(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面上をスライド可能な一対の脚部を有するスライドベースと、該スライドベースの上部に取り付けられるヘッド部と、該ヘッド部の下方に保持され、該スライドベースの両脚部の間に位置するブレードとを備え、前記ブレードは、下端が下向きに尖ったエッジ部をなして前記スライドベースの載置面との間に所定の膜厚で塗工可能な隙間をなすように配置される塗工装置であって、
前記スライドベースの載置面に対する前記エッジ部の高さを調節可能な高さ調節部と
前記スライドベースの載置面に対する前記エッジ部の平行度を調節可能な平行度調節部とを備え、
前記高さ調節部は、
前記ヘッド部の内部に配置され、左右方向に沿って平行移動可能で下面が傾斜したスライドカムと、
下面に前記ブレードを固定し、上面が該スライドカムの下面と同方向に同角度で傾斜して前記スライドカムの下面に密接しているカムスペーサーと、
前記ヘッド部の側面から内部に挿通され、前記スライドカムを回転量に応じて平行移動させる高さ調節用マイクロメーターヘッドと
を備えていることを特徴とする塗工装置。
【請求項２】
前記平行度調節部は、
前記スライドベースの一方の脚部に、前後方向を軸として前記ヘッド部を上下方向に回動可能に連結するヒンジと、
前記スライドベースの他方の脚部に設けられる台座部と、
前記ヘッド部の側面に固定され、前記台座部にスピンドル部が当接し、回転量に応じて前記ヘッド部の傾斜度を変化させる平行度調節用マイクロメーターヘッドと
を備えていることを特徴とする請求項１記載の塗工装置。
【請求項３】
平面上をスライド可能な一対の脚部を有するスライドベースと、該スライドベースの上部に取り付けられるヘッド部と、該ヘッド部の下方に保持され、該スライドベースの両脚部の間に位置するブレードとを備え、前記ブレードは、下端が下向きに尖ったエッジ部をなして前記スライドベースの載置面との間に所定の膜厚で塗工可能な隙間をなすように配置される塗工装置であって、
前記スライドベースの載置面に対する前記エッジ部の高さを調節可能な高さ調節部と
前記スライドベースの載置面に対する前記エッジ部の平行度を調節可能な平行度調節部とを備え、
前記平行度調節部は、
前記スライドベースの一方の脚部に、前後方向を軸として前記ヘッド部を上下方向に回動可能に連結するヒンジと、
前記スライドベースの他方の脚部に設けられる台座部と、
前記ヘッド部の側面に固定され、前記台座部にスピンドル部が当接し、回転量に応じて前記ヘッド部の傾斜度を変化させる平行度調節用マイクロメーターヘッドと
を備えていることを特徴とする塗工装置。
【請求項４】
前記高さ調節部は、
前記ヘッド部の内部に配置され、左右方向に沿って平行移動可能で下面が傾斜したスライドカムと、
下面に前記ブレードを固定し、上面が該スライドカムの下面と同方向に同角度で傾斜して前記スライドカムの下面に密接しているカムスペーサーと、
前記ヘッド部の側面から内部に挿通され、前記スライドカムを回転量に応じて平行移動させる高さ調節用マイクロメーターヘッドと
を備えていることを特徴とする請求項３記載の塗工装置。
【請求項５】
前記スライドベースの他方の脚部にピン孔が設けられ、前記ピン孔に前記ヘッド部の下部から下方に延びる位置決めピンが遊挿されることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の塗工装置。
【請求項６】
前記ヘッド部は上板と周壁とで構成され、
前記周壁は、前記スライドベースの一対の脚部と重なる位置に、縦に延びるザグリ孔がそれぞれ設けられ、
前記ザグリ孔には、端部がネジ状のベース接続ピンが挿入され、前記スライドベースの一対の脚部にネジ止めにより固定され、 
前記ベース接続ピンの頭部に下方から当接するベース引き上げバネが前記ザグリ孔にはめ込まれていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の塗工装置。
【請求項７】
平面上をスライド可能な一対の脚部を有するスライドベースと、該スライドベースの上部に取り付けられるヘッド部と、該ヘッド部の下方に保持され、該スライドベースの両脚部の間に位置するブレードとを備え、前記ブレードは、下端が下向きに尖ったエッジ部をなして前記スライドベースの載置面との間に所定の膜厚で塗工可能な隙間をなすように配置される塗工装置であって、前記スライドベースの載置面に対する前記エッジ部の高さを調節可能な高さ調節部と前記スライドベースの載置面に対する前記エッジ部の平行度を調節可能な平行度調節部とを備える塗工装置のブレード高さを測定するブレード測定器であって、
前記スライドベースを載置可能な平面状の天板と、該天板の上方に位置する物体の該天板に対する高さを検出する複数の変位計と、前記複数の変位計が取得した高さをそれぞれ表示する表示部とを有し、
前記複数の変位計は、前記ブレードの前記エッジ部に沿って所定の間隔で前記天板に配置されていることを特徴とするブレード測定器。
【請求項８】
前記天板には、前記天板に載置した前記塗工装置の前記スライドベースを突き当てられることで前記複数の変位計の直上に前記ブレードを位置させるガイド部材が取り付けられていることを特徴とする請求項７記載のブレード測定器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は塗工装置及びブレード測定器に関し、詳しくは、塗工剤をブレードで基材に塗工でき、塗工膜厚を１μｍ単位で調節可能な装置及び該ブレードの高さと平行度とを測定可能な測定器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フィルムや金属箔等の平面状の基材に塗工剤を膜厚一定に塗布するために、接地面に対して一定間隔の隙間をなして塗工剤を均一にならす塗工用のブレードを備え、基材上をスライド可能に形成された、ブレードの高さを調節可能な塗工装置が提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０２０−１３８１３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような塗工装置では、ブレードの高さを調節するマイクロメータの目盛りに準じた精度の調節しかできなかった。したがって、塗工膜厚をμｍ単位で微少に変更するのは難しく、例えば、リチウムイオン電池用の電極材の活物質を基材に塗工するときに、塗工膜厚をμｍ単位で高精度に調節したいというニーズに対応できていなかった。
【０００５】
また、ブレードの取り付け方によってはブレードが載置面に対して傾斜して平行に保たれないことで塗工膜厚が均一にならないおそれもあった。
【０００６】
そこで本発明は、塗工膜厚を微少な単位で手間なく精密に調節でき、かつ、塗工膜厚の均一性を保つことができる塗工装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の塗工装置は、平面上をスライド可能な一対の脚部を有するスライドベースと、該スライドベースの上部に取り付けられるヘッド部と、該ヘッド部の下方に保持され、該スライドベースの両脚部の間に位置するブレードとを備え、前記ブレードは、下端が下向きに尖ったエッジ部をなして前記スライドベースの載置面との間に所定の膜厚で塗工可能な隙間をなすように配置される塗工装置であって、前記スライドベースの載置面に対する前記エッジ部の高さを調節可能な高さ調節部と前記スライドベースの載置面に対する前記エッジ部の平行度を調節可能な平行度調節部とを備えていることを特徴としている。
【０００８】
また、前記高さ調節部は、前記ヘッド部の内部に配置され、左右方向に沿って平行移動可能で下面が傾斜したスライドカムと、下面に前記ブレードを固定し、上面が該スライドカムの下面と同方向に同角度で傾斜して前記スライドカムの下面に密接しているカムスペーサーと、前記ヘッド部の側面から内部に挿通され、前記スライドカムを回転量に応じて平行移動させる高さ調節用マイクロメーターヘッドとを備えていることを特徴としている。
【０００９】
また、前記平行度調節部は、前記スライドベースの一方の脚部に、前後方向を軸として前記ヘッド部を上下方向に回動可能に連結するヒンジと、前記スライドベースの他方の脚部に設けられる台座部と、前記ヘッド部の側面に固定され、前記台座部にスピンドル部が当接し、回転量に応じて前記ヘッド部の傾斜度を変化させる平行度調節用マイクロメーターヘッドとを備えていることを特徴としている。
【００１０】
また、上記の塗工装置のブレード高さを測定するブレード測定器であって、前記スライドベースを載置可能な平面状の天板と、該天板の上方に位置する物体の該天板に対する高さを検出する複数の変位計と、前記複数の変位計が取得した高さをそれぞれ表示する表示部とを有し、前記複数の変位計は、前記ブレードの前記エッジ部に沿って所定の間隔で前記天板に配置されていることを特徴としている。
【００１１】
さらに、前記天板には、前記天板に載置した前記塗工装置の前記スライドベースを突き当てられることで前記複数の変位計の直上に前記ブレードを位置させるガイド部材が取り付けられていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の塗工装置によれば、塗工装置のヘッド部に保持されたブレードが、高さ調節部と平行度調節部とによって、ブレードを取り替えることなくエッジ部の高さと平行度とを微調整できる。
【００１３】
また、高さ調節部がスライドカムとカムスペーサーと高さ調節用マイクロメーターヘッドとを備えていることにより、高さ調節用マイクロメーターヘッドの回転量に応じてスライドカムを平行移動させることで、マイクロメーターヘッドで直接的に高さ調節する場合よりも小さなスケールでの調節が可能になるので、ブレードの高さをより精密に調節することができる。
【００１４】
さらに、平行度調節部がヒンジと台座部と平行度調節用マイクロメーターヘッドとを備えていることにより、高さ調節とは別にエッジ部の平行度を調節できるので、塗工膜厚の厚みと均一さとを微少な単位で調節可能になる。
【００１５】
また、ブレード測定器を用いることで、塗工装置を天板に載置した状態でブレードのエッジ部の高さを複数の変位計によって検出でき、検出した値を表示部で目視により確認できるので、エッジ部の高さ及び平行度の調節を精密に行うことができる。
【００１６】
そして、天板にガイド部材が設けられていることにより、確実に変位計の直上にブレードを位置させることができるので、測定の準備が容易になるとともに、位置ずれによる測定の誤りを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一形態例である塗工装置の平面図である。
【図２】同じく側面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ断面図である。
【図５】塗工装置のブレードのエッジ部の高さ及び平行度を測定するブレード測定器の正面図である。
【図６】同じく平面図である。
【図７】同じく側面図である。
【図８】ブレード測定器により塗工装置のブレードのエッジ部の高さ及び平行度を測定する様子を示す正面図である。
【図９】同じく側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明の一形態例である塗工装置１１の平面図であり、図２は、塗工装置１１の側面図である。以下では、塗工装置１１について、図１におけるＦ方向を前方とし、Ｂ方向を後方とし、Ｌ方向を左方、Ｒ方向を右方とする。
【００１９】
図１及び図２に示されるように、塗工装置１１は、平面上をスライド可能な左右一対の脚部を有するスライドベース１２と、スライドベース１２の上部に取り付けられ、下部が開口した中空箱型のヘッド部１３と、ヘッド部１３内に設けられた後述するスライドカム２１及びカムスペーサー２２を介してヘッド部１３の下方に保持され、スライドベース１２の左脚部１２ａと右脚部１２ｂとの間に位置する板状のブレード（ドクターブレード）１４とを備えている。
【００２０】
ヘッド部１３は、上面を覆う上板１３ａと、前後左右の周囲を囲う周壁１３ｂとによって構成されている。また、図示していないが、上板１３ａは、周壁１３ｂにネジ止めされて固定されている。
【００２１】
ブレード１４は、左右の長さＸが所定の値（本形態例では１００ｍｍ）に形成され、下端が下向きに尖ったエッジ部１４ａをなしてスライドベース１２の載置面との間に一定の高さＹ（最大で０．４ｍｍ）の隙間をなすように配置されている。
【００２２】
したがって、塗工装置１１を平面状の基材上に載置して、スライドベース１２の左脚部１２ａと右脚部１２ｂとの間でヘッド部１３よりも前方のスペースＳに位置する基材の上に塗工剤を厚めに塗布し、塗工装置１１を前方にスライドさせると、ブレード１４によって載置面に対するエッジ部１４ａの高さＹに応じた膜厚で塗工剤が薄く延ばされ、基材に塗工される。
【００２３】
ヘッド部１３の周壁１３ｂの後面には、スライドベース１２の左脚部１２ａ及び右脚部１２ｂに重なる位置に、それぞれ、縦に延びた深型のザグリ穴１３ｄが設けられている。左右のザグリ穴１３ｄには、それぞれ、頭付きで端部がネジ状のベース接続ピン１５（１５ａ、１５ｂ）が通されてスライドベース１２の左脚部１２ａと右脚部１２ｂとにネジ止めされて固定されている。
【００２４】
左右のザグリ穴１３ｄには、それぞれ、コイル状の弾性部材であるベース引き上げバネ１６（１６ａ、１６ｂ）がはめ込まれてベース接続ピン１５（１５ａ、１５ｂ）の頭部に下方から当接しており、ベース接続ピン１５（１５ａ、１５ｂ）を上方に付勢することでヘッド部１３をスライドベース１２に圧着している。
【００２５】
また、塗工装置１１には、スライドベース１２の載置面に対するブレード１４のエッジ部１４ａの高さを調節可能な高さ調節部１７と、スライドベース１２の載置面に対するブレード１４のエッジ部１４ａの平行度を調節可能な平行度調節部１８が設けられている。
【００２６】
さらに、塗工装置１１を把持・スライドさせやすいように、スライドベース１２の前方には前部レバー１９が、スライドベース１２の後方には後部レバー２０が、それぞれ取り付けられている。
【００２７】
図３は、高さ調節部１７の構造を示す図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。図３に示されるように、高さ調節部１７は、ヘッド部１３の内部に設けられたスライドカム２１及びカムスペーサー２２と、ヘッド部１３の周壁１３ｂの左側面から内部に挿通された高さ調節用マイクロメーターヘッド２３とによって構成されている。
【００２８】
高さ調節用マイクロメーターヘッド２３は、スピンドル部２３ａがヘッド部１３の内部に突き出るように取り付けられており、シンブル部２３ｂを回すことでスピンドル部２３ａの突き出る長さを調節可能に形成されている。
【００２９】
スライドカム２１は、下面が左右方向に所定の角度で傾斜し、カムスペーサー２２も、上面が同方向に同角度で傾斜しており、スライドカム２１の下面にカムスペーサー２２の上面が密接している。また、カムスペーサー２２の下面には、ブレード１４がネジ止めされて、着脱可能に固定されている。
【００３０】
ヘッド部１３の周壁１３ｂの内部空間は、スライドカム２１を左右方向に移動可能に形成されており、その空間の右端には、コイル状の弾性部材であるスライドカム拘束バネ２４が取り付けられている。スライドカム拘束バネ２４は、スライドカム２１の左端の凹部２１ｂに差し込まれてスライドカム２１を左方へ付勢している。また、周壁１３ｂの内部空間の左端には、高さ調節用マイクロメーターヘッド２３のスピンドル部２３ａの先端が突き当たりスライドカム２１の左方への移動を規制している。
【００３１】
また、カムスペーサー２２は、ヘッド部１３の上板１３ａ及びスライドカム２１を貫通する、頭付きで端部がネジ状のヘッド接続ピン２５によってヘッド部１３に連結されている。
【００３２】
上板１３ａは、深型のザグリ穴１３ｃが設けられてヘッド接続ピン２５を挿通可能に構成されている。ザグリ穴１３ｃには、コイル状の弾性部材であるカム引き上げバネ２５ａがはめ込まれてヘッド接続ピン２５の頭部に下方から当接しており、ヘッド接続ピン２５を上方に付勢している。
【００３３】
また、スライドカム２１には、ヘッド接続ピン２５を通す貫通孔２１ａが設けられている。貫通孔２１ａは、左右方向に遊びができるように、左右の幅Ｗがヘッド接続ピン２５の径よりも長く形成されているため、スライドカム２１の位置を、貫通孔２１ａの幅Ｗを上限に左右方向にずらすことができる。
【００３４】
スライドカム２１の下面が傾斜していることで、スライドカム２１が左右方向にずらされると、傾斜により横方向の移動が縦方向に変換されるので、スライドカム２１に密接しているカムスペーサー２２は上下方向にずらされる。
【００３５】
したがって、高さ調節部１７は、高さ調節用マイクロメーターヘッド２３の回転量に応じてスライドカム２１を左右方向に平行移動させ、スライドカム２１の平行移動に応じて上下移動するカムスペーサー２２によってブレード１４を上下させることで、ブレード１４のエッジ部１４ａの高さＹを調節することができる。
【００３６】
なお、高さ調節用マイクロメーターヘッド２３のシンブル部２３ｂに刻まれた目盛り数は１００目盛りとなっており、１０回転でスライドカム２１が１ｍｍ平行移動するように設定されている。
【００３７】
また、スライドカム２１とカムスペーサー２２との間の傾斜角度は、スライドカム２１の平行移動１ｍｍに対して、カムスペーサー２２が０．１ｍｍ上下移動するように設定されている。
【００３８】
したがって、高さ調節用マイクロメーターヘッド２３の１つ分の回転量に対するブレード１４の上下移動量は、０．１ｍｍ／１０回転／１００目盛り＝０．０００１ｍｍ＝０．１μｍ、つまり、載置面に対して０．０〜０．４ｍｍの範囲で、０．１μｍずつ上下移動するように設定されている。
【００３９】
図４は、平行度調節部１８の構造を示す図１のＩＶ−ＩＶ断面図である。図４に示されるように、平行度調節部１８は、スライドベース１２の左脚部１２ａにヘッド部１３を前後方向を軸として上下方向に回動可能に連結するヒンジ２６と、ヘッド部１３の周壁１３ｂの右側面に取り付けられて下部が右方に突き出たＬ字状の板部材２７と、板部材２７の下部の直下に位置するように右脚部１２ｂに固定された台座部２８と、板部材２７の下部を通貫する平行度調節用マイクロメーターヘッド２９とによって構成されている。
【００４０】
平行度調節用マイクロメーターヘッド２９は、スピンドル部２９ａの下端が台座部２８の上面に接しており、板部材２７の下部から下方に突き出るスピンドル部２９ａの長さを、シンブル部２９ｂを回すことにより調節可能である。
【００４１】
また、スピンドル部２９ａの板部材２７の下部から突き出る長さが変わると、ヘッド部１３の右側がヒンジ２６を支点にわずかに回動してヘッド部１３の左右方向の傾斜度に変化が生じるので、ヘッド部１３に保持されているブレード１４のエッジ部１４ａの平行度も変化する。
【００４２】
なお、スライドベース１２の右脚部１２ｂにはピン孔３０が設けられており、ピン孔３０には、ヘッド部１３の右下部から下方に延びた位置決めピン３１が遊挿されている。これにより、ヘッド部１３のスライドベース１２に対する水平方向の移動が規制されるので、ヘッド部１３の水平方向の位置ずれが防止される。
【００４３】
図５は、図１の塗工装置１１のブレード１４の高さ及び平行度を測定するブレード測定器３２の正面図であり、図６は平面図であり、図７は側面図である。以下では、ブレード測定器３２について、図６におけるＦ方向を前方とし、Ｂ方向を後方とし、Ｌ方向を左方、Ｒ方向を右方としている。
【００４４】
図５乃至図７に示されるように、ブレード測定器３２は、矩形の筐体３３を有し、筐体３３の上面がスライドベース１２を載置可能な平面状の天板３４となっており、筐体３３の内部に、天板３４の上方に位置する物体の天板３４に対する高さを検出する２つの変位計３５（３５ａ、３５ｂ）と、２つ変位計３５（３５ａ、３５ｂ）が取得した距離をそれぞれ表示する２つの表示部３６（３６ａ、３６ｂ）とを有している。
【００４５】
２つの変位計３５（３５ａ、３５ｂ）は、それぞれ、伸縮する端子３７（３７ａ、３７ｂ）を有し、基準位置から物体に接触するまで伸びた端子３７（３７ａ、３７ｂ）の長さによって物体との距離及びその変位を測定する接触式のものであり、いずれも、０．１μｍの精度で検出可能に構成されている。
【００４６】
また、変位計３５ａと変位計３５ｂとは、図１の塗工装置１１のブレード１４のエッジ部１４ａの長さＸ（１００ｍｍ）よりも短い間隔（８０ｍｍ）で左右方向に離され、いずれも、端子３７ａ、３７ｂを垂直上方に向けた状態で筐体３３の内部に配置されている。
【００４７】
また、天板３４の、各変位計３５（３５ａ、３５ｂ）が位置する箇所には、それぞれ、貫通孔である突出孔３８（３８ａ、３８ｂ）が設けられて変位計３５（３５ａ、３５ｂ）の端子３７（３７ａ、３７ｂ）を天板３４よりも上方に突出可能に構成されている。
【００４８】
さらに、変位計３５（３５ａ、３５ｂ）によって検出された、突出孔３８（３８ａ、３８ｂ）の上方に位置する物体の天板３４との距離は、それぞれ、表示部３６（３６ａ、３６ｂ）に表示されるように構成されている。
【００４９】
なお、天板３４には、図１の塗工装置１１を載置させた際に突出孔３８（３８ａ、３８ｂ）の直上にブレード１４を位置させやすいように、塗工装置１１のスライドベース１２を突き当てられるブロック状のガイド部材３９が取り付けられている。
【００５０】
また、変位計３５の端子３７の基準位置は、測定前に、天板３４の上面の高さ位置と等しくなるように校正されていることが望ましい。この校正は、例えば、底面を平坦に形成した基準ブロック（図示せず）を、突出孔３８（３８ａ、３８ｂ）を塞ぐように天板３４に載置した状態で、変位計３５（３５ａ、３５ｂ）による測定を行い、その検出値を０点に設定することで実行可能である。
【００５１】
図８は、ブレード測定器３２により塗工装置１１のブレード１４のエッジ部１４ａの高さ及び平行度を測定する様子を示す正面図であり、図９は、その側面図である。
【００５２】
図８及び図９に示すように、塗工装置１１のブレード１４のエッジ部１４ａの高さ及び平行度を測定する場合、塗工装置１１を電源を入れたブレード測定器３２の天板３４の上に載置し、スライドベース１２の前部をガイド部材３９に突き当てて突出孔３８の直上にブレード１４を位置させる。
【００５３】
この状態で測定を開始すると、変位計３５（３５ａ、３５ｂ）から端子３７（３７ａ、３７ｂ）が上方に伸ばされて、突出孔３８（３８ａ、３８ｂ）から天板３４より上に突き出るので、端子３７（３７ａ、３７ｂ）が塗工装置１１のブレード１４のエッジ部１４ａに接触する
【００５４】
これにより、変位計３５（３５ａ、３５ｂ）は天板３４からエッジ部１４ａまでの高さＹを左右の位置でそれぞれ検出して、検出値を表示部３６（３６ａ、３６ｂ）に表示する。
【００５５】
このとき、エッジ部１４ａの左側の高さＹＬが表示部３６ａに、エッジ部１４ａの右側の高さＹＲが表示部３６ｂに、それぞれ表示されるので、エッジ部１４ａの高さＹ（ＹＬ、ＹＲ）が数値的に把握可能になる。また、エッジ部１４ａの左側の高さＹＬと右側の高さＹＲとの差を比較し、その差が一定の範囲内に収まっているか否かで適正な平行度が保たれているか否かを判断可能となる。
【００５６】
また、この状態で、高さ調節用マイクロメーターヘッド２３又は平行度調節用マイクロメーターヘッド２９を回しエッジ部１４ａの高さＹ（ＹＬ、ＹＲ）を変化させると、変位計３５（３５ａ、３５ｂ）の端子３７（３７ａ、３７ｂ）が変化に追従して伸縮するので、変化したエッジ部１４ａの高さＹ（ＹＬ、ＹＲ）が表示部３６（３６ａ、３６ｂ）に反映される。
【００５７】
このように、本発明の塗工装置１１によれば、塗工装置１１のヘッド部１３に保持されたブレード１４が、高さ調節部１７と平行度調節部１８とによって、ブレードを取り替えることなくエッジ部１４ａの高さと平行度とを微調整できる。
【００５８】
また、高さ調節部１７が、スライドカム２１とカムスペーサー２２と高さ調節用マイクロメーターヘッド２３とを備えていることにより、高さ調節用マイクロメーターヘッド２３の回転量に応じてスライドカム２１を平行移動させることで、マイクロメーターヘッドで直接的に高さ調節する場合よりも小さなスケールでの調節が可能になるので、ブレード１４の高さをより精密に調節することができる。
【００５９】
また、平行度調節部１８が、ヒンジ２６と台座部２８と平行度調節用マイクロメーターヘッド２９とを備えていることにより、高さ調節とは別にエッジ部１４ａの平行度を調節できるので、塗工膜厚の厚みと均一さとを微少な単位で調節可能になる。
【００６０】
しかも、ブレード１４に対し、高さ調節部１７が０．１μｍ単位でエッジ部１４ａの高さを調節でき、平行度調節部１８が１μｍ単位でエッジ部１４ａの平行度を調節できるので、塗工膜厚の厚みと均一さとを微少な単位で調節可能になる。
【００６１】
また、本発明のブレード測定器３２を用いることで、塗工装置１１を天板３４に載置した状態でブレード１４のエッジ部１４ａの左右の高さを２つの変位計３５（３５ａ、３５ｂ）によって検出でき、検出した値を表示部３６（３６ａ、３６ｂ）で目視により確認できるので、エッジ部１４ａの高さ及び平行度の調節を精密に行うことができる。
【００６２】
また、天板３４にガイド部材３９が設けられていることにより、確実に変位計３５の直上にブレード１４を位置させることができるので、測定の準備が容易になるとともに、位置ずれによる測定の誤りを防止できる。
【００６３】
なお、本発明は、以上の形態例に限定されることなく、発明の範囲内において種々の変更が可能である。例えば、本形態例では、ブレード測定器には、ブレードの高さ及び平行度を検出するセンサとして接触式の変位計を２つ用いているが、ブレードの高さ及び平行度を検出できればよく、ダイヤルゲージや、デジタルマイクロメータ、デプス計等のセンサを用いてもよいし、２つ以上のセンサを用いてもよい。また、必ずしも接触式である必要はなく、レーザー式やエアー式、光学式、渦電流式といった非接触式の変位計を用いてもよい。
【００６４】
また、本形態例の塗工装置では、ブレードの左右の長さＸが１００ｍｍに、エッジ部とスライドベースの載置面との間の高さＹが最大で０．４ｍｍに、それぞれ設定されているが、長さＸ及び高さＹの最大値はこれらに限定されず、いずれも、用途に応じて異なる設定値に変更してもよい。
【符号の説明】
【００６５】
１１…塗工装置、１２…スライドベース、１２ａ…左脚部、１２ｂ…右脚部、１３…ヘッド部、１３ａ…上板、１３ｂ…周壁、１３ｃ…ザグリ穴、１３ｄ…ザグリ穴、１４…ブレード、１４ａ…エッジ部、１５（１５ａ、１５ｂ）…ベース接続ピン、１６（１６ａ、１６ｂ）…ベース引き上げバネ、１７…高さ調節部、１８…平行度調節部、１９…前部レバー、２０…後部レバー、２１…スライドカム、２１ａ…貫通孔、２１ｂ…凹部、２２…カムスペーサー、２３…高さ調節用マイクロメーターヘッド、２３ａ…スピンドル部、２３ｂ…シンブル部、２４…スライドカム拘束バネ、２５…ヘッド接続ピン、２５ａ…カム引き上げバネ、２６…ヒンジ、２７…板部材、２７ａ…ネジ穴、２８…台座部、２９…平行度調節用マイクロメーターヘッド、２９ａ…スピンドル部、２９ｂ…シンブル部、３０…ピン孔、３１…位置決めピン、３２…ブレード測定器、３３…筐体、３４…天板、３５（３５ａ、３５ｂ）…変位計、３６…表示部、３７（３７ａ、３７ｂ）…端子、３８（３８ａ、３８ｂ）…突出孔、３９…ガイド部材
Ｓ…スペース
【要約】
【課題】塗工膜厚を微少な単位で手間なく精密に調節でき、かつ、塗工膜厚の均一性を保つことができる塗工装置を提供する。
【解決手段】塗工装置１１は、平面上をスライド可能なスライドベース１２と、スライドベース１２の上部に取り付けられたヘッド部１３と、ヘッド部１３内に設けられたスライドカム２１及びカムスペーサー２２を介してヘッド部１３の下方に保持され、スライドベース１２の左脚部１２ａと右脚部１２ｂとの間に位置する板状のブレード１４とを備え、ブレード１４は、下端が下向きに尖ったエッジ部１４ａをなしてスライドベース１２の載置面との間に一定の高さの隙間をなし、スライドベース１２の載置面に対するブレード１４のエッジ部１４ａの高さを調節可能な高さ調節部１７と、スライドベース１２の載置面に対するブレード１４のエッジ部１４ａの平行度を調節可能な平行度調節部１８が設けられている。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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