(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物性データの入力のための入力信号が入力される入力部；
前記入力信号により反応物と生成物とで形成された反応式を含む入力データを入力するための入力画面を表示する表示部；および
前記入力画面に入力された前記入力データのうち、少なくとも一つの入力データに対する入力エラーを確認して強調表示するように前記表示部を制御し、前記入力エラーが修正されると、前記修正された入力データを利用して前記シミュレーションの遂行を制御する制御部；を含み、
前記入力エラーは、前記生成物に生成項および損失項のうちいずれか一つの項のみ存在する場合を含むことを特徴とする、プラズマシミュレーションのためのデータ入力装置。
【請求項２】
前記入力データは、
前記反応式を含み、複数の反応係数を算出するための複数の変数、衝突断面積値およびイオン種と関連したイオン反応式のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項１に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力装置。
【請求項３】
前記制御部は、
前記複数の変数のうち少なくとも一つの変数に対する単位および符号のうち少なくとも一つに対する誤入力の有無に基づいて、前記反応係数の有効性をリアルタイムで確認することを特徴とする、請求項２に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力装置。
【請求項４】
前記制御部は、
前記衝突断面積値に対する誤入力の有無に基づいて、衝突断面積の有効性をリアルタイムで確認することを特徴とする、請求項２に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力装置。
【請求項５】
前記制御部は、
前記反応物、前記生成物、前記反応係数または前記衝突断面積値に基づいて、前記入力データの重複の有無を確認することを特徴とする、請求項２に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力装置。
【請求項６】
前記制御部は、
前記反応式に基づいて、前記シミュレーションのために注入するガスのうちｅｌａｓｔｉｃまたはｍｏｍｅｎｔｕｍ  ｔｒａｎｓｆｅｒ反応が確認されないガスが存在すると、該当ガスを表示することを特徴とする、請求項２に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力装置。
【請求項７】
前記制御部は、
前記イオン反応式に基づいて、前記シミュレーションのために注入するガスのうち壁反応（ｗａｌｌ  ｒｅａｃｔｉｏｎ）が存在しないイオン種が確認されると、該当イオン種を表示することを特徴とする、請求項２に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力装置。
【請求項８】
前記制御部は、
前記反応物および前記生成物のうち鐘（ｓｐｅｃｉｅｓ）情報が確認されない反応物または生成物が存在すると、該当メッセージを表示することを特徴とする、請求項２に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力装置。
【請求項９】
電子装置が受信された物性データの入力信号により反応物と生成物とで形成された反応式を含む入力データを入力するための入力画面を表示する段階；
前記電子装置が前記入力画面に入力された前記入力データのうち、少なくとも一つの入力データに対する入力エラーを確認して強調表示する段階；および
前記表示された入力エラーの修正が完了すると、前記修正された入力データを利用して前記シミュレーションの遂行を制御する段階；を含み、
前記入力エラーは、前記生成物に生成項および損失項のうちいずれか一つの項のみ存在する場合を含むことを特徴とする、プラズマシミュレーションのためのデータ入力方法。
【請求項１０】
前記入力データは、
前記反応式を含み、複数の反応係数を算出するための複数の変数、衝突断面積値およびイオン種と関連したイオン反応式のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする、請求項９に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力方法。
【請求項１１】
前記入力エラーを確認して強調表示する段階は、
前記複数の変数のうち少なくとも一つの変数に対する単位および符号のうち少なくとも一つに対する誤入力の有無に基づいて、前記反応係数の有効性をリアルタイムで確認する段階であることを特徴とする、請求項１０に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力方法。
【請求項１２】
前記入力エラーを確認して強調表示する段階は、
前記衝突断面積値に対する誤入力の有無に基づいて、衝突断面積の有効性をリアルタイムで確認する段階であることを特徴とする、請求項１０に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力方法。
【請求項１３】
前記入力エラーを確認して強調表示する段階は、
前記反応物、前記生成物、前記反応係数または前記衝突断面積値に基づいて、前記入力データの重複の有無を確認する段階であることを特徴とする、請求項１０に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力方法。
【請求項１４】
前記入力エラーを確認して強調表示する段階は、
前記反応式に基づいて、前記シミュレーションのために注入するガスのうちｅｌａｓｔｉｃまたはｍｏｍｅｎｔｕｍ  ｔｒａｎｓｆｅｒ反応が確認されないガスが存在すると、該当ガスを表示する段階であることを特徴とする、請求項１０に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力方法。
【請求項１５】
前記入力エラーを確認して強調表示する段階は、
前記イオン反応式に基づいて、前記シミュレーションのために注入するガスのうち壁反応（ｗａｌｌ  ｒｅａｃｔｉｏｎ）が存在しないイオン種が確認されると、該当イオン種を表示する段階であることを特徴とする、請求項１０に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力方法。
【請求項１６】
前記入力エラーを確認して強調表示する段階は、
前記反応物および前記生成物のうち鐘（ｓｐｅｃｉｅｓ）情報が確認されない反応物または生成物が存在すると、該当メッセージを表示する段階であることを特徴とする、請求項１０に記載のプラズマシミュレーションのためのデータ入力方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマシミュレーションのためのデータ入力装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマ装備特性を分析するために、プラズマシミュレーターを利用してプラズマ装備の内部状態を計算し物理的現象を説明することは、時間と費用の節減において非常に重要な作業である。このようなプラズマシミュレーターを利用してプラズマ装備特性を分析するためには、プラズマ装備内で発生する物理化学反応データが必ず必要である。このような反応データは、プラズマ放電時に生成する一つあるいは複数の鐘（ｓｐｅｃｉｅｓ）に対する反応係数を含み、プラズマ装備に注入されるガス別に管理されるか、ガスが統合された状態で管理される。
【０００３】
反応データを確認するために、使用者はプラズマ装備を制御する電子装置を介してプラズマ装備に反応式と反応係数を含む複数の入力データを入力したり、プラズマシミュレーターに入力データを直接入力する。この時、使用者の入力エラーによって入力データが誤入力される場合が発生する。このように、入力エラーが発生するとシミュレーションが正しく遂行されず、シミュレーションが正しく遂行されなかった原因を確認し難い問題点が発生する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような従来の問題点を解決するための本発明の実施例は、プラズマ特性を分析するために、入力する反応係数を含む入力データに対する入力エラーを確認して使用者に入力エラーの内訳を提供できる、プラズマシミュレーションのためのデータ入力装置および方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施例に係るプラズマシミュレーションのためのデータ入力装置は、物性データの入力のための入力信号が入力される入力部、前記入力信号により複数の反応係数を含む入力データを入力するための入力画面を表示する表示部および前記入力画面に入力された前記入力データのうち、少なくとも一つの入力データに対する入力エラーを確認し、前記入力エラーが修正されると、前記修正された入力データを利用して前記シミュレーションの遂行を制御する制御部を含むことを特徴とする。
【０００６】
また、入力データは、反応物と生成物で形成された反応式、前記反応係数を算出するための複数の変数、衝突断面積値およびイオン種と関連したイオン反応式のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする。
【０００７】
また、制御部は、前記生成物に生成項または損失項のみが存在すると、前記生成項または損失項を前記入力エラーと確認して強調表示することを特徴とする。
【０００８】
また、制御部は、前記複数の変数のうち少なくとも一つの変数に対する単位および符号のうち少なくとも一つに対する誤入力の有無に基づいて、前記反応係数の有効性をリアルタイムで確認することを特徴とする。
【０００９】
また、制御部は、前記衝突断面積値に対する誤入力の有無に基づいて、衝突断面積の有効性をリアルタイムで確認することを特徴とする。
【００１０】
また、制御部は、前記反応物、前記生成物、前記反応係数または前記衝突断面積値に基づいて、前記入力データの重複の有無を確認することを特徴とする。
【００１１】
また、制御部は、前記反応式に基づいて、前記シミュレーションのために注入するガスのうちｅｌａｓｔｉｃまたはｍｏｍｅｎｔｕｍ  ｔｒａｎｓｆｅｒ反応が確認されないガスが存在すると、該当ガスを表示することを特徴とする。
【００１２】
また、制御部は、前記イオン反応式に基づいて、前記シミュレーションのために注入するガスのうち壁反応（ｗａｌｌ  ｒｅａｃｔｉｏｎ）が存在しないイオン種が確認されると、該当イオン種を表示することを特徴とする。
【００１３】
また、制御部は、前記反応物および前記生成物のうち鐘（ｓｐｅｃｉｅｓ）情報が確認されない反応物または生成物が存在すると、該当メッセージを表示することを特徴とする。
【００１４】
併せて、本発明の実施例に係るプラズマシミュレーションのためのデータ入力方法は、電子装置が受信された物性データの入力信号により複数の反応係数を含む入力データを入力するための入力画面を表示する段階、前記電子装置が前記入力画面に入力された前記入力データのうち、少なくとも一つの入力データに対する入力エラーを確認して表示する段階および前記表示された入力エラーの修正が完了すると、前記修正された入力データを利用して前記シミュレーションの遂行を制御する段階を含むことを特徴とする。
【００１５】
また、入力データは、反応物と生成物で形成された反応式、前記反応係数を算出するための複数の変数、衝突断面積値およびイオン種と関連したイオン反応式のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする。
【００１６】
また、入力エラーを確認して表示する段階は、前記生成物に生成項または損失項のみが存在すると、前記生成項または損失項を強調して表示する段階であることを特徴とする。
【００１７】
また、入力エラーを確認して表示する段階は、前記複数の変数のうち少なくとも一つの変数に対する単位および符号のうち少なくとも一つに対する誤入力の有無に基づいて、前記反応係数の有効性をリアルタイムで確認する段階であることを特徴とする。
【００１８】
また、入力エラーを確認して表示する段階は、前記衝突断面積値に対する誤入力の有無に基づいて、衝突断面積の有効性をリアルタイムで確認する段階であることを特徴とする。
【００１９】
また、入力エラーを確認して表示する段階は、前記反応物、前記生成物、前記反応係数または前記衝突断面積値に基づいて、前記入力データの重複の有無を確認する段階であることを特徴とする。
【００２０】
また、入力エラーを確認して表示する段階は、前記反応式に基づいて、前記シミュレーションのために注入するガスのうちｅｌａｓｔｉｃまたはｍｏｍｅｎｔｕｍ  ｔｒａｎｓｆｅｒ反応が確認されないガスが存在すると、該当ガスを表示する段階であることを特徴とする。
【００２１】
また、入力エラーを確認して表示する段階は、前記イオン反応式に基づいて、前記シミュレーションのために注入するガスのうち壁反応（ｗａｌｌ  ｒｅａｃｔｉｏｎ）が存在しないイオン種が確認されると、該当イオン種を表示する段階であることを特徴とする。
【００２２】
また、入力エラーを確認して表示する段階は、前記反応物および前記生成物のうち鐘（ｓｐｅｃｉｅｓ）情報が確認されない反応物または生成物が存在すると、該当メッセージを表示する段階であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
前述した通り、本発明に係るプラズマシミュレーションのためのデータ入力装置および方法は、プラズマ特性を分析するために、入力する反応係数を含む入力データに対する入力エラーを確認して使用者に入力エラーの内訳を提供することによってプラズマシミュレーションが正しく遂行されない場合を解消し、シミュレーションが遂行されなかった原因をシミュレーションの遂行前に確認できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施例に係るプラズマシミュレーションのためにデータ入力を遂行する電子装置の主な構成を示した図面である。
【図２】本発明の実施例に係るプラズマシミュレーションのためにデータを入力する方法を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明の実施例に係る入力データのエラーを表示する画面を示した画面例示図である。
【図４】本発明の実施例に係る入力データのエラーを表示する画面を示した画面例示図である。
【図５】本発明の実施例に係る入力データのエラーを表示する画面を示した画面例示図である。
【図６】本発明の実施例に係る入力データのエラーを表示する画面を示した画面例示図である。
【図７】本発明の実施例に係る入力データのエラーを表示する画面を示した画面例示図である。
【図８】本発明の実施例に係る入力データのエラーを表示する画面を示した画面例示図である。
【図９】本発明の実施例に係る入力データのエラーを表示する画面を示した画面例示図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係る好ましい実施形態を添付された図面を参照して詳細に説明する。添付された図面と共に以下に開示される詳細な説明は本発明の例示的な実施形態を説明しようとするものであって、本発明が実施され得る唯一の実施形態を示そうとするものではない。図面で本発明を明確に説明するために説明と関係のない部分は省略することができ、明細書全体を通じて同一または類似する構成要素については同じ参照符号を使うことができる。
【００２６】
本発明の一実施例において、「または」、「少なくとも一つ」等の表現は共に羅列された単語のうち一つを示したり、または二以上の組み合わせを示すことができる。例えば、「ＡまたはＢ」、「ＡおよびＢのうち少なくとも一つ」は、ＡまたはＢのうち一つのみを含むことができ、ＡとＢをすべて含むこともできる。
【００２７】
図１は、本発明の実施例に係るプラズマシミュレーションのためにデータ入力を遂行する電子装置の主な構成を示した図面である。この時、電子装置１００はプラズマ装備（図示されず）と連結されて反応係数を含む複数の入力データをプラズマ装備に伝送するか、プラズマ装備を模写したプラズマシミュレーターであり得る。併せて、電子装置１００がプラズマシミュレーターの場合、電子装置１００はプラズマ装備の内部での多様な物理／化学的変化に対する基礎的な理論を究明する理論的モデルである多数の理論モジュールを具備する。そして、電子装置１００は理論モジュールの理論的モデルを数値解釈してプラズマ装備を電算模写する。この時、理論的モデルは電子およびイオンのように電荷を帯びる成分の物理／化学的現象を究明するモデルプラズマで形成される電磁場に関して究明するモデル、電荷を帯びない化学種の反応および流動に関して究明するモデル、プラズマ内で微粒子の生成および成長に関して究明するモデル、微粒子の流動に関して究明するモデルおよびウェハー表面での化学種とイオンによる薄膜形成および食刻現象に関して究明するモデルを含むことができる。
【００２８】
本発明では、電子装置１００がプラズマ装備に入力データを伝送するものを例にして説明することにする。図１を参照すると、本発明に係る電子装置１００は通信部１１０、入力部１２０、表示部１３０、メモリ１４０および制御部１５０を含む。
【００２９】
通信部１１０は外部装置（図示されず）との通信を遂行する。特に、通信部１１０はプラズマ装備と通信を遂行してプラズマ装備でプラズマシミュレーションを遂行するように、プラズマ装備に入力データを伝送する。このために、通信部１１０は５Ｇ（５ｔｈ  ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ  ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ）、ＬＴＥ−Ａ（ｌｏｎｇ  ｔｅｒｍ  ｅｖｏｌｕｔｉｏｎ−ａｄｖａｎｃｅｄ）、ＬＴＥ（ｌｏｎｇ  ｔｅｒｍ  ｅｖｏｌｕｔｉｏｎ）、Ｗｉ−Ｆｉ（ｗｉｒｅｌｅｓｓ  ｆｉｄｅｌｉｔｙ）、ブルートゥース、ＢＬＥ（ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ  ｌｏｗ  ｅｎｅｒｇｙ）、ＮＦＣ（ｎｅａｒ  ｆｉｅｌｄ  ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ）等の無線通信を遂行することができ、ケーブルを利用した有線通信を遂行することができる。
【００３０】
入力部１２０は電子装置１００の使用者入力に対応して入力データを発生させる。このために、入力部１２０は少なくとも一つの入力手段を含む。入力部１２０はキーボード（ｋｅｙ  ｂｏａｒｄ）、キーパッド（ｋｅｙ  ｐａｄ）、ドームスイッチ（ｄｏｍｅ  ｓｗｉｔｃｈ）、タッチパネル（ｔｏｕｃｈ  ｐａｎｅｌ）、タッチキー（ｔｏｕｃｈ  ｋｅｙ）、マウス（ｍｏｕｓｅ）、メニューボタン（ｍｅｎｕ  ｂｕｔｔｏｎ）等を含むことができる。
【００３１】
表示部１３０は電子装置１００の動作による表示データを表示する。表示部１３０は液晶ディスプレイ（ＬＣＤ；ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｄｉｓｐｌａｙ）、発光ダイオード（ＬＥＤ；ｌｉｇｈｔ  ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｄｉｏｄｅ）ディスプレイ、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ；ｏｒｇａｎｉｃ  ＬＥＤ）ディスプレイ、マイクロ電子機械システム（ＭＥＭＳ；ｍｉｃｒｏ  ｅｌｅｃｔｒｏ  ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  ｓｙｓｔｅｍｓ）ディスプレイおよび電子ペーパー（ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  ｐａｐｅｒ）ディスプレイを含む。表示部１３０は入力部１２０と結合されてタッチスクリーン（ｔｏｕｃｈ  ｓｃｒｅｅｎ）で具現され得る。
【００３２】
メモリ１４０は電子装置１００の動作プログラムを保存する。特に、メモリ１４０はプラズマ装備でのプラズマシミュレーションのために使用者によって入力された入力データに対する入力エラーを確認できるプログラムを保存することができる。
【００３３】
制御部１５０は入力部１２０の入力により物性データの入力のための入力信号が受信されると、シミュレーションに必要な反応係数を含む入力データを入力するための入力画面を表示部１３０に表示する。この時、入力データは反応物と生成物で形成された反応式、反応係数を算出するための複数の変数、衝突断面積値およびイオン種と関連したイオン反応式のうち少なくとも一つを含むことができる。
【００３４】
制御部１５０は入力画面に反応係数を含む入力データが入力されると、少なくとも一つの入力データに対する入力エラーを確認する。より具体的には、制御部１５０は反応物と生成物で形成された複数の反応式で生成物に生成項または損失項のみが存在する反応式を入力エラーと確認することができる。
【００３５】
制御部１５０は反応係数の有効性と衝突断面積の有効性をリアルタイムで確認して入力エラーを確認することができる。例えば、制御部１５０は反応係数を算出するために入力された変数によって算出された反応係数がｎｏｔ  ａ  ｎｕｍｂｅｒであるかｉｎｆｉｎｉｔｅであれば、制御部１５０は反応係数の有効性が確保されていないものと確認して入力された変数にエラーが発生したものと確認することができる。また、制御部１５０は衝突断面積値が入力データに入力される場合、衝突断面積値が臨界値、例えば１０６を超過すると、入力データに対する入力エラーが発生したものと確認することができる。
【００３６】
制御部１５０は入力された複数の反応式の中で重複する反応式が存在したり、反応係数または衝突断面積値が重複すると、入力データが重複したものと確認してこれを入力エラーと確認することができる。制御部１５０は入力された反応式を基準として、プラズマ装備に注入するガスのうちｅｌａｓｔｉｃまたはｍｏｍｅｎｔｕｍ  ｔｒａｎｓｆｅｒ反応が確認されないガスが存在すると、これを入力エラーと確認することができる。
【００３７】
制御部１５０は少なくとも一つのイオン反応式を入力データとして入力を受け、入力されたイオン反応式に基づいて、プラズマ装備に注入するガスのうち壁反応（ｗａｌｌ  ｒｅａｃｔｉｏｎ）が存在しないイオン種が存在するとこれを入力エラーと確認する。最後に、制御部１５０は入力された複数の反応式でｓｐｅｃｉｅｓ情報がない反応物または生成物を入力エラーと確認する。このように、制御部１５０は入力データで確認された入力エラーを表示部１３０に強調して表示し、入力エラーが確認された入力データの修正が完了すると、修正された入力データをプラズマ装備に伝送してシミュレーションを遂行する。
【００３８】
図２は、本発明の実施例に係るプラズマシミュレーションのためにデータを入力する方法を説明するためのフローチャートである。
【００３９】
図２を参照すると、２０１段階で制御部１５０は入力部１２０を介してのシミュレーション開始信号の受信の有無を確認する。２０１段階の確認結果、開始信号が受信されると制御部１５０は２０３段階を遂行し、開始信号が受信されないと制御部１５０は開始信号の受信を待機する。２０３段階で制御部１５０はシミュレーションのための入力データを入力できる入力画面を表示部１３０に表示する。引き続き、２０５段階で制御部１５０は入力部１２０を介しての入力データの入力の有無を確認して、入力データが入力されると２０７段階を遂行し、入力データが入力されないと入力データの入力を待機する。
【００４０】
２０７段階で制御部１５０は入力された入力データに基づいて入力エラーを確認し、２０９段階を遂行する。２０９段階で制御部１５０は入力データに入力エラーが存在すると２１１段階を遂行し、入力エラーが存在しないと２１５段階を遂行する。２１１段階で制御部１５０は２０９段階で確認された入力エラーを表示部１３０に表示する。このように入力データの入力を受けて入力エラーを確認して表示する動作については、下記の図３〜図９を利用して具体的に説明する。図３〜図９は、本発明の実施例に係る入力データのエラーを表示する画面を示した画面例示図である。
【００４１】
より具体的には、制御部１５０は図３の（ａ）でのように、入力画面３１０のＢｕｌｋ  Ｒｅａｃｔｉｏｎタブ３１１を活性化させてＥｑｕａｔｉｏｎ領域３１２に複数の反応式を入力データとして入力を受ける。その後、エラー確認のためのボタン３１３が選択されると、制御部１５０は複数の反応式に対する入力エラーを確認する。入力エラーが確認されると、制御部１５０は図３の（ｂ）のように、確認された入力エラーが表示された結果画面３２０を表示部１３０に表示する。例えば、制御部１５０はＡｒ＋Ｅ−＞Ａｒ＊＋Ｅ、Ａｒ＋Ｅ−＞Ａｒ＋＋２Ｅ、Ａｒ＋Ｅ−＞Ａｒ＋Ｅのように、反応物と生成物で形成された反応式を入力データとして入力を受ける。制御部１５０は複数の反応式の入力が完了すると、入力された複数の反応式に対する入力エラーを確認する。この時、生成物には生成項と損失項がすべて存在しないと安定した収束ができないため、制御部１５０は生成物に生成項または損失項のみが存在するとこれを入力エラーと確認することができる。制御部１５０はＡｒ＋Ｅ−＞Ａｒ＊＋Ｅに対する反応式の生成物に生成項のみが存在すると確認されると、図３の（ｂ）の結果画面３２０でのように、生成項であるＡｒ＊が含まれた反応式を表示するものの、Ａｒ＊の色相を異ならせて強調して表示３２１することができる。
【００４２】
制御部１５０は図４の（ａ）でのように、反応係数の有効性をリアルタイムで確認するための入力画面４１０で入力データの入力を受ける。この時、制御部１５０は反応係数を算出するためのＡ、Ｂ、Ｃに対する変数の入力を受け、入力されたＡ、Ｂ、Ｃをする下記の数学式１に代入して反応係数を算出する。
【００４３】
【数１】
0006959401.tif 000002
【００４４】
（ただし、Ｔｅは電子温度、ｋＢはＢｏｌｔｚｍａｎｎ定数、Ａ、Ｂ、Ｃは変数であり得る）
【００４５】
反応係数の算出結果、反応係数がｎｏｔ  ａ  ｎｕｍｂｅｒであるかｉｎｆｉｎｉｔｅの場合、制御部１５０は入力データでのエラーを確認し、図４の（ｂ）でのように、Ａ、Ｂ、Ｃと関連した反応式の色相を赤色に変更して表示することができる。また、制御部１５０はエラーが確認されたＡ、Ｂ、Ｃと関連した反応式の後に入力しようとする反応式が表示される領域４２０を非活性化させて、新しい反応式の入力を防止することができる。併せて、制御部１５０はｂｕｌｋ反応係数が１より大きい場合、該当反応式の色相を赤色と異なる色に変更して入力データに対する入力エラーを確認して表示することができる。
【００４６】
制御部１５０は図５でのように、衝突断面積の有効性をリアルタイムで確認して入力データのエラーを確認することができる。電子の分布関数がシミュレーションの結果に重要な影響を及ぼす場合、反応係数ではなく衝突断面積値が入力データとして入力される場合が発生する。この場合、制御部１５０は入力される衝突断面積値が１０６を超過すれば入力データに対する入力エラーが発生したものと確認し、図５のように該当領域５１０の色相を赤色に変更して入力データに対する入力エラーを表示することができる。この時、衝突断面積は１０−１６ｃｍ２で正規化された値が入力された場合に限界値（１０６）を設定することができ、限界値は調節可能である。
【００４７】
制御部１５０は図６の（ａ）でのように入力画面６１０のＢｕｌｋ  Ｒｅａｃｔｉｏｎタブ６１１を活性化させてＥｑｕａｔｉｏｎ領域６１２に複数の反応式を入力データとして入力を受ける。この時、入力画面６１０は図３の入力画面３１０と同じ画面であり得る。その後、エラー確認のためのボタン６１３が選択されると、制御部１５０は複数の反応式のうち重複する反応式を入力エラーと確認する。入力エラーが確認されると、制御部１５０は図６の（ｂ）でのように、確認された入力エラーが表示された結果画面６２０を表示部１３０に表示する。例えば、制御部１５０はＡｒ＋Ｅ−＞Ａｒ＊＋Ｅ、Ａｒ＋Ｅ−＞Ａｒ＋＋２Ｅ、Ａｒ＋Ｅ−＞Ａｒ＋Ｅ、Ａｒ＋Ａｒ＊−＞Ａｒ＋＋２Ｅ、Ａｒ＋Ｅ−＞Ａｒ＋＋２Ｅのように、５個の反応式が入力された後にエラー確認のためのボタン６１３が選択されると、Ａｒ＋Ｅ−＞Ａｒ＋＋２Ｅが重複した反応式と確認され得る。制御部１５０は図６の（ｂ）の結果画面６２０でのように、Ａｒ＋Ｅ−＞Ａｒ＋＋２Ｅが重複した反応式であり、該当反応式がＥｑｕａｔｉｏｎ領域６１２の２番目と５番目に記載されていることを強調して表示６２１することができる。図６では重複する反応式を入力エラーと確認することを例にして説明しているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、反応式、反応係数または衝突断面積値が重複すれば入力データが重複したものと確認してこれを入力エラーと確認することができる。
【００４８】
制御部１５０は図７の（ａ）でのように、入力画面７１０のＢｕｌｋ  Ｒｅａｃｔｉｏｎタブ７１１を活性化させてＥｑｕａｔｉｏｎ領域７１２に複数の反応式を入力データとして入力を受ける。この時、入力画面７１０は図３の入力画面３１０と同じ画面であり得る。その後、エラー確認のためのボタン７１３が選択されると、制御部１５０は反応式を基準として、プラズマ装備に注入するガスのうちｅｌａｓｔｉｃまたはｍｏｍｅｎｔｕｍ  ｔｒａｎｓｆｅｒ反応が確認されないガスの存在の有無を入力エラーと確認する。入力エラーが確認されると、すなわちｅｌａｓｔｉｃまたはｍｏｍｅｎｔｕｍ  ｔｒａｎｓｆｅｒ反応が確認されないガスが存在すると、制御部１５０は図７の（ｂ）の結果画面７２０でのように、該当ガス、例えば、Ａｒを強調して表示部１３０に表示７２１する。
【００４９】
制御部１５０は図８の（ａ）のように、入力画面８１０のＷａｌｌ  Ｒｅａｃｔｉｏｎタブ８１１を活性化させてＥｑｕａｔｉｏｎ領域８１２に少なくとも一つのイオン反応式を入力データとして入力を受ける。この時、入力画面８１０は図３の入力画面３１０と同じ画面であり得る。その後、エラー確認のためのボタン８１３が選択されると、制御部１５０はイオン反応式に基づいて、プラズマ装備に注入するガスのうち壁反応（ｗａｌｌ  ｒｅａｃｔｉｏｎ）が存在しないイオン種を入力エラーと確認する。入力エラーが確認されると、すなわちイオン反応式で壁反応が存在しないイオン種が存在すると、制御部１５０は図８の（ｂ）のような結果画面８２０を表示部１３０に表示する。この時、制御部１５０は図８の（ｂ）のように、壁反応が存在しないイオン種、例えばＡｒ＋を強調して表示８２１する。すなわち、制御部１５０はＡｒ＋＋ｗａｌｌと関連したイオン反応式で入力するようにＡｒ＋を強調して表示することができる。
【００５０】
制御部１５０は図９の（ａ）のように、入力画面９１０のＢｕｌｋ  Ｒｅａｃｔｉｏｎタブ９１１を活性化させてＥｑｕａｔｉｏｎ領域９１２に複数の反応式を入力データとして入力を受ける。この時、入力画面９１０は図３の入力画面３１０と同じ画面であり得る。その後、エラー確認のためのボタン９１３が選択されると、反応式を基準としてｓｐｅｃｉｅｓ情報がない反応物または生成物を入力エラーと確認する。入力エラーが確認されると、例えばＥｑｕａｔｉｏｎ領域に入力された５個の反応式の中でＡｒ＋Ｍ−＞Ａｒ＋＋Ｅの反応式で反応物であるＭに対する鐘情報が確認されないと、制御部１５０は図９の（ｂ）のような結果画面９２０を表示部１３０に表示する。この時、制御部１５０は図９の（ｂ）のように、Ｍを含む反応式を表示し、Ｍの色相を赤色に変更して表示９２１することができる。
【００５１】
このように入力エラーが表示部１３０に表示された後に制御部１５０は２１３段階を遂行する。２１３段階で表示部１３０に表示された入力エラーの修正が完了したことが確認されると制御部１５０は２１５段階を遂行し、修正完了が確認されないと入力エラーと関連した入力データの修正完了を待機する。これを通じて、使用者はシミュレーション前に入力データに存在するエラーを修正することによって、シミュレーションが正しく遂行されない場合を解消することができる。
【００５２】
２１５段階で制御部１５０はシミュレーションのために必要な入力データの入力が完了したことが確認されると２１７段階を遂行し、入力データの入力完了が確認されないと２０５段階に回帰する。制御部１５０は２０５段階〜２１３段階を再遂行することができる。２１７段階で制御部１５０は入力が完了した入力データをプラズマ装備に伝送してシミュレーションを遂行する。
【００５３】
本明細書と図面に開示された本発明の実施例は、本発明の技術内容を容易に説明し本発明の理解を助けるために特定例を提示したものに過ぎず、本発明の範囲を限定しようとするものではない。したがって、本発明の範囲は、ここに開示された実施例以外に本発明の技術的思想に基づいて導き出される変更または変形されたすべての形態も本発明の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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