(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｓｍｉｆフレームは断面がＬ字状を呈する複数層の支持体を含み、各前記支持体は水平に延伸する支持連結部及び垂直に延伸するレチクル支持部を含み、前記支持連結部の底端に支持位置制限部がさらに固定されているｓｍｉｆフレームからレチクルを移送するためのフォークにおいて、
前記フォークは、フォーク本体と、フォーク本体に対称的に連結された２つのフォークロッドと、を含み、
前記フォークロッドは前記レチクルの移送過程で前記レチクルを支持するための移送部と、衝突防止部と、を含み、
前記衝突防止部は、水平に延伸する第１衝突防止部と、垂直に延伸する第２衝突防止部と、を含み、
前記第１衝突防止部は前記移送部の前記レチクルと相反する一側に水平に連結され、前記第１衝突防止部は前記移送部と前記第２衝突防止部との間に連結され、前記フォークが前記ｓｍｉｆフレームから前記レチクルを移送する時に、
前記第１衝突防止部と前記支持位置制限部の底端との間の垂直距離が前記レチクルと前記レチクルの上方の支持連結部の下面との間の垂直距離よりも小さいようにし、
前記フォーク本体には前記フォークロッド上に位置する前記レチクルを押すためのプッシュアセンブリが設けられ、前記フォークロッド上には前記レチクルの位置を制限するための位置制限ブロックが設けられており、
前記プッシュアセンブリは、プッシュシリンダー及び前記プッシュシリンダーに連結されたプッシャーを含み、
前記プッシャーはプッシュロッド及び前記プッシュロッドの両側端部に対称的に設けられるクランプブロックを含み、前記レチクルを押す時に、前記クランプブロックは前記レチクルの２つの上部コーナーに当接する、
ことを特徴とするｓｍｉｆフレームからレチクルを移送するためのフォーク。
【請求項２】
前記第２衝突防止部、前記第１衝突防止部及び前記移送部の前記第２衝突防止部に近づく側壁に凹溝構造が形成され、
前記フォークが前記ｓｍｉｆフレームから前記レチクルをピックまたはリリースする時に、前記支持位置制限部は前記凹溝構造内に位置される、
ことを特徴とする請求項１に記載のフォーク。
【請求項３】
前記フォークが前記ｓｍｉｆフレームから前記レチクルを移送する時に、前記第２衝突防止部の上端は前記支持位置制限部の底端より高い、
ことを特徴とする請求項１に記載のフォーク。
【請求項４】
前記移送部と前記レチクル支持部との間の水平距離は前記レチクルと前記支持位置制限部との間の水平距離より小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載のフォーク。
【請求項５】
前記移送部には前記レチクルを支持するための複数の支持ブロックが設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載のフォーク。
【請求項６】
前記フォーク本体には前記プッシャーの移動方向に沿って第１センサ及び第２センサが順次設置されて、前記レチクルと前記プッシュシリンダーの状態をモニタリングし、前記プッシュシリンダーが収縮状態になると、前記第１センサはトリガーされ、前記第２センサはトリガーされず、前記プッシュシリンダーが伸出すると同時に前記フォークロッド上に前記レチクルがある場合、前記第１センサ及び前記第２センサは同時にトリガーされ、前
記プッシュシリンダーが伸出すると同時に前記フォークロッド上にレチクルが存在しない場合、前記第１センサはトリガーされず、前記第２センサはトリガーされる、
ことを特徴とする請求項１に記載のフォーク。
【請求項７】
ケース上板、ケース側壁、ケース底板及び前記レチクルを支持するためのケースホルダーを含む請求項１〜６のいずれか一項に記載のフォークと結合して用いられるケースにおいて、
前記ケース側壁にはケースバリアがさらに固定され、前記ケースバリアはケース側壁に水平に連結されたケース連結部及びケース連結部の端部に垂直に連結されたケース位置制限部を含み、前記ケース側壁、ケース連結部及びケース位置制限部はＨ形構造を形成し；前記フォークが前記ケースからレチクルを移送する時に、前記第１衝突防止部と前記ケース位置制限部の底端との間の垂直距離は前記レチクルから前記ケース上板の下面までの垂直距離よりも小さいようにする、
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のフォークと結合して用いられるケース。
【請求項８】
前記フォークが前記ケースからレチクルを移送する時に、前記第２衝突防止部の上端は前記ケース位置制限部の底端よりも高い、
ことを特徴とする請求項７に記載のケース。
【請求項９】
前記第２衝突防止部と前記ケース位置制限部との間の水平距離は前記レチクルと前記ケース位置制限部との間の水平距離よりも小さいことを特徴とする請求項７に記載のケース。
【請求項１０】
前記ケースの一端は前記レチクルをピック／リリースするために開口されており、前記ケースの他端には前記レチクルの位置を制限するための位置決めブロックが設けられている、
ことを特徴とする請求項７に記載のケース。
【請求項１１】
第２衝突防止部、第１衝突防止部及び移送部の前記第２衝突防止部に近づく側壁に凹溝構造が形成される請求項１〜６のいずれか一項に記載のフォークロッドを利用してｓｍｉｆフレームまたは請求項７〜１０のいずれか一項に記載のケースの中からレチクルを移送する方法において、
前記フォークを利用して前記ｓｍｉｆフレームまたはケースからレチクルをピックまたはリリースする時に、フォークロッドを前記ｓｍｉｆフレームまたはケースにリリースし、同時に、前記ｓｍｉｆフレームの支持位置制限部または前記ケースのケース位置制限部を前記フォークロッドの凹溝構造内に嵌め込んで、フォークロッドがレチクルをピック／リリースする時に、レチクルがｓｍｉｆフレームまたはケースの中での垂直方向及び水平方向の移動を制限することを含む、
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のフォークロッドを利用してｓｍｉｆフレームまたは請求項７〜１０のいずれか一項に記載のケースの中からレチクルを移送する方法。
【請求項１２】
前記フォークを利用してレチクルを前記ｓｍｉｆフレームまたはケースの中にリリースする時に、
Ｓ１１．前記フォークロッドの移送部は前記レチクルを載置し、前記フォーク本体上のプッシュアセンブリは前記レチクルをプッシュし、前記フォークロッドの前端の位置制限ブロックと協力して前記レチクルの両端をクランプしてレチクルの位置を固定するステップと、
Ｓ１２．前記レチクルの前端が前記ｓｍｉｆフレームにおける位置決めブロックまたはケースにおける位置決めブロックに接触または第１既設距離離隔するまで、レチクルを載置しているフォークロッドを前記ｓｍｉｆフレームまたはケースの中にリリースし、リリース過程で、前記ｓｍｉｆフレームの支持位置制限部または前記ケースのケース位置制限部は前記フォークロッドの凹溝構造内に嵌め込まれるようにするステップと、
Ｓ１３．プッシュアセンブリは後退し、フォークロッドは下へ移動してレチクルと分離してレチクルに対するリリースを完成するステップと、
を実行することを含むことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記フォークを利用して前記ｓｍｉｆフレームまたはケース中のレチクルを取り出す時に、
Ｓ２１．前記フォークロッドが前記ｓｍｉｆフレームまたはケースの中に入り、この時に、前記２つのフォークロッドはレチクルの両側に対称的に分布され、前記ｓｍｉｆフレームの支持位置制限部または前記ケースのケース位置制限部は前記フォークロッドの凹溝構造内に嵌め込まれるステップと、
Ｓ２２．前記フォークロッドは所定の位置まで移動した後上昇して、移送部がレチクルの下面に当接するようにし、その後、上昇し続けて前記レチクルが前記ｓｍｉｆフレームまたは前記ケースから離れるようにするステップと、
Ｓ２３：プッシュアセンブリが伸出して、前記フォークロッドの前端の位置制限ブロックと協力して前記レチクルの両端をクランプして前記レチクルの位置を固定し、前記フォークロッドを外側へ動かして、前記レチクルを前記ｓｍｉｆフレームまたはケースから移出するステップと、
を実行することを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
ステップＳ１２において、前記フォークロッドが前記レチクルを前記ケースの中にリリースする時に、
前記レチクルを載置しているフォークロッドを前記ケースの中にリリースする時に、前記レチクルの前端と前記ケースにおける位置決めブロックが第２既設距離離隔すると、前記プッシュアセンブリは後退して前記レチクルと分離し、その後、前記フォークロッドは前記レチクルの前端が前記ケースの中の位置決めブロックに接触または前記第１既設距離離隔するまで引き続き前進するステップをさらに含み、
前記第２既設距離は第１既設距離よりも大きい、
ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリソグラフィ装置分野に属し、レチクルを移送するためのフォーク、前記フォークと結合して用いられるケース及びレチクル搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
リソグラフィ用レチクルは非常に高価で、壊れやすく、使用中に衝突から保護する必要がある。
【０００３】
リソグラフィ装置内でレチクルがぶつかって損傷される可能性が最も高い位置はレチクルをケースからマスクステージへ搬送する過程、つまり、ケースからｓｍｉｆフレームへ、及びｓｍｉｆフレームからステージまで移送する過程である。レチクルの移送過程において、主に、
１：レチクル搬送フォークが外部のレチクルケースからレチクルをピック／リリースする過程、
２：レチクル搬送フォークが内部のレチクル保管庫からレチクルをピック／リリースする過程
において、レチクルはダメージを受ける。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、レチクルのピック／リリース過程で容易に衝突が発生することにより安全係数が低いという問題を解決するために、レチクルを移送するためのフォーク、前記フォークと結合して用いられるケース、及びレチクルの搬送方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の技術問題を解決するために、本発明は、ｓｍｉｆフレームは断面がＬ字状を呈する複数層の支持体を含み、各前記支持体は水平に延伸する支持連結部及び垂直に延伸するレチクル支持部を含み、前記支持連結部の底端に支持位置制限部がさらに固定されており、前記フォークは、フォーク本体と、フォーク本体に対称的に連結された２つのフォークロッドと、を含み、前記フォークロッドは前記レチクルの移送過程で前記レチクルを支持するための移送部と、衝突防止部と、を含み、前記衝突防止部は、水平に延伸する第１衝突防止部と、垂直に延伸する第２衝突防止部と、を含み、前記第１衝突防止部は前記移送部の前記レチクルと相反する一側に水平に連結され、前記第１衝突防止部は前記移送部と前記第２衝突防止部との間に連結されて、前記フォークが前記ｓｍｉｆフレームから前記レチクルを移送する時に、前記第１衝突防止部と前記支持位置制限部の底端との間の垂直距離が、前記レチクルと前記レチクルの上方の支持連結部の下面との間の垂直距離よりも小さいようにする、ｓｍｉｆフレームからレチクルを移送するためのフォークを提供する。
【０００６】
好ましくは、前記フォークにおいて、前記第２衝突防止部、前記第１衝突防止部及び前記移送部の前記第２衝突防止部に近づく側壁に凹溝構造が形成され、前記フォークが前記ｓｍｉｆフレームから前記レチクルをピックまたはリリースする時に、前記支持位置制限部は前記凹溝構造内に位置される。
【０００７】
好ましくは、前記フォークにおいて、前記フォークが前記ｓｍｉｆフレームから前記レチクルを移送する時に、前記第２衝突防止部の上端は前記支持位置制限部の底端より高い。
【０００８】
好ましくは、前記フォークにおいて、前記移送部には前記レチクルを支持するための複数の支持ブロックが設けられている。
【０００９】
好ましくは、前記フォークにおいて、前記フォーク本体には前記フォークロッド上に位置する前記レチクルを押すためのプッシュアセンブリが設けられ、前記フォークロッド上には前記レチクルの位置を制限するための位置制限ブロックが設けられている。
【００１０】
好ましくは、前記フォークにおいて、前記プッシュアセンブリは、プッシュシリンダー及び前記プッシュシリンダーに連結されたプッシャーを含む。
【００１１】
好ましくは、前記フォークにおいて、前記フォーク本体には前記プッシャーの移動方向に沿って第１センサ及び第２センサが順次設置されて、前記レチクルと前記プッシュシリンダーの状態をモニタリングし、前記プッシュシリンダーが収縮状態になると、前記第１センサはトリガーされ、前記第２センサはトリガーされず、前記プッシュシリンダーが伸出すると同時に前記フォークロッド上に前記レチクルがある場合、前記第１センサ及び前記第２センサは同時にトリガーされ、前記プッシュシリンダーが伸出すると同時に前記フォークロッド上にレチクルが存在しない場合、前記第１センサはトリガーされず、前記第２センサはトリガーされる。
【００１２】
好ましくは、前記フォークにおいて、前記プッシャーはプッシュロッド及び前記プッシュロッドの両側端部に対称的に設けられるクランプブロックを含み、前記レチクルを押す時に、前記クランプブロックは前記レチクルの２つの上部コーナーに当接する。
【００１３】
本発明は前記フォークと結合して用いられるケースをさらに提供し、前記ケースは、ケース上板、ケース側壁、ケース底板及びレチクルを支持するためのケースホルダーを含む前記フォークと結合して用いられるケースにおいて、前記ケース側壁にはケースバリアがさらに固定され、前記ケースバリアはケース側壁に水平に連結されたケース連結部及びケース連結部の端部に垂直に連結されたケース位置制限部を含み、前記ケース側壁、ケース連結部及びケース位置制限部はＨ形構造を形成し、
前記フォークが前記ケースからレチクルを移送する時に、前記第１衝突防止部と前記ケース位置制限部の底端との間の垂直距離は前記レチクルから前記ケース上板の下面までの垂直距離よりも小さいようにする。
【００１４】
好ましくは、前記ケースにおいて、前記フォークが前記ケースからレチクルを移送する時に、前記第２衝突防止部の上端は前記ケース位置制限部の底端よりも高い。
【００１５】
好ましくは、前記ケースにおいて、前記第２衝突防止部と前記ケース位置制限部との間の水平距離は前記レチクルと前記ケース位置制限部との間の水平距離よりも小さい。
【００１６】
好ましくは、前記ケースにおいて、前記ケースの一端は前記レチクルをピック／リリースするために開口されており、前記ケースの他端には前記レチクルの位置を制限するための位置決めブロックが設けられている。
【００１７】
本発明は、第２衝突防止部、第１衝突防止部及び移送部の前記第２衝突防止部に近づく側壁に凹溝構造が形成される前述のフォークロッドを利用してｓｍｉｆフレームまたは前述のケースの中からレチクルを移送する方法において、この方法は、前記フォークを利用して前記ｓｍｉｆフレームまたはケースからレチクルをピックまたはリリースする時に、フォークロッドを前記ｓｍｉｆフレームまたはケースにリリースし、同時に、前記ｓｍｉｆフレームの支持位置制限部または前記ケースのケース位置制限部を前記フォークロッドの凹溝構造内に嵌め込んで、フォークロッドがレチクルをピック／リリースする時に、レチクルがｓｍｉｆフレームまたはケースの中での垂直方向及び水平方向の移動を制限する。
【００１８】
好ましくは、前記方法において、前記フォークを利用してレチクルを前記ｓｍｉｆフレームまたはケースの中にリリースする時に、
Ｓ１１．前記フォークロッドの移送部は前記レチクルを載置し、前記フォーク本体上のプッシュアセンブリは前記レチクルをプッシュし、前記フォークロッドの前端の位置制限ブロックと協力して前記レチクルの両端をクランプしてレチクルの位置を固定するステップと、
Ｓ１２．前記レチクルの前端が前記ｓｍｉｆフレームにおける位置決めブロックまたはケースにおける位置決めブロックに接触または第１既設距離離隔するまで、レチクルを載置しているフォークロッドを前記ｓｍｉｆフレームまたはケースの中にリリースし、リリース過程で、前記ｓｍｉｆフレームの支持位置制限部または前記ケースのケース位置制限部は前記フォークロッドの凹溝構造内に嵌め込まれるようにするステップと、
Ｓ１３．プッシュアセンブリは後退し、フォークロッドは下へ移動してレチクルと分離してレチクルに対するリリースを完成するステップと、を実行する。
【００１９】
好ましくは、前記方法において、前記フォークを利用して前記ｓｍｉｆフレームまたはケース中のレチクルを取り出す時に、Ｓ２１．前記フォークロッドが前記ｓｍｉｆフレームまたはケースの中に入り、この時に、前記２つのフォークロッドはレチクルの両側に対称的に分布され、前記ｓｍｉｆフレームの支持位置制限部または前記ケースのケース位置制限部は前記フォークロッドの凹溝構造内に嵌め込まれるステップと、
Ｓ２２．前記フォークロッドは所定の位置まで移動した後上昇して、移送部がレチクルの下面に当接するようにし、その後、上昇し続けて前記レチクルが前記ｓｍｉｆフレームまたは前記ケースから離れるようにするステップと、
Ｓ２３：プッシュアセンブリが伸出して、前記フォークロッドの前端の位置制限ブロックと協力して前記レチクルの両端をクランプして前記レチクルの位置を固定し、前記フォークロッドを外側へ動かして、前記レチクルを前記ｓｍｉｆフレームまたはケースから移出するステップと、を実行する。
【００２０】
好ましくは、前記方法において、ステップＳ１２において、前記フォークロッドが前記レチクルを前記ケースの中にリリースする時に、
前記レチクルを載置しているフォークロッドを前記ケースの中にリリースする時に、前記レチクルの前端と前記ケースにおける位置決めブロックが第２既設距離離隔すると、前記プッシュアセンブリは後退して前記レチクルと分離し、その後、前記フォークロッドは前記レチクルの前端が前記ケースの中の位置決めブロックに接触または前記第１既設距離離隔するまで引き続き前進するステップをさらに含み、前記第２既設距離は第１既設距離よりも大きい。
【００２１】
従来技術に比べて、本発明によるレチクルを移送するためのフォーク、前記フォークと結合して用いられるケース及びレチクルを移送する方法は、フォークロッドがレチクルを移送する時に、移送部はレチクルの両側に支持されることにより、レチクルがフォークロッドによって上昇された後、ｓｍｉｆフレームの中のレチクル支持部またはケースの中のケースホルダーと分離される。この移送過程で、第１衝突防止部と支持位置制限部の底端との間の距離がレチクルの上端から支持連結部の底端までの距離より小さく、第１衝突防止部とケース位置制限部の底端との間の距離がレチクルの上端からケース上板までの距離より小さいので、フォークロッドの操作にエラーが発生して上昇距離が大きすぎる場合にも、レチクルが衝突される前に、第１衝突防止部が支持位置制限部またはケース位置制限部に衝突して、レチクルが支持連結部またはケース上板に衝突されることを防止することができるので、垂直方向でレチクルに対して保護作用をする。
同様に、水平方向で、第２衝突防止部とケース位置制限部との間の距離がレチクルの両端からケース位置制限部までの距離より小さく、水平方向で、移送部とレチクル支持部との間の距離がレチクルの両端から支持位置制限部までの距離が小さいことにより、レチクルがケース位置制限部に衝突する前に、第２衝突防止部がケース位置制限部に衝突し、レチクルが支持位置制限部に衝突する前に、移送部がレチクル支持位置制限部に衝突して、移動し続けることを停止することができる。即ち、レチクルの衝突を防止する。
前述のシステム及び方法は各方向でレチクルに対して保護作用をすることができ、レチクルの移送時の安全性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】ｓｍｉｆフレームの構造を示す図である。
【図２】本発明におけるケースの構造を示す図である。
【図３】本発明におけるフォークの構造を示す図である。
【図４】本発明においてフォークロッドがケースからレチクルをピック／リリースする際の断面図である。
【図５】図４のＡ部分の拡大図である。
【図６】本発明のフォークロッドがｓｍｉｆフレームからレチクルをピック／リリースする際の断面図である。
【図７】図６のＢ部分の拡大図である。
【図８】本発明においてフォークがケース内にレチクルをリリースする際の第１状態図である。
【図９】本発明においてフォークがケース内にレチクルをリリースする際の第２状態図である。
【図１０】本発明においてフォークがｓｍｉｆフレームにレチクルをリリースする際の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、添付図面及び具体的な実施例を結合して本発明によるレチクル搬送システム及び搬送方法についてさらに詳しく説明する。以下の説明及び特許請求範囲に基づいて本発明の長所及び特徴はより明確になり得る。図面は、非常に簡易化した形式を採用し、且つ正確ではない比率を使用しており、本発明の実施例を容易かつ明確に説明することを補助するために用いられることに留意すべきである。図面において、同じまたは類似する図面符合は同じまたは類似する部材を示す。
【００２４】
リソグラフィ装置において、レチクルはケースからマスクステージまでマスク搬送システムを通じて実現し、ケースの構造は図２に示した通りであり、レチクルを支持するためのレチクルホルダー１、レチクルに対して位置制限をするためのケースバリア、ケース側壁２及びケース上板３を含み、ここで、ケースバリアはケース側壁２に水平に連結されたケース連結部４及びケース連結部４の端部に垂直に連結されたケース位置制限部５を含み、ケース位置制限部５、ケース連結部４及びケース側壁２はＨ形構造を形成し、レチクルがケースの中に位置する時に、ケースホルダー１はレチクルの底端を支持し、また、レチクルの両側とケース位置制限部５との間に所定の隙間を有し、ケース位置制限部５はレチクルに対して位置制限をするとともに、レチクルがケースホルダー１から落ちることを防止することができ、それにより、フォークでレチクルを取る時に、フォークで下から上へレチクルをケースホルダー１から上方へ押し上げた後、ケースの外部に移出することで、レチクルをケースの中ら取り出すことができる。レチクルをケースの中からｓｍｉｆ（Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｍｅｃｈａｎｉｃ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ、標準メカニカルインターフェイス）フレーム上に移動した後、ｓｍｉｆフレームからマスクステージに移動して用い、ここで、ｓｍｉｆは、操作過程で、チップまたはレチクルがクリーンルームの大環境に露出されないのに必要なインターフェースである。本発明におけるｓｍｉｆフレームの構造は図１に示す通りであり、断面がＬ字状を呈する複数層の支持体を含み、各前記支持体は水平に延伸する支持連結部６及び垂直に延伸するレチクル支持部７を含み、支持連結部６の底端に支持位置制限部８が連結され、それにより、その下の層のレチクル支持部７がレチクルを支持する時に、このレチクルもその上の層の支持位置制限部８がその両側に対する位置制限を同時に受け、同時に、レチクルと上層の支持連結部６との間に所定の高さの差を有し、ｓｍｉｆフレームからレチクルを取り出す時に、フォークの活動方式はケース内での活動方式と一致する。
【００２５】
レチクル搬送システムにおいて、図３〜図１０に示すように、ｓｍｉｆフレーム、ケース及びレチクルを移送するためのフォークの中の一つ以上を含み、前記ｓｍｉｆフレームは、断面がＬ字状を呈する複数層の支持体を含み、前記支持体は水平に延伸する支持連結部６及び垂直に延伸するレチクル支持部７を含み、前記支持連結部６の底端に支持位置制限部８がさらに固定されており、前記ケースはケース上板３、ケース側壁２、ケース底板及び前記レチクルを支持するためのケースホルダー１を含む。
【００２６】
前記ケース側壁２にはケースバリアがさらに固定され、前記ケースバリアはケース側壁２に水平に連結されたケース連結部４及びケース連結部４の端部に垂直に連結されたケース位置制限部５を含み、前記ケース側壁２、ケース連結部４及びケース位置制限部５はＨ形構造を形成する。
【００２７】
前記フォークは、フォーク本体１３と、フォーク本体１３に対称的に連結された２つのフォークロッドとを含み、前記フォークロッドはレチクルを支持するための移送部９と衝突防止部とを含み、前記衝突防止部は、水平に延伸する第１衝突防止部１０と垂直に延伸する第２衝突防止部１１とを含み、前記フォークが前記ｓｍｉｆフレームまたはケースから前記レチクルをピックまたはリリースする時に、前記レチクルは２つの移送部９の間に支持される。前記第１衝突防止部１０は前記移送部９のレチクルと相反する一側に水平に連結され、前記第１衝突防止部１０は前記移送部９と前記第２衝突防止部１１との間に連結され、前記第２衝突防止部１１、前記第１衝突防止部１０及び移送部９の第２衝突防止部１１に近づく側壁に凹溝構造が形成され、前記フォークが前記ｓｍｉｆフレームまたはケースの中からレチクルをピックまたはリリースする時に、前記支持位置制限部８またはケース位置制限部５は前記凹溝構造内に位置する。
【００２８】
好ましくは、前記フォークが前記ｓｍｉｆフレームまたはケースから前記レチクルをピックまたはリリースする時に、前記第１衝突防止部１０と前記ケース位置制限部５の底端との間の垂直距離はレチクルから前記ケース上板３の下面までの間の垂直距離より小さく、前記第１衝突防止部１０と前記支持位置制限部８の底端との間の垂直距離はレチクルと前記レチクルの上方の支持連結部６の下面との間の垂直距離より小さい。
【００２９】
好ましくは、本実施例において、前記第２衝突防止部１１の上端は前記ケース位置制限部５または前記支持位置制限部８の底端よりも高い。
【００３０】
さらに、前記フォークが前記ｓｍｉｆフレームまたはケースから前記レチクルをピックまたはリリースする時に、前記第２衝突防止部１１と前記ケース位置制限部５との間の水平距離はレチクルと前記ケース位置制限部５との間の水平距離より小さく、前記移送部９と前記レチクル支持部７との間の水平距離はレチクルと前記支持位置制限部８との間の水平距離より小さい。
【００３１】
さらに、前記移送部９にはレチクルを支持するための複数の支持ブロック１２が設けられ、レチクルの支持効果がさらに良くなるように確保される。好ましくは、前記支持ブロック１２の数は３つであり、三角形状に２つのフォークロッドに分布され、前記支持ブロック１２の材料はポリエーテルエーテルケトンを選択してもいい。
【００３２】
さらに、前記フォーク本体１３には前記フォークロッド上に位置するレチクルを押すためのプッシュアセンブリが設けられており、前記フォークロッド上にはレチクルの位置を制限するための位置制限ブロック１４が設けられており、前記プッシュアセンブリは、プッシュシリンダー１５、及び前記プッシュシリンダー１５に連結されるプッシャー１６を含み、前記プッシャー１６と前記プッシュシリンダー１５はＴ字状に配置され、前記プッシャー１６はプッシュロッド及び前記プッシュロッドの端部の両側に対称的に設けられるクランプブロック２１を含み、前記レチクルを押す時に、前記クランプブロック２１は前記レチクルの端部の２つの上部コーナーに当接して、レチクルに対して固定及び位置決めの役割を果たす。
【００３３】
さらに、前記フォーク本体１３には前記プッシャー１６の移動方向に沿って第１センサ１７及び第２センサ１８が順次設置され、レチクルと前記プッシュシリンダー１５の状態をモニタリングし、前記プッシュシリンダー１５が収縮状態になると、前記第１センサ１７はトリガーされ、前記第２センサ１８はトリガーされず、前記プッシュシリンダー１５が伸出すると同時に前記フォークロッド上にレチクルがある場合、前記第１センサ１７及び前記第２センサ１８は同時にトリガーされ、前記プッシュシリンダー１５が伸出すると同時にフォークロッド上にレチクルが存在しない場合、前記第１センサ１７はトリガーされず、前記第２センサ１８はトリガーされる。このように、第１センサ１７と第２センサ１８のトリガー状態によってフォークロッド上にレチクルがあるか否かを即時に、に判断することができ、次のステップの操作を行うことができる。
【００３４】
さらに、前記ケースの一端はレチクルをピック／リリースするために開口されており、他端にはレチクルの位置を制限するための第１位置決めブロック１９が設けられている。図８に示すように、選択的に、前記位置決めブロック１９は小型の位置決めブロックであり、数は、選択的に、２つである。前記ｓｍｉｆフレームの一端はレチクルをピック／リリースするために開口されており、他端にはレチクルの位置を制限するための第２位置決めブロック２０が設けられている。図１０に示すように、選択的に、前記第２位置決めブロック２０は大型位置決めブロックであり、大型位置決めブロックの位置決め面積は少なくともレチクルの前側の側面積の１／２よりも大きい。
【００３５】
レチクルの搬送方法において、前述したようなフォークを利用して前記ｓｍｉｆフレームまたはケースからレチクルをピックまたはリリースし、操作する時に、フォークロッドを前記ｓｍｉｆフレームまたはケースの中にリリースすると同時に、前記ｓｍｉｆフレームの支持位置制限部８または前記ケースのケース位置制限部５は前記フォークロッドの凹溝構造内に嵌め込まれて、フォークロッドがレチクルをピック／リリースする際にレチクルがｓｍｉｆフレームまたはケースの中での垂直方向及び水平方向に移動することを制限する。
【００３６】
さらに、前記フォークを利用してレチクルを前記ｓｍｉｆフレームまたはケースの中にリリースする場合において、
Ｓ１１．前記フォークロッドの移送部９は前記レチクルを載置し、前記フォーク本体１３上のプッシュアセンブリは前記レチクルをプッシュし、前記フォークロッドの前端の位置制限ブロック１４と協力して前記レチクルの両端をクランプしてレチクルの位置を固定するステップと、
Ｓ１２．前記レチクルの前端が前記ｓｍｉｆフレームにおける第２位置決めブロック２０またはケースにおける第１位置決めブロック１９に接触または第１既設距離離隔するまで、レチクルを載置しているフォークロッドをｓｍｉｆフレームまたはケースの中にリリースし、リリースする過程で、前記ｓｍｉｆフレームの支持位置制限部８または前記ケースのケース位置制限部５が前記フォークロッドの凹溝構造内に嵌め込まれるようにするステップと、
Ｓ１３．プッシュアセンブリは後退し、フォークロッドは下へ移動してレチクルと分離してレチクルに対するリリースを完成するステップと、を実行する。
【００３７】
さらに、前記フォークを利用して前記ｓｍｉｆフレームまたはケース中のレチクルと取り出す時に、
Ｓ２１．前記フォークロッドがｓｍｉｆフレームまたはケースの中に入り、この時に、２つのフォークロッドはレチクルの両側に対称的に分布され、前記ｓｍｉｆフレームの支持位置制限部８または前記ケースのケース位置制限部５は前記フォークロッドの凹溝構造内に嵌め込まれるステップと、
Ｓ２２．フォークロッドが所定の位置まで移動した後上昇して、移送部９がレチクルの下面に当接した後、上昇し続けて前記レチクルが前記ｓｍｉｆフレームまたはケースから離れるようにするステップと、
Ｓ２３：プッシュアセンブリが伸出して、前記フォークロッドの前端の位置制限ブロック１４と協力して前記レチクルの両端をクランプしてレチクルの位置を固定し、フォークロッドを外側に動かして、レチクルをｓｍｉｆフレームまたはケースから移出するステップと、を実行する。
【００３８】
さらに、前記Ｓ１２において、フォークロッドはレチクルをケースの中にリリースする時に、
レチクルを載置しているフォークロッドをケースの中にリリースする時に、前記レチクルの前端と前記ケースにおける第１位置決めブロック１９が第２既設距離離隔すると、前記プッシュアセンブリは後退してレチクルと分離する（図８に示す）。
その後、フォークロッドは前記レチクルの前端が前記ケースの中の第１位置決めブロック１９に接触または前記第１既設距離離隔するまで引き続き前進し、前記第２既設距離は第１既設距離より大きい（図９に示す）。
【００３９】
上述したように、本発明によるレチクルを移送するためのフォーク、前記フォークと結合して用いられるケース及びレチクルを移送する方法は、まず、ケースの中から外側へレチクルを移送する時に、フォークロッドはフォーク本体１３によって駆動されてケースの中に入り、２つのフォークロッドはレチクルの両側に分布されるようにする。その後、フォークロッドは上昇して移送部９によってレチクルの両側の下面に当接してレチクルを押し上げ、プッシュシリンダー１５はプッシャー１６を押して移動させ、プッシャー１６はレチクルの端部に当接してレチクルの他端が位置制限ブロック１４に当接するようにし、このようにしてレチクルの前後端が全部位置制限されて、レチクルとフォークロッドの相対位置の安定性が保証される。その後、フォークロッドは移動してレチクルを移送し続けるが、この移送過程で、垂直方向で、第１衝突防止部１０からケース位置制限部５までの距離がレチクルの上端からケース上板３までの距離より小さいので、フォークロッドに揺れなどが発生しても、レチクルがケース上板３に衝突する前に第１衝突防止部１０がケース位置制限部５と衝突してフォークロッドのさらなる上昇を防止し、レチクルに対して保護効果を奏する。同様に、水平方向で、第２衝突防止部１１からケース位置制限部５までの距離がレチクルからケース位置制限部５までの距離より小さいので、フォークロッドが左右に揺れる場合、レチクルがケース位置制限部５に衝突する前に第２衝突防止部１１がケース位置制限部５と当接してレチクルに衝突が発生することを防止することができ、レチクルの水平方向で保護作用をし、同じ道理により、ｓｍｉｆフレームからレチクルを取り出す時に、にも、第１衝突防止部１０及び移送部９をそれぞれ利用してレチクルの垂直方向、水平方向に対して保護することができるので、保護効果がさらに全面的であり、レチクルの移送安全性が高い。
【００４０】
さらに、ケースの中にレチクルをリリースする時に、第１位置決めブロック１９から第２既設距離離隔すると、フォークロッドは移動を停止し、プッシャー１６が後退してレチクルと分離され、その後、フォークロッドは継続して前へ移動することにより、この過程で、レチクルが第１位置決めブロック１９と接触しても、レチクルの後端はプッシャー１６によって位置制限されないので、レチクルはフォークロッドで摺動することができ、過剰な押圧作用を受けることがない。ｓｍｉｆフレーム上にある場合、レチクルの前端を第２位置決めブロック２０から所定距離、例えば約１ｍｍ離れるようにすれば、フォークロッドはそれ以上前方へ伸出せず、プッシャー１６は後退する。偶発的な衝突が発生した場合でも、第２位置決めブロック２０の位置決めとレチクルとの間の接触面積が大きく、シリンダーが収縮するためのバッファーがあるため、レチクルが損傷されなく、このように、レチクルと第２位置決めブロック２０との間で発生する相互作用力が小さくなる。
【００４１】
レチクルをケースからｓｍｉｆフレームに移動するか、またはｓｍｉｆフレームからケースの中に移動する過程で、リソグラフィ装置の露光時に、間と同時に行うことができて、この時に、間内においてレチクルに対する移動要求が比較的低いので、フォークロッドがケースに入る時に、レチクルが第１位置決めブロック１９に到達する前にプッシュシリンダー１５が収縮操作をするように第２既設距離を設定することができて、レチクルに対して十分保護作用をすることができるが、レチクルがｓｍｉｆフレームからマスクステージまたはマスクステージからｓｍｉｆフレームに移動するのにかかる時に、間がリソグラフィ装置の効率に直接影響を与えるため、時に、間的に比較的きついので、比較的面積の大きい第２位置決めブロック２０を採用することでレチクルのピック／リリースを速やかに行うことができる。即ち、第１位置決めブロック１９と第２位置決めブロック２０は何れも実際リソグラフィ装置の作業状況に応じて設けたものであるので、実際の操作過程で最適化された結果を得ることができる。
【００４２】
本明細書において各実施例は段階的方式で説明し、各実施例では他の実施例との相違点について主に説明し、各実施例の間で同一または類似する部分は互いに参照することができることに留意されたい。実施例に開示されたテスト方法については、採用するテスト装置と実施例で開示する装置部分が互いに対応するため、関連するテスト装置に対する説明は比較的簡単であり、関連する部分については、装置部分の説明を参照されたい。
【００４３】
以上の説明は本発明の好ましい実施例に対する説明であるだけで、本発明の範囲を制限するのではない。本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者は以上の開示内容に基づいて施す如何なる変更、修飾はいずれも特許請求範囲の保護範囲に属するとすべきである。
【符号の説明】
【００４４】
１．ケースホルダー、２．ケース側壁、３．ケース上板、４．ケース連結部、５．ケース位置制限部、６．支持連結部、７．レチクル支持部、８．支持位置制限部、９．移送部、１０．第１衝突防止部、１１．第２衝突防止部、１２．支持ブロック、１３．フォーク本体、１４．ストッパー、１５．プッシュシリンダー、１６．プッシャー、１７．第１センサー、１８．第２センサー、１９．第１位置決めブロック、２０．第２位置決めブロック、２１．クラップブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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