(57)【要約】  本発明は、物質の水分、酸素などを含む外気の浸透率を測定する装置に関し、本実施形態による基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジは、基板を透過した外気との接触によって反応する反応物質を含む反応部と；前記反応部を収容し、前記反応物質の前記外気との接触による変化を測定する測定部に脱着可能なカートリッジ胴体と；前記カートリッジ胴体を遮蔽し、前記反応物質と前記外気の接触のために前記カートリッジ胴体から剥離される遮蔽手段と；を含む。本発明によれば、カートリッジ化されたガス透過度測定装置及び方法を利用することによって、従来の技術に比べて精密で且つ信頼性あるデータの確保が可能であり、フレキジブルＡＭＯＬＥＤなどの新しい応用分野に必要な製品の信頼性評価を容易に行うことができる。また、基板が収容される部分をカートリッジ形態で製作し、相対的に装着及び支持が自由でない柔軟基板を測定しようとするとき、装置の外部で簡便に作業することができ、測定者間の均一度エラーを減らすことができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を透過した外気との接触によって反応する反応物質を含む反応部と；
前記反応部を収容し、前記反応物質の前記外気との接触による変化を測定する測定部に脱着可能なカートリッジ胴体と；
前記カートリッジ胴体を遮蔽し、前記反応物質と前記外気の接触のために前記カートリッジ胴体から剥離される遮蔽手段と；を含むことを特徴とする基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジ。
【請求項２】
前記反応物質と接触する外気は、前記基板を透過した水分を含む外気であることを特徴とする請求項１に記載の基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジ。
【請求項３】
前記反応部は、前記反応物質を含む反応物質層で形成され、
前記測定部は、前記外気の反応物質層の透過度を測定することを特徴とする請求項１に記載の基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジ。
【請求項４】
前記反応部は、前記反応物質を含む反応物質層と導電性物質を含む導電部とで構成され、所定の間隔によって離隔される複数の反応物質バーで形成され、
前記測定部は、前記反応物質バーの電気的性質の変化を測定することを特徴とする請求項１に記載の基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジ。
【請求項５】
前記反応物質層は、カルシウムを含むカルシウム層であり、
前記測定部は、前記カルシウム層の透過度を測定することを特徴とする請求項３に記載の基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジ。
【請求項６】
前記反応物質バーは、カルシウムを含むカルシウム層と前記導電部とで構成されるカルシウムバーであり、
前記測定部は、前記カルシウムバーの伝導度または抵抗の変化を測定することを特徴とする請求項４に記載の基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジ。
【請求項７】
前記基板は、
前記水分を含む前記外気が供給される供給管に脱着可能な基板カートリッジ胴体と；
前記基板カートリッジ胴体を遮蔽し、前記基板と前記外気の接触または前記反応物質と前記基板を透過した前記外気の接触のために前記基板カートリッジ胴体から剥離される基板遮蔽手段とを含む基板カートリッジに収容されることを特徴とする請求項１に記載の基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジ。
【請求項８】
供給される外気の環境を調節する外気環境調節チャンバと；
前記環境調節された外気を供給する供給管と；
前記供給管の第１所定空間に位置し、浸透率測定のための基板が装着される基板装着部と；
前記供給管の第２所定空間に位置し、基板を透過した外気との接触によって反応する反応物質を含む反応物質カートリッジが装着されるカートリッジ装着部を具備し、前記反応物質の前記外気との接触による変化を測定する測定部と；を含むことを特徴とする基板の外気浸透率測定装置。
【請求項９】
前記反応物質カートリッジは、
前記基板を透過した外気との接触によって反応する反応物質を含む反応部と；
前記反応部を収容し、前記反応物質の前記外気との接触による変化を測定する測定部に脱着可能なカートリッジ胴体と；
前記カートリッジ胴体を遮蔽し、前記反応物質と前記外気の接触のために前記カートリッジ胴体から剥離される遮蔽手段と；を含むことを特徴とする請求項８に記載の基板の外気浸透率測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物質の水分、酸素などを含む外気の浸透率を測定する装置及びその方法に関するのである。
【背景技術】
【０００２】
現在商用化が予想されているＡＭＯＬＥＤは、技術の特性上、多様な種類の有機物質（ＥＴＬ、ＥＭＬ、ＨＩＬ、ＨＴＬなど）を使用している。しかし、このような有機物質は、大気中に存在する水分に非常に脆弱で、パネルの信頼性確保のために水分がパネル内部に浸透しないように保護しなければならない。
【０００３】
特に、ＡＭＯＬＥＤの場合、基板の水分透過率または透湿率（ＷＶＴＲ；ＷａｔｅｒＶａｐｏｒ  Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ  Ｒａｔｅ）特性が１０−６ｇ／ｍ２−ｄａｙ以下を満足する場合に信頼性ある製品の具現が可能であると知られているが、ＭＯＣＯＮ社のＡＱＵＡＴＲＡＮ  Ｍｏｄｅｌ１の場合、測定限界が５ｘ１０−４ｇ／ｍ２−ｄａｙ程度であって、ＡＭＯＬＥＤパネルで実際に要求される透湿率水準（１０−６ｇ／ｍ２−ｄａｙ）を満足させない実情である。
【０００４】
このような問題を解決するために、フィリップス電子（Ｐｈｉｌｉｐｓ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ）では、水分と反応が非常に速いカルシウムを利用して透湿率を逆追跡する方法を提示したことがある（ＵＳ７、１１７、７２０、“Ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  ｍｅａｓｕｒｉｎｇ  ａ  ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ  ｒａｔｅ、ａ  ｔｅｓｔ  ａｎｄ  ａｎ  ａｐｐａｒａｔｕｓ  ｆｏｒ  ｍｅａｓｕｒｉｎｇ  ａｎｄ  ｔｅｓｔｉｎｇ”）。このような「カルシウムテスト」と呼ばれる分析方法は、透湿率を測定しようとする基板の上にカルシウム電極を形成し、露出した後面部分は、金属またはガラスで封止し、基板を介して入るガスの量をカルシウム層の透過度を分析して抽出する技術である。
【０００５】
また、高麗大学校産学協力団では、前記と類似の形態で製作し、且つカルシウム層の透過度の代わりに、電気伝導度または抵抗の変化を追跡し、透過するガスの浸透率を分析する方法を提示したことがある（大韓民国特許公開特許１０−２０１３−００２２０６８、「柔軟電子素子保護層のガス浸透率測定装置及びこれを利用したガス浸透率測定方法」）。
【０００６】
理論的に、「カルシウム」の場合、１０−６ｇ／ｍ２−ｄａｙ以下の透湿率の測定が可能である。しかし、カルシウムを蒸着するために別途の真空蒸着装備が必要になり、カルシウムの蒸着方法及びテストサンプル構造、工程方法によって透湿率の分析に多い工程変数が発生するようになって、結果的に、信頼性あるデータの提示に大きい困難がある。このような理由で、現在知られた「カルシウムテスト」方法では、既存のＭＯＣＯＮ社の透湿率分析技術のように普遍化されることは非常に難しいと言える。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、前記従来技術の問題を解決するためになされたものであって、カルシウム電極及び抵抗／透過度などの測定と関連した部品をカートリッジ（Ｃａｒｔｒｉｄｇｅ）形態で製作し、外気の基板浸透率を測定することを提案する。
【０００８】
より具体的には、精密測定に必要な核心部品をカートリッジ化し、測定の信頼性及び精密性を向上させる装置を提案する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本実施形態による基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジは、基板を透過した外気との接触によって反応する反応物質を含む反応部と；前記反応部を収容し、前記反応物質の前記外気との接触による変化を測定する測定部に脱着可能なカートリッジ胴体と；前記カートリッジ胴体を遮蔽し、前記反応物質と前記外気の接触のために前記カートリッジ胴体から剥離される遮蔽手段とを含む。
【００１０】
前記基板は、前記水分を含む前記外気が供給される供給管に脱着可能な基板カートリッジ胴体と；前記基板カートリッジ胴体を遮蔽し、前記基板と前記外気の接触または前記反応物質と前記基板を透過した前記外気の接触のために前記基板カートリッジ胴体から剥離される基板遮蔽手段とを含む基板カートリッジに収容されることが好ましい。
【００１１】
上記目的を達成するために、本実施形態による基板の外気浸透率測定装置は、供給される外気の環境を調節する外気環境調節チャンバと；前記環境調節された外気を供給する供給管と；前記供給管の第１所定空間に位置し、浸透率測定のための基板が装着される基板装着部と；前記供給管の第２所定空間に位置し、基板を透過した外気との接触によって反応する反応物質を含む反応物質カートリッジが装着されるカートリッジ装着部を具備し、前記反応物質の前記外気との接触による変化を測定する測定部とを含む。
【００１２】
前記基板は、前記水分を含む前記外気が供給される供給管に脱着可能な基板カートリッジ胴体と；前記基板カートリッジ胴体を遮蔽し、前記基板と前記外気の接触または前記反応物質と前記基板を透過した前記外気の接触のために前記基板カートリッジ胴体から剥離される基板遮蔽手段とを含む基板カートリッジに収容され、前記基板装着部には、前記基板カートリッジが装着されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、カートリッジ化されたガス透過度測定装置及び方法を利用することによって、従来の技術に比べて精密で且つ信頼性あるデータの確保が可能で、フレキジブルＡＭＯＬＥＤなどの新しい応用分野に必要な製品の信頼性評価を容易に行うことができる。また、基板が収容される部分をカートリッジ形態で製作し、相対的に装着及び支持が自由でない柔軟基板を測定しようとするとき、装置の外部で簡便に作業することができ、測定者間の均一度エラーを減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態による基板の外気浸透率測定装置を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態による基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジを示す図である。
【図３】図２による基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジの遮蔽手段の剥離例を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態による基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジを示す図である。
【図５】図４による基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジの反応部を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態による基板の基板装着部の装着例を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態による基板の外気浸透率測定のための基板カートリッジを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下の内容は、ただ発明の原理を例示する。それで、当業者は、たとえ本明細書に明確に説明または図示されていないが、発明の原理を具現し、発明の概念と範囲に含まれた多様な装置を発明することができるものである。また、本明細書に列挙されたすべての条件付き用語及び実施形態は、原則的に、発明の概念が理解されるようにするための目的だけで明白に意図され、このように特別に列挙された実施形態及び状態に制限的でないものと理解されなければならない。
【００１６】
以下、添付の図面を参照して発明による好ましい一実施形態を詳しく説明する。
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態による基板の外気浸透率測定装置を示す図である。
【００１８】
図１を参照すれば、本実施形態による基板の外気浸透率測定装置は、外気環境調節チャンバ１０、供給管２０、基板装着部３０、測定部４０を含む。
【００１９】
外気環境調節チャンバ１０は、基板２００の浸透率測定のための環境を形成するための構成であって、本実施形態においては、ＲＨ（Ｒｅｌａｔｉｖｅ  Ｈｕｍｉｄｉｔｙ）として各温度別に飽和吸収することができる水分に対して現在の水分を温度によって設定することができる。外気環境調節チャンバ１０は、設定された環境によって水分を含む外気を供給するようになる。
【００２０】
また、本実施形態による基板の外気浸透率測定装置は、外気環境調節チャンバ１０と供給管２０の連結部にシャッター１５をさらに含むことができる。すなわち、調節された環境による外気を、シャッター１５を開いて供給管２０に供給する。
【００２１】
本実施形態において供給管２０は、外気環境調節チャンバ１０と測定部４０の間で形成されて、外気環境調節チャンバ１０から測定部４０まで外気が流れるようにする経路の役目をする。
【００２２】
供給管２０の内部は、ポンプ５を用いてあらかじめ定められた低圧状態、好ましくは、真空状態に形成されるかまたは不活性気体のような化学的活溌度が小さい気体に充填され、浸透率の測定装置の測定値の正確度を高める。
【００２３】
基板装着部３０は、供給管２０の第１所定空間に位置し、浸透率測定のための基板２００が装着される。本実施形態において、基板２００は、外気浸透率の測定の対象サンプルであって、水分透過率(WVTR)または透湿率を測定するためのディスプレイパネルのプラスチック基板２００であることが好ましい。すなわちディスプレイパネルのプラスチック基板２００は、パネルの信頼性確保のために、水分がパネル内部に浸透しないようにする保護層を含むことができ、本実施形態において基板２００の外気浸透率測定装置は、保護層を含む基板２００の透湿率を測定する。
【００２４】
また、本実施形態において第１所定空間は、外気環境調節チャンバ１０と後述する測定部４０との間の空間であって、基板２００は、基板２００の広い面(広幅面)が外気環境調節チャンバ１０と測定部４０との間の供給管２０の内部で外気の流れに対して直交する方向に形成されることが好ましい。すなわち、供給管２０を介して流れる外気が、第１所定空間で基板２００と接触する。
【００２５】
その後、基板２００と接触した外気は、基板２００を浸透し、基板２００を浸透して透過した外気は、供給管２０を介して後述する反応物質と接触する。本実施形態において反応物質は、反応物質カートリッジ１００内に含まれ、反応物質カートリッジ１００は、供給管２０の第２所定空間に位置するカートリッジ装着部４５に装着される。本実施形態において第２所定空間は、供給管２０の末端であって、供給管２０と測定部４０を連結する連結部であることが好ましい。したがって、カートリッジ装着部４５は、外気との接触による変化を測定する測定部４０に含まれていてもよい。
【００２６】
前述したように、従来の技術によれば、基板の外気浸透率を測定するために、反応物質を基板に蒸着させ、反応物質の変化を通じて基板の浸透率を逆追跡したが、基板に反応物質を蒸着するためには、別途の真空蒸着装備が必要であった。
【００２７】
また、これとともに、後面部の封止に必要なグローブボックス（Ｇｌｏｖｅ  Ｂｏｘ）及びシーラント（Ｓｅａｌａｎｔ）の形成と関連した工程装備が必要で、分析のために多くの時間と労力が必要である。その上、反応物質の蒸着方法及びテストサンプル構造、工程方法によって透湿率(WVTR)の分析には多数の工程変数(パラメータ)が発生し、結果的に、信頼性あるデータの提示に大きい困難がある。
【００２８】
したがって、本実施形態においては、反応物質を基板に蒸着する代わりに、反応物質をカートリッジ化し、外気浸透率測定装置に脱着可能にし、従来の技術に比べて精密で且つ信頼性あるデータ確保が可能で、フレキジブルＡＭＯＬＥＤなどの新しい応用分野に必要な製品の信頼性評価を容易にすることを目的にする。
【００２９】
本実施形態において測定部４０は、反応物質の外気との接触による変化を測定する。
【００３０】
すなわち、測定部４０は、供給管２０の末端のカートリッジ装着部４５に装着された反応物質カートリッジ１００内部の反応物質の変化を直接測定する。
【００３１】
更に、前述したポンプ５は、供給管２０の外気環境調節チャンバ１０と第１所定空間との間の空間と、第１所定空間と第２所定空間との間の空間の環境を同一に設定する。すなわち同一の圧力の低圧状態（好ましくは真空状態）または同一の密度の不活性気体に充填することが好ましい。
【００３２】
以下、図２を参照して本実施形態による反応物質カートリッジ１００について詳しく説明する。
【００３３】
図２は、本発明の一実施形態による基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジ１００を示す図である。
【００３４】
図２を参照すれば、本実施形態による基板の外気浸透率測定のための反応物質カートリッジ１００は、反応部１１０、カートリッジ胴体１２０、遮蔽手段１３０を含む。
【００３５】
反応物質カートリッジ１００の形状は、多様に決定されることができ、本実施形態においては、反応物質カートリッジ１００が直方体の形状に形成された場合を例示する。更に、反応物質カートリッジ１００の形状は、測定部４０の測定方法やカートリッジ装着部４５の形状によって変化してもよく、供給管２０の直径、浸透率を測定しようとする基板のサイズなどの要素によってそのサイズが決定されることができる。
【００３６】
以下、詳細構成について説明する。まず、反応物質カートリッジ１００の反応部１１０は、基板を透過した外気との接触によって反応する反応物質を含む。図２の場合、反応物質は、カートリッジ内部に反応物質層で形成されたものを例示する。反応物質層で形成される場合、測定部４０は、反応物質層の外気との接触による光学的透過度を測定することができる。
【００３７】
または、図４を参照すれば、反応部１１０は、反応物質を含む反応物質部１１２ｂと導電性物質を含む導電部１１２ａとで構成され、所定の間隔によって離隔される複数の反応物質バー１１２で形成されることができる。反応部１１０が複数の反応物質バー１１２で形成される場合、測定部４０は、外気との接触による反応物質バー１１２の電気的性質の変化を測定することができる。また、反応物質バー１１２は、導電性がないガラスのような材料で構成されたカートリッジ胴体１２０の底面に形成されることが好ましい。
【００３８】
図５を参照して詳しく説明すれば、本実施形態において反応物質バー１１２は、両末端の場合、導電性物質で形成され、中間部分は、反応物質で形成される。両末端の導電部１１２ａそれぞれは、測定部４０と電気的に連結される。
【００３９】
末端の導電部１１２ａは、ＡｕやＡｇのような酸化しにくい物質で構成されるか、またはメッキされることができ、これに対し、酸化力が高い反応物質で形成された反応物質部１１２ｂは、水分を含む外気との接触で化学反応を起こし、そのため、抵抗または導電性の変化が発生する。
【００４０】
また、本実施形態において反応物質部１１２ｂの反応物質は、水分との反応が速いカルシウムであることが好ましい。すなわち測定部は、カルシウム層またはカルシウムバーを用いて光学的透過度または後述する抵抗変化を測定することができる。
【００４１】
すなわち本実施形態による基板の外気浸透率測定装置は、前述した「カルシウムテスト」方法の普遍性を確保するための装置であって、「カルシウムテスト」において核心的ながら独自的に製作しにくい部分であるカルシウム層またはカルシウム電極及び抵抗／透過度などの測定と関連した部品をカートリッジ（Ｃａｒｔｒｉｄｇｅ）形態で製作、供給することを目的とする。
【００４２】
これにより、１０−６ｇ／ｍ２−ｄａｙ水準のガス透湿率分析が可能で、既存の方法に比べて信頼性が高いデータの確保が可能である。
【００４３】
さらに図２を参照すれば、カートリッジ胴体１２０は、反応部１１０を収容し、カートリッジ胴体１２０は、反応物質の前記外気との接触による変化を測定する測定部４０に脱着可能な形態で構成される。前述したように、本実施形態においては、反応物質カートリッジ１００が直方体で形成され、測定部４０に装着された例が示されている。カートリッジ胴体１２０は、直方体で形成されることが好ましい。
【００４４】
本実施形態においてカートリッジ胴体１２０の装着は、前述した基板２００の装着と同様に、反応部１１０の広幅面が供給管２０内部の外気の流れに対して直交するように装着されることが好ましい。
【００４５】
更に、遮蔽手段１３０は、カートリッジ胴体１２０を遮蔽し、前記反応物質と前記外気の接触のために、前記カートリッジ胴体１２０から剥離される。すなわち、本実施形態において反応物質カートリッジ１００は、遮蔽された状態で外気浸透率測定装置に装着され、前述したように、ポンプ５によって基板が装着された第１所定空間の両側の空間の環境を同一にした後、外気環境調節チャンバ１０が湿度と温度を設定すれば、遮蔽手段１３０をカートリッジ胴体１２０から剥離させる。更に、カートリッジ胴体１２０は、所定の低圧を満足する真空状態であるか、または不活性気体で充填されることが好ましい。
【００４６】
遮蔽手段１３０の剥離は、ガラスで形成され、カートリッジ胴体１２０から取り外すか、またはカンの蓋のように剥ぎ取るなどの形態に行われることができる。
【００４７】
図３を参照すれば、図２の遮蔽手段１３０が剥離されれば、水分を含む外気がカートリッジ内部に浸透が可能になり、反応部１１０と接触する。
【００４８】
以下、水分を含む外気と反応部１１０の接触による反応物質の変化を測定する方法について説明する。
【００４９】
本実施形態において測定部４０は、前記外気の反応物質層の透過度または測定部４０は、前記外気の反応物質層の透過度を測定する。すなわち透過度を測定する光学的透過度測定方式または抵抗方式により測定することができる。
【００５０】
光学的透過度測定方式の場合、測定部４０は、フォトセンサーやイメージセンサーを用いて反応物質層の透過度の変化を測定する。ひいては、抵抗方式は、複数の反応物質バー１１２を用いてマルチポイント分析により抵抗変化または伝導度の変化を分析する。
【００５１】
以下、図６及び図７を参照して、本発明の一実施形態による基板カートリッジについて説明する。
【００５２】
図６は、基板２００の基板装着部３０の装着例を示す図である。図６を参照すれば、基板装着部３０に形成された支持部３２、３２'に基板２００を装着する場合、外気は、透過することなく、基板２００と支持部３２、３２'との間の空間６２、６２’を通じて通過する場合がある。このような現象は、ディスプレイパネルが柔軟になるほど、相対的に柔軟ではないパネルに比べて基板２００の基板装着部３０への装着及び支持が自由にならないので、さらに発生することができる。
【００５３】
反応物質を用いた基板２００の外気浸透率の測定は、基板２００を透過した外気によった影響だけを反映しなければならないので、基板２００を透過せず、基板２００を通過した外気が反応物質と接触する場合が発生すれば、基板２００の外気浸透率測定に誤差が発生する。
【００５４】
すなわちこのような場合を防止するために、基板２００は、図７のように、基板２００を収容するカートリッジ形態で製作すれば、特に相対的に装着及び支持が自由でない柔軟基板を測定しようとするとき、装置の外部で簡便に作業することができ、測定者間の均一度エラーを減らすことができる。
【００５５】
図７を参照すれば、本発明の一実施形態によって基板を収容する基板カートリッジは、前述した反応物質カートリッジ１００と同様に、基板カートリッジ胴体２１０、基板２００及び基板遮蔽手段２２０、２３０を含む。
【００５６】
すなわち、基板カートリッジ胴体２１０は、基板２００を収容し、供給管２０に脱着可能に構成されることが好ましい。前述した実施形態では、第１所定空間に形成された基板装着部３０に基板カートリッジ胴体２１０が装着されることができる。
【００５７】
基板遮蔽手段２２０、２３０は、基板カートリッジ胴体２１０を遮蔽し、前記基板２００と前記外気の接触または前記反応物質と前記基板２００を透過した前記外気の接触のために、前記基板カートリッジ胴体２１０から剥離される。但し、基板遮蔽手段２２０、２３０は、反応物質カートリッジ１００とは異なって、環境調節チャンバ１０から供給された外気が基板２００と接触する面と、基板２００を透過した外気が排出される面に対して両側に形成されることができる。
【００５８】
前述したように、本実施形態においては、ポンプ５によって基板２００が装着された第１所定空間の両側の空間の環境を同一にした後、外気環境調節チャンバ１０が湿度と温度を設定すれば、基板遮蔽手段２２０、２３０を基板カートリッジ胴体２１０から剥離させる。
【００５９】
以下、前述した外気浸透率測定のための反応物質カートリッジ１００を含む基板の外気浸透率測定装置を用いた浸透率測定方法について説明する。
【００６０】
まず、基板２００の外気浸透率測定装置に反応物質カートリッジ１００及び基板カートリッジを装着後、低圧（好ましくは真空状態）または不活性気体で充填された状態（またはｄｒｙ  Ｎ２  ａｔｍｏｓｐｈｅｒｅ）に作る。この際の状態は、外気環境調節チャンバ１０のシャッター１５を閉めた状態で基板カートリッジで区分される供給管２０の両側の空間を同一の環境に作る。
【００６１】
その後、外気環境調節チャンバ１０内部の湿度と温度環境を設定し、基板カートリッジの基板遮蔽手段２２０、２３０と反応物質カートリッジ１００の遮蔽手段１３０を剥離させる。
【００６２】
次に、シャッター１５を開いて、水分を含む外気を供給管２０を介して供給する。
【００６３】
基板２００を浸透して透過した外気は、反応物質カートリッジ１００の反応物質と接触して反応する。
【００６４】
測定部４０は、抵抗方式を利用する場合、反応物質の抵抗変化を分析する。すなわち複数の反応物質バー１１２の抵抗変化の平均値を抽出する。または光学的透過度方式を利用する場合、反応物質層の透過度の変化をフォトセンサーやイメージセンサーで認知して分析する。
【００６５】
以上の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したものに過ぎず、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者なら本発明の本質的な特性を逸脱しない範囲内で多様な修正、変更及び置換が可能である。
【００６６】
したがって、本発明に開示された実施形態及び添付の図面は、本発明の技術思想を限定するためではなく、説明するためのものであって、このような実施形態及び添付の図面によって本発明の技術思想の範囲が限定されるものではない。本発明の保護範囲は、下記の請求範囲によって解釈しなければならず、それと同等な範囲内にあるすべての技術思想は、本発明の権利範囲に含まれるものと解釈しなければならない。
【符号の説明】
【００６７】
１０  外気環境調節チャンバ
２０  供給管
３０  基板装着部
４０  測定部
４５  カートリッジ装着部
１００  反応物質カートリッジ
１１０  反応部
１２０  カートリッジ胴体
１３０  遮蔽手段
２００  基板
２１０  基板カートリッジ胴体
２２０  基板遮蔽手段
【図１】
2016522902.tif 000003
【図２】
2016522902.tif 000004
【図３】
2016522902.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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2016522902.tif 000011
2016522902.tif 000012
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