(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極が配置された検出領域への物体の近接を検出する静電容量センサであって、
前記検出領域に配置され、それぞれ１以上の前記電極を含むＮ個の電極群（Ｎは２以上の自然数）と、
前記物体と前記電極とにより形成されるキャパシタの静電容量を前記電極ごとに検出する静電容量検出部と、
前記静電容量検出部の検出結果に基づいて前記電極ごとに得られる前記静電容量の検出値を前記電極群ごとに合算し、前記Ｎ個の電極群の各々について前記検出値の総和を算出する総和算出部と、
前記Ｎ個の電極群について算出されたＮ個の前記総和に基づいて、前記静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けているか否かを判定する判定部とを有し、
任意の領域の内部において、前記Ｎ個の電極群が持つ前記静電容量の検出感度に対する、１つの前記電極群が持つ前記検出感度の割合を感度率と規定した場合に、
前記検出領域を区分する所定の複数の区画の各々において、同一の前記電極群は同一の前記感度率を持っており、
前記判定部は、前記Ｎ個の電極群について算出されたＮ個の前記総和のそれぞれの比と、前記Ｎ個の電極群に対応するＮ個の前記感度率のそれぞれの比によって設定された正常状態の判定基準とに基づいて、前記静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けているか否かを判定する、
静電容量センサ。
【請求項２】
前記複数の区画の各々には、それぞれ異なる前記電極の一部を構成するＮ個の部分電極が含まれており、
同一の前記区画に含まれる前記Ｎ個の部分電極は、それぞれ異なる前記電極群に属しており、
１つの前記区画において１つの前記電極群が持つ前記感度率は、当該１つの区画において、前記Ｎ個の部分電極が占有した面積に対する、当該１つの電極群に属する前記部分電極が占有した面積の割合を示す、
請求項１に記載の静電容量センサ。
【請求項３】
前記判定部は、前記電極群から選択された任意のペアについて算出された２つの前記総和の比を、前記Ｎ個の電極群における前記ペアの全ての組み合わせについて算出し、１組の前記ペアについて算出した前記比が当該１組のペアについて設定された正常範囲に含まれるか否かを、算出した全ての前記比について判定し、１以上の前記比が前記正常範囲から逸脱する場合、前記静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていると判定し、
前記正常範囲は、前記ペアを構成する２つの前記電極群に対応した２つの前記感度率の比に基づいて設定される、
請求項２に記載の静電容量センサ。
【請求項４】
前記Ｎ個の電極群に対応する前記Ｎ個の感度率がそれぞれ等しく、
前記判定部は、前記Ｎ個の電極群について算出された前記Ｎ個の総和における最小値と最大値との比を算出し、１に近似する所定の正常範囲から前記比が逸脱する場合、前記静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する、
請求項２に記載の静電容量センサ。
【請求項５】
前記判定部は、１つの前記電極群について算出された前記総和と前記Ｎ個の電極群について算出された前記Ｎ個の総和の合計値との比である電極群検出率を、前記Ｎ個の電極群の各々について算出し、１つの前記電極群について算出した前記電極群検出率が当該１つの電極群の前記感度率に基づいて設定された正常範囲に含まれるか否かを、算出した全ての前記電極群検出率について判定し、１以上の前記電極群検出率が前記正常範囲から逸脱する場合、前記静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する、
請求項２に記載の静電容量センサ。
【請求項６】
前記Ｎ個の電極群は、第１電極群と第２電極群とを少なくとも含み、
前記複数の区画は、前記第１電極群と前記第２電極群とによって行列状に配置されており、
前記第１電極群は、同一の前記電極を構成する複数の前記部分電極が前記行列状の配置における行方向へ並ぶように配置され、
前記第２電極群は、同一の前記電極を構成する複数の前記部分電極が前記行列状の配置における列方向へ並ぶように配置された、
請求項２〜５の何れか一項に記載の静電容量センサ。
【請求項７】
前記Ｎ個の電極群は、同一の前記電極を構成する複数の前記部分電極が前記行方向及び前記列方向とは異なる方向へ直線的に並んだ少なくとも１つの第３電極群を含む、
請求項６に記載の静電容量センサ。
【請求項８】
前記判定部の判定結果に応じて前記物体の近接状態を判定し、近接位置を計算する座標計算部を備えた、
請求項１〜７の何れか一項に記載の静電容量センサ。
【請求項９】
電極が配置された検出領域への物体の近接を検出する静電容量センサの制御方法であって
前記静電容量センサは、
前記検出領域に配置され、それぞれ１以上の前記電極を含むＮ個の電極群（Ｎは２以上の自然数）と、
前記物体と前記電極とにより形成されるキャパシタの静電容量を前記電極ごとに検出する静電容量検出部と
を有し、
任意の領域の内部において、前記Ｎ個の電極群が持つ前記静電容量の検出感度に対する、１つの前記電極群が持つ前記検出感度の割合を感度率と規定した場合に、
前記検出領域を区分する所定の複数の区画の各々において、同一の前記電極群は同一の前記感度率を持っており、
前記制御方法は、
前記静電容量検出部の検出結果に基づいて前記電極ごとに得られる前記静電容量の検出値を前記電極群ごとに合算し、前記Ｎ個の電極群の各々について前記検出値の総和を算出することと、
前記Ｎ個の電極群について算出されたＮ個の前記総和と、前記Ｎ個の電極群に対応するＮ個の前記感度率に基づいて設定された正常状態の判定基準とに基づいて、前記静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けているか否かを判定することとを含む、
静電容量センサの制御方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の静電容量センサの制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、指やペンなどの物体が検出領域に近接したことを静電容量の変化として検出し、物体が近接した位置などの情報を入力する静電容量センサとその制御方法及びプログラムに係り、例えば、コンピュータやスマートフォン等の電子機器において情報の入力に用いられるタッチパッドやタッチセンサなどの静電容量センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
静電容量の変化に基づいて物体（指、ペンなど）の接触位置を検出するタッチパッドやタッチパネルなどの静電容量センサは、各種の電子機器の入力インターフェースとして広く普及している。このような静電容量センサにおける静電容量の検出方式として、相互容量型と自己容量型が一般的に知られている。相互容量型の検出方式では、２つの電極間に形成されるキャパシタの静電容量が検出され、自己容量型の検出方式では、交流的に接地電位とみなせる物体と電極との間に形成されるキャパシタの静電容量が検出される。何れの検出方式においても、電極によって寄生的に形成されるキャパシタの微小な電荷の変化が検出されるため、電極とノイズ源との静電結合によるノイズが混入し易く、検出信号にはノイズが重畳し易い。【０００３】
下記の特許文献１に記載される相互容量型のタッチパッドでは、センス電極を複数本ずつ選択して検出する動作が反復されることにより、全てのセンス電極について検出が行われる。そして、各検出動作において複数本のセンス電極が選択される際に、他の検出動作において選択された一部のセンス電極が重複して選択される。これにより、センス電極ごとに複数回の検出が行われ、複数の検出値が得られる。この複数の検出値を平均化することにより、検出値に含まれるノイズ成分を低減させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１２／０２０６４０７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、複数の検出値を平均化することにより低減させることが可能なノイズは、時間とともに変化する交流的なノイズであり、直流的なノイズは平均化処理で低減させることができない。このような直流的ノイズは、例えば、静電容量検出用の電極に高周波の外来ノイズが印加された場合に、ＩＣ内部のアンプ回路などに高周波電流が流れることによって発生する可能性がある。検出値に直流的なノイズが含まれている場合、現実に物体が近接したことによる検出値の変化分とこのようなノイズとを区別することができないため、物体の近接の有無を誤って判定しまうという不利益がある。【０００６】
そこで本開示は、高周波の外来ノイズが静電容量の検出結果に影響を与えていることを判定可能な静電容量センサとその制御方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示の第１の態様は、電極が配置された検出領域への物体の近接を検出する静電容量センサに関する。この静電容量センサは、検出領域に配置され、それぞれ１以上の電極を含むＮ個（Ｎは２以上の自然数）の電極群と、物体と電極とにより形成されるキャパシタの静電容量を電極ごとに検出する静電容量検出部と、静電容量検出部の検出結果に基づいて電極ごとに得られる静電容量の検出値を電極群ごとに合算し、Ｎ個の電極群の各々について検出値の総和を算出する総和算出部と、Ｎ個の電極群について算出されたＮ個の総和に基づいて、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けているか否かを判定する判定部とを有する。任意の領域の内部において、Ｎ個の電極群が持つ静電容量の検出感度に対する、１つの電極群が持つ検出感度の割合を感度率と規定した場合に、検出領域を区分する所定の複数の区画の各々において、同一の電極群は同一の感度率を持つ。判定部は、Ｎ個の電極群について算出されたＮ個の総和のそれぞれの比と、Ｎ個の電極群に対応するＮ個の感度率のそれぞれの比によって設定された正常状態の判定基準とに基づいて、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けているか否かを判定する。【０００８】
第１の態様に係る静電容量センサでは、それぞれ１以上の電極を含むＮ個の電極群が検出領域に配置されており、検出領域に近接する物体と電極とにより形成されるキャパシタの静電容量が、静電容量検出部において電極ごとに検出される。静電容量検出部の検出結果に基づいて電極ごとに静電容量の検出値が得られると、この検出値が電極群ごとに合算され、Ｎ個の電極群の各々について検出値の総和が算出される。【０００９】
また、第１の態様に係る静電容量センサでは、検出領域を区分する所定の複数の区画の各々において、同一の電極群が同一の感度率（Ｎ個の電極群が持つ静電容量の検出感度に対する、１つの電極群が持つ検出感度の割合）を持っている。すなわち、１つの電極群は、全ての区画において同一の感度率を持っている。Ｎ個の電極群には、このようなＮ個の感度率が一対一に対応している。【００１０】
ここで、物体のサイズが個々の区画のサイズに比べて十分に大きいものとすると、１つの区画において各電極群と物体との間に生じる静電容量の比は、当該１つの区画における各電極群の感度率の比と概ね等しくなり、他の任意の区画における各電極群の感度率の比とも概ね等しくなる。従って、検出領域全体において各電極群と物体との間に生じる静電容量の比、すなわち、各電極群について算出される検出値の総和の比は、任意の１つの区画における各電極群の感度率の比と概ね等しくなり、ノイズの影響を受けていない正常な状態では、概ね定まった値となる。【００１１】
高周波の外来ノイズは、ノイズ源と電極との静電結合によって検出値に混入するノイズと異なり、電極の長さや形状、延伸方向などに応じて検出値への混入の度合いがばらつく傾向がある。そのため、高周波の外来ノイズが検出値に混入する度合いは、Ｎ個の電極群において均一にならない。静電容量検出部の検出結果がこのようなノイズの影響を受けている場合、Ｎ個の電極群について算出されたＮ個の総和の比は、正常状態での定まった値に対してずれを生じる。従って、第１の態様に係る静電容量センサでは、Ｎ個の電極群について算出されたＮ個の総和のそれぞれの比と、Ｎ個の電極群に対応するＮ個の感度率のそれぞれの比によって設定された正常状態の判定基準とに基づいて、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けているか否かが判定される。【００１２】
好適に、複数の区画の各々には、それぞれ異なる電極の一部を構成するＮ個の部分電極が含まれていてよい。同一の区画に含まれるＮ個の部分電極は、それぞれ異なる電極群に属していてよい。１つの区画において１つの電極群が持つ感度率は、当該１つの区画において、Ｎ個の部分電極が占有した面積に対する、当該１つの電極群に属する部分電極が占有した面積の割合を示してよい。【００１３】
この構成によれば、１つの電極群に対応する感度率は、１つの区画において、Ｎ個の部分電極が占有した面積に対する、当該１つの電極群に属する部分電極が占有した面積の割合を示しており、ばらつきを生じ難い定まった値となる。そのため、感度率の比に基づく判定基準によって、静電容量検出部の検出結果に対するノイズの影響の有無が正確に判定され易くなる。【００１４】
好適に、判定部は、電極群から選択された任意のペアについて算出された２つの総和の比を、Ｎ個の電極群におけるペアの全ての組み合わせについて算出し、１組のペアについて算出した比が当該１組のペアについて設定された正常範囲に含まれるか否かを、算出した全ての比について判定し、１以上の比が正常範囲から逸脱する場合、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていると判定してよい。正常範囲は、ペアを構成する２つの電極群に対応した２つの感度率の比に基づいて設定されてよい。【００１５】
この構成によれば、電極群のペアの全組み合わせについて、２つの総和の比が算出され、１組以上のペアについて算出された１以上の比が、それぞれ正常範囲に含まれるか否か判定される。この判定における正常範囲は、ペアを構成する２つの電極群に対応した２つの感度率の比に基づいて、ペアごとに設定される。１以上の比が正常範囲から逸脱する場合、Ｎ個の総和の比がＮ個の感度率の比に基づいて設定された正常状態の判定基準を満たしていないことになるため、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていると判定される。【００１６】
好適に、Ｎ個の電極群に対応するＮ個の感度率がそれぞれ等しくてよい。判定部は、Ｎ個の電極群について算出されたＮ個の総和における最小値と最大値との比を算出し、１に近似する所定の正常範囲から比が逸脱する場合、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていると判定してよい。【００１７】
この構成によれば、Ｎ個の電極群に対応するＮ個の感度率がそれぞれ等しいことから、任意に選択された２つの電極群は同じ感度率を持ち、その比は１となる。静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていない正常状態において、任意に選択された２つの電極群について算出された２つの総和の比も、概ね１に近い値となる。Ｎ個の総和における最小値と最大値との比が１に近似する所定の正常範囲から逸脱する場合、少なくとも１組の電極群のペアにおいて２つの総和の比が正常範囲から逸脱しているため、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていると判定される。【００１８】
好適に、判定部は、１つの電極群について算出された総和とＮ個の電極群について算出されたＮ個の総和の合計値との比である電極群検出率を、Ｎ個の電極群の各々について算出し、１つの電極群について算出した電極群検出率が当該１つの電極群の感度率に基づいて設定された正常範囲に含まれるか否かを、算出した全ての電極群検出率について判定し、１以上の電極群検出率が正常範囲から逸脱する場合、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていると判定してよい。【００１９】
この構成によれば、Ｎ個の電極群の各々について電極群検出率が算出され、算出されたＮ個の電極群検出率が、それぞれ正常範囲に含まれるか否か判定される。１つの電極群について算出された電極群検出率は、当該１つの電極群の感度率に基づいて設定された正常範囲に含まれるか否か判定される。電極群検出率は、１つの電極群について算出された総和とＮ個の電極群について算出されたＮ個の総和の合計値との比であり、当該１つの電極群の感度率に応じた値を持つ。そのため、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていない正常な状態において、電極群検出率は概ね感度率に応じた所定の値となり、正常範囲に含まれる。１以上の電極群検出率が正常範囲から逸脱する場合、１以上の電極群検出率が感度率に応じた値からずれていることになるため、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていると判定される。【００２０】
好適に、Ｎ個の電極群は、第１電極群と第２電極群とを少なくとも含んでよい。複数の区画は、第１電極群と第２電極群とによって行列状に配置されていてよい。第１電極群は、同一の電極を構成する複数の部分電極が行列状の配置における行方向へ並ぶように配置され、第２電極群は、同一の電極を構成する複数の部分電極が行列状の配置における列方向へ並ぶように配置されてよい。【００２１】
この構成よれば、第１電極群を構成する各電極の部分電極の配列方向と、第２電極群を構成する各電極の部分電極の配列方向とが異なっているため、高周波の外来ノイズによる検出結果への影響の度合いが、第１電極群と第２電極群とで相違し易くなる。これにより、第１電極群について算出された検出値の総和と、第２電極群について算出された検出値の総和との比が、高周波の外来ノイズの影響を受けて変化し易くなるため、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていることを正確に判定し易くなる。【００２２】
好適に、Ｎ個の電極群は、同一の電極を構成する複数の部分電極が行方向及び列方向とは異なる方向へ直線的に並んだ少なくとも１つの第３電極群を含んでよい。【００２３】
この構成によれば、第３電極群を構成する各部分電極の配列方向は、第１電極群や第２電極群を構成する各電極の部分電極の配列方向と異なっているため、高周波の外来ノイズによる検出結果への影響の度合いが、第３電極群と他の電極群（第１電極群、第２電極群）とで相違し易くなる。これにより、第３電極群について算出された検出値の総和と、他の電極群（第１電極群、第２電極群）について算出された検出値の総和との比が、高周波の外来ノイズの影響を受けて変化し易くなるため、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けていることを正確に判定し易くなる。【００２４】
好適に、上記静電容量センサは、判定部の判定結果に応じて物体の近接状態を判定し、近接位置を計算する座標計算部を備えてよい。【００２５】
本開示の第２の態様は、電極が配置された検出領域への物体の近接を検出する静電容量センサの制御方法に関する。静電容量センサは、検出領域に配置され、それぞれ１以上の電極を含むＮ個（Ｎは２以上の自然数）の電極群と、物体と電極とにより形成されるキャパシタの静電容量を電極ごとに検出する静電容量検出部とを有する。任意の領域の内部において、Ｎ個の電極群が持つ静電容量の検出感度に対する、１つの電極群が持つ検出感度の割合を感度率と規定した場合に、検出領域を区分する所定の複数の区画の各々において、同一の電極群は同一の感度率を持っている。この静電容量センサの制御方法は、静電容量検出部の検出結果に基づいて電極ごとに得られる静電容量の検出値を電極群ごとに合算し、Ｎ個の電極群の各々について検出値の総和を算出することと、Ｎ個の電極群について算出されたＮ個の総和のそれぞれの比と、Ｎ個の電極群に対応するＮ個の感度率のそれぞれの比によって設定された正常状態の判定基準とに基づいて、静電容量検出部の検出結果がノイズの影響を受けているか否かを判定することとを含む。【００２６】
本開示の第３の態様は、上記第２の態様に係る静電容量センサの制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムに関する。
【発明の効果】
【００２７】
本開示によれば、高周波の外来ノイズが静電容量の検出結果に影響を与えていることを判定可能な静電容量センサとその制御方法及びプログラムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本実施形態に係る静電容量センサの構成の一例を示す図である。
【図２】図１に示す静電容量センサにおける静電容量検出部の要部の構成例を示す図である。
【図３Ａ】検出領域を区分する複数の区画の例を示す図である。
【図３Ｂ】検出領域に配置される電極の例を示す図である。
【図４】本実施形態に係る静電容量センサの動作の例を説明するためのフローチャートである。
【図５】ノイズの影響の有無を判定する動作の例を説明するためのフローチャートである。
【図６Ａ】検出領域に物体が近接していない状態における検出信号の例を示す図である。
【図６Ｂ】検出領域に物体が近接した状態における検出信号の例を示す図である。
【図７】図６Ｂに示す検出信号が生成された場合の信号処理を図解した図である。
【図８】図７に示す検出値が得られた場合の信号処理を図解した図である。
【図９】電極にノイズが印加された場合における検出信号の例を示す図である。
【図１０】図９に示す検出信号が生成された場合の信号処理を図解した図である。
【図１１】図１０に示す検出値が得られた場合の信号処理を図解した図である。
【図１２Ａ】検出領域を区分する複数の区画の例を示す図である。
【図１２Ｂ】検出領域に配置される電極の例を示す図である。
【図１３】ノイズの影響の有無を判定する動作の一変形例を説明するためのフローチャートである。
【図１４】ノイズの影響の有無を判定する動作の一変形例を説明するためのフローチャートである。
【図１５】ノイズの影響の有無を判定する動作の一変形例を説明するためのフローチャートである。
【図１６Ａ】検出領域を区分する複数の区画の例を示す図である。
【図１６Ｂ】検出領域に配置される電極の例を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本実施形態に係る静電容量センサについて図面を参照しながら説明する。
【００３０】
図１は、本実施形態に係る静電容量センサの構成の一例を示す図である。図１に示す静電容量センサは、センサ部１０と、処理部２０と、記憶部３０と、インターフェース部４０を有する。本実施形態に係る静電容量センサは、指やペンなどの物体が検出領域ＡＲ（後述する図３Ａに示す）に近接したことを静電容量の変化として検出し、物体が近接した位置などの情報を入力する装置であり、例えばタッチパッドやタッチパネルなどの入力インターフェースなどを含む。なお、本明細書における「近接」とは、対象に対して近くにあることを意味しており、対象との接触の有無を限定しない。
［センサ部１０］
センサ部１０は、検出領域ＡＲの複数の位置において、指やペンなどの物体１の近接度合いを静電容量の変化として検出する。センサ部１０は、例えば図１に示すように、複数の電極群Ｇ１、Ｇ２、…（以下、区別せずに「電極群Ｇ」と記す場合がある。）を含む。各電極群Ｇは、検出領域ＡＲに配置されており、それぞれ１以上の電極Ｅを含む。図１の例では、電極群Ｇ１に含まれる電極Ｅを「Ｅ１１」、「Ｅ１２」、…で表し、電極群Ｇ２に含まれる電極Ｅを「Ｅ２１」、「Ｅ２２」、…で表している。電極Ｅを示す符号「Ｅ」の次に付された数字は、この電極Ｅが属した電極群Ｇの番号（「Ｇ」に付された番号）を示す。
【００３１】
またセンサ部１０は、複数の電極群Ｇの各電極Ｅについて静電容量を検出する静電容量検出部１２を有する。静電容量検出部１２は、検出領域ＡＲに近接する物体１と電極Ｅとにより形成されるキャパシタＣｘの静電容量を、電極Ｅごとに検出する。
【００３２】
図２は、図１に示す静電容量センサにおける静電容量検出部１２の要部の構成例を示す図である。静電容量検出部１２は、複数の電極Ｅに対応して設けられた複数の検出部１２０と、複数の検出部１２０に駆動信号Ｓｄを供給する駆動信号生成部１２３と、複数の検出部１２０に復調用の参照信号Ｓｆを供給する参照信号生成部１２４とを有する。１つの検出部１２０は、これに対応する１つの電極Ｅに接続されており、当該１つの電極Ｅと物体１との間に形成されるキャパシタＣｘの静電容量に応じた検出信号Ｄを生成する。キャパシタＣｘは、交流的に接地電位の導体とみなせる指などの物体１と電極１０１との間に形成される寄生的な容量成分であり、その静電容量は、物体１が電極１０１に近づくほど大きくなる。
【００３３】
図２の例において、検出部１２０は、チャージアンプ１２１を有する。チャージアンプ１２１は、電極Ｅを介してキャパシタＣｘに伝送される電荷に基づいて、キャパシタＣｘの静電容量に応じた検出信号Ｓｃを生成する。図２に示すチャージアンプ１２１は、演算増幅器１２０１と、キャパシタＣｆを含む。演算増幅器１２０１の反転入力端子と出力端子との間には、キャパシタＣｆが接続される。演算増幅器１２０１の非反転入力端子には、駆動信号生成部１２３によって交流の駆動信号Ｓｄが供給される。電極Ｅは、演算増幅器１２０１の反転入力端子に接続される。駆動信号Ｓｄは、例えば正弦波の交流電圧である。演算増幅器１２０１は、反転入力端子の電圧と非反転入力端子の電圧とがほぼ一致するように出力電圧を制御するため、キャパシタＣｘには、駆動信号Ｓｄとほぼ同じ交流電圧が発生する。キャパシタＣｘに交流電圧が発生するとき、この交流電圧とキャパシタＣｘの静電容量とに比例した電荷の変化が生じる。キャパシタＣｘにおける電荷の変化は、キャパシタＣｆにおける電荷の変化とほぼ等しい。その結果、キャパシタＣｆに生じる交流電圧は、キャパシタＣｘの静電容量に概ね比例した振幅を持つ。検出信号Ｓｃは、演算増幅器１２０１の出力端子と非反転入力端子との間に生じる電圧であり、キャパシタＣｆに生じる交流電圧と略等しい振幅を持つ。従って、検出信号Ｓｃは、キャパシタＣｘの静電容量に概ね比例した振幅を持つ。
【００３４】
また図２の例において、検出部１２０は、復調部１２２を有する。復調部１２２は、検出信号Ｓｃを参照信号Ｓｆにより復調し、その復調結果の信号を検出信号Ｄとして出力する。復調部１２２は、例えば図２に示すように、アナログの検出信号Ｓｃをデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器１２０２と、乗算部１２０３と、ローパスフィルタ１２０４とを有する。Ａ／Ｄ変換器１２０２は、例えば、演算増幅器１２０１の出力信号と検出信号Ｓｃとの差を増幅するとともに、エイリアシングを防ぐローパスフィルタとしても機能する差動アンプを含む。Ａ／Ｄ変換器１２０２は、この差動アンプの出力信号（キャパシタＣｆの交流電圧に相当する信号）をデジタル信号に変換する。乗算部１２０３は、Ａ／Ｄ変換器２１１においてデジタル信号に変換された検出信号Ｓｃと、参照信号Ｓｆとを乗算する。参照信号Ｓｆは、駆動信号Ｓｄと同じ周波数を持ち、駆動信号Ｓｄに応じて生成された検出信号Ｓｃと略同じ位相を持った正弦波の信号である。ローパスフィルタ１２０４は、乗算部１２０３の乗算結果の信号に含まれる高周波成分を除去し、直流成分を抽出する。ローパスフィルタ１２０４において抽出された直流成分は、検出信号Ｓｃの振幅に応じた大きさを持っており、キャパシタＣｘの静電容量に概ね比例する。ローパスフィルタ１２０４は、この直流成分を検出信号Ｄとして処理部２０に出力する。
【００３５】
図３Ａ〜図３Ｂは、センサ部１０における電極Ｅの配置パターンの例を示す図である。図３Ａは、検出領域ＡＲを区分する複数の区画（Ａ１〜Ａ１２）の例を示し、図３Ｂは、検出領域ＡＲに配置された複数の電極（Ｅ１１〜Ｅ１４、Ｅ２１〜Ｅ２３）の例を示す。
【００３６】
図３Ａの例において、検出領域ＡＲは、均等な１２個の区画Ａ１〜１２（以下、区別せずに「区画Ａ」と記す場合がある。）に区分されている。１２個の区画Ａは、それぞれ合同な矩形であり、４行×３列の行列状に配置されている。区画Ａは、検出対象物（例えば指先）に比べて十分小さいことが望ましい。
【００３７】
また、図３Ｂの例において、センサ部１０は、２つの電極群Ｇ１及びＧ２を有する。電極群Ｇ１は４つの電極Ｅ１１〜Ｅ１４を含み、電極群Ｇ２は３つの電極Ｅ２１〜Ｅ２３を含む。電極群Ｇ１に属する電極Ｅ１１〜Ｅ１４は、それぞれ３つの区画Ａに跨って行方向へ伸びており、互いに異なる行に配置されている。電極群Ｇ２に属する電極Ｅ２１〜Ｅ２３は、それぞれ４つの区画Ａに跨って列方向へ伸びており、互いに異なる列に配置されている。７つの電極（Ｅ１１〜Ｅ１４、Ｅ２１〜Ｅ２３）は、互いに絶縁された状態を保ちつつ、可能な限り互いの隙間が小さくなるように配置されている。
【００３８】
７つの電極（Ｅ１１〜Ｅ１４、Ｅ２１〜Ｅ２３）は、それぞれ静電容量検出部１２の検出部１２０に接続される。電極Ｅｉｊ（ｉ，ｊはそれぞれ自然数を示す。）に接続される検出部１２０は、物体１と電極Ｅｉｊとの間に形成されるキャパシタの静電容量に応じた信号として、検出信号Ｄｉｊを出力する。
【００３９】
複数の区画Ａの各々には、それぞれ異なる電極Ｅの一部を構成する２つの部分電極Ｅｇ１及びＥｇ２（以下、区別せずに「部分電極Ｅｇ」と記す場合がある。）が含まれている。同一の区画Ａに含まれる２つの部分電極Ｅｇ１及びＥｇ２は、それぞれ異なる電極群Ｇに属している。すなわち、部分電極Ｅｇ１は電極群Ｇ１に属しており、部分電極Ｅｇ２は電極群Ｇ２に属している。図３Ｂの例において、部分電極Ｅｇ１の形状は、列方向に平行な辺を持つ２つの合同な２等辺三角形の頂点を突き合せたような形状であり、区画Ａの中心に関して点対称である。また、部分電極Ｅｇ２の形状は、行方向に平行な辺を持つ２つの合同な２等辺三角形の頂点を突き合せたような形状であり、区画Ａの中心に関して点対称である。２つの部分電極Ｅｇ１及びＥｇ２は、区画Ａの中心において互いに交差している。この交差部分において、２つの部分電極Ｅｇ１及びＥｇ２の一方（図３Ｂの例では部分電極Ｅｇ２）が、基板の裏面や基板内部の配線層に迂回している。
【００４０】
電極群Ｇ１に属する４つの電極Ｅ１１〜Ｅ１４は、それぞれ３つの部分電極Ｅｇ１によって構成されており、同一の電極Ｅを構成する３つの部分電極Ｅｇ１が行方向へ並んでいる。また、電極群Ｇ２に属する３つの電極Ｅ２１〜Ｅ２３は、それぞれ４つの部分電極Ｅｇ２によって構成されおり、同一の電極Ｅを構成する４つの部分電極Ｅｇ２が列方向へ並んでいる。
【００４１】
ここで、任意の領域の内部において、２つの電極群Ｇが持つ静電容量の検出感度に対する、１つの電極群Ｇが持つ検出感度の割合を「感度率」と規定する。静電容量の検出感度は電極の面積に概ね比例することから、任意の領域の内部において１つの電極群Ｇが持つ検出感度は、当該１つの電極群Ｇが領域の内部に持つ電極の面積に概ね比例する。従って、任意の領域の内部において１つの電極群Ｇが持つ感度率は、この領域の内部において、２つの電極群Ｇが持つ電極の面積（すなわち領域内の全電極の面積）に対する、当該１つの電極群Ｇが持つ電極の面積の割合と略等しい。
【００４２】
図３Ｂに示すように、区画Ａの内部において、２つの部分電極Ｅｇ１及びＥｇ２の面積（全ての部分電極の面積）に対する、部分電極Ｅｇ１の面積の割合は０．５である（部分電極Ｅｇ１と部分電極Ｅｇ２の面積が等しい）。そのため、区画Ａの内部において電極群Ｇ１が持つ感度率（以下、「感度率ＲＳ１」と記す。）は０．５であり、１２個の区画Ａの各々において電極群Ｇ１は同じ感度率ＲＳ１（＝０．５）を持つ。
【００４３】
同様に、区画Ａの内部において電極群Ｇ２が持つ感度率（以下、「感度率ＲＳ２」と記す。）も０．５であり、１２個の区画Ａの各々において電極群Ｇ２は同じ感度率ＲＳ２（＝０．５）を持つ。
［処理部２０］
処理部２０は、静電容量センサの全体的な動作を制御する回路であり、例えば、記憶部３０に格納されたプログラム３１の命令コードに従って処理を行う１以上のコンピュータや、特定の機能を実現するように構成された専用のハードウェア（ロジック回路等）を含んで構成される。処理部５０の処理は、全て１以上のコンピュータにおいてプログラム３１に基づいて実行してもよいし、その少なくとも一部を専用のハードウェアで実行してもよい。
【００４４】
処理部２０は、例えば図１に示すように、制御部２１と、検出値取得部２２と、総和算出部２３と、判定部２４と、座標計算部２５を含む。
【００４５】
制御部２１は、各電極Ｅの検出信号Ｄが所定の周期で生成されるように、静電容量検出部１２の各回路（検出部１２０、駆動信号生成部１２３、参照信号生成部１２４）における信号の生成タイミングなどを適切に制御する。
【００４６】
検出値取得部２２は、静電容量検出部１２おいて電極Ｅごとに生成される検出信号Ｄ（図３Ｂの例では検出信号Ｄ１１〜Ｄ１４及びＤ２１〜Ｄ２３）に基づいて、静電容量の検出値Ｐを電極Ｅごとに取得する。例えば、検出値取得部２２は、検出領域ＡＲに物体１が近接していない状態か否かを、検出信号Ｄの時間的変化などに基づいて判定し、検出領域ＡＲに物体１が近接していないと判定した場合における各電極Ｅの検出信号Ｄを、各電極Ｅの基準値Ｈとして保持する。そして、検出値取得部２２は、静電容量検出部１２において各電極Ｅの検出信号Ｄが生成された場合、検出信号Ｄと基準値Ｈとの差分を電極Ｅごとに算出し、算出した差分値（Ｄ−Ｈ）を静電容量の検出値Ｐとして取得する。
【００４７】
以下では、電極Ｅｉｊについて検出値取得部２２が保持した基準値Ｈを「基準値Ｈｉｊ」と記し、電極Ｅｉｊについて検出値取得部２２が取得した検出値Ｐを「検出値Ｐｉｊ」と記す。
【００４８】
総和算出部２３は、検出値取得部２２において取得された各電極Ｅの検出値Ｐを電極群Ｇごとに合算し、２つの電極群Ｇの各々について検出値Ｐの総和Ｕを算出する。例えば、電極群Ｇ１の検出値Ｐ１１〜Ｐ１４と電極群Ｇ２の検出値Ｐ２１〜Ｐ２３とが検出値取得部２２において取得される場合、総和算出部２３は、電極群Ｇ１の検出値Ｐ１１〜Ｐ１４の総和を「Ｕ１」として算出し、電極群Ｇ２の検出値Ｐ２１〜Ｐ２３の総和を「Ｕ２」として算出する。
【００４９】
判定部２４は、２つの電極群Ｇ１及びＧ２について算出された２つの総和Ｕ１及びＵ２に基づいて、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けているか否かを判定する。すなわち、判定部２４は、２つの電極群Ｇ１及びＧ２について算出された２つの総和Ｕ１及びＵ２の比（Ｕ１：Ｕ２）が、２つの電極群Ｇ１及びＧ２に対応する２つの感度率ＲＳ１及びＲＳ２の比（Ｒ１：Ｒ２）に基づいて設定された所定の正常状態の判定基準を満たさない場合、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する。
【００５０】
仮に、検出領域ＡＲに近接する物体１のサイズが、区画Ａのサイズに比べて十分に大きいものとする。この場合、１つの区画Ａの内部において、部分電極Ｅｇ１と物体１との間に形成されるキャパシタの静電容量を「Ｃｐ１」、部分電極Ｅｇ２と物体１との間に形成されるキャパシタの静電容量を「ＣＰ２」とすると、静電容量Ｃｐ１と静電容量Ｃｐ２との比（Ｃｐ１：Ｃｐ２）は、１つの区画Ａの内部における電極群Ｇ１の感度率ＲＳ１と電極群Ｇ２の感度率ＲＳ２との比（ＲＳ１：ＲＳ２）に概ね近くなる。また、検出領域ＡＲの全体において、電極群Ｇ１と物体１との間に形成されるキャパシタの静電容量を「Ｃｇ１」、電極群Ｇ２と物体１との間に形成されるキャパシタの静電容量を「Ｃｇ２」とすると、静電容量Ｃｇ１と静電容量Ｃｇ２との比（Ｃｇ１：Ｃｇ２）も、１つの区画Ａの内部における電極群Ｇ１の感度率ＲＳ１と電極群Ｇ２の感度率ＲＳ２との比（ＲＳ１：ＲＳ２）に概ね近くなる。ここで、電極群Ｇ１について算出された検出値Ｐの総和Ｕ１は静電容量Ｃｇ１に対応し、電極群Ｇ２について算出された検出値Ｐの総和Ｕ２は静電容量Ｃｇ２に対応する。従って、検出値Ｐにノイズが混入していない正常状態において、総和Ｕ１及びＵ２の比（Ｕ１：Ｕ２）は、感度率ＲＳ１及びＲＳ２の比（ＲＳ１：ＲＳ２）に概ね近くなる。このことから、正常状態における総和Ｕ１及びＵ２の比（Ｕ１：Ｕ２）に基づいてノイズの影響の有無を判定する場合、その判定基準として、感度率ＲＳ１及びＲＳ２の比（ＲＳ１：ＲＳ２）を使用できることが分かる。
【００５１】
センサ部１０が図３Ａ〜図３Ｂに示すような電極群Ｇ１及びＧ２を持つ場合、感度率ＲＳ１及びＲＳ２の比は「ＲＳ１：ＲＳ２＝１：１」となる。従って、総和Ｕ１を総和Ｕ２で除した比ＲＵ（＝Ｕ１／Ｕ２）は、検出値Ｐにノイズが混入していない正常状態において、概ね「１」に近くなる。判定部２４は、比ＲＵ（＝Ｕ１／Ｕ２）が１に近い所定の範囲（例えば「０．５」〜「１．５」の範囲）を正常範囲とし、比ＲＵが正常範囲から逸脱した場合、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する。
【００５２】
座標計算部２５は、検出値取得部２２において取得された各電極Ｅの検出値Ｐに基づいて、検出領域ＡＲに物体１が近接しているか否かを判定するとともに、物体１が近接している場合には、その近接位置の座標を計算する。例えば図３Ａ〜図３Ｂの例において、座標計算部２５は、行方向に並んだ３つの電極Ｅ２１〜Ｅ２３ついて得られる検出値Ｐ２１〜Ｐ２３の分布に基づいて、行方向における物体１の近接位置の座標を計算し、列方向に並んだ４つの電極Ｅ１１〜Ｅ１４について得られる検出値Ｐ１１〜Ｐ１４の分布に基づいて、列方向における物体１の近接位置の座標を計算する。
［記憶部３０］
記憶部３０は、処理部２０において処理に使用される定数データや、処理の過程で一時的に参照される変数データを記憶する。また記憶部３０は、処理部２０のコンピュータによって実行されるプログラム３１を記憶する。記憶部３０は、例えば、ＤＲＡＭやＳＲＡＭなどの揮発性メモリ、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリ、ハードディスクドライブなどの磁気記憶装置のうちの１つ以上を含んで構成される。
［インターフェース部４０］
インターフェース部４０は、静電容量センサと他の制御装置（静電容量センサを搭載する電子機器のコントロール用ＩＣなど）との間でデータをやり取りするための回路である。処理部２０は、記憶部３０に記憶される情報（物体１の座標の情報など）をインターフェース部４０から図示しない制御装置へ出力する。また、インターフェース部４０は、処理部２０のコンピュータにおいて実行されるプログラム３１を、光ディスクやＵＳＢメモリなどの非一時的記録媒体やネットワーク上のサーバなどから取得して、記憶部３０にロードしてもよい。
【００５３】
ここで、上述した構成を有する静電容量センサの動作の一例について、図４及び図５に示すフローチャートを参照して説明する。
【００５４】
図４は、静電容量センサの動作の例を説明するためのフローチャートである。静電容量センサは、図４のフローチャートに示す動作を周期的に反復する。まず制御部２１は、静電容量検出部１２において各電極Ｅの検出信号Ｄを生成するように、静電容量検出部１２の各回路（検出部１２０、駆動信号生成部１２３、参照信号生成部１２４）を制御する（ＳＴ１００）。検出値取得部２２は、静電容量検出部１２から各電極Ｅの検出信号Ｄを入力すると、検出信号Ｄと基準値Ｈとの差分値である検出値Ｐを各電極Ｅについて取得する（ＳＴ１０５）。総和算出部２３は、検出値取得部２２において取得された各電極Ｅの検出値Ｐを電極群Ｇごとに足し合わせ、２つの電極群Ｇの各々について検出値Ｐの総和Ｕを算出する（ＳＴ１１０）。
【００５５】
判定部２４は、２つの電極群Ｇの各々について算出された検出値Ｐの総和Ｕに基づいて、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けているか否かを判定する（ＳＴ１１５）。静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていないと判定部２４において判定された場合（ＳＴ１２０のＮｏ）、座標計算部２５は、検出値取得部２２において取得された各電極Ｅの検出値Ｐに基づいて、検出領域ＡＲに物体１が近接しているか否かを判定し、物体１が近接している場合には、その近接位置の座標を計算する（ＳＴ１２５）。静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定部２４において判定された場合（ＳＴ１２０のＹｅｓ）、座標計算部２５は、検出領域ＡＲにおける物体１の近接状態の判定や近接位置の計算を行わない。
【００５６】
図５は、判定部２４においてノイズの影響の有無を判定する動作（図４のステップＳＴ１１５）の例を説明するためのフローチャートである。まず判定部２４は、２つの電極群Ｇ１及びＧ２の各々について算出された２つの総和Ｕ１及びＵ２が、それぞれゼロより大きいか否かを判定する（ＳＴ２００）。２つの総和Ｕ１及びＵ２の少なくとも一方がゼロ以下である場合（ＳＴ２００のＮｏ）、判定部２４は、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する（ＳＴ２２０）。基準値Ｈは検出信号Ｄより小さい値に設定されるため、通常は検出値Ｐが正の値となり、検出値Ｐを足し合わせた総和Ｕも正の値となる。従って、総和Ｕがゼロ以下となる場合、判定部２４は正常状態でないと判定する。
【００５７】
２つの総和Ｕ１及びＵ２が何れもゼロより大きい場合（ＳＴ２００のＹｅｓ）、判定部２４は、２つの総和Ｕ１及びＵ２の比ＲＵ（＝Ｕ１／Ｕ２）を算出する（ＳＴ２０５）。このとき、総和Ｕ１及びＵ２が何れもゼロより大きいため、除数がゼロになることによる計算エラーは生じない。判定部２４は、比ＲＵが所定の正常範囲（しきい値ＴＡ０より大きく、かつ、しきい値ＴＡ１より小さい範囲）に含まれる場合（ＳＴ２１０のＹｅｓ）、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていないと判定する（ＳＴ２１５）。他方、比ＲＵが所定の正常範囲から逸脱する場合（ＳＴ２１０のＮｏ）、判定部２４は、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する（ＳＴ２２０）。
【００５８】
図６Ａ〜図６Ｂは、検出信号Ｄ１１〜Ｄ１４，Ｄ２１〜Ｄ２３の例を示す図である。図６Ａは、検出領域ＡＲに物体１が近接していない状態における検出信号Ｄ１１〜Ｄ１４，Ｄ２１〜Ｄ２３の例を示し、図６Ｂは、検出領域ＡＲに物体１が近接した状態における検出信号Ｄ１１〜Ｄ１４，Ｄ２１〜Ｄ２３の例を示す。物体１が近接した状態では、物体１が近接していない状態に比べて、検出信号Ｄ１１〜Ｄ１４，Ｄ２１〜Ｄ２３の値が相対的に大きくなっている。図６Ｂの例では、電極Ｅ１２、Ｅ２１、Ｅ２２へ物体１が近接しているため、電極Ｅ１２、Ｅ２１、Ｅ２２に対応する検出信号Ｄ１２、Ｄ２１、Ｄ２２の値が特に大きくなっている。
【００５９】
図７は、図６Ｂに示す検出信号Ｄ１１〜Ｄ１４，Ｄ２１〜Ｄ２３が生成された場合の信号処理を図解した図である。この図の例において、検出値取得部２２は、物体１が近接していない状態の図６Ａに示す検出信号Ｄ１１〜Ｄ１４，Ｄ２１〜Ｄ２３を、それぞれ基準値Ｈ１１〜Ｈ１４、Ｈ２１〜Ｈ２３として保持している。検出値取得部２２は、検出信号Ｄ１１〜Ｄ１４，Ｄ２１〜Ｄ２３から基準値Ｈ１１〜Ｈ１４、Ｈ２１〜Ｈ２３を引いた差分値として、図７に示す検出値Ｐ１１〜Ｐ１４、Ｐ２１〜Ｐ２３を算出する。
【００６０】
図８は、図７に示す検出値Ｐ１１〜Ｐ１４、Ｐ２１〜Ｐ２３が得られた場合の信号処理を図解した図である。この図の例において、総和算出部２３は、電極群Ｇ１について取得された検出値Ｐ１１〜Ｐ１４を足し合わせることにより総和Ｕ１を算出し、電極群Ｇ２について取得された検出値Ｐ２１〜Ｐ２３を足し合わせることにより総和Ｕ２を算出する。判定部２４は、総和Ｕ１と総和Ｕ２との比ＲＵを算出し、比ＲＵが所定の正常範囲（０．５より大きく、かつ、１．５より小さい範囲）に含まれるか否かを判定する。この例において比ＲＵは「０．９９１」であり、正常範囲に含まれる。そのため、判定部２４は、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていないと判定する。この判定結果を受けて、座標計算部２５は、検出値Ｐ１１〜Ｐ１４、Ｐ２１〜Ｐ２３に基づく座標の計算を行う。
【００６１】
他方、図９は、電極Ｅ１１にノイズが印加された場合における検出信号Ｄ１１〜Ｄ１４，Ｄ２１〜Ｄ２３の例を示す図である。この例では、電極Ｅ１１に対応する検出信号Ｄ１１の値が、他の検出信号Ｄ１２〜Ｄ１４，Ｄ２１〜Ｄ２３の値に比べて特異的に大きくなっている。例えば、高周波の外来ノイズに対して電極Ｅ１１がアンテナとして機能し、外来ノイズの周波数において共振し易い特性を持っている場合、電極Ｅ１１から検出部１２０の入力へ高周波の外来ノイズが伝わり易くなる。処理部２０に高周波の外来ノイズが入力されると、検出部１２０のアナログ回路（演算増幅器１２０１など）において高周波電流が流れ、アナログ信号（検出信号Ｓｃなど）に直流的なノイズ成分が重畳され、結果として、検出信号Ｄ１１の値に直流的なノイズ成分が加算される。このようなノイズ成分は、平均化処理で除去することができない。
【００６２】
図１０は、図９に示す検出信号Ｄ１１〜Ｄ１４，Ｄ２１〜Ｄ２３が生成された場合の信号処理を図解した図である。この図の例においても、検出値取得部２２は、図６Ａに示す検出信号Ｄ１１〜Ｄ１４，Ｄ２１〜Ｄ２３を、それぞれ基準値Ｈ１１〜Ｈ１４、Ｈ２１〜Ｈ２３として保持している。検出値取得部２２は、検出信号Ｄ１１〜Ｄ１４，Ｄ２１〜Ｄ２３から基準値Ｈ１１〜Ｈ１４、Ｈ２１〜Ｈ２３を引いた差分値として、図９に示す検出値Ｐ１１〜Ｐ１４、Ｐ２１〜Ｐ２３を算出する。
【００６３】
図１１は、図１０に示す検出値Ｐ１１〜Ｐ１４、Ｐ２１〜Ｐ２３が得られた場合の信号処理を図解した図である。この図の例においても、総和算出部２３は、検出値Ｐ１１〜Ｐ１４を足し合わせることにより総和Ｕ１を算出し、検出値Ｐ２１〜Ｐ２３を足し合わせることにより総和Ｕ２を算出する。判定部２４は、総和Ｕ１と総和Ｕ２との比ＲＵを算出し、比ＲＵが所定の正常範囲（０．５より大きく、かつ、１．５より小さい範囲）に含まれるか否かを判定する。この例において比ＲＵは「５００．５」であり、正常範囲から逸脱している。そのため、判定部２４は、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する。この場合、座標計算部２５では、検出値Ｐ１１〜Ｐ１４、Ｐ２１〜Ｐ２３に基づく座標の計算が行われない（図１０）。
【００６４】
以上説明したように、本実施形態では、それぞれ１以上の電極Ｅを含むＮ個の電極群Ｇ（図３Ａ〜図３Ｂの例では２つの電極群Ｇ）が検出領域ＡＲに配置されており、検出領域ＡＲに近接する物体１と電極Ｅとにより形成されるキャパシタの静電容量が、静電容量検出部１２において電極Ｅごとに検出される。静電容量検出部１２の検出結果に基づいて電極Ｅごとに静電容量の検出値Ｐが得られると、この検出値Ｐが電極群Ｇごとに合算され、Ｎ個の電極群の各々について検出値Ｐの総和Ｕが算出される。
【００６５】
また、本実施形態では、検出領域ＡＲを区分する複数の区画Ａの各々において、同一の電極群Ｇが同一の感度率（Ｎ個の電極群Ｇが持つ静電容量の検出感度に対する、１つの電極群Ｇが持つ検出感度の割合）を持っている。すなわち、１つの電極群Ｇは、全ての区画Ａにおいて同一の感度率を持っている。Ｎ個の電極群Ｇには、このようなＮ個の感度率が一対一に対応している。
【００６６】
物体１のサイズが個々の区画Ａのサイズに比べて十分に大きいものとすると、１つの区画Ａにおいて各電極群Ｇと物体１との間に生じる静電容量の比は、当該１つの区画Ａにおける各電極群Ｇの感度率の比と概ね等しくなり、他の任意の区画Ａにおける各電極群Ｇの感度率の比とも概ね等しくなる。従って、検出領域ＡＲの全体において各電極群Ｇと物体１との間に生じる静電容量の比、すなわち、各電極群Ｇについて算出される総和Ｕの比は、任意の１つの区画Ａにおける各電極群Ｇの感度率の比と概ね等しくなり、ノイズの影響を受けていない正常な状態では、概ね定まった値となる。
【００６７】
高周波の外来ノイズは、ノイズ源と電極Ｅとの静電結合によって検出値Ｐに混入するノイズと異なり、電極Ｅの長さや形状、延伸方向などに応じて検出値Ｐへの混入の度合いがばらつく傾向がある。そのため、高周波の外来ノイズが検出値Ｐに混入する度合いは、Ｎ個の電極群Ｇにおいて均一にならない。静電容量検出部１２の検出結果がこのようなノイズの影響を受けている場合、Ｎ個の電極群Ｇについて算出されたＮ個の総和Ｕの比は、正常状態での定まった値に対してずれを生じる。従って、本実施形態では、Ｎ個の電極群Ｇについて算出されたＮ個の総和Ｕの比が、Ｎ個の電極群Ｇに対応するＮ個の感度率の比に基づいて設定された正常状態の判定基準を満たさない場合に、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定される。すなわち、本実施形態によれば、高周波の外来ノイズが静電容量の検出結果に影響を与えていることを適切に判定できる。
【００６８】
また、本実施形態では、複数の区画Ａの各々に、それぞれ異なる電極Ｅの一部を構成するＮ個の部分電極Ｅｇが含まれており、同一の区画Ａに含まれるＮ個の部分電極Ｅｇは、それぞれ異なる電極群Ｇに属している。すなわち、複数の区画Ａの各々には、Ｎ個の電極群Ｇの各々が部分電極Ｅｇとして配置されている。そして、１つの電極群Ｇに対応する感度率は、１つの区画Ａにおいて、Ｎ個の部分電極Ｅｇが占有した面積に対する、当該１つの電極群Ｇに属する部分電極Ｅｇが占有した面積の割合を示しており、ばらつきを生じ難い定まった値となる。そのため、ばらつきを生じ難い感度率の比に基づく判定基準によって、静電容量検出部１２の検出結果に対するノイズの影響の有無を正確に判定することができる。
【００６９】
更に、本実施形態では、電極群Ｇ１を構成する各電極Ｅの部分電極Ｅｇの配列方向が行方向であるのに対し、電極群Ｇ２を構成する各電極Ｅの部分電極Ｅｇの配列方向が列方向であり、両者の配列方向が異なっている。そのため、高周波の外来ノイズによる検出結果への影響の度合いが、電極群Ｇ１と電極群Ｇ２とで相違し易くなる。これにより、電極群Ｇ１について算出された検出値Ｐの総和Ｕ１と、電極群Ｇ２について算出された検出値Ｐの総和Ｕ２との比が、高周波の外来ノイズの影響を受けて変化し易くなるため、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていることを正確に判定し易くなる。
（変形例）
次に、本実施形態に係る静電容量センサの幾つかの変形例について説明する。
【００７０】
図１２Ａ〜図１２Ｂは、本実施形態に係る静電容量センサにおける電極Ｅの配置パターンの一変形例を示す図であり、電極群Ｇの数が４つの場合の例を示す。図１２Ａは、検出領域ＡＲを区分する９個の区画Ａ１〜Ａ９を示し、図１２Ｂは、検出領域ＡＲに配置された１６個の電極（Ｅ１１〜Ｅ１３、Ｅ２１〜Ｅ２３、Ｅ３１〜Ｅ３５、Ｅ４１〜Ｅ４５）を示す。
【００７１】
図１２Ａの例において、検出領域ＡＲは均等な９個の区画Ａに区分されている。９個の区画Ａは、それぞれ合同な矩形であり、３行×３列の行列状に配置されている。
【００７２】
図１２Ｂの例において、１６個の電極Ｅは、延伸方向が異なる４つの電極群Ｇ１〜Ｇ４に分かれている。電極群Ｇ１は３つの電極Ｅ１１〜Ｅ１３を含み、電極群Ｇ２は３つの電極Ｅ２１〜Ｅ２３を含み、電極群Ｇ３は５つの電極Ｅ３１〜Ｅ３５を含み、電極群Ｇ４は５つの電極Ｅ４１〜Ｅ４５を含む。電極群Ｇ１に属する電極Ｅ１１〜Ｅ１３は、それぞれ３つの区画Ａに跨って行方向へ伸びており、互いに異なる行に配置されている。電極群Ｇ２に属する電極Ｅ２１〜Ｅ２３は、それぞれ３つの区画Ａに跨って列方向へ伸びており、互いに異なる列に配置されている。電極群Ｇ３に属する電極Ｅ３１〜Ｅ３５は、行方向及び列方向とは異なる方向である対角方向（第１行第３列から第３行第１列に向かう方向）へ伸びている。電極群Ｇ４に属する電極Ｅ４１〜Ｅ４５は、電極群Ｇ３とは反対の対角方向（第１行第１列から第３行第３列に向かう方向）へ伸びている。１６個の電極（Ｅ１１〜Ｅ１３、Ｅ２１〜Ｅ２３、Ｅ３１〜Ｅ３５、Ｅ４１〜Ｅ４５）は、互いに絶縁された状態を保ちつつ、可能な限り互いの隙間が小さくなるように配置されている。
【００７３】
複数の区画Ａの各々には、それぞれ異なる電極Ｅの一部を構成する４つの部分電極Ｅｇ１〜Ｅｇ４が含まれている。同一の区画Ａに含まれる４つの部分電極Ｅｇ１〜Ｅｇ４は、それぞれ異なる電極群Ｇに属している。すなわち、部分電極Ｅｇ１は電極群Ｇ１に属しており、部分電極Ｅｇ２は電極群Ｇ２に属しており、部分電極Ｅｇ３は電極群Ｇ３に属しており、部分電極Ｅｇ４は電極群Ｇ４に属している。図１２Ｂの例において、４つの部分電極Ｅｇ１〜Ｅｇ４の形状は、それぞれ合同なＬ字形状であり、区画Ａの中心に関して点対称である。
【００７４】
図１２Ｂの例において、電極群Ｇ１に属する３つの電極Ｅ１１〜Ｅ１３は、それぞれ３つの部分電極Ｅｇ１によって構成されおり、同一の電極Ｅを構成する３つの部分電極Ｅｇ１が行方向へ並んでいる。
【００７５】
電極群Ｇ２に属する３つの電極Ｅ２１〜Ｅ２３は、それぞれ３つの部分電極Ｅｇ２によって構成されおり、同一の電極Ｅを構成する４つの部分電極Ｅｇ２が列方向へ並んでいる。
【００７６】
電極群Ｇ３に属する電極Ｅ３３は、３つ部分電極Ｅｇ３によって構成される。電極群Ｇ３に属する電極Ｅ３２、Ｅ３４は、それぞれ２つの部分電極Ｅｇ３によって構成される。電極群Ｇ３に属する電極Ｅ３１、Ｅ３５は、それぞれ１つの部分電極Ｅｇ３によって構成される。同一の電極Ｅを構成する複数の部分電極Ｅｇ３は、対角方向（第１行第３列から第３行第１列に向かう方向）へ並んでいる。
【００７７】
電極群Ｇ４に属する電極Ｅ４３は、３つ部分電極Ｅｇ４によって構成される。電極群Ｇ４に属する電極Ｅ４２、Ｅ４４は、それぞれ２つの部分電極Ｅｇ４によって構成される。電極群Ｇ４に属する電極Ｅ４１、Ｅ４５は、それぞれ１つの部分電極Ｅｇ４によって構成される。同一の電極Ｅを構成する複数の部分電極Ｅｇ４は、対角方向（第１行第１列から第３行第３列に向かう方向）へ並んでいる。
【００７８】
なお、同一の電極Ｅを構成する複数の部分電極Ｅｇを接続するための配線は、各電極Ｅが形成される基板の表面とは反対側の裏面や、基板内部の配線層に形成される。
【００７９】
図１２Ｂの例では、区画Ａにおける部分電極Ｅｇ１〜Ｅｇ４の面積が全て等しいため、区画Ａにおける電極群Ｇ１〜Ｇ４の感度率ＲＳ１〜ＲＳ４は全て等しい。すなわち、感度率ＲＳ１〜ＲＳ４の値は全て「０．２５」であり、感度率ＲＳ１〜ＲＳ４の比は「ＲＳ１：ＲＳ２：ＲＳ３：ＲＳ４＝１：１：１：１」である。静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていない場合、検出値取得部２２が電極群Ｇ１〜Ｇ４について算出する総和Ｕ１〜Ｕ４の比は概ね「Ｕ１：Ｕ２：Ｕ３：Ｕ４＝１：１：１：１」となる。従って、判定部２４は、ノイズの影響の判定において、総和Ｕ１〜Ｕ４の比が「Ｕ１：Ｕ２：Ｕ３：Ｕ４＝１：１：１：１」を基準とする所定の正常範囲に含まれているか否かを判定する。
【００８０】
図１３は、判定部２４においてノイズの影響の有無を判定する動作（図４のステップＳＴ１１５）の第１変形例を説明するためのフローチャートであり、電極群Ｇの数が４個の場合（図１２Ｂ）の動作例を示す。
【００８１】
この第１変形例において、まず判定部２４は、４つの電極群Ｇ１〜Ｇ４の各々について算出された４つの総和Ｕ１〜Ｕ４が、それぞれゼロより大きいか否かを判定する（ＳＴ３００）。４つの総和Ｕ１〜Ｕ４の少なくとも１つがゼロ以下である場合（ＳＴ３００のＮｏ）。判定部２４は、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する（ＳＴ３４５）。
【００８２】
４つの総和Ｕ１〜Ｕ４が何れもゼロより大きい場合（ＳＴ３００のＹｅｓ）、判定部２４は、４つの電極群Ｇにおける全ての電極群Ｇのペア（６通りのペア）について、それぞれ２つの総和Ｕの比ＲＵを算出する（ＳＴ３０５）。例えば、判定部２４は、「Ｕ１／Ｕ２」、「Ｕ１／Ｕ３」、「Ｕ１／Ｕ４」、「Ｕ２／Ｕ３」、「Ｕ２／Ｕ４」、「Ｕ３／Ｕ４」を、それぞれ比ＲＵとして算出する。ノイズの影響を受けていない場合、総和Ｕ１〜Ｕ４の比は概ね「Ｕ１：Ｕ２：Ｕ３：Ｕ４＝１：１：１：１」となるため、これらの６個の比ＲＵはいずれも「１」に近い値となる。
【００８３】
判定部２４は、１組の電極群Ｇのペアについて算出した比ＲＵが当該１組のペアについて設定された所定の正常範囲に含まれるか否かを、６個の比ＲＵについてそれぞれ判定する（ＳＴ３１０）。ノイズの影響を受けていない場合における６個の比ＲＵはいずれも「１」に近い値となるため、６個の比ＲＵについて設定される正常範囲は等しい範囲（しきい値ＴＡ０より大きく、かつ、しきい値ＴＡ１より小さい範囲）に設定される。判定部２４は、６個の比ＲＵが全て正常範囲に含まれる場合（ＳＴ３１０のＹｅｓ）、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていないと判定する（ＳＴ３４０）。他方、１以上の比ＲＵが正常範囲から逸脱する場合（ＳＴ３１０のＮｏ）、判定部２４は、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する（ＳＴ３４５）。
【００８４】
図１３のフローチャートに示す第１変形例によれば、電極群Ｇのペアの全組み合わせについて、２つの総和Ｕの比ＲＵが算出され、１組以上のペアについて算出された１以上の比ＲＵが、それぞれ正常範囲に含まれるか否か判定される。この判定における正常範囲は、ペアを構成する２つの電極群Ｇに対応した２つの感度率の比に基づいて、ペアごとに設定される。１以上の比ＲＵが正常範囲から逸脱する場合、４個の総和Ｕの比（Ｕ１：Ｕ２：Ｕ３：Ｕ４）が、４つの電極群Ｇに対応する４個の感度率の比に基づいて設定された正常状態の判定基準を満たしていないことになるため、判定部２４は、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する。
【００８５】
図１４は、判定部２４においてノイズの影響の有無を判定する動作（図４のステップＳＴ１１５）の第２変形例を説明するためのフローチャートであり、図１３と同様に、電極群Ｇの数が４個の場合（図１２Ｂ）の動作例を示す。
【００８６】
この第２変形例において、まず判定部２４は、４つの電極群Ｇ１〜Ｇ４の各々について算出された４つの総和Ｕ１〜Ｕ４が、それぞれゼロより大きいか否かを判定する（ＳＴ３００）。４つの総和Ｕ１〜Ｕ４の少なくとも１つがゼロ以下である場合（ＳＴ３００のＮｏ）、判定部２４は、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する（ＳＴ３４５）。
【００８７】
４つの総和Ｕ１〜Ｕ４が何れもゼロより大きい場合（ＳＴ３００のＹｅｓ）、判定部２４は、４つの電極群Ｇについて算出した４つの総和Ｕにおける最大値と最小値との比ＲＵ（最大値／最小値）を算出する（ＳＴ３１５）。最大値と最小値との比ＲＵ（最大値／最小値）は、全ての電極群Ｇのペア（６通りのペア）について算出される２つの総和Ｕの比ＲＵの中で最も大きな値となるが、ノイズの影響を受けていない場合、「１」に近い値となる。最大値と最小値との比ＲＵが「１」に近い値の場合、他の電極群Ｇの組み合わせにおける２つの総和Ｕの比ＲＵは、最大値と最小値との比ＲＵよりも更に「１」に近い値となる。
【００８８】
判定部２４は、最大値と最小値との比ＲＵが所定の正常範囲に含まれるか否かを判定する（ＳＴ３２０）。判定部２４は、最大値と最小値との比ＲＵが正常範囲に含まれる場合（ＳＴ３２０のＹｅｓ）、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていないと判定する（ＳＴ３４０）。他方、最大値と最小値との比ＲＵが正常範囲から逸脱する場合（ＳＴ３２０のＮｏ）、判定部２４は、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する（ＳＴ３４５）。
【００８９】
図１４のフローチャートに示す第２変形例によれば、４個の電極群Ｇに対応する４個の感度率が同じ（０．２５）であることから、任意に選択された２つの電極群Ｇは同じ感度率を持ち、その比は１となる。静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていない正常状態において、任意に選択された２つの電極群Ｇについて算出された２つの総和の比ＲＵも、概ね１に近い値となる。４個の総和における最小値と最大値との比ＲＵが１に近似する所定の正常範囲から逸脱する場合、少なくとも１組の電極群Ｇのペアにおいて２つの総和Ｕの比が正常範囲から逸脱しているため、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定される。他方、最小値と最大値との比がこの正常範囲に含まれる場合、全ての電極群Ｇのペアにおいて２つの総和Ｕの比が正常範囲に含まれているため、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていないと判定される。
【００９０】
図１５は、判定部２４においてノイズの影響の有無を判定する動作（図４のステップＳＴ１１５）の第３変形例を説明するためのフローチャートであり、図１３、図１４と同様に、電極群Ｇの数が４個の場合（図１２Ｂ）の動作例を示す。
【００９１】
この第３変形例において、まず判定部２４は、４つの電極群Ｇ１〜Ｇ４の各々について算出された４つの総和Ｕ１〜Ｕ４が、それぞれゼロより大きいか否かを判定する（ＳＴ３００）。４つの総和Ｕ１〜Ｕ４の少なくとも１つがゼロ以下である場合（ＳＴ３００のＮｏ）、判定部２４は、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する（ＳＴ３４５）。
【００９２】
４つの総和Ｕ１〜Ｕ４が何れもゼロより大きい場合（ＳＴ３００のＹｅｓ）、判定部２４は、４つの電極群Ｇについて算出した４つの総和Ｕの合計値Ｍ（＝Ｕ１＋Ｕ２＋Ｕ３＋Ｕ４）を算出する（ＳＴ３２５）。
【００９３】
次に判定部２４は、１つの電極群Ｇについて算出された総和Ｕと合計値Ｍとの比である電極群検出率ＲＧ（＝Ｕ／Ｍ）を、４個の電極群Ｇの各々について算出する。すなわち、判定部２４は、「Ｕ１／Ｍ」、「Ｕ２／Ｍ」、「Ｕ３／Ｍ」、「Ｕ４／Ｍ」を、それぞれ電極群検出率ＲＧとして算出する。１つの電極群Ｇについて算出された総和Ｕは、検出領域ＡＲ全体において物体１と電極群Ｇとの間に形成されるキャパシタの静電容量に対応し、合計値Ｍは、検出領域ＡＲ全体において物体１とＮ個の電極群Ｇ全体との間に形成されるキャパシタの静電容量に対応する。そのため、電極群検出率ＲＧ（＝Ｕ／Ｍ）は、検出領域ＡＲ全体における電極群Ｇの感度率に相当し、区画Ａの内部における電極群Ｇの感度率と概ね等しい値を持つ。物体１のサイズが区画Ａのサイズに比べて十分に大きいものとすると、ノイズの影響を受けていない場合の各電極群Ｇの電極群検出率ＲＧは、何れも「０．２５」に近い値となる。
【００９４】
判定部２４は、１つの電極群Ｇついて算出した電極群検出率ＲＧが当該１つの電極群Ｇの感度率について設定された所定の正常範囲に含まれるか否かを、４個の電極群検出率ＲＧについてそれぞれ判定する（ＳＴ３３５）。ノイズの影響を受けていない場合における４個の電極群検出率ＲＧはいずれも「０．２５」に近い値となるため、４個の電極群検出率ＲＧについて設定される正常範囲は等しい範囲（しきい値ＴＢ０より大きく、かつ、しきい値ＴＢ１より小さい範囲）に設定される。判定部２４は、４個の電極群検出率ＲＧが全て正常範囲に含まれる場合（ＳＴ３３５のＹｅｓ）、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていないと判定する（ＳＴ３４０）。他方、１以上の電極群検出率ＲＧが正常範囲から逸脱する場合（ＳＴ３３５のＮｏ）、判定部２４は、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定する（ＳＴ３４５）。
【００９５】
図１５のフローチャートに示す第３変形例によれば、４個の電極群Ｇの各々について電極群検出率ＲＧが算出され、算出された４個の電極群検出率ＲＧが、それぞれ正常範囲に含まれるか否か判定される。１つの電極群Ｇについて算出された電極群検出率ＲＧは、当該１つの電極群Ｇの感度率に基づいて設定された正常範囲に含まれるか否か判定される。電極群検出率ＲＧは、１つの電極群Ｇについて算出された総和Ｕと４個の電極群について算出されたＮ個の総和Ｕの合計値Ｍとの比であり、当該１つの電極群Ｇの感度率に応じた値を持つ。そのため、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていない正常な状態において、電極群検出率ＲＧは概ね感度率に応じた所定の値（０．２５）となり、正常範囲に含まれる。１以上の電極群検出率ＲＧが正常範囲から逸脱する場合、１以上の電極群検出率ＲＧが感度率に応じた値（０．２５）からずれていることになるため、静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていると判定される。
【００９６】
図１６Ａ〜図１６Ｂは、本実施形態に係る静電容量センサにおける電極Ｅの配置パターンの一変形例を示す図であり、２つの電極群Ｇが異なる感度率を持っている場合の例を示す。図１６Ａは、検出領域ＡＲを区分する１２の区画Ａ１〜Ａ１２を示し、図１６Ｂは、検出領域ＡＲに配置される７個の電極（Ｅ１１〜Ｅ１４、Ｅ２１〜Ｅ２３）を示す。
【００９７】
図１６Ａの例における検出領域ＡＲの区分は、既に説明した図３Ａの例と同じである。また、図１６Ｂの例における２つの電極群Ｇ１及びＧ２の構成は、既に説明した図３Ｂの例と同じであり、電極群Ｇ１に含まれる電極Ｅ１１〜Ｅ１４の構成、並びに、電極群Ｇ２に含まれる電極Ｅ２１〜Ｅ２３の構成も、既に説明した図３Ｂの例と同じである。
【００９８】
図１６Ｂの例は、図３Ｂの例と比較して、各区画Ａの内部における部分電極Ｅｇ１及びＥｇ２の面積の割合が異なっている。すなわち、図３Ｂの例において、部分電極Ｅｇ１及びＥｇ２の面積は略同一であるのに対し、図３Ｂの例において、部分電極Ｅｇ２の面積は部分電極Ｅｇ１の面積の約２倍となっている。
【００９９】
また図１６Ｂの例において、部分電極Ｅｇ１は行方向に長い１つの長方形であり、部分電極Ｅｇ２は行方向に長い２つの長方形の部分からなる。部分電極Ｅｇ１は、列方向の両側から部分電極Ｅｇ２の２つの部分（長方形）によって挟まれている。部分電極Ｅｇ２を構成する２つの長方形の部分は、基板の裏面や基板内部の配線層に形成された迂回配線により接続される。また、電極群Ｇ２に属した１つの電極Ｅ（Ｅ２１〜Ｅ２３）を構成する４つの部分電極Ｅｇ２は、基板の裏面や基板内部の配線層に形成された迂回配線により接続される。電極群Ｇ１に属した１つの電極Ｅ（Ｅ１１〜Ｅ１４）を構成する３つの部分電極Ｅｇ１は、迂回配線を経ずに直接つながっており、行方向へ伸びた１つの長方形の電極パターンを形成する。
【０１００】
図１６Ｂの例では、区画Ａにおける部分電極Ｅｇ２の面積が部分電極Ｅｇ１の面積の約２倍であるため、区画Ａにおける電極群Ｇ２の感度率ＲＳ２は電極群Ｇ１の感度率ＲＳ１の２倍である。すなわち、感度率ＲＳ１及びＲＳ２の比は「ＲＳ１：ＲＳ２＝１：２」である。静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていない場合、検出値取得部２２が電極群Ｇ１及びＧ２について算出する総和Ｕ１及びＵ２の比は概ね「Ｕ１：Ｕ２＝１：２」となる。従って、判定部２４は、ノイズの影響の判定において、総和Ｕ１及びＵ２の比が「Ｕ１：Ｕ２＝１：１」を基準とする所定の正常範囲に含まれているか否かを判定する。例えば図５に示すフローチャートのステップＳＴ２１０において、判定部２４は、総和Ｕ１及びＵ２の比ＲＵ（＝Ｕ１／Ｕ２）が「０．５」に近い正常範囲に含まれるか否かを判定する。
【０１０１】
以上、本実施形態に係る静電容量センサについて説明したが、本発明は上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、種々のバリエーションを含んでいる。
【０１０２】
例えば、上述した実施形態において検出領域ＡＲに配置される電極群Ｇの数や、各電極群Ｇに含まれる電極Ｅの数、電極Ｅを構成する部分電極Ｅｇの形状、区画Ａの内部における各部分電極Ｅｇの面積の割合などは一例であり、本発明はこれらの例に限定されない。
【０１０３】
また、本発明の他の実施形態では、判定部２４において静電容量検出部１２の検出結果がノイズの影響を受けていないと判定された場合、各電極群Ｇの電極群検出率ＲＧがそれぞれ所定の感度率へ近づくように、電極群Ｇごとに検出値Ｐを補正してもよい。
【０１０４】
本願は、日本特許庁に２０１８年７月２６日に出願された基礎出願２０１８−１４０５８０号の優先権を主張するものであり、その全内容を参照によりここに援用する。
【符号の説明】
【０１０５】
１…物体、１０…センサ部、１２…静電容量検出部、１２０…検出部、１２１…チャージアンプ、１２２…復調部、１２３…駆動信号生成部、１２４…参照信号生成部、１２０１…演算増幅器、１２０２…Ａ／Ｄ変換器、１２０３…乗算部、１２０４…ローパスフィルタ、２０…処理部、２１…制御部、２２…検出値取得部、２３…総和算出部、２４…判定部、２５…座標計算部、３０…記憶部、３１…プログラム、４０…インターフェース部、Ｃｘ，Ｃｆ…キャパシタ、Ｇ１〜Ｇ４…電極群、Ｅ，Ｅ１１〜Ｅ１４，Ｅ２１〜Ｅ２３，Ｅ３１〜Ｅ３５，Ｅ４１〜Ｅ４５…電極、Ｅｇ１〜Ｅｇ４…部分電極、ＡＲ…検出領域、Ａ１〜Ａ１２…区画
【図１】
0006928723.tif 000002
【図２】
0006928723.tif 000003
【図３Ａ】
0006928723.tif 000004
【図３Ｂ】
0006928723.tif 000005
【図４】
0006928723.tif 000006
【図５】
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【図６Ａ】
0006928723.tif 000008
【図６Ｂ】
0006928723.tif 000009
【図７】
0006928723.tif 000010
【図８】
0006928723.tif 000011
【図９】
0006928723.tif 000012
【図１０】
0006928723.tif 000013
【図１１】
0006928723.tif 000014
【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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