(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を覆う蓋を有する容器を搬送する搬送車であって、
走行方向における前後方向に設けられたカバー部よって挟まれると共に、前記蓋が走行方向と鉛直方向とに交差する幅方向を向いた状態で前記容器を保持する容器収容部と、
前記カバー部に設けられると共に、前記容器収容部に保持された前記容器から外れた蓋の落下を防止する蓋落下防止部材と、を備え、
前記蓋落下防止部材は、
前記容器の下方において前記幅方向に沿って延在すると共に、前記鉛直方向から見た平面視において一部が前記蓋から突出する下方支持部と、
前記蓋の少なくとも一部に対向するように、前記下方支持部から前記鉛直方向に立設する正面支持部と、を有し、
前記下方支持部と前記正面支持部とが、一体的に形成されている、搬送車。
【請求項２】
前記正面支持部は、前記鉛直方向において前記蓋の上端まで延在する、請求項１記載の搬送車。
【請求項３】
前記蓋落下防止部材は、前記鉛直方向から見た平面視において、前記蓋を挟むようにかつ前記正面支持部に対向するように配置されると共に、前記下方支持部から前記鉛直方向に立設する背面支持部と、を更に有し、
前記下方支持部と前記正面支持部と前記背面支持部とが、一体的に形成されている、請求項１又は２記載の搬送車。
【請求項４】
前記下方支持部が前記容器の下方に配置されると共に、前記正面支持部が前記蓋の正面に配置される位置を進出位置とし、前記下方支持部が前記容器の下方から退避されると共に、前記正面支持部が前記蓋の正面から退避される位置を退避位置としたとき、
前記蓋落下防止部材を、前記進出位置と前記退避位置との間で移動させる駆動機構を更に備える、請求項１〜３の何れか一項記載の搬送車。
【請求項５】
前記退避位置における前記蓋落下防止部材の一部は、前記鉛直方向から見た平面視において、前記カバー部及び前記容器収容部が配置された領域の外側に位置する、請求項４記載の搬送車。
【請求項６】
前記駆動機構における進退動作を制御する制御部を更に備え、
前記制御部は、前記容器収容部に前記容器が保持されていない場合であっても、走行時には前記蓋落下防止部材を前記進出位置に移動させる、請求項５記載の搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一側面は、搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム等の天井付近又は床面よりも高い位置を走行して、半導体ウェハ、レチクル、又は液晶基板等を収容した容器を搬送する天井搬送車が知られている。このような天井搬送車として、例えば、特許文献１には、容器の蓋の正面に近接して配置される蓋落下防止部材と、容器の昇降時に蓋落下防止部材を蓋の正面から退避させる退避機構と、を備えた天井搬送車が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５０３５４１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の天井搬送車を含め容器を搬送する搬送車は、蓋落下防止部材が蓋の正面に位置するときに容器が蓋落下防止部材に接触しないように、蓋から少し離れた位置に（隙間を設けて）配置されるように構成されている。しかしながら、隙間を大きくしたり、容器の蓋の厚みが薄くなったりすると、容器から外れた蓋が隙間を通って落下するおそれがある。【０００５】
そこで、本発明の一側面の目的は、容器から外れた蓋の落下をより確実に防止することができる搬送車を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面に係る搬送車は、開口部を覆う蓋を有する容器を搬送する搬送車であって、走行方向における前後方向に設けられたカバー部よって挟まれると共に、蓋が走行方向と鉛直方向とに交差する幅方向を向いた状態で容器を保持する容器収容部と、カバー部に設けられると共に、容器収容部に保持された容器から外れた蓋の落下を防止する蓋落下防止部材と、を備え、蓋落下防止部材は、容器の下方において幅方向に沿って延在すると共に、鉛直方向から見た平面視において一部が蓋から突出する下方支持部と、蓋の少なくとも一部に対向するように、下方支持部から鉛直方向に立設する正面支持部と、を有し、下方支持部と正面支持部とが、一体的に形成されている。【０００７】
この構成の搬送車では、蓋の正面に正面支持部が配置されるので、容器から前方に倒れてくる蓋を受け止めることができる。また、容器に揺れが生じたときの接触を抑制するために蓋と正面支持部との間隔（隙間）を大きくしても、正面支持部と容器との間に設けられる下方支持部が、容器から外れた蓋を受け止めることができる。この結果、蓋の落下をより確実に防止することができる。【０００８】
本発明の一側面に係る搬送車では、正面支持部は、鉛直方向において蓋の上端まで延在してもよい。この構成では、蓋の上部が前方に大きく傾くことを防止できるので、容器から外れた蓋が、下方支持部と容器の下面の隙間を通って落下することを抑制できる。これにより、下方支持部及び正面支持部を有する蓋落下防止部材によって、蓋の落下をより確実に防止することができる。【０００９】
本発明の一側面に係る搬送車では、蓋落下防止部材は、鉛直方向から見た平面視において、蓋を挟むようにかつ正面支持部に対向するように配置されると共に、下方支持部から鉛直方向に立設する背面支持部と、を更に有し、下方支持部と正面支持部と背面支持部とが、一体的に形成されてもよい。この構成では、容器から外れ、下方支持部と容器の下面との間の隙間から落下しようとする蓋を背面支持部が受け止めるので、容器から蓋が落下することをより確実に防止できる。【００１０】
本発明の一側面に係る搬送車では、下方支持部が容器の下方に配置されると共に、正面支持部が蓋の正面に配置される位置を進出位置とし、下方支持部が容器の下方から退避されると共に、正面支持部が蓋の正面から退避される位置を退避位置としたとき、蓋落下防止部材を、進出位置と退避位置との間で移動させる駆動機構を更に備えてもよい。この構成では、蓋落下防止部材を退避位置に退避させることができるので、昇降動作の際に蓋落下防止部材が邪魔にならない。【００１１】
本発明の一側面に係る搬送車では、退避位置における蓋落下防止部材の一部は、鉛直方向から見た平面視において、カバー部及び容器収容部が配置された領域の外側に位置してもよい。この構成では、カバー部と容器との間隔が小さい場合であっても、蓋落下防止部材を容易に設置することができる。【００１２】
本発明の一側面に係る搬送車では、駆動機構における進退動作を制御する制御部を更に備え、制御部は、容器収容部に容器が保持されていない場合であっても、走行時には蓋落下防止部材を進出位置に移動させてもよい。蓋落下防止部材が退避位置に位置するときに蓋落下防止部材の一部が搬送車の領域から突出する構成では、蓋落下防止部材が進出位置に位置する場合に比べ、搬送車としての干渉エリアが広がる。本発明の一側面では、このような構成であっても、蓋落下防止部材を進出位置に進出させた状態で走行するので、走行時の搬送車の干渉エリアを小さくすることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の一側面によれば、蓋の落下をより確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、一実施形態に係る天井搬送車を示す正面図である。
【図２】図２は、図１の蓋落下防止部材が進出位置に位置するときの斜視図である。
【図３】図３は、図１の蓋落下防止部材が進出位置に位置するときの側面図である。
【図４】図４は、図１の蓋落下防止部材が進出位置に位置するときの駆動機構の斜視図である。
【図５】図５（ａ）及び図５（ｂ）のそれぞれは、図１の蓋落下防止部材が退避位置から進出位置に移動するときの駆動機構の遷移図である。
【図６】図６（ａ）及び図６（ｂ）のそれぞれは、図１の蓋落下防止部材が退避位置から進出位置に移動するときの駆動機構の遷移図である。
【図７】図７は、蓋落下防止部材が進出位置に位置するときの平面図である。
【図８】図８は、変形例に係る蓋落下防止部材が進出位置に位置するときの側面図である。
【図９】図９は、変形例に係る蓋落下防止部材が進出位置に位置するときの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明の一側面の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１６】
図１に示される天井搬送車（搬送車）１は、クリーンルームの天井等、床面より高い位置に設けられる走行レール２に沿って走行する。天井搬送車１は、例えば保管設備と所定のロードポートとの間で、被搬送物としてのカセット（容器）９０を搬送する。カセット９０は、開口部を有する箱状の筐体９１と、開口部を覆う蓋９３と、を有している。蓋９３は、筐体９１に対し取り外し可能に設けられている。カセット９０には、例えば、複数枚のレチクル等が収容される。カセット９０は、天井搬送車１に保持されるフランジ９５を有している。
【００１７】
以下の説明では、説明の便宜のため、図１における左右方向（Ｘ軸方向）を天井搬送車１の前後方向（走行方向）とする。図１における上下方向を天井搬送車１の鉛直方向（Ｚ軸方向）とする。図１における奥行方向を天井搬送車１の幅方向（Ｙ軸方向）とする。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は互いに直交する。
【００１８】
図１に示されるように、天井搬送車１は、走行駆動部３と、水平駆動部５と、回転駆動部６と、昇降駆動部７と、昇降装置１０と、保持装置１１と、蓋落下防止部材２０と、蓋落下防止部材２０の駆動機構３０と、コントローラ（制御部）８０と、を備えている。天井搬送車１には、水平駆動部５、回転駆動部６、昇降駆動部７、昇降装置１０及び保持装置１１を前後方向から覆うように一対のカバー部８，８が設けられている。一対のカバー部８，８は、昇降装置１０が上昇端まで上昇した状態において保持装置１１の下方に、カセット９０が収容される空間としての容器収容部４を形成している。容器収容部４では、蓋９３がＸ軸方向とＺ軸方向とに交差するＹ軸方向を向いた状態でカセット９０が保持される。すなわち、保持装置１１は、蓋９３をＹ軸方向に向けた状態でカセット９０を保持する。
【００１９】
走行駆動部３は、天井搬送車１を走行レール２に沿って移動させる。走行駆動部３は、走行レール２内に配置されている。走行駆動部３は、走行レール２を走行するローラ（図示しない）を駆動させる。走行駆動部３の下部には、軸３Ａを介して水平駆動部５が接続されている。水平駆動部５は、回転駆動部６、昇降駆動部７及び昇降装置１０を水平面内で走行レール２の延在方向に直交するＹ軸方向に移動させる。回転駆動部６は、水平面内で昇降駆動部７及び昇降装置１０を回転させる。昇降駆動部７は、四本のベルト９の巻き上げ及び繰り出しにより昇降装置１０を昇降させる。なお、走行駆動部３は天井搬送車１に推進力を発生させるリニアモータ等で構成してもよい。また、昇降駆動部７におけるベルト９は、ワイヤ及びロープ等、適宜の吊持部材を用いてもよい。
【００２０】
本実施形態における昇降装置１０は、昇降駆動部７によって昇降可能に設けられており、天井搬送車１における昇降台として機能している。保持装置１１は、カセット９０を保持する。保持装置１１は、Ｌ字状である一対のアーム１２，１２と、各アーム１２，１２に固定されたハンド１３，１３と、一対のアーム１２，１２を開閉させる開閉機構１５と、を備えている。
【００２１】
一対のアーム１２，１２は、開閉機構１５に接続されている。開閉機構１５は、一対のアーム１２，１２を、互いに近接する方向及び互いに離間する方向に移動させる。開閉機構１５の動作により、一対のアーム１２，１２は、前後方向に進退する。これにより、アーム１２，１２に固定された一対のハンド１３，１３が開閉する。本実施形態では、一対のハンド１３，１３が開状態のときに、ハンド１３の保持面がフランジ９５の下面の高さより下方となるように、保持装置１１（昇降装置１０）の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のハンド１３，１３が閉状態となることで、ハンド１３，１３の保持面がフランジ９５の下面の下方へ進出し、この状態で昇降装置１０を上昇させることにより、一対のハンド１３，１３によってフランジ９５が保持され、カセット９０の支持が行われる。
【００２２】
図２及び図３に示されるように、蓋落下防止部材２０は、一対のカバー部８，８のそれぞれに設けられ、容器収容部４において保持装置１１によって保持されたカセット９０から外れた蓋９３の落下を防止する。蓋落下防止部材２０は、下方支持部２３と、正面支持部２１と、背面支持部２５と、を有している。下方支持部２３は、板状の部材である。下方支持部２３は、天井搬送車１の走行時に、カセット９０の下方においてＹ軸方向に沿って延在し、Ｚ軸方向から見た平面視において一部が蓋９３から突出するように配置される。正面支持部２１は、下方支持部２３からＺ軸方向に立設する板状の部材であって、天井搬送車１の走行時にカセット９０の蓋９３の少なくとも一部に対向するように配置される。正面支持部２１は、筐体９１を覆う状態に配置された蓋９３に対し１０ｍｍ〜２０ｍｍ程度離して位置に配置される。Ｚ軸方向における蓋９３と正面支持部２１との重なりＨは、３０ｍｍ程度とすることができる。なお、上記の距離Ｇ及び重なりＨは、蓋９３のサイズ、厚み、駆動機構３０の構成等に基づいて適宜設定される。
【００２３】
正面支持部２１において蓋９３と対向する裏面には、超高分子量ポリエチレンテープ等の摺動部材２１ａが貼付されている。これにより、蓋９３を支持する際の摺動性を高めて、蓋９３に傷がついたりすることを防止できる。背面支持部２５は、板状の部材であって、正面支持部２１に対向するように配置されると共に下方支持部２３からＺ軸方向に立設する。背面支持部２５は、Ｙ軸方向から見た側面視又はＺ軸方向から見た平面視においてカセット９０の蓋９３を挟んで正面支持部２１に対向するように配置されている。
【００２４】
下方支持部２３と、正面支持部２１と、背面支持部２５とは、ステンレス等の板状部材を曲げ加工することによって一体的に形成されている。蓋落下防止部材２０は、図４に示される駆動機構３０によって、進出位置Ｐ１と退避位置Ｐ２との間を移動可能に設けられている。以下、部材等の位置を特定する場合には、特に言及しない限り、容器収容部４において保持装置１１に保持された状態のカセット９０を基準として説明を行う。
【００２５】
下方支持部２３は、進出位置Ｐ１においてカセット９０の下方に配置され、退避位置Ｐ２においてカセット９０の下方から退避される。正面支持部２１は、進出位置Ｐ１においてカセット９０の蓋９３の少なくとも一部に対向するように配置され、退避位置Ｐ２においてカセット９０の蓋９３の正面から退避される（Ｙ軸方向から見たときに蓋９３と重ならない位置に移動される。）。背面支持部２５は、進出位置Ｐ１において前後方向から見た側面視においてカセット９０の蓋９３を挟んで正面支持部２１に対向するように配置され、退避位置Ｐ２においてカセット９０の蓋９３の下方背面から退避される（Ｙ軸方向から見たときに蓋９３の下方背面と重ならない位置に移動される。）。退避位置Ｐ２における蓋落下防止部材２０の一部（正面支持部２１を含む一部）は、Ｚ軸方向から見た平面視において、カバー部８及び容器収容部４が配置された領域Ａの外側に位置している（図５（ａ）参照）。
【００２６】
蓋落下防止部材２０の駆動機構３０は、一対のカバー部８，８にそれぞれ収容されている。図４、図５（ａ）、図５（ｂ）、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示されるように、駆動機構３０は、駆動部３１と、駆動軸３２と、歯車部３３と、第一リンク部３４と、カセット落下防止部３５と、第二リンク部３６と、第三リンク部３８と、を有しており、フレームＦに固定されている。駆動機構３０は、駆動部３１による回転運動を、カセット落下防止部３５の進退運動（進出位置と退避位置との往復運動）と、蓋落下防止部材２０の進退運動（進出位置と退避位置との往復運動）と、に変換する。
【００２７】
駆動部３１は、例えばステッピングモータであり、コントローラ８０（図１参照）によって制御される。駆動部３１によって双方向に回転する駆動軸３２には、歯車が形成されている。歯車部３３は、駆動軸３２の歯車に係合するように設けられており、駆動軸３２が矢印方向ａ１に回転すると歯車部３３も矢印方向ａ２に回転する。第一リンク部３４は、歯車部３３の回転軸３３ａに一体的に接続されており、歯車部３３が矢印方向ａ２に回転すると、第一リンク部３４も矢印方向ａ３に回転する。第一リンク部３４の近傍には、ストッパ３９Ａが配置されている。第一リンク部３４は、第一係止部３４ａと第二係止部３４ｂとを有している。蓋落下防止部材２０が退避位置Ｐ２に位置するときには、第一係止部３４ａがストッパ３９Ａによって係止される（図５（ａ）参照）。蓋落下防止部材２０が進出位置Ｐ１に位置するときには、第二係止部３４ｂがストッパ３９Ａによって係止される（図６（ｂ）参照）。
【００２８】
カセット落下防止部３５は、Ｙ軸方向に沿って延在する板状部材である。カセット落下防止部３５の一端３５ａは、第一リンク部３４の回転軸３３ａと偏心する他端３４ｃに、双方向に回転可能に接続されている。カセット落下防止部３５の他端３５ｂは、第二リンク部３６の回転軸３６ａと偏心する他端３６ｂに、双方向に回転可能に接続されている。第二リンク部３６は、回転軸３６ａを基点に双方向に回転可能に設けられている。第二リンク部３６の近傍には第二リンク部３６の可動領域を制限するストッパ３９Ｂが設けられている。蓋落下防止部材２０が退避位置Ｐ２に位置するときには、第二リンク部３６がストッパ３９Ｂによって係止される（図５（ａ）参照）。
【００２９】
第三リンク部３８は、その一端３８ａが第二リンク部３６の回転軸３６ａと偏心した位置に配置された回転軸３７に接続されている。第三リンク部３８の他端３８ｂは、蓋落下防止部材２０の下方支持部２３に設けられた取付部２７に接続されている。下方支持部２３において正面支持部２１等が設けられる端部とは反対側の基端部２３ａは、フレームＦに固定されると共にＺ軸方向に延在する軸を回転軸として双方向に回転可能な回転部材（図示せず）を介して、フレームＦに双方向に回転可能に取り付けられる。これにより、下方支持部２３は、基端部２３ａを回転軸として双方向に回転可能になる。
【００３０】
カセット落下防止部３５は、第一リンク部３４の回転に伴う第一リンク部３４の他端３４ｃの矢印方向ａ４の回転によって、退避位置Ｐ４（図５（ａ）参照）から進出位置Ｐ３（図６（ｂ）参照）方向（黒矢印方向）へ移動される。カセット落下防止部３５が黒矢印方向へ移動されると、第二リンク部３６の回転軸３６ａと偏心した位置においてカセット落下防止部３５の他端３５ｂに接続された第二リンク部３６の他端３６ｂは、矢印方向ａ５に回転する。第二リンク部３６における他端３６ｂの矢印方向ａ５への回転に伴って、第二リンク部３６が、回転軸３６ａを基点に矢印方向ａ６に回転する。
【００３１】
第二リンク部３６の矢印方向ａ６への回転に伴って、第三リンク部３８が、第三リンク部３８の一端３８ａを基点に回転する。第三リンク部３８の一端３８ａが回転すると、第三リンク部３８の一端３８ａが矢印方向ａ７に回転し、第三リンク部３８の他端３８ｂに接続された下方支持部２３を白矢印方向に押し出す。これにより、蓋落下防止部材２０が退避位置Ｐ２（図５（ａ）参照）から進出位置Ｐ１（図６（ｂ）参照）に進出する。
【００３２】
以上に説明した駆動機構３０の一連の動作により、第二リンク部３６に接続されているカセット落下防止部３５が退避位置Ｐ４（図５（ａ）参照）から進出位置Ｐ３（図６（ｂ）参照）に進出し、第三リンク部３８に接続されている蓋落下防止部材２０が退避位置Ｐ２（図５（ａ）参照）から進出位置Ｐ１（図６（ｂ）参照）に進出する。なお、カセット落下防止部３５における進出位置Ｐ３から退避位置Ｐ４への移動、及び蓋落下防止部材２０における進出位置Ｐ１から退避位置Ｐ２への移動は、上述の一連の動作とは逆の方向への動作により行われる。
【００３３】
なお、図７に示されるように、上述した駆動機構３０の説明は、Ｚ軸方向から見た平面視において右側（走行方向前側）のカバー部８に収容された駆動機構３０を例に挙げて説明したが、Ｚ軸方向から見た平面視において左側（走行方向後側）のカバー部８に収容された駆動機構３０Ａの構成及び動作は、先に説明した駆動機構３０と少し異なっている。駆動機構３０によって駆動されるカセット落下防止部３５と、駆動機構３０Ａによって駆動されるカセット落下防止部３５Ａとは、Ｚ軸方向から見た平面視において、カセット９０の中心部を対称点とした略点対称に動作する。
【００３４】
コントローラ８０（図１参照）は、天井搬送車１における各部を制御する。コントローラ８０は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）及びＲＯＭ（Read  Only  Memory）等を有している。コントローラ８０では、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等のハードウェアと、プログラム等のソフトウェアとが協働することによって、各種制御を実行する。例えば、コントローラ８０は、駆動機構３０における進退動作を制御し、容器収容部４にカセット９０が保持されていない場合であっても、走行時には蓋落下防止部材２０を進出位置Ｐ１に移動させた状態で、天井搬送車１を走行させる。
【００３５】
上記実施形態の天井搬送車１では、図３に示されるように、蓋９３の正面に正面支持部２１が配置されるので、カセット９０の筐体９１から前方に倒れてくる蓋９３を受け止めることができる。また、カセット９０に揺れが生じたときの接触を抑制するために蓋９３と正面支持部２１との間の距離Ｇをある程度確保したとしても、正面支持部２１とカセット９０の容器との間に設けられる下方支持部２３が、筐体９１から外れた蓋９３を受け止めることができる。この結果、蓋９３の落下をより確実に防止することができる。
【００３６】
上記実施形態の天井搬送車１では、図３に示されるように、蓋落下防止部材２０は、Ｚ軸方向から見た平面視において、蓋９３を挟むように、かつ、正面支持部２１に対向するように配置されると共に、下方支持部２３からＺ軸方向に立設する背面支持部２５が形成されている。これにより、前後方向から見た側面視において、正面支持部２１と下方支持部２３と背面支持部２５とによって凹部Ｒが形成される。このため、背面支持部２５が設けられていなければ形成される下方支持部２３とカセット９０の下面との間の隙間Ｓを通って落下しようとする蓋９３を、背面支持部２５が受け止める。この結果、カセット９０から蓋９３が落下することをより確実に防止できる。
【００３７】
上記実施形態の天井搬送車１では、蓋落下防止部材２０が駆動機構３０によって、進出位置Ｐ１と退避位置Ｐ２との間で移動可能に設けられている。この構成では、昇降動作の際には蓋落下防止部材２０を退避位置Ｐ２に退避させることができるので、昇降動作の際に蓋落下防止部材２０が邪魔にならない。
【００３８】
上記実施形態の天井搬送車１では、退避位置Ｐ２における蓋落下防止部材２０の一部は、Ｚ軸方向から見た平面視において、カバー部８及び容器収容部４が配置された領域Ａの外側に位置している。これにより、カバー部８のサイズを増大化させることなく、簡易に構成することができる。
【００３９】
上記実施形態の天井搬送車１では、容器収容部４にカセット９０が保持されていない場合であっても、走行時には蓋落下防止部材２０を進出位置Ｐ１に移動するようにコントローラ８０が制御するので、走行する天井搬送車１の干渉エリアを小さくすることができる。すなわち、天井搬送車１が走行するときに他の物体と接触する可能性を低減することができる。
【００４０】
以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００４１】
上記実施形態の天井搬送車１では、蓋落下防止部材２０に背面支持部２５が設けられている例を挙げて説明したが、背面支持部２５が設けられていない蓋落下防止部材２０としてもよい。また、この場合、図８に示されるように、昇降装置１０に設けられ、カセット９０の蓋９３における上方の正面に配置される、蓋抑え部材１０Ａを備えてもよい。この場合、蓋９３の上端９３ａが前方に倒れることが抑制されるので、蓋９３の下端９３ｂが、下方支持部２３とカセット９０の下面との隙間Ｓ側に傾くような状態で蓋９３が下方支持部２３に落下することが少なくなる。このため、背面支持部２５を設けなくても、カセット９０から外れた蓋９３が隙間Ｓを通って落下することを防止できる。
【００４２】
上記実施形態では、天井搬送車１の走行時にカセット９０の蓋９３の少なくとも一部に対向するように配置される正面支持部２１を例に挙げて説明したが、図９に示されるように、正面支持部２１は、Ｚ軸方向において蓋９３の上端まで延在してもよい。この構成では、蓋９３の上部が前方に傾くことを防止できるので、筐体９１から外れた蓋９３が、下方支持部２３とカセット９０の下面の隙間Ｓ１を通って落下することを抑制できる。これにより、蓋９３の落下をより確実に防止することができる。
【００４３】
上記実施形態では、容器収容部４にカセット９０が保持されていない場合であっても、走行時には蓋落下防止部材２０を進出位置Ｐ１に移動させた状態で天井搬送車１を走行させるコントローラ８０が、カバー部８の内部に設けられている例を挙げて説明したが、天井搬送車１とは別の箇所に設けられ、ネットワーク等を介して天井搬送車１を制御する制御装置（制御部）を備える搬送車システムとして構成してもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１…天井搬送車（搬送車）、８…カバー部、１１…保持装置、２０…蓋落下防止部材、２１…正面支持部、２３…下方支持部、２５…背面支持部、３０，３０Ａ…駆動機構、３５，３５Ａ…カセット落下防止部、８０…コントローラ（制御部）、９０…カセット（容器）、９１…筐体、９３…蓋。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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