(57)【要約】【課題】短時間で圧力容器に大量のガスを導入できる熱処理炉を提供する。【解決手段】本考案の熱処理炉１０は、容器状の圧力容器１２と、前記圧力容器１２の内部空間１４に配置された断熱体１６と、前記断熱体１６によって形成された内部空間１８に配置されたヒーター２０と、前記断熱体１６によって形成された内部空間１８に配置され、被処理物２２を収容するタイトボックス２４と、前記圧力容器１２の内部空間１４およびタイトボックス２４の内部空間２６を減圧するポンプ２８と、前記圧力容器１２の内部空間１４に導入する第１ガスの第１ガス源３０と、前記圧力容器１２と第１ガス源３０とを接続する第１導入パイプ３２と、前記第１導入パイプ３２の途中に設けられ、第１ガスを蓄えるバッファタンク３４とを備える。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
容器状の圧力容器と、
前記圧力容器の内部空間に配置された断熱体と、
前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、
前記断熱体によって形成された内部空間に配置され、被処理物を収容するタイトボックスと、
前記圧力容器の内部空間およびタイトボックスの内部空間を減圧するポンプと、
前記圧力容器の内部空間に導入する第１ガスの第１ガス源と、
前記圧力容器と第１ガス源とを接続する第１導入パイプと、
前記第１導入パイプの途中に設けられ、第１ガスを蓄えるバッファタンクと、
を備えた熱処理炉。
【請求項２】
前記バッファタンクから圧力容器までの第１導入パイプの断面は、内径２０〜１００ｍｍである請求項１の熱処理炉。
【請求項３】
前記バッファタンクから圧力容器までの第１導入パイプが複数本である請求項１または２の熱処理炉。
【請求項４】
前記バッファタンクが複数個である請求項１から３のいずれかの熱処理炉。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、熱処理炉に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、金属または磁性材料などからなる被処理物を熱処理炉に入れ、真空または加圧環境下で熱処理している。たとえば、下記の特許文献１は、圧力容器の炉蓋の内面に冷却フィンを設けた熱処理炉を開示している。冷却フィンによって圧力容器内を流れるガスが冷却される面積を拡大し、冷却能力を高めている。被処理物の処理時間が短縮されることで、熱処理炉の稼働時間を短縮することができ、熱処理の効率が良くなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１２１３０８号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、冷却フィンを設けても、冷却フィンに触れるガスの量が少なければ冷却能力が高くならない。たとえば真空状態から加圧状態にするために時間がかかれば、熱処理炉の冷却能力を高くするのに時間がかかる。そのため、特許文献１の熱処理炉は短時間で被処理物を冷却できないおそれがある。
【０００５】
そこで本考案の目的は、短時間で圧力容器に大量のガスを導入できる熱処理炉を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以上の課題を解決すべく、本考案に係る熱処理炉は、以下に述べるような構成を有する。
【０００７】
本考案の熱処理炉は、容器状の圧力容器と、前記圧力容器の内部空間に配置された断熱体と、前記断熱体によって形成された内部空間に配置されたヒーターと、前記断熱体によって形成された内部空間に配置され、被処理物を収容するタイトボックスと、前記圧力容器の内部空間およびタイトボックスの内部空間を減圧するポンプと、前記圧力容器の内部空間に導入する第１ガスの第１ガス源と、前記圧力容器と第１ガス源とを接続する第１導入パイプと、前記第１導入パイプの途中に設けられ、第１ガスを蓄えるバッファタンクとを備える。
【考案の効果】
【０００８】
本考案によれば、バッファタンクに第１ガスが貯留されることで圧力容器の内部空間に第１ガスを短時間で多量に導入できる。短時間で圧力容器の内部空間を第１ガスで満たして加圧状態にすることができる。被処理物を冷却するときに、多量の第１ガスによって冷却効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本考案の熱処理炉の構成を示す図である。
【図２】本考案の熱処理炉において被処理物を冷却するときの構成を示す図である。
【図３】被処理物の熱処理の際の温度変化を示す図である。
【図４】第１導入パイプを複数にした熱処理炉の他の構成を示す図である。
【図５】バッファタンクを複数にした熱処理炉の構成を示す図である。
【図６】第２導入パイプにバッファタンクを設けた熱処理炉の構成を示す図である。
【考案を実施するための形態】
【００１０】
本考案の熱処理炉について図面を参照して説明する。複数の実施形態を説明するが、異なる実施形態であっても同じ手段には同一の符号を付して説明を省略する場合がある。
【００１１】
[実施形態１]
図１に示す本願の熱処理炉１０は、容器状の圧力容器１２、圧力容器１２の内部空間１４に配置された断熱体１６、断熱体１６の内部空間１８に配置されたヒーター２０、被処理物２２が収容されるタイトボックス（インナーケース）２４、圧力容器１２の内部空間１４およびタイトボックス２４の内部空間２６を減圧するためのポンプ２８、圧力容器１２の内部空間１４に第１ガスを導入する第１ガス源３０、圧力容器１２と第１ガス源３０をつなぐ第１導入パイプ３２、第１導入パイプ３２の途中に設けられたバッファタンク３４を備える。
【００１２】
さらに熱処理炉１０は、タイトボックス２４の内部空間２６に第２ガスを導入する第２ガス源３６、タイトボックス２４と第２ガス源３６をつなぐ第２導入パイプ３８を備える。
【００１３】
熱処理炉１０は、焼結、半焼結、焼成、脱脂、ろう付け、メタライズ、焼き入れ、容体化処理、焼戻し、焼きなましまたは時効熱処理などをおこなうための炉である。
【００１４】
[圧力容器]
圧力容器１２は容器本体４０および容器蓋４２を備える。容器本体４０は円筒形状になっている。容器蓋４２は容器本体４０の両端を開閉するものである。容器本体４０の両端を容器蓋４２で閉じると、圧力容器１２の内部空間１４は気密された空間になる。圧力容器１２の内部空間１４は減圧されたり、加圧されたりする。圧力容器１２の耐圧はたとえば約１０ＭＰａであり、各種設計によって変更できる。なお、本願の説明において、減圧は大気圧（海面の気圧）よりも低い状態を言い、真空を含む。
【００１５】
[断熱体]
断熱体１６は圧力容器１２の内部空間１４に配置されている。断熱体１６は断熱本体４４と断熱蓋４６を備える。断熱本体４４は筒状になっている。断熱蓋４６は断熱本体４４の両端を開閉するものである。図２に示すように、容器蓋４２が閉じた状態で断熱蓋４６が開閉できるように、断熱蓋４６の開閉装置（図示せず）を備える。断熱体１６はグラファイトフェルトまたはグラファイトフォイルなどの耐熱性材料で構成される。
【００１６】
[ヒーター]
断熱体１６によって形成された内部空間１８にヒーター２０が配置されている。ヒーター２０としてグラファイト製のロッドヒーターが挙げられる。ヒーター２０はタイトボックス２４と平行に構成されている。ヒーター２０は電極（図示省略）から三相交流の電力が供給され、発熱する。断熱本体４４の両端を断熱蓋４６で閉じることで、ヒーター２０の熱が断熱体１６の内部空間１８から外部に放熱されることを防止する。
【００１７】
[タイトボックス]
断熱体１６によって形成された内部空間１８の中にタイトボックス２４が配置されている。タイトボックス２４はグラファイトなどで構成されている。タイトボックス２４はタイトボックス本体４８とタイトボックス蓋５０を備える。タイトボックス本体４８は筒状になっている。タイトボックス蓋５０はタイトボックス本体４８の両端を開閉する。図２に示すように、容器蓋４２が閉じた状態でタイトボックス蓋５０が開閉できるように、タイトボックス蓋５０の駆動装置（図示せず）を備える。タイトボックス本体４８の両端をタイトボックス蓋５０で閉じることで、タイトボックス２４の内部空間２６が密閉される。また、容器蓋４２と断熱蓋４６が開けられた状態で、タイトボックス２４が内部空間１８への出し入れされるためのレール等を備えていてもよい。
【００１８】
[被処理物]
タイトボックス２４の内部空間２６に被処理物２２が配置される。被処理物２２の材料は、超硬金属、鉄系金属、非鉄金属、磁性材料、セラミックス、グラファイト、ハイス鋼、ダイス鋼または低合金鋼などであり、金属は合金を含む。被処理物２２は、粉体または所定形状を有した固体である。タイトボックス２４の中に被処理物２２が収容されることで、被処理物２２を脱脂処理したときに被処理物から放出されるバインダー（ガスおよびワックス）がタイトボックス２４の外に放出されるのを防ぐことができる。圧力容器１２の内壁、断熱体１６およびヒーター２０などが汚染されることを防止できる。
【００１９】
[ポンプ]
ポンプ２８は圧力容器１２の内部空間１４およびタイトボックス２４の内部空間２６に対して排気をおこない、それらの空間１４、２６を減圧する装置である。なお、圧力容器１２の内部空間１４を減圧することで断熱体１６の内部空間１８も一緒に減圧される。ポンプ２８の種類として、ドライポンプ  ターボ分子ポンプ、油回転ポンプおよび油拡散ポンプなどが挙げられる。
【００２０】
圧力容器１２の内部空間１４とポンプ２８が第１排気パイプ５２によって繋がっており、タイトボックス２４の内部空間２６とポンプ２８が第２排気パイプ５４によって繋がっている。第１排気パイプ５２の途中にバルブ５６が配置されており、バルブ５６が開けられると排気でき、バルブ５６が閉じられると排気できなくなる。
【００２１】
第２排気パイプ５４の途中にバルブ５８、ワックスタンク６０およびワックストラップ６２が設けられている。バルブ５８の開閉によってタイトボックス２４の内部空間２６の排気をおこなったり停止したりすることができる。ワックスタンク６０とワックストラップ６２は被処理物２２から放出されたバインダーを溜めるものである。ポンプ２８にバインダーが到達せず、ポンプ２８の汚染および故障を防止できる。
【００２２】
[ガス源]
第１ガス源３０は圧力容器１２の内部空間１４に導入する第１ガスを貯蔵、生成またはその両方をおこなう。第２ガス源３６はタイトボックス２４の内部空間２６に導入する第２ガスを貯蔵、生成またはその両方をおこなう。第１ガスは窒素またはアルゴンなどであり、第２ガスは窒素、アルゴン、水素、一酸化炭素、ヘリウム、メタンなどである。図１では各ガス源３０、３６を１つにしているが、ガスの種類が増えればガスの種類の数に応じてガス源３０、３６を増やす。第１ガスと第２ガスを各内部空間１４、２６に導入することで加圧状態にすることができる。
【００２３】
圧力容器１２の内部空間１４と第１ガス源３０とが第１導入パイプ３２によって繋がっており、タイトボックス２４の内部空間２６と第２ガス源３６とが第２導入パイプ３８によって繋がっている。各導入パイプ３２、３８にはバルブ６４、６６、６８が設けられている。バルブ６４はガス源３０からバッファタンク３４への第１ガスの流量を制御し、バルブ６６はバッファタンク３４から圧力容器１２への第１ガスの流量を制御し、バルブ６８は第２ガス源３６からタイトボックス２４への第２ガスの流量を制御する。
【００２４】
[バッファタンク]
第１導入パイプ３２の途中にバッファタンク３４が設けられている。第１ガスがバッファタンク３４に一時的に貯留される。バッファタンク３４に第１ガスが蓄えられることで、圧力容器１２の内部空間１４に第１ガスを一気に導入することができる。圧力容器１２の内部空間１４を第１ガスで加圧状態にできる時間を短縮することができる。バッファタンク３４の容量は、圧力容器１２の内部空間１４の２倍以上（１０気圧時で）、たとえば約２〜４倍の容量にする。バッファタンク３４の容量を圧力容器１２の内部空間１４の容量よりも大きくすることで、圧力容器１２の内部空間１４に一気に第１ガスを導入できる。
【００２５】
[第１導入パイプ]
第１ガス源３０からバッファタンク３４の間の第１導入パイプ３２は、たとえばその口径は５〜１０ｍｍである。第１ガス源３０からバッファタンク３４には従来と同様の流量で第１ガスを供給し、バッファタンク３４に第１ガスを貯留する。圧力容器１２とバッファタンク３４の間の第１導入パイプ３２の口径は、第１ガス源３０からバッファタンク３４の間の第１導入パイプ３２の口径よりも太くする。バッファタンク３４から圧力容器１２の内部空間１４に一気に第１ガスを導入するためである。たとえば、第１導入パイプ３２の口径は約２０〜１００ｍｍである。バッファタンク３４から圧力容器１２には従来よりも流量を多くし、一気に圧力容器１２を第１ガスで満たし、加圧状態にすることができるようにする。
【００２６】
バッファタンク３４から圧力容器１２に一気に第１ガスを導入するのは被処理物２２の冷却工程時であり、冷却工程時はバルブ６６を開放する。また、他の工程ではバルブ６６を制御して第１ガスの流量を少なくしたり、０にしたりしてバッファタンク３４に第１ガスが貯留できるようにする。バッファタンク３４が第１ガスで満たされるまでは、圧力容器１２の圧力状態に関係なく、第１ガス源３０からバッファタンク３４に第１ガスを供給する。
【００２７】
[その他]
本願の熱処理炉１０はファン７０、クーラー７２およびガイド７４を備える。ファン７０は一方の容器蓋４２に取り付けられており、容器蓋４２に取り付けられたモーター７６によって回転する。図２の矢印Ｙで示すように、ファン７０は圧力容器１２の内部空間１４およびタイトボックス２４の内部空間２６でガスを循環させる。クーラー７２は循環するガスを冷却し、ガイド７４はガスをクーラー７２に導く。クーラー７２として熱交換機が挙げられる。クーラー７２によってガスが冷却され、冷却されたガスが被処理物２２、ヒーター２０および断熱体１６を冷却する。
【００２８】
さらに本願の熱処理炉１０は、断熱体１６の内部空間２６の温度を測定する温度計（図示せず）、圧力容器１２の内部空間１４の圧力を測定する圧力計（図示せず）を備える。温度計で測定された温度に応じてヒーター２０に供給する電力を制御する。圧力計で測定された圧力に応じて、減圧する際はポンプ２８およびバルブ５６、５８を制御し、加圧する際はバルブ６４、６６、６８を制御する。
【００２９】
[熱処理]
次に本願の熱処理炉１０を使用した熱処理について説明する。熱処理は下記の（１）〜（５）の順番でおこなわれる。なお、説明する熱処理は一例であり、温度および圧力は異なる場合がある。
【００３０】
（１）準備工程
タイトボックス２４の内部空間２６に被処理物２２を収容し、タイトボックス蓋５０、断熱蓋４６および容器蓋４２を閉じて図１の状態にする。また、ポンプ２８により排気をおこない、圧力容器１２の内部空間１４とタイトボックス２４の内部空間２６を所定の圧力に制御する。
【００３１】
（２）昇温工程
図３に示すように、ヒーター２０に電流を流し、断熱体１６の内部空間１８を昇温させる。断熱体１６の内部空間１８に配置されたタイトボックス２４が加熱され、さらに被処理物２２が加熱される。その際、バルブ６４、６６、６８を開け、圧力容器１２の内部空間１４とタイトボックス２４の内部空間２６にそれぞれ第１ガスと第２ガスを導入し、それらの空間１４、２６を加圧してもよい。
【００３２】
（３）脱脂工程
昇温工程よりもヒーター２０に流れる電流を増加させて断熱体１６の内部空間１８を昇温させ、被処理物２２を脱脂処理する。その際、バルブ５６と５８を開け、ポンプ２８を起動させて内部空間１４、２６を減圧させる。被処理物２２を脱脂させた際に被処理物２２から生じたバインダーは、ワックスタンク６０とワックストラップ６２に溜める。その際、バルブ６６、６８を閉じて、第１ガスと第２ガスの導入を停止する。バッファタンク３４に第１ガスが溜まるまでバルブ６４を開けたままにし、バッファタンク３４に第１ガスが溜まればバルブ６４を閉じる。
【００３３】
（４）熱処理工程
被処理物２２の脱脂終了後、ヒーター２０に流れる電流を増加させ、被処理物２２の温度を高めて熱処理する。たとえば、約１５００〜１６００℃で被処理物２２を焼結させる。熱処理の方法によって、内部空間１４、２６の圧力を制御する。加圧するのであれば、バルブ５６、５８を閉じてポンプ２８を停止させ、バブル６４、６６、６８を開けて第１ガスと第２ガスを内部空間１４、２６に導入する。減圧するのであれば、バルブ５６、５８を開けてポンプ２８を駆動させ、バルブ６６、６８を閉じて第１ガスと第２ガスの内部空間１４、２６への導入を停止する。
【００３４】
（５）冷却工程
被処理物２２が熱処理された後、下記のように被処理物２２を冷却する。バルブ５６、５８を閉じてポンプ２８を停止状態にし、バルブ６４、６６を開けて第１ガスを圧力容器１２の内部空間１４に導入する。その際、バッファタンク３４に蓄えられた第１ガスを導入し、圧力容器１２の内部空間１４を一気に加圧状態にする。たとえば、約３０秒から２分で、真空状態から約０．６ＭＰａＧになるように圧力容器１２の内部空間１４に第１ガスを導入する。圧力容器１２の内部空間１４が第１ガスで満たされる。第１ガスを圧力容器１２の内部空間１４に導入すると同時に、図２のように、容器蓋４２を閉じた状態で断熱蓋４６およびタイトボックス蓋５０を開け、ファン７０を回転させる。第１ガスが図２の矢印Ｙのように循環する。第１ガスがクーラー７２で冷却され、冷却された第１ガスが被処理物２２を冷却する。内部空間１４は短時間で第１ガスで満たされるため、短時間で冷却効率が向上する。
【００３５】
第１ガスを圧力容器１２の内部空間１４に導入したが、同時にバルブ６８を開けて第２ガスをタイトボックス２４の内部空間２６に導入してもよい。図２に示すように、冷却工程ではタイトボックス蓋５０が開けられており、第１ガスと第２ガスが混合して循環する。この場合、第１ガスと第２ガスは同種のガスであることが好ましい。
【００３６】
以上のように、本願は圧力容器１２の内部空間１４に一気に第１ガスを導入することができる。短時間で圧力容器１２の内部空間１４を加圧状態にすることができる。圧力容器１２の内部空間１４に第１ガスを短時間に導入できるため、被処理物２２の冷却時間を短縮でき、熱処理炉１０のサイクルタイムが短くなる。
【００３７】
[実施形態２]
図４に示す熱処理炉８０のように、バッファタンク３４から圧力容器１２までの第１導入パイプ３２を複数本にしてもよい。第１導入パイプ３２の本数を増やすことで、バッファタンク３４から圧力容器１２に導入できる第１ガスの量を多くする。
【００３８】
[実施形態３]
図５の熱処理炉８２のように第１ガス源３０、第１導入パイプ３２、バッファタンク３４およびバルブ６４、６６を複数にしてもよい。第１ガス源３０およびバッファタンク３４が複数になることで、圧力容器１２に導入できる第１ガスの量が多くなり、短時間で圧力容器１２を第１ガスで満たすことができる。
【００３９】
[実施形態４]
図６の熱処理炉９０のように、第２導入パイプ３８の途中にもバッファタンク９２を設けてもよい。冷却処理時にタイトボックス蓋５０を開けており、タイトボックス２４の中と外で第１ガスと第２ガスが混合される。そのため、第１ガスと第２ガスをバッファタンク３４、９２から内部空間１４、２６に一気に導入することで、短時間で加圧状態にできる。バッファタンク９２から内部空間２６に導入される第２ガスの量は、第２導入パイプ３８の途中にあるバルブ９４で制御される。
【００４０】
バッファタンク９２からタイトボックス２４の内部空間２６までの第２導入パイプ３８は、第１導入パイプ３２と同様に口径を大きくする。バッファタンク９２からタイトボックス２４の内部空間２６までの第２導入パイプ３８を複数本にすることも可能である。バッファタンク９２に蓄えられた第２ガスを一気に内部空間２６に導入できるようになる。第２ガス源３６、第２導入パイプ３８、バッファタンク９２およびバルブ６８、９４を複数にしてもよい。タイトボックス２４の内部空間２６に導入できる第２ガスの量を多くでき、短時間で内部空間２６に第２ガスを導入でき、さらに圧力容器１２の内部空間１４にも第２ガスが流れる。
【００４１】
[実施形態５]
第１ガスと第２ガスが圧力容器１２の内部空間１４を循環するとき、図２に示す矢印Ｙの方向と反対に循環してもよい。すなわち、ファン７０からクーラー７２にガスを送って冷却し、冷却されたガスが断熱体１６の内部空間１８およびタイトボックス２４の内部空間２６に送られ、被処理物２２などを冷却する。
【００４２】
[実施形態６]
容器蓋４２の内壁などに冷却用のフィンを取り付けもよい。ガスの熱をフィンから容器蓋４２を介して放出する。圧力容器１２の外周に水冷のパイプなどを設け、圧力容器１２が放熱するようにしてもよい。
【００４３】
（第１項）一態様に係る熱処理炉１０は、容器状の圧力容器１２と、前記圧力容器１２の内部空間１４に配置された断熱体１６と、前記断熱体１６によって形成された内部空間１８に配置されたヒーター２０と、前記断熱体１６によって形成された内部空間１８に配置され、被処理物２２を収容するタイトボックス２４と、前記圧力容器１２の内部空間１４およびタイトボックス２４の内部空間２６を減圧するポンプ２８と、前記圧力容器１２の内部空間１４に導入する第１ガスの第１ガス源３０と、前記圧力容器１２と第１ガス源３０とを接続する第１導入パイプ３２と、前記第１導入パイプ３２の途中に設けられ、第１ガスを蓄えるバッファタンク３４とを備える。
【００４４】
第１項に記載の熱処理炉１０によれば、バッファタンク３４に第１ガスが貯留されることで圧力容器１２の内部空間１４に第１ガスを短時間で多量に導入できる。短時間で圧力容器１２の内部空間１４を第１ガスで満たして加圧状態にすることができる。被処理物２２を冷却するときに、多量の第１ガスによって冷却効率が向上する。
【００４５】
（第２項）前記バッファタンク３４から圧力容器１２までの第１導入パイプ３２の断面は、内径２０〜１００ｍｍであってもよい。
【００４６】
第２項に記載の熱処理炉１０によれば、第１導入パイプ３２の口径が周知のパイプの口径よりも大きくなることで、バッファタンク３４から圧力容器１２の内部空間１４まで第１ガスを導入しやすくなっている。
【００４７】
（第３項）前記バッファタンク３４から圧力容器１２までの第１導入パイプ３２は複数本であってもよい。
【００４８】
第３項に記載の熱処理炉１０によれば、第１導入パイプ３２の本数が増えることで、バッファタンク３４から圧力容器１２まで送れる第１ガスの量を増やすことができ、圧力容器１２の内部空間１４に第１ガスを導入しやすくなっている。
【００４９】
（第４項）前記バッファタンク３４は複数個であってもよい。
【００５０】
第４項に記載の熱処理炉１０によれば、バッファタンク３４が複数になることで、圧力容器１２に一気に導入できる第１ガスの量を増やすことができる。圧力容器１２に一気に第１ガスを導入しやすくなる。
【００５１】
その他、本考案は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。説明した各実施形態は独立したものではなく、当業者の知識に基づき適宜組み合わせて実施できるものである。
【符号の説明】
【００５２】
１０、８０、８２、９０：熱処理炉
１２：圧力容器
１４：圧力容器の内部空間
１６：断熱体
１８：断熱体の内部空間
２０：ヒーター
２２：被処理物
２４：タイトボックス
２６：タイトボックスの内部空間
２８：ポンプ
３０：第１ガス源
３２：第１導入パイプ
３４、９２：バッファタンク
３６：第２ガス源
３８：第２導入パイプ
４０：容器本体
４２：容器蓋
４４：断熱本体
４６：断熱蓋
４８：タイトボックス本体
５０：タイトボックス蓋
５２：第１排気パイプ
５４：第２排気パイプ
５６、５８、６４、６６、６８、９４：バルブ
６０：ワックスタンク
６２：ワックストラップ
７０：ファン
７２：クーラー
７４：ガイド
７６：モーター
【図１】
0003221478.tif 000003
【図２】
0003221478.tif 000004
【図３】
0003221478.tif 000005
【図４】
0003221478.tif 000006
【図５】
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【図６】
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