(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被計測体のサイズを計測するサイズ計測システムであって、
前記被計測体との間に隙間を有して配置される計測用ヘッドと、
エアを供給するエア供給装置と、
管状に形成され、基端部が前記エア供給装置に接続されて、先端部が前記計測用ヘッドに接続され、前記エア供給装置から供給されたエアを、前記計測用ヘッドに送り出すエア送出管と、
前記エア送出管の内部でエアの流路上に配置される検出素子を有し、前記検出素子の温度変化による前記検出素子の抵抗値の変化に基づいて、エアの流量を検出する流量検出部と、
前記流量検出部での検出結果に基づいて、前記被計測体のサイズを算出するサイズ算出部と、
を備え、
前記計測用ヘッドは、前記被計測体を収容可能な収容部を有し、前記エア送出管により送り出されたエアを前記収容部に送り出す収容部材を備え、
前記サイズ算出部は、前記収容部材に前記被計測体が収容されていない非収容状態での前記流量検出部での検出結果と、前記収容部材に前記被計測体が収容された収容状態での前記流量検出部での検出結果との差に基づいて、前記被計測体の外径サイズを算出することを特徴とするサイズ計測システム。
【請求項２】
被計測体のサイズを計測するサイズ計測システムであって、
前記被計測体との間に隙間を有して配置される計測用ヘッドと、
エアを供給するエア供給装置と、
管状に形成され、基端部が前記エア供給装置に接続されて、先端部が前記計測用ヘッドに接続され、前記エア供給装置から供給されたエアを、前記計測用ヘッドに送り出すエア送出管と、
前記エア送出管の内部でエアの流路上に配置される検出素子を有し、前記検出素子の温度変化による前記検出素子の抵抗値の変化に基づいて、エアの流量を検出する流量検出部と、
前記流量検出部での検出結果に基づいて、前記被計測体のサイズを算出するサイズ算出部と、
を備え、
前記計測用ヘッドは、前記被計測体に形成された凹部又は貫通孔に挿入され、前記エア送出管により送り出されたエアを外周面から外部に送り出す挿入部材を備え、
前記サイズ算出部は、前記挿入部材が前記被計測体に挿入されていない非挿入状態での前記流量検出部での検出結果と、前記挿入部材が前記被計測体に挿入された挿入状態での前記流量検出部での検出結果との差に基づいて、前記被計測体の内径サイズを算出することを特徴とするサイズ計測システム。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のサイズ計測システムにおいて、
前記検出素子は、タングステンから構成されていることを特徴とするサイズ計測システム。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のサイズ計測システムにおいて、
前記エア供給装置は、前記エア送出管の内部に挿入され、前記検出素子に向けてエアを吹き付けるエア吹付管を備えることを特徴とするサイズ計測システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被計測体のサイズを計測するサイズ計測システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
被計測体のサイズを計測する計測装置として、圧縮エアのレギュレータと、その後のエア系路を分岐して設けた大気に通ずる基準系路と噴射ノズルに通ずる測定系路と、両系路を差圧感知式半導体型エア圧―電気変換器に導く回路と、該変換器出力をもって隙間寸法値を表示する表示計器からなるエアマイクロメータがある（例えば、特許文献１）。
【０００３】
特許文献１の計測装置は、圧縮エアをノズルから噴射することにより降下する圧力の差圧を検出し、これを電気信号に変換してノズルに相対する隙間寸法を測定するエアマイクロメータに関するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−９９６３４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の計測装置では、圧縮エアを高くする必要があり、エア消費が多く、計測に時間がかかり、さらには、装置自体の構成が複雑になるという問題があった。
【０００６】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で被計測体のサイズを容易に計測することができるサイズ計測システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のサイズ計測システムは、被計測体のサイズを計測するサイズ計測システムであって、前記被計測体との間に隙間を有して配置される計測用ヘッドと、エアを供給するエア供給装置と、管状に形成され、基端部が前記エア供給装置に接続されて、先端部が前記計測用ヘッドに接続され、前記エア供給装置から供給されたエアを、前記計測用ヘッドに送り出すエア送出管と、前記エア送出管の内部でエアの流路上に配置される検出素子を有し、前記検出素子の温度変化による前記検出素子の抵抗値の変化に基づいて、エアの流量を検出する流量検出部と、前記流量検出部での検出結果に基づいて、前記被計測体のサイズを算出するサイズ算出部と、を備え、前記計測用ヘッドは、前記被計測体を収容可能な収容部を有し、前記エア送出管により送り出されたエアを前記収容部に送り出す収容部材を備え、前記サイズ算出部は、前記収容部材に前記被計測体が収容されていない非収容状態での前記流量検出部での検出結果と、前記収容部材に前記被計測体が収容された収容状態での前記流量検出部での検出結果との差に基づいて、前記被計測体の外径サイズを算出することを特徴とする。
【０００８】
計測用ヘッドに被計測体をセットしたセット状態と、計測用ヘッドに被計測体をセットしていない非セット状態とでは、エア送出管の内部に配置された検出素子の温度が変化する。
【０００９】
本発明によれば、エア送出管の内部に配置された検出素子の温度変化による抵抗値の変化に基づいて、エア流量を検出し、この検出結果に基づいて、被計測体のサイズを算出するので、簡単な構成で被計測体のサイズを容易に計測することができる。また、検出素子の温度変化による抵抗値の変化に基づいて、エア流量を検出するので、機械的な圧電素子を用いてエア流量を検出するものに比べて、検出精度が向上する。
【００１１】
この構成によれば、容易に被計測体の外径サイズを算出することができる。さらに、毎回、非収容状態での検出結果と、収容状態での検出結果とに基づいて、被計測体の外径サイズを算出するので、例えば、一度計測した校正基準となる非計測体の検出結果を繰り返し用いるものに比べて、精度よく被計測体の外径サイズを計測することができる。
【００１２】
本発明のサイズ計測システムは、被計測体のサイズを計測するサイズ計測システムであって、前記被計測体との間に隙間を有して配置される計測用ヘッドと、エアを供給するエア供給装置と、管状に形成され、基端部が前記エア供給装置に接続されて、先端部が前記計測用ヘッドに接続され、前記エア供給装置から供給されたエアを、前記計測用ヘッドに送り出すエア送出管と、前記エア送出管の内部でエアの流路上に配置される検出素子を有し、前記検出素子の温度変化による前記検出素子の抵抗値の変化に基づいて、エアの流量を検出する流量検出部と、前記流量検出部での検出結果に基づいて、前記被計測体のサイズを算出するサイズ算出部と、を備え、前記計測用ヘッドは、前記被計測体に形成された凹部又は貫通孔に挿入され、前記エア送出管により送り出されたエアを外周面から外部に送り出す挿入部材を備え、前記サイズ算出部は、前記挿入部材が前記被計測体に挿入されていない非挿入状態での前記流量検出部での検出結果と、前記挿入部材が前記被計測体に挿入された挿入状態での前記流量検出部での検出結果との差に基づいて、前記被計測体の内径サイズを算出することを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、容易に被計測体の内径サイズを算出することができる。さらに、毎回、非挿入状態での検出結果と、挿入状態での検出結果とに基づいて、被計測体の内径サイズを算出するので、例えば、一度計測した非挿入状態での検出結果を繰り返し用いるものに比べて、精度よく被計測体の内径サイズを計測することができる。
【００１４】
さらに、前記検出素子は、タングステンから構成されていることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、タングステンは、空気（エア）中での物理的性質が安定しているため、検出素子の抵抗値の変化に基づいて検出するエアの流量の検出精度を向上することができる。
【００１６】
また、前記エア供給装置は、前記エア送出管の内部に挿入され、前記検出素子に向けてエアを吹き付けるエア吹付管を備えることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、検出素子に向けてエアを吹き付けるので、エアによる検出素子の温度変化及び抵抗変化が大きくなり、検出素子の抵抗値の変化に基づいて検出するエアの流量の検出精度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のサイズ計測システムを示す概略図。
【図２】被計測体と収容治具とを示す平面図。
【図３】被計測体の内径サイズを計測する場合のサイズ計測システムを示す概略図。
【図４】エア流量差に応じた被計測体の内径サイズ及び外径サイズを示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１に示すように、サイズ計測システム２は、例えば円筒状の被計測体３の内径サイズ及び外径サイズを計測するものであり、計測用ヘッド４と、エアを供給するエア供給装置５とを備える。
【００２１】
サイズ計測システム２は、基端部６ａがエア供給装置５に接続されたエア送出管６と、エア送出管６でのエア流量を検出する流量検出部７と、流量検出部７での検出結果に基づいて、被計測体３の内径サイズ及び外径サイズを算出するサイズ算出部８とを備える。
【００２２】
エア供給装置５は、第１蓄圧タンク１１と、第２蓄圧タンク１２と、エアを供給する周知のコンプレッサ１３と、エア供給装置５を統括的に制御する制御部１４とを備える。第１蓄圧タンク１１とコンプレッサ１３とは、第１配管１５ａにより接続され、第１蓄圧タンク１１と第２蓄圧タンク１２とは、第２配管１５ｂにより接続されている。
【００２３】
また、第２蓄圧タンク１２とエア送出管６とは、第３配管１５ｃ及び極細管１６により接続され、エア送出管６の先端部６ｂと収容治具４１とは、第４配管１５ｄにより接続されている。第１〜第４配管１５ａ〜１５ｄは、例えば樹脂製であり、その長さは適宜変更可能である。
【００２４】
第１蓄圧タンク１１は、例えば、コンプレッサ１３の圧力脈動を低減する蓄圧装置であり、真空用小型ガラスベルジャーから構成されている。
【００２５】
第２蓄圧タンク１２は、例えば、ガラス製で、定圧微小流量のエアを供給可能な供給装置であり、内部に、エアの温度、圧力及び湿度を検出可能なエアモニタセンサ２１が配置されている。エアモニタセンサ２１は、制御部１４に接続されている。
【００２６】
制御部１４は、エアモニタセンサ２１からの各種データ（エアの温度、圧力及び湿度）に基づいて、エアの温度、圧力及び湿度を、所定の設定値となるようにエア供給装置５の駆動を制御する。
【００２７】
第２配管１５ｂには、微小なエアを流すための微小流量弁２４が設けられている。この微小流量弁２４により、これより下流側には、微小なエアが供給される。
【００２８】
第３配管１５ｃは、基端が第２蓄圧タンク１２に接続され、先端には極細管１６（エア吹付管）の基端が接続されている。極細管１６の先端部は、エア送出管６の基端部６ａを通して内部に挿入され、微小流量のエアを加速して供給（送出）するための加速ノズル１６ａが設けられている。この加速ノズル１６ａは、詳しくは後述する流量検出部７の検出素子３１に向けてエアを供給する。
【００２９】
エア送出管６は、例えばガラス管により構成され、先端部６ｂは先端に向けて細くなるようにテーパ状に形成され、第４配管１５ｄが接続されている。
【００３０】
図１〜図３に示すように、計測用ヘッド４は、被計測体３を収容可能で被計測体３の外径サイズを計測する際に用いる収容治具４１と、筒状の被計測体３の貫通孔に挿入され、被計測体３の内径サイズを計測する際に用いる挿入治具４２とを備える。
【００３１】
収容治具４１は、円筒状に形成され、その孔である内部空間４１ａ（収容部）に被計測体３が収容（挿通）される。また、図２に示すように、収容治具４１は、外周面から内周面まで貫通した貫通孔４１ｂが形成されている。この貫通孔４１ｂは、複数（例えば、９０°ピッチで４個）形成されている。
【００３２】
第４配管１５ｄの先端には、略Ｔ字形状で３個の開口部が形成された第１ジョイント４５ａの第１の開口部が接続されている。第１ジョイント４５ａの第２，第３の開口部には、第１計測用配管４７ａ及び第２計測用配管４７ｂの基端が接続されている。
【００３３】
第１計測用配管４７ａの先端には、略Ｔ字形状で３個の開口部が形成された第２ジョイント４５ｂの第１の開口部が接続されている。第２ジョイント４５ａの第２，第３の開口部には、第３計測用配管４７ｃ及び第４計測用配管４７ｄの基端が接続されている。
【００３４】
第２計測用配管４７ｂの先端には、略Ｔ字形状で３個の開口部が形成された第３ジョイント４５ｃの第１の開口部が接続されている。第３ジョイント４５ｃの第２，第３の開口部には、第５計測用配管４７ｅ及び第６計測用配管４７ｆの基端が接続されている。
【００３５】
第３〜第６計測用配管４７ｃ〜４７ｆの先端は、収容治具４１の４個の貫通孔４１ｂに接続されている。これにより、エア送出管６から送出されたエアは、第４配管１５ｄ、第１〜第３ジョイント４５ａ〜４５ｃ、第１〜第３計測用配管４７ａ〜４７ｆ及び４個の貫通孔４１ｂを介して収容治具４１の内部空間４１ａに送られる。
【００３６】
挿入治具４２は、円柱状に形成され、内部には、基端面（図３における右側面）から先端に向けて延びた後に外周面まで延びる送出部４２ａが形成されている。この４２ａは、外周面まで延びる部分が複数（例えば、９０°ピッチで４個）形成されている。
【００３７】
挿入治具４２の基端には、第４配管１５ｄの先端が接続されている。これにより、エア送出管６から送出されたエアは、第４配管１５ｄを介して挿入治具４２に送られる。
【００３８】
図１に示すように、流量検出部７は、エア送出管６の内部に配置された検出素子３１と、検出素子３１に接続された抵抗３２と、検出素子３１及び抵抗３２に接続された電源３３とを有する検出回路３４を備え、検出回路３４での検出結果に基づいて、検出素子３１でのエア流量を検出するものである。
【００３９】
検出素子３１は、極細管１６の加速ノズル１６ａから供給されたエアにより、温度が変化し、この温度変化により抵抗値が変化する素子であり、例えば、タングステンから構成されている。
【００４０】
抵抗３２は、例えば、５１Ωの温度保証抵抗であり、温度変化による検出素子３１での抵抗値の変化量をΔγとした場合に、Δγ×５１Ω＝ΔＶとする変換素子である。電源３３は、極定電圧電源であり、例えば、４．０９Ｖの電源である。
【００４１】
［被計測体３の外径サイズ算出］
被計測体３の外径サイズを算出する場合には、収容治具４１に被計測体３を収容していない非収容状態における検出素子３１でのエア流量（以下、非収容エア流量）と、収容治具４１に被計測体３を挿入または収容した収容状態における検出素子３１でのエア流量（以下、収容エア流量）とを検出する。
【００４２】
なお、被計測体３を収容治具４１に収容する場合には、例えばロボットのアームに設けられた保持部で被計測体３を保持した状態で、ロボットのアームを駆動して、被計測体３の径方向中心と、収容治具４１の径方向中心とを合わせた状態で収容する。
【００４３】
先ず、非収容エア流量を検出するために、非収容状態でエア供給装置５を駆動し、コンプレッサ１３から供給されたエアを、第１配管１５ａ、第１蓄圧タンク１１、第２配管１５ｂ（微小流量弁２４）、第２蓄圧タンク１２、第３配管１５ｃ、極細管１６、エア送出管６、第４配管１５ｄ、第１〜第３ジョイント４５ａ〜４５ｃ、第１〜第３計測用配管４７ａ〜４７ｆ及び４個の貫通孔４１ｂを介して、内部空間４１ａにエアを送出させる（以下、「エアを内部空間４１ａに送出させる」）。
【００４４】
非収容状態でエアを内部空間４１ａに送出させた場合、流量検出部７の検出素子３１は、加速ノズル１６ａから供給されたエアにより、温度が変化し、この温度変化により抵抗値が変化する。
【００４５】
流量検出部７の抵抗３２は、温度変化による検出素子３１での抵抗値の変化量（Δγ）×５１Ω＝ΔＶとして変換する。
【００４６】
流量検出部７の記憶部（図示せず）には、ΔＶに対応したエア流量が、異なる数値のΔＶ毎に予め記憶されている。流量検出部７は、受信したΔＶに対応したエア流量を、非収容エア流量として検出する。非収容エア流量のデータは、サイズ算出部８に送信される。
【００４７】
本実施形態では、エア流量が増加すると、検出素子３１での温度が低くなる。なお、エア流量が増加すると、検出素子３１での温度が高くなるようなエアを供給するようにしてもよい。
【００４８】
同様に、収容エア流量を検出するために、収容状態でエア供給装置５を駆動し、エアを収容治具４１の内部空間４１ａに送出させる。
【００４９】
収容状態でエアを内部空間４１ａに送出させた場合も、流量検出部７の検出素子３１は、加速ノズル１６ａから供給されたエアにより、温度が変化し、この温度変化により抵抗値が変化する。
【００５０】
流量検出部７の抵抗３２は、温度変化による検出素子３１での抵抗値の変化量（Δγ）×５１Ω＝ΔＶとして変換する。流量検出部７は、上記ΔＶに対応したエア流量を、収容エア流量として検出する。収容エア流量のデータは、サイズ算出部８に送信される。なお、被計測体３を収容治具４１に収容した収容位置（図１における上下方向の位置）が異なる複数の位置で、収容エア流量を検出するようにしてもよい。
【００５１】
サイズ算出部８は、被計測体３の外径サイズを算出する場合、非収容エア流量から収容エア流量を減算したエア流量差を算出する。
【００５２】
サイズ算出部８の記憶部（図示せず）には、エア流量差に対応した被計測体３の外径サイズが、異なる数値のエア流量差毎に予め記憶されている。サイズ算出部８は、算出したエア流量差に対応した被計測体３の外径サイズを、被計測体３の外径サイズとして算出する。なお、被計測体３を収容治具４１に収容した上記複数の位置で、収容エア流量を検出した場合、各位置での被計測体３の外径サイズを算出することが好ましい。
【００５３】
図４は、エア流量差に対応した被計測体３の外径サイズを示すグラフの一例であり、エア流量差が大きくなるに従って、被計測体３の外径サイズも大きくなる比例関係となる。これは、被計測体３の外径サイズが大きいと、被計測体３の外周面と、収容治具４１の内周面との間の隙間が小さくなり、エアが流れ難くなり、収容エア流量が少なくなる。この結果、非収容エア流量はほぼ一定であるため、エア流量差が大きくなる。
【００５４】
［被計測体３の内径サイズ算出］
被計測体３の内径サイズを算出する場合には、図３に示すように、挿入治具４２を被計測体３の貫通孔に挿入していない非挿入状態における検出素子３１でのエア流量（以下、非挿入エア流量）と、挿入治具４２を被計測体３の貫通孔に挿入した挿入状態における検出素子３１でのエア流量（以下、挿入エア流量）とを検出する。
【００５５】
挿入治具４２を被計測体３の貫通孔に挿入する場合には、例えばロボットのアームに設けられた保持部で被計測体３を保持した状態で、ロボットのアームを駆動して、被計測体３の径方向中心と、挿入治具４２の径方向中心とを合わせた状態で挿入する。
【００５６】
先ず、非挿入エア流量を検出するために、非挿入状態でエア供給装置５を駆動し、コンプレッサ１３から供給されたエアを、第１配管１５ａ、第１蓄圧タンク１１、第２配管１５ｂ（微小流量弁２４）、第２蓄圧タンク１２、第３配管１５ｃ、極細管１６、エア送出管６、第４配管１５ｄ、挿入治具４２の送出部４２ａを介して外部にエアを送出させる（以下、「エアを挿入治具４２の外部に送出させる」）。
【００５７】
非挿入状態でエアを挿入治具４２の外部に送出させた場合、流量検出部７の検出素子３１は、加速ノズル１６ａから供給されたエアにより、温度が変化し、この温度変化により抵抗値が変化する。
【００５８】
流量検出部７の抵抗３２は、温度変化による検出素子３１での抵抗値の変化量（Δγ）×５１Ω＝ΔＶとして変換する。
【００５９】
流量検出部７の記憶部（図示せず）には、ΔＶに対応したエア流量が、異なる数値のΔＶ毎に予め記憶されている。流量検出部７は、受信したΔＶに対応したエア流量を、非挿入エア流量として検出する。非挿入エア流量のデータは、サイズ算出部８に送信される。
【００６０】
本実施形態では、エア流量が減少すると、検出素子３１での温度が高くなる。なお、エア流量が減少すると、検出素子３１での温度が低くなるようなエアを供給するようにしてもよい。
【００６１】
同様に、挿入エア流量を検出するために、挿入状態でエア供給装置５を駆動し、コンプレッサ１３から供給されたエアを、第１配管１５ａ、第１蓄圧タンク１１、第２配管１５ｂ（微小流量弁２４）、第２蓄圧タンク１２、第３配管１５ｃ、極細管１６、エア送出管６、第４配管１５ｄ、挿入治具４２の送出部４２ａを介して被計測体３の貫通孔にエアを送出させる（以下、「エアを被計測体３の貫通孔に送出させる」）。
【００６２】
挿入状態でエアを被計測体３の貫通孔に送出させた場合も、流量検出部７の検出素子３１は、加速ノズル１６ａから供給されたエアにより、温度が変化し、この温度変化により抵抗値が変化する。
【００６３】
流量検出部７の抵抗３２は、温度変化による検出素子３１での抵抗値の変化量（Δγ）×５１Ω＝ΔＶとして変換する。流量検出部７は、上記ΔＶに対応したエア流量を、挿入エア流量として検出する。挿入エア流量のデータは、サイズ算出部８に送信される。
【００６４】
サイズ算出部８は、被計測体３の内径サイズを算出する場合、非挿入エア流量から挿入エア流量を減算したエア流量差を算出する。
【００６５】
サイズ算出部８の記憶部（図示せず）には、エア流量差に対応した被計測体３の内径サイズが、異なる数値のエア流量差毎に予め記憶されている。サイズ算出部８は、算出したエア流量差に対応した被計測体３の内径サイズを、被計測体３の内径サイズとして算出する。なお、被計測体３の貫通していない凹部の内径サイズも同様に算出可能である。
【００６６】
図４は、エア流量差に対応した被計測体３の内径サイズを示すグラフの一例であり、エア流量差が大きくなるに従って、被計測体３の内径サイズが小さくなる反比例関係のグラフとなる。これは、被計測体３の内径サイズが小さいと、エアが流れ難くなり、挿入エア流量が少なくなる。この結果、非挿入エア流量はほぼ一定であるため、エア流量差が大きくなる。
【００６７】
以上説明したように、検出素子３１の温度変化による抵抗値の変化に基づいてエア流量を算出し、このエア流量に基づいて被計測体３の内径サイズ及び外径サイズを計測するので、例えば、機械的な圧電素子によりエア流量を計測するものに比べて、精度よく被計測体３の内径サイズ及び外径サイズを計測することができる。
【００６８】
また、被計測体３の内径サイズ及び外径サイズを計測する場合に、毎回、非挿入エア流量及び非収容エア流量と、挿入エア流量及び収容エア流量とを計測して、エア流量差を算出するので、例えば、一度計測した非挿入エア流量及び非エア流量を繰り返し用いるものに比べて、精度よく被計測体３の内径サイズ及び外径サイズを計測することができる。これは、非挿入エア流量及非エア流量を繰り返し用いる場合、計測時と現在との環境（温度等）の違いより、現在の非挿入エア流量及非エア流量と、計測時の非挿入エア流量及非エア流量との差が出てしまうためである。
【００６９】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はこのような実施形態により限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００７０】
例えば、上記実施形態では、円筒状の被計測体３の内径サイズ及び外径サイズを計測する計測システムに本発明を実施しているが、被計測体の形状は円筒に限らず、多角形状でもよい。さらに、被計測体のサイズを計測する計測システムであれば実施可能であり、被計測体の厚みや、被計測体の傾斜角度等を計測するシステムに実施してもよい。
【００７１】
また、被計測体の外形サイズを計測する場合、筒状ではなく柱状の被計測体でよい。いずれもの場合も、収容治具４１の内部空間４１ａは、被計測体の形状に合わせた形状となる。さらに、収容治具４１は、被計測体を収容できればよく、その孔は貫通していなくてもよい。
【００７２】
さらに、被計測体３の内径サイズ算出する場合に用いる収容治具４１は、上面または下面を閉じるよう（有蓋筒状または有底筒状）に形成してもよい。
【００７３】
また、上記実施形態では、サイズ算出部８は、非収容エア流量から収容エア流量を減算したエア流量差に基づいて、被計測体３の外径サイズを算出しているが、この算出方法に限定されることなく、流量検出部７の検出結果に基づいて、被計測体３の外径サイズを算出すればよい。例えば、収容エア流量に基づいて、被計測体３の外径サイズを算出するようにしてもよい。
【００７４】
さらに、上記実施形態では、検出素子３１をタングステンから構成しているが、これに限定されることなく、例えば、タンタル、ニオブ、白金またはパラジウム等の白金族金属で空気（エア）中での物理的性質が安定している金属等から構成することが好ましい。
【００７５】
また、上記実施形態では、エア吹付管として極細管１６を設けているが、極細管１６を設けずに、第３配管１５ｃをエア送出管６の基端部に接続するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００７６】
２…サイズ計測システム、３…被計測体、４…計測用ヘッド、５…エア供給装置、６…エア送出管、７…流量検出部、８…サイズ算出部、１６…極細管（エア吹付管）、３１…検出素子、４１…収容治具（収容部材）、４１ａ…内部空間（収容部）、４２…挿入治具（挿入部材）
【図１】
0006973814.tif 000002
【図２】
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【図３】
0006973814.tif 000004
【図４】
0006973814.tif 000005