(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を搬送用円軌道に沿って搬送する回転搬送部と、
前記回転搬送部との間で前記電子部品の受け渡しを行うための受渡位置を含む第１可動範囲にて、複数の前記電子部品の収容体を前記搬送用円軌道の中心軸線に垂直な面において互いに交差する２方向に移動させる第１駆動部と、
前記受渡位置を含む第２可動範囲にて、前記収容体を前記中心軸線に垂直な面において互いに交差する２方向に移動させる第２駆動部と、
前記第１駆動部と前記第２駆動部とを制御する搬送制御部と、を備え、
前記第１駆動部は、前記中心軸線に平行な方向にも前記収容体を移動させるように構成されており、
前記搬送制御部は、
前記受渡位置において、前記第１駆動部により前記中心軸線に垂直な順送り方向に先行の前記収容体を移動させることと、
前記受渡位置において、前記第２駆動部により前記順送り方向に後続の前記収容体を移動させることと、
前記受渡位置の後続の前記収容体との衝突回避が可能な第１回避領域に先行の前記収容体を配置するように、前記第１駆動部により前記中心軸線に平行な方向に先行の前記収容体を移動させることと、
前記第１回避領域において、前記第１駆動部により前記順送り方向の逆方向に先行の前記収容体を移動させることと、を実行するように構成されている電子部品の搬送装置。
【請求項２】
前記搬送制御部は、
前記受渡位置において、前記第２駆動部により前記順送り方向に先行の前記収容体を移動させることと、
前記受渡位置において、前記第１駆動部により前記順送り方向に後続の前記収容体を移動させることと、
前記受渡位置の後続の前記収容体との衝突回避が可能な第２回避領域に先行の前記収容体を配置するように、前記第２駆動部により前記中心軸線から遠ざかる方向に先行の前記収容体を移動させることと、
前記第２回避領域において、前記第２駆動部により前記順送り方向の逆方向に先行の前記収容体を移動させることと、を更に実行するように構成されている、請求項１記載の電子部品の搬送装置。
【請求項３】
電子部品を搬送用円軌道に沿って搬送する回転搬送部と、
前記回転搬送部との間で前記電子部品の受け渡しを行うための受渡位置を含む第１可動範囲にて、複数の前記電子部品の収容体を前記搬送用円軌道の中心軸線に垂直な面において互いに交差する２方向に移動させる第１駆動部と、
前記受渡位置を含む第２可動範囲にて、前記収容体を前記中心軸線に垂直な面において互いに交差する２方向に移動させる第２駆動部と、
前記第１駆動部と前記第２駆動部とを制御する搬送制御部と、を備え、
前記搬送制御部は、
前記受渡位置において、前記第１駆動部により前記中心軸線に垂直な順送り方向に先行の前記収容体を移動させることと、
前記受渡位置において、前記第２駆動部により前記順送り方向に後続の前記収容体を移動させることと、
前記受渡位置の後続の前記収容体との衝突回避が可能な回避領域に先行の前記収容体を配置するように、前記第１駆動部により前記中心軸線に垂直な方向に先行の前記収容体を移動させることと、
前記回避領域において、前記第１駆動部により前記順送り方向の逆方向に先行の前記収容体を移動させることと、を実行するように構成されている電子部品の搬送装置。
【請求項４】
前記受渡位置は、前記回転搬送部から前記電子部品を受け取るための位置であり、
前記搬送制御部は、前記収容体における前記複数の電子部品の受け入れ位置を前記受渡位置に順次配置するように前記第１駆動部及び前記第２駆動部を制御する、請求項１〜３のいずれか一項記載の電子部品の搬送装置。
【請求項５】
前記受渡位置は、前記回転搬送部に前記電子部品を渡すための位置であり、
前記搬送制御部は、前記収容体における前記複数の電子部品の引き渡し位置を前記受渡位置に順次配置するように前記第１駆動部及び前記第２駆動部を制御する、請求項１〜３のいずれか一項記載の電子部品の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、電子部品の搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、周囲に複数の作業ステーションを配置したロータリーインデックステーブルと、特定ステーションにおいて物品を吸着し、他ステーションで該物品を釈放する真空吸着ヘッドとを備える物品移送装置が開示されている。この物品移送装置では、一つのステーションにＸ−Ｙテーブルが配置されている。Ｘ−Ｙテーブルは電子部品を整列収納したトレイを載置しており、電子部品を１個ずつ順次真空吸着ヘッドの降下地点に到着させている。特許文献２には、マトリクス状に配置された複数の凹部が上面に形成された整列トレイと、Ｘ−Ｙテーブルから構成された整列トレイ移動手段とを備える実装部材供給装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭５６−１２２７２４号公報
【特許文献２】特開２０１６−９２４２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、電子部品を効率的に搬送するのに有用な搬送装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一側面に係る電子部品の搬送装置は、電子部品を搬送用円軌道に沿って搬送する回転搬送部と、回転搬送部との間で電子部品の受け渡しを行うための受渡位置を含む第１可動範囲にて、複数の電子部品の収容体を搬送用円軌道の中心軸線に垂直な面において互いに交差する２方向に移動させる第１駆動部と、受渡位置を含む第２可動範囲にて、収容体を中心軸線に垂直な面において互いに交差する２方向に移動させる第２駆動部と、を備える。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、電子部品を効率的に搬送するのに有用な搬送装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、電子部品の搬送装置を模式的に例示する平面図である。
【図２】図２は、部品回収ユニットを模式的に例示する側面図である。
【図３】図３は、部品回収ユニットを模式的に例示する平面図である。
【図４】図４は、コントローラの機能上の構成を例示するブロック図である。
【図５】図５は、コントローラのハードウェア構成を例示するブロック図である。
【図６】図６は、部品回収手順を例示するフローチャートである。
【図７】図７（ａ）は、収容体の搬送動作を説明するための模式的な平面図である。図７（ｂ）は、収容体の追従動作を説明するための模式的な平面図である。
【図８】図８（ａ）及び図８（ｂ）は、収容体の入替動作の一例を説明するための模式的な側面図である。
【図９】図９は、一方の駆動部による収容体の交換手順を例示するフローチャートである。
【図１０】図１０（ａ）は、収容体の交換手順を説明するための模式的な平面図である。図１０（ｂ）は、収容体の交換手順を説明するための模式的な側面図である。
【図１１】図１１（ａ）は、収容体の搬送動作を説明するための模式的な平面図である。図１１（ｂ）は、収容体の追従動作を説明するための模式的な平面図である。
【図１２】図１２は、収容体の入替動作の一例を説明するための模式的な平面図である。
【図１３】図１３は、他方の駆動部による収容体の交換手順を例示するフローチャートである。
【図１４】図１４（ａ）は、収容体の交換手順を説明するための模式的な平面図である。図１４（ｂ）は、収容体の交換手順を説明するための模式的な側面図である。
【図１５】図１５は、部品回収手順の別の例を示すフローチャートである。
【図１６】図１６（ａ）及び図１６（ｂ）は、収容体の入替動作の一例を説明するための模式的な側面図である。
【図１７】図１７（ａ）及び図１７（ｂ）は、収容体の入替動作の一例を説明するための模式的な平面図である。
【図１８】図１８は、収容体の入替動作の一例を説明するための模式的な側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。図面には必要に応じてＸＹＺ直交座標系が示される。例えば、Ｘ軸及びＹ軸が水平方向であり、Ｚ軸が鉛直方向である。
【０００９】
［搬送装置］
本実施形態に係る電子部品の搬送装置１は、所謂ダイソータ等（電子部品の処理装置）に用いられる。搬送装置１（電子部品の処理装置）は、ダイシングなどの前工程で形成された電子部品Ｗを搬送しながら、外観検査、電気特性検査、マーキング等の処理を施した上でトレイ、シート、テープ、及びコンテナチューブ等の収容体に梱包する装置である。図１及び図２に示されるように、搬送装置１は、回転搬送ユニット１０（回転搬送部）と、複数の処理ユニット３０と、コントローラ１００とを備える。
【００１０】
回転搬送ユニット１０は、電子部品Ｗを円軌道ＣＲ（搬送用円軌道）に沿って搬送する。搬送対象の電子部品Ｗは、互いに平行な二か所の主面Ｗａ，Ｗｂを有してもよい。主面Ｗａ及び主面Ｗｂに垂直な方向から見て、電子部品Ｗの形状は、長方形であってもよい。回転搬送ユニット１０は、ターンテーブル１２と、複数の保持部１４と、旋回駆動部１６と、複数の昇降駆動部１８とを有する。
【００１１】
ターンテーブル１２は、鉛直な中心軸線Ａｘまわりに回転可能となるように設けられている。複数の保持部１４は、中心軸線Ａｘを中心とする円周に沿って等間隔に配置されており、ターンテーブル１２に固定されている。複数の保持部１４のそれぞれは、電子部品Ｗを保持する。保持部１４はいかなる方式で電子部品Ｗを保持してもよい。電子部品Ｗを保持する方式の具体例としては、真空吸着、静電気式の吸着、及び把持等が挙げられる。例えば保持部１４は、ターンテーブル１２に垂直な方向（中心軸線Ａｘに平行な方向）の一方側から主面Ｗａ，Ｗｂのいずれか（例えば主面Ｗａ）を真空吸着する。
【００１２】
一例として、保持部１４は、図２に示されるように、吸着ノズル２２と、ホルダ２４と、スプリング２６とを有する。吸着ノズル２２は、電子部品Ｗの主面Ｗａを上方から真空吸着する。例えば吸着ノズル２２は、ターンテーブル１２に垂直に配置されており、吸着ノズル２２の下端部が鉛直下方に開口している。ホルダ２４は、ターンテーブル１２の外周部に固定され、吸着ノズル２２を昇降可能に保持する。スプリング２６は、その弾力により、吸着ノズル２２の下降に抗する。吸着ノズル２２の上端部に下向きの外力が付与された場合、スプリング２６は、吸着ノズル２２の下降に応じて弾性変形し、下向きの外力がなくなると弾性復帰して吸着ノズル２２を下降前の高さに押し戻す。
【００１３】
旋回駆動部１６は、例えば電動モータを動力源とし、ギヤを介さないダイレクトドライブによって中心軸線Ａｘまわりにターンテーブル１２を旋回させる。これにより、中心軸線Ａｘを中心とする水平な円軌道ＣＲまわりに複数の保持部１４が移動する。旋回駆動部１６は、隣り合う保持部１４同士の角度ピッチ（中心軸線Ａｘまわりの角度ピッチ）と同じピッチにて、ターンテーブル１２の回転と停止とを繰り返すように制御される。以下、旋回駆動部１６がターンテーブル１２を停止させる際に複数の保持部１４（吸着ノズル２２の下端部）がそれぞれ配置される複数の位置を「複数の停止位置ＳＰ」という。
【００１４】
複数の昇降駆動部１８は、複数の保持部１４の吸着ノズル２２を個別に昇降させる。なお、図１では昇降駆動部１８が省略されており、図２では複数の昇降駆動部１８のうちの１つの昇降駆動部１８が示されている。複数の昇降駆動部１８は、ターンテーブル１２と共に回転しないように、複数の停止位置ＳＰの上方にそれぞれ固定されている。昇降駆動部１８は、その下方に保持部１４が位置する状態にて、例えば電動モータ又はエアシリンダ等を動力源として吸着ノズル２２の上端部に下向きの力を付与する。これにより、吸着ノズル２２が下降する。吸着ノズル２２の上端部に下向きの力を付与した状態を昇降駆動部１８が解除すると、スプリング２６の弾力によって吸着ノズル２２が下降前の高さまで上昇する。
【００１５】
複数の処理ユニット３０は、全ての停止位置ＳＰのうちのいくつかの停止位置ＳＰにそれぞれ対応するように設けられている。なお、全ての停止位置ＳＰに処理ユニット３０が設けられてもよい。各処理ユニット３０は、停止位置ＳＰ（当該処理ユニット３０に対応する停止位置ＳＰ）に配置された電子部品Ｗに対して予め定められた処理を施す。ここでの「処理」は、電子部品Ｗの状態を変化させるあらゆる行為を含む。例えば電子部品Ｗにマーキング等を施すこと、電子部品Ｗを保持部１４に保持させること、及び保持部１４が解放した電子部品Ｗを回収することは「処理」に該当する。また、保持部１４による電子部品Ｗの保持位置を補正することも「処理」に該当する。更に、電子部品Ｗに対する何らかの検査を実行することも、検査データが未知の状態を検査データが既知の状態に変化させるので「処理」に該当する。
【００１６】
処理ユニット３０の具体例としては、部品供給ユニット４０が挙げられる。部品供給ユニット４０は、複数の電子部品Ｗを収容した収容体を、いずれかの停止位置ＳＰの近傍まで搬送する。収容体は、複数の電子部品Ｗをそれぞれ収容する複数の収容セルを有する。部品供給ユニット４０は、例えば、対応する停止位置ＳＰの鉛直下方に位置する受渡位置ＲＰ１に収容体上の収容セルを配置する。受渡位置ＲＰ１は、部品供給ユニット４０と回転搬送ユニット１０との間で電子部品Ｗの受け渡しを行うための位置（部品供給ユニット４０が回転搬送ユニット１０に電子部品Ｗを引き渡すための位置）である。一例として、当該停止位置ＳＰに位置する保持部１４（吸着ノズル２２）が鉛直下方に移動して、移動した保持部１４が、収容体のうちの受渡位置ＲＰ１に位置する収容セルの電子部品Ｗを受け取る。これにより、部品供給ユニット４０から回転搬送ユニット１０に電子部品Ｗが供給される。なお、部品供給ユニット４０用の収容体は、複数の電子部品Ｗが貼付されるシートも含まれる。すなわち、シートが粘着力によって電子部品Ｗを保持することも「収容」に含まれる。この場合、シートにおける個々の電子部品Ｗの貼付位置が、上記「収容セル」に相当する。
【００１７】
処理ユニット３０の別の例として、部品回収ユニット５０が挙げられる。部品回収ユニット５０は、複数の電子部品Ｗを収容することが可能な収容体を、いずれかの停止位置ＳＰの近傍まで搬送する。部品回収ユニット５０は、例えば、対応する停止位置ＳＰの鉛直下方に位置する受渡位置ＲＰ２に収容体上の収容セルを配置する。受渡位置ＲＰ２は、部品回収ユニット５０と回転搬送ユニット１０との間で電子部品Ｗの受け渡しを行うための位置（部品回収ユニット５０が回転搬送ユニット１０から電子部品Ｗを受け取るための位置）である。一例として、当該停止位置ＳＰに位置する保持部１４（吸着ノズル２２）が鉛直下方に移動して、移動した保持部１４が、受渡位置ＲＰ２に位置する収容セルに電子部品Ｗを引き渡す。これにより、回転搬送ユニット１０から部品回収ユニット５０に電子部品Ｗが回収される。
【００１８】
処理ユニット３０の他の例としては、位置補正ユニット、外観検査ユニット、電気特性検査ユニット、マーキングユニット、不良品回収ユニット等が挙げられる。位置補正ユニットは、保持部１４による電子部品Ｗの保持位置を補正する。外観検査ユニットは、電子部品Ｗの撮像画像に基づいて電子部品Ｗの外観を検査する。電気特性検査ユニットは、電子部品Ｗの電気特性を検査する。電気特性の具体例としては、端子間の電気抵抗、及び静電容量等が挙げられる。マーキングユニットは、レーザマーキング等により電子部品Ｗにマーキングを施す。不良品回収ユニットは、いずれかの検査において異常のあった電子部品Ｗをボックス等に回収する。
【００１９】
以下、収容体の一例である収容トレイ９０に電子部品Ｗを回収する部品回収ユニット５０の構成を説明する。図３に示されるように、収容トレイ９０は、２次元配列された状態の複数の電子部品Ｗを収容可能に構成されている。例えば、収容トレイ９０は、複数の収容セルとして、行列状に配列された複数の凹部９２を有する。凹部９２は、電子部品Ｗを収容可能な大きさに形成されている。凹部９２は、電子部品Ｗの外形に応じた形状（例えば、直方体状）に形成されていてもよい。複数の凹部９２に複数の電子部品Ｗがそれぞれ収容されることで、収容トレイ９０は、複数の電子部品Ｗを収容する。図２及び図３に示されるように、部品回収ユニット５０は、第１駆動部６０と、第２駆動部７０とを有する。
【００２０】
第１駆動部６０は、受渡位置ＲＰ２を含む第１可動範囲ＡＲ１にて、円軌道ＣＲの中心軸線Ａｘに垂直な面において互いに交差する２方向に収容トレイ９０を移動させる。第１可動範囲ＡＲ１は、第１駆動部６０が収容トレイ９０を移動させることが可能な範囲（領域）である。第１駆動部６０は、例えば、中心軸線Ａｘに垂直な平面（ターンテーブル１２に沿った平面）において、一つのラインに沿って収容トレイ９０を移動させ、当該ラインに垂直な他のラインに沿って収容トレイ９０を移動させる。図２及び図３に示される例では、第１駆動部６０は、Ｘ−Ｙ平面において、Ｘ軸に沿って収容トレイ９０を移動させ、Ｙ軸に沿って収容トレイ９０を移動させる。以下では、中心軸線Ａｘから受渡位置ＲＰ２に向かう方向を「Ｙ軸負方向」とし、受渡位置ＲＰ２から中心軸線Ａｘに向かう方向を「Ｙ軸正方向」とする。受渡位置ＲＰ２での円軌道ＣＲの接線に沿った一方向（図３紙面の左方向）を「Ｘ軸負方向」とし、受渡位置ＲＰ２での円軌道ＣＲの接線に沿った他の方向（図３紙面の右方向）を「Ｘ軸正方向」とする。
【００２１】
第１駆動部６０は、例えば、保持部６２と、昇降駆動部６４と、水平駆動部６６，６８とを有する。保持部６２は、搬送対象の収容トレイ９０を保持する。例えば保持部６２は、収容トレイ９０の下に配置され、複数の凹部９２の配列方向が中心軸線Ａｘに垂直な平面に沿うように収容トレイ９０を保持する。一例として、保持部６２は、複数の凹部９２の配列方向のうちの行方向がＸ軸に沿い、配列方向のうちの列方向がＹ軸に沿うように収容トレイ９０を保持する。昇降駆動部６４は、中心軸線Ａｘと平行なライン（Ｚ軸）に沿って収容トレイ９０を昇降（移動）させる。例えば昇降駆動部６４は、保持部６２の下に設けられ、保持部６２を昇降させる。これにより、保持部６２上の収容トレイ９０が昇降する。昇降駆動部６４の具体例としては、電動モータを動力源とする昇降アクチュエータが挙げられる。
【００２２】
水平駆動部６６及び水平駆動部６８は、中心軸線Ａｘに垂直な面内において互いに交差する２方向に収容トレイ９０を移動させる。例えば水平駆動部６６は、昇降駆動部６４の下においてＹ軸に平行に延びており、昇降駆動部６４をＹ軸に沿って（Ｙ軸正方向又はＹ軸負方向に）移動させる。これにより、保持部６２及び昇降駆動部６４上の収容トレイ９０がＹ軸に沿って移動する。水平駆動部６８は、水平駆動部６６の下においてＸ軸に平行に延びており、水平駆動部６６をＸ軸に沿って（Ｘ軸正方向又はＸ軸負方向に）移動させる。これにより、保持部６２、昇降駆動部６４及び水平駆動部６６上の収容トレイ９０がＸ軸に沿って移動する。水平駆動部６６，６８の具体例としては、電動モータを動力源とするリニアアクチュエータが挙げられる。
【００２３】
第２駆動部７０は、受渡位置ＲＰ２を含む第２可動範囲ＡＲ２にて、収容トレイ９０を中心軸線Ａｘに垂直な面において互いに交差する２方向に移動させる。第２可動範囲ＡＲ２は、第２駆動部７０が収容トレイ９０を移動させることが可能な範囲（領域）である。第２可動範囲ＡＲ２は、平面視（鉛直上方から見ること）において、第１可動範囲ＡＲ１よりも広い範囲である。例えば、第２可動範囲ＡＲ２は、上方から見て、第１可動範囲ＡＲ１（の全て）と重なる範囲と、第１可動範囲ＡＲ１に中心軸線Ａｘを中心とした外側で隣り合う範囲とを含んでいる。
【００２４】
第２駆動部７０は、例えば、中心軸線Ａｘに垂直な平面において、一つのラインに沿って収容トレイ９０を移動させ、当該ラインに垂直な他のラインに沿って収容トレイ９０を移動させる。図２及び図３に示される例では、第２駆動部７０は、Ｘ−Ｙ平面において、Ｘ軸に沿って収容トレイ９０を移動させ、Ｙ軸に沿って収容トレイ９０を移動させる。
【００２５】
第２駆動部７０は、例えば、保持部７２と、昇降駆動部７４と、水平駆動部７６，７８とを有する。保持部７２は、搬送対象の収容トレイ９０を保持する。例えば保持部７２は、収容トレイ９０の下に配置され、複数の凹部９２の配列方向が中心軸線Ａｘに垂直な平面に沿うように収容トレイ９０を保持する。一例として、保持部６２は、複数の凹部９２の配列方向のうちの行方向がＸ軸に沿い、配列方向のうちの列方向がＹ軸に沿うように収容トレイ９０を保持する。昇降駆動部７４は、中心軸線Ａｘと平行なライン（Ｚ軸）に沿って収容トレイ９０を昇降（移動）させる。例えば昇降駆動部７４は、保持部７２の下に設けられ、保持部６２を昇降させる。これにより、保持部７２上の収容トレイ９０が昇降する。昇降駆動部６４の具体例としては、電動モータを動力源とする昇降アクチュエータが挙げられる。
【００２６】
水平駆動部７６及び水平駆動部７８は、中心軸線Ａｘに垂直な面内において互いに交差する２方向に収容トレイ９０を移動させる。例えば水平駆動部７６は、昇降駆動部７４の下においてＹ軸に平行に延びており、昇降駆動部７４をＹ軸に沿って（Ｙ軸正方向又はＹ軸負方向に）移動させる。これにより、保持部７２及び昇降駆動部７４上の収容トレイ９０がＹ軸に沿って移動する。水平駆動部７８は、水平駆動部７６の下においてＸ軸に平行に延びており、水平駆動部７６をＸ軸に沿って（Ｘ軸正方向又はＸ軸負方向に）移動させる。これにより、保持部７２、昇降駆動部７４及び水平駆動部７６上の収容トレイ９０がＸ軸に沿って移動する。水平駆動部７６，７８の具体例としては、電動モータを動力源とするリニアアクチュエータが挙げられる。
【００２７】
Ｙ軸方向において、第２駆動部７０の水平駆動部７８は、第１駆動部６０の水平駆動部６８と異なる位置に設けられている。例えば、水平駆動部７８は、水平駆動部６８よりも中心軸線Ａｘから離れた位置に配置されている（中心軸線Ａｘから水平駆動部７８までの距離が、中心軸線Ａｘから水平駆動部６８までの距離よりも長い）。また、水平駆動部７８は、Ｙ軸方向において水平駆動部７６が水平駆動部６６と重複しないように配置されている。
【００２８】
この配置に対応して、第２駆動部７０の保持部７２は、昇降駆動部７４上からＹ軸正方向にオフセットした位置に収容トレイ９０を保持するように構成されている。例えば保持部７２は、本体部７２ａと延長部（延長アーム）７２ｂとを有している。本体部７２ａは、収容トレイ９０の下に配置されて当該収容トレイ９０を保持する。延長部７２ｂは、昇降駆動部７４上からＹ軸正方向に延びて本体部７２ａに接続されている。延長部７２ｂは、水平駆動部７６，７８によって本体部７２ａ上の収容トレイ９０を第１可動領域Ｒ１の全域に移動させ得る長さを有する。この構成により、第１駆動部６０の水平駆動部６６，６８と干渉させることなく、保持部７２上の収容トレイ９０を第１可動領域Ｒ１の全域に移動させることが可能となっている。このように、第１駆動部６０と第２駆動部７０とが、中心軸線Ａｘから離れる方向に沿って並んで配置され、第２駆動部７０が第１駆動部６０上に延びた保持部７２により収容トレイ９０を保持する構成によって、中心軸線Ａｘから第１駆動部６０までのスペースの拡張が図られている。これにより、ターンテーブル１２の周囲に、部品回収ユニット５０の他の処理ユニット３０の配置スペースが確保されている。
【００２９】
図３に示されるように、搬送装置１では、第１可動範囲ＡＲ１及び第２可動範囲ＡＲ２のＸ軸方向における一端部にトレイ収納部９４が備えられる。トレイ収納部９４は、複数の収容トレイ９０を収納する。トレイ収納部９４は、複数の電子部品Ｗが収容された状態の複数の収容トレイ９０、及び複数の電子部品Ｗが収容されていない状態の複数の収容トレイ９０を支持する。例えば、トレイ収納部９４は、複数の電子部品Ｗが収容されていない状態の複数の収容トレイ９０を収納する空トレイ収納部９８と、複数の電子部品Ｗが収容された状態の複数の収容トレイ９０を収納する満杯トレイ収納部９６ａ，９６ｂとを有する。Ｙ軸方向において、満杯トレイ収納部９６ａは水平駆動部６８に対応する位置に設けられ、満杯トレイ収納部９６ｂは水平駆動部７８に対応する位置に設けられ、空トレイ収納部９８は満杯トレイ収納部９６ａ，９６ｂの間に設けられている。
【００３０】
コントローラ１００は、搬送装置１を制御する。コントローラ１００は、例えば、受渡位置ＲＰ２において、第１駆動部６０によりＸ軸負方向に収容トレイ９０を移動させることと、受渡位置ＲＰ２において、第２駆動部７０によりＸ軸負方向に別の収容トレイ９０を移動させることと、受渡位置ＲＰ２の別の収容トレイ９０との衝突回避が可能な回避領域に収容トレイ９０を配置するように、第１駆動部６０により中心軸線Ａｘに平行な方向（例えば、Ｚ軸負方向）に収容トレイ９０を移動させることと、上記回避領域において、第１駆動部６０によりＸ軸正方向に収容トレイ９０を移動させることとを実行するように構成されている。
【００３１】
コントローラ１００は、図４に示されるように、機能上の構成（以下、「機能ブロック」という。）として、回転搬送制御部１０１と、収容体搬送制御部１０２（搬送制御部）とを有する。収容体搬送制御部１０２は、順送り搬送制御部１０４と、退避制御部１０６と、交換制御部１０８とを含む。回転搬送制御部１０１及び収容体搬送制御部１０２（順送り搬送制御部１０４、退避制御部１０６、及び交換制御部１０８）が実行する処理は、コントローラ１００が実行する処理に相当する。
【００３２】
回転搬送制御部１０１は、旋回駆動部１６によりターンテーブル１２を間欠的に回転させることで、受渡位置ＲＰ２の上方の停止位置ＳＰに複数の保持部１４を順に配置する。回転搬送制御部１０１は、当該停止位置ＳＰに配置された保持部１４を昇降駆動部１８により下方に移動させ、当該保持部１４が保持する電子部品Ｗを受渡位置ＲＰ２の凹部９２に配置させた後に、当該保持部１４による電子部品Ｗの保持を解除させる。これにより、電子部品Ｗが凹部９２に引き渡される。回転搬送制御部１０１は、当該停止位置ＳＰに保持部１４が配置される度に、上記動作を繰り返す。これにより、受渡位置ＲＰ２に複数の電子部品Ｗが順に配置される。
【００３３】
収容体搬送制御部１０２は、受渡位置ＲＰ２に順に配置されてくる複数の電子部品Ｗを収容トレイ９０に回収するために、第１駆動部６０及び第２駆動部７０を制御することにより、受渡位置ＲＰ２に収容トレイ９０を搬送し、受渡位置ＲＰ２において収容トレイ９０を移動させる。収容体搬送制御部１０２は、第１駆動部６０により収容トレイ９０を受渡位置ＲＰ２に搬送させること及び受渡位置ＲＰ２において移動させること、並びに第２駆動部７０により収容トレイ９０を受渡位置ＲＰ２に搬送させること及び受渡位置ＲＰ２において移動させることを交互に繰り返し実行する。以下では、説明の便宜のために、第１駆動部６０により搬送対象となる収容トレイ９０を「収容トレイ９０Ａ」と称し、第２駆動部７０により搬送対象となる収容トレイ９０を「収容トレイ９０Ｂ」と称する。一の収容トレイ９０に続いて他の収容トレイ９０に電子部品Ｗが収容される場合に、先に電子部品Ｗが収容される一の収容トレイ９０を「先行の収容トレイ」と称し、先行の収容トレイに続いて電子部品Ｗが収容される他の収容トレイ９０を「後続の収容トレイ」と称する。
【００３４】
順送り搬送制御部１０４は、回転搬送制御部１０１が受渡位置ＲＰ２の上方の停止位置ＳＰに保持部１４を配置するタイミングに同期して、収容トレイ９０の凹部９２を受渡位置ＲＰ２に順次配置するように第１駆動部６０又は第２駆動部７０を制御する。この際に、順送り搬送制御部１０４は、中心軸線Ａｘに垂直な一方向（以下、「順送り方向」という。）と、順送り方向に垂直な方向とに収容トレイ９０を１ピッチずつ移動させるように、第１駆動部６０又は第２駆動部７０を制御する。ここでの１ピッチは、隣り合う凹部９２同士のピッチである。例えば順送り搬送制御部１０４は、Ｘ軸負方向を順送り方向とし、Ｘ軸負方向に１ピッチずつ収容トレイ９０を移動させつつ、Ｙ軸正方向又はＹ軸負方向に１ピッチずつ収容トレイ９０を移動させるように第１駆動部６０又は第２駆動部７０を制御する。
【００３５】
一例として、順送り搬送制御部１０４は、収容トレイ９０Ａへの電子部品Ｗの受け入れを開始する際に、まず最初の凹部９２（１つ目の電子部品Ｗを収容する凹部９２）を受渡位置ＲＰ２に配置するように第１駆動部６０を制御する。最初の凹部９２は、例えばＸ軸負方向から数えて１列目及びＹ軸正方向から数えて１行目（図３紙面左上隅）の凹部９２である。１行１列目の凹部９２に電子部品Ｗが収容された後、順送り搬送制御部１０４は、１列目の２行目以降の凹部９２が順に受渡位置ＲＰ２に配置されるように、列方向で隣り合う凹部９２同士のピッチ分だけＹ軸負方向に水平駆動部６６により収容トレイ９０Ａを移動させていく。
【００３６】
１列目の全ての凹部９２に電子部品Ｗが収容された後、順送り搬送制御部１０４は、行方向で隣り合う凹部９２同士のピッチ分だけ順送り方向（Ｘ軸負方向）に水平駆動部６８により収容トレイ９０Ａを移動させる。そして、順送り搬送制御部１０４は、２列目の残りの凹部９２が順に受渡位置ＲＰ２に配置されるように、列方向に隣り合う凹部９２同士のピッチ分だけＹ軸正方向に水平駆動部６６により収容トレイ９０Ａを移動させていく。２列目の全ての凹部９２に電子部品Ｗが収容された後、収容体搬送制御部１０２は、水平駆動部６８により順送り方向（Ｘ軸負方向）に行方向で隣り合う凹部９２のピッチ分だけ収容トレイ９０Ａを移動させる。
【００３７】
以降、順送り搬送制御部１０４は、１列目及び２列目の凹部９２への電子部品Ｗの収容のための移動と同様の動作を第１駆動部６０に継続させる。以下、この搬送を「順送り搬送」という。収容トレイ９０Ｂへの電子部品Ｗの受け入れに際して、順送り搬送制御部１０４は、収容トレイ９０Ｂを順送り搬送するように第２駆動部７０を制御する。
【００３８】
先行の収容トレイ９０を順送り搬送する際に、順送り搬送制御部１０４は、先行の収容トレイ９０の順送り方向への移動に追従して、後続の収容トレイ９０を順送り方向に１ピッチずつ移動させるように第１駆動部６０又は第２駆動部７０を制御してもよい。以下、先行の収容トレイ９０の順送り方向への移動に追従して、後続の収容トレイ９０を順送り方向に１ピッチずつ移動させることを「追従搬送」という。例えば、順送り搬送制御部１０４は、第１駆動部６０に収容トレイ９０Ａを順送り搬送させる際に、第２駆動部７０に収容トレイ９０Ｂを追従搬送させる。また、順送り搬送制御部１０４は、第２駆動部７０に収容トレイ９０Ｂを順送り搬送させる際に、第１駆動部６０に収容トレイ９０Ａを追従搬送させる。追従搬送において、後続の収容トレイ９０のＹ軸方向への移動は不要である。例えば順送り搬送制御部１０４は、Ｙ軸方向において、後続の収容トレイ９０の上記最初の凹部９２の位置を受渡位置ＲＰ２に合わせるように第１駆動部６０又は第２駆動部７０を制御してもよい。
【００３９】
退避制御部１０６は、受渡位置ＲＰ２に配置される収容体を、先行の収容トレイ９０から後続の収容トレイ９０に入れ替えるために、先行の収容トレイ９０を受渡位置ＲＰ２から退避させるように第１駆動部６０又は第２駆動部７０を制御する。これに応じ、順送り搬送制御部１０４が、後続の収容トレイ９０の最初の凹部９２を受渡位置ＲＰ２に配置するように第１駆動部６０又は第２駆動部７０を制御する。順送り搬送制御部１０４と退避制御部１０６とは、先行の収容トレイ９０を受渡位置ＲＰ２から移動させる期間と、収容トレイ９０Ｂの最初の凹部９２を受渡位置ＲＰ２に移動させる期間とが少なくとも部分的に重複するように第１駆動部６０及び第２駆動部７０を制御してもよい。
【００４０】
先行の収容トレイ９０を受渡位置ＲＰ２から退避させる際に、退避制御部１０６は、受渡位置ＲＰ２の後続の収容トレイ９０との衝突回避が可能な回避領域に先行の収容トレイ９０を移動させるように第１駆動部６０又は第２駆動部７０を制御する。
【００４１】
例えば、先行の収容トレイ９０が収容トレイ９０Ａである場合、退避制御部１０６は、受渡位置ＲＰ２の収容トレイ９０Ｂとの衝突回避が可能な第１回避領域に収容トレイ９０Ａを配置させるように、第１駆動部６０により中心軸線Ａｘに平行な方向に収容トレイ９０Ｂを移動させる。一例として、退避制御部１０６は、受渡位置ＲＰ２の鉛直下方に位置する第１回避領域に収容トレイ９０Ａを配置するように、昇降駆動部６４により収容トレイ９０Ａを下降させる（Ｚ軸負方向に移動させる）。あるいは、退避制御部１０６は、水平駆動部６８により受渡位置ＲＰ２から順送り方向に収容トレイ９０Ａを移動させ、続いて、第１回避領域に収容トレイ９０Ａを配置するように第１駆動部６０により中心軸線Ａｘに平行な方向に収容トレイ９０を移動させる（昇降駆動部６４により収容トレイ９０Ａを下降させる）。
【００４２】
一方、先行の収容トレイ９０が収容トレイ９０Ｂである場合、退避制御部１０６は、受渡位置ＲＰ２の収容トレイ９０Ａとの衝突回避が可能な第２回避領域（回避領域）に収容トレイ９０Ｂを配置させるように、第２駆動部７０により中心軸線Ａｘに垂直な方向に収容トレイ９０Ｂを移動させる。一例として、退避制御部１０６は、受渡位置ＲＰ２よりも外方（中心軸線Ａｘから遠ざかる方向）に位置する第２回避領域に収容トレイ９０Ｂを配置するように、第２駆動部７０により中心軸線Ａｘから遠ざかる方向に収容トレイ９０Ｂを移動させる（Ｙ軸負方向に移動させる）。あるいは、退避制御部１０６は、水平駆動部７８により受渡位置ＲＰ２から順送り方向に収容トレイ９０Ｂを移動させ、続いて、第２回避領域に収容トレイ９０Ｂを配置するように水平駆動部７６により収容トレイ９０Ｂを移動させる（Ｙ軸負方向に移動させる）。
【００４３】
交換制御部１０８は、電子部品Ｗの収容が完了した（例えば全ての凹部９２に電子部品Ｗが収容された）収容トレイ９０（以下、「収容済みの収容トレイ９０」という。）を、空の収容トレイ９０に交換するように第１駆動部６０又は第２駆動部７０を制御する。例えば交換制御部１０８は、収容済みの収容トレイ９０をトレイ収納部９４まで搬送し、空の収容トレイ９０を上記追従搬送の開始位置（以下、「待機位置」という。）まで搬送するように第１駆動部６０又は第２駆動部７０を制御する。
【００４４】
例えば交換制御部１０８は、第１回避領域において、収容済みの収容トレイ９０Ａを第１駆動部６０により順送り方向の逆方向（Ｘ軸正方向）に移動させる。この際に、収容トレイ９０Ａは、受渡位置ＲＰ２の収容トレイ９０Ｂ（本体部７２ａ）の下方を通過する。更に、交換制御部１０８は、収容済みの収容トレイ９０Ａを満杯トレイ収納部９６ａに載置し、空の収容トレイ９０Ａを空トレイ収納部９８から受け取るように第１駆動部６０を制御し、空の収容トレイ９０Ａを上記待機位置まで搬送するように第１駆動部６０を制御する。
【００４５】
また、交換制御部１０８は、第２回避領域（回避領域）において、収容済みの収容トレイ９０Ｂを第２駆動部７０により順送り方向の逆方向（Ｘ軸正方向）に移動させる。この際に、収容トレイ９０Ｂは、受渡位置ＲＰ２の収容トレイ９０Ｂの外方を通過する。更に、交換制御部１０８は、収容済みの収容トレイ９０Ｂを満杯トレイ収納部９６ｂに載置し、空の収容トレイ９０Ｂを空トレイ収納部９８から受け取るように第２駆動部７０を制御し、空の収容トレイ９０Ｂを上記待機位置まで搬送するように第２駆動部７０を制御する。
【００４６】
コントローラ１００は、ハードウェア構成として、図５に示す回路２００を有する。回路２００は、例えば、一つ又は複数のプロセッサ２０２と、メモリ２０４と、ストレージ２０６と、入出力ポート２０８とを含む。ストレージ２０６は、例えばハードディスク、又は不揮発性の半導体メモリ等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。ストレージ２０６は、後述の部品回収手順をコントローラ１００に実行させるためのプログラムを記憶している。例えばストレージ２０６は、コントローラ１００に上述の機能ブロックを構成させるためのプログラムを記憶している。
【００４７】
メモリ２０４は、ストレージ２０６からロードしたプログラム及びプロセッサによる演算結果を一時的に記憶する。プロセッサ２０２は、メモリと協働して上記プログラムを実行することで、コントローラ１００に上述の機能ブロックを構成させる。入出力ポート２０８は、プロセッサからの指令に従って、複数の保持部１４、旋回駆動部１６、複数の昇降駆動部１８、第１駆動部６０及び第２駆動部７０等との間で電気信号の入出力を行う。なお、回路２００は、必ずしもプログラムにより各機能を構成するものに限られない。例えば回路は、専用の論理回路又はこれを集積したＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｉｆｉｃ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）により少なくとも一部の機能を構成してもよい。
【００４８】
［部品回収手順］
図６は、部品回収手順の一例を示すフローチャートである。第１駆動部６０により最初の収容トレイ９０Ａが受渡位置ＲＰ２に配置された状態で、コントローラ１００は、まずステップＳ０１を実行する。ステップＳ０１では、例えば、コントローラ１００が、収容トレイ９０Ａへの電子部品Ｗの収容を回転搬送ユニット１０及び部品回収ユニット５０に開始させる。一例として、収容トレイ９０Ａの電子部品Ｗの収容動作（回収動作）では、回転搬送制御部１０１が、旋回駆動部１６によりターンテーブル１２を旋回させることと、受渡位置ＲＰ２の上方に配置される保持部１４を昇降駆動部１８により下降させることとを含む動作を繰り返す。順送り搬送制御部１０４は、上記繰り返し動作に同期して、収容トレイ９０Ａの複数の凹部９２を受渡位置ＲＰ２に順に配置していくように、第１駆動部６０により収容トレイ９０Ａを移動させる。
【００４９】
コントローラ１００は、次にステップＳ０２を実行する。ステップＳ０２では、例えば、交換制御部１０８が、第２駆動部７０により最初の収容トレイ９０Ｂを受渡位置ＲＰ２の近傍の待機位置まで搬送させる。一例として、図７（ａ）に示されるように、交換制御部１０８は、トレイ収納部９４の近傍から上記待機位置まで水平駆動部７８により収容トレイ９０Ｂを移動させる。待機位置は、その位置まで後続の収容トレイ９０を移動させた際に、受渡位置ＲＰ２にて電子部品Ｗが収容されている先行の収容トレイ９０に後続の収容トレイ９０が干渉しない位置に設定される。
【００５０】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ０３を実行する。ステップＳ０３では、例えば、順送り搬送制御部１０４が、収容トレイ９０Ｂの追従搬送を第２駆動部７０により開始させる。この追従搬送では、例えば、順送り搬送制御部１０４が、電子部品Ｗの回収動作に伴い１ピッチだけ順送り方向に順に移動させる収容トレイ９０Ａの順送り搬送に追従させるように、第２駆動部７０により１ピッチだけ収容トレイ９０Ｂを順送り方向に順次移動させる。
【００５１】
なお、順送り搬送制御部１０４は、収容トレイ９０Ａの最終列への電子部品Ｗの収容が開始されるまで収容トレイ９０Ｂを待機位置で待機させ、最終列への電子部品Ｗの収容が開始された後に、第２駆動部７０により収容トレイ９０Ｂを順送り方向に移動させてもよい。図７（ｂ）は、収容トレイ９０Ａの最終列への電子部品Ｗの収容が開始された際の収容トレイ９０Ａ，９０Ｂの配置を例示している。また、順送り搬送制御部１０４は、図８（ａ）に示されるように、収容トレイ９０Ａの最終例に電子部品Ｗが収容される際に、収容トレイ９０Ａと同じ高さ位置に収容トレイ９０Ｂが位置するように、第２駆動部７０により収容トレイ９０Ｂの追従搬送を実行してもよい。
【００５２】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ０４を実行する。ステップＳ０４では、例えば、コントローラ１００が、収容トレイ９０Ａに所定数の電子部品Ｗが収容されるまで待機する。例えば、コントローラ１００は、収容トレイ９０Ａの全ての凹部９２に電子部品Ｗが収容されるまで、ターンテーブル１２の旋回及び保持部１４の下降を含む動作を回転搬送ユニット１０に継続させ、収容トレイ９０Ａの順送り搬送及び収容トレイ９０Ｂの追従搬送を第１駆動部６０及び第２駆動部７０に継続させる。
【００５３】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ０５を実行する。ステップＳ０５では、例えば、退避制御部１０６が受渡位置ＲＰ２から収容トレイ９０Ａを退避させる。一例として、図８（ｂ）に示されるように、退避制御部１０６が、受渡位置ＲＰ２よりも鉛直下方に位置する第１回避領域ＥＡ１に収容トレイ９０Ａを配置するように、昇降駆動部６４により収容トレイ９０Ａを下降させる。
【００５４】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ０６を実行する。ステップＳ０６では、コントローラ１００が、収容トレイ９０Ｂへの電子部品Ｗの収容を回転搬送ユニット１０及び第２駆動部７０に開始させる。ステップＳ０７の最初に、順送り搬送制御部１０４は、図８（ｂ）に示されるように、最初の凹部９２が受渡位置ＲＰ２に配置されるように、水平駆動部７８により収容トレイ９０Ｂを順送り方向に移動させる。そして、回転搬送制御部１０１は、ターンテーブル１２の旋回及び保持部１４の下降を含む動作を繰り返す。順送り搬送制御部１０４は、上記繰り返し動作に同期して、第２駆動部７０により収容トレイ９０Ｂの順送り搬送を実行する。なお、順送り搬送制御部１０４は、ステップＳ０５での収容トレイ９０Ａを退避させる期間と少なくとも一部が重複する期間において、最初の凹部９２の受渡位置ＲＰ２への配置動作を第２駆動部７０に実行させてもよい。
【００５５】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ０７を実行する。ステップＳ０７では、例えば、交換制御部１０８が収容トレイ９０Ａの交換動作を第１駆動部６０に実行させる。収容トレイ９０Ａの交換とは、第１駆動部６０が保持する搬送対象の収容トレイを、電子部品Ｗで複数の凹部９２が既に満たされている収容済みの収容トレイ９０Ａから、空の収容トレイ９０Ａに交換することである。
【００５６】
図９は、収容トレイ９０Ａの交換手順の一例を示すフローチャートである。この交換手順では、コントローラ１００が、まずステップＳ３１を実行する。ステップＳ３１では、例えば、交換制御部１０８が、トレイ収納部９４に向けて収容済みの収容トレイ９０Ａを第１駆動部６０により搬送させる。交換制御部１０８は、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示されるように、第１回避領域ＥＡ１において、第１駆動部６０により順送り方向の逆方向に収容トレイ９０Ａを移動させる（水平駆動部６８によりＸ軸正方向に収容トレイ９０Ａを移動させる）。
【００５７】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ３２，Ｓ３３を実行する。ステップＳ３２では、例えば、交換制御部１０８が、トレイ収納部９４の近傍において、収容済みの収容トレイ９０Ａを昇降駆動部６４により上昇させる。一例として、交換制御部１０８は、満杯トレイ収納部９６ａの載置面と同程度の高さ位置まで、収容済みの収容トレイ９０Ａを昇降駆動部６４により上昇させる。ステップＳ３３では、例えば、交換制御部１０８が、収容済みの収容トレイ９０Ａを保持部６２から満杯トレイ収納部９６ａに移し替えるように第１駆動部６０を制御する。
【００５８】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ３４，Ｓ３５を実行する。ステップＳ３４では、例えば、交換制御部１０８が、空の収容トレイ９０Ａ（新しい収容トレイ９０Ａ）を空トレイ収納部９８から保持部６２に移し替えるように第１駆動部６０を制御する。ステップＳ３５では、例えば、交換制御部１０８が、新しい収容トレイ９０Ａを受渡位置ＲＰ２と同じ高さ位置まで昇降駆動部６４により下降させる。
【００５９】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ３６を実行する。ステップＳ３６では、例えば、交換制御部１０８が、第１駆動部６０により新しい収容トレイ９０Ａを受渡位置ＲＰ２の近傍の待機位置まで搬送させる。一例として、図１１（ａ）に示されるように、交換制御部１０８は、トレイ収納部９４の近傍から待機位置まで水平駆動部６８によりＸ軸負方向に収容トレイ９０Ａを移動させる。以上のように収容トレイ９０Ａの一連の交換動作が行われる。
【００６０】
図６に戻り、ステップＳ０７の実行後に、コントローラ１００は、ステップＳ０８を実行する。ステップＳ０８では、例えば、順送り搬送制御部１０４が、収容トレイ９０Ａの追従搬送を第１駆動部６０に開始させる。この追従搬送では、例えば、順送り搬送制御部１０４が、電子部品Ｗの回収動作に伴い１ピッチずつ順送り方向に順に移動していく収容トレイ９０Ｂの順送り搬送に追従させるように、第１駆動部６０により１ピッチずつ収容トレイ９０Ａを順送り方向に順次移動させる。
【００６１】
なお、順送り搬送制御部１０４は、収容トレイ９０Ｂの最終列への電子部品Ｗの収容が開始されるまで収容トレイ９０Ａを待機位置で待機させ、最終列への電子部品Ｗの収容が開始された後に、第１駆動部６０により収容トレイ９０Ａを順送り方向に移動させてもよい。図１１（ｂ）は、収容トレイ９０Ｂの最終列に電子部品Ｗが収容されている際の収容トレイ９０Ａ，９０Ｂの配置を例示している。また、順送り搬送制御部１０４は、収容トレイ９０Ｂの最終例に電子部品Ｗが収容される際に、収容トレイ９０Ｂと同じ高さ位置に収容トレイ９０Ａが位置するように、第１駆動部６０により収容トレイ９０Ａの追従搬送を実行してもよい。
【００６２】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ０９を実行する。ステップＳ０９では、例えば、コントローラ１００が、収容トレイ９０Ｂに所定数の電子部品Ｗが収容されるまで待機する。例えば、コントローラ１００は、収容トレイ９０Ｂの全ての凹部９２に電子部品Ｗが収容されるまで、ターンテーブル１２の旋回及び保持部１４の下降を含む動作を回転搬送ユニット１０に継続させ、収容トレイ９０Ａの順送り搬送及び収容トレイ９０Ｂの追従搬送を第１駆動部６０及び第２駆動部７０に継続させる。
【００６３】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ１０を実行する。ステップＳ１０では、例えば、退避制御部１０６が受渡位置ＲＰ２から収容トレイ９０Ｂを第２駆動部７０により退避させる。一例として、図１２に示されるように、退避制御部１０６が、受渡位置ＲＰ２よりも中心軸線Ａｘから遠ざかる（外側に位置する）第２回避領域ＥＡ２に収容トレイ９０Ｂを配置するように、水平駆動部７６により収容トレイ９０Ｂを移動させる（Ｙ軸負方向に移動させる）。
【００６４】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ１１を実行する。ステップＳ１１では、コントローラ１００が、収容トレイ９０Ａへの電子部品Ｗの収容を回転搬送ユニット１０及び第１駆動部６０に開始させる。ステップＳ１１の最初に、順送り搬送制御部１０４は、図１２に示されるように、最初の凹部９２が受渡位置ＲＰ２に配置されるように、水平駆動部６８により収容トレイ９０Ａを順送り方向に移動させる。そして、回転搬送制御部１０１は、ターンテーブル１２の旋回及び保持部１４の下降を含む動作を繰り返す。順送り搬送制御部１０４は、上記繰り返し動作に同期して、収容トレイ９０Ａの複数の凹部９２を受渡位置ＲＰ２に順に配置していくように、第１駆動部６０により収容トレイ９０Ａの順送り搬送を実行する。なお、順送り搬送制御部１０４は、ステップＳ１０での収容トレイ９０Ｂを退避させる期間と少なくとも一部が重複する期間において、収容トレイ９０Ａにおける最初の凹部９２の受渡位置ＲＰ２への配置動作を第１駆動部６０に実行させてもよい。
【００６５】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ１２を実行する。ステップＳ１２では、例えば、交換制御部１０８が収容トレイ９０Ｂの交換を第２駆動部７０に実行させる。収容トレイ９０Ｂの交換とは、第２駆動部７０が保持する搬送対象の収容トレイを、電子部品Ｗで複数の凹部９２が既に満たされている収容済みの収容トレイ９０Ｂから、空の収容トレイ９０Ｂに交換することである。
【００６６】
図１３は、収容トレイ９０Ｂの交換手順の一例を示すフローチャートである。この交換手順では、コントローラ１００が、まずステップＳ４１を実行する。ステップＳ４１では、例えば、交換制御部１０８が、トレイ収納部９４に向けて収容済みの収容トレイ９０Ｂを第２駆動部７０により搬送させる。交換制御部１０８は、図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に示されるように、第２回避領域ＥＡ２において、第２駆動部７０により順送り方向の逆方向に収容トレイ９０Ｂを移動させる（水平駆動部７８によりＸ軸正方向に収容トレイ９０Ｂを移動させる）。この際、交換制御部１０８は、受渡位置ＲＰ２の収容トレイ９０Ａと同程度の高さ位置において、水平駆動部７８により収容トレイ９０Ｂを移動させてもよい。
【００６７】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ４２，Ｓ４３を実行する。ステップＳ４２では、例えば、交換制御部１０８が、トレイ収納部９４の近傍において、収容済みの収容トレイ９０Ｂを昇降駆動部７４により上昇させる。一例として、交換制御部１０８は、満杯トレイ収納部９６ｂの載置面と同程度の高さ位置まで、収容済みの収容トレイ９０Ｂを昇降駆動部７４により上昇させる。ステップＳ４３では、例えば、交換制御部１０８が、収容済みの収容トレイ９０Ｂを保持部７２から満杯トレイ収納部９６ｂに移し替えるように第２駆動部７０を制御する。
【００６８】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ４４，Ｓ４５を実行する。ステップＳ４４では、例えば、交換制御部１０８が、空の収容トレイ９０Ｂ（新しい収容トレイ９０Ｂ）を空トレイ収納部９８から保持部７２（本体部７２ａ）に移し替えるように第２駆動部７０を制御する。ステップＳ４５では、例えば、交換制御部１０８が、新しい収容トレイ９０Ｂを受渡位置ＲＰ２と同じ高さ位置まで昇降駆動部７４により下降させる。
【００６９】
次に、コントローラ１００は、ステップＳ４６を実行する。ステップＳ４６では、例えば、交換制御部１０８が、第２駆動部７０により新しい収容トレイ９０Ｂを受渡位置ＲＰ２の近傍の待機位置まで搬送させる。この待機位置までの搬送は、ステップＳ０２及び図７（ａ）で例示した動作と同様に行われる。以上のように、コントローラ１００は、収容トレイ９０Ｂの一連の交換動作を行う。
【００７０】
図６に戻り、ステップＳ１２の実行後に、コントローラ１００は、ステップＳ１３，Ｓ１４を実行する。コントローラ１００（順送り搬送制御部１０４）は、例えば、ステップＳ０３，Ｓ０４と同様に、ステップＳ１３，Ｓ１４を実行する。ステップＳ１４において、例えば、収容トレイ９０Ａにおいて全ての凹部９２に電子部品Ｗが収容されたと判断されると、コントローラ１００は、ステップＳ０６〜Ｓ１４の一連の処理を繰り返す。当該一連の処理が繰り返されることで、トレイ収納部９４において収納されている（積み重ねられている）複数の収容トレイ９０の高さが変化していく。交換制御部１０８は、この高さの変化に応じて、トレイ収納部９４の近傍において昇降駆動部６４，７４により保持部６２，７２をそれぞれ昇降させる量を調節してもよい。
【００７１】
［実施形態の効果］
以上の実施形態に係る搬送装置１は、電子部品Ｗを円軌道ＣＲに沿って搬送する回転搬送ユニット１０と、回転搬送ユニット１０との間で電子部品Ｗの受け渡しを行うための受渡位置ＲＰ１，ＲＰ２を含む第１可動範囲ＡＲ１にて、複数の電子部品Ｗの収容トレイ９０を円軌道ＣＲの中心軸線Ａｘに垂直な面において互いに交差する２方向に移動させる第１駆動部６０と、受渡位置ＲＰ１，ＲＰ２を含む第２可動範囲ＡＲ２にて、収容トレイ９０を中心軸線Ａｘに垂直な面において互いに交差する２方向に移動させる第２駆動部７０と、を備える。
【００７２】
回転搬送ユニットと収容体との間で電子部品Ｗの受け渡しを行う際、収容体において電子部品Ｗを収容できる数に限りがあるので、受渡位置に配置される収容体を入れ替える必要が生じる。受渡位置の収容体を入れ替える際に、回転搬送ユニットによる電子部品Ｗの搬送を止めて、収容体を入れ替える方法も考えられる。しかしながら、この場合、収容体を入れ替える度に、回転搬送ユニットを止める必要が生じ、電子部品Ｗの搬送効率の低下が懸念される。これに対して、上記搬送装置１は、第１駆動部６０及び第２駆動部７０により中心軸線Ａｘに垂直な面において、２つの収容体をそれぞれ移動させている。これにより、一方の駆動部が保持する収容体にて回転搬送ユニット１０との間で電子部品Ｗの受け渡しを行いつつ、収容体の入替に時間を要しない位置に他方の駆動部により別の収容体を配置することができる。そのため、入替に要する時間を短くすることができるので、電子部品Ｗの効率的な搬送が可能となる。従って、上記実施形態に係る搬送装置１は、電子部品Ｗを効率的に搬送するのに有用である。
【００７３】
以上の実施形態において、第１駆動部６０は、中心軸線Ａｘに平行な方向にも収容体を移動させるように構成されていてもよい。この場合、受渡位置において収容体を入れ替える際に、中心軸線Ａｘに垂直な面での２方向に垂直な方向にも収容体を退避できるので、第１駆動部６０により収容体が移動する範囲と円軌道の内側の領域との重複部分を縮小することが可能となる。
【００７４】
以上の実施形態に係る搬送装置１は、第１駆動部６０と第２駆動部７０とを制御する収容体搬送制御部１０２を更に備えてもよい。収容体搬送制御部１０２は、受渡位置において、第１駆動部６０により中心軸線Ａｘに垂直な順送り方向に先行の収容体を移動させることと、受渡位置において、第２駆動部７０により順送り方向に後続の収容体を移動させることと、受渡位置の後続の収容体との衝突回避が可能な第１回避領域に先行の収容体を配置するように、第１駆動部６０により中心軸線Ａｘに平行な方向に先行の収容体を移動させることと、第１回避領域において、第１駆動部６０により順送り方向の逆方向に先行の収容体を移動させることと、を実行するように構成されていてもよい。この場合、先行の収容体を受渡位置から退避させた後、後続の収容体を受渡位置に移動させて収容体への電子部品の受け渡しを継続できるので、短い時間で先行の収容体から後続の収容体への入替動作を行うことができる。例えば、回転搬送ユニット１０によるターンテーブル１２の旋回と昇降駆動部１８による下降とを含む動作の繰り返しタイミングを変化させることなく、上記入替動作を行うことができる。従って、電子部品Ｗを効率的に搬送するのに更に有用である。
【００７５】
以上の実施形態において、収容体搬送制御部１０２は、受渡位置において、第２駆動部７０により順送り方向に先行の収容体を移動させることと、受渡位置において、第１駆動部６０により順送り方向に後続の収容体を移動させることと、受渡位置の後続の収容体との衝突回避が可能な第２回避領域に先行の収容体を配置するように、第２駆動部７０により中心軸線Ａｘから遠ざかる方向に先行の収容体を移動させることと、第２回避領域において、第２駆動部７０により順送り方向の逆方向に先行の収容体を移動させることと、を更に実行するように構成されていてもよい。この場合、一方の入替動作では中心軸線Ａｘから遠ざかる方向に先行の収容体が移動され、他方の入替動作では中心軸線Ａｘに平行な方向に先行の収容体が退避されるので、第１駆動部６０及び第２駆動部７０により収容体が移動する範囲と円軌道の内側との重複領域が縮小される。このため、円軌道に他の処理ユニット等の配置スペースを確保し易い。
【００７６】
以上の実施形態に係る搬送装置１は、第１駆動部６０と第２駆動部７０とを制御する収容体搬送制御部１０２を更に備えてもよい。収容体搬送制御部１０２は、受渡位置において、第２駆動部７０により中心軸線Ａｘに垂直な順送り方向に先行の収容体を移動させることと、受渡位置において、第１駆動部６０により順送り方向に後続の収容体を移動させることと、受渡位置の後続の収容体との衝突回避が可能な回避領域に先行の収容体を配置するように、第２駆動部７０により中心軸線Ａｘに垂直な方向に先行の収容体を移動させることと、上記回避領域において、第２駆動部７０により順送り方向の逆方向に先行の収容体を移動させることと、を実行するように構成されていてもよい。この場合、先行の収容体を受渡位置から退避させた後、後続の収容体を受渡位置に移動させて収容体への電子部品の受け渡しを継続できるので、短い時間で先行の収容体から後続の収容体への入替動作を行うことができる。例えば、回転搬送ユニット１０によるターンテーブル１２の旋回と昇降駆動部１８による下降とを含む動作の繰り返しタイミングを変化させることなく、上記入替動作を行うことができる。従って、電子部品Ｗを効率的に搬送するのに更に有用である。
【００７７】
以上の実施形態において、受渡位置は、回転搬送ユニット１０から電子部品Ｗを受け取るための位置であってもよい。収容体搬送制御部１０２は、収容体における複数の電子部品Ｗの受け入れ位置を受渡位置ＲＰ２に順次配置するように第１駆動部６０及び第２駆動部７０を制御してもよい。この場合、電子部品Ｗの回収動作の効率化を図ることができる。
【００７８】
以上の実施形態において、収容体は、行列状に配列された状態の複数の電子部品Ｗを収容する収容トレイ９０である。この場合、収容トレイ９０の各収容セル（凹部９２）に電子部品Ｗを収容するために、受渡位置ＲＰ２において行方向及び列方向に収容トレイ９０を移動させる必要がある。保持部６２，７２は、行方向及び列方向が水平駆動部による２方向の移動方向に沿うように収容トレイ９０を保持するので、収容トレイ９０の入替動作（退避動作）と収容のための移動動作（順送り搬送及び追従搬送）とを共通の水平駆動部により行うことができる。
【００７９】
［変形例］
受渡位置ＲＰ２からの収容トレイ９０Ａ，９０Ｂの退避動作は、図６に例示の動作に限られない。図１５は、部品回収手順の別の例を示すフローチャートである。この部品回収手順は、コントローラ１００が、ステップＳ０５に代えてステップＳ０５１，Ｓ０５２を実行する点、及びステップＳ１０に代えてＳ１０１，Ｓ１０２を実行する点において、図６に例示の部品回収手順と相違する。
【００８０】
コントローラ１００は、収容トレイ９０Ａの退避動作において、ステップＳ０５１を実行し、ステップＳ０６の実行後にステップＳ０５２を実行する。ステップＳ０６１では、例えば、退避制御部１０６が、受渡位置ＲＰ２から収容トレイ９０Ａを順送り方向に第１駆動部６０により退避させる。一例として、図１６（ａ）に示されるように、退避制御部１０６は、受渡位置ＲＰ２から収容トレイ９０ＡをＸ軸負方向に水平駆動部６８により移動させる。そして、ステップＳ０６において、順送り搬送制御部１０４は、受渡位置ＲＰ２に収容トレイ９０Ｂの最初の凹部９２を配置するように、収容トレイ９０Ｂを第２駆動部７０により順送り方向に移動させる。その後、ステップＳ０５２では、例えば、図１６（ｂ）に示されるように、退避制御部１０６が、順送り方向に退避した位置において、収容トレイ９０Ａを第１回避領域ＥＡ１に配置するように、収容トレイ９０Ａを第２駆動部７０により移動させる（昇降駆動部７４により下降させる）。
【００８１】
コントローラ１００は、収容トレイ９０Ｂの退避動作において、ステップＳ１０１を実行し、ステップＳ１１の実行後にステップＳ１０２を実行する。ステップＳ１０１では、例えば、退避制御部１０６が、受渡位置ＲＰ２から収容トレイ９０Ｂを順送り方向に第２駆動部７０により退避させる。一例として、図１７（ａ）に示されるように、退避制御部１０６は、受渡位置ＲＰ２から収容トレイ９０ＢをＸ軸負方向に水平駆動部７８により移動させる。そして、ステップＳ１２において、順送り搬送制御部１０４は、受渡位置ＲＰ２に収容トレイ９０Ａの最初の凹部９２を配置するように、収容トレイ９０Ａを第１駆動部６０により順送り方向に移動させる。その後、ステップＳ１０２では、例えば、図１７（ｂ）に示されるように、退避制御部１０６が、順送り方向に退避した位置において、収容トレイ９０Ｂを第２回避領域ＥＡ２に配置するように、収容トレイ９０Ｂを第２駆動部７０により外側に移動させる（水平駆動部７６によりＹ軸負方向に移動させる）。
【００８２】
上述の実施形態での追従搬送では、順送り搬送制御部１０４が、受渡位置ＲＰ２に配置されている先行の収容トレイ９０と同じ高さ位置において、後続の収容トレイ９０を第１駆動部６０又は第２駆動部７０により移動させていたが、追従搬送はこれに限られない。順送り搬送制御部１０４は、受渡位置ＲＰ２において先行の収容トレイ９０の最終列に電子部品Ｗが収容される際に、後続の収容トレイ９０（最初の凹部９２）を受渡位置ＲＰ２の下方に配置するように後続の収容トレイ９０の追従搬送を実行してもよい（順送り方向に移動させてもよい）。
【００８３】
一例として、図１８に示されるように、順送り搬送制御部１０４は、収容トレイ９０Ｂの最初の凹部９２が受渡位置ＲＰ２の下方に配置されるように、順送り方向に水平駆動部７８により当該収容トレイ９０Ｂを移動させる。そして、退避制御部１０６は、ステップＳ０５１と同様に、収容トレイ９０Ａを水平駆動部６８により順送り方向に退避させ、順送り搬送制御部１０４は、収容トレイ９０Ｂを昇降駆動部７４により上昇させる。順送り搬送制御部１０４は、収容トレイ９０Ｂに電子部品Ｗが収容されている際も同様に、収容トレイ９０Ａを受渡位置ＲＰ２の下方の位置に配置するように、当該収容トレイ９０Ａを第１駆動部６０により順送り方向に移動させてもよい。
【００８４】
上述の実施形態において、第１駆動部６０と第２駆動部７０とは、中心軸線Ａｘに垂直な平面の方向に加えて、中心軸線Ａｘに平行な方向にも収容トレイ９０を移動させるようにそれぞれ構成されているが、第２駆動部７０が、昇降駆動部７４を有していなくてもよい。あるいは、第１駆動部６０が昇降駆動部６４を有さずに、第２駆動部７０が昇降駆動部７４を有していてもよい。なお、第１駆動部６０が昇降駆動部６４を有さずに、第２駆動部７０も昇降駆動部７４を有していなくてもよい。
【００８５】
上述の実施形態において、収容トレイ９０Ａを受渡位置ＲＰ２から退避させる際に、退避制御部１０６は、中心軸線Ａｘと平行な方向に第１駆動部６０により収容トレイ９０Ａを移動させているが、退避する方向はこれに限られない。退避制御部１０６は、受渡位置ＲＰ２よりも中心軸線Ａｘ寄りに設定された回避領域に収容トレイ９０Ａを配置するように、当該収容トレイ９０Ａを受渡位置ＲＰ２から中心軸線Ａｘに向かう方向（Ｙ軸正方向）に第１駆動部６０（水平駆動部６６）により退避させてもよい。この場合、第１可動範囲ＡＲ１が、上方から見て、受渡位置ＲＰ２での電子部品Ｗの回収のための移動範囲に加えて、受渡位置ＲＰ２よりも中心軸線Ａｘ寄りの内側に位置する範囲を含んでいてもよい。収容トレイ９０Ａを中心軸線Ａｘに向かう方向に退避させる場合、収容トレイ９０Ｂの退避動作において、退避制御部１０６は、第２駆動部７０（水平駆動部７６）により収容トレイ９０Ｂを中心軸線Ａｘから遠ざかる方向に移動させてもよく、第２駆動部７０（昇降駆動部７４）により収容トレイ９０Ｂを下降させてもよい。退避制御部１０６は、収容トレイ９０Ａの退避動作において、第１駆動部６０（昇降駆動部６４）により収容トレイ９０Ａを下降させ、収容トレイ９０Ｂの退避動作において、第２駆動部７０（昇降駆動部７４）により収容トレイ９０Ｂを下降させてもよい。
【００８６】
部品供給ユニット４０が、部品回収ユニット５０と同様に、第１駆動部６０と第２駆動部７０とを有していてもよい。コントローラ１００は、部品回収ユニット５０による電子部品Ｗの回収動作と同様に、電子部品Ｗの供給動作を回転搬送ユニット１０及び部品供給ユニット４０に実行させてもよい。この供給動作では、回転搬送制御部１０１が、旋回駆動部１６によりターンテーブル１２を間欠的に回転させることで、受渡位置ＲＰ１の上方の停止位置ＳＰに複数の保持部１４を順に配置する。回転搬送制御部１０１は、当該停止位置ＳＰに配置された保持部１４を昇降駆動部１８により下方に移動させ、保持部１４を受渡位置ＲＰ１に配置した後に、受渡位置ＲＰ１に位置する収容セルの電子部品Ｗを当該保持部１４に保持させる。これにより、収容セルに収容されている電子部品Ｗが保持部１４に引き渡される。回転搬送制御部１０１は、当該停止位置ＳＰに保持部１４が配置される度に、上記動作を繰り返す。これにより、受渡位置ＲＰ１に保持部１４が順に配置される。
【００８７】
収容体搬送制御部１０２は、受渡位置ＲＰ１に順に移動されてくる保持部１４に収容トレイ９０から電子部品Ｗを引き渡すために、第１駆動部６０及び第２駆動部７０を制御することにより、受渡位置ＲＰ１に電子部品Ｗが収容された収容済みの収容トレイ９０を搬送させ、受渡位置ＲＰ１において当該収容トレイ９０を移動させる。収容体搬送制御部１０２は、第１駆動部６０により収容済みの収容トレイ９０を受渡位置ＲＰ１に搬送させること及び受渡位置ＲＰ１において当該収容トレイ９０を移動させること、並びに第２駆動部７０により収容済みの収容トレイ９０を受渡位置ＲＰ１に搬送させること及び受渡位置ＲＰ１において当該収容トレイ９０を移動させることを交互に繰り返し実行する。
【００８８】
順送り搬送制御部１０４は、収容トレイ９０における複数の電子部品Ｗの引き渡し位置（凹部９２）を受渡位置ＲＰ１に順次配置するように第１駆動部６０又は第２駆動部７０を制御する。収容体搬送制御部１０２は、受渡位置ＲＰ１の収容トレイ９０において全ての凹部９２から電子部品Ｗが引き渡されると（収容トレイ９０が空になると）、受渡位置ＲＰ１に配置される収容体を、先行の収容トレイ９０から後続の収容トレイ９０に入れ替えるように第１駆動部６０及び第２駆動部７０を制御する。受渡位置ＲＰ１への搬送対象の収容体が収容済みの収容トレイ９０である点、及び受渡位置ＲＰ１からの搬送対象の収容体が空の収容トレイ９０である点を除き、収容体搬送制御部１０２（退避制御部１０６）は、部品回収ユニット５０と同様に、第１駆動部６０及び第２駆動部７０により収容トレイ９０の順送り搬送、追従搬送、及び入替動作（退避動作）を実行する。
【００８９】
以上の変形例では、受渡位置が、回転搬送ユニット１０に電子部品Ｗを渡すための位置である。収容体搬送制御部１０２は、収容体における複数の電子部品Ｗの引き渡し位置を受渡位置ＲＰ１に順次配置するように第１駆動部６０及び第２駆動部７０を制御する。この場合、電子部品Ｗの供給動作の効率化を図ることができる。
【００９０】
収容体は、収容トレイ９０に限られず、粘着シート、ウェハシート、及びキャリアテープであってもよい。これらの収容体においても、収容トレイ９０と同様に、複数行複数列の行列状に電子部品Ｗが収容されてもよい。上述の例では、吸着ノズル２２が中心軸線Ａｘに平行なラインに沿って延びているが、吸着ノズル２２が中心軸線Ａｘからターンテーブル１２の外縁に向かうラインに沿って延び、その側端部が開口していてもよい。この場合、第１駆動部６０及び第２駆動部７０は収容体を倒立した状態でそれぞれ保持してもよい（搬送対象の収容体が、中心軸線Ａｘと平行な方向に広がっていてもよい）。収容体搬送制御部１０２は、上述と同様に、倒立した状態の収容体の入替動作（退避動作）を第１駆動部６０及び第２駆動部７０に実行させてもよい。
【００９１】
上述の例では、中心軸線Ａｘが鉛直であるが、中心軸線Ａｘが水平であり、吸着ノズル２２が水平の中心軸線Ａｘからターンテーブル１２の外縁に向かうラインに沿って延びていてもよい。この場合、受渡位置ＲＰ１又は受渡位置ＲＰ２が、最も下端に位置する停止位置ＳＰの下方に設定されてもよい。収容体搬送制御部１０２は、中心軸線Ａｘと平行な方向に先行の収容体を退避させる際に、水平駆動部により当該収容体を移動させてもよい。一方、収容体搬送制御部１０２は、中心軸線Ａｘと垂直な方向に先行の収容体を退避させる際に、昇降駆動部により当該収容体を移動させてもよく、水平駆動部により先行の収容体を退避させてもよい。中心軸線Ａｘが水平であり、第１駆動部６０及び第２駆動部７０の搬送対象の収容体が、それぞれ倒立状態の収容体であってもよい。この場合、収容体搬送制御部１０２は、側方に位置する停止位置ＳＰに水平に並ぶ受渡位置ＲＰ２（受渡位置ＲＰ１）において、上述と同様に倒立状態の収容体の入替動作（退避動作）を第１駆動部６０及び第２駆動部７０に実行させてもよい。
【００９２】
なお、以上の実施形態において、第１駆動部６０、第１可動範囲ＡＲ１等の「第１」、及び第２駆動部７０、第２可動範囲ＡＲ２等の「第２」は、説明の便宜のために付したものである。そのため、第１駆動部６０が第２駆動部に対応してもよく、第１可動範囲ＡＲ１が第２可動範囲に対応してもよい。第２駆動部７０が第１駆動部に対応してもよく、第２可動範囲ＡＲ２が第１可動範囲に対応してもよい。
【符号の説明】
【００９３】
１…搬送装置、１０…回転搬送ユニット、４０…部品供給ユニット、５０…部品回収ユニット、６０…第１駆動部、７０…第２駆動部、１００…コントローラ、１０２…収容体搬送制御部、Ａｘ…中心軸線、Ｗ…電子部品、ＲＰ１，ＲＰ２…受渡位置。
【要約】
【課題】電子部品を効率的に搬送する。
【解決手段】本開示の一側面に係る電子部品の搬送装置は、電子部品を搬送用円軌道に沿って搬送する回転搬送部と、回転搬送部との間で電子部品の受け渡しを行うための受渡位置を含む第１可動範囲にて、複数の電子部品の収容体を搬送用円軌道の中心軸線に垂直な面において互いに交差する２方向に移動させる第１駆動部と、受渡位置を含む第２可動範囲にて、収容体を中心軸線に垂直な面において互いに交差する２方向に移動させる第２駆動部と、を備える。
【選択図】図３【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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