(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェッジアセンブリと、駆動機構と、予圧力ユニットとを備える光路補正装置であって、
前記ウェッジアセンブリは、可動ウェッジと、固定ウェッジとを備えており、
前記可動ウェッジ及び前記固定ウェッジは、ウェッジ角度が同じであり、かつ、ウェッジ面の向きが反対であり、
前記固定ウェッジは、固定ホルダに取り付けられ、
前記可動ウェッジは、可動ホルダを介して、前記固定ホルダに固定され、
前記固定ホルダは、その内側に、前記可動ホルダに対応するガイド面を備え、
前記可動ホルダは、前記固定ホルダの前記ガイド面に適合する外面を備え、
前記予圧力ユニットは、前記可動ホルダと直線的に接触する上部予圧力モジュールを備え、
前記上部予圧力モジュールは、前記可動ウェッジを移動させるために、前記可動ウェッジの前記ウェッジ面と垂直な予圧力を提供するように構成され、
前記駆動機構は、前記可動ウェッジの前記ウェッジ面と前記固定ウェッジの前記ウェッジ面を相対的に移動させるように構成され、
前記上部予圧力モジュールは、ウェッジ型押圧部と、弾性部材とを備え、
前記ウェッジ型押圧部は、前記可動ウェッジの前記ウェッジ角度と同じウェッジ角度を有し、前記可動ウェッジの前記ウェッジ面と同じ向きのウェッジ面を有し、
前記ウェッジ型押圧部は、前記可動ホルダの移動方向に沿って、前記固定ホルダの側面に固定され、
前記弾性部材は、一方の端部が前記可動ホルダに取り付けられ、他方の端部が前記ウェッジ型押圧部の前記ウェッジ面と弾性的に接触する、
光路補正装置。
【請求項２】
前記可動ホルダは、前記固定ウェッジの前記ウェッジ角度と同じウェッジ角度を有し、かつ、前記固定ウェッジの前記ウェッジ面と向きが同じウェッジ面を有するウェッジ形状を有する、請求項１に記載の光路補正装置。
【請求項３】
前記弾性部材は、球状シャフトと、圧縮ばねと、カラーとを備えており、
前記球状シャフトのステップが設けられた一方の端部が、弾性的に接触する端部として機能し、固定及び取付け用の他方の端部が、スラスト端部として機能し、
前記球状シャフトの前記スラスト端部は、前記カラーによって取付位置で移動が制限され、
前記カラー及び前記球状シャフトは、弾性的に固定され、
前記圧縮ばねは、前記球状シャフトを囲むように取り付けられ、それぞれが前記球状シャフトの前記ステップ及び前記取付位置と接触する２つの端部を介して、圧縮される、請求項１又は２に記載の光路補正装置。
【請求項４】
前記予圧力ユニットは、前記固定ホルダに取り付けられた側部予圧力モジュールをさらに備え、前記可動ホルダに横方向の予圧力を与える、請求項１に記載の光路補正装置。
【請求項５】
前記側部予圧力モジュールは、前記固定ホルダの側面を通って前記可動ホルダの外面に当接する位置決めねじとして実装される、請求項４に記載の光路補正装置。
【請求項６】
前記駆動機構は、取付台と、マイクロメータノブと、複数の引張ばねとを備えており、
前記マイクロメータノブは、前記取付台に取り付けられ、
前記引張ばねはそれぞれ、一方の端部が前記取付台に固定され、他方の端部が前記可動ウェッジに接続され、
前記マイクロメータノブは、前記可動ウェッジの移動方向に伸縮して、前記可動ウェッジを動かすための駆動力を提供する、請求項１に記載の光路補正装置。
【請求項７】
前記駆動機構は、取付台座と、取付カバーと、モータアセンブリと、作動モジュールとを備えており、
前記取付台座は、前記取付カバーに適合するガイドレールを備え、
前記作動モジュールは、前記取付台座に取り付けられ、前記取付カバーに接続され、
前記取付カバーは、前記可動ウェッジに接続され、
前記モータアセンブリは、前記作動モジュールを駆動して水平に移動させ、前記取付カバーを、前記ガイドレールに沿って水平に移動させるように構成される、請求項１に記載の光路補正装置。
【請求項８】
前記作動モジュールは、リードスクリューと、リードスクリューサポートと、リードスクリューアダプタと、ベアリングと、連結部とを備えており、
前記リードスクリューは、前記リードスクリューサポートによって前記取付台座に取り付けられ、
前記リードスクリューの一方の端部は、前記ベアリング及び前記連結部が取り付けられ、モータアセンブリが接続され、他方の端部は、前記リードスクリューアダプタによって前記取付カバーの内面に固定される、請求項７に記載の光路補正装置。
【請求項９】
前記取付カバーには、プッシュロッド及び引張ばねが取り付けられ、
前記引張ばねは、前記可動ウェッジに接続され、
前記プッシュロッドは、前記可動ウェッジの移動方向と向きが合うように取り付けられ、モータモジュールの動作により、前記可動ウェッジを駆動するように構成される、請求項７に記載の光路補正装置。
【請求項１０】
前記駆動機構は、複数のトリガ、制限部、及び複数の接続部を有するリミッタをさらに備えており、
前記制限部は、前記取付カバーに固定され、
前記トリガは、前記取付台座において前記制限部を基準とする両側で、個別の接続部によって前記取付台座に取り付けられ、
前記制限部は、端部を有しており、
前記端部は、前記端部の位置と前記トリガの位置とが対応するように延在する、請求項７に記載の光路補正装置。
【請求項１１】
前記駆動機構は、リニアエンコーダと、リニアエンコーダ読取りヘッドと、読取りヘッドホルダとをさらに備えており、
前記リニアエンコーダは、前記取付カバーの外面に取り付けられ、
前記読取りヘッドホルダは、前記取付台座に固定され、
前記リニアエンコーダ読取りヘッドは、前記読取りヘッドホルダによって前記リニアエンコーダに取り付けられる、請求項７に記載の光路補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路の製造装置の技術分野に関し、特に、光路補正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォーカシング及びレベリングのための測定システムの光路は、（傾斜した物体の傾斜画像を形成するため）バイテレセントリックシャインプルーフ構造を採用する。このような光路を確立する際に、物体面又は像面に焦点ずれのエラーが生じている場合、ウェーハ表面の傾きを測定すると、「デフォーカスチルト効果（defocus-tilt effect）」と呼ばれる垂直測定エラーが発生する。このため、このようなデフォーカスチルト効果を低減するために、光路を確立する際に、物体面／像面のデフォーカスを制御する必要がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
通常、光路補正は、物体面の位置を直接調整し、または特定の厚さの平板を追加することによって実現できる。実際には、これら２つのアプローチは、以下の問題がある。
１）物体面は、フォーカシング及びレベリングのための測定システムの基準として機能するため、光路を補正するために物体面の位置を調整すると、他の方向への変化することがあり、これらの方向においてエラーが生じることがある。
２）１００種類以上の平板が利用可能であるため、解像度が高いために何度も調整が必要とされる場合、既存の複数の平板の中から最適な厚さの平板を選択することは、多大な時間を要し、生産効率を低下させる問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上述した問題を解決するために、本発明は、他の方向へのエラーを発生させることなく、スムーズで便利かつ正確な方法で、フォーカシング及びレベリングのための測定システムの焦点面の位置を効果的に補正することが可能な光路補正装置を提供する。
【０００５】
この目的のために、本発明による技術的な解決手段は、以下のように提供される。光路補正装置は、ウェッジアセンブリと、駆動機構と、予圧力ユニットとを備えており、ウェッジアセンブリは、可動ウェッジと、固定ウェッジとを備え、可動ウェッジ及び固定ウェッジは、ウェッジ角度が同じであり、かつ、ウェッジ面の向きが反対であり、予圧力ユニットは、可動ウェッジを固定ウェッジに弾性的に押し付けるように構成され、駆動機構は、可動ウェッジのウェッジ面と固定ウェッジのウェッジ面を相対的に移動させるように構成される。
【０００６】
任意で、固定ウェッジは、固定ホルダに取り付けられ、可動ウェッジは、可動ホルダを介して固定ホルダに固定され、固定ホルダは、その内側に、可動ホルダに対応するガイド面を備え、可動ホルダは、固定ホルダのガイド面に適合する外面を備える。
【０００７】
任意で、予圧力ユニットは、可動ホルダと直線的に接触する上部予圧力モジュールを備えており、上部予圧力モジュールは、可動ウェッジを移動させるために、可動ウェッジのウェッジ面と垂直な予圧力を提供するように構成される。
【０００８】
任意で、上部予圧力モジュールは、ウェッジ型押圧部と、弾性部材とを備えており、ウェッジ型押圧部は、可動ウェッジのウェッジ角度と同じウェッジ角度を有し、ウェッジ面と同じ向きのウェッジ面を有し、ウェッジ型押圧部は、可動ホルダの移動方向に沿って、固定ホルダの側面に固定され、弾性部材は、一方の端部が可動ホルダに取り付けられ、他方の端部がウェッジ型押圧部のウェッジ面と弾性的に接触する。
【０００９】
任意で、上部予圧力モジュールは、ウェッジ型押圧部と、弾性部材とを備えており、ウェッジ型押圧部は、可動ウェッジのウェッジ角度と同じウェッジ角度を有し、ウェッジ面と同じ向きのウェッジ面を有し、可動ホルダは、固定ウェッジのウェッジ角度と同じウェッジ角度を有し、かつ、固定ウェッジのウェッジ面と同じ向きのウェッジ面を有するウェッジ形状をしており、ウェッジ型押圧部は、可動ホルダの移動方向に沿って、固定ホルダの側面に固定され、弾性部材は、可動ホルダに取り付けられた一方の端部と、ウェッジ型押圧部のウェッジ面と弾性的に接触する他方の端部とを有する。
【００１０】
任意で、弾性部材は、球状シャフトと、圧縮ばねと、カラーとを備えており、球状シャフトのステップが設けられた端部は、弾性的に接触する端部として機能し、固定及び取付け用の他方の端部は、スラスト端部として機能し、球状シャフトのスラスト端部は、カラーによって取付位置で移動が制限され、カラー及び球状シャフトは、弾性的に固定され、圧縮ばねは、球状シャフトを囲むように取り付けられ、それぞれが球状シャフトのステップ及び取付位置に接触する２つの端部によって圧縮される。
【００１１】
任意で、予圧力ユニットは、固定ホルダに取り付けられた側部予圧力モジュールをさらに備え、可動ホルダに横方向の予圧力を与える。
【００１２】
任意で、横方向予圧力モジュールは、固定ホルダの側面を通って可動ホルダの外面に当接する位置決めねじとして実装される。
【００１３】
任意で、駆動機構は、取付台と、マイクロメータノブと、複数の引張ばねとを備えており、マイクロメータノブは、取付台に取り付けられ、各引張ばねは、一方の端部が取付台に固定され、他方の端部が可動ウェッジに接続され、マイクロメータノブは、可動ウェッジの移動方向に伸縮することができ、可動ウェッジを移動させるための駆動力を提供する。
【００１４】
任意で、駆動機構は、取付台座と、取付カバーと、モータアセンブリと、作動モジュールとを備えており、取付台座は、取付カバーに適合するガイドレールが設けられ、作動モジュールは、取付台座に取り付けられ、取付カバーに接続され、取付カバーは、可動ウェッジに接続され、モータアセンブリは、作動モジュールを駆動して水平に移動させ、取付カバーがガイドレールに沿って水平に移動するように構成される。
【００１５】
任意で、作動モジュールは、リードスクリューと、リードスクリューサポートと、リードスクリューアダプタと、ベアリングと、連結部とを備えており、リードスクリューは、リードスクリューサポートによって取付台座に取り付けられ、リードスクリューは、一方の端部が、ベアリング及び連結部に取り付けられ、モータアセンブリに接続され、他方の端部が、リードスクリューアダプタによって取付カバーの内面に固定される。
【００１６】
任意で、取付カバーには、プッシュロッドと引張ばねが取り付けられ、引張ばねは、可動ウェッジに接続され、プッシュロッドは、可動ウェッジの移動方向と向きが合うように取り付けられ、モータモジュールの動作により、可動ウェッジを駆動するように構成される。
【００１７】
任意で、駆動機構は、複数のトリガ、制限部、及び複数の接続部を有するリミッタをさらに備えており、制限部は、取付カバーに固定され、トリガは、取付台座において制限部を基準とする両側で、個別の接続部によって取付台座に固定され、制限部は、トリガと位置が対応するように下方に延在する。
【００１８】
任意で、駆動機構は、リニアエンコーダと、リニアエンコーダ読取りヘッドと、読取りヘッドホルダとをさらに備えており、リニアエンコーダは、取付カバーの外面に取り付けられ、読取りヘッドホルダは、取付台座に固定され、リニアエンコーダ読取りヘッドは、読取りヘッドホルダによって、リニアエンコーダに取り付けられる。
【００１９】
本発明の光路補正装置では、ウェッジアセンブリが、物体面又は像面の近くに追加され、可動ウェッジのウェッジ面が、駆動機構によって駆動されて、固定ウェッジに対して水平に移動することができるため、ウェッジアセンブリの厚さが徐々に変化し、それに応じて光路を調整することができる。これにより、他の方向へのエラーを発生させずに、フォーカシング及びレベリングの測定システムの焦点面の位置を効果的に補正することができる。さらに、予圧力ユニットは、一定の予圧力を提供できるため、可動ウェッジの動きを安定させ、滑らかにすることができ、その結果、操作を簡単にし、補正精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る光路補正装置の構造を示す概略図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施形態に係る光路補正装置の構造を示す概略図である。
【図３】図３は、本発明の第１の実施形態に係るウェッジアセンブリの構造を示す概略図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施形態に係るウェッジアセンブリの断面図である。
【図５】図５は、本発明の第１の実施形態に係る固定ホルダの構造を示す概略図である。
【図６】図６は、本発明の第１の実施形態に係るウェッジ型押圧部の構造を示す概略図である。
【図７】図７は、本発明の第１の実施形態に係る弾性部材の構造を示す概略図である。
【図８】図８は、本発明の第１の実施形態に係る駆動機構の構造を示す概略図である。
【図９】図９は、本発明の第１の実施形態に係る駆動機構の断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の第１の実施形態に係るリニアエンコーダの構造を示す概略図である。
【図１１】図１１は、本発明の第１の実施形態に係るリミッタの構造を示す概略図である。
【図１２】図１２は、本発明の第１の実施形態に係るウェッジアセンブリの構成要素の相対的な位置関係を示す概略図である。
【図１３】図１３は、本発明の第１の実施形態に係る可動ウェッジの動きを示す概略図である。
【図１４】図１４は、本発明の第２の実施形態に係るウェッジアセンブリの構造を示す概略図である。
【図１５】図１５は、本発明の第２の実施形態に係るウェッジアセンブリの断面図である。
【図１６】図１６は、本発明の第２の実施形態に係る可動ホルダの構造を示す概略図である。
【図１７】図１７は、本発明の第２の実施形態に係るウェッジ型押圧部の構造を示す概略図である。
【図１８】図１８は、本発明の第３の実施形態に係る駆動機構の構造を示す概略図である。
【００２１】
図１〜図１８では、１００はウェッジアセンブリを示し、 １１０は固定ウェッジを示し、１２０は可動ウェッジを示し、１３０は固定ホルダを示し、１４０は可動ホルダを示し、１４１はガイド面を示し、１５０はウェッジ型可動ホルダを示し、２００は駆動機構を示し、２１０は取付台座を示し、２１１はガイドレールを示し、２２０は取付カバーを示し、２２１はプッシュロッドを示し、２２２は第１の引張ばねを示し、２３０はモータアセンブリを示し、２３１はモータを示し、２３２はモータサポートを示し、２４０は作動モジュールを示し、２４１はリードスクリューを示し、２４２はリードスクリューサポートを示し、２４３はベアリングを示し、２４４は連結部を示し、２４５はリードスクリューアダプタを示し、２５０はリニアエンコーダを示し、２６０はリニアエンコーダ読取りヘッドを示し、２７０は読取りヘッドホルダを示し、２８１はマイクロメータノブを示し、２８２は第２の引張ばねを示し、２８３は取付台を示し、２８４はマイクロドラムを示し、３００は上部予圧力モジュールを示し、３１０は第１のウェッジ型押圧部を示し、３２０は弾性部材を示し、３２１は球状シャフトを示し、３２２は圧縮ばねを示し、３２３はカラーを示し、３３０は第２のウェッジ型押圧部を示し、４００は横方向の予圧力ブロックを示し、５００はリミッタを示し、５１０はトリガを示し、５２０は制限部を示し、５３０は接続部を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の上述した目的、特徴及び利点は、添付の図面と併せて、特定の実施形態についての以下の詳細な説明を参照することにより、明らかになるであろう。図面は、必ずしもスケール通りに描かれているわけではなく、実施形態の説明の便宜上、または実施形態の説明を明確にすることのみを意図して、かなり簡略化されていることに留意すべきである。
【００２３】
第１の実施形態
本発明によれば、光路補正装置は、フォーカシング及びレベリングシステムに設置され、フォトリソグラフィツールの組立中及び動作中に光路の長さを変更し、光路の変更に関する情報をフォーカシング及びレベリングシステムにフィードバックして、焦点面の位置を補正する。光路補正装置をフォーカシング及びレベリングシステムに配置することは、本発明の実施形態の一例であり、本発明は、これに限定されないことに留意すべきである。
【００２４】
図１〜図４を参照すると、光路補正装置は、ウェッジアセンブリ１００と、駆動機構２００と、予圧力ユニットとを含む。ウェッジアセンブリ１００は、可動ウェッジ１２０と、固定ウェッジ１１０とを含む。可動ウェッジ１２０及び固定ウェッジ１１０は、ウェッジ角度が同じであり、かつ、反対方向に傾斜した個別のウェッジ面を有する。予圧力ユニットは、可動ウェッジ１２０を固定ウェッジ１１０に弾性的に押し付けるように構成され、駆動機構２００は、可動ウェッジ１２０及び固定ウェッジ１１０のウェッジ面を相対的に移動させるように構成される。可動ウェッジ１２０及び固定ウェッジ１１０の双方は、光透過性材料で作られており、ウェッジアセンブリ１００は、フォーカシング及びレベリングシステムの光路に設置される。光路の長さは、可動ウェッジ１２０及び固定ウェッジ１１０の相対的な位置関係を変えてウェッジアセンブリ１００の厚さを変えることにより、変更することができる。
【００２５】
また、図３〜図５に示すように、固定ウェッジ１１０は、固定ホルダ１３０に取り付け、可動ウェッジ１２０は、固定ホルダ１３０内の可動ホルダ１４０に固定することができる。固定ホルダ１３０は、その内側に、可動ホルダ１４０と協働するガイド面１４１を備え、可動ホルダ１４０は、固定ホルダ１３０のガイド面１４１と完全に接触する外面を備えることができる。本実施形態では、固定ホルダ１３０は、その内側に、可動ホルダ１４０を固定ホルダ１３０内で移動させるための２つのガイド面１４１を備えることが好ましい。
【００２６】
また、図３〜図６に示すように、予圧力ユニットは、それぞれが可動ホルダ１４０と直線的に接触する複数の上部予圧力モジュール３００を備えることができる。上部予圧力モジュール３００は、可動ウェッジ１２０を移動させるために、可動ウェッジ１２０のウェッジ面と垂直な予圧力を提供する。さらに、上部予圧力モジュール３００はそれぞれ、第１のウェッジ型押圧部３１０と、弾性部材３２０とを備えることができる。第１のウェッジ型押圧部３１０は、ウェッジ角度及びウェッジ面の向きを可動ウェッジ１２０と同じにすることができる。第１のウェッジ型押圧部３１０は、可動ホルダ１４０が移動可能な方向に沿って、固定ホルダ１３０の側面に固定することができる。弾性部材３２０は、一方の端部が可動ホルダ１４０に取り付けられ、第１のウェッジ型押圧部３１０のウェッジ面と弾性的に接触することができる。
【００２７】
さらに、図４及び図７を参照すると、弾性部材３２０は、球状シャフト３２１と、圧縮ばね３２２と、カラー３２３とを含むことができる。球状シャフト３２１は、ステップが設けられた弾性的に接触する端部と、取付け及び固定用のスラスト端部とを備えることができる。球状シャフト３２１のスラスト端部は、カラー３２３によって取付位置で移動が制限される。本実施形態では、可動ホルダ１４０上のカラー３２３を用いて、スラスト端部の移動範囲を制限することができる。カラー３２３及び球状シャフト３２１は、弾性的に固定される。圧縮ばね３２２は、球状シャフト３２１を囲むように取り付けられ、圧縮ばね３２２の２つの端部は、それぞれ球状シャフト３２１のステップと可動ホルダ１４０に接触し、圧縮ばね３２２が圧縮される。球状シャフト３２１のステップは、第１のウェッジ型押圧部３１０のウェッジ面に当接することができる。
【００２８】
続けて図３を参照すると、予圧力ユニットは、固定ホルダ１３０の両側に取り付けられた側部予圧力モジュール４００をさらに含み、可動ホルダ１４０に横方向の予圧力を与えることが好ましい。本実施形態では、側部予圧力モジュール４００は、固定ホルダ１３０の側面を通って可動ホルダ１４０の側面に当接する位置決めねじとして実装することが好ましい。
【００２９】
また、図８〜図９に示すように、駆動機構２００は、取付台座２１０と、取付カバー２２０と、モータアセンブリ２３０と、作動モジュール２４０とを備えることができる。取付台座２１０には、取付カバー２２０に適合するガイドレール２１１が設けられる。作動モジュール２４０は、取付台座２１０に設置し、取付カバー２２０に接続することができ、取付カバー２２０は、可動ウェッジ１２０に接続することができる。モータアセンブリ２３０は、作動モジュール２４０を駆動して水平に移動させることにより、取付カバー２２０が、ガイドレール２１１に沿って水平に移動する。
【００３０】
さらに、図８を続けて参照すると、モータアセンブリ２３０は、モータサポート２３２と、モータサポート２３２によって作動モジュール２４０に接続されたモータ２３１とを備えることができる。
【００３１】
さらに、図９を続けて参照すると、作動モジュール２４０は、リードスクリュー２４１と、リードスクリューサポート２４２と、リードスクリューアダプタ２４５と、ベアリング２４３と、連結部２４４とを備えることができる。リードスクリュー２４１は、リードスクリューサポート２４２によって取付台座２１０に設置され、リードスクリュー２４１の一方の端部は、ベアリング２４３及び連結部２４４に取り付けられ、さらに、モータアセンブリ２３０に接続され、リードスクリュー２４１の他方の端部は、リードスクリューアダプタ２４５により、取付カバー２２０の内面に固定される。モータアセンブリ２３０の回転運動が、ベアリング２４３及び連結部２４４によってリードスクリュー２４１の並進運動に変換され、取付カバー２２０が、ガイドレール２１１に沿って移動することができる。
【００３２】
さらに、図９を続けて参照すると、取付カバー２２０には、プッシュロッド２２１と、第１の引張ばね２２２を取り付けることができる。第１の引張ばね２２２は、可動ウェッジ１２０に接続することができ、一方、プッシュロッド２２１は、可動ウェッジ１２０の移動方向と向きが合うように取り付けられ、モータアセンブリ２３０の動作によって可動ウェッジ１２０を押すように構成される。
【００３３】
図１０に示すように、駆動機構２００は、リニアエンコーダ２５０と、リニアエンコーダ読取りヘッド２６０と、読取りヘッドホルダ２７０とを備えることが好ましい。リニアエンコーダ２５０は、取付カバー２２０の外面に取り付けることができ、読取りヘッドホルダ２７０は、取付台座２１０に固定され、リニアエンコーダ読取りヘッド２６０は、読取りヘッドホルダ２７０により、リニアエンコーダ２５０に配置される。取付カバー２２０が平行移動すると、リニアエンコーダ２５０が、取付カバー２２０と共に移動し、リニアエンコーダ読取りヘッド２６０が、可動ウェッジ１２０の変位に関する情報を取得すると同時に、当該情報をフォーカシング及びレベリングシステムにフィードバックし、当該情報に基づいて、フォーカシング及びレベリングシステムの焦点面の変位を推測できる。
【００３４】
さらに、図１１に示すように、駆動機構２００は、複数のトリガ５１０と、１つの制限部５２０と、複数の接続部５３０とを備えるリミッタ５００をさらに備えることができる。制限部５２０は、取付カバー２２０に固定でき、トリガ５１０は、個別の接続部５３０により、取付台座２１０において制限部５２０を基準とする両側で固定される。制限部５２０は、下向きに延在し、トリガ５１０と位置が対応する。この設計では、制限部５２０が取付カバー２２０と共に移動し、制限部５２０の延長部が、トリガ５１０のいずれかと接触すると、損傷を回避するための警報を発することができる。
【００３５】
以下、図１〜図１０を参照して、本発明の光路補正装置の動作について説明する。
【００３６】
モータ２３１を作動させることにより、リードスクリュー２４１が、モータ２３１の駆動力によって並進し、取付カバー２２０が、ガイドレール２１１に沿って直線的に移動し、その結果、第１の引張ばね２２２を直線的に移動させることができる。可動ホルダ１４０は、第１の引張ばね２２２によって引っ張られると、プッシュロッド２２１と第１の引張ばね２２２の双方によって安定して、ガイド面１４１に沿って並進する。可動ホルダ１４０は、可動ウェッジ１２０を駆動して、固定ウェッジ１１０のウェッジ面上をスライドさせ、可動ホルダ１４０が移動する間、上部予圧力モジュール３００及び側部予圧力モジュール４００により、一定の予圧力が提供されため、可動ホルダ１４０の動きを安定させ、滑らかにすることができる。同時に、リミッタ５００は、リードスクリュー２４１が、移動が制限された範囲から外れるのを防ぐ。
【００３７】
図１２及び図１３に示すように、可動ウェッジ１２０が移動することにより、ウェッジアセンブリ１００の厚さが、ＡＣからＡＢに変化し、すなわち、ＢＣだけ変化し、これにより、光路が変化する。リニアエンコーダ読取りヘッド２６０によって測定された可動ウェッジ１２０の変位をＨとすると、光路の変化は、Ｈ  ｔａｎ（α）（ｎ−１）／ｎとなり、ここで、αは、可動ウェッジ１２０のウェッジ角度を示し、ｎは、可動ウェッジ１２０の屈折率を示す。像面が検出器の焦点面と整列するように光路を調整すると、可動ウェッジ１２０は、それ以上移動しない。そうでない場合、可動ウェッジ１２０は、移動し続けることができる。
【００３８】
表１は、可動ウェッジ１２０と固定ウェッジ１１０が相対的にスライド運動したときの駆動力と摩擦力の関係を示し、これは、本発明では式：ＦＣＯＳ（β）≧ｆｕ（ｍｇ＋Ｆ１）によって定義される。駆動力は、可動ウェッジ１２０の移動方向に加えられ、この式では、βは、駆動力と可動ウェッジ１２０の移動方向との角度を示し、Ｆは駆動力を示し、ｆは、相対的なスライド運動の間に可動ウェッジ１２０に加わる摩擦力を示し、ｍｇは重力を示し、本実施形態では１.５Ｎであり、Ｆ１は、予圧力ユニットによって提供される予圧力であり、本実施形態では、各圧縮ばね３２２は、外径がφ４であり、自由長が１５ｍｍであり、最大許容変位が５．２５ｍｍであり、ワイヤの直径がφ０．５５ｍｍであり、ばね定数が２.０Ｎ／ｍｍであり、３ｍｍ圧縮されることによって２.０×３＝６Ｎを生成し、ｕは摩擦係数を表し、本実施形態では、可動ウェッジ１２０と固定ウェッジ１１０の間に液浸油を差して、可動ウェッジ１２０が移動する際の摩擦係数を０．１２にすることができる。
【００３９】
【表１】
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【００４０】
第２の実施形態
第２の実施形態は、本実施形態に係る可動ホルダ１５０がウェッジ形状であり、可動ホルダ１５０の移動中に、上部予圧力モジュール３００によって予圧力が提供される点で、第１の実施形態とは異なる。具体的には、図１４〜図１７に示すように、上部予圧力モジュール３００はそれぞれ、第２のウェッジ型押圧部３３０と、弾性部材３２０とを備える。第２のウェッジ型押圧部３３０は、ウェッジ角度と、ウェッジ面の向きが、可動ウェッジ１２０と同じであり、ウェッジ型可動ホルダ１５０は、ウェッジ角度と、ウェッジ面の向きが固定ウェッジ１１０と同じである。第２のウェッジ型押圧部３３０は、ウェッジ型可動ホルダ１５０の移動方向に沿って、固定ホルダ１３０の側面に取り付けられ、弾性部材３２０は、一方の端部が押圧部に取り付けられ、ウェッジ型可動ホルダ１５０のウェッジ面と弾性的に接触し、スライド移動する間に、予圧力を可動ウェッジ１２０に提供し、この予圧力は、ウェッジ型可動ウェッジ１２０のウェッジ面に垂直であるため、スライド運動を滑らかで安定させることができる。
【００４１】
第３の実施形態
本実施形態は、図１８に示すように、駆動機構２００が、取付台２８３と、マイクロメータノブ２８１と、複数の第２の引張ばね２８２とを備える点で、第１の実施形態及び第２の実施形態と異なる。マイクロメータノブ２８１は、取付台２８３に取り付けられ、第２の引張ばね２８２はそれぞれ、一方の端部が取付台２８３に固定され、他方の端部が可動ウェッジ１２０に接続される。マイクロメータノブ２８１は、可動ウェッジ１２０の移動方向に伸縮することができ、これにより、可動ウェッジ１２０に駆動力を与えることができる。さらに、マイクロドラム２８４を設置することができ、可動ウェッジ１２０の変位に関する情報を示すためのスケールが、マイクロドラム２８４に付けられる。
【００４２】
当業者であれば、本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく、本発明に様々な修正及び変更を加え得ることは明らかであろう。したがって、本発明は、添付した特許請求の範囲及びその均等の範囲内にある場合、そのような全ての修正及び変更を含む。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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