【手続補正書】
【提出日】平成25年6月19日(2013.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給先へ供給される供給液が貯留される供給液貯留部と、
前記供給先と前記供給液貯留部とを連通させる液供給路と、
前記液供給路に設けられ、前記液供給路内の供給液の物性を計測する計測装置と、
前記液供給路内の液を加圧する液供給路加圧手段と、
前記計測装置の前記液供給路内の液と接触する接液部の洗浄に用いられる洗浄液が貯留される洗浄液貯留部と、
前記洗浄液貯留部及び前記液供給路と連通され、前記洗浄液貯留部から前記計測装置の接液部に対して前記供給液貯留部を介さずに洗浄液を直接供給する洗浄液供給路と、
前記洗浄液供給路内の洗浄液を加圧する洗浄液供給路加圧手段と、
前記計測装置の接液部に洗浄液が供給されるときは、前記供給液貯留部から前記供給先へ供給液が供給されるときよりも前記液供給路内の液の流速を上げるように、前記液供給路加圧手段及び前記洗浄液供給路加圧手段のうち少なくともいずれか一方の動作を制御する加圧制御手段と、
を備えたことを特徴とする液供給装置。
【請求項２】
前記液供給路加圧手段は、前記液供給路における液の流れ方向を切り換え可能に構成され、
前記加圧制御手段は、前記計測装置の接液部へ洗浄液が供給されると、前記液供給路における液の流れ方向が所定時間間隔で切り換えられるように前記液供給路加圧手段の動作を制御することを特徴とする請求項１に記載の液供給装置。
【請求項３】
前記計測装置の接液部へ供給される洗浄液の温度が前記供給先へ供給される供給液の温度よりも高くなるように、前記洗浄液の温度を調整する温度調整手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の液供給装置。
【請求項４】
前記液供給路と連通し、前記計測装置の接液部へ供給された洗浄液を廃液貯留部へ排出させる洗浄液排出路と、
前記洗浄液排出路に設けられ、前記液供給路から前記廃液貯留部へ向かう方向に洗浄液を流す構造を有する逆止弁と、
を備えたことを特徴とする請求項２又は３に記載の液供給装置。
【請求項５】
前記逆止弁は、前記洗浄液排出路内の圧力が所定の圧力を超えると、前記液供給路から前記廃液貯留部へ向かう方向に洗浄液を流す構造を有するリリーフ弁であることを特徴とする請求項４に記載の液供給装置。
【請求項６】
前記液供給路加圧手段は、前記液供給路と前記洗浄液供給路が連通される位置よりも前記計測装置側に配設されるとともに、前記洗浄液供給路加圧手段と兼用されることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の液供給装置。
【請求項７】
前記洗浄液供給路に設けられ、前記洗浄液供給路の開閉を切り換える洗浄液供給路開閉手段と、
前記液供給路の前記供給液貯留部と前記液供給路加圧手段との間に設けられ、前記液供給路の開閉を切り換える液供給路開閉手段と、
前記計測装置の接液部へ洗浄液が供給されるときは、前記洗浄液供給路開閉手段が開かれるとともに前記液供給路開閉手段が閉じられるように、前記液供給路開閉手段及び前記洗浄液供給路開閉手段の動作を制御する開閉制御手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の液供給装置。
【請求項８】
前記洗浄液は、前記供給液を希釈させる希釈液と兼用されることを特徴する請求項１から７のいずれか１項に記載の液供給装置。
【請求項９】
前記供給液を希釈させる希釈液が貯留される希釈液貯留部と、
前記希釈液貯留部及び前記液供給路と連通する希釈液供給路と、
前記希釈液供給路に設けられ、前記希釈液供給路を開閉させる希釈液供給路開閉手段と、
を備え、
前記開閉制御手段は、前記洗浄液供給路開閉手段が開かれて前記計測装置の接液部へ前記供給液貯留部を介さずに洗浄液が供給された後に、前記洗浄液供給路が閉じられるとともに前記希釈液供給路開閉手段が開かれて、前記計測装置の接液部へ希釈液が供給されるように、前記洗浄液供給路開閉手段及び前記希釈液供給路開閉手段の動作を制御することを特徴とする請求項８に記載の液供給装置。
【請求項１０】
前記供給先から前記供給液貯留部へ供給液を循環させる循環路と、
前記循環路に設けられ、前記循環路内の液を加圧する循環路加圧手段と、
を備え、
前記加圧制御手段は、前記循環路内の液の流速が前記液供給路内の液の流速を超えるように前記液供給路加圧手段及び前記循環路加圧手段の動作を制御することを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の液供給装置。
【請求項１１】
前記計測装置は、前記液供給路内の供給液の濃度を検知する濃度計であることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の液供給装置。
【請求項１２】
前記液供給路は、前記計測装置の接液面に液を送る入路と、
前記計測装置の接液面から液が送られる出路と、
を備え、
前記計測装置の接液面と前記入路とは３０度以上９０度以下の角度をなし、前記計測装置の接液面と前記出路とは３０度以上９０度以下の角度をなす構造を有することを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の液供給装置。
【請求項１３】
媒体へ塗布液を塗布する塗布部と、
前記塗布部へ供給される塗布液が貯留される塗布液貯留部と、
前記塗布部及び前記塗布液貯留部と連通される液供給路と、
前記液供給路に設けられ、前記液供給路内の塗布液の物性を計測する計測装置と、
前記液供給路内の液を加圧する液供給路加圧手段と、
前記計測装置の前記液供給路内の液と接触する接液部の洗浄に用いられる洗浄液が貯留される洗浄液貯留部と、
前記洗浄液貯留部及び前記液供給路と連通され、前記洗浄液貯留部から前記計測装置の接液部に対して前記塗布液貯留部を介さずに洗浄液を直接供給する洗浄液供給路と、
前記洗浄液供給路内の洗浄液を加圧する洗浄液供給路加圧手段と、
前記計測装置の接液部に洗浄液が供給されるときは、前記塗布液貯留部から前記供給先へ供給液が供給されるときよりも前記液供給路内の液の流速を上げるように、前記液供給路加圧手段及び前記洗浄液供給路加圧手段のうち少なくともいずれか一方の動作を制御する加圧制御手段と、
を備えたことを特徴とする塗布装置。
【請求項１４】
供給先へ供給される供給液が貯留される供給液貯留部から、前記供給先及び前記供給液貯留部と連通する液供給路を介して前記供給先へ供給液を供給する液供給装置において、
前記液供給路に設けられ、前記液供給路内の供給液の物性を計測する計測装置の前記液供給路内の液と接触する接液部へ洗浄液が前記供給液貯留部を介さずに直接供給され、
前記計測装置の接液部に洗浄液が供給されるときは、前記供給液貯留部から前記供給先へ供給液が供給されるときよりも前記液供給路内の液の流速を上げることを特徴とする計測装置洗浄方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５１】
（発明１３）：媒体へ塗布液を塗布する塗布部と、前記塗布部へ供給される塗布液が貯留される塗布液貯留部と、前記塗布部及び前記塗布液貯留部と連通される液供給路と、前
記液供給路に設けられ、前記液供給路内の塗布液の物性を計測する計測装置と、前記液供給路内の液を加圧する液供給路加圧手段と、前記計測装置の前記液供給路内の液と接触する接液部の洗浄に用いられる洗浄液が貯留される洗浄液貯留部と、前記洗浄液貯留部及び前記液供給路と連通され、前記洗浄液貯留部から前記計測装置の接液部に対して前記塗布液貯留部を介さずに洗浄液を直接供給する洗浄液供給路と、前記洗浄液供給路内の洗浄液を加圧する洗浄液供給路加圧手段と、前記計測装置の接液部に洗浄液が供給されるときは、前記塗布液貯留部から前記供給先へ供給液が供給されるときよりも前記液供給路内の液の流速を上げるように、前記液供給路加圧手段及び前記洗浄液供給路加圧手段のうち少なくともいずれか一方の動作を制御する加圧制御手段と、を備えたことを特徴とする塗布装置。