【手続補正書】
【提出日】平成25年3月7日(2013.3.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に駆動可能に設けられた第１の可動体及び第２の可動体と、
上記第１の可動体に設けられ第１の高さ位置とそれより下方の第２の高さ位置との間で上下方向に駆動されるとともに、水平状態と倒伏状態との間で回動方向に駆動される第１のアーム体と、
上記第２の可動体に設けられ上記第１の高さ位置と上記第２の高さ位置との間で上記第１のアーム体と干渉することなく上下方向に駆動されるとともに、水平状態と倒伏状態との間で回動方向に駆動される第２のアーム体と、
上記第１、第２の可動体の上下駆動及び上記第１、第２のアーム体の回動駆動を制御する制御手段を有すること特徴とする基板受け渡し装置。
【請求項２】
第１の高さ位置で供給された基板を、請求項１記載の基板受け渡し装置を用いて上記第２の高さ位置で受け渡してから、この基板を処理する処理部に供給する基板処理装置であって、
上記第１の高さ位置で水平状態にある一方のアーム体に上記基板を供給する搬送ロボットと、
上記第２の高さ位置に位置づけられる上記他方のアーム体に保持された基板を受けて上記処理部に搬送する基板搬送手段と、
を有し、
上記制御手段は、上記搬送ロボットから供給された基板を保持した上記一方のアーム体を上記第１の高さ位置から上記第２の高さ位置に下降駆動すると同時に、上記基板搬送手段に基板を受け渡した上記他方のアーム体を水平状態から倒伏状態に回動させて上記第２の高さ位置から上記第１の高さ位置へ上昇駆動することを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
処理部で処理された基板を、請求項１記載の基板受け渡し装置を用いて第２の高さ位置から、この第２の高さ位置の上方の第１の高さ位置に上昇させて受け渡す基板処理装置であって、
上記処理部で処理された基板を上記第２の高さ位置とほぼ同じ高さで受けて搬送しその基板が上記第１のアーム体と上記第２のアーム体とのどちらか一方の水平状態に回動したアーム体によって上記第２の高さ位置から第１の高さ位置に上昇させることができる位置に位置決めする基板搬送手段と、
この基板搬送手段から受けて上記第１のアーム体と第２のアーム体とのどちらか一方のアーム体によって上記第１の高さ位置に位置決めされた基板を搬出する搬送ロボットと、を有し、
上記制御手段は、上記基板搬送手段によって位置決めされた基板を上記第２の高さ位置で受けた一方のアーム体を上記第１の高さ位置に上昇駆動すると同時に、上記第１の位置で上記搬送ロボットに基板を受け渡した他方のアーム体を水平状態から倒伏状態に回動させて第１の高さ位置から第２の高さ位置へ下降させることを特徴とする基板処理装置。
【請求項４】
上記第１のアーム体と第２のアーム体は、それぞれ、基板を保持する一対の支持片が上下方向に所定間隔で離間して設けられ、
上記搬送ロボットにはそれぞれ基板を保持する一対の受け渡しアーム体が上下方向に所定間隔で設けられていることを特徴とする請求項２または３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
上記第１の可動体と第２の可動体は同一のリニアガイドに沿って上下方向に駆動可能に設けられていて、
上方に位置する一方の可動体には上記第１、第２のアーム体のうちの一方のアーム体が下方に突出して設けられ、下方に位置する他方の可動体には他方のアーム体が上方に突出して設けられていて、
上記第１のアーム体と第２のアーム体は、上記第１の可動体と第２の可動体が互いに干渉しない上下方向の駆動範囲内で上記第１の高さ位置と上記第２の高さ位置に位置決め可能であることを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項６】
上記基板搬送手段は、所定間隔で配置された複数のローラ軸にそれぞれ複数のローラが設けられたローラコンベアであって、上記ローラ軸は、上下方向に駆動される上記第１、第２のアーム体と干渉しないようこれら第１、第２のアーム体に対して水平方向に位置をずらして配置されていることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載の基板処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板受け渡し装置及び基板処理装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
この発明は、基板受け渡し装置及び基板処理装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、特許文献１では、処理部の導入側においては上昇位置に位置決めされたプッシャピンに搬送ロボットによって基板を供給し、ついでプッシャピンを下降させて搬送コンベアに受け渡すようにしている。払い出し側においては搬送コンベア上の基板をプッシャピンによって上昇させてから搬送ロボットによって取り出すようにしている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
この発明は、生産性を向上させることができる、基板受け渡し装置及び基板処理装置を提供することにある。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この発明は、上下方向に駆動可能に設けられた第１の可動体及び第２の可動体と、
上記第１の可動体に設けられ第１の高さ位置とそれより下方の第２の高さ位置との間で上下方向に駆動されるとともに、水平状態と倒伏状態との間で回動方向に駆動される第１のアーム体と、
上記第２の可動体に設けられ上記第１の高さ位置と上記第２の高さ位置との間で上記第１のアーム体と干渉することなく上下方向に駆動されるとともに、水平状態と倒伏状態との間で回動方向に駆動される第２のアーム体と、
上記第１、第２の可動体の上下駆動及び上記第１、第２のアーム体の回動駆動を制御する制御手段を有すること特徴とする基板受け渡し装置にある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
この発明は、第１の高さ位置で供給された基板を、請求項１記載の基板受け渡し装置を用いて上記第２の高さ位置で受け渡してから、この基板を処理する処理部に供給する基板処理装置であって、
上記第１の高さ位置で水平状態にある一方のアーム体に上記基板を供給する搬送ロボットと、
上記第２の高さ位置に位置づけられる上記他方のアーム体に保持された基板を受けて上記処理部に搬送する基板搬送手段と、
を有し、
上記制御手段は、上記搬送ロボットから供給された基板を保持した上記一方のアーム体を上記第１の高さ位置から上記第２の高さ位置に下降駆動すると同時に、上記基板搬送手段に基板を受け渡した上記他方のアーム体を水平状態から倒伏状態に回動させて上記第２の高さ位置から上記第１の高さ位置へ上昇駆動することを特徴とする基板処理装置にある。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
この発明は、処理部で処理された基板を、請求項１記載の基板受け渡し装置を用いて第２の高さ位置から、この第２の高さ位置の上方の第１の高さ位置に上昇させて受け渡す基板処理装置であって、
上記処理部で処理された基板を上記第２の高さ位置とほぼ同じ高さで受けて搬送しその基板が上記第１のアーム体と上記第２のアーム体とのどちらか一方の水平状態に回動したアーム体によって上記第２の高さ位置から第１の高さ位置に上昇させることができる位置に位置決めする基板搬送手段と、
この基板搬送手段から受けて上記第１のアーム体と第２のアーム体とのどちらか一方のアーム体によって上記第１の高さ位置に位置決めされた基板を搬出する搬送ロボットと、を有し、
上記制御手段は、上記基板搬送手段によって位置決めされた基板を上記第２の高さ位置で受けた一方のアーム体を上記第１の高さ位置に上昇駆動すると同時に、上記第１の位置で上記搬送ロボットに基板を受け渡した他方のアーム体を水平状態から倒伏状態に回動させて第１の高さ位置から第２の高さ位置へ下降させることを特徴とする基板処理装置にある。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明によれば、生産性を向上させることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
すなわち、第１、第２の可動体１４，１５の前板１３ａにはＬ字状の取り付け部材２５の一端が取り付けられている。この取り付け部材２５の他端は、可動体１４では上記前板１３ａ下方に、可動体１５では上記前板１３ａ上方にそれぞれ突出し、その突出端にはＬ字状のリンク２６の中途部がピン２７によって枢着されている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
上記可動体１４の前板１３ａ上部、上記可動体１５の前板１３ａ下部には、それぞれエアシリンダ３１の一端がピン３２によって枢着されている。このエアシリンダ３１のロッド３１ａの先端はピン３３によって上記リンク２６の他端に枢着されている。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
そのため、各アーム体２２，２３の各可動体１４，１５からの下方向と上方向への突出長さを設定することで、同一のリニアガイド１２に沿って上下動する上記第１の可動体１４と第２の可動体１５を衝突させずに、上記第１のアーム体２２を第１の高さ位置Ｈ１から第２の高さ位置Ｈ２まで下降させ、第２のアーム体２３を第２の高さ位置Ｈ２から第２の高さ位置Ｈ１に上昇させることができる。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
このような第２の受け渡し装置８によれば、払い出し部９の処理済の基板Ｗを格納するカセット６が満杯になり、そのカセット６を交換する場合、搬送ロボット３が第２の受け渡し装置８から基板Ｗを払い出しすることができなくなっても、処理装置１で処理された基板Ｗを第１のアーム体２２と第２のアーム体２３の一対の支持片２２ａ，２３ａによってそれぞれ２枚ずつ貯えておくことができ、さらには第２の受け渡し装置８の搬送装置３５にも第５の処理部１Ｅから搬送された処理済みの１枚の基板Ｗを貯えておくことができる。つまり、合計で５枚の基板Ｗを貯えておくことができる。