(57)【要約】本発明は、真空ガラス部材製造においてガラス板の表面を脱気する電子又はイオンガラス板用衝撃脱気装置に関する。ガラス板用衝撃脱気装置は、真空箱体と、ガラス板載置装置とを備え、真空箱体にガラス板載置装置の出入口が設置され、ガラス板載置装置に導電できる底板が設置され、底板の上方に複数のガラス板を積が重ねられ、積み重ねて隣接する両ガラス板の間がスペーサーを介して互いに分離され、真空箱体の中に輸送手段と、昇降手段と、衝撃装置とが設置されている。本発明は、真空ガラス封装の前にイオン又は電子の衝撃によってガラス板表面の酸化層に吸着された気体分子を除去し、真空ガラスを封装した後に気体分子が離脱することによって、真空層間の真空度が低下することを回避する。
2016534968.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板用衝撃脱気装置であって、
真空箱体とガラス板載置装置とを備え、前記真空箱体に前記ガラス板載置装置の出入口が設置され、前記ガラス板載置装置に導電できる底板が設置され、前記底板の上方に複数のガラス板を積が重ねられ、積み重ねて隣接する両ガラス板の間がスペーサーを介して互いに分離され、前記真空箱体の中に輸送手段と、昇降手段と、衝撃装置とが設置され、
前記輸送手段は、前記ガラス板載置装置を輸送して前記真空箱体に対して出入りさせるためのものであり、
前記衝撃装置は、電源と、第１電極と、第２電極と、移動電極とを備え、前記第１電極と前記第２電極は相対して上下に配置され、前記移動電極は前記第１電極と前記第２電極との間に移動可能に設置され、前記移動電極は前記電源負極と接続され、前記第１電極、前記第２電極は電源正極と接続されることによって、前記移動電極と前記第１電極との間及び前記移動電極と前記第２電極との間にそれぞれイオンストリーム又は電子流が発生され、前記移動電極と前記第１電極との間に位置するガラス板の下表面、及び前記移動電極と前記第２電極との間に位置するガラス板の上表面を衝撃脱気し、前記移動電極の移動によって、イオンストリーム又は電子流をガラス板の表面全体に通過させ、前記ガラス板の表面全体を脱気することを実現し、
前記移動電極の上にそれぞれ前記第１電極、前記第２電極に適合する細長作業面が設置され、前記細長作業面が作業する際、その全長に渡るように帯び状イオンストリーム又は電子流が形成され、前記第１電極は真空箱体の中に設置され、前記第１電極の作業面はガラス板の脱気しようとする表面に適合する平面又は移動電極に適合して従動する細長平面であり、前記第２電極は前記ガラス板載置装置にある前記底板から構成され、これに対応するように、前記真空箱体の中に前記底板を前記電源正極に電気的接続する導電ヘッドが設置され、前記導電ヘッドは前記ガラス板載置装置に設置された電気的接続板と摺動的に接続した導電ブラシ又は伸縮可能である接続ヘッドから構成され、
前記昇降手段は、前記ガラス板載置装置に積み重ねた隣接する両ガラス板における上部ガラス板を前記衝撃装置の前記移動電極と前記第１電極との間に上昇させるためであり、前記上部ガラス板の下表面を衝撃脱気し、その時に、隣接する両ガラス板における下部ガラス板は前記衝撃装置の前記移動電極と前記第２電極との間に位置することを特徴とするガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項２】
前記複数ガラス板は、複数のチャンバの真空ガラスを構成する少なくとも二枚以上のガラス基板であることを特徴とする請求項１に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項３】
前記複数ガラス板は、二枚のガラス板であることを特徴とする請求項１に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項４】
前記輸送手段は、ローラーコンベヤからなり、前記ガラス板載置装置は台座を有し、前記台座によって前記輸送手段のローラーに支持されていることを特徴とする請求項１に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項５】
前記真空箱体に設置された前記ガラス板載置装置の出入口は、それぞれ前記ローラーコンベヤの両端に位置された一つの入口と一つの出口を備えることを特徴とする請求項４に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項６】
前記ガラス板載置装置にある台座は、直接に前記ガラス板載置装置にある前記底板から構成されていることを特徴とする請求項１に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項７】
前記第１電極は、導電の平板から構成されていることを特徴とする請求項１に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項８】
前記ガラス板載置装置にある前記底板は、導電の平板から構成されていることを特徴とする請求項１に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項９】
前記移動電極の上にそれぞれ前記第１電極と前記第２電極に適合する作業面は細長平面であることを特徴とする請求項１に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項１０】
前記移動電極は、断面形状がＨ型であるサポートブラケットと、Ｈ型サポートブラケットの中間ウエブプレートの上下両側の表面上にそれぞれ水平方向に渡っている二つの断面形状が円形、長方形、三角形、正方形又はその他の多角形である細長部から構成され、前記Ｈ型サポートブラケットは絶縁材料からなることで、前記Ｈ型サポートブラケットの上に互いに絶縁される上電極と下電極が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項１１】
前記電源は二組が備られ、前記Ｈ型サポートブラケットの中間ウエブプレートの上方に位置する細長部及び前記第１電極は、それぞれ前記電源の一組の電源の負極と正極に接続され、前記Ｈ型サポートブラケットの中間ウエブプレートの下方に位置する細長部及び前記第２電極は、それぞれ前記電源のもう一組の電源の負極と正極に接続され、上下に二つの互いに独立し、それぞれ前記隣接する二枚のガラス板における上部ガラス板と下部ガラス板を脱気するためのイオン又は電子衝撃回路が形成されていることを特徴とする請求項１０に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項１２】
前記電源は一組であり、前記移動電極の前記Ｈ型サポートブラケットの中間ウエブプレートの上方と下方の前記細長部は、電源負極と接続され、前記第１電極及び前記第２電極は電源正極と接続されていることを特徴とする請求項１０に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項１３】
前記Ｈ型サポートブラケットにおける前記細長部が位置された二つの溝は、深溝であり、前記深溝の両側壁は、当該溝における細長部が作業する時に発生するイオンストリーム又は電子流の遮蔽及び案内を構成することを特徴とする請求項１０に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項１４】
前記移動電極の行程は、ガラスのサイズによって設定でき、衝撃脱気範囲は、衝撃脱気が必要な面積の範囲であり、前記移動電極の長さも必要に応じて調整又は遮断を行うことを特徴とする請求項１に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項１５】
前記Ｈ型サポートブラケットは、前記Ｈ型サポートブラケットの両端の摺動台を介して前記真空箱体の中に設置された二本のガイドレールに移動可能に取り付けられ、前記ガイドレールに沿って移動するように駆動手段によって駆動され、前記摺動台と前記Ｈ型サポートブラケットとが一体に構成される、又は、初めは別体であり後にフレキシブルに連結される構成としており、前記駆動手段はモータ駆動のチェーン／歯車式の駆動手段であり、前記ラックは前記空箱体の中に固定的に設置され、前記歯車は前記摺動台の上に取り付けられ、モータによって駆動して回転され、又は、前記駆動手段はモータによって駆動されたナット、ウォームスクリュー式駆動手段であり、前記ナットは前記摺動台に固定され、前記ウォームスクリューは前記真空箱体の中に回転可能に取り付けられ、モータによって駆動して回転され、又は、前記駆動手段はモータによって駆動されたチェーン、鎖歯車式駆動手段であり、前記チェーンは両端の両鎖歯車によって支持された環状形状であり、モータは一端の鎖歯車を駆動して回転させ、前記摺動台は連結板を介してチェーンの板に固定的に連結されていることを特徴とする請求項１０に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項１６】
二本の前記ガイドレールは、前記ローラーコンベヤの輸送方向に平行又は垂直して延伸され、前記Ｈ型サポートブラケットの駆動手段は、モータによって駆動されたチェーン、鎖歯車式駆動手段であり、二本の前記ガイドレールの外側に前記チェーンの両端が両鎖歯車によって支持された環状チェーンが鏡面対称に設置され、両環状チェーンの同側端の鎖歯車は、軸杆によって固定的に連結され、モータによって駆動して回転されることを特徴とする請求項１５に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項１７】
前記昇降手段は、上昇しようとするガラス板の周辺の回りに間隔を空けて設置された幾つかの昇降ユニットからなり、前記昇降ユニットは、摺動レールと、摺動台と、摺動台駆動装置と、フックと、フック駆動装置とを備え、前記摺動レールは前記真空箱体の中に固定的に設置され、前記摺動台は前記摺動レールの上に取り付けられ、前記摺動台の上に垂直のガイド孔が設置され、前記フックはロッド体と、前記ロッド体の下端のフック先端部を備え、前記フックは前記フックのロッド体により前記ガイド孔と嵌合して前記ガイド孔に嵌装され、前記フックのロッド体の上端は前記フック駆動装置と連結され、前記フック駆動装置が前記フックを駆動して前記ガイド孔に沿って上下に移動することに伴って、前記隣接する両ガラス板における上部ガラス板を上昇又は降下することを実現し、前記摺動台駆動装置は前記摺動台を駆動して前記摺動レールに沿って往復に移動させ、前記フック先端部を前記隣接する両ガラス板の間の隙間に挿入又は退出することを実現することを特徴とする請求項１に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項１８】
前記摺動台駆動装置及び前記フック駆動装置は、液圧シリンダー又は気体シリンダーから構成され、前記液圧シリンダー又は前記気体シリンダーのピストンロッドは前記真空箱体の中に延伸し、前記液圧シリンダー又は前記気体シリンダーの本体はピストンロッドの一端によって前記真空箱体の側壁に気密に固定され、前記フック駆動装置としての前記液圧シリンダー又は前記気体シリンダーのピストンロッドは、チェーンによって前記フックのロッド体の上端と連結され、これに対応するように、前記摺動台の上に前記チェーンを支持するための鎖歯車が設置されていることを特徴とする請求項１７に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項１９】
前記摺動台駆動装置及び前記フック駆動装置は、電動プッシュロッドであることを特徴とする請求項１８に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項２０】
前記フック駆動装置を構成する液圧シリンダー又は気体シリンダーのピストンロッドは、ワイヤによって前記フックのロッド体の上端と連結され、これに対応するように、前記摺動台の上に前記ワイヤを支持するためのプーリーが設置されていることを特徴とする請求項１８に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【請求項２１】
前記フックの最大降下位置を制限するため、前記フックのロッド体の上端にリミット台又はリミットピンが設けられ、前記フックを前記摺動台駆動装置の駆動で下部ガラスの底部に延伸するように、当該最大降下位置で、前記フックはちょうど前記上部ガラスと前記下部ガラスの間の高さに位置することを特徴とする請求項２０に記載のガラス板用衝撃脱気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ガラス製造においてガラス板の表面の脱気をするための衝撃脱気装置に関し、特に電子又はイオン衝撃脱気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のガラス板から構成された真空ガラスは、隣接するガラス板の間に真空間隔が設置されることによって、単層のガラス板及び中空ガラスと比べ、より優れた遮音、断熱性能を有する。
【０００３】
しかしながら、真空ガラスを製作した後、時間の推移に伴って、遮音、断熱効果が低下する現象がある。原因としては、真空ガラスにおける真空間隔の真空度の低下によるものである。出願人は、研究を重ね、また、大量の実験をさらに行うことを経て、封装縁の密閉をしっかりしていないことや、封装材料の脱気や中間支持部材の脱気等の要因の他に、ガラス板表面の脱気も真空間隔の真空度の低下の重要要因の一つであり、且つ、ガラス板表面に吸着された気体分子は真空ガラスを製作する時の真空環境で直ちに離脱することができず、真空ガラス封装前に簡単に洗浄することによって除去することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】（特になし）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来技術に存在した問題に対し、本発明は、ガラス板用電子又はイオン衝撃脱気装置を提供することを目的とする。当該装置を用いて真空ガラスを封装する前にガラス板表面に吸着された気体分子を除去し、真空ガラスを封装した後に気体分子が離脱することによって、真空層間の真空度が低下することを回避する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のガラス板用衝撃脱気装置は、真空箱体とガラス板載置装置とを備え、前記真空箱体にガラス板載置装置の出入口が設置され、前記ガラス板載置装置に導電できる底板が設置され、前記底板の上方に複数のガラス板を積が重ねられ、積み重ねて隣接する両ガラス板の間がスペーサーを介して互いに離され、真空箱体の中に輸送手段と、昇降手段と、衝撃装置とが設置され、
前記輸送手段は、ガラス板載置装置を輸送して真空箱体に対して出入りさせるためのものであり、
前記衝撃装置は、電源と、第１電極と、第２電極と、移動電極とを備え、第１電極と第２電極は相対して上下に配置され、移動電極は第１電極と第２電極との間に移動可能に設置され、移動電極は電源の負極と接続され、第１電極、第２電極は電源正極と接続されることによって、移動電極と第１電極との間及び移動電極と第２電極との間にそれぞれイオンストリーム又は電子流が発生され、移動電極と第１電極との間に位置するガラス板の下表面、及び移動電極と第２電極との間に位置するガラス板の上表面を衝撃脱気し、移動電極の移動によって、イオンストリーム又は電子流をガラス板の表面全体に通過させ、ガラス板の表面全体を脱気することを実現し、
移動電極の上にそれぞれ前記第１電極、前記第２電極に適合する細長作業面が設置され、前記細長作業面が作業する際、その全長に渡るように帯び状イオンストリーム又は電子流が形成され、第１電極は真空箱体の中に設置され、前記第１電極の作業面はガラス板の脱気しようとする表面に適合する平面又は移動電極に適合して従動する細長平面であり、第２電極はガラス板載置装置にある前記底板から構成され、これに対応するように、真空箱体の中に前記底板を電源正極に電気的接続する導電ヘッドが設置され、前記導電ヘッドはガラス板載置装置に設置された電気的接続板と摺動的に接続した導電ブラシ又は伸縮可能である接続ヘッドから構成され、
昇降手段は、ガラス板載置装置に積み重ねた隣接する両ガラス板における上部ガラス板を衝撃装置の移動電極と第１電極との間に上昇させるためであり、上部ガラス板の下表面を衝撃脱気し、その時に、隣接する両ガラス板における下部ガラス板は衝撃装置の移動電極と第２電極との間に位置する。
【０００７】
さらに、前記電源は直流電源又は高圧パルス電源などである。
【０００８】
さらに、前記複数ガラス板は、複数のチャンバの真空ガラスを構成する少なくとも二枚以上のガラス基板である。
【０００９】
さらに、前記複数ガラス板は二枚のガラス板である。
【００１０】
さらに、前記輸送手段は、ローラーコンベヤからなり、前記ガラス板載置装置は台座を有し、その台座によって輸送手段のローラーに支持されている。
【００１１】
さらに、前記真空箱体に設置された前記ガラス板載置装置の出入口は、それぞれ前記ローラーコンベヤの両端に位置された一つの入口と一つの出口を備える。
【００１２】
さらに、前記ガラス板載置装置にある台座は、前記ガラス板載置装置にある底板にて直接的に構成されている。
【００１３】
さらに、前記第１電極は、導電の平板から構成されている。
【００１４】
さらに、前記ガラス板載置装置にある前記底板は、導電の平板から構成されている。
【００１５】
さらに、前記移動電極の上にそれぞれ前記第１電極と前記第２電極に適合する作業面は細長平面である。
【００１６】
さらに、前記移動電極は、断面形状がＨ型であるサポートブラケットと、Ｈ型サポートブラケットの中間ウエブプレートの上下両側の表面上にそれぞれ水平方向に渡っている二つの断面形状が円形、長方形、三角形、正方形又はその他の多角形である細長部から構成され、Ｈ型サポートブラケットは絶縁材料からなることで、Ｈ型サポートブラケットの上に互いに絶縁される上電極と下電極が形成されている。
【００１７】
さらに、前記電源は二組を備え、Ｈ型サポートブラケットの中間ウエブプレートの上方に位置する細長部及び前記第１電極は、それぞれその一組の電源の負極と正極とを接続し、Ｈ型サポートブラケットの中間ウエブプレートの下方に位置する細長部及び前記第２電極は、それぞれもう一組の電源の負極と正極とを接続し、上下に二つの互いに独立し、それぞれ前記隣接する二枚のガラス板における上部ガラス板と下部ガラス板を脱気するためのイオン又は電子衝撃回路が形成されている。
【００１８】
さらに、前記電源は一組であり、前記移動電極のＨ型サポートブラケットの中間ウエブプレートの上方と下方の細長部は、電源負極と接続され、前記第１電極及び前記第２電極は電源正極と接続されている。
【００１９】
さらに、前記Ｈ型サポートブラケットにおける細長部が位置された二つの溝は、深溝であり、深溝の両側壁は、当該溝における細長部が作業する時に発生するイオンストリーム又は電子流の遮蔽及び案内を構成する。
【００２０】
さらに、前記移動電極の行程は、ガラスのサイズによって設定でき、衝撃脱気範囲は、衝撃脱気が必要な面積の範囲であり、前記移動電極の長さも必要に応じて調整又は遮断を行う。
【００２１】
さらに、前記Ｈ型サポートブラケットは、その両端の摺動台を介して前記真空箱体の中に設置された二本のガイドレールに移動可能に取り付けられ、駆動手段によって駆動され、ガイドレールに沿って移動し、前記摺動台と、前記Ｈ型サポートブラケットとが一体又は別体に構成された後に互いに固定的に連結され、前記駆動手段はモータ駆動のチェーン／歯車タイプの駆動手段であり、ラックは真空箱体の中に固定的に設置され、歯車は前記摺動台の上に取り付けられ、モータによって駆動して回転され、又は、前記駆動手段はモータによって駆動されたナット、ウォームスクリュー式駆動手段であり、ナットは前記摺動台に固定され、ウォームスクリューは真空箱体の中に回転可能に取り付けられ、モータによって駆動して回転され、又は、前記駆動手段はモータによって駆動されたチェーン、鎖歯車式駆動手段であり、チェーンは両端の両鎖歯車によって支持された環状形状であり、モータは一端の鎖歯車を駆動して回転させ、前記摺動台は連結板を介してチェーンの板に固定的に連結されている。
【００２２】
さらに、二本の前記ガイドレールは、前記ローラーコンベヤの輸送方向に平行又は垂直して延伸され、前記Ｈ型サポートブラケットの駆動手段は、モータによって駆動されたチェーン、鎖歯車式駆動手段であり、二本のガイドレールの外側にチェーンの両端が両鎖歯車によって支持された環状チェーンが鏡面対称に設置され、両環状チェーンの同側端の鎖歯車は、一本の軸杆によって固定的に連結され、モータによって駆動して回転される。
【００２３】
さらに、前記昇降手段は、上昇しようとするガラス板の周辺の回りに間隔を空けて設置された幾つかの昇降ユニットからなり、前記昇降ユニットは、摺動レールと、摺動台と、摺動台駆動装置と、フックと、フック駆動装置とを備え、摺動レールは前記真空箱体の中に固定的に設置され、摺動台は摺動レールの上に取り付けられ、摺動台の上に垂直のガイド孔が設置され、フックはロッド体と、ロッド体の下端のフック先端部を備え、フックはフックのロッド体により前記ガイド孔と嵌合してガイド孔に嵌装され、フックのロッド体の上端はフック駆動装置と連結され、フック駆動装置がフックを駆動してガイド孔に沿って上下に移動することに伴って、前記隣接する両ガラス板における上部ガラス板を上昇又は降下することを実現し、摺動台駆動装置は摺動台を駆動して摺動レールに沿って往復に移動させ、フック先端部を前記隣接する両ガラス板の間の隙間に挿入又は退出する。
【００２４】
さらに、前記摺動台駆動装置と前記フック駆動装置は共に、液圧シリンダー又は気体シリンダーから構成され、液圧シリンダー又は気体シリンダーのピストンロッドは前記真空箱体の中に延伸し、液圧シリンダー又は気体シリンダーの本体はピストンロッドの一端によって真空箱体の側壁に気密に固定され、前記フック駆動装置としての液圧シリンダー又は気体シリンダーのピストンロッドは、チェーンによって前記フックのロッド体の上端と連結され、これに対応するように、前記摺動台の上に前記チェーンを支持するための鎖歯車が設置されている。
【００２５】
さらに、前記摺動台駆動装置及び前記フック駆動装置は、電動プッシュロッドなどの電動駆動装置である。
【００２６】
さらに、前記フック駆動装置を構成する液圧シリンダー又は気体シリンダーのピストンロッドは、ワイヤによって前記フックのロッド体の上端と連結され、これに対応するように、前記摺動台の上に前記ワイヤを支持するためのプーリーが設置されている。
【００２７】
さらに、前記フックの最大降下位置を制限するため、前記フックのロッド体の上端にリミット台又はリミットピンが設けられ、前記フックを前記摺動台駆動装置の駆動で下部ガラスの底部に延伸するように、当該最大降下位置で、前記フックはちょうど前記上部ガラスと下部ガラスの間の高さに位置する。
【発明の効果】
【００２８】
本発明は、真空ガラスを封装する前にイオン又は電子の衝撃によってガラス板表面に吸着された気体分子を除去し、真空ガラスを封装した後に気体分子が離脱することによって、真空層間の真空度が低下することを回避することができ、真空ガラスの使用の寿命を長くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は本発明の実施例１のガラス板用衝撃脱気装置の構造概略図である。
【図２】図２は実施例１のガラス板衝撃脱気装置の左側断面図である。
【図３】図３は実施例１のガラス板衝撃脱気装置の移動電極のＨ型サポートブラケットの概略図であり、ａはＨサポートブラケットの端面図であり、ｂはＨサポートブラケットの長さ方向の断面図である。
【図４】図４は実施例１の昇降ユニットの概略図である。
【図５】図５は実施例１の昇降手段の摺動台の概略図である。
【図６】図６は本発明の実施例２のガラス板衝撃脱気装置の構造概略図である。
【図７】図７は実施例２の摺動台の簡略図である。
【図８】図８は実施例２のフックの簡略図である。
【図９】図９は実施例２のフック駆動装置が真空箱体の頂部に設置された時の簡略図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
次に、図面を併せて本発明を説明する。
【実施例１】
【００３１】
図１及び図２に示すように、本発明のガラス板用衝撃脱気装置は、真空箱体１０とガラス板載置装置２０とを備え、真空箱体１０にガラス板載置装置２０の入口１１及び出口１２が設置され、ガラス板載置装置２０に導電できる底板２１が設置され、底板２１の上方に複数のガラス板を積み重ね、積み重ねた隣接する両ガラス板の間にスペーサー４０を介して互いに離されている。
【００３２】
真空箱体１０の中に輸送手段６０と、昇降手段５０と、衝撃装置３０とが設置されている。
【００３３】
輸送手段６０は、ガラス板載置装置２０を輸送して真空箱体１０に対して出入りさせるためのものである。
【００３４】
衝撃装置３０は、電源（図示せず）と、第１電極と、第２電極と、移動電極とを備え、第１電極と第２電極は相対して上下に配置され、移動電極は第１電極と第２電極との間に移動可能に設置され、移動電極は電源負極と接続され、第１電極、第２電極は電源正極と接続されることによって、移動電極と第１電極との間及び移動電極と第２電極との間にそれぞれイオンストリーム又は電子流が発生され、移動電極と第１電極との間に位置するガラス板の下表面、及び移動電極と第２電極との間に位置するガラス板の上表面を衝撃脱気し、移動電極の移動によって、イオンストリーム又は電子流をガラス板の表面全体に通過させ、ガラス板の表面全体を脱気することを実現する。
【００３５】
移動電極の上にそれぞれ第１電極、第２電極に適合する細長第１作業面３１及び第２作業面３２が設置され、当該２つの細長作業面が作業する際、その全長に渡るように帯び状イオンストリーム又は電子流が形成され、第１電極は真空箱体１０の中に設置され、第１電極の作業面はガラス板の脱気しようとする表面に適合する平面である。第２電極はガラス板載置装置２０にある底板２１から構成され、相応に、真空箱体１０の中に底板２１を電源正極に電気的接続する導電ヘッド７０が設置され、当該導電ヘッド７０は、ガラス板載置装置２０に設置された電気的接続板２２と摺動的に接続した導電ブラシから構成されている。
【００３６】
移動電極の行程は、ガラスのサイズによって設定でき、衝撃脱気範囲は、衝撃脱気が必要な面積の範囲である。移動電極の長さも必要に応じて調整又は遮断を行う。
【００３７】
昇降手段５０は、ガラス板載置装置２０に積み重ねた隣接する両ガラス板における上部ガラス板を衝撃装置３０の移動電極と第１電極との間に上昇させるためであり、上部ガラス板の下表面を衝撃脱気し、その時に、隣接する両ガラス板における下部ガラス板は衝撃装置３０の移動電極と第２電極（即ち底板２１）との間に位置する。
【００３８】
複数ガラス板は、複数のチャンバの真空ガラスを構成する少なくとも三枚以上のガラス基板である。
【００３９】
輸送手段６０は、ローラーコンベヤからなる。ガラス板載置装置２０は台座を有し、その台座によって輸送手段のローラーに支持され、本実施例の台座は直接に底板２１から構成されている。
【００４０】
イオンストリーム又は電子流は衝撃により脱気するガラス板の表面を垂直する。第１電極は平板から構成されている。
【００４１】
図３に示すように、移動電極３０は、断面形状がＨ型であるサポートブラケット３３と、Ｈ型サポートブラケット３３の中間ウエブプレートの上下両側の表面上にそれぞれ水平方向に渡っている二つの断面形状が長方形の細長部から構成され、二つの細長部はそれぞれ第１作業面３１と第２作業面３２とを構成し、Ｈ型サポートブラケット３３は絶縁材料から構成され、これによりＨ型サポートブラケット３３上に互いに絶縁される上電極と下電極が形成され、同時に、電源が二組備えられ、Ｈ型サポートブラケット３３の中間ウエブプレートの上方に位置する第１作業面３１を構成する細長部及び第１電極は、それぞれその一組の電源の負極と正極に接続され、Ｈ型サポートブラケット３３の中間ウエブプレートの下方に位置し第２作業面３２を構成する細長部及び底板２１は、それぞれもう一組の電源の負極と正極に接続され、上下に二つの互いに独立し、それぞれ隣接する二枚のガラス板における上部ガラス板と下部ガラス板を脱気するためのイオン又は電子衝撃回路が形成されている。
【００４２】
また、電源は一組であってもよく、移動電極のＨ型サポートブラケットの中間ウエブプレートの上方と下方の細長部は、電源負極と接続され、前記第１電極及び前記第２電極は電源正極と接続されている。
【００４３】
また、第１作業面３１と第２作業面３２とを構成する二つの細長部の断面形状は、円形、三角形、規則的な多角形又は不規則的な多角形であってもよい。
【００４４】
Ｈ型サポートブラケット３３における細長平板が位置された二つの溝は、深溝であり、深溝の両側壁は、当該溝における細長部の第１作業面３１又は第２作業面３２が作業する時に発生するイオンストリーム又は電子流の遮蔽及び案内を構成する。
【００４５】
Ｈ型サポートブラケット３３は、その両端の摺動台３４を介して真空箱体１０の中に設置された二本のガイドレール３５に移動可能に取り付けられ、ガイドレール３５に沿って移動するように駆動手段３６によって駆動され、摺動台３４とＨ型サポートブラケット３３とが一体に構成される、又は、初めは別体であり後にフレキシブルに連結される構成としている。駆動手段３６はモータ駆動のチェーン鎖歯車式の駆動手段であり、チェーンは両端の両鎖歯車によって支持された環状形状であり、モータは一端の鎖歯車を駆動して回転させ、摺動台３４はチェーンの板に固定的に連結されている。
【００４６】
二本のガイドレール３５は、ローラー式輸送手段６０の輸送方向に平行に設置して延伸され、Ｈ型サポートブラケット３３の駆動手段は、モータによって駆動されたチェーン、鎖歯車式駆動手段であり、二本のガイドレールの外側にチェーンの両端が両鎖歯車によって支持された環状チェーンが鏡面対称に設置され、両環状チェーンの同側端の鎖歯車は、一本の軸杆によって固定的に連結され、モータによって駆動して回転される。
【００４７】
また、Ｈ型サポートブラケット３３の駆動手段は、タイミング歯付きベルト、ベルトプーリであってもよい。二本のガイドレール３５は、ローラー式輸送手段６０の輸送方向に垂直に設置して延伸されている。
【００４８】
また、駆動手段３６はモータによって駆動される歯車、ラック式駆動手段であってもよく、ラックは真空箱体１０に固定的に設置され、歯車は摺動台３４に取り付けられ、モータによって駆動して回転される。駆動手段３６はモータによって駆動されたナット、ウォームスクリュー式駆動手段であってもよく、ナットは摺動台３４に固定され、ウォームスクリューは真空箱体１０の中に回転可能に取り付けられ、モータによって駆動して回転される。
【００４９】
図４及び図５に示すように、昇降手段５０は、上昇しようとするガラス板の周辺の回りに間隔を空けて設置された幾つかの昇降ユニット８０からなり、昇降ユニット８０は、摺動レール８１と、摺動台８２と、摺動台駆動装置８３と、フック８４と、フック駆動装置８５とを備え、摺動レール８１は真空箱体１０に固定的に設置され、摺動台８２は摺動レール８１の上に取り付けられ、摺動台８２の上に垂直のガイド孔８２１が設置され、フック８４はロッド体と、ロッド体の下端のフック先端部を備え、フック８４はフックのロッド体により前記ガイド孔８２１と嵌合してガイド孔８２１に嵌装され、フック８４ロッド体の上端はフック駆動装置８５と連結されている。フック駆動装置８５がフック８４を駆動してガイド孔８２１に沿って上下に移動することに伴って、ガラス板載置装置２０の上に積み重ねた隣接する両ガラス板における上部ガラス板を上昇又は降下することを実現し、摺動台駆動装置８３は摺動台８２を駆動して摺動レール８１に沿って往復に移動させ、フック先端部を前記隣接する両ガラス板の間の隙間に挿入又は退出することを実現する。
【００５０】
摺動台駆動装置８３及びフック駆動装置８５は共に、液圧シリンダー又は気体シリンダーから構成され、液圧シリンダー又は気体シリンダーのピストンロッドは真空箱体１０の中に延伸し、液圧シリンダー又は気体シリンダーの本体はピストンロッドの一端によって真空箱体１０の側壁に気密に固定され、摺動台駆動装置８５としての液圧シリンダー又は気体シリンダーのピストンロッドは、チェーンによって前記フック８４ロッド体の上端と連結され、これに対応するように、摺動台８２の上にチェーンを支持するための鎖歯車８２２及び摺動レール８１に適応する貫通孔８２３が設置されている。
【００５１】
フック８４ロッド体の上端にフック８４の最大降下位置を制限するためのリミット台８４１が設けられている。
【００５２】
作業の際には、真空箱体１０の入口１１を開き、ローラー式輸送手段６０は、複数のガラス板が載置されているガラス板載置装置２０を真空箱体１０に輸送させ、ガラス板載置装置２０は作業位置に進入した後、ガラス板載置装置２０にある底板２１と連通した電気的接続板２２は、導電ブラシから構成された導電ヘッド７０と摺動的に連結される。
【００５３】
真空箱体１０の入口１１が閉じられ、フック駆動装置８５のピストンロッドが張り出され、フック８４を取り下ろし、フック８４が上から下への第１ガラス板と第２ガラス板との間にまで位置し、摺動台駆動装置８３のピストンロッドが張り出され、フック８４を第１ガラス板の下方に挿入させた後、フック駆動装置８５のピストンロッドが取り戻され、フック８４によって第１ガラス板を移動電極の上方に上昇させる。
【００５４】
電源の二組の電源にスイッチを入れ、駆動手段３６の駆動で、移動電極はガイドレール３５に沿って第１ガラス板と第２ガラス板との間に進入し、衝撃装置３０の二組のイオンストリームはそれぞれ第１ガラス板の下表面と第２ガラス板の上表面にイオン又は電子衝撃脱気を行う。
【００５５】
複数のガラス基板の真空ガラスに対して、第１と第２のガラス板の脱気を完成した後、フック駆動装置８５はフック８４によって第１ガラス板を取り下ろし、摺動台駆動装置８３のピストンロッドが取り戻され、フック８４を第１ガラス板の下方から退出させ、フック駆動装置８５のピストンロッドはさらに張り出し、フック８４を第２ガラス板と第３ガラス板との間の高さまで取り下ろさせ、摺動台駆動装置８３は摺動台８２によってフック８４を第２ガラス板の下方に進入させ、フック駆動装置８５のピストンロッドが取り戻され、同時に第１ガラス板と第２ガラス板を上昇して移動電極の上方に移動させ、衝撃装置３０は第２ガラス板の下表面と第３ガラスの上表面に衝撃脱気を行う。
【００５６】
同様に、すべてのガラス板の脱気作業を完成するまで上記の動作を重複する。電源を落とし、真空箱体１０の出口１２を開き、ローラー式輸送手段６０は複数のガラス板が載置されたガラス載置装置２０を真空箱体１０から送り出し、複数のガラス板は次の加工工程に進入する。
【実施例２】
【００５７】
図６〜図８に示すように、本発明の実施例２のガラス板衝撃脱気装置と実施例１との相違点は以下の通りである。
【００５８】
即ち、
１）第１電極は、真空箱体の中に設置され、移動電極に整合して従動する細長平面である。第１電極は電極摺動台３８に設置され、電極摺動台３８は電極摺動台駆動装置の駆動で、摺動レール３７に沿って摺動する。
【００５９】
２）フック駆動装置８５の液圧シリンダー又は気体シリンダーのピストンロッドは、ワイヤによってフック８４のロッド体の上端と連結され、これに対応するように、図７に示すように、摺動台８２にベルトを支持するためのプーリー８２４が設置されている。
また、図９に示すように、フック駆動装置８５は真空箱体１０の頂部に設置され、これに対応するように、ピストンロッドは直接にワイヤ又はチェーンによってフック８４のロッド体の上端と連結されている。
【００６０】
３）図８に示すように、フック８４のロッド体の上端にフック８４の最大降下位置を制限するためのリミットピン８４２が設けられ、リミットピン８４２はフック８４のロッド体の上端の相応するピン孔と中間嵌め又は締まり嵌めにする。
【００６１】
４）衝撃装置３０の電源は一組のみであり、第１電極、第２電極及び移動電極に電源を供給する。第１電極及び移動電極第１作業面３１と、第２電極（即ち底板２１）及び移動電極第２作業面３２とは、同時に上下の両ガラス板を脱気してもよく、交替の作業でそれぞれ上部ガラス板と下部ガラス板を脱気してもよい。
【００６２】
５）図６に示すように、底板２１は電源正極と電気的接続する導電ヘッド７０は伸縮可能の連結ヘッドであり、電源正極と連通する連結ヘッド体７１、連結ロッド７２及び液圧シリンダー又は気体シリンダー７３を備える。
【００６３】
６）真空箱体１０にガラス板載置装置の出入口１３が設置され、真空箱体１０の中の輸送手段はプッシュロッド、プッシュプルロッド又はガントリーフックである。
【００６４】
７）複数のガラス板は真空ガラスを構成する両ガラス板である。
【００６５】
本発明は、真空ガラス封装の前にイオン又は電子の衝撃によってガラス板表面に吸着された気体分子を除去し、真空ガラスを封装した後に気体分子が離脱することによって、真空層間の真空度が低下することを回避し、真空ガラスの使用寿命を延長する。
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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