(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに凹凸状に接合した第一板状部材と第二板状部材の凹凸接合部を剥がす分離装置であって、
チャンバーの内部に形成されて、凹凸接合した前記第一板状部材及び前記第二板状部材が出し入れ自在に収容される加圧室と、
前記加圧室に収容された前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方において前記凹凸接合部の裏側と、前記チャンバーの第一室内面との間に設けられる離間吸収部と、
前記加圧室に収容された前記第一板状部材又は前記第二板状部材の他方において前記凹凸接合部の裏側と、前記チャンバーの第二室内面との間に設けられる保持部と、
前記チャンバーの前記第一室内面及び前記離間吸収部の間に前記加圧室と分離して気密状に設けられる第一減圧空間部と、
前記加圧室に陽圧流体を供給して内圧上昇させる正圧調整部と、
前記正圧調整部を作動制御する制御部と、を備え、
前記離間吸収部は、前記チャンバーの前記第一室内面に対して、前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方の前記裏側とその厚み方向へ変形又は移動自在に当接する変位部位を有し、
前記保持部は、前記チャンバーの前記第二室内面に対して、前記第一板状部材又は前記第二板状部材の他方の前記裏側と前記厚み方向へ移動不能に当接する固定部位を有し、
前記制御部は、前記正圧調整部の作動による前記加圧室の内圧上昇で前記第一減圧空間部との間に圧力差が生じて、前記離間吸収部の前記変位部位とともに前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方が、前記第一減圧空間部に向け移動するように制御することを特徴とする分離装置。
【請求項２】
前記第一減圧空間部の内圧を下降させる第一負圧調整部を備えることを特徴とする請求項１記載の分離装置。
【請求項３】
前記チャンバーの前記第二室内面及び前記保持部の間に形成される気密状の第二減圧空間部と、前記第二減圧空間部の内圧を下降させる第二負圧調整部と、を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の分離装置。
【請求項４】
前記第一板状部材の第一背面に第一保持板が取り付けられ、前記第二板状部材の第二背面に第二保持板が取り付けられ、前記第一保持板と前記第二保持板の間には、前記陽圧流体が侵入可能な隙間を有することを特徴とする請求項１、２又は３記載の分離装置。
【請求項５】
互いに凹凸状に接合した第一板状部材と第二板状部材の凹凸接合部を剥がす分離方法であって、
チャンバーの内部に形成された加圧室に、凹凸接合した前記第一板状部材及び前記第二板状部材を入れる搬入工程と、
前記加圧室に前記第一板状部材及び前記第二板状部材を位置決めする保持工程と、
前記第一板状部材及び前記第二板状部材が保持された前記加圧室に陽圧流体を供給して内圧上昇させる加圧工程と、
内圧上昇した前記加圧室で前記第一板状部材と前記第二板状部材の前記凹凸接合部を剥がす剥離工程と、
前記凹凸接合部が剥がされた前記第一板状部材と前記第二板状部材を前記加圧室から取り出す搬出工程と、を含み、
前記保持工程では、前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方において前記凹凸接合部の裏側と、前記チャンバーの第一室内面との間に設けられた離間吸収部の変位部位に対して、前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方の前記裏側を、その厚み方向へ当接させるとともに、前記第一板状部材又は前記第二板状部材の他方において前記凹凸接合部の裏側と、前記チャンバーの第二室内面との間に設けられた保持部の固定部位に対して、前記第一板状部材又は前記第二板状部材の他方の前記裏側を前記厚み方向へ当接させ、
前記剥離工程では、前記陽圧流体の供給で内圧上昇した前記加圧室と、前記チャンバーの前記第一室内面及び前記離間吸収部の間に前記加圧室と分離して気密状に設けられる第一減圧空間部との間に圧力差を生じさせて、前記離間吸収部の前記変位部位とともに前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方が、前記第一減圧空間部に向け移動することを特徴とする分離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ナノインプリントを含むインプリント技術で成形加工される成形型と成形基板の剥離や、並列配置された複数のマイクロＬＥＤなどの微小素子と粘着チャックとの剥離などに用いられる分離装置、及び、分離装置を用いた分離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の分離装置として、少なくともいずれか一方がフィルム状である型と被成形物とが所定の剥離位置まで剥離しないように加圧する剥離防止手段と、型又は被成形物のいずれか一方を保持する保持部と、型又は被成形物に張力を付与する張力付与手段と、剥離防止手段と型及び被成形物とを相対的に移動させる移動手段と、を具備した離型装置がある（例えば、特許文献１参照）。
ナノインプリント技術により、型の成形パターンを樹脂等の被成形物に加圧し、熱や光の利用により成形パターンを被成形物に転写した後、被成形物から型を離型している。
特許文献１の図示例では、保持部に保持された被成形物に対して、可撓性のあるフィルム状に形成された型を剥離位置から剥離しており、剥離後の型と被成形物との間の角度を一定に調節する角度調節手段が具備されている。つまり、角度調節手段により、被成形物から型の成形パターンを一定の離型角度で斜めに引き抜くようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１５／０７２５７２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし乍ら、特許文献１では、被成形物に転写された凹凸パターンに対して、型の成形パターンを所定の角度で斜め方向に引き抜くため、剥離過程で被成形物の凹凸パターンが形状変形してダメージを生じてしまう。
詳しくは、図７（ａ）〜（ｃ）に示されるナノインプリントを含むインプリントの場合について説明する。
図７（ａ）に示される剥離前の状態では、型１００の成形パターン１１０との凹凸接合により、被成形物２００に転写された凹凸パターン２１０が、被成形物２００の底面２２０に対して垂直状に立っている。
しかし、図７（ｂ）に示される剥離時の状態では、型１００の成形パターン１１０を斜め方向に引き抜くことに伴って、被成形物２００の凹凸パターン２１０のうち凸状部２１１が倒れてしまう。
このため、図７（ｃ）に示される剥離後の状態でも、一度倒れた凹凸パターン２１０の凸状部２１１は倒れたままで、剥離前の状態に戻ることはない。
このように被成形物２００の凹凸パターン２１０から型１００の成形パターン１１０を引き抜く方向（剥離方向）が斜めである場合には、特に凹凸パターン２１０の凹凸差が長くなる程、形状変形（倒れ）し易くなって、高精度なインプリント成形を達成できないという問題があった。
特にナノインプリントの場合には、凹凸パターンが極めて微細であるため、剥離時の僅かな形状変形（倒れ）でも、凹凸パターンの破損要因となって高精度な凹凸パターンを作製できないという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような課題を解決するために本発明に係る分離装置は、互いに凹凸状に接合した第一板状部材と第二板状部材の凹凸接合部を剥がす分離装置であって、チャンバーの内部に形成されて、凹凸接合した前記第一板状部材及び前記第二板状部材が出し入れ自在に収容される加圧室と、前記加圧室に収容された前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方において前記凹凸接合部の裏側と、前記チャンバーの第一室内面との間に設けられる離間吸収部と、前記加圧室に収容された前記第一板状部材又は前記第二板状部材の他方において前記凹凸接合部の裏側と、前記チャンバーの第二室内面との間に設けられる保持部と、前記チャンバーの前記第一室内面及び前記離間吸収部の間に前記加圧室と分離して気密状に設けられる第一減圧空間部と、前記加圧室に陽圧流体を供給して内圧上昇させる正圧調整部と、前記正圧調整部を作動制御する制御部と、を備え、前記離間吸収部は、前記チャンバーの前記第一室内面に対して、前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方の前記裏側とその厚み方向へ変形又は移動自在に当接する変位部位を有し、前記保持部は、前記チャンバーの前記第二室内面に対して、前記第一板状部材又は前記第二板状部材の他方の前記裏側と前記厚み方向へ移動不能に当接する固定部位を有し、前記制御部は、前記正圧調整部の作動による前記加圧室の内圧上昇で前記第一減圧空間部との間に圧力差が生じて、前記離間吸収部の前記変位部位とともに前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方が、前記第一減圧空間部に向け移動するように制御することを特徴とする。
また、このような課題を解決するために本発明に係る分離方法は、互いに凹凸状に接合した第一板状部材と第二板状部材の凹凸接合部を剥がす分離方法であって、チャンバーの内部に形成された加圧室に、凹凸接合した前記第一板状部材及び前記第二板状部材を入れる搬入工程と、前記加圧室に前記第一板状部材及び前記第二板状部材を位置決めする保持工程と、前記第一板状部材及び前記第二板状部材が保持された前記加圧室に陽圧流体を供給して内圧上昇させる加圧工程と、内圧上昇した前記加圧室で前記第一板状部材と前記第二板状部材の前記凹凸接合部を剥がす剥離工程と、前記凹凸接合部が剥がされた前記第一板状部材と前記第二板状部材を前記加圧室から取り出す搬出工程と、を含み、前記保持工程では、前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方において前記凹凸接合部の裏側と、前記チャンバーの第一室内面との間に設けられた離間吸収部の変位部位に対して、前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方の前記裏側を、その厚み方向へ当接させるとともに、前記第一板状部材又は前記第二板状部材の他方において前記凹凸接合部の裏側と、前記チャンバーの第二室内面との間に設けられた保持部の固定部位に対して、前記第一板状部材又は前記第二板状部材の他方の前記裏側を前記厚み方向へ当接させ、前記剥離工程では、前記陽圧流体の供給で内圧上昇した前記加圧室と、前記チャンバーの前記第一室内面及び前記離間吸収部の間に前記加圧室と分離して気密状に設けられる第一減圧空間部との間に圧力差を生じさせて、前記離間吸収部の前記変位部位とともに前記第一板状部材又は前記第二板状部材のいずれか一方が、前記第一減圧空間部に向け移動することを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の実施形態（第一実施形態）に係る分離装置及び分離方法の全体構成を示す説明図であり、（ａ）が搬入工程の縦断正面図、（ｂ）が図１（ａ）の横断平面図、（ｃ）が一部を部分拡大した縦断正面図である。
【図２】同分離方法の剥がし過程を示す説明図であり、（ａ）が保持工程の縦断正面図、（ｂ）が加圧工程の縦断正面図、（ｃ）が剥離工程の縦断正面図である。
【図３】同分離方法の取り出し過程を示す説明図であり、（ａ）が減圧工程の縦断正面図、（ｂ）が一次搬出工程の縦断正面図、（ｃ）が二次搬出工程の縦断正面図である。
【図４】本発明の第二実施形態に係る分離装置及び分離方法を示す説明図であり、（ａ）が搬入工程の縦断正面図、（ｂ）が加圧工程の縦断正面図、（ｃ）が剥離工程の縦断正面図である。
【図５】本発明の第三実施形態に係る分離装置及び分離方法を示す説明図であり、（ａ）が搬入工程の縦断正面図、（ｂ）が加圧工程の縦断正面図、（ｃ）が剥離工程の縦断正面図である。
【図６】本発明の第四実施形態に係る分離装置及び分離方法を示す説明図であり、（ａ）が搬入工程の縦断正面図、（ｂ）が加圧工程の縦断正面図、（ｃ）が剥離工程の縦断正面図である。
【図７】従来の分離方法の一例を示す説明図であり、（ａ）が剥離前の部分拡大縦断正面図、（ｂ）が剥離中の部分拡大縦断正面図、（ｃ）が剥離後の部分拡大縦断正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
本発明の実施形態に係る分離装置Ａ及び分離方法は、図１〜図６に示すように、ナノインプリントを含むインプリント技術で成形加工される成形型と成形基板の剥離や、並列配置された複数のマイクロＬＥＤなどの微小素子と粘着チャックとの剥離などのような、互いに凹凸状に接合された第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃを剥がして分離する剥離装置や剥離方法である。
第一板状部材Ｂは、ガラスや合成樹脂などの硬質材料で薄板状に形成され、第二板状部材Ｃと対向する表側の凹凸接合部として第一凹凸部Ｂ１を有している。
第二板状部材Ｃは、ガラスや合成樹脂などの硬質材料で薄板状に形成され、第一板状部材Ｂと対向する表側の凹凸接合部として第一凹凸部Ｂ１が凹凸接合する第二凹凸部Ｃ１を有している。
なお、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃは、通常、上下方向へ接合するように配置され、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの厚み方向を以下「Ｚ方向」という。Ｚ方向と交差する第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃに沿った方向を以下「ＸＹ方向」という。
【０００８】
互いに凹凸接合する第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃが、ナノインプリントを含むインプリントなどに用いられる場合には、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方が成形型に該当し、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方が成形基板に該当する。
インプリント成形により成形型の凹凸パターンを成形基板に転写した状態では、凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）が互いに凹凸接合して、搬送可能に一体化された積層状態になっている。
また、互いに凹凸接合する第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃが、並列配置された複数のマイクロＬＥＤなどの微小素子を姿勢維持した状態で搬送した後に搬送先に受け渡す搬送装置などに用いられる場合には、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方が、並列配置された微小素子に該当し、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方が粘着チャックに該当する。微小素子の受け取りのため並列配置された微小素子の表面に粘着チャックを粘着した状態では、凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）が互いに凹凸接合して、搬送可能に一体化された積層状態になっている。
【０００９】
第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの具体例として図１〜図６に示される場合には、第一板状部材Ｂがナノインプリントを含むインプリントの成形型であり、第二板状部材Ｃが成形基板である。
さらに、第一板状部材Ｂにおいて表側の凹凸接合部となる第一凹凸部Ｂ１の裏側（反対側）である第一背面Ｂ２には、硬質材料からなる第一保持板Ｂ３が着脱可能に取り付けられている。第一保持板Ｂ３の表面には、第一板状部材Ｂが突出するように配置される。
これと同様に、第二板状部材Ｃにおいて表側の凹凸接合部となる第二凹凸部Ｃ１の裏側（反対側）である第二背面Ｃ２には、硬質材料からなる第二保持板Ｃ３が着脱可能に取り付けられている。第二保持板Ｃ３の表面には、第二板状部材Ｃが突出するように配置される。
第一保持板Ｂ３及び第二保持板Ｃ３は、矩形（長方形及び正方形を含む角が直角の四辺形）のパネル形状や円形のウエハ形状に形成され、凹凸接合した第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを挟み込むことで、搬送可能に一体化された積層体Ｄとなる。
積層体Ｄとしては、複数の第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを並べて配置することで、複数の凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）を同時に剥がすことが好ましい。
積層体Ｄにおいて第一保持板Ｂ３と第二保持板Ｃ３の間は、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの他に隙間Ｅを有することが好ましい。隙間Ｅの具体例としては、複数の第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの外側に形成される四角枠状や円環状などの外側隙間Ｅ１，複数の第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃ同士の間を通る貫通隙間Ｅ２，第一保持板Ｂ３や第二保持板Ｃ３に開穿される通孔Ｄ１と連通する内側隙間Ｅ３などが挙げられる。
図示例で成形基板となる第二板状部材Ｃは、硬質材料からなる基板Ｃ４の表面に、第二凹凸部Ｃ１となる光や熱などでパターン転写される樹脂層Ｃ５を積層している。
また、その他の例として図示しないが、第一保持板Ｂ３や第二保持板Ｃ３を取り付けず、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃを直接的に剥がすように変更することも可能である。
【００１０】
詳しく説明すると、本発明の実施形態に係る分離装置Ａは、互いに凹凸接合した第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃが収容される加圧室１と、加圧室１に収容された第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側に設けられる離間吸収部２と、加圧室１に収容された第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方の裏側に設けられる保持部３と、加圧室１と分離して設けられる第一減圧空間部４と、加圧室１の内圧を上昇させるように設けられる正圧調整部５と、を主要な構成要素として備えている。
さらに、第一減圧空間部４の内圧を下降させる第一負圧調整部６と、加圧室１と分離して設けられる第二減圧空間部７と、第二減圧空間部７の内圧を下降させる第二負圧調整部８と、正圧調整部５，第一負圧調整部６及び第二負圧調整部８などを作動制御する制御部９を備えることが好ましい。
【００１１】
加圧室１は、チャンバー１０の内部に密閉可能に形成され、チャンバー１０内の加圧室１とチャンバー１０の外部空間とに亘って、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃが出し入れ自在に収容される。
チャンバー１０の内部は、搬入された第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃと厚み方向（Ｚ方向）へ対向状に配置される第一室内面１０ａと第二室内面１０ｂを有する。
第一室内面１０ａは、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方において凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１又は第二凹凸部Ｃ１）の裏側と、直接的又は間接的にＺ方向へ対向してＸＹ方向の平面上に形成される。第二室内面１０ｂは、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方において凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１又は第二凹凸部Ｃ１）の裏側、直接的又は間接的にＺ方向へ対向してＸＹ方向の平面上に形成される。
チャンバー１０は、密閉可能な加圧室１に対して第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを出し入れするための出入口１０ｃを有する。チャンバー１０の出入口１０ｃは、開閉自在に構成され、アクチュエータなどからなる駆動機構１０ｄにより開閉される。
加圧室１に対する第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの搬入は、凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）が凹凸状に接合した凹凸接合状態で、例えば搬送ロボットなどの搬送手段（図示しない）を用いて行われる。加圧室１からの第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの搬出は、凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）が剥がれた分離状態で、搬送手段などにより順次又は同時に行われる。
【００１２】
加圧室１の具体例として図１〜図６に示される場合には、第一板状部材Ｂにおいて表側の第一凹凸部Ｂ１の裏側である第一背面Ｂ２に取り付けた第一保持板Ｂ３が、上側の第一室内面１０ａと対向するように配置されている。第二板状部材Ｃにおいて表側の第二凹凸部Ｃ１の裏側である第二背面Ｃ２に取り付けた第二保持板Ｃ３が、下側の第二室内面１０ｂと対向するように配置されている。
第一室内面１０ａと第二室内面１０ｂの間には、第三室内面１０ｅがＺ方向の平面上に形成される。
また、その他の例として図示しないが、上側の第一室内面１０ａと対向して第二板状部材Ｃの第二保持板Ｃ３を配置し、下側の第二室内面１０ｂと対向して第一板状部材Ｂの第一保持板Ｂ３を配置することも可能である。
さらに、チャンバー１０の第一室内面１０ａには、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側などを位置検出するために、間隙検出センサー（図示しない）を配置することが好ましい。
【００１３】
離間吸収部２は、搬入された第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方において凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１又は第二凹凸部Ｃ１）の裏側とその厚み方向（Ｚ方向）へ接触し、且つチャンバー１０の第一室内面１０ａと離隔するように配置される。
離間吸収部２は、チャンバー１０の第一室内面１０ａに対して、搬入された第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側と厚み方向（Ｚ方向）へ当接する変位部位２ａを有する。
変位部位２ａは、厚み方向（Ｚ方向）へ変形可能又は移動可能に構成され、搬入された第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側を当接させることにより、厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（ＸＹ方向）へ位置ズレ不能に位置決めして一体化される。
つまり、離間吸収部２は、チャンバー１０の第一室内面１０ａに対して変位部位２ａがＺ方向へ変形自在又は移動自在に配置され、変位部位２ａの変形又は移動に伴って、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方をＺ方向へ移動させるように構成される。
離間吸収部２とチャンバー１０の第一室内面１０ａとの間には、第一減圧空間部４が加圧室１と隔離して形成される。第一減圧空間部４は、離間吸収部２の変位部位２ａに対して、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側を当接することにより、気密状に形成される。
さらに、離間吸収部２は、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側と、第一減圧空間部４とを連通させる第一通気口２ｂを有することが好ましい。
【００１４】
離間吸収部２の具体例として図１〜図６に示される場合には、離間吸収部２に開設された第一通気口２ｂを通って、第一減圧空間部４と、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側とが常時連通される。このため、後述する第一負圧調整部６により下降した第一減圧空間部４の内圧と加圧室１の内圧との圧量差を利用して、離間吸収部２の変位部位２ａに対し、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方が真空吸着可能になる。
これにより、加圧室１の内圧上昇で変位部位２ａに対して、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方を着脱自在に吸着保持して仮止めされる。
また、離間吸収部２の他の例として図示しないが、真空吸着に代えて粘着部材や静電吸着などを用いた仮止めに変更することも可能である。
【００１５】
保持部３は、搬入された第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの裏側とその厚み方向（Ｚ方向）へ接触するように配置される。
さらに、保持部３は、チャンバー１０の第二室内面１０ｂに対して、搬入された第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方の裏側と厚み方向（Ｚ方向）へ移動不能に当接する固定部位３ａを有する。
つまり、保持部３は、固定部位３ａに対し、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方を当接させることで、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方がＺ方向へ移動不能に保持するように構成される。
保持部３とチャンバー１０の第二室内面１０ｂとの間には、第二減圧空間部７を加圧室１と隔離して形成することが好ましい。第二減圧空間部７は、保持部３の固定部位３ａに対して、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方を当接することにより、気密状に形成される。
また、保持部３は、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方の裏側と、第二減圧空間部７とを連通させる第二通気口３ｂを有することが好ましい。
【００１６】
保持部３の具体例として図１〜図６に示される場合には、チャンバー１０の第二室内面１０ｂに対して固定された保持用環状体３１であり、保持用環状体３１の内側空間が第二通気口３ｂとなって第二減圧空間部７を形成している。
保持用環状体３１は、例えば軟質合成樹脂やゴムなどの弾性変形可能な材料又は硬質合成樹脂や金属などの変形不能な材料で四角枠状や円環状などに形成される。保持用環状体３１の厚み方向（Ｚ方向）の一端部には、チャンバー１０の第二室内面１０ｂに対する保持用固定部位３１ａを有している。保持用環状体３１において固定部位３ａとなる厚み方向（Ｚ方向）の他端部は、搬入された第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方の裏側（図示例では第二板状部材Ｃの第二背面Ｃ２に取り付けられた第二保持板Ｃ３）に当接している。
さらに、保持部３の第二通気口３ｂとなる第二減圧空間部７と、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方の裏側とが常時連通されるため、後述する第二負圧調整部８により下降した第二減圧空間部７の内圧と加圧室１の内圧との圧量差を利用して、保持部３の固定部位３ａに対し、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方が真空吸着可能になる。
これにより、加圧室１の内圧上昇で固定部位３ａに対して、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方を着脱自在に吸着保持して仮止めされる。
また、保持部３の他の例として図示しないが、真空吸着に代えて粘着部材や静電吸着などを用いた仮止めに変更することも可能である。
【００１７】
正圧調整部５は、供給源（図示しない）から圧縮空気，ガス，水などの陽圧流体５Ｆを加圧室１に向け供給することで内圧上昇させるように構成される。
正圧調整部５の具体例として図１（ａ）などに示される場合には、例えばコンプレッサなどの給気用駆動源（図示しない）からチャンバー１０を貫通して加圧室１に通じる正圧路５ａと、正圧路５ａの途中に設けられる正圧用制御弁５ｂと、を有している。
正圧調整部５（給気用駆動源や正圧用制御弁５ｂ）の作動によって加圧室１の内圧は、大気雰囲気から所定の高圧雰囲気まで設定可能になる。
詳しく説明すると、給気用駆動源や正圧用制御弁５ｂの作動制御により、正圧路５ａに供給される陽圧流体５Ｆの全体量をコントロールして、加圧室１の内圧を段階的に調整することが好ましい。
【００１８】
第一負圧調整部６は、第一減圧空間部４から空気などの第一陰圧流体６Ｆを排気することで、第一負圧調整部６の内圧が加圧室１の内圧よりも下降するように構成される。
第一負圧調整部６の具体例として図１（ａ）などに示される場合には、例えば真空ポンプなどの第一排気用駆動源（図示しない）からチャンバー１０を貫通して第一減圧空間部４に通じる第一負圧路６ａと、第一負圧路６ａの途中に設けられる第一負圧用制御弁６ｂと、を有している。
第一負圧調整部６（第一排気用駆動源や第一負圧用制御弁６ｂ）の作動によって第一減圧空間部４の内圧は、大気雰囲気から真空又は真空に近い低圧雰囲気まで設定可能になる。
詳しく説明すると、第一排気用駆動源や第一負圧用制御弁６ｂの作動制御により、第一負圧路６ａから排気される第一陰圧流体６Ｆの全体量をコントロールして、第一減圧空間部４の内圧を段階的に調整することが好ましい。
【００１９】
第二負圧調整部８は、第二減圧空間部７から空気などの第二陰圧流体８Ｆを排気することで、第二負圧調整部８の内圧が加圧室１の内圧よりも下降するように構成される。
第二負圧調整部８の具体例として図１（ａ）などに示される場合には、例えば真空ポンプなどの第二排気用駆動源（図示しない）からチャンバー１０を貫通して第二減圧空間部７に通じる第二負圧路８ａと、第二負圧路８ａの途中に設けられる第二負圧用制御弁８ｂと、を有している。
第二負圧調整部８（第二排気用駆動源や第二負圧用制御弁８ｂ）の作動によって第二減圧空間部７の内圧は、大気雰囲気から真空又は真空に近い低圧雰囲気まで設定可能になる。
詳しく説明すると、第二排気用駆動源や第二負圧用制御弁８ｂの作動制御により、第二負圧路８ａから排気される第二陰圧流体８Ｆの全体量をコントロールして、第二減圧空間部７の内圧を段階的に調整することが好ましい。
【００２０】
制御部９は、正圧調整部５，第一負圧調整部６及び第二負圧調整部８などとそれぞれ電気的に接続した制御回路（図示しない）を有するコントローラーである。
さらに、チャンバー１０の出入口１０ｃを開閉する駆動機構１０ｄと電気的に接続する。それ以外にも加圧室１に対して第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃが出し入れするための搬送手段などにも電気的に接続している。
制御部９となるコントローラーは、その制御回路（図示しない）に予め設定されたプログラムに従って、予め設定されたタイミングで順次それぞれ作動制御している。
【００２１】
そして、制御部の制御回路に設定されたプログラムを、分離装置Ａによる分離方法として説明する。
本発明の実施形態に係る分離装置Ａを用いた分離方法は、剥がし過程と取り出し過程に分けられる。
剥がし過程は、加圧室１に第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを入れる搬入工程と、加圧室１内に第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを気密状に保持する保持工程と、加圧室１を内圧上昇させる加圧工程と、加圧室１で第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃを剥がす剥離工程と、を主要な工程として含んでいる。
搬入工程では、図１（ａ）などに示されるように搬送手段の作動により、凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）が互いに凹凸接合して一体化された第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを、加圧室１に入れて収容する。
保持工程では、図２（ａ）などに示されるように、離間吸収部２の変位部位２ａに対して、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方において凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）の裏側を、厚み方向（Ｚ方向）へ当接させる。このため、離間吸収部２の変位部位２ａに対し、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側が、厚み方向（Ｚ方向）と交差する方向（ＸＹ方向）へ位置ズレ不能に位置決めされて一体化される。これにより、変位部位２ａの厚み方向（Ｚ方向）へ変形又は移動に伴い、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側が、チャンバー１０の第一室内面１０ａに対して移動可能となる。
これと同時に、保持部３の固定部位３ａに対して、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方において凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）の裏側を厚み方向（Ｚ方向）へ当接させる。これにより、チャンバー１０の第二室内面１０ｂに対し厚み方向（Ｚ方向）へ移動不能となる。
【００２２】
加圧工程では、図２（ｂ）などに示されるように正圧調整部５の作動により、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃが保持された加圧室１に向け、陽圧流体５Ｆを供給して内圧上昇させる。
剥離工程では、図２（ｃ）などに示されるように加圧室１の内圧上昇に伴い、チャンバー１０の第一室内面１０ａ及び離間吸収部２の間に形成される第一減圧空間部４の内圧よりも高圧になる。このため、加圧室１の内圧と第一減圧空間部４の内圧とでは圧力差が生じて、離間吸収部２を第一減圧空間部４に向け引き寄せる引力が発生する。
この引力で離間吸収部２とともに変位部位２ａを介して当接する第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方が、陽圧流体５Ｆで第一減圧空間部４に向け引き寄せられて移動する。これにより、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方が、固定部位３ａで厚み方向（Ｚ方向）へ移動不能な他方に対して厚み方向（Ｚ方向）へ引き剥がされ、凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）を剥離する。
この際に、チャンバー１０の第一室内面１０ａに配置された間隙検出センサーで、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側などを位置検出して、その検出値を監視することにより、凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）の剥離進行や剥離完了が検知可能になる。
【００２３】
これに加えて、加圧工程では、第一負圧調整部６の作動により、第一減圧空間部４の内圧を下降させることが好ましい。
図２（ｂ）などに示されるように、正圧調整部５の作動による陽圧流体５Ｆの供給で加圧室１を内圧上昇させるのと同時に、第一減圧空間部４からの排気で、加圧室１の内圧に対する第一減圧空間部４の内圧の圧力差が更に大きくなる。図示例では、離間吸収部２が第一通気口２ｂを有するため、離間吸収部２の変位部位２ａに対し、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側を真空吸着している。
さらに、加圧工程では、第二負圧調整部８の作動により、チャンバー１０の第二室内面１０ｂ及び保持部３の間に形成される第二減圧空間部７の内圧を下降させることが好ましい。
図示例では、保持部３が第二通気口３ｂを有するため、加圧室１が内圧上昇するのと同時、又は加圧室１の内圧上昇の開始前に、第二減圧空間部７からの排気で、保持部３の固定部位３ａに対し、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方の裏側を真空吸着している。
また、図示例のように、第一板状部材Ｂの第一背面Ｂ２に取り付けられた第一保持板Ｂ３と、第二板状部材Ｃの第二背面Ｃ２に取り付けられた第二保持板Ｃ３との間には、陽圧流体５Ｆが侵入可能な隙間Ｅを有する場合には、第一保持板Ｂ３及び第二保持板Ｃ３の隙間Ｅに陽圧流体５Ｆが侵入することにより、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃを相対的に押し離す斥力が発生する。
【００２４】
取り出し過程は、加圧室１を内圧下降させる減圧工程と、加圧室１から第一板状部材Ｂの第二板状部材Ｃのいずれか一方を取り出す一次搬出工程と、加圧室１から第一板状部材Ｂの第二板状部材Ｃの他方を取り出す二次搬出工程と、を主要な工程として含んでいる。
減圧工程では、図３（ａ）に示されるように、正圧調整部５を作動停止させるとともに、加圧室１に充満した陽圧流体５Ｆを加圧室１の外に放出するなど、大気開放することにより、加圧室１が内圧下降する。
一次搬出工程では、図３（ｂ）に示されるように、第二負圧調整部８の作動停止と搬送手段の作動により、保持部３から第一板状部材Ｂの第二板状部材Ｃのいずれか一方（図示例では第二板状部材Ｃ）を取り外して、加圧室１の外に搬出する。
二次搬出工程では、図３（ｃ）に示されるように、第一負圧調整部６の作動停止と搬送手段の作動により、離間吸収部２から第一板状部材Ｂの第二板状部材Ｃの他方（図示例では第一板状部材Ｂ）を取り外して、加圧室１の外に搬出する。
【００２５】
次に、加圧室１（チャンバー１０），離間吸収部２，積層体Ｄの構造などが異なる場合の代表例（第一実施形態〜第四実施形態）について説明する。
図１〜図３に示される第一実施形態の分離装置Ａ１は、分割タイプの加圧室１であり、凹凸接合した第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃの外側に第一保持板Ｂ３及び第二保持板Ｃ３が取り付けられた積層体Ｄを、離間吸収部２の変形で剥がした場合である。
分割タイプの加圧室１とは、チャンバー１０を第一チャンバー１１と第二チャンバー１２に分割して、離隔した第一チャンバー１１及び第二チャンバー１２の間に出入口１０ｃが形成される。出入口１０ｃには、四角枠状や円環状のパッキン又はＯリングなどからなるシール材１３が介装される。
第一チャンバー１１や第二チャンバー１２を駆動機構１０ｄで相対的に接近させることにより、シール材１３で出入口１０ｃが気密状に閉じて、加圧室１が開閉自在で且つ密封構造となる。
図示例では、上側の第一チャンバー１１のみを下側の第二チャンバー１２に対して往復動させているが、下側の第二チャンバー１２のみ、又は第一チャンバー１１及び第二チャンバー１２の両方を往復動させるなど、図示例以外の構造に変更することが可能である。
【００２６】
変形可能な離間吸収部２は、チャンバー１０の第一室内面１０ａに対してＺ方向へ弾性変形可能に取り付けられた弾性通気体２１で構成される。
図示例で弾性通気体２１は、例えば軟質合成樹脂やゴムなどの弾性変形可能な材料で、その中央に一つの第一通気口２ｂを有する四角枠状や円環状などに形成されたパッキン又はＯリングなどの環状部材からなる。弾性通気体２１の厚み方向（Ｚ方向）の一端部には、チャンバー１０の第一室内面１０ａに対する取付部位２１ａを有している。弾性通気体２１は、厚み方向（Ｚ方向）の他端部を変位部位２ａとして、搬入された第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側（図示例では第一板状部材Ｂの第一背面Ｂ２に取り付けられた第一保持板Ｂ３）に当接させることにより、弾性通気体２１の内側に第一減圧空間部４が形成される。
このため、陽圧流体５Ｆの流入による加圧室１の内圧上昇と第一減圧空間部４の内圧の差で、弾性通気体２１がＺ方向へ弾性的に圧縮変形して、その変位部位２ａとともに第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方を、第一減圧空間部４に向け移動させる。これにより、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方（図示例では第一板状部材Ｂ）が、他方（図示例では第二板状部材Ｃ）から引き剥がされる。
なお、弾性通気体２１の他の例として図示しないが、環状部材に代えて複数の第一通気口２ｂを有する板状部材や、多数の第一通気口２ｂを有する多孔質部材などを用いることも可能である。
これらの場合には、チャンバー１０の第一室内面１０ａに配置された間隙検出センサーで、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方（図示例では第一板状部材Ｂ）を位置検出することにより、第一板状部材Ｂの異常な変形や過剰な変形も検知することが可能になる。第一板状部材Ｂの過剰変形を機械的に防止するためのストッパーなどの変形抑止部材（図示しない）を設けることも可能である。
さらに、図１（ａ）〜（ｃ）に示される例では、積層体Ｄとなる第一保持板Ｂ３及び第二保持板Ｃ３の間に、複数の第一板状部材Ｂ及び第二板状部材ＣがＸＹ方向へそれぞれ所定間隔毎に並列配置され、四角枠状の外側隙間Ｅ１と、ＸＹ方向の両方へ直線状に通る複数本の貫通隙間Ｅ２と、を有している。
これにより、陽圧流体５Ｆは、外側隙間Ｅ１だけでなく、複数本の貫通隙間Ｅ２にもそれぞれ侵入するため、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃを全面的に押し離す斥力が発生する。
【００２７】
図４（ａ）〜（ｃ）に示される第二実施形態の分離装置Ａ２は、部分開閉タイプの加圧室１である構成が、前述した第一実施形態とは異なり、それ以外の構成は第一実施形態と同じものである。
図示例では、箱形チャンバー１４の一部に出入口１０ｃが開設され、出入口１０ｃに対して扉１４ａを駆動機構１０ｄで開閉動させている。
これにより、加圧室１の一部が開閉自在で且つ密封構造となるように構成されている。
【００２８】
図５（ａ）〜（ｃ）に示される第三実施形態の分離装置Ａ３は、積層体Ｄを離間吸収部２の移動で剥がした構成が、前述した第一実施形態とは異なり、それ以外の構成は第一実施形態と同じものである。
移動可能な離間吸収部２は、チャンバー１０の第一室内面１０ａに対してＺ方向へ往復動可能に支持された昇降通気体２２で構成される。
図示例で昇降通気体２２は、例えば硬質合成樹脂や金属などの変形不能な材料で、その中央に一つの第一通気口２ｂを有する四角板状や円板状などに形成された板状部材からなる。昇降通気体２２の側面は、チャンバー１０の第三室内面１０ｅに沿ってＺ方向へ往復動自在で且つ気密状に支持される摺動部位２２ａを有している。チャンバー１０の第三室内面１０ｅは、昇降通気体２２に向け突出する一方側のストッパー１０ｆと他方側のストッパー１０ｇを有する。Ｚ方向へ移動した昇降通気体２２が一方側のストッパー１０ｆや他方側のストッパー１０ｇに当接することで、昇降通気体２２の移動範囲を規制している。昇降通気体２２は、厚み方向（Ｚ方向）の先端部を変位部位２ａとして、搬入された第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側（図示例では第一板状部材Ｂの第一背面Ｂ２に取り付けられた第一保持板Ｂ３に当接させることにより昇降通気体２２とチャンバー１０の第一室内面１０ａとの間に第一減圧空間部４が形成される。
このため、陽圧流体５Ｆの流入による加圧室１の内圧上昇と第一減圧空間部４の内圧の差で、昇降通気体２２がＺ方向へ移動して、その変位部位２ａとともに第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方を、第一減圧空間部４に向け移動させる。これにより、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方（図示例では第一板状部材Ｂ）が、他方（図示例では第二板状部材Ｃ）から引き剥がされる。
なお、昇降通気体２２の他の例として図示しないが、一つの第一通気口２ｂを有する板状部材に代えて、複数の第一通気口２ｂを有する板状部材や、多数の第一通気口２ｂを有する多孔質板状部材などを用いることも可能である。
さらに、昇降通気体２２の摺動部位２２ａが第三室内面１０ｅに沿って移動可能に支持される支持構造に代えて、ステンレスなどの弾性変形可能な薄板状の可撓性部材の中央に昇降通気体２２を浮島状に支持することにより、可撓性部材の弾性変形で昇降通気体２２がＺ方向へ往復動可能に支持される支持構造に変更することも可能である。この浮島状の場合には、可撓性部材の外周をチャンバー１０の第三室内面１０ｅに対して取り付けることにより、可撓性部材の裏側に第一減圧空間部４が加圧室１と分離して気密状に設けられる。
【００２９】
図６（ａ）〜（ｃ）に示される第四実施形態の分離装置Ａ４は、第一保持板Ｂ３や第二保持板Ｃ３の通孔Ｄ１と連通する内側隙間Ｅ３が形成された積層体Ｄを剥がした構成が、前述した第一実施形態とは異なり、それ以外の構成は第一実施形態と同じものである。
通孔Ｄ１は、第一保持板Ｂ３又は第二保持板Ｃ３のいずれか一方又は両方に、第一減圧空間部４や第二減圧空間部７と隔離するように開穿され、加圧室１の陽圧流体５Ｆが通孔Ｄ１を通って内側隙間Ｅ３に侵入する。
図示例では、積層体Ｄとなる第一保持板Ｂ３及び第二保持板Ｃ３の間に、内側隙間Ｅ３を中心とした円周方向などへ複数の第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃがそれぞれ所定間隔毎に並列配置され、外側隙間Ｅ１と、内側隙間Ｅ３を中心とした放射方向などへ直線状に通る複数本の貫通隙間（図示しない）と、を有している。
第一減圧空間部４と対向する第一保持板Ｂ３又は第二保持板Ｃ３のいずれか一方（図示例では第一保持板Ｂ３）の中央には通孔Ｄ１が開穿される。
通孔Ｄ１と対向するチャンバー１０の第一室内面１０ａには、通孔Ｄ１と連通するように陽圧流体５Ｆが通る正圧導入路５ｃを形成して、正圧導入路５ｃの流出口から通孔Ｄ１に陽圧流体５Ｆが導入される。
また、前述した第一実施形態と同様に、積層体Ｄを離間吸収部２の変形で剥離するが、チャンバー１０の第一室内面１０ａに正圧導入路５ｃの流出口が開口するため、正圧導入路５ｃの流出口から通孔Ｄ１に至る通路と、第一減圧空間部４とを気密状に分離する必要がある。
そこで、図示例の離間吸収部２は、第一実施形態の弾性通気体２１に相当する外側環状部材２３とは別個に、正圧導入路５ｃの流出口から通孔Ｄ１に至る通路を囲むように内側環状部材２４が設けられる。外側環状部材２３と内側環状部材２４の間に第一減圧空間部４を形成している。
なお、弾性通気体２１の他の例として図示しないが、外側環状部材２３や内側環状部材２４に代えて、複数の第一通気口２ｂを有する板状部材や、多数の第一通気口２ｂを有する多孔質部材などを用いることも可能である。
これにより、陽圧流体５Ｆは、外側隙間Ｅ１だけでなく、正圧導入路５ｃ，内側環状部材２４の内側通路，通孔Ｄ１を通って内側隙間Ｅ３にも侵入し、貫通隙間Ｅ２から複数本の貫通隙間Ｅ２にそれぞれ流れるため、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃを全面的に押し離す斥力が発生する。
【００３０】
このような本発明の実施形態に係る分離装置Ａ及び分離方法によると、凹凸接合された第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃを加圧室１に収容することにより、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側（図示例では第一背面Ｂ２側）が、離間吸収部２の変位部位２ａに当接して、チャンバー１０の第一室内面１０ａに対し厚み方向（Ｚ方向）へ変形又は移動可能となる。第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方の裏側（図示例では第二背面Ｃ２側）は、保持部３の固定部位３ａに当接して、チャンバー１０の第二室内面１０ｂに対し厚み方向（Ｚ方向）へ移動不能となる。
この収容状態で加圧室１に陽圧流体５Ｆを供給ことにより、加圧室１の内圧が上昇して第一減圧空間部４の内圧よりも高くなる。このため、離間吸収部２の変位部位２ａとともに第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方（図示例では第一板状部材Ｂ）が、第一減圧空間部４に向け移動する。  これにより、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方（図示例では第一板状部材Ｂ）が、他方（図示例では第二板状部材Ｃ）から引き剥がされる。
したがって、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）を形状変形（倒れ）させずに剥離することができる。
その結果、被成形物に転写した凹凸パターンから型の凹凸パターンを斜めに引き抜く従来のものに比べ、凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）の突出量が長くなっても、剥離に伴う形状変形を防止できる。
このため、ナノインプリントを含むインプリント成形などに用いられる場合には、凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）の凹凸パターンが破損ぜす、高精度な凹凸パターンを作製できる。
また、並列配置された複数のマイクロＬＥＤなどの微小素子を粘着チャックから剥離して微小素子の受け渡しを行う搬送装置などの場合には、微小素子が破損せず、高精度な受け渡しを行える。
【００３１】
特に、第一減圧空間部４の内圧を下降させる第一負圧調整部６を備えることが好ましい。
この場合には、加圧室１の内圧上昇と同時に、第一負圧調整部６で第一減圧空間部４の内圧を下降させることにより、加圧室１の内圧と第一減圧空間部４の内圧との圧力差が更に大きくなる。
このため、離間吸収部２を第一減圧空間部４に向け引き寄せる引力が増大する。
したがって、互いに凹凸接合された第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）をスムーズに剥離することができる。
その結果、剥離能力の向上が図れる。
さらに、正圧調整部５（給気用駆動源や正圧用制御弁５ｂ）又は第一負圧調整部６（第一排気用駆動源や第一負圧用制御弁６ｂ）のいずれか一方若しくは両方の作動制御により、加圧室１の内圧と第一減圧空間部４の内圧を相対的に段階的調整した場合には、凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）をよりスムーズに剥離できる。
また、加圧室１の内圧と第一減圧空間部４の内圧との圧力差で、離間吸収部２の変位部位２ａに対して、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方の裏側（図示例では第一背面Ｂ２側）が真空吸着することが可能になる。これにより、加圧室１の内圧と第一減圧空間部４の内圧との圧力差で、離間吸収部２の変位部位２ａとともに第一減圧空間部４に向け移動した第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃのいずれか一方を吸着保持できる。
【００３２】
さらに、チャンバー１０の第二室内面１０ｂ及び保持部３の間に形成される気密状の第二減圧空間部７と、第二減圧空間部７の内圧を下降させる第二負圧調整部８と、を備えることが好ましい。
この場合には、加圧室１の内圧上昇と同時、又は加圧室１の内圧上昇開始前から、第一減圧空間部４の内圧を下降させることで、加圧室１の内圧と第一減圧空間部４の内圧との間に圧力差が生じる。
このため、保持部３の固定部位３ａに対して第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方の裏側（図示例では第二背面Ｃ２側）が圧力差で真空吸着される。これにより、第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方が移動不能に吸着保持される。
したがって、保持部３の固定部位３ａに第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃの他方を確実に固定することができる。
その結果、互いに凹凸接合された第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）を確実に剥離できる。
【００３３】
また、第一板状部材Ｂの第一背面Ｂ２に第一保持板Ｂ３が取り付けられ、第二板状部材Ｃの第二背面Ｃ２に第二保持板Ｃ３が取り付けられ、第一保持板Ｂ３と第二保持板Ｃ３の間には、陽圧流体５Ｆが侵入可能な隙間Ｅを有することが好ましい。
この場合には、加圧室１と第一減圧空間部４の圧力差により、離間吸収部２を第一減圧空間部４に向け引き寄せる引力が発生するのと同時に、陽圧流体５Ｆが隙間Ｅに侵入して、第一板状部材Ｂと第二板状部材Ｃの凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）を相対的に押し離す斥力が発生する。
したがって、引力と斥力が相まって凹凸接合部（第一凹凸部Ｂ１，第二凹凸部Ｃ１）をよりスムーズに剥離することができる。
その結果、剥離能力の向上が更なる図れる。
【００３４】
なお、前示の実施形態（第一実施形態〜第四実施形態）では、第一板状部材Ｂ及び第二板状部材Ｃが、ナノインプリントを含むインプリントの成形型と成形基板である場合を説明したが、これに限定されず、微小素子の受け渡しを行う搬送装置として用いてもよい。
この場合には、第一保持板Ｂ３から突出状に配置される複数の第一板状部材Ｂ、又は第二保持板Ｃ３から突出状に配置される複数の第二板状部材Ｃのいずれか一方が、並列配置された微小素子であり、他方が複数の第一板状部材Ｂ又は第二板状部材Ｃと凹凸接合する粘着チャックとなる。
このような場合においても、前述した第一実施形態〜第四実施形態と同様な作用や利点が得られる。
【符号の説明】
【００３５】
Ａ  分離装置                          １  加圧室
２  離間吸収部                        ２ａ  変位部位
３  保持部                            ３ａ  固定部位
４  第一減圧空間部                    ５  正圧調整部
５Ｆ  陽圧流体                        ６  第一負圧調整部
７  第二減圧空間部                    ８  第二負圧調整部
９  制御部                            １０ａ  第一室内面
１０ｂ  第二室内面
Ｂ  第一板状部材                      Ｂ１  凹凸接合部（第一凹凸部）
Ｂ２  第一凹凸部の裏側，第一背面      Ｂ３  第一保持板
Ｃ  第二板状部材                      Ｃ１  凹凸接合部（第二凹凸部）
Ｃ２  第二凹凸部の裏側，第二背面      Ｃ３  第二保持板
Ｅ  隙間
【要約】
第一板状部材と第二板状部材の凹凸接合部を形状変形させずに剥離する。
互いに凹凸状に接合した第一板状部材と第二板状部材の凹凸接合部を剥がす分離装置であって、チャンバーの内部に形成した加圧室に収容された第一板状部材又は第二板状部材のいずれか一方において凹凸接合部の裏側と、チャンバーの第一室内面との間に設けられる離間吸収部は、チャンバーの第一室内面に対して、第一板状部材又は第二板状部材のいずれか一方の裏側とその厚み方向へ変形又は移動自在に当接する変位部位を有し、加圧室に収容された第一板状部材又は第二板状部材の他方において凹凸接合部の裏側と、チャンバーの第二室内面との間に設けられる保持部は、チャンバーの第二室内面に対して、第一板状部材又は第二板状部材の他方の裏側と厚み方向へ移動不能に当接する固定部位を有し、制御部は、加圧室に陽圧流体を供給する正圧調整部の作動による加圧室の内圧上昇で、チャンバーの第一室内面及び離間吸収部の間に設けられる気密状の第一減圧空間部との間に圧力差が生じて、離間吸収部の変位部位とともに第一板状部材又は第二板状部材のいずれか一方が、第一減圧空間部に向け移動する。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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