(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上蓋体と、少なくとも１つのガイド部材を介して前記上蓋体と組み合わせ、直立空間を含むケース本体と、を含むレチクルポッドであって、
前記直立空間には、複数の係止溝が対になって設けられ、
前記係止溝に耐摩耗ユニットが設けられ、前記耐摩耗ユニットが前記係止溝の一端に設けられた第１耐摩耗部品と、前記係止溝の他端に設けられた第２耐摩耗部品と、を含み、
前記係止溝の上端に少なくとも１個の固定部材がさらに設けられ、前記少なくとも１個の固定部材は、前記第１耐摩耗部品に設けられた少なくとも１個の固定部材用穴に対応して嵌合することで、前記第１耐摩耗部品を前記係止溝に接続する、レチクルポッド。
【請求項２】
前記上蓋体および前記ケース本体は、静電気散逸性素材でできている、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項３】
前記ケース本体の外側に取っ手がさらに設けられ、前記ケース本体の外側の対称位置に対になるよう配置される、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項４】
前記係止溝の中央の前記第２耐摩耗部品に接続する部位に第３傾斜面が設けられる、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項５】
各前記固定部材は、テーパー部を備え、前記テーパー部が各前記固定部材用穴と嵌合する、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項６】
前記第１耐摩耗部品は、少なくとも１個の埋設部材を介して前記係止溝と接続する、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項７】
基板容器内に設けられた複数の係止溝に設けられた耐摩耗ユニットであって、
前記係止溝の一端に設けられた第１耐摩耗部品と、
前記係止溝の他端に設けられた第２耐摩耗部品と、
を含み、
前記係止溝の上端に少なくとも１個の固定部材がさらに設けられ、前記少なくとも１個の固定部材は、前記第１耐摩耗部品に設けられた少なくとも１個の固定部材用穴に対応して嵌合することで、前記第１耐摩耗部品を前記係止溝に接続する、耐摩耗ユニット。
【請求項８】
前記固定部材は、テーパー部を備え、前記テーパー部が前記固定部材用穴と嵌合する、請求項７に記載の耐摩耗ユニット。
【請求項９】
前記第１耐摩耗部品は、少なくとも１個の埋設部材を介して前記係止溝と接続する、請求項７に記載の耐摩耗ユニット。
【請求項１０】
前記第１耐摩耗部品は、第１傾斜面をさらに含む、請求項７に記載の耐摩耗ユニット。
【請求項１１】
前記第２耐摩耗部品は、第２傾斜面をさらに含む、請求項７に記載の耐摩耗ユニット。
【請求項１２】
前記第２耐摩耗部品は、少なくとも１つのほぞ部をさらに含む、請求項７または１１に記載の耐摩耗ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レチクルポッドに関し、特に、耐摩耗部品を備え、レチクル接触面にパーティクルの発生を防止するための大型立式レチクルポッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体テクノロジーは、急速に発展しており、このうちの光リソグラフィー技術（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）が重要な役割を果たし、パターン（ｐａｔｔｅｒｎ）の定義については、光リソグラフィー技術に依存する必要があった。半導体への光リソグラフィー技術の応用では、デザインされた回路を特定の形状を備えた光透過可能なレチクル（Ｒｅｔｉｃｌｅ）に作製している。露光原理を利用して、光源がレチクルを通してシリコンウエハ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｗａｆｅｒ）に投影されることで、特定のパターンを露光して表示できる。レチクル上に付着したパーティクル（微粒子、粉じんまたは有機物）は、投影結像の品質を低下させる原因となるため、パターンの生成に用いられるレチクルが完全に清潔に保たれなければならない。ＳＭＩＦシステムの目的は、半導体工程の保管および搬送途中で受けるパーティクルの過量を減少させるためにある。
【０００３】
上記の技術的概念によると露光の使用時、ウエハとレチクルが搬送途中または保管期間において、例えばカセット（Ｃａｓｓｅｔｔｅ）、フープ（Front Opening Unified Pod，ＦＯＵＰ）、ウエハ輸送容器（ＦＯＳＢ）、マスクパッケージ（Ｍａｓｋ  Ｐａｃｋａｇｅ）、レチクル SMIF ポッド（Ｒｅｔｉｃｌｅ  ＳＭＩＦ  Ｐｏｄ、ＲＳＰ）などの高清浄度、良好な気密性、低ガス放出（Ｏｕｔｇａｓｓｉｎｇ）および静電気帯電防止効果（ＥＳＤ）を持つキャリア内に保管してウエハとレチクルの汚染を効果的に防止し、ウエハとレチクルの高い清浄度および高い生産歩留まりを確保する。
【０００４】
さらに、製造工程の進歩により、半導体工場がよりハイエンド工程に入ると、静電気放電の影響以外に、半導体工場内の電磁パルス（ＥＭＩ）もウエハおよびレチクルに悪影響を与え、特に、ウエハおよびレチクルが保管状態にある時、周辺環境の変化を予測することがさらに困難になるため、静電気放電（ＥＳＤ）の影響および電磁パルス（ＥＭＩ）によるウエハおよびレチクルへのダメージを防止することを前提とするのが重要な課題の一つでもある。
【０００５】
早期のウエハ／レチクルのキャリアで搬送されたウエハ／レチクルの多くは、ほとんど横積みになるようにし、接触面積が大きいため、複数の耐摩耗部品、支持体または押し当てユニットでウエハまたはレチクルとキャリアの摩擦および衝突を防止する必要があるだけでなく、摩擦あるいは衝突によるパーティクル（ｐａｒｔｉｃｌｅ）の付着などの問題を防止する必要がある。言い換えると、帯電防止効果が良好で、耐摩耗性および高清浄度などのニーズに応えるウエハ／レチクルのキャリアをどのように提供するかが、非常に重要な課題である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、前記ウエハおよびレチクルのキャリアの使用時に直面する課題を鋭意研究し、また改良と試作を積み重ねた結果、従来のウエハ／レチクルのキャリアの耐摩耗性の不良による不便さおよび悩みを解決できるウエハ／レチクルに応用されるキャリアの開発に至った。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、基板容器内に設けられた複数の係止溝に配置される耐摩耗ユニットを提供する。前記耐摩耗ユニットは、前記係止溝の一端に設けられた第１耐摩耗部品と、前記係止溝の他端に設けられた第２耐摩耗部品と、を含む。
【０００８】
前述の概念において、本発明は、レチクルポッドをさらに提供する。レチクルポッドは、上蓋体と、前記上蓋体と組み合わせるケース本体と、を含み、前記ケース本体が少なくとも１個のレチクルを収納するための直立空間を含み、前記ケース本体の外側にケース本体と上蓋体の相対位置を正しく調整するのに補助できる少なくとも１個のガイド部材が設けられ、前記直立空間には、複数の係止溝が対になって設けられ、前記係止溝に耐摩耗ユニットが設けられ、前記耐摩耗ユニットは、前記係止溝の一端に設けられた第１耐摩耗部品と、前記係止溝の他端に設けられた第２耐摩耗部品とを含む。
【０００９】
上記本発明の概要は、本発明の幾つか態様および技術的特徴に対し基本的な説明を行うことを目的とする。本発明の概要は、本発明の詳細な説明ではないため、その目的は特別に本発明のキーとなるあるいは重要要素を挙げることなく、本発明の範囲を画定するために用いられることはなく、単に本発明のいくつかの概念を簡潔に開示する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施例の外観図である。
【図２】本発明の実施例に係るレチクルおよびレチクルポッドを示す模式図である。
【図３】本発明の実施例に係る係止溝および耐摩耗ユニットを示す模式図である。
【図４】本発明の実施例に係る第１耐摩耗部品を示す模式図である。
【図５】本発明の実施例に係る係止溝と接続した場合の模式図である。
【図６】本発明の実施例に係る第１耐摩耗部品と係止溝が接続した場合の側面図である。
【図７】本発明の実施例に係る第２耐摩耗部品を示す模式図である。
【図８】本発明の実施例に係る第２耐摩耗部品と係止溝が接続した場合の模式図である。
【図９】本発明の実施例の第２耐摩耗部品と係止溝が接続した場合の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の技術的特徴および実用効果を理解し、明細書の内容に基づいて実施することができるように、以下、好ましい実施例を、添付図面を参照しながら説明する。
【００１２】
図３を参照すると、図３は、本発明の実施例に係る係止溝および耐摩耗ユニットを示す模式図である。図３の実施例において、基板容器内に設けられることができる耐摩耗ユニット４を提供する。前記基板容器は、本願図１に示すようなレチクルポッド３（すなわち、レチクルキャリア）であってもよいし、ウエハなどの基板（Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）を載置する基板キャリア（Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ）であってもよい。
【００１３】
レチクルキャリアは、マスクパッケージ（Ｍａｓｋ  Ｐａｃｋａｇｅ）、レチクル SMIF ポッド（Ｒｅｔｉｃｌｅ  ＳＭＩＦ  Ｐｏｄ，  ＲＳＰ）または極端紫外線レチクルポッド（ＥＵＶ  Ｐｏｄ）などであってもよく、基板キャリアは、カセット（Ｃａｓｓｅｔｔｅ）、フープ（ＦＯＵＰ）またはウエハ輸送容器（ＦＯＳＢ）などであってもよく、本発明では限定されない。
【００１４】
したがって、本実施形態において、耐摩耗ユニット４を実施する前提として、まず収容空間を備えた基板容器を用意する。この収容空間において、複数の係止溝３２２０が前記収容空間に対になって設けられる。同時に、各係止溝３２２０の一端（一般にレチクルまたはウエハなど半導体の板状薄片が入れる開放端）に第１耐摩耗部品４１０が対応して設けられ、他端に第２耐摩耗部品４２０が設けられる。本発明の概念をより明確に理解してもらうため、レチクルポッド３を本発明のより正確な実施例として、基板容器、係止溝３２２０、第１耐摩耗部品４１０および第２耐摩耗部品４２０の可能な実施形態を以下に説明する。
【００１５】
前記実施形態による本発明の耐摩耗ユニット４の応用概念について、図１を参照すると、図１は本発明の実施例の外観図である。本実施例は、レチクルポッド３を提供する。より詳しくは、レチクルポッド３は、大型レチクルを収容するために設計された大型レチクルポッドである。一般に大型レチクルは、パネル産業の特殊な規格のレチクルであり、サイズが８００ミリメートル〜９６０ミリメートルにも及ぶため、従来の小型レチクルポッドで搬送または保管することができず、対照的に専用規格の大型レチクルポッドを使用しなければならない。
【００１６】
したがって、大型レチクルの保管または搬送の特性に鑑み、本実施例は直立式でレチクル５を収容するため、レチクルポッド３の収容空間が直立式で直立空間を形成する。本実施例のレチクルポッド３は、主に上蓋体３１０とケース本体３２０で構成され、前記ケース本体３２０が前記上蓋体３１０に合わせて直立空間を形成すると共にレチクル５を収容するために用いられる（図２）。図１に示すように、本実施例において、レチクルポッド３の上蓋体３１０とケース本体３２０は一体成形で、透明性を持つ素材でできている。さらに、前記上蓋体３１０および前記ケース本体３２０は、アクリロニトリルブタジエンスチレン（Ａｃｒｙｌｏｎｉｔｒｉｌｅ  Ｂｕｔａｄｉｅｎｅ  Ｓｔｙｒｅｎｅ、ＡＢＳ）などの静電気散逸性素材でできている。
【００１７】
さらに、同時に図１および図２を参照すると、前記ケース本体３２０の外部上縁にガイド部材３２１０が設けられ、前記ガイド部材３２１０は、ケース本体３２０と上蓋体３１０の合わせる時の相対位置を正しく調整するよう補助でき、上蓋体３１０の閉成時正しい角度で密封させることができ、上蓋体３１０とケース本体３２０の密封性をより安定する。他の可能な実施例において、ガイド部材３２１０は、輸送中のパーティクル汚染を防止するため、より良好な構造強度および密着性を有する気密ゴムストリップで設計され得る。本実施例において、前記ケース本体３２０の外側に２個の取っ手３２３０がさらに設けられ、前記ケース本体３２０の外側の対称位置に対になるよう配置され、レチクルポッド３を搬送する時、より良好な利便性を得るように役に立つ。ケース本体３２０内の直立式でレチクル５に接触する接触面に少なくとも２個の係止溝３２２０がさらに設けられる。好ましい実施例の１つでは、図２に示すように、複数の係止溝３２２０は、レチクルポッド３内のレチクル５エッジに接触する側面に互いに平行に配置され、レチクル５を直立式でレチクルポッド３内に入れた時、レチクルポッド３内に互いに平行に陳列させることができることで、直接レチクルポッド３の内壁と摩擦してパーティクルが発生する可能性を低減することができる。
【００１８】
図３を参照すると、前記係止溝３２２０に少なくとも１つの耐摩耗ユニット４が設けられる。一実施例において、耐摩耗ユニット４は、各々前記係止溝３２２０の上部および下部の末端に設けられた第１耐摩耗部品４１０と、第２耐摩耗部品４２０と、を含む。さらに、まず図９を参照する。本実施例における係止溝３２２０の中央の前記第２耐摩耗部品４２０に接続する部位に第３傾斜面３２２１が設けられ、レチクル５をレチクルポッドに入れる時、正しい角度で係止溝３２２０内に入り込ませると共に摩擦を減少させることもできる。また、前記第１耐摩耗部品４１０の素材および第２耐摩耗部品４２０の素材は、高耐熱性エンジニアリングプラスチックとカーボンナノチューブとの組み合わせであり得る。
【００１９】
本実施例において、図４および図７を参照すると、図４は第１耐摩耗部品４１０の模式図であり、図７が第２耐摩耗部品４２０の模式図である。前記第１耐摩耗部品４１０または第２耐摩耗部品４２０の素材は、高耐熱性エンジニアリングプラスチックとカーボンナノチューブとの組み合わせであり得る。好ましい実施例において、図５を参照すると、第１耐摩耗部品４１０は、インサート成形または固定部材４３０と固定部材用穴４３１の相互嵌合方法で前記係止溝３２２０上に取付けられる。
【００２０】
さらに、一実施例において、第１耐摩耗部品４１０がインサート成形方法で係止溝３２２０に固定される場合は、前記第１耐摩耗部品４１０は埋設部材４００をさらに含み、係止溝３２２０が埋設部材４００を介して第１耐摩耗部品４１０と接続する。図５に示すように、前記埋設部材４００は、釣合い重りインサートであり得る。例えば、埋設部材４００は、第１耐摩耗部品４１０に１つの比較的重いダウンフォースを提供するために設けられる。したがって、本実施例の埋設部材４００は、主に射出成形の係止溝３２２０と第１耐摩耗部品４１０との接続インターフェースを増大させるために用いられる、埋込射出成形ねじまたはねじ銅ポストなどの金属インサートであり得る。本実施例において、前記第１耐摩耗部品４１０が嵌合方法で係止溝３２２０に固定される場合、前記係止溝３２２０は、第１耐摩耗部品４１０を係止溝３２２０に固設する少なくとも１個の固定部材４３０をさらに含む。本実施例において、固定部材４３０の数は２個で、かつ各固定部材４３０がテーパー部を備える。前記テーパー部は、前記第１耐摩耗部品４１０に設けられた前記固定部材用穴４３１と嵌合するように固定されている。例えば、前記固定部材４３０は、単純に係止溝３２２０の上端と一体的に成形された突出テーパー部であってもよいし、追加的に取り付けられたピン、リベットまたはねじなどであってもよく、本発明ではこれを限定しない。
【００２１】
本実施例は、固定部材４３０のテーパー部と前記テーパー部に対応して設計された固定部材用穴４３１とを嵌合することにより、第１耐摩耗部品４１０を正しい位置に設置することができる。言い換えると、使用者が第１耐摩耗部品４１０を逆さまに設置した時、固定部材４３０のテーパー部が前記固定部材用穴４３１に嵌合できなくなり、設置位置が誤っていることに直ぐに気付く。したがって、固定部材用穴４３１と固定部材４３０のテーパー部との間の嵌合設計は、フールプルーフ効果をより奏し、これをもってレチクルポッド３の組立が簡単になる。
【００２２】
図４、図６、図７、図８および図９を同時に参照されたい。本実施例において、前記レチクル５に接触する第１耐摩耗部品４１０の接触面は、第１傾斜面４１１０であり、前記レチクル５に接触する前記第２耐摩耗部品４２０の接触面は、第２傾斜面４２４０であり、この第１傾斜面４１１０と第２傾斜面４２４０の役割が前記第３傾斜面３２２１の役割と類似し、レチクル５をレチクルポッド３内の係止溝３２２０に入れた時、正しい角度で入り込ませると共にできる限り摩擦や衝突を低減できる。また、図７に示すように、第２耐摩耗部品４２０を係止溝３２２０の下端に固定できるようにするため、前記第２耐摩耗部品４２０は、少なくとも１個のほぞ部をさらに含む。本実施例によれば、第２耐摩耗部品４２０に第１ほぞ部４２１０、第２ほぞ部４２２０および第３ほぞ部４２３０が設けられ、前記第２耐摩耗部品４２０にマッチできると共に正しい角度で係止溝３２２０の下端内に嵌め込ませることで、取り付け時フールプルーフ効果をより奏することができる。
【００２３】
ただし、上記は本発明の好ましい実施形態に過ぎず、本発明の実施範囲は、そのような実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の特許請求の範囲および明細書の内容に従って行われる簡単な変更や潤飾を加えるものは、本発明の保護範囲内に網羅される。
【符号の説明】
【００２４】
３  レチクルポッド
３１０  上蓋体
３２０  ケース本体
３２１０  ガイド部材
３２２０  係止溝
３２２１  第３傾斜面
３２３０  取っ手
４００  埋設部材
４  耐摩耗ユニット
４１０  第１耐摩耗部品
４１１０  第１傾斜面
４２０  第２耐摩耗部品
４２１０  第１ほぞ部
４２２０  第２ほぞ部
４２３０  第３ほぞ部
４２４０  第２傾斜面
４３０  固定部材
４３１  固定部材用穴
５  レチクル
【図１】
0006978554.tif 000002
【図２】
0006978554.tif 000003
【図３】
0006978554.tif 000004
【図４】
0006978554.tif 000005
【図５】
0006978554.tif 000006
【図６】
0006978554.tif 000007
【図７】
0006978554.tif 000008
【図８】
0006978554.tif 000009
【図９】
0006978554.tif 000010