(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
建屋内で発生した排ガスのうちの微小粒子状物質を吸着する吸着剤が備わる排ガス処理装置であり、
前記排ガス処理装置は、前記排ガスから前記微小粒子状物質を分離する濾過容器を備え、
前記濾過容器は、前記排ガスの供給部及び排出部と、前記吸着剤が付着及び剥離可能な濾過フィルタと、前記吸着剤の出入部とを有し、
前記排ガスは、前記濾過容器に前記供給部から供給され、前記濾過フィルタを透過し、前記排出部から排出されるものであり、
前記吸着剤を前記出入部から流入させて前記濾過フィルタに付着させる付着手段と、前記濾過フィルタに圧縮空気を噴射して前記吸着剤を剥離する剥離手段と、前記出入部から前記濾過容器の外部へ、剥離した前記吸着剤を吸引して回収する回収手段とを有し、
前記回収手段は、前記吸着剤を回収する回収容器を有し、
前記回収容器は、回収された前記吸着剤の質量を計量する計量器と、この吸着剤を切り出す第１ダンパとを備えるものであり、
吸着剤の回収率が９０％以上である、
ことを特徴とする排ガス処理装置。
ここで、吸着剤の回収率は、次式［数１］により求まるものである。
[数１]
（吸着剤の回収率（％））＝（回収容器に回収された吸着剤の総質量）／（回収容器から切り出された吸着剤の総質量）×１００
【請求項２】
前記剥離手段が、前記吸着剤に液体を噴霧せずに行うものである、
請求項１に記載の排ガス処理装置。
【請求項３】
前記濾過フィルタの引張強度がタテ１０００〜１３００Ｎ／５ｃｍ、ヨコ７００〜８００Ｎ／５ｃｍであり、
前記剥離手段は、圧縮空気を０．５〜０．７Ｍｐａで、０．１〜０．２秒間噴射するものである、
請求項１又は請求項２に記載の排ガス処理装置。
【請求項４】
前記供給部側に前記濾過容器の底部が位置し、前記底部に、前記出入部と前記排ガスを前記濾過容器に供給するバイパス部とが備わる、
請求項１又は請求項２に記載の排ガス処理装置。
【請求項５】
さらに、
前記回収手段で回収した前記吸着剤を２２０〜３５０℃で加熱して再生する再生装置を有し、
前記付着手段は、前記再生装置で再生した吸着剤を、前記出入部から流入させて前記濾過フィルタに付着させるものである、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の排ガス処理装置。
【請求項６】
前記再生装置で再生した吸着剤を保存する保存容器を有し、
前記保存容器は、保存された前記吸着剤の質量を計量する計量器と、この吸着剤を切り出す第２ダンパとを備え、
前記付着手段は、この切り出された前記吸着剤を、前記濾過容器に流入させるものである、
請求項５に記載の排ガス処理装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の排ガス処理装置を用いて、前記微小粒子状物質を除去する、
ことを特徴とする排ガスの処理方法。
【請求項８】
前記排ガスを前記濾過容器に供給する前に、
前記吸着剤を前記濾過容器にキャリアガスと共に流入させて、前記濾過フィルタに付着させ、吸着剤層を形成する付着工程を行う、
請求項７に記載の排ガスの処理方法。
【請求項９】
前記吸着剤層が破過した段階で、
圧縮空気を噴射して前記濾過フィルタに付着した前記吸着剤を剥離する工程を行う、
請求項８に記載の排ガスの処理方法。
【請求項１０】
剥離した前記吸着剤層を構成する前記吸着剤を、前記出入部から吸引して流出させて回収する回収工程と、
前記回収工程後に、回収した前記吸着剤を２２０〜３５０℃に加熱して、再生する再生装置に導入し、再生した吸着剤を得る再生工程と、
前記再生工程後に、この再生した吸着剤を前記濾過容器に流入させて、前記濾過フィルタに付着させ、吸着剤層を形成する付着工程を行う、
請求項９に記載の排ガスの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排ガス処理装置及び排ガスの処理方法に関するものである。特に、排ガス中に含まれる微小粒子状物質の処理に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
大気環境中に含まれる微小粒子状物質の規制は世界的規模でなされており、我が国は、大気汚染防止法その他の関係法令により、微小粒子状物質の大気中への放出を規制している。
【０００３】
微小粒子状物質とは、大気中に浮遊する小さな粒子のうち、粒子径が２．５μｍ以下の粒子のことをいう。その成分には、炭素成分、硝酸塩、硫酸塩、アンモニウム塩のほか、ケイ素、ナトリウム、アルミニウムなどの無機元素などが含まれる。さまざまな粒径のものが含まれており、地域や季節、気象条件などによって組成が変動する。
【０００４】
微小粒子状物質には、物の燃焼などによって直接排出されるもの（一次生成粒子）と、環境大気中での化学反応により生成されたもの（二次生成粒子）とに大別される。一次生成粒子の発生源としては、ボイラーや焼却炉などばい煙を発生する施設、コークス炉や鉱物堆積場など粉じん（細かいちり）を発生する施設、自動車、船舶、航空機等のほか、土壌、海洋、火山など自然由来のものや越境汚染による影響もある。二次生成粒子は、火力発電所、工場・事業所、自動車、船舶、航空機、家庭などの燃料燃焼によって排出される硫黄酸化物（ＳＯｘ）や窒素酸化物（ＮＯｘ）、燃料燃焼施設の他に溶剤・塗料の使用時や石油取扱施設からの蒸発、森林などから排出される揮発性有機化合物（ＶＯＣ）等のガス状物質が、大気中で光やオゾンと反応して生成される。特に、揮発性有機化合物の排出量は、発生源として塗料、洗浄剤、接着剤、インキからの排出が全体の約７５％を占め、業種別に見ても、塗料等を多く扱う業種からの排出が大部分を占める現状にある。
【０００５】
例えば、一般的な塗装工場は、建屋内にいくつかの塗装ブースと乾燥ライン、塗料の配
合・供給場所、また被塗装材の搬入と塵埃除去、研磨装置等があり、排気は複数の排気口
に設けたプレフィルタで大粒のミストや塵埃を除き、専用の排気ダクトを通って外部の活
性炭やゼオライトなどを充填した処理装置で吸着処理してから大気中に放出する。
【０００６】
微小粒子状物質の処理手法は、大別して、燃焼法、吸着法、その他の手法がある。特に吸着法は、微小粒子状物質を物理的・化学的に吸着して回収する手法であり、揮発性有機化合物の吸着と脱離を繰り返して、吸着剤を再生しながら行う手法である。
【０００７】
吸着法を用いた微小粒子状物質（特に揮発性有機化合物）の処理手法に先行文献１がある。先行文献１は、バグフィルタ装置と、濾布面上にＶＯＣ吸着剤層を堆積させる手段と、吸着剤層に水分を供給して塊状化し、濾布面から剥離除去する手段と、を備えたことを特徴とする技術を開示している。
【０００８】
しかしながら、吸着剤の剥離が不十分であったり、剥離除去された吸着剤がバグフィルタ装置の底に付着する等して居付き、回収タンクに回収されないままだったりすると、吸着剤の回収効率が低下するおそれがあり、結果、回収しきれなかった吸着剤は再生利用されないので、その分、揮発性有機化合物の除去量の低下をもたらすことにつながる。また、バグフィルタ装置の底に居付いた使用済み吸着剤を人力により回収する手段を考えることもできるが、通常、工場等に設置される微小粒子状物質の処理装置は随時稼働している状態にしておくことが望ましく、人力による回収を行う都度、当該処理装置の稼働を一時停止するのは操業上非効率的である。さらに、微小粒子状物質が吸着された吸着剤を回収する際、回収作業者が微小粒子状物質を高濃度で吸い込む危険性もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開第２０１１−２００８３７号公報
【特許文献２】特許第６１４０３２６号公報
【特許文献３】特開第２０１７−８７１５０号公報
【特許文献４】特許第５７１７４９１号公報
【特許文献５】特許第５４２２３２０号公報
【特許文献６】特許第５４１４７１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
したがって、本発明が解決しようとする課題は、吸着剤の回収効率に優れた排ガス処理装置及び排ガスの処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この課題を解決した態様は以下のとおりである。
【００１２】
（第１の態様）
建屋内で発生した排ガスのうちの微小粒子状物質を吸着する吸着剤が備わる排ガス処理装置であり、
前記排ガス処理装置は、前記排ガスから前記微小粒子状物質を分離する濾過容器を備え、
前記濾過容器は、前記排ガスの供給部及び排出部と、前記吸着剤が付着及び剥離可能な濾過フィルタと、前記吸着剤の出入部とを有し、
前記排ガスは、前記濾過容器に前記供給部から供給され、前記濾過フィルタを透過し、前記排出部から排出されるものであり、
前記吸着剤を前記出入部から流入させて前記濾過フィルタに付着させる付着手段と、前記濾過フィルタに圧縮空気を噴射して前記吸着剤を剥離する剥離手段と、前記出入部から前記濾過容器の外部へ、剥離した前記吸着剤を吸引して回収する回収手段とを有する、
ことを特徴とする排ガス処理装置。
【００１３】
排ガスは、供給部から供給され、濾過フィルタを透過する。このとき排ガスに含まれる微小粒子状物質が濾過フィルタに付着された吸着剤に吸着される。濾過フィルタを透過した排ガスは、微小粒子状物質が吸着剤に吸着された後のガスとなる。そして、剥離手段により噴射した圧縮空気を受けて、濾過フィルタに付着した吸着剤が剥離する。剥離した吸着剤は、濾過容器内に漂ったり、濾過容器の壁に剥落したりする。また、剥離手段によって剥離されなかった吸着剤であっても、回収手段による吸引力で剥離する場合がある。この剥離手段と回収手段により、効率よく吸着剤が回収される。
【００１４】
（第２の態様）
前記剥離手段が、前記吸着剤に液体を噴霧せずに行うものである、
第１の態様に記載の排ガス処理装置。
【００１５】
湿式の排ガス処理装置には、吸着剤に液体を噴霧して吸着剤の凝集化を促すものがある。しかしながら、吸着剤相互を凝集化すると、凝集化した吸着剤群の比表面積が、吸着剤各々の比表面積よりも小さくなる。また、液体が付着した吸着剤は、濾過フィルタから剥離し難くなる。よって、剥離手段による吸着剤の剥離効果が弱まったり、回収手段による吸引によっても、吸着剤群の比表面積が相対的に小さいため吸引しきれない吸着剤群もあり、吸着剤の回収効果が弱まったりする。
【００１６】
一方、液体を噴霧しなければ、吸着剤が凝集化したり、濾過フィルタから剥離し難くなったりすることを防ぐことができるので、吸着剤を効率よく回収できる。
【００１７】
（第３の態様）
前記濾過フィルタの引張強度がタテ１０００〜１３００Ｎ／５ｃｍ、ヨコ７００〜８００Ｎ／５ｃｍであり、
前記剥離手段は、圧縮空気を０．５〜０．７Ｍｐａで、０．１〜０．２秒間噴射するものである、
第１又は第２の態様に記載の排ガス処理装置。
【００１８】
上記濾過フィルタは、濾布に使用される一般的なバグフィルタよりも、引張強度が相対的に大きく、強い外力、すなわち上記圧縮空気の噴射、に耐えることができる。
【００１９】
（第４の態様）
前記供給部側に前記濾過容器の底部が位置し、前記底部に、前記出入部と前記排ガスを前記濾過容器に供給するバイパス部とが備わる、
第１〜第３のいずれか１つに記載の排ガス処理装置。
【００２０】
バイパス部から供給されるガスの供給圧力と、回収手段による吸引力で、濾過容器の底部に落下した吸着剤が出入部へ誘導されて濾過容器の外部へ吸引して回収されるので、吸着剤の排出効率がより高まる。
【００２１】
（第５の態様）
さらに、
前記回収手段で回収した前記吸着剤を２２０〜３５０℃で加熱して再生する再生装置を有し、
前記付着手段は、前記再生装置で再生した吸着剤を、前記出入部から流入させて前記濾過フィルタに付着させるものである、
第１〜第４の態様のいずれか１つに記載の排ガス処理装置。
【００２２】
微小粒子状物質を吸着した吸着剤は、２２０〜３５０℃で加熱されると微小粒子状物質が脱離及び／又は酸化分解されて除去され、再生される。また、バイパス部から排ガスを供給することで、付着手段によって濾過容器に供給された吸着剤が底部に滞留し難くなり、濾過フィルタへの付着を促すことができる。
【００２３】
（第６の態様）
前記回収手段は、前記吸着剤を回収する回収容器を有し、
前記回収容器は、回収された前記吸着剤の質量を計量する計量器と、この吸着剤を切り出す第１ダンパとを備え、
切り出された前記吸着剤が前記再生装置に導入される、
第５の態様に記載の排ガス処理装置。
【００２４】
回収容器に回収された吸着剤の質量を計量することで回収量を把握できる。濾過フィルタに付着させた吸着剤の量をあらかじめ把握しておけば、回収率を容易に知ることができる。また、仮収量が不十分であるときは、所定の回収量になるまで、剥離手段や回収手段を再度行うとよい。また、再生に必要な吸着剤の量を切り出して再生装置に送ることができる。
【００２５】
（第７の態様）
前記再生装置で加熱されて再生した吸着剤を保存する保存容器を有し、
前記保存容器は、保存された前記吸着剤の質量を計量する計量器と、この吸着剤を切り出す第２ダンパとを備え、
前記付着手段により、この切り出された前記吸着剤を、前記濾過容器に流入させる、
第５又は第６の態様に記載の排ガス処理装置。
【００２６】
保存容器に保存している再生された吸着剤の切り出し量を適宜調節することができる。また、再生した吸着剤が濾過フィルタへの付着に再利用されるので、吸着剤を別途系外から補充しなくても、吸着剤を循環させることで微小粒子状物質の吸着及び除去が可能となる。
【００２７】
（第８の態様）
請求項１〜７のいずれか１項に記載の排ガス処理装置を用いて、前記微小粒子状物質を除去する、
ことを特徴とする排ガスの処理方法。
【００２８】
第１〜第７の態様と同様の効果が奏される。
【００２９】
（第９の態様）
前記排ガスを前記濾過容器に供給する前に、
前記吸着剤を前記濾過容器にキャリアガスと共に流入させて、前記濾過フィルタに付着させ、吸着剤層を形成する付着工程を行う、
第８の態様に記載の排ガスの処理方法。
【００３０】
排ガスを供給する前に付着工程を行っておくことで、排ガスを濾過容器に供給したときに微小粒子状物質が吸着剤層に吸着されて、残分が濾過フィルタを透過する。
【００３１】
（第１０の態様）
前記吸着剤層が破過した段階で、
圧縮空気を噴射して前記濾過フィルタに付着した前記吸着剤を剥離する工程を行う、
第９の態様に記載の排ガスの処理方法。
【００３２】
吸着剤層は、破過すると、微小粒子状物質の吸着性能が悪化してしまう。吸着剤層が破過した段階で剥離工程を行うことで、微小粒子状物質が吸着された吸着剤を剥離して濾過容器の底に落とす。
【００３３】
（第１１の態様）
剥離した前記吸着剤層を構成する前記吸着剤を、前記出入部から吸引して流出させて回収する回収工程と、
前記回収工程後に、回収した前記吸着剤を２２０〜３５０℃に加熱して、再生する再生装置に導入し、再生した吸着剤を得る再生工程と、
前記再生工程後に、この再生した吸着剤を前記濾過容器に流入させて、前記濾過フィルタに付着させ、吸着剤層を形成する付着工程を行う、
第１０の態様に記載の排ガスの処理方法。
【００３４】
剥離した吸着剤が加熱されることで、含有される微小粒子状物質が脱離、酸化分解されて、吸着剤を再生することができる。また、再生された吸着剤を濾過容器に供給することで再度、濾過フィルタに吸着剤層が形成される。剥離工程、再生工程、付着工程を行うことで、吸着剤の再利用を図ることができる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によると、吸着剤の回収効率に優れた排ガス処理装置及びその処理方法となる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】排ガス処理装置の構造説明図である。
【図２】図１のＸ−Ｘ部分の濾過フィルタの横断面図である。
【図３】図２のＹ部分の拡大図である。
【図４】図３のＺ部分の拡大図である。
【図５】破過曲線の図である。
【図６】図１のＺ−Ｚ部分の濾過フィルタの矢視図である。
【図７】（７Ａ）図６のＰ部分の拡大図である。（７Ｂ）図７ＡのＲ部分の拡大図である。
【図８】蓋体を示す横断面図である。
【図９】微小粒子状物質処理装置の別の実施形態の構造説明図である。
【図１０】微小粒子状物質処理装置の別の実施形態の構造説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
発明を実施するための形態を以下に説明する。本発明は、微小粒子状物質が発生する環境下で微小粒子状物質を吸着剤に吸着させることにより、ガス中の微小粒子状物質（水分を含む。）を除去する場合の技術に関するものである。以下の説明及び図面は、本発明の一実施形態を示したものにすぎず、本発明の内容をこの実施形態に限定して解釈すべきではない。なお、一般的に微小粒子状物質には水は含まれないが、微小粒子状物質を用いる作業現場では気中に水分が含まれるので、通常微小粒子状物質を含むガスの中には、水分も当然に含まれるものとして以下説明する。
【００３８】
排ガス処理装置１００は、建屋、例えば、工場や実験施設、処理場、貯蔵施設等に設置可能である。排ガス処理装置１００は、この建屋で発生した排ガスに含まれる微小粒子状物質を、吸着剤で捕集して回収するものである。排ガス処理装置１００は、排ガスから微小粒子状物質を分離する濾過容器１０を備える。濾過容器１０は、ガスの供給部１１と排出部１３と、供給されたガスが透過され、吸着剤が付着及び剥離可能である濾過フィルタ１２と、吸着剤の出入部１５と、吸着剤を出入部１５から流入させて濾過フィルタ１２に付着させる付着手段と、濾過フィルタに圧縮空気を噴射して、この濾過フィルタ１２に付着した吸着剤を剥離する剥離手段と、出入部から濾過容器１０の外部へ、剥離した吸着剤を吸引して回収する回収手段とを有する。剥離手段は、例えば噴射ノズル１４から圧縮空気を濾過フィルタ面に噴射することを挙げることができる。
【００３９】
また、この処理装置１００には、濾過容器１０から排出された吸着剤が回収される回収容器３０、回収された吸着剤が切り出される第１ダンパＶ７、濾過容器１０から排出された吸着剤を加熱して再生する再生装置４０、再生された吸着剤を保存する保存容器５０、保存容器内の吸着剤が切り出される第２ダンパＶ９を備えることができる。
【００４０】
（濾過容器）
濾過容器１０の容積は、特に限定されないが、例えば濾過容器１０で風量５０ｍ3／分の排ガスを処理する場合は、０．７５〜１．２５ｍ3とすることができる。濾過容器１０は、吸着剤が付着及び剥離可能な濾過フィルタ１２を備えるが、この濾過フィルタ１２は例えば、濾過容器１０に備わる保持体１８に保持された形態とすることができる。濾過フィルタ１２は１つ、又は複数本備えることができる。保持体１８は、ガスを通さない素材（例えば、金属、ステンレス鋼材、木材、プラスチック等）で形成されており、ガス供給部１１から濾過容器１０内に供給され、ガス排出部１３から排出されるガスの流れ空間を、供給部側の空間と排出部側の空間に隔離している。一例として、保持体１８には開口部が備わり、この開口部に濾過フィルタ１２が張設された形態を挙げることができる。濾過容器１０はこの保持体１８と濾過フィルタ１２とで供給部側と排出部側に隔離され、ガス供給部１１から濾過容器内の供給部側に供給されたガスが濾過フィルタ１２を透過して、排出部側に流れ、ガス排出部１３から濾過容器１０の外へ排出される。また、濾過容器１０は、有底であり、排出部側の壁が、底に向かって窄まった形状となっていてもよいし、窄まっていない形状（例えば、排出部側の壁が略底に向かって略同一径である筒状）となっていてもよい。
【００４１】
ガス供給部１１には、供給ガスＡの供給量を調整するための開閉自在なダンパＶ１が備わっている。吸着剤の出入部１５には、吸着剤の供給量又は排出量を調整するための開閉自在なダンパＶ３が備わっている。上記のほか、濾過容器１０はバイパス部１７を備えることができる。バイパス部１７と、ガス供給部１１におけるダンパＶ１の上流部とはバイパス管で連通されており、バイパス管には、流れる供給ガスＡの供給量を調節するための開閉自在なダンパＶ２が備わっている。バイパス部１７を設ける場合は、排ガスの供給部１１側に濾過容器１０の底部が位置し、この底部にバイパス部１７を設けるとよい。この場合、同底部に出入部１５を設けるとよい。ここで、底部とは、例えば、濾過容器１０を、底部を下にして立てたときに、濾過容器１０の下端から濾過容器１０の全高１０Ｌの１／４の高さまでの範囲１０Ｌａとすることができる。
【００４２】
付着手段や回収手段に併せて、バイパス部１７を用いることができる。濾過容器１０にバイパス部１７から排ガスＡを供給することで、濾過容器１０の底部にある吸着剤がこの排ガスＡからの風圧力を受け、停滞しづらくなる。後述する、吸着剤の付着工程と共にバイパス部１７から排ガスＡを供給することで、出入部１５から流入した吸着剤が濾過容器１０の底部に停滞し難くなり、濾過フィルタ１２に吸着剤がより付着し易くなる。回収工程と共にバイパス部１７からの排ガスＡの供給をすることで、バイパス部１７から出入部１５へガスの流れができ、この流れに沿って、剥離した吸着剤が流出するので、吸着剤の回収効率に優れたものとなる。
【００４３】
（濾過フィルタ）
濾過フィルタ１２は単層又は多層にすることができる。図示形態では単層の濾過フィルタを用いている。また、濾過フィルタの素材は気体を透過し、吸着剤を透過しないものであれば特に限定されない。ポリエステル、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂、ステンレス、ナイロン等を濾過フィルタの素材として例示することができる。濾過フィルタ１２の具体的な素材としては、例えば、東レ株式会社のポリエステル長繊維不織布「アクスター」（登録商標）のＧ２２６０−１Ｓ  ＢＫ０を用いることができる。
【００４４】
濾過フィルタ１２の膜厚は、好ましくは０．４〜１．２ｍｍ、より好ましくは０．６ｍｍである。また、濾材の繊維径（投影面積円相当径、Ｈｅｙｗｏｏｄ径をいう。以下、同じ。）は、好ましくは７〜２０μｍであり、より好ましくは１０μｍである。繊維径が７μｍより細い繊維を用いると、ガス透過時の抵抗が大きくなるとともに、見かけの表面積が狭くなる。また、繊維径が２０μｍよりも太い繊維を用いると、吸着剤が濾過フィルタを透過してしまい、吸着剤の回収がし難くなる。
したがって、繊維径が７〜２０μｍの濾材を用いて、ある程度の目の粗さを持つ濾過フィルタ１２を形成することが好ましい。このようなある程度の目の粗さを持つ濾過フィルタ１２によって、ガス透過時には、濾過フィルタ１２の目に吸着剤の一部が食い込んで吸着層が形成されるため、微小粒子状物質が、この吸着剤層に吸着され、濾過フィルタを透過し難いものとなる。
【００４５】
本形態において、濾過フィルタ１２は、供給部側に対向する面（供給部側面）とその裏面、すなわち、排出部側に対向する面（排出部側面）を有する。なお、ガス供給部１１は濾過容器１０の供給部側空間のいずれの位置に設けてもよいが、濾過フィルタ１２からなるべく離れた部分、又は、そのなるべく離れた部分付近に設けると、供給されたガスが供給部側空間に広く拡散されるため、好ましい。ガス排出部１３は濾過容器１０の排出部側空間のいずれの位置に設けてもよい。特に、ガス供給部１１とガス排出部１３は、濾過容器１０の壁に設けられて、このガス供給部１１とガス排出部１３の間に濾過フィルタ１２が配され、相互に最も離れている形態が好適である。
【００４６】
濾過フィルタ１２は、公知のフィルタを適宜用いることができるが、圧縮空気の噴射に耐え、圧縮空気が当たった際の衝撃で吸着剤を剥離させるため、また、濾過フィルタの交換頻度を減らし、ランニングコストを削減するため、所定の強度以上のものを用いることが好ましい。例えば、ＪＩＳ Ｌ‐１９０６の測定方法において、引張強度（Ｎ／５ｃｍ）がタテ：１０００〜１３００、好ましくはタテ：１２００、ヨコ：７００〜８００、より好ましくはヨコ：７００、破裂強力（ｋｇｆ／ｃｍ2）がタテ：１７０〜２６０、好ましくはタテ：１７０のものを用いるとよい。
【００４７】
濾過フィルタ１２の形状は特に限定されないが、例えば、平面状にすることができる。また、袋状、具体的には、開口部を有する球状であってもよいし、有底の筒状、特に平坦な濾材を蛇腹状に折り曲げて複数の襞が形成された筒状であって有底であるもの（いわゆる、プリーツ状のもの）であってもよい。袋状とすることで、平面状よりも濾過フィルタの表面積が広くなり、その分、吸着剤層の形成面積が広くなるので好ましい。筒状には、円筒状、多角柱状等が含まれるがこれらの形状に限られるものではない。
【００４８】
濾過フィルタ１２が袋状である場合は、ガス供給部側からガス排出部側に延在して、この濾過フィルタ１２におけるガス排出部側端が開口している濾過フィルタ１２は好ましい形態である。この場合、濾過フィルタ１２は、長手方向の長さが例えば５００ｍｍ〜１２００ｍｍにすることができる。
【００４９】
（筒状体）
濾過フィルタ１２が袋状である場合は、ガスの気流の影響を受け、濾過フィルタ１２が袋内側方向に縮まり、微小粒子状物質の吸着効率が低下してしまう。濾過フィルタ１２が縮まるのを防止するため、次記の筒状体１２ｓを濾過フィルタ１２の内面（排出部側面）沿いに設けるとよい。例えば、濾過フィルタ１２の形状が、一方端が閉じ、対向する他方端が開口された角柱であれば、この角柱とほぼ同サイズの角筒状の筒状体（角筒体の両底面は開口されているとよい。）を設けるとよい。また、筒状体１２ｓの側面にはガスの通過孔が形成され、内面に透過されたガスＢが通るガス通路が形成されたものとするとよい。筒状体の外径は、濾過容器１０の容積により適宜設計できるが、例えば０．４〜０．４６ｍとするとよい。
【００５０】
特に、図２に示すようなプリーツ状の濾過フィルタ１２を用いる場合は、濾過容器１０内には、壁面にガスの透過孔が形成され、内部に透過されたガスＢが通るガス通路１２ｒが形成された筒状体１２ｓが設けられる。筒状体１２ｓの形状や姿勢は特に限定されないが、図示した一例では円筒形状であって、その中心軸が濾過容器１０（ＵＳ−ＤＳ方向）に沿う姿勢で、濾過容器１０内に配されている。そのほか、筒状体１２ｓの形状を角筒形などの任意の公知形状に変更しても良いし、筒状体１２ｓの姿勢を筒状体１２ｓの中心軸が斜めに傾斜するように濾過容器１０内に設置しても良い。なお、図示した筒状体１２ｓは、パンチングメタルなどの透過孔を有する平板を円筒状に成形したものである。
【００５１】
筒状体１２ｓの壁面の外側には、濾過フィルタ１２が形成されている。この濾過フィルタ１２としては、表面積（ガス透過面積）が広いことから、平坦な濾材をジグザグに折り曲げつつ、筒状体１２ｓの外周面に巻き付けて、筒状(図２の態様では、円筒状にしているが、これに限定されず、角柱状や楕円状等にしてもよい)に形成したプリーツフィルタを好適に用いることができる。前記のようにジグザグに折り曲げることで、筒状体１２ｓの周囲に（図示形態では筒状体１２ｓの全周に）、複数の襞２が形成される。平坦な濾材を折り曲げる際は、折り目がつくように折り曲げてもよいし、折り目がつかないように曲線（緩やかな曲線、急な曲線など）を描くように折り曲げても良い。また、図６に示すように、プリーツフィルタにおける供給部側端部を閉じて袋状とするために、後述する、襞２におけるガス供給部側の基端部２ｂの各々を通過して形成される略円を蓋体１２ｍＤで覆われるものとする。この蓋体１２ｍＤは、例えば、プリーツフィルタに用いる素材（濾材）と同一の素材で形成するとよい。
【００５２】
（スペーサー）
襞２の内部に、複数の穴が開けられた平坦な板材（ハニカムメッシュや金網等）を蛇腹状（この蛇腹状には、波状のものも含まれる）に折り曲げたスペーサー３を設けることが好ましい。スペーサー３は、襞２の基端側（筒状体１２ｓ側）から先端側（濾過容器１１側）へ向かって、ジグザグに折り曲がりながら延在している。図示形態では、各襞２にスペーサー３が一枚ずつ設けられ、そのスペーサー３の一端側端部は筒状体１２ｓの外面と０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度離れ（筒状体１２ｓと接触していてもよい）、他端側端部は襞２の先端側端部に位置している。スペーサー３の厚み方向両端部に形成された屈曲部３Ｃ、３Ｃは、濾過フィルタ１２の裏面１２ｂと接触している。図示形態のスペーサー３は、平面視で濾過フィルタ１２と点状に接触しており、この接触部分が屈曲部３Ｃ、３Ｃになっている。スペーサー３は襞２の内部空間２Ｓを保持する機能を有し、ガス供給部１１から供給されたガスＡが濾過フィルタ１２の供給部側面１２ｆから排出部側面１２ｂへ向かう気流から受ける風圧力や、濾過フィルタ１２の供給部側面１２ｆにガスＡに含まれる異物が積層して襞２を押し潰そうとする圧力に抗って、内部空間２Ｓが完全に潰れてしまうことを防いでいる。襞２の内部空間２Ｓがなくなることを「閉塞」といい、この閉塞を防ぐことにより、透過ガスＢが内部空間２Ｓを先端側から基端側へ向かって移動しやすくなる。図４Ａは、ガスＡが供給される前の状態を示し、図４ＢはガスＡが供給されている最中の状態を示す。これらの図面に示すように、襞２がガスＡによって供給部側から風圧力を受けると、風圧力を受ける前と比べて、スペーサー３の厚みが薄くなり（厚み方向の長さが短くなり）、平面視におけるスペーサー３の形状が平坦に近いものになり、襞２の幅２ｗが狭くなる。このような場合であっても、スペーサー３は完全に平坦にならず、内部空間２Ｓが完全に潰れて閉塞してしまうことはほとんどない。
【００５３】
図示した形態では、平面視で、プリーツフィルタとスペーサー３が屈折部３Ｃで接触しており、この接触部Ｔｃは、スペーサー３の延在方向に沿って、所定の間隔を空けながら、厚み方向に交互に点状に存在している。すなわち、平面視で、プリーツフィルタとスペーサー３が面状に接触していない形態である。以上のように、スペーサー３を蛇腹形状にすることにより、襞２に対して、厚み方向に伸縮する弾性力を付与することができる。
【００５４】
スペーサー３の素材としては、特に限定されないが、例えば、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリテトラフルオロエチレンなど（単体でも用いても良いし、複数を組み合わせて用いても良い）を用いることができる。特に、弾性力や耐圧性などが要求されることから、ポリプロピレンやポリエステルを用いることが好ましい。
【００５５】
例えば、スペーサー３として、プラスチック繊維（他の繊維でもよい）からなるメッシュ構造の板材を波付け加工して弾性体にしたものを用いることができる。このときのメッシュ構造は、例えば１．５ｍｍ〜２ｍｍ程度のメッシュにすることができる。この波付け弾性体であるスペーサー３は、ガスＡの風圧力によって、濾過フィルタ１２の供給部側（外側）から排出部側（内側）へ向かって押し付けられるが、メッシュの結節部は線径の倍の厚さ（約０．３２〜０．４ｍｍ）があり、襞の内部空間２Ｓ内の透過ガスＢが筒状体１２ｓの方向へ流れる通気性を確保している。
【００５６】
前記の説明において、隣接襞間空間２ｎを開放状態にする旨を記載した。この隣接襞間空間２ｎを完全に開放状態にすることが最も好ましいが、必ずしもこのような形態に限定されるものではなく、隣接襞間空間２ｎの一部が閉鎖されていても良い。
【００５７】
（開放空間）
図８に示すように、プリーツフィルタの軸心方向を上下方向とした場合、プリーツフィルタの上端部及び下端部の少なくとも一方は、この外側襞間空間２ｎを覆うように外側から蓋体２１が被せられていた形態とすることができる。これによって外側襞間空間２ｎが封鎖された状態になっている。例えば、図８Ｂのようにプリーツフィルタを縦置きした場合、そのプリーツフィルタの上端部及び下端部の少なくとも一方に蓋体２１が設けられ、プリーツフィルタの内部のガスが、意図せずに外部（図示形態では供給部側）に漏れ出ることを防いでいる。なお、図８Ｂでは、プリーツフィルタの下方部分のみを例示しているが、プリーツフィルタの上端部にも蓋体２１が設けられていてもよい。
【００５８】
また、図１などに示すように、プリーツフィルタの上下方向両側（上端側と下端側の両方）又は下端側は封鎖されていない構成にすることができる。具体的には、図６に示すように、プリーツフィルタの襞２の外側の空間２７であって、隣接する襞２と襞２の間の空間２ｎ（「外側襞間空間」や「隣接襞間空間」ともいう。本明細書において、他の段落においても同じ。）が封鎖されていないものとなっている。すなわち、外側襞間空間２ｎが開放空間（「非封鎖空間」ともいう）になっている。図６では外側襞間空間２ｎの１つに網掛けを付した。この図６では、図面の視認性を良くするために、１個の外側襞間空間２ｎにのみ網掛けを付しているが、図６に示すようにプリーツフィルタの全周にわたって多数の襞２が形成されており、プリーツフィルタの外側であって、隣接する襞２と襞２の間の空間は、すべて外側襞間空間２ｎとなる。この外側襞間空間２ｎは、隣接する襞２と襞２の外表面１２ｆによって囲まれた部分（外表面１２ｆによって区画された部分）をいい、この外側襞間空間２ｎの基端は襞２の基端部２ｂと接しており、外側襞間空間２ｎの先端は隣接する襞２、２の先端部２ｐ、２ｐの間を繋げた仮想線ＡＬによって区画される。図８Ｂに示すように蓋体２１を設けたプリーツフィルタは、プリーツフィルタの上端と蓋体２１の接続部２９や、プリーツフィルタの下端と蓋体２１の接続部２９に、供給されたガスと共に混入した異物や塵、剥離した吸着剤等が溜まりやすい。この異物や塵、剥離した吸着剤等は、吸着剤の流入風量を調節することで発生する気流で取り除かれるが、下記の構造にすると、接続部２９に溜まらず好ましい。
【００５９】
また、プリーツフィルタの軸心方向両側において、外側襞間空間２ｎを蓋体２１などで封じず、開放状態にしたものを提案できる。変形例として、プリーツフィルタの軸心方向下端側のみにおいて、外側襞間空間２ｎを蓋体２１などで封じず、開放状態にしてもよい。また、プリーツフィルタの軸心方向下端側又は両側に蓋体２１を設けても良いが、この蓋体２１を設ける場合は、蓋体２１のうち外側襞間空間２ｎと重なる部分に切り欠きを設けるなどして、外側襞間空間２ｎを開放状態にすることが好ましい。
【００６０】
プリーツフィルタの軸心方向下端側又は両端が開放状態にすると、噴射ノズル１４による噴射や、付着手段、回収手段を行うときに、プリーツフィルタに付着した異物や塵、吸着剤等が、濾過容器１０内に拡散したり剥落したりしやすくなり、外側襞間空間２ｎに滞留し難くなる。
【００６１】
なお、プリーツフィルタの軸心方向両側又は下端側において、外側襞間空間２ｎを開放状態にする場合は、蓋体２１以外にも埋込物などを設けないことが重要である。埋込物を設けると、開放状態にならないからである。
【００６２】
（閉鎖空間）
図６や図７に示すように、プリーツフィルタの軸心方向両側において、襞２の内側の空間を封鎖することが好ましい。襞２の内側の空間とは、図４に示すような襞２の内部空間２Ｓを含む概念である。図７Ａ及び図７Ｂでは、襞２の相対する濾過膜１２ｍａ、１２ｍｂに挟まれた空間（襞２の内部空間２Ｓ）が封鎖されており（閉じられており）、いわゆる閉鎖空間１６Ｃになっている。閉鎖空間１６Ｃにする方法は特に限定されないが、例えば、対面する濾過膜１２ｍａ、１２ｍｂの内壁面相互を超音波もしくはヒーターで加熱して溶着する方法を挙げることができる。そのほか、前記下流面（内壁面）相互を接着剤で接着したり、濾過膜１２ｍａ、１２ｍｂの間に樹脂を埋め込んだりしてもよい。
【００６３】
プリーツフィルタの内部に筒状体１２ｓを設ける場合は、襞２の内側の空間という概念に、濾過フィルタ１２ｍと筒状体１２ｓの間の空間２２（図７Ａの網掛け部分）（以下、「膜筒間空間」という。）を含ませてもよい。図７Ａの例では、この膜筒間空間２２に樹脂を埋め込むことによって閉鎖空間１６Ｃにしているが、この態様に限られるものではなく、例えば濾過フィルタ１２ｍと筒状体１２ｓの間を接着剤によって接着するなどしてもよい。
【００６４】
以上の説明において、閉鎖空間１６Ｃを形成するために、接着剤や埋込物を用いる形態を説明した。接着剤の種類は特に限定されないが、耐圧性や接着力に優れることから、例えばエポキシ樹脂接着剤やゴム系接着剤などを用いることが好ましい。埋込物の種類も特に限定されないが、封止性が高いことから、例えばエポキシ樹脂系やシリコンゴムシーラントなどを用いることが好ましい。埋込物は、埋め込んだ後に硬化する樹脂（例えば、エポキシ樹脂系やフェノール系など）を用いることが好ましい。樹脂が硬化しない場合、剥離するおそれがあるからである。
【００６５】
また、接着剤や埋込物以外のものを用いて閉鎖空間１６Ｃを形成してもよい。例えば、閉鎖空間１６Ｃを形成したい部分に蓋体を設けても良い。この蓋体としては、例えば一枚の板材から構成することができる。複数枚の板材を用いるとシール性が向上するが、部材点数が多くなって管理が大変であるとともに、コストが高くなるので、一枚の板材が好ましい。板材の素材としては、例えばステンレス、アルミ、プラスチックなどを用いることができる。
【００６６】
この板材を用いる位置は、プリーツフィルタの軸心方向における一端側端部や他端側端部であれば、いずれの部分であってもよい。すなわち、必ずしもプリーツフィルタの一端側端縁や他端側端縁に設けなくてもよく、例えば、プリーツフィルタの襞２の内部空間２Ｓにこの板材を埋め込むようにしてもよい。
【００６７】
なお、閉鎖空間１６Ｃを設ける位置は、図１に示すように、プリーツフィルタの軸心方向の一端側端部及び他端側端部の少なくともいずれか一方である。なお、図１の実施例では、一端側端部と他端側端部に閉鎖空間１６Ｃを形成するために、エポキシ樹脂を用いている。
【００６８】
以上のように、襞２の内側の空間を封鎖することによって、襞２の外側（供給部側）の空間に存在するガスＡが、プリーツフィルタの軸心方向端部からプリーツフィルタ内部へ混入することを防ぐことができる。その結果、透過ガスＢが襞２の内側の空間から透過ガスの通路１２ｒへと移動することになる。なお、透過される前のガスＡがプリーツフィルタの軸心方向端部から内部へ混入した場合、この透過される前のガスＡは透過ガスＢと混ざり、排出部１３から排出される。
【００６９】
透過ガスＢの通路１２ｒとは、筒状体１２ｓが設けられた場合では、筒状体１２ｓの内側の空間をいう。筒状体１２ｓが設けられていない場合では、襞２の基端部２ｂよりも内側の空間をいう。図１では、平面視、このプリーツフィルタの上端部は、図示しない蓋体で覆われている。この蓋体は、プリーツフィルタの上端部を覆い、中央部に透過ガスＢの通過口（ガス透過口）が備わるものである。このガス通過口は、筒状体１２ｓの上方に位置するように設けられている。プリーツフィルタの上端部を蓋体で覆うことによって、プリーツフィルタの上端部付近で、供給側の空間から排出部側の空間へ、供給ガスＡが侵入を防ぐことができる。透過ガスＢは、排気手段によりガス排出部１３から排ガス処理装置の外部に排出される。排気手段は公知の手段を適宜用いることができる。排気手段の例として、ガス供給部１１の上流に備わる給気装置１９ａ（例えば、給気ファン等）を用いて透過ガスＢをガス排出部１３から外部に排出する手段を挙げることができる。
【００７０】
なお、襞２の内側の空間を封鎖する場合は、完全に封鎖することが好ましい。一部に隙間が生じていると、その隙間から排出部側へ、微小粒子状物質を含むガスＡが混入するおそれがある。すなわち、襞２の内側の空間を接着剤で接着する場合は、例えば、対面する濾過膜１２ｍａ、１２ｍｂの間を密閉することが好ましい。また、襞２の内側の空間を埋込物で封鎖する場合は、埋込物の内部に細かな貫通孔などが発生しないようにするとともに、例えば濾過フィルタ１２と埋込物の間や、筒状体１２ｓと埋込物の間に隙間が生じないように密閉することが好ましい。同様に、襞２の内側の空間を蓋体で封鎖する場合は、濾過膜１２ｍと蓋体の間や、筒状体１２ｓと蓋体の間に隙間が生じないように密閉することが好ましい。
【００７１】
プリーツフィルタの軸心方向両端部１６Ｃ、１６Ｃ以外の部分、すなわちプリーツフィルタの軸心方向中間部については、襞２の内側の空間を封鎖しないことが好ましい。透過ガスＢがその空間を通過して、透過ガス通路１２ｒへと流れ込むことができるようにするためである。
【００７２】
（吸着剤）
吸着剤としては、活性炭、ゼオライト、シリカ、アルミナ、チタニア、酸化チタン、イモゴライトなどを使用できる。活性炭の原料として、ヤシガラ、石炭（瀝青炭、無煙炭）、オイルピッチ、木材チップ、おが屑、コーヒー滓、レーヨン、アクリルニトリル、フェノール樹脂を例示できる。形状は、粒状、破砕状、粉末状、繊維状、成型（ハニカム状）などがあり、限定されるものではない。
【００７３】
吸着剤の孔はその大きさから、直径２ｎｍ以下をマイクロ孔（ミクロ孔）、２〜５０ｎｍをメソ孔、それ以上をマクロ孔と呼んでいる。吸着剤の比表面積を大きくし、微小粒子状物質を素早く吸着するのはマイクロ孔である。例えば、活性炭はマイクロ孔からマクロ孔まで様々な径の孔を持っている。また、ゼオライトは相対的にサイズの揃ったマイクロ孔を持っている。前記例示の吸着剤群は、そのマイクロ孔（ミクロ孔）の存在故に、本発明においていずれの吸着剤も使用可能である。
【００７４】
吸着剤の平均粒子径は、下限が５μｍ以上、好ましくは１０μｍ以上とするとよく、上限が３０μｍ以下、好ましくは２０μｍ以下とするとよい。５μｍ未満だと、吸着剤が濾過フィルタ１２の内部に入り込んだり、透過してしまったりする。３０μｍ超だと、所定の流入風量又は所定の流出風量で吸着剤が気流にのって流れ難い。平均粒子径はＪＩＳ  Ｚ  ８８２５：２０１３に準拠して測定することができる。
【００７５】
吸着剤の嵩比重は、下限が０．４ｇ／ｃｍ3以上とするとよく、上限が１．５ｇ／ｃｍ3以下とするとよい。０．４ｇ／ｃｍ3未満だと僅かな風で吸着剤が舞い上がり、取り扱い難い。１．５ｇ／ｃｍ3超だと気流に沿って流れ難くなる。
【００７６】
濾過容器１０内における濾過フィルタ１２に、吸着剤が含まれるガスを所定の流入風量で供給すると、濾過フィルタ１２に吸着剤が付着されて吸着剤層が形成される。吸着剤の出入部１５が供給部側にあるときは濾過フィルタ１２の供給部側面に、この出入部１５が排出部側にあるときは濾過フィルタ１２の排出部側面に吸着剤層が形成される。濾過フィルタ１２が袋状である場合は、袋状濾過フィルタの袋の外部から内部へ排ガスＡが流れる形態とするとよい。このとき、筒状体１２ｓを濾過フィルタ内部に設ける場合は、出入部１５を供給部側に設けるとよい。このようにすると、濾過フィルタ１２の供給部側面に吸着剤層が形成され、供給部側から排出部側に濾過フィルタを透過した透過ガスＢが、筒状体１２ｓのガス通路１２ｒを通過して排出部１３から排出される。
【００７７】
吸着剤層の厚みは、例えば、下限が０．５ｍｍ以上とするとよく、上限が４ｍｍ以下とするとよい。０．５ｍｍ未満だと微小粒子状物質が濾過フィルタ１２を透過してしまうおそれがあり、４ｍｍ超だと吸着剤層のうちの供給部側の面付近では微小粒子状物質が吸着され易いが、排出部側の面付近では吸着され難い。
【００７８】
（剥離手段）
剥離手段は、濾過フィルタ１２に圧縮空気を噴射して濾過フィルタ面に付着した吸着剤を剥離する手段である。噴射は濾過フィルタ１２のうちの吸着剤が付着した面又はその裏面に行うことができる。特に、この裏面に噴射を行うと、吸着剤は、この吸着剤が付着した面に対して法線方向（上方）に噴射圧力を受け、及び濾過フィルタ１２の形状変化による外力を同上方に受けて、同面側の外方に剥離するように促されるため、好ましい。噴射は例えば、噴射ノズル１４を用いて行うことができる。噴射ノズル１４の噴射口は、濾過フィルタ１２の吸着剤が付着する面側又はその裏面側に備えることができる。特に噴射ノズル１４は、濾過フィルタ１２の吸着剤が付着する面の裏面に備えるのが好ましい。例えば、濾過フィルタ１２の供給部側面に、吸着剤が付着する形態の場合には、濾過フィルタ１２の排出部側に噴射ノズル１４が備わり、濾過フィルタ１２の排出部側面に圧縮空気を噴射する形態となる。この形態では、噴射ノズル１４の噴射口の設置箇所は、排出部側であって、濾過フィルタ１２の面に圧縮空気を噴射可能であれば、特に限定されない。特に袋状の濾過フィルタ１２における開口端の近傍に噴射ノズル１４が備わる形態は、圧縮空気の損失が抑制されるので好ましい。近傍とは、図１に示すように例えば、濾過フィルタ１２の径（プリーツフィルタの場合は、襞２の基端部２ｂ、２ｂ、・・・を通って形成された略円の径）をｘとしたとき、濾過フィルタ１２における開口端と噴射ノズル１４との距離１４Ｌがｘの１．５倍以下であるとよい。ｘの１．５倍を超えると、噴射ノズル１４から噴射された圧縮空気が分散されてしまい、濾過フィルタ１２から吸着剤を剥離する効果が期待できないおそれがある。
【００７９】
噴射ノズル１４から圧縮空気が噴射される手法は、公知の手段を適宜採用できる。例えば、噴射ノズル１４と空気圧縮装置、例えば、コンプレッサ、とが空気供給管で接続された設備を用意し、空気圧縮装置で生成された圧縮空気が空気供給管を通って噴射ノズル１４から噴射される手法を挙げることができる。
【００８０】
噴射ノズル１４の噴射口の径は適宜調節できるが、例えば２５〜５０ｍｍとすることができる。２５ｍｍ未満だと噴射範囲が狭いため、濾過フィルタ１２から吸着剤が十分に剥離されないおそれがある。５０ｍｍ超だと噴射範囲が広過ぎ、噴射するための圧縮空気量が多くなり効率的ではない。
【００８１】
噴射ノズル１４から圧縮空気が２６０ｋＰａ以上、より好ましくは３００ｋＰａ以上で噴射されるとよく、９００ｋＰａ以下、より好ましくは５００ｋＰａ以下で噴射されるとよい。２６０ｋＰａ未満だと吸着剤層を構成する吸着剤の剥離が十分になされない。９００ｋＰａを超えると噴射時の音量が大きく騒音の原因となるおそれがある。
【００８２】
噴射ノズル１４から圧縮空気を噴射する時間は、濾過フィルタ１２の形状により一概に決定することはできないが、例えば下限が０．１秒以上とするとよく、上限が０．２秒以下とするとよい。０．１秒未満だと吸着剤が十分に剥離されない場合がある。０．２秒超だと吸着剤が十分剥離されても、なお噴射を続けている状態となりエネルギーの浪費につながる。
【００８３】
剥離手段は、吸着剤に液体を噴霧してもよいし、液体を噴霧しなくてもよい。しかしながら、吸着剤に液体を噴霧せずに剥離を行う方が、吸着剤がガスと共に流れやすく、望ましい。
【００８４】
（再生装置）
微小粒子状物質が吸着され破過した吸着剤は、吸着剤の出入部１５から流出し、廃棄されてもよいが、再生して破過する前の状態に戻し、再度、微小粒子状物質を吸着するのに使用されてもよい。そのために、吸着剤を再生する再生装置５０を設けることができる。破過した吸着剤Ｃ３は、再生装置５０に導入されて、加熱処理されて再生される。そして、この再生された吸着剤が再度濾過容器１０に供給される。
【００８５】
再生装置５０の加熱温度は、微小粒子状物質の構成成分によって適宜調節するとよいが、例えば、２２０℃以上とするとよく、３５０℃以下とするとよい。２２０℃未満だと微小粒子状物質の脱離又は酸化分解がされ難い。３５０℃超だと、微小粒子状物質のほとんどが脱離され又は酸化分解されて、なおも温度が高く、必要以上のエネルギーが消費され、不経済である。
【００８６】
再生装置５０は公知のものを適宜用いることができるが、例えば、特許第６１４０３２６号や特許５３１７８８５号に開示される装置を適用できる。この装置の概要は次記に示すものである。この装置は、回転キルンの一方の端部に吸着剤の装入口、他方の端部に排出口を有する加熱キルンタイプのものである。加熱キルンは、外熱キルン又は内熱キルンとすることができる。
【００８７】
装入口から微小粒子状物質を吸着させた吸着剤を装入し、加熱キルンの転動回転により、吸着剤と共に装入した触媒と接触させるとともに、所定温度に加熱して、微小粒子状物質の脱離及び／又は酸化分解を行い、処理済みの再生吸着剤は排出口から排出するように構成したものである。吸着剤は、ホッパ、切出しフィダー、供給フィダーにより回転キルンに装入する。回転キルン内には、内容物（吸着剤Ｓと触媒）を撹拌する手段を設けることができる。また、キルン内部もしくは内容物の排出口側に温度検出手段を設けて、その結果に基づき温度制御を行うことができる。
【００８８】
酸化分解触媒は、セリウムの炭酸塩及びコバルトの炭酸塩の混合物を焼成した複合酸化物を主体とするＣｏ，Ｃｅ酸化物系触媒、白金系触媒、三酸化二クロム（Ｃｒ2Ｏ3）、五酸化バナジウム（Ｖ2Ｏ5）、二酸化チタン（ＴｉＯ2）、三酸化タングステン（ＷＯ3）及びこれらの併用物の群から選ぶことができる。
【００８９】
Ｃｏ，Ｃｅ酸化物系触媒としては、市販の「ボール型Ｃｏ，Ｃｅ酸化物系触媒」（三協興産から提供されている）を使用できる。また、これに関しては、特許第５７１７４９１号、特許第５４２２３２０号、特許第５４１４７１９号の発明が知られており、その発明の適用分野、成分、製造方法、特徴的な作用効果などが知られている。また、市販のＣｏ，Ｃｅ酸化物系触媒を使用するほか、前記特許群に基づいて触媒を得る（製造して使用する）こともできる。
【００９０】
（付着手段、回収手段）
出入部１５から濾過容器１０の外部へ、剥離した吸着剤を吸引して回収する回収手段として以下の手段を例示できる。濾過容器１０の外に給排気装置ＢＬを設け、出入部１５と給排気装置ＢＬが空気管Ｇ２を介して接続されたものとする。給排気装置ＢＬを負圧運転すると、空気管Ｇ２が負圧となって、濾過容器１０内の吸着剤がガスと共に、出入部１５から所定の流出風量で給排気装置ＢＬへ回収される。ここで、所定の流出風量とは、濾過容器１０内にある吸着剤（濾過フィルタ１２に付着している吸着剤の一部や濾過フィルタ１２から剥離された吸着剤、濾過フィルタ１２に当初から付着されなかった吸着剤等も含まれる。）がガスと共に排出される空気風量であればよく、特に限定されるものではない。この流出風量は例えば、５ｍ3／分以上、好ましくは１０ｍ3／分以上である。また、流出風量の上限は特に限定されるものではないが、例えば、２０ｍ3／分以下、好ましくは１５ｍ3／分である。５ｍ3／分未満だと吸着剤が排出され難い。２０ｍ3／分以上だと回収に係る時間は速いが、回収手段に用いられる給排気装置ＢＬを動かすエネルギーが大き過ぎ、エネルギー効率が良くない。
【００９１】
吸着剤を出入部１５から流入させて濾過フィルタ１２に付着させる付着手段を以下に例示する。出入部１５と給排気装置ＢＬが空気管を介して接続された手段を構築する。空気管には、吸着剤を供給する手段が取り付けられたものとする。吸着剤を供給する手段には、未使用の又は再生された吸着剤が保存された保存容器等から吸着剤を同空気管に供給する手段を一例として採用できる。吸着剤を供給する手段により、保存された吸着剤が空気管に混入される状態にして、給排気装置ＢＬを加圧運転する。そうすると、吸着剤が、給排気装置ＢＬからのキャリアガスと共に空気管内を通って、濾過容器１０に所定の流入風量で供給され、濾過フィルタ１２に付着されるよう促される。結果、吸着剤層が濾過フィルタ１２の面に形成される。また、給排気装置ＢＬからの流入風量と、ガス供給部１１及び／又はバイパス部１７からのガスの風量とを供給してもよい。ここで、吸着剤を濾過フィルタ１２に付着するための所定の流入風量とは、出入部１５から流入する流入風量のみとすることもできるし、出入部１５から供給される風量とガス供給部１１から供給されるガスの風量との合計風量とすることができる。また所定の流入風量とは、吸着剤が濾過フィルタ１２に付着する風量であれば良く、特に限定されるものではない。流入風量は例えば、５ｍ3／分以上、好ましくは１０ｍ3／分以上である。また、流入風量の上限は特に限定されるものではないが、例えば、２０ｍ3／分以下、好ましくは１５ｍ3／分である。５ｍ3／分未満だと吸着剤が濾過フィルタ１２に十分に付着され難い。２０ｍ3／分以上だと付着手段に用いられる給排気装置ＢＬを動かすエネルギーを過度に消費することにつながり、効率が良くない。
【００９２】
なお、吸着剤が濾過フィルタ１２に十分に付着されたかどうかの判断は、濾過フィルタ１２の供給部側と排出部側のそれぞれの空気圧力差や微小粒子状物質の濃度差に基づき行うことができる。微小粒子状物質の濃度差を判断基準にして十分な付着を判断するのは容易であり、吸着剤が濾過フィルタ１２に十分に付着されていれば、微小粒子状物質の濃度は、供給部側では定量下限を超えるのに対して、排出部側では定量下限未満となる。微小粒子状物質の濃度計としては、公知の濃度計を適宜用いることが可能であるが、例えば、光明理化学工業株式会社の製品「北川式ガス検知器」を採用することができる。
【００９３】
給排気装置ＢＬとして例えば、ルーツブロワ若しくはボルテックスブロワを用いることができる。給排気装置ＢＬは、前述の付着手段と回収手段とにそれぞれ１台ずつ（合計２台）設けてもよいし、図１に示すように各手段に兼用させて１台設けてもよい。
【００９４】
吸着剤の出入部１５は、濾過容器１０内に設けることができる。気流がなければ吸着剤は、自重で重力により自由落下する性質を有する。この性質を考慮すれば、例えば、出入部１５は、濾過フィルタ１２の鉛直方向下方に設けるとよく、特に濾過容器１０における鉛直方向の下部に設けるとよい。濾過フィルタ１２の下方に設けておけば、濾過フィルタ１２から剥離して自由落下した吸着剤が濾過フィルタ１２の下方に溜まるので、吸着剤の排出（流出）が容易であり、また小さい流出風量で吸着剤の流出が可能であるという利点がある。
【００９５】
（回収容器）
図１に示すように、回収手段のうちの空気管Ｇ２に回収容器３０を設けることができる。出入部１５から排出された吸着剤を含むガスＣ１，Ｃ２が、空気管Ｇ２から回収容器３０に導入され、回収容器３０で吸着剤とガスが分離され、吸着剤が回収され、ガスＣ５が給排気装置ＢＬの排気運転により排気される。
【００９６】
回収容器３０は、吸着剤を回収するホッパ３２と、このホッパ３２の上端開口部を覆い、吸着剤がホッパ３２外へ飛散するのを防止するフィルタ３１と、ホッパ３２内の吸着剤の質量を計量する計量器３３と、回収された吸着剤を切り出す第１ダンパＶ７とを備えることができる。フィルタ３１から給排気装置ＢＬに延びる空気管に、排気量を調節するダンパＶ６が備わっていてもよく、出入部１５から回収容器３０に延びる空気管Ｇ２には排気量を調節するダンパＶ５が備わっていてもよい。
【００９７】
また、回収容器３０には第１ダンパＶ７により切り出された吸着剤を、廃棄物Ｅとして系外に廃棄する排気手段を設けることができるし（図９参照）、同吸着剤が再生装置５０に導入される導入管を設けることもできる（図１参照）。
【００９８】
（保存容器）
図１に示すように所定の流入風量で吸着剤の出入部１５から吸着剤を供給する手段における空気管Ｆ１，Ｆ２に保存容器４０を介在させることができる。給排気装置ＢＬから給気されたガスＤ１が、空気管を通って保存容器４０に導入され、保存容器４０でガスＤ１に混合された吸着剤が、保存容器４０から出入部１５へ延びる空気管Ｆ２を通って濾過容器１０に流入する。
【００９９】
保存容器４０は、吸着剤を保存するホッパ４２と、このホッパ４２の上端開口部を覆い、吸着剤の飛散を防止するフィルタ４１と、ホッパ４２内の吸着剤の質量を計量する計量器４３と、保存された吸着剤を切り出す第２ダンパＶ９とを備えることができる。給排気装置ＢＬからフィルタ４１に延びる空気管Ｆ１に、給気量を調節するダンパＶ８が備わっていてもよく、第２ダンパＶ９から出入部１５へ延びる空気管Ｆ２が備わっていてもよい。また、空気管Ｆ１のうちのダンパＶ８よりも、給排気装置ＢＬが設置されている側に分岐させて、空気管Ｆ３を設けることができ、この空気管Ｆ３の先端を空気管Ｆ２に接続させた形態にすることができる。空気管Ｆ３を備えることで、出入部１５から濾過容器１０に供給するキャリアガスの風量を調節することができる。また、ダンパＶ８を開けて、給排気装置ＢＬから保存容器４０に送風すると、吸着剤の切り出し量の調節が困難となる場合があるので、空気管Ｆ３にキャリアガスを流すことで、吸着剤の切り出し量を安定させることができる。
【０１００】
また、再生装置５０で再生された吸着剤を含むガスＣ４を保存容器４０に導入する配管を設けることができる。
【０１０１】
フィルタ３１，４１は、ガスと吸着剤を分離するものであれば、限定なく用いることができる。例えば、濾過フィルタ１２に用いた素材を、分離フィルタ３１及び給気フィルタ４１の素材に用いることができる。分離フィルタ３１及び給気フィルタ４１の素材を濾過フィルタ１２の素材と同一とすることで、様々な素材を用意しなくてもよく製造にかかる手間が省ける。
【０１０２】
（第１処理フロー）
図１を参照しつつ、微小粒子状物質を除去するフローの一例を説明する。濾過フィルタ１２に吸着剤が付着されておらず、保存容器４０には未使用の又は再生された吸着剤が保存され、ダンパＶ１〜ダンパＶ１０全てが全閉であるのを初期状態とする。
【０１０３】
＜付着工程＞
初期状態で先ずダンパＶ３，Ｖ９，Ｖ１０を開く。ダンパＶ８は必要に応じて開けてもよいし、閉めたままでもよい。給排気装置ＢＬを加圧運転にする。ホッパ４２内の吸着剤が、第２ダンパＶ９から切り出されて空気管Ｆ２を通って、空気管Ｆ３内のガスＤ３に混合されて吸着剤が含まれたガスＤ４となり、このガスＤ４が出入部１５から濾過容器１０内に供給される。なお、保存容器４０から切り出す吸着剤の量は、少なくとも吸着工程開始から吸着剤層が破過するまでにかかる時間が６０分以上となる分量とするとよい。
【０１０４】
ガスＤ４は、所定の風量で供給されることになるが、このガスＤ４の供給に加え、ダンパ２を空けて排ガスＡをバイパス部１７から供給してもよい。ガス供給部１１の上流側に設置され、排ガスＡを濾過容器１０に供給する給気装置１９ａ、を運転して、排ガスＡが濾過容器１０に供給されるようにする。このようにすることで、給排気装置ＢＬの吐出風量が、吸着剤が付着するのに必要な風量に満たない場合でも、吸着剤が濾過フィルタ１２に十分に付着するように促される。また、このバイパス部１７が濾過容器１０の底部に設けられている場合にバイパス部１７からガスＡが供給されると、このガスＡの供給前（すなわち、ガスＤ４のみの供給時）と比較し、濾過容器内の気流が変化する。気流の変化で、例えば、底部の吹き溜まりに堆積した吸着剤が舞い上がり、濾過フィルタ１２へ付着し易くなる。なお、前述では排ガスＡを、バイパス部１７から供給したが、ダンパＶ１の開度を調節して、ガス供給部１１から供給してもよい。
【０１０５】
濾過フィルタ１２に吸着剤が付着され、吸着剤層が形成された段階で付着工程は終了し、吸着工程に移行する。
【０１０６】
＜吸着工程＞
ダンパＶ２〜Ｖ１０を全閉とし、給排気装置ＢＬを停止した状態にして吸着工程に移行する。給気装置１９ａを運転させて、ガス供給部１１から供給された排ガスＡが濾過フィルタ１２を透過して、透過されたガスＢがガス排出部１３から排出される気流を発生させる。排ガスＡの透過量が所定量に達すると、吸着剤が破過し始める。吸着剤の破過が始まった時点又はその直前で、ダンパＶ１を閉じ、給気装置１９ａを停止する。吸着剤が破過したかどうかの判断は、一例として、濃度計を用いて行うとよい。例えば、濾過容器１０における供給部側の空間と排出部側の空間とに濃度計６２，６２をそれぞれ設置して、排出部側の空間に設置した濃度計の数値が上昇を開始した時を、破過した時と判断する。なお、濾過容器１０における供給部側の空間には濃度計を設置しなくてもよい。
【０１０７】
濃度計６２，６２の設置位置は、特に限定されない。例えば、排出部側の空間に設置する濃度計６２であれば、ガス排出部１３又はこの近傍に設置するとよく、供給部側の空間に設置する濃度計６２であれば、ガス供給部１１又はこの近傍に設置するとよい。ガス排出部１３又はこの近傍は、透過ガスＢが集まる箇所であり、平均的な測定値となり易い。ガス供給部１１又はこの近傍も、微小粒子状物質を含む排ガスＡが拡散される前の箇所であり、平均的な測定値となり易い。
【０１０８】
図５に示すように一般的に吸着剤が破過すると、微小粒子状物質の濃度［Ｃ］（すなわち、排出部側に設置した濃度計６２の濃度）が次第に上昇し、吸着剤が機能しなくなることが知られている。特に微小粒子状物質の濃度［Ｃ］が上昇し出した時点を、破過点６１という。図５は、吸着剤にヤシガラ活性炭を使用し、アセトアルデヒドガスを吸着剤に曝した場合の破過曲線６０を示し、縦軸がアセトアルデヒドの濃度［Ｃ］、横軸が時間［Ｔ］を示している。
【０１０９】
吸着剤が破過したと判断された段階、又は微小粒子状物質を含むガスＡを所定時間、供給した段階で吸着工程は終了し、剥離工程に移行する。
【０１１０】
＜剥離工程＞
剥離工程は、ダンパＶ１〜Ｖ１０全てを全閉にして行ってよいが、ガスを逃がすためにダンパＶ５，Ｖ６を開けて行ってもよい。このようにダンパＶ１〜Ｖ１０を調節した後、噴射ノズル１４から圧縮空気を噴射させる。圧縮空気が噴射されると、濾過フィルタ１２が排出部側に膨らんで変形したり振動したりして、付着された吸着剤が濾過フィルタ１２から剥離される。剥離された吸着剤は自由落下する。特に濾過フィルタ１２が前述のプリーツフィルタである場合は、プリーツフィルタが保持体１８に張設されており、圧縮空気の噴射を受けて振動し、このフィルタに付着した吸着剤が剥離する。
【０１１１】
濾過フィルタ１２と噴射ノズル１４との組が複数設置されている場合は、圧縮空気を、第１噴射ノズル１４から噴射させ、次いで第２噴射ノズルから噴射させ、次いで第３噴射ノズルから噴射させる、次いで第４噴射ノズルから、・・・というように、順次噴射させることができる。また、順次噴射させて一巡した後、もう一巡、第１噴射ノズル１４から順次噴射させていってもよい。さらに、複数の噴射ノズル１４，１４，・・・から圧縮空気を一斉に噴射させてもよい。圧縮空気を噴射させると大きな音を伴うが、順次噴射させることで、一度に噴射させたときよりも音量が小さくなる。一方、複数の噴射ノズル１４，１４，・・・から圧縮空気を一斉に噴射させると、剥離工程の時間短縮になる。また、順次噴射させたときよりも、一斉に噴射させたときの方が、濾過容器１０内の気圧の変化が大きなものとなり、吸着剤の剥離がより促進される。
【０１１２】
噴射ノズル１４の噴射が終了した段階（噴射ノズル１４が複数ある場合は、噴射ノズル１４全ての噴射が終了した段階）で剥離工程は終了し、回収工程に移行する。
【０１１３】
＜回収工程＞
回収工程は、ダンパＶ１〜Ｖ１０のうちの、ダンパＶ３，Ｖ５，Ｖ６を開き、残りのダンパ群を全閉にし、給排気装置ＢＬを負圧運転にして行う。濾過容器１０の供給部側の空間にあり、剥離工程で剥離された吸着剤はガスと共に、出入部１５から所定の流出風量で吸引され、回収容器３０に導かれる。
【０１１４】
回収容器３０の態様については、例えば、ホッパ３２とそのホッパ３２の上部開口部を覆うフィルタ３１が一体となって壁を形成する容器とするとよい。この容器は、空気管Ｇ２から導入される吸着剤の導入部と、フィルタ３１を透過したガスが給排気装置ＢＬ側へ排気（吸引）される導出部とを有する。回収容器３０への吸着剤の回収が完了した段階で、給排気装置ＢＬを停止する、又はダンパ６を全閉にすると、吸着剤がホッパ３２に溜まる。
【０１１５】
保存容器４０には計量器４３が、回収容器３０には計量器３３がそれぞれ備わり、保存容器４０と回収容器３０に溜まっている吸着剤の質量を計量できるようになっている。よって、付着工程において回収容器３０から切り出された吸着剤の総質量と、回収工程において回収容器３０に回収された吸着剤の総質量を比較すれば、容易に回収容器３０への吸着剤の回収が完了したかどうかが分かる。例えば、次式［数１］により吸着剤の回収率を求めることができる。
[数１]
（吸着剤の回収率（％））＝（回収工程においてホッパ３２に回収された吸着剤の総質量）／（付着工程において回収容器３０から切り出された吸着剤の総質量）×１００
【０１１６】
本形態では例えば、回収率が９０％以上、より好ましくは９５％以上であれば、回収が完了したとすることができる。
【０１１７】
本形態では、濾過フィルタ１２に付着された吸着剤が、剥離工程での噴射ノズル１４による圧縮空気の局所的噴射により剥離され、かつ、回収工程での給排気装置ＢＬによる負圧運転により所定の流出風量で吸引され、回収される。そのため、本形態は吸着剤の回収率に優れたものとなっている。
【０１１８】
これに対して、特許文献１では、逆送風、槌打、バネによる振動等で濾過フィルタ１２から吸着剤を分離するとしている。しかしながら、逆送風を行ったとしても、本形態のように局所的に濾過フィルタに噴射されるものではなく、複数ある濾過フィルタ全体に空気圧力がかかるものであるので、吸着剤の剥離が十分になされないおそれがある。また、槌打、バネによる振動等は、濾過フィルタの耐久性を早めに弱めることになりかねない。また、剥離された吸着剤は回収タンクに回収されるものとなっているが、剥離された吸着剤が濾過容器の底に落ちたまま留まり、回収タンクに導かれないことも想定される。これらを考慮すると、特許文献１においては、吸着剤の回収効率は良いものとは言い難い。
【０１１９】
なお、剥離工程でダンパＶ５，Ｖ６を開ける場合は、剥離工程と回収工程は同時に行われてもよい。
【０１２０】
＜再生工程＞
再生工程を行うと、保存容器４０に回収された吸着剤は、微小粒子状物質を含み、微小粒子状物質が脱離及び／又は酸化分解して再生される。再生された吸着剤が再度濾過フィルタ１２に付着されて、更なる微小粒子状物質の吸着に用いられることが可能となる。
【０１２１】
回収容器３０から切り出された吸着剤は、再生装置５０に導入され、加熱処理されることで微小粒子状物質が脱離及び／又は酸化分解されて、除去される。再生装置５０にはバッチ処理タイプのものや連続処理タイプのものがあり、これらのタイプに応じて再生装置５０の単位時間当たりの吸着剤の処理量が異なる。よって、再生装置５０のタイプに応じて、回収容器３０から切り出される吸着剤の量を第１ダンパＶ７により調節するとよい。
【０１２２】
加熱処理された吸着剤は回収容器４０に送られる。回収容器４０には計量器４３が備わり、回収容器４０に溜まっている吸着剤の総質量を計量することが可能である。再生された吸着剤が回収容器４０に送られる処理が終了した段階で、再生工程が終了となる。
【０１２３】
第１処理フローは以上からなる工程を繰り返すものであり、このフローを繰り返すことで、微小粒子状物質が除去される。
【０１２４】
濾過フィルタ１２に付着される吸着剤層の入れ替えにかかる時間は６０〜１２０秒、具体的には剥離工程に５〜１０秒、回収工程に３０〜６０秒、付着工程に３０〜６０秒かかる。また吸着剤の再生を行う場合は、再生工程に１８０〜３００秒かかる。また、回収工程が完了していれば、再生工程は、付着工程と同時に行うことができるので、濾過フィルタ１２に付着される吸着剤層の入れ替えにかかる時間に、再生工程にかかる時間を含めなくてもよく、迅速な濾過フィルタ１２の再生が可能である。そうすると、微小粒子状物質を取り扱う作業を停止する時間の短縮化が図られ、同作業が効率の良いものとなる。
【０１２５】
これに対して、特開第２０１７−８７１５０号公報に開示される、いわゆるハニカムロータを用いた微小粒子状物質の除去システムでは、微小粒子状物質を取り扱う作業を停止している間に、吸着剤は、吸着された微小粒子状物質を脱離して、冷却を行わなければならない。結果、微小粒子状物質を取り扱う作業を停止する時間が長く、同作業を効率良く行うことができるものとは言い難い。
【０１２６】
（第１処理フロー変形）
また、微小粒子状物質を取り扱う作業を継続しつつ、濾過フィルタ１２に付着される吸着剤層の入れ替えを行う手法もある。この手法について次記に示す。
【０１２７】
図１０に例示するように濾過容器１０を複数台設置する。例えば、濾過容器１０を３台以上、好ましくは５台以上、より好ましくは１０〜１５台設置するとよい。５台設置した場合を例に説明すると、濾過容器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅを同時に運転させる。仮に濾過容器１０ａの吸着剤層が最も早く破過した場合、この濾過容器１０ａの運転を停止する。前述の第１処理フローに従って、この濾過容器１０ａに対して、剥離工程、回収工程、（再生装置５０が備わっている場合は再生工程）、付着工程を順次行い、濾過フィルタ１２に付着される吸着剤層の入れ替えを行う。その後、吸着工程を行う。
【０１２８】
次いで、濾過容器１０ｂの吸着剤層が破過した場合、この濾過容器１０ｂの運転を停止する。前述の第１処理フローに従って、この濾過容器１０ｂに対して、前述の濾過容器１０ａに対して行った工程と同様の工程を行い、濾過フィルタ１２に付着される吸着剤層の入れ替えを行う。その後、吸着工程を行う。
【０１２９】
さらに、別の濾過容器１０の吸着剤層が破過した場合も、同様に、濾過容器１０ａに対して行った工程と同様の工程及び吸着工程を行うとよい。
【０１３０】
このように、吸着剤層が破過した濾過容器１０を停止し、その他の濾過容器１０の運転を継続することで、微小粒子状物質が発生する雰囲気下で、作業者は作業を連続して行うことができる。
【０１３１】
（第２処理フロー）
図９を参照しつつ、第２処理フローを説明する。第２処理フローと第１処理フローとの相違点は２点あり、１点目は、給排気装置ＢＬがなく、排気装置ＢＬ１と給気装置ＢＬ２が設けられている点、２点目は再生装置５０がなく回収容器３０に回収された吸着剤が廃棄物Ｅとされる点である。
【０１３２】
＜付着工程＞
第２処理フローの付着工程は、第１処理フローの付着工程とほぼ同様であるが、第１処理フローで用いた給排気装置ＢＬの代わりに、第２処理フローでは給気装置ＢＬ２を用いる点が異なる。
【０１３３】
＜吸着工程、剥離工程＞
第２処理フローの吸着工程と剥離工程は、第１処理フローの吸着工程と剥離工程と同様である。
【０１３４】
＜回収工程＞
第２処理フローの回収工程は、第１処理フローの回収工程とほぼ同様であるが、第１処理フローで用いた給排気装置ＢＬの代わりに、第２処理フローでは排気装置ＢＬ１を用いる点が異なる。
【０１３５】
＜廃棄工程＞
廃棄工程では、回収容器３０に回収された吸着剤が廃棄物Ｅとして廃棄される。例えば、吸着剤層が未使用の吸着剤で形成されるのが望ましい場合や、吸着剤に異物が吸着して、微小粒子状物質の吸着性能が低下した場合、吸着剤が再生され難くなった場合等に吸着剤を廃棄するとよい。
【実施例】
【０１３６】
本実施形態の排ガス処理装置を用いて、トルエンの除去性能を調べた。所定容積の容器内にトルエンを、いわゆる、塗装作業用スプレーガンで噴射した。噴射量は０．１ｋｇ／分とした。同処理装置内のトルエンを含むガスの風量を１５０ｍ3／分とした。実施例に用いたトルエンは、ダンケミカル株式会社製のトルオール（トルエン濃度９９．９％以上）であった。トルエン濃度の測定は、「北川式ガス検知器ＶＯＣ（微小粒子状物質）濃度計」で行った。吸着剤は、クラレケミカル株式会社製の粉末活性炭「クラレコール  ＰＫ−Ｄ（登録商標）」を用いた。保存容器４０からの活性炭の切り出し速度を１ｋｇ／分とした。濾過フィルタ１２はプリーツフィルタを用い、その素材に東レ株式会社のポリエステル長繊維不織布「アクスター」（登録商標）のＧ２２６０−１Ｓ  ＢＫ０を用いた。活性炭は、濾過フィルタの濾過面に層の厚みが３ｍｍ、付着量１．５ｋｇ／ｍ2となるように層状に付着させた。
【０１３７】
トルエンが噴射された容器から濾過容器１０のガス供給部１１にガスを風量１５０ｍ3／分で供給した。ガス供給部１１とガス排出部１３それぞれのトルエン濃度を所定の時間（経過時間）ごとに測定した。供給されるガスに含まれるトルエン濃度を変えて、試験例１〜試験例４とした。測定結果を表１に示す。
【０１３８】
【表１】
0006917645.tif 000002
【０１３９】
試験例１〜試験例４における全ての経過時間で、ガス排出部におけるトルエン濃度が０ｐｐｍとなった。この結果から、トルエンの除去率が１００％であることが分かる。なお、除去率は次式［数２］より求められる。
［数２］
（トルエン除去率（％））＝（（ガス供給部におけるトルエン濃度）―（ガス排出部におけるトルエン濃度））÷（ガス供給部におけるトルエン濃度）×１００
【０１４０】
特許文献３に代表されるロータ式微小粒子状物質処理装置では、ロータが例えば、ハニカムロータ形式となっており、吸着剤がこのロータに付着されている。微小粒子状物質を含むガスがハニカムロータに設けられた多数の孔を通過する際に、微小粒子状物質がこれら孔の内壁に付着された吸着剤に吸着される。しかしながら、この形状だと孔が吸着剤でふさがっているわけではないので、微小粒子状物質の一部が吸着されずに当該孔を透過する。結果として、ロータ式における微小粒子状物質の除去率は、およそ８０〜９０％となる。除去率で比較すると、本発明の処理装置の方がロータ式の処理装置よりも優れているといえる。
【０１４１】
（付記）
前述した態様以外にも、望ましい態様を次記に示す。
＜付記１＞
建屋内で発生した排ガスのうちの微小粒子状物質を吸着する吸着剤が備わる排ガス処理装置による排ガスの処理方法であり、
前記排ガス処理装置は、前記排ガスから前記微小粒子状物質を分離する濾過容器を備え、
前記濾過容器は、前記排ガスの供給部及び排出部と、前記吸着剤が付着及び剥離可能な濾過フィルタと、前記吸着剤の出入部とを有し、
前記排ガスは、前記濾過容器に前記供給部から供給され、前記濾過フィルタを透過し、前記排出部から排出されるものであり、
前記吸着剤を前記出入部から流入させて前記濾過フィルタに付着させる付着工程と、この付着工程後に前記濾過フィルタに圧縮空気を噴射して前記吸着剤を剥離する剥離工程と、この剥離工程後に前記出入部から前記濾過容器の外部へ、剥離した前記吸着剤を吸引して回収する回収工程とを有する、
ことを特徴とする排ガスの処理方法。
＜付記２＞
前記剥離工程が前記吸着剤を噴霧せずに行う工程である、
付記１に記載の排ガスの処理方法。
＜付記３＞
前記濾過フィルタの引張強度がタテ１０００〜１３００Ｎ／５ｃｍ、ヨコ７００〜８００Ｎ／５ｃｍであり、
前記剥離手段は、圧縮空気を０．５〜０．７Ｍｐａで、０．１〜０．２秒間噴射するものである、
付記２に記載の排ガスの処理方法。
＜付記４＞
前記供給部側に前記濾過容器の底部が位置し、前記底部に、前記出入部と前記排ガスを前記濾過容器に供給するバイパス部とが備わる、
付記２に記載の排ガスの処理方法。
＜付記５＞
さらに、
前記回収手段で回収した前記吸着剤を２２０〜３５０℃で加熱して再生する再生工程を有し、
前記付着工程は、前記再生工程で再生した吸着剤を、前記出入部から流入させて前記濾過フィルタに付着させる工程である、
付記１に記載の排ガス処理装置。
＜付記６＞
前記回収工程は、前記吸着剤を回収する回収容器を有し、
前記回収容器は、回収された前記吸着剤の質量を計量する計量器と、この吸着剤を切り出す第１ダンパとを備え、
切り出された前記吸着剤が前記再生装置に導入される、
付記５に記載の排ガスの処理方法。
＜付記７＞
前記再生工程で再生した吸着剤を保存する保存容器を有し、
前記保存容器は、保存された前記吸着剤の質量を計量する計量器と、この吸着剤を切り出す第２ダンパとを備え、
前記付着工程は、この切り出された前記吸着剤を、前記濾過容器に流入させるものである、
付記５に記載の排ガスの処理方法。
【０１４２】
（定義等）
・微小粒子状物質の概念に含まれる、揮発性有機化合物とは、有害大気汚染物質に係る環境基準に規定される物質である、ベンゼン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、ジクロロメタンや、室内汚染物質である、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、スチレン、パラジクロロベンゼン、テトラデカン、クロルピリホス、フェノブカルブ、ダイアジノン、フタル酸ジ−ｎ−ブチル、フタル酸ジ−２−エチルへキシルを挙げることができる。また、微小粒子状物質として、労働安全衛生法に基づき定められた有機溶剤中毒予防規則により、同法施工令別表第６の２に規定される、クロロホルム、四塩化炭素、トルエン、ベンゼン、ホルムアルデヒド、アセトン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、エチルエーテル、キシレン、ジクロルメタン、スチレン、テトラクロルエチレン、トリクロルエチレン、トルエン、ノルマルヘキサン、メタノール、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン、メチル−ノルマル−ブチルケトンなど５４種類の有機溶剤を挙げることができるが、これらに限られるものではない。
・微小粒子状物質を含むガスには、水分を含んでなるものも含まれる。
・上流方向ＵＳとは、濾過容器１０において、ガス供給部とガス排出部を結んだ直線であって、ガス供給部側の方向をいい、下流方向ＤＳとは、同直線であってガス排出部の方向をいうことができる。また、濾過フィルタ１２が袋状のフィルタである場合であって、同フィルタの開口側とこの開口に対向する、閉じた側とを結ぶ直線を仮定したとき、この直線であって開口側の方向を下流方向ＤＳ、この開口に対向する、閉じた側の方向を上流方向ＵＳということができる。
【産業上の利用可能性】
【０１４３】
本排ガス処理装置及び除去方法は、微小粒子状物質が発生する環境下で利用可能である。
【符号の説明】
【０１４４】
１０…濾過容器、１１…ガス供給部、１２…濾過フィルタ、１３…ガス排出部、１４…噴射ノズル、１５…出入部、１７…バイパス部、３０…回収容器、４０…保存容器、５０…再生装置、ＢＬ…給排気装置、１００…排ガス処理装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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