(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ所定の第１の方向に沿って間隔をあけて互いに対向するように並列されている２つの塗布ユニットから構成されており、且つ、所定の外力を受けて湾曲しても自らの剛性により平板状に回復可能であると共に、塗布加工時において前記第１の方向と略直交する第２の方向、および前記第１の方向と前記第２の方向との両方と略直交する第３の方向において延伸していて、前記第３の方向に沿って前記２つの塗布ユニットの間の間隔を通過する基板の互いに反対する両面に対して塗料を塗布することに適用されている塗布装置であって、
各前記塗布ユニットは、
ベースと、
前記第２の方向に沿って互いに間隔をあけて前記ベースと繋がるように配置されており、且つ、それぞれ前記第３の方向に沿って延伸していて、前記基板における前記第２の方向に沿った両端部のいずれか一面が当接可能に配置されている移動案内部を有している一対の位置決め手段と、
前記第２の方向に沿って円柱状となるように延伸している上、両端が前記ベースに回転可能に枢支されており、且つ、前記一対の位置決め手段の間に配置されていると共に、該円柱状の外周面が前記移動案内部よりも塗布加工時において前記基板に近くなって、前記基板のいずれか一面に対して塗料を塗布することができる外周塗布部を有している塗布ローラと、を備えており、
塗布加工時において、前記移動案内部により前記２つの塗布ユニットの間の間隔を通過する前記基板を前記第３の方向に沿って案内することができる、
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
いずれか１つの前記塗布ユニットの前記一対の位置決め手段と、他の１つの前記塗布ユニットの前記一対の位置決め手段とは、前記第１の方向において互いに間隔をあけて対向しており、
各前記塗布ユニットの前記一対の位置決め手段は、いずれも、一端が前記ベースに摺動可能に保持されていると共に、他端が対応する前記移動案内部の一端と連結されていて、前記ベースに対して前記基板に接近したり、前記基板から離れたりするように摺動可能に配置されている摺動ロッドを更に有している、
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記ベースには、
前記第２の方向に沿って互いに間隔をあけて配置されており、且つ、それぞれ塗布加工時における前記基板の方に向かって延伸しながらその延伸端に凹溝が開口している一対の保持ロッドと、それぞれ前記第３の方向に沿って対応する前記保持ロッドの前記凹溝を渡るように配置されている２つの貫設部と、が備わっており、
各前記摺動ロッドは、対応する前記保持ロッドの前記凹溝内に摺動可能に配置されており、且つ、対応する前記貫設部が貫設されていて、対応する前記保持ロッドおよび対応する前記貫設部に対する移動を案内する貫通孔を有している、
ことを特徴とする請求項２に記載の塗布装置。
【請求項４】
いずれか１つの前記塗布ユニットの前記移動案内部と、対向する他の１つの前記塗布ユニットの前記移動案内部との間の間隔は、１ｍｍである、
ことを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項５】
各前記移動案内部は、他端が前記外周塗布部の軸心が通過する前記第１の方向と前記第２の方向とからなる平面を超えるように延伸している、
ことを特徴とする請求項２に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布装置に関し、具体的には、塗布する基板に対して移動方向を制限して、該基板が回転により塗布ローラに巻き込まれることを防止する機能を有するローラ式塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
回路基板には、導体の配線が施された基板の表面に、当該導体の配線を覆って保護する絶縁膜となるソルダーレジスト（solder resist、略称：ＳＲ）を形成することがある。
【０００３】
現在、このような回路基板の製造工程には、ソルダーレジストを形成する工程において、主にローラ式塗布装置を用いて、基板の配線を有する表面にソルダーレジストインキを塗布する。
【０００４】
特許文献１には、基板の塗布面に感光性樹脂からなるインクを塗布するためのローラ式塗布装置９が記載されている。
【０００５】
図５を参照して特許文献１に記載された従来のローラ式塗布装置９について説明する。ここで、図５は特許文献１に記載された従来のローラ式塗布装置９の構造が示される模式図である。
【０００６】
図５に示されるように、従来のローラ式塗布装置９は、基板９０の塗布面９０１に対向する周面９１１を有する２つの塗布ロール９１と、それぞれ対応する塗布ロール９１の周面９１１に押し付けられている上、インク９９を塗布ロール９１の周面９１１に供給するために、塗布ロール９１の周面９１１と共にインク９９を収容する収容空間９３を挟むように配置されている２つのドクターバー９２と、塗布ロール９１の回転を駆動することができるロール回転駆動部(図示せず)と、ドクターバー９２を駆動して塗布ロール９１の周面９１１に対するドクターバー９２の押し込み量を変化させることができるドクターバー駆動部(図示せず)と、塗布ロール９１を駆動して塗布面９０１に対する塗布ロール９１の押し込み量を変化させることができるロール押込み駆動部９５と、ロール回転駆動部、ドクターバー駆動部、ロール押込み駆動部９５のうち少なくとも一者の動作を制御して、塗布ロール９１の周面９１１に対するドクターバー９２の押し込み量、塗布ロール９１の回転速度、塗布面９０１に対する塗布ロール９１の押し込み量の少なくとも１つを変化させることができる制御部(図示せず)と、を備えている。
【０００７】
このような構成によって、従来のローラ式塗布装置９は、加工時にドクターバー９２と対応する塗布ロール９１との間に位置されたインク９９が、塗布ロール９１の周面９１１に供給されながら、塗布ロール９１を回転することによって、基板９０の塗布面９０１に対してインク９９を塗布することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１８−２０２８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記のような塗布装置は、基板の塗布面に対してインクを塗布することができるが、インクが粘性を有することで、塗布加工時に塗布する基板が塗布ロールの周
面に粘着されて、回転につれて塗布ローラに巻き込まれて、基板が損壊されてしまう恐れがあり、よって該基板からなる製品の歩留りや信頼度にも影響を与える恐れがある。そのため、塗布装置に関する設計を改善する余地がある。
【００１０】
よって、本発明は上記問題点に鑑みて、上記欠点を解決できる塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成すべく、本発明は以下の塗布装置を提供する。
【００１２】
即ち、それぞれ所定の第１の方向に沿って間隔をあけて互いに対向するように並列されている２つの塗布ユニットから構成されており、且つ、所定の外力を受けて湾曲して自らの剛性により平板状に回復可能であると共に、塗布加工時において前記第１の方向と略直交する第２の方向、および前記第１の方向と前記第２の方向との両方と略直交する第３の方向において延伸していて、前記第３の方向に沿って前記２つの塗布ユニットの間の間隔を通過する基板の互いに反対する両面に対して塗料を塗布することに適用されている塗布装置であって、
各前記２つの塗布ユニットは、
ベースと、
前記第２の方向に沿って互いに間隔をあけて前記ベースと繋がるように配置されており、且つ、それぞれ前記第３の方向に沿って延伸していて、前記基板における前記第２の方向に沿った両端部のいずれか一面が当接可能に配置されている移動案内部を有している一対の位置決め手段と、
前記第２の方向に沿って円柱状となるように延伸している上、両端が前記ベースに回転可能に枢支されており、且つ、前記一対の位置決め手段の間に配置されていると共に、該円柱状の外周面が前記移動案内部よりも塗布加工時において前記基板に近くなって、前記基板のいずれか一面に対して塗料を塗布することができる外周塗布部を有している塗布ローラと、を備えており、
塗布加工時において、前記移動案内部により前記２つの塗布ユニットの間の間隔を通過する前記基板を前記第３の方向に沿って案内することができる塗布装置を提供する。
【発明の効果】
【００１３】
上記構成により、本発明に係る塗布装置は、位置決め手段の移動案内部によって、塗布加工時に、２つの塗布ユニットの間の間隔を通過する基板を第３の方向に沿って案内するので、基板がインクの粘性で外周塗布部に粘着されて、回転につれて塗布ローラに巻き込まれることが防止でき、よって基板が損壊されることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係る塗布装置の構成が示される斜視図である。
【図２】該実施形態の塗布装置の構成が示される上面図である。
【図３】図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面が示される断面図である。
【図４】該実施形態の塗布装置の加工状態が示される断面図である。
【図５】特許文献１に記載された従来の塗布装置が示される側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明に係る塗布装置１００は、基板８に対して、塗料を塗布することに適用されているローラ式塗布装置である。なお、該基板８は、例えば、プリント基板（printed circuit board、略称：ＰＣＢ）、半導体基板とするウェハー、液晶ディスプレイのパネルに使
用されるガラス基板などであることができ、且つ、該塗料は、例えば、パターニングをするためのフォトレジスト、プリント基板の表面にある配線を覆って保護するためのソルダ
ーレジストなどであることができる。
【００１６】
以下、本発明に係る塗布装置１００について図面を参照して説明する。
【００１７】
図１〜図４を参照して本発明に係る塗布装置１００の実施形態の構成を説明する。ここで、図１は本発明の一実施形態に係る塗布装置１００の構成が示される斜視図であり、図２は該実施形態の塗布装置１００の構成が示される上面図であり、図３は図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面が示される断面図であり、また、図４は該実施形態の塗布装置１００の加工状態が示される断面図である。
【００１８】
本発明に係る塗布装置１００は、基板８の互いに反対する両面に対して塗料を塗布することができるだけではなく、塗布する基板８の移動方向をも制限することができるものである。
【００１９】
本実施形態の塗布装置１００は、図１及び図２に示されるように、それぞれ所定の第１の方向Ｄ１に沿って加工空間３とする間隔をあけて互いに対向するように並列されている２つの塗布ユニット１から構成されている。
【００２０】
該基板８は、図１〜図３に示されるように、塗布加工時において第１の方向Ｄ１と略直交する第２の方向Ｄ２、および第１の方向Ｄ１と第２の方向Ｄ２との両方と略直交する第３の方向Ｄ３において延伸していて、第３の方向Ｄ３に沿って２つの塗布ユニット１の間の間隔、すなわち、加工空間３を通過して、２つの塗布ユニット１でそれぞれ互いに反対する両面に対して塗布され得る。
【００２１】
なお、本実施形態では、該基板８は、厚さが０．０４〜０．０６ｍｍに選定され、所定の外力を受けて湾曲しても自らの剛性により平板状に回復可能である。なお、該所定の外力とは基板８を破損しない程度の外力である。
【００２２】
また、該基板８は、図１に示されるように、塗布加工を行なう際に、加工空間３に対応するように配置されている挟持ユニット７により端部が挟持されている。そして、該挟持ユニット７が第３の方向Ｄ３に沿って移動することによって、該基板８を２つの塗布ユニット１の間にある加工空間３に通過させることができる。
【００２３】
より詳しく言うと、図２に示されるように、該基板８の互いに反対する両面は、いずれも、中間エリア８１と、それぞれ第２の方向Ｄ２に沿った中間エリア８１の両側と連続している一対の端部エリア８２と、に区分されている。
【００２４】
ここで、互いに反対する両面のそれぞれの中間エリア８１は、例えば、電子回路を形成しようとするエリアとなされている塗布対象エリアである一方、一対の端部エリア８２は、例えば、回路基板の製造工程において搬送を実行する場合に搬送装置に保持する箇所、或いは、塗布加工を行なう際に挟持ユニット７により挟持される箇所であり、これによって、加工時に中間エリア８１にある電子回路が破壊されることを防止することができる。
【００２５】
２つの塗布ユニット１は、図１〜図３に示されるように、いずれも、ベース１１と、一対の位置決め手段１２と、塗布ローラ１３と、を備えている。
【００２６】
ベース１１は、図１〜図３に示されるように、それぞれ第２の方向Ｄ２に沿って間隔をあけて配置されている２つの側壁１１２と、２つの側壁１１２のいずれか１つの端部同士を連結している底壁１１１と、底壁１１１および２つの側壁１１２からなる空間において底壁１１１の表面から第３の方向Ｄ３に延伸するように配置されている接続壁１１３と、
接続壁１１３に第２の方向Ｄ２に沿って互いに間隔をあけて配置されており、且つ、それぞれ塗布加工時における基板８の方に向かって延伸しながらその延伸端に凹溝１１６が開口している一対の保持ロッド１１４と、それぞれ第３の方向Ｄ３に沿って対応する保持ロッド１１４の凹溝１１６を渡るように配置されている２つの貫設部１１５と、を備えている。
【００２７】
一対の位置決め手段１２は、図１〜図３に示されるように、第２の方向Ｄ２に沿って互いに間隔をあけてベース１１の対応する保持ロッド１１４と繋がるように配置されており、且つ、いずれも、第３の方向Ｄ３に沿って延伸していて、基板８における第２の方向Ｄ２に沿った両端部のいずれか一面、すなわち、端部エリア８２が当接可能に配置されている移動案内部１２２と、一端がベース１１の対応する保持ロッド１１４の凹溝１１６の内に摺動可能に保持されていると共に、他端が対応する移動案内部１２２の一端と連結されていて、ベース１１に対して基板８に接近したり、基板８から離れたりするように摺動可能に配置されている摺動ロッド１２１と、を有している。
【００２８】
各摺動ロッド１２１は、図１〜図３に示されるように、対応する保持ロッド１１４の凹溝１１６内に摺動可能に配置されており、且つ、対応する貫設部１１５が貫設されていて、対応する保持ロッド１１４および対応する貫設部１１５に対する移動を案内する貫通孔１２３を有している。
【００２９】
また、いずれか１つの塗布ユニット１の一対の位置決め手段１２と、他の１つの塗布ユニット１の一対の位置決め手段１２とは、図１〜図３に示されるように、第１の方向Ｄ１において互いに間隔をあけて対向している。
【００３０】
更に、本実施形態においては、いずれか１つの塗布ユニット１の移動案内部１２２と、対向する他の１つの塗布ユニット１の移動案内部１２２との間の間隔が１ｍｍとなるように構成されている。勿論、ここで１ｍｍに限定されず、他の実施形態において用途または塗布対象物の厚さに基づいて変更することができる。
【００３１】
なお、本実施形態では、移動案内部１２２を作成する材料は、ポリテトラフルオロエチレン (polytetrafluoroethylene、略称：ＰＴＦＥ)を含んでいる。ポリテトラフルオロエチレンは、優れた耐熱性と耐薬品性、および、摩擦係数が０．１以下である摩擦係数の小さい特性を有するものであるため、移動案内部１２２が強い腐食性を有する有機溶剤にも溶けないのみならず、塗布加工時において基板８が移動案内部１２２に当接しながら第３の方向Ｄ３に沿って移動する場合の、移動案内部１２２の基板８に対する摩耗損傷を最低限にすることができる。
【００３２】
塗布ローラ１３は、図１〜図３に示されるように、第２の方向Ｄ２に沿って棒状となるように延伸している上、両端がベース１１に回転可能に枢支されている。
【００３３】
具体的に、塗布ローラ１３は、図１〜図３に示されるように、底壁１１１および２つの側壁１１２からなる空間に配置されていると共に、両端が該２つの側壁１１２に回転可能に枢支されている軸桿１３１と、一対の位置決め手段１２の間、すなわち、軸桿１３１の中間セクションを外嵌するように配置されていると共に、円柱状に形成され、該円柱状の外周面が移動案内部１２２よりも塗布加工時において基板８に近くなって、基板８のいずれか一面、すなわち、中間エリア８１に対して塗料を塗布することができる外周塗布部１３２と、を有している。
【００３４】
更に、各移動案内部１２２は、図３及び図４に示されるように、他端が外周塗布部１３２の軸心が通過する第１の方向Ｄ１と第２の方向Ｄ２とからなる平面を超えるように延伸
している。
【００３５】
これによって、塗布加工時において、塗布ローラ１３の外周塗布部１３２が基板８の中間エリア８１に当接して転がっている際に、当該基板８が外周塗布部１３２による外力を受けることに加えて、インクの粘性で外周塗布部１３２の周面に粘着されることで、当該基板８が湾曲状になった場合に、当該基板８のいずれか一面における一対の端部エリア８２が、それぞれ対応する位置決め手段１２の移動案内部１２２に当接するようになり、よって、図４に示されるように、移動案内部１２２により２つの塗布ユニット１の間の間隔、すなわち、加工空間３を通過する基板８を第３の方向Ｄ３に沿って案内することができる。
【００３６】
総括すると、本発明に係る塗布装置１００によれば、塗布加工時に２つの塗布ユニット１の間の加工空間３を通過する基板８が、位置決め手段１２の移動案内部１２２で第３の方向Ｄ３に沿って案内されることにより、インクの粘性で外周塗布部１３２の周面に粘着されても、回転により塗布ローラ１３に巻き込まれることがなく、損壊される可能性を低くすることができる。
【００３７】
上記においては、本発明の全体的な理解を促すべく、多くの具体的な詳細が示された。しかしながら、当業者であれば、一またはそれ以上の他の実施形態が具体的な詳細を示さなくとも実施され得ることが明らかである。
【００３８】
以上、本発明の好ましい実施形態及び変化例を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、最も広い解釈の精神および範囲内に含まれる様々な構成として、全ての修飾および均等な構成を包含するものとする。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明の塗布装置は、塗布加工時に基板が損壊される可能性を低くすることに有用である。そのため、産業上の利用可能性がある。
【符号の説明】
【００４０】
９  ローラ式塗布装置
９０  基板
９０１  塗布面
９１  塗布ロール
９１１  周面
９２  ドクターバー
９３  収容空間
９５  ロール押込み駆動部
９９  インク
１００  塗布装置
１  塗布ユニット
１１  ベース
１１１  底壁
１１２  側壁
１１３  接続壁
１１４  保持ロッド
１１５  貫設部
１１６  凹溝
１２  位置決め手段
１２１  摺動ロッド
１２２  移動案内部
１２３  貫通孔
１３  塗布ローラ
１３１  軸桿
１３２  外周塗布部
３  加工空間
７  挟持ユニット
８  基板
８１  中間エリア
８２  端部エリア
Ｄ１  第１の方向
Ｄ２  第２の方向
Ｄ３  第３の方向
【図１】
0006920510.tif 000002
【図２】
0006920510.tif 000003
【図３】
0006920510.tif 000004
【図４】
0006920510.tif 000005
【図５】
0006920510.tif 000006