(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを垂下して保持するワーク保持治具が着脱自在に保持され、垂直軸部を有する治具保持部と、
前記垂直軸部を昇降可能及び回転可能に案内する孔を有する案内部を含み、前記治具保持部を支持する支持部と、
前記治具保持部と前記支持部とを連結する連結部と、
を有し、
前記連結部は、
前記垂直軸部と共に移動する可動部と、
前記可動部の下方で前記案内部に配置される固定部と、
を含み、
前記可動部と前記固定部との一方に複数の係合部が設けられ、
前記可動部と前記固定部との他方に、前記複数の係合部の少なくとも一つに係合される少なくとも一つの被係合部が設けられ、
前記連結部は、前記治具保持部を上昇させる外力が付与されている時に前記複数の係合部の全てと前記少なくとも一つの被係合部との連結が解除され、前記外力が解除されている時に前記治具保持部と前記支持部とを連結し、連結時には、平面視で前記治具保持部と前記支持部との前記垂直軸部周りの相対角度が異なる複数の連結位置の一つを選択可能であることを特徴とする治具搬送部材。
【請求項２】
請求項１において、
前記可動部は、前記垂直軸部の上部に固定されることを特徴とする治具搬送部材。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記係合部は、前記少なくとも一つの被係合部が嵌入される孔または凹部であることを特徴とする治具搬送部材。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記垂直軸部は、前記治具保持部の上昇移動を規制する上限ストッパを有することを特徴とする治具搬送部材。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載された治具搬送部材であって、ワークを垂下して保持するワーク保持治具が前記治具保持部に着脱自在に装着される治具搬送部材と、
前記ワーク保持治具に保持される複数のワークの表面を処理液により処理する処理槽と、
外部から搬入される前記ワーク保持治具を前記治具搬送部材の前記治具保持部に装着して、前記治具搬送部材を前記処理槽にロードするローダー部と、
を有し、
前記処理槽は、前記治具搬送部材を第１方向に沿って往復揺動させる揺動部を含み、
前記ローダー部は、
前記治具搬送部材の前記治具保持部を昇降させる昇降部と、
上昇された前記治具保持部を水平面内で回転させる回転部と、
を含むことを特徴とする表面処理装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記回転部は、前記治具保持部に保持される前記複数のワークの前記表面が前記第１方向と非平行となるように、前記治具保持部を回転させることを特徴とする表面処理装置。
【請求項７】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載された治具搬送部材であって、ワークを垂下して保持するワーク保持治具が前記治具保持部に着脱自在に装着される治具搬送部材と、
前記ワーク保持治具に保持される複数のワークの表面を処理液により処理する処理槽と、
外部から搬入される前記ワーク保持治具を前記治具搬送部材の前記治具保持部に装着して、前記治具搬送部材を前記処理槽にロードするローダー部と、を有する表面処理装置で、前記複数のワークを表面処理する方法であって、
前記ローダー部で、
前記治具搬送部材の前記治具保持部を上昇させる工程と、
上昇された前記治具保持部を水平面内で回転させる工程と、
その後、前記治具保持部を下降させる工程と、
を含むことを特徴とする表面処理方法。
【請求項８】
請求項７において、
前記処理槽は、前記治具搬送部材を第１方向に沿って往復揺動させる揺動部を含み、
前記回転工程は、前記治具保持部に保持される前記複数のワークの前記表面が前記第１方向と非平行となるように、前記治具保持部を回転させることを特徴とする表面処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無電解メッキ等の表面処理に用いられるワーク保持治具を搬送する治具搬送部材並びに表面処理装置及び方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば無電解メッキは、電解メッキと相違して浴中を電流が流れないため、メッキ処理されるワークは導電体のみならずプラスチックやセラミックスのような非導電体とすることができる利点がある。【０００３】
特許文献１に、無電解メッキ液を収容したメッキ槽の中に、複数のワークを、無電解メッキ液が流通可能な隙間を介して鉛直に立てて並べ、あるいはラックに吊り下げて、バッチ処理することが開示されている（請求項１，３及び図４）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−９３６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
メッキ液中に気泡が存在し、かつ、気泡がワークに付着していると、気泡が存在する領域はメッキ不良となる。特に、ワークに貫通孔や有底孔が存在することがある。ワークが回路基板であると、基板の両面を導通させるスルーホールや、上下の導電層同士を導通させるためのコンタクトホールまたはビアが設けられるからである。そのような孔には気泡が停留し易く、メッキ不良が生じやすい。【０００６】
本発明は、ワークに付着する気泡に起因した処理不良を低減することができる治具搬送部材並びに表面処理装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明の一態様は、
ワークを垂下して保持するワーク保持治具が着脱自在に装着される治具保持部と、
前記治具保持部を支持する支持部と、
前記治具保持部と前記支持部とを連結する連結部と、
を有し、
前記連結部は、外力が付与されている時に前記治具保持部と前記支持部との連結が解除され、前記外力が解除されている時に前記治具保持部と前記支持部とを連結し、連結時には、平面視で前記治具保持部と前記支持部との相対角度が異なる複数の連結位置の一つを選択可能である治具搬送部材に関する。【０００８】
本発明の一態様によれば、外力が付与されている時に治具保持部と支持部との連結が解除されるので、平面視で治具保持部と支持部との相対角度を変化させることができる。その後外力を解除すると、治具保持部と支持部とが連結される。それにより、平面視で治具保持部と支持部との相対角度が異なる複数の連結位置の一つが選択される。ワークは、治具保持部に保持されるワーク保持治具に取り付けられる。よって、平面視で治具保持部と支持部との相対角度を変更することにより、支持部に対して、ワークの主面の向きを変更させることができる。この治具搬送部材により処理槽内の処理液にワークが浸漬されている時に、治具搬送部材の支持部を第１方向に往復揺動させる。こうして、ワークに付着している気泡を除去する。その際に、往復揺動方向に対するワーク主面の向きを適宜設定することで、気泡を効率的に除去することができる。【０００９】
（２）本発明の一態様（１）では、前記連結部は、複数の係合部と、少なくとも一つの被係合部とを含み、前記外力の付与により相対的に移動される前記治具保持部と前記支持部とによって、前記複数の係合部のいずれか一つと前記少なくとも一つの被係合部との係合が解除され、前記外力の解除により前記複数の係合のいずれか一つに前記少なくとも一つの被係合部が係合されても良い。こうすると、治具保持部と支持部との連結及び連結解除が容易であるとともに、複数の係合のいずれか一つに少なくとも一つの被係合部が係合されることで、回転後の位置が固定される。【００１０】
（３）本発明の一態様（２）では、前記係合部は、前記少なくとも一つの被係合部が嵌入される孔または凹部とすることができる。こうすると、連結部の構造が簡易化され、治具保持部と支持部との連結及び連結解除がさらに容易となる。【００１１】
（４）本発明の一態様（２）または（３）では、
前記治具保持部は、被案内部を含み、
前記支持部は、前記被案内部を昇降可能に案内する案内部を含み、
前記連結部は、
前記被案内部と共に移動する可動部と、
前記可動部と対面して前記案内部に配置される固定部と、
を含み、
前記可動部と前記固定部との一方に前記複数の係合部が設けられ、
前記可動部と前記固定部との他方に前記少なくとも一つの被係合部を設けることができる。こうすると、治具保持部と支持部とを相対的に昇降させることで、治具保持部と支持部との連結及び連結解除を容易に行うことができる。【００１２】
（５）本発明の他の態様は、
ワークを垂下して保持するワーク保持治具が着脱自在に装着される治具搬送部材と、
前記ワーク保持治具に保持される複数のワークの表面を処理液により処理する処理槽と、
外部から搬入される前記ワーク保持治具を前記治具搬送部材に装着して、前記治具搬送部材を前記処理槽にロードするローダー部と、
を有し、
前記治具搬送部材は、本発明の一態様（１）〜（４）のいずれかに記載された治具搬送部材であって、前記治具保持部、前記支持部及び前記連結部を含み、
前記処理槽は、前記治具搬送部材を第１方向に往復揺動させる揺動部を含み、
前記ローダー部は、
前記治具搬送部材の前記治具保持部を昇降させる昇降部と、
上昇された前記治具保持部を水平面内で回転させる回転部と、
を含む表面処理装置に関する。【００１３】
（６）本発明の他の態様（５）では、
前記回転部は、前記治具保持部に保持される前記複数のワークの前記表面が前記第１方向と非平行となるように、前記治具保持部を回転させることができる。【００１４】
（７）本発明のさらに他の態様は、
ワークを垂下して保持するワーク保持治具が着脱自在に装着される治具搬送部材と、
前記ワーク保持治具に保持される複数のワークの表面を処理液により処理する処理槽と、
外部から搬入される前記ワーク保持治具を前記治具搬送部材に装着して、前記治具搬送部材を前記処理槽にロードするローダー部と、
を有し、
前記治具搬送部材は、本発明の一態様（１）〜（４）のいずれかに記載された治具搬送部材であり、前記治具保持部、前記支持部及び前記連結部を含む表面処理装置で、前記複数のワークを表面処理する方法であって、
前記ローダー部で、
前記治具搬送部材の前記治具保持部を上昇させる工程と、
上昇された前記治具保持部を水平面内で回転させる工程と、
その後、前記治具保持部を下降させる工程と、
を含む表面処理方法に関する。【００１５】
（８）本発明のさらに他の態様（７）では、
前記処理槽は、前記治具搬送部材を第１方向に沿って往復揺動させる揺動部を含み、
前記回転工程は、前記治具保持部に保持される前記複数のワークの前記表面が前記第１方向と非平行となるように、前記治具保持部を回転させることができる。【００１６】
本発明の各態様（５）（７）によれば、ローダー部で昇降部により治具保持部を上昇させることで、治具保持部と支持部との連結が解除される。ローダー部で回転部により、上昇された治具保持部を水平面内で回転させることで、平面視で治具保持部と支持部との相対角度が変更される。その後、ローダー部で昇降部により治具保持部を下降させることで、治具保持部と支持部とが連結される。それにより、平面視で治具保持部と支持部との相対角度が異なる複数の連結位置の一つが選択される。このワーク保持治具が用いられる処理槽では、ワーク保持治具の支持部を第１方向に往復揺動させて、ワークに付着している気泡を除去する。その際に、往復揺動方向に対するワーク主面の向きを適宜設定することで、気泡を効率的に除去することができる。【００１７】
本発明の各態様（６）（８）によれば、揺動によってワークの表面に処理液の液圧が多く作用する。それにより、ワークの表面、有底孔または貫通孔に停留していた気泡を、液圧によって効率的にワークから除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係る表面処理装置の断面図である。
【図２】図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は表面処理装置の概略平面図である。
【図３】図１の表面処理装置に用いられるワーク保持治具を示す図である。
【図４】治具搬送部材の連結部に設けられる固定部の平面図である。
【図５】ローダー／アンローダー部（ローダー部、アンローダー部）で治具保持部が下降した状態を示す図である。
【図６】ローダー／アンローダー部（ローダー部、アンローダー部）で治具保持部が上昇した状態を示す図である。
【図７】ローダー／アンローダー部（ローダー部、アンローダー部）に配置された治具搬送部材の平面図である。
【図８】図７の位置から治具保持部を４５°だけ回転させた状態を示す図である。
【図９】図７の位置から治具保持部を９０°だけ回転させた状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下の開示において、提示された主題の異なる特徴を実施するための多くの異なる実施形態や実施例を提供する。もちろんこれらは単なる例であり、限定的であることを意図するものではない。さらに、本開示では、様々な例において参照番号および／または文字を反復している場合がある。このように反復するのは、簡潔明瞭にするためであり、それ自体が様々な実施形態および／または説明されている構成との間に関係があることを必要とするものではない。さらに、第１の要素が第２の要素に「接続されている」または「連結されている」と記述するとき、そのような記述は、第１の要素と第２の要素とが互いに直接的に接続または連結されている実施形態を含むとともに、第１の要素と第２の要素とが、その間に介在する１以上の他の要素を有して互いに間接的に接続または連結されている実施形態も含む。また、第１の要素が第２の要素に対して「移動する」と記述するとき、そのような記述は、第１の要素及び第２の要素の少なくとも一方が他方に対して移動する相対的な移動を含む。
【００２０】
図１は、表面処理装置１の断面図である。図１には、ワーク保持治具１０を搬送する治具搬送部材１００と、ワーク保持治具１０に保持される少なくとも一つ、例えば複数のワークＷの表面を処理液Ｑにより処理する処理槽２００とが示されている。表面処理装置１は、図２（Ａ）（Ｂ）に示すように、少なくとも一つ、例えば複数の処理槽２００−１〜２００−ｎ（ｎは複数）を有することができる。複数の処理槽２００−１〜２００−ｎは、メッキ処理等の表面処理槽の他、その表面処理の前後に必要な前処理槽及び/又は後処理槽を含むことができる。処理槽２００では、メッキ液などの処理液ＱにワークＷを浸漬することで、ワークＷを表面処理することができる。
【００２１】
図２（Ａ）に示す表面処理装置１Ａは、処理槽２００−１〜２００−ｎが連結された長手方向の一端にローダー／アンローダー部２１０を有する。図２（Ａ）では、ローダー／アンローダー部２１０において、外部から搬入されたワーク保持治具１０が治具搬送部材１００に装着される。ローダー／アンローダー部２１０は、ワーク保持治具１０が装着された治具搬送部材１００を処理槽２００にロードする。例えば治具搬送部材１００は、先ず処理槽２００−１に搬送された後に、処理槽２００−１から２００−ｎに順次間欠送りされながら、複数のワークＷが各処理槽２００−１〜２００−ｎでバッチ処理される。処理が完了すると、ローダー／アンローダー部２１０では、治具搬送部材１００からワーク保持治具１０が取り外される。
【００２２】
図２（Ｂ）に示す表面処理装置１Ｂは、処理槽２００−１〜２００−ｎが連結された長手方向の一端にローダー部２２０を、長手方向の他端にアンローダー部２３０を有する。図２（Ｂ）では、ローダー部２２０において、外部から搬入されたワーク保持治具１０が治具搬送部材１００に装着される。ローダー部２２０は、ワーク保持治具１０が装着された治具搬送部材１００を処理槽２００にロードする。例えば治具搬送部材１００は、処理槽２００−１から２００−ｎに順次間欠送りされながら、複数のワークＷが各処理槽２００−１〜２００−ｎでバッチ処理される。処理が完了すると、アンローダー部２３０では、治具搬送部材１００からワーク保持治具１０が取り外される。
【００２３】
ここで、図２（Ａ）に示すローダー／アンローダー部２１０と、図２（Ｂ）に示すローダー部２２０及びアンローダー部２３０には、外力付与装置２５０が配置される。この外力付与装置２５０は、ワーク保持治具１０及び治具搬送部材１００について説明した後に説明する。
【００２４】
先ず、ワーク保持治具１０について説明する。ワーク保持治具１０は、例えば、本出願人によるPCT/JP2017/034924に開示された治具を用いることができる。ワーク保持治具１０について簡潔に説明すると、図１及び図２に示すように、ワーク保持治具１０は枠体１１を有する。枠体１１の上部には、複数例えば２０枚のワークＷの上端を保持して、ワークＷを垂下して支持する上部クランパー１２が固定されている。ワークＷが薄く、垂下しただけでは撓む場合等には、図１及び図２に示すように、下部クランパー１３がさらに設けられる。下部クランパー１３は枠体１１に対して上下動可能に支持されることが好ましい。こうすると、下部クランパー１３の自重により、ワークＷは下方に向けてテンションが付与され、ワークＷには撓みが生じない。枠体１１には、上方に伸びるアーム１４と、アーム１４の上部に設けられるフック１５とを有する。なお、図１及び図２に示すワーク保持治具１０は一例であり、ワークＷを垂下して保持できれば他の種々のワーク保持治具を用いることができる。
【００２５】
ワーク保持治具１０は、図３に示すように、複数のワークＷを撓ませずに平行に配置するバッチ処理用治具とすることができる。結果として、このワーク保持治具１０に保持された複数のワークＷをメッキ浴に浸漬すると、たとえ薄いワークＷであっても隣り合うワークＷ間には無電解メッキ液が流通できる適正な隙間が確保される。それにより、メッキ品質を維持しながら無電解メッキして複数のワークＷをバッチ処理することができる。
【００２６】
次に、治具搬送部材１００について説明する。治具搬送部材１００は、図１に示すように、複数のワークＷを垂下して保持するワーク保持治具１０が着脱自在に装着される治具保持部１１０と、治具保持部１１０を支持する支持部１２０と、治具保持部１１０と支持部１２０とを連結する連結部１３０とを有する。連結部１３０は、外力が付与されている時に治具保持部１１０と支持部１２０との連結が解除され、外力が解除されている時に治具保持部１１０と支持部１２０とを連結する。連結時には、平面視で治具保持部１１０と支持部１２０との相対角度が異なる複数の連結位置の一つを選択可能である。
【００２７】
治具搬送部材１００の治具保持部１１０は、ワーク保持治具１０のフック１５が着脱自在に懸垂支持する懸垂支持部１１１を有する。懸垂支持部１１１は、フック１５を位置決めする位置決め部１１１Ａを備える。ワーク保持治具１０のフック１５が位置決め部１１１Ａに案内されて図３に示すように懸垂支持部１１１に支持されることにより、ワーク保持治具１０が懸垂支持される。治具保持部１１０は、懸垂支持部１１１より上方に伸びる被案内部例えば断面円形の垂直軸部１１２をさらに有する。垂直軸部１１２は、上限ストッパー１１３を有することができる。
【００２８】
治具搬送部材１００の支持部１２０は、被案内部である垂直軸部１１２を昇降可能に案内する例えば円形の孔１２１Ａを備えた案内部１２１を有する。支持部１２０は、案内部１２１に連結された被係止部１２２と、被係止部１２２に連結された被搬送部１２３とをさらに有する。治具搬送部材１００の被係止部１２２は、図２（Ａ）（Ｂ）に示す表面処理装置１Ａ，１Ｂにおいて治具搬送部材１００が停止される各位置（処理槽２００−１〜２００−ｎ、ローダー／アンローダー部２１０、ローダー部２２０及びアンローダー部２３０）に配置された係止部２４０に係止される。それにより、ワーク保持治具１０が装着された治具搬送部材１００を各位置にて停止支持できる。治具搬送部材１００は、被搬送部１２３が図示しない搬送部と係合されて間欠搬送される。こうして、ワーク保持治具１０が装着された治具搬送部材１００を各位置に向けて間欠搬送できる。
【００２９】
治具搬送部材１００の連結部１３０は、垂直軸部１１２の上部に固定されて垂直軸部１１２と共に移動する可動部１３１と、可動部１３１と対面して案内部１２１に配置される固定部１３２とを含む。なお、固定部１３２は案内部１２１と一体であっても良い。可動部１３１と固定部１３２との一方、例えば固定部１３２に、図４に示すように複数の係合部例えば孔１３２Ａまたは凹部が設けられる。可動部１３１と固定部１３２との他方、例えば可動部１３１に、少なくとも一つ例えば複数の被係合部であるピン１３１Ａが設けられる。
【００３０】
図５は、ローダー／アンローダー部２１０（ローダー部２２０、アンローダー部２３０）に配置される外力付与装置２５０を示す図である。外力付与装置２５０は、治具保持部１１０を昇降させる昇降部２６０と、上昇された治具保持部１１０を水平面内で回転させる回転部２７０とを有する。図５に示す実施形態では、回転部２７０が昇降部２６０を回転させる例であるが、これに限定されない。
【００３１】
昇降部２６０は、図６に示すように、昇降駆動部２６１と、昇降駆動部２６１により昇降される昇降軸２６２と、昇降軸２６２に固定されたプッシュロッド２６３と、を含むことができる。昇降駆動部２６１により、プッシュロッド２６３は、図５に示す下降位置から矢印Ａ方向に移動して、図６に示す上昇位置に設定される。図６に示す上昇位置では、プッシュロッド２６３が治具保持部１１０の懸垂支持部１１１を押し上げる。治具搬送部材１００のうち、支持部１２０は係止部２４０に係止される一方で、治具保持部１１０が支持部１２０に対して上昇移動される。この上昇移動は、治具保持部１１０のストッパー１１３が案内部１２１の下面に当接することで停止される。
【００３２】
図６に示すように、上昇位置で停止されるように外力が付与されている時に、治具保持部１１０と支持部１２０とを連結する連結部１３０での連結が解除される。なぜなら、治具保持部１１０の垂直軸１１２に固定された可動部１３１が、支持部１２０の案内部１２１に配置された固定部１３２から離れ、ピン１３１Ａと孔１３２Ａとの係合が解除されるからです。
【００３３】
図６に示す上昇位置で、回転部２７０が回転される。それにより、回転部２７０に搭載されている昇降部２６０が回転される。昇降部２６０に支持されている治具保持部１１０は、案内部１２１の孔１２１Ａに挿通されている垂直軸部１１２の軸周りで矢印Ｂ方向に回転させられる。こうして、平面視で、支持部１２０に対して治具保持部１１０が回転される。
【００３４】
その後、昇降部２６０により、プッシュロッド２６３が図６の上昇位置から図５の下降位置まで下降される。それにより、治具保持部１１０の垂直軸１１２に固定された可動部１３１が下降され、ピン１３１Ａが、回転後の固定部１３２の複数の孔１３２Ａのうち対向する孔１３２Ａに係合される。こうして、平面視で治具保持部１１０と支持部１２０との相対角度が異なる複数の連結位置の一つが選択される。
【００３５】
ローダー／アンローダー部２１０またはローダー部２２０で上記動作が実施された治具搬送部材１００は、処理槽２００−１〜２００−ｎに順次移動され、処理が完了するとローダー／アンローダー部２１０またはアンローダー部２３０へ移動される。ローダー／アンローダー部２１０またはアンローダー部２３０では、上述された昇降動作及び回転動作により、治具搬送部材１００は初期状態に戻される。
【００３６】
図７〜図９は、処理槽２００に配置されたワーク保持治具１０またはワークＷの状態を示す平面図である。図７は、治具搬送部材１００の治具保持部１１０が回転されていない初期状態を示している。図８は、治具搬送部材１００の治具保持部１１０が図７の位置から４５°回転された状態を示す。図８は、治具搬送部材１００の治具保持部１１０が図７の位置から９０°回転された状態を示す。
【００３７】
ここで、処理槽２００は、治具搬送部材１００を第１方向に往復揺動させる揺動部を含む。この揺動部の機構については省略するが、例えば偏心カム機構などを用いて治具搬送部材１００を往復揺動する。図７において往復揺動方向がＹ軸方向と平行であれば、治具搬送部材１００の治具保持部１１０を回転させる必要性は乏しい。しかし、図７において往復揺動方向がＸ軸方向と平行であれば、治具搬送部材１００の治具保持部１１０を回転させる必要が生じる。なぜなら、ワークＷの主面が往復揺動方向Ｘ（第１方向）と平行となり、揺動による気泡の除去効果が少ないからである。
【００３８】
そこで、例えば図８または図９に示すように、治具搬送部材１００の治具保持部１１０を回転させて、ワークＷの主面が往復揺動方向Ｘ（第１方向）と非平行となるように設定する。なお、治具保持部１１０の回転角度は、図８または図９は一例であり、他の種々の角度に設定しても良い。ワークＷの主面が往復揺動方向Ｘ（第１方向）と非平行となるように角度設定されると、揺動によってワークＷの主面に処理液Ｑの液圧が多く作用する。それにより、ワークＷの表面、有底孔または貫通孔に停留していた気泡を、液圧によって効率的にワークＷから除去することができる。
【符号の説明】
【００３９】
１，１Ａ，１Ｂ…表面処理装置、１０…ワーク保持治具、１００…治具搬送部材、１１０…治具保持部、１１１…懸垂支持部、１１２…被案内部（垂直軸部）、１１３…ストッパー、１２０…支持部、１２１…被案内部、１２１Ａ…孔、１３０…連結部、１３１…可動部、１３１Ａ…被係合部（ピン）、１３２…固定部、１３２Ａ…係合部（孔）、２００，２００−１〜２００−ｎ…処理槽、２１０…ローダー／アンローダー部、２２０…ローダー部、２３０…アンローダー部、２４０…係止部、２５０…外力付与部、２６０…昇降部、２６３…プッシュロッド、２７０…回転部、Ｑ…処理液、Ｗ…ワーク
【図１】
0006909524.tif 000002
【図２】
0006909524.tif 000003
【図３】
0006909524.tif 000004
【図４】
0006909524.tif 000005
【図５】
0006909524.tif 000006
【図６】
0006909524.tif 000007
【図７】
0006909524.tif 000008
【図８】
0006909524.tif 000009
【図９】
0006909524.tif 000010