【手続補正書】
【提出日】平成24年12月13日(2012.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物にエッチング液を供給することにより、前記被処理物に対して所望のエッチング処理を行う際に、前記被処理物を支持する支持装置であって、
前記被処理物の被処理面の裏面側を支持する支持面と、
前記支持面に開放して前記支持面に前記被処理物を支持した状態にて、平面視で前記被処理物の縁部の少なくとも一部と重なる位置にある開口部と、
を有する支持台を備えていることを特徴とする支持装置。
【請求項２】
前記開口部から前記エッチング液を吸引する吸引手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
【請求項３】
前記開口部から気体を噴射させる噴射手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
【請求項４】
前記開口部から噴出される前記気体の噴出方向は、前記支持面の法線方向に対して、平面視で前記被処理物の外側に向けて傾いていることを特徴とする請求項３に記載の支持装置。
【請求項５】
前記開口部は、溝状であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の支持装置。
【請求項６】
前記開口部は、前記平面視で前記被処理物の縁に沿う方向に伸びていることを特徴とする請求項５に記載の支持装置。
【請求項７】
前記開口部は、前記被処理物の縁部の全周にわたって形成されていることを特徴とする請求項５または６に記載の支持装置。
【請求項８】
前記支持面に前記被処理物を固定する固定手段を有することを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一項に記載の支持装置。
【請求項９】
前記固定手段は、前記支持面に開放する少なくとも１つの吸気孔と、前記吸気孔内を減圧する吸引ポンプと、を備えていることを特徴とする請求項８に記載の支持装置。
【請求項１０】
被処理物の被処理面の裏面側を支持面に支持する支持工程と、
前記被処理物にエッチング液を供給することにより前記被処理物に対して所望のエッチング処理を行うエッチング工程と、を含み、
前記エッチング工程では、前記支持面に開放して、前記支持された前記被処理物の縁部の少なくとも一部と平面視で重なる位置に形成されている開口部から前記エッチング液を吸引することを特徴とするエッチング方法。
【請求項１１】
被処理物の被処理面の裏面側を支持面に支持する支持工程と、
前記被処理物にエッチング液を供給することにより前記被処理物に対して所望のエッチング処理を行うエッチング工程と、を含み、
前記エッチング工程では、前記支持面に開放して、前記支持された前記被処理物の縁部の少なくとも一部と平面視で重なる位置に形成されている開口部から気体を噴出させることを特徴とするエッチング方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の支持装置は、被処理物にエッチング液を供給することにより、前記被処理物に対して所望のエッチング処理を行う際に、前記被処理物を支持する支持装置であって、
前記被処理物の被処理面の裏面側を支持する支持面と、
前記支持面に開放して前記支持面に前記被処理物を支持した状態にて、平面視で前記被処理物の縁部の少なくとも一部と重なる位置にある開口部と、
を有する支持台を備えていることを特徴とする。
これにより、被処理物に対する不本意なエッチングを防止または抑制し、被処理物に対して所望のエッチング処理を行うことのできる支持装置を提供することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
［適用例２］
本発明の支持装置では、前記開口部から前記エッチング液を吸引する吸引手段を備えているのが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［適用例３］
本発明の支持装置では、前記開口部から気体を噴射させる噴射手段を備えているのが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
［適用例４］
本発明の支持装置では、前記開口部から噴出される前記気体の噴出方向は、前記支持面の法線方向に対して、平面視で前記被処理物の外側に向けて傾いているのが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
［適用例５］
本発明の支持装置では、前記開口部は、溝状であるのが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［適用例６］
本発明の支持装置では、前記開口部は、前記平面視で前記被処理物の縁に沿う方向に伸びているのが好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例７］
本発明の支持装置では、前記開口部は、前記被処理物の縁部の全周にわたって形成されているのが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［適用例８］
本発明の支持装置では、前記支持面に前記被処理物を固定する固定手段を有するのが好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［適用例９］
本発明の支持装置では、前記固定手段は、前記支持面に開放する少なくとも１つの吸気孔と、前記吸気孔内を減圧する吸引ポンプと、を備えているのが好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
［適用例１０］
本発明のエッチング方法は、被処理物の被処理面の裏面側を支持面に支持する支持工程と、
前記被処理物にエッチング液を供給することにより前記被処理物に対して所望のエッチング処理を行うエッチング工程と、を含み、
前記エッチング工程では、前記支持面に開放して、前記支持された前記被処理物の縁部の少なくとも一部と平面視で重なる位置に形成されている開口部から前記エッチング液を吸引することを特徴とする。
これにより、被処理物に対する不本意なエッチングを防止または抑制し、被処理物に対して所望のエッチング処理を行うことのできるエッチング方法を提供することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
［適用例１１］
本発明のエッチング方法は、被処理物の被処理面の裏面側を支持面に支持する支持工程と、
前記被処理物にエッチング液を供給することにより前記被処理物に対して所望のエッチング処理を行うエッチング工程と、を含み、
前記エッチング工程では、前記支持面に開放して、前記支持された前記被処理物の縁部の少なくとも一部と平面視で重なる位置に形成されている開口部から気体を噴出させることを特徴とする。
これにより、被処理物に対する不本意なエッチングを防止または抑制し、被処理物に対して所望のエッチング処理を行うことのできるエッチング方法を提供することができる。