(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品の基板への実装に関連して移動する移動体を備えた装置本体と、
前記装置本体の下側に設けられ、該装置本体を支持する支持部と、
前記支持部の下側に設けられた緩衝体と、
前記緩衝体の下側に設けられ、前記装置本体の高さを高くして所望の高さに調整するための嵩上げ部材と、
を備え、
前記嵩上げ部材は、前記緩衝体が配置される凹部を上面に有しており、
前記緩衝体の厚さが前記凹部の深さよりも薄く且つ前記支持部の下面が前記凹部内に配置されている、
床面に配設される部品実装関連装置。
【請求項２】
前記緩衝体が前記支持部の下面に接着されている、
請求項１に記載の部品実装関連装置。
【請求項３】
前記支持部は、前記装置本体のレベリング調整を行うためのレベリングボルトと、前記レベリングボルトの下側に設けられたシート部材と、を備える、
請求項１又は２に記載の部品実装関連装置。
【請求項４】
前記嵩上げ部材と前記床面との間に緩衝体を備える、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の部品実装関連装置。
【請求項５】
部品の基板への実装に関連して移動する移動体を備えた装置本体と、前記装置本体の下側に設けられ、該装置本体を支持し該装置本体のレベリング調整を行うための支持部と、前記支持部の下側に設けられた緩衝体と、を備えた、床面に配設される部品実装関連装置の前記装置本体の高さを調整する高さ調整方法であって、
前記緩衝体と前記床面との間に嵩上げ部材を配置することで前記装置本体の高さを所望の高さに調整する工程、
を含み、
前記嵩上げ部材は、前記緩衝体が配置される凹部を上面に有しており、
前記工程において厚さが前記凹部の深さより薄い前記緩衝体と前記支持部の下面とが前記凹部内に配置されるようにする、
高さ調整方法。
【請求項６】
予め又は前記工程において前記緩衝体と前記支持部の下面とを接着する、
請求項５に記載の高さ調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書では、部品実装関連装置及びその高さ調整方法を開示する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、部品供給装置から供給される部品を移動体（例えばＸＹロボット）に備えられたノズルに吸着し、その移動体を移動することによりノズルに吸着された部品を基板の所定位置へ運び、その所定位置に部品を実装する部品実装装置が知られている。こうした部品実装装置において、レベリングボルトとレベリングシートとを備えたものが知られている。例えば、特許文献１には、床面に鋼製のレベリングシートが敷かれるとともに、基台が複数のレベリングボルトを介してレベリングシート上に載置されることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２１４８８７号公報（段落０００２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このような装置において、高さの異なる複数種類のレベリングシートを用意しておき、いずれの種類のレベリングシートを使用するかによって装置の高さを調整することが考えられる。しかし、このとき、いずれの種類のレベリングシートを使用するかによって、すなわち装置の高さによって、装置の振動特性（固有振動の振動数又は振動強度など）が異なってしまう場合がある。装置の高さに応じて振動特性が異なると、装置の振動への対策方法も装置の高さに応じたものにする必要があるため、好ましくない。【０００５】
本開示は、上述した課題を解決するためになされたものであり、部品実装関連装置において装置本体の高さが振動特性に影響しにくくすることを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示は、上述した主目的を達成するために以下の手段を採った。【０００７】
本開示の部品実装関連装置は、
部品の基板への実装に関連して移動する移動体を備えた装置本体と、
前記装置本体の下側に設けられ、該装置本体を支持する支持部と、
前記支持部の下側に設けられた緩衝体と、
前記緩衝体の下側に設けられ、前記装置本体の高さを高くして所望の高さに調整するための嵩上げ部材と、
を備えたものである。【０００８】
この部品実装関連装置は、装置本体の高さを高くして所望の高さに調整するための嵩上げ部材を備えているため、適切な高さの嵩上げ部材を用いることで、装置本体を所望の高さに調整できる。一方で、嵩上げ部材と支持部との間に存在する緩衝体が装置本体の振動を吸収するため、嵩上げ部材の高さが装置の振動特性に影響しにくい。したがって、この部品実装関連装置は、嵩上げ部材を用いて装置本体を所望の高さに調整しても、装置本体の高さが振動特性に影響しにくい。【０００９】
ここで、部品実装関連装置としては、例えば、部品実装装置、接着剤塗布装置、フラックス塗布装置などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】部品実装装置１の構成図。
【図２】支持脚６０の部分断面図。
【図３】基準形態の支持脚６０の部分断面図。
【図４】比較形態１の支持脚６０の部分断面図。
【図５】装置をＸ方向に加振した場合のモーダル試験結果を示すグラフ。
【図６】装置をＹ方向に加振した場合のモーダル試験結果を示すグラフ。
【図７】変形例の支持脚の部分断面図。
【図８】変形例の支持脚の部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本開示の部品実装関連装置の実施形態について図面を参照しながら以下に説明する。図１は、部品実装関連装置の一例である部品実装装置１の構成図である。図２は、支持脚６０の部分断面図である。本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１に示した通りとする。
【００１２】
部品実装装置１は、装置本体１０と、支持脚６０とを備える。
【００１３】
装置本体１０は、その外観としては、図１に示すように、機台１１と、機台１１に支持されたフレーム１２とにより構成されている。フレーム１２の下段部には、支持台１４が設けられている。また、装置本体１０は、部品供給装置２０と、基板搬送装置３０と、ヘッド４０と、ＸＹロボット５０と、装置全体をコントロールする制御装置５８とを備える。
【００１４】
部品供給装置２０は、支持台１４に左右方向（Ｘ軸方向）に並ぶように複数整列配置される。この部品供給装置２０は、部品が所定ピッチで収容されたキャリアテープを、ヘッド４０（ノズル４２）がピックアップ可能な部品供給位置まで送り出すテープフィーダである。なお、キャリアテープは、長手方向に所定ピッチでキャビティー（凹部）が形成されたボトムテープと、各キャビティーにそれぞれ部品が収容された状態でボトムテープの上面に貼り付けられたトップフィルムとからなる。
【００１５】
基板搬送装置３０は、図１に示すように、本実施形態では、２つの基板搬送路が設けられたデュアルレーン方式の搬送装置として構成されており、支持台１４における前後方向（Ｙ軸方向）の中央部に設置されている。基板搬送装置３０は、ベルトコンベア装置３２を備えており、ベルトコンベア装置３２の駆動により基板Ｓを図１の左から右（基板搬送方向）へと搬送する。また、基板搬送装置３０の基板搬送方向（Ｘ軸方向）中央部には、図示しない昇降装置により昇降可能なバックアッププレート３４が設けられている。バックアッププレート３４の上面には、複数のピン３６が設けられている。基板搬送装置３０によりバックアッププレート３４の上方に基板Ｓが搬送されると、バックアッププレート３４を上昇させることで基板Ｓを裏面側からピン３６によりバックアップする。
【００１６】
ヘッド４０（移動体の一例）は、ＸＹロボット５０によりＸＹ平面上の任意の位置に移動可能である。このヘッド４０は、部品供給装置２０により供給された部品をノズル４２に吸着させて、基板搬送装置３０により搬送された基板Ｓ上へ実装する。
【００１７】
ＸＹロボット５０は、図１に示すように、フレーム１２の上段部に前後方向（Ｙ軸方向）に沿って設けられた左右一対のＹ軸ガイドレール５１と、左右一対のＹ軸ガイドレール５１に架け渡された状態でＹ軸ガイドレール５１に沿って移動が可能な長尺状のＹ軸スライダ５２と、Ｙ軸スライダ５２の下面に左右方向（Ｘ軸方向）に沿って設けられたＸ軸ガイドレール５３と、Ｘ軸ガイドレール５３に沿って移動が可能なＸ軸スライダ５４とを備える。Ｘ軸スライダ５４にはヘッド４０が取り付けられている。ＸＹロボット５０は、制御装置５８に駆動制御されることにより、ＸＹ平面上の任意の位置にヘッド４０を移動可能である。
【００１８】
制御装置５８は、ＣＰＵやＲＯＭ，ＲＡＭなどからなるマイクロプロセッサとして構成されている。制御装置５８は、Ｙ軸スライダ５２及びＸ軸スライダ５４の各々を移動させる図示しないＸ軸モータ及びＹ軸モータに対して制御信号を出力する。また、制御装置５８は、Ｘ軸，Ｙ軸モータの位置情報を図示しないエンコーダから入力する。制御装置５８は、機能ブロックとして、ＸＹロボット５０の目標位置に基づいて第１指令を出力するフィードフォワード（ＦＦ）補償器５８ａと、ＸＹロボット５０の目標位置とＸ軸，Ｙ軸モータの位置情報とに基づいて第２指令を出力するフィードバック（ＦＢ）補償器５８ｂと、を備えている。また、ＦＦ補償器５８ａには、部品実装装置１の振動を抑制するためのノッチフィルタ５８ｃが含まれる。制御装置５８は、第１指令と第２指令とを加算した指令を含む制御信号をＸ軸，Ｙ軸モータに出力することで、ＸＹロボット５０を目標位置に移動させる位置決め制御を実行する。また、制御装置５８は、上記のようにノッチフィルタ５８ａを利用して位置決め制御を実行することで、位置決め制御時に部品実装装置１の振動を抑制する機台振動補償を実行する。ノッチフィルタを用いた装置の振動抑制は公知であり、例えば特許第４８４０９８７号や特開２０１７−１０３００号公報に記載されている。
【００１９】
支持脚６０は、床面Ｆ上に装置本体１０を設置するためのものである。床面Ｆは、例えばコンクリート床の表面である。床面Ｆは表面に樹脂コートが施されていてもよい。部品実装装置１は、例えば４個又は６個などの複数の支持脚６０を備えている。本実施形態では支持脚６０の数は４個（図１では３個のみ図示）であり、各々の支持脚６０は機台１１の四隅の下側に配置されている。
【００２０】
図２に示すように、支持脚６０は、支持部６１と、緩衝体６５と、嵩上げ部材６６と、滑り止めシート６８とを備えている。支持部６１は、装置本体１０の下側（ここでは装置本体１０のうち機台１１の下側）に設けられ、装置本体１０を支持する。支持部６１は、レベリングボルト６２と、シート部材６４とを備えている。
【００２１】
レベリングボルト６２は、金属製であり、装置本体１０の機台１１の下面から下方に突出するように設けられている。このレベリングボルト６２は、図２に示すように雄ネジ部６２ｂを有する段差付きのボルトであり、上段に位置する雄ネジ部６２ｂに比べて下段が太く形成され、下段の下面が凸曲面６２ａになっている。このレベリングボルト６２は、雄ネジ部６２ｂが機台１１の底板に螺合されている。レベリングボルト６２は、その螺合量（機台１１へのねじ込み量）を調整することにより、装置本体１０のレベリング調整（水平度の調整や若干の高さ調整）を行うことができる。レベリングボルト６２の材質としては、ＦＣ２００又はＦＣ２５０などの鋳鉄、ＳＳ４００又はステンレス鋼などの鋼鉄が挙げられる。
【００２２】
シート部材６４は、金属製の円板状部材であり、レベリングボルト６２の下側に設けられている。シート部材６４は、上面に略円錐形状の凹曲面６４ａを有しており、この凹曲面６４ａでレベリングボルト６２の凸曲面６２ａを受けるようになっている。そのため、レベリングボルト６２はシート部材６４に対する水平方向の位置ずれが生じないようになっている。また、凹曲面６４ａは、レベリングボルト６２の軸方向がシート部材６４の下面６４ｂに垂直な方向からある程度傾斜した状態でも、凸曲面６２ａを受けることができる。そのため、床面Ｆのがたつき（水平からのずれ）がある場合に、シート部材６４の下面６４ｂは床面Ｆに合わせて水平から傾けた状態としつつ、レベリングボルト６２の軸方向を鉛直方向に保つことができる。シート部材６４の材質としては、ＦＣ２００又はＦＣ２５０などの鋳鉄、ＳＳ４００又はステンレス鋼などの鋼鉄が挙げられる。
【００２３】
緩衝体６５は、例えば樹脂などの弾性体であり、シート部材６４の下側に配置されている。緩衝体６５は、上面視で円形のシート状の部材であり、嵩上げ部材６６の凹部６６ａの底面上に配置されている。緩衝体６５は、凹部６６ａの深さよりも厚さが薄いため、凹部６６ａ内に配置されている。すなわち、緩衝体６５は、その上面が嵩上げ部材６６の上端面よりも下側に位置しており、凹部６６ａ内に収まっている。緩衝体６５の厚さは、例えば１〜３ｍｍである。緩衝体６５の材質としては、例えば制振ゴムに使用される材質（ＮＢＲなど）が挙げられる。緩衝体６５は図示しない接着層などにより嵩上げ部材６６に接着されていてもよい。
【００２４】
嵩上げ部材６６は、金属製の円柱状部材であり、緩衝体６５の下側に設けられている。嵩上げ部材６６は、上面視で円形の凹部６６ａを上面に有している。この凹部６６ａ内に、緩衝体６５が配置されている。凹部６６ａの深さよりも緩衝体６５の厚さが薄いため、支持部６１の下面（ここではシート部材６４の下面６４ｂ）も凹部６６ａ内に配置されている。嵩上げ部材６６は、装置本体１０の高さを高くして所望の高さに調整するための部材である。嵩上げ部材６６は、所定の固定値としての高さ寸法を有する部材であり、例えば嵩上げ部材６６自体が上下に伸縮することで装置本体１０の高さを調整するのではなく、嵩上げ部材６６が支持部６１と床面Ｆとの間に配置されることによって装置本体１０の高さを調整する。嵩上げ部材６６の材質としては、ＦＣ２００又はＦＣ２５０などの鋳鉄、ＳＳ４００又はステンレス鋼などの鋼鉄が挙げられる。嵩上げ部材６６は、支持部６１（特にシート部材６４）と同じ材質であってもよい。嵩上げ部材６６は、剛性率が支持部６１（特にシート部材６４）と同じかそれ以上であることが好ましい。
【００２５】
滑り止めシート６８は、床面Ｆの上側且つ嵩上げ部材６６の下側に配置されて、床面Ｆに対する嵩上げ部材６６の水平方向の位置ずれを抑制する部材である。滑り止めシート６８は、上面視で四角形のシート状の部材であり、嵩上げ部材６６の下面よりも上面の面積が大きい。滑り止めシート６８は、緩衝体６５と同様に樹脂などの弾性体であってもよいし、床面Ｆと嵩上げ部材６６とを接着する接着シートであってもよい。滑り止めシート６８は、緩衝体６５よりも厚さが薄くてもよい。本実施形態では、滑り止めシート６８は緩衝体６５と同じ材質及び同じ厚さとした。
【００２６】
次に、部品実装装置１の装置本体１０の高さを調整する方法について説明する。装置本体１０の高さの調整は、部品実装装置１を床面Ｆに設置する時に行ってもよいし、設置後に高さを変更する必要が生じた時に行ってもよい。以下では、部品実装装置１を設置する場合について説明する。まず、床面Ｆ上の所定の４箇所に滑り止めシート６８を配置する。次に、各々の滑り止めシート６８の上に、下から嵩上げ部材６６，緩衝体６５，シート部材６４の順になるようにこれらを配置する。このとき緩衝体６５は嵩上げ部材６６の凹部６６ａ内に配置する。これにより、厚さが凹部６６ａの深さより薄い緩衝体６５と支持部６１の下面（ここではシート部材６４の下面６４ｂ）とが凹部６６ａ内に配置される。緩衝体６５は予め嵩上げ部材６６の凹部６６ａに接着しておいてもよい。その後、各々のシート部材６４の凹曲面６４ａ上に、装置本体１０のレベリングボルト６２の凸曲面６２ａを載せる。これにより、部品実装装置１の床面Ｆへの設置が完了する。このとき、緩衝体６５と床面Ｆとの間に嵩上げ部材６６が配置されるため、嵩上げ部材６６の高さ寸法によって装置本体１０の高さを所望の高さに調整することができる。例えば高さ寸法の異なる複数種類の嵩上げ部材６６のうちいずれを緩衝体６５と床面Ｆとの間に配置するかによって、装置本体１０の高さを調整できる。装置本体１０の高さの調整は、例えば基板搬送装置３０が基板Ｓを搬送する搬送高さが所望の値になるように行ってもよい。
【００２７】
部品実装装置１の設置後に装置本体１０の高さを調整（変更）する場合について説明する。例えば図３に示すように緩衝体６５及び嵩上げ部材６６を備えない状態で部品実装装置１が設置されていた場合、まず、レベリングボルト６２を含む装置本体１０をシート部材６４上から他の位置へ移動させる。その後は、上述した部品実装装置１の設置時と同様の作業を行う。すなわち、滑り止めシート６８の上に適切な高さ寸法の嵩上げ部材６６と、緩衝体６５及びシート部材６４とを配置してから、各々のシート部材６４の凹曲面６４ａ上に装置本体１０のレベリングボルト６２の凸曲面６２ａを載せる。図２のように緩衝体６５及び嵩上げ部材６６を備えた状態から嵩上げ部材６６を異なる高さ寸法のものに変更する場合も、同様にして行う。
【００２８】
次に、装置本体１０の制御装置５８が、図示しない管理コンピュータから提供される生産ジョブに基づいて基板Ｓへ部品を実装する動作について説明する。まず、制御装置５８は、ヘッド４０のノズル４２に部品供給装置２０から供給される部品を採取させる。具体的には、制御装置５８は、ＸＹロボット５０の位置決め制御を行って、ノズル４２を所望の部品の部品供給位置の真上に移動させる。次に、制御装置５８は、図示しないＺ軸モータ及びノズル４２の圧力調整装置を制御し、ノズル４２を下降させると共にそのノズル４２へ負圧が供給されるようにする。これにより、ノズル４２の先端部に所望の部品が吸着される。その後、制御装置５８は、ノズル４２を上昇させ、ＸＹロボット５０の位置決め制御を行って、ノズル４２の先端に吸着された部品を基板Ｓの所定位置の上方まで運ぶ。そして、その所定位置で、制御装置５８は、ノズル４２を下降させ、そのノズル４２へ大気圧が供給されるように制御する。これにより、ノズル４２に吸着されていた部品が離間して基板Ｓの所定位置に実装される。基板Ｓに実装すべき他の部品についても、同様にして基板Ｓ上に実装していく。このように、制御装置５８は、部品供給装置２０から供給された部品を基板Ｓへ実装するのに関連して、ＸＹロボット５０の位置決め制御を実行する。また、上述したように、制御装置５８は位置決め制御時に機台振動補償も実行する。
【００２９】
次に、装置の振動特性を調査するための試験であるモーダル試験について説明する。試験対象として、実施形態１，基準形態，比較形態１を用意した。実施形態１では、機台１１のＸ軸方向の幅を図１に示した機台１１の２倍とし、機台１１の上に図１のフレーム１２及びその内部の構成要素をＸ軸方向に沿って２組配置した。支持脚６０の数は４脚とした。それ以外の点は本実施形態の部品実装装置１と同じとした。基準形態は、図３に示したように図２の緩衝体６５及び嵩上げ部材６６を省略した形態であり、それ以外の点は実施形態１と同じとした。比較形態１は、図４に示すように、基準形態のシート部材６４の代わりに高さを大きくしたシート部材２６４を用いた形態であり、それ以外の点は基準形態と同じとした。基準形態では、基板搬送装置３０による基板Ｓの搬送高さが９００ｍｍに調整されている。実施形態１では、基準形態に緩衝体６５及び嵩上げ部材６６が追加されることで、搬送高さが９５０ｍｍに調整されている。比較形態１では、シート部材２６４の高さが高いことによって搬送高さが実施形態１と同じ９５０ｍｍに調整されている。シート部材６４，２６４の材質はいずれもＦＣ２００とした。緩衝体６５としては、市販品のゴムシートを使用した。嵩上げ部材６６の材質はＳＳ４００とした。
【００３０】
図５は装置をＸ方向に加振した場合のモーダル試験の結果であり、図６は装置をＹ方向に加振した場合のモーダル試験の結果である。図５，６において、横軸は振動の周波数であり、縦軸は対数で表した振幅である。図５，６中の矢印で指し示される箇所は、基準形態，実施形態１，比較形態１の各々の装置の機台振動を表している。機台振動は、部品実装装置のＸＹロボットの移動時の駆動反力によって装置そのものが振動してしまう現象である。機台振動は、装置が持つ固有振動の中の最も低周波領域で生じる。図５，６から分かるように、比較形態１では、基準形態と比較して機台振動の周波数が小さくなり、振幅が大きくなった（振動強度が増大した）。これに対して実施形態１では、基準形態と比較した機台振動の周波数及び振幅の変化が、比較形態１と比べるとわずかであった。機台振動以外の周波数領域でも、実施形態１の周波数と振幅との関係（図５，６の波形）は、比較形態１と比べると基準形態に近かった。
【００３１】
このように、実施形態１では、比較形態１と比較して、装置の搬送高さを９００ｍｍ（基準形態）から９５０ｍｍに変更した場合の振動特性の変化が小さかった。これは、嵩上げ部材６６と支持部６１との間に存在する緩衝体６５が装置本体の振動を吸収しているため、基準形態から嵩上げ部材６６が追加されていること及びその嵩上げ部材６６の高さが振動特性に影響しにくいためだと考えられる。例えば、基準形態（図３）では滑り止めシート６８よりも上側の部分の長さをＲ１とすると、この長さＲ１が支持脚６０の振動の半径となって部品実装装置１の振動特性に影響すると考えられる。実施形態１（図２）では、緩衝体６５が存在することで、支持脚６０の主な振動の半径は緩衝体６５より上側の部分の長さＲ１であり、主な振動の半径が基準形態と同じになっている。これにより、実施形態１と基準形態とでは振動特性が比較的近くなっていると考えられる。これに対し、比較形態１（図４）では、滑り止めシート６８よりも上側の部分の長さＲ２（＞Ｒ１）が支持脚６０の振動の半径となるため、振動特性が基準形態から大きく変化したと考えられる。また、図５，６の試験の結果から、例えば嵩上げ部材６６の高さが互いに異なる装置間の振動特性の変化も比較的小さいと考えられる。
【００３２】
なお、レベリングボルト６２の螺合量によっても装置本体１０の高さは変化するが、レベリングボルト６２の螺合量の調整範囲は例えば基準位置から上方に１５ｍｍ／下方に１０ｍｍなど比較的小さい値であるため、レベリングボルト６２の螺合量を変化させても振動特性への影響は小さい。また、嵩上げ部材６６の高さは例えば５０ｍｍ以上、１００ｍｍ以上などであり、レベリングボルト６２の螺合量の調整範囲と比べると値が大きい。嵩上げ部材６６は、支持部６１を利用しつつ、レベリングボルト６２の螺合量の調整範囲を超えて装置本体１０の高さを嵩上げする有効な手段である。
【００３３】
以上説明した部品実装装置１は、装置本体１０の高さを高くして所望の高さに調整するための嵩上げ部材６６を備えているため、適切な高さの嵩上げ部材６６を用いることで、装置本体１０を所望の高さに調整できる。一方で、嵩上げ部材６６と支持部６１との間に存在する緩衝体６５が装置本体１０の振動を吸収するため、嵩上げ部材６６の高さが部品実装装置１の振動特性に影響しにくい。したがって、部品実装装置１は、嵩上げ部材６６を用いて装置本体１０を所望の高さに調整しても、装置本体１０の高さが振動特性に影響しにくい。例えば、複数の部品実装装置間で嵩上げ部材６６の有無や嵩上げ部材６６の高さが異なっていても、これらの装置間で振動特性が異なりにくい。
【００３４】
また、嵩上げ部材６６は緩衝体６５が配置される凹部６６ａを上面に有しており、緩衝体６５の厚さが凹部６６ａの深さよりも薄く且つ支持部６１の下面６４ｂが凹部６６ａ内に配置されている。このため、嵩上げ部材６６に対する支持部６１の水平方向の位置ずれを、嵩上げ部材６６の凹部６６ａによって制限できる。
【００３５】
さらに、支持部６１は、装置本体１０のレベリング調整を行うためのレベリングボルト６２と、レベリングボルト６２の下側に設けられたシート部材６４と、を備えている。このため、略同一寸法の嵩上げ部材６６を複数個使用して装置本体１０の高さを変更（調整）した場合でも、レベリングボルト６２によって装置本体１０のレベリング調整（特に、水平度の調整）を行うことができる。また、嵩上げ部材６６を利用していない状態の部品実装装置１（例えば図３に示した基準形態）の高さを後から嵩上げしたい場合に、装置本体１０を支持する支持部６１をそのまま利用することができる。
【００３６】
さらにまた、装置本体１０は、ＸＹロボット５０の位置決め制御を行うと共に機台振動補償を実行する制御装置５８を備えている。制御装置５８が機台振動補償を行うことで、部品実装装置１の振動が抑制され、ＸＹロボット５０の位置決めの精度向上や位置決め速度向上（移動時間の短縮）などの効果が得られる。ここで、制御装置５８が機台振動補償を実行する際には、機台振動補償に用いるパラメータ（ノッチフィルタ５８ｃの伝達関数など）を装置の振動特性に応じて設定する必要がある。本実施形態の部品実装装置１では、上述したように装置本体１０を所望の高さに調整しても部品実装装置１の高さが振動特性に影響しにくいから、装置本体１０の高さに応じてパラメータを設定（変更）しなくても機台振動補償によって振動を適切に抑制できる。
【００３７】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００３８】
例えば、上述した実施形態では、嵩上げ部材６６と床面Ｆとの間に滑り止めシート６８が存在したが、これに限らず滑り止めシート６８を省略してもよい。特に滑り止めシート６８が弾性体である場合、滑り止めシート６８は緩衝体６５と同様に緩衝体として働く可能性がある。このように緩衝体６５とは別に嵩上げ部材６６と床面Ｆとの間に緩衝体が存在すると、その緩衝体より上側に位置する嵩上げ部材６６の高さが部品実装装置１の振動特性に影響を与える場合がある。そのため、嵩上げ部材６６と床面Ｆとの間に緩衝体を備えないことで、嵩上げ部材６６の高さが振動特性に一層影響しにくくなる。例えば、図７に示す変形例の支持脚のように、滑り止めシート６８を省略し、代わりに嵩上げ部材３６６を固定用ボルト６９によって床面Ｆに固定してもよい。なお、嵩上げ部材と床面Ｆとの間だけでなく嵩上げ部材の内部にも、緩衝体６５とは別の緩衝体が存在しないことが好ましい。図２，７の嵩上げ部材６６，３６６は、内部に別の緩衝体を備えていない。
【００３９】
上述した実施形態では、緩衝体６５の厚さが凹部６６ａの深さよりも薄かったが、これに限られない。例えば図８に示す変形例の支持脚のように、凹部６６ａの深さよりも緩衝体４６５が厚くてもよい。この場合、例えば接着層などを介して緩衝体４６５が支持部６１の下面６４ｂに接着されていることが好ましい。こうすれば、支持部６１の下面６４ｂが凹部６６ａ内に配置されていなくとも、嵩上げ部材６６に対する支持部６１の水平方向の位置ずれを嵩上げ部材６６の凹部６６ａによって制限できる。緩衝体４６５と支持部６１の下面６４ｂとの接着は、どのようなタイミングで行ってもよく、例えば、嵩上げ部材６６上に緩衝体４６５を配置する前に予め接着してもよいし、凹部６６ａに配置された緩衝体４６５の上にシート部材６４を配置する際に接着してもよい。
【００４０】
上述した実施形態では、支持部６１はレベリングボルト６２とシート部材６４との２つの部材を備えていたが、これに限られない。例えば、支持部６１がシート部材６４を備えず、凸曲面６２ａの代わりに下面が平面であるレベリングボルト６２を備えていてもよい。あるいは、レベリングボルト６２とシート部材６４とが一体化されていてもよい。
【００４１】
上述した実施形態では、複数の支持脚６０の各々が緩衝体６５及び嵩上げ部材６６を有していたが、これに限られない。例えば、嵩上げ部材６６を複数の支持脚６０で共通としてもよいし、嵩上げ部材６６及び緩衝体６５を複数の支持脚６０で共通としてもよい。
【００４２】
上述した実施形態では、部品実装装置１は、部品供給装置２０から部品を移動体であるヘッド４０上に採取し、そのヘッド４０を移動させることにより部品を基板Ｓの所定位置まで運び、部品を所定位置に実装するものとしたが、部品実装装置１に限らず、部品を基板Ｓへ実装するのに関連して移動する移動体を備えた部品実装関連装置であればよい。部品実装関連装置は、例えば、移動体に搭載された部品固定用の接着剤（あるいはフラックス）を基板Ｓの所定位置へ塗布するものであってもよい。
【００４３】
本開示の部品実装関連装置は、以下のように構成してもよい。
【００４４】
本開示の部品実装関連装置において、前記嵩上げ部材は、前記緩衝体が配置される凹部を上面に有しており、前記緩衝体の厚さが前記凹部の深さよりも薄く且つ前記支持部の下面が前記凹部内に配置されているか、又は、前記緩衝体が前記支持部の下面に接着されていてもよい。こうすれば、嵩上げ部材に対する支持部の水平方向の位置ずれを、嵩上げ部材の凹部によって制限できる。
【００４５】
本開示の部品実装関連装置において、前記支持部は、前記装置本体のレベリング調整を行うためのレベリングボルトと、前記レベリングボルトの下側に設けられたシート部材と、を備えていてもよい。
【００４６】
本開示の部品実装関連装置は、前記嵩上げ部材と床面との間に緩衝体を備えなくてもよい。ここで、支持部と嵩上げ部材との間に設けられた緩衝体とは別に、嵩上げ部材と床面との間に緩衝体が存在すると、その緩衝体より上側に位置する嵩上げ部材の高さが装置の振動特性に影響を与える場合がある。そのような緩衝体を備えないことで、嵩上げ部材の高さが振動特性に一層影響しにくくなる。
【００４７】
本開示の部品実装関連装置の高さ調整方法は、
部品の基板への実装に関連して移動する移動体を備えた装置本体と、前記装置本体の下側に設けられ、該装置本体を支持し該装置本体のレベリング調整を行うための支持部と、前記支持部の下側に設けられた緩衝体と、を備えた部品実装関連装置の前記装置本体の高さを調整する高さ調整方法であって、
前記緩衝体と床面との間に嵩上げ部材を配置することで前記装置本体の高さを所望の高さに調整する工程、
を含むものである。
【００４８】
この高さ調整方法では、適切な高さの嵩上げ部材を配置することで、装置本体を所望の高さに調整できる。一方で、嵩上げ部材と支持部との間に存在する緩衝体が装置本体の振動を吸収するため、嵩上げ部材の高さが装置の振動特性に影響しにくい。したがって、部品実装関連装置において嵩上げ部材を用いて装置本体を所望の高さに調整しても、装置本体の高さが振動特性に影響しにくい。
【００４９】
本開示の部品実装関連装置の高さ調整方法において、前記嵩上げ部材は、前記緩衝体が配置される凹部を上面に有しており、前記工程において厚さが前記凹部の深さより薄い前記緩衝体と前記支持部の下面とが前記凹部内に配置されるようにするか、予め又は前記工程において前記緩衝体と前記支持部の下面とを接着してもよい。こうすれば、嵩上げ部材に対する支持部の水平方向の位置ずれを、嵩上げ部材の凹部によって制限できる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明は、例えば部品実装装置、接着剤塗布装置、フラックス塗布装置などに利用可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１  部品実装装置、１０  装置本体、１１  機台、１２  フレーム、１４  支持台、２０  部品供給装置、３０  基板搬送装置、３２  ベルトコンベア装置、３４  バックアッププレート、３６  ピン、４０  ヘッド、４２  ノズル、５０  ＸＹロボット、５１  Ｙ軸ガイドレール、５２  Ｙ軸スライダ、５３  Ｘ軸ガイドレール、５４  Ｘ軸スライダ、５８  制御装置、５８ａ  フィードフォワード（ＦＦ）補償器、５８ｂ  フィードバック（ＦＢ）補償器、５８ｃ  ノッチフィルタ、６０  支持脚、６１  支持部、６２  レベリングボルト、６２ａ  凸曲面、６２ｂ  雄ネジ部、６４，２６４  シート部材、６４ａ  凹曲面、６４ｂ  下面、６５，４６５  緩衝体、６６，３６６  嵩上げ部材、６６ａ  凹部、６８  滑り止めシート、６９  固定用ボルト、Ｆ  床面、Ｓ  基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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