(57)【要約】【課題】剥離方向に長い貼付領域が面の状態で一度に起き上がろうとすることを防止することができるシート剥離装置を提供すること。【解決手段】シート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに剥離用テープＰＴを貼付する貼付機構１０と、剥離用テープＰＴと被着体ＷＫとを所定の剥離方向に相対移動させて被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する移動機構２０とを備え、貼付機構１０は、剥離方向に交差する交差方向に延設された押圧部１２Ｅが当該剥離方向に複数設けられた押圧部材１２Ｄを備え、剥離用テープＰＴを線接触によって断続的に接着シートＡＳに貼付する。【選択図】図１
0003220900.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付する貼付機構と、
前記剥離用テープと前記被着体とを所定の剥離方向に相対移動させて前記被着体から前記接着シートを剥離する移動機構とを備え、
前記貼付機構は、前記剥離方向に交差する交差方向に延設された押圧部が当該剥離方向に複数設けられた押圧部材を備え、前記剥離用テープを線接触によって断続的に前記接着シートに貼付することを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付する貼付機構と、
前記剥離用テープと前記被着体とを所定の剥離方向に相対移動させて前記被着体から前記接着シートを剥離する移動機構とを備え、
前記貼付機構は、前記剥離方向に交差する交差方向に点在された押圧部が当該剥離方向に複数設けられた押圧部材を備え、前記剥離用テープを点接触によって断続的に前記接着シートに貼付することを特徴とするシート剥離装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、シート剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、剥離用テープと被着体とを相対移動させて被着体から接着シートを剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１６８６２号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された保護シート剥離装置（シート剥離装置）では、ウエハＷ（被着体）から保護シートＦ（接着シート）を剥離する剥離方向に長いヒーター工具５０５（押圧部材）で、接着テープＴ（剥離用テープ）を接着シートに貼付するため、当該剥離用テープと接着シートとの接着領域も剥離方向に長いものとなる。従って、被着体から接着シートを剥離する際、剥離方向に長い貼付領域が面の状態で一度に起き上がろうとし、この一度に起き上がろうとする面状の貼付領域につられて被着体も起き上がろうとするので、当該被着体が破損するおそれがある。
【０００５】
本考案の目的は、剥離方向に長い貼付領域が面の状態で一度に起き上がろうとすることを防止することができるシート剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は、請求項に記載した構成を採用した。
【考案の効果】
【０００７】
本考案によれば、剥離方向に交差する交差方向に延びる線接触または点接触によって、剥離用テープを断続的に接着シートに貼付するので、剥離方向に長い貼付領域が面の状態で一度に起き上がろうとすることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）〜（Ｃ）は、本考案の一実施形態に係るシート剥離装置の説明図。（Ｄ）は、本考案の変形例に係るシート剥離装置の説明図。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１において、シート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに剥離用テープＰＴを貼付する貼付機構１０と、剥離用テープＰＴと被着体ＷＫとを所定の剥離方向（左右方向）に相対移動させて被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する移動機構２０とを備えている。
【００１１】
貼付機構１０は、感熱接着性の剥離用テープＰＴを繰り出す繰出機構１１と、接着シートＡＳに剥離用テープＰＴを押圧して貼付する押圧機構１２と、剥離用テープＰＴを所定長さに切断する切断機構１３と、駆動機器としての直動モータ１４の出力軸１４Ａに支持され、当該貼付機構１０を構成する前述の各機構を直接的または間接的に支持するフレーム１５とを備え、剥離用テープＰＴを線接触によって断続的に接着シートＡＳに貼付する構成となっている。
繰出機構１１は、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ１１Ａと、駆動機器としての回動モータ１１Ｂの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１１Ｃとで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ１１Ｄと、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ１１Ｅと、駆動機器としてのリニアモータ１１Ｆのスライダ１１Ｇに支持されたスライドプレート１１Ｈと、駆動機器としての直動モータ１１Ｊの出力軸１１Ｋに回転可能に支持された押えローラ１１Ｌと、駆動機器としてのリニアモータ１１Ｍのスライダ１１Ｎに支持され、一対の把持爪１１Ｐを有する保持機構であって駆動機器としてのチャックシリンダ１１Ｑとを備えている。
押圧機構１２は、駆動機器としての直動モータ１２Ａと、その出力軸１２Ｂに支持されたコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱機構１２Ｃと、加熱機構１２Ｃに支持され、剥離方向に交差する交差方向（前後方向）に延設された押圧部１２Ｅ（図１（Ａ）中ＡＡ参照）が当該剥離方向に複数設けられた押圧部材１２Ｄとを備えている。
切断機構１３は、駆動機器としての直動モータ１３Ａと、その出力軸１３Ｂに支持された切断刃１３Ｃと、切断刃１３Ｃを受ける受け板１３Ｄとを備えている。
【００１２】
移動機構２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１と、そのスライダ２１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧機構（保持機構）によって吸着保持が可能な保持面２２Ａを有するテーブル２２とを備えている。
【００１３】
以上のシート剥離装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置ＥＡに対し、当該シート剥離装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が剥離用テープＰＴを同図に示すようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作機器を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付機構１０が加熱機構１２Ｃを駆動し、シート剥離装置ＥＡの自動運転が行われている間、押圧部材１２Ｄを所定の温度に加熱してその温度を維持する。そして、使用者またはベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送機構が、図１（Ａ）に示すように、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを保持面２２Ａ上に載置すると、移動機構２０が図示しない減圧機構を駆動し、保持面２２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。
【００１４】
次いで、貼付機構１０がリニアモータ１１Ｆを駆動し、スライドプレート１１Ｈを右方に移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、一対の把持爪１１Ｐ間に剥離用テープＰＴを繰り出す。その後、貼付機構１０が直動モータ１１Ｊを駆動し、押えローラ１１Ｌを上方に退避させた後、リニアモータ１１Ｆを駆動し、一対の把持爪１１Ｐ間に剥離用テープＰＴを置き去りにしてスライドプレート１１Ｈを初期位置に復帰させる。次に、貼付機構１０がチャックシリンダ１１Ｑを駆動し、把持爪１１Ｐで剥離用テープＰＴを把持した後、リニアモータ１１Ｍを駆動し、チャックシリンダ１１Ｑを右方に移動させ、剥離用テープＰＴを引き出す。
【００１５】
そして、貼付機構１０が直動モータ１２Ａを駆動し、押圧部材１２Ｄを下降させ、図１（Ｂ）に示すように、押圧部１２Ｅで剥離用テープＰＴを接着シートＡＳの外縁部に押圧して貼付する。これにより、剥離用テープＰＴは、各押圧部１２Ｅで押圧されているそれぞれの領域が独立し、接着シートＡＳにそれぞれ線接触状態で断続的に貼付されることとなる。次いで、貼付機構１０が直動モータ１１Ｊを駆動し、押えローラ１１Ｌを初期位置に復帰させた後、直動モータ１３Ａを駆動し、図１（Ｂ）に示すように、切断刃１３Ｃを下降させて剥離用テープＰＴを切断する。その後、貼付機構１０が直動モータ１２Ａ、１３Ａを駆動し、押圧部材１２Ｄおよび切断刃１３Ｃを初期位置に復帰させる。次に、貼付機構１０が直動モータ１４を駆動し、フレーム１５を上方に退避させた後、リニアモータ１１Ｍを駆動し、チャックシリンダ１１Ｑを左方に移動させるとともに、移動機構２０がリニアモータ２１を駆動し、テーブル２２を右方に移動させる。これにより、図１（Ｃ）に示すように、剥離用テープＰＴと被着体ＷＫとが相対移動し、接着シートＡＳが被着体ＷＫから剥離される。
【００１６】
被着体ＷＫから接着シートＡＳ全体が剥離されると、移動機構２０がリニアモータ２１および図示しない減圧機構の駆動を停止し、保持面２２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。そして、貼付機構１０がチャックシリンダ１１Ｑを駆動し、把持爪１１Ｐによる剥離用テープＰＴの把持を解除して、剥離した接着シートＡＳを回収する箱や袋等の図示しない回収機構や使用者に接着シートＡＳを受け渡す。次いで、使用者または図示しない搬送機構が被着体ＷＫを次工程に搬送した後、各機構がそれぞれの駆動機器を駆動し、それぞれの部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００１７】
以上のような実施形態によれば、剥離方向に交差する交差方向に延びる線接触によって、剥離用テープＰＴを断続的に接着シートＡＳに貼付するので、剥離方向に長い貼付領域が面の状態で一度に起き上がろうとすることを防止することができる。
【００１８】
以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。
【００１９】
貼付機構１０は、図１（Ｄ）に示すように、押圧部材１２Ｄの代わりに、剥離方向に交差する交差方向（前後方向）に点在された押圧部１２Ｇが当該剥離方向に複数設けられた押圧部材１２Ｆを採用し、剥離用テープＰＴを点接触によって断続的に接着シートＡＳに貼付する構成としてもよし、押圧部１２Ｅ、１２Ｇが前後方向と左右方向との両方向に交差する方向に複数設けられた押圧部材１２Ｄ、１２Ｆが採用されてもよいし、先端が尖った押圧部１２Ｅ、１２Ｇを有する押圧部材１２Ｄ、１２Ｆが採用されてもよいし、押圧部１２Ｅ、１２Ｇに設けられる押圧部１２Ｅ、１２Ｇの数は、２つ以上であればいくつでもよいし、剥離方向に交差する交差方向は、剥離方向に対して１度、４５度、９０度、１７０度等、どのような角度で交差していてもよいし、帯状の剥離用テープＰＴを切断することなく接着シートＡＳに貼付してもよいし、枚葉の剥離用テープＰＴを接着シートＡＳに貼付してもよく、この場合、切断機構１３はあってもよいし、なくてもよい。
貼付機構１０は、感圧接着性の剥離用テープＰＴが採用されてもよく、この場合、加熱機構１２Ｃはあってもよいし、なくてもよい。
押圧機構１２は、放電加熱器、マイクロ波照射装置、温風吹付装置等の加熱機構を採用してもよいし、加熱機構に代えてまたは併用して、押圧部材１２Ｄを振動させる超音波振動装置やバイブレータ等の振動機構を備えてもよい。
【００２０】
移動機構２０は、チャックシリンダ１１Ｑを移動させずにまたは移動させつつ、被着体ＷＫを移動させて当該被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離してもよいし、所定の剥離方向を左右方向としたり上下方向としたりその他の方向としたりすることができる。
【００２１】
被着体ＷＫは、シート部材を介してフレーム部材と一体化されていてもよい。
フレーム部材は、環状のものであってもよいし、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
【００２２】
本考案における接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴ、シート部材および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴまたはシート部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、接着シートＡＳ、剥離用テープＰＴまたはシート部材は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳやシート部材を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体ＷＫに貼付することができる。
【００２３】
本考案における機構および工程は、それら機構および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、移動機構は、剥離用テープと被着体とを所定の剥離方向に相対移動させて被着体から接着シートを剥離するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の機構および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面やローラ自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、各ローラの表面やローラ自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧機構や押圧部材が採用されている場合、押圧機構や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）機構や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持機構、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断機構や切断部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断したりしてもよい。
【符号の説明】
【００２４】
ＥＡ…シート剥離装置
１０…貼付機構
１２Ｄ…押圧部材
１２Ｅ…押圧部
１２Ｆ…押圧部材
１２Ｇ…押圧部
２０…移動機構
ＡＳ…接着シート
ＰＴ…剥離用テープ
ＷＫ…被着体
【図１】
0003220900.tif 000003