(57)【要約】  本発明は、少なくとも１つの非金属材料（１１、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成されるコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｃ、９ｅ、９ｆ）を有する熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器用の補償機能付きバランスばね（１）に関する。本発明によると、コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、防湿性である少なくとも１つの層（７）で部分的に被覆されている。このようにして、バランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる。本発明は、計時器の分野に関する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器のための補償機能付きバランスばね（１）であって、
少なくとも１つの非金属材料（１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成され、かつ、石英を含有するコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）を有し、
前記コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の少なくとも１つで部分的に被覆されており、
このようにして、当該補償機能付きバランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる
ことを特徴とする補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項２】
熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器のための補償機能付きバランスばね（１）であって、
少なくとも１つの非金属材料（１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成され、かつ、ケイ素を含有するコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）を有し、このコア上には、二酸化ケイ素の被覆が少なくとも部分的に形成されており、
前記コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の少なくとも１つで部分的に被覆されており、
このようにして、当該補償機能付きバランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる
ことを特徴とする補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項３】
熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器のための補償機能付きバランスばね（１）であって、
少なくとも１つの非金属材料（１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成され、かつ、ドープされたケイ素を含有するコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）を有し、このコア上には、二酸化ケイ素の被覆が少なくとも部分的に形成されており、
前記コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の少なくとも１つで部分的に被覆されており、
このようにして、当該補償機能付きバランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる
ことを特徴とする補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項４】
前記水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の厚みは、５０ｎｍ未満である
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項５】
前記水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）は、クロムを含有する
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項６】
前記水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）は、チタンを含有する
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項７】
前記水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）は、タンタルを含有する
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の補償機能付きバランスばね（１）と連係しているバランスを有する
ことを特徴とする計時器用の熱補償機能付き共振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器に関する。これにおいて、補償機能付きバランスばねは、気候変動に対する感応性が抑えられている。
【背景技術】
【０００２】
計時器用ムーブメントに対して厳しい凝結試験を行うことによって、ムーブメントの動作が影響を受けることが明らかになっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、気候変動に対する感応性が低い非金属コアをバランスばねに設けることによって、前記課題のすべて又は一部を克服することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
したがって、本発明は熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器用の補償機能付きバランスばねに関する。これは、少なくとも１つの非金属材料で形成されるコアを有する。この非金属材料は、石英又はドープされたケイ素（又はドープされていないケイ素）を含有する。この非金属材料上に、二酸化ケイ素の被覆が少なくとも部分的に形成される。コアは、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層で部分的に被覆されている。このようにして、当該補償機能付きバランスばねの気候変動に対する感応性が抑えられる。
【０００５】
このように、厳しい凝結の場合においても、補償機能付きバランスばねの動作に問題が発生することが減る。これによって、バランスと連係して行われる共振器の全体的な動作は、まったく又は少ししか影響を受けない。
【０００６】
本発明の他の有利な特徴によると、
−  水分に対して耐性及び不浸透性を有する層の厚みは、５０ｎｍ未満である。
−  水分に対して耐性及び不浸透性を有する層は、クロム、チタン又はタンタルを含有する。
【０００７】
また、本発明は、他の変種のいずれかに記載の補償機能付きバランスばねと連係するようなバランスを有する計時器用の熱補償機能付き共振器に関する。
【０００８】
他の特徴及び利点が、以下の添付図面を参照する説明（例としてのみ示している）によって、以下の説明から明白に理解することができるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係る補償機能付きバランスばねを示す。
【図２】本発明の変種に係る補償機能付きバランスばねの断面図を示す。
【図３】本発明の変種に係る補償機能付きバランスばねの断面図を示す。
【図４】本発明の変種に係る補償機能付きバランスばねの断面図を示す。
【図５】本発明の変種に係る補償機能付きバランスばねの断面図を示す。
【図６】本発明の変種に係る補償機能付きバランスばねの断面図を示す。
【図７】本発明の変種に係る補償機能付きバランスばねの断面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
厳しい凝結に応じた計時器用ムーブメントのふるまいを定める研究を行った。これは、露点を急激に超えさせることによって行い、例えば、８０％より上の湿度を維持して少なくとも１５℃温度を下げることによって行った。
【００１１】
ばね仕掛けバランス共振器の補償機能付きバランスばねが、結晶性又は非晶質の酸化ケイ素で少なくとも部分的に形成される場合に特に、計時器の動作が影響されることが実証されている。この種の補償機能付きバランスばねは、例えば、ドープされている又はドープされていない結晶ケイ素で形成することができる。この結晶ケイ素の上には、二酸化ケイ素の被覆又は石英が少なくとも部分的に形成される。
【００１２】
また、補償機能付きバランスばねの上に水分に対する部分的な隔壁を設けることによって、厳しい凝結の影響を最小化することができることが研究によって実証されている。この隔壁は、結晶性又は非晶質の酸化ケイ素を含有する。
【００１３】
結果的に、本発明は、熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器用の補償機能付きバランスばねに関し、これは、少なくとも１つの非金属材料で形成されるコアを有する。本発明によると、好ましくは、コアは、防湿層で部分的に被覆されている。防湿とは、すなわち、水分に対して耐性及び不浸透性を有することである。これによって、補償機能付きバランスばねの気候変動に対する感応性が抑えられる。
【００１４】
本発明によると、「部分的に被覆されている」コアとは、全体的に被覆されてはいないことを意味する。すなわち、コアの一部だけが被覆されており、例えば、一又は複数の面のみ、又は１つの面の一部のみが被覆されているような場合である。しかし、バランスばね全体を被覆せずに酸化部分の最大量が被覆されていることが好ましい。
【００１５】
本発明によると、防湿層の厚みは、バランスばねの動作に機械的に影響を与えないようにするために、５０ｎｍ未満、好ましくは、約１０ｎｍ未満である。また、防湿層の厚みは、数μｍ以下であることができ、その場合には，ばね仕掛けバランス共振器の熱補償について考慮に入れなければならない。
【００１６】
また、防湿層は、導電性であって磁界に対して感応性が低く不感応性であることが望ましい。例えば、反磁性、反強磁性、常磁性についてである。
【００１７】
例えば、防湿層は、クロム、チタン、タンタル、アルミニウム、ジルコニウム、アルミナ、酸化クロム、クロムタングステン、ＰＴＦＥ又は窒化ケイ素（Ｓｉ3Ｎ4）を含有することができる。しかし、クロム、チタン、タンタル又はそれらの合金が好ましい。最良の結果を示すからである。
【００１８】
図１〜７は、本発明によって得られるバランスばね１の変種を示しており、これは、バランスと連係する共振器を熱的に補償するように意図されている。補償機能付きバランスばね１は、好ましくは、コレット３を有し、これは、いくつもの巻きに巻かれた細長片５と一体的になっている。本発明によると、補償機能付きバランスばね１の少なくとも１つの細長片５は、層７で部分的にのみ被覆され、この層７は、水分に対する隔壁となる。
【００１９】
細長片５は、長さｌ、厚みｅ、及び高さｈを有する。この細長片５は、少なくとも１つの材料１１、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆで作られたコア９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｃ、９ｅ、９ｆを有する。
【００２０】
図２〜７の変種によると、コア９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆは、石英のような単一の材料１１ａで形成することができ、又はいくつかの材料１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆで形成することができる。
【００２１】
コア９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆがいくつかの材料で形成される場合は、バランスばね１の細長片５が防湿性（すなわち、水分に対して耐性及び不浸透性を有する性質）を有する層７で部分的に被覆される前に、いくつかの材料で、全体的に被覆することができ（１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）、又は部分的に被覆することができる（１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ）。
【００２２】
各被覆１３ｂ、１５ｂ、１７ｃ、１９ｃ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅは、同じ種類や同じ厚みであってもなくてもよい。例えば、コア９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆは、ドープされている又はドープされていないケイ素１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆを有することができ、その上には、少なくとも部分的に、二酸化ケイ素の被覆１３ｂ、１５ｂ、１７ｃ、１９ｃ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、２１ｆが形成されている。
【００２３】
図２〜７に示すように、部分的な被覆７を、バランスばね全体が被覆されずに、厚みｅのすべて又は一部にわたって、及び／又は高さｈのすべて又は一部にわたって、及び／又は長さｌのすべて又は一部にわたって、施すことができる。しかし、図３及び４の場合のように、酸化された部分の最大量が被覆されていることが好ましい。これにおいて、酸化されていることが好ましい被覆１３ｂ、１５ｂ、１７ｃ、１９ｃは、防湿性である層７によって保護されている。
【００２４】
本発明は、さらに、熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器用の補償機能付きバランスばね１を作る方法に関する。この方法は、
ａ）少なくとも１つの材料１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆで形成される熱補償されるコア９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆを有するバランスばねを形成するステップと、
ｂ）防湿性である少なくとも１つの層７によってコア９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆを部分的に被覆して、これによって、バランスばね１の気候変動に対する感応性を抑えるステップと
を有する。
【００２５】
本発明によると、ステップａ）は、所望の平面においてバランスばねの所望のパターンをエッチングすることによって、コア９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆのすべて又は一部１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆを形成することて行うことができる。結晶ケイ素と石英の例においては、ステップａ）を行うために、深掘り反応性イオンエッチング（ＤＲＩＥ）を思い描くことができる。
【００２６】
もちろん、ステップａ）は、さらに、第１の段階におけるエッチングで得られたバランスばねを部分的に又は全面的に被覆してコア９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆを仕上げるような、第２の段階１３ｂ、１５ｂ、１７ｃ、１９ｃ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、２１ｆを少なくとも１つ有する。例えば、この第２の段階は、ステップａ）の第１の段階においてドープされている又はドープされていない結晶ケイ素ウェーハがエッチングされている場合に、二酸化ケイ素を形成するように意図された熱酸化からなることができる。
【００２７】
ステップｂ）によって、厚みが５０ｎｍ未満、好ましくは約１０ｎｍ未満である、少なくとも１つの防湿層７の堆積が可能になる。ステップｂ）は、任意の薄膜堆積方法によって行うことができる。例えば、気相成長法を用いて、好ましくは、クロム、チタン又はタンタル、又はこれらの合金の１つを堆積する。これらは、磁界に対して不感応性であるような導電性材料であることが好ましい。
【００２８】
もちろん、本発明は、図示した例に制限されず、当業者が思い描くことができる様々な変種や変更を行うことができる。具体的には、水分に対する隔壁となることができるいずれの材料も思い描くことができ、クロム、チタン又はタンタル、又はこれらの合金の１つに限定されず、あるいは本明細書で言及している他の材料にも限定されない。
【００２９】
また、防湿材料を、その特定の色に応じて選ぶことができる。これによって、バランスばねを見ることができる部分を有する計時器において、その美的外観を改善することができる。例えば、「スケルトン（透明）」の計時器、又は後蓋が透明な計時器である。
【図１−２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【手続補正書】
【提出日】平成27年8月3日(2015.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器のための補償機能付きバランスばね（１）であって、
少なくとも１つの非金属材料（１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成され、かつ、石英を含有するコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）を有し、
前記コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の少なくとも１つで部分的に被覆されており、この層は、クロムを含有し、
これによって、当該補償機能付きバランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる
ことを特徴とする補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項２】
熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器のための補償機能付きバランスばね（１）であって、
少なくとも１つの非金属材料（１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成され、かつ、石英を含有するコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）を有し、
前記コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の少なくとも１つで部分的に被覆されており、この層は、チタンで作られており、
これによって、当該補償機能付きバランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる
ことを特徴とする補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項３】
熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器のための補償機能付きバランスばね（１）であって、
少なくとも１つの非金属材料（１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成され、かつ、石英を含有するコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）を有し、
前記コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の少なくとも１つで部分的に被覆されており、この層は、タンタルを含有し、
これによって、当該補償機能付きバランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる
ことを特徴とする補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項４】
熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器のための補償機能付きバランスばね（１）であって、
少なくとも１つの非金属材料（１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成され、かつ、ケイ素を含有するコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）を有し、このコア上には、二酸化ケイ素の被覆が少なくとも部分的に形成されており、
前記コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の少なくとも１つで部分的に被覆されており、この層は、クロムを含有し、
これによって、当該補償機能付きバランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる
ことを特徴とする補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項５】
熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器のための補償機能付きバランスばね（１）であって、
少なくとも１つの非金属材料（１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成され、かつ、ケイ素を含有するコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）を有し、このコア上には、二酸化ケイ素の被覆が少なくとも部分的に形成されており、
前記コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の少なくとも１つで部分的に被覆されており、この層は、チタンで作られ、
これによって、当該補償機能付きバランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる
ことを特徴とする補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項６】
熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器のための補償機能付きバランスばね（１）であって、
少なくとも１つの非金属材料（１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成され、かつ、ケイ素を含有するコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）を有し、このコア上には、二酸化ケイ素の被覆が少なくとも部分的に形成されており、
前記コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の少なくとも１つで部分的に被覆されており、この層は、タンタルを含有し、
これによって、当該補償機能付きバランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる
ことを特徴とする補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項７】
熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器のための補償機能付きバランスばね（１）であって、
少なくとも１つの非金属材料（１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成され、かつ、ドープされたケイ素を含有するコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）を有し、このコア上には、二酸化ケイ素の被覆が少なくとも部分的に形成されており、
前記コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の少なくとも１つで部分的に被覆されており、この層は、クロムを含有し、
これによって、当該補償機能付きバランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる
ことを特徴とする補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項８】
熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器のための補償機能付きバランスばね（１）であって、
少なくとも１つの非金属材料（１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成され、かつ、ドープされたケイ素を含有するコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）を有し、このコア上には、二酸化ケイ素の被覆が少なくとも部分的に形成されており、
前記コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の少なくとも１つで部分的に被覆されており、この層は、チタンで作られ、
これによって、当該補償機能付きバランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる
ことを特徴とする補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項９】
熱補償機能付きばね仕掛けバランス共振器のための補償機能付きバランスばね（１）であって、
少なくとも１つの非金属材料（１１ａ、１１ｂ、１３ｂ、１５ｂ、１１ｃ、１７ｃ、１９ｃ、１１ｄ、１３ｄ、１５ｄ、１７ｄ、１９ｄ、１１ｅ、１３ｅ、１５ｅ、１７ｅ、１９ｅ、１１ｆ、２１ｆ）で形成され、かつ、ドープされたケイ素を含有するコア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）を有し、このコア上には、二酸化ケイ素の被覆が少なくとも部分的に形成されており、
前記コア（９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ）は、水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の少なくとも１つで部分的に被覆されており、この層は、タンタルを含有し、
これによって、当該補償機能付きバランスばね（１）の気候変動に対する感応性が抑えられる
ことを特徴とする補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項１０】
前記水分に対して耐性及び不浸透性を有する層（７）の厚みは、５０ｎｍ未満である
ことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の補償機能付きバランスばね（１）。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の補償機能付きバランスばね（１）と連係しているバランスを有する
ことを特徴とする計時器用の熱補償機能付き共振器。
【国際調査報告】
2016513244.tif 000009
2016513244.tif 000010
2016513244.tif 000011
2016513244.tif 000012
2016513244.tif 000013
2016513244.tif 000014
2016513244.tif 000015
2016513244.tif 000016
2016513244.tif 000017
2016513244.tif 000018