(57)【要約】包装挿入物は、容器の内部において、少なくともシリコンウエハーなどの容器内容物の周囲に対応する領域で、選択された量のスペースを占有するように構成されたフレームを含む。包装挿入物は、フレームの基準面に対して斜めの角度でフレームから突出する複数のばね部材を含む。ばね部材は、容器を閉じるときに容器の面との接触に応答して撓むか又は動くように構成される。ばね部材の弾力性は、シリコンウエハーなどの容器の内容物を容器の内部に所望の状態で保持することを容易にする、容器の内部での包装挿入物の確実な位置決めを提供する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
包装挿入物であって、
挿入部の外周を定めるフレーム部分と、
前記フレーム部分の面に対して斜めの角度で前記フレーム部分から突出するばね部材と
を含む包装挿入物。
【請求項２】
前記フレーム部分は不変の厚さを有する、請求項１に記載の包装挿入物。
【請求項３】
前記ばね部材は、少なくとも部分的に弾力性があり且つ前記フレーム部分に対して少なくとも部分的に移動可能であるか又は少なくとも部分的に可撓性がある、請求項１に記載の包装挿入物。
【請求項４】
前記ばね部材は、第１の位置にある前記挿入物の第１の全厚と、前記フレーム部分に対して撓まされ又は動かされる前記ばね部材に対応する第２の位置にある前記挿入物のより小さい第２の全厚とを定める、請求項３に記載の包装挿入物。
【請求項５】
前記フレーム部分はリングを含み、
前記ばね部材は前記リングの中心に向かって内向きに突出する、請求項１に記載の包装挿入物。
【請求項６】
前記フレーム部分は少なくとも部分的に矩形の断面を有する、請求項５に記載の包装挿入物。
【請求項７】
前記ばね部材は前記フレーム部分から遠位の第１部分を有し、
前記ばね部材は前記フレーム部分に対して近位の第２部分を有し、
前記第１部分は第１の寸法を有し、
前記第２部分はより大きい第２の寸法を有する、請求項１に記載の包装挿入物。
【請求項８】
組立体であって、
基部と蓋とを含む容器であって、前記基部と前記蓋との間に保管エリアを有する容器と、
前記保管エリアに位置するウエハーの積み重ねであって、前記保管エリア内の利用可能なスペースよりも小さいスペースを占有するウエハーの積み重ねと
前記保管エリアの内部の少なくとも１つの包装挿入物であって、フレーム部分と、前記フレーム部分の面に対して斜めの角度で前記フレーム部分から突出する複数のばね部材とを有する少なくとも１つの包装挿入物と
を含む組立体。
【請求項９】
前記少なくとも１つの包装挿入物は、前記ウエハーの積み重ねと前記蓋又は前記基部の少なくとも一方の内面との間に位置し、
前記内面は、前記ばね部材が前記包装挿入物を前記ウエハーの積み重ねに向かって付勢するように前記ばね部材を前記フレーム部分に対して撓ませ又は動かす方法で前記少なくとも１つの包装挿入物のばね部材と接触する、請求項８に記載の組立体。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの包装挿入物は複数の包装挿入物を含み、
前記包装挿入物の１つのみのばね部材が前記内面との接触に応答して撓むか又は動く、請求項９に記載の組立体。
【請求項１１】
そのばね部材が撓みも動きもしない前記包装挿入物の少なくとも１つの前記フレーム部分は、前記容器の内部でスペーサーとして機能する、請求項１０に記載の組立体。
【請求項１２】
前記フレーム部分と前記ばね部材は、前記容器が開いているときの第１の全厚と、前記容器が閉じられているときのより小さい第２の厚さとを有し、前記蓋は前記基部に固定されている、請求項８に記載の組立体。
【請求項１３】
前記ばね部材は、前記容器が開いているときと前記容器が前記基部に固定された前記蓋で閉じられているときで異なるように前記フレーム部分に対して位置付けられる、請求項８に記載の組立体。
【請求項１４】
前記フレーム部分は不変の厚さを有する、請求項８に記載の組立体。
【請求項１５】
前記ばね部材は、少なくとも部分的に弾力性があり且つ前記フレーム部分に対して少なくとも部分的に移動可能であるか又は少なくとも部分的に可撓性がある、請求項８に記載の組立体。
【請求項１６】
前記ばね部材は、第１の位置にある前記包装挿入物の第１の全厚と、前記フレーム部分に対して撓まされ又は移動される前記ばね部材に対応する第２の位置にある前記包装挿入物のより小さい第２の全厚とを定める、請求項１５に記載の組立体。
【請求項１７】
前記フレーム部分はリングを含み、
前記ばね部材は前記リングの中心に向かって内向きに突出する、請求項８に記載の組立体。
【請求項１８】
前記フレーム部分は少なくとも部分的に矩形の断面を有する、請求項８に記載の組立体。
【請求項１９】
前記断面は少なくとも部分的に丸みを帯びている、請求項１８に記載の組立体。
【請求項２０】
前記ばね部材は前記フレーム部分から遠位の第１部分を有し、
前記ばね部材は前記フレーム部分に対して近位の第２部分を有し、
前記第１部分は第１の寸法を有し、
前記第２部分はより大きい第２の寸法を有する、請求項８に記載の組立体。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
シリコンウエハーなどの繊細なアイテムを梱包する場合、これらのアイテムが容器の内部で適切に固定されることを確実にする必要がある。例えば、シリコンウエハーは、容器の内部でのウエハーの横方向又は軸方向の移動の結果として損傷を受ける可能性がある。横方向の移動は、積み重ね内のウエハーが積み重ねた配置に対して左右に移動することを含む（例えば、ウエハーは互いに対してスライドする）。軸方向の移動は、積み重ね内のウエハーが積み重ねた配置と一直線の方向に移動することを含む（例えば、ウエハーは互いに近づくか互いから離れる）。どちらのタイプの移動も、繊細なウエハー又はウエハー上に形成されたあらゆる回路に損傷を与えることがある。
【０００２】
様々なウエハー容器の形態が提案され、ウエハーを容器の内部に詰める様々な方法が知られている。それらの一部は、望ましくないウエハーの移動に抵抗するように意図された特徴又は構成要素を有する。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
本発明の例示的な実施形態によれば、包装挿入物は、容器の内部において、少なくともシリコンウエハーなどの容器内容物の周囲に相当する領域で、選択された量のスペースを占有するように構成されたフレームを含む。包装挿入物は、フレームの基準面に対して斜めの角度でフレームから突出する複数のばね部材を含む。ばね部材は、容器を閉じるときに容器の面との接触に応答して撓むか又は動くように構成される。ばね部材の弾力性は、シリコンウエハーなどの容器の内容物を容器の内部に所望の状態で保持することを容易にする、容器の内部での包装挿入物の確実な位置決めを提供する。
【０００４】
包装挿入物の例示的な実施形態は、挿入物の外周を定めるフレーム部分と、フレーム部分の面に対して斜めの角度でフレーム部分から突出する複数のばね部材とを含む。
【０００５】
前の段落の包装挿入物の１つ以上の特徴を有する実施形態では、フレーム部分は不変の厚さを有する。
【０００６】
前の段落のいずれかの包装挿入物の１つ以上の特徴を有する実施形態では、ばね部材は、少なくとも部分的に弾力性があり且つフレーム部分に対して少なくとも部分的に移動可能であるか又は少なくとも部分的に可撓性がある。
【０００７】
前の段落のいずれかの包装挿入物の１つ以上の特徴を有する実施形態では、ばね部材は、第１の位置にある挿入物の第１の全厚と、フレーム部分に対して撓まされ又は動かされるばね部材に対応する第２の位置にある挿入物のより小さい第２の全厚とを定める。
【０００８】
前の段落のいずれかの包装挿入物の１つ以上の特徴を有する実施形態では、フレーム部分はリングを含み、ばね部材はリングの中心に向かって内向きに突出する。
【０００９】
前の段落のいずれかの包装挿入物の１つ以上の特徴を有する実施形態では、フレーム部分は概ね矩形の断面を有する。
【００１０】
前の段落のいずれかの包装挿入物の１つ以上の特徴を有する実施形態では、ばね部材は概ね平面状である。
【００１１】
組立体の例示的な実施形態は、基部と蓋とを含む容器であって、基部と蓋との間に保管エリアを有する容器と、保管エリアに位置するウエハーの積み重ねであって、保管エリアの内部の利用可能なスペースより小さいスペースを占有するウエハーの積み重ねと、保管エリアの内部にある少なくとも１つの包装挿入物であって、フレーム部分と、フレーム部分の面に対して斜めの角度でフレーム部分から突出する複数のばね部材とを有する少なくとも１つの包装挿入物とを含む。
【００１２】
前の段落の組立体の１つ以上の特徴を有する実施形態では、少なくとも１つの包装挿入物は、ウエハーの積み重ねと蓋又は基部の少なくとも一方の内面との間に位置し、内面は、ばね部材が包装挿入物をウエハーの積み重ねに向かって付勢するようにばね部材をフレーム部分に対して撓ませ又は動かす方法で、少なくとも１つの包装挿入物のばね部材と接触する。
【００１３】
前の段落のいずれかの組立体の１つ以上の特徴を有する実施形態では、少なくとも１つの包装挿入物は複数の包装挿入物を含み、包装挿入物の１つのみのばね部材が内面との接触に応答して撓むか又は動く。
【００１４】
前の段落のいずれかの組立体の１つ以上の特徴を有する実施形態では、フレーム部分とばね部材は、容器が開いているときの第１の全厚と、容器が閉じているときのより小さい第２の厚さとを有し、蓋は基部に固定されている。
【００１５】
前の段落のいずれかの組立体の１つ以上の特徴を有する実施形態では、ばね部材は、容器が開いているときと容器が基部に固定された蓋で閉じられたときで異なるようにフレーム部分に対して位置付けられる。
【００１６】
前の段落のいずれかの組立体の１つ以上の特徴を有する実施形態では、フレーム部分は不変の厚さを有する。
【００１７】
前の段落のいずれかの組立体の１つ以上の特徴を有する実施形態では、ばね部材は、少なくとも部分的に弾力性があり且つ少なくとも部分的にフレーム部分に対して移動可能であるか又は少なくとも部分的に可撓性がある。
【００１８】
前の段落のいずれかの組立体の１つ以上の特徴を有する実施形態では、ばね部材は、第１の位置にある包装挿入物の第１の全厚と、フレーム部分に対して撓まされ又は動かされるばね部材に対応する第２の位置にある包装挿入物のより小さい第２の全厚とを定める。
【００１９】
前の段落のいずれかの組立体の１つ以上の特徴を有する実施形態では、フレーム部分はリングを含み、ばね部材はリングの中心に向かって内向きに突出する。
【００２０】
前の段落のいずれかの組立体の１つ以上の特徴を有する実施形態では、フレーム部分は概ね矩形の断面を有する。
【００２１】
前の段落のいずれかの組立体の１つ以上の特徴を有する実施形態では、ばね部材は概ね平面状である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態に従って設計された包装挿入物の例示的な実施形態の斜視図である。
【図２】挿入物の上から見た図１の実施例の立面図である。
【図３】挿入物の横から見た包装挿入物の立面図である。
【図４】図２の線４−４に沿った断面図である。
【図５】複数のシリコンウエハーを有する容器の内部に少なくとも１つの包装挿入物を含む容器組立体を模式的に示す。
【図６】別の包装挿入物の実施形態の断面図である。
【図７】別の包装挿入物の実施形態の断面図である。
【図８】別の包装挿入物の実施形態の特徴を模式的に示す。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
図１〜３に示すような包装挿入物２０の例示的な実施形態はフレーム部分２２を含む。この実施例では、フレーム部分２２は挿入物２０の外周の周りに延在する。この実施例では、外周は概ね円形であり、フレーム部分２２は、図４から分かるように、概ね矩形の断面を有するリングを含む。この実施例では、フレーム部分２２は、概ね硬く、内部に挿入物が置かれる容器内で通常遭遇する力にさらされたときの圧縮に対して耐性がある。言い換えれば、フレーム部分２２は、包装挿入物２０を容器内に配置したときの容器の内部の概ね不変の占有スペースに対応する、概ね不変の厚さ又は高さを有する。
【００２４】
挿入物２０は、フレーム部分２２から突出する複数のばね部材２４を含む。この実施例では、ばね部材２４は、挿入物２０の中心に向かって概ね内側へ突出する。この実施例では、ばね部材２４は、成形したままの位置又は休止位置において概ね平面状である。ばね部材２４は、フレーム部分２２に比べて断面が薄い。相対的に薄いばね部材２４は、フレーム部分２２の中心を通る軸に沿った方向において、フレーム部分２２よりも弾力性又は可撓性がある。
【００２５】
ばね部材２４は、図４で最も良く見られるようにフレーム部分２２から斜めの角度Ａで突出する。この実施例では、角度Ａはフレーム部分２２の内面２６に対して測る。この実施例では、内面２６はフレーム部分２２の底面２８に対して概ね垂直である。底面２８は、挿入物２０がシリコンウエハーを含む容器の内部に入れられたときにシリコンウエハーの面に対して概ね平行に向けられる。
【００２６】
ばね部材２４は、ばね部材２４にかかる力に応答してばね部材２４がフレーム部分２２に対して撓むか又は動くことができるように、少なくとも部分的に可撓性又は弾力性がある。一部の実施例では、挿入物２０を形成するのに使用される材料、ばね部材２４の厚さ、又はそれらの両方によって、ばね部材２４が所望のように撓むか又は動くことを可能にする可撓性がもたらされる。実施例の挿入物２０は、プラスチック材料で成形されている。
【００２７】
ばね部材２４は、リビングヒンジによって定められる旋回軸を中心に、例えばばね部材２４の長さに沿って、又はばね部材２４とフレーム部分２２との接合部分で撓むことができる。或いは、ばね部材２４は、力が加えられる角度と、このような加力の間に接触されるばね部材の部分とに応じて、ばね部材に沿った様々な場所のいずれかで撓むか又はしなることができる。
【００２８】
この実施例のばね部材２４はすべて、挿入物２０の中心に向かう方向に同じ長さを有する。フレーム部分２２から遠位にあるばね部材２４の端部は、環状に並べられる。ばね部材２４は、周方向に均等に離間し、フレーム部分２２の周りに分散している。
【００２９】
一部の例示的な実施形態では、ばね部材２４はすべてが同じではない。例えば、ばね部材２４の一部が他のものよりも長いか又は厚いことができる。異なるばね部材の形態を有することは、ばね部材がそれに応じて撓むか又は動く、異なるばね力又はばね作用の量を有することを可能にする。異なるように構成されたばね部材を有することは、当初より長く又はより撓みやすいばね部材２４が撓むときの比較的柔らかいばねの効果、より短く又はより堅いばね部材２４が撓むときの比較的堅固なばねの効果など、ばねの関与の異なる段階を可能にする。
【００３０】
図５は、基部又は容器底部３０Ａと、蓋又は容器頂部３０Ｂとを含む容器３０を示す。複数のシリコンウエハー３２が容器３０の内部に配置されている。複数のウエハー分離リング３６がウエハー３２の間に置かれ、１つの分離リング３６が（図によれば）最も下にあるウエハーと容器底部３０Ａの底面との間に置かれている。
【００３１】
ウエハー３２と分離リング３６が容器底部３０Ａの内部に置かれたとき、ウエハースタックによって占有されない付加的な軸方向の（例えば、図面による上から下への）スペースがある。そのスペースが空いているままであると、ウエハーは、容器３０の輸送中又は取扱い中に容器の内部で互いに対して軸方向に動くことができる（すなわち、ウエハーの積み重ね内にあるウエハーの少なくとも一部は、図面による上下方向に動くことができる）。
【００３２】
本実施例では、複数の包装挿入物２０が、ウエハー３２及びウエハー分離リング３６に占有されていない軸方向のスペースを占有するために、容器３０の内部に配置される。容器３０の内部の挿入物２０によれば、空いている軸方向のスペースは事実上なく、ウエハー３２の積み重ねは、頂部３０Ｂと下部３０Ａを互いに固定したとき、容器３０の内部に確実に保持される。挿入物２０のフレーム部分２２は、分離リング３６の外周形状に対応する外周形状を有する。この実施例では、フレーム部分２２の外径は、分離リング３６の外径にほぼ等しい。
【００３３】
選択された数の挿入物２０が、ウエハー３２の積み重ね（及びこの実施例ではウエハー分離リング３６）によって占有されない容器３０の内部のスペースを適切に占有する。図では、ウエハー３２の積み重ねから最も遠い又は容器底部３０Ａの開放端に最も近い包装挿入物２０は、フレーム部分２２が３８で概略的に示すような容器底部３０Ａの境界の内部にあるように配置される。ばね部材２４の全長の少なくとも一部は、容器底部３０Ａの内部を越えて延び、このことは、図５において、容器３０が開いているとき、ばね部材２４の一部分が３８で概略的に示される境界を越えて延びると考えることにより、十分理解することができる。ばね部材２４の（容器３０が開いているときに）境界３８を越えて延びる部分は、容器頂部３０Ｂと容器底部３０Ａが互いに固定されるときに容器頂部３０Ｂの内面４０と接触する。容器３０が完全に閉じられたとき、内面は境界３８と位置合わせされる。
【００３４】
容器を閉じるのに関連する力が、ばね部材２４を容器３０の内部に向かって（例えば、図面による下向きに）曲げさせ又は撓ませる。ばね部材２４の弾力性又は可撓性は、ウエハースタック３２が容器の内部に確実に保持されるように、容器３０の内部にあるフレーム部分２２、ウエハー分離リング３６及びウエハー３２のすべてに付勢をもたらす。
【００３５】
図５の実施例では、より内部に位置する挿入物２０（例えば、図面による最も上のもの以外の挿入物２０）のばね部材２４は、ばね部材２４がばね部材２４を曲げさせ又は撓ませるようにばね部材２４に力をかける面と接触しないため、曲がりも撓みもしない。図５では上側の包装挿入物２０のばね部材２４のみが撓まされている。そのばね部材が容器の蓋３０Ｂの内面４０と相互作用しない挿入物２０のフレーム部分２２は、容器３０の内部にある内容物にいかなるばね状効果又は圧縮効果も与えずに容器３０の内部のスペースを占有するスペーサーと考えることができる。
【００３６】
容器３０を閉じる前、挿入物のすべてが、フレーム部分２２及びばね部材２４によって定められるウエハースタックの方向に（例えば、図面の上下方向に）第１の全厚を有する。容器底部３０Ａと容器頂部３０Ｂが図５に示すように互いに固定されたとき、一番上の挿入物２０は、容器３０を閉じる際に一番上の挿入物のばね部材２４が容器頂部３０Ｂの内面４０との接触に応答して撓むため、他の挿入物２０よりも小さい第２の全厚を有する。挿入物２０の各々は、成形したままの状態又は休止状態における第１の全厚又は高さと、そのばね部材２４がフレーム部分２２に対して撓むか又は動くときの、より小さい第２の全厚又は高さとを有する。
【００３７】
フレーム部分２２は、容器３０の内部で設定された量の軸方向のスペースを占有する。ばね部材２４は、容器３０の内部の包装挿入物２０によって占有される総スペースを調整することを可能にする調整機能を提供する。概ね非圧縮性のフレーム部分２２を含むことによって、ウエハースタックによって占有されない容器内部の全距離に沿って望ましくない又は制御されていない量の弾力性又は可撓性を導入することなく、容器の内部の所望の量のスペースを予想通りに占有することが可能になる。硬い又は概ね非圧縮性のフレーム部分２２と可撓性又は弾力性があるばね部材２４との組み合わせは、ばね部材２４により容器の内部の所望の位置に内容物を付勢するための付勢が容器の内部に存在することが確実になるため、容器の内部でのシリコンウエハー又は他の部品のより安全な格納をもたらす。このような付勢を達成するためにばね部材の１セットのみが曲がるか又は撓むことが必要な場合、その付勢に関連する力は既知であり且つ制御され、それにより、容器の内部での、シリコンウエハーなどの部品の安全性が高められる。
【００３８】
図６は、本発明の実施形態に従って設計された包装挿入物２０の別の形態を示す。この実施例では、フレーム部分２２は、図４の実施例における概ね矩形の形状に比べて丸い断面輪郭を有している。丸い輪郭は、ばね部材２４を動かし又は撓ませるばね部材２４への力（例えば、図６における下向きの力）に応答して、フレーム部分２２が容器３０のような容器の内部で回転又は移動することを可能にする。フレーム部分２２のこのような回転によっても、この実施例では、フレーム部分２２によって占有されるスペースの量は変化しない。
【００３９】
図７は、別のフレーム部分の形態を示す。この実施例では、フレーム部分２２は、少なくとも１つの縁に沿って少なくとも１つの丸みを帯びた領域５０を有する概ね矩形の断面輪郭を有する。丸みを帯びた領域５０は、フレーム部分２２の大部分について概ね矩形の輪郭を有するにもかかわらず、容器３０のような容器を閉じるときにフレーム部分２２のいくらかの回転運動を容易にする。図４及び７の実施例のような矩形の輪郭は、それぞれ、容器の内部で複数の挿入物２０を積み重ねることを容易にする。
【００４０】
図７の実施形態の別の特徴は、ばね部材２４の厚みが、フレーム部分２２に近いほど大きいことである。図示のばね部材２４のフレーム部分２２から遠位の部分４４は、より近位の部分４６よりも薄い。薄い部分４４は、比較的厚い部分４６と比較して、挿入物２０が配置された容器を閉じるのに関連する力に応じてより容易に曲がるか又は撓むであろう。この様々な厚さは、容器を閉じるときにばね部材２４がどのくらい撓むかに影響を与えるので、ウエハースタックによって占有されない容器内のスペースの量に応じて、容器の内部にあるウエハーの積み重ねへの圧縮力の様々な量を可能にする。
【００４１】
図８は、ばね部材２４の他の形態を示す。この実施例では、ばね部材のサイズは、図７の実施形態に比べて異なる寸法又は方向で変化する。図８の実施例では、ばね部材の遠位の部分４４は、近位の部分４６の幅Ｗに比べてより小さいかより細い幅ｗを有する。この実施例はまた、ばね部材２４に与えられる撓み又は動きに応じて様々なばねの効果又は様々な圧縮力の量を提供する。
【００４２】
図８は、一部の実施形態に含めることができる付加的な特徴を示す。この実施例では、フレーム部分２２の外周は、複数のタブ５２と、複数の切欠き５４とを含む。一部の実施形態は、タブ５２のみ又は切欠き５４のみを含むことができる。タブ５２又は切欠き５４は、容器の内部での挿入物２０の位置合わせを確立し且つ維持するために、容器の内側に対応して作られた特徴物と協働するように配置され且つ構成される。例えば、容器は、包装挿入物２０の切欠き５４に嵌合する内面に沿ったリブ又は突起などの特徴物を有することができる。容器の特徴物とノッチ５４との相互作用又は協働により、容器の内部での挿入物２０の回転運動が制限又は防止される。
【００４３】
一部の実施形態の様々な特徴が、上述され且つ図面に示されている。これらの特徴は、必ずしもそれらが示されている特定の実施形態に限定されるものではない。例えば、実施形態の１つからの１つ以上の特徴を実施形態の他のものに組み込むことができる。一実施形態の特徴を他の実施形態の特徴と交換するか、本発明に従って設計された包装挿入物に例示的な実施形態のいずれかの選択した特徴のみを含めることもできる。
【００４４】
前述の説明は、本質的に限定よりも例示である。特徴物の開示された構成に対する修正及び変更は、本明細書の利益を有する当業者に明らかになり、このような変更又は修正は、本発明の本質から必ずしも逸脱しない。本発明に与えられる保護の範囲は、添付の特許請求の範囲を検討することによってのみ決定されることができる。
【図１】
2016515765.tif 000003
【図２】
2016515765.tif 000004
【図３】
2016515765.tif 000005
【図４】
2016515765.tif 000006
【図５】
2016515765.tif 000007
【図６】
2016515765.tif 000008
【図７】
2016515765.tif 000009
【図８】
2016515765.tif 000010
【国際調査報告】
2016515765.tif 000011
2016515765.tif 000012