(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布用ノズルの内部に塗液を収容させる塗液収容部を設けると共に、塗布用ノズルの先端部に前記の塗液収容部内における塗液を吐出させるスリット状吐出口を設け、前記のスリット状吐出口を被塗布体の上に位置させて、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させ、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記の塗液収容部内に、塗液を収容させる所定のパターン形状になった塗液収容凹部が外周面に設けられた塗液供給体を前記のスリット状吐出口の上に位置するようにして回転可能に設けると共に、前記のスリット状吐出口の長手方向に沿ってスリット状吐出口を複数の吐出部に分離させる仕切り部材を設け、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると共に、前記の塗液収容凹部内に塗液が収容された塗液供給体を塗液収容部内で回転させ、前記の塗液収容凹部内における塗液を、塗布用ノズルのスリット状吐出口に導かれた塗液収容凹部に対応した位置における吐出部を通して被塗布体の表面に吐出させて、塗液収容凹部の形状に対応するように前記の被塗布体の表面に塗液を塗布させることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置において、前記のスリット状吐出口の長手方向に沿って波形状になった仕切り部材を設けて、スリット状吐出口の幅方向両側に複数の吐出部を交互に連続するように設けたことを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の塗布装置において、前記のスリット状吐出口の長手方向に沿ってスリット状吐出口を複数の吐出部に分離させる仕切り部材を設けるにあたり、前記の仕切り部材の吐出方向の長さを、前記のスリット状吐出口の吐出方向の長さよりも短くしたことを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の塗布装置において、前記の塗液収容部内における塗液に加わる圧力を調整する圧力調整手段を設け、前記の圧力調整手段により塗液収容部内における塗液に加わる圧力を一定圧に保った状態で、前記の塗液供給体を回転させて、前記の塗液収容凹部内における塗液を塗布用ノズルのスリット状吐出口に導かれた塗液収容凹部に対応した位置における吐出部を通して被塗布体の表面に吐出させることを特徴とする塗布装置。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の塗布装置において、前記の塗液供給体の外周面に塗液収容凹部を軸方向の長さが長くなった楕円形状に凹設させ、前記の塗液供給体を回転させる周速度よりも被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させる移動速度を速くして、被塗布体の表面に塗液を円形状に塗布させることを特徴とする塗布装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の塗布装置を用い、前記の塗液収容部内に回転可能に設けた塗液供給体における塗液収容凹部が設けられていない部分によって塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を閉塞させた状態で、塗液を前記の塗液収容部内に供給し、この塗液収容部内に回転可能に設けた前記の塗液供給体の外周面に形成した所定のパターン形状になった塗液収容凹部内に塗液を収容させて、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させると共に、前記の塗液収容凹部内に塗液が供給された塗液供給体を塗液収容部内で回転させ、前記の塗液収容凹部内における塗液を、塗布用ノズルのスリット状吐出口に導かれた塗液収容凹部に対応した位置における吐出部を通して被塗布体の表面に吐出させて、塗液収容凹部の形状に応じて前記の被塗布体の表面に塗液を塗布させることを特徴とする塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布用ノズルの内部に塗液を収容させる塗液収容部を設けると共に、塗布用ノズルの先端部に前記の塗液収容部内における塗液を吐出させるスリット状吐出口を設け、前記のスリット状吐出口を被塗布体の上に位置させて、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させ、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置及びこのような塗布装置を用いて被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布方法に関するものである。特に、前記のように被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、塗布用ノズルに設けたスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布するにあたり、被塗布体の表面に塗液を、ムラ等が生じないようにして、円形状等の各種の形状になるように簡単かつ正確に塗布できるようにした点に特徴を有するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウエハー等の被塗布体の表面に、塗布装置により塗液を所定の形状に塗布するにあたっては、従来から様々な方法が使用されており、例えば、塗液を吐出させるスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを被塗布体の上に配置させ、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布するようにした塗布装置等の各種の塗布装置が知られている。
【０００３】
ここで、例えば、ウエハー等の円形状の被塗布体の表面に塗液を円形状に塗布するにあたっては、特許文献１に示されるように、円形状の被塗布体を回転するターンテーブルの上にセットして回転させ、このように回転する被塗布体の中心部にノズルから塗液を供給させ、回転する被塗布体の遠心力により塗液を円形状の被塗布体の表面に塗布させるようにしたスピンコーターが知られている。
【０００４】
しかし、特許文献１に示されるようなスピンコーターにおいては、回転する被塗布体の表面に塗液を一定した厚みになるようにして均一に供給することは困難であり、また回転する被塗布体の表面に供給された塗液が、遠心力によって被塗布体の上から振り飛ばされて塗液が無駄になり、特に高価な塗液の場合には、無駄になる塗液のコストが大きくなるという問題があった。
【０００５】
また、特許文献２に示されるように、円形状の被塗布体を回転するターンテーブルの上にセットして回転させると共に、回転する被塗布体の表面に塗液を供給させるノズルを回転する被塗布体の中心部から外周側に徐々に移動させて、塗液を回転する被塗布体の表面に渦巻き状に供給して、回転する円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させるようにしたものが提案されている。
【０００６】
しかし、特許文献２に示されるように、回転する被塗布体の表面に塗液を供給させるノズルを回転する被塗布体の中心部から外周側に徐々に移動させて、塗液を回転する被塗布体の表面に渦巻き状に供給し、回転する円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させるようにした場合、円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させるのに要する時間が長くなって生産性が悪くなると共に、被塗布体の表面に塗液を均一な厚みになるようにして塗布することも困難になるいという問題があった。
【０００７】
また、特許文献３に示されるように、被塗布体が載置されて少なくとも１８０度回転可能な回転テーブルを設けると共に、前記の被塗布体の中心を通る第１の方向（Ｘ方向）軸で２分割された第１の被塗布体周辺領域及び第２の被塗布体周辺領域の一方に相当する円弧に沿って樹脂を吐出するための複数のノズルを配置させ、前記のノズルが被塗布体の周辺領域に対向するように設置される樹脂膜形成ヘッド部と、被塗布体と樹脂膜形成ヘッド部を相対的に第１の方向とは直交する第２の方向（Ｙ方向）に移動させる移動機構を設け、前記の移動機構により、樹脂膜形成ヘッド部の移動を制御すると共に、各ノズルにおける塗液の吐出及び停止を個別に制御して、各ノズルから吐出される塗液の吐出幅を個別に制御する機構を用いて、円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させるようにしたものが提案されている。
【０００８】
しかし、特許文献３に示されるようにして、円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させるためには、装置が複雑化すると共にその制御も困難であり、円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させるのに要する装置のコストが高くつくと共に、その制御操作を行うことも面倒になり、簡単に円形状の被塗布体の表面に塗液を塗布させることができず、さらに、被塗布体の表面に塗液を均一な厚みになるようにして塗布することも困難になる等の問題があった。
【０００９】
また、特許文献４においては、ノズル長手方向に延びる円柱形状の空洞部と、ノズル長手方向に延びるスリット状の吐出口と、前記空洞部から前記吐出口までの薬液通路を形成するランド部とを有する長尺型のノズル本体において、前記の空洞部内に、塗液を収容させる円筒状の回転マニホールドに回転可能に嵌め込んで、この回転マニホールド内に塗液供給部から塗液を供給させて収容させるようにし、この回転マニホールドの端部を閉塞させる一方、この回転マニホールドの外周部に、被塗布体上に供給する塗液の塗布形状に対応する開口を貫通して設けたものが示されている。
【００１０】
そして、特許文献４に示されるものにおいては、塗液を塗布させる被塗布体に対して、前記のノズル本体を相対的に移動させると共に、塗液が供給された前記の回転マニホールドを空洞部内において回転させて、この回転マニホールドの外周に貫通して設けられた開口を前記のスリット状の吐出口と対応する位置に導いて、回転マニホールドの外周に設けられた前記の開口からスリット状の吐出口を通して塗液を前記の被塗布体の表面に供給し、被塗布体の表面に回転マニホールドの外周に設けられた開口の形状に対応するようにして塗液を塗布させることが示されている。
【００１１】
しかし、特許文献４に示されるように、ノズル本体の空洞部内に回転可能に嵌め込んだ円筒状の回転マニホールド内に塗液を供給させて収容させ、このように塗液が収容された回転マニホールドを空洞部内において回転させて、この回転マニホールドの外周に貫通して設けられた開口をノズル本体のスリット状の吐出口と対応する位置に導いて、回転マニホールド内に収容された塗液を前記の開口からスリット状の吐出口を通して前記の被塗布体の表面に供給させるようにした場合、回転マニホールド内に収容された塗液が貫通して設けられた開口からスリット状の吐出口を通して過剰に被塗布体の表面に供給されたりして、一定した厚みで塗液を被塗布体の表面に供給することが困難になり、また回転マニホールドに設けた前記の開口を通して、回転マニホールド内における塗液が、回転マニホールドと空洞部との間に流れ込んで、この塗液がスリット状の吐出口を通して被塗布体の表面に液だれしたり、さらに回転マニホールド内に収容された塗液が万遍なく使用されずに、一部の塗液の濃度や粘度にムラが生じて塗工不良が発生したりするという問題があった。
【００１２】
また、特許文献５に示されるものも、前記の特許文献４に示されるものと同様に、塗液を内筒部内に収容させ、このように収容された塗液を周部開口と吐出口とが重なる部分を通して被塗布体の表面に供給するようになっており、前記の特許文献４に示されるものと同様の問題が存在した。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００９−２９００２９号公報
【特許文献２】特開２００２−３２０９０２号公報
【特許文献３】特開２０１３−５４１２８号公報
【特許文献４】特開２０１４−２２５４５号公報
【特許文献５】特開２０１２−１２０９３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、被塗布体等の被塗布体の表面に塗液を所定の形状に塗布する場合における前記のような様々な問題を解決することを課題とするものである。
【００１５】
すなわち、本発明においては、被塗布体の上に、塗液を吐出させるスリット状吐出口を先端部に有する塗布用ノズルを設け、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させて、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布するにあたり、被塗布体の表面に塗液を、ムラ等が生じないようにして、各種の形状になるように簡単かつ正確に塗布できるようにすることを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係る塗布装置においては、前記のような課題を解決するため、塗布用ノズルの内部に塗液を収容させる塗液収容部を設けると共に、塗布用ノズルの先端部に前記の塗液収容部内における塗液を吐出させるスリット状吐出口を設け、前記のスリット状吐出口を被塗布体の上に位置させて、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させ、前記のスリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布する塗布装置において、前記の塗液収容部内に、塗液を収容させる所定のパターン形状になった塗液収容凹部が外周面に設けられた塗液供給体を前記のスリット状吐出口の上に位置するようにして回転可能に設けると共に、前記のスリット状吐出口の長手方向に沿ってスリット状吐出口を複数の吐出部に分離させる仕切り部材を設け、前記の被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると共に、前記の塗液収容凹部内に塗液が収容された塗液供給体を塗液収容部内で回転させ、前記の塗液収容凹部内における塗液を、塗布用ノズルのスリット状吐出口に導かれた塗液収容凹部に対応した位置における吐出部を通して被塗布体の表面に吐出させて、塗液収容凹部の形状に対応するように前記の被塗布体の表面に塗液を塗布させるようにした。
【００１７】
そして、本発明に係る塗布装置のように、所定のパターン形状になった塗液を収容させる塗液収容凹部が外周面に設けられた塗液供給体を、スリット状吐出口の上に位置で回転するようにして塗布用ノズルにおける塗液収容部内に回転可能に設け、この塗液供給体における塗液収容凹部内に塗液を収容させて、塗液供給体をスリット状吐出口の上に位置で回転させると共に、被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると、前記の塗液供給体における塗液収容凹部がスリット状吐出口と連通される位置に導かれた状態では、この塗液収容凹部の部分における塗液が、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給され、被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液が塗布されるようになる。
【００１８】
また、本発明に係る塗布装置のように、スリット状吐出口の長手方向に沿ってスリット状吐出口を複数の吐出部に分離させる仕切り部材を設けると、前記のように塗液供給体における塗液収容凹部内の塗液を、スリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布する際に、スリット状吐出口内に被塗布体の表面に塗布されず塗液が残っていても、塗液収容凹部内における塗液が塗液収容凹部に対応した位置における吐出部だけに導かれ、このように塗液が導かれた吐出部だけを通して被塗布体の表面に供給されるようになり、スリット状吐出口における他の部分に塗液が流れて、塗液収容凹部に対応した位置以外の多くの部分から塗液が引きずられて被塗布体の表面に供給されるのが抑制され、被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液が正確に塗布されるようになる。
【００１９】
また、本発明に係る塗布装置において、前記のようにスリット状吐出口に仕切り部材を設けて、スリット状吐出口の長手方向に沿ってスリット状吐出口を複数の吐出部に分離させるにあたっては、スリット状吐出口の長手方向に沿って波形状になった仕切り部材を設けて、スリット状吐出口の幅方向両側に複数の吐出部を交互に連続するように設けることが好ましい。このように波形状になった仕切り部材により、スリット状吐出口の幅方向両側に複数の吐出部を交互に連続するに設けると、スリット状吐出口の長手方向の各位置において、幅方向両側における吐出部の合計幅がほぼ一定になり、塗液収容凹部内における塗液を対応した位置における吐出部を通して被塗布体の表面に供給される量がスリット状吐出口の長手方向の各位置において一定になって、被塗布体の表面に供給される塗液の量が一定化して、厚みムラが生じるのが防止される。
【００２０】
また、本発明に係る塗布装置において、スリット状吐出口の長手方向に沿ってスリット状吐出口を複数の吐出部に分離させる仕切り部材を設けるにあたり、前記の仕切り部材の吐出方向の長さを、前記のスリット状吐出口の吐出方向の長さよりも短くすることが好ましい。このように、仕切り部材の吐出方向の長さをスリット状吐出口の吐出方向の長さよりも短くすると、スリット状吐出口の吐出方向端部には仕切り部材が存在せずに、スリット状吐出口が吐出方向端部において連続した状態になり、塗液収容凹部内から対応した位置における吐出部に導かれた塗液が、仕切り部材によって分離された吐出部を超えて吐出方向端部における連続したスリット状吐出口に導かれて被塗布体の表面に供給されるようになり、被塗布体の表面に仕切り部材に対応する筋が生じないようにして、塗液が均一に塗布されるようになる。なお、このときの連続したスリット状吐出口の吐出方向の長さは、吐出方向の端部側に僅かに設けられるだけであり、前述したように塗液収容凹部に対応した位置以外の多くの部分から塗液が引きずられることはない。
【００２１】
また、本発明に係る塗布装置においては、前記の塗液収容部内における塗液に加わる圧力を調整する圧力調整手段を設け、前記の圧力調整手段により塗液収容部内における塗液に加わる圧力を一定圧に保った状態で、前記の塗液供給体を回転させて、前記の塗液収容凹部内における塗液を、塗布用ノズルのスリット状吐出口に導かれた塗液収容凹部に対応した位置における吐出部を通して被塗布体の表面に吐出させるようにすることが好ましい。このようにすると、塗液収容凹部内の塗液を、塗布用ノズルのスリット状吐出口に導かれた塗液収容凹部に対応した位置における吐出部を通して被塗布体の表面に吐出させるにあたり、塗液収容凹部内における塗液が、一定した圧力でスリット状吐出口における吐出部を通して被塗布体の表面に供給され、被塗布体の表面に塗液が一定した厚みで塗布されるようになる。
【００２２】
また、本発明に係る塗布装置においては、前記の圧力調整手段として、前記の塗液収容部内に塗液を供給させた状態で塗液収容部内に気体を供給して、前記の塗液収容部内における塗液に加わる圧力が一定圧になるように調整する気体供給調整手段を設けるようにし、或いは前記の塗液収容部内に塗液を充填させて、塗液収容部内に充填された塗液に加わる圧力が一定圧になるように、塗液収容部内への塗液の供給を調整する塗液供給調整手段を設けるようにすることができる。
【００２３】
また、本発明に係る塗布装置においては、前記の塗液供給体の外周面に塗液収容凹部を軸方向の長さが長くなった楕円形状に凹設させ、前記の塗液供給体を回転させる周速度よりも被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させる移動速度を速くして、被塗布体の表面に塗液を円形状に塗布させることができる。このようにすると、ウエハー等の円形状になった被塗布体の表面に塗液を円形状に塗布させることができると共に、塗液収容凹部を設ける塗液供給体の径を小さくすることができて、塗布用ノズルを小型化させることができるようになる。
【００２４】
そして、本発明に係る塗布方法においては、前記のような塗布装置を使用し、前記の塗液収容部内に回転可能に設けた塗液供給体における塗液収容凹部が設けられていない部分によって塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を閉塞させた状態で、塗液を前記の塗液収容部内に供給し、この塗液収容部内に回転可能に設けた前記の塗液供給体の外周面に形成した所定のパターン形状になった塗液収容凹部内に塗液を収容させて、前記の塗布用ノズルと被塗布体とを相対的に移動させると共に、前記の塗液収容凹部内に塗液が供給された塗液供給体を塗液収容部内で回転させ、前記の塗液収容凹部内における塗液を、塗布用ノズルのスリット状吐出口に導かれた塗液収容凹部に対応した位置における吐出部を通して被塗布体の表面に吐出させて、塗液収容凹部の形状に応じて前記の被塗布体の表面に塗液を塗布させるようにする。
【００２５】
このようにすると、塗液供給体における塗液収容凹部が設けられていない部分により塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口が閉塞され、塗液収容部内に供給された塗液がスリット状吐出口から外部に漏れ出すということがなく、また被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させると共に、塗液収容部内における塗液が塗液収容凹部内に収容された前記の塗液供給体を回転させると、塗液収容凹部内における塗液が、塗布用ノズルのスリット状吐出口に導かれた塗液収容凹部に対応した位置における吐出部を通して被塗布体の表面に吐出されて、塗液収容凹部の形状に応じて被塗布体の表面に塗液が塗布されるようになる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明における塗布装置においては、前記のように所定のパターン形状になった塗液を収容させる塗液収容凹部が外周面に設けられた塗液供給体を、スリット状吐出口の上に位置で回転するようにして塗布用ノズルにおける塗液収容部内に回転可能に設け、この塗液供給体における塗液収容凹部内に塗液を収容させて、塗液供給体をスリット状吐出口の上に位置で回転させると共に、被塗布体と塗布用ノズルとを相対的に移動させるようにしたため、前記の塗液供給体における塗液収容凹部がスリット状吐出口と連通される位置に導かれた状態では、この塗液収容凹部の部分における塗液が、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口を通して塗布用ノズルと相対的に移動される被塗布体の表面に供給され、被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液が適切に塗布されるようになる。
【００２７】
また、本発明における塗布装置においては、前記のようにスリット状吐出口の長手方向に沿ってスリット状吐出口を複数の吐出部に分離させる仕切り部材を設けたため、塗液供給体における塗液収容凹部内の塗液を、スリット状吐出口を通して被塗布体の表面に塗液を塗布する際に、スリット状吐出口内に被塗布体の表面に塗布されず塗液が残っていても、塗液収容凹部内における塗液が塗液収容凹部に対応した位置における吐出部だけに導かれ、このように塗液が導かれた吐出部だけを通して被塗布体の表面に供給されるようになり、スリット状吐出口における他の部分に塗液が流れて、塗液収容凹部に対応した位置以外の多くの部分から塗液が引きずられて被塗布体の表面に供給されるのが抑制され、被塗布体の表面に塗液収容凹部の形状に応じて塗液が正確に塗布されるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態に係る塗布装置において、塗液を収容させる楕円形状になった塗液収容凹部が設けられた塗液供給体を、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口の上に位置するようにして塗液収容部内に回転可能に設けると共に、前記のスリット状吐出口に波形状になった仕切り部材を、スリット状吐出口の長手方向に沿って設けた塗布用ノズルを示し、（Ａ）は塗布用ノズルの長手方向の概略断面説明図、（Ｂ）は塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図、（Ｃ）は波形状になった仕切り部材を設けた塗布用ノズルの先端側から見た概略底面図である。
【図２】前記の実施形態に係る塗布装置に使用する塗液供給体を示し、（Ａ）は外周面に楕円形状になった塗液収容凹部を設けた塗液供給体の概略正面図、（Ｂ）は塗液供給体の外周面に設けた塗液収容凹部の展開平面図である。
【図３】前記の実施形態に係る塗布装置において、塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口に長手方向に沿って設ける仕切り部材の変更例を示し、（Ａ）はスリット状吐出口の長手方向に沿ってジグザグ状になった仕切り部材を設けた状態を示した塗布用ノズルの先端側から見た概略底面図、（Ｂ）はスリット状吐出口の長手方向に沿って櫛歯状になった仕切り部材を設けた状態を示した塗布用ノズルの先端側から見た概略底面図である。
【図４】前記の実施形態における第１の塗布装置において、塗液収容部内に設けた塗液供給体における塗液収容凹部が設けられていない部分によってスリット状吐出口の上を閉塞させた状態で、塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液を塗液収容部内に供給する状態を示した塗布用ノズルの長手方向の概略断面説明図である。
【図５】前記の第１の塗布装置において、塗液収容部内に設けた塗液供給体における塗液収容凹部が設けられていない部分によってスリット状吐出口の上を閉塞させた状態で、塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液を塗液収容部内に供給する状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。
【図６】前記の第１の塗布装置において、図５に示すように塗液供給装置から塗液供給管を通して塗液を塗液収容部内に供給した後、塗液収容部内に気体を供給して、塗液収容部内における塗液に加わる圧力が一定圧になるように調整する状態を示した塗布用ノズルの長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。
【図７】前記の第１の塗布装置を示し、（Ａ）〜（Ｄ）は、所定量の塗液が供給された塗液収容部内に気体を供給して塗液収容部内における塗液に加わる圧力を調整した状態で、塗布用ノズルを円形の被塗布体の上に配置し、前記の塗液供給体を回転させて、塗液供給体の外周面に凹設された楕円形状になった塗液収容凹部をスリット状吐出口の上に導き、塗液収容凹部に対応して連通された塗液収容部とスリット状吐出口との間を通して吐出部に導いて、塗液収容部内における塗液を被塗布体の表面に塗布する工程を示した概略断面説明図である。
【図８】前記の第１の塗布装置を示し、（Ａ）〜（Ｄ）は、図７（Ａ）〜（Ｄ）に対応して、円形の被塗布体の表面に塗液が塗布される状態を示した概略平面図である。
【図９】前記の実施形態における第２の塗布装置において、（Ａ）は塗布用ノズルの塗液収容部内に設けた塗液供給体における塗液収容凹部が設けられていない部分により塗布用ノズルにおけるスリット状吐出口を閉塞させた状態で、塗液を塗液収容部内に供給する状態を示したスリット状吐出口の長手方向と交差する方向の概略断面説明図、（Ｂ）は塗液収容部内に塗液を充填させて、塗液収容部内に収容された塗液に加わる圧力が一定圧になるように、塗液の供給を調整する状態を示したスリット状吐出口の長手方向と交差する方向の概略断面説明図である。
【図１０】前記の第２の塗布装置において、（Ａ）〜（Ｄ）は、塗液収容部内に充填させて、塗液収容部内に充填された塗液に加わる圧力が一定圧になるように調整した状態で、塗布用ノズルを被塗布体の上に配置し、被塗布体を塗布用ノズルの下で移動させながら、前記の塗液供給体を回転させて、塗液供給体の外周面に凹設された楕円形状になった塗液収容凹部をスリット状吐出口の上に導き、塗液収容凹部に対応して連通された塗液収容部とスリット状吐出口との間を通して吐出部に導いて、塗液収容部内における塗液を被塗布体の表面に塗布する工程を示した概略断面説明図である。
【図１１】前記の実施形態に係る塗布装置において、塗液供給体の外周面に塗液を収容させる塗液収容凹部を設けるにあたって、塗液収容凹部の形状を変更させた複数の変更例を示した概略展開図である。
【図１２】前記の第２の塗布装置において、前記の塗液供給体を回転させて、前記の塗液収容凹部をスリット状吐出口の上に導き、塗液を塗液収容凹部からスリット状吐出口との間を通して吐出部に導いて、塗液収容部内における塗液を被塗布体の表面に塗布させるにあたり、図１０（Ｃ）に対応する状態を示した塗布用ノズルの長手方向の概略断面説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態に係る塗布装置及び塗布方法を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、本発明に係る塗布装置及び塗布方法は、下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。
【００３０】
ここで、本発明の実施形態における塗布装置においては、図１（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、塗布用ノズル１０の内部に塗液Ｐを収容させる塗液収容部１１を設けると共に、この塗液収容部１１と連通するようにして塗布用ノズル１０の先端部に塗液Ｐを吐出させるスリット状吐出口１２を設けている。
【００３１】
そして、この実施形態における塗布装置においては、前記のスリット状吐出口１２の吐出方向の長さがスリット状吐出口１２の長さよりも短くなった波形状の仕切り部材１３を、スリット状吐出口１２内にその長手方向に沿って設け、このように仕切り部材１３を設けた位置において、前記のスリット状吐出口１２をその長手方向に沿って複数の吐出部１２ａに分離させる一方、スリット状吐出口１２の吐出方向先端部は、スリット状吐出口１２が長手方向に連続した状態になった連続スリット状吐出部１２ｂになるようにしている。なお、この実施形態においては、波形状になった仕切り部材１３を、スリット状吐出口１２の吐出方向の長さよりも短くして、スリット状吐出口１２の吐出方向先端部に、スリット状吐出口１２が連続した状態になった連続スリット状吐出部１２ｂを設けるようにしたが、波形状になった仕切り部材１３の吐出方向の長さをスリット状吐出口１２と同じにすることも可能である。
【００３２】
また、前記の塗布用ノズル１０においては、前記の塗液収容部１１内に、図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、円柱状になった棒状体の外周面に軸方向の長さが長い楕円形状になった塗液収容凹部１４ａが凹設された塗液供給体１４を、前記のスリット状吐出口１２の上に位置するようにして回転可能に設け、塗液供給体１４において塗液収容凹部１４ａが設けられていない部分をスリット状吐出口１２の上に位置させた状態で、この塗液供給体１４によりスリット状吐出口１２と塗液収容部１１との間を閉塞させるようにしている。
【００３３】
また、この実施形態においては、前記のように曲線の波形状になった仕切り部材１３をスリット状吐出口１２の長手方向に沿って設けるようにしたが、仕切り部材１３はこのようなものに限定されず、例えば、図３（Ａ）に示すように、ジグザグ状になった直線の波形状の仕切り部材１３Ｘをスリット状吐出口１２の長手方向に沿って設けて、スリット状吐出口１２を長手方向に沿って複数の吐出部１２ａに分離させるようにし、また図３（Ｂ）に示すように、櫛歯状になった仕切り部材１３Ｙをスリット状吐出口１２の長手方向に沿って設けて、スリット状吐出口１２を長手方向に沿って複数の吐出部１２ａに分離させるようにする他、図示していないが、スリット状吐出口１２の長手方向に沿って複数の吐出穴がスリット状吐出口１２の幅方向に複数設けられた仕切り部材を用いるようにすることもできる。
【００３４】
（第１の塗布装置）
次に、前記の実施形態における第１の塗布装置について具体的に説明する。
【００３５】
第１の塗布装置においては、図４等に示すように、前記の塗布用ノズル１０における塗液収容部１１に対して、塗液供給装置２０から塗液Ｐを供給させる塗液供給パイプ２１に塗液供給弁２２を設け、この塗液供給弁２２を開閉させて、塗液収容部１１への塗液Ｐの供給や停止を行うようにすると共に、塗液収容部１１内への気体の供給・排気を行う供給・排気パイプ３１を設け、この供給・排気パイプ３１における供給側パイプ３１ａに、気体供給調整手段として、気体供給装置３０から前記の塗液収容部１１に供給する気体を調整する気体供給調整弁３２を設けると共に、供給・排気パイプ３１における排気側パイプ３１ｂに排気弁３３を設け、この排気弁３３を通して塗液収容部１１内における気体を排気させるようにしている。ここで、図４等においては、前記の塗布用ノズル１０の先端部におけるスリット状吐出口１２に部分に、塗液Ｐが存在した状態になっているが、これは、この塗布装置の操業中や試運転時等の準備段階や運転時において、塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２に供給された塗液Ｐが溜まった状態になるためである。
【００３６】
そして、この第１の塗布装置において、塗布用ノズル１０における塗液収容部１１内に塗液Ｐを供給する場合には、図４及び図５に示すように、塗布用ノズル１０の先端部におけるスリット状吐出口１２の上に前記の塗液供給体１４において塗液収容凹部１４ａが設けられていない部分を位置させて、塗液収容部１１とスリット状吐出口１２との間を閉じた状態で、塗液供給パイプ２１に設けた前記の塗液供給弁２２を開け、塗液供給装置２０から塗液供給パイプ２１を通して塗液収容部１１内に所定量の塗液Ｐを供給させると共に、前記の排気側パイプ３１ｂに設けた排気弁３３を開けて、この排気側パイプ３１ｂを通して塗液収容部１１内における気体を排気（気抜き）させる一方、前記の供給側パイプ３１ａに設けた気体供給調整弁３２を閉じて、気体供給装置３０から気体を塗液収容部１１に供給させないようにしている。ここで、図に示した塗液供給弁２２、気体供給調整弁３２、排気弁３３の開閉については、開いた状態を白抜きで、閉じた状態を黒塗りで示した。
【００３７】
また、前記のようにして塗布用ノズル１０における塗液収容部１１内に所定量の塗液Ｐを供給させた後は、図６に示すように、前記の塗液供給体１４において塗液収容凹部１４ａが設けられていない部分によって前記のスリット状吐出口１２を閉じた状態で、塗液供給パイプ２１に設けた前記の塗液供給弁２２を閉じて、塗液供給装置２０から塗液Ｐを塗液収容部１１に供給させないようにすると共に、この状態で、前記の排気側パイプ３１ｂに設けた排気弁３３を閉じて、塗液収容部１１内における気体を排気させないようにする一方、前記の供給側パイプ３１ａに設けた気体供給調整弁３２を開け、気体供給装置３０から気体を供給側パイプ３１ａに設けた気体供給調整弁３２を通して塗液収容部１１内に供給し、塗液収容部１１内における塗液Ｐに加わる圧力が所定の一定圧になるように調整するようにしている。
【００３８】
そして、この第１の塗布装置においては、前記の塗布用ノズル１０から被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布するにあたり、前記のように塗液供給体１４において塗液収容凹部１４ａが設けられていない部分によって塗布用ノズル１０の先端部におけるスリット状吐出口１２を閉じ、気体供給装置３０から気体供給調整弁３２を介して気体を塗液収容部１１内に供給し、塗液収容部１１内における塗液Ｐに加わる圧力を所定圧に調整した状態で、図７（Ａ）に示すように、この塗布用ノズル１０を、スリット状吐出口１２から被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐの塗布を開始させる位置に導くようにしている。
【００３９】
その後、図７（Ｂ）〜（Ｄ）に示すように、前記の塗布用ノズル１０に対して被塗布体Ｗを移動させながら、前記の塗液供給体１４を回転させ、塗液供給体１４の外周面に凹設させた塗液収容凹部１４ａが塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２と重なった部分から、塗液収容凹部１４ａ内に収容された塗液Ｐを、塗液収容凹部１４ａを通して前記のように波形状になった仕切り部材１３が設けられたスリット状吐出口１２に導き、前記の塗液収容凹部１４ａに対応した位置における吐出部１２ａを通してスリット状吐出口１２から被塗布体Ｗの表面に供給させて、図８（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、円形状になった被塗布体Ｗの表面に対して、前記の塗液供給体１４の外周面に凹設させた塗液収容凹部１４ａに収容された塗液Ｐを、塗布用ノズル１０からスリット状吐出口１２を通して円形状に塗布するようにしている。なお、この実施形態においては、前記のように塗布用ノズル１０に対して被塗布体Ｗを移動させるようにしたが、被塗布体Ｗを固定して、塗布用ノズル１０を被塗布体Ｗの上で移動させるようにしてもよい。
【００４０】
ここで、この実施形態における第１の塗布装置においては、前記のように円柱状になった塗液供給体１４の外周面に塗液収容凹部１４ａを軸方向の長さが長くなった楕円形状に凹設させているため、前記のように塗液供給体１４の外周面に凹設させた塗液収容凹部１４ａに収容された塗液Ｐを、塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２から円形状になった被塗布体Ｗの表面に円形状に塗布するにあたっては、前記の塗液供給体１４を回転させる周速度よりも、前記の被塗布体Ｗを移動させる移動速度を速くして、軸方向の長さが長くなった楕円形状の塗液収容凹部１４ａから前記のスリット状吐出口１２を通して、円形状になった被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを円形状に塗布させるようにしている。
【００４１】
このようにすると、円形状になった被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを円形状に塗布させるにあたり、塗液供給体１４の外周面に被塗布体Ｗに対応した大きさの円形状の塗液収容凹部１４ａを設ける必要がなく、前記のように軸方向の長さが長くなった楕円形状の塗液収容凹部１４ａとすることによって塗液供給体１４の径を小さくすることができ、塗布用ノズル１０を小型化させることができるようになる。
【００４２】
また、この実施形態における第１の塗布装置においては、前記のように塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２に波形状になった仕切り部材１３をスリット状吐出口１２の長手方向に沿って設けて、スリット状吐出口１２をその長手方向に沿って複数の吐出部１２ａに分離させ、塗液収容凹部１４ａ内に収容された塗液Ｐを、塗液収容凹部１４ａに対応した位置における吐出部１２ａだけを通して被塗布体Ｗの表面に供給させるようにしているため、塗液収容凹部１４ａに対応した位置における吐出部１２ａ以外の吐出部１２ａから塗液Ｐが引きずられて、塗液収容凹部１４ａに対応していない部分から塗液Ｐが、被塗布体Ｗの表面に供給されるのが抑制されるようになる。このようにすると、被塗布体Ｗの表面に塗液収容凹部１４ａの形状に対応して塗液Ｐが正確に塗布されるようになると共に、被塗布体Ｗの表面に供給された塗液Ｐの周辺部分の厚みが厚くなったりするのも防止されるようになる。
【００４３】
また、この実施形態における第１の塗布装置においては、前記のように波形状になった仕切り部材１３を、スリット状吐出口１２の吐出方向の長さよりも短くして、スリット状吐出口１２の吐出方向先端部にスリット状吐出口１２が長手方向に連続した連続スリット状吐出部１２ｂを設けたため、仕切り部材１３によって分離された状態の各吐出部１２ａから塗液Ｐが個別にそのまま被塗布体Ｗの表面に塗布されてしまって、被塗布体Ｗの表面に供給された塗液Ｐに各吐出部１２ａに対応した筋状のムラが生じてしまうのも防止されるようになる。
【００４４】
また、この実施形態における第１の塗布装置においては、前記のように塗液収容部１１内における塗液Ｐに加わる圧力を一定圧に調整した状態で、塗液収容凹部１４ａ内に収容された塗液Ｐを、塗液収容凹部１４ａに対応した位置における吐出部１２ａを通して被塗布体Ｗの表面に供給させるため、被塗布体Ｗの表面全体に塗液Ｐが均一な厚みになるようにして塗布されるようになる。
【００４５】
（第２の塗布装置）
次に、前記の実施形態における第２の塗布装置について具体的に説明する。
【００４６】
この第２の塗布装置においても、前記の第１の塗布装置と同様に、図示していない塗液供給装置２０から塗液供給パイプ２１を通して塗液Ｐを塗布用ノズル１０における塗液収容部１１に供給させるようにしている。
【００４７】
そして、この第２の塗布装置においては、塗液供給装置２０から塗液供給パイプ２１を通して塗液Ｐを塗布用ノズル１０における塗液収容部１１に供給させるにあたり、図９（Ａ），（Ｂ）及び図１０（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、前記の塗液供給パイプ２１の途中の位置に、塗液収容部１１内に収容された塗液Ｐに加わる圧力が一定圧になるように塗液Ｐの供給を調整する塗液供給調整手段として、シリンジポンプ４０を設け、シリンジポンプ４０の上流側における塗液供給パイプ２１に設けた第１塗液供給弁２２ａを通して塗液Ｐをシリンジポンプ４０内に導くと共に、このシリンジポンプ４０内に導かれた塗液Ｐをシリンジポンプ４０の下流側における塗液供給パイプ２１に設けた第２塗液供給弁２２ｂを通して塗液収容部１１内に供給させるようにしている。
【００４８】
また、この第２の塗布装置においては、塗液収容部１１内に塗液Ｐを供給させる場合のために、塗液収容部１１内における気体を外部に排気させる排気用パイプ３４を設けると共に、この排気用パイプ３４に排気用弁３５を設けている。
【００４９】
そして、この第２の塗布装置において、塗布用ノズル１０における塗液収容部１１内に塗液Ｐを供給するにあたっては、図９（Ａ）に示すように、前記の塗液供給体１４において塗液収容凹部１４ａが設けられていない部分によって塗布用ノズル１０の先端部におけるスリット状吐出口１２を閉じた状態にして、塗液供給パイプ２１に設けた前記の第１塗液供給弁２２ａと第２塗液供給弁２２ｂとを開け、塗液供給パイプ２１を通して塗液Ｐをシリンジポンプ４０内に供給し、このようにシリンジポンプ４０内に供給された塗液Ｐを塗布用ノズル１０の塗液収容部１１内に供給すると共に、前記の排気用パイプ３４に設けた排気用弁３５を開けて、塗液Ｐが供給される塗液収容部１１内の気体を、排気用パイプ３４を通して排気（気抜き）させるようにしている。
【００５０】
また、このようにして塗布用ノズル１０の塗液収容部１１内に塗液Ｐを供給して、塗液収容部１１内に塗液Ｐを充填させた後は、図９（Ｂ）に示すように、前記の第１塗液供給弁２２ａと排気用弁３５とを閉じた状態で、前記のシリンジポンプ４０におけるシリンダー４１により、シリンジポンプ４０内における塗液Ｐを塗液収容部１１内に送り出す方向に押して、塗液収容部１１内における塗液Ｐに加わる圧力が所定の一定圧になるようにしている。なお、図に示した第１塗液供給弁２２ａ、第２塗液供給弁２２ｂ、排気用弁３５の開閉については、開いた状態を白抜きで、閉じた状態を黒塗りで示した。
【００５１】
そして、この第２の塗布装置において、前記の塗布用ノズル１０から被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布するにあたっては、前記のように塗液供給体１４において塗液収容凹部１４ａが設けられていない部分によって塗布用ノズル１０の先端部におけるスリット状吐出口１２を閉じ、シリンジポンプ４０におけるシリンダー４１により、シリンジポンプ４０内における塗液Ｐを塗液収容部１１内に送り出す方向に押して、塗液収容部１１内における塗液Ｐに加わる圧力を所定の一定圧に調整した状態で、図１０（Ａ）に示すように、この塗布用ノズル１０を、スリット状吐出口１２から被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐの塗布を開始させる位置に導くようにする。
【００５２】
その後、図１０（Ｂ）〜（Ｄ）に示すように、前記の塗布用ノズル１０に対して被塗布体Ｗを移動させながら、前記の塗液供給体１４を回転させ、塗液供給体１４の外周面に凹設させた塗液収容凹部１４ａが塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２と重なった部分から、塗液収容凹部１４ａ内に収容された塗液Ｐを、塗液収容凹部１４ａを通して前記のように波形状になった仕切り部材１３が設けられたスリット状吐出口１２に導き、前記の塗液収容凹部１４ａに対応した位置における吐出部１２ａを通してスリット状吐出口１２から被塗布体Ｗの表面に供給させて、前記の第１の塗布装置の場合と同様に、前記の図８（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、円形状になった被塗布体Ｗの表面に対して、前記の塗液供給体１４の外周面に凹設させた塗液収容凹部１４ａに収容された塗液Ｐを、塗布用ノズル１０からスリット状吐出口１２を通して円形状に塗布させるようにしている。なお、この実施形態においても、前記の第１の塗布装置の場合と同様に、被塗布体Ｗを固定して、塗布用ノズル１０を被塗布体Ｗの上で移動させるようにしてもよい。
【００５３】
また、前記のようにして塗液Ｐを被塗布体Ｗの表面に塗布した結果、前記のシリンジポンプ４０内における塗液Ｐが減少した場合には、図示していないが、前記の第２塗液供給弁２２ｂを閉じる一方、前記の第１塗液供給弁２２ａを開け、前記のシリンジポンプ４０を吸引方向に動かして、再び、塗液供給パイプ２１を通して塗液Ｐをシリンジポンプ４０内に充填させる。なお、第２の塗布装置を示す前記の図においては、１回の塗布によってシリンジポンプ４０内の塗液Ｐがなくなるように示しているが、通常は、塗布を複数回行った後に、塗液Ｐをシリンジポンプ４０内に充填させるようにする。
【００５４】
ここで、この実施形態における第２の塗布装置においても、前記のように円柱状になった塗液供給体１４の外周面に塗液収容凹部１４ａを軸方向の長さが長くなった楕円形状に凹設させているため、前記のように塗液供給体１４の外周面に凹設させた塗液収容凹部１４ａに収容された塗液Ｐを、塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２から円形状になった被塗布体Ｗの表面に円形状に塗布するにあたっては、前記の第１の塗布装置の場合と同様に、塗液供給体１４を回転させる周速度よりも、前記の被塗布体Ｗを移動させる移動速度を速くして、軸方向の長さが長くなった楕円形状の塗液収容凹部１４ａから前記のスリット状吐出口１２を通して、円形状の被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを円形状に塗布させるようにしている。
【００５５】
このようにすると、円形状の被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを円形状に塗布させるにあたり、塗液供給体１４の外周面に被塗布体Ｗに対応した大きさの円形状の塗液収容凹部１４ａを設ける必要がなく、前記のように軸方向の長さが長くなった楕円形状の塗液収容凹部１４ａとすることによって塗液供給体１４の径を小さくすることができ、塗布用ノズル１０を小型化させることができるようになる。
【００５６】
また、この実施形態における第２の塗布装置においても、前記のように塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２に波形状になった仕切り部材１３をスリット状吐出口１２の長手方向に沿って設けて、スリット状吐出口１２をその長手方向に沿って複数の吐出部１２ａに分離させ、塗液収容凹部１４ａ内に収容された塗液Ｐを、塗液収容凹部１４ａに対応した位置における吐出部１２ａだけを通して被塗布体Ｗの表面に供給させるようにしているため、前記の第１の塗布装置の場合と同様に、塗液収容凹部１４ａに対応した位置における吐出部１２ａ以外の吐出部１２ａから塗液Ｐが引きずられて、塗液収容凹部１４ａに対応していない部分から塗液Ｐが、被塗布体Ｗの表面に供給されるのが抑制されるようになる。このようにすると、被塗布体Ｗの表面に塗液収容凹部１４ａの形状に対応して塗液Ｐが正確に塗布されるようになると共に、被塗布体Ｗの表面に供給された塗液Ｐの周辺部分の厚みが厚くなったりするのも防止されるようになる。
【００５７】
ここで、図１２において、前記の図１０（Ｃ）に示すように、塗液収容凹部１４ａ内に収容された塗液Ｐを、塗液収容凹部１４ａを通して前記のように波形状になった仕切り部材１３が設けられたスリット状吐出口１２に導き、前記の塗液収容凹部１４ａに対応した位置における吐出部１２ａを通してスリット状吐出口１２から被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させる場合における塗布用ノズル１０の長手方向の概略断面説明図を示した。この場合、前記のように波形状になった仕切り部材１３によって、スリット状吐出口１２をその長手方向に沿った複数の吐出部１２ａに分離させたため、塗液収容凹部１４ａに対応した位置における吐出部１２ａ以外の吐出部１２ａから塗液Ｐが引きずられて、塗液収容凹部１４ａに対応していない部分から塗液Ｐが、被塗布体Ｗの表面に供給されるのが抑制され、被塗布体Ｗの表面に供給された塗液Ｐの周辺部分の厚みが厚くなったりするのが防止される。
【００５８】
また、この実施形態における第２の塗布装置においても、前記のように波形状になった仕切り部材１３を、スリット状吐出口１２の吐出方向の長さよりも短くして、スリット状吐出口１２の吐出方向先端部にスリット状吐出口１２が長手方向に連続した連続スリット状吐出部１２ｂを設けたため、仕切り部材１３によって分離された状態の各吐出部１２ａから塗液Ｐが個別にそのまま被塗布体Ｗの表面に塗布されてしまって、被塗布体Ｗの表面に供給された塗液Ｐに各吐出部１２ａに対応した筋状のムラが生じてしまうのも防止されるようになる。
【００５９】
また、この実施形態における第２の塗布装置においても、前記のように塗液収容部１１内における塗液Ｐに加わる圧力を一定圧に調整した状態で、塗液収容凹部１４ａ内に収容された塗液Ｐを、塗液収容凹部１４ａに対応した位置における吐出部１２ａを通して被塗布体Ｗの表面に供給させるため、被塗布体Ｗの表面全体に塗液Ｐが均一な厚みになるようにして塗布されるようになる。
【００６０】
なお、前記の第１及び第２の塗布装置においては、円柱状になった塗液供給体１４の外周面に塗液収容凹部１４ａを軸方向の長さが長くなった楕円形状に凹設させて、図７（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、円形状になった被塗布体Ｗの表面に対して、前記の塗液供給体１４の外周面に凹設させた塗液収容凹部１４ａに収容された塗液Ｐを、塗布用ノズル１０からスリット状吐出口１２を通して円形状に塗布するようにしたが、被塗布体Ｗの形状は特に円形状のものに限られない。また、塗布用ノズル１０のスリット状吐出口１２を通して被塗布体Ｗの表面に塗液Ｐを塗布させる前記の塗液供給体１４の外周面に凹設させる塗液収容凹部１４ａの形状も限定されず、例えば、塗液Ｐを塗布させる製品に応じて、図１１（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に示すように、塗液供給体１４の外周面に凹設させる塗液収容凹部１４ａの形状を菱形状や三角形状や瓢箪形状にする等、様々な形状の塗液収容凹部１４ａを設けるようにすることができる。
【符号の説明】
【００６１】
１０    ：塗布用ノズル
１１    ：塗液収容部
１２    ：スリット状吐出口
１２ａ  ：吐出部
１２ｂ  ：連続スリット状吐出部
１３    ：仕切り部材
１３Ｘ  ：仕切り部材
１３Ｙ  ：仕切り部材
１４    ：塗液供給体
１４ａ  ：塗液収容凹部
２０    ：塗液供給装置
２１    ：塗液供給パイプ
２２    ：塗液供給弁
２２ａ  ：第１塗液供給弁
２２ｂ  ：第２塗液供給弁
３０    ：気体供給装置
３１    ：供給・排気パイプ
３１ａ  ：供給側パイプ
３１ｂ  ：排気側パイプ
３２    ：気体供給調整弁
３３    ：排気弁
３４    ：排気用パイプ
３５    ：排気用弁
４０    ：シリンジポンプ
４１    ：シリンダー
Ｐ      ：塗液
Ｗ      ：被塗布体
【要約】
【課題】  被塗布体の上において塗布用ノズルを被塗布体と相対的に移動させ、塗布用ノズルの先端部におけるスリット状吐出口から被塗布体の表面に塗液をムラ等が生じないようにして各種の形状に簡単かつ正確に塗布できるようにする。
【解決手段】  被塗布体Wの上において塗布用ノズル10を被塗布体と相対的に移動させ、塗布用ノズル先端部のスリット状吐出口12から被塗布体の表面に塗液Pを塗布するにあたり、塗液が収容される塗液収容部11内に所定のパターン形状の塗液収容凹部14aが設けられた塗液供給体14をスリット状吐出口の上に回転可能に設けると共に、スリット状吐出口の長手方向に沿って複数の吐出部12aに分離させる仕切り部材13を設け、塗液供給体14を回転させて、塗液収容凹部に対応した位置の吐出部を通して塗液を被塗布体の表面に塗布させる。
【選択図】  図１２【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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