(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１導電型の第１ＤＢＲ層、前記第１ＤＢＲ層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２ＤＢＲ層を含む第１発光構造物と、
第１導電型の第３ＤＢＲ層、前記第３ＤＢＲ層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４ＤＢＲ層を含む第２発光構造物と、
前記第２ＤＢＲ層および前記第４ＤＢＲ層と離隔して配置され、第１導電型ＤＢＲ層と前記第１導電型ＤＢＲ層の上に配置された第２導電型ＤＢＲ層を含むダミー構造物と、
を含み、
前記ダミー構造物は、前記第１導電型ＤＢＲ層と前記第２導電型ＤＢＲ層との間に配置されたアパーチャー層を含み、
前記第１ＤＢＲ層、前記第３ＤＢＲ層、前記第１導電型ＤＢＲ層が一体連結されて配置され、
前記第１ＤＢＲ層、前記第３ＤＢＲ層、前記第１導電型ＤＢＲ層と電気的に連結された第１電極を含み、
前記第２ＤＢＲ層、前記第４ＤＢＲ層と電気的に連結された第２電極を含み、
前記第２電極は、前記ダミー構造物の前記第２導電型ＤＢＲ層と電気的に絶縁され、
前記第１および第２発光構造物から放出される光の光軸方向から見たとき、前記第１および第２発光構造物は第１領域に配置され、前記ダミー構造物は光を生成せず、前記第１領域の周りに前記第１領域を取り囲むように閉ループ状に前記第１および第２発光構造物と離隔して配置される、ＶＣＳＥＬ半導体素子。
【請求項２】
前記光軸方向から見たとき、前記第１電極は複数の開口部を含み、前記第１発光構造物の前記第２ＤＢＲ層と前記第２発光構造物の前記第４ＤＢＲ層は、前記複数の開口部内に配置される、請求項１に記載のＶＣＳＥＬ半導体素子。
【請求項３】
前記第１電極は、前記第１ＤＢＲ層の上面および前記第３ＤＢＲ層の上面に直接接触して配置される、請求項１または２に記載のＶＣＳＥＬ半導体素子。
【請求項４】
第１ボンディングパッドをさらに含み、
前記第１ボンディングパッドは、前記ダミー構造物の前記第１導電型ＤＢＲ層と電気的に連結され、
前記第１ボンディングパッドは、前記第２ＤＢＲ層および前記第４ＤＢＲ層と離隔して配置される、請求項１から３のいずれかに記載のＶＣＳＥＬ半導体素子。
【請求項５】
第２ボンディングパッドをさらに含み、
前記第２ボンディングパッドは、前記第２ＤＢＲ層および前記第４ＤＢＲ層と電気的に連結され、
前記第２ボンディングパッドは、前記第１ボンディングパッドと離隔して配置される、請求項４に記載のＶＣＳＥＬ半導体素子。
【請求項６】
前記第１発光構造物、前記第２発光構造物、前記ダミー構造物のそれぞれの間に配置される絶縁層を含む、請求項１から５のいずれかに記載のＶＣＳＥＬ半導体素子。
【請求項７】
前記第２ＤＢＲ層、前記第４ＤＢＲ層、前記第２導電型ＤＢＲ層のそれぞれの間に配置される絶縁層を含む、請求項１から５のいずれかに記載のＶＣＳＥＬ半導体素子。
【請求項８】
前記第１ＤＢＲ層、前記第３ＤＢＲ層、前記第１導電型ＤＢＲ層は、前記光軸に垂直する方向に相互物理的に連結される、請求項１から７のいずれかに記載のＶＣＳＥＬ半導体素子。
【請求項９】
前記第１ボンディングパッドは、前記光軸方向において、前記第１導電型ＤＢＲ層と重なって配置される、請求項４に記載のＶＣＳＥＬ半導体素子。
【請求項１０】
前記第２ボンディングパッドは、前記光軸方向において、前記第２ＤＢＲ層および前記第４ＤＢＲ層と重なって配置される、請求項５に記載のＶＣＳＥＬ半導体素子。
【請求項１１】
前記ダミー構造物の前記第１導電型ＤＢＲ層と前記第２導電型ＤＢＲ層は、電気的に共通連結される、請求項１から１０のいずれかに記載のＶＣＳＥＬ半導体素子。
【請求項１２】
サブマウントと、
前記サブマウントの上に配置され、請求項１から１１のいずれかに記載のＶＣＳＥＬ半導体素子と、を含むＶＣＳＥＬ半導体素子パッケージ。
【請求項１３】
請求項１２に記載のＶＣＳＥＬ半導体素子パッケージと、
前記ＶＣＳＥＬ半導体素子パッケージから放出された光の反射した光が入射する受光部と、を含むオブジェクト検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
実施例は、半導体素子、半導体素子の製造方法、半導体素子パッケージ、半導体素子パッケージを含むオブジェクト検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
GaN、AlGaN等の化合物を含む半導体素子は、広くて調整が容易なバンドギャップエネルギーを有する等の多様な長所を有することから、発光素子、受光素子及び各種ダイオード等に多様に用いられている。
【０００３】
特に、ＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族化合物半導体物質を利用した発光ダイオード(Light Emitting Diode)やレーザダイオード(Laser Diode)のような発光素子は、薄膜成長技術及び素子材料の開発により赤色、緑色、青色及び紫外線等多様な波長帯域の光を具現できる長所がある。また、ＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族化合物半導体物質を利用した発光ダイオードやレーザダイオードのような発光素子は、蛍光物質を利用したり色を組合わせることで、効率のよい白色光源も具現可能である。このような発光素子は、蛍光灯、白熱灯等既存の光源に比べて、低消費電力、半永久的な寿命、速い応答速度、安全性、環境親和性の長所を有する。
【０００４】
さらに、光検出器や太陽電池のような受光素子も、ＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族化合物半導体物質を利用して製作する場合、素子材料の開発により多様な波長領域の光を吸収して光電流を生成することで、ガンマ線からラジオ波長領域まで多様な波長領域の光を利用することができる。また、このような受光素子は、速い応答速度、安全性、環境親和性及び素子材料の容易な調節といった長所を有することで、電力制御または超高周波回路や通信用モジュールにも容易に利用することができる。
【０００５】
従って、半導体素子は、光通信手段の送信モジュール、LCD(Liquid Crystal Display)表示装置のバックライトを構成する冷陰極管(CCFL：Cold Cathode Fluorescence Lamp)を代替できる発光ダイオードバックライト、蛍光灯や白熱電球を代替できる白色発光ダイオード照明装置、自動車ヘッドライト及び信号灯及びガスや火災を感知するセンサ等にまで応用が拡散している。また、半導体素子は、高周波応用回路やその他電力制御装置、通信用モジュールにまで応用が拡大されつつある。
【０００６】
発光素子(Light Emitting Device)は、例えば周期律表上のＩＩＩ族‐Ｖ族元素またはＩＩ族‐ＶＩ族元素を利用して電気エネルギーが光エネルギーに変換される特性のｐ‐ｎ接合ダイオードとして提供され、化合物半導体の組成比を調節することで、多様な波長を具現することができる。
【０００７】
一方、半導体素子は、応用分野が多様になってくることにつれて、高出力、高電圧駆動が求められている。半導体素子の高出力、高電圧駆動により半導体素子から発生する熱によって、半導体素子パッケージの温度が高くなりつつある。ところが、半導体素子における熱を効率的に放出できない場合に、温度上昇によって光出力が低下し、電力変換効率(PCE：Power Conversion Efficiency)が低下することができる。従って、半導体素子で発生する熱を効率的に放出し、電力変換効率を向上させるための方案が求められている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
実施例は、放熱特性が優れる半導体素子およびその製造方法、半導体素子パッケージ、オブジェクト検出装置を提供しようとする。
【０００９】
実施例は、光抽出効率を高めて高出力の光を提供できる半導体素子およびその製造方法、半導体素子パッケージ、オブジェクト検出装置を提供しようとする。
【００１０】
実施例は、電力変換効率を向上させることができる半導体素子およびその製造方法、半導体素子パッケージ、オブジェクト検出装置を提供しようとする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
実施例に係る半導体素子は、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含む第１発光構造物と、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含む第２発光構造物と、前記第１DBR層および前記第３DBR層と電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された第１電極と、前記第１発光構造物および前記第２発光構造物と離隔して配置され、前記第１電極と電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第１ボンディングパッドと離隔して配置され、前記第２DBR層と前記第４DBR層に電気的に連結され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に配置された第２ボンディングパッドと、を含むことができる。
【００１２】
実施例に係る半導体素子は、前記第１DBR層と前記第３DBR層を物理的に連結する第１導電型DBR層をさらに含み、前記第１電極は、前記第１導電型DBR層の上部面に接触して配置されてもよい。
【００１３】
実施例によれば、前記第１電極は、前記第１発光構造物の周りと前記第２発光構造物の周りに配置され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物を露出させる開口部を含むことができる。
【００１４】
実施例に係る半導体素子は、前記第１発光構造物および前記第２発光構造物と離隔して配置され、第１導電型DBR層と第２導電型DBR層を含むダミー発光構造物と、前記第１電極と電気的に連結され、前記ダミー発光構造物の上に配置されたパッド電極と、を含み、前記第１ボンディングパッドは、前記パッド電極の上に配置されてもよい。
【００１５】
実施例によれば、前記パッド電極は、前記ダミー発光構造物の前記第１導電型DBR層および前記第２導電型DBR層と電気的に連結されてもよい。
【００１６】
実施例によれば、前記ダミー発光構造物は、前記第２ボンディングパッドの少なくとも一面に配置され、前記第２ボンディングパッドの側面に沿って離隔して配置されてもよい。
【００１７】
実施例によれば、前記第２ボンディングパッドの下部面と前記第２DBR層の上部面が直接接触して配置され、前記第２ボンディングパッドの下部面と第４DBR層の上部面が直接接触して配置されてもよい。
【００１８】
実施例に係る半導体素子は、前記第１発光構造物の側面と前記第２発光構造物の側面をカバーし、前記第１発光構造物の上部面と前記第２発光構造物の上部面を露出させ、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間の領域で前記第１電極の上に配置される絶縁層を含むことができる。
【００１９】
実施例によれば、前記絶縁層は、前記第１発光構造物の周りと第２発光構造物の周りで、前記第１電極の上部面と前記第２ボンディングパッドの下部面の間に配置されてもよい。
【００２０】
実施例によれば、前記絶縁層はDBR層であってもよい。
【００２１】
実施例に係る半導体素子は、前記第１発光構造物の前記第１DBR層から延長され、前記第２発光構造物の前記第３DBR層から延長された第１導電型DBR層と、前記第１導電型DBR層の上に配置され、前記第１電極と電気的に連結されたパッド電極と、を含み、前記第１ボンディングパッドは、前記パッド電極の上に配置されてもよい。
【００２２】
実施例に係る半導体素子は、前記第２DBR層の上部面と前記第２ボンディングパッドの間に配置され、前記第４DBR層の上部面と前記第２ボンディングパッドの間に配置された第２電極を含むことができる。
【００２３】
実施例に係る半導体素子によれば、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の下に配置された基板をさらに含み、前記基板は、真性半導体基板であってもよい。
【００２４】
実施例によれば、前記第１DBR層の反射率が前記第２DBR層の反射率より小さく、前記第３DBR層の反射率が前記第４DBR層の反射率より小さくてもよい。
【００２５】
実施例に係る半導体素子パッケージは、サブマウントと、前記サブマウントの上に配置された半導体素子と、を含み、前記半導体素子は、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含む第１発光構造物と、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含む第２発光構造物と、前記第１DBR層および前記第３DBR層と電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された第１電極と、前記第１発光構造物および前記第２発光構造物と離隔して配置され、前記第１電極と電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第１ボンディングパッドと離隔して配置され、前記第２DBR層と前記第４DBR層に電気的に連結され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に配置された第２ボンディングパッドと、を含み、前記半導体素子は、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドが配置された第１面と、前記第１面と反対方向に配置された第２面を含み、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドは、前記サブマウントに電気的に連結され、前記半導体素子で生成した光は、前記第２面を介して外部に放出されてもよい。
【００２６】
実施例に係るオブジェクト検出装置は、半導体素子パッケージと前記半導体素子パッケージから放出された光の反射した光が入射する受光部を含み、前記半導体素子パッケージは、サブマウントと、前記サブマウントの上に配置された半導体素子と、を含み、前記半導体素子は、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含む第１発光構造物と、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含む第２発光構造物と、前記第１DBR層および前記第３DBR層と電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された第１電極と、前記第１発光構造物および前記第２発光構造物と離隔して配置され、前記第１電極と電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第１ボンディングパッドと離隔して配置され、前記第２DBR層と前記第４DBR層に電気的に連結され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に配置された第２ボンディングパッドと、を含むことができる。
【００２７】
実施例に係る半導体素子の製造方法は、基板上に第１導電型DBR層、活性層、第２導電型DBR層を形成するステップと、前記第２導電型DBR層、前記活性層に対するメサエッチングを行って相互離隔して配置された複数の発光構造物を形成し、前記複数の発光構造物が形成された領域の側面にダミー発光構造物を形成するステップと、前記複数の発光構造物の間に露出された前記第１導電型DBR層の上に第１電極を形成し、前記ダミー発光構造物の上に配置されたパッド電極を形成するステップと、前記第１電極の上に配置され、前記複数の発光構造物の上部面を露出させる絶縁層を形成するステップと、前記パッド電極の上に配置され、前記第１電極と電気的に連結される第１ボンディングパッドと、前記絶縁層の上に配置され、前記複数の発光構造物の前記第２導電型DBR層と電気的に連結される第２ボンディングパッドを形成するステップと、を含むことができる。
【００２８】
実施例に係る半導体素子は、下部面に提供された凹凸構造を含む基板と、前記基板上に配置され、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含み、前記第１活性層で生成した光を前記第１DBR層の下部面に垂直方向に放出する第１発光アパーチャーを含む第１発光構造物と、前記基板上に配置され、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含み、前記第２活性層で生成した光を前記第３DBR層の下部面に垂直方向に放出する第２発光アパーチャーを含む第２発光構造物と、前記第１DBR層と前記第３DBR層に電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された第１電極と、前記第２DBR層と前記第４DBR層に電気的に連結され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に配置された第２電極と、前記第２発光構造物の上に配置され、前記第１電極に電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第１発光構造物の上に配置され、前記第２電極に電気的に連結された第２ボンディングパッドと、を含むことができる。
【００２９】
実施例によれば、前記凹凸構造は、前記基板の下部面から上部方向にリセスされた第１凹部と第２凹部を含み、前記第１凹部と前記第１発光構造物は、前記基板の上部面に垂直する方向に相互重なって配置され、前記第２凹部と前記第２発光構造物は、前記基板の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【００３０】
実施例によれば、前記第１凹部の幅は、前記第１発光構造物に提供された前記第１発光アパーチャーの幅に対応し、前記第２凹部の幅は、前記第２発光構造物に提供された前記第２発光アパーチャーの幅に対応してもよい。
【００３１】
実施例によれば、前記第１凹部の上部面と前記第２凹部の上部面は、平面形状、凸レンズ形状、凹レンズ形状のいずれか一つを有することができる。
【００３２】
実施例によれば、前記第１凹部と前記第２凹部の深さは、数μｍ〜数十μｍに提供され、前記第１凹部と前記第２凹部の幅は、数μｍ〜数十μｍに提供されてもよい。
【００３３】
実施例によれば、前記第２電極は、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に接触して配置された上部電極と、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間で前記第１電極の上に配置された連結電極を含むことができる。
【００３４】
実施例に係る半導体素子は、前記第１DBR層と前記第３DBR層を物理的に連結する第１導電型DBR層をさらに含み、前記第１電極は、前記第１導電型DBR層の上部面に接触して配置されてもよい。
【００３５】
実施例に係る半導体素子は、前記第１発光構造物の側面と前記第２発光構造物の側面をカバーし、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された前記第１電極を露出させる第１絶縁層を含むことができる。
【００３６】
実施例に係る半導体素子は、下部面に提供された凹凸構造を含む基板と、前記基板上に配置され、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含み、前記第１活性層で生成した光を前記第１DBR層の下部面に垂直方向に放出する第１発光アパーチャーを含む第１発光構造物と、前記基板上に配置され、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含み、前記第２活性層で生成した光を前記第３DBR層の下部面に垂直方向に放出する第２発光アパーチャーを含む第２発光構造物と、前記第１DBR層および前記第３DBR層と電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された第１電極と、前記第１発光構造物および前記第２発光構造物と離隔して配置され、前記第１電極と電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第１ボンディングパッドと離隔して配置され、前記第２DBR層と前記第４DBR層に電気的に連結され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に配置された第２ボンディングパッドと、を含むことができる。
【００３７】
実施例によれば、前記凹凸構造は、前記基板の下部面から上部方向にリセスされた第１凹部と第２凹部を含み、前記第１凹部と前記第１発光構造物は、前記基板の上部面に垂直する方向に相互重なって配置され、前記第２凹部と前記第２発光構造物は、前記基板の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【００３８】
実施例によれば、前記第１凹部の幅は、前記第１発光構造物に提供された前記第１発光アパーチャーの幅に対応し、前記第２凹部の幅は、前記第２発光構造物に提供された前記第２発光アパーチャーの幅に対応してもよい。
【００３９】
実施例によれば、前記第１凹部の上部面と前記第２凹部の上部面は、平面形状、凸レンズ形状、凹レンズ形状のいずれか一つを有することができる。
【００４０】
実施例によれば、前記第１凹部と前記第２凹部の深さは、数μｍ〜数十μｍに提供され、前記第１凹部と前記第２凹部の幅は、数十μｍに提供されてもよい。
【００４１】
実施例に係る半導体素子は、前記第１DBR層と前記第３DBR層を物理的に連結する第１導電型DBR層をさらに含み、前記第１電極は、前記第１導電型DBR層の上部面に接触して配置されてもよい。
【００４２】
実施例によれば、前記第１電極は、前記第１発光構造物の周りと前記第２発光構造物の周りに配置され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物を露出させる開口部を含むことができる。
【００４３】
実施例に係る半導体素子は、前記第１発光構造物および前記第２発光構造物と離隔して配置され、第１導電型DBR層と第２導電型DBR層を含むダミー発光構造物と、前記第１電極と電気的に連結され、前記ダミー発光構造物の上に配置されたパッド電極と、を含み、前記第１ボンディングパッドは、前記パッド電極の上に配置されてもよい。
【００４４】
実施例に係る半導体素子パッケージは、サブマウントと、前記サブマウントの上に配置された半導体素子と、を含み、前記半導体素子は、下部面に提供された凹凸構造を含む基板と、前記基板上に配置され、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含み、前記第１活性層で生成した光を前記第１DBR層の下部面に垂直方向に放出する第１発光アパーチャーを含む第１発光構造物と、前記基板上に配置され、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含み、前記第２活性層で生成した光を前記第３DBR層の下部面に垂直方向に放出する第２発光アパーチャーを含む第２発光構造物と、前記第１DBR層と前記第３DBR層に電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された第１電極と、前記第２DBR層と前記第４DBR層に電気的に連結され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に配置された第２電極と、前記第２発光構造物の上に配置され、前記第１電極に電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第１発光構造物の上に配置され、前記第２電極に電気的に連結された第２ボンディングパッドと、を含むことができる。
【００４５】
実施例に係る半導体素子パッケージは、サブマウントと、前記サブマウントの上に配置された半導体素子と、を含み、前記半導体素子は、下部面に提供された凹凸構造を含む基板と、前記基板上に配置され、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含み、前記第１活性層で生成した光を前記第１DBR層の下部面に垂直方向に放出する第１発光アパーチャーを含む第１発光構造物と、前記基板上に配置され、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含み、前記第２活性層で生成した光を前記第３DBR層の下部面に垂直方向に放出する第２発光アパーチャーを含む第２発光構造物と、前記第１DBR層および前記第３DBR層と電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された第１電極と、前記第１発光構造物および前記第２発光構造物と離隔して配置され、前記第１電極と電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第１ボンディングパッドと離隔して配置され、前記第２DBR層と前記第４DBR層に電気的に連結され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に配置された第２ボンディングパッドと、を含むことができる。
【００４６】
実施例に係るオブジェクト検出装置は、半導体素子パッケージと前記半導体素子パッケージから放出された光の反射した光が入射する受光部を含み、前記半導体素子パッケージは、サブマウントと、前記サブマウントの上に配置された半導体素子と、を含み、前記半導体素子は、下部面に提供された凹凸構造を含む基板と、前記基板上に配置され、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含み、前記第１活性層で生成した光を前記第１DBR層の下部面に垂直方向に放出する第１発光アパーチャーを含む第１発光構造物と、前記基板上に配置され、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含み、前記第２活性層で生成した光を前記第３DBR層の下部面に垂直方向に放出する第２発光アパーチャーを含む第２発光構造物と、前記第１DBR層と前記第３DBR層に電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された第１電極と、前記第２DBR層と前記第４DBR層に電気的に連結され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に配置された第２電極と、前記第２発光構造物の上に配置され、前記第１電極に電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第１発光構造物の上に配置され、前記第２電極に電気的に連結された第２ボンディングパッドと、を含むことができる。
【００４７】
実施例に係るオブジェクト検出装置は、半導体素子パッケージと前記半導体素子パッケージから放出された光の反射した光が入射する受光部と、を含み、前記半導体素子パッケージは、サブマウントと、前記サブマウントの上に配置された半導体素子と、を含み、前記半導体素子は、下部面に提供された凹凸構造を含む基板と、前記基板上に配置され、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含み、前記第１活性層で生成した光を前記第１DBR層の下部面に垂直方向に放出する第１発光アパーチャーを含む第１発光構造物と、前記基板上に配置され、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含み、前記第２活性層で生成した光を前記第３DBR層の下部面に垂直方向に放出する第２発光アパーチャーを含む第２発光構造物と、前記第１DBR層および前記第３DBR層と電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された第１電極と、前記第１発光構造物および前記第２発光構造物と離隔して配置され、前記第１電極と電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第１ボンディングパッドと離隔して配置され、前記第２DBR層と前記第４DBR層に電気的に連結され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に配置された第２ボンディングパッドと、を含むことができる。
【００４８】
実施例に係る半導体素子は、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含む第１発光構造物と、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含む第２発光構造物と、前記第１DBR層と前記第３DBR層に電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された第１電極と、前記第２DBR層と前記第４DBR層に電気的に連結され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に配置された第２電極と、前記第２発光構造物の上に配置され、前記第１電極に電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第１発光構造物の上に配置され、前記第２電極に電気的に連結された第２ボンディングパッドと、を含むことができる。
【００４９】
実施例によれば、前記第２電極は、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に接触して配置された上部電極と、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間で前記第１電極の上に配置された連結電極を含むことができる。
【００５０】
実施例に係る半導体素子は、前記第１DBR層と前記第３DBR層を物理的に連結する第１導電型DBR層をさらに含み、前記第１電極は、前記第１導電型DBR層の上部面に接触して配置されてもよい。
【００５１】
実施例によれば、前記第１ボンディングパッドは、前記第１電極の上部面に接触して配置されてもよい。
【００５２】
実施例に係る半導体素子は、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の下に配置された基板をさらに含み、前記基板は、真性半導体基板であってもよい。
【００５３】
実施例によれば、前記第１DBR層の反射率が前記第２DBR層の反射率より小さく、前記第３DBR層の反射率が前記第４DBR層の反射率より小さくてもよい。
【００５４】
実施例に係る半導体素子は、前記第１発光構造物の側面と前記第２発光構造物の側面をカバーし、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された前記第１電極を露出させる第１絶縁層を含むことができる。
【００５５】
実施例によれば、前記第１絶縁層は、前記第２発光構造物の周辺に配置された前記第１電極の上部面を露出させることができる。
【００５６】
実施例によれば、前記第１絶縁層は、前記第１発光構造物の周辺で前記第１電極の上部面と前記第２電極の下部面の間に配置されてもよい。
【００５７】
実施例によれば、前記第１絶縁層はDBR層からなることができる。
【００５８】
実施例に係る半導体素子は、前記第１発光構造物の側面に配置され、前記第２発光構造物の側面と上部面の上に配置され、前記第１発光構造物の上部面の上に配置された前記第２電極の上部面を露出させる第２絶縁層を含むことができる。
【００５９】
実施例によれば、前記第２絶縁層は、前記第４DBR層の上部面に配置された前記第２電極の上部面と前記第２ボンディングパッドの間に配置されてもよい。
【００６０】
実施例によれば、前記第２絶縁層はDBR層からなることができる。
【００６１】
実施例に係る半導体素子は、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含む第１発光構造物と、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含む第２発光構造物と、前記第１発光構造物の側面、前記第２発光構造物の側面、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面を露出させる第１絶縁層と、前記第１DBR層と前記第３DBR層に電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間で前記第１絶縁層の下に配置された第１電極と、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に直接接触して配置され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間で前記第１絶縁層の上に配置された第２電極と、前記第２電極の上に配置され、前記第１発光構造物の周りと前記第２発光構造物の周りに配置され、前記第１発光構造物の上部面に配置された前記第２電極の上部面を露出させ、前記第２発光構造物の上部面に配置された前記第２電極の上部面を露出させる第２絶縁層と、前記第２絶縁層の上に配置され、前記第１電極に電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第２絶縁層の上に配置され、前記第１発光構造物の上部面に配置された前記第２電極と直接接触して配置され、前記第２発光構造物の上部面に配置された前記第２電極と直接接触して配置された第２ボンディングパッドと、を含むことができる。
【００６２】
実施例に係る半導体素子は、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含む第１発光構造物と、前記第１DBR層から前記第１発光構造物の周りの方向に延長されて配置された第１導電型DBR層と、前記第１導電型DBR層の上に配置され、前記第１DBR層に電気的に連結された第１電極と、前記第１発光構造物の側面と前記第１電極の上に配置され、前記第２DBR層の上部面を露出させ、前記第１導電型DBR層の上に配置された前記第１電極の上部面を露出させる第１絶縁層と、前記第２DBR層の上部面に直接接触して配置された第２電極と、前記第２電極と前記第１絶縁層の上に配置され、前記第１発光構造物の周りに配置され、前記第１導電型DBR層の上に配置された前記第１電極の上部面を露出させる第２絶縁層と、前記第２絶縁層と前記第１発光構造物の上に配置され、前記第１導電型DBR層の上に配置された前記第１電極の上部面に直接接触して配置された第１ボンディングパッドと、前記第２絶縁層の上に配置され、前記第２電極と電気的に連結された第２ボンディングパッドと、を含むことができる。
【００６３】
実施例に係る半導体素子パッケージは、サブマウントと、前記サブマウントの上に配置された半導体素子と、を含み、前記半導体素子は、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含む第１発光構造物と、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含む第２発光構造物と、前記第１DBR層と前記第３DBR層に電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された第１電極と、前記第２DBR層と前記第４DBR層に電気的に連結され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に配置された第２電極と、前記第２発光構造物の上に配置され、前記第１電極に電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第１発光構造物の上に配置され、前記第２電極に電気的に連結された第２ボンディングパッドと、を含み、前記半導体素子は、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドが配置された第１面と、前記第１面と反対方向に配置された第２面を含み、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドは、前記サブマウントに電気的に連結され、前記半導体素子で生成した光は、前記第２面を介して外部に放出されてもよい。
【００６４】
実施例に係る半導体素子パッケージは、サブマウントと、前記サブマウントの上に配置された半導体素子と、を含み、前記半導体素子は、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含む第１発光構造物と、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含む第２発光構造物と、前記第１発光構造物の側面、前記第２発光構造物の側面、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面を露出させる第１絶縁層と、前記第１DBR層と前記第３DBR層に電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間で前記第１絶縁層の下に配置された第１電極と、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に直接接触して配置され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間で前記第１絶縁層の上に配置された第２電極と、前記第２電極の上に配置され、前記第１発光構造物の周りと前記第２発光構造物の周りに配置され、前記第１発光構造物の上部面に配置された前記第２電極の上部面を露出させ、前記第２発光構造物の上部面に配置された前記第２電極の上部面を露出させる第２絶縁層と、前記第２絶縁層の上に配置され、前記第１電極に電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第２絶縁層の上に配置され、前記第１発光構造物の上部面に配置された前記第２電極と直接接触して配置され、前記第２発光構造物の上部面に配置された前記第２電極と直接接触して配置された第２ボンディングパッドと、を含み、前記半導体素子は、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドが配置された第１面と、前記第１面と反対方向に配置された第２面を含み、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドは、前記サブマウントに電気的に連結され、前記半導体素子で生成した光は、前記第２面を介して外部に放出されてもよい。
【００６５】
実施例に係る半導体素子パッケージは、サブマウントと、前記サブマウントの上に配置された半導体素子と、を含み、前記半導体素子は、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含む第１発光構造物と、前記第１DBR層から前記第１発光構造物の周りの方向に延長されて配置された第１導電型DBR層と、前記第１導電型DBR層の上に配置され、前記第１DBR層に電気的に連結された第１電極と、前記第１発光構造物の側面と前記第１電極の上に配置され、前記第２DBR層の上部面を露出させ、前記第１導電型DBR層の上に配置された前記第１電極の上部面を露出させる第１絶縁層と、前記第２DBR層の上部面に直接接触して配置された第２電極と、前記第２電極と前記第１絶縁層の上に配置され、前記第１発光構造物の周りに配置され、前記第１導電型DBR層の上に配置された前記第１電極の上部面を露出させる第２絶縁層と、前記第２絶縁層と前記第１発光構造物の上に配置され、前記第１導電型DBR層の上に配置された前記第１電極の上部面に直接接触して配置された第１ボンディングパッドと、前記第２絶縁層の上に配置され、前記第２電極と電気的に連結された第２ボンディングパッドと、を含み、前記半導体素子は、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドが配置された第１面と、前記第１面と反対方向に配置された第２面を含み、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドは、前記サブマウントに電気的に連結され、前記半導体素子で生成した光は、前記第２面を介して外部に放出されてもよい。
【００６６】
実施例に係るオブジェクト検出装置は、半導体素子パッケージと前記半導体素子パッケージから放出された光の反射した光が入射する受光部を含み、前記半導体素子パッケージは、サブマウントと、前記サブマウントの上に配置された半導体素子と、を含み、前記半導体素子は、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含む第１発光構造物と、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含む第２発光構造物と、前記第１DBR層と前記第３DBR層に電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置された第１電極と、前記第２DBR層と前記第４DBR層に電気的に連結され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に配置された第２電極と、前記第２発光構造物の上に配置され、前記第１電極に電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第１発光構造物の上に配置され、前記第２電極に電気的に連結された第２ボンディングパッドと、を含み、前記半導体素子は、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドが配置された第１面と、前記第１面と反対方向に配置された第２面を含み、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドは、前記サブマウントに電気的に連結され、前記半導体素子で生成した光は、前記第２面を介して外部に放出されてもよい。
【００６７】
実施例に係るオブジェクト検出装置は、半導体素子パッケージと前記半導体素子パッケージから放出された光の反射した光が入射する受光部と、を含み、前記半導体素子パッケージは、サブマウントと、前記サブマウントの上に配置された半導体素子と、を含み、前記半導体素子は、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含む第１発光構造物と、前記第１発光構造物と離隔して配置され、第１導電型の第３DBR層、前記第３DBR層の上に配置された第２活性層、前記第２活性層の上に配置された第２導電型の第４DBR層を含む第２発光構造物と、前記第１発光構造物の側面、前記第２発光構造物の側面、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間に配置され、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面を露出させる第１絶縁層と、前記第１DBR層と前記第３DBR層に電気的に連結され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間で前記第１絶縁層の下に配置された第１電極と、前記第２DBR層の上部面と前記第４DBR層の上部面に直接接触して配置され、前記第１発光構造物と前記第２発光構造物の間で前記第１絶縁層の上に配置された第２電極と、前記第２電極の上に配置され、前記第１発光構造物の周りと前記第２発光構造物の周りに配置され、前記第１発光構造物の上部面に配置された前記第２電極の上部面を露出させ、前記第２発光構造物の上部面に配置された前記第２電極の上部面を露出させる第２絶縁層と、前記第２絶縁層の上に配置され、前記第１電極に電気的に連結された第１ボンディングパッドと、前記第２絶縁層の上に配置され、前記第１発光構造物の上部面に配置された前記第２電極と直接接触して配置され、前記第２発光構造物の上部面に配置された前記第２電極と直接接触して配置された第２ボンディングパッドと、を含み、前記半導体素子は、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドが配置された第１面と、前記第１面と反対方向に配置された第２面を含み、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドは、前記サブマウントに電気的に連結され、前記半導体素子で生成した光は、前記第２面を介して外部に放出されてもよい。
【００６８】
実施例に係るオブジェクト検出装置は、半導体素子パッケージと前記半導体素子パッケージから放出された光の反射した光が入射する受光部と、を含み、サブマウントと、前記サブマウントの上に配置された半導体素子と、を含み、前記半導体素子は、第１導電型の第１DBR層、前記第１DBR層の上に配置された第１活性層、前記第１活性層の上に配置された第２導電型の第２DBR層を含む第１発光構造物と、前記第１DBR層から前記第１発光構造物の周りの方向に延長されて配置された第１導電型DBR層と、前記第１導電型DBR層の上に配置され、前記第１DBR層に電気的に連結された第１電極と、前記第１発光構造物の側面と前記第１電極の上に配置され、前記第２DBR層の上部面を露出させ、前記第１導電型DBR層の上に配置された前記第１電極の上部面を露出させる第１絶縁層と、前記第２DBR層の上部面に直接接触して配置された第２電極と、前記第２電極と前記第１絶縁層の上に配置され、前記第１発光構造物の周りに配置され、前記第１導電型DBR層の上に配置された前記第１電極の上部面を露出させる第２絶縁層と、前記第２絶縁層と前記第１発光構造物の上に配置され、前記第１導電型DBR層の上に配置された前記第１電極の上部面に直接接触して配置された第１ボンディングパッドと、前記第２絶縁層の上に配置され、前記第２電極と電気的に連結された第２ボンディングパッドと、を含み、前記半導体素子は、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドが配置された第１面と、前記第１面と反対方向に配置された第２面を含み、前記第１ボンディングパッドと前記第２ボンディングパッドは、前記サブマウントに電気的に連結され、前記半導体素子で生成した光は、前記第２面を介して外部に放出されてもよい。
【００６９】
実施例に係る半導体素子の製造方法は、基板上に第１導電型DBR層、活性層、第２導電型DBR層を形成するステップと、前記第２導電型DBR層、前記活性層に対するメサエッチングを行って相互離隔して配置された複数の発光構造物を形成するステップと、前記第１導電型DBR層の上に配置され、前記複数の発光構造物を露出させる第１電極を形成するステップと、前記第１電極の上に配置され、前記複数の発光構造物の上部面を露出させる第１絶縁層を形成するステップと、前記第１絶縁層によって露出された前記複数の発光構造物の上部面に配置された上部電極と、前記第１絶縁層の上に配置され、前記上部電極を連結する連結電極を含む第２電極を形成するステップと、前記複数の発光構造物の間の領域の下部に配置された前記第１電極を露出させる第１開口部と、前記第２電極の前記上部電極を露出させる第２開口部を含む第２絶縁層を形成するステップと、前記第１開口部上に配置され、前記第１電極と電気的に連結される第１ボンディングパッドと、前記第２開口部上に配置され、前記第２電極と電気的に連結される第２ボンディングパッドを形成するステップと、を含むことができる。
【発明の効果】
【００７０】
実施例に係る半導体素子およびその製造方法、半導体素子パッケージ、オブジェクト検出装置によれば、優れた放熱特性を提供できる長所がある。
【００７１】
実施例に係る半導体素子およびその製造方法、半導体素子パッケージ、オブジェクト検出装置によれば、光抽出効率を高めて高出力の光を提供できる長所がある。
【００７２】
実施例に係る半導体素子およびその製造方法、半導体素子パッケージ、オブジェクト検出装置によれば、電力変換効率を向上させることができる長所がある
【００７３】
実施例に係る半導体素子およびその製造方法、半導体素子パッケージ、オブジェクト検出装置によれば、製造コストを低減し、信頼性を向上させることができる長所がある。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の実施例に係る半導体素子を示した図面である。
【図２】図１に示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図である。
【図３ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において複数の発光構造物とダミー発光構造物が形成された例を示した図面である。
【図３ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において複数の発光構造物とダミー発光構造物が形成された例を示した図面である。
【図４ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。
【図４ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。
【図５ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図５ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図６ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。
【図６ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。
【図７】本発明の実施例に係る半導体素子の別の例を示した図面である。
【図８】本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。
【図９】本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。
【図１０】本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。
【図１１】図１０に示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図である。
【図１２】図１０に示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図である。
【図１３】図１０に示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【図１４ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において発光構造物が形成された例を示した図面である。
【図１４ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において発光構造物が形成された例を示した図面である。
【図１４ｃ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において発光構造物が形成された例を示した図面である。
【図１４ｄ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において発光構造物が形成された例を示した図面である。
【図１５ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。
【図１５ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。
【図１５ｃ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。
【図１５ｄ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。
【図１６ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図１６ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図１６ｃ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図１６ｄ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図１７ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２電極が形成された例を示した図面である。
【図１７ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２電極が形成された例を示した図面である。
【図１７ｃ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２電極が形成された例を示した図面である。
【図１７ｄ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２電極が形成された例を示した図面である。
【図１８ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図１８ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図１８ｃ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図１８ｄ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図１９ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。
【図１９ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。
【図１９ｃ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。
【図１９ｄ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。
【図２０】本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。
【図２１】本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。
【図２２】本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。
【図２３】本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。
【図２４】本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。
【図２５】図２４に示された実施例に係る半導体素子のＤ‐Ｄ線断面図である。
【図２６ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において複数の発光構造物とダミー発光構造物が形成された例を示した図面である。
【図２６ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において複数の発光構造物とダミー発光構造物が形成された例を示した図面である。
【図２７ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。
【図２７ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。
【図２８ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図２８ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図２９ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。
【図２９ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。
【図３０】本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。
【図３１】本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。
【図３２】本発明の実施例に係る半導体素子を示した図面である。
【図３３】図３２に示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図である。
【図３４】図３２に示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図である。
【図３５】図３２に示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【図３６ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において発光構造物が形成された例を示した図面である。
【図３６ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において発光構造物が形成された例を示した図面である。
【図３６ｃ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において発光構造物が形成された例を示した図面である。
【図３６ｄ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において発光構造物が形成された例を示した図面である。
【図３７ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。
【図３７ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。
【図３７ｃ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。
【図３７ｄ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。
【図３８ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図３８ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図３８ｃ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図３８ｄ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図３９ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２電極が形成された例を示した図面である。
【図３９ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２電極が形成された例を示した図面である。
【図３９ｃ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２電極が形成された例を示した図面である。
【図３９ｄ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２電極が形成された例を示した図面である。
【図４０ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図４０ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図４０ｃ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図４０ｄ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２絶縁層が形成された例を示した図面である。
【図４１ａ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。
【図４１ｂ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。
【図４１ｃ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。
【図４１ｄ】本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。
【図４２】本発明の実施例に係る半導体素子パッケージを示した図面である。
【図４３】本発明の実施例に係る半導体素子パッケージの別の例を示した図面である。
【図４４】本発明の実施例に係る半導体素子パッケージを含む自動焦点装置が適用された移動端末機の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００７５】
以下、添付された図面を参照して実施例を説明する。実施例の説明において、各層(膜)、領域、パターンまたは構造物が基板、各層(膜)、領域、パッドまたはパターンの「上」または「下」に形成されると記載される場合、「上」と「下」は「直接」または「他の層を介して」形成されるものも含む。また、各層の上または下に対する基準は、図面を基準に説明するが、実施例がこれに限定されるものではない。
【００７６】
以下、添付された図面を参照して、本発明の実施例に係る半導体素子、半導体素子の製造方法、半導体素子パッケージ、半導体素子パッケージを含むオブジェクト検出装置に対して詳しく説明する。
【００７７】
本発明の実施例に係る半導体素子は、発光ダイオード素子、レーザーダイオード素子を含む発光素子のうちのいずれか一つからなることができる。例えば、実施例に係る半導体素子は、VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)半導体素子であってもよい。VCSEL半導体素子は、上部面に垂直する方向にビームを放出することができる。VCSEL半導体素子は、例えば５度〜３０度のビーム画角で上部面に垂直する方向にビームを放出することができる。VCSEL半導体素子は、より具体的には１５度〜２５度のビーム画角で上部面に垂直する方向にビームを放出することができる。VCSEL半導体素子は、円形のビームを放出する単一発光アパーチャー(aperture)または複数の発光アパーチャーを含むことができる。前記発光アパーチャーは、例えば数μｍ〜数十μｍの直径で提供されてもよい。例えば、前記発光アパーチャーは、半導体素子の上部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【００７８】
次に、図１および図２を参照して、本発明の実施例に係る半導体素子を説明する。図１は本発明の実施例に係る半導体素子を示した図面であり、図２は図１に示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図である。
【００７９】
一方、理解を助けるために、図１の図示において、下部に位置した構成要素の配置関係を容易に把握できるように、上部に配置された第１ボンディングパッド１５５と第２ボンディングパッド１６５は透明に処理された。
【００８０】
本発明の実施例に係る半導体素子２００は、図１および図２に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…、第１電極１５０、第１ボンディングパッド１５５、第２ボンディングパッド１６５を含むことができる。
【００８１】
実施例に係る半導体素子２００は、VCSELからなることができ、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で生成した光を、例えば５度〜３０度のビーム画角で放出することができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…のそれぞれは、第１導電型DBR(Distributed Bragg Reflector)層、活性層、第２導電型DBR層を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…のそれぞれは、類似する構造を有することができ、図１に示されたＡ‐Ａ線断面を参照して実施例に係る半導体素子２００を説明する。
【００８２】
実施例に係る半導体素子２００は、図１および図２に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が配置された領域の上部には、前記第２ボンディングパッド１６５が配置されてもよい。
【００８３】
前記第１電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間に配置されてもよい。前記第１電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…を露出させる複数の第１開口部を含むことができる。
【００８４】
前記第１電極１５０に提供された前記複数の第１開口部は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の上部面を露出させることができる。前記第１電極１５０に提供された前記複数の第１開口部は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層の上部面を露出させることができる。前記第１電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層と電気的に連結されてもよい。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…を露出させる複数の第１開口部は、実施例に係る半導体素子の製造方法を説明する際にまた説明する。
【００８５】
前記第１ボンディングパッド１５５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…と離隔して配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド１５５は、前記第１電極１５０と電気的に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド１５５は、前記第２ボンディングパッド１６５の側面に沿って配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド１５５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が提供された領域の外縁側面に沿って配置されてもよい。例えば、前記第１ボンディングパッド１５５は、図１に示されたように、前記第２ボンディングパッド１６５の両側面に配置されてもよい。
【００８６】
前記第２ボンディングパッド１６５は、前記第１ボンディングパッド１５５と離隔して配置されてもよい。前記第２ボンディングパッド１６５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド１６５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層の上部面に配置されてもよい。
【００８７】
また、実施例に係る半導体素子２００は、図１に示されたように、複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４を含むことができる。前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、第１導電型DBR層、活性層、第２導電型DBR層を含むことができる。また、前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４のうち前記第１ダミー発光構造物Ｄ１の上部と前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上部には、前記第１ボンディングパッド１５５が配置されてもよい。
【００８８】
次に、図１および図２を参照して、前記第２ボンディングパッド１６５の下に配置されたＰ１発光構造物とＰ２発光構造物を中心に実施例に係る半導体素子２００をより詳しく説明する。
【００８９】
実施例に係る半導体素子２００は、前記第２ボンディングパッド１６５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…は、光を放出する発光アパーチャー１３０ａ、１３０ｂ、…をそれぞれ含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…は、相互離隔して配置されてもよい。例えば、前記発光アパーチャー１３０ａ、１３０ｂ、…は、数μｍ〜数十μｍの直径で提供されてもよい。
【００９０】
前記Ｐ１発光構造物は、第１導電型の第１DBR層１１０ａ、第２導電型の第２DBR層１２０ａ、第１活性層１１５ａを含むことができる。前記第１活性層１１５ａは、前記第１DBR層１１０ａと前記第２DBR層１２０ａの間に配置されてもよい。例えば、前記第１活性層１１５ａが前記第１DBR層１１０ａの上に配置され、前記第２DBR層１２０ａが前記第１活性層１１５ａの上に配置されてもよい。前記Ｐ１発光構造物は、前記第１活性層１１５ａと前記第２DBR層１２０ａの間に配置された第１アパーチャー層１１７ａをさらに含むことができる。
【００９１】
前記Ｐ２発光構造物は、第１導電型の第３DBR層１１０ｂ、第２導電型の第４DBR層１２０ｂ、第２活性層１１５ｂを含むことができる。前記第２活性層１１５ｂは、前記第３DBR層１１０ｂと前記第４DBR層１２０ｂの間に配置されてもよい。例えば、前記第２活性層１１５ｂが前記第３DBR層１１０ｂの上に配置され、前記第４DBR層１２０ｂが前記第２活性層１１５ｂの上に配置されてもよい。前記Ｐ２発光構造物は、前記第２活性層１１５ｂと前記第４DBR層１２０ｂの間に配置された第２アパーチャー層１１７ｂをさらに含むことができる。
【００９２】
また、前記Ｐ１発光構造物の前記第１DBR層１１０ａと前記Ｐ２発光構造物の前記第３DBR層１１０ｂの間に第１導電型DBR層１１３が配置されてもよい。前記第１DBR層１１０ａと前記第３DBR層１１０ｂは、前記第１導電型DBR層１１３によって物理的に連結されてもよい。例えば、前記第１導電型DBR層１１３の上部面と前記第１DBR層１１０ａの上部面が同一水平面に配置されてもよい。前記第１導電型DBR層１１３の上部面と前記第３DBR層１１０ｃの上部面が同一水平面に配置されてもよい。
【００９３】
また、前記Ｐ１発光構造物の前記第１活性層１１５ａと前記Ｐ２発光構造物の前記第２活性層１１５ｂは、相互離隔して配置されてもよい。また、前記Ｐ１発光構造物の前記第２DBR層１２０ａと前記Ｐ２発光構造物の前記第４DBR層１２０ｂは、相互離隔して配置されてもよい。
【００９４】
実施例に係る半導体素子２００は、図１および図２に示されたように、絶縁層１４０を含むことができる。前記絶縁層１４０は、前記Ｐ１発光構造物の側面に配置されてもよい。前記絶縁層１４０は、前記Ｐ１発光構造物の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。前記絶縁層１４０は、前記Ｐ２発光構造物の側面に配置されてもよい。前記絶縁層１４０は、前記Ｐ２発光構造物の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。
【００９５】
また、前記絶縁層１４０は、前記Ｐ１発光構造物と前記Ｐ２発光構造物の間に配置されてもよい。前記絶縁層１４０は、前記第１導電型DBR層１１３の上に配置されてもよい。
【００９６】
前記絶縁層１４０は、前記Ｐ１発光構造物の上部面を露出させることができる。前記絶縁層１４０は、前記Ｐ１発光構造物の前記第２DBR層１２０ａの上部面を露出させることができる。前記絶縁層１４０は、前記Ｐ２発光構造物の上部面を露出させることができる。前記絶縁層１４０は、前記Ｐ２発光構造物の前記第４DBR層１２０ｂの上部面を露出させることができる。前記絶縁層１４０は、前記Ｐ１発光構造物の上部面と前記Ｐ２発光構造物の上部面を露出させる第２開口部を含むことができる。前記Ｐ１発光構造物の上部面と前記Ｐ２発光構造物の上部面を露出させる第２開口部については、実施例に係る半導体素子の製造方法を説明する際にまた説明する。
【００９７】
実施例に係る半導体素子２００は、図１および図２に示されたように、第１電極１５０を含むことができる。前記第１電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間に配置されてもよい。前記第１電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…を露出させる複数の第１開口部を含むことができる。
【００９８】
前記第１電極１５０は、前記第１導電型DBR層１１３の上に配置されてもよい。前記第１電極１５０は、前記第１DBR層１１０ａと電気的に連結されてもよい。前記第１電極１５０は、前記第３DBR層１１０ｂと電気的に連結されてもよい。前記第１電極１５０は、前記絶縁層１４０の下に配置されてもよい。前記第１電極１５０は、前記Ｐ１発光構造物と前記Ｐ２発光構造物の間の領域で前記絶縁層１４０の下に配置されてもよい。前記第１電極１５０は、前記Ｐ１発光構造物と前記Ｐ２発光構造物の間の領域で前記絶縁層１４０と前記第１導電型DBR層１１３の間に配置されてもよい。
【００９９】
例えば、前記第１電極１５０の下部面が前記第１導電型DBR層１１３の上部面に直接接触して配置されてもよい。前記第１電極１５０の上部面が前記絶縁層１４０の下部面に直接接触して配置されてもよい。前記第１電極１５０は、前記第１DBR層１１０ａと前記第３DBR層１１０ｂと電気的に共通連結されてもよい。
【０１００】
実施例に係る半導体素子２００は、図１および図２に示されたように、前記第１ボンディングパッド１５５と前記第２ボンディングパッド１６５を含むことができる。
【０１０１】
実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。
【０１０２】
前記第２ボンディングパッド１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。実施例によれば、前記第２ボンディングパッド１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。
【０１０３】
実施例に係る半導体素子２００は、図１および図２に示されたように、複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４を含むことができる。前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…と離隔して配置されてもよい。
【０１０４】
前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、前記第２ボンディングパッド１６５から離隔して配置されてもよい。例えば、第１ダミー発光構造物Ｄ１の上部領域に前記第１ボンディングパッド１５５が配置されてもよい。また、前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上部領域に前記第１ボンディングパッド１５５が配置されてもよい。前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、類似する構造を有することができる。
【０１０５】
前記第１ダミー発光構造物Ｄ１は、第１導電型DBR層１１３、第２導電型DBR層１１９を含むことができる。また、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１は、活性層１１６とアパーチャー層１１８を含むことができる。
【０１０６】
実施例に係る半導体素子２００は、図１および図２に示されたように、パッド電極１５３を含むことができる。前記パッド電極１５３は、前記第１電極１５０と電気的に連結されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間に配置された前記第１電極１５０から延長されて配置されてもよい。前記パッド電極１５３と前記第１電極１５０の連結関係については、実施例に係る半導体素子の製造方法を説明する際にまた説明する。
【０１０７】
前記パッド電極１５３は、前記第１導電型DBR層１１３に電気的に連結されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記活性層１１６に電気的に連結されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記第２導電型DBR層１１９に電気的に連結されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記第１導電型DBR層１１３と前記第２導電型DBR層１１９に電気的に共通連結されてもよい。これによって、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１は、光を生成しなくてもよい。
【０１０８】
前記パッド電極１５３は、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１と前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上に配置されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１の上部面の上に配置されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上部面の上に配置されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１と前記第２ダミー発光構造物Ｄ２に提供された前記第２導電型DBR層１１９の上に配置されてもよい。
【０１０９】
実施例によれば、前記パッド電極１５３の上に前記第１ボンディングパッド１５５が配置されてもよい。前記パッド電極１５３の側面に前記絶縁層１４０が配置されてもよい。前記絶縁層１４０によって露出された前記パッド電極１５３の上部面に前記第１ボンディングパッド１５５が配置されてもよい。
【０１１０】
一方、実施例に係る半導体素子２００は、図１および図２に示されたように、基板１０５をさらに含むことができる。前記基板１０５の上に複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…と複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４が配置されてもよい。例えば、前記基板１０５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…と前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４が成長できる成長基板であってもよい。例えば、前記基板１０５は、真性半導体基板であってもよい。
【０１１１】
実施例に係る半導体素子２００によれば、前記第１ボンディングパッド１５５と前記第２ボンディングパッド１６５を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…に電源が提供されてもよい。前記第１ボンディングパッド１５５が前記パッド電極１５３を介して前記第１電極１５０に電気的に連結されてもよい。そして、前記第１電極１５０が前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。また、前記第２ボンディングパッド１６５が前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層の上部面の上に配置されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド１６５の下部面が前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０１１２】
従って、実施例によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…に電源が提供される際に、前記基板１０５の下部面を介して電源が印加される必要がない。従来の半導体素子において、前記基板の下部面を介して電源が印加される必要がある場合、前記基板１０５が必ず導電性基板から提供されなければならない。ところが、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記基板１０５は、導電性基板であってもよく、絶縁性基板であってもよい。例えば、実施例に係る前記基板１０５は、真性半導体基板から提供されてもよい。
【０１１３】
また、前記基板１０５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が成長基板から成長した後、成長基板が除去され、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…に付着された基板であってもよい。例えば、前記支持基板は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で生成した光が透過できる透明基板であってもよい。
【０１１４】
一方、実施例に係る半導体素子２００は、図１および図２に示されたように、前記半導体素子２００の下部方向に光が放出されるように具現されてもよい。即ち、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす活性層から第１導電型DBR層が配置された方向に光が放出されてもよい。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす活性層から前記基板１０５が配置された方向に光が放出されてもよい。
【０１１５】
実施例によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層の上部面に前記第２ボンディングパッド１６５が接触して配置される。また、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に前記第１電極１５０が連結されて配置され、前記第１電極１５０から延長された前記パッド電極１５３の上に前記第１ボンディングパッド１５５が接触して配置される。これによって、前記第１ボンディングパッド１５５および前記第２ボンディングパッド１６５を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した熱が外部に効果的に放出される。
【０１１６】
一方、一般的な半導体素子の場合、発光構造物で発生した熱によって電力変換効率(PCE：Power Conversion Efficiency)が著しく低下すると知られている。そして、下部に配置された基板を介して発光構造物に電源が提供される場合、一般的に基板を介して熱放出がなされる。ところが、基板の熱伝導率が低いので、発光構造物で発生した熱を外部に放出され難くなる。例えば、GaAs基板の場合、熱伝導率が５２W/(m*K)として低いと知られている。
【０１１７】
ところが、実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１５５と前記第２ボンディングパッド１６５を介して外部の放熱基板等に連結されるので、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した熱を外部に効果的に放出できるようになる。従って、実施例によれば、半導体素子２００で発生した熱を外部に効果的に排出できるので、電力変化効率(PCE)が向上する。
【０１１８】
一方、実施例に係る半導体素子２００によれば、以上で説明したように、前記半導体素子２００の下部方向に光が放出されるように具現されてもよい。実施例に係る半導体素子２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の下部領域に提供された第１導電型DBR層の反射率が上部領域に提供された第２導電型DBR層の反射率より小さく選択されてもよい。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で生成した光が前記半導体素子２００の基板１０５の方向に放出されることになる。
【０１１９】
また、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記絶縁層１４０がDBR層からなることができる。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で生成した光が上部に配置された前記絶縁層１４０に反射されて下部方向に効果的に抽出される。
【０１２０】
例えば、前記絶縁層１４０は、SiO2とTiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記絶縁層１４０は、Ta2O3とSiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記絶縁層１４０は、SiO2とSi3N4が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。
【０１２１】
一方、従来の半導体素子において、基板を介して発光構造物に電源を提供する場合、基板が導電性である必要がある。これによって、導電性半導体基板が適用される場合、導電性を向上させるために基板にドーパントが添加される。ところが、基板に添加されたドーパントは、放出される光に対する吸収および散乱(Absorption and Scattering)現象を生じさせるので、電力変換効率(PCE)を低下させる原因となる。
【０１２２】
ところが、実施例に係る半導体素子２００によれば、以上で説明したように、前記基板１０５が導電性基板である必要がないので、前記基板１０５に別途のドーパントが添加されなくてもよい。これによって、実施例に係る前記基板１０５にドーパントが添加されなくてもよいので、前記基板１０５においてドーパントによる吸収および散乱が発生する現象を減らすことができる。従って、実施例によれば、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した光を下部方向に効果的に提供することができ、電力変換効率(PCE)が向上する。
【０１２３】
また、実施例に係る半導体素子２００は、前記基板１０５の下部面に提供された無反射層をさらに含むことができる。前記無反射層は、前記半導体素子２００から放出される光が前記基板１０５の表面で反射されることを防止し透過させることで、反射による光損失を改善することができる。
【０１２４】
また、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記第１ボンディングパッド１５５に連結された前記第１電極１５０と前記第２ボンディングパッド１６５によって前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間に電流拡散が効率的に行われる。これによって、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…において電流の密集なく電流が効率的に拡散され、光抽出効率が向上する。
【０１２５】
一方、図１および図２を参照して説明した実施例に係る半導体素子２００は、第１ダミー発光構造物Ｄ１と第２ダミー発光構造物Ｄ２の上に前記第１ボンディングパッド１５５が提供された場合をベースに説明した。
【０１２６】
ところが、別の実施例に係る半導体素子によれば、前記第１ボンディングパッド１５５は、一つのダミー発光構造物の上のみに提供されてもよい。また、前記第１ボンディングパッド１５５は、３つのダミー発光構造物の上または４つのダミー発光構造物の上に提供されてもよい。
【０１２７】
前記第１ボンディングパッド１５５が提供される領域は、半導体素子の大きさ、求められる電流拡散(current spreading)の程度等を考慮して、弾力的に選択することができる。例えば、半導体素子のサイズが大きいか、電流拡散の必要性が大きい半導体素子の場合にも、半導体素子の４つの側面に前記第１ボンディングパッド１５５が配置される。
【０１２８】
次に、本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法を図面を参照して説明する。実施例に係る半導体素子の製造方法の説明において、図１および図２を参照して説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０１２９】
まず、図３ａおよび図３ｂは、本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において複数の発光構造物とダミー発光構造物が形成された例を示した図面である。図３ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって複数の発光構造物とダミー発光構造物が形成されたステップを示した平面図であり、図３ｂは図３ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図である。
【０１３０】
実施例に係る半導体素子の製造方法によれば、図３ａおよび図３ｂに示されたように、基板１０５に複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が形成される。また、前記基板１０５に複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４が形成される。例えば、前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…周辺に形成される。
【０１３１】
前記基板１０５は、真性半導体基板、導電性基板、絶縁性基板から選択されたいずれか一つからなることができる。例えば、前記基板１０５は、GaAs真性半導体基板であってもよい。また、前記基板１０５は、銅(Cu)、金(Au)、ニッケル(Ni)、モリブデン(Mo)、銅-タングステン(Cu-W)、キャリアウェハ(例えば、Si、Ge、AlN、GaAs、ZnO、SiC等)を含む導電性物質から選択された少なくとも一つからなることができる。
【０１３２】
例えば、前記基板１０５に、第１導電型DBR層、活性層、第２導電型DBR層が順に形成される。そして、第２導電型DBR層と活性層に対するメサエッチングによって前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が形成されてもよい。また、第２導電型DBR層と活性層に対するメサエッチングによって前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４が形成される。前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が形成された領域の側面に形成されてもよい。
【０１３３】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…は、第１導電型DBR層１１０ａ、１１０ｂ、…、活性層１１５ａ、１１５ｂ、…、アパーチャー層１１７ａ、１１７ｂ、…、第２導電型DBR層１２０ａ、１２０ｂ、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４…の周りに第１導電型DBR層１１３が提供されてもよい。前記第１導電型DBR層１１３は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間の領域に配置されてもよい。
【０１３４】
また、実施例に係る前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、第１導電型DBR層１１３、活性層１１６、アパーチャー層１１８、第２導電型DBR層１１９を含むことができる。例えば、前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が形成された領域の側面に沿って幅を有するライン状に提供されてもよい。
【０１３５】
例えば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…と前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、複数の化合物半導体層に成長することができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…と前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、電子ビーム蒸着装置、PVD(physical vapor deposition)、CVD(chemical vapor deposition)、PLD(plasma laser deposition)、二重型熱蒸着器(dual-type thermal evaporator)、スパッタリング(sputtering)、MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)等によって形成されてもよい。
【０１３６】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…をなす前記第１導電型DBR層１１０ａ、１１０ｂ、…は、第１導電型のドーパントがドーピングされたＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族の化合物半導体のうち少なくとも一つから提供されてもよい。前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４をなす前記第１導電型DBR層１１３は、第１導電型のドーパントがドーピングされたＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族の化合物半導体のうち少なくとも一つから提供されてもよい。
【０１３７】
例えば、前記第１導電型DBR層１１３、１１０ａ、１１０ｂ、…は、GaAs、GaAl、InP、InAs、GaPを含むグループのうちの一つからなることができる。前記第１導電型DBR層１１３、１１０ａ、１１０ｂ、…は、例えばAlxGa1-xAs(0<x<1)/AlyGa1-yAs(0<y<1)(y<x)の組成式を有する半導体物質から提供されてもよい。前記第１導電型DBR層１１３３、１１０ａ、１１０ｂ、…は、第１導電型のドーパント、例えばSi、Ge、Sn、Se、Te等のｎ型ドーパントがドーピングされたｎ型半導体層となることができる。前記第１導電型DBR層１１３、１１０ａ、１１０ｂ、…は、異なる半導体層を交互に配置してλ/４nの厚さを有するDBR層であってもよい。
【０１３８】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…をなす前記活性層１１５ａ、１１５ｂ、…は、ＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族の化合物半導体のうち少なくとも一つから提供されてもよい。前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４をなす前記活性層１１６は、ＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族の化合物半導体のうち少なくとも一つから提供されてもよい。
【０１３９】
例えば、前記活性層１１６、１１５ａ、１１５ｂ、…は、GaAs、GaAl、InP、InAs、GaPを含むグループのうちの一つからなることができる。前記活性層１１６、１１５ａ、１１５ｂ、…は、多重井戸構造にて具現された場合、前記活性層１１６、１１５ａ、１１５ｂ、…は、交互に配置された複数の井戸層と複数の障壁層を含むことができる。前記複数の井戸層は、例えば、InpGa1-pAs(0≦≦p≦≦1)の組成式を有する半導体材料から提供されてもよい。前記障壁層は、例えばInqGa1-qAs(0≦≦q≦≦1)の組成式を有する半導体材料から配置されてもよい。
【０１４０】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…をなす前記アパーチャー層１１７ａ、１１７ｂ、…は、前記活性層１１５ａ、１１５ｂ、…の上に配置されてもよい。前記アパーチャー層１１７ａ、１１７ｂ、…は、中心部に円形の開口部が含むことができる。前記アパーチャー層１１７ａ、１１７ｂ、…は、前記活性層１１５ａ、１１５ｂ、…の中心部に電流が集中するように電流移動を制限する機能を含むことができる。即ち、前記アパーチャー層１１７ａ、１１７ｂ、…は、共振波長を調整し、前記活性層１１５ａ、１１５ｂ、…から垂直方向に発光するビームの角を調節することができる。前記アパーチャー層１１７ａ、１１７ｂ、…は、SiO2またはAl2O3のような絶縁物質を含むことができる。また、前記アパーチャー層１１７ａ、１１７ｂ、…は、前記活性層１１５ａ、１１５ｂ、…、第１導電型DBR層１１０ａ、１１０ｂ、…および第２導電型DBR層１２０ａ、１２０ｂ、…より高いバンドギャップエネルギーを有することができる。
【０１４１】
前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４をなすアパーチャー層１１８は、前記活性層１１６の上に配置されてもよい。ただし、図１および図２を参照して説明したように、前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４に配置された前記アパーチャー層１１８は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…に提供された前記アパーチャー層１１７ａ、１１７ｂの機能とは異なり、前記活性層１１６の中心部に電流が集中するように電流移動を制限する機能はしない。実施例によれば、前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４に配置された前記第１導電型DBR層１１３と前記第２導電型DBR層１１９の間に共通電圧が印加されるからである。
【０１４２】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…をなす前記第２導電型DBR層１２０ａ、１２０ｂ、…は、第２導電型のドーパントがドーピングされたＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族の化合物半導体のうち少なくとも一つから提供されてもよい。前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４をなす前記第２導電型DBR層１１９は、第２導電型のドーパントがドーピングされたＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族の化合物半導体のうち少なくとも一つから提供されてもよい。
【０１４３】
例えば、前記第２導電型DBR層１１９、１２０ａ、１２０ｂ、…は、GaAs、GaAl、InP、InAs、GaPを含むグループのうちの一つからなることができる。前記第２導電型DBR層１１９、１２０ａ、１２０ｂ、…は、例えばAlxGa1-xAs(0<x<1)/AlyGa1-yAs(0<y<1)(y<x)の組成式を有する半導体材料からなることができる。前記第２導電型DBR層１１９、１２０ａ、１２０ｂ、…は、第２導電型のドーパント、例えばMg、Zn、Ca、Sr、Baのようなｐ型ドーパントを有するｐ型半導体層であってもよい。前記第２導電型DBR層１１９、１２０ａ、１２０ｂ、…は、異なる半導体層を交互に配置してλ/４nの厚さを有するDBR層であってもよい。
【０１４４】
例えば、前記第２導電型DBR層１２０ａ、１２０ｂ、…は、前記第１導電型DBR層１１０ａ、１１０ｂ、…より大きい反射率を有することができる。例えば、前記第２導電型DBR層１２０ａ、１２０ｂ、…と前記第１導電型DBR層１１０ａ、１１０ｂ、…は、９０％以上の反射率によって垂直方向に共振キャビティを形成することができる。このとき、生成された光は、前記第２導電型DBR層１２０ａ、１２０ｂ、…の反射率より低い前記第１導電型DBR層１１０ａ、１１０ｂ、…を介して外部に放出されてもよい。
【０１４５】
次に、図４ａおよび４ｂに示されたように、実施例に係る第１電極１５０と電極パッド１５３が形成される。
【０１４６】
図４ａおよび図４ｂは、本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極と電極パッドが形成された例を示した図面である。図４ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第１電極と電極パッドが形成されたステップを示した平面図であり、図４ｂは図４ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図である。
【０１４７】
実施例によれば、図４ａおよび図４ｂに示されたように、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の周りに前記第１電極１５０が形成される。前記第１電極１５０は、前記第１導電型DBR層１１３の上に形成され、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…を露出させる第１開口部Ｈ１を含むことができる。前記第１電極１５０は、前記前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間の領域に形成されてもよい。
【０１４８】
例えば、前記第１電極１５０の面積Aeが前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の面積Amより大きく提供されてもよい。ここで、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の面積Amとは、メサエッチングによってエッチングされず残っている前記活性層１１５ａ、１１５ｂ、…の面積を意味することができる。前記第１電極１５０の面積Aeに対する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の面積Amの比率Am/Aeは、例えば２５％より大きく提供されてもよい。実施例に係る半導体素子２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の個数および直径は、応用例に応じて多様に変形することができる。
【０１４９】
実施例によれば、前記第１電極１５０の面積Aeに対する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の面積Amの比率Am/Aeは、例えば２５％〜７０％に提供されてもよい。別の実施例によれば、前記第１電極１５０の面積Aeに対する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の面積Amの比率Am/Aeは、例えば３０％〜６０％に提供されてもよい。
【０１５０】
実施例に係る半導体素子２００の適用例に応じて、前記半導体素子２００に配置された前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の個数および直径は、多様に変更することができる。次の表１は、一例として６２１個の発光構造物が提供された半導体素子に対するデータを示したものである。
【０１５１】
【表１】
0006862556.tif 000002
【０１５２】
また、実施例に係る半導体素子の製造方法によれば、図４ａおよび図４ｂに示されたように、前記ダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４の上に配置されたパッド電極１５３が形成される。前記パッド電極１５３は、前記第１電極１５０から延長されて形成されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記ダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４の前記第２導電型DBR層１１９の上に形成されてもよい。
【０１５３】
実施例によれば、前記第１電極１５０と前記パッド電極１５３に共通で電圧が供給される。前記第１電極１５０と前記パッド電極１５３は、等電位面を提供することができる。
【０１５４】
例えば、前記第１電極１５０と前記電極パッド１５３は、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、Hf、Ti、W、Crおよびこれらのうち２以上の合金から構成された物質を含むグループから選択された物質からなることができる。前記第１電極１５０と前記電極パッド１５３は、一つの層または複数の層に形成されてもよい。前記第１電極１５０と前記電極パッド１５３は、例えば反射金属として複数の金属層を適用することができ、接着層としてCrまたはTi等を適用することができる。例えば、前記第１電極１５０と前記電極パッド１５３は、Cr/Al/Ni/Au/Ti層からなることができる。
【０１５５】
続いて、図５ａおよび図５ｂに示されたように、実施例に係る前記第１電極１５０の上に絶縁層１４０が形成される。
【０１５６】
図５ａおよび図５ｂは、本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において絶縁層が形成された例を示した図面である。図５ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって絶縁層が形成されたステップを示した平面図であり、図５ｂは図５ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図である。
【０１５７】
実施例によれば、図５ａおよび図５ｂに示されたように、前記第１電極１５０の上に前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の上部面を露出させる前記絶縁層１４０が形成される。前記絶縁層１４０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の側面に形成されてもよい。前記絶縁層１４０は、前記第１導電型DBR層１１３の上に形成されてもよい。前記絶縁層１４０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間の領域に形成されてもよい。
【０１５８】
前記絶縁層１４０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の上部面を露出させる複数の第２開口部Ｈ２を含むことができる。前記第２開口部Ｈ２の大きさは、前記第１開口部Ｈ１の大きさより小さく提供されてもよい。例えば、前記複数の第２開口部Ｈ２は、前記複数の第１開口部Ｈ１が提供された領域に整列して配置されてもよい。
【０１５９】
実施例によれば、前記絶縁層１４０は、前記電極パッド１５３の上部面を露出させることができる。前記絶縁層１４０は、前記第３ダミー発光構造物Ｄ３の上に形成されてもよい。また、前記絶縁層１４０は、前記第４ダミー発光構造物Ｄ４の上に形成されてもよい。
【０１６０】
前記絶縁層１４０は、絶縁物質から提供されてもよい。例えば、前記絶縁層１４０は、SiO2、TiO2、Ta2O5、SiOx、SiOxNy、Si3N4、Al2O3を含むグループから選択された少なくとも一つの物質からなることができる。また、前記絶縁層１４０は、DBR層から形成されてもよい。実施例によれば、前記絶縁層１４０がDBR層から提供されることで、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した光が効率的に反射されて下部方向に抽出される。例えば、前記絶縁層１４０は、SiO2とTiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記絶縁層１４０は、Ta2O3とSiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記絶縁層１４０は、SiO2とSi3N4が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。
【０１６１】
そして、図６ａおよび図６ｂに示されたように、実施例に係る前記パッド電極１５３の上に第１ボンディングパッド１５５が形成され、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上に第２ボンディングパッド１６５が形成される。
【０１６２】
図６ａおよび図６ｂは、本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。図６ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成されたステップを示した平面図であり、図６ｂは図６ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図である。
【０１６３】
実施例によれば、図６ａおよび図６ｂに示されたように、前記第１ボンディングパッド１５５と前記第２ボンディングパッド１６５が離隔して形成されてもよい。
【０１６４】
前記第１ボンディングパッド１５５は、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１と前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上に形成されてもよい。前記第１ボンディングパッド１５５は、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１の上に配置され、前記パッド電極１５３と電気的に連結されてもよい。例えば、前記第１ボンディングパッド１５５は、前記パッド電極１５３の上部面に直接接触して配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド１５５は、前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上に配置されてもよい。また、前記第１ボンディングパッド１５５は、前記第２ダミー発光構造物Ｄ２に提供されたパッド電極に直接接触して配置されてもよい。
【０１６５】
実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。
【０１６６】
前記第２ボンディングパッド１６５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の上に形成されてもよい。前記第２ボンディングパッド１６５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層１２０ａ、１２０ｂ、…の上に形成されてもよい。また、前記第２ボンディングパッド１６５は、前記絶縁層１４０の上に形成されてもよい。
【０１６７】
前記第２ボンディングパッド１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。実施例によれば、前記第２ボンディングパッド１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。
【０１６８】
前記第２ボンディングパッド１６５は、前記絶縁層１４０に提供された前記第２開口部Ｈ２の上に配置されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド１６５の下部面が前記第２開口部Ｈ２を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層１２０ａ、１２０ｂ、…の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０１６９】
例えば、前記第１ボンディングパッド１５５と前記第２ボンディングパッド１６５は、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、Hf、Ti、W、Cr、Cuおよびこれらのうち２以上の合金から構成された物質を含むグループから選択された物質からなることができる。前記第１ボンディングパッド１５５と前記第２ボンディングパッド１６５は、一つの層または複数の層に形成されてもよい。前記第１ボンディングパッド１５５と前記第２ボンディングパッド１６５は、例えばソルダーボンディング(solder bonding)からSn拡散を防止するために、Cr、Cu等の拡散バリアー金属を含むことができる。例えば、前記第１ボンディングパッド１５５と前記第２ボンディングパッド１７２は、Ti、Ni、Cu、Cr、Auを含む複数の層に形成されてもよい。
【０１７０】
実施例に係る半導体素子２００によれば、前記第１ボンディングパッド１５５と前記第２ボンディングパッド１６５を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…に電源が提供されてもよい。
【０１７１】
従って、実施例によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…に電源が提供される際に、前記基板１０５の下部面を介して電源が印加される必要がない。従来の半導体素子において、前記基板の下部面を介して電源が印加される必要がある場合、前記基板１０５が必ず導電性基板から提供されなければならない。ところが、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記基板１０５は、導電性基板であってもよく、絶縁性基板であってもよい。例えば、実施例に係る前記基板１０５は、真性半導体基板から提供されてもよい。
【０１７２】
また、前記基板１０５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が成長基板から成長した後、成長基板が除去され、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…に付着された基板であってもよい。例えば、前記支持基板は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で生成した光が透過できる透明基板であってもよい。
【０１７３】
一方、実施例に係る半導体素子２００は、前記半導体素子２００の下部方向に光が放出されるように具現されてもよい。即ち、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす活性層から第１導電型DBR層が配置された方向に光が放出されてもよい。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす活性層から前記基板１０５が配置された方向に光が放出されてもよい。
【０１７４】
実施例によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層の上部面に前記第２ボンディングパッド１６５が接触して配置される。また、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に前記第１電極１５０が連結されて配置され、前記第１電極１５０から延長された前記パッド電極１５３の上に前記第１ボンディングパッド１５５が接触して配置される。これによって、前記第１ボンディングパッド１５５および前記第２ボンディングパッド１６５を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した熱が外部に効果的に放出される。
【０１７５】
一方、一般的な半導体素子の場合、発光構造物で発生した熱によって電力変換効率(PCE：Power Conversion Efficiency)が著しく低下すると知られている。そして、下部に配置された基板を介して発光構造物に電源が提供される場合、一般的に基板を介して熱放出がなされる。ところが、基板の熱伝導率が低いので、発光構造物で発生した熱を外部に放出され難くなる。例えば、GaAs基板の場合、熱伝導率が５２W/(m*K)として低いと知られている。
【０１７６】
ところが、実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１５５と前記第２ボンディングパッド１６５を介して外部の放熱基板等に連結されるので、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した熱を外部に効果的に放出できるようになる。従って、実施例によれば、半導体素子２００で発生した熱を外部に効果的に排出できるので、電力変化効率(PCE)が向上する。
【０１７７】
一方、実施例に係る半導体素子２００によれば、以上で説明したように、前記半導体素子２００の下部方向に光が放出されるように具現されてもよい。実施例に係る半導体素子２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の下部領域に提供された第１導電型DBR層の反射率が上部領域に提供された第２導電型DBR層の反射率より小さく選択されてもよい。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で生成した光が前記半導体素子２００の基板１０５の方向に放出されることになる。
【０１７８】
また、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記絶縁層１４０がDBR層からなることができる。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で生成した光が上部に配置された前記絶縁層１４０に反射されて下部方向に効果的に抽出される。
【０１７９】
一方、従来の半導体素子において、基板を介して発光構造物に電源を提供する場合、基板が導電性である必要がある。これによって、導電性半導体基板が適用される場合、導電性を向上させるために基板にドーパントが添加される。ところが、基板に添加されたドーパントは、放出される光に対する吸収および散乱(Absorption and Scattering)現象を生じさせるので、電力変換効率(PCE)を低下させる原因となる。
【０１８０】
ところが、実施例に係る半導体素子２００によれば、以上で説明したように、前記基板１０５が導電性基板である必要がないので、前記基板１０５に別途のドーパントが添加されなくてもよい。これによって、実施例に係る前記基板１０５にドーパントが添加されなくてもよいので、前記基板１０５においてドーパントによる吸収および散乱が発生する現象を減らすことができる。従って、実施例によれば、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した光を下部方向に効果的に提供することができ、電力変換効率(PCE)が向上する。
【０１８１】
また、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記第１ボンディングパッド１５５に連結された前記第１電極１５０と前記第２ボンディングパッド１６５によって前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間に電流拡散が効率的に行われる。これによって、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…において電流の密集なく電流が効率的に拡散され、光抽出効率が向上する。
【０１８２】
一方、図７は本発明の実施例に係る半導体素子の別の例を示した図面である。以下、図７を参照して実施例に係る半導体素子の別の例を説明する際に、以上の図１〜図６ａおよび図６ｂを参照して説明した半導体素子の内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０１８３】
実施例に係る半導体素子２００は、図７に示されたように、図１および図２を参照して説明した実施例に係る半導体素子に比べて、第２電極１６０をさらに含むことができる。
【０１８４】
本発明の実施例に係る半導体素子２００は、図７に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…、第１電極１５０、第２電極１６０、第１ボンディングパッド１５５、第２ボンディングパッド１６５を含むことができる。
【０１８５】
前記第１電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の間に配置されてもよい。前記第１電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…を露出させる複数の第１開口部を含むことができる。
【０１８６】
前記第１電極１５０に提供された前記複数の第１開口部は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上部面を露出させることができる。前記第１電極１５０に提供された前記複数の第１開口部は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上部面を露出させることができる。前記第１電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第１導電型DBR層と電気的に連結されてもよい。
【０１８７】
前記第２電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。前記第２電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。前記第２電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上部面に配置されてもよい。例えば、前記第２電極１５０の下部面が前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０１８８】
前記第１ボンディングパッド１５５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…と離隔して配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド１５５は、前記第１電極１５０と電気的に連結されてもよい。
【０１８９】
実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第１導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。
【０１９０】
前記第２ボンディングパッド１６５は、前記第１ボンディングパッド１５５と離隔して配置されてもよい。前記第２ボンディングパッド１６５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド１６５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上部面に配置されてもよい。
【０１９１】
実施例によれば、前記第２電極１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上部面と前記第２ボンディングパッド１６５の間に配置されてもよい。前記第２電極１６０は、前記第２ボンディングパッド１６５と前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の間のオーミック特性を向上させることができる。
【０１９２】
例えば、前記第２電極１６０は、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、Hf、Ti、W、Crおよびこれらのうち２以上の合金から構成された物質を含むグループから選択された物質からなることができる。前記第２電極１６０は、一つの層または複数の層に形成されてもよい。
【０１９３】
また、実施例に係る半導体素子２００は、図１に示されたように、複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４を含むことができる。前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、第１導電型DBR層、活性層、第２導電型DBR層を含むことができる。また、前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４のうち前記第１ダミー発光構造物Ｄ１の上部と前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上部には、前記第１ボンディングパッド１５５が配置されてもよい。
【０１９４】
前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、前記第２ボンディングパッド１６５から離隔して配置されてもよい。例えば、第１ダミー発光構造物Ｄ１の上部領域に前記第１ボンディングパッド１５５が配置されてもよい。
【０１９５】
前記第１ダミー発光構造物Ｄ１は、第１導電型DBR層１１３、第２導電型DBR層１１９を含むことができる。また、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１は、活性層１１６とアパーチャー層１１８を含むことができる。
【０１９６】
実施例に係る半導体素子２００は、図７に示されたように、パッド電極１５３を含むことができる。前記パッド電極１５３は、前記第１電極１５０と電気的に連結されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間に配置された前記第１電極１５０から延長されて配置されてもよい。
【０１９７】
前記パッド電極１５３は、前記第１導電型DBR層１１３に電気的に連結されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記活性層１１６に電気的に連結されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記第２導電型DBR層１１９に電気的に連結されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記第１導電型DBR層１１３と前記第２導電型DBR層１１９に電気的に共通連結されてもよい。これによって、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１は、光を生成しなくてもよい。
【０１９８】
実施例によれば、前記パッド電極１５３の上に前記第１ボンディングパッド１５５が配置されてもよい。前記パッド電極１５３の側面に前記絶縁層１４０が配置されてもよい。前記絶縁層１４０によって露出された前記パッド電極１５３の上部面に前記第１ボンディングパッド１５５が配置されてもよい。
【０１９９】
また、前記絶縁層１４０は、前記第１発光構造物Ｐ１の周りと第２発光構造物Ｐ２の周りで、前記第１電極１５０の上部面と前記第２ボンディングパッド１６５の下部面の間に配置されてもよい。
【０２００】
実施例によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上部面に前記第２ボンディングパッド１６５が接触して配置されてもよい。また、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第１導電型DBR層に前記第１電極１５０が連結されて配置され、前記第１電極１５０から延長された前記パッド電極１５３の上に前記第１ボンディングパッド１５５が接触して配置されてもよい。これによって、前記第１ボンディングパッド１５５および前記第２ボンディングパッド１６５を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…で発生した熱が外部に効果的に放出される。
【０２０１】
一方、一般的な半導体素子の場合、発光構造物で発生した熱によって電力変換効率(PCE：Power Conversion Efficiency)が著しく低下すると知られている。そして、下部に配置された基板を介して発光構造物に電源が提供される場合、一般的に基板を介して熱放出がなされる。ところが、基板の熱伝導率が低いので、発光構造物で発生した熱を外部に放出され難くなる。例えば、GaAs基板の場合、熱伝導率が５２W/(m*K)として低いと知られている。
【０２０２】
ところが、実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１５５と前記第２ボンディングパッド１６５を介して外部の放熱基板等に連結されるので、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…で発生した熱を外部に効果的に放出できるようになる。従って、実施例によれば、半導体素子２００で発生した熱を外部に効果的に排出できるので、電力変化効率(PCE)が向上する。
【０２０３】
一方、実施例に係る半導体素子２００によれば、以上で説明したように、前記半導体素子２００の下部方向に光が放出されるように具現されてもよい。実施例に係る半導体素子２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の下部領域に提供された第１導電型DBR層の反射率が上部領域に提供された第２導電型DBR層の反射率より小さく選択されてもよい。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…で生成した光が前記半導体素子２００の基板１０５の方向に放出されることになる。
【０２０４】
また、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記絶縁層１４０がDBR層からなることができる。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…で生成した光が上部に配置された前記絶縁層１４０に反射されて下部方向に効果的に抽出される。
【０２０５】
例えば、前記絶縁層１４０は、SiO2とTiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記絶縁層１４０は、Ta2O3とSiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記絶縁層１４０は、SiO2とSi3N4が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。
【０２０６】
一方、従来の半導体素子において、基板を介して発光構造物に電源を提供する場合、基板が導電性である必要がある。これによって、導電性半導体基板が適用される場合、導電性を向上させるために基板にドーパントが添加される。ところが、基板に添加されたドーパントは、放出される光に対する吸収および散乱(Absorption and Scattering)現象を生じさせるので、電力変換効率(PCE)を低下させる原因となる。
【０２０７】
ところが、実施例に係る半導体素子２００によれば、以上で説明したように、前記基板１０５が導電性基板である必要がないので、前記基板１０５に別途のドーパントが添加されなくてもよい。これによって、実施例に係る前記基板１０５にドーパントが添加されなくてもよいので、前記基板１０５においてドーパントによる吸収および散乱が発生する現象を減らすことができる。従って、実施例によれば、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…で発生した光を下部方向に効果的に提供することができ、電力変換効率(PCE)が向上する。
【０２０８】
また、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記第１ボンディングパッド１５５に連結された前記第１電極１５０と前記第２ボンディングパッド１６５に連結された前記第２電極１６０によって前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の間に電流拡散が効率的に行われる。これによって、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…において電流の密集なく電流が効率的に拡散され、光抽出効率が向上する。
【０２０９】
一方、図８は本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。以下、図８を参照して実施例に係る半導体素子のさらに別の例を説明する際に、以上の図１〜図７を参照して説明した半導体素子の内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０２１０】
実施例に係る半導体素子２００は、図８に示されたように、図１および図２を参照して説明した実施例に係る半導体素子に比べて、第１ボンディングパッド１５５が提供された領域において、構成要素間の配置に差異点がある。
【０２１１】
本発明の実施例に係る半導体素子２００は、図８に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…、第１電極１５０、第１ボンディングパッド１５５、第２ボンディングパッド１６５を含むことができる。
【０２１２】
前記第１電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の間に配置されてもよい。前記第１電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…を露出させる複数の第１開口部を含むことができる。
【０２１３】
前記第１電極１５０に提供された前記複数の第１開口部は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上部面を露出させることができる。前記第１電極１５０に提供された前記複数の第１開口部は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上部面を露出させることができる。前記第１電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第１導電型DBR層と電気的に連結されてもよい。
【０２１４】
前記第２電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。前記第２電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。前記第２電極１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上部面に配置されてもよい。例えば、前記第２電極１５０の下部面が前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０２１５】
前記第１ボンディングパッド１５５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…と離隔して配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド１５５は、前記第１電極１５０と電気的に連結されてもよい。
【０２１６】
実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第１導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。
【０２１７】
前記第２ボンディングパッド１６５は、前記第１ボンディングパッド１５５と離隔して配置されてもよい。前記第２ボンディングパッド１６５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド１６５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上部面に配置されてもよい。
【０２１８】
実施例に係る半導体素子２００は、図８に示されたように、パッド電極１５３を含むことができる。前記パッド電極１５３は、前記第１電極１５０と電気的に連結されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間に配置された前記第１電極１５０から延長されて配置されてもよい。
【０２１９】
前記パッド電極１５３は、前記第１導電型DBR層１１３に電気的に連結されてもよい。前記パッド電極１５３は、前記第１導電型DBR層１１３の上に配置されてもよい。例えば、前記パッド電極１５３の下部面が前記第１導電型DBR層１１３の上部面の上に直接接触して配置されてもよい。
【０２２０】
実施例に係る半導体素子２００によれば、図８に示されたように、前記パッド電極１５３の上部面が前記第１電極１５０の上部面と同一平面に配置されてもよい。即ち、前記パッド電極１５３と前記第１電極１５０が段差なく配置されてもよい。従って、実施例によれば、段差領域で発生し得る前記パッド電極１５３または前記第１電極１５０の損傷を防止できる。
【０２２１】
実施例によれば、前記パッド電極１５３の上に前記第１ボンディングパッド１５５が配置されてもよい。例えば、前記パッド電極１５３の一部領域上に前記絶縁層１４０が配置されてもよい。前記絶縁層１４０によって露出された前記パッド電極１５３の上部面に前記第１ボンディングパッド１５５が配置されてもよい。
【０２２２】
また、前記絶縁層１４０は、前記第１発光構造物Ｐ１の周りと第２発光構造物Ｐ２の周りで、前記第１電極１５０の上部面と前記第２ボンディングパッド１６５の下部面の間に配置されてもよい。
【０２２３】
実施例によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上部面に前記第２ボンディングパッド１６５が接触して配置されてもよい。また、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第１導電型DBR層に前記第１電極１５０が連結されて配置され、前記第１電極１５０から延長された前記パッド電極１５３の上に前記第１ボンディングパッド１５５が接触して配置されてもよい。これによって、前記第１ボンディングパッド１５５および前記第２ボンディングパッド１６５を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…で発生した熱が外部に効果的に放出される。
【０２２４】
一方、一般的な半導体素子の場合、発光構造物で発生した熱によって電力変換効率(PCE：Power Conversion Efficiency)が著しく低下すると知られている。そして、下部に配置された基板を介して発光構造物に電源が提供される場合、一般的に基板を介して熱放出がなされる。ところが、基板の熱伝導率が低いので、発光構造物で発生した熱を外部に放出され難くなる。例えば、GaAs基板の場合、熱伝導率が５２W/(m*K)として低いと知られている。
【０２２５】
ところが、実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１５５と前記第２ボンディングパッド１６５を介して外部の放熱基板等に連結されるので、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…で発生した熱を外部に効果的に放出できるようになる。従って、実施例によれば、半導体素子２００で発生した熱を外部に効果的に排出できるので、電力変化効率(PCE)が向上する。
【０２２６】
一方、実施例に係る半導体素子２００によれば、以上で説明したように、前記半導体素子２００の下部方向に光が放出されるように具現されてもよい。実施例に係る半導体素子２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の下部領域に提供された第１導電型DBR層の反射率が上部領域に提供された第２導電型DBR層の反射率より小さく選択されてもよい。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…で生成した光が前記半導体素子２００の基板１０５の方向に放出されることになる。
【０２２７】
また、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記絶縁層１４０がDBR層からなることができる。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…で生成した光が上部に配置された前記絶縁層１４０に反射されて下部方向に効果的に抽出される。
【０２２８】
例えば、前記絶縁層１４０は、SiO2とTiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記絶縁層１４０は、Ta2O3とSiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記絶縁層１４０は、SiO2とSi3N4が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。
【０２２９】
一方、従来の半導体素子において、基板を介して発光構造物に電源を提供する場合、基板が導電性である必要がある。これによって、導電性半導体基板が適用される場合、導電性を向上させるために基板にドーパントが添加される。ところが、基板に添加されたドーパントは、放出される光に対する吸収および散乱(Absorption and Scattering)現象を生じさせるので、電力変換効率(PCE)を低下させる原因となる。
【０２３０】
ところが、実施例に係る半導体素子２００によれば、以上で説明したように、前記基板１０５が導電性基板である必要がないので、前記基板１０５に別途のドーパントが添加されなくてもよい。これによって、実施例に係る前記基板１０５にドーパントが添加されなくてもよいので、前記基板１０５においてドーパントによる吸収および散乱が発生する現象を減らすことができる。従って、実施例によれば、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…で発生した光を下部方向に効果的に提供することができ、電力変換効率(PCE)が向上する。
【０２３１】
また、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記第１ボンディングパッド１５５に連結された前記第１電極１５０と前記第２ボンディングパッド１６５によって前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の間に電流拡散が効率的に行われる。これによって、実施例に係る半導体素子２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…において電流の密集なく電流が効率的に拡散され、光抽出効率が向上する。
【０２３２】
一方、図９は本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。以下、図９を参照して実施例に係る半導体素子の別の例を説明する際に、以上の図１〜図８を参照して説明した半導体素子の内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０２３３】
実施例に係る半導体素子２００は、図９に示されたように、図１および図２を参照して説明した実施例に係る半導体素子に比べて、第１ボンディングパッド１５５の提供位置に差がある。実施例によれば、図９に示されたように、前記第１ボンディングパッド１５５が第２ボンディングパッド１６５の一面にのみ配置されてもよい。
【０２３４】
図１および図２を参照して説明した半導体素子の場合、前記第２ボンディングパッド１６５の両側面に第１ボンディングパッド１５５が提供された。これによって、第１ボンディングパッド１５５が配置される領域だけ発光構造物が形成されない損失が発生する。
【０２３５】
ところが、実施例に係る半導体素子２００によれば、図９に示されたように、前記第１ボンディングパッド１５５が前記第２ボンディングパッド１６５の一面にのみ提供されるので、基板上部の外縁領域に第１ボンディングパッド１５５を形成するための空間が縮小する。これによって、実施例に係る半導体素子２００によれば、半導体素子が形成される基板の面積を減らすことができるので、ウェハの同一面積における製造できる半導体素子の個数を増やすことができる。
【０２３６】
次に、図１０〜図１３を参照して、本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を説明する。図１０は本発明の実施例に係る半導体素子を示した図面であり、図１１は図１０に示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図１２は図１０に示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図１３は図１０に示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０２３７】
図１０〜図１３を参照して実施例に係る半導体素子を説明する際に、以上で説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０２３８】
一方、理解を助けるために、図１０の図示において、下部に位置した構成要素の配置関係を容易に把握できるように、上部に配置された第１ボンディングパッド１１５５と第２ボンディングパッド１１６５は透明に処理された。
【０２３９】
本発明の実施例に係る半導体素子１２００は、図１０〜図１３に示されたように、基板１１０５、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…、第１電極１１５０、第２電極１１６０、第１ボンディングパッド１１５５、第２ボンディングパッド１１６５を含むことができる。
【０２４０】
実施例に係る半導体素子１２００は、VCSELからなることができ、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で生成した光を、例えば１５度〜２５度程度のビーム画角で放出することができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…のそれぞれは、第１導電型DBR(Distributed Bragg Reflector)層、活性層、第２導電型DBR層を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…のそれぞれは、類似する構造を有することができ、図１０に示されたＡ‐Ａ線、Ｂ‐Ｂ線、Ｃ‐Ｃ線断面を参照して実施例に係る半導体素子１２００を説明する。
【０２４１】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０〜図１３に示されたように、前記基板１１０５を含むことができる。前記基板１１０５は下部面に提供された凹凸構造を含むことができる。前記基板１１０５の上に複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…が配置されてもよい。
【０２４２】
例えば、前記基板１１０５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…が成長できる成長基板であってもよい。例えば、前記基板１１０５は、真性半導体基板であってもよい。
【０２４３】
実施例によれば、前記基板１１０５に提供された凹凸構造は、前記基板１１０５の下部面から上部方向にリセスされた複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…を含むことができる。前記基板１１０５に提供された凹凸構造に対しては、後でさらに説明する。
【０２４４】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１１に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…のうち一部発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…が配置された領域の上部には、前記第１ボンディングパッド１１５５が配置されてもよい。また、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…のうち一部発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ５、…が配置された領域の上部には、前記第２ボンディングパッド１１６５が配置されてもよい。
【０２４５】
前記第１ボンディングパッド１１５５と前記第２ボンディングパッド１１６５は、相互離隔して配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第１電極１１５０に電気的に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５の下に前記第１電極１１５０が配置されてもよい。例えば、前記第１ボンディングパッド１１５５の下部面が前記第１電極１１５０の上部面に直接接触して配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。
【０２４６】
前記第２ボンディングパッド１１６５は、前記第２電極１１６０に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド１１６５の下に前記第２電極１１６０が配置されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド１１６５の下部面が前記第２電極１１６０の上部面に直接接触して配置されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。
【０２４７】
実施例によれば、前記第１電極１１５０は、前記第１ボンディングパッド１１５５の下と前記第２ボンディングパッド１１６５の下に両方とも配置されてもよい。また、前記第２電極１１６０は、前記第１ボンディングパッド１１５５の下と前記第２ボンディングパッド１１６５の下に両方とも配置されてもよい。前記第１電極１１５０と前記第１ボンディングパッド１１５５の間の電気的連結関係および前記第２電極１１６０と前記第２ボンディングパッド１１６５の間の電気的連結関係は、後でさらに説明する。
【０２４８】
まず、図１０および図１１を参照して、前記第２ボンディングパッド１１６５の下に配置された第１発光構造物Ｐ１と第２発光構造物Ｐ２を中心に実施例に係る半導体素子１２００を説明する。図１１は図１０に示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図である。
【０２４９】
実施例に係る半導体素子１２００は、前記第２ボンディングパッド１１６５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…は、光を放出する発光アパーチャー１１３０ａ、１１３０ｂ、…をそれぞれ含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…は、相互離隔して配置されてもよい。例えば、前記発光アパーチャー１１３０ａ、１１３０ｂ、…は、数μｍ〜数十μｍの直径で提供されてもよい。
【０２５０】
前記第１発光構造物Ｐ１は、第１導電型の第１DBR層１１１０ａ、第２導電型の第２DBR層１１２０ａ、第１活性層１１１５ａを含むことができる。前記第１活性層１１１５ａは、前記第１DBR層１１１０ａと前記第２DBR層１１２０ａの間に配置されてもよい。例えば、前記第１活性層１１１５ａが前記第１DBR層１１１０ａの上に配置され、前記第２DBR層１１２０ａが前記第１活性層１１１５ａの上に配置されてもよい。前記第１発光構造物Ｐ１は、前記第１活性層１１１５ａと前記第２DBR層１１２０ａの間に配置された第１アパーチャー層１１１７ａをさらに含むことができる。
【０２５１】
前記第２発光構造物Ｐ２は、第１導電型の第３DBR層１１１０ｂ、第２導電型の第４DBR層１１２０ｂ、第２活性層１１１５ｂを含むことができる。前記第２活性層１１１５ｂは、前記第３DBR層１１１０ｂと前記第４DBR層１１２０ｂの間に配置されてもよい。例えば、前記第２活性層１１１５ｂが前記第３DBR層１１１０ｂの上に配置され、前記第４DBR層１１２０ｂが前記第２活性層１１１５ｂの上に配置されてもよい。前記第２発光構造物Ｐ２は、前記第２活性層１１１５ｂと前記第４DBR層１１２０ｂの間に配置された第２アパーチャー層１１１７ｂをさらに含むことができる。
【０２５２】
また、前記第１発光構造物Ｐ１の前記第１DBR層１１１０ａと前記第２発光構造物Ｐ２の前記第３DBR層１１１０ｂの間に第１導電型DBR層１１１３が配置されてもよい。前記第１DBR層１１１０ａと前記第３DBR層１１１０ｂは、前記第１導電型DBR層１１１３によって物理的に連結されてもよい。例えば、前記第１導電型DBR層１１１３の上部面と前記第１DBR層１１１０ａの上部面が同一水平面に配置されてもよい。前記第１導電型DBR層１１１３の上部面と前記第３DBR層１１１０ｃの上部面が同一水平面に配置されてもよい。
【０２５３】
また、前記第１発光構造物Ｐ１の前記第１活性層１１１５ａと前記第２発光構造物Ｐ２の前記第２活性層１１１５ｂは、相互離隔して配置されてもよい。また、前記第１発光構造物Ｐ１の前記第２DBR層１１２０ａと前記第２発光構造物Ｐ２の前記第４DBR層１１２０ｂは、相互離隔して配置されてもよい。
【０２５４】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１１に示されたように、下部面に凹凸構造が提供された基板１１０５を含むことができる。前記基板１１０５は、例えば第１凹部Ｒ１と第２凹部Ｒ２を含むことができる。
【０２５５】
前記第１凹部Ｒ１は、前記基板１１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１は、前記第１発光構造物Ｐ１と重なって配置されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第１発光構造物Ｐ１は、前記基板１１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０２５６】
前記第２凹部Ｒ２は、前記基板１１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記第２凹部Ｒ２は、前記第２発光構造物Ｐ２と重なって配置されてもよい。前記第２凹部Ｒ２と前記第２発光構造物Ｐ２は、前記基板１１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０２５７】
実施例によれば、前記第１凹部Ｒ１の幅は、前記第１発光構造物Ｐ１に提供された前記第１発光アパーチャー１１３０ａの幅に対応して提供されてもよい。また、前記第１凹部Ｒ１の幅は、前記第１発光構造物Ｐ１に提供された前記第１発光アパーチャー１１３０ａの直径に対応して提供されてもよい。例えば、前記第１発光アパーチャー１１３０ａは、前記第１発光構造物Ｐ１の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０２５８】
また、前記第２凹部Ｒ２の幅は、前記第２発光構造物Ｐ２に提供された前記第２発光アパーチャー１１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。前記第２凹部Ｒ２の幅は、前記第２発光構造物Ｐ２に提供された前記第２発光アパーチャー１１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。例えば、前記第２発光アパーチャー１１３０ｂは、前記第２発光構造物Ｐ２の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０２５９】
前記基板１１０５の厚さｔ１は、数十μｍ〜数百μｍに提供されてもよい。前記基板１１０５の厚さｔ１は、例えば１００μｍ〜１１０μｍに提供されてもよい。
【０２６０】
前記基板１１０５の厚さｔ１が１００μｍより小さい場合には、前記基板１１０５の上に配置された構成要素を安定的に支持できず、半導体素子の信頼性が低下することになる。また、前記基板１１０５の厚さｔ１が１１０μｍより大きい場合には、半導体素子の大きさが厚くなる短所がある。
【０２６１】
前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ２は、数μｍ〜数十μｍに提供されてもよい。例えば、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ２は５μｍ〜２０μｍに提供されてもよい。
【０２６２】
前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ２が５μｍより小さい場合には、前記第１凹部Ｒ１および前記第２凹部Ｒ２によって提供される光抽出効果の増加が微小となる。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ２が２０μｍより大きい場合には、前記第１凹部Ｒ１および前記第２凹部Ｒ２によって提供される光抽出効果は著しくなるが、工程時間が増加する短所がある。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ２が２０μｍより大きい場合には、前記基板１１０５の上に配置された構成要素を安定的に支持できず、半導体素子の信頼性が低下することになる。
【０２６３】
また、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ１は、数十μｍに提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ１は、例えば６μｍ〜１５μｍに提供されてもよい。
【０２６４】
例えば、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ１は、前記第１発光アパーチャー１１３０ａの幅と前記第２発光アパーチャー１１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２から放出される光は、下部方向に方向性を持って放出される。従って、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ１は、光が伝播する領域に提供されるように形成されてもよい。
【０２６５】
別の実施例によれば、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ１は、前記第１発光アパーチャー１１３０ａおよび前記第２発光アパーチャー１１３０ｂの直径より数μｍ大きく提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の形成に対する工程誤差を考慮して、複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…と複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２の間の整列が安定的に行われるようにするためである。例えば、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ１は８μｍ〜２５μｍに提供されてもよい。
【０２６６】
例えば、前記第１凹部Ｒ１は、前記第１発光構造物Ｐ１の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。また、前記第２凹部Ｒ２は、前記第２発光構造物Ｐ２の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の上部面は、例えば平面形状に提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の上部面は、例えば前記基板１１０５の上部面に平行するように提供されてもよい。
【０２６７】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１１に示されたように、第１絶縁層１１４１を含むことができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第１発光構造物Ｐ１の側面に配置されてもよい。前記第１絶縁層１１４１は、前記第１発光構造物Ｐ１の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。前記第１絶縁層１１４１は、前記第２発光構造物Ｐ２の側面に配置されてもよい。前記第１絶縁層１１４１は、前記第２発光構造物Ｐ２の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。
【０２６８】
また、前記第１絶縁層１１４１は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間に配置されてもよい。前記第１絶縁層１１４１は、前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置されてもよい。
【０２６９】
前記第１絶縁層１１４１は、前記第１発光構造物Ｐ１の上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第１発光構造物Ｐ１の前記第２DBR層１１２０ａの上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第２発光構造物Ｐ２の上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第２発光構造物Ｐ２の前記第４DBR層１１２０ｂの上部面を露出させることができる。
【０２７０】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１１に示されたように、第１電極１１５０を含むことができる。前記第１電極１１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の周りに配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…を露出させる複数の開口部を含むことができる。前記第１電極１１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５…をなす複数の第１導電型DBR層に共通で連結されてもよい。
【０２７１】
前記第１電極１１５０は、前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第１DBR層１１１０ａと電気的に連結されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第３DBR層１１１０ｂと電気的に連結されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第１絶縁層１１４１の下に配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間の領域で前記第１絶縁層１１４１の下に配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間の領域で前記第１絶縁層１１４１と前記第１導電型DBR層１１１３の間に配置されてもよい。
【０２７２】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１１に示されたように、第２電極１１６０を含むことができる。前記第２電極１１６０は、前記第１絶縁層１１４１の上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面に配置された上部電極１１６０ａと、前記上部電極１１６０ａを連結する連結電極１１６０ｂを含むことができる。前記第２電極１１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…をなす複数の第２導電型DBR層に共通で連結されてもよい。
【０２７３】
前記第２電極１１６０は、前記第１発光構造物Ｐ１の側面に配置されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記第１発光構造物Ｐ１の上部面の上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａは、前記第１発光構造物Ｐ１の前記第２DBR層１１２０ａの上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａは、前記第２DBR層１１２０ａの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０２７４】
また、前記第２電極１１６０は、前記第２発光構造物Ｐ２の側面に配置されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記第２発光構造物Ｐ２の上部面の上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａは、前記第２発光構造物Ｐ２の前記第４DBR層１１２０ｂの上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａは、前記第４DBR層１１２０ｂの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０２７５】
前記第２電極１１６０は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間に配置されてもよい。前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂは、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間の領域で前記第１絶縁層１１４１の上に配置されてもよい。
【０２７６】
実施例に係る前記第２電極１１６０は、図１０に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の上部面を連結させることができる。前記第２電極１１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…のそれぞれの第２導電型DBR層に物理的に連結されてもよい。即ち、前記第２電極１１６０は、前記第２ボンディングパッド１１６５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上部面のみならず、前記第１ボンディングパッド１１５５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の上部面にも物理的に連結されてもよい。
【０２７７】
例えば、前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂは、図１０に示されたように、一定線幅を有する線状に提供されてもよい。勿論、適用される実施例に応じて、前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂの形状は多様に変形することができる。
【０２７８】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１１に示されたように、第２絶縁層１１４２を含むことができる。前記第２絶縁層１１４２は、前記第２電極１１６０の上に配置されてもよい。
【０２７９】
前記第２絶縁層１１４２は、前記第１発光構造物Ｐ１の周りに配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第１発光構造物Ｐ１の周りで、前記第２電極１１６０の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第２発光構造物Ｐ２の周りに配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第２発光構造物Ｐ２の周りで、前記第２電極１１６０の上に配置されてもよい。
【０２８０】
また、前記第２絶縁層１１４２は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間に配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間で前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂの上に配置されてもよい。
【０２８１】
前記第２絶縁層１１４２は、前記第１発光構造物Ｐ１の上部面に配置された前記第２電極１１６０の上部面を露出させることができる。前記第２絶縁層１１４２は、前記第２DBR層１１２０ａの上部面に配置された前記上部電極１１６０ａの上部面を露出させることができる。前記第２絶縁層１１４２は、前記第２発光構造物Ｐ２の上部面に配置された前記第２電極１１６０の上部面を露出させることができる。前記第２絶縁層１１４２は、前記第４DBR層１１２０ｂの上部面に配置された前記上部電極１１６０ａの上部面を露出させることができる。
【０２８２】
実施例に係る前記第２絶縁層１１４２は、図１０に示されたように、前記第１ボンディングパッド１１５５が配置された領域では、複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の間に配置された前記第１電極１１５０の上部面が露出するように提供されてもよい。また、前記第２絶縁層１１４２は、前記第２ボンディングパッド１１６５が配置された領域では、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上に配置された前記第２電極１１６０の上部面が露出するように提供されてもよい。
【０２８３】
また、実施例によれば、前記第２絶縁層１１４２は、前記第２ボンディングパッド１１６５が配置された領域で、複数の発光構造物を物理的に連結する前記第２電極１１６０の上部面が露出するように配置されてもよい。このとき、前記第１導電型DBR層１１１３の上部に配置された線状の前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂが選択的に露出されるように、前記第２絶縁層１１４２が配置されてもよい。例えば、第１発光構造物Ｐ１と第２発光構造物Ｐ２を連結する前記連結電極１１６０ｂの上部面の上には、前記第２電極１１６０が露出しないように、前記第２絶縁層１１４２が配置されてもよい。また、第１発光構造物Ｐ１と第５発光構造物Ｐ５を連結する前記連結電極１１６０ｂの上部面が露出するように、前記第２絶縁層１１４２が配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２の形成については、実施例に係る半導体素子の製造方法を説明しながら、さらに説明するようにする。
【０２８４】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１１に示されたように、第１ボンディングパッド１１５５と第２ボンディングパッド１１６５を含むことができる。実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド１１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。
【０２８５】
前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第２絶縁層１１４２の上に配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第１電極１１５０に電気的に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５は、図１０に示されたように、前記第１絶縁層１１４１と前記第２絶縁層１１４２を介して露出した前記第１電極１１５０に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５は、第３発光構造物Ｐ３の周辺と第４発光構造物Ｐ４の周辺で、前記第１絶縁層１１４１と前記第２絶縁層１１４２を介して露出した前記第１電極１１５０の上部面に直接接触することができる。
【０２８６】
前記第２ボンディングパッド１１６５は、前記第２絶縁層１１４２の上に配置されてもよい。前記第２ボンディングパッド１１６５は、前記第１発光構造物Ｐ１の上部面に配置された前記第２電極１１６０に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド１１６５は、前記第２DBR層１１２０ａの上に配置された前記上部電極１１６０ａの上部面に直接接触して配置されてもよい。また、前記第２ボンディングパッド１１６５は、前記第２発光構造物Ｐ２の上部面に配置された前記第２電極１１６０に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド１１６５は、前記第４DBR層１１２０ｂの上に配置された前記上部電極１１６０ａの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０２８７】
次に、図１０および図１２を参照して、前記第１ボンディングパッド１１５５の下に配置された第３発光構造物Ｐ３と第４発光構造物Ｐ４を中心に実施例に係る半導体素子１２００をより詳しく説明する。図１２は図１０に示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図である。図１０および図１２を参照して実施例に係る半導体素子を説明する際に、以上で説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。実施例に係る半導体素子１２００は、前記第１ボンディングパッド１１５５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…は、光を放出する発光アパーチャー１１３０ｃ、１１３０ｄ、…をそれぞれ含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…は、相互離隔して配置されてもよい。例えば、前記発光アパーチャー１１３０ｃ、１１３０ｄ、…は、数μｍ〜数十μｍの直径で提供されてもよい。
【０２８８】
前記第３発光構造物Ｐ３は、第１導電型の第５DBR層１１１０ｃ、第２導電型の第６DBR層１１２０ｃ、第３活性層１１１５ｃを含むことができる。前記第３活性層１１１５ｃは、前記第５DBR層１１１０ｃと前記第６DBR層１１２０ｃの間に配置されてもよい。例えば、前記第３活性層１１１５ｃが前記第５DBR層１１１０ｃの上に配置され、前記第６DBR層１１２０ｃが前記第３活性層１１１５ｃの上に配置されてもよい。前記第３発光構造物Ｐ３は、前記第３活性層１１１５ｃと前記第６DBR層１１２０ｃの間に配置された第３アパーチャー層１１１７ｃをさらに含むことができる。
【０２８９】
前記第４発光構造物Ｐ４は、第１導電型の第７DBR層１１１０ｄ、第２導電型の第８DBR層１１２０ｄ、第４活性層１１１５ｄを含むことができる。前記第４活性層１１１５ｄは、前記第７DBR層１１１０ｄと前記第８DBR層１１２０ｄの間に配置されてもよい。例えば、前記第４活性層１１１５ｄが前記第７DBR層１１１０ｄの上に配置され、前記第８DBR層１１２０ｄが前記第４活性層１１１５ｄの上に配置されてもよい。前記第４発光構造物Ｐ４は、前記第４活性層１１１５ｄと前記第８DBR層１１２０ｄの間に配置された第４アパーチャー層１１１７ｄをさらに含むことができる。
【０２９０】
また、前記第３発光構造物Ｐ３の前記第５DBR層１１１０ｃと前記第４発光構造物Ｐ４の前記第７DBR層１１１０ｄの間に前記第１導電型DBR層１１１３が配置されてもよい。前記第５DBR層１１１０ｃと前記第７DBR層１１１０ｄは、前記第１導電型DBR層１１１３によって物理的に連結されてもよい。例えば、前記第１導電型DBR層１１１３の上部面と前記第５DBR層１１１０ｃの上部面が同一水平面に配置されてもよい。前記第１導電型DBR層１１１３の上部面と前記第７DBR層１１１０ｄの上部面が同一水平面に配置されてもよい。
【０２９１】
また、前記第３発光構造物Ｐ３の前記第３活性層１１１５ｃと前記第４発光構造物Ｐ４の前記第４活性層１１１５ｄは、相互離隔して配置されてもよい。また、前記第３発光構造物Ｐ３の前記第６DBR層１１２０ｃと前記第４発光構造物Ｐ４の前記第８DBR層１１２０ｄは、相互離隔して配置されてもよい。
【０２９２】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１２に示されたように、下部面に凹凸構造が提供された基板１１０５を含むことができる。前記基板１１０５は、例えば第３凹部Ｒ３と第４凹部Ｒ４を含むことができる。
【０２９３】
前記第３凹部Ｒ３は、前記基板１１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記第３凹部Ｒ３は、前記第３発光構造物Ｐ３と重なって配置されてもよい。前記第３凹部Ｒ３と前記第３発光構造物Ｐ３は、前記基板１１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０２９４】
前記第４凹部Ｒ４は、前記基板１１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記第４凹部Ｒ４は、前記第４発光構造物Ｐ４と重なって配置されてもよい。前記第４凹部Ｒ４と前記第４発光構造物Ｐ４は、前記基板１１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０２９５】
実施例によれば、前記第３凹部Ｒ３の幅は、前記第３発光構造物Ｐ３に提供された前記第３発光アパーチャー１１３０ｃの幅に対応して提供されてもよい。また、前記第３凹部Ｒ３の幅は、前記第３発光構造物Ｐ３に提供された前記第３発光アパーチャー１１３０ｃの直径に対応して提供されてもよい。例えば、前記第３発光アパーチャー１１３０ｃは、前記第３発光構造物Ｐ３の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０２９６】
また、前記第４凹部Ｒ４の幅は、前記第４発光構造物Ｐ４に提供された前記第４発光アパーチャー１１３０ｄの幅に対応して提供されてもよい。また、前記第４凹部Ｒ４の幅は、前記第４発光構造物Ｐ４に提供された前記第４発光アパーチャー１１３０ｄの直径に対応して提供されてもよい。例えば、前記第４発光アパーチャー１１３０ｄは、前記第４発光構造物Ｐ４の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０２９７】
前記基板１１０５の厚さｔ１は、数十μｍ〜数百μｍに提供されてもよい。前記基板１１０５の厚さｔ１は、例えば１００μｍ〜１１０μｍに提供されてもよい。
【０２９８】
前記第３凹部Ｒ３と前記第４凹部Ｒ４の深さｔ２は、数μｍ〜数十μｍに提供されてもよい。例えば、前記第３凹部Ｒ３と前記第４凹部Ｒ４の深さｔ２は５μｍ〜２０μｍに提供されてもよい。
【０２９９】
また、前記第３凹部Ｒ３と前記第４凹部Ｒ４の幅ｗ１は、数十μｍに提供されてもよい。前記第３凹部Ｒ３と前記第４凹部Ｒ４の幅ｗ１は、例えば６μｍ〜１５μｍに提供されてもよい。
【０３００】
別の実施例によれば、前記第３凹部Ｒ３と前記第４凹部Ｒ４の幅ｗ１は、前記第３発光アパーチャー１１３０ｃおよび前記第４発光アパーチャー１１３０ｄの直径より数μｍ大きく提供されてもよい。例えば、前記第３凹部Ｒ３と前記第４凹部Ｒ４の幅ｗ１は８μｍ〜２５μｍに提供されてもよい。
【０３０１】
例えば、前記第３凹部Ｒ３は、前記第３発光構造物Ｐ３の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。また、前記第４凹部Ｒ４は、前記第４発光構造物Ｐ４の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。前記第３凹部Ｒ３と前記第４凹部Ｒ４の上部面は、例えば平面形状に提供されてもよい。前記第３凹部Ｒ３と前記第４凹部Ｒ４の上部面は、例えば前記基板１１０５の上部面に平行するように提供されてもよい。
【０３０２】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１２に示されたように、第１絶縁層１１４１を含むことができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第３発光構造物Ｐ３の側面に配置されてもよい。前記第１絶縁層１１４１は、前記第３発光構造物Ｐ３の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。前記第１絶縁層１１４１は、前記第４発光構造物Ｐ４の側面に配置されてもよい。前記第１絶縁層１１４１は、前記第４発光構造物Ｐ４の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。
【０３０３】
また、前記第１絶縁層１１４１は、前記第３発光構造物Ｐ３と前記第４発光構造物Ｐ４の間に配置されてもよい。前記第１絶縁層１１４１は、前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置されてもよい。
【０３０４】
前記第１絶縁層１１４１は、前記第３発光構造物Ｐ３の上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第３発光構造物Ｐ３の前記第６DBR層１１２０ｃの上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第４発光構造物Ｐ４の上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第４発光構造物Ｐ４の前記第８DBR層１１２０ｄの上部面を露出させることができる。
【０３０５】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１２に示されたように、第１電極１１５０を含むことができる。前記第１電極１１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の周りに配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…を露出させる複数の開口部を含むことができる。
【０３０６】
前記第１電極１１５０は、前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第５DBR層１１１０ｃと電気的に連結されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第７DBR層１１１０ｄと電気的に連結されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第１絶縁層１１４１の下に配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第３発光構造物Ｐ３と前記第４発光構造物Ｐ４の間の領域で前記第１絶縁層１１４１の下に配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第３発光構造物Ｐ３と前記第４発光構造物Ｐ４の間の領域で前記第１絶縁層１１４１と前記第１導電型DBR層１１１３の間に配置されてもよい。
【０３０７】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１２に示されたように、第２電極１１６０を含むことができる。前記第２電極１１６０は、前記第１絶縁層１１４１の上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面に配置された上部電極１１６０ａと、前記上部電極１１６０ａを連結する連結電極１１６０ｂを含むことができる。
【０３０８】
前記第２電極１１６０は、前記第３発光構造物Ｐ３の側面に配置されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記第３発光構造物Ｐ３の上部面の上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａは、前記第３発光構造物Ｐ３の前記第６DBR層１１２０ｃの上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａは、前記第６DBR層１１２０ｃの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０３０９】
また、前記第２電極１１６０は、前記第４発光構造物Ｐ４の側面に配置されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記第４発光構造物Ｐ４の上部面の上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａは、前記第４発光構造物Ｐ４の前記第６DBR層１１２０ｄの上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａは、前記第６DBR層１１２０ｄの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０３１０】
前記第２電極１１６０は、前記第３発光構造物Ｐ３と前記第４発光構造物Ｐ４の間に配置されてもよい。前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂは、前記第３発光構造物Ｐ３と前記第４発光構造物Ｐ４の間の領域で前記第１絶縁層１１４１の上に配置されてもよい。
【０３１１】
実施例に係る前記第２電極１１６０は、図１０に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面を連結させることができる。前記第２電極１１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…のそれぞれの第２導電型DBR層に物理的に連結されてもよい。即ち、前記第２電極１１６０は、前記第２ボンディングパッド１１６５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上部面のみならず、前記第１ボンディングパッド１１５５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の上部面にも物理的に連結されてもよい。
【０３１２】
例えば、前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂは、図１０に示されたように、一定線幅を有する線状に提供されてもよい。勿論、適用される実施例に応じて、前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂの形状は多様に変形することができる。
【０３１３】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１２に示されたように、第２絶縁層１１４２を含むことができる。前記第２絶縁層１１４２は、前記第２電極１１６０の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第１絶縁層１１４１の上に配置されてもよい。
【０３１４】
前記第２絶縁層１１４２は、前記第３発光構造物Ｐ３の周りに配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第３発光構造物Ｐ３の周りで、前記第２電極１１６０の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第４発光構造物Ｐ４の周りに配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第４発光構造物Ｐ４の周りで、前記第２電極１１６０の上に配置されてもよい。
【０３１５】
また、前記第２絶縁層１１４２は、前記第３発光構造物Ｐ３と前記第４発光構造物Ｐ４の間に配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第３発光構造物Ｐ３と前記第４発光構造物Ｐ４の間で前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂの上に配置されてもよい。
【０３１６】
前記第２絶縁層１１４２は、前記第３発光構造物Ｐ３の上部面に配置された前記第２電極１１６０の上部面の上にも配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第６DBR層１１２０ｃの上部面に配置された前記上部電極１１６０ａの上部面の上にも配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第４発光構造物Ｐ４の上部面に配置された前記第２電極１１６０の上部面の上にも配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第８DBR層１１２０ｄの上部面に配置された前記上部電極１１６０ａの上部面の上にも配置されてもよい。
【０３１７】
実施例に係る前記第２絶縁層１１４２は、図１０に示されたように、前記第１ボンディングパッド１１５５が配置された領域では、複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の間に配置された前記第１電極１１５０の上部面が露出するように提供されてもよい。また、前記第２絶縁層１１４２は、前記第２ボンディングパッド１１６５が配置された領域では、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上に配置された前記第２電極１１６０の上部面が露出するように提供されてもよい。
【０３１８】
また、実施例によれば、前記第２絶縁層１１４２は、前記第２ボンディングパッド１１６５が配置された領域で、複数の発光構造物を物理的に連結する前記第２電極１１６０の上部面が露出するように配置されてもよい。このとき、前記第１導電型DBR層１１１３の上部に配置された線状の前記第２電極１１６０の連結電極１１６０ｂが選択的に露出されるように、前記第２絶縁層１１４２が配置されてもよい。例えば、第１発光構造物Ｐ１と第２発光構造物Ｐ２を連結する前記連結電極１１６０ｂの上部面の上には、前記第２電極１１６０が露出しないように、前記第２絶縁層１１４２が配置されてもよい。また、第１発光構造物Ｐ１と第５発光構造物Ｐ５を連結する前記連結電極１１６０ｂの上部面が露出するように、前記第２絶縁層１１４２が配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２の形成については、実施例に係る半導体素子の製造方法を説明しながら、さらに説明するようにする。
【０３１９】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１２に示されたように、第１ボンディングパッド１１５５と第２ボンディングパッド１１６５を含むことができる。実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド１１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。
【０３２０】
前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第２絶縁層１１４２の上に配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第１電極１１５０に電気的に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５は、図１０に示されたように、前記第１絶縁層１１４１と前記第２絶縁層１１４２を介して露出した前記第１電極１１５０に連結されてもよい。実施例に係る前記第１ボンディングパッド１１５５と前記第１電極１１５０の間の電気的な連結に対しては、後で図４を参照してさらに説明することにする。
【０３２１】
前記第２ボンディングパッド１１６５は、前記第２絶縁層１１４２の上に配置されてもよい。前記第２ボンディングパッド１１６５は、前記第３発光構造物Ｐ３の上部面と前記第４発光構造物Ｐ４の上部面に配置された前記第２電極１１６０に電気的に連結されてもよい。
【０３２２】
次に、図１０および図１３を参照して、前記第１ボンディングパッド１１５５の下に配置された第３発光構造物Ｐ３を中心に実施例に係る半導体素子１２００をより詳しく説明する。図１３は図１０に示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。図１０および図１３を参照して実施例に係る半導体素子を説明する際に、図１０〜図１２を参照して説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０３２３】
実施例に係る半導体素子１２００は、前記第１ボンディングパッド１１５５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…を含むことができる。実施例に係る第３発光構造物Ｐ３は、第１導電型の第５DBR層１１１０ｃ、第２導電型の第６DBR層１１２０ｃ、第３活性層１１１５ｃを含むことができる。
【０３２４】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１３に示されたように、前記第５DBR層１１１０ｃから前記第３発光構造物Ｐ３の周りの方向に延長されて配置された第１導電型DBR層１１１３を含むことができる。前記第１導電型DBR層１１１３は、前記第５DBR層１１１０ｃと物理的に連結されてもよい。例えば、前記第１導電型DBR層１１１３の上部面と前記第５DBR層１１１０ｃの上部面が同一水平面に配置されてもよい。
【０３２５】
また、実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１３に示されたように、第１電極１１５０を含むことができる。前記第１電極１１５０は第３発光構造物Ｐ３の周りと第４発光構造物Ｐ４の周りに配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…を露出させる複数の開口部を含むことができる。
【０３２６】
前記第１電極１１５０は、前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第５DBR層１１１０ｃと電気的に連結されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第３発光構造物Ｐ３の周りで前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置されてもよい。
【０３２７】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１３に示されたように、第１絶縁層１１４１を含むことができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第３発光構造物Ｐ３の側面に配置されてもよい。前記第１絶縁層１１４１は、前記第３発光構造物Ｐ３の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。前記第１絶縁層１１４１は、前記第３発光構造物Ｐ３の上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第３発光構造物Ｐ３の前記第６DBR層１１２０ｃの上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第１電極１１５０の上に配置されてもよい。
【０３２８】
一方、実施例に係る半導体素子１２００によれば、図１３に示されたように、前記第１絶縁層１１４１は、前記第１電極１１５０の一部領域を露出させることができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第３発光構造物Ｐ３の周辺で前記第１電極１１５０の上部面を露出させる開口部を含むことができる。前記第１絶縁層１１４１は、前記第３発光構造物Ｐ３の周辺で前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置された前記第１電極１１５０の上部面を露出させることができる。
【０３２９】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１３に示されたように、第２電極１１６０を含むことができる。前記第２電極１１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面に配置された上部電極１１６０ａと、前記上部電極１１６０ａを連結する連結電極１１６０ｂを含むことができる。
【０３３０】
前記第２電極１１６０は、前記第３発光構造物Ｐ３の上部面の上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａは、前記第３発光構造物Ｐ３の前記第６DBR層１１２０ｃの上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａは、前記第６DBR層１１２０ｃの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０３３１】
実施例に係る前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂは、図１０に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面を連結させることができる。前記第２電極１１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…のそれぞれの第２導電型DBR層に物理的に連結されてもよい。即ち、前記第２電極１１６０は、前記第２ボンディングパッド１１６５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上部面のみならず、前記第１ボンディングパッド１１５５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の上部面にも物理的に連結されてもよい。
【０３３２】
例えば、前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂは、図１０に示されたように、一定線幅を有する線状に提供されてもよい。勿論、適用される実施例に応じて、前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂの形状は多様に変形することができる。
【０３３３】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１３に示されたように、第２絶縁層１１４２を含むことができる。前記第２絶縁層１１４２は、前記第２電極１１６０の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第１絶縁層１１４１の上に配置されてもよい。
【０３３４】
前記第２絶縁層１１４２は、前記第３発光構造物Ｐ３の周りに配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第３発光構造物Ｐ３の周りで、前記第１絶縁層１１４１の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第３発光構造物Ｐ３の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２は、前記第６DBR層１１２０ｃの上に配置された前記第２電極１１６０の上に配置されてもよい。
【０３３５】
一方、実施例に係る半導体素子１２００によれば、図１３に示されたように、前記第２絶縁層１１４２は、前記第１電極１１５０の一部領域を露出させる開口部を含むことができる。前記第２絶縁層１１４２は、前記第３発光構造物Ｐ３の周辺で前記第１電極１１５０の上部面を露出させることができる。前記第２絶縁層１１４２は、前記第３発光構造物Ｐ３の周辺で前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置された前記第１電極１１５０の上部面を露出させることができる。例えば、前記第２絶縁層１１４２によって提供される前記開口部は、前記連結電極１１６０ｂの間の領域上に配置されてもよい。
【０３３６】
実施例に係る前記第２絶縁層１１４２は、図１０および図１３に示されたように、前記第１ボンディングパッド１１５５が配置された領域では、複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の間に配置された前記第１電極１１５０の上部面が露出するように提供される。また、前記第２絶縁層１１４２は、前記第２ボンディングパッド１１６５が配置された領域では、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上に配置された前記第２電極１１６０の上部面が露出するように提供される。
【０３３７】
また、実施例によれば、前記第２絶縁層１１４２は、前記第２ボンディングパッド１１６５が配置された領域で、複数の発光構造物を物理的に連結する前記第２電極１１６０の上部面が露出するように配置されてもよい。このとき、前記第１導電型DBR層１１１３の上部に配置された線状の前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂが選択的に露出されるように、前記第２絶縁層１１４２が配置されてもよい。例えば、第１発光構造物Ｐ１と第２発光構造物Ｐ２を連結する前記連結電極１１６０ｂの上部面の上には、前記第２電極１１６０が露出しないように、前記第２絶縁層１１４２が配置されてもよい。また、第１発光構造物Ｐ１と第５発光構造物Ｐ５を連結する前記連結電極１１６０ｂの上部面が露出するように、前記第２絶縁層１１４２が配置されてもよい。前記第２絶縁層１１４２の形成については、実施例に係る半導体素子の製造方法を説明しながら、さらに説明するようにする。
【０３３８】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１３に示されたように、第１ボンディングパッド１１５５と第２ボンディングパッド１１６５を含むことができる。実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド１１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。
【０３３９】
前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第２絶縁層１１４２の上に配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第１電極１１５０に電気的に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５は、図１０および図１３に示されたように、前記第３発光構造物Ｐ３の上に配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第１絶縁層１１４１と前記第２絶縁層１１４２によって提供された開口部を介して前記第１電極１１５０に連結されてもよい。例えば、前記第１絶縁層１１４１と前記第２絶縁層１１４２によって提供される開口部は、前記連結電極１１６０ｂの間の領域に配置されてもよい。
【０３４０】
前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第３発光構造物Ｐ３の周辺で前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置された前記第１電極１１５０に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置された前記第１電極１１５０の上部面に直接接触して配置されてもよい。例えば、前記第１ボンディングパッド１１５５の下部面が前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置された前記第１電極１１５０の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０３４１】
前記第２ボンディングパッド１１６５は、前記第２絶縁層１１４２の上に配置されてもよい。前記第２ボンディングパッド１１６５は、前記第３発光構造物Ｐ３の上部面に配置された前記第２電極１１６０に電気的に連結されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド１１６５の下部面が前記第３発光構造物Ｐ３の上に配置された前記上部電極１１６０ａの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０３４２】
次に、図１０、図１１および図１３を参照して、前記第１ボンディングパッド１１５５の下に配置された第３発光構造物Ｐ３と前記第２ボンディングパッド１１６５の下に配置された第１発光構造物Ｐ１を中心に実施例に係る半導体素子１２００をより詳しく説明する。以上で説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０３４３】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１３に示されたように、前記第１ボンディングパッド１１５５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…を含むことができる。実施例に係る前記第３発光構造物Ｐ３は、第１導電型の第５DBR層１１１０ｃ、第２導電型の第６DBR層１１２０ｃ、第３活性層１１１５ｃを含むことができる。
【０３４４】
実施例に係る半導体素子１２００は、図１０および図１１に示されたように、前記第２ボンディングパッド１１６５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…を含むことができる。実施例に係る前記第１発光構造物Ｐ１は、第１導電型の第１DBR層１１１０ａ、第２導電型の第２DBR層１１２０ａ、第１活性層１１１５ａを含むことができる。
【０３４５】
また、実施例に係る半導体素子１２００は、第１電極１１５０と第２電極１１６０を含むことができる。前記第１電極１１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…を露出させる複数の開口部を含むことができる。前記第２電極１１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面に配置された上部電極１１６０ａと、前記上部電極１１６０ａを連結する連結電極１１６０ｂを含むことができる。
【０３４６】
前記第１電極１１５０は、前記第１DBR層１１１０ａと前記第５DBR層１１１０ｃに電気的に連結されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第１発光構造物Ｐ１の周りに配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第３発光構造物Ｐ３の周りに配置されてもよい。前記第１電極１１５０は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第３発光構造物Ｐ３の間に配置されてもよい。
【０３４７】
前記第２電極１１６０は、前記第２DBR層１１２０ａと前記第６DBR層１１２０ｃに電気的に連結されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記第１発光構造物Ｐ１の側面に配置されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記第２DBR層１１２０ａの上部面に配置されてもよい。例えば、前記上部電極１１６０ａの下部面が前記第２DBR層１１２０ａの上部面に直接接触して配置されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記第６DBR層１１２０ｃの上部面に配置されてもよい。例えば、前記上部電極１１６０ａの下部面が前記第６DBR層１１２０ｃの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０３４８】
実施例に係る前記第１ボンディングパッド１１５５は、図１０および図１３に示されたように、前記第３発光構造物Ｐ３の上に配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第１電極１１５０に電気的に連結されてもよい。例えば、前記第１ボンディングパッド１１５５の下部面が前記第１電極１１５０の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０３４９】
実施例に係る前記第２ボンディングパッド１１６５は、図１０および図１１に示されたように、前記第１発光構造物Ｐ１の上に配置されてもよい。前記第２ボンディングパッド１１６５は、前記第２電極１１６０に電気的に連結されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド１１６５の下部面が前記第２電極１１６０の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０３５０】
一方、実施例に係る前記第２電極１１６０は、図１１に示されたように、前記第２DBR層１１２０ａの上部面に接触して配置されてもよい。例えば、前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａの下部面が前記第２DBR層１１２０ａの上部面に直接接触して配置されてもよい。また、実施例に係る前記第２電極１１６０は、図１３に示されたように、前記第６DBR層１１２０ｃの上部面に接触して配置されてもよい。例えば、前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａの下部面が前記第６DBR層１１２０ｃの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０３５１】
また、前記第２電極１１６０は、図１０および図１１に示されたように、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第３発光構造物Ｐ３の間で前記第１電極１１５０の上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記第１発光構造物Ｐ１の周辺で前記第１電極１１５０の上に配置されてもよい。前記連結電極１１６０ｂは、前記第１発光構造物Ｐ１の周辺で前記第１電極１１５０の上に配置されてもよい。前記第２電極１１６０は、前記第１発光構造物Ｐ１の周辺で前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置されてもよい。前記連結電極１１６０ｂは、前記第１発光構造物Ｐ１の周辺で前記第１導電型DBR層１１１３の上に配置されてもよい。
【０３５２】
前記第１導電型DBR層１１１３は、前記第１DBR層１１１０ａと前記第５DBR層１１１０ｃを物理的に連結することができる。前記第１電極１１５０は、前記第１導電型DBR層１１１３の上部面に接触して配置されてもよい。例えば、前記第１電極１１５０の下部面が前記第１導電型DBR層１１１３の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０３５３】
実施例によれば、前記第１導電型DBR層１１１３が提供された領域で、前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第１電極１１５０の上部面に接触して配置されてもよい。例えば、前記第１導電型DBR層１１１３が提供された領域で、前記第１ボンディングパッド１１５５の下部面が前記第１電極１１５０の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０３５４】
前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第１絶縁層１１４１と前記第２絶縁層１１４２によって提供された開口部を介して前記第１電極１１５０の上部面に直接接触することができる。例えば、前記第１絶縁層１１４１と前記第２絶縁層１１４２によって提供される開口部は、前記連結電極１１６０ｂの間の領域に配置されてもよい。
【０３５５】
実施例に係る半導体素子１２００によれば、前記第１ボンディングパッド１１５５と前記第２ボンディングパッド１１６５を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…に電源が提供されてもよい。そして、前記第１電極１１５０が前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第１導電型DBR層の上部面の上に配置されてもよい。また、前記第２電極１１６０が前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層の上部面の上に配置されてもよい。
【０３５６】
従って、実施例によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…に電源が提供される際に、前記基板１１０５の下部面を介して電源が印加される必要がない。従来の半導体素子において、前記基板の下部面を介して電源が印加される必要がある場合、前記基板１１０５が必ず導電性基板から提供されなければならない。ところが、実施例に係る半導体素子１２００によれば、前記基板１１０５は、導電性基板であってもよく、絶縁性基板であってもよい。例えば、実施例に係る前記基板１１０５は、真性半導体基板から提供されてもよい。
【０３５７】
また、前記基板１１０５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…が成長基板から成長した後、成長基板が除去され、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…に付着された基板であってもよい。
【０３５８】
一方、実施例に係る半導体素子１２００は、図１０〜図１３に示されたように、前記半導体素子１２００の下部方向に光が放出されるように具現されてもよい。即ち、実施例に係る半導体素子１２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…をなす活性層から第１導電型DBR層が配置された方向に光が放出されてもよい。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…をなす活性層から前記基板１１０５が配置された方向に光が放出されてもよい。
【０３５９】
実施例によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層の上部面に前記第２電極１１６０が配置され、前記第２電極１１６０の上に前記第２ボンディングパッド１１６５が接触して配置される。また、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第１導電型DBR層の上部面に前記第１電極１１５０が配置され、前記第１電極１１５０の上に前記第１ボンディングパッド１１５５が接触して配置される。これによって、前記第１ボンディングパッド１１５５および前記第２ボンディングパッド１１６５を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で発生した熱が外部に効果的に放出される。
【０３６０】
一方、一般的な半導体素子の場合、発光構造物で発生した熱によって電力変換効率(PCE：Power Conversion Efficiency)が著しく低下すると知られている。そして、下部に配置された基板を介して発光構造物に電源が提供される場合、一般的に基板を介して熱放出がなされる。ところが、基板の熱伝導率が低いので、発光構造物で発生した熱を外部に放出され難くなる。例えば、GaAs基板の場合、熱伝導率が５２W/(m*K)として低いと知られている。
【０３６１】
ところが、実施例によれば、前記第１ボンディングパッド１１５５と前記第２ボンディングパッド１１６５を介して外部の放熱基板等に連結されるので、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で発生した熱を外部に効果的に放出できるようになる。従って、実施例によれば、半導体素子１２００で発生した熱を外部に効果的に排出できるので、電力変化効率(PCE)が向上する。
【０３６２】
一方、実施例に係る半導体素子１２００によれば、以上で説明したように、前記半導体素子１２００の下部方向に光が放出されるように具現されてもよい。実施例に係る半導体素子１２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の下部領域に提供された第１導電型DBR層の反射率が上部領域に提供された第２導電型DBR層の反射率より小さく選択した。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で生成した光が前記半導体素子１２００の基板１１０５の方向に放出されることになる。
【０３６３】
また、実施例に係る半導体素子１２００によれば、前記第１絶縁層１１４１がDBR層からなることができる。実施例に係る半導体素子１２００によれば、前記第２絶縁層１１４２がDBR層からなることができる。実施例によれば、前記第１絶縁層１１４１と前記第２絶縁層１１４２の少なくとも一つがDBR層からなることができる。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で生成した光が上部に配置された前記第１絶縁層１１４１と前記第２絶縁層１１４２に反射されて下部方向に効果的に抽出される。
【０３６４】
例えば、前記第１絶縁層１１４１と前記第２絶縁層１１４２の少なくとも一つは、SiO2とTiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記第１絶縁層１１４１と前記第２絶縁層１１４２の少なくとも一つは、Ta2O3とSiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記第１絶縁層１１４１と前記第２絶縁層１１４２の少なくとも一つは、SiO2とSi3N4が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。
【０３６５】
一方、従来の半導体素子において、基板を介して発光構造物に電源を提供する場合、基板が導電性である必要がある。これによって、導電性半導体基板が適用される場合、導電性を向上させるために基板にドーパントが添加される。ところが、基板に添加されたドーパントは、放出される光に対する吸収および散乱(Absorption and Scattering)現象を生じさせるので、電力変換効率(PCE)を低下させる原因となる。
【０３６６】
ところが、実施例に係る半導体素子１２００によれば、以上で説明したように、前記基板１１０５が導電性基板である必要がないので、前記基板１１０５に別途のドーパントが添加されなくてもよい。これによって、実施例に係る前記基板１１０５にドーパントが添加されなくてもよいので、前記基板１１０５においてドーパントによる吸収および散乱が発生する現象を減らすことができる。従って、実施例によれば、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で発生した光を下部方向に効果的に提供することができ、電力変換効率(PCE)が向上する。
【０３６７】
また、実施例に係る半導体素子１２００によれば、前記基板１１０５の下部面に提供された凹凸構造を介して光が放出されることになる。即ち、実施例によれば、前記基板１１０５の下部方向に光が放出される際に、前記基板１１０５を透過する光の光経路の長さが短縮される。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で発生した光が前記基板１１０５を透過しながら吸収および散乱が発生する現象を減らすことができるようになる。従って、実施例によれば、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で発生した光を下部方向に効果的に提供することができ、電力変換効率(PCE)が向上する。
【０３６８】
また、実施例に係る半導体素子１２００は、前記基板１１０５の下部面に提供された無反射層１１７０をさらに含むことができる。前記無反射層１１７０は、前記半導体素子１２００から放出される光が前記基板１１０５の表面で反射されることを防止し透過させることで、反射による光損失を改善することができる。
【０３６９】
前記無反射層１１７０は、例えば無反射コーティングフィルムから形成され、前記基板１１０５の表面に付着されてもよい。また、前記無反射層１１７０は、前記基板１１０５の表面にスピンコーティングまたはスプレーコーティング等によって形成されてもよい。例えば、前記無反射層１１７０は、TiO2、SiO2、Al2O3、Ta2O3、ZrO2、MgF2を含むグループのうち少なくとも一つを含む単一層または多層構造を有することができる。
【０３７０】
一方、従来の半導体素子の場合、複数の発光構造物に電源を提供するための方案として、基板上部の外縁領域にボンディングパッドが配置される。これによって、ボンディングパッドが配置される領域だけ発光構造物が形成されない損失が発生する。
【０３７１】
ところが、実施例に係る半導体素子によれば、発光構造物が形成された領域上にボンディングパッドが提供されるので、基板上部の外縁領域にボンディングパッドを形成するための別途の空間が提供されなくてもよい。これによって、実施例に係る半導体素子によれば、半導体素子が形成される基板の面積を減らすことができるので、ウェハの同一面積における製造できる半導体素子の個数を増やすことができる。
【０３７２】
次に、本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法を図面を参照して説明する。実施例に係る半導体素子の製造方法の説明において、図１０〜図１３を参照して説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０３７３】
まず、図１４ａ〜図１４ｄは本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において発光構造物が形成された例を示した図面である。図１４ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって発光構造物が形成されたステップを示した平面図であり、図１４ｂは図１４ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図１４ｃは図１４ａに示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図１４ｄは図１４ａに示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０３７４】
実施例に係る半導体素子の製造方法によれば、図１４ａ〜図１４ｄに示されたように、基板１１０５に複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…が形成される。
【０３７５】
前記基板１１０５は、真性半導体基板、導電性基板、絶縁性基板から選択されたいずれか一つからなることができる。例えば、前記基板１１０５は、GaAs真性半導体基板であってもよい。また、前記基板１１０５は、銅(Cu)、金(Au)、ニッケル(Ni)、モリブデン(Mo)、銅-タングステン(Cu-W)、キャリアウェハ(例えば、Si、Ge、AlN、GaAs、ZnO、SiC等)を含む導電性物質から選択された少なくとも一つからなることができる。
【０３７６】
例えば、前記基板１１０５に第１導電型DBR層、活性層、第２導電型DBR層が順に形成される。そして、第２導電型DBR層と活性層に対するメサエッチングによって前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…が形成されてもよい。
【０３７７】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…は、第１導電型DBR層１１１０ａ、１１１０ｂ、１１１０ｃ、１１１０ｄ、…、活性層１１１５ａ、１１１５ｂ、１１１５ｃ、１１１５ｄ、…、アパーチャー層１１１７ａ、１１１７ｂ、１１１７ｃ、１１１７ｄ、…、第２導電型DBR層１１２０ａ、１１２０ｂ、１１２０ｃ、１１２０ｄ、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の周りに第１導電型DBR層１１１３が提供されてもよい。前記第１導電型DBR層１１１３は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の間の領域に配置されてもよい。
【０３７８】
例えば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…は、複数の化合物半導体層に成長することができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…は、電子ビーム蒸着装置、PVD(physical vapor deposition)、CVD(chemical vapor deposition)、PLD(plasma laser deposition)、二重型熱蒸着器(dual-type thermal evaporator)、スパッタリング(sputtering)、MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)等によって形成されてもよい。
【０３７９】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす前記第１導電型DBR層１１１０ａ、１１１０ｂ、１１１０ｃ、１１１０ｄ、…は、第１導電型のドーパントがドーピングされたＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族の化合物半導体のうち少なくとも一つから提供されてもよい。例えば、前記第１導電型DBR層１１１０ａ、１１１０ｂ、１１１０ｃ、１１１０ｄ、…は、GaAs、GaAl、InP、InAs、GaPを含むグループのうちの一つからなることができる。前記第１導電型DBR層１１１０ａ、１１１０ｂ、１１１０ｃ、１１１０ｄ、…は、例えばAlxGa1-xAs(0<x<1)/AlyGa1-yAs(0<y<1)(y<x)の組成式を有する半導体物質から提供されてもよい。前記第１導電型DBR層１１１０ａ、１１１０ｂ、１１１０ｃ、１１１０ｄ、…は、第１導電型のドーパント、例えばSi、Ge、Sn、Se、Te等のｎ型ドーパントがドーピングされたｎ型半導体層となることができる。前記第１導電型DBR層１１１０ａ、１１１０ｂ、１１１０ｃ、１１１０ｄ、…は、異なる半導体層を交互に配置してλ/４nの厚さを有するDBR層であってもよい。
【０３８０】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす前記活性層１１１５ａ、１１１５ｂ、１１１５ｃ、１１１５ｄ、…は、ＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族の化合物半導体のうち少なくとも一つから提供されてもよい。例えば、前記活性層１１１５ａ、１１１５ｂ、１１１５ｃ、１１１５ｄ、…は、GaAs、GaAl、InP、InAs、GaPを含むグループのうちの一つからなることができる。前記活性層１１１５ａ、１１１５ｂ、１１１５ｃ、１１１５ｄ、…は、多重井戸構造にて具現された場合、前記活性層１１１５ａ、１１１５ｂ、１１１５ｃ、１１１５ｄ、…は、交互に配置された複数の井戸層と複数の障壁層を含むことができる。前記複数の井戸層は、例えば、InpGa1-pAs(0≦≦p≦≦1)の組成式を有する半導体材料から提供されてもよい。前記障壁層は、例えばInqGa1-qAs(0≦≦q≦≦1)の組成式を有する半導体材料から配置されてもよい。
【０３８１】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす前記アパーチャー層１１１７ａ、１１１７ｂ、１１１７ｃ、１１１７ｄ、…は、前記活性層１１１５ａ、１１１５ｂ、１１１５ｃ、１１１５ｄ、…の上に配置されてもよい。前記アパーチャー層１１１７ａ、１１１７ｂ、１１１７ｃ、１１１７ｄ、…は、中心部に円形の開口部が含むことができる。前記アパーチャー層１１１７ａ、１１１７ｂ、１１１７ｃ、１１１７ｄ、…は、前記活性層１１１５ａ、１１１５ｂ、１１１５ｃ、１１１５ｄ、…の中心部に電流が集中するように電流移動を制限する機能を含むことができる。即ち、前記アパーチャー層１１１７ａ、１１１７ｂ、１１１７ｃ、１１１７ｄ、…は、共振波長を調整し、前記活性層１１５ａ、１１５ｂ、１１５ｃ、１１７５、…から垂直方向に発光するビームの角を調節することができる。前記アパーチャー層１１１７ａ、１１１７ｂ、１１１７ｃ、１１１７ｄ、…は、SiO2またはAl2O3のような絶縁物質を含むことができる。また、前記アパーチャー層１１１７ａ、１１１７ｂ、１１１７ｃ、１１１７ｄ、…は、前記活性層１１１５ａ、１１１５ｂ、１１１５ｃ、１１１５ｄ、…、第１導電型DBR層１１１０ａ、１１１０ｂ、１１１０ｃ、１１１０ｄ、…および第２導電型DBR層１１２０ａ、１１２０ｂ、１１２０ｃ、１１２０ｄ、…より高いバンドギャップを有することができる。
【０３８２】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす前記第２導電型DBR層１１２０ａ、１１２０ｂ、１１２０ｃ、１１２０ｄ、…は、第２導電型のドーパントがドーピングされたＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族の化合物半導体のうち少なくとも一つから提供されてもよい。例えば、前記第２導電型DBR層１１２０ａ、１１２０ｂ、１１２０ｃ、１１２０ｄ、…は、GaAs、GaAl、InP、InAs、GaPを含むグループのうちの一つからなることができる。前記第２導電型DBR層１１２０ａ、１１２０ｂ、１１２０ｃ、１１２０ｄ、…は、例えばAlxGa1-xAs(0<x<1)/AlyGa1-yAs(0<y<1)(y<x)の組成式を有する半導体材料からなることができる。前記第２導電型DBR層１１２０ａ、１１２０ｂ、１１２０ｃ、１１２０ｄ、…は、第２導電型のドーパント、例えばMg、Zn、Ca、Sr、Baのようなｐ型ドーパントを有するｐ型半導体層であってもよい。前記第２導電型DBR層１１２０ａ、１１２０ｂ、１１２０ｃ、１１２０ｄ、…は、異なる半導体層を交互に配置してλ/４nの厚さを有するDBR層であってもよい。
【０３８３】
例えば、前記第２導電型DBR層１１２０ａ、１１２０ｂ、１１２０ｃ、１１２０ｄ、…は、前記第１導電型DBR層１１１０ａ、１１１０ｂ、１１１０ｃ、１１１０ｄ、…より大きい反射率を有することができる。例えば、前記第２導電型DBR層１１２０ａ、１１２０ｂ、１１２０ｃ、１１２０ｄ、…と前記第１導電型DBR層１１１０ａ、１１１０ｂ、１１１０ｃ、１１１０ｄ、…は、９０％以上の反射率によって垂直方向に共振キャビティを形成することができる。このとき、生成された光は、前記第２導電型DBR層１１２０ａ、１１２０ｂ、１１２０ｃ、１１２０ｄ、…の反射率より低い前記第１導電型DBR層１１１０ａ、１１１０ｂ、１１１０ｃ、１１１０ｄ、…を介して外部に放出されてもよい。
【０３８４】
次に、図１５ａ〜図１５ｄに示されたように、第１電極１１５０が形成される。
【０３８５】
図１５ａ〜図１５ｄは本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。図１５ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第１電極が形成されたステップを示した平面図であり、図１５ｂは図１５ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図１５ｃは図１５ａに示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図１５ｄは図１５ａに示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０３８６】
実施例によれば、図１５ａ〜図１５ｄに示されたように、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の周りに前記第１電極１１５０が形成される。前記第１電極１１５０は、前記第１導電型DBR層１１１３の上に形成され、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…を露出させる開口部を含むことができる。前記第１電極１１５０は、前記前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の間の領域に形成されてもよい。
【０３８７】
例えば、前記第１電極１１５０の面積Aeが前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の面積Amより大きく提供されてもよい。ここで、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の面積Amとは、メサエッチングによってエッチングされず残っている前記活性層１１１５ａ、１１１５ｂ、１１１５ｃ、１１１５ｄ、…の面積を意味することができる。前記第１電極１１５０の面積Aeに対する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の面積Amの比率Am/Aeは、例えば２５％より大きく提供されてもよい。実施例に係る半導体素子１２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の個数および直径は、応用例に応じて多様に変形することができる。
【０３８８】
実施例によれば、前記第１電極１１５０の面積Aeに対する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の面積Amの比率Am/Aeは、例えば２５％〜７０％に提供されてもよい。別の実施例によれば、前記第１電極１１５０の面積Aeに対する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の面積Amの比率Am/Aeは、例えば３０％〜６０％に提供されてもよい。
【０３８９】
実施例に係る半導体素子１２００の適用例に応じて、前記半導体素子１２００に配置された前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の個数および直径は、多様に変更することができる。前述した表１は、一例として６２１個の発光構造物が提供された半導体素子に対するデータを示したものである。
【０３９０】
例えば、前記第１電極１１５０は、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、Hf、Ti、W、Crおよびこれらのうち２以上の合金から構成された物質を含むグループから選択された物質からなることができる。前記第１電極１１５０は、一つの層または複数の層に形成されてもよい。前記第１電極１１５０は、例えば反射金属として複数の金属層を適用することができ、接着層としてCrまたはTi等を適用することができる。例えば、前記第１電極１１５０は、Cr/Al/Ni/Au/Ti層からなることができる。
【０３９１】
続いて、図１６ａ〜図１６ｄに示されたように、前記第１電極１１５０の上に第１絶縁層１１４１が形成される。
【０３９２】
図１６ａ〜図１６ｄは本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１絶縁層が形成された例を示した図面である。図１６ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第１絶縁層が形成されたステップを示した平面図であり、図１６ｂは図１６ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図１６ｃは図１６ａに示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図１６ｄは図１６ａに示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０３９３】
実施例によれば、図１６ａ〜図１６ｄに示されたように、前記第１電極１１５０の上に前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面を露出させる前記第１絶縁層１１４１が形成される。前記第１絶縁層１１４１は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の側面に形成されてもよい。前記第１絶縁層１１４１は、前記第１導電型DBR層１１１３の上に形成されてもよい。前記第１絶縁層１１４１は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の間の領域に形成されてもよい。
【０３９４】
前記第１絶縁層１１４１は、絶縁物質から提供されてもよい。例えば、前記第１絶縁層１１４１は、SiO2、TiO2、Ta2O5、SiOx、SiOxNy、Si3N4、Al2O3を含むグループから選択された少なくとも一つの物質からなることができる。また、前記第１絶縁層１１４１は、DBR層から形成されてもよい。実施例によれば、前記第１絶縁層１１４１がDBR層から提供されることで、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で発生した光が効率的に反射されて下部方向に抽出される。例えば、前記第１絶縁層１１４１は、SiO2とTiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記第１絶縁層１１４１は、Ta2O3とSiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記第１絶縁層１１４１は、SiO2とSi3N4が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。
【０３９５】
そして、図１７ａ〜図１７ｄに示されたように、前記第１絶縁層１１４１の上に第２電極１１６０が形成される。
【０３９６】
図１７ａ〜図１７ｄは本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２電極が形成された例を示した図面である。図１７ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第２電極が形成されたステップを示した平面図であり、図１７ｂは図１７ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図１７ｃは図１７ａに示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図１７ｄは図１７ａに示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０３９７】
実施例によれば、図１７ａ〜図１７ｄに示されたように、前記第１絶縁層１１４１の上に、上部電極１１６０ａと連結電極１１６０ｂを含む前記第２電極１１６０が形成される。前記上部電極１１６０ａは、前記第１絶縁層１１４１によって露出された前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面に形成されてもよい。前記連結電極１１６０ｂは、前記上部電極１１６０ａを連結させることができる。
【０３９８】
前記上部電極１１６０ａは、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…をなす第２導電型DBR層の上部面の上に形成されてもよい。前記連結電極１１６０ｂは、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上に配置された前記上部電極１１６０ａを相互連結させることができる。前記連結電極１１６０ｂは、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の間の領域に形成されてもよい。
【０３９９】
例えば、前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂは、一定線幅を有する線状に提供されてもよい。勿論、適用される実施例に応じて、前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂの形状は多様に変形することができる。
【０４００】
例えば、前記第２電極１１６０は、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、Hf、Ti、W、Crおよびこれらのうち２以上の合金から構成された物質を含むグループから選択された物質からなることができる。前記第２電極１１６０は、一つの層または複数の層に形成されてもよい。前記第２電極１１６０は、例えば反射金属として複数の金属層を適用することができ、接着層としてCrまたはTi等を適用することができる。例えば、前記第２電極１１６０は、Cr/Al/Ni/Au/Ti層からなることができる。
【０４０１】
次に、図１８ａ〜図１８ｄに示されたように、前記第２電極１１６０の上に第２絶縁層１１４２が形成される。
【０４０２】
図１８ａ〜図１８ｄは本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２絶縁層が形成された例を示した図面である。図１８ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第２絶縁層が形成されたステップを示した平面図であり、図１８ｂは図１８ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図１８ｃは図１８ａに示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図１８ｄは図１８ａに示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０４０３】
実施例によれば、図１８ａ〜図１８ｄに示されたように、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の間の領域の下部に配置された前記第１電極１１５０を露出させる第２絶縁層１１４２が形成される。前記第２絶縁層１１４２は、前記第１電極１１５０を露出させる第１開口部を含むことができる。また、前記第２絶縁層１１４２は、前記第２電極１１６０の前記上部電極１１６０ａを露出させる第２開口部を含むことができる。
【０４０４】
また、前記第２絶縁層１１４２は、前記第１導電型DBR層１１１３の上部に配置された線状の前記第２電極１１６０の前記連結電極１１６０ｂが選択的に露出されるように形成されてもよい。例えば、第１発光構造物Ｐ１と第２発光構造物Ｐ２を連結する前記連結電極１１６０ｂの上部面の上には、前記第２電極１１６０が露出しないように、前記第２絶縁層１１４２が形成される。また、第１発光構造物Ｐ１と第５発光構造物Ｐ５を連結する前記連結電極１１６０ｂの上部面が露出するように、前記第２絶縁層１１４２が形成される。
【０４０５】
前記第２絶縁層１１４２は、絶縁物質から提供されてもよい。例えば、前記第２絶縁層１１４２は、SiO2、TiO2、Ta2O5、SiOx、SiOxNy、Si3N4、Al2O3を含むグループから選択された少なくとも一つの物質からなることができる。また、前記第２絶縁層１１４２は、DBR層から形成されてもよい。実施例によれば、前記第２絶縁層１１４２がDBR層から提供されることで、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で発生した光が効率的に反射されて下部方向に抽出される。例えば、前記第２絶縁層１１４２は、SiO2とTiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記第２絶縁層１１４２は、Ta2O3とSiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記第２絶縁層１１４２は、SiO2とSi3N4が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。
【０４０６】
続いて、図１９ａ〜図１９ｄに示されたように、前記第２絶縁層１１４２の上に第１ボンディングパッド１１５５と第２ボンディングパッド１１６５が形成される。
【０４０７】
図１９ａ〜図１９ｄは本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。図１９ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成されたステップを示した平面図であり、図１９ｂは図１９ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図１９ｃは図１９ａに示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図１９ｄは図１９ａに示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０４０８】
実施例によれば、図１９ａ〜図１９ｄに示されたように、前記第１ボンディングパッド１１５５と前記第２ボンディングパッド１１６５が前記第２絶縁層１１４２の上に離隔して形成されてもよい。
【０４０９】
前記第１ボンディングパッド１１５５は、前記第１開口部上に配置され、前記第１電極１１５０と電気的に連結されてもよい。例えば、前記第１ボンディングパッド１１５５の下部面が前記第１開口部を介して前記第１電極１１５０の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０４１０】
前記第２ボンディングパッド１１６５は、前記第２開口部上に配置され、前記第２電極１１６０と電気的に連結されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド１１６５の下部面が前記第２開口部を介して前記第２電極１１６０の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０４１１】
例えば、前記第１ボンディングパッド１１５５と前記第２ボンディングパッド１１６５は、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、Hf、Ti、W、Cr、Cuおよびこれらのうち２以上の合金から構成された物質を含むグループから選択された物質からなることができる。前記第１ボンディングパッド１１５５と前記第２ボンディングパッド１１６５は、一つの層または複数の層に形成されてもよい。前記第１ボンディングパッド１１５５と前記第２ボンディングパッド１１６５は、例えばソルダーボンディング(solder bonding)からSn拡散を防止するために、Cr、Cu等の拡散バリアー金属を含むことができる。例えば、前記第１ボンディングパッド１１５５と前記第２ボンディングパッド１７２は、Ti、Ni、Cu、Cr、Auを含む複数の層に形成されてもよい。
【０４１２】
そして、図１９ａ〜図１９ｄに示されたように、前記基板１１０５の下部面に凹凸構造が形成される。
【０４１３】
実施例によれば、前記基板１１０５に提供された凹凸構造は、前記基板１１０５の下部面から上部方向にリセスされた複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…を含むことができる。前記基板１１０５は、例えば第１凹部Ｒ１、第２凹部Ｒ２、第３凹部Ｒ３、第４凹部Ｒ４を含むことができる。
【０４１４】
前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…は、例えばエッチング工程によって形成されてもよい。前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…は乾式エッチング工程または湿式エッチング工程によって形成されてもよい。
【０４１５】
また、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…はレーザーアブレーション(laser ablation)工程またはソーイング(sawing)工程によって形成されてもよい。前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…がレーザーアブレーション(laser ablation)工程またはソーイング(sawing)工程によって形成される場合、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…が早く形成され、工程時間を短縮できる長所がある。
【０４１６】
実施例に係る半導体素子の製造方法によれば、レーザーアブレーション(laser ablation)工程またはソーイング(sawing)工程によって前記基板１１０５に凹凸構造を形成する場合に、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…の深さｔ２を数十μｍまで深く形成することができ、容易に調節することができる。
【０４１７】
前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…がレーザーアブレーション(laser ablation)工程またはソーイング(sawing)工程によって形成される場合、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…側面にラフネス(roughness)が形成されてもよい。このとき、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…側面にラフネス(roughness)が形成される場合には、追加エッチング工程によって前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…に形成されたラフネス(roughness)を除去することもできる。
【０４１８】
一方、図２０および図２１は本発明の実施例に係る半導体素子の別の例を示した図面である。図２０は図１０に示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図２１は図１０に示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図である。
【０４１９】
次に、図２０および図２１を参照して実施例に係る半導体素子の別の例を説明する。図２０および図２１を参照して実施例に係る半導体素子を説明する際に、以上で説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０４２０】
実施例に係る半導体素子は、図２０および図２１に示されたように、下部面に凹凸構造が提供された基板１１０５を含むことができる。前記基板１１０５は下部面に提供された複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…を含むことができる。前記基板１１０５は、例えば第１凹部Ｒ１、第２凹部Ｒ２、第３凹部Ｒ３、第４凹部Ｒ４を含むことができる。
【０４２１】
前記第１凹部Ｒ１は、前記基板１１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１は、前記第１発光構造物Ｐ１と重なって配置されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第１発光構造物Ｐ１は、前記基板１１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０４２２】
前記第２凹部Ｒ２は、前記基板１１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記第２凹部Ｒ２は、前記第２発光構造物Ｐ２と重なって配置されてもよい。前記第２凹部Ｒ２と前記第２発光構造物Ｐ２は、前記基板１１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０４２３】
前記第３凹部Ｒ３は、前記基板１１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記第３凹部Ｒ３は、前記第３発光構造物Ｐ３と重なって配置されてもよい。前記第３凹部Ｒ３と前記第３発光構造物Ｐ３は、前記基板１１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０４２４】
前記第４凹部Ｒ４は、前記基板１１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記第４凹部Ｒ４は、前記第４発光構造物Ｐ４と重なって配置されてもよい。前記第４凹部Ｒ４と前記第４発光構造物Ｐ４は、前記基板１１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０４２５】
実施例によれば、前記第１凹部Ｒ１の幅は、前記第１発光構造物Ｐ１に提供された前記第１発光アパーチャー１１３０ａの幅に対応して提供されてもよい。また、前記第１凹部Ｒ１の幅は、前記第１発光構造物Ｐ１に提供された前記第１発光アパーチャー１１３０ａの直径に対応して提供されてもよい。例えば、前記第１発光アパーチャー１１３０ａは、前記第１発光構造物Ｐ１の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０４２６】
また、前記第２凹部Ｒ２の幅は、前記第２発光構造物Ｐ２に提供された前記第２発光アパーチャー１１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。前記第２凹部Ｒ２の幅は、前記第２発光構造物Ｐ２に提供された前記第２発光アパーチャー１１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。例えば、前記第２発光アパーチャー１１３０ｂは、前記第２発光構造物Ｐ２の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０４２７】
また、前記第３凹部Ｒ３の幅は、前記第３発光構造物Ｐ３に提供された前記第３発光アパーチャー１１３０ｃの幅に対応して提供されてもよい。前記第３凹部Ｒ３の幅は、前記第３発光構造物Ｐ３に提供された前記第３発光アパーチャー１１３０ｃの幅に対応して提供されてもよい。例えば、前記第３発光アパーチャー１１３０ｃは、前記第３発光構造物Ｐ３の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０４２８】
また、前記第４凹部Ｒ４の幅は、前記第４発光構造物Ｐ４に提供された前記第４発光アパーチャー１１３０ｄの幅に対応して提供されてもよい。前記第４凹部Ｒ４の幅は、前記第４発光構造物Ｐ４に提供された前記第４発光アパーチャー１１３０ｄの幅に対応して提供されてもよい。例えば、前記第４発光アパーチャー１１３０ｄは、前記第４発光構造物Ｐ４の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０４２９】
前記基板１１０５の厚さｔ１は、数十μｍ〜数百μｍに提供されてもよい。前記基板１１０５の厚さｔ１は、例えば１００μｍ〜１１０μｍに提供されてもよい。
【０４３０】
前記第１凹部Ｒ１、前記第２凹部Ｒ２、前記第３凹部Ｒ３、前記第４凹部Ｒ４の深さｔ３は、数μｍ〜数十μｍに提供されてもよい。例えば、前記第１凹部Ｒ１、前記第２凹部Ｒ２、前記第３凹部Ｒ３、前記第４凹部Ｒ４の深さｔ３は５μｍ〜２０μｍに提供されてもよい。
【０４３１】
また、前記第１凹部Ｒ１、前記第２凹部Ｒ２、前記第３凹部Ｒ３、前記第４凹部Ｒ４の幅ｗ２は、数十μｍに提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１、前記第２凹部Ｒ２、前記第３凹部Ｒ３、前記第４凹部Ｒ４の幅ｗ２は、例えば６μｍ〜１５μｍに提供されてもよい。
【０４３２】
別の実施例によれば、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…の幅ｗ２は、前記複数の発光アパーチャー１１３０ａ、１１３０ｂ、１１３０ｃ、１１３０ｄ、…の直径より数μｍ大きく提供されてもよい。例えば、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…の幅ｗ２は８μｍ〜２５μｍに提供されてもよい。
【０４３３】
例えば、前記第１凹部Ｒ１は、前記第１発光構造物Ｐ１の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。また、前記第２凹部Ｒ２は、前記第２発光構造物Ｐ２の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。前記第３凹部Ｒ３は、前記第３発光構造物Ｐ３の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。前記第４凹部Ｒ４は、前記第４発光構造物Ｐ４の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。
【０４３４】
実施例によれば、図２０および図２１に示されたように、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…の上部面は、例えば凸レンズ形状に提供されてもよい。前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…の上部面は、例えば前記基板１１０５の上部面に対して凸レンズ形状に提供されてもよい。これによって、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…は、前記複数の発光アパーチャー１１３０ａ、１１３０ｂ、１１３０ｃ、１１３０ｄ、…から放出される光を拡散させることができるようになる。
【０４３５】
実施例に係る半導体素子はIR加熱機(heater)等に好ましく適用することができる。また、実施例に係る半導体素子はCCTV用IR照明(illumination)等に好ましく適用することができる。実施例に係る半導体素子は、広い領域に照射が必要な製品に好ましく適用することができる。
【０４３６】
一方、図２２および図２３は本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。図２２は図１０に示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図２３は図１０に示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図である。
【０４３７】
次に、図２２および図２３を参照して実施例に係る半導体素子の別の例を説明する。図２２および図２３を参照して実施例に係る半導体素子を説明する際に、以上で説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０４３８】
実施例に係る半導体素子は、図２２および図２３に示されたように、下部面に凹凸構造が提供された基板１１０５を含むことができる。前記基板１１０５は下部面に提供された複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…を含むことができる。前記基板１１０５は、例えば第１凹部Ｒ１、第２凹部Ｒ２、第３凹部Ｒ３、第４凹部Ｒ４を含むことができる。
【０４３９】
前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…は、前記基板１１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…はそれぞれ対応する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…と重なって配置されてもよい。前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…はそれぞれ対応する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…と前記基板１１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０４４０】
実施例によれば、前記第１凹部Ｒ１の幅は、前記第１発光構造物Ｐ１に提供された前記第１発光アパーチャー１１３０ａの幅に対応して提供されてもよい。また、前記第１凹部Ｒ１の幅は、前記第１発光構造物Ｐ１に提供された前記第１発光アパーチャー１１３０ａの直径に対応して提供されてもよい。例えば、前記第１発光アパーチャー１１３０ａは、前記第１発光構造物Ｐ１の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０４４１】
また、前記第２凹部Ｒ２の幅は、前記第２発光構造物Ｐ２に提供された前記第２発光アパーチャー１１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。前記第２凹部Ｒ２の幅は、前記第２発光構造物Ｐ２に提供された前記第２発光アパーチャー１１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。例えば、前記第２発光アパーチャー１１３０ｂは、前記第２発光構造物Ｐ２の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０４４２】
また、前記第３凹部Ｒ３の幅は、前記第３発光構造物Ｐ３に提供された前記第３発光アパーチャー１１３０ｃの幅に対応して提供されてもよい。前記第３凹部Ｒ３の幅は、前記第３発光構造物Ｐ３に提供された前記第３発光アパーチャー１１３０ｃの幅に対応して提供されてもよい。例えば、前記第３発光アパーチャー１１３０ｃは、前記第３発光構造物Ｐ３の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０４４３】
また、前記第４凹部Ｒ４の幅は、前記第４発光構造物Ｐ４に提供された前記第４発光アパーチャー１１３０ｄの幅に対応して提供されてもよい。前記第４凹部Ｒ４の幅は、前記第４発光構造物Ｐ４に提供された前記第４発光アパーチャー１１３０ｄの幅に対応して提供されてもよい。例えば、前記第４発光アパーチャー１１３０ｄは、前記第４発光構造物Ｐ４の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０４４４】
前記基板１１０５の厚さｔ１は、数十μｍ〜数百μｍに提供されてもよい。前記基板１１０５の厚さｔ１は、例えば１００μｍ〜１１０μｍに提供されてもよい。
【０４４５】
前記第１凹部Ｒ１、前記第２凹部Ｒ２、前記第３凹部Ｒ３、前記第４凹部Ｒ４の深さｔ４は、数μｍ〜数十μｍに提供されてもよい。例えば、前記第１凹部Ｒ１、前記第２凹部Ｒ２、前記第３凹部Ｒ３、前記第４凹部Ｒ４の深さｔ４は５μｍ〜２０μｍに提供されてもよい。
【０４４６】
また、前記第１凹部Ｒ１、前記第２凹部Ｒ２、前記第３凹部Ｒ３、前記第４凹部Ｒ４の幅ｗ３は、数十μｍに提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１、前記第２凹部Ｒ２、前記第３凹部Ｒ３、前記第４凹部Ｒ４の幅ｗ３は、例えば６μｍ〜１５μｍに提供されてもよい。
【０４４７】
別の実施例によれば、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…の幅ｗ３は、前記複数の発光アパーチャー１１３０ａ、１１３０ｂ、１１３０ｃ、１１３０ｄ、…の直径より数μｍ大きく提供されてもよい。例えば、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…の幅ｗ３は８μｍ〜２５μｍに提供されてもよい。
【０４４８】
例えば、前記第１凹部Ｒ１は、前記第１発光構造物Ｐ１の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。また、前記第２凹部Ｒ２は、前記第２発光構造物Ｐ２の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。前記第３凹部Ｒ３は、前記第３発光構造物Ｐ３の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。前記第４凹部Ｒ４は、前記第４発光構造物Ｐ４の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。
【０４４９】
実施例によれば、図２２および図２３に示されたように、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…の上部面は、例えば凹レンズ形状に提供されてもよい。前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…の上部面は、例えば前記基板１１０５の上部面に対して凹レンズ形状に提供されてもよい。これによって、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、…は、前記複数の発光アパーチャー１１３０ａ、１１３０ｂ、１１３０ｃ、１１３０ｄ、…から放出される光を集光させることができる。
【０４５０】
実施例に係る半導体素子は、下部に光学系が配置される製品に好ましく適用することができる。例えば、半導体素子の下部に回折光学素子(DOE)またはマイクロレンズ(micro lens)等の光学系が配置される場合、半導体素子から放出されるビームの角度(angle)を小さく提供できるので、光学系とのマッチング(matching)効率が向上する。実施例に係る半導体素子は、一定な画角の具現が必要な３次元動き認識製品等に好ましく適用することができる。
【０４５１】
一方、図２４および図２５は本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。
【０４５２】
図２４および図２５に示された実施例に係る半導体素子２２００は図１０〜図２３を参照して説明した実施例に係る半導体素子に比べて、ボンディングパッドの配置等に差がある。
【０４５３】
次に、図２４および図２５を参照して、本発明の実施例に係る半導体素子を説明する。図２４は本発明の実施例に係る半導体素子を示した図面であり、図２５は図２４に示された実施例に係る半導体素子のＤ‐Ｄ線断面図である。
【０４５４】
図２４および図２５を参照して実施例に係る半導体素子を説明する際に、図１０〜図２３を参照して説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０４５５】
一方、理解を助けるために、図２４の図示において、下部に位置した構成要素の配置関係を容易に把握できるように、上部に配置された第１ボンディングパッド２１５５と第２ボンディングパッド２１６５は透明に処理された。
【０４５６】
本発明の実施例に係る半導体素子２２００は、図２４および図２５に示されたように、基板２１０５、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…、第１電極２１５０、第１ボンディングパッド２１５５、第２ボンディングパッド２１６５を含むことができる。
【０４５７】
実施例に係る半導体素子２２００は、VCSELからなることができ、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で生成した光を、例えば５度〜３０度のビーム画角で放出することができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…のそれぞれは、第１導電型DBR層、活性層、第２導電型DBR層を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…のそれぞれは、類似する構造を有することができ、図２４に示されたＤ‐Ｄ線断面を参照して実施例に係る半導体素子２２００を説明する。
【０４５８】
実施例に係る半導体素子２２００は、図２４および図２５に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が配置された領域の上部には、前記第２ボンディングパッド２１６５が配置されてもよい。
【０４５９】
前記第１電極２１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間に配置されてもよい。前記第１電極２１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…を露出させる複数の第１開口部を含むことができる。
【０４６０】
前記第１電極２１５０に提供された前記複数の第１開口部は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の上部面を露出させることができる。前記第１電極２１５０に提供された前記複数の第１開口部は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層の上部面を露出させることができる。前記第１電極２１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層と電気的に連結されてもよい。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…を露出させる複数の第１開口部は、実施例に係る半導体素子の製造方法を説明する際にまた説明する。
【０４６１】
前記第１ボンディングパッド２１５５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…と離隔して配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド２１５５は、前記第１電極２１５０と電気的に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド２１５５は、前記第２ボンディングパッド２１６５の側面に沿って配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド２１５５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が提供された領域の外縁側面に沿って配置されてもよい。例えば、前記第１ボンディングパッド２１５５は、前記第２ボンディングパッド２１６５の両側面に配置されてもよい。
【０４６２】
前記第２ボンディングパッド２１６５は、前記第１ボンディングパッド２１５５と離隔して配置されてもよい。前記第２ボンディングパッド２１６５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド２１６５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層の上部面に配置されてもよい。
【０４６３】
また、実施例に係る半導体素子２２００は、図２４に示されたように、複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４を含むことができる。前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、第１導電型DBR層、活性層、第２導電型DBR層を含むことができる。また、前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４のうち前記第１ダミー発光構造物Ｄ１の上部と前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上部には、前記第１ボンディングパッド２１５５が配置されてもよい。
【０４６４】
次に、図２４および図２５を参照して、前記第２ボンディングパッド２１６５の下に配置された第１発光構造物Ｐ１と第２発光構造物Ｐ２を中心に実施例に係る半導体素子２２００をより詳しく説明する。
【０４６５】
実施例に係る半導体素子２２００は、図２４および図２５に示されたように、前記基板２１０５を含むことができる。前記基板２１０５は下部面に提供された凹凸構造を含むことができる。前記基板２１０５の上に複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…が配置されてもよい。
【０４６６】
例えば、前記基板２１０５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…が成長できる成長基板であってもよい。例えば、前記基板２１０５は、真性半導体基板であってもよい。
【０４６７】
実施例によれば、前記基板２１０５に提供された凹凸構造は、前記基板２１０５の下部面から上部方向にリセスされた複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…を含むことができる。前記基板２１０５に提供された凹凸構造に対しては、後でさらに説明する。
【０４６８】
実施例に係る半導体素子２２００は、前記第２ボンディングパッド２１６５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…は、光を放出する発光アパーチャー２１３０ａ、２１３０ｂ、…をそれぞれ含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…は、相互離隔して配置されてもよい。例えば、前記発光アパーチャー２１３０ａ、２１３０ｂ、…は、数μｍ〜数十μｍの直径で提供されてもよい。例えば、前記発光アパーチャー２１３０ａ、２１３０ｂ、…は、前記発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０４６９】
前記第１発光構造物Ｐ１は、第１導電型の第１DBR層２１１０ａ、第２導電型の第２DBR層２１２０ａ、第１活性層２１１５ａを含むことができる。前記第１活性層２１１５ａは、前記第１DBR層２１１０ａと前記第２DBR層２１２０ａの間に配置されてもよい。例えば、前記第１活性層２１１５ａが前記第１DBR層２１１０ａの上に配置され、前記第２DBR層２１２０ａが前記第１活性層２１１５ａの上に配置されてもよい。前記第１発光構造物Ｐ１は、前記第１活性層２１１５ａと前記第２DBR層２１２０ａの間に配置された第１アパーチャー層２１１７ａをさらに含むことができる。
【０４７０】
前記第２発光構造物Ｐ２は、第１導電型の第３DBR層２１１０ｂ、第２導電型の第４DBR層２１２０ｂ、第２活性層２１１５ｂを含むことができる。前記第２活性層２１１５ｂは、前記第３DBR層２１１０ｂと前記第４DBR層２１２０ｂの間に配置されてもよい。例えば、前記第２活性層２１１５ｂが前記第３DBR層２１１０ｂの上に配置され、前記第４DBR層２１２０ｂが前記第２活性層２１１５ｂの上に配置されてもよい。前記第２発光構造物Ｐ２は、前記第２活性層２１１５ｂと前記第４DBR層２１２０ｂの間に配置された第２アパーチャー層２１１７ｂをさらに含むことができる。
【０４７１】
また、前記第１発光構造物Ｐ１の前記第１DBR層２１１０ａと前記第２発光構造物Ｐ２の前記第３DBR層２１１０ｂの間に第１導電型DBR層２１１３が配置されてもよい。前記第１DBR層２１１０ａと前記第３DBR層２１１０ｂは、前記第１導電型DBR層２１１３によって物理的に連結されてもよい。例えば、前記第１導電型DBR層２１１３の上部面と前記第１DBR層２１１０ａの上部面が同一水平面に配置されてもよい。前記第１導電型DBR層２１１３の上部面と前記第３DBR層１１１０ｃの上部面が同一水平面に配置されてもよい。
【０４７２】
また、前記第１発光構造物Ｐ１の前記第１活性層２１１５ａと前記第２発光構造物Ｐ２の前記第２活性層２１１５ｂは、相互離隔して配置されてもよい。また、前記第１発光構造物Ｐ１の前記第２DBR層２１２０ａと前記第２発光構造物Ｐ２の前記第４DBR層２１２０ｂは、相互離隔して配置されてもよい。
【０４７３】
実施例に係る半導体素子２２００は、図２４および図２５に示されたように、下部面に凹凸構造が提供された基板２１０５を含むことができる。前記基板２１０５は、例えば第１凹部Ｒ１と第２凹部Ｒ２を含むことができる。
【０４７４】
前記第１凹部Ｒ１は、前記基板２１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１は、前記第１発光構造物Ｐ１と重なって配置されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第１発光構造物Ｐ１は、前記基板２１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０４７５】
前記第２凹部Ｒ２は、前記基板２１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記第２凹部Ｒ２は、前記第２発光構造物Ｐ２と重なって配置されてもよい。前記第２凹部Ｒ２と前記第２発光構造物Ｐ２は、前記基板２１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０４７６】
実施例によれば、前記第１凹部Ｒ１の幅は、前記第１発光構造物Ｐ１に提供された前記第１発光アパーチャー２１３０ａの幅に対応して提供されてもよい。また、前記第１凹部Ｒ１の幅は、前記第１発光構造物Ｐ１に提供された前記第１発光アパーチャー２１３０ａの直径に対応して提供されてもよい。例えば、前記第１発光アパーチャー２１３０ａは、前記第１発光構造物Ｐ１の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０４７７】
また、前記第２凹部Ｒ２の幅は、前記第２発光構造物Ｐ２に提供された前記第２発光アパーチャー２１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。前記第２凹部Ｒ２の幅は、前記第２発光構造物Ｐ２に提供された前記第２発光アパーチャー２１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。例えば、前記第２発光アパーチャー２１３０ｂは、前記第２発光構造物Ｐ２の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０４７８】
前記基板２１０５の厚さｔ５は、数十μｍ〜数百μｍに提供されてもよい。前記基板２１０５の厚さｔ５は、例えば１００μｍ〜１１０μｍに提供されてもよい。
【０４７９】
前記基板２１０５の厚さｔ５が１００μｍより小さい場合には、前記基板２１０５の上に配置された構成要素を安定的に支持できず、半導体素子の信頼性が低下することになる。また、前記基板２１０５の厚さｔ５が１１０μｍより大きい場合には、半導体素子の大きさが厚くなる短所がある。
【０４８０】
前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ６は、数μｍ〜数十μｍに提供されてもよい。例えば、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ６は５μｍ〜２０μｍに提供されてもよい。
【０４８１】
前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ６が５μｍより小さい場合には、前記第１凹部Ｒ１および前記第２凹部Ｒ２によって提供される光抽出効果の増加が微小となる。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ６が２０μｍより大きい場合には、前記第１凹部Ｒ１および前記第２凹部Ｒ２によって提供される光抽出効果は著しくなるが、工程時間が増加する短所がある。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ６が２０μｍより大きい場合には、前記基板２１０５の上に配置された構成要素を安定的に支持できず、半導体素子の信頼性が低下することになる。
【０４８２】
また、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ４は、数十μｍに提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ４は、例えば６μｍ〜１５μｍに提供されてもよい。
【０４８３】
例えば、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ４は、前記第１発光アパーチャー２１３０ａの幅と前記第２発光アパーチャー２１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２から放出される光は、下部方向に方向性を持って放出される。従って、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ４は、光が伝播する領域に提供されるように形成されてもよい。
【０４８４】
別の実施例によれば、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ４は、前記第１発光アパーチャー２１３０ａおよび前記第２発光アパーチャー２１３０ｂの直径より数μｍ大きく提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の形成に対する工程誤差を考慮して、複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…と複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２の間の整列が安定的に行われるようにするためである。例えば、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ４は８μｍ〜２５μｍに提供されてもよい。
【０４８５】
例えば、前記第１凹部Ｒ１は、前記第１発光構造物Ｐ１の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。また、前記第２凹部Ｒ２は、前記第２発光構造物Ｐ２の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の上部面は、例えば平面形状に提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の上部面は、例えば前記基板２１０５の上部面に平行するように提供されてもよい。
【０４８６】
実施例に係る半導体素子２２００は、図２４および図２５に示されたように、絶縁層２１４０を含むことができる。前記絶縁層２１４０は、前記第１発光構造物Ｐ１の側面に配置されてもよい。前記絶縁層２１４０は、前記第１発光構造物Ｐ１の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。前記絶縁層２１４０は、前記第２発光構造物Ｐ２の側面に配置されてもよい。前記絶縁層２１４０は、前記第２発光構造物Ｐ２の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。
【０４８７】
また、前記絶縁層２１４０は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間に配置されてもよい。前記絶縁層２１４０は、前記第１導電型DBR層２１１３の上に配置されてもよい。
【０４８８】
前記絶縁層２１４０は、前記第１発光構造物Ｐ１の上部面を露出させることができる。前記絶縁層２１４０は、前記第１発光構造物Ｐ１の前記第２DBR層２１２０ａの上部面を露出させることができる。前記絶縁層２１４０は、前記第２発光構造物Ｐ２の上部面を露出させることができる。前記絶縁層２１４０は、前記第２発光構造物Ｐ２の前記第４DBR層２１２０ｂの上部面を露出させることができる。前記絶縁層２１４０は、前記第１発光構造物Ｐ１の上部面と前記第２発光構造物Ｐ２の上部面を露出させる第２開口部を含むことができる。前記第１発光構造物Ｐ１の上部面と前記第２発光構造物Ｐ２の上部面を露出させる第２開口部については、実施例に係る半導体素子の製造方法を説明する際にまた説明する。
【０４８９】
実施例に係る半導体素子２２００は、図２４および図２５に示されたように、第１電極２１５０を含むことができる。前記第１電極２１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間に配置されてもよい。前記第１電極２１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…を露出させる複数の第１開口部を含むことができる。
【０４９０】
前記第１電極２１５０は、前記第１導電型DBR層２１１３の上に配置されてもよい。前記第１電極２１５０は、前記第１DBR層２１１０ａと電気的に連結されてもよい。前記第１電極２１５０は、前記第３DBR層２１１０ｂと電気的に連結されてもよい。前記第１電極２１５０は、前記絶縁層２１４０の下に配置されてもよい。前記第１電極２１５０は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間の領域で前記絶縁層２１４０の下に配置されてもよい。前記第１電極２１５０は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間の領域で前記絶縁層２１４０と前記第１導電型DBR層２１１３の間に配置されてもよい。
【０４９１】
例えば、前記第１電極２１５０の下部面が前記第１導電型DBR層２１１３の上部面に直接接触して配置されてもよい。前記第１電極２１５０の上部面が前記絶縁層２１４０の下部面に直接接触して配置されてもよい。前記第１電極２１５０は、前記第１DBR層２１１０ａと前記第３DBR層２１１０ｂと電気的に共通連結されてもよい。
【０４９２】
実施例に係る半導体素子２２００は、図２４および図２５に示されたように、前記第１ボンディングパッド２１５５と前記第２ボンディングパッド２１６５を含むことができる。
【０４９３】
実施例によれば、前記第１ボンディングパッド２１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。実施例によれば、前記第１ボンディングパッド２１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。
【０４９４】
前記第２ボンディングパッド２１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。実施例によれば、前記第２ボンディングパッド２１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。
【０４９５】
実施例に係る半導体素子２２００は、図２４および図２５に示されたように、複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４を含むことができる。前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…と離隔して配置されてもよい。
【０４９６】
前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、前記第２ボンディングパッド２１６５から離隔して配置されてもよい。例えば、第１ダミー発光構造物Ｄ１の上部領域に前記第１ボンディングパッド２１５５が配置されてもよい。また、前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上部領域に前記第１ボンディングパッド２１５５が配置されてもよい。前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、類似する構造を有することができる。
【０４９７】
前記第１ダミー発光構造物Ｄ１は、第１導電型DBR層２１１３、第２導電型DBR層２１１９を含むことができる。また、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１は、活性層２１１６とアパーチャー層２１１８を含むことができる。
【０４９８】
実施例に係る半導体素子２２００は、図２４および図２５に示されたように、パッド電極２１５３を含むことができる。前記パッド電極２１５３は、前記第１電極２１５０と電気的に連結されてもよい。前記パッド電極２１５３は、前記第１発光構造物Ｐ１と前記第２発光構造物Ｐ２の間に配置された前記第１電極２１５０から延長されて配置されてもよい。前記パッド電極２１５３と前記第１電極２１５０の連結関係については、実施例に係る半導体素子の製造方法を説明する際にまた説明する。
【０４９９】
前記パッド電極２１５３は、前記第１導電型DBR層２１１３に電気的に連結されてもよい。前記パッド電極２１５３は、前記活性層２１１６に電気的に連結されてもよい。前記パッド電極２１５３は、前記第２導電型DBR層２１１９に電気的に連結されてもよい。前記パッド電極２１５３は、前記第１導電型DBR層２１１３と前記第２導電型DBR層２１１９に電気的に共通連結されてもよい。これによって、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１は、光を生成しなくてもよい。
【０５００】
前記パッド電極２１５３は、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１と前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上に配置されてもよい。前記パッド電極２１５３は、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１の上部面の上に配置されてもよい。前記パッド電極２１５３は、前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上部面の上に配置されてもよい。前記パッド電極２１５３は、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１と前記第２ダミー発光構造物Ｄ２に提供された前記第２導電型DBR層２１１９の上に配置されてもよい。
【０５０１】
実施例によれば、前記パッド電極２１５３の上に前記第１ボンディングパッド２１５５が配置されてもよい。前記パッド電極２１５３の側面に前記絶縁層２１４０が配置されてもよい。前記絶縁層２１４０によって露出された前記パッド電極２１５３の上部面に前記第１ボンディングパッド２１５５が配置されてもよい。
【０５０２】
実施例に係る半導体素子２２００によれば、前記第１ボンディングパッド２１５５と前記第２ボンディングパッド２１６５を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…に電源が提供されてもよい。前記第１ボンディングパッド２１５５が前記パッド電極２１５３を介して前記第１電極２１５０に電気的に連結されてもよい。そして、前記第１電極２１５０が前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。また、前記第２ボンディングパッド２１６５が前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層の上部面の上に配置されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド２１６５の下部面が前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０５０３】
従って、実施例によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…に電源が提供される際に、前記基板２１０５の下部面を介して電源が印加される必要がない。従来の半導体素子において、前記基板の下部面を介して電源が印加される必要がある場合、前記基板２１０５が必ず導電性基板から提供されなければならない。ところが、実施例に係る半導体素子２２００によれば、前記基板２１０５は、導電性基板であってもよく、絶縁性基板であってもよい。例えば、実施例に係る前記基板２１０５は、真性半導体基板から提供されてもよい。
【０５０４】
また、前記基板２１０５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が成長基板から成長した後、成長基板が除去され、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…に付着された基板であってもよい。例えば、前記支持基板は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で生成した光が透過できる透明基板であってもよい。
【０５０５】
一方、実施例に係る半導体素子２２００は、図２４および図２５に示されたように、前記半導体素子２２００の下部方向に光が放出されるように具現されてもよい。即ち、実施例に係る半導体素子２２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす活性層から第１導電型DBR層が配置された方向に光が放出されてもよい。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす活性層から前記基板２１０５が配置された方向に光が放出されてもよい。
【０５０６】
実施例によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層の上部面に前記第２ボンディングパッド２１６５が接触して配置される。また、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に前記第１電極２１５０が連結されて配置され、前記第１電極２１５０から延長された前記パッド電極２１５３の上に前記第１ボンディングパッド２１５５が接触して配置される。これによって、前記第１ボンディングパッド２１５５および前記第２ボンディングパッド２１６５を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した熱が外部に効果的に放出される。
【０５０７】
一方、一般的な半導体素子の場合、発光構造物で発生した熱によって電力変換効率(PCE：Power Conversion Efficiency)が著しく低下すると知られている。そして、下部に配置された基板を介して発光構造物に電源が提供される場合、一般的に基板を介して熱放出がなされる。ところが、基板の熱伝導率が低いので、発光構造物で発生した熱を外部に放出され難くなる。例えば、GaAs基板の場合、熱伝導率が５２W/(m*K)として低いと知られている。
【０５０８】
ところが、実施例によれば、前記第１ボンディングパッド２１５５と前記第２ボンディングパッド２１６５を介して外部の放熱基板等に連結されるので、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した熱を外部に効果的に放出できるようになる。従って、実施例によれば、半導体素子２２００で発生した熱を外部に効果的に排出できるので、電力変化効率(PCE)が向上する。
【０５０９】
一方、実施例に係る半導体素子２２００によれば、以上で説明したように、前記半導体素子２２００の下部方向に光が放出されるように具現されてもよい。実施例に係る半導体素子２２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の下部領域に提供された第１導電型DBR層の反射率が上部領域に提供された第２導電型DBR層の反射率より小さく選択されてもよい。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で生成した光が前記半導体素子２２００の基板２１０５の方向に放出されることになる。
【０５１０】
また、実施例に係る半導体素子２２００によれば、前記絶縁層２１４０がDBR層からなることができる。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で生成した光が上部に配置された前記絶縁層２１４０に反射されて下部方向に効果的に抽出される。
【０５１１】
例えば、前記絶縁層２１４０は、SiO2とTiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記絶縁層２１４０は、Ta2O3とSiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記絶縁層２１４０は、SiO2とSi3N4が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。
【０５１２】
一方、従来の半導体素子において、基板を介して発光構造物に電源を提供する場合、基板が導電性である必要がある。これによって、導電性半導体基板が適用される場合、導電性を向上させるために基板にドーパントが添加される。ところが、基板に添加されたドーパントは、放出される光に対する吸収および散乱(Absorption and Scattering)現象を生じさせるので、電力変換効率(PCE)を低下させる原因となる。
【０５１３】
ところが、実施例に係る半導体素子２２００によれば、以上で説明したように、前記基板２１０５が導電性基板である必要がないので、前記基板２１０５に別途のドーパントが添加されなくてもよい。これによって、実施例に係る前記基板２１０５にドーパントが添加されなくてもよいので、前記基板２１０５においてドーパントによる吸収および散乱が発生する現象を減らすことができる。従って、実施例によれば、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した光を下部方向に効果的に提供することができ、電力変換効率(PCE)が向上する。
【０５１４】
また、実施例に係る半導体素子２２００によれば、前記基板２１０５の下部面に提供された凹凸構造を介して光が放出されることになる。即ち、実施例によれば、前記基板２１０５の下部方向に光が放出される際に、前記基板２１０５を透過する光の光経路の長さが短縮される。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した光が前記基板２１０５を透過しながら吸収および散乱が発生する現象を減らすことができるようになる。従って、実施例によれば、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した光を下部方向に効果的に提供することができ、電力変換効率(PCE)が向上する。
【０５１５】
また、実施例に係る半導体素子２２００は、前記基板２１０５の下部面に提供された無反射層２１７０をさらに含むことができる。前記無反射層２１７０は、前記半導体素子２２００から放出される光が前記基板２１０５の表面で反射されることを防止し透過させることで、反射による光損失を改善することができる。
【０５１６】
前記無反射層２１７０は、例えば無反射コーティングフィルムから形成され、前記基板２１０５の表面に付着されてもよい。また、前記無反射層２１７０は、前記基板２１０５の表面にスピンコーティングまたはスプレーコーティング等によって形成されてもよい。例えば、前記無反射層２１７０は、TiO2、SiO2、Al2O3、Ta2O3、ZrO2、MgF2を含むグループのうち少なくとも一つを含む単一層または多層構造を有することができる。
【０５１７】
また、実施例に係る半導体素子２２００によれば、前記第１ボンディングパッド２１５５に連結された前記第１電極２１５０と前記第２ボンディングパッド２１６５によって前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間に電流拡散が効率的に行われる。これによって、実施例に係る半導体素子２２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…において電流の密集なく電流が効率的に拡散され、光抽出効率が向上する。
【０５１８】
一方、図２４および図２５を参照して説明した実施例に係る半導体素子２２００は、第１ダミー発光構造物Ｄ１と第２ダミー発光構造物Ｄ２の上に前記第１ボンディングパッド２１５５が提供された場合をベースに説明した。
【０５１９】
ところが、別の実施例に係る半導体素子によれば、前記第１ボンディングパッド２１５５は、一つのダミー発光構造物の上のみに提供されてもよい。また、前記第１ボンディングパッド２１５５は、３つのダミー発光構造物の上または４つのダミー発光構造物の上に提供されてもよい。
【０５２０】
前記第１ボンディングパッド２１５５が提供される領域は、半導体素子の大きさ、求められる電流拡散(current spreading)の程度等を考慮して、弾力的に選択することができる。例えば、半導体素子のサイズが大きいか、電流拡散の必要性が大きい半導体素子の場合にも、半導体素子の４つの側面に前記第１ボンディングパッド２１５５が配置される。
【０５２１】
次に、添付された図面を参照して、本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法を説明する。実施例に係る半導体素子の製造方法の説明において、以上で説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０５２２】
まず、図２６ａおよび図２６ｂは、本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において複数の発光構造物とダミー発光構造物が形成された例を示した図面である。図２６ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって複数の発光構造物とダミー発光構造物が形成されたステップを示した平面図であり、図２６ｂは図２６ａに示された実施例に係る半導体素子のＤ‐Ｄ線断面図である。
【０５２３】
実施例に係る半導体素子の製造方法によれば、図２６ａおよび図２６ｂに示されたように、基板２１０５に複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が形成される。また、前記基板２１０５に複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４が形成される。例えば、前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…周辺に形成される。
【０５２４】
前記基板２１０５は、真性半導体基板、導電性基板、絶縁性基板から選択されたいずれか一つからなることができる。例えば、前記基板２１０５は、GaAs真性半導体基板であってもよい。また、前記基板２１０５は、銅(Cu)、金(Au)、ニッケル(Ni)、モリブデン(Mo)、銅-タングステン(Cu-W)、キャリアウェハ(例えば、Si、Ge、AlN、GaAs、ZnO、SiC等)を含む導電性物質から選択された少なくとも一つからなることができる。
【０５２５】
例えば、前記基板２１０５に第１導電型DBR層、活性層、第２導電型DBR層が順に形成される。そして、第２導電型DBR層と活性層に対するメサエッチングによって前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が形成されてもよい。また、第２導電型DBR層と活性層に対するメサエッチングによって前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４が形成される。前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が形成された領域の側面に形成されてもよい。
【０５２６】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…は、第１導電型DBR層２１１０ａ、２１１０ｂ、…、活性層２１１５ａ、２１１５ｂ、…、アパーチャー層２１１７ａ、２１１７ｂ、…２１１７ａ、２１１７ｂ、…、第２導電型DBR層２１２０ａ、２１２０ｂ、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４…の周りに第１導電型DBR層２１１３が提供されてもよい。前記第１導電型DBR層２１１３は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間の領域に配置されてもよい。
【０５２７】
また、実施例に係る前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、第１導電型DBR層２１１３、活性層２１１６、アパーチャー層２１１８、第２導電型DBR層２１１９を含むことができる。例えば、前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…が形成された領域の側面に沿って幅を有するライン状に提供されてもよい。
【０５２８】
例えば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…と前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、複数の化合物半導体層に成長することができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…と前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４は、電子ビーム蒸着装置、PVD(physical vapor deposition)、CVD(chemical vapor deposition)、PLD(plasma laser deposition)、二重型熱蒸着器(dual-type thermal evaporator)、スパッタリング(sputtering)、MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)等によって形成されてもよい。
【０５２９】
前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４をなすアパーチャー層２１１８は、前記活性層２１１６の上に配置されてもよい。ただし、図２４および図２５を参照して説明したように、前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４に配置された前記アパーチャー層２１１８は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…に提供された前記アパーチャー層２１１７ａ、２１１７ｂの機能とは異なり、前記活性層２１１６の中心部に電流が集中するように電流移動を制限する機能はしない。実施例によれば、前記複数のダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４に配置された前記第１導電型DBR層２１１３と前記第２導電型DBR層２１１９の間に共通電圧が印加されるからである。
【０５３０】
例えば、前記第２導電型DBR層２１２０ａ、２１２０ｂ、…は、前記第１導電型DBR層２１１０ａ、２１１０ｂ、…より大きい反射率を有することができる。例えば、前記第２導電型DBR層２１２０ａ、２１２０ｂ、…と前記第１導電型DBR層２１１０ａ、２１１０ｂ、…は、９０％以上の反射率によって垂直方向に共振キャビティを形成することができる。このとき、生成された光は、前記第２導電型DBR層２１２０ａ、２１２０ｂ、…の反射率より低い前記第１導電型DBR層２１１０ａ、２１１０ｂ、…を介して外部に放出されてもよい。
【０５３１】
次に、図２７ａおよび２７ｂに示されたように、実施例に係る第１電極２１５０と電極パッド２１５３が形成される。
【０５３２】
図２７ａおよび図２７ｂは、本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極と電極パッドが形成された例を示した図面である。図２７ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第１電極と電極パッドが形成されたステップを示した平面図であり、図２７ｂは図２７ａに示された実施例に係る半導体素子のＤ‐Ｄ線断面図である。
【０５３３】
実施例によれば、図２７ａおよび図２７ｂに示されたように、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の周りに前記第１電極２１５０が形成される。前記第１電極２１５０は、前記第１導電型DBR層２１１３の上に形成され、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…を露出させる第１開口部Ｈ１を含むことができる。前記第１電極２１５０は、前記前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間の領域に形成されてもよい。
【０５３４】
例えば、表１を参照して説明したように、前記第１電極２１５０の面積Aeが前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の面積Amより大きく提供されてもよい。ここで、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の面積Amとは、メサエッチングによってエッチングされず残っている前記活性層２１１５ａ、２１１５ｂ、…の面積を意味することができる。前記第１電極２１５０の面積Aeに対する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の面積Amの比率Am/Aeは、例えば２５％より大きく提供されてもよい。実施例に係る半導体素子２２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の個数および直径は、応用例に応じて多様に変形することができる。
【０５３５】
実施例によれば、表１を参照して説明したように、前記第１電極２１５０の面積Aeに対する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の面積Amの比率Am/Aeは、例えば２５％〜７０％に提供されてもよい。別の実施例によれば、前記第１電極２１５０の面積Aeに対する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の面積Amの比率Am/Aeは、例えば３０％〜６０％に提供されてもよい。
【０５３６】
実施例に係る半導体素子２２００の適用例に応じて、前記半導体素子２２００に配置された前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の個数および直径は、多様に変更することができる。
【０５３７】
また、実施例に係る半導体素子の製造方法によれば、図２７ａおよび図２７ｂに示されたように、前記ダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４の上に配置されたパッド電極２１５３が形成される。前記パッド電極２１５３は、前記第１電極２１５０から延長されて形成されてもよい。前記パッド電極２１５３は、前記ダミー発光構造物Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４の前記第２導電型DBR層２１１９の上に形成されてもよい。
【０５３８】
実施例によれば、前記第１電極２１５０と前記パッド電極２１５３に共通で電圧が供給される。前記第１電極２１５０と前記パッド電極２１５３は、等電位面を提供することができる。
【０５３９】
例えば、前記第１電極２１５０と前記電極パッド２１５３は、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、Hf、Ti、W、Crおよびこれらのうち２以上の合金から構成された物質を含むグループから選択された物質からなることができる。前記第１電極２１５０と前記電極パッド２１５３は、一つの層または複数の層に形成されてもよい。前記第１電極２１５０と前記電極パッド２１５３は、例えば反射金属として複数の金属層を適用することができ、接着層としてCrまたはTi等を適用することができる。例えば、前記第１電極２１５０と前記電極パッド２１５３は、Cr/Al/Ni/Au/Ti層からなることができる。
【０５４０】
続いて、図２８ａおよび図２８ｂに示されたように、実施例に係る前記第１電極２１５０の上に絶縁層２１４０が形成される。
【０５４１】
図２８ａおよび図２８ｂは、本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において絶縁層が形成された例を示した図面である。図２８ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって絶縁層が形成されたステップを示した平面図であり、図２８ｂは図２８ａに示された実施例に係る半導体素子のＤ‐Ｄ線断面図である。
【０５４２】
実施例によれば、図２８ａおよび図２８ｂに示されたように、前記第１電極２１５０の上に前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の上部面を露出させる前記絶縁層２１４０が形成される。前記絶縁層２１４０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の側面に形成されてもよい。前記絶縁層２１４０は、前記第１導電型DBR層２１１３の上に形成されてもよい。前記絶縁層２１４０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の間の領域に形成されてもよい。
【０５４３】
前記絶縁層２１４０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の上部面を露出させる複数の第２開口部Ｈ２を含むことができる。前記第２開口部Ｈ２の大きさは、前記第１開口部Ｈ１の大きさより小さく提供されてもよい。例えば、前記複数の第２開口部Ｈ２は、前記複数の第１開口部Ｈ１が提供された領域に整列して配置されてもよい。
【０５４４】
実施例によれば、前記絶縁層２１４０は、前記電極パッド２１５３の上部面を露出させることができる。前記絶縁層２１４０は、前記第３ダミー発光構造物Ｄ３の上に形成されてもよい。また、前記絶縁層２１４０は、前記第４ダミー発光構造物Ｄ４の上に形成されてもよい。
【０５４５】
前記絶縁層２１４０は、絶縁物質から提供されてもよい。例えば、前記絶縁層２１４０は、SiO2、TiO2、Ta2O5、SiOx、SiOxNy、Si3N4、Al2O3を含むグループから選択された少なくとも一つの物質からなることができる。また、前記絶縁層２１４０は、DBR層から形成されてもよい。実施例によれば、前記絶縁層２１４０がDBR層から提供されることで、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…で発生した光が効率的に反射されて下部方向に抽出される。例えば、前記絶縁層２１４０は、SiO2とTiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記絶縁層２１４０は、Ta2O3とSiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記絶縁層２１４０は、SiO2とSi3N4が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。
【０５４６】
そして、図２９ａおよび図２９ｂに示されたように、実施例に係る前記パッド電極２１５３の上に第１ボンディングパッド２１５５が形成され、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層の上に第２ボンディングパッド２１６５が形成される。
【０５４７】
図２９ａおよび図２９ｂは、本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。図２９ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成されたステップを示した平面図であり、図２９ｂは図２９ａに示された実施例に係る半導体素子のＤ‐Ｄ線断面図である。
【０５４８】
実施例によれば、図２９ａおよび図２９ｂに示されたように、前記第１ボンディングパッド２１５５と前記第２ボンディングパッド２１６５が離隔して形成されてもよい。
【０５４９】
前記第１ボンディングパッド２１５５は、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１と前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上に形成されてもよい。前記第１ボンディングパッド２１５５は、前記第１ダミー発光構造物Ｄ１の上に配置され、前記パッド電極２１５３と電気的に連結されてもよい。例えば、前記第１ボンディングパッド２１５５は、前記パッド電極２１５３の上部面に直接接触して配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド２１５５は、前記第２ダミー発光構造物Ｄ２の上に配置されてもよい。また、前記第１ボンディングパッド２１５５は、前記第２ダミー発光構造物Ｄ２に提供されたパッド電極に直接接触して配置されてもよい。
【０５５０】
実施例によれば、前記第１ボンディングパッド２１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。実施例によれば、前記第１ボンディングパッド２１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第１導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。
【０５５１】
前記第２ボンディングパッド２１６５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の上に形成されてもよい。前記第２ボンディングパッド２１６５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層２１２０ａ、２１２０ｂ、…の上に形成されてもよい。また、前記第２ボンディングパッド２１６５は、前記絶縁層２１４０の上に形成されてもよい。
【０５５２】
前記第２ボンディングパッド２１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。実施例によれば、前記第２ボンディングパッド２１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の第２導電型DBR層に電気的に共通連結されてもよい。
【０５５３】
前記第２ボンディングパッド２１６５は、前記絶縁層２１４０に提供された前記第２開口部Ｈ２の上に配置されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド２１６５の下部面が前記第２開口部Ｈ２を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の第２導電型DBR層２１２０ａ、２１２０ｂ、…の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０５５４】
例えば、前記第１ボンディングパッド２１５５と前記第２ボンディングパッド２１６５は、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、Hf、Ti、W、Cr、Cuおよびこれらのうち２以上の合金から構成された物質を含むグループから選択された物質からなることができる。前記第１ボンディングパッド２１５５と前記第２ボンディングパッド２１６５は、一つの層または複数の層に形成されてもよい。前記第１ボンディングパッド２１５５と前記第２ボンディングパッド２１６５は、例えばソルダーボンディング(solder bonding)からSn拡散を防止するために、Cr、Cu等の拡散バリアー金属を含むことができる。例えば、前記第１ボンディングパッド２１５５と前記第２ボンディングパッド２１６５はTi、Ni、Cu、Cr、Auを含む複数の層に形成されてもよい。
【０５５５】
次に、図２９ａおよび図２９ｂに示されたように、前記基板２１０５の下部面に凹凸構造が形成される。
【０５５６】
実施例によれば、前記基板２１０５に提供された凹凸構造は、前記基板２１０５の下部面から上部方向にリセスされた複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…を含むことができる。前記基板２１０５は、例えば第１凹部Ｒ１、第２凹部Ｒ２を含むことができる。
【０５５７】
前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…は、例えばエッチング工程によって形成されてもよい。前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…は乾式エッチング工程または湿式エッチング工程によって形成されてもよい。
【０５５８】
また、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…はレーザーアブレーション(laser ablation)工程またはソーイング(sawing)工程によって形成されてもよい。前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…がレーザーアブレーション(laser ablation)工程またはソーイング(sawing)工程によって形成される場合、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…が早く形成され、工程時間を短縮できる長所がある。
【０５５９】
実施例に係る半導体素子の製造方法によれば、レーザーアブレーション(laser ablation)工程またはソーイング(sawing)工程によって前記基板２１０５に凹凸構造を形成する場合に、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…の深さｔ６を数十μｍまで深く形成することができ、容易に調節することができる。
【０５６０】
前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…がレーザーアブレーション(laser ablation)工程またはソーイング(sawing)工程によって形成される場合、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…側面にラフネス(roughness)が形成されてもよい。このとき、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…側面にラフネス(roughness)が形成される場合には、追加エッチング工程によって前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…に形成されたラフネス(roughness)を除去することもできる。
【０５６１】
一方、図３０は本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。図３０は図２４に示された実施例に係る半導体素子のＤ‐Ｄ線断面図である。
【０５６２】
次に、図３０を参照して実施例に係る半導体素子のさらに別の例を説明する。図３０を参照して実施例に係る半導体素子を説明する際に、以上で説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０５６３】
実施例に係る半導体素子は、図３０に示されたように、下部面に凹凸構造が提供された基板２１０５を含むことができる。前記基板２１０５は下部面に提供された複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…を含むことができる。前記基板２１０５は、例えば第１凹部Ｒ１、第２凹部Ｒ２を含むことができる。
【０５６４】
前記第１凹部Ｒ１は、前記基板２１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１は、前記第１発光構造物Ｐ１と重なって配置されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第１発光構造物Ｐ１は、前記基板２１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０５６５】
前記第２凹部Ｒ２は、前記基板２１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記第２凹部Ｒ２は、前記第２発光構造物Ｐ２と重なって配置されてもよい。前記第２凹部Ｒ２と前記第２発光構造物Ｐ２は、前記基板２１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０５６６】
実施例によれば、前記第１凹部Ｒ１の幅は、前記第１発光構造物Ｐ１に提供された前記第１発光アパーチャー２１３０ａの幅に対応して提供されてもよい。また、前記第１凹部Ｒ１の幅は、前記第１発光構造物Ｐ１に提供された前記第１発光アパーチャー２１３０ａの直径に対応して提供されてもよい。例えば、前記第１発光アパーチャー２１３０ａは、前記第１発光構造物Ｐ１の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０５６７】
また、前記第２凹部Ｒ２の幅は、前記第２発光構造物Ｐ２に提供された前記第２発光アパーチャー２１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。前記第２凹部Ｒ２の幅は、前記第２発光構造物Ｐ２に提供された前記第２発光アパーチャー２１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。例えば、前記第２発光アパーチャー２１３０ｂは、前記第２発光構造物Ｐ２の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０５６８】
前記基板２１０５の厚さｔ５は、数十μｍ〜数百μｍに提供されてもよい。前記基板２１０５の厚さｔ５は、例えば１００μｍ〜１１０μｍに提供されてもよい。
【０５６９】
前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ７は、数μｍ〜数十μｍに提供されてもよい。例えば、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ７は５μｍ〜２０μｍに提供されてもよい。
【０５７０】
また、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ５は、数十μｍに提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ５は、例えば６μｍ〜１５μｍに提供されてもよい。
【０５７１】
別の実施例によれば、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…の幅ｗ５は、前記複数の発光アパーチャー２１３０ａ、２１３０ｂ、…の直径より数μｍ大きく提供されてもよい。例えば、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…の幅ｗ５は８μｍ〜２５μｍに提供されてもよい。
【０５７２】
例えば、前記第１凹部Ｒ１は、前記第１発光構造物Ｐ１の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。また、前記第２凹部Ｒ２は、前記第２発光構造物Ｐ２の下部に円形の水平断面を有するホール状に提供されてもよい。
【０５７３】
実施例によれば、図３０に示されたように、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…の上部面は、例えば凸レンズ形状に提供されてもよい。前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…の上部面は、例えば前記基板２１０５の上部面に対して凸レンズ形状に提供されてもよい。これによって、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…は、前記複数の発光アパーチャー２１３０ａ、２１３０ｂ、…から放出される光を拡散させることができるようになる。
【０５７４】
実施例に係る半導体素子はIR加熱機(heater)等に好ましく適用することができる。また、実施例に係る半導体素子はCCTV用IR照明(illumination)等に好ましく適用することができる。実施例に係る半導体素子は、広い領域に照射が必要な製品に好ましく適用することができる。
【０５７５】
一方、図３１は本発明の実施例に係る半導体素子のさらに別の例を示した図面である。図３１は図２４に示された実施例に係る半導体素子のＤ‐Ｄ線断面図である。
【０５７６】
次に、図３１を参照して実施例に係る半導体素子のさらに別の例を説明する。図３１を参照して実施例に係る半導体素子を説明する際に、以上で説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０５７７】
実施例に係る半導体素子は、図３１に示されたように、下部面に凹凸構造が提供された基板２１０５を含むことができる。前記基板２１０５は下部面に提供された複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…を含むことができる。前記基板２１０５は、例えば第１凹部Ｒ１、第２凹部Ｒ２を含むことができる。
【０５７８】
前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…は、前記基板２１０５の下部面から上部方向にリセスされて提供されてもよい。前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…はそれぞれ対応する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…と重なって配置されてもよい。前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…はそれぞれ対応する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…と前記基板２１０５の上部面に垂直する方向に相互重なって配置されてもよい。
【０５７９】
実施例によれば、前記第１凹部Ｒ１の幅は、前記第１発光構造物Ｐ１に提供された前記第１発光アパーチャー２１３０ａの幅に対応して提供されてもよい。また、前記第１凹部Ｒ１の幅は、前記第１発光構造物Ｐ１に提供された前記第１発光アパーチャー２１３０ａの直径に対応して提供されてもよい。例えば、前記第１発光アパーチャー２１３０ａは、前記第１発光構造物Ｐ１の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０５８０】
また、前記第２凹部Ｒ２の幅は、前記第２発光構造物Ｐ２に提供された前記第２発光アパーチャー２１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。前記第２凹部Ｒ２の幅は、前記第２発光構造物Ｐ２に提供された前記第２発光アパーチャー２１３０ｂの幅に対応して提供されてもよい。例えば、前記第２発光アパーチャー２１３０ｂは、前記第２発光構造物Ｐ２の下部面に垂直する方向に光が放出される領域と定義することができる。
【０５８１】
前記基板２１０５の厚さｔ５は、数十μｍ〜数百μｍに提供されてもよい。前記基板２１０５の厚さｔ５は、例えば１００μｍ〜１１０μｍに提供されてもよい。
【０５８２】
前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ８は、数μｍ〜数十μｍに提供されてもよい。例えば、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の深さｔ８は５μｍ〜２０μｍに提供されてもよい。
【０５８３】
また、前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ６は、数十μｍに提供されてもよい。前記第１凹部Ｒ１と前記第２凹部Ｒ２の幅ｗ６は、例えば６μｍ〜１５μｍに提供されてもよい。
【０５８４】
別の実施例によれば、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…の幅ｗ６は、前記複数の発光アパーチャー２１３０ａ、２１３０ｂ、…の直径より数μｍ大きく提供されてもよい。例えば、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…の幅ｗ６は８μｍ〜２５μｍに提供されてもよい。
【０５８５】
例えば、前記第１凹部Ｒ１は、前記第１発光構造物Ｐ１の下部に貫通ホールの形状に提供されてもよい。また、前記第２凹部Ｒ２は、前記第２発光構造物Ｐ２の下部に貫通ホールの形状に提供されてもよい。
【０５８６】
実施例によれば、図３１に示されたように、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…の上部面は、例えば凹レンズ形状に提供されてもよい。前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…の上部面は、例えば前記基板２１０５の上部面に対して凹レンズ形状に提供されてもよい。これによって、前記複数の凹部Ｒ１、Ｒ２、…は、前記複数の発光アパーチャー２１３０ａ、２１３０ｂ、…から放出される光を集光させることができる。
【０５８７】
実施例に係る半導体素子は、下部に光学系が配置される製品に好ましく適用することができる。例えば、半導体素子の下部に回折光学素子(DOE)またはマイクロレンズ(micro lens)等の光学系が配置される場合、半導体素子から放出されるビームの角度(angle)を小さく提供できるので、光学系とのマッチング(matching)効率が向上する。実施例に係る半導体素子は、一定な画角の具現が必要な３次元動き認識製品等に好ましく適用することができる。
【０５８８】
次に、図３２〜図３５を参照して、本発明の実施例に係る半導体素子を説明する。図３２は本発明の実施例に係る半導体素子を示した図面であり、図３３は図３２に示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図３４は図３２に示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図３５は図３２に示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０５８９】
一方、理解を助けるために、図３２の図示において、下部に位置した構成要素の配置関係を容易に把握できるように、上部に配置された第１ボンディングパッド３１５５と第２ボンディングパッド３１６５は透明に処理された。
【０５９０】
本発明の実施例に係る半導体素子３２００は、図３２〜図３５に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…、第１電極３１５０、第２電極３１６０、第１ボンディングパッド３１５５、第２ボンディングパッド３１６５を含むことができる。
【０５９１】
実施例に係る半導体素子３２００は、VCSELからなることができ、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で生成した光を、例えば１５度〜２５度程度のビーム画角で放出することができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…のそれぞれは、第１導電型DBR(Distributed Bragg Reflector)層、活性層、第２導電型DBR層を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…のそれぞれは、類似する構造を有することができ、図３２に示されたＡ‐Ａ線、Ｂ‐Ｂ線、Ｃ‐Ｃ線断面を参照して実施例に係る半導体素子３２００を説明する。
【０５９２】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３３に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…のうち一部発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…が配置された領域の上部には、前記第１ボンディングパッド３１５５が配置されてもよい。また、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…のうち一部発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ５、…が配置された領域の上部には、前記第２ボンディングパッド３１６５が配置されてもよい。
【０５９３】
前記第１ボンディングパッド３１５５と前記第２ボンディングパッド３１６５は、相互離隔して配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第１電極３１５０に電気的に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５の下に前記第１電極３１５０が配置されてもよい。例えば、前記第１ボンディングパッド３１５５の下部面が前記第１電極３１５０の上部面に直接接触して配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。
【０５９４】
前記第２ボンディングパッド３１６５は、前記第２電極３１６０に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド３１６５の下に前記第２電極３１６０が配置されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド３１６５の下部面が前記第２電極３１６０の上部面に直接接触して配置されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。
【０５９５】
実施例によれば、前記第１電極３１５０は、前記第１ボンディングパッド３１５５の下と前記第２ボンディングパッド３１６５の下に両方とも配置されてもよい。また、前記第２電極３１６０は、前記第１ボンディングパッド３１５５の下と前記第２ボンディングパッド３１６５の下に両方とも配置されてもよい。前記第１電極３１５０と前記第１ボンディングパッド３１５５の間の電気的連結関係および前記第２電極３１６０と前記第２ボンディングパッド３１６５の間の電気的連結関係は、後でさらに説明する。
【０５９６】
まず、図３２および図３３を参照して、前記第２ボンディングパッド３１６５の下に配置されたＰ１発光構造物とＰ２発光構造物を中心に実施例に係る半導体素子３２００を説明する。図３３は図３２に示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図である。
【０５９７】
実施例に係る半導体素子３２００は、前記第２ボンディングパッド３１６５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…は、光を放出する発光アパーチャー３１３０ａ、３１３０ｂ、…をそれぞれ含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…は、相互離隔して配置されてもよい。例えば、前記発光アパーチャー３１３０ａ、３１３０ｂ、…は、数μｍ〜数十μｍの直径で提供されてもよい。
【０５９８】
前記Ｐ１発光構造物は、第１導電型の第１DBR層３１１０ａ、第２導電型の第２DBR層３１２０ａ、第１活性層３１１５ａを含むことができる。前記第１活性層３１１５ａは、前記第１DBR層３１１０ａと前記第２DBR層３１２０ａの間に配置されてもよい。例えば、前記第１活性層３１１５ａが前記第１DBR層３１１０ａの上に配置され、前記第２DBR層３１２０ａが前記第１活性層３１１５ａの上に配置されてもよい。前記Ｐ１発光構造物は、前記第１活性層３１１５ａと前記第２DBR層３１２０ａの間に配置された第１アパーチャー層３１１７ａをさらに含むことができる。
【０５９９】
前記Ｐ２発光構造物は、第１導電型の第３DBR層３１１０ｂ、第２導電型の第４DBR層３１２０ｂ、第２活性層３１１５ｂを含むことができる。前記第２活性層３１１５ｂは、前記第３DBR層３１１０ｂと前記第４DBR層３１２０ｂの間に配置されてもよい。例えば、前記第２活性層３１１５ｂが前記第３DBR層３１１０ｂの上に配置され、前記第４DBR層３１２０ｂが前記第２活性層３１１５ｂの上に配置されてもよい。前記Ｐ２発光構造物は、前記第２活性層３１１５ｂと前記第４DBR層３１２０ｂの間に配置された第２アパーチャー層３１１７ｂをさらに含むことができる。
【０６００】
また、前記Ｐ１発光構造物の前記第１DBR層３１１０ａと前記Ｐ２発光構造物の前記第３DBR層３１１０ｂの間に第１導電型DBR層３１１３が配置されてもよい。前記第１DBR層３１１０ａと前記第３DBR層３１１０ｂは、前記第１導電型DBR層３１１３によって物理的に連結されてもよい。例えば、前記第１導電型DBR層３１１３の上部面と前記第１DBR層３１１０ａの上部面が同一水平面に配置されてもよい。前記第１導電型DBR層３１１３の上部面と前記第３DBR層３１１０ｃの上部面が同一水平面に配置されてもよい。
【０６０１】
また、前記Ｐ１発光構造物の前記第１活性層３１１５ａと前記Ｐ２発光構造物の前記第２活性層３１１５ｂは、相互離隔して配置されてもよい。また、前記Ｐ１発光構造物の前記第２DBR層３１２０ａと前記Ｐ２発光構造物の前記第４DBR層３１２０ｂは、相互離隔して配置されてもよい。
【０６０２】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３３に示されたように、第１絶縁層３１４１を含むことができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ１発光構造物の側面に配置されてもよい。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ１発光構造物の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ２発光構造物の側面に配置されてもよい。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ２発光構造物の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。
【０６０３】
また、前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ１発光構造物と前記Ｐ２発光構造物の間に配置されてもよい。前記第１絶縁層３１４１は、前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置されてもよい。
【０６０４】
前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ１発光構造物の上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ１発光構造物の前記第２DBR層３１２０ａの上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ２発光構造物の上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ２発光構造物の前記第４DBR層３１２０ｂの上部面を露出させることができる。
【０６０５】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３３に示されたように、第１電極３１５０を含むことができる。前記第１電極３１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の周りに配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…を露出させる複数の開口部を含むことができる。前記第１電極３１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５…をなす複数の第１導電型DBR層に共通で連結されてもよい。
【０６０６】
前記第１電極３１５０は、前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記第１DBR層３１１０ａと電気的に連結されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記第３DBR層３１１０ｂと電気的に連結されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記第１絶縁層３１４１の下に配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記Ｐ１発光構造物と前記Ｐ２発光構造物の間の領域で前記第１絶縁層３１４１の下に配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記Ｐ１発光構造物と前記Ｐ２発光構造物の間の領域で前記第１絶縁層３１４１と前記第１導電型DBR層３１１３の間に配置されてもよい。
【０６０７】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３３に示されたように、第２電極３１６０を含むことができる。前記第２電極３１６０は、前記第１絶縁層３１４１の上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面に配置された上部電極３１６０ａと、前記上部電極３１６０ａを連結する連結電極３１６０ｂを含むことができる。前記第２電極３１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…をなす複数の第２導電型DBR層に共通で連結されてもよい。
【０６０８】
前記第２電極３１６０は、前記Ｐ１発光構造物の側面に配置されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記Ｐ１発光構造物の上部面の上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａは、前記Ｐ１発光構造物の前記第２DBR層３１２０ａの上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａは、前記第２DBR層３１２０ａの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６０９】
また、前記第２電極３１６０は、前記Ｐ２発光構造物の側面に配置されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記Ｐ２発光構造物の上部面の上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａは、前記Ｐ２発光構造物の前記第４DBR層３１２０ｂの上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａは、前記第４DBR層３１２０ｂの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６１０】
前記第２電極３１６０は、前記Ｐ１発光構造物と前記Ｐ２発光構造物の間に配置されてもよい。前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂは、前記Ｐ１発光構造物と前記Ｐ２発光構造物の間の領域で前記第１絶縁層３１４１の上に配置されてもよい。
【０６１１】
実施例に係る前記第２電極３１６０は、図３２に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…の上部面を連結させることができる。前記第２電極３１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…のそれぞれの第２導電型DBR層に物理的に連結されてもよい。即ち、前記第２電極３１６０は、前記第２ボンディングパッド３１６５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上部面のみならず、前記第１ボンディングパッド３１５５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の上部面にも物理的に連結されてもよい。
【０６１２】
例えば、前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂは、図３２に示されたように、一定線幅を有する線状に提供されてもよい。勿論、適用される実施例に応じて、前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂの形状は多様に変形することができる。
【０６１３】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３３に示されたように、第２絶縁層３１４２を含むことができる。前記第２絶縁層３１４２は、前記第２電極３１６０の上に配置されてもよい。
【０６１４】
前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ１発光構造物の周りに配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ１発光構造物の周りで、前記第２電極３１６０の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ２発光構造物の周りに配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ２発光構造物の周りで、前記第２電極３１６０の上に配置されてもよい。
【０６１５】
また、前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ１発光構造物と前記Ｐ２発光構造物の間に配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ１発光構造物と前記Ｐ２発光構造物の間で前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂの上に配置されてもよい。
【０６１６】
前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ１発光構造物の上部面に配置された前記第２電極３１６０の上部面を露出させることができる。前記第２絶縁層３１４２は、前記第２DBR層３１２０ａの上部面に配置された前記上部電極３１６０ａの上部面を露出させることができる。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ２発光構造物の上部面に配置された前記第２電極３１６０の上部面を露出させることができる。前記第２絶縁層３１４２は、前記第４DBR層３１２０ｂの上部面に配置された前記上部電極３１６０ａの上部面を露出させることができる。
【０６１７】
実施例に係る前記第２絶縁層３１４２は、図３２に示されたように、前記第１ボンディングパッド３１５５が配置された領域では、複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の間に配置された前記第１電極３１５０の上部面が露出するように提供されてもよい。また、前記第２絶縁層３１４２は、前記第２ボンディングパッド３１６５が配置された領域では、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上に配置された前記第２電極３１６０の上部面が露出するように提供されてもよい。
【０６１８】
また、実施例によれば、前記第２絶縁層３１４２は、前記第２ボンディングパッド３１６５が配置された領域で、複数の発光構造物を物理的に連結する前記第２電極３１６０の上部面が露出するように配置されてもよい。このとき、前記第１導電型DBR層３１１３の上部に配置された線状の前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂが選択的に露出されるように、前記第２絶縁層３１４２が配置されてもよい。例えば、Ｐ１発光構造物とＰ２発光構造物を連結する前記連結電極３１６０ｂの上部面の上には、前記第２電極３１６０が露出しないように、前記第２絶縁層３１４２が配置されてもよい。また、Ｐ１発光構造物とＰ５発光構造物を連結する前記連結電極３１６０ｂの上部面が露出するように、前記第２絶縁層３１４２が配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２の形成については、実施例に係る半導体素子の製造方法を説明しながら、さらに説明するようにする。
【０６１９】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３３に示されたように、第１ボンディングパッド３１５５と第２ボンディングパッド３１６５を含むことができる。実施例によれば、前記第１ボンディングパッド３１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド３１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。
【０６２０】
前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第２絶縁層３１４２の上に配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第１電極３１５０に電気的に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５は、図３２に示されたように、前記第１絶縁層３１４１と前記第２絶縁層３１４２を介して露出した前記第１電極３１５０に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５は、Ｐ３発光構造物の周辺とＰ４発光構造物の周辺で、前記第１絶縁層３１４１と前記第２絶縁層３１４２を介して露出した前記第１電極３１５０の上部面に直接接触することができる。
【０６２１】
前記第２ボンディングパッド３１６５は、前記第２絶縁層３１４２の上に配置されてもよい。前記第２ボンディングパッド３１６５は、前記Ｐ１発光構造物の上部面に配置された前記第２電極３１６０に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド３１６５は、前記第２DBR層３１２０ａの上に配置された前記上部電極３１６０ａの上部面に直接接触して配置されてもよい。また、前記第２ボンディングパッド３１６５は、前記Ｐ２発光構造物の上部面に配置された前記第２電極３１６０に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド３１６５は、前記第４DBR層３１２０ｂの上に配置された前記上部電極３１６０ａの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６２２】
次に、図３２および図３５を参照して、前記第１ボンディングパッド３１５５の下に配置されたＰ３発光構造物とＰ４発光構造物を中心に実施例に係る半導体素子３２００をより詳しく説明する。図３４は図３２に示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図である。図３２および図３４を参照して実施例に係る半導体素子を説明する際に、以上で説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０６２３】
実施例に係る半導体素子３２００は、前記第１ボンディングパッド３１５５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…は、光を放出する発光アパーチャー３１３０ｃ、３１３０ｄ、…をそれぞれ含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…は、相互離隔して配置されてもよい。例えば、前記発光アパーチャー３１３０ｃ、３１３０ｄ、…は、数μｍ〜数十μｍの直径で提供されてもよい。
【０６２４】
前記Ｐ３発光構造物は、第１導電型の第５DBR層３１１０ｃ、第２導電型の第６DBR層３１２０ｃ、第３活性層３１１５ｃを含むことができる。前記第３活性層３１１５ｃは、前記第５DBR層３１１０ｃと前記第６DBR層３１２０ｃの間に配置されてもよい。例えば、前記第３活性層３１１５ｃが前記第５DBR層３１１０ｃの上に配置され、前記第６DBR層３１２０ｃが前記第３活性層３１１５ｃの上に配置されてもよい。前記Ｐ３発光構造物は、前記第３活性層３１１５ｃと前記第６DBR層３１２０ｃの間に配置された第３アパーチャー層３１１７ｃをさらに含むことができる。
【０６２５】
前記Ｐ４発光構造物は、第１導電型の第７DBR層３１１０ｄ、第２導電型の第８DBR層３１２０ｄ、第４活性層３１１５ｄを含むことができる。前記第４活性層３１１５ｄは、前記第７DBR層３１１０ｄと前記第８DBR層３１２０ｄの間に配置されてもよい。例えば、前記第４活性層３１１５ｄが前記第７DBR層３１１０ｄの上に配置され、前記第８DBR層３１２０ｄが前記第４活性層３１１５ｄの上に配置されてもよい。前記Ｐ４発光構造物は、前記第４活性層３１１５ｄと前記第８DBR層３１２０ｄの間に配置された第４アパーチャー層３１１７ｄをさらに含むことができる。
【０６２６】
また、前記Ｐ３発光構造物の前記第５DBR層３１１０ｃと前記Ｐ４発光構造物の前記第７DBR層３１１０ｄの間に前記第１導電型DBR層３１１３が配置されてもよい。前記第５DBR層３１１０ｃと前記第７DBR層３１１０ｄは、前記第１導電型DBR層３１１３によって物理的に連結されてもよい。例えば、前記第１導電型DBR層３１１３の上部面と前記第５DBR層３１１０ｃの上部面が同一水平面に配置されてもよい。前記第１導電型DBR層３１１３の上部面と前記第７DBR層３１１０ｄの上部面が同一水平面に配置されてもよい。
【０６２７】
また、前記Ｐ３発光構造物の前記第３活性層３１１５ｃと前記Ｐ４発光構造物の前記第４活性層３１１５ｄは、相互離隔して配置されてもよい。また、前記Ｐ３発光構造物の前記第６DBR層３１２０ｃと前記Ｐ４発光構造物の前記第８DBR層３１２０ｄは、相互離隔して配置されてもよい。
【０６２８】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３４に示されたように、第１絶縁層３１４１を含むことができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ３発光構造物の側面に配置されてもよい。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ３発光構造物の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ４発光構造物の側面に配置されてもよい。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ４発光構造物の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。
【０６２９】
また、前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ３発光構造物と前記Ｐ４発光構造物の間に配置されてもよい。前記第１絶縁層３１４１は、前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置されてもよい。
【０６３０】
前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ３発光構造物の上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ３発光構造物の前記第６DBR層３１２０ｃの上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ４発光構造物の上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ４発光構造物の前記第８DBR層３１２０ｄの上部面を露出させることができる。
【０６３１】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３４に示されたように、第１電極３１５０を含むことができる。前記第１電極３１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の周りに配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…を露出させる複数の開口部を含むことができる。
【０６３２】
前記第１電極３１５０は、前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記第５DBR層３１１０ｃと電気的に連結されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記第７DBR層３１１０ｄと電気的に連結されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記第１絶縁層３１４１の下に配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記Ｐ３発光構造物と前記Ｐ４発光構造物の間の領域で前記第１絶縁層３１４１の下に配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記Ｐ３発光構造物と前記Ｐ４発光構造物の間の領域で前記第１絶縁層３１４１と前記第１導電型DBR層３１１３の間に配置されてもよい。
【０６３３】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３４に示されたように、第２電極３１６０を含むことができる。前記第２電極３１６０は、前記第１絶縁層３１４１の上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面に配置された上部電極３１６０ａと、前記上部電極３１６０ａを連結する連結電極３１６０ｂを含むことができる。
【０６３４】
前記第２電極３１６０は、前記Ｐ３発光構造物の側面に配置されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記Ｐ３発光構造物の上部面の上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａは、前記Ｐ３発光構造物の前記第６DBR層３１２０ｃの上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａは、前記第６DBR層３１２０ｃの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６３５】
また、前記第２電極３１６０は、前記Ｐ４発光構造物の側面に配置されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記Ｐ４発光構造物の上部面の上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａは、前記Ｐ４発光構造物の前記第６DBR層３１２０ｄの上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａは、前記第６DBR層３１２０ｄの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６３６】
前記第２電極３１６０は、前記Ｐ３発光構造物と前記Ｐ４発光構造物の間に配置されてもよい。前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂは、前記Ｐ３発光構造物と前記Ｐ４発光構造物の間の領域で前記第１絶縁層３１４１の上に配置されてもよい。
【０６３７】
実施例に係る前記第２電極３１６０は、図３２に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面を連結させることができる。前記第２電極３１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…のそれぞれの第２導電型DBR層に物理的に連結されてもよい。即ち、前記第２電極３１６０は、前記第２ボンディングパッド３１６５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上部面のみならず、前記第１ボンディングパッド３１５５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の上部面にも物理的に連結されてもよい。
【０６３８】
例えば、前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂは、図３２に示されたように、一定線幅を有する線状に提供されてもよい。勿論、適用される実施例に応じて、前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂの形状は多様に変形することができる。
【０６３９】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３４に示されたように、第２絶縁層３１４２を含むことができる。前記第２絶縁層３１４２は、前記第２電極３１６０の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記第１絶縁層３１４１の上に配置されてもよい。
【０６４０】
前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ３発光構造物の周りに配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ３発光構造物の周りで、前記第２電極３１６０の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ４発光構造物の周りに配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ４発光構造物の周りで、前記第２電極３１６０の上に配置されてもよい。
【０６４１】
また、前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ３発光構造物と前記Ｐ４発光構造物の間に配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ３発光構造物と前記Ｐ４発光構造物の間で前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂの上に配置されてもよい。
【０６４２】
前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ３発光構造物の上部面に配置された前記第２電極３１６０の上部面の上にも配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記第６DBR層３１２０ｃの上部面に配置された前記上部電極３１６０ａの上部面の上にも配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ４発光構造物の上部面に配置された前記第２電極３１６０の上部面の上にも配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記第８DBR層３１２０ｄの上部面に配置された前記上部電極３１６０ａの上部面の上にも配置されてもよい。
【０６４３】
実施例に係る前記第２絶縁層３１４２は、図３２に示されたように、前記第１ボンディングパッド３１５５が配置された領域では、複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の間に配置された前記第１電極３１５０の上部面が露出するように提供されてもよい。また、前記第２絶縁層３１４２は、前記第２ボンディングパッド３１６５が配置された領域では、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上に配置された前記第２電極３１６０の上部面が露出するように提供されてもよい。
【０６４４】
また、実施例によれば、前記第２絶縁層３１４２は、前記第２ボンディングパッド３１６５が配置された領域で、複数の発光構造物を物理的に連結する前記第２電極３１６０の上部面が露出するように配置されてもよい。このとき、前記第１導電型DBR層３１１３の上部に配置された線状の前記第２電極３１６０の連結電極３１６０ｂが選択的に露出されるように、前記第２絶縁層３１４２が配置されてもよい。例えば、Ｐ１発光構造物とＰ２発光構造物を連結する前記連結電極３１６０ｂの上部面の上には、前記第２電極３１６０が露出しないように、前記第２絶縁層３１４２が配置されてもよい。また、Ｐ１発光構造物とＰ５発光構造物を連結する前記連結電極３１６０ｂの上部面が露出するように、前記第２絶縁層３１４２が配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２の形成については、実施例に係る半導体素子の製造方法を説明しながら、さらに説明するようにする。
【０６４５】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３４に示されたように、第１ボンディングパッド３１５５と第２ボンディングパッド３１６５を含むことができる。実施例によれば、前記第１ボンディングパッド３１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド３１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。
【０６４６】
前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第２絶縁層３１４２の上に配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第１電極３１５０に電気的に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５は、図３２に示されたように、前記第１絶縁層３１４１と前記第２絶縁層３１４２を介して露出した前記第１電極３１５０に連結されてもよい。実施例に係る前記第１ボンディングパッド３１５５と前記第１電極３１５０の間の電気的な連結に対しては、後で図３５を参照してさらに説明することにする。
【０６４７】
前記第２ボンディングパッド３１６５は、前記第２絶縁層３１４２の上に配置されてもよい。前記第２ボンディングパッド３１６５は、前記Ｐ３発光構造物の上部面と前記Ｐ４発光構造物の上部面に配置された前記第２電極３１６０に電気的に連結されてもよい。
【０６４８】
次に、図３２および図３５を参照して、前記第１ボンディングパッド３１５５の下に配置されたＰ３発光構造物を中心に実施例に係る半導体素子３２００をより詳しく説明する。図３５は図３２に示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。図３２および図３５を参照して実施例に係る半導体素子を説明する際に、以上で説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０６４９】
実施例に係る半導体素子３２００は、前記第１ボンディングパッド３１５５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…を含むことができる。実施例に係るＰ３発光構造物は、第１導電型の第５DBR層３１１０ｃ、第２導電型の第６DBR層３１２０ｃ、第３活性層３１１５ｃを含むことができる。
【０６５０】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３５に示されたように、前記第５DBR層３１１０ｃから前記Ｐ３発光構造物の周りの方向に延長されて配置された第１導電型DBR層３１１３を含むことができる。前記第１導電型DBR層３１１３は、前記第５DBR層３１１０ｃと物理的に連結されてもよい。例えば、前記第１導電型DBR層３１１３の上部面と前記第５DBR層３１１０ｃの上部面が同一水平面に配置されてもよい。
【０６５１】
また、実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３５に示されたように、第１電極３１５０を含むことができる。前記第１電極３１５０はＰ３発光構造物の周りとＰ４発光構造物の周りに配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…を露出させる複数の開口部を含むことができる。
【０６５２】
前記第１電極３１５０は、前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記第５DBR層３１１０ｃと電気的に連結されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記Ｐ３発光構造物の周りで、前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置されてもよい。
【０６５３】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３５に示されたように、第１絶縁層３１４１を含むことができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ３発光構造物の側面に配置されてもよい。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ３発光構造物の側面の周りをカバーするように配置されてもよい。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ３発光構造物の上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ３発光構造物の前記第６DBR層３１２０ｃの上部面を露出させることができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記第１電極３１５０の上に配置されてもよい。
【０６５４】
一方、実施例に係る半導体素子３２００によれば、図３５に示されたように、前記第１絶縁層３１４１は、前記第１電極３１５０の一部領域を露出させることができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ３発光構造物の周辺で前記第１電極３１５０の上部面を露出させる開口部を含むことができる。前記第１絶縁層３１４１は、前記Ｐ３発光構造物の周辺で前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置された前記第１電極３１５０の上部面を露出させることができる。
【０６５５】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３５に示されたように、第２電極３１６０を含むことができる。前記第２電極３１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面に配置された上部電極３１６０ａと、前記上部電極３１６０ａを連結する連結電極３１６０ｂを含むことができる。
【０６５６】
前記第２電極３１６０は、前記Ｐ３発光構造物の上部面の上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａは、前記Ｐ３発光構造物の前記第６DBR層３１２０ｃの上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａは、前記第６DBR層３１２０ｃの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６５７】
実施例に係る前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂは、図３２に示されたように、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面を連結させることができる。前記第２電極３１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…のそれぞれの第２導電型DBR層に物理的に連結されてもよい。即ち、前記第２電極３１６０は、前記第２ボンディングパッド３１６５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上部面のみならず、前記第１ボンディングパッド３１５５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の上部面にも物理的に連結されてもよい。
【０６５８】
例えば、前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂは、図３２に示されたように、一定線幅を有する線状に提供されてもよい。勿論、適用される実施例に応じて、前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂの形状は多様に変形することができる。
【０６５９】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３５に示されたように、第２絶縁層３１４２を含むことができる。前記第２絶縁層３１４２は、前記第２電極３１６０の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記第１絶縁層３１４１の上に配置されてもよい。
【０６６０】
前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ３発光構造物の周りに配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ３発光構造物の周りで、前記第１絶縁層３１４１の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ３発光構造物の上に配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２は、前記第６DBR層３１２０ｃの上に配置された前記第２電極３１６０の上に配置されてもよい。
【０６６１】
一方、実施例に係る半導体素子３２００によれば、図３５に示されたように、前記第２絶縁層３１４２は、前記第１電極３１５０の一部領域を露出させる開口部を含むことができる。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ３発光構造物の周辺で前記第１電極３１５０の上部面を露出させることができる。前記第２絶縁層３１４２は、前記Ｐ３発光構造物の周辺で前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置された前記第１電極３１５０の上部面を露出させることができる。例えば、前記第２絶縁層３１４２によって提供される前記開口部は、前記連結電極３１６０ｂの間の領域上に配置されてもよい。
【０６６２】
実施例に係る前記第２絶縁層３１４２は、図３２および図３５に示されたように、前記第１ボンディングパッド３１５５が配置された領域では、複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…の間に配置された前記第１電極３１５０の上部面が露出するように提供される。また、前記第２絶縁層３１４２は、前記第２ボンディングパッド３１６５が配置された領域では、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…の上に配置された前記第２電極３１６０の上部面が露出するように提供される。
【０６６３】
また、実施例によれば、前記第２絶縁層３１４２は、前記第２ボンディングパッド３１６５が配置された領域で、複数の発光構造物を物理的に連結する前記第２電極３１６０の上部面が露出するように配置されてもよい。このとき、前記第１導電型DBR層３１１３の上部に配置された線状の前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂが選択的に露出されるように、前記第２絶縁層３１４２が配置されてもよい。例えば、Ｐ１発光構造物とＰ２発光構造物を連結する前記連結電極３１６０ｂの上部面の上には、前記第２電極３１６０が露出しないように、前記第２絶縁層３１４２が配置されてもよい。また、Ｐ１発光構造物とＰ５発光構造物を連結する前記連結電極３１６０ｂの上部面が露出するように、前記第２絶縁層３１４２が配置されてもよい。前記第２絶縁層３１４２の形成については、実施例に係る半導体素子の製造方法を説明しながら、さらに説明するようにする。
【０６６４】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３５に示されたように、第１ボンディングパッド３１５５と第２ボンディングパッド３１６５を含むことができる。実施例によれば、前記第１ボンディングパッド３１５５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第１導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。前記第２ボンディングパッド３１６５は、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層に電気的に連結されてもよい。
【０６６５】
前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第２絶縁層３１４２の上に配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第１電極３１５０に電気的に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５は、図３２および図３５に示されたように、前記Ｐ３発光構造物の上に配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第１絶縁層３１４１と前記第２絶縁層３１４２によって提供された開口部を介して前記第１電極３１５０に連結されてもよい。例えば、前記第１絶縁層３１４１と前記第２絶縁層３１４２によって提供される開口部は、前記連結電極３１６０ｂの間の領域に配置されてもよい。
【０６６６】
前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記Ｐ３発光構造物の周辺で前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置された前記第１電極３１５０に連結されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置された前記第１電極３１５０の上部面に直接接触して配置されてもよい。例えば、前記第１ボンディングパッド３１５５の下部面が前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置された前記第１電極３１５０の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６６７】
前記第２ボンディングパッド３１６５は、前記第２絶縁層３１４２の上に配置されてもよい。前記第２ボンディングパッド３１６５は、前記Ｐ３発光構造物の上部面に配置された前記第２電極３１６０に電気的に連結されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド３１６５の下部面が前記Ｐ３発光構造物の上に配置された前記上部電極３１６０ａの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６６８】
次に、図３２、図３３および図３５を参照して、前記第１ボンディングパッド３１５５の下に配置されたＰ３発光構造物と前記第２ボンディングパッド３１６５の下に配置されたＰ１発光構造物を中心に実施例に係る半導体素子３２００をより詳しく説明する。以下の説明において、以上で説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０６６９】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３５に示されたように、前記第１ボンディングパッド３１５５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ３、Ｐ４、…を含むことができる。実施例に係る前記Ｐ３発光構造物は、第１導電型の第５DBR層３１１０ｃ、第２導電型の第６DBR層３１２０ｃ、第３活性層３１１５ｃを含むことができる。
【０６７０】
実施例に係る半導体素子３２００は、図３２および図３３に示されたように、前記第２ボンディングパッド３１６５の下に配置された複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、…を含むことができる。実施例に係る前記Ｐ１発光構造物は、第１導電型の第１DBR層３１１０ａ、第２導電型の第２DBR層３１２０ａ、第１活性層３１１５ａを含むことができる。
【０６７１】
また、実施例に係る半導体素子３２００は、第１電極３１５０と第２電極３１６０を含むことができる。前記第１電極３１５０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…を露出させる複数の開口部を含むことができる。前記第２電極３１６０は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面に配置された上部電極３１６０ａと、前記上部電極３１６０ａを連結する連結電極３１６０ｂを含むことができる。
【０６７２】
前記第１電極３１５０は、前記第１DBR層３１１０ａと前記第５DBR層３１１０ｃに電気的に連結されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記Ｐ１発光構造物の周りに配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記Ｐ３発光構造物の周りに配置されてもよい。前記第１電極３１５０は、前記Ｐ１発光構造物と前記Ｐ３発光構造物の間に配置されてもよい。
【０６７３】
前記第２電極３１６０は、前記第２DBR層３１２０ａと前記第６DBR層３１２０ｃに電気的に連結されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記Ｐ１発光構造物の側面に配置されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記第２DBR層３１２０ａの上部面に配置されてもよい。例えば、前記上部電極３１６０ａの下部面が前記第２DBR層３１２０ａの上部面に直接接触して配置されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記第６DBR層３１２０ｃの上部面に配置されてもよい。例えば、前記上部電極３１６０ａの下部面が前記第６DBR層３１２０ｃの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６７４】
実施例に係る前記第１ボンディングパッド３１５５は、図３２および図３５に示されたように、前記Ｐ３発光構造物の上に配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第１電極３１５０に電気的に連結されてもよい。例えば、前記第１ボンディングパッド３１５５の下部面が前記第１電極３１５０の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６７５】
実施例に係る前記第２ボンディングパッド３１６５は、図３２および図３４に示されたように、前記Ｐ１発光構造物の上に配置されてもよい。前記第２ボンディングパッド３１６５は、前記第２電極３１６０に電気的に連結されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド３１６５の下部面が前記第２電極３１６０の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６７６】
一方、実施例に係る前記第２電極３１６０は、図３３に示されたように、前記第２DBR層３１２０ａの上部面に接触して配置されてもよい。例えば、前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａの下部面が前記第２DBR層３１２０ａの上部面に直接接触して配置されてもよい。また、実施例に係る前記第２電極３１６０は、図３５に示されたように、前記第６DBR層３１２０ｃの上部面に接触して配置されてもよい。例えば、前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａの下部面が前記第６DBR層３１２０ｃの上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６７７】
また、前記第２電極３１６０は、図３２および図３３に示されたように、前記Ｐ１発光構造物と前記Ｐ３発光構造物の間で前記第１電極３１５０の上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記Ｐ１発光構造物の周辺で前記第１電極３１５０の上に配置されてもよい。前記連結電極３１６０ｂは、前記Ｐ１発光構造物の周辺で前記第１電極３１５０の上に配置されてもよい。前記第２電極３１６０は、前記Ｐ１発光構造物の周辺で前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置されてもよい。前記連結電極３１６０ｂは、前記Ｐ１発光構造物の周辺で前記第１導電型DBR層３１１３の上に配置されてもよい。
【０６７８】
前記第１導電型DBR層３１１３は、前記第１DBR層３１１０ａと前記第５DBR層３１１０ｃを物理的に連結することができる。前記第１電極３１５０は、前記第１導電型DBR層３１１３の上部面に接触して配置されてもよい。例えば、前記第１電極３１５０の下部面が前記第１導電型DBR層３１１３の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６７９】
実施例によれば、前記第１導電型DBR層３１１３が提供された領域で、前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第１電極３１５０の上部面に接触して配置されてもよい。例えば、前記第１導電型DBR層３１１３が提供された領域で、前記第１ボンディングパッド３１５５の下部面が前記第１電極３１５０の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０６８０】
前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第１絶縁層３１４１と前記第２絶縁層３１４２によって提供された開口部を介して前記第１電極３１５０の上部面に直接接触することができる。例えば、前記第１絶縁層３１４１と前記第２絶縁層３１４２によって提供される開口部は、前記連結電極３１６０ｂの間の領域に配置されてもよい。
【０６８１】
一方、実施例に係る半導体素子３２００は、図３２〜図３５に示されたように、基板３１０５をさらに含むことができる。前記基板３１０５の上に複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…が配置されてもよい。例えば、前記基板３１０５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…が成長できる成長基板であってもよい。例えば、前記基板３１０５は、真性半導体基板であってもよい。
【０６８２】
実施例に係る半導体素子３２００によれば、前記第１ボンディングパッド３１５５と前記第２ボンディングパッド３１６５を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…に電源が提供されてもよい。そして、前記第１電極３１５０が前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第１導電型DBR層の上部面の上に配置されてもよい。また、前記第２電極３１６０が前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層の上部面の上に配置されてもよい。
【０６８３】
従って、実施例によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…に電源が提供される際に、前記基板３１０５の下部面を介して電源が印加される必要がない。従来の半導体素子において、前記基板の下部面を介して電源が印加される必要がある場合、前記基板３１０５が必ず導電性基板から提供されなければならない。ところが、実施例に係る半導体素子３２００によれば、前記基板３１０５は、導電性基板であってもよく、絶縁性基板であってもよい。例えば、実施例に係る前記基板３１０５は、真性半導体基板から提供されてもよい。
【０６８４】
また、前記基板３１０５は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…が成長基板から成長した後、成長基板が除去され、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…に付着された基板であってもよい。
【０６８５】
一方、実施例に係る半導体素子３２００は、図３２〜図３５に示されたように、前記半導体素子３２００の下部方向に光が放出されるように具現されてもよい。即ち、実施例に係る半導体素子３２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…をなす活性層から第１導電型DBR層が配置された方向に光が放出されてもよい。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…をなす活性層から前記基板３１０５が配置された方向に光が放出されてもよい。
【０６８６】
実施例によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第２導電型DBR層の上部面に前記第２電極３１６０が配置され、前記第２電極３１６０の上に前記第２ボンディングパッド３１６５が接触して配置される。また、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の第１導電型DBR層の上部面に前記第１電極３１５０が配置され、前記第１電極３１５０の上に前記第１ボンディングパッド３１５５が接触して配置される。これによって、前記第１ボンディングパッド３１５５および前記第２ボンディングパッド３１６５を介して前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で発生した熱が外部に効果的に放出される。
【０６８７】
一方、一般的な半導体素子の場合、発光構造物で発生した熱によって電力変換効率(PCE：Power Conversion Efficiency)が著しく低下すると知られている。そして、下部に配置された基板を介して発光構造物に電源が提供される場合、一般的に基板を介して熱放出がなされる。ところが、基板の熱伝導率が低いので、発光構造物で発生した熱を外部に放出され難くなる。例えば、GaAs基板の場合、熱伝導率が５２W/(m*K)として低いと知られている。
【０６８８】
ところが、実施例によれば、前記第１ボンディングパッド３１５５と前記第２ボンディングパッド３１６５を介して外部の放熱基板等に連結されるので、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で発生した熱を外部に効果的に放出できるようになる。従って、実施例によれば、半導体素子３２００で発生した熱を外部に効果的に排出できるので、電力変化効率(PCE)が向上する。
【０６８９】
一方、実施例に係る半導体素子３２００によれば、以上で説明したように、前記半導体素子３２００の下部方向に光が放出されるように具現されてもよい。実施例に係る半導体素子３２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の下部領域に提供された第１導電型DBR層の反射率が上部領域に提供された第２導電型DBR層の反射率より小さく選択した。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で生成した光が前記半導体素子３２００の基板３１０５の方向に放出されることになる。
【０６９０】
また、実施例に係る半導体素子３２００によれば、前記第１絶縁層３１４１がDBR層からなることができる。実施例に係る半導体素子３２００によれば、前記第２絶縁層３１４２がDBR層からなることができる。実施例によれば、前記第１絶縁層３１４１と前記第２絶縁層３１４２の少なくとも一つがDBR層からなることができる。これによって、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で生成した光が上部に配置された前記第１絶縁層３１４１と前記第２絶縁層３１４２に反射されて下部方向に効果的に抽出される。
【０６９１】
例えば、前記第１絶縁層３１４１と前記第２絶縁層３１４２の少なくとも一つは、SiO2とTiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記第１絶縁層３１４１と前記第２絶縁層３１４２の少なくとも一つは、Ta2O3とSiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記第１絶縁層３１４１と前記第２絶縁層３１４２の少なくとも一つは、SiO2とSi3N4が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。
【０６９２】
一方、従来の半導体素子において、基板を介して発光構造物に電源を提供する場合、基板が導電性である必要がある。これによって、導電性半導体基板が適用される場合、導電性を向上させるために基板にドーパントが添加される。ところが、基板に添加されたドーパントは、放出される光に対する吸収および散乱(Absorption and Scattering)現象を生じさせるので、電力変換効率(PCE)を低下させる原因となる。
【０６９３】
ところが、実施例に係る半導体素子３２００によれば、以上で説明したように、前記基板３１０５が導電性基板である必要がないので、前記基板３１０５に別途のドーパントが添加されなくてもよい。これによって、実施例に係る前記基板３１０５にドーパントが添加されなくてもよいので、前記基板３１０５においてドーパントによる吸収および散乱が発生する現象を減らすことができる。従って、実施例によれば、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で発生した光を下部方向に効果的に提供することができ、電力変換効率(PCE)が向上する。
【０６９４】
また、実施例に係る半導体素子３２００は、前記基板３１０５の下部面に提供された無反射層をさらに含むことができる。前記無反射層は、前記半導体素子３２００から放出される光が前記基板３１０５の表面で反射されることを防止し透過させることで、反射による光損失を改善することができる。
【０６９５】
一方、従来の半導体素子の場合、複数の発光構造物に電源を提供するための方案として、基板上部の外縁領域にボンディングパッドが配置される。これによって、ボンディングパッドが配置される領域だけ発光構造物が形成されない損失が発生する。
【０６９６】
ところが、実施例に係る半導体素子によれば、発光構造物が形成された領域上にボンディングパッドが提供されるので、基板上部の外縁領域にボンディングパッドを形成するための別途の空間が提供されなくてもよい。これによって、実施例に係る半導体素子によれば、半導体素子が形成される基板の面積を減らすことができるので、ウェハの同一面積における製造できる半導体素子の個数を増やすことができる。
【０６９７】
次に、本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法を図面を参照して説明する。実施例に係る半導体素子の製造方法の説明において、図３２〜図３５を参照して説明した内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０６９８】
まず、図３６ａ〜図３６ｄは本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において発光構造物が形成された例を示した図面である。図３６ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって発光構造物が形成されたステップを示した平面図であり、図３６ｂは図３６ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図３６ｃは図３６ａに示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図３６ｄは図３６ａに示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０６９９】
実施例に係る半導体素子の製造方法によれば、図３６ａ〜図３６ｄに示されたように、基板３１０５に複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…が形成される。
【０７００】
前記基板３１０５は、真性半導体基板、導電性基板、絶縁性基板から選択されたいずれか一つからなることができる。例えば、前記基板３１０５は、GaAs真性半導体基板であってもよい。また、前記基板３１０５は、銅(Cu)、金(Au)、ニッケル(Ni)、モリブデン(Mo)、銅-タングステン(Cu-W)、キャリアウェハ(例えば、Si、Ge、AlN、GaAs、ZnO、SiC等)を含む導電性物質から選択された少なくとも一つからなることができる。
【０７０１】
例えば、前記基板３１０５に第１導電型DBR層、活性層、第２導電型DBR層が順に形成される。そして、第２導電型DBR層と活性層に対するメサエッチングによって前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…が形成されてもよい。
【０７０２】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…は、第１導電型DBR層３１１０ａ、３１１０ｂ、３１１０ｃ、３１１０ｄ、…、活性層３１１５ａ、３１１５ｂ、３１１５ｃ、３１１５ｄ、…、アパーチャー層３１１７ａ、３１１７ｂ、３１１７ｃ、３１１７ｄ、…、第２導電型DBR層３１２０ａ、３１２０ｂ、３１２０ｃ、３１２０ｄ、…を含むことができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の周りに第１導電型DBR層３１１３が提供されてもよい。前記第１導電型DBR層３１１３は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の間の領域に配置されてもよい。
【０７０３】
例えば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…は、複数の化合物半導体層に成長することができる。前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…は、電子ビーム蒸着装置、PVD(physical vapor deposition)、CVD(chemical vapor deposition)、PLD(plasma laser deposition)、二重型熱蒸着器(dual-type thermal evaporator)、スパッタリング(sputtering)、MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)等によって形成されてもよい。
【０７０４】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす前記第１導電型DBR層３１１０ａ、３１１０ｂ、３１１０ｃ、３１１０ｄ、…は、第１導電型のドーパントがドーピングされたＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族の化合物半導体のうち少なくとも一つから提供されてもよい。例えば、前記第１導電型DBR層３１１０ａ、３１１０ｂ、３１１０ｃ、３１１０ｄ、…は、GaAs、GaAl、InP、InAs、GaPを含むグループのうちの一つからなることができる。前記第１導電型DBR層３１１０ａ、３１１０ｂ、３１１０ｃ、３１１０ｄ、…は、例えばAlxGa1-xAs(0<x<1)/AlyGa1-yAs(0<y<1)(y<x)の組成式を有する半導体物質から提供されてもよい。前記第１導電型DBR層３１１０ａ、３１１０ｂ、３１１０ｃ、３１１０ｄ、…は、第１導電型のドーパント、例えばSi、Ge、Sn、Se、Te等のｎ型ドーパントがドーピングされたｎ型半導体層となることができる。前記第１導電型DBR層３１１０ａ、３１１０ｂ、３１１０ｃ、３１１０ｄ、…は、異なる半導体層を交互に配置してλ/４nの厚さを有するDBR層であってもよい。
【０７０５】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす前記活性層３１１５ａ、３１１５ｂ、３１１５ｃ、３１１５ｄ、…は、ＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族の化合物半導体のうち少なくとも一つから提供されてもよい。例えば、前記活性層３１１５ａ、３１１５ｂ、３１１５ｃ、３１１５ｄ、…は、GaAs、GaAl、InP、InAs、GaPを含むグループのうちの一つからなることができる。前記活性層３１１５ａ、３１１５ｂ、３１１５ｃ、３１１５ｄ、…は、多重井戸構造にて具現された場合、前記活性層３１１５ａ、３１１５ｂ、３１１５ｃ、３１１５ｄ、…は、交互に配置された複数の井戸層と複数の障壁層を含むことができる。前記複数の井戸層は、例えば、InpGa1-pAs(0≦≦p≦≦1)の組成式を有する半導体材料から提供されてもよい。前記障壁層は、例えばInqGa1-qAs(0≦≦q≦≦1)の組成式を有する半導体材料から配置されてもよい。
【０７０６】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす前記アパーチャー層３１１７ａ、３１１７ｂ、３１１７ｃ、３１１７ｄ、…は、前記活性層３１１５ａ、３１１５ｂ、３１１５ｃ、３１１５ｄ、…の上に配置されてもよい。前記アパーチャー層３１１７ａ、３１１７ｂ、３１１７ｃ、３１１７ｄ、…は、中心部に円形の開口部が含むことができる。前記アパーチャー層３１１７ａ、３１１７ｂ、３１１７ｃ、３１１７ｄ、…は、前記活性層３１１５ａ、３１１５ｂ、３１１５ｃ、３１１５ｄ、…の中心部に電流が集中するように電流移動を制限する機能を含むことができる。即ち、前記アパーチャー層３１１７ａ、３１１７ｂ、３１１７ｃ、３１１７ｄ、…は、共振波長を調整し、前記活性層３１１５ａ、３１１５ｂ、３１１５ｃ、３１１５ｄ、…から垂直方向に発光するビームの角を調節することができる。前記アパーチャー層３１１７ａ、３１１７ｂ、３１１７ｃ、３１１７ｄ、…は、SiO2またはAl2O3のような絶縁物質を含むことができる。また、前記アパーチャー層３１１７ａ、３１１７ｂ、３１１７ｃ、３１１７ｄ、…は、前記活性層３１１５ａ、３１１５ｂ、３１１５ｃ、３１１５ｄ、…、第１導電型DBR層３１１０ａ、３１１０ｂ、３１１０ｃ、３１１０ｄ、…および第２導電型DBR層３１２０ａ、３１２０ｂ、３１２０ｃ、３１２０ｄ、…より高いバンドギャップを有することができる。
【０７０７】
前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、…をなす前記第２導電型DBR層３１２０ａ、３１２０ｂ、３１２０ｃ、３１２０ｄ、…は、第２導電型のドーパントがドーピングされたＩＩＩ族‐Ｖ族またはＩＩ族‐ＶＩ族の化合物半導体のうち少なくとも一つから提供されてもよい。例えば、前記第２導電型DBR層３１２０ａ、３１２０ｂ、３１２０ｃ、３１２０ｄ、…は、GaAs、GaAl、InP、InAs、GaPを含むグループのうちの一つからなることができる。前記第２導電型DBR層３１２０ａ、３１２０ｂ、３１２０ｃ、３１２０ｄ、…は、例えばAlxGa1-xAs(0<x<1)/AlyGa1-yAs(0<y<1)(y<x)の組成式を有する半導体材料からなることができる。前記第２導電型DBR層３１２０ａ、３１２０ｂ、３１２０ｃ、３１２０ｄ、…は、第２導電型のドーパント、例えばMg、Zn、Ca、Sr、Baのようなｐ型ドーパントを有するｐ型半導体層であってもよい。前記第２導電型DBR層３１２０ａ、３１２０ｂ、３１２０ｃ、３１２０ｄ、…は、異なる半導体層を交互に配置してλ/４nの厚さを有するDBR層であってもよい。
【０７０８】
例えば、前記第２導電型DBR層３１２０ａ、３１２０ｂ、３１２０ｃ、３１２０ｄ、…は、前記第１導電型DBR層３１１０ａ、３１１０ｂ、３１１０ｃ、３１１０ｄ、…より大きい反射率を有することができる。例えば、前記第２導電型DBR層３１２０ａ、３１２０ｂ、３１２０ｃ、３１２０ｄ、…と前記第１導電型DBR層３１１０ａ、３１１０ｂ、３１１０ｃ、３１１０ｄ、…は、９０％以上の反射率によって垂直方向に共振キャビティを形成することができる。このとき、生成された光は、前記第２導電型DBR層３１２０ａ、３１２０ｂ、３１２０ｃ、３１２０ｄ、…の反射率より低い前記第１導電型DBR層３１１０ａ、３１１０ｂ、３１１０ｃ、３１１０ｄ、…を介して外部に放出されてもよい。
【０７０９】
次に、図３７ａ〜図３７ｄに示されたように、第１電極３１５０が形成される。
【０７１０】
図３７ａ〜図３７ｄは本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１電極が形成された例を示した図面である。図３７ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第１電極が形成されたステップを示した平面図であり、図３７ｂは図３７ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図３７ｃは図３７ａに示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図３７ｄは図３７ａに示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０７１１】
実施例によれば、図３７ａ〜図３７ｄに示されたように、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の周りに前記第１電極３１５０が形成される。前記第１電極３１５０は、前記第１導電型DBR層３１１３の上に形成され、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…を露出させる開口部を含むことができる。前記第１電極３１５０は、前記前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の間の領域に形成されてもよい。
【０７１２】
例えば、前記第１電極３１５０の面積Aeが前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の面積Amより大きく提供されてもよい。ここで、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の面積Amとは、メサエッチングによってエッチングされず残っている前記活性層３１１５ａ、３１１５ｂ、３１１５ｃ、３１１５ｄ、…の面積を意味することができる。前記第１電極３１５０の面積Aeに対する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の面積Amの比率Am/Aeは、例えば２５％より大きく提供されてもよい。実施例に係る半導体素子３２００によれば、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の個数および直径は、応用例に応じて多様に変形することができる。
【０７１３】
実施例によれば、前記第１電極３１５０の面積Aeに対する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の面積Amの比率Am/Aeは、例えば２５％〜７０％に提供されてもよい。別の実施例によれば、前記第１電極３１５０の面積Aeに対する前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の面積Amの比率Am/Aeは、例えば３０％〜６０％に提供されてもよい。
【０７１４】
実施例に係る半導体素子３２００の適用例に応じて、前記半導体素子３２００に配置された前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の個数および直径は、多様に変更することができる。以上で説明した表１は、一例として６２１個の発光構造物が提供された半導体素子に対するデータを示したものである。
【０７１５】
例えば、前記第１電極３１５０は、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、Hf、Ti、W、Crおよびこれらのうち２以上の合金から構成された物質を含むグループから選択された物質からなることができる。前記第１電極３１５０は、一つの層または複数の層に形成されてもよい。前記第１電極３１５０は、例えば反射金属として複数の金属層を適用することができ、接着層としてCrまたはTi等を適用することができる。例えば、前記第１電極３１５０は、Cr/Al/Ni/Au/Ti層からなることができる。
【０７１６】
続いて、図３８ａ〜図３８ｄに示されたように、前記第１電極３１５０の上に第１絶縁層３１４１が形成される。
【０７１７】
図３８ａ〜図３８ｄは本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１絶縁層が形成された例を示した図面である。図３８ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第１絶縁層が形成されたステップを示した平面図であり、図３８ｂは図３８ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図３８ｃは図３８ａに示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図３８ｄは図３８ａに示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０７１８】
実施例によれば、図３８ａ〜図３８ｄに示されたように、前記第１電極３１５０の上に前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面を露出させる前記第１絶縁層３１４１が形成される。前記第１絶縁層３１４１は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の側面に形成されてもよい。前記第１絶縁層３１４１は、前記第１導電型DBR層３１１３の上に形成されてもよい。前記第１絶縁層３１４１は、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の間の領域に形成されてもよい。
【０７１９】
前記第１絶縁層３１４１は、絶縁物質から提供されてもよい。例えば、前記第１絶縁層３１４１は、SiO2、TiO2、Ta2O5、SiOx、SiOxNy、Si3N4、Al2O3を含むグループから選択された少なくとも一つの物質からなることができる。また、前記第１絶縁層３１４１は、DBR層から形成されてもよい。実施例によれば、前記第１絶縁層３１４１がDBR層から提供されることで、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で発生した光が効率的に反射されて下部方向に抽出される。例えば、前記第１絶縁層３１４１は、SiO2とTiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記第１絶縁層３１４１は、Ta2O3とSiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記第１絶縁層３１４１は、SiO2とSi3N4が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。
【０７２０】
そして、図３９ａ〜図３９ｄに示されたように、前記第１絶縁層３１４１の上に第２電極３１６０が形成される。
【０７２１】
図３９ａ〜図３９ｄは本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２電極が形成された例を示した図面である。図３９ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第２電極が形成されたステップを示した平面図であり、図３９ｂは図３９ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図３９ｃは図３９ａに示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図３９ｄは図３９ａに示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０７２２】
実施例によれば、図３９ａ〜図３９ｄに示されたように、前記第１絶縁層３１４１の上に、上部電極３１６０ａと連結電極３１６０ｂを含む前記第２電極３１６０が形成される。前記上部電極３１６０ａは、前記第１絶縁層３１４１によって露出された前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上部面に形成されてもよい。前記連結電極３１６０ｂは、前記上部電極３１６０ａを連結させることができる。
【０７２３】
前記上部電極３１６０ａは、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…をなす第２導電型DBR層の上部面の上に形成されてもよい。前記連結電極３１６０ｂは、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の上に配置された前記上部電極３１６０ａを相互連結させることができる。前記連結電極３１６０ｂは、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の間の領域に形成されてもよい。
【０７２４】
例えば、前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂは、一定線幅を有する線状に提供されてもよい。勿論、適用される実施例に応じて、前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂの形状は多様に変形することができる。
【０７２５】
例えば、前記第２電極３１６０は、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、Hf、Ti、W、Crおよびこれらのうち２以上の合金から構成された物質を含むグループから選択された物質からなることができる。前記第２電極３１６０は、一つの層または複数の層に形成されてもよい。前記第２電極３１６０は、例えば反射金属として複数の金属層を適用することができ、接着層としてCrまたはTi等を適用することができる。例えば、前記第２電極３１６０は、Cr/Al/Ni/Au/Ti層からなることができる。
【０７２６】
次に、図４０ａ〜図４０ｄに示されたように、前記第２電極３１６０の上に第２絶縁層３１４２が形成される。
【０７２７】
図４０ａ〜図４０ｄは本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第２絶縁層が形成された例を示した図面である。図４０ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第２絶縁層が形成されたステップを示した平面図であり、図４０ｂは図４０ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図４０ｃは図４０ａに示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図４０ｄは図４０ａに示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０７２８】
実施例によれば、図４０ａ〜図４０ｄに示されたように、前記複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…の間の領域の下部に配置された前記第１電極３１５０を露出させる第２絶縁層３１４２が形成される。前記第２絶縁層３１４２は、前記第１電極３１５０を露出させる第１開口部を含むことができる。また、前記第２絶縁層３１４２は、前記第２電極３１６０の前記上部電極３１６０ａを露出させる第２開口部を含むことができる。
【０７２９】
また、前記第２絶縁層３１４２は、前記第１導電型DBR層３１１３の上部に配置された線状の前記第２電極３１６０の前記連結電極３１６０ｂが選択的に露出されるように形成されてもよい。例えば、Ｐ１発光構造物とＰ２発光構造物を連結する前記連結電極３１６０ｂの上部面の上には、前記第２電極３１６０が露出しないように、前記第２絶縁層３１４２が形成される。また、Ｐ１発光構造物とＰ５発光構造物を連結する前記連結電極３１６０ｂの上部面が露出するように、前記第２絶縁層３１４２が形成される。
【０７３０】
前記第２絶縁層３１４２は、絶縁物質から提供されてもよい。例えば、前記第２絶縁層３１４２は、SiO2、TiO2、Ta2O5、SiOx、SiOxNy、Si3N4、Al2O3を含むグループから選択された少なくとも一つの物質からなることができる。また、前記第２絶縁層３１４２は、DBR層から形成されてもよい。実施例によれば、前記第２絶縁層３１４２がDBR層から提供されることで、複数の発光構造物Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５、…で発生した光が効率的に反射されて下部方向に抽出される。例えば、前記第２絶縁層３１４２は、SiO2とTiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記第２絶縁層３１４２は、Ta2O3とSiO2が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。また、前記第２絶縁層３１４２は、SiO2とSi3N4が複数の層に積層されて形成されたDBR層からなることができる。
【０７３１】
続いて、図４１ａ〜図４１ｄに示されたように、前記第２絶縁層３１４２の上に第１ボンディングパッド３１５５と第２ボンディングパッド３１６５が形成される。
【０７３２】
図４１ａ〜図４１ｄは本発明の実施例に係る半導体素子の製造方法において第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成された例を示した図面である。図４１ａは実施例に係る半導体素子の製造方法によって第１ボンディングパッドと第２ボンディングパッドが形成されたステップを示した平面図であり、図４１ｂは図４１ａに示された実施例に係る半導体素子のＡ‐Ａ線断面図であり、図４１ｃは図４１ａに示された実施例に係る半導体素子のＢ‐Ｂ線断面図であり、図４１ｄは図４１ａに示された実施例に係る半導体素子のＣ‐Ｃ線断面図である。
【０７３３】
実施例によれば、図４１ａ〜図４１ｄに示されたように、前記第１ボンディングパッド３１５５と前記第２ボンディングパッド３１６５が前記第２絶縁層３１４２の上に離隔して形成されてもよい。
【０７３４】
前記第１ボンディングパッド３１５５は、前記第１開口部上に配置され、前記第１電極３１５０と電気的に連結されてもよい。例えば、前記第１ボンディングパッド３１５５の下部面が前記第１開口部を介して前記第１電極３１５０の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０７３５】
前記第２ボンディングパッド３１６５は、前記第２開口部上に配置され、前記第２電極３１６０と電気的に連結されてもよい。例えば、前記第２ボンディングパッド３１６５の下部面が前記第２開口部を介して前記第２電極３１６０の上部面に直接接触して配置されてもよい。
【０７３６】
例えば、前記第１ボンディングパッド３１５５と前記第２ボンディングパッド３１６５は、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、Hf、Ti、W、Cr、Cuおよびこれらのうち２以上の合金から構成された物質を含むグループから選択された物質からなることができる。前記第１ボンディングパッド３１５５と前記第２ボンディングパッド３１６５は、一つの層または複数の層に形成されてもよい。前記第１ボンディングパッド３１５５と前記第２ボンディングパッド３１６５は、例えばソルダーボンディング(solder bonding)からSn拡散を防止するために、Cr、Cu等の拡散バリアー金属を含むことができる。例えば、前記第１ボンディングパッド３１５５と前記第２ボンディングパッド１７２は、Ti、Ni、Cu、Cr、Auを含む複数の層に形成されてもよい。
【０７３７】
一方、以上で説明した実施例に係る半導体素子は、サブマウントに付着されて半導体素子パッケージ形態で供給されてもよい。
【０７３８】
図４２は本発明の実施例に係る半導体素子パッケージを示した図面である。図４２を参照して実施例に係る半導体素子パッケージを説明する際に、以上で説明した半導体素子に関連した内容は、説明を省略することがある。
【０７３９】
実施例に係る半導体素子パッケージ６０００は、図４２に示されたように、サブマウント６３００と、前記サブマウント６３００の上に配置された半導体素子６２００を含むことができる。
【０７４０】
前記半導体素子６２００は、第１ボンディングパッド６１５５と第２ボンディングパッド６１６５を含むことができる。前記第１ボンディングパッド６１５５と前記第２ボンディングパッド６１６５は、前記半導体素子６２００の第１面Ｓ１に配置されてもよい。また、前記半導体素子６２００は、前記第１面Ｓ１と反対方向に配置された第２面Ｓ２を含むことができる。
【０７４１】
実施例によれば、前記半導体素子６２００は、前記第１ボンディングパッド６１５５と前記第２ボンディングパッド６１６５を介して前記サブマウント６３００の上に配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド６１５５と前記第２ボンディングパッド６１６５は、前記サブマウント６３００に電気的に連結されてもよい。前記サブマウント６３００は、前記半導体素子６２００に電源を提供する回路基板を含むことができる。
【０７４２】
実施例に係る半導体素子６２００は、以上で説明したように、前記第２面Ｓ２を介して生成された光を放出することができる。前記半導体素子６２００は、前記第１ボンディングパッド６１５５と前記第２ボンディングパッド６１６５が形成された前記第１面Ｓ１の反対面である前記第２面Ｓ２を介して外部にビームを提供することができる。
【０７４３】
実施例に係る半導体素子パッケージ６０００によれば、前記サブマウント６３００を介して前記半導体素子６２００に電源を供給することができる。また、前記半導体素子パッケージ６０００は、前記サブマウント６３００を介して前記半導体素子６２００で発生した熱を効果的に放熱させることができる。
【０７４４】
実施例によれば、前記サブマウント６３００は、前記半導体素子６２００と電気的に連結される回路を含むことができる。例えば、前記サブマウント６３００は、シリコン(Si)または窒化アルミニウム(AlN)のような物質をベースとして形成されてもよい。
【０７４５】
一方、図４３は本発明の実施例に係る半導体素子パッケージの別の例を示した図面である。図４３を参照して実施例に係る半導体素子パッケージを説明する際に、以上で説明した半導体素子および半導体素子パッケージの内容と重なる事項に対しては、その説明を省略することがある。
【０７４６】
実施例に係る半導体素子パッケージ７０００は、図４３に示されたように、サブマウント７３００と、前記サブマウント７３００の上に配置された半導体素子７２００を含むことができる。
【０７４７】
前記半導体素子７２００は、第１ボンディングパッド７１５５と第２ボンディングパッド７１６５を含むことができる。前記第１ボンディングパッド７１５５と前記第２ボンディングパッド７１６５は、前記半導体素子７２００の第１面Ｓ１に配置されてもよい。また、前記半導体素子７２００は、前記第１面Ｓ１と反対方向に配置された第２面Ｓ２を含むことができる。
【０７４８】
実施例によれば、前記半導体素子７２００は、前記第１ボンディングパッド７１５５と前記第２ボンディングパッド７１６５を介して前記サブマウント７３００の上に配置されてもよい。前記第１ボンディングパッド７１５５と前記第２ボンディングパッド７１６５は、前記サブマウント７３００に電気的に連結されてもよい。前記サブマウント７３００は、前記半導体素子７２００に電源を提供する回路基板を含むことができる。
【０７４９】
実施例に係る半導体素子７２００は、以上で説明したように、前記第２面Ｓ２を介して生成された光を放出することができる。前記半導体素子７２００は、前記第１ボンディングパッド７１５５と前記第２ボンディングパッド７１６５が形成された前記第１面Ｓ１の反対面である前記第２面Ｓ２を介して外部にビームを提供することができる。
【０７５０】
実施例に係る半導体素子パッケージ７０００によれば、前記サブマウント７３００を介して前記半導体素子７２００に電源を供給することができる。また、前記半導体素子パッケージ７０００は、前記サブマウント７３００を介して前記半導体素子７２００で発生した熱を効果的に放熱させることができる。
【０７５１】
実施例によれば、前記サブマウント７３００は、前記半導体素子７２００と電気的に連結される回路を含むことができる。例えば、前記サブマウント７３００は、シリコン(Si)または窒化アルミニウム(AlN)のような物質をベースとして形成されてもよい。
【０７５２】
一方、以上で説明した半導体素子および半導体素子パッケージは、オブジェクト検出、３次元動き認識、IR照明分野に適用することができる。また、以上で説明した半導体素子および半導体素子パッケージは、自律走行のためのLiDAR(Light Detection and Ranging)、BSD(Blind Spot Detection)、ADAS(Advanced Driver Assistance System)分野にも適用することができる。また、以上で説明した半導体素子および半導体素子パッケージは、HMI(Human Machine Interface)分野にも適用することができる。
【０７５３】
実施例に係る半導体素子および半導体素子パッケージは、オブジェクト検出(Object Detection)装置に対する例として、近接センサー、自動焦点装置等に適用することができる。例えば、実施例に係るオブジェクト検出装置は、光を発光する発光部と光を受光する受光部を含むことができる。前記発光部の例として、図１５および図２４を参照して説明した半導体素子パッケージのうちのいずれか一つが適用されてもよい。前記受光部の例として、フォトダイオードが適用されてもよい。前記受光部は、前記発光部から放出された光がオブジェクト(Object)にて反射される光が入射される。
【０７５４】
また、自動焦点装置は、移動端末機、カメラ、車両用センサー、光通信用装置等に多様に適用することができる。前記自動焦点装置は、被写体の位置を検出するマルチ位置検出のための多様な分野に適用することができる。
【０７５５】
図４４は本発明の実施例に係る半導体素子パッケージを含む自動焦点装置が適用された移動端末機の斜視図である。
【０７５６】
図４４に示されたように、実施例の移動端末機８５００は、後面に提供されたカメラモジュール８５２０、フラッシュモジュール８５３０、自動焦点装置８５１０を含むことができる。ここで、前記自動焦点装置８５１０は、発光部として、以上で説明した実施例に係る半導体素子パッケージのうちのいずれか一つを含むことができる。
【０７５７】
前記フラッシュモジュール８５３０は、内部に光を発光する発光素子を含むことができる。前記フラッシュモジュール８５３０は、移動端末機のカメラ作動または使用者の制御によって作動する。前記カメラモジュール８５２０は、イメージ撮影機能および自動焦点機能を含むことができる。例えば、前記カメラモジュール８５２０は、イメージを利用した自動焦点機能を含むことができる。
【０７５８】
前記自動焦点装置８５１０は、レーザーを利用した自動焦点機能を含むことができる。前記自動焦点装置８５１０は、前記カメラモジュール８５２０のイメージを利用した自動焦点機能が低下する条件、例えば１０ｍ以下の近接または暗い環境で主に使用される。前記自動焦点装置８５１０は、VCSEL半導体素子を含む発光部と、フォトダイオードのような光エネルギーを電気エネルギーに変換する受光部を含むことができる。
【０７５９】
以上の実施例で説明された特徴、構造、効果等は少なくとも１つの実施例に含まれ、必ず１つの実施例のみに限定されるものではない。さらに、各実施例で例示された特徴、構造、効果等は、実施例が属する分野で通常の知識を有する者によって別の実施例に組合せまたは変形して実施可能である。従って、そのような組合せと変形に係る内容は、実施例の範囲に含まれると解釈されるべきである。
【０７６０】
以上、実施例を中心に説明したが、これは単なる例示にすぎず、実施例を限定するものではなく、実施例が属する分野の通常の知識を有する者であれば、本実施例の本質的な特性を逸脱しない範囲内で、以上に例示されていない多様な変形と応用が可能であろう。例えば、実施例に具体的に示された各構成要素は変形して実施可能であり、そしてそのような変形と応用に係る差異点は、添付された特許請求の範囲で設定する実施例の範囲に含まれると解釈されるべきである。
【産業上の利用可能性】
【０７６１】
実施例に係る半導体素子およびその製造方法、半導体素子パッケージ、オブジェクト検出装置によれば、優れた放熱特性を提供できる長所がある。
【０７６２】
実施例に係る半導体素子およびその製造方法、半導体素子パッケージ、オブジェクト検出装置によれば、光抽出効率を高めて高出力の光を提供できる長所がある。
【０７６３】
実施例に係る半導体素子およびその製造方法、半導体素子パッケージ、オブジェクト検出装置によれば、電力変換効率を向上させることができる長所がある
【０７６４】
実施例に係る半導体素子およびその製造方法、半導体素子パッケージ、オブジェクト検出装置によれば、製造コストを低減し、信頼性を向上させることができる長所がある。
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４ａ】
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【図１４ｂ】
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【図１４ｃ】
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【図１４ｄ】
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【図１５ａ】
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【図１５ｂ】
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【図１５ｃ】
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【図１５ｄ】
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【図１６ａ】
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【図１６ｂ】
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【図１６ｃ】
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【図１６ｄ】
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【図１７ａ】
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【図１７ｂ】
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【図１７ｃ】
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【図１７ｄ】
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【図１８ａ】
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【図１８ｂ】
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【図１８ｃ】
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【図１８ｄ】
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【図１９ａ】
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【図１９ｂ】
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【図１９ｃ】
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【図１９ｄ】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６ａ】
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【図２６ｂ】
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【図２７ａ】
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【図２７ｂ】
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【図２８ａ】
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【図２８ｂ】
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【図２９ａ】
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【図２９ｂ】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６ａ】
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【図３６ｂ】
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【図３６ｃ】
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【図３６ｄ】
0006862556.tif 000067
【図３７ａ】
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【図３７ｂ】
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【図３７ｃ】
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【図３７ｄ】
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【図３８ａ】
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【図３８ｂ】
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【図３８ｃ】
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【図３８ｄ】
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【図３９ａ】
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【図３９ｂ】
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【図３９ｃ】
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【図３９ｄ】
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【図４０ａ】
0006862556.tif 000080
【図４０ｂ】
0006862556.tif 000081
【図４０ｃ】
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【図４０ｄ】
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【図４１ａ】
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【図４１ｂ】
0006862556.tif 000085
【図４１ｃ】
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【図４１ｄ】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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