(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一面と第二面とを備えるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板であって、
該第一面が鏡面であり、
該第二面が第二面中央領域と第二面外周領域とを有し、
該第二面中央領域が鏡面であり、
該第二面外周領域が非鏡面であり、
該第一面の表面粗さＲａが１ｎｍ以下である、
ＩＩＩ族元素窒化物半導体基板。
【請求項２】
前記第二面外周領域の幅が５ｍｍ以下である、請求項１に記載のＩＩＩ族元素窒化物半導体基板。
【請求項３】
前記第二面外周領域の幅が３ｍｍ以下である、請求項２に記載のＩＩＩ族元素窒化物半導体基板。
【請求項４】
前記第二面外周領域の幅が１ｍｍ以下である、請求項３に記載のＩＩＩ族元素窒化物半導体基板。
【請求項５】
前記第二面外周領域の表面粗さＲａが１００ｎｍ以上である、請求項１から４までのいずれかに記載のＩＩＩ族元素窒化物半導体基板。
【請求項６】
前記第二面中央領域の表面粗さＲａが１０ｎｍ以下である、請求項１から５までにいずれかに記載のＩＩＩ族元素窒化物半導体基板。
【請求項７】
前記第二面外周領域は、波長６５０ｎｍのレーザ光を１０％以上減衰させる遮光領域である、請求項１から６までのいずれかに記載のＩＩＩ族元素窒化物半導体基板。
【請求項８】
前記基板の反りが５０μｍ以下である、請求項１から７までのいずれかに記載のＩＩＩ族元素窒化物半導体基板。
【請求項９】
前記基板の曲率半径が３０ｍ以上である、請求項１から８までのいずれかに記載のＩＩＩ族元素窒化物半導体基板。
【請求項１０】
サブオリエンテーションフラットを有しない、請求項１から９までのいずれかに記載のＩＩＩ族元素窒化物半導体基板。
【請求項１１】
直径が９５ｍｍ以上である、請求項１から１０までのいずれかに記載のＩＩＩ族元素窒化物半導体基板。
【請求項１２】
直径が１４５ｍｍ以上である、請求項１から１１までのいずれかに記載のＩＩＩ族元素窒化物半導体基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＩＩＩ族元素窒化物半導体基板に関する。より詳細には、第一面と第二面とを備えるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板であって、第二面の外周領域のみを非鏡面仕上げとした、表裏両面鏡面タイプのＩＩＩ族元素窒化物半導体基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種半導体デバイスの基板として、窒化ガリウム（ＧａＮ）ウエハ、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）ウエハ、窒化インジウム（ＩｎＮ）ウエハなどのＩＩＩ族元素窒化物半導体基板が用いられている（例えば、特許文献１など）。【０００３】
半導体基板は、第一面と第二面とを備える。第一面を主面、第二面を裏面としたとき、主面は、一般的に、鏡面仕上げされる。他方、裏面は、用途に応じて、鏡面仕上げされるか粗面仕上げされる（例えば、特許文献２−４など）。【０００４】
裏面が鏡面仕上げされた場合は、主面と裏面との両方が鏡面となるため、目視による主面と裏面の区別が困難になる。このため、通常のオリエンテーションフラット（オリフラ）に加えて、サブオリエンテーションフラット（サブオリフラ）を形成することによって、目視による主面と裏面の区別を行っている。【０００５】
しかし、通常のオリエンテーションフラット（オリフラ）に加えて、サブオリエンテーションフラット（サブオリフラ）を形成すると、半導体基板の有効面積（デバイス作製に使用できる面積）が小さくなってしまうという問題が生じる。【０００６】
また、半導体基板の自動化製造プロセスにおいては、半導体基板の端部を光学センサーによって検出する。この場合、半導体基板が透明であって、且つ、裏面が鏡面仕上げされていると、測定光が半導体基板を実質的に透過してしまうために、光源から出力される光量と検出器に入力される光量との変化量が非常に小さくなり、光学センサーが検知しない場合が生じるため、該半導体基板の端部の検出エラーが発生しやすくなり、自動化製造プロセスが停止してしまうという問題が生じる。【０００７】
他方、裏面が粗面仕上げされた場合は、目視による主面と裏面の区別はしやすく、また、上記のような光学センサーによる端部の検出エラーも起こりにくい。しかしながら、基板全体に反りが発生しやすいという問題が生じる。これは、主面と裏面の物理的な表面状態が異なるためと考えられる（例えば、特許文献３、４など）。半導体基板を用いて各種デバイスを作製する際に、製造プロセス装置の動作不良を抑制する観点から、反りは小さいほどよい。ここで、動作不良とは、成膜装置の膜厚バラツキや半導体回路用露光装置の焦点ズレ、移載装置の吸着不良などが例示される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００５−２６３６０９号公報
【特許文献２】特開２００７−１５３７１２号公報
【特許文献３】特開２００７−２９７２６３号公報
【特許文献４】特許第５７９６６４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の課題は、第一面と第二面とを備えるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板であって、目視による第一面と第二面の区別が容易であり、光学センサーによる端部の検出がしやすく、有効面積（デバイス作製に使用できる面積）を大きく確保でき、基板全体の反りが低減される、ＩＩＩ族元素窒化物半導体基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の課題を解決するためには、第一面と第二面とを備えるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板において、従来にはない新たな基板設計が求められる。第一面を主面、第二面を裏面としたとき、反りを低減するためには、例えば、主面と裏面の物理的な表面状態をできるだけ同じとする設計、具体的には、主面と裏面をいずれも鏡面とする設計が考えられる。しかし、裏面を鏡面とすると、光学センサーによる端部の検出エラーが発生しやすくなる。また、主面と裏面の物理的な表面状態をできるだけ同じとする設計を行った場合、目視による主面と裏面の区別を容易に行うためには主面と裏面で何らかの見分け箇所を設ける必要がある。従来、この見分け箇所として、サブオリエンテーションフラット（サブオリフラ）が形成されているが、有効面積（デバイス作製に使用できる面積）が小さくなってしまうため、別の見分け手段を構築する必要がある。【００１１】
上記のような新たな基板設計について検討を行った結果、第一面と第二面とを備えるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板において、第一面を主面、第二面を裏面としたとき、裏面の外周領域に着目し、裏面の外周領域のみを非鏡面仕上げとした表裏両面鏡面タイプの基板とすれば、上記課題が解決できることに想到し、本発明を完成するに至った。【００１２】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、
第一面と第二面とを備えるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板であって、
該第一面が鏡面であり、
該第二面が第二面中央領域と第二面外周領域とを有し、
該第二面中央領域が鏡面であり、
該第二面外周領域が非鏡面である。【００１３】
一つの実施形態においては、上記第二面外周領域の幅が５ｍｍ以下である。【００１４】
一つの実施形態においては、上記第二面外周領域の幅が３ｍｍ以下である。【００１５】
一つの実施形態においては、上記第二面外周領域の幅が１ｍｍ以下である。【００１６】
一つの実施形態においては、上記第二面外周領域の表面粗さＲａが１００ｎｍ以上である。【００１７】
一つの実施形態においては、上記第二面中央領域の表面粗さＲａが１０ｎｍ以下である。【００１８】
一つの実施形態においては、上記第一面の表面粗さＲａが１ｎｍ以下である。【００１９】
一つの実施形態においては、上記第二面外周領域は、波長６５０ｎｍのレーザ光を１０％以上減衰させる遮光領域である。【００２０】
一つの実施形態においては、上記基板の反りが５０μｍ以下である。【００２１】
一つの実施形態においては、上記基板の曲率半径が３０ｍ以上である。【００２２】
一つの実施形態においては、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、サブオリエンテーションフラットを有しない。【００２３】
一つの実施形態においては、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、直径が９５ｍｍ以上である。【００２４】
一つの実施形態においては、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、直径が１４５ｍｍ以上である。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、第一面と第二面とを備えるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板であって、目視による第一面と第二面の区別が容易であり、光学センサーによる端部の検出がしやすく、有効面積を大きく確保でき、基板全体の反りが低減される、ＩＩＩ族元素窒化物半導体基板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の代表的な概略断面図である。
【図２】図２（ａ）〜図２（ｄ）は、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板であって、図１に示す実施形態と端部が異なる概略断面図である。
【図３】本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の主面方向から見た概略平面図である。
【図４】本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の裏面方向から見た概略平面図である。
【図５】本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の製造方法を示す概略説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
本明細書中で「重量」との表現がある場合は、重さを示すＳＩ系単位として慣用されている「質量」と読み替えてもよい。
【００２８】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、代表的には、ＩＩＩ族元素窒化物結晶からなる自立基板である。本発明の説明において、「自立基板」とは、取り扱う際に自重で変形または破損せず、固形物として取り扱うことのできる基板を意味する。自立基板は発光素子や電力制御素子等の各種半導体デバイスの基板として使用可能である。
【００２９】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、代表的には、ウエハ状（略真円状）である。本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板がウエハ状の場合、その大きさは、直径が、好ましくは２０ｍｍ〜３１０ｍｍであり、代表的には、２５ｍｍ（約１インチ）、４５〜５５ｍｍ（約２インチ）、９５〜１０５ｍｍ（約４インチ）、１４５〜１５５ｍｍ（約６インチ）、１９５〜２０５ｍｍ（約８インチ）、２９５〜３０５ｍｍ（約１２インチ）等である。このような大きさであれば、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、半導体パッケージの製造工程に適用し易くなる。なお、必要に応じて、それ以外の形状、例えば、矩形等の形状に加工してもよい。
【００３０】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、その厚さ（厚さが一定でない場合は最大厚さ箇所の厚さ）が、好ましくは３００μｍ〜１０００μｍである。
【００３１】
ＩＩＩ族元素窒化物としては、代表的には、窒化ガリウム（ＧａＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、窒化インジウム（ＩｎＮ）またはこれらの混晶が挙げられる。これらは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【００３２】
ＩＩＩ族元素窒化物は、具体的には、ＧａＮ、ＡｌＮ、ＩｎＮ、ＧａｘＡｌ１−ｘＮ（１＞ｘ＞０）、ＧａｘＩｎ１−ｘＮ（１＞ｘ＞０）、ＡｌｘＩｎ１−ｘＮ（１＞ｘ＞０）、ＧａｘＡｌｙＩｎｚＮ（１＞ｘ＞０、１＞ｙ＞０、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）である。これらは、各種のｎ型ドーパントまたはｐ型ドーパントでドープされていてもよい。
【００３３】
ｐ型ドーパントとしては、代表的には、ベリリウム（Ｂｅ）、マグネシウム（Ｍｇ）、ストロンチウム（Ｓｒ）、およびカドミウム（Ｃｄ）が挙げられる。これらは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【００３４】
ｎ型ドーパントとしては、代表的には、シリコン（Ｓｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、スズ（Ｓｎ）、および酸素（Ｏ）が挙げられる。これらは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【００３５】
ＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の面方位は、ｃ面、ｍ面、ａ面、およびｃ面、ａ面、ｍ面それぞれから傾斜した特定の結晶面とすることができ、特に、ｃ面とした際に本発明の効果がより発現される。ｃ面、ａ面、ｍ面それぞれから傾斜した特定の結晶面としては、｛１１−２２｝面や｛２０−２１｝面といった、いわゆる半極性面が例示できる。また、面方位としては、ｃ面、ａ面、ｍ面あるいはこれらから傾斜した特定の結晶面に対して、垂直ないわゆるジャスト面だけでなく、±５°の範囲でのオフ角を含むことが許容される。
【００３６】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、第一面と第二面とを備えるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板であって、該第一面が鏡面であり、該第二面が第二面中央領域と第二面外周領域とを有し、該第二面中央領域が鏡面であり、該第二面外周領域が非鏡面である。
【００３７】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板において、第一面を主面、第二面を裏面としたとき、ＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の面方位がｃ面であれば、主面は、代表的には、ＩＩＩ族元素極性面であり、裏面は、代表的には、窒素極性面である。しかしながら、用途によっては窒素極性面上に各種デバイスを作製する場合もあり、主面を窒素極性面としてもよいし、裏面をＩＩＩ族元素極性面としてもよい。主面上には、各種デバイスを実装でき、また、エピタキシャル結晶を成長させ得る。裏面は、サセプタなどによって保持させて、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板を移送できる。
【００３８】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の説明においては、第一面を主面、第二面を裏面として説明する。したがって、本明細書において、「主面」とあるものは「第一面」と読み替えてもよく、「第一面」とあるものは「主面」と読み替えてもよく、「裏面」とあるものは「第二面」と読み替えてもよく、「第二面」とあるものは「裏面」と読み替えてもよい。
【００３９】
図１は、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の代表的な概略断面図である。
【００４０】
図１に示すように、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板１００は、代表的には、表裏の関係にある主面１０と裏面２０と、側面３０を備え、主面１０は、主面中央領域１０ａと主面外周領域１０ｂとを有し、裏面２０は、裏面中央領域２０ａと裏面外周領域２０ｂとを有している。
【００４１】
図１においては、主面１０は、主面中央領域１０ａと主面外周領域１０ｂとを有しているが、これとは異なり、主面は、主面中央領域と主面外周領域とを有していなくてもよい。
【００４２】
なお、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の端部は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な形態を採り得る。すなわち、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の端部断面形状は、図１に示すような矩形形状のみでなく、例えば、主面側と裏面側の両方が平坦面となるように面取りされた形状（図２（ａ））であってもよいし、Ｒ状に面取りされた形状（図２（ｂ））であってもよいし、端部の主面側だけが平坦面となるように面取りされている形状（図２（ｃ））であってもよいし、端部の裏面側だけが平坦面となるように面取りされている形状（図２（ｄ））であってもよい。図２（ａ）に示す本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板１００においては、端部の主面側と裏面側が面取りされ、主面側面取り部１１と裏面側面取り部２１が設けられている。図２（ｂ）に示す本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板１００においては、主面側面取り部１１と裏面側面取り部２１はＲ状に面取りされた湾曲面となっており、各湾曲面は外周エッジで会合しており、平坦な側面は残っていない。図２（ｃ）に示す本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板１００においては、主面側面取り部１１を有し、裏面は裏面側面取り部を有さず、主面側面取り部１１は平坦面となっており、該平坦面は、主面１０、裏面２０、および側面３０に対して傾斜し、側面３０は平坦面である。図２（ｄ）に示す本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板１００においては、裏面側面取り部２１を有し、主面は主面側面取り部を有さず、裏面側面取り部２１は平坦面となっており、該平坦面は、主面１０、裏面２０、および側面３０に対して傾斜し、側面３０は平坦面である。もちろん、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の端部は、図２（ａ）〜図２（ｄ）の示す形態には限られない。
【００４３】
主面側面取り部１１は、主面外周領域１０ｂの全て（１周全部）にわたって設けられていてよく、あるいは、主面外周領域１０ｂの一部のみに設けられていてもよい。半導体基板の欠けを抑制する観点等から、好ましくは、主面外周領域１０ｂの全て（１周全部）にわたって主面側面取り部１１が設けられている。
【００４４】
裏面側面取り部２１は、裏面外周領域２０ｂの全て（１周全部）にわたって設けられていてよく、あるいは、裏面外周領域２０ｂの一部のみに設けられていてもよい。半導体基板の欠けを抑制する観点等から、好ましくは、裏面外周領域２０ｂの全て（１周全部）にわたって裏面側面取り部２１が設けられている。
【００４５】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板において、主面は鏡面である。すなわち、図１に示すように主面１０が主面中央領域１０ａと主面外周領域１０ｂとを有する場合は、主面中央領域１０ａと主面外周領域１０ｂはいずれも鏡面となる。
【００４６】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板において、裏面は裏面中央領域と裏面外周領域とを有し、裏面中央領域は鏡面であり、裏面外周領域は非鏡面である。すなわち、図１においては、裏面中央領域２０ａは鏡面であり、裏面外周領域２０ｂは非鏡面である。
【００４７】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板が、例えば、図２（ａ）、（ｂ）、（ｄ）に示すように、裏面側が平坦面となるように面取りされた形状を有する場合は、裏面側面取り部は、裏面の裏面外周領域と一致してもよい。すなわち、図２（ａ）、（ｂ）、（ｄ）においては、裏面側面取り部２１は、裏面外周領域２０ｂと一致してもよい。この場合も、裏面外周領域２０ｂは非鏡面であるから、裏面側面取り部２１も非鏡面となる。
【００４８】
上述の通り、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板においては、主面が鏡面であり、裏面中央領域が鏡面であり、裏面外周領域が非鏡面である。すなわち、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、主面と裏面の中で、裏面外周領域のみが非鏡面であり、その他が鏡面である。本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、このような、裏面外周領域のみを非鏡面仕上げとした、表裏両面鏡面タイプのＩＩＩ族元素窒化物半導体基板であることにより、目視による主面と裏面の区別が容易であり、光学センサーによる端部の検出がしやすく、基板全体の反りが低減される。また、目視による主面と裏面の区別が容易となることにより、サブオリエンテーションフラット（サブオリフラ）を形成する必要がなく、半導体基板の有効面積（デバイス作製に使用できる面積）を大きく確保できる。
【００４９】
鏡面とは、鏡面加工された表面であり、鏡面加工後に、光が反射して鏡面加工された表面上に物が映っていることを目視で確認することができるまで表面の粗さやうねりが低減されている状態の表面を指す。つまり、鏡面加工後の表面の粗さやうねりの大きさが、可視光の波長に対して十分無視できる程度にまで低減されている状態の表面である。鏡面加工されている表面上にはエピタキシャル結晶成長が十分可能である。
【００５０】
鏡面加工の方法としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な方法を採用し得る。このような方法としては、例えば、テープを用いた研磨装置、ダイヤモンド砥粒を用いたラッピング装置、コロイダルシリカ等のスラリーと不織布の研磨パッドとを用いたＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈ）装置などを、１つまたは組み合わせて用いて鏡面加工する方法などが挙げられる。
【００５１】
非鏡面とは、鏡面加工されていない表面であり、代表的には、粗面化処理によって得られる粗面が挙げられる。
【００５２】
粗面化処理の方法としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な方法を採用し得る。このような方法としては、例えば、レーザーテクスチャ加工、各種薬剤やガスを用いたエッチング処理、物理的あるいは化学的なコーティング処理、機械加工によるテクスチャリングなどが挙げられる。
【００５３】
裏面外周領域の表面粗さＲａは、好ましくは１００ｎｍ以上であり、より好ましくは２００ｎｍ〜１５００ｎｍであり、さらに好ましくは５００ｎｍ〜１０００ｎｍである。裏面の外周領域の表面粗さＲａを上記範囲内に調整することにより、目視による主面と裏面の区別がより容易であり、光学センサーによる端部の検出がよりしやすい。ただし、裏面の外周領域の表面粗さＲａが大きくなりすぎると、半導体基板に与えるダメージが大きくなりクラックの原因となるので好ましくない。
【００５４】
裏面中央領域の表面粗さＲａは、好ましくは１０ｎｍ以下であり、より好ましくは０．１ｎｍ〜２ｎｍであり、さらに好ましくは０．１ｎｍ〜１ｎｍであり、特に好ましくは０．１ｎｍ〜０．５ｎｍである。裏面中央領域の表面粗さＲａを上記範囲内に調整することにより、目視による主面と裏面の区別がより容易であり、光学センサーによる端部の検出がよりしやすく、半導体基板の反りも抑制できる。
【００５５】
主面の表面粗さＲａは、好ましくは２ｎｍ以下であり、より好ましくは１ｎｍ以下であり、さらに好ましくは０．１ｎｍ〜０．５ｎｍであり、特に好ましくは０．１ｎｍ〜０．２ｎｍである。主面の表面粗さＲａを上記範囲内に調整することにより、目視による主面と裏面の区別がより容易であり、光学センサーによる端部の検出がよりしやすい。
【００５６】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、主面と裏面の物理的な表面状態が近似しているため、該基板の反りが小さく、好ましくは５０μｍ以下であり、より好ましくは４０μｍ以下であり、さらに好ましくは３０μｍ以下である。基板の反りが５０μｍより大きくなると、半導体基板を用いて各種デバイスを作製する際に、成膜装置の膜厚バラツキや半導体回路用露光装置の焦点ズレによる製造不良が生じることがある。
【００５７】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、主面と裏面の物理的な表面状態が近似しているため、該基板の反りが小さく、曲率半径が、好ましくは３０ｍ以上であり、より好ましくは５０ｍ以上であり、さらに好ましくは７０ｍ以上であり、特に好ましくは１００ｍ以上である。曲率半径が３０ｍより小さくなると、半導体基板を用いて各種デバイスを作製する際に、プロセス装置内部や搬送装置上で吸着による基板の固定ができず、基板の脱落などによる製造不良が生じることがある。
【００５８】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、目視による主面と裏面の区別が容易であるので、サブオリエンテーションフラット（サブオリフラ）を形成する必要がなく、半導体基板の有効面積（デバイス作製に使用できる面積）を大きく確保できる。すなわち、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、好ましくは、サブオリエンテーションフラットを有しない。
【００５９】
図３は、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の主面方向から見た概略平面図である。
【００６０】
図３に示すように、主面には主面側面取り部１１を設けてもよい。主面側面取り部１１は、代表的には、主面外周領域１０ｂに設けられる、全周にわたって外周端部１２から主面１０の内側方向に向かって幅Ｄ１の距離までの領域である。主面側面取り部の幅Ｄ１は、外周端部１２を起点とする距離であって、主面１０の内側方向に向かって、該外周端部１２における接線に対する法線方向の距離である。主面側面取り部の幅Ｄ１は、主面側面取り部１１全体において一定であることが好ましい。
【００６１】
図４は、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の裏面方向から見た概略平面図である。
【００６２】
図４に示すように、裏面には裏面側面取り部２１を設けてもよい。裏面側面取り部２１は、代表的には、裏面外周領域２０ｂに設けられる、全周にわたって外周端部２２から裏面２０の内側方向に向かって幅Ｄ２の距離までの領域である。裏面側面取り部の幅Ｄ２は、外周端部２２を起点とする距離であって、裏面２０の内側方向に向かって、該外周端部２２における接線に対する法線方向の距離である。裏面側面取り部の幅Ｄ２は、裏面側面取り部２１全体において一定であることが好ましい。
【００６３】
図４に示すように、裏面外周領域２０ｂは、代表的には、裏面２０を平面方向から見た場合の外周端部２２から裏面２０の内側方向に向かって幅ｄ２の距離までの領域である。裏面外周領域の幅ｄ２は、図４に示すように、外周端部２２を起点とする距離であって、裏面２０の内側方向に向かって、該外周端部２２における接線に対する法線方向の距離である。裏面外周領域の幅ｄ２は、裏面外周領域２０ｂ全体にわたって一定であることが好ましい。
【００６４】
裏面外周領域の幅ｄ２は、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板の大きさ等によって、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な大きさを採用し得る。本発明の効果をより発現させ得る点で、裏面外周領域の幅ｄ２は、好ましくは５ｍｍ以下であり、より好ましくは３ｍｍ以下であり、さらに好ましくは１ｍｍ以下である。裏面外周領域の幅ｄ２の下限値は、本発明の効果をより発現させ得る点で、好ましくは０．２ｍｍ以上であり、より好ましくは０．５ｍｍ以上である。
【００６５】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板において、裏面側面取り部は、裏面の裏面外周領域と一致してもよい。例えば、図４において、裏面側面取り部２１は、裏面外周領域２０ｂと一致してもよい。この場合、図４において、裏面側面取り部の幅Ｄ２は、裏面外周領域の幅ｄ２と一致することになる。
【００６６】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板において、裏面外周領域２０ｂは、好ましくは、４５０ｎｍ〜１１００ｎｍのレーザ光を減衰させる遮光領域である。裏面外周領域２０ｂが、４５０ｎｍ〜１１００ｎｍのレーザ光を減衰させる遮光領域であることにより、目視による主面と裏面の区別が容易となり得るとともに、光学センサーによる端部の検出が容易となり得る。本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板において、裏面外周領域２０ｂは、より好ましくは、波長６５０ｎｍのレーザ光を１０％以上減衰させる遮光領域である。
【００６７】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、反りが、好ましくは５０μｍ以下である。反りの測定については後述する。
【００６８】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、曲率半径が、好ましくは３０ｍ以上であり、より好ましくは４０ｍ以上であり、さらに好ましくは５０ｍ以上である。曲率半径の測定については後述する。
【００６９】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な方法で作製し得る。
【００７０】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、代表的には、図５（ａ）に示すように、下地基板１の主面１ａ上に種結晶膜２を形成し、種結晶膜２のＩＩＩ族元素極性面２ａ上にＩＩＩ族元素窒化物層３を形成する。次いで、下地基板１から自立基板となるＩＩＩ族元素窒化物層（種結晶膜２＋ＩＩＩ族元素窒化物層３）を分離し、主面１０’と裏面２０’を有する自立基板１００’を得る。下地基板１の裏面１ｂ側から矢印Ａのようにレーザ光を照射し、レーザリフトオフ法によってＩＩＩ族元素窒化物層を分離し、図５（ｂ）に示すように自立基板１００’を得てもよいし、ＩＩＩ元素窒化物層３の形成後の降温時の熱収縮差を利用した自発分離法や、ワイヤソーなどを使用して、ＩＩＩ族元素窒化物層３をスライスすることにより自立基板１００’を得てもよい。
【００７１】
下地基板の材質としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な材質を採用し得る。このような材質としては、例えば、サファイア、結晶配向性アルミナ、酸化ガリウム、ＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０≦ｘ≦１）、ＧａＡｓ、ＳｉＣが挙げられる。
【００７２】
種結晶膜の材質としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な材質を採用し得る。このような材質としては、例えば、ＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０≦ｘ≦１）やＩｎｘＧａ１−ｘＮ（０≦ｘ≦１）が挙げられ、好ましくは、窒化ガリウムである。種結晶膜の材質としては、より好ましくは、蛍光顕微鏡観察により黄色発光効果が認められる窒化ガリウムである。黄色発光とは、バンドからバンドへの励起子遷移（ＵＶ）に加えて、２．２〜２．５ｅＶの範囲に現れるピーク（黄色発光（ＹＬ）または黄色帯（ＹＢ））である。
【００７３】
種結晶膜の形成方法としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な形成方法を採用し得る。このような形成方法としては、例えば、気相成長法が挙げられ、好ましくは、有機金属化学気相成長（ＭＯＣＶＤ：Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ハイドライド気相成長（ＨＶＰＥ）法、パルス励起堆積（ＰＸＤ）法、ＭＢＥ法、昇華法が挙げられる。種結晶膜の形成方法としては、これらの中でも、有機金属化学気相成長法（ＭＯＣＶＤ：Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）がより好ましい。成長温度は、９５０〜１２００℃が好ましい。
【００７４】
ＩＩＩ族元素窒化物結晶の育成方向としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な育成方向を採用し得る。このような育成方向としては、例えば、ウルツ鉱構造のｃ面の法線方向、ａ面、ｍ面それぞれの法線方向、ｃ面、ａ面、ｍ面それぞれから傾斜した面の法線方向が挙げられる。
【００７５】
ＩＩＩ族元素窒化物層の製法としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な製法を採用し得る。このような製法としては、例えば、有機金属化学気相成長（ＭＯＣＶＤ：Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、ハイドライド気相成長（ＨＶＰＥ）法、パルス励起堆積（ＰＸＤ）法、ＭＢＥ法、昇華法などの気相法；アモノサーマル法、フラックス法などの液相法；が挙げられる。
【００７６】
次いで、自立基板の外周部を研削加工することにより、所望の直径の円形状に整える。
【００７７】
自立基板のサイズとしては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切なサイズを採用し得る。このようなサイズとしては、例えば、２５ｍｍ（約１インチ）、４５〜５５ｍｍ（約２インチ）、９５〜１０５ｍｍ（約４インチ）、１４５〜１５５ｍｍ（約６インチ）、１９５〜２０５ｍｍ（約８インチ）、２９５〜３０５ｍｍ（約１２インチ）等である。
【００７８】
次いで、円形状の自立基板の窒素極性面を加工用定盤に貼り付ける。貼り付ける際は、自立基板に印加する荷重を調整することによりワックス厚さを変えたり、自立基板と加工用定盤の間に治具を挟んだりして、自立基板の表面形状を変化させる。
【００７９】
次いで、研削、ラップ、研磨加工などによりＩＩＩ族元素極性面を除去加工することによって、所望の厚さに薄板化およびＩＩＩ族元素極性面の表面を平坦化し、ＩＩＩ族元素極性面が鏡面化された自立基板を得る。
【００８０】
次いで、ＩＩＩ族元素極性面が鏡面化された自立基板のＩＩＩ族元素極性面を加工定盤に貼り付ける。貼り付ける際は、自立基板に印加する荷重を調整することによりワックス厚さを変えたり、自立基板と加工用定盤の間に治具を挟んだりして、自立基板の表面形状を変化させる。
【００８１】
次いで、研削、ラップ、研磨加工などにより窒素極性面を除去加工することによって、所望の厚さに薄板化および窒素極性面の表面を平坦化し、窒素極性面が鏡面化された自立基板を得る。なお、この実施形態においては、ＩＩＩ族元素極性面を鏡面仕上げした後に窒素極性面を鏡面仕上げしたが、順序は逆でも良い。
【００８２】
研磨加工後の自立基板の厚さ（厚さが一定でない場合は最大厚さ箇所の厚さ）は、好ましくは３００μｍ〜１０００μｍである。
【００８３】
次いで、研削加工により、自立基板外周エッジの面取りをし、最終的に、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板１００を得る。
【００８４】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板において、面取りは、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な面取り加工方法で行うことができる。このような面取り加工方法としては、例えば、ダイヤモンド砥石を用いた研削加工、テープを用いた研磨加工、コロイダルシリカ等のスラリーと不織布の研磨パッドとを用いたＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈ）などが挙げられる。
【００８５】
次いで、窒素極性面の外周部の粗面化加工を行い、最終的に、本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板１００を得る。
【００８６】
粗面化加工の方法としては、本発明の効果を損なわない範囲で、任意の適切な方法を採用し得る。このような方法としては、例えば、レーザーテクスチャ加工、各種薬剤やガスを用いたエッチング処理、物理的あるいは化学的なコーティング処理、機械加工によるテクスチャリングなどが挙げられる。
【００８７】
得られるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板１００は、その主面（ＩＩＩ族元素極性面）１０上に結晶をエピタキシャル成長させることができ、図５（ｃ）に示すように機能層４を成膜し、機能素子５を得る。２０は裏面（窒素極性面）である。
【００８８】
なお、主面（ＩＩＩ族元素極性面）の反りと裏面（窒素極性面）の反りとが異なると、自立基板の厚さ分布（ＴＴＶ：Ｔｏｔａｌ  Ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ  Ｖａｒｉａｔｉｏｎ）が生ずる。しかし、自立基板の厚さ分布が生じても、自立基板上に機能層をエピタキシャル成長させるときの主面（ＩＩＩ族元素極性面）には大きな分布が発生しない。これは自立基板を構成するＩＩＩ族元素窒化物結晶の熱伝導率が高いという性質を利用しているからである。この結果、機能層の成膜時のモフォロジー異常は発生せず、発光波長ズレや電圧電流特性のバラツキが十分抑制され得る。
【００８９】
得られるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板上に成長させるエピタキシャル結晶としては、窒化ガリウム、窒化アルミニウム、窒化インジウムまたはこれらの混晶を例示できる。このようなエピタキシャル結晶としては、具体的には、例えば、ＧａＮ、ＡｌＮ、ＩｎＮ、ＧａｘＡｌ１−ｘＮ（１＞ｘ＞０）、ＧａｘＩｎ１−ｘＮ（１＞ｘ＞０）、ＡｌｘＩｎ１−ｘＮ（１＞ｘ＞０）、ＧａｘＡｌｙＩｎｚＮ（１＞ｘ＞０、１＞ｙ＞０、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）が挙げられる。また、得られるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板上に設ける機能層としては、発光層の他、整流素子層、スイッチング素子、パワー半導体層などが挙げられる。また、得られるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板のＩＩＩ族元素極性面上に機能層を設けた後に、窒素極性面を加工、例えば、研削、研磨加工することによって、自立基板の厚さや厚さ分布を小さくすることもできる。
【実施例】
【００９０】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例になんら限定されるものではない。なお、実施例等における、試験および評価方法は以下のとおりである。なお、「部」と記載されている場合は、特記事項がない限り「重量部」を意味し、「％」と記載されている場合は、特記事項がない限り「重量％」を意味する。【００９１】
＜表面粗さＲａの測定＞
ＩＩＩ族元素窒化物半導体自立基板の表面を、非接触表面形状測定機（Ｚｙｇｏ社製、Ｎｅｗ  Ｖｉｅｗ  ７０００、対物レンズ×５倍、ソフトウエア：ＭｅｔｒｏＰｒｏ９．０．１０）を用い、１．４ｍｍ×１．０５ｍｍの観察視野で表面粗さ（算術平均粗さ）Ｒａを算出した。主面および裏面中央領域のＲａは基板の中心部で測定し、裏面外周領域のＲａは裏面外周領域の幅をｄ２としたとき、裏面中央領域と裏面外周領域の境界からｄ２／２に相当する位置で測定した。裏面外周領域の幅ｄ２が１．４ｍｍ×１．０５ｍｍの観察視野より狭い場合は、適宜観察視野を狭くして測定を実施した。【００９２】
＜目視による主面と裏面の区別の評価基準＞
白色の蛍光灯を光源とし、照度が８１７〜８９３ＬＸの屋内にて、目視によってウエハの主面と裏面の区別を行った。照度計には、ＹＯＫＯＧＡＷＡ  ５１０ＬＵＸ  ＭＥＴＥＲを使用した。全面が一様に鏡面である面を主面、外周部が鏡面では無い面を裏面とした。特段に注視することなく区別が可能な場合を「容易」、注視すれば区別が可能な場合を「可能」、注視しても明確に区別できない場合を「困難」と判別した。ここで「注視する」とは、角度を変えながら１０秒以上時間をかけて観察することをいう。【００９３】
＜光学センサーによる端部の検出の評価基準＞
透過型光電センサーを用い、基板端部の検出試験を行った。光源および検出器にはオムロン社製ＺＸ−ＧＴ２８Ｓ（波長６５０ｎｍ）を使用し、測定値の２値化レベルを５０％と設定して、波長６５０ｎｍにおける減衰率の評価を行った。なお、透過型光電センサーのエッジ強度が可能なレーザ強度については、レーザパワーセンサー（オフィール社製、３Ａ）を用いて確認した。
〇：波長６５０ｎｍのレーザ光を１０％以上減衰させることができる（センサー判定：可）。
×：波長６５０ｎｍのレーザ光を１０％以上減衰させることができない（センサー判定：不可）。【００９４】
＜反りの測定＞
主面の反りを測定し、反りから曲率半径を算出した。反りは、レーザ変位計によって測定できる。レーザ変位計とは、レーザ光を各面に照射することにより、各面の変位を測定する装置をいう。レーザの波長を６５５ｎｍとし、測定方式には表面粗度に応じて共焦点方式、三角測距方式、光干渉方式を用いることができる。
基板端から幅３ｍｍの範囲を除いて波形を得た。次いで、二次関数を用いた最小二乗法によって、この波形に対する近似曲線を得、この近似曲線の最高値と最低値との差を基板表面上で直交する２軸でそれぞれ計測し、２値の平均値を反りＳとした。また、この反り値から、下記式を用いて曲率半径Ｒを算出した。Ｄは基板径である。
Ｒ＝Ｄ２／（８・Ｓ）
（ここでの曲率半径Ｒ、基板径Ｄ、反りＳの単位は［ｍ］である。）【００９５】
〔実施例１〕
６インチのｃ面サファイアウエハの上に、ＭＯＣＶＤ法により厚さ２μｍの窒化ガリウム膜を形成して、種結晶基板を作製した。
この種結晶基板を、窒素雰囲気のグローブボックス内で直径２００ｍｍのアルミナ坩堝の中に配置した。次に、Ｇａ／Ｇａ＋Ｎａ（ｍｏｌ％）＝１５ｍｏｌ％となるように金属ガリウムと金属ナトリウムを坩堝内に充填し、アルミナ板で蓋をした。その坩堝をステンレス製内容器に入れ、さらにそれを収納できるステンレス製外容器に入れて、窒素導入パイプの付いた容器蓋で閉じた。この外容器を、予め真空ベークしてある結晶製造装置内の加熱部に設置されている回転台の上に配置し、耐圧容器に蓋をして密閉した。
次いで、耐圧容器内を真空ポンプにて０．１Ｐａ以下まで真空引きした。続いて、上段ヒータ、中段ヒータ、および下段ヒータを調節して加熱空間の温度を８７０℃になるように加熱しながら、４．０ＭＰａまで窒素ガスボンベから窒素ガスを導入し、外容器を中心軸周りに２０ｒｐｍの速度で一定周期の時計回りと反時計回りで回転させた。そして、この状態で４０時間保持した。その後、室温まで自然冷却して大気圧にまで減圧した後、耐圧容器の蓋を開けて中から坩堝を取り出した。坩堝の中の固化した金属ナトリウムを除去し、種結晶基板上に成長した窒化ガリウム結晶を回収した。
サファイアウエハ側から紫外線レーザを照射することで種結晶基板上の窒化ガリウム結晶を分解し、成長した窒化ガリウム結晶をサファイアウエハから分離した。分離して得られた窒化ガリウム結晶の反りは５０μｍであった。
窒化ガリウム結晶の外周部を、ダイヤモンド砥石を用いて研削加工し、直径を１５０ｍｍに調整した。
次いで、窒化ガリウム結晶をセラミックス製の加工用定盤に貼り付け、グラインダー、ラップ装置を用いてＧａ極性面を研削・研磨加工した。最終仕上げには粒径０．１μｍのダイヤ砥粒を用い、鏡面仕上げとした。
窒化ガリウム結晶を裏返してセラミックス製の加工用定盤に固定し、窒素極性面を同様に研削・研磨加工した。最終仕上げには粒径０．１μｍのダイヤ砥粒を用い、鏡面仕上げとした。
窒化ガリウム結晶の表裏面に保護材を塗布し、べべリング装置を用いてウエハ外周部の成型加工を行った。Ｇａ極性面については傾斜砥石（傾斜角度２０度）を使用して面取り加工を行った。面取り幅Ｄ１は１５０μｍとした。窒素極性面についてはレーザーテクスチャ加工により外周粗面化加工を施した。波長３５５ｎｍ、出力３Ｗの紫外線レーザを使用し、７０μｍ径に集光したレーザを走査しながら照射することで外周部に凹凸形状を形成した。粗面化加工の範囲ｄ２は外周から３ｍｍとした。
得られたＩＩＩ族元素窒化物半導体ウエハは、表裏面が目視で容易に判別可能であった。また、ウエハの反りは４０μｍであった。
結果を表１に示した。【００９６】
〔実施例２〕
裏面粗面化加工の範囲ｄ２を外周から５ｍｍとした以外は実施例１と同様に行い、ＩＩＩ族元素窒化物半導体ウエハを作製した。得られたＩＩＩ族元素窒化物半導体ウエハは、表裏面が目視で容易に判別可能であった。また、ウエハの反りは４８μｍであった。
結果を表１に示した。【００９７】
〔実施例３〕
裏面粗面化加工の範囲ｄ２を外周から１ｍｍとした以外は実施例１と同様に行い、ＩＩＩ族元素窒化物半導体ウエハを作製した。得られたＩＩＩ族元素窒化物半導体ウエハは、表裏面が目視で判別可能であった。また、ウエハの反りは２８μｍであった。
結果を表１に示した。【００９８】
〔比較例１〕
裏面全面を粗面仕上げとした以外は実施例１と同様に行い、ＩＩＩ族元素窒化物半導体ウエハを作製した。得られたＩＩＩ族元素窒化物半導体ウエハは、表裏面が目視で容易に判別可能であった。また、ウエハの反りは１０５μｍであった。
結果を表１に示した。【００９９】
〔比較例２〕
裏面粗面化加工の範囲ｄ２を外周から１０ｍｍとした以外は実施例１と同様に行い、ＩＩＩ族元素窒化物半導体ウエハを作製した。得られたＩＩＩ族元素窒化物半導体ウエハは、表裏面が目視で容易に判別可能であった。また、ウエハの反りは５９μｍであった。
結果を表１に示した。【０１００】
〔比較例３〕
裏面全面を鏡面仕上げとした以外は実施例１と同様に行い、ＩＩＩ族元素窒化物半導体ウエハを作製した。得られたＩＩＩ族元素窒化物半導体ウエハは、表裏面が目視で判別できなかった。また、ウエハの反りは２１μｍであった。
結果を表１に示した。【０１０１】
【表１】
0006978641.tif 000002
【産業上の利用可能性】
【０１０２】
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、各種半導体デバイスの基板として利用可能である。
【符号の説明】
【０１０３】
１００      ＩＩＩ族元素窒化物半導体基板
１００’    自立基板
１          下地基板
１ａ        下地基板１の主面
１ｂ        下地基板１の裏面
２          種結晶膜
２ａ        種結晶膜２のＩＩＩ族元素極性面
３          ＩＩＩ族元素窒化物層
４          機能層
５          機能素子
１０        主面
１０’      主面
１０ａ      主面中央領域
１０ｂ      主面外周領域
１１        主面側面取り部
１２        外周端部
２０        裏面
２０’      裏面
２０ａ      裏面中央領域
２０ｂ      裏面外周領域
２１        裏面側面取り部
２２        外周端部
３０        側面
【要約】
第一面と第二面とを備えるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板であって、目視による第一面と第二面の区別が容易であり、光学センサーによる端部の検出がしやすく、有効面積（デバイス作製に使用できる面積）を大きく確保でき、基板全体の反りが低減される、ＩＩＩ族元素窒化物半導体基板を提供する。
本発明の実施形態によるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板は、第一面と第二面とを備えるＩＩＩ族元素窒化物半導体基板であって、該第一面が鏡面であり、該第二面が第二面中央領域と第二面外周領域とを有し、該第二面中央領域が鏡面であり、該第二面外周領域が非鏡面である。【図１】
0006978641.tif 000003
【図２】
0006978641.tif 000004
【図３】
0006978641.tif 000005
【図４】
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【図５】
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