(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する第一板状部材の第一対向面又は第二板状部材の第二対向面のいずれか一方若しくは両方が有する凹凸部を接合又は分離させる微小構造物製造装置であって、
チャンバーの内部に形成されて前記第一板状部材及び前記第二板状部材が出し入れ自在に収容される変圧室と、
前記変圧室に収容された前記第一板状部材の第一非対向面と前記チャンバーの第一室内面との間に設けられる変動部と、
前記変圧室に収容された前記第二板状部材の第二非対向面と前記チャンバーの第二室内面との間に設けられる保持部と、
前記チャンバーの前記第一室内面及び前記変動部の間に前記変圧室と分離して気密状に設けられる第一空間部と、
前記変圧室又は前記第一空間部のどちらか一方の内圧を他方の内圧よりも上昇させる室圧調整部と、
前記室圧調整部を作動制御する制御部と、を備え、
前記変動部は、前記チャンバーの前記第一室内面に対して前記第一板状部材の前記第一非対向面とその厚み方向へ変形又は移動自在に当接する変位部位を有し、
前記保持部は、前記チャンバーの前記第二室内面に対して前記第二板状部材の前記第二非対向面を支える保持部位を有し、
前記制御部は、前記室圧調整部の作動による前記変圧室と前記第一空間部との圧力差で、前記変動部の前記変位部位とともに前記第一板状部材が、前記第二板状部材又は前記第一空間部に向け移動するように制御することを特徴とする微小構造物製造装置。
【請求項２】
前記第一板状部材と前記第二板状部材が互いに凹凸状に接合する前記凹凸部を有し、
前記制御部は、前記室圧調整部の作動で前記変圧室の内圧が前記第一空間部の内圧よりも上昇して、前記変動部の前記変位部位とともに前記第一板状部材が、前記第一空間部に向け移動することを特徴とする請求項１記載の微小構造物製造装置。
【請求項３】
前記第一空間部の内圧を下降させる第一内圧調整部を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の微小構造物製造装置。
【請求項４】
前記チャンバーの前記第二室内面及び前記保持部の間に形成される気密状の第二空間部と、前記第二空間部の内圧を下降させる第二内圧調整部と、を備えることを特徴とする請求項１、２又は３記載の微小構造物製造装置。
【請求項５】
前記第一板状部材と前記第二板状部材の間には、前記室圧調整部から前記変圧室に供給される流体が侵入可能な隙間を有することを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の微小構造物製造装置。
【請求項６】
前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方が強接着面を有し、他方が弱接着面を介して着脱自在に並設される複数の微小構造体を有し、
前記制御部は、前記室圧調整部の作動で前記第一空間部の内圧が前記変圧室の内圧よりも上昇して、前記第一板状部材が前記第二板状部材に向け移動し、これに続き前記変圧室の内圧が前記第一空間部の内圧よりも上昇して、前記第一板状部材が前記第一空間部に向け移動するように制御することを特徴とする請求項１記載の微小構造物製造装置。
【請求項７】
互いに対向する第一板状部材の第一対向面又は第二板状部材の第二対向面のいずれか一方若しくは両方が有する凹凸部を接合又は分離させる微小構造物製造方法であって、
チャンバーの内部に形成された変圧室に前記第一板状部材及び前記第二板状部材を入れる搬入工程と、
前記第一板状部材を前記チャンバーの第一室内面に沿って位置決めし、前記第二板状部材を前記チャンバーの第二室内面に沿って位置決めする保持工程と、
前記変圧室の内圧を調整する室圧調整工程と、
前記第一板状部材及び前記第二板状部材を前記変圧室から取り出す搬出工程と、を含み、
前記保持工程では、前記第一板状部材の第一非対向面と前記第一室内面との間に設けられた変動部の変位部位に対して、前記第一板状部材の前記第一非対向面を、その厚み方向へ当接させ、前記変位部位の厚み方向への変形又は移動に伴って、前記第一非対向面が前記第一室内面に対し移動可能となるとともに、前記第一室内面及び前記変動部の間に第一空間部が前記変圧室と分離して気密状に設けられ、前記第二板状部材の第二非対向面と前記第二室内面との間に設けられた保持部の保持部位に対して、前記第二板状部材の前記第二非対向面を前記厚み方向へ当接させて支え、
前記室圧調整工程では、室圧調整部により前記変圧室又は前記第一空間部のどちらか一方の内圧を他方の内圧よりも上昇して、前記変動部の前記変位部位とともに前記第一板状部材が、前記第二板状部材又は前記第一空間部に向け移動させることを特徴とする微小構造物製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロＬＥＤやマイクロチップなどの微小素子を含む微小構造体，ナノインプリントなどの微細加工技術で成形加工される微小成形物，ガラス小片を含む微小絶縁片などからなる微小構造物を生産するために用いられる微小構造物製造装置、及び、微小構造物製造装置を用いた微小構造物製造方法に関する。
詳しくは、分離された微小構造物の接合や追加押圧、又は接合された微小構造物の分離（剥離）、若しくは微小構造物の転写などに用いられる微小構造物製造装置、及び、微小構造物製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の微小構造物製造装置として、少なくともいずれか一方がフィルム状である型と被成形物とが所定の剥離位置まで剥離しないように加圧する剥離防止手段と、型又は被成形物のいずれか一方を保持する保持部と、型又は被成形物に張力を付与する張力付与手段と、剥離防止手段と型及び被成形物とを相対的に移動させる移動手段と、を具備した離型装置がある（例えば、特許文献１参照）。
ナノインプリント技術により、型の成形パターンを樹脂等の被成形物に加圧し、熱や光の利用により成形パターンを被成形物に転写した後、被成形物から型を離型している。
特許文献１の図示例では、保持部に保持された被成形物に対して、可撓性のあるフィルム状に形成された型を剥離位置から剥離しており、剥離後の型と被成形物との間の角度を一定に調節する角度調節手段が具備されている。つまり、角度調節手段により、被成形物から型の成形パターンを一定の離型角度で斜めに引き抜くようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１５／０７２５７２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし乍ら、特許文献１では、被成形物に転写された凹凸パターンに対して、型の成形パターンを所定の角度で斜め方向に引き抜くため、剥離過程で被成形物の凹凸パターンが形状変形してダメージを生じてしまう。
詳しくは、図１５（ａ）〜（ｃ）に示されるナノインプリントの場合について説明する。
図１５（ａ）に示される剥離前の状態では、型１００の成形パターン１１０との凹凸接合により、被成形物２００に転写された凹凸パターン２１０が、被成形物２００の底面２２０に対して垂直状に立っている。
しかし、図１５（ｂ）に示される剥離時の状態では、型１００の成形パターン１１０を斜め方向に引き抜くことに伴って、被成形物２００の凹凸パターン２１０のうち凸状部２１１が倒れてしまう。
このため、図１５（ｃ）に示される剥離後の状態でも、一度倒れた凹凸パターン２１０の凸状部２１１は倒れたままで、剥離前の状態に戻ることはない。
このように被成形物２００の凹凸パターン２１０から型１００の成形パターン１１０を引き抜く方向（剥離方向）が斜めである場合には、特に凹凸パターン２１０の凹凸差が長くなる程、形状変形（倒れ）し易くなって、高精度なインプリント成形を達成できないという問題があった。
特にナノインプリントの場合には、凹凸パターンが極めて微細であるため、剥離時の僅かな形状変形（倒れ）でも、凹凸パターンの破損要因となって高精度な凹凸パターンを作製できないという問題があった。
ところで、ナノインプリント技術で成形加工される微小成形物に限らず、マイクロＬＥＤやマイクロチップなどの微小素子を含む微小構造体や、ガラス小片を含む微小絶縁片などからなる微小構造物は、サイズが小さいだけでなくダメージを受け易いことから、取り扱いが困難である。このため、特許文献１のような離型装置を含む分離装置の他に、分離された微小構造物の接合装置や追加押圧装置，微小構造物の転写装置などの需要がある。
このような状況下で、微小構造物の接合や追加押圧，分離，転写などを同じ構造で行えるようにした製造装置が要望されている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような課題を解決するために本発明に係る微小構造物製造装置は、互いに対向する第一板状部材の第一対向面又は第二板状部材の第二対向面のいずれか一方若しくは両方が有する凹凸部を接合又は分離させる微小構造物製造装置であって、チャンバーの内部に形成されて前記第一板状部材及び前記第二板状部材が出し入れ自在に収容される変圧室と、前記変圧室に収容された前記第一板状部材の第一非対向面と前記チャンバーの第一室内面との間に設けられる変動部と、前記変圧室に収容された前記第二板状部材の第二非対向面と前記チャンバーの第二室内面との間に設けられる保持部と、前記チャンバーの前記第一室内面及び前記変動部の間に前記変圧室と分離して気密状に設けられる第一空間部と、前記変圧室又は前記第一空間部のどちらか一方の内圧を他方の内圧よりも上昇させる室圧調整部と、前記室圧調整部を作動制御する制御部と、を備え、前記変動部は、前記チャンバーの前記第一室内面に対して前記第一板状部材の前記第一非対向面とその厚み方向へ変形又は移動自在に当接する変位部位を有し、前記保持部は、前記チャンバーの前記第二室内面に対して前記第二板状部材の前記第二非対向面を支える保持部位を有し、前記制御部は、前記室圧調整部の作動による前記変圧室と前記第一空間部との圧力差で、前記変動部の前記変位部位とともに前記第一板状部材が、前記第二板状部材又は前記第一空間部に向け移動するように制御することを特徴とする。
また、このような課題を解決するために本発明に係る微小構造物製造方法は、互いに対向する第一板状部材の第一対向面又は第二板状部材の第二対向面のいずれか一方若しくは両方が有する凹凸部を接合又は分離させる微小構造物製造方法であって、チャンバーの内部に形成された変圧室に前記第一板状部材及び前記第二板状部材を入れる搬入工程と、前記第一板状部材を前記チャンバーの第一室内面に沿って位置決めし、前記第二板状部材を前記チャンバーの第二室内面に沿って位置決めする保持工程と、前記変圧室の内圧を調整する室圧調整工程と、前記第一板状部材及び前記第二板状部材を前記変圧室から取り出す搬出工程と、を含み、前記保持工程では、前記第一板状部材の第一非対向面と前記第一室内面との間に設けられた変動部の変位部位に対して、前記第一板状部材の前記第一非対向面を、その厚み方向へ当接させ、前記変位部位の厚み方向への変形又は移動に伴って、前記第一非対向面が前記第一室内面に対し移動可能となるとともに、前記第一室内面及び前記変動部の間に第一空間部が前記変圧室と分離して気密状に設けられ、前記第二板状部材の第二非対向面と前記第二室内面との間に設けられた保持部の保持部位に対して、前記第二板状部材の前記第二非対向面を前記厚み方向へ当接させて支え、前記室圧調整工程では、室圧調整部により前記変圧室又は前記第一空間部のどちらか一方の内圧を他方の内圧よりも上昇して、前記変動部の前記変位部位とともに前記第一板状部材が、前記第二板状部材又は前記第一空間部に向け移動させることを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の実施形態（第一実施形態）に係る微小構造物製造装置及び微小構造物製造方法（接合装置及び接合方法）の全体構成を示す説明図であり、（ａ）が搬入後の縦断正面図、（ｂ）が図１（ａ）の横断平面図である。
【図２】同接合方法の搬入工程〜保持工程を示す説明図であり、（ａ）が一次搬入過程の縦断正面図、（ｂ）が二次搬入過程の縦断正面図、（ｃ）が保持工程の縦断正面図である。
【図３】同接合方法の保持工程〜搬出工程を示す説明図であり、（ａ）がチャンバー閉動後の縦断正面図、（ｂ）が差圧過程及び加圧接合過程の縦断正面図、（ｃ）が大気開放過程及び搬出工程の縦断正面図である。
【図４】本発明の実施形態（第二実施形態）に係る微小構造物製造装置及び微小構造物製造方法（分離装置及び分離方法）の全体構成を示す説明図であり、（ａ）が搬入後の縦断正面図、（ｂ）が図４（ａ）の横断平面図、（ｃ）が一部を部分拡大した縦断正面図である。
【図５】同分離方法の保持工程〜室圧調整工程を示す説明図であり、（ａ）がチャンバー閉動後の縦断正面図、（ｂ）が差圧過程の縦断正面図、（ｃ）が剥離過程の縦断正面図である。
【図６】同分離方法の室圧調整工程〜搬出工程を示す説明図であり、（ａ）が大気開放過程の縦断正面図、（ｂ）が一次搬出過程の縦断正面図、（ｃ）が二次搬出過程の縦断正面図である。
【図７】本発明の実施形態（第三実施形態）に係る微小構造物製造装置及び微小構造物製造方法（転写装置及び転写方法）の全体構成を示す説明図であり、（ａ）が搬入後の縦断正面図、（ｂ）が図７（ａ）の横断平面図である。
【図８】同転写方法の搬入工程〜保持工程を示す説明図であり、（ａ）が一次搬入過程の縦断正面図、（ｂ）が二次搬入過程の縦断正面図、（ｃ）が保持工程の縦断正面図である。
【図９】同転写方法の保持工程〜室圧調整工程を示す説明図であり、（ａ）がチャンバー閉動後の縦断正面図、（ｂ）が差圧過程及び加圧接合過程の縦断正面図、（ｃ）が差圧過程及び剥離過程の縦断正面図である。
【図１０】同転写方法の室圧調整工程〜搬出工程を示す説明図であり、（ａ）が大気開放過程の縦断正面図、（ｂ）が一次搬出過程の縦断正面図、（ｃ）が二次搬出過程の縦断正面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る微小構造物製造装置及び微小構造物製造方法の変形例（第四実施形態）を示す説明図であり、（ａ）が搬入後の縦断正面図、（ｂ）が差圧過程の縦断正面図、（ｃ）が剥離過程の縦断正面図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る微小構造物製造装置及び微小構造物製造方法の変形例（第五実施形態）を示す説明図であり、（ａ）が搬入後の縦断正面図、（ｂ）が差圧過程の縦断正面図、（ｃ）が剥離過程の縦断正面図である。
【図１３】本発明の実施形態に係る微小構造物製造装置及び微小構造物製造方法の変形例（第六実施形態）を示す説明図であり、（ａ）が搬入後の縦断正面図、（ｂ）が差圧過程の縦断正面図、（ｃ）が剥離過程の縦断正面図である。
【図１４】本発明の実施形態に係る微小構造物製造装置及び微小構造物製造方法の変形例（第七実施形態）を示す説明図であり、（ａ）が搬入後の縦断正面図、（ｂ）が差圧過程の縦断正面図、（ｃ）が剥離過程の縦断正面図である。
【図１５】従来の分離方法の一例を示す説明図であり、（ａ）が剥離前の部分拡大縦断正面図、（ｂ）が剥離中の部分拡大縦断正面図、（ｃ）が剥離後の部分拡大縦断正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の実施形態に係る微小構造物製造装置Ａ及び微小構造物製造方法は、図１〜図１４に示すように、互いに対向する第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方、若しくは第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの両方が有する凹凸部を接合又は分離させて微小構造物Ｍを生産するための製造装置と製造方法である。凹凸部の接合や分離は、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの対向方向への相対的な接近又は離隔移動によって行われる。
第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃは、ガラスや合成樹脂などの硬質材料で、矩形（長方形及び正方形を含む角が直角の四辺形）や円形の薄板状に形成される。
第一板状部材Ｂにおいて第二板状部材Ｃと対向する表側の第一対向面Ｂｆと、第二板状部材Ｃにおいて第一板状部材Ｂと対向する表側の第二対向面Ｃｆは、第一対向面Ｂｆ又は第二対向面Ｃｆのいずれか一方、若しくは第一対向面Ｂｆ及び第二対向面Ｃｆの両方が、
後述する微小構造物Ｍの一部となる凹凸部を有している。
つまり、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆや第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆに対して後述する微小構造物Ｍは、接着などによる本固定、又は着脱可能な保持による仮固定、若しくは一体的な形成による一体化で凹凸状に配置される。このため、後述する微小構造物Ｍの保持手段Ｄとして、本固定の場合には接着剤などの固定層Ｄ１を、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆや第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆに設け、仮固定の場合には保持チャックＤ２を、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆや第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆに設ける。保持チャックＤ２の具体例としては、真空チャック，粘着部材による粘着チャック，静電吸着による静電チャックなどが挙げられる。
【０００８】
微小構造物Ｍは、マイクロＬＥＤやマイクロチップなどの微小素子，ガラス小片などの微小絶縁片，これらに類似する微小部品などの凹凸状に突出した微小部品Ｍａを有する微小構造体Ｍ１と、ナノインプリントなどの微細加工技術で成形加工される互いに凹凸状に接合した成形型Ｍｂ及び成形基板Ｍｃなどを有する微小成形物Ｍ２とがある。
微小構造体Ｍ１には、図１〜図３に示されるように、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの間に配置（搭載）された微小部品Ｍａを挟み込むように接合した積層タイプと、図７〜図１０に示されるように、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方に配置（搭載）された微小部品Ｍａを他方へ移し替える転写タイプがある。一般的に微小部品Ｍａは、第一板状部材Ｂや第二板状部材Ｃに対して複数個それぞれ所定間隔毎に並列状に搭載された整列配置とすることが多い。
このため、積層タイプや転写タイプのどちらであっても、その接合前の初期状態では、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆ又は第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆのいずれか一方（図示例では第二対向面Ｃｆ）に配置した微小部品Ｍａが、他方に向けて部分的に突出する。このため、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆ又は第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆのいずれか一方は、微小部品Ｍａが部分的に突出した非接触な凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ）を有する。
非接触な凹凸部として非接合凹凸部Ｃｕが接合される積層タイプの微小構造体Ｍ１を製造するための微小構造物製造装置Ａ及び微小構造物製造方法の一例としては、接合装置や接合方法が用いられる。
非接触な凹凸部として非接合凹凸部Ｃｕが移し替えられる転写タイプの微小構造体Ｍ１を製造するための微小構造物製造装置Ａ及び微小構造物製造方法の他の例としては、転写装置や転写方法が用いられる。
【０００９】
微小成形物Ｍ２には、図４〜図６などに示されるように、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方に成形型Ｍｂなどが配置され、他方に成形基板Ｍｃなどを配置して互いに凹凸接合させた別タイプと、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の全体が成形型Ｍｂとなり、他方の全体が成形基板Ｍｃとなって互いに凹凸接合させた一体タイプ（図示しない）がある。また微小成形物Ｍ２には図示しないが、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方に微小部品Ｍａを配置し、微小部品Ｍａが着脱自在に保持される粘着チャックなどの保持手段を他方に配置した別タイプや一体タイプも含まれる。
このため、別タイプや一体タイプのどちらであっても、その分離前の初期状態では、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の成形型Ｍｂや微小部品Ｍａと、他方の成形基板Ｍｃや保持手段とが凹凸接合した一対の凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）を有する。
成形型Ｍｂや微小部品Ｍａなどと成形基板Ｍｃや保持手段などとが凹凸接合した凹凸部となる第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１を有する別タイプや一体タイプの微小成形物Ｍ２を製造するための微小構造物製造装置Ａ及び微小構造物製造方法の他の例としては、分離装置や分離方法が用いられる。
特に、微小成形物Ｍ２の場合は、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの間に隙間Ｅを有することが好ましい。隙間Ｅの具体例としては、図４や図５などに示される複数の第一接合凹凸部Ｂ１と第二接合凹凸部Ｃ１の外側に形成される四角枠状や円環状などの外側隙間Ｅ１，複数の第一接合凹凸部Ｂ１と第二接合凹凸部Ｃ１同士の間を通る貫通隙間Ｅ２，図１３に示される第一板状部材Ｂや第二板状部材Ｃに開穿される通孔ｈと連通する内側隙間Ｅ３などがある。
【００１０】
詳しく説明すると、本発明の実施形態に係る微小構造物製造装置Ａは、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃが収容される変圧室１と、変圧室１に収容された第一板状部材Ｂの裏側に設けられる変動部２と、変圧室１に収容された第二板状部材Ｃの他方の裏側に設けられる保持部３と、変圧室１と分離して設けられる第一空間部４と、変圧室１及び第一空間部４の内圧に圧力差を生じさせるように設けられる室圧調整部５と、を主要な構成要素として備えている。
さらに、第一空間部４の内圧を変更する第一内圧調整部６と、変圧室１と分離して設けられる第二空間部７と、第二空間部７の内圧を変更する第二内圧調整部８と、室圧調整部５，第一内圧調整部６及び第二内圧調整部８などを作動制御する制御部９を備えることが好ましい。
また、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃは、通常、上下方向へ対向するように配置され、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの厚み方向を以下「Ｚ方向」という。Ｚ方向と交差する第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃに沿った方向を以下「ＸＹ方向」という。
図示例では、上方に矩形の第一板状部材Ｂが配置され、下方に矩形の第二板状部材Ｃを配置している。なお、その他の例として図示しないが、逆に矩形の第一板状部材Ｂが下方に配置され、矩形の第二板状部材Ｃを上方に配置することや、円形の第一板状部材Ｂと円形の第二板状部材Ｃを上下に配置することなどの変更も可能である。
【００１１】
変圧室１は、チャンバー１０の内部に密閉可能に形成され、チャンバー１０内の変圧室１とチャンバー１０の外部空間とに亘って、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃが出し入れ自在に収容される。
チャンバー１０の内部は、搬入された第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃと厚み方向（Ｚ方向）へ対向状に配置される第一室内面１０ａと第二室内面１０ｂを有する。
第一室内面１０ａは、第一板状部材Ｂにおいて裏側の第一非対向面Ｂｒと、直接的又は間接的にＺ方向へ対向してＸＹ方向の平面上に形成される。第一室内面１０ａには、第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒなどを位置検出するために、間隙検出センサー（図示しない）を配置することが好ましい。
第二室内面１０ｂは、第二板状部材Ｃにおいて裏側の第二非対向面Ｃｒと、直接的又は間接的にＺ方向へ対向してＸＹ方向の平面上に形成される。
チャンバー１０は、密閉可能な変圧室１に対して第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを出し入れするための出入口１０ｃを有する。チャンバー１０の出入口１０ｃは、開閉自在に構成され、アクチュエータなどからなる駆動機構１０ｄにより開閉される。なお、チャンバー１０の変圧室１は、分割タイプと部分開閉タイプなどがあり、それぞれ出入口１０ｃの構造が異なる。
変圧室１に対する第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの搬入は、例えば搬送ロボットなどの搬送手段（図示しない）を用いて順次又は同時に行われる。変圧室１からの第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの搬出は、搬送手段により同時又は順次行われる。
【００１２】
変動部２は、搬入された第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒに対して厚み方向（Ｚ方向）へ接触し、且つチャンバー１０の第一室内面１０ａと離隔するように配置される。
変動部２は、チャンバー１０の第一室内面１０ａに対して、搬入された第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒと厚み方向（Ｚ方向）へ当接する変位部位２ａを有する。
変位部位２ａは、厚み方向（Ｚ方向）へ変形可能又は移動可能に構成され、搬入された第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒを当接させることにより、厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（ＸＹ方向）へ位置ズレ不能に位置決めして一体化される。
つまり、変動部２は、チャンバー１０の第一室内面１０ａに対して変位部位２ａがＺ方向へ変形自在又は移動自在に配置され、変位部位２ａの変形又は移動に伴って、第一板状部材ＢをＺ方向へ移動させるように構成される。
変動部２とチャンバー１０の第一室内面１０ａとの間には、第一空間部４が変圧室１と隔離して形成される。第一空間部４は、変動部２の変位部位２ａに対して、第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒを当接することにより、気密状に形成される。
さらに、変動部２は、第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒと、第一空間部４とを連通させる第一通気口２ｂを有することが好ましい。
【００１３】
変動部２の具体例として図１〜図６などに示される場合には、チャンバー１０の第一室内面１０ａに対してＺ方向へ弾性変形可能に取り付けられた弾性通気体２１で構成される。
図示例の弾性通気体２１は、例えば軟質合成樹脂やゴムなどの弾性変形可能な材料で、その中央に一つの第一通気口２ｂを有する四角枠状や円環状などに形成されたパッキン又はＯリングなどの環状部材からなる。弾性通気体２１の厚み方向（Ｚ方向）の一端部には、チャンバー１０の第一室内面１０ａに対する取付部位２１ａを有している。弾性通気体２１は、厚み方向（Ｚ方向）の他端部を変位部位２ａとして、搬入された第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒに当接させることにより、弾性通気体２１の内側に第一空間部４が形成される。このため、変圧室１の内圧と第一空間部４の内圧との圧力差で、弾性通気体２１がＺ方向へ弾性的に圧縮変形及び膨張変形可能になっている。
なお、弾性通気体２１の他の例として図示しないが、環状部材に代えて複数の第一通気口２ｂを有する板状部材や、多数の第一通気口２ｂを有する多孔質部材などを用いることも可能である。
これらの場合には、チャンバー１０の第一室内面１０ａに配置された間隙検出センサーで、第一板状部材Ｂを位置検出することにより、第一板状部材Ｂの異常な変形や過剰な変形も検知することが可能になる。第一板状部材Ｂの過剰変形を機械的に防止するためのストッパーなどの変形抑止部材（図示しない）を設けることも可能である
さらに、変動部２に開設された第一通気口２ｂを通って、第一空間部４と第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒとが常時連通される。このため、後述する第一内圧調整部６により下降した第一空間部４の内圧と変圧室１の内圧との圧力差を利用して、変動部２の変位部位２ａに対し、第一板状部材Ｂが真空吸着可能になる。
これにより、変圧室１の内圧上昇で変位部位２ａに対し、第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒを着脱自在に吸着保持して仮止めされる。
また、変動部２の他の例として図示しないが、真空吸着に代えて粘着部材や静電吸着などを用いた仮止めに変更することも可能である。
【００１４】
保持部３は、搬入された第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒに対して厚み方向（Ｚ方向）へ接触するように配置される。
さらに、保持部３は、チャンバー１０の第二室内面１０ｂに対して、搬入された第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒと厚み方向（Ｚ方向）へ移動不能に当接する保持部位３ａを有する。
つまり、保持部３は、保持部位３ａに対し、第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒを当接させることで、第二板状部材ＣがＺ方向へ移動不能に保持するように構成される。
保持部３とチャンバー１０の第二室内面１０ｂとの間には、第二空間部７を変圧室１と隔離して形成することが好ましい。第二空間部７は、保持部３の保持部位３ａに対して、第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒを当接することにより、気密状に形成される。
また、保持部３は、第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒと、第二空間部７とを連通させる第二通気口３ｂを有することが好ましい。
【００１５】
保持部３の具体例として図１〜図６などに示される場合には、チャンバー１０の第二室内面１０ｂに対して固定された保持用環状体３１であり、保持用環状体３１の内側空間が第二通気口３ｂとなって第二空間部７を形成している。
図示例の保持用環状体３１は、例えば軟質合成樹脂やゴムなどの弾性変形可能な材料又は硬質合成樹脂や金属などの変形不能な材料で四角枠状や円環状などに形成される。保持用環状体３１は、変動部２の弾性通気体２１と同様にパッキン又はＯリングなどの環状部材で構成することも可能であり、この場合には保持用環状体３１がＺ方向へ弾性的に圧縮変形及び膨張変形可能になる。保持用環状体３１の厚み方向（Ｚ方向）の一端部には、チャンバー１０の第二室内面１０ｂに対する保持用固定部位３１ａを有している。保持用環状体３１において保持部位３ａとなる厚み方向（Ｚ方向）の他端部は、搬入された第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒに当接している。
さらに、保持部３の第二通気口３ｂとなる第二空間部７と、第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒとが常時連通されるため、後述する第二内圧調整部８により下降した第二空間部７の内圧と変圧室１の内圧との圧力差を利用して、保持部３の保持部位３ａに対し、第二板状部材Ｃが真空吸着可能になる。
これにより、変圧室１の内圧上昇で保持部位３ａに対し、第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒを着脱自在に吸着保持して仮止めされる。
また、保持部３の他の例として図示しないが、真空吸着に代えて粘着部材や静電吸着などを用いた仮止めに変更することも可能である。
なお、図１〜図３，図１４に示される場合には、変動部２の弾性通気体２１の厚み方向（Ｚ方向）サイズを、保持部３の保持用環状体３１のＺ方向サイズと略同じにしている。これに対して図４〜図６，図１１，図１３に示される場合には、変動部２の弾性通気体２１のＺ方向サイズを、保持部３の保持用環状体３１のＺ方向サイズよりも大きくすることで、変動部２の圧縮変形量及び膨張変形量が強調されるように設定している。
また、その他の例として図示しないが、図１〜図３，図１４に示される変動部２の弾性通気体２１のＺ方向サイズを、保持部３の保持用環状体３１のＺ方向サイズよりも大きくすることや、図４〜図６，図１１，図１３に示される変動部２の弾性通気体２１のＺ方向サイズを、保持部３の保持用環状体３１のＺ方向サイズと略同じにすることなどの変更も可能である。
【００１６】
室圧調整部５は、供給源（図示しない）から圧縮空気，ガス，水などの流体５Ｆが変圧室１に向け供給（給気）されることで変圧室１の内圧を上昇させ、且つ変圧室１から空気などの流体５Ｆが排出（排気）されることで変圧室１の内圧を下降させるように構成される。
室圧調整部５の具体例として図１（ａ）などに示される場合には、例えば真空ポンプやコンプレッサなどの室圧用駆動源（図示しない）からチャンバー１０を貫通して変圧室１に通じる室流路５ａと、室流路５ａの途中に設けられる室圧用制御弁５ｂと、を有している。
室圧調整部５（室圧用駆動源や室圧用制御弁５ｂ）の作動によって変圧室１の内圧は、大気雰囲気から真空又は真空に近い低圧雰囲気や所定の高圧雰囲気まで設定可能になる。
詳しく説明すると、室圧用駆動源や室圧用制御弁５ｂの作動制御により、室流路５ａから排気される陰圧の流体５Ｆ、又は室流路５ａに供給される陽圧の流体５Ｆの全体量をコントロールして、変圧室１の内圧を段階的に調整することが好ましい。
【００１７】
第一内圧調整部６は、第一空間部４から空気などの第一流体６Ｆが排出（排気）されることで、第一空間部４の内圧を変圧室１の内圧よりも下降させ、且つ第一空間部４に第一流体６Ｆが供給（給気）されることで、第一空間部４の内圧を変圧室１の内圧よりも上昇させるように構成される。
第一内圧調整部６の具体例として図１（ａ）などに示される場合には、例えば真空ポンプやコンプレッサなどの第一駆動源（図示しない）からチャンバー１０を貫通して第一空間部４に通じる第一流路６ａと、第一流路６ａの途中に設けられる第一制御弁６ｂと、を有している。
第一内圧調整部６（第一駆動源や第一制御弁６ｂ）の作動によって第一空間部４の内圧は、大気雰囲気から真空又は真空に近い低圧雰囲気や所定の高圧雰囲気まで設定可能になる。
詳しく説明すると、第一駆動源や第一制御弁６ｂの作動制御により、第一流路６ａから排気される陰圧の第一流体６Ｆ、又は第一流路６ａに供給される陽圧の第一流体６Ｆの全体量をコントロールして、第一空間部４の内圧を段階的に調整することが好ましい。
【００１８】
第二内圧調整部８は、第二空間部７から空気などの第二流体８Ｆが排出（排気）されることで、第二空間部７の内圧を変圧室１の内圧よりも下降させ、且つ第二空間部７に第二流体８Ｆが供給（給気）されることで、第二空間部７の内圧を変圧室１の内圧よりも上昇させるように構成される。
第二内圧調整部８の具体例として図１（ａ）などに示される場合には、例えば真空ポンプやコンプレッサなどの第二駆動源（図示しない）からチャンバー１０を貫通して第二空間部７に通じる第二流路８ａと、第二流路８ａの途中に設けられる第二制御弁８ｂと、を有している。
第二内圧調整部８（第二駆動源や第二制御弁８ｂ）の作動によって第二空間部７の内圧は、大気雰囲気から真空又は真空に近い低圧雰囲気や所定の高圧雰囲気まで設定可能になる。
詳しく説明すると、第二駆動源や第二制御弁８ｂの作動制御により、第二流路８ａから排気される陰圧の第二流体８Ｆ、又は第二流路８ａに供給される陽圧の第二流体８Ｆの全体量をコントロールして、第二空間部７の内圧を段階的に調整することが好ましい。
【００１９】
制御部９は、室圧調整部５，第一内圧調整部６及び第二内圧調整部８などとそれぞれ電気的に接続した制御回路（図示しない）を有するコントローラーである。
さらに、チャンバー１０の出入口１０ｃを開閉する駆動機構１０ｄと電気的に接続する。それ以外にも変圧室１に対して第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃが出し入れするための搬送手段などにも電気的に接続している。
制御部９となるコントローラーは、その制御回路（図示しない）に予め設定されたプログラムに従って、予め設定されたタイミングで順次それぞれ作動制御している。
【００２０】
そして、制御部９の制御回路に設定されたプログラムを、微小構造物製造装置Ａによる微小構造物製造方法として説明する。
本発明の実施形態に係る微小構造物製造装置Ａを用いた微小構造物製造方法は、搬入工程，保持工程，室圧調整工程，搬出工程に分けられる。
詳しく説明すると、本発明の実施形態に係る微小構造物製造方法は、変圧室１に第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを入れる搬入工程と、変圧室１内に第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを保持する保持工程と、変圧室の内圧を調整する室圧調整工程と、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを変圧室１から取り出す搬出工程と、を主要な工程として含んでいる。
【００２１】
搬入工程では、図２（ａ）（ｂ）や図４（ａ）や図８（ａ）（ｂ）などに示されるように、チャンバー１０の外部空間から搬送手段の作動により、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃを変圧室１に入れて収容する。
搬入時において第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃが、図２（ａ）（ｂ）や図８（ａ）（ｂ）などのように分離状態である場合には、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方を変圧室１の中に入れるための一次搬入過程と、他方を変圧室１の中に入れるための二次搬入過程と、が必要になる。
また、搬入時において第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃが、図４（ａ）などのように接合状態である場合には、凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）が互いに凹凸接合して一体化された第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを、凹凸接合したまま変圧室１の中に入れる。
【００２２】
保持工程では、図２（ｃ）や図４（ａ）や図８（ｃ）などに示されるように、変動部２の変位部位２ａに対して、第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒを、厚み方向（Ｚ方向）へ当接させる。この当接時には、第一内圧調整部６の作動による第一流体６Ｆの排出で、第一空間部４の内圧が下降され、変動部２の第一通気口２ｂを通じて変動部２の変位部位２ａに対し、第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒを真空吸着させることが好ましい。
このため、変動部２の変位部位２ａに第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒが、厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（ＸＹ方向）へ位置ズレ不能に位置決めされて一体化される。これにより、変位部位２ａの厚み方向（Ｚ方向）へ変形又は移動に伴って、第一板状部材Ｂがチャンバー１０の第一室内面１０ａに対し移動可能となる。
保持部３の保持部位３ａに対しては、第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒを厚み方向（Ｚ方向）へ当接させる。この当接時には、第二内圧調整部８の作動による第二流体８Ｆの排出で、第二空間部７の内圧が下降され、保持部３の第二通気口３ｂを通じて保持部３の保持部位３ａに対し、第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒを真空吸着させることが好ましい。
このため、保持部３の保持部位３ａに第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒが、厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（ＸＹ方向）へ位置ズレ不能に位置決めされて一体化される。これにより、第二板状部材Ｃがチャンバー１０の第二室内面１０ｂに対して厚み方向（Ｚ方向）へ移動不能に保持される。また、保持部３が弾性変形可能な場合には、保持部位３ａの厚み方向（Ｚ方向）へ変形などに伴って、第二板状部材Ｃをチャンバー１０の第二室内面１０ｂに対し厚み方向（Ｚ方向）へ対し移動可能に変更することも可能である。
このような第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの保持後は、図３（ａ）や図５（ａ）や図９（ａ）などに示されるように、チャンバー１０の出入口１０ｃを閉じて、チャンバー１０内の変圧室１がチャンバー１０の外部空間と遮断され密閉状態となる。
【００２３】
室圧調整工程では、少なくとも室圧調整部５の作動により変圧室１の内圧と第一空間部４の内圧と間に圧力差が生じるように制御する差圧過程と、この圧力差により第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの対向方向への相対的に接近移動させる加圧接合過程や、圧力差により第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの対向方向への相対的に離隔移動させる剥離過程と、変圧室１の内圧が大気圧に戻される大気開放過程と、を含んでいる。
差圧過程は、図３（ｂ）や図５（ｂ）や図９（ｂ）などに示されるように、室圧調整部５の作動による流体５Ｆの排出又は供給で、変圧室１又は第一空間部４のどちらか一方の内圧を他方の内圧よりも上昇させる。これにより、変圧室１の内圧と第一空間部４の内圧とでは圧力差が生じる。
この際、室圧調整部５の作動による変圧室１の内圧変化に加えて、第一内圧調整部６の作動による第一流体６Ｆの供給又は排出で、第一空間部４の内圧変化を同時に行い、変圧室１の内圧と第一空間部４の内圧との圧力差が更に大きくなるように制御することが好ましい。
また、保持部３が弾性変形可能な場合には、第一内圧調整部６の作動による第一空間部４の内圧変化に加えて、第二内圧調整部８の作動による第二流体８Ｆの供給又は排出で、第二空間部７の内圧変化を同時に行い、変圧室１の内圧と第二空間部７の内圧との圧力差が更に大きくなるように制御することも可能である。
【００２４】
加圧接合過程では、室圧調整部５の作動による流体５Ｆの排出のみ、又はこれに加えて第一内圧調整部６の作動による第一流体６Ｆの供給や第二内圧調整部８の作動による第二流体８Ｆの供給で、変圧室１の内圧を第一空間部４の内圧や第二空間部７の内圧よりも下降させる。
これにより生じた圧力差で、変動部２の変位部位２ａとともに第一板状部材Ｂを第二板状部材Ｃに向け厚み方向（Ｚ方向）へ移動して加圧する押圧力が発生する。
この押圧力により、図３（ｂ）などのように第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆが非接触な凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ）を有する場合には、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆが、第二板状部材Ｃの非接合凹凸部Ｃｕに接合して厚み方向（Ｚ方向）へ押し付けられ、非接合凹凸部Ｃｕにおいて微小部品Ｍａの表面となる非接合部Ｍｆの形状に倣うように第一対向面Ｂｆを重なり合わせて、圧力差（流体）により第一板状部材Ｂが第二板状部材Ｃの非接合凹凸部Ｃｕに向けて均等に加圧される。
【００２５】
剥離過程では、室圧調整部５の作動による流体５Ｆの供給のみ、又はこれに加えて第一内圧調整部６の作動による第一流体６Ｆの排出や第二内圧調整部８の作動による第二流体８Ｆの排出で、変圧室１の内圧を第一空間部４の内圧や第二空間部７の内圧よりも上昇させる。
これにより生じた圧力差で、変動部２の変位部位２ａとともに第一板状部材Ｂを第一空間部４に向けて厚み方向（Ｚ方向）へ引き寄せる引力が発生する。
この引力により、図５（ｃ）などのように第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆが凹凸接合した凹凸部の一方として第一接合凹凸部Ｂ１を有し、第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆが凹凸部の他方として第二接合凹凸部Ｃ１を有する場合には、第一板状部材Ｂの第一接合凹凸部Ｂ１が、第二板状部材Ｃの第二接合凹凸部Ｃ１に対して厚み方向（Ｚ方向）へ引き剥がされ、第二接合凹凸部Ｃ１から第一接合凹凸部Ｂ１を剥離する。
さらに、図示例のように、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの間に隙間Ｅを有する場合には、隙間Ｅに陽圧の流体５Ｆが侵入することにより、第一板状部材Ｂの第一接合凹凸部Ｂ１と第二板状部材Ｃの第二接合凹凸部Ｃ１を相対的に押し離す斥力が発生する。
また、チャンバー１０の第一室内面１０ａに配置された間隙検出センサーで、第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒなどを位置検出して、その検出値を監視することにより、凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ，第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）の接合又は剥離の進行や接合又は剥離の完了が検知可能になる。
【００２６】
大気開放過程は、図３（ｃ）や図６（ａ）や図１０（ａ）などに示されるように、室圧調整部５の作動による流体５Ｆの排出又は供給を停止させるとともに、チャンバー１０の出入口１０ｃを駆動機構１０ｄで開口して、変圧室１に充満した流体５Ｆを変圧室１の外部空間に放出するなどにより、変圧室１の内圧を大気圧に戻す。
【００２７】
搬出工程は、図３（ｃ）や図６（ｂ）（ｃ）や図１０（ｂ）（ｃ）などに示されるように、第一内圧調整部６の作動と第二内圧調整部８の作動を順次停止させるとともに、搬送手段の作動により第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃを変圧室１からチャンバー１０の外部空間に取り出す。
搬出時において第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃが、図３（ｃ）などのように接合状態である場合には、凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ）が凹凸接合して一体化された第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを、凹凸接合したまま変圧室１の外に取り出す。
また、搬入時において第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃが、図６（ｂ）（ｃ）や図１０（ｂ）（ｃ）などのように分離状態である場合には、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方を変圧室１の外に取り出すための一次搬出過程と、他方を変圧室１の外に取り出すための二次搬出過程と、が必要になる。
【００２８】
次に、本発明の実施形態に係る微小構造物製造装置Ａの具体例（第一実施形態〜第三実施形態）と変形例（第四実施形態〜第七実施形態）について説明する。
図１〜図３に示される第一実施形態の微小構造物製造装置Ａ１は、微小構造物Ｍとして第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの間に配置（搭載）した微小部品Ｍａが挟み込むように接合した積層タイプの微小構造体Ｍ１を製造する接合装置である。
第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの相対的な接近移動により、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆ又は第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆのいずれか一方に配置された微小部品Ｍａの非接触な凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ）を、他方との間に挟み込むように接合して一体化させる。
図示例の場合には、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆと第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆに、微小部品Ｍａの保持手段Ｄとして接着剤などの固定層Ｄ１や粘着チャックなどの保持チャックＤ２が設けられている。微小部品Ｍａは、複数個それぞれ並列状に整列配置されている。
図２（ａ）（ｂ）に示される接合前の初期状態（搬入工程）では、第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆに対し保持手段Ｄ（固定層Ｄ１，保持チャックＤ２）で微小部品Ｍａが移動不能に配置されて、非接触な凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ）を有する。
これに続く、図３（ａ）に示される保持工程から図３（ｂ）に示される室圧調整工程（差圧過程，加圧接合過程）では、流体差圧による第一板状部材Ｂの相対的な接近移動で、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆが、第二板状部材Ｃの非接合凹凸部Ｃｕに接合して厚み方向（Ｚ方向）へ押し付けられる。これに伴って第一対向面Ｂｆは、非接合凹凸部Ｃｕにおいて微小部品Ｍａの表面となる非接合部Ｍｆの形状に倣うように重なり合って、圧力差（流体）で非接合凹凸部Ｃｕに向けて均等に加圧される。このため、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの間に微小部品Ｍａを挟み込み一体化されて積層体となる。
【００２９】
さらに図示例では、チャンバー１０の変圧室１が分割タイプである。分割タイプの変圧室１とは、チャンバー１０を第一チャンバー１１と第二チャンバー１２に分割して、離隔した第一チャンバー１１及び第二チャンバー１２の間に出入口１０ｃが形成される。出入口１０ｃには、四角枠状や円環状のパッキン又はＯリングなどからなるシール材１３が介装される。第一チャンバー１１や第二チャンバー１２を駆動機構１０ｄで相対的に接近させることにより、シール材１３で出入口１０ｃが気密状に閉じて、変圧室１が開閉自在で且つ密封構造となる。
図示例では、上側の第一チャンバー１１のみを下側の第二チャンバー１２に対して往復動させているが、下側の第二チャンバー１２のみ、又は第一チャンバー１１及び第二チャンバー１２の両方を往復動させるなど、図示例以外の構造に変更することが可能である。
【００３０】
図４〜図６に示される第二実施形態の微小構造物製造装置Ａ２は、微小構造物Ｍとして第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃに配置される互いに接合した凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）を剥がす分離装置である構成が、前述した第一実施形態とは異なり、それ以外の構成は第一実施形態と同じものである。
第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの相対的な離隔移動により、微小成形物Ｍ２となる成形型Ｍｂと成形基板Ｍｃとの剥離や、微小構造体Ｍ１となる微小部品Ｍａと粘着チャックなどの保持手段との剥離などのような、互いに凹凸状に接合した第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆに配置された第一接合凹凸部Ｂ１と、第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆに配置された第二接合凹凸部Ｃ１と、を剥離している。
図示例の場合には、第一板状部材Ｂに成形型Ｍｂが配置され、第二板状部材Ｃに成形基板Ｍｃを配置した別タイプの場合を示している。ナノインプリント成形などにより成形型Ｍｂの凹凸パターンを成形基板Ｍｃに転写した状態では、成形型Ｍｂと成形基板Ｍｃが互いに凹凸接合して、搬送可能に一体化された積層体となっている。成形基板Ｍｃは、硬質材料からなる基板Ｍｄの表面に、第二接合凹凸部Ｃ１となる光や熱などでパターン転写される樹脂層Ｍｅを積層している。
さらに、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆと第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆには、微小成形物Ｍ２の保持手段Ｄとして粘着チャックなどの保持チャックＤ２や接着剤などの固定層Ｄ１が設けられている。
【００３１】
図４（ａ）に示される接合時の初期状態（搬入工程）では、第一接合凹凸部Ｂ１となる成形型Ｍｂの第一裏面Ｂ２が、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆに保持手段Ｄ（保持チャックＤ２，固定層Ｄ１）で移動不能に配置されている。第二接合凹凸部Ｃ１となる成形基板Ｍｃの第一裏面Ｃ２は、第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆに保持手段Ｄ（保持チャックＤ２，固定層Ｄ１）で移動不能に配置されている。
これに続く、図５（ｂ）（ｃ）に示される室圧調整工程（差圧過程，剥離過程）では、流体差圧による第一板状部材Ｂの相対的な離隔移動で、第一接合凹凸部Ｂ１となる成形型Ｍｂが第二接合凹凸部Ｃ１となる成形基板Ｍｃから厚み方向（Ｚ方向）へ引き剥がされる。
【００３２】
さらに図示例では、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの間に、複数の第一接合凹凸部Ｂ１（成形型Ｍｂ）と第二接合凹凸部Ｃ１（成形基板Ｍｃ）が、ＸＹ方向へそれぞれ所定間隔毎に並列配置され、四角枠状の外側隙間Ｅ１と、ＸＹ方向の両方へ直線状に通る複数本の貫通隙間Ｅ２と、を有している。
これにより、陽圧の流体５Ｆは、外側隙間Ｅ１だけでなく、複数本の貫通隙間Ｅ２にもそれぞれ侵入するため、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃを全面的に押し離す斥力が発生する。
【００３３】
図７〜図１０に示される第三実施形態の微小構造物製造装置Ａ３は、微小構造物Ｍとして第一板状部材Ｂや第二板状部材Ｃのいずれか一方に配置（搭載）された微小部品Ｍａを他方へ移し替える転写タイプの微小構造体Ｍ１を製造する転写装置である構成が、前述した第一実施形態とは異なり、それ以外の構成は第一実施形態と同じものである。
第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの相対的な接近移動と離隔移動により、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆ又は第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆのいずれか一方に配置された微小部品Ｍａの非接触な凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ）を、表裏反転して他方に移し替えている。
図示例の場合には、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆが微小部品Ｍａの転写先に設定されて、微小部品Ｍａの保持手段Ｄとなる強接着面Ｄ３を有する。第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆは、微小部品Ｍａの転写元に設定されて、微小部品Ｍａの保持手段Ｄとなる弱接着面Ｄ４を有する。微小部品Ｍａは、複数個それぞれ並列状に整列配置されている。
強接着面Ｄ３及び弱接着面Ｄ４は、微小部品Ｍａを着脱可能に保持して仮固定する保持チャックＤ２である。保持チャックＤ２の中でも、微小部品Ｍａの保持力が簡単にコントロール可能な粘着部材による粘着チャックを用いることが好ましい。この場合には、強接着面Ｄ３として粘着力が強い粘着部材を用い、弱接着面Ｄ４として粘着力が弱い粘着部材を用いる。また、その他の例として粘着チャックに代え、吸着力を強弱コントロールされた真空チャックや、静電吸着力を強弱コントロールされた静電チャックに変更することも可能である。
【００３４】
図８（ａ）（ｂ）に示される転写前の初期状態（搬入工程）では、第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆに保持手段Ｄ（保持チャックＤ２，弱接着面Ｄ４）で複数の微小部品Ｍａの裏面となる接合部Ｍｒが移動不能に整列配置されている。
これに続く、図９（ａ）に示される保持工程から図９（ｂ）に示される室圧調整工程（差圧過程，加圧接合過程）では、流体差圧による第一板状部材Ｂの相対的な接近移動で、複数の微小部品Ｍａの表面となる非接合部Ｍｆに第一対向面Ｂｆの保持手段Ｄ（強接着面Ｄ３）を厚み方向（Ｚ方向）へ接合させて一体化される。
その後、図９（ｃ）に示される室圧調整工程（剥離過程）では、流体差圧による第一板状部材Ｂの相対的な離隔移動で、第二対向面Ｃｆの保持手段Ｄ（弱接着面Ｄ４）から複数の微小部品Ｍａの裏面（接合部Ｍｒ）が厚み方向（Ｚ方向）へ引き剥がされる。
これにより、複数の微小構造体Ｍ１が第二板状部材Ｃから第一板状部材Ｂへ整列状態が変更されずに表裏反転して移し替えられる。
【００３５】
図１１（ａ）〜（ｃ）に示される第四実施形態の微小構造物製造装置Ａ４は、部分開閉タイプの変圧室１である構成が、前述した第一実施形態〜第三実施形態とは異なり、それ以外の構成は第一実施形態〜第三実施形態と同じものである。
図示例では、第二実施形態の分離装置である場合を示している。
箱形チャンバー１４の一部には、出入口１０ｃが開設され、出入口１０ｃに対して扉１４ａを駆動機構１０ｄで開閉動させている。
これにより、変圧室１の一部が開閉自在で且つ密封構造となるように構成されている。
【００３６】
図１２（ａ）〜（ｃ）に示される第五実施形態の微小構造物製造装置Ａ５は、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃに配置される互いに接合した凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）を変動部２の移動で剥がした構成が、前述した第二実施形態や第三実施形態とは異なり、それ以外の構成は第二実施形態や第三実施形態と同じものである。
図示例では、第二実施形態の分離装置である場合を示している。
移動可能な変動部２は、チャンバー１０の第一室内面１０ａに対してＺ方向へ往復動可能に支持された昇降通気体２２で構成される。昇降通気体２２は、第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒと、第一空間部４とを連通させる第一通気口２ｂに相当する通気孔２ｃを有する。
昇降通気体２２は、例えば硬質合成樹脂や金属などの変形不能な材料で、四角板状や円板状などに形成された板状部材からなり、その中央に一つの通気孔２ｃが開穿される。昇降通気体２２の側面は、チャンバー１０の第一室内面１０ａと第二室内面１０ｂの間でＺ方向に形成される第三室内面１０ｅに沿ってＺ方向へ往復動自在で且つ気密状に支持される摺動部位２２ａを有している。チャンバー１０の第三室内面１０ｅは、昇降通気体２２に向け突出する一方側のストッパー１０ｆと他方側のストッパー１０ｇを有する。Ｚ方向へ移動した昇降通気体２２が一方側のストッパー１０ｆや他方側のストッパー１０ｇに当接することで、昇降通気体２２の移動範囲を規制している。昇降通気体２２は、厚み方向（Ｚ方向）の先端部を変位部位２ａとして、搬入された第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒに当接させることにより、昇降通気体２２とチャンバー１０の第一室内面１０ａとの間に第一空間部４が形成される。
このため、陽圧の流体５Ｆの流入による変圧室１の内圧上昇と第一空間部４の内圧の差で、昇降通気体２２がＺ方向へ移動して、その変位部位２ａとともに第一板状部材Ｂを、第一空間部４に向け移動させる。これにより、第一板状部材Ｂが第二板状部材Ｃから引き剥がされる。
なお、昇降通気体２２の他の例として図示しないが、一つの通気孔２ｃを有する板状部材に代えて、複数の通気孔２ｃを有する板状部材や、多数の通気孔２ｃを有する多孔質板状部材などを用いることも可能である。
さらに、昇降通気体２２の摺動部位２２ａが第三室内面１０ｅに沿って移動可能に支持される支持構造に代えて、ステンレスなどの弾性変形可能な薄板状の可撓性部材の中央に昇降通気体２２を浮島状に支持することにより、可撓性部材の弾性変形で昇降通気体２２がＺ方向へ往復動可能に支持される支持構造に変更することも可能である。この浮島状の場合には、可撓性部材の外周をチャンバー１０の第三室内面１０ｅに対して取り付けることにより、可撓性部材の裏側に第一空間部４が変圧室１と分離して気密状に設けられる。
【００３７】
図１３（ａ）〜（ｃ）に示される第六実施形態の微小構造物製造装置Ａ６は、第一板状部材Ｂや第二板状部材Ｃに内側隙間Ｅ３と連通する通孔ｈが形成された構成が、前述した第二実施形態や第三実施形態とは異なり、それ以外の構成は第二実施形態や第三実施形態と同じものである。
図示例では、第二実施形態の分離装置である場合を示している。
通孔ｈは、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方又は両方に、第一空間部４や第二空間部７と隔離するように開穿され、変圧室１から陽圧の流体５Ｆが通孔ｈを通って内側隙間Ｅ３に侵入する。
さらに図示例では、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの間に、内側隙間Ｅ３を中心とした円周方向などへ複数の第一接合凹凸部Ｂ１及び第二接合凹凸部Ｃ１がそれぞれ所定間隔毎に並列配置され、外側隙間Ｅ１と、内側隙間Ｅ３を中心とした放射方向などへ直線状に通る複数本の貫通隙間（図示しない）と、を有している。
第一空間部４と対向する第一板状部材Ｂの中央には通孔ｈが開穿される。
通孔ｈと対向するチャンバー１０の第一室内面１０ａには、通孔ｈと連通するように陽圧の流体５Ｆが通る導入路５ｃを形成して、導入路５ｃの流出口から通孔ｈに陽圧の流体５Ｆが導入される。
また、前述した第二実施形態と同様に、変動部２の変形で互いに接合した凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）を剥がす。しかし、チャンバー１０の第一室内面１０ａに導入路５ｃの流出口が開口するため、導入路５ｃの流出口から通孔ｈに至る通路と、第一空間部４とを気密状に分離する必要がある。
そこで、図示例の変動部２は、第一実施形態の弾性通気体２１に相当する外側環状部材２３とは別個に、導入路５ｃの流出口から通孔ｈに至る通路を囲むように内側環状部材２４が設けられる。外側環状部材２３と内側環状部材２４の間に第一空間部４を形成している。
なお、弾性通気体２１の他の例として図示しないが、外側環状部材２３や内側環状部材２４に代えて、複数の第一通気口２ｂを有する板状部材や、多数の第一通気口２ｂを有する多孔質部材などを用いることも可能である。
これにより、陽圧の流体５Ｆは、外側隙間Ｅ１だけでなく、導入路５ｃ，内側環状部材２４の内側通路，通孔ｈを通って内側隙間Ｅ３にも侵入し、内側隙間Ｅ３から複数本の貫通隙間（図示しない）にそれぞれ流れるため、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃを全面的に押し離す斥力が発生する。
【００３８】
図１４（ａ）〜（ｃ）に示される第七実施形態の微小構造物製造装置Ａ７は、保持手段Ｄとなる強接着面Ｄ３や弱接着面Ｄ４の接着力を温度変化でコントロールした構成が、前述した第三実施形態とは異なり、それ以外の構成は第三実施形態と同じものである。
強接着面Ｄ３や弱接着面Ｄ４が粘着部材からなる場合には、加熱することで粘着力を増大させ、冷却することで粘着力を低減させることが可能である。
図示例では、微小部品Ｍａの転写先となる第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆが有する強接着面Ｄ３と、微小部品Ｍａの転写元となる第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆが有する弱接着面Ｄ４の両方を、制御部９により作動制御された加熱用や冷却用の変温部材でそれぞれ温度コントロールしている。
第一板状部材Ｂの第一非対向面ＢｒとＺ方向へ対向するチャンバー１０の第一室内面１０ａには、第一変温部材Ｇ１が断熱材Ｂ４を挟んで強接着面Ｄ３の近傍に設けられる。
第二板状部材Ｃの第二非対向面ＣｒとＺ方向へ対向するチャンバー１０の第二室内面１０ｂには、第二変温部材Ｇ２が断熱材Ｂ５を挟んで弱接着面Ｄ４の近傍に設けられる。
第一変温部材Ｇ１や第二変温部材Ｇ２は、ヒーターなどの加温機能又は冷媒配管などの冷却機能のいずれか一方若しくは両方を有している。
このため、図１４（ｂ）に示される室圧調整工程（差圧過程，加圧接合過程）では、流体差圧による第一板状部材Ｂの相対的な接近移動で、複数の微小部品Ｍａの表面（非接合部Ｍｆ）に第一対向面Ｂｆの強接着面Ｄ３が厚み方向（Ｚ方向）へ接合する頃に、第一変温部材Ｇ１を加温する。これにより、強接着面Ｄ３の接着力が増大して、複数の微小部品Ｍａの表面（非接合部Ｍｆ）を強力に接合できる。
これと同時に、弱接着面Ｄ４を第二変温部材Ｇ２で冷却することにより、弱接着面Ｄ４の接着力が低減して、複数の微小部品Ｍａの裏面（接合部Ｍｒ）が弱接着面Ｄ４から剥がれ易くなる。このため、図１４（ｃ）に示される室圧調整工程（剥離過程）では、流体差圧による第一板状部材Ｂの相対的な離隔移動で、弱接着面Ｄ４から複数の微小部品Ｍａの裏面（接合部Ｍｒ）がスムーズに引き剥がされる。その結果として、常温時よりも接合及び剥離し易い接着力に制御でき、チャンバー１０内における接合や剥離に要する処理時間の短縮化が図れる。
また、その他の例として図示しないが、強接着面Ｄ３や弱接着面Ｄ４のいずれか一方のの接着力を温度変化でコントロールすることも可能である。
【００３９】
このような本発明の実施形態に係る微小構造物製造装置Ａ及び微小構造物製造方法によると、変圧室１に第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを収容することにより、第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒが変動部２の変位部位２ａに対し変形又は移動自在に当接する。このため、第一板状部材Ｂがチャンバー１０の第一室内面１０ａに対して厚み方向（Ｚ方向）へ移動可能となる。第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒは、保持部３の保持部位３ａに当接して、チャンバー１０の第二室内面１０ｂに対し支えられる。
この収容状態から室圧調整部５で第一空間部４の内圧を変圧室１の内圧よりも上昇させることによって、変動部２の変位部位２ａとともに第一板状部材Ｂが第二板状部材Ｃに向け移動する。このため、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆ又は第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆのいずれか一方が凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ）を有する場合には、凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ）の凹凸表面形状に倣うように、他方が重なり合わされ、圧力差（流体）により第一板状部材Ｂが第二板状部材Ｃに向けて均等に加圧される。
また、室圧調整部５で変圧室１の内圧を第一空間部４の内圧よりも下降させることによって、変動部２の変位部位２ａとともに第一板状部材Ｂが第一空間部４に向け移動する。このため、第一板状部材Ｂの第一対向面Ｂｆ及び第二板状部材Ｃの第二対向面Ｃｆの両方が凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）を有する場合には、第二板状部材Ｃの凹凸部（第二接合凹凸部Ｃ１）から第一板状部材Ｂの凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１）が引き剥がされる。
したがって、内圧差の制御変更で分離された凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ）の接合や追加押圧と、接合された凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）の分離との逆動作を行うことができる。
その結果、被成形物から型を離型する分離機能のみの従来のものに比べ、変圧室１と第一空間部４の内圧差の設定変更だけで、分離された凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ）の接合装置や追加押圧装置、又は接合された凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）の分離装置として利用でき、使用勝手に優れる。
特に、分離された凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ）の接合や追加押圧では、凹凸部（非接合凹凸部Ｃｕ）の表面形状に沿って第一板状部材Ｂを均等に加圧できる。このため、第一板状部材Ｂや第二板状部材Ｃに部分的な厚みムラがある場合、又は第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの間に微小構造物Ｍを凹凸状に挟んで接合する場合でも、微小構造物Ｍなどの凸状部位のみに圧力が集中せず均一な加圧状態で接合可能になる。これにより、凸状部位の破損を防止でき、高精度な接合や追加押圧を達成できる。
【００４０】
さらに、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃが互いに凹凸状に接合する凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）を有し、制御部９は、室圧調整部５の作動で変圧室１の内圧が第一空間部４の内圧よりも上昇して、変動部２の変位部位２ａとともに第一板状部材Ｂを、第一空間部４に向け移動させることが好ましい。
この場合には、変圧室１の内圧を第一空間部４の内圧よりも上昇させることによって、変動部２の変位部位２ａとともに第一板状部材Ｂが、第一空間部４に向け厚み方向（Ｚ方向）へ移動する。
このため、第一板状部材Ｂの凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１）が第二板状部材Ｃの凹凸部（第二接合凹凸部Ｃ１）から引き剥がされる。
したがって、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）を形状変形（倒れ）させずに剥離することができる。
その結果、被成形物に転写した凹凸パターンから型の凹凸パターンを斜めに引き抜く従来のものに比べ、凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）の突出量が長くなっても、剥離に伴う形状変形を防止できる。
このため、ナノインプリントを含むインプリント成形などに用いられる場合には、凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）の凹凸パターンが破損ぜす、高精度な凹凸パターンを作製できる。
また、並列配置された微小素子などの微小部品Ｍａを粘着チャックから剥離して微小部品Ｍａの受け渡しを行う搬送装置などの場合には、微小部品Ｍａが破損せず、高精度な受け渡しを行える。
【００４１】
さらに、第一空間部４の内圧を下降させる第一内圧調整部６を備えることが好ましい。
この場合には、変圧室１の内圧上昇と同時に、第一内圧調整部６で第一空間部４の内圧を下降させることにより、変圧室１の内圧と第一空間部４の内圧との圧力差が更に大きくなる。
このため、変動部２を第一空間部４に向け引き寄せる引力が増大する。
したがって、互いに凹凸接合された第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）をスムーズに剥離することができる。
その結果、剥離能力の向上が図れる。
特に、室圧調整部５（室圧用駆動源や室圧用制御弁５ｂ）又は第一内圧調整部６（第一駆動源や第一制御弁６ｂ）のいずれか一方若しくは両方の作動制御により、変圧室１の内圧と第一空間部４の内圧を相対的に段階的調整した場合には、凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）をよりスムーズに剥離できる。
また、変圧室１の内圧と第一空間部４の内圧との圧力差で、変動部２の変位部位２ａに対して、第一板状部材Ｂの第一非対向面Ｂｒが真空吸着することが可能になる。これにより、変圧室１の内圧と第一空間部４の内圧との圧力差で、変動部２の変位部位２ａとともに第一空間部４に向け移動した第一板状部材Ｂを吸着保持できる。
【００４２】
さらに、チャンバー１０の第二室内面１０ｂ及び保持部３の間に形成される気密状の第二空間部７と、第二空間部７の内圧を下降させる第二内圧調整部８と、を備えることが好ましい。
この場合には、変圧室１の内圧上昇と同時、又は変圧室１の内圧上昇開始前から、第一空間部４の内圧を下降させることで、変圧室１の内圧と第一空間部４の内圧との間に圧力差が生じる。
このため、保持部３の保持部位３ａに対して第二板状部材Ｃの第二非対向面Ｃｒが圧力差で真空吸着される。これにより、保持部位３ａに第二板状部材Ｃが移動不能に吸着保持される。
したがって、保持部３の保持部位３ａに第二板状部材Ｃを確実に固定することができる。
その結果、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）を確実に剥離できる。
【００４３】
またさらに、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの間には、室圧調整部５から変圧室１に供給される流体５Ｆが侵入可能な隙間Ｅを有することが好ましい。
この場合には、変圧室１と第一空間部４の圧力差により、変動部２を第一空間部４に向け引き寄せる引力が発生するのと同時に、室圧調整部５から変圧室１に供給した陽圧の流体５Ｆが隙間Ｅに侵入して、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）を相対的に押し離す斥力が発生する。
したがって、引力と斥力が相まって凹凸部（第一接合凹凸部Ｂ１，第二接合凹凸部Ｃ１）をよりスムーズに剥離することができる。
その結果、剥離能力の向上が更なる図れる。
【００４４】
そして、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方が強接着面Ｄ３を有し、他方が弱接着面Ｄ４を介して着脱自在に並設される複数の微小構造体Ｍ１を有し、制御部９は、室圧調整部５の作動で第一空間部４の内圧が変圧室１の内圧よりも上昇して、第一板状部材Ｂが第二板状部材Ｃに向け移動し、これに続き変圧室１の内圧が第一空間部４の内圧よりも上昇して、第一板状部材Ｂが第一空間部４に向け移動するように制御することが好ましい。
この場合には、第一空間部４の内圧を変圧室１の内圧よりも上昇させることによって、第一板状部材Ｂが第二板状部材Ｃに向け移動する。このため、第一板状部材Ｂが第二板状部材Ｃと接近して、複数の微小構造体Ｍ１の表面（非接合凹凸部Ｃｕ）が強接着面Ｄ３と接合する。
その次に、変圧室１の内圧を第一空間部４の内圧よりも上昇させることによって、第一板状部材Ｂが、第一空間部４に向け移動する。このため、第一板状部材Ｂが第二板状部材Ｃから離れて、複数の微小構造体Ｍ１の裏面（接合部Ｍｒ）が弱接着面Ｄ４から引き剥がされる。
したがって、複数の微小構造体Ｍ１を第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方から他方へ整列状態が変更されずに表裏反転して移し替えることができる。
その結果、複数の微小構造体Ｍ１が破損することなく、高精度な移し替えを行えるとともに、表裏反転によって移し替え前に接合された複数の微小構造体Ｍ１の裏面（接合部Ｍｒ）を露出させることができる。
【００４５】
なお、前示の実施形態（第一実施形態〜第七実施形態）において図示例では、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃが矩形である場合のみを示したが、これに限定されず、矩形の他に円形などのであってもよい。
さらに、第二実施形態の図示例では、微小成形物Ｍ２の別タイプのみを示したが、これに限定されず、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の全体が成形型Ｍｂとなり、他方の全体が成形基板Ｍｃとなる一体タイプであってもよい。
また、第四実施形態〜第六実施形態の図示例では、第二実施形態（分離装置）の変形例のみを示し、第七実施形態の図示例では、第三実施形態（転写装置）の変形例のみを示したが、これに限定されず、第四実施形態〜第七実施形態が図示していない第一実施形態（接合装置）や第二実施形態（分離装置）や第三実施形態（転写装置）であってもよい。
このような場合においても、前述した第一実施形態〜第七実施形態と同様な作用や利点が得られる。
【符号の説明】
【００４６】
Ａ  微小構造物製造装置              １  変圧室
２  変動部                          ２ａ  変位部位
３  保持部                          ３ａ  保持部位
４  第一空間部                      ５  室圧調整部
５Ｆ  流体                          ６  第一内圧調整部
７  第二空間部                      ８  第二内圧調整部
９  制御部                          １０ａ  第一室内面
１０ｂ  第二室内面                  Ｂ  第一板状部材
Ｂ１  凹凸部（第一接合凹凸部）      Ｂｆ  第一対向面
Ｂｒ  第一非対向面                  Ｃ  第二板状部材
Ｃ１  凹凸部（第二接合凹凸部）      Ｃｆ  第二対向面
Ｃｒ  第二非対向面                  Ｃｕ  凹凸部（非接合凹凸部）
Ｄ３  強接着面                      Ｄ４  弱接着面
Ｅ  隙間
【要約】
内圧差の制御変更で分離された凹凸部の接合や追加押圧と、接合された凹凸部の分離との逆動作を行う。
チャンバーの内部に形成されて第一板状部材及び第二板状部材が出し入れ自在に収容される変圧室と、変圧室に収容された第一板状部材の第一非対向面とチャンバーの第一室内面との間に設けられる変動部と、変圧室に収容された第二板状部材の第二非対向面とチャンバーの第二室内面との間に設けられる保持部と、チャンバーの第一室内面及び変動部の間に変圧室と分離して気密状に設けられる第一空間部と、変圧室又は第一空間部のどちらか一方の内圧を他方の内圧よりも上昇させる室圧調整部と、室圧調整部を作動制御する制御部と、を備え、変動部は、チャンバーの第一室内に対して第一板状部材の第一非対向面とその厚み方向へ変形又は移動自在に当接する変位部位を有し、保持部は、チャンバーの第二室内面に対して第二板状部材の第二非対向面を支える保持部位を有し、制御部は、室圧調整部の作動による変圧室と第一空間部との圧力差で、変動部の変位部位とともに第一板状部材が、第二板状部材又は第一空間部に向け移動するように制御することを特徴とする微小構造物製造装置。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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