(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直交加速領域に入射するイオンを当該イオンの入射方向に対して直交方向に加速し、その加速されたイオンを飛行空間内に導くことにより、当該飛行空間内におけるイオンの飛行時間に基づいて当該イオンの質量電荷比を分析する直交加速方式の飛行時間型質量分析装置であって、  環状に形成された複数の電極を同軸上に並べて構成され、それぞれ電圧が印加された前記複数の電極の内側にイオンを通過させ、当該イオンを前記直交加速領域へと導くトランスファー電極部と、  前記複数の電極に印加される電圧よりも絶対値が高い電圧が印加され、内部に形成された前記飛行空間内に、前記直交加速領域で加速されたイオンが導入されるフライトチューブと、  前記トランスファー電極部と前記フライトチューブとの間に設けられ、前記フライトチューブに印加される電圧に由来する電場が前記トランスファー電極部に進入するのを抑制するシールド部とを備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
【請求項２】
前記シールド部は、前記複数の電極の一部により形成されていることを特徴とする請求項１に記載の飛行時間型質量分析装置。
【請求項３】
分析時に真空状態となる真空室が内部に形成され、当該真空室内に前記複数の電極のうち少なくとも１つの電極と前記フライトチューブとが設けられた真空チャンバをさらに備え、  前記シールド部は、前記少なくとも１つの電極と前記フライトチューブとの間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の飛行時間型質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、直交加速領域に入射するイオンを当該イオンの入射方向に対して直交方向に加速し、その加速されたイオンを飛行空間内に導くことにより、当該飛行空間内におけるイオンの飛行時間に基づいて当該イオンの質量電荷比を分析する直交加速方式の飛行時間型質量分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  飛行時間型質量分析装置（ＴＯＦＭＳ：Time of Flight Mass Spectrometer）としては、直交加速方式でイオンを加速させるものが知られている（例えば、下記特許文献１参照）。この種の飛行時間型質量分析装置には、トランスファー電極部、直交加速部及びフライトチューブなどが備えられている。【０００３】  トランスファー電極部は、環状に形成された複数の電極を同軸上に並べて構成されている。これらの各電極に電圧が印加されることにより、各電極の内側には電場が形成され、この電場を通ってイオンが直交加速部へと導かれる。直交加速部には、トランスファー電極部から入射するイオンを当該イオンの入射方向に対して直交方向に加速する直交加速領域が形成されている。【０００４】  直交加速領域で加速されたイオンは、フライトチューブ内の飛行空間へと導かれ、当該飛行空間内を飛行した後、検出器で検出される。これにより、検出器に到達するまでのイオンの飛行時間が測定され、その飛行時間に基づいてイオンの質量電荷比ｍ／ｚが算出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第６２０２２１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  トランスファー電極部を構成する各電極には、例えば数１０Ｖ程度の電圧が印加される。一方、フライトチューブには、例えば７ｋＶ程度の高電圧が印加される。通常、フライトチューブに印加される電圧の極性は検出対象のイオンの極性に応じて異なり、正イオン検出時には−７ｋＶ、負イオン検出時には＋７ｋＶの電圧が印加される。いずれにしても、トランスファー電極部を構成する少なくとも一部の電極に印加する電圧よりも、絶対値が例えば１０倍以上の高電圧がフライトチューブに印加されることになる。直交加速方式の飛行時間型質量分析装置では、トランスファー電極部とフライトチューブとが比較的近い位置に配置されているため、フライトチューブに印加される高電圧に由来する電場が、トランスファー電極部に進入し、トランスファー電極部における電場に変動が生じるという問題があった。【０００７】  上記のようなトランスファー電極部における電場の変動が生じた場合、トランスファー電極部を通過するイオンが曲げられてしまい、分解能の低下、感度の低下、測定精度の低下などが生じる。トランスファー電極部への電場の進入を少なくするために、各電極間の距離を小さくすることも考えられるが、電極の枚数が多くなって製造コストが高くなったり、部品の公差が累積することにより測定精度が悪化したりする原因になる。【０００８】  本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、フライトチューブに印加される電圧に起因して、トランスファー電極部における電場に変動が生じるのを防止することができる飛行時間型質量分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】（１）本発明に係る飛行時間型質量分析装置は、直交加速領域に入射するイオンを当該イオンの入射方向に対して直交方向に加速し、その加速されたイオンを飛行空間内に導くことにより、当該飛行空間内におけるイオンの飛行時間に基づいて当該イオンの質量電荷比を分析する直交加速方式の飛行時間型質量分析装置であって、トランスファー電極部と、フライトチューブと、シールド部とを備える。前記トランスファー電極部は、環状に形成された複数の電極を同軸上に並べて構成され、それぞれ電圧が印加された前記複数の電極の内側にイオンを通過させ、当該イオンを前記直交加速領域へと導く。前記フライトチューブは、前記複数の電極に印加される電圧よりも絶対値が高い電圧が印加され、内部に形成された前記飛行空間内に、前記直交加速領域で加速されたイオンが導入される。前記シールド部は、前記トランスファー電極部と前記フライトチューブとの間に設けられ、前記フライトチューブに印加される電圧に由来する電場が前記トランスファー電極部に進入するのを抑制する。【００１０】  このような構成によれば、トランスファー電極部とフライトチューブとの間に設けられたシールド部により、フライトチューブに印加される電圧に由来する電場がトランスファー電極部に進入するのを抑制することができる。これにより、フライトチューブに印加される電圧に起因して、トランスファー電極部における電場に変動が生じるのを防止することができる。【００１１】（２）前記シールド部は、前記複数の電極の一部により形成されていてもよい。【００１２】  このような構成によれば、トランスファー電極部を構成する複数の電極の一部を利用してシールド部を形成することができる。これにより、シールド部を別部材として設ける必要がないため、製造コストを低減することができる。【００１３】（３）前記飛行時間型質量分析装置は、真空チャンバをさらに備えていてもよい。前記真空チャンバには、分析時に真空状態となる真空室が内部に形成され、当該真空室内に前記複数の電極のうち少なくとも１つの電極と前記フライトチューブとが設けられている。この場合、前記シールド部は、前記少なくとも１つの電極と前記フライトチューブとの間に設けられていてもよい。【００１４】  このような構成によれば、同一の真空室内に設けられている少なくとも１つの電極とフライトチューブとの間で、シールド部により、フライトチューブに印加される電圧に由来する電場がトランスファー電極部に進入するのを抑制することができる。
【発明の効果】
【００１５】  本発明によれば、フライトチューブに印加される電圧に由来する電場がトランスファー電極部に進入するのを抑制することができるため、フライトチューブに印加される電圧に起因して、トランスファー電極部における電場に変動が生じるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る飛行時間型質量分析装置を備えた液体クロマトグラフ質量分析装置の構成例を示す概略図である。
【図２Ａ】トランスファー電極部の第２電極部の第１変形例を示す概略図である。
【図２Ｂ】トランスファー電極部の第２電極部の第２変形例を示す概略図である。
【図２Ｃ】トランスファー電極部の第２電極部の第３変形例を示す概略図である。
【図２Ｄ】トランスファー電極部の第２電極部の第４変形例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】１．液体クロマトグラフ質量分析装置の全体構成  図１は、本発明の一実施形態に係る飛行時間型質量分析装置を備えた液体クロマトグラフ質量分析装置の構成例を示す概略図である。この液体クロマトグラフ質量分析装置は、液体クロマトグラフ部１及び質量分析部２を備えている。
【００１８】  液体クロマトグラフ部１は、移動相容器１０、ポンプ１１、インジェクタ１２及びカラム１３などを備えている。移動相容器１０には、移動相が貯留されている。ポンプ１１は、移動相容器１０内の移動相をインジェクタ１２へと送り出す。インジェクタ１２では、移動相容器１０からの移動相に対して、所定量の試料が注入される。試料が注入された移動相はカラム１３に導入され、カラム１３を通過する過程で試料中の各成分が分離される。カラム１３で分離された試料中の各成分は、質量分析部２に順次供給される。
【００１９】  質量分析部２は、飛行時間型質量分析装置（ＴＯＦＭＳ：Time of Flight Mass Spectrometer）により構成されており、イオン化室２０、第１中間室２１、第２中間室２２、第３中間室２３及び分析室２４などが内部に形成されている。イオン化室２０内は、略大気圧となっている。第１中間室２１、第２中間室２２、第３中間室２３及び分析室２４は、それぞれ真空ポンプ（図示せず）の駆動により真空状態（負圧状態）とされる。イオン化室２０、第１中間室２１、第２中間室２２、第３中間室２３及び分析室２４は、互いに連通しており、この順序に従って段階的に真空度が高くなるように構成されている。
【００２０】  イオン化室２０には、例えばＥＳＩ（Electro Spray Ionization）スプレーからなるスプレー２０１が設けられている。液体クロマトグラフ部１から供給される試料中の各成分を含む試料液は、スプレー２０１により、電荷が付与されながらイオン化室２０内に噴霧される。これにより、試料中の各成分由来のイオンが生成される。ただし、質量分析部２で用いられるイオン化法は、ＥＳＩに限らず、例えばＡＰＣＩ（Atmospheric Pressure Chemical Ionization）又はＰＥＳＩ（Probe Electro Spray Ionization）などの他のイオン化法が用いられてもよい。
【００２１】  第１中間室２１は、小径の管からなる加熱キャピラリ２０２を介して、イオン化室２０に連通している。また、第２中間室２２は、小孔からなるスキマー２１２を介して、第１中間室２１に連通している。第１中間室２１及び第２中間室２２には、それぞれイオンを収束させつつ後段へ送るためのイオンガイド２１１，２２１が設けられている。
【００２２】  第３中間室２３には、例えば四重極マスフィルタ２３１及びコリジョンセル２３２などが設けられている。コリジョンセル２３２の内部には、アルゴン又は窒素などのＣＩＤ（Collision Induced Dissociation）ガスが連続的又は間欠的に供給される。コリジョンセル２３２内には、多重極イオンガイド２３３が設けられている。
【００２３】  第２中間室２２から第３中間室２３に流入するイオンは、四重極マスフィルタ２３１により質量電荷比に応じて分離され、特定の質量電荷比を有するイオンのみが四重極マスフィルタ２３１を通過する。四重極マスフィルタ２３１を通過したイオンは、プリカーサイオンとしてコリジョンセル２３２内に導入され、ＣＩＤガスと接触して開裂されることにより、プロダクトイオンが生成される。生成されたプロダクトイオンは、多重極イオンガイド２３３により一時的に保持され、所定のタイミングでコリジョンセル２３２から放出される。
【００２４】  第３中間室２３及び分析室２４には、これらの室内を跨るようにトランスファー電極部２４０が設けられている。トランスファー電極部２４０は、第３中間室２３に設けられた１つ又は複数の第１電極２３４と、分析室２４に設けられた１つ又は複数の第２電極２４１とを含む。第１電極２３４及び第２電極２４１は、それぞれ環状に形成され、同軸上に並べて配置されている。コリジョンセル２３２から放出されたイオン（プロダクトイオン）は、トランスファー電極部２４０において複数の電極２３４，２４１の内側を通過することにより収束される。
【００２５】  分析室２４には、上記第２電極２４１の他、直交加速部２４２、加速電極部２４３、リフレクトロン２４４、検出器２４５及びフライトチューブ２４６などが設けられている。フライトチューブ２４６は、例えば両端部が開放された中空状の部材であり、その内部にリフレクトロン２４４が配置されている。
【００２６】  直交加速部２４２には、トランスファー電極部２４０からイオンが入射する。直交加速部２４２は、互いに間隔を隔てて対向する１対の電極２４２Ａ，２４２Ｂを備えている。１対の電極２４２Ａ，２４２Ｂは、トランスファー電極部２４０からのイオンの入射方向に対して平行に延びており、これらの電極間には直交加速領域２４２Ｃが形成されている。
【００２７】  一方の電極２４２Ｂは、複数の開口を有するグリッド電極により構成されている。直交加速領域２４２Ｃに入射するイオンは、当該イオンの入射方向に対して直交方向に加速され、一方の電極２４２Ｂの開口を通過して、加速電極部２４３へと導かれる。本実施形態において、直交加速部２４２は、分析対象となるイオンを射出するイオン射出部を構成している。直交加速部２４２から射出されるイオンは、加速電極部２４３によりさらに加速され、フライトチューブ２４６内に導入される。フライトチューブ２４６には、トランスファー電極部２４０の各電極２３４，２４１に印加される電圧よりも絶対値が高い電圧が印加される。
【００２８】  フライトチューブ２４６内に設けられたリフレクトロン２４４は、１つ又は複数の第１電極２４４Ａと、１つ又は複数の第２電極２４４Ｂとを含む。第１電極２４４Ａ及び第２電極２４４Ｂは、それぞれ環状に形成され、フライトチューブ２４６の軸線に沿って同軸上に並べて配置されている。第１電極２４４Ａ及び第２電極２４４Ｂには、それぞれ異なる電圧が印加される。
【００２９】  フライトチューブ２４６内に導入されたイオンは、フライトチューブ２４６内に形成された飛行空間内に導かれ、当該飛行空間内を飛行した後に検出器２４５に入射する。具体的には、フライトチューブ２４６内に導入されたイオンは、第１電極２４４Ａの内側に形成された第１領域（第１ステージ）２４４Ｃで減速された後、第２電極２４４Ｂの内側に形成された第２領域（第２ステージ）２４４Ｄで反射されることにより、Ｕ字状に折り返されて検出器２４５に入射する。
【００３０】  イオンが直交加速部２４２から射出された時点から、検出器２４５に入射するまでの飛行時間は、イオンの質量電荷比に依存する。したがって、直交加速部２４２から射出される各イオンの飛行時間に基づいて、各イオンの質量電荷比を算出し、マススペクトルを作成することができる。
【００３１】２．トランスファー電極部の具体的構成  本実施形態におけるトランスファー電極部２４０は、分析室２４側に３つの第２電極２４１（電極２４１Ａ，２４１Ｂ，２４１Ｃ）を備えている。分析室２４は、分析時に真空状態となる真空室を構成しており、当該真空室に各電極２４１Ａ，２４１Ｂ，２４１Ｃ及びフライトチューブ２４６が設けられている。上記真空室（分析室２４）は、真空チャンバ２４７内に形成されている。
【００３２】  同軸上に並ぶ３つの電極２４１Ａ，２４１Ｂ，２４１Ｃのうち、中央の電極２４１Ｂを挟んで両側の２つの電極２４１Ａ，２４１Ｃは、それらの一部が屈曲又は湾曲した形状となっている。
【００３３】  具体的には、電極２４１Ａは、フライトチューブ２４６側の端部が電極２４１Ｂ側にＬ字状に屈曲されており、これにより突出片２４１Ｄが形成されている。突出片２４１Ｄの先端は、電極２４１Ｂのフライトチューブ２４６側の端部近傍に位置しているが、電極２４１Ｂには接触しないように離間している。
【００３４】  また、電極２４１Ｃは、フライトチューブ２４６側の端部が電極２４１Ｂ側にＬ字状に屈曲されており、これにより突出片２４１Ｅが形成されている。突出片２４１Ｅの先端は、電極２４１Ｂのフライトチューブ２４６側の端部近傍、かつ、突出片２４１Ｄの端部近傍に位置しているが、各電極２４１Ａ，２４１Ｂには接触しないように離間している。
【００３５】  このように、各電極２４１Ａ，２４１Ｂ，２４１Ｃは、フライトチューブ２４６側において互いに近接しているが、電極間で放電しない程度に離間している。各突出片２４１Ｄ，２４１Ｅは、同一直線状に延びており、中央の電極２４１とフライトチューブ２４６との間を遮るように配置されている。
【００３６】  上記のようにして配置された各突出片２４１Ｄ，２４１Ｅは、フライトチューブ２４６に印加される電圧に由来する電場がトランスファー電極部２４０に進入するのを抑制するためのシールド部２４１Ｆを構成している。すなわち、トランスファー電極部２４０の各電極２３４，２４１に印加される電圧よりも絶対値が高い電圧が印加されるフライトチューブ２４６の周辺には、トランスファー電極部２４０にまで到達する電場が形成される。この電場をシールド部２４１Ｆで遮ることにより、当該電場がトランスファー電極部２４０におけるイオンの通過領域まで進入しないように構成されている。
【００３７】  このように、本実施形態では、シールド部２４１Ｆがトランスファー電極部２４０と一体的に形成されることにより、トランスファー電極部２４０（各電極２４１Ａ，２４１Ｂ，２４１Ｃ）とフライトチューブ２４６との間にシールド部２４１Ｆが設けられている。
【００３８】３．作用効果（１）本実施形態では、トランスファー電極部２４０とフライトチューブ２４６との間に設けられたシールド部２４１Ｆにより、フライトチューブ２４６に印加される電圧に由来する電場がトランスファー電極部２４０に進入するのを抑制することができる。これにより、フライトチューブ２４６に印加される電圧に起因して、トランスファー電極部２４０における電場に変動が生じるのを防止することができる。
【００３９】（２）また、本実施形態では、トランスファー電極部２４０を構成する複数の電極２４１Ａ，２４１Ｂ，２４１Ｃの一部を利用してシールド部２４１Ｆを形成することができる。これにより、シールド部２４１Ｆを別部材として設ける必要がないため、製造コストを低減することができる。
【００４０】（３）特に、本実施形態では、同一の真空室内（分析室２４内）に設けられている少なくとも１つの電極２４１Ａ，２４１Ｂ，２４１Ｃとフライトチューブ２４６との間で、シールド部２４１Ｆにより、フライトチューブ２４６に印加される電圧に由来する電場がトランスファー電極部２４０に進入するのを抑制することができる。
【００４１】４．第１変形例  図２Ａは、トランスファー電極部２４０の第２電極２４１の第１変形例を示す概略図である。この第１変形例では、分析室２４側に設けられた３つの第２電極２４１（電極２４１Ａ，２４１Ｂ，２４１Ｃ）のうち、イオンの通過方向Ｄにおける最も上流側の電極２４１Ａのみが屈曲又は湾曲した形状となっている。
【００４２】  具体的には、電極２４１Ａは、フライトチューブ２４６側の端部が電極２４１Ｂ側にＬ字状に屈曲されており、これにより突出片２４１Ｇが形成されている。突出片２４１Ｇの先端は、電極２４１Ｃのフライトチューブ２４６側の端部近傍に位置しているが、電極２４１Ｂ，２４１Ｃには接触しないように離間している。このようにして配置された突出片２４１Ｇは、フライトチューブ２４６に印加される電圧に由来する電場がトランスファー電極部２４０に進入するのを抑制するためのシールド部２４１Ｆを構成している。
【００４３】５．第２変形例  図２Ｂは、トランスファー電極部２４０の第２電極２４１の第２変形例を示す概略図である。この第２変形例では、分析室２４側に設けられた３つの第２電極２４１（電極２４１Ａ，２４１Ｂ，２４１Ｃ）のうち、イオンの通過方向Ｄにおける最も下流側の電極２４１Ｃのみが屈曲又は湾曲した形状となっている。
【００４４】  具体的には、電極２４１Ｃは、フライトチューブ２４６側の端部が電極２４１Ｂ側にＬ字状に屈曲されており、これにより突出片２４１Ｈが形成されている。突出片２４１Ｈの先端は、電極２４１Ａのフライトチューブ２４６側の端部近傍に位置しているが、電極２４１Ａ，２４１Ｂには接触しないように離間している。このようにして配置された突出片２４１Ｈは、フライトチューブ２４６に印加される電圧に由来する電場がトランスファー電極部２４０に進入するのを抑制するためのシールド部２４１Ｆを構成している。
【００４５】６．第３変形例  図２Ｃは、トランスファー電極部２４０の第２電極２４１の第３変形例を示す概略図である。この第３変形例では、分析室２４側に設けられた３つの第２電極２４１（電極２４１Ａ，２４１Ｂ，２４１Ｃ）のうち、イオンの通過方向Ｄにおける最も上流側の電極２４１Ａと最も下流側の電極２４１Ｃが屈曲又は湾曲した形状となっている。
【００４６】  具体的には、電極２４１Ａは、フライトチューブ２４６側の端部が電極２４１Ｂ側にＬ字状に屈曲されており、これにより突出片２４１Ｋが形成されている。突出片２４１Ｋの先端は、電極２４１Ｃの近傍に位置しているが、電極２４１Ｂ，２４１Ｃには接触しないように離間している。
【００４７】  また、電極２４１Ｃは、フライトチューブ２４６側の端部が電極２４１Ｂ側にＬ字状に屈曲されており、これにより突出片２４１Ｌが形成されている。突出片２４１Ｌは、突出片２４１Ｋに対して平行に延びており、突出片２４１Ｋには接触しないように離間している。
【００４８】  このようにして配置された突出片２４１Ｋ，２４１Ｌは、フライトチューブ２４６に印加される電圧に由来する電場がトランスファー電極部２４０に進入するのを抑制するためのシールド部２４１Ｆを構成している。複数の突出片２４１Ｋ，２４１Ｌが、フライトチューブ２４６側からの電場の進入方向に並べて配置されているため、トランスファー電極部２４０への電場の進入を効果的に抑制することができる。
【００４９】７．第４変形例  図２Ｄは、トランスファー電極部２４０の第２電極２４１の第４変形例を示す概略図である。この第４変形例では、分析室２４側に設けられた３つの第２電極２４１（電極２４１Ａ，２４１Ｂ，２４１Ｃ）のうち、イオンの通過方向Ｄにおける中央の電極２４１Ｂのみが屈曲又は湾曲した形状となっている。
【００５０】  具体的には、電極２４１Ｂは、フライトチューブ２４６側の端部に、電極２４１Ａ側及び電極２４１Ｃ側にそれぞれ突出する突出片２４１Ｍが形成されることにより、Ｔ字状に構成されている。一方の突出片２４１Ｍの先端は、電極２４１Ａのフライトチューブ２４６側の端部近傍に位置し、他方の突出片２４１Ｍの先端は、電極２４１Ｃのフライトチューブ２４６側の端部近傍に位置しているが、各突出片２４１Ｍは電極２４１Ａ，２４１Ｃには接触しないように離間している。このようにして配置された突出片２４１Ｍは、フライトチューブ２４６に印加される電圧に由来する電場がトランスファー電極部２４０に進入するのを抑制するためのシールド部２４１Ｆを構成している。
【００５１】８．その他の変形例  トランスファー電極部２４０が分析室２４側に備えた電極（第２電極２４１）の数は、３つに限らず、２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。第２電極２４１が２つである場合には、一方の第２電極２４１によりシールド部２４１Ｆが構成されてもよい。また、第２電極２４１が４つ以上である場合には、両端に配置された２つの第２電極２４１によりシールド部２４１Ｆが構成されてもよいし、いずれか１つ又は複数の第２電極２４１によりシールド部２４１Ｆが構成されてもよい。
【００５２】  シールド部２４１Ｆは、トランスファー電極部２４０と一体的に形成された構成に限らず、トランスファー電極部２４０とフライトチューブ２４６との間に、別部材としてシールド部が設けられていてもよい。この場合、シールド部は、例えばトランスファー電極部２４０とフライトチューブ２４６との間に設けられた板状の部材であってもよいし、トランスファー電極部２４０の周囲を覆う円筒状の部材であってもよい。
【００５３】  トランスファー電極部２４０は、第３中間室２３及び分析室２４に跨るように設けられた構成に限らず、分析室２４にのみトランスファー電極部２４０（第２電極２４１）が設けられた構成であってもよい。
【００５４】  本発明に係る飛行時間型質量分析装置は、液体クロマトグラフ部１と接続されることにより液体クロマトグラフ質量分析装置として構成されるものに限らず、例えばＭＡＬＤＩ（Matrix Assisted Laser Desorption/Ionization）を用いた構成などのように、液体クロマトグラフ部１と接続されない構成であってもよい。
【符号の説明】
【００５５】１        液体クロマトグラフ部２        質量分析部２３４    第１電極２４０    トランスファー電極部２４１    第２電極２４１Ａ〜２４１Ｃ  電極２４１Ｄ，２４１Ｅ  突出片２４１Ｆ  シールド部２４１Ｇ〜２４１Ｍ  突出片２４２    直交加速部２４２Ｃ  直交加速領域２４４    リフレクトロン２４６    フライトチューブ２４７    真空チャンバ
【図１】
0006874906.tif 000002
【図２Ａ】
0006874906.tif 000003
【図２Ｂ】
0006874906.tif 000004
【図２Ｃ】
0006874906.tif 000005
【図２Ｄ】
0006874906.tif 000006