(57)【要約】  本発明は、管（２）の外側に配置された固定子（１０）と、軸が長尺方向に変位可能となるように管（２）の中に取付けられた可動子（３０）であって、少なくとも部分的に常磁性及び／又は強磁性の材料から構成され、かつ電磁界をかけることによって第１の位置（６）と第２の位置（８）との間を可逆的に移動可能である可動子（３０）とを備え、固定子（１０）は軸方向に逆方向に分極された２つのリング永久磁石（１２、１４）と、電磁界を発生させるためのコイル（１６）と、２つの固定子の磁極片（２０、２２）を有する磁気戻り要素（１８）とを備える双安定電磁アクチュエータ（１）、および外科器具に関する。本発明によるアクチュエータ（１）を用いると、固定子の磁極片（２０、２２）を有する磁気戻り要素（１８）は、コイル（１６）を囲み、固定子の磁極片（２０、２２）はコイル（１６）の両側で、コイル（１６）とリング永久磁石（１２、１４）との間に配置され、可動子（３０）は２つの可動子の磁極片（３２、３４）を有し、固定子の磁極片（２０、２２）の軸方向の幅は、可動子の磁極片（３２、３４）の軸方向の幅よりも小さい。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
管（２）の外側に配置された固定子（１０）と、軸が長尺方向に変位可能となるように管（２）の中に取付けられた可動子（３０）であって、少なくとも部分的に常磁性及び／又は強磁性の材料の可動子（３０）であり、かつ電磁界をかけることによって第１の位置（６）と第２の位置（８）との間を可逆的に移動可能である可動子（３０）とを備え、固定子（１０）は軸方向に逆方向に分極された２つのリング永久磁石（１２、１４）と、電磁界を発生させるためのコイル（１６）と、２つの固定子の磁極片（２０、２２）を有する磁気戻り要素（１８）とを備え、固定子の磁極片（２０、２２）を有する磁気戻り要素（１８）は、コイル（１６）を囲み、固定子の磁極片（２０、２２）はコイル（１６）の両側で、コイル（１６）とリング永久磁石（１２、１４）との間に配置され、可動子（３０）は可動子の２つの磁極片（３２、３４）を有し、固定子の磁極片（２０、２２）の軸方向の幅は、可動子の磁極片（３２、３４）の軸方向の幅よりも小さいことを特徴とする、特に外科器具のための双安定電磁アクチュエータ（１）。
【請求項２】
前記固定子の磁極片（２０、２２）の前記軸方向の幅は、前記第１の位置（６）および前記第２の位置（８）の間のアクチュエータ（１）の軸方向のストロークより小さいことを特徴とする、請求項１に記載の双安定電磁アクチュエータ（１）。
【請求項３】
前記可動子の磁極片（３２、３４）を有する前記可動子（３０）は、前記固定子の磁極片（２０、２２）の軸方向における外側の間隔よりも大きい軸方向の全長を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の双安定電磁アクチュエータ（１）。
【請求項４】
前記可動子の磁極片（３２、３４）間の軸方向の中央平面（４０、４２）の間隔は、前記固定子の磁極片（２０、２２）間の軸方向の中央平面（２６、２８）の間隔よりも大きいことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の双安定電磁アクチュエータ（１）。
【請求項５】
前記固定子の磁極片（２０、２２）は、互いに同一の軸方向の幅を有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の双安定電磁アクチュエータ（１）。
【請求項６】
前記可動子の磁極片（３２、３４）は互いに同一の軸方向の幅を有することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の双安定電磁アクチュエータ（１）。
【請求項７】
前記固定子（１０）及び／又は前記可動子（３０）は、それぞれ対称面（２４、３８）を挟んで対称的に設計されていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の双安定電磁アクチュエータ（１）。
【請求項８】
前記可動子（３０）は、第１及び／又は第２の位置（６、８）においてストッパ（４４、４６）に当接する位置にあることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の双安定電磁アクチュエータ（１）。
【請求項９】
終端位置、特に前記第１あるいは第２の位置（６、８）において、該終端位置に配置された前記可動子の磁極片（３２、３４）は、少なくとも部分的に、該可動子の磁極片に対向する前記固定子の磁極片（２０、２２）を軸方向に覆い、該終端位置に配置された該可動子の磁極片（３２、３４）の中央平面（４０、４２）は、軸方向に該終端位置に向かって、該可動子の磁極片に対向する前記固定子の磁極片（２０、２２）の中央平面（２６、２８）を越えて延出することを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の双安定電磁アクチュエータ（１）。
【請求項１０】
終端位置において、該終端位置に配置されていない前記可動子の磁極片（３２、３４）は、該可動子の磁極片に対向する前記固定子の磁極片（２０、２２）を軸方向に完全に覆い、該終端位置に配置されていない該可動子の磁極片（３２、３４）の中央平面（４０、４２）は、軸方向に該終端位置に向かって、該可動子の磁極片に対向する前記固定子の磁極片（２０、２２）の中央平面（２６、２８）を越えて延出することを特徴とする、請求項１〜９のいずれか１項に記載の双安定電磁アクチュエータ（１）。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の双安定電磁アクチュエータ（１）を有する外科器具、特に内視鏡。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は双安定電磁アクチュエータ、具体的には外科器具のための双安定電磁アクチュエータに関し、管の外側に配置された固定子と、軸が長手方向に変位可能になるように管の中に取付けられた可動子であって、少なくとも部分的に常磁性及び／又は強磁性の材料から構成され、かつ電磁界をかけることによって第１の位置と第２の位置との間を可逆的に移動可能である可動子とを備え、該固定子は軸方向に逆方向に分極された２つのリング状の永久磁石と、電磁界を発生させるためのコイルと、２つの固定子の磁極片を有する磁気戻り要素とを備え、外科器具に設けられている。
【０００２】
双安定電磁アクチュエータは、２つの極端の一方における永久磁界内に保持され、電磁界を切替えることによって、一方の安定位置から他方の安定位置へと移転可能な可動子を有する。これによって、例えばスイッチが作動される。外科器具、特に内視鏡の場合、これらの小型のアクチュエータは、例えば焦点を変えるため、あるいは光学システムを拡大するため、あるいは視野方向を変えるために使用可能である。これは、アクチュエータを用いて光学部品を移動させて、該光学部品をアクチュエータの可動子の中に、あるいは接して配置することによって行われる。
【０００３】
内視鏡などの光学システムのためのリニアモータが、独国特許出願公開第１０  ２００８  ０４２  ７０１号から公知になっている。該モータは、同一方向に磁化され、磁気戻り要素によって互いに磁気的に接続された、２つの永久磁石を有する固定子を備えており、コイルが該磁石の間に設けられている。各磁石に隣接する面には、磁極片もまた、磁気戻り要素に磁気的に接続されている。該モータの可動子は、固定子の永久磁石と磁気的に係合する軟磁性材料で構成された、ヨークを備えている。コイルに電流が印加されると、可動子は静止位置から長尺方向に移動可能となる。
【０００４】
独国特許出願公開第１０  ２００８  ０４２  ７０１号による可動子は、軟磁性要素で管状に構成されるため、管状可動子の管に対する摩擦が生じると、可動子を一方の位置から他方の位置へと移動させるために、強い力を用いる必要がある。更に、独国特許出願公開第１０  ２００８  ０４２  ７０１号によるリニアモータは、比較的大型である。
【０００５】
よって本発明の目的は、より大きな変位力を小型の設計の可動子に用いることが可能な、小型の双安定電磁アクチュエータ、およびそのような双安定電磁アクチュエータを有する外科器具を提供することである。
【０００６】
この目的は、管の外側に配置された固定子と、軸が長尺方向に変位可能となるように管の中に取付けられた可動子であって、少なくとも部分的に常磁性及び／又は強磁性の材料の可動子であり、かつ電磁界をかけることによって第１の位置と第２の位置との間を可逆的に移動可能である可動子とを備え、固定子は軸方向に逆方向に分極された２つのリング永久磁石と、電磁界を発生させるためのコイルと、２つの固定子の磁極片を有する磁気戻り要素とを備え、固定子の磁極片を有する磁気戻り要素は、コイルを囲み、固定子の磁極片はコイルの両側で、コイルとリング永久磁石との間に配置され、可動子は２つの可動子の磁極片を有し、固定子の磁極片の軸方向の幅は、可動子の磁極片の軸方向の幅よりも小さいことを特徴とする、特に外科器具のための双安定電磁アクチュエータを用いることにより、達成される。
【０００７】
本発明によるアクチュエータは、コイルの効率を上げることによって、コイル電流およびコイルにおける電力散逸を最小限にすることが可能であるという、本発明の根本的な目的を達成する。これは、アクチュエータ要素の幾何学的形状によって達成される。本発明による幾何学的形状は、固定子の磁極片を有する磁気戻り要素が、コイル並びにリング磁石を独国特許出願公開第１０  ２００８  ０４２  ７０１号で開示されているようには囲まず、むしろコイルのみを囲み、その一方、リング磁石は固定子の磁極片の外側に配置される、という事実に基づいている。これらの磁性リングを用いると、半径方向に配置された軟鉄の磁気戻り要素が全く必要ないため、軸方向に磁化された磁性リングはそのために用いられる。このような理由で、固定子はより小さな半径方向のスペースにおいて構成されることが可能である。固定子の磁極片は永久磁石とコイルとの間に設けられているため、コイル効率が上昇する。これは、磁極片が磁気戻りに直接接続されているためである。これによって固定子の軸長を縮小させ、ひいては可動子の軸長も縮小させることが可能である。
【０００８】
可動子自体が可動子の磁極片を有しているため、可動子の各端部に磁極片が形成されるように、可動子は中間部分に半径方向に細くなっている。従って可動子は表面全体ではなく、磁極片の位置においてのみ管と接触している。よって、可動子が配置されている部分において可動子と管との摩擦は減少する。より小さな摩擦抵抗は必然的に打ち消されるため、このことによって切替の効率が上がる。加えて、２つの小さな接触面あるいは接触線がより小さい領域で密着することによって、例えば真直度誤差あるいは曲線の悪影響は減少する。
【０００９】
全体的にみて、このことによって好適なコイルあるいはアクチュエータ効率、並びに保持力と切替力との好適なバランスが生じる。
前記固定子の磁極片の前記軸方向の幅が、前記第１の位置および第２の位置の間のアクチュエータの軸方向のストロークより小さい場合、保持力と切替力との間に有意差が得られる。
【００１０】
有利に、前記可動子の磁極片を有する前記可動子は、前記固定子の磁極片の軸方向における外側の間隔よりも大きい軸方向の全長を有する。前記可動子の磁極片間の軸方向の中央平面の間隔は、前記固定子の磁極片間の軸方向の中央平面の間隔よりも大きいということも好ましい。これらの有利な特徴により、保持力と切替力とのバランスは好適に調整可能であり、かつ切替力を上げることが可能である。
【００１１】
前記固定子の磁極片が互いに同一の軸方向の幅を有し、及び／又は前記可動子の磁極片は互いに同一の軸方向の幅を有し、及び／又は前記固定子及び／又は前記可動子が対称面を挟んで対称的に設計されている場合、本発明によるアクチュエータの軸方向に対称的な設計は、２つの終端位置において、あるいは第１の位置および第２の位置それぞれにおいて同一の保持力が勝り、アクチュエータ内の可動子の位置を変えるために、同一の切替力が加えられるように実現される。それに加えて、挙げられた幾何学的な寸法の一部のみが対称的に実現可能である。アクチュエータが連続的な負荷に、例えば側面からさらされる場合、アクチュエータが軸方向全体に対称的になるのを防ぎ、１つの位置において別の位置よりも大きな保持力及び／又は切替力を実行することは有利になり得る。
【００１２】
前記可動子は、第１及び／又は第２の位置においてストッパに当接する位置にある。ストッパは、この位置にある可動子に及ぼされる永久磁石によって生じた力が、可動子が接して静止しているストッパに向かって更に可動子を押す、あるいは引くように、配置されていることが好ましい。
【００１３】
１つの有利な発展例において、終端位置、特に前記第１あるいは第２の位置において、該終端位置に配置された前記可動子の磁極片は、少なくとも部分的に、該可動子の磁極片に対向する前記固定子の磁極片を軸方向に覆い、該終端位置に配置された該可動子の磁極片の中央平面は、軸方向に該終端位置に向かって、該可動子の磁極片に対向する前記固定子の磁極片の中央平面を越えて延出する。
【００１４】
これは、軸方向における一時的な終端位置に近接して配置された可動子の磁極片、あるいは固定子の磁極片に関係する。内視鏡の場合、これは、遠位側の終端位置における固定子および可動子の遠位側の磁極片であろう。これらは向い合っている。近位側の終端位置において、これらは固定子および可動子の近位側の磁極片である。これらも向い合っている。
【００１５】
終端位置において、該終端位置に配置されていない前記可動子の磁極片は、該可動子の磁極片に対向する前記固定子の磁極片を軸方向に有利に完全に覆い、該終端位置に配置されていない該可動子の磁極片の中央平面は、軸方向に該終端位置に向かって、該可動子の磁極片に対向する前記固定子の磁極片の中央平面を越えて延出する。内視鏡の例では、これらは例えば、可動子および固定子の近位側の磁極片であってもよく、逆に可動子の遠位側の終端位置における磁極片であってもよい。
【００１６】
これらの２つの状況は個別にあるいは共に、それぞれの終端位置でコイルに小さな電流をかけることで、有利な磁束誘導によって非常に安定した強力な保持力が実現される、ということである。更に、このことによって可動子に作用する切替力が、強力に増加される。
【００１７】
最後に本発明は、上記の本発明による双安定電磁アクチュエータを有する外科器具、特に内視鏡によって達成される。当該アクチュエータは非常に小さく構成可能であるため、狭い内視鏡シャフトを有する内視鏡に設けることも可能である。
【００１８】
本発明の更なる特徴は、本発明の実施形態の説明、請求項及び添付の図面から明らかになるであろう。本発明の実施形態は、各特徴又はいくつかの特徴の組み合せを実現することが可能である。
【００１９】
本発明は、本発明の概念を限定することなく、図を参照した例示的な実施形態を用いて、以下で説明されている。該説明において、我々は、文中ではあまり詳細には説明されていない本発明の全ての詳細に関しては、特に図面を参照している。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明によるアクチュエータの概略的な断面を示した図である。
【図２】図２は、図１のアクチュエータの遠位側部分にあるセクションを示す図である。
【図３】図３は、図１および図４によるアクチュエータの近位側部分の概略的な図であり、保持力は可動子の位置によって変化し、本発明によるアクチュエータの切替力が従来のアクチュエータと比較されている図である。
【図４】図４は、本発明によるアクチュエータの保持力および切替力を、公知のアクチュエータとの比較において示した力／経路の図表である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下の図面において、同一あるいは類似する種類の要素及び／又は部品には、これらについて再度説明するのを省くために、同一の符号が付されている。
図１は、本発明による双安定電磁アクチュエータ１の断面を示している。該アクチュエータ１は実質的に中心軸４を中心に回転対称であり、アクチュエータ１の半分のみが図示されている。中心軸４を挟んだ鏡映によって、アクチュエータ１の全体部分が得られる。
【００２２】
以下において、アクチュエータ１は、外科器具、すなわち遠位端と近位端を有する内視鏡に配置されているものとして説明される。遠位方向とは図１〜３における左側、近位方向は右側である。
【００２３】
固定子１０は、管２の半径方向外側に配置されており、軸方向に逆方向に磁化された２つのリング磁石１２、１４を、該磁石のＳ極が図１において互いに向い合うように有している。内視鏡の中で組み合わされると、リング磁石１２は遠位側のリング磁石、リング磁石１４は近位側のリング磁石となる。
【００２４】
円筒状のコイル１６はリング磁石１２と１４との間に対称的に設けられ、同様に円筒状の磁気戻り要素１８は、コイル１６の半径方向外側に配置され、外側に対して同一平面のリング磁石１２、１４に半径方向に接している軟磁性材料で構成されている。磁気戻り要素１８は、遠位側は遠位側の固定子の磁極片２０で、かつ近位側は近位側の固定子の磁極片２２で終端している。磁気戻り要素１８および固定子の磁極片２０、２２は、単一部分として、あるいは全て軟磁性の種々の部分として構成されていてもよい。遠位側および近位側の磁極片２０、２２は、コイル１６と遠位側および近位側のリング磁石１２、１４との間に設けられている。全般的に、このことによって同一平面であり、半径方向外側で終端する表面がもたらされる。図１による固定子１０は、対称面２４を挟んで軸方向に対称的である。
【００２５】
図１によるアクチュエータ１は、具体的には全体に軟磁性材料で構成され、管２の半径方向内側に配置されている、可動子３０を有する。この可動子３０は中間部において細くなっており、遠位側の可動子の磁極片３２と近位側の可動子の磁極片３４とにおいて終端している。遠位側の可動子の磁極片３２は、実質的に遠位側の固定子の磁極片２０に対向している。可動子３０は管２に向かって間隙３６を残すように、中間部において細くなっている。可動子３０は磁極片３２、３４の内面でのみ管２に接触しているため、摩擦が減少し、管２における可動子３０の非傾斜型の配列が確保される。可動子３０は、対称面３８を挟んで軸方向に対称的である。
【００２６】
可動子３２の遠位側および近位側への動作は、遠位側ストッパ４４と近位側ストッパ４６とによって制限されている。管２において軸方向に移動可能となるように配置された可動子３０とは対照的に、ストッパ４４、４６は軸方向に固定されている。
【００２７】
図１は、可動子３０が永久磁石１２、１４によって第１の位置６に保持されている状態を示しており、この状態において可動子３０は遠位側ストッパ４５に当接する位置にある。第２の位置８は、可動子３０が近位側ストッパ４６に当接する位置となるであろう。
【００２８】
図２および図３は、図１のアクチュエータ１の幾何学的形状に関する付加的な詳細を示している。図２は、遠位側の可動子の磁極片３２の軸方向の幅が、遠位側の固定子の磁極片２０の軸方向の幅よりも大きいことを示している。可動子３０が遠位側ストッパ４５に当接する位置にある第１の位置６において、遠位側の可動子の磁極片３２と遠位側の固定子の磁極片２０との部分的な重なりが依然として存在することも示されている。この位置６において、遠位側の可動子の磁極片３２は遠位側のリング磁石１２に大幅に重なっている。
【００２９】
図２は、遠位側の固定子の磁極片２０の軸方向の中央平面２６および遠位側の可動子の磁極片３２の中央平面４０も示している。示された第１の位置６において、遠位側の可動子の磁極片３２の軸方向の中央平面４０は、遠位側の固定子の磁極片２０の軸方向の中央平面２６の遠位側に割り当てられている。遠位側の可動子の磁極片３２を有する可動子３０は遠位側のリング磁石１２により近接して配置されているため、遠位側のリング磁石１２は、近位側のリング磁石１４が可動子３０の近位側の可動子の磁極片３４に及ぼすものよりも、より大きな誘引力を可動子の磁極片３２に及ぼす。これによって可動子３０は第１の位置６に保持される。
【００３０】
図３は、可動子３０が第１の位置６において遠位側ストッパ４４に接していることを想定した場合の、アクチュエータ１の近位側領域のセクションを示している。これによって、近位側の可動子の磁極片３４がその全幅に沿って、近位側の固定子の磁極片２２に重なる。それと同時に、近位側の可動子の磁極片３４の中央平面４２は、近位側の固定子の磁極片２２の中央平面２８に対して遠位側に配置されている。可動子３０と近位側のリング磁石１４との間には重なりがないか、あるいはわずかな重なりがあるのみである。
【００３１】
可動子３０による第１の位置６から第２の位置８への変位が所望される場合、電流がコイル１６に印加され、コイル１６によって電磁的に発生された磁界は磁気戻り要素１８、固定子の磁極片２０、２２、および管２を通って、可動子３０の磁極片３２、３４へ、更にリング状の永久磁石１２、１４の永久磁界へと進む。この場合、コイル１６によって発生された磁界は、リング磁石１４によって発生された磁界を強め、リング磁石１２によって発生した磁界を打ち消す方向に向けられる。図１〜図３に示された近位側の可動子の磁極片３４の幾何学的形状は近位側の固定子の磁極片２２を完全に覆うため、この場合、非常に効率的な磁束が得られ、強力な切替力が可動子３０に及ぼされる。それと同時に、遠位側のリング磁石１２によって及ぼされる保持力は減少する。切替後、すなわち、可動子３０が第２の位置８に達した後、コイル１６への電流の印加は中断され、リング磁石１４の永久磁界からの保持力が得られる。
【００３２】
力／経路の図表である図４は、アクチュエータにおける保持力あるいは切替力の可動子の位置への依存性を、一方では図１〜３における本発明によるアクチュエータ１に関して、他方では同等な寸法を有する従来のアクチュエータに関して示している。本発明による配置の保持力５０は、公知の配置の保持力６０を約１５％超えていることが、曲線５０の傾斜が曲線６０の傾斜より約１５％急勾配に図示されていることからわかる。
【００３３】
実線および点線の曲線５２、５４、６２および６４は、それぞれ正あるいは負の切替力、すなわち、正あるいは負の電流がそれぞれのコイルにかけられた時に、可動子の位置に応じて可動子に作用する力を示している。関連するアクチュエータは対称的に構成されているため、座標系の原点の周囲１８０°の回転に関して曲線は全て対称的である。
【００３４】
曲線５２および６２と、曲線５４および６４とは、切替信号が正、あるいは切替信号が負である時の、可動子への切替力を示している。本発明によるアクチュエータでは、切替力が大幅に増加する。曲線５２および６２の例では、可動子の位置−０.０８５ｍｍにおいて、本発明によるアクチュエータの保持力から切替力へのジャンプは、従来のアクチュエータとの比較において、すなわち、一方では曲線６２と６０との違いと、他方では曲線５２と５０との違いとの比較において、７０％近く上昇したということが明らかであり、その一方、切替力と保持力との絶対差がより小さい位置＋０.０８５ｍｍにおいて、ジャンプは約２７０％相対的に上昇することになる。
【００３５】
可動子が位置−０.０８５ｍｍにある時、約−２ｍＮの保持力でこの位置に保持される。絶対値では、切替正信号が印加される時、可動子に作用する力は従来のアクチュエータで約０.４ｍＮのみであるのに対して、この力は本発明によるアクチュエータで概ね１.５ｍＮ近くであることも当該図表は示している。従って、アクチュエータに加えられる力は切替工程の開始時において、従来のアクチュエータを用いる場合と比較して既に概ね４倍大きく、切替工程はより早く開始し、可動子３０は以前の位置をより早く離れる。本発明によるアクチュエータを用いた場合、アクチュエータに作用する力は切替の全工程の間、従来のアクチュエータを用いた場合よりも大きいため、切替工程全体もより早い。
【００３６】
幾何学的形状が永久磁石１２、１４およびコイル１６のより効率的な使用につながるため、同等のサイズを用いることによって、より早い切替が実現される。
図から把握されるものも含め、挙げられた単独の特徴および他の特徴と組合せて開示されている個々の特徴の全ては、単独で、及び組合せで、本発明の本質的な要素として考慮される。本発明による実施形態は個々の特徴、あるいはいくつかの特徴の組合せによって実現可能である。
［符号の説明］
１…アクチュエータ、
２…管、
４…中心軸、
６…第１の位置、
８…第２の位置、
１０…固定子、
１２…遠位側のリング磁石、
１４…近位側のリング磁石、
１６…コイル、
１８…磁気戻り要素、
２０…遠位側の固定子の磁極片、
２２…近位側の固定子の磁極片、
２４…固定子の対称面、
２６…遠位側の固定子の磁極片の中央平面、
２８…近位側の固定子の磁極片の中央平面、
３０…可動子、
３２…遠位側の可動子の磁極片、
３４…近位側の可動子の磁極片、
３６…間隙、
３８…可動子の対称面、
４０…遠位側の可動子の磁極片の中央平面、
４２…近位側の可動子の磁極片の中央平面、
４４…遠位側のストッパ、
４６…近位側のストッパ、
５０…（本発明による）保持力、
５２…（本発明による）正パルスからの力、
５４…（本発明による）負パルスからの力、
６０…（従来のアクチュエータの）保持力、
６２…（従来のアクチュエータの）正パルスからの力、
６４   …（従来のアクチュエータの）負パルスからの力
【図１】
2016509829.tif 000003
【図２】
2016509829.tif 000004
【図３】
2016509829.tif 000005
【図４】
2016509829.tif 000006
【国際調査報告】
2016509829.tif 000007
2016509829.tif 000008
2016509829.tif 000009
2016509829.tif 000010
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