(57)【要約】  本明細書に記載のとおりガス供給システムが真空システム内に収納されている、真空システム及びガス供給システムを使用することによって、少なくとも１つのガスラインを施設内の少なくとも１つのユースポイントに供給することを、安全に可能にするためのシステムと方法。少なくとも１つのガスラインを内包する導管の内部容積が、ガスラインの一端をガス源に、ガスラインの他端をユースポイントに接続される際、減圧下に保たれる。個別ガスラインを取り囲む導管を使用すること、及び各ガス用に単一の供給系統を使用することで、本明細書で開示される実施形態によって、施設内に走らせる必要がある個別ガスラインの数は減少する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導管及び、前記導管内部に内包された、それぞれの外側が大気圧未満の気圧に曝される複数の個別ガスラインを備える第１の真空導管を、真空源に接続すること、並びに、
前記複数の個別ガスラインのそれぞれの外側を大気圧未満に保ちながら、前記複数の個別ガスラインのそれぞれを、ユースポイントに接続すること
を含む、複数のガスラインを、施設内の少なくとも１つのユースポイントに供給することを安全に可能にするための方法。
【請求項２】
前記第１の真空導管を接合ボックスに接続することであって、前記複数の個別ガスラインが露出するように前記第１の真空導管の前記導管が終結し、前記複数の個別ガスラインのそれぞれが前記ユースポイントまで走る、接続すること、
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１の真空導管が施設の床下に配置される、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記複数の個別ガスラインのうちの少なくとも１つの少なくとも１つのユースポイントが、ガスパネルである、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記複数の個別ガスラインのそれぞれの第１の部分が前記ユースポイントへ走り、前記複数の個別ガスラインのそれぞれの第２の部分が第１の接合ボックスに結合された第２の真空導管の内部を走るように、前記第１の接合ボックス内の前記複数の個別ガスラインのそれぞれを分岐すること
をさらに含む、請求項２に記載の方法。
【請求項６】
導管及び前記導管内部に内包された複数の個別ガスラインを備える第１の真空導管、並びに
前記複数の個別ガスラインのそれぞれの外側が大気圧未満に保たれるように前記真空導管に接続された真空源
を含む、複数のガスラインを、施設内の少なくとも１つのユースポイントに供給することを安全に可能にするシステム。
【請求項７】
前記第１の真空導管と前記真空源との間に配置された真空導管に接続された安全スイッチ
をさらに含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記真空源に接続された処理スクラバー
をさらに含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項９】
前記複数の個別ガスラインのうちの少なくとも１つの少なくとも１つのユースポイントが、ガスパネルである、請求項６に記載のシステム。
【請求項１０】
前記第１の真空導管に結合され、前記第１の真空導管と前記ユースポイントとの間に配置された第１の接合ボックスであって、
前記複数の個別ガスラインが露出するように、前記第１の真空導管の前記導管が前記第１の接合ボックスに入った後終結し、
前記複数の個別ガスラインがユースポイントに向かって走る、接合ボックス
をさらに含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項１１】
前記複数の個別ガスラインのそれぞれに結合された、前記第１の接合ボックス内のスプリッタであって、前記スプリッタが、各ユースポイントに向かって走る前記複数の個別ガスラインのそれぞれの第１の部分及び、前記第１の接合ボックスに結合された第２の真空導管内部を走る前記複数の個別ガスラインのそれぞれの第２の部分を形成する、スプリッタ
をさらに含む、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記第２の真空導管に結合された第２の接合ボックス
をさらに含む、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
第１の真空導管及び第２の真空導管に結合された接合ボックスを備え、
前記第１及び第２の真空導管が共に、導管及び前記導管内部に内包された複数の個別ガスラインを備え、
前記複数の個別ガスラインが露出するように、前記第１及び第２の真空導管の前記導管が、前記接合ボックス内部に入ると終結し、
前記個別ガスラインのそれぞれが、前記個別ガスラインの第１の部分がユースポイントに接続でき、前記個別ガスラインの第２の部分が前記第２の真空導管内部に内包されるように、前記接合ボックス内部に入ると分岐する、
真空気密の接合ボックス。
【請求項１４】
前記複数の個別ガスラインのうちの少なくとも１つの少なくとも１つのユースポイントが、ガスパネルである、請求項１３に記載の接合ボックス。
【請求項１５】
前記ガスパネルが前記接合ボックスに、溶接隔壁によって結合される、請求項１４に記載の接合ボックス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書に記載される実施形態は、一般的には、複数チャンバ用のシングルポイント接続を有するガスライン配管システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場（ＦＡＢｓ）及び他の研究、産業及び医療の各業務は、様々なガスの使用を必要とする。必要とされるガスは、ガスラインによってユースポイントまで搬送される。有害ガスを搬送するガスラインが継手を使う場合、継手は排気エンクロージャ内に配置しなければならないことが、安全規定によって要求されている。排気エンクロージャを通る排気は、大流量であることもまた、安全規定によって要求されているが、それによって排気エンクロージャのサイズは非現実的に大きくなり、貴重な作業スペースが取られる。
【０００３】
全溶接ラインシステムを使用する場合のように、もし継手が使用されなければ、排気エンクロージャを回避することができる。全溶接ラインシステムでは排気エンクロージャと同様に安全及び保安管理が維持されるが、溶接されるラインを施設内でセクションごとに製造する必要があるため、全溶接ラインシステムは余分な水準の複雑性を伴う。全溶接ラインシステムはまた、非常に高価でもあり構築に長時間が必要でもある。さらに、有害ガスを搬送する多くのガスラインを二重格納にする必要があるが、これによって費用及び複雑性の水準が大いに上昇する。したがって、全溶接ラインシステムは満足できる解決ではない。
【０００４】
現行の方法を使用して個別ガスラインを走らせる費用は、高い。施設が多数のガスラインを必要とすることはしばしばあり、ガスラインを走らせるのにかかる総費用はすぐに増大する。例えば、１つのＦＡＢ内の複数の処理チャンバが、運転を行うため、それぞれ同じ２０から３０のガスを必要とし得る。従来の方法を使えば、複数の各処理チャンバに対して２０から３０の個別ガスラインを走らせる必要があるだろう。そういうありがちな状況においては、ＦＡＢの設備にガスラインを供給する費用は、急速に異常に高価になる。ＦＡＢまたは他の施設の複雑性が増大し続けるにつれ、必要なガスラインを提供する費用もまた増大し続ける。
【０００５】
上記で例示されたように、当技術分野で必要なのは、ＦＡＢまたは他の研究、産業もしくは医療施設の中の種々のユースポイントに複数のガスラインを供給する、安全で、安価で、便利な方法である。
【発明の概要】
【０００６】
本明細書で開示する実施形態では、真空導管内に内包された少なくとも１つのガスラインを、少なくとも１つのユースポイントに費用効果的かつ安全に供給できるようにするため、真空源が使用される。より具体的には、本明細書で開示する実施形態には、真空ガス供給システムが含まれる。真空ガス供給システムには、真空システム及びガス供給システムが含まれ、ガス供給システムは真空システムの内部に収納される。例示的な実施形態では、真空源は、ガスラインがＦＡＢ内を通ってまたはＦＡＢの床下を走る際、個別ガスラインを取り囲む真空導管を大気圧未満に保つことによって、同じ１またはそれ以上のガスラインをＦＡＢ内の１またはそれ以上の処理チャンバのそれぞれに安全に供給するために使用される。実施形態によって、各ガス用の単一供給ガスラインを使って、各ガスを各チャンバに供給することが可能になる。
【０００７】
少なくとも１つの個別ガスラインを、施設内の少なくとも１つのユースポイントに供給することを安全に可能にするための方法が開示される。方法には、導管及び、導管内部に内包された、外側が大気圧未満の気圧に曝される少なくとも１つの個別ガスラインを備える第１の真空導管を真空源に接続すること、並びに、少なくとも１つの個別ガスラインのそれぞれの外側を大気圧未満に保ちながら、少なくとも１つの個別ガスラインのそれぞれを、ユースポイントに接続することが含まれる。
【０００８】
少なくとも１つの個別ガスラインを、施設内の少なくとも１つのユースポイントに供給することを安全に可能にするシステムが開示される。システムには、導管及び導管内部に内包された少なくとも１つ個別ガスラインを備える第１の真空導管、並びに少なくとも１つの個別ガスラインそれぞれの外側が大気圧未満に保たれるように真空導管に接続された真空源が含まれる。
【０００９】
第１の真空導管及び第２の真空導管に結合された接合ボックスを備え、第１及び第２の真空導管が共に、導管及び導管内部に内包された少なくとも１つの個別ガスラインを備え、少なくとも１つの個別ガスラインが露出するように、第１及び第２の真空導管の導管が、接合ボックス内部に入ると終結し、少なくとも１つの個別ガスラインのそれぞれが、少なくとも１つの個別ガスラインの第１の部分がユースポイントに接続でき、少なくとも１つの個別ガスラインの第２の部分が第２の真空導管内部に内包されるように、接合ボックス内部に入ると分岐する、接合ボックスが開示される。
【００１０】
本発明の上述の特徴を詳細に理解しうるように、上記で簡単に要約されている本発明のより詳細な説明が、実施形態を参照することによって得られ、実施形態の一部は付随する図面に示されている。しかし、本発明は他の等しく有効な実施形態も許容しうることから、付随する図面はこの発明の典型的な実施形態のみを例示しており、従って発明の範囲を限定すると見なすべきではないことに、留意されたい。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本明細書で開示する実施形態による、内部に収納された複数の個別ガスラインを有する真空導管を示す。
【図２】本明細書で開示する実施形態による、施設内真空ガス供給システムの概略を示す。
【図３Ａ】本明細書で開示する実施形態による、ガス供給システムの接合ボックス及びガスパネル排気ダクトの上面図を示す。
【図３Ｂ】本明細書で開示する実施形態による、真空ガス供給システムの態様の側面図を示す。
【図４】本明細書で開示する実施形態による、真空ガス供給システムのガスラインの概略を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の様々な実施形態の記載が例示の目的で提示されてきたが、網羅的であることまたは開示の実施形態に限定することは意図されていない。記載された実施形態の範囲及び精神から逸脱することなく、多くの修正例及び変形例が当業者には明らかであろう。本明細書で使用される用語は、実施形態、実用的応用、もしくは市場で見ることができるテクノロジーに対する技術的改良の諸原理を最もよく説明するため、または本明細書で開示される実施形態を当業者が理解することを可能にするために選択された。
【００１３】
本明細書で開示する実施形態では、真空導管内に内包した少なくとも１つのガスラインを、少なくとも１つのユースポイントに費用効果的かつ安全に供給できるようにするため、真空源が使用される。より具体的には、本明細書で開示する実施形態には、真空ガス供給システムが含まれる。真空ガス供給システムには、真空システム及びガス供給システムが含まれ、ガス供給システムは真空システムの内部に収納される。例示的な実施形態では、真空源は、ガスラインがＦＡＢ内を通ってまたはＦＡＢの床下を走る際、個別ガスラインを取り囲む真空導管を大気圧未満に保つことによって、同じ１またはそれ以上のガスラインをＦＡＢ内の１またはそれ以上の各処理チャンバに安全に供給するために使用される。実施形態によって、各ガス用の単一供給ガスラインを使って、各ガスを各チャンバに供給することが可能になる。真空源は、排気エンクロージャと比べて同じかまたはより良い安全上の特徴を提供することができるが、真空源は、排気エンクロージャに必要な大きな排気ダクトよりもずっと直径が小さい真空導管を使うことができる。個別ガスラインを取り囲む真空導管を使用すること、及び各ガス用に単一の供給系統を使用することで、本明細書で開示される実施形態によって、施設内に走らせる必要がある個別ガスラインの数は減少する。本明細書で開示される実施形態の結果、ガスラインを走らせる費用は大きく減少し、排気エンクロージャの大型化されたダクトに起因する貴重な作業スペースの損失も取り除かれ、全溶接システムの使用に関連付けられる、潜在的な装置の中断時間も取り除かれる。さらに、ガスラインを真空下に保つことによってガスラインは保護され、ガスラインが設置及び修理が容易な継手を有することが可能になる。
【００１４】
図１は、本明細書で開示する実施形態による、内部に複数の個別ガスライン２０を有する真空導管１００を示す。真空導管１００は円筒形の導管として示されているが、任意の形状であり得る。真空導管１００は、例えば、管、密封トレー、または密封トラフ（ｔｒｏｕｇｈ）であり得るが、しかしいずれにせよ真空導管１００は、ガスライン２０を収納し得、減圧を保ち得るエンクロージャである。真空導管１００は、金属または不燃性の複合材料といった、空気に対して実質的に不透過性の材料から作られ得る。使用され得る例示的な金属には、アルミニウム、鋼、ステンレス鋼、及びこれらの合金が含まれる。使用され得る例示的な不燃性の複合材料には、金属複合材料、炭素繊維、ガラス繊維、及び他の繊維複合材料が含まれる。真空導管１００は、真空導管１００に真空源が適用されている場合、真空導管１００内のガスライン２０の周囲の容積が大気圧未満に保たれるように、真空エンクロージャとして機能する。
【００１５】
各ガスライン２０は、ＦＡＢまたは他の施設内で使用される、異なるガスまたは混合ガスを搬送し得る。代替的に、ＦＡＢまたは他の施設内で使用されるガスの幾つかは、１よりも多い数のガスライン２０で搬送され得る。ガスライン２０は、直径、長さ及び複合材料の点で異なり得る。真空導管１００は中に２６本のガスラインを内包しているように図示されているが、真空導管１００は異なる数のガスラインを有し得る。
【００１６】
図２は、一般的に真空システム及びガス供給システムが含まれ、ガス供給システムが真空システムの内部に収納された、真空ガス供給システム２００を示す。真空システムには、真空導管２５０に結合された施設ガス源２９０、及び一端において処理スクラバー２８０に、他端において真空導管２５０に接続された真空源２７０が含まれる。真空導管２５０は、第１の接合ボックス２１０に結合され、真空源２７０によって作り出された減圧環境を、一連の接合ボックス２１０、２２０、２３０、及び２４０並びに真空導管２５１、２５２及び２５３に通じさせる。各真空導管は、１つの接合ボックスから別の接合ボックスへ、減圧環境を通じさせる。
【００１７】
真空源２７０は、ほとんどの施設で入手可能な従来型の粗引きポンプといった真空ポンプであり得る。真空源は、真空ガス供給システム２００内の圧力を大気圧未満に減少させる。真空導管２５０は、真空源２７０を第１の接合ボックス２１０に密封的に結合する。以下でより詳細に記載されるように、接合ボックスは、真空を保持することが可能で、チャンバへのガスの供給を可能にするため、一方では例えば別の接合ボックスに続けてガスを供給するため、ガスライン２０とガス継手を内包する。接合ボックスは、ガスライン２０に対して必要な接続を行うため、アクセス可能である。しかし、通常運転の間は大気圧未満の状態に保たれる。ガスライン２０が継手と接続することができるように、施設ガス源２９０と第１の接合ボックス２１０との間で、１またはそれ以上の接合ボックスが真空導管２５０に結合され得る。
【００１８】
真空導管２５１は、第１の接合ボックス２１０を第２の接合ボックス２２０に結合する。真空導管２５２は、第２の接合ボックス２２０を第３の接合ボックス２３０に結合する。真空導管２５３は、第３の接合ボックス２３０を第４の接合ボックス２４０に結合する。各接合ボックス及び各真空導管は真空を保つことができるため、真空源２７０は、接合ボックス及び真空導管のシステム全体を大気圧未満に維持することができる。
【００１９】
処理スクラバー２８０は、処理スクラバー導管２７５を通じて真空源２７０に結合され得る。処理スクラバーは、真空源２７０に入るいかなる有害ガスをも取り除くことができ、それによって排気されたガスの適正な処理またはリサイクルが可能になる。
【００２０】
安全スイッチ２６０は、例えば真空導管２５０において当該真空システムに接続され得る。真空システムの運転中は、システム内では一定の減圧が維持されている。安全スイッチ２６０には圧力センサが内包され、センサが圧力の上昇を検知した場合、スイッチはガス漏れが発生しているかどうかを決定する。例えば、安全スイッチ２６０は半大気圧スイッチ（１／２  ａｔｍ  ｐｒｅｓｓｕｒｅ  ｓｗｉｔｃｈ）であり得る。安全スイッチ２６０は、施設ガス源２９０と連通するように構成されている。安全スイッチが圧力の上昇を検知した場合、安全スイッチは、施設ガス源２９０に停止を指示する信号を施設ガス源２９０に送る。
【００２１】
施設ガス源２９０には、ＦＡＢまたは他の施設内で使用される様々なガス用の複数のアクセスポイントが含まれる。施設ガス源２９０は、真空源２７０とハウジングを共有し得る。真空導管２５０は、施設ガス源２９０と密封的に結合する。真空導管２５０に内包されるガスライン２０は、一端では施設ガス源２９０のアクセスポイントに接続する。他端では、接合ボックス２１０、２２０、２３０、及び２４０に関連付けられるガスパネルと接続し得る。ガス源と接合ボックスとの間のガスライン２０は、接合ボックスとガスパネルとの間を接続するガスラインよりも大きな直径を有し得る。図では施設ガス源２９０は真空源２７０と同じハウジング内に収納されているが、施設ガス源２９０は施設中の他のどこにでも配置され得る。
【００２２】
接合ボックス２１０、２２０、２３０、及び２４０は真空気密の箱であって、１つのガスライン２０が当該個別接合ボックスに関連付けられたユースポイントまで走り得、別のガスライン２０が別の接合ボックス、施設ガス源２９０、または別の場所へ走り得るように、内部でガスライン２０が分岐し得る。幾つかの例では、ガスラインは接合ボックス内部で分岐する必要がなくても良い。例えば、複数の接合ボックスのチェーンの最後にある接合ボックスの場合、または特定のガスが他の接合ボックスでは必要ではない場合である。各接合ボックスは、処理チャンバに供給するためのガスパネルといった、ユースポイントに接続され得る。接合ボックスは、ガスライン２０を安全に真空状態下に保ちながら、一連のユースポイントを同一のガスライン２０に接続する機能を果たす。
【００２３】
図２に示す代表例では、真空導管２５０は、施設ガス源２９０へのアクセスポイントと密封的に結合する。施設ガス源２９０へのアクセスポイントは、真空導管２５０内に内包される少なくとも幾つかのガスラインと結合される。真空導管２５０はまた、接合ボックス２１０とも密封的に結合する。ガスラインは、１つのガスラインが例えば処理チャンバに供給するガスパネルといったユースポイントに向かって走り得、第２のガスラインが真空導管２５１に入り得るように、第１の接合ボックス２１０内に入ると分岐し得る。真空導管２５１は、一端では第１の接合ボックス２１０と密封的に結合し、他端では第２の接合ボックス２２０と結合する。ガスラインは、１つのガスラインが例えば第２の処理チャンバに供給するガスパネルといったユースポイントに向かって走り得、第２のガスラインが真空導管２５２に入り得るように、第２の接合ボックス２２０内に入ると分岐し得る。真空導管２５２は、一端では第２の接合ボックス２２０と密封的に結合し、他端では第３の接合ボックス２３０と結合する。ガスラインは、１つのガスラインが例えば第３の処理チャンバに供給するガスパネルといったユースポイントに向かって走り得、第２のガスラインが真空導管２５３に入り得るように、第３の接合ボックス２３０内に入ると分岐し得る。真空導管２５３は、一端では第３の接合ボックス２３０と密封的に結合し、他端では第４の接合ボックス２４０と結合し得る。第４の接合ボックス２４０内に入ると、各ガスラインはユースポイントに関連付けられたガスパネルに向かって、例えば第４の処理チャンバまで、走り得る。４つの接合ボックスを使用する真空ガス供給システム２００が例示されているが、異なる数の接合ボックス及びユースポイント（例えば処理チャンバに供給するガスパネル）を使用するシステムが作られ得る。
【００２４】
図３Ａは、ＦＡＢ内における、接合ボックス３７０及びガスパネル排気ダクト３８０の上面図である。第１の真空導管３１０が接合ボックス３７０と密封的に結合し、ガスライン３１１、３１２、３１３、及び３１４は、１つのガスラインが溶接隔壁３７５を貫通してガスパネル排気ダクト３８０内へ走り得、第２のガスラインが、同じく接合ボックス３７０に密封的に結合する第２の真空導管３１０’内に走り得るように、分岐している。
【００２５】
接合ボックス３７０内に入ると、ガスライン３１１、３１２、３１３、及び３１４は、３２１、３２２、３２３、３２４として示される第１の継手と接続し得る。第１の継手は、金属ユニオン継手といった金属継手であり得る。例えばＶＣＲ継手といった従来型の継手は、Ｓｗａｇｅｌｏｋ社から入手できる。ガスライン３１１、３１２、３１３及び３１４は、３３１、３３２、３３３、３３４として示され、各ガスラインに沿って配置されたスプリッタと接続し得る。それぞれのスプリッタ３３１、３３２、３３３、３３４を離れた各ガスライン３１１、３１２、３１３及び３１４からの第１のガスラインは、ガスパネル排気ダクト３８０に向かって走り得る。３４１、３４２、３４３、及び３４４として示される第２の継手は、ガスパネル排気ダクト３８０に向かって走る各ガスラインに結合され得る。第２の継手は、内蔵型フローレストリクタ付きまたは内蔵型フローレストリクタなしの、金属ユニオン継手であり得る。第２の継手は、ガスラインが溶接隔壁３７５に到達する手前で各ガスラインと接続し得る。第１のガスラインは、溶接隔壁３７５を貫通し、ガスパネル排気ダクト３８０内へ走り得る。溶接隔壁３７５は、接合ボックス３７０及びガスパネル排気ダクト３８０との間で真空気密接続を形成する。第１のガスラインがガスパネル排気ダクト３８０内に入ると、各ガスラインは、３５１、３５２、３５３、及び３５４で示される継手と接続し得、各継手は、各ガスラインを接合ボックス３７０に関連付けられたガスパネルと接続し得る。ガスパネルは、各ガスラインのユースポイントであり得、処理チャンバに供給し得る。
【００２６】
各スプリッタ（３３１、３３２、３３３、及び３３４）を離れた第２のガスラインは、第２の真空導管３１０’に向かって延伸し得る。各ガスラインは、第３の継手（３６１、３６２、３６３、３６４として示す）と結合し得る。第３の継手は、金属ユニオン継手といった金属継手であり得る。各ガスラインは次いで、第２の真空導管３１０’内へ走り得、接合ボックス３７０を出得る。
【００２７】
第１の真空導管３１０及び第２の真空導管３１０’は、４つのガスラインを内包するとして描かれているが、第１の真空導管３１０及び第２の真空導管３１０’は異なる数のガスラインを内包し得る。第１の真空導管３１０を通って接合ボックス３７０に入った各ガスラインは、第２の真空導管３１０’を通って接合ボックス３７０を出得る。代替的に、第１の真空導管３１０を通って接合ボックス３７０に入った幾つかのガスラインは、接合ボックス３７０内で終結し得る。
【００２８】
図３Ｂは、ＦＡＢ内でチャンバシステムに接続された真空ガス供給システム２００の側面図である。図示されるように、図３Ｂは真空導管３１０、接合ボックス３７０、個別ガスライン３１１、３１２及び３１３、ガスパネル排気ダクト３８０、並びにガスパネル３９０を表す。真空導管３１０は、接合ボックス３７０と密封的に結合する。ガスライン３１１、３１２及び３１３は、接合ボックス３７０を出、ガスパネル排気ダクト３８０に入り、次いで溶接隔壁３７６を横切ってガスパネル３９０内に延伸する。図示されていないが、ガスライン３１１、３１２、及び３１３は、図示される接合ボックスの下流または上流で、他の接合ボックスと接続し得る。真空ガス供給システムは、例えばＦＡＢといった施設の床３０１の下に配置され得る。代替的に、真空ガス供給システムは、処理装置の上方に配置され得る。
【００２９】
図４は、本明細書で開示する実施形態による、真空ガス供給システム２００内の単一のガスラインの概略を示す。単一のガスライン４０１は、真空ガス供給システム２００内に内包されており、一端では施設ガス源４６０に接続され、ユースポイント４１０、４２０、４３０、及び４４０にもまた接続されている。真空ガス供給システム２００の運転中は、ガスライン４０１の外側は大気圧未満の気圧に曝されている。単一のガスライン４０１用のユースポイントは、処理チャンバに供給するためのガスパネルであり得る。交点４５１、４５２、４５３及び４５４は、ガスライン４０１が接合ボックス内にある、真空ガス供給システム２００上の点を表す。
【００３０】
本明細書で開示する実施形態には、真空ガス供給システムが含まれる。真空ガス供給システムには、真空システム及びガス供給システムが含まれ、ガスシステムは真空システムの内部に収納される。例示的な実施形態では、真空源は、ガスラインがＦＡＢ内を通ってまたはＦＡＢの床下を走る際、ガスラインを取り囲む導管を大気圧未満に保つことによって、同じ２０またはそれ以上のガスラインをＦＡＢ内の４またはそれ以上の処理チャンバそれぞれに安全に供給するために使用される。真空源は、排気エンクロージャと比べて同じかまたはより良い安全上の特徴を提供することができるが、真空源は、排気エンクロージャに必要な大きな排気ダクトよりもずっと直径が小さい真空導管を使うことができる。
【００３１】
個別ガスラインを取り囲む真空システムに結合された真空源を使用することで、本明細書で開示される実施形態によって、施設内に走らせる必要がある個別ガスラインの数は減少する。本明細書で開示される実施形態の結果、ガスラインを走らせる費用は大きく減少し、排気エンクロージャの大型化されたダクトに起因する貴重な作業スペースの損失も取り除かれ、全溶接システムの使用に関連付けられる、潜在的な装置の中断時間もまた、取り除かれる。さらに、ガスラインを真空下に保つことによってガスラインは保護され、ガスラインが設置及び修理が容易な継手を有することが可能になる。
【００３２】
上記は本発明の実施形態を対象とするが、本発明の基本的な範囲から逸脱することなく、本発明の他の及びさらなる実施形態を考案することもでき、本発明の範囲は、以下の特許請求の範囲によって決定される。
【図１】
2016540932.tif 000003
【図２】
2016540932.tif 000004
【図３Ａ】
2016540932.tif 000005
【図３Ｂ】
2016540932.tif 000006
【図４】
2016540932.tif 000007
【国際調査報告】
2016540932.tif 000008
2016540932.tif 000009