【手続補正書】
【提出日】平成25年9月5日(2013.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記目的を達成するために、請求項１記載のパーティクル数計測方法は、窓を介して前記所定の空間にレーザ光を入射し、該レーザ光と交差したパーティクルから発生する散乱光を受光し、該受光された散乱光に基づいて第１のパーティクルの数を計測し、移動しない第２のパーティクルを前記窓に付着した汚れと見なし、前記移動しない第２のパーティクルの数を、前記計測された第１のパーティクルの数から除外することにより、特定の要因で発生し、且つ所定の空間を移動するパーティクルの数を計測することを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項２記載のパーティクル数計測方法は、請求項１記載のパーティクル数計測方法において、前記特定の要因は、基板処理装置の処理室への大流量のガスパージを伴う前記処理室内のパーティクル除去処理であることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項３記載のパーティクル数計測方法は、請求項２記載のパーティクル数計測方法において、前記所定の空間は前記処理室内であり、前記処理室内は真空引きされ、前記移動状態における前記所定の移動速度は１ｍ／秒であることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項４記載のパーティクル数計測方法は、請求項２記載のパーティクル数計測方法において、前記所定の空間は前記処理室内からガスを排気する排気管内であり、前記処理室内は真空引きされ、前記移動状態における前記所定の移動速度は２ｍ／秒であることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項５記載のパーティクル数計測方法は、請求項１記載のパーティクル数計測方法において、前記所定の空間は前記処理室内からガスを排気する排気管内であり、前記処理室内は真空引きされ、前記排気管内において前記ガスが流れる方向と反対の所定の移動方向に流れる第３のパーティクルの数を、前記計測された第１のパーティクルの数からさらに除外することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項１記載のパーティクル数計測方法によれば、所定の空間において移動しない第２のパーティクルの数が、所定の空間において計測された第１のパーティクルの数から除外される。窓に付着した汚れとしてのパーティクルは移動しない。したがって、所定の空間において移動しない第２のパーティクルの数を除外することにより、窓に付着した汚れとしてのパーティクルの数を正確に除外することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項２記載のパーティクル数計測方法によれば、特定の要因は、基板処理装置の処理室への大流量のガスパージを伴う処理室内のパーティクル除去処理である。該パーティクル除去処理に起因して発生するパーティクルは、大流量のガスパージによって生じる流速の高いガス流に乗って移動するため、移動速度が高い。したがって、所定の空間において所定の移動速度よりも低い移動速度で移動するパーティクルの数を除外することにより、パーティクル除去処理に起因して発生するパーティクルの数を正確に計測することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項３記載のパーティクル数計測方法によれば、所定の空間は処理室内であり、処理室内は真空引きされ、上記移動状態における所定の移動速度は１ｍ／秒である。パーティクル除去処理に起因して発生するパーティクルは、大流量のガスパージによって生じる流速の高いガス流に乗って処理室内を１ｍ／秒以上の速度で移動する。したがって、１ｍ／秒よりも低い移動速度で移動するパーティクルの数を除外することにより、処理室内においてパーティクル除去処理に起因して発生するパーティクルの数を正確に計測することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項４記載のパーティクル数計測方法によれば、所定の空間は処理室内からガスを排気する排気管内であり、処理室内は真空引きされ、上記移動状態における所定の移動速度は２ｍ／秒である。パーティクル除去処理に起因して発生するパーティクルは、大流量のガスパージによって生じる流速の高いガス流に乗って排気管内を２ｍ／秒以上の速度で移動する。したがって、２ｍ／秒よりも低い移動速度で移動するパーティクルの数を除外することにより、排気管内においてパーティクル除去処理に起因して発生するパーティクルの数を正確に計測することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項５記載のパーティクル数計測方法によれば、所定の空間は処理室内からガスを排気する排気管内であり、処理室内は真空引きされ、排気管内においてガスが流れる方向と反対の所定の移動方向に流れる第３のパーティクルの数が、計測された第１のパーティクルの数からさらに除外される。排気管の下流に位置するポンプにおいて高速回転する回転翼によって跳ね返されたパーティクルは排気管内においてガスが流れる方向と逆の移動方向に沿って移動するので、ガスが流れる方向と逆の移動方向に沿って移動する第３のパーティクルの数をポンプから反跳したパーティクルの数を除外することにより、パーティクル除去処理に起因して発生するパーティクルの数を正確に計測することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
窓を介して前記所定の空間にレーザ光を入射し、該レーザ光と交差したパーティクルから発生する散乱光を受光し、該受光された散乱光に基づいて第１のパーティクルの数を計測し、
移動しない第２のパーティクルを前記窓に付着した汚れと見なし、前記移動しない第２のパーティクルの数を、前記計測された第１のパーティクルの数から除外することにより、特定の要因で発生し、且つ所定の空間を移動するパーティクルの数を計測することを特徴とするパーティクル数計測方法。
【請求項２】
前記特定の要因は、基板処理装置の処理室への大流量のガスパージを伴う前記処理室内のパーティクル除去処理であることを特徴とする請求項１記載のパーティクル数計測方法。
【請求項３】
前記所定の空間は前記処理室内であり、前記処理室内は真空引きされ、前記移動状態における前記所定の移動速度は１ｍ／秒であることを特徴とする請求項２記載のパーティクル数計測方法。
【請求項４】
前記所定の空間は前記処理室内からガスを排気する排気管内であり、前記処理室内は真空引きされ、前記移動状態における前記所定の移動速度は２ｍ／秒であることを特徴とする請求項２記載のパーティクル数計測方法。
【請求項５】
前記所定の空間は前記処理室内からガスを排気する排気管内であり、前記処理室内は真空引きされ、
前記排気管内において前記ガスが流れる方向と反対の所定の移動方向に流れる第３のパーティクルの数を、前記計測された第１のパーティクルの数からさらに除外することを特徴とする請求項１記載のパーティクル数計測方法。