【手続補正書】
【提出日】平成25年5月20日(2013.5.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光方法及び露光装置、並びに液体供給方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、露光方法及び露光装置、並びに液体供給方法に係り、更に詳しくは、液体を介して物体を露光する露光方法及び露光装置、並びに前記露光装置に用いられる液体供給方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、上述の事情の下でなされたもので、第１の観点からすると、投影光学系と液体を介して物体を露光する露光装置であって、前記物体を載置可能であって前記投影光学系の光出射側で移動するステージと、前記投影光学系の前記光射出側に液体を供給する液浸部材と、前記投影光学系を介して投影される計測光を計測するセンサーとを備え、前記センサーは、前記ステージにそれぞれ配置される透過部材と該透過部材を介して前記計測光が照射される所定パターンとを含み、前記計測光の計測時において前記液体と前記所定パターンの間に前記透過部材が介在する第１の露光装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は、第２の観点からすると、物体を載置可能なステージを移動させて、投影光学系と液体を介して該物体を露光する露光方法であって、前記投影光学系と前記ステージとの間の空間に液体を供給することと、計測光が照射される所定パターンと前記所定パターンが設けられた透過部材とがそれぞれ配置された前記ステージを前記投影光学系下に移動させることと、を含み、前記計測光の計測時において前記液体と前記所定パターンの間に前記透過部材が介在する第１の露光方法である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は、第３の観点からすると、液体を介して物体を露光する露光方法であって、液体にその液体の比抵抗を調整する所定の物質を溶解させ、その所定の物質を溶解させた液体を前記物体上に形成された膜上に供給して液浸領域を形成する工程と、前記所定の物質が溶解した前記液体の透過率に基づいて露光条件を決定する工程と、決定した前記露光条件に基づいて、前記液体を介して露光光を前記物体上に照射して所定のパターンを形成する工程と、を含む第２の露光方法である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明は、第４の観点からすると、液体を介して物体を露光する露光装置であって、前記物体を載置可能なステージと、前記ステージ上に載置された前記物体に形成された所定の膜上に供給される液体にその液体の比抵抗が変化する所定の物質を混入させる混入機構と、前記所定の物質が混入した前記液体を前記膜上に供給して液浸領域を形成する液浸部材と、前記所定の物質が混入した液体の透過率に基づいて露光条件を決定する制御装置と、を備える第２の露光装置である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明は、第５の観点からすると、投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系下を移動するステージと、撥液膜の劣化を抑制するため前記液体に所定の物質を溶解させる装置と、前記所定の物質が溶解した液体を前記投影光学系下に供給する供給口と、を含み、前記投影光学系下に位置付けられた前記撥液膜上に前記所定の物質が溶解した液体が供給された状態で、前記投影光学系と前記液体を介した光が前記撥液膜に照射される第３の露光装置である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明は、第６の観点からすると、投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置に用いられる液体供給方法であって、撥液膜の劣化を抑制するため液体に所定の物質を溶解させる工程と、前記所定の物質が溶解された液体を、前記投影光学系下に位置付けられた撥液膜上に供給して液浸領域を形成する工程と、を含み、前記投影光学系と前記液浸領域を介した光が前記撥液膜に照射される液体供給方法である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
本発明の露光方法及び露光装置は、液体を介して物体を露光するのに適している。また、本発明の液体供給方法は、前記露光装置に対する液浸用の液体の供給に適している。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光学系と液体を介して物体を露光する露光装置であって、
前記物体を載置可能であって前記投影光学系の光出射側で移動するステージと、
前記投影光学系の前記光射出側に液体を供給する液浸部材と、
前記投影光学系を介して投影される計測光を計測するセンサーとを備え、
前記センサーは、前記ステージにそれぞれ配置される透過部材と該透過部材を介して前記計測光が照射される所定パターンとを含み、
前記計測光の計測時において前記液体と前記所定パターンの間に前記透過部材が介在する露光装置。
【請求項２】
前記透過部材はガラス部材を含み、
前記所定パターンは、前記ガラス部材の表面に形成される遮光膜又は減光膜により形成されている請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記遮光膜は、金属膜を含む請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記ガラス部材の第一面側で前記液体が接触し、前記第一面側と反対側の第二面側に前記所定パターンが配置される請求項２または３に記載の露光装置。
【請求項５】
前記液体と接触する前記ガラス部材の前記第一面側は、当該液体に対して撥液性を有する請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記第一面側には、フッ素系樹脂材料又はアクリル系樹脂材料により形成された被膜が配置されている請求項４に記載の露光装置。
【請求項７】
前記センサーは、前記所定パターンを透過した前記計測光を受光する受光系を備え、
前記受光系は、前記所定パターンと対向するように前記ステージに配置される請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項８】
前記ステージ上であって前記透過部材の周囲に配置される第二部材をさらに備える請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項９】
前記ステージは投影光学系の光射出側に供給された液体を回収する回収装置を備え、
前記回収装置は、前記第二部材と前記透過部材との間に形成される隙間から流入する液体を回収する請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記所定パターンは金属膜を用いて形成されるとともに、前記所定パターンはアースされている請求項１〜９のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記液体には当該液体の比抵抗が変化する所定の物質が溶解され、
前記所定の物質が混入した液体の透過率に基づいて露光条件を決定する制御装置をさらに備える請求項１〜１０のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１２】
物体を載置可能なステージを移動させて、投影光学系と液体を介して該物体を露光する露光方法であって、
前記投影光学系と前記ステージとの間の空間に液体を供給することと、
計測光が照射される所定パターンと前記所定パターンが設けられた透過部材とがそれぞれ配置された前記ステージを前記投影光学系下に移動させることと、を含み、
前記計測光の計測時において前記液体と前記所定パターンの間に前記透過部材が介在する露光方法。
【請求項１３】
前記透過部材はガラス部材を含み、
前記所定パターンは前記ガラス部材の表面に形成される遮光膜又は減光膜により形成されている請求項１２に記載の露光方法。
【請求項１４】
前記遮光膜は、金属膜を含む請求項１３に記載の露光方法。
【請求項１５】
前記ガラス部材の第一面側で前記液体が接触し、前記第一面側と反対側の第二面側に前記所定パターンが配置される請求項１３または１４に記載の露光方法。
【請求項１６】
前記液体と接触する前記ガラス部材の前記第一面側は、当該液体に対して撥液性を有する請求項１５に記載の露光方法。
【請求項１７】
前記第一面側には、フッ素系樹脂材料又はアクリル系樹脂材料により形成された被膜が配置されている請求項１５に記載の露光方法。
【請求項１８】
前記センサーは前記所定パターンを透過した前記計測光を受光する受光系を備え、
前記受光系は前記所定パターンと対向するように前記ステージに配置される請求項１２〜１７のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項１９】
前記ステージには前記透過部材の周囲を囲むように第二部材が配置される請求項１２〜１８のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項２０】
前記ステージは投影光学系の光射出側に供給された液体を回収する回収装置を備え、
前記回収装置は、前記第二部材と前記透過部材との間に形成される隙間から流入する液体を回収する請求項１９に記載の露光方法。
【請求項２１】
前記所定パターンは金属材料を用いて形成され、
前記所定パターンはアースされている請求項１２〜２０のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項２２】
前記液体には当該液体の比抵抗が変化する所定の物質が溶解され、
前記所定の物質が混入した液体の透過率に基づいて露光条件が決定される請求項１２〜２１のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項２３】
液体を介して物体を露光する露光方法であって、
液体にその液体の比抵抗を調整する所定の物質を溶解させ、その所定の物質を溶解させた液体を前記物体上に形成された膜上に供給して液浸領域を形成する工程と、
前記所定の物質が溶解した前記液体の透過率に基づいて露光条件を決定する工程と、
決定した前記露光条件に基づいて、前記液体を介して露光光を前記物体上に照射して所定のパターンを形成する工程と、を含む露光方法。
【請求項２４】
前記露光条件は、前記露光光のエネルギー又は発光周波数、物体を載置するステージの走査速度のいずれかを含む請求項２３に記載の露光方法。
【請求項２５】
前記物体上の膜は、前記パターンを形成するための感応材を含む請求項２３または２４に記載の露光方法。
【請求項２６】
前記物体上の膜は、前記パターンを形成するための感応材を覆うように形成されている請求項２３または２４に記載の露光方法。
【請求項２７】
前記物体上の膜は、前記液体に対して撥液性を有する請求項２３〜２６のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項２８】
前記物体上の膜は、フッ素系樹脂材料又はアクリル系樹脂材料により形成された被膜を含む請求項２３〜２７のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項２９】
前記所定物質は前記液体に溶解可能な気体を含む請求項２３〜２８のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項３０】
前記気体は二酸化炭素を含む請求項２９に記載の露光方法。
【請求項３１】
液体を介して物体を露光する露光装置であって、
前記物体を載置可能なステージと、
前記ステージ上に載置された前記物体に形成された所定の膜上に供給される液体にその液体の比抵抗が変化する所定の物質を混入させる混入機構と、
前記所定の物質が混入した前記液体を前記膜上に供給して液浸領域を形成する液浸部材と、
前記所定の物質が混入した液体の透過率に基づいて露光条件を決定する制御装置と、
を備える露光装置。
【請求項３２】
前記露光条件は、前記物体を露光するための露光光のエネルギー又は発光周波数、物体を載置するステージの走査速度のいずれかを含む請求項３１に記載の露光装置。
【請求項３３】
前記物体上の膜は、前記パターンを形成するための感応材を含む請求項３１または３２に記載の露光装置。
【請求項３４】
前記物体上の膜は、前記パターンを形成するための感応材を覆うように形成されている請求項３１または３２に記載の露光装置。
【請求項３５】
前記物体上の膜は、前記液体に対して撥液性を有する請求項３１〜３４のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項３６】
前記物体上の膜は、フッ素系樹脂材料又はアクリル系樹脂材料により形成された被膜を含む請求項３１〜３５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項３７】
前記所定物質は前記液体に溶解可能な気体を含む請求項３１〜３６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項３８】
前記気体は二酸化炭素を含む請求項３７に記載の露光装置。
【請求項３９】
投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系下を移動するステージと、
撥液膜の劣化を抑制するため前記液体に所定の物質を溶解させる装置と、
前記所定の物質が溶解した液体を前記投影光学系下に供給する供給口と、を含み、
前記投影光学系下に位置付けられた前記撥液膜上に前記所定の物質が溶解した液体が供給された状態で、前記投影光学系と前記液体を介した光が前記撥液膜に照射される露光装置。
【請求項４０】
前記所定物質は前記液体に溶解可能なガスを含む請求項３９に記載の露光装置。
【請求項４１】
前記溶解可能なガスは、炭酸ガスまたは塩素を含む請求項４０に記載の露光装置。
【請求項４２】
前記撥液膜は、前記基板の表面の撥液膜を含む請求項３９〜４１のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項４３】
透過部材と該透過部材の上面に形成される撥液膜を含んで前記投影光学系を介した光を計測するセンサーをさらに有し、
前記ステージの上面の一部に、前記撥液膜が形成された透過部材が配置され、
前記投影光学系下に位置付けられた撥液膜は、前記透過部材の上面の撥液膜を含む請求項３９〜４２のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項４４】
前記ステージは前記基板を保持する基板ステージを含み、
前記投影光学系下に位置付けられた撥液膜は、前記ステージの上面に設けられる撥液膜を含む請求項３９〜４３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項４５】
前記ステージの上面と前記基板の上面が同じ高さとなるように、前記基板が前記基板ステージに保持される請求項４４に記載の露光装置。
【請求項４６】
前記所定の物質が溶解した液体の温調を行なう温調装置をさらに有し、
前記温調が行なわれた液体が前記供給口から供給される請求項３９〜４５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項４７】
工場配管を介して供給される液体の流量を調整する調整機構をさらに備え、
前記調整機構により流量が調整された液体が、前記所定の物質を溶解させる装置に流入することを特徴とする請求項３９〜４６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項４８】
前記投影光学系を介した光は紫外域の光を含む請求項３９〜４７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項４９】
投影光学系と液体とを介して基板を露光する露光装置に用いられる液体供給方法であって、
撥液膜の劣化を抑制するため液体に所定の物質を溶解させる工程と、
前記所定の物質が溶解された液体を、前記投影光学系下に位置付けられた撥液膜上に供給して液浸領域を形成する工程と、を含み、
前記投影光学系と前記液浸領域を介した光が前記撥液膜に照射される液体供給方法。
【請求項５０】
前記所定物質は前記液体に溶解可能なガスを含む請求項４９に記載の液体供給方法。
【請求項５１】
前記溶解可能なガスは、炭酸ガスまたは塩素を含む請求項５０に記載の液体供給方法。
【請求項５２】
前記撥液膜は、前記基板の表面の撥液膜を含む請求項４９〜５１のいずれか一項に記載の液体供給方法。
【請求項５３】
前記露光装置は、透過部材と該透過部材の上面に形成される撥液膜を含んで前記投影光学系を介した光を計測するセンサーをさらに有し、
前記ステージの上面の一部に、前記撥液膜が形成された透過部材が配置され、
前記投影光学系下に位置付けられた撥液膜は、前記透過部材の上面の撥液膜を含む請求項４９〜５２のいずれか一項に記載の液体供給方法。
【請求項５４】
前記露光装置は、前記基板を保持する基板ステージを含み、
前記投影光学系下に位置付けられた撥液膜は、前記基板ステージの上面に設けられる撥液膜を含む請求項４９〜５３のいずれか一項に記載の液体供給方法。
【請求項５５】
前記基板ステージの上面と前記基板の上面が同じ高さとなるように、前記基板が前記基板ステージに保持される請求項５４に記載の液体供給方法。
【請求項５６】
前記所定の物質が溶解した液体の温調を行う工程をさらに有し、
前記温調が行なわれた液体が前記撥液膜上に供給される請求項４９〜５５のいずれか一項に記載の液体供給方法。
【請求項５７】
工場配管を介して供給される液体の流量を調整する工程をさらに有し、
前記流量が調整された液体に対して前記所定の物質が溶解されることを特徴とする請求項４９〜５６のいずれか一項に記載の液体供給方法。
【請求項５８】
前記投影光学系を介した光は紫外域の光を含む請求項４９〜５７のいずれか一項に記載の液体供給方法。