(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行な複数本の上側ガイドローラと、互いに平行な複数本の下側ガイドローラと、前記上側ガイドローラと前記下側ガイドローラとの間に上下方向に架け渡された有機溶剤を含む材料シートの少なくとも一面に対向するように配置された平板状のヒータと、を加熱ケース内に収容し、前記材料シートに熱処理を施すことでシートを製造するシートの加熱処理装置であって、
前記上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間および前記下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間の少なくとも一方の内側空間に、前記材料シートの幅方向の一端側から他端側へ向ってガスを吹き込むガス吹込装置を、含む
ことを特徴とするシートの加熱処理装置。
【請求項２】
前記ガス吹込装置は、
複数本の前記上側ガイドローラの配列方向に長手状であって、上下方向において複数本の前記上側ガイドローラよりも低い位置且つ前記材料シートの幅方向において前記材料シートよりも外側の位置に配設された上側吹込管と、
前記上側吹込管の前記材料シート側に形成され、前記逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間へ前記材料シートの幅方向の一端から他端に向ってガスを吹き込む上側吹込穴と、を備える
ことを特徴とする請求項１のシートの加熱処理装置。
【請求項３】
前記逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間は、前記材料シートに対向して配置された前記平板状のヒータにより分割されており、
前記上側吹込穴は、前記上側吹込管のうち、前記平板状のヒータにより分割された一対の分割空間のそれぞれにガスを吹き込む位置に設けられている
ことを特徴とする請求項２のシートの加熱処理装置。
【請求項４】
前記上側吹込管の前記材料シート側には、複数本の前記上側ガイドローラに巻き掛けられて前記逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの相互間のそれぞれにガスを吹き込む位置に、上側材料シート間吹込穴が設けられている
ことを特徴とする請求項２又は３のシートの加熱処理装置。
【請求項５】
前記ガス吹込装置は、
複数本の前記下側ガイドローラの配列方向に長手状であって、上下方向において複数本の前記下側ガイドローラよりも高い位置且つ前記材料シートの幅方向において前記材料シートよりも外側の位置に配設された下側吹込管と、
前記下側吹込管の前記材料シート側に形成され、前記Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間へ前記材料シートの幅方向の一端から他端に向ってガスを吹き込む下側吹込穴と、を備える
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１のシートの加熱処理装置。
【請求項６】
前記Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間は、前記材料シートに対向して配置された前記平板状のヒータにより分割されており、
前記下側吹込穴は、前記下側吹込管のうち、前記平板状のヒータにより分割された一対の分割空間のそれぞれにガスを吹き込む位置に設けられている
ことを特徴とする請求項５のシートの加熱処理装置。
【請求項７】
前記下側吹込管の前記材料シート側には、複数本の前記下側ガイドローラに巻き掛けられて前記Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの相互間のそれぞれにガスを吹き込む位置に、下側材料シート間吹込穴が設けられている
ことを特徴とする請求項５または６のシートの加熱処理装置。
【請求項８】
前記加熱ケースを構成する壁のうち、前記材料シートを挟んで前記ガス吹込装置とは反対側の壁には、前記加熱ケース内のガスを排気する排気ポートが設けられており、前記ガス吹込装置から前記材料シートを幅方向に横切って前記排気ポートへ向うガスの流れが形成される
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１のシートの加熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、巻出ロールから巻き出された後に巻取ロールに巻き取られる長手状のシートに対して、熱処理を行なうシートの加熱処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
熱処理されたシートとして、たとえば金属箔等の材料（基材）シートの一面に樹脂層が貼り着けられた可撓性且つ帯状の積層シートが知られている。たとえば、銅箔のような金属箔の一面にポリイミド樹脂層が貼り着けられた可撓性のポリイミド金属積層シートがそれである。このような積層シートは、たとえば、金属箔がエッチングなどによって所定の回路パターンとなるように加工されることにより、上記金属箔から成るリード線を有するＩＣパッケージに分離可能なテープオートメーションボンディング（ＴＡＢ）製品、フレキシブルなフラットケーブル、多層配線基板などとして、電子機器、デジタルカメラ、携帯電話機、携帯式情報端末機器などに多用されている。
【０００３】
上記積層シートは、樹脂前躯体たとえばポリイミド樹脂の前躯体であるポリアミド酸（ポリアミック酸）を有機溶剤で溶かした塗布液が、金属箔の一面に塗布され、次いで、その塗布された塗布液をたとえば３５０℃程度の温度で熱処理して樹脂の硬化反応を進めることで、金属箔の一面にポリイミド等の樹脂層が積層された積層シートが製造される。
【０００４】
このようなシートの加熱処理装置においては、巻出ロールから巻きだされた帯状の材料シートの一面に、塗布手段により塗布液が塗布され、次いで加熱ケースを通されることで熱処理され、熱処理により得られた積層シートを巻取ロールにより巻き取ることが行なわれている。たとえば、特許文献１に記載された塗布膜の乾燥装置がそれである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１７０１０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記従来のシートの加熱処理装置では、互いに平行な複数本の下側ガイドローラと、互いに平行な複数本の上側ガイドローラと、それら下側ガイドローラと上側ガイドローラとの間に上下方向に架け渡された積層シートの両面に対向するように配置された平板状のヒータとを備えた加熱ケースが備えられ、連続的に送られる材料シートに熱処理が施されるようになっている。
【０００７】
しかしながら、加熱ケース内における熱処理の過程において、材料シートの一面に塗布されている塗布液に含まれる有機溶剤が、特に上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シートの内側空間、或いは下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの内側空間に滞留し易いことから、その内側空間において有機溶剤の濃度が高くなるので、材料シート、ガイドローラ、平板状のヒータ等が汚染される可能性があった。
【０００８】
本発明は以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、加熱ケース内において材料シートから放出された有機溶剤によって、材料シート、ガイドローラ、平板状のヒータ等が汚染されることが抑制されるシートの加熱処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者等は、以上の事情を背景として種々検討を重ねた結果、加熱ケース内において、上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた積層シートの内側空間および下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた積層シートの内側空間の少なくとも一方の、前記材料シートの幅方向の一端側から他端側へ向って窒素等の不活性ガスを吹き込むと、積層シート、ガイドローラ、平板状のヒータ等の有機溶剤による汚染が好適に抑制されることが見出された。本発明は、斯かる知見に基づいて為されたものである。
【００１０】
すなわち、本発明の要旨とするところは、（ａ）互いに平行な複数本の上側ガイドローラと、互いに平行な複数本の下側ガイドローラと、前記上側ガイドローラと前記下側ガイドローラとの間に上下方向に架け渡された有機溶剤を含む材料シートの少なくとも一面に対向するように配置された平板状のヒータと、を加熱ケース内に収容し、前記材料シートに熱処理を施すことでシートを製造するシートの加熱処理装置であって（ｂ）前記上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間および前記下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間の少なくとも一方の内側空間に、前記材料シートの幅方向の一端側から他端側へ向ってガスを吹き込むガス吹込装置を、含むことにある。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の積層シートの加熱処理装置によれば、前記ガス吹込装置により、前記上側ガイドローラに巻き掛けられた逆Ｕ字状に曲げられた材料シートの内側および下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの内側空間の少なくとも一方の内側空間に、前記材料シートの幅方向の一端側から他端側へ向ってガスが吹き込まれる。これにより、上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シートの内側空間、或いは下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの内側空間内に有機溶剤が滞留して有機溶剤の濃度が高くなることが抑制されるので、加熱ケース内において材料シートから放出された有機溶剤によって、材料シート、ガイドローラ、平板状のヒータ等が汚染されることが抑制される。
【００１２】
ここで、好適には、前記ガス吹込装置は、複数本の前記上側ガイドローラの配列方向に長手状であって、上下方向において複数本の前記上側ガイドローラよりも低い位置且つ前記材料シートの幅方向において前記材料シートよりも外側の位置に配設された上側吹込管と、前記上側吹込管の前記材料シート側に形成され、前記逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間へ前記材料シートの幅方向の一端から他端に向ってガスを吹き込む上側吹込穴と、を備える。これにより、上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シートの内側空間内に滞留する有機溶剤が掃出されるので、その内側空間内において有機溶剤の濃度が高くなることが抑制される。
【００１３】
また、好適には、前記逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間は、前記材料シートに対向して配置された前記平板状のヒータにより分割されており、前記上側吹込穴は、前記上側吹込管のうち、前記平板状のヒータにより分割された一対の分割空間のそれぞれにガスを吹き込む位置に設けられている。これにより、上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シートの内側空間内に滞留する有機溶剤が、一層好適に掃出される。
【００１４】
また、好適には、前記上側吹込管の前記材料シート側には、複数本の前記上側ガイドローラに巻き掛けられて前記逆Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの相互間のそれぞれにガスを吹き込む位置に、上側材料シート間吹込穴が設けられている。これにより、複数本の上側ガイドローラに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シートの相互間に滞留する有機溶剤も好適に掃出される。
【００１５】
また、好適には、前記ガス吹込装置は、複数本の前記下側ガイドローラの配列方向に長手状であって、上下方向において複数本の前記下側ガイドローラよりも高い位置且つ前記材料シートの幅方向において前記材料シートよりも外側の位置に配設された下側吹込管と、前記下側吹込管の前記材料シート側に形成され、前記Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間へ前記材料シートの幅方向の一端から他端に向ってガスを吹き込む下側吹込穴と、を備える。これにより、下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの内側空間内に滞留する有機溶剤が掃出されるので、その内側空間内において有機溶剤の濃度が高くなることが抑制される。
【００１６】
また、好適には、前記Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの内側空間は、前記材料シートに対向して配置された前記平板状のヒータにより分割されており、前記下側吹込穴は、前記下側吹込管のうち、前記平板状のヒータにより分割された一対の分割空間のそれぞれにガスを吹き込む位置に設けられている。これにより、下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの内側空間内に滞留する有機溶剤が、一層好適に掃出される。
【００１７】
また、好適には、前記下側吹込管の前記材料シート側には、複数本の前記下側ガイドローラに巻き掛けられて前記Ｕ字状に曲げられた前記材料シートの相互間のそれぞれにガスを吹き込む位置に、下側材料シート間吹込穴が設けられている。これにより、複数本の下側ガイドローラに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの相互間に滞留する有機溶剤も好適に掃出される。
【００１８】
また、好適には、前記加熱ケースを構成する壁のうち、前記材料シートを挟んで前記ガス吹込装置とは反対側の壁には、前記加熱ケース内のガスを排気する排気ポートが設けられており、前記ガス吹込装置から前記材料シートを幅方向に横切って前記排気ポートへ向うガスの流れが形成される。これにより、加熱ケース内において、前記ガス吹込装置から前記排気ポートへ向う一方向の流れが形成され、有機溶剤の滞留が好適に解消される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施例の加熱処理装置を用いて製造されるポリイミド金属積層シートの断面を示している。
【図２】図１のポリイミド金属積層シートの製造工程の要部を説明する工程図である。
【図３】本発明の一実施例の加熱処理装置を構成する各ケースを、その蓋板を外して示す正面図である。
【図４】図１の加熱処理装置を構成する各ケースの内部を示す平面図である。
【図５】図３の上側ガス吹込装置を説明する断面図である。
【図６】図５の上側ガス吹込装置を拡大して説明する図であって、図５のＶＩ−ＶＩ視断面図である。
【図７】図３の下側ガス吹込装置を説明する断面図である。
【図８】図３の加熱処理装置を制御する電子制御装置等の構成を示すブロック線図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において、図は適宜簡略化或いは模式化されており、各部の形状等は必ずしも正確に描かれていない。
【実施例】
【００２１】
図１は、本発明の一実施例の加熱処理装置３０（図３及び図４を参照）によりポリイミド樹脂のイミド化が行なわれた帯状のポリイミド金属積層シート１０の断面を示している。このポリイミド金属積層シート１０は可撓性を有し、例えば２層型であって、銅箔、ニッケル箔、クラッド材箔などからなる例えば５μｍ〜２０μｍ好適には９μｍ〜１８μｍの厚みを有する金属箔１２の一面に、５μｍ〜１００μｍ程度の厚みを有するシート状のポリイミド樹脂層１４が直接的に固着されることにより構成される。ポリイミド金属積層シート１０は、例えば１８０μｍ〜２００μｍ程度の厚みと２５０ｍｍ〜５００ｍｍ程度の幅と、例えば２００ｍ〜３００ｍ程度の長さとを備えている。なお、ポリイミド金属積層シート１０は、３層型であってもよい。
【００２２】
図２は、上記ポリイミド金属積層シート１０の製造方法の要部を説明する工程図である。図２において、塗布液調製工程２０では、ポリイミド樹脂の材料１４ａと有機溶剤１４ｂとから、金属箔１２に塗布する塗布液１４ｃが調製される。この塗布液調製工程２０では、ポリイミド樹脂の材料１４ａとして用いられる、例えば、ＮＭＰ（N-methylpyrrolidinone）、ＤＭＡｃ（dimethyl acetamide）等の非プロトン性のアミド系極性溶剤に、ｍ−フェニレンジアミン等のジアミンを溶解し、それを室温（常温常圧）下で攪拌させながら、脂肪族ジアミンや脂肪族テトラカルボン酸二無水物等の酸無水物を添加して混合することで生じる重合反応により、ポリアミド酸（ポリアミック酸）が合成される。このポリアミド酸がＮ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルカーボネート、Ｎ−メチルピロリドン等の有機溶剤１４ｂに溶解されることによって所定の粘度の流動性を備えたポリアミド酸の溶液である塗布液１４ｃが調製される。
【００２３】
続く塗布工程２２では、金属箔１２が巻回された円筒状のロールから引き出された長手状の金属箔１２の上面に、例えば所定の塗布ロールを備える塗布装置を用いて上記流動性を備えたポリアミド酸の溶液（塗布液１４ｃ）が所定の厚みに連続的に塗布される。次いで、乾燥工程２４において、上記塗布装置に隣接して設けられた乾燥装置により、少なくとも上記塗布されたポリアミド酸が金属箔１２の下面に付着しない程度にポリアミド酸内の溶剤が除去されて乾燥された材料シート１６が得られる。この後、材料シート１６は再び巻回されてロールが得られる。このロールは、ポリイミド樹脂前駆体であるポリアミド酸が一面に塗着された金属箔１２が巻回されたものであり、後述の巻出ロール３２に相当する。
【００２４】
次いで、熱処理工程２６では、図３及び図４に示す加熱処理装置３０を用いて、好適には２５０℃〜３００℃で１０分〜２０分程度の加熱が好適には２０００Ｐａ〜６０００Ｐａ程度の真空下において行なわれることにより、金属箔１２の一面に塗布され且つ乾燥されたポリアミド酸の脱水・環化すなわちイミド化反応が、巻出ロール３２から巻取ロール３４までの間の搬送過程で、連続的に行なわれる。これにより、ポリアミド酸のイミド化が完了したポリイミド樹脂層１４が金属箔１２の一面に固着されたポリイミド金属積層シート１０が、巻取ロール３４に巻き取られる。
【００２５】
図３は、加熱処理装置３０を構成する、それぞれ気密な巻出ロール収容ケース３６、加熱ケース４０、及び巻取ロール収容ケース３８を、それらの全面の覆う蓋板を外して示す正面図である。図４は、加熱処理装置３０を構成する巻出ロール収容ケース３６、加熱ケース４０、及び巻取ロール収容ケース３８の内部を示す平面図である。なお、図４においては、ガイドローラ５８及び６０とガイドローラ１０８及び１１０とが省略されている。
【００２６】
加熱処理装置３０は、巻出ロール収容ケース３６と巻取ロール収容ケース３８と加熱ケース４０とを直列に備えている。巻出ロール収容ケース３６には、金属箔１２上にポリアミド酸が層状に塗布された帯状の材料シート１６がロール状に巻回された巻出ロール３２が収容されている。巻取ロール収容ケース３８には、熱処理された帯状のポリイミド金属積層シート１０を巻き取る巻取ロール３４が収容されている。
【００２７】
加熱ケース４０は、材料シート１６を通過させる巻出側連結筒４２を介して巻出ロール収容ケース３６に気密に接続されるとともに、熱処理後の帯状のポリイミド金属積層シート１０を通過させる巻取側連結筒４４を介して巻取ロール収容ケース３８に気密に接続されている。この加熱ケース４０には、巻出側連結筒４２から巻取側連結筒４４へ搬送される材料シート１６を真空下で加熱してポリアミド酸をイミド化するためのヒータ１７０が収容されている。ヒータ１７０は、赤外線或いは遠赤外線を放射する輻射加熱型であってもよい。
【００２８】
巻出ロール収容ケース３６内には、支持板４６が立設されている。巻出ロール３２は、回転軸線Ｃ１まわりに回転可能且つ回転軸線Ｃ１方向に移動可能に支持板４６に支持されたロール支持軸４８により支持されている。ロール支持軸４８は、回転軸線Ｃ１に平行な方向に移動可能に設けられ移動テーブル５０上に載置された減速機付モータ５２により回転駆動される。巻出ロール３２は、移動テーブル５０を回転軸線Ｃ１に平行な方向すなわちスラスト方向に移動させる巻出側幅方向アクチュエータ５４によって回転軸線Ｃ１に平行な方向に位置決めされる。
【００２９】
支持板４６には、巻出ロール３２から連続的に引き出された材料シート１６をテンションローラ５６へ案内する一対のガイドローラ５８及び６０が設けられている。一対のガイドローラ５８及び６０の間には、案内される材料シート１６の幅方向の位置を検出する巻出側幅方向位置センサ６２が設けられている。テンションローラ５６は、上下ガイド６４により上下方向に移動可能に配設されており、テンションローラ５６の高さ位置が、上下ガイド６４に設けられた張力センサ６６により検出されるようになっている。減速機付モータ５２、ガイドローラ６０、ガイドローラ６８、テンションローラ５６、及び、張力センサ６６等は、シート引出装置として機能している。
【００３０】
また、支持板４６には、テンションローラ５６からの材料シート１６を案内する一対のガイドローラ６８及び７０と、それらガイドローラ６８及び７０の間に、材料シート１６の終端部を新たな巻出ロール３２からの材料シート１６の前端部にホッチキス（登録商標）や糸で接続する巻出側シート連結装置として機能するスプライステーブル７２とが設けられている。さらに、支持板４６には、材料シート１６を駆動するために、モータ７４により回転駆動される駆動ローラ７６が、一対のガイドローラ７８及び８０の間に設けられている。
【００３１】
また、支持板４６には、テンションローラ８２を先端部において回転可能に支持する水平レバー８４をその基端部において回動可能に支持するレバー支持装置８６と、テンションローラ８２からの材料シート１６を巻出側連結筒４２を通して加熱ケース４０へ案内するガイドローラ８８とが設けられている。このテンションローラ８２の高さ位置すなわち水平レバー８４の回動角は、加熱ケース４０へ送り込まれる材料シート１６の張力に対応しており、レバー支持装置８６に設けられた張力センサ９０により検出されるようになっている。モータ７４、駆動ローラ７６、ガイドローラ７８、ガイドローラ８０、テンションローラ８２を有するレバー支持装置８６、ガイドローラ８８、及び、張力センサ９０等は、送込張力付与装置として機能している。
【００３２】
巻出ロール収容ケース３６には、不活性ガスとして窒素ガスを供給するＮ２パージポート９２が巻出側連結筒４２とは反対側の端部に設けられており、巻出ロール収容ケース３６の高さ方向及び幅方向の中央部には、排気ポート９４が設けられている。
【００３３】
巻取ロール収容ケース３８内には、支持板９６が立設されている。巻取ロール３４は、回転軸線Ｃ２まわりに回転可能且つ回転軸線Ｃ２方向に移動可能に支持板９６に支持されたロール支持軸９８により支持されている。ロール支持軸９８は、回転軸線Ｃ２に平行な方向に移動可能に設けられ移動テーブル１００上に載置された減速機付モータ１０２により回転駆動される。巻取ロール３４は、移動テーブル１００を回転軸線Ｃ２すなわちスラスト方向に平行な方向に移動させる巻取側幅方向アクチュエータ１０４によって回転軸線Ｃ２に平行な方向に位置決めされる。
【００３４】
支持板９６には、巻取ロール３４に巻き取られるポリイミド金属積層シート１０をテンションローラ１０６から巻取ロール３４へ案内する一対のガイドローラ１０８及び１１０が設けられている。一対のガイドローラ１０８及び１１０の間には、案内されるポリイミド金属積層シート１０の幅方向のずれを検出する巻取側幅方向位置センサ１１２が設けられている。テンションローラ１０６は、上下ガイド１１４により上下方向に移動可能に配設されており、テンションローラ１０６の高さ位置が、上下ガイド１１４に設けられた張力センサ１１６により検出されるようになっている。
【００３５】
また、支持板９６には、テンションローラ１０６へのポリイミド金属積層シート１０を案内する一対のガイドローラ１１８及び１２０と、それらガイドローラ１１８及び１２０の間に、新たな巻取ロール３４に巻かれている帯状シートの終端部に巻出ロール３２からのポリイミド金属積層シート１０の前端部をホッチキスや糸で接続する巻取側シート連結装置として機能するスプライステーブル１２２とが設けられている。減速機付モータ１０２、ガイドローラ１１０、ガイドローラ１１８、テンションローラ１０６、及び、張力センサ１１６等は、シート巻取装置として機能している。
【００３６】
さらに、支持板９６には、ポリイミド金属積層シート１０を駆動するために、モータ１２４により回転駆動される冷却フィードローラ１２６が、ガイドローラ１２０とガイドローラ１２８との間に設けられている。冷却フィードローラ１２６は、図示しないチラーから送られた冷媒によって常時冷却されており、巻取ロール３４に連続的に巻き取られるポリイミド金属積層シート１０が冷却されるようになっている。
【００３７】
そして、支持板９６には、テンションローラ１３２を先端部において回転可能に支持する水平レバー１３４をその基端部において回動可能に支持するレバー支持装置１３６と、加熱ケース４０内から巻取側連結筒４４を通過したポリイミド金属積層シート１０をテンションローラ１３２へ案内するガイドローラ１３０とが設けられている。このテンションローラ１３２の高さ位置すなわち水平レバー１３４の回動角は、加熱ケース４０から送り出されるポリイミド金属積層シート１０の張力に対応しており、レバー支持装置１３６に設けられた張力センサ１４２により検出されるようになっている。モータ１２４、冷却フィードローラ１２６、ガイドローラ１２８、ガイドローラ１３０、テンションローラ１３２を有するレバー支持装置１３６、及び、張力センサ１４２等は、引出張力付与装置として機能している。
【００３８】
巻取ロール収容ケース３８には、不活性ガスとして窒素ガスを供給するＮ２パージポート１４４が巻取側連結筒４４とは反対側の端部に設けられており、巻取ロール収容ケース３８の高さ方向及び幅方向の中央部には、排気ポート１４６が設けられている。
【００３９】
加熱ケース４０内の真空状態及び加熱状態に影響を及ぼすことなく、巻出ロール３２の交換を可能とするために、巻出側連結筒４２には、巻出側連結筒４２を遮断可能な巻出側開閉ゲート１４８が設けられている。巻出側開閉ゲート１４８には、材料シート１６を通した状態で開閉可能な例えばフッ素ゴム製のリップシール１５０と、そのリップシール１５０を開閉する開閉アクチュエータ１５２とが備えられている。
【００４０】
また、加熱ケース４０内の真空状態及び加熱状態に影響を及ぼすことなく、巻取ロール３４の交換を可能とするために、巻取側連結筒４４には、巻取側連結筒４４を遮断可能な巻取側開閉ゲート１５４が設けられている。巻取側開閉ゲート１５４には、ポリイミド金属積層シート１０を通した状態で開閉可能な例えばフッ素ゴム製のリップシール１５６と、そのリップシール１５６を開閉する開閉アクチュエータ１５８とが備えられている。
【００４１】
加熱ケース４０は、天井壁４０ａ、底壁４０ｂ、巻出側壁４０ｃ、巻取側壁４０ｄ、前壁４０ｅ、後壁４０ｆから、直方体状に形成されている。加熱ケース４０内には、支持板１６０が立設されている。支持板１６０には、入口ガイドローラ１６２および出口ガイドローラ１６４と、複数個（本実施例では６個）の下側ガイドローラ１６８ｂと、複数個（本実施例では５個）の上側ガイドローラ１６８ａとが、水平方向に支持されている。また、支持板１６０には、入口ガイドローラ１６２、出口ガイドローラ１６４、複数個の下側ガイドローラ１６８ｂと複数個の上側ガイドローラ１６８ａとの間に、互いに平行となるように上下方向に架け渡された材料シート１６或いはポリイミド金属積層シート１０の両面に対向するように配置された平板状のヒータ１７０が、設けられている。
【００４２】
入口ガイドローラ１６２、出口ガイドローラ１６４、複数個の下側ガイドローラ１６８ｂ、及び、複数個の上側ガイドローラ１６８ａには、モータ１８２がそれぞれ設けられている。また、上側ガイドローラ１６８ａ及び下側ガイドローラ１６８ｂの各軸には、チェーン１８３を介して相互に回転可能に連結されたスプロケット１８４が設けられ、各上側ガイドローラ１６８ａ及び各下側ガイドローラ１６８ｂの回転が同期させられるようになっている。これにより、入口ガイドローラ１６２から送り込まれた材料シート１６が、搬送過程でイミド化が行なわれてポリイミド金属積層シート１０へ変換され、出口ガイドローラ１６４から送り出されるようになっている。
【００４３】
加熱ケース４０の支持板１６０の裏面に対向する壁には、不活性ガスとして窒素ガスを供給する１対の上側パージポート１７８ａおよび一対の下側パージポート１７８ｂが、下側ガイドローラ１６８ｂの配列（水平）方向および上側ガイドローラ１６８ａの配列（水平）方向にそれぞれ沿って設けられており、加熱ケース４０の後壁４０ｆの高さ方向および幅方向の中央部には、排気ポート１８０が、設けられている。
【００４４】
上側ガイドローラ１６８ａの配列（水平）方向に沿って設けられた一対の上側パージポート１７８ａ間は、複数個の上側吹込穴１７２ａが形成された上側吹込管１７４ａが、接続されている。上側吹込管１７４ａの複数個の上側吹込穴１７２ａが形成された部分は、複数本の上側ガイドローラ１６８ａの配列方向に長手直管状であって、上下方向において複数本の上側ガイドローラ１６８ａよりも低い位置且つ材料シート１６の幅方向において材料シート１６よりも外側の位置に配設されている。上側吹込穴１７２ａは、上側吹込管１７４ａの材料シート１６側に形成され、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａへ材料シート１６の一端から他端に向って窒素ガスを吹き込むようになっている。
【００４５】
図５に拡大して示すように、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａは、材料シート１６に対向して配置された平板状のヒータ１７０により２分されており、上側吹込穴１７２ａは、上側吹込管１７４ａのうち、内側空間ＩＳａが２分された一対の分割空間ＩＳａ１及びＩＳａ２のそれぞれに窒素ガスを吹き込む位置に設けられている。
【００４６】
また、上側吹込管１７４ａの材料シート１６側には、複数本の上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６と、その材料シート１６に隣接する逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６との間、すなわち逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の相互間のそれぞれに窒素ガスを吹き込む位置に上側材料シート間吹込穴１７２ｃが設けられている。本実施例では、上側吹込穴１７２ａ、上側材料シート間吹込穴１７２ｃ、及び上側吹込管１７４ａは、上側ガス吹込装置１７６ａとして機能している。
【００４７】
図６は、上側ガス吹込装置１７６ａから吹き込まれた窒素ガスの流れを説明する、図５のＶＩ−ＶＩ視断面図である。上側吹込管１７４ａの上側吹込穴１７２ａから吹き込まれた窒素ガスは、１点鎖線の矢印で示されるように一方向の流れを形成し、内側空間ＩＳａの一端から他端へ材料シート１６の幅方向に貫通した後、加熱ケース４０の内壁面に沿って加熱ケース４０の後壁４０ｆに設けられた排気ポート１８０へ向かい、排気ポート１８０から排出される。すなわち、加熱ケース４０を構成する壁のうち、材料シート１６を挟んで上側ガス吹込装置１７６ａとは反対側の壁（後壁４０ｆ）には、加熱ケース４０内のガスを排気する排気ポート１８０が設けられており、上側吹込穴１７２ａから吹き込まれた窒素ガスの、材料シート１６を幅方向に横切って排気ポート１８０へ向う流れが形成される。
【００４８】
下側ガイドローラ１６８ｂの配列（水平）方向に沿って設けられた一対の下側パージポート１７８ｂ間は、複数個の下側吹込穴１７２ｂが形成された下側吹込管１７４ｂが、接続されている。下側吹込管１７４ｂの複数個の下側吹込穴１７２ｂが形成された部分は、複数本の下側ガイドローラ１６８ｂの配列方向に長手直管状であって、上下方向において複数本の下側ガイドローラ１６８ｂよりも高い位置且つ材料シート１６の幅方向において材料シート１６よりも外側の位置に配設されている。下側吹込穴１７２ｂは、下側吹込管１７４ｂの材料シート１６側に形成され、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂへ材料シート１６の一端から他端に向って窒素ガスを吹き込むようになっている。
【００４９】
図７に拡大して示すように、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂは、材料シート１６に対向して配置された平板状のヒータ１７０により２分されており、下側吹込穴１７２ｂは、下側吹込管１７４ｂのうち、内側空間ＩＳｂの２分された一対の分割空間ＩＳｂ１及びＩＳｂ２のそれぞれに窒素ガスを吹き込む位置に設けられている。
【００５０】
また、下側吹込穴１７２ｂの材料シート１６側には、複数本の下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６と、その材料シート１６に隣接するＵ字状に曲げられた材料シート１６との間、すなわちＵ字状に曲げられた材料シート１６の相互間のそれぞれにガスを吹き込む位置に下側材料シート間吹込穴１７２ｄが設けられている。本実施例では、下側吹込穴１７２ｂ、下側材料シート間吹込穴１７２ｄ、及び下側吹込管１７４ｂは、下側ガス吹込装置１７６ｂとして機能している。下側ガス吹込装置１７６ｂにおいても、図６と同様に、下側吹込穴１７２ｂから吹き込まれた窒素ガスの、材料シート１６を幅方向に横切って排気ポート１８０へ向う流れが形成される。
【００５１】
図８は、加熱処理装置３０に備えられた電子制御装置２１８を示している。加熱ケース４０には、加熱ケース４０内の加熱温度を検出する温度センサ１８６が設けられている。また、巻出ロール収容ケース３６、巻取ロール収容ケース３８、加熱ケース４０には、それら内の真空度を検出する真空度センサ１８８ａ、１８８ｂ、１８８ｃが設けられている。真空度センサ１８８ａ、１８８ｂ、１８８ｃは、たとえばピラニ真空度計から構成される。
【００５２】
図４に示すように、加熱処理装置３０には、少なくとも材料シート１６のイミド化処理の過程において、巻出ロール収容ケース３６、巻取ロール収容ケース３８、加熱ケース４０内を真空とするための真空圧制御回路１９０が設けられている。真空圧制御回路１９０は、電子制御装置２１８からの指令に従って加熱ケース４０内の圧力を調節する圧力制御弁１９２、及び加熱ケース４０内から吸引する気体に含まれる溶剤を除去するコールドトラップ１９４を介して、加熱ケース４０と接続された真空ポンプ１９６と、真空ポンプ１９６と巻出ロール収容ケース３６、巻取ロール収容ケース３８、及び加熱ケース４０との間にそれぞれ設けられ、電子制御装置２１８からの指令に従って、閉位置、真空ポンプ接続位置、大気導入位置へ選択的に切り換えられる切換制御弁１９８、２００、２０２と、を備えている。
【００５３】
また、加熱処理装置３０には、巻出ロール収容ケース３６、巻出側連結筒４２、巻取ロール収容ケース３８、巻取側連結筒４４、及び加熱ケース４０にそれぞれ窒素ガスを供給する窒素供給回路２０４が、設けられている。窒素供給回路２０４は、窒素ガスが圧縮状態或いは液化状態で封入された窒素供給源２０６と、窒素供給源２０６と巻出ロール収容ケース３６、巻出側連結筒４２、巻取ロール収容ケース３８、巻取側連結筒４４、及び加熱ケース４０との間にそれぞれ設けられ、電子制御装置２１８からの指令に従ってそれぞれ開閉作動する複数の開閉弁２０８、２１０、２１２、２１４、２１６と、を備えている。
【００５４】
図８に示す電子制御装置２１８は、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、入出力インターフェースを含むマイクロコンピュータであって、予め記憶されたプログラムにしたがって入力信号を処理することで、イミド化制御、巻出ロール交換制御、巻取ロール交換制御等を実行する。
【００５５】
電子制御装置２１８は、加熱処理装置３０の立上制御、定常運転制御、巻出ロール取替制御及び巻取ロール取替制御を行なうための運転制御部２２０と、定常運転時においてイミド化に必要な温度及び処理時間を制御するイミド化処理制御部２２２と、定常運転制御時において巻出ロール３２からの巻出張力、加熱ケース４０内の搬送張力及び巻取ロール３４の巻き取り張力をそれぞれ制御する張力制御部２２４と、巻出ロール３２から引き出された材料シート１６の幅方向位置及び巻取ロール３４の巻き取られる前のポリイミド金属積層シート１０の幅方向位置を予め設定された幅位置に制御する幅位置制御部２２６と、を機能的に備えている。
【００５６】
運転制御部２２０は、巻出ロール３２が巻出ロール収容ケース３６内にセットされ、巻取ロール３４が巻取ロール収容ケース３８内にセットされた状態で、起動操作入力に応答して、巻出ロール収容ケース３６、加熱ケース４０、巻取ロール収容ケース３８内をそれぞれ常用真空例えば２０Ｔｏｒｒ（２６６６Ｐａ）とする定常運転直前の状態とする立上制御を、定常運転に先立って順次実行する。
【００５７】
運転制御部２２０は、立上制御完了状態から、巻出ロール３２から材料シート１６を連続的に引き出して窒素ガス下の真空状態で加熱することによりポリアミド酸のイミド化を行い、イミド化反応後のポリイミド金属積層シート１０を巻取ロール３４に連続的に巻き取るという定常運転に切り換える。運転制御部２２０は、この定常運転に際して、図４に示す開閉弁２０８、２１０、２１２、２１４、２１６を開くことで、窒素ガスを巻出ロール収容ケース３６、巻出側連結筒４２、加熱ケース４０、巻取側連結筒４４及び巻取ロール収容ケース３８内へ供給するとともに、巻出側開閉ゲート１４８を開き、加熱ケース４０内の減速機付モータ５２、モータ７４、モータ１２４、減速機付モータ１０２、モータ１８２等を送りモータ駆動回路２３０を介して駆動し、ヒータ１７０により材料シート１６を加熱する。好適には、２５０℃以上３００℃以下且つ１０分以上２０分以下の加熱条件で加熱するものである。
【００５８】
大気圧（常圧）で加熱する従来の加熱処理装置では、ポリアミド酸のイミド化を確保し、ポリイミド金属積層シート１０のポリイミド樹脂の品質を維持するために４００℃且つ３０分という熱処理が必要であったのに対して、本実施例の加熱処理装置３０は、従来の加熱処理装置に比較して、１００℃以上低い温度且つ１０分以上短縮された加熱時間で、前記材料シートを加熱できる。このため、ポリイミド金属積層シート１０を製造するための加熱処理装置３０の設備の大きさが比較的小型となる。また、大気圧よりも低い真空に維持された加熱ケース４０内において、加熱ケース４０を通過する材料シート１６がヒータ１７０により加熱されるので、材料シート１６の金属箔１２上のポリアミド酸が比較的低温且つ短時間で充分にイミド化される。
【００５９】
イミド化処理制御部２２２は、上記定常運転時において、加熱ケース４０をイミド化に必要な真空度、温度及び処理時間となるように制御する。定常運転時には、窒素ガスが、巻出ロール収容ケース３６、巻出側連結筒４２、加熱ケース４０、巻取側連結筒４４、及び巻取ロール収容ケース３８内へ供給され、その窒素ガスが加熱ケース４０の排気ポート１８０のみから真空ポンプ１９６によって吸引されるとともに、圧力制御弁１９２によって巻出ロール収容ケース３６、加熱ケース４０、巻取ロール収容ケース３８内が２０Ｔｏｒｒに調圧される。
【００６０】
張力制御部２２４は、巻出張力制御部２２４ａと送込張力制御部２２４ｂとを備えている。巻出張力制御部２２４ａは、運転制御部２２０による定常運転時において、巻出ロール３２から予め設定された一定の張力で材料シート１６を引き出すように、張力センサ６６により検出されたテンションローラ５６の高さが一定となるように巻出ロール３２の回転を制御する。送込張力制御部２２４ｂは、運転制御部２２０による定常運転時において、送込張力制御部２２４ｂにより引き出された材料シート１６を予め設定された一定の張力を付与して加熱ケース４０に送り込むように、張力センサ９０により検出された水平レバー８４の角度が水平となるように駆動ローラ７６の回転を制御する。
【００６１】
また、張力制御部２２４は、引出張力制御部２２４ｃと巻取張力制御部２２４ｄとを、備えている。引出張力制御部２２４ｃは、運転制御部２２０による定常運転時において、加熱ケース４０からポリイミド金属積層シート１０を予め設定された一定の張力で引き出すように、張力センサ１４２により検出された水平レバー１３４の角度が水平となるように冷却フィードローラ１２６を駆動するモータ１２４の回転を制御する。巻取張力制御部２２４ｄは、運転制御部２２０による定常運転時において、ポリイミド金属積層シート１０を巻取ロール３４に予め設定された一定の張力で巻き取るように、張力センサ１１６により検出されたテンションローラ１０６の高さが一定となるように巻取ロール３４を駆動する減速機付モータ１０２の回転を制御する。
【００６２】
図８の幅位置制御部２２６は、巻出側幅位置制御部２２６ａと巻取側幅位置制御部２２６ｂとを備えている。巻出側幅位置制御部２２６ａは、運転制御部２２０による定常運転時において、巻出側幅方向位置センサ６２により検出された巻出ロール３２から引き出された材料シート１６の幅方向位置が予め設定された目標幅方向位置となるように、巻出側幅方向アクチュエータ５４を制御する。巻取側幅位置制御部２２６ｂは、運転制御部２２０による定常運転時において、巻取側幅方向位置センサ１１２により検出された巻取ロール３４に巻き取られるポリイミド金属積層シート１０の幅方向位置が予め設定された目標幅方向位置となるように、巻取側幅方向アクチュエータ１０４を制御する。
【００６３】
上述のように、本実施例の加熱処理装置３０によれば、互いに平行な複数本の上側ガイドローラ１６８ａと、互いに平行な複数本の下側ガイドローラ１６８ｂと、それら上側ガイドローラ１６８ａと下側ガイドローラ１６８ｂとの間に上下方向に架け渡された材料シート１６の両面に対向するように配置された平板状のヒータ１７０と、を加熱ケース４０内に収容し、材料シート１６の一面に塗布された有機溶剤１４ｂを含む塗布液１４ｃに熱処理を施すことでポリイミド金属積層シート１０を製造する加熱処理装置３０であって、上側ガス吹込装置１７６ａ及び下側ガス吹込装置１７６ｂにより、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａ及び下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シートの１６の内側空間ＩＳｂに、材料シート１６の幅方向の一端側から他端側へ向って窒素ガス（不活性ガス）が吹き込まれる。
【００６４】
このようにすれば、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａ、及び、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂ内に有機溶剤１４ｂが滞留して有機溶剤１４ｂの濃度が高くなることが抑制されるので、加熱ケース４０内において材料シート１６から放出された有機溶剤１４ｂによって、加熱ケース４０内の材料シート１６、下側ガイドローラ１６８ｂ、上側ガイドローラ１６８ａ、平板状のヒータ１７０等が汚染されることが抑制される。
【００６５】
また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、上側ガス吹込装置１７６ａは、複数本の上側ガイドローラ１６８ａの配列（水平）方向に長手状であって、上下方向において複数本の上側ガイドローラ１６８ａよりも低い位置且つ材料シート１６の幅方向において材料シート１６よりも外側の位置に配設された上側吹込管１７４ａと、上側吹込管１７４ａの材料シート１６側に形成され、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａへ材料シート１６の幅方向の一端から他端に向って不活性ガスを吹き込む上側吹込穴１７２ａと、を備える。これにより、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａ内に滞留する有機溶剤１４ｂが掃出されるので、内側空間ＩＳａ内において有機溶剤１４ｂの濃度が高くなることが抑制される。
【００６６】
また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、下側ガス吹込装置１７６ｂは、複数本の下側ガイドローラ１６８ｂの配列（水平）方向に長手状であって、上下方向において複数本の下側ガイドローラ１６８ｂよりも高い位置且つ材料シート１６の幅方向において材料シート１６よりも外側の位置に配設された下側吹込管１７４ｂと、下側吹込管１７４ｂの材料シート１６側に形成され、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂへ材料シート１６の幅方向の一端から他端に向って不活性ガスを吹き込む下側吹込穴１７２ｂと、を備える。これにより、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂ内に滞留する有機溶剤が掃出されるので、内側空間ＩＳｂ内において有機溶剤１４ｂの濃度が高くなることが抑制される。
【００６７】
また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａは、材料シート１６に対向して配置された平板状のヒータ１７０により分割されており、上側吹込穴１７２ａは、上側吹込管１７４ａのうち、平板状のヒータ１７０により分割された一対の分割空間ＩＳａ１及びＩＳａ２のそれぞれに不活性ガスを吹き込む位置に設けられている。これにより、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａ内に滞留する有機溶剤１４ｂが、一層好適に掃出される。
【００６８】
また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂは、材料シート１６に対向して配置された平板状のヒータ１７０により分割されており、下側吹込穴１７２ｂは、下側吹込管１７４ｂのうち、平板状のヒータ１７０により分割された一対の分割空間ＩＳｂ１及びＩＳｂ２のそれぞれに不活性ガスを吹き込む位置に設けられている。これにより、下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳｂ内に滞留する有機溶剤１４ｂが、一層好適に掃出される。
【００６９】
また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、上側吹込管１７４ａの材料シート１６側には、複数本の上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の相互間のそれぞれに不活性ガスを吹き込む位置に、上側材料シート間吹込穴１７２ｃが設けられている。これにより、逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６と、その材料シート１６に隣接する逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６との間に滞留する有機溶剤１４ｂも好適に掃出される。
【００７０】
また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、下側吹込管１７４ｂの材料シート１６側には、複数本の下側ガイドローラ１６８ｂに巻き掛けられてＵ字状に曲げられた材料シート１６の相互間のそれぞれに不活性ガスを吹き込む位置に下側材料シート間吹込穴１７２ｄが設けられている。これにより、Ｕ字状に曲げられた材料シート１６と、その材料シート１６に隣接するＵ字状に曲げられた材料シート１６との間に滞留する有機溶剤１４ｂも好適に掃出される。
【００７１】
また、本実施例の加熱処理装置３０によれば、加熱ケース４０を構成する壁（天井壁４０ａ、底壁４０ｂ、巻出側壁４０ｃ、巻取側壁４０ｄ、前壁４０ｅ、後壁４０ｆ）のうち、材料シート１６を挟んで上側ガス吹込装置１７６ａ及び下側ガス吹込装置１７６ｂとは反対側の後壁４０ｆには、加熱ケース４０内のガスを専ら排気する排気ポート１８０が設けられており、上側ガス吹込装置１７６ａ及び下側ガス吹込装置１７６ｂから材料シート１６を幅方向に横切って排気ポート１８０へ向う不活性ガスの流れが形成される。これにより、加熱ケース４０内において、上側ガス吹込装置１７６ａ及び下側ガス吹込装置１７６ｂから排気ポート１８０へ向う一方向の流れが形成され、有機溶剤１４ｂの滞留が好適に解消される。
【００７２】
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明はその他の態様においても適用される。
【００７３】
たとえば、前述の実施例において、加熱処理装置３０の加熱ケース４０内には、上側ガス吹込装置１７６ａ及び下側ガス吹込装置１７６ｂが設けられていたが、上側ガス吹込装置１７６ａ及び下側ガス吹込装置１７６ｂの一方が設けられていなくてもよい。
【００７４】
また、前述の実施例において、上側吹込管１７４ａには、上側吹込穴１７２ａが上側ガイドローラ１６８ａに逆Ｕ字状に巻き掛けられた材料シート１６毎に設けられ、下側吹込管１７４ｂには、下側吹込穴１７２ｂが下側ガイドローラ１６８ｂにＵ字状に巻き掛けられた材料シート１６毎に設けられていたが、有機溶剤１４ｂの濃度が高い場所、たとえば巻出ロール収容ケース３６側の一部に設けられていてもよい。
【００７５】
また、前述の実施例において、加熱処理装置３０はポリイミド金属積層シート１０を製造するためのものであったが、材料シート１６の一面に塗布された有機溶剤１４ｂを含む他の樹脂（塗布液１４ｃ）が塗布された材料シート１６を熱処理することで得られるシートを製造するものであってもよい。また、平板状のヒータ１７０は、材料シート１６の両面に対向するように配置されていたが、材料シート１６の一面だけに対向するようにヒータ１７０が配置されて材料シート１６に熱処理を施すことでシートを製造する加熱処理装置であってもよい。
【００７６】
また、前述の実施例において、加熱処理装置３０によりポリイミド金属積層シート１０が製造されていたが、液晶ポリマー（ＬＣＰ）やフッ素樹脂系の金属積層シート、リチウムイオン電池（ＬｉＢ）の極板に用いる積層シート、プリプレグ（ｐｒｅｐｒｅｇ）に用いる熱硬化樹脂が含浸された繊維基材などのシートであってもよい。要するに、有機溶剤１４ｂを含む帯状の材料シート１６に熱処理が施されて製造されるシートであればよい。
【００７７】
また、前述の実施例では、不活性ガスとして窒素ガスが用いられて窒素供給回路２０４から巻出ロール収容ケース３６、巻出側連結筒４２、巻取ロール収容ケース３８、巻取側連結筒４４、及び加熱ケース４０にそれぞれ供給されていたが、アルゴンガス、炭酸ガスなどの他の種類の不活性ガスが用いられてもよく、上側ガス吹込装置１７６ａや下側ガス吹込装置１７６ｂから吹き込まれてもよい。また、酸素と反応しないシート、例えばプリプレグに用いる熱硬化樹脂が含浸された繊維基材などのシートの場合には、不活性ガスに替えて空気などのガスが用いられてもよい。
【００７８】
なお、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲において種々変更を加え得るものである。
【符号の説明】
【００７９】
１０：ポリイミド金属積層シート（シート）
１４ｂ：有機溶剤
１４ｃ：塗布液
１６：材料シート
３０：加熱処理装置
４０：加熱ケース
１６８ａ：上側ガイドローラ
１６８ｂ：下側ガイドローラ
１７０：平板状のヒータ
１７２ａ：上側吹込穴
１７２ｂ：下側吹込穴
１７２ｃ：上側材料シート間吹込穴
１７２ｄ：下側材料シート間吹込穴
１７４ａ：上側吹込管
１７４ｂ：下側吹込管
１８０：排気ポート
１７６ａ：上側ガス吹込装置（ガス吹込装置）
１７６ｂ：下側ガス吹込装置（ガス吹込装置）
ＩＳａ，ＩＳｂ：内側空間
ＩＳａ１，ＩＳａ２，ＩＳｂ１，ＩＳｂ２：分割空間
【要約】
【課題】加熱ケース内において材料シートから放出された有機溶剤によって、材料シート、ガイドローラ、平板状のヒータ等が汚染されることが抑制されるシートの加熱処理装置を提供する。
【解決手段】上側ガス吹込装置１７６ａにより、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａに、材料シート１６の幅方向の一端側から他端側へ向って窒素ガスが吹き込まれる。このため、上側ガイドローラ１６８ａに巻き掛けられて逆Ｕ字状に曲げられた材料シート１６の内側空間ＩＳａ内に有機溶剤が滞留して有機溶剤の濃度が高くなることが抑制される。これにより、材料シート１６、上側ガイドローラ１６８ａ、下側ガイドローラ１６８ｂ、平板状のヒータ１７０等が汚染されることが抑制される。
【選択図】図６【図１】
0006862602.tif 000002
【図２】
0006862602.tif 000003
【図３】
0006862602.tif 000004
【図４】
0006862602.tif 000005
【図５】
0006862602.tif 000006
【図６】
0006862602.tif 000007
【図７】
0006862602.tif 000008
【図８】
0006862602.tif 000009