(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面処理されるワークを垂下して保持して、前記ワークを処理液中に浸漬させ、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具において、
前記整流器と導通可能な支持部と、
前記支持部に支持され、前記ワークの縁部をクランプする導電性のクランパーと、
を有し、
前記クランパーは、
前記支持部に固定される固定部と、
前記固定部に対して揺動可能に支持され、前記固定部の第１面との間で前記ワークの前記縁部をクランプする可動部と、
前記固定部の前記第１面とは反対側の第２面と対向する第３面と、前記第３面とは反対側の第４面と、基端部と、先端部と、を有し、前記第４面が前記固定部の前記第２面と平行になるようにして、前記基端部が前記固定部に支持される導電性のダミー板と、
前記ダミー板の前記第４面の一部を覆い、かつ、前記ダミー板に対して第１方向に沿って移動可能に支持されて、前記ダミー板の前記先端部における前記第４面側の露出導電面積を調整する絶縁性の調整部材と、
を含むことを特徴とするワーク保持治具。
【請求項２】
請求項１において、
前記ダミー板は、前記先端部における前記第４面を除いて、絶縁コーティングされていることを特徴とするワーク保持治具。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記ダミー板は、前記固定部に対する前記基端部の固定位置が、前記第１方向と平行な方向に変更可能であることを特徴とするワーク保持治具。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記支持部は、前記ワークの下方に配置される下枠であり、
前記クランパーは、前記下枠に支持されて、前記ワークの下縁部をクランプする導電性の下側クランパーであることを特徴とするワーク保持治具。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記支持部は、前記ワークの上方に配置される上枠であり、
前記クランパーは、前記上枠に支持されて、前記ワークの上縁部をクランプする導電性の上側クランパーであることを特徴とするワーク保持治具。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載のワーク保持治具と、
整流器に接続され、前記ワーク保持治具と接触する給電部と、
前記整流器に接続される陽極を、少なくとも前記ダミー板の前記第４面と対向する位置に備えた表面処理槽と、
を有し、
前記ワーク保持治具は、前記給電部と接触し、かつ、前記支持部と導通する接触部を含むことを特徴とする表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電解メッキ等の表面処理に用いられるワーク保持治具及び表面処理装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワーク保持治具によりワークを垂下して処理槽内の処理液に浸漬し、ワークを連続搬送しながら電解メッキする連続メッキ装置が知られている（特許文献１，２）。ワーク保持治具は、ワークを保持すると共に、ワークを陰極に設定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５８９８５４０号公報
【特許文献２】ＷＯ２０１８／０６２２５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ワーク保持治具は、上側クランパー及び下側クランパーによりワークを保持し、かつ、ともに導電性の上側クランパー及び下側クランパーワークを介して整流器と電気的に接続して、ワークを陰極に設定する。こうしてワークを電解メッキすると、ワークが下側クランパーに保持される下縁部は、処理液中に完全に没する下側クランパー付近だけが局所的に厚膜メッキされるという課題がある。上側クランパーは、先端部のクランプ領域だけが処理液中に没し、下側クランパーで指摘される課題と同様な課題が生じる。【０００５】
本発明の幾つかの態様は、クランパーにクランプされる領域付近でのワークの縁部に流れる電流を調整して、表面処理されるワークの面内均一性を高めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の一態様は、表面処理されるワークを垂下して保持して、前記ワークを処理液中に浸漬させ、かつ、整流器と電気的に接続可能なワーク保持治具において、
前記整流器と導通可能な支持部と、
前記支持部に支持され、前記ワークの縁部をクランプする導電性のクランパーと、
を有し、
前記クランパーは、
前記支持部に固定される固定部と、
前記固定部に対して揺動可能に支持され、前記固定部の第１面との間で前記ワークの前記縁部をクランプする可動部と、
前記固定部の前記第１面とは反対側の第２面と対向する第３面と、前記第３面とは反対側の第４面と、基端部と、先端部と、を有し、前記第４面が前記固定部の前記第２面と平行になるようにして、前記基端部が前記固定部に支持される導電性のダミー板と、
前記ダミー板の前記第４面を覆って前記ダミー板に移動可能に支持される絶縁性の調整部材と、
を含み、
前記調整部材は、前記ダミー板の前記先端部における前記第４面側の露出導電面積を調整するワーク保持治具に関する。【０００７】
本発明の一態様によれば、ワークと共に、ダミー板の先端部における前記第４面側の露出導電面が表面処理される。ダミー板の露出導電面積を変更することにより、ダミー板に対する表面処理に費やされる電流が調整される。それにより、クランパーの固定部を介してワークの縁部に流れる電流が調整される。ダミー板及び調整部材がないと、クランパーの固定部を介してワークの下縁部に流れる電流が増大し、固定部と接する領域付近のワークの縁部であって、かつ、固定部と接する側の面に電流が集中する。結果として、その領域での表面処理が局所的に進行してしまう。本発明の一態様によれば、ワークの縁部の局所領域に流れる電流を調整して、表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。なお、本発明の一態様に係る治具は、処理槽内を連続搬送または間欠搬送されても良いし、あるいは搬送されずに処理槽内に出入り自在に支持されても良い。【０００８】
（２）本発明の一態様（１）では、前記ダミー板は、前記先端部における前記第４面を除いて、絶縁コーティングされていることが好ましい。それにより、ダミー板の先端部における第４面以外が無駄に表面処理されることがない。【０００９】
（３）本発明の一態様（１）または（２）では、前記ダミー板は、前記固定部に対する前記基端部の固定位置を、前記調整部材が移動可能な方向と平行な方向に変更可能とすることができる。こうすると、ワークの主面と直交する方向から見た側面視で、クランパーの第２面またはワークの主面と、ダミー板との重なり面積を調整することができる。その位置調整によっても、ダミー板に対する表面処理に費やされる電流が調整される。【００１０】
（４）本発明の一態様（１）〜（３）では、前記支持部は、前記ワークの下方に配置される下枠とすることができ、前記クランパーは、前記下枠に支持されて、前記ワークの下縁部をクランプする導電性の下側クランパーとすることができる。こうすると、ワークの下縁部の局所領域に流れる電流を調整して、表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。【００１１】
（５）本発明の一態様（１）〜（３）では、前記支持部は、前記ワークの上方に配置される上枠とすることができ、前記クランパーは、前記上枠に支持されて、前記ワークの上縁部をクランプする導電性の上側クランパーとすることができる。こうすると、ワークの上縁部の局所領域に流れる電流を調整して、表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。【００１２】
（６）本発明のさらに他の態様は、
上述された（１）〜（５）のいずれかのワーク保持治具と、
整流器に接続され、前記ワーク保持治具と接触する給電部と、
前記整流器に接続される陽極を、少なくとも前記ダミー板の前記第４面と対向する位置に備えた表面処理槽と、
を有し、
前記ワーク保持治具は、前記給電部と接触し、かつ、前記下枠と導通する接触部を含む表面処理装置に関する。【００１３】
本発明の他の態様によれば、上述された（１）〜（５）の各態様の作用効果により、表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。なお、治具が表面処理槽内で搬送される場合、表面処理装置に設けられて治具に接触する給電部は、給電レールとされる。治具が搬送されない場合、給電部は、治具の導電部材と接触する固定接点とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係る表面処理装置の縦断面図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】ワーク保持治具を搬送方向から見た側面図である。
【図４】ワーク保持治具に設けられる接触部の支持構造を示す図である。
【図５】ワーク保持治具の正面図である。
【図６】比較例の治具を模式的に示す図である。
【図７】図６中の治具に流れる電流を示す比較例の特性図である。
【図８】本発明の実施形態に係る治具を模式的に示す図である。
【図９】図８中の治具に流れる電流を示す本実施形態の特性図である。
【図１０】上側ダミー板及び絶縁板を拡大して示す図である。
【図１１】上側ダミー板の側面図である。
【図１２】上側ダミー板が第１の位置と第２の位置との間で移動可能であることを示す図である。
【図１３】下側クランパーに設けられるダミー板及び調整部材を示す図である。
【図１４】ダミー板に調整部材を重ねた状態を示す平面図である。
【図１５】図５のＤ−Ｄ矢視図である。
【図１６】第１のサイドダミー部材の正面図である。
【図１７】第１及び第２のサイドダミー部材の上部支持構造を示す図である。
【図１８】第１及び第２のサイドダミー部材の上部支持構造の平面図である。
【図１９】第１及び第２のサイドダミー部材の下部支持構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下の開示において、提示された主題の異なる特徴を実施するための多くの異なる実施形態や実施例を提供する。もちろんこれらは単なる例であり、限定的であることを意図するものではない。さらに、本開示では、様々な例において参照番号および／または文字を反復している場合がある。このように反復するのは、簡潔明瞭にするためであり、それ自体が様々な実施形態および／または説明されている構成との間に関係があることを必要とするものではない。さらに、第１の要素が第２の要素に「接続されている」または「連結されている」と記述するとき、そのような記述は、第１の要素と第２の要素とが互いに直接的に接続または連結されている実施形態を含むとともに、第１の要素と第２の要素とが、その間に介在する１以上の他の要素を有して互いに間接的に接続または連結されている実施形態も含む。また、第１の要素が第２の要素に対して「移動する」と記述するとき、そのような記述は、第１の要素及び第２の要素の少なくとも一方が他方に対して移動する相対的な移動の実施形態を含む。
【００１６】
１．表面処理装置の概要
図１は、表面処理装置例えば連続メッキ処理装置の縦断面図である。連続メッキ処理装置１０は、回路基板等のワーク２０をそれぞれ保持する複数の搬送治具３０が、図１の紙面と垂直な方向に循環搬送される。図１では、循環搬送路１００のうちのは平行な２つの直線搬送路１１０，１２０を示している。この２つの直線搬送路１１０，１２０は両端にて連結されてループ状の循環搬送路１００を形成している。
【００１７】
循環搬送路１００には、複数のワーク保持治具３０の各々に保持されたワーク２０を表面処理例えばメッキ処理するメッキ槽（広義には表面処理槽）２００と、未処理のワーク２０複数の搬送治具３０に搬入する搬入部（図示せず）と、処理済みのワーク２０を複数のワーク保持治具３０から搬出する搬出部（図示せず）とが設けられている。
【００１８】
本実施形態では、メッキ槽２００は第２直線搬送路１２０に沿って設けられ、搬入部及び搬出部は第１直線搬送路１１０に設けられている。循環搬送路１００には、メッキ槽２００の上流側に配置される前処理槽群２３０と、メッキ槽２００の下流側に配置される後処理槽群（図示せず）とをさらに有する。
【００１９】
図１に示すように、連続メッキ処理装置１０は、メッキ液（広義には処理液）が収容され、上端開口２０１を有するメッキ槽（広義には表面処理槽）２００を有する。連続メッキ処理装置１０はさらに、図１の一部を拡大して示す図２に示すように、メッキ槽２００の上端開口２０１の上方から外れた位置にて、メッキ槽２００の長手方向と平行な第１方向（紙面と垂直な方向）に沿って延設される少なくとも１本例えば２本の第１案内レール１３０及び第２案内レール１４０を有する。複数の搬送治具３０は、メッキ槽２００の処理液中に配置させてワーク２０をそれぞれ保持し、第１，第２案内レール１３０，１４０に支持される。
【００２０】
複数のワーク保持治具３０の各々は、図３に示すように、大別して、搬送部３００と、ワーク保持部５００と、を有する。搬送部３００として、水平アーム部３０１と、第１被案内部３１０と、第２被案内部３２０とを有する。第１被案内部３１０は、水平アーム部３０１の一端側に支持されて、第１案内レール１３０に案内される。第２被案内部３２０は、水平アーム部３０１の他端側に支持されて、第２案内レール１４０に案内される。第１被案内部３１０は、第１案内レール１３０の上面及び両側面と転接されるローラー３１１，３１２，３１３を含む。第２被案内部３２０は、第２案内レール１４０の上面に転接するローラー３２１を含む。
【００２１】
メッキ処理装置１０では、ワーク２０をカソード（陰極）とし、メッキ槽２００がワーク２０の搬送経路を挟んだ両側にアノード（陽極）４１０Ｌ，４１０Ｒを収容するアノードボックス２０２，２０３設けている。図示しない整流器によりカソード−アノード間に電界を形成してメッキ液を電気分解して、ワーク２０を電解メッキする。そのために、搬送中のワーク２０に通電する必要がある。ワーク２０に給電するために、給電部例えば給電レール２１０を設けている。特に、本実施形態の給電レール２１０は、特開２００９−１３２９９９に開示された電流制御方法を実施するために、図２に示すように、互いに絶縁された複数例えば４本の分割給電レール２１０Ａ〜２１０Ｄを有する。複数のワーク保持治具３０の各々は、４本の分割給電レール２１０Ａ〜２１０Ｄのいずれか一つと接触して給電される被給電部３４０（図２及び図３）を有している。
【００２２】
図４は、被給電部３４０の詳細を示している。被給電部３４０は、水平アーム部３０１に固定される支持板３３０に、給電レール２１０と接触する導電性の接触部（集電子）３４１を有する。接触部３４１は、２本の平行リンク３４２Ａ，３４２Ｂを有する平行リンク機構３４２により支持板３３０に連結される。２本のリンク３４２Ａ，３４２Ｂは、付勢部材であるねじりコイルスプリング３４３，３４３により、常時時計廻り方向に移動付勢されている。この結果、接触部３４１を給電レール２１０に適度な接触圧にて接触させることができる。
【００２３】
また、２本の平行リンク３４２Ａ，３４２Ｂは、治具３０の搬送方向Ａに対して、上側支点が先行し、下側支点が後行するように傾斜している。この結果、接触部３４１はワーク保持治具３０に引っ張られる形態で走行するので、走行が安定する。
【００２４】
２．ワーク保持部
ワーク保持部５００は、図５に示すように、矩形ワーク２０の上縁部２０ａをクランプする導電性の複数の上側クランパー５１０と、矩形ワーク２０の下縁部２０ｂをクランプする導電性の複数の下側クランパー５２０と、矩形ワーク２０を囲んで配置され、複数の上側クランパー５１０及び複数の下側クランパー５２０を支持する枠体５３０と、を有する。
【００２５】
枠体５３０は、複数の上側クランパー５１０を支持する導電性の上枠５３１と、複数の下側クランパー５２０を支持する導電性の下枠５３２と、上枠５３１の両端部と下枠５３２の両端部とそれぞれを連結する導電性の一対の縦枠５３３，５３４と、を有する。ここで、一対の縦枠５３３，５３４は、上枠５３１の両端部と電気的に絶縁されている一方で、下枠５３２の両端部とは電気的に接続されている。なお、上枠５３１及び／又は下枠５３２は、クランパー（上側クランパー５１０及び／又は下側クランパー５２０）を支持する支持部とも称される。
【００２６】
３．ワークを陰極に設定する導電部材
本実施形態では、ワーク保持治具３０に設けられる導電部材であって、整流器及びワーク２０と電気的に接続可能な導電部材が、第１及び第２の分岐導電部材と、第１及び第２の分岐導電部材と電気的に接続された共通導電部材とを含んでいる。
【００２７】
具体的には、図５に示すように、一対の接触部３４１がワーク保持治具３０の搬送方向Ａで間隔をあけて２つ配置される。搬送方向Ａの上流側の接触部３４１を第１接触部３４１Ａと称し、搬送方向Ａの下流側の接触部３４１を第２接触部３４１Ｂと称する。第１，第２接触部３４１Ａ，３４１Ｂには一対の第１ケーブル３５０Ａ，３５０Ｂの各一端が電気的に接続される。
【００２８】
一対の第１ケーブル３５０Ａ，３５０Ｂの各他端は、共通接続部３６０に共通接続される。共通導電部材である共通接続部３６０は、一対の第１ケーブル３５０Ａ，３５０Ｂの各他端が電気的に共通接続される第１導電部材３６１と、第１導電部材３６１の両端部に固定された一対の第２導電部材３６２，３６３とを含むことができる。一対の第２導電部材３６２，３６３は、第１導電部材３６１に一対の第１ケーブル３５０Ａ，３５０Ｂの各他端が電気的に共通接続される位置から等距離Ｌの位置で、第１導電部材３６１の両端部に固定される。第１導電部材３６１の両端部から等距離Ｌの位置で一対の第１ケーブル３５０Ａ，３５０を共通接続するためには、一対の第１ケーブル３５０Ａ，３５０の一方を第１導電部材３６１の表面に接続し、他方を第１導電部材３６１の裏面に接続しても良い。
【００２９】
ワーク保持治具３０に設けられる導電部材として、上枠５３１の両端部と共通接続部３６０とを電気的に接続する一対の第１接続部３７０Ａ，３７０Ｂと、下枠５３２の両端部と電気的に接続された一対の縦枠５３３，５３４と共通接続部３６０とを電気的に接続する一対の第２接続部３８０Ａ，３８０Ｂと、をさらに有する。なお、一対の縦枠５３３，５３４は、上枠５３１とは電気的に絶縁されている。一対の第２接続部３８０Ａ，３８０Ｂの形状、厚さ、材質等の調整により抵抗値を調整することで、上側クランパー５１０に流れる電流を調整することができる。
【００３０】
第１の分岐導電部材は、共通接続部３６０を、一対の第１接続部３７０Ａ，３７０Ｂの一方及び上枠５３１を経由して複数の上側クランパー５１０の一つと電気的に導通させる部材で形成される。この場合、第２の分岐導電部材は、共通接続部３６０を、一対の第１接続部３７０Ａ，３７０Ｂの他方及び上枠５３１を経由して複数の上側クランパー５１０の他の一つと電気的に導通させる部材で形成される。
【００３１】
あるいは、第１の分岐導電部材は、共通接続部３６０を、一対の第２接続部３８０Ａ，３８０Ｂの一方、一対の縦枠５３３，５３４の一方及び下枠５３２を経由して複数の下側クランパー５２０の一つと電気的に導通させる部材で形成される。この場合、第２の分岐導電部材は、共通接続部３６０を、一対の第２接続部３８０Ａ，３８０Ｂの他方、一対の縦枠５３３，５３４の他方及び下枠５３２を経由して複数の下側クランパー５２０の他の一つと電気的に導通させる部材で形成される。
【００３２】
ここで、共通導電部材である共通接続部３６０は、第１及び第２の分岐導電部材間の最大抵抗差ΔＲΩの１０３倍以上の抵抗値であって、かつ、銅及びアルミニウムよりも大きい抵抗値ｒの高抵抗材料を含む。本実施形態では、共通接続部３６０は、一対の第２導電部材３６２，３６３が高抵抗材料で形成され、第１導電部材３６１は低抵抗部材で形成されている。
【００３３】
高抵抗材料として、例えばステンレス（ＳＵＳ）を挙げることができる。例えばＳＵＳ３０４の体積抵抗率（Ω・ｍ）は７３．７であり、銅の１．７Ω・ｍやアルミニウムの２．８Ω・ｍに対して一桁以上も大きい。測定された最大抵抗差ΔＲΩが１０〜２０ｍΩであることから、この高抵抗材料の抵抗値ｒは、ｒ≧ΔＲ×１０３を満たしている。同様に、例えば５３．３Ω・ｍのチタンも高抵抗材料として適している。
【００３４】
ここで、給電レール２１０を介してワーク保持治具３０と電気的に接続される整流器は、設定された一定電流Ｉを流すために、電流経路の閉ループ系のインピーダンスＺに応じて、Ｅ＝Ｒ×Ｉとなるように電圧Ｅを調整する。本実施形態では、閉ループ系の抵抗Ｒは、一般に低抵抗とされる銅やアルミニウムよりも抵抗値が大きい、共通導電部材である一対の第２導電部材の高抵抗値ｒを含む。第１の分岐導電部材と、第２分岐導電部材との間（つまり、複数の上側クランパー５１０間、または複数の下側クランパー５２０間）で生ずる最大抵抗差ΔＲΩに対して、ｒ≧１０３×ΔＲΩであると、抵抗値ｒを含む系の抵抗Ｒも大きくなる。従って、整流器は比較的大きな電圧Ｖに調整して一定電流Ｉを供給する。このように、第１，第２の分岐導電部材に流れる電流（または電子）は共通接続部３６０で合流され、しかも第１，第２の分岐導電部材間の抵抗のばらつきΔＲΩに相当するばらつき電圧ΔＶを大きく上回る電圧Ｅで電流Ｉを流せば、抵抗のばらつきΔＲΩは無視できる。
【００３５】
３．１．比較例の電流モニター
図６は、本実施形態のように共通接続部３６０に高抵抗値ｒの材料を含まない比較例の治具を模式的に示す。図６中の比較例の治具の搬送方向Ａの上流側の接触部に流れる電流Ａ１と、搬送方向Ａの下流側の接触部に流れる電流Ａ２とする。
【００３６】
図７に示す測定では、整流器の設定電流を２０４Ａ（＝Ａ１＋Ａ２）とし、２つに分岐して流れる分岐設定電流（Ａ１，Ａ２）は１０２Ａとした。ワーク保持治具を図６の搬送方向Ａに搬送しながら測定された電流Ａ１，Ａ２は、図７のように分岐設定電流値に対して上下に変動した。時刻Ｔ１，Ｔ２の前後では、特開２００９−１３２９９９に開示されるように、給電レール間の継ぎ目を介して一方の給電レールから他方の給電レールに治具が乗り移るため、一方の給電レールと接触する接触部の電流値が漸減され、他方の給電レールと接触する接触部の電流値が漸増される制御が整流器で実施される。この電流漸減・漸増制御以外の区間では、整流器は設定電流通りに出力制御する。しかし、図７に示す比較例の電流Ａ１，Ａ２は、定電流制御区間では小刻みに変動し、電流漸減・漸増制御では大きく変動する。
【００３７】
３．２．本実施形態の電流モニター
図８は、共通接続部３６０に高抵抗値ｒの材料を含む本実施形態の治具３０を模式的に示す。図８中の治具３０の搬送方向Ａの上流側の接触部３４１Ａに流れる電流Ａ１と、搬送方向Ａの下流側の接触部３４１Ｂに流れる電流Ａ２と、一対の第１接続部３７０Ａ，３７０Ｂに流れる電流Ａ３，Ａ４と、一対の第２接続部３８０Ａ，３８０Ｂに流れる電流Ａ５，Ａ６とする。
【００３８】
図９に示す測定では、整流器の設定電流を１３１Ａ（＝Ａ１＋Ａ２）とし、２つに分岐して流れる分岐電流（Ａ１，Ａ２）は６５．５Ａとした。時刻Ｔの前後では、図７に示す時刻Ｔ１，Ｔ２と同様に電流漸減・漸増制御を行い、それ以外の区間では設定電流通りに出力制御を行った。ワーク保持治具３０を図８の搬送方向Ａに搬送しながら測定された電流Ａ３〜Ａ６は、図９に示すように、治具３０の左右から上側クランパー５１０に流れる分岐電流Ａ３，Ａ４は一定となり、治具３０の左右から下側クランパー５２０に流れる分岐電流Ａ５，Ａ６も一定となった。
【００３９】
本実施形態では、整流器と共通接続部３６０との間の導通経路には、給電レール２１０の局所的な汚れなどで生ずる第１，第２接触部３４１Ａ，３４１Ｂの接触抵抗のばらつきによる抵抗差や、給電レール２１０の乗り継ぎ時の抵抗差が存在するが、上述した抵抗値を有する共通接続部３６０を設けることで、これらの悪影響も低減することができる。
【００４０】
本実施形態では、一対の第１接続部は一対の金属板３７０Ａ，３７０Ｂを含む一方で、一対の第２接続部は一対の第２ケーブル３８０Ａ，３８０Ｂを含むことができる。こうして、共通接続部３６０から上側クランパー５１０までに至る抵抗値を、共通接続部３６０から下側クランパー５２０までに至る抵抗値よりも大きくすることができる。
【００４１】
こうすると、処理液中には先端部しか浸漬されない上側クランパー５１０と比較して、全体が処理液中に浸漬される下側クランパー５２０の表面処理に費やされる電流分だけ多い電流を、下側クランパー５２０を介してワークに通電することができる。図９中で、上側クランパー５１０に流れる電流Ａ３，Ａ４よりも、下側クランパー５２０に流れる電流Ａ５，Ａ６を大きくすることで、結果としてワーク２０に上下から流れる電流をほぼ一定にすることができる。
【００４２】
４．上側ダミー板／下側ダミー板
図５に示すように、上枠５３１及び／又は下枠５３２を導電性の支持部としたとき、支持部には上側及び／又は下側クランパー５１０，５２０加えて、導電性の上側ダミー板６１０及び／又は導電性の下側ダミー板６２０を有することができる。上側ダミー板６１０は、ワーク２０の上縁部２０ａのうち上側クランパー５１０で保持されない領域にて、ワーク２０の上縁部２０ａと接近して配置される。下側ダミー板６２０は、ワーク２０の下縁部２０ｂのうち下側クランパー５２０で保持されない領域にて、ワーク２０の下縁部２０ｂと接近して配置される。
【００４３】
上側ダミー板６１０及び導電性の下側ダミー板６２０の各々は、少なくとも一面例えば表裏面に、表面及び裏面をそれぞれ覆うように移動可能に支持されて、ダミー板６１０，６２０の露出導電面積をそれぞれ調整する絶縁板６３０を有することができる。
【００４４】
上側ダミー板６１０を拡大して図１０に示す。図１０に示す構造は、下側ダミー板６２０にも採用されている。図１０に示すように、上側ダミー板６１０は、上側ダミー板６１０と一体又は別体で形成されるヒンジ６１１を介して上枠３５１に例えばねじ６１２により固定される。上側ダミー板６１０の両面を覆う絶縁板６３０は、上側ダミー板６１０の表面を覆う絶縁板６３０Ａと、上側ダミー板６１０の裏面を覆う絶縁板６３０Ｂのいずれか一方または双方を有することができる。絶縁板６２０Ａ，６２０Ｂは、絶縁板６３０Ａ，６３０Ｂにそれぞれ設けられた縦方向の長孔６３１Ａ，６３１Ｂ（図１０では長孔６３１Ａのみ図示）及び上側ダミー板６１０に設けられた孔６１２に挿通されるボルト６４１と、ボルト６４１に螺合するナット６４２により、上側ダミー板６１０に例えば共締される。
【００４５】
絶縁板６２０Ａ，６２０Ｂの各々は、長孔６３１Ａ，６３１Ｂの範囲内で上側ダミー板６１０（下側ダミー板６２０）に対して上下方向の位置を調整できる。それにより、図１０に示すように、上側ダミー板６１０の先端部６１０Ａが露出する導電面の露出面積Ｓを、表面と裏面とで独立して調整することができる。上側ダミー板６１０の露出導電面積Ｓを変更することにより、上側ダミー板６１０に対する表面処理に費やされる電流が調整される。それにより、上側クランパー５１０を介してワーク２０の上縁部２０ａに流れる電流が調整される。こうして、ワーク２０の上縁部２０ａに流れる電流を調整して表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。下側ダミー板６２０についても同様に調整することで、ワーク２０の下縁部２０ｂに流れる電流を調整して表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。
【００４６】
上側ダミー板６１０は、ヒンジ６１１を介して、図１２の実線で示す第１の位置Ｐ１と、鎖線で示す第２の位置Ｐ２との間で屈曲可能である。第１の位置Ｐ１では、上側ダミー板６１０が、ワーク２０の上縁部２０ａのうち上側クランパー５１０で保持されない領域に接近して、ワーク２０と平行に配置される。第２の位置Ｐ２では、上側ダミー板６１０は、ワーク２０の主面と非平行となり、例えばワーク２０の主面に対して直角に交差する。
【００４７】
ワーク２０を表面処理するときには上側ダミー板６１０は第１の位置Ｐ１に設定される。一方、ワーク保持治具３０に対してワーク２０を自動機により着脱するときには上側ダミー板６１０は第２の位置Ｐ２に設定される。上側ダミー板６１０を第２の位置Ｐ２に設定することで、ワーク２０の上縁部２０ａと上枠３５１との間に隙間が確保される。それにより、ワーク保持治具３０の上側クランパー５１０とは異なる位置にて、ワーク２０の上縁部を自動機によってクランプすることができる。この場合、上側ダミー板６１０を自動機により押動して、上側ダミー板６１０を第１の位置Ｐ１から第２の位置Ｐ２に向けて矢印Ｆ１方向に移動させても良い。例えば、図１２に示すように、自動機に設けられて移動するアーム１０００の先端のローラー１１００により、上側ダミー板６１０を押動しても良い。下側ダミー板６２０についても同様にして、第１の位置Ｐ１と第２の位置Ｐ２との間で屈曲させることができる。
【００４８】
上側ダミー板６１０は、ヒンジ６１１自体のばね性またはヒンジ６１１に設けられた板バネ又はコイルスプリングなどの付勢部材により、第１の位置Ｐ１に移動付勢されても良い。こうすると、復帰外力を付与せずに、上側ダミー板６１０を第２の位置Ｐ２から第１の位置Ｐ１に向けて矢印Ｆ２方向に復帰させることができる。下側ダミー板６２０についても同様にして、復帰外力を付与せずに、第２の位置Ｐ２から第１の位置Ｐ１に向けて矢印Ｆ２方向に復帰させることができる。
【００４９】
なお、ワーク保持治具が、矩形ワーク２０の四辺をクランプする上下左右のクランパーを有する場合には、四辺の各クランパーにダミー板及び絶縁板を設けても良い。
【００５０】
５．クランパーのダミー板及び調整部材
以下、上側クランパー５１０及び下側クランパー５２０の一方又は双方に設けられるダミー板及び調整部材を、下側クランパー５２０を例に挙げて説明する。上側クランパー５１０に設けられるダミー板及び調整部材については、以下の説明中の「下側クランパー５２０」を「上側クランパー５１０」と、「下枠５３２」を「上枠５３１」と読み替えることで理解される。
【００５１】
図１３は、下側クランパー５２０に設けられダミー板７００及び調整部材７２０を示す。先ず、下側クランパー５２０は、下枠５３２に固定される固定部５２１と、固定部５２１に対して揺動可動に支持される可動部５２３とを含む。固定部５２１は、第１面５２１Ａと、その反対側の第２面５２１Ｂとを有する。固定部５２１は、第２面５２１Ｂが下枠５３２と面接触して、ボルト５２２により下枠５３２に固定される。固定部５２１は、第１面５２１Ａより垂直に起立する２つの側壁５２１Ｃを有する。
【００５２】
揺動する可動部５２３と、固定部５２１の第１面５２１Ａとの間で、ワーク２０の下縁部２０ｂが局所的にクランプされる。可動部５２３は、固定部５２１の２つの側壁５２１Ｃに支持されたピン５２４の廻りで揺動可能である。ピン５２４にはコイルスプリング５２５が挿通される。可動部５２３は、コイルスプリング５２５により固定部５２１に向かうように移動付勢される。可動部５２３は、固定部５２１、ピン５２４またはコイルスプリング５２５を経由して、下枠５３２と電気的に接続される。この導通経路の抵抗値を低くするために、コイルスプリング５２５を板バネ等に変更しても良い。
【００５３】
導電性のダミー板７００は、固定部５２１の第２面５２１Ｂと対向する第３面７００Ａと、第３面７００Ａとは反対側の第４面７００Ｂと、を含む。また、ダミー板７００の一端部を基端部７０１と称し、他端部を先端部７０４と称する。ダミー板７００は、第４面７００Ｂが固定部５２１の第２面５２１Ｂと平行になるようにして、基端部７０１が固定部５２１に支持される。
【００５４】
ここで、図１４に示すように、ダミー板７００の基端部７０１には、例えば２つの長孔７０２，７０３を形成することができる。この長孔７０２，７０３の各々にボルト７１０を挿通して、ボルト７１０を下枠５３２に締結している。長孔７０２，７０３により、ダミー板７００は図１３の矢印Ｃ方向で固定位置を調整できる。
【００５５】
図１３及び図１４に示すように、絶縁性の調整部材７２０は、ダミー板７００の第４面７００Ｂの一部を覆って、ダミー板７００に重ねられる。調整部材７２０により常に覆われていない導電面は、先端部７０４だけとすることができる。図１３及び図１４にハッチングで示すように、調整部材７２０により覆われない他の面は絶縁コーティングされる。
【００５６】
図１４に示すように、調整部材７２０には、例えば２つの長孔７２１，７２２が形成される。この長孔７２１，７２２の各々にボルト７３０を挿通して、ボルト７３０をダミー板７００に締結している。長孔７０２，７０３により、調整部材７２０は図１３の矢印Ｃ方向で固定位置を調整できる。それにより、調整部材７２０は、ダミー板７００の先端部７０４における第４面７００Ｂ側の露出導電面積Ｓ２を調整することができる。
【００５７】
ダミー板７００の先端部７０４における第４面７００Ｂ側の露出導電面が表面処理される。ダミー板７００の露出導電面積Ｓ２を変更することにより、ダミー板７００に対する表面処理に費やされる電流が調整される。それにより、下側クランパー５２０の固定部５２１を介してワーク２０の下縁部２０ｂに流れる電流が調整される。ダミー板７００及び調整部材７２０がないと、下側クランパー５２０の固定部５２１を介してワーク２０の下縁部２０ｂに流れる電流が増大する。なぜなら、上述した通り可動部５２３と下枠５３２との間の抵抗値は比較的大きいからである。よって、可動部５２３と接する領域付近のワーク２０の下縁部２０ｂであって、かつ、可動部５２３と接する側の面２０ｂ１（図１３）に電流が集中することはない。その一方で、固定部５２１と接する領域付近のワーク２０の下縁部２０ｂであって、かつ、固定部５２１と接する側の面２０ｂ２（図１３）に電流が集中する傾向が強い。結果として、固定部５２１の付近の領域でワーク２０の表面処理が局所的に進行してしまう。本実施形態によれば、ワーク２０の下縁部２０ｂの局所領域２０ｂ２に流れる電流を調整して、表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。
【００５８】
また、長孔７０２，７０３によって、固定部５２１に対するダミー板７００の基端部７０１の固定位置を、調整部材７２０が移動可能な矢印Ｃ方向と平行な方向に変更可能とすることができる。こうすると、ワーク２０の主面と直交する方向から見た側面視で、下側クランパー５２０の固定部５２１の第２面５２１Ｂまたはワークの主面と、ダミー板７００との重なり面積を調整することができる。その位置調整によっても、ダミー板７００に対する表面処理に費やされる電流が調整される。
【００５９】
ここで、図１に示す処理槽２００内の処理液Ｑは、治具３０に対して図５に示す液面Ｌが設定される。よって、下側クランパー５２０はその全体が処理液Ｑに没する。そのため、ダミー板７００は、先端部７０４における第４面７００Ｂを除いて、図１３及び図１４にハッチングで示すように、調整部材７２０により覆われない他の面は絶縁コーティングされる。それにより、ダミー板７００の先端部７０４における第４面７００Ｂ以外が無駄に表面処理されることがない。
【００６０】
上述された下側クランパー５２０に設けられるダミー板７００及び調整部材７２０の構造は、上側クランパー５１０に設けられるダミー板及び調整部材にも適用できる。なお、図５に示す処理液Ｑの液面Ｌの位置から、上側クランパー５１０はその全体が処理液Ｑに没することがない点で、下側クランパー５２０と異なる。このため、上側クランパー５１０に設けられるダミー板は、絶縁コーティング領域を処理液Ｑ中に没する領域のみに狭めてもよい。処理液Ｑに浸漬されない領域は表面処理されないので、絶縁コーティングする必要はないからである。
【００６１】
６．第１，第２のサイドダミー部材
図５に示すように、ワーク保持治具３０は、ワーク２０の両測縁部に接近して配置される導電性の第１及び第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂをさらに有することができる。図５のＤ−Ｄ矢視図である図１５に示すように、第１のサイドダミー部材８００Ａは、ワーク２０の側縁部２０ｄと縦枠５３４との間に配置される。第２のサイドダミー部材８００Ｂは、ワーク２０の側縁部２０ｃと縦枠５３４との間に配置される。
【００６２】
ここで、共通導電部材３６０の第２導電部材３６２と電気的に接続され、共通導電部材３６０から分岐されて、上側クランパー５１０を介してワーク２０と導通する第１の分岐導通部材が、一対の第１接続部３７０Ａ，３７０Ｂと、それらが両端部に接続される上枠５３１とで定義される。ワーク保持治具３０は、さらに、共通導電部材３６０と電気的に接続され、共通導電部材３６０から分岐されて、第１及び第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂと導通する第２の分岐導通部材９００（９００Ａ，９００Ｂ）をさらに有する。第２の分岐導通部材９００の第１のダミー導通部材９００Ａは、共通導電部材３６０から分岐されて第１のサイドダミー部材８００Ａと導通する。第２の分岐導通部材９００の第２のダミー導通部材９００Ｂは、共通導電部材３６０から分岐されて第２のサイドダミー部材８００Ｂと導通する。
【００６３】
整流器と電気的に接続可能な共通導電部材３６０は、第１の分岐導通部材３７０Ａ，３７０Ｂ，５３１を経由して上側クランパー５１０によりワーク２０と導通される。この共通導電部材３６０は、第２の分岐導通部材９００（９００Ａ，９００Ｂ）を介して第１及び第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂと導通される。ワーク２０、第１及び第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂに流れるトータル電流は整流器により設定可能である。ここで、縦枠５３３，５３４は絶縁コーティングされているとする。第１及び第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂがないと、ワーク２０の両側縁部２０ｃ，２０ｄに電界が集中し、ワーク２０の両側縁部２０ｃ，２０ｄに流れる電流が多くなる。縦枠５３３、５３４は絶縁コーティングされていない場合には、導電性の縦枠５３３，５３４をメッキするために電流が消費されて、ワーク２０の両側縁部２０ｃ，２０ｄに流れる電流が減少する。そのために、第１のダミー導通部材９００Ａと第２のダミー導通部材９００Ｂとを設け、ワーク２０の両側縁部２０ｃ，２０ｄに流れる電流を調整可能としている。しかも、第１の分岐導通部材３７０Ａ，３７０Ｂ，５３１に対して、第２の分岐導通部材９００（９００Ａ，９００Ｂ）の抵抗値を独自に設定することで、ワーク２０に流れる電流とは独立して、第１及び第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂに流れる電流を設定できる。それにより、ワーク２０の側縁部２０ｃ，２０ｄに近接配置される第１及び第２のサイドダミー部材も表面処理することで、ワーク２０の側縁部２０ｃ，２０ｄに流れる電流を調整して、表面処理されるワークの面内均一性を高めることができる。また、第１のダミー導通部材９００Ａと第２のダミー導通部材９００Ｂとの抵抗値を独自に設定することで、第１及び第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂに流れる電流を独自に設定できる。これにより、ワーク２０の一方の側縁部２０ｃと他方の側縁部２０ｄとに流れる電流を調整できる。
【００６４】
第１のダミー導通部材９００Ａは、例えば、共通導電部材３６０の第２導電部材３６２に一端が接続されたケーブル９１０Ａと、ケーブル９１０Ａの他端が接続された導電板９２０Ａと、一端が導電板に接続され他端が第１のサイドダミー部材８００Ａに接続されたケーブル９３０Ａとを有する。第２のダミー導通部材９００Ｂも同様に、ケーブル９１０Ｂ、導電板９２０Ｂ及びケーブル９３０Ｂを有する。
【００６５】
第１，第２のダミー導通部材９００Ａ，９００Ｂは、第１，第２の可変抵抗器を有することができる。第１のダミー導通部材９００Ａに設けられる第１の可変抵抗器は、導電板９２０Ａに設けられた長孔９２１Ａと、長孔９２１Ａに沿って移動する可動接点部９２２Ａとで構成される。長孔９２１Ａは、ケーブル９１０Ａの接続部からの距離が長くなる方向（図５では水平方向）を長手方向とする。ケーブル９３０Ａと接続された可動接点部９２２Ａの位置を変更することで抵抗値が可変される。第２のダミー導通部材９００Ｂに設けられる第２の可変抵抗器も、同様にして、長孔９２１Ｂと可動接点部９２２Ｂとで構成される。こうすると、第１，第２の可変抵抗器で抵抗値を調整することで、第１のダミー導通部材９００Ａの抵抗値と第２のサイドダミー部材８００Ｂの抵抗値とを、所定の範囲内で任意に調整できる。なお、可動接点部９２２Ａ及び可動接点部９２２Ｂは、手動又は自動で位置調整される。
【００６６】
本実施形態では、図５に示すように、第１のダミー導通部材９００Ａは、第１のサイドダミー部材８００Ａの上部と導通し、第２のダミー導通部材９００Ｂは、第２のサイドダミー部材８００Ｂの上部と導通する。この場合、図１６に示すように、第１のサイドダミー部材８００Ａ及び第２のサイドダミー部材８００Ｂの各々は、ワーク２０の厚さ方向と平行な幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３が、下部よりも上部が狭く形成されることが好ましい（Ｗ１＜Ｗ２＜Ｗ３）。幅は、段階的に変えても良いし、連続的に変えても良い。第１及び第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂは上部の方が整流器に近いので、上部が下部よりも多く表面処理される傾向がある。それに起因してワーク２０の両側縁部２０ｃ，２０ｄの上部が表面処理され難い傾向がある（メッキ厚が薄くなる）。第１及び第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂの幅を上部で狭くすることにより、ワーク２０の両側縁部２０ｃ，２０ｄの上部が表面処理され易くなり、上部でもメッキ膜厚が確保される。それにより、ワーク２０の両側縁部において、上部から下部に亘って流れる電流の調整が効果的に行える。
【００６７】
ワーク保持治具３０に設けられる第１，第２のサイドダミー支持部について、図１７〜図１９を参照して説明する。図１７〜図１９に第１，第２のサイドダミー支持部は、例えば、図１５に示すように、第１，第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂを、ワーク２０の幅方向である矢印Ｅ方向と、ワーク２０の厚さ方向である矢印Ｆ方向とに可変することができる。
【００６８】
図１７及び図１８は、第１のサイドダミー部材８００Ａの上部を支持する支持部の正面図及び平面図である。縦枠５３４の上部には、ワーク保持治具３０の内側に向けて延びる２つの取付片８２０Ａが設けられる。この２つの取付片８２０Ａ間に、第１のサイドダミー部材８００Ａの上部を支持する上部支持片８３０Ａが配置される。２つの取付片８２０Ａは、矢印Ｅ方向を長手方向とする長孔８２１を有する。この長孔８２１に挿通されるボルト８３５が上部支持片８３０Ａに螺合する。ボルト８３５を緩めれば、上部支持片８３０Ａは第１のサイドダミー部材８００Ａと共に矢印Ｅ方向に移動可能となる。ボルト８３５を締めれば上部支持片８３０Ａは２つの取付片８２０Ａに固定される。
【００６９】
図１８に示すように、上部支持片８３０Ａは、上下に貫通し、矢印Ｆ方向を長手方向とする長孔８３１を有する。この長孔８３１に挿通されるボルト８１０が第１のサイドダミー部材８００Ａの上部に螺合する。ボルト８１０を緩めれば、第１のサイドダミー部材８００Ａは矢印Ｆ方向に移動可能となる。ボルト８１０Ａを締めれば第１のサイドダミー部材８００Ａは上部支持片８３０Ａに固定される。図示は省略するが、第２のサイドダミー部材８００Ｂの上部も、第１のサイドダミー部材８００Ａの上部と同様にして支持される。
【００７０】
図１９は、第１のサイドダミー部材８００Ａの下部を支持する支持部を示している。縦枠５３４の上部には、ワーク保持治具３０の内側に向けて延びる２つの取付片８２０Ａが設けられる。この２つの取付片８２０Ａ間に、第１のサイドダミー部材８００Ａの下部を支持する下部支持片８３０Ｂが配置される。下部支持片８３０Ｂは、後述する接続部８５０を支持する構造を除いて、上部支持片８３０Ａと同様の構造を有する。また、第２のサイドダミー部材８００Ｂの下部も、第１のサイドダミー部材８００Ａの下部と同様にして支持される。
【００７１】
第１，第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂは、例えば図１８に示すボルト８１０にケーブル９３０Ａ，９３０Ｂを接続することで、整流器と接続可能となる。なお、第１，第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂを縦枠９３３，９３４から電気的に絶縁するために、取付片８２０Ａおよび／または上部・下部支持片８３０Ａ，８３０Ｂは絶縁体で形成される。
【００７２】
第１，第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂをワーク２０の幅方向Ｅで移動させることで、ワークの両側縁部２０ｃ，２０ｄの各々においてワークの表面処理量（メッキ膜厚）を調整することができる。例えば、図１５の左向きに第１のサイドダミー部材８００Ａを移動させれば、ワーク２０の側縁部２０ｄのメッキ膜厚を薄くできる。逆に、図１５の右向きに第１のサイドダミー部材８００Ａを移動させれば、ワーク２０の側縁部２０ｄのメッキ膜厚を厚くできる。よって、第１，第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂをワーク２０の幅方向Ｅのみで移動させる構造であってもよい。  
【００７３】
第１，第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂをワーク２０の厚さ方向Ｆで移動させることで、ワーク２０の両側縁部２０ｃ，２０ｄの各々において、図１５に示すワーク２０の表面２０ｄ１及び裏面２０ｄ２での表面処理量（メッキ膜厚）を調整することができる。例えば、図１５の上向きに第１のサイドダミー部材８００Ａを移動させれば、ワーク２０の表面２０ｄ１のメッキ膜厚を薄くできる。逆に、図１５の下向きに第１のサイドダミー部材８００Ａを移動させれば、ワーク２０の裏面２０ｄ２のメッキ膜厚を薄くできる。よって、第１，第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂをワーク２０の厚さ方向Ｆのみで移動させる構造であってもよい。
【００７４】
図１９に示すように、第１のサイドダミー部材８００Ａの下部と第２のサイドダミー部材８００Ｂの下部とを電気的に接続する接続部材８５０をさらに設けることができる。接続部材８５０を設けることで、第１及び第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂの下部にも電流が流れ易くなり、ワーク２０の両側縁部２０ｃ，２０ｄにおいて、上部から下部に亘って流れる電流の調整を効果的に行うことができる。
【００７５】
接続部材８５０の両端部は、図１９に示す２つの下部支持片８３０Ｂに例えばスライド可能に支持される。それにより、２つの下部支持片８３０Ｂの図１５に示す矢印Ｅ方向への移動が許容される。また、接続部材８５０の両端部は、第１，第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂの下部に、フレキシブルな導電部材で電気的に接続される。それにより、第１，第２のサイドダミー部材８００Ａ，８００Ｂの図１５に示す矢印Ｅ，Ｆ方向への移動が許容される。
【符号の説明】
【００７６】
２０…ワーク、２０ａ…上縁部、２０ｂ…下縁部、２０ｃ，２０ｄ…側縁部、２１０…給電部（給電レール）、３０…ワーク保持治具、３４１Ａ，３４１Ｂ…第１，第２接触部、３４１Ａ，３５０Ａ…第１の分岐導電部材、３４１Ｂ，３５０Ｂ…第２の分岐導電部材、３５０Ａ，３５０Ｂ…一対の第１ケーブル、３６０…共通接続部（共通導電部材）、３６１…第１導電部材、３６２、３６３…一対の第２導電部材、３７０Ａ，３７０Ｂ…一対の第１接続部（一対の金属板）、３７０Ａ，３７０Ｂ，５３１…第１の分岐導通部材、３８０Ａ，３８０Ｂ…一対の第２接続部（一対の第２ケーブル）、３８０Ａ，３８０Ｂ，５３３，５３４…第１の分岐導通部材、４１０Ｒ，４１０Ｌ…陽極、５１０…上側クランパー、５２０…下側クランパー、５２１…固定部、５２１Ａ…第１面、５２１Ｂ…第２面、５２３…可動部、５３０…枠体、５３１…上枠（支持部）、５３２…下枠（支持部）、５３３，５３４…一対の縦枠、６１０…上側ダミー板、６２０…下側ダミー板、６１１…ヒンジ、６３０，６３０Ａ，６３０Ｂ…絶縁板（上側絶縁板、下側絶縁板、表側絶縁板、裏側絶縁板）、７００…ダミー板、７００Ａ…第３面、７００Ｂ…第４面、７０１…基端部、７０４…先端部、７２０…調整部材、８００Ａ…第１のサイドダミー部材、８００Ｂ…第２のサイドダミー部材、８５０…接続部材、９００（９００Ａ，９００Ｂ）…第２の分岐導通部材、９００Ａ（９１０Ａ，９２０Ａ，９２２Ａ，９３０Ａ）…第１のダミー導通部材、９００Ｂ（９１０Ｂ，９２０Ｂ，９２２Ｂ，９３０Ｂ）…第２のダミー導通部材、９２０Ａ，９２１Ａ，９２２Ａ…第１の可変抵抗器、９２０Ｂ，９２１Ｂ，９２２Ｂ…第２の可変抵抗器、Ｐ１…第１の位置、Ｐ２…第２の位置、Ｓ，Ｓ２…露出導電面積
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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