(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部には有害性化合物を吸着する吸着剤が充填され、上方から下方、又は下方から上方への方向に有害性化合物を含む吸着ガスを通過させてガス中の有害性化合物を吸着するカートリッジを少なくとも２つ含み、前記カートリッジが連続的に並列配置された構造を持つカートリッジモジュールと、
前記カートリッジモジュール内のそれぞれのカートリッジに、循環式に装着及び脱着され、カートリッジの内部へ熱風を供給し、カートリッジ内の吸着剤に吸着された有害性化合物を、脱着させて排出させるカートリッジ再生モジュールと、を含み、
前記カートリッジ再生モジュールは、
熱風を供給することができるダクトが接続されたホッパーが、下方に移動してカートリッジから分離された後に、左又は右に移動し、さらに上方に移動して、カートリッジに装着されることにより、下方からカートリッジを密閉させた後、カートリッジの内部へ熱風を供給する熱風供給ホッパーと、
熱風を排出させることができるダクトが接続されたホッパーが上方に移動してカートリッジから分離された後に、左又は右に移動し、さらに下方に移動してカートリッジに装着されることにより、上方からカートリッジを密閉させた後、前記熱風供給ホッパーから供給されてカートリッジの内部を通過した熱風を排出させる熱風排出ホッパーと、を少なくとも１対含み、
前記吸着ガスから、有害性化合物が吸着された浄化ガス（２）はそのまま外部に排出されるのであるが、一部の、吸着後のカートリッジを通過したガス（３）は、外部に排出されずに熱風の供給に用いられ、
前記一部の、吸着後のカートリッジを通過したガス（３）は、熱交換器（１４）に送られて予熱された後、前記熱風として脱着させるカートリッジを通過し、脱着させるカートリッジを通過した後には、前記熱交換器（１４）に送られて、前記予熱に用いられることを特徴とする、連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置。
【請求項２】
前記熱交換器（１４）に送られて予熱された後の前記熱風は、脱着に必要な所定の温度まで昇温された後に、前記脱着させるカートリッジを通過することを特徴とする、請求項１に記載の連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置。
【請求項３】
前記カートリッジの内部へ供給される熱風の方向は、前記吸着ガスが通過する方向と同じ方向又は反対の方向であることを特徴とする、請求項１または２に記載の連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置。
【請求項４】
前記カートリッジ再生モジュールを通じてカートリッジから脱着されて排出される有害性化合物を、触媒酸化させて排出させる触媒酸化装置をさらに含み、
前記前記脱着させるカートリッジを通過した後の前記熱風は、触媒酸化に必要な温度まで昇温された後に前記触媒酸化装置（１３）に供給されることを特徴とする、請求項１または２に記載の連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置。
【請求項５】
前記吸着剤は、活性炭、ゼオライト及びアルミナよりなる群の中から選ばれた一つ以上が選択され、ボール状、ペレット状、顆粒状、不規則な形状の破砕物状、又はこれらの組み合わせの形状を有することを特徴とする、請求項１または２に記載の連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置。
【請求項６】
前記有害性化合物を含む吸着ガスとカートリッジ内部の吸着剤が５０℃以下で接触するようにし、前記カートリッジ再生モジュールがカートリッジの内部へ供給する熱風は、１００℃以上であることを特徴とする、請求項１または２に記載の連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置及びその方法に係り、より詳細には、産業現場で発生する有害性化合物を吸着、濃縮させた後、触媒酸化させて無害なガスとして排出させる有害性化合物吸着装置において、吸着と脱着を繰り返して使用することができる多数のカートリッジを連続的に配列し、吸着中に循環式で１つ〜２つのカートリッジに熱風を供給することにより、カートリッジ内の有害性化合物を脱着させてカートリッジを周期的に再生させることができる、連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置及びその方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂又は塗料などの生産工程、或いは印刷、塗装又はクリーニングなどの設備からは、例えばアセトン、イソプロピルアルコール、酢酸エチル、トルエン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）などの有機溶剤を含む揮発性有機化合物及び／又は臭気化合物（以下、「有害性化合物」）を含有する空気が排出される。
【０００３】
このような有害性化合物は、人間の健康と環境に有害な影響を与えるもので、長い間大気汚染源として扱われてきた。有害性化合物は、大気中での移動性が強く、匂いを誘発するだけでなく、麻酔性が強い汚染物質として知られているので、生産工程或いは印刷、塗装又はクリーニングなどの設備の排出空気中の有害性化合物を適切な方法で除去する必要がある。
【０００４】
このような有害性化合物を吸着及び濃縮させて除去する技術として最も広く使われている方式には、ゼオライトロータ方式がある。従来のゼオライトロータ方式は、ゼオライトをコーティングしたロータの吸着剤を交換しなければならない場合、ロータ全体を交換しなければならないという煩わしさがあり、特に、除去しようとする有害性化合物の種類が変わると、それに合わせて吸着性能の良いゼオライトに種類が変わらなければならないが、そのような場合、ゼオライトロータの全体を取り換えなければならないという煩わしさがあった。
【０００５】
次に、本発明の技術の属する分野に存在する先行技術について簡略に説明し、続いて、本発明が前記先行技術に比べて差別的に解決しようとする技術的事項について説明する。
【０００６】
従来技術として、特許文献１及び特許文献２では、回転型フィルタカートリッジ又は吸着装置用ロータなどを提示したが、フィルタ型吸着剤は、バルク型吸着剤に比べて吸着容量が少なく、また、回転時に流路のズレにより脱着ガスが漏れるおそれがあるという問題があった。一方、ロータ型吸着・濃縮システムは、ロータのセルがそれぞれ流路の役割を果たすことにより、停止せずに連続的に各工程が行われて流路のズレによる漏れが多くないが、製作費用が高く、同じ吸着量を実現するにはバルク吸着剤に比べてその大きさが大きくなければならず、吸着素材を変えるためにはロータ全体を変えなければならないという問題点があった。
【０００７】
また、特許文献３は、多数の濃縮バンクが使用されるもので、より具体的には、多数の濃縮バンクを備えて、一部の濃縮バンクでは脱着過程が進行し、他の濃縮バンクでは吸着過程が進行する技術であって、濃縮バンク及びこれに接続されたパイプが独立して備えられ、吸着剤の交換時に全ての濃縮バンクを交換しなければならないという問題はないが、ガスの流れを変更させる多数のバルブが使用されるので、製作コストの上昇及び制御設計の難しさが発生する。
【０００８】
また、特許文献４は、ムービングベッド式の揮発性有機化合物連続濃縮装置に関するもので、より具体的には、連続濃縮装置に備えられたモジュールがアクチュエータによって水平方向に移動するのに対し、ガスがモジュールの上下方向に移動して、モジュールの停止又は移動の際にガスがモジュールから漏れるのを防止することはできるのであるが、多数の吸着モジュールが水平方向に移動するので、それぞれのモジュールが四つの方向に移動されるようにするために多数のアクチュエータが使用されるという煩わしさがあった。
【０００９】
このような実情に応じて、本発明は、産業現場で発生する有害性化合物を吸着、濃縮して除去する装置において、従来の装置に比べて設備の構築コストが安く、吸着剤を再生させて継続的に使用できるようにし、吸着モジュールの交換が容易であるうえ、吸着／脱着の過程で吸着ガスと脱着ガスが漏れたり混合されたりしないようにする新しい構造の有害性化合物吸着装置に関する技術を提示しようとする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】韓国登録特許第１０−０３５５８９０号公報
【特許文献２】韓国登録特許第１０−０８２１３５０号公報
【特許文献３】韓国公開特許第１０−２００７−００１７０８４号公報
【特許文献３】韓国公開特許第１０−２０１１−００８６３３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上述した従来の有害性化合物の吸着濃縮後に触媒酸化処理する設備で発生する問題点を解決するためのものであり、多数の水平に配列されているカートリッジに吸着剤を充填した後、これを継続的に使用するために吸着が進んでいる途中でも１つ〜２つのカートリッジを連続的に再生させる、連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置及びその方法を提供することを目的とする。
【００１２】
また、本発明は、再生中ではない残りのカートリッジでは吸着が継続的に行われる一方、再生中のカートリッジでは吸着された有害性化合物の脱着が行われ、脱着済みのカートリッジは再び吸着に使用されるようにすることにより、シームレス（ｓｅａｍｌｅｓｓ）方式で有害性化合物を除去することができるようにする、連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置及びその方法を提供することを目的とする。
【００１３】
また、本発明は、１つ〜２つのカートリッジを連続的に再生させるにあたり、熱風を供給及び排出させることができるダクトが接続されたホッパーが上下に移動してカートリッジから分離された後、左又は右に移動し、さらに上下に移動してカートリッジに付着して密閉された後、熱風を供給することにより、カートリッジ内の吸着剤に吸着されている有害性化合物を脱着する方式で、カートリッジを再生して吸着性能を持続させることができるように維持させることを可能にする、連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置及びその方法を提供することを目的とする。
【００１４】
また、本発明は、１つ〜２つのカートリッジを連続的に再生させるにあたり、吸着ガスと脱着ガスとが混合されることを防止するために、脱着熱風ガスが流れるときにはホッパーが上下に移動してカートリッジに密着し、移動時にはカートリッジと分離されて移動するようにするとともに、脱着されたガスはヒーターと触媒を経て無害なガスに酸化させた後に排出されるようにする、連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置及びその方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の一実施形態に係る連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置は、内部には有害性化合物を吸着する吸着剤が充填され、上部から下部、又は下部から上部の方向に有害性化合物を含む吸着ガスを通過させてガス中の有害性化合物を吸着するカートリッジを少なくとも２つ含み、前記カートリッジが連続的に並列配置された構造を持つカートリッジモジュールと、前記カートリッジモジュール内のそれぞれのカートリッジに循環式で付着及び脱着され、カートリッジの内部へ熱風を供給し、カートリッジ内の吸着剤に吸着された有害性化合物を脱着させて排出させるカートリッジ再生モジュールと、を含み、前記カートリッジ再生モジュールは、熱風を供給することができるダクトが接続されたホッパーが下方に移動してカートリッジから分離された後、左又は右に移動し、さらに上方に移動してカートリッジに付着し、カートリッジを密閉させた後、カートリッジの内部へ熱風を供給する熱風供給ホッパーと、熱風を排出させることができるダクトが接続されたホッパーが上方に移動してカートリッジから分離された後、左又は右に移動し、さらに下方に移動してカートリッジに付着することにより、前記熱風供給ホッパーから供給されてカートリッジの内部を通過した熱風を排出させる熱風排出ホッパーと、を少なくとも１対含むことを特徴とする。
【００１６】
また、一実施形態として、前記連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置は、前記カートリッジ再生モジュールを介してカートリッジから脱着されて排出される有害性化合物を触媒酸化させて排出させる触媒酸化装置をさらに含むことを特徴とする。
【００１７】
また、一実施形態として、前記吸着剤は、活性炭、ゼオライト及びアルミナよりなる群中から選ばれた一つ以上を用いて製造されるバルク型吸着剤であり、ボール状、ペレット状、顆粒状、不規則な形状の破砕物状、又はこれらの組み合わせの形状を有することを特徴とする。
【００１８】
また、一実施形態として、前記カートリッジモジュールは、２〜３０個のカートリッジを含むことを特徴とする。
【００１９】
また、本発明の別の一実施形態による、内部には有害性化合物を吸着する吸着剤が充填され、上部から下部、又は下部から上部の方向に有害性化合物を含むガスを通過させてガス中の有害性化合物を吸着するカートリッジが、少なくとも２つ連続して並列に配列されているカートリッジモジュールを用いる、連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着方法は、（ａ）カートリッジモジュール内のカートリッジに有害性化合物を含むガスを通過させてカートリッジ内部の吸着剤と接触させ、有害性化合物を含むガス中の有害性化合物をカートリッジ内の吸着剤に吸着させる吸着ステップと、（ｂ）熱風供給ホッパーと熱風排出ホッパーが、有害性化合物の吸着されたカートリッジに、循環式で付着及び脱着され、カートリッジの内部へ熱風を供給することにより、カートリッジ内の吸着剤に吸着された有害性化合物を脱着させて排出させる脱着ステップと、を含み、前記（ａ）ステップと（ｂ）ステップは同時に行われ、前記（ｂ）ステップを経て有害性化合物が脱着されて再生されるカートリッジは前記（ａ）ステップに使用されることを特徴とする。
【００２０】
また、一実施形態として、前記連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着方法は、（ｃ）前記（ｂ）ステップでカートリッジから脱着されて排出される有害性化合物を触媒酸化させて排出させる触媒酸化ステップをさらに含むことを特徴とする。
【００２１】
また、一実施形態として、前記（ａ）ステップで、前記吸着剤は、活性炭、ゼオライト及びアルミナよりなる群の中から選ばれた一つ以上を用いて製造され、ボール状、ペレット状、顆粒状、不規則な形状の破砕物状、又はこれらの組み合わせの形状を有するバルク型吸着剤であることを特徴とする。
【００２２】
また、一実施形態として、前記（ａ）ステップは、５０℃以下で有害性化合物を含むガスとカートリッジ内部の吸着剤とが接触するようにし、前記（ｂ）ステップは、カートリッジの内部へ１５０℃以上の熱風を供給することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明で提示された多数のカートリッジを利用する吸着、脱着（再生）、触媒酸化システムは、バルク吸着剤を使用することにより、ロータ型吸着、脱着（濃縮）、冷却システムを用いるロータ型に比べて価格が安く、交換が容易である。
【００２４】
また、多数のカートリッジに充填された吸着剤の一部を周期的に再生することにより、吸着剤を持続的に使用することができ、カートリッジとその上下のホッパーとが密着した状態で熱風が流れるので、吸着ガスと脱着ガスとが混合されず、ホッパーの移動時にはカートリッジと分離された後に移動し、摩擦による損傷を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態に係る連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置について説明するための図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置にて、ホッパーがカートリッジに密着し、熱風によって有害性化合物が脱着されることを示す図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置にて、ホッパーがカートリッジから分離されて、次のカートリッジへ移動する動きを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明の各図面において、構造物のサイズや寸法は、本発明の明確性を期するために実際よりも拡大又は縮小して示したものであり、特徴的構成が現れるように公知の構成は省略して示したので、図面に限定されない。
【００２７】
本発明の好適な実施形態についての原理を詳細に説明するにあたり、関連する公知の機能又は構成についての具体的な説明が本発明の要旨を不要に曖昧にするおそれがあると判断された場合には、その詳細な説明を省略する。
【００２８】
また、本明細書に記載された実施形態と図面に示されている構成は、本発明の最も好ましい一実施形態に過ぎず、本発明の技術的思想をすべて代弁するものではないので、本出願時点においてこれらを代替することができる様々な均等物と変形例があり得ることを理解すべきである。
【００２９】
他に定義されない限り、本明細書で使用されたすべての技術的及び科学的用語は、本発明の属する技術分野における熟練した専門家によって通常理解されるのと同じ意味を持つ。一般に、本明細書で使用された命名法は、本技術分野でよく知られている通常のものである。特に、本発明において、「直径」は、球状の粒子だけでなく、様々な形状を有する粒子の等価直径（ｅｑｕｉｖａｌｅｎｔ  ｄｉａｍｅｔｅｒ；例えば面積円相当径のD50）を意味し、「吸着」は、吸着剤に有害性化合物が吸着される一般な吸着工程を意味する。
【００３０】
本明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」とするとき、これは、特に反する記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。
【００３１】
本発明は、産業現場で発生する排出ガスから有害性化合物を吸着、濃縮させた後、触媒酸化させて無害なガスとして排出させる有害性化合物吸着装置において、吸着と脱着を繰り返して使用することができる多数のカートリッジを連続的に並列配列し、有害性化合物の吸着を行うと同時に、循環式に、既に有害性化合物が吸着されている一部のカートリッジに熱風を供給し、カートリッジ内の有害性化合物を脱着させてカートリッジを周期的に再生させることにより、シームレス（ｓｅａｍｌｅｓｓ）方式で排出ガス内の有害性化合物を吸着して除去することができるようにする、連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置及びその方法に関する。
【００３２】
以下、添付図面を参照して、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を容易に実施し得るように連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置及びその方法を詳細に説明する。
【００３３】
図１は本発明の一実施形態に係る連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置について説明するための図である。
【００３４】
図１に示すように、本発明に係る連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置は、大きくは、カートリッジモジュール２０、及び、カートリッジ再生モジュール３０を含んで構成される。
【００３５】
前記カートリッジモジュール２０は、少なくとも２つ、好ましくは２〜３０個のカートリッジが水平方向に連続的に並列配列されている構造を有しており、それぞれのカートリッジは、内部に有害性化合物を吸着する吸着剤が充填され、上方から下方、又は下方から上方への方向に、有害性化合物を含む吸着ガスを通過させて、ガス中の有害性化合物を吸着する構造を持つ。
【００３６】
前記カートリッジの内部に充填されている吸着剤は、活性炭、ゼオライト及びアルミナよりなる群から選ばれた一つ以上を用いて製造されるバルク型吸着剤が使用される。
【００３７】
前記バルク型吸着剤は、ボール状、ペレット状、顆粒状、不規則な形状の破砕物状、又はこれらの組み合わせの形状を有し、１〜１５ｍｍのサイズの直径を有する。
【００３８】
また、前記カートリッジ再生モジュール３０は、前記カートリッジモジュール内のそれぞれのカートリッジに循環式で装着及び脱着され、カートリッジの内部へ熱風を供給することにより、カートリッジ内の吸着剤に吸着された有害性化合物を脱着させて排出させる方式であり、再び有害性化合物を吸着することができるようにカートリッジを再生させる。
【００３９】
このため、前記カートリッジ再生モジュールは、熱風供給ホッパー３２と熱風排出ホッパー３１とを１つの対として、このような対を少なくとも一つ含んで構成される。
【００４０】
図２は、本発明の一実施形態に係る連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置であって、ホッパーがカートリッジに密着して熱風によって有害性化合物が脱着されることを示す図であり、図３は、ホッパーがカートリッジから分離されて次のカートリッジへ移動する動きを示す図である。
【００４１】
図２及び図３に示すように、前記熱風供給ホッパー３２は、熱風を供給することができるダクトが接続されたホッパーが、下方に移動してカートリッジから分離された後、左又は右に移動し、さらに上方に移動してカートリッジに装着されることにより、下方からカートリッジを密閉させた後、カートリッジの内部へ熱風を供給するのであり、前記熱風排出ホッパー３１は、熱風を排出させることができるダクトが接続されたホッパーが、上方に移動してカートリッジから分離された後、左又は右に移動し、さらに下方に移動してカートリッジに装着されて、上方からカートリッジを密閉させた前記熱風供給ホッパーから供給されてカートリッジの内部を通過した熱風を、排出させる。
【００４２】
ここで、熱風による、吸着剤内の有害性化合物の脱着効果を高めるために、カートリッジを通過する熱風の方向は、吸着ガスが通過する方向と同じ方向又は反対方向となるようにする。
【００４３】
また、本発明に係る連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置は、前記カートリッジ再生モジュールを通じてカートリッジから脱着されて排出される有害性化合物を、触媒酸化させて排出させる触媒酸化装置１３を含んで構成できる。
【００４４】
一方、本発明に係る連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置は、前記構成の他にも、カートリッジにガスを通過させるための吸着ファン１０、吸着後にカートリッジを通過したガスの一部を熱風として使用するために移動させる脱着ファン１５、触媒酸化装置を経た触媒酸化後のガスを用いて熱風を予熱させる熱交換器１４、熱風を所定の温度に昇温させるヒーターＡ  １１、及び熱風によってカートリッジから脱着された有害性化合物を含む脱着ガスを触媒酸化温度まで昇温させるヒーターＢ  １２を含んで構成される。
【００４５】
以下、図１を参照して、本発明に係る連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着装置の吸着工程と脱着工程について、より詳細に説明する。
【００４６】
まず、吸着工程において考察すると、有害性化合物を含む吸着ガス１は、吸着ファン１０によってカートリッジを通過することで、カートリッジ内部の吸着材に有害性化合物が吸着されるのであり、吸着後の浄化ガス２はそのまま排出される。
【００４７】
また、熱風工程について考察すると、前記吸着工程で吸着された後、浄化ガス２はそのまま外部に排出されるのであるが、一部の、吸着後のカートリッジを通過したガス３は、外部に排出されずに熱風の供給に用いられる。さらに詳細には、前記吸着後のカートリッジを通過したガス３は、脱着ファン１５、熱交換器１４に送られて予熱されるのであり、熱交換器で予熱された熱風４は、ヒーターＡ  １１によって、有害性化合物の脱着に必要な所定の温度まで昇温されて、脱着熱風５として、前記カートリッジを通過する。
【００４８】
前記カートリッジを通過する熱風は、カートリッジ内の吸着材から有害性化合物を脱着させるのであり、このようにカートリッジを通過した脱着ガス６は、ヒーターＢ  １２によって、触媒酸化に必要な温度まで昇温されるのであり、ヒーターを経た脱着ガス７は、触媒酸化装置１３へ供給されて有害性化合物を触媒酸化させる。
【００４９】
前記触媒酸化装置１３を経た触媒酸化後のガス８は、前記熱交換器１４へ供給され、前記吸着後のカートリッジを通過したガス３へと熱を供給し、触媒酸化及び熱交換後の排出ガス９として外部に排出される。
【００５０】
また、本発明の別の一実施形態による連続式吸着カートリッジを利用した有害性化合物吸着方法は、次のステップを含む。
【００５１】
まず、カートリッジモジュール内のカートリッジに、有害性化合物を含むガスを通過させ、カートリッジ内部の吸着剤と接触させて、有害性化合物を含むガス中の有害性化合物を、カートリッジ内部の吸着剤に吸着させる吸着ステップを行う（Ｓ１０１）。
【００５２】
前記吸着ステップにて、有害性化合物を含むガスとカートリッジ内部の吸着剤とが接触する温度は、５０℃以下であることが好ましく、０〜５０℃であることがさらに好ましい。
【００５３】
また、前記吸着ステップ中に、熱風供給ホッパーと熱風排出ホッパーが、有害性化合物の吸着されたカートリッジに、循環式に装着及び脱着されるようにしながら、カートリッジの内部に熱風を供給することにより、カートリッジ内部の吸着剤に吸着された有害性化合物を脱着させて排出させる脱着ステップを行う（Ｓ１０２）。
【００５４】
前記脱着ステップにて、カートリッジの内部へ供給される熱風の温度は１００℃以上、１１０℃以上または１５０℃以上であることが好ましく、１００〜３００℃、１１０〜３００℃または１５０〜３００℃であることがさらに好ましい。
【００５５】
前記脱着ステップにてカートリッジから脱着されて排出される有害性化合物を、触媒酸化させて排出させる触媒酸化ステップを行う（Ｓ１０３）。
【００５６】
また、前記触媒酸化ステップにて酸化されて排出されるガスは、熱交換器を経て、前記脱着ステップにて使用される熱風を予熱させた後に排出されることとなるガス排出ステップを行う（Ｓ１０４）。
【００５７】
ここで、前記吸着ステップと脱着ステップは同時に行われ、前記脱着ステップを通じて有害性化合物が脱着されて再生されるカートリッジは、前記吸着ステップに使用される。
【００５８】
以上、本発明は、添付図面に示された実施形態を参照して説明したが、これは例示的なものに過ぎず、当該技術に属する分野における通常の知識を有する者であれば、これから様々な変形及び均等な他の実施形態が可能であることを理解するだろう。よって、本発明の技術的保護範囲は下記特許請求の範囲によって定められるべきである。
【符号の説明】
【００５９】
１    吸着ガス
２    吸着後の浄化ガス
３    吸着後のカートリッジを通過したガス
４    熱交換器で予熱された熱風
５    脱着熱風
６    脱着ガス
７    ヒーターを経た脱着ガス
８    触媒酸化後のガス
９    触媒酸化及び熱交換後の排出ガス
１０    吸着ファン
１１    ヒーターＡ
１２    ヒーターＢ
１３    触媒酸化装置
１４    熱交換器
１５    脱着ファン
１６    脱着カートリッジ
１７    吸着カートリッジ
２０    カートリッジモジュール
３０    カートリッジ再生モジュール
３１    熱風排出ホッパー
３２    熱風供給ホッパー
１→２    有害性化合物を含むガスが吸着剤を通過するガスの流れ
５→６    熱風が流入して濃縮された脱着ガスが排出されるガスの流れ
【図１】
0006983268.tif 000002
【図２】
0006983268.tif 000003
【図３】
0006983268.tif 000004