(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動型製造装置を設置する床面に設けられた固定構造と、
前記移動型製造装置の底部に設けられて、前記固定構造上に載置される脚部と、
該脚部を前記固定構造上に載置するときに、前記固定構造に設けられた床側位置決め部材と前記脚部に設けられた脚側位置決め部材とを用いて、該脚部の載置位置を決定する位置決め機構と、
前記脚部が前記固定構造上に載置されたときに、前記固定構造に設けられた床側連結部材と前記脚部に設けられた脚側連結部材とを用いて、該脚部と該固定構造とを連結する、転倒防止用の連結機構と、
を備え、
前記連結機構は、
前記床側連結部材又は前記脚側連結部材の一方としての、フック受けと、
前記床側連結部材又は前記脚側連結部材の他方としての、転倒防止フックと、
を備え、
該フック受けと該転倒防止フックとを係合することで、該固定構造と該脚部とを連結する、
ことを特徴とする移動型製造装置の設置機構。
【請求項２】
前記移動型製造装置を前記固定構造の上方まで略水平に運搬したときに、前記該移動型製造装置を前記載置位置の略真上で停止させるストッパ機構を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の移動型製造装置の設置機構。
【請求項３】
前記位置決め機構は、
前記床側位置決め部材又は前記脚側位置決め部材の一方としての位置決め孔と、
前記床側位置決め部材又は前記脚側位置決め部材の他方としての位置決め突起と、
を備え、
該位置決め孔に該位置決め突起を嵌入することによって位置決めを行う、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の移動型製造装置の設置機構。
【請求項４】
前記位置決め機構は、
前記床側位置決め部材又は前記脚側位置決め部材の一方としての、複数の位置決め溝と、
前記床側位置決め部材又は前記脚側位置決め部材の他方としての、複数の位置決め突起と、
を備え、
該複数の位置決め溝は、形成方向が異なっており、
該位置決め突起の先端部を、対応する該位置決め溝内にそれぞれ当接することで、位置決めを行う、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の移動型製造装置の設置機構。
【請求項５】
前記連結機構において、
前記フック受けが、ピン形状を有し、
前記転倒防止フックが、略Ｕ字形状を有し、
前記移動型製造装置の下降時には、該転倒防止フックが、該略Ｕ字形状の開口部分が前記フック受け側を向いた状態で、該ピン形状の該フック受けを受け入れ、
前記脚部が該固定構造上に載置された時に、該転倒防止フックが回転して該略Ｕ字形状の開口部分の方向が変化することにより、該脚部の上昇が阻止されるようにして、該固定構造と該脚部とが連結される、
ことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の移動型製造装置の設置機構。
【請求項６】
前記連結機構は、前記転倒防止フックに連結された、長尺状のフック操作レバーを更に備え、
該フック操作レバーを、その長手方向の一方向に移動させることで、前記転倒防止フックが回転して前記フック受けに係合し、
該フック操作レバーを、その長手方向の逆方向に移動させることで、前記転倒防止フックが逆回転して前記フック受けとの係合が解除される、
ことを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の移動型製造装置の設置機構。
【請求項７】
前記移動型製造装置は、運搬装置に設けられた１又は複数の運搬アームを該移動型製造装置の底面と前記床面との間の空間に挿入して上昇させることで、該運搬アームに持ち上げられると共に、その持ち上げられた状態で該運搬装置によって運搬され、
前記移動型製造装置の前記脚部を前記床面の前記固定構造上に載置して、前記運搬装置の前記運搬アームが前記移動型製造装置の底面と前記床面との間の空間から引き抜かれることにより、前記転倒防止フックと前記フック受けとが連結し、且つ、
該固定構造上に載置された前記移動型製造装置を持ち上げるために、前記運搬アームが前記移動型製造装置の底面と前記床面との間の空間に挿入されることにより、前記転倒防止フックと前記フック受けとの連結が解除される、
ように構成されたことを特徴とする請求項６に記載の移動型製造装置の設置機構。
【請求項８】
前記運搬装置は、フック操作アームを備え、
該フック操作アームが前記脚部内から引き抜かれることにより、前記転倒防止フックと前記フック受けとが連結し、且つ、
該フック操作アームが、該脚部内に挿入されることにより、前記転倒防止フックと前記フック受けとの連結が解除される、
ように構成されたことを特徴とする請求項７に記載の移動型製造装置の設置機構。
【請求項９】
前記ストッパ機構は、
前記固定部材又は前記脚部の一方に設けられた、ストッパ溝と、
前記固定部材又は前記脚部の他方に設けられた、ストッパピンと、
を備え、
前記移動型製造装置を前記固定構造の上方まで略水平に運搬したときに、該ストッパピンが該ストッパ溝内に当接されることで、該運搬を停止させる、
ことを特徴とする請求項２に記載の移動型製造装置の設置機構。
【請求項１０】
移動型製造装置を設置する床面に設けられた固定構造であって、
前記移動型製造装置を下降させたときに、前記移動型製造装置の底部の脚部に設けられた脚側位置決め部材の位置決めを行うことによって、該脚部の載置位置を決定する床側位置決め部材と、
前記脚部が該固定構造上に載置されたときに、該脚部の脚側連結部材と連結することで、該脚部と該固定構造とを連結する、転倒防止用の床側連結部材と、
を備え、
前記床側連結部材又は前記脚側連結部材の一方は、フック受けであり、
前記床側連結部材又は前記脚側連結部材の他方は、転倒防止フックであり、
該フック受けと該転倒防止フックとを係合することで、該固定構造と該脚部とを連結する、
ことを特徴とする固定構造。
【請求項１１】
底部に脚部が設けられた移動型製造装置であって、
該脚部は、
前記移動型製造装置を下降させたときに、床面に設けられた固定構造の床側位置決め部材に位置決めされることによって、該脚部の載置位置を決定する脚側位置決め部材と、
前記脚部が載置されたときに、該固定部材の床側連結部材と連結することで、該脚部と該固定構造とを連結する、転倒防止用の脚側連結部材と、
を備え、
前記床側連結部材又は前記脚側連結部材の一方は、フック受けであり、
前記床側連結部材又は前記脚側連結部材の他方は、転倒防止フックであり、
該フック受けと該転倒防止フックとを係合することで、該固定構造と該脚部とを連結す
る、
ことを特徴とする移動型製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デバイスの製造等に適した生産ラインについて、その構築や変更作業を速やかに効率良く安全確実に実行するためのミニマル製造装置と床面の固定構造と運搬装置と生産ライン及び生産ラインの組み替え方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ミニマルファブは、半導体デバイスの多品種少量生産および変種変量生産するための低コストかつ省エネルギーの生産方式として注目されている。ミニマル製造装置は、ミニマルファブにおいて半導体デバイスの露光、エッチング、洗浄といった、生産ラインの一工程分の処理をするユニットである。必要な工程を担う各ミニマル製造装置を、製造プロセスの順番に配列してミニマルファブ生産ラインを構築する。ミニマルファブの最新の研究は、例えば、非特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】「半導体生産システムとミニマルファブ構想」２００９年２月２３日「第３回ミニマルマニュファクチュアリングシンポジウム」発表者  独立行政法人産業技術研究所  原史朗
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
既知の従来の技術には、次のような解決すべき課題があった。
ある製品の製造のために配列したミニマル製造装置の配列を変更すれば、別の製品の生産ラインが実現する。生産ラインの変更時には、ミニマル製造装置を持ち上げて、移動させ、別の場所に降ろして固定するという作業が必要になる。しかしながら、底面積に比べて背の高いミニマル製造装置は不安定である。また、工程間の部品や製品の搬送を容易にするためには、隣接するミニマル製造装置の間隔を短くし、かつ、正確に配置する必要がある。【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明は、速やかな移動、安全確実な運搬や固定に適したミニマル製造装置を提供することを目的とする。さらに、ミニマル製造装置を床面に固定するための固定構造と、ミニマル製造装置の運搬装置と、ミニマル製造装置を配列した生産ライン及び生産ラインの組み替え方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる課題を解決するために、請求項１の発明は、移動型製造装置を設置する床面に設けられた固定構造と、前記移動型製造装置の底部に設けられて、前記固定構造上に載置される脚部と、該脚部を前記固定構造上に載置するときに、前記固定構造に設けられた床側位置決め部材と前記脚部に設けられた脚側位置決め部材とを用いて、該脚部の載置位置を決定する位置決め機構と、前記脚部が前記固定構造上に載置されたときに、前記固定構造に設けられた床側連結部材と前記脚部に設けられた脚側連結部材とを用いて、該脚部と該固定構造とを連結する、転倒防止用の連結機構とを備え、前記連結機構は、前記床側連結部材又は前記脚側連結部材の一方としての、フック受けと、前記床側連結部材又は前記脚側連結部材の他方としての、転倒防止フックと、を備え、該フック受けと該転倒防止フックとを係合することで、該固定構造と該脚部とを連結する移動型製造装置の設置機構としたことを特徴とする。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１の構成に加え、前記移動型製造装置を前記固定構造の上方まで略水平に運搬したときに、前記該移動型製造装置を前記載置位置の略真上で停止させるストッパ機構を更に備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項１又は２の構成に加え、前記位置決め機構が、前記床側位置決め部材又は前記脚側位置決め部材の一方としての位置決め孔と、前記床側位置決め部材又は前記脚側位置決め部材の他方としての位置決め突起とを備え、該位置決め孔に該位置決め突起を嵌入することによって位置決めを行うことを特徴とする。
【０００９】
請求項４の発明は、請求項１又は２の構成に加え、前記位置決め機構が、前記床側位置決め部材又は前記脚側位置決め部材の一方としての、複数の位置決め溝と、前記床側位置決め部材又は前記脚側位置決め部材の他方としての、複数の位置決め突起とを備え、該複数の位置決め溝は、形成方向が異なっており、該位置決め突起の先端部を、対応する該位置決め溝内にそれぞれ当接することで、位置決めを行うことを特徴とする。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項１乃至４の何れかの構成に加え、前記連結機構において、前記フック受けが、ピン形状を有し、前記転倒防止フックが、略Ｕ字形状を有し、前記移動型製造装置の下降時には、該転倒防止フックが、該略Ｕ字形状の開口部分が前記フック受け側を向いた状態で、該ピン形状の該フック受けを受け入れ、前記脚部が該固定構造上に載置された時に、該転倒防止フックが回転して該略Ｕ字形状の開口部分の方向が変化することにより、該脚部の上昇が阻止されるようにして、該固定構造と該脚部とが連結されることを特徴とする。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項１乃至５の何れかの構成に加え、前記連結機構が、前記転倒防止フックに連結された、長尺状のフック操作レバーを更に備え、該フック操作レバーを、その長手方向の一方向に移動させることで、前記転倒防止フックが回転して前記フック受けに係合し、該フック操作レバーを、その長手方向の逆方向に移動させることで、前記転倒防止フックが逆回転して前記フック受けとの係合が解除されることを特徴とする。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項６の構成に加え、前記移動型製造装置が、運搬装置に設けられた１又は複数の運搬アームを該移動型製造装置の底面と前記床面との間の空間に挿入して上昇させることで、該運搬アームに持ち上げられると共に、その持ち上げられた状態で該運搬装置によって運搬され、前記移動型製造装置の前記脚部を前記床面の前記固定構造上に載置して、前記運搬装置の前記運搬アームが前記移動型製造装置の底面と前記床面との間の空間から引き抜かれることにより、前記転倒防止フックと前記フック受けとが連結し、且つ、該固定構造上に載置された前記移動型製造装置を持ち上げるために、前記運搬アームが前記移動型製造装置の底面と前記床面との間の空間に挿入されることにより、前記転倒防止フックと前記フック受けとの連結が解除されるように構成されたことを特徴とする。
【００１４】
請求項８の発明は、請求項７の構成に加え、前記運搬装置が、フック操作アームを備え、該フック操作アームが前記脚部内から引き抜かれることにより、前記転倒防止フックと前記フック受けとが連結し、且つ、該フック操作アームが、該脚部内に挿入されることにより、前記転倒防止フックと前記フック受けとの連結が解除されるように構成されたことを特徴とする。
【００１５】
請求項９の発明は、請求項２の構成に加え、前記ストッパ機構が、前記固定部材又は前記脚部の一方に設けられた、ストッパ溝と、前記固定部材又は前記脚部の他方に設けられた、ストッパピンとを備え、前記移動型製造装置を前記固定構造の上方まで略水平に運搬したときに、該ストッパピンが該ストッパ溝内に当接されることで、該運搬を停止させることを特徴とする。
【００１６】
請求項１０の発明は、移動型製造装置を設置する床面に設けられた固定構造であって、前記移動型製造装置を下降させたときに、前記移動型製造装置の底部の脚部に設けられた脚側位置決め部材の位置決めを行うことによって、該脚部の載置位置を決定する床側位置決め部材と、前記脚部が該固定構造上に載置されたときに、該脚部の脚側連結部材と連結することで、該脚部と該固定構造とを連結する、転倒防止用の床側連結部材とを備え、前記床側連結部材又は前記脚側連結部材の一方は、フック受けであり、前記床側連結部材又は前記脚側連結部材の他方は、転倒防止フックであり、該フック受けと該転倒防止フックとを係合することで、該固定構造と該脚部とを連結する固定構造としたことを特徴とする。
【００１７】
請求項１１の発明は、底部に脚部が設けられた移動型製造装置であって、該脚部が、前記移動型製造装置を下降させたときに、床面に設けられた固定構造の床側位置決め部材に位置決めされることによって、該脚部の載置位置を決定する脚側位置決め部材と、前記脚部が載置されたときに、該固定部材の床側連結部材と連結することで、該脚部と該固定構造とを連結する、転倒防止用の脚側連結部材とを備え、前記床側連結部材又は前記脚側連結部材の一方は、フック受けであり、前記床側連結部材又は前記脚側連結部材の他方は、転倒防止フックであり、該フック受けと該転倒防止フックとを係合することで、該固定構造と該脚部とを連結する移動型製造装置としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１の発明によれば、位置決め機構で、移動型製造装置を位置決めして固定構造上に載置できると共に、連結機構で、移動型製造装置と固定構造とを連結して転倒を防止することができる。更に、請求項１の発明によれば、フック受けと転倒防止フックとを連結することにより、移動型製造装置と固定構造とを連結して、転倒を防止することができる。
請求項２の発明によれば、ストッパ機構で、移動型製造装置を、固定構造の載置位置の略真上で停止させることができる。
請求項３の発明によれば、位置決め孔に位置決め突起を嵌入することで位置決めを行うので、正確な位置決めを簡単に行うことができる。
請求項４の発明によれば、位置決め溝に位置決め突起を当接することで位置決めを行うので、正確な位置決めを簡単に行うことができる。
請求項５の発明によれば、転倒防止フックを回転させることで、簡単に、フック受けの受け入れ状態と連結状態とを切り替えることができる。
請求項６の発明によれば、フック操作レバーを操作することにより、転倒防止フックとフック受けとの係合／解除を、簡単に切り替えることができる。
請求項７及び８の発明によれば、転倒防止フックとフック受けとの係合／解除を、自動で切り替えることができるので、隣接する移動型製造装置との間隔が狭い場合でも連結機構の操作が簡単である。
請求項９の発明によれば、ストッパピンをストッパ溝に当接されることで、簡単な構成のみで、移動型製造装置を固定構造の載置位置の略真上で停止させることができる。
請求項１０の発明によれば、床側位置決め部材で、移動型製造装置を位置決めして固定構造上に載置できると共に、床側連結部材で、移動型製造装置と固定構造とを連結して転倒を防止することができる。更に、請求項１０の発明によれば、フック受けと転倒防止フックとを連結することにより、移動型製造装置と固定構造とを連結して、転倒を防止することができる。
請求項１１の発明によれば、脚側位置決め部材で、移動型製造装置を位置決めして固定構造上に載置できると共に、脚側連結部材で、移動型製造装置と固定構造とを連結して転倒を防止することができる。更に、請求項１１の発明によれば、フック受けと転倒防止フックとを連結することにより、移動型製造装置と固定構造とを連結して、転倒を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明のミニマル製造装置１２を配列した生産ライン２０の概略を示す斜視図である。
【図２】ミニマル製造装置１２の底板３６側から見た一方の脚部４０の斜視図である。
【図３】床面１８上に設けた一組の固定構造１６の斜視図である。
【図４】位置決め機構の変形例の斜視図である。
【図５】運搬装置１４の各部の斜視図（１）である。
【図６】運搬装置１４の各部の斜視図（２）である。
【図７】運搬装置１４の各部の斜視図（３）である。
【図８】フロアパネル６４上に２組の固定構造１６を取り付けたところを示す平面図である。
【図９】ミニマル製造装置１２を下降させる直前の状態の主要部斜視図である。
【図１０】ミニマル製造装置１２を下降させた後のミニマル製造装置１２と運搬装置１４と固定構造１６の主要部斜視図である。
【図１１】転倒防止フック４６（図２）とフックピン６０（図３）の構成と作用を説明する主要部側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を実施例毎に詳細に説明する。
【実施例１】
【００２１】
（概略構成）
図１は本発明のミニマル製造装置１２を配列した生産ライン２０の概略を示す斜視図である。
本発明では、図のように、ミニマル製造装置１２を専用の運搬装置１４で運搬し、所定の固定構造１６を有する床面１８に配列する。必要数の工程のミニマル製造装置１２を組み合わせて、生産ライン２０を実現する。ミニマル製造装置１２間の材料や製品の搬送には、例えば、図示しないロボットアーム等の自動搬送機構を使用する。【００２２】
ミニマル製造装置１２は、図のように底面積に比べて背の高い形状をしている。従って、そのままでは振動/衝撃に対して不安定である。運搬時も設置後も転倒防止措置が必要である。図の運搬装置１４は、ミニマル製造装置１２をアーム２２に乗せて持ち上げて確実にホールドし、ハンドル２４を操作して運搬をし、床面１８に正確に降下させる機能を持つ。また、固定構造１６は、ミニマル製造装置１２を床面１８に正確に確実に固定する機能を持つ。運搬装置１４も固定構造１６も、多数のミニマル製造装置１２の配列変更を短時間で行うために、操作性の良い構造を有する。【００２３】
隣接するミニマル製造装置１２を最小限の間隔で配列する。例えば、約３０ｃｍの幅のスペースに、１台のミニマル製造装置１２を、隣接する装置と５ｍｍ〜１ｃｍ程度の間隔を開けて配列する。間隔を開けることにより、各ミニマル製造装置１２を他の装置に影響を与えずに自由に置き換えられる。また、装置を狭い間隔で高密度に配置すれば、工場のスペースを有効に活用できる。さらに、前の工程から次の工程への部品や製品の搬送が容易になり、搬送装置も小型化できる。【００２４】
ミニマル製造装置１２を使用した生産ライン２０は、自由に簡単に組み替えができるという特徴がある。生産ライン２０の組み替え時には、運搬装置１４がミニマル製造装置１２を床面１８から持ち上げて、目的の場所に運搬し、正確に位置決めしてから床面１８に固定する。本発明の運搬装置は、この操作を簡便に行う機能を備えている。また、床面１８への位置決め時や着脱操作時に、隣接するミニマル製造装置１２への衝突を防止する、精度の高い支持機構を備えている。【００２５】
（ミニマル製造装置）
ミニマル製造装置１２は、図１に示すように、周囲を前壁２６と後壁２８と左側壁３０と右側壁３２とに囲まれている。天井部が天板３４に、底部が底板３６により保護されている。前壁２６には、加工対象物を前工程から受け入れて後工程に送り出すためのデッキ３８と、装置の動作を制御し監視するための制御盤３９が設けられている。【００２６】
ミニマル製造装置１２の内部には、例えば、デッキ３８上に受け入れたケースから取り出した半導体ウエハーを取り込んで、洗浄、露光、レジスト、現像といった加工工程のうちのいずれか一工程を実行するための機構が収容されている。【００２７】
図１に示したように、ミニマル製造装置１２の底板３６の、左側壁３０と右側壁３２の直下に位置する部分には、平行に一対の脚部４０が設けられている。底板３６直下の一対の脚部４０に挟まれた空間には、運搬装置１４のアーム２２が差し込まれる。【００２８】
図２は、ミニマル製造装置１２の底板３６側から見た一方の脚部４０の斜視図である。
図２には、左側壁３０の直下に位置する脚部４０のみを図示した。この実施例では、左右の脚部４０を前壁２６側から見て全く対称に構成したので、一方の脚部のみの説明をする。図の脚部４０には、位置決めピン４２と支持柱４４と転倒防止フック４６とガード板４８とストッパブロック５０とスリット板５４とが設けられている。位置決めピン４２は、脚部４０に対して、垂直下方に先端を向けて固定されている。ミニマル製造装置１２を床面１８（図１）の固定構造１６（図１）上に降下させるとき、固定構造１６上の位置決めブロック５６（図１）に設けられた穴や溝に位置決めピン４２の先端が嵌り込む。ピンとブロックは、脚部４０と固定構造１６のいずれの側に設けても構わない。このピンとブロックにより、ミニマル製造装置１２を指定位置に正確に位置決めするための位置決め機構を構成する。【００２９】
図２と図３に示す実施例では、４本の支持柱４４が装置の全荷重を支え、位置決めピン４２がピン孔５７に深く挿入されて、ミニマル製造装置１２の揺れを防止する。また、後で図４により説明する、位置決めピン４２がミニマル製造装置１２の全荷重を支える構造の場合には、支持柱４４は、ミニマル製造装置１２が揺れた場合に、支持ブロック５８等に支えられて、位置決めピン４２に過大な荷重が加わるのを防ぐ機能も持つ。転倒防止フック４６は、脚部４０と固定構造１６（図１）とを連結するフック機構である。例えば、ミニマル製造装置１２に作業者等が衝突したときや地震等の揺れが加わったときに、ミニマル製造装置１２が転倒するのを防止する機能を持つ。【００３０】
フック機構は、位置決め機構によりミニマル製造装置１２が固定構造１６上に位置決めされた状態で、固定構造上に設けられた機構と連結する。フック機構は、運搬装置１４（図１）と連動して自動的にフックを連結させたり解放させる機能を持つ。その詳細は後で説明する。【００３１】
ガード板４８は、底板３６直下の一対の脚部４０に挟まれた空間に、図１に示したように運搬装置１４のアーム２２が差し込まれたとき、脚部４０を機械的に保護し、かつ、上記の空間の中央にアーム２２を案内する機能を持つ。また、固定構造１６を有しない床面へミニマル製造装置１２を仮置きした場合には、ガード板４８の下端が床面に接地して支持脚となる。【００３２】
ストッパブロック５０は、運搬装置１４がミニマル製造装置１２を乗せて固定構造１６上を移動するときに、床面１８の固定構造１６上に設けられたストッパピン５２に衝突して、指定位置上方に停止させる機能を持つ。ストッパブロック５０を固定構造１６上に設け、ストッパピン５２を脚部４０に設けても構わない。このストッパブロック５０とストッパピン５２とでストッパ機構を構成する。ストッパ機構は、指定位置上方にミニマル製造装置１２を停止させて、この装置の垂直下方への下降を妨げない任意の形状のブロックにより構成すればよい。図の実施例の場合には、ぐらつかないように垂直下方へ案内する機能を持つ。
【実施例２】
【００３３】
（固定構造）
図３は、床面１８上に設けた一組の固定構造１６の斜視図である。
図の実施例のフロアパネル６４は、例えば、縦横６０ｃｍの規格化されたパネルで、工場の床に敷き詰められる。なお、この例では、ミニマル製造装置１２の前壁側に、運搬装置の移動を容易にするように縁に傾斜を付けた案内板６５を設けた。また、この実施例では、一枚のフロアパネル６４に２台のミニマル製造装置１２を並べて固定できるように設計してある。図のフロアパネル６４には、ミニマル製造装置１２の一対の脚部４０（図１）に対応する場所に、左右対称の固定構造１６が配置されている。フロアパネル６４には、この固定構造１６が２組固定される。この図面では一組だけを表示した。ミニマル製造装置１２の脚部４０の、合計４本の支持柱４４（図２）と対応する位置に、位置決めブロック５６と支持ブロック５８とが配置されている。【００３４】
この位置決めブロック５６と支持ブロック５８の上面に、支持柱４４が支持されて、ミニマル製造装置１２を安定に直立させる。位置決めブロック５６には、ピン孔５７が設けられている。ミニマル製造装置１２を固定構造１６上に運搬して、上記のストッパブロック５０とストッパピン５２によるストッパ機構で、指定位置の真上で移動を停止させる。その後、ミニマル製造装置１２を下降させると、脚部４０の位置決めピン４２を、このピン孔５７に挿入して、ミニマル製造装置１２の精密な位置決めがされる。【００３５】
図４は、位置決め機構の変形例の斜視図である。
この図を用いて、精度の高い位置決め機構を説明する。図４（ａ）に示した４本の支持柱４４は、図２に示した脚部４０のそれと同一のもので、図２と同一の位置に配置されているものとする。例えばここでは、正三角形の頂点に相当する位置に、３本の位置決めピン４２を配置した例を示す。なお、ミニマル製造装置１２の後壁２８側中央に位置決めピン４２を設けた場合には、運搬装置１４（図１）のアーム２２に、その位置決めピン４２とぶつからないように、図示しない切り欠きを設けることが必要になる。【００３６】
正三角形の頂点に相当する位置に３本の位置決めピン４２を設けて、床面１８上で互いにＶ溝を正三角形の重心方向に向けたＶ溝台６６を設ける。このＶ溝台６６は、位置決めブロック５６（図３）の機能を有する。位置決めブロック５６の内部の位置決めピン４２の先端が乗る場所にＶ溝台６６が組み込まれていればよい。図に示した３本の位置決めピン４２を同時にＶ溝台６６上にゆっくりと降下させると、ミニマル製造装置１２の位置と向きと姿勢を同時に正確に位置決めできる。【００３７】
また、例えば、位置決めピン４２を図４（ｂ）に示したように４本で構成すれば、より安定な姿勢で位置決めできる。この場合には、合計４本の支持柱４４と対応する４箇所に、位置決めブロック５６を配置すればよい。図４（ｂ）の場合には、全ての位置決めブロック５６が支持ブロック５８を兼ねる。支持柱４４は振れ止めであって、位置決めピン４２の位置決め機能を妨げない長さに選定する。支持柱４４は位置決めピン４２に加わる荷重を分担する機能を持つ。
【実施例３】
【００３８】
（運搬装置）
図５〜図７は、運搬装置１４の各部の斜視図である。
運搬装置１４は、ハンドル２４の操作によって、油圧でアーム２２を昇降させる昇降機構２５を有する。この機構は既知のものであり、説明を省略する。アーム２２の上面には、ミニマル製造装置１２の底板３６に接して、運搬中にミニマル製造装置１２を下から支持するフレーム６８が固定されている。また、フレーム６８の左右両側面には支持腕７０が固定され、アーム２２の左右両側面にはフック操作腕７２が固定されている。図の反対側の側面にも全く同じ支持腕７０とフック操作腕７２とが固定されている。【００３９】
支持腕７０とフック操作腕７２は、ミニマル製造装置の脚部の間の空間に前記アームを差し込む動作により、ミニマル製造装置の一対の脚部の一部と嵌り合う。支持腕７０は、ミニマル製造装置の運搬中に、ミニマル製造装置が揺れて倒れるのを防止する。フック操作腕７２は、ミニマル製造装置一対の脚部に設けられたフック機構を作動させて、フックを解放したり、フック機構を連結させる機能を持つ。その詳細は図９以下で説明する。【００４０】
図８は、フロアパネル６４上に２組の固定構造１６を取り付けたところを示す平面図である。
平行に配置した一対のガイドレール６２の両側を挟むように、位置決めブロック５６、フックピン６０、支持ブロック５８、ストッパピン５２が並んで配置されている。図６と図７に示したように、運搬装置１４のハンドル２４の直下には３輪構造の後輪７４が設けられ、アーム２２の直下には左右一対の前輪７６が設けられている。ガイドレール６２は、この前輪７６の全幅とほぼ一致する間隔を開けて配置されている。【００４１】
従って、図８の破線の位置から実線の位置まで矢印に示すように前輪７６が移動するとき、運搬装置１４のアーム２２の向きがガイドレール６２と平行になる。アーム２２に乗せたミニマル製造装置１２は、これによって、隣接するミニマル製造装置１２に衝突することなく、正確に位置決めブロック５６や支持ブロック５８の直上まで運搬される。【００４２】
図８において、前輪７６が矢印方向にさらに進むと、ミニマル製造装置１２の脚部４０に設けられた一対のストッパブロック５０が固定構造１６の一対のストッパピン５２に衝突する。左右一対のストッパピン５２がストッパブロック５０のＶ溝と嵌り合えば、ミニマル製造装置１２がほぼ正確に位置決めブロック５６や支持ブロック５８の直上に達し、その向きを整えた状態になる。その後アーム２２を下降させて、ストッパピン５２とストッパブロック５０の位置関係を保持したまま位置決めピン４２が位置決めブロック５６のピン孔５７に挿入される。このようにすれば、ミニマル製造装置１２を指定位置に正確に下ろすことが可能になる。【００４３】
図９はミニマル製造装置１２を下降させる直前の状態の主要部斜視図である。また、図１０は、ミニマル製造装置１２を下降させた後のミニマル製造装置１２と運搬装置１４と固定構造１６の主要部斜視図である。
両図を比較して分かるように、ミニマル製造装置１２を下降させる直前と下降直後で、ストッパピン５２はストッパブロック５０のＶ溝に接したままであり、ミニマル製造装置１２の水平方向の位置は変化しない。従って、位置決めピン４２がピン孔５７に正確に挿入される。図４に示したような位置決め機構を採用した場合にも、こうしたストッパ機構を設けることが好ましい。次に、図９と図１０と図１１を用いて、フック機構の説明をする。【００４４】
図１１は、転倒防止フック４６（図２）とフックピン６０（図３）の構成と作用を説明する主要部側面図である。
図９に示すように、運搬装置１４のアーム２２をミニマル製造装置１２の一対の脚部４０の間に差し込んで、ミニマル製造装置１２の運搬を開始する。このとき、図６に示した支持腕７０とフック操作腕７２とは、図２に示した脚部４０のスリット板５４に挿入される。図６のアーム２２の左右に設けた一対の支持腕７０がミニマル製造装置１２の左右の脚部４０に設けたスリット板５４に嵌り込むと、以下の作用により、安全な運搬を確保し、かつ、転倒防止フック４６を自動的に操作することができる。【００４５】
即ち、一対のスリット板５４に嵌り込んだ一対の支持腕７０は、アーム２２上にミニマル製造装置１２を乗せて運搬するときに、ミニマル製造装置１２がアーム２２上で揺れたり倒れたりするのを防止できる。また、支持腕７０が嵌り込むまでアーム２２を差し込むと、アーム２２の上に正しい向きでミニマル製造装置１２を乗せることができる。なお、この脚支持機構は、上記の空間にアーム２２を差し込む動作によりミニマル製造装置の一対の脚部４０の一部と嵌り合い、その空間からアーム２２を抜く動作により嵌り合いが解除されるように、一方が他方に嵌り合う嵌合部材が、アーム２２と脚部４０に設けられていればよい。【００４６】
ミニマル製造装置１２を指定位置に配置した後は、例えば、作業者の衝突や地震等による転倒を防止しなければならない。しかし、隣接するミニマル製造装置の隙間や、ミニマル製造装置底面と床面の隙間は狭くて、手を差し入れてロック（アンロック）をする作業は困難である。そこで、指定位置にミニマル製造装置を下降させたときや、ミニマル製造装置の下方から運搬装置を抜き出すときに、自動的にロックされる機構を設けた。【００４７】
図１１に示したレバー７８と転倒防止フック４６とは連動する。図９に示すように、スリット板５４にフック操作腕７２が嵌り込むと、フック操作腕７２によってレバー７８が長手方向に押される。これにより、転倒防止フック４６のＵ字爪８０が図１１（ｂ）の状態から図１１（ｃ）の状態になるように回転する。この状態でミニマル製造装置１２が下降すると、床面１８上のフックピン６０がＵ字爪８０のＵ溝に入り込み、Ｕ字爪８０を回転させて、図１１（ｂ）の状態に戻す。ここで、Ｕ字爪８０はロックされて、再び図の（ｃ）に示す状態に戻らなくなる。フックピン６０はＵ字爪８０に拘束され、ミニマル製造装置１２は床面１８上で転倒を防止される。【００４８】
また、ミニマル製造装置１２を移動させるためにアーム２２をミニマル製造装置１２の底板３６の直下に差し込むと、スリット板５４にフック操作腕７２が嵌り込み、フック操作腕７２によってレバー７８が長手方向に押される。これにより、転倒防止フック４６のＵ字爪８０が図１１（ｂ）の状態から図１１（ｃ）の状態になって、フックピン６０を解放する。従って、ミニマル製造装置１２をそのまま上方に持ち上げることができる。上記の転倒防止フック４６の部分の機構は、既知の良く知られた装置により実現することができる。【００４９】
なお、上記の機能はさらに簡単な機構で実現できる。図１１（ｄ）に示すように、下部側面にＵ溝８６を備えたフック腕８２を支持軸８４を支点に揺動するように転倒防止フック４６の内部に吊り下げておく。そして、スリット板５４にフック操作腕７２が嵌り込んだとき、フック操作腕７２がレバー７８を介してフック腕８２を押す機構を設ける。その結果、図１１（ｅ）に示すように、フックピン６０が自由に上下できる状態になる。即ち、ミニマル製造装置１２を固定構造１６上で自由に昇降させることができる。【００５０】
その後、アーム２２をミニマル製造装置１２の脚部４０の間から引き抜くと、スリット板５４からフック操作腕７２が抜かれる。フック腕８２を図示しないバネの弾力で、図１１（ｅ）の状態から図１１（ｄ）の状態に回転させて、レバー７８を押し戻す構成にしておくと、フックピン６０はフック腕８２のＵ溝８６に拘束される。従って、ミニマル製造装置１２の転倒が防止される。【００５１】
その後、ラインの組み替えをする場合には、ミニマル製造装置１２を移動させるためにアーム２２をミニマル製造装置１２の底板３６の直下に差し込む。すると、スリット板５４にフック操作腕７２が嵌り込み、フック操作腕７２によってレバー７８が長手方向に押される。これにより、フック腕８２が再び図１１（ｄ）の状態になり、フックピン６０が解放される。以上のようなフック機構により、運搬時にも設置後もミニマル製造装置１２を確実に支持固定する操作を自動的に行うことができる。また、上記の説明では、運搬装置を人力で動かす説明をしたが、自動的に駆動する装置であっても構わない。【００５２】
以上の実施例では、運搬装置１４に支持腕７０とフック操作腕７２の両方を取り付けた。支持腕７０は、ミニマル製造装置１２の左右の脚部４０に設けたスリット板５４に嵌り込んで、運搬中にミニマル製造装置１２の転倒を防止する。フック操作腕７２は、固定構造の転倒防止フック４６を操作する。しかしながら、実施例では支持腕７０とフック操作腕７２の両方が、ミニマル製造装置１２の左右の脚部４０に設けたスリット板５４に嵌り込んでいる。この場合、フック操作腕７２も運搬中のミニマル製造装置１２の転倒防止機能を有する。従って、この例では支持腕７０を省略することができる。一方、固定構造側に転倒防止フック４６を操作する機構が別にあれば、フック操作腕７２を省略して支持腕７０のみを設けるようにしても構わない。また、上記の実施例では、フックと称して鍵状の連結機構を例示したが、このほかにも、ピン式、ネジ式、ナックル式、バックル式といった連結機構を採用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、半導体製造装置のみならず、様々な分野で多品種少量生産をする生産ラインに広く採用することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１２  ミニマル製造装置
１４  運搬装置
１６  固定構造
１８  床面
２０  生産ライン
２２  アーム
２４  ハンドル
２５  昇降機構
２６  前壁
２８  後壁
３０  左側壁
３２  右側壁
３４  天板
３６  底板
３８  デッキ
３９  制御盤
４０  脚部
４２  位置決めピン
４４  支持柱
４６  転倒防止フック
４８  ガード板
５０  ストッパブロック
５２  ストッパピン
５４  スリット板
５６  位置決めブロック
５７  ピン孔
５８  支持ブロック
６０  フックピン
６２  ガイドレール
６４  フロアパネル
６５  案内板
６６  Ｖ溝台
６８  フレーム
７０  支持腕
７２  フック操作腕
７４  後輪
７６  前輪
７８  レバー
８０  Ｕ字爪
８２  フック腕
８４  支持軸
８６  Ｕ溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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