(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の金属粒子を含む金属粉体の評価方法であり、前記評価方法は、
前記金属粉体の走査型電子顕微鏡像を取り込むこと、
前記走査型電子顕微鏡像において、金属粒子の境界を閾値法を用いて検出すること、
前記走査型電子顕微鏡像から、階調が第１の閾値以下の領域を除去すること、
前記境界によって囲まれた第１粒子領域の縦横比と円形度を算出すること、および
前記縦横比と円形度に基づいて前記第１粒子領域に相当する前記金属粒子が単体粒子であるか、あるいは少なくとも二つのフラグメント粒子が連結された連結粒子であるかを判断することを含む、評価方法。
【請求項２】
前記走査型電子顕微鏡像を一次微分フィルタ処理すること、
連結粒子と判断された前記金属粒子の前記第１粒子領域が前記一次微分フィルタ処理によって二つ以上の領域に分割された場合、前記分割された領域の縦横比と円形度を算出すること、および
前記分割された領域の縦横比と円形度に基づいて前記分割された領域に相当する前記金属粒子が単体粒子であるか連結粒子であるかを判断することをさらに含む、請求項１に記載の評価方法。
【請求項３】
前記走査型電子顕微鏡像を階調反転すること、
前記階調反転された走査型電子顕微鏡像に対し、階調の局所最小点をマーカーとするウォーターシェッド処理を行うこと、および
連結粒子と判断された前記金属粒子に相当する前記第１粒子領域において、前記ウォーターシェッド処理によって求められた分水嶺の最小階調と前記マーカーの前記階調との差が第２の閾値以下である場合、連結粒子と判断された前記金属粒子は単体粒子であると判断することをさらに含む、請求項１に記載の評価方法。
【請求項４】
連結粒子と判断された前記金属粒子の前記第１粒子領域を膨張処理して第１の膨張領域を得ること、
前記第１の膨張領域と重なる他の粒子領域のうち、前記第１の膨張領域と重なる部分を膨張処理して第２の膨張領域を得ること、
連結粒子と判断された前記金属粒子の前記第１粒子領域のうち、前記第２の膨張領域と重なる部分の前記走査型電子顕微鏡像における最大階調Ｇ1を求めること、
前記他の粒子領域の最大階調Ｇ2を求めること、および
前記最大階調Ｇ1が前記最大階調Ｇ2よりも低い場合、前記走査型電子顕微鏡像において、連結粒子と判断された前記金属粒子は、前記他の粒子領域に相当する前記金属粒子によって一部が覆われていると判断することをさらに含む、請求項１に記載の評価方法。
【請求項５】
前記最大階調Ｇ1が前記最大階調Ｇ2よりも低い場合、連結粒子と判断された前記金属粒子の前記第１粒子領域を凸包変形すること、および
前記凸包変形された前記第１粒子領域の円形度に基づいて凸包変形された前記第１粒子領域に相当する前記金属粒子が単体粒子であるか連結粒子であると判断することをさらに含む、請求項４に記載の評価方法。
【請求項６】
コンピュータに、
金属粉体の走査型電子顕微鏡像において、金属粒子の境界を閾値法を用いて検出すること、
前記走査型電子顕微鏡像から、階調が第１の閾値以下の領域を除去すること、
前記境界によって囲まれた第１粒子領域の縦横比と円形度を算出すること、および
前記縦横比と円形度に基づいて前記第１粒子領域に相当する前記金属粒子が単体粒子であるか、あるいは少なくとも二つのフラグメント粒子が連結された連結粒子であるかを判断することを実行させる、金属粉体を評価するための評価プログラム。
【請求項７】
前記走査型電子顕微鏡像を一次微分フィルタ処理すること、
連結粒子と判断された前記金属粒子の前記第１粒子領域が前記一次微分フィルタ処理によって二つ以上の領域に分割された場合、前記分割された領域の縦横比と円形度を算出すること、および
前記分割された領域の縦横比と円形度に基づいて前記分割された領域に相当する前記金属粒子が単体粒子であるか連結粒子であるかを判断することを前記コンピュータにさらに実行させる、請求項６に記載の評価プログラム。
【請求項８】
前記走査型電子顕微鏡像を階調反転すること、
前記階調反転された走査型電子顕微鏡像に対し、階調の局所最小点をマーカーとするウォーターシェッド処理を行うこと、および
連結粒子と判断された前記金属粒子に相当する前記第１粒子領域において、前記ウォーターシェッド処理によって求められた分水嶺の最小階調と前記マーカーの前記階調との差が第２の閾値以下である場合、連結粒子と判断された前記金属粒子は単体粒子であると判断することを前記コンピュータにさらに実行させる、請求項６に記載の評価プログラム。
【請求項９】
連結粒子と判断された前記金属粒子の前記第１粒子領域を膨張処理して第１の膨張領域を得ること、
前記第１の膨張領域と重なる他の粒子領域のうち、前記第１の膨張領域と重なる部分を膨張処理して第２の膨張領域を得ること、
連結粒子と判断された前記金属粒子の前記第１粒子領域のうち、前記第２の膨張領域と重なる部分の前記走査型電子顕微鏡像における最大階調Ｇ1を求めること、
前記他の粒子領域の最大階調Ｇ2を求めること、および
前記最大階調Ｇ1が前記最大階調Ｇ2よりも低い場合、前記走査型電子顕微鏡像において、連結粒子と判断された前記金属粒子は、前記他の粒子領域に相当する前記金属粒子によって一部が覆われていると判断することを前記コンピュータにさらに実行させる、請求項６に記載の評価プログラム。
【請求項１０】
前記最大階調Ｇ1が前記最大階調Ｇ2よりも低い場合、連結粒子と判断された前記金属粒子の前記第１粒子領域を凸包変形すること、および
前記凸包変形された前記第１粒子領域の円形度に基づいて凸包変形された前記第１粒子領域に相当する前記金属粒子が単体粒子であるか連結粒子であると判断することを前記コンピュータにさらに実行させる、請求項９に記載の評価プログラム。
【請求項１１】
請求項６に記載の前記評価プログラムが記録された、コンピュータ可読記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態の一つは、粉体の評価方法、粉体を評価するための評価プログラムと評価システム、および当該評価プログラムが記録された記憶媒体に関する。例えば、本発明の実施形態の一つは、金属粒子を含む金属粉体の評価方法、金属粉体を評価するための評価プログラムと評価システム、および当該評価プログラムが記録された記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
微細な粒子の集合体である粉末を評価する方法の一つが電子顕微鏡観察である。例えば走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて取得した像（ＳＥＭ像）を解析することで、各粒子の形状、粒径、および形状や粒径のばらつきなどを評価することができる。例えば特許文献１、２には、ニッケル微粒子を含むニッケル粉体のＳＥＭ像を取得し、ＳＥＭ像を目視観察することにより、ニッケル粒子の結合によって生じる連結粒子や粗大粒子の割合を評価できることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１９−１７３１７９号公報
【特許文献２】特開２０１５−０３０８８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態の一つは、微細粒子を含む粉体を評価するための新しい方法、この方法を実行するための評価プログラムと評価システム、およびこの評価プログラムが記録された記憶媒体を提供することを課題の一つとする。例えば、本発明の実施形態の一つは、金属粉体を評価するための方法、この方法を実行するための評価プログラムと評価システム、およびこの評価プログラムが記録された記憶媒体を提供することを課題の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る実施形態の一つは、複数の金属粒子を含む金属粉体の評価方法である。この評価方法は、金属粉体の走査型電子顕微鏡像を取り込むこと、走査型電子顕微鏡像において、金属粒子の境界を閾値法を用いて検出すること、走査型電子顕微鏡像から、階調が第１の閾値以下の領域を除去すること、境界によって囲まれた第１粒子領域の縦横比と円形度を算出すること、および縦横比と円形度に基づいて第１粒子領域に相当する金属粒子が単体粒子であるか、あるいは少なくとも二つのフラグメント粒子が連結された連結粒子であるかを判断することを含む。
【０００６】
本発明に係る実施形態の一つは、金属粉体を評価するための評価プログラムである。この評価プログラムは、金属粉体の走査型電子顕微鏡像において金属粒子の境界を閾値法を用いて検出すること、走査型電子顕微鏡像から、階調が第１の閾値以下の領域を除去すること、境界によって囲まれた第１粒子領域の縦横比と円形度を算出すること、および縦横比と円形度に基づいて第１粒子領域に相当する金属粒子が単体粒子であるか、あるいは少なくとも二つのフラグメント粒子が連結された連結粒子であるかを判断することをコンピュータに実行させる。
【０００７】
本発明に係る実施形態の一つは、上記評価プログラムが記録されたコンピュータ可読記憶媒体である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態の一つに係る金属粉体の評価方法のフロー。
【図２】本発明の実施形態の一つに係る金属粉体の評価方法において取得されるＳＥＭ像の模式図、および金属粒子の形態を表す模式図。
【図３】本発明の実施形態の一つに係る金属粉体の評価方法において実施される閾値法による粒子の境界検出後のデータポイントを表す模式図、およびＳＥＭ像端部にある粒子領域を示す模式図。
【図４】本発明の実施形態の一つに係る金属粉体の評価方法において取得されるＳＥＭ像の深遠部を表す模式図、および一次微分フィルタの適用による粒子領域分割処理を示す模式図。
【図５】本発明の実施形態の一つに係る金属粉体の評価方法におけるウォーターシェッド処理を示す模式図。
【図６】本発明の実施形態の一つに係る金属粉体の評価方法における膨張処理を示す模式図。
【図７】本発明の実施形態の一つに係る金属粉体の評価方法における凸包変形処理を示す模式図。
【図８】本発明の実施形態の一つに係る金属粉体の評価方法のフロー。
【図９】本発明の実施形態の一つに係る金属粉体の評価方法のフロー。
【図１０】本発明の実施形態の一つに係る金属粉体の評価システム。
【図１１】実施例における各処理を示すＳＥＭ像。
【図１２】実施例における各処理を示すＳＥＭ像。
【図１３】実施例における各処理を示すＳＥＭ像。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態の一つに係る、複数の粒子を含む粉体の評価方法について説明する。この評価方法に適用できる粉体に制約はなく、複数の固体粒子によって構成される有体の粉体であればよい。粉体は流動性を有していてもよく、流動性を持たなくてもよい。例えば、球状または実質的に球状と見なせる形状を有する粒子を含む粉体、あるいは個々の粒子が判別できる程度の画像が取得できる粉体などに本評価方法が適用可能である。粒子に含まれる材料にも制約はなく、例えばニッケルや銅、チタン、銀などの金属、合金、または金属を含む酸化物や窒化物などの金属化合物、ポリスチレンやポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ乳酸などに例示される人工高分子、ガラス、石英、また糖類などの食品でもよい。以下の説明では、一例として金属粒子を含む金属粉体を用いて説明を行うが、金属化合物の粒子を含む粉体も同様に扱うことができる。
【００１０】
１．評価方法の概要
本評価方法のフローを図１に示す。図１に示すように、本評価方法は、金属粉体のＳＥＭ像の取得（Ｓ１）が最初に行われ、引き続き、閾値法を用いる金属粒子の境界検出による粒子領域の特定（Ｓ２）が実施される。その後、ＳＥＭ像端部にある粒子領域の除外（Ｓ３）、ＳＥＭ像深遠部の粒子領域の除外（Ｓ４）、一次微分フィルタによる粒子領域分割（Ｓ５）、ウォーターシェッド処理（Ｓ６）、膨張処理（Ｓ７）、および凸包変形処理（Ｓ８）のうち、少なくとも一つが実施される。上記処理Ｓ３からＳ８の全てを実施してもよく、これらの処理から適宜選択して複数の処理を実施してもよい。また、複数の処理を実施する場合には、その順序に限定は無く、例えば図１のフローに示された順序で実施してもよく、適宜実施順序を変更してもよい。
【００１１】
２．ＳＥＭ像の取得（Ｓ１）
公知の手法を用いて金属粉体のＳＥＭ像を取得する。図２（Ａ）はＳＥＭ像を模式的に表した図であり、金属粒子に相当する複数の粒子領域がＳＥＭ像中に観察される。ＳＥＭ像は、マトリクス状に配置されたデータポイント（ＤＰ）のそれぞれの階調データとして取得される。以下、データポイントは、ｘ軸上とｙ軸上にそれぞれｍ行ｎ列で配置されるとして説明を行う（ｍとｎは２以上の自然数）。各データポイントは、第０階調から第２５５階調の合計２５６の階調から選択される階調として表現される。なお、ＳＥＭ像を表示装置の画面上で表示する場合には、各データポイントは画素に対応し、その階調を輝度と表現することもできる。すなわち、２５６段階の異なる輝度を与える画素の集合体としてＳＥＭ像が表示装置上で視認される。なお、本評価方法では、粉体像を取得する顕微鏡はＳＥＭに限られず、透過形電子顕微鏡（ＴＥＭ）や走査透過形電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）、光学顕微鏡などを用いてもよい。粉体像がカラー表示される場合でも、画像を２５６階調のグレイスケールに変換すればよい。
【００１２】
通常、金属粉体に含まれる金属粒子の大部分は球状あるいは実質的に球状と見做せる形状を有する。このため、ＳＥＭ像中には、球状またはほぼ球状の金属粒子のそれぞれの全体が観察されるとともに、図２（Ｂ）に示すように、球状またはほぼ球状の金属粒子が重なった状態でも観察される。しかしながら、金属粉体の製造方法にも依存するが、金属粉体には、球状から大きく乖離した形状を有する金属粒子も混在することがある。その典型例が複数の金属粒子が高温状態で衝突して結合することで形成される金属粒子であり、連結粒子と呼ばれるいびつな形状を有する金属粒子である（図２（Ｃ））。このような連結粒子は、例えば、塩化ニッケル等の金属塩化物ガスを水素等の還元性のガスと反応させる気相還元法で生成しうることが知られている。以下、球状または球状に近い形状を有する金属粒子を単体粒子と呼ぶ。一方、複数の金属粒子が結合することで形成され、球状から大きく乖離したまたはいびつな形状を有する金属粒子を連結粒子と呼ぶ。連結粒子では、結合した個々の金属粒子をフラグメント粒子と呼ぶこともある。以下に詳細に述べるように、本発明の実施形態の一つに係る評価方法では、ＳＥＭで観察される莫大な数の金属粒子の形状を短時間で把握し、金属粒子を単体粒子と連結粒子とに判別することができる。
【００１３】
３．閾値法による粒子の境界検出（Ｓ２）
処理Ｓ２では、取得されたＳＥＭ像データを構成する各データポイントが属する金属粒子を決定し、金属粒子の境界を検出するため、データポイントを二値化する。二値化するための方法に制約はなく、例えばＮｉｂｌａｃｋ法、Ｓａｕｖｏｌａ法、ｐタイル法、判別分析法など、公知の方法を採用すればよい。
【００１４】
この二値化処理により得られるデータを図３（Ａ）に模式的に示す。ここでは、ｘ軸とｙ軸にそれぞれ１２行１２列で配置されるマトリクス状のデータポイントが示されており、粒子境界は点線円で示されている。上述した二値化処理によって粒子境界を構成するデータポイントＤＰ１を取得することができる。しかしながら、粒子境界内、すなわち粒子領域にも粒子境界を構成すると判定されたデータポイントＤＰ２が検出されることがある。このため、複数のデータポイントによって閉じた形状を構成しないデータポイントＤＰ２を除外する。この処理により、粒子境界が正確に検出され、粒子領域とその形状を決定することができる。
【００１５】
４．ＳＥＭ像端部にある粒子領域の除外（Ｓ３）
図３（Ｂ）に示すように、ＳＥＭ像には四つの端部（辺）が存在する。各データポイントはｘｙ座標で表すことができるため、ｘ＝１、ｘ＝ｍ、ｙ＝１、ｙ＝ｎの直線がＳＥＭ像の端部となる。この端部に接する粒子領域は金属粒子の全体を示していないため、その形状を正確に評価することができない。したがって、本評価方法では、閾値法による粒子境界を検出した後、ＳＥＭ像端部にある粒子領域をＳＥＭ像から除外するための処理Ｓ３を行ってもよい。具体的には、ｘ＝１、ｘ＝ｍ、ｙ＝１、ｙ＝ｎの直線のいずれかと接する粒子領域に含まれるデータポイントを評価対象から除外する。これにより、単体粒子と連結粒子の判別精度を向上させることができる。単体粒子と連結粒子の判断方法については後述する。
【００１６】
５．ＳＥＭ像深遠部の粒子領域の除外（Ｓ４）
従来、単体粒子と連結粒子の判別は金属粉体のＳＥＭ像を目視観察することによって行われることがあった。通常、製造された金属粉体について、同一ロットのどの位置（例えば異なる深さ位置）を撮影して目視観察を行ったとしても、同等程度の結果が得られる蓋然性は高い。粉体表面から深い位置（例えば、粉体表面から数百μｍ以上深い位置）に存在する金属粒子は、撮影された像において階調の幅が狭く適切に画像処理できない場合があると想定される。よって、粉体表面から深い位置に存在する金属粒子は評価対象から除外してよい。そこで、本評価方法においても、粉体表面から一定の位置よりも浅い領域に存在する金属粉体を評価対象とするための処理を行ってもよい。例えば、階調が低い粒子領域に相当する金属粒子を評価対象から排除してもよい。
【００１７】
具体的には、一定の閾値以下の階調を有する領域をＳＥＭ像から除外する。すなわち、図４（Ａ）に模式的に示すように、閾値法による粒子の境界検出（Ｓ２）では粒子領域を構成すると判断されたものの一定の閾値以下の階調を有するデータポイント（図４（Ａ）においてハッチングが施された領域を構成するデータポイント）を評価対象から除外する。閾値としては、例えば第６０階調から第７０階調までの範囲から選択すればよく、典型的には第６５階調である。これにより、撮影された像において階調の幅が狭く深い位置にある金属粒子が排除できるため、単体粒子と連結粒子の判別精度を向上させることができる。
【００１８】
６．判定精度向上のための処理
上述した閾値法による粒子の境界検出（Ｓ２）では、必ずしも重なった複数の単体粒子をそれぞれの粒子領域として抽出することができない場合がある。この場合には、一次微分フィルタによる粒子領域分割（Ｓ５）、ウォーターシェッド処理（Ｓ６）、膨張処理（Ｓ７）、および凸包変形処理（Ｓ８）などの各処理を行ってもよい（図１参照）。以下、これらの処理についてそれぞれ説明する。
【００１９】
（１）一次微分フィルタによる粒子領域分割（Ｓ５）
この処理では、ＳＥＭ像を構成するデータポイントに対し、一次微分フィルタを適用する。一次微分フィルタとしては公知のフィルタを用いることができ、例えばＳｏｂｅｌフィルタやＰｒｅｗｉｔｔフィルタなどを採用すればよい。この処理では、注目するデータポイントを囲む九つのデータポイントの階調に対し、一定の定数を乗じる。この処理を全てのデータポイントに対して行う。得られたデータポイントの集合体に対し、ｘ方向とｙ方向における階調変化を算出し、階調変化が大きい部分をエッジとして検出する。例えば、隣接するデータポイントの階調差が１０以上の部分をエッジと見做してよいし、階調差が２０以上の部分をエッジと見做してもよい。検出されたエッジにより粒子領域を分割する。
【００２０】
この処理により、ＳＥＭ像のコントラスト差が強調され、例えば閾値法による粒子の境界検出（Ｓ２）だけでは一つの粒子領域として誤認識されたいびつな形状を有する粒子領域をエッジによって二つまたはそれ以上の領域に分割することができる（図４（Ｂ）参照）。分割された領域はそれぞれ粒子領域として扱われ、評価される。これにより、ＳＥＭ像において重なり合った複数の単体粒子を一つの連結粒子と誤認することを防ぐことができ、より正確に単体粒子と連結粒子を判別することが可能となる。
【００２１】
（２）ウォーターシェッド処理（Ｓ６）
この処理は、任意の粒子領域に対して行うことができるが、単体粒子とは判断されなかった金属粒子に相当する粒子領域について選択的に行ってもよい。例えばこの処理は、一次微分フィルタによる粒子領域分割（Ｓ５）によって分割されなかった領域に対してだけでなく、分割された領域に対して行ってもよい。また、後述する判定処理によって連結粒子と判断された領域に対して行ってもよい。
【００２２】
まず、対象領域のＳＥＭ像のデータポイントを階調反転させる。例えば、階調値の中央値である第１２７階調を中心に反転させる。その後、図５（Ａ）に示すように、粒子領域内における局所最小階調を有するデータポイントを複数指定し、マーカーとして採用する。一つのマーカーに着目すると、そのマーカーの周りには、マーカーの階調よりも高い階調を有する領域が存在するので、階調の等高線をマーカーの周囲にひくことができる。これにより、各マーカーからより高い階調を有する領域へ等高線を拡張し、等高線で囲まれた領域をそのマーカーの占有領域とする。この操作を各マーカーについて行う。この操作によって各マーカーの占有領域は徐々に拡大し、隣接するマーカーを基点とする占有領域が互いに接する点を仮の境界とする。よって、前記占有領域が互いに接する点を繋げることで仮の境界線とすることができる。図５（Ｂ）に二つの占有領域の接点（ＣＰ）と二つのマーカーを結ぶ線（図５（Ａ）中の鎖線Ａ−Ａ´）上の階調変化を模式的に表す。図５（Ｂ）に示すように、二つのマーカー（ここではマーカーＭb、Ｍc）において階調は極小値となり、その間の接点ＣＰに階調の極大値が一つ存在する。この接点ＣＰの階調と、二つのマーカーのうちより低い階調を有するマーカー（ここではマーカーＭc）の階調との差が所定の閾値以上であれば、この接点ＣＰを有効とし、二つの占有領域間の有効な境界である分水嶺と見做す。この処理を対象とする粒子領域中の全てのマーカーについて行う。閾値としては、例えば階調差が２０以上６０以下、２０以上５０以下、または３５以上４５以下の範囲から選択することができる。
【００２３】
対象とする粒子領域内で有効な境界（分水嶺）が一つ以上存在する場合、階調反転された対象粒子領域内の隣接するマーカーの間に、マーカーと比較して階調が十分に高いデータポイントが存在することを意味する。すなわち、階調反転前の粒子領域の隣接する局所最大階調を有するデータポイントの間に、階調が十分に低いデータポイントが存在することを意味する。
【００２４】
一方、対象とする粒子領域内で有効な境界が存在しない場合、階調反転された対象粒子領域内の隣接するマーカー同士の階調差が小さく、かつ、これらのマーカーの間に階調が顕著に高いデータポイントが存在しないことを意味する。すなわち、階調反転前の粒子領域の隣接する局所最大階調を有するデータポイントの間に、階調が十分に低いデータポイントが存在しないことを意味する。
【００２５】
複数のフラグメント粒子が高温状態で衝突して結合することで形成される連結粒子に相当する領域の輪郭を表す曲線には、その傾きが急激に変化する部分が存在する。この部分はフラグメント粒子の間に形成される溝であり、該溝はＳＥＭ像では階調が低い領域として観察される。換言すると、粒子領域中に溝が検出されれば、当該粒子領域に相当する金属粒子は連結粒子の可能性があると判断でき、逆に溝が検出できなければ、当該粒子領域に相当する金属粒子は単体粒子であると判断できる。ウォーターシェッド処理は、連結粒子中の溝を検出するための方法の一つであり、上述したプロセスによって連結粒子に特有の溝が検される。一方、形状が球から乖離していても、単体粒子であれば連結粒子にみられる溝が検出できない。このため、本処理によって連結粒子と単体粒子を区別する精度を向上させることができる。
【００２６】
上述したように、ウォーターシェッド処理によって対象粒子領域内で有効な境界が確認できれば、その粒子領域には低階調領域が存在することが分かる。逆に、有効な境界が確認できない場合には、当該粒子領域内に低階調領域が存在しないことが示唆される。したがって、この方法を用いることで、対象粒子領域内の溝の有無を判断することができ、より正確に単体粒子と連結粒子を判別することが可能となる。
【００２７】
なお、上述したウォーターシェッド処理では、最初にデータポイントの階調値を反転し、その後に分水嶺を得るが、本評価方法ではデータポイントの階調反転を行わなくてもよい。この場合には、マーカーは局所最大階調を有するデータポイントとなり、各マーカーからより低い階調を有する領域へ等高線を拡張することになる。
【００２８】
（３）膨張処理（Ｓ７）
この処理も任意の粒子領域に対して行うことができるが、単体粒子とは判断されなかった金属粒子に相当する粒子領域について選択的に行ってもよい。例えばこの処理は、ウォーターシェッド処理（Ｓ６）によって単体粒子と判断されなかった金属粒子に相当する粒子領域に対して行うことができる。
【００２９】
この処理では、連結粒子と判断された金属粒子が実際には単体粒子であるものの、この金属粒子よりも浅い位置に存在する他の金属粒子に覆われているために連結粒子と判断されたのか、あるいは、他の金属粒子に覆われず、実際に連結粒子であると判断されたのかを判断するために行うことができる。具体的には、データポイントの二値化、対象となる粒子領域に対する膨張処理（第１の膨張処理）、第１の膨張処理で得られる膨張領域（第１の膨張領域）と重なる他の粒子領域（近傍粒子領域）の膨張処理（第２の膨張処理）、対象となる粒子領域と第２の膨張処理によって得られる膨張領域（第２の膨張領域）が重なる領域（重畳領域）の抽出、および近傍粒子領域のオリジナル階調と重畳領域のオリジナル階調との比較が行われる。重畳領域のオリジナル階調が近傍粒子領域のオリジナル階調よりも高ければ、対象とする粒子領域に相当する金属粒子は、近傍粒子領域に相当する金属粒子に覆われていないと判断する。一方、重畳領域のオリジナル階調が近傍粒子領域のオリジナル階調よりも低ければ、対象とする粒子領域に相当する金属粒子は、近傍粒子領域に相当する金属粒子に覆われていると判断する。なお、オリジナル階調とは、二値化処理前の階調を指す。
【００３０】
具体的な手順を図６を用いて説明する。図６は、評価対象である金属粒子の粒子領域Ａ、および粒子領域Ａの近傍に存在する近傍粒子領域ＢからＤを模式的に示す。近傍粒子領域ＢからＤは、単体粒子に相当する領域でも連結粒子に相当する領域でもよい。この処理では、まず、全てのデータポイントを二値化する。このため、全てのデータポイントは０（黒）か１（白）の階調で表される。次に、粒子領域Ａに対して膨張処理（第１の膨張処理）を行う。膨張処理自体は公知の方法を用いればよく、例えば粒子領域Ａを構成するデータポイントの一つに着目し、そのデータポイントを中心とする複数のデータポイント（例えば、３×３のデータポイント）中に一つでも階調が１のデータポイントがあれば、着目したデータポイントの階調を１とする。この操作を粒子領域Ａを構成するデータポイントの全てに対して行う。その結果、粒子領域Ａの周辺に第１の膨張領域Ａ´が得られる。
【００３１】
次に、この膨張領域Ａ´と重なる他の粒子領域（ここでは近傍粒子領域Ｂ、Ｃ）のうち、膨張領域Ａ´と重なる部分（近傍粒子領域Ｂ´、Ｃ´）に対して、同様の膨張処理（第２の膨張処理）を行う。この操作により、近傍粒子領域Ｂ´、Ｃ´からそれぞれ第２の膨張領域Ｂ´、Ｃ´が得られるとともに、粒子領域Ａと第２の膨張領域Ｂ´が重なる重畳領域ＡＢ、および粒子領域Ａと第２の膨張領域Ｃ´が重なる重畳領域ＡＣが得られる。なお、膨張領域Ａ´と重ならない粒子領域（ここでは粒子領域Ｄ）は膨張処理を行う必要は無い。
【００３２】
その後、近傍粒子領域Ｂと重畳領域ＡＢのオリジナル階調を比較する。同様に、近傍粒子領域Ｃと重畳領域ＡＣのオリジナル階調を比較する。ここで、重畳領域ＡＢとＡＣはそれぞれ、対象とする粒子領域Ａのうち近傍粒子領域Ｂ、Ｃに近い部分である。このため、例えば重畳領域ＡＢが粒子領域Ｂよりも階調が高いということは、粒子領域Ａのうち粒子領域Ｂに近い部分は、粒子領域Ｂよりも階調が高く、より粉体表面に近い位置に存在することを意味する。すなわち、粒子領域Ａに相当する金属粒子は粒子領域Ｂに相当する金属粒子に覆われていないことを意味する。逆に、重畳領域ＡＢが粒子領域Ｂよりも階調が低いということは、粒子領域Ａのうち粒子領域Ｂに近い部分は、粒子領域Ｂよりも階調が低く、より粉体表面から遠くに位置していることを意味する。すなわち、粒子領域Ａに相当する金属粒子は粒子領域Ｂに相当する金属粒子に覆われていることを意味する。同様のことが粒子領域ＡとＣとの関係についても言える。このように、膨張処理を行うことで、ＳＥＭ像中における金属粒子間の上下関係をより正確に把握することができるため、単体粒子と連結粒子とをより正確に判別することが可能となる。
【００３３】
（４）凸包変形処理（Ｓ８）
この処理は、他の金属粒子に覆われているために連結粒子と判断された金属粒子が実際に連結粒子であるのか、あるいは実際には単体粒子であるかを判断するために行うことができる。この処理も任意の粒子領域に対して行うことができるが、他の金属粒子と重なっていると判断された金属粒子に相当する粒子領域について選択的に行ってもよい。したがって、好ましくは、膨張処理（Ｓ７）を行い、他の金属粒子に覆われていると判断された金属粒子に相当する粒子領域に対して行う。
【００３４】
凸包変形処理では、公知の凸包変形アルゴリズムを使用することができる。例えばクイックフル法、ギフト包装法、Ｊａｒｖｉｓの更新法、分割統治法、グラハムスキャン法などが凸包変形アルゴリズムとして挙げられる。クイックフル法を使用する場合には、対象となる粒子領域の境界を構成するデータポイントに対し、ｘ軸またはｙ軸上の座標最小点（たとえばｘ軸上のｘmin）と座標最大点（たとえばｘ軸上のｘmax）を抽出し、これらの間に分割線ＬＮを引く（図７参照）。この分割線ＬＮから最遠点を二つ探索し、最小点、最大点、および二つの最遠点を結ぶエッジを作成する。
【００３５】
次に、エッジ外に存在する残存境界のデータポイントに着目して同様の操作を行い、さらにエッジを作成する。エッジ外にデータポイントが存在しなくなるまで分割線ＬＮの作成、最遠点の探索、エッジの作成を繰り返す。その後、作成されたすべてのエッジを重ね、得られた形状を凸包とする。この凸包の形状を評価し、連結粒子か単体粒子かを評価する。凸包変形を行うことにより、他の金属粒子に覆われているためにＳＥＭ像上で正確な形状が把握できない金属粒子の実形状を推定することができるため、単体粒子と連結粒子とをより正確に判別することが可能となる。
【００３６】
７．評価方法
上述した処理Ｓ２からＳ８のいずれか、あるいは複数を行い、単体粒子か連結粒子かを判断する方法を以下に説明する。
【００３７】
（１）縦横比と円形度による判断
金属粒子の形状判断の方法の一つでは、粒子形状に係るパラメータを利用する。図８に示すように、粒子形状に係るパラメータとしては、縦横比と円形度（Ｃ）が挙げられる。この方法による形状判断は、閾値法による粒子の境界検出（Ｓ２）を行った後、ＳＥＭ像端部の粒子領域の除外（Ｓ３）、ＳＥＭ像深遠部の粒子領域の除外（Ｓ４）、および一次微分フィルタによる粒子領域分割（Ｓ５）の少なくとも一つまたは複数の処理を行うことによって得られる粒子領域に対して実施することができる。処理Ｓ３からＳ５の実施順序は任意に決定すればよく、図８に示された順序に限られない。
【００３８】
具体的には、処理Ｓ２の後、処理Ｓ３からＳ５の一つまたは複数を行い、粒子領域の縦横比と円形度を取得する。縦横比とは、粒子領域を外接する仮想長方形の短辺に対する長辺の比である。仮想長方形は、その四つの辺がいずれも粒子領域と接するように作成される。円形度は、以下の式で表されるパラメータであり、式中、ＳとＬはそれぞれ粒子領域の面積と周囲長である。
Ｃ＝４πＳ／Ｌ2
【００３９】
本評価方法では、縦横比が一定の閾値以下であり、かつ、円形度も一定の閾値以上である場合には、その粒子領域に相当する金属粒子は単体粒子であると判断する。一方、縦横比が一定の閾値未満、または円形度が一定の閾値未満である場合には、その粒子領域に相当する金属粒子は連結粒子であると判断する。縦横比の閾値としては、例えば１．２以上２．０以下の範囲内から選択されてよく、または１．３以上１．７以下の範囲内から選択されてよく、典型的には１．５である。円形度の閾値としては、例えば０．５以上０．９以下の範囲内から選択されてよく、または０．６以上０．８以下の範囲内から選択されてよく、典型的には０．７である。ただし、連結粒子と判断された金属粒子であっても、連結粒子候補として後述する評価方法をさらに行うことで単体粒子と判断することも可能である。なお、本評価方法によって単体粒子と判断された金属粒子は、再度その形状を判定しなくてもよい。
【００４０】
（２）ウォーターシェッド処理における分水嶺中の最小階調とマーカーの階調を用いる評価方法
上述したように、ウォーターシェッド処理では、ＳＥＭ像では複数のフラグメント粒子が連結した連結粒子に見える金属粒子であっても、溝に起因する低階調領域の有無を確認することで、当該金属粒子が真に連結粒子であるか、あるいはある程度いびつな形状であるものの単体粒子であるかを判断することができる。このため、ウォーターシェッド処理を適用する場合には、分水嶺の階調と分水嶺の基点となる二つのマーカーのうちより階調の低いマーカーの階調とを比較し、その階調差が一定の閾値以下である場合には、単体粒子であると判断する。一方、階調差が一定の閾値以上である場合には、連結粒子であると判断する（図９（Ａ））。閾値としては例えば３５以上４５以下の階調差から選択することができ、典型的には４０の階調差である。ただし、この評価方法で連結粒子と判断された金属粒子であっても、上述した評価方法や後述する評価方法をさらに組み合わせることで、単体粒子と判断することも可能である。本評価方法においても、単体粒子と判断された金属粒子は、再度その形状を判定しなくてもよい。
【００４１】
（３）凸包変形処理における円形度を利用する評価方法
上述したように、凸包変形処理を行うことにより、他の金属粒子に覆われた金属粒子の実形状を推定することができる。このため、好ましくは膨張処理を行って他の金属粒子と重なっていると判断された粒子領域に対して本評価方法を適用する。この凸包変形処理でも上述した円形度を評価パラメータとして用いることができ、円形度が一定の閾値以上である場合には、その粒子領域に相当する金属粒子は単体粒子であると判断する。逆に、円形度がこの閾値未満である場合には、連結粒子であると判断する（図９（Ｂ））。閾値としては、０．５０以上０．９０以下の範囲内から選択されてよく、または０．５５以上０．８０以下の範囲内から選択されてよく、典型的には０．６０である。ただし、この評価方法によって連結粒子と判断された金属粒子であっても、上述した評価方法をさらに組み合わせることで単体粒子と判断することも可能である。
【００４２】
上述したように、これまで金属粉体中に含まれる連結粒子と単体粒子の判別は、ＳＥＭ像の目視観察によって行われる場合がある。このため、評価者には一定の技術的習熟度が求められるとともに、評価には長時間が要求されていた。例えばニッケルや銅の粉体を評価する場合、評価者の技術的習熟度にも依存するものの、通常、数分から数十分が必要であり、評価者への負担も大きい。
【００４３】
しかしながら、上述した処理をコンピュータ上で行うことにより、約３０秒程度で評価が完了することも可能であることから、処理速度を大幅に（具体的には、６倍から７０倍程度）に増大させることができる。さらに、評価者への負担が軽減されるだけでなく、評価結果に対する評価者の技術的習熟度の影響を排除しつつ連結粒子と単体粒子の判別を行うことができる。
【００４４】
８．評価プログラムと評価システム
上述した評価方法は、計算機能を有する評価システムと、それに搭載される評価プログラムによって実施することができる。よって、本発明に係る実施形態の一つは、金属粉体中の単体粒子と連結粒子を判別するための上記処理の一つまたは複数を評価システムに実行させるための評価プログラムであり、他の実施形態の一つは、この評価プログラムの命令に従って動作する評価システムである。また、評価プログラムが記録されたコンピュータ可読記録媒体も本発明に係る実施形態の一つである。
【００４５】
本評価方法によって金属粒子を評価するための評価システムの構成の一例を図１０に示す。図１０に示す例では、評価システムはＳＥＭ１００と評価サーバ１１０を含み、これらはネットワーク１０２によって互いに通信可能なように接続される。ネットワーク１０２は、インターネットのような外部ネットワークでもよく、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）などの内部ネットワークでもよい。評価サーバ１１０は、通信機能を有するコンピュータであり、ノート型、または据え置き型のパーソナルコンピュータでもよく、あるいはタブレットコンピュータなどの携帯型通信端末でもよい。
【００４６】
評価サーバ１１０にはアプリケーションプログラミングインターフェース（ＡＰＩ）１１２が設けられ、ＡＰＩ１１２を通じて評価サーバ１１０がネットワーク１０２と接続される。これにより評価サーバ１１０とＳＥＭ１００の間の通信が確立される。
【００４７】
評価サーバ１１０にはさらに、評価サーバ１１０の動作を制御する制御部１１４に加え、入力部１１６、出力部１１８、送受信部１２０、記憶部１２２などが設けられる。記憶部１２２には、評価サーバ１１０を動作させるための基本アプリケーションプログラムとともに、本評価システムを実行させるための評価プログラムが格納される。制御部１１４は中央演算ユニット（ＣＰＵ）などのプロセッサを備え、記憶部１２２に格納される基本アプリケーションプログラムや評価プログラムを動作させて評価サーバ１１０上で実行される各種処理を制御する。入力部１１６は評価サーバ１１０に命令や情報を入力する際に用いられるユーザインターフェースであり、典型的にはキーボードやタッチパネル、あるいはこれらの組み合わせが挙げられる。出力部１１８は記憶部１２２に格納された各種データを画像や印刷物として提供するものであり、液晶ディスプレイや有機電界発光ディスプレイなどのディスプレイ、あるいはプリンタなどの出力デバイスである。送受信部１２０は、ネットワーク１０２を介してＳＥＭ１００をはじめ、他の通信機器との通信を行う機能を有する。例えば送受信部１２０は、ＳＥＭ１００で取得されたＳＥＭ像を受信する。
【００４８】
コンピュータ可読記録媒体の例としては、ハードディスク、フレキシブルディスク、および磁気テープのような磁気媒体、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤのような光媒体、フロプティカルディスク（ｆｌｏｐｔｉｃａｌ  ｄｉｓｋ）のような光磁気媒体、およびＲＯＭ、ＲＡＭ、フラッシュメモリなどのような評価プログラム命令を格納して実行するように構成されたハードウェア装置が含まれる。評価プログラム命令の例は、コンパイラによって生成されるもののような機械語コードだけではなく、インタプリタなどを使用してサーバによって実行される高級言語コードを含む。評価プログラムは、コンピュータ可読媒体から記憶部１２２にインストールされる。なお、評価プログラムは、ネットワークから記憶部１２２にダウンロード可能であってもよい。
【実施例】
【００４９】
１．実施例１
本実施例では、本発明の実施形態の一つに係る評価方法を用いてニッケル粒子を含むニッケル粉体を評価した結果について述べる。本実施例では、ニッケル粉体のＳＥＭ像を取得した後、処理Ｓ２からＳ８をこの順で行った。
【００５０】
（１）ニッケル粉体
ニッケル粉体は、気相還元法を用いて作製した。すなわち、ニッケル金属の塩化によって生じる塩化ニッケルを水素ガスで還元し、ニッケル粉体を得た。得られたニッケル粉体の平均粒径は２５０ｎｍであった。
【００５１】
（２）評価
ニッケル粉体のＳＥＭ像を日立ハイテクノロジーズ社製走査型電子顕微鏡（型番ＳＵ５０００）を用いて取得した。図１１（Ａ）は、取得したＳＥＭ像の一部である。本実施例では五つのＳＥＭ像を取得し、それぞれのＳＥＭ像データに対して以下に述べる処理を行った。
【００５２】
まず、閾値法による粒子の境界検出（Ｓ２）を行った。この処理では、対象データポイントを中心とする７×７のマトリクス状に配列されたデータポイントを用いた。図１１（Ｂ）において黒い点の集合体で示されるように、この操作によって、ＳＥＭ像中に観察される金属粒子のほぼすべてに対して粒子境界が検出された。引き続き、ＳＥＭ像端部に接する粒子領域を除外した（Ｓ３）。図１１（Ｃ）では、拡大されたＳＥＭ像中の下辺と左辺に接する粒子領域が塗りつぶされており、これらの粒子領域を除外した。同様の操作をＳＥＭ像中の上辺と右辺に接する粒子領域に対しても行った。この後、閾値の階調として第６５階調を採用し、ＳＥＭ像深遠部の粒子領域を除外した（Ｓ４）。この操作によってＳＥＭ像中の暗部（拡大されたＳＥＭ像である図１２（Ａ）において塗りつぶされた領域）が排除された。上記一連の処理が終了した後、各粒子領域の縦横比と円形度を求め、縦横比が１．５以下であり、かつ円形度が０．７以上の粒子領域を単体粒子と判断した。
【００５３】
一方、縦横比が１．５超または円形度が０．７未満の粒子領域に相当する連結粒子の候補について、一次微分フィルタによる粒子領域分割処理（Ｓ５）を行った。一次微分フィルタとしてＳｏｂｅｌフィルタを適用し、階調変化が２０以上の部分をエッジとして採用した。図１２（Ｂ）の左側と右側の図は、それぞれ一次微分フィルタ適用前、適用後のＳＥＭ像である。この処理によって検出されたエッジ（図１２（Ｂ）の右側の図中の白線）によって粒子領域を分割し、分割された粒子領域の縦横比と円形度を求めた。分割された粒子領域の縦横比が１．５以下であり、かつ円形度が０．７以上である場合、分割された当該粒子領域は単体粒子に相当すると判断した。
【００５４】
一方、上記条件を満たさない粒子領域は、連結粒子候補としてウォーターシェッド処理（Ｓ６）に供した。すなわち、粒子領域内にエッジが検出できず、その結果分割されなかった粒子領域、および分割された粒子領域のうち縦横比が１．５超または円形度が０．７未満である粒子領域に対し、ウォーターシェッド処理を行った。これらの各粒子領域で複数のマーカーを設定し、上述した方法によって分水嶺を探索した。得られた分水嶺の最小階調とマーカーの階調の差が４０以下の場合、これらの粒子領域は単体粒子に相当すると判断した。これにより、粒子領域分割処理では連結粒子候補と判断された金属粒子に相当する粒子領域の少なくとも一部は単体粒子に相当する粒子領域として扱うことができた。
【００５５】
一方、分水嶺の最小階調とマーカーの階調の差が４０超であった粒子領域に対し、膨張処理（Ｓ７）を行った。この処理により他の粒子領域に覆われていないと判断された粒子領域は、連結粒子と判断した。
【００５６】
引き続き、膨張処理によって他の粒子領域に覆われていると判断された粒子領域については凸包変形処理（Ｓ８）を行った。ここでは、クイックフル法を用いて凸包変形処理を行った。図１３の左図と右図にそれぞれ膨張処理前後のＳＥＭ像を示す。図１３に示すように、単体粒子であるにもかかわらず他の金属粒子に覆われているために連結粒子候補と判断された金属粒子に相当する粒子領域（円で囲まれた粒子領域）は、凸包変形処理を行うことにより、単体粒子に相当する粒子領域として扱うことができた。凸包変形後の粒子領域の円形度を求め、円形度が０．６以上の粒子領域は単体粒子に相当し、円形度が０．６未満の粒子領域は連結粒子に相当すると判断した。
【００５７】
本実施例では、膨張処理によって他の粒子領域に覆われていると判断され、かつ凸包む変形処理によって円形度が０．６未満の粒子領域、およびウォーターシェッド処理によって分水嶺の最小階調とマーカーの階調の差が４０超であり、かつ他の粒子領域に覆われていないと判断された粒子領域が最終的に連結粒子に相当すると判断した。上記一連の処理による評価に要した時間は、各ＳＥＭ像当たり約３０秒であった。
【００５８】
表１に結果をまとめる。表１には、五つのＳＥＭ像に対して目視で評価した結果も含まれている。なお、目視による評価では、各ＳＥＭ像について３０分から６０分の時間を要した。
【表１】
0006818934.tif 000002
【００５９】
表１の脚注において、目視結果と一致した連結粒子数とは、本評価方法で検出された連結粒子のうち、目視でも連結粒子と判断された金属粒子の数である。表１に示すように、本評価方法で連結粒子と判断された金属粒子のうち約５５％乃至６５％程度が目視でも連結粒子と判断されている。さらに、回収率の結果から、目視によって連結粒子と判断された金属粒子のうち約７０％を本評価方法においても連結粒子として検出できることが分かった。以上の結果は、本評価方法を適用することにより、目視観察と比較して飛躍的に短い時間で単体粒子と連結粒子との判別を高い信頼性で行うことができることを示唆している。
【００６０】
２．実施例２
本実施例では、処理Ｓ２からＳ８の効果のうち幾つかを個別に抽出、評価した結果について述べる。具体的には、ＳＥＭ像深遠部の粒子領域の除外（Ｓ４）の効果、膨張処理（Ｓ７）と凸包変形処理（Ｓ８）の効果、およびＳＥＭ像端部にある粒子領域の除外（Ｓ３）の効果について検討した。本実施例２では、実施例１で用いたＳＥＭ画像Ｎｏ．１〜５を使用した。各表に示す結果はＳＥＭ画像Ｎｏ．１〜５の結果の平均値とした。表「処理」欄中「●」は実施した処理を示し、空欄はその処理を実施しなかったことを示す（実施例２において以下同様）。なお、単粒子と連結粒子の判断基準は実施例１と同様とし、最終処理が終わった時点で連結粒子候補として残ったものを連結粒子と判断した。
【００６１】
（１）ＳＥＭ像深遠部の粒子領域の除外（Ｓ４）の効果
処理Ｓ４の効果を検討した結果を表２に示す。各実験の条件は表２に示すとおりであるが、処理Ｓ２、Ｓ５、およびＳ６はいずれの実験でも行った。
【表２】
0006818934.tif 000003
【００６２】
実験１と２の比較から、処理Ｓ４を行うことで、平均処理時間が短くなることが確認された。また、回収率は変わらないものの、正解率が向上することが分かった。
【００６３】
（２）膨張処理（Ｓ７）と凸包変形処理（Ｓ８）の効果
処理Ｓ７とＳ８の効果を検討した結果を表３に示す。各実験の条件は表３に示すとおりであるが、処理Ｓ２、Ｓ５、およびＳ６はいずれの実験でも行った。
【表３】
0006818934.tif 000004
【００６４】
実験３と４の比較から、処理Ｓ７、Ｓ８を行うことによって平均処理時間は伸びるが、正解率は大きく向上することが確認された。なお、回収率には大きな差はなかった。
【００６５】
（３）ＳＥＭ像端部にある粒子領域の除外（Ｓ３）の効果
処理Ｓ３の効果を検討した結果を表４に示す。各実験の条件は表４に示すとおりであるが、処理Ｓ２、Ｓ５、およびＳ６はいずれの実験でも行った。
【表４】
0006818934.tif 000005
【００６６】
実験５と６の比較から、処理Ｓ３を行うことで、平均処理時間が短縮されることが分かった。また、回収率は変わらないものの、正解率が向上することが確認された。
【００６７】
以上の結果は、本評価方法では、処理Ｓ１からＳ８のすべてを行うことで初めて効果を奏するものでは無く、幾つかの処理を選択的行っても粉体評価を効率よく行うことが可能であることを示している。
【００６８】
本発明の実施形態として上述した実施形態を基にして、当業者が適宜構成要素の追加、削除もしくは設計変更を行ったもの、または工程の追加、省略もしくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。上述した各実施形態の態様によりもたらされる作用効果とは異なる他の作用効果であっても、本明細書の記載から明らかなもの、または当業者において容易に予測し得るものについては、当然に本発明によりもたらされるものと解される。
【符号の説明】
【００６９】
１００：ＳＥＭ、：１０２：ネットワーク、１１０：評価サーバ、１１２：アプリケーションプログラミングインターフェース（ＡＰＩ）、１１４：制御部、１１６：入力部、１１８：出力部、１２０：送受信部、１２２：記憶部
【要約】
【課題】金属粉体を評価するための方法を提供すること。
【解決手段】
この評価方法は、金属粉体の走査型電子顕微鏡像を取り込むこと、走査型電子顕微鏡像において、金属粒子の境界を閾値法を用いて検出すること、走査型電子顕微鏡像から、階調が第１の閾値以下の領域を除去すること、境界によって囲まれた第１粒子領域の縦横比と円形度を算出すること、および縦横比と円形度に基づいて第１粒子領域に相当する金属粒子が単体粒子であるか、あるいは少なくとも二つのフラグメント粒子が連結された連結粒子であるかを判断することを含む。
【選択図】図１【図１】
0006818934.tif 000006
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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