(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂材料を収容した容器を保管する容器保管部と、
前記容器保管部に保管された前記容器を所定の上昇位置まで上昇させる昇降機構と、
前記上昇位置にある前記容器のキャップを開封するキャップ開封機構と、
前記キャップ開封機構により開封された前記容器を横方向に移動させ、複数の樹脂供給位置のうちいずれかの位置まで移動させる横移動機構と、
前記樹脂供給位置にある前記容器を回転させることで、前記容器に収容された樹脂材料を排出する回転機構と、
を備える樹脂供給機構。
【請求項２】
前記複数の樹脂供給位置に対応するように配置され、前記容器から排出される樹脂材料を収容する複数の樹脂収容部をさらに備える、
請求項１に記載の樹脂供給機構。
【請求項３】
樹脂材料が排出された前記容器を回収する容器回収部をさらに備える、
請求項１又は請求項２に記載の樹脂供給機構。
【請求項４】
前記容器が移動する空間の集塵を行う集塵機構をさらに備える、
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の樹脂供給機構。
【請求項５】
前記集塵機構は、間欠的に集塵を行う、
請求項４に記載の樹脂供給機構。
【請求項６】
前記集塵機構は、前記横移動機構による前記容器の移動開始のタイミングに基づいて、集塵を開始する、
請求項５に記載の樹脂供給機構。
【請求項７】
前記容器保管部は、前記容器の長手方向を横に向けた状態で、上下に重なるように複数保管することが可能である、
請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の樹脂供給機構。
【請求項８】
請求項１から請求項７までのいずれか一項に記載の樹脂供給機構を備える樹脂成形装置。
【請求項９】
請求項８に記載の樹脂成形装置を用いて樹脂成形品を製造する樹脂成形品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂供給機構、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、成形装置に対して粒状の樹脂材料を供給する樹脂供給システムが開示されている。このシステムでは、樹脂材料が収容された容器が把持機構により把持され、昇降部によって樹脂が供給可能となる位置に移送される。その後、開閉部により容器のキャップが外され、回転部によって把持機構が傾けられることで、容器に収容されている樹脂材料が樹脂溜部の供給口に供給される。樹脂材料が供給されて空になった容器は、昇降部によって再び下方へと移送され、回収される。樹脂溜部に収容された樹脂材料は、さらに樹脂成形部へと供給され、樹脂成形品が製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１８−４３３８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された樹脂供給システムでは、昇降部によって上昇された所定の位置（供給位置）で容器が傾けられて、樹脂材料が樹脂溜部の供給口へと供給される。すなわち、この樹脂供給システムでは、単一の位置（供給位置）から、単一の樹脂溜部へと樹脂材料が供給されることになる。
【０００５】
しかしながら、近年、樹脂成形品の大型化に伴って、樹脂溜部から樹脂成形部への樹脂材料の供給に要する時間が長くなり、樹脂成形品の製造効率の悪化が懸念されている。従って、製造効率の観点からは、複数の樹脂溜部を設け、複数の樹脂溜部に供給された樹脂材料を用いて、樹脂溜部から樹脂成形部への樹脂材料の供給を並行して行うことが望まれている。この場合には、複数の位置において（複数の樹脂溜部に対して）樹脂材料を供給可能な樹脂供給機構が必要となる。
【０００６】
本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、複数の位置において樹脂材料を供給可能な樹脂供給機構、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係る樹脂供給機構は、樹脂材料を収容した容器を保管する容器保管部と、前記容器保管部に保管された前記容器を所定の上昇位置まで上昇させる昇降機構と、前記上昇位置にある前記容器のキャップを開封するキャップ開封機構と、前記キャップ開封機構により開封された前記容器を横方向に移動させ、複数の樹脂供給位置のうちいずれかの位置まで移動させる横移動機構と、前記樹脂供給位置にある前記容器を回転させることで、前記容器に収容された樹脂材料を排出する回転機構と、を備えたものである。
【０００８】
また、本発明に係る樹脂成形装置は、前記樹脂供給機構を備えたものである。
【０００９】
また、本発明に係る樹脂成形品の製造方法は、前記樹脂成形装置を用いて樹脂成形品を製造するものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、複数の位置において樹脂材料を供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る樹脂成形装置の全体的な構成を示した平面模式図。
【図２】本発明の一実施形態に係る樹脂供給装置の全体的な構成を示した正面図。
【図３】樹脂供給装置の右部を示した拡大正面図。
【図４】容器保管部に容器が保管された様子、及び容器が搬出される様子を示した図。
【図５】（ａ）回転機構、横移動機構及びキャップ開封機構を示した拡大正面図。（ｂ）同じく、拡大右側面図。
【図６】樹脂供給装置の上部を示した拡大正面図。
【図７】（ａ）樹脂収容部を示した拡大右側面図。（ｂ）樹脂収容部に樹脂材料が供給される様子を示した拡大右側面図。
【図８】（ａ）回転機構が容器を保持する様子を示した正面図。（ｂ）回転機構が容器を縦に回転させる様子を示した右側面図。（ｃ）キャップ開封機構が容器のキャップを回転させる様子を示した右側面図。（ｄ）キャップが容器から取り外された状態を示した右側面図。（ｅ）キャップ開封機構が容器にキャップを取り付ける様子を示した右側面図。（ｆ）回転機構が容器を横に回転させる様子を示した右側面図。
【図９】容器が右側の樹脂収容部まで移動する様子を示した拡大正面図。
【図１０】容器が回収される様子を示した拡大正面図。
【図１１】容器が左側の樹脂収容部まで移動する様子を示した拡大正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下では、図中の矢印Ｕ、矢印Ｄ、矢印Ｆ、矢印Ｂ、矢印Ｌ及び矢印Ｒで示した方向を、それぞれ上方向、下方向、前方向、後方向、左方向及び右方向と定義して説明を行う。
【００１３】
まず、図１を用いて、本実施形態に係る樹脂成形装置１の構成について説明する。樹脂成形装置１は、半導体チップなどの電子部品を樹脂封止し、樹脂成形品を製造するものである。特に本実施形態では、キャビティ内の樹脂材料を圧縮して成形する圧縮成形方式（コンプレッション方式）を採用した樹脂成形装置１を例示している。
【００１４】
樹脂成形装置１は、構成要素として、基板搬入搬出モジュール１０、基板受け渡しモジュール２０、成形モジュール３０、樹脂供給モジュール４０及び制御部５０を具備する。各構成要素は、他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。
【００１５】
基板搬入搬出モジュール１０は、電子部品を装着した基板Ｐを搬入すると共に、電子部品が樹脂封止された基板Ｐを搬出するものである。本実施形態においては、比較的大型の基板Ｐを用いることを想定している。例えば、基板Ｐは、１辺が４５０ｍｍ以上、５００ｍｍ以上、又は６００ｍｍ以上の矩形板状に形成される。基板搬入搬出モジュール１０は、主として搬入部１１、搬出部１２、検査部１３及びアーム機構１４を具備する。
【００１６】
搬入部１１は、樹脂封止されていない基板Ｐが配置される部分である。搬出部１２は、樹脂封止された基板Ｐが配置される部分である。搬入部１１及び搬出部１２は、それぞれ基板Ｐを複数収容することができる。
【００１７】
検査部１３は、樹脂封止された基板Ｐの検査を行う部分である。検査部１３は、樹脂封止された基板Ｐを載置する載置部、基板Ｐを検査する検査機構（不図示）等を具備する。
【００１８】
アーム機構１４は、基板Ｐを移動させるものである。アーム機構１４は、基板Ｐを吸着する吸着ハンド部１４ａ、吸着ハンド部１４ａが取り付けられるアーム部１４ｂ、アーム部１４ｂを適宜回転させたり移動させたりする駆動部１４ｃ等を具備する。
【００１９】
基板受け渡しモジュール２０は、基板搬入搬出モジュール１０と後述する成形モジュール３０との間で基板Ｐの受け渡しを行う部分である。基板受け渡しモジュール２０は、主としてローダ２１及びアンローダ２２を具備する。
【００２０】
ローダ２１は、樹脂封止されていない基板Ｐをアーム機構１４から受け取り、後述する成形モジュール３０の成形型３１へと搬送するものである。アンローダ２２は、樹脂封止された基板Ｐを後述する成形型３１から受け取り、基板搬入搬出モジュール１０へと搬送するものである。ローダ２１及びアンローダ２２は、左右方向に延びるレールＬに沿って移動することができる。本実施形態においては、ローダ２１とアンローダ２２は、一体的に移動するように互いに連結されている。
【００２１】
成形モジュール３０は、後述する樹脂供給モジュール４０から供給される樹脂材料を用いて、基板Ｐに装着された電子部品を樹脂封止するものである。本実施形態においては、成形モジュール３０は２つ並べて配置される。２つの成形モジュール３０によって基板Ｐの樹脂封止を並行して行うことで、樹脂成形品の製造効率を向上させることができる。成形モジュール３０は、主として成形型３１等を具備する。
【００２２】
成形型３１は、溶融した樹脂材料を用いて、基板Ｐに対して圧縮成形するものである。成形型３１は上下一対の型（上型及び下型）を具備する。下型には、樹脂材料が収容される凹状のキャビティ（不図示）が形成される。また成形型３１には、樹脂材料を溶融させるためのヒーター（不図示）が設けられる。
【００２３】
樹脂供給モジュール４０は、成形モジュール３０の成形型３１に樹脂材料を供給するものである。樹脂供給モジュール４０は、主として樹脂供給機構１００、小トレイ４１、小トレイ搬送機構４２、大トレイ４３及び大トレイ搬送機構４４を具備する。
【００２４】
樹脂供給機構１００は、後述する小トレイ４１に樹脂材料を供給するものである。樹脂供給機構１００は、並行して２つの小トレイ４１に樹脂材料を供給することができる。なお、樹脂供給機構１００の詳細な構成については後述する。
【００２５】
小トレイ４１は、樹脂供給機構１００から受け取った樹脂材料を、後述する大トレイ４３へと供給するものである。小トレイ４１は、上面に樹脂材料を保持することができる。小トレイ４１は、平面視における大きさが、後述する大トレイ４３の大きさの４分の１程度となるように形成される。
【００２６】
小トレイ搬送機構４２は、小トレイ４１を適宜の位置に搬送するものである。小トレイ搬送機構４２は、樹脂供給機構１００と大トレイ４３との間で、小トレイ４１を往復させるように搬送することができる。
【００２７】
大トレイ４３は、小トレイ４１から受け取った樹脂材料を、成形モジュール３０の成形型３１へと供給するものである。大トレイ４３は、上面に樹脂材料を保持することができる。大トレイ４３は、成形型３１のキャビティの平面形状に対応した平面形状（例えば、矩形状）となるように形成される。
【００２８】
大トレイ搬送機構４４は、大トレイ４３を適宜の位置に搬送するものである。大トレイ搬送機構４４は、左右方向に延びるレールＬに沿って移動することができる。
ここで、小トレイ４１、大トレイ４３について、説明を補足する。ここでの「トレイ」とは、内部に顆粒状の樹脂材料を収容可能なものであればよく、その樹脂材料収容部は単一でも複数でもよい。例えば、トレイとして、樹脂材料収容部が複数の領域に分割されており、下方に設けられたシャッター機構を用いて、複数の樹脂材料収容部に収容された樹脂材料を落下させる構成を採用することができる。また、トレイとして、長手方向に沿って一部が開口され内部がくり貫かれたような円筒形状の部材を複数一方向に並ぶように配列し、それら円筒形状の複数の部材を回転させて、円筒形状の複数の部材の内部空間に収容された樹脂材料を落下させる構成も採用することができる。
【００２９】
制御部５０は、樹脂成形装置１の各モジュールの動作を制御するものである。制御部５０によって、基板搬入搬出モジュール１０、基板受け渡しモジュール２０、成形モジュール３０及び樹脂供給モジュール４０の動作が制御される。また、制御部５０を用いて、各モジュールの動作を任意に変更（調整）することができる。
【００３０】
次に、上述の如く構成された樹脂成形装置１の動作（樹脂成形品の成形方法）の概要について説明する。
【００３１】
まず、搬入部１１に配置された樹脂封止されていない基板Ｐが、アーム機構１４によってローダ２１へと搬送される。
【００３２】
次に、ローダ２１がレールＬに沿って移動し、基板Ｐを一方の成形モジュール３０へと搬送する。成形モジュール３０に搬送された基板Ｐは、成形型３１の上型に吸着されて保持される。
【００３３】
次に、成形型３１の下型を覆うように、離型フィルムが配置される。
【００３４】
次に、樹脂供給モジュール４０から、成形モジュール３０の成形型３１に樹脂材料が供給される。ここで、樹脂供給モジュール４０では、予め樹脂供給機構１００から供給される樹脂材料が、小トレイ４１を介して大トレイ４３へと供給されている。小トレイ４１は大トレイ４３の４分の１程度の大きさとなるように形成されているため、延べ４つの小トレイ４１によって、大トレイ４３全体に略均一に樹脂材料が供給される。
【００３５】
大トレイ搬送機構４４がレールＬに沿って移動することで、樹脂材料を保持した大トレイ４３が成形モジュール３０の成形型３１まで搬送される。その後、大トレイ４３の樹脂材料が成形型３１（下型）のキャビティに供給される。大トレイ搬送機構４４は、成形型３１に樹脂材料を供給した後、樹脂供給モジュール４０へと戻る。
【００３６】
次に、成形型３１のヒーターによって樹脂材料が溶融される。その後、下型と上型が互いに近づいて基板Ｐの電子部品が樹脂材料に浸漬された状態で、樹脂材料に適宜圧力が加えられる。この状態で樹脂材料が硬化することで、電子部品が樹脂封止された基板Ｐを得ることができる。
【００３７】
次に、アンローダ２２がレールＬに沿って移動し、電子部品が樹脂封止された基板Ｐを成形型３１から受け取る。この際、アンローダ２２と共に移動してきたローダ２１によって、新たな基板Ｐを成形型３１に配置することができる。その後アンローダ２２は、レールＬに沿って移動し、基板受け渡しモジュール２０へと戻る。
【００３８】
次に、アンローダ２２に保持された基板Ｐが、アーム機構１４によって検査部１３へと搬送される。検査部１３において、電子部品が樹脂封止された基板Ｐの検査が行われる。
【００３９】
次に、検査が終了した基板Ｐが、アーム機構１４によって搬出部１２へと搬送される。搬出部１２に配置された基板Ｐは、外部へと適宜搬出される。
【００４０】
以上のように、基板Ｐに装着された電子部品を樹脂封止することで、樹脂成形品を製造することができる。なお、上記の動作説明では説明を省略しているが、本実施形態の樹脂成形装置１では、２つ設けられた成形モジュール３０によって、基板Ｐの樹脂封止を並行して行うことができる。具体的には、一方の成形モジュール３０によって樹脂封止（樹脂材料の溶融や、基板Ｐへの押圧等）が行われている際に、もう一方の成形モジュール３０に樹脂材料を供給したり、基板Ｐの樹脂封止を行ったりすることができる。このようにして、樹脂成形品（電子部品が樹脂封止された基板Ｐ）を効率よく製造することができる。
【００４１】
以下では、図２から図１１を用いて、樹脂供給モジュール４０の樹脂供給機構１００について具体的に説明する。
【００４２】
樹脂供給機構１００は、主として筐体１１０、容器保管部１２０、昇降機構１３０、回転機構１４０、横移動機構１５０、キャップ開封機構１６０、樹脂収容部１７０、集塵機構１８０、容器回収部１９０、及び空調装置２００を具備する。
【００４３】
図２に示す筐体１１０は、樹脂供給機構１００を構成する各部（後述する容器保管部１２０等）を収容するものである。筐体１１０は、適宜の枠体や壁面等により、適宜の形状を有する箱状に形成される。容器保管部１２０等を筐体１１０内に収容することにより、樹脂材料の粉末などの塵挨が樹脂供給機構１００の外部に漏れ出すのを抑制し、外部の空気が汚染されるのを抑制することができる。
【００４４】
図２から図４に示す容器保管部１２０は、樹脂材料が収容される容器Ｃを保管する部分である。容器Ｃは、底を有する略円筒状に形成されている（例えば、図５等参照）。容器Ｃの長手方向一端部に形成された開口部は、キャップＣ１によって閉塞されている。本実施形態では、顆粒状の樹脂材料を用いることを想定しており、その樹脂材料が所定量だけ容器Ｃに収容されている。なお、樹脂材料としては、顆粒状のものだけでなく、粉末状や液状など任意の形態のものを用いることが可能である。容器保管部１２０は、主として側壁１２１、傾斜面１２２、下側ストッパ１２３及び上側ストッパ１２４を具備する。
【００４５】
側壁１２１は、容器Ｃの左右方向への移動を規制するものである。側壁１２１は、互いに向かい合うように左右一対設けられる。左右一対の側壁１２１の間隔は、容器Ｃの直径と略同一となるように形成される。
【００４６】
傾斜面１２２は、容器保管部１２０から搬出される容器Ｃを案内するためのものである。傾斜面１２２は、一方の側壁１２１（本実施形態では、右側の側壁１２１）の下端部から、左下方に向かって傾斜するように配置される。
【００４７】
下側ストッパ１２３は、容器Ｃの落下を規制するものである。下側ストッパ１２３は、一方の側壁１２１（本実施形態では、右側の側壁１２１）の下端部近傍に設けられる。側壁１２１には、下側ストッパ１２３が容器Ｃに向かって突出できるようスリットが設けられている。下側ストッパ１２３は、適宜のアクチュエータ（例えば、エアシリンダ等）によって、伸縮することができる。下側ストッパ１２３は、アクチュエータの動作によって収縮された状態では、全体が側壁１２１の右側に位置している。また下側ストッパ１２３は、アクチュエータの動作によって伸長すると、先端（左端）が側壁１２１から左方へと突出する。
【００４８】
上側ストッパ１２４は、容器Ｃの落下を規制するものである。上側ストッパ１２４は、下側ストッパ１２３の上方に配置される。上側ストッパ１２４は、下側ストッパ１２３と所定の間隔（容器Ｃの直径と略同一の間隔）をあけて配置される。上側ストッパ１２４の構成は、下側ストッパ１２３と同様である。すなわち、上側ストッパ１２４が伸長すると、先端（左端）が側壁１２１から左方へと突出する。
【００４９】
なお、通常時（容器保管部１２０に容器Ｃが保管されている状態）においては、下側ストッパ１２３のみが伸長され、上側ストッパ１２４は収縮されている（図４（ａ）参照）。すなわち、下側ストッパ１２３のみが側壁１２１の左方へと突出した状態となっている。
【００５０】
このように構成された容器保管部１２０において、容器Ｃを複数保管することができる。具体的には、作業者によって筐体１１０に設けられた適宜の扉が開放され、一対の側壁１２１の間に容器Ｃが配置される。この際、容器Ｃは、長手方向を横（前後）に向けた状態（より詳細には、キャップＣ１を前方に向けた状態）で配置される。容器Ｃは自重によって一対の側壁１２１の間を下方へと移動（落下）しようとするが、下側ストッパ１２３によって容器Ｃの移動が規制される（図４（ａ）参照）。これによって、容器Ｃを一対の側壁１２１の間に保持することができる。また、容器Ｃを上下に積み重なるように配置することで、容器保管部１２０に複数の容器Ｃを保管することができる。
【００５１】
また容器保管部１２０は、必要に応じて、後述する昇降機構１３０へと容器Ｃを１つずつ搬出することができる。具体的には、図４（ｂ）に示すように、まず上側ストッパ１２４が伸長され、下から２番目の容器Ｃの下方への移動が規制される。次に図４（ｃ）に示すように、下側ストッパ１２３が収縮され、最も下の容器Ｃの規制が解除される。これによって最も下の容器Ｃが自重で下方へ移動し、傾斜面１２２の上面を転がって左方に配置された昇降機構１３０へと案内される。最後に、図４（ｄ）に示すように、下側ストッパ１２３が伸長され、上側ストッパ１２４が収縮される。これによって、容器保管部１２０に残った容器Ｃが下方へと移動する。
【００５２】
図２から図４に示す昇降機構１３０は、容器保管部１２０から搬出された容器Ｃを昇降させるものである。昇降機構１３０は、主として載置部１３１、レール１３２、移動部１３３及びモータ１３４を具備する。
【００５３】
載置部１３１は、容器Ｃが載置される部分である。載置部１３１は、前後一対の板状の部材により形成される（図５（ｂ）参照）。載置部１３１の上面は、左右中央が下方に向かって凹むような形状（正面視略Ｖ字状）に形成された凹部１３１ａを具備する。凹部１３１ａに横向きの容器Ｃを載置することで、容器Ｃが左右に転がらないように保持することができる。
【００５４】
図３に示すレール１３２は、載置部１３１を上下に移動可能となるように案内するものである。レール１３２は、上下方向に延びる適宜の部材により形成される。レール１３２は、容器保管部１２０の左方に配置される。
【００５５】
移動部１３３は、レール１３２に対して上下（レール１３２の長手方向）に移動可能に設けられる部分である。移動部１３３には、載置部１３１が固定される。
【００５６】
モータ１３４は、移動部１３３を上下に移動させるための駆動力を発生させるもの（駆動源）である。モータ１３４は、適宜の動力伝達機構を介して移動部１３３と連結される。モータ１３４の動作（回転方向や回転速度等）を制御することで、移動部１３３（ひいては載置部１３１）を任意の位置まで上下に昇降させることができる。
【００５７】
図２、図３及び図５に示す回転機構１４０は、容器Ｃを保持すると共に、所定の向きに回転させるものである。回転機構１４０は、主としてモータ１４１、ベース部１４２及び把持部１４３を具備する。
【００５８】
図５に示すモータ１４１は、後述するベース部１４２を回転させるための駆動力を発生させるもの（駆動源）である。モータ１４１は、出力軸（不図示）が右方を向くように配置される。
【００５９】
ベース部１４２は、後述する把持部１４３を支持する部分である。ベース部１４２の左端部は、モータ１４１の出力軸に連結される。これによって、ベース部１４２は、モータ１４１の出力軸と共に回転することができる。
【００６０】
把持部１４３は、容器Ｃを把持する部分である。把持部１４３は左右一対設けられる。把持部１４３は、ベース部１４２に対して左右に移動可能となるように設けられる。把持部１４３は、適宜のアクチュエータ（不図示）の駆動力によって左右に移動することができる。
【００６１】
このように構成された回転機構１４０は、後述する横移動機構１５０に支持される。図８（ａ）に示すように、左右一対の把持部１４３の間に容器Ｃが配置された状態で、把持部１４３を互いに近づくように移動させることで、把持部１４３で容器Ｃを挟み込んで保持することができる。この状態でモータ１４１を駆動させることで、容器Ｃを任意の向きに回転させることができる。例えば図８（ｂ）には、容器ＣのキャップＣ１が上を向くように回転させた様子を示している。
【００６２】
図２、図５及び図６に示す横移動機構１５０は、容器Ｃを横方向（左右方向）に移動させるものである。横移動機構１５０は、主としてレール１５１、移動部１５２及びモータ１５３を具備する。
【００６３】
図５及び図６に示すレール１５１は、後述する移動部１５２を横方向（水平方向）に移動可能となるように案内するものである。レール１５１は、左右方向に延びる適宜の部材により形成される。レール１５１は、昇降機構１３０の上方（レール１３２の上端部近傍）から左方に向かって延びるように配置される。
【００６４】
移動部１５２は、レール１５１に対して左右（レール１５１の長手方向）に移動可能に設けられる部分である。移動部１５２には、回転機構１４０が設けられる。
【００６５】
モータ１５３は、移動部１５２を左右に移動させるための駆動力を発生させるもの（駆動源）である。モータ１５３は、適宜の動力伝達機構を介して移動部１５２と連結される。モータ１５３の動作（回転方向や回転速度等）を制御することで、移動部１５２（ひいては回転機構１４０）を任意の位置まで左右に移動させることができる。なお、便宜上、図５（ｂ）においてはモータ１５３の図示を省略している。
【００６６】
図２、図５及び図６に示すキャップ開封機構１６０は、容器ＣのキャップＣ１を開封するものである。キャップ開封機構１６０は、昇降機構１３０の上方（回転機構１４０及び横移動機構１５０よりも上側）に配置される。キャップ開封機構１６０は、主としてモータ１６１、把持部１６２及び昇降シリンダ１６３を具備する。
【００６７】
図５及び図６に示すモータ１６１は、後述する把持部１６２を回転させるための駆動力を発生させるもの（駆動源）である。モータ１６１は、出力軸１６１ａが下方を向くように配置される。
【００６８】
把持部１６２は、容器ＣのキャップＣ１を把持する部分である。把持部１６２は、モータ１６１の出力軸１６１ａの下端部に複数設けられる。把持部１６２は、出力軸１６１ａに対して揺動可能に設けられる。把持部１６２は、適宜のアクチュエータ（例えば、エアシリンダ等）によって、任意に揺動させることができる。複数の把持部１６２の下端部を互いに近づくように揺動させることで、容器ＣのキャップＣ１を把持することができる。
【００６９】
図５（ｂ）に示す昇降シリンダ１６３は、モータ１６１を上下に移動（昇降）させるためのものである。昇降シリンダ１６３は、上下に伸縮可能となるように配置される。昇降シリンダ１６３は、モータ１６１に連結される。昇降シリンダ１６３を伸縮させることで、モータ１６１を昇降させることができる。
【００７０】
このように構成されたキャップ開封機構１６０によって、容器ＣのキャップＣ１を開封することができる。具体的には、容器ＣからキャップＣ１を取り外す場合、図８（ｃ）に示すように、回転機構１４０に保持された容器ＣのキャップＣ１を把持部１６２で把持した状態で、モータ１６１を駆動させる。これによって、容器Ｃに対してキャップＣ１を回転させることができる。これに伴って昇降シリンダ１６３でモータ１６１を徐々に上昇させることで、図８（ｄ）に示すように、キャップＣ１を容器Ｃから取り外すことができる。
【００７１】
また、容器ＣにキャップＣ１を取り付ける場合、図８（ｅ）に示すように、取り外されたキャップＣ１を把持部１６２で把持した状態で、モータ１６１を駆動させる。この状態で、昇降シリンダ１６３でモータ１６１を徐々に下降させることで、回転機構１４０に保持された容器ＣにキャップＣ１を取り付けることができる。
【００７２】
図２、図６及び図７に示す樹脂収容部１７０は、容器Ｃから小トレイ４１に供給される樹脂材料を一旦収容する部分である。樹脂収容部１７０は、横移動機構１５０のレール１５１に沿って複数（本実施形態では２つ）設けられる。なお、図７には、２つの樹脂収容部１７０のうち、右側の樹脂収容部１７０を右方から見た様子（右側面図）を示している。樹脂収容部１７０は、主として案内部１７１、ストッカ１７２、第一フィーダ１７３、樹脂供給部１７４及び第二フィーダ１７５を具備する。
【００７３】
図６及び図７に示す案内部１７１は、容器Ｃから排出される樹脂材料を、後述するストッカ１７２へと案内する部分である。案内部１７１は、上下が開口した筒状に形成される。案内部１７１は、上部に比べて下部が狭くなるような略漏斗状に形成される。
【００７４】
ストッカ１７２は、容器Ｃから排出された樹脂材料を一旦保持し、後述する樹脂供給部１７４へと供給するものである。ストッカ１７２は、上部が開口された略箱状に形成される。ストッカ１７２の底部には、収容された樹脂材料を下方（樹脂供給部１７４）へと供給するための供給口（不図示）が形成される。ストッカ１７２には、センサ１７２ａが設けられる。
【００７５】
センサ１７２ａは、ストッカ１７２に所定の量の樹脂材料が収容されているか否かを検出するためのものである。センサ１７２ａは、例えば反射形光電センサにより構成することができるが、透過形センサにより構成してもよい。
【００７６】
第一フィーダ１７３は、ストッカ１７２から樹脂材料を排出するためのものである。第一フィーダ１７３は、ストッカ１７２の下部に設けられ、ストッカ１７２を振動させることができる。第一フィーダ１７３によってストッカ１７２を振動させることで、ストッカ１７２の供給口から樹脂材料を徐々に落下させ、下方に配置された樹脂供給部１７４へと供給することができる。
【００７７】
図６に示す樹脂供給部１７４は、樹脂材料を小トレイ４１へと供給するものである。樹脂供給部１７４は、上部が開口された略箱状に形成される。樹脂供給部１７４の底部には、収容された樹脂材料を下方（小トレイ４１）へと供給するための供給口（不図示）が形成される。また、樹脂供給部１７４には重量センサ（不図示）が設けられ、樹脂供給部１７４の重量（ひいては、樹脂供給部１７４に収容された樹脂材料の重量）を検出することができる。
【００７８】
第二フィーダ１７５は、樹脂供給部１７４から樹脂材料を排出するためのものである。第二フィーダ１７５は、樹脂供給部１７４の下部に設けられ、樹脂供給部１７４を振動させることができる。第二フィーダ１７５によって樹脂供給部１７４を振動させることで、樹脂供給部１７４の供給口から樹脂材料を徐々に落下させ、下方に配置された小トレイ４１（図１参照）へと供給することができる。
【００７９】
このように構成された樹脂収容部１７０によって、樹脂材料が収容されると共に、小トレイ４１へと樹脂材料を適宜供給することができる。具体的には、ストッカ１７２には、容器Ｃから供給された樹脂材料が収容される。樹脂供給部１７４には、所定の量の樹脂材料が常時収容されるように、重量センサの検出値に基づいてストッカ１７２から樹脂材料が適宜供給される。樹脂供給部１７４に収容された樹脂材料は、適宜のタイミングで小トレイ４１へと供給される。また、ストッカ１７２に収容された樹脂材料が減ってきたことがセンサ１７２ａによって検出された場合、後述するように容器Ｃの樹脂材料がストッカ１７２へと供給される。
【００８０】
図２及び図３に示す集塵機構１８０は、筐体１１０内の空気を吸引することで、樹脂材料の粉末などの塵挨を回収するものである。集塵機構１８０は、主として本体部１８１、吸引口１８２及びホース１８３を具備する。
【００８１】
図３に示す本体部１８１は、空気を吸引するためのファンや、塵挨を回収するフィルタ等がユニット化されたものである。本体部１８１は、筐体１１０の適宜の箇所に配置される。
【００８２】
吸引口１８２は、筐体１１０内の空気を吸引するための開口である。吸引口１８２は、樹脂収容部１７０の案内部１７１の左右にそれぞれ配置される。
【００８３】
ホース１８３は、本体部１８１と吸引口１８２を接続するものである。ホース１８３は適宜分岐され、複数の吸引口１８２にそれぞれ接続される。
【００８４】
図２及び図３に示す容器回収部１９０は、樹脂収容部１７０へと樹脂材料を供給して空になった容器Ｃを回収する部分である。容器回収部１９０は、主として回収ボックス１９１及び傾斜面１９２を具備する。
【００８５】
図３に示す回収ボックス１９１は、空になった容器Ｃが収容されるものである。回収ボックス１９１は、上部が開口された略箱状に形成される。回収ボックス１９１は、容器保管部１２０の下方に配置される。
【００８６】
傾斜面１９２は、容器Ｃを回収ボックス１９１へと案内するものである。傾斜面１９２は、容器保管部１２０の傾斜面１２２の左下方に配置される。傾斜面１９２は、回収ボックス１９１の左上端部から、左上方に向かって傾斜するように配置される。傾斜面１９２は、昇降機構１３０の載置部１３１が昇降する経路の中途部（下部）に配置される。傾斜面１９２には、昇降機構１３０の載置部１３１が上下に通過可能なスリット（不図示）が形成される。
【００８７】
図２及び図３に示す空調装置２００は、筐体１１０内の温度や湿度を調整するものである。空調装置２００は、主として本体部２０１及びホース２０２を具備する。
【００８８】
図３に示す本体部２０１は、空気の冷却及び除湿を行うものである。図３において、本体部２０１は、筐体１１０の外部に配置されるが、ホース２０２を含めて空調装置２００の全体が筐体１１０の内部に配置されてもよい。本体部２０１は、筐体１１０の外部の空気を取り込んで、適宜冷却及び除湿することができる。
【００８９】
ホース２０２は、本体部２０１で冷却及び除湿された空気を筐体１１０内へと案内するものである。ホース２０２は、本体部２０１と筐体１１０の適宜の箇所にそれぞれ接続される。ホース２０２を介して筐体１１０へと冷却及び除湿された空気を供給することによって、筐体１１０内の温度や湿度を適宜調整することができる。
【００９０】
次に、上述の如く構成された樹脂供給機構１００の動作（具体的には、容器Ｃに収容された樹脂材料を樹脂収容部１７０へと供給する動作）について説明する。
【００９１】
ストッカ１７２に設けられたセンサ１７２ａによって、ストッカ１７２内の樹脂材料がある程度減った（ストッカ１７２に収容された樹脂材料が所定の量未満になった）ことが検出された場合、容器Ｃに収容された樹脂材料の樹脂収容部１７０への供給が開始される。なお、以下の動作説明は、２つの樹脂収容部１７０のうち、右側の樹脂収容部１７０のストッカ１７２内の樹脂材料が減った場合を想定している。
【００９２】
まず、図３に示すように、容器保管部１２０によって、保管された容器Ｃのうち１つ（最も下の容器Ｃ）が昇降機構１３０へと搬出される。昇降機構１３０へと搬出された容器Ｃは、載置部１３１の凹部１３１ａに載置される。
【００９３】
次に、図３及び図６に示すように、昇降機構１３０によって容器Ｃが持ち上げられ、回転機構１４０により保持可能となる上昇位置に配置される。この状態で、回転機構１４０によって容器Ｃが保持され（図８（ａ）参照）、キャップＣ１が上を向くように回転される（図８（ｂ）参照）。
【００９４】
次に、図８（ｃ）及び図８（ｄ）に示すように、キャップ開封機構１６０によって容器ＣのキャップＣ１が開封される。
【００９５】
次に、図９に示すように、横移動機構１５０による回転機構１４０（ひいては、容器Ｃ）の左方への移動が開始される。また、横移動機構１５０による容器Ｃの移動の開始のタイミングに基づいて、集塵機構１８０が作動される。ここでは、横移動機構１５０による容器Ｃの移動が開始すると、本体部１８１のファンが作動され、吸引口１８２からの吸引が開始される。集塵機構１８０を作動させることで、開封された容器Ｃから出る塵挨等を吸引することができる。容器Ｃは、樹脂収容部１７０への樹脂材料の供給が可能となる位置（樹脂供給位置）で停止される。具体的には、容器Ｃは、右側の樹脂収容部１７０（案内部１７１）と正面視で重複する位置で停止される。なお、集塵機構１８０の作動の開始は、横移動機構１５０による容器Ｃの移動の開始のタイミングに対して一定時間前後させるなど、横移動機構１５０による容器Ｃの移動の開始のタイミングに基づいて制御することができる。
【００９６】
次に、図７（ｂ）に示すように、回転機構１４０によって容器Ｃが回転される。これによって、容器Ｃの開口部が下方に向けられ、容器Ｃ内の樹脂材料が案内部１７１を介してストッカ１７２へと供給される。
【００９７】
容器Ｃが下方に向けられた状態で所定の時間が経過すると、回転機構１４０によって容器Ｃの開口部が再び上方に向けられる。
【００９８】
なお、容器Ｃ内の樹脂材料がストッカ１７２へと供給され、センサ１７２ａによってストッカ１７２に所定の量の樹脂材料が収容されていることが検出された場合、集塵機構１８０が停止される。
【００９９】
一方、容器Ｃ内の樹脂材料がストッカ１７２へと供給されても、センサ１７２ａによってストッカ１７２に所定の量の樹脂材料が収容されていないことが検出された場合、集塵機構１８０は停止されず、継続して作動される。
【０１００】
容器Ｃの開口部が上方に向けられた後、横移動機構１５０によって容器Ｃが右方へと移動される。容器Ｃは、キャップ開封機構１６０のすぐ下方で停止される。
【０１０１】
次に、図８（ｅ）に示すように、キャップ開封機構１６０によって容器ＣのキャップＣ１が取り付けられる。さらに、図８（ｆ）に示すように、回転機構１４０によって容器Ｃが横向きに（キャップＣ１が前方を向くように）回転される。
【０１０２】
次に、図１０に示すように、回転機構１４０による容器Ｃの保持が解除され、昇降機構１３０によって容器Ｃが下方へと移動される。載置部１３１が傾斜面１９２のスリットを通過して傾斜面１９２より下方へ移動する際に、載置部１３１に載置された容器Ｃは傾斜面１９２に案内されて回収ボックス１９１内に回収される。
【０１０３】
このようにして、１つの容器Ｃに収容された樹脂材料の樹脂収容部１７０への供給が完了する。ここで、未だにストッカ１７２内の樹脂材料が少ない（センサ１７２ａによってストッカ１７２に所定の量の樹脂材料が収容されていないことが検出されている場合）、さらにもう１つの容器Ｃの樹脂材料が、ストッカ１７２へと供給される。このようにして、ストッカ１７２に所定の量の樹脂材料が収容されるまで、容器Ｃの樹脂材料が繰り返しストッカ１７２へと供給される。その間、集塵機構１８０は作動を継続することになる。
【０１０４】
なお、上記動作説明では、右側のストッカ１７２の樹脂材料が減った場合を例示したが、左側のストッカ１７２の樹脂材料が減った場合も同様にして、容器Ｃの樹脂材料が供給される。この場合、図１１に示すように、横移動機構１５０によって、容器Ｃが左側の樹脂収容部１７０（案内部１７１）と正面視で重複する位置まで移動され、容器Ｃの樹脂材料が左側のストッカ１７２へと供給される。
【０１０５】
このように本実施形態では、横移動機構１５０によって、容器Ｃを複数の位置（左右の樹脂収容部１７０に対応する位置）へと移動させることができる。これによって、複数個所に設けられた樹脂収容部１７０へと樹脂材料を供給することができる。このようにして樹脂材料が供給された複数の樹脂収容部１７０から並行して小トレイ４１へと樹脂材料を供給することができるため、樹脂成形品の製造効率を向上させることができる。
【０１０６】
また、集塵機構１８０の作動は適宜のタイミングで開始及び停止される。すなわち、集塵機構１８０は、間欠的に集塵を行うことになる。これによって、集塵を行いながらも、空調装置２００によって調整された筐体１１０内の温度や湿度が乱されるのを抑制することができる。ここで、集塵機構１８０の作動を停止させるタイミングは、例えば、樹脂供給後の容器Ｃに対してキャップ開封機構１６０によりキャップＣ１が取り付けられたタイミングに基づいて制御したり、樹脂供給後の容器Ｃが回収ボックス１９１内に回収されるタイミングに基づいて制御したり、センサ１７２ａによって、ストッカ１７２に所定の量の樹脂材料が収容されたことを検出したことに基づいて制御したりすることができる。
【０１０７】
以上の如く、本実施形態に係る樹脂供給機構１００は、
樹脂材料を収容した容器Ｃを保管する容器保管部１２０と、
前記容器保管部１２０に保管された前記容器Ｃを所定の上昇位置まで上昇させる昇降機構１３０と、
前記上昇位置にある前記容器ＣのキャップＣ１を開封するキャップ開封機構１６０と、
前記キャップ開封機構１６０により開封された前記容器Ｃを横方向に移動させ、複数の樹脂供給位置のうちいずれかの位置まで移動させる横移動機構１５０と、
前記樹脂供給位置にある前記容器Ｃを回転させることで、前記容器Ｃに収容された樹脂材料を排出する回転機構１４０と、
を備えるものである。
【０１０８】
このように構成することにより、複数の位置において樹脂材料を供給することができる。すなわち、横移動機構１５０によって複数の位置（樹脂供給位置）に容器Ｃを移動させ、樹脂材料を供給することができる。これによって、複数の箇所（本実施形態では、複数の樹脂収容部１７０）へと樹脂材料を供給し、同様の製造工程（本実施形態では、小トレイ４１への樹脂材料の供給）を並行して行うことができ、ひいては製造の効率化を図ることができる。
【０１０９】
また、樹脂供給機構１００は、
前記複数の樹脂供給位置に対応するように配置され、前記容器Ｃから排出される樹脂材料を収容する複数の樹脂収容部１７０をさらに備えるものである。
【０１１０】
このように構成することにより、製造の効率化を図ることができる。すなわち、複数の樹脂収容部１７０に供給された樹脂材料を用いて、小トレイ４１への樹脂材料の供給を並行して行うことができる。これによって、樹脂成形品（基板Ｐ）の大型化が進み、樹脂成形に必要な樹脂材料が増加しても、製造効率の悪化を抑制（製造効率の向上）を図ることができる。
【０１１１】
また、樹脂供給機構１００は、
樹脂材料が排出された前記容器Ｃを回収する容器回収部１９０をさらに備えるものである。
【０１１２】
このように構成することにより、製造の効率化を図ることができる。すなわち、空になった容器Ｃを、その都度作業者が取り出す作業が不要となるため、製造の効率化を図ることができる。また、本実施形態のように、筐体１１０内に容器回収部１９０を設けることで、空になった容器Ｃからの塵挨等が樹脂供給機構１００の外部に漏れ出すのを抑制することができる。
【０１１３】
また、樹脂供給機構１００は、
前記容器Ｃが移動する空間（筐体１１０内）の集塵を行う集塵機構１８０をさらに備えるものである。
【０１１４】
このように構成することにより、空気や各部の汚染を抑制することができる。すなわち、容器Ｃの移動に伴って、容器Ｃに収容された樹脂材料の粉末等が筐体１１０内に飛散する可能性がある。そこで、筐体１１０内の集塵を行うことで、飛散した塵挨を回収し、空気や各部の汚染を抑制することができる。また、これに伴って筐体１１０外部への塵挨の流出を抑制することができるため、筐体１１０外部の空気の汚染も抑制することができる。
【０１１５】
また、前記集塵機構１８０は、間欠的に集塵を行うものである。
【０１１６】
このように構成することにより、筐体１１０内の集塵を行いながらも、筐体１１０内の温度や湿度が乱されるのを抑制することができる。特に本実施形態のように、空調装置２００で筐体１１０内の空調を行う場合、空調装置２００による筐体１１０内の空調と、集塵機構１８０による筐体１１０内の集塵（筐体１１０内の汚染の抑制）を両立させることができる。
【０１１７】
また、前記集塵機構１８０は、前記横移動機構１５０による前記容器Ｃの移動開始のタイミングに基づいて、集塵を開始するものである。
【０１１８】
このように構成することにより、効率的に集塵を行うことができる。すなわち、容器Ｃの移動に伴って、容器Ｃから樹脂材料の粉末等が飛散する可能性が高いと考えられる。そこで、容器Ｃの移動開始に伴って集塵機構１８０を作動させることで、効率的に集塵を行うことができる。
【０１１９】
また、前記容器保管部１２０は、前記容器Ｃの長手方向を横に向けた状態で、上下に重なるように複数保管することが可能なものである。
【０１２０】
このように構成することにより、少ない面積に、より多くの容器Ｃを保管することができる。すなわち、容器Ｃを上下に重ねて保管することで、保管に要する面積（前後及び左右の幅）を抑制することができる。また、容器Ｃの長手方向を横に向けることで、複数の容器Ｃを積み重ねた際の高さを抑制することができるため、より多くの容器Ｃを保管することができる。
【０１２１】
また、本実施形態に係る樹脂成形装置１は、上記樹脂供給機構１００を備えるものである。
【０１２２】
このように構成することにより、複数の位置において樹脂材料を供給することができ、ひいては製造の効率化を図ることができる。
【０１２３】
また、本実施形態に係る樹脂成形品の製造方法は、上記樹脂成形装置１を用いて樹脂成形品を製造するものである。
【０１２４】
このように構成することにより、複数の位置において樹脂材料を供給することができ、ひいては製造の効率化を図ることができる。
【０１２５】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。
【０１２６】
例えば、本実施形態においては、コンプレッション方式の樹脂成形装置１を例示したが、本発明はこれに限るものではなく、他の方式（例えば、溶融した樹脂をキャビティ内に移送して硬化させるトランスファ方式等）を採用することも可能である。
【０１２７】
また、本実施形態の樹脂成形装置１に用いた構成要素（基板搬入搬出モジュール１０等）は一例であり、適宜着脱や交換することが可能である。例えば、基板搬入搬出モジュール１０を設けずに、基板Ｐの搬入搬出を作業者が手動で行うことも可能である。
【０１２８】
また、本実施形態においては、矩形板状の基板Ｐを例示したが、本発明はこれに限るものではなく、その他種々の形状（例えば、円形板状等）の基板Ｐを用いることが可能である。
【０１２９】
また、本実施形態において例示した各部の具体的な構成（例えば、回転機構１４０により容器Ｃを保持して回転させるための構成や、横移動機構１５０により容器Ｃを横方向へ移動させるための構成等）は一例であり、任意に変更することが可能である。
【０１３０】
また、本実施形態において例示した容器Ｃの形状は一例であり、その他種々の形状（例えば、直方体状等）の容器Ｃを用いることが可能である。
【０１３１】
また、本実施形態においては、横移動機構１５０によって、容器Ｃを２つの樹脂供給位置（２つの樹脂収容部１７０）へと移動させる例を示したが、本発明はこれに限るものではない。すなわち、横移動機構１５０によって、容器Ｃを３つ以上の樹脂供給位置へと移動させる（すなわち、３つ以上の樹脂収容部１７０を設ける）構成とすることも可能である。
【０１３２】
また、本実施形態においては、横移動機構１５０によって容器Ｃを一方向（左右方向）へ移動させる例を示したが、本発明はこれに限るものではない。すなわち、横移動機構１５０によって容器Ｃを複数の方向（例えば、左右方向及び前後方向）へ移動させるように構成することも可能である。
【０１３３】
また、昇降機構１３０による容器Ｃの移動方向は、必ずしも上下方向（鉛直方向）でなくてもよく、例えば鉛直方向に対して傾斜する方向であってもよい。また、横移動機構１５０による容器Ｃの移動方向は、必ずしも水平方向でなくてもよく、例えば水平方向に対して傾斜する方向であってもよい。
【０１３４】
また、本実施形態においては、集塵機構１８０により間欠的に集塵を行う例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、常時集塵することも可能である。また、間欠的に集塵を行う場合、集塵機構１８０の作動の開始及び停止のタイミングは本実施形態のものに限らず、任意に設定することができる。例えば、容器保管部１２０、昇降機構１３０、回転機構１４０及び横移動機構１５０による容器Ｃの移動や、キャップ開封機構１６０による容器ＣのキャップＣ１の開閉、並びに空調装置２００の作動等に連動して、集塵機構１８０の作動の開始及び停止のタイミングを設定することができる。
【０１３５】
また、本実施形態においては、集塵機構１８０の吸引口１８２を樹脂収容部１７０の案内部１７１の左右に配置した例を示したが、本発明はこれに限るものではない。すなわち、吸引口１８２は任意の場所に配置することが可能であり、各部の構成に応じて必要な箇所から集塵を行うことが可能である。
【０１３６】
また、本実施形態においては、空調装置２００は、筐体１１０内の温度及び湿度を調整する例を示したが、本発明はこれに限るものではなく、温度のみを調整してもよい。
【符号の説明】
【０１３７】
１００  樹脂供給機構
１１０  筐体
１２０  容器保管部
１３０  昇降機構
１４０  回転機構
１５０  横移動機構
１６０  キャップ開封機構
１７０  樹脂収容部
１８０  集塵機構
１９０  容器回収部
Ｃ      容器
Ｃ１    キャップ
【要約】
【課題】複数の位置において樹脂材料を供給可能な樹脂供給機構、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂材料を収容した容器を保管する容器保管部と、前記容器保管部に保管された前記容器を所定の上昇位置まで上昇させる昇降機構と、前記上昇位置にある前記容器のキャップを開封するキャップ開封機構と、前記キャップ開封機構により開封された前記容器を横方向に移動させ、複数の樹脂供給位置のうちいずれかの位置まで移動させる横移動機構と、前記樹脂供給位置にある前記容器を回転させることで、前記容器に収容された樹脂材料を排出する回転機構と、を備える樹脂供給機構。
【選択図】図９【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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