(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記式（１）で表される構造単位、下記式（２）で表される構造単位及び下記式（３）で表される構造単位を有する自己架橋性共重合体、トリアジン系紫外線吸収剤、及び有機溶剤を含み、前記トリアジン系紫外線吸収剤は、前記自己架橋性共重合体の含有量に対し３質量％乃至２０質量％の割合で含有される、熱硬化性樹脂組成物であって、
前記式（１）で表される構造単位を形成する化合物は、１−ビニルナフタレン、２−ビニルナフタレン、６−メチル−２−ビニルナフタレン、５，８−ジメチル−２−ビニルナフタレン、６−メトキシ−２−ビニルナフタレン、５，８−ジメトキシ−２−ビニルナフタレン、６−ヒドロキシ−２−ビニルナフタレン、５，８−ジヒドロキシ−２−ビニルナフタレン、６−ブロモ−２−ビニルナフタレン、５，８−ジブロモ−２−ビニルナフタレン、１−ビニルアントラセン、２−ビニルアントラセン、９−ビニルアントラセン、及びＮ−ビニルカルバゾールからなる群より選ばれ、
前記式（２）で表される構造単位を形成する化合物は、グリシジル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートグリシジルエーテル、３，４−エポキシシクロペンチルメチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、５，６−エポキシ−２−ビシクロ［２．２．１］ヘプチルメチル（メタ）アクリレート、及び３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２，６］デカン−８−イル（メタ）アクリレートからなる群より選ばれる、熱硬化性樹脂組成物。
【化１】
0006936449.tif 000016
［式（１）乃至式（３）中、Ａｒは縮合環式炭化水素基を表し、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｒ３は単結合又はアルキレン基を表し、Ａ１はオキシラン環を有する基を表し、Ｒ４はアルキル基を表し、Ａ２はアルコキシ基を表す。］
【請求項２】
前記縮合環式炭化水素基はナフチル基である、請求項１に記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項３】
前記オキシラン環を有する基はエポキシ基である、請求項１又は請求項２に記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項４】
前記自己架橋性共重合体は、前記式（１）で表される構造単位を少なくとも７０モル％含む、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項５】
前記自己架橋性共重合体は、６，０００乃至２５，０００の重量平均分子量を有する、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項６】
前記トリアジン系紫外線吸収剤は、トリアジン環、及び該トリアジン環の炭素原子と結合した、置換基を有してもよいフェニル基を３つ含む化合物であり、該３つのフェニル基のうち少なくとも１つは下記式（４）で表される基である、請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
【化２】
0006936449.tif 000017
（式中、＊は前記トリアジン環の炭素原子との結合手を表し、Ａ３及びＡ４はそれぞれ独立に水素原子又は有機基を表す。）
【請求項７】
界面活性剤を更に含む、請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項８】
平坦化膜用である請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
【請求項９】
マイクロレンズ用である請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の熱硬化性樹脂組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自己架橋性共重合体、トリアジン環を１分子中に少なくとも１つ有する紫外線吸収剤、及び有機溶剤を含む、高屈折率平坦化膜の作製及び高屈折率マイクロレンズの作製に使用可能な、熱硬化性樹脂組成物に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、発光ダイオード、太陽電池、ＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージセンサ等の電子デバイスの分野において、保護膜、平坦化膜、絶縁膜、反射防止膜、屈折率制御膜、マイクロレンズ、層内レンズ、光導波路、フィルム基材等の光学部材向けに、可視光域の透明性に優れた高分子材料を採用した樹脂組成物が多用されている。このような光学部材は、透明性だけでなく、優れた耐熱性及び耐光性も要求される。さらに、該光学部材は、光取り出し効率の向上及び集光性の向上のために、高い屈折率も要求される場合が多い。【０００３】
一般に、高分子材料を高屈折率化する手法としては、該高分子材料の分子中に、例えば、芳香環、フッ素原子以外のハロゲン原子、硫黄原子、金属原子、又は水素結合を導入することが用いられている。芳香環の導入に関しては、フェニル基等の単環式炭化水素基よりも、ナフタレン環、アントラセン環等の縮合環式炭化水素基の導入が、高分子材料の高屈折率化には有効手段となる（特許文献１及び特許文献２）。【０００４】
また、ＣＣＤ／ＣＭＯＳイメージセンサ用マイクロレンズの製造方法の１つとして、エッチバック法が知られている（特許文献３及び特許文献４）。すなわち、カラーフィルター層上に形成したマイクロレンズ用樹脂層上にレジストパターンを形成し、熱処理によってこのレジストパターンをリフローしてレンズパターンを形成する。このレジストパターンをリフローして形成したレンズパターンをエッチングマスクとして、下層のマイクロレンズ用樹脂層をエッチバックし、レンズパターン形状をマイクロレンズ用樹脂層に転写することによってマイクロレンズを作製する。エッチバック法では、レンズパターン形状を忠実に下層のマイクロレンズ用樹脂層へ転写するにあたり、レジストパターンのドライエッチングレートＸとマイクロレンズ用樹脂層のドライエッチングレートＹが同等（Ｘ：Ｙ＝１：０．８乃至１．２）であることが求められる（特許文献５）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−５３５１７号公報
【特許文献２】国際公開第２００８／１４３０９５号
【特許文献３】特開平１−１０６６６号公報
【特許文献４】特開平６−１１２４５９号公報
【特許文献５】国際公開第２０１３／００５６１９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
高分子材料の分子中に縮合環式炭化水素基を導入すると、該高分子材料は、吸光波長が長波長化するために、紫外線等の光で劣化しやすくなる。したがって、縮合環式炭化水素基が導入された高分子材料を採用した樹脂組成物を用いて作製された光学部材は、変色等の品質劣化を引き起こしやすくなるため、高屈折率と高耐光性を両立するのが困難となる課題があった。【０００７】
本発明は、前記の事情に基づいてなされたものであり、その目的は、高い屈折率を有すると共に、優れた透明性、耐熱性、耐光性、耐溶剤性、平坦性及びレジストと同等のドライエッチングレートを有する硬化膜を形成できる、熱硬化性の樹脂組成物を提供することである。また、本発明の他の目的は、高い屈折率を有すると共に、優れた透明性、耐熱性、耐光性及び耐溶剤性を有する平坦化膜及びマイクロレンズを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、前記の課題を解決するべく鋭意検討を行った結果、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、下記式（１）で表される構造単位、下記式（２）で表される構造単位及び下記式（３）で表される構造単位を有する自己架橋性共重合体、トリアジン系紫外線吸収剤、及び有機溶剤を含み、前記トリアジン系紫外線吸収剤は、前記自己架橋性共重合体の含有量に対し３質量％乃至２０質量％の割合で含有される、熱硬化性樹脂組成物である。
【化１】
0006936449.tif 000002
［式（１）乃至式（３）中、Ａｒは縮合環式炭化水素基を表し、Ｒ１及びＲ２はそれぞれ独立に水素原子又はメチル基を表し、Ｒ３は単結合又はアルキレン基を表し、Ａ１はオキシラン環を有する基を表し、Ｒ４はアルキル基を表し、Ａ２はアルコキシ基を表す。］【０００９】
前記縮合環式炭化水素基は例えばナフチル基であり、前記オキシラン環を有する基は例えばエポキシ基である。【００１０】
前記自己架橋性共重合体は、例えば、前記式（１）で表される構造単位を少なくとも７０モル％含む。前記自己架橋性共重合体は、例えば６，０００乃至２５，０００の重量平均分子量を有する。【００１１】
前記トリアジン系紫外線吸収剤は、トリアジン環、及び該トリアジン環の炭素原子と結合した、置換基を有してもよいフェニル基を３つ含む化合物であり、該３つのフェニル基のうち少なくとも１つは下記式（４）で表される基である。
【化２】
0006936449.tif 000003
（式中、＊は前記トリアジン環の炭素原子との結合手を表し、Ａ３及びＡ４はそれぞれ独立に水素原子又は有機基を表す。）【００１２】
本発明の熱硬化性樹脂組成物は界面活性剤を更に含有してもよい。【００１３】
本発明の熱硬化性樹脂組成物は、例えば、平坦化膜用樹脂組成物又はマイクロレンズ用樹脂組成物である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の熱硬化性樹脂組成物は、当該組成物に含まれる共重合体が自己架橋タイプであるため必ずしも架橋剤が添加される必要はなく、熱硬化性を有する。また本発明の熱硬化性樹脂組成物は、前記共重合体の式（３）で表される構造単位においてカルボキシル基がブロック化（保護）されているため、保存安定性に優れる。さらに、本発明の熱硬化性樹脂組成物から形成される硬化膜は、高い屈折率（１．６５以上）、優れた透明性、耐熱性、耐溶剤性、平坦性及びレジストパターンと同等のエッチングレートを有する。したがって、本発明の熱硬化性樹脂組成物は、マイクロレンズ及び平坦化膜を形成する材料として好適である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、段差基板上に本発明の樹脂組成物を塗布し、ベークして形成される硬化膜を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の熱硬化性樹脂組成物の各成分について、詳細に説明する。本発明の熱硬化性樹脂組成物において、該組成物から溶剤を除いた全成分として定義される固形分の含有量は通常、１質量％乃至５０質量％である。なお本明細書において、液状成分であっても便宜的に“固形分”として扱うものとする。
【００１７】
＜自己架橋性共重合体＞ 
本発明の熱硬化性樹脂組成物に含まれる自己架橋性共重合体は、前述の式（１）、式（２）及び式（３）で表される構造単位を有する共重合体である。
【００１８】
前記式（１）で表される構造単位を形成する化合物（モノマー）の具体例としては、１−ビニルナフタレン、２−ビニルナフタレン、６−メチル−２−ビニルナフタレン、５，８−ジメチル−２−ビニルナフタレン、６−メトキシ−２−ビニルナフタレン、５，８−ジメトキシ−２−ビニルナフタレン、６−ヒドロキシ−２−ビニルナフタレン、５，８−ジヒドロキシ−２−ビニルナフタレン、６−ブロモ−２−ビニルナフタレン、５，８−ジブロモ−２−ビニルナフタレン、１−ビニルアントラセン、２−ビニルアントラセン、９−ビニルアントラセン、Ｎ−ビニルカルバゾールが挙げられる。これらの化合物は１種単独で使用しても、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
【００１９】
前記式（２）で表される構造単位を形成する化合物（モノマー）の具体例としては、グリシジル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートグリシジルエーテル、３，４−エポキシシクロペンチルメチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、５，６−エポキシ−２−ビシクロ［２．２．１］ヘプチルメチル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシトリシクロ［５．２．１．０２，６］デカン−８−イル（メタ）アクリレートが挙げられる。これらのモノマーは１種単独で使用しても、２種以上を組み合わせて使用してもよい。なお本明細書において（メタ）アクリレートや（メタ）アクリル酸といった記載は、メタクリレートとアクリレート、メタクリル酸とアクリル酸の双方を表す。
【００２０】
前記式（３）で表される構造単位を形成する化合物（モノマー）は、アクリル酸もしくはメタクリル酸とアルケニルエーテル化合物とを反応させ、保護されたカルボキシル基を有するアクリレートもしくはメタクリレートとして得られる。前記方法に替えて、アクリル酸もしくはメタクリル酸を（共）重合させた構造単位に対してアルケニルエーテル化合物を反応させる方法によって、前記式（３）で表される構造単位を形成することもできる。
【００２１】
前記アルケニルエーテル化合物は下記式（５）で表される。
【化３】
0006936449.tif 000004
（式中、Ｒ５は水素原子又は炭素原子数１乃至１０のアルキル基を表し、Ｒ６は炭素原子数１乃至１０のアルキル基又は炭素原子数６乃至１０の環状炭化水素基を表す。）
【００２２】
カルボキシル基を有する化合物とアルケニルエーテル化合物の反応は、例えば、特許第３０４２０３３号公報に記載されているように、リン酸エステル類の１つであるリン酸モノオクチルを触媒とし、７０℃で撹拌することにより行なうことができる。
【００２３】
前記式（５）で表されるアルケニルエーテル化合物としては、例えば、メチルビニルエーテル、エチルビニルエーテル、ｎ−プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、ｎ−ブチルビニルエーテル、ｔｅｒｔ−ブチルビニルエーテル、ｎ−ヘキシルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエーテル、２−エチルヘキシルビニルエーテルが挙げられる。
【００２４】
前記式（３）で表される構造単位は、例えば下記式（３−１）で表される。
【化４】
0006936449.tif 000005
（式中、Ｒ２は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ６は炭素原子数１乃至１０のアルキル基又は炭素原子数６乃至１０の環状炭化水素基を表す。） 
【００２５】
前記式（３）で表される構造単位を形成する化合物（モノマー）の具体例としては、１−メトキシエチル（メタ）アクリレート、１−エトキシエチル（メタ）アクリレート、１−プロポキシエチル（メタ）アクリレート、１−イソプロポキシエチル（メタ）アクリレート、１−ｎ−ブトキシエチル（メタ）アクリレート、１−ｔｅｒｔ−ブトキシエチル（メタ）アクリレート、１−ｎ−ヘキシルオキシエチル（メタ）アクリレート、１−シクロヘキシルオキシエチル（メタ）アクリレートが挙げられる。なお、これらのモノマーは１種単独で使用しても、２種以上を組み合わせて使用してもよい。   
【００２６】
前記式（１）、式（２）及び式（３）で表される構造単位を有する自己架橋性共重合体において、前記式（１）で表される構造単位、前記式（２）で表される構造単位及び前記式（３）で表される構造単位の和１００ｍｏｌ％に対し、前記式（１）で表される構造単位の含有率は６０ｍｏｌ％乃至９５ｍｏｌ％であり、好ましくは７０ｍｏｌ％乃至９０ｍｏｌ％、前記式（２）で表される構造単位の含有率は２ｍｏｌ％乃至２０ｍｏｌ％であり、好ましくは５ｍｏｌ％乃至１５ｍｏｌ％、前記式（３）で表される構造単位の含有率は２ｍｏｌ％乃至３０ｍｏｌ％であり、好ましくは５ｍｏｌ％乃至１５ｍｏｌ％である。
【００２７】
前記自己架橋性共重合体の重量平均分子量は通常、１，０００乃至１００，０００であり、好ましくは６，０００乃至２５，０００、さらに好ましくは６，０００乃至２０，０００である。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により、標準試料としてポリスチレンを用いて得られる値である。
【００２８】
また、本発明の熱硬化性樹脂組成物における前記自己架橋性共重合体の含有量は、当該熱硬化性樹脂組成物の固形分の含有量に基づいて通常、５０質量％乃至９９質量％であり、好ましくは７０質量％乃至９５質量％である。 
【００２９】
本発明において、前記自己架橋性共重合体を得る方法は特に限定されないが、一般的には、前記式（１）、式（２）及び式（３）で表される構造単位を形成する化合物（モノマー）、並びに所望により前記化合物以外の化合物（以下、本明細書では化合物Ｘと略称する。）を、重合開始剤存在下の溶剤中において、通常５０℃乃至１２０℃の温度下で重合反応させることにより得られる。このようにして得られる共重合体は、通常、溶剤に溶解した溶液状態であり、この状態で単離することなく、本発明の熱硬化性樹脂組成物に用いることもできる。
【００３０】
また、前記のようにして得られた自己架橋性共重合体の溶液を、撹拌させたジエチルエーテル、トルエン、メタノール、エタノール、イソプロパノール、アセトニトリル又は水等の貧溶媒に投入して当該共重合体を再沈殿させ、生成した沈殿物をデカンテーション又はろ過し、必要に応じて洗浄後、常圧又は減圧下で常温乾燥又は加熱乾燥することで、当該共重合体をオイル状物又は粉体とすることができる。このような操作により、前記共重合体と共存する重合開始剤や未反応化合物を除去することができる。本発明においては、前記共重合体のオイル状物又は粉体をそのまま用いてもよく、あるいはオイル状物又は粉体を、例えば後述する溶剤に再溶解して溶液の状態として用いてもよい。 
【００３１】
前記化合物Ｘの具体例としては、スチレン、４−ビニルビフェニル、２−ビニルフルオレン、アセナフチレン、（メタ）アクリル酸、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、γ−ブチロラクトン（メタ）アクリレート、インデン、マレイミド、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−ベンジルマレイミド、Ｎ−（４−ヒドロキシフェニル）マレイミド、２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、３−ヒドロキシプロピルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、５−ヒドロキシペンチルビニルエーテル、６−ヒドロキシヘキシルビニルエーテル、４−ヒドロキシシクロヘキシルビニルエーテル、１，４−シクロヘキサンジメタノールモノビニルエーテル、ジエチレングリコールモノビニルエーテル及びジプロピレングリコールモノビニルエーテルが挙げられる。
【００３２】
＜トリアジン系紫外線吸収剤＞ 
本発明の熱硬化性樹脂組成物に含まれるトリアジン系紫外線吸収剤は、例えば、下記式（Ｔ−１）乃至式（Ｔ−１５）で表される化合物が挙げられる。
【化５】
0006936449.tif 000006
【００３３】
前記トリアジン系紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、Ｔｉｎｕｖｉｎ〔登録商標〕４００、同４０５、同４６０、同４７７、同４７９、同１５７７ＥＤ、同１６００（以上、ＢＡＳＦジャパン（株）製）、アデカスタブ〔登録商標〕ＬＡ−４６、同ＬＡ−Ｆ７０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）、ＫＥＭＩＳＯＲＢ〔登録商標〕１０２（ケミプロ化成（株）製）を挙げることができる。これらのトリアジン系紫外線吸収剤は、１種単独で使用しても、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
【００３４】
本発明の熱硬化性樹脂組成物に含まれるトリアジン系紫外線吸収剤の含有量は、前記自己架橋性共重合体の含有量に対し、好ましくは３質量％乃至２０質量％、より好ましくは５質量％乃至２０質量％である。
【００３５】
本発明の熱硬化性樹脂組成物の調製方法は、特に限定されないが、例えば、前記式（１）、式（２）及び式（３）で表される構造単位を有する自己架橋性共重合体を後述する有機溶剤に溶解し、得られた溶液に前記トリアジン系紫外線吸収剤を所定の割合で混合し、均一な溶液とする方法が挙げられる。さらに、この調製方法の適当な段階において、必要に応じて、その他の添加剤を更に添加して混合する方法が挙げられる。
【００３６】
＜有機溶剤＞ 
本発明の熱硬化性樹脂組成物に含まれる有機溶剤としては、該熱硬化性樹脂組成物に含まれる自己架橋性共重合体及びトリアジン系紫外線吸収剤を溶解するものであれば、特に限定されない。そのような有機溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、ピルビン酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、２−ヘプタノン、γ−ブチロラクトン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、及びＮ−エチル−２−ピロリドンを挙げることができる。これらの有機溶剤は、１種単独で使用しても、２種以上を組み合わせて使用してもよい。
【００３７】
前記有機溶剤の中でも、本発明の熱硬化性樹脂組成物を基板上に塗布して形成される塗膜のレベリング性の向上の観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、２−ヘプタノン、乳酸エチル、乳酸ブチル、ピルビン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン及びγ−ブチロラクトンが好ましい。
【００３８】
＜界面活性剤＞
また、本発明の熱硬化性樹脂組成物は、塗布性を向上させる目的で、界面活性剤を含有することもできる。該界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレンブロックコポリマー類、ソルビタンモノラウレート、ソルビタンモノパルミテート、ソルビタンモノステアレート、ソルビタンモノオレエート、ソルビタントリオレエート、ソルビタントリステアレート等のソルビタン脂肪酸エステル類、ポリオキシエチレンソルビタンモノラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンモノパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリオキシエチレンソルビタントリオレエート、ポリオキシエチレンソルビタントリステアレート等のポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル類等のノニオン系界面活性剤、エフトップ〔登録商標〕ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５２（以上、三菱マテリアル電子化成（株）製）、メガファック〔登録商標〕Ｆ１７１、同Ｆ１７３、同Ｒ−３０、同Ｒ−４０、同Ｒ−４０−ＬＭ（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（以上、住友スリーエム（株）製）、アサヒガード〔登録商標〕ＡＧ７１０、サーフロン〔登録商標〕Ｓ−３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０２、同ＳＣ１０３、同ＳＣ１０４、同ＳＣ１０５、同ＳＣ１０６（ＡＧＣ（株）製）、ＤＦＸ−１８、ＦＴＸ−２０６Ｄ、ＦＴＸ−２１２Ｄ、ＦＴＸ−２１８、ＦＴＸ−２２０Ｄ、ＦＴＸ−２３０Ｄ、ＦＴＸ−２４０Ｄ、ＦＴＸ−２１２Ｐ、ＦＴＸ−２２０Ｐ、ＦＴＸ−２２８Ｐ、ＦＴＸ−２４０Ｇ等フタージェントシリーズ（（株）ネオス製）等のフッ素系界面活性剤、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）を挙げることができる。これらの界面活性剤は、１種単独で又は２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００３９】
また、前記界面活性剤が使用される場合、本発明の熱硬化性樹脂組成物における含有量は、該樹脂組成物の固形分の含有量に基づいて、通常０．０００１質量％乃至３質量％であり、好ましくは０．００１質量％乃至１質量％であり、より好ましくは０．０１質量％乃至０．５質量％である。
【００４０】
また、本発明の熱硬化性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない限りにおいて、必要に応じて、硬化剤、硬化助剤、増感剤、可塑剤、酸化防止剤、光安定剤（ＨＡＬＳ）、密着助剤等の添加剤を含むことができる。 
【００４１】
以下、本発明の熱硬化性樹脂組成物の使用について説明する。
＜硬化膜の作製方法＞
本発明の熱硬化性樹脂組成物を用いた硬化膜の作製方法について説明する。基材（例えば、ＰＥＴフィルム、ＴＡＣフィルム、半導体基板、ガラス基板、石英基板、シリコンウエハー及びこれらの表面に各種金属膜又はカラーフィルター等が形成された基板）上に、スピナー、コーター等の適当な塗布方法により本発明の熱硬化性樹脂組成物を塗布後、ホットプレート、オーブン等の加熱手段を用いてベークして硬化膜を作製する。ベーク条件は、ベーク温度５０℃乃至３００℃、ベーク時間０．１分間乃至３６０分間の中から適宜選択される。前記硬化膜を作製する際のベークは２ステップ以上処理してもよい。また、本発明の熱硬化性樹脂組成物から形成される硬化膜の膜厚としては、例えば０．００１μｍ乃至１０００μｍであり、好ましくは０．０１μｍ乃至１００μｍであり、より好ましくは０．１μｍ乃至１０μｍである。
【００４２】
＜マイクロレンズの作製方法＞
本発明の熱硬化性樹脂組成物を用いたマイクロレンズの作製方法について説明する。前記硬化膜の作製方法を経て作製された硬化膜の上にレジストを塗布し、該レジストを所定のマスクを通して露光し、必要に応じて露光後加熱（ＰＥＢ）を行い、さらにアルカリ現像、リンス、及び乾燥することにより、該硬化膜上に所定のレジストパターンを形成する。露光には、例えば、ｇ線、ｉ線、ＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザーを使用することができる。次いで、加熱処理することにより、前記レジストパターンをリフローしてレンズパターンを形成する。このレンズパターンをエッチングマスクとして、該レンズパターンの下層の前記硬化膜をエッチバックして、該レンズパターンの形状を前記硬化膜に転写することによってマイクロレンズを作製する。
【実施例】
【００４３】
以下に実施例及び比較例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものでない。
〔下記合成例で得られた共重合体の重量平均分子量の測定〕
装置：日本分光（株）製ＧＰＣシステム
カラム：Ｓｈｏｄｅｘ〔登録商標〕ＧＰＣ  ＫＦ−８０４Ｌ及びＧＰＣ  ＫＦ−８０３Ｌ
カラムオーブン：４０℃
流量：１ｍＬ／分
溶離液：テトラヒドロフラン【００４４】
［自己架橋性共重合体の合成］
＜合成例１＞
２−ビニルナフタレン１５．０ｇ、１−ｎ−ブトキシエチルメタクリレート３．９ｇ、グリシジルメタクリレート３．０ｇ、及び２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１．５ｇをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２３．３ｇに溶解させた。得られた溶液を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３１．１ｇを７０℃に保持したフラスコ中に、４時間かけて滴下した。滴下終了後、１８時間反応させて、共重合体の溶液（固形分濃度３０質量％）を得た。得られた共重合体の重量平均分子量Ｍｗは６，０００（ポリスチレン換算）であった。【００４５】
＜合成例２＞
２−ビニルナフタレン１８．０ｇ、１−ｎ−ブトキシエチルメタクリレート２．７ｇ、グリシジルメタクリレート２．１ｇ、及び２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．７ｇをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２３．５ｇに溶解させた。得られた溶液を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３１．４ｇを７０℃に保持したフラスコ中に４時間かけて滴下した。滴下終了後、１８時間反応させて、共重合体の溶液（固形分濃度３０質量％）を得た。得られた共重合体の重量平均分子量Ｍｗは１６，０００（ポリスチレン換算）であった。【００４６】
＜合成例３＞
２−ビニルナフタレン２０．０ｇ、１−ｎ−ブトキシエチルメタクリレート１．４ｇ、グリシジルメタクリレート１．１ｇ、及び２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．５ｇをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２３．５ｇに溶解させた後、得られた溶液を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３１．４ｇを７０℃に保持したフラスコ中に４時間かけて滴下した。滴下終了後、１８時間反応させて、共重合体の溶液（固形分濃度３０質量％）を得た。得られた共重合体の重量平均分子量Ｍｗは２０，０００（ポリスチレン換算）であった。【００４７】
［熱硬化性樹脂組成物の調製］
＜実施例１＞
合成例１で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式（Ｔ−９）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて、溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。【００４８】
＜実施例２＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式（Ｔ−９）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて、溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。【００４９】
＜実施例３＞
合成例３で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式（Ｔ−９）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。【００５０】
＜実施例４＞
合成例１で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式（Ｔ−９）で表される化合物０．１８ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．０ｇ及びシクロヘキサノン１４．０ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。【００５１】
＜実施例５＞
合成例１で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式（Ｔ−９）で表される化合物０．６ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．３ｇ及びシクロヘキサノン１２．９ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。【００５２】
＜実施例６＞
合成例１で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式（Ｔ−９）で表される化合物１．２ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３．３ｇ及びシクロヘキサノン１１．５ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。【００５３】
＜実施例７＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式（Ｔ−７）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。【００５４】
＜実施例８＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式（Ｔ−６）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。【００５５】
＜実施例９＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式（Ｔ−１１）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。【００５６】
＜実施例１０＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式（Ｔ−１３）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。【００５７】
＜実施例１１＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式（Ｔ−５）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。【００５８】
＜実施例１２＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、トリアジン系紫外線吸収剤である前記式（Ｔ−４）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。【００５９】
＜比較例１＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．４ｇ及びシクロヘキサノン１３．６ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。本比較例で調製した熱硬化性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含まない。【００６０】
＜比較例２＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤である下記式（ＢＴ−１）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
【化６】
0006936449.tif 000007
【００６１】
＜比較例３＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤である下記式（ＢＴ−２）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
【化７】
0006936449.tif 000008
【００６２】
＜比較例４＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤である下記式（ＢＴ−３）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
【化８】
0006936449.tif 000009
【００６３】
＜比較例５＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤である下記式（ＢＴ−４）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
【化９】
0006936449.tif 000010
【００６４】
＜比較例６＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤である下記式（ＢＰ−１）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
【化１０】
0006936449.tif 000011
【００６５】
＜比較例７＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤である下記式（ＢＰ−２）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
【化１１】
0006936449.tif 000012
【００６６】
＜比較例８＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤である下記式（ＢＰ−３）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
【化１２】
0006936449.tif 000013
【００６７】
＜比較例９＞
合成例２で得られた共重合体の溶液２０．０ｇ、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤である下記式（ＢＰ−４）で表される化合物０．３ｇ及び界面活性剤としてメガファック〔登録商標〕Ｒ−４０（ＤＩＣ（株）製）０．００３ｇを、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．４ｇ及びシクロヘキサノン１４．３ｇに溶解させて溶液を得た。その後、得られた溶液を、孔径０．１０μｍのポリエチレン製ミクロフィルターを用いてろ過して熱硬化性樹脂組成物を調製した。
【化１３】
0006936449.tif 000014
【００６８】
［耐溶剤性試験］
実施例１乃至実施例１２及び比較例１乃至比較例９で調製した熱硬化性樹脂組成物を、それぞれ、シリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において１００℃で１分間、さらに２２０℃で５分間ベークし、膜厚１μｍの硬化膜を形成した。これらの硬化膜に対して、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸エチル、シクロヘキサノン、２−プロパノール及び２．３８質量％濃度の水酸化テトラメチルアンモニウム（以下、ＴＭＡＨと略称する。）水溶液に、それぞれ２３℃の温度条件下、５分間浸漬した後、１００℃で１分間ベークし乾燥させた。浸漬前及び乾燥後それぞれの前記硬化膜の膜厚を測定し、膜厚変化を算出した。前記浸漬に使用した溶剤のうち１つでも、浸漬前の膜厚に対して乾燥後の膜厚が５％以上増減した場合は“×”、前記浸漬に使用した溶剤全てについて、浸漬前の膜厚に対して乾燥後の膜厚の増減が５％未満であった場合は“○”として耐溶剤性を評価した。評価結果を表１に示す。【００６９】
［屈折率測定］
実施例１乃至実施例１２及び比較例１乃至比較例９で調製した熱硬化性樹脂組成物を、それぞれ、シリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において１００℃で１分間、さらに２２０℃で５分間ベークし、膜厚１μｍの硬化膜を形成した。これらの硬化膜に対して、分光エリプソメーターＭ−２０００（ジェー・エー・ウーラム・ジャパン（株））を用いて波長５５０ｎｍの屈折率を測定した。評価結果を表１に示す。【００７０】
［耐熱性試験］
実施例１乃至実施例１２及び比較例１乃至比較例９で調製した熱硬化性樹脂組成物を、それぞれ、石英基板上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において１００℃で１分間、さらに２２０℃で５分間ベークし、膜厚１μｍの硬化膜を形成した。これらの硬化膜に対して、紫外線可視分光光度計ＵＶ−２６００（（株）島津製作所製）を用いて、波長４００ｎｍ乃至８００ｎｍの範囲で透過率を測定した。さらに、これらの硬化膜を２６０℃で５分間ベークした後、再び波長４００ｎｍ乃至８００ｎｍの範囲で透過率を測定した。２２０℃で５分間ベーク後及び２６０℃で５分間ベーク後のそれぞれにおいて、波長４００ｎｍ乃至８００ｎｍの範囲で測定された最低透過率が、９０％以上であった場合を“〇”、９０％未満であった場合を“×”として耐熱性を評価した。評価結果を表１に示す。【００７１】
［耐光性試験］
実施例１乃至実施例１２及び比較例１乃至比較例９で調製した熱硬化性樹脂組成物を、それぞれ、石英基板上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において１００℃で１分間、さらに２２０℃で５分間ベークし、膜厚１μｍの硬化膜を形成した。これらの硬化膜に対して、紫外線可視分光光度計ＵＶ−２６００（（株）島津製作所製）を用いて、波長４００ｎｍ乃至８００ｎｍの範囲で透過率を測定した。さらに、これらの硬化膜に対して下記条件で耐光性試験を行った後、再び波長４００ｎｍ乃至８００ｎｍの範囲で透過率を測定した。耐光性試験前及び耐光性試験後のそれぞれにおいて、波長４００ｎｍ乃至８００ｎｍの範囲で測定された最低透過率が９０％以上であった場合を“〇”、９０％未満であった場合を“×”として耐光性を評価した。評価結果を表１に示す。【００７２】
〔耐光性試験条件〕
装置：キセノン促進耐候性試験機Ｑ−Ｓｕｎ  Ｘｅ−１−Ｂ（Ｑ−Ｌａｂ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ製）
光源：キセノンアークランプ
光学フィルター：Ｗｉｎｄｏｗ−Ｂ／ＳＬ
照度：６０Ｗ／ｍ２（波長３００ｎｍ乃至４００ｎｍ）
ブラックパネル温度：６３℃
試験時間：２０時間【００７３】
［段差平坦化性］
実施例１乃至実施例１２で調製した熱硬化性樹脂組成物をそれぞれ、高さ０．３μｍ、ライン幅１０μｍ、ライン間スペース１０μｍの段差基板（図１参照）上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において１００℃で１分間、さらに２２０℃で５分間ベークし、膜厚１μｍの膜を形成した。図１の段差基板１に示すｈ１（段差基板の段差）とｈ２（硬化膜の段差、即ちライン上の硬化膜の高さとスペース上の硬化膜の高さとの高低差）の値から、“式：（１−（ｈ２／ｈ１））×１００”を用いて平坦化率を求めた。平坦化率が８０％以上であった場合を“〇”、５０％以上８０％未満であった場合を“△”、５０％未満であった場合を“×”として段差平坦化性を評価した。評価結果を表１に示す。【００７４】
［ドライエッチングレートの測定］
実施例１乃至実施例１２で調製した熱硬化性樹脂組成物をそれぞれ、シリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において１００℃で１分間、さらに２２０℃で５分間ベークし、膜厚１μｍの硬化膜を形成した。これらの硬化膜に対して、ドライエッチング装置ＲＩＥ−１０ＮＲ（サムコ（株）製）（エッチングガス：ＣＦ４）を用いてドライエッチングし、ドライエッチングレートを測定した。同様に、レジスト溶液（ＴＨＭＲ−ｉＰ１８００（東京応化工業（株）製）を、シリコンウエハー上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレート上において９０℃で１．５分間、１１０℃で１．５分間、さらに１８０℃で１分間ベークし、膜厚１μｍのレジスト膜を形成し、ドライエッチングレートを測定した。そして、前記レジスト膜に対する、実施例１乃至実施例１２で調製した熱硬化性樹脂組成物から得られた硬化膜の、ドライエッチングレート比を求めた。評価結果を表１に示す。【００７５】
【表１】
0006936449.tif 000015
【００７６】
表１の結果から、本発明の熱硬化性樹脂組成物から形成された硬化膜は、高耐溶剤性、高屈折率、高透明性であると共に、２６０℃で加熱した後及び耐光性試験後いずれも、波長４００ｎｍ乃至８００ｎｍの範囲における最低透過率が９０％以上であり、高耐熱性及び高耐光性を有するものであった。さらに、本発明の熱硬化性樹脂組成物から形成された硬化膜は、いずれも平坦化率８０％以上の優れた段差平坦化性を有するものであった。また、エッチバック法では、レンズパターン形状を忠実に下層のマイクロレンズ用樹脂層へ転写するにあたり、レジストのドライエッチングレートＸとマイクロレンズ用樹脂層のドライエッチングレートＹが同等（Ｘ：Ｙ＝１：０．８乃至１．２）であることが求められるが、本発明の熱硬化性樹脂組成物から形成された硬化膜は、これを満足する結果となった。【００７７】
一方、比較例１乃至比較例９で調製した熱硬化性樹脂組成物から形成された硬化膜については、高耐溶剤性、高屈折率及び高耐熱性を有するものの、耐光性試験を行うと、波長４００ｎｍ乃至８００ｎｍの範囲における最低透過率が９０％未満に低下し、耐光性に乏しい結果となった。【００７８】
以上のことから、本発明の熱硬化性樹脂組成物は、保護膜、平坦化膜、絶縁膜、反射防止膜、屈折率制御膜、マイクロレンズ、層内レンズ、光導波路、フィルム基材等の光学部材を形成するための樹脂組成物として有用である。
【符号の説明】
【００７９】
１：段差基板
２：硬化膜
３：ライン幅
４：ライン間スペース
ｈ１：段差基板の段差
ｈ２：硬化膜の段差
【図１】
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