(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
交流（ＡＣ）電源ライン基本周波数を有するＡＣ電源ライン電圧によって作動する電子エネルギー損失分光器（ＥＥＬＳ）であって、
電子エネルギーレベルのスペクトルを生成する偏向磁石と、
直流偏向磁場励起源と、
ＡＣ電源ライン基本周波数における第１の補正信号、及び前記ＡＣ電源ライン基本周波数の高調波における第２の補正信号を生成するように構成される電源ラインノイズ補正回路とを備え、前記電源ラインノイズ補正回路が、前記ＡＣ電源ライン電圧をサンプリングするサンプリング回路を含む、ＥＥＬＳ。
【請求項２】
前記電源ラインノイズ補正回路が、前記ＥＥＬＳの周囲のＡＣ電源ラインノイズを間接的に感知する電磁界感知サンプリング回路を含む、請求項１に記載のＥＥＬＳ。
【請求項３】
前記基本ＡＣ電源ライン周波数の前記高調波における前記第２の補正信号が、前記ＡＣ電源ライン電圧にかかわらず生成される、請求項１に記載のＥＥＬＳ。
【請求項４】
前記ＡＣ電源ライン基本周波数の前記高調波における前記第２の補正信号が、前記ＡＣ電源ライン電圧、又は前記ＡＣ電源ライン周波数における感知された電磁界に比例する信号のいずれかを、波形整形及びフィルタリングすることによって生成される、請求項１に記載のＥＥＬＳ。
【請求項５】
前記第１及び第２の補正信号のそれぞれが、位相及び振幅について個別に調節可能である、請求項１に記載のＥＥＬＳ。
【請求項６】
前記第１及び第２の補正信号のそれぞれが、前記直流偏向磁場励起源に電気的に加えられる、請求項１に記載のＥＥＬＳ。
【請求項７】
前記第１及び第２の補正信号のそれぞれが、変圧器によって前記直流偏向磁場励起源に繋げられる、請求項１に記載のＥＥＬＳ。
【請求項８】
ドリフト管を更に備え、
振幅調節及び位相調節済みの前記第１の補正信号及び前記第２の補正信号が、前記ドリフト管の動力であるＤＣ電圧に印加される、請求項１に記載のＥＥＬＳ。
【請求項９】
前記電源ラインノイズ補正回路が、
アナログ‐デジタル信号変換器と、
マイクロコントローラと、
デジタル‐アナログ信号変換器とを備え、
前記マイクロコントローラが前記アナログ‐デジタル信号変換器を制御して、
前記ＡＣ電源ライン電圧をサンプリングし、
バッファに前記サンプルを記憶して、前記サンプルを前記バッファから前記デジタル‐アナログ信号変換器に出力し、基本周波数出力信号及び前記基本周波数出力信号の高調波を前記ＡＣ電源ライン電圧の前記サンプルに基づいて生成するようになっている、請求項１に記載のＥＥＬＳ。
【請求項１０】
前記高調波が、前記基本ＡＣ電源ライン周波数の第３高調波である、請求項９に記載のＥＥＬＳ。
【請求項１１】
基本交流（ＡＣ）電源ライン周波数信号と、前記基本ＡＣ電源ライン周波数信号の高調波とを備える補正信号を生成する、ＡＣ電源ラインノイズ補正回路であって、
ライン電圧信号を生成するように構成されるライン電圧センサと、
アナログ‐デジタル（Ａ／Ｄ）信号変換器と、
プログラムメモリ及び読出／書込バッファメモリを有するマイクロコントローラと、
デジタル‐アナログ（Ｄ／Ａ）信号変換器とを備え、
前記マイクロコントローラが、
前記ライン電圧信号をサンプルレートでサンプリングし、
前記ライン電圧信号のサンプルを前記読出／書込バッファメモリに記憶し、
前記ライン電圧信号のサンプルを前記読出／書込バッファメモリから読み出して、前記ＡＣ電源ライン周波数における第１の読出と、前記ＡＣ電源ライン周波数の高調波における第２の読出とを生成し、
前記第１の読出と前記第２の読出とを合算して合算出力値を生成し、
前記合算出力値を前記Ｄ／Ａ信号変換器に出力して合算補正信号を生成するように構成される、ＡＣ電源ラインノイズ補正回路。
【請求項１２】
前記マイクロコントローラが、更に、前記ライン電圧信号からの前記第１及び第２の読出の一方又は両方を位相シフトするように構成される、請求項１１に記載のＡＣ電源ラインノイズ補正回路。
【請求項１３】
前記マイクロコントローラが、更に、前記ライン電圧信号からの前記第１及び第２の読出の一方又は両方の振幅に対して個別の調整を提供するように構成される、請求項１１に記載のＡＣ電源ラインノイズ補正回路。
【請求項１４】
前記高調波が、前記ライン電圧周波数の第３高調波である、請求項１１に記載のＡＣ電源ラインノイズ補正回路。
【請求項１５】
前記ライン電圧センサが変圧器である、請求項１１に記載のＡＣ電源ラインノイズ補正回路。
【請求項１６】
前記ライン電圧センサが電磁界センサである、請求項１１に記載のＡＣ電源ラインノイズ補正回路。
【請求項１７】
交流（ＡＣ）電源に伴うノイズを受ける電子エネルギー損失分光器（ＥＥＬＳ）であって、
偏向磁石励起電流が供給される偏向磁石と、
請求項１１に記載の前記ＡＣ電源ラインノイズ補正回路とを備え、
ＡＣ電源に係る前記ノイズを補正するように、前記偏向磁石励起電流に前記合算補正信号が印加されるＥＥＬＳ。
【請求項１８】
電子エネルギー損失分光器（ＥＥＬＳ）内のＡＣ幹線ノイズを補正する方法であって、
ＡＣ電源ライン電圧をサンプリングするステップと、
前記ＡＣ電源ライン電圧の振幅及び位相を調節して基本周波数補正信号を生成するステップと、
前記ＡＣ電源ライン電圧の高調波における信号を生成するステップと、
前記ＡＣ電源ライン電圧の前記高調波における前記信号の振幅及び位相を調節して高調波補正信号を生成するステップと、
前記基本周波数補正信号及び前記高調波補正信号を前記ＥＥＬＳ内の偏向磁石に印加するステップとを含む方法。
【請求項１９】
前記基本周波数補正信号及び前記高調波補正信号の一方又は両方の、前記振幅及び位相の一方又は両方を、前記ＥＥＬＳが検出したスペクトルからのフィードバックに基づいて自動的に調節するステップを更に含む、請求項１８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本ＰＣＴ出願は、２０１７年２月３日に出願された、電子エネルギー損失分光器のための高調波ラインノイズ補正と題する米国特許出願番号第６２／４５４，２６３号について、米国特許法第１１９条（ｅ）の下で利益を主張するものであり、この出願の開示が参照によって本明細書に組み込まれる。
【背景技術】
【０００２】
透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）における電子エネルギー損失分光法（ＥＥＬＳ）のスペクトル取得では、薄片試料を透過した（すなわち、通過した）電子のスペクトルによってセンサが露光される。ＥＥＬＳは、通常、動作電圧が２００ｋＶ〜３００ｋＶ且つエネルギー分解能が約１ｅＶの透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）で実施される。近年では、これよりも大幅に低い動作電圧（例えば、１５ｋＶ）且つ高いエネルギー分解能（例えば、５ｍｅＶ）での駆動が見られる。電子エネルギー損失スペクトルのエネルギー損失は、０ｋｅＶから数ｋｅＶに及ぶ。エネルギー損失スペクトルの強度はエネルギー損失によって急激に低下するため、ＥＥＬＳの研究では、通常、エネルギー損失は約３ｋｅＶに制限される。将来的には、検出器技術の向上によってこの範囲が大きくなることが期待されている。
【０００３】
図１を参照すると、典型的な先行技術の電子エネルギー損失分光器では、電子ビーム５が透過電子顕微鏡１から出射されて、開口部１０を通って分光器へと入射する。偏向磁石１３が、電子ビームをある角度、通常９０度に偏向させて、エネルギー分散を生じさせる。こうして生じたエネルギー損失スペクトルが、専用に設計された電子検出器２１のレンズ１５，１６及び１７によって電子光学的に拡大、集束及び投影される。集束は、分散方向においては重要であるが、スペクトルは非分散方向には必ずしも集束されない。検出器は、エネルギー損失スペクトルの実質的なウィンドウとなるものを記録する。このウィンドウには、エネルギー損失の開始と終了とが含まれる。エネルギー損失の開始は、通常、ＴＥＭの高電圧、偏向磁石の磁界、又は偏向磁石を通る絶縁ドリフト管１４に対する電圧を調節することで設定される。これらのいずれかを調節することで、エネルギー損失スペクトル全体が検出器に対して移動し、スペクトルの様々な関心領域が示される。
【０００４】
ＥＥＬＳ分解能は、様々なノイズ源及び場によって制限される。一般的な問題としては、電源ライン周波数における周期性ノイズがある。このノイズは、電磁界や接地電流、フィルタが不完全な電力供給から生じるほか、むしろこれらのノイズ源全ての組み合わせから生じることもある。先行技術の設計では、僅かなライン周波数を、補正信号として偏向磁石１３のＤＣ界磁電流に混入させる。補正信号の位相を電源ライン信号に対して調節し且つ補正信号の振幅も調節することで、ＥＥＬＳの、ライン周波数より高い周波数での安定性及びライン周波数より低い周波数での分解能が向上する。
【０００５】
先行技術の実装形態では、変圧器若しくは抵抗分割回路を通る電源ラインから、又は電磁界を感知するセンシングコイルのいずれかから電源波形が得られる。高分解能ＥＥＬＳシステムには、ライン周波数が補正された後の更なるノイズ問題として、第３高調波がある。アメリカ合衆国を含む、電力システムが６０Ｈｚ基準の国では、ライン周波数の第３高調波は１８０Ｈｚであり、電力システムが５０Ｈｚ基準の国では、ライン周波数の第３高調波は１５０Ｈｚである。第３高調波は、ライン周波数と同様に、場、迷走接地電流及び電力供給での残留リップルを含む多くの源から生じうる。場によって生じるノイズは、センサ手段としてのコイルを用いて補正でき、ライン周波数ノーズは、ライン電圧を用いて補正できる。
【発明の概要】
【０００６】
本発明の一態様は、交流（ＡＣ）電源ライン基本周波数を有するＡＣ電源ライン電圧によって作動する電子エネルギー損失分光器（ＥＥＬＳ）である。ＥＥＬＳは、電子エネルギーレベルのスペクトルを生成する偏向磁石と、直流偏向磁場励起源と、基本ＡＣ電源ライン周波数における第１の補正信号、及び基本ＡＣ電源ライン周波数の高調波における第２の補正信号を生成するように構成される電源ラインノイズ補正回路とを含む。本発明の更なる態様では、電源ラインノイズ補正回路は、ＡＣ電源ライン電圧をサンプリングするサンプリング回路を含む。本発明の更なる態様では、電源ラインノイズ補正回路は、ＥＥＬＳの周囲のＡＣ電源ラインノイズを間接的に感知する電磁界感知サンプリング回路を含む。本発明の更なる態様では、基本ＡＣ電源ライン周波数の高調波における第２の補正信号は、ＡＣ電源ライン電圧にかかわらず生成される。本発明の更なる態様では、基本ＡＣ電源ライン周波数の高調波における第２の補正信号は、ＡＣ電源ライン信号、又はＡＣ電源ライン周波数における感知された電磁界に比例する信号のいずれかを、波形整形及びフィルタリングすることによって生成される。本発明の更なる態様では、第１及び第２の補正信号のそれぞれは、位相及び振幅について個別に調節可能である。本発明の更なる態様では、第１及び第２の補正信号のそれぞれは、直流偏向磁場励起源に電気的に加えられる。本発明の更なる態様では、第１及び第２の補正信号のそれぞれは、変圧器によって直流偏向磁場励起源に繋げられる。本発明の更なる態様では、ＥＥＬＳはドリフト管を含み、振幅調節及び位相調節済みの第１の補正信号及び第２の補正信号が、ドリフト管の動力であるＤＣ電圧に印加される。本発明の更なる態様では、電源ラインノイズ補正回路は、アナログ‐デジタル信号変換器と、マイクロコントローラと、デジタル‐アナログ信号変換器とを含み、マイクロコントローラはアナログ‐デジタル信号変換器を制御して、ＡＣ電源ライン電圧をサンプリングし、バッファにサンプルを記憶して、サンプルをバッファからデジタル‐アナログ信号変換器に出力し、基本周波数出力信号及び前記基本出力信号の高調波をＡＣ電源ライン電圧のサンプルに基づいて生成するようになっている。本発明の更なる態様では、高調波補正信号は、基本ＡＣ電源ライン周波数の第３高調波である。
【０００７】
本発明の更なる態様は、基本交流（ＡＣ）電源ライン周波数信号と、基本ＡＣ電源ライン周波数信号の高調波とを備える補正信号を生成する、ＡＣ電源ラインノイズ補正回路である。補正回路は、ライン電圧信号を生成するように構成されるライン電圧センサと、アナログ‐デジタル（Ａ／Ｄ）信号変換器と、プログラムメモリ及び読出／書込バッファメモリを有するマイクロコントローラと、デジタル‐アナログ（Ｄ／Ａ）信号変換器とを備える。マイクロコントローラは、ライン電圧信号をサンプルレートでサンプリングし、ライン電圧信号のサンプルを読出／書込バッファメモリに記憶し、ライン電圧信号のサンプルを読出／書込バッファメモリから読み出して、ＡＣ電源ライン周波数における第１の読出と、ＡＣ電源ライン周波数の高調波における第２の読出とを生成し、マイクロコントローラは、更に、第１の読出と第２の読出とを合算して合算出力値を生成し、合算出力値をＤ／Ａ変換器に出力して合算補正信号を生成するように構成される。補正回路の更なる態様では、マイクロコントローラは、更に、ライン電圧信号からの第１及び第２の読出の一方又は両方を位相シフトするように構成される。補正回路の更なる態様では、マイクロコントローラは、更に、ライン電圧信号からの第１及び第２の読出の一方又は両方の振幅に対して個別の調整を提供するように構成される。補正回路の更なる態様では、高調波補正信号は、ライン電圧周波数の第３高調波である。補正回路の更なる態様では、ライン電圧センサは変圧器である。補正回路の更なる態様では、ライン電圧センサは電磁界センサである。本発明の更なる態様では、補正回路は、ＡＣ電源に係るノイズが生じる電子エネルギー損失分光器（ＥＥＬＳ）と共に使用され、ＥＥＬＳは、偏向磁石励起電流が供給される偏向磁石を有し、ＡＣ電源に係るノイズを補正するように、偏向磁石励起電流に合算補正信号が印加される。
【０００８】
本発明の更なる態様は、電子エネルギー損失分光器（ＥＥＬＳ）内のＡＣ幹線ノイズを補正する方法であって、方法は、ＡＣ電源ライン電圧をサンプリングするステップと、ＡＣ電源ライン電圧の振幅及び位相を調節して基本周波数補正信号を生成するステップと、ＡＣ電源ライン電圧の高調波における信号を生成するステップと、ＡＣ電源ライン電圧の高調波における信号の振幅及び位相を調節して高調波補正信号を生成するステップと、基本補正信号及び高調波補正信号をＥＥＬＳ内の偏向磁石に印加するステップとを含む。本発明の更なる態様では、方法は、基本補正信号及び高調波補正信号の一方又は両方の、振幅及び位相の一方又は両方を、ＥＥＬＳが検出したスペクトルからのフィードバックに基づいて自動的に調節するステップを含む。
【０００９】
本明細書の一部に組み込まれ且つそれを構成する添付の図面によって、本明細書に記載される１つ以上の実施例を示し、その記載と共に実施例を説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】電子エネルギー損失分光器を含む、先行技術の透過電子顕微鏡の図である。
【図２】第３高調波信号補正回路が組み込まれた電子エネルギー損失分光器を含む、例示的な透過電子顕微鏡の図である。
【図３】基本補正信号及び高調波補正信号を生成するための例示的なシステムのブロック図である。
【図４】図３のシステムのマイクロコントローラのフロー図である。
【図５】例示的なシステムのブロック図である。
【図６】ＥＥＬＳ内での電源ラインに関わるノイズを補正する例示的な方法のフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下の詳細な説明について添付の図面を参照する。異なる図面における同じ参照番号は、同じ又は同等の要素を識別するものである。ＥＥＬＳ電子顕微鏡は、本明細書に記載の実施例のように、電源ライン周波数の高調波用の補正器を含んでもよい。幾つかの実施例では、ライン周波数におけるノイズは、先行技術と同様に、偏向磁石のＤＣ励磁電流に僅かなライン周波数を加えることで補正されてもよい。以下に記載するように、ユーザによるライン周波数波形からの位相シフトの制御及び第３高調波信号の振幅の制御によって、ライン周波数の３倍である第２の項を取り入れてもよい。
【実施例１】
【００１２】
先行技術のＥＥＬＳ（図１）からの番号が付された構成要素も示す図２は、第３高調波波形を生成する第３高調波信号生成器３０を含む。本明細書の記載のように、第３高調波信号生成器３０は様々な方法で第３高調波波形を生成できる。方法には、正弦テーブルを使用したデジタル‐アナログ変換器の駆動や、波形信号のリアルタイム且つ直接的な計算によるデジタル‐アナログ変換器の駆動、フィルタリングされたパルス幅変調、自走アナログ発振器、ライン周波数を矩形波又は波形整形して、矩形ライン周波数波形の高調波成分をフィルタリングすることが含まれるが、これに限らない。
【００１３】
図３に示す、以下により詳細に記載される例示的な実施例では、電源ライン信号又はその参照用のデジタル版を入力として有するマイクロプロセッサによって、第３高調波が生成される。
【００１４】
また、第３高調波補正信号の生成手段にかかわらず、信号の位相をライン周波数に対して制御し且つ調節できるようにすることも求められる。このためには、場センサ３１を用いて、ＥＥＬＳに近接する領域内のＥＭＦを直接的に、又は変圧器を介して、又は間接的に感知するように、電力幹線からＥＥＬＳに対して直接的にライン周波数をサンプリングする必要がある。
【００１５】
基本ライン周波数に対する第３高調波補正信号の位相は、様々な既知の方法で制御できる。方法には、アナログオペアンプ位相シフタや位相ロックループ、デジタル又はアナログ遅延ライン、又はデジタル生成の信号の場合は、デジタル‐アナログ変換器を駆動する電圧値を、基本ライン周波数ゼロ交差レベルから時間内に可変オフセットすることが含まれるが、これに限らない。
【００１６】
第３高調波補正信号の振幅は既知の手段を用いて制御してもよい。手段には、例えば、デジタルで、又は可変抵抗器を含むアナログ回路によって制御される可変利得段が含まれる。
【００１７】
基本電源ライン周波数及び基本電源ライン周波数の第３高調波の成分を有する補正信号を生成する例示的なシステムを、図３に示す。図示のように、電力ライン幹線３１０が絶縁変圧器３２０に対する入力であり、絶縁変圧器３２０は、電源ライン電圧を電子処理により適した信号レベル、例えば最大振幅８ボルトに下げる。絶縁変圧器３２０からの絶縁ＡＣ幹線信号は、アナログ‐デジタル（Ａ／Ｄ）変換器３３０によってサンプリングされる。Ａ／Ｄ変換器３３０は、マイクロコントローラ３４０の制御下で、マイクロコントローラ３４０に対してデジタル出力を提供する。マイクロコントローラ３４０は、内蔵のプログラムメモリとデータメモリとを含む。マイクロコントローラ３４０はＡ／Ｄ変換器３３０を用いて、絶縁ＡＣ幹線入力を、一実施例において実質的には正弦波であるＡＣ幹線信号を正確に再生成するのに十分なサンプルレートでサンプリングする。マイクロコントローラ３４０は、ＡＣ幹線信号のサンプルを、リングバッファ等のメモリバッファに記憶する。リングバッファは、マイクロコントローラが、記憶されたものに基づいた合成波形を読み出すのに十分な、すなわち再生するのに十分な、１つ以上の全周期の入力基本ライン周波数波形を記憶する。リングバッファの使用によって、記憶装置が、バッファの終わりに達すると単純にバッファの初めに戻るように、入力波形の記憶を継続的に行うことができる。バッファの読み出しも同様に行われる。マイクロコントローラ３４０は、メモリバッファの内容をサンプルレートで読み出して、基本周波数ＡＣ幹線補正信号を生成するほか、メモリバッファの内容を３倍のサンプルレートで読み出して、基本周波数の第３高調波における第２の補正信号も生成する。
【００１８】
本明細書に記載の実施例のように、基本周波数補正信号及び第３高調波周波数補正信号の両方の位相を、メモリバッファ内で、記憶されたサンプリング済みのＡＣ幹線信号をＡＣ幹線信号のゼロ交差に対して読み出すことでシフトして、入力ＡＣ幹線信号のゼロ交差に対して個別に調節することができる。メモリバッファから読み出された基本周波数信号及び第３高調波信号には、ユーザ入力又はフィードバック生成された個別の利得信号がそれぞれ乗じられ、その後、それらを足し合わせて、デジタル‐アナログ変換器３５０への出力である単一の出力値として生成し、本明細書に記載のＥＥＬＳ偏向磁石及び／又はＥＥＬＳドリフト管にバッファ及び印加されるアナログ補正信号３５１が生成される。
【００１９】
図４は、図３に係る、６０Ｈｚのライン周波数用の、本明細書に記載の実施例のマイクロコントローラ３４０の例示的なフロー図を示す。ステップ４１０において、マイクロコントローラ３４０は、Ａ／Ｄ変換器３２０によって、変圧器絶縁６０Ｈｚライン信号のサンプルを周期的に読み取る。例示的な実施例では、サンプルレートは１９．２ＫＨｚである。ステップ４２０において、マイクロコントローラ３４０は、リングバッファ等のメモリバッファにＡ／Ｄ値を記憶する。ステップ４３０において、マイクロコントローラ３４０は、６０Ｈｚ補正信号のＡＣ幹線電源ライン信号に対する位相調節に用いられる第１の遅延を利用して、メモリバッファ値をＡ／Ｄサンプルレートで読み出す。ステップ４４０において、マイクロコントローラ３４０は、１８０Ｈｚ補正信号のＡＣ幹線電源ライン信号に対する位相調節に用いられる第２の遅延を利用して、メモリバッファ値を３倍のＡ／Ｄサンプルレート（一実施例では、メモリバッファ内の２つ目及び３つ目の値を毎回スキップする）で読み出す。
【００２０】
ステップ４５０において、マイクロコントローラ３４０は、ユーザ入力又は自動化フィードバックループに基づいて、６０Ｈｚ補正信号及び１８０Ｈｚ補正信号を利得調節する。ステップ４６０において、マイクロコントローラ３４０は、位相調節及び利得調節された６０Ｈｚ補正信号と１８０Ｈｚ補正信号とを足し合わせる。ステップ４７０において、その和がＤ／Ａ変換器３５０に出力されて、ＥＥＬＳの補正に使用される。
【００２１】
補正信号の位相及び振幅は、ＥＥＬＳの出力における第３高調波ノイズの影響を測定する手段を含むフィードバックループにおいて、手動又は自動のいずれでも調節することができる。
【００２２】
図６は、ＡＣ電源ライン基本周波数の高調波におけるノイズを含む、ＡＣ電源ラインに関わるＥＥＬＳ内のノイズを補正する例示的な方法を説明する。
【００２３】
ステップ６１０において、ＡＣ電源ライン電圧が、Ａ／Ｄ変換器を介して、マイクロコントローラによってサンプリングされる。例えば、サンプリングは、配線接続されたソースから直接、又はＥＥＬＳの周囲のＡＣ電源ラインによって生成されたＥＭＦを送信する電磁界センサによって行うことができる。ステップ６２０において、サンプリング済みのＡＣ電源ライン電圧の振幅及び位相が調節されて、基本周波数補正信号が生成される。
【００２４】
ステップ６３０において、実質的にはサンプルレートの３倍であるレートでリングメモリバッファを読み出すことで、ＡＣ電源ライン電圧の高調波における信号が生成される。ステップ６４０において、ＡＣ電源ライン電圧の高調波における信号の振幅及び位相が調節されて、高調波補正信号が生成される。ステップ６５０において、基本補正信号と高調波補正信号とが合算されて（例えば、足し合わせられて）、合算補正信号が生成される。ステップ６６０において、合算補正信号がＥＥＬＳ内の偏向磁石に印加される。この方法の更なる実施例では、補正信号はＥＥＬＳ内のドリフト管に印加される。
【００２５】
図５は、装置５００の例示的な物理的構成要素を示す図である。装置５００は、ＥＥＬＳシステムやホストコンピュータ等といった上記のシステム内における、様々な装置に対応する。装置５００は、バス５１０と、プロセッサ５２０と、メモリ５３０と、入力部５４０と、出力部５５０と、通信インタフェース５６０とを含む。
【００２６】
バス５１０は、装置５００の構成要素間の通信を可能にするパスを含んでもよい。プロセッサ５２０は、命令の解釈及び実行ができるプロセッサ、マイクロプロセッサ、又は処理ロジックを含んでもよい。メモリ５３０は、プロセッサ５２０による実行のための情報及び命令を記憶できる任意の種類の動的記憶装置、及び／又はプロセッサ５２０が使用する情報を記憶できる任意の種類の不揮発性記憶装置を含んでもよい。
【００２７】
ソフトウェア５３５が、機能及び／又はプロセスを提供するアプリケーション又はプログラムを含む。ソフトウェア５３５は、ファームウェア、ミドルウェア、マイクロコード、ハードウェア記述言語（ＨＤＬ）、及び／又は他の形態の命令を含むようにもなっている。例えば、動作認証の証拠を提供するロジックを含むネットワーク要素について、これらのネットワーク要素はソフトウェア５３５を含むように実装されてもよい。また、例えば、装置５００は、図４を参照して上述したようなタスクを実行するためにソフトウェア５３５を含んでもよい。
【００２８】
入力部５４０は、キーボードやキーパッド、ボタン、スイッチ等といった、ユーザが装置５００に情報を入力できるようにする機構を含んでもよい。出力部５５０は、ディスプレイやスピーカー、１つ以上の発光ダイオード（ＬＥＤ）等といった、ユーザに情報を出力する機構を含んでもよい。
【００２９】
通信インタフェース５６０は、装置５００の、無線通信、有線通信、又は無線通信及び有線通信の組み合わせを介した他の装置及び／又はシステムとの通信を可能にするトランシーバを含んでもよい。例えば、通信インタフェース５６０は、ネットワークを介して他の装置又はシステムと通信するための機構を含んでもよい。通信インタフェース５６０は、ＲＦ信号の送受信のためのアンテナアセンブリを含んでもよい。一実装形態では、例えば、通信インタフェース５６０は、ネットワークに接続されたネットワーク及び／又は装置と通信してもよい。或いは、又は追加で、通信インタフェース５６０は、入出力ポートや入出力システム、及び／又は他の装置に対するデータの送信を容易にする他の入出力部を含んだ論理的な構成要素であってもよい。
【００３０】
装置５００は、メモリ５３０等のコンピュータ読取可能媒体に含まれる、ソフトウェア命令（例えば、ソフトウェア５３５）を実行するプロセッサ５２０に応答して、所定の動作を行ってもよい。コンピュータ読取可能媒体は、持続性メモリ装置として定義されてもよい。持続性メモリ装置は、単一の物理メモリ装置内にある、又は複数の物理メモリ装置間にわたって分散した、メモリ空間を含んでもよい。ソフトウェア命令は、他のコンピュータ読取可能媒体又は他の装置からメモリ５３０へと読み込まれてもよい。メモリ５３０内に含まれるソフトウェア命令によって、プロセッサ５２０に本明細書に記載のプロセスを実行させてもよい。或いは、配線接続された回路を、ソフトウェア命令の代わりに、又はソフトウェア命令と組み合わせて使用して、本明細書に記載のプロセスを実施してもよい。このように、本明細書に記載の実装形態は、ハードウェア回路とソフトウェアとのどの特定の組み合わせにも限定されない。
【００３１】
装置５００は、図５に示すものと比べて、少ない構成要素、追加の構成要素、異なる構成要素、及び／又は異なる形で構成された構成要素を含んでもよい。例えば、幾つかの実装形態では、ディスプレイが装置５００に含まれなくてもよい。この場合、装置５００は、入力部５４０を含まない「ヘッドレス」装置でもよい。他の例としては、装置５００は、バス５１０の代わりに、又はそれに加えて、１つ以上のスイッチ構造を含んでもよい。これに加えて、又は或いは、装置５００の１つ以上の構成要素が、装置５００の１つ以上の他の構成要素によって実行されるものとして説明される１つ以上のタスクを実行してもよい。
【００３２】
様々な実装形態を上述したが、これらの実装形態を本発明の精神から逸脱することなく変更できることが当業者にとって明らかであろうことが明確に理解される。例えば、第３高調波補正信号の説明において、システムの説明を、ＥＥＬＳ偏向磁石又はドリフト管に影響を及ぼしうるライン周波数における、任意の他の高調波の生成及び補正にも用いることができる。本発明に対して、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、形態、設計又は構成を様々に変更してもよい。このため、上記の説明は限定というよりむしろ例示として考えられ、本発明の真の範囲は下記のクレームに定義されるものである。
【００３３】
本明細書で使用される際の「備える／備えている」という用語は、記載の特徴、整数、ステップ又は構成要素の存在を明記するためのものだが、１つ以上の他の特徴、整数、ステップ、構成要素又はそれらの組み合わせの存在又は追加を除外するものではないことが強調されるべきである。
【００３４】
本願で使用される要素、動作又は命令のいずれも、そのように記載が無い限りは、本明細書に記載の実装形態に対して重要又は不可欠なものとして解釈されるべきではない。また、本明細書で使用される冠詞「ａ」は、１つ以上のものを含むようになっている。また、「基づいて」というフレーズは、明確な記載が無い限り、「少なくとも部分的に基づく」を意味するようになっている。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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