(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース、上蓋及び複数のガイド部材を備えた、ガイド部材を有するマスクケースであって、
前記ベースは、複数の側辺を有し、
前記上蓋は、複数の側辺を有し、前記ベースを前記上蓋で閉じると、輪郭が略矩形状を呈する筐体が形成され、前記筐体は、フォトマスクを収容する保管空間を有し、
前記ガイド部材は、前記上蓋の少なくとも２つの側辺に閉じ方向にそれぞれ配設されるとともに、接続部、ガイド部及び案内斜面部をそれぞれ有し、
前記接続部は、前記上蓋の側辺に接続され、前記ガイド部の一端は、前記接続部に接続されて閉じ方向に延び、前記ガイド部の他端は、前記案内斜面部に接続され、前記案内斜面部は、外部空間に向かって延びた傾斜面を有することを特徴とするガイド部材を有し、
前記ガイド部材は、前記ガイド部の内面から前記保管空間に向かって延びた少なくとも１つのバンプを有することを特徴とするガイド部材を有するマスクケース。
【請求項２】
ベース、上蓋及び複数のガイド部材を備えた、ガイド部材を有するマスクケースであって、
前記ベースは、複数の側辺を有し、
前記上蓋は、複数の側辺を有し、前記ベースを前記上蓋で閉じると、輪郭が略矩形状を呈する筐体が形成され、前記筐体は、フォトマスクを収容する保管空間を有し、
前記ガイド部材は、前記上蓋の少なくとも２つの側辺に閉じ方向にそれぞれ配設されるとともに、接続部、ガイド部及び案内斜面部をそれぞれ有し、
前記接続部は、前記上蓋の側辺に接続され、前記ガイド部の一端は、前記接続部に接続されて閉じ方向に延び、前記ガイド部の他端は、前記案内斜面部に接続され、前記案内斜面部は、外部空間に向かって延びた傾斜面を有することを特徴とするガイド部材を有し、
前記ガイド部材は、前記ガイド部の内面に配設されて前記保管空間を向く挟持部材を有することを特徴とするガイド部材を有するマスクケース。
【請求項３】
前記接続部は、ねじ孔を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のガイド部材を有するマスクケース。
【請求項４】
ケースをさらに備え、
前記ケースは、ケース上蓋及びケースベースを有し、
前記ケース上蓋により前記ケースベースを閉じたときに、前記ケースは、前記筐体を収容するセット位置を中に有することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のガイド部材を有するマスクケース。
【請求項５】
ベース、上蓋及び複数のガイド部材を備えた、ガイド部材を有するマスクケースであって、
前記ベースは、複数の側辺を有し、
前記上蓋は、複数の側辺を有し、前記ベースを前記上蓋で閉じると、輪郭が略矩形状を呈する筐体が形成され、前記筐体は、フォトマスクを収容する保管空間を有し、
前記ガイド部材は、前記ベースの少なくとも２つの側辺に閉じ方向にそれぞれ配設されるとともに、接続部、ガイド部及び案内斜面部をそれぞれ有し、
前記接続部は、前記ベースの側辺に接続され、前記ガイド部の一端は、前記接続部に接続され、前記ガイド部の他端は、前記案内斜面部に接続され、前記案内斜面部は、外部空間に向かって延びた傾斜面を有することを特徴とするガイド部材を有し、
前記ガイド部材は、前記ガイド部の内面から前記保管空間に向かって延びた少なくとも１つのバンプを有することを特徴とするガイド部材を有するマスクケース。
【請求項６】
ベース、上蓋及び複数のガイド部材を備えた、ガイド部材を有するマスクケースであって、
前記ベースは、複数の側辺を有し、
前記上蓋は、複数の側辺を有し、前記ベースを前記上蓋で閉じると、輪郭が略矩形状を呈する筐体が形成され、前記筐体は、フォトマスクを収容する保管空間を有し、
前記ガイド部材は、前記ベースの少なくとも２つの側辺に閉じ方向にそれぞれ配設されるとともに、接続部、ガイド部及び案内斜面部をそれぞれ有し、
前記接続部は、前記ベースの側辺に接続され、前記ガイド部の一端は、前記接続部に接続され、前記ガイド部の他端は、前記案内斜面部に接続され、前記案内斜面部は、外部空間に向かって延びた傾斜面を有することを特徴とするガイド部材を有し、
前記ガイド部材は、前記ガイド部の内面に配設されて前記保管空間を向く挟持部材を有することを特徴とするガイド部材を有するマスクケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、割れ易い物を収容するために用いるキャリアに関し、特に、ガイド部材を有するマスクケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路及びその他半導体装置の製造分野において、重要な製造工程の一つはフォトリソグラフィ（ｐｈｏｔｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）である。一般に、フォトリソグラフィは、所定のパターンを有するフォトマスクを利用し、ウェハ表面を選択的に輻射源に曝してエッチング表面層を形成する。一般にフォトマスクは、非常に平坦な透明石英からなり、ウェハに転写するパターンを含む。現代の集積回路のキーデバイスの寸法が微小であるため、クリーン度に対する要求は高かった。そのため、フォトマスクの表面を加工するときに表面を損壊させるかフォトレジスト層に投射される画像を歪ませる汚染物が無いようにする必要があり、さもなければ最終製品の品質が大きく低下してしまう虞があった。
【０００３】
一般に、フォトマスクは、上蓋及びベースを有するＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  Ｆｏｒｍａｔ）ポッド又はボックス内に形成したクリーンルーム環境中で保管及び／又は搬送され、上蓋とベースとの組み合わせにより、気密性を保持するフォトマスクの密封マスクケースが形成される。
【０００４】
極端紫外線リソグラフィ工程では、マスクケースの開閉動作を自動化に頼り、マスクケースの上蓋及びベースを閉じる際、装置にアライメント誤差が生じ、ベースを迅速かつ正確に閉じることができない場合、上蓋とベースとが何度もぶつかったり摩損したりし、そこに保管されているフォトマスクを保護することが困難となるだけでなく、工程の最中に発生した微粒子によりフォトマスクが汚染してしまうこともあった。そのため、装置の位置案内を補助する装置が求められていた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明者は、上記課題を解決するための鋭意検討を重ねた結果、かかる知見に基づいて、本発明に想到するに至った。
【０００６】
本発明の課題は、従来のマスクケースの様々な問題点を改善する、ガイド部材を有するマスクケースを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１の形態によれば、ベース、上蓋及び複数のガイド部材を備えた、ガイド部材を有するマスクケースであって、前記ベースは、複数の側辺を有し、前記上蓋は、複数の側辺を有し、前記ベースを前記上蓋で閉じると、輪郭が略矩形状を呈する筐体が形成され、前記筐体は、フォトマスクを収容する保管空間を有し、前記ガイド部材は、前記上蓋の少なくとも２つの側辺に閉じ方向にそれぞれ配設されるとともに、接続部、ガイド部及び案内斜面部をそれぞれ有し、前記接続部は、前記上蓋の側辺に接続され、前記ガイド部の一端は、前記接続部に接続されて閉じ方向に延び、前記ガイド部の他端は、前記案内斜面部に接続され、前記案内斜面部は、外部空間に向かって延びた傾斜面を有することを特徴とするガイド部材を有するマスクケースを提供する。
【０００８】
前記ガイド部材は、前記ガイド部の内面から前記保管空間に向かって延びた少なくとも１つのリブを有することが好ましい。
【０００９】
前記ガイド部材は、前記ガイド部の内面から前記保管空間に向かって延びた少なくとも１つのバンプを有することが好ましい。
【００１０】
前記ガイド部材は長尺状側板であることが好ましい。
【００１１】
前記ベースの側辺には、前記ガイド部材に対応して位置する引き込み部が設けられることが好ましい。
【００１２】
前記接続部は、ねじ孔を有することが好ましい。
【００１３】
前記ガイド部及び前記案内斜面部は弾性体であることが好ましい。
【００１４】
前記ガイド部材は、前記ガイド部の内面に配設されて前記保管空間を向く挟持部材を有することが好ましい。
【００１５】
ケースをさらに備え、前記ケースは、ケース上蓋及びケースベースを有し、前記ケース上蓋により前記ケースベースを閉じたときに、前記ケースは、前記筐体を収容するセット位置を中に有することが好ましい。
【００１６】
上記課題を解決するために、本発明の第２の形態によれば、ベース、上蓋及び複数のガイド部材を備えた、ガイド部材を有するマスクケースであって、前記ベースは、複数の側辺を有し、前記上蓋は、複数の側辺を有し、前記ベースを前記上蓋で閉じると、輪郭が略矩形状を呈する筐体が形成され、前記筐体は、フォトマスクを収容する保管空間を有し、前記ガイド部材は、前記ベースの少なくとも２つの側辺に閉じ方向にそれぞれ配設されるとともに、接続部、ガイド部及び案内斜面部をそれぞれ有し、前記接続部は、前記ベースの側辺に接続され、前記ガイド部の一端は、前記接続部に接続され、前記ガイド部の他端は、前記案内斜面部に接続され、前記案内斜面部は、外部空間に向かって延びた傾斜面を有することを特徴とするガイド部材を有するマスクケースを提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のガイド部材を有するマスクケースは、上蓋とベースとがＸ軸方向又はＹ軸方向で位置がずれた場合、まず、案内斜面部の傾斜面をベースに接触させ、傾斜面に沿ってベースが案内されてガイド部に接触されると、接触面積が最小の状態で上蓋を正確な相対位置で閉じることができる。また、蓋を正確に閉じる際、各ガイド部材はベースの位置を制限し、ベース及び上蓋が相対的に旋回されないようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態に係るガイド部材を有するマスクケースを示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るガイド部材を有するマスクケースを閉じる状態を示す説明図である。
【図３Ａ】本発明の一実施形態に係るガイド部材の第１の態様を示す分解斜視図である。
【図３Ｂ】本発明の一実施形態に係るガイド部材の第２の態様を示す斜視図である。
【図３Ｃ】本発明の一実施形態に係るガイド部材の第３の態様を示す断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係るガイド部材を有するマスクケースを閉じる状態を示す説明図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係るガイド部材を有するマスクケースを閉じる状態を示す説明図である。
【図６Ａ】本発明の一実施形態に係るガイド部材の第４の態様を示す斜視図である。
【図６Ｂ】本発明の一実施形態に係るガイド部材の第４の態様を示す断面図である。
【図７Ａ】本発明の一実施形態に係るガイド部材の第５の態様を示す斜視図である。
【図７Ｂ】本発明の一実施形態に係るガイド部材の第５の態様を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の目的、特徴及び効果をより分かりやすくするために、具体的な実施形態について図に基づいて詳しく説明する。
【００２０】
（第１実施形態）
図１及び図２を参照する。図１及び図２に示すように、本発明の第１実施形態に係るガイド部材を有するマスクケース１００は、ベース２１、上蓋２２及び複数のガイド部材を備える。
【００２１】
ベース２１は、複数の側辺２３を有する。
【００２２】
上蓋２２は、複数の側辺２４を有する。ベース２１を上蓋２２で閉じると、輪郭が略矩形状を呈する筐体２が形成される（平面視で略矩形であり、４つの側辺を有する）。筐体２は、フォトマスクＲ（図５を参照する）を収容する保管空間Ｓを有する。第１実施形態の筐体２の角は、摩擦を減らし、他の物に当たることを減らすために角丸に形成されているが、本発明はこれだけに限定されるわけではない。
【００２３】
複数のガイド部材は、上蓋２２の少なくとも２つの側辺２４に、上蓋２２を閉じる閉じ方向ｄにそれぞれ配設される。第１実施形態は、上蓋２２の４つの側辺２４に上蓋２２を閉じる閉じ方向ｄにそれぞれ配設された８つのガイド部材３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，３ｇ，３ｈを有する。各側辺の両端には、上述したガイド部材がそれぞれ設けられる。各ガイド部材は、筐体２の角に近設される。８つのガイド部材は、重量のバランスをとり、美観性を有する設計にするなどの要素を考慮したためであり、本発明はこれだけに限定されず、他の個数、他の配設方式を採用してもよい。
【００２４】
例えば、一例では、ガイド部材の数は４であり、それは上蓋２２の４つの側辺２４にそれぞれ配設されてもよい。例えば、図１中のガイド部材３ａ，３ｃ，３ｅ，３ｇだけ配設し、各側辺に１つのガイド部材を配設し、各角にガイド部材をそれぞれ配設してもよい。
【００２５】
もう一つの例では、ガイド部材の数は４であり、それは上蓋２２の４つの側辺２４にそれぞれ配設されてもよい。例えば、図１中のガイド部材３ａ，３ｂ，３ｅ，３ｆだけ配設し、各側辺にガイド部材を配設し、４つのガイド部材を筐体２の２つの対角にそれぞれ配設してもよい。
【００２６】
４つのガイド部材は、筐体２の角に近設したものでなく、４つの側辺の中段にそれぞれ配設するように変更してもよい。
【００２７】
ガイド部材の数を簡素化するために、本発明のガイド部材を有するマスクケースは、上蓋２２の隣り合う２つの側辺２４にそれぞれ配設されたガイド部材を最低限度の２つのみにしてもよい。２つのガイド部材は、図１中のガイド部材３ａ，３ｂ（角に集中される）のみ配設されるか、図１中のガイド部材３ａ，３ｃのみ配設されるか（近設した角にそれぞれ配設される）、図１中のガイド部材３ａ，３ｆのみ配設されてもよいが（対角にそれぞれ配設される）、本発明はこれらだけに限定されるわけではない。２つのガイド部材は、図面中のＸ軸方向及びＹ軸方向の位置案内をそれぞれ補助するだけでよい。
【００２８】
図３Ａに示すように、ガイド部材３ａを例として説明すると、各ガイド部材は、接続部３１、ガイド部３２及び案内斜面部３３をそれぞれ含む。接続部３１は、上蓋２２の側辺２４に接続される。ガイド部３２の一端は、接続部３１に接続され、閉じ方向ｄで延びる。ガイド部３２の他端は、案内斜面部３３に接続される。案内斜面部３３は、外部空間に向かって延びた傾斜面３３１を有する。
【００２９】
図２に示すように、ベース２１を上蓋２２で閉じる際に、上蓋２２及びベース２１がＸ軸方向又はＹ軸方向で位置がずれると、上蓋２２は、まず、案内斜面部３３の傾斜面３３１がベース２１に接触され、傾斜面３３１に沿ってベース２１を案内してガイド部３２に接触させると（ベース２１又は上蓋２２が相対的に移動する）、接触面積が最小の状態で正確な相対位置で閉じることができる。蓋を正確に閉じる際、各ガイド部材はベース２１の位置を制限し、ベース２１及び上蓋２２が相対的に旋回されないようにする。好適には、各ガイド部材とベース２１の側辺との間隙は約０．２ｍｍである。各ガイド部材は、ポリエーテルエーテルケトン（ｐｏｌｙｅｔｈｅｒｅｔｈｅｒｋｅｔｏｎｅ：ＰＥＥＫ）、ＫＦＭ（Ｆｌｕｏｒｉｎａｔｅｄ  Ｈｙｄｒｏｃａｒｂｏｎ  ｒｕｂｂｅｒ）、ポリカーボネート（Ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ：ＰＣ）などのプラスチック材料及びアルミニウム、ステンレスなどの金属材料からなってもよいが、摩耗され難い材料からなることが好ましい。
【００３０】
また、図２及び図３Ａに示すように、一例において、接続部３１は、ねじＣによりガイド部材を上蓋２２にねじ止めするねじ孔３１１を有するが、本発明はこれだけに限定されず、他の方式によりガイド部材を上蓋２２又はベース２１に接続してもよい。他の方式には、例えば、掛止方式又はその他の方式が含まれる。
【００３１】
図３Ａを参照する。図３Ａに示すように、一例において、ガイド部材３ａは、ガイド部３２の内面から保管空間Ｓに向かって延びた少なくとも１つのリブ３２１を有する。リブ３２１は、ガイド部材３ａとベース２１とを接触させる面積を小さくし、摩擦の発生を減らす。
【００３２】
図３Ｂを参照する。図３Ｂに示すように、ガイド部材３ａの他の態様は、ガイド部３２の内面から保管空間Ｓに向かって延びた少なくとも１つのバンプ３２２を有する。バンプ３２２の機能は、上述した実施形態のリブ３２１と同様に、摩擦の発生を減らす。
【００３３】
また、図３Ｃを参照する。図３Ｃに示すように、ガイド部材の他の態様は長尺状側板４であり、それは側辺の両端にそれぞれ配設した２つのガイド部材の形式を代替し、より好適でより安定したガイド効果が得られる。
【００３４】
図２を再び参照する。図２に示すように、本実施形態の各ガイド部材３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ、３ｆ、３ｇ、３ｈの接続部３１は、上蓋２２の側辺２４に接続される。ベース２１の側辺２３は、引き込み部２１１及び拡張部２１２を有する。引き込み部２１１は、ガイド部材３ｂに対応して位置する。引き込み部２１１及び拡張部２１２は、協働でガイド部材３ｂの位置を制限し、上蓋２２の位置案内を補助してもよい。
【００３５】
また、図６Ａ及び図６Ｂを参照する。図６Ａ及び図６Ｂに示すように、一例において、ガイド部材６の別の態様では、ガイド部６２及び案内斜面部６３が弾性体からなるため、上述した態様の剛性のガイド部３２及び案内斜面部３３とは異なり、ガイド部６２及び案内斜面部６３が一定程度の弾性を有する。そのため、力を受けると変形し、ベース２１及び上蓋２２の寸法に公差があるとき、ガイド部材６が弾性のガイド部６２及び案内斜面部６３により挟持され、ベース２１及び上蓋２２を固定する。この実施形態では、弾性のガイド部６２及び案内斜面部６３がベース２１及び上蓋２２に密着されるため、ガイド部材６、ベース２１及び上蓋２２間の摩擦を減らすことができる。接続部６１は、剛性体又は弾性体からなってもよいが、本発明はこれだけに限定されるわけではない。
【００３６】
また、図７Ａ及び図７Ｂを参照する。図７Ａ及び図７Ｂに示すように、ガイド部材６ａの他の態様は、接続部６１、ガイド部６２ａ及び案内斜面部６３ａを含む。ガイド部６２ａ及び案内斜面部６３ａは、剛性体又は弾性体に限定されるわけではない。ガイド部材６ａは、ガイド部６２ａの内面に配設されて保管空間Ｓを向く挟持部材６４を有する。挟持部材６４は、柔軟で弾性を有する長尺部材又は表面塗布層を有する（例えば、表面にテフロン（登録商標）が塗布される）。ベース２１を上蓋２２で閉じた後、挟持部材６４によりベース２１及び上蓋２２を挟持し、ベース２１が上蓋２２により閉じられた後にＸＹ方向の変位も回転変位もしないため、ガイド部材６ａ、ベース２１及び上蓋２２間の摩擦を減らすことができる。
【００３７】
（第２実施形態）
また、図４を参照する。図４に示すように、本発明の第２実施形態に係るガイド部材を有するマスクケース２００は、第１実施形態と異なり、各ガイド部材がベース２１の少なくとも２つの側辺２３に、上蓋２２を閉じる閉じ方向ｄに配設される。本実施形態の各ガイド部材３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，３ｇ，３ｈの接続部３１は、ベース２１の側辺２３に接続される。ガイド部３２の一端は接続部３１に接続され、ガイド部３２の他端は案内斜面部３３に接続される。案内斜面部３３は、外部空間に向かって延びた傾斜面３３１を有する（案内斜面部３３が上方を向く）。そのため上蓋２２で閉じるときに、Ｘ軸方向又はＹ軸方向の位置がずれても、上蓋２２が案内斜面部３３に沿って正確な位置に案内される。
【００３８】
（第３実施形態）
図５を参照する。図５に示すように、本発明の第３実施形態に係るガイド部材を有するマスクケース３００は、ケース５をさらに備えてもよい。ケース５は、ケース上蓋５２及びケースベース５１を含む。ケース上蓋５２によりケースベース５１を閉じたときに、ケース５は、上蓋２２及びベース２１により構成された筐体２を収容するセット位置を中に有する。フォトマスクＲは、筐体２の保管空間Ｓに収容されるため、フォトマスクＲは二重に保護される。
【００３９】
当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本発明の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本発明を限定するものではない。本発明の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本発明の特許請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【符号の説明】
【００４０】
２  筐体
３ａ  ガイド部材
３ｂ  ガイド部材
３ｃ  ガイド部材
３ｄ  ガイド部材
３ｅ  ガイド部材
３ｆ  ガイド部材
３ｇ  ガイド部材
３ｈ  ガイド部材
４  長尺状側板
５  ケース
６  ガイド部材
６ａ  ガイド部材
２１  ベース
２２  上蓋
２３  側辺
２４  側辺
３１  接続部
３２  ガイド部
３３  案内斜面部
５１  ケースベース
５２  ケース上蓋
６１  接続部
６２  ガイド部
６２ａ  ガイド部
６３  案内斜面部
６３ａ  案内斜面部
６４  挟持部材
１００  ガイド部材を有するマスクケース
２００  ガイド部材を有するマスクケース
２１１  引き込み部
２１２  拡張部
３００  ガイド部材を有するマスクケース
３１１  ねじ孔
３２１  リブ
３２２  バンプ
３３１  傾斜面
Ｃ  ねじ
ｄ  閉じ方向
Ｒ  フォトマスク
Ｓ  保管空間
【要約】
【課題】従来のマスクケースの様々な問題点を改善する、ガイド部材を有するマスクケースを提供する。
【解決手段】ガイド部材を有するマスクケースは、ベース２１、上蓋２２及び複数のガイド部材３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，３ｇ，３ｈを備える。ベース２１は、複数の側辺を有する。上蓋２２は、複数の側辺２４を有し、ベース２１を上蓋２２で閉じると、輪郭が略矩形状を呈する筐体が形成される。筐体は、フォトマスクを収容する保管空間を有する。ガイド部材は、上蓋２２の少なくとも２つの側辺２４に閉じ方向ｄにそれぞれ配設されるとともに、接続部３１、ガイド部及び案内斜面部をそれぞれ有する。接続部３１は、上蓋２２の側辺２４に接続される。ガイド部の一端は、接続部３１に接続されて閉じ方向に延びる。ガイド部の他端は、案内斜面部に接続される。案内斜面部は、外部空間に向かって延びた傾斜面を有する。
【選択図】図２【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
0006975302.tif 000011
【図７Ｂ】
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