように、壁材２０の壁面に固着し、天井部１５の外周端部１５ａと壁材２０との間に配設されるスペーサー部材２６と、天井部１５の外周端部１５ａと壁材２０との間の気密性、言い換えると、遮断性、密閉性を確保するための少なくとも第１の気密部材２７、第２の気密部材２８、第３の気密部材２９の３つの気密部材と、を備えて構成されている。
【００３１】
スペーサー部材２６は、例えば、金属製であり、壁材２０の壁面に固着される固着部３０と、固着部３０から壁材２０の壁面と略水平方向（Ｔ１、Ｔ２）に隙間Ｈ１をあけて垂設される垂下部３１と、垂下部３１の下端部側から天井部１５の下方に、天井部１５と鉛直方向Ｔ３に隙間Ｈ２をあけて突設される突出部３２と、を備えて形成されている。
【００３２】
本実施形態のスペーサー部材２６は、固着部３０と、垂下部３１及び突出部３２とが別体とされている。
【００３３】
図４（ａ）、（ｂ）に示すように、固着部３０、すなわち、固着部を構成する部材は、例えばアルミニウム製の押出成形品であり、断面方形状の角管状に形成されている。固着部３０は、左右一対の側壁部にそれぞれ、側面である外面から内面に貫通する貫通孔が角管状の固着部３０の軸線Ｏ１方向に沿う長さ方向に所定の間隔をあけて複数設けられている。
【００３４】
固着部３０は、一側壁部の側面を壁材２０の壁面に対向させ、天井部１５の外周端部１５ａ及び壁面に沿う略水平方向（Ｔ１、Ｔ２）に軸線Ｏ１方向を向けて配設され、貫通孔をビス挿通孔として壁材２０にビス止めして固定されている。なお、固着部３０の一側壁部を壁材２０にビス止めする際には、ビス３３の軸部及び頭部を他側壁部の貫通孔に通し、一側壁部の貫通孔にビス３３の軸部を挿通させつつ壁材２０にねじ込み、ビス３３の頭部を一側壁部の内面に係止させる。
【００３５】
垂下部３１及び突出部３２、すなわち、垂下部３１及び突出部３２を構成する部材は、例えばアルミニウム製の押出成形品あるいは折曲げ加工品であり、板状で断面略Ｌ字状に形成されている。垂下部３１は、その上端部側に、表面である外面から裏面である内面に貫通する貫通孔が長さ方向に所定の間隔をあけて複数設けられている。
【００３６】
垂下部３１の上端部は、裏面を固着部の他側壁部の側面に面接触させつつ、天井部１５の外周端部１５ａ及び壁面に沿う略水平方向（Ｔ１、Ｔ２）に延設され、貫通孔をビス挿通孔として壁材２０にビス止めし、固着部３０に固定されている。
【００３７】
すなわち、本実施形態では、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、固着部３０がビス３３によって壁材２０に固着され、垂下部３１がビス３６によって固着部３０及び壁材２０に固着されている。
【００３８】
固着部３０にビス止め固定した状態で、垂下部３１はその下端部側が天井部１５の外周端部１５ａ側の下面よりも下方に突出するように配設され、且つ、垂下部３１の下端部側から略水平方向（Ｔ１、Ｔ２）に突出した突出部３２はその上面と天井部１５の外周端部１５ａ側の下面との間に所定の隙間Ｈ２が形成されるように配設される。
【００３９】
第１の気密部材２７は、例えばシール材のシリコンコーキングであり、天井部１５とスペーサー部材２６の突出部３２との間に介設され、この隙間Ｈ２部分を遮断して気密性を確保するように設けられている。
【００４０】
第１の気密部材２７は、例えば発砲体などの丸棒状、断面略円形状のバックアップ材３４を、その長さ方向である軸線方向Ｏ２天井部１５の外周端部１５ａに沿うように略水平方向（Ｔ１、Ｔ２）に向けて天井部１５とスペーサー部材２６の突出部３２との間の隙間Ｈ２に挿入し、このバックアップ材３４で区画した隙間空間にシール材（２７）を充填することにより、隙間Ｈ２部分を遮断して気密性を確保するように設けられている。
【００４１】
本実施形態では、図４（ａ）に、天井部１５の外周端部１５ａが天井下地３のメインバー１１によって形成され、天井下地３の下面とスペーサー部材２６の突出部３２との間の隙間Ｈ２を第１の気密部材２７で遮断して気密性を確保するように図示したが、天井部１５の外周端部１５ａが天井下地３に支持された天井パネルなどの天井材（不図示）によって形成されている場合には、勿論、天井材の下面の天井面とスペーサー部材２６の突出部３２との間の隙間Ｈ２を第１の気密部材２７で遮断して気密性を確保するように構成すればよい。
【００４２】
第２の気密部材２８は、例えばシール材のシリコンコーキングであり、壁材２０の壁面とスペーサー部材２６の垂下部３１との間に介設され、この隙間Ｈ１部分を遮断して気密性を確保するように設けられている。
【００４３】
第２の気密部材２８は、例えば発砲体などの丸棒状、断面略円形状のバックアップ材３５を、その長さ方向である軸線方向Ｏ３を天井部１５の外周端部１５ａに沿うように略水平方向（Ｔ１、Ｔ２）に向けて壁材２０の壁面とスペーサー部材２６の垂下部３１との間の隙間Ｈ１に挿入し、このバックアップ材３５で区画した隙間空間にシール材（２８）を充填することにより、隙間Ｈ１部分を遮断して気密性を確保するように設けられている。
【００４４】
これにより、第１の気密部材２７は、スペーサー部材２６の突出部３２と天井部１５との間の隙間Ｈ２の少なくとも突出部３２の突出方向先端部側に配設され、且つ、第２の気密部材２８は、スペーサー部材２６の垂下部３１と壁材２０の壁面との間の隙間Ｈ１の少なくとも垂下部３１の下端部側に配設され、これら第１の気密部材２７と第２の気密部材２８はそれぞれ、天井部１５で区画された室内側の作業空間７側に露出している。
【００４５】
第３の気密部材２９は、例えば、少なくとも施工時に高粘着性を有するブチルゴムなどの粘弾性体（粘着剤）であり、スペーサー部材２６の固着部３０の一側壁部の側面と壁材２０の壁面との間に介設され、この部分の隙間Ｈ３を遮断して気密性を確保するように設けられている。
【００４６】
第３の気密部材２９は、例えば、帯状に形成したブチルゴムなどであり、固着部３０を壁材２０の壁面にビス止めして固定する際に、予め固着部３０の一側壁部の側面、あるいは壁材２０の壁面の所定位置に接着させるなどし、固着部３０を壁材２０の所定位置に取り付けるとともに固着部３０の一側壁部の側面と壁材２０の壁面との間に介在させる。
【００４７】
また、第３の気密部材２９は、図４（ｂ）に示すように、固着部３０が壁材２０にビス止めされるとともに固着部３０の一側壁部の側面及び壁材２０の壁面に強く密着し、且つ固着部３０の一側壁に設けられた貫通孔に入り込んでビス３６に密着する。これにより、第３の気密部材２９によって、固着部３０の一側壁部の側面と壁材２０の壁面との間の隙間Ｈ３とともに、貫通孔部分の隙間が確実に遮断される。
【００４８】
なお、スペーサー部材２６の固着部３０の他側壁部の側面と垂下部３１の裏面との間に、例えば、少なくとも施工時に高粘着性を有するブチルゴムなどの粘弾性体（粘着剤）を気密部材（不図示）として介設し、この部分の気密性を確保するように構成してもよい。
【００４９】
また、本実施形態では、スペーサー部材２６がアルミ製なので溶接ができないため、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、スペーサー部材２６の固着部３０と垂下部３１及び突出部３２とがビス止めによって接続固定されるものとしたが、部材の材質によって溶接ができる場合は溶接などの他の手段を用いて接続してもよい。さらに、図６に示すように、スペーサー部材２６の固着部３０と垂下部３１及び突出部３２とを別体にすることに限定しなくてもよい。固着部３０は必ずしも角管状に形成されていなくてもよく、板状などの他の形状であってもよい。
【００５０】
ここで、図７に示すように、防爆クリーンルーム１のコーナー部など、隣り合う壁材２０の壁パネル２１が交差する入隅部４０では、隣り合う一方の壁材２０（２０ａ）に設置した一方のスペーサー部材２６と、他方の壁材２０（２０ｂ）に設置した他方のスペーサー部材２６とを接続する必要がある。本実施形態では、図８に示すように、例えば入隅部４０の角度に応じて屈曲形成した、平面視Ｌ字状などの入隅部用のスペーサー部材４１を用い、入隅部用のスペーサー部材４１の一端部４１ａと一方のスペーサー部材２６の端部２６ａ、入隅部用のスペーサー部材４１の他端部４１ｂと他方のスペーサー部材２６の端部２６ａをそれぞれ突き合わせつつ、連結部材４２を用いて接続する。
【００５１】
連結部材４２は、例えば、縦片４２ａと横片４２ｂを備えて断面略Ｌ字状に形成され、縦片４２ａを隣り合うスペーサー部材２６、４１の端部側の垂下部３１の裏面にそれぞれ重ね、隣り合うスペーサー部材２６、４１の端部（２６ａと４１ａ、２６ａと４１ｂ）側の垂下部３１にそれぞれビス止めなどして固定する。連結部材４２の縦片４２ａとスペーサー部材２６、４１の垂下部３１との間に、ブチルゴムなどの粘弾性体（粘着剤）を第４の気密部材３８として介設し、この部分の気密性を確保することが好ましい。
【００５２】
これにより、端部（２６ａと４１ａ、２６ａと４１ｂ）同士を突き合せた状態で、隣り合うスペーサー部材２６、４１が連結部材４２の縦片４２ａを介して一体に接続される。また、連結部材４２で隣り合うスペーサー部材２６、４１を接続した状態で、連結部材４２の横片４２ｂが隣り合うスペーサー部材２６、４１の端部（２６ａと４１ａ、２６ａと４１ｂ）側の突出部３２の下面の下方に、鉛直方向Ｔ３に所定の隙間Ｈ４をあけて重なるように配設される。
【００５３】
そして、連結部材４２の横片４２ｂと各スペーサー部材２６、４１の突出部３２との間の隙間Ｈ４に、発砲体などの丸棒状で断面略円形状のバックアップ材４３を挿入し、このバックアップ材４３で区画した隙間空間に、シリコンコーキングなどの第６の気密部材４４のシール材を充填する。これにより、この隙間Ｈ４（Ｈ１）部分を遮断して気密性が確保される。
【００５４】
なお、図７で示されるような壁の入隅部でなくても、防爆クリーンルーム１の一壁面が水平方向に長く、単位長のスペーサー部材２６を接続しながら設置する必要が生じるケースも考えられる。この場合においても、例えば、連結部材４２を用いて隣り合うスペーサー部材２６、２６の端部同士を突き合わせつつ接続し、連結部材４２の横片４２ｂと各スペーサー部材２６、２６の突出部３２との間の隙間Ｈ４（Ｈ１）にバックアップ材４３を挿入し、第５の気密部材４４のシール材を充填すればよい。
【００５５】
以上に述べてきた通り、図４（ａ）に示すように、本実施形態の防爆クリーンルームの天井部気密構造２５においては、天井部１５とスペーサー部材２６の突出部３２との間に介設される第１の気密部材２７、壁材２０の壁面とスペーサー部材２６の垂下部３１との間に介設される第２の気密部材２８に加え、スペーサー部材２６の固着部３０の一側壁部の側面と壁材２０の壁面との間に介設される第３の気密部材２９を備えて構成されている。
【００５６】
これにより、天井裏空間２を加圧チャンバとして利用する構造を防爆クリーンルーム１に適用した場合であっても、図４（ａ）の矢印で示される天井裏空間２側からの加圧空気Ａが第３の気密部材２９で遮断され、第２の気密部材２８に上方から押圧作用することを防止できる。
【００５７】
よって、本実施形態の防爆クリーンルームの天井部気密構造２５によれば、従来のように天井裏空間２側からの加圧空気Ａが作用して第２の気密部材２８に変形などが生じ、第２の気密部材２８による気密性が早期に損なわれてしまうことがなく、天井内加圧チャンバ方式の防爆クリーンルーム１の天井部１５の外周端部１５ａと壁材２０などの建物構成材との間の隙間部分の気密性を長期にわたって安定的に確保することができ、信頼性の高い気密構造を実現することが可能になる。
【００５８】
本実施形態の防爆クリーンルームの天井部気密構造２５においては、シリコンコーキングなどの第１の気密部材２７と第２の気密部材２８とがそれぞれ、天井部１５で区画された作業空間（室内）７側に露出して設けられている。
【００５９】
これにより、第１の気密部材２７や第２の気密部材２８に経年劣化などによって、痩せなどの変形が生じた場合に、天井裏空間２に作業者が入ることなく、作業空間７側から第１の気密部材２７や第２の気密部材２８の打ち換え、すなわち、シールメンテナンスを行うことが可能になる。
【００６０】
本実施形態の防爆クリーンルームの天井部気密構造２５においては、第３の気密部材２９としてブチルゴム（粘弾性体）を用いることにより、スペーサー部材２６の固着部３０を建物構成部材の壁材２０にビス止めするとともにブチルゴムを潰してスペーサー部材２６の固着部３０の一側壁部の側面と壁材２０の壁面とにそれぞれ、強く密着させることができる。
これにより、第３の気密部材２９による気密性を容易に且つ好適に確保することが可能になる。
【００６１】
ここで、第３の気密部材２９としてブチルゴムを用いた場合には、スペーサー部材２６の固着部３０を建物構成部材の壁材２０にビス止めするとともにブチルゴムが潰れ、スペーサー部材２６の固着部３０の一側壁部の側面と壁材２０の壁面との間から外側にはみ出す。このように施工時に高粘着性を有するブチルゴムがはみ出した場合には、はみ出した不要なブチルゴムをきれいに取り除くことが困難であり、はみ出した黒色などのブチルゴムによって作業空間側からの見栄えを損なうおそれがある。
【００６２】
これに対し、本実施形態の防爆クリーンルームの天井部気密構造２５では、壁材２０の壁面とスペーサー部材２６の垂下部３１との間に、防爆クリーンルームの内装に適した色の第２の気密部材２８が介設されるため、第３の気密部材２９にブチルゴムのような粘弾性体を用いた場合であっても、はみ出した第３の気密部材２９の不要部分が作業空間７側から見えることがない。
これにより、はみ出した不要な第３の気密部材２９を残置しても作業空間側からの見栄えを好適に保つことができる。
【００６３】
図５（ａ）に示すように、本実施形態の防爆クリーンルームの天井部気密構造２５においては、壁材２０が、複数の壁パネル２１を横方向に並設し、隣り合う壁パネル２１の間の鉛直方向Ｔ３に延びる目地部２２にシール材２３を充填して形成されている。このため、経年劣化などで目地部２２のシール材２３に痩せなどの変形が生じ、スペーサー部材２６の固着部３０と壁材２０の目地部２２とが重なる交差部分に隙間が生じるおそれがある。
【００６４】
これに対し、本実施形態の防爆クリーンルームの天井部気密構造２５は、第３の気密部材２９としてブチルゴムのような粘弾性体を用いているため、図５（ｂ）に示すように、壁材２０の目地部２２のシール材２３に痩せなどの変形が生じた場合であっても、第３の気密部材２９の変形追従性によってこの部分に隙間が生じることを防止できる。
これにより、より信頼性の高い気密構造を実現することが可能になる。
【００６５】
本実施形態の防爆クリーンルームの天井部気密構造２５においては、スペーサー部材２６の固着部３０が角管状に形成されていることにより、例えば図６に示したような固着部３０が板状に形成されている場合と比較し、固着部３０の剛性（耐力）をいっそう容易に確保することができる。
これにより、固着部３０を壁材２０にビス止めする際に固着部３０に変形などが生じることを防止でき、固着部３０と壁材２０の間の隙間Ｈ３を第３の気密部材２９で確実且つ容易で好適に遮断することが可能になる。
【００６６】
ちなみに、メインバー１１にサブバー１３を接続して格子状の天井下地１５を構築（形成）する際には、サブバー１３の端部をメインバー１１の側面に突き合わせ、接続金具を介して接続する接続部分の気密性を確保することも当然重要である。
【００６７】
このサブバー１３の端部をメインバー１１の側面に突き合わせて接続する部分の天井部気密構造（２５）としては、例えば、少なくとも施工時に高粘着性を有するブチルゴムなどの粘弾性体（粘着剤等の気密部材）を、サブバー１３の端部とメインバー１１の側面との間に介設し、この部分の隙間を遮断して気密性を確保する構成が挙げられる。
【００６８】
また、サブバー１３の端部とメインバー１１の側面との間にブチルゴムなどの粘弾性体を介設する構成を採用する場合には、全てのメインバー１１を先行して組み付け、平面視で一直線上に並んで配される複数のサブバー１３を順に取り付けてゆく（図２参照）。このとき、一直線上に並んで配される複数のサブバー１３の設置作業は、図２の破線矢印で示すように、天井部１５の中央部側、すなわち、天井下地３の中央部側から一直線上の両外周部側に向けて、複数のサブバー１３を順次取り付けていき、格子状の天井下地３を完成させることが好ましい。
【００６９】
このように天井部１５の中央部側から一直線上の両外周部側に向け、複数のサブバー１３を順次取り付けるようにすると、サブバー１３の取付位置が天井部１５の外周部側に近づくに連れてサブバー１３の端部とメインバー１１の側面との間に介在する粘弾性体の厚みが順次増していくので、サブバー１３の端部とメインバー１１の側面の突き合わせ力（押圧力）が大きくなってゆく。そのため、サブバー１３の設置が進むにつれて、サブバー１３の端部とメインバー１１の側面との間に介設される粘弾性体の密着力が好適に作用する。
これにより、全てのサブバー１３の端部とメインバー１１の側面との間の気密性を好適に確保することが可能になる。
【００７０】
また、単位長のメインバー１１同士の端部を接続していく際にも、上記と同様の理由により、中央部側から両外周部側に向けて振り分けて取り付けていくのが望ましい。
これにより、全てのメインバー１１同士の端部接続の気密性を好適に確保することが可能になる。
【００７１】
以上、本発明に係る防爆クリーンルームの天井部気密構造の一実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００７２】
１  防爆クリーンルーム（防爆仕様のクリーンルーム）
２  天井裏空間（天井懐）
３  天井下地
４  フィルタ
７  作業空間（室内）
１０  吊り天井構造（吊り天井）
１１  メインバー
１３  サブバー
１５  天井部
１５ａ  外周端部
１６  天井下地の開口部（フィルタの設置位置）
２０  壁材
２１  壁パネル
２２  目地部
２３  シール材
２５  防爆クリーンルームの天井部気密構造
２６  スペーサー部材
２７  第１の気密部材
２８  第２の気密部材
２９  第３の気密部材
３０  固着部
３１  垂下部
３２  突出部
Ｈ１〜Ｈ４  隙間
Ｔ１  一方向（略水平方向）
Ｔ２  他方向（略水平方向）
Ｔ３  鉛直方向
【要約】
【課題】天井内加圧チャンバ方式の防爆クリーンルームの天井部の外周端部と壁材などの建物構成材との間の隙間部分の気密性を長期にわたって安定的に確保することが可能な防爆クリーンルームの天井部気密構造を提供すること。
【解決手段】建物構成部材（２０）の一面に固着される固着部３０と、固着部３０から建物構成部材（２０）の一面と略水平方向（Ｔ１、Ｔ２）に隙間Ｈ１をあけて垂設される垂下部３１と、垂下部３１の下端部側から天井部１５の下方に、天井部１５と鉛直方向Ｔ３に隙間Ｈ２をあけて突設される突出部３２と、からなるスペーサー部材２６を、天井部１５の外周端部１５ａに沿って略水平方向（Ｔ１、Ｔ２）に延設する。また、天井部１５と突出部３２との間に第１の気密部材２７を介設し、建物構成部材（２０）と垂下部３１との間に第２の気密部材２８を介設し、建物構成部材（２０）と固着部３０との間に第３の気密部材２９を介設する。
【選択図】図４【図１】
0006891260.tif 000002
【図２】
0006891260.tif 000003
【図３】
0006891260.tif 000004
【図４】
0006891260.tif 000005
【図５】
0006891260.tif 000006
【図６】
0006891260.tif 000007
【図７】
0006891260.tif 000008
【図８】
0006891260.tif 000009