【手続補正書】
【提出日】平成25年3月22日(2013.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージの内部にセンサーチップを搭載している圧力センサーであって、
前記センサーチップの平面視形状が長方形であり、
前記センサーチップの一方の主面には、互いに離間した第１の接合部、第２の接合部および第３の接合部が配置され、前記第１の接合部、前記第２の接合部および前記第３の接合部が、それぞれ、第１の接着剤、第２の接着剤および第３の接着剤を介して前記パッケージに接合されており、
前記センサーチップの平面視にて、前記主面の長手方向に平行な軸をＸ軸とし、前記Ｘ軸に直交する軸をＹ軸としたとき、前記第１の接合部は、前記主面が有する４つの角部のうちの１つの角部に設定され、前記第２の接合部は、前記主面が有する４つの角部のうちの前記第１の接合部が設定された角部と前記Ｙ軸方向に隣り合う角部に設定され、前記第３の接合部は、前記主面の前記Ｘ軸方向の長さをＬｘとしたとき、前記主面の重心から前記Ｘ軸方向の前記第１の接合部および前記第２の接合部と離間する側に０．０５Ｌｘ以上０．２５Ｌｘ以下離間した位置に配置されていることを特徴とする圧力センサー。
【請求項２】
前記センサーチップは、ダイヤフラム、前記ダイヤフラムと対向配置されて水晶から構成されている基台、および前記ダイヤフラムに固定されている振動片とを有し、
前記パッケージは、前記第１の接着剤、前記第２の接着剤および前記第３の接着剤を介して前記センサーチップが接合されていてセラミックスで構成されている板状の基部を有している請求項１に記載の圧力センサー。
【請求項３】
前記基台の厚さは、０．２ｍｍ以上である請求項２に記載の圧力センサー。
【請求項４】
前記センサーチップの前記主面には、前記振動片が有する一対の励振電極と電気的に接続されている一対の端子が配置されており、
前記パッケージの前記基部には、前記パッケージの内外を電気的に接続し得る一対の導電部が配置されており、
前記第１の接着剤、前記第２の接着剤および前記第３の接着剤のうちの少なくとも第１の接着剤および前記第２の接着剤が導電性を有しており、
前記第１の接着剤によって前記一対の端子のうちの一方の前記端子と前記一対の導電部のうちの一方の前記導電部とを導通し、前記第２の接着剤によって、他方の前記端子と他方の前記導電部とを導通する請求項２または３に記載の圧力センサー。
【請求項５】
前記振動片は、双音叉型をなしている請求項２ないし４のいずれかに記載の圧力センサー。
【請求項６】
前記第１の接合部および前記第２の接合部の直径は、それぞれ、５００μｍである請求項１ないし５のいずれかに記載の圧力センサー。
【請求項７】
前記第３の接合部の直径は、２００μｍ以上５００μｍ以下の範囲である請求項１ないし６のいずれかに記載の圧力センサー。
【請求項８】
前記主面の前記Ｘ軸方向の長さは、４．２ｍｍ以上６．５ｍｍ以下の範囲である請求項１ないし７のいずれかに記載の圧力センサー。
【請求項９】
前記主面の（前記Ｘ軸方向の長さ）／（前記Ｙ軸方向の長さ）は、１．１以上１．８以下の範囲である請求項１ないし８のいずれかに記載の圧力センサー。
【請求項１０】
前記第１の接着剤、前記第２の接着剤および前記第３の接着剤の厚さは、それぞれ、４０μｍ以上６０μｍ以下の範囲である請求項１ないし９のいずれかに記載の圧力センサー。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の圧力センサーは、パッケージの内部にセンサーチップを搭載している圧力センサーであって、
前記センサーチップの平面視形状が長方形であり、
前記センサーチップの一方の主面には、互いに離間した第１の接合部、第２の接合部および第３の接合部が配置され、前記第１の接合部、前記第２の接合部および前記第３の接合部が、それぞれ、第１の接着剤、第２の接着剤および第３の接着剤を介して前記パッケージに接合されており、
前記センサーチップの平面視にて、前記主面の長手方向に平行な軸をＸ軸とし、前記Ｘ軸に直交する軸をＹ軸としたとき、前記第１の接合部は、前記主面が有する４つの角部のうちの１つの角部に設定され、前記第２の接合部は、前記主面が有する４つの角部のうちの前記第１の接合部が設定された角部と前記Ｙ軸方向に隣り合う角部に設定され、前記第３の接合部は、前記主面の前記Ｘ軸方向の長さをＬｘとしたとき、前記主面の重心から前記Ｘ軸方向の前記第１の接合部および前記第２の接合部と離間する側に０．０５Ｌｘ以上０．２５Ｌｘ以下離間した位置に配置されていることを特徴とする。
これにより、機械的強度および温度特性の優れた圧力センサーを提供することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［適用例２］
本発明の圧力センサーでは、前記センサーチップは、ダイヤフラム、前記ダイヤフラムと対向配置されて水晶から構成されている基台、および前記ダイヤフラムに固定されている振動片とを有し、
前記パッケージは、前記第１の接着剤、前記第２の接着剤および前記第３の接着剤を介して前記センサーチップが接合されていてセラミックスで構成されている板状の基部を有しているのが好ましい。
これにより、線膨張率の違いから生じる振動片の不本意な反りや撓みを抑制することができ、圧力センサーの検知精度を向上させることができる。また、振動片を水晶で構成することにより、優れた温度特性および振動特性を有するセンサーチップを得ることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
［適用例３］
本発明の圧力センサーでは、前記基台の厚さは、０．２ｍｍ以上であることが好ましい。
これにより、基台の厚みに依存したセンサーチップの熱歪みを防止することができる。
［適用例４］
本発明の圧力センサーでは、前記センサーチップの前記主面には、前記振動片が有する一対の励振電極と電気的に接続されている一対の端子が配置されており、
前記パッケージの前記基部には、前記パッケージの内外を電気的に接続し得る一対の導電部が配置されており、
前記第１の接着剤、前記第２の接着剤および前記第３の接着剤のうちの少なくとも第１の接着剤および前記第２の接着剤が導電性を有しており、
前記第１の接着剤によって前記一対の端子のうちの一方の前記端子と前記一対の導電部のうちの一方の前記導電部とを導通し、前記第２の接着剤によって、他方の前記端子と他方の前記導電部とを導通するのが好ましい。
これにより、圧力センサーの部品点数の削減や製造の容易化を図ることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
［適用例５］
本発明の圧力センサーでは、前記振動片は、双音叉型をなしていることが好ましい。
これにより、優れた圧力検知能力を発揮することのできる振動片が得られる。
［適用例６］
本発明の圧力センサーでは、前記第１の接合部および前記第２の接合部の直径は、それぞれ、５００μｍであることが好ましい。
これにより、センサーチップの下面と第１の接着剤および第２の接着剤との接着面積を十分広くすることができ、センサーチップをパッケージにより確実に固定することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［適用例７］
本発明の圧力センサーでは、前記第３の接合部の直径は、２００μｍ以上５００μｍ以下の範囲であることが好ましい。
これにより、より温度特性に優れる圧力センサーを得ることができる。
［適用例８］
本発明の圧力センサーでは、前記主面の前記Ｘ軸方向の長さは、４．２ｍｍ以上６．５ｍｍ以下の範囲であることが好ましい。
これにより、センサーチップの分解能を高く維持しつつ、センサーチップの小型化を図ることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例９］
本発明の圧力センサーでは、前記主面の（前記Ｘ軸方向の長さ）／（前記Ｙ軸方向の長さ）は、１．１以上１．８以下の範囲であることが好ましい。
これにより、センサーチップの分解能を高く維持しつつ、センサーチップの小型化を図ることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［適用例１０］
本発明の圧力センサーでは、前記第１の接着剤、前記第２の接着剤および前記第３の接着剤の厚さは、それぞれ、４０μｍ以上６０μｍ以下の範囲であることが好ましい。
これにより、圧力センサーの信頼性を確保しつつ、圧力センサーの小型化を図ることができる。