(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空雰囲気で粘着保持された薄板状のワークを剥離してから、前記ワークの周囲が大気開放されるワーク粘着チャック装置であって、
前記ワークに対して接近又は離隔する方向へ相対的に移動自在に設けられる対向面と、
前記対向面に前記ワークの表面と対向するように設けられる粘着部と、
前記対向面において前記粘着部の内側及び外側にそれぞれ弾性変形可能に設けられる複数の剥離部と、
前記複数の剥離部をそれぞれ前記ワークに向けて突出変形させる剥離用駆動部と、
前記剥離用駆動部を作動制御する制御部と、を備え、
前記粘着部は、環状又は枠状に形成されて、前記ワークの前記表面との接触により前記表面を着脱自在に粘着保持する粘着面を有し、
前記複数の剥離部は、前記ワークの前記表面において前記粘着面で粘着保持される被粘着部位を挟んで隣合う複数の不粘着部位に向け突出変形して、前記複数の不粘着部位を押圧する複数の押圧面を有し、
前記複数の押圧面のうち前記粘着面の外側に配置される押圧面と前記粘着面は、前記外側の押圧面及び前記粘着面を挟んで外方空間と内方空間が連通するように形成される押圧通路及び粘着通路を有し、
前記制御部は、前記複数の押圧面による前記複数の不粘着部位の押圧で、前記粘着面と前記被粘着部位の間に、前記複数の不粘着部位と連続した前記被粘着部位の両端側から拡開する空間部が形成されるように制御することを特徴とするワーク粘着チャック装置。
【請求項２】
前記複数の剥離部のうち内側の第一剥離部を囲むように前記粘着部が環状又は枠状に設けられ、外側の第二剥離部を前記粘着部の外縁に沿って環状又は枠状に設け、前記粘着部の前記粘着面を挟んで前記第一剥離部の第一押圧面と前記第二剥離部の第二押圧面が隣合うように配置されることを特徴とする請求項１記載のワーク粘着チャック装置。
【請求項３】
前記複数の剥離部のうち最も内側の第一剥離部を囲むように、前記粘着部として内側の第一粘着部が環状又は枠状に設けられ、前記第一剥離部よりも外側の第二剥離部を前記第一粘着部の外縁に沿って環状又は枠状に設け、前記第二剥離部を囲むように、前記粘着部として外側の第二粘着部が環状又は枠状に設けられ、前記第二粘着部の外側に前記第二剥離部よりも外側の第三剥離部を、前記第二粘着部の外縁に沿って環状又は枠状に設け、前記第一粘着部の第一粘着面を挟んで前記第一剥離部の第一押圧面と前記第二剥離部の第二押圧面が隣合うように配置され、前記第二粘着部の第二粘着面を挟んで前記第二押圧面と前記第三剥離部の第三押圧面が隣合うように配置されることを特徴とする請求項１記載のワーク粘着チャック装置。
【請求項４】
請求項１記載のワーク粘着チャック装置が、対向する一対の保持板のいずれか一方か又は両方に複数設けられるワーク貼り合わせ機であって、
前記ワーク粘着チャック装置の前記粘着部で前記ワークを粘着保持し、前記一対の保持板のうち一方の保持板に設けられた前記ワーク粘着チャック装置の前記複数の剥離部で、前記粘着部から押し剥がした前記ワークが、前記一対の保持板のうち他方の保持板に保持したもう一つのワークに貼り合わされることを特徴とするワーク貼り合わせ機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、有機ＥＬディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、フレキシブルディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）やセンサーデバイスか、又は例えばタッチパネル式ＦＰＤや３Ｄ（３次元）ディスプレイや電子書籍などのような、液晶モジュール（ＬＣＭ）やフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）などのワークに対して、タッチパネルやカバーガラスやカバーフィルムやＦＰＤなどのもう一枚のワークを貼り合わせる基板貼り合わせ機などの基板組立装置や、薄板状のワーク（被処理体）を搬送する基板搬送装置などに用いられるワーク粘着チャック装置、このワーク粘着チャック装置を備えたワーク貼り合わせ機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の基板貼り合わせ機として、第１の基板が安着する第１の定盤、第１の基板と合着される第２の基板が安着する第２定盤、第１の定盤に安着する第１の基板を、粘着力を用いて固定させる粘着ゴムを有する基板チャック、及び、第１の基板が粘着ゴムから離脱されるように粘着力と反対される方向の力を誘導する粘着解除装置、を含む基板合着装置がある（例えば、特許文献１参照）。
粘着解除装置は、上記第１の定盤に設けられ、第１の基板の付着面方向に加熱膨脹して第１の基板を離脱させる加熱膨脹部で構成される。加熱膨脹部は、粘着ゴムに付着された第１の基板の付着面側に膨脹する延性の材質からなる膨脹部材を含む。
粘着ゴムは、加熱膨脹部を中心として、その外側に複数、それぞれ放射方向に長い長方形の形態、又は周方向へ長い弧状の形態で備えられる。また、その他に粘着ゴムを中心部に形成し、その周りに加熱膨脹部が環状に位置する形態で備えられることもできる。
基板合着装置の作動は、まず真空チャックにより吸着された状態に上昇した第１の基板が、第１の定盤に備えられた粘着ゴムに付着される。その次に真空状態で加熱膨脹部を膨脹させることにより、第１の基板が粘着ゴムから離脱されて、下方に位置した第２の基板と合着される。第１の基板と第２の基板が合着した後は、第１のチャンバと第２のチャンバを離隔して大気開放され、合着された第１の基板と第２の基板を搬出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１２６３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年のＬＣＤなどは、小型化や薄型化や軽量化などの要求により基板がますます薄肉化されており、薄肉化された基板を含む薄板状のワークは、極めて変形し易くなっている。
しかし、特許文献１では、粘着ゴムで固定（粘着保持）された第１の基板の被粘着部位を、粘着ゴムと隣合う加熱膨脹部の膨脹（突出）変形により、加熱膨脹部と連続した被粘着部位の一端側から一方向のみへ離脱（押し剥がし）が進行する。このため、粘着ゴムの表面（粘着面）に対し被粘着部位が全体的に傾斜し易くなる。
特に、第１の基板が変形し易い薄板状のワークである場合には、粘着面からワークを押し剥がす際に、ワークにおいて粘着面に粘着保持される被粘着部位から、加熱膨脹部の突出変形で押圧される不粘着部位までが全体的に傾斜して部分的なたわみとなる。これに加えて、粘着面からのワークの押し剥がしで、下方に位置した第２の基板と合着させ（貼り合わせ）てＬＣＤを作製する場合には、ワークのたわみが比較的に大きくなるため、第２の基板との間隔が狭い個所に液晶が流れてしまい、真空気泡やムラを発生する可能性が高くなる。その結果として、製品の歩留まりが低下して高性能な製品を生産できないという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような課題を解決するために本発明に係るワーク粘着チャック装置は、真空雰囲気で粘着保持された薄板状のワークを剥離してから、前記ワークの周囲が大気開放されるワーク粘着チャック装置であって、前記ワークに対して接近又は離隔する方向へ相対的に移動自在に設けられる対向面と、前記対向面に前記ワークの表面と対向するように設けられる粘着部と、前記対向面において前記粘着部の内側及び外側にそれぞれ弾性変形可能に設けられる複数の剥離部と、前記複数の剥離部をそれぞれ前記ワークに向けて突出変形させる剥離用駆動部と、前記剥離用駆動部を作動制御する制御部と、を備え、前記粘着部は、環状又は枠状に形成されて、前記ワークの前記表面との接触により前記表面を着脱自在に粘着保持する粘着面を有し、前記複数の剥離部は、前記ワークの前記表面において前記粘着面で粘着保持される被粘着部位を挟んで隣合う複数の不粘着部位に向け突出変形して、前記複数の不粘着部位を押圧する複数の押圧面を有し、前記複数の押圧面のうち前記粘着面の外側に配置される押圧面と前記粘着面は、前記外側の押圧面及び前記粘着面を挟んで外方空間と内方空間が連通するように形成される押圧通路及び粘着通路を有し、前記制御部は、前記複数の押圧面による前記複数の不粘着部位の押圧で、前記粘着面と前記被粘着部位の間に、前記複数の不粘着部位と連続した前記被粘着部位の両端側から拡開する空間部が形成されるように制御することを特徴とする
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の実施形態（第一実施形態）に係るワーク粘着チャック装置を示す説明図であり、（ａ）が縦断正面図、（ｂ）が剥離部を突出させた状態の縦断正面図、（ｃ）が底面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置の変形例（第二実施形態）を示す説明図であり、（ａ）が縦断正面図、（ｂ）が剥離部を突出させた状態の縦断正面図、（ｃ）が底面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置の変形例（第三実施形態）を示す説明図であり、剥離部が突出状態で且つワークを透して見た底面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るワーク貼り合わせ機を示す縮小縦断正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Ａは、図１〜図３に示すように、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の基板などからなる薄板状のワークＷと、保持板１の対向面１１ａに設けられた粘着部２との接触により、ワークＷを強固に且つ着脱可能に粘着保持して受け取り、ワークＷに向けた剥離部３の突出変形により、粘着部２からワークＷを押し剥がして受け渡すワーク保持装置である。
このようなワーク粘着チャック装置Ａは、図４に示すように、基板同士などを貼り合わせるワーク貼り合わせ機Ｂや、基板などを搬送するためのワーク搬送装置などに用いられる。
【０００８】
詳しく説明すると、本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Ａは、ワークＷに対して接近又は離隔する方向へ相対的に移動自在に設けられる保持板１の対向面１１ａと、対向面１１ａにワークＷの表面Ｗ１と対向するように設けられる粘着部２と、対向面１１ａに弾性変形可能に設けられる複数の剥離部３と、を主要な構成要素として備えている。
さらに、保持板１の対向面１１ａ又はワークＷのいずれか一方若しくは両方を相対的に接近移動又は離隔移動させる接離用駆動部４と、複数の剥離部３をそれぞれワークＷに向けて突出変形させる剥離用駆動部５と、接離用駆動部４及び剥離用駆動部５などをそれぞれ作動制御する制御部６と、を備えることが好ましい。
なお、保持板１の対向面１１ａとワークＷは、通常、上下方向へ対向するように配置され、対向面１１ａ及びワークＷの対向方向を以下「Ｚ方向」という。Ｚ方向と交差する対向面１１ａやワークＷに沿った方向を以下「ＸＹ方向」という。
【０００９】
保持板１は、例えば金属，セラミック，硬質合成樹脂などの硬質材料で成形された定盤などからなる。
保持板１の表裏いずれか一方の平滑面１ａ側には、チャック本体１１が設けられる。
チャック本体１１は、例えば金属，セラミック，硬質合成樹脂などの硬質材料で円形又は矩形（長方形及び正方形を含む角が直角の四辺形）の板状に形成され、その表裏いずれか一方に対向面１１ａを有する。
さらに、チャック本体１１は、図１（ａ）（ｂ）などに示されるように、相互が着脱自在に連結される複数の支持プレート１１ｂで構成され、複数の支持プレート１１ｂの間に後述する複数の剥離部３を着脱自在に取り付けることが好ましい。
図示例では、保持板１に対するチャック本体１１の組み付けと、複数の支持プレート１１ｂ同士の連結を、ネジやボルトなどの締結具１ｃで取り付け固定している。
【００１０】
粘着部２は、その全体又は一部が例えばフッ素ゴムやブチルゴムなどのゴム類、エラストマー、感光性樹脂、アクリル系やシリコン系などの粘着性を有する材料からなる粘着シートである。
粘着部２は、チャック本体１１の対向面１１ａに沿って円形や楕円形などの環状又は四角や多角形などの枠状に形成される。
さらに、粘着部２は、ワークＷの表面Ｗ１とＺ方向へ対向する表側に形成される粘着面２ａと、その裏側に形成される取付面２ｂと、を有する。取付面２ｂは、チャック本体１１の対向面１１ａに対してＺ方向及びＸＹ方向へ移動不能に固定される。
粘着部２の粘着面２ａは、ワークＷの表面Ｗ１においてその一部と接触させることにより、接触した部位に粘着して被粘着部位Ｗ２を着脱自在に保持するように構成される。
粘着面２ａの具体例として図１（ａ）〜（ｃ）などに示される場合には、ゴム類の成形時における表面加工で凹凸状に形成している。これにより、ワークＷの表面Ｗ１に対する粘着面２ａの接触面積を減少させて、後述する複数の剥離部３による押し剥がしが容易となるように粘着力をコントロールしている。
また、その他の例として図示しないが、成形時の表面加工に代えてブラスト処理（サンドブラスト）やレーザー加工やエッチング加工などの後加工により、粘着面２ａを凹凸状に形成することや、粘着面２ａを図示例以外の凹凸形状や構造に変更することも可能である。
【００１１】
複数の剥離部３は、その全体又は一部が例えばフッ素ゴムやエチレンプロピレンジエン（ＥＰＤＭ）ゴムなどのゴム類、エラストマー、軟質合成樹脂などの弾性変形可能な弾性材料で、円形又は矩形などの薄板状に形成されたダイヤフラムや弾性板などからなる。
複数の剥離部３は、チャック本体１１の対向面１１ａにおいて粘着部２の内側及び外側にそれぞれ粘着部２をＸＹ方向へ挟むように配置され、ワークＷの表面Ｗ１とＺ方向へ対向する表側に形成される複数の押圧面３ａを有する。
複数の剥離部３において全ての押圧面３ａは、ワークＷの表面Ｗ１において粘着面２ａで粘着保持される被粘着部位Ｗ２を挟んでＸＹ方向へ隣合う複数の不粘着部位Ｗ３，Ｗ４などに向けてＺ方向へ弾性的に突出変形するように構成される。
さらに、複数の剥離部３のうち内側の第一剥離部３１は、対向面１１ａの略中央に設けることが好ましい。内側の第一剥離部３１の形状は、チャック本体１１が円形の板状である場合には円形に形成し、チャック本体１１が矩形の板状である場合には矩形に形成することが好ましい。複数の剥離部３のうち外側の第二剥離部３２などは、粘着部２の外縁に沿って円形や楕円形などの環状又は四角や多角形などの枠状に設けることが好ましい。
これに加えて、内側の第一剥離部３１を除いた外側に配置される外側の第二剥離部３２の押圧面３２ａなどには、外側の第二剥離部３２などよりも内側で粘着部２が配置される空間部Ｓ１と、外側の第二剥離部３２などよりも更に外側の外方空間Ｓоとが連通するように真空破壊用の押圧通路３ｐを形成することが好ましい。これと同様に、粘着部２の粘着面２ａなどにも、粘着部２が配置される空間部Ｓ１と、粘着部２よりも内側で第一剥離部３１が配置される内方空間Ｓｉとが連通するように真空破壊用の粘着通路２ｐを形成することが好ましい。
【００１２】
複数の剥離部３と具体例として図１（ａ）〜（ｃ）などに示される場合には、例えば圧縮成形（コンプレッション成型）や射出成形（インジェクション成型）などにより一体形成されたダイヤフラムや弾性板で構成している。
ダイヤフラムや弾性板の内側と外側には、複数の押圧面３ａがそれぞれ弾性変形可能に形成される。
図示例では、複数の押圧面３ａをゴム類の成形時における表面加工で凹凸状に形成している。これにより、ワークＷの表面Ｗ１に対する押圧面３ａの接触面積を減少させて、ワークＷの表面Ｗ１に密着しないようにコントロールしている。
ダイヤフラムや弾性板の外周には、取付部３ｂが形成される。取付部３ｂは、チャック本体１１を構成する複数の支持プレート１１ｂの間に挟持して、Ｚ方向及びＸＹ方向へ移動不能で且つ着脱自在に取り付け固定することが好ましい。これにより、複数の押圧面３ａがチャック本体１１の対向面１１ａに沿ってＺ方向へ弾性変形自在に支持されるとともに、後述する駆動用流体５Ｆの流路５ｂの一部が開穿されるチャック本体１１の支持プレート１１ｂの複数個所を、それぞれ気密状に封止するように配置される。
さらに図示例では、ダイヤフラムや弾性膜を内側の第一剥離部３１と、外側の第二剥離部３２などに分割して、それぞれ別個に取り付けている。
また、その他の例として図示しないが、成形時の表面加工に代えてブラスト処理（サンドブラスト）やレーザー加工やエッチング加工などの後加工により、複数の押圧面３ａを凹凸状に形成することや、複数の押圧面３ａを図示例以外の凹凸形状や構造に変更することや、内側の第一剥離部３１と外側の第二剥離部３２などを分割せず一体的に取り付けることなどの変更も可能である。
【００１３】
接離用駆動部４は、保持板１の対向面１１ａ又はワークＷのいずれか一方若しくは両方を相対的に接近移動又は離隔移動させるアクチュエーターなどで構成され、後述する制御部６により作動制御している。
後述する制御部６で接離用駆動部４は、保持板１の対向面１１ａ又はワークＷのいずれか一方若しくは両方を相対的に接近移動させることにより、粘着部２の粘着面２ａが、ワークＷの表面Ｗ１の一部（被粘着部位Ｗ２）と接触して、被粘着部位Ｗ２を着脱自在に粘着保持するように作動制御される。
【００１４】
剥離用駆動部５は、複数の剥離部３の押圧面３ａをワークＷに向けて突出変形させるアクチュエーターなどで構成され、後述する制御部６により作動制御している。
剥離用駆動部５を構成するアクチュエーターの一例として図示例の場合は、供給源（図示しない）から圧縮空気，ガスなどの気体や水などの液体からなる駆動用流体５Ｆを供給するコンプレッサーなどの駆動源５ａと、供給源から駆動源５ａを介して複数の剥離部３の一次側に通じる流路５ｂと、を有している。流路５ｂの一部は、保持板１やチャック本体１１の支持プレート１１ｂの複数個所を、それぞれＺ方向へ貫通するように穿設されている。これにより、駆動源５ａから駆動用流体５Ｆは、流路５ｂを通ってチャック本体１１の対向面１１ａに向けてそれぞれ供給される。
さらに必要に応じて、流路５ｂの途中には、流量調整弁（図示しない）などを設けてもよい。
後述する制御部６で駆動源５ａや流量調整弁などは、複数の剥離部３の一次側に向けて所定量の駆動用流体５Ｆを供給することにより、複数の剥離部３の一次側と二次側との間に圧力差が生じて、複数の押圧面３ａをＺ方向へ弾性的に膨張変形させるように作動制御される。
また、その他の例として図示しないが、剥離用駆動部５を構成するアクチュエーターとして、駆動用流体５Ｆを供給する駆動源５ａなどに代え、シリンダーなどにより押圧するなど、他の駆動源で複数の押圧面３ａをＺ方向へ弾性的に突出変形させることも可能である。
【００１５】
制御部６は、接離用駆動部４や剥離用駆動部５だけでなく、その他にも電気的に接続するコントローラーである。
制御部６となるコントローラーは、その制御回路（図示しない）に予め設定されたプログラムに従って、予め設定されたタイミングで順次それぞれ作動制御している。
そして、制御部６の制御回路に設定されたプログラムを、粘着部２の粘着面２ａで粘着保持されたワークＷの剥離方法として説明する。
図１（ａ）などに示される初期状態では、複数の剥離部３の押圧面３ａが保持板１の対向面１１ａよりも凹状に収縮変形しており、粘着部２の粘着面２ａで粘着保持されたワークＷに対し、剥離力を作用させずに待機している。
図１（ｂ）などに示される剥離時には、剥離用駆動部５の作動で複数の剥離部３において全ての押圧面３ａが、保持板１の対向面１１ａよりも突出変形してワークＷの表面Ｗ１（複数の不粘着部位Ｗ３，Ｗ４など）に圧接し、更に同方向へ押動して、粘着部２の粘着面２ａからワークＷを強制的に剥離する(押し剥がす)。
また、粘着面２ａからワークＷを剥離した後は、複数の押圧面３ａがＺ方向へワークＷの表面Ｗ１から離れるように逆向きに没入変形して初期状態に戻る。
【００１６】
このような本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Ａによると、薄板状のワークＷと対向面１１ａとの相対的な接近で、ワークＷの表面Ｗ１を粘着部２の粘着面２ａに接触させることにより、粘着面２ａに対しての表面Ｗ１の被粘着部位Ｗ２が粘着保持される。
この粘着保持状態で剥離用駆動部５の作動により、複数の剥離部３において複数の押圧面３ａが、被粘着部位Ｗ２を挟んで隣合う両側の不粘着部位Ｗ３，Ｗ４に向けてそれぞれ弾性的に突出変形する。
このため、不粘着部位Ｗ３，Ｗ４に複数の押圧面３ａが圧接してそれぞれ不粘着部位Ｗ３，Ｗ４を剥離方向（Ｚ方向）へ押圧する。
これにより、粘着面２ａに対して被粘着部位Ｗ２は、複数の不粘着部位Ｗ３，Ｗ４と連続した被粘着部位Ｗ２の両端側から中間位置に向け略同時に押し剥がされてそれぞれ拡開する。このため、粘着面２ａと被粘着部位Ｗ２の間には空間部Ｓ１が生じる。
したがって、変形し易い薄板状のワークＷであってもその表面Ｗ１を粘着部２の粘着面２ａから比較的に小さなたわみ変形でスムーズに押し剥がすことができる。
その結果、粘着ゴムと隣合う加熱膨脹部の突出変形により、加熱膨脹部と連続した被粘着部位の一端側から一方向のみへ押し剥がす従来のものに比べ、粘着面２ａに対する被粘着部位Ｗ２の押し剥がしが、被粘着部位Ｗ２を挟んで隣合う不粘着部位Ｗ３，Ｗ４と連続した両方向からの略同時の押し剥がしである。このため、粘着面２ａに対して被粘着部位Ｗ２が全体的に傾斜せず略平行に押し剥がされる。
【００１７】
次に、本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Ａの実施例及び変形例（第一実施形態〜第三実施形態）について説明する。
第一実施形態のワーク粘着チャック装置Ａ１を図１（ａ）〜（ｃ）に示す。
第二実施形態のワーク粘着チャック装置Ａ２を図２（ａ）〜（ｃ）に示す。
第三実施形態のワーク粘着チャック装置Ａ３を図３（ａ）〜（ｃ）に示す。
そして、本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Ａを用いたワーク貼り合わせ機Ｂの実施例を図４に示す。
【００１８】
［第一実施形態］
第一実施形態のワーク粘着チャック装置Ａ１は、複数の剥離部３のうち内側の第一剥離部３１を囲むように粘着部２が環状又は枠状に設けられ、外側の第二剥離部３２を粘着部２の外縁に沿って環状又は枠状に設け、粘着部２の粘着面２ａを挟んで第一剥離部３１の第一押圧面３１ａと第二剥離部３２の第二押圧面３２ａが隣合うように配置される。
図１（ａ）〜（ｃ）に示される場合には、一つの粘着部２を挟んで内外に二つの剥離部３（第一剥離部３１と第二剥離部３２）が二重に配置され、すべての押圧面３ａ（第一押圧面３１ａと第二押圧面３２ａ）を突出変形させている。
図示例では、内側の第一剥離部３１を対向面１１ａの略中央に配置している。さらに、チャック本体１１の全体形状が円形の板状であり、粘着部２と外側の第二剥離部３２をそれぞれ環状に形成している。
つまり、内側の第一剥離部３１の第一押圧面３１ａは、ワークＷの表面Ｗ１において粘着面２ａで粘着保持される被粘着部位Ｗ２よりも内側の第一不粘着部位Ｗ３に向けＺ方向へ突出して圧接する。外側の第二剥離部３２の第二押圧面３２ａは、中央の被粘着部位Ｗ２よりも外側の不粘着部位Ｗ４に向けＺ方向へ突出して圧接する。
また、剥離用駆動部５の駆動源５ａから全ての剥離部３の一次側に至る流路５ｂが一系統であり、流路５ｂへの駆動用流体５Ｆの供給に伴って、内側の第一剥離部３１の第一押圧面３１ａと外側の第二剥離部３２の第二押圧面３２ａを同時に突出動作させている。
【００１９】
このような第一実施形態のワーク粘着チャック装置Ａ１によると、剥離用駆動部５の作動により、中央の第一剥離部３１の押圧面３１ａと、外側の第二剥離部３２の押圧面３２ａが、被粘着部位Ｗ２を挟んで隣合う中央の不粘着部位Ｗ３と、外側の不粘着部位Ｗ４に向け突出変形して、それぞれ剥離方向（Ｚ方向）へ押圧する。
これにより、粘着面２ａに対して、中央の不粘着部位Ｗ３と外側の不粘着部位Ｗ４に連続した被粘着部位Ｗ２の両端側から内外中間位置に向け略同時に押し剥がされてそれぞれ拡開する。
したがって、薄板状のワークＷの表面Ｗ１を粘着部２の粘着面２ａからワークＷの僅かな変形で確実に押し剥がすことができる。
その結果、簡単な構造でありながら中央の第一押圧面３１ａ及び外側の第二押圧面３２ａによるワークＷの剥離力が向上してチャック性能に優れる。
【００２０】
［第二実施形態］
第二実施形態のワーク粘着チャック装置Ａ２は、剥離用駆動部５の駆動源５ａから全ての剥離部３の一次側に至る流路５ｂが複数系統である構成が、前述した第一実施形態とは異なり、それ以外の構成は第一実施形態と同じものである。
図２（ａ）〜（ｃ）に示される場合には、駆動源５ａから内側の第一剥離部３１の一次側に至る第一流路５ｂと別に、駆動源５ａから外側の第二剥離部３２の一次側に至る第二流路５ｃを形成している。これにより、駆動源５ａから駆動用流体５Ｆは、第一流路５ｂを通って内側の第一剥離部３１の一次側に供給されると同時に、第二流路５ｃを通って外側の第二剥離部３２の一次側にも供給される。
このため、第一流路５ｂと第二流路５ｃに対する駆動用流体５Ｆの供給タイミングや供給量などをコントロールすることで、内側の第一剥離部３１の第一押圧面３１ａと外側の第二剥離部３２の第二押圧面３２ａを同時に突出動作させることや、タイミングをずらして突出動作させることが可能になる。
これにより、ワークＷの厚みに適した微妙な剥離コントロールを達成できる。
【００２１】
［第三実施形態］
第三実施形態のワーク粘着チャック装置Ａ３は、複数の剥離部３のうち最も内側の第一剥離部３１を囲むように、粘着部２として内側の第一粘着部２１が環状又は枠状に設けられ、第一剥離部３１よりも外側の第二剥離部３２を第一粘着部２１の外縁に沿って環状又は枠状に設け、第二剥離部３２を囲むように、粘着部２として外側の第二粘着部２２が環状又は枠状に設けられ、第二粘着部２２の外側に第二剥離部３２よりも外側の第三剥離部３３を、第二粘着部２２の外縁に沿って環状又は枠状に設け、第一粘着部２１の第一粘着面２１ａを挟んで第一剥離部３１の第一押圧面３１ａと第二剥離部３２の第二押圧面３２ａが隣合うように配置され、第二粘着部２２の第二粘着面２２ａを挟んで第二押圧面３２ａと第三剥離部３３の第三押圧面３３ａが隣合うように配置される構成が、前述した第一実施形態とは異なり、それ以外の構成は第一実施形態と同じものである。
図３（ａ）〜（ｃ）に示される場合には、二つの粘着部２（第一粘着部２１と第二粘着部２２）を挟んで内外に三つの剥離部３（第一剥離部３１と第二剥離部３２と第三剥離部３３）が三重に配置され、すべての押圧面３ａ（第一押圧面３１ａと第二押圧面３２ａと第三押圧面３３ａ）を突出変形させている。
図示例では、最も内側の第一剥離部３１を対向面１１ａの略中央に配置している。さらに、チャック本体１１の全体形状が円形の板状であり、第一粘着部２１及び第二粘着部２２と中間の第二剥離部３２及び外側の第三剥離部３３をそれぞれ環状に形成している。また、チャック本体１１の全体サイズを第一実施形態と同じ大きさに設定している。
つまり、第二剥離部３２よりも外側に配置される第三剥離部３３の第三押圧面３３ａは、ワークＷの表面Ｗ１において外側の第二粘着部２２の第二粘着面２２ａで粘着保持される中間の被粘着部位Ｗ５よりも外側の不粘着部位Ｗ６に向けＺ方向へ突出して圧接する。
【００２２】
このような第三実施形態のワーク粘着チャック装置Ａ３によると、剥離用駆動部５の作動により、中央の第一剥離部３１の押圧面３１ａと、外側の第二剥離部３２の押圧面３２ａ及び第三剥離部３３の第三押圧面３３ａが、内側の被粘着部位Ｗ２を挟んで隣合う中央の不粘着部位Ｗ３と、中間の不粘着部位Ｗ４及び外側の不粘着部位Ｗ６に向け突出変形して、それぞれ剥離方向（Ｚ方向）へ押圧する。
これにより、内側の第一粘着面２１ａに対して、中央の不粘着部位Ｗ３と中間の不粘着部位Ｗ４に連続した内側の被粘着部位Ｗ２の両端側から内外中間位置に向け略同時に押し剥がされてそれぞれ拡開する。これと同時に外側の第二粘着面２２ａに対して、中間の不粘着部位Ｗ４と外側の不粘着部位Ｗ６とに連続した外側の被粘着部位Ｗ５の両端側から内外中間位置に向け略同時に押し剥がされてそれぞれ拡開する。
したがって、薄板状のワークＷの表面Ｗ１を第一粘着部２１の第一粘着面２１ａ及び第二粘着部２２の第二粘着面２２ａからワークＷの僅かな変形で確実に押し剥がすことができる。
その結果、一つの粘着部２を挟んで内外に二つの剥離部３が二重に配置された全体サイズの第一実施形態に比べ、粘着部２と剥離部３が集約されず分散して配置される。このため、内側の第一粘着面２１ａ及び外側の第二粘着面２２ａによるワークＷの粘着力や、中央の第一押圧面３１ａ，中間の第二押圧面３２ａ及び外側の第三押圧面３３ａによるワークＷの剥離力が向上して、チャック性能に優れる。
【００２３】
［ワーク貼り合わせ機の実施例］
ワーク貼り合わせ機Ｂは、対向する一対の保持板１，１′のいずれか一方か又は両方に、複数のワーク粘着チャック装置Ａをそれぞれ所定間隔毎に分散させて取り付け、粘着部２で粘着保持されたワーク（第一ワーク）Ｗを、複数の剥離部３による粘着部２からの剥離で、もう一つのワーク（第二ワーク）Ｗ′に貼り合わせる。
図４に示される例では、第一実施形態のワーク粘着チャック装置Ａ１が一方（上方）の保持板１のみに分散して組み付けられ、粘着部２でワーク（第一ワーク）Ｗを着脱自在に粘着保持し、他方（下方）の保持板１′には、シール材Ｃを介して第一ワークＷと平行に対向するようにもう一つのワーク（第二ワーク）Ｗ′が保持されている。複数の剥離部３でワーク（第一ワーク）Ｗを粘着部２から剥離することにより、シール材Ｃを挟んでもう一つのワーク（第二ワーク）Ｗ′に重ね合わせて貼り合わせている。
さらに必要に応じて、一対の保持板１，１′のいずれか一方か又は両方には、第一ワークＷや第二ワークＷ′とＺ方向に対向して吸引吸着部１２が設けられ、複数の吸引吸着部１２によって第一ワークＷ又は第二ワークＷ′のいずれか一方か又は両方を着脱自在に吸引吸着することも可能である。
図示例では、一方（上方）の保持板１の平滑面１ａのみに、複数のワーク粘着チャック装置Ａをそれぞれ囲むように複数の吸引吸着部１２が配置されている。
また、その他の例として図示しないが、他方（下方）の保持板１′にもワーク粘着チャック装置Ａや吸引吸着部を設けることも可能である。
【００２４】
特にＬＣＤなどのワーク貼り合わせ機では、大気雰囲気又は真空雰囲気や所定の真空度に到達した雰囲気で、粘着部２により第一ワークＷを粘着保持し、この粘着保持された第一ワークＷを複数の剥離部３で強制的に剥離した後に、第一ワークＷの周囲を大気開放する（大気雰囲気に戻す）ことが好ましい。
この場合には、内側の第一剥離部３１の第一押圧面３１ａと外側の第二剥離部３２の第二押圧面３２ａを、第一ワークＷの表面Ｗ１（内側の第一不粘着部位Ｗ３，外側の不粘着部位Ｗ４）に接触させたままで、第一ワークＷの周囲が真空雰囲気から大気開放されると、粘着部２が配置される空間部Ｓ１は真空状態となる。このため、第一ワークＷの表面Ｗ１（内側の第一不粘着部位Ｗ３，外側の不粘着部位Ｗ４）から内側の第一押圧面３１ａと外側の第二押圧面３２ａを剥離できなくなる可能性がある。
このような場合であっても、外側の第二押圧面３２ａが押圧通路３ｐを有することにより、押圧通路３ｐを通って第二剥離部３２よりも外側の外方空間Ｓоから粘着部２がある空間部Ｓ１へ空気が流入して、空間部Ｓ１とワークＷとの間が真空破壊される。さらに粘着面２ａが粘着通路２ｐを有することにより、粘着通路２ｐを通って空間部Ｓ１から粘着部２よりも内側の内方空間Ｓｉへ空気が流入して、内方空間ＳｉとワークＷとの間が真空破壊される。
これにより、真空中で粘着剥離されたワークＷを大気雰囲気で複数の剥離部３（内側の第一剥離部３１，外側の第二剥離部３２）から容易で且つ確実に剥離することができる。
【００２５】
このような本発明の実施形態に係るワーク貼り合わせ機Ｂによると、一方の保持板１の対向面１１ａにおいて複数のワーク粘着チャック装置Ａの粘着部２で粘着保持されたワーク（第一ワーク）Ｗを、複数の剥離部３（内側の第一剥離部３１，外側の第二剥離部３２）で、他方の保持板１′に保持されたもう一つのワークＷ′に向け押し剥がす。
これにより、粘着部２から押し剥がしたワークＷが、もう一つのワークＷ′に貼り合わされる。
したがって、変形し易い薄板状のワーク（第一ワーク）Ｗであっても粘着部２の粘着面２ａから比較的に小さなたわみ変形でスムーズに押し剥して、もう一つのワーク（第二ワーク）Ｗ′に貼り合わせることができる。
その結果、粘着ゴムと隣合う加熱膨脹部の突出変形により、加熱膨脹部と連続した被粘着部位の一端側から一方向のみへ押し剥がして、下方に位置した第２の基板と貼り合わせてＬＣＤを作成する従来のものに比べ、ワークＷのたわみが比較的に小さくなるため、両ワーク（第一ワーク，第二ワーク）Ｗ，Ｗ′の間隔に差が生じ難くて液晶の流れも少なくなる。
これにより、真空気泡やムラを発生する可能性が低くなって、製品の歩留まりが向上して高性能な製品の生産が図れる。
【００２６】
なお、前示の実施形態（第一実施形態〜第三実施形態）では、チャック本体１１の全体形状が円形の板状である場合を説明したが、これに限定されず、チャック本体１１の全体形状を矩形の板状に変更してもよい。
第三実施形態において図示例では、二つの粘着部２が挟まれるように内外に三つの剥離部３を三重に配置したが、これに限定されず、三つ以上の粘着部２が挟まれるように内外に四つ以上の剥離部３を四重以上に配置することや、粘着部２及び剥離部３を四角又は多角形などの枠状に設けることや、対向面１１ａの略中央に粘着部２を配置してもよい。チャック本体１１の全体サイズは、剥離部３の二重配置よりも剥離部３の三重配置や四重以上に配置が大型となるようにサイズ変更することも可能である。
これらの場合においても、前述した第一実施形態〜第三実施形態と同様な作用と利点が得られる。
さらに、本発明の実施形態に係るワーク粘着チャック装置Ａをワーク貼り合わせ機Ｂに用いた場合を説明したが、これに限定されず、ワーク貼り合わせ機Ｂに代えてワーク搬送装置などに用いることも可能である。
この場合においても、前述したワーク貼り合わせ機Ｂと同様な作用と利点が得られる。
【符号の説明】
【００２７】
Ａ  ワーク粘着チャック装置          Ｂ  ワーク貼り合わせ機
１  一方の保持板                    １′  他方の保持板
２  粘着部                          ２１  第一粘着部
２２  第二粘着部                    ２ａ  粘着面
２１ａ  第一粘着面                  ２２ａ  第二粘着面
３  剥離部                          ３１  第一剥離部
３２  第二剥離部                    ３３  第三剥離部
３ａ  押圧面                        ３１ａ  第一押圧面
３２ａ  第二押圧面                  ３３ａ  第三押圧面
５  剥離用駆動部                    ６  制御部
１１ａ  対向面                      Ｓ１  空間部
Ｗ  ワーク（第一ワーク）            Ｗ１  表面
Ｗ２  被粘着部位                    Ｗ３  不粘着部位
Ｗ４  不粘着部位                    Ｗ′  もう一つのワーク（第二板状ワーク）
【要約】
変形し易い薄板状のワークであってもその表面を粘着部の粘着面から比較的に小さなたわみ変形でスムーズに押し剥がす。
薄板状のワークＷに対して接近又は離隔する方向へ相対的に移動自在に設けられる対向面と、対向面にワークの表面と対向するように設けられる粘着部と、対向面において粘着部の内側及び外側にそれぞれ弾性変形可能に設けられる複数の剥離部と、複数の剥離部をそれぞれワークに向けて突出変形させる剥離用駆動部と、剥離用駆動部を作動制御する制御部と、を備え、粘着部は、環状又は枠状に形成されて、ワークの表面との接触により表面を着脱自在に粘着保持する粘着面を有し、複数の剥離部は、ワークの表面において粘着面で粘着保持される被粘着部位を挟んで隣合う複数の不粘着部位に向け突出変形して、複数の不粘着部位を押圧する複数の押圧面を有し、制御部は、複数の押圧面による複数の不粘着部位の押圧で、粘着面と被粘着部位の間に、複数の不粘着部位と連続した被粘着部位の両端側から拡開する空間部Ｓ１が形成されるように制御することを特徴とするワーク粘着チャック装置。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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