(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物（Ｔ）が投入される出入口（１１）と前記出入口（１１）を開閉する第１ドア（１５）が備えられているバッファーチャンバー（１０）と；
前記バッファーチャンバー（１０）の一側に分離されるように区画され、バッファーチャンバー（１０）と連通する連結通路（２１）が形成されているテストチャンバー（２０）と；
前記連結通路（２１）を開閉するシャッターユニットと；
前記テストチャンバー（２０）の内部に配置され、被検査物を地盤上でテストするための土壌（Ｓ）が収容された土壌貯蔵部（３０）と；
前記バッファーチャンバー（１０）とテストチャンバー（２０）内の空気を吸入して真空状態にする真空発生手段；を含むことを特徴とする、地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置。
【請求項２】
前記連結通路（２１）を通じてバッファーチャンバー（１０）とテストチャンバー（２０）の間を移動しながら被検査物をバッファーチャンバー（１０）とテストチャンバー（２０）に移送する移送ユニットをさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置。
【請求項３】
前記テストチャンバー（２０）の一側に外部と連通した開口部（２２）が形成され、前記開口部（２２）の一側には開口部（２２）を開閉する第２ドア（２５）が設置されたことを特徴とする、請求項１に記載の地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置。
【請求項４】
前記土壌貯蔵部（３０）は前記第２ドア（２５）が開放された時、前記開口部（２２）を通じて引き出しおよび引き入れ可能に設置されることを特徴とする、請求項３に記載の地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置。
【請求項５】
前記テストチャンバー（２０）の下部に前記土壌貯蔵部（３０）を開口部（２２）の内外側に案内するスライドレール（３５）が設置されたことを特徴とする、請求項４に記載の地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置。
【請求項６】
前記土壌貯蔵部（３０）の底面は下側に窪んで形成されたことを特徴とする、請求項１または請求項４に記載の地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置。
【請求項７】
前記土壌貯蔵部（３０）の底面には下側に窪んだ陥没部（３１）が形成されたことを特徴とする、請求項１または請求項４に記載の地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置。
【請求項８】
前記シャッターユニットは、前記連結通路（２１）に上下にスライディングしながら連結通路（２１）を開閉するシャッタープレート４０と、前記シャッタープレート４０を上下に移動させるシャッター駆動部を含むことを特徴とする、請求項１に記載の地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置。
【請求項９】
前記連結通路（２１）の下部に前記シャッタープレート（４０）が挿入されるシャッター収容溝４２が形成されたことを特徴とする、請求項８に記載の地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置。
【請求項１０】
前記バッファーチャンバー（１０）の下部面に連結通路（２１）の下部面を通じて水平にスライディングするように設置されて、被検査物（Ｔ）をバッファーチャンバー（１０）からテストチャンバー（２０）に、またはテストチャンバー（２０）からバッファーチャンバー（１０）に移送しながら前記シャッター収容溝４２の上端部を閉鎖するシーリングプレート（１７）をさらに含むことを特徴とする、請求項９に記載の地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置。
【請求項１１】
前記第１ドア（１５）の下端部に固定されて第１ドア（１５）とともに水平移動する稼動プレート（１６）をさらに含み、
前記シーリングプレート（１７）は前記稼動プレート（１６）に水平にスライディング可能に設置されたことを特徴とする、請求項１０に記載の地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置。
【請求項１２】
前記テストチャンバー（２０）と土壌貯蔵部（３０）とシャッターユニットと真空発生手段は一つのモジュールからなり、バッファーチャンバー（１０）に着脱可能に結合されることを特徴とする、請求項１に記載の地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置。
【請求項１３】
請求項１〜請求項１２のいずれか一項に記載のテスト装置を利用して被検査物をテストする方法であって、
（Ｓ１）テストチャンバー（２０）内に土壌（Ｓ）が収容された土壌貯蔵部（３０）を投入する段階；
（Ｓ２）バッファーチャンバー（１０）の第１ドア（１５）を開けて出入口（１１）を通じて被検査物（Ｔ）をバッファーチャンバー（１０）の内部に投入した後第１ドア（１５）を閉める段階；
（Ｓ３）真空発生手段でバッファーチャンバー（１０）とテストチャンバー（２０）の内部を真空状態にする段階；
（Ｓ４）シャッターユニットが正方向に動作して連結通路（２１）を開放し、被検査物（Ｔ）をバッファーチャンバー（１０）からテストチャンバー（２０）に移送する段階；
（Ｓ５）シャッターユニットが逆方向に動作して連結通路（２１）を閉鎖する段階；
（Ｓ６）テストチャンバー（２０）の内部で被検査物（Ｔ）を土壌（Ｓ）で定められたテストを遂行する段階；
（Ｓ７）シャッターユニットが正方向に動作して連結通路（２１）を開放し、被検査物（Ｔ）をテストチャンバー（２０）からバッファーチャンバー（１０）に移送する段階；
（Ｓ８）シャッターユニットが逆方向に動作して連結通路（２１）を閉鎖する段階；
（Ｓ９）バッファーチャンバー（１０）の第１ドア（１５）を開けて出入口（１１）を通じて被検査物（Ｔ）をバッファーチャンバー（１０）の内部から外部に引き出す段階；を含むことを特徴とする、テスト方法。
【請求項１４】
前記（Ｓ１）段階を遂行する前に土壌を加熱して土壌に含まれている水分と気体を除去する前処理（ｐｒｅ−ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｉｎｇ）段階を遂行することを特徴とする、請求項１３に記載のテスト方法。
【請求項１５】
前記（Ｓ３）段階を遂行する時、シャッターユニットが連結通路（２１）を閉鎖してバッファーチャンバー（１０）とテストチャンバー（２０）を分離された状態で真空状態にすることを特徴とする、請求項１３に記載のテスト方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はテスト装置に関し、さらに詳細には、宇宙環境と類似する熱条件および真空条件を備えた真空チャンバー内に土壌（地盤）を設けて、宇宙環境で建設装備などの地盤テストを遂行できるようにした、真空チャンバーを具備したテスト装置およびこれを利用したテスト方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱真空チャンバーは人工衛星の各種部品の宇宙環境または極限環境に対する適正性をテストするための装置であって、チャンバー内の真空維持を基本とし、高温および極低温環境の演出のために、一定時間の間昇温および降温に対する温度制御性能が要求される。
【０００３】
したがって、熱真空チャンバーは高圧と高温および極低温に耐え得る金属材質からなり、その内部が密閉されて高真空状態の演出が可能な構造で形成され、液化窒素（ＬＮ２）などのような極低温冷媒の流入を通じて極低温環境を維持させ、内部に設置されたヒーターの動作によって高温に温度を変化させることができるように構成される。
【０００４】
従来の宇宙環境を模写した熱真空チャンバーは主に熱と真空模写のみ可能であったが、宇宙で建設装備などの地盤と相互作用が重要な装備をテストするためには熱と真空環境が模写されたチャンバーの中に土壌（地盤）がなければならない。
【０００５】
ところが、従来の熱真空チャンバーの場合、土壌がある場合は非常に珍しく、土壌があるとしても量が少ないためチャンバーの構造と作動が従来の場合とさほど差がなく、地盤テストの信頼性を確保することができなかった。
【０００６】
しかし、多量の地盤を熱真空チャンバーに含む場合、真空に到達する過程で地盤から出るアウトガス（ｏｕｔ−ｇａｓ）の量が多いため真空を達成し維持するのに困難があるが、これに対する考慮がなかった。
【０００７】
土壌には水分、気体などが含まれているため、土壌を熱真空チャンバーに含む場合には土壌を熱い温度で焼く（ｂａｋｉｎｇ）過程を経て土壌に含まれている水分と気体を除去した後、チャンバーに入れることになる。このように前処理（ｐｒｅ−ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｉｎｇ）された土壌をチャンバーに入れても、真空に到達する過程でまだ土壌から分離されていないアウトガス（ｏｕｔ−ｇａｓ）が発生することになるが、このようなアウトガスによって目標とする真空に到達するのに多くの時間がかかることになる。このため、テストの準備時間が長くなる問題があり、土壌の量が多くなるとプレテスト準備期間もこれに比例して長くなる。
【０００８】
また、真空チャンバー内でテスト試片を取り替えたり、測定装備を取り替えるなどの理由で地盤を含むチャンバーを開放すると、地盤が空気と接触しながら前述したような前処理作業を再度遂行しなければならない問題が生ずる。地盤が含まれたチャンバーを開放する度ごとに長時間が要される事前処理作業を再度遂行しなければならないのであれば、テスト時間が非常に長くなる問題が発生するので効率が大幅に低下してしまう問題がある。
【０００９】
また、テスト試片を土壌が含まれたテストチャンバーに入れて真空排気する場合、土壌から出る様々なアウトガス（ｏｕｔ−ｇａｓ）がテスト試片に付着してテスト試片を汚染させる恐れがある。このような場合、テスト目的を達成することができず、遂行されたテストに対する信頼度が大きく低下する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は前記のような問題を解決するためのものであって、本発明の目的は宇宙環境と類似する熱条件／または真空条件を備えた真空チャンバー内に土壌（地盤）を設けて、宇宙環境で建設装備やテスト試片などの地盤テストを効率的に遂行できるようにした、テスト装置およびこれを利用したテスト方法を提供することにある。
【００１１】
特に本発明は地盤真空チャンバー内でテストを遂行した後、テスト試片や装備の取り替えのために真空チャンバーを開放する時、地盤真空チャンバー内に外部の空気が流入しないようにして土壌（地盤）でのアウトガスの発生を抑制し、テスト時間を短縮して効率を向上させることができる、テスト装置およびこれを利用したテスト方法を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記のような目的を達成するための本発明に係る地盤テストが可能な真空チャンバーを具備したテスト装置は、被検査物が投入される出入口と前記出入口を開閉する第１ドアが備えられているバッファーチャンバーと；前記バッファーチャンバーの一側に分離されるように区画され、バッファーチャンバーと連通する連結通路が形成されているテストチャンバーと；前記連結通路を開閉するシャッターユニットと；前記テストチャンバーの内部に配置され、被検査物を地盤上でテストするための土壌が収容された土壌貯蔵部と；前記バッファーチャンバーとテストチャンバー内の空気を吸入して真空状態にする真空発生手段；を含むことを特徴とする。
【００１３】
前記した本発明のテスト装置を利用して被検査物を真空状態下で地盤テストする方法は、
（Ｓ１）テストチャンバー内に土壌が収容された土壌貯蔵部を投入する段階；
（Ｓ２）バッファーチャンバーの第１ドアを開けて出入口を通じて被検査物をバッファーチャンバーの内部に投入した後第１ドアを閉める段階；
（Ｓ３）真空発生手段でバッファーチャンバーとテストチャンバーの内部を真空状態にする段階；
（Ｓ４）シャッターユニットが正方向に動作して連結通路を開放し、被検査物をバッファーチャンバーからテストチャンバーに移送する段階；
（Ｓ５）シャッターユニットが逆方向に動作して連結通路を閉鎖する段階；
（Ｓ６）テストチャンバーの内部で被検査物を土壌で定められたテストを遂行する段階；
（Ｓ７）シャッターユニットが正方向に動作して連結通路を開放し、被検査物をテストチャンバーからバッファーチャンバーに移送する段階；
（Ｓ８）シャッターユニットが逆方向に動作して連結通路を閉鎖する段階；
（Ｓ９）バッファーチャンバーの第１ドアを開けて出入口を通じて被検査物をバッファーチャンバーの内部から外部に引き出す段階；
を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によると、テストチャンバーと分離されたバッファーチャンバーの内部に被検査物を投入し、テストが完了した被検査物をテストチャンバーからバッファーチャンバーに移送してバッファーチャンバーで引き出せるように構成されているため、被検査物の投入と引き出し過程または測定装備の取り替え過程においてテストチャンバーの真空状態が破棄されずにそのまま維持され得るようになる。
【００１５】
したがって、テストチャンバー内の土壌貯蔵部に収容された土壌の前処理作業を再度遂行する必要がなくなるため、テスト時間を短縮し、テスト効率を大幅に向上させることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施例に係るテスト装置の断面図。
【図２】図１に図示されたテスト装置の作動例を示した断面図。
【図３】図１に図示されたテスト装置の一部分を示した斜視図。
【図４】本発明に係るテスト装置の土壌貯蔵部の一実施例を示した断面図。
【図５】本発明に係るテスト装置の土壌貯蔵部の他の実施例を示した断面図。
【図６ａ−ｄ】図１に図示されたテスト装置を利用して地盤テストを遂行する過程を順次示した図面。
【図７】本発明の他の実施例に係るテスト装置の主要部分を示した斜視図。
【図８】図７に図示されたテスト装置の主要部分に対する作動例を示した斜視図。
【図９】図７に図示されたテスト装置の主要部分に対する横断面図。
【図１０ａ−１０ｃ】図７に図示されたテスト装置の作動例を示した断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付された図面を参照して本発明に係るテスト装置およびテスト方法の好ましい実施例を詳細に説明する。
【００１８】
図１〜図３を参照すると、本発明の一実施例に係るテスト装置１は、被検査物Ｔが投入されるバッファーチャンバー１０と、被検査物の地盤テストが遂行されるテストチャンバー２０、バッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０の間を開閉するシャッターユニット、テストチャンバー２０の内部に設置され、被検査物Ｔの地盤テストのための土壌Ｓが収容された土壌貯蔵部３０、バッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０の内部を真空状態にする真空発生手段を含んで構成される。
【００１９】
前記バッファーチャンバー１０はテスト装置１の一側に区画され、一側面に被検査物Ｔが投入される出入口１１が開放されるように形成される。そして、前記出入口１１には出入口１１を開閉する第１ドア１５が備えられている。前記第１ドア１５は公知の熱真空チャンバーに構成されるドアと同一または類似に構成され得、出入口１１に気密を維持しつつ密着して出入口１１を閉鎖できるように構成される。
【００２０】
前記バッファーチャンバー１０の他の一側面は前記テストチャンバー２０の一側面に形成された連結通路２１と連通するように開放されて形成される。前記バッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０の間の連結通路２１の両側にはバッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０の間を移動しながら被検査物をバッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０に移送する移送ユニットが設置される。前記移送ユニットは産業用多関節マニピュレーターなどを適用してもよいが、この実施例でのようにモータ（図示されず）により両方向に運動する移送コンベヤー５０を適用してもよい。
【００２１】
前記バッファーチャンバー１０では、被検査物Ｔがテストチャンバー２０に投入される前に待機したり、被検査物の地盤テストを遂行する必要がない場合には被検査物に対する所定のテストが進行され得る。
【００２２】
前記テストチャンバー２０は、前記バッファーチャンバー１０のすぐ一側に分離されるように区画され、バッファーチャンバー１０の一側面と連通する連結通路２１が開放されるように形成されている。前記テストチャンバー２０は被検査物に対する地盤テストを遂行する。
【００２３】
前記テストチャンバー２０の他の一側面には外部と連通した開口部２２が形成され、前記開口部２２の一側には開口部２２を開閉する第２ドア２５が設置される。前記第２ドア２５は第１ドア１５と同様に公知の熱真空チャンバーに構成されるドアと同一または類似に構成され得、開口部２２に気密を維持しつつ密着して開口部２２を閉鎖できるように構成される。前記第２ドア２５はテストチャンバー２０の外部に設けられたドア移動フレームに沿ってテストチャンバー２０の内外側に移動できるように構成される。
【００２４】
図面に図示してはいないが、前記テストチャンバー２０の内部には被検査物Ｔを移送コンベヤー５０から土壌貯蔵部３０のテスト位置に移送して定められたテストを遂行し、テストが完了した後被検査物Ｔを移送コンベヤー５０に移送するテストロボットが構成され得る。
【００２５】
前記バッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０には被検査物Ｔの熱に対する性能テストを遂行できるように、加熱装置および／または冷却装置が備えられ得、このような加熱装置および冷却装置は公知の熱真空チャンバーに構成された加熱装置および冷却装置をそのまま採用して構成することができる。
【００２６】
前記シャッターユニットは、前記連結通路２１を開閉してバッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０を相互に分離させたり連通させる作用をする。この実施例で前記シャッターユニットは、前記連結通路２１に上下にスライディングしながら連結通路２１を開閉するシャッタープレート４０と、前記シャッタープレート４０を上下に移動させるシャッター駆動部（図示されず）を含んで構成される。
【００２７】
前記シャッタープレート４０は、前記連結通路２１の下部に形成されているシャッター収容溝４２の内外側にスライディングしながら連結通路２１を開閉する。前記シャッタープレート４０の縁部分には気密を維持するためのゴムやシリコンなどのシーリング材（図示されず）が装着される。
【００２８】
前記シャッター駆動部は空圧シリンダ、モータとボールスクリューまたはチェーンなどの動力伝達機構からなる線形運動システム、リニアモータシステムなどの公知の線形運動システムを適用して構成することができる。
【００２９】
前記土壌貯蔵部３０は前記テストチャンバー２０の内部に配置され、被検査物Ｔの地盤テストのための土壌Ｓが収容されている。前記土壌貯蔵部３０は上部面が開放されたボックス状であって、前記テストチャンバー２０の開口部２２を通じてテストチャンバー２０の外部に引き出され得るように構成される。
【００３０】
前記土壌貯蔵部３０が前記開口部２２を通じてテストチャンバー２０の内外側に容易に引き入れまたは引き出され得るようにするために、テストチャンバー２０の下部に土壌貯蔵部３０の移動を案内するスライドレール３５が設置されることが好ましい。
【００３１】
一方、地盤テストを遂行する時、テストの種類によって要求される土壌の深さが多様であり得る。しかし、土壌の量が多くなると、真空に到達するまでにかかる時間が非常に多くなるため、土壌の量をテストにより最小化する必要がある。土壌の使用を最小化してテストの要求条件を合わせるために、土壌を入れる容器の底の形状を多様にすることによって、これを満足させることができる。例えば、土壌を掘るドリル装備のテストのためには深い土壌が必要であるが、土壌の使用を最小化しつつ十分な深さのテストを遂行するために、図４に図示したように、土壌貯蔵部３０の底面に下に窪んだ陥没部３１を形成したり、図５に図示したように、土壌貯蔵部３０の底面を下に窪むように形成することが好ましい。この時、土壌貯蔵部３０の底面は下側に行くほど断面積が減るコーン（ｃｏｎｅ）の形状またはドーム（ｄｏｍｅ）状を有し得る。
【００３２】
前記真空発生手段は、バッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０の内部の空気を強制的に吸入してバッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０の内部を真空状態にできるように構成される。このような真空発生手段は公知の熱真空チャンバーに構成される真空発生装置の構成を同一または類似するように適用して構成できるが、例えば図３に図示したように、それぞれバッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０に個別的に連結される吸入配管６２と、それぞれの吸入配管６２を通じて空気を吸入する真空ポンプ６１等で構成され得る。
【００３３】
前記のような構成を有するテスト装置を利用してテストを遂行する方法について詳細に説明すると次の通りである。
【００３４】
まず、テストチャンバー２０の第２ドア２５を開け、土壌Ｓが収容された土壌貯蔵部３０をテストチャンバー２０内に投入して正位置に位置させる。この時、前記土壌Ｓは、テストチャンバー２０内に収容される前に前処理（ｐｒｅ−ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｉｎｇ）工程を通じて加熱処理されて土壌Ｓに含まれている水分と気体が除去されたものである。前記テストチャンバー２０に土壌貯蔵部３０が投入されると、第２ドア２５が閉まりながら開口部２２を密閉する。
【００３５】
引き続き、バッファーチャンバー１０の第１ドア１５を開けて出入口１１を通じて被検査物Ｔ（例えば建設用ドリル装備）をバッファーチャンバー１０の内部に投入した後、第１ドア１５を閉めてバッファーチャンバー１０の出入口１１を密閉する（図６ａ参照）。
【００３６】
この時、テストチャンバー２０とバッファーチャンバー１０の間の連結通路２１はシャッタープレート４０により分離された状態である。
【００３７】
前述したように、バッファーチャンバー１０の内部に被検査物Ｔが投入されると、真空発生手段を作動させてバッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０の内部を真空状態にする。
【００３８】
真空発生手段によってバッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０の内部が真空状態になると、シャッターユニットが正方向に動作してシャッタープレート４０が下側にスライディングしながらシャッター収容溝４２の内側に挿入され、連結通路２１が開放される。引き続き、図６ｂに図示したように、移送コンベヤー５０が作動して被検査物Ｔをバッファーチャンバー１０からテストチャンバー２０に移送する。
【００３９】
被検査物Ｔがテストチャンバー２０の内部に移動すると、図６ｃに図示したように、シャッターユニットが逆方向に動作してシャッタープレート４０が上昇して連結通路２１を閉鎖することになる。
【００４０】
このように、テストチャンバー２０の内部に被検査物Ｔが投入されて真空状態になると、テストロボット（図示されず）が移送コンベヤー５０上の被検査物Ｔを土壌貯蔵部３０上の土壌Ｓの指定された位置で移送して定められたテストを遂行する。
【００４１】
土壌Ｓの上で被検査物Ｔの地盤テストが完了すると、シャッターユニットが正方向に動作してシャッタープレート４０が下降しながら連結通路２１が開放され、図６ｄに図示したように、移送コンベヤー５０を通じて被検査物Ｔがテストチャンバー２０からバッファーチャンバー１０に移送される。
【００４２】
引き続き、再びシャッターユニットが逆方向に動作して、シャッタープレート４０が上昇して連結通路２１が閉鎖され、テストチャンバー２０はバッファーチャンバー１０と分離された状態となる。
【００４３】
この状態でバッファーチャンバー１０の第１ドア１５を開けて出入口１１を通じて被検査物Ｔをバッファーチャンバー１０の内部から外部に引き出したり次のテストのための措置を取った後、再び第１ドア１５を閉めてバッファーチャンバー１０を外部から隔離させる。前記第１ドア１５を開けて出入口１１を開放すると、外部の空気がバッファーチャンバー１０内に流入して真空状態が破棄されるので、第１ドア１５を再び閉めた後には真空発生手段を作動させてバッファーチャンバー１０の内部を再び真空状態にする。
【００４４】
前述したように、本発明によると、テストチャンバー２０と分離されたバッファーチャンバー１０の内部に被検査物Ｔを投入し、テストが完了した被検査物Ｔをバッファーチャンバー１０から引き出すように構成されているため、被検査物Ｔの投入と引き出し過程または測定装備の取り替え過程においてテストチャンバー２０の真空状態が破棄されずにそのまま維持され得るようになる。したがって、テストチャンバー２０内の土壌貯蔵部３０に収容された土壌Ｓの前処理作業を再度遂行する必要がなくなるため、テスト時間を短縮し、テスト効率を大幅に向上させることができるようになる。
【００４５】
また、土壌Ｓを利用した地盤テストを遂行する必要がない場合には、すぐにバッファーチャンバー１０に測定装備を投入して所定のテストを遂行することができるため、被検査物の種類と要求性能に応じて多様な種類のテストを遂行することができる。
【００４６】
一方、前述した実施例のように、一つのテスト装置１にバッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０、土壌貯蔵部３０、シャッターユニット、真空発生手段などが統合されて構成され得るが、既存の熱真空チャンバーにテストチャンバー２０を連結して地盤テストを遂行できるように、テストチャンバー２０と土壌貯蔵部３０とシャッターユニット、真空発生手段などを一つのモジュールで構成し、前記モジュールがバッファーチャンバー１０に着脱可能に結合されるようにしてもよい。
【００４７】
また、前述した実施例において、前記シャッタープレート４０が下側にスライディングしてシャッター収容溝４２の内側に挿入され、連結通路２１が開放される時、被検査物Ｔが連結通路２１を通じてバッファーチャンバー１０とテストチャンバー２０に移動する時にシャッター収容溝４２の内側に収容されたシャッタープレート４０の縁のシーリング材（図示されず）が汚染され得、この場合、シャッタープレート４０が連結通路２１を閉鎖した時に気密が維持されずテストの遂行ができない場合が発生し得る。
【００４８】
これを防止するために、図７〜図９に図示したように、テスト装置１のバッファーチャンバー１０に被検査物Ｔが置かれるシーリングプレート１７が連結通路２１の下部面を通じてスライディング可能に設置されて、シーリングプレート１７が連結通路２１の下部面に沿ってバッファーチャンバー１０からテストチャンバー２０にスライディングしながらシャッター収容溝４２の上端部を気密に閉鎖し、これにより被検査物Ｔをバッファーチャンバー１０からテストチャンバー２０に、またはテストチャンバー２０からバッファーチャンバー１０に移送する時にシャッタープレート４０の縁のシーリング材が汚染する現象を防止することができる。
【００４９】
この実施例のテスト装置１において前記シーリングプレート１７は、バッファーチャンバー１０の出入口１１を開閉する第１ドア１５の下端部に固定されて第１ドア１５とともに水平移動する稼動プレート１６に水平にスライディング可能に設置される。
【００５０】
前記稼動プレート１６には稼動プレート１６に対してシーリングプレート１７を水平往復移動させるための線形運動システムが構成される。前記線形運動システムは、空圧シリンダー、リニアモータ、ボールスクリューおよびモータ、複数のプーリーとベルトを含む動力伝達機構およびモータ、ラックギアとピニオンギアを含む動力伝達機構およびモータなどの公知の線形運動システムを適用して構成することができる。
【００５１】
このように構成された他の実施例のテスト装置１は下記のように作動する。
【００５２】
図１０ａに図示したように、第１ドア１５および稼動プレート１６がバッファーチャンバー１０の外部に引き出された状態で稼動プレート１６の上部面のシーリングプレート１７上に被検査物Ｔを載置し、図１０ｂに図示したように、第１ドア１５と稼動プレート１６をバッファーチャンバー１０の内側にスライディングさせてバッファーチャンバー１０内に被検査物Ｔを投入し、バッファーチャンバー１０を密閉する。
【００５３】
この状態でバッファーチャンバー１０の内部を真空状態にした後、シャッタープレート４０を下降させてシャッター収容溝４２の内側に移動させて連結通路２１を開放する。
【００５４】
その後、図１０ｃに図示したように、シーリングプレート１７を稼動プレート１６に対して水平にスライディングさせて被検査物Ｔをテストチャンバー２０の内側に移送する。この時、シャッタープレート４０が収容されたシャッター収容溝４２の上端部がシーリングプレート１７により気密に閉鎖される。したがって、被検査物Ｔをテストチャンバー２０内に移動する時、シャッター収容溝４２の上端部を通じてシャッタープレート４０のシーリング材に異物やアウトガスが接触することを防止して被検査物Ｔの汚染を防止することができる。
【００５５】
テストチャンバー２０でテストが完了した被検査物Ｔをバッファーチャンバー１０内に移送する時にも、シャッタープレート４０が開放された連結通路２１の下部面に沿ってスライディングしてシャッター収容溝４２の上端部を閉鎖することになるので、シャッタープレート４０が汚染することを防止することができる。
【００５６】
以上、本発明は実施例を参照して詳細に説明されたが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者であれば、前記で説明された技術的思想を逸脱しない範囲内で多様に置換、付加および変形できることは言うまでもなく、このような変形された実施形態も下記に添付した特許請求の範囲によって定められる本発明の保護範囲に属するものと理解されるべきである。
【００５７】
本発明は宇宙のような真空または極限環境を造成して建設装備などに対する真空地盤テストを遂行できる装置産業に利用することができる。
【図１】
0006811879.tif 000002
【図２】
0006811879.tif 000003
【図３】
0006811879.tif 000004
【図４】
0006811879.tif 000005
【図５】
0006811879.tif 000006
【図６ａ】
0006811879.tif 000007
【図６ｂ】
0006811879.tif 000008
【図６ｃ】
0006811879.tif 000009
【図６ｄ】
0006811879.tif 000010
【図７】
0006811879.tif 000011
【図８】
0006811879.tif 000012
【図９】
0006811879.tif 000013
【図１０ａ】
0006811879.tif 000014
【図１０ｂ】
0006811879.tif 000015
【図１０ｃ】
0006811879.tif 000016