(57)【要約】      （修正有）【課題】イオン源側方向冷却装置を提供する。【解決手段】主にイオン源キャビティ１０、冷却シート２０及び支持ベース３０により互いに接続してなり、冷却シート２０の一端に少なくとも１つの付着部２０１が設けられ、付着部２０１がイオン源キャビティ１０の一側と付着される。冷却シート２０の内部に少なくとも１つの循環冷却回路２０３が設けられ、循環冷却回路２０３が付着部２０１及び冷却シート２０の内部に延在して設けられ、循環冷却回路２０３が、支持ベース３０の内部に設けられる循環導入部及び循環導出部と連通することを特徴とする。したがって、ユーザーは循環導入部によって水又は冷却体を循環冷却回路２０３内に導入することにより、イオン源キャビティ１０を冷却し、イオン源キャビティ１０の過熱による部品の耐用年数の低減を避けることができる。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
イオン注入の技術分野に用いられるイオン源側方向冷却装置であって、
イオン源キャビティと、
冷却シートであって、該冷却シートの一端又は一側の任意の位置に該イオン源キャビティが接続され、該冷却シートの一端に少なくとも１つの付着部が延在して設けられ、該付着部が該イオン源キャビティの一側又は一端の任意の位置に付着され、該冷却シートの内部に少なくとも１つの循環冷却回路が設けられ、該循環冷却回路が該付着部及び該冷却シート内に設けられる、冷却シートと、
支持ベースであって、該支持ベースの一端が該冷却シートと接続され、該支持ベースの内部に循環導入部及び循環導出部が設けられ、該循環導入部及び該循環導出部が該循環冷却回路と連通する、支持ベースと
を備える、イオン源側方向冷却装置。
【請求項２】
該付着部と該イオン源キャビティとの間に熱伝導体が設けられ、該熱伝導体の両側が該付着部及び該イオン源キャビティと密着される請求項１に記載のイオン源側方向冷却装置。
【請求項３】
該付着部の内部に凹み部が設けられ、該熱伝導体が該凹み部内に埋め込まれ、該付着部及び該イオン源キャビティと密着される請求項２に記載のイオン源側方向冷却装置。
【請求項４】
該イオン源キャビティの両側が２つの該付着部と付着され、２つの該付着部が該イオン源キャビティを該冷却シートの中央位置に挟持する請求項２に記載のイオン源側方向冷却装置。
【請求項５】
イオン注入の技術分野に用いられるイオン源側方向冷却装置であって、
イオン源キャビティと、
冷却シートであって、該冷却シートの一端又は一側の任意の位置に該イオン源キャビティが接続され、該冷却シートの一端に少なくとも１つの付着部が延在して設けられ、該付着部が該イオン源キャビティの一側又は一端の任意の位置に付着され、該付着部と該イオン源キャビティとの間に熱伝導体が設けられ、該熱伝導体の両側が該付着部及び該イオン源キャビティと付着される、冷却シートと、
一端が該冷却シートと接続される支持ベースと
を備える、イオン源側方向冷却装置。
【請求項６】
該冷却シートの内部に少なくとも１つの循環冷却回路が設けられ、該循環冷却回路が該付着部及び該冷却シート内に設けられる請求項５に記載のイオン源側方向冷却装置。
【請求項７】
該支持ベースの内部に循環導入部及び循環導出部が設けられ、該循環導入部及び該循環導出部が該循環冷却回路と連通する請求項６に記載のイオン源側方向冷却装置。
【請求項８】
該付着部の内部に凹み部が設けられ、該熱伝導体が該凹み部内に埋め込まれ、該付着部及び該イオン源キャビティと密着される請求項５に記載のイオン源側方向冷却装置。
【請求項９】
該イオン源キャビティの両側が２つの該付着部と密着され、２つの該付着部が該イオン源キャビティを該冷却シートの中央位置に挟持する請求項５に記載のイオン源側方向冷却装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本創作はイオン源側方向冷却装置に関し、特に循環冷却回路及び熱伝導体を用いてイオン源キャビティを冷却するための冷卻裝置に関する。
【背景技術】
【０００２】
イオン注入装置は、一般的に半導体ウェーハの製造に用いられ、イオン源を介してイオンビームを発生させ、ウェーハに前記イオンビームを照射し、イオンがウェーハと衝突するとき、そのイオンがウェーハの特定の領域にドープし、ドープされた領域の構成がその機能性を規定し、導電性の相互接続により、そのようなウェーハを複雑な回路に変換することができる。
【０００３】
一般に、イオン源キャビティ内に前記イオンビームを発生させる過程では、大量の熱エネルギーが生じるが、従来の技術には、放熱を行うために、放射線を用いて該イオン注入装置に対し放熱を行う。しかし、放射線の放熱速度が低すぎるため、長期間使用すると、該イオン源キャビティの近傍の部品の磨耗をもたらす。したがって、本技術分野には該イオン注入装置の放熱効率を効果的に向上可能な関連技術が必要とされている。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
したがって、上述した問題点を解決するために、本創作の目的はイオン源側方向冷却装置を提供することであり、それは主に冷却シートを介してイオン源キャビティと接続され、該冷却シートに設けられる熱伝導体によって該イオン源キャビティの熱エネルギーを該冷却シートに伝導し、該冷却シートの内部に設けられる循環冷却回路によって該冷却シートを冷却し、急速な冷却を達成する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本創作は、イオン注入の技術分野に用いられるイオン源側方向冷却装置を提供し、
イオン源キャビティと、
冷却シートであって、該冷却シートの一端又は一側の任意の位置に該イオン源キャビティが接続され、該冷却シートの一端に少なくとも１つの付着部が延在して設けられ、該付着部が該イオン源キャビティの一側又は一端の任意の位置に付着され、該冷却シートの内部に少なくとも１つの循環冷却回路が設けられ、該循環冷却回路が該付着部及び該冷却シート内に設けられる、冷却シートと、
支持ベースであって、該支持ベースの一端が該冷却シートと接続され、該支持ベースの内部に循環導入部及び循環導出部が設けられ、該循環導入部及び該循環導出部が該循環冷却回路と連通する、支持ベースとを備える。
【０００６】
好ましくは、該付着部と該イオン源キャビティとの間に熱伝導体が設けられ、該熱伝導体の両側が該付着部及び該イオン源キャビティと密着される。
【０００７】
好ましくは、該付着部の内部に凹み部が設けられ、該熱伝導体が該凹み部内に埋め込まれ、該付着部及び該イオン源キャビティと密着される。
【０００８】
好ましくは、該イオン源キャビティの両側が２つの該付着部と密着され、２つの該付着部が該イオン源キャビティを該冷却シートの中央位置に挟持する。
【０００９】
本創作は、イオン注入の技術分野に用いられるイオン源側方向冷却装置をさらに開示し、
イオン源キャビティと、
冷却シートであって、該冷却シートの一端又は一側の任意の位置に該イオン源キャビティが接続され、該冷却シートの一端に少なくとも１つの付着部が延在して設けられ、該付着部が該イオン源キャビティの一側又は一端の任意の位置に付着され、該付着部と該イオン源キャビティとの間に熱伝導体が設けられ、該熱伝導体の両側が該付着部及び該イオン源キャビティと密着される、冷却シートと、
一端が該冷却シートと接続される支持ベースと、を備える。
【００１０】
好ましくは、該冷却シートの内部に少なくとも１つの循環冷却回路が設けられ、該循環冷却回路が該付着部及び該冷却シート内に設けられる。
【００１１】
好ましくは、該支持ベースの内部に循環導入部及び循環導出部が設けられ、該循環導入部及び該循環導出部が該循環冷却回路と連通する。
【００１２】
好ましくは、該付着部の内部に凹み部が設けられ、該熱伝導体が該凹み部内に埋め込まれ、該付着部及び該イオン源キャビティと密着される。
【００１３】
好ましくは、該イオン源キャビティの両側が２つの該付着部と付着され、２つの該付着部が該イオン源キャビティを該冷却シートの中央位置に挟持する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は本創作の立体図である。
【図２】図２は本創作による冷却シートの立体図である。
【図３】図３は本創作による冷却シートの内部透視図である。
【図４】図４は本創作による使用状態の断面図である。
【図５】図５は本創作による他の使用状態の断面図である。
【考案を実施するための形態】
【００１５】
本発明の目的、技術的解決手段及び利点をより明確にするために、以下、図面及び実施例を参照しながら本創作を更に詳しく説明する。ここで記載される特定の実施例は、本創作を説明するためだけに用いられるが、本創作を限定するものではないことを理解されたい。以下、図面を参照しながら本創作をさらに説明する：
【００１６】
図１〜図５を参照して、それぞれ本創作の立体図、冷却シートの立体図、冷却シートの内部透視図、使用状態の断面図及び他の使用状態の断面図である。図に示すように、本創作はイオン源側方向冷却装置を開示し、主にイオン源キャビティ１０、冷却シート２０及び支持ベース３０からなり、該イオン源キャビティ１０が該冷却シート２０と接続され、該冷却シート２０が該支持ベース３０と接続される。該イオン源キャビティ１０はイオン源を介してイオンビームを発生するが、該イオン源キャビティ１０が前記イオンビームを発生する過程では、大量の熱エネルギーが生じ、部品の耐用年数を削減し、このため、本創作はさらに冷却シート２０を該イオン源キャビティ１０と接続し、該イオン源キャビティ１０が該冷却シート２０の一端又は一側の任意の位置に接続され、該冷却シート２０の一端から少なくとも１つの付着部２０１（以下の説明には２つの該付着部２０１で説明する）が延在して設けられ、かつ２つの該付着部２０１が該イオン源キャビティ１０の両側に付着され、該イオン源キャビティ１０を該冷却シート２０の中央位置に挟持し、また、各該付着部２０１と該イオン源キャビティ１０との付着面に凹み部２０２が設けられ、かつ該凹み部２０２内に熱伝導体４０が設けられるため、該熱伝導体４０の両側が該付着部２０１及び該イオン源キャビティ１０と付着可能であり、該イオン源キャビティ１０の熱エネルギーを該付着部２０１に効果的に伝導することができる。
【００１７】
また、該冷却シート２０の内部に少なくとも１つの循環冷却回路２０３が設けられ、かつ該循環冷却回路２０３が該付着部２０１及び該冷却シート２０内に設けられ、該支持ベース３０の内部に循環導入部３０１及び循環導出部３０２が設けられ、該循環導入部３０１及び該循環導出部３０２が該循環冷却回路２０３と連通する。したがって、ユーザーは該循環導入部３０１によって水又は冷却体（以下の説明には冷却体で説明する）を導入した後、該冷却体が該冷却シート２０内の該循環冷却回路２０３及び該付着部２０１内の該循環冷却回路２０３を通過し、該熱伝導体４０が該イオン源キャビティ１０の熱エネルギーを該付着部２０１に伝導するとき、該冷却体を介して効果的に冷却し、該循環導出部３０２から該冷却体を排出する。そのようにして、該イオン源キャビティ１０の過熱による部品の消耗及び耐用年数の低減を避けることができる。
【００１８】
上記の詳細な説明は、本創作の実施例を具体的に説明することを意図したものであり、該実施例が本創作の範囲を限定するものではなく、本創作の趣旨を逸脱しない同等の実施例又は修正例は、本創作の範囲内に含まれるべきである。さらに、本考案は技術的思考の面で革新的であるだけでなく、従来の方法の範囲を超えている多くの前述の機能を有しており、新規性と進歩性の法定新規登録要件を完全に満たすため、法律に従って出願するが、創作を奨励するために本実用新案登録を承認するようにお願いする。
【符号の説明】
【００１９】
１０        イオン源キャビティ
２０        冷却シート
２０１      付着部
２０２      凹み部
２０３      循環冷却回路
３０        支持ベース
３０１      循環導入部
３０２      循環導出部
４０        熱伝導体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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