(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
裏面銀バスバーと、裏面アルミニウムフィンガーと、裏面パッシベーション層と、Ｐ型シリコンと、Ｎ型エミッタと、表面パッシベーション層と、表面銀フィンガーと、表面銀バスバーと、を備え、レーザーグルービングによって前記裏面パッシベーション層にレーザーグルービング領域が形成され、前記裏面アルミニウムフィンガーは、前記レーザーグルービング領域を介して前記Ｐ型シリコンに接続されている穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池であって、
前記穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池には、電池の表面と裏面を貫通する光透過領域が設置されており、
前記光透過領域は、前記裏面銀バスバー及び前記表面銀バスバー以外の領域に設置され、
前記光透過領域は、前記裏面アルミニウムフィンガー、または前記裏面アルミニウムフィンガー以外の領域に設置され、
前記光透過領域は、前記表面銀フィンガー、または前記表面銀フィンガー以外の領域に設置され、前記光透過領域が前記表面銀フィンガーに設置される場合、前記表面銀フィンガーは、第１の表面銀フィンガーと第２の表面銀フィンガーを備え、前記第２の表面銀フィンガーは、前記光透過領域を迂回し、且つ前記第１の表面銀フィンガーに接触するように形成される、ことを特徴とする穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池。
【請求項２】
前記光透過領域のサイズは、前記裏面アルミニウムフィンガーの幅よりも小さく、且つ前記表面銀フィンガーの幅よりも大きい、ことを特徴とする請求項１に記載の穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池。
【請求項３】
前記第１の表面銀フィンガーは線状であり、前記第２の表面銀フィンガーはアーチ状である、ことを特徴とする請求項１に記載の穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池。
【請求項４】
前記光透過領域は、円形の穴、方形の穴、五角形の穴、または六角形の穴である、ことを特徴とする請求項１に記載の穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池。
【請求項５】
前記光透過領域の数は２〜１００個である、ことを特徴とする請求項１に記載の穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池。
【請求項６】
前記光透過領域のサイズは１００μｍ〜５ｃｍである、ことを特徴とする請求項１に記載の穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池。
【請求項７】
前記裏面アルミニウムフィンガーの幅は１５０μｍ〜５.５ｃｍであり、前記表面銀フィンガーの幅は３０〜８０μｍである、ことを特徴とする請求項６に記載の穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池の製造方法であって、
Ｐ型シリコンであるシリコンウェハにレーザー穿孔を行い、光透過領域を形成するステップ（１）と、
前記シリコンウェハの表面および裏面にテクスチャ構造を形成するステップ（２）と、
前記シリコンウェハの表面に拡散処理を施して、Ｎ型エミッタを形成するステップ（３）と、
拡散処理時に形成されたリンケイ酸ガラスを除去するステップ（４）と、
前記シリコンウェハの表面及び裏面にパッシベーション層を形成するステップ（５）と、
前記シリコンウェハの裏面にレーザーグルービングするステップ（６）と、
前記シリコンウェハの裏面であって、前記光透過領域以外の領域に、裏面銀バスバーを印刷するステップ（７）と、
前記シリコンウェハの裏面であって、前記光透過領域または前記光透過領域以外の領域に、裏面アルミニウムフィンガーを印刷するステップ（９）と、
前記シリコンウェハの表面に表面銀バスバーおよび表面銀フィンガーを印刷し、且つ前記表面銀バスバーが前記光透過領域以外の領域に印刷されるステップ（１０）であって、
前記表面銀フィンガーは、前記光透過領域、または前記光透過領域以外の領域に印刷され、前記光透過領域が前記表面銀フィンガーに設置される場合、前記表面銀フィンガーは、第１の表面銀フィンガーと第２の表面銀フィンガーを備え、前記第２の表面銀フィンガーは、光透過領域を迂回し、且つ前記第１の表面銀フィンガーに接触するように形成されるステップ（１０）と、
前記シリコンウェハを高温で焼結して、裏面銀電極及び表面銀電極を形成するステップ（１１）と、
前記シリコンウェハに対して、ＬＩＤを抑制するためのアニーリング処理を施すステップ（１２）と、
前記シリコンウェハの周辺および前記光透過領域の周辺に対して、レーザー分離処理を施すステップ（１３）と、を備える、ことを特徴とする穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池の製造方法。
【請求項９】
ＰＥＲＣ太陽電池および封止材を備えるＰＥＲＣ太陽電池モジュールであって、
前記ＰＥＲＣ太陽電池は、請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池である、ことを特徴とするＰＥＲＣ太陽電池モジュール。
【請求項１０】
ＰＥＲＣ太陽電池を備えるＰＥＲＣ太陽エネルギーシステムであって、
前記ＰＥＲＣ太陽電池は、請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池である、ことを特徴とするＰＥＲＣ太陽エネルギーシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は太陽電池の技術分野に関し、特に、穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池、上記穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池の製造方法、上記穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池を用いた太陽電池モジュール、及び上記穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池を用いた太陽エネルギーシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
結晶シリコン系太陽電池は、太陽放射エネルギーを効率的に吸収し、光起電力効果によって光エネルギーを電気エネルギーに変換する素子であり、太陽光が半導体のＰＮ接合に照射されると、新たな電子−正孔対が形成され、ＰＮ接合の電界により、正孔がＮ型領域からＰ型領域へ移動し、電子がＰ型領域からＮ型領域へ移動することになり、回路が連通して電流が形成されることになる。
【０００３】
従来の結晶シリコン系太陽電池に、基本的に、表面パッシベーション技術のみが採用されている。即ち、ＰＥＣＶＤ（Ｐｌａｓｍａ−Ｅｎｈａｎｃｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ、プラズマ促進化学気相堆積）法によって、シリコンウェハの表面に窒化ケイ素層を堆積することで、少数キャリアの表面での再結合速度を下げて、結晶シリコン系電池の開放電圧と短絡電流を大幅に向上することで、結晶シリコン系太陽電池の光電変換効率を向上させることができる。シリコンウェハの裏面がパッシベーションされていないため、光電変換効率の向上には制限がある。
【０００４】
従来技術の両面太陽電池は、以下の構成を有する。基板にＮ型シリコンウェハを使用し、太陽光の光子が電池の裏面に照射されると、Ｎ型シリコンウェハで生成されたキャリアが、約２００μｍの厚さを有するシリコンウェハを通る。Ｎ型シリコンウェハの少数キャリアの寿命が長く、キャリアの再結合速度が低いため、一部のキャリアが表面のＰＮ接合に到着することができる。また、太陽電池の表面は、主要受光面となり、その変換効率が、電池全体の変換効率で占める割合が非常に高い。更に、太陽電池の表面と裏面が総合的に機能することによって、電池の変換効率が大幅に向上する。しかし、Ｎ型シリコンウェハの価格が高いし、Ｎ型両面電池のプロセスが複雑であるため、高効率かつ低コストの両面太陽電池をどのように開発するかは、企業や研究者からの注目が集められている問題となる。
【０００５】
一方、結晶シリコン系電池の光電変換効率に対する要求が高まるにつれて、裏面パッシベーション型（Ｐａｓｓｉｖａｔｅｄ  Ｅｍｉｔｔｅｒ  ａｎｄ  Ｒｅａｒ  Ｃｅｌｌ、ＰＥＲＣという）太陽電池が研究されつつあるが、本分野の主流メーカーは、主に、片面ＰＥＲＣ太陽電池を開発している。これに対して、本発明は、ＰＥＲＣ高効率電池と両面電池とを組み合わせ、総合的な光電変換効率が一層高まる両面ＰＥＲＣ太陽電池を開発することを求める。
【０００６】
両面ＰＥＲＣ太陽電池において、光電変換効率が高いとともに、両面で太陽光を吸収するため、発電量が一層高くなり、実際の応用で更に大きな使用価値がある。従って、本発明は、プロセスが簡単で、コストが低く、広く普及されやすく、光電変換効率が高いＰＥＲＣ両面太陽電池を提供することを求める。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の解決しようとする課題は、構成が簡単で、コストが抑えられ、広く普及されやすい、光電変換効率を大幅に向上させる穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池を提供することである。
本発明の解決しようとする課題は、プロセスが簡単で、コストが抑えられ、広く普及されやすい、光電変換効率を大幅に向上させる穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池の製造方法を提供することである。
本発明の解決しようとする課題は、構成が簡単で、コストが抑えられ、広く普及されやすい、光電変換効率を大幅に向上させる穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池モジュールを提供することである。
本発明の解決しようとする技術課題は、構成が簡単で、コストが抑えられ、広く普及されやすい、光電変換効率を大幅に向上させるＰ型ＰＥＲＣ両面太陽エネルギーシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は、穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池を提供する。当該穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池は、裏面銀バスバーと、裏面アルミニウムフィンガーと、裏面パッシベーション層と、Ｐ型シリコンと、Ｎ型エミッタと、表面パッシベーション層と、表面銀フィンガーと、表面銀バスバーと、を備え、レーザーグルービングによって裏面パッシベーション層にレーザーグルービング領域が形成され、上記裏面アルミニウムフィンガーは、レーザーグルービング領域を介してＰ型シリコンに接続されており、
上記ＰＥＲＣ両面太陽電池には、電池の表面と裏面を貫通する光透過領域が設置されており、
上記光透過領域は、裏面銀バスバー及び表面銀バスバー以外の領域に設置され、
上記光透過領域は、裏面アルミニウムフィンガー、または裏面アルミニウムフィンガー以外の領域に設置され、
上記光透過領域は、表面銀フィンガー、または表面銀フィンガー以外の領域に設置され、上記光透過領域が表面銀フィンガーに設置される場合、上記表面銀フィンガーは、第１の表面銀フィンガーと第２の表面銀フィンガーを備え、上記第２の表面銀フィンガーは、光透過領域を迂回し、且つ第１の表面銀フィンガーに接触するように形成される。
【０００９】
上記技術案の好ましい形態として、上記光透過領域のサイズは、裏面アルミニウムフィンガーの幅よりも小さく、且つ表面銀フィンガーの幅よりも大きい。
【００１０】
上記技術案の好ましい形態として、上記第１の表面銀フィンガーは線状であり、上記第２の表面銀フィンガーはアーチ状である。
【００１１】
上記技術案の好ましい形態として、上記光透過領域は、円形の穴、方形の穴、五角形の穴、または六角形の穴である。
【００１２】
上記技術案の好ましい形態として、上記光透過領域の数は２〜１００個である。
【００１３】
上記技術案の好ましい形態として、上記光透過領域のサイズは１００μｍ〜５ｃｍである。
【００１４】
上記技術案の好ましい形態として、上記裏面アルミニウムフィンガーの幅は１５０μｍ〜５.５ｃｍであり、上記表面銀フィンガーの幅は３０〜８０μｍである。
【００１５】
それに対応して、本発明は、穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池の製造方法をさらに開示し、当該製造方法は、
Ｐ型シリコンであるシリコンウェハにレーザー穿孔を行い、光透過領域を形成するステップ（１）と、
シリコンウェハの表面および裏面にテクスチャ構造を形成するステップ（２）と、
シリコンウェハの表面に拡散処理を施して、Ｎ型エミッタを形成するステップ（３）と、
拡散処理時に形成されたリンケイ酸ガラスを除去するステップ（４）と、
シリコンウェハの表面及び裏面にパッシベーション層を形成するステップ（５）と、
シリコンウェハの裏面にレーザーグルービングするステップ（６）と、
上記シリコンウェハの裏面であって、光透過領域以外の領域に、裏面銀バスバーを印刷するステップ（７）と、
上記シリコンウェハの裏面であって、光透過領域または光透過領域以外の領域に、裏面アルミニウムフィンガーを印刷するステップ（９）と、
上記シリコンウェハの表面に表面銀バスバーおよび表面銀フィンガーを印刷し、且つ上記表面銀バスバーが光透過領域以外の領域に印刷されるステップ（１０）であって、
上記表面銀フィンガーは、光透過領域、または光透過領域以外の領域に印刷され、上記光透過領域が表面銀フィンガーに設置される場合、上記表面銀フィンガーは、第１の表面銀フィンガーと第２の表面銀フィンガーを備え、上記第２の表面銀フィンガーは、光透過領域を迂回し、且つ第１の表面銀フィンガーに接触するように形成されるステップ（１０）と、
シリコンウェハを高温で焼結して、裏面銀電極及び表面銀電極を形成するステップ（１１）と、
シリコンウェハに対して、ＬＩＤを抑制するためのアニーリング処理を施すステップ（１２）と、
シリコンウェハの周辺および光透過領域の周辺に対して、レーザー分離処理を施すステップ（１３）と、を備える。
【００１６】
それに対応して、本発明は、ＰＥＲＣ太陽電池および封止材を備えるＰＥＲＣ太陽電池モジュールをさらに開示し、上記ＰＥＲＣ太陽電池は、上記いずれか一つの穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池である。
【００１７】
それに対応して、本発明は、ＰＥＲＣ太陽電池を備えるＰＥＲＣ太陽エネルギーシステムをさらに開示し、上記ＰＥＲＣ太陽電池は、上記いずれか一つの穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の実施は、下記の有益な効果が得られる。
本発明において、ＰＥＲＣ両面太陽電池には、電池の表面と裏面を貫通する光透過領域が設置されており、光透過領域と裏面銀バスバー、表面銀バスバー、裏面アルミニウムフィンガー、表面銀フィンガーとは、特別な構造設計を採用している。具体的に、上記光透過領域は、裏面銀バスバー及び表面銀バスバー以外の領域に設置され、且つ裏面アルミニウムフィンガー、または裏面アルミニウムフィンガー以外の領域に設置され、且つ表面銀フィンガー、または表面銀フィンガー以外の領域に設置される。上記光透過領域が表面銀フィンガーに設置される場合、上記表面銀フィンガーは、第１の表面銀フィンガーと第２の表面銀フィンガーを備え、上記第２の表面銀フィンガーは、光透過領域を迂回し、且つ第１の表面銀フィンガーに接触するように形成される。本発明によれば、表面から入射した太陽光は、電池の光透過領域を介して電池の裏面に照射され、さらに、両面太陽電池モジュールの裏面の反射媒体により、太陽光を電池の裏面に反射し、裏面反射される太陽光を増加し、電池裏面の光電変換効率を大幅に向上させ、電池裏面の光電変換効率を１％〜１０％（相対値）増加させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明による太陽電池を示す断面図である。
【図２】本発明による太陽電池の裏面構造の一実施例を示す模式図である。
【図３】本発明による太陽電池の裏面構造の別の実施例を示す模式図である。
【図４】本発明による太陽電池の表面構造の一実施例を示す模式図である。
【図５】本発明による太陽電池の表面構造の別の実施例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の目的、技術案および利点をより明確にするために、添付の図面を参照しながら本発明をより詳細に説明する。
【００２１】
図１〜図５に示すように、本発明は、穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池を提供し、当該穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池は、裏面銀バスバー１と、裏面アルミニウムフィンガー２と、裏面パッシベーション層３と、Ｐ型シリコン４と、Ｎ型エミッタ５と、表面パッシベーション層６と、表面銀フィンガー７と、表面銀バスバー８と、を備え、レーザーグルービングによって裏面パッシベーション層３にレーザーグルービング領域９が形成され、裏面アルミニウムフィンガー２は、レーザーグルービング領域９を介してＰ型シリコン４に接続される。
【００２２】
上記ＰＥＲＣ両面太陽電池には、電池の表面と裏面を貫通する光透過領域１０が設置されている。
【００２３】
上記光透過領域１０は、裏面銀バスバー１及び表面銀バスバー８以外の領域に設置される。光透過領域は、裏面銀バスバー１、表面銀バスバー８に影響してはならず、電池をモジュールにパッケージングする際の溶接に影響するためである。
【００２４】
上記光透過領域１０は、裏面アルミニウムフィンガー２、または裏面アルミニウムフィンガー２以外の領域に設置される。光透過領域１０は、電池の裏面において２つの実施形態があり、詳しくは、図２、図３を参照する。図２は太陽電池の裏面の構造の一実施例を示し、図２に示すように、上記光透過領域１０は、裏面アルミニウムフィンガー２に設置され、上記光透過領域１０のサイズは、裏面アルミニウムフィンガー２の幅よりも小さい。図３は太陽電池の裏面の構造の別の一実施例を示し、図３に示すように、上記光透過領域１０は、裏面アルミニウムフィンガー２以外の領域に設置され、上記光透過領域１０のサイズは、裏面アルミニウムフィンガー２の幅よりも大きくてもよく、裏面アルミニウムフィンガー２の幅に等しくてもよく、裏面アルミニウムフィンガー２の幅よりも小さくてもよい。
【００２５】
上記光透過領域１０は、表面銀フィンガー７、または表面銀フィンガー７以外の領域に設置される。光透過領域１０は、電池の表面において２つの実施形態があり、詳しくは、図４、図５を参照する。図４は太陽電池の表面の構造の一実施例を示し、図４に示すように、上記光透過領域１０は、表面銀フィンガー７に設置され、上記光透過領域１０のサイズは、表面銀フィンガー７の幅よりも大きい。上記光透過領域１０が表面銀フィンガー７に設置される場合、上記表面銀フィンガー７は、第１の表面銀フィンガー７１と第２の表面銀フィンガー７２を備え、上記第２の表面銀フィンガー７２は、光透過領域１０を迂回し、且つ第１の表面銀フィンガー７１に接触するように形成される。好ましくは、上記第１の表面銀フィンガー７１は線状であり、上記第２の表面銀フィンガー７２はアーチ状である。
【００２６】
なお、上記第１の表面銀フィンガー７１は、例えば、波状、鋸歯状などの他の形状であってもよく、上記第２の表面銀フィンガー７２は、例えば、曲線状、三角形、四角形、半円形などの他の形状であってもよい。第１の表面銀フィンガー７１、第２の表面銀フィンガー７２の実施形態は、本発明に限定されておらず、接続を実現できればよい。
図５は太陽電池の表面の構造の別の一実施例を示し、図５に示すように、上記光透過領域１０は表面銀フィンガー７以外の領域に設置され、上記光透過領域１０のサイズは、表面銀フィンガー７の幅よりも大きくてもよいし、表面銀フィンガー７の幅に等しくてもよい。
【００２７】
なお、図２〜５に示す実施例において、必要に応じて、光透過領域１０、裏面銀バスバー１、裏面アルミニウムフィンガー２、表面銀フィンガー７および表面銀バスバー８の形状、数およびサイズを設定することができ、その実施形態は、本発明に記載の実施例に限定されない。
【００２８】
本発明は、光透過領域１０を増設することで、表面から入射した太陽光は、電池の光透過領域を介して電池の裏面に照射され、さらに、両面太陽電池モジュールの裏面の反射媒体により、太陽光を電池の裏面へ反射することができ、裏面反射される太陽光を増加し、電池裏面の光電変換効率を大幅に向上させ、電池裏面の光電変換効率を１％〜１０％（相対値）増加させることができる。更に、本発明は、光透過領域１０を増設することで、裏面銀バスバー１、裏面アルミニウムフィンガー２、表面銀フィンガー７および表面銀バスバー８の数を減少しても、同等またはより良好な光電変換効率を達成でき、これにより、銀ペーストとアルミニウムペーストの量を効果的に削減し、コストを低減することができる。
【００２９】
好ましくは、上記光透過領域１０のサイズは、裏面アルミニウムフィンガー２の幅よりも小さく、且つ表面銀フィンガー７の幅よりも大きい。これにより、構造設計はより合理的になり、工業化もより容易に実施できる。
【００３０】
好ましくは、上記光透過領域１０は、円形の穴、方形の穴、五角形の穴、または六角形の穴である。より好ましくは、上記光透過領域１０は、円形の穴、正多角形の穴である。なお、本発明の光透過領域１０は、例えば、八角形の穴、十二角形の穴、又は不規則な多角形の穴などの他の形状であってもよく、その実施形態は、本発明に記載の実施例に限定されない。
【００３１】
好ましくは、上記光透過領域１０の数は、２〜１００個であり、上記光透過領域１０のサイズは、１００μｍ〜５ｃｍであり、上記裏面アルミニウムフィンガー２の幅は、１５０μｍ〜５.５ｃｍであり、上記表面銀フィンガー７の幅は、３０〜８０μｍである。より好ましくは、上記光透過領域１０の数は、１０〜５０個であり、上記光透過領域１０のサイズは、１２０μｍ〜４ｃｍであり、上記裏面アルミニウムフィンガー２の幅は、１８５μｍ〜４.５ｃｍであり、上記表面銀フィンガー７の幅は、４０〜７０μｍである。
【００３２】
好ましくは、上記裏面パッシベーション層３は、酸化アルミニウム層３１と窒化ケイ素層３２を備え、上記酸化アルミニウム層３１はＰ型シリコン４に接続され、上記窒化ケイ素層３２は酸化アルミニウム層３１に接続され、上記窒化ケイ素層３２の厚さは２０〜５００ｎｍであり、上記酸化アルミニウム層３１の厚さは２〜５０ｎｍである。
【００３３】
好ましくは、上記表面パッシベーション層６は表面窒化ケイ素層である。
【００３４】
それに対応して、本発明は、穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池の製造方法をさらに開示し、当該製造方法は、
Ｐ型シリコンであるシリコンウェハにレーザー穿孔を行い、光透過領域を形成するステップ（１）と、
シリコンウェハの表面および裏面にテクスチャ構造を形成するステップ（２）と、
シリコンウェハの表面に拡散処理を施して、Ｎ型エミッタを形成するステップ（３）と、
拡散処理時に形成されたリンケイ酸ガラスを除去するステップ（４）と、
シリコンウェハの表面及び裏面にパッシベーション層を形成するステップ（５）であって、
シリコンウェハの裏面に酸化アルミニウム膜を堆積すること（Ａ）と、シリコンウェハの裏面に窒化ケイ素膜を堆積すること（Ｂ）と、シリコンウェハの表面に窒化ケイ素膜を堆積すること（Ｃ）と、を備えるステップ（５）（なお、ＣとＡ、Ｂとの順序を入れ替えてもよく、ＣはＡ、Ｂより前であってもよい）と、
シリコンウェハの裏面にレーザーグルービングするステップ（６）と、
上記シリコンウェハの裏面であって、光透過領域以外の領域に、裏面銀バスバーを印刷するステップ（７）と、
上記シリコンウェハの裏面であって、光透過領域、または光透過領域以外の領域に、裏面アルミニウムフィンガーを印刷するステップ（９）と、
上記シリコンウェハの表面に表面銀バスバーおよび表面銀フィンガーを印刷し、且つ上記表面銀バスバーが光透過領域以外の領域に印刷されるステップ（１０）であって、
上記表面銀フィンガーは、光透過領域、または光透過領域以外の領域に印刷され、上記光透過領域が表面銀フィンガーに設置される場合、上記表面銀フィンガーは、第１の表面銀フィンガーと第２の表面銀フィンガーを備え、上記第２の表面銀フィンガーは、光透過領域を迂回し、且つ第１の表面銀フィンガーに接触するように形成されるステップ（１０）と、
シリコンウェハを高温で焼結して、裏面銀電極及び表面銀電極を形成するステップ（１１）と、
シリコンウェハに対して、ＬＩＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｉｎｄｕｃｅｓ  Ｄｅｇｒａｄａｔｉｏｎ）を抑制するためのアニーリング処理を施すステップ（１２）と、
シリコンウェハの周辺および光透過領域の周辺に対して、レーザー分離（Ｌａｓｅｒ  Ｉｓｏｌａｔｉｏｎａｔｉｏｎ）処理を施すステップ（１３）と、を備える。
【００３５】
本発明による製造方法は、シリコンウェハの裏面を研磨するステップをさらに備え、当該ステップは、拡散処理時に形成されたリンケイ酸ガラスを除去するステップ（４）の後に設定される。なお、裏面研磨処理は必要に応じて採用され、本発明において、裏面研磨処理を施してもよいし、裏面研磨処理を施さなくてもよい。
【００３６】
それに対応して、本発明は、ＰＥＲＣ太陽電池および封止材を備えるＰＥＲＣ太陽電池モジュールをさらに開示し、上記ＰＥＲＣ太陽電池は、上記いずれか一つの穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池である。具体的に、ＰＥＲＣ太陽電池モジュールの一実施例として、上から順に接続される高透過性強化ガラス、エチレン-酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、ＰＥＲＣ太陽電池、エチレン-酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、およびバックプレートで構成される。
【００３７】
それに対応して、本発明は、ＰＥＲＣ太陽電池を備えるＰＥＲＣ太陽エネルギーシステムをさらに開示し、上記ＰＥＲＣ太陽電池は、上記いずれか一つの穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池である。ＰＥＲＣ太陽エネルギーシステムの好ましい一実施例として、ＰＥＲＣ太陽電池、蓄電池パック、充放電コントローラインバータ、交流配電キャビネット、および太陽追尾制御システムを備える。その中、ＰＥＲＣ太陽エネルギーシステムは、蓄電池パック、充放電コントローラインバータを有してもよいし、有していなくてもよく、当業者は、必要に応じて設置可能である。
【００３８】
なお、ＰＥＲＣ太陽電池モジュールとＰＥＲＣ太陽エネルギーシステムにおいて、穿孔ＰＥＲＣ両面太陽電池以外の部材は、先行技術を参照して設計すればよい。
なお、上記実施例は、本発明を実施するための形態を説明するのみに用いられ、本発明の範囲を制限するわけがない。好ましい実施例を参照しながら本発明を詳細に説明したが、当業者であれば、本発明の要旨および範囲を逸脱しない範囲で様々な変更及び均等な置換が可能であることを理解すべきである。
【符号の説明】
【００３９】
１  裏面銀バスバー
２  裏面アルミニウムフィンガー
３  裏面パッシベーション層
３１  酸化アルミニウム層
３２  窒化ケイ素層
４  Ｐ型シリコン
５  Ｎ型エミッタ
６  表面パッシベーション層
７  表面銀フィンガー
７１  第１の表面銀フィンガー
７２  第２の表面銀フィンガー
８  表面銀バスバー
９  レーザーグルービング領域
１０  光透過領域
【図１】
0006815533.tif 000002
【図２】
0006815533.tif 000003
【図３】
0006815533.tif 000004
【図４】
0006815533.tif 000005
【図５】
0006815533.tif 000006