(57)【要約】  露光機のマスクセッティング装置であって、マスク（９）を固定するためのマスクフレーム（８）と、マスクフレーム（８）を支持するために、マスクフレーム（８）の下方に設置されたエアバッグ（６、７）と、エアバッグ（６、７）が供気管路によって連通される気体供給ユニットと、を備え、供気管路に気動スイッチングバルブ（１０、１１）が設置される。気体供給ユニットの供給が中断された時、気動スイッチングバルブが供気管路を閉じて、エアバッグの漏気を防止する。このような設置によって、気体供給ユニットの供給が中断された後に、気動スイッチングバルブが自動的に閉鎖状態に切換え、エアバッグ内の気体を塞いでエアバッグの漏気によりマスクフレームが落ちることを防止する。気体供給ユニットが正常に供給した後に、気動スイッチングバルブは、供気管路を制御して続いてエアバッグに気体を供給することで、気体供給ユニットの中断によりマスクフレームが落ちることを防止する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクを固定するためのマスクフレームと、
前記マスクフレームを支持するために、前記マスクフレームの下方に設置されたエアバッグと、
供気管路によって前記エアバッグが連通される気体供給ユニットと、を備え、
前記供気管路に気動スイッチングバルブが設置され、前記気体供給ユニットの供給が中断された時、前記気動スイッチングバルブが前記供気管路を閉じてエアバッグの漏気を防止することを特徴とする、露光機のマスクセッティング装置。
【請求項２】
前記エアバッグが複数であり、間隔を空けて前記マスクフレームの下方に設置されることを特徴とする、請求項１に記載の露光機のマスクセッティング装置。
【請求項３】
前記供気管路が、制御管路および複数のマニホルド供気管路を備え、前記マニホルド供気管路が前記エアバッグに連通され、前記制御管路が前記気体供給ユニットおよび前記複数のマニホルド供気管路に連通され、
前記気動スイッチングバルブが、前記制御管路又は前記複数のマニホルド供気管路に設置され、或いは、前記制御管路及び前記複数のマニホルド供気管路の両方に同時に設置されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の露光機のマスクセッティング装置。
【請求項４】
前記制御管路に、通気バルブ、総減圧バルブ、および総圧力計がさらに設置されることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載の露光機のマスクセッティング装置。
【請求項５】
前記通気バルブ、総減圧バルブ、および総圧力計が、前記制御管路における、前記気体供給ユニットに近い一端に設置され、総気動スイッチングバルブが、前記制御管路における、前記エアバッグに近い一端に設置されることを特徴とする、請求項４に記載の露光機のマスクセッティング装置。
【請求項６】
前記複数のマニホルド供気管路に、減圧バルブおよび圧力計がさらに設置されていることを特徴とする、請求項３に記載の露光機のマスクセッティング装置。
【請求項７】
前記減圧バルブおよび圧力計が、前記マニホルド供気管路における、前記気体供給ユニットに近い一端に設置され、マニホルド気動スイッチングバルブが、前記マニホルド供気管路における、前記エアバッグに近い一端に設置されることを特徴とする、請求項６に記載の露光機のマスクセッティング装置。
【請求項８】
前記露光機のマスクセッティング装置が、支持部をさらに備え、
前記支持部が、前記マスクを支持するために、前記マスクの下部縁部に設置され、
前記支持部が、リンクによってシリンダのシリンダピストンに連結され、前記シリンダがオートロック型シリンダであり、前記支持部が前記シリンダピストンの伸縮に引かれ、前記マスクに近づいたり、或いは前記マスクから離れたりすることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載の露光機のマスクセッティング装置。
【請求項９】
前記シリンダは、前記気体供給ユニットから圧縮気体を提供されることを特徴とする、請求項８に記載の露光機のマスクセッティング装置。
【請求項１０】
前記マスクフレーム内に、前記マスクを固定するための真空吸着カップが設置されていることを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項に記載の露光機のマスクセッティング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクフレームの脱落を防止できる露光機のマスクセッティング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
マスク（Ｍａｓｋ）は、露光設備にとって重要な部品であり、その使用時に特定の装置で挟んで支持する必要がある。図１に示すように、マスク９は露光設備のマスクフレーム８上にセッティングされる。マスクフレーム８は、正方形のフレーム構造であり、マスク９はマスクフレーム８の中心位置に位置する。マスク９の縁部領域の上部および下部は、吸着或いは支持構造によってマスク９の安定を確保する。具体的に、マスクフレーム８上に負圧ユニットを設置してマスク９の縁部領域の上部を吸着し、マスク９の縁部領域の下部に支持部を設置してマスク９を支持する。負圧ユニットが中断された時、支持部によってマスク９を支持してマスク９の確実的な固定を確保する。支持部は、シリンダピストンに連結され、シリンダピストンの伸縮に連動して作動する。
【０００３】
さらに、マスクフレーム８は、図１に示された第１エアバッグ６および第２エアバッグ７のような複数のエアバッグに支持される。マスク９が正常状態にある場合、エアバッグに連通する圧縮ドライエア（Ｃｏｍｐｒｅｓｓｅｄ  Ｄｒｙ  Ａｉｒ，ＣＤＡ）供給ユニットからエアバッグに気体を提供することで、エアバッグが、マスク９の安全状態を維持するように、マスクフレーム８の下方で支持する。エアバッグは４組に分けて、それぞれがマスクフレーム８の４つのフレーム構造の下方に設けられる。ＣＤＡ供給ユニットと各組のエアバッグとの間のマニホルド供気管路ごとに、減圧バルブと圧力計が設けられている。例えば、図１に示すような第１減圧バルブ４および第１圧力計５が設けられている。また、ＣＤＡ供給ユニットの供気一端寄りのメイン供気管路には、通気バルブ１、総減圧バルブ２、および総圧力計３が設けられている。減圧バルブおよび圧力計によって供気の安全性を保証し、且つ、提供される圧縮気体の圧力が要求を満たすように確保する。ＣＤＡ供給ユニットは、エアバッグに気体を提供するほか、上述したシリンダに動力を提供する。しかし、上記構造には、ＣＤＡ供給ユニット又は負圧ユニットの供給に異常が発生した場合、エアバッグから漏気が発生され、シリンダのピストンが回縮したり、或いは、負圧ユニットの吸着力が消えたりして、マスクフレームが降下し、マスクが落ちて破壊され、損失がとても厳しい。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、マスクのセッティング装置において、ＣＤＡ供給ユニット又は負圧ユニットの供給の異常によるマスクのダメージを防止することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明で提供する露光機のマスクセッティング装置は、
マスクを固定するためのマスクフレームと、
マスクフレームを支持するために、上記マスクフレームの下方に設置されたエアバッグと、
上記エアバッグが供気管路によって連通される気体供給ユニットと、を備え、
上記供気管路に気動スイッチングバルブが設置され、気体供給ユニットの供給が中断された時、上記気動スイッチングバルブが供気管路を閉じてエアバッグの漏気を防止する。
【０００６】
例えば、上記エアバッグは複数であり、間隔を空けて上記マスクフレームの下方に設置される。
【０００７】
例えば、上記供気管路は、制御管路および複数のマニホルド供気管路を備え、上記複数のマニホルド供気管路が上記エアバッグに連通され、上記制御管路が上記気体供給ユニットおよび複数のマニホルド供気管路に連通され、
上記気動スイッチングバルブが、上記制御管路又は上記複数のマニホルド供気管路に設置され、或いは、上記制御管路及び上記複数のマニホルド供気管路の両方に同時に設置される。
【０００８】
例えば、上記制御管路には、通気バルブ、総減圧バルブ、および総圧力計がさらに設置される。
【０００９】
例えば、上記通気バルブ、総減圧バルブ、および総圧力計は、制御管路における、上記気体供給ユニットに近い一端に設置され、上記総気動スイッチングバルブは、制御管路における、エアバッグに近い一端に設置される。
【００１０】
例えば、上記マニホルド供気管路には、減圧バルブおよび圧力計がさらに設置されている。
【００１１】
例えば、上記減圧バルブおよび圧力計は、マニホルド供気管路における、上記気体供給ユニットに近い一端に設置され、上記マニホルド気動スイッチングバルブは、マニホルド供気管路における、エアバッグに近い一端に設置される。
【００１２】
例えば、上記露光機のマスクセッティング装置は、支持部をさらに備え、
上記支持部が、マスクを支持するために、上記マスクの下部縁部に設置され、
上記支持部が、リンクによってシリンダのシリンダピストンに連結され、上記シリンダがオートロック型シリンダであり、上記支持部が上記シリンダピストンの伸縮に引かれ、上記マスクに近づいたり、或いは上記マスクから離れたりする。
【００１３】
例えば、上記シリンダは、上記気体供給ユニットから圧縮気体を提供される。
【００１４】
例えば、上記マスクフレーム内には、マスクを固定するための真空吸着カップが設置されている。
【００１５】
本発明の実施例の技術案をより明確に説明するために、以下、実施例の図面を簡単に説明する。明らかに、以下で述べる図面は、ただ本発明の実施例の一部に係り、本発明に対する制限ではない。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、従来技術における露光機のマスクセッティング装置の構造を示す概略図である。
【図２】図２は、本発明の実施例に係る露光機のマスクセッティング装置の構造を示す概略図である。
【図３】図３は、図２の一部構造の拡大図である。
【図４】図４は、本発明の他の実施例に係る露光機のマスクセッティング装置の、図３に対応する拡大図である。
【図５】図５は、本発明のもう１つの実施例に係る露光機のマスクセッティング装置の、図３に対応する拡大図である。
【図６】図６は、本発明のさらにもう１つの実施例に係る露光機のマスクセッティング装置の、図３に対応する拡大図である。
【図７】図７は、本発明の実施例に係る露光機のマスクセッティング装置において、マスクの脱落防止構造の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施例の目的、技術案、およびメリットをより明確に説明するために、図面を参照しながら、本発明の技術案をより明確且つ完全に説明する。明らかに、説明される実施例は本発明の部分的実施例に過ぎなく、全部の実施例ではない。説明される本発明の実施例に基づいて、当業者が創造的な活動を行うことなく得られる全てのほかの実施例も本発明の保護範囲内に入るべきである。
【００１８】
図２は、本発明の１つの例示的な実施例に係る露光機のマスクセッティング装置の構造概略図である。図３は、図２中の一部構造の拡大図である。図４は、マスクの脱落防止構造の概略図である。図２および図３を参照すると、本実施例において、上記露光機のマスクセッティング装置は、マスク９を固定するためのマスクフレーム８と、マスクフレーム８を支持するために上記マスクフレーム８の下方に設置された複数のエアバッグと、前記エアバッグに連通されている気体供給ユニット（図示せず）と、を備え、該気体供給ユニットはＣＤＡ供給ユニットであり、上記気体供給ユニットとエアバッグとの間を連通する供気管路には気動スイッチングバルブが設置され、気体供給ユニットの供給が中断された時、気動スイッチングバルブは、マスクフレーム８が落ちることを避けるように、供気管路を制御して閉じることでエアバッグの漏気を防止する。
【００１９】
通常、上記マスクフレーム８の下方に間隔を空けて複数のエアバッグを配置する。例えば、図面に示した第１エアバッグ６および第２エアバッグ７を配置する。エアバッグと気体供給ユニットとを連通させる供気管路は、制御管路と複数のマニホルド供気管路を備え、上記マニホルド供気管路が上記エアバッグと連通し、上記制御管路が上記気体供給ユニットとマニホルド供気管路とを連通させる。気体供給ユニットから提供される気体は、まず、制御管路を通過し、そして、各マニホルド供気管路を介して各エアバッグに供給される。気体供給ユニットの供給が中断された時、エアバッグが漏気され気体が還流することを防止するために、上記気動スイッチングバルブは、上記制御管路に単独に設置されてもよく、上記マニホルド供気管路に単独に設置されてもよく、或は、上記制御管路およびマニホルド供気管路に同時に設置されてもよい。
【００２０】
以下、気動スイッチングバルブが上記制御管路およびマニホルド供気管路に同時に設置されている場合を例として、その構造および動作原理に対して説明する。
【００２１】
当該実施例において、供気管路における気動スイッチングバルブは、図面に示した第１マニホルド気動スイッチングバルブ１１と総気動スイッチングバルブ１０を備える。上記気体供給ユニットの供給が正常に動作する場合、高圧の圧縮気体は、総気動スイッチングバルブ１０が「開」状態になるように、総気動スイッチングバルブ１０を開けることができる。さらに、高圧の圧縮気体は、各マニホルド気動スイッチングバルブが「開」状態になるように、各マニホルド気動スイッチングバルブに通じて各マニホルド気動スイッチングバルブを開く。この状態で、上記気体供給ユニットから各エアバッグに連通する供気管路におけるスイッチングバルブが全部開けられ、気体が順調に供給される。上記気体供給ユニットの供給が中断された場合、総気動スイッチングバルブ１０および各マニホルド気動スイッチングバルブのいずれにもバルブを開ける高圧圧縮エアがなく閉じる状態にあり、エアバッグ内の気体も各マニホルド気動スイッチングバルブに閉鎖され、漏気の情況が発生しなく、マスクフレーム８が落ちないように、エアバッグがマスクフレーム８の下方で正常に支持することを確保する。
【００２２】
上記制御回路において、上記気体供給ユニットに近い一端に通気バルブ１、総減圧バルブ２、および総圧力計３を設置する。通気バルブ１は、総減圧バルブ２と上記気体供給ユニットとの間に位置し、総気動スイッチングバルブ１０は、制御管路における、エアバッグに近い一端に設置され、通気バルブ１、総減圧バルブ２、および総圧力計３によって、上記気体供給ユニットに対するスイッチング制御及び圧力の実時間監視を実現し、総気動スイッチングバルブ１０及び各エアバッグに連通する圧縮気体が需要する圧力要求を満たすことを確保する。各マニホルド供気管路には、減圧バルブ及び圧力計、例えば、図面に示された第１減圧バルブ４および第１圧力計５がさらに設置される。上記減圧バルブ及び圧力計は、マニホルド供気回路における、上記気体供給ユニットに近い一端に設置され、上記マニホルド気動スイッチングバルブは、マニホルド供気回路における、エアバッグに近い一端に設置される。減圧バルブおよび圧力計は、上記気体供給ユニットからエアバッグに供給される気体の圧力パラメータをリアルタイムに監視する。
【００２３】
上記総気動スイッチングバルブ１０と各マニホルド気動スイッチングバルブの設置は、気体供給ユニットの供給の中断によりマスクフレーム８が落ちることを防止し、且つ、２重気動スイッチングバルブの設置は、エアバッグ内の気体が漏気して還流しないようにより効果的に確保するため、重量が大きいマスクフレーム構造により効果よく適用できる。同時に、実際情況に基づいて、マスクフレームの重量があまり大きくない場合、前記のように、気動スイッチングバルブを単独に上記制御管路に設置したり、或は、単独に上記マニホルド供気管路に設置したりしても、気体供給ユニットの供給が中断された時、気動スイッチングバルブが供気管路を閉じて、エアバッグの漏気を防止できる。気動スイッチングバルブが単独に上記制御管路に設置された構造の概略図は、図４に示すように、気動スイッチングバルブの設置位置は、上記総気動スイッチングバルブ１０の設置位置と同じであり、この時、各マニホルド供気管路に減圧バルブおよび圧力計のみを設置すればよい。気動スイッチングバルブが単独に上記マニホルド供気管路に設置された構造の概略図は、図５又は図６に示すように、気動スイッチングバルブの設置位置は、上記マニホルド気動スイッチングバルブの設置位置と同じであり、この時、制御管路に通気バルブ１、総減圧バルブ２、および総圧力計３のみを設置すればよい。
【００２４】
さらに、図７に示すように、本実施例に係る露光機のマスクセッティング装置は、上記マスク９を支持するために、上記マスク９の下部縁部に設置された支持部１２を備える。上記支持部１２は、リンク１５を介してシリンダのシリンダピストン１３に連結され、上記シリンダは、オートロック型シリンダ１４であり、上記気体供給ユニットから圧縮気体を提供される。図７のＢおよびＣに示すように、上記支持部１２は、上記シリンダピストン１３の伸縮に引かれ、上記マスク９に近づいたり、或いは上記マスク９から離れたりする。通常、マスク９は、上部負圧ユニットにおける真空吸着カップの吸着によって固定される。負圧ユニットは、図６に示したＡ箇所で真空吸着することで、マスク９に対する吸着機能を実現する。負圧ユニットが中断された場合、マスク９は、その下部の支持部１２の支持作用によって固定され、下部支持部１２はオートロック型シリンダ１４のシリンダピストン１３の作用で、マスク９に対する支持を実現し、オートロック型シリンダ１４は、上記気体供給ユニットから圧縮気体を供給され、上記気体供給ユニットの供給が中断された場合、オートロック型シリンダ１４のオートロック型作用によって、シリンダピストン１３の回縮を防止し、支持部１２がマスク９の下部で支持続けるように保持して、負圧ユニットおよび気体供給ユニット両方の同時中断によってマスク９が落ちることを防止する。
【００２５】
気体供給ユニットの中断後に、続いて気体供給を実現するために、上記気動スイッチングバルブの優れる気密性を確保するとともに、気体供給が気体を続いて供給する時に気動スイッチングバルブを開けることを実現できるべきであり、オートロック型シリンダが十分なロッキング力を具備するとともに、気体供給ユニットが続いて供気を行う時、オートロック型シリンダのロッキングを解除させることができるべきである。
【００２６】
以上の実施例から分かるように、本発明は、エアバッグの供気管路に気動スイッチングバルブを設置することで、気体供給ユニットの供給が中断された後に、気動スイッチングバルブが自動的に閉鎖状態に切換え、エアバッグ内の気体の還流を防止し、エアバッグの漏気によりマスクフレームが落ちることを防止する。気体供給ユニットが正常に供給した後に、気動スイッチングバルブは、供気管路を制御して続いてエアバッグに気体を供給することで、気体供給ユニットの中断によりマスクフレームが落ちることを防止し、マスクのダメージを防止する。さらに、マスクの下部縁部にオートロック型シリンダによって制御される支持部を設置して、負圧供給が中断された時に、オートロック型シリンダがシリンダピストンをロッキングすることで、支持部がマスクから離れなく、マスクが落ちることを防止する。オートロック型シリンダは、気体供給ユニットによって駆動され、気体の供給がないと、ロッキングが解除されなく、負圧と気体供給が正常になった後に、ロッキングが自動的に解除される。
【００２７】
以上の説明はただ例示的なものであり、本発明の制限するものではない。この分野の従業者なら、本願の特許請求の旨と範囲を超えない情況で、いろいろな変形や変更を行うことができ、これらも本発明の保護範囲内に入るべきである。
【符号の説明】
【００２８】
１  ・・・通気バルブ
２  ・・・総減圧バルブ
３  ・・・総圧力計
４  ・・・第１減圧バルブ
５  ・・・第１圧力計
６  ・・・第１エアバッグ
７  ・・・第２エアバッグ
８  ・・・マスクフレーム
９  ・・・マスク
１０  ・・・総気動スイッチングバルブ
１１  ・・・第１マニホルド気動スイッチングバルブ
１２  ・・・支持部
１３  ・・・シリンダピストン
１４  ・・・オートロック型シリンダ
１５  ・・・リンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2016510427.tif 000009
【国際調査報告】
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2016510427.tif 000012
2016510427.tif 000013