(57)【要約】【課題】サセプタにウェハを自動搭載することを改善する。【解決手段】ウェハ担持具１１上にウェハを方向定位する装置が、ウェハ担持具１１を設置するためのベース部品２と心出し部品１とを有し、ベース部品２はウェハ担持具１１の対向心出し部分１０と相互作用する心出し部分３を具備することにより、ウェハ担持具１１がベース部品２に対する所定の位置をとることができ、心出し部品１はベース部品２の上方に配置され、ベース部品２に対して所定の位置にありかつ調整部品担持具５を具備する。調整部品担持具５の上に調整部品がウェハの輪郭に対応する配列にて配置されることにより、ウェハ担持具の支持面１１’に平行な面にウェハの方向を向けさせる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハ担持具（１１）上へウェハを方向定位するための装置であって、前記ウェハ担持具（１１）を載置するためのベース部品（２）と、心出し部品（１）と、を有し、
前記ベース部品（２）は心出し部分（３）を具備し、前記心出し部分（３）は前記ウェハ担持具（１１）の対向心出し部分（１０）と協働することにより前記ベース部品（２）上に載置された前記ウェハ担持具（１１）が前記ベース部品（２）に対して予め決定された位置をとることとなり、
前記心出し部品（１）は前記ベース部品（２）の上方に配置され、前記ベース部品（２）に対して予め決められた位置にありかつ調整部品担持具（５）を具備し、前記調整部品担持具（５）上に複数の調整部品（６）が前記ウェハの輪郭に対応した配列にて配置されており、前記調整部品（６）は、前記ウェハの方向を前記ウェハ担持具の支持面（１１’）に平行な面に向けさせるものである、ウェハの方向定位装置。
【請求項２】
前記調整部品（６）は対角側面（１６）を具備し、前記ウェハ（１３）が操作アーム（１４）により前記心出し部品（１）の孔（１７）を通って降下させられ、前記ウェハ（１３）の縁部分が前記対角側面（１６）上を滑ることができる、
請求項１に記載のウェハの方向定位装置。
【請求項３】
前記孔（１７）は、周方向長さの一部のみを前記調整部品担持具（５）により囲まれておりかつ前記操作アーム（１４）のための係合領域（１９）を形成している、先の請求項の一又は複数に記載のウェハの方向定位装置。
【請求項４】
前記調整部品（６）は、前記調整部品担持具（５）上に固定されており、緩めることが可能でありかつ緩んだ状態にて前記孔（１７）の縁に対して横方向に変位可能である、先の請求項の一又は複数に記載のウェハの方向定位装置。
【請求項５】
前記心出し部分（３）が円錐台形状の台座である、請求項１〜４のいずれかに記載のウェハの方向定位装置。
【請求項６】
前記ウェハ担持具（１１）がリング形状である、先の請求項の一又は複数に記載のウェハの方向定位装置。
【請求項７】
前記ウェハ担持具（１１）が、操作アーム（１２）を下面に係合させるための鍔部（２１）を具備する、先の請求項の一又は複数に記載のウェハの方向定位装置。
【請求項８】
前記ウェハ（１３）の載置のために、前記ベース部品（２）から前記孔（１７）の方に向かって突出する支持ピン（４）を有する、先の請求項の一又は複数に記載の方向定位装置。
【請求項９】
較正ツール（９）を有し、前記較正ツール（９）は、ベース部品（２）の心出し部分（３）上に置くことができる対向心出し部分（１５）と、較正部分（１８）と、を具備し、前記調整部品担持具（５）上に調整可能に固定されている前記調整部品（６）の位置を前記較正部分（１８）に対して移動可能である、先の請求項の一又は複数に記載のウェハの方向定位装置。
【請求項１０】
前記較正ツール（９）の前記較正部分（１８）が段部であって前記ウェハ（１３）の輪郭に沿って延在する、先の請求項の一又は複数に記載のウェハの方向定位装置。
【請求項１１】
昇降手段（４、２４）を有し、前記昇降手段（４、２４）上にウェハ（１３）を載置可能であり、前記昇降手段（４、２４）が下降可能であることにより、前記昇降手段（４、２４）上に載置されている前記ウェハ（１３）を、前記心出し部品（１）を通過する間に心出しさせ、前記昇降手段（２４）は前記ウェハ（１３）を前記ウェハ担持具（１１）上に置くように設けられている、先の請求項の一又は複数に記載のウェハの方向定位装置。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
特許文献１及び特許文献２は、搭載プレートを開示している。搭載プレートはウェハ担持具を形成するとともに、水平方向に位置する支持面を形成しており、その上に半導体材料からなるディスク（以下、「ウェハ」と称する）を載置することができる。ウェハ担持具を用いることにより、ウェハはコーティング設備のプロセスチャンバ内に移される。そこでウェハ上に１又は複数の層が堆積される。これは、自動操作装置を用いて実行され、例えば、特許文献３、特許文献４、特許文献５又は特許文献６に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００２】
【特許文献１】独国特許公開第102 32 731 A1号公報
【特許文献２】独国特許公開第10 2010 017 082号公報
【特許文献３】米国特許第5,162,047号明細書
【特許文献４】米国特許第5,334,257号明細書
【特許文献５】米国特許第5,626,456号明細書
【特許文献６】米国特許第6,318,957号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
最適な、すなわち均一なコーティングを得るためには、間隙が遮られることがなく、特にサセプタのポケット内に挿入されるウェハの縁に沿った間隙が遮られることがなく、かつそれらの隙間ができるだけ小さく保持されるならば有利である。さらに、各々ウェハを支持する複数のウェハ担持具を具備するサセプタを装備する必要性が存在する。
【０００４】
よって本発明は、サセプタにウェハを自動搭載することを改善するという目的に基づくものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この目的は、特許請求の範囲に特定された本発明により実現される。
【０００６】
本発明による装置は、ウェハ担持具の配置のためのベース部品を有する。ベース部品は心出し部分を有し、この心出し部分がウェハ担持具における対向心出し部分と協働することにより、ウェハ担持具がベース部品に対する予め決められた位置を取得する。ベース部品は、例えば、ベースプレートとすることが可能である。心出し部分は、このベースプレート上に配置されている。最も簡易な形態では、心出し部分が、例えば対角に延在する複数の壁を有する心出し台座により形成可能である。心出し部分は、好適には、円錐台形状の凸部により実現され、その凸部は、ベースプレートから垂直上方に延びている。しかしながら、心出し部分を別の形態で設計することも可能である。
【０００７】
ウェハ担持具の下面に設けられた対向心出し部分は、心出し部分に対応する負の形状（凹部）を有することができる。対向心出し部分と協働する心出し部分の目的は、ベース部品上におけるウェハ担持具の再現可能な位置決めである。
【０００８】
さらに、ベース部品の上方に配置された心出し部品が設けられる。この心出し部品は、ベース部品に固定されるように接続可能である。しかしながら、この心出し部品は、ベース部品上に取り外し可能に載置されてもよい。いずれの場合も、ベース部品に取り付けられた心出し部品は、ベース部品に対する予め決められた位置関係を有する。その心出し部品は、調整部品担治具を有する。調整部品担持具は、オープン間隙リングの形で設けることができる。オープン間隙リングは、その端部に向かって開いた状態とすることができる。例えばそれは蹄鉄の形状、平面視ではＵ字又はＣ字の形状をとる。オープン間隙リングは孔（通路間隙）を囲んでおり、その直径はウェハの直径よりも大きい。ウェハは、通常、円形ディスクの形状を有するので、調整部品担持具の孔は、好適には円弧の線上に延在する縁を有する。
【０００９】
調整部品担持具は、複数の調整部品を担持する。これらの調整部品は、ウェハの輪郭に対応する配列にて配置されている。これらの調整部品は、ウェハの方向を、ウェハの支持面に対して平行な面に向けさせることができるように設けられている。ウェハの方向定位は、ウェハ担持具の鉛直上方で行われる。本発明の好適な実施形態では、調整部品が、対角側面を有する。この場合、複数の対角側面は、孔の方に向いている。対角側面はスライド面を形成しており、それらのスライド面に沿ってウェハの縁が心出し部品の孔を通過して下方に滑ることができる。この場合、ウェハは、予め決められた心出し位置への下方移動に対して横方向に置かれている。
【００１０】
孔は、その周方向長さの一部のみが調整部品担治具により囲まれている。操作アームのための係合領域が残されている。このような実施形態では、ウェハは、ウェハ移送に適した操作アーム上に載置されている。この場合、ウェハの縁部分は、操作アームを超えて突出している。ウェハのこれらの縁部分は、下方移動の間、調整部品の対角側面に沿って滑ることができ、その後、ウェハは操作アーム上で水平方向に移動することができる。この場合、操作アームの動作は、鉛直下方への変位のみである。
【００１１】
調整部品は、取り外し可能かつ調整部品担持具上の孔の縁に対して横方向に移動可能に固定され得る。この形態において調整部品は、予め決められた位置に較正されていてもよい。
【００１２】
複数の支持ピンが、ベース部品から鉛直上方に孔の方に向かって突出することができる。支持ピンの高さはウェハ担持具の鉛直高さよりも高くなっており、それにより支持ピンがリング形状のウェハ担持具のリング間隙を通って又は別の穿孔を通って突出することができる。この場合、支持ピンの先端は、ウェハ担持具の支持面を超えて突出する。一方、支持ピンの自由端と調整部品担持具の下面との間の間隙は十分に大きいため、ウェハ担持具をこの間隙により動かすことができる。
【００１３】
ウェハ担持具に割り当てられた操作アームを用いることにより、ウェハ担持具は、支持ピンと調整部品担持具の下面との間の中間スペースを通って移動させられ、ベース部品上に置かれることができる。そのとき、支持ピンは、ウェハ担持具の個々の穿孔を通って又はリング間隙を通って突出している。操作アームは、好適には、ウェハ担持具の搬送のためにフォーク形状を有する。２つのフォークの歯が、ウェハ担持具のリング形状の鍔部の下面に係合することができる。
【００１４】
調整部品の方向定位孔を通して、ウェハに割り当てられたウェハ担持具によりウェハが移動させられたならば、ウェハは水平方向に向けさせられる。さらに操作アームが下方移動する過程で、ウェハは支持ピンの先端上に載置される。続いて、ウェハ担持具が、ウェハ担持具に取り付けられた操作アームにより持ち上げられる。ウェハ担持具の持ち上げが、正確に鉛直方向に行われることにより、ウェハ担持具は予め決められた位置にてウェハを受容する。その位置は、調整部品の配置により規定される。この場合、ウェハは支持面の凹部内に載置され、支持面の縁はウェハの縁に対して最小間隙のみを有する。
【００１５】
調整部品の配置を較正するために較正ツールが設けられる。較正ツールは、対向心出し部分を有しており、それにより較正ツールがベース部品の心出し部分の上に置かれることが可能である。調整部品の高さの位置において、較正ツールは較正部分を有する。較正部分は段部により、例えば円筒囲い壁により形成でき、それはウェハの輪郭に沿って延在する。この較正部分が調整部品の高さの位置にあることにより、調整部品が較正部分に対して接触することが可能となる。調整部品は、調整部品担持具上で較正部分の縁の接線に対して横方向に変位可能に固定されている。これを行うために、調整部品担持具は、溝又はリブを有しており、それらの溝又はリブはウェハの中心又は調整部品担持具の孔に対して径方向に向いている。そして、それらの溝又はリブは、調整部品を案内するために用いられる。調整部品の配置固定は、クランプ螺子の補助により行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、方向定位装置の第１の実施形態の斜視図である。
【図２】図２は、ウェハ担持具の斜視図である。
【図２ａ】図２ａは、搬送リングとして設計されたウェハ担持具の斜視図である。
【図３】図３は、ウェハ担持具を有する方向定位装置の展開図である。
【図４】図４は、方向定位装置の側面図としての装置の概略図である。
【図５】図５は、方向定位装置に挿入された較正ツール９を有する図４と同じ図である。
【図６】図６は、図５のＶＩ矢視による平面図である。
【図７】図７は、操作アーム１２によりベース部品２の上に置かれるウェハ担持具１１を有する図４と同じ図である。
【図８】図８は、ウェハ担持具１１がベース部品２の上に置かれた図７の続きを示す図である。
【図９】図９は、操作アーム１４がウェハ１３を降ろし、一点鎖線で示すようにウェハ１３が縁部分により調整部品６の対角側面１６に当接する、図３の続きを示す図である。
【図１０】図１０は、さらに続きの図であり、（一点鎖線で示すように）ウェハ１１が調整部品６により調整された後、ウェハ１１がウェハ担持具１１の上方にて支持ピン４上に載置されている図である。
【図１１】第２の実施形態における図１０と同様の断面図である。
【図１２】第３の実施形態における図１０と同様の断面図である。
【図１３】調整部品６の間に置かれたウェハ１３を有する心出し部品１の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の実施形態の例について、添付の図面を参照して以下に説明する。
【００１８】
図示された方向定位装置は、ベースプレート７を具備するベース部品２を有している。ベースプレート７は、実質的に円形ディスクの形態をとる。支持壁２０は、心出し部品１を搭載しており、ベースプレート７の縁領域から突出している。心出し部品１は、実質的にリング形状の調整部品担持具５を有する。
【００１９】
心出し部分３は、円錐台形状の台座の形態であり、ベースプレート７の底面の中心に位置する。円錐台形状の台座３は、ベースプレート７と一体に螺子止めされている。全部で３本の支持ピンが、ベースプレート７から鉛直方向に突出し、円錐台形状の台座３を貫通している。
【００２０】
調整部品担持具５は、孔１７の一部の領域のみを囲んでいる。調整部品担持具５は、係合領域１９を有することにより、平面視にてほぼＣ字、蹄鉄、又はＵ字の形状となっている。ウェハ１３を取り扱うための操作アーム１４は、係合領域１９において鉛直方向に移動可能である。
【００２１】
多数の調整部品６が、調整部品担持具５の上面において孔１７の中心の周りに周方向に実質的に等角度分布にて配列している。孔１７は、この実施形態では円形である。調整部品６の各々は、この形態では溝の中に配置されており、固定螺子８を緩めると、孔１７の中心に対して径方向に変位可能である。固定螺子８を締めたとき、調整部品６はその位置に固定される。
【００２２】
全部で８個の調整部品６の各々は、孔１７の中心に向いた対角側面１６を有する。
【００２３】
図２及び図２ａはそれぞれウェハ担持具を示している。ウェハ担持具は、実質的にリング形状である。ウェハ１１の上向きの上面は支持面１１’を形成しており、この上にウェハ１３が載置されることとなる。ウェハ担持具１１は、その下面に対向心出し部分１０を形成する凹部を有する。対向心出し部分１０が心出し部分３上に置かれると、それによりウェハ担持具１１は、調整部品担持具５又は調整部品６に対して規定された位置をとることとなる。最も単純な形態（図２ａ）においては、ウェハ担持具は搬送リングとして実現される。搬送リングは、周囲に鍔部２１を有し、その下面にフォーク形状の操作アーム１２のフォークの歯が係合することができる。
【００２４】
図２及び図２ａに示した２つのウェハ担持具１１は、それらの上面に円形縁１１”を具備するポケットを有する。このポケットの底部が支持面１１’を形成する。２つのウェハ担持具１１は、実質的にリング孔２３の直径の大きさのみが異なる。図２に示したウェハ担持具１１は、小さい直径のリング孔２３を有しているので、支持ピンのために別の穿孔２２が設けられている。図２ａに示したウェハ担持具１１では、支持面１１’は、ポケットの縁１１”に連結した細い縁領域のみに延在している。
【００２５】
図４は、本発明による方向定位装置の本質的な部品、すなわちベースプレート７を有するベース部品２の断面を概略的に示した図である。ベース部品２は心出し部分３を搭載し、心出し部分３から支持ピン４が上方に突出している。心出し部品１は、図示しない手段を用いてベースプレート７に連結され固定されている。心出し部品１は、調整部品担持具５を有する。調整部品担持具５は、概略図においては調整部品６を４個のみ搭載している。各調整部品６は、対角側面１６を有する。対角側面１６の対角線上の角度は、対角線上の面が孔１７に向かって下がっていくように延びている。調整部品６はスロットを有しており、それらのスロットの各々から固定螺子８が突出している。固定螺子８は調整部品担持具５の螺子山付き穿孔に螺合している。
【００２６】
図５及び図６は、較正ツール９の使用状況を示している。較正ツール９は、この実施形態では、実質的に円筒体であり、その下面に凹部１５を設けており、凹部１５は対向心出し部分を形成しており、心出し部分３上に置くことができる。それにより、較正ツール９は、調整部品６に関する規定の位置をとることとなる。螺子８を緩めると、対角側面１６の尖った先端は、較正ツール９の較正部分１８に沿うように移動させられる。較正部分１８は円筒囲い壁により形成されており、それはある輪郭上に延在し、その輪郭はウェハ１３の輪郭に対応している。
【００２７】
ウェハ担持具１１へのウェハ１３の装備については、図７〜図１０を基に説明する。
【００２８】
先ず、搬送リングとなり得るウェハ担持具１１が、操作アーム１２によりベースプレート７上に置かれる。これにより、心出し部分３が対向心出し部分１０内に係合して、ウェハ担持具１１を横方向の心出し位置に移動させる。この際、ウェハ担持具１１は、操作アーム１２により支持ピン４の上方であって調整部品担持具５の下の位置に移動させられた後、図７に示すように降ろされることにより、図８に示す位置をとる。
【００２９】
異なる設計による操作アーム１４は、実質的に円形のウェハ１３の下面に係合する。ウェハ１３は半導体基板であり、ウェハ担持具１１の上に載置されることとなる。この形態では、ウェハは、平坦な円形ディスクとすることができ、シリコン、ゲルマニウム、ガリウムヒ素、リン化インジウム又は他の材料からなる。ウェハ１３は、操作アーム１４に対して規定されていない位置をとる。操作アーム１４（図９を参照）は、係合領域１９を通して鉛直下方に変位させられ、その際、ウェハ１３は孔１７を通過する。ウェハ１３が操作アーム１４上の規定されていない位置にあるので、ウェハ１３の縁部分は、下方移動の過程で対角側面１６に対して当接する。対角側面１６から水平方向の力成分が作用して、ウェハ１３を孔１７の中心に向かう方向に移動させる。このことは、図９に一点鎖線で示されている。
【００３０】
図１０では、一点鎖線により、心出し部品１から出る途中のウェハ１３を示している。このときウェハ１３の縁は、対角側面１６の刃状先端を残して離れる。ウェハ１３は、操作アーム１４のさらなる下方移動により支持ピン４の先端上に載置される。
【００３１】
その後、ウェハ担持具のための操作アーム１２により、ウェハ担持具１２が鉛直上方に持ち上げられ、そこでウェハ１３は、ウェハ担持具１１の支持面１１’上に方向定位させられた位置にて載置されることとなる。ウェハ担持具の支持面１１’はポケットを形成することができ、その周囲の輪郭はウェハ１３の周囲の輪郭に対応し、かつ、その深さはウェハの材料厚さにほぼ対応する。本装置の心出し方向定位機能により、ウェハは、ウェハ担持具１１の支持面１１’内のポケットに対して方向定位させられ、それによりポケット内に正確に嵌合する。従って、ポケットの縁１１”は、最小限の遊びのみを有していなければならない。それにより、ポケット壁とウェハ縁の間の間隙が最小化される。
【００３２】
図１１は、第２の実施形態の図１０と同様の図を示している。この実施形態では、支持ピン４が延長され、かつ、鉛直方向に移動可能である。この実施形態では、支持ピン４は昇降装置の構成部品である。支持ピン４を鉛直方向に変位させるための駆動手段（図示せず）が設けられている。支持ピン４は、心出し部品１とベース部品２の間のスペースよりも大きい長さを有する。支持ピンの長さがこのスペースより十分に長いことにより、支持ピン４の上向きの先端面が、心出し部品１の最も高い突出部分より突出し、特に調整部品６を超えて突出する。昇降装置（図示せず）を用いることにより、図１１に示した搭載位置から支持ピン４を降下させ、ウェハ担持具１１上にウェハ１３を置くことが可能である。
【００３３】
操作アームを用いることにより、心出しされていないウェハ１３を支持ピン４の先端上に載置することができる。それらの支持ピン４は、孔１７を通って上方に押し上げられている。その後、支持ピン４は矢印の方向に下降させられる。この実施形態では、支持ピン４上に載置された心出しされていないウェハ１３の縁部分が、図１３に示す心出しされた位置に到達するまで、対角側面１６に沿って滑る。
【００３４】
その後、ウェハ１３は、ウェハ担持具１１上に載置されるまでさらに下降させられる。これは、図１１に一点鎖線で示されている。この最終位置においては、支持ピン４はウェハ担持具１１内にのみ延びており、ウェハ担持具１１の支持面１１’を超えていない。
【００３５】
図１２に示した実施形態では、鉛直方向変位可能なスタンプ２４が、ベースプレート７の中心に配置されている。図示しないが、このために昇降駆動装置が設けられている。昇降駆動装置は、２つの端部位置の間でスタンプ２４を変位させることができる。第１の端部位置では、スタンプ２４の上向きの先端面が、調整部品６の対角側面１６の上方に位置する。第２の端部位置では、スタンプ２４の先端面が、ウェハ１３が支持ピン４の先端面上に載置されるか又はウェハ担持具１１上に直接載置されるかによって、支持ピン４の先端面の下方又はウェハ担持具１１の下方に位置する。スタンプ２４は、孔１７の中心に配置されていることにより、ウェハ１３の中心のみを支持する。ウェハ１３の縁領域は、スタンプ２４の径方向外側に延在する。
【００３６】
スタンプ２４が、下方変位した位置から鉛直方向上方に移動可能であることにより、スタンプ２４の上端が心出し部品１の上方に位置する。ウェハ１３は、操作アームによりスタンプ２４の先端面上に載置され得る。このウェハ１３は、心出しされていない。スタンプ２４が矢印の方向に下降させられると、心出しされていないウェハ１３の縁が対角側面１６に沿って滑り、それによりウェハは図１３に示す心出しされた位置に移動する。スタンプ２４をさらに下降させると、最終的に図１２に示すようにウェハ１３は支持ピン４の先端上に載置される。
【００３７】
図１３は、複数の調整部品６の配置の結果により、ウェハ１３の直線部分１３’の向きが重要ではないことを示している。調整部品６は、直線部分１３’が１個又は２個の調整部品６の前に位置することもできるように配置されている。調整部品６は、少なくとも３個の調整部品６がウェハ１３の円弧線上に延在する縁部分による心出し動作に関与しかつこの目的のために協働することができるように、周方向に複数配置されている。
【００３８】
全ての開示された特徴は本発明（それ自体）に本質的なものである。関連する／添付された優先権書類（先願の複写）の開示内容もまた、本願の請求の範囲におけるこれらの書類の特徴を含める目的のために、その全体が本願の開示に含めまれるものとする。従属項は、それらの付加的な二次的バージョンにおいて、特にこれらの請求項に基づく分割出願を行うことができるように、従来技術の本願による個別の改良を特徴付けている。
【符号の説明】
【００３９】
１  心出し部品
２  ベース部品
３  心出し部分
４  支持ピン
５  調整部品担持具
６  調整部品
７  ベースプレート
８  螺子
９  較正ツール
１０  対向心出し部分
１１  ウェハ担持具
１１’  支持面
１１”  縁
１２  リング用操作アーム
１３  ウェハ
１３’直線部分
１４  ウェハ用操作アーム
１５  対向心出し部分
１６  対角側面
１７  孔
１８  較正部分
１９  係合領域
２０  支持壁
２１  鍔部
２２  支持ピン用孔
２３  リング孔
２４  スタンプ
【図１】
2016500199.tif 000003
【図２】
2016500199.tif 000004
【図２ａ】
2016500199.tif 000005
【図３】
2016500199.tif 000006
【図４】
2016500199.tif 000007
【図５】
2016500199.tif 000008
【図６】
2016500199.tif 000009
【図７】
2016500199.tif 000010
【図８】
2016500199.tif 000011
【図９】
2016500199.tif 000012
【図１０】
2016500199.tif 000013
【図１１】
2016500199.tif 000014
【図１２】
2016500199.tif 000015
【図１３】
2016500199.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成27年9月10日(2015.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハ担持具（１１）上へウェハを方向定位するための装置であって、前記ウェハ担持具（１１）を載置するためのベース部品（２）と、心出し部品（１）と、を有し、
前記ベース部品（２）は心出し部分（３）を具備し、前記心出し部分（３）が前記ウェハ担持具（１１）の対向心出し部分（１０）と協働することにより前記ベース部品（２）上に載置された前記ウェハ担持具（１１）が前記ベース部品（２）に対して予め決定された位置をとることとなり、
前記心出し部品（１）は前記ベース部品（２）の上方に配置され、前記ベース部品（２）に対して予め決められた位置にありかつ調整部品担持具（５）を具備し、前記調整部品担持具（５）上に複数の調整部品（６）が前記ウェハの輪郭に対応した配列にて配置されており、前記調整部品（６）は、前記ウェハの方向を前記ウェハ担持具の支持面（１１’）に平行な面に向けさせるものである、ウェハの方向定位装置。
【請求項２】
前記調整部品（６）は対角側面（１６）を具備し、前記ウェハ（１３）が操作アーム（１４）により前記心出し部品（１）の孔（１７）を通って降下させられ、前記ウェハ（１３）の縁部分が前記対角側面（１６）上を滑ることができる、
請求項１に記載のウェハの方向定位装置。
【請求項３】
前記孔（１７）は、周方向長さの一部のみを前記調整部品担持具（５）により囲まれておりかつ前記操作アーム（１４）のための係合領域（１９）を形成している、請求項２に記載のウェハの方向定位装置。
【請求項４】
前記調整部品（６）は、前記調整部品担持具（５）上に固定されており、緩めることが可能でありかつ緩んだ状態にて前記孔（１７）の縁に対して横方向に変位可能である、請求項２又は３に記載のウェハの方向定位装置。
【請求項５】
前記心出し部分（３）が円錐台形状の台座である、請求項１〜４のいずれかに記載のウェハの方向定位装置。
【請求項６】
前記ウェハ担持具（１１）がリング形状である、請求項１〜５のいずれかに記載のウェハの方向定位装置。
【請求項７】
前記ウェハ担持具（１１）が、操作アーム（１２）を下面に係合させるための鍔部（２１）を具備する、請求項１〜６のいずれかに記載のウェハの方向定位装置。
【請求項８】
前記ウェハ（１３）の載置のために、前記ベース部品（２）から前記孔（１７）の方に向かって突出する支持ピン（４）を有する、請求項２に記載のウェハの方向定位装置。
【請求項９】
較正ツール（９）を有し、前記較正ツール（９）は、ベース部品（２）の心出し部分（３）上に置くことができる対向心出し部分（１５）と、較正部分（１８）と、を具備し、前記調整部品担持具（５）上に調整可能に固定されている前記調整部品（６）の位置を前記較正部分（１８）に対して移動可能である、請求項１〜８のいずれかに記載のウェハの方向定位装置。
【請求項１０】
前記較正ツール（９）の前記較正部分（１８）が段部であって前記ウェハ（１３）の輪郭に沿って延在する、請求項９に記載のウェハの方向定位装置。
【請求項１１】
昇降手段（４、２４）を有し、前記昇降手段（４、２４）上にウェハ（１３）を載置可能であり、前記昇降手段（４、２４）が下降可能であることにより、前記昇降手段（４、２４）上に載置されている前記ウェハ（１３）を、前記心出し部品（１）を通過する間に心出しさせ、前記昇降手段（２４）は前記ウェハ（１３）を前記ウェハ担持具（１１）上に置くように設けられている、請求項１〜１０のいずれかに記載のウェハの方向定位装置。
【国際調査報告】
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