(57)【要約】 本発明は基板検査際の補償マトリックス生成方法を提供する。前記方法は基板上の測定領域ＦＯＶ内で任意で予め設定されたＮ１（Ｎ１≧２）個の特徴客体の情報を選択する段階と、前記基板上の抽出された特徴客体の情報に基いて第１補償マトリックスを生成する段階と、前記補償マトリックスに前記測定領域内の全ての特徴客体を適用して前記全ての特徴客体のそれぞれのオフセット値と予め設定された基準値を比較して前記全ての特徴客体の個数をカウントする段階と、前記段階をＮ２回（Ｎ２≧１）繰り返し遂行し、前記カウントされた特徴客体の個数が最大である場合において前記予め設定された基準値未満のオフセット値を有する特徴客体の情報を用いて第２補償マトリックスを生成する段階と、を含む。
2016538562.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の測定領域ＦＯＶ内で任意で予め設定されたＮ１（Ｎ１≧２）個の特徴客体の情報を選択する段階と、
前記基板上の抽出された特徴客体の情報に基いて第１補償マトリックスを生成する段階と、
前記補償マトリックスに前記測定領域内の全ての特徴客体を適用して前記全ての特徴客体のそれぞれのオフセット値と予め設定された基準値を比較して前記全ての特徴客体の個数をカウントする段階と、
前記段階をＮ２回（Ｎ２≧１）繰り返し遂行し、前記カウントされた特徴客体の個数が最大である場合において前記予め設定された基準値未満のオフセット値を有する特徴客体の情報を用いて第２補償マトリックスを生成する段階と、を含むことを特徴とする基板検査際の補償マトリックス生成方法。
【請求項２】
前記方法は、
前記第２補償マトリックスに前記測定領域内の全ての特徴客体を適用して前記全ての特徴客体のそれぞれのオフセット値と予め設定された基準値を比較して前記全ての特徴客体のそれぞれのオフセット値が前記予め設定された基準値未満である特徴客体を抽出する段階と、前記抽出された特徴客体の情報に基いて第３補償マトリックスを生成する段階と、  をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の基板検査際の補償マトリックス生成方法。
【請求項３】
前記第１補償マトリックス及び前記第２補償マトリックスはアフィン変換（affine  transformation）行列または射影変換（projective  transformation）行列のうち一つであることを特徴とする請求項１に記載の基板検査際の補償マトリックス生成方法。
【請求項４】
前記Ｎ２は次の数式によって決定され、
【数１】
2016538562.tif 000005
前記ｐは前記Ｎ１個の特徴客体を選択した時、前記特定オフセット値未満である特徴客体のみを選択する確率を示し、
前記ｕは一つの特徴客体を選択した時、前記選択された一つの特徴客体が特定オフセット値未満である特徴客体である確率を示すことを特徴とする請求項１に記載の基板検査際の補償マトリックス生成方法。
【請求項５】
前記特徴客体は、
前記測定領域上のホールパターン、サークルパターンまたは曲がったパターンのコーナー部分のうち少なくとも一つであることを特徴とする請求項１に記載の基板検査際の補償マトリックス生成方法。
【請求項６】
請求項第１項乃至第５項のうちいずれか一つの項の方法を遂行するためのコンピュータで駆動可能であるプログラムが貯蔵された記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板検査際の補償マトリックス生成方法に関わり、より詳細には、補償マトリックスモデルに合致される特徴客体を抽出して補償マトリックスを生成し生成された補償マトリックスの有効性を検査する基板検査際の補償マトリックス生成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、電子装置内には少なくとも一つの印刷回路基板（printed  circuit  board；ＰＣＢ）が具備され、このような印刷回路基板上には回路パターン、連結パッド部、前記連結パッド部と電気的に連結された駆動チップなど多様な回路素子が実装されている。
【０００３】
一般的に、前記のような多様な回路素子が前記印刷回路基板にまともに形成または配置されているか確認するために形状測定装置が使用される。
【０００４】
従来の形状測定装置は所定の測定領域（Field  of  View、ＦＯＶ）を設定して、前記測定領域内で所定の回路素子がまともに形成されているかを検査する。
【０００５】
測定領域は測定を所望する位置に正確に設定されていてこそ測定を要する回路素子の測定がまともに遂行できるが、印刷回路基板のような測定対象物はベース基板が撓み（warp）、歪み（distortion）などの歪曲が発生するのでそれを補償しなければならない。
【０００６】
それのために測定領域上の曲がったパターンまたはホールパターンなどのような特徴客体を用いて補償マトリックスを生成して測定領域内のパッド位置を補償することができる。この際、生成された補償マトリックスを信頼できるかが問題となり得る。従って、補償マトリックスの信頼性を構造させることのできる補償マトリックス生成方法が要求される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記技術的課題を解決するために、本発明は現在の測定領域ＦＯＶ内の特徴客体の情報を用いて補償マトリックスを生成する場合、補償マトリックスのモデルに合致される特徴客体を抽出して補償マトリックスを生成し、生成された補償マトリックスの有効性を判断するための基板検査際の補償マトリックスの生成方法を提供することをその目的とする。
【０００８】
本発明の目的は以上で言及したものに限られず、言及されていない他の目的は下記の記載から本発明が属する技術分野の通常の知識を有した者に明確に理解されるだろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための本発明の一特徴による基板検査際の補償マトリックス生成方法は、基板上の測定領域ＦＯＶ内で任意で予め設定されたＮ１（Ｎ１≧２）個の特徴客体の情報を選択する段階と、前記基板上の抽出された特徴客体の情報に基いて第１補償マトリックスを生成する段階と、前記補償マトリックスに前記測定領域内の全ての特徴客体を適用して前記全ての特徴客体のそれぞれのオフセット値と予め設定された基準値を比較して前記全ての特徴客体の個数をカウントする段階と、前記段階をＮ２回（Ｎ２≧１）繰り返し遂行し、前記カウントされた特徴客体の個数が最大である場合において前記予め設定された基準値未満のオフセット値を有する特徴客体の情報を用いて第２補償マトリックスを生成する段階と、を含む。
【００１０】
前記方法は、前記第２補償マトリックスに前記測定領域内の全ての特徴客体を適用して前記全ての特徴客体のそれぞれのオフセット値と予め設定された基準値を比較して前記全ての特徴客体のそれぞれのオフセット値が前記予め設定された基準値未満である特徴客体を抽出する段階と、前記抽出された特徴客体の情報に基いて第３補償マトリックスを生成する段階と、をさらに含んでいても良い。
【００１１】
前記第１補償マトリックス及び前記第２補償マトリックスはアフィン変換（affine  transformation）行列または射影変換（projective  transformation）行列のうち一つであってもよい。
【００１２】
前記Ｎ２は次の数式によって決定され、
【００１３】
【数１】
2016538562.tif 000003
【００１４】
前記ｐは前記Ｎ１個の特徴客体を選択した時、前記特定オフセット値未満である特徴客体のみを選択する確率を示し、前記ｕは一つの特徴客体を選択した時、前記選択された一つの特徴客体が特定オフセット値未満である特徴客体である確率を示しても良い。
【００１５】
前記特徴客体は、前記測定領域上のホールパターン、サークルパターンまたは曲がったパターンのコーナー部分のうち少なくとも一つであってもよい。
【００１６】
前記方法を遂行するためのコンピュータで駆動可能であるプログラムは記録媒体に貯蔵されてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の実施形態による基板検査際の補償マトリックス生成方法によると、基板検査際のパッドの位置を補償するための補償マトリックスの生成の際に補償マトリックスの信頼性を向上させることができ、それによって、基板検査結果の正確度を向上させることができる。
【００１８】
本発明の効果は以上で言及したのに制限されなく、言及されていないさらに他の効果は下記の記載から本発明が属する技術分野の通常の知識を有した者に明確に理解されるだろう。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態による基板検査際の測定領域補償方法を遂行するための基板検査装置の構成図である。
【図２】本発明の実施形態による基板検査際の測定領域補償方法に適用するためのアルゴリズムを説明するための図面である。
【図３】本発明の実施形態による基板検査際の測定領域補償方法の順序図を示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の目的及び効果、それからそれを達成するための技術的な構成は添付される図面と共に詳細に後で説明される実施形態を参照すると明確になる。本発明を説明するにおいて公知機能または構成に対する具体的な説明が本発明の要旨を不必要に濁すと判断される場合にはその詳細な説明を省略する。また、後で説明される用語は本発明での構造、役割及び機能などを考慮して定義された用語としてこれは使用者、運用者の意図または慣例などによって異なっても良い。
【００２１】
しかし、本発明は以下で開示される実施形態に限定されるものでなく互いに異なる多様な形態に具現されてもよい。ただ、本実施形態は本発明の開示が完全であるようにし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるのであり、本発明は特許請求範囲に記載された請求項の範疇によって定義されるだけである。よって、その定義は本明細書全般に渡る内容に基づくべきである。
【００２２】
明細書全体において、ある部分がある構成要素を“含む”とする時は、それは特別に反対される記載がない限り他の構成要素を除くのではなく他の構成要素をさらに含めることを意味する。
【００２３】
以下、図面を参照して本発明の好適な一実施形態をより詳細に説明する。
【００２４】
図１は本発明の一実施形態による基板検査際の測定領域補償方法を遂行するための基板検査装置の構成図である。
【００２５】
前記図１に示されたように、基板検査装置１００は基板検査装置１００の作動を制御し各種機能を遂行するための演算を処理する制御部１１０と、検査対象である基板を移送及び搭載して固定するステージ部１２０、前記ステージ部１２０に搭載された基板に対して検査を遂行するための測定部１３０と基板検査装置１００を駆動するためのプログラム及びデータを貯蔵するメモリー部１４０、基板検査装置１００の作動状態及び検査結果などを出力するためのディスプレイ部１５０及び使用者の命令の入力を受けるための使用者インタフェース部１６０などを含んでいても良い。
【００２６】
まず、基板検査を遂行するための検査領域を設定するために基板上に測定領域を設定する。前記測定領域は前記基板の不良可否を検査するために前記基板上に設定された所定の領域を意味し、基板上に前記測定領域は複数個存在してもよい。前記測定領域は前記測定部１３０に含まれたカメラ（図示せず）の撮影範囲（Field  of  View、ＦＯＶ）を基準として設定されてもよい。
【００２７】
続いて、前記測定領域に対する基準データを獲得する。前記基準データは例えば、基板に対する理論的な平面イメージであってもよい。前記基準データは前記基板に対する形状を記録したキャド（ＣＡＤ）情報やガーバ情報から獲得できる。前記キャド情報やガーバ情報は前記基板の設計基準情報を含み、一般的にパッド、回路パターン、ホールパターンなどに関する配置情報を含む。
【００２８】
一方、前記基準データは学習モードによって得られた学習情報から獲得できる。前記学習モードは例えば、前記メモリー部１４０で基板情報を検索して検索結果基板情報がないとベーア基板学習を実施し、続いて、前記ベーア基板学習が完了されてベーア基板のパッド及び配線情報などのような基板情報が算出されると前記基板情報を前記データベースに貯蔵する方式などのように具現されてもよい。即ち、前記学習モードで印刷回路基板のベーア基板を学習して印刷回路基板の設計基準情報が獲得され、前記学習モードを通じて学習情報を獲得することで前記基準データを獲得することができる。
【００２９】
次に、前記測定領域に対する測定データを獲得する。前記測定データは前記基準データに対応する前記基板を前記基板検査装置１００で実際撮影したイメージであってもよい。前記測定データは基準データと類似するが、前記基板の撓みまたは歪みによって基準データに比べて多少歪曲されてもよい。
【００３０】
従って、このような歪曲を補償するために測定領域の特徴客体の座標を用いて補償マトリックスを生成し、それを用いて測定領域上のパッドの位置を補償することができる。前記特徴客体は前記基板上のホールパターン、サークルパターンまたは曲がったパターンのコーナー部分のうち少なくとも一つであってもよい。
【００３１】
この際、測定領域内の特徴客体を選択し該当特徴客体の情報を用いて補償マトリックスを生成するが、特徴客体のうち複数の特徴客体が示す傾向と異なる傾向を示す特徴客体が存在し得るが、異なる傾向を示す特徴客体の情報が補償マトリックスに複数含まれるほど補償マトリックスの信頼性が低くなり、それを用いた補償の結果も信頼性が低くなる。
【００３２】
このような問題点を解決するための本発英の実施形態においては補償マトリックスによく合う特徴客体を抽出して該当特徴客体の情報を用いて補償マトリックスを生成するために次のようなアルゴリズムを適用する。
【００３３】
図２は本発明の実施形態による基板検査際の測定領域補償方法に適用するためのアルゴリズムを説明するための図面である。
【００３４】
データセットが正しい情報（inlier）を含んでいると仮定下に、データの一部セットを用いて数式モデルを生成する場合、該当モデルに合わない情報（outlier）が存在し得る。前記図２に示されたように青い色で表示されたポイントは数式モデルによく合致されるポイントである反面赤い色で表示されたポイントは数式モデルによく合致されないポイントとして見ることができる。この際、データセットで正しい情報（inlier）が十分に多い場合正しい情報からのみ計算可能なモデルを生成することができる。
【００３５】
図３は本発明の実施形態による基板検査際の測定領域補償方法の順序図を示す図面である。
【００３６】
前記図３に示されたように、まず、基板上の測定領域ＦＯＶ内で任意で予め設定されたＮ１（Ｎ１≧２）個の特徴客体を選択する（Ｓ１００）。選択する特徴客体の数は基板検査装置１００で設定可能である。この際、特徴客体は任意で選択され、任意で特徴客体を選択するためのアルゴリズムであると全部適用可能である。
【００３７】
それから、選択された特徴客体の情報に基づいて第１補償マトリックスを生成する（Ｓ１１０）。この際、第１補償マトリックスはアフィン変換マトリックスまたは射影変換マトリックスであってもよい。
【００３８】
また、前記第１補償マトリックスに前記測定領域内の全ての特徴客体を適用して前記全ての特徴客体のそれぞれのオフセット値と予め設定された基準値とを比較して前記全ての特徴客体のそれぞれのオフセット値が前記予め設定された基準値未満である特徴客体の個数をカウントする（Ｓ１２０）。前記第１補償マトリックス上に測定領域内の全ての特徴客体を適用して特徴客体それぞれのオフセット値を確認することができる。この際、前記オフセット値が予め設定された基準値未満の場合であると、該当特徴客体は補償マトリックスによく合う有効な特徴客体として判断することができる。
【００３９】
この際、前記予め設定された値はカメラの最小画素（pixel）単位で設定してもよく、例えば、１または２の値を有してもよい。
【００４０】
続いて、前記段階（Ｓ１００〜S１２０）をＮ２回（Ｎ２≧１）繰り返し遂行し、前記カウントされた特徴客体の個数が最大の場合において前記予め設定された基準値未満のオフセット値を有する特徴客体の情報を用いて第２補償マトリックスを生成する（Ｓ１３０）。前記段階をＮ２回繰り返し遂行して予め設定された基準値未満を満たす特徴客体の個数が最大である補償マトリックスを見つけ該当補償マトリックスで予め設定された基準値未満を満足する特徴客体の情報を用いて第２補償マトリックスを生成する。
【００４１】
この際、前記Ｎ２回は次のような数式１によって決定されてもよい。
【００４２】
数式１
【数１】
2016538562.tif 000004
【００４３】
前記ｐはＮ１個の特徴客体を選択した時、特定オフセット値未満である特徴客体のみを選択する確率を示し、ｕは一つの特徴客体を選択した時、該当特徴客体が特定オフセット値未満である特徴客体である確率を示す。
【００４４】
前記第２補償マトリックスを最終的な補償マトリックスとすることもできるが、補償マトリックスの信頼度をより向上させるために次のような過程をさらに遂行する。
【００４５】
まず、前記第２補償マトリックスに前記測定領域内の全ての特徴客体を適用して前記全ての特徴客体のそれぞれのオフセット値と予め設定された基準値を比較して前記全ての特徴客体のそれぞれのオフセット値が前記予め設定された基準値未満である特徴客体を抽出する（Ｓ１４０）。
【００４６】
次に、抽出された特徴客体の情報を前記抽出された特徴客体の情報に基いて第３補償マトリックスを生成する（Ｓ１５０）。
【００４７】
前記のように補償マトリックスモデルによく合致される特徴客体の情報を用いて補償マトリックスを生成することで補償マトリックスの信頼性を向上させることができ、基板検査結果の正確性を向上させることができる。
【００４８】
前記において説明した本発明の実施形態による基板検査際の補償マトリックス生成方法は多様なコンピュータ手段を通じて遂行できるプログラム命令形態で具現されコンピュータ判読可能媒体に記録されてもよい。前記コンピュータ前記コンピュータ判読可能媒体はプログラム命令、データファイル、データ構造などを単独または組合して含んでいても良い。前記媒体に記録されるプログラム命令は本発明のために特別に設計され構成されたのであるかコンピュータソフトウェア、当業者に公知されて使用可能であってもよい。コンピュータ判読可能記録媒体の例にはハードディスク、フロッピーディスク及び磁気テープのような磁気媒体（magnetic  media）、 ＣＤ-ＲＯＭ、ＤＶＤのような光記録媒体（optical  media）、フロプティカルディスクのような磁気-光媒体（magneto-optical  media）、及びロム（ＲＯＭ）、ラム（ＲＡＭ）、フレッシュメモリーなどのようなプログラム命令を貯蔵し遂行するように特別に構成されたハードウェア装置が含まれる。プログラム命令の例としてはコンパイラーによって作られるようなマシンコードだけではなくインタープリターなどを使用してコンピュータによって実行できる高級言語コードを含む。
【００４９】
本発明の実施形態による基板検査際の測定領域補償方法によると、現在の測定領域内の特徴客体の情報を用いて生成する補償マトリックスの有効性が信頼できない時隣接した測定領域内の特徴客体の情報を用いて補償マトリックスを生成することで現在の測定領域に対する基板検査結果の信頼度を向上させることができる。
【００５０】
以上、本発明の実施形態によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者であれば、本発明の思想と精神を離れることなく、構成要素の付加、変更、削除または追加などによって本発明を修正または変更でき、それも本発明の権利範囲内に含まれる理解されるだろう。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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