(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行方向の前後から被搬送物に接触する一対の揺れ抑え部を備える搬送車であって、
駆動部の駆動によって、前記被搬送物に接触する第一位置と、前記被搬送物から離反する第二位置との間で、前記揺れ抑え部を前記走行方向に移動させる移動機構と、
前記駆動部の駆動によって前記第一位置に移動された前記揺れ抑え部の、前記駆動部の駆動が停止した後における前記走行方向への移動を許容する緩衝機構と、を備え、
前記緩衝機構は、
前記揺れ抑え部に接続されると共に前記揺れ抑え部の前記第二位置方向への移動量に応じた動作量の動きをする作動部と、
前記揺れ抑え部が前記被搬送物を押圧するように前記作動部を付勢する第一付勢部と、
前記作動部の動作量が所定量以上になると前記作動部に作用して、前記揺れ抑え部が前記被搬送物を押圧するように前記作動部を付勢する第二付勢部と、を有し、
前記移動機構は、
回転軸を中心に双方向に回転自在に設けられると共に前記揺れ抑え部を支持する支持部と、
前記駆動部の駆動によって回転する駆動軸と、
前記駆動軸の回転によって双方向に回転するクランク部と、
一端が前記クランク部の前記駆動軸と偏心した位置に双方向に回転可能に接続され、他端が前記支持部の前記回転軸と偏心した位置に双方向に回転可能に接続される連接部と、を有する、搬送車。
【請求項２】
前記揺れ抑え部が前記第一位置に位置するとき、前記駆動軸と、前記クランク部と前記連接部との接続位置と、前記連接部と前記支持部との接続位置とが前記連接部の延在方向に一直線上に位置する、請求項１記載の搬送車。
【請求項３】
前記緩衝機構は、前記連接部に設けられており、
前記作動部は、前記支持部に接続された第一接続部と、一端が前記第一接続部に接続された棒状の棒状部と、を有し、
前記緩衝機構は、前記クランク部に接続された第一本体部と、前記棒状部が挿通される挿通孔を有すると共に前記第一本体部と間隔をあけて配置された第二本体部と、を含む、第二接続部を更に有し、
前記第一付勢部は、前記第一接続部と前記第二本体部とに接触するように配置され、前記第二付勢部は、前記第一本体部に配置されるか又は前記棒状部の他端に固定され、
前記作動部の動作量が所定量以上になると前記棒状部と前記第一本体部とが前記第二付勢部を介して接触する、請求項１又は２記載の搬送車。
【請求項４】
前記移動機構は、前記駆動軸に固定される第一リンク部と、前記回転軸を中心に双方向に回転可能に設けられる第二リンク部と、前記第一リンク部及び前記第二リンク部の両方に双方向に回転可能に接続されている第三リンク部と、を有し、
前記第三リンク部は、前記被搬送物の下方に配置される進出位置と、前記被搬送物の下方から退避した位置に配置される退避位置との間で移動可能に設けられており、
前記第三リンク部における前記進出位置への移動は、前記揺れ抑え部の前記第一位置への移動と連動し、前記第三リンク部における前記退避位置への移動は、前記揺れ抑え部の前記第二位置への移動と連動する、請求項１〜３の何れか一項記載の搬送車。
【請求項５】
前記第二付勢部の弾性係数は、前記第一付勢部の弾性係数より大きい、請求項１〜４の何れか一項記載の搬送車。
【請求項６】
前記第二付勢部は、粘弾性を有している、請求項１〜５の何れか一項記載の搬送車。
【請求項７】
前記第一付勢部はバネ部材であり、前記第二付勢部はゴム部材である、請求項１〜６の何れか一項記載の搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一側面は、搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム等の天井付近又は床面よりも高い位置を走行して、半導体ウェハ、レチクル、又は液晶基板等を収容した容器を搬送する天井搬送車が知られている。このような天井搬送車として、例えば、特許文献１には、被搬送物である容器の側面（天井搬送車の走行方向における前面又は後面）に接触する揺れ抑制装置を備える天井搬送車が開示されている。特許文献１に記載の天井搬送車では、走行時に発生する被搬送物の揺れを抑制できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１６６９１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような天井搬送車を含め、被搬送物を搬送する搬送車は、より重量の大きな被搬送物を搬送したり、より速い速度で被搬送物を搬送したりすることが求められている。このため、被搬送物の揺れを抑制する揺れ抑制装置も、より効果的に被搬送物の揺れを抑制することが求められている。【０００５】
そこで、本発明の一側面の目的は、走行方向における被搬送物の揺れを効果的に抑制することができる搬送車を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面に係る搬送車は、走行方向の前後から被搬送物に接触する一対の揺れ抑え部を備える搬送車であって、駆動部の駆動によって、被搬送物に接触する第一位置と、被搬送物から離反する第二位置との間で、揺れ抑え部を走行方向に移動させる移動機構と、駆動部の駆動によって第一位置に移動された揺れ抑え部の、駆動部の駆動が停止した後における走行方向への移動を許容する緩衝機構と、を備え、緩衝機構は、揺れ抑え部に接続されると共に揺れ抑え部の第二位置方向への移動量に応じた動作量の動きをする作動部と、揺れ抑え部が被搬送物を押圧するように作動部を付勢する第一付勢部と、作動部の動作量が所定量以上になると作動部に作用して、揺れ抑え部が被搬送物を押圧するように作動部を付勢する第二付勢部と、を有する。【０００７】
この構成の搬送車では、第一付勢部は、駆動部の停止後において、被搬送物に揺れが生じ、揺れ抑え部が走行方向に移動したとき、被搬送物の揺れが所定の範囲内であれば第一付勢部のみが、被搬送物を押圧するように作動部を付勢する。一方、被搬送物の揺れが所定の範囲を超えれば、第二付勢部が作動部に作用するようになり、揺れ抑え部が被搬送物を押圧するように作動部を付勢する。これにより、被搬送物の揺れが所定の範囲を超えると、被搬送物に作用する付勢力が瞬時に切り替わる。この結果、揺れ量が所定の範囲を超えた場合には、被搬送物によって押し出される一方の揺れ抑え部には相対的に大きな付勢力が付勢されるようになり、他方の揺れ抑え部には相対的に小さな付勢力が付勢されるようになる。この結果、双方の揺れ抑え部が同じような大きさの付勢力で押し合うことに起因して、被搬送物の揺れが続く状態を抑えることができる。すなわち、走行方向から同じ大きさの付勢力で支持されている場合と比べ、走行方向における被搬送物の揺れを効果的に抑制することができる。【０００８】
本発明の一側面に係る搬送車では、移動機構は、回転軸を中心に双方向に回転自在に設けられると共に揺れ抑え部を支持する支持部と、駆動部の駆動によって回転する駆動軸と、駆動軸の回転によって双方向に回転するクランク部と、一端がクランク部の駆動軸と偏心した位置に双方向に回転可能に接続され、他端が支持部の回転軸と偏心した位置に双方向に回転可能に接続される連接部と、を有していてもよい。この構成では、連接部に緩衝機構を設けることができるので、緩衝機構をコンパクトに実装することができる。【０００９】
本発明の一側面に係る搬送車では、揺れ抑え部が第一位置に位置するとき、駆動軸と、クランク部と連接部との接続位置と、連接部と支持部との接続位置とが連接部の延在方向に一直線上に位置してもよい。この構成では、揺れ抑え部が第一位置に位置するとき、クランク部と連接部とがいわゆる死点に位置する状態となり、駆動部の停止後に揺れ抑え部に作用する外力が駆動部に伝達され難くなる。この結果、大きな出力の駆動部を採用しなくても、揺れ抑え部に伝達される力に抗することができる。【００１０】
本発明の一側面に係る搬送車では、緩衝機構は、連接部に設けられており、作動部は、支持部に接続された第一接続部と、一端が第一接続部に接続された棒状の棒状部と、を有し、緩衝機構は、クランク部に接続された第一本体部と、棒状部が挿通される挿通孔を有すると共に第一本体部と間隔をあけて配置された第二本体部と、を含む、第二接続部を更に有し、第一付勢部は、第一接続部と第二本体部とに接触するように配置され、第二付勢部は、第一本体部に配置されるか又は棒状部の他端に固定され、作動部の動作量が所定量以上になると棒状部と第一本体部とが第二付勢部を介して接触してもよい。この構成では、連接部に緩衝機構を容易に設けることができる。【００１１】
本発明の一側面に係る搬送車では、移動機構は、駆動軸に固定される第一リンク部と、回転軸を中心に双方向に回転可能に設けられる第二リンク部と、第一リンク部及び第二リンク部の両方に双方向に回転可能に接続されている第三リンク部と、を有し、第三リンク部は、被搬送物の下方に配置される進出位置と、被搬送物の下方から退避した位置に配置される退避位置との間で移動可能に設けられており、第三リンク部における進出位置への移動は、揺れ抑え部の第一位置への移動と連動し、第三リンク部における退避位置への移動は、揺れ抑え部の第二位置への移動と連動してもよい。この構成では、揺れ抑え部の駆動源となる駆動部の動力を利用して、被搬送物の落下を防止する落下防止部としての第三リンク部を駆動できるので、それぞれに駆動部を設けることと比べ、装置全体のサイズをコンパクト化することができる。【００１２】
本発明の一側面に係る搬送車では、第二付勢部の弾性係数は、第一付勢部の弾性係数より大きくてもよい。この構成では、走行方向における被搬送物の揺れを効果的に抑えることができる。【００１３】
本発明の一側面に係る搬送車では、第二付勢部は、粘弾性を有していてもよい。この構成では、第二付勢力が粘弾性を有しているので、被搬送物の揺れを減衰させることができる。【００１４】
本発明の一側面に係る搬送車では、第一付勢部はバネ部材であり、第二付勢部はゴム部材であってもよい。この構成では、走行方向における被搬送物の揺れを効果的に抑制することができる第一付勢部及び第二付勢部を容易に構成することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の一側面によれば、走行方向における被搬送物の揺れを効果的に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、一実施形態に係る天井搬送車を示す正面図である。
【図２】図２は、図１の第一落下防止部、第二落下防止部、及び揺れ抑え部が進出位置に位置するときの各機構の状態を示した斜視図である。
【図３】図３は、図１の第一落下防止部、第二落下防止部、及び揺れ抑え部が退避位置に位置するときの各機構の状態を示した斜視図である。
【図４】図４は、図１の第二落下防止部及び揺れ抑え部が進出位置に位置するときの移動機構及び緩衝機構の状態を示した斜視図である。
【図５】図５は、図１の第二落下防止部及び揺れ抑え部が退避位置に位置するときの移動機構及び緩衝機構の状態を示した斜視図である。
【図６】図６（ａ）〜図６（ｄ）のそれぞれは、図１の緩衝機構の動作遷移を示す側面図である。
【図７】図７（ａ）及び図７（ｂ）のそれぞれは、図１の移動機構及び緩衝機構の動作遷移を示す平面図である。
【図８】図８（ａ）及び図８（ｂ）のそれぞれは、図１の移動機構及び緩衝機構の動作遷移を示す平面図である。
【図９】図９は、定常時における移動機構及び緩衝機構の状態を示した図であり、（ｂ）は、揺れ発生時における移動機構及び緩衝機構の状態を示した図である。
【図１０】図１０は、揺れ発生時における移動機構及び緩衝機構の状態を示した図である。
【図１１】図１１は、変形例に係る揺れ抑え部が進出位置に位置するときの移動機構及び緩衝機構の状態を示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１８】
図１に示される天井搬送車（搬送車）１は、クリーンルームの天井等、床面より高い位置に設けられる走行レール２に沿って走行する。天井搬送車１は、例えば保管設備と所定のロードポートとの間で物品としてのＦＯＵＰ（Front-Opening  Unified  Pod）（被搬送物）９０を搬送する。ＦＯＵＰ９０は、開口部を有する箱状の筐体９１と、開口部を覆う蓋９３と、を有している。蓋９３は、筐体９１に対し取り外し可能に設けられている。ＦＯＵＰ９０には、例えば、複数枚の半導体ウェハ等が収容される。ＦＯＵＰ９０は、天井搬送車１に保持されるフランジ９５を有している。
【００１９】
以下の説明では、説明の便宜のため、図１における左右方向（Ｘ軸方向）を天井搬送車１の前後方向（走行方向）とする。図１における上下方向を天井搬送車１の鉛直方向（Ｚ軸方向）とする。図１における奥行方向を天井搬送車１の幅方向（Ｙ軸方向）とする。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は互いに直交する。
【００２０】
図１に示されるように、天井搬送車１は、走行駆動部３と、水平駆動部５と、回転駆動部６と、昇降駆動部７と、昇降装置１０と、保持装置１１と、第一落下防止部２０と、第二落下防止部（第三リンク部）４０と、揺れ抑え部７０と、第一落下防止部２０の回動機構５０（図２及び図３参照）と、第二落下防止部４０及び揺れ抑え部７０の移動機構６０（図４及び図５参照）と、緩衝機構８０と、を備えている。天井搬送車１には、水平駆動部５、回転駆動部６、昇降駆動部７、昇降装置１０及び保持装置１１を走行方向における前後から覆うように一対のフレーム８，８が設けられている。一対のフレーム８，８は、昇降装置１０が上昇端まで上昇した状態において保持装置１１の下方に、ＦＯＵＰ９０が収容される空間を形成している。
【００２１】
走行駆動部３は、天井搬送車１を走行レール２に沿って移動させる。走行駆動部３は、走行レール２内に配置されている。走行駆動部３は、走行レール２を走行するローラ（図示しない）を駆動させる。走行駆動部３の下部には、軸３Ａを介して水平駆動部５が接続されている。水平駆動部５は、回転駆動部６、昇降駆動部７及び昇降装置１０を水平面内で走行レール２の延在方向に直交する方向（幅方向）に移動させる。回転駆動部６は、水平面内で昇降駆動部７及び昇降装置１０を回転させる。昇降駆動部７は、四本のベルト９の巻き上げ及び繰り出しにより昇降装置１０を昇降させる。なお、走行駆動部３は天井搬送車１に推進力を発生させるリニアモータ等で構成してもよい。また、昇降駆動部７におけるベルト９は、ワイヤ及びロープ等、適宜の吊持部材を用いてもよい。
【００２２】
本実施形態における昇降装置１０は、昇降駆動部７によって昇降可能に設けられており、天井搬送車１における昇降台として機能している。保持装置１１は、ＦＯＵＰ９０を保持する。保持装置１１は、Ｌ字状である一対のアーム１２，１２と、各アーム１２，１２に固定されたハンド１３，１３と、一対のアーム１２，１２を開閉させる開閉機構１５と、を備えている。
【００２３】
一対のアーム１２，１２は、開閉機構１５に接続されている。開閉機構１５は、一対のアーム１２，１２を、互いに近接する方向及び互いに離間する方向に移動させる。開閉機構１５の動作により、一対のアーム１２，１２は、Ｘ軸方向に沿って進退する。これにより、アーム１２，１２に固定された一対のハンド１３，１３が開閉する。本実施形態では、一対のハンド１３，１３が開状態のときに、ハンド１３の保持面がフランジ９５の下面の高さより下方となるように、保持装置１１（昇降装置１０）の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のハンド１３，１３が閉状態となることで、ハンド１３，１３の保持面がフランジ９５の下面の下方へ進出し、この状態で昇降装置１０を上昇させることにより、一対のハンド１３，１３によってフランジ９５が保持され、ＦＯＵＰ９０の支持が行われる。
【００２４】
図２及び図３に示されるように、第一落下防止部２０は、蓋９３の正面に配置されることで、保持装置１１（図１参照）に保持されたＦＯＵＰ９０から蓋９３が落下するのを防止する。第一落下防止部２０は、Ｚ軸方向を回動軸とし、蓋９３の正面に配置される進出位置Ｐ１と、蓋９３の正面から退避した位置に配置される退避位置Ｐ２との間で、ＦＯＵＰ９０の正面９０ａ及び側面９０ｂに沿って回動可能に設けられている。第一落下防止部２０は、回動軸２０ａを基点に先端部２０ｂまで延在する板状部材である。第一落下防止部２０は、ステンレススチール等の材料により形成されている。第一落下防止部２０の一部は、第一落下防止部２０が進出位置Ｐ１に位置するとき、蓋９３と平行になるように形成されている。
【００２５】
第一落下防止部２０の回動機構５０は、一対のフレーム８，８にそれぞれ収容されている。回動機構５０は、駆動部５１と、駆動軸５２と、第一歯車部５３と、第二歯車部５４と、リンク部５５と、リンク部５６と、第三歯車部５７と、アーム部５８と、を有している。回動機構５０は、駆動部５１による回動運動を第一落下防止部２０の直線運動（進出位置と退避位置との往復運動）に変換する。
【００２６】
第二落下防止部４０は、ＦＯＵＰ９０の下面に配置されることで、保持装置１１（図１参照）に保持されたＦＯＵＰ９０自体、及びこのＦＯＵＰ９０から蓋９３が落下するのを防止する。第二落下防止部４０は、Ｙ軸方向に延在する板状部材であり、ステンレススチール等の材料により形成されている。図２〜図５に示されるように、第二落下防止部４０は、蓋９３の下方に配置される進出位置Ｐ３と、蓋９３の下方から退避した位置、すなわち、Ｚ軸方向上方から見た場合に、フレーム８の領域に格納される位置に配置される退避位置Ｐ４との間で移動可能に設けられている。
【００２７】
第二落下防止部４０における進出位置Ｐ３及び退避位置Ｐ４への移動は、第一落下防止部２０における進出位置Ｐ１及び退避位置Ｐ２への移動と連動する。すなわち、第一落下防止部２０が進出位置Ｐ１に進出すれば、第二落下防止部４０も進出位置Ｐ３に進出し、第一落下防止部２０が退避位置Ｐ２に退避すれば、第二落下防止部４０も退避位置Ｐ４に退避する。
【００２８】
揺れ抑え部７０は、ＦＯＵＰ９０の側面９０ｂに接触支持して、走行時における保持装置１１に保持されたＦＯＵＰ９０の天井搬送車１におけるＸ軸方向の揺れを抑制する。図４及び図５に示されるように、揺れ抑え部７０は、ＦＯＵＰ９０（図１参照）に接触支持する二つのローラ７０Ａ，７０Ａを含んで構成される。揺れ抑え部７０は、ＦＯＵＰ９０の側面９０ｂに接触配置される進出位置（第一位置）Ｐ５と、ＦＯＵＰ９０の側面９０ｂから離反した位置に配置される退避位置（第二位置）Ｐ６との間で移動可能に設けられている。
【００２９】
揺れ抑え部７０における進出位置Ｐ５及び退避位置Ｐ６への移動は、第一落下防止部２０における進出位置Ｐ１及び退避位置Ｐ２への移動と連動する。すなわち、第一落下防止部２０が進出位置Ｐ１に進出すれば、揺れ抑え部７０も進出位置Ｐ５に進出し、第一落下防止部２０が退避位置Ｐ２に退避すれば、揺れ抑え部７０も退避位置Ｐ６に退避する。また、揺れ抑え部７０における進出位置Ｐ５及び退避位置Ｐ６への移動は、第二落下防止部４０における進出位置Ｐ３及び退避位置Ｐ４への移動と連動する。すなわち、第二落下防止部４０が進出位置Ｐ３に進出すれば、揺れ抑え部７０も進出位置Ｐ５に進出し、第二落下防止部４０が退避位置Ｐ４に退避すれば、揺れ抑え部７０も退避位置Ｐ６に退避する。以下、第二落下防止部４０及び揺れ抑え部７０における第二落下防止部４０との連動動作について説明する。
【００３０】
図２〜図５に示されるように、第二落下防止部４０及び揺れ抑え部７０の移動機構６０は、一対のフレーム８，８（図１参照）にそれぞれ収容されており、回転軸（駆動軸）５９と、クランク部６１と、支持部６３と、連接部６５と、第一リンク部６２と、第二リンク部６６と、を有している。
【００３１】
回転軸５９は、第一落下防止部２０（図２及び図４参照）における一連の進出動作において回動する第三歯車部５７と一体的に回転する。すなわち、回転軸５９は、駆動部５１の駆動によって回転する。駆動部５１は、例えばステッピングモータである。クランク部６１は、回転軸５９に固定されており、回転軸５９の回転によって双方向に回転する。支持部６３は、回転軸６３ａを中心に双方向に回転自在に設けられ、揺れ抑え部７０を支持する。連接部６５は、一端が回転軸５９と偏心した位置（接続部６５ａ）において、クランク部６１に双方向に回転可能に接続され、他端が支持部６３の回転軸６３ａと偏心した位置（接続部６５ｂ）に双方向に回転可能に接続される。第一リンク部６２は、回転軸５９に固定され、回転軸５９の回転によって双方向に回転する。第二リンク部６６は、回転軸６３ａを中心に双方向に回転可能に設けられている。第二リンク部６６は、回転軸５９が回転すると同時に作動する連接部６５の動作によって回転軸６３ａを中心に双方向に回転する。第二落下防止部４０は、第一リンク部６２及び第二リンク部６６の両方に双方向に回転可能に固定されている。
【００３２】
図４〜図６（ａ）に示されるように、連接部６５には、緩衝機構８０が設けられている。緩衝機構８０は、駆動部５１の駆動によって進出位置Ｐ５に移動された揺れ抑え部７０の、駆動部５１の停止後におけるＸ軸方向への移動を許容する。緩衝機構８０は、第一接続部（作動部）８１と、棒状部（作動部）８２と、第二接続部８３と、第一付勢部８４と、第二付勢部８５と、を有している。
【００３３】
第一接続部８１及び棒状部８２は、揺れ抑え部７０の退避位置Ｐ６方向への移動量に応じた動作量の動きをする部材である。具体的には、第一接続部８１及び棒状部８２は、揺れ抑え部７０の退避位置Ｐ６方向への移動量に応じて、棒状部８２の延在方向に沿って第二接続部８３側に移動（動作）する。より詳細には、第一接続部８１及び棒状部８２は、揺れ抑え部７０の退避位置Ｐ６方向への移動量が大きくなるほど、棒状部８２の延在方向に沿って第二接続部８３側に大きく移動する。第一接続部８１は、支持部６３に回転可能に接続される棒状部材である。棒状部８２は、一方向Ｄに延在する棒状の部材である。棒状部８２の一端８２ａは、第一接続部８１に接続されており、棒状部８２の他端８２ｂには、第二付勢部８５が取り付けられている。第二接続部８３は、クランク部６１に接続された第一本体部８３ａと、棒状部８２が挿通される挿通孔８３ｃが形成されると共に、第一本体部８３ａと間隔をあけて配置された第二本体部８３ｂと、第一本体部８３ａと第二本体部８３ｂとを接続する接続部８３ｄと、を有している。
【００３４】
第一付勢部８４は、第一接続部８１と第二接続部８３の第二本体部８３ｂとの両方に接触するように配置されている。第一付勢部８４は、揺れ抑え部７０がＦＯＵＰ９０を押圧するように第一接続部８１を付勢する。更に詳細には、第一付勢部８４は、揺れ抑え部７０がＦＯＵＰ９０を押圧する方向に移動するように第一接続部８１を付勢する。第一付勢部８４はバネ部材である。
【００３５】
第二付勢部８５は、第一接続部８１及び棒状部８２の動作量（棒状部８２の延在方向における第一接続部８１及び棒状部８２の第二接続部８３側への移動量）が所定量以上となったときに棒状部８２に接触（作用）して、揺れ抑え部７０がＦＯＵＰ９０を押圧するように第一接続部８１及び棒状部８２を付勢する。更に詳細には、第一接続部８１及び棒状部８２の動作量が所定量以上となったときに初めて棒状部８２に接触して、揺れ抑え部７０がＦＯＵＰ９０を押圧する方向に移動するように第一接続部８１及び棒状部８２を付勢する。第二付勢部８５は、粘弾性を有しており、第一付勢部８４の弾性係数より大きい。第二付勢部８５は、例えば、ウレタンゴム等のゴム部材から形成されている。
【００３６】
第二付勢部８５は、棒状部８２の他端８２ｂに固定されており、第二付勢部８５は、第一接続部８１及び棒状部８２の第二接続部８３側への移動と同時に、第一本体部８３ａと第二本体部８３ｂとの間を第一本体部８３ａ方向に移動する。棒状部８２の動作量が所定量となったときに棒状部８２と第一本体部８３ａとが第二付勢部８５を介して接触するように配置されている（図６（ｂ）及び図６（ｃ）参照）。そして、第二付勢部８５は、棒状部８２の動作量が所定量より大きくなったときに、棒状部８２と第一本体部８３ａとによって圧縮されるようになる。すなわち、第二付勢部８５は、棒状部８２の動作量が所定量より大きくなったときに棒状部８２に作用して、揺れ抑え部７０がＦＯＵＰ９０を押圧するように棒状部８２を付勢する。
【００３７】
次に、第二落下防止部４０及び揺れ抑え部７０における進出及び退避動作について説明する。駆動部５１（図２及び図３参照）が駆動されることによって第三歯車部５７（図２及び図３参照）が回転すると、図４及び図５に示されるように、クランク部６１は、この回転に連動して矢印方向ａ１１に回転する。クランク部６１が回転すると、連接部６５の作用によって、支持部６３が回転軸６３ａを基点に矢印方向ａ１２に回転する。これにより、揺れ抑え部７０が進出位置Ｐ５に進出する。揺れ抑え部７０が進出位置Ｐ５に位置するとき、回転軸５９と、クランク部６１と連接部６５との接続部６５ａと、連接部６５と支持部６３との接続部６５ｂと、が一方向（連接部６５の延在方向）Ｄに一直線上に位置（クランク部６１と連接部６５とがいわゆる死点の状態に位置）している。なお、クランク部６１と連接部６５とがいわゆる死点の状態に位置するとき、図３に示されるように、第二歯車部５４の回転軸５４ａと、回転軸５４ａから偏心した位置にあると共に第二歯車部５４とリンク部５５との接続部５５ａと、リンク部５５とリンク部５６との接続部５５ｂと、が一方向に（リンク部５５の延在方向）一直線上に位置している。
【００３８】
上述したクランク部６１が回転すると同時に、第一リンク部６２が、回転軸５９を基点に矢印方向ａ２１に回転する。同様に、支持部６３が回転すると同時に、第二リンク部６６が、回転軸６３ａを基点に矢印方向ａ２２に回転する。これにより、第一リンク部６２及び第二リンク部６６に接続された第二落下防止部４０が進出位置Ｐ３に進出する。
【００３９】
以上に説明した一連の動作により、第一リンク部６２及び第二リンク部６６に回動可能に接続されている第二落下防止部４０が退避位置Ｐ４から進出位置Ｐ３に進出し、支持部６３に回動可能に接続されている揺れ抑え部７０が退避位置Ｐ６から進出位置Ｐ５に進出する。なお、第二落下防止部４０における進出位置Ｐ３から退避位置Ｐ４への移動、及び揺れ抑え部７０における進出位置Ｐ５から退避位置Ｐ６への移動は、上述の一連の動作とは逆の方向への動作により行われる。
【００４０】
次に、緩衝機構８０の動作について説明する。図７（ａ）に示されるように、第二落下防止部４０及び揺れ抑え部７０がそれぞれ退避位置Ｐ４及び退避位置Ｐ６に位置するとき、図６（ａ）に示されるように、第二付勢部８５は、第一本体部８３ａと接触しておらず、距離Ｇ０離れている。そして、図７（ｂ）に示されるように、揺れ抑え部７０がＦＯＵＰ９０に接触した時点から第一付勢部８４の圧縮が開始される。図８（ａ）に示されるように、第二落下防止部４０及び揺れ抑え部７０がそれぞれ進出位置Ｐ３及び進出位置Ｐ５に進出したとき、図６（ｂ）に示されるように、第二付勢部８５は、第一本体部８３ａと接触しておらず、距離Ｇ１離れている。この状態において、揺れ抑え部７０は、ＦＯＵＰ９０の側面９０ｂにＸ軸方向における前後から接触して、ＦＯＵＰ９０のＸ軸方向への揺れを抑制している。このとき、第一付勢部８４は、揺れ抑え部７０がＦＯＵＰ９０を押圧するように第一接続部８１を付勢し、第二付勢部８５は、棒状部８２を付勢していない。
【００４１】
駆動部５１の駆動によって進出位置Ｐ５に移動され、駆動部５１の駆動が停止した後、天井搬送車１の走行等によって、図８（ｂ）に示されるように、ＦＯＵＰ９０がＸ軸方向に揺れ量Ｍ１揺れると、図６（ｃ）に示されるように、第二付勢部８５は、第一本体部８３ａと接触する。このときも、図６（ｂ）の状態と同様に、第一付勢部８４は、揺れ抑え部７０がＦＯＵＰ９０を押圧するように第一接続部８１を付勢し、第二付勢部８５は、棒状部８２を付勢していない。
【００４２】
更に、ＦＯＵＰ９０がＸ軸方向に揺れ量Ｍ２（Ｍ２＞Ｍ１）揺れると、図６（ｄ）に示されるように、第二付勢部８５は、棒状部８２と第一本体部８３ａとによって圧縮される。これにより、第二付勢部８５が、棒状部８２に作用するようになり、揺れ抑え部７０がＦＯＵＰ９０を押圧するように棒状部８２を付勢する。第一付勢部８４は、このときも、揺れ抑え部７０がＦＯＵＰ９０を押圧するように第一接続部８１を付勢する。すなわち、上記実施形態の緩衝機構８０では、ＦＯＵＰ９０に所定の揺れ量Ｍ１よりも大きな揺れが発生し、揺れ抑え部７０が進出位置Ｐ５から退避位置Ｐ６方向に押し下げられると、押し下げられた量に応じて棒状部８２が一方向Ｄに第一本体部８３ａ側に押し下げられる。そして、棒状部８２と第一本体部８３ａとによって圧縮された第二付勢部８５が、棒状部８２に作用を及ぼすようになり、揺れ抑え部７０がＦＯＵＰ９０を押圧するように棒状部８２を付勢する。言い換えれば、第二付勢部８５は、棒状部８２の第一本体部８３ａに移動しようとする力に抗する弾性力を有している。
【００４３】
上記実施形態の天井搬送車１では、図９に示されるように、駆動部５１の停止後において、ＦＯＵＰ９０に揺れが生じ、揺れ抑え部７０がＸ軸方向に移動したとき、ＦＯＵＰ９０の揺れ量が所定の範囲（揺れ量Ｍ１）内であれば第一付勢部８４のみが、ＦＯＵＰ９０を押圧するように第一接続部８１を介して揺れ抑え部７０を力Ｆ１で付勢する。一方、図１０に示されるように、ＦＯＵＰ９０の揺れが所定の範囲（揺れ量Ｍ１）を超えれば、第二付勢部８５が圧縮されて棒状部８２に作用するようになり、ＦＯＵＰ９０を押圧するように棒状部８２を介して揺れ抑え部７０を力Ｆ１と力Ｆ２とを合わせた力で付勢する。これにより、ＦＯＵＰ９０の揺れが所定の範囲を超えると、ＦＯＵＰ９０に作用する付勢力が力Ｆ１から力Ｆ１と力Ｆ２とを合わせた力に瞬時に切り替わる。揺れ量が所定の範囲を超えた場合には、ＦＯＵＰ９０によって押し出される一方の揺れ抑え部７０には相対的に大きな付勢力が付勢されるようになり、他方の揺れ抑え部７０には相対的に小さな付勢力が付勢されるようになる。この結果、双方の揺れ抑え部７０，７０が同じ付勢力で押し合うことに起因してＦＯＵＰ９０の揺れが続く状態を抑えることができる。すなわち、Ｘ軸方向において前後から同じ大きさの付勢力で支持されている場合と比べ、Ｘ軸方向におけるＦＯＵＰ９０の揺れを効果的に抑制することができる。
【００４４】
更に、本実施形態では、揺れ抑え部によってＸ軸方向における前後からＦＯＵＰ９０を抑え付ける場合に、単に付勢力（弾性力）を大きくする場合と比べ以下の利点がある。すなわち、付勢力を大きくした場合には、ＦＯＵＰ９０に接触させるときの力が大きくなり、また、揺れるＦＯＵＰ９０から受ける力も大きくなるので、その力に抗するように駆動部の容量を大きくさせる必要がある。駆動部の容量が大きくなると、天井搬送車１の重量が増え、サイズも大きくなる。本実施形態の天井搬送車１では、ＦＯＵＰ９０に接触させるときの力は相対的に小さくて済み、また、揺れ量がＭ１の範囲内ではＦＯＵＰ９０から受ける力も小さいので、天井搬送車１の重量が増えたり、サイズが大きくなったりすることを抑制できる。
【００４５】
図４及び図５に示されるように、上記実施形態の天井搬送車１では、連接部６５に緩衝機構８０を設けられているので、緩衝機構８０をコンパクトに実装することができる。更に、図５に示されるように、上記実施形態の天井搬送車１では、揺れ抑え部７０が進出位置Ｐ５に位置するとき、クランク部６１と連接部６５とがいわゆる死点に位置する状態（回転軸５９と、クランク部６１と連接部６５との接続部６５ａと、連接部６５と支持部６３との接続部６５ｂと、が一方向（連接部６５の延在方向）Ｄに一直線上に位置する状態）となり、駆動部５１の停止後に揺れ抑え部７０に作用する外力が駆動部５１に伝達され難くなる。この結果、大きな出力の駆動部５１を採用しなくても、揺れ抑え部７０に伝達される力に抗することができる。
【００４６】
上記実施形態の天井搬送車１では、揺れ抑え部７０の駆動源となる駆動部５１の動力を利用して、ＦＯＵＰ９０の落下を防止する第二落下防止部４０を駆動できるので、それぞれの駆動機構に駆動部を設けることと比べ、装置全体のサイズをコンパクト化することができる。
【００４７】
上記実施形態の天井搬送車１では、第二付勢部８５の弾性係数が、第一付勢部８４の弾性係数より大きいので、Ｘ軸方向におけるＦＯＵＰ９０の揺れを効果的になくすことができる。更に、上記実施形態の天井搬送車１では、第二付勢部８５は、粘弾性を有しているゴム部材なので、ＦＯＵＰ９０の揺れを減衰させることができ、より効果的にＸ軸方向におけるＦＯＵＰ９０の揺れをなくすことができる。
【００４８】
以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の一側面の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００４９】
上記実施形態では、第一落下防止部２０と第二落下防止部４０と揺れ抑え部７０とが互いに連動する例を挙げて説明したが、それぞれ個々に動作してもよいし、任意の二要素が連動してもよい。
【００５０】
上記実施形態及び変形例では、第二付勢部８５が連接部６５に設けられている例を挙げて説明したが、これに限定されない。図１１に示されるように、例えば、ＦＯＵＰ９０に所定の揺れ量Ｍ１よりも大きな揺れが発生し、揺れ抑え部７０が進出位置Ｐ５から退避位置Ｐ６方向に押し下げられたときに、支持部６３の一部に接触するように、第二付勢部８５が設けてもよい。この場合、第二付勢部８５は、移動可能な付勢部支持部材８６に設けることができ、駆動部５１の駆動によって進出位置Ｐ５に揺れ抑え部７０を移動させた後に、支持部６３の一部に接触可能な位置に進出させてもよい。この構成によれば、揺れ抑え部７０の退避位置Ｐ６から進出位置Ｐ５への移動経路上であっても、第二付勢部８５を配置することができる。
【００５１】
上記実施形態及び変形例では、図８（ａ）に示されるように、第二落下防止部４０及び揺れ抑え部７０がそれぞれ進出位置Ｐ３及び進出位置Ｐ５に進出したとき、図６（ｂ）に示されるように、第二付勢部８５は、第一本体部８３ａと接触しておらず、距離Ｇ１離れている例を挙げて説明したが、これに限定されない。例えば、図８（ａ）に示される第二落下防止部４０及び揺れ抑え部７０の状態において、図６（ｃ）に示されるように、第二付勢部８５は、第一本体部８３ａと接触してもよいし、図６（ｄ）に示されるように、既に第二付勢部８５が圧縮された状態であってもよいし、また、図７（ｂ）に示される距離Ｇ１よりも長くなるように、第二付勢部８５と第一本体部８３ａとを離してもよい。
【００５２】
上記実施形態のように距離Ｇ１離すことによって、天井搬送車１に発生する振動がＦＯＵＰ９０に伝達されることを抑制でき、上記変形例のように、その距離を長くすれば上記振動の影響をより少なくすることができる。また、図８（ａ）に示される揺れ抑え部７０の状態において、第二付勢部８５が既に圧縮された状態となるように構成すれば、より強い力でＦＯＵＰ９０を抑え付けることができる。
【００５３】
上記実施形態及び変形例では、第一付勢部８４がバネ部材であって、第二付勢部８５がゴム部材である例を挙げて説明したが、ゴム部材、バネ部材、例えばシリコーン樹脂等によって形成されるゲル状の弾性体等の中から適宜選択してもよい。また、第一付勢部８４及び第二付勢部８５の弾性係数についても、両者が同じであってもよいし、第一付勢部８４が第二付勢部８５の弾性係数よりも大きくてもよい。
【００５４】
上記実施形態及び変形例では、天井搬送車１によって搬送される被搬送物の例としてＦＯＵＰを挙げて説明したが、カセット、マガジン、トレイ、又はコンテナ等であってもよい。
【００５５】
上記実施形態及び変形例では、揺れ抑え部７０が二つのローラ７０Ａ，７０Ａにより形成されている例を挙げて説明したが、例えば、樹脂製材料からなるブロック状の部材により形成されていてもよい。
【００５６】
上記実施形態及び変形例では、被搬送物を吊り下げた状態で搬送する例を挙げて説明したが、載置部に載置される被搬送物をＸ軸方向の前後から支持するような構成であってもよい。
【００５７】
上記実施形態及び変形例では、本願発明の一側面を、天井に敷設された走行レール２を走行する天井搬送車１に適用する例を挙げて説明したが、床部に設置されたレールを走行する搬送車に適用してもよいし、無軌道搬送車に適用してもよい。また、床面上の軌道に沿って水平方向に移載部を移動可能、且つ、マストに沿って上下方向に移載部を移動（昇降）させることが可能なスタッカクレーンのような搬送装置、水平方向又は上下方向のいずれかの方向にのみに移動可能な搬送装置等にも適用することが可能である。
【符号の説明】
【００５８】
１…天井搬送車（搬送車）、２０…第一落下防止部、４０…第二落下防止部（第三リンク部）、５９…回転軸（駆動軸）、６０…移動機構、６１…クランク部、６２…第一リンク部、６３…支持部、６３ａ…回転軸、６５…連接部、６６…第二リンク部、７０…揺れ抑え部、８０…緩衝機構、８１…第一接続部（作動部）、８２…棒状部（作動部）、８３…第二接続部、８３ａ…第一本体部、８３ｂ…第二本体部、８３ｃ…挿通孔、８３ｄ…接続部、８４…第一付勢部、８５…第二付勢部、９０…ＦＯＵＰ（被搬送物）、Ｐ５…進出位置（第一位置）、Ｐ６…退避位置（第二位置）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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