(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外殻で覆われた空洞が１以上の隔壁によって区切られた複数の独立した空間を備え、
１０質量％以上３０質量％以下のホウ素酸化物と、２質量％以下のナトリウム酸化物と、１質量％以上２０質量％以下のカルシウム酸化物と、１４質量％以上２０質量％未満のアルミニウム酸化物と、４５質量％以上６５質量％以下のケイ素酸化物と、８質量％以下のマグネシウム酸化物を含む無機酸化物により構成されている、
無機酸化物中空粒子。
【請求項２】
隔壁と外殻の厚さの比（隔壁／外殻）が０．５以上２．０以下である、請求項１記載の無機酸化物中空粒子。
【請求項３】
外殻が無気孔である、請求項１又は２記載の無機酸化物中空粒子。
【請求項４】
平均粒子径が１０μｍ以下である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の無機酸化物中空粒子。
【請求項５】
誘電正接が０．００６０以下である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の無機酸化物中空粒子。
【請求項６】
比表面積が０．１ｍ２／ｇ以上５０ｍ2／ｇ以下である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の無機酸化物中空粒子。
【請求項７】
空洞率が２０％以上である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の無機酸化物中空粒子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無機酸化物中空粒子に関する。
【背景技術】
【０００２】
無機酸化物中空粒子は、外殻に包囲された空洞を有するため、非中空粒子に比べて軽量性、熱伝導率が小さく、熱安定性に優れており、断熱性材料、遮熱性材料、触媒担体、建築材料、電子材料等として広く普及している。
【０００３】
無機酸化物中空粒子として、例えば、真珠岩、黒曜石等の天然ガラス質岩石を原料とし、内部空間が隔壁によって区切られたシリカ質の中空微粒子であって、容重が０．１５〜０．３５ｇ／ｃｍ3であり、最も薄い部分の殻の膜厚が０．５〜５μｍであるシリカ質中空微粒子（特許文献１）が知られている。また、平均粒子径が５〜３００ｎｍであり、かつ比表面積が５０〜１５００ｍ2／ｇである中空シリカ微粒子が集合・結着してなる球状シリカ粒子（特許文献２）や、シリカを含むシェル（外殻部）を有し、該シェルに内包された金属及び／又は金属化合物のナノ粒子を具備するシリカ含有中空粒子（特許文献３）も報告されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１７２８６３号公報
【特許文献２】特開２００９−１１４０１０号公報
【特許文献３】特開２０１６−１５０８８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
高度情報化社会化が進んだ現在では、更なる情報の高速処理、高速度伝達が望まれており、そのために電子機器の伝送信号の高周波数化が進められている。この高周波数化により電子機器のプリント配線板の伝送損失が大きくなるため、プリント配線板に用いられる無機酸化物中空粒子には、誘電正接がより低いことが求められている。
本発明の課題は、誘電正接が従来よりも低い無機酸化物中空粒子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、上記課題に鑑み検討したところ、特定の無機酸化物を特定量含み、かつ特定構造を有する無機酸化物中空粒子の１次粒子が、従来よりも誘電正接を低くできることを見出した。
【０００７】
すなわち、本発明は、次の〔１〕〜〔８〕を提供するものである。
〔１〕外殻で覆われた空洞が１以上の隔壁によって区切られた複数の独立した空間を備え、
１０質量％以上４０質量％以下のホウ素酸化物と、５質量％以下のナトリウム酸化物と、１質量％以上５０質量％以下のカルシウム酸化物と、１４質量％以上２０質量％未満のアルミニウム酸化物とを含む無機酸化物により構成されている、
無機酸化物中空粒子。
〔２〕隔壁と外殻の厚さの比（隔壁／外殻）が０．５以上２．０以下である、前記〔１〕記載の無機酸化物中空粒子。
〔３〕外殻が無気孔である、前記〔１〕又は〔２〕記載の無機酸化物中空粒子。
〔４〕無機酸化物として、更に４５質量％以上７０質量％以下のケイ素酸化物を含む、前記〔１〕〜〔３〕のいずれか一に記載の無機酸化物中空粒子。
〔５〕平均粒子径が１０μｍ以下である、前記〔１〕〜〔４〕のいずれか一に記載の無機酸化物中空粒子。
〔６〕誘電正接が０．００６０以下である、前記〔１〕〜〔５〕のいずれか一に記載の無機酸化物中空粒子。
〔７〕比表面積が０．１ｍ2／ｇ以上５０ｍ2／ｇ以下である、前記〔１〕〜〔６〕のいずれか一に記載の無機酸化物中空粒子。
〔８〕空洞率が２０％以上である、前記〔１〕〜〔７〕のいずれか一に記載の無機酸化物中空粒子。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、誘電正接が従来よりも低い無機酸化物中空粒子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施例１で得られた無機酸化物中空粒子の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像を示す図である。
【図２】実施例１で得られた無機酸化物中空粒子の断面部分の走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像を示す図である。
【図３】図２に示される走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像を観察した際のスケッチである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本明細書において「中空粒子」とは、外殻の内部に空洞を有する粒子をいう。本発明の無機酸化物中空粒子は、図１〜３に示されるように、外殻に覆われた空洞が更に１以上の隔壁によって区切られた複数の独立した空間を有しており、独立した空間はそれぞれ隔壁によって隔てられた互いに連通しない気泡（以下、「独立気泡」ともいう。）によって形成されている。本明細書において「外殻」とは、粒子の最も表面側に位置する壁であって、粒子内部の１つの独立気泡のみ接する壁をいう。「隔壁」とは、粒子内部の隣接する２つの独立気泡を互いに区画する壁をいう。また、本発明の無機酸化物中空粒子は、外殻に開口がなく、無気孔であるため、独立気泡は完全に閉じられている。本発明の無機酸化物中空粒子は、このような独立気泡を有し、かつ無気孔であることにより、低誘電正接化だけでなく、優れた断熱性、遮熱性を発現し、また独立気泡の複数の隔壁によって粒子強度がより一層高められている。更に、本発明の無機酸化物中空粒子は、低誘電正接化の観点から、凝集していない一次粒子であることが好ましい。なお、外殻が無気孔であることは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像や、水に浮かぶことにより確認できる。したがって、本発明の無機酸化物中空粒子は、粒子表面から内部へ延びる複数の細孔を有する多孔質粒子とは異なる。また、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）像により、多孔質粒子や二次粒子と明確に区別することが可能である。
本明細書において、以下において説明する無機酸化物の各含有量は、蛍光Ｘ線分析法にて酸化物換算で測定し化学成分を算出した値である。分析対象である元素の酸化物の合計値が１００％となるよう、下記式により補正することで、各々の化学成分を算出する。
化学組成（補正後）（％）＝化学組成（補正前）×１００／（１００−不純物（％））
不純物（％）は１００から上述した酸化物の化学組成の合計値を差し引いたものである。
【００１１】
本発明の中空粒子は、外殻及び隔壁がホウ素酸化物、ナトリウム酸化物、カルシウム酸化物及びアルミニウム酸化物を含む無機酸化物により形成されている。このような無機酸化物によって外殻及び隔壁を構成することにより、従来よりも誘電正接を低くすることができる。
【００１２】
ホウ素酸化物としては、低誘電正接化の観点から、Ｂ2Ｏ3が好ましい。
ナトリウム酸化物としては、低誘電正接化の観点から、Ｎａ2Ｏが好ましい。
カルシウム酸化物としては、低誘電正接化の観点から、ＣａＯが好ましい。
アルミニウム酸化物としては、低誘電正接化の観点から、Ａｌ2Ｏ3が好ましい。
【００１３】
ホウ素酸化物の含有量は１０質量％以上４０質量％以下であるが、低誘電正接化の観点から、１１質量％以上が好ましく、そして３７質量％以下が好ましく、３３質量％以下がより好ましく、３０質量％以下が更に好ましく、２７質量％以下がより更に好ましい。
ナトリウム酸化物の含有量は５質量％以下であるが、低誘電正接化の観点から、４質量％以下が好ましく、３質量％以下がより好ましく、２質量％以下が更に好ましい。なお、ナトリウム酸化物の含有量の下限値は特に限定されず、０質量％であっても構わないが、ガラス成分の軟化点を適正に制御する観点から、０．１質量％以上が好ましい。
カルシウム酸化物の含有量は１質量％以上５０質量％以下であるが、低誘電正接化の観点から、１．５質量％以上が好ましく、２質量％以上がより好ましく、２．５質量％以上が更に好ましく、そして４０質量％以下が好ましく、３０質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。
アルミニウム酸化物の含有量は１４質量％以上２０質量％未満であるが、低誘電正接化の観点から、１４質量％以上であって、１８質量％以下が好ましく、１７．５質量％以下がより好ましい。
【００１４】
また、本発明の無機酸化物中空粒子は、外殻及び隔壁を構成する無機酸化物としてケイ素酸化物を含んでいてもよい。
ケイ素酸化物としては、低誘電正接化の観点から、ＳｉＯ2が好ましい。
ケイ素酸化物の含有量は、低誘電正接化の観点から、４５質量％以上が好ましく、５０質量％以上が更に好ましく、そして７０質量％以下が好ましく、６５質量％以下がより好ましく、６０質量％以下が更に好ましい。
【００１５】
本発明の無機酸化物中空粒子は、外殻及び隔壁を構成する無機酸化物として上記以外の無機酸化物を更に含んでいてもよい。例えば、カルシウム酸化物以外の２族元素酸化物、ナトリウム酸化物以外のアルカリ金属酸化物、４族元素酸化物を挙げることができる。
カルシウム酸化物以外の２族元素酸化物としては、例えば、ＭｇＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、ＲａＯを挙げることができる。また、ナトリウム酸化物以外のアルカリ金属酸化物としては、例えば、Ｌｉ2Ｏ、Ｋ2Ｏ、Ｒｂ2Ｏ、Ｃｓ2Ｏを挙げることができる。４族元素酸化物としては、例えば、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、ＨｆＯ2を挙げることができる。
なお、これら無機酸化物の含有量は、本発明の効果を阻害しない範囲内で適宜選択することができる。例えば、マグネシウム酸化物は０質量％であっても構わないが、低誘電正接化の観点から、０．２質量％以上が好ましく、０．３質量％以上がより好ましく、０．４質量％以上が更に好ましく、そして１０質量％以下が好ましく、８質量％以下がより好ましく、６質量％以下が更に好ましい。
【００１６】
本発明の無機酸化物中空粒子の空洞率は、低比誘電率及び低誘電正接化の観点から、２０％以上が好ましく、２５％以上がより好ましく、３０％以上が更に好ましく、４０％以上がより更に好ましく、４５％以上がより更に好ましく、５０％以上がより更に好ましく、５５％以上が殊更に好ましい。なお、かかる空洞率の上限値は、十分な強度を確保する観点から、９５％以下が好ましく、９０％以下が更に好ましい。ここで、本明細書において「空洞率」は、乾式自動密度計を使用して粒子の嵩密度と真密度とを測定し、その値から下記式により算出される値である。なお、個々の粒子について計測することが難しいため、粒子群としての空洞割合である。ここで、本明細書において「嵩密度」は、ＪＩＳ  Ｒ  １６２０に準拠して気体置換法により測定するものとする。また、「真密度」は、空洞部分を取り除くために、箱型電気炉にて融点以上で６時間加熱した後、冷却して乾式自動密度計で測定するものとする。なお、密度測定装置として、例えば、乾式自動密度計であるアキュピック（島津製作所製）を使用し、また乾式自動密度計として、例えば、アキュピック（島津製作所）を使用することができる。
【００１７】
空洞率＝（真密度−嵩密度）×１００／真密度
【００１８】
本発明の無機酸化物中空粒子は、微小な粒子であるため、小型化や薄型化が必要とされる電子機器部品への適用が容易である。より具体的には、本発明の無機酸化物中空粒子の平均粒子径は、通常１０μｍ以下であり、好ましくは８．５μｍ以下であり、より好ましくは７．０μｍ以下であり、更に好ましくは６．５μｍ以下である。なお、かかる平均粒子径の下限値は、空洞を十分確保する観点から、０．１μｍ以上が好ましく、０．５μｍ以上がより好ましく、１μｍ以上が更に好ましい。ここで、本明細書において「平均粒子径」とは、ＪＩＳ  Ｒ  １６２９に準拠して試料の粒度分布を体積基準で作成したときに積算分布曲線の５０％に相当する粒子径（Ｄ50）を意味する。なお、粒子径分布測定には、例えば、レーザ回折・散乱式粒子径分布測定装置を使用することができる。
【００１９】
本発明の無機酸化物中空粒子の嵩密度は、低誘電正接化の観点から、０．１ｇ／ｃｍ3以上が好ましく、０．２５ｇ／ｃｍ3以上がより好ましく、０．５ｇ／ｃｍ3以上が更に好ましく、そして３．０ｇ／ｃｍ3以下が好ましく、２．３ｇ／ｃｍ3以下がより好ましく、２．０ｇ／ｃｍ3以下が更に好ましく、１．３ｇ／ｃｍ3以下が殊更に好ましい。
【００２０】
本発明の無機酸化物中空粒子の比表面積は、低誘電正接化の観点から、０．１ｍ2／ｇ以上が好ましく、１．０ｍ2／ｇ以上がより好ましく、２．０ｍ2／ｇ以上が更に好ましく、そして５０ｍ2／ｇ以下が好ましく、２５ｍ2／ｇ以下がより好ましく、１０ｍ2／ｇ以下が更に好ましい。なお、本明細書において「比表面積」は、ＢＥＴ法により測定するものとする。なお、比表面積測定装置として、例えば、流動式比表面積自動測定装置（ＦｌｏｗＳｏｒｂIII２３０５、島津製作所社製）を使用することができる。
【００２１】
また、本発明の無機酸化物中空粒子は、外殻の厚さと隔壁の厚さがほぼ等しいことを特徴とする。ここで、本明細書において「外殻の厚さ」とは、粒子の最も表面側に位置する壁であって、粒子内部の１つの独立気泡のみ接する壁の厚さをいう。また、「隔壁の厚さ」とは、粒子内部の隣接する２つの独立気泡を互いに区画する壁の厚さをいう。本発明の無機酸化物中空粒子は、強度向上、低誘電正接化の観点から、外殻の厚さと隔壁の厚さは５０ｎｍ以上１μｍ以下が好ましく、５５〜７５０ｎｍがより好ましく、６０〜５００ｎｍが更に好ましい。また、隔壁と外殻の厚さの比（隔壁／外殻）は、０．５以上が好ましく、０．７５以上がより好ましく、０．８以上が更に好ましく、そして２．０以下が好ましく、１．９以下がより好ましく、１．５以下が更に好ましい。ここで、本明細書において「隔壁と外殻の厚さの比（隔壁／外殻）」は、無作為に採取した粒子３０個について、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて観察し、次の方法により隔壁と外殻の厚さを測定するものとする。即ち、１粒子ずつＳＥＭ像を撮影し、ＳＥＭ像から隔壁を無作為に３点抽出し、３点それぞれの中央部の厚みを計測し、その平均値を算出して、その粒子の隔壁の厚さとする。外殻についても同様にＳＥＭ像から無作為に３点抽出し、３点それぞれの中央部の厚みを計測し、その平均値を算出して、その粒子の外殻の厚さとする。そして、１粒子ごとの比を求め、粒子３０個の平均値を算出するものとする。なお、走査型電子顕微鏡として、例えば、ＪＳＭ−７００１Ｆ（日本電子社製）を使用することができる。このような隔壁と外殻の厚さの比とすることで、作製時に焼成熱が付与されやすいため、誘電正接悪化の原因となる特性基が十分に不活性化され、電子材料部品にフィラーとして添加した場合、より一層の低誘電正接化を期待できる。
【００２２】
本発明の無機酸化物中空粒子の形状は、真球状、扁楕円体や長楕円体等の略球状のいずれであってもよい。平均円形度は、低誘電正接化の観点から、０．８５以上が好ましく、０．９０以上が更に好ましい。ここで、「円形度」は、走査型電子顕微鏡写真から粒子の投影面積（Ａ）と周囲長（ＰＭ）を測定し、周囲長（ＰＭ）に対する真円の面積を（Ｂ）とすると、その粒子の円形度はＡ／Ｂとして表される。そこで、試料粒子の周囲長（ＰＭ）と同一の周囲長を持つ真円の周囲長及び面積は、それぞれＰＭ＝２πｒ、Ｂ＝πｒ2であるから、Ｂ＝π×（ＰＭ／２π）2となり、この粒子の円形度は、円形度＝Ａ／Ｂ＝Ａ×４π／（ＰＭ）2として算出される。１００個の粒子について円形度を測定し、その平均値でもって平均円形度とする。
【００２３】
本発明の無機酸化物中空粒子は、低誘電率化の観点から、１ＧＨｚにおける誘電正接が０．０００６０以下であることが好ましく、０．０００５５以下がより好ましく、０．０００５０以下が更に好ましい。ここで、本明細書において「誘電正接」は、温度２５℃、湿度６０％の環境下、１ＧＨｚにおいて測定するものとする。なお、誘電正接は、例えば、摂動方式空洞共振器（ＫＥＹＣＯＭ社製）を用いて測定することができる。
【００２４】
本発明の無機酸化物中空粒子は、断熱材料、遮熱材料、触媒担体、建築材料、電子材料等に適用することができるが、誘電正接が低く、高強度の微小粒子であることから、電子材料、とりわけ配線回路基板、半導体封止材等に有用である。
【００２５】
また、本発明の無機酸化物中空粒子は、微小な粒子であるため、媒体への分散性にも優れる。
媒体としては特に限定されないが、本発明の効果を享受しやすい点で、例えば、樹脂、塗料、ゴム、溶剤を挙げることができる。
媒体として樹脂を用いた場合には、電子材料、例えば、配線回路基板や半導体封止材等を形成するための樹脂組成物とすることができる。なお、樹脂としては、配線回路や半導体封止材の分野において一般的に使用されているものであれば、特に限定されない。
【００２６】
樹脂組成物中の無機酸化物中空粒子の含有量は、その用途により適宜選択可能であるが、通常１〜９７質量％であり、好ましくは５〜６０質量％であり、更に好ましくは１５〜４０質量％である。
【００２７】
また、樹脂組成物は、有機溶媒に溶解又は分散したワニスの形態であってもよく、該ワニスを基材に含浸させてプリプレグとすることもできる。
ワニス中の固形分（不揮発分）濃度は、その用途に応じて適宜選択可能であるが、通常５〜８０質量％であり、好ましくは１０〜７０質量％である。
ワニスを含浸させる基材としては特に限定されず、例えば、無機繊維、有機繊維、炭素繊維等が挙げられる。なお、含浸は、浸漬（ディッピング）や塗布等によって行うことができる。
【００２８】
更に、例えば、金属箔付基板上に、上記したワニスを塗布した後、加熱・硬化を行って金属箔付基板上に樹脂層を形成した後、金属箔をエッチングにより除去して導体パターンを形成することにより配線回路基板を製造することもできる。なお、ワニスを基材上に塗布する際には、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法（スピンコート法）、スリットダイ塗布法（スリット塗布法）、バー塗布法等の適宜の塗布法を採用することができる。
【００２９】
媒体と無機酸化物中空粒子との混合方法は特に限定されないが、例えば、各成分をミキサー等によって十分に均一に撹拌及び混合した後、ミキシングロール、押出機、ニーダー、ロール、エクストルーダー等を用いて混練すればよい。なお、混合条件は、混合方法により適宜設定することができる。
【００３０】
本発明の無機酸化物中空粒子の製造方法は、上記構成を有する無機酸化物中空粒子を得ることができれば特に限定されないが、例えば、原料化合物を含む被噴霧液体を、噴霧熱分解装置内に装着された噴霧装置から噴霧し、噴霧された液滴（ミスト）を熱分解する方法を挙げることができる。
【００３１】
原料化合物としては、酸化物を構成する元素としてホウ素、ナトリウム、カルシウム及びアルミニウムから選択される１又は２以上の元素を含有する化合物を挙げることができる。かかる化合物としては、水に溶解する化合物であれば特に限定されないが、例えば、無機塩、有機塩、アルコキシドを挙げられ、１又は２以上を含有することができる。無機塩としては、例えば、硝酸塩、硫酸塩、炭酸塩、水酸化物、ハロゲン化物を挙げられる。有機塩としては、例えば、ギ酸塩、酢酸塩、プロピオン酸塩、シュウ酸塩、クエン酸塩を挙げることができる。
ナトリウム含有化合物としては、例えば、塩化ナトリウム、水酸化ナトリウム、硫酸ナトリウム等のナトリウム塩が挙げられる。
ホウ素含有化合物としては、例えば、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム等のメタホウ酸塩、四ホウ酸ナトリウム、四ホウ酸カリウム等の四ホウ酸塩、五ホウ酸ナトリウム、五ホウ酸カリウム等の五ホウ酸塩等のホウ酸塩、ホウ酸を挙げることができる。
カルシウム含有化合物としては、例えば、硝酸カルシウム、塩化カルシウム、水酸化カルシウム、蟻酸カルシウム、酢酸カルシウム、プロピオン酸カルシウム等のカルシウム塩が挙げられる。
アルミニウム含有化合物としては、例えば、硝酸アルミニウム、硫酸アルミニウム、塩化アルミニウム、燐酸アルミニウム、水酸化アルミニウム、酢酸アルミニウム、シュウ酸アルミニウム等の無機塩、アルミニウムメトキシド、アルミニウムエトキシド、アルミニウムイソプロポキシド等のアルミニウムアルコキシドを挙げることができる。また、アルミノケイ酸塩や、アルミニウム酸化物を溶媒に分散した溶液、アルミニウム酸化物のゾル溶液も原料化合物溶液として用いることができる。アルミノケイ酸塩としては、例えば、アルミノケイ酸ナトリウム、アルミノケイ酸カリウム、アルミノケイ酸カルシウムを挙げられる。
【００３２】
本発明においては、原料化合物として、ホウ素、ナトリウム、カルシウム及びアルミニウム以外の元素を含有する化合物が更に含まれていてもよい。
このような化合物としては水に溶解する金属化合物であれば特に限定されないが、例えば、リチウム塩、カリウム塩、チタン塩、マグネシウム塩、ストロンチウム塩、亜鉛塩、ジルコニウム塩、バリウム塩、セシウム塩、イットリウム塩、アルミノケイ酸塩、アルミニウムアルコキシド及びケイ酸アルコキシドから選ばれる１又は２以上を挙げることができる。これら金属の塩としては、例えば、無機塩、有機塩、アルコキシドが挙げられる。なお、無機塩及び有機塩の具体例は上記において説明したとおりである。
【００３３】
リチウム塩としては、例えば、塩化リチウム、硝酸リチウム、亜硝酸リチウムを挙げることができる。
カリウム塩としては、例えば、塩化カリウム、硝酸カリウム、硫酸カリウム等が挙げられる。
チタン塩としては、例えば、硝酸チタン、硫酸チタン、塩化チタンを挙げることができる。
マグネシウム塩としては、例えば、硝酸マグネシウム、硫酸マグネシウム、塩化マグネシウム、燐酸マグネシウム、水酸化マグネシウムを挙げることができる。
ストロンチウム塩としては、例えば、酢酸ストロンチウム、プロピオン酸ストロンチウムを挙げることができる。
亜鉛塩としては、例えば、硝酸亜鉛、硫酸亜鉛、塩化亜鉛が挙げられる。
ジルコニウム塩としては、例えば、オキシ硝酸ジルコニウム、オキシ塩化ジルコニウムを挙げることができる。
バリウム塩としては、例えば、硝酸バリウム、塩化バリウム、水酸化バリウムが挙げられる。
セシウム塩としては、例えば、硝酸セシウム、硫酸セシウム、塩化セシウムを挙げることができる。
イットリウム塩としては、例えば、硝酸イットリウム、硫酸イットリウム、塩化イットリウムが挙げられる。
ケイ酸アルコキシドとしては、例えば、オルトケイ酸テトラメチル（ＴＭＯＳ）、オルトケイ酸テトラエチル（ＴＥＯＳ）、オルトケイ酸テトラプロピル（ＴＰＯＳ）、テトラブトキシシランを挙げることができる。また、ケイ素酸化物を溶媒に分散した溶液、ケイ素酸化物のゾル溶液も原料化合物溶液として用いることができる。
中でも、本発明の効果を享受しやすい点で、マグネシウム塩及びケイ酸アルコキシドから選ばれる１以上を含むことが好ましい。
【００３４】
これら原料化合物から得られる酸化物としては、例えば、酸化ホウ素、酸化ナトリウム、酸化カルシウム、アルミナ、酸化マグネシウム、シリカが挙げられ、これら酸化物を組み合せた複合酸化物も挙げることができる。
【００３５】
被噴霧液体は、原料化合物を、水又はエタノール等の有機溶媒と混合して調製できる。なお、原料化合物の配合割合は、上記した組成の無機酸化物中空粒子となるように、原料化合物の種類に応じて適宜調整すればよい。
【００３６】
被噴霧液体中の原料化合物濃度は、各元素の総量として、０．０１ｍｏｌ／Ｌ〜２．０ｍｏｌ／Ｌが好ましく、０．１ｍｏｌ／Ｌ〜１．０ｍｏｌ／Ｌがより好ましい。
【００３７】
噴霧熱分解装置は、熱分解炉の形状が堅型円筒状であることが好ましく、熱分解炉の大きさは、製造スケールにより適宜選択することができる。
【００３８】
噴霧装置としては、例えば、２流体ノズル、３流体ノズル、４流体ノズル等の流体ノズルを挙げることができる。ここで、流体ノズルの方式には、気体と原料溶液とをノズル内部で混合する内部混合方式と、ノズル外部で気体と原料溶液を混合する外部混合方式があるが、いずれも採用できる。ノズルに供給する気体としては、例えば、空気や、窒素、アルゴン等の不活性ガス等を使用することができる。中でも、経済性の観点から、空気が好ましい。なお、噴霧装置は、１基又は２基以上設置することができる。
【００３９】
被噴霧液体の流量は、通常１〜１００Ｌ／ｈであり、好ましくは３〜８０Ｌ／ｈであり、更に好ましくは５〜６０Ｌ／ｈである。
【００４０】
噴霧装置から噴霧された液滴は、熱分解炉内の加熱装置により加熱されて無機化合物を含む膜が形成され、それを起点に無機酸化物中空粒子が形成される。
液滴の噴出速度は、通常１〜５０ｍ／ｓであり、好ましくは５〜３５ｍ／ｓであり、更に好ましくは１０〜２０ｍ／ｓである。
【００４１】
加熱装置は、例えば、燃焼バーナー、熱風ヒータ、電気ヒータ等を挙げることができる。加熱装置は、１基又は２基以上設置することが可能である。なお、燃焼バーナー、熱風ヒータ及び電気ヒータは、一般的に販売されているものあれば、いずれも使用することができる。
加熱装置の温度は、４００〜１８００℃が好ましく、６００〜１５００℃がより好ましく、７００〜１４００℃が更に好ましく、８００〜１２００℃がより更に好ましい。このような温度であれば、熱分解が十分となり、また粒子が熱分解炉外に排出されたときに粒子同士が凝集し難くなる。
【００４２】
熱分解反応によって生じた無機酸化物中空粒子は、熱分解炉の下流側から回収される。無機酸化物中空粒子の回収は、高性能サイクロン粉体回収機やバグフィルターを用いた粉体回収装置を用いることができる。
【００４３】
また、本発明においては、回収した無機酸化物中空粒子をエタノールと撹拌混合し、該粒子をエタノールに一旦浸漬させた後、液面に浮遊した粒子のみを採取してもよい。これにより、粒子内部の空洞が独立気泡を有する無機酸化物中空粒子を高純度で得ることができる。なお、エタノールの使用量は、無機酸化物中空粒子に対して、通常５〜２０質量倍であり、好ましくは１０〜１５質量倍である。
【実施例】
【００４４】
以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記の実施例に限定されるものではない。
【００４５】
１．化学組成の分析
無機酸化物中空粒子をプレス機で成型してブリケットを作製し、そのブリケットを蛍光Ｘ線分析装置（ＺＳＸ ｐｒｉｍｕｓ II、リガク社製）にて酸化物換算で測定し、分析対象である元素の酸化物（ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＣａＯ、ＭｇＯ、Ｂ2Ｏ3、Ｎａ2Ｏ）の合計値が１００％となるよう、下記式により補正することで、各々の化学成分を算出した。
化学組成（補正後）（％）＝化学組成（補正前）×１００／（１００−不純物（％））
不純物（％）は１００から上述した酸化物の化学組成の合計値を差し引いたものである。
【００４６】
２．空洞率の分析
乾式自動密度計としてアキュピック（島津製作所製）を使用し、粒子の嵩密度と真密度を測定し、下記式により算出した。なお、「嵩密度」は、ＪＩＳ  Ｒ  １６２０に準拠して気体置換法により測定した。また、真密度は、空洞部分を取り除くために、箱型電気炉にて融点以上で６時間加熱した後、冷却して乾式自動密度計で測定した。
【００４７】
空洞率＝（真密度−嵩真密度）×１００／真密度
【００４８】
３．平均粒子径の分析
粒子径分布測定装置（ＭＴ３０００II、マイクロトラックベル社製）を用い、ＪＩＳ  Ｒ １６２９に準拠して体積基準の粒度分布を作成し、積算分布曲線の５０％に相当する粒子径（Ｄ50）を求めた。
【００４９】
４．ＢＥＴ比表面積の分析
流動式比表面積自動測定装置（ＦｌｏｗＳｏｒｂIII２３０５、島津製作所社製）を用い、得られた粒子のＢＥＴ比表面積を測定した。測定には、窒素を３０％含有する窒素・ヘリウム混合ガスを使用した。
【００５０】
５．隔壁／外殻の厚さの比、並びに隔壁及び凝集の有無の分析
走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて粒子を観察し、隔壁及び凝集の有無を確認した後、次の方法により隔壁と外殻の厚さを測定した。試料０．０５ｇをエポキシ樹脂９ｇと混合し乾燥して固めた硬化物を切断し、断面（１０ｍｍ×５ｍｍ）を研磨した。研磨した断面部分を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて観察し、隔壁と外殻の厚さを測定した。無作為に採取した粒子３０個について、１粒子ずつＳＥＭ像を撮影し、ＳＥＭ像から隔壁を無作為に３点抽出し、３点それぞれの中央部の厚みを計測し、その平均値を算出して、その粒子の隔壁の厚さとした。外殻についても同様にＳＥＭ像から無作為に３点抽出し、３点それぞれの中央部の厚みを計測し、その平均値を算出して、その粒子の外殻の厚さとした。そして、１粒子ごとの比を求め、粒子３０個の平均値を算出した。なお、走査型電子顕微鏡として、ＪＳＭ−７００１Ｆ（日本電子社製）を使用した。
【００５１】
６．誘電正接の測定
誘電正接は摂動方式空洞共振器（ＫＥＹＣＯＭ社製）を用い、温度２５℃、湿度６０％の環境下、１ＧＨｚにおいて測定した。
【００５２】
実施例１
反応容器内に原料無機化合物含有水溶液を投入し、原料無機化合物含有水溶液を３時間攪拌した。なお、原料無機化合物含有水溶液は、硝酸カルシウム（大崎工業製）を０．０７ｍｏｌ／Ｌ、硝酸アルミニウム（博光化学工業製）を０．０１３ｍｏｌ／Ｌ、オルトケイ酸テトラエチル（多摩化学工業製）を０．３４ｍｏｌ／Ｌ、ホウ酸（米山化学工業）を０．２７ｍｏｌ／Ｌとなるように水道水に溶解して調製した。続いて、この原料無機化合物含有水溶液を２流体ノズルに送液し、ノズルから噴霧熱分解炉内に原料無機化合物含有水溶液を噴霧し、１１００℃で焼成して無機酸化物中空粒子を回収した。回収した無機酸化物中空粒子２０ｇをエタノール３００ｇと撹拌混合し、該粒子をエタノールに一旦浸漬させた後、液面に浮遊した粒子のみを採取した。そして、採取した無機酸化物中空粒子について分析を行った。その結果を表１に示す。採取した無機酸化物中空粒子とその断面のＳＥＭ像を図１及び図２に、断面を観察した際のスケッチを図３に示す。
【００５３】
実施例２〜６及び比較例１
表１に示す化学組成となるように、硝酸カルシウム、硝酸マグネシウム、硝酸アルミニウム、オルトケイ酸テトラエチル及びホウ酸、必要により硝酸ナトリウムを水道水で溶解したこと以外は、実施例１と同様の操作により無機酸化物中空粒子を採取した。採取した無機酸化物中空粒子について分析を行った。その結果を表１に示す。
【００５４】
比較例２
表１に示す化学組成となるように、実施例２〜６及び比較例１同様の操作により製造し、採取した無機酸化物中空粒子３．０ｇを、容積３０ｃｃのアルミナ製るつぼに投入し、電気炉（Ｓ７−２０３５Ｄ−ＯＰ、モトヤマ社製）を用いて８００℃で１０ｍｉｎ加熱することで、焼結体を得た。そして、この焼結体について分析を行った。その結果を表１に示す。
【００５５】
【表１】
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【００５６】
比較例１は、粒子内部に空洞を有する中空粒子であるものの、ナトリウム酸化物の含有量が５質量％を超えるため、空洞が隔壁によって区切られていなかった。しかも誘電正接が０．０１２５と高いものであった。
比較例２は、粒子内部に空洞を有する中空粒子であるものの、１次粒子同士が点同士での接着凝集した２次粒子であるため、誘電正接が０．００６１と高いものであった。
一方、実施例１〜６は、ホウ素酸化物、ナトリウム酸化物、カルシウム酸化物及びアルミニウム酸化物を特定量含む無機酸化物によって構成されるため、空洞が独立気泡を有する中空粒子の１次粒子となり、しかも誘電正接がいずれも０．００６０以下という低いものであった。
【符号の説明】
【００５７】
１    無機酸化物中空粒子の断面
２    独立気泡
３    外殻
４    隔壁
【要約】
【課題】誘電正接が従来よりも低い無機酸化物中空粒子を提供すること。
【解決手段】外殻で覆われた空洞が１以上の隔壁によって区切られた複数の独立した空間を備え、１０量％以上４０質量％以下のホウ素酸化物と、５質量％以下のナトリウム酸化物と、１質量％以上５０質量％以下のカルシウム酸化物と、１４質量％以上２０質量％未満のアルミニウム酸化物とを含む無機酸化物により構成されている、無機酸化物中空粒子。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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