(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉ケース内に配設されたスクリューやローター等の回転体を回転させることによって粉粒体を定量移送する粉粒体移送装置であって、
駆動用モータと、
駆動用モータの出力軸と一体回転する駆動側マグネット部と、
マグネットカバーで仕切られた前記密閉ケース内に配設される前記回転体と、
前記回転体の回転軸の後端に配設され、前記駆動側マグネット部との間で吸引力が作用する従動側マグネット部と、
前記密閉ケース内に配設され、前記回転軸の後端側及び前端側を軸支するラジアル静圧気体軸受と、
前記密閉ケース内に配設され、前記回転軸の前端部、または前記従動側マグネット部と前記回転軸の後端側に配設された前記ラジアル静圧気体軸受との間に位置する前記回転軸を軸支するスラスト荷重軸受と、
を備えることを特徴とする粉粒体移送装置。
【請求項２】
前記スラスト荷重軸受がスラスト静圧気体軸受であることを特徴とする請求項１に記載の粉粒体移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粉粒体を定量移送する粉粒体移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
粉粒体を定量移送するための手段として、スクリューフィーダやロータリーバルブが使用されている。例えば一般的なスクリューフィーダは、スクリューケース内に配設されたスクリューのスクリュー軸を駆動用モータの出力軸に連結し、軸受によって軸支されたスクリュー軸を回転駆動することによって粉粒体が定量移送される。
【０００３】
上記の一般的なスクリューフィーダにおいては、粉粒体が軸受に進入するのを防止するため、軸受のスクリュー側にリップシール型のダストシールが配設される。しかしながら、軸受やダストシールを定期的に交換しているにも拘わらず、軸受が早期に焼き付いたり固着したりするという問題がある。スクリュー軸とダストシールのリップとの間に粉粒体が進入すると、ダストシールのリップが摩耗し、ダストシールのシール機能が失われると粉粒体が軸受に進入し、軸受の焼き付きや固着を招くこととなる。この現象は、ロータリーバルブにおいても同様で、ダストシールのシール機能が失われると、粉粒体がローターシャフトと軸受との間に進入し、軸受の焼き付きや固着を招くこととなる。
【０００４】
そこで、本願発明者は、流動化手段を備えたスクリューフィーダにおいて、ダストシールの機能が低下してもその下流に配置した軸受の焼き付きや固着が生じることのないスクリューフィーダを開示している（特許文献１参照。）。特許文献１に開示したスクリューフィーダは、ホッパーに収容された粉粒体に対してエアレーションを行うことにより粉粒体を流動化させるための流動化手段を備えたスクリューフィーダにおいて、スクリュー軸を軸支するための軸受をスペーサ手段によって軸受用ダストシールから軸方向外側に離間させると共に、前記軸受とダストシールとの間の領域を外部雰囲気に開放させることにより、ダストシールを通過した粉粒体が外部雰囲気へ排出されるのを可能にし、もって、ダストシールを通過した粉粒体が軸受に到達するのを防止するようにしたことを特徴とする。
【０００５】
上記の構成を備える特許文献１に係るスクリューフィーダによると、ダストシールを通過した粉粒体が軸受に到達する前に外部へ排出させるようにしたので、万一、ダストシールの摩耗によりシール機能が低下し或いは失われた場合でも、ダストシールを通過した粉粒体が軸受に達するのが防止され、軸受の焼き付きや固着を防止することができる。
【０００６】
一方、液漏れの心配が全くないことから、クリーンルームや食品・薬液移送用ポンプなどにおいて、磁力を利用して動力伝達が可能なマグネットカップリングが使用されており、電動モータの回転力をマグネットカップリングを介してローターやインペラなどの回転体に伝達する方式のマグネットカップリング型ポンプが開示されている（例えば特許文献２参照。）。特許文献２に開示されたマグネットカップリング型ポンプは、モータ出力軸と一体回転する駆動外側マグネット部から磁力を介して隔壁部材により仕切られたポンプハウジング内の従動内側マグネット部へ回転力を伝達し、該従動内側マグネット部と一体回転するシャフトに接続されるローターやインペラや羽根車などの回転体を回転させることにより搬送力を発生するマグネットカップリング型ポンプにおいて、後端が前記従動内側マグネット部とシャフトの空間部に延設された円筒部を備えたベアリングハウジングを、前記シャフトの周囲を囲繞するように前記ポンプハウジングに一体に固設し、先端に外向きフランジ部を備えた前部スリーブベアリングを前記ベアリングハウジングの内周面と前記シャフト外周面間に、先端に外向きフランジ部を備えた後部スリーブベアリングを前記ベアリングハウジングの後部外周面と前記従動内側マグネット部の前部内周面間に、それぞれ介設するとともに、前記前部スリーブベアリングと前記後部スリーブベアリングの少なくとも一部が前記ポンプの前後方向で重なり合うように配置したことを特徴とする。
【０００７】
上記の構成を備える特許文献２に係るマグネットカップリング型ポンプによると、隔壁部材によって液漏れの心配がないことはもちろんであるが、更に前記ベアリングハウジングを挟んで前方内側と後方外側との２箇所で二重のスリーブベアリングにより前記シャフトと前記従動内側マグネットカップリングとを回転自在に支持し、従来の隔壁部材側のスリーブベアリングを省いて片持ち支持構造にしたので、許容可能なラジアル荷重を従来の片持ち支持構造に比べて増大でき、同時に従来の両端支持構造に比べて構造を単純化して簡略にでき、小型軽量化が図れる、と記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１０−２２８９１１号公報
【特許文献２】特許第３９８３７４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本願発明者が特許文献１に開示したスクリューフィーダによると、ダストシールを通過した粉粒体が軸受に到達する前に外部へ排出させるようにしたので、ダストシールを通過した粉粒体が軸受に達するのが防止され、軸受の焼き付きや固着を防止することができる。しかしながら、ダストシールを通過した粉粒体は外部へ排出されるため、スクリューフィーダの使用環境によっては粉粒体の外部への排出が好ましくない場合がある。
【００１０】
その点、特許文献２に開示されたマグネットカップリング型ポンプなどを使用することによって粉粒体の外部への排出は防止できるが、ポンプハウジング内に配設されるシャフトはスリーブベアリングによって軸支されるため、薬液などの液体移送であれば問題はないが、粉粒体の移送に使用した場合は、粉粒体がシャフトとスリーブベアリングとの間に進入し、スリーブベアリングの焼き付きや固着を招くおそれがある。
【００１１】
そこで本願発明者は、上記の問題点に鑑み、マグネットカップリングを使用することによって粉粒体がケース外部へ排出されることを防止しつつ、シールレスとしながらも回転軸の軸受への粉粒体の進入を防止することが可能な粉粒体移送装置を提供するべく鋭意検討を重ねた結果、本発明に至ったのである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
即ち、本発明の粉粒体移送装置は、密閉ケース内に配設されたスクリューやローター等の回転体を回転させることによって粉粒体を定量移送する粉粒体移送装置であって、駆動用モータと、前記駆動用モータの出力軸と一体回転する駆動側マグネット部と、
マグネットカバーで仕切られた前記密閉ケース内に配設される前記回転体と、前記回転体の回転軸の後端に配設され、前記駆動側マグネット部との間で吸引力が作用する従動側マグネット部と、前記密閉ケース内に配設され、前記回転軸の後端側及び前端側を軸支するラジアル静圧気体軸受と、前記密閉ケース内に配設され、前記回転軸の前端部、または前記従動側マグネット部と前記回転軸の後端側に配設された前記ラジアル静圧気体軸受との間に位置する前記回転軸を軸支するスラスト荷重軸受と、
を備えることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の粉粒体移送装置において、前記スラスト荷重軸受がスラスト静圧気体軸受であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の粉粒体移送装置によると、マグネットカップリングを使用することによって密閉ケース外部への粉粒体の排出を防止することができるとともに、密閉ケース内において回転軸の後端側及び前端側をラジアル静圧気体軸受で軸支することによって、回転軸の軸受面への粉粒体の進入を防止することができる。
【００１５】
特に、回転軸の軸受にラジアル静圧気体軸受を適用することによって、回転体の停止時に回転軸と軸受面との隙間に粉粒体が進入しても、回転軸の駆動時に加圧された気体を軸受面に導入することによって、隙間に進入した粉粒体を外部へ排出することができ、ダストシールを不要とすることが可能となる。従って、ダストシールの劣化という問題が生じず、メンテナンス性の向上が図られる。
【００１６】
また、本発明の粉粒体移送装置において、回転軸の前端部、または従動側マグネット部と回転軸の後端側に配設されたラジアル静圧気体軸受との間に位置する回転軸をスラスト荷重軸受で軸受することによって、回転軸に作用するスラスト荷重を受けることができるとともに、ダストシールを用いなくても回転軸の軸受面に粉粒体が進入するのを防止することができ、メンテナンス性の向上を図ることができる。
【００１７】
また、本発明の粉粒体移送装置において、密閉ケース内に配設されるスラスト荷重軸受をスラスト静圧気体軸受とすることによって、万が一、ラジアル静圧気体軸受を通過した粉粒体がスラスト静圧気体軸受の軸受面に進入しても、回転軸の駆動時に加圧された気体を軸受面に導入することによって、隙間に進入した粉粒体を外部へ排出することができ、ダストシールを不要とすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態に係るスクリューフィーダの全体構成を示す概略側面図である。
【図２】図１における駆動部及びマグネットカップリング部の拡大側面図である。
【図３】図１における駆動部及びマグネットカップリング部の分解図である。
【図４】図１に示したスクリューフィーダの模式断面図である。
【図５】（ａ）は図４におけるＡ部分の拡大図、（ｂ）は図４におけるＢ部分の拡大図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係るスクリューフィーダの模式断面図である。
【図７】（ａ）は図６におけるＣ部分の拡大図、（ｂ）は図６におけるＤ部分の拡大図である。
【図８】本発明の他の実施形態に係るロータリーバルブの模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の粉粒体移送装置がスクリューフィーダの場合の一実施形態について、図面に基づいて詳述する。図１は本発明の粉粒体移送装置の一実施形態に係るスクリューフィーダ１０の全体構成を示す概略側面図、図２は図１における駆動部２０及びマグネットカップリング部３０の拡大側面図、図３は図２に示した部分の分解図、図４は図１に示したスクリューフィーダ１０の模式断面図である。これらの図に示すように、本実施形態のスクリューフィーダ１０（粉粒体移送装置）は、密閉ケースであるスクリューケース１１内に配設されたスクリュー１２（回転体）を回転駆動させることによって粉粒体を定量移送する構成となっている。
【００２０】
スクリューケース１１は、ホッパー（不図示）等に貯留された粉粒体が供給される供給口１３と、スクリューケース１１内をスクリュー１２によって移送された粉粒体が排出される排出口１４とを備える。また、スクリューケース１１内における両側部には、スクリューケース１１内に配設されたスクリュー１２のスクリュー軸１５（回転軸）を軸支する軸受部１６及び軸受部１７がそれぞれ配設されている。なお、軸受部１６、１７の具体的な構成については後述する。
【００２１】
本実施形態のスクリューフィーダ１０に係る駆動部２０は、図２及び図３に示すように、駆動用モータ２１と、駆動用モータ２１を取り付けるための駆動用モータ側ブラケット２２と、駆動用モータ２１の出力軸２３に連結される駆動シャフト２４と、駆動用モータ２１の出力軸２３及び駆動シャフト２４を軸支する軸受アッセンブリ２５とを含んで構成されている。この軸受アッセンブリ２５は、ベアリング２６、スペーサー２７、ベアリング２８及びベアリングケース２９によって構成されている。
【００２２】
本実施形態のスクリューフィーダ１０に係るマグネットカップリング部３０は、主に駆動側マグネット部３１と、従動側マグネット部３２と、駆動側マグネット部３１と従動側マグネット部３２とを仕切るための隔壁として機能するマグネットカバー３３と、マグネットカバー３３が取り付けられるとともに、上記の駆動部２０をスクリューケース１１が備える軸受部１６に取り付けるためのケース側ブラケット３４とを含んで構成されている。そして、駆動用モータ側ブラケット２２とケース側ブラケット３４とをスペーサーボルト３５で連結固定することによって、駆動部２０及びマグネットカップリング部３０がスクリューケース１１に取り付けられるとともに、マグネットカップリング部３０の設置スペースが確保されることとなる。
【００２３】
駆動側マグネット部３１は、駆動シャフト２４に連結され、駆動用モータ２１の出力軸２３と一体回転する。駆動側マグネット部３１に係る先端側には開口部３１ａを備え、この開口部３１ａの内周面に沿って駆動側マグネット（不図示）が配設されている。
【００２４】
駆動側マグネット部３１に対向して配設される従動側マグネット部３２は、スクリューケース１１に配設されたスクリュー１２のスクリュー軸１５の後端に連結固定されている。本実施形態に係る従動側マグネット部３２は円筒状をなし、その外周面に沿って、従動側マグネット（不図示）が配設されている。
【００２５】
マグネットカバー３３は有底円筒状をなし、駆動側マグネット部３１に係る開口部３１ａ内にマグネットカバー３３が挿入され、マグネットカバー３３が備える開口部３３ａに従動側マグネット部３２が挿入されることによって、駆動側マグネット部３１と従動側マグネット部３２とを仕切るための隔壁として機能する。そして、駆動用モータ２１の駆動力が出力軸２３及び駆動シャフト２４を介して駆動側マグネット部３１に伝達されると、駆動側マグネット部３１と従動側マグネット部３２との間で吸引力が作用することによって駆動側マグネット部３１の回転力がマグネットカバー３３で仕切られた従動側マグネット部３２に伝達される。駆動側マグネット部３１の回転力が従動側マグネット部３２に伝達されることによって従動側マグネット部３２が回転駆動され、従動側マグネット部３２の回転に伴ってスクリュー軸１５が回転駆動されることとなる。
【００２６】
次に、本実施形態のスクリューフィーダ１０に係る軸受部１６及び軸受部１７について詳述する。図４及び図５に示すように、スクリューケース１１内における両側部には、少なくともスクリューケース１１内に配設されたスクリュー１２のスクリュー軸１５の後端側及び前端側を軸支する軸受部１６がそれぞれ配設されている。
【００２７】
そして、本実施形態に係る軸受部１６には、ラジアル静圧気体軸受が適用されることを特徴とする。本実施形態のスクリューフィーダ１０は粉粒体の定量移送に適用される。ラジアル静圧気体軸受は、スクリュー軸１５に作用するラジアル荷重を受けるとともに、潤滑剤として気体を利用し、外部からの気体圧力を利用してスクリュー軸１５と軸受面との間に気体膜を形成することによってスクリュー軸１５を軸支する。なお、スクリュー軸１５の後端には、上述した従動側マグネット部３２が連結固定されているため、スクリュー軸１５の後端側においては、この従動側マグネット部３２を避けた位置でラジアル静圧気体軸受によって軸支される。
【００２８】
従来の一般的な軸受構造では、スクリュー軸１５と軸受面との間への粉粒体の進入を防止するために、スクリュー１２側にダストシールが使用されるが、ダストシールが劣化してくると粉粒体が進入し、スクリュー軸１５が摩耗することとなる。しかし、本実施形態に係る軸受部１６にラジアル静圧気体軸受を適用することによって、図５に示すように、粉粒体の移送時には気体供給口１６ａから気体排出口１６ｂに向かって加圧気体が供給され、スクリュー軸１５と軸受面との間に形成される気体膜でスクリュー軸１５が軸支されるため、スクリュー軸１５と軸受面との隙間への粉粒体の進入を容易に防止できる。
【００２９】
また、仮にスクリュー１２の停止時にスクリュー軸１５と軸受面との隙間に粉粒体が進入しても、スクリュー軸１５を再駆動する際に加圧気体を供給することによって、隙間に進入した粉粒体を隙間から外部へ排出することができる。従って、軸受部１６においてダストシールを不要とすることが可能となり、ダストシールの劣化という問題が生じず、メンテナンス性の向上が図られる。
【００３０】
以上のとおり、本発明の粉粒体移送装置の実施形態に係るスクリューフィーダ１０によると、駆動部２０からの回転駆動力を、マグネットカップリング部３０を介してスクリューケース１１内のスクリュー軸１５に伝達することができるため、スクリュー１２を密閉されたスクリューケース１１内に配設することができ、粉粒体の外部への排出を防止することができる。
【００３１】
また、スクリューケース１１内において、スクリュー軸１５の前端側及び後端側をラジアル静圧気体軸受によって軸支することによって、スクリュー軸１５と軸受面との間への粉粒体の進入を防止することが容易にでき、密閉されたスクリューケース１１内に軸受部１６を配設しても、ダストシールを不要とすることができる。
【００３２】
なお、本実施形態のスクリューフィーダ１０では、スクリューケース１１内の両側部において、スクリュー軸１５の後端側及び前端側を軸受部１６、１６で軸支するのみならず、スクリュー軸１５の前端部をスラスト荷重軸受の軸受部１７によって軸支している。スクリュー軸１５（回転軸）にはラジアル荷重のみならずスラスト荷重も掛かるため、スクリュー軸１５のスラスト荷重を受けるスラスト荷重軸受が必要となる。但し、軸受部１７の構造、すなわちスラスト荷重軸受の構造は特に限定されず、公知のスラスト荷重軸受が適用できる。これは、図４に示すように、スクリュー１２と軸受部１７との間にラジアル静圧気体軸受である軸受部１６が介在しているため、軸受部１７におけるスクリュー軸１５と軸受面との間に粉粒体が進入するおそれが殆どないため、公知の種々のスラスト荷重軸受をシールレスで適用することができ、メンテナンス性の向上を図ることができる。
【００３３】
また、スラスト荷重軸受である軸受部１７の配設位置は図４に示したスクリュー軸１５の前端部に限定されない。例えば、図６に示した本実施形態に係るスクリューフィーダ１０ａのように、従動側マグネット部３２と、スクリュー軸１５（回転軸）の後端側に配設されたラジアル静圧気体軸受である軸受部１６との間に軸受部１７を配設してもよい。従動側マグネット部３２と、スクリュー軸１５の後端側に配設されたラジアル静圧気体軸受である軸受部１６との間に位置するスクリュー軸１５を軸受部１７（スラスト荷重軸受）で軸受することによって、スクリュー軸１５に作用するスラスト荷重を受けることができるとともに、スクリュー１２と軸受部１７との間にラジアル静圧気体軸受である軸受部１６が介在しているため、ダストシールを用いなくてもスクリュー軸１５と軸受面との間に粉粒体が進入するのを防止することができ、メンテナンス性の向上を図ることができる。
【００３４】
更に、本実施形態のスクリューフィーダ１０、１０ａに係る軸受部１７のスラスト荷重軸受の構造は特に限定されないが、本実施形態に係る軸受部１７にはスラスト静圧気体軸受が適用されることがより好ましい。本実施形態に係る軸受部１７にスラスト静圧気体軸受を適用することによって、図５及び図７に示すように、粉粒体の移送時には気体供給口１７ａから気体排出口１６ｂ、１７ｂに向かって加圧気体が供給され、スクリュー軸１５と軸受面との間に形成される気体膜でスクリュー軸１５の前端部、或いは従動側マグネット部３２と、スクリュー軸１５の後端側に配設された軸受部１６（ラジアル静圧気体軸受）との間に位置するスクリュー軸１５が軸支されるため、より安定してスクリュー軸１５を軸支することができる。
【００３５】
また、万が一、軸受部１６のラジアル静圧気体軸受を通過した粉粒体が、スクリュー１２の停止時に軸受部１７におけるスクリュー軸１５と軸受面との隙間に粉粒体が進入しても、スクリュー軸１５を再駆動する際に加圧気体を供給することによって、隙間に進入した粉粒体を隙間から外部へ排出することができる。従って、軸受部１６においてダストシールを不要とすることが可能となり、ダストシールの劣化という問題が生じず、メンテナンス性の向上が図られる。
【００３６】
以上、本発明の粉粒体移送装置の実施形態として、スクリューフィーダ１０、１０ａの態様について詳述したが、本発明の粉粒体移送装置はスクリューフィーダに限定されるものではない。例えば、本発明の粉粒体移送装置の他の実施形態として、本発明の粉粒体移送装置がロータリーバルブの場合の実施形態について説明する。
【００３７】
図８は、本発明の粉粒体移送装置の他の実施形態に係るロータリーバルブ１０ｂの全体構成を示す断面模式図である。同図に示すように、本実施形態に係るロータリーバルブ１０ｂは、基本的な構成は上記の実施形態に係るスクリューフィーダ１０、１０ａと同様であって、密閉ケースであるロータリーバルブケース１１ａ内に配設されたローター１２ａ（回転体）を回転駆動させることによって粉粒体を定量移送する構成となっている。
【００３８】
ロータリーバルブケース１１ａは、ホッパー（不図示）等に貯留された粉粒体が供給される供給口１３と、ローター１２ａによって移送された粉粒体が定量排出される排出口１４とを備え、ロータリーバルブケース１１ａ内における両側部には、ローター１２ａのローターシャフト１５ａ（回転軸）を軸支する軸受部１６及び軸受部１７がそれぞれ配設されている。
【００３９】
本実施形態のロータリーバルブ１０ｂにおいても、駆動用モータ２１の駆動力が駆動シャフト２４を介して駆動側マグネット部３１に伝達されると、駆動側マグネット部３１と従動側マグネット部３２との間で吸引力が作用することによって駆動側マグネット部３１の回転力がマグネットカバー３３で仕切られた従動側マグネット部３２に伝達される。駆動側マグネット部３１の回転力が従動側マグネット部３２に伝達されることによって従動側マグネット部３２が回転駆動され、従動側マグネット部３２の回転に伴ってローターシャフト１５ａが回転駆動されることとなる。
【００４０】
そして、本実施形態のロータリーバルブ１０ｂに係る軸受部１６、１６に、それぞれラジアル静圧気体軸受が適用されることによって、粉粒体の移送時には加圧気体が供給され、ローターシャフト１５ａと軸受面との間に形成される気体膜でローターシャフト１５ａが軸支されるため、ローターシャフト１５ａと軸受面との隙間への粉粒体の進入を容易に防止できる。従って、軸受部１６においてダストシールを不要とすることが可能となり、ロータリーバルブ１０ｂにおいてもダストシールの劣化という問題が生じず、メンテナンス性の向上が図られる。
【００４１】
また、軸受部１６、１６にラジアル静圧気体軸受が適用されることによって、ローターシャフト１５ａと軸受面との隙間への粉粒体の進入を容易に防止できるため、本実施形態のロータリーバルブ１０ｂに係る軸受部１７の構造も特に限定されず、スラスト荷重を受けることができる公知のスラスト荷重軸受をシールレスで適用できる。但し、上記の実施形態に係るスクリューフィーダ１０、１０ａと同様に、軸受部１７にはスラスト静圧気体軸受が適用されることがより好ましい。
【００４２】
更に、本実施形態のロータリーバルブ１０ｂに係る軸受部１７の配設位置も図８の態様に限定されず、図６に示したスクリューフィーダ１０ａと同様に、従動側マグネット部３２と、ローターシャフト１５ａの後端側に配設された軸受部１６（ラジアル静圧気体軸受）との間に位置するローターシャフト１５ａを軸支する位置に配設されてもよい。
【００４３】
以上、本発明の粉粒体移送装置の種々の実施形態について詳述したが、本発明の粉粒体移送装置の技術的思想を実質的に限定するものと解してはならない。例えば、ラジアル静圧気体軸受やスラスト静圧気体軸受に使用される気体は特に限定されず、移送する粉粒体の種類に応じて、空気、窒素等の不活性ガス等、適宜選択される。本発明はその要旨を逸脱しない範囲で、当業者の創意と工夫により、適宜に改良、変更又は追加をしながら実施できる。
【符号の説明】
【００４４】
１０、１０a：スクリューフィーダ（粉粒体移送装置）
１０b：ロータリーバルブ（粉粒体移送装置）
１１：スクリューケース（密閉ケース）
１１a：ロータリーバルブケース（密閉ケース）
１２：スクリュー（回転体）
１２a：ローター（回転体）
１３：供給口
１４：排出口
１５：スクリュー軸（回転軸）
１５a：ローターシャフト（回転軸）
１６：軸受部（ラジアル静圧気体軸受）
１７：軸受部（スラスト静圧気体軸受）
２０：駆動部
２１：駆動用モータ
２２：駆動用モータ側ブラケット
２３：出力軸
２４：駆動シャフト
２５：軸受アッセンブリ
２６、２８：ベアリング
２７：スペーサー
２９：ベアリングケース
３０：マグネットカップリング部
３１：駆動側マグネット部
３２：従動側マグネット部
３３：マグネットカバー
３４：ケース側ブラケット
３５：スペーサーボルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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