(57)【要約】本発明は、フレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法を提供する。本発明は、粘着層を介して支持体上に気体透過性基材フィルムを接合する段階と、前記粘着層を熱処理し、粘着剤中の溶媒成分又は揮発性成分を前記気体透過性基材フィルムを介して排出する段階と、前記気体透過性基材フィルム上に透明電極積層体を形成する段階とを含むことにより、透明電極積層体形成工程がより精密かつ安定的に進むようにし、粘着剤中の揮発性成分及び気化した溶媒成分による基材フィルムの平滑度の低下を抑制できるフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法に関する。【選択図】図１
2016531358.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着層を介して支持体上に気体透過性基材フィルムを接合する段階と、
前記粘着層を熱処理し、粘着剤中の溶媒成分又は揮発性成分を前記気体透過性基材フィルムを介して排出する段階と、
前記気体透過性基材フィルム上に透明電極積層体を形成する段階と、
を含むフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項２】
前記支持体は、ガラス、石英、シリコンウエハ又はサスで製造されたものである、請求項１に記載のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項３】
前記気体透過性基材フィルムは、ポリエチレンエーテルフタレート(polyethylene ether phthalate)、ポリエチレンナフタレート（polyethylene naphthalate）、ポリカーボネート（polycarbonate）、ポリアリーレート（polyarylate）、ポリエーテルイミド（polyether imide）、ポリエーテルスルホン酸（polyether sulfonate）、ポリイミド（polyimide）、ポリエーテルエーテルケトン（Polyether ether ketone）、ポリエチレンテレフタレート（Polyethylene Terephthalate）、トリアセチルセルロース（Triacetyl Cellulose）、シクロオレフィンポリマー（Cyclo-olefin Polymer）、アラミド（Aramide）、ＦＲＰ、ポリウレタン（polyurethane）及びポリアクリレート（polyacrylate）からなる群より選択される少なくとも一つの素材で形成されたものである、請求項１に記載のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項４】
前記気体透過性基材フィルムは、透湿係数が１〜５００ｇ／ｍ２／２４ｈｒである、請求項１に記載のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項５】
前記粘着層は、前記支持体又は前記気体透過性基材フィルムの一面に粘着剤組成物を塗工して形成される、請求項１に記載のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項６】
前記粘着剤組成物は、溶融温度が１５０〜４００℃である、請求項５に記載のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項７】
前記熱処理は、粘着剤組成物の溶融温度以下の温度で行われる、請求項１に記載のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項８】
前記熱処理の後、前記透明電極積層体を形成する前に、前記気体透過性基材フィルム上に耐化学性コート層を形成する段階をさらに含む、請求項１に記載のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項９】
前記耐化学性コート層は、炭素数１〜２０のアルコキシ基を有する反応性アルコキシシラン化合物、アクリル系化合物、フッ素系化合物、二酸化ケイ素及び窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）を含む耐化学性コート層形成用組成物を前記気体透過性基材フィルム上にコーティングして形成される、請求項８に記載のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項１０】
前記気体透過性基材フィルム上に前記透明電極積層体を形成した後、前記透明電極積層体が形成された前記気体透過性基材フィルムを前記粘着層から剥離する段階をさらに含む、請求項１に記載のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の方法により製造されたフレキシブルタッチスクリーンパネル。
【請求項１２】
請求項１１に記載のフレキシブルタッチスクリーンパネルを含むフレキシブル画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
タッチスクリーンパネルは、画像表示装置などの画面に表された指示内容を人の手又は物により選択することでユーザの命令を入力できるようにした入力装置である。
【０００３】
このために、タッチスクリーンパネルは、画像表示装置の前面に設けられ、人の手又は物に直接接触した接触位置を電気的信号に変換する。これにより、接触位置で選択された指示内容が入力信号として受信される。
【０００４】
このようなタッチスクリーンパネルは、キーボードやマウスのように画像表示装置に接続して動作する別の入力装置を代替できるため、その使用範囲が漸次拡大する傾向にある。
【０００５】
タッチスクリーンパネルを実現する方式としては、抵抗膜方式、光感知方式、及び静電容量方式などが知られており、このうち、静電容量方式のタッチスクリーンパネルは、人の手又は物が接触したとき、導電性センシングパターンが周辺の他のセンシングパターン又は接地電極などと形成する静電容量の変化を感知することにより、接触位置を電気的信号に変換する。
【０００６】
このようなタッチスクリーンパネルは、一般に、液晶表示装置、有機電界発光表示装置のような平板表示装置の外面に貼り付けられて製品化される場合が多い。したがって、前記タッチスクリーンパネルは、高透明度及び薄型の特性が求められる。
【０００７】
また、近年、フレキシブルな平板表示装置が開発されており、この場合、前記フレキシブル平板表示装置上に貼り付けられるタッチスクリーンパネルもフレキシブルであることが求められる。
【０００８】
但し、前記静電容量方式のタッチスクリーンパネルは、タッチセンサを実現するセンシングパターンなどを形成するために薄膜成膜、パターン形成工程などを必要とするので、高耐熱性及び耐化学性などの特性が求められる。このため、耐熱性に優れたポリイミドなどの樹脂を硬化させて形成した基材フィルム上に透明電極積層体を形成することになる。
【０００９】
一方、そのような薄型で柔軟な基材フィルムは、反りや歪みが生じやすくて製造工程中の取り扱いが難しいため、透明電極積層体を形成することが困難であるという問題点があるが、その対策はまだ確立されていない。
【００１０】
韓国公開特許第２０１２−１３３８４８号には、フレキシブルタッチスクリーンパネルが開示されているが、上記問題点に対する対策は提示されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】韓国公開特許第２０１２−１３３８４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、透明電極積層体形成工程がより精密かつ安定的に行われるようにするフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【００１３】
また、本発明は、粘着剤中の揮発性成分又は気化した溶媒成分による基材フィルムの平滑度の低下を抑制できるフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
１．粘着層を介して支持体上に気体透過性基材フィルムを接合する段階と、前記粘着層を熱処理し、粘着剤中の溶媒成分又は揮発性成分を前記気体透過性基材フィルムを介して排出する段階と、前記気体透過性基材フィルム上に透明電極積層体を形成する段階とを含むフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【００１５】
２．前記項目１において、前記支持体は、ガラス、石英、シリコンウエハ又はサスで製造されたものである、フレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【００１６】
３．前記項目１において、前記気体透過性基材フィルムは、ポリエチレンエーテルフタレート（polyethylene ether phthalate）、ポリエチレンナフタレート（polyethylene naphthalate）、ポリカーボネート（polycarbonate）、ポリアリーレート（polyarylate）、ポリエーテルイミド（polyether imide）、ポリエーテルスルホン酸（polyether sulfonate）、ポリイミド（polyimide）、ポリエーテルエーテルケトン（Polyether ether ketone）、ポリエチレンテレフタレート（Polyethylene Terephthalate）、トリアセチルセルロース（Triacetyl Cellulose）、シクロオレフィンポリマー（Cyclo-olefin Polymer）、アラミド（Aramide）、ＦＲＰ、ポリウレタン（polyurethane）及びポリアクリレート（polyacrylate）からなる群より選択される少なくとも一つの素材で形成されたものである、フレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【００１７】
４．前記項目１において、前記気体透過性基材フィルムは、透湿係数が１〜５００ｇ／ｍ２／２４ｈｒである、フレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【００１８】
５．前記項目１において、前記粘着層は、前記支持体又は前記気体透過性基材フィルムの一面に粘着剤組成物を塗工して形成される、フレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【００１９】
６．前記項目５において、前記粘着剤組成物は、溶融温度が１５０〜４００℃である、フレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【００２０】
７．前記項目１において、前記熱処理は、粘着剤組成物の溶融温度以下の温度で行われる、フレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【００２１】
８．前記項目１において、前記熱処理の後、前記透明電極積層体を形成する前に、前記気体透過性基材フィルム上に耐化学性コート層を形成する段階をさらに含む、フレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【００２２】
９．前記項目８において、前記耐化学性コート層は、炭素数１〜２０のアルコキシ基を有する反応性アルコキシシラン化合物、アクリル系化合物、フッ素系化合物、二酸化ケイ素及び窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）を含む耐化学性コート層形成用組成物を前記気体透過性基材フィルム上にコーティングして形成される、フレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【００２３】
１０．前記項目１において、前記気体透過性基材フィルム上に前記透明電極積層体を形成した後、前記透明電極積層体が形成された前記気体透過性基材フィルムを前記粘着層から剥離する段階をさらに含む、フレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法。
【００２４】
１１．前記項目１〜１０のいずれか１項の方法により製造されたフレキシブルタッチスクリーンパネル。
【００２５】
１２．前記項目１１に記載のフレキシブルタッチスクリーンパネルを含むフレキシブル画像表示装置。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、基材フィルムを支持体に接合して後続工程を行うことにより、透明電極積層体形成工程がより精密かつ安定的に進むようにする。
【００２７】
また、本発明は、粘着剤中の揮発性成分及び気化した溶媒成分による基材フィルムの平滑度の低下を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、本発明のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法の一具現例に係る工程フローチャートを概略的に示すものである。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
本発明は、粘着層を介して支持体上に気体透過性基材フィルムを接合する段階と、前記粘着層を熱処理し、粘着剤中の溶媒成分又は揮発性成分を前記気体透過性基材フィルムを介して排出する段階と、前記気体透過性基材フィルム上に透明電極積層体を形成する段階とを含むことにより、透明電極積層体形成工程がより精密かつ安定的に進むようになるとともに、粘着剤中の揮発性成分及び気化した溶媒成分による基材フィルムの平滑度の低下を抑制できるフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法に関する。
【００３０】
タッチスクリーンパネルは、重量を低減し携帯性を改善するために漸次薄型化されているが、このタッチスクリーンパネルに用いられる基材フィルムは、反りや歪みが生じやすいため、製造工程中における取り扱いが難しい。
【００３１】
このことから、本発明の製造方法は、基材フィルムを支持体に粘着して固定することで取り扱い性を向上させ、後続工程である透明電極積層体形成工程がより精密かつ安定的に進むようにする。
【００３２】
一方、粘着層をなす粘着剤中の溶媒成分は、透明電極積層体の形成のための蒸着工程、熱処理工程などの高温工程により気化し得るが、その場合、気泡が発生して基材フィルムの平滑度が低下することがある。この問題は、粘着剤中の揮発性成分によっても発生し得る。
【００３３】
しかし、本発明は、高温の後続工程の前に、予め粘着剤中の溶媒成分又は揮発性成分を排出することにより、前記問題点を解決できる。
【００３４】
図１には、本発明のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法の一具現例の工程フローチャートが概略的に示されている。以下、図面を参照して、本発明のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法の一具現例をその段階別に詳しく説明する。
【００３５】
まず、粘着層２０を介して支持体１０上に気体透過性基材フィルム３０を接合する。
【００３６】
支持体１０としては、基材フィルムが工程中に容易に反ったり歪んだりしないように固定される適正強度を有し、熱や化学処理に殆ど影響されない材料であれば特に制限なく使用できる。例えば、ガラス、石英、Ｓｉウエハ、サスなどを使用でき、好ましくはガラスを使用することができる。
【００３７】
気体透過性基材フィルム３０は、後述する透明電極が形成される基材であり、本発明は、適正強度を有する支持体１０の一面に基材フィルム３０を固定し、基材フィルム３０上に透明電極を形成する工程が円滑に進むようにする。
【００３８】
気体透過性基材フィルム３０は、フィルムシート又はロールツーロール（Roll to Roll）の形で工程に提供されるが、これに制限されるものではない。また、気体透過性基材フィルム３０は、少なくとも一面に保護フィルム（図示せず）が貼り付けられた状態で工程に提供できる。その場合、支持体１０との接合時には、保護フィルム（図示せず）は取り除いてから接合することになる。
【００３９】
気体透過性基材フィルム３０は、後述する熱処理工程、透明電極積層体形成工程などの高温工程に耐え得る優れた耐熱性を有し、粘着剤中の揮発性成分及び気化した溶媒成分が透過できる気体透過性を有するものであれば特に限定されない。例えば、ポリエチレンエーテルフタレート（polyethylene ether phthalate）、ポリエチレンナフタレート（polyethylene naphthalate）、 ポリカーボネート（polycarbonate）、ポリアリーレート（polyarylate）、ポリエーテルイミド（polyether imide）、ポリエーテルスルホン酸（polyether sulfonate）、ポリイミド（polyimide）、ポリエーテルエーテルケトン（Polyether ether ketone）、ポリエチレンテレフタレート（Polyethylene Terephthalate）、トリアセチルセルロース（Triacetyl Cellulose）、シクロオレフィンポリマー（Cyclo-olefin Polymer）、アラミド（Aramide）、ＦＲＰ、ポリウレタン（polyurethane）、ポリアクリレート（polyacrylate）などで製造されたフィルムであってもよい。これらは単独又は２種以上混合して使用することができる。
【００４０】
気体透過性基材フィルム３０の厚さは、特に限定されず、例えば１〜１５０μｍであってもよい。
【００４１】
気体透過性基材フィルム３０の透湿係数（Water Vapor Transmission Rate）は、粘着剤中の揮発性成分又は後述する工程によって気化した溶媒成分がこれを透過でき、かつ十分な耐久性を有する範囲内であれば特に限定されず、例えば１〜５００ｇ／ｍ２／２４ｈｒであってもよい。透湿係数が前記範囲内であれば、揮発性成分又は気化した粘着剤中の溶媒成分がこれを透過でき、かつ基材フィルム３０が十分な耐熱性及び耐久性を有することができる。
【００４２】
粘着層２０は、前記支持体１０又は気体透過性基材フィルム３０の一面に粘着剤組成物を塗工して形成することができる。
【００４３】
粘着剤組成物を塗工する方法としては、当分野で通常用いられる方法を制限なく適用できる。例えば、注液（ｐｏｕｒｉｎｇ）コート、スピンコート、スプレーコート、ディップコート、ドロップコート、ロールコート、グラビアコート等の方法が適用できるが、これらに限定されるものではない。
【００４４】
又は、粘着層２０は、両面に離型フィルム４０が貼り付けられた粘着シート又はロールツーロール（Roll to Roll）方式により工程に提供することもできる。
【００４５】
粘着剤中の溶媒成分の気化を最小限に抑えるために、粘着剤組成物は溶融温度Ｔｍが高いことが好ましく、例えば１５０〜４００℃であってもよく、好ましくは２００〜３５０℃であってもよい。粘着剤組成物の溶融温度が１５０〜４００℃であると、溶媒成分の気化を最小限に抑えることができる。粘着剤組成物の溶融温度が１５０℃未満であると、形成された粘着層が、後述する高温工程で溶融して透明電極積層体の形成が困難になることがある。
【００４６】
本発明による粘着剤組成物は、前記条件を満たすものであれば特に限定されることなく、当分野で通常使用されるポリアクリル酸樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、シロキサン樹脂などを含む粘着剤組成物を使用できる。
【００４７】
この後、前記粘着層２０を熱処理して、粘着剤中の溶媒成分又は揮発性成分を前記気体透過性基材フィルム３０を介して排出させる。
【００４８】
粘着層２０をなす粘着剤中の溶媒成分は、後述する透明電極積層体の形成のための蒸着工程、熱処理工程などの高温工程により気化し得るが、その場合、気泡が発生して基材フィルム３０の平滑度が低下することがある。また、粘着剤中の揮発性成分によっても前記問題が発生し得る。
【００４９】
これに対し、本発明のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法は、透明電極積層体の形成前に予め溶媒成分又は揮発性成分を排出することにより、前記問題点を解決できる。揮発性成分又は気化した溶媒成分は、気体透過性基材フィルム３０を透過して空気中に排出される。
【００５０】
熱処理の温度及び時間は、特に限定されず、粘着剤中の溶媒成分が十分に気化でき、かつ支持体１０及び基材フィルム３０を損しない範囲内で適宜選択することができるが、例えば、前記粘着剤組成物の溶融温度以下の温度で行うことができ、具体的には溶融温度よりも２０℃低い温度で１〜４００分行うことができる。
【００５１】
熱処理段階は、粘着剤中の溶媒成分が十分に気化するのに必要な熱エネルギーを供給できるように、すぐに高温で行うか、段階別に行うか、又は温度を変化させながら行うこともできる。昇温温度、各段階別の実行時間などは適宜選択することができる。
【００５２】
本発明は、前記熱処理を行ってから、透明電極積層体を形成する前に、気体透過性基材フィルム３０上に耐化学性コート層（図示せず）を形成する段階をさらに含むことができる。
【００５３】
気体透過性基材フィルム３０は、後続工程中に多数の薬液に曝されるが、耐化学性コート層を形成することにより、薬液による損傷を抑えることができる。
【００５４】
耐化学性コート層は、当分野で通常使用される耐化学性コート層形成用組成物を注液コート、スピンコート、スプレーコート、ディップコート、ドロップコート、ロールコート、グラビアコートなどにより、前記気体透過性基材フィルム（３０）上に塗布して形成するか、又は化学気相蒸着法、物理気相蒸着法、スパッタリング法などにより直接に成膜できるが、これらに制限されるものではない。
【００５５】
耐化学性コート層形成用組成物は、炭素数１〜２０のアルコキシ基を有する反応性アルコキシシラン化合物、アクリル系化合物、フッ素系化合物などからなる有機物；二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）、窒化ケイ素（ＳｉＮｘ）などからなる無機物；有無機ハイブリッド物などを含むものであってもよいが、これらに制限されるものではない。
【００５６】
その後、前記気体透過性基材フィルム３０上に透明電極積層体５０を形成する。
【００５７】
透明電極積層体５０を形成する方法は、当分野で公知の様々な方法を制限なく用いることができる。
【００５８】
透明電極積層体５０は、具体的な用途に応じて様々な構造で形成できるが、例えば、タッチ地点の位置情報を提供する第１の透明電極層及び第２の透明電極層と、前記第１の透明電極層と第２透明電極層との間に介在し、二つの層を電気的に分離させる絶縁層と、絶縁層に形成され、第１の透明電極層と第２の透明電極層とが電気的に接続できるようにするコンタクトホールなどを含むことができる。
【００５９】
本発明のフレキシブルタッチスクリーンパネルの製造方法は、前記段階の後に、透明電極積層体５０が形成された気体透過性基材フィルム３０を粘着層２０から剥離する段階をさらに含むことができる。
【００６０】
前記剥離工程は、粘着層２０にレーザーを照射して行うか、又は非レーザー工程、例えば気体透過性基材フィルム３０及び支持体１０をそれぞれ治具に挟んで物理的な力で分離する工程、Ａｉｒの投入による工程、或いは温度変化によるＵＶ照射による工程により行うことができる。好ましくは、非レーザー工程を用いることができる。
【００６１】
透明電極積層体５０が形成された気体透過性基材フィルム３０は、ディスプレイパネル部と結合されてタッチスクリーンパネルとして使用することができる。
【００６２】
また、本発明は、前記フレキシブルタッチスクリーンパネルを含む画像表示装置を提供する。
【００６３】
本発明の画像表示装置は、フレキシブル画像表示装置に通常使用される構成をさらに含むことができる。
【００６４】
以下、本発明の理解を助けるために好適な実施例を提示するが、下記実施例は、本発明を例示するものに過ぎず、本発明の範疇及び技術思想の範囲内で様々な変更及び修正が可能なことは、当業者にとって明らかであり、このような変形及び修正が添付の特許請求の範囲に属することも当然のことである。
【００６５】
製造例
（１）粘着シートの製造
ドデシルアクリレート４５重量部、メチルアクリレート４５重量部、アクリル酸５重量部、２−ヒドロキシエチルアクリレート５重量部、及びＰｅｒｂｕｔｙｌ ＮＤ（日本油脂社製）０．２重量部を混合した。その後、エチルアセテート２３０重量部を加え、５５℃で４時間攪拌し、粘着剤組成物を調製した。重合された樹脂の重量平均分子量は７００,０００であり、粘着剤組成物の溶融温度は３５０℃であった。
【００６６】
前記粘着剤組成物をＰＥＴ離型フィルム上に塗布し、１２０℃で２０分間乾燥し、粘着シートを製造した。
【００６７】
（２）粘着シートの製造
シリコーン粘着剤として７６５７（ダウコーニング社製）６０重量部、シリコーン離型剤７２２６（ダウコーニング社製）４０重量部、架橋剤として７３６７（ダウコーニング社製）２重量部、白金触媒１重量部、及びアンカレッジエージェントとして９２５０（ダウコーニング社製）２重量部を混合し、シリコーン系粘着剤組成物を調製した。調製された粘着剤組成物の溶融温度は１８０℃であった。
【００６８】
前記粘着剤組成物をＰＥＴ離型フィルム上に塗布し、１００℃で２０分間乾燥し、粘着シートを製造した。
【００６９】
実施例１
厚さ５００μｍの液晶ディスプレイ用ガラス（ＥＡＧＬＥ ＸＧ、サムスンコーニング精密素材社製）上に、前記製造例（１）で得られた粘着シートを貼り付けて粘着層を形成し、粘着層上に厚さ２５μｍの気体透過性基材フィルムシート（Ｋａｐｔｏｎ Ｔｙｐｅ ＨＮ Ｆｉｌｍ、デュポン社製）を貼り合うことにより、気体透過性基材フィルムを接合した。
【００７０】
前記接合体を１５０℃の熱風乾燥炉で６０分間熱処理し、粘着剤中の揮発性成分及び気化した溶媒成分を排出させた。
【００７１】
その後、反応性エトキシシラン化合物を含む耐化学性コート層形成用組成物を前記気体透過性基材フィルム上にコートし、耐化学性コート層を形成した。
【００７２】
次いで、耐化学性コート層が形成された基材フィルム上にＩＴＯをスパッタリング法により厚さ５００Åに成膜し、透明電極積層体を形成した。
【００７３】
その後、透明電極積層体が形成された気体透過性基材フィルムを１８０度方向から３０ｍ／分の速度で引っ張ることで粘着層から剥離した。
【００７４】
実施例２
製造例（２）で得られた粘着シートを用いた以外は、実施例１と同様な方法で行った。
【００７５】
実施例３
厚さ１００μｍの気体透過性基材フィルムシート（ＳＵＭＩＬＩＴＥ ＦＳ−１３００、住友ベークライト社製）を用いた以外は、実施例１と同様な方法で行った。
【００７６】
実施例４
厚さ２５０μｍの気体透過性基材フィルムシート（ＺＥＯＮＯＲ １０２０Ｒ、ゼオン社製）を用いた以外は、実施例１と同様な方法で行った。
【００７７】
実施例５
厚さ５００μｍの気体透過性基材フィルムシート（Ｅｓｔａｎｅ ５８２３７ ＴＰＵ、ルーブリゾール社製）を用いた以外は、実施例１と同様な方法で行った。
【００７８】
実施例６
耐化学性コート層を形成していない以外は、実施例１と同様な方法で行った。
【００７９】
比較例
気体透過性基材フィルムの代わりに非気体透過性基材フィルム（ｍｏｉｓｔｕｒｅ Ｂａｒｒｉｅｒ Ｆｉｌｍｓ ＦＧ１００、マテリオン社製）を用いた以外は、実施例１と同様な方法で行った。
【００８０】
実験例
（１）透湿係数（ＷＶＴＲ：Water Vapor Transmission Rate）の測定
実施例及び比較例で用いられた基材フィルムの透湿係数をＡＳＴＭ Ｅ９６−９５−Ｐｒｏｃｅｄｕｒｅ ＢＷに基づいて測定した。
【００８１】
（２）平滑度の評価
実施例及び比較例の透明電極積層体について、成膜が均一であるかどうかを目視で観察し、面抵抗の面内均一性を測定し、下記基準に基づいて平滑度を評価した。
＜評価基準＞
◎：均一に成膜されており、面抵抗の変化率が１０％以内
○：均一に成膜されており、面抵抗の変化率が２０％以内
△：均一に成膜されているが、面抵抗の変化率が２０％を超える
Ｘ：基材フィルムの浮きが発生し、透明電極積層体が均一に成膜されていない
【００８２】
（３）耐化学性の評価
実施例及び比較例の積層体を、２０℃のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）及び５％水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液にそれぞれ１０分間浸漬した。１０分後に引き上げて脱イオン水で洗浄し、室温で５分間乾燥した。その後、基材フィルムの表面を目視で観察し、下記基準に基づいて耐化学性を評価した。
＜評価基準＞
◎：基材フィルムにおいて、表面がきれいで、破損部分が全く観察されない
○：基材フィルムにおいて、表面はきれいであるが、僅かに破損した部分が観察される
△：基材フィルムにおいて、黄色への変色または収縮が観察される
Ｘ：基材フィルムにおいて、薬液による白色への変色または破損が観察される
【００８３】
【表１】
2016531358.tif 000003
【００８４】
上記表１から、実施例１〜３の積層体は、平滑度及び基材フィルムの耐化学性が非常に優れていることが分かる。
【００８５】
基材フィルムにおける、透湿係数の低い実施例４及び透湿係数の高い実施例５は、平滑度はやや低下したが、依然として優れた性能を示した。
【００８６】
耐化学性コート層を形成していない実施例６の積層体は、耐化学性はやや低下したが、依然として優れており、非常に優れた平滑度を示した。
【００８７】
これに対し、比較例の積層体は、粘着剤中の揮発性成分及びＩＴＯ成膜工程中に気化した溶媒成分により気泡が発生し、基材フィルムの平滑度が不良であった。
【符号の説明】
【００８８】
１０：支持体
２０：粘着層
３０：気体透過性基材フィルム
４０：離型フィルム
５０：透明電極積層体
【図１】
2016531358.tif 000004
【国際調査報告】
2016531358.tif 000005
2016531358.tif 000006
2016531358.tif 000007
2016531358.tif 000008