(57)【要約】【課題】  本発明による、平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器は、基板と、平面伝送線路のセグメントと、導電パッチと、調整導電板と、導波管の一部分とを有する。セグメントは、基板の最上層の導電層に配置されている。導電パッチは、最上層の導電層に配置され、セグメントの一端に接続されている。調整導電板は、基板の、最上層の導電層または最上層の導電層に隣接する他の導電層に配置されており、他のあらゆる導電体から絶縁されている。一部分は、導電パッチの上方に配置され、最上層の導電層の導電プレーンに接続されている。セグメントの他端は広帯域変換器の第１端子である。一部分の他端は広帯域変換器の第２端子である。
2016507915.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面伝送線路および導波管の間に接続する広帯域変換器であって、
複数の導電層にそれぞれに配置され、かつ、上下に積層され、かつ、絶縁材料によって互いに絶縁された複数の導電プレーンを含む基板と、
前記基板の最上層の導電層に配置された前記平面伝送線路のセグメントと、
前記最上層の導電層に配置され、前記平面伝送線路の前記セグメントの一端に接続された導電パッチと、
前記導電パッチと、前記最上層の導電層の導電プレーンとの間に配置された絶縁スリットと、
前記基板の前記最上層の導電層または前記最上層の導電層に隣接する他の導電層に配置され、他のあらゆる導電体から絶縁された調整導電板と、
前記基板を前記最上層の導電層から最下層の導電層まで貫通し、かつ、前記複数の導電プレーンのそれぞれに接続され、かつ、前記導電パッチおよび前記絶縁スリットの周囲に配置された複数のグランドヴィアと、
前記導電パッチの上方に配置され、かつ、前記最上層の導電層の前記導電プレーンに接続された前記導波管の一部分と、
前記導波管の前記一部分の一端に配置されて前記平面伝送線路の前記セグメントを前記導波管から絶縁する開口部と
を具備し、
前記平面伝送線路の前記セグメントの他端は、前記広帯域変換器の第１端子であり、
前記導波管の前記一部分の他端は、前記広帯域変換器の第２端子である
広帯域変換器。
【請求項２】
請求項１に記載の広帯域変換器において、
前記調整導電板は、前記他の導電層に配置されており、
前記調整導電板を前記他の導電層の他のあらゆる導電体から絶縁するように配置された分離スリット
をさらに具備する
広帯域変換器。
【請求項３】
請求項２に記載の広帯域変換器において、
前記他の導電層に配置され、前記調整導電板と、前記他の導電層の他の導電体との間の結合を強化する結合部
をさらに具備し、
前記結合部は、
前記調整導電板の、波型形状を有する第１端部と、
前記他の導電層の前記導電プレーンの、波型形状を有する第２端部と
を具備し、
前記第１端部および前記第２端部は向き合っている
広帯域変換器。
【請求項４】
請求項２に記載の広帯域変換器において、
前記基板の、前記他の導電層に隣接するさらに他の導電層に配置された他の調整導電板と、
前記他の調整導電板を、前記さらに他の導電層の他のあらゆる導電体から絶縁するように設けられた他の分離スリットと
をさらに具備する
広帯域変換器。
【請求項５】
請求項４に記載の広帯域変換器において、
前記他の導電層および前記さらに他の導電層に配置され、前記調整導電板と、前記他の導電層および前記さらに他の導電層の他の導電体との間の結合を強化する複数の結合部
をさらに具備し、
前記複数の結合部のそれぞれは、
前記調整導電板または前記他の調整導電板の、波型形状を有する第１端部と、
前記他の導電層または前記さらに他の導電層の前記導電プレーンの、波型形状を有する第２端部と
を具備し、
前記それぞれの結合部において、前記第１端部および前記第２端部は向かい合っている
広帯域変換器。
【請求項６】
請求項４に記載の広帯域変換器において、
前記最上層の導電層に配置され、前記最上層の導電層の前記導電プレーンに接続され、前記分離スリットによって前記導電パッチから絶縁された追加の調整導電板
をさらに具備する
広帯域変換器。
【請求項７】
請求項２に記載の広帯域変換器において、
前記他の導電層に配置され、前記分離スリットによって前記他の導電層の他のあらゆる導電体から絶縁された他の調整導電板
をさらに具備する
広帯域変換器。
【請求項８】
請求項２、３または７のいずれか一項に記載の広帯域変換器において、
前記基板の、前記他の導電層に隣接するさらに他の導電層に、かつ、前記導電パッチの下方に配置された結合開口
をさらに具備する
広帯域変換器。
【請求項９】
請求項７に記載の広帯域変換器において、
前記他の導電層に配置され、前記調整導電板および前記他の導電層の他の導電体の間の結合を強化する第１結合部と、
前記基板の、前記他の導電層に隣接するさらに他の導電層に配置された２つの調整導電板の集合体と、
前記集合体のそれぞれの調整導電板を、前記さらに他の導電層の他のあらゆる導電体から絶縁するように、前記さらに他の導電層に設けられた他の分離スリットと、
前記さらに他の導電層に配置され、前記集合体の第１調整導電板および前記さらに他の導電層の他の導電体の間の結合を強化する第２結合部と、
前記さらに他の導電層に配置され、前記集合体の第２調整導電板および前記さらに他の導電層の他の導電体の間の結合を強化する第３結合部と
をさらに具備し、
前記第１結合部、前記第２結合部および前記第３結合部のそれぞれは、
前記調整導電板、前記集合体の前記第１調整導電板または前記集合体の前記第２調整導電板の、波型形状を有する第１端部と、
前記他の導電層または前記さらに他の導電層の前記導電プレーンの、波型形状を有する第２端部と
を具備し、
前記第１端部および前記第２端部は向かい合っている
広帯域変換器。
【請求項１０】
請求項１に記載の広帯域変換器において、
前記他の導電層に、かつ、前記導電パッチの下方に配置された結合開口
をさらに具備し、
前記調整導電板は、前記最上層の導電層に配置され、前記絶縁スリットによって前記最上層の導電層の他のあらゆる導電体から絶縁されている
広帯域変換器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多層基板内に設けられ、平面伝送線路および導波管の間において広い周波数帯域で低損失な信号伝送を提供する、広帯域変換器に関する。
【背景技術】
【０００２】
車載用レーダーシステムを含む種々の実際的なアプリケーションによるマイクロ波（ミリメートル波）モジュールにおいて、マイクロ波回路素子およびアンテナの間に、電磁波の透過率を低反射損失かつ低挿入損失で提供することは、重大な問題である。特に、マイクロ波回路素子に接続された平面伝送線路と、アンテナに取り付けられた導波管との間の適切な変換器は、システムのエネルギー消費を改善することが出来る。
【０００３】
米国特許第５８６７０７３号明細書、米国特許第６１２７９０１号明細書、米国特許公開２００８／０１２９４０８号公報および米国特許公開２０１２／００５０１２５号公報の発明では、平面伝送線路および導波管の間の変換器の種々の構成が提案されている。
【０００４】
しかしながら、製造工程の公差問題を克服し、かつ、安価なマイクロ波（ミリメートル波）モジュールを提供するためには、広い周波数帯域で動作する変換器の開発が不可欠である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国特許第５８６７０７３号明細書
【特許文献２】米国特許第６１２７９０１号明細書
【特許文献３】米国特許公開２００８／０１２９４０８号公報
【特許文献４】米国特許公開２０１２／００５０１２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的の一つは、多層基板の内部に配置された、導波管および平面伝送線路の間の広帯域変換器を形成することにある。
【０００７】
ここで、そのような広帯域変換器は、特殊な調整板を有する平面伝送線路に接続された導電パッチの付近に整合構造を形成することで得られる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１Ａ】図１Ａは、本発明の一実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図１Ｂに示す導電層１Ｌ１における断面の、水平方向の断面図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、本発明の一実施形態による、図１Ａに示した広帯域変換器の、断面線１Ｂ−１Ｂによる垂直方向の断面図である。
【図１Ｃ】図１Ｃは、本発明の一実施形態による、図１Ａに示した広帯域変換器の、断面線１Ｃ−１Ｃによる垂直方向の他の断面図である。
【図１Ｄ】図１Ｄは、本発明の一実施形態による、図１Ａに示した広帯域変換器の、導電層１Ｌ３および１Ｌ４における断面の、水平方向の断面図である。
【図１Ｅ】図１Ｅは、本発明の一実施形態による、図１Ａに示した広帯域変換器の、導電層１Ｌ２における断面の、水平方向の断面図である。
【図１Ｆ】図１Ｆは、本発明の一実施形態による、図１Ａに示した広帯域変換器の上面図である。
【図１Ｇ】図１Ｇは、本発明の一実施形態による、図１Ａに示した広帯域変換器の下面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、本発明の他の実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図２Ｂに示す導電層２Ｌ１における断面の、水平方向の断面図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、本発明の他の実施形態による、図２Ａに示した広帯域変換器の、断面線２Ｂ−２Ｂによる垂直方向の断面図である。
【図２Ｃ】図２Ｃは、本発明の他の実施形態による、図２Ａに示した広帯域変換器の、断面線２Ｃ−２Ｃによる垂直方向の断面図である。
【図２Ｄ】図２Ｄは、本発明の他の実施形態による、図２Ａに示した広帯域変換器の、導電層２Ｌ２、２Ｌ３、２Ｌ４、２Ｌ５および２Ｌ６における断面の、水平方向の断面図である。
【図２Ｅ】図２Ｅは、本発明の他の実施形態による、図２Ａに示した広帯域変換器の上面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明のさらに他の実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図３Ｂに示す導電層３Ｌ１の断面の、水平方向の断面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明のさらに他の実施形態による、図３Ａに示した広帯域変換器の、断面線３Ｂ−３Ｂによる垂直方向の断面図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、本発明のさらに他の実施形態による、図３Ａに示した広帯域変換器の、断面線３Ｃ−３Ｃによる垂直方向の断面図である。
【図３Ｄ】図３Ｄは、本発明のさらに他の実施形態による、図３Ａに示した広帯域変換器の、導電層３Ｌ２の断面の、水平方向の断面図である。
【図３Ｅ】図３Ｅは、本発明のさらに他の実施形態による、図３Ａに示した広帯域変換器の、導電層３Ｌ３の断面の、水平方向の断面図である。
【図３Ｆ】図３Ｆは、本発明のさらに他の実施形態による、図３Ａに示した広帯域変換器の、導電層３Ｌ４の断面の、水平方向の断面図である。
【図３Ｇ】図３Ｇは、本発明のさらに他の実施形態による、図３Ａに示した広帯域変換器の上面図である。
【図３Ｈ】図３Ｈは、本発明のさらに他の実施形態による、図３Ａに示した広帯域変換器の下面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、本発明のさらに他の実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図４Ｂに示す導電層４Ｌ１の断面の、水平方向の断面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、本発明のさらに他の実施形態による、図４Ａに示した広帯域変換器の、断面線４Ｂ−４Ｂによる垂直方向の断面図である。
【図４Ｃ】図４Ｃは、本発明のさらに他の実施形態による、図４Ａに示した広帯域変換器の、断面線４Ｃ−４Ｃによる垂直方向の断面図である。
【図４Ｄ】図４Ｄは、本発明のさらに他の実施形態による、図４Ａに示した広帯域変換器の、導電層４Ｌ３および４Ｌ４の断面の、水平方向の断面図である。
【図４Ｅ】図４Ｅは、本発明のさらに他の実施形態による、図４Ａに示した広帯域変換器の、導電層４Ｌ２の断面の、水平方向の断面図である。
【図４Ｆ】図４Ｆは、本発明のさらに他の実施形態による、図４Ａに示した広帯域変換器の上面図である。
【図４Ｇ】図４Ｇは、本発明のさらに他の実施形態による、図４Ａに示した広帯域変換器の下面図である。
【図５Ａ】図５Ａは、本発明のさらに他の実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図５Ｂに示す導電層５Ｌ１の断面の、水平方向の断面図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、本発明のさらに他の実施形態による、図５Ａに示した広帯域変換器の、断面線５Ｂ−５Ｂによる垂直方向の断面図である。
【図５Ｃ】図５Ｃは、本発明のさらに他の実施形態による、図５Ａに示した広帯域変換器の、断面線５Ｃ−５Ｃによる垂直方向の断面図である。
【図５Ｄ】図５Ｄは、本発明のさらに他の実施形態による、図５Ａに示した広帯域変換器の、導電層５Ｌ２および５Ｌ３の断面の、水平方向の断面図である。
【図５Ｅ】図５Ｅは、本発明のさらに他の実施形態による、図５Ａに示した広帯域変換器の上面図である。
【図５Ｆ】図５Ｆは、本発明のさらに他の実施形態による、図５Ａに示した広帯域変換器の下面図である。
【図６Ａ】図６Ａは、本発明のさらに他の実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図６Ｂに示す導電層６Ｌ１の断面の、水平方向の断面図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、本発明のさらに他の実施形態による、図６Ａに示した広帯域変換器の、断面線６Ｂ−６Ｂによる垂直方向の断面図である。
【図６Ｃ】図６Ｃは、本発明のさらに他の実施形態による、図６Ａに示した広帯域変換器の、断面線６Ｃ−６Ｃによる垂直方向の断面図である。
【図６Ｄ】図６Ｄは、本発明のさらに他の実施形態による、図６Ａに示した広帯域変換器の、導電層６Ｌ２の断面の、水平方向の断面図である。
【図６Ｅ】図６Ｅは、本発明のさらに他の実施形態による、図６Ａに示した広帯域変換器の、導電層６Ｌ３の断面の、水平方向の断面図である。
【図６Ｆ】図６Ｆは、本発明のさらに他の実施形態による、図６Ａに示した広帯域変換器の上面図である。
【図６Ｇ】図６Ｇは、本発明のさらに他の実施形態による、図６Ａに示した広帯域変換器の下面図である。
【図７Ａ】図７Ａは、本発明のさらに他の実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図７Ｂに示す導電層７Ｌ１の断面の、水平方向の断面図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、本発明のさらに他の実施形態による、図７Ａに示した広帯域変換器の、断面線７Ｂ−７Ｂによる垂直方向の断面図である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、本発明のさらに他の実施形態による、図７Ａに示した広帯域変換器の、断面線７Ｃ−７Ｃによる垂直方向の断面図である。
【図７Ｄ】図７Ｄは、本発明のさらに他の実施形態による、図７Ａに示した広帯域変換器の、導電層７Ｌ２の断面の、水平方向の断面図である。
【図７Ｅ】図７Ｅは、本発明のさらに他の実施形態による、図７Ａに示した広帯域変換器の、導電層７Ｌ３の断面の、水平方向の断面図である。
【図７Ｆ】図７Ｆは、本発明のさらに他の実施形態による、図７Ａに示した広帯域変換器の上面図である。
【図７Ｇ】図７Ｇは、本発明のさらに他の実施形態による、図７Ａに示した広帯域変換器の下面図である。
【図８】図８は、変換器の挿入損失における調整板の効果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以降、添付図面を参照して、本発明による種々の、多層基板の内部に設けられた平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器について、詳細に説明する。ただし、この説明が、付記した請求項を狭めるものとして見做されてはならないことを理解されたい。
【００１０】
（一実施形態）
図１Ａ〜図１Ｇに、平面伝送線路セグメント１０５および導波管の一部分１１１の間の広帯域変換器の一実施形態を示す。
【００１１】
図１Ａは、本発明の一実施形態による平面伝送線路セグメント１０５および導波管の一部分１１１の間の広帯域変換器の、図１Ｂに示す導電層１Ｌ１における断面の、水平方向の断面図である。図１Ｂは、本発明の一実施形態による、図１Ａに示した広帯域変換器の、断面線１Ｂ−１Ｂによる垂直方向の断面図である。図１Ｃは、本発明の一実施形態による、図１Ａに示した広帯域変換器の、断面線１Ｃ−１Ｃによる垂直方向の断面図である。図１Ｄは、本発明の一実施形態による、図１Ａに示した広帯域変換器の、導電層１Ｌ３および１Ｌ４における断面の、水平方向の断面図である。図１Ｅは、本発明の一実施形態による、図１Ａに示した広帯域変換器の、導電層１Ｌ２における断面の、水平方向の断面図である。図１Ｆは、本発明の一実施形態による、図１Ａに示した広帯域変換器の上面図である。図１Ｇは、本発明の一実施形態による、図１Ａに示した広帯域変換器の下面図である。
【００１２】
本実施形態では、広帯域変換器は、５枚の導電層１Ｌ１、１Ｌ２、１Ｌ３、１Ｌ４および１Ｌ５にそれぞれ配置され、最上層から最下層まで積層され、かつ、基板充填材料１１０によって互いに絶縁された、５枚の導電プレーン１０６を含む基板の中に形成されている。
【００１３】
５導電層基板は、多層基板の一例にすぎない。導電層の枚数、充填材料の誘電特性およびその他の基板パラメータは、本実施形態とは異なっていてもよく、運用に応じて定義される。
【００１４】
図１Ａ〜図１Ｇに示した本実施形態において、広帯域変換器は、さらに、導電パッチ１０１と、絶縁スリット１０２と、広帯域変換器の複数のグランドヴィア１０３と、平面伝送線路部１０５の複数のグランドヴィア１０４と、結合開口１０７と、調整板１０８と、分離スリット１０９と、導波管の一部分１１１の開口部１１２とを含む。
【００１５】
導電パッチ１０１は、最上層の導電層１Ｌ１に配置されており、平面伝送線路セグメント１０５の一端に接続されている。絶縁スリット１０２は、導電パッチ１０１と、最上層の導電層１Ｌ１に配置された導電プレーン１０６に含まれるその他の導電体との間に配置されている。広帯域変換器の複数のグランドヴィア１０３は、多層基板を最上層の導電層１Ｌ１から最下層の導電層１Ｌ５まで貫通して配置されており、導電層１Ｌ１〜１Ｌ５のそれぞれの導電プレーン１０６に接続されており、導電パッチ１０１および絶縁スリット１０２の周囲に配置されている。平面伝送線路セグメント１０５の複数のグランドヴィア１０４は、多層基板を最上層の導電層１Ｌ１から最下層の導電層１Ｌ５まで貫通して配置され、導電層１Ｌ１〜１Ｌ５のそれぞれの導電プレーン１０６に接続されており、平面伝送線路セグメント１０５の両側に沿って配置されている。結合開口１０７は、中間層の導電層１Ｌ３および１Ｌ４に、かつ、導電パッチ１０１の下方に、配置されている。調整板１０８は、中間層の導電層１Ｌ２の結合開口の内側に配置されている。分離スリット１０９は、調整導電板１０８を、中間層の導電層１Ｌ２のその他の導電体から絶縁するように配置されている。開口部１１２は、平面伝送線路セグメント１０５を導波管の一部分１１１から絶縁するように、導波管の一部分１１１の一端に配置されている。
【００１６】
本実施形態では、平面伝送線路セグメント１０５の他端は広帯域変換器の第１端子として機能する。また、導波管の一部分１１１の一端が導電パッチ１０１の上方に配置され、かつ、最上層の導電層１Ｌ１の導電プレーン１０６（ただし開口部１１２を除く）に接続されている一方で、導波管の一部分１１１の他端は広帯域変換器の第２端子として機能する。平面伝送線路の電気的性能を向上させるために、グランドヴィア１０４が平面伝送線路セグメント１０５に用いられている。
【００１７】
図１Ａ〜図１Ｇに示した変換器では、調整導電板１０８の寸法を適切に選択することによって動作帯域が拡大される。
【００１８】
（他の実施形態）
図２Ａ〜図２Ｅでは、平面伝送線路セグメント２０５と、導波管の一部分２１１との間の広帯域変換器の他の実施形態が示されている。
【００１９】
図２Ａは、本発明の他の実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図２Ｂに示す導電層２Ｌ１における断面の、水平方向の断面図である。図２Ｂは、本発明の他の実施形態による、図２Ａに示した広帯域変換器の、断面線２Ｂ−２Ｂによる垂直方向の断面図である。図２Ｃは、本発明の他の実施形態による、図２Ａに示した広帯域変換器の、断面線２Ｃ−２Ｃによる垂直方向の断面図である。図２Ｄは、本発明の他の実施形態による、図２Ａに示した広帯域変換器の、導電層２Ｌ２、２Ｌ３、２Ｌ４、２Ｌ５および２Ｌ６における断面の、水平方向の断面図である。図２Ｅは、本発明の他の実施形態による、図２Ａに示した広帯域変換器の上面図である。
【００２０】
本実施形態では、広帯域変換器は、６枚の導電層２Ｌ１、２Ｌ２、２Ｌ３、２Ｌ４、２Ｌ５および２Ｌ６にそれぞれ配置され、最上層から最下層まで積層され、かつ、基板充填材料２１０によって互いに絶縁された、６枚の導電プレーン２０６を含む基板の中に形成されている。
【００２１】
図２Ａ〜図２Ｅに示した本実施形態において、広帯域変換器は、さらに、導電パッチ２０１と、絶縁スリット２０２と、広帯域変換器の複数のグランドヴィア２０３と、平面伝送線路セグメント２０５の複数のグランドヴィア２０４と、結合開口２０７と、調整導電板２０８と、導波管の一部分２１１の開口部２１２とを含む。
【００２２】
導電パッチ２０１は、平面伝送線路セグメント２０５の一端に接続されている。絶縁スリット２０２は、導電パッチ２０１と、最上層の導電層２Ｌ１に配置された導電プレーン２０６に含まれるその他の導電体との間に配置されている。広帯域変換器の複数のグランドヴィア２０３は、多層基板を最上層の導電層２Ｌ１から最下層の導電層２Ｌ６まで貫通して配置されており、導電層２Ｌ１〜２Ｌ６のそれぞれの導電プレーン２０６に接続されており、導電パッチ２０１、調整導電板２０８および絶縁スリット２０２の周囲に配置されている。平面伝送線路セグメント２０５の複数のグランドヴィア２０４は、多層基板を最上層の導電層２Ｌ１から最下層の導電層２Ｌ６まで貫通して配置され、導電層２Ｌ１〜２Ｌ６のそれぞれの導電プレーン２０６に接続されており、平面伝送線路セグメント２０５の両側に沿って配置されている。結合開口２０７は、中間層の導電層２Ｌ２、２Ｌ３、２Ｌ４および２Ｌ５ならびに最下層の導電層２Ｌ６に、かつ、導電パッチ２０１の下方に配置されている。調整導電板２０８は、導電層２Ｌ１に配置されており、かつ、絶縁スリット２０２によって導電プレーン２０６のその他の導電体から絶縁されている。開口部２１２は、平面伝送線路セグメント２０５を導波管の一部分２１１から絶縁するように、導波管の一部分２１１の一端に配置されている。
【００２３】
本実施形態において、平面伝送線路セグメント２０５の他端は広帯域変換器の第１端子として機能する。また、導波管の一部分２１１の一端が導電パッチ２０１の上方に配置され、かつ、最上層の導電層２Ｌ１の導電プレーン２０６（ただし開口部２１２を除く）に接続されている一方で、導波管の一部分２１１の他端は広帯域変換器の第２端子として機能する。平面伝送線路の電気的性能を向上させるために、グランドヴィア２０４が平面伝送線路セグメント２０５に用いられている。
【００２４】
図２Ａ〜図２Ｅに示した変換器では、調整導電板２０８の寸法を適切に選択することによって動作帯域が拡大される。
【００２５】
（さらに他の実施形態）
図３Ａ〜図３Ｈに、平面伝送線路セグメント３０５および導波管の一部分３１１の間の広帯域変換器のさらに他の実施形態を示す。
【００２６】
図３Ａは、本発明のさらに他の実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図３Ｂに示す導電層３Ｌ１の断面の、水平方向の断面図である。図３Ｂは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図３Ａに示す断面線３Ｂ−３Ｂによる垂直方向の断面図である。図３Ｃは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図３Ａに示す断面線３Ｃ−３Ｃによる垂直方向の断面図である。図３Ｄは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図３Ａに示す導電層３Ｌ２の断面の、水平方向の断面図である。図３Ｅは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図３Ａに示す導電層３Ｌ３の断面の、水平方向の断面図である。図３Ｆは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図３Ａに示す導電層３Ｌ４の断面の、水平方向の断面図である。図３Ｇは、本発明のさらに他の実施形態による、図３Ａに示した広帯域変換器の上面図である。図３Ｈは、本発明のさらに他の実施形態による、図３Ａに示した広帯域変換器の下面図である。
【００２７】
本実施形態では、広帯域変換器は、５枚の導電層３Ｌ１、３Ｌ２、３Ｌ３、３Ｌ４および３Ｌ５にそれぞれ配置され、最上層から最下層まで積層され、かつ、基板充填材料３１０によって絶縁された、５枚の導電プレーン３０６を含む基板の中に形成されている。
【００２８】
図３Ａ〜図３Ｈに示した本実施形態において、広帯域変換器は、さらに、導電パッチ３０１と、絶縁スリット３０２と、広帯域変換器の複数のグランドヴィア３０３と、平面伝送線路セグメント３０５の複数のグランドヴィア３０４と、結合開口３０７と、３枚の調整導電板３０８と、分離スリット３０９と、導波管の一部分３１１の開口部３１２とを含む。
【００２９】
導電パッチ３０１は、最上層の導電層３Ｌ１に配置されており、平面伝送線路セグメント３０５の一端に接続されている。絶縁スリット３０２は、導電パッチ３０１と、最上層の導電層３Ｌ１に配置された導電プレーン３０６に含まれるその他の導電体との間に配置されている。広帯域変換器の複数のグランドヴィア３０３は、多層基板を最上層の導電層３Ｌ１から最下層の導電層３Ｌ５まで貫通して配置されており、導電層３Ｌ１〜３Ｌ５のそれぞれの導電プレーン３０６に接続されており、導電パッチ３０１、第１の調整導電板３０８および絶縁スリット３０２の周囲に配置されている。平面伝送線路セグメント３０５の複数のグランドヴィア３０４は、多層基板を最上層の導電層３Ｌ１から最下層の導電層３Ｌ５まで貫通して配置され、導電層３Ｌ１〜３Ｌ５のそれぞれの導電プレーン３０６に接続されており、平面伝送線路セグメント３０５の両側に沿って配置されている。結合開口３０７は、中間層の導電層３Ｌ４に、かつ、導電パッチ３０１の下方に、配置されている。第１の調整導電板３０８は、最上層の導電層３Ｌ１に配置されており、最上層の導電層３Ｌ１の導電プレーン３０６に接続されており、絶縁スリット３０２によって導電パッチ３０１から絶縁されている。第２および第３の調整導電板３０８は、中間層の導電層３Ｌ２および３Ｌ３に、それぞれ配置されている。分離スリット３０９は、第２および第３の調整導電板３０８を、中間層の導電層３Ｌ２および３Ｌ３のその他の導電体から絶縁するように配置されている。開口部３１２は、平面伝送線路セグメント３０５を導波管の一部分３１１から絶縁するように、導波管の一部分１１１の一端に配置されている。
【００３０】
本実施形態では、平面伝送線路セグメント３０５の他端は広帯域変換器の第１端子として機能する。また、導波管の一部分３１１の一端が導電パッチ３０１の上方に配置され、かつ、最上層の導電層３Ｌ１の導電プレーン３０６（ただし開口部３１２を除く）に接続されている一方で、導波管のセグメント３１１の他端は広帯域変換器の第２端子として機能する。平面伝送線路の電気的性能を向上させるために、グランドヴィア３０４が平面伝送線路セグメント３０５に用いられている。
【００３１】
図３Ａ〜図３Ｈに示した変換器では、調整導電板３０８の寸法を適切に選択することによって動作帯域が拡大される。
【００３２】
（さらに他の実施形態）
図４Ａ〜図４Ｇに、平面伝送線路セグメント４０５および導波管の一部分４１１の間の広帯域変換器のさらに他の実施形態を示す。
【００３３】
図４Ａは、本発明のさらに他の実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図４Ｂに示す導電層４Ｌ１の断面の、水平方向の断面図である。図４Ｂは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図４Ａに示す断面線４Ｂ−４Ｂによる垂直方向の断面図である。図４Ｃは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図４Ａに示す断面線４Ｃ−４Ｃによる垂直方向の断面図である。図４Ｄは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図４Ａに示す導電層４Ｌ３および４Ｌ４の断面の、水平方向の断面図である。図４Ｅは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図４Ａに示す導電層４Ｌ２の断面の、水平方向の断面図である。図４Ｆは、本発明のさらに他の実施形態による、図４Ａに示した広帯域変換器の上面図である。図４Ｇは、本発明のさらに他の実施形態による、図４Ａに示した広帯域変換器の下面図である。
【００３４】
本実施形態において、広帯域変換器は、５枚の導電層４Ｌ１、４Ｌ２、４Ｌ３、４Ｌ４および４Ｌ５にそれぞれ配置され、最上層から最下層まで積層され、かつ、基板充填材料４１０によって互いに絶縁された、５枚の導電プレーン４０６を含む基板の中に形成されている。
【００３５】
図４Ａ〜図４Ｇに示した本実施形態において、広帯域変換器は、導電パッチ４０１と、絶縁スリット４０２と、広帯域変換器の複数のグランドヴィア４０３と、平面伝送線路セグメント４０５の複数のグランドヴィア４０４と、結合開口４０７と、調整導電板４０８と、分離スリット４０９と、開口部４１２とを含む。
【００３６】
導電パッチ４０１は、平面伝送線路セグメント４０５の一端に接続されている。絶縁スリット４０２は、導電パッチ４０１と、最上層の導電層４Ｌ１に配置された導電プレーン４０６のその他の導電体との間に配置されている。広帯域変換器の複数のグランドヴィア４０３は、多層基板を最上層の導電層４Ｌ１から最下層の導電層４Ｌ５まで貫通して配置されており、導電層４Ｌ１〜４Ｌ５のそれぞれの導電プレーン４０６に接続されており、導電パッチ４０１および絶縁スリット４０２の周囲に配置されている。平面伝送線路セグメント４０５の複数のグランドヴィア４０４は、多層基板を最上層の導電層４Ｌ１から最下層の導電層４Ｌ５まで貫通して配置され、導電層４Ｌ１〜４Ｌ５のそれぞれの導電プレーン４０６に接続されており、平面伝送線路セグメント４０５の両側に沿って配置されている。結合開口４０７は、中間層の導電層４Ｌ３および４Ｌ４に、かつ、導電パッチ４０１の下方に、配置されている。調整導電板４０８は、中間層の導電層４Ｌ２に配置されている。分離スリット４０９は、調整導電板４０８を、中間層の導電層４Ｌ２のその他の導電体から絶縁するように配置されている。開口部４１２は、平面伝送線路セグメント４０５を導波管の一部分４１１から絶縁するように、導波管の一部分４１１の一端に配置されている。
【００３７】
本実施形態において、調整導電板４０８と、中間層の導電層４Ｌ２の導電プレーン４０６とは、結合部４１３を有する。結合部４１３において、調整導電板４０８および導電プレーン４０６のそれぞれは、波型形状の端部を有しており、波型形状を有するこれらの端部は向かい合っている。結合部４１３は、変換器の動作帯域をさらに制御するために、特に調整導電板４０８と、中間層の導電層４Ｌ２のその他の導電体との間の結合を強化するために用いられる。
【００３８】
本実施形態では、平面伝送線路セグメント４０５の他端は広帯域変換器の第１端子として機能する。また、導波管の一部分４１１の一端が導電パッチ４０１の上方に配置され、かつ、最上層の導電層４Ｌ１の導電プレーン４０６（ただし開口部４１２を除く）に接続されている一方で、導波管の一部分４１１の他端は広帯域変換器の第２端子として機能する。平面伝送線路の電気的性能を向上させるために、グランドヴィア４０４が平面伝送線路セグメント４０５に用いられている。
【００３９】
図４Ａ〜図４Ｇに示した変換器では、調整導電板４０８およびその結合部４１３の寸法および形状を適切に選択することによって動作帯域が拡大される。
【００４０】
（さらに他の実施形態）
図５Ａ〜図５Ｆに、平面伝送線路セグメント５０５および導波管の一部分５１１の間の広帯域変換器のさらに他の実施形態を示す。
【００４１】
図５Ａは、本発明のさらに他の実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図５Ｂに示す導電層５Ｌ１の断面の、水平方向の断面図である。図５Ｂは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図５Ａに示す断面線５Ｂ−５Ｂによる垂直方向の断面図である。図５Ｃは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図５Ａに示す断面線５Ｃ−５Ｃによる垂直方向の断面図である。図５Ｄは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図５Ａに示す導電層５Ｌ２および５Ｌ３の断面の、水平方向の断面図である。図５Ｅは、本発明のさらに他の実施形態による、図５Ａに示した広帯域変換器の上面図である。図５Ｆは、本発明のさらに他の実施形態による、図５Ａに示した広帯域変換器の下面図である。
【００４２】
本実施形態において、広帯域変換器は、４枚の導電層５Ｌ１、５Ｌ２、５Ｌ３および５Ｌ４にそれぞれ配置され、最上層から最下層まで積層され、かつ、基板充填材料５１０によって絶縁された、４枚の導電プレーン５０６を含む基板の中に形成されている。
【００４３】
図５Ａ〜図５Ｆに示した本実施形態において、広帯域変換器は、さらに、導電パッチ５０１と、絶縁スリット５０２と、広帯域変換器の複数のグランドヴィア５０３と、平面伝送線路セグメント５０５の複数のグランドヴィア５０４と、２枚の調整導電板５０８と、分離スリット５０９と、導波管の一部分５１１の開口部５１２とを含む。
【００４４】
導電パッチ５０１は、最上層の導電層５Ｌ１に配置されており、平面伝送線路セグメント５０５の一端に接続されている。絶縁スリット５０２は、導電パッチ５０１と、最上層の導電層５Ｌ１に配置された導電プレーン５０６のその他の導電体との間に配置されている。２枚の調整導電板５０８は、２枚の中間層の導電層５Ｌ２および５Ｌ３にそれぞれ配置されている。分離スリット５０９は、２枚の調整導電板５０８を、中間層の導電層５Ｌ２および５Ｌ３のその他の導電体から絶縁するように配置されている。開口部５１２は、平面伝送線路セグメント５０５を導波管の一部分５１１から絶縁するように、導波管の一部分５１１の一端に配置されている。
【００４５】
本実施形態において、２枚の調整導電板５０８のおのおのは、２つの結合部５１３を有する。それぞれの結合部５１３において、調整導電板５０８および導電プレーン５０６のそれぞれは、波型形状の端部を有しており、波型形状を有するこれらの端部は向かい合っている。結合部５１３は、変換器の動作帯域をさらに制御するために、特に調整導電板５０８と、中間層の導電層５Ｌ２および５Ｌ３のその他の導電体との間の結合を強化するために用いられる。
【００４６】
本実施形態において、平面伝送線路セグメント５０５の他端は広帯域変換器の第１端子として機能する。また、導波管の一部分５１１の一端が導電パッチ５０１の上方に配置され、かつ、最上層の導電層５Ｌ１の導電プレーン５０６（ただし開口部５１２を除く）に接続されている一方で、導波管の一部分５１１の他端は広帯域変換器の第２端子として機能する。平面伝送線路の電気的性能を向上させるために、グランドヴィア５０４が平面伝送線路セグメント５０５に用いられている。
【００４７】
図５Ａ〜図５Ｆに示した変換器では、調整導電板５０８およびその結合部５１３の寸法および形状を適切に選択することによって動作帯域が拡大される。
【００４８】
（さらに他の実施形態）
図６Ａ〜図６Ｇに、平面伝送線路セグメント６０５および導波管の一部分６１１の間の広帯域変換器のさらに他の実施形態を示す。
【００４９】
図６Ａは、本発明のさらに他の実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図６Ｂに示す導電層６Ｌ１の断面の、水平方向の断面図である。図６Ｂは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図６Ａに示す断面線６Ｂ−６Ｂによる垂直方向の断面図である。図６Ｃは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図６Ａに示す断面線６Ｃ−６Ｃによる垂直方向の断面図である。図６Ｄは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図６Ａに示す導電層６Ｌ２の断面の、水平方向の断面図である。図６Ｅは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図６Ａに示す導電層６Ｌ３の断面の、水平方向の断面図である。図６Ｆは、本発明のさらに他の実施形態による、図６Ａに示した広帯域変換器の上面図である。図６Ｇは、本発明のさらに他の実施形態による、図６Ａに示した広帯域変換器の下面図である。
【００５０】
本実施形態において、広帯域変換器は、４枚の導電層６Ｌ１、６Ｌ２、６Ｌ３および６Ｌ４にそれぞれ配置され、最上層から最下層まで積層され、かつ、基板充填材料６１０によって互いに絶縁された、４枚の導電プレーン６０６を含む基板の中に形成されている。
【００５１】
図６Ａ〜図６Ｇに示した本実施形態において、広帯域変換器は、さらに、導電パッチ６０１と、絶縁スリット６０２と、広帯域変換器の複数のグランドヴィア６０３と、平面伝送線路セグメント６０５の複数のグランドヴィア６０４と、結合開口６０７と、２枚の調整導電板６０８と、分離スリット６０９と、導波管の一部分６１１の開口部６１２とを含む。
【００５２】
導電パッチ６０１は、最上層の導電層６Ｌ１に配置されており、平面伝送線路セグメント６０５の一端に接続されている。絶縁スリット６０２は、導電パッチ６０１と、最上層の導電層６Ｌ１に配置された導電プレーン６０６に含まれるその他の導電体との間に配置されている。広帯域変換器の複数のグランドヴィア６０３は、多層基板を最上層の導電層６Ｌ１から最下層の導電層６Ｌ４まで貫通して配置されており、導電層６Ｌ１〜６Ｌ４のそれぞれの導電プレーン６０６に接続されており、導電パッチ６０１および絶縁スリット６０２の周囲に配置されている。平面伝送線路セグメント６０５の複数のグランドヴィア６０４は、多層基板を最上層の導電層６Ｌ１から最下層の導電層６Ｌ４まで貫通して配置され、導電層６Ｌ１〜６Ｌ４のそれぞれの導電プレーン６０６に接続されており、平面伝送線路セグメント６０５の両側に沿って配置されている。結合開口６０７は、中間層の導電層６Ｌ３に、かつ、導電パッチ６０１の下方に、配置されている。２枚の調整導電板６０８は、両方とも、中間層の導電層６Ｌ２に配置されている。分離スリット６０９は、２枚の調整導電板６０８を互いに、かつ、中間層の導電層６Ｌ２のその他の導電体から、絶縁するように配置されている。開口部６１２は、平面伝送線路セグメント６０５を導波管の一部分６１１から絶縁するように、導波管の一部分６１１の一端に配置されている。
【００５３】
本実施形態では、変換器の動作帯域を制御するために、同じ中間層の導電層６Ｌ２に配置された２枚の調整導電板６０８が用いられている。
【００５４】
本実施形態では、平面伝送線路セグメント６０５の他端は広帯域変換器の第１端子として機能する。また、導波管の一部分６１１の一端が導電パッチ６０１の上方に配置され、かつ、最上層の導電層６Ｌ１の導電プレーン６０６（ただし開口部６１２を除く）に接続されている一方で、導波管の一部分６１１の他端は広帯域変換器の第２端子として機能する。平面伝送線路の電気的性能を向上させるために、グランドヴィア６０４が平面伝送線路セグメント６０５に用いられている。
【００５５】
図６Ａ〜図６Ｇに示した変換器では、調整導電板６０８の寸法を適切に選択することによって動作帯域が拡大される。
【００５６】
（さらに他の実施形態）
図７Ａ〜図７Ｇに、平面伝送線路セグメント７０５および導波管の一部分７１１の間の広帯域変換器のさらに他の実施形態を示す。
【００５７】
図７Ａは、本発明のさらに他の実施形態による平面伝送線路および導波管の間の広帯域変換器の、図７Ｂに示す導電層７Ｌ１の断面の、水平方向の断面図である。図７Ｂは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図７Ａに示す断面線７Ｂ−７Ｂによる垂直方向の断面図である。図７Ｃは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図７Ａに示す断面線７Ｃ−７Ｃによる垂直方向の断面図である。図７Ｄは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図７Ａに示す導電層７Ｌ２の断面の、水平方向の断面図である。図７Ｅは、本発明のさらに他の実施形態による広帯域変換器の、図７Ａに示す導電層７Ｌ３の断面の、水平方向の断面図である。図７Ｆは、本発明のさらに他の実施形態による、図７Ａに示した広帯域変換器の上面図である。図７Ｇは、本発明のさらに他の実施形態による、図７Ａに示した広帯域変換器の下面図である。
【００５８】
本実施形態では、広帯域変換器は、４枚の導電層７Ｌ１、７Ｌ２、７Ｌ３および７Ｌ４にそれぞれ配置され、最上層から最下層まで積層され、かつ、基板充填材料７１０によって互いに絶縁された、４枚の導電プレーン７０６を含む基板の中に形成されている。
【００５９】
図７Ａ〜図７Ｇに示した本実施形態において、広帯域変換器は、導電パッチ７０１と、絶縁スリット７０２と、広帯域変換器の複数のグランドヴィア７０３と、平面伝送線路セグメント７０５の複数のグランドヴィア７０４と、２枚の調整導電板７０８の集合体が２つと、分離スリット７０９と、導波管の一部分７１１の開口部７１２とを含む。
【００６０】
導電パッチ７０１は、最上層の導電層７Ｌ１に配置されており、平面伝送線路セグメント７０５の一端に接続されている。絶縁スリット７０２は、導電パッチ７０１と、最上層の導電層７Ｌ１に配置された導電プレーン７０６に含まれるその他の導電体との間に配置されている。広帯域変換器の複数のグランドヴィア７０３は、多層基板を最上層の導電層７Ｌ１から最下層の導電層７Ｌ４まで貫通して配置されており、導電層７Ｌ１〜７Ｌ４のそれぞれの導電プレーン７０６に接続されており、導電パッチ７０１および絶縁スリット７０２の周囲に配置されている。平面伝送線路セグメント７０５の複数のグランドヴィア７０４は、多層基板を最上層の導電層７Ｌ１から最下層の導電層７Ｌ４まで貫通して配置され、導電層７Ｌ１〜７Ｌ５のそれぞれの導電プレーン７０６に接続されており、平面伝送線路セグメント７０５の両側に沿って配置されている。２枚の調整導電板７０８の第１集合体は、中間層の導電層７Ｌ２に配置されている。２枚の調整導電板７０８の第２集合体は、中間層の導電層７Ｌ３に配置されている。分離スリット７０９は、４枚の調整導電板７０８を、互いに、かつ、中間層の導電層７Ｌ２および７Ｌ３のその他の導電体から、絶縁するように配置されている。開口部７１２は、平面伝送線路セグメント７０５を導波管の一部分７１１から絶縁するように、導波管の一部分７１１の一端に配置されている。
【００６１】
本実施形態では、導電層７Ｌ２および７Ｌ３に配置された４枚の調整導電板７０８が、変換器の動作帯域を制御するために用いられる。また、導電層７Ｌ２の１枚と、導電層７Ｌ３の２枚からなる３枚の調整導電板７０８は、変換器の動作帯域をさらに制御するための、特に調整導電板７０８と、中間層の導電層７Ｌ２および７Ｌ３のその他の導電体との間の結合を強化するための、結合部７１３を有する。３つの結合部７１３のそれぞれにおいて、調整導電板７０８および導電プレーン７０６のそれぞれは、波型形状の端部を有しており、波型形状を有するこれらの端部は向かい合っている。
【００６２】
本実施形態では、平面伝送線路セグメント７０５の他端は広帯域変換器の第１端子として機能する。また、導波管の一部分７１１の一端が導電パッチ７０１の上方に配置され、かつ、最上層の導電層７Ｌ１の導電プレーン７０６（ただし開口部７１２を除く）に接続されている一方で、導波管の一部分７１１の他端は広帯域変換器の第２端子として機能する。平面伝送線路の電気的性能を向上させるために、グランドヴィア７０４が平面伝送線路セグメント７０５に用いられている。
【００６３】
図７Ａ〜図７Ｇに示した変換器では、調整導電板７０８と、これに対応する結合部７１３との、寸法および形状を適切に選択することによって動作帯域が拡大される。
【００６４】
動作帯域を制御する調整導電板を有する変換器の利点を示すために、最も広く用いられ、かつ、正確な数値的方法の１つである有限差分時間領域（ＦＤＴＤ）法によって、特徴的な変換器の電気的性能のシミュレーションを実施した。
【００６５】
シミュレーションで用いられた、提案する広帯域変換器の構成は、図３Ａ〜図３Ｈに示したものと同様である。変換器がその内部に設計された基板の特徴的な寸法は、以下のとおりである。基板の厚さは１．２ｍｍである。最上層および最下層の、銅製の導電層の厚さは０．０４ｍｍである。中間層の導電層の厚さは０．０３ｍｍである。シミュレーションでは、６枚の銅製の導電プレーンが、６枚の導電層にそれぞれ配置されており、かつ、４．０の比誘電率と、０．０２の誘電損失正接と、１の比透磁率と、０の磁気損失正接とを有する基板充填材料によって絶縁されている。
【００６６】
図８は、変換器の挿入損失における調整板の効果を示すグラフである。図８は、実線で描かれた第１のグラフと、点線で描かれた第２のグラフとを含んでいる。第１および第２のグラフの両方において、横軸は周波数をＧＨｚで示し、縦軸は挿入損失（｜Ｓ２１｜パラメータ）をｄＢで示す。
【００６７】
図８の第１グラフおよび第２グラフでは、調整導電板が用いられた変換器と、調整導電板が無い以外は同じ変換器とについて、挿入損失がそれぞれ示されている。調整導電板の適用が、変換器の動作帯域を広げる方向に働くことが読み取れる。この図では、調整導電板を有する変換器の（１ｄＢレベルにおける）動作帯域が
【数１】
2016507915.tif 000003
である一方で、調整導電板が無い変換器の同じレベルにおける動作帯域は
【数２】
2016507915.tif 000004
である。
【００６８】
本発明をいくつかの実施形態に関連して説明したが、これらの実施形態が限定ではなく例示を目的としていることを理解されたい。当業者がこの明細書を読めば、同等の構成要素や技術との種々の変更や置き換えが容易に行えることは明らかであるが、そのような変更や置き換えが、請求項に定義されたように、本発明の真の範囲および精神に含まれることは明らかである。
【図１Ａ】
2016507915.tif 000005
【図１Ｂ】
2016507915.tif 000006
【図１Ｃ】
2016507915.tif 000007
【図１Ｄ】
2016507915.tif 000008
【図１Ｅ】
2016507915.tif 000009
【図１Ｆ】
2016507915.tif 000010
【図１Ｇ】
2016507915.tif 000011
【図２Ａ】
2016507915.tif 000012
【図２Ｂ】
2016507915.tif 000013
【図２Ｃ】
2016507915.tif 000014
【図２Ｄ】
2016507915.tif 000015
【図２Ｅ】
2016507915.tif 000016
【図３Ａ】
2016507915.tif 000017
【図３Ｂ】
2016507915.tif 000018
【図３Ｃ】
2016507915.tif 000019
【図３Ｄ】
2016507915.tif 000020
【図３Ｅ】
2016507915.tif 000021
【図３Ｆ】
2016507915.tif 000022
【図３Ｇ】
2016507915.tif 000023
【図３Ｈ】
2016507915.tif 000024
【図４Ａ】
2016507915.tif 000025
【図４Ｂ】
2016507915.tif 000026
【図４Ｃ】
2016507915.tif 000027
【図４Ｄ】
2016507915.tif 000028
【図４Ｅ】
2016507915.tif 000029
【図４Ｆ】
2016507915.tif 000030
【図４Ｇ】
2016507915.tif 000031
【図５Ａ】
2016507915.tif 000032
【図５Ｂ】
2016507915.tif 000033
【図５Ｃ】
2016507915.tif 000034
【図５Ｄ】
2016507915.tif 000035
【図５Ｅ】
2016507915.tif 000036
【図５Ｆ】
2016507915.tif 000037
【図６Ａ】
2016507915.tif 000038
【図６Ｂ】
2016507915.tif 000039
【図６Ｃ】
2016507915.tif 000040
【図６Ｄ】
2016507915.tif 000041
【図６Ｅ】
2016507915.tif 000042
【図６Ｆ】
2016507915.tif 000043
【図６Ｇ】
2016507915.tif 000044
【図７Ａ】
2016507915.tif 000045
【図７Ｂ】
2016507915.tif 000046
【図７Ｃ】
2016507915.tif 000047
【図７Ｄ】
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【図７Ｅ】
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【図７Ｆ】
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【図７Ｇ】
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【図８】
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【国際調査報告】
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