(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
建屋内の気体中に分散した揮発性有機化合物の回収システムであって、
前記揮発性有機化合物を吸着する吸着剤を剥離可能に多数、保持する保持部材と、
前記保持部材から剥離した前記吸着剤が気体と共に流れる第１流路と、
前記第１流路から流れ込んだ前記吸着剤を加熱して、当該吸着剤に吸着された前記揮発性有機化合物を脱離する脱離装置と、
脱離した前記揮発性有機化合物を凝縮して回収する回収装置と、
前記第１流路を加熱する加熱手段と、
前記脱離装置から前記回収装置へ、前記吸着剤から脱離した高温の揮発性有機化合物が気体と共に流れる第２流路とを備え、
前記加熱手段が、前記第２流路を流れる前記高温の揮発性有機化合物で前記第１流路を流れる前記吸着剤を予熱する第１熱交換器である、
ことを特徴とする揮発性有機化合物の回収システム。
【請求項２】
前記第２流路における前記第１熱交換器の下流に備わり、当該第２流路を冷却する冷却手段と、
前記回収装置から前記脱離装置へ、当該回収装置で凝縮されなかった揮発性有機化合物が気体と共に流れる第３流路とを有し、
前記回収装置は、前記第２流路から流入した前記揮発性有機化合物を冷却して凝縮し、回収するものであり、
前記冷却手段が、前記第３流路を流れる前記凝縮されなかった低温の揮発性有機化合物で前記第２流路を流れる前記揮発性有機化合物を冷却する第２熱交換器である、
請求項１に記載の揮発性有機化合物の回収システム。
【請求項３】
前記回収装置から前記第１流路へ、当該回収装置で凝縮されなかった揮発性有機化合物が気体と共に流れる返送流路を有する、
請求項１又は請求項２に記載の揮発性有機化合物の回収システム。
【請求項４】
前記第１流路を流れる前記吸着剤を振動させる振動手段を有する、
請求項１〜３のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の回収システム。
【請求項５】
前記加熱手段は、前記第１流路のうちの、前記吸着剤で満たされた部分を加熱するものである、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物の回収システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揮発性有機化合物の回収システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
大気環境中に含まれる微小粒子状物質の規制は世界的規模でなされており、我が国は、大気汚染防止法その他の関係法令により、微小粒子状物質の大気中への放出を規制している。
【０００３】
微小粒子状物質とは、大気中に浮遊する小さな粒子のうち、粒子径が２．５μｍ以下の粒子のことをいう。その成分には、炭素成分、硝酸塩、硫酸塩、アンモニウム塩のほか、ケイ素、ナトリウム、アルミニウムなどの無機元素などが含まれる。さまざまな粒径のものが含まれており、地域や季節、気象条件などによって組成が変動する。
【０００４】
微小粒子状物質には、物の燃焼などによって直接排出されるもの（一次生成粒子）と、環境大気中での化学反応により生成されたもの（二次生成粒子）とに大別される。一次生成粒子の発生源としては、ボイラーや焼却炉などばい煙を発生する施設、コークス炉や鉱物堆積場など粉じん（細かいちり）を発生する施設、自動車、船舶、航空機等のほか、土壌、海洋、火山など自然由来のものや越境汚染による影響もある。二次生成粒子は、火力発電所、工場・事業所、自動車、船舶、航空機、家庭などの燃料燃焼によって排出される硫黄酸化物（ＳＯｘ）や窒素酸化物（ＮＯｘ）、燃料燃焼施設の他に溶剤・塗料の使用時や石油取扱施設からの蒸発、森林などから排出される揮発性有機化合物（ＶＯＣ）等のガス状物質が、大気中で光やオゾンと反応して生成される。特に、揮発性有機化合物の排出量は、発生源として塗料、洗浄剤、接着剤、インキからの排出が全体の約７５％を占め、業種別に見ても、塗料等を多く扱う業種からの排出が大部分を占める現状にある。
【０００５】
例えば、一般的な塗装工場は、建屋内にいくつかの塗装ブースと乾燥ライン、塗料の配
合・供給場所、また被塗装材の搬入と塵埃除去、研磨装置等があり、排気は複数の排気口
に設けたプレフィルタで大粒のミストや塵埃を除き、専用の排気ダクトを通って外部の活
性炭やゼオライトなどを充填した回収システムで吸着処理してから大気中に放出する。
【０００６】
揮発性有機化合物の処理手法は、大別して、燃焼法、吸着法、その他の手法がある。特に吸着法は、微小粒子状物質を物理的・化学的に吸着して回収する手法であり、揮発性有機化合物の吸着と脱離を繰り返して、吸着剤を再生しながら行う手法である。
【０００７】
吸着法を用いた揮発性有機化合物の処理手法に先行文献１がある。先行文献１は、ハニカムロータで揮発性有機化合物を吸着及び脱離させて凝縮回収するＶＯＣ処理システムに関する技術を開示している。ハニカムロータは、多数の孔がハニカム状に設けられ、これらの孔の内壁に吸着剤が多数固定され、揮発性有機化合物を含む気体をこの孔に通すと、揮発性有機化合物がこの吸着剤に吸着される。そして、揮発性有機化合物が吸着された段階で、これらの孔に加熱気体を通すと揮発性有機化合物が脱離して、回収される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開第２０１７−８７１５０号公報
【特許文献２】特許第６１４０３２６号公報
【特許文献３】特許第５４１４７１９号公報
【特許文献４】特許第５７１７４９１号公報
【特許文献５】特許第５４２２３２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、孔の壁に固定された吸着剤の層のうちの表層付近では、加熱気体に直接曝され、揮発性有機化合物の脱離が促進されるが、中層や下層付近では直接に加熱気体に曝されにくく、熱量が伝導しにくいため、表層ほどの脱離は促進され難い。結果、層間で脱離の度合にムラが発生するので、揮発性有機化合物の脱離速度が大きいとは言い難い。
【００１０】
また、前述の孔は、壁部に吸着剤が固定されているが、軸心部には吸着剤が固定されていない構造となっている場合、揮発性有機化合物を含有する気体を前述の孔に通しても、気体の一部が吸着剤に吸着されずに、ハニカムロータを透過してしまう。そうすると、揮発性有機化合物の回収率が相対的に良いものとならない。なお、吸着剤が孔を塞ぐように充填した構造のハニカムロータでは、孔の軸心方向の長さが相対的に大きいと、気体の通気性が悪くなる。
【００１１】
また、脱離を促進させようとすると、より多くの加熱気体を脱離ロータに通す必要がある。そして、吸着ロータを透過した加熱気体は熱交換器で、冷却凝縮された気体と熱交換されるが、この熱交換を行うと、冷却凝縮された気体が加温されて冷却ロータに送風されることになり、冷却ロータの冷却効率が低下し、システム全体の揮発性有機化合物の凝縮能力が低下して、回収効率がよいものとは必ずしもならない。
【００１２】
したがって、本発明が解決しようとする課題は、脱離速度が大きく、かつ吸着剤に吸着した揮発性有機化合物の回収効率がよい揮発性有機化合物の回収システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この課題を解決した態様は以下のとおりである。
【００１４】
（第１の態様）
建屋内の気体中に分散した揮発性有機化合物の回収システムであって、
前記揮発性有機化合物を吸着する吸着剤を剥離可能に多数、保持する保持部材と、
前記保持部材から剥離した前記吸着剤が気体と共に流れる第１流路と、
前記第１流路から流れ込んだ前記吸着剤を加熱して、当該吸着剤に吸着された前記揮発性有機化合物を脱離する脱離装置と、
脱離した前記揮発性有機化合物を凝縮して回収する回収装置と、
前記第１流路を加熱する加熱手段とを備え、
前記第１流路を流れる前記吸着剤が、前記加熱手段で予め加熱される、
ことを特徴とする揮発性有機化合物の回収システム。
【００１５】
本態様では、保持部材から剥離した吸着剤は、第１流路で予め加熱され、脱離装置でさらに加熱される。吸着剤に揮発性有機化合物が吸着されている場合は、揮発性有機化合物の一部が第１流路の予熱で脱離し、残りが脱離装置で脱離する。吸着剤が第１流路及び脱離装置で加熱されるので、揮発性有機化合物が熱エネルギーを得て、気化して脱離し易くなる。また、第１流路と脱離装置とでは吸着剤の姿勢が異なるので、吸着剤相互で吸着剤温度のムラが生じにくい。そのため、脱離が促進され脱離速度が相対的に大きいものとなる。脱離が促進されるので、相対的に多くの揮発性有機化合物が脱離し回収されることになる。よって、回収効率のよいものとなる。さらに、第１流路を流れる吸着剤を予熱するので、脱離装置で揮発性有機化合物を気化して脱離させるのにかかる時間が短くて済む。
【００１６】
（第２の態様）
前記脱離装置から前記回収装置へ、前記吸着剤から脱離した高温の揮発性有機化合物が気体と共に流れる第２流路を有し、
前記加熱手段が、前記第２流路を流れる前記高温の揮発性有機化合物で前記第１流路を流れる前記吸着剤を予熱する第１熱交換器である、
第１の態様の揮発性有機化合物の回収システム。
【００１７】
加熱手段の加熱するための熱エネルギー源を高温の揮発性有機化合物とすることで、別途加熱設備を設ける必要がなく、エネルギーを有効に活用できる。また、この第１熱交換器から流出した揮発性有機化合物は、同第１熱交換器に流入する前よりも冷却される。よって、回収装置で揮発性有機化合物を凝縮するのに用いるエネルギーを節約でき、また、回収装置で凝縮するのにかかる時間が短くて済む。
【００１８】
（第３の態様）
前記第２流路における前記第１熱交換器の下流に備わり、当該第２流路を冷却する冷却手段と、
前記回収装置から前記脱離装置へ、当該回収装置で凝縮されなかった揮発性有機化合物が気体と共に流れる第３流路とを有し、
前記回収装置は、前記第２流路から流入した前記揮発性有機化合物を冷却して凝縮し、回収するものであり、
前記冷却手段が、前記第３流路を流れる前記凝縮されなかった低温の揮発性有機化合物で前記第２流路を流れる前記揮発性有機化合物を冷却する第２熱交換器である、
第２の態様の揮発性有機化合物の回収システム。
【００１９】
回収装置は揮発性有機化合物を冷却して凝縮するものであり、回収装置を出て、凝縮されなかった揮発性有機化合物は、第１熱交換器から流出した揮発性有機化合物よりも低温となっている。第１熱交換器から流出した揮発性有機化合物を、第２熱交換器で予め冷却しておくことで、回収装置で冷却して凝縮するのに要するエネルギーを節約できる。凝縮されなかった揮発性有機化合物は、第２熱交換器で、第２流路を流れる揮発性有機化合物の熱量を得て加温される。この揮発性有機化合物が加温されていると、この揮発性有機化合物が加温された分の熱エネルギーを脱離装置で賄わなくてよいので、脱離装置で脱離するために必要な熱エネルギーを節約することができる。
【００２０】
（第４の態様）
前記回収装置から前記第１流路へ、当該回収装置で凝縮されなかった揮発性有機化合物が気体と共に流れる返送流路を有する、
第１〜第３のいずれか１つの態様の揮発性有機化合物の回収システム。
【００２１】
回収装置内では揮発性有機化合物が凝縮されるが、気液平衡状態になると、揮発性有機化合物の一部が凝縮されないままとなる。この気相中の揮発性有機化合物の濃度が高いと、不必要な箇所で揮発性有機化合物が液化する等して、このシステムを構成する装置や部材が早期に摩耗することになる。そこで、返送流路を設け、気相中の揮発性有機化合物を第１流路に逃がすことで、回収装置や第３流路における揮発性有機化合物の濃度が高まり過ぎるのを抑制できる。
【００２２】
（第５の態様）
前記第１流路を流れる前記吸着剤を振動させる振動手段を有する、
第１〜第４のいずれか１つの態様の揮発性有機化合物の回収システム。
【００２３】
第１流路を気体と共に流れる吸着剤は、気体の風量や吸着剤量、第１流路の形状等の要因で、第１流路内の特定箇所に居付いたり、ブリッジを形成したりする場合がある。吸着剤を振動させることで吸着剤の居付きやブリッジが抑制され、吸着剤が流れ易くなる。
【００２４】
（第６の態様）
前記加熱手段は、前記第１流路のうちの、前記吸着剤で満たされた部分を加熱するものである、
第１〜第５のいずれか１つの態様の揮発性有機化合物の回収システム。
【００２５】
吸着剤で満たされた部分を加熱することで、加熱手段による熱が効率よく吸着剤に伝導し、吸着剤が相対的に速く予熱される。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によると、脱離速度が大きく、かつ吸着剤に吸着した揮発性有機化合物の回収効率がよい揮発性有機化合物の回収システムとなる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図９のＷ部分の拡大図である。
【図２】図１のＸ−Ｘ部分の濾過フィルタの横断面図である。
【図３】図２のＹ部分の拡大図である。
【図４】図３のＺ部分の拡大図である。
【図５】破過曲線の図である。
【図６】図１のＺ−Ｚ部分の濾過フィルタの矢視図である。
【図７】（７Ａ）図６のＰ部分の拡大図である。（７Ｂ）図７ＡのＲ部分の拡大図である。
【図８】蓋体を示す横断面図である。
【図９】揮発性有機化合物の回収システムの構造説明図である。
【図１０】揮発性有機化合物の回収システムの構造説明図である。
【図１１】揮発性有機化合物の回収システムの構造説明図である。
【図１２】揮発性有機化合物の回収システムの構造説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
発明を実施するための形態を以下に説明する。本発明は、揮発性有機化合物を吸着剤に吸着させることにより、気体中から揮発性有機化合物を分離して凝縮・回収する回収システムの技術に関するものである。以下の説明及び図面は、本発明の一実施形態を示したものにすぎず、本発明の内容をこの実施形態に限定して解釈すべきではない。
【００２９】
揮発性有機化合物の回収システム１００は、建屋、例えば、工場や実験施設、処理場、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）貯蔵施設、化学製品製造関係施設、塗装関係施設、接着関係施設、印刷関係施設、工業用洗浄関係施設等に設置可能である。揮発性有機化合物の回収システム１００の好ましい一形態例を次記に示す。揮発性有機化合物の回収システム１００は、この建屋で発生した揮発性有機化合物を、吸着剤で吸着して凝縮・回収するものである。図１０を参照しつつ説明すると、揮発性有機化合物の回収システム１００は、前記揮発性有機化合物を吸着する吸着剤２００を剥離可能に多数、保持する保持部材１２と、前記保持部材から剥離した前記吸着剤２００が気体と共に流れる第１流路（上流側から下流側へ流路Ｔ１，流路Ｔ２，流路Ｔ３，流路Ｔ４）と、前記第１流路から流出した前記吸着剤２００を加熱して、当該吸着剤２００に吸着された前記揮発性有機化合物を脱離する脱離装置５０と、脱離した前記揮発性有機化合物を凝縮して回収する回収装置７０と、前記第１流路を加熱する加熱手段５５とを基本形態として少なくとも備える。
【００３０】
前述の基本形態に、次記の事項を加えることもできる。具体的には、前記脱離装置５０から前記回収装置７０へ、前記吸着剤２００から脱離した高温の揮発性有機化合物が気体と共に流れる第２流路（上流側から下流側へ、流路Ｔ７、流路Ｔ８、流路Ｔ９、流路１０）を有し、前記加熱手段５５が、前記第２流路を流れる前記高温の揮発性有機化合物で、前記第１流路を流れる前記吸着剤２００を予熱する第１熱交換器５５ａを加えることができる。また、前記第２流路における前記第１熱交換器５５ａの下流に備わりに、当該第２流路を冷却する冷却手段５６と、前記回収装置７０から前記脱離装置５０へ、当該回収装置７０で凝縮されなかった揮発性有機化合物が気体と共に流れる第３流路（上流側から下流側へ流路Ｔ１１、又は流路Ｔ１１及び流路Ｔ４）とを加えることができる。この場合、前記冷却手段を、前記第３流路を流れる低温の前記凝縮されなかった揮発性有機化合物で、前記第２流路を流れる前記揮発性有機化合物を冷却する第２熱交換器５６ａとしてもよい。さらに、回収装置７０から前記第１流路へ、当該回収装置７０で凝縮されなかった揮発性有機化合物が気体と共に流れる返送流路Ｔ１４を備えたり、前記第１流路を流れる前記吸着剤２００を振動させる振動手段を備えたりしてもよい。振動手段としては、公知のバイブレータを用いることができ、例えば、ボールバイブレータ、エアボール高周波バイブレータを好適に用いることができる。
【００３１】
特に、前記第１流路と、前記脱離装置５０から前記保持部材１２へ、前記吸着剤２００が気体と共に流れる流路と併せて吸着剤２００の循環流路１１０という。第２流路と第３流路とを併せて揮発性有機化合物の循環流路１２０という。
【００３２】
揮発性有機化合物の循環流路１２０は、揮発性有機化合物が脱離装置５０から加熱手段５５を通って、第２熱交換器５６ａを通り、回収装置７０に至り、前記第２熱交換器５６ａを通って、再び前記脱離装置５０へ戻る流路としてもよい。そして、第２熱交換器５６ａから脱離装置５０までの流路に、揮発性有機化合物を加温するヒータ７４を備え、第２熱交換器５６ａから回収装置７０までの流路Ｔ９に、揮発性有機化合物を冷却する冷却器７２を設けることができる。また、揮発性有機化合物の循環流路１２０には、送風装置７３を備えてよい。送風装置７３は揮発性有機化合物の循環流路１２０内であればどこに設置してもよいが、例えば、第２熱交換器５６ａから揮発性有機化合物の循環流路１２０までの流路Ｔ９に設けるのが好ましい。同流路Ｔ９は、回収装置７０へ揮発性有機化合物を導くものであることから、送風された気体の圧力損失が少ないまま揮発性有機化合物を回収装置７０へ導くことができる。
【００３３】
この揮発性有機化合物の回収システム１００は、保持部材１２から剥離した吸着剤２００が回収される回収容器３０を第１流路に設けることができる。この回収容器３０には回収された吸着剤２００を切り出す第１ダンパＶ３を備えてよい。また、脱離装置５０から保持部材１２まで延在する流路Ｔ６には、脱離装置５０で再生された吸着剤２００を保存する保存容器４０を設けることができる。この保存容器４０には、同保存容器内の吸着剤２００を切り出す第２ダンパＶ５を備えてよい。
【００３４】
（吸着剤の循環流路）
吸着剤２００の循環流路１１０の一例について以下説明する。循環経路１１０は、端的に言うと、保持部材１２から剥離した吸着剤２００が、気体の流れに沿って、第１熱交換器を経由して、加熱装置５０に至り、加熱装置５０から同第１熱交換器を経由せずに、同保持部材１２に戻る流路をいう。保持部材１２から剥離した吸着剤２００は、回収容器３０に接続する流路Ｔ１，Ｔ２を通って、回収容器３０に導入される。回収容器３０から導出された吸着剤２００は、加熱手段５５を通過し、この加熱手段５５と脱離装置５０を接続する流路Ｔ３，Ｔ４を通って、脱離装置５０に導入される。脱離装置５０で加熱されて再生した吸着剤２００は、脱離装置５０と保存容器４０を接続する流路Ｔ５を通って、保存容器４０に導入される。保存容器４０から導出された吸着剤２００は、この保存容器４０と流路Ｔ１，Ｔ２を接続する流路Ｔ６を通って、流路Ｔ１に導出され、再び、保持部材１２に戻る。流路Ｔ２及び流路Ｔ６には、吸着剤２００の通過を遮ることができる開閉バルブＶ１２を設けることができる。吸着剤２００の循環流路１１０に沿って、吸着剤２００を循環させる手法としては、公知の手法を適宜適用できるが、例えば、後述する送風手段を適用できる。以上より、流路Ｔ１では、吸着剤２００が、保持部材１２側から脱離装置５０側に向かって流れる場合と、脱離装置５０側から保持部材１２側に向かって流れる場合がある。なお、回収容器３０及び保存容器４０は設けてもよいし、設けなくてもよい。
【００３５】
（揮発性有機化合物の循環流路）
揮発性有機化合物の循環流路１２０の一例について以下説明する。循環流路１２０は、端的に言うと、加熱装置５０から導出された揮発性有機化合物が気体の流れに沿って、第１熱交換器を経由して、回収装置７０に至り、この回収装置７０で回収されなかった揮発性有機化合物が気体の流れに沿って、第１熱交換器を経由せずに加熱装置５０に戻る流路をいう。脱離装置５０で加熱されて脱離した揮発性有機化合物は、この脱離装置５０と加熱手段５５を接続する流路Ｔ７を通って、加熱手段５５に導入される。加熱手段５５から導出された揮発性有機化合物は、この加熱手段５５と回収装置７０とを接続する流路（この流路は、上流から下流に向かって流路Ｔ８，流路Ｔ９，流路Ｔ１０と表される。）を通って、回収装置７０に導入される。この流路Ｔ８，Ｔ９，Ｔ１０には、冷却手段５６と冷却器７２と送風装置７３を設けることができる。冷却器７２、送風装置７３相互はどの順序で配置してもよいが、一例としては、上流から下流に向かって、流路Ｔ８と流路Ｔ９の間に冷却手段５６を、流路Ｔ９と流路Ｔ１０の間に冷却器７２を、流路Ｔ１０上に送風装置７３をそれぞれ設けることができる。回収装置７０で凝縮しなかった揮発性有機化合物は、この回収装置７０と脱離装置５０を接続する流路Ｔ１１，Ｔ１２（回収装置７０側の流路を流路Ｔ１１、脱離装置５０側又は流路Ｔ４側の流路を流路Ｔ１２とする。）を通って、再び脱離装置５０に導入される。また、流路Ｔ１１，Ｔ１２の別形態として、流路Ｔ１１，Ｔ１２が回収装置７０と流路Ｔ４を接続するように設けられてもよい。流路Ｔ１１，Ｔ１２には、冷却手段５６及びヒータ７４を設けることができる。冷却手段５６は流路Ｔ１１と流路Ｔ１２の間に、ヒータ７４は流路１２上に設けるとよい。なお、冷却手段として、公知の手法を適宜用いることができるが、例えば、低温の気体、液体、固体を流路に接触させたり、熱交換器で冷却する手段を用いたりするとよい。
【００３６】
揮発性有機化合物の中には引火し易い性質を有するものがあるため、高濃度で揮発性有機化合物を循環流路１２０に流すのは危険を伴う。そこで、不活性ガス（例えば、希ガス元素ガスや窒素ガス）を、揮発性有機化合物を含む気体に、混ぜたものを循環流路１２０に流すとよい。不活性ガスを気体中に含めることで、同気体中における揮発性有機化合物の濃度が下がり、引火し難くなる。循環流路１２０への不活性ガスの混入手段は、不活性ガスを循環流路１２０に混入させる流路を設けて、この流路から混入させる手法や、不活性ガスを循環流路１２０に送り込む手段を、脱離装置５０に備えて、不活性ガスを混入させる手法としてもよい。
【００３７】
（返送流路）
回収装置７０から第１流路又は保持部材１２へ、凝縮しなかった揮発性有機化合物を戻す返送流路１３０を設けることができる。返送流路１３０には揮発性有機化合物の通過を遮ることができる開閉バルブＶ１３を設けるとよい。保持部材１２が図１の保持容器１０内に備わる場合は、返送流路１３０が接続される保持部材１２の位置は、保持容器１０内における気体が流れる空間の、保持部材１２の上流側であれば特に限定されないが、例えば、供給部のうちのダンパＶ１よりも上流側とするとよい。
【００３８】
（回収装置）
回収装置は、脱離装置５０で脱離した揮発性有機化合物を凝縮して回収するものである。揮発性有機化合物の凝縮手法は、加圧、冷却による手法を挙げることができるが、これらに限られるものではない。また、揮発性有機化合物を含む気体中には、水分が含まれる場合があり、この場合揮発性有機化合物を凝縮する際、水分も凝縮する。水分が凝縮すると、揮発性有機化合物の凝縮効率が悪くなるので、除湿機能を回収装置７０に備わせて、水分の凝縮を抑制するとよい。回収装置９０は、揮発性有機化合物を凝縮する凝縮部９０と凝縮した揮発性有機化合物を回収する回収部８０とで構成することができる。凝縮した揮発性有機化合物を回収する回収部８０を回収装置７０に設けてもよいが、回収装置７０と別体でこの回収部８０を設けてもよい。別体で設ける場合は、回収装置７０で凝縮した揮発性有機化合物は、この回収装置７０と回収部８０を接続する流路を通過して回収部８０に導入される。回収部８０に導入された揮発性有機化合物は回収部８０内で気液平衡状態にあるため、一部が凝縮しきれずに気化する。この気化した（すなわち、凝縮しなかった）揮発性有機化合物は、回収部８０から保持部材１２へ伸びる流路Ｔ１４を通って、保持部材１２に導入される。なお、気液平衡状態下では気化した揮発性有機化合物は、再度凝縮するものと、凝縮しないものがあり、この凝縮しないものを「凝縮しなかった揮発性有機化合物」ということができる。
【００３９】
以上、流路について述べたが、各容器や各装置を接続する流路には、気体、液体、吸着剤２００等が通過可能な公知の配管を用いてよいが、例えば、空気配管を用いることができる。
【００４０】
（保持部材）
保持部材１２は、建屋内に設けることができる。建屋内の気体中に分散した揮発性有機化合物が保持部材１２に保持された吸着剤２００に吸着される。保持部材１２に保持された吸着剤２００は、保持部材１２に物理的エネルギー（例えば振動、風圧、槌打）を与えることで剥離する。剥離した吸着剤２００は、第１流路を負圧にする等、公知の手法で同第１流路に気体の流れを発生させることで、脱離装置５０へ流れる。建屋内の気体中に、吸着剤２００が保持された保持部材１０を曝したり、気体Ａをこの保持部材１０に当てたりすると、気体Ａのうちの、揮発性有機化合物が吸着剤２００に吸着され、残分Ｂが建屋内に漂う。また、保持部材１２は、吸着剤２００が付着及び剥離可能な部材であれば、特に限定されない。例えば、板、管、ハニカム、シート、網、不織布、ろ布、後述する濾過フィルタ等の膜を保持部材１２に用いることができる。保持部材１２が通気性の部材である場合は、これらの膜に向けて気体を流すと、この気体に含まれる揮発性有機化合物が保持部材１２に保持された吸着剤２００に吸着され、残りの気体が透過する。
【００４１】
また、保持部材１２を内部に有する保持容器１０を設ける形態としてもよい。この場合、保持容器１０は、気体の供給部１１と排出部１３と、吸着剤２００の出入部１５と、保持部材１２に圧縮空気を噴射して、この保持部材１２に付着した吸着剤２００を剥離する剥離手段とを有する。剥離手段による噴射は、例えば噴射ノズル１４により行うことができる。保持容器１０の容積は、特に限定されないが、例えば０．７５〜１．２５ｍ3とすることができる。保持部材１２は例えば、保持容器１０に備わる支持体１８に支持された形態とすることができる。保持容器１０内に保持部材１２は１つ、又は複数備えることができる。支持体１８は、気体を通さない部材（例えば、金属、ステンレス鋼材、木材、プラスチック等）で形成することができる。この支持体１８とこれに支持される保持部材１２とが、供給部１１から保持容器１０内に供給され、排出部１３から排出される気体の流れ空間を、供給部側の空間と排出部側の空間に隔離している。支持体１８には開口部が備わり、この開口部に保持部材１２が張設された形態とすることができる。保持容器１０の内部はこの支持体１８と保持部材１２とで供給部側と排出部側に隔離され、気体供給部１１から吸着容器内の供給部側に供給された気体が保持部材１２を透過して、排出部側に流れ、気体排出部１３から保持容器１０の外へ排出される。また、保持部材１０は、有底であり、供給部側の壁が、底に向かって窄まった形状となっていてもよいし、窄まっていない形状（例えば、供給部側の壁が略底に向かって略同一径である筒状）となっていてもよい。
【００４２】
気体供給部１１には、供給気体Ａの供給量を調整するための開閉自在なダンパＶ１が備わっている。吸着剤２００の出入部１５には、吸着剤２００の流入量又は流出量を調整するための開閉自在なダンパＶ２が備わっている。
【００４３】
保持部材には濾過フィルタを好適に用いることができる。この濾過フィルタは単層又は多層にすることができる。図示形態では単層の濾過フィルタを用いている。また、濾過フィルタの素材は気体を透過し、吸着剤２００を透過しないものであれば特に限定されない。ポリエステル、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂、ステンレス、ナイロン等を濾過フィルタの素材として例示することができる。濾過フィルタの具体的な素材としては、例えば、東レ株式会社のポリエステル長繊維不織布「アクスター」（登録商標）のＧ２２６０−１Ｓ  ＢＫ０を用いることができる。
【００４４】
濾過フィルタの膜厚は、好ましくは０．３〜０．７ｍｍ、より好ましくは０．６ｍｍである。また、濾材の繊維径（投影面積円相当径、Ｈｅｙｗｏｏｄ径をいう。以下、同じ。）は、好ましくは０．５〜２０μｍであり、より好ましくは７μｍである。繊維径が０．５μｍより細い繊維を用いると、ガス透過時の抵抗が大きくなるとともに、見かけの表面積が狭くなる。また、繊維径が１０μｍよりも太い繊維を用いると、吸着剤２００が濾過フィルタを透過してしまい、吸着剤２００の回収がし難くなる。
したがって、繊維径が０．５〜２０μｍの濾材を用いて、ある程度の目の粗さを持つ濾過フィルタを形成することが好ましい。このようなある程度の目の粗さを持つ濾過フィルタによって、ガス透過時には、濾過フィルタの目に吸着剤２００の一部が食い込んで吸着層が形成されるため、揮発性有機化合物が、この吸着剤２００層に吸着され、濾過フィルタを透過し難いものとなる。
【００４５】
本形態において、濾過フィルタは、供給部側に対向する面（供給部側面）とその裏面、すなわち、排出部側に対向する面（排出部側面）を有する。なお、気体供給部１１は保持部材１２の供給部側空間のいずれの位置に設けてもよいが、濾過フィルタからなるべく離れた部分、又は、そのなるべく離れた部分付近に設けると、供給されたガスが供給部側空間に広く拡散されるため、好ましい。排出部１３は保持部材１２の排出部側空間のいずれの位置に設けてもよい。特に、供給部１１と排出部１３は、保持部材１２の壁に設けられて、この供給部１１と排出部１３の間に濾過フィルタが配され、相互に最も離れている形態が好適である。
【００４６】
濾過フィルタは、公知のフィルタを適宜用いることができるが、圧縮空気の噴射に耐え、圧縮空気が当たった際の衝撃で吸着剤２００を剥離させるため、また、濾過フィルタの交換頻度を減らし、ランニングコストを削減するため、所定の強度以上のものを用いることが好ましい。例えば、ＪＩＳ Ｌ‐１９０６の測定方法において、引張強度（Ｎ／５ｃｍ）がタテ：１０００〜１３００、好ましくは１２００、ヨコ：７００〜８００、好ましくは７００、破裂強力（ｋｇｆ／ｃｍ2）がタテ：１７０〜２６０のものを用いるとよい。
【００４７】
濾過フィルタの形状は特に限定されないが、例えば、平面状にすることができる。また、袋状、具体的には、開口部を有する球状であってもよいし、有底の筒状、特に平坦な濾材を蛇腹状に折り曲げて複数の襞が形成された筒状であって有底であるもの（いわゆる、プリーツ状のもの）であってもよい。袋状とすることで、平面状よりも濾過フィルタの表面積が広くなり、その分、吸着剤層の形成面積が広くなるので好ましい。筒状には、円筒状、多角柱状等が含まれるがこれらの形状に限られるものではない。
【００４８】
濾過フィルタが袋状である場合は、気体供給部側から気体排出部側に延在して、この濾過フィルタにおける気体排出部側端が開口している濾過フィルタは好ましい形態である。この場合、濾過フィルタは、長手方向の長さが例えば５００ｍｍ〜１２００ｍｍにすることができる。
【００４９】
（筒状体）
濾過フィルタが袋状である場合は、ガスの気流の影響を受け、濾過フィルタが袋内側方向に縮まり、揮発性有機化合物の吸着効率が低下してしまう。濾過フィルタが縮まるのを防止するため、次記の筒状体１２ｓを濾過フィルタの内面（排出部側面）沿いに設けるとよい。例えば、濾過フィルタの形状が、一方端が閉じ、対向する他方端が開口された角柱であれば、この角柱とほぼ同サイズの角筒状の筒状体（角筒体の両底面は開口されているとよい。）を設けるとよい。また、筒状体１２ｓの側面にはガスの通過孔が形成され、内面に透過されたガスＢが通るガス通路が形成されたものとするとよい。
【００５０】
特に、図２に示すようなプリーツ状の濾過フィルタを用いる場合は、保持部材１２内には、壁面にガスの透過孔が形成され、内部に透過されたガスＢが通るガス通路１２ｒが形成された筒状体１２ｓが設けられる。筒状体１２ｓの形状や姿勢は、特に限定されないが、図示した一例では円筒形状であって、その中心軸が保持部材１２の長手方向（ＵＳ−ＤＳ方向）に沿う姿勢で、保持部材１２内に配されている。そのほか、筒状体１２ｓの形状を角筒形などの任意の公知形状に変更しても良いし、筒状体１２ｓの姿勢を筒状体１２ｓの中心軸が斜めに傾斜するように保持部材１２内に設置しても良い。なお、図示した筒状体１２ｓは、パンチングメタルなどの透過孔を有する平板を円筒状に成形したものである。
【００５１】
筒状体１２ｓの壁面の外側には、濾過フィルタが形成されている。この濾過フィルタとしては、表面積（ガス透過面積）が広いことから、平坦な濾材をジグザグに折り曲げつつ、筒状体１２ｓの外周面に巻き付けて、筒状(図２の態様では、円筒状にしているが、これに限定されず、角柱状や楕円状等にしてもよい)に形成したプリーツフィルタを好適に用いることができる。前記のようにジグザグに折り曲げることで、筒状体１２ｓの周囲に（図示形態では筒状体１２ｓの全周に）、複数の襞２が形成される。平坦な濾材を折り曲げる際は、折り目がつくように折り曲げてもよいし、折り目がつかないように曲線（緩やかな曲線、急な曲線など）を描くように折り曲げても良い。また、図６に示すように、プリーツフィルタの供給部側端部を閉じて袋状とするために、後述する、襞２における気体供給部側の基端部２ｂの各々を通過して形成される略円を蓋体１２ｍＤで覆われるものとする。この蓋体１２ｍＤは、例えば、プリーツフィルタに用いる素材（濾材）と同一の素材で形成するとよい。
【００５２】
（スペーサー）
襞２の内部に、複数の穴が開けられた平坦な板材（ハニカムメッシュや金網等）を蛇腹状（この蛇腹状には、波状のものも含まれる）に折り曲げたスペーサー３を設けることが好ましい。スペーサー３は、襞２の基端側（筒状体１２ｓ側）から先端側（吸着容器１１側）へ向かって、ジグザグに折り曲がりながら延在している。図示形態では、各襞２にスペーサー３が一枚ずつ設けられ、そのスペーサー３の一端側端部は筒状体１２ｓの外面と０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度離れ（筒状体１２ｓと接触していてもよい）、他端側端部は襞２の先端側端部に位置している。スペーサー３の厚み方向両端部に形成された屈曲部３Ｃ、３Ｃは、濾過フィルタの裏面１２ｂと接触している。図示形態のスペーサー３は、平面視で濾過フィルタと点状に接触しており、この接触部分が屈曲部３Ｃ、３Ｃになっている。スペーサー３は襞２の内部空間２Ｓを保持する機能を有し、気体供給部１１から供給されたガスＡが濾過フィルタの供給部側面１２ｆから排出部側面１２ｂへ向かう気流から受ける風圧力や、濾過フィルタの供給部側面１２ｆにガスＡに含まれる異物が積層して襞２を押し潰そうとする圧力に抗って、内部空間２Ｓが完全に潰れてしまうことを防いでいる。襞２の内部空間２Ｓがなくなることを「閉塞」といい、この閉塞を防ぐことにより、透過ガスＢが内部空間２Ｓを先端側から基端側へ向かって移動しやすくなる。図４Ａは、ガスＡが供給される前の状態を示し、図４ＢはガスＡが供給されている最中の状態を示す。これらの図面に示すように、襞２がガスＡによって供給部側から風圧力を受けると、風圧力を受ける前と比べて、スペーサー３の厚みが薄くなり（厚み方向の長さが短くなり）、平面視におけるスペーサー３の形状が平坦に近いものになり、襞２の幅２ｗが狭くなる。このような場合であっても、スペーサー３は完全に平坦にならず、内部空間２Ｓが完全に潰れて閉塞してしまうことはほとんどない。
【００５３】
図示した形態では、平面視で、プリーツフィルタとスペーサー３が屈折部３Ｃで接触しており、この接触部Ｔｃは、スペーサー３の延在方向に沿って、所定の間隔を空けながら、厚み方向に交互に点状に存在している。すなわち、平面視で、プリーツフィルタとスペーサー３が面状に接触していない形態である。以上のように、スペーサー３を蛇腹形状にすることにより、襞２に対して、厚み方向に伸縮する弾性力を付与することができる。
【００５４】
スペーサー３の素材としては、特に限定されないが、例えば、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリテトラフルオロエチレンなど（単体でも用いても良いし、複数を組み合わせて用いても良い）を用いることができる。特に、弾性力や耐圧性などが要求されることから、ポリプロピレンやポリエステルを用いることが好ましい。
【００５５】
例えば、スペーサー３として、プラスチック繊維（他の繊維でもよい）からなるメッシュ構造の板材を波付け加工して弾性体にしたものを用いることができる。このときのメッシュ構造は、例えば１．５ｍｍ〜２ｍｍ程度のメッシュにすることができる。この波付け弾性体であるスペーサー３は、ガスＡの風圧力によって、濾過フィルタの供給部側（外側）から排出部側（内側）へ向かって押し付けられるが、メッシュの結節部は線径の倍の厚さ（約０．３２〜０．４ｍｍ）があり、襞の内部空間２Ｓ内の透過ガスＢが筒状体１２ｓの方向へ流れる通気性を確保している。
【００５６】
前記の説明において、隣接襞間空間２ｎを開放状態にする旨を記載した。この隣接襞間空間２ｎを完全に開放状態にすることが最も好ましいが、必ずしもこのような形態に限定されるものではなく、隣接襞間空間２ｎの一部が閉鎖されていても良い。
【００５７】
（開放空間）
図８に示すように、プリーツフィルタの軸心方向を上下方向とした場合、プリーツフィルタの上端部及び下端部の少なくとも一方は、この外側襞間空間２ｎを覆うように外側から蓋体２１が被せられていた形態とすることができる。これによって外側襞間空間２ｎが封鎖された状態になっている。例えば、図８Ｂのようにプリーツフィルタを縦置きした場合、そのプリーツフィルタの上端部及び下端部の少なくとも一方に蓋体２１が設けられ、プリーツフィルタの内部のガスが、意図せずに外部（図示形態では供給部側）に漏れ出ることを防いでいる。なお、図８Ｂでは、プリーツフィルタの下方部分のみを例示しているが、プリーツフィルタの上端部にも蓋体２１が設けられていてもよい。
【００５８】
また、図１などに示すように、プリーツフィルタの上下方向両側（上端側と下端側の両方）又は下端側は封鎖されていない構成にすることができる。具体的には、図６に示すように、プリーツフィルタの襞２の外側の空間２７であって、隣接する襞２と襞２の間の空間２ｎ（「外側襞間空間」や「隣接襞間空間」ともいう。本明細書において、他の段落においても同じ。）が封鎖されていないものとなっている。すなわち、外側襞間空間２ｎが開放空間（「非封鎖空間」ともいう）になっている。図６では外側襞間空間２ｎの１つに網掛けを付した。この図６では、図面の視認性を良くするために、１個の外側襞間空間２ｎにのみ網掛けを付しているが、図６に示すようにプリーツフィルタの全周にわたって多数の襞２が形成されており、プリーツフィルタの外側であって、隣接する襞２と襞２の間の空間は、すべて外側襞間空間２ｎとなる。この外側襞間空間２ｎは、隣接する襞２と襞２の外表面１２ｆによって囲まれた部分（外表面１２ｆによって区画された部分）をいい、この外側襞間空間２ｎの基端は襞２の基端部２ｂと接しており、外側襞間空間２ｎの先端は隣接する襞２、２の先端部２ｐ、２ｐの間を繋げた仮想線ＡＬによって区画される。図８Ｂに示すように蓋体２１を設けたプリーツフィルタは、プリーツフィルタの上端と蓋体２１の接続部２９や、プリーツフィルタの下端と蓋体２１の接続部２９に、供給されたガスと共に混入した異物や塵、剥離した吸着剤２００等が溜まりやすい。この異物や塵、剥離した吸着剤２００等は、吸着剤２００の流入風量を調節することで発生する気流で取り除かれるが、下記の構造にすると、接続部２９に溜まらず好ましい。
【００５９】
また、プリーツフィルタの軸心方向両側において、外側襞間空間２ｎを蓋体２１などで封じず、開放状態にしたものを提案できる。変形例として、プリーツフィルタの軸心方向下端側のみにおいて、外側襞間空間２ｎを蓋体２１などで封じず、開放状態にしてもよい。また、プリーツフィルタの軸心方向下端側又は両側に蓋体２１を設けても良いが、この蓋体２１を設ける場合は、蓋体２１のうち外側襞間空間２ｎと重なる部分に切り欠きを設けるなどして、外側襞間空間２ｎを開放状態にすることが好ましい。
【００６０】
プリーツフィルタの軸心方向下端側又は両端が開放状態にすると、噴射ノズル１４による噴射や、付着手段、導出手段を行うときに、プリーツフィルタに付着した異物や塵、吸着剤２００等が、保持部材１２内に拡散したり剥落したりしやすくなり、外側襞間空間２ｎに滞留し難くなる。
【００６１】
なお、プリーツフィルタの軸心方向両側又は下端側において、外側襞間空間２ｎを開放状態にする場合は、蓋体２１以外にも埋込物などを設けないことが重要である。埋込物を設けると、開放状態にならないからである。
【００６２】
（閉鎖空間）
図６や図７に示すように、プリーツフィルタの軸心方向両側において、襞２の内側の空間を封鎖することが好ましい。襞２の内側の空間とは、図４に示すような襞２の内部空間２Ｓを含む概念である。図７Ａ及び図７Ｂでは、襞２の相対する濾過膜１２ｍａ、１２ｍｂに挟まれた空間（襞２の内部空間２Ｓ）が封鎖されており（閉じられており）、いわゆる閉鎖空間１６Ｃになっている。閉鎖空間１６Ｃにする方法は特に限定されないが、例えば、対面する濾過膜１２ｍａ、１２ｍｂの内壁面相互を超音波もしくはヒータで加熱して溶着する方法を挙げることができる。そのほか、前記下流面（内壁面）相互を接着剤で接着したり、濾過膜１２ｍａ、１２ｍｂの間に樹脂を埋め込んだりしてもよい。
【００６３】
プリーツフィルタの内部に筒状体１２ｓを設ける場合は、襞２の内側の空間という概念に、濾過フィルタｍと筒状体１２ｓの間の空間２２（図７Ａの網掛け部分）（以下、「膜筒間空間」という。）を含ませてもよい。図７Ａの例では、この膜筒間空間２２に樹脂を埋め込むことによって閉鎖空間１６Ｃにしているが、この態様に限られるものではなく、例えば濾過フィルタｍと筒状体１２ｓの間を接着剤によって接着するなどしてもよい。
【００６４】
以上の説明において、閉鎖空間１６Ｃを形成するために、接着剤や埋込物を用いる形態を説明した。接着剤の種類は特に限定されないが、耐圧性や接着力に優れることから、例えばエポキシ樹脂接着剤やゴム系接着剤などを用いることが好ましい。埋込物の種類も特に限定されないが、封止性が高いことから、例えばエポキシ樹脂系やシリコンゴムシーラントなどを用いることが好ましい。埋込物は、埋め込んだ後に硬化する樹脂（例えば、エポキシ樹脂系やフェノール系など）を用いることが好ましい。樹脂が硬化しない場合、剥離するおそれがあるからである。
【００６５】
また、接着剤や埋込物以外のものを用いて閉鎖空間１６Ｃを形成してもよい。例えば、閉鎖空間１６Ｃを形成したい部分に蓋体を設けても良い。この蓋体としては、例えば一枚の板材から構成することができる。複数枚の板材を用いるとシール性が向上するが、部材点数が多くなって管理が大変であるとともに、コストが高くなるので、一枚の板材が好ましい。板材の素材としては、例えばステンレス、アルミ、プラスチックなどを用いることができる。
【００６６】
この板材を用いる位置は、プリーツフィルタの軸心方向における一端側端部や他端側端部であれば、いずれの部分であってもよい。すなわち、必ずしもプリーツフィルタの一端側端縁や他端側端縁に設けなくてもよく、例えば、プリーツフィルタの襞２の内部空間２Ｓにこの板材を埋め込むようにしてもよい。
【００６７】
なお、閉鎖空間１６Ｃを設ける位置は、図１に示すように、プリーツフィルタの軸心方向の一端側端部及び他端側端部の少なくともいずれか一方である。なお、図１の実施例では、一端側端部と他端側端部に閉鎖空間１６Ｃを形成するために、エポキシ樹脂を用いている。
【００６８】
以上のように、襞２の内側の空間を封鎖することによって、襞２の外側（供給部側）の空間に存在するガスＡが、プリーツフィルタの軸心方向端部からプリーツフィルタ内部へ混入することを防ぐことができる。その結果、透過ガスＢが襞２の内側の空間から透過ガスの通路１２ｒへと移動することになる。なお、透過される前のガスＡがプリーツフィルタの軸心方向端部から内部へ混入した場合、この透過される前のガスＡは透過ガスＢと混ざり、排出部１３から排出される。
【００６９】
透過ガスＢの通路１２ｒとは、筒状体１２ｓが設けられた場合では、筒状体１２ｓの内側の空間をいう。筒状体１２ｓが設けられていない場合では、襞２の基端部２ｂよりも内側の空間をいう。図１では、平面視、このプリーツフィルタの上端部は、図示しない蓋体で覆われている。この蓋体は、プリーツフィルタの上端部を覆い、中央部に透過ガスＢの通過口（ガス透過口）が備わるものである。このガス通過口は、筒状体１２ｓの上方に位置するように設けられている。プリーツフィルタの上端部を蓋体で覆うことによって、プリーツフィルタの上端部付近で、供給側の空間から排出部側の空間へ、供給ガスＡが侵入を防ぐことができる。透過ガスＢは、排気手段により気体排出部１３から回収システムの外部に排出される。排気手段は公知の手段を適宜用いることができる。排気手段の例として、気体供給部１１の上流に備わる給気装置１９ａ（例えば、給気ファン等）を用いて透過ガスＢを気体排出部１３から外部に排出する手段を挙げることができる。
【００７０】
なお、襞２の内側の空間を封鎖する場合は、完全に封鎖することが好ましい。一部に隙間が生じていると、その隙間から排出部側へ、揮発性有機化合物を含むガスＡが混入するおそれがある。すなわち、襞２の内側の空間を接着剤で接着する場合は、例えば、対面する濾過膜１２ｍａ、１２ｍｂの間を密閉することが好ましい。また、襞２の内側の空間を埋込物で封鎖する場合は、埋込物の内部に細かな貫通孔などが発生しないようにするとともに、例えば濾過フィルタと埋込物の間や、筒状体１２ｓと埋込物の間に隙間が生じないように密閉することが好ましい。同様に、襞２の内側の空間を蓋体で封鎖する場合は、濾過膜１２ｍと蓋体の間や、筒状体１２ｓと蓋体の間に隙間が生じないように密閉することが好ましい。
【００７１】
プリーツフィルタの軸心方向両端部１６Ｃ、１６Ｃ以外の部分、すなわちプリーツフィルタの軸心方向中間部については、襞２の内側の空間を封鎖しないことが好ましい。透過ガスＢがその空間を通過して、透過ガス通路１２ｒへと流れ込むことができるようにするためである。
【００７２】
（吸着剤）
吸着剤２００としては、活性炭、ゼオライト、シリカ、アルミナ、チタニア、酸化チタン、イモゴライトなどを使用できる。活性炭の原料は、ヤシガラ、石炭（瀝青炭、無煙炭）、オイルピッチ、木材チップ、おが屑、コーヒー滓、レーヨン、アクリルニトリル、フェノール樹脂などがある。形状は、粒状、破砕状、粉末状、繊維状、成型（ハニカム状）などがあり、限定されるものではない。
【００７３】
吸着剤２００の孔はその大きさから、直径２ｎｍ以下をマイクロ孔（ミクロ孔）、２〜５０ｎｍをメソ孔、それ以上をマクロ孔と呼んでいる。吸着剤２００の比表面積を大きくし、揮発性有機化合物を素早く吸着するのはマイクロ孔である。例えば、活性炭はマイクロ孔からマクロ孔まで様々な径の孔を持っている。また、ゼオライトは相対的にサイズの揃ったマイクロ孔を持っている。前記例示の吸着剤２００群は、そのマイクロ孔（ミクロ孔）の存在故に、本発明においていずれの吸着剤２００も使用可能である。
【００７４】
吸着剤２００の平均粒子径は、５〜３０μｍ、好ましくは１０〜２０μｍとするとよい。５μｍ未満だと、吸着剤２００が保持部材１２の内部に入り込んだり、透過してしまったりする。３０μｍ超だと、所定の流入風量又は所定の流出風量で吸着剤２００が気流にのって流れ難い。平均粒子径はＪＩＳ  Ｚ  ８８２５：２０１３に準拠して測定することができる。
【００７５】
吸着剤２００の嵩比重は、０．４〜１．５ｇ／ｃｍ3とするとよい。０．４ｇ／ｃｍ3未満だと僅かな風で吸着剤２００が舞い上がり、取り扱い難い。１．５ｇ／ｃｍ3超だと気流に沿って流れ難くなる。
【００７６】
吸着剤２００の比熱は、０．２〜１ｋＪ／（ｋｇ・℃）、好ましくは０．４〜０．８ｋＪ／（ｋｇ・℃）とするとよい。０．２ｋＪ／（ｋｇ・℃）未満だと、吸着剤２００の温度が雰囲気の温度に変動を受けやすく、揮発性有機化合物の吸着反応及び脱離反応が安定しない。１ｋＪ／（ｋｇ・℃）超だと、吸着剤２００の昇温に時間がかかり過ぎ、多くの熱エネルギーを必要とするため不経済である。
【００７７】
保持部材１２内における保持部材１２に、吸着剤２００が含まれるガスを所定の流入風量で供給すると、保持部材１２に吸着剤２００が付着されて吸着剤２００層が形成される。吸着剤２００の出入部１５が供給部側にあるときは保持部材１２の供給部側面に、この出入部１５が排出部側にあるときは保持部材１２の排出部側面に吸着剤２００層が形成される。保持部材１２が袋状である場合は、袋状保持部材１２の袋の外部から内部へ気体Ａが流れる形態とするとよい。このとき、筒状体１２ｓを保持部材１２内部に設ける場合は、出入部１５を供給部側に設けるとよい。このようにすると、保持部材１２の供給部側面に吸着剤２００層が形成され、供給部側から排出部側に保持部材１２を透過した透過ガスＢが、筒状体１２ｓのガス通路１２ｒを通過して排出部１３から排出される。
【００７８】
吸着剤２００を保持部材１２に保持させる場合、吸着剤２００が保持部材の表面に層として形成される。吸着剤層の厚みは、例えば、下限が０．８ｍｍ以上とするとよく、上限が２．５ｍｍ以下とするとよい。０．８ｍｍ未満だと揮発性有機化合物が保持部材１２を透過してしまうおそれがあり、２．５ｍｍ超だと吸着剤２００層のうちの供給部側の面付近では揮発性有機化合物が吸着され易いが、排出部側の面付近では吸着され難い。
【００７９】
（噴射ノズル）
剥離手段は、保持部材１２に圧縮空気を噴射して吸着剤２００を剥離する手段である。噴射は保持部材１２のうちの吸着剤２００を保持した面又はその裏面に行うことができる。特に、この裏面に噴射を行うと、吸着剤２００は、この吸着剤２００が保持された面に対して法線方向に噴射圧力を受け、及び保持部材１２の形状変化による外力を同上方に受けて、同面側の外方に剥離するように促されるため、好ましい。噴射は例えば、噴射ノズル１４を用いて行うことができる。噴射ノズル１４の噴射口は、保持部材１２の吸着剤２００が保持された面側又はその裏面側に備えることができる。特に噴射ノズル１４は、保持部材１２の吸着剤２００が付着する面の裏面に備えるのが好ましい。例えば、保持部材１２における気体供給部空間に対向する面に、吸着剤２００が付着する形態の場合には、保持部材１２の排出部空間側に噴射ノズル１４が備わり、保持部材１２の排出部空間に対向する面に圧縮空気を噴射する形態となる。この形態では、噴射ノズル１４の噴射口の設置箇所は、排出部側であって、保持部材１２の面に圧縮空気を噴射可能であれば、特に限定されない。特に袋状の保持部材１２における開口端の近傍に噴射ノズル１４が備わる形態は、圧縮空気の損失が抑制されるので好ましい。近傍とは、図１に示すように例えば、保持部材１２の径（プリーツフィルタの場合は、襞２の基端部２ｂ、２ｂ、・・・を通って形成された略円の径）をｘとしたとき、保持部材１２における開口端と噴射ノズル１４との距離１４Ｌがｘの１．５倍以下、好ましくは１倍以下であるとよい。ｘの１．５倍を超えると、噴射ノズル１４から噴射された圧縮空気が分散されてしまい、保持部材１２から吸着剤を剥離させる効果が期待できないおそれがある。
【００８０】
噴射ノズル１４から圧縮空気が噴射される手法は、公知の手段を適宜採用できる。例えば、噴射ノズル１４と空気圧縮装置、例えば、コンプレッサ、とが空気供給管で接続された設備を用意し、空気圧縮装置で生成された圧縮空気が空気供給管を通って噴射ノズル１４から噴射される手法を挙げることができる。
【００８１】
噴射ノズル１４の噴射口の径は適宜調節できるが、例えば２５〜５０ｍｍとすることができる。２５ｍｍ未満だと噴射範囲が狭いため、保持部材１２から吸着剤２００が十分に剥離されないおそれがある。５０ｍｍ超だと噴射範囲が広過ぎ、噴射するための圧縮空気量が多くなり効率的ではない。
【００８２】
噴射ノズル１４から圧縮空気が２００〜９００ｋＰａ、より好ましくは３００〜５００ｋＰａとするとよい。２００ｋＰａ未満だと吸着剤２００層を構成する吸着剤２００の剥離が十分になされない。９００ｋＰａを超えると噴射時の音量が大きく騒音の原因となるおそれがある。
【００８３】
（脱離装置）
揮発性有機化合物が吸着した吸着剤２００は、吸着剤２００の出入部１５から流出させて、廃棄してもよいが、揮発性有機化合物を加熱して脱離し、再生された揮発性有機化合物を、再度、吸着するのに使用してもよい。吸着剤２００を加熱して、揮発性有機化合物を脱離させる脱離装置５０を設けることができる。揮発性有機化合物を吸着した吸着剤２００は、保持部材１２から剥離されて、脱離装置５０へ送られ、加熱処理される。
【００８４】
脱離装置５０の加熱温度は、揮発性有機化合物の構成成分によって適宜調節するとよいが、例えば、３５０℃以上とするとよい。３５０℃未満だと揮発性有機化合物の脱離又は酸化分解がされ難い。なお、脱離装置５０に導入される吸着剤２００の温度が、加熱温度に対して低いと、連続してこの脱離装置５０で吸着剤２００を加熱する際、この吸着剤２００で脱離装置５０が冷やされてしまう。そこで、流路Ｔ１２にヒータ７４を設け、このヒータ７４で、例えば、３００℃以上に加熱された揮発性有機化合物を、流路Ｔ４を流れる吸着剤２００に合流させて、この吸着剤２００を加温して脱離装置５０に導入すると、脱離装置５０が急冷され難くなり、好ましい。
【００８５】
脱離装置５０は公知のものを適宜用いることができるが、例えば、特許第６１４０３２６号や特許５３１７８８５号に開示される装置を適用できる。この装置の概要は次記に示すものである。この装置は、回転キルンの一方の端部に吸着剤２００の装入口、他方の端部に排出口と揮発性有機化合物の排気口を有する加熱キルンタイプのものである。加熱キルンは、外熱キルン又は内熱キルンとすることができる。
【００８６】
装入口から揮発性有機化合物を吸着させた吸着剤２００を装入し、加熱キルンの転動回転により、吸着剤２００と共に装入した触媒と接触させるとともに、所定温度に加熱して、揮発性有機化合物の脱離を行い、処理済みの再生吸着剤２００は排出口から排出して、揮発性有機化合物は排気口から排気するように構成したものである。吸着剤２００は、ホッパ、切出しフィダー、供給フィダーにより回転キルンに装入する。回転キルン内には、内容物（吸着剤２００Ｓと触媒）を撹拌する手段を設けることができる。また、キルン内部もしくは内容物の排出口側に温度検出手段を設けて、その結果に基づき温度制御を行うことができる。排気口には、吸着剤２００を通さず揮発性有機化合物を透過して分離するフィルタ５１を設けるとよい。このフィルタ５１を備えることで、送風で容易に搬送される程度の密度、大きさの吸着剤２００と、揮発性有機化合物と分離することができる。
【００８７】
酸化分解触媒は、セリウムの炭酸塩及びコバルトの炭酸塩の混合物を焼成した複合酸化物を主体とするＣｏ，Ｃｅ酸化物系触媒、白金系触媒、三酸化二クロム（Ｃｒ2Ｏ3）、五酸化バナジウム（Ｖ2Ｏ5）、二酸化チタン（ＴｉＯ2）、三酸化タングステン（ＷＯ3）及びこれらの併用物の群から選ぶことができる。
【００８８】
Ｃｏ，Ｃｅ酸化物系触媒としては、市販の「ボール型Ｃｏ，Ｃｅ酸化物系触媒」（三協興産から提供されている）を使用できる。また、これに関しては、特許第５７１７４９１号、特許第５４２２３２０号、特許第５４１４７１９号の発明が知られており、その発明の適用分野、成分、製造方法、特徴的な作用効果などが知られている。また、市販のＣｏ，Ｃｅ酸化物系触媒を使用するほか、前記特許群に基づいて触媒を得る（製造して使用する）こともできる。
【００８９】
前述の脱離装置５０のほか、吸着剤をセラミックフィルタに付着させて加熱し、吸着剤２００に吸着した揮発性有機化合物を脱離する脱離装置を例示できる。この脱離装置は、吸着剤２００の装入口と排出口と吸着剤の流出口とを備えるケースと、ケース内の、挿入口側の空間と排出口側の空間を隔離するセラミックフィルタを有する。セラミックフィルタは気体を透過するが、吸着剤を透過しない。吸着剤の流出口は排出口側空間に備わる。また排出口側に送風装置を備えてもよい。この脱離装置の装入口からケース内部に吸着剤２００が気体と共に挿入されてセラミックフィルタに付着する。そして、加熱処理し、吸着剤から脱離した揮発性有機化合物は排出口から排出される。また、加熱処理後の吸着剤は、吸着剤の流出口から脱離装置の外部に流出される。吸着剤２００をセラミックフィルタから剥離させるには、セラミックフィルタを振動させたり、送風装置による風圧力をセラミックフィルタに加えたりする手法を採ることができる。
【００９０】
脱離装置５０で１回に加熱する吸着剤２００の容量は、特に限定されないが、１６リットル程度とするとよい。１６リットルは、およそ、通常稼働時における、吸着部材１２に保持される吸着剤２００の容量である。加熱時間は吸着剤２００の質量にもよるが、吸着剤２００が８ｋｇであれば、３５０℃で３〜５分とするとよい。３分未満だと、吸着剤２００に吸着した揮発性有機化合物の脱離が不十分となるおそれがある。吸着剤１ｇに対して２５質量％、揮発性有機化合物が吸着するとすると、脱離装置５０で加熱を１回行うと、２ｋｇの揮発性有機化合物が脱離することになる。また、１回の加熱時間を５分と仮定すると、当該脱離装置５０は、毎分０．４ｋｇの揮発性有機化合物を脱離できることになる。なお、脱離装置５０で加熱された吸着剤自身の温度は、２２０℃以上となる。
【００９１】
（加熱手段）
加熱手段５５は、吸着剤２００が流れる第１流路を加熱することで、この流路内の吸着剤２００を予熱するものである。加熱手段５５は、第１流路（流路Ｔ２、流路Ｔ３、流路４）に設けることができる。しかしながら、回収容器３０を設ける場合は、第１流路における回収容器３０の下流側に設けるとよい。回収容器３０は計量器３３を備え、回収した吸着剤の量を計量できるので、吸着剤２００を適量切り出して、加熱手段によって予熱することができる。加熱手段５５は、公知の手段を適宜用いることができるが、例えば、水蒸気や炎、バーナ、熱交換器等で熱する手段を用いることができる。
【００９２】
加熱手段５５を第１熱交換器５５ａとする場合は、この第１熱交換器５５ａが、第２流路を流れる高温の揮発性有機化合物で、第１流路を流れる吸着剤を予熱するものであるとよい。第１流路を流れる吸着剤２００が脱離装置５０で加熱される前に第１熱交換器５５ａで予め加熱されることで、吸着剤２００に吸着された揮発性有機化合物の気化が促進される。また、吸着剤２００が比熱の高い材質であっても予熱されることで、脱離装置５０で揮発性有機化合物を気化するのにかかる時間（処理時間）が短縮され、好ましい。
【００９３】
第１熱交換器５５ａについて、吸着剤の流路の容積が、保持部材１２に保持される吸着剤の両以上とするとよい。例えば、保持部材１２に保持される吸着剤の量が１６Ｌであれば、同吸着剤の流路の容積を１６Ｌ以上とするとよい。このようにすると、保持部材１２から剥離した吸着剤の全量を第１熱交換器５５ａ内の同流路に留めておき、同流路のうちの吸着剤で満たされた部分を、一度に予熱することができる。吸着剤の材質にもよるが、第１熱交換器５５ａが吸着剤を予熱する時間は３〜５分とするとよい。この予熱により吸着剤は２００℃以上となる。また、なるべく早く吸着剤の温度を上げるために第１熱交換器５５ａの伝熱面積は４ｍ3以上、好ましくは５ｍ3以上とするとよい。
【００９４】
この第１熱交換器５５ａは、吸着剤が気体と共に流れる流路と、脱離装置５０から流出される揮発性有機化合物を含む気体が流れる流路を有し、この揮発性有機化合物を含む気体によって、吸着剤を予熱するものである。脱離装置５０で３５０℃以上となった、この揮発性有機化合物を含む気体を１〜２回流して、吸着剤が気体と共に流れる流路を加熱する。この揮発性有機化合物を含む気体を吸着剤の予熱に用いることで、脱離装置５０で吸着剤を加熱する熱量やヒータ７４で消費する熱量を抑制できる。
【００９５】
第１熱交換器５５ａの材質は、公知の熱交換器に用いられる材質とすることができるが、一例に、銅、ステンレス鋼、チタンを用いるとよい。特に、ステンレス鋼（ＳＵＳ）が耐熱性、耐腐食性に優れるため望ましい。熱伝導が効率よく行われるように、吸着剤が気体と共に流れる流路の厚みは、０．４〜１ｍｍ、好ましくは０．５ｍｍとするとよい。
【００９６】
この第１熱交換器５５ａの流路のうち、少なくとも吸着剤が流れる流路の出口に、吸着剤及び気体の流通を遮るダンパＶ４を設けるとよい。ダンパＶ４は特に限定されないが、耐熱性を備えた、メタルタッチ式のものを好適に用いることができる。第１熱交換器５５ａで吸着剤を予熱すると、吸着剤に吸着された揮発性有機化合物の一部が気化する。ダンパＶ４の開閉操作でこの気化物を第１熱交換器５５ａの外へ逃がすようにする。
【００９７】
第１熱交換器５５ａは、公知の熱交換器を用いることができるが、例えば、プレート式熱交換器やチューブ式熱交換器を用いることができる。また、第１熱交換器５５ａは吸着剤２００と共に流れる気体と、加熱装置５０から排出される気化した揮発性有機化合物とで熱交換を行うことから、気気熱交換器ということもできるし、固気熱交換器ということもできる。
【００９８】
図９に示すように、第３流路を流れる凝縮されなかった低温の揮発性有機化合物で第２流路を流れる揮発性有機化合物を冷却する第２熱交換器５６ａを備える形態では、第２熱交換器５６ａは、低温の揮発性有機化合物が流れる流路と、第２流路を流れる揮発性有機化合物が流れる流路とを有する。すなわち、第２熱交換器５６ａを流れる物質は主に気体である。よって、第２熱交換器５６ａは、公知の熱交換器を適宜用いることができる。
【００９９】
特許文献１の揮発性有機化合物の除去装置は、吸着剤をハニカムロータに固定させて、揮発性有機化合物の吸着、脱離を行って、揮発性有機化合物を除去するものである。脱離の手法は、ハニカムロータの脱着ゾーンに形成された多数の孔に加熱気体を通過させて、揮発性有機化合物の気化を促して、脱離するものである。吸着剤はハニカムロータの孔の内壁に固定されたままの姿勢で加熱気体に曝されることになる。そうすると、例えば、加熱気体が、脱着ゾーンの上流側では高温であるが、下流側に流れるにつれて低温化する。具体的に言うと、脱着ゾーンの上流側で、揮発性有機化合物の気化熱に、加熱気体の熱量が、活発に奪われ、熱エネルギーが低下してしまう結果、下流側に至るころには、加熱気体が、吸着剤に吸着した揮発性有機化合物を十分に気化するだけの熱量が備わっていない場合があり得る。また、吸着剤個々の表面のうちの、加熱気体の流れに対向する側の面は、加熱されるものの、加熱気体の流れに対向する側の面ではない面は、加熱されにくい傾向となる。吸着剤が断熱材質である場合は、特にこの傾向が顕著になる。よって、ハニカムロータに固定される吸着剤の位置（すなわち、上流側か下流側か）により、揮発性有機化合物の脱離度合が異なるし、吸着剤個々の部位においても、脱離度合が異なることになる。脱離がされにくければ、揮発性有機化合物の回収効率がよいとは言えない。これに対して、図１０に示すように、保持部材１２に保持された吸着剤２００は、第１流路（流路Ｔ１、流路Ｔ２、流路Ｔ３、流路Ｔ４）に備わる加熱手段５５で予熱され、脱離装置５０で加熱される。そして、加熱手段５５で予熱されるときと、脱離装置５０で加熱されるときでは、吸着剤２００の姿勢が異なる。予熱で揮発性有機化合物の一部が気化・脱離し、脱離装置５０による加熱で残りが気化・脱離する形態となっている。そのため、本形態では、特許文献１と比較しても、吸着剤２００からの揮発性有機化合物の脱離が促進され、結果、揮発性有機化合物の回収効率がよいものとなっている。
【０１００】
加熱手段５５から流出した吸着剤２００は、３秒以内に脱離装置５０に流入させるとよい。３秒より長いと吸着剤２００が冷え過ぎたり、脱離した揮発性有機化合物が吸着剤２００に再吸着したりして、揮発性有機化合物の回収効率が低下するおそれがある。
【０１０１】
（吸着剤の流動）
出入部１５から保持容器１０の外部へ、剥離した吸着剤２００を流出させる手法を以下に例示する。脱離装置５０に送風装置を備え、この送風装置を稼働させて、第１流路内を負圧にすることで、吸着剤２００を気体と共に脱離装置５０へ流す手法を挙げることができる。このほかにも、保持部材１２の下部に、第１流路を設け、この第１流路の下部に脱離装置５０を設けて、重力で剥離した吸着剤２００を流出させ、脱離装置５０に導く手法も挙げることができる。また、第２流路を備える場合には、この第２流路に送風装置７３を設け、この送付装置７３を稼働させて、第２流路及び第１流路を負圧にして、吸着剤２００を気体と共に脱離装置５０へ流す手法としてもよい。
【０１０２】
脱離装置５０で再生した吸着剤２００を再び、保持部材１２に付着させる場合は、以下の手法で行うことができる。図９に示すように、吸着剤の循環流路１１０と揮発性有機化合物の循環流路１２０を備える形態において、送風装置７３を稼働させて、回収装置９０から第３流路（流路Ｔ１１）を介して脱離装置５０に揮発性有機化合物を含む気体が流れる気流を発生させる。ここで、流路Ｔ７に備わる開閉バルブＶ１４と、流路Ｔ２に備わる開閉バルブＶ１２を閉じておくと圧力損失が少なくて済み好ましい。脱離装置５０にある再生済みの吸着剤が、第３流路（流路Ｔ１１）から脱離装置５０に流入した気体と共に流路Ｔ５、流路Ｔ６、流路Ｔ１を流れて保持部材１２に達し、この保持部材１２に付着する。
【０１０３】
送風装置７３には、正圧運転及び負圧運転が可能なブロワやコンプレッサを用いることができる。送風装置７３の風量は、２ｍ3／分以上、好ましくは４ｍ3／分以上であればよい。２ｍ3／分未満だと、吸着剤２００が吸着剤の循環流路１１０を滑らかに流れにくく、また、保持部材１２へ付着しづらい。
【０１０４】
吸着剤の循環流路１１０では吸着剤２００が気体と共に流れ、揮発性有機化合物の循環流路１２０では揮発性有機化合物が気体と共に流れるが、この気体は、空気や不活性ガスとするとよく、特に、窒素ガスの割合が空気よりも多い気体とするとよい。窒素ガスの割合が空気よりも多い気体は、例えば、ＶＳＡ設備等で製造可能である。吸着剤２００と共に流す気体、又は揮発性有機化合物と共に流す気体は、どこからでも流路内に導入してよいが、例えば、脱離装置５０に当該気体の導入部を設けて、脱離装置５０内に当該気体を導入するとよい。
【０１０５】
なお、吸着剤２００が保持部材１２に十分に保持されたかどうかの判断は、保持部材１２の供給部側と排出部側のそれぞれの空気圧力差や揮発性有機化合物の濃度差に基づき行うことができる。揮発性有機化合物の濃度差を判断基準にして十分な付着を判断するのは容易であり、吸着剤２００が保持部材１２に十分に保持されていれば、揮発性有機化合物の濃度は、供給部側では定量下限を超える場合でも、排出部側では定量下限未満となる。揮発性有機化合物の濃度計としては、公知の濃度計を適宜用いることが可能であるが、例えば、光明理化学工業株式会社の製品「北川式ガス検知器」を採用することができる。
【０１０６】
吸着剤２００の出入部１５は、保持容器１０内に設けることができる。気流がなければ吸着剤２００は、自重で重力により自由落下する性質を有する。この性質を考慮すれば、例えば、出入部１５は、保持部材１２の鉛直方向下方に設けるとよく、特に保持容器１０における鉛直方向の下部に設けるとよい。保持部材１２の下方に設けておけば、保持部材１２から剥離して自由落下した吸着剤２００が保持部材１２の下方に溜まるので、吸着剤２００の排出（流出）が容易であり、また小さい流出風量で吸着剤２００の流出が可能であるという利点がある。
【０１０７】
（回収容器）
図９に示すように、保持部材１２から剥離した吸着剤２００を回収するための回収容器３０を第１流路のうちの、加熱手段５５の上流側に設けることができる。回収容器３０は、本体３２と、吸着剤２００の流入部と流出部と回収容器内の吸着剤２００の質量を計量する計量器３３と、回収された吸着剤２００を流出部から加熱手段５５へ切り出す第１ダンパＶ３とを備えることができる。
【０１０８】
（保存容器）
図９に示すように、脱離装置５０の排出部から排出された吸着剤２００を保存する保存容器４０を設けることができる。保存容器４０は、本体４２と吸着剤２００の流入部と流出部と保存容器内の吸着剤２００の質量を計量する計量器４３と、保存された吸着剤２００を流出部から外部へ切り出す第２ダンパＶ５とを備えることができる。第２ダンパＶ５から切り出された吸着剤２００は、廃棄されてもよいし、再度、保持部材１２に保持させて、さらなる揮発性有機化合物の吸着に用いられてもよい。脱離装置５０の排出部と保存容器４０の流入部とは流路Ｔ５で接続され、第２ダンパＶ５に一端が接続された流路Ｔ６は、他端を流路Ｔ１又は保持容器１０の出入部１５に接続されたものとすることができる。
【０１０９】
（第１処理フロー）
図１０を参照しつつ、揮発性有機化合物を回収するフローの一例を説明する。
【０１１０】
揮発性有機化合物が分散する気体Ａ中に吸着剤を保持した保持部材１２を設置する。吸着剤への揮発性有機化合物の吸着量が所定量に達すると、吸着剤２００が破過し始める。吸着剤２００の破過が始まった時点又はその直前で、保持部材１２から吸着剤を剥離する。保持部材１２から吸着剤を剥離するタイミングは、例えば次記のようにするとよい。保持部材１２を気体Ａ中に設置してから破過するまでにかかる時間を予め計測しておき、その計測に基づき、その設置してから破過するまでにかかる時間が経過したときに剥離するとよい。
【０１１１】
吸着剤２００の破過が始まった時点又はその直前で、保持部材１２から吸着剤２００を剥離する。剥離した吸着剤２００は気体と共に第１流路を流れ、加熱手段５５により１５０℃以上、好ましくは２００℃以上に予熱される。この予熱により、吸着剤２００に吸着された揮発性有機化合物の一部が、気化して、この吸着剤２００から脱離する。ここで、脱離した揮発性有機化合物は、脱離装置５０を経由して、回収装置９０で凝縮されて回収される。ここで、第１流路を流れる吸着剤２００を振動させる振動手段を用いると、第１流路で吸着剤２００が密になり、加熱手段５５による熱エネルギーが無駄なく吸着剤２００に伝導され好ましい。
【０１１２】
予熱された吸着剤２００は、脱離装置５０に流れ込み、３５０℃以上の雰囲気下で加熱される。この加熱で、吸着剤自体の温度は、２２０℃以上になる。この加熱により、吸着剤２００に吸着されていた揮発性有機化合物が、気化して、この吸着剤２００から脱離する。揮発性有機化合物が脱離した吸着剤２００は、保存容器４０などに保存される。
【０１１３】
脱離装置５０で気化した揮発性有機化合物は、回収装置７０で冷却又は加圧されて凝縮し、回収される。
【０１１４】
吸着剤２００は、脱離装置５０のみで加温されるだけでなく、第１流路においても予熱手段により加温される。揮発性有機化合物が脱離する温度（２２０℃以上）まで、吸着剤２００が昇温するのにかかる時間が短くて済む。よって、吸着剤２００の昇温にかかる時間が短いため、揮発性有機化合物の脱離速度が速い。
【０１１５】
（第２処理フロー）
図９を参照しつつ説明すると、第２処理フローは、第１処理フローの変形であり、第１処理フローとの違いは、加熱手段５５に第１熱交換器５５ａを用いる点である。よって、第２処理フローでは第１処理フローと異なる点を説明する。
【０１１６】
保持部材１２から吸着剤２００を剥離する工程までは第１処理フローと同様である。剥離した吸着剤２００は気体と共に第１流路を流れ、第１熱交換器５５ａにより１５０℃以上、好ましくは２００℃以上に予熱される。この予熱により、吸着剤２００に吸着された揮発性有機化合物の一部が、気化して、この吸着剤２００から脱離する。ここで、脱離した揮発性有機化合物は、脱離装置５０を経由して、回収装置９０で凝縮されて回収される。
【０１１７】
予熱された吸着剤２００は、脱離装置５０に流れ込み、３５０℃以上の雰囲気下で加熱される。この加熱で、吸着剤自体の温度は、２２０℃以上になる。この加熱により、吸着剤２００に吸着されていた揮発性有機化合物が、気化して、この吸着剤２００から脱離する。
【０１１８】
脱離装置５０で気化した揮発性有機化合物は気体と共に、第２流路（流路Ｔ７、流路Ｔ８、流路Ｔ９、流路１０）を流れ回収装置７０で冷却又は加圧されて凝縮し、回収される。ところで、気化した揮発性有機化合物が高濃度の状態になると引火し易くなる。この第２流路を流れる気体は揮発性有機化合物の濃度が高いことから、この第２流路に不活性ガスを注入して揮発性有機化合物の濃度を低下させるとよい。脱離装置５０から流出した高温の揮発性有機化合物を含む気体を第１熱交換器５５ａに流して、吸着剤を予熱させる。第１熱交換器５５ａに流す揮発性有機化合物を含む気体はおよそ３００℃程度となっている。また、第１熱交換器５５ａから流出した揮発性有機化合物を含む気体は１７０℃程度になっている。
【０１１９】
（第３処理フロー）
図９を参照しつつ、揮発性有機化合物の回収フローの変形例を説明する。保持部材１２に吸着剤２００が保持されておらず、保存容器４０には未使用の又は再生された吸着剤２００が保存され、ダンパＶ１〜ダンパＶ５全て、開閉バルブＶ１１〜Ｖ１３全てが全閉である状態を初期状態とする。
【０１２０】
＜保持工程＞
初期状態で先ず脱離装置５０を外部と連通しておき外気を取り込めるようにする。第２ダンパＶ５、開閉バルブ１１、ダンパＶ２を開く。送風装置７３を稼働させて、回収装置７０から第３流路（流路Ｔ１１）、脱離装置５０、保存容器４０、流路Ｔ６を介して、気体を保持容器１０に流れ込ませる。保存容器４０に保存された吸着剤２００が第２ダンパＶ５から切り出され、この気体と共に、保持容器１０に流れ込み、保持部材１２に保持される。第２ダンパＶ５から切り出される吸着剤２００の量は、保持部材１２に保持される量と等量程度するとよい。保持部材１２に吸着剤２００が保持され、吸着剤層が形成された段階で保持工程は終了し、吸着工程に移行する。脱離装置５０は外部との連通を遮断し、外気を取り込めないようにする。
【０１２１】
＜吸着工程＞
吸着工程では、先ずダンパＶ１を開き、ダンパＶ２〜ダンパＶ５、及び開閉バルブＶ１１，Ｖ１２を全閉にする。給気装置１９ａを運転して、気体供給部１１から保持容器１０に供給された気体Ａが保持部材１２を透過して、透過された気体Ｂが気体排出部１３から排出される気流を発生させる。気体Ａの透過量が所定量に達すると、吸着剤２００が破過し始める。吸着剤２００の破過が始まった時点又はその直前で、ダンパＶ１を閉じ、給気装置１９ａを停止する。吸着剤２００が破過したかどうかの判断は、一例として、濃度計を用いて行うとよい。例えば、保持部材１２における供給部側の空間と排出部側の空間とに濃度計６２，６２をそれぞれ設置して、排出部側の空間に設置した濃度計の数値が上昇を開始した時を、破過した時と判断する。なお、保持部材１２における供給部側の空間には濃度計を設置しなくてもよい。
【０１２２】
濃度計６２，６２の設置位置は、特に限定されない。例えば、排出部側の空間に設置する濃度計６２であれば、気体排出部１３又はこの近傍に設置するとよく、供給部側の空間に設置する濃度計６２であれば、気体供給部１１又はこの近傍に設置するとよい。気体排出部１３又はこの近傍は、透過ガスＢが集まる箇所であり、平均的な測定値となり易い。気体供給部１１又はこの近傍も、揮発性有機化合物を含む気体Ａが拡散される前の箇所であり、平均的な測定値となり易い。
【０１２３】
図５に示すように一般的に吸着剤２００が破過すると、揮発性有機化合物の濃度［Ｃ］（すなわち、排出部側の空間に設置した濃度計６２の濃度測定値）が次第に上昇し、吸着剤２００が機能しなくなることが知られている。特に揮発性有機化合物の濃度［Ｃ］が上昇し出した時点を、破過点６１という。図５は、吸着剤２００にヤシガラ活性炭を使用し、揮発性有機化合物に分類されるアセトアルデヒドガスを吸着剤２００に曝した場合の破過曲線６０を示し、縦軸がアセトアルデヒドの濃度［Ｃ］、横軸が時間［Ｔ］を示している。
【０１２４】
吸着剤２００が破過したと判断された段階、又は揮発性有機化合物を含む気体Ａを所定時間、供給した段階で吸着工程は終了し、剥離工程に移行する。
【０１２５】
＜剥離工程＞
剥離工程は、ダンパＶ１〜Ｖ５全てを全閉にし、開閉バルブＶ１１は開いていても閉じていてもよいが、閉じていた方が好ましい。開閉バルブＶ１２は開いておくとよい。噴射ノズル１４から圧縮空気を噴射させる。圧縮空気が噴射されると、保持部材１２が排出部側に膨らんで変形したり振動したりして、付着された吸着剤２００が保持部材１２から剥離される。剥離した吸着剤２００は自由落下する。特に保持部材１２が前述のプリーツフィルタである場合は、プリーツフィルタが支持体１８に張設されており、圧縮空気の噴射を受けて振動し、このプリーツフィルタに付着した吸着剤２００が剥離する。
【０１２６】
吸着部材１２と噴射ノズル１４との組が複数設置されている（図１１や図２では２組設けられている）場合は、圧縮空気を、第１噴射ノズル１４から噴射させ、次いで第２噴射ノズルから噴射させ、次いで第３噴射ノズルから噴射させる、次いで第４噴射ノズルから、・・・というように、順次噴射させることができる。また、順次噴射させて一巡した後、もう一巡、第１噴射ノズル１４から順次噴射させていってもよい。さらに、複数の噴射ノズル１４，１４，・・・から圧縮空気を一斉に噴射させてもよい。圧縮空気を噴射させると大きな音を伴うが、順次噴射させることで、一度に噴射させたときよりも音量が小さくなる。一方、複数の噴射ノズル１４，１４，・・・から圧縮空気を一斉に噴射させると、剥離工程の時間短縮になる。また、順次噴射させたときよりも、一斉に噴射させたときの方が、保持容器１０内の気圧の変化が大きなものとなり、吸着剤２００の剥離がより促進される。
【０１２７】
噴射ノズル１４の噴射が終了した段階（噴射ノズル１４が複数ある場合は、噴射ノズル１４全ての噴射が終了した段階）で剥離工程は終了し、予熱工程に移行する。
【０１２８】
＜予熱工程＞
予熱工程は、先ずダンパＶ２を開いて剥離した吸着剤２００を気体と共に回収容器３０に導く。重力で導いてもよいし、ダンパＶ３，Ｖ４を開けて送風装置７３を稼働し、第１流路（流路Ｔ１，流路Ｔ２，流路Ｔ３）を負圧にして吸引してもよい。
【０１２９】
回収容器３０は、保持部材１２に保持された吸着剤２００の全部を少なくても回収できる容積とするとよい。回収容器３０には計量器３３が備わり、回収容器３０に回収された吸着剤２００の質量を計量できるようになっている。
【０１３０】
回収容器３０の第１ダンパＶ３から切り出された吸着剤２００は、第１熱交換器５５ａに流入して、第１熱交換器５５ａ内で一旦留まる。吸着剤２００が留まった状態で、第１熱交換器５５ａで３〜５分予熱される。予熱され２００℃程度となった吸着剤は脱離装置５０に送られる。ここで、第１熱交換器５５ａは、第１流路（流路Ｔ２、流路Ｔ３、流路Ｔ４）と第２流路の一部（流路Ｔ７、流路Ｔ８）に跨って設置されている。なお、第１熱交換器５５ａに留める吸着剤２００の量は、保持部材１２から剥離した吸着剤２００の量とするとよい。剥離した当該吸着剤２００を予熱することで、脱離装置５０から排出された揮発性有機化合物を含む高温気体の熱量を有効に利用できる。
【０１３１】
＜加熱再生工程＞
加熱再生工程は、脱離装置５０内の温度を３５０℃以上に加熱して、吸着剤２００に吸着された揮発性有機化合物を気化して脱離する、とともに吸着剤２００を再生する工程である。再生された吸着剤２００は保存容器４０に送られ、保存される。
【０１３２】
＜冷却工程＞
一方、脱離した高温の揮発性有機化合物は、第２流路（流路Ｔ７，流路Ｔ８，流路Ｔ９，流路Ｔ１０）に設けられた前述の第１熱交換器５５ａに流入し、吸着剤２００に熱を奪われ、１７０℃程度で当該第１熱交換器５５ａから流出する。そして、第１熱交換器５５ａから流出した揮発性有機化合物が、第２熱交換器５６ａに流入し、第３流路（流路Ｔ１１、流路Ｔ１２）を流れる揮発性有機化合物を加熱する、と同時に９５℃程度に冷却されて、この第２熱交換器５６ａから流出される。ここで、第２熱交換器５６ａは、第２流路の一部（流路Ｔ８、流路Ｔ９）における第１熱交換器５５ａの下流と第３流路（流路Ｔ１１、流路Ｔ１２）に跨って設置されている。また、第２流路（流路Ｔ９、流路Ｔ１０）における第２熱交換器５６ａの下流に冷却器７２を設けることができる。この冷却器７２により、第２熱交換器５６ａから流出した揮発性有機化合物を３７℃程度まで冷却して、回収装置７０に送ると、回収装置７０での凝縮にかかるエネルギーを低減でき経済的である。
【０１３３】
＜回収工程＞
第２熱交換器５６ａから流出した揮発性有機化合物は、回収装置７０に流入し、凝縮部９０で加圧及び／又は冷却され、凝縮されて、回収部８０で回収される。回収装置７０で凝縮されなかった揮発性有機化合物は、気体と共に、第３流路（流路Ｔ１１、流路Ｔ１２）に設置される第２熱交換器５６ａに流入し、加熱されて当該第２熱交換器５６ａから流出して流路Ｔ４又は脱離装置５０に流入する。第３流路の下流端は、脱離装置５０又は流路Ｔ４に接続される形態とすることができる。特に流路Ｔ４に接続される形態であれば、ヒータ７４を流路Ｔ１２に設け、このヒータ７４で３５０℃程度に加熱された揮発性有機化合物を含む気体が、流路Ｔ４を流れる吸着剤に合流して、吸着剤の温度を高めるので、その下流の脱離装置５０での加熱に要するエネルギーを節約でき好ましい。
【０１３４】
＜返送工程＞
回収装置７０から第１流路又は保持容器１０へ、当該回収装置７０で凝縮されなかった揮発性有機化合物が気体と共に流れる返送流路Ｔ１４と、この返送流路Ｔ１４に備わる開閉バルブ１３を有する場合は、この開閉バルブＶ１３を開いて、回収装置７０で凝縮されなかった揮発性有機化合物を気体と共に第１流路又は保持容器１０へ流すとよい。回収装置７０では揮発性有機化合物が気液平衡状態にあり、気体の揮発性有機化合物の濃度が高まると、揮発性有機化合物が引火し易くなる。そこで、気体の、すなわち、凝縮されなかった揮発性有機化合物を返送流路Ｔ１４に流すことで、回収装置７０内における気体の揮発性有機化合物の高濃度化を抑制することができる。
【０１３５】
第３処理フローでは、吸着剤２００について保持工程、吸着工程、剥離工程、予熱工程、加熱再生工程を繰り返し行う、すなわち、吸着剤の循環流路１１０に沿って吸着剤２００を循環させることで、破過した吸着剤２００が保持部材１２から剥離して再生され、再生した吸着剤２００が同保持部材１２に再び保持されることになると同時に、建屋内に分散する揮発性有機化合物が減少する。また、吸着剤２００に吸着された揮発性有機化合物について、予熱工程、加熱再生工程、冷却工程、回収工程を繰り返し行う、すなわち、揮発性有機化合物の循環流路１２０に沿って揮発性有機化合物を空気と共に循環させることで、揮発性有機化合物が効率よく回収される。
【０１３６】
第３処理フローを用いて、建屋内の揮発性有機化合物の回収を行うと、気体Ａを流量１５００ｍ3／分で保持部材１２を透過させ、送風装置７３の気体流量を４ｍ3／分とした場合、濃縮倍率は３７５倍（＝（１５００ｍ3／分）／（４ｍ3／分））と考えられる。建屋内の揮発性有機化合物の濃度が５０ｐｐｍとし、揮発性有機化合物の全量が吸着剤２００に吸着されるとすると、回収装置７０に流入する気体中の揮発性有機化合物濃度は１．８８％（≒５０ｐｐｍ×３７５倍）となり、相対的に高い濃縮率となる。
【０１３７】
吸着剤２００を保持部材１２から剥離して、再生して、再度保持部材１２に保持させるまでにかかる時間は７２０〜９００秒程度であり、揮発性有機化合物を取り扱う作業を停止する時間の短縮化が図られ、同作業が効率の良いものとなる。これに対して、特開第２０１７−８７１５０号公報に開示される、いわゆるハニカムロータを用いた揮発性有機化合物の除去システムでは、揮発性有機化合物を取り扱う作業を停止している間に、吸着剤２００は、吸着された揮発性有機化合物を脱離して、冷却を行わなければならない。結果、揮発性有機化合物を取り扱う作業を停止する時間が長く、同作業を効率良く行うことができるものとは言い難い。
【０１３８】
（第４処理フロー）
第４処理フローは、第３処理フローの変形であり、第３処理フローとの違いは、保持容器１０を複数台設けていることである。保持容器１０の設置台数は、例えば、２台以上、好ましくは５〜１０台とすることができる。図１２は、保持容器１０が２台備わる場合の回収システムの全体図である。図９と異なる点を説明すると、流路Ｔ１は、一端を流路Ｔ２に接続し、他端を分岐させて、第１の保持容器１０の出入部、第２の保持容器１０の出入部、第３の保持容器１０の出入部、・・・にそれぞれ接続している。分岐させた流路には、それぞれ開閉バルブＶ２１，Ｖ２１′を設けるとよい。返送流路Ｔ１４は、一端を回収装置７０に接続し、他端を分岐させて、第１の保持容器１０の供給部１１、第２の保持容器１０の供給部１１、第３の保持容器１０の供給部１１、・・・にそれぞれ接続している、又は流路Ｔ１に接続している。分岐させた流路には、それぞれ開閉バルブＶ１３，Ｖ１３′を設けるとよい。
【０１３９】
第４処理フローでは、例えば、５台設置して稼働させた場合を例に説明すると、第１保持容器１０〜第５保持容器１０の５台を同時に稼働させる。仮に第１保持容器１０の吸着剤層が最も早く破過した場合、この第１濾過容器１０のみ稼働を停止させる。前述の第３処理フローに従って、この第１保持容器１０に対して、吸着剤２００について循環工程（具体的には、剥離工程、予熱工程、加熱再生工程、保持工程、吸着工程）を繰り返し行う。
【０１４０】
次いで、第２濾過容器１０の吸着剤層が破過した場合、この第２濾過容器１０のみ稼働を停止させる。前述の第３処理フローに従って、この第２濾過容器１０に対して、吸着剤２００について循環工程（具体的には、剥離工程、予熱工程、加熱再生工程、保持工程、吸着工程）を繰り返し行う。
【０１４１】
さらに、別の濾過容器１０の吸着剤層が破過した場合も、前述同様に、濾過容器１０に対して、同循環工程を行うとよい。
【０１４２】
このように、吸着剤層が破過した濾過容器１０のみを停止し、その他の濾過容器１０は稼働を継続することで、揮発性有機化合物が含まれる雰囲気下で、作業者は作業を連続して行うことができる。
【実施例】
【０１４３】
本実施形態の回収システムを用いて、トルエンの除去性能を調べた。所定容積の容器内の空間にトルエンを、いわゆる、塗装作業用スプレーガンで噴射した。噴射量は０．１ｋｇ／分とした。同凝回収システム内のトルエンを含むガスの風量を１５０ｍ3／分とした。実施例に用いたトルエンは、ダンケミカル株式会社製のトルオール（トルエン濃度９９．９％以上）であった。トルエン濃度の測定は、「北川式ガス検知器ＶＯＣ（揮発性有機化合物）濃度計」で行った。吸着剤２００は、クラレケミカル株式会社製の粉末活性炭「クラレコール  ＰＫ−Ｄ（登録商標）」を用いた。保存容器４０からの活性炭の切り出し速度を１ｋｇ／分とした。吸着部材１２には前述のプリーツフィルタを用い、その素材に東レ株式会社のポリエステル長繊維不織布「アクスター」（登録商標）のＧ２２６０−１Ｓ  ＢＫ０を用いた。活性炭は、濾過フィルタの濾過面に層の厚みが３ｍｍ、付着量１．５ｋｇ／ｍ2となるように層状に付着させた。
【０１４４】
トルエンが噴射された雰囲気が入っている容器から保持部材１２の気体供給部１１に気体を風量１５０ｍ3／分で供給した。気体供給部１１と気体排出部１３それぞれのトルエン濃度を所定の時間（経過時間）ごとに測定した。供給される気体に含まれるトルエン濃度を変えて、試験例１〜試験例４とした。測定結果を表１に示す。
【０１４５】
【表１】
0006917646.tif 000002
【０１４６】
試験例１〜試験例４における全ての経過時間で、気体排出部におけるトルエン濃度が０ｐｐｍとなった。この結果から、トルエンの回収率が１００％であることが分かる。なお、回収率は次式［数１］より求められる。
［数１］
（トルエン回収率（％））＝（（気体供給部におけるトルエン濃度）―（気体排出部におけるトルエン濃度））÷（気体供給部におけるトルエン濃度）×１００
【０１４７】
特許文献１に代表されるロータ式揮発性有機化合物回収システムでは、ロータが例えば、ハニカムロータ形式となっており、吸着剤２００がこのロータに付着されている。揮発性有機化合物を含むガスがハニカムロータに設けられた多数の孔を通過する際に、揮発性有機化合物がこれら孔の内壁に固定された吸着剤２００に吸着される。しかしながら、この形状だと孔個々における中心側には、吸着剤が設けられず、同孔が吸着剤２００で完全に塞がっているわけではないので、揮発性有機化合物の一部が吸着されずに当該孔を透過する。結果として、ロータ式における揮発性有機化合物の回収率は、およそ８０〜９０％となる。回収率で比較すると、本発明の回収システムの方がロータ式のシステムよりも優れているといえる。
【０１４８】
（付記）
前述した態様以外にも、望ましい態様を次記に示す。
＜付記１＞
前記吸着容器は、前記吸着剤を剥離可能に付着して、吸着剤層が片面全体に形成された濾過フィルタと、前記気体の供給部及び排出部とを備え、
前記供給部から供給された前記気体が、前記濾過フィルタを透過して、前記排出部から排出される、
態様１の揮発性有機化合物の回収システム。
＜付記２＞
前記回収装置で前記凝縮されなかったものを、前記回収装置から前記吸着容器へ戻す返送流路が備わる、
態様１の揮発性有機化合物の回収システム。
＜付記３＞
前記吸着剤の嵩比重が０．４〜１．５ｇ／ｃｍ3である、
態様１の揮発性有機化合物の回収システム。
＜付記４＞
建屋内の気体中に分散した揮発性有機化合物の回収システムであって、
前記揮発性有機化合物を吸着する吸着剤を剥離可能に多数、保持する保持部材と、
前記保持部材から剥離した前記吸着剤が気体と共に流れる第１流路と、
前記第１流路から流出した前記吸着剤を加熱して、当該吸着剤に吸着された前記揮発性有機化合物を脱離する脱離装置と、
脱離した前記揮発性有機化合物を凝縮して回収する回収装置と、
前記第１流路と、前記脱離装置から前記保持部材へ、前記吸着剤が気体と共に流れる流路とからなる循環流路と、
前記第１流路を加熱する加熱手段とを備え、
前記第１流路を流れる前記吸着剤が、前記加熱手段で予熱される、
ことを特徴とする揮発性有機化合物の回収システム。
【０１４９】
（定義等）
・揮発性有機化合物の概念に含まれる、揮発性有機化合物とは、有害大気汚染物質に係る環境基準に規定される物質である、ベンゼン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、ジクロロメタンや、室内汚染物質である、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、スチレン、パラジクロロベンゼン、テトラデカン、クロルピリホス、フェノブカルブ、ダイアジノン、フタル酸ジ−ｎ−ブチル、フタル酸ジ−２−エチルへキシルを挙げることができる。また、揮発性有機化合物として、労働安全衛生法に基づき定められた有機溶剤中毒予防規則により、同法施工令別表第６の２に規定される、クロロホルム、四塩化炭素、トルエン、ベンゼン、ホルムアルデヒド、アセトン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、エチルエーテル、キシレン、ジクロルメタン、スチレン、テトラクロルエチレン、トリクロルエチレン、トルエン、ノルマルヘキサン、メタノール、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン、メチル−ノルマル−ブチルケトンなど５４種類の有機溶剤を挙げることができるが、これらに限られるものではない。
・上流方向ＵＳとは、保持部材１２において、気体供給部と気体排出部を結んだ直線であって、気体供給部側の方向をいい、下流方向ＤＳとは、同直線であって気体排出部の方向をいうことができる。また、保持部材１２が袋状のフィルタである場合であって、同フィルタの開口側とこの開口に対向する、閉じた側とを結ぶ直線を仮定したとき、この直線であって開口側の方向を下流方向ＤＳ、この開口に対向する、閉じた側の方向を上流方向ＵＳということができる。
【産業上の利用可能性】
【０１５０】
本回収システムは、揮発性有機化合物が発生する環境下で利用可能である。
【符号の説明】
【０１５１】
１０…保持容器、１１…気体供給部、１２…保持部材、１３…気体排出部、１４…噴射ノズル、１５…出入部、３０…回収容器、４０…保存容器、５０…脱離装置、５５…加熱手段、５６…冷却手段、７３…送風装置、７０…回収装置、８０…回収部、９０…凝縮部、１００…揮発性有機化合物の回収システム、２００…吸着剤。
【図１】
0006917646.tif 000003
【図２】
0006917646.tif 000004
【図３】
0006917646.tif 000005
【図４】
0006917646.tif 000006
【図５】
0006917646.tif 000007
【図６】
0006917646.tif 000008
【図７】
0006917646.tif 000009
【図８】
0006917646.tif 000010
【図９】
0006917646.tif 000011
【図１０】
0006917646.tif 000012
【図１１】
0006917646.tif 000013
【図１２】
0006917646.tif 000014