(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機基板と、樹脂層と、前記樹脂層上に間隔を置いて搭載された複数のデバイスとをこの順で有する第１の積層体を準備する工程Ａと、
前記第１の積層体上に、前記複数のデバイスと前記間隔部分とを覆うようにエラストマー層を形成して第２の積層体を得る工程Ｂと、
前記無機基板を剥離する工程Ｃとを含み、
前記樹脂層は、予め少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数形成されたものであるか、又は、前記無機基板を剥離する工程Ｃの後に前記樹脂層の一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層として形成されるものであり、
前記工程Ａで準備する前記第１の積層体は、前記樹脂層上に、電極取り出し用配線が形成され、前記デバイスが、前記電極取り出し用配線と接合された構成であり、
前記工程Ｂを行う前の前記エラストマー層上には、前記デバイス間を接続するための配線パターン、及び、回路引き出し配線が形成されており、
前記工程Ｂは、前記エラストマー層上の前記回路引き出し配線と前記樹脂層上の前記電極取り出し用配線とを電気的に接続することを含むことを特徴とするデバイス連結体の製造方法。
【請求項２】
前記第２の積層体を得る工程Ｂに先立って、前記樹脂層の一部を除去するための切断線をレーザ照射により前記樹脂層に形成する工程Ｘを有することを特徴とする請求項１に記載のデバイス連結体の製造方法。
【請求項３】
前記第２の積層体を得る工程Ｂは、支持基材付きのエラストマー層を前記第１の積層体に積層する工程Ｂ−１を含み、
前記デバイス連結体の製造方法は、さらに、
前記支持基材を剥離する工程Ｄ
を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のデバイス連結体の製造方法。
【請求項４】
前記配線パターンは、伸縮性の配線パターンであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１に記載のデバイス連結体の製造方法。
【請求項５】
前記配線パターンは、蛇腹型金属配線又は伸縮性金属ペースト配線であることを特徴とする請求項４に記載のデバイス連結体の製造方法。
【請求項６】
前記無機基板を剥離する工程Ｃの後に、前記樹脂層の一部を除去するための切断線をレーザ照射により前記樹脂層に形成する工程Ｅと、
前記一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層を形成する工程Ｆとを有することを特徴とする請求項１に記載のデバイス連結体の製造方法。
【請求項７】
前記デバイスが、センサ素子又は発光素子であることを特徴とする請求項１〜６いずれか１項に記載のデバイス連結体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デバイス連結体の製造方法、及び、デバイス連結体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、複数のデバイスが間隔を置いて搭載されたシートであって、フレキシブル性と伸縮性とを兼ね備えたものの需要が高まっている。このようなシートは、例えば、身体のような曲面に装着して使用することが想定されている。また、折り曲げ部を有する電子機器や、巻き取ることが可能な電子機器に使用することが想定されている。【０００３】
特許文献１には、伸縮可能な回路基板に複数の電子部材が設けられた回路基板装置が開示されている。伸縮可能な回路基板の製造方法として、特許文献１には、銅めっきされたポリイミド基板上の銅箔をエッチングして、ミアンダ形パターンを形成し、配線を中心にポリイミド幅２５０μｍとなるようにポリイミド部分をレーザ加工により切り離し、伸縮可能な回路基板を得たことが記載されている(段落［０１３６］、図１９)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−１１６９５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されているような回路基板の製造方法では、配線のミアンダ形パターンに沿うように、ポリイミド基板をレーザ加工する必要があり、生産性に劣る。特に、配線パターンが狭ピッチになると、レーザ加工に高度の精度が必要となり、大量生産には向かない。なお、ポリイミド基板は、フレキシブル性は有するものの、伸縮性を有さないため、ポリイミド基板をレーザ加工しない構成とすると、回路基板に伸縮性を持たせることはできなくなる。【０００６】
本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、製造が容易であり、大量生産が可能なデバイス連結体の製造方法を提供することにある。また、本発明は、当該デバイス連結体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、デバイス連結体の製造方法について鋭意検討を行った。その結果、下記構成を採用すれば、デバイス連結体の製造が容易であり、大量生産が可能であることを見出し、本発明を完成するに至った。【０００８】
すなわち、本発明に係るデバイス連結体の製造方法は、
無機基板と、樹脂層と、前記樹脂層上に間隔を置いて搭載された複数のデバイスとをこの順で有する第１の積層体を準備する工程Ａと、
前記第１の積層体上に、前記複数のデバイスと前記間隔部分とを覆うようにエラストマー層を形成して第２の積層体を得る工程Ｂと、
前記無機基板を剥離する工程Ｃとを含み、
前記樹脂層は、予め少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数形成されたものであるか、又は、前記無機基板を剥離する工程Ｃの後に前記樹脂層の一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層として形成されるものであることを特徴とする。【０００９】
前記構成によれば、前記第１の積層体上に、前記複数のデバイスと前記間隔部分とを覆うようにエラストマー層を形成（工程Ｂ）した後、前記無機基板を剥離（工程Ｃ）しさえすれば、伸縮性を有するエラストマー層上に複数のデバイスが間隔を置いて搭載されたデバイス連結体を得ることができる。従って、生産性に優れる。
ここで、前記樹脂層は、（１）予め少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数形成されたものであるか、又は、（２）前記無機基板を剥離する工程Ｃの後に前記樹脂層の一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層として形成されるものである。すわなち、各デバイスには樹脂層が積層されているものの、各デバイスに対応する樹脂層は、連続していない。従って、１のデバイスと他のデバイスとは、エラストマー層のみで連結されている。その結果、本発明に係る製造方法により得られたデバイス連結体は、伸縮性を有する。【００１０】
前記構成においては、前記第２の積層体を得る工程Ｂに先立って、前記樹脂層の一部を除去するための切断線をレーザ照射により前記樹脂層に形成することが好ましい。【００１１】
前記第２の積層体を得る工程Ｂに先立って、前記樹脂層の一部を除去するための切断線をレーザ照射により前記樹脂層に形成する構成とすれば、レーザの照射量が多い場合、無機基板にレーザが照射される可能性はあるが、エラストマー層にレーザが照射されることはない。従って、安定的にデバイス連結体を製造することができる。
また、前記第２の積層体を得る工程Ｂに先立って、前記樹脂層の一部を除去するための切断線をレーザ照射により前記樹脂層に形成する構成とすれば、無機基板上でのレーザ照射となるため、樹脂層へのレーザ照射の位置精度を確保しやすい。【００１２】
前記構成において、前記第２の積層体を得る工程Ｂは、支持基材付きのエラストマー層を前記第1の積層体に積層する工程Ｂ−１を含み、
前記デバイス連結体の製造方法は、さらに、前記支持基材を剥離する工程Ｄを含むことが好ましい。【００１３】
支持基材付きのエラストマー層を用いれば、容易に、前記第１の積層体上にエラストマー層を形成して第２の積層体を得ることができる。【００１４】
前記構成において、前記エラストマー層は、その表面に前記デバイス間を接続するための伸縮性の配線パターンを有することが好ましい。【００１５】
前記エラストマー層が、その表面に前記デバイス間を接続するための伸縮性の配線パターンを有していると、前記第１の積層体上にエラストマー層を形成した際に、デバイス間の伸縮性を保ちつつ、デバイス同士の配線も同時に行える。【００１６】
前記構成において、前記配線パターンは、蛇腹型金属配線又は伸縮性金属ペースト配線であることが好ましい。【００１７】
前記配線パターンが、蛇腹型金属配線又は伸縮性金属ペースト配線であれば、デバイス間の電気的接続を保ちつつ、デバイス間の好適な伸縮性を保つことができる。【００１８】
前記構成においては、前記無機基板を剥離する工程Ｃの後に、前記樹脂層の一部を除去するための切断線をレーザ照射により前記樹脂層に形成する工程Ｅと、
前記一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層を形成する工程Ｆとを有することが好ましい。【００１９】
前記無機基板を剥離する工程Ｃの後に、前記樹脂層の一部を除去するための切断線をレーザ照射により前記樹脂層に形成し（工程Ｅ）、前記一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層を形成（工程Ｆ）すれば、デバイスをエラストマー層へ埋め込んだ後の形状を確認した上で、不要な樹脂層の部分を除去することができる。すなわち、工程Ｂにおいて、エラストマー層や第１の積層体（特に、樹脂層）が変形する可能性があるが、上記構成によれば、これらの変形を確認した上で、不要な樹脂層部分を選択して除去することが可能となる。【００２０】
前記構成においては、前記第２の積層体を得る工程Ｂに先立って、前記第１の積層体上に、前記複数のデバイス間を接続する伸縮性の配線パターンを形成する工程Ｇを有することが好ましい。【００２１】
前記第２の積層体を得る工程Ｂに先立って、前記第１の積層体上に、前記複数のデバイス間を接続する伸縮性の配線パターンを形成すれば、デバイスと配線パターンとの間の電気的接続を確実とすることができる。【００２２】
前記構成においては、前記デバイスが、センサ素子又は発光素子であることが好ましい。【００２３】
前記デバイスが、センサ素子であると、例えば、形状が変化する面（例えば、皮膚）に貼り付けて、生体の情報を測定等することができる。また、前記デバイスが、発光素子であると、伸縮性のあるディスプレイとすることができる。【００２４】
また、本発明に係るデバイス連結体は、
エラストマー層と、
前記エラストマー層に付着する複数の樹脂層と、
前記エラストマー層と前記複数の樹脂層との間に介在する複数のデバイスと、
前記複数のデバイス間を接続する伸縮性の配線パターンとを備えることを特徴とする。【００２５】
前記構成によれば、各デバイスには樹脂層が積層されているものの、各デバイスに対応する樹脂層は、連続していない。従って、１のデバイスと他のデバイスとは、エラストマー層のみで、又は、エラストマー層と伸縮性のある配線パターンとのみで連結されている。その結果、本発明に係るデバイス連結体は、伸縮性を有する。つまり、本発明に係るデバイス連結体は、全体としては伸縮するが、デバイス搭載部分は伸縮しない構成が実現される。また、本発明に係るデバイス連結体は、例えば、前記製造方法により製造することができる。従って、生産性に優れる。【００２６】
前記構成においては、前記エラストマー層が、前記複数の樹脂層同士の間隔部分の表面まで連続し、かつ、前記間隔部分において前記エラストマー層の表面が前記樹脂層の表面に対して、段差なく形成されていることが好ましい。【００２７】
前記構成の場合、デバイス形成面がフラットとなるため、例えば、貼り付け対象面に対して、デバイス形成面を、隙間なく貼り付けることができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、製造が容易であり、大量生産が可能なデバイス連結体の製造方法を提供することができる。また、当該デバイス連結体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図２Ａ】第１実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図２Ｂ】図２Ａの平面図である。
【図３Ａ】第１実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図３Ｂ】図３Ａの平面図である。
【図４】第１実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図５】第１実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図６】第１実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図７】第１実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図８】第１実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図９】第２実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図１０】第２実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図１１】第２実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図１２】第２実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図１３】第２実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図１４】第２実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図１５】第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図１６】第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図１７Ａ】第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図１７Ｂ】図１７Ａの平面図である。
【図１８Ａ】第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図１８Ｂ】図１８Ａの平面図である。
【図１９Ａ】第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図１９Ｂ】図１９Ａの平面図である。
【図２０Ａ】第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図２０Ｂ】図２０Ａの平面図である。
【図２１】第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図２２】第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図２３Ａ】第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図２３Ｂ】図２３Ａの平面図である。
【図２４】第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図２５Ａ】第４実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図２５Ｂ】図２５Ａの平面図である。
【図２６】第４実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図２７】第４実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【図２８】第４実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００３１】
本実施形態に係るデバイス連結体の製造方法は、
無機基板と、樹脂層と、前記樹脂層上に間隔を置いて搭載された複数のデバイスとをこの順で有する第１の積層体を準備する工程Ａと、
前記第１の積層体上に、前記複数のデバイスと前記間隔部分とを覆うようにエラストマー層を形成して第２の積層体を得る工程Ｂと、
前記無機基板を剥離する工程Ｃとを少なくとも含み、
前記樹脂層は、予め少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数形成されたものであるか、又は、前記無機基板を剥離する工程Ｃの後に前記樹脂層の一部を除去することで、少なくとも前記複数のデバイスに対応する位置に複数の樹脂層として形成されるものである。
【００３２】
以下では、本実施形態の詳細について、第１実施形態〜第４実施形態に分けて説明することとする。
【００３３】
［第１実施形態］
図１、図２Ａ、図３Ａ、図４〜図８は、第１実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。図２Ｂは、図２Ａの平面図である。図３Ｂは、図３Ａの平面図である。
【００３４】
第１実施形態に係るデバイス連結体の製造方法においては、まず、無機基板１２と、樹脂層１４と、樹脂層１４上に間隔を置いて搭載された複数のデバイス１６とをこの順で有する第１の積層体１０（図２Ａ、図２Ｂ参照）を準備する（工程Ａ）。
【００３５】
第１の積層体１０の準備方法は、特に限定されない。無機基板１２上に樹脂層１４が積層された積層体１１を準備し（図１参照）、積層体１１に、既存の電子デバイス製造用の設備、及び、プロセスを用いて、複数のデバイス１６を形成することにより得ることができる。また、無機基板１２と、樹脂層１４と、樹脂層１４上に間隔を置いて搭載された複数のデバイス１６とをこの順で有する第１の積層体１０を直接に入手してきてもよい。
【００３６】
第１の積層体１０は、公知の方法により製造することができる（例えば、特開２０１０−２８３２６２号公報、特開２０１１−０１１４５５号公報、特開２０１１−２４５６７５号公報等を参照）。以下では、第１の積層体１０について、簡単に説明することする。
【００３７】
＜第１の積層体＞
第１の積層体１０は、無機基板１２と、樹脂層１４と、樹脂層１４上に間隔を置いて搭載された複数のデバイス１６とをこの順で有する。
【００３８】
＜無機基板＞
無機基板１２は、樹脂層１４上にデバイスを形成する際の支持体の役割を有する。無機基板１２は、デバイス連結体が完成するまでのいずれかの段階で、樹脂層１４から剥離される。
【００３９】
無機基板１２としては無機物からなる基板として用いることのできる板状のものであればよく、例えば、ガラス板、セラミック板、半導体ウエハ、金属等を主体としているもの、および、これらガラス板、セラミック板、半導体ウエハ、金属の複合体として、これらを積層したもの、これらが分散されているもの、これらの繊維が含有されているものなどが挙げられる。
【００４０】
前記ガラス板としては、石英ガラス、高ケイ酸ガラス（９６％シリカ）、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、ホウケイ酸ガラス（パイレックス（登録商標））、ホウケイ酸ガラス（無アルカリ）、ホウケイ酸ガラス（マイクロシート）、アルミノケイ酸塩ガラス等が含まれる。
【００４１】
前記半導体ウエハとしては、特に限定されないが、シリコンウエハ、ゲルマニウム、シリコン−ゲルマニウム、ガリウム−ヒ素、アルミニウム−ガリウム−インジウム、窒素−リン−ヒ素−アンチモン、ＳｉＣ、ＩｎＰ（インジウム燐）、ＩｎＧａＡｓ、ＧａＩｎＮＡｓ、ＬＴ、ＬＮ、ＺｎＯ（酸化亜鉛）やＣｄＴｅ（カドミウムテルル）、ＺｎＳｅ（セレン化亜鉛）などのウエハが挙げられる。なかでも、好ましく用いられるウエハはシリコンウエハであり、特に好ましくは８インチ以上のサイズの鏡面研磨シリコンウエハである。
【００４２】
前記金属としては、Ｗ、Ｍｏ、Ｐｔ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ａｕといった単一元素金属や、インコネル、モネル、ニモニック、炭素銅、Ｆｅ−Ｎｉ系インバー合金、スーパーインバー合金、といった合金等が含まれる。また、これら金属に、他の金属層、セラミック層を付加してなる多層金属板も含まれる。
【００４３】
＜樹脂層＞
樹脂層１４としては、樹脂で形成された層であれば特に限定されないが、耐熱高分子フィルムであることが好ましい。樹脂層１４が耐熱高分子フィルムであると、耐熱高分子フィルム上にデバイス１６を形成する際の熱に耐え得る。
【００４４】
本明細書において、耐熱高分子とは、融点が４００℃以上、好ましくは５００℃以上であり、ガラス転移温度が２５０℃以上、好ましくは３２０℃以上、さらに好ましくは３８０℃以上の高分子である。以下、煩雑さを避けるために単に高分子とも称する。本明細書において、融点、及び、ガラス転移温度は、示差熱分析（ＤＳＣ）により求めるものである。なお、融点が５００℃を越える場合には、該当温度にて加熱した際の熱変形挙動を目し観察することで融点に達しているか否かを判断して良い。
【００４５】
前記耐熱高分子フィルム(以下、単に高分子フィルムとも称する）としては、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、フッ素化ポリイミドといったポリイミド系樹脂（例えば、芳香族ポリイミド樹脂、脂環族ポリイミド樹脂）；ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレートといった共重合ポリエステル（例えば、全芳香族ポリエステル、半芳香族ポリエステル）；ポリメチルメタクリレートに代表される共重合（メタ）アクリレート；ポリカーボネート；ポリアミド；ポリスルフォン；ポリエーテルスルフォン；ポリエーテルケトン；酢酸セルロース；硝酸セルロース；芳香族ポリアミド；ポリ塩化ビニル；ポリフェノール；ポリアリレート；ポリフェニレンスルフィド；ポリフェニレンオキシド；ポリスチレン等のフィルムを例示できる。
ただし、前記高分子フィルムは、４５０℃以上の熱処理を伴うプロセスに用いられることが多い。前記高分子フィルムのなかでも好ましくは、所謂スーパーエンジニアリングプラスチックを用いたフィルムであり、より具体的には、芳香族ポリイミドフィルム、芳香族アミドフィルム、芳香族アミドイミドフィルム、芳香族ベンゾオキサゾールフィルム、芳香族ベンゾチアゾールフィルム、芳香族ベンゾイミダゾールフィルム等が挙げられる。
【００４６】
前記高分子フィルムの厚さは３μｍ以上が好ましく、より好ましくは１１μｍ以上であり、さらに好ましくは２４μｍ以上であり、より一層好ましくは４５μｍ以上である。前記高分子フィルムの厚さの上限は特に制限されないが、フレキシブル電子デバイスとして用いるためには２５０μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは１５０μｍ以下であり、さらに好ましくは９０μｍ以下である。
【００４７】
無機基板１２と樹脂層１４とは、９０°初期剥離強度が、０．０５Ｎ／ｃｍ以上であることが好ましい。前記９０°初期剥離強度が０．０５Ｎ／ｃｍ以上であると、デバイス形成前や形成中に樹脂層１４が無機基板１２から剥がれてしまうことを防止することができる。本明細書において、前記９０°初期剥離強度は、前記第１の積層体を、大気雰囲気下、２００℃１時間熱処理した後の無機基板と樹脂層との間の９０°剥離強度をいう。
【００４８】
前記９０°初期剥離強度の測定条件は、下記の通りである。
無機基板に対して樹脂層を９０°の角度で引き剥がす。
５回測定を行い、平均値を測定値とする。
測定温度        ；  室温（２５℃）
剥離速度        ；  １００ｍｍ／ｍｉｎ 
雰囲気          ；  大気
測定サンプル幅  ；  ２．５ｃｍ
【００４９】
無機基板１２と樹脂層１４とは、大気雰囲気下、２００℃１時間熱処理した後、さらに、５００℃で１時間加熱した後の９０°剥離強度（以下、「加熱後９０°剥離強度」ともいう）が、０．５０Ｎ／ｃｍ以下が好ましく、０．２０Ｎ／ｃｍ以下がより好ましい。また、前記９０°剥離強度は、０．０５Ｎ／ｃｍ以上であることが好ましい。前記９０°剥離強度が０．５０Ｎ／ｃｍ以下であると、デバイス形成後に、無機基板１２と樹脂層１４とを剥離しやすい。また、前記９０°剥離強度が０．０５Ｎ／ｃｍ以上であると、デバイス形成の途中等、意図していない段階での無機基板１２と樹脂層１４との剥離を防止することができる。
【００５０】
前記９０°剥離強度の測定条件は、前記初期剥離強度の測定条件と同様である。
【００５１】
前記９０°初期剥離強度、及び、前記加熱後９０°剥離強度を達成するためには、前記無機基板と前記樹脂層との間に、接着層を設けることが好ましい。
【００５２】
＜接着層＞
接着層としては、前記９０°初期剥離強度、及び、前記加熱後９０°剥離強度を満たすものであれば、特に限定されないが、シランカップリング剤層であることが好ましい。
【００５３】
シランカップリング剤層の詳細については、例えば、特開２０１０−２８３２６２号公報、特開２０１１−０１１４５５号公報、特開２０１１−２４５６７５号公報等に開示されているから、ここでの詳細な説明は省略する。前記シランカップリング剤は、無機基板と樹脂層との間に物理的ないし化学的に介在し、両者間の接着力（前記９０°初期剥離強度）を高める作用を有する。また、加熱後９０°剥離強度が高くなりすぎないようにする作用を有する。
【００５４】
＜デバイス＞
本明細書においてデバイスとは、電気配線を担う片面、両面、あるいは多層構造を有する配線基板、トランジスタ、ダイオードなどの能動素子や、抵抗、キャパシタ、インダクタなどの受動デバイスを含む電子回路、他、圧力、温度、光、湿度などをセンシングするセンサー素子、バイオセンサー素子、発光素子、液晶表示、電気泳動表示、自発光表示などの画像表示素子、無線、有線による通信素子、演算素子、記憶素子、ＭＥＭＳ素子、太陽電池等の発電素子、蓄電素子、薄膜トランジスタなどをいう。
本明細書において、デバイス連結体は、１種類のデバイスを複数有する構成であってもよく、複数種類のデバイスを有する構成であってもよい。複数種類のデバイスの組み合わせは、特に制限されず、例えば、上記のデバイスのなかから適宜複数を組み合わせることができる。
【００５５】
以上、第１の積層体を準備する工程（工程Ａ）について説明した。
【００５６】
工程Ａの後、図３Ａ、図３Ｂに示すように、樹脂層１４の一部を除去するための切断線１８をレーザ照射により樹脂層１４に形成する（工程Ｘ）。
【００５７】
次に、図４に示すように、樹脂層１４のうち、デバイス１６が積層されていない部分を、切断線１８に沿って除去する。これにより、樹脂層１４は、複数のデバイス１６に対応する位置に複数形成された構成となる。すなわち、無機基板１２上に、樹脂層１４とデバイス１６との積層物２０が、複数配置された構成となる。
【００５８】
一方、第１の積層体１０とは別に、支持基材３０付きのエラストマー層３２を準備する（図５参照）。
【００５９】
＜支持基材＞
支持基材３０は、エラストマー層３２を支持するためのものである。
【００６０】
支持基材３０の材質としては、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン樹脂；ナイロン６、ナイロン６６などのポリアミド樹脂；ポリエチレンテレフタレート、ポリトリメチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレート、ポリトリメチレンテレフタレートなどのポリエステル樹脂が挙げられる。これらは、混用使用しても構わない前記ポリエステル樹脂は、共重合成分として、例えば、ジエチレングリコール、ネオペンチルグリコール、ポリアルキレングリコールなどのジオール成分や、アジピン酸、セバチン酸、フタル酸、イソフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸などのジカルボン酸成分などを共重合したポリエステル樹脂であってもよい。なかでも、機械的強度、耐薬品性、耐熱性の点からポリエステル樹脂が好ましい。
【００６１】
前記ポリエステル樹脂の中でも、物性とコストのバランスからポリエチレンテレフタレートが最も好ましい。
【００６２】
＜エラストマー層＞
エラストマー層３２は、デバイス連結体として完成した際に、伸縮性を有する。エラストマー層３２は、硬化性の材料で形成されていてもよく、可塑性の材料で形成されていてもよい。エラストマー層３２は、デバイス連結体として完成する前は、伸縮性を有していなくてもよい。例えば、エラストマー層３２が硬化性の材料で形成されている場合、硬化前のエラストマー層３２は伸縮性を有していなくてもよい。
【００６３】
エラトスマー層３２の材質としては、シリコーンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム、オレフィン系エラストマー、スチレン系エラストマー、塩化ビニル系エラストマー等が挙げられる。
【００６４】
次に、支持基材３０付きのエラストマー層３２を第１の積層体１０に積層し、第２の積層体３６（図７参照）を得る（工程Ｂ、工程Ｂ−１）。本実施形態では、図６に示すように、エラストマー層３２とデバイス１６搭載面とを対向させた後、図７に示すように、エラストマー層３２にデバイス１６と樹脂層１４とが埋め込まれるように積層して、第２の積層体３６を得る。ただし、本発明において、工程Ｂ−１は、この例に限定されない。例えば、工程Ｂ−１は、エラストマー層３２にデバイス１６のみを埋め込み、樹脂層１４は埋め込まない態様で、支持基材３０付きのエラストマー層３２を第１の積層体１０に積層してもよい。また、工程Ｂ−１は、エラストマー層３２には何も埋め込まず、エラストマー層３２の表面にデバイス１６が貼り付けられる態様で、支持基材３０付きのエラストマー層３２を第１の積層体１０に積層してもよい。
【００６５】
次に、無機基板１２を剥離する（工程Ｃ）。また、支持基材３０を剥離する（工程Ｄ）。無機基板１２の剥離と、支持基材３０の剥離とは、いずれを先に行ってもよい。ただし、無機基板１２を先に剥離することが好ましい。無機基板１２を先に剥離し、支持基材３０をつけたままの状態で搬送すれば、伸縮部分（エラストマー層３２）をなるべく伸縮させない状態で製品を搬送することができる点で優れる。
【００６６】
以上により、デバイス連結体４０が得られる（図８参照）。その後、必要に応じて、デバイス１６同士を電気的に接続してもよい。この際、接続は、伸縮性の配線パターンを用いることが好ましい。伸縮性の配線パターンの形成方法については、後に説明する。
【００６７】
図８に示すように、デバイス連結体４０では、エラストマー層３２が、複数の樹脂層１４同士の間隔部分１５の表面１５ａまで連続し、かつ、間隔部分１５においてエラストマー層３２の表面３２ａが樹脂層１４の表面１４ａに対して、段差なく形成されている。デバイス連結体４０では、デバイス形成面（エラストマー層３２の表面３２ａ側の面）が段差なく、フラットとなるため、例えば、貼り付け対象面に対して、デバイス形成面（エラストマー層３２の表面３２ａ側の面）を、隙間なく貼り付けることができる。
【００６８】
上述した実施形態では、支持基材付きのエラストマー層を用い、第１の積層体上にエラストマー層を形成して第２の積層体を得る場合について説明した。しかしながら、本発明はこの例に限定されない。例えば、第１の積層体１０（図２Ａ参照）の樹脂層１４上に、液状のエラストマー層形成用組成物を塗布し、硬化させることによりデバイス連結体４０（図８参照）を得ることとしてもよい。
【００６９】
［第２実施形態］
第２実施形態に係るデバイス連結体の製造方法は、樹脂層に切断線を形成するタイミングと、樹脂層のうち、デバイスが積層されていない部分を切断線に沿って除去するタイミングとが異なること以外は、第１実施形態と共通する。そこで、以下では、共通する部分については、説明を省略又は簡略化し、異なる部分について主に説明する。また、第１実施形態と共通する構成については、同一の符号を用いることとする。
【００７０】
図９−図１４は、第２実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。
【００７１】
第２実施形態に係るデバイス連結体の製造方法においては、まず、第１の積層体１０（図２Ａ、図２Ｂ参照）を準備する（工程Ａ）。
【００７２】
次に、支持基材３０付きのエラストマー層３２（図５参照）を第１の積層体１０に積層し、第２の積層体３７（図１０参照）を得る（工程Ｂ、工程Ｂ−１）。本実施形態では、図９に示すように、エラストマー層３２とデバイス１６搭載面とを対向させた後、図１０に示すように、エラストマー層３２にデバイス１６が埋め込まれるように積層して、第２の積層体３７を得る。
【００７３】
次に、図１１に示すように、無機基板１２を剥離する（工程Ｃ）。
【００７４】
次に、図１２に示すように、樹脂層１４の一部を除去するための切断線１８をレーザ照射により樹脂層１４に形成する（工程Ｅ）。
【００７５】
次に、図１３に示すように、樹脂層１４のうち、デバイス１６が積層されていない部分を、切断線１８に沿って除去する（工程Ｆ）。これにより、樹脂層１４は、複数のデバイス１６に対応する位置に複数形成された構成となる。
第２実施形態では、無機基板１２を剥離する工程Ｃの後に、樹脂層１４の一部を除去するための切断線１８をレーザ照射により樹脂層１４に形成し（工程Ｅ）、前記一部を除去することで、複数のデバイス１６に対応する位置に複数の樹脂層１４を形成（工程Ｆ）しているため、デバイス１６をエラストマー層３２へ埋め込んだ後の形状を確認した上で、不要な樹脂層１４の部分を除去することができる。すなわち、工程Ｂにおいて、エラストマー層３２や第１の積層体１０（特に、樹脂層１４）が変形する可能性があるが、第２実施形態では、これらの変形を確認した上で、不要な樹脂層部分を選択して除去することが可能となる。
【００７６】
その後、支持基材３０を剥離する。
【００７７】
以上により、第２実施形態に係るデバイス連結体４２が得られる（図１４参照）。
【００７８】
［第３実施形態］
第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法は、デバイス同士を接続する配線を設ける点で異なる。そこで、以下では、第１実施形態と共通する部分については、説明を省略又は簡略化し、異なる部分について主に説明する。また、第１実施形態と共通する構成については、同一の符号を用いることとする。
【００７９】
図１５、図１６、図１７Ａ、図１８Ａ、図１９Ａ、図２０Ａ、図２１、図２２、図２３Ａ、図２４は、第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。図１７Ｂは図１７Ａの平面図、図１８Ｂは図１８Ａの平面図、図１９Ｂは図１９Ａの平面図、図２０Ｂは図２０Ａの平面図、図２３Ｂは図２３Ａの底面図である。
【００８０】
第３実施形態に係るデバイス連結体の製造方法においては、まず、無機基板１２上に樹脂層１４が積層された積層体１１を準備する（図１参照）。
【００８１】
次に、樹脂層１４上に、電極取り出し用配線５４を作製する（図１６参照）。電極取り出し用配線５４の作製方法は特に限定されず、従来公知の方法を採用することができる。例えば、図１５に示すように、樹脂層１４上に金属層５２を形成し、その後、感光レジストを金属層５２上に塗布し、露光、現像、エッチングすることによって電極取り出し用配線５４を作製する。
【００８２】
次に、図１７Ａ、図１７Ｂに示すように、電極取り出し用配線５４上の、デバイス１６を接合する予定の箇所に、バンプ５６を形成する。
【００８３】
次に、図１８Ａ、図１８Ｂに示すように、デバイス１６をバンプ５６上に配置し、リフロー等により、デバイス１６と電極取り出し用配線５４とをバンプ５６を介して接合する。
【００８４】
次に、図１９Ａ、図１９Ｂに示すように、樹脂層１４の一部を除去するための切断線１８をレーザ照射により樹脂層１４に形成する（工程Ｘ）。
【００８５】
その後、電極取り出し用配線５４と、後述するエラストマー層３２上の配線パターン３４とを接合するためのバンプ５８を形成する（図１９Ａ、図１９Ｂ参照）。以上により、第１の積層体６０が得られる。
【００８６】
一方、第１の積層体６０とは別に、支持基材３０付きのエラストマー層３２を準備する（図２０Ａ、図２０Ｂ参照）。エラストマー層３２上には、配線パターン３４、及び、回路引き出し配線３５が形成されている。配線パターン３４は、従来公知の伸縮性を有する配線パターンである。エラストマー層３２上への配線パターン３４、及び、回路引き出し配線３５の形成方法は、特に限定されず、従来公知の方法を採用することができる。例えば、メタルマスクを用いてエラストマー層３２上に、配線パターン３４、及び、回路引き出し配線３５の形状となるようにスパッタを行い、その後、スパッタ部分に電解めっきを行って厚さを成長させることにより配線パターン３４、及び、回路引き出し配線３５を作製する。配線パターン３４は、本実施形態のように蛇腹型金属配線であることが好ましい。
また、配線パターン３４は、導電性フィラーを含む導電性組成物を塗布すること等によって形成される伸縮性金属ペースト配線であってもよい。配線パターン３４としては、例えば、国際公開第２０１５／００５２０４号に記載の導電性パターンを採用することもできる。配線パターン３４が、蛇腹型金属配線又は伸縮性金属ペースト配線であれば、デバイス１６間の電気的接続を保ちつつ、デバイス１６間の好適な伸縮性を保つことができる。
【００８７】
次に、第１の積層体６０（図１９Ａ、図１９Ｂ参照）の樹脂層１４のうち、デバイス１６が積層されていない部分を、切断線１８に沿って除去する。その後、支持基材３０付きのエラストマー層３２（図２０Ａ、図２０Ｂ参照）を第１の積層体６０に積層し、第２の積層体を得る（工程Ｂ、工程Ｂ−１）。本実施形態では、図２１に示すように、エラストマー層３２とデバイス１６搭載面とを対向させた後、図２２に示すように、両者を近づけて、さらに、エラストマー層３２にデバイス１６が埋め込まれるように積層して、第２の積層体を得る。これにより、エラストマー層３２上の回路引き出し配線３５と樹脂層１４上のバンプ５８とも電気的に接続される。
【００８８】
次に、無機基板１２を剥離する（工程Ｃ）。これにより、樹脂層１４は、複数のデバイス１６に対応する位置に複数形成された構成となる（図２３Ａ、図２３Ｂ参照）。
【００８９】
その後、支持基材３０を剥離する。
【００９０】
以上により、第３実施形態に係るデバイス連結体４４が得られる（図２４参照）。本発明においては、第３実施形態のように、無機基板１２を剥離する工程（工程Ｃ）の後に支持基材３０を剥離することが好ましい。これにより、エラストマー層３２とエラストマー層３２上の配線パターン３４とが第２の積層体が得られる前に伸びたり変形したりすることを抑制することができる。
【００９１】
［第４実施形態］
第４実施形態に係るデバイス連結体の製造方法は、配線パターン、及び、回路引き出し配線を樹脂層１４上に形成する点で、第３実施形態とは異なる。そこで、以下では、第３実施形態と共通する部分については、説明を省略又は簡略化し、異なる部分について主に説明する。また、第３実施形態と共通する構成については、同一の符号を用いることとする。
【００９２】
図２５Ａ、図２６−図２８は、第４実施形態に係るデバイス連結体の製造方法を説明するための模式的断面図である。図２５Ｂは図２５Ａの平面図である。
【００９３】
第４実施形態に係るデバイス連結体の製造方法においては、まず、第３実施形態と同様にして、第１の積層体６０を得る（図１９Ａ、日１９Ｂ参照）。
【００９４】
次に、図２５Ａ、図２５Ｂに示すように、第１の積層体６０上に配線パターン７４、及び、回路引き出し配線７５を形成する（工程Ｇ）。具体的には、一方のデバイス１６のバンプ５８と他方のデバイス１６のバンプ５８とが電気的に接続されるように配線パターン７４、及び、回路引き出し配線７５を形成する。配線パターン７４、及び、回路引き出し配線７５の形成方法は、配線パターン３４、及び、回路引き出し配線３５と同様にして形成することができる。
【００９５】
次に、支持基材３０付きのエラストマー層３２（図５参照）を第１の積層体６０（図２５Ａ、図２５Ｂ参照）に積層し、第２の積層体７６を得る（工程Ｂ、工程Ｂ−１）。本実施形態では、図２６に示すように、エラストマー層３２とデバイス１６搭載面とを対向させた後、両者を近づけて、図２７示すように、エラストマー層３２にデバイス１６が埋め込まれるように積層して、第２の積層体７６を得る。
【００９６】
次に、無機基板１２を剥離する（工程Ｃ）。その後、樹脂層１４のうち、デバイス１６が積層されていない部分を、切断線１８に沿って除去する。これにより、樹脂層１４は、複数のデバイス１６に対応する位置に複数形成された構成となる（図２８参照）。
【００９７】
その後、支持基材３０を剥離する。
【００９８】
以上により、第４実施形態に係るデバイス連結体７８が得られる（図２４参照）。
【００９９】
以上、本実施形態（第１実施形態〜第４実施形態、及び、これらの変形例）によれば、第１の積層体上に、複数のデバイスを覆うようにエラストマー層を形成（工程Ｂ）した後、無機基板を剥離（工程Ｃ）しさえすれば、伸縮性を有するエラストマー層上に複数のデバイスが間隔を置いて搭載されたデバイス連結体を得ることができる。従って、生産性に優れる。また、各デバイスには樹脂層が積層されているものの、各デバイスに対応する樹脂層は、連続していない。従って、１のデバイスと他のデバイスとは、エラストマー層のみで連結されている。その結果、本実施形態に係る製造方法により得られたデバイス連結体は、伸縮性を有する。
【実施例】
【０１００】
以下、本発明に関し実施例を用いて詳細に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。【０１０１】
なお、下記の実施例１は、第３実施形態に対応する実施例であるので、以下では、第３実施形態の説明に用いた図面も参照しつつ、説明する。【０１０２】
＜デバイス連結体の作製＞
（実施例１）
直径２００ｍｍ、厚さ０．７ｍｍのガラス基板を準備した。前記ガラス基板に超音波水洗浄、及び、紫外線／オゾン洗浄（ＵＶ／Ｏ３洗浄）を行った。紫外線／オゾン洗浄は、ＵＶオゾン洗浄改質装置（ランテクニカルサービス社製、ＳＫＲ１１０２Ｎ−０３）を用い、ランプからの距離３０ｍｍにて１分間の照射を行った。【０１０３】
３−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ−９０３）を１質量％を含むようにイソプロパノールで希釈した溶液を調製した。【０１０４】
前記ガラス基板をスピンコーター（ジャパンクリエイト社製、ＭＳＣ−５００Ｓ）に設置した。前記ガラス基板に前記溶液を滴下し、回転数５０００ｒｐｍで回転させた後、回転数２０００ｒｐｍで回転させて、前記溶液を前記ガラス基板に塗布した。その後、クリーンベンチで１分間放置して乾燥させ、ガラス基板上に、シランカップリング剤層を形成した。【０１０５】
前記シランカップリング剤層上に、直径１９６ｍｍ、厚さ３８μｍのポリイミドフィルム（東洋紡製、ＸＥＮＯＭＡＸ（登録商標））を貼り付けた。貼り付けは、ガラス基板の中心とポリイミドフィルムの中心とが合わさるようにして行った。また、貼り付けは、ラミネーター（ＭＣＫ社製、ＭＲＫ−１０００）を用い、クリーンルーム内、２２℃、５５％ＲＨの条件下で、ラミネート速度：５０ｍｍ／秒、エアー元圧力：０．５５ＭＰａにて行った。【０１０６】
次に、ポリイミドフィルム面に、２元マグネトロンスパッタ装置によってＮｉＣｒ層を約１５ｎｍ堆積させ、次いで、Ｃｕ層を約２５０ｎｍ堆積させた。その後、電界めっきによってＣｕ層の膜厚を５μｍにまで成長させた。【０１０７】
次に、感光レジストをＣｕ層の上に塗布し、露光、現像、エッチングによって電極取り出し用配線（図１６の電極取り出し用配線５４に相当）を作製した。【０１０８】
次に、電極取り出し用配線上の、チップを接合する箇所に、はんだペースト（タムラ製作所社製、製品名ＴＬＦ−８０１−１７）を印刷した（図１７Ａのバンプ５６に相当）。前記はんだペーストは、チップと電極取り出し用配線とを電気的に接続するバンプとなる。【０１０９】
次に、デバイスとしてのチップ型のサーミスター（村田製作所製  製品名ＰＲＦ１５ＡＲ１０２ＲＢ６ＲＣ、サイズ１ｍｍ×０．５ｍｍ）をはんだペースト上に置いた。その後、リフローによりはんだ接合を形成した（図１８Ａ参照）。なお、チップ型のサーミスターは、１０ｍｍ間隔で配置した。【０１１０】
次に、１のデバイスと他のデバイスとが分離されるように、ポリイミドフィルムをレーザカットした（図１９Ａ参照）。レーザカットは、ｎａｎｏＵＶレーザ（武井電機工業株式会社製）を用い、８．５Ｗ、１００Ｈｚにて同一箇所を３回スキャンして行った。チップ型のサーミスターの中心から上下左右それぞれ所定距離の部分で縦横にポリイミドフィルムに切断線を入れた。【０１１１】
その後、電極取り出し用配線と、後述するシリコーンシート上の回路とを接合するためのはんだペーストを所定箇所に印刷した（図１９Ａのバンプ５８に相当）。前記はんだペーストは、電極取り出し用配線と、後述するシリコーンシート上の回路とを電気的に接続するバンプとなる。【０１１２】
以上により、ガラス基板と、ポリイミドフィルムと、ポリイミドフィルムと上に間隔を置いて搭載された複数のデバイスとを有する第１の積層体を得た。【０１１３】
また、第１の積層体とは別に、シリコーンシート／ＰＥＴフィルム積層体（製品名クレハエラストマー社製ＳＣ５０Ｊ５Ｓ）を準備した。【０１１４】
前記シリコーンシート上に、下地層としてエポキシ接着剤を塗布し、硬化させた。下地層は、前記電極取り出し用配線に対応する部分（回路引き出し配線部分）、及び、回路形成部分にのみ形成した。次に、回路引き出し配線部分及び回路形成部分以外をメタルマスクで覆い、下地層上に、Ｃｕ層をスパッタによって作製して、回路を形成した。その後、電解めっきによってＣｕ層の膜厚を１０μｍにまで成長させた（図２０Ａ参照）。【０１１５】
次に、ポリイミドフィルムと接着するため、回路がない部分のみが接着するように、接着剤シートＴＳＵ００８０（東洋インキ社製）を切り抜いたものをシリコーンシート上に１００℃でロールラミネートした。【０１１６】
次に、画像処理によって位置合わせをしながら前記第１の積層体に、ＰＥＴ／シリコーン樹脂積層体をラミネーター（三共製、ＨＡＬ５５０）によって貼り合わせ、第２の積層体を得た。その後、１５０℃で２分の加熱を行った。これにより、シリコーンシート上の回路引き出し配線を、ポリイミドフィルム上のはんだペーストに接続した。【０１１７】
その後、ガラス基板の剥離と、レーザによって切り抜かれているポリイミドフィルムの剥離を手作業により行った。さらに、ＰＥＴフィルムを手作業によって取り除いた。以上により、実施例１に係るデバイス連結体を得た（図２３Ａ参照）。【０１１８】
得られたデバイス連結体において、各デバイスにはポリイミドフィルムが積層されているものの、各デバイスに対応するポリイミドフィルムは、連続していなかった。従って、１のデバイスと他のデバイスとは、シリコーンシートのみで連結されている。その結果、実施例１のデバイス連結体は、伸縮性を有する。また、実施例１のデバイス連結体において、デバイス同士が、シリコーンシートの表面に形成された伸縮性の配線パターンにより接続されているため、各デバイスに給電等することも可能である。
【符号の説明】
【０１１９】
１０、６０  第１の積層体
１２  無機基板
１４  樹脂層
１４ａ  表面
１５  間隔部分
１５ａ  表面
１６  デバイス
１８  切断線
３０  支持基材
３２  エラストマー層
３２ａ  表面
３４、７４  配線パターン
３５、７５  回路引き出し配線
３６、３７、７６  第２の積層体
４０、４２、４４、７８  デバイス連結体
５２  金属層
５４  電極取り出し用配線
５６  バンプ
５８  バンプ
【図１】
0006963761.tif 000002
【図２Ａ】
0006963761.tif 000003
【図２Ｂ】
0006963761.tif 000004
【図３Ａ】
0006963761.tif 000005
【図３Ｂ】
0006963761.tif 000006
【図４】
0006963761.tif 000007
【図５】
0006963761.tif 000008
【図６】
0006963761.tif 000009
【図７】
0006963761.tif 000010
【図８】
0006963761.tif 000011
【図９】
0006963761.tif 000012
【図１０】
0006963761.tif 000013
【図１１】
0006963761.tif 000014
【図１２】
0006963761.tif 000015
【図１３】
0006963761.tif 000016
【図１４】
0006963761.tif 000017
【図１５】
0006963761.tif 000018
【図１６】
0006963761.tif 000019
【図１７Ａ】
0006963761.tif 000020
【図１７Ｂ】
0006963761.tif 000021
【図１８Ａ】
0006963761.tif 000022
【図１８Ｂ】
0006963761.tif 000023
【図１９Ａ】
0006963761.tif 000024
【図１９Ｂ】
0006963761.tif 000025
【図２０Ａ】
0006963761.tif 000026
【図２０Ｂ】
0006963761.tif 000027
【図２１】
0006963761.tif 000028
【図２２】
0006963761.tif 000029
【図２３Ａ】
0006963761.tif 000030
【図２３Ｂ】
0006963761.tif 000031
【図２４】
0006963761.tif 000032
【図２５Ａ】
0006963761.tif 000033
【図２５Ｂ】
0006963761.tif 000034
【図２６】
0006963761.tif 000035
【図２７】
0006963761.tif 000036
【図２８】
0006963761.tif 000037