(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小電気機械部品（１００ａ〜１００ｔ）を製造する方法であって、
複数の微小電気機械基本素子（１１０ａ）を有する第１のウェーハ（１６０）を供給するステップ（Ｓ０１）、
前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）の周囲、上、または前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）に、ウェーハレベルでそれぞれの容器構造（１１２ａ〜１１２ｇ）を形成するステップ（Ｓ０２）、および
前記容器構造（１１２ａ〜１１２ｇ）内にオイル（４０）またはゲル（４２）を配置するステップ（Ｓ０３）を含み、
前記容器構造（１１２ａ、１１２ｇ）を形成するステップ（Ｓ０２）が、
第２のウェーハを前記第１のウェーハ（１６０）に結合することによって、前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）に、少なくとも１つの微小電気機械または微小機械の構造（１１２ａ、１１２ｇ）を取り付けるステップ（Ｓ０２３）を含み、
前記第２のウェーハは、前記複数の微小電気機械基本素子のための前記容器構造として機能するガラスカバーを有するように構成されたガラスウェーハである、方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、
前記容器構造（１１２ａ〜１１２ｇ）に形成された充填開口（１１６ａ〜１１６ｅ）にオイル（４０）またはゲル（４２）を充填することによってオイル（４０）またはゲル（４２）を配置するステップ（Ｓ０３）を行い、
オイル（４０）またはゲル（４２）を配置するステップ（Ｓ０３）後に充填開口（１１６ａ〜１１６ｅ）を閉じる方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の方法において、
前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）がそれぞれの圧力センサ膜（１３２）を有する圧力センサであり、
圧力センサ膜（１３２）の外側が前記容器構造（１１２ａ〜１１２ｇ）内に配置したオイル（４０）またはゲル（４２）によって覆われるように、それぞれの前記容器構造（１１２ａ〜１１２ｇ）を配置し形成する方法。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか１項に記載の方法において、
前記容器構造（１１２ａ；１１２ｂ；１１２ｅ）内に、前記オイル（４０）または前記ゲル（４２）に加えて、特定用途向け集積回路ＡＳＩＣ（１２２ａ；１２２ｂ；１２４）を配置し、前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）に電気的および機械的に接続する方法。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか１項に記載の方法において、
前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）を前記第１のウェーハ（１６０）に電気的および／または機械的に接続し、
それぞれの前記容器構造（１１２ａ）を有する前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）を取り囲むようにそれぞれ別の容器構造（１１３ａ；１１３ｂ；１１３ｃ）を形成し、該容器構造内に別のゲル（４）を配置する方法。
【請求項６】
請求項１に記載の方法において、
陽極ウェーハボンディングによって前記第２のウェーハを前記第１のウェーハ（１６０）に結合する方法。
【請求項７】
請求項１から６までのいずれか１項に記載の方法において、
それぞれの前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）へのそれぞれの微小電気機械または微小機械の構造の取付けを同時に行う方法。
【請求項８】
第１のウェーハ（１６０）を有する微小電気機械部品（１００ｏ〜１００ｒ）であって、
前記第１のウェーハにまたは前記第１のウェーハ上に、少なくとも１つの微小電気機械基本素子（１１０ａ）が配置されまたは取り付けられ、
前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）の周囲、上、または前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）に第１の容器構造（１１２ａ）が形成され、該第１の容器構造内にオイル（４０）またはゲル（４２）が配置され、
前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）および容器構造（１１２ａ）を取り囲むように第２の容器構造（１１３ａ；１１３ｂ；１１３ｃ）が、前記第１のウェーハ（１６０）に結合された第２のウェーハによって、前記第１のウェーハ（１６０）に配置されてまたは取り付けられ、
前記別の容器構造（１１３ａ；１１３ｂ；１１３ｃ）内に別のオイルまたはゲル（４４）が配置されており、
前記第２のウェーハは、前記少なくとも１つの微小電気機械基本素子のための前記容器構造として機能するガラスカバーを有するように構成されたガラスウェーハである、
微小電気機械部品（１００ｏ〜１００ｒ）。
【請求項９】
ウェーハアセンブリ（１００ｎ〜１１００ｒ）であって、
複数の微小電気機械基本素子（１１０ａ）を有する第１のウェーハ（１６０）、および
前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）の周囲、上、または前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）に配置された容器構造（１１２ａ、１１２ｂ）を有し、
オイル（４０）またはゲル（４２）が前記容器構造（１１２ａ、１１２ｂ）内に配置されており、
該容器構造（１１２ａ，１１２ｂ）が、第１のウェーハ（１６０）に結合された第２のウェーハによって形成されており、
前記第２のウェーハは、前記複数の微小電気機械基本素子のための前記容器構造として機能するガラスカバーを有するように構成されたガラスウェーハである、
ウェーハアセンブリ（１００ｎ〜１１００ｒ）。
【請求項１０】
請求項９に記載のウェーハアセンブリ（１００ｎ〜１００ｒ）であって、
前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）が、前記第１のウェーハ（１６０）に電気的および／または機械的に接続され、
それぞれの前記容器構造（１１２ａ、１１２ｂ）を有する前記微小電気機械基本素子（１１０ａ）を取り囲むようにそれぞれ別の容器構造（１１３ａ、１１３ｂ、１１３ｃ）が形成されており、該容器構造内に別のゲル（４４）が配置されている、
ウェーハアセンブリ（１００ｎ〜１００ｒ）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小電気機械部品を製造する方法およびウェーハアセンブリに関する。
【背景技術】
【０００２】
微小電気機械部品は、多くの場合、塵、粒子、湿気、排ガスおよび／または他の腐食性または攻撃性の媒体に対する保護を必要とする。このことは、機能を果たすためには必然的に環境にさらされてしまう微小電気機械のセンサ装置に特に当てはまる。例えば、微小電気機械の圧力センサは、一般に、腐食性の媒体を有する環境にさらされている、少なくとも１つの変形可能な感圧膜、いわゆる「圧力センサ膜」を有する。圧力センサ回路、例えばブリッジ回路によって圧力信号が圧力センサ膜で検出され、続いて評価される。したがって、感圧センサ膜は何らかの形で環境からの音波にさらされなければならない。
【０００３】
従来技術による公知の解決策は、完成した微小電気機械式の圧力センサ素子を、パッケージングレベルで、ゲルまたはオイルによって隔離することである。音波などの物理的信号は、オイルまたはゲルを通って、例えば圧力センサ膜まで伝播する。オイルまたはゲルは測定を妨害せず、同時に、環境からの圧力センサ膜の隔離を提供する。ＭＥＭＳパッケージ（ＭＥＭＳは微小電気機械システムを表す）を気密に封止する例示的な方法が、例えば米国特許第６９４６７２８号明細書に記載されている。
【発明の概要】
【０００４】
本発明は、請求項１の特徴を有する方法、請求項９の特徴を有する微小電気機械部品、および請求項１０の特徴を有するウェーハアセンブリを開示する。
【０００５】
本発明によれば、微小電気機械部品を製造する方法であって、複数の微小電気機械の基本素子を有する第１のウェーハを供給するステップ、特にウェーハレベルで、微小電気機械基本素子を取り囲むようにそれぞれの容器構造を微小電気機械基本素子上に、または微小電気機械基本素子に形成するステップ、および、特にウェーハレベルで、容器構造内にオイルまたはゲルを配置するステップを含む方法が得られる。
【０００６】
微小電気機械基本素子は、製造したい微小電気機械部品の構成要素である微小電気機械の素子と理解されるべきである。微小電気機械基本素子は、例えば、ＭＥＭＳ構造、すなわち、微小電気機械システム、特にＭＥＭＳセンサ、とりわけＭＥＭＳ圧力センサ、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）などであってもよい。
【０００７】
容器構造とは、オイルまたはジェルのいずれかを収容し、特定の場所に保持することができる任意の構造と理解されるべきである。容器構造の例は、例えば、円形または長方形の断面を有する閉じられたリング構造、オイルまたはゲルが少なくとも部分的に充填されているか、または完全に充填されている閉じられたスペースをウェーハと共に形成する蓋またはカバー、中空の立方体などである。
【０００８】
「ウェーハレベル」で方法ステップを実施することが望ましいとは、特に、個々の微小電気機械基本素子をウェーハから分離する前に、ウェーハの複数の微小電気機械基本素子において同時に、対応する方法ステップを実施することができることと理解されたい。したがって、ウェーハレベルの処理は、既に分離された微小電気機械的な部品を個々にパッケージし、したがって一般により大きい労力を伴うパッケージレベルの処理とは異なる。ウェーハレベルの処理の代わりに、代替的にはチップスケールパッケージによって作業することも可能である。
【０００９】
さらに、少なくとも１つの微小電気機械的な基本素子を配置しているかまたは取り付けたウェーハを有する微小電気機械部品を提供する。微小電気機械基本素子は、特に、ＭＥＭＳ圧力センサであってもよい。微小電気機械基本素子の周囲、微小電気機械基本素子上、または微小電気機械基本素子に第１の容器構造を形成しており、第１の容器構造内にオイルまたはゲルを配置している。微小電気機械基本素子および容器構造を取り囲むように第２の容器構造をウェーハに配置しているかまたは取り付けている。別の容器構造には別のオイルまたはゲルを配置している。
【００１０】
微小電気機械基本素子が圧力センサ膜を有するＭＥＭＳ圧力センサである場合、オイルまたはゲルは、好ましくは、圧力センサ膜がオイルまたはゲルによって覆われるように第１の容器構造内に配置し、さらに好ましくは、オイルまたはゲルは、基本素子および／または第１の容器構造がオイルまたはゲルによって覆われているように第２の容器構造内に配置している。
【００１１】
さらに、複数の微小電気機械基本素子と、微小電気機械基本素子を取り囲むように微小電気機械基本素子上または微小電気機械基本素子に配置した容器構造とを有する第１のウェーハを備えるウェーハアセンブリを提供し、それぞれオイルまたはゲルを容器構造内に配置している。好ましくは、それぞれの微小電気機械基本素子にそれぞれの容器構造を配置している。個々の容器構造内には、それぞれ同じオイルまたは同じゲル、または異なるオイルおよび／または異なるゲルを配置することができ、ウェーハレベルで同一のウェーハに異なる微小電気機械部品を製造することもできる。
【００１２】
ウェーハは、特にプリント配線板、めっきスルーホールなどの電気接点を形成することができるシリコンウェーハであってもよい。
発明の利点
【００１３】
本発明は、有利には、オイルまたはゲルを充填した容器構造によって少なくとも部分的に環境の影響から保護した微小電気機械的な部品をウェーハレベルで製造することを可能にする。したがって、微小電気機械部品は、特に堅牢に、同時に特に小さい技術的労力によって製造することができる。このことは、微小電気機械式の圧力センサシステムにとって特に有利である。有利には、微小電気機械基本素子は、圧力センサ膜によって環境から分離したキャビティを有するＭＥＭＳ圧力センサであってもよい。容器構造は、圧力センサ膜または他の膜を横方向に取り囲むように構成してもよく、これによりオイルまたはゲルを圧力センサ膜の上方に配置し保持することができる。したがって、圧力センサ膜は、塵、粒子、湿気、排ガス、および／または他の腐食性および／または攻撃性の媒体から遮蔽されている。
【００１４】
さらに、例えば、ＭＥＭＳモジュールまたはＭＥＭＳ基本素子またはＡＳＩＣ上の金属のボンディングパッドを、例えば腐食性の流体などの直接的な環境の影響から遮蔽することが可能である。
【００１５】
有利な実施形態および改良形態は、従属請求項、および図面を参照した説明から明らかになる。
【００１６】
好ましい改良形態によれば、容器構造の形成は、微小電気機械基本素子上または微小電気機械基本素子にポリマー層を形成するステップ、およびポリマー層を構造化するステップを含む。１つのポリマー層の代わりに、幾つかのポリマー層を形成し、構造化することもできる。
【００１７】
ポリマー層の構造化は、例えば、フォトリソグラフィおよび／またはエッチングによって行うことができる。このようにして、容器構造は、従来技術において知られており、完成されている技術を用いて、小さい技術的な労力により製造することができ、これにより、迅速、安全、および安価な処理が可能になる。
【００１８】
別の好ましい改良形態によれば、容器構造の形成は、少なくとも１つの微小電気機械および／または微小機械の構造、例えばキャップを微小電気機械基本素子に取り付けるステップを含む。微小電気機械基本素子への少なくとも１つの微小電気機械の構造または微小機械の構造の取付けは、特にシリコンまたはガラスならなるウェーハを使用する場合には、例えば、接着によるウェーハボンディングによって行うことができる。さらに、特にガラスウェーハを用いて陽極ウェーハボンディングを行うことができる。ガラスウェーハは、特にガラスキャップウェーハ、すなわち、ウェーハ上の複数の微小電気機械基本素子のためのガラスキャップを提供するように構成されたガラスウェーハであってもよい。
【００１９】
したがって、微小電気機械基本素子への少なくとも１つの微小電気機械または微小機械の構造の取付けは、好ましくは、第２のウェーハを第１のウェーハに結合することによって行ってもよい。好ましくは、それぞれ１つの微小電気機械または微小機械の構造は、それぞれの微小電気機械基本素子に固有の容器構造が形成されるように、それぞれの微小電気機械基本素子に取り付ける。したがって、それぞれの微小電気機械基本素子へのそれぞれの微小電気機械または微小機械の構造の取付けは、好ましくは、同時にまたは実質的に同時に行う。
【００２０】
微小電気機械基本素子への少なくとも１つの微小電気機械または微小機械の構造の取付けは、さらに、例えばプラスチック、ガラスまたは金属などからなるリング構造を、微小電気機械基本素子に、または微小電気機械基本素子を取り囲むように、既知の接着技術を使用して取り付けることによって行うことができる。
【００２１】
さらなる好ましい改良形態によれば、容器構造に形成された充填開口にオイルを充填することによってオイルの配置を行い、オイルを容器構造内に配置した後に充填開口を閉じ、その後には容器構造は外界への別の開口を有しておらず、したがって、オイルは、有利には容器構造によって閉じ込められている。
【００２２】
別の好ましい改良形態によれば、微小電気機械基本素子は、圧力センサ、すなわちそれぞれ圧力センサ膜によって形成されているＭＥＭＳ圧力センサである。それぞれの容器構造は、圧力センサ膜の外側が、容器構造内に配置されたオイルまたはゲルによって覆われるか、もしくは覆われているように配置し、形成してもよい。これにより、多くの場合に高感度の圧力センサ膜、および圧力センサ膜に配置されたボンディングパッドを環境の影響から保護することができる。
【００２３】
さらに別の好ましい改良形態によれば、容器構造内にオイルまたはゲルに加えて特定用途向け集積回路ＡＳＩＣを配置し、微小電気機械基本素子に電気的および／または機械的に接続する。このようにして、容器構造および容器構造に配置したオイルまたはゲルによって特定用途向け集積回路上のボンディングパッド、導体、または接点、または特定用途向け集積回路と微小電気機械基本素子との接続部を環境の影響から保護することができる。
【００２４】
別の好ましい改良形態によれば、微小電気機械基本素子は、ウェーハに電気的および／または機械的に接続する。それぞれの付属の容器構造を有する微小電気機械基本素子の周囲に、有利にはそれぞれ１つの別の容器構造を形成することができ、この容器構造には別のゲルを配置する。これにより、例えば、異なるゲルを選択し、続いて対応する用途にそれぞれ適合された基本素子を保護するように配置することができる。さらに、微小電気機械基本素子と、例えば、同じウェーハ上の特定用途向け集積回路との間の接点、導体、および例えばボンディングワイヤなど接続部を同様にゲルによって外界から遮蔽することもできる。
【００２５】
概略的な図面に示す実施形態に基づいて本発明を詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施形態による微小電気機械部品を製造する方法を説明するための概略的なフロー図である。
【図２】本発明の別の実施形態による微小電気機械部品の製造する方法を説明するための概略的なフロー図である。
【図３ａ】図３ａ〜３ｃは、本発明の実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図３ｂ】図３ａ〜３ｃは、本発明の実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図３ｃ】図３ａ〜３ｃは、本発明の実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図４】本発明の別の実施形態による微小電気機械部品を製造する方法を説明するための概略的なフロー図である。
【図５ａ】図５ａ〜５ｃは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図５ｂ】図５ａ〜５ｃは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図５ｃ】図５ａ〜５ｃは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図６】本発明のさらに別の実施形態による微小電気機械部品を製造する方法を説明するための概略的なフロー図である。
【図７】本発明の一実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図８】本発明のさらに別の実施形態による微小電気機械部品を製造する方法を説明するための概略的なフロー図である。
【図９ａ】図９ａ〜９ｄは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図９ｂ】図９ａ〜９ｄは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図９ｃ】図９ａ〜９ｄは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図９ｄ】図９ａ〜９ｄは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図１０ａ】図１０ａ〜１０ｃは、本発明の別の実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図１０ｂ】図１０ａ〜１０ｃは、本発明の別の実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図１０ｃ】図１０ａ〜１０ｃは、本発明の別の実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図１１ａ】図１１ａ〜１１ｃは、図１０ａ〜１０ｃに示した微小電気機械部品を製造する方法を説明するための概略断面図である。
【図１１ｂ】図１１ａ〜１１ｃは、図１０ａ〜１０ｃに示した微小電気機械部品を製造する方法を説明するための概略断面図である。
【図１１ｃ】図１１ａ〜１１ｃは、図１０ａ〜１０ｃに示した微小電気機械部品を製造する方法を説明するための概略断面図である。
【図１２ａ】図１２ａ，１２ｂは、本発明の別の実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図１２ｂ】図１２ａ，１２ｂは、本発明の別の実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図１３】本発明のさらに別の実施形態による微小電気機械部品を製造する方法を説明するための概略的なフロー図である。
【図１４ａ】図１４ａ〜１４ｄは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図１４ｂ】図１４ａ〜１４ｄは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図１４ｃ】図１４ａ〜１４ｄは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図１４ｄ】図１４ａ〜１４ｄは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図１５ａ】図１５ａ〜１５ｃは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図を示す図である。
【図１５ｂ】図１５ａ〜１５ｃは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図を示す図である。
【図１５ｃ】図１５ａ〜１５ｃは、本発明のさらなる実施形態による微小電気機械部品の概略断面図を示す図である。
【図１６】本発明の一実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【図１７】本発明の一実施形態による微小電気機械部品の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
全ての図面において、同じまたは機能的に同じ要素および装置には、特に明記しない限り同じ符号を付与している。方法ステップの番号は明確にするためのものであり、特に、特に明記しない限り、特定の時間的順序を意味するものではない。特に、幾つかの方法ステップを同時に実施することもできる。
【００２８】
図１は、本発明の一実施形態による微小電気機械部品を製造する方法を説明するための概略的なフロー図を示す。
【００２９】
ステップＳ０１では、複数の微小電気機械の基本素子を有する第１のウェーハを供給し、特に製造する。ウェーハは、特にシリコンウェーハであってもよい。微小電気機械の基本素子は、次に、例えばボンディングによって第１のウェーハに電気的および／または機械的に接続してもよいし、または第１のウェーハ内に形成してもよい。
【００３０】
ステップＳ０２では、微小電気機械基本素子に、または微小電気機械基本素子上に、好ましくはウェーハレベルで、それぞれの容器構造が形成される。代替的には、それら基本素子を、ウェーハのそれぞれの部分と一緒に互いに分離し、チップスケールパッケージとしてさらに処理してもよい。
【００３１】
ステップＳ０３では、オイルまたはゲルを、好ましくは同様にウェーハレベルで、例えば充填によって容器構造内に配置する。
【００３２】
図２は、本発明の他の実施形態による微小電気機械部品を製造する方法を説明するための概略的なフロー図を示す。図２に示す方法は、図１に示した方法の一実施形態である。
【００３３】
図２に示す方法によれば、容器構造を形成するステップＳ０２は、以下のステップを含む。即ち、ステップＳ０２１において、微小電気機械基本素子上に、または微小電気機械基本素子にポリマー層を形成する。ステップＳ０２２において、ポリマー層を構造化する。オプションのステップＳ０４において、容器構造を、好ましくは気密に封止してもよい。ステップＳ０４は、好ましくは、ステップＳ０３においてオイルを使用する場合に実施する。ゲルを使用する場合には、容器構造は、幾つかの用途では封止しなくてもよく、このことは、例えば、部品の重さがより軽く、製造時の技術的労力がより少なくてすむという利点をもたらすことができる。オプションのステップＳ０５において、別の微小電気機械素子をこの基本素子に電気的に接続することができる。続いて、完成した個々の微小電気機械部品を互いに分離することができる。
【００３４】
好ましい改良形態を、図３ａ〜３ｃに基づいて以下で説明する。
【００３５】
図３ａ〜図３ｃには、より良い理解のために、既に分離し、完成した微小電気機械部品１００ａ〜１００ｃを示している。しかしながら、言及する構造および方法ステップは、好ましくは、ウェーハレベルまたはチップスケールパッケージレベルで構成もしくは実施することを理解されたい。
【００３６】
図３ａは、図２による方法の変形例にしたがって製造可能な微小電気機械部品１００ａを示す。図３ａによれば、提供する微小電気機械基本素子１１０ａは、キャビティ１３０を有するＭＥＭＳ圧力センサであってもよく、基本素子１１０ａにおいて、キャビティ１３０は、圧力センサ膜１３２によって環境から密閉されている。基本素子１１０ａの膜１３２と同じ側に、膜１３２に隣接して、電気接点または抵抗器１３４、例えば圧電抵抗体を配置しており、この圧電抵抗体は、めっきスルーホール１３６によって、基本素子１１０ａの裏面、すなわち、膜１３２を有する外側に向いていない方の外側に接続している。
【００３７】
特に接点または抵抗器１３４の形成前に、膜１３２を有する基本素子１１０ａの外側に、ステップＳ０２１においてポリマー層１５０を形成することができ、続いてステップＳ０２２において、例えばフォトリソグラフィまたはエッチングによってポリマー層１５０を構造化する。ポリマー層１５０を構造化するステップＳ０２２は、特に、ポリマー層１５０の残りの部分が、既に形成されているかまたは後に形成される接点または抵抗器１３４と、膜１３２とを横方向に取り囲む閉じたリング構造を有するように行う。ポリマー層１５０に残されたリング構造に充填をすることによってオイル４０を配置するステップＳ０３を行うことができ、したがって、リング構造は容器構造１１２ａとして機能する。
【００３８】
オイル４０が容器構造１１２ａから漏れ出ることを防止するために、続いて図２に示した方法のオプションのステップＳ０４において、封止要素１１４ａによって容器構造１１２ａを、好ましくは気密に封止することができる。封止要素１１４ａは、例えば、シートまたはプレートであってもよい。封止要素１１４ａを容器構造１１２ａに結合するためには、例えば、熱的に活性化可能である、すなわち熱の作用下で隣接する要素、この場合は容器構造１１２ａと融合するシートを封止要素１１４ａとして使用することが可能である。
【００３９】
シートは、プラスチック、合成樹脂、またはポリマーからなってもよい。シートは金属シートであってもよいし、または金属とポリマーとの混合物から形成されていてもよい。例えば、シートはブリスターシート（「パウチシート」）であってもよい。シートは柔軟であってもよく、したがって、一方の側から他方の側へ圧力を伝達する膜として機能する。
【００４０】
したがって、図２に示した方法のオプションのステップＳ０４において、例えば、封止要素１１４ａとして容器構造１１２ａに配置されたシートに熱を加えることによって、容器構造１１２ａを容器構造１１２ａに配置されたオイル４０によって封止することができる。代替的には、封止要素１１４ａを容器構造１１２ａに結合し、オイル４０を封じ込めるために、例えばＵＶ光または熱を使用して実施することができる接着技術を使用して、例えば封止要素１１４ａであるプレートを容器構造１１２ａに接着してもよい。ボンディング技術もまた使用することができる。
【００４１】
容器構造１１２ａのオプションの封止するステップＳ０４の後に、さらなるオプションのステップＳ０５において、別の微小電気機械素子１２０、例えば、特定用途向け集積回路ＡＳＩＣを、めっきスルーホール１３６を介して基本素子１１０ａに電気的に接続することができる。
【００４２】
図３ｂは、図２に示す方法のそのような変形例にしたがって製造することができる微小電気機械部品１００ｂを示す。
【００４３】
特に、別の微小電気機械素子１２０は、圧力センサとして構成された基本素子１１０ａの圧力センサ信号を評価するように構成してもよい。したがって、容器構造１１２ａ、基本素子１１０ａ、および別の微小電気機械素子１２０からなる特に小型の層状のアセンブリは、基本素子１１０ａの膜１３２に向いていない方の側に、本明細書に記載の方法によって製造することができる微小電気機械部品１００ｂを形成することができる。その別の微小電気機械素子１２０を貫通するさらなるめっきスルーホール１３８を介して、その圧力センサ信号および／または、別の微小電気機械素子１２０によって生成される信号を外部で捕捉することができる。
【００４４】
図３ｃは、図２に示した方法の別の変形例にしたがって製造することができる微小電気機械部品１００ｃを示す。図３ｃは、図３ａに示した方法に対して代替的に、容器構造１１２ａとして機能するポリマー層１５０の残されているリング構造に、オイル４０の代わりにゲル４２を完全にまたは部分的に充填している。この場合、有利にはゲルの高い粘度に基づいて、図３ｃに示すように、容器構造１１２ａの封止を省略することができる。
【００４５】
図４は、本発明の別の実施形態による微小電気機械部品を製造する方法を説明するための概略的なフロー図を示す。図４に示す方法は、図２に示した方法の変形例を示す。図４に示す方法では、容器構造を形成するステップＳ０２は、少なくとも１つ、好ましくはそれぞれ１つの微小電気機械または微小機械の構造を微小電気機械の基本素子に取り付けるステップＳ０２３を含む。上述のように、特に、第２のウェーハを第１のウェーハに結合することによって、別の微小電気機械または微小機械の構造を微小電気機械の基本素子に配置することができる。
【００４６】
図５ａは、図４に示した方法の変形例にしたがって製造することができる微小電気機械部品１００ｄを示す。図５ａは、特に膜１３２も配置されている基本素子１１０ａの外側に微小機械のキャップを接着することによって、微小機械構造として微小機械キャップ１１２ｂ、例えば、いわゆる「ＭＥＭＳキャップ」を図３ａの基本素子１１０ａに配置する方法を示す。容器構造として機能する微小機械キャップ１１２ｂは、少なくとも１つの充填開口１１６ａを有し、この充填開口１１６ａを介して微小機械キャップ１１２ｂの取付けＳ０２３の後にオイル４０を容器構造内に充填する。オイル４０の充填後に、微小機械キャップ１１２ｂは、例えば図３ａに基づいて説明したように、封止要素１１４ａであるシートまたはプレートによって閉じることができる。微小機械的なキャップ１１２ｂは、特にガラスまたはシリコンからなってもよい。したがって、ウェーハレベルで微小機械キャップ１１２ｂを基本素子１１０ａに取り付けるように構成した第２のウェーハは、「ガラスキャップウェーハ」と呼ぶことができる。
【００４７】
図５ａに基づいて説明した方法に対して代替的に、微小機械キャップ１１２ｂを異なる方法で閉じることができ、これにより、図５ｂに概略的に示す微小機械部品１００ｅを製造することができる。
【００４８】
図５ｂは、微小機械キャップ１１２ｂが２つの充填開口１１６ｂを有し、これらの充填開口１１６ｂがそれぞれ、はんだバンプ１１４ｂまたは封止要素である金属シールによって閉じることを概略的に示している。言い換えれば、容器構造として機能する微小機械キャップ１１２ｂを封止するステップＳ０４において、はんだボールまたははんだバンプをキャップ１１２ｂの充填開口１１６ｂに的を定めて適用することにより、充填開口１１６ｂを封止する方法ステップを実施することができる。全ての基本素子１１０ａへの微小機械キャップ１１２ｂを取り付けるステップＳ０２３と同様に、キャップ１１２の内側へオイル４０を充填もしくは配置するステップＳ０３、および、シートまたはプレートによる、またははんだバンプ１１４ｂによる１つの充填開口１１６ｂまたは複数の充填開口１１６ｂの封止をウェーハレベルで行うこともできる。
【００４９】
図５ｃは、図５ａにしたがって説明した方法の変形例であり、微小電気機械部品１００ｆを製造する製造方法を示す。図３ｃに関連して説明した方法と同様に、図５ｃに示す方法では、オイル４０の代わりにゲル４２を使用する。したがって、容器構造は、例えば、単一の比較的面積の大きい充填開口１１６ｃを有する微小機械キャップ１１２ｃによって形成してもよい。充填開口１１６ｃは、キャップ１１２ｃによって定める中空スペース内にゲル４２を配置するために使用し、次いで、封止されないままとしてもよく、したがって、特に単純な方法を提供する。
【００５０】
図６は、本発明の別の実施形態による微小機械部品を製造する方法を説明するための概略的なフロー図を示す。図６に示す方法は、図２に示した方法の変形例である。図６に示す方法では、容器構造を形成するステップＳ０２は、例えば図７に微小電気機械部品１００ｇで示すように、薄膜カプセル１１２ｄを形成するステップＳ０２４を含む。
【００５１】
薄膜カプセル１１２ｄは、例えば、スパッタリングまたは化学気相成長（ＣＶＤ）によって製造することができる。薄膜カプセル１１２ｄは、充填開口１１６ｄをもつように形成してもよく、この充填開口は、例えば図３ａに関して説明したように、要素１１４ａであるシートまたはプレートによって閉じることができる。
【００５２】
図８は、本発明の別の実施形態による、微小機械部品１００ｈ、１００ｉ、１００ｋ、１００ｌを製造する方法を説明するための概略的なフロー図である。
【００５３】
図８に示す方法は、図１に示した方法の変形例であり、特に図１に示した方法とは異なり、ステップＳ０６において、特定用途向け集積回路ＡＳＩＣ１２２ａ、１２２ｂを容器構造内のオイル４０またはゲル４２内に配置する。以下に、図９ａ〜図９ｄに基づいて図８に示す方法をより詳細に説明する。図８に示す方法のステップＳ０２は、図２、図４または図６に基づいて説明したように実施できることは自明である。同様に、図８に示す方法は、例えば図２に関して説明したように、オプションのステップＳ０４およびＳ０５を有していてもよい。
【００５４】
図９ａは、図８に示した方法の変形例を示し、このために、微小機械部品１００ｈを示し、図３ａに関して説明した基本素子１１０ａには、同様に図３ａに関して説明したように、封止要素１１４ａを有する容器構造１１２ａを形成している。オイル４０内および容器構造１１２ａ内にはＡＳＩＣ１２２ａを配置しており、ＡＳＩＣ１２２ａの接点は、基本素子１１０ａの接点または抵抗器１３４に電気的および機械的に接続している。
【００５５】
図９ｂに示すように、微小電気機械部品１００ｉは、例えば、図９ａに関して説明したように、微小電気機械部品１００ｄの微小機械キャップ１１２ｂ内にＡＳＩＣ１２２ａを配置することによって製造することもできる。具体的には、まず、ＡＳＩＣ１２２ａを基本素子１１０ａの接点または抵抗器１３４に接合し、その後に、ＡＳＩＣ１２２ａを取り囲むように微小機械キャップ１１２ｂを基本素子１１０ａに接合することができる。その後、例えば、図５ａに関して説明したように、キャップ１１２ｂには、オイル４０を注入または充填し、封止要素１１４ａによって封止してもよい。代替的には、例えば図５ｂに関して説明したように、キャップ１１２ｂの充填開口１１６をはんだボールにより封止することもできる。
【００５６】
図９ｃにも示すように、容器構造内には、例えば立方体状の隆起部を有するＡＳＩＣ１２２ｂを配置することもでき、ＡＳＩＣ１２２ｂは、隆起部が基本素子１１０ａの膜１３２のちょうど上方に位置し、これにより膜１３２のすぐ近くに別のキャビティ１４０を生成するように基本素子１１０ａに配置する。例えば、圧力均等化のために、ＡＳＩＣ１２２ｂを貫通するチャネル１４２を形成することができる。図９ｃに示すように、これらのチャネル１４２は小さい直径を有してもよく、キャビティ１４０と、ＡＳＩＣ１２２ｂを取り囲むオイル４０との間で圧力均等化を行うことができるが、同時に、キャビティ１４０内には少量のオイル４０しか入り込むことができない。
【００５７】
図９ｃに示すように、部品１００ｋには、図３ａに関して説明したように、容器構造１１２ａおよび関連の封止要素１１４ａが形成されている。当然ながら、代わりに容器構造を基本素子に形成するための上述した他のすべての方法および変形例を使用することもできる。
【００５８】
図９ｄは、例えばＡＳＩＣ１２２ｂが、図３ｃで説明したような容器構造によって形成されている場合、すなわち、ゲル４２で充填されており、封止されていない場合を示している。
【００５９】
もちろん、ゲル４２によって取り囲まれたオプションの他のＡＳＩＣを、封止されていない容器構造１１２ａ内に配置してもよい。
【００６０】
図１０ａ〜１０ｃは、本発明のさらに別の実施形態による微小電気機械部品１００ｍの概略断面図を示す。
【００６１】
図１０ａは、部品１００ｍの概略平面図を示し、図１０ｂは、図１０ａのＡ‐Ａ線に沿った断面図を示し、図１０ｃは、図１０ａのＢ‐Ｂ線に沿った断面図を示す。
【００６２】
部品１００ｍは、部品１００ｄまたは部品１００ｅの変形例であり、部品１００ｄまたは部品１００ｅとは異なり、容器構造１１２ｂの代わりに容器構造１１２ｅを有する。容器構造１１２ｅは、図１０ａに示すようにＵ字形に構成された容器構造１１２ｅの充填開口１１６ｅの形状によって容器構造１１２ｂとは異なる。したがって、容器構造１１２ｅのカバーの、３つの側がＵ字形によって囲まれた領域は、カンチレバー１１７として構成されている。充填開口１１６ｅは、図１０ａ〜図１０ｃでは誇張して大きく示している。この充填開口１１６ｅは有利である。
【００６３】
図１１ａ〜図１１ｃは、微小電気機械部品１００ｍの製造方法を説明するための、図１０ｃに類似した、すなわち図１０ａの断面線Ｂ‐Ｂに沿った、部品１００ｍの概略断面図を示す。部品１００ｍは、まず、部品１００ｄまたは部品１００ｅに関して説明したのと同様に形成することができる。容器構造１１２ｅ内へのオイル４０の配置Ｓ０３のために、図１１ａに示すように、充填ノズル１８０を充填開口１１６ｅの方向に動かすことができる。充填ノズル１８０によってカンチレバー１１７を基本素子１１０ａの方向に押し込むことができ、充填ノズル１８０から、容器構造１１２ｅによって覆われた領域へのオイル４０のためのアクセスが形成される（図１１ｂ）。オイル４０を配置するステップＳ０３の後には、充填ノズル１８０は再び基本素子１１０ａから引き離す（図１１ｃ）。
【００６４】
有利には、例えばシリコンにより形成された容器構造１１２ｅの材料の弾性的な特性に基づき、カンチレバー１１７は次に自動的に閉じる。したがって、カンチレバー１１７は開閉弁として機能する。充填開口１１６ｅは、カンチレバー１１７が閉じた状態で、狭い充填開口１１６ｅおよびオイル４０の表面張力に基づいてオイル４０が容器構造１１２ｅ内に留まるような寸法によりオイル４０に適合させて構成する。したがって、充填開口１１６ｅの付加的な封止を省略することができる。上述のような部品１００ｍの形成、特にオイル４０を配置するステップＳ０３は、分離された部品において行うことができるが、有利には、複数の部品１００ｍについてウェーハレベルで同時に行うことができる。
【００６５】
図１２ａおよび１２ｂは、本発明の別の実施形態による微小電気機械部品１００ｎの概略断面図を示す。
【００６６】
微小電気機械的な部品１００ｎは、微小電気機械部品１００ｍの変形例であり、微小電気機械部品１００ｍとは異なって、容器構造１１２ｅは、基本素子１１０ａ自体に直接に配置しているのではなく、ウェーハ１６０上に配置しており、同様にウェーハ１６０に配置した基本素子１１０ａを取り囲む。
【００６７】
容器構造１１２ｅ内には、基本素子１１０ａに電気的に接続された別の微小電気機械素子、例えばＡＳＩＣ１２４をオプションとして配置することもできる。図１２ａに示すように、容器構造１１２ｅには、図１１ａ〜図１１ｃに関して説明したようにオイル４０を充填することができる。図１２ｂに示すように、充填開口１１６ｅは、多孔質膜などの封止要素１１４ｄによって封止することができる。
【００６８】
図１２ａに示した微小電気機械部品１００ｎは、ウェーハアセンブリ、すなわち、単一のウェーハ１６０における複数の基本素子１１０ａ、ＡＳＩＣ１２４、および容器構造１１２ｅの配置を表すことができる。代替的には、図１２ａに示した微小電気機械部品１００ｎは、パッケージレベルで、すなわち分離後に完成させ、特にオイル４０を充填することもできる。
【００６９】
図１３は、本発明の別の実施形態による、微小電気機械部品１００ｏ、図１００ｐ、１００ｑ、１００ｒを製造する方法を説明するための概略的なフロー図を示す。
【００７０】
図１３に示す方法は、上述のように図１〜図９ｄに示したいずれか１つの方法の変形例であり、それらの方法とは異なって、図１４ａ〜図１４ｄに基づいて以下に示すように、ステップＳ０７において、別の（例えば、第２の）容器構造１１３ａ、１１３ｂ、１１３ｃを、好ましくはウェーハレベルで、基本素子１１０ａの周りに、基本素子１１０ａに取り付けた容器構造１１２ａと共に配置し、ステップＳ０８において、好ましくはウェーハレベルで、別のオイルまたはゲル４４を別の容器構造１１３ａ、１１３ｂ、１１３ｃ内に配置する。
【００７１】
図１４ａ〜図１４ｄは、本発明の実施形態による分離された微小電気機械部品１００ｏ〜１００ｒをさらに示す。微小電気機械部品１００ｏ〜１００ｒは、共通のウェーハ１６０に（例えば、分離されるまで）複数個一緒に配置してもよく、図１４ａ〜１４ｄは、本発明の実施形態によるウェーハアセンブリをも示す。
【００７２】
図１４ａに基づいて説明する、図１３に示した方法の変形例では、図３ａに基づいて説明したように、微小電気機械部品１００ａを取り囲むように容器構造１１３ａを、部品１００ａも配置されているウェーハ１６０上に配置する。図３ａに基づいて容器構造１１２ａに関して説明したように、容器構造１１３ａは、特にフォトリソグラフィおよび／またはエッチングによってポリマー層を構造化することによって形成することもできる。しかしながら、代替的には、他の容器構造、例えば微小機械キャップの容器構造１１２ｂを、微小電気機械部品１００ａを取り囲むようにウェーハ１６０上に配置することもできる。
【００７３】
ステップＳ０８では、別のオイルまたはゲル４４を別の容器構造１１３ａ内に配置する。特にオイルを使用する場合には、続いて、容器構造１１２ａに関して上述したように、すなわち、特に封止要素１１４ａであるシートまたはプレート、またははんだバンプ１１４ｂなどによって別の容器構造１１３ａを閉じることができる。
【００７４】
図１４ａに示す方法では、ＡＳＩＣ１２４をウェーハ１６０の外側に配置し、この外側は、微小電気機械部品１００ａおよび別の容器構造１１３ａが配置されたウェーハ１６０外側に向いていない側であり、ＡＳＩＣ１２４は、例えばめっきスルーホールまたは埋め込まれた導体１４６を介してウェーハ１６０を貫通して、および／またはボンディングワイヤ１４２を介して微小電気機械部品１００ａに接続されている。図１４ａに示したウェーハ１６０、１つの部品１００ａもしくは複数の部品１００ａ、１つの容器構造１１３ａもしくは複数の容器構造１１３ａ、および容器構造１１３ａに接続された１つのＡＳＩＣ１２４もしくは複数のＡＳＩＣ１２４からなる装置は、この場合にも「ウェーハアセンブリ１００ｏ」または分離後には「微小電気機械部品」と呼ぶことができる。
【００７５】
図１４ｂに基づいて説明する、図１４ａに示した方法の変形例では、図３ａに示す部品１００ａの代わりに図３ｃに示した部品１００ｃを使用する。内部凝集力、および好ましくはより大きい粘度に基づいて、図１４ｃに示すように、別のゲル４４は、部品１００ｃの容器構造１１２ａ内のゲル４２に対する境界層を有することができる。図１４ｂに示すウェーハ１６０、１つの部品１００ｃまたは複数の部品１００ｃ、１つの容器構造１１３ａまたは複数の容器構造１１３ａ、および容器構造１１３ａに接続された１つのＡＳＩＣ１２４または複数のＡＳＩＣ１２４からなる装置は、この場合にも「ウェーハアセンブリ１００ｐ」、または分離後には「微小電気機械部品」と呼ぶことができる。
【００７６】
図１４ｃに基づいて説明する、図１４ｂに示した方法の変形例では、ＡＳＩＣ１２４は、ウェーハ１６０の、微小電気機械部品１００ａが配置されているのと同じ外面に配置し、例えばボンディングワイヤ１４２によって部品１００ａに電気的に接続する。例えば図１４ａに関して説明したように、部品１００ａおよびＡＳＩＣ１２４を一緒に取り囲むように容器構造１１３ａを配置しており、容器構造１１３ａ内には別のゲル４４を配置している。したがって、例えば、ＡＳＩＣ１２４と部品１００ａとの間のボンディングワイヤ１４２も別のゲル４４によって環境の影響から保護されている。図１４ｃに示すウェーハ１６０、１つの部品１００ａまたは複数の部品１００ａ、１つの容器構造１１３ａまたは複数の容器構造１１３ａ、および容器構造１１３ａに接続された１つのＡＳＩＣ１２４または複数のＡＳＩＣ１２４の装置は、この場合にも「ウェーハアセンブリ１００ｏ」、または分離後には「微小電気機械部品」と呼ぶことができる。
【００７７】
図１４ａに示したウェーハ装置１００ｏの場合にも、ウェーハ１６０の同じ側に基本素子１１０ａおよびＡＳＩＣ１２４を配置することができることは自明である。
【００７８】
図１４ｄに基づいて説明する、図１４ｂに示した方法の変形例では、ウェーハ１６０には、互いに分離した２つのチャンバを有する容器構造１１３ｃを配置し、２つのチャンバのうちの第１のチャンバ内には構成要素１００ａおよび別のゲル４４を配置しており、２つのチャンバのうちの第２のチャンバ内にはＡＳＩＣ１２４およびさらに別のゲル４６またはオイルを配置している。２つのチャンバは、共通の壁を有することができ、この壁の下方には、部品１００ａとＡＳＩＣ１２４とを電気的に接続するための接続導体が、例えばウェーハ１６０内に延在することができる。
【００７９】
容器構造１１３ｃは、容器構造１１２ａに関して説明したのと技術的に同様に製造することができる。容器構造１１３ｃの両方のチャンバにオイルを配置してもよいし、または容器構造１１３ｃの両方のチャンバにゲルを配置してもよい。それぞれのチャンバは、特にオイルがそれぞれのチャンバ内に配置されている場合には、上述のように封止要素によって封止することもできる。
【００８０】
図１５ａ〜図１５ｃに示すように、上述のように、容器構造、例えばポリマー層からなる容器構造１１２ａは、基本素子１１０ａにおいて空けておくべき領域、例えば膜１３２から、微小電気機械基本素子１１０ａの表面に使用されるエポキシ樹脂（または他の材料）を遠ざけるために使用することができる。これは、図１５ａに示すように、包囲しているエポキシ樹脂（または他の材料）に対してリング状の容器構造１１２ａによって、または図１５ｂに示すように、一方側に設けたエポキシ樹脂（または他の材料）に対してリング状の容器構造１１２ａによって、または図１５ｃに示すように、単一の壁として形成された分離構造１１２ｆによって行うことができる。分離構造１１２ｆは、容器構造と同じ方法で、特にポリマー層１５０から製造することができる。
【００８１】
図１６は、本発明の実施形態による微小電気機械部品１００ｓの概略断面図を示し、部品１００ｓは同様に上記いずれか１つの製造方法によって製造することができる。部品１００ｓは部品１００ｄの変形例であり、部品１００ｄとは異なって、容器構造１１２ａ内に配置した圧電抵抗器１５２を、埋め込んだ導体１４８によってボンディングパッド１４９に電気的に接続している。ボンディングパッド１４９は、容器構造１１２ｂの外側に配置しているが、部品１００ｓの基本素子１１０ｓの、容器構造１１２ｂが配置されているのと同じ表面に配置している。ボンディングパッド１４９はボンディングワイヤ１４２を介してウェーハ１６０に電気的に接続している。ボンディングパッド１４９、ボンディングワイヤ１４２、および基本素子１１０ｓには、例えばエポキシ樹脂などの材料１１５ａを注ぎ込んでいる。したがって、容器構造１１２ｂは、膜１３２を保護するために配置したオイル４０を材料１１５ａから分離する。
【００８２】
図１７は、本発明の一実施形態による微小電気機械部品１００ｓｌ００ｔの概略断面図を示す。部品１００ｓｌ００ｔにおいて、基本素子１１０ａには、図１５ｃに示すような分離構造１１２ｆを設け、また基本素子１１０ａはキャビティ１７０内に配置し、このキャビティは、キャビティ１７０の内側の側壁１７２が分離構造１１２ｆと一緒に容器構造１１２ｇをなすように形成されている。容器構造１１２ｇ内にはゲル４２を配置し、ゲル４２によって、基本素子１１０ａの膜１３２を環境の影響から保護している。
【００８３】
分離構造１１２ｆの、ゲル４２に向いていない方の側には、別の材料１１５ｂ、例えば別のゲルまたはエポキシ樹脂を、分離構造１１２ｆによってゲル４２から遠ざけられた状態に保ち、同様にキャビティ１７０内に配置している。材料１１５ｂには、ボンディングパッド１４９およびボンディングワイヤ１４２を埋め込んでいてもよい。キャビティ１７０は、例えば、封止要素１１４ａのように形成することができる封止要素１１４ｃによって封止することができる。
【００８４】
上述の全ての方法において、ＭＥＭＳ圧力センサとは異なる微小電気機械部品、例えば、特定用途向け集積回路を基本素子として使用することもできることは明らかである。ＭＥＭＳ圧力センサの膜を保護する代わりに、例えばオイルまたはゲルによって特定用途向け集積回路の接点またはめっきスルーホールを環境の影響から保護することもできる。例えば、基本素子またはウェーハの側面または表面の接点が容器構造および容器構造内に配置されたオイルまたはゲルによって保護されていない場合には、アンダーフィルによって保護してもよい。
【００８５】
容器構造を形成するための微小機械または微小電気機械の構造が基本素子に接続される全ての場合において、この構造は、特にカバー内にカンチレバーを備えていてもよく、このカンチレバーを介して、基本素子との接続後に、オイルまたはゲルが充填可能であり、カンチレバーは、次いで復元力によって、オイルまたはゲルが構造内に閉じ込められた状態に保持する位置に戻る。このような変形例では、別個の封止要素を省略することができ、これにより技術的労力を低減することができる。カンチレバーを有するこのような変形例は、図１０ａ〜図１２ｂに関して上述したように構成することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図３ｃ】
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【図４】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図５ｃ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９ａ】
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【図９ｂ】
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【図９ｃ】
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【図９ｄ】
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【図１０ａ】
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【図１０ｂ】
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【図１０ｃ】
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【図１１ａ】
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【図１１ｂ】
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【図１１ｃ】
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【図１２ａ】
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【図１２ｂ】
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【図１３】
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【図１４ａ】
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【図１４ｂ】
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【図１４ｃ】
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【図１４ｄ】
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【図１５ａ】
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【図１５ｂ】
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【図１５ｃ】
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【図１６】
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【図１７】
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