(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
除去対象物が付着した洗浄対象物の洗浄方法であって、
前記除去対象物が付着した前記洗浄対象物に粒子線を透過させて前記洗浄対象物の構造をスキャンし、
スキャンによって得られた前記洗浄対象物及び前記除去対象物の構造と、前記洗浄対象物の３Ｄモデルとを比較し、
比較結果に基づいて、前記除去対象物が付着した前記洗浄対象物の洗浄箇所を特定し、
特定された前記洗浄箇所の洗浄変数に真の値を代入し、
主ノズルが洗浄液噴流を生成し、
複数の洗浄部と、複数の前記洗浄部の間に挿入される退避部を含む数値制御プログラムのうち、
前記洗浄変数の値が偽である場合に、前記洗浄箇所に対応する第１の洗浄部をスキップして次の第２の洗浄部へジャンプし、
前記洗浄変数の値が真である場合に、前記第１の洗浄部を実行して前記主ノズルが前記洗浄箇所を向くように制御して、前記第１の洗浄部を実行し、
第１の退避部と次の第２の退避部との間の前記洗浄部に対応する全ての前記洗浄変数の値が偽である場合に、前記第１の退避部をスキップして前記第２の退避部へジャンプし、それ以外の場合に、前記第１の退避部を実行する、
洗浄方法。
【請求項２】
前記第１の退避部の実行では、前記洗浄対象物又は洗浄機と前記主ノズルが干渉しないように前記主ノズルを移動させる、
請求項１に記載の洗浄方法。
【請求項３】
第１のノズル選択部に関連する前記洗浄箇所に係る全ての前記洗浄変数の値が偽である場合に、次の第２のノズル選択部にジャンプし、
それ以外の場合に、前記第１のノズル選択部を実行して、前記主ノズルを交換する、
請求項１又は２に記載の洗浄方法。
【請求項４】
前記主ノズルによって洗浄されている間に、副ノズルが洗浄液を前記洗浄対象物に向けて噴射して、前記洗浄対象物の表面全体を洗い流す、
請求項１〜３のいずれかに記載の洗浄方法。
【請求項５】
複数の洗浄箇所を含み、一つ以上の前記洗浄箇所に除去対象物が付着した対象物を洗浄する洗浄機であって、
主ノズルと、
前記除去対象物が付着した前記対象物に粒子線を透過させて前記対象物の構造をスキャンするスキャナと、
前記対象物を前記主ノズルに対して相対的に移動させる移動装置と、
記憶装置であって、
前記対象物の３Ｄモデルと、
前記洗浄箇所に対応する洗浄変数であって、真と偽の二値変数である洗浄変数と、
複数の洗浄部と、複数の前記洗浄部の間に挿入される退避部を含む数値制御プログラムであって、第１の洗浄部に対応する前記洗浄変数が偽のときに、次の第２の洗浄部へジャンプし、それ以外の場合に前記第１の洗浄部を実行する、前記第１の洗浄部を有する数値制御プログラムと、
を記憶する、記憶装置と、
演算装置であって、
前記スキャナによって得られた前記対象物および前記除去対象物の構造と、前記対象物の３Ｄモデルとを比較する比較部と、
前記比較部による比較結果に基づいて、前記除去対象物が付着した洗浄対応箇所に対応する前記洗浄変数の値を真とし、それ以外の前記洗浄変数の値を偽とする、変数設定部と、
前記数値制御プログラムに基づいて、前記主ノズルを前記対象物に対して移動させる数値制御部と、
を有する演算装置と、
を有し、
前記数値制御プログラムは、第１の退避部と次の第２の退避部との間の前記洗浄部に対応する全ての前記洗浄変数の値が偽である場合に、前記第１の退避部をスキップして前記第２の退避部へジャンプし、それ以外の場合に、前記第１の退避部を実行する、
洗浄機。
【請求項６】
前記記憶装置は、
前記洗浄箇所に付されたラベルと、
前記ラベルと前記洗浄変数との対応関係を示すラベル洗浄変数対照表と、を記憶し、
前記変数設定部は、前記ラベルに対応する前記洗浄変数を前記ラベル洗浄変数対照表から読み取る、
請求項５に記載の洗浄機。
【請求項７】
更に、ノズル選択装置を有し、
前記記憶装置は、前記主ノズル及び前記洗浄箇所に対応する二値変数であるノズル変数を記憶し、
前記変数設定部は、前記洗浄対応箇所に対応する前記ノズル変数の値を真とし、それ以外の前記ノズル変数の値を偽とし、
前記数値制御プログラムは、第１のノズル選択部に関連する前記洗浄箇所に対応する前記ノズル変数が偽のときに、前記第１のノズル選択部の次の第２のノズル選択部へジャンプし、それ以外の場合に前記第１のノズル選択部を実行する、ノズル選択部を有する、
請求項５又は６に記載の洗浄機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄方法および洗浄機に関する。
【背景技術】
【０００２】
洗浄室、複数のノズルが配置されるタレット装置及びタレット装置を駆動する移動装置を含む洗浄機が提案されている（例えば特許第６１４７６２３号公報、以下、特許文献１）。特許文献１の洗浄装置を用いて洗浄する場合、ノズルから洗浄液を噴射し、対象物の全ての洗浄箇所に順に噴流を衝突させる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
異物が含まれる洗浄箇所が少ない場合がある。また、全部の洗浄箇所に噴流を当てると、洗浄時間が長くなる。
本発明は、洗浄不要な洗浄箇所の洗浄を省略可能な洗浄方法および洗浄機を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の第１の側面は、除去対象物が付着した洗浄対象物の洗浄方法であって、
前記除去対象物が付着した前記洗浄対象物の洗浄箇所を特定し、
特定された前記洗浄箇所の洗浄変数に真の値を代入し、
主ノズルが洗浄液噴流を生成し、
前記洗浄変数の値が偽である場合に、前記洗浄箇所に対応する第１の洗浄部をスキップし、
前記洗浄変数の値が真である場合に、前記第１の洗浄部を実行して前記主ノズルが前記洗浄箇所を向くように制御する、
洗浄方法である。
【０００５】
本発明の第２の側面は、複数の洗浄箇所を含み、一つ以上の前記洗浄箇所に除去対象物が付着した対象物を洗浄する洗浄機であって、
主ノズルと、
前記対象物を前記ノズルに対して相対的に移動させる移動装置と、
記憶装置であって、
前記洗浄箇所に対応する洗浄変数であって、真と偽の二値変数である洗浄変数と、
第１の洗浄部に対応する前記洗浄変数が偽のときに、次の第２の洗浄部へジャンプし、それ以外の場合に前記第１の洗浄部を実行する、前記第１の洗浄部を有する数値制御プログラムと、
を記憶する、記憶装置と、
演算装置であって、
前記除去対象物が付着した洗浄対応箇所に対応する前記洗浄変数の値を真とし、それ以外の前記洗浄変数の値を偽とする、変数設定部と、
前記数値制御プログラムに基づいて、前記主ノズルを前記対象物に対して移動させる数値制御部と、
を有する演算装置と、
を有する、洗浄機である。
【０００６】
洗浄は、清掃及びバリ取りを含む。粒子線は、電磁波、中性子線を含む。電磁波は、例えば、Ｘ線、γ線である。除去対象物（以下、単に「異物」という。）は、例えば、切りくず、切削バリ、繊維くず、研磨材、切削油である。分岐文は、条件付き制御文である。
【０００７】
対象物は、機械加工後又は組み立て前の機械部品である。対象物は、例えば、シリンダヘッド、シリンダブロック、クランクシャフト、トランスアクスルケース、トランスアクスルハウジング、バルブボディ、ポンプボディ、ＡＢＳボディである。対象物は、水穴、油穴、雌ねじ、貫通穴、ピン穴、油路、クランク室、カム室、ボス等の構造を含む。これらの構造のうち、洗浄液の噴流を衝突させて洗浄される部位を洗浄箇所という。
【０００８】
異物の構造は、異物の位置及び形状である。異物の構造は、異物の物質を含んで良い。
【０００９】
洗浄装置は、洗浄機とスキャナを含んでも良い。スキャナは、例えば、Ｘ線ＣＴスキャナ、γ線ＣＴスキャナ、中性子線ＣＴスキャナである。スキャナは、制御装置によって制御される。
【００１０】
制御装置は、スキャン部及び比較部を有しても良い。スキャン部は、スキャナを駆動する。比較部は、ＣＴスキャンによって得られた対象物のスキャンデータと３Ｄモデルとを比較して、対象物に付着する異物の構造を特定する。比較部は、異物が付着している洗浄箇所を特定する。比較部は、異物が付着している洗浄箇所をラベルで特定しても良い。
【００１１】
記憶装置は、３Ｄモデルを有して良い。３Ｄモデルは、洗浄箇所と、ラベルと、を有して良い。一つのラベルは、一つの洗浄箇所に対応する。
【００１２】
洗浄機は、ポンプやタンクを有しても良い。タンクは、洗浄液を貯留する。ポンプは、洗浄液を加圧し、吐出する。ポンプは、例えば、ピストンポンプ、ギヤポンプ、渦巻きポンプである。ポンプの吐出圧は、好ましくは、５〜２００ＭＰａである。
【００１３】
洗浄機は、自動ノズル交換装置又はノズル選択装置を有しても良い。ノズル選択装置は、複数の主ノズルのうち、噴流を生成する主ノズルを選択する。複数の主ノズルは、同時に選択されてもよい。ノズル選択装置は、例えば、タレット、ノズル切替弁である。ノズル切替弁は、複数の２方弁を組合せても良い。洗浄機は、テーブルを固定し（又は固定された円テーブルにテーブルを固定し）、ノズルをテーブルに対して移動して良い。また、洗浄機は、ノズルを固定し（又は固定された円テーブルにノズルを固定し）、対象物をノズルに対して移動しても良い。
【００１４】
３Ｄモデルは、基準寸法の対象物の立体モデルであり、それぞれの洗浄箇所に付されたラベルを含む。３Ｄモデルは、複数の部品を含んで良く、材質情報を含んでも良い。
【００１５】
洗浄変数、ノズル変数及び退避変数の型、データは自由に選択できる。例えば、整数型の変数とし、真の値を１、偽の値を０とする。なお、真の値を０、偽の値を１としても良い。真の値を「ｔｒｕｅ」や「Ａ」、偽の値を「ｆａｌｓｅ」や「Ｂ」としても良い。
【００１６】
第１の洗浄部をスキップするときは、（１）次の第２の洗浄部、（２）次の退避部、（３）次のノズル選択部、（４）フッタ部、の内の直近のものにジャンプする。
第１の退避部をスキップするときは、（１）次の退避部、（２）次のノズル選択部、（３）フッタ部、の内の直近のものにジャンプする。
第１のノズル選択部をスキップするときは、（１）次の第２のノズル選択部、（２）フッタ部、のいずれか近いものにジャンプする。
【００１７】
洗浄変数に替えて、洗浄スキップ変数として良い。異物が付着していない洗浄箇所に係る洗浄スキップ変数に真の値が代入される。洗浄スキップ変数が真の値のときに、洗浄スキップ変数に関連する第１の洗浄部の実行がスキップされる。洗浄スキップ変数が真のときに、次の第２の洗浄部にジャンプして良い。洗浄スキップ変数が偽のときに、洗浄スキップ変数に係る第１の洗浄部が実行されて良い。
【００１８】
退避変数に替えて、退避スキップ変数としても良い。退避変数に関連する全ての洗浄箇所に異物が付着していないときに、退避スキップ変数に真の値が代入される。退避スキップ変数が真のときに、その退避スキップ変数に係る第１の退避部の実行がスキップされる。退避スキップ変数が真のときに、次の第２の退避部にジャンプして良い。退避スキップ変数が偽のときに、退避スキップ変数に係る第１の退避部が実行されて良い。
【００１９】
ノズル変数に替えて、ノズルスキップ変数としても良い。ノズル変数に関連する全ての洗浄箇所に異物が付着していないときに、ノズルスキップ変数に真の値が代入される。ノズルスキップ変数が真のときに、ノズルスキップ変数に係る第１のノズル選択部の実行がスキップされる。ノズルスキップ変数が真のときに、次の第２のノズル選択部にジャンプして良い。第１のノズルスキップ変数が偽のときに、ノズルスキップ変数に係る第１のノズル選択部が実行されて良い。
【００２０】
洗浄変数は、退避変数に関連付けられる。退避変数は、ノズル変数に関連付けられる。洗浄変数、退避変数及びノズル変数の関連付けは、変数の名称で行われて良い。例えば、変数の名称は、符号付きの整数である。
例えば、変数は、その種別を表す変数を有してもよい。ここで、種別は、洗浄変数、退避変数及びノズル変数のいずれかである。洗浄変数は、その変数名よりも小さく直近の変数名を持つ退避変数やノズル変数に関連付けられる。
なお、相互に関連する変数を記憶しても良い。例えば、洗浄変数について、関連するノズル変数及び退避変数が記憶されても良い。
【００２１】
比較部は、スキャンデータから対象物毎に異物が付着した洗浄箇所を抽出する。スキャンデータは、対象物の加工の履歴に応じて、例えば、鋳物欠陥、加工誤差、異物、バリの構造を含む。比較部は、加工誤差以外の構造の差異を異物と判断して良い。加工誤差は、例えば、位置誤差、円筒度、全振れ、寸法誤差である。バリ及び異物は、特異な突起としてデータに表れる。更に異物は、素材との材質の相違としても検出されるときがある。加工誤差は、穴や面全体の平行移動や傾斜、面の揺れとして現れる。したがって、比較部は、全体の比較と個別の評価を行う。
【００２２】
例えば、円筒穴についての比較について述べる。円筒穴の位置について、スキャンモデルの重心と３Ｄモデルの重心を比較する。重心は、穴の深さに対して複数位置を抽出しても良い。重心位置の変位を位置誤差として検出する。更に、スキャンモデルの円筒穴の重心に、３Ｄモデルの円筒穴を重ねて部分的な差分を取る。その差分が、３Ｄモデルとの変位量が連続的に変化しており、変位量の３Ｄモデルの表面に沿った長さに対する変位量の傾きが閾値を超えない場合に、その変位量を円筒度と判断する。
【００２３】
比較部は、評価値が閾値以上の異物のみを抽出しても良い。評価値は、異物の計測値であり、例えば、長径寸法や体積である。長径寸法とは、異物の表面に決めた２点間の距離が最も長くなる寸法である。閾値は、洗浄後に残留が認められない異物の評価値である。
【００２４】
変数設定部は、値が真である洗浄変数に関連付けられた退避変数の値を真とし、それ以外の退避変数の値を偽としても良い。言い換えると、変数設定部は、関連付けられた全ての洗浄変数の値が偽である退避変数の値を偽としても良い。
【００２５】
変数設定部は、値が真である洗浄変数に関連付けられたノズル変数の値を真とし、それ以外のノズル変数の値を偽としても良い。言い換えると、変数設定部は、関連付けられた全ての洗浄変数の値が偽であるノズル変数の値を偽としても良い。
【００２６】
洗浄装置に投入される全ての対象物は、スキャナにより検査されて良い。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の洗浄方法および洗浄機によれば、洗浄不要な洗浄箇所の洗浄を省略できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】実施形態の洗浄装置
【図２】実施形態の制御装置
【図３】実施形態の３Ｄモデル
【図４】実施形態のラベル変数対照表
【図５】実施形態の変数表
【図６】実施形態の数値制御プログラム
【図７】実施形態の洗浄箇所の全部を洗浄する場合のノズル経路
【図８】実施形態の退避部のノズル経路
【図９】実施形態のモデル比較結果
【図１０】実施形態の洗浄方法を示すフローチャート
【図１１】実施形態の数値制御プログラムの実行方法を示すフローチャート
【図１２】実施形態の洗浄経路
【発明を実施するための形態】
【００２９】
図１に示すように、実施形態の洗浄装置１０は、Ｘ線ＣＴスキャナ（以後、単にスキャナ）１１と、洗浄機１２と、制御装置３１を有する。洗浄機１２は、洗浄室１９と、ポンプ１８と、移動装置１４と、ノズル１５（主ノズル）と、洗浄テーブル２０を有する。洗浄機１２は、タレット１３（ノズル選択装置）と、補助ノズル２３と、補助ポンプ２５を有しても良い。ノズル１５は、例えば、直射ノズル１５１やＬ型ノズル１５３である。
洗浄機１２は、ノズル１５から噴流４７を対象物１７に衝突させ、対象物１７を清掃又はバリ取りする。
【００３０】
洗浄テーブル２０は、洗浄室１９内に設けられる。洗浄テーブル２０は、回転軸２１を中心として揺動可能でも良い。回転軸２１は、Ｘ軸方向に平行である。洗浄テーブル２０は、対象物１７を所定の位置に位置決めして固定する。
【００３１】
ポンプ１８は、洗浄液タンク（不図示）から洗浄液を陽圧し、タレット１３を介してノズル１５へ送る。
移動装置１４は、タレット１３及びノズル１５を、洗浄テーブル２０に対して、左右方向（Ｘ軸方向）、前後方向（Ｙ軸方向）、上下方向（Ｚ軸方向）へ自在に移動する。
【００３２】
タレット１３は、移動装置１４に設けられる。タレット１３は、Ｚ軸に平行な回転軸１６を有する。タレット１３には、複数のノズル１５が取り付けられても良い。タレット１３は旋回して、一つのノズル１５を下方へ割り出す。タレット１３は、下方へ割り出されたノズル１５へ洗浄液を供給する。
望ましくは、下方に割り出されたノズル１５は、回転軸１６を中心として回転でき、又は、回転方向に位置決めできる。
【００３３】
図７に示すように、直射ノズル１５１は、軸体１５ａと、噴口１５ｂを有する。軸体１５ａは、回転軸１６に沿って延びる。噴口１５ｂは、回転軸１６上の軸体１５ａの先端に配置される。噴口１５ｂは、回転軸１６に沿って噴流４７を生ずる。
図８に示すように、Ｌ型ノズル１５３は、軸体１５ａと、噴口１５ｃを有する。噴口１５ｃは、軸体１５ａの先端部に、回転軸１６と垂直に配置される。噴口１５ｃは、回転軸１６と垂直方向に噴流４７を生ずる。
【００３４】
補助ノズル２３は、洗浄室１９の天井面や移動装置１４に、対象物１７に全体的に洗浄液を当てるように設置される。好ましくは、補助ノズル２３は複数配置される。補助ノズルは、例えば扇型噴射ノズル、充円錐噴射ノズルである。補助ノズル２３は補助ポンプ２５に接続される。補助ポンプ２５は例えばタービンポンプである。補助ポンプ２５の吐出圧力はポンプ１８よりも低い（例えば１．５ＭＰａ以下）である。
【００３５】
図２に示すように、制御装置３１は、記憶装置３３と、演算装置３２と、入出力ポート３４と、入力部３５と、出力部３６と、バス３７を有する。バス３７は、演算装置３２と、記憶装置３３と、入出力ポート３４と、入力部３５と、出力部３６を通信可能に接続する。
【００３６】
記憶装置３３は、主記憶装置や外部記憶装置を有しても良い。記憶装置３３は、３Ｄモデル３３ｂと、ラベル変数対照表３３ｄと、スキャンデータ３３ｅと、数値制御プログラム３３ｆと、変数表３３ｇを記憶する。
図３に示すように、３Ｄモデル３３ｂは、複数の洗浄箇所３３ｍと、ラベル３３ｎを有する。洗浄箇所３３ｍには、それぞれ一つのラベル３３ｎが付される。
【００３７】
図４に示すように、ラベル変数対照表３３ｄには、それぞれのラベル３３ｎに対応する変数３３ｈ（後述）が格納される。一つのラベル３３ｎには、必ず１つ以上の変数３３ｈが対応する。一つの変数３３ｈは、同一の番号を持つシーケンス番号３３ｆａ（後述）にそれぞれ対応する。
【００３８】
図５の左側は、洗浄変数３３ｈｃのみ値３３ｋが代入された状態を示す。図５の右側は、全ての変数３３ｈに値３３ｋが代入された状態を示す。図５に示すように、変数表３３ｇは、変数３３ｈに対応する値３３ｋを格納する。変数３３ｈは、二値変数であり、ノズル変数３３ｈａと、退避変数３３ｈｂと、洗浄変数３３ｈｃを有する。値３３ｋは、例えば、真（洗浄シグナル）か偽（非洗浄シグナル）のいずれかである。以下、真の値を１、偽の値を０とする。
変数表３３ｇは、変数の種別を表す変数３３ｐを含んで良い。例えば、変数３３ｐは、（１）洗浄変数について「０」又は「ｎｕｌｌ」、（２）ノズル変数について「１」、（３）退避変数について「２」である。洗浄変数３３ｈｃは、その変数の番号よりも小さく、直近の番号の退避変数３３ｈｂに関連する。洗浄変数３３ｈｃは、その変数の番号よりも小さく、直近の番号のノズル変数３３ｈａに関連する。
【００３９】
図６に示すように、数値制御プログラム３３ｆは、例えば、Ｇコードプログラムである。数値制御プログラム３３ｆは、ヘッダ部３３ｆ１と、ノズル選択部３３ｆ２と、洗浄部３３ｆ３と、退避部３３ｆ４と、フッタ部３３ｆ５を有する。数値制御プログラム３３ｆは、シーケンス番号３３ｆａと、分岐文３３ｆｂと、移動指令３３ｆｃＧコードと、Ｍコードと、Ｔコードを有する。数値制御プログラム３３ｆは、冒頭から順に読み取られ、実行される。
【００４０】
Ｍコード及びＴコードは次のとおりである。
Ｍ０６：ノズル選択指令
Ｍ５０：噴射開始指令
Ｍ３０：エンドオブブロック
Ｔ１：直射ノズル選択
Ｔ３：Ｌ型ノズル選択
【００４１】
図７に示すように、全ての変数３３ｈの値３３ｋが１のときに数値制御プログラム３３ｆを運転すれば、全ての洗浄箇所３３ｍが洗浄される。軌跡４１は、ノズル１５１の軌跡を示す。
図６に示すように、シーケンス番号３３ｆａは、ノズル選択部３３ｆ２、洗浄部３３ｆ３及び退避部３３ｆ４に、１つずつ付される。例えば、シーケンス番号３３ｆａは、先頭にＮを含む５００〜９９９の値である。望ましくは、シーケンス番号は上から昇順で付けられる。
【００４２】
ヘッダ部３３ｆ１は、機能パラメータや座標系への数値の代入、Ｇコードの初期設定、扉閉・クランプ・ポンプ運転などの準備動作の指示を含む。
【００４３】
ノズル選択部３３ｆ２は、分岐文３３ｆｂ、移動指令３３ｆｃ、ノズル選択指令、噴射開始指令やＴコードを有する。分岐文３３ｆｂは、ノズル選択を実行するか否かを判断する。移動指令３３ｆｃは、退避動作に関する。第１のノズル選択部３３ｆ２に含まれる分岐文３３ｆｂは、第１のノズル選択部３３ｆ２に対応するノズル変数３３ｈａが０のときに、（１）次の第２のノズル選択部３３ｆ２、（２）フッタ部３３ｆ５、のうちの直近のものへジャンプする。それ以外のときは、第１のノズル選択部３３ｆ２を実行する。
【００４４】
数値制御プログラム３３ｆにおいて、分岐文は、
IF[条件] GOTO （シーケンス番号）
で表される。条件を満たす場合は、指示されたシーケンス番号にジャンプする。ここで、＃付きの番号は、その変数３３ｈの値３３ｋを、EQは等号（＝）を、シーケンス番号はＮを省いた数字を、それぞれ表す。例えば、
IF [#500 EQ 0] GOTO 600
は、「変数＃５００の値が０であるときに、シーケンス番号Ｎ６００へジャンプする」を表す。ジャンプしない場合、数値制御部３２ｂは次の行を読み取る。
【００４５】
洗浄部３３ｆ３は、シーケンス番号３３ｆａ、分岐文３３ｆｂ、一つ以上の移動指令３３ｆｃを含む。分岐文３３ｆｂは、対応する洗浄箇所を洗浄するか否かを判断する。洗浄部３３ｆ３は、各洗浄箇所に対するノズルの経路を示す。
第１の洗浄部３３ｆ３に含まれる分岐文３３ｆｂは、第１の洗浄部３３ｆ３に対応する洗浄変数３３ｈｃの値３３ｋが０のときは、（１）次の第２の洗浄部３３ｆ３、（２）次の退避部３３ｆ４、（３）次のノズル選択部３３ｆ２、（４）フッタ部３３ｆ５、のいずれかの直近のものへジャンプする。それ以外のときは、第１の洗浄部３３ｆ３を実行する。
【００４６】
退避部３３ｆ４は、シーケンス番号３３ｆａ、分岐文３３ｆｂ、一つ以上の移動指令３３ｆｃを含む。分岐文３３ｆｂは、退避経路を選択するか否かを判断する。退避部３３ｆ４は、ノズル１５が退避する経路を示す。退避部３３ｆ４は、複数の洗浄部３３ｆ３の間に挿入される。つまり、退避部３３ｆ４の前後の洗浄部３３ｆ３を直接つなげるとノズル１５が対象物１７や洗浄機１２と干渉する場合に、ノズル１５が対象物１７や洗浄機１２と干渉しないように、退避部３３ｆ４が挿入される。退避部３３ｆ４は、例えば、ゲートモーションやテーブル回転動作である。
第１の退避部３３ｆ４に含まれる分岐文３３ｆｂは、第１の退避部３３ｆ４に対応する退避変数３３ｈｂの値３３ｋが０のときに、（１）次の第２の退避部３３ｆ４、（２）次のノズル選択部３３ｆ２、（３）フッタ部３３ｆ５、のいずれかの直近のものへジャンプする。それ以外のときは、第１の退避部３３ｆ４を実行する。
【００４７】
シーケンス番号Ｎ６５０が付された退避部３３ｆ４の軌跡４２（ゲートモーション）の一例を図８に示す。Ｌ型ノズル１５３は、Ｘ−側の開口から、洗浄箇所３３ｍ２に噴流４７を当てる。このとき、Ｌ型ノズル１５３は、対象物１７のＸ−側に位置している。軌跡４２は、Ｌ型ノズル１５３を対象物１７の上方に移動し、次いでＸＹ平面上で対象物１７のＸ＋側に移動する。この退避の次の洗浄部３３ｆ３（例えばシーケンス番号Ｎ６５１）を読み込んだときに、Ｘ＋側から噴流４７を当てるように、Ｌ型ノズル１５３が移動する（軌跡４３）。退避部３３ｆ４の軌跡４２を通ることで、Ｌ型ノズル１５３は対象物１７の上方を移動し、対象物１７と干渉しない。
【００４８】
図６に示すように、フッタ部３３ｆ５は、原点復帰動作、扉開、アンクランプ、ポンプ停止などの終了動作の指示を含む。
【００４９】
図２に示すように、演算装置３２は、スキャン部３２ａと、数値制御部３２ｂと、比較部３２ｃと、変数設定部３２ｄを有する。
スキャン部３２ａは、スキャナ１１を制御する。
数値制御部３２ｂは、移動装置１４を数値制御する。数値制御部３２ｂは、洗浄プログラムに沿って、ポンプ１８、タレット１３を制御する。
【００５０】
図９に示すように、比較部３２ｃは、スキャンデータ３３ｅと３Ｄモデル３３ｂを比較する。比較部３２ｃは、洗浄箇所３３ｍ１及び洗浄箇所３３ｍ２の内部の特異構造を異物３３ｉ（除去対象物）とする。比較部３２ｃは、洗浄箇所３３ｍ３を加工誤差（直径過大）３３ｋとする。比較部３２ｃは、異物３３ｉが含まれた洗浄箇所（３３ｍ１、３３ｍ２）に付されたラベル３３ｎを変数設定部３２ｄに送る。
【００５１】
図５の左側を参照して、変数設定部３２ｄは、一旦すべての変数３３ｈに０を代入する。次に比較部３２ｃから送られたラベル３３ｎに対応する変数３３ｈｃをラベル変数対照表３３ｄから読み取る。変数設定部３２ｄは、読み取った洗浄変数３３ｈｃに１を代入する。次に、図５の右側を参照して、変数設定部３２ｄは、値３３ｋが１である洗浄変数３３ｈｃに関連するノズル変数３３ｈａ及び退避変数３３ｈｂの値３３ｋに１を代入する（図５の右側）。
【００５２】
図２を参照して、入出力ポート３４は、移動装置１４やポンプ１８と接続する。
入力部３５は、例えば、キーボードやポインティングデバイスである。入力部３５は、ソフトウェアキーボードやタッチパネルでも良い。出力部３６は、例えば、モニターである。
【００５３】
なお、スキャナ１１、スキャン部３２ａ、比較部３２ｃ、３Ｄモデル３３ｂ及びスキャンデータ３３ｅは、省いても良い。このとき、記憶装置３３は、異物３３ｉが付着した洗浄箇所３３ｍのラベル３３ｎを記憶する。入出力ポート３４は、異物３３ｉが付着した洗浄箇所３３ｍのラベル３３ｎを記憶装置３３に記憶させる。
【００５４】
図１０を参照して、洗浄方法を説明する。スキャナ１１は、対象物１７に粒子線を透過させて、対象物１７をスキャンする（Ｓ１）。スキャン部３２ａは、対象物１７の構造を含むスキャンデータ３３ｅを記憶装置３３に記憶させる。
比較部３２ｃは、スキャンデータ３３ｅと３Ｄモデルを比較し、異物３３ｉを抽出する（Ｓ２）。続いて、比較部３２ｃは、抽出した異物３３ｉの含まれる洗浄箇所３３ｍ１、３３ｍ２を洗浄箇所として特定する（Ｓ３）。比較部３２ｃは、特定した洗浄箇所のラベル３３ｎを記憶装置３３に記憶させる。
【００５５】
次に、変数設定部３２ｄは、特定されたラベル３３ｎに関連する変数３３ｈをラベル変数対照表３３ｄから読み取る。変数設定部３２ｄは、特定されたラベル３３ｎに関連する変数３３ｈに１を代入し、その他の変数３３ｈに０を代入する（Ｓ４）。
最後に、洗浄機１２は、変数３３ｈの値３３ｋ及び数値制御プログラム３３ｆに従って対象物１７を洗浄する（Ｓ５）。
【００５６】
なお、ステップＳ１〜Ｓ３は省いても良い。その場合、異物３３ｉの含まれる洗浄箇所のラベル３３ｎが、入出力ポート３４又は入力部３５を通じて、外部から記憶装置３３に入力される。
【００５７】
図１、図２、図５、図６及び図１１に従って、ステップＳ５を詳細に説明する。まず、数値制御部３２ｂは、ヘッダ部３３ｆ１を読み取り、初期動作を行う（Ｓ１１）。次に、補助ノズル２３から洗浄液を噴射して、シャワーリングによる全体洗浄を開始する（Ｓ１２）。
【００５８】
次いで、第１のノズル選択部３３ｆ２（シーケンス番号Ｎ５００）を処理する。数値制御部３２ｂは、変数名が＃５００である変数３３ｈａの値３３ｋを変数表３３ｇから読み取る。数値制御部３２ｂは、読み取った値３３ｋが０か否か判断する（Ｓ１３）。結果がＹＥＳであれば、次のノズル選択部３３ｆ２（シーケンス番号Ｎ６００）までジャンプする（Ｓ２１）。結果がＮＯであれば、数値制御部３２ｂは、第１のノズル選択部３３ｆ２（シーケンス番号Ｎ５００）の移動指令３３ｆｃ、Ｍコード指令等を順に実行する。その結果、ノズルを工具番号Ｔ１に交換し、洗浄液を噴射する（Ｓ１４）。
【００５９】
続いて数値制御部３２ｂは、第１の洗浄部３３ｆ３（シーケンス番号Ｎ５０１）を読み取る。数値制御部３２ｂは、変数名が＃５０１である洗浄変数３３ｈｃの値３３ｋを変数表３３ｇから読み取る。数値制御部３２ｂは、読み取った値３３ｋが０か否か判断する（Ｓ１５）。結果がＹＥＳであれば、次の洗浄部（第２の洗浄部）３３ｆ３、次の退避部３３ｆ４及び次のノズル選択部３３ｆ２のいずれかへジャンプする。結果がＮＯであれば、第１の洗浄部３３ｆ３（シーケンス番号Ｎ５０１）を順に実行する。その結果、ノズル１５が移動して、変数＃５０１に関連する洗浄箇所３３ｍ１に洗浄液の噴流４７が衝突する。そして洗浄箇所３３ｍ１が洗浄される（Ｓ１６）。
同じ手順を繰り返し実行することにより、対応する洗浄変数３３ｈｃの値が１である洗浄箇所３３ｍが洗浄される。対応する洗浄変数３３ｈｃの値が０である洗浄箇所３ｍは洗浄されない。
【００６０】
数値制御部３２ｂは、第１の退避部３３ｆ４（シーケンス番号Ｎ５５０）を読み取る。数値制御部３２ｂは、変数名が＃５５０である退避変数３３ｈｂの値３３ｋを読み取る。数値制御部３２ｂは、読み取った値３３ｋが０か否か判断する（Ｓ１７）。結果がＹＥＳであれば、次の第２の退避部３３ｆ４又は次のノズル選択部３３ｆ２へジャンプする。結果がＮＯであれば、第１の退避部（シーケンス番号Ｎ５５０）を順に実行する（Ｓ１８）。
【００６１】
ステップＳ１９、Ｓ２０は、それぞれステップＳ１５，Ｓ１６と同じである。
ステップＳ２１、Ｓ２２は、それぞれステップＳ１３、Ｓ１４と同じである。ステップＳ２１で選択されたノズルについても、ステップＳ１３〜Ｓ２０と同じ手順で洗浄を行う。
なお、ステップＳ１２、Ｓ２３は省いても良い。
【００６２】
数値制御部３２ｂは、フッタ部３３ｆ５を読み取り、補助ノズル２３の噴射を停止する（Ｓ２３）。最後に対象物１７の乾燥、アンクランプ、シャッタ開等を含む終了動作を実行する（Ｓ２４）。
【００６３】
図１２は、対象物１７の第三角法による正投影図上に、ノズル１５１、１５３の軌跡４２〜４３を示す。ノズル１５１、１５３は、洗浄箇所３３ｍ１、３３ｍ２のみを洗浄する。
【００６４】
なお、本発明は前述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であり、特許請求の範囲に記載された技術思想に含まれる技術的事項の全てが本発明の対象となる。前記実施形態は、好適な例を示したものであるが、当業者ならば、本明細書に開示の内容から、各種の代替例、修正例、変形例あるいは改良例を実現することができ、これらは添付の特許請求の範囲に記載された技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６５】
１０  洗浄装置
１１  スキャナ
１２  洗浄機
１４  移動装置
１５、１５１、１５３  ノズル（主ノズル）
１７  対象物
３１  制御装置（数値制御装置）
３３ｂ  ３Ｄモデル
３３ｆ  数値制御プログラム
３３ｆ３  洗浄部
３３ｆｂ  分岐文
３３ｈｃ  洗浄変数
３３ｉ  異物（除去対象物）
３３ｋ  値
３３ｍ  洗浄箇所
４７  噴流（洗浄液噴流）
【要約】
【課題】  洗浄不要な洗浄箇所の洗浄を省略可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】  除去対象物３３ｉが付着した洗浄対象物１７の洗浄方法であって、除去対象物３３ｉが付着した洗浄対象物１７の洗浄箇所３３ｍ１、３３ｍ２を特定し、特定された洗浄箇所３３ｍ１、３３ｍ２の洗浄変数３３ｈｃに真の値を代入し、主ノズル１５が洗浄液噴流４７を生成し、洗浄変数３３ｈｃの値が偽である場合に、洗浄箇所３３ｍに対応する第１の洗浄部３３ｆ３をスキップし、洗浄変数３３ｈｃの値が真である場合に、第１の洗浄部３３ｆ３を実行して主ノズル１５が洗浄箇所３３ｍを向くように制御する、洗浄方法。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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