(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被塗布体の上に、塗液を吐出させるスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設け、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記の塗布用ノズルの内部に塗液供給口から塗液が供給される塗液導入部を前記のスリット状吐出口と連通するように設けると共に、この塗液導入部内に供給された塗液を収容させる所定のパターン形状になった塗液収容凹部が外周面に設けられた円柱状の塗液供給体を、前記の塗液導入部と連通するスリット状吐出口の上に位置するようにして塗液導入部内に回転可能に設けるにあたり、塗液が供給される前記の塗布用ノズルの内部における塗液導入部の少なくとも底部を平面状に形成し、この平面状に形成された塗液導入部の底部に前記のスリット状吐出口を連通させ、この平面状に形成された塗液導入部の底部と接触するように前記の塗液供給体を回転可能に設け、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると共に、前記の塗液収容凹部内に塗液が供給された塗液供給体を塗液導入部内で回転させ、塗液収容凹部内から塗液を塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給し、前記の被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液を塗布させることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置において、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると共に、前記の塗液収容凹部内に塗液が供給された塗液供給体を塗液導入部内で回転させ、塗液収容凹部内から塗液を塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給し、前記の塗液収容凹部の形状に応じて被塗布体の表面に塗液を円形状に塗布させることを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置において、前記の塗液供給体の外周面に塗液収容凹部を軸方向の長さが長くなった楕円形状に凹設させ、前記の塗液供給体を回転させる周速度よりも被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させる移動速度を速くして、被塗布体の表面に塗液を円形状に塗布させることを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の塗布装置を用い、前記の塗液導入部内に回転可能に設けた塗液供給体における塗液収容凹部が設けられていない部分によって塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を閉塞させた状態で、前記の塗液供給口から塗液を前記の塗液導入部内に供給し、この塗液導入部内に回転可能に設けた前記の塗液供給体の外周面に形成した所定のパターン形状になった塗液収容凹部内に前記の塗液を供給し、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると共に、前記の塗液収容凹部内に塗液が供給された塗液供給体を塗液導入部内で回転させて、塗液収容凹部内から塗液を塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給し、前記の被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液を塗布させることを特徴とする塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被塗布体の上に、塗液を吐出させるスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設け、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置及びこのような塗布装置を用いて被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布方法に関するものである。特に、前記のように被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動されて、塗布用ノズルに設けたスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布するにあたり、塗液に濃度ムラや粘度ムラ等が生じないようにして、被塗布体の表面に塗液を円形状等の各種の形状になるようにして簡単に塗布できるようにした点に特徴を有するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウエハー等の被塗布体の表面に、塗布装置により塗液を所定の形状に塗布するにあたっては、従来から様々な方法が使用されており、例えば、被塗布体の上に、塗液を吐出させるスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設け、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布するようにした塗布装置等の各種の塗布装置が知られている。
【０００３】
ここで、例えば、ウエハー等の円形状の被塗布体の表面に塗液を円形状に塗布するにあたっては、特許文献１に示されるように、円形状の被塗布体を回転するターンテーブルの上にセットして回転させ、このように回転する被塗布体の中心部にノズルから塗液を供給させ、回転する被塗布体の遠心力により塗液を円形状の被塗布体の表面に塗布させるようにしたスピンコーターが知られている。
【０００４】
しかし、特許文献１に示されるようなスピンコーターにおいては、回転する被塗布体の表面に塗液を一定した厚みになるようにして均一に供給することは困難であり、また回転する被塗布体の表面に供給された塗液が、遠心力によって被塗布体の上から振り飛ばされて塗液が無駄になり、特に高価な塗液の場合には、無駄になる塗液のコストが大きくなるという問題があった。
【０００５】
また、特許文献２に示されるように、円形状の被塗布体を回転するターンテーブルの上にセットして回転させると共に、回転する被塗布体の表面に塗液を供給させるノズルを回転する被塗布体の中心部から外周側に徐々に移動させて、塗液を回転する被塗布体の表面に渦巻き状に供給して、回転する円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させるようにしたものが提案されている。
【０００６】
しかし、特許文献２に示されるように、回転する被塗布体の表面に塗液を供給させるノズルを回転する被塗布体の中心部から外周側に徐々に移動させて、塗液を回転する被塗布体の表面に渦巻き状に供給し、回転する円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させるようにした場合、円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させるのに要する時間が長くなって生産性が悪くなると共に、被塗布体の表面に塗液を均一な厚みになるようにして塗布することも困難になるいという問題があった。
【０００７】
また、特許文献３に示されるように、被塗布体が載置されて少なくとも１８０度回転可能な回転テーブルを設けると共に、前記の被塗布体の中心を通る第１の方向（Ｘ方向）軸で２分割された第１の被塗布体周辺領域及び第２の被塗布体周辺領域の一方に相当する円弧に沿って樹脂を吐出するための複数のノズルを配置させ、前記のノズルが被塗布体の周辺領域に対向するように設置される樹脂膜形成ヘッド部と、被塗布体と樹脂膜形成ヘッド部を相対的に第１の方向とは直交する第２の方向（Ｙ方向）に移動させる移動機構を設け、前記の移動機構により、樹脂膜形成ヘッド部の移動を制御すると共に、各ノズルにおける塗液の吐出及び停止を個別に制御して、各ノズルから吐出される塗液の吐出幅を個別に制御する機構して、円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させるようにしたものが提案されている。
【０００８】
しかし、特許文献３に示されるようにして円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させるためには、装置が複雑化すると共にその制御も困難であり、円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させるのに要する装置のコストが高くつくと共に、その制御操作を行うことも面倒になり、簡単に円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させることができず、さらに、被塗布体の表面に塗液を均一な厚みになるようにして塗布することも困難になる等の問題があった。
【０００９】
また、特許文献４に示されるように、ノズル長手方向に延びる円柱形状の空洞部と、ノズル長手方向に延びるスリット状の吐出口と、前記空洞部から前記吐出口までの薬液通路を形成するランド部とを有する長尺型のノズル本体において、前記の空洞部内に、塗液を収容させる円筒状の回転マニホールドに回転可能に嵌め込み、この回転マニホールド内に塗液供給部から塗液を供給させて収容させるように、この回転マニホールドの端部を閉塞させる一方、この回転マニホールドの外周部に被塗布体上に供給する塗液の塗布形状に対応する開口を貫通して設け、塗液を塗布させる被塗布体に対して、前記のノズル本体を相対的に移動させると共に、塗液が供給された前記の回転マニホールドを空洞部内において回転させて、この回転マニホールドの外周に貫通して設けられた開口を前記のスリット状の吐出口と対応する位置に導き、回転マニホールドの外周に設けられた前記の開口からスリット状の吐出口を通して塗液を前記の被塗布体の表面に供給し、被塗布体の表面に回転マニホールドの外周に設けられた開口の形状に対応するようにして塗液を塗布するようにしたものが提案されている。
【００１０】
しかし、特許文献４に示されるように、ノズル本体の空洞部内に回転可能に嵌め込んだ円筒状の回転マニホールド内に塗液を供給させて収容させ、このように塗液が収容された回転マニホールドを空洞部内において回転させて、この回転マニホールドの外周に貫通して設けられた開口がノズル本体のスリット状の吐出口と対応する位置に導かれた場合に、回転マニホールド内に収容された塗液を前記の開口からスリット状の吐出口を通して塗液を前記の被塗布体の表面に供給させるようにすると、回転マニホールド内に収容された塗液が貫通して設けられた開口からスリット状の吐出口を通して過剰に被塗布体の表面に供給されたりし、一定した厚みで塗液を被塗布体の表面に供給することが困難になり、また回転マニホールドに設けた前記の開口を通して、回転マニホールド内における塗液が、回転マニホールドと空洞部との間に流れ込んで、この塗液がスリット状の吐出口を通して被塗布体の表面に液だれしたり、さらに回転マニホールド内に収容された塗液が万遍なく使用されずに、一部の塗液の濃度や粘度にムラが生じて塗工不良が発生したりするという問題があった。
【００１１】
また、特許文献５に示されるものも、前記の特許文献４に示されるものと同様に、塗液を内筒部内に収容させ、このように収容された塗液を周部開口と吐出口とが重なる部分を通して被塗布体の表面に供給するようになっており、前記の特許文献４に示されるものと同様の問題が存在した。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００９−２９００２９号公報
【特許文献２】特開２００２−３２０９０２号公報
【特許文献３】特開２０１３−５４１２８号公報
【特許文献４】特開２０１４−２２５４５号公報
【特許文献５】特開２０１２−１２０９３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、被塗布体等の被塗布体の表面に塗液を所定の形状に塗布する場合における前記のような様々な問題を解決することを課題とするものである。
【００１４】
すなわち、本発明においては、被塗布体の上に、塗液を吐出させるスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設け、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布するにあたり、塗液に濃度ムラや粘度ムラ等が生じないようにして、被塗布体の表面に塗液を円形状等の各種の形状になるようにして簡単に塗布できるようにすることを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係る塗布装置においては、前記のような課題を解決するため、被塗布体の上に、塗液を吐出させるスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設け、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記の塗布用ノズルの内部に塗液供給口から塗液が供給される塗液導入部を前記のスリット状吐出口と連通するように設けると共に、この塗液導入部内に供給された塗液を収容させる所定のパターン形状になった塗液収容凹部が外周面に設けられた円柱状の塗液供給体を、前記の塗液導入部と連通するスリット状吐出口の上に位置するようにして塗液導入部内に回転可能に設けるにあたり、塗液が供給される前記の塗布用ノズルの内部における塗液導入部の少なくとも底部を平面状に形成し、この平面状に形成された塗液導入部の底部に前記のスリット状吐出口を連通させ、この平面状に形成された塗液導入部の底部と接触するように前記の塗液供給体を回転可能に設け、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると共に、前記の塗液収容凹部内に塗液が供給された塗液供給体を塗液導入部内で回転させ、塗液収容凹部内から塗液を塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給し、前記の被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液を塗布させるようにした。
【００１６】
そして、本発明に係る塗布装置のように、塗液供給口から塗液が供給される塗布用ノズルにおける塗液導入部内に、塗液供給体をスリット状吐出口の上に位置するようにして回転可能に設け、この塗液供給体の外周面に設けられた所定のパターン形状になった塗液収容凹部内に塗液導入部内に供給された塗液を導くようにし、このように塗液収容凹部内に塗液が導かれた塗液供給体を前記のスリット状吐出口の上の位置で回転させると共に、被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると、前記の塗液供給体における塗液収容凹部がスリット状吐出口と連通される位置に導かれた状態では、この塗液収容凹部内から塗液が、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給され、被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液を塗布されるようになる。
【００１９】
また、本発明に係る塗布装置において、回転する塗液供給体を円柱状にし、塗液をいったん塗液収容凹部内に供給してから吐出させるため、前記の特許文献４のような円筒状の回転マニーホールド内に大量に収容された塗液を直接吐出する場合のように、塗液が過剰に吐出したり、液だれしたりするのが防止される。
【００２０】
また、本発明に係る塗布装置においては、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると共に、前記の塗液収容凹部内に塗液が供給された塗液供給体を塗液導入部内で回転させて、塗液収容凹部内に収容された塗液を塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給し、前記の塗液収容凹部の形状に応じてウエハー等の円形状になった被塗布体の表面に塗液を円形状に塗布させることができる。
【００２１】
ここで、このように被塗布体の表面に塗布用ノズルから塗液を円形状に塗布させるにあたっては、塗液供給体の外周面に塗液収容凹部を軸方向の長さが長くなった楕円形状に凹設させ、前記の塗液供給体を回転させる周速度よりも被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させる移動速度を速くして、被塗布体の表面に塗液を円形状に塗布させることができる。このようにすると、塗液収容凹部を設ける塗液供給体の径を小さくすることができて、塗布用ノズルを小型化させることができるようになる。
【００２２】
そして、本発明に係る塗布方法においては、前記のような塗布装置を使用し、前記の塗液導入部内に回転可能に設けた塗液供給体における塗液収容凹部が設けられていない部分によって塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を閉塞させた状態で、前記の塗液供給口から塗液を塗液導入部内に供給すると共に、この塗液導入部内に回転可能に設けた前記の塗液供給体の外周面に形成した所定のパターン形状になった塗液収容凹部内に前記の塗液を供給させ、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると共に、前記の塗液収容凹部内に塗液が供給された塗液供給体を塗液導入部内で回転させて、塗液収容凹部内から塗液を塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給し、前記の被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液を塗布させるようにする。
【００２３】
このようにした場合、前記の塗液供給口から塗液を筒状になった塗液導入部内に供給した際に、塗液供給体における塗液収容凹部が設けられていない部分により塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口が閉塞され、塗液が外部に漏れ出すということがない。そして、前記のように被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると共に、塗液収容凹部内に塗液が供給された前記の塗液供給体を塗液導入部内で回転させると、塗液収容凹部内に収容された塗液が、塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給されて、被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液を塗布させることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明における塗布装置においては、前記のように塗布用ノズルの内部に塗液供給口から塗液が供給される塗液導入部内の底部に、塗液供給体をスリット状吐出口の上に位置するようにして回転可能に設け、この塗液供給体の外周面に設けられた所定のパターン形状になった塗液収容凹部内に、前記の塗液導入部内に供給された塗液を収容させ、このように塗液収容凹部内に塗液が供給された塗液供給体を前記のスリット状吐出口の上の位置で回転させると共に、被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると、前記の塗液収容凹部内から塗液が、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給されて、被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液を塗布させることができる。
【００２５】
この結果、本発明における塗布装置やこのような塗布装置を用いた塗布方法においては、被塗布体の上に、塗液を吐出させるスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設け、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布するにあたり、塗液に濃度ムラや粘度ムラ等が生じないようにして、被塗布体の表面に塗液を円形状等の各種の形状になるようにして簡単に塗布できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態に係る塗布装置において、塗液が供給される塗布用ノズルにおける塗液導入部内に回転可能に設ける塗液供給体の外周面に対して塗液を収容させる楕円形状になった塗液収容凹部を設けた状態を示し、（Ａ）は塗液収容凹部を設けた塗液供給体の概略正面図、（Ｂ）は塗液供給体の外周面に設けた塗液収容凹部の展開平面図である。
【図２】前記の実施形態に係る塗布装置において、前記の塗液供給体を塗布用ノズルの内部における塗液が供給される前記の塗布用ノズルの内部における塗液導入部の少なくとも底部を平面状に形成し、この平面状に形成された塗液導入部の底部に前記のスリット状吐出口が連通されるようにして、平面状に形成された塗液導入部の底部と接触するように前記の塗液供給体を回転可能に設け、塗液供給体における塗液収容凹部が設けられていない部分によって塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を閉塞させた状態を示し、（Ａ）は塗布用ノズルの長手方向の概略断面説明図、（Ｂ）は塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。
【図３】前記の実施形態に係る塗布装置において、前記の塗液供給体を塗布用ノズルの内部における底部が平面状に形成された塗液導入部内に回転可能に設け、この塗液供給体における塗液収容凹部が設けられていない部分によって塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を閉塞させた状態で、塗布用ノズルの塗液供給口から塗液導入部に塗液を供給させて、塗液供給体における塗液収容凹部内に塗液を収容させた状態を示し、（Ａ）は塗布用ノズルの長手方向の概略断面説明図、（Ｂ）は塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。
【図４】前記の実施形態に係る塗布装置において、塗布用ノズルにおける塗液導入部に塗液を供給させた状態で、この塗布用ノズルを被塗布体の上を移動させる共に、前記の塗液供給体を塗液導入部内で回転させて、塗液供給体における塗液収容凹部内から塗液を、塗布用ノズルの先端部のスリット状吐出口から被塗布体の表面に塗布させる状態を示し、（Ａ）は塗布用ノズルにより被塗布体の表面に塗液を塗布させる最初の状態を示した塗布用ノズルの長手方向及び長手方向と交差する方向の概略断面説明図、（Ｂ）は塗布用ノズルにより被塗布体の表面に塗液を最大幅で塗布させる状態を示した塗布用ノズルの長手方向及び長手方向と交差する方向の概略断面説明図、（Ｃ）は塗布用ノズルにより被塗布体の表面全体に塗液を塗布させた場合における塗布用ノズルの長手方向及び長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。
【図５】前記の実施形態に係る塗布装置において、前記の図４に示したように、塗布用ノズルを被塗布体の上を移動させる共に、前記の塗液供給体を塗液導入部内で回転させて、塗液供給体における塗液収容凹部内から塗液を塗布用ノズルの先端部のスリット状吐出口から被塗布体の表面に塗布させた被塗布体の平面状態を示し、（Ａ）は図４（Ａ）の状態を示した平面図、（Ｂ）は図４（Ｂ）の状態を示した平面図、（Ｃ）は図４（Ｃ）の状態を示した平面図である。
【図６】本発明の参考形態に係る塗布装置において、前記の塗液供給体を塗布用ノズルの内部における底部が円弧状に形成された塗液導入部内に回転可能に設け、この塗液供給体における塗液収容凹部が設けられていない部分によって塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を閉塞させた状態を示した概略断面説明図である。
【図７】本発明の実施形態に係る塗布装置において、塗液供給体の外周面に塗液を収容させる塗液収容凹部を設けるにあたって、塗液収容凹部の形状を変更させた複数の変更例を示した概略展開図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態に係る塗布装置及び塗布方法を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明に係る塗布装置及び塗布方法は、下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。
【００２８】
ここで、この実施形態の塗布装置においては、図２（Ａ），（Ｂ）等の添付図面に示すように、塗液Ｐを吐出させるスリット状吐出口１１を先端部に有する塗布用ノズル１０を被塗布体Ｗの上に配置させ、前記の塗布用ノズル１０の内部に塗液供給口１２から圧力をかけて塗液Ｐが供給される塗液導入部１３を前記のスリット状吐出口１１と連通するように設けると共に、このスリット状吐出口１１に連通させる塗液導入部１３の底部を平面状に形成している。
【００２９】
また、この実施形態における塗布装置においては、塗液供給体１４として、図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、円柱状になった塗液供給体１４の外周面に軸方向の長さが長くなった楕円形状になった塗液収容凹部１４ａを凹設させたものを用い、図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、この塗液供給体１４を前記のように平面状に形成された塗液導入部１３の底部に接触させるようにして、この塗液供給体１４を塗液導入部１３内の底部に回転可能に収容させると共に、この塗液供給体１４の両端面の中心部から両側に回転軸１４ｂを延出させて、各回転軸１４ｂを塗布用ノズル１０の両側部に密封させた状態で回転可能に保持させると共に、塗布用ノズル１０の片側の側部から延出された回転軸１４ｂを回転装置１５により回転させるようにしている。
【００３０】
ここで、この実施形態における塗布装置においては、前記のように円柱状になった塗液供給体１４を、平面状に形成した塗液導入部１３の底部に接触させるようにして塗液導入部１３内の底部に回転可能に収容させ、図３（Ａ），（Ｂ）に示すように、この塗液供給体１４における前記の塗液収容凹部１４ａが塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１１と重ならないようにして、塗液収容凹部１４ａが設けられていない塗液供給体１４の部分においてスリット状吐出口１１を閉塞させ、この状態で、前記の塗液供給口１２から塗液Ｐを塗布用ノズル１０内部の塗液導入部１３に供給させるようにし、塗液導入部１３内に供給された塗液Ｐが前記の塗液供給体１４によってスリット状吐出口１１に導かれないようにしている。
【００３１】
そして、この実施形態における塗布装置においては、前記のように塗液導入部１３内に供給させた塗液Ｐが前記の塗液供給体１４によってスリット状吐出口１１に導かれないようにした状態で、前記のスリット状吐出口１１から被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐの塗布を開始させる位置に導き、図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、前記の塗布用ノズル１０を被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させる方向に移動させながら、前記の塗液供給体１４を前記の回転装置１５により回転させ、塗液供給体１４の外周面に凹設させた塗液収容凹部１４ａが塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１１と重なった部分からスリット状吐出口１１を通して、塗液収容凹部１４ａ内に収容された塗液Ｐを被塗布体Ｗの表面に供給させるようにしている。なお、この塗布装置においては、操業中は、図３（Ａ），（Ｂ）や図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、スリット状吐出口１１全体に塗液Ｐが溜まった状態になっており、図４（Ａ），（Ｂ）に示すように、塗液供給体１４が回転して、塗液供給体１４の外周面に凹設させた塗液収容凹部１４ａが塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１１と重なった部分だけ、塗液Ｐがスリット状吐出口１１を通して被塗布体Ｗの表面に供給されるようになる。
【００３２】
そして、この実施形態における塗布装置においては、図４（Ａ）〜（Ｃ）及び図５（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、円形状になった被塗布体Ｗの表面に対して、前記の塗液供給体１４の外周面に凹設させた塗液収容凹部１４ａに収容された塗液Ｐを、塗布用ノズル１０からスリット状吐出口１１を通して円形状に塗布するようにしている。
【００３３】
この間、塗液供給口１２から圧力をかけて供給された塗液Ｐは、塗液導入部１３から塗液収容凹部１４ａを通して供給が続けられる。
【００３４】
ここで、この実施形態における塗布装置においては、前記のように円柱状になった塗液供給体１４の外周面に塗液収容凹部１４ａを軸方向の長さが長くなった楕円形状になるように凹設させているため、前記のように塗液供給体１４の外周面に凹設させた塗液収容凹部１４ａに収容された塗液Ｐを、塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１１から円形状になった被塗布体Ｗの表面に円形状に塗布するにあたっては、前記の塗液供給体１４を回転させる周速度よりも被塗布体Ｗの上を移動させる塗布用ノズル１０の移動速度を速くして、軸方向の長さが長くなった楕円形状になった塗液収容凹部１４ａから前記のスリット状吐出口１１を通して、円形状になった被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを円形状に塗布させるようにしている。
【００３５】
このようにすると、円形状になった被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを円形状に塗布させるにあたり、塗液供給体１４の外周面に被塗布体Ｗに対応した大きさの円形状の塗液収容凹部１４ａを設ける必要がなく、前記のように軸方向の長さが長くなった楕円形状の塗液収容凹部１４ａとすることによって塗液供給体１４の径を小さくすることができ、塗布用ノズル１０を小型化させることができるようになる。
【００３６】
また、この実施形態における塗布装置においては、塗布用ノズル１０により被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させるにあたり、塗布用ノズル１０を被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させる方向に移動させるようにしたが、塗布用ノズル１０を固定させ、この塗布用ノズル１０に対して被塗布体Ｗを移動させるようにして、被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させることも可能である。
【００３７】
また、この実施形態における塗布装置においては、塗液Ｐを吐出させるスリット状吐出口１１を先端部に有する塗布用ノズル１０において、塗液Ｐが供給される塗液導入部１３をスリット状吐出口１１と連通するように設けると共に、このスリット状吐出口１１に連通させる塗液導入部１３の底部を平面状に形成するようにした。なお、図６に示す参考形態においては、スリット状吐出口１１に連通させる塗液導入部１３の底部を円弧状に形成している。
【００３８】
また、この実施形態における塗布装置においては、円形状になった被塗布体Ｗの表面に、塗布用ノズル１０から塗液Ｐを円形状に塗布させるようにしたが、被塗布体Ｗの形状は特に円形状のものに限られず、また塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１１を通して被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させる前記の塗液供給体１４の外周面に凹設させる塗液収容凹部１４ａの形状も限定されず、例えば、図７（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に示すように、塗液供給体１４の外周面に凹設させる塗液収容凹部１４ａの形状を四角形状や三角形状や瓢箪形状にする等、様々な形状の塗液収容凹部１４ａを設けるようにすることができる。
【符号の説明】
【００３９】
１０    ：塗布用ノズル
１１    ：スリット状吐出口
１２    ：塗液供給口
１３    ：塗液導入部
１４    ：塗液供給体
１４ａ  ：塗液収容凹部
１４ｂ  ：回転軸
１５    ：回転装置
Ｐ      ：塗液
Ｗ      ：被塗布体
【要約】
【課題】  被塗布体の上において塗布用ノズルを被塗布体と相対的に移動させ、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から被塗布体の表面に塗液を濃度ムラ等が生じないようにして、各種の形状に簡単に塗布できるようにする。
【解決手段】  被塗布体Wの上において塗布用ノズル10を被塗布体と相対的に移動させ、塗布用ノズル先端部のスリット状吐出口11から被塗布体の表面に塗液Pを塗布するにあたり、塗液が収容される塗布用ノズルの塗液導入部13をスリット状吐出口と連通するように設け、この塗液導入部内の底部に所定のパターン形状の塗液収容凹部14aが外周面に設けられた塗液供給体14をスリット状吐出口の上に回転可能に設け、この塗液供給体を回転させて塗液収容凹部内から塗液を、スリット状吐出口を通して相対的に移動する被塗布体の表面に塗布させる。
【選択図】  図４【図１】
0006847560.tif 000002
【図２】
0006847560.tif 000003
【図３】
0006847560.tif 000004
【図４】
0006847560.tif 000005
【図５】
0006847560.tif 000006
【図６】
0006847560.tif 000007
【図７】
0006847560.tif 000008