(57)【要約】自動化レベル及び加工効率がより高い全自動の真空乾燥生産ラインを簡単に構築することができる全自動真空乾燥炉を提供するために、本発明に係る全自動真空乾燥炉は、乾燥ボックスと、乾燥ボックスを加熱するための加熱装置と、乾燥ボックスを真空にするための真空排気装置と、乾燥ボックスの内部に窒素を封入するための窒素輸入装置と、資材を駆動して移動させるための搬送装置と、を備え、乾燥ボックスの両側には、第一開口がそれぞれ設けられ、少なくとも１つの第一開口に対応する所には、オートシールドアが設けられ、オートシールドアは、第一ドアパネル及び第二ドアパネルを含み、第一ドアパネルと第二ドアパネルとの間には、第一ドアパネル及び第二ドアパネルを昇降するための昇降機構が設けられ、第一ドアパネルと昇降機構との間には、少なくとも２つの連結部品が設けられ、連結部品の一端は、第一ドアパネルに連結され、連結部品の他端は、昇降機構に連結され、第二ドアパネルと昇降機構との間にも、少なくとも２つの連結部品が設けられ、連結部品の一端は、第二ドアパネルに連結され、連結部品の他端は、昇降機構に連結される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥ボックスと、前記乾燥ボックスを加熱するための加熱装置と、前記乾燥ボックスを真空にするための真空排気装置と、前記乾燥ボックスの内部に窒素を封入するための窒素輸入装置と、前記乾燥ボックス内に設けられて、資材を駆動して移動させるための搬送装置と、を備える全自動真空乾燥炉であって、
前記乾燥ボックスの対向する両側には、第一開口がそれぞれ設けられ、少なくとも１つの前記第一開口に対応する所には、オートシールドアが設けられ、前記オートシールドアは、互いに対して平行に設けられる第一ドアパネル及び第二ドアパネルを含み、前記第一ドアパネルと前記第二ドアパネルとの間には、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルを昇降するための昇降機構が設けられ、
前記第一ドアパネルと前記昇降機構との間には、少なくとも２つの連結部品が設けられ、前記連結部品の一端は、前記第一ドアパネルに連結され、前記連結部品の他端は、前記昇降機構に連結され、
前記第二ドアパネルと前記昇降機構との間にも、少なくとも２つの連結部品が設けられ、前記連結部品の一端は、前記第二ドアパネルに連結され、前記連結部品の他端は、前記昇降機構に連結され、前記第一ドアパネルの下端には、第一ホイールが設けられ、前記第一ホイールの下には、左が低く、右が高くしている第一斜面が設けられ、前記第二ドアパネルの下端には、第二ホイールが設けられ、前記第二ホイールの下には、左が高く、右が低くしている第二斜面が設けれることを特徴とする全自動真空乾燥炉。
【請求項２】
前記オートシールドアが設けられた前記第一開口が所在する側には、前記第一ドアパネル、前記第二ドアパネル及び前記昇降機構を収納するためのキャビティがさらに設けられており、前記キャビティの対向する両側には、第二開口がそれぞれ設けられ、前記乾燥ボックスに近い側の前記第二開口は、前記乾燥ボックスに設けられ且つ前記キャビティに近い側の前記第一開口と連通することを特徴とする請求項１に記載の全自動真空乾燥炉。
【請求項３】
前記昇降機構は、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルを駆動して極限位置まで下落させる時に、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルは、それぞれ前記キャビティの内側から２つの前記第二開口を密封するように、前記第二開口に緊密に押し付けられることを特徴とする請求項２に記載の全自動真空乾燥炉。
【請求項４】
前記昇降機構は、互いに協力するラック及び第一歯車を含み、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルは、いずれも連結部品を介して前記ラックに連結され、前記第一歯車は、電気モータにより駆動されることを特徴とする請求項３に記載の全自動真空乾燥炉。
【請求項５】
前記ラックに対して平行に設けられたガイドレールをさらに備え、前記ラックには、前記ガイドレールと協力するガイドホイールがさらに設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の全自動真空乾燥炉。
【請求項６】
前記第一ドアパネルの左側面には、シールテープが設けられ、前記第二ドアパネルの右側面にも、シールテープが設けられることを特徴とする請求項５に記載の全自動真空乾燥炉。
【請求項７】
前記加熱装置は、前記乾燥ボックスの外側に設けられた複数のヒータを含み、前記ヒータは、アルミ合金本体部及び前記アルミ合金本体部の内部に設けられた発熱素子を含むことを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の全自動真空乾燥炉。
【請求項８】
前記アルミ合金本体部は、ボトムボード及び前記ボトムボードに接合されるカバーボードを含み、前記ボトムボードには、凹所が設けられており、前記発熱素子は、前記凹所の内部に設けられることを特徴とする請求項７に記載の全自動真空乾燥炉。
【請求項９】
前記搬送装置は、前記乾燥ボックスの内部に設けられた第二歯車を含み、前記第二歯車の幾何学的軸は、同時に前記乾燥ボックスの底面及び前記第一開口が所在する面に対して平行であり、前記第二歯車は、電気モータにより駆動されることを特徴とする請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の全自動真空乾燥炉。
【請求項１０】
前記乾燥ボックスの内部に設けられたガイドレールをさらに備え、前記ガイドレールは、前記第一開口が所在する面に対して垂直であることを特徴とする請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の全自動真空乾燥炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、オート真空乾燥炉に関し、特に自動化レベル及び加工効率がより高い全自動の真空乾燥生産ラインを簡単に構築することができる全自動真空乾燥炉に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造過程では、水分を含んだ電子部品に対して真空乾燥を行なうことは重要な工程である。この工程によって、電子部品に含まれる水分を低減又は除去することができる。今まで、真空乾燥技術は、電子部品の製造過程において汎用されて、特に、スーパーコンデンサやリチウム電池を製造する場合に使用されている。現在の真空乾燥装置は、殆んど単独の真空乾燥炉を利用し、且つ資材搭載車で真空乾燥工程を必要とする電子部品（以下、被処理物と称する）を真空乾燥装置の中へ搬送してからそれを加工する。しかし、このような真空乾燥装置の加工効率が低く、且つ真空条件下で乾燥程度及び温度を精確に制御することができない問題がある。従って、出口及び入り口が相対的に設けられた複数台の真空乾燥装置を採用して、連続加工が可能な真空乾燥システムを構築して、複数台の真空乾燥装置のそれぞれに対して異なる真空度、乾燥温度及び乾燥時間を設定することによって、単一真空乾燥装置が存在した欠点を解消することができる。しかし、如何に複数台の真空乾燥装置の間のシームレスな作業を実現することがずっと難題になっている。この難題を解決する方法の１つとしては、真空乾燥装置において合理的な構造を有するオートシールドアを設けて、複数台の真空乾燥装置を互いにシームレスに作業させるようにすることである。ところが、このような真空乾燥システムは、まだ存在しない。従って、自動化レベル及び加工効率がより高い全自動の真空乾燥生産ラインを簡単に構築することができる全自動真空乾燥炉が求められている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、自動化レベル及び加工効率がより高い全自動の真空乾燥生産ラインを簡単に構築することができる全自動真空乾燥炉を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の課題を解決するために、本発明に係る全自動真空乾燥炉は、乾燥ボックスと、前記乾燥ボックスを加熱するための加熱装置と、前記乾燥ボックスを真空にするための真空排気装置と、前記乾燥ボックスの内部に窒素を封入するための窒素輸入装置と、前記乾燥ボックス内に設けられて、資材を駆動して移動させるための搬送装置と、を備える。前記乾燥ボックスの対向する両側には、第一開口がそれぞれ設けられ、少なくとも１つの前記第一開口に対応する所には、オートシールドアが設けられ、前記オートシールドアは、互いに対して平行に設けられる第一ドアパネル及び第二ドアパネルを含み、前記第一ドアパネルと前記第二ドアパネルとの間には、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルを昇降するための昇降機構が設けられ、前記第一ドアパネルと前記昇降機構との間には、少なくとも２つの連結部品が設けられ、前記連結部品の一端は、前記第一ドアパネルに連結され、前記連結部品の他端は、前記昇降機構に連結され、前記第二ドアパネルと前記昇降機構との間にも、少なくとも２つの連結部品が設けられ、前記連結部品の一端は、前記第二ドアパネルに連結され、前記連結部品の他端は、前記昇降機構に連結され、前記第一ドアパネルの下端には、第一ホイールが設けられ、前記第一ホイールの下には、左が低く、右が高くしている第一斜面が設けられ、前記第二ドアパネルの下端には、第二ホイールが設けられ、前記第二ホイールの下には、左が高く、右が低くしている第二斜面が設けれる。
【０００５】
また、前記搬送装置は、前記乾燥ボックスの内部に設けられた第二歯車を含み、前記第二歯車の幾何学的軸は、同時に前記乾燥ボックスの底面及び前記第一開口が所在する面に対して平行であり、前記第二歯車は、電気モータにより駆動される。
【０００６】
また、前記全自動真空乾燥炉は、前記乾燥ボックスの内部に設けられたガイドレールをさらに備え、前記ガイドレールは、前記第一開口が所在する面に対して垂直である。
【０００７】
また、前記加熱装置は、前記乾燥ボックスの外側に設けられた複数のヒータを含み、前記ヒータは、アルミ合金本体部及び前記アルミ合金本体部の内部に設けられた発熱素子を含む。
【０００８】
また、前記アルミ合金本体部は、ボトムボード及び前記ボトムボードに接合されるカバーボードを含み、前記ボトムボードには、凹所が設けられており、前記発熱素子は、前記凹所の内部に設けられる。
【０００９】
また、前記全自動真空乾燥炉は、前記ラックに対して平行に設けられたガイドレールをさらに備え、前記ラックには、前記ガイドレールと協力するガイドホイールがさらに設けられている。
【００１０】
また、前記第一ドアパネルの左側面には、シールテープが設けられ、前記第二ドアパネルの右側面にも、シールテープが設けられる。
【００１１】
また、前記オートシールドアが設けられた前記第一開口が所在する側には、前記第一ドアパネル、前記第二ドアパネル及び前記昇降機構を収納するためのキャビティがさらに設けられており、前記キャビティの対向する両側には、第二開口がそれぞれ設けられ、前記乾燥ボックスに近い側の前記第二開口は、前記乾燥ボックスに設けられ且つ前記キャビティに近い側の前記第一開口と連通する。
【００１２】
また、前記昇降機構は、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルを駆動して極限位置まで下がる時に、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルは、それぞれ前記キャビティの内側から２つの前記第二開口を密封するように、前記第二開口に緊密に押し付けられる。
【００１３】
また、前記昇降機構は、互いに協力するラック及び第一歯車を含み、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルは、いずれも連結部品を介して前記ラックに連結され、前記第一歯車は、電気モータにより駆動される。
【発明の効果】
【００１４】
従来の技術と異なり、本発明に係る全自動真空乾燥炉は、乾燥ボックスと、前記乾燥ボックスを加熱するための加熱装置と、前記乾燥ボックスを真空にするための真空排気装置と、前記乾燥ボックスの内部に窒素を封入するための窒素輸入装置と、前記乾燥ボックス内に設けられて資材を駆動して移動させるための搬送装置と、を備える。前記乾燥ボックスの対向する両側には、第一開口がそれぞれ設けられる。少なくとも１つの前記第一開口に対応する所には、オートシールドアが設けられる。前記オートシールドアは、互いに対して平行である第一ドアパネル及び第二ドアパネルを含む。前記第一ドアパネルと前記第二ドアパネルとの間には、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルを昇降させるための昇降機構が設けられる。また、前記第一ドアパネルと前記昇降機構との間には、少なくとも２つの連結部品が設けられる。前記連結部品の一端は、前記第一ドアパネルに連結される。前記連結部品の他端は、前記昇降機構に連結される。前記第二ドアパネルと前記昇降機構との間にも、少なくとも２つの連結部品が設けられる。この連結部品の一端は、前記第二ドアパネルに連結される。この連結部品の他端は、前記昇降機構に連結される。前記第一ドアパネルの下端には、第一ホイールが設けられる。前記第一ホイールの下には、左が低く、右が高くしている第一斜面が設けられる。前記第二ドアパネルの下端には、第二ホイールが設けられる。前記第二ホイールの下には、左が高く、右が低くしている第二斜面が設けられる。前記昇降機構が下がる時に、第一ドアパネル及び第二ドアパネルは、連動して下落する。これと同時に、前記第一ホイールは、前記第一斜面に沿って下向きに運動し、前記第二ホイールは、前記第二斜面に沿って下向きに運動し、前記第一ドアパネルは、前記オートシールドアの前の工程にある加工装置に向って移動し且つ前記加工装置の出口に緊密に押し付けられ、前記第二ドアパネルは、前記オートシールドアが設けられた側の第二開口に向って移動し且つ最終的に前記第二開口に押し付けられる。これにより、前記オートシールドアの前の工程にある加工装置の出口を密封すると共に、前記オートシールドアが設けられた側の第二開口を密封することも実現できる。前記オートシールドアが開かれる時の動作過程は、前記オートシールドアが閉じられる時の動作過程とちょうど相反である。このようにして、複数台の全自動真空乾燥炉の第一開口を互いにドッキングさせることにより、全自動の真空乾燥生産ラインを構築することができる。その後、搬送装置を介して複数台の全自動真空乾燥炉の間で資材を搬送し、真空排気装置を介して乾燥ボックスを真空にする。次いで、窒素輸入装置は、前記乾燥ボックスが真空状態にされた後に、作動し始めて、前記乾燥ボックスの中に窒素を封入する。その後、前記加熱装置は、前記乾燥ボックスの中の資材に対して乾燥する。そして、複数台の全自動真空乾燥炉のそれぞれに対して異なる真空度、乾燥温度及び乾燥時間を設定することにより、高い効率の真空乾燥を実現できるだけではなく、真空条件下で乾湿度及び温度を精確で且つ均一に制御することもできる。
【００１５】
また、本発明は、前記第一開口が所在する側に前記第一ドアパネル、前記第二ドアパネル及び前記昇降機構を収容するためのキャビティをさらに設け、且つ前記キャビティの対向する両側に第二開口をそれぞれ設ける。前記乾燥ボックスに近い側の前記第二開口は、前記乾燥ボックスに設けられ且つ前記キャビティに近づく側の前記第一開口と連通する。このような構造によって、前記オートシールドアと前の工程の前記加工装置の出口との間の距離を調節することを必要としなく、前記キャビティの前記乾燥ボックスから離れる側の前記第二開口と前記加工装置の出口とを直接に連通させれば良い。
【００１６】
また、本発明では、オートシールドアを取り巻く環境の真空度を確保するために、前記オートシールドアの外周に外にカバーを設ける必要がない。前記キャビティが外部環境から完全に隔離されるので、前記全自動真空乾燥炉の真空度を確保でき、前記オートシールドアが開かれる時に前記全自動真空乾燥炉の真空度は外部環境からの影響を受けないようにする。それによって、再び真空排気すること及び窒素を封入することを避けて、エネルギーを節約し、且つ加工効率を大きく高めることができる。
【００１７】
また、本発明では、前記昇降機構が前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルを駆動して極限位置まで下落させる時に、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルは、それぞれ前記キャビティの内側から２つの前記第二開口を密封するように、前記第二開口に緊密に押し付けられる。このようにして、本発明は、１つの昇降機構により前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルを駆動して移動させるため、１つの昇降機構により１つのドアパネルのみを駆動する動作モードに対して、１セットの動力システムを節約することができる。即ち、本発明は、１セットの動力システムを介して２つの開口を密封することを実現して、真空乾燥炉の構造を簡素化にし、製造コストを低減することができる。前記昇降機構は、互いに協力するラック及び第一歯車を備え、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルは、それぞれ連結部品を介して前記ラックに連結され、前記第一歯車は、電気モータにより駆動される。ラックと歯車による駆動方式は、十分な押圧力を提供して、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルとそれに対応する前記第二開口との密着を確保できるだけではなく、高温作業環境においても安定に運行することができる。
【００１８】
また、本発明では、前記全自動真空乾燥炉は、前記ラックに対して平行であるガイドレールをさらに備える。前記ラックには、前記ガイドレールと組み合わせるガイドホイールがさらに設けられる。前記ガイドレールと前記ガイドホイールとの協力によって、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルは、昇降過程においてずっとまっすぐに上下運動する。これにより、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルは、前記第二開口を密封する時に前記第二開口に対してずっと平行であり、夾角が存在しない。従って、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルは、前記第二開口とぴったり合って、前記乾燥ボックスを確実に密封して、真空乾燥の効果を向上することができる。
【００１９】
また、本発明では、前記第一ドアパネルの左側面及び前記第二ドアパネルの右側面には、それぞれシールテープが設けられている。これにより、前記第一ドアパネル及び前記第二ドアパネルは、前記第二開口を密封する時に、その密閉性がさらに好ましくなる。そこで、前記乾燥ボックスの内部は外界から完全に隔離され、真空乾燥の効果は一層好ましくなる。
【００２０】
また、本発明では、前記加熱装置は、前記乾燥ボックスの外面に設けられた複数のヒータを含む。前記ヒータは、アルミ合金本体部及び前記アルミ合金本体部の内部に設けられた発熱素子を含む。前記アルミ合金本体部は、一体に接合されているボトムボード及びカバーボードを含む。前記ボトムボードには、前記発熱素子を収容するための凹所が設けられている。このような構造の加熱装置は、装着し易く、修理する時に分解され易く、且つ加熱効率及び加熱する時の均一度が良好である。
【００２１】
また、本発明では、前記搬送装置は、前記乾燥ボックスの内部に設けられた第二歯車を含む。前記第二歯車の幾何学的軸は、同時に前記乾燥ボックスの底面及び前記第一開口が所在する面に対して平行である。前記第二歯車は、電気モータにより駆動される。前記乾燥ボックスの内部には、前記第一開口が所在する面に対して垂直であるガイドレールが設けられる。前記資材搭載車の底部には、前記第二歯車と協力するラックが設けられる。第二歯車の回転により、資材搭載車は、前記乾燥ボックス内で移動して、資材を複数台の全自動真空乾燥炉の間で転送する。また、前記資材搭載車の底部には、前記ガイドレールと組み合わせるガイドホイールが設けられる。これにより、前記資材搭載車は、前記乾燥ボックスの内部で安定に移動し、且つ前記乾燥ボックスの内壁と衝突することがない。
また、本発明は、複数台の全自動真空乾燥炉で全自動の真空乾燥生産ラインを構築する時に、それらの全自動真空乾燥炉のガイドレールを互いに整列すれば、資材搭載車を複数台の自動真空乾燥炉の間で順調に移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に係る全自動真空乾燥炉の全体構造を示す図である。
【図２】図１におけるＡ部の拡大図である。
【図３】本発明に係る全自動真空乾燥炉の乾燥ボックスの底部構造を示す図である。
【図４】本発明に係る全自動真空乾燥炉のヒータの全体構造を示す図である。
【図５】本発明に係る全自動真空乾燥炉のヒータからカバーボードを取り除いた後の図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について詳細に説明する。ただし、下記の実施形態は、本発明を単に説明するためのものであり、本発明を制限するためのものではない。
【００２４】
図１、図２及び図３に示すように、本発明の実施形態に係る全自動真空乾燥炉は、乾燥ボックス９０と、乾燥ボックス９０を加熱するための加熱装置８０と、乾燥ボックス９０を真空状態にするための真空排気装置７０と、乾燥ボックス９０の内部に窒素を封入するための窒素輸入装置と、乾燥ボックス９０の内部に設けられて、資材を駆動して移動させるための搬送装置６０と、を備える。なかでも、加熱装置８０は、電気ホットパイプをアルミ合金板の中に設けることによって構成された加熱板であってもよい。また、加熱装置８０は、遠赤外線加熱パイプをアルミ合金板の中に設けることによって構成された加熱板であってもよい。また、加熱装置８０は、高温ヒーティングワイヤをアルミ合金板の中に設けることによって構成された加熱板であってもよい。これらの加熱板は、乾燥ボックス９０の外面を被せるように設けられる。
【００２５】
本実施形態において、加熱装置８０は、電気ホットパイプをアルミ合金板の中に設けることによって構成された加熱板であり、乾燥ボックス９０の外面を包んでいる。真空排気装置７０は、ただの真空ポンプであるか又は真空ポンプとフィルター及び／或いはルーツポンプにより構成されても良い。その中、フィルターは、ドライアイスフィルター又はオイル・ガスフィルターであることができる。本実施形態に係る真空排気装置７０は、真空ポンプとオイル・ガスフィルターにより構成される。搬送装置６０は、コンベヤーベルト、輸送ローラ又は乾燥ボックス９０の内部に設けられた資材搭載車であることができる。前記資材搭載車の底部にはラックが設けられ、前記乾燥ボックス９０の内部には前記ラックと組み合わせて使われる歯車が設けられている。前記資材搭載車は、前記歯車により駆動されて移動して、資材を指定の場所まで搬送する。本実施形態において、搬送装置６０は、資材搭載車であり、且つ乾燥ボックス９０内に設けられて、電気モータにより駆動される第二歯車６１を備える。第二歯車６１の幾何学的軸は、同時に乾燥ボックス９０の底面及び第一開口９１が所在する面に対して平行である。その上、搬送装置６０は、乾燥ボックス９０内に設けられたガイドレール６２をさらに備える。ガイドレール６２は、第一開口９１が所在する面に対して垂直である。
【００２６】
乾燥ボックス９０の対向する両側には、前記第一開口９１がそれぞれ設けられている。少なくとも一方側の第一開口９１には、オートシールドア１０が装着される。オートシールドア１０は、互いに対して平行に設けられた第一ドアパネル１１及び第二ドアパネル２１を含む。第一ドアパネル１１と第二ドアパネル２１との間には、昇降機構３０が設けられる。昇降機構３０は、第一ドアパネル１１及び第二ドアパネル２１を上下に移動させるために用いられる。第一ドアパネル１１と昇降機構３０との間には、少なくとも２つの連結部品４１が設けられる。連結部品４１の一端は第一ドアパネル１１とヒンジで連結され、連結部品４１の他端は昇降機構３０とヒンジで連結される。第二ドアパネル２１と昇降機構３０との間にも、少なくとも２つの連結部品４１が設けられる。連結部品４１の一端は第二ドアパネル２１とヒンジで連結され、連結部品４１の他端は昇降機構３０とヒンジで連結される。第一ドアパネル１１の下端には、第一ホイール１２が設けられる。第一ホイール１２の下には、左端が低く、右端が高くしている第一斜面１３が設けられる。第二ドアパネル２１の下端には、第二ホイール２２が設けられる。第二ホイール２２の下には、左端が高く、右端が低くしている第二斜面２３が設けられる。
【００２７】
オートシールドア１０が設けられた第一開口９１が所在する側には、第一ドアパネル１１、第二ドアパネル２１及び昇降機構３０を収容するためのキャビティ５０がさらに設けられる。キャビティ５０には、２つの第二開口５１が対向して設けられる。乾燥ボックス９０に近い側の第二開口５１は、乾燥ボックス９０に設けられた第一開口９１と連通している。ここの「連通」とは、第二開口５１と第一開口９１が１つのチャンネルを介して互いに連通すること及び第二開口５１が第一開口９１と重なり合うこと（即ち、第二開口５１が同時に第一開口９１の役割を果たす）という２つの情況を含む。昇降機構３０は、第一ドアパネル１１と第二ドアパネル２１とを駆動して、この両者を極限位置まで下落させる時に、第一ドアパネル１１及び第二ドアパネル２１は、それぞれキャビティ５０の内側から２つの第二開口５１に緊密に押付けられて、第二開口５１を密封する。
【００２８】
昇降機構３０は、ラック３１及びラック３１と協力する第一歯車３２を含む。第一ドアパネル１１及び第二ドアパネル２１は、それぞれ連結部品４１を介してラック３１と連結される。第一歯車３２は、電気モータにより駆動される。ラック３１は、ガイドレール４３に対して平行に設けられる。ラック３１の上面には、ガイドレール４３に合わせて使用されるガイドホイール４４がさらに設けられる。第一ドアパネル１１の左側には、シールテープ４２が設けられる。第二ドアパネル２１の右側にも、シールテープ４２が設けられる。
【００２９】
図１、図４及び図５に示すように、加熱装置８０は、乾燥ボックス９０の外側に設けられた複数のヒータ８１を備える。ヒータ８１は、アルミ合金本体部８１１及びアルミ合金本体部８１１の内部に設けられた発熱素子８１２を含む。アルミ合金本体部８１１は、ボトムボード８１３及びボトムボード８１３に接合されるカバーボード８１４を含む。ボトムボード８１３には、凹所８１５が設けられる。発熱素子８１２は、凹所８１５内に設けられる。
【００３０】
以上、好適な具体例を挙げて本発明を説明してきたが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、種々な変更又は取替えが可能であることは言うまでもない。この変更又は取替えに基づく様々な変形例も本発明の保護範囲に含まれることは明らかである。
【符号の説明】
【００３１】
１０  オートシールドア
１１  第一ドアパネル
１２  第一ホイール
１３  第一斜面
２１  第二ドアパネル
２２  第二ホイール
２３  第二斜面
３０  昇降機構
３１  ラック
３２  第一歯車
４１  連結部品
４２  シールテープ
４３  ガイドレール
４４  ガイドホイール
５０  キャビティ
５１  第二開口
６０  搬送装置
６１  第二歯車
６２  ガイドレール
７０  真空排気装置
８０  加熱装置
８１  ヒータ
８１１  アルミ合金本体部
８１２  発熱素子
８１３  ボトムボード
８１４  カバーボード
８１５  凹所
９０  乾燥ボックス
９１  第一開口
【図１】
2016535228.tif 000003
【図２】
2016535228.tif 000004
【図３】
2016535228.tif 000005
【図４】
2016535228.tif 000006
【図５】
2016535228.tif 000007
【国際調査報告】
2016535228.tif 000008
2016535228.tif 000009
2016535228.tif 000010
2016535228.tif 000011