(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂材料を収容する樹脂収容部と、
樹脂材料を一の供給対象物に供給する複数の樹脂供給部と、
前記樹脂収容部から供給された樹脂材料を複数の前記樹脂供給部に分配する分配器と、
を備え、
前記分配器は、前記樹脂収容部から供給された樹脂材料の供給方向を切り替える切替部材を備える樹脂材料供給装置。
【請求項２】
前記分配器は、前記切替部材の傾きを切り替えるアクチュエータをさらに備える、
請求項１に記載の樹脂材料供給装置。
【請求項３】
前記分配器は、複数の前記樹脂供給部から択一的に選択された前記樹脂供給部に樹脂材料を供給する、
請求項１又は請求項２に記載の樹脂材料供給装置。
【請求項４】
前記分配器は、樹脂材料を前記樹脂供給部へと案内する案内部を備える、
請求項１から３までのいずれか一項に記載の樹脂材料供給装置。
【請求項５】
前記供給対象物は、樹脂材料を搬送する樹脂搬送部材である、
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の樹脂材料供給装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の樹脂材料供給装置を備える樹脂成形装置。
【請求項７】
前記樹脂材料供給装置を複数備える、
請求項６に記載の樹脂成形装置。
【請求項８】
請求項６又は請求項７に記載の樹脂成形装置を用いて樹脂成形品を製造する樹脂成形品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂材料供給装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、供給対象物である樹脂材料移送トレイに対して樹脂材料を供給する樹脂材料供給装置が開示されている。この樹脂材料供給装置は、樹脂材料を保持する樹脂材料保持部と、樹脂材料保持部に保持された樹脂材料を樹脂材料移送トレイへと供給するトラフと、を備えている。この樹脂材料供給装置によって樹脂材料移送トレイへと供給された樹脂材料は、さらに成形型のキャビティへと移送され、樹脂成形品の製造に用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１８−０６５３３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、樹脂成形品の大型化に伴って、成形型への樹脂材料の供給に要する時間が長くなり、樹脂成形品の製造効率の悪化が懸念されている。そこで、樹脂材料の供給時間を短縮する技術が求められているが、特許文献１にはそのような課題や、その課題を解決するための手段は開示されていない。
【０００５】
本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、樹脂材料の供給時間を短縮することが可能な樹脂材料供給装置、樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、この課題を解決するため、本発明に係る樹脂材料供給装置は、樹脂材料を収容する樹脂収容部と、樹脂材料を一の供給対象物に供給する複数の樹脂供給部と、前記樹脂収容部から供給された樹脂材料を複数の前記樹脂供給部に分配する分配器と、を備え、前記分配器は、前記樹脂収容部から供給された樹脂材料の供給方向を切り替える切替部材を備えたものである。
【０００７】
また、本発明に係る樹脂成形装置は、前記樹脂材料供給装置を備えたものである。
【０００８】
また、本発明に係る樹脂成形品の製造方法は、前記樹脂成形装置を用いて樹脂成形品を製造するものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、樹脂材料の供給時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る樹脂成形装置の全体的な構成を示した平面模式図。
【図２】本発明の一実施形態に係る樹脂材料供給装置が樹脂供給モジュールに設けられた状態を示した正面図。
【図３】樹脂材料供給装置を示した正面図。
【図４】樹脂材料供給装置を示した側面図。
【図５】（ａ）切替部材が右側供給姿勢に切り替えられた状態の分配器を示した正面断面図。（ｂ）切替部材が左側供給姿勢に切り替えられた状態の分配器を示した正面断面図。
【図６】小トレイ、大トレイ及び拡散板の構成を示した側面断面図。
【図７】小トレイ及び大トレイの構成を示した平面図。
【図８】（ａ）小トレイに対するトラフの移動軌跡を示した平面図。（ｂ）小トレイの半分に樹脂材料が供給された様子を示した平面図。（ｃ）小トレイが反転する様子を示した平面図。（ｄ）小トレイの全域に樹脂材料が供給された様子を示した平面図。
【図９】各回補正制御及び最終補正制御によって樹脂材料を供給した結果の一例を示した図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下では、図中の矢印Ｕ、矢印Ｄ、矢印Ｆ、矢印Ｂ、矢印Ｌ及び矢印Ｒで示した方向を、それぞれ上方向、下方向、前方向、後方向、左方向及び右方向と定義して説明を行う。
【００１２】
まず、図１を用いて、本実施形態に係る樹脂成形装置１の構成について説明する。樹脂成形装置１は、半導体チップなどの電子部品を樹脂封止し、樹脂成形品を製造するものである。特に本実施形態では、キャビティ内の樹脂材料を圧縮して成形する圧縮成形方式（コンプレッション方式）を採用した樹脂成形装置１を例示している。なお、本実施形態においては顆粒状の樹脂材料を用いることを想定しているが、樹脂材料としては、顆粒状のものだけでなく、粉末状や液状など任意の形態のものを用いることが可能である。
【００１３】
樹脂成形装置１は、構成要素として、基板搬入搬出モジュール１０、基板受け渡しモジュール２０、成形モジュール３０、樹脂供給モジュール４０及び制御部５０を具備する。各構成要素は、他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。
【００１４】
基板搬入搬出モジュール１０は、電子部品を装着した基板Ｐを搬入すると共に、電子部品が樹脂封止された基板Ｐを搬出するものである。本実施形態においては、比較的大型の基板Ｐを用いることを想定している。例えば、基板Ｐは、１辺が４５０ｍｍ以上、５００ｍｍ以上、又は６００ｍｍ以上の矩形板状に形成される。基板搬入搬出モジュール１０は、主として搬入部１１、搬出部１２、検査部１３及びアーム機構１４を具備する。
【００１５】
搬入部１１は、樹脂封止されていない基板Ｐが配置される部分である。搬出部１２は、樹脂封止された基板Ｐが配置される部分である。搬入部１１及び搬出部１２は、それぞれ基板Ｐを複数収容することができる。
【００１６】
検査部１３は、樹脂封止された基板Ｐの検査を行う部分である。検査部１３は、樹脂封止された基板Ｐを載置する載置部、基板Ｐを検査する検査機構（不図示）等を具備する。
【００１７】
アーム機構１４は、基板Ｐを移動させるものである。アーム機構１４は、基板Ｐを吸着する吸着ハンド部１４ａ、吸着ハンド部１４ａが取り付けられるアーム部１４ｂ、アーム部１４ｂを適宜回転させたり移動させたりする駆動部１４ｃ等を具備する。
【００１８】
基板受け渡しモジュール２０は、基板搬入搬出モジュール１０と後述する成形モジュール３０との間で基板Ｐの受け渡しを行う部分である。基板受け渡しモジュール２０は、主としてローダ２１及びアンローダ２２を具備する。
【００１９】
ローダ２１は、樹脂封止されていない基板Ｐをアーム機構１４から受け取り、後述する成形モジュール３０の成形型３１へと搬送するものである。アンローダ２２は、樹脂封止された基板Ｐを後述する成形型３１から受け取り、基板搬入搬出モジュール１０へと搬送するものである。ローダ２１及びアンローダ２２は、左右方向に延びるレールＬに沿って移動することができる。本実施形態においては、ローダ２１とアンローダ２２は、一体的に移動するように互いに連結されている。
【００２０】
成形モジュール３０は、後述する樹脂供給モジュール４０から供給される樹脂材料を用いて、基板Ｐに装着された電子部品を樹脂封止するものである。本実施形態においては、成形モジュール３０は２つ並べて配置される。２つの成形モジュール３０によって基板Ｐの樹脂封止を並行して行うことで、樹脂成形品の製造効率を向上させることができる。成形モジュール３０は、主として成形型３１、型締め機構（不図示）等を具備する。
【００２１】
成形型３１は、溶融した樹脂材料を用いて、基板Ｐに対して圧縮成形するものである。成形型３１は上下一対の型（上型及び下型）を具備する。下型には、樹脂材料が収容される凹状のキャビティ（不図示）が形成される。また成形型３１には、樹脂材料を溶融させるためのヒーター（不図示）が設けられる。
【００２２】
樹脂供給モジュール４０は、成形モジュール３０の成形型３１に樹脂材料を供給するものである。樹脂供給モジュール４０は、主として樹脂材料供給装置１００、小トレイ４１、小トレイ搬送機構４２、大トレイ４３及び大トレイ搬送機構４４を具備する。
【００２３】
樹脂材料供給装置１００は、後述する小トレイ４１に樹脂材料を供給するものである。樹脂材料供給装置１００は、左右に並ぶように２つ設けられる。２つの樹脂材料供給装置１００によって、並行して２つの小トレイ４１に樹脂材料を供給することができる。なお、樹脂材料供給装置１００の詳細な構成については後述する。
【００２４】
小トレイ４１は、樹脂材料供給装置１００から受け取った樹脂材料を、後述する大トレイ４３へと供給するものである。小トレイ４１は、上面に樹脂材料を保持することができる。小トレイ４１は、平面視における大きさが、後述する大トレイ４３の大きさの４分の１程度となるように形成される。
【００２５】
小トレイ搬送機構４２は、小トレイ４１を適宜の位置に搬送するものである。小トレイ搬送機構４２は、樹脂材料供給装置１００と大トレイ４３との間で、小トレイ４１を往復させるように搬送することができる。
【００２６】
大トレイ４３は、小トレイ４１から受け取った樹脂材料を、成形モジュール３０の成形型３１へと供給するものである。大トレイ４３は、上面に樹脂材料を保持することができる。大トレイ４３は、成形型３１のキャビティの平面形状に対応した平面形状（例えば、矩形状）となるように形成される。
【００２７】
大トレイ搬送機構４４は、大トレイ４３を適宜の位置に搬送するものである。大トレイ搬送機構４４は、左右方向に延びるレールＬに沿って移動することができる。
【００２８】
なお、小トレイ４１は、本発明に係る供給対象物及び樹脂搬送部材の実施の一形態である。小トレイ４１及び大トレイ４３の詳細な構成については後述する。
【００２９】
制御部５０は、樹脂成形装置１の各モジュールの動作を制御するものである。制御部５０によって、基板搬入搬出モジュール１０、基板受け渡しモジュール２０、成形モジュール３０及び樹脂供給モジュール４０の動作が制御される。また、制御部５０を用いて、各モジュールの動作を任意に変更（調整）することができる。
【００３０】
次に、上述の如く構成された樹脂成形装置１の動作（樹脂成形品の成形方法）の概要について説明する。
【００３１】
まず、搬入部１１に配置された樹脂封止されていない基板Ｐが、アーム機構１４によってローダ２１へと搬送される。
【００３２】
次に、ローダ２１がレールＬに沿って移動し、基板Ｐを一方の成形モジュール３０へと搬送する。成形モジュール３０に搬送された基板Ｐは、成形型３１の上型に吸着されて保持される。
【００３３】
次に、成形型３１の下型を覆うように、離型フィルムが配置される。
【００３４】
次に、樹脂供給モジュール４０から、成形モジュール３０の成形型３１に樹脂材料が供給される。ここで、樹脂供給モジュール４０では、予め樹脂材料供給装置１００から供給される樹脂材料が、小トレイ４１を介して大トレイ４３へと供給されている。小トレイ４１は大トレイ４３の４分の１程度の大きさとなるように形成されているため、延べ４つの小トレイ４１によって、大トレイ４３全体に略均一に樹脂材料が供給される。
【００３５】
大トレイ搬送機構４４がレールＬに沿って移動することで、樹脂材料を保持した大トレイ４３が成形モジュール３０の成形型３１まで搬送される。その後、大トレイ４３の樹脂材料が成形型３１（下型）のキャビティに供給される。大トレイ搬送機構４４は、成形型３１に樹脂材料を供給した後、樹脂供給モジュール４０へと戻る。
【００３６】
次に、成形型３１のヒーターによって樹脂材料が溶融される。その後、前記型締め機構によって下型と上型が互いに近づけられ（型締めされ）、基板Ｐの電子部品が樹脂材料に浸漬される。この状態で、樹脂材料に適宜圧力が加えられる。この状態で樹脂材料が硬化することで、電子部品が樹脂封止された基板Ｐを得ることができる。
【００３７】
次に、前記型締め機構によって下型と上型が互いに離される（型開きされる）。また、アンローダ２２がレールＬに沿って移動し、電子部品が樹脂封止された基板Ｐを成形型３１から受け取る。この際、アンローダ２２と共に移動してきたローダ２１によって、新たな基板Ｐを成形型３１に配置することができる。その後アンローダ２２は、レールＬに沿って移動し、基板受け渡しモジュール２０へと戻る。
【００３８】
次に、アンローダ２２に保持された基板Ｐが、アーム機構１４によって検査部１３へと搬送される。検査部１３において、電子部品が樹脂封止された基板Ｐの検査が行われる。
【００３９】
次に、検査が終了した基板Ｐが、アーム機構１４によって搬出部１２へと搬送される。搬出部１２に配置された基板Ｐは、外部へと適宜搬出される。
【００４０】
以上のように、基板Ｐに装着された電子部品を樹脂封止することで、樹脂成形品を製造することができる。なお、上記の動作説明では説明を省略しているが、本実施形態の樹脂成形装置１では、２つ設けられた成形モジュール３０によって、基板Ｐの樹脂封止を並行して行うことができる。具体的には、一方の成形モジュール３０によって樹脂封止（樹脂材料の溶融や、基板Ｐへの押圧等）が行われている際に、もう一方の成形モジュール３０に樹脂材料を供給したり、基板Ｐの樹脂封止を行ったりすることができる。このようにして、樹脂成形品（電子部品が樹脂封止された基板Ｐ）を効率よく製造することができる。
【００４１】
以下では、図２から図８を用いて、樹脂供給モジュール４０の樹脂材料供給装置１００について具体的に説明する。
【００４２】
図２に示すように、樹脂材料供給装置１００は、樹脂供給モジュール４０の筐体４０ａ内に、左右に２つ並ぶように設けられる。２つの樹脂材料供給装置１００は、左右略対称に配置されている点を除いて、互いに概ね同様の構成を備えている。よって以下では、一方（右側）の樹脂材料供給装置１００の構成について具体的に説明し、他方（左側）の樹脂材料供給装置１００の構成の説明は省略する。
【００４３】
図３及び図４に示すように、樹脂材料供給装置１００は、主としてストッカ１１０、第一振動部１２０、トラフ１３０、第二振動部１４０、重量計１５０及び分配器１６０を具備する。なお、図３及び図４においては、ストッカ１１０及びトラフ１３０に収容されている樹脂材料をハッチングで示している。
【００４４】
ストッカ１１０は、樹脂材料を収容し、後述するトラフ１３０へと供給するものである。なお、ストッカ１１０は、本発明に係る樹脂収容部の実施の一形態である。ストッカ１１０は、主として収容部１１１及び供給部１１２を具備する。
【００４５】
収容部１１１は、樹脂材料を収容する部分である。収容部１１１は、内部に樹脂材料が収容可能となるように中空状に形成される。収容部１１１の上部には、樹脂材料を内部に供給するための開口部（不図示）が形成されている。収容部１１１には、適宜のタイミングで樹脂材料が供給（補充）される。
【００４６】
供給部１１２は、収容部１１１に収容された樹脂材料を後述するトラフ１３０へと供給する部分である。供給部１１２は、内部を樹脂材料が移動可能となるように中空状に形成される。供給部１１２は、収容部１１１の一側面の下部から、後述する分配器１６０の上方へと延びるように形成される。供給部１１２の先端部（左端部）近傍には、供給部１１２の内部の樹脂材料を下方へと排出するための供給口１１２ａが設けられる。
【００４７】
第一振動部１２０は、ストッカ１１０から樹脂を排出するためのものである。第一振動部１２０は、ストッカ１１０の下部に設けられ、ストッカ１１０を振動させることができる。第一振動部１２０は、ストッカ１１０を振動させることで、収容部１１１内の樹脂材料を供給部１１２へと移動させ、供給口１１２ａから下方へと排出させることができる。
【００４８】
トラフ１３０は、樹脂材料を収容し、小トレイ４１へと供給するものである。なお、トラフ１３０は、本発明に係る樹脂供給部の実施の一形態である。図３に示すように、トラフ１３０は、ストッカ１１０の下方において、左右に２つ並ぶように（平面視において、ストッカ１１０の供給口１１２ａを挟んで左右対称な位置に）配置される。トラフ１３０は、主として収容部１３１及び供給部１３２を具備する。
【００４９】
収容部１３１は、樹脂材料を収容する部分である。収容部１３１は、内部に樹脂材料が収容可能となるように中空状に形成される。収容部１３１の上部には、樹脂材料を内部に供給するための開口部（不図示）が形成されている。
【００５０】
供給部１３２は、収容部１３１に収容された樹脂材料を小トレイ４１へと供給する部分である。供給部１３２は、内部を樹脂材料が移動可能となるように中空状に形成される。供給部１３２は、収容部１３１の一側面の下部から、一方向（後方）へと延びるように形成される。供給部１３２の先端部（後端部）近傍には、供給部１３２の内部の樹脂材料を下方へと排出するための供給口１３２ａが設けられる。
【００５１】
なお、２つのトラフ１３０は、１つの小トレイ４１に対して同時に樹脂材料を供給することができるように、互いにある程度近接した位置に配置される。具体的には、２つのトラフ１３０（特に、供給口１３２ａ）は、左右方向の間隔が、小トレイ４１の左右幅の約２分の１となるように配置される。
【００５２】
図４に示す第二振動部１４０は、トラフ１３０から樹脂を排出するためのものである。第二振動部１４０は、トラフ１３０の下部に設けられ、トラフ１３０を振動させることができる。第二振動部１４０は、トラフ１３０を振動させることで、収容部１３１内の樹脂材料を供給部１３２へと移動させ、供給口１３２ａから下方へと排出させることができる。
【００５３】
重量計１５０は、トラフ１３０に収容されている樹脂材料の重量を測定するためのものである。重量計１５０は、第二振動部１４０の下部に設けられ、トラフ１３０及び第二振動部１４０の重量を測定することができる。トラフ１３０及び第二振動部１４０の重量は既知であるため、重量計１５０の測定値からトラフ１３０及び第二振動部１４０の重量を差し引くことで、トラフ１３０に収容されている樹脂材料の重量を測定することができる。
【００５４】
第二振動部１４０及び重量計１５０は、２つのトラフ１３０それぞれに設けられる。
【００５５】
図３から図５に示す分配器１６０は、ストッカ１１０から供給される樹脂材料を、２つのトラフ１３０に分配するためのものである。分配器１６０は、ストッカ１１０の供給口１１２ａの下方に配置される。分配器１６０は、主として筐体１６１、案内部１６２、切替部材１６３、及びアクチュエータ１６４を具備する。
【００５６】
筐体１６１は、後述する案内部１６２及び切替部材１６３を収容するものである。筐体１６１は、略直方体状に形成される。筐体１６１は、内部に案内部１６２及び切替部材１６３が収容可能となるように中空状に形成される。筐体１６１の上面には、上方（ストッカ１１０）から供給される樹脂材料が筐体１６１の内部へと流入するための上部開口部１６１ａが形成される。筐体１６１の底面には、筐体１６１の内部の樹脂材料が下方（トラフ１３０）へと流出するための底部開口部１６１ｂが形成される。
【００５７】
図５に示す案内部１６２は、筐体１６１に供給された樹脂材料を、２つのトラフ１３０へと案内する部分である。案内部１６２は、正面視において左右対称な台形状（等脚台形状）に形成される。案内部１６２は、上面から右下方に向かって傾斜する第一案内面１６２ａと、上面から左下方に向かって傾斜する第二案内面１６２ｂと、を具備する。案内部１６２は、筐体１６１の下部の左右中央部に設けられる。案内部１６２によって底部開口部１６１ｂの左右中央部が塞がれ、底部開口部１６１ｂは左右に分けられる。
【００５８】
切替部材１６３は、筐体１６１に供給された樹脂材料の供給方向を切り替える部分である。切替部材１６３は、主として案内板１６３ａ及び揺動軸１６３ｂを具備する。
【００５９】
案内板１６３ａは、樹脂材料を所定の方向へと案内する部材である。案内板１６３ａは、筐体１６１の前後幅と略同一の前後幅を有する板状に形成される。
【００６０】
揺動軸１６３ｂは、案内板１６３ａの揺動中心となる部材である。揺動軸１６３ｂは、長手方向を前後に向けて配置される。揺動軸１６３ｂは、案内板１６３ａの底面の左右中央部に固定される。
【００６１】
切替部材１６３は、案内部１６２の上方に配置される。具体的には、切替部材１６３は、案内部１６２の上面を上方から覆うように配置される。このように配置することで、案内部１６２の上面（水平な面）に塵挨（樹脂材料の粉末等）が堆積するのを防止することができる。
【００６２】
図３及び図４に示すアクチュエータ１６４は、切替部材１６３を揺動させるための駆動源である。アクチュエータ１６４としては、出力軸を任意の角度に回転させることが可能なサーボモータ等を用いることができる。アクチュエータ１６４は、筐体１６１の前面に固定される。アクチュエータ１６４は、切替部材１６３の揺動軸１６３ｂに連結される。アクチュエータ１６４は、揺動軸１６３ｂを任意の角度だけ回転させることで、案内板１６３ａの傾斜角度を任意に変更することができる。
【００６３】
具体的には、アクチュエータ１６４は、揺動軸１６３ｂを正面視時計回りに適宜の角度だけ回転させることで、案内板１６３ａを、左上方から右下方に向かって傾斜するような姿勢（右下がりの姿勢）に切り替えることができる（図５（ａ）参照）。この状態では、上部開口部１６１ａから筐体１６１内へと供給された樹脂材料は、案内板１６３ａの上を右下方へと滑り落ち、案内部１６２の第一案内面１６２ａへと案内される。第一案内面１６２ａへと案内された樹脂材料は、さらに第一案内面１６２ａの上を右下方へと滑り落ち、底部開口部１６１ｂの右端部から下方へと排出される。底部開口部１６１ｂの右端部から排出された樹脂材料は、右側のトラフ１３０（図３参照）へと供給される。なお、以下では説明の便宜上、この切替部材１６３の姿勢を「右側供給姿勢」と称する。
【００６４】
またアクチュエータ１６４は、揺動軸１６３ｂを正面視反時計回りに適宜の角度だけ回転させることで、案内板１６３ａを、右上方から左下方に向かって傾斜するような姿勢（左下がりの姿勢）に切り替えることができる（図５（ｂ）参照）。この状態では、上部開口部１６１ａから筐体１６１内へと供給された樹脂材料は、案内板１６３ａの上を左下方へと滑り落ち、案内部１６２の第二案内面１６２ｂへと案内される。第二案内面１６２ｂへと案内された樹脂材料は、さらに第二案内面１６２ｂの上を左下方へと滑り落ち、底部開口部１６１ｂの左端部から下方へと排出される。底部開口部１６１ｂの左端部から排出された樹脂材料は、左側のトラフ１３０（図３参照）へと供給される。なお、以下では説明の便宜上、この切替部材１６３の姿勢を「左側供給姿勢」と称する。
【００６５】
次に、図６及び図７を用いて、樹脂材料供給装置１００から受け取った樹脂材料を、成形モジュール３０へと供給する小トレイ４１及び大トレイ４３について具体的に説明する。なお、図６及び図７は、各部材の構成を説明するための模式的な図であり、図示した各部材の相対的な位置関係は実際の位置関係と異なるものである。また、図６及び図７以外の図では、小トレイ４１の形状を簡略化して図示している。
【００６６】
小トレイ４１は、主として樹脂保持部４１ａ及びシャッター４１ｂを具備する。
【００６７】
樹脂保持部４１ａは、樹脂材料を保持する部分である。樹脂保持部４１ａは、平面視略正方形の板状に形成される。樹脂保持部４１ａには、左右に延びるスリット４１ｃが、前後に複数並ぶように形成されている。
【００６８】
シャッター４１ｂは、樹脂保持部４１ａのスリット４１ｃを下方から閉塞可能な部分である。シャッター４１ｂは、平面視略正方形の板状に形成される。シャッター４１ｂには、樹脂保持部４１ａのスリット４１ｃと対応するように、スリット４１ｄが形成されている。すなわち、シャッター４１ｂのスリット４１ｄは、左右に延びるように、かつ前後に複数並ぶように形成されている。またシャッター４１ｂのスリット４１ｄの前後の間隔は、樹脂保持部４１ａのスリット４１ｃの前後の間隔と同一となるように形成されている。シャッター４１ｂは、樹脂保持部４１ａのすぐ下方に配置される。シャッター４１ｂは、図示せぬ移動機構によって、樹脂保持部４１ａに対して前後に相対的に移動することができる。
【００６９】
図６に示すように、シャッター４１ｂのスリット４１ｄが、樹脂保持部４１ａのスリット４１ｃと上下に対向していない場合、樹脂保持部４１ａのスリット４１ｃは、シャッター４１ｂによって下方から閉塞される。この状態では、小トレイ４１の上面（具体的には、樹脂保持部４１ａのスリット４１ｃ内）に樹脂材料を保持することができる。また、シャッター４１ｂを移動させ、樹脂保持部４１ａのスリット４１ｃとシャッター４１ｂのスリット４１ｄを対向させることで、樹脂保持部４１ａのスリット４１ｃ内に保持された樹脂材料を下方へと排出することができる。小トレイ４１から排出された樹脂材料は、後述する大トレイ４３の収容部４３ｂへと供給される。
【００７０】
大トレイ４３は、主として枠部材４３ａ及び収容部４３ｂを具備する。
【００７１】
枠部材４３ａは、収容部４３ｂを支持する部材である。枠部材４３ａは、平面視略正方形の枠状に形成される。すなわち枠部材４３ａは、平面視において、略中央部が開口するように形成されている。
【００７２】
収容部４３ｂは、樹脂材料を収容する部分である。収容部４３ｂは、略円柱状に形成される。収容部４３ｂは、長手方向を左右に向けて、枠部材４３ａの内側（開口部分）に配置される。収容部４３ｂの左右両端部は、枠部材４３ａに対して回動可能に支持される。収容部４３ｂの側面には、樹脂材料を収容可能な溝４３ｃが形成される。溝４３ｃは、収容部４３ｂの長手方向に沿って延びるように形成される。収容部４３ｂは、前後に複数並ぶように設けられる。隣接する収容部４３ｂ同士の前後の間隔（ピッチ）は、小トレイ４１のスリット４１ｃの前後の間隔（ピッチ）と同一となるように形成されている。収容部４３ｂは、図示せぬ駆動機構によって、枠部材４３ａに対して任意の角度に回動することができる。
【００７３】
図６に示すように、収容部４３ｂの溝４３ｃが上方を向いている場合、溝４３ｃの内部に樹脂材料を収容することができる。また、収容部４３ｂを回動させ、溝４３ｃを下方に向けることで、溝４３ｃ内に収容された樹脂材料を下方へと排出することができる。
【００７４】
ここで、小トレイ４１のスリット４１ｃの左右の長さは、大トレイ４３の収容部４３ｂ（溝４３ｃ）の左右の長さの約半分となるように形成されている。また、小トレイ４１のスリット４１ｃの個数は、大トレイ４３の収容部４３ｂの個数の半数となるように形成されている。このように、小トレイ４１の平面視における大きさは、大トレイ４３の大きさの４分の１程度となるように形成されている。このため、小トレイ４１を用いて大トレイ４３の収容部４３ｂ全体に樹脂材料を供給するためには、延べ４つの小トレイ４１を用いる必要がある。
【００７５】
次に、上述の如く構成された樹脂材料供給装置１００の動作（ストッカ１１０からトラフ１３０を介して小トレイ４１へと樹脂材料を供給するための動作）について説明する。
【００７６】
重量計１５０によってトラフ１３０に収容されている樹脂材料の重量が所定値を下回ったことが検出された場合、制御部５０によって第一振動部１２０及び分配器１６０の動作が制御され、トラフ１３０に対して樹脂材料が供給される。
【００７７】
例えば、図３に示す２つのトラフ１３０に収容されている樹脂材料の重量が、どちらも所定値を下回った場合、アクチュエータ１６４が制御され、切替部材１６３の姿勢が右側供給姿勢又は左側供給姿勢のいずれか一方（例えば、図５（ａ）に示す右側供給姿勢）に切り替えられる。
【００７８】
この状態で第一振動部１２０が作動され、ストッカ１１０の供給口１１２ａから樹脂材料が排出される。この樹脂材料は、上部開口部１６１ａを介して分配器１６０の筐体１６１内へと供給される。さらにこの樹脂材料は、案内板１６３ａ及び案内部１６２（第一案内面１６２ａ）によって案内され、右側のトラフ１３０へと供給される。
【００７９】
重量計１５０によって、右側のトラフ１３０に収容されている樹脂材料の重量が所定値を上回ったことが検出されると、第一振動部１２０が停止され、ストッカ１１０から分配器１６０への樹脂材料の供給が停止される。その後、アクチュエータ１６４が制御され、切替部材１６３の姿勢が右側供給姿勢又は左側供給姿勢のいずれか他方（例えば、図５（ｂ）に示す左側供給姿勢）に切り替えられる。なお、制御の簡略化のため、第一振動部１２０を作動させたまま（停止させることなく）、切替部材１６３の姿勢を切り替えてもよい。
【００８０】
この状態で再び第一振動部１２０が作動され、ストッカ１１０の供給口１１２ａから樹脂材料が排出される。この樹脂材料は、上部開口部１６１ａを介して分配器１６０の筐体１６１内へと供給される。さらにこの樹脂材料は、案内板１６３ａ及び案内部１６２（第二案内面１６２ｂ）によって案内され、左側のトラフ１３０へと供給される。
【００８１】
重量計１５０によって、左側のトラフ１３０に収容されている樹脂材料の重量が所定値を上回ったことが検出されると、第一振動部１２０が停止され、ストッカ１１０から分配器１６０への樹脂材料の供給が停止される。
【００８２】
このように、トラフ１３０に収容されている樹脂材料の重量が所定値を下回ると、ストッカ１１０内に収容された樹脂材料が自動的にトラフ１３０へと供給される。これによって、トラフ１３０内には所定値以上の重量の樹脂材料が常時収容されることになる。
【００８３】
なお、上記説明では、２つのトラフ１３０に収容されている樹脂材料の重量が、どちらも所定値を下回った場合を想定して説明を行ったが、いずれか一方のトラフ１３０に収容されている樹脂材料の重量のみが所定値を下回った場合にも、そのトラフ１３０に対して概ね同様に樹脂材料を供給することができる。
【００８４】
すなわち、右側のトラフ１３０に収容されている樹脂材料の重量が所定値を下回った場合には、切替部材１６３の姿勢が右側供給姿勢（図５（ａ）参照）に切り替えられた状態で、ストッカ１１０から分配器１６０へと樹脂材料が供給される。また、左側のトラフ１３０に収容されている樹脂材料の重量が所定値を下回った場合には、切替部材１６３の姿勢が左側供給姿勢（図５（ｂ）参照）に切り替えられた状態で、ストッカ１１０から分配器１６０へと樹脂材料が供給される。
【００８５】
上述のようにして左右のトラフ１３０に収容された樹脂材料は、適宜のタイミングで小トレイ４１へと供給される。以下、具体的に説明する。
【００８６】
図８（ａ）に示すように、小トレイ４１に樹脂材料を供給する場合、小トレイ搬送機構４２（図１参照）によって、樹脂材料が供給される前の小トレイ４１が２つのトラフ１３０の下方へと移動される。この際、２つのトラフ１３０の供給口１３２ａが、所定の開始位置Ｓの真上に位置するように、小トレイ４１の位置が調節される。
【００８７】
次に、第二振動部１４０が作動され、２つのトラフ１３０の供給口１３２ａのそれぞれから小トレイ４１へと樹脂材料が供給される。トラフ１３０から小トレイ４１へと供給される樹脂材料の流速（単位時間あたりの供給重量）は概ね一定となるように、第二振動部１４０の動作が制御される。
【００８８】
また第二振動部１４０の作動と同時に、小トレイ４１の水平方向への移動が開始される。具体的には、小トレイ搬送機構４２によって、小トレイ４１が前後及び左右へ適宜移動される。小トレイ搬送機構４２は、２つのトラフ１３０の供給口１３２ａが、小トレイ４１の半分（前半分）の領域を通過するように小トレイ４１を移動させる。また小トレイ搬送機構４２は、２つのトラフ１３０の供給口１３２ａが、最終的に開始位置Ｓの真上に戻るように、小トレイ４１を移動させる。図８（ａ）には、２つのトラフ１３０の、小トレイ４１に対する相対的な移動軌跡の一例を示している。
【００８９】
２つのトラフ１３０の供給口１３２ａが、開始位置Ｓの真上に戻ると、第二振動部１４０が停止され、トラフ１３０から小トレイ４１への樹脂材料の供給が停止される。
【００９０】
このようにして、小トレイ４１の半分（前半分）の領域に、樹脂材料が供給される（図８（ｂ）参照）。図８では、樹脂材料が供給された領域を網掛けで示している。なお、トラフ１３０による１回の樹脂材料の供給（第二振動部１４０が作動されてから停止されるまでの樹脂材料の供給）によって、小トレイ４１へと供給される樹脂材料の重量は、予め設定された目標値（目標供給量）となるように制御されている。具体的には、第二振動部１４０及び小トレイ搬送機構４２の動作を適宜制御することで、目標供給量の樹脂材料が小トレイ４１へと供給される。
【００９１】
次に、小トレイ搬送機構４２によって小トレイ４１の前後の向き反転され（図８（ｃ）参照）、小トレイ４１の樹脂材料が供給されていない残り半分の領域に、２つのトラフ１３０から樹脂材料が供給される（図８（ｄ）参照）。この場合も、図８（ａ）に示したような移動軌跡に沿って小トレイ４１を移動させながら、トラフ１３０から小トレイ４１へと樹脂材料が供給される。このようにして、１つの小トレイ４１に対して樹脂材料を供給する場合、小トレイ４１の前後の向きを反転させ、２回に分けて樹脂材料が供給される。
【００９２】
本実施形態では、複数（２つ）のトラフ１３０を用いて１つの小トレイ４１へと樹脂材料を供給する構成とすることによって、小トレイ４１への樹脂材料の供給時間を短縮することができる。
【００９３】
なお、本実施形態のように、トラフ１３０を複数用いるのではなく、１つのトラフ１３０を用いて小トレイ４１への樹脂材料の供給時間を短縮する場合、トラフ１３０から小トレイ４１へと供給される樹脂材料の流速を増加させる方法も考えられる。しかしながら、このためにはトラフ１３０の大型化が必要になる場合があり、好ましくない。またこれに伴って、樹脂材料の供給量の制御の精度（例えば、重量計１５０の測定精度や、トラフ１３０による樹脂材料の流速の精度）が低下するおそれがある点でも好ましくない。これに対して本実施形態では、複数のトラフ１３０を用いることで、それぞれのトラフ１３０の大型化や、樹脂材料の供給量の制御の精度の低下を抑制している。
【００９４】
さらに本実施形態では、樹脂供給モジュール４０に、２つの樹脂材料供給装置１００を設けている（図１及び図２参照）。これによって、２つの小トレイ４１に対して並行して樹脂材料を供給することができるため、大トレイ４３及び成形型３１への樹脂材料の供給時間を短縮することができ、ひいては樹脂成形装置１による樹脂成形品の製造の効率化を図ることができる。
【００９５】
上述のようにして小トレイ４１に供給された樹脂材料は、大トレイ４３を介して成形型３１のキャビティへと供給される。以下、具体的に説明する。
【００９６】
樹脂材料を保持した小トレイ４１は、小トレイ搬送機構４２によって大トレイ４３の上方へと移動される（図６参照）。その後、小トレイ４１のシャッター４１ｂを樹脂保持部４１ａに対して相対的に移動させることで、樹脂保持部４１ａのスリット４１ｃが開放され、小トレイ４１から大トレイ４３へと樹脂材料が供給される。大トレイ４３へと供給された樹脂材料は、収容部４３ｂの溝４３ｃ内に収容される。
【００９７】
ここで、前述のように、小トレイ４１は大トレイ４３の大きさの４分の１程度に形成されている。このため、図７に示すように、平面視において、大トレイ４３を４等分した４つの領域（図７の二点鎖線参照）それぞれに対して小トレイ４１からの樹脂材料が供給される。すなわち、大トレイ４３には、延べ４つの小トレイ４１から樹脂材料が供給される。
【００９８】
樹脂材料を収容した大トレイ４３は、大トレイ搬送機構４４によって成形モジュール３０の成形型３１の上方まで搬送される。その後、大トレイ４３の収容部４３ｂが上下反転され、大トレイ４３から成形型３１のキャビティへと樹脂材料が供給される。
【００９９】
この際、大トレイ４３と成形型３１のキャビティの間には、図６に示すような拡散板３１ａが配置される。拡散板３１ａには複数の貫通孔が設けられる。また、拡散板３１ａは図示せぬ駆動機構によって振動することができる。大トレイ４３から落下した樹脂材料は、振動する拡散板３１ａによって拡散される。これによって、成形型３１のキャビティ内の樹脂材料の均一化を図ることができる。
【０１００】
次に、上述の如く構成された樹脂材料供給装置１００による樹脂供給量の精度の向上を図るための制御の一例について説明する。
【０１０１】
上述の如く、本実施形態において、樹脂材料供給装置１００は、２つのトラフ１３０を用いて１つの小トレイ４１に樹脂材料を供給するものである（図８参照）。また樹脂成形装置１は２つの樹脂材料供給装置１００を備えるものである（図２参照）。すなわち、本実施形態に係る樹脂成形装置１は、４つのトラフ１３０を用いて、２つの小トレイ４１に同時に樹脂材料を供給することができる。
【０１０２】
また、本実施形態において、大トレイ４３には、延べ４つの小トレイ４１から樹脂材料が供給される（図７参照）。また、樹脂材料供給装置１００は、２回に分けて小トレイ４１へと樹脂材料を供給するものである（図８参照）。
【０１０３】
これらをまとめると、図９に示すように、本実施形態においては、１つの大トレイ４３に樹脂材料を供給する場合、４つのトラフ１３０（図９においては、４つのトラフ１３０を区別するために、トラフ（１）〜（４）と表記している）は樹脂材料を小トレイ４１へとそれぞれ４回供給することになる。
【０１０４】
このように、複数のトラフ１３０を用いて複数回の樹脂材料の供給を行うと、樹脂材料の供給量の誤差が累積し、大トレイ４３に供給される樹脂材料の総供給量が、目標値（目標総供給量）と大きく異なってしまう可能性がある。そこで本実施形態では、樹脂材料の総供給量の誤差を小さく抑えるための制御を行うことを想定している。以下、図９を用いて、この制御の具体例について説明する。なお、図９で示した数値は本制御を説明するために便宜上設定した値であり、実際に本制御を行う際の値を限定するものではない。
【０１０５】
図９には、トラフ１３０から小トレイ４１へと供給される樹脂材料の重量の目標値と、実際に供給された樹脂材料の重量の一例を示している。具体的には、図９には、目標値として、各トラフ１３０の１回目から４回目までの樹脂材料の供給における目標供給量と、４つのトラフ１３０による４回の樹脂供給によって供給される樹脂材料の目標総重量（１つの大トレイ４３に供給すべき樹脂材料の重量の目標値）を示している。また、各目標値の下の欄に、実際の樹脂材料の供給量を示している。
【０１０６】
図９に示した例では、４つのトラフ１３０による４回の樹脂材料の供給によって、合計１６０．０ｇの樹脂材料を供給することを目標としている。
【０１０７】
樹脂材料供給装置１００によって樹脂材料を供給する場合、まず小トレイ４１へと供給する樹脂材料の目標値（目標供給量）が設定される。１回あたりの樹脂材料の供給の目標値は、目標総供給量（１６０．０ｇ）を、トラフ１３０による樹脂供給の延べ回数で除することで決定される。本例では、４つのトラフ１３０が各４回樹脂材料を供給するため、トラフ１３０による樹脂材料の延べ回数は１６回となる。従って、各トラフ１３０の１回あたりの目標供給量は、１０．０ｇとなる。
【０１０８】
次に、実際に１回目の樹脂材料の供給が行われる。図９に示す例では、第１回目標供給量（１０．０ｇ）に従ってトラフ１３０から小トレイ４１へと樹脂材料を供給した結果、トラフ（１）とトラフ（２）で目標供給量に対して誤差が生じている（第１回供給量参照）。
【０１０９】
そこで、第２回目標供給量は、１回目の樹脂材料の供給で生じた誤差を打ち消すような値に補正される。例えば、トラフ（１）による１回目の樹脂材料の供給では、＋０．１ｇの誤差が生じている。そこで、第２回目標供給量として、最初に算出された目標供給量（１０．０ｇ）から０．１ｇを減算した値（すなわち、９．９ｇ）が設定される。２回目の樹脂材料の供給によって第２回目標供給量（９．９ｇ）の樹脂材料を供給できれば、１回目と２回目の供給量の平均が１０．０ｇとなる。すなわち、１回目の樹脂材料の供給で生じた誤差を打ち消すことができる。
【０１１０】
図９では、トラフ（２）についても、第２回目標供給量が１０．２ｇに補正された例を示している。
【０１１１】
次に、実際に２回目の樹脂材料の供給が行われる。図９に示すように、第２回目標供給量に従ってトラフ１３０から小トレイ４１へと樹脂材料を供給した結果、トラフ（１）とトラフ（２）で目標供給量に対して誤差が生じている（第２回供給量参照）。
【０１１２】
そこで、第３回目標供給量は、第２回目標供給量と同様に、２回目の樹脂材料の供給で生じた誤差を打ち消すような値に補正される。例えば、トラフ（１）による２回目の樹脂材料の供給では、＋０．２ｇの誤差が生じている。そこで、第３回目標供給量として、最初に算出された目標供給量（１０．０ｇ）から０．２ｇを減算した値（すなわち、９．８ｇ）が設定される。３回目の樹脂材料の供給によって第３回目標供給量（９．８ｇ）の樹脂材料を供給できれば、１回目から３回目までの供給量の平均が１０．０ｇとなる。すなわち、１回目及び２回目の樹脂材料の供給で生じた誤差を打ち消すことができる。
【０１１３】
図９では、トラフ（２）についても、第３回目標供給量が１０．２ｇに補正された例を示している。また、４回目の樹脂材料の供給についても、２回目及び３回目と同様に、適宜目標供給量の補正が行われる。
【０１１４】
このように、２回目以降の各回の樹脂材料の供給の際に、各トラフ１３０による樹脂材料の目標供給量を補正する制御（以下、この制御を「各回補正制御」と称する）を行うことで、目標総供給量に対する誤差を小さく抑えることができる。
【０１１５】
さらに本実施形態では、最後（４回目）の樹脂材料の供給において、いずれかのトラフ１３０（図９の例では、トラフ（４））を用いて、さらに誤差を小さく抑える制御を行っている。
【０１１６】
すなわち、上述のように各回補正制御を行ったとしても、実際の供給量には誤差が生じる可能性がある。そこで、最後（４回目）の樹脂材料の供給を行う場合、少なくとも１つのトラフ１３０（本例では、トラフ（４））による樹脂材料の供給量を調節し、誤差を打ち消す制御を行っている。
【０１１７】
具体的には、最後（４回目）の樹脂材料の供給を行う場合、トラフ（４）による樹脂材料の供給の完了を、その他のトラフ（１）〜（３）による樹脂材料の供給の完了よりも遅らせる。そして、トラフ（１）〜（３）による実際の樹脂材料の供給量を把握した上で、１回目〜４回目までの樹脂材料の総供給量が、目標総供給量（１６０．０ｇ）となるように、トラフ（４）による樹脂材料の供給量が調節される。図９の例では、目標供給量（１０．０ｇ）が設定されているのにもかかわらず、トラフ（４）による４回目の樹脂材料の供給量が、１０．４ｇに調節された例を示している。
【０１１８】
このように、最後（４回目）の樹脂材料の供給を行う際に、少なくとも１つのトラフ１３０による樹脂材料の供給量を調節する制御（以下、この制御を「最終補正制御」と称する）を行うことで、目標総供給量に対する誤差を小さく抑えることができる。
【０１１９】
なお、図９の例では、２つの制御（各回補正制御と最終補正制御）によって誤差を抑える例を示したが、いずれか一方の制御だけを行っても良い。また、誤差が許容できる程度に十分小さい場合には、必ずしも各回補正制御及び最終補正制御を行わなくてもよい。
【０１２０】
以上の如く、本実施形態に係る樹脂材料供給装置１００は、
樹脂材料を収容する樹脂収容部（ストッカ１１０）と、
樹脂材料を一の供給対象物（小トレイ４１）に供給する複数の樹脂供給部（トラフ１３０）と、
前記樹脂収容部から供給された樹脂材料を複数の前記樹脂供給部に分配する分配器１６０と、
を備えるものである。
【０１２１】
このように構成することにより、樹脂材料の供給時間を短縮することができる。すなわち、複数のトラフ１３０によって小トレイ４１へと樹脂材料を供給することができるため、小トレイ４１への樹脂材料の供給時間を短縮することができる。また、単一のトラフ１３０を用いる場合に比べて、トラフ１３０を大型化したり、トラフ１３０単体の樹脂材料の流速を増加させる必要がないため、樹脂材料の供給量の精度の低下を防止することもできる。
【０１２２】
また、前記分配器１６０は、複数の前記樹脂供給部から択一的に選択された前記樹脂供給部に樹脂材料を供給するものである。
【０１２３】
このように構成することにより、樹脂供給部（トラフ１３０）へ供給される樹脂材料の量を管理し易くすることができる。すなわち、複数のトラフ１３０にまとめて樹脂材料を供給するのではなく、個別に樹脂材料を供給することで、各トラフ１３０に適した量の樹脂材料を供給することができる。
【０１２４】
また、前記分配器１６０は、前記樹脂収容部から供給された樹脂材料の供給方向を切り替える切替部材１６３を備えるものである。
【０１２５】
このように構成することにより、簡素な構成で樹脂材料の分配を行うことができる。
【０１２６】
また、前記分配器１６０は、前記切替部材１６３の傾きを切り替えるアクチュエータ１６４をさらに備えるものである。
【０１２７】
このように構成することにより、樹脂材料の供給方向の切り替えを容易に行うことができる。
【０１２８】
また、前記分配器１６０は、樹脂材料を前記樹脂供給部（トラフ１３０）へと案内する案内部１６２を備えるものである。
【０１２９】
このように構成することにより、樹脂材料を樹脂供給部へと円滑に供給することができる。特に本実施形態では、２つの斜面（第一案内面１６２ａ及び第二案内面１６２ｂ）を用いて、自重により落下する樹脂材料を２つの樹脂供給部（トラフ１３０）へと案内することができるため、簡素な構成で樹脂材料をトラフ１３０へと案内することができる。
【０１３０】
また、前記供給対象物は、樹脂材料を搬送する樹脂搬送部材（小トレイ４１）である。
【０１３１】
このように構成することにより、樹脂材料の搬送時間を短縮することができる。
【０１３２】
また、本実施形態に係る樹脂成形装置１は、上記樹脂材料供給装置１００を備えるものである。
【０１３３】
このように構成することにより、樹脂材料の供給時間を短縮することができる。また、これに伴って、樹脂成形品の製造を効率的に行うことができる。
【０１３４】
また、樹脂成形装置１は、上記樹脂材料供給装置１００を複数備えるものである。
【０１３５】
このように構成することにより、樹脂材料の供給時間をさらに短縮することができる。また、これに伴って、樹脂成形品の製造を効率的に行うことができる。
【０１３６】
また、本実施形態に係る樹脂成形品の製造方法は、上記樹脂成形装置１を用いて樹脂成形品を製造するものである。
【０１３７】
このように構成することにより、樹脂材料の供給時間を短縮することができる。また、これに伴って、樹脂成形品の製造を効率的に行うことができる。
【０１３８】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想の範囲内で適宜の変更が可能である。
【０１３９】
例えば、本実施形態においては、コンプレッション方式の樹脂成形装置１を例示したが、本発明はこれに限るものではなく、他の方式（例えば、溶融した樹脂をキャビティ内に移送して硬化させるトランスファ方式等）を採用することも可能である。
【０１４０】
また、本実施形態の樹脂成形装置１に用いた構成要素（基板搬入搬出モジュール１０等）は一例であり、適宜着脱や交換することが可能である。例えば、基板搬入搬出モジュール１０を設けずに、基板Ｐの搬入搬出を作業者が手動で行うことも可能である。
【０１４１】
また、本実施形態においては、矩形板状の基板Ｐを例示したが、本発明はこれに限るものではなく、その他種々の形状（例えば、円形板状等）の基板Ｐを用いることが可能である。
【０１４２】
また、本実施形態においては、樹脂材料供給装置１００が樹脂材料を供給する対象（供給対象物）として、樹脂材料を搬送する小トレイ４１を例示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、供給対象物は、樹脂材料を搬送するその他の樹脂搬送部材（例えば、大トレイ４３等）であってもよい。また、供給対象物は、樹脂搬送部材に限るものではない。例えば、供給対象物は、成形型３１のキャビティや、その他の部材、容器等であってもよい。
【０１４３】
また、本実施形態において示した小トレイ４１及び大トレイ４３の構成は一例であり、樹脂材料を搬送することが可能な適宜の構成に変更することが可能である。
【０１４４】
また、本実施形態においては、分配器１６０のアクチュエータ１６４としてサーボモータを例に挙げたが、本発明はこれに限るものではなく、その他種々のアクチュエータを用いることが可能である。例えば、アクチュエータ１６４として、エアシリンダ等を用いてもよい。
【０１４５】
また、本実施形態においては、アクチュエータ１６４を用いて切替部材１６３を動作させる例を示したが、本発明はこれに限るものではない。例えば、アクチュエータ１６４を用いずに、手動で切替部材１６３を動作させることも可能である。
【０１４６】
また、本実施形態においては、板状の切替部材１６３（案内板１６３ａ）を例示したが、本発明はこれに限るものではなく、種々の形状の切替部材１６３を用いることが可能である。すなわち、切替部材１６３は樹脂材料の供給方向を切り替えることができるものであればよく、例えば、適宜の立体的形状（多角形状）を有する部材を用いることも可能である。
【０１４７】
また、本実施形態においては、分配器１６０は、択一的に選択されたトラフ１３０に樹脂材料を供給するものとしたが、本発明はこれに限るものではない。すなわち、分配器１６０は、複数のトラフ１３０に対して同時に（並行して）樹脂材料を供給するものであってもよい。
【０１４８】
また、本実施形態においては、２つのトラフ１３０（樹脂供給部）を備える樹脂材料供給装置１００を例示したが、本発明はこれに限るものではなく、３つ以上のトラフ１３０を備えていてもよい。
【０１４９】
また、本実施形態に係る樹脂成形装置１は、２つの樹脂材料供給装置１００を備えるものとしたが、本発明はこれに限るものではなく、１つ、又は３つ以上の樹脂材料供給装置１００を備えるものであってもよい。
【０１５０】
また、本実施形態では、単一の制御部５０によって各モジュールの動作が制御されるものとしたが、本発明はこれに限るものではなく、制御部５０を複数設けることも可能である。例えば、制御部５０をモジュールごとや装置ごとに設け、各モジュール等の動作を互いに連動させながら個別に制御することも可能である。
【符号の説明】
【０１５１】
４１    小トレイ
４３    大トレイ
１００  樹脂材料供給装置
１１０  ストッカ
１２０  第一振動部
１３０  トラフ
１４０  第二振動部
１５０  重量計
１６０  分配器
１６２  案内部
１６３  切替部材
１６４  アクチュエータ
【要約】
【課題】樹脂材料の供給時間を短縮することが可能な樹脂材料供給装置を提供する。
【解決手段】樹脂材料を収容する樹脂収容部と、樹脂材料を一の供給対象物に供給する複数の樹脂供給部と、前記樹脂収容部から供給された樹脂材料を複数の前記樹脂供給部に分配する分配器と、を備える樹脂材料供給装置。
【選択図】図３【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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