(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試薬ガスを貯蔵および分配するための貯蔵分配容器であって、前記容器が、
内容積と、
前記内容積内にある吸着剤と、
前記内容積内にある試薬ガスであって、前記試薬ガスが、吸着試薬ガスとして前記吸着剤に吸着される部分および前記吸着試薬ガスと平衡状態にあるガス状試薬ガスとして存在する部分を含む、試薬ガスと、
外面と、
前記外面と熱的接触する可逆性サーモクロミックインジケータであって、前記サーモクロミックインジケータは、前記容器の内圧が転移温度に関連付けられた望ましい最大圧力より高いかどうかを可逆的に指示する、可逆性サーモクロミックインジケータと、
を備える、貯蔵分配容器。
【請求項２】
前記インジケータが前記転移温度より低い１つ以上の温度で或る外観を有し、前記インジケータが前記転移温度より高い温度で別の外観を有する、請求項１に記載の容器。
【請求項３】
前記転移温度が１気圧の容器圧力に対応する、請求項２に記載の容器。
【請求項４】
前記インジケータが、活性化温度より低いときに第１の外観を有し、前記活性化温度より高いときに第２の外観を有する温度指示材料を備え、前記活性化温度が転移温度である、または前記転移温度よりわずかに低い温度である、請求項１から３のいずれか一項に記載の容器。
【請求項５】
前記容器の前記内圧が０．５〜１．５気圧の範囲にある、請求項１に記載の容器。
【請求項６】
前記転移温度が摂氏約２０〜２９度の範囲の温度である、請求項１から５のいずれか一項に記載の容器。
【請求項７】
前記吸着剤が、炭素、活性炭、ゼオライト、および金属有機構造体を含む材料から選択される、請求項１から６のいずれか一項に記載の容器。
【請求項８】
前記インジケータが前記外面に接着接合された多層接着剤被覆ラベルを備える、請求項１から７のいずれか一項に記載の容器。
【請求項９】
前記容器が内圧調整器を持たない、請求１から８のいずれか一項に記載の容器。
【請求項１０】
前記インジケータが、ロイコ染料および液晶サーモクロミック材料から選択された温度指示材料を備える、請求項１から９のいずれか一項に記載の容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、２０１７年６月１２日に出願された米国特許仮出願第６２／５１８，１７２号の利益および優先権を主張するものであり、この米国仮特許出願の内容は、あらゆる目的のために参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本開示は、容器内に収容された試薬ガスの圧力に関する情報を視覚的に伝達するためのインジケータに関する。
【背景技術】
【０００３】
有毒ガスおよび他の有害な特殊ガスが、マイクロエレクトロニクス製品、半導体製品、太陽光発電製品、フラットパネルディスプレイ製品などの製造の様々な領域で多くの産業用途に使用されている。有害な特殊ガスを原材料として含む特定のプロセスの例としては、イオン注入、エピタキシャル成長、プラズマエッチング、反応性イオンエッチング、メタライゼーション、物理蒸着、化学蒸着、フォトリソグラフィ、洗浄、およびドーピングのためのプロセスが挙げられる。
【０００４】
様々な特殊ガスは、毒性、可燃性、または自然発火性の既知の特性により有害であると見なされている。有害な特殊ガスが漏れると、曝露された人に頭痛、吐き気、めまい、貧血、腎症、下痢、呼吸困難、筋肉痛、肺水腫、凍傷、また死さえも引き起こす可能性がある。これらの特殊ガスはまた、腐食性が高かったり、空気中で自然に発火しやすかったり、他の危険な作用を示したりする。これらのガスが使用されるべく供給される繊細かつ高価な処理装置および処理中の製品（例えば、シリコンウェーハ、マイクロエレクトロニクスデバイスなど）も、特定の種類の有害なガスに曝露されることにより、それが微量であっても、損傷する場合がある。
【０００５】
それらの有害性に起因して、有害な特殊ガスが偶発的または不注意で放出されると、漏れの生じた環境から部分的または完全に避難が行われることになる。漏れに曝露された人に怪我や病気が発生する危険性、および機器や製品の損傷の可能性に加えて、有害なガスが漏れた結果として作業施設で避難が行われることにより時間および生産性も失われる。
【０００６】
有害なガスが漏れることの潜在的なコストおよび危険性を知った上で、有害なガスを安全に貯蔵、輸送、および使用できるように、有害なガスを安全に収容するための多様な容器が研究および開発されている。多様な容器としては圧力容器および準大気圧容器が挙げられ、これらは１気圧（絶対）より高いまたは低い圧力で、有害なガスを貯蔵するように設計された容器を意味する。
【０００７】
有害な特殊ガスを貯蔵するために使用される容器のいくつかの例は、超大気圧で流体を収容し、容器から流体を望ましい圧力で分配するために圧力調整される容器である。流体（ガス）供給容器は、大気圧より高い圧力でガスを収容する。１つ以上の圧力調整器（およびオプションの流量調整器）を備え得る圧力調整システムは容器の内部または外部に配置され得る。所望に応じて、ガスを分配するための圧力設定点は、超大気圧、準大気圧、または大気圧とすることができる。
【０００８】
有害な特殊ガスを貯蔵して取り扱うためのシステムおよび容器の他の例は、吸着剤ベースの流体供給システムである。これらのシステムは、ガスを収容する容器と、ガスを吸着保持するための吸着剤貯蔵媒体とを備える。ガスは、システムの温度または圧力の制御などにより、吸着剤に対して選択的に吸着および脱着することができる。吸着剤タイプのシステムの利点は、準大気圧で有用な量の吸着ガスを貯蔵できることである。有害なガスが準大気圧で容器に収容されていることにより、偶発的または不注意による容器の破損の際の安全上の危険性が低減される、つまり、収容されている有害なガスが加圧されていないこと、すなわち１気圧より低いことは、ガスを容器から約１気圧（絶対）の周囲圧力の作業環境へ逃しにくくする。吸着剤ベースの流体供給システムおよび容器の例としては、米国マサチューセッツ州ビレリカのＥｎｔｅｇｒｉｓ社により市販されている製品、例えばＳＤＳ、ＰＤＳ、およびＳＡＧＥの商標で市販されている製品が挙げられる。
【０００９】
有害なガスを原材料として使用することを含む、マイクロエレクトロニクスデバイスおよび半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ、ソーラーパネル、ならびに他の種類の商用技術および産業技術の領域における製造では、有害試薬ガスが可能な限り安全に使用、取り扱い、貯蔵、および処理されることが必要とされている。有害試薬ガスを取り扱う際の危険性のレベルを低減するための新しいシステムおよび方法が継続的に求められている。
【発明の概要】
【００１０】
本開示は、サーモクロミックインジケータを有し、試薬ガスを収容するための容器と、容器内のガス状内容物の圧力に関する情報を容器の外部の場所に伝達する方法と、安全のレベルを高めた、有害試薬ガスの取り扱い、貯蔵、使用、および供給ための関連方法と、に関する。
【００１１】
本開示によれば、ガスまたはガスを収容する容器の温度に基づいて、収容された試薬ガスの圧力に関する情報を視覚的に伝達するための方法が特定されている。
【００１２】
安全上の理由から、貯蔵送達容器に収容された（「試薬」）ガスは、望ましい最大圧力になるように事前に決定された圧力より低い圧力でガスが存在する状態で容器に収容され得る。望ましい最大圧力は、容器内で最大圧力が発生する温度に関連付けられ得る。本開示によれば、サーモクロミックインジケータは、容器内の圧力が望ましい最大圧力より高いか低いかを視覚的に指示するために容器に備えられ得る。容器内で望ましい最大圧力に達する温度は「転移温度」と見なすことができる。本明細書で使用する場合、「転移温度」という用語は、ガスが容器内の望ましい圧力、推奨される圧力、安全な圧力、または他の適切な圧力から、安全上の理由などの何らかの理由で望ましくないほど高い圧力まで移行する、事前に選択された温度である。サーモクロミックインジケータは、望ましい最大圧力が発生する温度（例えば、転移温度）から変化して、望ましい最大圧力に関連付けられた温度より低い温度で第１の外観を呈し、容器の温度が望ましい最大圧力を超えると第２の外観を呈する。サーモクロミックインジケータは、容器の内圧に関連する情報を視覚的に伝達し、これにより容器のユーザまたは取扱者がリアルタイムで具体的に対応できる。本開示によれば、サーモクロミックインジケータは、容器内のガスの圧力を望ましくないほど高くする温度に起因する容器の過剰圧力の危険性をユーザに伝達して、容器の温度を下げて容器内のガスを望ましい低い（例えば、推奨される）圧力に戻すようにユーザに指示するのに役立ち得る。
【００１３】
説明したようなサーモクロミックインジケータと組み合わせて使用される本明細書の容器は、任意の圧力とすることができる。望ましい最大圧力（および関連する転移温度）は、安全のために推奨される圧力、特定の種類の処理における、もしくは特定の種類の処理ツールを用いるガスの使用のために推奨される圧力、または容器に収容されたガスのための推奨される最大圧力の基礎となる任意の他の理由のうちのいずれか１つに関連し得る。以下の説明の大部分が、中程度の圧力（例えば、約１気圧）で吸着試薬ガスを収容し、転移温度として大気圧を用いる容器に関するものであるが、本明細書および本開示はそのような容器または転移温度に限定されない。様々な実施形態による、説明したような熱インジケータおよび方法はまた、他の任意の（実質的に大きい）内圧を有し、異なる（例えば、より高いまたはより低い）転移温度を伴う容器とともに使用され得る。
【００１４】
本開示の特定の例示的な実施形態は、システムと、望ましくは１気圧より低い圧力（すなわち、準大気圧）で試薬ガスを貯蔵するための吸着剤を収容する容器（ｃｏｎｔａｉｎｅｒ）（すなわち、容器（ｖｅｓｓｅｌ））とに関する。これらの例示的な容器は、有毒もしくは人間の健康や安全に有害であり得る、または繊細な機器もしくは製造された製品（例えば、マイクロエレクトロニクスデバイス、半導体デバイス、フラットパネルディスプレイコンポーネント、ソーラーパネルコンポーネント、または他の同様の製品）に損傷を与え得る試薬ガスを収容し得る。
【００１５】
例示的な容器では、ガスは、部分的には、吸着剤に吸着された吸着試薬ガスとして容器中に存在する。ガスはまた、部分的には、容器の内部においてガス状の非吸着試薬ガス（すなわち、ガス状試薬ガス）として、吸着試薬ガスと平衡状態で存在する。これらの例示的な容器が収容する液状試薬ガスの部分または量は無視できるほどであり得る。吸着試薬ガスの形態で存在する試薬ガスの部分と比較して、ガス状試薬ガスの形態で存在する試薬ガスの部分の量は、その系の温度に部分的に依存する。系の温度が比較的高い場合、試薬ガスの大部分がガス状試薬ガスの形態で存在し、それに付随して容器内の圧力が上昇する。系の温度が比較的低い場合、試薬ガスの大部分が吸着試薬ガスの形態で存在する。
【００１６】
安全上の理由から、特定の種類の試薬ガスは、望ましくは、ガス状試薬ガスが大気圧より低い圧力（例えば、準大気圧）で存在する状態で容器内に収容され得る。特定の吸着剤を備えた容器内の特定の試薬ガスが超大気圧または準大気圧にある温度および温度範囲は、特定の試薬ガスおよび特定の吸着剤の系に依存する。本明細書で使用する場合、吸着剤を備えた密閉容器内のガス状試薬ガス（例えば、実質的に純粋な形態のもの）が大気圧（絶対）より高い圧力になる温度は、超大気圧温度または「ＴＳｕｐ」と呼ばれる。また、本明細書で使用する場合、吸着剤を備えた密閉容器内の試薬ガス（例えば、実質的に純粋な形態のもの）が１気圧（絶対）より低い圧力になる温度は、準大気圧温度または「ＴＳｕｂ」と呼ばれる。これらの系では、吸着剤を備えた密閉容器内の試薬ガス（例えば、実質的に純粋なもの）が１気圧（絶対）である温度は、転移温度または「ＴＴｒａ」と呼ばれ得る。
【００１７】
調製、輸送、貯蔵、および使用中に、これらの種類の密閉容器内の試薬ガスの圧力は、好ましくは、１気圧（絶対）より低く、すなわち準大気圧に維持され得る、または０．９５、０．９、または０．８気圧（絶対）の圧力などの１気圧より低い安全マージンに維持され得る。試薬ガスのこの内圧を達成するために、容器、吸着剤、および試薬ガス（吸着試薬ガスおよびガス状試薬ガス）を含む系の温度が、系のＴＴｒａより低い温度（ここでは１気圧）に維持され得る。様々な実施形態によれば、本開示の様々な実施形態による容器は、ユーザが容器の内部の試薬ガスの圧力を監視して、容器の外側に配置された視覚的情報を使用することにより容器に収容された試薬の圧力が転移温度より高いか低いか、例えば超大気圧であるか準大気圧であるかを判定できるようにする。本明細書で説明される様々な実施形態による容器は、容器と熱的に連絡するサーモクロミックインジケータを備える。サーモクロミックインジケータは、系、例えば容器（側壁）、容器内に収容された吸着試薬ガス、および容器内に収容されたガス状試薬ガスのうちの１つ以上が超大気圧温度ＴＳｕｐすなわちＴＴｒａより高い温度ある場合を指示する。
【００１８】
例示的なシステムによれば、試薬ガス、特に有害試薬ガスである試薬ガスを貯蔵および分配するための貯蔵分配容器は、内容積と、内容積内にある吸着剤と、内容積内にある試薬ガスと、ガス状流体フローポートと、外面と、外面にあり容器と熱的接触する可逆性サーモクロミックインジケータと、を備え得る。試薬ガスは、吸着試薬ガスとして吸着剤に吸着される部分と、吸着試薬ガスと平衡状態にあるガス状試薬ガスとして存在する部分とを含む形態を取る。周囲動作温度の範囲にわたって（例えば、摂氏約０度〜摂氏約３０、３５、または４０度の範囲の温度で）、これらの例示的な容器（すなわち、ガス状試薬ガス）は、高度に加圧されず、好ましくは、約１気圧（絶対）の範囲、例えば０．５〜１．５、２．０、または３．０気圧（絶対）の範囲の圧力で試薬ガスを収容する。サーモクロミックインジケータは、容器に収容されたガス状試薬ガスが「大気圧温度」ＴＴｒａより高いか低いか、つまり、ガス状試薬ガスが超大気圧にある超大気圧温度ＴＳｕｐであるか、ガス状試薬ガスが準大気圧にある準大気圧温度ＴＳｕｂであるかを可逆的に指示する。
【００１９】
好都合にも、サーモクロミックインジケータは、容器の内圧に関連する情報を視覚的に伝達し、これにより容器のユーザまたは取扱者がリアルタイムで具体的に対応できる。本開示によれば、サーモクロミックインジケータは、転移温度を超える温度、例えば容器内のガス状試薬ガスの望ましい最大圧力（超大気圧など）より高い圧力をもたらす温度に起因する容器の過剰圧力の危険性をユーザに伝達して、容器の温度を下げて容器内の試薬ガスを望ましい準大気圧に戻すようにユーザができるように、またはユーザに指示するのに役立ち得る。
【００２０】
サーモクロミックインジケータは、任意の温度指示材料、特に活性化温度より高い温度から活性化温度より低い温度に、またはその逆に移行する際に外観（例えば、色、不透明度）を繰り返し変化させることができる可逆性温度指示材料を使用して調製され得る。有用な温度指示材料の特定の非限定的な例としては、活性化温度より下または上に移行すると色を可逆的に変化させるロイコ染料が挙げられる。代替の温度指示材料としては、スペクトル内で色を変え、異なる温度での温度指示材料の外観（例えば、色）に基づいて温度および温度変化を伝達する液晶スラリなどの液晶温度指示材料が挙げられる。
【００２１】
温度指示材料は、動作温度（例えば、華氏３０または４０度（摂氏約−１．１または約４．４度）〜華氏７０、８０、または９０度（摂氏約２１．１、２６．７、または３２．２度））の範囲内で、所望の温度で色が変化するように選択され得る。温度指示材料が外観（例えば、色）を変える温度は、温度指示材料の「活性化温度」と呼ばれ得る。本明細書によれば、活性化温度は、容器内の試薬ガスの転移温度（ＴＴｒａ）に等しくなるように、またはほぼ等しくなるよう（例えば、わずかに下）に選択することができ、１つの例は、試薬ガスが準大気圧ＴＳｕｂから超大気圧ＴＳｕｐに移行する温度である。場合により、安全のためのさらなるマージンとして、活性化温度は、試薬ガスが０．８、０．８５、０．９、または０．９５気圧の圧力になる温度でのように、転移温度よりわずかに低くになるように選択され得る。
【００２２】
転移温度の例は、容器に使用される動作温度またはその付近の温度であってもよいし、さらなる安全性のために、容器の動作温度より（摂氏）２、３〜４、５度（ａ  ｆｅｗ  ｔｏ  ｓｅｖｅｒａｌ  ｄｅｇｒｅｅｓ）高い温度であってもよい。動作温度は、試薬ガスが使用される任意の温度であってもよく、非限定的な範囲が摂氏０度〜摂氏４０度、例えば摂氏５〜３５度または１０〜３０度であり、試薬ガスの多くの用途では、動作温度は２０〜２９℃の範囲であり得る。転移温度は、容器のための動作温度付近またはほぼ同じ範囲内であってもよいし、特定の容器および試薬ガスの動作温度の範囲の上限でも上限よりわずかに上でもよい。通常の室温付近の動作温度、例えば摂氏約２４度で使用される容器では、転移温度は、摂氏約２４度の温度であってもよいし、わずかに高い、例えば摂氏２５、２６、２７、２８、または２９度の温度であってもよい。容器温度が転移温度より低い場合、説明されるサーモクロミックインジケータは、第１の外観（例えば、色またはテキストや記号の存在）を有し、容器温度が転移温度より高い場合、インジケータは第２の外観（例えば、色またはテキストや記号の存在）を有する。
【００２３】
１つの態様では、本開示は、試薬ガスを貯蔵および分配するための貯蔵分配容器に関する。容器は、内容積と、内容積内にある吸着剤と、内容積内にある試薬ガスであって、試薬ガスが、吸着試薬ガスとして吸着剤に吸着される部分、および吸着試薬ガスと平衡状態にあるガス状試薬ガスとして存在する部分を含む、試薬ガスと、外面と、外面と熱的接触する可逆性サーモクロミックインジケータであって、サーモクロミックインジケータは、容器の内圧が転移温度に関連付けられた望ましい最大圧力より高いかどうかを可逆的に指示する、可逆性サーモクロミックインジケータと、を備える。
【００２４】
別の態様では、本開示は、試薬ガスを貯蔵および分配するための貯蔵分配容器に関する。容器は、内容積と、内容積内にある吸着剤であって、吸着剤が、内部においてガス状吸着ガスと平衡状態で吸着試薬ガスとして吸着ガスを吸着剤に含むように、試薬ガスに対して吸着親和性を有する吸着剤と、ガス状流体フローポートと、外面と、外面と熱的接触する可逆性サーモクロミックインジケータであって、サーモクロミックインジケータは、容器の温度に基づいて容器内の試薬ガスの内圧が１気圧（絶対）より高いかどうかを可逆的に指示することができる可逆性サーモクロミックインジケータと、を備える。
【００２５】
さらに別の態様では、本開示は、容器内の試薬ガスの圧力を監視する方法に関する。本方法は、本明細書で説明される容器を準備することと、インジケータを観察することにより容器内の試薬ガスの圧力を監視することと、を含む。
【００２６】
さらに別の態様では、本開示は、試薬ガスを貯蔵および分配するための貯蔵分配容器に関する。容器は、内容積と、内容積内にある試薬ガスと、外面と、外面と熱的接触する可逆性サーモクロミックインジケータと、を備える。サーモクロミックインジケータは、容器の内圧が所定の望ましい最大圧力より高いかどうかを可逆的に指示する。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】説明されるような容器内の例示的な一般的なガス状試薬ガスの圧力と温度との関係を示す図である。
【図２】異なる温度におけるラベルの形態のサーモクロミックインジケータの一例を示す図である。
【図３】説明されるような貯蔵分配容器の例示的な実施形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本明細書は、新しい貯蔵容器およびその使用方法に関する。容器は、容器内のガス状内容物の圧力に関する情報を容器の外部の場所に伝達するのに効果的なサーモクロミックインジケータを備える。サーモクロミックインジケータは、容器に収容されたガスの圧力が所定の望ましい最大圧力を超えているかどうかを外観の変化によって識別することにより安全のレベルを高めた容器に収容されているガス、例えば有害試薬ガスを取り扱い、貯蔵、使用、および供給するための方法において使用され得る。
【００２９】
貯蔵送達容器に収容されたガスは、望ましくは、所定の望ましい最大圧力より低い圧力でガスが存在する状態で容器に収容され得る。所定の望ましい最大圧力は、特定の温度（「転移温度」と本明細書で呼ばれ得る。上記参照）で生じると理解されたい。望ましい最大圧力は、サーモクロミックインジケータのユーザ、例えば容器の製造業者またはユーザによって選択され（すなわち、事前に決定され）てよく、一般に、容器のユーザまたは取扱者によって超過されるべきではない、任意の望ましい最大圧力とすることができる。望ましい最大圧力は、安全上の危険を生じる圧力、特定のプロセスもしくはツールによるガスの使用には高すぎる圧力、または容器の供給元が最大値として推奨する任意の他の圧力とすることができる。
【００３０】
本明細書によれば、サーモクロミックインジケータは、容器内の圧力が望ましい最大圧力より高いか低いかを視覚的に指示するために、容器に備えられ、かつ容器に熱的接触させることができる。サーモクロミックインジケータは、望ましい最大圧力が発生する温度において外観を変化させて、望ましい最大圧力に関連付けられた温度より低い温度で第１の外観を呈し、容器の温度が望ましい最大圧力を超えると第２の外観を呈する。安全性を高めるために、サーモクロミックインジケータは、望ましい最大圧力よりわずかに低い温度で外観を変化させるように選択されてもよい。
【００３１】
容器は、側壁および内部を備え、任意の圧力での試薬ガスの貯蔵、取り扱い、および送達での使用のために知られている種類のものとすることができる。側壁は、容器に収容されたガスの推奨される望ましい最大圧力を安全に超える圧力に耐えるように設計される。
【００３２】
説明されるような特定の例示的な貯蔵容器は、容器の内部に吸着材料と試薬ガスとを含む。サーモクロミックインジケータが容器と熱的に連絡し、サーモクロミックインジケータは、温度に基づいて、貯蔵容器内の試薬ガスの圧力に関する情報を容器の外部にある場所に伝達する新しい方法に役立つ。容器および容器内の試薬ガスの内圧に関する情報を伝達する新しい方法により、安全性のレベルを高めた状態で、限定されないが有害試薬ガスを含む試薬ガスを取り扱い、貯蔵、使用、処理、および供給するための新しい方法が可能になる。
【００３３】
例示的な容器は、少なくとも中程度の内圧、例えば約３気圧（絶対）より低い圧力で、または摂氏５５度における吸着剤の平衡圧力と少なくとも等しい内圧で、本明細書で説明されるような試薬ガスおよび吸着剤を収容するのに十分に硬質な側壁を備える。好ましい側壁は、はるかに高い圧力に耐えるのに十分に強く、取り扱い、使用、貯蔵、および輸送などの際の側壁の損傷および破損を防ぐために耐久性が高くなるように設計されている  側壁は、硬質で、場合により円筒形であり、金属または強化プラスチックなどの強く硬質な材料で作ることができる。これらのような円筒形の貯蔵容器の多くの変形形態およびサイズは非常によく知られている。
【００３４】
特定の例示的な容器では、容器が試薬ガスを使用する場所の周囲温度、例えば所望の動作温度にあるとき、容器の内部は、大気圧より低い圧力（準大気圧）のガス状試薬ガスを収容する。周囲温度および動作温度は、任意の特定および関連の産業または用途で容器が試薬ガスを取り扱い、貯蔵、処理、輸送、または使用するのに使用される任意の温度とすることができる。試薬ガスがほぼ室温で使用される用途のための例示的な動作温度は、使用環境の室温付近とすることができ、例えば摂氏約２０〜約２６度の範囲で２４度とすることができる。本明細書の容器および方法はまた、著しく高いまたは著しく低い温度で試薬ガスを使用、保持、貯蔵、または処理する用途のために、所望に応じて、より高い動作温度およびより低い動作温度で役立つ。
【００３５】
動作温度で容器内の試薬ガスを準大気圧にすることによって、加圧有害ガス試薬により一定の著しい危険性ならびに対応する安全および取り扱いに関する考慮事項を伴う、圧力下、例えば高圧下で試薬ガスを貯蔵および取り扱いするために使用することが知られている容器の他の種類の使用に比べて、周囲環境への試薬ガスの漏れおよびバルク分散の危険性が低減される。本開示によれば、このような容器の内圧が、試薬ガスの調製、貯蔵、処理、または他の取り扱いもしくは使用時に、容器内の試薬ガスが確かに準大気圧にあることを確認するために、容器の外部の場所でサーモクロミックインジケータを使用することによって監視され得る。
【００３６】
容器を密閉することもできるが、容器は、通常、開閉可能なバルブを備え得る排出ポートなど、容器内部に対して試薬ガスを添加または除去することを選択的に可能にする開口部を備える。排出ポートのバルブには、圧力弁または流量測定装置などの流量または圧力調整機構を取り付けてもよい。例えば、容器は、開口部および排出ポートにおいて、分配ポートおよびバルブヘッドを介して容器の内部から試薬ガスを分配できるようにする開閉可能なバルブヘッドに接続されてもよい。容器からの試薬ガスの所望の圧力または流量を達成するために、圧力調整器、流量計、または他の流量調整装置が、容器内部に対して外部にあるバルブヘッドにあってもよい。代替的または追加的に、１つ以上の圧力調整器、流量計、または他の流量調節装置が、場合により容器開口部に接続されてもよいが、容器の内部、すなわち容器内部であり、容器の内部にある内部流量調整機構は必須ではなく、本明細書の容器から除外されてもよい。説明される容器および方法の特定の例示的な実施形態によれば、流量調整機構は、試薬ガスを準大気圧で容器内部から除去できるようにするために、１気圧より低い圧力で動作するように設計されてもよい。流体供給容器、ならびに本明細書による、一般的な意味で有用であり得る種類のフローバルブおよび圧力弁などの付随品の例は、例えば米国特許第６，１３２，４９２号明細書および国際公開第２０１７／００８０３９号パンフレットで説明されており、これらの文献の内容全体が、参照により本明細書に組み込まれる。
【００３７】
説明される例示的な容器は、容器内部に吸着剤（別名、固相物理的吸着剤媒体）を収容することができる。吸着剤は、１つ以上の有害試薬ガスなどの１つ以上の試薬ガスに対して吸着親和性を有する。このため、吸着剤は、吸着剤に対して試薬ガスを選択的に、例えば可逆的に吸着および脱着して、試薬ガスが、まず、試薬ガスを吸着剤に吸着させるように容器内に送達され、次いで、（同様に容器内部にある、ある量の脱着したガス状の試薬ガス量と平衡状態にある）吸着試薬ガスが大気圧付近、好ましくは準大気圧で密閉容器内部に貯蔵され得るようにし、最終的に、試薬ガスが好ましくは依然として大気圧付近、例えば準大気圧でガス状試薬ガスとして、吸着剤から（例えば、真空下で）脱着し、容器の開口部を通って容器から除去され得るのに役立ち得る。
【００３８】
吸着剤は、任意の既知の吸着剤または将来開発される吸着剤であってもよく、容器の特定の吸着剤は、他の要因の中でも、容器に収容される試薬ガスの種類および量、容器の容積などの要因に依存し得る。様々な吸着材料が試薬ガスおよび試薬ガス貯蔵技術で知られており、説明される容器内の吸着剤として有用であることが理解されよう。吸着材料の特定の例は、（その全体が参照により本明細書に組み込まれる）米国特許第５，７０４，９６７号明細書、（先に述べた）米国特許第６，１３２，４９２号明細書、および（これも先に述べた）国際公開第２０１７／００８０３９号パンフレットで言及されている。
【００３９】
既知であり、かつ本明細書で説明されるような容器で使用するのに適し得る吸着材料の非限定的な例としては、マイクロポーラスＴＥＦＬＯＮ（登録商標）、マクロ網状ポリマー、ガラス状ドメインポリマーなどのポリマー吸着剤、アルミニウムホスホシリケート（ＡＬＰＯＳ）、粘土、ゼオライト、金属有機構造体、多孔質シリコン、ハニカムマトリクス材料、活性炭、および他の炭素材料、ならびに他の類似の材料が挙げられる。炭素吸着材料のいくつかの例としては、ポリアクリロニトリル、スルホン化ポリスチレン−ジビニルベンゼンなどの合成炭化水素樹脂の熱分解により形成された炭素、セルロースチャー、木炭、ココナッツの殻、ピッチ、木材、石油、石炭などの天然原材料から形成された活性炭が挙げられる。
【００４０】
説明されるような例示的な容器は、適切な吸着材料の層で実質的に充填され得る。吸着剤は、準大気圧で容器に貯蔵するために吸着剤に効率的かつ可逆的に試薬ガスを吸着するための任意の形状、形態、サイズなどであってもよい。サイズ、形状、および空孔などの物理的特性は、吸着剤の（試薬ガスを吸着する）容量だけでなく、吸着剤の充填密度および空隙（間隙）の体積に影響を与える場合があり、これらの要因は、中でも試薬ガスの種類、吸着剤の種類、容器の動作温度を含む貯蔵容器システムの要因のバランスに基づいて選択され得る。吸着材料は、任意の適切なサイズ、形状、空孔、サイズの範囲、およびサイズ分布を有してもよい。有用な形状および形態の例としては、ビーズ、顆粒、ペレット、タブレット、シェル、サドル、粉末、不規則な形状の粒子、プレスされたモノリス、任意の形状およびサイズの押出成形物、布またはウェブの形態の材料、ハニカムマトリクスモノリス、および（他の成分を有する吸着剤の）複合材料、ならびに上述の種類の吸着材料の粉末または粉砕形態が挙げられる。
【００４１】
これらの種類の例示的な容器の内部には、ガス状形態の試薬ガスと平衡状態で、物理的に吸着した試薬ガスを担持する吸着剤が収容される。（任意の圧力で任意の種類の容器内の）試薬ガスは、有害、有毒、または他の安全上の危険性であることが知られている種類の有害試薬ガスであり得る。有毒ガスおよび他の有害な特殊ガスは、イオン注入、エピタキシャル成長、プラズマエッチング、反応性イオンエッチング、メタライゼーション、物理蒸着、化学蒸着、フォトリソグラフィ、洗浄、およびドーピングを含む使用のためなどの多くの産業用途で使用され、これらの使用は、半導体デバイスおよび製品、マイクロエレクトロニクスデバイスおよび製品、太陽光発電デバイスおよび製品、ならびにフラットパネルディスプレイデバイスおよび製品の製造の一部である。しかしながら、説明される容器または方法の使用は、他の用途および他の業界で使用されている試薬ガスに適用でき、それは、本方法および容器によって高められた安全性のレベルが、一般的に、任意の商業的または産業的文脈において、また任意の目的または用途に使用されるときに、試薬ガスおよび容器に適用されるためである。
【００４２】
説明される容器および方法は、任意の試薬ガス、特に有害、有毒、または危険であるものに役立つ。それにもかかわらず、本明細書で説明される容器および方法の有用性は、特定の試薬ガスや低から中程度の圧力（例えば、約１気圧）で収容されるガスに限定されない。説明される容器および方法が有用である試薬ガスの説明のための例としては、以下の非限定的なガスを含む、すなわち、シラン、メチルシラン、トリメチルシラン、水素、メタン、窒素、一酸化炭素、ジボラン、アルシン、ホスフィン、ホスゲン、塩素、ＢＣｌ３、ＢＦ３、Ｂ２Ｄ６、六フッ化タングステン、フッ化水素、塩化水素、ヨウ化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、シアン化水素、セレン化水素、テルル化水素、重水素化水素化物、トリメチルスチビン、ハロゲン化物（塩素、臭素、ヨウ素、およびフッ素）、ＮＦ３、ＣｌＦ３、ＧｅＦ４、ＳｉＦ４、ＡｓＦ５などのガス状化合物、有機化合物、有機金属化合物、炭化水素、および（ＣＨ３）３Ｓｂなどの有機金属Ｖ族化合物を含む。これらの化合物のそれぞれについて、すべての同位体が企図されている。
【００４３】
本明細書によれば、例えば、ラベル、塗料、コーティング、またはサーモクロミック染料、インクなどの温度指示材料を含む他の物品などのサーモクロミックインジケータは、容器の温度に基づいて、容器内の試薬ガスの圧力に関連する情報を識別し、伝達するために使用され得る。一般に、試薬ガスの圧力に関する情報は、試薬ガス（例えば、有害試薬ガス）が望ましい最大圧力より高い圧力であり、したがって、望ましい最大圧力より低い圧力で同じ試薬ガスを収容する同じ容器と比べて、より高い安全上の危険として、さらに配慮または注意しながら扱われるべきかどうかを識別するために有用であり得る。例示的な方法では、サーモクロミックインジケータ（およびサーモクロミックインジケータの温度指示材料）は、温度指示材料およびサーモクロミックインジケータを、容器内の試薬ガスの望ましい最大圧力を生じる温度より低い第１の温度のときに、第１の外観（例えば、色）を取らせ、また容器内の試薬ガスの望ましい最大圧力を生じる温度より高い第２の温度のときに、第２の外観（例えば、色）を取らせる、活性化温度を呈するように選択され得る。
【００４４】
本明細書の容器および方法の特定の例示的な実施形態では、試薬ガスの圧力に関する情報は、試薬ガス（例えば、有害試薬ガス）が大気圧を超える圧力、すなわち超大気圧であり、したがって、準大気圧で同じ試薬ガスを収容する同じ容器と比べて、より高い安全上の危険として扱われるべきかどうかを識別するために有用であり得る。例示的な方法では、サーモクロミックインジケータ（およびサーモクロミックインジケータの温度指示材料）は、温度指示材料およびサーモクロミックインジケータを、容器、吸着剤、および試薬ガスの系の転移温度（この例では１気圧の内圧となる温度）より低い第１の温度のときに、第１の外観（例えば、色）を取らせ、また転移温度より高い第２の温度のときに、第２の外観（例えば、色）を取らせる、活性化温度を呈するように選択され得る。
【００４５】
サーモクロミックインジケータは、容器の外部の場所に固定されてもよく、容器の側壁または内部と熱的に連絡する、すなわち、容器の側壁または内部の温度を取ることができる。有害試薬ガスは、容器が破損した場合にガス状の収容された試薬ガスが容器から放出されにくくなるように、準大気圧で安全に貯蔵され得ることが望ましい。したがって、これらの例示的な方法、容器、および熱インジケータによれば、サーモクロミックインジケータは、容器の内圧が１気圧より高いか低いかに関する情報を伝達するために使用される。
【００４６】
例示的な容器内では、試薬ガスは、ガス状の部分、すなわちガス状試薬ガスとしての部分を含む形態であり得る。容器の動作温度の範囲にあり得る周囲温度付近では（例えば、摂氏約０〜約３０または４０度の範囲の温度で）、容器（すなわち、ガス状試薬ガス）は、高度に加圧されず、好ましくは、約１気圧（絶対）の範囲、例えば０．５〜１．０、１．５、２．０、または３．０気圧（絶対）の範囲の圧力である。
【００４７】
容器に収容された試薬ガスの温度が転移温度より低い場合、サーモクロミックインジケータは或る外観を有し、容器中のガス状試薬ガスが、転移温度に関連付けられた圧力より低い圧力で収容されていることを示す、不透明度のテキストまたは色付きテキストなどの色または他の情報を表示する。ユーザは、容器が所望の低い内圧（例えば、準大気圧）を有していることを認識し、標準的で高いレベルの配慮をして容器の取り扱いおよび使用に進むことができる。
【００４８】
しかしながら、収容された試薬ガスの温度が転移温度より高く、容器内に収容されたガスが望ましい最大圧力より高い圧力にあることを意味する場合、サーモクロミックインジケータは或る外観を取り、容器中のガス状試薬ガスが、望ましくないほど高い圧力、例えば過剰圧力で収容されていることを示す、色、不透明度、またはテキストなどの他の情報を表示する。容器のユーザは、サーモクロミックインジケータを見て、容器が、安全上の危険が高いことが知られている過剰圧力状態の容器内部をもたらす温度にあることを認識する。これに応じて、ユーザは、容器およびその内容物の温度を下げ、それにより、望ましい最大圧力を超えない圧力まで圧力を下げることにより容器の内圧を下げる追加の取り扱い手順を実行することを理解する、または指示される。ユーザが容器の温度を転移温度より低い温度まで冷却し、容器の圧力を望ましい最大圧力より低くした後、必要に応じて標準的で高度な配慮で容器を取り扱って使用できることがユーザにわかる。
【００４９】
サーモクロミックインジケータは、温度指示染料またはインクの形態の温度指示材料で作ることができ、例えば、ロイコ染料、液晶スラリ、または材料の活性化温度より低い温度から活性化温度より高い温度まで、また活性化温度より高い温度から活性化温度より低い温度まで温度指示材料の温度が上昇または低下したときに自身の外観の視覚的に観察可能な特徴（例えば、色、不透明度など）を可逆的に変化させる別の有機染料や化学化合物もしくは材料の形態の温度指示材料で作ることができる。
【００５０】
サーモクロミックインジケータは、無地で中実のフィールド、またはテキストもしくは表現記号（例えば、危険警告）の形式とし得るパターンに形成された温度指示材料により調整することができ、いずれも、サーモクロミックインジケータが取り付けられている容器に収容された試薬ガスが、望ましい最大圧力より低い所望の低い圧力にあるかどうかを指示することができる。サーモクロミックインジケータは、容器の外側の場所に配置されて視認可能とされて、収容された試薬ガスの圧力が望ましい最大圧力を上回るか下回るかを指示する特定の外観（例えば、色または色付きのメッセージ）を伝達することにより容器の内圧に関する情報を外部に伝達することができる。通常の条件下では、内容物が望ましい最大圧力より低い圧力で（例えば、準大気圧で）、サーモクロミックインジケータは、容器内の圧力が望ましい最大圧力を超えておらず、標準的な予防策に従って取り扱い、移動、貯蔵、または使用できることを指示する、色または表示されたメッセージなどの外観を有する。内容物が望ましい最大圧力より高い容器内の内圧を引き起こす温度である場合、サーモクロミックインジケータは別の外観（例えば、色またはメッセージ）を有する。
【００５１】
サーモクロミックインジケータは、容器、試薬ガス、および吸着剤の系の所望の活性化温度で、すなわち、転移温度ＴＴｒａで（または転移温度付近であるが、転移温度より低い温度で）、所望の低い圧力（例えば、準大気圧）を指示する第１の外観（例えば、第１の色および任意のメッセージ）を有する状態から、望ましくないほど高い圧力（例えば、超大気圧）を指示する第２の外観（例えば、第２の色および任意のメッセージ）まで変化するように選択される温度指示材料を備えることができる。温度指示材料と、材料の活性化温度、すなわち視覚的に観察可能な外観（例えば、色または不透明度）に関して温度指示材料が変化する温度とは、系の転移温度に基づいて、例えば望ましい最大圧力に関連付けられた温度、または転移温度よりわずかに低い温度に基づいて選択され得る。１気圧またはそれよりわずかに下の望ましい最大圧力を有する、密閉容器に吸着剤および試薬ガスを含む系では、活性化温度は、容器内の圧力が０．８、０．８５、０．９、または０．９５気圧（絶対）になる温度であり得る。
【００５２】
図１を参照すると、ガス（および容器）の温度に対して、吸着剤を備えた容器内の試薬ガスの圧力を表示するグラフが示されている。容器は、通常の室温の範囲、例えば摂氏約２４度付近の範囲の動作温度での使用に適合されており、試薬ガスの転移温度（この例では、容器内部が１気圧になる温度）は摂氏２４度である、すなわち、試薬ガスの圧力は摂氏２４度で１気圧（７６０トル、絶対）である。転移温度を超えると、試薬ガスの圧力は１気圧（絶対）より高い。摂氏２４度より低い温度では、試薬ガスは１気圧（絶対）より低い準大気圧になる。この系のサーモクロミックインジケータの活性化温度が転移温度、すなわち容器内部の圧力が１気圧である温度、すなわち摂氏２４度に基づいて選択され得る。有用な活性化温度は、摂氏２４度、または圧力が０．８、０．８５、０．９、または０．９５気圧の容器に試薬ガスが収容される温度など、摂氏２４度よりわずかに低い温度である。
【００５３】
サーモクロミックインジケータは、温度指示材料が転移温度ＴＴｒａより低い温度である場合に、或る外観（例えば、場合により書かれたテキストでのメッセージの形態で、ある色）を有し、また温度指示材料が転移温度ＴＴｒａより高い温度である場合に、別の外観（例えば、色）を有する温度指示材料を含有する、ラベル、塗料、コーティングなどの形態とすることができる。１気圧の容器内圧に関連付けられた転移温度を有する系では、容器およびその内容物が準大気圧温度ＴＳｕｂである場合に、第１の外観（例えば、場合により第１のメッセージとしてパターンにされた色）、すなわち、準大気圧の外観（例えば、色および任意のメッセージ）がサーモクロミックインジケータによって示される。容器および内容物が超大気圧温度ＴＳｕｐである場合に、第２の外観（例えば、場合により第２のメッセージとしてパターンにされた色）、すなわち、超大気圧の外観（例えば、第２の色および第２の任意のメッセージ）がサーモクロミックインジケータによって示される。
【００５４】
容器の内圧に関する情報を表示するために、サーモクロミックインジケータには、単純な色の変化であり得る外観の変化を備え得る。インジケータは、望ましい最大圧力より低い圧力では（例えば、準大気圧では）緑色（または別の色、ある不透明度の状態を含む色）などの第１の色として現れてよく、望ましい最大圧力を超える圧力では（例えば、超大気圧では）赤または第１の色とは異なる別の色などの第２の色として現れてよい。代替的または追加的に、サーモクロミックインジケータは、第１の色および第２の色のうちの１つ以上が、例えば、さらなる予防措置が推奨される、危険性もしくは危険が高まっている、または容器を輸送または使用する前に容器の温度が低減されるべきであるというメッセージを含み得る記号またはテキストの形態で１つ以上のメッセージを表示するように形成されてもよい。インジケータは、例えば、「推奨圧力」、「超大気圧」、「温度を下げてください」、「高温／超大気圧−使用前または輸送前に容器の温度を下げてください」などのテキストメッセージを含むようにパターン化されて、容器が推奨圧力（望ましい最大圧力）より高い圧力の試薬ガスを含み、容器および試薬ガスの使用、取り扱い、貯蔵、または輸送のために意図され推奨されるような所望の低い圧力ではないことを示すことができる。サーモクロミックインジケータの色付きメッセージは、収容された試薬ガスが使用に推奨される圧力および温度で容器に収容されていること、または収容された試薬ガスが、容器の温度を下げることなどによって、さらなる注意および安全策が順守されるべきである圧力にあることを、ユーザに具体的に、交互に、かつ可逆的に指示し得る。ユーザが容器の温度を下げた後、サーマルインジケータによって伝達されるメッセージは、試薬ガスが望ましい低い圧力または推奨される圧力（例えば、準大気圧）で収容されていることを指示するように変わる。
【００５５】
図２を参照すると、紙片または接着片の形態のサーモクロミックインジケータが示されている。ラベル６０は、２つの温度で示されている。左側のラベルフォーム５０は準大気圧温度で示され、右側のラベルフォーム５２は超大気圧温度で示されている。ラベル６０が吸着剤および試薬ガスを収容する容器（図示せず）に接触または付着し、容器の温度がサーモクロミックインジケータの活性化温度より低い（例えば、温度が転移温度であるかそれよりわずかに低い）場合、試薬ガスは準大気圧にあり、ラベル６０はラベルフォーム５０として現れる。このラベルフォームは、いずれも第１の色の外観を有するラベルフォーム５０の上部および下部に（とりわけ）フィールド５４を備える。下部フィールド５４は、容器の状態が推奨、例えば最適であること、またはさらなる配慮を必要としていないことを指示するテキストを備えた第１の色のフィールドである。ラベル６０が容器に接触または付着し、容器の温度がサーモクロミックインジケータの活性化温度より高い（例えば、転移温度であるかそれよりわずかに低い）場合、試薬ガスは超大気圧またはその付近にあり、ラベル６０はラベルフォーム５２として現れる。ラベルフォーム５２は、ラベルフォーム５２の上部および下部に第２の色として現れ、それぞれ（図示のように）オプションのテキストを備えるフィールド５４を備える。下部フィールド５４は、言葉（テキスト５８）の形態のメッセージを有する第２の色を有するフィールドであり、このフィールドは、容器の温度が高すぎることをユーザに通知し、容器を推奨温度などの推奨状態に戻すなどの行動するようにユーザに指示する。上部フィールド５４はまた、容器の状態、例えば高温状態、高圧状態、または容器の取り扱いにさらなる予防策が必要とされる状態を記載するテキストも含むことができる。ラベル６０には、２つの追加のオプションフィールド、すなわち、上部および下部フィールド５４の間の左垂直フィールドと、上部および下部のフィールド５４の間の右垂直フィールドとがさらに示されている。これらの追加フィールドはそれぞれ、転移温度を上回る温度と下回る温度との間で、例えば色の変化、視認可能または視認不可能なテキストの呈示の変化、またはその両方によって、形態を変えることができる。
【００５６】
温度指示材料は、既知の様々な化学インジケータ、サーモクロミックインク、ロイコ染料、可溶物質、温度に基づいて形態（例えば、色または不透明度）が変化し得る他の類似の材料のいずれかなど、温度変化に応じて外観、例えば色を変化させ得る任意の種類の温度指示材料であってもよい。例えば、温度指示材料は、温度感受性化学インジケータまたはサーモクロミックもしくはサーモクロマチックインクを含んでもよい。サーモクロミックまたはサーモクロマチックインクは、温度が上昇または低下するときに色が変化する染料の一種である。いくつかの例では、サーモクロミックまたはサーモクロマチックインクは、ロイコ染料を含み得る。加熱されると、温度指示材料は染料を溶かして溶解し、温度指示材料の色または外観が変化する。冷却すると、温度指示材料は再結晶し、色が元の色に戻る。サーモクロマチックインクは、周知であり、市販されている様々なインクのいずれであってもよい。加えて、例えば、温度指示材料は、可溶物質を含むことができる。温度の変化に曝されると、可溶物質は溶融し、透明または不透明になる。
【００５７】
組み合わせて、本明細書の貯蔵送達システムは、標準的なガスシリンダまたは他の加圧可能な容器と、容器に結合されたシリンダバルブまたは他のフロー分配アセンブリ（レギュレータ、モニタ、センサ、フロー誘導手段、圧力コントローラ、マスフローコントローラ、配管、弁、計測、自動始動および遮断装置など）と、を役立つように備える、またはこれらから構成され、シリンダが吸着材料および試薬ガスを保持し、試薬ガスが吸着された吸着剤ガスとガス状吸着剤ガスとの間で平衡状態にある。
【００５８】
図３は、容器の内部１０６内に吸着材料１０８を含む容器１０２を備える例示的な貯蔵分配システム１００を示している。側壁１０４は、内部空間と外面とを画定する。上端１１２は、ねじ式結合部１１６、バルブ１２０、および容器から試薬ガスを除去できるようにバルブ１２０を開閉するためのつまみ１１８を備えたバルブアセンブリ１１４を有する開口部を備える。ガス状試薬ガス（具体的に符号を付けられていない）は、内部１０６中にガスとして存在し、吸着材料１０８の表面に物理的吸着される吸着試薬ガスと平衡状態にある。可逆性サーモクロミックインジケータ１３０は、側壁１０４の外面と接触している。インジケータ１３０は、本明細書で説明されているようにすることができ、容器１０２が転移温度より低い温度にあるときに第１の外観（例えば、色）を呈し、容器１０２が転移温度より高いにあるときに第２の外観（例えば、色）を呈することができる。可逆性サーモクロミックインジケータ１３０の一例は、図２のラベル６０である。
【００５９】
使用中、試薬ガス（例えば、ガス状試薬ガスおよび吸着試薬ガス）は、圧力差脱着により、つまり、結合部１１６を減圧源に接続してガス状試薬ガスをバルブアセンブリ１１４を通して内部１０６に対して外部にある場所に流すことにより、例示的な容器１０２から除去することができる。収容された試薬ガスは、あらゆる産業、特に半導体デバイスおよび製品、マイクロエレクトロニクスデバイスおよび製品、太陽光発電デバイスおよび製品、ならびにフラットパネルディスプレイデバイスおよび製品の製造で使用される、または有用な、任意の試薬ガス材料、特に有害試薬ガスであり得る。システム１００は、半導体デバイスもしくは材料、マイクロエレクトロニクスデバイス、太陽光発電デバイス、フラットパネルディスプレイデバイス、またはそのコンポーネントまたは前駆体を処理するための原材料として試薬ガスを使用するシステムに接続されてもよく、例えば、イオン注入、エピタキシャル成長、プラズマエッチング、反応性イオンエッチング、メタライゼーション、物理蒸着、化学蒸着、フォトリソグラフィ、洗浄、またはドーピングに使用されるシステム、デバイス、またはツールに接続されてもよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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