(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクプレートであって、
複数の第１の開口が設けられた第１の領域と、
前記第１の領域の所定の方向における両側に位置する第２の領域と、
を含み、
少なくとも１つの前記第２の領域内には、複数の第３の開口が設けられており、前記第３の開口は、前記第１の開口に隣接して配置され、且つ同じ構造を有し、
第２の領域には、複数の第２の開口がさらに設けられており、前記第２の開口は、対応する複数の前記第３の開口の前記所定の方向の一方側に設けられており、前記所定の方向は、お互いに垂直している第１の方向あるいは第２の方向であり、
前記第１の領域及び前記第２の領域において、隣接する２つの前記第１の開口、隣接する２つの前記第３の開口、及び隣接する第１の開口と第３の開口との前記所定の方向における第１の間隔ｄ１と、前記第２の領域において、前記第３の開口と隣接する前記第２の開口との前記所定の方向における第２の間隔ｄ２は、ｄ２≧ｄ１を満たし、
第１の状態では、複数の前記第１の開口の少なくとも一部は、第１の種類のサブピクセルを形成するために用いられ、
第２の状態では、前記マスクプレートは前記所定の方向に所定の距離だけ移動され、複数の前記第３の開口の少なくとも一部は、複数の前記第１の開口と共に、前記第１の種類のサブピクセルとは異なる種類のサブピクセルを形成するために用いられ、
前記第２の開口は、サブピクセルの形成に用いられない、
ことを特徴とするマスクプレート。
【請求項２】
複数の前記第３の開口の配列の方向が複数の前記第１の開口の配列の方向と平行であって、隣接する前記第３の開口間のピッチが隣接する前記第１の開口間のピッチと等しく、前記所定の方向と所定の角度をなす方向に沿って複数の前記第３の開口がＭ列に配列されており、Ｍ≧１かつ整数である、
ことを特徴とする請求項１に記載のマスクプレート。
【請求項３】
前記所定の方向に垂直な方向に沿って、複数の前記第１の開口及び複数の前記第３の開口が行状に配列され、前記第１の領域及び前記第２の領域において、隣接する２つの前記第１の開口、隣接する２つの前記第３の開口、及び隣接する第１の開口と第３の開口との前記所定の方向における第１の間隔ｄ１は、下記の式（１）を満たし、
ｄ１＝Ｎ×Ｌ    ・・・（１）
ここで、Ｌは、前記マスクプレートが前記所定の方向に沿って移動する所定の距離であり、Ｎは、形成されるサブピクセルの種類である、
ことを特徴とする請求項２に記載のマスクプレート。
【請求項４】
前記所定の方向と所定の角度をなす方向に沿って、複数の前記第１の開口及び複数の前記第３の開口がライン状に配列されており、複数の前記第３の開口はＭ列に配列され、Ｍ≧Ｎ-１かつ整数であり、Ｎは形成されるサブピクセルの種類である、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のマスクプレート。
【請求項５】
前記第１の領域及び前記第２の領域において、隣接する２つの前記第１の開口、隣接する２つの前記第３の開口、及び隣接する第１の開口と第３の開口との前記所定の方向における第１の間隔ｄ１は、下記の式（２）を満たし、
ｄ１＝Ｌ    ・・・（２）
ここで、Ｌは、前記マスクプレートが前記所定の方向に沿って移動する所定の距離である、
ことを特徴とする請求項４に記載のマスクプレート。
【請求項６】
第２の領域において、前記第２の開口は複数であり、複数の前記第２の開口は、少なくとも２列に配列されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のマスクプレート。
【請求項７】
形成されるサブピクセルの種類は３種類であり、前記所定の方向は第２の方向であり、第１の方向は前記第２の方向に垂直であり、前記第１の領域内の複数の前記第１の開口、及び１つの前記第２の領域内の複数の前記第３の開口は、前記第１の方向及び前記第２の方向に沿って行と列に揃えて配列され、複数の前記第３の開口は、前記第２の方向に沿って１列に配置されており、
少なくとも１つの前記第２の領域において、前記第２の開口は、対応する複数の第３の開口の前記第２の方向に沿った一方側に配置されており、
または、前記所定の方向は第１の方向であり、前記第１の方向は第２の方向に垂直であり、前記第１の領域内の複数の前記第１の開口、及び前記第２の領域内の複数の前記第３の開口のうち隣接する３列は順次ずらされて配列され、隣接する３列を周期として前記第１の方向に広がっており、複数の前記第３の開口は、前記第１の方向に沿って２列に配置されており、少なくとも１つの前記第２の領域において、前記第２の開口は、対応する複数の前記第３の開口の前記第１の方向に沿った一方側に配置されている、
ことを特徴とする請求項１に記載のマスクプレート。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載のマスクプレートを備える、
ことを特徴とする蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、２０１８年７月２７日に出願された発明の名称「マスクプレート及び蒸着装置」の中国特許出願第２０１８１０８４３９４９．６号の優先権を主張し、その全体が引用により本明細書に組み込まれる。
本発明は、表示技術分野に関し、特に、マスクプレート及び蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機発光ダイオード（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ-Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ、ＯＬＥＤ）は、有機ＥＬディスプレイ（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｅｎｃｅ  Ｄｉｓｐｌａｙ）とも呼ばれる。ＯＬＥＤ表示パネルは、電流が流れると発光する非常に薄い有機材料コーティング層及び基板を用いて形成される。ＯＬＥＤ表示パネルは、複数の発光画素ユニットをマトリックス状に配列し組み合わせて構成されており、カラーＯＬＥＤの場合、各発光画素ユニットは、通常、赤色Ｒ、緑色Ｇ、青色Ｂの３色のサブピクセルから構成されている。
【０００３】
一般に、基板上の有機材料のコーティング位置を制御するために、金属材料のマスクプレートが使用される。ＯＬＥＤ表示パネルのＲ／Ｇ／Ｂ色のサブピクセルは、異なる色の有機発光材料の蒸着によって形成されるため、Ｒ／Ｇ／Ｂ色のサブピクセルに対して、マスクプレートを用いてそれぞれ対応する色の有機材料を蒸着する必要がある。例えば、Ｒ色のサブピクセルの蒸着が完了したら、Ｒ色に対応するマスクプレートを取り外し、Ｇ色のマスクプレートを取り付けて蒸着を行い、Ｇ色のサブピクセルの蒸着が完了したら、Ｇ色に対応するマスクプレートを取り外し、Ｂ色のマスクプレートを取り付けて蒸着を行う。このような蒸着プロセスにおいては、蒸着装置が何回も開かれるため、基板上にほこりなどの不純物が混入しやすく、有機発光材料層の成膜効果に大きく影響を及ぼす。
【発明の概要】
【０００４】
本発明の目的は、１枚のマスクプレートのみを用いて少なくとも２色のサブピクセルの蒸着を実現することができるマスクプレート及び蒸着装置を提供することである。
【０００５】
１つの態様において、本願の実施例は、複数の第１の開口が設けられた第１の領域と、第１の領域の所定の方向における両側に位置する第２の領域と、を含み、少なくとも１つの第２の領域内には、複数の第３の開口が設けられており、第３の開口は、第１の開口に隣接して配置され、且つ同じ構造を有し、第１の状態では、複数の第１の開口の少なくとも一部は、第１の種類のサブピクセルを形成するために用いられ、第２の状態では、マスクプレートは所定の方向に所定の距離だけ移動され、複数の第３の開口の少なくとも一部は、複数の第１の開口と共に、第１の種類のサブピクセルとは異なる種類のサブピクセルを形成するために用いられるマスクプレートを提供する。
【０００６】
別の態様において、本願の実施例は、上述したマスクプレートを備える蒸着装置を提供する。
【０００７】
本願の実施例に係るマスクプレート及び蒸着装置は、マスクプレートの第１の領域に、いずれかの色のサブピクセルを形成可能な複数の第１の開口を設け、かつ、少なくとも１つの第２の領域内には、第１の開口と同じ構造を有する複数の第３の開口を所定の方向に沿って設けることにより、マスクプレートを所定の距離だけ移動させれば、少なくとも２色のサブピクセルの蒸着を実現することができ、混色等の不良リスクを避け、マスクブランクの蒸着効果及び蒸着効率を向上させる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施例１におけるＯＬＥＤ表示パネルの画素配列を示す模式図である。
【図２】本願の実施例１に係るマスクプレートの概略構成図である。
【図３】異なる色のサブピクセルを蒸着する際に図２に示されたマスクプレートの移動過程を示す模式図である。
【図４】実施例２におけるＯＬＥＤ表示パネルの画素配列を示す模式図である。
【図５】本願の実施例２に係るマスクプレートの概略構成図である。
【図６】異なる色のサブピクセルを蒸着する際に図５に示されたマスクプレートの移動過程を示す模式図である。
【図７】実施例３におけるＯＬＥＤ表示パネルの画素配列を示す模式図である。
【図８】本願の実施例３に係るマスクプレートの概略構成図である。
【図９】異なる色のサブピクセルを蒸着する際に図８に示されたマスクプレートの移動過程を示す模式図である。
【図１０】本願の実施例４に係るマスクプレートの概略構成図である。
【図１１】異なる色のサブピクセルを蒸着する際に図１０に示されたマスクプレートの移動過程を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本願は、図面を参照して行われる本願の具体的な実施形態の以下の説明からよりよく理解することができる。
【００１０】
本願の他の特徴、目的、及び利点は、図面を参照した非限定的な実施形態に対する以下の詳細な説明を読むことによって明らかになり、ここで同一または類似の符号は、同一または類似の特徴を示す。
【００１１】
以下、添付図面を参照しながら例示的な実施形態についてより詳細に説明する。
［実施例１］
図１は、実施例１のＯＬＥＤ表示パネルの画素配列を示す模式図である。
図１を参照すると、ＯＬＥＤ表示パネルは、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙにマトリックス状に配列された複数の発光画素ユニット１００を含み、各発光画素ユニット１００は、Ｎ色のサブピクセル１１０を含み、ここで、Ｎ≧３である。各色のサブピクセル１１０は、有機発光材料層１２０を含み、各色のサブピクセル１１０の有機発光材料層は、対応する色の有機材料の真空蒸着コーティングによって形成される。サブピクセルには、赤色Ｒ、緑色Ｇ、青色Ｂの３色のサブピクセルが含まれるが、これらに限定されるものではない。Ｒ/Ｇ/Ｂの３色のサブピクセルを例に挙げると、ＯＬＥＤ表示パネルの第１の方向Ｘの各列のサブピクセル１１０の色は同じであり、隣接する２つのサブピクセル１１０の第２の方向Ｙに沿った間隔はＤ１であり、第１の方向Ｘに沿った間隔はＤ２である。
ＯＬＥＤ表示パネルは、マスクプレートを使用することで、基板上の異なる色の有機材料のコーティング位置を制御する。マスクプレートは、一般的には、インバー（ＩＮＶＡＲ）で製造され、厚さは一般的には２０〜４０μｍである。インバーは、ニッケル鉄合金の一種であり、熱膨張係数が非常に低く、広い温度範囲内で一定の長さを維持することができる。蒸着の際に、基板と蒸着装置との間にマスクプレートを配置し、対応する色の有機発光材料を蒸着装置内に置くことで、基板上に異なる色のサブピクセル１１０を蒸着する。
【００１２】
図２は、本願の実施例１に係るマスクプレートの概略構成図である。
図２を参照すると、本願の実施例は、第１の領域１０と、第１の領域１０の所定の方向の両側に配置された第２の領域２０とを含むマスクプレートを提供する。
【００１３】
図２に破線枠で示すように、第１の領域１０内には、互いに直交する第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに沿って分布する複数の第１の開口１１が設けられており、複数の第１の開口１１は、複数の発光画素ユニットのいずれかの色のサブピクセルに対応して設けられ、いずれかの色のサブピクセルを形成するために用いられる。
【００１４】
第１の開口１１の寸法加工精度を確保するために、通常、マスクプレートの第１の領域１０の所定の方向の両側にバッファとして第２の領域２０が設けられる。一方の第２の領域２０には、複数の第３の開口２１が設けられており、第３の開口２１は、第１の開口１１に隣接して設けられ、且つ同じ構造を有する。すなわち、第１の開口１１と第３の開口２１は、形状、寸法及び加工精度が同一である。
【００１５】
第１の状態では、複数の第１の開口１１の少なくとも一部が第１の種類のサブピクセルを形成するために用いられ、第２の状態では、マスクプレートは所定の方向に所定の距離を移動する。複数の第３の開口２１の少なくとも一部は、複数の第１の開口１１と共に、第１の種類のサブピクセルとは異なる種類のサブピクセルを形成するために使用される。上記の異なる種類とは、第１の種類のサブピクセルの色とは異なる別の色のサブピクセルを指す。したがって、マスクプレートを所定の方向に所定の距離だけ移動させると、少なくとも２色のサブピクセルの蒸着を完了させることができる。
【００１６】
本願の実施例に係るマスクプレートは、マスクプレートの第１の領域１０内に、いずれかの色のサブピクセルを形成する複数の第１の開口１１を設けるとともに、少なくとも１つの第２の領域２０内に第１の開口１１と同じ構造を有する複数の第３の開口２１を所定の方向に沿って設けることで、マスクプレートを所定の距離だけ移動させると、少なくとも２色のサブピクセルの蒸着を実現することができ、蒸着中にマスクプレートを取り外す必要がないため、ほこり等の不純物が基板に混入するのを防ぐことができ、蒸着効果や蒸着効率を向上させ、構造が簡単で低コストである。
【００１７】
以下、図面を参照して、本願の実施例に係るマスクプレートの具体的な構成について詳細に説明する。
【００１８】
再び図２を参照すると、第２の領域２０内の複数の第３の開口２１は、複数の第１の開口１１の配列形態と同様な形態に配列されており、所定の方向と所定の角度をなす方向に複数の第３の開口２１がＭ列に配列されており、ここで、Ｍ≧１かつＭは整数である。
【００１９】
さらに、複数の第１の開口１１及び複数の第３の開口２１は、所定の方向と直交する方向に行状に配列されており、第１の領域１０と第２の領域２０において、隣接する２つの第１の開口１１、隣接する２つの第３の開口２１、及び隣接する第１の開口１１と第３の開口２１との所定の方向における第１の間隔ｄ１は、式（１）を満たす。
【００２０】
ｄ１＝Ｎ×Ｌ    ・・・（１）
【００２１】
ここで、Ｌは、マスクプレートが所定の方向に沿って移動する所定の距離である。所定の方向が第２の方向Ｙである場合、Ｌは、隣接する２つのサブピクセル１１０の第２の方向Ｙにおける間隔Ｄ１であり、所定の方向が第１の方向Ｘである場合、Ｌは、隣接する２つのサブピクセル１１０の第１の方向Ｘにおける間隔Ｄ２である。
【００２２】
上述のように、第２の領域２０は、第１の領域１０のプロセスバッファとして機能し、各第２の領域２０には、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに沿って行及び列に揃えて配列された第２の開口２２がさらに設けられ、少なくとも１つの第２の領域２０内の複数の第２の開口２２は、対応する複数の第３の開口２１の所定の方向の一方側に配置されている。各第２の領域２０内の第２の開口２２は、少なくとも２列であり、第２の開口２２の加工精度は第１の開口１１の加工精度より低い。第２の開口２２の形状及び寸法は、第１の開口１１の形状及び寸法と同じてあってもよいし、異なってもよい。
【００２３】
第２の開口２２の寸法加工精度が第１の開口１１の寸法加工精度より低いため、第２の開口２２の内縁部は粗く、異なる色の有機材料を蒸着する場合、第２の開口２２の粗くなった縁部に残るので、混色等の不良リスクが生じるおそれがあるため、第２の開口２２は蒸着に使用することができない。
【００２４】
また、複数の第３の開口２１が１列に配列されている場合、マスクプレートの全体寸法が最小となる。複数の色のサブピクセルの蒸着を完成するために、第２の領域２０において、第１の開口１１と隣接する第２の開口２２との所定の方向における第２の間隔は、ｄ２≧ｄ１である。
【００２５】
マスクプレートの製造コストを低減するために、一般に画素のレイアウト時にマスクプレートのＲとＧの２色に対応する開口パターンサイズを同じ大きさに設計し、マスクプレートが所定の方向に所定の距離を移動すると、当該２色のサブピクセルの蒸着を完了することができる。場合によっては、Ｒ／Ｇ／Ｂ等の複数の色に対応する開口パターンサイズを同じ大きさに設計することもでき、マスクプレートが所定の方向に所定の距離を順次移動すると、複数の色のサブピクセルの蒸着を完了することができる。
【００２６】
説明の便宜上、本願の実施例は、Ｒ／Ｇ／Ｂの３色の開口パターンサイズを同じ大きさに設計した場合を例にして説明する。
【００２７】
図２において、第１の領域１０内の複数の第１の開口１１は、それぞれ複数の発光画素ユニットのいずれかの色のサブピクセル、例えば赤色のサブピクセルに対応して設けられている。所定の方向は第２の方向Ｙであり、第２の領域２０は、第２の方向Ｙに沿って第１の領域１０の両側に位置している。
【００２８】
第１の領域１０内の複数の第１の開口１１、及び１つの第２の領域２０内の複数の第３の開口２１は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに沿って行及び列に揃えて配列されており、複数の第３の開口２１は、第１の方向Ｘに沿って１列に配置されている。第１の領域１０及び第２の領域２０内において、隣接する２つの第１の開口１１、及び隣接する第１の開口１１と第３の開口２１の第２の方向Ｙにおける第１の間隔がいずれもｄ１=３×Ｄ１であり、１つの第２の領域２０内の第３の開口２１と隣接する第２の開口２２との第２の方向Ｙにおける第２の間隔がｄ２≧ｄ１であれば、少なくとも２色のサブピクセルを蒸着することができる。
【００２９】
さらに、第１の開口１１は、サブピクセル１１０の有機発光材料層１２０の形状に対応しており、第１の開口１１の大きさは、有機発光材料層１２０の大きさより大きい。また、第１の開口１１の形状は、図示の矩形孔に限定されるものではなく、四角形孔、円形孔、多角形孔のいずれであってもよい。
【００３０】
このように、マスクプレートの第１の領域１０に複数の第１の開口１１を設け、第２の領域２０に第１の開口１１と同じ構造を有する複数の第３の開口２１を所定の方向に沿って設けることにより、マスクプレートを所定の距離Ｌずつ移動させることで、少なくとも２色のサブピクセルの蒸着が可能となり、混色等の不良リスクを避けて、マスクプレートの蒸着効果を向上させることができる。
【００３１】
図３は、異なる色のサブピクセルを蒸着する際の図２に示されたマスクプレートの移動過程を示す模式図である。
【００３２】
図３を参照すると、蒸着装置内の一つの蒸発室内には、例えば赤色の有機材料が配置されており、マスクプレートの第１の領域１０は、ＯＬＥＤ表示パネルの基板の有機発光材料層に対応して配置されている。図中矢印ａで示すように、第１の領域１０内の複数の第１の開口１１を介して赤色のサブピクセルが蒸着される。次に、第２の領域２０内の１列の第３の開口２１と、第１の領域１０内の残りの複数の第１の開口１１とが、共に基板の有機発光材料層に対応して配置されるように、マスクプレートを図３に示す矢印Ａの方向に距離Ｌ=Ｄ１だけ移動させ、さらに、蒸着装置内の別の蒸発室内に緑色の有機材料を入れて、図中の矢印ｂで示すように、緑色のサブピクセルの蒸着を完了させる。第２の領域２０内の１列の第３の開口２１と、第１の領域１０内の残りの複数の第１の開口１１とが、共に基板の有機発光材料層に対応して配置されるように、再びマスクプレートを図３に示す矢印Ａ方向に距離Ｌ=Ｄ１だけ移動させ、さらに、蒸着装置内の別の蒸発室内に青色の有機材料を入れて、図中矢印ｃで示すように、青色のサブピクセルの蒸着を完了させる。
【００３３】
蒸着中にマスクプレートを繰り返して取り外す必要がないため、ほこり等の不純物がマスクプレートに混入するのを防ぐことができ、蒸着効果及び蒸着効率を向上させ、構造が簡単で低コストである。
【００３４】
なお、２色或いはそれ以上の複数の色のサブピクセルの蒸着工程は、上述した３色のサブピクセルの蒸着工程と同様であり、複数の色の蒸着順序も図示例に限定されず、その説明は省略する。
【００３５】
［実施例２］
図４は、実施例２におけるＯＬＥＤ表示パネルの画素配列を示す模式図である。
図４を参照すると、当該ＯＬＥＤ表示パネルは、第２の方向Ｙの各列に沿ったＯＬＥＤ表示パネルのサブピクセル１１０の色が同じである点を除いて、図１に示されるＯＬＥＤ表示パネルの構造に類似している。
【００３６】
図５は、本願の実施例２に係るマスクプレートの概略構成図である。
図５を参照すると、マスクプレートは、第１の領域１０と、第２の領域２０とを含み、図５の点線枠で示すように、所定の方向は第１の方向Ｘであり、第２の領域２０が第１の方向Ｘに沿って第１の領域１０の両側に位置する点を除いて、図２に示すマスクプレートの設計原理と同様である。
【００３７】
第１の領域１０内の複数の第１の開口１１、及び１つの第２の領域２０内の複数の第３の開口２１は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに沿って行及び列に揃えて配列されており、複数の第３の開口２１は、第２の方向Ｙに沿って１列に配置されている。第１の領域１０及び第２の領域２０内において、隣接する２つの第１の開口１１、及び隣接する第１の開口１１と第３の開口２１の第１の方向Ｘにおける第１の間隔がｄ１=３×Ｄ２であり、１つの第２の領域２０内の第３の開口２１と隣接する第２の開口２２との第１の方向Ｘに沿った第２の間隔がｄ２≧ｄ１であれば、少なくとも２色のサブピクセルの蒸着を実現することができる。
【００３８】
図１及び図４に示す同一サイズのＯＬＥＤ表示パネルにとって、図５に示されたマスクプレートの面積が図２に示されたマスクプレートの面積より大きく、これに対応して蒸着装置の体積も大きくなる。
【００３９】
図６は、異なる色のサブピクセルを蒸着する際に図５に示されたマスクプレートの移動過程を示す模式図である。
【００４０】
図６を参照すると、蒸着装置内の一つの蒸発室内には、例えば赤色の有機材料が配置されており、マスクプレートの第１の領域１０は、ＯＬＥＤ表示パネルの基板の有機発光材料層に対応して配置されている。図中矢印ａで示すように、第１の領域１０内の複数の第１の開口１１を介して赤色のサブピクセルが蒸着される。次に、第２の領域２０内の１列の第３の開口２１と、第１の領域１０内の残りの複数の第１の開口１１とが、共に基板の有機発光材料層に対応して配置されるように、マスクプレートを図６に示す矢印Ａの方向に距離Ｌ=Ｄ２だけ移動させ、さらに、蒸着装置内の別の蒸発室内に青色の有機材料を入れて、図中の矢印ｂで示すように、青色のサブピクセルの蒸着を完了させる。第２の領域２０内の１列の第３の開口２１と、第１の領域１０内の残りの複数の第１の開口１１とが、共に基板の有機発光材料層に対応して配置されるように、再びマスクプレートを図６に示す矢印Ａの方向に距離Ｌ=Ｄ１だけ移動させ、さらに、蒸着装置内の別の蒸発室内に緑色の有機材料を入れて、図中矢印ｃで示すように、緑色のサブピクセルの蒸着を完了させる。
【００４１】
なお、２色或いはそれ以上の複数の色のサブピクセルの蒸着工程は、上述した３色のサブピクセルの蒸着工程と同様であり、複数の色の蒸着順序も図面の例に限定されず、その説明は省略する。
【００４２】
［実施例３］
図７は、実施例３におけるＯＬＥＤ表示パネルの画素配列の概略図である。
図７を参照すると、当該ＯＬＥＤ表示パネルの構造は、ＯＬＥＤ表示パネルの隣接するＮ列の色のサブピクセル１１０のうち、同じ色のサブピクセル１１０が順次ずらされて配列されている点を除いて、図１に示されるＯＬＥＤ表示パネルの構造と類似している。
【００４３】
図８は、本願の実施例３に係るマスクプレートの概略構成図である。
図８を参照すると、当該マスクプレートの第１の領域１０内において、複数の第１の開口１１及び複数の第３の開口２１が、所定の方向と所定の角度をなす方向、例えば４５°の鋭角をなす方向にライン状に並んで配置されており、また、複数の第３の開口２１は、Ｍ列に配列されており、ここで、Ｍ≧Ｎ-１かつ整数であり、Ｎは形成されるサブピクセルの種類である。これにより、第１の領域１０内の複数の第１の開口１１は、図７に示す複数の発光画素ユニットのいずれかの色のサブピクセルにそれぞれ対応して設けられ、いずれかの色のサブピクセル、例えば赤色のサブピクセルを形成するのに用いられる。
【００４４】
第２の領域２０は、第１の領域１０の所定の方向の両側に位置し、少なくとも１つの第２の領域２０内に複数の第３の開口２１が設けられ、第１の開口１１は第３の開口２１に隣接して配置され且つ同じ構造を有し、これにより、マスクプレートが所定の方向に所定の距離を移動することで、少なくとも２色のサブピクセルの蒸着を完了させることができる。
【００４５】
さらに、第１の領域１０及び第２の領域２０において、隣接する２つの第１の開口１１、隣接する２つの第３の開口２１、及び隣接する第１の開口１１と第３の開口２１との所定の方向における第１の間隔ｄ１は、式（２）を満たす。
【００４６】
ｄ１＝Ｌ    ・・・（２）
【００４７】
ここで、Ｌは、マスクプレートが所定の方向に移動する所定の距離である。所定の方向が第２の方向Ｙである場合、Ｄは、隣接する２つのサブピクセル１１０の第２の方向Ｙにおける間隔Ｄ１であり、所定の方向が第１の方向Ｘである場合、Ｄは、隣接する２つのサブピクセル１１０の第１の方向Ｘにおける間隔Ｄ２である。
【００４８】
図８において、所定の方向は第１の方向Ｘであり、第２の領域２０は、第１の方向Ｘに沿って第１の領域１０の両側に位置している。複数の第１の開口１１及び複数の第３の開口２１は、所定の方向に対して鋭角をなす方向にライン状に並んでおり、複数の第３の開口２１は、２列に並んでいる。すなわち、第１の領域１０内の複数の第１の開口１１、及び１つの第２の領域２０内の複数の第３の開口２１のうち、隣接する３列は順次ずらされて配列され、隣接する３列を周期として第１の方向Ｘに広がっており、複数の第３の開口２１は、第１の方向Ｘに沿って２列に配置されている。第１の領域１０及び第２の領域２０内の隣接する２つの第１の開口１１、隣接する２つの第３の開口２１、及び隣接する第１の開口１１と第３の開口２１との第１の方向Ｘにおける第１の間隔ｄ１は、ｄ１=Ｄ２を満たす。
【００４９】
第２の領域２０は、第１の領域１０のプロセスバッファとして機能し、各第２の領域２０には、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに沿って行と列に揃えて配列された第２の開口２２がさらに設けられ、少なくとも１つの第２の領域２０内の第２の開口２２は、対応する複数の第３の開口２１の所定の方向の一方側に配置されている。各第２の領域２０内の第２の開口２２は少なくとも２列であり、第２の開口２２の加工精度は第１の開口１１の加工精度より低い。第２の開口２２の形状及び寸法は、第１の開口１１の形状及び寸法と同一であってもよいし、異なってもよい。
【００５０】
また、複数の第３の開口２１が２列に配列されている場合に、マスクプレートの全体寸法が最小となる。複数の色のサブピクセルの蒸着を完成するために、第２の領域２０において、第３の開口２１と隣接する第２の開口２２の所定の方向における第２の間隔は、ｄ２≧ｄ１である。
【００５１】
さらに、第１の開口１１は、サブピクセル１１０の有機発光材料層１２０の形状に対応しており、第１の開口１１の大きさは、有機発光材料層１２０の大きさより大きい。また、第１の開口１１の形状は、図示の矩形孔に限定されず、四角形孔、円形孔、多角形孔のいずれであってもよい。
【００５２】
図９は、異なる色のサブピクセルを蒸着する際に図８に示されたマスクプレートの移動過程を示す模式図である。
【００５３】
図９を参照すると、蒸着装置内の一つの蒸発室内には、例えば赤色の有機材料が配置されており、マスクプレートの第１の領域１０は、ＯＬＥＤ表示パネルの基板の有機発光材料層に対応して配置されている。図中矢印ａで示すように、第１の領域１０内の複数の第１の開口１１を介して赤色のサブピクセルが蒸着される。次に、第２の領域２０内の１列の第３の開口２１と、第１の領域１０内の残りの複数の第１の開口１１が、共に基板の有機発光材料層に対応して配置されるように、マスクプレートを図９に示す矢印Ａの方向に距離Ｌ=Ｄ２だけ移動させ、さらに、蒸着装置内の別の蒸発室に青色の有機材料を入れて、図中矢印ｂで示すように、青色のサブピクセルの蒸着を完了させる。第２の領域２０内の２列の第３の開口２１と、第１の領域１０内の残りの複数の第１の開口１１が、共に基板の有機発光材料層に対応して配置されるように、再びマスクプレートを図９に示す矢印Ａ方向に距離Ｌ=Ｄ２だけ移動させ、さらに、蒸着装置内の別の蒸発室内に緑色の有機材料を入れて、図中矢印ｃで示すように、緑色のサブピクセルの蒸着を完了させる。
【００５４】
なお、２色或いはそれ以上の複数の色のサブピクセルの蒸着工程は、上述した３色のサブピクセルの蒸着工程と同様であり、複数の色の蒸着順序も図面の例に限定されず、その説明は省略する。
【００５５】
［実施例４］
図１０は、本願の実施例４に係るマスクプレートの概略構成図である。
図１０を参照すると、マスクプレートは、第１の領域１０と、第２の領域２０とを含み、図１０の点線枠で示すように、所定の方向は第２の方向Ｙであり、第２の領域２０が第２の方向Ｙに沿って第１の領域１０の両側に位置する点を除いて、図８に示すマスクプレートの設計原理と同様である。複数の第３の開口２１は、第２の方向Ｙに沿って２列に配置されている。第１の領域１０及び第２の領域２０内の隣接する２つの第１の開口１１、隣接する２つの第３の開口２１、及び隣接する第１の開口１１と第３の開口２１との第２の方向Ｙにおける第１の間隔ｄ１がｄ１=Ｄ１であり、１つの第２の領域２０内の第３の開口２１と隣接する第２の開口２２との第２の方向Ｙに沿った第２の間隔がｄ２≧ｄ１であれば、少なくとも２色のサブピクセルを蒸着することができる。
【００５６】
図７に示す同一種類のＯＬＥＤ表示パネルにとって、図１０に示されたマスクプレートの面積が図８に示されたマスクプレートの面積より小さく、これに対応して蒸着装置の体積も小さくなるため、図１０に示すマスクプレートを用いることが好ましい。
【００５７】
図１１は、異なる色のサブピクセルを蒸着する際に図１０に示されたマスクプレートの移動過程を示す模式図である。
【００５８】
図１１を参照すると、蒸着装置内の蒸発室内には、例えば緑色の有機材料が配置されており、マスクプレートの第１の領域１０は、ＯＬＥＤ表示パネルの基板の有機発光材料層に対応して配置されている。図中矢印ａで示すように、第１の領域１０内の複数の第１の開口１１を介して緑色のサブピクセルが蒸着される。次に、第２の領域２０内の１列の第３の開口２１と、第１の領域１０内の残りの複数の第１の開口１１が、共に基板の有機発光材料層に対応して配置されるように、マスクプレートを図１１に示す矢印Ａの方向に距離Ｌ=Ｄ１だけ移動させ、さらに、蒸着装置内の別の蒸発室内に青色の有機材料を入れて、図中矢印ｂで示すように、青色のサブピクセルの蒸着を完了させる。第２の領域２０内の２列の第３の開口２１と、第１の領域１０内の残りの複数の第１の開口１１が、共に基板の有機発光材料層に対応して配置されるように、再びマスクプレートを図１１に示す矢印Ａの方向に距離Ｌ=Ｄ１だけ移動させ、さらに、蒸着装置内の別の蒸発室内に赤色の有機材料を入れて、図中矢印ｃで示すように、赤色のサブピクセルの蒸着を完了させる。
【００５９】
なお、２色或いはそれ以上の複数の色のサブピクセルの蒸着工程は、上述した３色のサブピクセルの蒸着工程と同様であり、複数の色の蒸着順序も図面の例に限定されず、その説明は省略する。
【００６０】
このように、本願の実施例が提供するマスクプレートは、同じ色のサブピクセル１１０が同一列に配置されたＯＬＥＤ表示パネル、または隣接するＮ列の色のサブピクセル１１０のうち同じ色のサブピクセル１１０が順次ずらされて配列されたＯＬＥＤ表示パネルに対して、いずれも、マスクプレートの第１の領域１０の第１の方向Ｘ又は第２の方向Ｙにおける両側に第３の開口２１を設けることができ、所定の距離を移動することで、少なくとも２色のサブピクセルの蒸着を実現することができる。
【００６１】
また、ＯＬＥＤ表示パネルの隣接する２つの色のサブピクセルの第２の方向Ｙにおける長さが第１の方向Ｘにおける長さより短いので、第１の領域１０の第２の方向Ｙにおける両側に第３の開口２１を設けたマスクプレートの面積が、第１の方向Ｘにおける両側に第３の開口２１を設けたマスクプレートの面積より小さくなり、これに対応して蒸着装置の体積も小さくなる。具体的には、ＯＬＥＤ表示パネルの画素配列に応じて選択される。
【００６２】
さらに、本願の実施例は、上述したマスクプレートのいずれかを含む蒸着装置を提供する。
【００６３】
当業者は、上記の実施例はすべて例示的なものであり、限定的なものではないことを理解すべきである。異なる実施例に現れた異なる技術的特徴を組み合わせて、有益な効果を得ることができる。当業者は、図面、明細書、及び特許請求の範囲を検討する上で、開示された実施例の他の変形例を理解し、実施することができる。特許請求の範囲において、「含む」という用語は、他の装置又はステップを排除するものではない。不定冠詞「一つ」は、複数を排除しない。用語「第１」、「第２」は、特定の順序を示すためではなく、名称を示すために使用される。請求項中の符号は、保護範囲を限定するものとして解釈されるべきではない。特許請求の範囲に記載された複数の部分の機能は、単一のハードウェアまたはソフトウェアモジュールによって実現されてもよい。いくつかの技術的特徴が異なる従属請求項に記載されていることは、有益な効果を得るためにこれらの技術的特徴を組み合わせることができないことを意味しない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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