(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ室への液の吸入動作と前記ポンプ室からの液の吐出動作を行なうプランジャポンプであって、前記吸入動作の際の前記ポンプ室内の圧力が前記吐出動作の際よりも低下するプランジャポンプと、  前記プランジャポンプの入口側に設けられ、球状の弁体と前記弁体を着座させるための弁座を有し、前記ポンプ室内の圧力に応じて前記弁体が前記弁座へ着座する方向と前記弁座から離脱する方向へ受動的に動作する逆止弁と、  前記ポンプ室内の圧力を検出する圧力センサと、  前記圧力センサにより検出される前記ポンプ室内の圧力と予め設定されたしきい値とを比較し、前記ポンプ室内の圧力が前記しきい値以下になったときに前記弁体と前記弁座との吸着を検知するように構成された吸着検知部と、を備えた送液装置。
【請求項２】
前記逆止弁は、前記弁座に着座している前記弁体を前記弁座から離脱させる方向へ能動的に駆動するための弁体駆動部を有し、  前記送液装置は、前記弁体駆動部の動作を制御するための弁体駆動制御部を備え、  前記弁体駆動制御部は、前記吸着検知部が前記弁体と前記弁座との吸着を検知したときにのみ、前記弁体駆動部によって前記弁体を前記弁座から離脱させる方向へ能動的に駆動するように構成されている、請求項１に記載の送液装置。
【請求項３】
前記弁体駆動部は、前記弁座の内側で動作可能に設けられたピン、及び前記ピンで前記弁体を前記弁座から離脱させる方向へ押圧するように前記ピンを動作させる作動部を備え、  前記ピンのうち少なくとも前記弁座の内側と摺動する部分が、前記弁座と同じ材料で構成されている、請求項２に記載の送液装置。
【請求項４】
前記弁体駆動部は、前記弁座の内側で動作可能に設けられたピン、及び前記ピンで前記弁体を前記弁座から離脱させる方向へ押圧するように前記ピンを動作させる作動部を備え、  前記ピンの外周面又は前記弁座の内側面の少なくともいずれか一方にダイヤモンドライクカーボンによるコーティングが施されている、請求項２に記載の送液装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、プランジャポンプによって液の吸入と吐出を繰り返すことにより送液を行なう送液装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  液体クロマトグラフなどの分析装置では、２台のプランジャポンプを相補的に動作させて移動相を連続的に送液する送液装置がよく用いられる。そのような送液装置では、プランジャポンプの入口側や出口側に液の逆流を防止する逆止弁が設けられている。逆止弁は、一般的に、液の流れ方向に対して移動可能に設けられた球状の弁体と、その弁体を着座させる弁座を有する。弁座は中空の円筒状部材であり、その内側を液が流れるようになっている。弁座の開口の縁に球状の弁体を着座させることで液の流路が閉じられる。【０００３】  プランジャポンプの入口側の逆止弁は、プランジャポンプが吐出動作を行なうと、ポンプ室内が正圧（大気圧よりも高圧の状態）になり、ポンプ室側の圧力によって弁体が弁座側へ押されて着座する。逆に、プランジャポンプが吸入動作を行なうと、ポンプ室内が負圧（大気圧よりも低圧の状態）になり、その負圧によって弁体がポンプ室側へ引き付けられて弁座から離脱する。【０００４】  上記のように、ポンプ室内の圧力によって弁体が受動的に動作する逆止弁では、弁体表面又は弁体と弁座の接触面への汚れの付着等によって弁体と弁座が吸着するようになった場合、吸入動作の際にポンプ室内で発生する負圧のみでは入口側の逆止弁が開かなくなり、送液不良が生じることもある。【０００５】  そこで、ソレノイド等を用いて弁体を能動的に動作させることが提案されている（特許文献１、特許文献２を参照。）。弁体を能動的に動作させることで、弁体と弁座が吸着した場合でも確実に弁体を弁座から離脱させることができ、弁を開くことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２３５０５２号公報
【特許文献２】ＷＯ２０１７／０４６８６１Ａ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  特許文献１や特許文献２に開示されているような逆止弁では、弁座の内側に設けられたピンによって弁体を弁座から離脱させる方向へ押圧することにより、弁体を能動的に弁座から離脱させるように構成されている。弁座はサファイアやジルコニアといった硬質の材料で構成されており、ピンは弁座よりも硬度の低いステンレスなどの材料で構成されているため、ピンが弁座の内側で摺動するとピンが摩耗する。弁体を弁座から離脱させる動作をすべて能動的に行なうと、弁座の内側でのピンの摺動回数が多くなり、ピンの消耗が早くなる。【０００８】  そのため、弁体と弁座との吸着が発生したときのみ弁体を能動的に駆動することが好ましいのであるが、従来では、弁体と弁座の吸着の発生を検知することができなかったため、逆止弁の開放動作をすべて能動的に行なわざるを得なかった。また、ピンの摩耗により発生する摩耗粉が弁座と弁体の間に挟まると、逆止弁を閉鎖する際の液密性が低下して逆止弁としての機能が損なわれる虞もある。【０００９】  そこで、本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、逆止弁の弁体と弁座の吸着を検知できるようにすることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】  本発明に係る送液装置は、ポンプ室への液の吸入動作と前記ポンプ室からの液の吐出動作を行なうプランジャポンプであって、前記吸入動作の際の前記ポンプ室内の圧力が前記吐出動作の際よりも低下するプランジャポンプと、前記プランジャポンプの入口側に設けられ、球状の弁体と前記弁体を着座させるための弁座を有し、前記ポンプ室内の圧力に応じて前記弁体が前記弁座へ着座する方向と前記弁座から離脱する方向へ受動的に動作する逆止弁と、前記プランジャポンプのポンプ室内の圧力を検出する圧力センサと、前記圧力センサにより検出される前記ポンプ室内の圧力と予め設定されたしきい値とを比較し、前記ポンプ室内の圧力が前記しきい値以下になったときに前記弁体と前記弁座との吸着を検知するように構成された吸着検知部と、を備えたものである。【００１１】  すなわち、本発明は、プランジャポンプの入口側に設けられた逆止弁における弁体と弁座の吸着を検知する機能を具備させた送液装置である。弁体と弁座の吸着を検知する対象となる逆止弁は、吸入動作の際のポンプ室内の圧力が吐出動作の際よりも低下するプランジャポンプの入口側に設けられている逆止弁である。「吸入動作の際のポンプ室内の圧力が吐出動作の際よりも低下するプランジャポンプ」とは、吸入動作の際に出口側が別の逆止弁によって閉鎖されることでポンプ室内が送液圧力よりも低い圧力まで減圧されるポンプである。本発明の送液装置が２台のプランジャポンプが互いに直列に接続された直列型ダブルプランジャポンプからなるものである場合には、上流側（１次側）のプランジャポンプがそれに相当する。一方で、本発明の送液装置が２台のプランジャポンプが互いに並列に接続された並列型ダブルプランジャポンプからなるものである場合には、両方のプランジャポンプがそれに相当する。【００１２】  上記のようなプランジャポンプは、吸入動作の際、逆止弁が正常に開けば、ポンプ室内の圧力が大気圧付近の圧力に維持されるはずであるが、弁体と弁座の吸着によって逆止弁が閉じたままになっていると、ポンプ室内の圧力が大気圧よりも低い圧力にまで減圧されることになる。本発明ではこの現象を利用し、大気圧よりも僅かに低い値をしきい値として設定しておき、吸入動作の際のポンプ室内の圧力をそのしきい値と比較することで、逆止弁が正常に作動しているか、すなわち弁体と弁座が吸着しているか否かを判定する。【００１３】  本発明は、前記逆止弁が、前記弁座に着座している前記弁体を前記弁座から離脱させる方向へ能動的に駆動するための弁体駆動部を有する場合に特に有効である。この場合、前記弁体駆動部の動作を制御するための弁体駆動制御部を備え、前記弁体駆動制御部は、前記吸入動作の際に前記吸着検知部が前記弁体と前記弁座との吸着を検知したときにのみ、前記弁体駆動部によって前記弁体を前記弁座から離脱させる方向へ能動的に駆動するように構成されていることが好ましい。これによって、逆止弁の弁体を弁体駆動部によって能動的に動作させる回数を低減することができ、弁体駆動部を構成する部品の摩耗を抑制することができる。【００１４】  前記弁体駆動部は、前記弁座の内側で動作可能に設けられたピン、及び前記ピンで前記弁体を前記弁��から離脱させる方向へ押圧するように前記ピンを動作させる作動部を備えたものであってもよい。その場合、前記ピンのうち少なくとも前記弁座の内側と摺動する部分が、前記弁座と同じ材料で構成されていることが好ましい。そうすれば、前記ピンが前記弁座の内側と摺動する際の摩耗をさらに抑制することができる。【００１５】  また、前記ピンの外周面又は前記弁座の内側面の少なくともいずれか一方にダイヤモンドライクカーボンによるコーティングが施されていてもよい。ダイヤモンドライクカーボンは摺動性及び耐摩耗性に優れるので、前記ピンが前記弁座の内側と摺動する際の摩耗をさらに抑制することができる。
【発明の効果】
【００１６】  本発明に係る送液装置では、圧力センサによって検出されるプランジャポンプのポンプ室内の圧力が予め設定されたしきい値以下になっているか否かによって、弁体と弁座との吸着を容易に検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】送液装置の一実施例を示す概略構成図である。
【図２】１次ポンプ圧力の時間変化の一例を示すグラフであり、（Ａ）は第１逆止弁が正常に作動したとき、（Ｂ）は第１逆止弁が正常に作動しなかったとき、をそれぞれ示している。
【図３】同実施例における第１逆止弁の駆動制御の一例を説明するためのフローチャートである。
【図４】同実施例における第１逆止弁の構造を示す断面図である。
【図５】図２におけるＸ−Ｘ位置における断面図である。
【図６】第１逆止弁を能動的に開放させた状態を示す断面図である。
【図７】第１逆止弁の他の構造の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】  以下、本発明に係る送液装置の一実施例について、図面を用いて説明する。
【００１９】  図１に示されているように、この実施例の送液装置１は、一次側ポンプ２と二次側ポンプ２２からなる２つのプランジャポンプを備えている。一次側ポンプ２と二次側ポンプ２２は互いに直列に接続されている。一次側ポンプ２と二次側ポンプ２２は吐出流路３８を通じて液を連続的に送液するように相補的に動作する。なお、この実施例では、２つのプランジャポンプ２，２２が互いに直列に接続されてなる直列型ダブルプランジャポンプの例を説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、２つのプランジャポンプが互いに並列に接続されてなる並列型ダブルプランジャポンプにも適用可能である。
【００２０】  一次側ポンプ２は、内部にポンプ室４を有するポンプヘッド３と、ポンプボディ６を備えている。ポンプヘッド３はポンプボディ６の先端に設けられている。ポンプヘッド３には、ポンプ室４に液を流入させる入口部とポンプ室４から液を流出させる出口部が設けられている。ポンプヘッド３の入口部に、液の逆流を防止するための第１逆止弁１６が設けられている。逆止弁１６は、基本的には、ポンプ室４内の圧力状態に応じて球状の弁体が受動的に作動するものであり、一次側ポンプ２が液の吸入動作を行なう際は弁体が弁座から離脱して開き、一次側ポンプ２が液の吐出動作を行なう際は弁体が弁座に着座して閉じる。
【００２１】  図１では示されていないが、第１逆止弁１６は弁体を能動的に駆動する弁体駆動部を備えており、閉鎖している第１逆止弁１６を強制的に開くこともできる。第１逆止弁１６の動作は、後述する制御部４０によって制御される。逆止弁１６の具体的な構造については後述する。
【００２２】  ポンプ室４にはプランジャ１０の先端が摺動可能に挿入されている。プランジャ１０の基端はポンプボディ６内に収容されたクロスヘッド８によって保持されている。クロスヘッド８は送りネジ１４の回転によりポンプボディ６内で一方向（図において左右方向）に移動し、それに伴ってプランジャ１０が一方向に移動する。ポンプボディ６の基端部に送りネジ１４を回転させる一次側ポンプ駆動用モータ１２が設けられている。一次側ポンプ駆動用モータ１２はステッピングモータである。
【００２３】  二次側ポンプ２２は、内部にポンプ室２４を有するポンプヘッド２３と、ポンプボディ２８を備えている。ポンプヘッド２３はポンプボディ２８の先端に設けられている。ポンプヘッド２３には、ポンプ室２４に液を流入させる入口部とポンプ室２４から液を流出させる出口部が設けられている。ポンプヘッド２３の入口部に、液の逆流を防止するための第２逆止弁２６が設けられている。第２逆止弁２６は、ポンプ室２４内の圧力状態に応じて球状の弁体が受動的に作動するものであり、二次側ポンプ２２が液の吸入動作を行なう際は弁体が弁座から離脱して開き、二次側ポンプ２２が液の吐出動作を行なう際は弁体が弁座に着座して閉じる。
【００２４】  ポンプ室２４にはプランジャ３２の先端が摺動可能に挿入されている。プランジャ３２の基端はポンプボディ２８内に収容されたクロスヘッド３０によって保持されている。クロスヘッド３０は送りネジ３６の回転によりポンプボディ２８内で一方向（図において左右方向）に移動し、それに伴ってプランジャ３２が一方向に移動する。ポンプボディ２８の基端部に送りネジ３６を回転させる二次側ポンプ駆動用モータ３４が設けられている。二次側ポンプ駆動用モータ３４はステッピングモータである。
【００２５】  ポンプヘッド３の入口部は、送液対象の液を貯留する容器（図示は省略）に、流路を介して接続されている。ポンプヘッド２３の入口部は、連結流路１８を介して、ポンプヘッド３の出口部と接続されている。連結流路１８上にポンプ室４内の圧力（Ｐ１）を検出する第１圧力センサ２０が設けられている。
【００２６】  ポンプヘッド２３の出口部には吐出流路３８が接続されている。吐出流路３８は、例えば液体クロマトグラフの分析流路に通じている。吐出流路３８上に送液圧力（Ｐ２）を検出するための第２圧力センサ３９が設けられている。
【００２７】  一次側ポンプ駆動用モータ１２及び二次側ポンプ駆動用モータ３４の動作は、制御部４０により制御される。制御部４０は、吐出流路３８を通じて送液される液の流量が予め設定された目標流量となるように、一次側ポンプ２と二次側ポンプ２２を相補的に動作させる。制御部４０は、演算素子と、その演算素子によって実行されることで特定の機能を実現するプログラムを格納する、専用のコンピュータ又は汎用のパーソナルコンピュータによって実現されるものである。
【００２８】  制御部４０は、吸着検知部４１及び弁体駆動制御部４２を備えている。吸着検知部４１及び弁体駆動制御部４２は、演算素子が所定のプログラムを実行することによって得られる機能である。
【００２９】  吸着検知部４１は、第１圧力センサ２０によって検出されるポンプ室４内の圧力（Ｐ１）に基づいて、第１逆止弁１６における弁体と弁座の吸着を検知するように構成されている。弁体駆動制御部４２は、吸着検知部４１が第１逆止弁１６における弁体と弁座の吸着を検知したときにのみ、第１逆止弁１６の弁体駆動部を駆動して弁体を弁座から能動的に離脱させ、第１逆止弁１６を強制的に開くように構成されている。
【００３０】  第１逆止弁１６が正常に作動する場合、図２（Ａ）に示されているように、一次側ポンプ２の吸入動作が開始されてポンプ室４内の圧力が負圧になると、第１逆止弁１６が開いてポンプ室４内に液が流入し、一次側ポンプ２の吸入動作中はポンプ室４内の圧力が大気圧付近に維持される。
【００３１】  ところが、第１逆止弁１６の弁体と弁座が吸着して正常に作動しなくなると、一次側ポンプ２の吸入動作が開始されてポンプ室４内の圧力が負圧になっても第１逆止弁１６が閉じたままとなり、ポンプ室４内の圧力がさらに低下する。そこで、大気圧よりも少し低い値をしきい値として設定し、ポンプ室４内の圧力（Ｐ１）をしきい値と比較することで、第１逆止弁１６の弁体と弁座が吸着しているか否かを判定することができる。
【００３２】  この実施例では、図２（Ｂ）に示されているように、第１圧力センサ２０によって検出されるポンプ室４内の圧力（Ｐ１）が予め設定されたしきい値以下となったときに、吸着検知部４１が第１逆止弁１６における弁体と弁座の吸着を検知し、弁体と弁座の吸着が検知されたときに弁体駆動制御部４２が弁体を能動的に駆動して第１逆止弁１６を強制的に開放するように構成されている。
【００３３】  図３のフローチャートは、吸着検知部４１及び弁体駆動制御部４２によって実現される第１逆止弁１６の駆動制御動作を示している。
【００３４】  制御部４０には微少時間間隔で第１圧力センサ２０の出力が取り込まれるようになっている（ステップＳ１）。吸着検知部４１は、制御部４０に取り込まれた第１圧力センサ２０の出力を予め設定されたしきい値と比較し（ステップＳ２）、第１圧力センサ２０の出力がしきい値以下であったときに第１逆止弁１６の弁体と弁座の吸着を検知する（ステップＳ４）。弁体駆動制御部４２は、吸着検知部４１が弁体と弁座の吸着を検知したときにのみ、第１逆止弁１６の弁体を能動的に駆動して第１逆止弁１６を強制的に開放させる（ステップＳ５）。
【００３５】  なお、上記の動作において、吸着検知部４１がしきい値と比較する「第１圧力センサ２０の出力」は、制御部４０に取り込まれた１つの出力のみを意味するのではなく、制御部４０に取り込まれた直近の複数の第１圧力センサ２０の出力の平均値であってもよい。また、吸着検知部４１は、制御部４０に取り込まれた出力が所定の回数だけ連続してしきい値以下となったときに初めて弁体と弁座の吸着を検知するようにしてもよい。
【００３６】
次に、第１逆止弁１６の構造の一例について、図４及び図５を用いて説明する。
【００３７】  第１逆止弁１６は、上方へ突起した凸部をもつＴ字型のバルブボディ４３とバルブボディ４３の下面に取り付けられた駆動機構７０を備えている。バルブボディ４３は内部に空洞を有し、その空洞に側面から液を流入させる液入口４６が設けられているとともに、上端面に、液を流出させる液出口４７が設けられている。
【００３８】
バルブボディ４３の凸部の先端側から円筒形状のハウジング４４が挿入されている。ハウジング４４の内部には、バルブボディ４３の液入口４６から流入した液を液出口４７へ向かって一方向へ流す直線状の流路が形成されている。ハウジング４４の上端面にリング状のガスケット４９が取り付けられ、そのガスケット４９内側の貫通孔が液を流出させる液出口４７となっている。
【００３９】  ハウジング４４内部の空洞内に、下方から、弁座５０、弁体５２、弁座５４及び弁体５６がハウジング４４の軸方向（上下方向）に並んで収容されている。弁座５０及び５４はハウジング４４内の直線流路の一部を構成する円筒形状の部材である。弁座５０及び５４はその位置が固定されており、それぞれの上面開口部上にそれぞれ弁体５２，５６を着座させるものである。
【００４０】  弁座５０と５４の間にスペーサ５３が介在している。スペーサ５３は弁体５２の外径よりも僅かに大きい内径を有する。弁体５２は、スペーサ５３の内側においてハウジング４４の軸方向へ移動可能に配置されている。弁体５６も弁座５４の上方においてハウジング４４の軸方向へ移動可能に配置されている。第１弁体、第２弁体としては、弁体５２，５６に代えて円錐プラグなど他の形状の部材を用いてもよい。弁座５０、５４は同一材料で構成されており、弁体５２と５６は同一材料で構成されている。
【００４１】
バルブボディ４３は、ハウジング４４の直下の位置にシリンダ部４８を備えている。シリンダ部４８は、永久磁石５８が埋設された作動部６０をハウジング４４の軸方向（上下方向）へ移動させるための空間である。シリンダ部４８の内部に作動部６０が上下方向へ移動可能に収容されている。作動部６０はピン６２の基端を保持している。ピン６２は弁体５２に向かって伸びるように鉛直方向に配置されている。弁座５０に弁体５２が着座している状態において、ピン６２と弁体５２の間には、例えば０．４ｍｍ程度の隙間が存在している。シリンダ部４８の底面として、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）などからなるシート６５が設けられている。作動部６０はシート６５に支持されている。
【００４２】  弁体５２と５６の間にピン６４が、ハウジング４４の軸方向に沿って鉛直方向に配置されている。ピン６４は弁座５４の内側において上下方向へ移動可能に設けられている。ピン６４の長さは弁体５２と５６の隙間よりも短く、弁体５２が弁座５０に着座し、かつ弁体５６が弁座５４に着座しているときに、ピン６４と弁体５６との間に、例えば０．３ｍｍ程度の隙間が存在する。
【００４３】  ピン６４の断面形状は、図５に示されているように、弁座５４の内径と略同一の外径を有する円形のうちの一部が欠損した形状になっている。これにより、ピン６４が弁座５４の内側で上下方向へ動作するときに、ピン６４の軸が鉛直方向から傾くことがなく、弁座５４の内周面とピン６４とが局所的に接触して摩耗することが防止される。
【００４４】  さらに、ピン６４は弁座５４と同一の材質（例えば、サファイアやジルコニア）により構成されている。ピン６４は弁座５４の内周面と摺動するが、両者の材質が同一であることにより、一方側が著しく摩耗することが防止される。また、ピン６２も弁座５０と同一の材質（例えば、サファイアやジルコニア）により構成されており、一方側が著しく摩耗することが防止される。
【００４５】  また、ピン６２と弁座５０の間の摺動による摩耗、ピン６４と弁座５４の間の摺動による摩耗を防止するために、図７に示されているように、ピン６２及び６４の外周面にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）膜を形成してもよい。ＤＬＣ膜は、弁座５０及び５４の内周面に形成してもよい。
【００４６】  ハウジング４４の上端に取り付けられたガスケット４９と弁体５６との間にオモリ６６が設けられている。オモリ６６は例えばコイルバネからなる弾性部材６８によって鉛直下方向へ付勢されている。これにより、常時、弁体５６を弁座５４側へ押圧している。
【００４７】  駆動機構７０は、作動部６０を支持するシート６５の直下の位置に設けられた鉄心７２と、その鉄心７２の側面とは間隔をもって配置されたコイル７４を備えている。コイル７４に電流が流れると作動部６０を通る磁場が発生し、作動部６０がシート６５から上方へ、例えば０．９ｍｍ持ち上がった状態となる。
【００４８】  作動部６０が上方へ持ち上がった状態になると、図６に示されているように、ピン６２が弁体５２を上方へ押圧し、弁体５２が弁座５０から０．５ｍｍ持ち上げられる。弁体５２が弁座５０から持ち上がった状態になると、それに伴ってピン６４が上方へ持ち上げられて弁体５６を上方へ押圧する。これにより、弁体５６が弁座５４に着座した状態から０．２ｍｍ持ち上げられる。これにより、第１逆止弁１６が開いた状態となる。
【００４９】  第１逆止弁１６を開く際は、駆動機構７０によって作動部６０が上方向へ移動するように、永久磁石５８と反発する方向の磁場を発生させることでピン６２を開状態にし、弁体５２をピン６２によって上方へ押し上げ、弁体５６をピン６４によって上方へ押し上げる。したがって、弁体５２及び５６はそれぞれピン６２及び６４によって能動的に上方へ押し上げられるため、弁座５０と弁体５２との吸着や弁座５４と弁体５６とが吸着している場合にも、弁を確実に開くことができる。
【００５０】
逆に、弁を閉じる際は、駆動機構７０が磁場を発生させないことで作動部６０が自重によってシート６５まで下降する。作動部６０が下降すると弁体５２が自重とピン６４の荷重によって下降して弁座５０に着座する。弁体５６は、ポンプ室４内が加圧されることによって、及びオモリ６６による下方への押圧によって、弁座５４に着座する。
【００５１】
作動部６０、ピン６２，６４、駆動機構７０は、弁体５２及び５６を能動的に作動させるための弁体駆動部を構成するものである。
【００５２】  図３から図７を用いて説明した第１逆止弁１６では、弁体５２及び５６を能動的に作動させようとすると、作動部６０が動作して作動部６０自体やピン６２の摩耗が促進される。しかし、この実施例の送液装置１では、弁体５２と弁座５０との吸着及び／又は弁体５６と弁座５４との吸着が検知された場合にのみ駆動機構７０が磁場を発生させて作動部６０を駆動するので、作動部６０やピン６２の摩耗が最小限に抑制される。
【符号の説明】
【００５３】
１      送液装置
２      一次側ポンプ
３，２３      ポンプヘッド
４，２４      ポンプ室
６，２８      ポンプボディ
８，３０      クロスヘッド
１０，３２      プランジャ
１２，３４      モータ
１４，３６      送りネジ
１６，２６      逆止弁
２０，３９      圧力センサ
２２      二次側ポンプ
４０      制御部
４１      吸着検知部
４２      弁体駆動制御部
４３      バルブボディ
４４      ハウジング
４６      液入口
４７      液出口
４８      シリンダ部
４９      ガスケット
５０，５４      弁座
５２，５６      弁体
５３      スペーサ
５８      永久磁石
６０      作動部
６２，６４      ピン
６６      オモリ
６８      弾性部材
７０      駆動機構
７２      鉄心
７４      コイル
【図１】
0006879387.tif 000002
【図２】
0006879387.tif 000003
【図３】
0006879387.tif 000004
【図４】
0006879387.tif 000005
【図５】
0006879387.tif 000006
【図６】
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【図７】
0006879387.tif 000008