(57)【要約】  本発明は、熱処理装置のチャンバ及びその製造方法に関するものである。本発明によるチャンバ１００は、熱処理装置のチャンバであって、基板４５がローディングされて熱処理される空間を提供する本体１１０と、本体１１０の外面を放射状に取り囲み、本体１１０の長手方向に沿って同一な間隔で配される複数のリブ１２０と、を含み、本体１１０は、本体１１０の外面を構成する第１金属板１１１及び本体１１０の内面を構成する第２金属板１１２の接合体からなることを特徴とする。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱処理装置のチャンバであって、
基板がローディングされて熱処理される空間を提供する本体と、
前記本体の外面を放射状に取り囲み、前記本体の長手方向に沿って同一な間隔で配される複数のリブと、を含み、
前記本体は、前記本体の外面を構成する第１金属板及び前記本体の内面を構成する第２金属板の接合体からなることを特徴とする熱処理装置のチャンバ。
【請求項２】
前記本体は、複数の単位本体で構成されることを特徴とする請求項１に記載の熱処理装置のチャンバ。
【請求項３】
前記本体は、前記複数の単位本体の一端のエッジを溶接して製造されることを特徴とする請求項２に記載の熱処理装置のチャンバ。
【請求項４】
前記第１金属板及び前記第２金属板は、爆発溶接、熱間圧延または組立てを用いて接合することを特徴とする請求項１に記載の熱処理装置のチャンバ。
【請求項５】
前記第１金属板は、ステンレススチール（ＳＵＳ）またはスチールのうち何れか１つを含み、
前記第２金属板は、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、タンタル（Ｔａ）、ニオブ（Ｎｂ）、ニッケル合金、チタン合金、コバルト合金、またはＳｉ−ＤＬＣのうち何れか１つを含むことを特徴とする請求項１に記載の熱処理装置のチャンバ。
【請求項６】
前記本体は、六面体の形状を有することを特徴とする請求項１に記載の熱処理装置のチャンバ。
【請求項７】
前記六面体の形状を有する前記本体のエッジは、直角状またはラウンディングされた丸状であることを特徴とする請求項６に記載の熱処理装置のチャンバ。
【請求項８】
前記本体の内側面には、板状のヒーターが設けられたことを特徴とする請求項１に記載の熱処理装置のチャンバ。
【請求項９】
熱処理装置のチャンバの製造方法であって、
複数の単位本体の一端のエッジを溶接して本体を形成し、前記本体の外面を放射状に取り囲む複数のリブを前記本体と溶接して製造するが、
前記本体は、前記本体の外面を構成する第１金属板及び前記本体の内面を構成する第２金属板の接合体からなることを特徴とする熱処理装置のチャンバの製造方法。
【請求項１０】
前記第１金属板及び前記第２金属板は、爆発溶接、熱間圧延または組立てを用いて接合することを特徴とする請求項９に記載の熱処理装置のチャンバの製造方法。
【請求項１１】
前記第１金属板は、ステンレススチール（ＳＵＳ）またはスチールのうち何れか１つを含み、
前記第２金属板は、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、タンタル（Ｔａ）、ニオブ（Ｎｂ）、ニッケル合金、チタン合金、コバルト合金、またはＳｉ−ＤＬＣのうち何れか１つを含むことを特徴とする請求項９に記載の熱処理装置のチャンバの製造方法。
【請求項１２】
前記単位本体の一端のエッジのうち、前記第１金属板のエッジに溶接傾斜面が形成されたことを特徴とする請求項９に記載の熱処理装置のチャンバの製造方法。
【請求項１３】
前記第１金属板のエッジの溶接傾斜面と隣合う他の単位本体の前記第１金属板のエッジの溶接傾斜面が成す角度は、３０゜〜６０゜であることを特徴とする請求項１２に記載の熱処理装置のチャンバの製造方法。
【請求項１４】
前記第１金属板のエッジの溶接傾斜面と隣合う他の単位本体の前記第１金属板のエッジの溶接傾斜面が成す角度は、４５゜であることを特徴とする請求項１３に記載の熱処理装置のチャンバの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱処理装置のチャンバ及びその製造方法に係り、より詳細には、本体の外面を構成する第１金属板及び本体の内面を構成する第２金属板を接合して本体を構成することによって、剛性と耐腐蝕性とを増大させた熱処理装置のチャンバ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、枯渇している化石燃料に対する依存度を減らすために、枯渇の恐れがなく、かつ環境に優しい太陽エネルギーを活用する太陽電池（Ｓｏｌａｒ  Ｃｅｌｌ）などに関する研究開発が活発に進行しつつある。
【０００３】
このような研究開発の一環として、太陽光の吸収率が高く、太陽光または放射線に対する劣化現象が少なく、薄膜化が可能であり、製作上、材料費を節減することができるＣＩＧＳ｛Ｃｕ（Ｉｎ１−ｘＧａｘ）Ｓｅ２｝層が形成された薄膜型太陽電池が開発された。
【０００４】
薄膜型太陽電池は、ガラスなどの基板、基板上に形成された金属層からなる（＋）極である電極層、電極層上に形成され、光を吸収するｐ型のＣＩＧＳ層、ＣＩＧＳ層上に形成されたｎ型のバッファ層、及びバッファ層上に形成された（−）極である透明電極層を含む多層積層構造である。
【０００５】
これにより、受光部である透明電極層を通じて太陽光が入射されれば、ｐ−ｎ接合付近では、ほぼ１．０４ｅＶのバンドギャップエネルギーを有する、励起された一対の電子及び正孔が生成される。そして、励起された電子と正孔は、拡散によってｐ−ｎ接合部に到逹し、接合部の内部電界によって電子がｎ領域に、正孔がｐ領域に集合して分離される。
【０００６】
そうすると、ｎ領域はマイナスに帯電され、ｐ領域はプラスに帯電され、各領域に形成された電極間には、電位差が生じる。そして、電位差を起電力にして各電極の間を導線で連結すれば、光電流が得られる。
【０００７】
薄膜型太陽電池のＣＩＧＳ層を形成する方法は、基板に形成された電極層上に銅、インジウム、ガリウムの元素を適正比率で真空スパッタリングして、前駆体膜を形成する前駆体膜形成工程と、このように蒸着された前駆体膜にセレン化水素（Ｈ２Ｓｅ）ガスを流しながら、基板に温度を加えるセレン化（ｓｅｌｅｎｉｚａｔｉｏｎ）工程と、を経る。このような一連の工程によって、銅（Ｃｕ）、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）及びセレン（Ｓｅ）元素が適正組成比を有するＣＩＧＳ層を形成させうる。
【０００８】
このようなセレン化工程は、前駆体膜が形成された基板を密閉されたチャンバにローディングさせ、チャンバを不活性ガスで置換した後、チャンバに処理ガスであるセレン化水素（Ｈ２Ｓｅ）を導入した後、チャンバを一定温度に昇温させて一定時間保持して、セレン化されたＣＩＧＳ層を形成する工程である。
【０００９】
ＣＩＧＳ層を形成するための従来の熱処理装置のチャンバは、単一金属で製造されるために、Ｈ２Ｓｅ、Ｈ２Ｓのような工程ガスに耐腐蝕性が低い金属を使うならば、チャンバ内部が腐蝕されて、寿命が短くなるという問題点があり、Ｈ２Ｓｅ、Ｈ２Ｓのような工程ガスに耐腐蝕性が大きな金属を使うならば、外部の衝撃によってクラックが発生するなど、チャンバが損傷するか、通常、高価である材料によってコスト高になるという問題点があった。また、チャンバが損傷することによって、チャンバ内部のガスが外部に漏れるという問題点があった。
【００１０】
前記問題点を解決するための従来の技術として、耐腐蝕性を向上させた部材が開示された韓国公開特許公報第１０−２００６−００５０２０３号などがあるが、耐腐蝕性と剛性とをいずれも確保することができるチャンバがさらに要求されている実情である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、前記のような従来技術の問題点を解決するために案出されたものであって、耐腐蝕性と剛性とを向上させ、低コストを果たすための熱処理装置のチャンバ及びその製造方法を提供することをその目的とする。
【００１２】
また、本発明は、内部構成を単純化し、複数のチャンバを備えることができるように拡張性を増大させた熱処理装置のチャンバ及びその製造方法を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の前記目的は、熱処理装置のチャンバであって、基板がローディングされて熱処理される空間を提供する本体と、前記本体の外面を放射状に取り囲み、前記本体の長手方向に沿って同一な間隔で配される複数のリブと、を含み、前記本体は、前記本体の外面を構成する第１金属板及び前記本体の内面を構成する第２金属板の接合体からなることを特徴とする熱処理装置のチャンバによって達成される。
【００１４】
前記本体は、複数の単位本体で構成することができる。
【００１５】
前記本体は、前記複数の単位本体の一端のエッジを溶接して製造可能である。
【００１６】
前記第１金属板及び前記第２金属板は、爆発溶接、熱間圧延または組立てを用いて接合することができる。
【００１７】
前記第１金属板は、ステンレススチール（ＳＵＳ）またはスチール（ｓｔｅｅｌ）のうち少なくとも何れか１つを含み、前記第２金属板は、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、タンタル（Ｔａ）、ニオブ（Ｎｂ）、ニッケル合金、チタン合金、コバルト合金、またはＳｉ−ＤＬＣ（Ｓｉｌｉｃｏｎ−Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ）のうち少なくとも何れか１つを含みうる。
【００１８】
前記本体は、六面体の形状を有しうる。
【００１９】
前記六面体の形状を有する本体のエッジは、直角状またはラウンディングされた丸状であり得る。
【００２０】
前記本体の内側面には、板状のヒーターが設けられることもある。
【００２１】
また、本発明の前記目的は、熱処理装置のチャンバの製造方法であって、複数の単位本体の一端のエッジを溶接して本体を形成し、前記本体の外面を放射状に取り囲む複数のリブを前記本体と溶接して製造するが、前記本体は、前記本体の外面を構成する第１金属板及び前記本体の内面を構成する第２金属板の接合体からなることを特徴とするチャンバの製造方法によって達成される。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、チャンバ本体を２枚の金属板を接合して構成することによって、耐腐蝕性と剛性とを向上させてチャンバの損傷を阻止すると共に、チャンバ内部ガスの外部への漏れを防止することができる熱処理装置のチャンバ及びその製造方法を提供することができる。
【００２３】
また、本発明によれば、内部構成を単純化し、複数のチャンバを備えることができるように拡張性を増大させた熱処理装置のチャンバ及びその製造方法を提供することができる。
【００２４】
また、本発明によれば、耐腐蝕性と剛性とを向上させ、低コストを果たすことができる熱処理装置のチャンバ及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態による熱処理装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態によるチャンバを示す斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態による本体を示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態による本体を示す分解斜視図である。
【図５】本発明の一実施形態による単位本体を溶接する方法を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
後述する本発明についての詳細な説明は、本発明が実施される特定の実施形態を例示として図示する添付図面を参照する。これら実施形態は、当業者が本発明を十分に実施可能なように詳しく説明される。本発明の多様な実施形態は、互いに異なるが、相互排他的である必要はないということを理解しなければならない。例えば、これに記載されている特定の形状、構造、及び特性は、一実施形態に関連して、本発明の精神及び範囲を外れず、他の実施形態として具現可能である。また、それぞれの開示された実施形態内の個別構成要素の位置または配置は、本発明の精神及び範囲を外れず、変更されうるということを理解しなければならない。したがって、後述する詳細な説明は、限定的な意味として取ろうとするものではなく、本発明の範囲は、適切に説明されるならば、その請求項が主張するものと均等なあらゆる範囲と共に、添付の請求項によってのみ限定される。図面で類似した参照符号は、多様な側面にわたって同一または類似した機能を指称し、長さ及び面積、厚さなどとその形態は、便宜のために誇張されて表現されることもある。
【００２７】
以下、当業者が本発明を容易に実施させるために、本発明の望ましい実施形態に関して添付図面を参照して詳しく説明する。
【００２８】
本発明の一実施形態による熱処理装置のチャンバを説明するに当って、ＣＩＧＳ層形成装置を例にあげて説明する。
【００２９】
図１は、本発明の一実施形態による熱処理装置を示す斜視図である。但し、本発明の熱処理装置のチャンバは、必ずしも図１の熱処理装置に使われるものと限定されないということを明らかにする。
【００３０】
図１を参照すれば、本実施形態による熱処理装置は、熱処理装置本体１０を含む。熱処理装置本体１０の内部には、ガラスなどの基板４５がローディングされて処理される密閉された空間１０ａが形成され、前面には、出入口１０ｂが形成される。
【００３１】
熱処理装置本体１０は、内部に密閉された空間１０ａが形成された内部チャンバ１００と内部チャンバ１００を取り囲む外部チャンバ２００とを含み、出入口１０ｂは、内部チャンバ１００の前面に形成された内部出入口１０ｂａと内部出入口１０ｂａと対向するように外部チャンバ２００の前面に形成された外部出入口１０ｂｂとを含む。
【００３２】
外部チャンバ２００の前面には、熱処理装置本体１０の前後方向及び左右方向に摺動自在に設けられて、外部出入口１０ｂｂを開閉するドア２０が設けられる。ドア２０は、熱処理装置本体１０の前面に設けられた移送装置３０によってスライディングされる。ドア２０によって外部出入口１０ｂｂが完全にシーリングされるように、ドア２０と外部チャンバ２００の前面との間には、シーリング部材（図示せず）が介在されうる。
【００３３】
基板４５は、ボート４０に積載保管され、ボート４０は、内部チャンバ１００にローディングされるか、内部チャンバ１００からアンローディングされる。したがって、基板４５は、ボート４０に積載保管された状態で内部チャンバ１００で処理される。ボート４０は、熱処理装置本体１０の前側に設けられた移送装置５０によって内部チャンバ１００にローディングするか、内部チャンバ１００からアンローディングされる。
【００３４】
図２は、本発明の一実施形態によるチャンバ１００を示す斜視図であり、図３は、本発明の一実施形態による本体１１０を示す斜視図であり、図４は、本発明の一実施形態による本体１１０を示す分解斜視図である。以下、図１の内部チャンバ１００をチャンバ１００と想定して説明する。
【００３５】
図２を参照すれば、本発明の一実施形態によるチャンバ１００は、本体１１０及びリブ１２０を含む。
【００３６】
本体１１０は、基板４５がローディングされて熱処理される空間を提供する。本体１１０は、六面体の形状を有しうる。本体１１０を六面体で形成することによって、チャンバ１００も、六面体の形状を有するので、六面体のチャンバ１００の左側、右側または上側に、さらに他のチャンバ１００を追加配置することが容易になる。したがって、複数のチャンバ１００を備えた熱処理装置を具現し、大量の基板４５を熱処理することができるという利点がある。一方、低圧でも剛性を保持可能に、本体１１０の六面体状のエッジ部分が直角エッジではない丸いエッジ状にラウンディングされうる。
【００３７】
本体１１０は、本体１１０の外面を構成する第１金属板１１１及び本体１１０の内面を構成する第２金属板１１２の接合体からなりうる。すなわち、第１金属板１１１及び第２金属板１１２を接合したクラッド（ｃｌａｄ）を用いて本体１１０の形状を作ることができる。
【００３８】
第１金属板１１１及び第２金属板１１２を接合するためには、溶接、圧着、組立て、蒸着などを使うことができるが、そのうち、爆発溶接または熱間圧延を用いて接合することが望ましい。爆発溶接（ｅｘｐｌｏｓｉｖｅ  ｗｅｌｄｉｎｇ、またはＣＬＡＤ接合）は、火薬の爆発エネルギーを用いて金属を接合させる方法であって、異種金属の接合が可能であり、接合力に優れるという長所がある。熱間圧延は、金属の再結晶温度以上の温度でローラーを用いて金属を接合させる方法であって、簡単であり、製作サイズの制限が少ないという長所がある。
【００３９】
前記爆発溶接、熱間圧延以外にも、第１金属板１１１に第２金属板１１２を接触させた後、シーリングを行うか、ボルト、ネジのような締結手段を用いて２つの金属を組立てて接合し、第１金属板１１１に第２金属物質を蒸着して２つの金属を接合することもできる。
【００４０】
第１金属板１１１は、本体１１０の外面を構成するので、外部の衝撃によって損傷が発生しないように剛性に優れ、安価な金属を採用することが望ましい。このような観点から、第１金属板１１１は、ステンレススチール（ＳＵＳ）またはスチールのうち少なくとも何れか１つを含みうる。一方、第２金属板１１２は、本体１１０の内面を構成するので、高温、ガス、化学物質などに対して耐腐蝕性に優れた金属を採用することが望ましい。このような観点から、第２金属板１１２は、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、タンタル（Ｔａ）、ニオブ（Ｎｂ）、インコネル（ｉｎｃｏｎｅｌ）またはハステロイ（ｈａｓｔｅｌｌｏｙ）のようなニッケル合金、チタン合金、コバルト合金、またはＳｉ−ＤＬＣのうち少なくとも何れか１つを含みうる。
【００４１】
リブ１２０は、本体１１０の外面を放射状に取り囲む。リブ１２０は、本体１１０の長手方向に沿って同一な間隔で複数個配置することができる。リブ１２０は、所定の高さを有し、本体１１０の外面を放射状に取り囲むので、外部チャンバ２００と内部チャンバ１００とが離隔して空間を作り、外部の衝撃から内部チャンバ１００を保護する役割を果たせる。
【００４２】
それぞれのリブ１２０を本体１１０の長手方向に沿って平行に配置せず、“＋”字状のように交差されるように配置するならば、本体１１０の熱膨張によってリブ１２０が損傷する恐れがあるので、本体１１０の外面に放射状に、すなわち、リング状に取り囲むことが望ましい。リブ１２０は、本体１１０の第１金属板１１１と同じ材質であり得る。また、本体１１０が六面体であり、六面体のエッジが直角エッジまたはラウンディングされた丸いエッジであることを考慮する時、本体１１０の外面を取り囲むリブ１２０のエッジも、直角状またはラウンディングされた丸状であり得る。
【００４３】
一方、図３及び図４を参照すれば、本体１１０は、複数の単位本体１１０ａが接合されて構成することができる。一例として、図３及び図４には、本体１１０が３つの単位本体１１０ａａ、１１０ａｂ、１１０ａｃを接合させて形成すると示されているが、本体１１０を形成する目的の範囲内で本体１１０を構成する単位本体１１０ａの個数は、増減が可能である。単位本体１１０ａの材質も、第１金属板１１１及び第２金属板１１２を接合したクラッドを利用できる。
【００４４】
図５は、本発明の一実施形態による単位本体１１０ａａ、１１０ａｂ、１１０ａｃを溶接する方法を示す断面図である。
【００４５】
図４及び図５を参照すれば、単位本体１１０ａａ、１１０ａｂ、１１０ａｃの長手方向に形成された一端のエッジ１１３ａ、１１３ｂ、１１３ｃを溶接部１５０の基点として互いに溶接Ｗすることによって、本体１１０を形成しうる。図５では、単位本体１１０ａａのエッジ１１３ａと単位本体１１０ａｂのエッジ１１３ｂとを溶接Ｗすることが示されている。この際、第１金属板１１１と同じ材質の金属を用いて第１金属板１１１ａ、１１１ｂを互いに溶接Ｗした後、第２金属板１１２と同じ材質の金属を用いて第２金属板１１２ａ、１１２ｂを互いに溶接Ｗすることが望ましい。
【００４６】
単位本体１１０ａの一端のエッジのうち、第１金属板１１１のエッジには、溶接傾斜面１１１ａａ、１１１ａｂ、１１１ｂａ、１１１ｂｂが形成されうる。例えば、溶接部１５０で単位本体１１０ａａの第１金属板１１１ａのエッジには、上部溶接傾斜面１１１ａａ及び下部溶接傾斜面１１１ａｂが形成され、単位本体１１０ａｂの第１金属板１１１ｂのエッジには、上部溶接傾斜面１１１ｂａ及び下部溶接傾斜面１１１ｂｂが形成されうる。
【００４７】
第１金属板１１１ａのエッジの上部溶接傾斜面１１１ａａと第１金属板１１１ｂのエッジの上部溶接傾斜面１１１ｂａは、所定の角度Ａを形成しうる。もちろん、第１金属板１１１ａのエッジの下部溶接傾斜面１１１ａｂと第１金属板１１１ｂのエッジの上部溶接傾斜面１１１ｂｂも、所定の角度Ａを形成しうる。この際、角度Ａが３０゜よりも小さければ、溶接を行うための面積が過度に狭くて、単位本体１１０ａａ、１１０ａｂが互いに接合され難く、角度Ａが６０゜よりも大きければ、溶接を行う面積が過度に広くなって、クラックの発生可能性があるので、角度Ａは、３０゜〜６０゜を保持したまま、特に望ましくは、４５゜を保持したまま溶接Ｗを行うことが望ましい。一方、上部溶接傾斜面１１１ａａ、１１１ｂａが形成される厚さと下部溶接傾斜面１１１ａｂ、１１１ｂｂが形成される厚さとが同一または異なり、上部溶接傾斜面１１１ａａ、１１１ｂａの間に形成される角度Ａと下部溶接傾斜面１１１ａｂ、１１１ｂｂの間に形成される角度Ａも、同一または異なりうる。
【００４８】
内部チャンバ１００の内部には、基板４５を加熱する板状のヒーター１３０が設けられることもある。ヒーター１３０は、板状に形成されて、内部チャンバ１００の内部側面、前後面及び上下面にそれぞれ設けられることもある。ヒーター１３０が、内部チャンバ１００の内部に設けられて基板４５を加熱するので、加熱性能がより向上する。一方、内部チャンバ１００の内部下面には、ボート基部１４０が形成されて、内部チャンバ１００にローディングされたボート４０が載置されうる。
【００４９】
このように、本発明による熱処理装置のチャンバ１００の本体１１０は、２枚の金属板１１１、１１２を接合した構造なので、第１金属板１１１によって剛性が向上し、第２金属板１１２によって耐腐蝕性が向上して、チャンバ１００の損傷を防止することができるという利点がある。また、チャンバ１００の損傷が防止されるので、チャンバ内部ガスの外部への漏れを防止することができる。
【００５０】
そして、本発明による熱処理装置のチャンバ１００は、複数の単位本体１１０ａを溶接して本体１１０を形成するので、内部構成を単純化し、チャンバ１００が六面体状を有するので、複数のチャンバ１００を備えることができるように拡張性が増大した熱処理装置を具現することができるという利点がある。
【００５１】
以上の詳細な説明で、本発明は、具体的な構成要素のような特定の事項と限定された実施形態及び図面とによって説明されたが、これは、本発明のより全般的な理解を助けるために提供されたものであり、本発明が、前記実施形態に限定されるものではなく、当業者ならば、このような記載から多様な修正及び変形を図ることができる。したがって、本発明の思想は、前記説明された実施形態に限って決定されてはならず、後述する特許請求の範囲だけではなく、この特許請求の範囲と均等または等価的に変形されたあらゆるものなどは、本発明の思想の範疇に属するものと認めなければならない。
【符号の説明】
【００５２】
１０    熱処理装置本体、
２０    ドア、
３０、５０    移送装置、
４０    ボート、
４５    基板、
１００    チャンバ、内部チャンバ、
１１０    本体、
１１０ａ、１１０ａａ、１１０ａｂ、１１０ａｃ    単位本体、
１１１    第１金属板、
１１１ａａ、１１１ａｂ、１１１ｂａ、１１１ｂｂ    溶接傾斜面、
１１２    第２金属板、
１１３ａ、１１３ｂ、１１３ｃ    単位本体エッジ、
１２０    リブ、
１３０    ヒーター、
１４０    ボート基部、
１５０    溶接部。
【図１】
2016538730.tif 000003
【図２】
2016538730.tif 000004
【図３】
2016538730.tif 000005
【図４】
2016538730.tif 000006
【図５】
2016538730.tif 000007
【国際調査報告】
2016538730.tif 000008
2016538730.tif 000009
2016538730.tif 000010
2016538730.tif 000011