(57)【要約】  少なくとも１つの透明な基板（１）と、透明な基板の少なくとも１つの表面上に少なくとも１つの導電性コーティング（２）とを含む、透明な板ガラスであって、  導電性コーティングは、少なくとも２つの上下に配置された機能層（３）を有し、各機能層はそれぞれ順次に、少なくとも１つの・２．１以上の屈折率を有する高光屈折率材料層（４）と、・少なくとも１つの非晶質酸化物を含む平滑化層（５）と、・下側適合層（６）と、・導電層（７）と、・上側適合層（８）とを含み、  下側及び／又は上側適合層は、層断面全体において均一に分布したゲッター材料（１０）を含み、ゲッター材料は、ニオブ、チタン、バリウム、マグネシウム、タンタル、ジルコニウム、トリウム、パラジウム、白金、及び、これらの合金からなるグループからなり、  ゲッター材料を含む少なくとも１つの下側及び／又は上側適合層は、導電層に直接コンタクトしている。
2016508109.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの透明な基板（１）と、前記透明な基板（１）の少なくとも１つの表面上に少なくとも１つの導電性コーティング（２）とを含む、透明な板ガラスであって、
前記導電性コーティング（２）は、少なくとも２つの上下に重なり合って配置された機能層（３）を有し、各機能層（３）はそれぞれ、
・２．１以上の屈折率を有する少なくとも１つの高光屈折率材料層（４）と、
・前記高光屈折率材料層（４）の上にある、少なくとも１つの非晶質酸化物を含む少なくとも１つの平滑化層（５）と、
・前記平滑化層（５）の上にある、少なくとも１つの下側適合層（６）と、
・前記下側適合層（６）の上にある、少なくとも１つの導電層（７）と、
・前記導電層（７）の上にある、少なくとも１つの上側適合層（８）と
を含み、
前記下側適合層（６）及び／又は前記上側適合層（８）は、層断面全体において均一に分布したゲッター材料（１０）を含み、前記ゲッター材料（１０）は、ニオブ、チタン、バリウム、マグネシウム、タンタル、ジルコニウム、トリウム、パラジウム、白金、及び、これらの合金からなるグループからなり、
前記ゲッター材料（１０）を含む少なくとも１つの前記下側適合層（６）及び／又は前記上側適合層（８）は、前記導電層（７）に直接コンタクトしている
ことを特徴とする、透明な板ガラス。
【請求項２】
前記下側適合層（６）及び／又は前記上側適合層（８）は、１重量％から１０重量％の濃度、好ましくは２重量％から１０重量％の濃度、特に好ましくは３重量％から１０重量％の濃度、極めて特に好ましくは３重量％から７重量％の濃度、特に４重量％から６重量％の濃度の前記ゲッター材料（１０）を含む
ことを特徴とする、請求項１記載の透明な板ガラス。
【請求項３】
前記ゲッター材料（１０）は、チタンを含む
ことを特徴とする、請求項１又は２記載の透明な板ガラス。
【請求項４】
全ての前記導電層（７）の層厚さの合計は、３２ｎｍから７５ｎｍ、好ましくは５０ｎｍから６０ｎｍである
ことを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項５】
前記高光屈折率材料層（４）は、少なくとも１つのケイ素・金属・混合窒化物、好ましくはケイ素・ジルコニウム・混合窒化物、例えばアルミニウムがドーピングされたケイ素・ジルコニウム・混合窒化物を含み、
２つの前記導電層（７）の間に配置された各高光屈折率材料層（４）は、それぞれ３５ｎｍから７０ｎｍの厚さ、好ましくは４５ｎｍから６０ｎｍの厚さを有する
ことを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項６】
前記平滑化層（５）は、少なくとも１つの非晶質の混合酸化物、好ましくは錫・亜鉛・混合酸化物、例えばアンチモンがドーピングされた錫・亜鉛・混合酸化物を含み、好ましくは３ｎｍから２０ｎｍの厚さ、特に好ましくは４ｎｍから１２ｎｍの厚さを有する
ことを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項７】
前記導電層（７）は、少なくとも銀又は銀を含有する合金を含み、好ましくは８ｎｍから２５ｎｍの層厚さ、特に好ましくは１０ｎｍから２０ｎｍの層厚さを有する
ことを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項８】
前記下側適合層（６）及び／又は前記上側適合層（８）は、亜鉛酸化物ＺｎＯ１−δを含み、但し０＜δ＜０．０１であり、好ましくは３ｎｍから２０ｎｍの厚さ、特に好ましくは４ｎｍから１２ｎｍの厚さを有する
ことを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項９】
最も上にある前記機能層（３）の上に、カバー層（９）が配置されており、
前記カバー層（９）は、好ましくは２．１以上の屈折率を有する少なくとも１つの高光屈折率材料、特に好ましくはケイ素・金属・混合窒化物、特にケイ素・ジルコニウム・混合窒化物、例えばアルミニウムがドーピングされたケイ素・ジルコニウム・混合窒化物を含む
ことを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項１０】
前記透明な基板（１）は、少なくとも１つのラミネートフィルム（１６）を介して第２板ガラス（１１）と接続されて１つの合わせガラスを形成しており、
前記合わせガラスの総透過率は、好ましくは７０％より大きい
ことを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか一項記載の、導電性コーティング（２）を備える透明な板ガラスの製造方法であって、
少なくとも２つの機能層（３）を、透明な基板（１）の上に順次に被着させ、
各機能層（３）を被着させるために順次に、
ａ）２．１以上の屈折率を有する少なくとも１つの高光屈折率材料層（４）と、
ｂ）少なくとも１つの非晶質酸化物を含む少なくとも１つの平滑化層（５）と、
ｃ）少なくとも１つの下側適合層（６）と、
ｄ）少なくとも１つの導電層（７）と、
ｅ）少なくとも１つの上側適合層（８）と
を被着させ、
前記下側適合層（６）及び／又は前記上側適合層（８）を、当該下側適合層（６）及び／又は当該上側適合層（８）の中に含まれるゲッター材料（１０）と同時に被着させる
ことを特徴とする、製造方法。
【請求項１２】
前記下側適合層（６）及び／又は前記上側適合層（８）を、１重量％から１０重量％、好ましくは２重量％から１０重量％、特に好ましくは３重量％から１０重量％、極めて特に好ましくは３重量％から７重量％、特に４重量％から６重量％の前記ゲッター材料（１０）を含むセラミックターゲットを陰極スパッタリングすることによって堆積させる
ことを特徴とする、請求項１１記載の製造方法。
【請求項１３】
前記導電性コーティング（２）に、少なくとも２つのバスバー（１２）を接続させ、
前記透明な基板（１）と第２板ガラス（１１）とを、５００℃から７００℃の温度まで加熱し、
前記透明な基板（１）と前記第２板ガラス（１１）とを、ラミネートフィルム（１６）に全面的に接続させる
ことを特徴とする、請求項１１又は１２記載の製造方法。
【請求項１４】
建築物における板ガラスとして、又は、陸上、空中又は水上での交通用の輸送手段における、特に自動車における板ガラスとして、又は、板ガラスの構成部分として、特に複層ガラス又は合わせガラスの構成部分として、例えばフロントガラス、リアウィンドウ、サイドウィンドウ、及び／又は、ルーフウィンドウとして、請求項１から１０のいずれか一項記載の透明な板ガラスを使用する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性コーティングを備える透明な板ガラス、導電性コーティングを備える透明な板ガラスの製造方法、及び、導電性コーティングを備える透明な板ガラスを使用する方法に関する。
【０００２】
車両の板ガラス、特にフロントガラスの視界は、氷や結露が付着しないように維持しなければならない。内燃機関を備える自動車の場合、例えば、機関熱によって加熱された空気流が板ガラスへと向けられる。
【０００３】
これに代えて、板ガラスに電気的な加熱機能を設けることが可能である。独国特許出願公開第１０３５２４６４号明細書からは、例えば、２つの板ガラスの間に電気的に加熱可能なワイヤが挿入されている合わせガラスが公知である。この場合、例えば約６００Ｗ／ｍ２である比熱出力Ｐは、ワイヤのオーム抵抗によって設定することができる。デザイン性及び安全性の観点から、ワイヤの数及び直径をできるだけ小さく抑える必要がある。これらのワイヤは、日中の光においても夜間のヘッドライトの光においても視覚的に知覚されてはいけない、又は殆ど知覚されてはいけない。
【０００４】
特に銀をベースにした、透明の導電性コーティングも公知である。国際公開第０３／０２４１５５号は、例えば２つの銀層を備える導電性コーティングを開示している。このようなコーティングは、基本的に、３Ω／ｓｑ〜５Ω／ｓｑの範囲のシート抵抗を有する。
【０００５】
シート抵抗Ｒｓｑと、動作電圧Ｕと、２つのバスバー間の距離ｈとを有する電気的に加熱可能なコーティングの比熱出力Ｐは、式Ｐ＝Ｕ２／（Ｒｓｑ×ｈ２）を用いて計算することができる。２つのバスバー間の距離ｈは、一般的な乗用車のフロントガラスの場合には約０．８ｍであり、これはほぼ板ガラスの高さに相当する。シート抵抗が４Ω／ｓｑである場合に、所期の６００Ｗ／ｍ２の比熱出力Ｐを達成するためには、約４０Ｖの動作電圧Ｕが必要である。自動車の搭載電圧は通常１４Ｖであるので、４０Ｖの動作電圧を発生させるためには電源ユニット又は電圧変換器が必要となる。１４Ｖから４０Ｖへの電圧上昇は常に、電力損失と、追加的な構成部分にかかる追加コストとに結びついている。
【０００６】
米国特許出願公開第２００７／００８２２１９号明細書及び米国特許出願公開第２００７／００２０４６５号明細書は、少なくとも３つの銀層を備える透明な導電性コーティングを開示している。米国特許出願公開第２００７／００８２２１９号明細書では、３つの銀層に基づくコーティングに関して、シート抵抗は約１Ω／ｓｑであると記載されている。動作電圧Ｕ＝１４Ｖ、シート抵抗Ｒｓｑ＝１Ω／ｓｑ、距離ｈ＝０．８ｍである場合には、比熱出力Ｐは約３００Ｗ／ｍ２となる。
【０００７】
特に比較的大きい板ガラスを加熱するのに充分な比熱出力Ｐ、例えば約５００Ｗ／ｍ２を提供するためには、電気的に加熱可能なコーティングのシート抵抗をさらに低減する必要がある。電気的に加熱可能なコーティングが一般的な３つの銀層を備える場合には、個々の銀層の厚さを増加させることによってこのことを達成することができる。しかしながら、銀層の層厚さが厚くなり過ぎると、特に透過率及び色効果に関する板ガラスの光学特性が悪化し、従って、例えばＥＣＥ規格の規則Ｎｏ．４３（「安全ガラス材と積層ガラス材の認可に関する統一規定」）で定められているような法的規則を遵守することができなくなる。従って銀層は、導電率が、充分な加熱能力のためにも充分な透過率のためにも充分に高くなるように設計しなければならない。層の導電率は、特に堆積された銀の結晶化度に依存している。
【０００８】
一般的に、板ガラスにおける積層体の堆積は、フロントガラスの曲げ工程及びラミネート工程の前に実施される。従って、コーティングは、充分な耐熱性を有する必要がある。しかしながら、曲げ工程におけるコーティングされた板ガラスの加熱は、銀層の酸化を引き起こす。欧州特許出願公開第２４４４３８１号明細書は、銀含有層に隣接してブロッカー層を被着させることによって、この問題を解決している。このブロッカー層は、特に熱処理中における銀含有層の安定化のために使用され、電気的に加熱可能なコーティングの光学品質を改善する。欧州特許出願公開第２４４４３８１号明細書は、ニオブ、チタン、ニッケル、クロム、又はこれらの合金、特に好ましくはニッケル・クロム合金を含むブロッカー層を開示している。しかしながら、上記解決方法には、ブロッカー層が銀含有層の結晶化度に対して望ましくない悪影響を有するという欠点がある。
【０００９】
本発明の課題は、従来技術に比べて改善された結晶化度と、より低減されたシート抵抗Ｒｓｑとを有する、導電性コーティングを備える透明な板ガラスと、その経済的な製造方法とを提供することであり、板ガラスが高い透過率と高い色中立性とを有するようにし、かつ、板ガラスを低コストに製造できるようにしたい。
【００１０】
本発明の課題は、本発明によれば、独立請求項１に記載の導電性コーティングを備える透明な板ガラスと、独立請求項１２に記載の導電性コーティングを備える透明な板ガラスの製造方法と、独立請求項１５に記載の導電性コーティングを備える透明な板ガラスを使用する方法とによって解決される。好ましい実施形態は、従属請求項から明らかとなる。
【００１１】
本発明の透明な板ガラスは、少なくとも１つの透明な基板と、前記透明な基板の少なくとも１つの表面上に少なくとも１つの導電性コーティングとを含み、
前記導電性コーティングは、少なくとも２つの上下に重なり合って配置された機能層を有し、各機能層はそれぞれ、
・２．１以上の屈折率を有する少なくとも１つの高光屈折率材料層と、
・前記高光屈折率材料層の上にある、少なくとも１つの非晶質酸化物を含む少なくとも１つの平滑化層と、
・前記平滑化層の上にある、少なくとも１つの下側適合層と、
・前記下側適合層の上にある、少なくとも１つの導電層と、
・前記導電層の上にある、少なくとも１つの上側適合層と
を含み、
前記下側適合層及び／又は前記上側適合層は、層断面全体において均一に分布したゲッター材料を含み、前記ゲッター材料は、ニオブ、チタン、バリウム、マグネシウム、タンタル、ジルコニウム、トリウム、パラジウム、プラチナ、及びこれらの合金からなるグループからなり、
前記ゲッター材料を含む少なくとも１つの前記下側適合層及び／又は前記上側適合層は、各導電層と直接コンタクトしている。
【００１２】
適合層のゲッター材料は、隣接する導電層を酸化から保護する。従って、本発明の層構造によれば、透明な板ガラスの全ての導電層が酸化から保護されている。本発明の適合層は導電層に直接隣接しているので、適合層の結晶化度が導電層に最適に移行される。
【００１３】
第１層が第２層の上に配置されている場合には、本発明においてこのことは、第１層が第２層よりも透明な基板から離れて配置されているということを意味する。第１層が第２層の下に配置されている場合には、本発明においてこのことは、第２層が第１層よりも透明な基板から離れて配置されているということを意味する。最も上にある機能層は、透明な基板からの距離が最も大きい機能層である。最も下にある機能層は、透明な基板からの距離が最も小さい機能層である。
【００１４】
本発明における１つの層は、１つの材料から形成することができる。しかしながら、１つの層が、各々材料が異なる２つ以上の個別層を含むことも可能である。本発明の１つの機能層は、例えば少なくとも１つの高光屈折率材料層と、少なくとも１つの平滑化層と、少なくとも１つの下側適合層と、少なくとも１つの上側適合層と、少なくとも１つの導電層とを含む。
【００１５】
第１層が第２層の上又は下に配置されている場合には、本発明においてこのことは、必ずしも第１層と第２層とが相互に直接コンタクトしているということを意味するとは限らない。明示的な記載によって排除されていない限り、第１層と第２層との間に１つ又は複数の層を配置することができる。
【００１６】
導電性コーティングは、本発明によれば、透明な基板の少なくとも１つの表面上に被着されている。本発明の導電性コーティングを、透明な基板の両方の表面に設けることも可能である。
【００１７】
導電性コーティングは、透明な基板の表面全体を覆うように延在させることができる。しかしながら、これに代えて、導電性コーティングを透明な基板の表面の一部のみを覆うように延在させることも可能である。導電性コーティングは、透明な基板の表面の、好ましくは少なくとも５０％、特に好ましくは少なくとも７０％、極めて特に好ましくは９０％を覆うように延在している。
【００１８】
導電性コーティングは、透明な基板の表面上に直接被着させることができる。これに代えて、導電性コーティングを、透明な基板に接着された支持体フィルムの上に被着させることも可能である。
【００１９】
本発明における高光屈折率材料は、２．１以上の屈折率を有する材料を意味する。従来技術から、導電層がそれぞれ２つの誘電層の間に配置されている積層体が公知である。これらの誘電層は、通常はケイ素窒化物を含む。本発明の高光屈折率材料層は、導電層のシート抵抗を低減すると同時に、透明な板ガラスの光学特性を良好にし、特に高い透過率と中立な色効果をもたらす。本発明の平滑化層と併用すると、高光屈折率材料層により、シート抵抗の値を有利に低減することができ、ひいては比熱出力を増加させることができる。
【００２０】
上に挙げた屈折率の値は、５５０ｎｍの波長において測定されている。
【００２１】
導電性コーティングを備える本発明の透明な板ガラスは、好ましくは７０％よりも大きい総透過率を有する。総透過率なる用語は、ＥＣＥ規格の規則Ｎｏ．４３の附則３の９．１項に規定された、自動車用板ガラスの光透過率のテスト方法に基づいている。
【００２２】
導電性コーティングは、好ましくは１Ω／ｓｑ未満のシート抵抗を有する。導電性コーティングのシート抵抗は、特に好ましくは０．４Ω／ｓｑ〜０．９Ω／ｓｑである。シート抵抗の上記範囲においては、有利には高い比熱出力Ｐが達成される。
【００２３】
下側適合層及び／又は上側適合層は、層断面全体において均一に分布したゲッター材料を含む。ゲッター材料は、ニオブ、チタン、バリウム、マグネシウム、タンタル、ジルコニウム、トリウム、パラジウム、白金からなるグループに由来する。ゲッター材料は酸素と結合し、これにより隣接する導電層が酸化から保護されている。ここでは、このようなゲッター材料を含む追加的なブロッカー層を被着させる必要はない。従来技術から公知のブロッカー層は、その下に位置する適合層の結晶化が導電層へと進行するのを阻止してしまう。従って、ブロッカー層を省略すると導電層の結晶化度が改善され、この結果、導電層の導電性も改善される。このようにして、本発明によって適合層とゲッター材料とを有利に組み合わせることにより、比熱出力を増加させることが可能となる。
【００２４】
本発明の適合層のゲッター材料は、当該適合層内において均一に分布しており、従来技術から公知のブロッカー層とは異なり、本発明の適合層のゲッター材料は、適合層の表面に設けられるのみならず、適合層の中にも含まれている。適合層の断面においてゲッター材料が局所的に蓄積することもあり得るが、平均すると、断面全体に亘るゲッター材料の分布は均一である。従って、適合層の、平滑化層に向いた表面において、導電層に向いた表面と厳密に同じ量のゲッター材料を使用することが可能である。適合層内にゲッター材料が均一に分布していることにより、酸素を吸収するために充分なゲッター材料が存在する。さらには、適合層の結晶化度が導電層へと最適に移行される。なぜなら、適合層の表面がブロッカー層によって被覆されていないからである。従って、本発明の導電性コーティングは、従来技術とは異なり、同じ酸化安定度でより高い導電性を有する。
【００２５】
ゲッター材料はさらに、ニッケル、クロム、アルミニウム、及び／又は、これらの合金を含むことができる。
【００２６】
総透過率を増加させるため及び／又はシート抵抗を低減するために、導電性コーティングを備える透明な板ガラスに、特に５００℃〜７００℃の温度で熱処理を施すことができる。
【００２７】
本発明の導電性コーティングは、酸化によってコーティングが損傷されることなく、このような熱処理を施され得ることが判明している。本発明の透明な板ガラスはさらに、酸化によってコーティングが損傷されることなく、凸形又は凹形に曲げることが可能である。このことは、本発明の導電性コーティングの大きな利点である。
【００２８】
好ましくは、下側適合層及び／又は上側適合層は、１重量％〜１０重量％の濃度、好ましくは２重量％〜１０重量％の濃度、特に好ましくは３重量％〜１０重量％の濃度、極めて特に好ましくは３重量％〜７重量％の濃度、特に４重量％〜６重量％の濃度のゲッター材料を含む。３重量％より多い濃度範囲においては、導電層が酸化から特に良好に保護されることが観察される。
【００２９】
好ましくは、ゲッター材料はチタンを含む。
【００３０】
導電性コーティングは、２〜５つの機能層を有する。
【００３１】
本発明の好ましい１つの実施形態においては、導電性コーティングは３つの機能層を有する。４つ以上の導電層を有する導電性コーティングの製造は技術的に手間が掛かり、高コストである。しかしながら、本発明の機能層構造の改善された導電性に基づき、３つの機能層でも充分に高い加熱出力が達成される。
【００３２】
別の１つの好ましい実施形態においては、導電性コーティングは４つの機能層を有する。本発明の方法においては、適合層とゲッター材料とが両方の成分を含む共通の１つのターゲットから堆積されるので、コーティング装置に陰極スペースの空きが生じる。この陰極スペースは、従来技術による装置ではブロッカー層を堆積させるためのターゲットを収容するためのスペースである。この陰極スペースが空くと、ここに第４の導電層を堆積させるためのさらなるターゲットを収容することが可能となる。これによって４つの機能層を有する導電性コーティングの製造は、同じ装置サイズで格段に簡単かつ経済的になる。
【００３３】
高光屈折率材料層は、好ましくは２．１〜２．５の屈折率ｎ、特に好ましくは２．１〜２．３の屈折率を有する。
【００３４】
高光屈折率材料層は、好ましくは少なくとも１つのケイ素・金属・混合窒化物、特に好ましくはケイ素・ジルコニウム・混合窒化物を含む。これは、導電性コーティングのシート抵抗に関して特に有利である。ケイ素・ジルコニウム・混合窒化物は、好ましくはドーピングを有する。高光屈折率材料層は、例えばアルミニウムがドーピングされたケイ素・ジルコニウム・混合窒化物（SiZrNx：Al）を含むことができる。
【００３５】
ケイ素・ジルコニウム・混合窒化物は、４０重量％〜７０重量％のケイ素と、３０重量％〜６０重量％のジルコニウムと、０重量％〜１０重量％のアルミニウムと、製造上の理由による添加剤とを含むターゲットを用いて、好ましくは磁界を利用した陰極スパッタリングによって堆積される。ターゲットは、特に好ましくは４５重量％〜６０重量％のケイ素と、３５重量％〜５５重量％のジルコニウムと、３重量％〜８重量％のアルミニウムと、製造上の理由による添加剤とを含む。ケイ素・ジルコニウム・混合窒化物の堆積は、陰極スパッタリング中に好ましくは反応ガスとして窒素を添加して実施される。
【００３６】
しかしながら、高光屈折率材料層は、例えば少なくともケイ素・アルミニウム・混合窒化物、ケイ素・ハフニウム・混合窒化物、又は、ケイ素・チタン・混合窒化物を含むことも可能である。これに代えて、高光屈折率材料層は、例えばMnO、WO3、Nb2O5、Bi2O3、TiO2、Zr3N4 及び／又は AlNを含むことも可能である。
【００３７】
２つの導電層の間に配置されている各高光屈折率材料層の層厚さは、好ましくは３５ｎｍ〜７０ｎｍ、特に好ましくは４５ｎｍ〜６０ｎｍである。層厚さの上記範囲においては、導電性コーティングの特に有利なシート抵抗と、透明な板ガラスの特に良好な光学特性とが達成される。本発明における高光屈折率材料層は、少なくとも１つの導電層が高光屈折率材料層の上側に配置されており、かつ、少なくとも１つの導電層が高光屈折率材料層の下側に配置されている場合には、２つの導電層の間に配置されている。しかしながら本発明によれば、高光屈折率材料層は、隣接する各導電層とは直接コンタクトしていない。
【００３８】
最も下にある高光屈折率材料層の層厚さは、好ましくは２０ｎｍ〜４０ｎｍである。このようにすると特に良好な結果が達成される。
【００３９】
本発明の有利な１つの実施形態においては、最も上にある機能層の上にカバー層が配置されている。カバー層は、その下に配置されている層を腐食から保護する。カバー層は、好ましくは誘電性である。カバー層は、例えばケイ素窒化物及び／又は錫酸化物を含むことができる。
【００４０】
カバー層は、好ましくは２．１以上の屈折率を有する少なくとも１つの高光屈折率材料を含む。カバー層は、特に好ましくは少なくとも１つのケイ素・金属・混合窒化物、特にケイ素・ジルコニウム・混合窒化物、例えばアルミニウムがドーピングされたケイ素・ジルコニウム・混合窒化物を含む。これは、本発明の透明な板ガラスの光学特性に関して特に有利である。しかしながら、カバー層は、他のケイ素・金属・混合窒化物、例えばケイ素・アルミニウム・混合窒化物、ケイ素・ハフニウム・混合窒化物、又は、ケイ素・チタン・混合窒化物を含むことも可能である。これに代えて、カバー層は、例えばMnO、WO3、Nb2O5、Bi2O3、TiO2、 Zr3N4 及び／又は AlNを含むことも可能である。
【００４１】
カバー層の層厚さは、好ましくは２０ｎｍ〜４０ｎｍである。このようにすると特に良好な結果が達成される。
【００４２】
導電性コーティングの各機能層は、本発明によればそれぞれ少なくとも１つの平滑化層を含む。平滑化層は、第１適合層の下側に配置されており、好ましくは高光屈折率材料層と第１適合層との間に配置されている。平滑化層は、好ましくは第１適合層と直接コンタクトしている。平滑化層は、引き続き上に被着される導電層のための表面を最適化、特に平滑化する。より平滑な表面の上に堆積された導電層は、より高い透過率を有すると同時に、より低いシート抵抗を有する。
【００４３】
平滑化層は、少なくとも１つの非晶質酸化物を含む。この酸化物は、アモルファスであるか又は部分的にアモルファス（よって部分的に結晶質）であるが、完全な結晶質ではない。非晶質の平滑化層の粗面度は低く、従って、当該平滑化層の上に堆積される層のために有利に平滑な表面を形成する。非晶質の平滑化層はさらに、当該平滑化層の直ぐ上に堆積される層、有利には第１適合層の表面構造を改善する。平滑化層は、例えば、錫、ケイ素、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、亜鉛、ガリウム、及び、インジウムのうちの１つ又は複数の元素の少なくとも１つの酸化物を含むことができる。
【００４４】
平滑化層は、好ましくは非晶質の混合酸化物を含む。平滑化層は、極めて特に好ましくは、錫・亜鉛・混合酸化物を含む。混合酸化物は、ドーピングを有することができる。平滑化層は、例えばアンチモンがドーピングされた錫・亜鉛・混合酸化物（SnZnOx：Sb）を含むことができる。混合酸化物は、好ましくは準化学量論的な酸素含有量を有する。反応性陰極スパッタリングによって錫・亜鉛・混合酸化物層を製造するための方法は、例えば独国特許第１９８４８７５１号明細書から公知である。錫・亜鉛・混合酸化物は、好ましくは２５重量％〜８０重量％の亜鉛と、２０重量％〜７５重量％の錫と、０重量％〜１０重量％のアンチモンと、製造上の理由による添加剤とを含むターゲットを用いて堆積される。ターゲットは、特に好ましくは４５重量％〜７５重量％の亜鉛と、２５重量％〜５５重量％の錫と、１重量％〜５重量％のアンチモンと、製造上の理由による他の金属の添加剤とを含む。錫・亜鉛・混合酸化物の堆積は、陰極スパッタリング中に反応ガスとして酸素を添加して実施される。
【００４５】
平滑化層の層厚さは、好ましくは３ｎｍ〜２０ｎｍ、特に好ましくは４ｎｍ〜１２ｎｍである。平滑化層は、好ましくは２．２未満の屈折率を有する。
【００４６】
導電層は、好ましくは少なくとも１つの金属、例えば金、銅、又は合金、特に好ましくは銀又は銀を含有する合金を含む。しかしながら、導電層は、当業者には公知の別の導電性材料を含むことも可能である。
【００４７】
本発明の有利な１つの実施形態において、導電層は、少なくとも９０重量％の銀、好ましくは少なくとも９９．９重量％の銀を含む。導電層は、好ましくは金属の層を堆積させるための従来の方法によって、例えば磁界を利用した陰極スパッタリングのような真空法によって被着される。
【００４８】
導電層は、好ましくは８ｎｍ〜２５ｎｍの層厚さ、特に好ましくは１０ｎｍ〜２０ｎｍの層厚さを有する。これは、導電層の透過率及びシート抵抗に関して特に有利である。
【００４９】
全ての導電層の層厚さの合計は、本発明によれば３２ｎｍ〜７５ｎｍである。全ての導電層の層厚さの合計の上記範囲においては、２つのバスバー間の距離ｈが車両用板ガラス、特にフロントガラスにとって一般的な距離ｈであり、かつ、動作電圧Ｕが１２Ｖ〜１５Ｖの範囲である場合に、有利には、充分に高い比熱出力Ｐと同時に充分に高い透過率が達成される。全ての導電層の層厚さの合計が小さ過ぎる場合には、シート抵抗Ｒｓｑが高くなり過ぎてしまい、ひいては比熱出力Ｐが小さくなり過ぎてしまう。全ての導電層の層厚さの合計が大き過ぎる場合には、板ガラスを通過する透過率が著しく減少してしまうので、ＥＣＥ規格の規則Ｎｏ．４３に準拠した車両用板ガラスの透過率に対する要求が満たされない。全ての導電層の層厚さの合計が５０ｎｍ〜６０ｎｍ、特に５１ｎｍ〜５８ｎｍであれば、特に良好な結果が達成されることが判明している。これは、導電性コーティングのシート抵抗と、透明な板ガラスの透過率とに関して特に有利である。
【００５０】
下側適合層及び／又は下側適合層は、好ましくは亜鉛酸化物ＺｎＯ１−δを含み、但し、０＜δ＜０．０１である。亜鉛酸化物は、銀を含有する導電層及びゲッター材料と過剰な酸素とが反応してしまうことを回避するために、好ましくは酸素に関して準化学量論的に堆積される。亜鉛酸化物の他に、別のセラミック成分も適合層の中に含有させることが可能である。好ましくはさらなる別の酸化物、例えばアルミニウム酸化物が添加される。亜鉛酸化物層は、好ましくは磁界を利用した陰極スパッタリングによって堆積される。下側適合層及び／又は上側適合層は、ゲッター材料を含む。各機能層内の少なくとも１つの適合層は、それぞれゲッター材料を含む。機能層の第２適合層は、オプションとしてゲッター材料を含むことができる。
【００５１】
ゲッター材料を含む適合層を堆積させるためのターゲットは、９０重量％〜９９重量％の亜鉛酸化物ベースのセラミックと、１重量％〜１０重量％のゲッター材料とを含み、好ましくは９０重量％〜９８重量％の亜鉛酸化物ベースのセラミックと、２重量％〜１０重量％のゲッター材料とを含み、特に好ましくは９０重量％〜９７重量％の亜鉛酸化物ベースのセラミックと、３重量％〜１０重量％のゲッター材料とを含み、極めて特に好ましくは９３重量％〜９７重量％の亜鉛酸化物ベースのセラミックと、３重量％〜７重量％のゲッター材料とを含み、特に９４重量％〜９６重量％の亜鉛酸化物ベースのセラミックと、４重量％〜６重量％のゲッター材料とを含む。この亜鉛酸化物ベースのセラミック自体も、さらなる別の酸化物成分、例えばアルミニウム酸化物を含むことができる。好ましい１つの実施形態において、亜鉛酸化物ベースのセラミックは、８５重量％〜１００重量％の亜鉛酸化物、特に好ましくは９５重量％〜９９重量％の亜鉛酸化物と、１重量％〜５重量％のアルミニウム酸化物とを含む。さらには、製造上の理由による添加剤も含有させることができる。好ましくは、ゲッター材料としてチタンが使用される。ゲッター材料を有さない適合層を堆積させる場合には、好ましくは８５重量％〜１００重量％の亜鉛酸化物と、製造上の理由による添加剤とを含むターゲットが使用される。特に好ましくは、ターゲットは、８５重量％〜９９重量％の亜鉛酸化物と、１重量％〜１５重量％のアルミニウム酸化物と、製造上の理由による添加剤とを含み、特に９５重量％〜９９重量％の亜鉛酸化物と、１重量％〜５重量％のアルミニウム酸化物と、製造上の理由による添加剤とを含む。上側適合層及び下側適合層の堆積は、好ましくは磁界を利用した陰極スパッタリングによって、例えばアルゴン又はクリプトンのような不活性ガスを使用して実施される。これに代えて、ゲッター材料を含まない適合層も、金属ターゲットを用いて反応ガスとして酸素を添加して堆積させることができ、このような技術は従来技術からよく知られており、例えば欧州特許出願公開第２４４４３８１号明細書に開示されている。
【００５２】
下側適合層及び上側適合層の層厚さは、好ましくは３ｎｍ〜２０ｎｍであり、特に好ましくは４ｎｍ〜１２ｎｍである。
【００５３】
上側適合層も下側適合層もゲッター材料を含むことができ、好ましくは、少なくとも下側適合層はゲッター材料を含む。ゲッター材料を含む下側適合層は、導電層の直ぐ下に位置しており、特に導電層を酸化に対して安定的にするために使用される。これによって、導電性コーティングの光学品質が改善される。上側適合層は、導電層の直ぐ上に被着されている。
【００５４】
透明な基板は、好ましくはガラス、特に好ましくは板ガラス、フロートガラス、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダ石灰ガラスを含むか、又は、透明なプラスチック、好ましくは透明な硬質プラスチック、特にポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスチロール、ポリアミド、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、及び／又は、これらの混合物を含む。適当なガラスの例は、独国特許第６９７３１２６８号明細書の第８頁の段落００５３から公知である。
【００５５】
透明な基板の厚さは、広範囲に異ならせることができ、個々のケースでの要求に非常に良好に適合させることができる。好ましくは１．０ｍｍ〜２５ｍｍの標準厚さ、好ましくは１．４ｍｍ〜２．６ｍｍの標準厚さを有する板ガラスが使用される。透明な基板の寸法は、広範囲に異ならせることができ、本発明の使用に即している。透明な基板は、例えば車両製造分野や建設分野において通常は２００ｃｍ２〜４ｍ２の面積を有する。
【００５６】
透明な基板は、任意の３次元形状を有することができる。この３次元形状は、好ましくは影部を有さず、例えば陰極スパッタリングによって被覆することができる。透明な基板は、好ましくは平坦であるか、又は、１つ又は複数の空間方向に若干又は著しく曲げられている。透明な基板は、色なし又は色付きとすることができる。
【００５７】
本発明の有利な１つの実施形態においては、透明な基板は、少なくとも１つのラミネートフィルムを介して第２板ガラスに接続されて１つの合わせガラスを形成している。本発明の導電性コーティングは、好ましくは透明な基板の、ラミネートフィルムの方向を向いた表面上に被着されている。これによって導電性コーティングは、有利には損傷及び腐食から保護される。
【００５８】
合わせガラスは、好ましくは７０％より大きい総透過率を有する。
【００５９】
ラミネートフィルムは、好ましくは熱可塑性プラスチックを含み、例えばポリビニルブチラール（PVB）、エチレンビニルアセテート（EVA）、ポリウレタン（PU）、ポリエチレンテレフタレート（PET）、又は、これらのうちの複数の層を含み、好ましくは０．３ｍｍ〜０．９ｍｍの厚さを有する。
【００６０】
第２板ガラスは、好ましくはガラス、特に好ましくは板ガラス、フロートガラス、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダ石灰ガラスを含むか、又は、透明なプラスチック、好ましくは透明な硬質プラスチック、特にポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスチロール、ポリアミド、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、及び／又は、これらの混合物を含む。第２板ガラスは、好ましくは１．０ｍｍ〜２５ｍｍの厚さ、特に好ましくは１．４ｍｍ〜２．６ｍｍの厚さを有する。
【００６１】
導電性コーティングは、２ｍｍ〜２０ｍｍの幅、好ましくは５ｍｍ〜１０ｍｍの幅を有する環状のフレーム形の非被覆領域を除いて、好ましくは透明な基板の表面全体を覆うように延在している。非被覆領域は、好ましくは蒸気拡散バリアとしてのラミネートフィルム又はアクリレート接着剤によって気密に封止される。蒸気拡散バリアによって、腐食に対して脆弱な導電性コーティングが湿気及び空気中の酸素から保護される。合わせガラスが車両用板ガラスとして、例えばフロントガラスとして設けられている場合には、環状の非被覆領域はさらに、電気を通す導電性コーティングと車体との間の電気絶縁部として機能する。
【００６２】
透明な基板には、少なくとも１つの別の非被覆領域を設けることができ、この別の非被覆領域は、例えばデータ伝送窓又は通信窓として使用される。透明な基板は、この別の非被覆領域においては電磁放射、特に赤外線放射に対して透過性である。
【００６３】
導電性コーティングは、透明な基板の表面の上に直接被着させることができる。これに代えて、導電性コーティングを、２つのラミネートフィルムの間に挿入されている支持体フィルムの上に被着させることができる。支持体フィルムは、好ましくは熱可塑性ポリマー、特にポリビニルブチラール（PVB）、エチレンビニルアセテート（EVA）、ポリウレタン（PU）、ポリエチレンテレフタレート（PET）、又は、これらの組み合わせを含む。
【００６４】
透明な基板を例えばスペーサを介して第２板ガラスに接続させて、１つの複層ガラスを形成することも可能である。透明な基板をラミネートフィルム及び／又はスペーサを介して２つ以上の別の板ガラスに接続させることも可能である。透明な基板が１つ以上の別の板ガラスに接続されている場合には、この１つ以上の別の板ガラスもまた、導電性コーティングを有することができる。
【００６５】
特に有利な１つの実施形態においては、導電性コーティングに電圧を印加するための適当な手段を設けることができ、これによって導電性コーティングを加熱することができる。これに代えて、例えば赤外線放射を遮蔽するために導電性コーティングを加熱せずに使用することもでき、これによって直射日光による車内空間の加熱が低減される。
【００６６】
好ましくは、導電性コーティングは、バスバーを介して電圧源に接続されている。導電性コーティングに印加される電圧は、１２Ｖ〜１５Ｖの値を有する。バスバーは、電力を伝送するために使用されるいわゆる導体棒である。適当なバスバーの例は、独国特許第１０３３３６１８号明細書及び欧州特許第００２５７５５号明細書から公知である。
【００６７】
バスバーは、有利には導電性ペーストを印刷することによって製造される。導電性コーティングが被着された後に透明な基板が曲げられる場合には、好ましくはこの透明な基板を曲げる前及び又は曲げている最中に導電性ペーストが焼成される。導電性ペーストは、好ましくは銀粒子とガラスフリットとを含む。焼成された導電性ペーストの層厚さは、好ましくは５μｍ〜２０μｍである。
【００６８】
これに代わる１つの実施形態においては、バスバーとして、好ましくは銅及び／又はアルミニウムを含む薄細の金属フィルムストリップ又は金属ワイヤが使用され、特に、好ましくは１０μｍ〜２００μｍの厚さ、例えば約５０μｍの厚さを有する銅フィルムストリップが使用される。銅フィルムストリップの幅は、好ましくは１ｍｍ〜１０ｍｍである。導電性コーティングとバスバーとの間の電気的コンタクトは、例えばはんだ付け又は導電性接着剤による接着によって形成することができる。透明な基板が合わせガラスの一部である場合には、金属フィルムストリップ又は金属ワイヤは、合わせガラスを積層する際に導電性コーティングの上に被着させることができる。後々のオートクレーブ工程において、熱及び圧力の作用により、バスバーとコーティングとの間の確実な電気的コンタクトが達成される。
【００６９】
合わせガラスの内部にあるバスバーにコンタクトするための給電線として、自動車分野においては通常はフィルム導体が使用される。フィルム導体の例は、独国特許出願公開第４２３５０６３号明細書と、独国実用新案第２０２００４０１９２８６号明細書と、独国実用新案第９３１３３９４号明細書とに記載されている。
【００７０】
フレキシブルなフィルム導体は、フラット導体又はフラットリボン導体とも呼ばれ、好ましくは０．０３ｍｍ〜０．１ｍｍの厚さと、２ｍｍ〜１６ｍｍの幅とを有する、錫めっきされた銅リボンからなる。このような導体路として銅が有利であることが判明している。というのは、銅は良好な導電率と、フィルムへの良好な加工性とを有するからである。これに加えて材料コストも低い。フィルムへと加工可能な別の導電性材料を使用することも可能である。別の導電性材料の例は、アルミニウム、金、銀、錫、又はこれらの合金である。
【００７１】
錫めっきされた銅リボンは、電気絶縁及び安定性向上のためにプラスチック製の支持体材料上に被着されているか、又は、プラスチック製の支持体材料によって両面ともラミネートされている。絶縁材料は、基本的に０．０２５ｍｍ〜０．０５ｍｍの厚さを有するポリイミドベースのフィルムを含む。所要の絶縁特性を有する別のプラスチック又は材料を使用することも可能である。フィルム導体リボン内には、互いに電気的に絶縁された複数の導電層を設けることができる。
【００７２】
合わせガラス内の導電層にコンタクトするために適当なフィルム導体の合計厚さは、たった０．３ｍｍである。このように薄いフィルム導体は、個々の板ガラスの間においてラミネートフィルムの中に難なく挿入することができる。
【００７３】
これに代えて、給電線として細い金属ワイヤを使用することも可能である。金属ワイヤは、特に銅、タングステン、金、銀、アルミニウム、又は、これらの金属のうちの少なくとも２つの合金を含む。合金は、モリブデン、レニウム、オスミウム、イリジウム、パラジウム、又は白金を含むことも可能である。
【００７４】
本発明はさらに、導電性コーティングを備える本発明の透明な板ガラスの製造方法であって、少なくとも２つの機能層を、透明な基板の上に順次に被着させ、各機能層を被着させるために順次に、
ａ）２．１以上の屈折率を有する少なくとも１つの高光屈折率材料層と、
ｂ）少なくとも１つの非晶質酸化物を含む少なくとも１つの平滑化層と、
ｃ）少なくとも１つの下側適合層と、
ｄ）少なくとも１つの導電層と、
ｅ）少なくとも１つの上側適合層と
を被着させ、
前記下側適合層及び／又は前記上側適合層を、当該下側適合層及び／又は当該上側適合層の中に含まれるゲッター材料と同時に被着させる、製造方法を含む。
【００７５】
個々の層は、公知の方法によって、例えば磁界を利用した陰極スパッタリングによって堆積される。陰極スパッタリングは、例えばアルゴン又はクリプトンからなる保護ガス雰囲気中において、又は、反応ガス雰囲気中において、例えば酸素又は窒素を添加することによって実施される。
【００７６】
上側適合層及び／又は下側適合層は、ゲッター材料を含む場合には、磁界を利用した陰極スパッタリングによって不活性ガスを用いて堆積される。この場合にはターゲットとして、セラミックターゲットが使用される。好ましい１つの実施形態においては、亜鉛酸化物ベースのセラミックターゲットが使用され、このターゲットにはゲッター材料、好ましくはチタンがドーピングされている。本発明の方法においては、ゲッター材料を含む適合層を堆積させるために金属ターゲットを使用することはできない。なぜなら、ゲッター材料を含む適合層は、例えば亜鉛酸化物のようなセラミック層を形成するために酸素の存在下で堆積させなければならず、この際にターゲットに含まれるゲッター材料が酸化してしまうからである。セラミックターゲットを使用する場合には、亜鉛は、既に酸化された形態で亜鉛酸化物として存在しているので、この亜鉛酸化物を不活性ガスであるアルゴン又はクリプトンを用いて堆積させることができる。ターゲットに含まれるゲッター材料、例えばチタンは、この場合には酸化されない。
【００７７】
上側適合層及び／又は下側適合層は、１重量％〜１０重量％、好ましくは２重量％〜８重量％、特に好ましくは３重量％〜７重量％のゲッター材料を含むセラミックターゲットを陰極スパッタリングすることによって堆積される。この場合、セラミックターゲットは、好ましくは亜鉛酸化物をベースにしている。特に好ましい１つの実施形態においては、亜鉛酸化物ベースのセラミックは、９５重量％〜９９重量％のZnOと、１重量％〜５重量％のAlO2O3とを含む。この亜鉛酸化物ベースのセラミックは、適合層を堆積させるためのターゲットの主成分を構成しており、その割合は９０重量％〜１００重量％である。その結果として形成される適合層がゲッター材料を含む場合には、当該適合層を堆積させるために使用されたターゲットは、９０重量％〜９９重量％の亜鉛酸化物ベースのセラミックと、１重量％〜１０重量％のゲッター材料とを含み、好ましくは９２重量％〜９８重量％の亜鉛酸化物ベースのセラミックと、２重量％〜８重量％のゲッター材料とを含み、特に好ましくは９３重量％〜９７重量％の亜鉛酸化物ベースのセラミックと、３重量％〜７重量％のゲッター材料とを含む。
【００７８】
好ましくは、ゲッター材料を含む本発明の適合層は、０．５μｂａｒ〜５μｂａｒの圧力下で、パルス直流電圧源を使用して、不活性ガスとしてアルゴンを用いて堆積される。特に好ましくは、堆積は、２５ｋＨｚ〜５０ｋＨｚでの多周波数陰極スパッタリングによって２つのターゲットを使用して実施され、これら２つのターゲットは陰極スパッタリング工程中に、互いに反対の周期的に交番する電荷を使用する。
【００７９】
透過率、シート抵抗、色値に関する所期の特性を有する個々の層の層厚さは、上に挙げた層厚さの範囲内でシミュレーションすることによって当業者が容易に見つけ出すことができる。
【００８０】
本発明の１つの有利な実施形態においては、導電性コーティングを、少なくとも２つのバスバーに接続させ、透明な基板と第２板ガラスとを、５００℃〜７００℃の温度まで加熱し、透明な基板と第２板ガラスとを、ラミネートフィルムに全面的に接続させる。板ガラスの加熱は、曲げ工程中に実施することができる。導電性コーティングは、曲げ工程及び／又は積層工程に損傷なく耐久するために適していなければならない。上に説明した導電性コーティングの特性、特にシート抵抗は、定期的に加熱によって改善される。
【００８１】
本発明はさらに、建築物における板ガラスとして、又は、陸上、空中又は水上での交通用の輸送手段における、特に自動車における板ガラスとして、又は、板ガラスの構成部分として、特に複層ガラス又は合わせガラスの構成部分として、例えばフロントガラス、リアウィンドウ、サイドウィンドウ、及び／又は、ルーフウィンドウとして、又は、フロントガラス、リアウィンドウ、サイドウィンドウ及び／又はルーフウィンドウの構成部分として、本発明の透明な板ガラスを使用する方法を含む。
【００８２】
以下、本発明を、図面及び実施例に基づいてより詳細に説明する。図面は概略的に描かれたものであり、縮尺通りではない。図面は、決して本発明を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の１つの実施形態による、導電性コーティングを備える透明な板ガラスの断面図である。
【図２】合わせガラスの一部としての、本発明の透明な板ガラスの平面図である。
【図３】図２の合わせガラスを線Ａ−Ａ’で切断した断面図である。
【図４】本発明の方法のフローチャートである。
【００８４】
図１は、本発明の１つの実施形態による、導電性コーティングを備える透明な板ガラスの断面図を示す。この透明な板ガラスは、透明な基板１と導電性コーティング２とを備える。基板１は、フロートガラスを含み、２．１ｍｍの厚さを有する。導電性コーティング２は、第１機能層３．１と第２機能層３．２と第３機能層３．３とを含む３つの機能層３を含み、これらの機能層は、全面的に上下に重なり合って配置されている。各機能層３は、
・それぞれ第１高光屈折率材料層４．１、第２高光屈折率材料層４．２、第３高光屈折率材料層４．３と呼ばれる、高光屈折率材料層４と、
・それぞれ第１平滑化層５．１、第２平滑化層５．２、第３平滑化層５．３と呼ばれる、平滑化層５と、
・それぞれ第１下側適合層６．１、第２下側適合層６．２、第３下側適合層６．３と呼ばれる、下側適合層６と、
・第１下側適合層６．１と、第２下側適合層６．２と、第３下側適合層６．３との中に含まれているゲッター材料１０と、
・それぞれ第１導電層７．１、第２導電層７．２、第３導電層７．３と呼ばれる、導電層７と、
・それぞれ第１上側適合層８．１、第２上側適合層８．２、第３上側適合層８．３と呼ばれる、上側適合層８と、
を含む。
【００８５】
これらの層は、透明な基板１から離れる方向に、上に列挙した順序で配置される。第３機能層３．３の上にはカバー層９が配置されている。各機能層３．１，３．２，３．３の詳細な積層順序を、適当な材料と層厚さを例示しながら下から上へと列挙する：
・透明な基板１としては、２．１ｍｍの厚さを有するガラスが適当であり、
・高光屈折率材料層４としては、２８ｎｍの厚さ（４．１）、５９ｎｍの厚さ（４．２）、又は、６０ｎｍの厚さ（４．３）を有する、アルミニウムがドーピングされたケイ素・ジルコニウム・混合窒化物（SiZrNx：Al）が適当であり、
・平滑化層５としては、６ｎｍの厚さを有する、アンチモンがドーピングされた錫・亜鉛・混合酸化物（SnZnOx：Sb）が適当であり、
・ゲッター材料１０を有する下側適合層６としては、１０ｎｍの厚さを有する、チタンがドーピングされた亜鉛・アルミニウム・酸化物（ZnO：Al2O3：Ti）が適当であり、
・導電層７としては、１８ｎｍの厚さを有する銀層が適当であり、
・上側適合層８としては、５ｎｍの厚さを有する亜鉛・アルミニウム・酸化物（ZnO：Al2O3）が適当である。
【００８６】
この場合、第１機能層３．１は、透明な基板１の上に直接被着されており、その一方で第２機能層３．２は、第１機能層の上に配置されており、第３機能層３．３は、第２機能層３．２の上に配置されている。
【００８７】
導電性コーティング２の最も上にある層は、第３機能層３．３の上に被着されたカバー層９である。カバー層９は、４０ｎｍの層厚さを有する、アルミニウムがドーピングされたケイ素・ジルコニウム・混合窒化物（SiZrNx：Al）からなる。
【００８８】
導電性コーティング２の個々の層は、陰極スパッタリングによって堆積される。下側適合層６を堆積させるためのターゲットは、９５重量％の亜鉛酸化物ベースのセラミックと、５重量％のチタンとを含む。この場合、亜鉛酸化物ベースのセラミックは、９８重量％のZnOと、２重量％のAl2O3とを含む。上側適合層８を堆積させるためのターゲットは、９８重量％のZnOと２重量％のAl2O3とを含む上述した亜鉛酸化物ベースのセラミックからなる。各適合層６，８の堆積は、アルゴンの存在下での陰極スパッタリングによって実施される。平滑化層５を堆積させるためのターゲットは、６８重量％の錫と、３０重量％の亜鉛と、２重量％のアンチモンとを含む。堆積は、陰極スパッタリング中に反応ガスとして酸素を添加して実施される。高光屈折率材料層４及びカバー層９を堆積させるためのターゲットは、５２．９重量％のケイ素と、４３．８重量％のジルコニウムと、３．３重量％のアルミニウムとを含む。堆積は、陰極スパッタリング中に反応ガスとして窒素を添加して実施される。
【００８９】
導電性コーティング２が、ゲッター材料１０を含む下側適合層６を有するという本発明の実施形態によれば、有利にも従来技術に比べてシート抵抗が低減され、ひいては比熱出力が改善される。下側適合層６とゲッター材料１０とを組み合わせることにより、導電性層を酸化から保護するための付加的なブロッカー層の使用は省略される。これによって下側適合層６は、銀を含有する導電層７に直接コンタクトすることとなり、これによって銀の結晶成長が保証される。このように銀の結晶化度を改善することにより、本発明の導電性コーティングのシート抵抗が所期のように低減される。導電性コーティングを備える本発明の透明な板ガラスの光学特性は、車両製造分野における板ガラスに対する法的要求を満たしている。
【００９０】
図２及び図３はそれぞれ、合わせガラスの一部としての、導電性コーティング２を備える本発明の透明な板ガラスの詳細図を示す。この合わせガラスは、乗用車のフロントガラスとして設けられている。透明な基板１は、ラミネートフィルム１６を介して第２板ガラス１１に接続されている。図２は、透明な基板１の、ラミネートフィルム１６とは反対側の表面を上から見た平面図を示す。透明な基板１は、乗用車の車内空間の方向に向いている方の板ガラスである。透明な基板１及び第２板ガラス１１は、フロートガラスを含み、それぞれ２．１ｍｍの厚さを有する。ラミネートフィルム１６は、ポリビニルブチラール（PVB）を含み、０．７６ｍｍの厚さを有する。
【００９１】
透明な基板１の、ラミネートフィルム１６の方向に向いた表面の上には、導電性コーティング２が被着されている。導電性コーティング２は、８ｍｍの幅ｂを有する環状のフレーム形の非被覆領域を除いて、透明な基板１の表面全体を覆うように延在している。非被覆領域は、電気を通す導電性コーティング２と車体との間の電気絶縁部として使用される。非被覆領域は、導電性コーティング２を損傷及び腐食から保護するためにラミネートフィルム１６を用いた接着によって気密に封止されている。
【００９２】
透明な基板１の上側及び下側の外縁部には、それぞれ１つのバスバー１２が配置されている。バスバー１２は、導電性の銀ペーストによって導電性コーティング２の上に印刷及び焼成されている。焼成された銀ペーストの層厚さは、１５μｍである。バスバー１２は、その下に位置する導電性コーティング２の領域と導電的に接続されている。
【００９３】
給電線１５は、１０ｍｍの幅と０．３ｍｍの厚さとを有する、錫めっきされた銅フィルムからなる。各バスバー１２にそれぞれ１つの給電線１５がはんだ付けされている。導電性コーティング２は、バスバー１２と給電線１５とを介して電圧源１３に接続されている。電圧源１３は、自動車の１４Ｖの搭載電圧である。
【００９４】
第２板ガラス１１の、ラミネートフィルム１６の方向を向いた表面の縁部上には、カバープリント１４として２０ｍｍの幅を有する不透明なインク層が被着されている。カバープリント１４は、合わせガラスを車体に接着するために用いられた接着剤のラインが見えないように隠している。それと同時にこのカバープリント１４は、接着剤を紫外線から保護し、ひいては接着剤を早期劣化から保護するために使用される。カバープリント１４はさらにバスバー１２及び給電線１５も隠している。
【００９５】
図３は、図２の合わせガラスの下側の縁部の領域におけるＡ−Ａ’に沿った断面図を示す。導電性コーティング２と、第２板ガラス１１と、ラミネートフィルム１６と、バスバー１２と、給電線１５と、カバープリント１４とを備える透明な基板１が見て取れる。
【００９６】
図４は、本発明の方法のフローチャートを示す。第１ステップにおいて、透明な基板の上に高光屈折率材料層が堆積され、その後、高光屈折率材料層の上に平滑化層が被着される。平滑化層の上には、ゲッター材料を含む下側適合層が堆積され、この際、ゲッター材料は、当該下側適合層の中に均一に分布しており、適合層と共に１つのステップで被着される。下側適合層の上には導電層が被着され、導電層の上には上側適合層が被着される。このようにして、高光屈折率材料層と、平滑化層と、ゲッター材料を含む下側適合層と、導電層と、上側適合層とからなる第１機能層が形成される。この第１機能層の上には、少なくとも１つの第２機能層、多くとも４つのさらなる機能層が被着される。この積層体は、最も上にある機能層の上にカバー層を堆積させることによって終了される。続いて、この積層体は、バスバーを取り付けることによって給電線と電気的にコンタクトされる。この装置の上に、ラミネートフィルムと、カバープリントを備える第２板ガラスとがカバープリントが被着され、この装置は、合わせガラスを形成するためにラミネートされる。
【符号の説明】
【００９７】
１  透明な基板
２  導電性コーティング
３  機能層
３．１  第１機能層
３．２  第２機能層
３．３  第３機能層
４  高光屈折率材料層
４．１  第１高光屈折率材料層
４．２  第２高光屈折率材料層
４．３  第３高光屈折率材料層
５  平滑化層
５．１  第１平滑化層
５．２  第２平滑化層
５．３  第３平滑化層
６  下側適合層
６．１  第１下側適合層
６．２  第２下側適合層
６．３  第３下側適合層
７  導電層
７．１  第１導電層
７．２  第２導電層
７．３  第３導電層
８  上側適合層
８．１  第１上側適合層
８．２  第２上側適合層
８．３  第３上側適合層
９  カバー層
１０  ゲッター材料
１１  第２板ガラス
１２  バスバー
１３  電圧源
１４  カバープリント
１５  給電線
１６  ラミネートフィルム
ａ  カバープリント（１４）によって被覆された領域の幅
ｂ  非被覆領域の幅
Ａ−Ａ’  切断線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【手続補正書】
【提出日】平成27年8月3日(2015.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの透明な基板（１）と、前記透明な基板（１）の少なくとも１つの表面上に少なくとも１つの導電性コーティング（２）とを含む、透明な板ガラスであって、
前記導電性コーティング（２）は、少なくとも２つの上下に重なり合って配置された機能層（３）を有し、各機能層（３）はそれぞれ、
・２．１以上の屈折率を有する少なくとも１つの高光屈折率材料層（４）と、
・前記高光屈折率材料層（４）の上にある、少なくとも１つの非晶質酸化物を含む少なくとも１つの平滑化層（５）と、
・前記平滑化層（５）の上にある、少なくとも１つの下側適合層（６）と、
・前記下側適合層（６）の上にある、少なくとも１つの導電層（７）と、
・前記導電層（７）の上にある、少なくとも１つの上側適合層（８）と
を含み、
前記下側適合層（６）及び／又は前記上側適合層（８）は、層断面全体において均一に分布したゲッター材料（１０）を含み、前記ゲッター材料（１０）は、ニオブ、チタン、バリウム、マグネシウム、タンタル、ジルコニウム、トリウム、パラジウム、白金、及び、これらの合金からなるグループからなり、
前記ゲッター材料（１０）を含む少なくとも１つの前記下側適合層（６）及び／又は前記上側適合層（８）は、前記導電層（７）に直接コンタクトしている
ことを特徴とする、透明な板ガラス。
【請求項２】
前記下側適合層（６）及び／又は前記上側適合層（８）は、１重量％から１０重量％の濃度、２重量％から１０重量％の濃度、３重量％から１０重量％の濃度、３重量％から７重量％の濃度、又は、４重量％から６重量％の濃度の前記ゲッター材料（１０）を含む
ことを特徴とする、請求項１記載の透明な板ガラス。
【請求項３】
前記ゲッター材料（１０）は、チタンを含む
ことを特徴とする、請求項１又は２記載の透明な板ガラス。
【請求項４】
全ての前記導電層（７）の層厚さの合計は、３２ｎｍから７５ｎｍ、又は、５０ｎｍから６０ｎｍである
ことを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項５】
前記高光屈折率材料層（４）は、少なくとも１つのケイ素・金属・混合窒化物、ケイ素・ジルコニウム・混合窒化物、又は、アルミニウムがドーピングされたケイ素・ジルコニウム・混合窒化物を含み、
２つの前記導電層（７）の間に配置された各高光屈折率材料層（４）は、それぞれ３５ｎｍから７０ｎｍの厚さ、又は、４５ｎｍから６０ｎｍの厚さを有する
ことを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項６】
前記平滑化層（５）は、少なくとも１つの非晶質の混合酸化物、錫・亜鉛・混合酸化物、若しくは、アンチモンがドーピングされた錫・亜鉛・混合酸化物を含み、及び／又は、３ｎｍから２０ｎｍの厚さ、若しくは、４ｎｍから１２ｎｍの厚さを有する
ことを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項７】
前記導電層（７）は、少なくとも銀又は銀を含有する合金を含み、及び／又は、８ｎｍから２５ｎｍの層厚さ、若しくは、１０ｎｍから２０ｎｍの層厚さを有する
ことを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項８】
前記下側適合層（６）及び／又は前記上側適合層（８）は、亜鉛酸化物ＺｎＯ１−δを含み、但し０＜δ＜０．０１であり、及び／又は、３ｎｍから２０ｎｍの厚さ、若しくは、４ｎｍから１２ｎｍの厚さを有する
ことを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項９】
最も上にある前記機能層（３）の上に、カバー層（９）が配置されており、
前記カバー層（９）は、２．１以上の屈折率を有する少なくとも１つの高光屈折率材料、ケイ素・金属・混合窒化物、ケイ素・ジルコニウム・混合窒化物、又は、アルミニウムがドーピングされたケイ素・ジルコニウム・混合窒化物を含む
ことを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項１０】
前記透明な基板（１）は、少なくとも１つのラミネートフィルム（１６）を介して第２板ガラス（１１）と接続されて１つの合わせガラスを形成しており、
前記合わせガラスの総透過率は、７０％より大きい
ことを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか一項記載の、導電性コーティング（２）を備える透明な板ガラスの製造方法であって、
少なくとも２つの機能層（３）を、透明な基板（１）の上に順次に被着させ、
各機能層（３）を被着させるために順次に、
ａ）２．１以上の屈折率を有する少なくとも１つの高光屈折率材料層（４）と、
ｂ）少なくとも１つの非晶質酸化物を含む少なくとも１つの平滑化層（５）と、
ｃ）少なくとも１つの下側適合層（６）と、
ｄ）少なくとも１つの導電層（７）と、
ｅ）少なくとも１つの上側適合層（８）と
を被着させ、
前記下側適合層（６）及び／又は前記上側適合層（８）を、当該下側適合層（６）及び／又は当該上側適合層（８）の中に含まれるゲッター材料（１０）と同時に被着させる
ことを特徴とする、製造方法。
【請求項１２】
前記下側適合層（６）及び／又は前記上側適合層（８）を、１重量％から１０重量％、２重量％から１０重量％、３重量％から１０重量％、３重量％から７重量％、又は、４重量％から６重量％の前記ゲッター材料（１０）を含むセラミックターゲットを陰極スパッタリングすることによって堆積させる
ことを特徴とする、請求項１１記載の製造方法。
【請求項１３】
前記導電性コーティング（２）に、少なくとも２つのバスバー（１２）を接続させ、
前記透明な基板（１）と第２板ガラス（１１）とを、５００℃から７００℃の温度まで加熱し、
前記透明な基板（１）と前記第２板ガラス（１１）とを、ラミネートフィルム（１６）に全面的に接続させる
ことを特徴とする、請求項１１又は１２記載の製造方法。
【請求項１４】
建築物における板ガラス、又は、陸上、空中又は水上での交通用の輸送手段、若しくは、自動車における板ガラス、又は、板ガラスの構成部分、若しくは、複層ガラス又は合わせガラスの構成部分、又は、フロントガラス、リアウィンドウ、サイドウィンドウ、及び／又は、ルーフウィンドウである、請求項１から１０のいずれか一項記載の透明な板ガラス。
【国際調査報告】
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