(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、
前記基材の両面にそれぞれ備えられた第１付着増進層および第２付着増進層と、
前記第１付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた金属パターンと、
前記第１付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように備えられた第１粘着層と、
前記第２付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた第２粘着層とを含み、
前記第１付着増進層および第２付着増進層は、無機酸化物を含み、
前記第１および第２付着増進層のそれぞれの厚さは、０．１ｎｍ以上３０ｎｍ以下である、
金属パターンフィルム。
【請求項２】
前記第１および第２付着増進層は、ニオブオキサイド、酸化アルミニウム、酸化ケイ素、酸化亜鉛、酸化ニオブ、酸化スズ、酸化ジルコニウム、および酸化インジウムスズからなる群より選択される１以上を含む、請求項１に記載の金属パターンフィルム。
【請求項３】
前記金属パターンは、アルミニウム、銅、ニッケル、クロム、金、銀、および白金からなる群より選択される１以上を含む、請求項１又は２に記載の金属パターンフィルム。
【請求項４】
前記金属パターンの線高さは、１０μｍ以下である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の金属パターンフィルム。
【請求項５】
前記金属パターンの線高さの偏差は、２０％以内である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の金属パターンフィルム。
【請求項６】
前記第１および第２粘着層は、ＰＶＢ（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｂｕｔｙｒａｌ）、ＥＶＡ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｖｉｎｙｌ  ａｃｅｔａｔｅ）、ＰＵ（ｐｏｌｙｕｒｅｔｈａｎｅ）、またはＰＯ（Ｐｏｌｙｏｌｅｆｉｎ）を含むものである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の金属パターンフィルム。
【請求項７】
前記第１および第２粘着層は、ＰＶＢ（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｂｕｔｙｒａｌ）層である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の金属パターンフィルム。
【請求項８】
前記第１および第２粘着層のそれぞれの厚さは、１μｍ以上１０００μｍ以下である、請求項１〜７のいずれか１項に記載の金属パターンフィルム。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の金属パターンフィルムを含む合わせガラス。
【請求項１０】
基材の両面にそれぞれ第１付着増進層および第２付着増進層を形成するステップと、
前記第１付着増進層の前記基材に接する面の反対面に金属パターンをパターニングして金属パターンを形成するステップと、
前記第１付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように第１粘着層を形成するステップと、
前記第２付着増進層の前記基材に接する面の反対面に第２粘着層を形成するステップとを含み、
前記第１付着増進層および第２付着増進層は、無機酸化物を含むものである、請求項１〜８のいずれか１項に記載の金属パターンフィルムの製造方法。
【請求項１１】
前記金属パターンを形成するステップは、
金属層を形成するステップと、
前記金属層をパターニングして金属パターンを形成するステップとを含むものである、請求項１０に記載の金属パターンフィルムの製造方法。
【請求項１２】
前記金属層をパターニングして金属パターンを形成するステップは、前記金属層上にエッチングレジストパターンを形成した後、エッチングレジストパターンによって覆われない金属層を除去することにより行われるものである、請求項１１に記載の金属パターンフィルムの製造方法。
【請求項１３】
前記第１粘着層を金属パターンの備えられた基材から剥離工程を行うステップをさらに含む、請求項１０〜１２のいずれか１項に記載の金属パターンフィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、２０１７年６月９日付で韓国特許庁に提出された韓国特許出願第１０−２０１７−００７２６７５号の出願日の利益を主張し、その内容のすべては本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本出願は、付着増進層を含む金属パターンフィルムおよびその製造方法を提供する。
【背景技術】
【０００３】
自動車または建築用に用いられる機能性合わせガラスの製造に際して、一般的に、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）が粘着剤として使用される。特別な機能が付与された合わせガラスは、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）がラミネーション（Ｌａｍｉｎａｔｉｏｎ）された機能性フィルムを２枚のガラスの間に入れて、熱圧着工程で製造される。
【０００４】
フィルムが挿入された機能性接着ガラスの製造のためには、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）と機能性フィルムとの間の付着力が一定水準以上でなければならず、再加工を可能にするためには、剥離可能な水準にならなければならない。
【０００５】
既存のポリビニルブチラール（ＰＶＢ）がラミネーション（Ｌａｍｉｎａｔｉｏｎ）されたポリビニルブチラール（ＰＶＢ）／機能性フィルムの剥離時、スティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象が発生し、スティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象によってシワおよびシミが残り、再使用が不可能であるという欠点がある。
【０００６】
従来一般的に用いられている機能性フィルムとしてＰＥＴフィルムが使用され、ＰＥＴフィルムは、剥離（Ｐｅｅｌ  ｏｆｆ）時にスティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象が発生して、面と面とが剥離される時に振動を伴うため、シワおよびシミが残って再使用が不可能である。したがって、機能性合わせガラスの製造において、スティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象を解消して、シワおよびシミが残らず、再加工が可能な金属パターンフィルムが必要になる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本出願は、基材の表面に超薄膜の付着増進層を形成して粘着層との付着力を向上させ、剥離時のスティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象を解消することを特徴とする金属パターンフィルムおよびその製造方法を提供しようとする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本出願の一実施態様は、基材と、前記基材の両面にそれぞれ備えられた第１付着増進層および第２付着増進層と、前記第１付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた金属パターンと、前記第１付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように備えられた第１粘着層と、前記第２付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた第２粘着層とを含み、前記第１付着増進層および第２付着増進層は、無機酸化物を含む金属パターンフィルムを提供する。
【０００９】
また、本出願の一実施態様は、本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムを含む合わせガラスを提供する。
【００１０】
さらに、本出願の一実施態様は、基材を用意するステップと、前記基材の両面にそれぞれ第１付着増進層および第２付着増進層を形成するステップと、前記第１付着増進層の前記基材に接する面の反対面に金属パターンをパターニングして金属パターンを形成するステップと、前記第１付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように第１粘着層を形成するステップと、前記第２付着増進層の前記基材に接する面の反対面に第２粘着層を形成するステップとを含み、前記第１付着増進層および第２付着増進層は、無機酸化物を含むものである金属パターンフィルムの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムは、基材の両面に超薄膜無機酸化物層を形成することで、透過率の低下なく粘着層との付着力を向上させるだけでなく、剥離時のスティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象を解消して、面と面とが剥離される時に振動を減少させ、シワおよびシミの形成を防止して再加工を可能にする。
【００１２】
また、本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムは、超薄膜の無機酸化物層を形成することにより、基材の上部に蒸着されるパターン層と基材との間の密着力向上の効果があり、メタルメッシュベースの透明導電性フィルムの下地の付着層機能を含むことができる。
【００１３】
さらに、本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムは、ナノ単位の無機酸化物層を用いることで、透明でフィルムの光特性変化がないため、透明な機能性合わせガラスの製造時に有用に使用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムを含む合わせガラスを示す側面図である。
【図２】本出願の一実施態様に係る剥離工程を示す図である。
【図３】本出願の一実施態様に係る金属パターンの製造方法を示す図である。
【図４】本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムの剥離力を測定した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本明細書についてより詳細に説明する。
【００１６】
本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように、本発明の実施例について添付した図面を参照して詳細に説明する。しかし、本発明は種々の異なる形態で実現可能であり、ここで説明する実施例に限定されない。
【００１７】
本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムは、基材と、前記基材の両面にそれぞれ備えられた第１付着増進層および第２付着増進層と、前記第１付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた金属パターンと、前記第１付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように備えられた第１粘着層と、前記第２付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた第２粘着層とを含み、前記第１付着増進層および第２付着増進層は、無機酸化物を含む。
【００１８】
本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムは、基材の両面に超薄膜の無機酸化物層を形成することで、透過率の低下なく粘着層との付着力を向上させることができ、剥離時のスティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象を解消して、面と面とが剥離される時に振動を減少させ、シワおよびシミの形成を防止して再加工を可能にし、また、ナノ単位の無機酸化物層を形成することで、パターンと基材との間の密着力向上の効果がある。
【００１９】
本明細書において、前記スティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象は、面と面とが剥離される時に振動を伴う摩擦現象または柔らかくない運動をもたらして振動を誘発させて精度を低下させる現象を意味する。
【００２０】
本出願の一実施態様において、前記基材は、透明高分子フィルムからなってもよい。
【００２１】
本出願の一実施態様において、前記基材は、ＰＥＴフィルム、ＰＣ（ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ）フィルム、ＰＥＮ（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｎａｐｈｔｈａｌａｔｅ）フィルムからなってもよいし、これのみに限定されるものではない。
【００２２】
本出願の一実施態様において、前記基材の厚さは、１μｍ以上２００μｍ以下、好ましくは１０μｍ以上１００μｍ以下であってもよい。
【００２３】
本出願の一実施態様において、前記第１および第２付着増進層は、ニオブオキサイド（Ｎｂ２Ｏｘ）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化ニオブ（ＮｂＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ）、および酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）からなる群より選択される１以上を含む。
【００２４】
前記ニオブオキサイド（Ｎｂ２Ｏｘ）において、ｘの範囲は、１〜６の整数、好ましくは１〜４の整数である。
【００２５】
本出願の一実施態様において、前記第１および第２付着増進層は、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）からなってもよい。
【００２６】
他の実施態様において、前記第１および第２付着増進層は、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）からなってもよい。
【００２７】
さらに他の実施態様において、前記第１および第２付着増進層は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）からなってもよい。
【００２８】
さらに他の実施態様において、前記第１および第２付着増進層は、Ｎｂ２Ｏｘ層が単独で使用されてもよい。
【００２９】
前記第１および第２付着増進層がＮｂ２Ｏｘ層単独で使用される場合、金属パターンフィルムの光特性が最も優れている。
【００３０】
さらに他の実施態様において、前記第１付着増進層と前記基材との接する面の間に合金中間層がさらに含まれる。
【００３１】
さらに他の実施態様において、前記第２付着増進層と前記基材との接する面の間に合金中間層がさらに含まれる。
【００３２】
本出願の一実施態様において、前記合金中間層の厚さは、０．５ｎｍ以上１．９ｎｍ以下、好ましくは０．５ｎｍ以上１．５ｎｍ以下であってもよい。
【００３３】
前記合金中間層の厚さが２ｎｍ以上の場合、可視光の透過率の減少が現れて性能の低下が発生する。
【００３４】
前記合金中間層は、ＮｉＣｒ、Ｎｉ、Ｃｒであってもよいが、これに限定されない。
【００３５】
前記金属パターンフィルムにおいて、第１および第２付着増進層に無機酸化物層を適用した場合、基材（ＰＥＴ）とポリビニルブチラール（ＰＶＢ）との熱圧着後、剥離評価の結果、スティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象が著しく減少し、これによってシワおよびシミが残らず、金属パターンフィルムを再加工することができた。
【００３６】
本出願の一実施態様において、前記第１および第２付着増進層のそれぞれの厚さは、０．１ｎｍ以上３０ｎｍ以下、好ましくは１ｎｍ以上２５ｎｍ以下、さらに好ましくは１ｎｍ以上２０ｎｍ以下であってもよい。
【００３７】
前記ナノ単位の厚さの付着増進層を形成することにより、フィルムの光特性変化がなく、透明な機能性合わせガラスの作製に有用に使用可能であり、透過率の低下なく、粘着層との付着力を向上させるだけでなく、剥離時のスティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象を解消することができる。
【００３８】
本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムは、前記第１付着増進層の前記基材に接する面の反対面に備えられた金属パターンを有することを特徴とする。
【００３９】
本出願の一実施態様において、前記金属パターンは、アルミニウム、銅、ニッケル、クロム、金、銀、および白金からなる群より選択される１以上を含むことができ、前記金属パターンは、電気伝導度に優れた銅が最も好ましいが、これに限定されない。
【００４０】
本出願の一実施態様において、前記金属パターンの線高さは、１０μｍ以下、好ましくは５μｍ以下であってもよい。
【００４１】
前記金属パターンの線高さとは、前記付着増進層に接する面から、これに対抗する面までの距離を意味する。
【００４２】
本出願の一実施態様において、前記金属パターンの線高さの偏差は、２０％以内、好ましくは５％以内であってもよい。
【００４３】
前記偏差は、平均線高さを基準として、平均線高さと個別線高さとの差に対する百分率を意味する。
【００４４】
本出願の一実施態様において、前記金属パターンの全開口率、すなわち、金属パターンによって覆われない基材領域の比率は、９０％以上、好ましくは９５％以上である。
【００４５】
本出願の一実施態様において、前記金属パターンの線幅は、４０μｍ以下、具体的には０．１μｍ〜４０μｍ以下であってもよい。
【００４６】
本出願の一実施態様において、前記金属パターンの線間間隔は、５０μｍ〜１０００μｍである。
【００４７】
本出願の一実施態様において、前記第１および第２粘着層は、ＰＶＢ（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｂｕｔｙｒａｌ）、ＥＶＡ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｖｉｎｙｌ  ａｃｅｔａｔｅ）、ＰＵ（ｐｏｌｙｕｒｅｔｈａｎｅ）、またはＰＯ（Ｐｏｌｙｏｌｅｆｉｎ）を含むことができ、好ましくは、ＰＶＢ（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｂｕｔｙｒａｌ）層であってもよい。
【００４８】
他の実施態様において、前記第１および第２粘着層のそれぞれの厚さは、１μｍ以上１０００μｍ以下、好ましくは１μｍ以上７６０μｍ以下であってもよい。
【００４９】
前記それぞれの第１および第２粘着層が前記厚さを有する場合、金属パターンフィルムの密着力が向上し、特に、合わせガラスをさらに含む場合において、ガラスの破損時、破片の飛散を防止する効果を有する。
【００５０】
本出願の一実施態様において、前記金属パターンフィルムを含む合わせガラスを提供する。
【００５１】
本出願の一実施態様において、前記合わせガラスは、前記第１粘着層の前記パターンが形成された第１付着増進層と接する面の反対面、および前記第２粘着層の前記第２付着増進層と接する面の反対面にそれぞれガラスをさらに含む構成からなる。
【００５２】
前記合わせガラスは、前記金属パターンフィルムの前記仮貼り合わされた粘着層とガラスとを熱圧着するステップにより製造される。
【００５３】
本出願の一実施態様において、前記第１および第２粘着層とガラスとの貼り合わせは、強化ガラスの間に仮貼り合わされた粘着層を挿入して、真空ラミネータまたはオートクレーブなどの熱圧着設備により、１４０℃以上の温度でシート単位で製造される。
【００５４】
本出願の一実施態様によれば、前記金属パターンと前記基材との界面にはプライマー層が追加的に備えられる。
【００５５】
本出願の一実施態様は、基材を用意するステップと、前記基材の両面にそれぞれ第１付着増進層および第２付着増進層を形成するステップと、前記第１付着増進層の前記基材に接する面の反対面に金属パターンをパターニングして金属パターンを形成するステップと、前記第１付着増進層の前記金属パターンが備えられた面上に前記金属パターンを覆うように第１粘着層を形成するステップと、前記第２付着増進層の前記基材に接する面の反対面に第２粘着層を形成するステップとを含み、前記第１付着増進層および第２付着増進層は、無機酸化物を含むものである金属パターンフィルムの製造方法を提供する。
【００５６】
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記第１および第２付着増進層は、基材上に、Ｅ−ｂｅａｍ  ｓｐｕｔｔｅｒ設備を用いて、気相蒸着工程により形成されるが、これに限定されない。
【００５７】
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記第１付着増進層および第２付着増進層のそれぞれの面に第１および第２粘着層を形成するステップは、熱圧着、固状粘着フィルム貼り合わせ、液状粘着液コーティング工程により形成され、好ましくは、熱圧着工程を利用することができる。
【００５８】
前記熱圧着工程の圧力、温度および時間は、使用される粘着層の種類に応じて差があるが、例えば、熱圧着工程は、６０℃〜１５０℃の範囲から選択された温度で行われ、必要に応じて圧力が加えられる。
【００５９】
本出願の一実施態様において、前記付着増進層の両面に第１および第２粘着層の仮貼り合わせは、８０℃前後の温度でロールラミネータを用いて製造する。
【００６０】
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記金属パターンを形成するステップは、金属層を形成するステップと、前記金属層をパターニングして金属パターンを形成するステップとを含むものである金属パターンフィルムの製造方法を提供する。
【００６１】
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記金属層を形成するステップは、蒸着またはメッキにより形成される。
【００６２】
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記金属層をパターニングして金属パターンを形成するステップは、前記金属層上にエッチングレジストパターンを形成した後、エッチングレジストパターンによって覆われない金属層を除去することにより行われるものである金属パターンフィルムの製造方法を提供する。
【００６３】
前記金属層上にエッチングレジストパターンの形成は、フォト工程または印刷工程で形成することができるが、これに限定されるものではない。
【００６４】
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記エッチングレジストパターンが形成された金属層を選択的にエッチングして金属パターンの形成後、金属パターンの上部に残留するエッチングレジストを剥離液を用いて除去するステップをさらに含んでもよい。
【００６５】
前記エッチングレジストを除去するための剥離液としては、アルカリ溶液または有機溶媒が用いられる。
【００６６】
前記アルカリ溶液としては、１．０ｗｔ％以上の濃度に希釈した水酸化ナトリウム水溶液、水酸化カリウムが使用可能であり、アルカリ溶液であればこれに限定されない。
【００６７】
前記有機溶媒としては、エタノール、イソプロピルアルコール、アセトンが使用可能であり、有機溶媒であればこれに限定されない。
【００６８】
図３は、付着増進層が形成された基材上に金属パターンを形成する過程を示す図である。具体的には、基材上に第１および第２付着増進層を形成した後、第１付着増進層上に金属層を形成した後、エッチングレジストパターンを形成し、これを選択的にエッチングして金属パターンを形成する過程を示す図である。
【００６９】
本出願の一実施態様に係る製造方法において、前記第１粘着層を金属パターンの備えられた基材から剥離工程を行うステップをさらに含む金属パターンフィルムの製造方法を提供する。
【００７０】
図２は、本願発明に係る金属パターンフィルムの剥離過程を示すものである。具体的には、第１および第２粘着層を金属パターンの備えられた基材から剥離する過程で、粘着層とパターンフィルムとを物理的な力で剥離する過程を示すものである。
【００７１】
第１粘着層を基材に貼り合わせる時、気泡発生、異物流入、基材シワ寄せなどの不良が発生することがあり、第１粘着層または金属パターンの備えられた基材を再使用するために前記剥離工程が行われ、この時、前記第１および第２付着増進層を用いることにより、スティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象を防止し、第１粘着層と金属パターン基材の損傷を防止して資源の再利用および生産コストの節減が可能であるという利点がある。
【００７２】
前記第１粘着層と金属パターンの備えられた基材との剥離工程を行うステップにおいて、本出願の一実施態様に係る付着増進層を用いることにより、スティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象が著しく減少した金属パターンフィルムを製造することができた。
【００７３】
図１は、前記金属パターンフィルムの積層構造および前記金属パターンフィルムを含む合わせガラスを例示するものである。従来は、基材上に導電性発熱パターンを形成し、粘着層を形成する方法が使用されたが、本発明によれば、基材上に付着増進層をさらに含むことにより、スティック（ＳＴＩＣＫ）−スリップ（ＳＬＩＰ）現象を著しく減少させることができた。
【実施例】
【００７４】
以下、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように、本発明の実施例について詳細に説明する。しかし、本発明は種々の異なる形態で実現可能であり、ここで説明する実施例に限定されない。
【００７５】
本発明の一実施態様に係る金属パターンフィルムの実施例および比較例を下記表１に記載した。
【００７６】
実施例１
５０μｍの厚さのＰＥＴ（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）上に、Ｅ−ｂｅａｍ  ｓｐｕｔｔｅｒ設備を用いて、気相蒸着工程により付着増進層として１６ｎｍのＩＴＯをＰＥＴ上に蒸着させた。この後、ＩＴＯ層上にメッキによりＣｕ層を形成した後、印刷工程によりエッチングレジストパターンを形成した。エッチングレジストパターンが形成された金属層を選択的にエッチングして金属パターンを形成した後、金属パターンの上部に残留するエッチングレジストを１．０ｗｔ％濃度の水酸化ナトリウム水溶液を通して除去した。この後、粘着層としてＰＶＢを１４０℃で３０分間真空とともにラミネーション（Ｌａｍｉｎａｔｉｏｎ）して金属パターンフィルムを作製した。
【００７７】
実施例２〜４
付着増進層として下記表１の物質を用いたことを除けば、実施例１と同様の方法で実施例２〜４の金属パターンフィルムを作製した。
【００７８】
比較例１〜１３
ＰＥＴ（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）の代わりに、下記表１に記載のフィルム製造業者から手に入れたＰＥＴフィルムを用い、付着増進層を用いないことを除けば、実施例１と同様の方法で比較例１〜１３の金属パターンフィルムを作製した。下記表１の基材は、多様なフィルム業者から手に入れたＰＥＴフィルムのｇｒａｄｅ名称である。
【００７９】
【表１】
0006930698.tif 000002
【００８０】
前記表１では、本願発明に係る付着増進層の有無によって、無機酸化物を蒸着したＰＥＴとＰＶＢとを熱圧着した実施例１〜４は、無機酸化物層を蒸着しない比較例１〜１３に比べて、剥離評価の結果、スティック（ＳＴＩＣＫ）／スリップ（ＳＬＩＰ）現象が発生しないことを確認することができた。
【００８１】
前記スティック（ＳＴＩＣＫ）／スリップ（ＳＬＩＰ）現象の有無は、目視観察および剥離力測定グラフの形態によって判断される。
【００８２】
前記表１にて、基材間の剥離力を測定する方法のうち、付着面と剥離される面とが垂直を維持し、一定の速度で剥離させるための力を測定する方法である９０ｄｅｇ．Ｐｅｅｌ  ｓｔｒｅｎｇｔｈ  ｔｅｓｔによる平均的な力をＡｖｇ，９０  ｐｅｅｌ  ｓｔｒｅｎｇｔｈ（Ｎ／ｃｍ）、最大値をＭａｘ，９０  ｐｅｅｌ  ｓｔｒｅｎｇｔｈ（Ｎ／ｃｍ）と表示した。前記Ｐｅｅｌ  ｓｔｒｅｎｇｔｈ  ｔｅｓｔの測定数値は、基材と第１粘着層との間の密着力およびスティック／スリップ現象防止効果を確認できるデータであり、測定装置としてＴｅｘｔｕｒｅ  ａｎａｌｙｚｅｒ（ＴＡ  ＸＴ  Ｐｌｕｓ）を用いた。
【００８３】
前記表１にて、実施例１〜４は、無機酸化物層を蒸着しない比較例１〜１３に比べて、前記第１粘着層を金属パターンの備えられた基材から剥離させるための平均的な力および最大値がすべて増加したことを確認することができた。
【００８４】
前記のような数値を通して、本発明の付着増進層を用いることにより、第１粘着層と基材との間の密着力が増加したことを確認することができた。
【００８５】
図４は、本出願の一実施態様に係る金属パターンフィルムの剥離力を測定したグラフである。具体的には、付着増進層は、実施例１のようにＩＴＯを用い、これによるｐｅｅｌ  ｓｔｒｅｎｇｔｈを測定したグラフである。付着増進層が適用された場合、グラフの形態が、付着増進層が適用されない場合よりも緩やかであることを確認することができ、これは、スティック（ＳＴＩＣＫ）／スリップ（ＳＬＩＰ）現象が発生しないことを示し、ｐｅｅｌ  ｓｔｒｅｎｇｔｈの強度を通して、密着力も増加したことを確認することができた。
【００８６】
下記表２から、金属パターンフィルムの付着増進層および粘着層としてＮｂＯｘ（５ｎｍ）／ＰＥＴ（１００μｍ）を用いた場合において、多様な種類の酸を本願発明の金属パターンフィルムに適用した場合の金属パターンフィルムの損傷の有無を確認することができる。下記表２から分かるように、多様な種類の酸によってＮｂＯｘ層の損傷がなく、依然としてスティック（ＳＴＩＣＫ）／スリップ（ＳＬＩＰ）現象が発生しないことを確認することができた。
【００８７】
【表２】
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【００８８】
下記表３では、付着増進層なしに形成された金属シードフィルム上に電気メッキの際、金属層の凝集力の上昇によって金属層−基材間の付着力が低下するため、一般的に、２０ｎｍ以上のＮｉＣｒを金属層の下部に形成して金属層と基材との間の付着力を維持するが、ＮｂＯｘなどの付着増進層が導入されると、メッキ後、金属層−基材間の付着力が向上することを確認することができ、特に、Ｎｂ２Ｏｘを単独で適用する時、光特性が最も優れていることを確認することができた。
【００８９】
基材上に形成された薄膜と基材との間の密着力を簡単に測定する方法としてＣｒｏｓｓ−ｃｕｔ  ｔｅｓｔを用い、これは、薄膜の表面に１ｍｍの間隔で縦横１０回ずつ切れ目を入れて１００個のｃｅｌｌを形成した後、薄膜上に粘着テープ（一般的にｉｃｈｉｂａｎ  ｔａｐｅを使用）を貼り付けて剥がす時にどれだけ基材上に薄膜が付いているかを確認して、基材間の密着力を評価する方法である。
【００９０】
測定基準で、９５〜１００％薄膜が残っていれば、５Ｂと表現し、薄膜が基材上に維持される程度が少なくなるほど表現する数字が小さくなり（４Ｂ〜０Ｂ）、これは、密着力が低下するとの意味である。下記表３では、メッキした金属層と基材との間のＣｒｏｓｓ−ｃｕｔ  ｔｅｓｔで５Ｂ水準と確認された結果についてＯＫ（５Ｂ）と記載した。
【００９１】
下記表３から分かるように、中間層が適用されない場合、メッキ後、金属層−フィルム間の付着力が良くない（ＮＧ）ことを確認することができ、また、メッキ層の除去後、フィルム−ＰＶＢの付着力が良くないことを確認（ＮＧ）することができ、無機酸化物中間層、合金中間層および合金＋無機酸化物中間層が適用された場合、付着力が良くなっていることを確認することができる。
【００９２】
下記表３にて、面抵抗は接触式面抵抗測定器（４−ｐｏｉｎｔ  ｐｒｏｂｅ）を用い、透過度はＣＯＨ−４００透過率測定器（Ｄ６５／１０）を用いた。
【００９３】
【表３】
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【符号の説明】
【００９４】
１０：ガラス
２０：第１粘着層
３０：金属パターン
４０：第１付着増進層
５０：基材
６０：第２付着増進層
７０：第２粘着層
８０：ガラス
９０：金属層
１００：エッチングレジストパターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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