(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
非吸湿性樹脂層の少なくとも片面に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜が形成された複合フィルムを２枚以上含有する防湿性多層フィルムであって、
（ａ）該複合フィルムの蒸着膜面が、接着剤層を介して、他の複合フィルムの蒸着膜面と積層された層構成を１〜４の範囲内で含有し、かつ、接着剤層と隣接して積層されている蒸着膜の合計層数（ｎ）が２〜８である、吸湿性樹脂層を含まない多層フィルムからなり、並びに
（ｂ）温度４０℃及び相対湿度１００％の条件下で測定した透湿度（Ｗ；単位＝ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ）が、下記式（１）
Ｗ≦（１／ｎ）×０．２０           （１）
の関係を満足する
ことを特徴とする防湿性多層フィルム。
【請求項２】
非吸湿性樹脂層の少なくとも片面に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜が形成された複合フィルムを２枚以上含有する防湿性多層フィルムの製造方法において、
（Ａ）複合フィルムの蒸着膜面が、接着剤層を介して、他の複合フィルムの蒸着膜面と積層された層構成を１〜４の範囲内で含有し、かつ、接着剤層と隣接して積層されている蒸着膜の合計層数（ｎ）が２〜８である、吸湿性樹脂層を含まない多層フィルムを作製する工程１；並びに
（Ｂ）該多層フィルムを５５℃以上１４０℃未満の乾熱雰囲気中で１０時間以上熱処理する工程２；
を含み、温度４０℃及び相対湿度１００％の条件下で測定した透湿度（Ｗ；単位＝ｇ／ｍ2・ｄａｙ）が、下記式（１）
Ｗ≦（１／ｎ）×０．２０       （１）
の関係を満足する多層フィルムを得る
ことを特徴とする防湿性多層フィルムの製造方法。
【請求項３】
該工程２において、該多層フィルムを非緊張下に熱処理する請求項２記載の防湿性多層フィルムの製造方法。
【請求項４】
該多層フィルムをロール状に巻回した状態で熱処理する請求項３記載の防湿性多層フィルムの製造方法。
【請求項５】
該工程１において、該接着剤層にウレタン系接着剤を用いて多層フィルムを作製し、次いで、３０〜５０℃の温度範囲で２４時間以上、接着剤のエージング処理を行った後、該工程２の熱処理を行う請求項２乃至４のいずれか１項に記載の防湿性多層フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高度の防湿性能を有する防湿性多層フィルムに関し、さらに詳しくは、食品、医薬品、電子部品などの包装材料や封止材料として好適な防湿性多層フィルム及びその製造方法に関する。本発明の防湿性多層フィルムは、ポリ塩化三フッ化エチレンフィルムに匹敵する防湿性を発揮することが可能であり、エレクトロルミネッセンス素子などの電子部品の封止用パッケージフィルムとして特に好適である。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、合成樹脂フィルムの表面に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜を形成した複合フィルムは、酸素ガスバリア性及び水蒸気バリア性が良好で、透明性に優れ、さらには、蒸着膜がケイ素酸化物薄膜などの場合には電子レンジ適性を有していることから、食品、医薬品、電子部品などの包装材料や封止材料として用いられている。少なくとも片面に蒸着膜を形成した複合フィルムは、その片面または両面に各種合成樹脂フィルムを積層することにより、蒸着膜を保護するとともに、強度、耐熱性、ヒートシール性などの諸機能を付与した多層フィルムとすることができる。
【０００３】
しかしながら、蒸着膜を含有する従来の複合フィルムは、透湿度を十分に低くすることができないため、例えば、高度の防湿性が要求される電子部品の封止用パッケージフィルムとしては必ずしも適していなかった。この問題について、以下に、エレクトロルミネッセンス素子（ＥＬ素子）を例に挙げて、より具体的に説明する。
【０００４】
蛍光化合物の固体（蛍光体）に電場を印加して、電気エネルギーを蛍光の発光エネルギーに変換する作用をエレクトロルミネッセンスと呼ぶ。エレクトロルミネッセンスは、その基本素子構造から、薄膜型と分散型とに分類することができる。薄膜型ＥＬ素子は、蛍光体の薄膜からなる発光層を備えたものである。分散型ＥＬ素子は、粉末蛍光体を有機または無機のバインダ中に分散させた発光層を備えたものである。ＥＬ素子は、発光層を直接または絶縁層を介して一対の電極により挟んだ素子本体を備えており、一対の電極の少なくとも一方には、透明電極が用いられている。発光層を構成する蛍光体は、吸湿すると、その発光輝度が著しく損なわれる。そのため、ＥＬ素子は、一対の電極間に発光層が配置されたＥＬ素子本体を、透明な防湿材で被覆（封止）した構造を有している。
【０００５】
従来、ＥＬ素子の防湿材としては、ポリ塩化三フッ化エチレン（ＰＣＴＦＥ）フィルムやガラス基板が用いられている。ＰＣＴＦＥフィルムは、合成樹脂フィルムの中で最も優れた防湿性を有しているが、コストが高く、しかも雰囲気温度が５０℃を越える高温になると防湿性が著しく低下する。そのため、ＰＣＴＦＥフィルムで封止したＥＬ素子は、高温・高湿下での寿命が極端に短くなるという問題があった。一方、ガラス基板は、薄膜化や軽量化に限度があり、可撓性に欠けるという問題もある。また、ガラス基板のみでＥＬ素子本体を封止することは困難であり、可撓性のある防湿性フィルムの併用が不可欠である。
【０００６】
したがって、ＰＣＴＦＥフィルムに代替することができる高度の防湿性能を有する防湿性フィルムの開発が望まれていた。従来、ＰＣＴＦＥに代替する樹脂材料として、ポリ塩化ビニリデンやポリビニルアルコールなどが検討され、さらには、無機酸化物や金属の蒸着膜を形成した合成樹脂フィルムも検討されてきた。しかしながら、ＰＣＴＦＥフィルムに匹敵する高度の防湿性能と適度の可撓性を有する防湿材の開発は困難であった。
【０００７】
例えば、特開平８−３００５４９号公報には、ガスバリア性を有する皮膜を設けた二軸延伸プラスチックフィルムの皮膜面が接着樹脂層と接触するように構成された、少なくとも二軸延伸プラスチックフィルム・皮膜／接着樹脂層／フレキシブルフィルムからなるラミネートフィルムにおいて、該二軸延伸プラスチックフィルムのガラス転移点以上、融点以下の温度で該二軸延伸プラスチックフィルムを加熱し、その際、該二軸延伸プラスチックフィルムの縦方向（ＭＤ）の伸縮率の範囲を伸び率２％以内及び収縮率５％以内とすることにより、ガスバリア性を改善する方法が開示されている。該公報には、ガスバリア性を有する皮膜として、無機酸化物や金属の蒸着膜が示されている。
【０００８】
上記公報に記載の方法では、ラミネートフィルムを加熱する際に、２本の独立駆動ロールＡ及びＢの間を通過させ、かつ、各独立駆動ロールの回転速度を調整することにより、ラミネートフィルムの伸縮率を制御している。具体的には、駆動ロールＡの周速に対して、駆動ロールＢの周速を１．０２〜０．９５倍に調整して、ラミネートフィルムを緊張下に加熱している。また、該公報に記載の方法では、加熱温度を二軸延伸プラスチックフィルムのガラス転移点＋７０℃以上、融点以下とすることが望ましいとされている。該公報の実施例には、ラミネートフィルムを緊張下に、２３０℃の熱ロールに１．５秒間（実施例１）、１９０℃の熱ロールに３．２秒間（実施例２）、２５０℃の熱ロールに０．９秒間（実施例３）、それぞれ接触させた例が示されている。該公報の他の実施例には、ラミネートフィルムを独立駆動する２本のロール間にゆっくり流しながら、１７０℃の加熱炉中で１０分間（実施例４）、及び２１０℃の加熱炉中で２分間（実施例５）、それぞれ加熱した例が示されている。このような方法により、ラミネートフィルムの透湿度（カップ法により４０℃、相対湿度差９０％で測定）が、熱処理前の１．５ｇ／ｍ2 ・ｄａｙから、熱処理後の０．６ｇ／ｍ2 ・ｄａｙにまで改善された例が示されている（実施例４）。しかしながら、この透湿度の値は、ＰＣＴＦＥフィルムの透湿度の水準（０．０３ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ程度）にはるかに及ばないものである。
【０００９】
最近、本発明者らは、ポリビニルアルコールなどの吸湿性樹脂層の両面に直接または接着剤層を介して無機酸化物薄膜を配置した透明な多層フィルムを乾燥することにより、優れた防湿性能を有する防湿フィルムの得られることを見いだした（ＰＣＴ／ＪＰ９８／０１７８１）。しかし、この防湿フィルムは、吸湿性樹脂を使用することが必須であり、樹脂材料の選択に制限があった。また、この防湿フィルムは、透湿度に加えて、透湿量をも低く抑制するために、真空乾燥を含む高度の乾燥処理により、該吸湿性樹脂層を絶乾状態にまで乾燥する必要があった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、非吸湿性樹脂層の少なくとも片面に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜が形成された複合フィルムを含有する、非吸湿性樹脂層と蒸着膜とを必須とする多層フィルムからなり、高度の防湿性能を示す防湿性多層フィルム及びその製造方法を提供することにある。
【００１１】
本発明者らは、前記従来技術の問題点を克服するために鋭意研究した結果、非吸湿性樹脂層の少なくとも片面に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜が形成された複合フィルムの蒸着膜面が、接着剤層を介して、他の非吸湿性樹脂層面または他の複合フィルムの蒸着膜面と積層された層構成を含有し、接着剤層と隣接して積層されている蒸着膜の合計層数（ｎ）が２〜８である多層フィルムを作製し、次いで、該多層フィルムを１４０℃未満の比較的低温で長時間熱処理することにより、ＰＣＴＦＥフィルムに匹敵する高度の防湿性能を有し、適度の可撓性や柔軟性をも有する防湿性多層フィルムが得られることを見いだした。
【００１２】
本発明の方法によれば、多層フィルムを緊張下に熱処理する必要がなく、例えば、ロール状に巻回した状態で加熱炉中に保持することにより、熱処理を行うことができる。したがって、本発明の方法は、大量生産に適している。また、本発明の方法では、５５℃以上１４０℃未満の比較的低温で熱処理をすることができる。本発明者らの実験結果によれば、多層フィルムを高温で熱処理すると、透湿度が低下する傾向を示し、特に１７０℃以上の高温で熱処理すると、透湿度が著しく低下することが判明した。さらに、本発明の方法では、吸湿性樹脂層が必須ではなく、吸湿性樹脂層を絶乾状態にまで乾燥する必要もない。本発明の防湿性多層フィルムは、蒸着膜の合計層数を適度の範囲内に調整することにより、例えば、ＥＬ素子本体の防湿材として適用するのに好適な可撓性を有することができる。本発明は、これらの知見に基づいて完成するに至ったものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
かくして、本発明によれば、非吸湿性樹脂層の少なくとも片面に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜が形成された複合フィルムを２枚以上含有する防湿性多層フィルムであって、
（ａ）該複合フィルムの蒸着膜面が、接着剤層を介して、他の複合フィルムの蒸着膜面と積層された層構成を１〜４の範囲内で含有し、かつ、接着剤層と隣接して積層されている蒸着膜の合計層数（ｎ）が２〜８である、吸湿性樹脂層を含まない多層フィルムからなり、並びに
（ｂ）温度４０℃及び相対湿度１００％の条件下で測定した透湿度（Ｗ；単位＝ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ）が、下記式（１）
Ｗ≦（１／ｎ）×０．２０           （１）
の関係を満足する
ことを特徴とする防湿性多層フィルムが提供される。
【００１４】
また、本発明によれば、非吸湿性樹脂層の少なくとも片面に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜が形成された複合フィルムを２枚以上含有する防湿性多層フィルムの製造方法において、
（Ａ）複合フィルムの蒸着膜面が、接着剤層を介して、他の複合フィルムの蒸着膜面と積層された層構成を１〜４の範囲内で含有し、かつ、接着剤層と隣接して積層されている蒸着膜の合計層数（ｎ）が２〜８である、吸湿性樹脂層を含まない多層フィルムを作製する工程１；並びに
（Ｂ）該多層フィルムを５５℃以上１４０℃未満の乾熱雰囲気中で１０時間以上熱処理する工程２；
を含み、温度４０℃及び相対湿度１００％の条件下で測定した透湿度（Ｗ；単位＝ｇ／ｍ2・ｄａｙ）が、下記式（１）
Ｗ≦（１／ｎ）×０．２０       （１）
の関係を満足する多層フィルムを得る
ことを特徴とする防湿性多層フィルムの製造方法が提供される。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の防湿性多層フィルムは、非吸湿性樹脂層、蒸着膜、及び接着剤層を必須とし、これら各層をそれぞれ２層以上有する多層フィルムから構成されたものである。
１．非吸湿性樹脂層
本発明で使用する非吸湿性樹脂とは、吸水率（ＪＩＳ  Ｋ−７２０９）が通常１．０％以下、好ましくは０．８％以下、より好ましくは０．５％以下の合成樹脂を意味する。このような非吸湿性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ−４−メチルペンテンなどのポリオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどの塩素含有樹脂；ポリスチレンなどのポリビニル芳香族系樹脂；ポリカーボネート、ポリフェニレンスルフィド、ポリイミド、ポリスルホンなどを挙げることができる。
【００１６】
非吸湿性樹脂からなる層は、未延伸フィルムまたは延伸フィルムのいずれでもよいが、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートなどの二軸延伸フィルムであることが好ましい。また、非吸湿性樹脂は、その融点またはビカット軟化点または分解温度が所定の熱処理温度以上であって、非吸湿性樹脂層が当該熱処理温度で形状保持性を有することが好ましい。
【００１７】
非吸湿性樹脂層の厚みは、特に限定されないが、通常、５〜４００μｍ、好ましくは８〜２００μｍ、より好ましくは１０〜１００μｍである。非吸湿性樹脂層が二軸延伸フィルムである場合には、その厚みは、多くの場合１０〜２０μｍ程度で十分である。非吸湿性樹脂層には、必要に応じて、酸化防止剤、紫外線吸収剤、帯電防止剤、着色剤、滑剤、可塑剤、難燃剤などの添加剤を含有させることができる。蒸着膜の密着性を改善するために、非吸湿性樹脂層の表面を予めコロナ放電処理、プラズマ処理、オゾン処理、紫外線照射処理、電子線照射処理、プライマー塗布処理などを行うことができる。これらの中でも、プライマー処理が特に好ましい。非吸湿性樹脂は、透明性に優れるものが好ましい。
本発明では、非吸湿性樹脂層は、その少なくとも片面に蒸着膜を形成して複合フィルムとして使用するが、必要に応じて、蒸着膜を形成していない非吸湿性樹脂層も多層フィルムの層構成成分として使用することができる。
【００１８】
２．無機酸化物若しくは金属の蒸着膜
無機酸化物若しくは金属の蒸着膜は、非吸湿性樹脂層の片面または両面に形成するが、多層フィルムの可撓性や柔軟性を考慮に入れると、片面のみに形成することが好ましい。無機酸化物としては、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化錫、酸化インジウム、酸化チタン、及びこれらの混合物などの金属酸化物；ＳｉＯ、ＳｉＯ2 、及びこれらの混合物などのケイ素酸化物；などを例示することができる。金属としては、例えば、アルミニウム、金、銀、白金、パラジウム、錫、ニッケル、コバルト、亜鉛、チタン、インジウム、及びこれらの混合物などを例示することができる。これらの中でも、ケイ素酸化物、アルミニウム、酸化アルミニウムなどの蒸着膜が好ましく、ケイ素酸化物の蒸着膜が特に好ましい。ケイ素酸化物蒸着膜中には、１０重量％以下の少量であれば、カルシウム、マグネシウム、またはこれらの酸化物などの不純物を含んでいてもよい。
【００１９】
蒸着膜は、非吸湿性樹脂層（非吸湿性樹脂フィルム）の少なくとも片面に、真空蒸着法（物理気相成長法、化学気相成長法など）、イオンプレーティング法、スパッタリング法、反応蒸着法などより形成することができる。反応蒸着法は、金属や無機酸化物などを蒸着原料とし、酸素ガスを供給しながら蒸着を行う方法である。真空蒸着法などは、当業者に周知の方法であり、それぞれ常法に従って実施することができる。
【００２０】
蒸着膜の厚みは、通常１０〜５００ｎｍ、好ましくは２０〜２００ｎｍ、より好ましくは３０〜１００ｎｍである。蒸着膜の厚みが薄すぎると、防湿性が不十分となり、厚すぎると、フィルムにカールが発生したり、蒸着膜自体に亀裂や剥離が生じやすくなる。このような蒸着膜を形成した非吸湿性樹脂フィルムとしては、市販品を使用してもよい。好ましい市販品としては、三菱化学興人パックス株式会社製のテックバリアＨ、テックバリアＵ、テックバリアＴ、テックバリアＶなどのテックバリアシリーズ；尾池工業株式会社製のＭＯＳ−ＴＨ、ＭＯＳ−ＴＢなどのＭＯＳシリーズ；などを挙げることができる。これらは、いずれも二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（二軸延伸ＰＥＴフィルム）の片面にケイ素酸化物の蒸着膜を形成したものである。これらの中でも、熱処理による防湿性能の向上効果が顕著な点で、テックバリアシリーズが好ましい。
【００２１】
３．接着剤層
非吸湿性樹脂層の少なくとも片面に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜が形成された複合フィルムの蒸着膜面が、接着剤層を介して、他の非吸湿性樹脂層面または他の複合フィルムの蒸着膜面と積層された層構成を有する多層フィルムを作製する。ここで、他の非吸湿性樹脂層面とは、蒸着膜が形成されていない非吸湿性樹脂層（フィルム）のいずれか一方の表面でもよいし、片面に蒸着膜が形成されている複合フィルムの非吸湿性樹脂層面でもよい。また、他の複合フィルムとは、同種の複合フィルム、すなわち、非吸湿性樹脂層の少なくとも片面に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜が形成された複合フィルムを意味する。
【００２２】
このような多層フィルムを作製するには、好ましくは、非吸着性樹脂層の片面に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜が形成された複合フィルムを２枚以上使用して、これらを接着剤を用いて積層する。非吸湿性樹脂層の両面に蒸着膜が形成された複合フィルムを使用する場合には、該複合フィルム１枚でもよいが、可撓性や柔軟性を考慮に入れると、片面に蒸着膜を形成した複合フィルムを２枚以上使用することが好ましく、本発明では、２枚以上用いる。また、必要に応じて、蒸着膜が形成されていない非吸湿性樹脂層（フィルム）を複合フィルムと組み合わせて使用してもよい。
【００２３】
接着剤としては、ウレタン系、アクリル系、ポリエステル系などの各種接着剤を使用することができる。これらの中でも、ウレタン系のポリオール成分とポリイソシアネート成分とからなる二液反応型が好ましい。ウレタン系接着剤としては、反応により、ポリエーテル系ポリウレタン樹脂とポリエステル系ポリウレタン樹脂を形成するものがあり、ポリエステル系ポリウレタン樹脂を形成するものが好ましい。好ましい二液反応型のウレタン系接着剤としては、東洋モートン株式会社から市販されてるＡＤ−５０２／ＣＡＴ−１０、ＡＤ−５７８Ａ／ＣＡＴ−１０などが挙げられる。
【００２４】
接着剤層の厚みは、通常１〜５０μｍ、好ましくは２〜１０μｍ、より好ましくは３〜５μｍ程度である。接着剤層は、ドライラミネート法により、接着剤を蒸着膜面またはフィルム面上に塗布し、乾燥することにより形成することが好ましい。接着剤層を形成後、各層を熱ロールでニップして貼り合わせるなど、常法に従ってドライラミネーションを行うことにより、多層フィルムを作製することができる。
【００２５】
４．多層フィルム
本発明で使用する多層フィルムの基本的な層構成について、図１〜５を参照しながら説明する。図１に示すように、非吸湿性樹脂層１の片面に蒸着膜２を形成した複合フィルムＸを２枚使用して、各複合フィルムの互いの蒸着面同士を対向させて、接着剤層ａ1 を介して積層した「非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層」の層構成を有する多層フィルムが例示される。図２には、非吸湿性樹脂層１の片面に蒸着膜２を形成した複合フィルムＸを３枚使用した「非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層」の層構成を有する多層フィルムが示されている。図３には、非吸湿性樹脂層１の片面に蒸着膜２を形成した複合フィルムＸを２枚と、非吸湿性樹脂層３の片面に蒸着膜４を形成した複合フィルムＹを２枚の合計４枚を用いた「非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層」の層構成を有する多層フィルムが示されている。
【００２６】
図４には、非吸湿性樹脂層１の片面に蒸着膜２を形成した複合フィルムＸを４枚使用し、接着剤層ａ2 により、「非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層」の層構成を有する多層フィルムを作製した例が示されている。図５には、接着剤層ａ2 を接着剤層ａ1 に代えたこと以外は、図４と同様の層構成を有する多層フィルムを作製した例が示されている。これらの図１〜５に示す多層フィルムの具体的な層構成の例については、実施例１〜５に示す。
上記を含む好ましい層構成としては、以下のような多層構成を例示することができる。
【００２７】
(1) 非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層
(2) 非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層
(3) 非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層
(4) 非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層
(5) 非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層
(6) 非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層
(7) 非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂
(8) 非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層
(9) 非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層
(10)非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／非吸湿性樹脂層／蒸着膜／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層／接着剤層／蒸着膜／非吸湿性樹脂層
【００２８】
多層フィルムの層構成は、以上のものに限定されない。多層フィルム中の接着剤層と隣接（接触）して積層されている蒸着膜の合計層数は、２〜８であり、好ましくは２〜６である。接着剤層と隣接する蒸着膜の合計層数が３層以上であると、低透湿性の多層フィルムが安定して得られやすい。蒸着膜の合計層数が多くなるに従って、多層フィルムの防湿性能は向上するものの、可撓性及び柔軟性が低下するため、折り曲げ加工などが困難になる。また、蒸着膜の合計層数を多くすると、経済的ではない。一方、蒸着膜が１枚の場合には、熱処理によっても十分に低い透湿度を実現することが難しい。本発明の方法によれば、蒸着膜の合計層数が２〜６程度で、ＰＣＴＦＥフィルムに匹敵する高度の防湿性能（低透湿度）を有する多層フィルムを得ることが可能である。蒸着膜の合計層数は、通常、片面に蒸着膜を形成した非吸湿性樹脂フィルムの使用枚数により調整する。なお、接着剤層に隣接してない蒸着膜が付加的に存在していてもよい。
【００２９】
本発明で使用する多層フィルムは、図１に示すように、非吸湿性樹脂層の片面または両面（好ましくは片面）に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜が形成された複合フィルム(X) を少なくとも２枚含有し、かつ、複合フィルムの少なくとも２枚が、接着剤層を介して、互いの蒸着膜面同士で積層された層構成を有するものであることが好ましい。接着剤層を介して互いの蒸着膜面同士で積層された層構成は、多層フィルム中に１〜４、好ましくは１〜３、より好ましくは１〜２含んでいることが望ましい。多層フィルム中に、接着剤層を介して互いの蒸着膜面同士で積層された層構成を含ませることにより、熱処理後に、高度の防湿性能を付与することができる。また、片面に蒸着膜を形成した複合フィルムを２枚以上使用して、蒸着膜面同士が接着剤層を介して積層することにより、多層フィルムの可撓性及び柔軟性を損なうことなく、防湿性能の向上を図ることができる。さらに、このような層構成とすることにより、多層フィルムの基本的な層構成における各層の使用枚数を抑制しつつ、防湿性能の向上に必要な蒸着膜の合計層数を確保することができる。
【００３０】
本発明で使用する多層フィルムは、前述のような基本的な層構成を有するものであるが、強度や耐熱性の向上、ヒートシール性の付与などの目的で、所望により、蒸着膜を持たない樹脂層を最内層、最外層、または中間層として、１層以上配置することができる。このような付加的な樹脂層は、透明性を有する合成樹脂からなる層であることが好ましい。このような付加的な樹脂層としては、前述の非吸湿性樹脂層と同様のものを用いることができる。付加的な樹脂層には、所望により、紫外線吸収剤やＥＬ素子の色変換を行うための顔料などの添加剤を含有させることができる。
【００３１】
本発明の防湿性多層フィルムにヒートシール性を付与するため、最内層（ヒートシールを実施する層）にヒートシール性樹脂層を配置することができる。ヒートシール性樹脂層としては、例えば、ポリオレフィン系ホットメルト型シーラント層、エポキシ系ホットメルト型シーラント層などが好ましい。このシーラント層の厚みは、通常１０〜３００μｍ程度である。本発明の防湿性多層フィルムを用いてＥＬ素子本体を封入する場合、ヒートシール性樹脂層をＥＬ素子本体を包囲する部位にのみ配置することもできる。
【００３２】
これらの付加的な樹脂層は、それぞれ単独で、あるいは他の樹脂層と組み合わせて使用することができる。また、これらの付加的な樹脂層は、接着剤層を介して多層フィルム中の所定の位置に配置することができるが、場合によっては、接着剤層を用いることなく熱融着させてもよい。さらに、付加的な樹脂層は、多層フィルムの熱処理後に、該多層フィルムの片面または両面に積層することもできる。ホットメルト型シーラント層は、多層フィルムの熱処理後に積層することが好ましい。
【００３３】
前述の如き基本的な層構成を有する多層フィルム、及び付加的な樹脂層を配置した多層フィルムは、いずれも透明性を有するものであることが好ましい。ここで、透明性の程度は、使用目的に応じて異なるが、例えば、防湿性多層フィルムをＥＬ素子本体の防湿材として使用する場合には、発光層からの光を透過し得る程度に透明であることが必要である。
【００３４】
５．熱処理
本発明の製造方法では、多層フィルム（付加的な樹脂層が配置されたものを含む）を特定の条件下で熱処理を行うことにより、防湿性能を顕著に向上させる。接着剤として二液反応型ウレタン系接着剤などの反応性の接着剤を用いる場合には、熱処理に先立って、接着剤の反応のためのエージング処理を行う。多層フィルムの製造工程において、接着剤層にウレタン系接着剤を用いて多層フィルムを作製した場合には、３０〜５０℃の温度範囲で２４時間以上、接着剤のエージング処理を行った後、熱処理を行うことが好ましい。エージング処理温度は、低すぎると硬化反応が遅くなりすぎ、高すぎるとガスの生成により発泡したりして、透湿度に悪影響を及ぼす。エージング処理温度は、４０℃前後がより好ましい。エージング処理時間は、好ましくは２４時間（１日）〜１６８時間（７日）、より好ましくは４８時間（２日）〜９６時間（４日）程度である。
【００３５】
多層フィルムの熱処理工程では、多層フィルムを５５℃以上１４０℃未満の乾熱雰囲気中で１０時間以上熱処理する。熱処理温度は、好ましくは６０〜１３０℃、より好ましくは７０〜１２０℃である。熱処理温度が低すぎると、多層フィルムの透湿度を十分に低減させるのに長時間を必要とし、生産性が低下する。一方、熱処理温度が高すぎると、透湿度を低下させる作用効果が小さいか、あるいは透湿度が高くなるなどの不都合を生じる。熱処理時間は、好ましくは３０時間以上、より好ましくは１００時間以上である。熱処理時間は、熱処理温度が高い場合には短く、低い場合には長くすることが、生産性の観点と、小さな透湿度の値を安定して得る上で、好ましい。熱処理時間の上限は、特にないが、熱処理温度が低い場合には、１２００時間程度である。
【００３６】
熱処理は、多層フィルムを緊張下に実施する必要はなく、非緊張下に行うことができる。先行技術（特開平８−３００５４９号公報）では、緊張下に高温で短時間の熱処理を教示しているが、本発明の層構成の多層フィルムを熱処理する場合には、驚くべきことに、非緊張下に比較的低い温度で長時間熱処理を行うことにより、ＰＣＴＦＥフィルムに匹敵する防湿性能を有する多層フィルムを得ることができる。工業的な規模で熱処理を実施するには、多層フィルムをロール状に巻回した状態で、所定温度に調整した加熱炉中に、所定時間保持する方法が好ましい。このような熱処理法を採用すれば、多層フィルムを緊張下に加熱する必要がないため、熱処理時間が比較的長時間となっても、大量処理が可能であり、生産性が損なわれることはない。
【００３７】
本発明では、熱処理により、温度４０℃、相対湿度１００％の条件下で測定した透湿度が、０．１０ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下、好ましくは０．０８ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下、より好ましくは０．０６ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下の高度の防湿性能を有する防湿性多層フィルムを得ることができる。多くの場合、透湿度が０．０５ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下、最も好ましくは０．０２〜０．０４ｇ／ｍ2 ・ｄａｙの防湿性多層フィルムを得ることが可能である。同じ条件で測定したＰＣＴＦＥフィルムの防湿度が０．０３ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ程度であるので、本発明によれば、ＰＣＴＦＥフィルムに匹敵する防湿性能を有する防湿性多層フィルムの得られることがわかる。
【００３８】
多層フィルム中の複合フィルムの枚数が多くなるに従って、透湿度が小さくなるが、本発明によれば、下記の式（１）
Ｗ≦（１／ｎ）×０．２０              （１）
〔式中、ｎは、接着剤層と隣接して積層されている蒸着膜の合計層数であり、Ｗは、透湿度（単位＝ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ）である。〕
の関係を満足する防湿性多層フィルムを得ることができる。より具体的に、例えば、図１に示すような接着剤層と隣接して積層されている蒸着膜の合計層数が２（ｎ＝２）の多層フィルムの場合、熱処理によって、０．１０ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下の透湿度を達成することができる。
【００３９】
熱処理温度と熱処理時間と透湿度との関係について、実験データを解析した結果、以下のような関係式が成立することが判明した。すなわち、多層フィルムの透湿度（Ｗ）を（１／ｎ）×０．２０ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下とするには、Ｔ＝熱処理時間（Ｈｒ）、ｔ＝熱処理温度（Ｋ）とした場合、次の関係式（Ｉ）を満足する条件で熱処理を行うことが好ましい。
【００４０】
Ｔ≧３×１０10×ｔ-4.5184         （Ｉ）
つまり、５５℃（３２８Ｋ）以上１４０℃（４１３Ｋ）未満の範囲内で熱処理温度ｔ（Ｋ）を設定した場合、多層フィルムの透湿度を（１／ｎ）×０．２０ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下とするには、その熱処理温度でＴ時間（Ｈｒ）以上、熱処理を行う。
【００４１】
多層フィルムの透湿度を（１／ｎ）×０．１６ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下とするには、次の関係式（ＩＩ）を満足する条件下で熱処理を行うことが好ましい。
Ｔ≧２×１０11×ｔ-4.6651           （ＩＩ）
多層フィルムの透湿度を（１／ｎ）×０．１２ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ以下とするには、次の関係式（ＩＩＩ）を満足する条件下で熱処理を行うことが好ましい。
Ｔ≧３×１０10×ｔ-4.1345           （ＩＩＩ）
【００４２】
６．用途
本発明の防湿性多層フィルムは、高度の防湿性能を活かして、例えば、食品、医薬品、電子部品などの包装材料や封止材料として使用することができる。本発明の防湿性多層フィルムは、ＰＣＴＦＥフィルムに匹敵する防湿性を発揮することが可能であり、ＥＬ素子本体の封止用パッケージフィルムとして特に好適である。
【００４３】
本発明の防湿性多層フィルムをＥＬ素子本体の防湿材として適用する場合について、具体例を挙げて説明する。図６は、ＥＬ素子の一例を示す断面模式図である。図６に示すＥＬ素子は、電極６２を設けた基板６３と、電極６４を設けた基板６５により、発光層６１を狭持してなるＥＬ素子本体を、一対の防湿材６６及び６７で封止してなる構造を有している。一対の電極６２及び６４には、それぞれリード線が接続され、外部電源からの給電により、発光層６１に電界を印加する構成となっている。基板６３及び６５は、その少なくとも一方をプラスチックフィルムやガラス板などの透明基板として、発光層からの光が外部へ透過するようにする。電極６２及び６４は、金属やＩＴＯ（インジウム−錫複合酸化物）などの金属酸化物等から形成され、その少なくとも一方を透明にして、発光層からの光が外部に透過するようにする。したがって、基板６３と電極６２が透明である場合、他方の基板６５及び電極６４は、不透明であってもよく、さらには、アルミニウム箔などを用いて基板兼電極としてもよい。ＥＬ素子本体は、複数個を平面的に並べたり、あるいは縦に積層し、これら複数個のＥＬ素子本体をまとめて防湿材で封止することもできる。
【００４４】
一対の防湿材６６及び６７の少なくとも一方は、本発明の防湿性多層フィルムにより構成するが、他方は、ガラス基板や金属板であってもよい。例えば、一方の防湿材６７がガラス基板である場合には、その上の基板６５を省略して、ガラス基板上に電極６４を設けてもよい。一対の防湿材６６及び６７が本発明の防湿性多層フィルムである場合、２枚の防湿性多層フィルムを用いてもよいが、１枚の防湿性フィルムを折り返して用いてもよい。
【００４５】
図７は、本発明が対象とするＥＬ素子の他の一例を示す断面模式図である。図７に示すＥＬ素子は、透明導電フィルム（ＩＴＯ）７３と背面電極（アルミニウム箔）７６との間に、有機バインダで固めた粉末蛍光体からなる発光層７４とその片側に絶縁破壊防止用の誘電体層７５を挟んだ構造を有するものである。図７のＥＬ素子では、除湿用の吸湿フィルム７２及び７７を挿入し、防湿材７１及び７８で封止する。防湿材７１及び７８として、本発明の防湿性多層フィルムを使用すれば、柔軟性のあるＥＬ素子を得ることができる。
【００４６】
【実施例】
以下に実施例及び比較例を挙げて、本発明についてより具体的に説明する。なお、物性の測定法は、次のとおりである。
（１）透湿度
透湿度は、ＡＳＴＭ  Ｆ−１２４９（ＪＩＳ  Ｋ−７１２９Ｂ法）に準拠し、モダンコントロール社製水蒸気透過試験機ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ−Ｗ３／３１ＳＷを用いて測定した。具体的には、測定対象のフラットな多層フィルム（試験片）を拡散セルに固定し、拡散セルを試験片によって乾燥室と調湿室に隔てる。拡散セル全体を４０℃の雰囲気下において、経時により、試験片の温度が４０℃になるようにする。試験片によって隔てられる前から、乾燥室は、乾燥窒素流に曝されており、一方の調湿室は、蒸留水を含んだスポンジにより相対湿度１００％に曝されつつ、窒素流下にある。試験片によって両室を隔てた後、１時間程度の時間が経過すると、乾燥室の相対湿度は０％となり、調湿室の相対湿度は１００％になるので、その時点から透湿度の測定を開始する。試験片を通して調湿室から乾燥室に透過してくる水蒸気は、乾燥窒素流に混ざり、赤外線センサーにまで運ばれる。赤外線センサーにより、水蒸気によって吸収される赤外線エネルギーの割合を測定して電気信号として取り出し、これによって、透湿度を算出する。この方法により、多層フィルムの温度４０℃、相対湿度１００％の条件下での透湿度（単位＝ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ）を測定する。
（２）ＥＬ素子の発光輝度保持率
ＥＬ素子サンプルを、温度６０℃、相対湿度９０％の条件下で５００時間放置した後、室温で動作電圧１００Ｖ、動作周波数４００Ｈｚの電源に接続し、初期発光輝度Ｌ0 を測定し、次いで、電圧を印加したまま室温で７５０時間経過後の発光輝度Ｌ1 を測定し、次式に従って、発光輝度保持率を算出した。
発光輝度保持率＝（Ｌ1 ／Ｌ0 ）×１００（％）
【００４７】
［実施例１］
図１に示す層構成を有する防湿性多層フィルムを作製した。この多層フィルムの層構成は、外面から内面にかけて、次のとおりである。
（１）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（内面側に蒸着膜）、
（２）ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５０２／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕、
（３）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（外面側に蒸着膜）。
ドライラミネート法により、ウレタン系接着剤層を介して各層を積層して、透明な多層フィルムを得た。多層フィルムは、ロール状に巻回した。この多層フィルムを４０℃で７２時間エージング処理した。次いで、ロール状に巻回した状態の多層フィルムを１２０℃に調整した加熱炉中に投入し、１４０時間保持して熱処理を行った。結果を表１に示す。
【００４８】
［比較例１］
実施例１において、エージング処理後、熱処理を行わなかったこと以外は、同様にして、多層フィルムを得た。結果を表１に示す。
【００４９】
［実施例２］
図２に示す層構成を有する防湿性多層フィルムを作製した。この多層フィルムの層構成は、外面から内面にかけて、次のとおりである。
（１）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（内面側に蒸着膜）、
（２）ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５０２／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕、
（３）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（外面側に蒸着膜）、
（４）ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５０２／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕、
（５）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（外面側に蒸着膜）。
ドライラミネート法により、ウレタン系接着剤層を介して各層を積層して、透明な多層フィルムを得た。多層フィルムは、ロール状に巻回した。この多層フィルムを４０℃で７２時間エージング処理した。次いで、ロール状に巻回した状態の多層フィルムを１００℃に調整した加熱炉中に投入し、２５０時間保持して熱処理を行った。結果を表１に示す。
【００５０】
［比較例２］
実施例２において、エージング処理後、熱処理を行わなかったこと以外は、同様にして、多層フィルムを得た。結果を表１に示す。
【００５１】
［実施例３］
図３に示す層構成を有する防湿性多層フィルムを作製した。この多層フィルムの層構成は、外面から内面にかけて、次のとおりである。
（１）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（内面側に蒸着膜）、
（２）ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５０２／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕、
（３）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（外面側に蒸着膜）、
（４）ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５０２／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕、
（５）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔尾池工業（株）製「ＭＯＳ−ＴＨ」、厚さ１２μｍ〕（内面側に蒸着膜）、
（６）ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５０２／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕、
（７）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔尾池工業（株）製「ＭＯＳ−ＴＨ」、厚さ１２μｍ〕（外面側に蒸着膜）。
ドライラミネート法により、ウレタン系接着剤層を介して各層を積層して、透明な多層フィルムを得た。多層フィルムは、ロール状に巻回した。この多層フィルムを４０℃で７２時間エージング処理した。次いで、ロール状に巻回した状態の多層フィルムを１１０℃に調整した加熱炉中に投入し、２００時間保持して熱処理を行った。結果を表１に示す。
【００５２】
［比較例３］
実施例３において、エージング処理後、熱処理を行わなかったこと以外は、同様にして、多層フィルムを得た。結果を表１に示す。
【００５３】
［実施例４］
図４に示す層構成を有する防湿性多層フィルムを作製した。この多層フィルムの層構成は、外面から内面にかけて、次のとおりである。
（１）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（内面側に蒸着膜）、
（２）ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５７８Ａ／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕、
（３）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（外面側に蒸着膜）、
（４）ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５７８Ａ／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕、
（５）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（内面側に蒸着膜）、
（６）ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５７８Ａ／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕、
（７）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（外面側に蒸着膜）。
ドライラミネート法により、ウレタン系接着剤層を介して各層を積層して、透明な多層フィルムを得た。多層フィルムは、ロール状に巻回した。この多層フィルムを４０℃で７２時間エージング処理した。次いで、ロール状に巻回した状態の多層フィルムを７０℃に調整した加熱炉中に投入し、８００時間保持して熱処理を行った。結果を表１に示す。
【００５４】
［比較例４］
実施例４において、エージング処理後、熱処理を行わなかったこと以外は、同様にして、多層フィルムを得た。結果を表１に示す。
【００５５】
［実施例５］
図５に示す層構成を有する防湿性多層フィルムを作製した。この多層フィルムの層構成は、外面から内面にかけて、次のとおりである。
（１）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（内面側に蒸着膜）、
（２）ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５０２／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕、
（３）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（外面側に蒸着膜）、
（４）ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５０２／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕、
（５）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（内面側に蒸着膜）、
（６）ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５０２／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕、
（７）ケイ素酸化物の蒸着膜が形成された二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム〔三菱化学興人パックス（株）製「テックバリアＨ」、厚さ１２μｍ〕（外面側に蒸着膜）。
ドライラミネート法により、ウレタン系接着剤層を介して各層を積層して、透明な多層フィルムを得た。多層フィルムは、ロール状に巻回した。この多層フィルムを４０℃で７２時間エージング処理した。次いで、ロール状に巻回した状態の多層フィルムを８５℃に調整した加熱炉中に投入し、４００時間保持して熱処理を行った。結果を表１に示す。
【００５６】
［比較例５］
実施例４において、エージング処理後、熱処理を行わなかったこと以外は、同様にして、多層フィルムを得た。結果を表１に示す。
【００５７】
［比較例６］
ポリ塩化三フッ化エチレンフィルム〔ＰＣＴＦＥフィルム；日東電工社製「ニフトロンＮＯ４８２０」、厚さ２００μｍ〕の透湿度を測定した。結果を表１に示す。
【００５８】
【表１】
0004261680.tif 000002
【００５９】
表１の結果から明らかなように、本発明の防湿性多層フィルムは、０．０３〜０．０４ｇ／ｍ2 ・ｄａｙの透湿度（４０℃、１００％ＲＨ）を達成することができるが、これは、ＰＣＴＦＥフィルムと同一水準の防湿性能を有していることを示している。
【００６０】
［実施例６〜８、及び比較例７〜１６］
実施例１の層構成の多層フィルムを用いて、エージング処理後、表２に示す熱処理条件で熱処理を行ったこと以外は、実施例１と同様に操作した。結果を表２に示す。
【００６１】
【表２】
0004261680.tif 000003
【００６２】
表２の結果から明らかなように、本発明の防湿性多層フィルムの場合（実施例６〜８）には、熱処理温度や熱処理時間を変えても、安定して高度の防湿性（低透湿度）が達成できることがわかる。これに対して、熱処理温度を１５０℃に上げると（比較例７〜１１）、透湿度を十分に下げることが困難で、しかも熱処理時間によって、透湿度にバラツキが生じている。熱処理温度を１７０℃に上げると（比較例１２〜１６）、透湿度がむしろ上昇し、しかも熱処理時間による透湿度のバラツキが大きい。
【００６３】
［実施例９］
（防湿性多層フィルムの調製）
実施例５で得られた熱処理後の多層フィルムの内面側に、ウレタン系接着剤層〔東洋モートン（株）製「ＡＤ−５０２／ＣＡＴ−１０」、厚さ３．５μｍ〕を介して、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚さ１６μｍ）とポリオレフィン系ホットメルト型シーラント層（厚さ５０μｍ；ヒロダイン工業社製「ヒロダイン７５８９」）を６５℃でドライラミネートして、最内層にシーラント層を有する防湿性多層フィルムを作製した。
【００６４】
（ＥＬ素子本体の調製）
シアノエチルポリビニルアルコール、チタン酸バリウム粉末、及びＮ．Ｎ′−ジメチルホルムアミドを均一に混合して、絶縁用ペーストを調製した。シアノエチルポリビニルアルコール、ＺｎＳに活性剤としてＣｕを加えた粉末蛍光体、及びＮ，Ｎ′−ジメチルホルムアミドを均一に混合して、発光層用ペーストを調製した。アルミニウム箔からなる背面電極（厚さ７０μｍ）上に絶縁用ペーストをスクリーン印刷して絶縁層（厚さ３０μｍ）を形成し、その上に、発光層用ペーストをスクリーン印刷して発光層（厚さ４０μｍ）を形成した。
ポリエチレンテレフタレートフィルム上にＩＴＯの透明な蒸着膜を形成した透明導電性フィルム（厚さ７５μｍ）を、前記の発光層の上に重ね合わせ、ロールラミネーターにより加熱圧着した。背面電極と透明導電性フィルム上のＩＴＯ層からは、電極リード線を導出した。このようにして作成したＥＬ素子の両面に接着剤層（エチレン−酢酸ビニル共重合体、厚さ３０μｍ）を介して、ナイロンからなる吸湿フィルム（厚さ７５μｍ）を被覆し、ＥＬ素子本体とした。
【００６５】
（ＥＬ素子の作製）
前記で調製した防湿性多層フィルム２枚を各ポリオレフィン系ホットメルト型シーラント層の面で対向させ、その間に、前記で調製したＥＬ素子本体を置き、１４０℃で加熱圧着し、周辺をシールすることにより、ＥＬ素子本体を防湿性多層フィルムで封止した電解発光型ＥＬ素子を作製した。このＥＬ素子の発光輝度保持率は、７５％であった。
【００６６】
【発明の効果】
本発明によれば、無機酸化物または金属の蒸着膜が形成された非吸湿性樹脂層を含有する多層フィルムからなり、高度の防湿性能を示す防湿性多層フィルム及びその製造方法が提供される。本発明の防湿性多層フィルムは、食品、医薬品、電子部品などの包装材料や封止材料として好適である。本発明の防湿性多層フィルムは、ポリ塩化三フッ化エチレンフィルムに匹敵する防湿性を発揮することが可能であり、エレクトロルミネッセンス素子などの電子部品の封止用パッケージフィルムとして特に好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の防湿性多層フィルムの一例の層構成を示す断面略図である。
【図２】本発明の防湿性多層フィルムの他の一例の層構成を示す断面略図である。
【図３】本発明の防湿性多層フィルムの他の一例の層構成を示す断面略図である。
【図４】本発明の防湿性多層フィルムの他の一例の層構成を示す断面略図である。
【図５】本発明の防湿性多層フィルムの他の一例の層構成を示す断面略図である。
【図６】エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子の層構成の一例を示す断面模式図である。
【図７】ＥＬ素子の層構成の他の一例を示す断面模式図である。
【符号の説明】
１：二軸延伸ＰＥＴフィルム
２：ケイ素酸化物の蒸着膜
３：二軸延伸ＰＥＴフィルム
４：ケイ素酸化物の蒸着膜
ａ1 ：ウレタン系接着剤層
ａ2 ：ウレタン系接着剤層
Ｘ：蒸着フィルム
Ｙ：蒸着フィルム
６１：発光層
６２：電極
６３：基板
６４：電極
６５：基板
６６：防湿材
６７：防湿材
７１：防湿材
７２：吸湿フィルム
７３：透明導電フィルム
７４：発光層
７５：誘電体層
７６：背面電極
７７：吸湿フィルム
７８：防湿材
【図１】
0004261680.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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