(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）基材層と、前記基材層と対面する第１の面及びその反対側の第２の面を有する粘着剤層と、前記粘着剤層の前記第２の面の中央部を覆うように設けられた接着剤層とを備える評価対象のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程と、
（Ｂ）温度２３℃において剥離角度３０°及び剥離速度６０ｍｍ／分の条件で、前記接着剤層からの前記粘着剤層の剥離強度を測定する第１測定工程と、
（Ｃ）前記ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの前記接着剤層に対して厚さ５０μｍのシリコンウェハを貼るとともに、前記粘着剤層の前記第２の面に対してダイシングリングを貼る工程と、
（Ｄ）前記シリコンウェハ及び前記接着剤層を複数の接着剤片付きチップに個片化し、辺の長さが２ｍｍの正方形の前記接着剤片付きチップを得る工程と、
（Ｅ）温度２３℃において前記基材層側から前記接着剤片付きチップの中央部を速度６０ｍｍ／分で押し込み、前記接着剤片付きチップのエッジが前記粘着剤層から剥離するときのエッジ剥離強度を測定する第２測定工程と、
を含み、
前記第１測定工程で測定される前記剥離強度が３．０Ｎ／２５ｍｍ以下であり且つ前記第２測定工程で測定される前記エッジ剥離強度が１．２Ｎ以下であるとき、前記ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムは良好なピックアップ性を有すると判定する、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの評価方法。
【請求項２】
（ｉ）基材層と、前記基材層と対面する第１の面及びその反対側の第２の面を有する粘着剤層と、前記粘着剤層の前記第２の面の中央部を覆うように設けられた接着剤層とを備える評価対象のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程と、
（ｉｉ）剥離角度３０°の条件で前記接着剤層からの前記粘着剤層の剥離強度を測定する第１測定工程と、
（ｉｉｉ）前記ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの前記接着剤層に対して厚さ１０〜１００μｍのウェハを貼るとともに、前記粘着剤層の前記第２の面に対してダイシングリングを貼る工程と、
（ｉｖ）前記ウェハ及び前記接着剤層を、面積９ｍｍ２以下の接着剤片付きチップに個片化する工程と、
（ｖ）前記基材層側から前記接着剤片付きチップの中央部を押し込み、前記接着剤片付きチップのエッジが前記粘着剤層から剥離するときのエッジ剥離強度を測定する第２測定工程と、
を含む、ピックアップ性の評価方法。
【請求項３】
基材層と、
前記基材層と対面する第１の面及びその反対側の第２の面を有する粘着剤層と、
前記粘着剤層の前記第２の面の中央部を覆うように設けられた接着剤層と、
を備え、
温度２３℃において剥離角度３０°及び剥離速度６０ｍｍ／分の条件で測定される、前記接着剤層からの前記粘着剤層の剥離強度が３．０Ｎ／２５ｍｍ以下であり且つ以下の工程を経て測定されるエッジ剥離強度が１．２Ｎ以下である、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム。
＜エッジ剥離強度の測定＞
・前記接着剤層に対して厚さ５０μｍのシリコンウェハを貼るとともに、前記粘着剤層の前記第２の面に対してダイシングリングを貼る工程
・前記シリコンウェハ及び前記接着剤層を複数の接着剤片付きチップに個片化し、辺の長さが２ｍｍの正方形の前記接着剤片付きチップを得る工程
・温度２３℃において前記基材層側から前記接着剤片付きチップの中央部を速度６０ｍｍ／分で押し込み、前記接着剤片付きチップのエッジが前記粘着剤層から剥離するときのエッジ剥離強度を測定する工程
【請求項４】
面積９ｍｍ２以下の複数の接着剤片付きチップにウェハ及び接着剤層を個片化する工程を含む半導体装置製造プロセスに適用される、請求項３に記載のダイシング・ダイボンディング一体型フィルム。
【請求項５】
前記個片化する工程において、ブレードダイシングによって前記複数の接着剤片付きチップが得られる、請求項４に記載のダイシング・ダイボンディング一体型フィルム。
【請求項６】
請求項３〜５のいずれか一項に記載のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程と、
前記ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの前記接着剤層に対してウェハを貼るとともに、前記粘着剤層の前記第２の面に対してダイシングリングを貼る工程と、
前記ウェハ及び前記接着剤層を面積９ｍｍ２以下の複数の接着剤片付きチップに個片化する工程と、
前記接着剤片付きチップを前記粘着剤層からピックアップする工程と、
前記接着剤片付きチップを、基板又は他のチップ上にマウントする工程と、
を含む、半導体装置の製造方法。
【請求項７】
基材層と、前記基材層と対面する第１の面及びその反対側の第２の面を有する粘着剤層と、前記粘着剤層の前記第２の面の中央部を覆うように設けられた接着剤層とをそれぞれ備える二種以上のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程と、
前記二種以上のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの前記接着剤層からの前記粘着剤層の剥離強度、及び以下の工程を経て測定されるエッジ剥離強度を比較する工程と、
を含む、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの選別方法。
＜エッジ剥離強度の測定＞
・前記接着剤層に対して厚さ１０〜１００μｍのウェハを貼るとともに、前記粘着剤層の前記第２の面に対してダイシングリングを貼る工程
・前記ウェハ及び前記接着剤層を、面積９ｍｍ２以下の接着剤片付きチップに個片化する工程
・前記基材層側から前記接着剤片付きチップの中央部を押し込み、前記接着剤片付きチップのエッジが前記粘着剤層から剥離するときのエッジ剥離強度を測定する工程
【請求項８】
基材層と、前記基材層と対面する第１の面及びその反対側の第２の面を有する粘着剤層と、前記粘着剤層の前記第２の面の中央部を覆うように設けられた接着剤層とをそれぞれ備え、温度２３℃において剥離角度３０°及び剥離速度６０ｍｍ／分の条件で測定される、前記接着剤層からの前記粘着剤層の剥離強度が３．０Ｎ／２５ｍｍ以下である、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程と、
前記複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムについて、以下の工程を経て測定されるエッジ剥離強度が１．２Ｎ以下であるか否かを検査する工程と、
を含むダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの選別方法。
＜エッジ剥離強度の測定＞
・前記接着剤層に対して厚さ５０μｍのシリコンウェハを貼るとともに、前記粘着剤層の前記第２の面に対してダイシングリングを貼る工程
・前記シリコンウェハ及び前記接着剤層を複数の接着剤片付きチップに個片化し、辺の長さが２ｍｍの正方形の前記接着剤片付きチップを得る工程
・温度２３℃において前記基材層側から前記接着剤片付きチップの中央部を速度６０ｍｍ／分で押し込み、前記接着剤片付きチップのエッジが前記粘着剤層から剥離するときのエッジ剥離強度を測定する工程
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、ピックアップ性の評価方法、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの評価方法及び選別方法、並びに半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置は以下の工程を経て製造される。まず、ウェハにダイシング用粘着フィルムを貼り付けた状態でダイシング工程を実施する。その後、エキスパンド工程、ピックアップ工程、マウンティング工程及びダイボンディング工程等が実施される。【０００３】
半導体装置の製造プロセスにおいて、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムと称されるフィルムが使用されている（特許文献１，２参照）。このフィルムは、基材層と粘着剤層と接着剤層がこの順序で積層された構造を有し、例えば、次のように使用される。まず、ウェハに対して接着剤層側の面を貼り付けるとともにダイシングリングでウェハを固定した状態でウェハをダイシングする。これにより、ウェハが多数のチップに個片化される。続いて、粘着剤層に対して紫外線を照射することによって接着剤層に対する粘着剤層の粘着力を弱めた後、接着剤層が個片化されてなる接着剤片とともにチップを粘着剤層からピックアップする。その後、接着剤片を介してチップを基板等にマウントする工程を経て半導体装置が製造される。以下、場合により、チップと接着剤片の積層体を「接着剤片付きチップ」と言う。【０００４】
上述のように、紫外線の照射によって粘着力が弱まる粘着剤層（ダイシングフィルム）はＵＶ硬化型と称される。これに対し、半導体装置の製造プロセスにおいて紫外線が照射されることなく、粘着力が一定のままの粘着剤層は感圧型と称される。感圧型の粘着剤層を備えるダイシング・ダイボンディング一体型フィルムは、ユーザー（主に半導体装置メーカー）にとって、紫外線を照射する工程を実施する必要がなく、また、このための設備が不要であるというメリットがある。特許文献３は、粘着剤層が紫外線によって硬化する成分を含有する点でＵＶ硬化型であると言える一方、粘着剤層の所定の部分のみに予め紫外線が照射されており、ユーザーは半導体装置の製造プロセスにおいて紫外線を照射する必要がない点で感圧型であるとも言えるダイシング・ダイボンドフィルムを開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−０６９５８６号公報
【特許文献２】特開２０１４−１３５４６９号公報
【特許文献３】特許第４４４３９６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ダイシング・ダイボンド一体型フィルムの粘着剤層は、ダイシング工程において接着剤層及びダイシングリングに対する高い粘着力が求められる。粘着剤層の粘着力が不十分であると、ダイシングブレードの高速回転に伴って接着剤層と粘着剤層の間で剥離が生じて接着剤片付きチップが飛ぶ現象（以下、これを「ＤＡＦ飛び」という。ＤＡＦはｄｉｅ  ａｔｔａｃｈ  ｆｉｌｍである。）が生じたり、切削水の水流によってダイシングリングが粘着剤層から剥離する現象（以下、この現象を「リング剥がれ」と言う。）が生じる。一方、ピックアップ工程においては、粘着剤層の接着剤層に対する粘着力は、優れたピックアップ性の観点から、ある程度低いことが求められる。粘着剤層の粘着力が過剰に強いと、接着剤片付きチップが粘着剤層から剥離せずにピックアップ不良が生じたり、チップ割れが生じたりして歩留まりが低下する。【０００７】
ところで、本発明者らは、ダイシングによってウェハを小チップ（例えば、平面視における面積が９ｍｍ２以下）に個片化した場合、その後のピックアップ工程において、従来の知見からすると特異なピックアップ挙動を示すことを見出した。すなわち、比較的大きなサイズ（例えば、縦８ｍｍ×横６ｍｍ）のチップがピックアップ対象であれば、優れたピックアップ性を達成できる程度に粘着剤層の粘着力を低下させたとしても、ピックアップ対象が小チップである場合にはピックアップ性が不十分となるという現象が生じた。本発明者らは、その主因について鋭意検討した結果、小チップの場合、チップのエッジの粘着剤層からの剥離（以下、「エッジ剥離」と言う。）がピックアップ性の支配的因子であるという知見を得た。【０００８】
本発明者らの検討によれば、比較的大きなサイズのチップの場合、チップのエッジよりもチップ表面と粘着剤層の界面の剥離（以下、「界面剥離」と言う。）がピックアップ性の支配的因子であると推察される。すなわち、チップの中心部を突上げ治具のピンで下方から突き上げることによって大チップ（例えば、平面視における面積が２０ｍｍ２超）をピックアップする場合、ピンの上昇に伴って、チップのエッジから中央部分に向けて粘着剤層と接着剤片の界面剥離が進展するものの、接着剤片に対する粘着剤層の粘着力が過度に大きいと、界面剥離がピンの上昇に追いつかず、チップに割れが生じたり、ピックアップミスが生じやすい。つまり、大チップのピックアップ性は粘着剤層と接着剤片の界面剥離に主に支配され、粘着剤層の粘着力はなるべく小さい値（例えば１．２Ｎ／２５ｍｍ未満）に設定すべきことを本発明者らは見出した。【０００９】
これに対し、小チップのピックアップ性は接着剤片付きチップのエッジ剥離強度に主に支配され、ピンによる突き上げによってエッジの剥離が一旦生じれば、その後、粘着剤層と接着剤片の界面剥離はスムーズに進展することを本発明者らは見出した。このため、粘着剤層の粘着力が比較的強くても、小チップの場合は優れたピックアップ性を達成できる。また、粘着剤層の粘着力が比較的強いことで、ダイシング工程におけるＤＡＦ飛びを十分に抑制できる。【００１０】
本発明者らが更に検討を進めた結果、接着剤片に対する粘着剤層の粘着力が３．０Ｎ／２５ｍｍを超えると、小チップであっても界面剥離が進展しにくくなり、ピックアップミスが増加する傾向となるとの知見を得た。この知見に基づき、本発明者らは、エッジ剥離強度を１．２Ｎ以下に抑制しつつ、粘着剤層の粘着力を３．０Ｎ／２５ｍｍ以下とすることで、より一層優れたピックアップ性が得られるとことを突きとめた。【００１１】
本開示は、小チップ（面積９ｍｍ２以下）のエッジ剥離及び界面剥離の影響を考慮したダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの評価方法及び選別方法を提供する。また、本開示は、小チップのエッジ剥離及び界面剥離の影響を考慮したピックアップ性の評価方法、並びに、小チップのピックアップ性に優れるダイシング・ダイボンディング一体型フィルム及びこれを用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本開示の一側面はダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの評価方法に関する。この評価方法は、面積９ｍｍ２以下の複数のチップにウェハを個片化する工程を含む半導体装置製造プロセスに適用されるダイシング・ダイボンディング一体型フィルムのピックアップ性を評価するためのものである。この評価方法は、以下の（Ａ）〜（Ｅ）工程を含み、（Ｂ）工程で測定される剥離強度（粘着剤層の粘着力）が３．０Ｎ／２５ｍｍ以下であり且つ（Ｅ）工程で測定されるエッジ剥離強度が１．２Ｎ以下であるとき、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムは良好なピックアップ性を有すると判定される。
（Ａ）基材層と、基材層と対面する第１の面及びその反対側の第２の面を有する粘着剤層と、粘着剤層の第２の面の中央部を覆うように設けられた接着剤層とを備える評価対象のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程
（Ｂ）温度２３℃において剥離角度３０°及び剥離速度６０ｍｍ／分の条件で、接着剤層からの粘着剤層の剥離強度を測定する第１測定工程
（Ｃ）ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの接着剤層に対して厚さ５０μｍのシリコンウェハを貼るとともに、粘着剤層の第２の面に対してダイシングリングを貼る工程
（Ｄ）シリコンウェハ及び接着剤層を複数の接着剤片付きチップに個片化し、辺の長さが２ｍｍの正方形の接着剤片付きチップを得る工程
（Ｅ）温度２３℃において基材層側から接着剤片付きチップの中央部を速度６０ｍｍ／分で押し込み、接着剤片付きチップのエッジが粘着剤層から剥離するときのエッジ剥離強度を測定する第２測定工程【００１３】
本発明者らの検討によれば、上記の条件（シリコンウェハの厚さ及び接着剤片付きチップのサイズ等）でエッジ剥離強度を測定することで、十分に再現性が高い測定結果を得ることができる。また、剥離角度３０°の条件で接着剤層からの粘着剤層の剥離強度を測定することで界面剥離性の良否を判断することができる。したがって、半導体装置の製造に使用するダイボンダ装置で実際にピックアップしなくても、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムのピックアップ性を効率的に評価できる。この評価方法は、例えば、半導体装置の製造プロセスに何らかの変更があったとき、新たな製造プロセスに適したダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを効率的に選択できる点で有用である。【００１４】
本開示の一側面は、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを使用した半導体装置製造プロセスにおけるピックアップ性を評価するものであってもよい。この評価方法は以下の工程を含む。
（ｉ）基材層と、基材層と対面する第１の面及びその反対側の第２の面を有する粘着剤層と、粘着剤層の第２の面の中央部を覆うように設けられた接着剤層とを備える評価対象のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程
（ｉｉ）剥離角度３０°の条件で接着剤層からの粘着剤層の剥離強度を測定する第１測定工程
（ｉｉｉ）ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの接着剤層に対して厚さ１０〜１００μｍのウェハを貼るとともに、粘着剤層の第２の面に対してダイシングリングを貼る工程
（ｉｖ）ウェハ及び接着剤層を、面積９ｍｍ２以下の接着剤片付きチップに個片化する工程
（ｖ）基材層側から接着剤片付きチップの中央部を押し込み、接着剤片付きチップのエッジが粘着剤層から剥離するときのエッジ剥離強度を測定する第２測定工程【００１５】
本開示の一側面はダイシング・ダイボンディング一体型フィルムに関する。このダイシング・ダイボンディング一体型フィルムは、基材層と、基材層と対面する第１の面及びその反対側の第２の面を有する粘着剤層と、粘着剤層の第２の面の中央部を覆うように設けられた接着剤層とを備え、温度２３℃において剥離角度３０°及び剥離速度６０ｍｍ／分の条件で測定される、接着剤層からの粘着剤層の剥離強度が３．０Ｎ／２５ｍｍ以下であり且つ以下の工程を経て測定されるエッジ剥離強度が１．２Ｎ以下である。
＜エッジ剥離強度の測定＞
・接着剤層に対して厚さ５０μｍのシリコンウェハを貼るとともに、粘着剤層の第２の面に対してダイシングリングを貼る工程
・シリコンウェハ及び接着剤層を複数の接着剤片付きチップに個片化し、辺の長さが２ｍｍの正方形の接着剤片付きチップを得る工程
・温度２３℃において基材層側から接着剤片付きチップの中央部を速度６０ｍｍ／分で押し込み、接着剤片付きチップのエッジが粘着剤層から剥離するときのエッジ剥離強度を測定する工程【００１６】
上記ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムは、接着剤片付きチップ（サイズ：２ｍｍ×２ｍｍ）のエッジ剥離強度が１．２Ｎ以下であり且つ接着剤層からの粘着剤層の剥離強度が３．０Ｎ／２５ｍｍ以下であることで、面積９ｍｍ２以下の複数のチップにウェハを個片化する工程を含む半導体装置製造プロセスにおいて優れたピックアップ性を達成できる。【００１７】
ブレードダイシングによってウェハとともに接着剤層を個片化する場合、接着剤層のエッジにバリが生じやすく、接着剤片付きチップのエッジ剥離強度が高くなる傾向にある。上記ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムは、ブレードダイシングによって複数の接着剤片付きチップを得た場合であっても、接着剤片付きチップのエッジ剥離強度及び界面剥離強度の条件をそれぞれ満たすことが好ましい。ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムがこれらの条件を満たすためには、例えば、以下の技術的手段を適宜採用すればよい。
・接着剤層を比較的高粘度化（高弾性化）したり、薄膜化（例えば６０μｍ以下）することによって、ブレードダイシング時の接着剤層の切削性を高める。
・粘着剤層の成分（例えば、架橋剤又は光重合開始剤）の量を変更することによって粘着剤層を比較的高弾性化したり、粘着力を調整する。
・基材層の破断伸度を小さくする。
・ブレードダイシング時に基材層まで切り込まないように粘着剤層を厚膜化（例えば３０μｍ以上）する。【００１８】
本開示の一側面は半導体装置の製造方法に関する。この製造方法は、上記ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程と、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの接着剤層に対してウェハを貼るとともに、粘着剤層の第２の面に対してダイシングリングを貼る工程と、ウェハ及び接着剤層を面積９ｍｍ２以下の複数の接着剤片付きチップに個片化する工程と、接着剤片付きチップを粘着剤層からピックアップする工程と、接着剤片付きチップを、基板又は他のチップ上にマウントする工程とを含む。この半導体装置の製造方法によれば、接着剤片付きチップの優れたピックアップ性を達成でき、十分に高い歩留まりで半導体装置を製造できる。【００１９】
本開示の一側面は、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの選別方法に関する。以下の選別方法によれば、半導体装置を高い歩留まりで製造し得るダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを効率的に選別できる。ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの選別方法の第一の態様は、基材層と、基材層と対面する第１の面及びその反対側の第２の面を有する粘着剤層と、粘着剤層の第２の面の中央部を覆うように設けられた接着剤層とをそれぞれ備える二種以上のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程と、二種以上のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの接着剤層からの粘着剤層の剥離強度、及びエッジ剥離強度を比較する工程とを含む。【００２０】
ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの選別方法の第二の態様は、基材層と、基材層と対面する第１の面及びその反対側の第２の面を有する粘着剤層と、粘着剤層の第２の面の中央部を覆うように設けられた接着剤層とをそれぞれ備え、温度２３℃において剥離角度３０°及び剥離速度６０ｍｍ／分の条件で測定される、接着剤層からの粘着剤層の剥離強度が３．０Ｎ／２５ｍｍ以下である、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程と、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムについて、以下の工程を経て測定されるエッジ剥離強度が１．２Ｎ以下であるか否かを検査する工程とを含む。
＜エッジ剥離強度の測定＞
・接着剤層に対して厚さ５０μｍのシリコンウェハを貼るとともに、粘着剤層の第２の面に対してダイシングリングを貼る工程
・シリコンウェハ及び接着剤層を複数の接着剤片付きチップに個片化し、辺の長さが２ｍｍの正方形の接着剤片付きチップを得る工程
・温度２３℃において基材層側から接着剤片付きチップの中央部を速度６０ｍｍ／分で押し込み、接着剤片付きチップのエッジが粘着剤層から剥離するときのエッジ剥離強度を測定する工程
【発明の効果】
【００２１】
本開示によれば、小チップ（面積９ｍｍ２以下）のエッジ剥離及び界面剥離の影響を考慮したダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの評価方法及び選別方法が提供される。また、本開示によれば、小チップのエッジ剥離及び界面剥離の影響を考慮したピックアップ性の評価方法、並びに、小チップのピックアップ性に優れるダイシング・ダイボンディング一体型フィルム及びこれを用いた半導体装置の製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１（ａ）はダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの一実施形態を示す平面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）に示すＢ−Ｂ線に沿った模式断面図である。
【図２】図２（ａ）〜図２（ｃ）はエッジ剥離強度を測定する工程を模式的に示す断面図である。
【図３】図３は、押し込みによる変位（ｍｍ）と押し込み力（Ｎ）との関係の一例を示すグラフである。
【図４】図４は、測定対象のチップの中央部に相当する位置にマークを付した状態を模式的に示す平面図である。
【図５】図５はエッジ剥離強度の測定エリアの一例を模式的に示す平面図である。
【図６】図６は接着剤層に対する粘着剤層の３０°ピール強度を測定している様子を模式的に示す断面図である。
【図７】図７は半導体装置の一実施形態の模式断面図である。
【図８】図８（ａ）〜図８（ｄ）は、接着剤片付きチップを製造する過程を模式的に示す断面図である。
【図９】図９は図７に示す半導体装置を製造する過程を模式的に示す断面図である。
【図１０】図１０は図７に示す半導体装置を製造する過程を模式的に示す断面図である。
【図１１】図１１は図７に示す半導体装置を製造する過程を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しつつ、本開示の実施形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。なお、本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味し、「（メタ）アクリレート」とは、アクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味する。「Ａ又はＢ」とは、ＡとＢのどちらか一方を含んでいればよく、両方とも含んでいてもよい。
【００２４】
本明細書において「層」との語は、平面図として観察したときに、全面に形成されている形状の構造に加え、一部に形成されている形状の構造も包含される。また、本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。また、「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。
【００２５】
本明細書において組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。また、例示材料は特に断らない限り単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。また、本明細書中に段階的に記載されている数値範囲において、ある段階の数値範囲の上限値又は下限値は、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
【００２６】
＜ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム＞
図１（ａ）は、本実施形態に係るダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを示す平面図であり、図１（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ線に沿った模式断面図である。ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム１０（以下、場合により、単に「フィルム１０」と言う。）は、ウェハＷを面積９ｍｍ２以下の複数のチップに個片化するダイシング工程及びその後のピックアップ工程を含む半導体装置の製造プロセスに適用されるものである（図８（ｃ）及び図８（ｄ）参照）。
【００２７】
フィルム１０は、基材層１と、基材層１と対面する第１の面Ｆ１及びその反対側の第２の面Ｆ２を有する粘着剤層３と、粘着剤層３の第２の面Ｆ２の中央部を覆うように設けられた接着剤層５とをこの順序で備える。本実施形態においては、正方形の基材層１を例示したが、基材層１が円形であり且つ粘着剤層３と同じサイズであってもよい。また、本実施形態においては、基材層１の上に、粘着剤層３及び接着剤層５の積層体が一つ形成された態様を例示したが、基材層１が所定の長さ（例えば、１００ｍ以上）を有し、その長手方向に並ぶように、粘着剤層３及び接着剤層５の積層体が所定の間隔で配置された態様であってもよい。
【００２８】
フィルム１０はエッジ剥離強度が１．２Ｎ以下である。エッジ剥離強度は以下の工程を経て測定される。フィルム１０のエッジ剥離強度の上限値は１．１Ｎ又は０．９Ｎであってもよく、下限値は、例えば、０．１Ｎであり、０．１５Ｎ又は０．２Ｎであってもよい。
＜エッジ剥離強度の測定＞
・接着剤層５に対して厚さ５０μｍのシリコンウェハＷｓを貼るとともに、粘着剤層３の第２の面Ｆ２に対してダイシングリングＤＲを貼る工程（図２（ａ）参照）
・シリコンウェハＷｓ及び接着剤層５を複数の接着剤片付きチップＴａ（以下、場合により単に「チップＴａ」と言う。）に個片化する工程（図２（ｂ）参照）
・温度２３℃において基材層１側からチップＴａの中央部を速度６０ｍｍ／分で押し込み（図２（ｃ）参照）、チップＴａのエッジが粘着剤層３から剥離するときのエッジ剥離強度を測定する工程
【００２９】
フィルム１０のエッジ剥離強度が上記範囲であることで、フィルム１０はウェハを面積９ｍｍ２以下の複数の小チップに個片化するダイシング工程及びその後のピックアップ工程に適したものであると評価することができる。
【００３０】
図２（ｂ）に示すように、チップＴａは、チップＴｓと接着剤片５ｐとによって構成されている。シリコンウェハＷｓ及び接着剤層５を複数のチップＴａに個片化する工程は、例えば、以下の条件のブレードダイシングによって実施すればよい。
＜ダイシング条件＞
・ダイサー：ＤＦＤ６３６１（株式会社ディスコ製）
・ブレード：ＺＨ０５−ＳＤ４０００−Ｎ１−７０−ＢＢ（株式会社ディスコ製）
・ブレード回転数：４００００ｒｐｍ
・ダイシング速度：３０ｍｍ／秒
・ブレードハイト：９０μｍ
・粘着剤層３の表面からの切り込み深さ：２０μｍ
・チップＴａの平面視での形状：２ｍｍ×２ｍｍの正方形
【００３１】
ブレードの種類としては、チップの加工品質を確保するため、また基材層１等から発生する切削屑（バリ）を抑制するため、株式会社ディスコ製のブレードであれば＃４０００〜＃４８００の粒径の細かいブレードを用いることが好ましい。
【００３２】
厚さ５０μｍのシリコンウェハＷｓを使用する理由は以下のとおりである。例えば、シリコンウェハの厚さが３０μｍ以下である場合、ブレードダイシングによって個片化する際、チップ欠け及びチップ割れといった問題が発生しやすくなる。これに加え、エッジ剥離強度の測定時にチップが割れてしまうおそれがある。一方、例えば、シリコンウェハの厚さが８０μｍ以上の場合、ブレードダイシングにより個片化する際、ステップカットを適用しなければならない場合があり、ブレードの選定及び条件設定が容易ではなくなる。これに加え、チップが厚いとエッジ剥離強度の測定時にチップが撓みにくいため、エッジの剥離性が良くなりフィルム間の差異が出にくくなる可能性もある。また、近年では半導体ウェハの薄化が進行していることから、市場動向に合わせる意味でも厚さ５０μｍのシリコンウェハを用いる。
【００３３】
接着剤片付きチップＴａのサイズを２ｍｍ×２ｍｍとした理由は以下のとおりである。例えば、接着剤片付きチップＴａのサイズを１ｍｍ×１ｍｍとした場合、チップの中央部（チップに押圧力を加える箇所）とエッジとの距離が近すぎるため、エッジの剥離性が良くなりフィルム間の差異が出にくい可能性がある。これに加え、チップが小さすぎるためにチップの中央部にマーキングすることが難しく、マーキング無しの目視では位置ずれにより測定誤差が生じる可能性がある。一方、例えば、接着剤片付きチップＴａのサイズを３ｍｍ×３ｍｍとした場合、チップエッジ部の剥離強度測定時に、チップの中央部とエッジとの距離が離れすぎているため、押し込みによる押圧力が伝わりにくくなり、エッジ剥離強度を正確に測定することが難しい。これに加え、エッジを剥離させるのに大きな押し込み量が必要であり、これに伴ってチップが大きく撓んで測定中にチップ割れが発生するおそれがある。
【００３４】
エッジ剥離強度を測定する工程において、図２（ｃ）に示すように、基材層１側からチップＴａの中央部を押し込み冶具Ｐで押し込む。例えば、以下の装置等を使用し、以下の条件でエッジ剥離強度を測定すればよい。
＜測定条件＞
・測定装置：小型卓上試験機ＥＺ−ＳＸ（株式会社島津製作所製）
・ロードセル：５０Ｎ
・押し込み冶具：ＺＴＳシリーズ付属アタッチメント（形状：円錐型、株式会社イマダ製）
・押し込み速度：６０ｍｍ／分
・温度：２３℃
・湿度：４５±１０％
【００３５】
図３は、押し込みによる変位（ｍｍ）と押し込み力（Ｎ）との関係の一例を示すグラフである。チップのエッジが剥離した時、図３に示すように、一時的に押し込み力が低下し、グラフに変化点が生じる。この変化点における押し込み力の値をエッジ剥離強度とする。
【００３６】
エッジ剥離強度を測定する際、基材層１におけるチップＴａの中央部に相当する位置に、油性ペン等を用いてマーキングしておくことが好ましい。予めマーキングしておくことで、精度良く測定することが可能となるとともに、位置合わせが容易になり測定効率が向上する。
【００３７】
押し込み速度を６０ｍｍ／分とした理由は以下のとおりである。すなわち、押し込み速度は、実際のピックアップ条件と合わせる意味で６０〜１２００ｍｍ／分（１〜２０ｍｍ／秒）が好ましいが、例えば、押し込み速度が速すぎると、エッジが剥離した後に押し込みを止めるまで間に試料に対して必要以上に押圧力が加わり、測定対象のチップの周辺のチップまで剥離したり、基材層が破れたりして、その後の測定に悪影響を及ぼす可能性がある。そのため、上記の範囲内でなるべく低速の押し込み速度を選択した。
【００３８】
複数のチップＴａについてエッジ剥離強度を測定し、複数の測定値の平均をフィルム１０のエッジ剥離強度とすることが好ましい。例えば、５個以上（より好ましくは１０〜２０個）のチップＴａについて測定を行ってその平均値を算出すればよい。第１のチップＴａのエッジ剥離強度を測定した後、第２のチップＴａのエッジ剥離強度を測定する場合、第１のチップＴａに対する押し込みが第２のチップＴａに影響しないように、第２のチップＴａは第１のチップＴａと十分に離間していることが好ましい。例えば、第１のチップＴａと第２のチップＴａの間には二個以上のチップＴａがあることが好ましい。図４は、測定対象のチップの中央部に相当する位置にマークＭを付した状態を模式的に示す平面図である。この図においては、測定対象の二つのチップＴａの間にチップ三個分の間隔があけられている。
【００３９】
シリコンウェハＷｓが１２インチウェハである場合、図５に示す測定エリアＡ内の複数のチップＴａを測定とすることが好ましい。すなわち、図５に示すように、ダイシングリングＤＲのノッチＮの位置を紙面の上方としたとき、シリコンウェハＷｓの下側の端部から５０ｍｍの距離をあけ、８０ｍｍ×２０ｍｍ内のエリアで測定することが好ましい。シリコンウェハＷｓの端部と中央部とで、基材層１の張力及び押し込み時の基材層１の伸びに違いがあるため、位置によって測定値にばらつきが出る可能性がある。上記測定エリアと同様の設定は、８インチウェハの場合にも適用してもよい。なお、測定エリアＡは図５に示された位置に限定されず、例えば、ウェハＷｓの端部から所定の距離があいていれば、図５における上側、左側又は右側であってもよい。
【００４０】
なお、エッジ剥離強度の測定によるピックアップ性の評価の他に、同じ試料に対し、ダイボンダ装置を使用して実際にピックアップを行うことによってピックアップ性を評価してもよい。この場合、先にエッジ剥離強度の測定を行うことが好ましい。ダイボンダ装置を使用したピックアップは、通常、基材フィルムをエキスパンドした状態で行う。エキスパンドの状態を解除した後において、エキスパンドによる基材層１の弛みが戻らない場合があり、エッジ剥離強度を精度良く測定することが難しくなるおそれがある。
【００４１】
接着剤層５に対する第１の領域３ａの粘着力は、３．０Ｎ／２５ｍｍ以下である。この粘着力の上限値は２．７５Ｎ／２５ｍｍ又は２．５Ｎ／２５ｍｍであってもよい。この粘着力は、温度２３℃において剥離角度３０°及び剥離速度６０ｍｍ／分の条件で測定される３０°ピール強度である。図６は支持板８０に測定試料（幅２５ｍｍ×長さ１００ｍｍ）の接着剤層５を固定した状態で、粘着剤層３の３０°ピール強度を測定している様子を模式的に示す断面図である。接着剤層５に対する第１の領域３ａの粘着力（３０°ピール強度）を上記範囲とすることで、優れたピックアップ性を達成でき、十分に高い歩留まりで半導体装置を製造することが可能となる。ダイシング時におけるＤＡＦ飛びを抑制する観点から、この粘着力は１．２Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。
【００４２】
次に、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを構成する各層について説明する。
【００４３】
（基材層）
基材層１としては、既知のポリマーシート又はフィルムを用いることができ、低温条件下においても、エキスパンド工程を実施可能なものであれば、特に制限はない。具体的には、基材層１を構成するポリマーとして、結晶性ポリプロピレン、非晶性ポリプロピレン、高密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、低密度直鎖ポリエチレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル（ランダム、交互）共重合体、エチレン−ブテン共重合体、エチレン−ヘキセン共重合体、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミド、全芳香族ポリアミド、ポリフェニルスルフイド、アラミド（紙）、ガラス、ガラスクロス、フッ素樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、セルロース系樹脂、シリコーン樹脂、又は、これらに可塑剤を混合した混合物、あるいは、電子線照射により架橋を施した硬化物が挙げられる。
【００４４】
基材層１は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレン−ポリプロピレンランダム共重合体、ポリエチレン−ポリプロピレンブロック共重合体から選ばれる少なくとも１種の樹脂を主成分とする表面を有し、この表面と粘着剤層３が接していることが好ましい。これらの樹脂は、ヤング率、応力緩和性及び融点等の特性、並びに、価格面、使用後の廃材リサイクル等の観点からも良好な基材である。基材層１は、単層でも構わないが、必要に応じて異なる材質からなる層が積層された多層構造を有していてもよい。粘着剤層３との密着性を制御するため、基材層１の表面に対して、マット処理、コロナ処理等の表面粗化処理を施してもよい。基材層１の厚さは、例えば、１０〜２００μｍであり、２０〜１８０μｍ又は３０〜１５０μｍであってもよい。
【００４５】
（粘着剤層）
粘着剤層３は、接着剤層５におけるシリコンウェハＷｓの貼付け位置に対応する領域Ｒｗを少なくとも含む第１の領域３ａと、第１の領域３ａを囲むように位置する第２の領域３ｂとを有する。図１（ａ）及び図１（ｂ）における破線は第１の領域３ａと第２の領域３ｂの境界を示す。第１の領域３ａ及び第２の領域３ｂは、活性エネルギー線の照射前において同一の組成物からなる。第１の領域３ａは、紫外線等の活性エネルギー線が照射されることによって、第２の領域３ｂと比較して粘着力が低下した状態の領域である。第２の領域３ｂはダイシングリングＤＲが貼り付けられる領域である（図２（ａ）参照）。第２の領域３ｂは活性エネルギー線が照射されていない領域であり、ダイシングリングＤＲに対する高い粘着力を有する。
【００４６】
粘着剤層３の厚さは、エキスパンド工程の条件（温度及び張力等）に応じて適宜設定すればよく、例えば、１〜２００μｍであり、５〜５０μｍ又は１５〜４５μｍであってもよい。粘着剤層３の厚さが１μｍ未満であると粘着性が不十分となりやすく、２００μｍを超えると、エキスパンド時にカーフ幅が狭く（ピン突き上げ時に応力を緩和してしまい）ピックアップが不十分になりやすい。
【００４７】
第１の領域３ａは、接着剤層５に対して上記範囲（３．０Ｎ／２５ｍｍ以下）の粘着力を有するものであり、活性エネルギー線の照射によって形成される。本発明者らは、活性エネルギー線の照射によって粘着剤層３の粘着力を低下させることが、接着剤片付きチップのエッジ剥離強度に影響を与えることを見出した。すなわち、第１の領域３ａの粘着力が活性エネルギー線の照射によって過度に低下したものであると、接着剤層５に対する第１の領域３ａの３０°ピール強度は低くなる一方、ピックアップ対象が小チップである場合、接着剤片付きチップのエッジが剥離しにくくなる傾向にあり、チップが過度に変形して割れ又はピックアップミスが生じやすい。接着剤層５に対する第１の領域３ａの粘着力は、活性エネルギー線を照射する前の粘着力を過度に低下させていないものであることが好ましく、これにより、面積９ｍｍ２以下の接着剤片付きチップであっても、そのエッジが粘着剤層３（第１の領域３ａ）から剥離しやすくなる。本実施形態においては、例えば、粘着剤層３における架橋剤の量を比較的少なくしたり、活性エネルギー線の照射量を低減するなどすることにより、粘着剤層３の第１の領域３ａの粘着力を調整することができる。
【００４８】
第２の領域３ｂのステンレス基板に対する粘着力は０．２Ｎ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。この粘着力は、温度２３℃において剥離角度９０°及び剥離速度５０ｍｍ／分の条件で測定される９０°ピール強度である。この粘着力が０．２Ｎ／２５ｍｍ以上であることで、ダイシング時におけるリング剥がれを十分に抑制することができる。この粘着力の下限値は０．３Ｎ／２５ｍｍ又は０．４Ｎ／２５ｍｍであってもよく、上限値は、例えば、２．０Ｎ／２５ｍｍであり、１．０Ｎ／２５ｍｍであってもよい。
【００４９】
活性エネルギー線照射前の粘着剤層は、例えば、（メタ）アクリル系樹脂と、光重合開始剤と、架橋剤とを含む粘着剤組成物からなる。活性エネルギー線が照射されない第２の領域３ｂは活性エネルギー線照射前の粘着剤層と同じ組成からなる。以下、粘着剤組成物の含有成分について詳細に説明する。
【００５０】
［（メタ）アクリル系樹脂］
粘着剤組成物は、連鎖重合可能な官能基を有する（メタ）アクリル系樹脂を含み、官能基がアクリロイル基及びメタクリロイル基から選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。活性エネルギー線照射前の粘着剤層における上記官能基の含有量は、例えば、０．１〜１．２ｍｍｏｌ／ｇであり、０．３〜１．０ｍｍｏｌ／ｇ又は０．５〜０．８ｍｍｏｌ／ｇであってもよい。上記官能基の含有量が０．１ｍｍｏｌ／ｇ以上であることで、活性エネルギー線の照射によって粘着力が適度に低下した領域（第１の領域３ａ）を形成しやすく、他方、１．２ｍｍｏｌ／ｇ以下であることで、優れたピックアップ性を達成しやすい。
【００５１】
（メタ）アクリル系樹脂は、既知の方法で合成することで得ることができる。合成方法としては、例えば、溶液重合法、懸濁重合法、乳化重合法、塊状重合法、析出重合法、気相重合法、プラズマ重合法、超臨界重合法が挙げられる。また、重合反応の種類としては、ラジカル重合、カチオン重合、アニオン重合、リビングラジカル重合、リビングカチオン重合、リビングアニオン重合、配位重合、イモーダル重合等の他、ＡＴＲＰ（原子移動ラジカル重合）及びＲＡＦＴ（可逆的付加開裂連鎖移動重合）といった手法も挙げられる。この中でも、溶液重合法を用いてラジカル重合により合成することは、経済性の良さ、反応率の高さ、重合制御の容易さなどの他、重合で得られた樹脂溶液をそのまま用いて配合できる等の利点を有する。
【００５２】
ここで、溶液重合法を用いてラジカル重合によって、（メタ）アクリル系樹脂を得る方法を例に、（メタ）アクリル系樹脂の合成法について詳細に説明する。
【００５３】
（メタ）アクリル系樹脂を合成する際に用いられるモノマーとしては、一分子中に１個の（メタ）アクリロイル基を有するものであれば特に制限はない。その具体例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレート、オクチルヘプチル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、ウンデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、テトラデシル（メタ）アクリレート、ペンタデシル（メタ）アクリレート、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ベヘニル（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）スクシネート等の脂肪族（メタ）アクリレート；シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、シクロペンチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）テトラヒドロフタレート、モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）ヘキサヒドロフタレート等の脂環式（メタ）アクリレート；ベンジル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ｏ−ビフェニル（メタ）アクリレート、１−ナフチル（メタ）アクリレート、２−ナフチル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ｐ−クミルフェノキシエチル（メタ）アクリレート、ｏ−フェニルフェノキシエチル（メタ）アクリレート、１−ナフトキシエチル（メタ）アクリレート、２−ナフトキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（ｏ−フェニルフェノキシ）プロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（１−ナフトキシ）プロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（２−ナフトキシ）プロピル（メタ）アクリレート等の芳香族（メタ）アクリレート；２−テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、Ｎ−（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタルイミド、２−（メタ）アクリロイロキシエチル−Ｎ−カルバゾール等の複素環式（メタ）アクリレート、これらのカプロラクトン変性体、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、α−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、α−プロピルグリシジル（メタ）アクリレート、α−ブチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−プロピルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシブチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシヘプチル（メタ）アクリレート、α−エチル−６，７−エポキシヘプチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエチレン性不飽和基とエポキシ基を有する化合物；（２−エチル−２−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレート、（２−メチル−２−オキセタニル）メチル（メタ）アクリレート、２−（２−エチル−２−オキセタニル）エチル（メタ）アクリレート、２−（２−メチル−２−オキセタニル）エチル（メタ）アクリレート、３−（２−エチル−２−オキセタニル）プロピル（メタ）アクリレート、３−（２−メチル−２−オキセタニル）プロピル（メタ）アクリレート等のエチレン性不飽和基とオキセタニル基を有する化合物；２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート等のエチレン性不飽和基とイソシアネート基を有する化合物；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等のエチレン性不飽和基とヒドロキシル基を有する化合物が挙げられ、これらを適宜組み合わせて目的とする（メタ）アクリル系樹脂を得ることができる。
【００５４】
（メタ）アクリル系樹脂は、後述する官能基導入化合物又は架橋剤との反応点として、水酸基、グリシジル基及びアミノ基等から選ばれる少なくとも１種の官能基を有することが好ましい。水酸基を有する（メタ）アクリル系樹脂を合成するためのモノマーとしては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等のエチレン性不飽和基とヒドロキシル基を有する化合物が挙げられ、これらは１種を単独で、あるいは、２種以上を併用することができる。
【００５５】
グリシジル基を有する（メタ）アクリル系樹脂を合成するためのモノマーとしては、グリシジル（メタ）アクリレート、α−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、α−プロピルグリシジル（メタ）アクリレート、α−ブチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−メチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−エチルグリシジル（メタ）アクリレート、２−プロピルグリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシブチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシヘプチル（メタ）アクリレート、α−エチル−６，７−エポキシヘプチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエチレン性不飽和基とエポキシ基を有する化合物が挙げられ、これらは１種を単独で、あるいは、２種以上を併用することができる。
【００５６】
これらのモノマーから合成される（メタ）アクリル系樹脂は、連鎖重合可能な官能基を含むことが好ましい。連鎖重合可能な官能基は、例えば、アクリロイル基及びメタクリロイル基から選ばれる少なくとも１種である。連鎖重合可能な官能基は、例えば、上述のように合成された（メタ）アクリル系樹脂に以下の化合物（官能基導入化合物）を反応させることにより、当該（メタ）アクリル系樹脂中に導入することができる。官能基導入化合物の具体例として、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、メタ−イソプロペニル−α，α−ジメチルベンジルイソシアネート、メタクリロイルイソシアネート、アリルイソシアネート、１，１−（ビスアクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート；ジイソシアネート化合物またはポリイソシアネート化合物と、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートもしくは４−ヒドロキシブチルエチル（メタ）アクリレートとの反応により得られるアクリロイルモノイソシアネート化合物；ジイソシアネート化合物またはポリイソシアネート化合物と、ポリオール化合物と、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとの反応により得られるアクリロイルモノイソシアネート化合物などが挙げられる。これらの中でも、特に２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートが好ましい。これらの化合物は、１種を単独で使用することもできるし、２種以上を組み合わせて使用することもできる。
【００５７】
（メタ）アクリル系樹脂は、重量平均分子量（Ｍｗ）は、例えば、１０万〜２００万以上であり、好ましくは１５万〜１００万であり、より好ましくは２０万〜８０万である。（メタ）アクリル系樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）がこのような範囲であれば、粘着性に優れ且つ低分子量成分が少なく被着体の汚染を防止し得る粘着剤層３を形成することができる。
【００５８】
（メタ）アクリル系樹脂の水酸基価は、好ましくは１０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは２０〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇである。（メタ）アクリル系樹脂の水酸基価が上記範囲であることで、架橋剤との反応により初期粘着力を調整可能であり且つ連鎖重合可能な官能基の反応後の剥離力が下げられるという効果が奏される。
【００５９】
［光重合開始剤］
光重合開始剤としては、活性エネルギー線（紫外線、電子線及び可視光線から選ばれる少なくとも１種）を照射することで連鎖重合可能な活性種を発生するものであれば、特に制限はなく、例えば、光ラジカル重合開始剤が挙げられる。ここで連鎖重合可能な活性種とは、連鎖重合可能な官能基と反応することで重合反応が開始されるものを意味する。
【００６０】
光ラジカル重合開始剤としては、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン等のベンゾインケタール；１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン等のα−ヒドロキシケトン；２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、１，２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン等のα−アミノケトン；１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタジオン−２−（ベンゾイル）オキシム等のオキシムエステル；ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキシド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルホスフィンオキシド、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド等のホスフィンオキシド；２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ´−テトラメチル−４，４´−ジアミノベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ´−テトラエチル−４，４´−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４´−ジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン化合物；２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナントラキノン、２−メチル−１，４−ナフトキノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン化合物；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル；ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物；ベンジルジメチルケタール等のベンジル化合物；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９、９´−アクリジニルヘプタン）等のアクリジン化合物：Ｎ−フェニルグリシン、クマリンが挙げられる。
【００６１】
粘着剤組成物における光重合開始剤の含有量は、（メタ）アクリル系樹脂の含有量１００質量部に対し、例えば、０．１〜３０質量部であり、０．３〜１０質量部であることが好ましく、０．５〜５質量部であることがより好ましい。光重合開始剤の含有量が０．１質量部未満であると粘着剤層が活性エネルギー線照射後に硬化不足となり、ピックアップ不良が起こりやすい。光重合開始剤の含有量が３０質量部を超えると接着剤層への汚染（光重合開始剤の接着剤層への転写）が生じやすい。
【００６２】
［架橋剤］
架橋剤は、例えば、粘着剤層の弾性率及び／又は粘着性の制御を目的に用いられる。架橋剤は、上記（メタ）アクリル系樹脂が有する水酸基、グリシジル基及びアミノ基等から選ばれる少なくとも１種の官能基と反応し得る官能基を一分子中に２つ以上有する化合物であればよい。架橋剤と（メタ）アクリル系樹脂との反応によって形成される結合としては、エステル結合、エーテル結合、アミド結合、イミド結合、ウレタン結合、ウレア結合等が挙げられる。
【００６３】
本実施形態においては、架橋剤として、一分子中に２つ以上のイソシアネート基を有する化合物を採用することが好ましい。このような化合物を用いると、上記（メタ）アクリル系樹脂が有する水酸基、グリシジル基及びアミノ基等と容易に反応し、強固な架橋構造を形成することができる。
【００６４】
一分子中に２つ以上のイソシアネート基を有する化合物としては、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、１，３−キシリレンジイソシアネート、１，４−キシレンジイソシアネート、ジフェニルメタン−４，４´−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−２，４´−ジイソシアネート、３−メチルジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン−４，４´−ジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン−２，４´−ジイソシアネート、リジンイソシアネート等のイソシアネート化合物が挙げられる。
【００６５】
架橋剤として、上述のイソシアネート化合物と、一分子中に２つ以上のＯＨ基を有する多価アルコールの反応物（イソシアナート基含有オリゴマー）を採用してもよい。一分子中に２つ以上のＯＨ基を有する多価アルコールの例としては、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、１，６−ヘキサンジオール、１，８−オクタンジオール、１，９−ノナンジオール、１，１０−デカンジオール、１，１１−ウンデカンジオール、１，１２−ドデカンジオール、グリセリン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、１，４−シクロヘキサンジオール、１，３−シクロヘキサンジオールが挙げられる。
【００６６】
これらの中でも、架橋剤として、一分子中に２つ以上のイソシアネート基を有する多官能イソシアネートと、一分子中に３つ以上のＯＨ基を有する多価アルコールの反応物（イソシアナート基含有オリゴマー）であることが更に望ましい。このようなイソシアネート基含有オリゴマーを架橋剤として用いることで、粘着剤層３が緻密な架橋構造を形成し、これにより、ピックアップ工程において接着剤層５に粘着剤が付着することを十分に抑制できる。
【００６７】
粘着剤組成物における架橋剤の含有量は、粘着剤層に対して求められる凝集力及び破断伸び率、並びに、接着剤層５との密着性等に応じて適宜設定すればよい。具体的には、架橋剤の含有量は、（メタ）アクリル系樹脂の含有量１００質量部に対し、例えば、２〜３０質量部であり、４〜１５質量部又は７〜１０質量部であってもよい。架橋剤の含有量を上記範囲とすることで、ダイシング工程において粘着剤層に求められる特性と、ダイボンディング工程において粘着剤層３に求められる特性とをバランスよく両立することが可能であるとともに、優れたピックアップ性も達成し得る。
【００６８】
架橋剤の含有量が（メタ）アクリル系樹脂の含有量１００質量部に対して２質量部未満であると、架橋構造の形成が不十分となりやすく、これに起因して、ピックアップ工程において、接着剤層５との界面密着力が十分に低下せずにピックアップ時に不良が発生しやすい。他方、架橋剤の含有量が（メタ）アクリル系樹脂の含有量１００質量部に対して３０質量部を超えると、粘着剤層３が過度に硬くなりやすく、これに起因して、エキスパンド工程において半導体チップが剥離しやすい。
【００６９】
粘着剤組成物の全質量に対する架橋剤の含有量は、例えば、０．１〜２０質量％であり、２〜１７質量％又は３〜１５質量％であってもよい。架橋剤の含有量が０．１質量％以上であることで、活性エネルギー線の照射によって粘着力が適度に低下した領域（第１の領域３ａ）を形成しやすく、他方、１５質量％以下であることで、優れたピックアップ性を達成しやすい。
【００７０】
粘着剤層３の形成方法としては、既知の手法を採用できる。例えば、基材層１と粘着剤層３との積層体を二層押し出し法で形成してもよいし、粘着剤層３の形成用ワニスを調製し、これを基材層１の表面に塗工する、あるいは、離型処理されたフィルム上に粘着剤層３を形成し、これを基材層１に転写してもよい。
【００７１】
粘着剤層３の形成用ワニスは、（メタ）アクリル系樹脂、光重合開始剤及び架橋剤を溶解し得る有機溶剤であって加熱により揮発するものを使用して調製することが好ましい。有機溶剤の具体例としては、トルエン、キシレン、メシチレン、クメン、ｐ−シメン等の芳香族炭化水素；テトラヒドロフラン、１，４−ジオキサン等の環状エーテル；メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール；アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン等のケトン；酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、γ−ブチロラクトン等のエステル；エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の炭酸エステル；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等の多価アルコールアルキルエーテル；エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の多価アルコールアルキルエーテルアセテート；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミドが挙げられる。
【００７２】
これらの中で、溶解性及び沸点の観点から、例えば、トルエン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、アセチルアセトンであることが好ましい。これらの有機溶剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。ワニスの固形分濃度は、通常１０〜６０質量％であることが好ましい。
【００７３】
（接着剤層）
接着剤層５には、既知のダイボンディングフィルムを構成する接着剤組成物を適用できる。具体的には、接着剤層５を構成する接着剤組成物は、エポキシ基含有アクリル共重合体、エポキシ樹脂及びエポキシ樹脂硬化剤を含有することが好ましい。これらの成分を含む接着剤層５によれば、チップ／基板間、チップ／チップ間の接着性に優れ、また電極埋め込み性及びワイヤ埋め込み性等も付与可能で、かつダイボンディング工程では低温で接着でき、短時間で優れた硬化が得られる、封止剤でモールド後は優れた信頼性を有する等の特徴があり好ましい。
【００７４】
接着剤層５の厚さは、例えば、１〜３００μｍであり、５〜１５０μｍであることが好ましく、１０〜１００μｍ又は１５〜３５μｍであってもよい。接着剤層５の厚さが１μｍ未満であると接着性が不十分となりやすく、他方、３００μｍを超えるとダイシング性及びピックアップ性が不十分となりやすい。
【００７５】
エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノールのジグリシジリエーテル化物、ナフタレンジオールのジグリシジリエーテル化物、フェノール類のジグリシジリエーテル化物、アルコール類のジグリシジルエーテル化物、及びこれらのアルキル置換体、ハロゲン化物、水素添加物等の二官能エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂が挙げられる。また、多官能エポキシ樹脂及び複素環含有エポキシ樹脂等、一般に知られているその他のエポキシ樹脂を適用してもよい。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。なお、特性を損なわない範囲でエポキシ樹脂以外の成分が不純物として含まれていてもよい。
【００７６】
エポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、フェノール化合物と２価の連結基であるキシリレン化合物を、無触媒又は酸触媒の存在下に反応させて得ることができるフェノール樹脂のようなものが挙げられる。フェノール樹脂の製造に用いられるフェノール化合物としては、フェノール、ｏ−クレゾール、ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール、ｏ−エチルフェノール、ｐ−エチルフェノール、ｏ−ｎ−プロピルフェノール、ｍ−ｎ−プロピルフェノール、ｐ−ｎ−プロピルフェノール、ｏ−イソプロピルフェノール、ｍ−イソプロピルフェノール、ｐ−イソプロピルフェノール、ｏ−ｎ−ブチルフェノール、ｍ−ｎ−ブチルフェノール、ｐ−ｎ−ブチルフェノール、ｏ−イソブチルフェノール、ｍ−イソブチルフェノール、ｐ−イソブチルフェノール、オクチルフェノール、ノニルフェノール、２，４−キシレノール、２，６−キシレノール、３，５−キシレノール、２，４，６−トリメチルフェノール、レゾルシン、カテコール、ハイドロキノン、４−メトキシフェノール、ｏ−フェニルフェノール、ｍ−フェニルフェノール、ｐ−フェニルフェノール、ｐ−シクロヘキシルフェノール、ｏ−アリルフェノール、ｐ−アリルフェノール、ｏ−ベンジルフェノール、ｐ−ベンジルフェノール、ｏ−クロロフェノール、ｐ−クロロフェノール、ｏ−ブロモフェノール、ｐ−ブロモフェノール、ｏ−ヨードフェノール、ｐ−ヨードフェノール、ｏ−フルオロフェノール、ｍ−フルオロフェノール、ｐ−フルオロフェノール等が例示される。これらのフェノール化合物は、単独で用いてもよく、２種以上を混合して用いてもよい。フェノール樹脂の製造に用いられる２価の連結基であるキシリレン化合物としては、次に示すキシリレンジハライド、キシリレンジグリコール及びその誘導体が用いることができる。すなわち、α，α´−ジクロロ−ｐ−キシレン、α，α´−ジクロロ−ｍ−キシレン、α，α´−ジクロロ−ｏ−キシレン、α，α´−ジブロモ−ｐ−キシレン、α，α´−ジブロモ−ｍ−キシレン、α，α´−ジブロモ−ｏ−キシレン、α，α´−ジヨード−ｐ−キシレン、α，α´−ジヨード−ｍ−キシレン、α，α´−ジヨード−ｏ−キシレン、α，α´−ジヒドロキシ−ｐ−キシレン、α，α´−ジヒドロキシ−ｍ−キシレン、α，α´−ジヒドロキシ−ｏ−キシレン、α，α´−ジメトキシ−ｐ−キシレン、α，α´−ジメトキシ−ｍ−キシレン、α，α´−ジメトキシ−ｏ−キシレン、α，α´−ジエトキシ−ｐ−キシレン、α，α´−ジエトキシ−ｍ−キシレン、α，α´−ジエトキシ−ｏ−キシレン、α，α´−ジ−ｎ−プロポキシ−ｐ−キシレン、α，α´−ジ−ｎ−プロポキシ−ｍ−キシレン、α，α´−ジ−ｎ−プロポキシ−ｏ−キシレン、α，α´−ジ−イソプロポキシ−ｐ−キシレン、α，α´−ジイソプロポキシ−ｍ−キシレン、α，α´−ジイソプロポキシ−ｏ−キシレン、α，α´−ジ−ｎ−ブトキシ−ｐ−キシレン、α，α´−ジ−ｎ−ブトキシ−ｍ−キシレン、α，α´−ジ−ｎ−ブトキシ−ｏ−キシレン、α，α´−ジイソブトキシ−ｐ−キシレン、α，α´−ジイソブトキシ−ｍ−キシレン、α，α´−ジイソブトキシ−ｏ−キシレン、α，α´−ジ−ｔｅｒｔ−ブトキシ−ｐ−キシレン、α，α´−ジ−ｔｅｒｔ−ブトキシ−ｍ−キシレン、α，α´−ジ−ｔｅｒｔ−ブトキシ−ｏ−キシレンを挙げることができる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００７７】
上記したフェノール化合物とキシリレン化合物を反応させる際には、塩酸、硫酸、リン酸、ポリリン酸等の鉱酸類；ジメチル硫酸、ジエチル硫酸、ｐ−トルエンスルホン酸、メタンスルホン酸、エタンスルホン酸等の有機カルボン酸類；トリフロロメタンスルホン酸等の超強酸類；アルカンスルホン酸型イオン交換樹脂のような、強酸性イオン交換樹脂類；パーフルオロアルカンスルホン酸型イオン交換樹脂の様な、超強酸性イオン交換樹脂類（商品名：ナフィオン、Ｎａｆｉｏｎ、Ｄｕ  Ｐｏｎｔ社製、「ナフィオン」は登録商標）；天然及び合成ゼオライト類；活性白土（酸性白土）類等の酸性触媒を用い、５０〜２５０℃において実質的に原料であるキシリレン化合物が消失し、且つ反応組成が一定になるまで反応させて得られる。反応時間は原料及び反応温度にもよるが、おおむね１時間〜１５時間程度であり、実際には、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー）等により反応組成を追跡しながら決定すればよい。
【００７８】
エポキシ基含有アクリル共重合体は、原料としてグリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレートを、得られる共重合体に対し０．５〜６質量％となる量用いて得られた共重合体であることが好ましい。この量が０．５質量％以上であることで高い接着力を得やすく、他方、６質量％以下であることでゲル化を抑制できる。その残部はメチルアクリレート、メチルメタクリレート等の炭素数１〜８のアルキル基を有するアルキルアクリレート、アルキルメタクリレート、及びスチレン、アクリロニトリル等の混合物を用いることができる。これらの中でもエチル（メタ）アクリレート及び／又はブチル（メタ）アクリレートが特に好ましい。混合比率は、共重合体のＴｇを考慮して調整することが好ましい。Ｔｇが−１０℃未満であるとＢステージ状態での接着剤層５のタック性が大きくなる傾向があり、取り扱い性が悪化する傾向にある。なお、エポキシ基含有アクリル共重合体のガラス転移点（Ｔｇ）の上限値は、例えば、３０℃である。重合方法は特に制限がなく、例えば、パール重合、溶液重合が挙げられる。市販のエポキシ基含有アクリル共重合体としては、例えば、ＨＴＲ−８６０Ｐ−３（商品名、ナガセケムテックス株式会社製）が挙げられる。
【００７９】
エポキシ基含有アクリル共重合体の重量平均分子量は１０万以上であり、この範囲であると接着性及び耐熱性が高く、３０万〜３００万であることが好ましく、５０万〜２００万であることがより好ましい。重量平均分子量が３００万以下であると、半導体チップと、これを支持する基板との間の充填性が低下することを抑制できる。重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）で標準ポリスチレンによる検量線を用いたポリスチレン換算値である。
【００８０】
接着剤層５は、必要に応じて、第三級アミン、イミダゾール類、第四級アンモニウム塩類等の硬化促進剤を更に含有してもよい。硬化促進剤の具体例としては、２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾリウムトリメリテートが挙げられる。これらは１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
【００８１】
接着剤層５は、必要に応じて、無機フィラーを更に含有してもよい。無機フィラーの具体例としては、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、ほう酸アルミウイスカ、窒化ほう素、結晶質シリカ、非晶質シリカが挙げられる。これらは１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
【００８２】
なお、接着剤層５は熱硬化性樹脂を含まない態様であってもよい。例えば、接着剤層５が反応性基含有（メタ）アクリル共重合体を含む場合、接着剤層５は、反応性基含有（メタ）アクリル共重合体と、硬化促進剤と、フィラーとを含むものであればよい。
【００８３】
＜ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの製造方法＞
フィルム１０の製造方法は、基材層１の表面上に、活性エネルギー線が照射されることによって粘着力が低下する粘着剤組成物からなる粘着剤層と、粘着剤層の表面上に形成された接着剤層５とを含む積層体を作製する工程と、積層体に含まれる粘着剤層の第１の領域３ａとなる領域に活性エネルギー線を照射する工程とをこの順序で含む。第１の領域３ａとなる領域に対する活性エネルギー線の照射量は、例えば、１０〜１０００ｍＪ／ｃｍ２であり、１００〜７００ｍＪ／ｃｍ２又は２００〜５００ｍＪ／ｃｍ２であってもよい。
【００８４】
上記製造方法は、粘着剤層と接着剤層５の積層体を先に作製し、その後、粘着剤層の特定の領域に活性エネルギー線を照射するものである。以下のとおり、接着剤層５と貼り合わせる前の粘着剤層に対して活性エネルギー線を照射して第１の領域３ａを形成してもよい。すなわち、フィルム１０の製造方法は、基材層１の表面上に、活性エネルギー線が照射されることによって粘着力が低下する組成物からなる粘着剤層を形成する工程と、粘着剤層の第１の領域３ａとなる領域に活性エネルギー線を照射する工程と、活性エネルギー線を照射した後の粘着剤層３の表面上に接着剤層５を積層する工程とをこの順序で含むものであってよい。
【００８５】
＜半導体装置及びその製造方法＞
図７は本実施形態に係る半導体装置を模式的に示す断面図である。この図に示す半導体装置１００は、基板７０と、基板７０の表面上に積層された四つのチップＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４と、基板７０の表面上の電極（不図示）と四つのチップＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４とを電気的に接続するワイヤＷ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４と、これらを覆っている封止層５０とを備える。
【００８６】
基板７０は、例えば、有機基板であり、リードフレーム等の金属基板であってもよい。基板７０は、半導体装置１００の反りを抑制する観点から、基板７０の厚さは、例えば、７０〜１４０μｍであり、８０〜１００μｍであってもよい。
【００８７】
四つのチップＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４は、接着剤片５ｐの硬化物５ｃを介して積層されている。平面視におけるチップＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の形状は、例えば正方形又は長方形である。チップＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の面積は９ｍｍ２以下であり、０．１〜４ｍｍ２又は０．１〜２ｍｍ２であってもよい。チップＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の一辺の長さは、例えば、３ｍｍ以下であり、０．１〜２．０ｍｍ又０．１〜１．０ｍｍであってもよい。チップＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の厚さは、例えば、１０〜１７０μｍであり、２５〜１００μｍであってもよい。なお、四つのチップＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の一辺の長さは同じであっても、互いに異なっていてもよく、厚さについても同様である。
【００８８】
半導体装置１００の製造方法は、上述のフィルム１０を準備する工程と、フィルム１０の接着剤層５に対してウェハＷを貼るとともに、粘着剤層３の第２の面Ｆ２に対してダイシングリングＤＲを貼る工程と、ウェハＷを面積９ｍｍ２以下の複数のチップＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４に個片化する工程（ダイシング工程）と、接着剤片付きチップＴｂ（チップと接着剤片５ｐの積層体、図８（ｄ）参照）を粘着剤層３の第１の領域３ａからピックアップする工程と、接着剤片５ｐを介してチップＴ１を、基板７０上にマウントする工程とを含む。
【００８９】
図８（ａ）〜図８（ｄ）を参照しながら、接着剤片付きチップＴｂの作製方法の一例について説明する。まず、上述のフィルム１０を準備する。図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、ウェハＷの一方の面に接着剤層５が接するようにフィルム１０を貼り付ける。また、粘着剤層３の第２の面Ｆ２に対してダイシングリングＤＲを貼り付ける。
【００９０】
ウェハＷ、接着剤層５及び粘着剤層３をダイシングする。これにより、図８（ｃ）に示すように、ウェハＷが個片化されてチップＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４となる。接着剤層５も個片化されて接着剤片５ｐとなる。ダイシング方法としては、ダイシングブレード又はレーザを用いる方法が挙げられる。なお、ウェハＷのダイシングに先立ってウェハＷを研削することによって薄膜化してもよい。
【００９１】
ダイシング後、粘着剤層３に対して活性エネルギー線を照射することなく、図８（ｄ）に示されるように、常温又は冷却条件下において基材層１をエキスパンドすることによってチップを互いに離間させつつ、ピン４２で突き上げることによって粘着剤層３から接着剤片５ｐを剥離させるとともに、接着剤片付きチップＴｂを吸引コレット４４で吸引してピックアップする。
【００９２】
図９〜図１１を参照しながら、半導体装置１００の製造方法について具体的に説明する。まず、図９に示すように、接着剤片５ｐを介して一段目のチップＴ１を基板７０の所定の位置に圧着する。次に、加熱によって接着剤片５ｐを硬化させる。これにより、接着剤片５ｐが硬化して硬化物５ｃとなる。接着剤片５ｐの硬化処理は、ボイドの低減の観点から、加圧雰囲気下で実施してもよい。
【００９３】
基板７０に対するチップＴ１のマウントと同様にして、チップＴ１の表面上に二段目のチップＴ２をマウントする。更に、三段目及び四段目のチップＴ３，Ｔ４をマウントすることによって図１０に示す構造体６０が作製される。チップＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４と基板７０とをワイヤＷ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４で電気的に接続した後（図１１参照）、封止層５０によって半導体素子及びワイヤを覆うことによって図７に示す半導体装置１００が完成する。
【００９４】
以上、本開示の実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、フィルム１０は、接着剤層５を覆うカバーフィルム（不図示）を更に備えてもよい。上記実施形態においては、活性エネルギー線の照射によって、粘着剤層３の第１の領域３ａの粘着力が第２の領域３ｂと比較して低下している態様を例示したが、粘着剤層３は紫外線硬化型又は感圧型であってもよい。
【００９５】
ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの選別に、接着剤層からの粘着剤層の剥離強度、及びエッジ剥離強度を利用してもよい。第一の態様に係るダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの選別方法は、二種以上のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程と、二種以上のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの接着剤層からの粘着剤層の剥離強度、及びエッジ剥離強度を比較する工程とを含む。
【００９６】
第二の態様に係るダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの選別方法は、温度２３℃において剥離角度３０°及び剥離速度６０ｍｍ／分の条件で測定される、接着剤層からの粘着剤層の剥離強度が３．０Ｎ／２５ｍｍ以下である、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程と、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムについてエッジ剥離強度が１．２Ｎ以下であるか否かを検査する工程とを含む。この選定方法は、例えば、接着剤層からの粘着剤層の剥離強度が３．０Ｎ／２５ｍｍ以下であることが検査済みの複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの購入した場合、これらのダイシング・ダイボンディング一体型フィルムから、半導体装置を高い歩留まりで製造し得るダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを効率的に選択するのに有用である。なお、ここでいう複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムは同種であっても異種であってもよい。
【実施例】
【００９７】
以下、本開示について、実施例に基づいて更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、特に記述がない限り、薬品は全て試薬を使用した。【００９８】
［アクリル樹脂の合成（製造例１）］
スリーワンモータ、撹拌翼、窒素導入管が備え付けられた容量２０００ｍｌのフラスコに以下の成分を入れた。
・酢酸エチル（溶剤）：６３５ｇ
・２−エチルヘキシルアクリレート：３９５ｇ
・２−ヒドロキシエチルアクリレート：１００ｇ
・メタクリル酸：５ｇ
・アゾビスイソブチロニトリル：０．０８ｇ【００９９】
十分に均一になるまで内容物を撹拌した後、流量５００ｍｌ／分にて６０分間バブリングを実施し、系中の溶存酸素を脱気した。１時間かけて７８℃まで昇温し、昇温後６時間重合させた。次に、スリーワンモータ、撹拌翼、窒素導入管が備え付けられた容量２０００ｍｌの加圧釜に反応溶液を移し、１２０℃、０．２８ＭＰａにて４．５時間加温後、室温（２５℃、以下同様）に冷却した。【０１００】
次に酢酸エチルを４９０ｇ加えて撹拌し希釈した。これにウレタン化触媒として、ジオクチルスズジラウレートを０．１０ｇ添加した後、２−メタクリロキシエチルイソシアネート（昭和電工株式会社製、カレンズＭＯＩ（商品名））を４８．６ｇ加え、７０℃で６時間反応させた後、室温に冷却した。次いで、酢酸エチルを加え、アクリル樹脂溶液中の不揮発分含有量が３５質量％となるよう調整し、連鎖重合可能な官能基を有する（Ａ）アクリル樹脂（製造例１）を含む溶液を得た。【０１０１】
上記のようにして得た（Ａ）アクリル樹脂を含む溶液を６０℃で一晩真空乾燥した。これによって得られた固形分を全自動元素分析装置（エレメンタール社製、商品名：ｖａｒｉｏＥＬ）にて元素分析し、導入された２−メタクリロキシエチルイソシアネートの含有量を窒素含有量から算出したところ、０．５０ｍｍｏｌ／ｇであった。【０１０２】
また、以下の装置を使用して（Ａ）アクリル樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量を求めた。すなわち、東ソー株式会社製ＳＤ−８０２２／ＤＰ−８０２０／ＲＩ−８０２０を使用し、カラムには日立化成株式会社製Ｇｅｌｐａｃｋ  ＧＬ−Ａ１５０−Ｓ／ＧＬ−Ａ１６０−Ｓを用い、溶離液にテトラヒドロフランを用いてＧＰＣ測定を行った。その結果、ポリスチレン換算重量平均分子量は８０万であった。ＪＩＳ  Ｋ００７０に記載の方法に準拠して測定した水酸基価及び酸価は５６．１ｍｇＫＯＨ／ｇ及び６．５ｍｇＫＯＨ／ｇであった。これらの結果を表１にまとめて示す。【０１０３】
［アクリル樹脂の合成（製造例２〜４）］
表１の製造例１に示す原料モノマー組成の代わりに、製造例２〜４に示す原料モノマー組成としたことの他は、製造例１と同様にして製造例２〜４に係る（Ａ）アクリル樹脂の溶液をそれぞれ得た。製造例２〜４に係る（Ａ）アクリル樹脂についての測定結果を表１に示す。【０１０４】
＜実施例１＞
［ダイシングフィルム（粘着剤層）の作製］
以下の成分を混合することで、粘着剤層形成用のワニスを調製した（表２参照）。酢酸エチル（溶剤）の量は、ワニスの総固形分含有量が２５質量％となるように調整した。
・（Ａ）アクリル樹脂溶液（製造例１）：１００ｇ（固形分）
・（Ｂ）光重合開始剤（２−ヒドロキシ−１−｛４−［４−（２−ヒドロキシ−２−メチル−プロピオニル）−ベンジル］−フェニル｝−２−メチル−プロパン−１−オン（チバスペシャリティケミカルズ株式会社製、イルガキュア１２７、「イルガキュア」は登録商標）：１．０ｇ
・（Ｃ）架橋剤（多官能イソシアネート、日本ポリウレタン工業株式会社製、コロネートＬ、固形分：７５％）：８．０ｇ（固形分）
・酢酸エチル（溶剤）【０１０５】
一方の面に離型処理が施されたポリエチレンテレフタレートフィルム（幅４５０ｍｍ、長さ５００ｍｍ、厚さ３８μｍ）を準備した。離型処理が施された面に、アプリケータを用いて粘着剤層形成用のワニスを塗布した後、８０℃で５分間乾燥した。これにより、ポリエチレンテレフタレートフィルムと、その上に形成された厚さ３０μｍの粘着剤層とからなる積層体（ダイシングフィルム）を得た。【０１０６】
一方の面にコロナ処理が施されたポリオレフィンフィルム（幅４５０ｍｍ、長さ５００ｍｍ、厚さ８０μｍ）を準備した。コロナ処理が施された面と、上記積層体の粘着剤層とを室温にて貼り合わせた。次いで、ゴムロールで押圧することで粘着剤層をポリオレフィンフィルム（カバーフィルム）に転写した。その後、室温で３日間放置することでカバーフィルム付きのダイシングフィルムを得た。【０１０７】
［ダイボンディングフィルム（接着剤層Ａ）の作製］
まず、以下の組成物にシクロヘキサノン（溶剤）を加えて攪拌混合した後、更にビーズミルを用いて９０分混練した。
・エポキシ樹脂（ＹＤＣＮ−７００−１０（商品名）、新日鉄住金化学株式会社製クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量２１０、分子量１２００、軟化点８０℃）：１４質量部
・フェノール樹脂（ミレックスＸＬＣ−ＬＬ（商品名）、三井化学株式会社製、フェノール樹脂、水酸基当量１７５、吸水率１．８％、３５０℃における加熱重量減少率４％）：２３質量部
・シランカップリング剤（ＮＵＣ  Ａ−１８９（商品名）株式会社ＮＵＣ製、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン）：０．２質量部
・シランカップリング剤（ＮＵＣＡ−１１６０（商品名）、日本ユニカー株式会社製、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン）：０．１質量部
・フィラー（「ＳＣ２０５０−ＨＬＧ（商品名）、アドマテックス株式会社製、シリカ、平均粒径０．５００μｍ）：３２質量部【０１０８】
上記のようにして得た組成物に以下の成分を加えた後、攪拌混合及び真空脱気の工程を経て接着剤層形成用のワニスを得た。
・エポキシ基含有アクリル共重合体（ＨＴＲ−８６０Ｐ−３（商品名）、ナガセケムテックス株式会社製、重量平均分子量８０万）：１６質量部
・硬化促進剤（キュアゾール２ＰＺ−ＣＮ（商品名）、四国化成工業株式会社製、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、「キュアゾール」は登録商標）０．０．１質量部【０１０９】
一方の面に離型処理が施されたポリエチレンテレフタレートフィルム（厚さ３５μｍ）を準備した。離型処理が施された面に、アプリケータを用いて接着剤層形成用のワニスを塗布した後、１４０℃で５分間加熱乾燥した。これにより、ポリエチレンテレフタレートフィルム（キャリアフィルム）と、その上に形成された厚さ２５μｍの接着剤層（Ｂステージ状態）とからなる積層体（ダイボンディングフィルム）を得た。【０１１０】
［ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの作製］
接着剤層とキャリアフィルムとからなるダイボンディングフィルムを、キャリアフィルムごと直径３３５ｍｍの円形にカットした。これにポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離したダイシングフィルムを室温で貼り付け後、室温で１日放置した。その後、直径３７０ｍｍの円形にダイシングフィルムをカットした。このようにして得たダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの接着剤層におけるウェハの貼付け位置に対応する領域（粘着剤層の第１の領域）に以下のようにして紫外線を照射した。すなわち、パルスドキセノンランプを用いて７０Ｗ、３００ｍＪ／ｃｍ２の照射量で部分的に紫外線を照射した。なお、暗幕を用いてフィルムの中心から内径３１８ｍｍの部分に紫外線を照射した。このようにして、後述の種々の評価試験に供するための複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを得た。【０１１１】
＜実施例２＞
ダイシングフィルムを作製する際、「イルガキュア１２７」の代わりに、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、チバスペシャリティケミカルズ株式会社製、イルガキュア１８４、「イルガキュア」は登録商標）を使用したこと、及び、紫外線の照射量を３００ｍＪ／ｃｍ２とする代わりに、２００ｍＪ／ｃｍ２としたことの他は、実施例１と同様にして、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを得た。
＜実施例３＞
紫外線の照射量を２００ｍＪ／ｃｍ２とする代わりに、２５０ｍＪ／ｃｍ２としたことの他は実施例２と同様にして、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを得た。【０１１２】
＜実施例４＞
紫外線の照射量を２００ｍＪ／ｃｍ２とする代わりに、３００ｍＪ／ｃｍ２としたことの他は実施例２と同様にして、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを得た。【０１１３】
＜実施例５＞
ダイボンディングフィルムとして、接着剤層Ａを有するものの代わりに、以下のようにして形成した接着剤層Ｂを有するものを使用したことの他は実施例４と同様にして、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを得た。
［ダイボンディングフィルム（接着剤層Ｂ）の作製］
まず、以下の成分にシクロヘキサノン（溶剤）を加えて攪拌混合した後、更にビーズミルを用いて９０分混練した。
・フィラー（「ＳＣ２０５０−ＨＬＧ（商品名）、アドマテックス株式会社製、シリカ、平均粒径０．５００μｍ）：５０質量部
上記のようにして得た組成物に以下の成分を加えた後、攪拌混合及び真空脱気の工程を経て接着剤層形成用のワニスを得た。
・エポキシ基含有アクリル共重合体（ＨＴＲ−８６０Ｐ−３（商品名）、ナガセケムテックス株式会社製、重量平均分子量８０万）：１００質量部
・硬化促進剤（キュアゾール２ＰＺ−ＣＮ（商品名）、四国化成工業株式会社製、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、「キュアゾール」は登録商標）：０．１質量部【０１１４】
＜比較例１＞
ダイシングフィルムを作製する際、製造例１に係るアクリル樹脂を使用する代わりに製造例２に係るアクリル樹脂を使用したこと、及び、架橋剤の量を８．０質量部とする代わりに６．０質量部としたことの他は実施例１と同様にして、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを得た。【０１１５】
＜比較例２＞
ダイシングフィルムを作製する際、架橋剤の量を８．０質量部とする代わりに６．０質量部としたことの他は実施例１と同様にして、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを得た。【０１１６】
＜比較例３＞
ダイシングフィルムを作製する際、製造例２に係るアクリル樹脂を使用する代わりに製造例３に係るアクリル樹脂を使用したことの他は比較例１と同様にして、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを得た。【０１１７】
＜比較例４＞
ダイシングフィルムを作製する際、製造例２に係るアクリル樹脂を使用する代わりに製造例４に係るアクリル樹脂を使用したこと、及び、紫外線を照射しなかったことの他は比較例１と同様にして、複数のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを得た。【０１１８】
［評価試験］
（１）接着剤層に対する粘着剤層の粘着力（３０°ピール強度）の測定
接着剤層に対する粘着剤層の粘着力を３０°ピール強度を測定することによって評価した。すなわち、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムから幅２５ｍｍ及び長さ１００ｍｍの測定試料を切り出した。測定試料は、粘着剤層と、接着剤層の積層体とした。引張試験機を用いて接着剤層に対する粘着剤層のピール強度を測定した。測定条件は、剥離角度３０°、引張速度６０ｍｍ／分とした。なお、試料の保存及びピール強度の測定は、温度２３℃、相対湿度４０％の環境下で行った。実施例１〜５及び比較例１〜３については、粘着剤層における紫外線照射領域の粘着力を評価対象とし、比較例４については粘着剤層の粘着力を評価対象とした。【０１１９】
（２）チップのエッジ剥離強度測定
シリコンウェハ（直径：１２インチ、厚さ：５０μｍ）及びダイシングリングにダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを以下条件で貼り付けた。シリコンウェハ及びダイシングリングを貼り付けた後のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムのＭＤ方向の伸びは、１．０〜１．３％程度であった。
＜貼付条件＞
・貼付装置：ＤＦＭ２８００（株式会社ディスコ製）
・貼付温度：７０℃
・貼付速度：１０ｍｍ／ｓ
・貼付テンションレベル：レベル６【０１２０】
次いで、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム付きシリコンウェハをブレードダイシングによって複数の接着剤片付きチップ（サイズ２ｍｍ×２ｍｍ）に個片化した。
＜ダイシング条件＞
・ダイサー：ＤＦＤ６３６１（株式会社ディスコ製）
・ブレード：ＺＨ０５−ＳＤ４０００−Ｎ１−７０−ＢＢ（株式会社ディスコ製）
・ブレード回転数：４００００ｒｐｍ
・ダイシング速度：３０ｍｍ／秒
・ブレードハイト：９０μｍ
・粘着剤層の表面からの切り込み深さ：２０μｍ
・ダイシング時の水量
ブレードクーラー：１．５Ｌ／分
シャワー：１．０Ｌ／分
スプレー：１．０Ｌ／分【０１２１】
ダイシングしてから１日後、以下の測定条件で、基材層側から接着剤片付きチップを押し込み、接着剤片付きチップのエッジ剥離強度を測定した（図２（ｃ）参照）。なお、測定前に、チップの中央部に相当する基材層の表面に、油性ペンでマーキングを行った。チップの中央部は定規で計測して特定した。測定はN＝１０で行った。一つのチップについて測定した後、間隔をチップ３個分空けて次の測定を行った（図４参照）。
＜測定条件＞
・測定装置：小型卓上試験機ＥＺ−ＳＸ（株式会社島津製作所製）
・ロードセル：５０Ｎ
・押し込み冶具：ＺＴＳシリーズ付属アタッチメント（形状：円錐型、株式会社イマダ製）
・押し込み速度：６０ｍｍ／分
・温度：２３℃
・湿度：４５±１０％【０１２２】
（３）ダイシング性の評価
以下の評価基準によりダイシング性を評価した。表２，３に結果を示す。
＜チップ飛び＞
ダイシング後にチップ飛びが全く発生しなかったものを「Ａ」、チップ飛びには至らなかったが、接着剤層と粘着剤層との間に切削水の浸入がわずかにでも認められたものを「Ｂ」、チップ飛びが一回でも発生したものを「Ｃ」とした。
＜クラック＞
ダイシング後のチップの切削断面を顕微鏡にて確認し、チップの欠けが生じているか否かを評価した。１０個のチップの切削断面を観察し、まったく欠けが認められなかった試料を「Ａ」と評価し、わずかでも欠けが認められる試料を「Ｂ」と評価した。【０１２３】
（４）ピックアップ性の評価
上記のエッジ剥離強度の測定後、以下の条件で１００個の接着剤片付きチップをピックアップした。
＜ピックアップ条件＞
・ダイボンダ装置：ＤＢ８００−ＨＳＤ（株式会社日立ハイテクノロジーズ製）
・突上げピン：ＥＪＥＣＴＯＲ  ＮＥＥＤＬＥ  ＳＥＮ２−８３−０５（直径：０．７ｍｍ、先端形状：半径３５０μｍの半球、マイクロメカニクス社製）
・突き上げ高さ：１５０μｍ
・突き上げ速度：１ｍｍ／秒、
なお、突上げピンは、チップの中央部に１本配置した。ピックアップの成功率が１００％であったものを「Ａ」、８０％以上１００％未満であったものを「Ｂ」、６０％以上８０％未満であったものを「Ｃ」、６０％未満であったものを「Ｄ」とした。表２，３に結果を示す。【０１２４】
【表１】
0006835296.tif 000002
【０１２５】
【表２】
0006835296.tif 000003
【０１２６】
【表３】
0006835296.tif 000004
【０１２７】
表２及び表３に示すように、実施例１〜５は、比較例１〜４よりもピックアップ性が良好であった。具体的には、比較例１は実施例１〜４よりも３０°ピール強度が大幅に低い値であるにも関わらず、エッジ剥離強度が１．６Ｎと高いためにピックアップ性が顕著に悪化した。また比較例２では、３０°ピール強度が２．６Ｎ／２５ｍｍであって３．０Ｎ／２５ｍｍ以下であるものの、エッジ剥離強度１．３Ｎと比較的高いために、ピックアップ性が悪化したと考えられる。一方で、比較例３及び４では、エッジ剥離強度が実施例１〜４の値より低いにも関わらず、３０°ピール強度が３．０Ｎ／２５ｍｍ以上であることから、ピックアップ性が悪化したと考えられる。また実施例１〜５の結果から、エッジ剥離強度が１．２Ｎ以下に収まっていれば、３０°ピール強度が３．０Ｎ／２５ｍｍ以下の広い範囲で良好なピックアップ性が得られることが明らかとなった。【０１２８】
ダイシング性については、比較例１では３０°ピール強度が低すぎるために、接着剤層と粘着剤層との間に切削水が浸入した跡が見られ、更にチップ側面にクラックが発生していた。クラックは、ダイシング中に切削水が浸入することでチップが動き、ブレードと接触したために発生したと考えられる。【０１２９】
以上の結果から、小チップを使用した半導体装置製造プロセスにおいて、エッジ剥離強度を１．２Ｎ以下とし且つ３０°ピール強度を３．０Ｎ／２５ｍ以下とすることで、ダイシング性及びピックアップ性の両方を十分に高水準に達成できることが分かった。
【産業上の利用可能性】
【０１３０】
本開示によれば、小チップ（面積９ｍｍ２以下）のエッジ剥離及び界面剥離の影響を考慮したダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの評価方法及び選別方法が提供される。また、本開示によれば、小チップのエッジ剥離及び界面剥離の影響を考慮したピックアップ性の評価方法、並びに、小チップのピックアップ性に優れるダイシング・ダイボンディング一体型フィルム及びこれを用いた半導体装置の製造方法が提供される。
【符号の説明】
【０１３１】
１…基材層、３…粘着剤層、３ａ…第１の領域、３ｂ…第２の領域、５…接着剤層、５ｐ…接着剤片、５ｃ…硬化物、１０…ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム、４２…ピン、４４…吸引コレット、５０…封止層、６０…構造体、７０…基板、８０…支持板、１００…半導体装置、Ａ…測定エリア、ＤＲ…ダイシングリング、Ｆ１…第１の面、Ｆ２…第２の面、Ｍ…マーク、Ｎ…ノッチ、Ｐ…押し込み冶具、Ｒｗ…領域、Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４，Ｔｓ…チップ、Ｔａ，Ｔｂ…接着剤片付きチップ、Ｗ…ウェハ、Ｗｓ…シリコンウェハ、Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４…ワイヤ
【要約】
本開示に係るピックアップ性の評価方法は、基材層、粘着剤層及び接着剤層をこの順序で備える評価対象のダイシング・ダイボンディング一体型フィルムを準備する工程と、剥離角度３０°の条件で接着剤層に対する粘着剤層の粘着力を測定する第１測定工程と、ダイシング・ダイボンディング一体型フィルムの接着剤層に対して厚さ１０〜１００μｍのウェハを貼る工程と、ウェハ及び接着剤層を面積９ｍｍ２以下の接着剤片付きチップに個片化する工程と、基材層側から接着剤片付きチップの中央部を押し込み、接着剤片付きチップのエッジが粘着剤層から剥離するときのエッジ剥離強度を測定する第２測定工程とを含む。【図１】
0006835296.tif 000005
【図２】
0006835296.tif 000006
【図３】
0006835296.tif 000007
【図４】
0006835296.tif 000008
【図５】
0006835296.tif 000009
【図６】
0006835296.tif 000010
【図７】
0006835296.tif 000011
【図８】
0006835296.tif 000012
【図９】
0006835296.tif 000013
【図１０】
0006835296.tif 000014
【図１１】
0006835296.tif 000015