(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号線を有するプリント配線板を検査するための検査方法であって、
ベクトルネットワークアナライザの測定ポートに電気的に接続された検査プローブを前記信号線の入力端子および出力端子の一方の端子にのみ接触させ、
前記ベクトルネットワークアナライザにより、前記信号線の反射特性を測定し、
前記測定された反射特性をＴＤＲ変換して得られた前記信号線の特性インピーダンスが信号線領域にわたって所定の範囲内にある場合に、前記信号線の特性インピーダンスだけでなく、電圧定在波比および伝送損失についても良であると判定することを特徴とする検査方法。
【請求項２】
前記信号線の入力端子および出力端子の他方の端子を終端抵抗で終端した状態で、前記信号線の反射特性を測定することを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項３】
前記信号線の入力端子および出力端子の他方の端子を開放した状態で、前記信号線の反射特性を測定することを特徴とする請求項１に記載の検査方法。
【請求項４】
信号線を有する複数のプリント配線板を同時に検査するための検査方法であって、
ベクトルネットワークアナライザの複数の測定ポートにそれぞれ電気的に接続された複数の検査プローブを有する第１の検査治具を用意し、前記第１の検査治具の前記複数の検査プローブを前記複数のプリント配線板の信号線の入力端子および出力端子の一方の端子にそれぞれ接触させ、
基端側が終端抵抗で終端された複数の検査プローブを有する第２の検査治具を用意し、前記第２の検査治具の前記複数の検査プローブを前記信号線の入力端子および出力端子の他方の端子にそれぞれ接触させ、
前記ベクトルネットワークアナライザにより、前記複数のプリント配線板の信号線の反射特性をそれぞれ測定し、
前記反射特性に基づいて前記信号線の伝送特性の良否をそれぞれ判定することを特徴とする検査方法。
【請求項５】
信号線を有する複数のプリント配線板を同時に検査するための検査方法であって、
ベクトルネットワークアナライザの複数の測定ポートにそれぞれ電気的に接続された複数の検査プローブを有する第１の検査治具を用意し、前記第１の検査治具の前記複数の検査プローブを前記複数のプリント配線板の信号線の入力端子および出力端子の一方の端子にそれぞれ接触させ、
前記信号線の入力端子および出力端子の他方の端子がそれぞれ開放された状態で、前記ベクトルネットワークアナライザにより、前記複数のプリント配線板の信号線の反射特性をそれぞれ測定し、
前記測定された反射特性をＴＤＲ変換して得られた前記信号線の特性インピーダンスが信号線領域にわたって所定の範囲内にある場合に、前記信号線の特性インピーダンスだけでなく、電圧定在波比および伝送損失についても良であると判定することを特徴とする検査方法。
【請求項６】
前記第１の検査治具は、第１の検査プローブおよび第２の検査プローブを有し、
前記第１の検査プローブを第１の製品シートに形成された第１のプリント配線板に接触させ、前記第２の検査プローブを第２の製品シートに形成された第２のプリント配線板に接触させることを特徴とする請求項４または５に記載の検査方法。
【請求項７】
前記測定された反射特性をＴＤＲ変換して得られた前記信号線の特性インピーダンスが信号線領域にわたって所定の範囲内にある場合に、前記信号線の特性インピーダンスだけでなく、電圧定在波比および伝送損失についても良であると判定することを特徴とする請求項４に記載の検査方法。
【請求項８】
前記プリント配線板は一対の信号線を有し、
前記第１の検査治具は、前記一対の信号線の入力端子または出力端子に接触する一対の検査プローブを有することを特徴とする請求項４〜７のいずれかに記載の検査方法。
【請求項９】
信号線を有する複数のプリント配線板を同時に検査するための検査装置であって、
複数の測定ポートを有するベクトルネットワークアナライザと、
前記複数の測定ポートに同軸ケーブルを介してそれぞれ電気的に接続された複数の検査プローブを有する第１の検査治具と、
基端側が終端抵抗で終端された複数の検査プローブを有する第２の検査治具と、
前記複数のプリント配線板が形成された製品シートを保持するように構成された保持機構と、
を備え、
前記第１の検査治具の前記複数の検査プローブは、前記複数のプリント配線板の信号線の入力端子および出力端子の一方の端子にそれぞれ接触可能に構成され、
前記第２の検査治具の前記複数の検査プローブは、前記複数のプリント配線板の信号線の入力端子および出力端子の他方の端子にそれぞれ接触可能に構成され、
前記ベクトルネットワークアナライザは、前記複数のプリント配線板の信号線の反射特性をそれぞれ測定し、前記反射特性に基づいて前記信号線の伝送特性の良否をそれぞれ判定するように構成されていることを特徴とする検査装置。
【請求項１０】
前記終端抵抗は、チップ抵抗であることを特徴とする請求項９に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記第１の検査治具は、第１の製品シートに形成された第１のプリント配線板に接触させるための第１の検査プローブと、第２の製品シートに形成された第２のプリント配線板に接触させるための第２の検査プローブとを有することを特徴とする請求項９または１０に記載の検査装置。
【請求項１２】
信号線を有する複数のプリント配線板を同時に検査するための検査装置であって、
複数の測定ポートを有するベクトルネットワークアナライザと、
前記複数の測定ポートに同軸ケーブルを介してそれぞれ電気的に接続された複数の検査プローブを有する検査治具と、
前記複数のプリント配線板が形成された製品シートを保持するように構成された保持機構と、
を備え、
前記検査治具の前記複数の検査プローブは、前記複数のプリント配線板の信号線の入力端子および出力端子の一方の端子にそれぞれ接触可能に構成され、
前記ベクトルネットワークアナライザは、前記複数のプリント配線板の信号線の反射特性をそれぞれ測定し、前記各プリント配線板の信号線について、前記測定された反射特性をＴＤＲ変換して得られた前記信号線の特性インピーダンスが信号線領域にわたって所定の範囲内にある場合に、前記信号線の特性インピーダンスだけでなく、電圧定在波比および伝送損失についても良であると判定するように構成されていることを特徴とする検査装置。
【請求項１３】
前記検査治具は、第１の製品シートに形成された第１のプリント配線板に接触させるための第１の検査プローブと、第２の製品シートに形成された第２のプリント配線板に接触させるための第２の検査プローブとを有することを特徴とする請求項１２に記載の検査装置。
【請求項１４】
前記ベクトルネットワークアナライザは、前記測定された反射特性をＴＤＲ変換して得られた前記信号線の特性インピーダンスが信号線領域にわたって所定の範囲内にある場合に、前記信号線の特性インピーダンスだけでなく、電圧定在波比および伝送損失についても良であると判定することを特徴とする請求項９〜１１のいずれかに記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査方法および検査装置に関し、より詳しくは、高周波信号伝送用の信号線の伝送特性を検査するための検査方法および検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、スマートフォン、ノートパソコン、デジタルカメラ、ゲーム機などの電子機器においては、小型化および高速化の進展に伴い、情報処理量が急増している。このため、信号速度はますます高速化する傾向にある。また、スマートフォン等の携帯通信端末は、２０１９年から次世代通信規格５Ｇへの移行が始まっている。５Ｇでは、通信端末が送受信する信号の周波数は数ＧＨｚから２０〜３０ＧＨｚになる。さらに２０２２年頃には、信号周波数は５０ＧＨｚ程度にまで高まる見込みである。
【０００３】
このような信号の高速化に応じて、信号線（伝送線路）には様々な伝送特性に関する仕様を満たすことが求められる。たとえば、信号の反射を抑制するために、特性インピーダンス、電圧定在波比（ＶＳＷＲ：Ｖｏｌｔａｇｅ  Ｓｔａｎｄｉｎｇ  Ｗａｖｅ  Ｒａｔｉｏ）が仕様で規定される。また、信号線を伝播する信号の伝送損失も仕様で規定される。さらに、同一のプリント配線板に複数の信号線が設けられる場合は、隣接する信号線同士の干渉（クロストーク/アイソレーション）についても仕様で規定される。
【０００４】
なお、特許文献１には、プリント基板の特性を比較的確実に検査することを目的とした電気検査装置が記載されている。特許文献２には、環状接続された複数の電子部品のインピーダンスを短時間で測定することを目的としたインピーダンス測定装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−２１１２７７号公報
【特許文献２】特開２００８−１３４２６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述のように信号の高速化に応じて様々な伝送特性が信号線に要求されるようになっている。従来、特性インピーダンスの検査は、ＴＤＲオシロスコープを用いて行われ、伝送損失、ＶＳＷＲおよびクロストークの検査については、ベクトルネットワークアナライザでＳパラメータを測定することにより行われている。この場合は２つの検査工程を行う必要があり、信号線の検査の効率化および検査コストの低減が望まれている。
【０００７】
本発明は、上記の技術的認識に基づいてなされたものであり、その目的は信号線の伝送特性を効率良く検査し、検査コストを低減することが可能な検査装置および検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様に係る検査方法は、
信号線を有するプリント配線板を検査するための検査方法であって、
ベクトルネットワークアナライザの測定ポートに電気的に接続された検査プローブを前記信号線の入力端子および出力端子の一方の端子にのみ接触させ、
前記ベクトルネットワークアナライザにより、前記信号線の反射特性を測定し、
前記反射特性に基づいて前記信号線の伝送特性の良否を判定することを特徴とする。
【０００９】
また、前記検査方法において、
前記信号線の入力端子および出力端子の他方の端子を終端抵抗で終端した状態で、前記信号線の反射特性を測定するようにしてもよい。
【００１０】
また、前記検査方法において、
前記信号線の入力端子および出力端子の他方の端子を開放した状態で、前記信号線の反射特性を測定するようにしてもよい。
【００１１】
また、前記検査方法において、
前記測定された反射特性をＴＤＲ変換して得られた前記信号線の特性インピーダンスが信号線領域にわたって所定の範囲内にある場合に、前記信号線の特性インピーダンスだけでなく、電圧定在波比および伝送損失についても良であると判定するようにしてもよい。
【００１２】
本発明の第２の態様に係る検査方法は、
信号線を有する複数のプリント配線板を同時に検査するための検査方法であって、
ベクトルネットワークアナライザの複数の測定ポートにそれぞれ電気的に接続された複数の検査プローブを有する第１の検査治具を用意し、前記第１の検査治具の前記複数の検査プローブを前記複数のプリント配線板の信号線の入力端子および出力端子の一方の端子にそれぞれ接触させ、
基端側が終端抵抗で終端された複数の検査プローブを有する第２の検査治具を用意し、前記第２の検査治具の前記複数の検査プローブを前記信号線の入力端子および出力端子の他方の端子にそれぞれ接触させ、
前記ベクトルネットワークアナライザにより、前記複数のプリント配線板の信号線の反射特性をそれぞれ測定し、
前記反射特性に基づいて前記信号線の伝送特性の良否をそれぞれ判定することを特徴とする。
【００１３】
本発明の第３の態様に係る検査方法は、
信号線を有する複数のプリント配線板を同時に検査するための検査方法であって、
ベクトルネットワークアナライザの複数の測定ポートにそれぞれ電気的に接続された複数の検査プローブを有する第１の検査治具を用意し、前記第１の検査治具の前記複数の検査プローブを前記複数のプリント配線板の信号線の入力端子および出力端子の一方の端子にそれぞれ接触させ、
前記信号線の入力端子および出力端子の他方の端子がそれぞれ開放された状態で、前記ベクトルネットワークアナライザにより、前記複数のプリント配線板の信号線の反射特性をそれぞれ測定し、
前記反射特性に基づいて前記信号線の伝送特性の良否をそれぞれ判定することを特徴とする。
【００１４】
また、前記検査方法において、
前記第１の検査治具は、第１の検査プローブおよび第２の検査プローブを有し、
前記第１の検査プローブを第１の製品シートに形成された第１のプリント配線板に接触させ、前記第２の検査プローブを第２の製品シートに形成された第２のプリント配線板に接触させるようにしてもよい。
【００１５】
本発明の第１の態様に係る検査装置は、
信号線を有する複数のプリント配線板を同時に検査するための検査装置であって、
複数の測定ポートを有するベクトルネットワークアナライザと、
前記複数の測定ポートに同軸ケーブルを介してそれぞれ電気的に接続された複数の検査プローブを有する第１の検査治具と、
基端側が終端抵抗で終端された複数の検査プローブを有する第２の検査治具と、
前記複数のプリント配線板が形成された製品シートを保持するように構成された保持機構と、
を備え、
前記第１の検査治具の前記複数の検査プローブは、前記複数のプリント配線板の信号線の入力端子および出力端子の一方の端子にそれぞれ接触可能に構成され、
前記第２の検査治具の前記複数の検査プローブは、前記複数のプリント配線板の信号線の入力端子および出力端子の他方の端子にそれぞれ接触可能に構成され、
前記ベクトルネットワークアナライザは、前記複数のプリント配線板の信号線の反射特性をそれぞれ測定し、前記反射特性に基づいて前記信号線の伝送特性の良否をそれぞれ判定するように構成されていることを特徴とする。
【００１６】
また、前記検査装置において、
前記終端抵抗は、チップ抵抗であってもよい。
【００１７】
本発明の第２の態様に係る検査装置は、
信号線を有する複数のプリント配線板を同時に検査するための検査装置であって、
複数の測定ポートを有するベクトルネットワークアナライザと、
前記複数の測定ポートに同軸ケーブルを介してそれぞれ電気的に接続された複数の検査プローブを有する検査治具と、
前記複数のプリント配線板が形成された製品シートを保持するように構成された保持機構と、
を備え、
前記検査治具の前記複数の検査プローブは、前記複数のプリント配線板の信号線の入力端子および出力端子の一方の端子にそれぞれ接触可能に構成され、
前記ベクトルネットワークアナライザは、前記複数のプリント配線板の信号線の反射特性をそれぞれ測定し、前記反射特性に基づいて前記信号線の伝送特性の良否をそれぞれ判定するように構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明では、信号線の入力端子または出力端子のみをベクトルネットワークアナライザに接続すればよいので、ベクトルネットワークアナライザを効率良く使用することができる。また、ベクトルネットワークアナライザで測定された反射特性に基づいて信号線の伝送特性の良否を判定するので、別途ＴＤＲオシロスコープ等による測定を行う必要がない。
【００１９】
したがって、本発明によれば、信号線の伝送特性を効率良く検査し、検査コストを低減することが可能な検査装置および検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１の実施形態に係る検査装置の概略的な構成を示す図である。
【図２】検査治具の検査プローブの電気的な接続関係を示す図である。
【図３】第１の実施形態に係る検査装置による信号線の良否判定方法について説明するための図である。
【図４】第１の実施形態に係る検査方法を示すフローチャートである。
【図５】第１の実施形態の変型例に係る検査装置の概略的な構成を示す図である。
【図６】第２の実施形態に係る検査装置の概略的な構成を示す図である。
【図７】第２の実施形態に係る検査装置により測定された反射特性に基づく特性インピーダンスの時間波形の一例を示す図である。
【図８】（ａ）は製品個片が入れ子状に配置された製品シートの全体平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す製品シートの一部拡大図である。
【図９】（ａ）は検査対象の製品シートの一例を示す全体平面図であり、（ｂ）は１つの製品個片の平面模式図である。
【図１０】比較例に係る検査装置の概略的な構成を示す図である。
【図１１】（ａ），（ｂ）および（ｃ）はそれぞれ線幅の異なる信号線の平面模式図である。
【図１２】図１１の各信号線の伝送特性の測定結果を示す図である。
【図１３】（ａ），（ｂ）および（ｃ）はそれぞれ突起量の異なる信号線の平面模式図である。
【図１４】図１３の各信号線の伝送特性の測定結果を示す図である。
【図１５】（ａ），（ｂ）および（ｃ）はそれぞれ欠け量の異なる信号線の平面模式図である。
【図１６】図１５の各信号線の伝送特性の測定結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の実施形態を説明する前に、検査対象の製品シートＳ、および比較例に係る検査装置１００について説明する。
【００２２】
＜製品シートＳ＞
まず、検査対象の製品シートの一例について説明する。図９（ａ）に示すように、製品シートＳには、複数のプリント配線板（製品個片、配線体）Ｂが形成されている。この例では１２個のフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）が製品シートＳに形成されている。図９（ａ）の破線は、プリント配線板Ｂの製品外形ラインを示している。製品シートＳの検査後、外形加工の工程において、この破線に沿って製品シートＳはカットされ、個々のプリント配線板Ｂが切り出される。
【００２３】
各プリント配線板Ｂはストリップライン構造を有する。すなわち、プリント配線板Ｂの内層には、２本の信号線（伝送線路）Ｌａ，Ｌｂが形成されており、信号線Ｌａ，Ｌｂは誘電体層を介して銅箔等の導電層により挟まれている。なお、プリント配線板Ｂの誘電体層は、誘電率や誘電正接等の誘電特性に優れた絶縁材料（液晶ポリマー等）および接着剤層が積層されたものとして構成される。各プリント配線板Ｂの断面構成は、たとえば、特開２０１９−１０６５０８号公報に記載されたものである。
【００２４】
図９（ｂ）に示すように、信号線Ｌａの両端は、入力端子Ｔ１および出力端子Ｔ３に電気的に接続されている。同様に、信号線Ｌｂの両端は、入力端子Ｔ２および出力端子Ｔ４に電気的に接続されている。この例では、入力端子Ｔ１，Ｔ２は製品シートＳの表面に設けられ、出力端子Ｔ３，Ｔ４は製品シートＳの裏面に設けられている。入力端子Ｔ１，Ｔ２および出力端子Ｔ３，Ｔ４は、誘電体層を厚さ方向に貫通するように設けられた層間接続手段（フィルドビア、めっきスルーホール等）により、内層の信号線Ｌａ，Ｌｂに電気的に接続されている。
【００２５】
なお、プリント配線板Ｂの信号線の本数は２本に限られず、１本のみでもよいし、３本以上であってもよい。また、信号線の入力端子および出力端子が製品シートＳの同一面に設けられてもよい。
【００２６】
また、複数のプリント配線板Ｂの製品シートＳへのレイアウトは、当然ながら、図９（ａ）に示すものに限られず、たとえば後述の図８のようなレイアウトでもよい。
【００２７】
＜比較例＞
次に、図１０を参照して、比較例に係る検査装置１００について説明する。
【００２８】
比較例に係る検査装置１００は、図１０に示すように、ベクトルネットワークアナライザ（ＶＮＡ）２００と、検査治具３００，４００と、製品シートＳを保持する保持機構５００と、同軸ケーブル６００とを有する。
【００２９】
ベクトルネットワークアナライザ２００は、複数の測定ポート２１０，２２０，２３０，２４０を有している。測定ポート２１０，２２０は、同軸ケーブル６００を介して検査治具３００に接続され、測定ポート２３０，２４０は、同軸ケーブル６００を介して検査治具４００に接続されている。ベクトルネットワークアナライザ２００は、プリント配線板Ｂの一対の信号線Ｌａ，ＬｂについてＳパラメータ（Ｓ１１，Ｓ１２，Ｓ２１，Ｓ２２）を測定する。
【００３０】
検査治具３００は、検査プローブ３１０，３２０を有している。検査プローブ３１０は同軸ケーブル６００を介して測定ポート２１０に接続され、検査プローブ３２０は同軸ケーブル６００を介して測定ポート２２０に接続されている。
【００３１】
検査治具４００は、検査プローブ４１０，４２０を有している。検査プローブ４１０は同軸ケーブル６００を介して測定ポート２３０に接続され、検査プローブ４２０は同軸ケーブル６００を介して測定ポート２４０に接続されている。
【００３２】
保持機構５００は、製品シートＳの端部を把持することで製品シートＳを所定の位置に固定する。
【００３３】
上記の検査装置１００を用いた製品シートＳの検査においては、まず、検査プローブ３１０を信号線Ｌａの入力端子Ｔ１に接触させ、検査プローブ３２０を信号線Ｌｂの入力端子Ｔ２に接触させる。さらに、検査プローブ４１０を信号線Ｌａの出力端子Ｔ３に接触させ、検査プローブ４２０を信号線Ｌｂの出力端子Ｔ４に接触させる。その後、ベクトルネットワークアナライザ２００により、一対の信号線Ｌａ，Ｌｂの伝送特性の測定（Ｓパラメータの測定）を行う。
【００３４】
このように比較例では、信号線の入力端子および出力端子の両方をベクトルネットワークアナライザ２００に接続した状態で伝送特性の測定が行われる。図９の例のように、製品個片としての１つのプリント配線板Ｂに２本の信号線が形成されている場合、ベクトルネットワークアナライザ２００の測定ポート数は４つなので、一度に２つのプリント配線板Ｂが検査されることとなる。
【００３５】
＜伝送特性の測定結果＞
次に、比較例の検査装置１００による信号線の伝送特性の測定結果について説明する。信号線の線幅、信号線の突起、欠けが伝送特性に与える影響について調べた。
【００３６】
まず、信号線の線幅の影響を調べるために、図１１（ａ）〜（ｃ）に示すように、線幅の異なる３種類の信号線について伝送特性を測定した。図１１（ａ）の信号線Ｌの線幅は１５０μｍであり、図１１（ｂ）の信号線Ｌ１の線幅は１８０μｍであり、図１１（ｃ）の信号線Ｌ２の線幅は１２０μｍである。いずれの信号線も長さは１００ｍｍである。また、信号線Ｌ、Ｌ１およびＬ２の設計上の特性インピーダンス（目標値）はそれぞれ、５０Ω、４５Ωおよび５５Ωである。
【００３７】
図１２（ａ）〜（ｄ）は伝送特性の測定結果を示している。図１２（ａ）は信号線Ｌ，Ｌ１，Ｌ２の特性インピーダンスを示し、図１２（ｂ）は信号線Ｌ，Ｌ１，Ｌ２の電圧定在波比（ＶＳＷＲ）を示している。特性インピーダンスとＶＳＷＲは、ベクトルネットワークアナライザ２００で測定された反射特性から得られる。なお、図１２（ａ）において、特性インピーダンスの左側のピークは信号線の入力端子における信号反射に対応し、右側のピークは信号線の出力端子における信号反射に対応している。図１２（ｃ）は信号線Ｌ，Ｌ１，Ｌ２の伝送損失を示し、図１２（ｄ）は信号線Ｌ，Ｌ１，Ｌ２のクロストーク（近端クロストーク）を示している。
【００３８】
図１２（ａ）〜（ｄ）のいずれのグラフにおいても、実線は信号線Ｌの測定結果であり、一点鎖線は信号線Ｌ１の測定結果であり、破線は信号線Ｌ２の測定結果である。図１２（ａ）の測定結果から、特性インピーダンスは、信号線が形成された領域（時間４００ｐｓ〜１５００ｐｓの範囲）で線幅に応じた値をとっており、線幅にセンシティブであることが分かる。図１２（ｂ），（ｃ）の測定結果から、ＶＳＷＲおよび伝送損失は特性インピーダンスと同様の傾向を示していることが分かる。図１２（ｄ）の測定結果から、クロストークについては信号線の線幅にほとんど影響を受けないことが分かる。
【００３９】
次に、信号線の突起の影響を調べるために、図１３に示すように、突起の突出量の異なる３種類の信号線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５について伝送特性を測定した。図１３（ａ）の信号線Ｌ３の突起ａ１の突出量は約３０μｍであり、図１３（ｂ）の信号線Ｌ４の突起ａ２の突出量は約６０μｍであり、図１３（ｃ）の信号線Ｌ５の突起ａ３の突出量は約９０μｍである。突起ａ１，ａ２，ａ３の長さはいずれも５ｍｍである。信号線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５はいずれも、線幅１５０μｍ、長さ１００ｍｍである。
【００４０】
図１４（ａ）〜（ｄ）は伝送特性の測定結果を示している。図１４（ａ）は信号線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５の特性インピーダンスを示し、図１４（ｂ）は信号線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５のＶＳＷＲを示し、図１４（ｃ）は信号線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５の伝送損失を示し、図１４（ｄ）は信号線Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５のクロストーク（近端クロストーク）を示している。
【００４１】
図１４（ａ）〜（ｄ）のいずれのグラフにおいても、実線は信号線Ｌ（突起無し）の測定結果であり、点線は信号線Ｌ３の測定結果であり、破線は信号線Ｌ４の測定結果であり、一点鎖線は信号線Ｌ５の測定結果である。
【００４２】
図１４（ａ）の測定結果から、特性インピーダンスは、信号線の突起が形成された位置（時間５００ｐｓ弱）で突起の突出量に応じた谷部を形成しており、特性インピーダンスは信号線突起の突出量にセンシティブであることが分かる。図１４（ｂ），（ｃ）の測定結果から、ＶＳＷＲおよび伝送損失は特性インピーダンスと同様の傾向を示していることが分かる。また、図１４（ｄ）の測定結果から、クロストークについては信号線の線幅にほとんど影響を受けないことが分かる。
【００４３】
次に、信号線の欠けの影響を調べるために、図１５に示すように、欠けの凹み量の異なる３種類の信号線Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８について伝送特性を測定した。図１５（ａ）の信号線Ｌ６の欠けｂ１の凹み量は約３０μｍであり、図１５（ｂ）の信号線Ｌ７の欠けｂ２の凹み量は約６０μｍであり、図１５（ｃ）の信号線Ｌ８の欠けｂ３の凹み量は約９０μｍである。欠けｂ１，ｂ２，ｂ３の長さはいずれも５ｍｍである。信号線Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８はいずれも、線幅１５０μｍ、長さ１００ｍｍである。
【００４４】
図１６（ａ）〜（ｄ）は伝送特性の測定結果を示している。図１６（ａ）は信号線Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８の特性インピーダンスを示し、図１６（ｂ）は信号線Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８のＶＳＷＲを示し、図１６（ｃ）は信号線Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８の伝送損失を示し、図１６（ｄ）は信号線Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８のクロストーク（近端クロストーク）を示している。
【００４５】
図１６（ａ）〜（ｄ）のいずれのグラフにおいても、実線は信号線Ｌ（欠け無し）の測定結果であり、点線は信号線Ｌ６の測定結果であり、破線は信号線Ｌ７の測定結果であり、一点鎖線は信号線Ｌ８の測定結果である。図１６（ａ）の測定結果から、特性インピーダンスは、信号線の欠けが形成された位置（時間５００ｐｓ弱）で欠けの凹み量に応じた山部を形成しており、特性インピーダンスは信号線欠けの凹み量にセンシティブであることが分かる。また、図１６（ｂ），（ｃ）の測定結果から、ＶＳＷＲおよび伝送損失は特性インピーダンスと同様の傾向を示していることが分かる。また、図１６（ｄ）の測定結果から、クロストークについては信号線の線幅にほとんど影響を受けないことが分かる。
【００４６】
以上の実験結果によれば、信号線の線幅、突起および欠けのいずれについても、信号線の特性インピーダンスに影響が明確に現れる。また、ＶＳＷＲと伝送損失は特性インピーダンスと同様の傾向を示す。一方、クロストークには信号線の線幅、突起および欠けの影響はほとんど見られない。したがって、特性インピーダンスについて所定の基準を満たして良（合格）であると判定されれば、ＶＳＷＲおよび伝送損失の各特性についても良であると判断することが可能であるといえる。一方、クロストークについては、信号線間の距離に依存するところが大きく、信号線の出来映え（線幅、突起・欠けの有無等）にあまり依存しないと考えられる。
【００４７】
本発明は上記の知見、すなわち、特性インピーダンスを検査することでＶＳＷＲおよび伝送損失の良否も併せて検査できるという知見に基づいており、特性インピーダンス（反射特性）のみを測定するのであれば、信号線の両方の端子に検査プローブを当てる必要はないとの考えによりなされたものである。たとえば、信号線の入力端子および出力端子の一方の端子にのみベクトルネットワークアナライザを接続し、測定された反射特性に基づいて特性インピーダンスの良否を判定する。そして、特性インピーダンスが良であれば、ＶＳＷＲおよび伝送特性についても良とする。これにより、測定ポートを効率良く使用し、高価なベクトルネットワークアナライザを効率的に使用できるため、検査コストを大幅に低減することができる。
【００４８】
以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００４９】
（第１の実施形態）
図１を参照して、第１の実施形態に係る検査装置１について説明する。検査装置１は、信号線を有する複数のプリント配線板を同時に検査するための検査装置である。
【００５０】
検査装置１は、図１に示すように、複数の測定ポート２１〜２４を有するベクトルネットワークアナライザ２と、検査治具３（第１の検査治具）と、検査治具４（第２の検査治具）と、保持機構５と、同軸ケーブル６とを有している。
【００５１】
ベクトルネットワークアナライザ２は、比較例のベクトルネットワークアナライザ２００と同様の機能を有する。
【００５２】
検査治具３は、ベクトルネットワークアナライザ２の複数の測定ポート２１〜２４に同軸ケーブル６を介してそれぞれ電気的に接続された複数の検査プローブ３１〜３４と、これら複数の検査プローブ３１〜３４を支持する支持板３５とを有する。
【００５３】
図２（ａ）に示すように、検査プローブ３１は、内部導体６ａおよび外部導体６ｂを有し測定ポート２１に接続された同軸ケーブル６の内部導体６ａに接続されている。検査プローブ３２〜３４についても検査プローブ３１と同様に、各々の同軸ケーブル６に接続されている。
【００５４】
検査治具３の複数の検査プローブ３１〜３４は、複数のプリント配線板の信号線の入力端子および出力端子の一方の端子にそれぞれ接触可能に構成されている。たとえば前述の図９の製品シートＳに形成されたプリント配線板Ｂの場合、検査プローブ３１が製品シートＳの左側に配置されたプリント配線板Ｂの信号線Ｌａの入力端子Ｔ１に接触し、検査プローブ３２が当該プリント配線板Ｂの信号線Ｌｂの入力端子Ｔ２に接触し、検査プローブ３３が製品シートＳの右側に配置されたプリント配線板Ｂの信号線Ｌａの入力端子Ｔ１に接触し、かつ検査プローブ３４が当該プリント配線板Ｂの信号線Ｌｂの入力端子Ｔ２に接触するように、検査治具３は構成されている。このように本実施形態の検査治具３は、一対の信号線Ｌａ，Ｌｂの入力端子に接触する一対の検査プローブ３１，３２（または３３，３４）を有する。なお、検査治具３の一対の検査プローブは信号線Ｌａ，Ｌｂの出力端子に接触するように構成されてもよい。
【００５５】
支持板３５は、検査プローブ３１〜３４を所定の位置に支持するとともに、検査プローブ３１〜３４間の絶縁を確保するように構成されている。たとえば、支持板３５はリジッドプリント配線板を用いて作製される。
【００５６】
検査治具４は、基端側が終端抵抗で終端された複数の検査プローブ４１〜４４と、これら複数の検査プローブ４１〜４４を支持する支持板４５とを有する。
【００５７】
図２（ｂ）に示すように、検査プローブ４１は、終端抵抗４６を介して接地されている。検査プローブ４２〜４４についても同様である。終端抵抗４６は、測定系（ベクトルネットワークアナライザ２、同軸ケーブル６、検査治具３）および信号線の特性インピーダンスを考慮した抵抗値（たとえば５０Ω）を有する。終端抵抗４６として、たとえば、０４０２型、０６０３型等の小型のチップ抵抗を用いる。インダクタンス成分が小さいため、特性インピーダンスの波形の乱れを低減でき、検査精度を向上させることができる。なお、終端抵抗４６はチップ抵抗に限られず、たとえば測定ポート２１〜２４用の終端コネクタを用いてもよい。
【００５８】
検査治具４の複数の検査プローブ４１〜４４は、複数のプリント配線板の信号線の入力端子および出力端子の他方の端子にそれぞれ接触可能に構成されている。たとえば前述の図９に示す製品シートＳに形成されたプリント配線板Ｂの場合、検査プローブ４１が製品シートＳの左側に配置されたプリント配線板Ｂの信号線Ｌｂの出力端子Ｔ４に接触し、検査プローブ４２が当該プリント配線板Ｂの信号線Ｌａの出力端子Ｔ３に接触し、検査プローブ４３が製品シートＳの右側に配置されたプリント配線板Ｂの信号線Ｌｂの出力端子Ｔ４に接触し、検査プローブ４４が当該プリント配線板Ｂの信号線Ｌａの出力端子Ｔ３に接触するように、検査治具４は構成されている。
【００５９】
支持板４５は、検査プローブ４１〜４４を所定の位置に支持するとともに、検査プローブ４１〜４４間の絶縁を確保するように構成されている。たとえば、支持板４５はリジッドプリント配線板を用いて作製される。
【００６０】
保持機構５は、複数のプリント配線板Ｂが形成された製品シートＳを保持するように構成されている。保持方法については特に限定されないが、本実施形態では、製品シートＳの端部が把持されることで製品シートＳは所定の位置に固定される。なお、保持機構５は複数の製品シートを保持可能に構成されてもよい。
【００６１】
上記のように、本実施形態に係る検査装置１は、製品シートＳの表面側の端子Ｔ１，Ｔ２に検査プローブ３１〜３４を接触させ、裏面側の端子Ｔ３，Ｔ４に検査プローブ４１〜４４を接触させることで片側プローブ・片側終端の測定構成をとり、４本の信号線（すなわち、２本の信号線Ｌａと２本の信号線Ｌｂ）の伝送特性を同時に検査できるように構成されている。
【００６２】
ベクトルネットワークアナライザ２は、複数のプリント配線板Ｂの信号線の反射特性（Ｓ１１またはＳ２２）をそれぞれ測定する。すなわち、ベクトルネットワークアナライザ２は、検査治具３の検査プローブ３１〜３４に接触された信号線の反射特性を測定ポート２１〜２４を介してそれぞれ測定する。
【００６３】
反射特性の測定後、ベクトルネットワークアナライザ２は、測定された反射特性に基づいて、信号線の伝送特性の良否をそれぞれ判定するように構成されている。たとえば、図３に示すように、ベクトルネットワークアナライザ２は、測定された反射特性をＴＤＲ変換（逆フーリエ変換）して得られた信号線の特性インピーダンスが、信号線領域（時間領域）にわたって所定の範囲内にある場合に（すなわち、閾値Ｔｈ１以上かつ閾値Ｔｈ２以下の場合）、当該信号線の特性インピーダンスだけでなく、電圧定在波比および伝送損失についても良であると判定する。
【００６４】
図３は、線幅１５０μｍ、長さ２０ｍｍの信号線（特性インピーダンスの目標値が４８Ω）の測定結果の一例を示している。図３では、閾値Ｔｈ１が４６Ω、閾値Ｔｈ２が５０Ωに設定されている。なお、他の数値例として、特性インピーダンスの目標値が５０Ωに対し、閾値Ｔｈ１を４５Ωとし、閾値Ｔｈ２を５５Ωとしてもよい。
【００６５】
＜検査方法＞
次に、図４のフローチャートを参照しつつ、第１の実施形態に係る検査方法の一例について説明する。本検査方法は、信号線を有する複数のプリント配線板を同時に検査するための検査方法であって以下のステップを有する。
【００６６】
まず、複数のプリント配線板Ｂが形成された製品シートＳを保持機構５に保持させる（ステップＳ１）。本ステップでは、たとえば、製品シートＳの端部を保持機構に把持させることで製品シートＳを所定の位置に固定する。
【００６７】
次に、検査治具３の複数の検査プローブ３１〜３４を複数のプリント配線板Ｂの信号線の入力端子にそれぞれ接触させる（ステップＳ２）。なお、検査プローブ３１〜３４は信号線の出力端子に接触させてもよい。
【００６８】
次に、検査治具４の複数の検査プローブ４１〜４４を複数のプリント配線板Ｂの信号線の出力端子にそれぞれ接触させる（ステップＳ３）。なお、ステップＳ３はステップＳ２の前に行ってもよい。また、ステップＳ３において検査プローブ３１〜３４を信号線の出力端子に接触させた場合、本ステップでは検査プローブ４１〜４４は信号線の入力端子に接触させる。
【００６９】
上記のようにして検査プローブ３１〜３４および４１〜４４を製品シートＳのプリント配線板Ｂの所定の端子に接触させた後、ベクトルネットワークアナライザ２により、複数のプリント配線板Ｂの信号線の反射特性をそれぞれ測定する（ステップＳ４）。
【００７０】
次に、ベクトルネットワークアナライザ２により、反射特性から得られる特性インピーダンスに基づいて、複数のプリント配線板Ｂの信号線Ｌａ，Ｌｂの伝送特性の良否をそれぞれ判定する（ステップＳ５）。本ステップは、ステップＳ４で測定された反射特性をＴＤＲ変換により信号線の特性インピーダンスを取得し、この特性インピーダンスが信号線領域にわたって所定の範囲内にある場合に、当該信号線の特性インピーダンスだけでなく、電圧定在波比および伝送損失についても良であると判定する。なお、ステップＳ５における判定は、パソコン等を使用し、ベクトルネットワークアナライザ２以外の判定手段により行ってもよい。
【００７１】
以上説明したように、第１の実施形態では、信号線の入力端子または出力端子の一方をベクトルネットワークアナライザ２に接続し、他方を終端抵抗で終端した状態で反射特性の測定を行い、反射特性の測定結果に基づいて信号線の伝送特性（すなわち、特性インピーダンス、ＶＳＷＲおよび伝送損失）の良否を判定する。図９の例のように、製品個片としての１つのプリント配線板Ｂに２本の信号線が形成されている場合、ベクトルネットワークアナライザの測定ポート数は４つなので、一度に４つのプリント配線板Ｂを検査可能である。よって、第１の実施形態によれば、比較例に比べて２倍の効率で検査を行うことができる。その結果、検査コストの低減を図ることができる。
【００７２】
なお、上記の説明では、ベクトルネットワークアナライザ２の測定ポートの数は４つであるが、これに限られるものではない。
【００７３】
また、検査治具３、４の検査プローブの数は４本に限られず、測定ポート数に応じて増減させてもよい。たとえばベクトルネットワークアナライザ２の測定ポートの数が１２個の場合、検査治具３は各測定ポートに接続された１２本の検査プローブを有するように構成されてもよい。この場合、一度に１２本の信号線を検査することができる。
【００７４】
また、検査は複数のプリント配線板について同時に行う場合に限られず、一つのプリント配線板に４本以上の信号線が設けられている場合は、一つのプリント配線板ごとに検査を行ってもよい。
【００７５】
上記の説明では、反射特性から得られる特性インピーダンスを基準として伝送特性（ＶＳＷＲおよび伝送損失）の良否を判定したが、特性インピーダンスと同様に反射特性から得られるＶＳＷＲを基準として伝送特性（特性インピーダンスおよび伝送損失）の良否を判定してもよい。
【００７６】
＜変型例＞
ここで、図５を参照して、第１の実施形態に係る検査装置の変型例について説明する。図５において、図１と同様の構成要素には同じ符号を付している。
【００７７】
本変型例に係る検査装置１Ａは、図５に示すように、複数の測定ポート２１〜２４を有するベクトルネットワークアナライザ２と、検査治具３Ａと、検査治具３Ｂと、検査治具４Ａと、検査治具４Ｂと、保持機構５と、同軸ケーブル６とを有している。
【００７８】
このように本変型例では、検査治具３に相当するものとして、２つの検査治具３Ａおよび３Ｂが設けられている。検査治具３Ａは検査プローブ３１および３２を有し、検査治具３Ｂは検査プローブ３３および３４を有する。また、検査治具３Ａに対応して検査治具４Ａが設けられ、検査治具３Ｂに対応して検査治具４Ｂが設けられている。
【００７９】
図５に示すように、検査治具３Ａ（検査プローブ３１，３２）は製品シートＳ１の検査に使用され、検査治具３Ｂ（検査プローブ３３，３４）は、製品シートＳ２の検査に使用される。検査治具３Ａと検査治具３Ｂは、検査治具３を２つに分割したものである。検査治具３が、製品シートＳ１に対して使用される検査プローブ３１，３２と、製品シートＳ２に対して使用される検査プローブ３３，３４とを有しているということもできる。
【００８０】
本変型例によれば、複数の異なる製品シートＳ１，Ｓ２の検査を同時に行うことができる。また、検査の柔軟性を向上させることができる。たとえば、製品シートＳ１の検査を比較例の方法で行っていた場合において、製品シートＳ２の検査を追加したいとき、ベクトルネットワークアナライザ２の台数を増やすことなく、製品シートＳ１およびＳ２の検査を同時に行えるように容易にすることができる。
【００８１】
なお、検査治具３に相当する検査治具の数は２つに限られず、３つ以上であってもよい。たとえばベクトルネットワークアナライザ２の測定ポートの数が１２個の場合、検査治具３Ａ（３Ｂ）に相当する検査治具を６つ用意して、６つの異なる製品シートを同時に検査できるようにしてもよい。
【００８２】
（第２の実施形態）
次に、図６を参照して、第２の実施形態に係る検査装置１Ｂついて説明する。図６において、図１と同様の構成要素には同じ符号を付している。
【００８３】
第１の実施形態では検査治具３を介して信号線の入力端子をベクトルネットワークアナライザ２に接続し、信号線の出力端子を検査治具４の終端抵抗４６で終端したが、第２の実施形態では、信号線の出力端子には何も接続せずに開放状態として信号線の反射特性を測定する。
【００８４】
第２の実施形態に係る検査装置１Ｂは、図６に示すように、複数の測定ポート２１〜２４を有するベクトルネットワークアナライザ２と、検査治具３と、保持機構５と、同軸ケーブル６とを有している。ベクトルネットワークアナライザ２、検査治具３、保持機構５および同軸ケーブル６の各構成は第１の実施形態と同様であるので詳しい説明は省略する。
【００８５】
このように、検査装置１Ｂは、検査治具４を有しない点で第１の実施形態に係る検査装置１と異なる。
【００８６】
第２の実施形態では、信号線の入力端子をベクトルネットワークアナライザ２に接続し、当該信号線の出力端子を開放した状態において、ベクトルネットワークアナライザ２が複数のプリント配線板Ｂの信号線の反射特性（Ｓ１１またはＳ２２）をそれぞれ測定する。そして、ベクトルネットワークアナライザ２は、測定された反射特性に基づいて、信号線の伝送特性の良否をそれぞれ判定する。詳しくは、ベクトルネットワークアナライザ２は、測定された反射特性をＴＤＲ変換して得られた信号線の特性インピーダンスが、信号線領域にわたって所定の範囲内にある場合に、当該信号線の特性インピーダンスだけでなく、電圧定在波比および伝送損失についても良であると判定する。
【００８７】
次に、第２の実施形態の検査装置１Ｂを用いたプリント配線板Ｂの検査方法について説明する。図４を参照して説明した第１の実施形態に係る検査方法との相違点は、ステップＳ３が本実施形態に係る検査方法では省略され、ステップＳ４において各プリント配線板Ｂの信号線の出力端子がそれぞれ開放された状態でベクトルネットワークアナライザ２により複数の信号線の反射特性がそれぞれ測定される点である。
【００８８】
図７は、ベクトルネットワークアナライザ２で測定された反射特性をＴＤＲ変換して得られた信号線の特性インピーダンスを示している。信号線の出力端子が開放された状態で測定が行われるため、出力端子に対応する約６００ｐｓ以降の領域で特性インピーダンスが発散している。また、特性インピーダンスの波形の乱れが第１の実施形態に比べて大きい。したがって、要求される検査項目や検査精度に応じて第１の実施形態と第２の実施形態を使い分けて検査を行うことが望ましい。
【００８９】
たとえば、検査項目が特性インピーダンスの検査のみの場合に本実施形態を適用することが考えられる。このような場合であっても、複数の測定ポートを有するベクトルネットワークアナライザを用いるため、ＴＤＲオシロスコープで検査する場合に比べて効率良く検査を行うことができる。
【００９０】
また、第１の実施形態と同様に、特性インピーダンスに併せてＶＳＷＲおよび伝送損失の良否についても判定できるため、高い検査精度が要求されない場合に本実施形態の方法を行うことが考えられる。
【００９１】
上記のように、第２の実施形態では、信号線の入力端子または出力端子の一方をベクトルネットワークアナライザ２に接続し、他方を開放した状態で反射特性の測定を行い、測定結果に基づいて信号線の伝送特性の良否を判定する。図９の例のように、製品個片としての１つのプリント配線板Ｂに２本の信号線が形成されている場合、ベクトルネットワークアナライザの測定ポート数は４つなので、一度に４つのプリント配線板Ｂを検査可能である。
【００９２】
さらに、第２の実施形態によれば、信号線の片端を終端しないため、検査治具４を用意する必要がなく、各プリント配線板Ｂの検査を終えるたびに検査治具４を移動させる手間も発生しない。これにより、検査効率をさらに向上させ、検査コストを低減させることができる。
【００９３】
なお、第２の実施形態においても第１の実施形態の変型例と同様に、検査治具３を２つの検査治具３Ａと検査治具３Ｂに分けて、異なる製品シートＳ１，Ｓ２に使用してもよい。
【００９４】
以上、本発明に係る実施形態および変型例について説明した。前述のように、いずれによっても、信号線の片側の端子のみをベクトルネットワークアナライザ２に接続すればよいため、検査効率を２倍に向上させることができる。製品シートのレイアウトによってはさらに高い検査効率を得ることもできる。これについて図８を参照して説明する。
【００９５】
図８（ａ）は、製品シートＳ３の全体平面図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）の領域Ｒを拡大した一部拡大図である。製品シートＳ３では、レイアウト効率を高めるために、一組のプリント配線板Ｂが上下入れ子状に配置されている。この場合、プリント配線板Ｂが入れ子状に配置されているため、向かい合う上下１組のプリント配線板Ｂ（２つの製品個片。図８（ｂ）の領域Ｒ１）を測定単位とする必要がある。このため、信号線の両端に検査プローブを当てる比較例の場合であって、１２個の測定ポートを有するベクトルネットワークアナライザを使用する場合、一組のプリント配線板Ｂに８個の測定ポートを使用し、４個（＝１２ポート−４端子×２個）の測定ポートが余ってしまい、効率的な検査ができない。これに対して本発明の場合は、信号線の片方の端子のみを測定ポートに接続すればよいため、三組のプリント配線板Ｂ（図８（ｂ）の領域Ｒ２）に１２個の測定ポートを使用するので、ベクトルネットワークアナライザの測定ポートを余すことなく使用することができ、効率良く検査を行うことができる。高価なベクトルネットワークアナライザを効率良く使用できるので、検査コストを低減することができる。
【００９６】
なお、上記の説明では、一対の信号線が形成されたプリント配線板Ｂが検査対象であったが、１本の信号線のみが形成されたプリント配線板を検査対象としてもよい。また、複数のプリント配線板を同時に検査する場合だけでなく、１つのプリント配線板を個別に検査する際に本発明に係る検査を適用してもよい。
【００９７】
上記の記載に基づいて、当業者であれば、本発明の追加の効果や種々の変形を想到できるかもしれないが、本発明の態様は、上述した実施形態に限定されるものではない。特許請求の範囲に規定された内容およびその均等物から導き出される本発明の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更および部分的削除が可能である。
【符号の説明】
【００９８】
１，１Ａ，１Ｂ，１００  検査装置
２  ベクトルネットワークアナライザ
２１，２２，２３，２４  測定ポート
３，４  検査治具
３１，３２，３３，３４，４１，４２，４３，４４  検査プローブ
３５，４５  支持板
４６  終端抵抗
５  保持機構
６  同軸ケーブル
Ｂ  プリント配線板（製品個片）
Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４  端子
Ｌ  信号線
Ｒ  領域
Ｓ，Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３  製品シート
【要約】
【課題】信号線の伝送特性を効率良く検査し、検査コストを低減することが可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】一実施形態の検査装置１は、複数の測定ポート２１〜２４を有するベクトルネットワークアナライザ２と、測定ポート２１〜２４にそれぞれ電気的に接続された複数の検査プローブ３１〜３４を有する検査治具３と、基端側が終端抵抗で終端された複数の検査プローブ４１〜４４を有する検査治具４と、製品シートＳを保持するように構成された保持機構５とを備え、検査プローブ３１〜３４は製品シートＳの複数のプリント配線板の信号線の入力端子にそれぞれ接触可能に構成され、検査プローブ４１〜４４は複数のプリント配線板の信号線の出力端子にそれぞれ接触可能に構成され、ベクトルネットワークアナライザ２は複数のプリント配線板の信号線の反射特性をそれぞれ測定し、反射特性に基づいて信号線の伝送特性の良否をそれぞれ判定する。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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