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【手続補正書】
【提出日】平成25年5月14日(2013.5.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
更に適宜、表示装置６は、自動再生制御中である旨、再生スイッチ３８の操作を促す警告等、車体情報のうち再生に係る情報も表示する。スピーカー６ｃは、表示画面６ａの内容を音声出力してもよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
ステップＳ１１において、推定堆積量が第１閾値より多いと判定すると、オペレータに再生スイッチ３８の操作を促す警告信号を出力する。これにより、手動再生を促す旨の警告が表示画面６ａに表示される（ステップＳ１２）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
そして、再生スイッチ３８が操作された（再生スイッチＯＮ）かどうかを判定し（ステップＳ１３）、再生スイッチ３８が操作されていない（再生スイッチＯＦＦ）と判定されると、再生スイッチ３８が操作されるまで、警告表示を継続するとともに、警告音に係る制御を行う（以下詳述）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
ステップＳ１３において、再生スイッチ３８が操作された（再生スイッチＯＮ）と判定されると、手動再生制御を開始する（ステップＳ１３）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
ステップＳ１３において、再生スイッチ３８が操作された（再生スイッチＯＮ）と判定されると、手動再生制御を開始する（ステップＳ１３）。一方、第３警告音出力後、所定時間経過しても再生がおこなわれない場合、過度に堆積したＰＭが一気に燃焼し、フィルタ温度が異常上昇してフィルタを損傷させるおそれがあるため、再生を禁止する（別制御のため図示せず）。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０９】
１  ディーゼルエンジン
１ａ  電子ガバナ
２  エンジンコントロールダイヤル
３  回転数検出装置
４  コントローラ
５  キースイッチ
６  表示装置
６ａ  表示画面
６ｂ  操作スイッチ
６ｃ  スピーカー
７  ゲートロックレバー
８  位置検出センサ
１１  油圧ポンプ
１２  パイロットポンプ
１３  油圧モータ
１４，１５  油圧シリンダ
１７〜１９  流量制御弁
２０  パイロット油圧源
２１  パイロットリリーフ弁
２２  メインリリーフ弁
２３  電磁切換弁
２４  パイロット油路
２５，２６，２７  リモコン弁
２８，２９  操作レバー
３１  排気管
３２  フィルタ
３３  酸化触媒
３４  ＤＰＦ装置
３６  差圧検出装置
３７  排気温度検出装置
３８  再生スイッチ
３９  再生用燃料噴射装置
４１  車体コントローラ
４１ａ  動作状態判別機能
４１ｂ  警告音変更機能
４１ｃ  メモリ
４１ｄ  経過時間換算機能（第２実施形態）
４２  エンジンコントローラ
４２ａ  手動再生制御機能
４３  表示コントローラ
４４  通信ライン
４６  シャトル弁群
４７  圧力センサ
１００  下部走行体
１０１  上部旋回体
１０２  フロント作業機
１０３ａ，１０３ｂ  クローラ式走行装置
１０４ａ，１０４ｂ  走行モータ
１０５  旋回モータ
１０６  エンジンルーム
１０７  キャビン
１０８  運転席
１１１  ブーム
１１２  アーム
１１３  バケット
１１４  ブームシリンダ
１１５  アームシリンダ
１１６  バケットシリンダ
【手続補正書】
【提出日】平成25年10月8日(2013.10.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
乗員の着座を検知する感圧スイッチを構成する複数の被接離部が所定間隔を空けて形成されるとともに該被接離部間を接続するスイッチ配線が形成された帯状の第１フィルムと、前記第１フィルムと対向配置され、前記感圧スイッチを構成し前記被接離部にそれぞれ接離する複数の接離部が形成された帯状の第２フィルムと、前記第１フィルム及び第２フィルムの間に配置され、前記複数の感圧スイッチに対向する位置に夫々貫通穴が形成されるとともに、前記各貫通穴に連通して大気に連通する空気通路が形成された帯状の離隔部材と、を備えた着座荷重検出装置であって、
前記離隔部材には、前記着座荷重検出装置が車両用シートの着座面に湾曲して取り付けられる湾曲部と該湾曲部に対して最も近くに位置する前記感圧スイッチとの間に、前記第１フィルム及び第２フィルム間に生じる周長差による歪を吸収する逃げ穴が設けられ、
前記離隔部材の長手方向に沿う前記逃げ穴の長手方向の長さが、前記長手方向に直角な前記逃げ穴の幅方向の長さより長く形成されている着座荷重検出装置。
【請求項２】
請求項１において、前記逃げ穴が、第１及び第２フィルムの少なくとも一方に形成された連通穴、又は前記空気通路に連通している着座荷重検出装置。
【請求項３】
請求項１において、前記逃げ穴は、前記離隔部材のみに設けられ、前記第１及び第２フィルムにより閉塞されている着座荷重検出装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項において、前記逃げ穴の前記着座荷重検出装置の長手方向に沿った長さが、前記貫通穴の前記着座荷重検出装置の長手方向に沿った長さよりも長い着座荷重検出装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項において、前記逃げ穴の前記着座荷重検出装置の幅方向に沿った長さが、前記着座荷重検出装置の幅寸法の半分以上である着座荷重検出装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項において、前記逃げ穴は、長方形状、楕円形状或いは六角形状である着座荷重検出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記の課題を解決するために、請求項１に係る発明の構造上の特徴は、乗員の着座を検知する感圧スイッチを構成する複数の被接離部が所定間隔を空けて形成されるとともに該被接離部間を接続するスイッチ配線が形成された帯状の第１フィルムと、前記第１フィルムと対向配置され、前記感圧スイッチを構成し前記被接離部にそれぞれ接離する複数の接離部が形成された帯状の第２フィルムと、前記第１フィルム及び第２フィルムの間に配置され、前記複数の感圧スイッチに対向する位置に夫々貫通穴が形成されるとともに、前記各貫通穴に連通して大気に連通する空気通路が形成された帯状の離隔部材と、を備えた着座荷重検出装置であって、前記離隔部材には、前記着座荷重検出装置が車両用シートの着座面に湾曲して取り付けられる湾曲部と該湾曲部に対して最も近くに位置する前記感圧スイッチとの間に、前記第１フィルム及び第２フィルム間に生じる周長差による歪を吸収する逃げ穴が設けられ、前記離隔部材の長手方向に沿う前記逃げ穴の長手方向の長さが、前記長手方向に直角な前記逃げ穴の幅方向の長さより長く形成されていることである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項５に係る発明の構成上の特徴は、請求項１乃至４のいずれか１項において、前記逃げ穴の前記着座荷重検出装置の幅方向に沿った長さが、前記着座荷重検出装置の幅寸法の半分以上であることである。
請求項６に係る発明の構成上の特徴は、請求項１乃至５のいずれか１項において、前記逃げ穴は、長方形状、楕円形状或いは六角形状であることである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項１に係る発明によると、第１フィルム及び第２フィルムと両フィルムの間に配設された離隔部材とから主に形成された着座荷重検出装置が、車両用シートに湾曲して取り付けられると、湾曲したときに内側となるフィルムと外側となるフィルムとの間に周長差が生じる。そのため、従来は第１フィルムと第２フィルムとが離隔部材に接着されていない貫通穴に対応する被接離部及び接離部において、第１フィルム及び第２フィルムのいずれか又は両方が、互いに離間する方向に膨らむか、互いに接近する方向に縮む等の歪が生じる。しかし、本件発明においては、湾曲部の最も近くに位置する感圧スイッチと湾曲部との間に離隔部材に逃げ穴を設けており、この逃げ穴は離隔部材の長手方向に沿う逃げ穴の長手方向の長さが、長手方向に直角な逃げ穴の幅方向の長さより長く形成されている。そして、この逃げ穴が前述の歪を吸収するので、感圧スイッチの被接離部と接離部との離間距離が前記歪によって変化することを防止できる。これによって、着座荷重検出装置が湾曲されて配置された場合にも、乗員の着座荷重を高い精度で検出することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項５に係る発明によると、逃げ穴の着座荷重検出装置の幅方向に沿った長さが、着座荷重検出装置の幅寸法の半分以上であることから、前記湾曲部側から前記感圧スイッチ側に伝播される前記歪を前記逃げ穴で充分に吸収して、感圧スイッチに対する前記歪の影響を減少させることができる。
請求項６に係る発明によると、逃げ穴は、長方形状、楕円形状或いは六角形状に基づいて、第１フィルム及び第２フィルム間に生じる周長差による歪を吸収することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成25年2月14日(2013.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の回転機械と、
対応する回転機械の回転周波数を可変制御する複数のインバータと、
前記複数のインバータを制御する制御部とを備え、
前記制御部は、それぞれが前記複数のインバータを単独で制御可能な複数の制御基板を備え、
前記複数の制御基板は相互に通信監視するように互いに接続されており、
運転中に一の制御基板と他の制御基板との間に通信異常が発生した場合に、前記他の制御基板が前記一の制御基板をバックアップして前記複数のインバータを制御することを特徴とする回転機械装置。
【請求項２】
前記制御部は、運転中に一の制御基板と前記複数のインバータとの間に通信異常が発生した場合に、他の制御基板が前記一の制御基板をバックアップして前記複数のインバータを制御することを特徴とする請求項１に記載の回転機械装置。
【請求項３】
前記複数の制御基板は同一の構成を有することを特徴とする請求項１または２に記載の回転機械装置。
【請求項４】
前記複数の制御基板は、前記複数のインバータを制御するために必要な最低限の構成を有するバックアップ運転用の制御基板を少なくとも１つ含むことを特徴とする請求項１または２に記載の回転機械装置。
【請求項５】
前記回転機械はポンプであり、前記回転機械装置は給水装置であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の回転機械装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一態様は、複数の回転機械と、対応する回転機械の回転周波数を可変制御する複数のインバータと、前記複数のインバータを制御する制御部とを備え、前記制御部は、それぞれが前記複数のインバータを単独で制御可能な複数の制御基板を備え、前記複数の制御基板は相互に通信監視するように互いに接続されており、運転中に一の制御基板と他の制御基板との間に通信異常が発生した場合に、前記他の制御基板が前記一の制御基板をバックアップして前記複数のインバータを制御することを特徴とする回転機械装置である。上記複数の制御基板は同一の構成を有していてもよい。あるいは、上記複数の制御基板は、上記複数のインバータを制御するために必要な最低限の構成を有するバックアップ運転用の制御基板を少なくとも１つ含んでいてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月12日(2013.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
繊維材料を厚さ方向に結合剤を用いることなく積層した繊維集合体を単層或いは複数層に重ね合わせてなる芯材と、前記芯材の水分およびガス成分を吸着する吸着剤と、前記芯材と前記吸着剤とを収納する内袋と、該内袋を内部に収納する外袋とを備える真空断熱材の製造方法であって、
前記芯材を所定の第１密度範囲になるように圧縮する圧縮工程と、
前記第１密度範囲よりも低い第２密度範囲に保持した状態で前記芯材を所定の外形寸法に切断する切断工程と、
前記切断工程における前記第２密度範囲を保持したまま前記芯材を前記内袋で密封する内袋包装工程と、
前記外袋に前記内袋で密封した芯材を挿入する袋詰め工程と、
前記内袋の密封が解除された前記芯材を前記第２密度範囲に保持した状態で真空排気して前記外袋で封止する真空包装工程とを
含んで成る真空断熱材の製造方法。
【請求項２】
前記内袋は、前記密封をなす溶着部の一部に、前記密封を解除し易い易密封解除手段が設けられ、
前記袋詰め工程と真空包装工程との間に、前記内袋の密封を解除する密封解除工程を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の真空断熱材の製造方法。
【請求項３】
繊維材料を厚さ方向に結合剤を用いることなく積層した繊維集合体を単層或いは複数層に重ね合わせてなる芯材と、前記芯材の水分およびガス成分を吸着する吸着剤と、前記芯材と前記吸着剤とを収納する内袋と、該内袋を内部に収納する外袋とを備える真空断熱材であって、
前記芯材を所定の第１密度範囲になるように圧縮し、前記第１密度範囲よりも低い第２密度範囲に保持した状態で所定の外形寸法に切断し、その切断時の前記第２密度範囲を保持しながら前記芯材を前記内袋で密封したものを、前記外袋に挿入して前記第２密度範囲を保持したまま前記内袋の密封を解除するとともに、真空排気して前記外袋で封止した
ことを特徴とする真空断熱材。
【請求項４】
前記内袋の前記密封をなす溶着部の一部に、前記密封を解除する際に切断し易いような易密封解除手段を設けた
ことを特徴とする請求項３に記載の真空断熱材。
【請求項５】
前記第１密度範囲が２８０〜３７０ｋｇ／ｍ３であり、第２密度範囲が１４０〜２６０ｋｇ／ｍ３である
ことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の真空断熱材。
【請求項６】
請求項３から請求項５のうちの何れか一項に記載の真空断熱材を備えた冷蔵庫。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上記目的を達成すべく、第１の本発明に関わる真空断熱材の製造方法は、繊維材料を厚さ方向に結合剤を用いることなく積層した繊維集合体を単層或いは複数層に重ね合わせてなる芯材と、前記芯材の水分およびガス成分を吸着する吸着剤と、前記芯材と前記吸着剤とを収納する内袋と、該内袋を内部に収納する外袋とを備える真空断熱材の製造方法であって、前記芯材を所定の第１密度範囲になるように圧縮する圧縮工程と、前記第１密度範囲よりも低い第２密度範囲に保持した状態で前記芯材を所定の外形寸法に切断する切断工程と、前記切断工程における前記第２密度範囲を保持したまま前記芯材を前記内袋で密封する内袋包装工程と、前記外袋に前記内袋で密封した芯材を挿入する袋詰め工程と、前記内袋の密封が解除された前記芯材を前記第２密度範囲に保持した状態で真空排気して前記外袋で封止する真空包装工程とを含んで成る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
第２の本発明に関わる真空断熱材は、繊維材料を厚さ方向に結合剤を用いることなく積層した繊維集合体を単層或いは複数層に重ね合わせてなる芯材と、前記芯材の水分およびガス成分を吸着する吸着剤と、前記芯材と前記吸着剤とを収納する内袋と、該内袋を内部に収納する外袋とを備える真空断熱材であって、前記芯材を所定の第１密度範囲になるように圧縮し、前記第１密度範囲よりも低い第２密度範囲に保持した状態で所定の外形寸法に切断し、その切断時の前記第２密度範囲を保持しながら前記芯材を前記内袋で密封したものを、前記外袋に挿入して前記第２密度範囲を保持したまま前記内袋の密封を解除するとともに、真空排気して前記外袋で封止している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
第３の本発明に関わる冷蔵庫は、第２の本発明に関わる真空断熱材を備えている。
【手続補正書】
【提出日】平成25年7月10日(2013.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉容器内に、圧縮機構部と、前記圧縮機構部を駆動する電動機と、前記圧縮機構部を潤滑する冷凍機油とを備えるスクロール圧縮機であって、
圧縮機構部は、
板状渦巻歯が設けられた固定スクロールと、
前記固定スクロールの前記板状渦巻歯と組み合わされ圧縮室を形成する板状渦巻歯が設けられた揺動スクロールと、
前記揺動スクロールの自転を防止するオルダムリングと、
前記電動機に固定されて、前記揺動スクロールを駆動する主軸と、
前記密閉容器に固定され、前記主軸を半径方向に支えるとともに前記固定スクロールと締結されて結合されるガイドフレームと、
前記固定スクロールの外周から前記圧縮室に貫通し冷媒を前記圧縮室に導く吸入ポートと、
前記ガイドフレームに設けられ前記吸入ポートに連通するリリーフポートと、
前記リリーフポートに設けられ、当該スクロール圧縮機の停止時に当該圧縮機構部に侵入した液冷媒の自重により開き、前記液冷媒を前記密閉容器内の空間に流出させるリリーフバルブ機構と、を備えたことを特徴とするスクロール圧縮機。
【請求項２】
前記リリーフバルブ機構は、前記ガイドフレームに設けられたリリーフポート弁座面と、前記リリーフポート弁座面に設けられたリリーフバルブとを備え、前記リリーフバルブと前記リリーフポート弁座面との間に所定の隙間が設けられたことを特徴とする請求項１記載のスクロール圧縮機。
【請求項３】
前記ガイドフレームは、前記リリーフバルブ機構を収納するバルブ溝を備え、前記リリーフバルブの反り方向が前記リリーフポート弁座面を塞ぐ場合は、前記リリーフバルブ機構を前記バルブ溝に収納できないように、前記リリーフバルブ機構の固定ボルト穴を幅方向に中心からずらすことを特徴とする請求項２記載のスクロール圧縮機。
【請求項４】
前記圧縮機構部はコンプライアントフレームを備え、前記ガイドフレームの前記リリーフポートに液冷媒を導くコンプライアントフレーム側リリーフポートを1個以上設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のスクロール圧縮機。
【手続補正書】
【提出日】平成24年12月25日(2012.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
学習に用いる学習画像から第一の特徴ベクトルを抽出する第一の特徴ベクトル抽出手段と、
前記抽出された前記第一の特徴ベクトルを、第一の分類手法に基づいて第一の集合に分類する第一の分類手段と、
前記第一の集合に分類された特徴ベクトルの代表ベクトルを生成する代表ベクトル生成手段と、
前記生成された代表ベクトルを前記第一の分類手法とは異なる第二の分類手法に基づいて第二の集合に分類する第二の分類手段と、
入力された識別対象の画像から第二の特徴ベクトルを抽出する第二の特徴ベクトル抽出手段と、
前記抽出された第二の特徴ベクトルに、前記代表ベクトルを割り当てる代表ベクトル割り当て手段と、
割り当てられた前記代表ベクトルが分類されている第二の集合のインデックスを、前記第二の特徴ベクトルに割り当てるインデックス割り当て手段と、
前記インデックス割り当て手段により割り当てられたインデックスの出現頻度を示す情報を出力する出力手段と、
を備えることを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記第二の分類手段は、前記代表ベクトル生成手段により生成された前記代表ベクトルと、前記第二の集合とを対応づけるルックアップテーブルを生成することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記インデックス割り当て手段は、前記ルックアップテーブルを参照して、前記代表ベクトルが分類されている前記第二の集合を特定するための前記インデックスを、前記第二の特徴ベクトルに割り当てることを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記代表ベクトル割り当て手段は、前記第二の特徴ベクトルと、前記代表ベクトルとの間の距離を用いて、前記第二の特徴ベクトルに割り当てる代表ベクトルを決定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記代表ベクトル割り当て手段は、前記第二の特徴ベクトルに対して最も距離の近い代表ベクトルを前記第二の特徴ベクトルに割り当てることを特徴とする請求項４に記載の画像処理装置。
【請求項６】
画像処理装置の画像処理方法であって、
第一の特徴ベクトル抽出手段が、学習に用いる学習画像から第一の特徴ベクトルを抽出する第一の特徴ベクトル抽出工程と、
第一の分類手段が、前記抽出された前記第一の特徴ベクトルを、第一の分類手法に基づいて第一の集合に分類する第一の分類工程と、
代表ベクトル生成手段が、前記第一の集合に分類された特徴ベクトルの代表ベクトルを生成する代表ベクトル生成工程と、
第二の分類手段が、前記生成された代表ベクトルを前記第一の分類手法とは異なる第二の分類手法に基づいて第二の集合に分類する第二の分類工程と、
第二の特徴ベクトル抽出手段が、入力された識別対象の画像から第二の特徴ベクトルを抽出する第二の特徴ベクトル抽出工程と、
代表ベクトル割り当て手段が、前記抽出された前記第二の特徴ベクトルに、前記代表ベクトルを割り当てる代表ベクトル割り当て工程と、
インデックス割り当て手段が、割り当てられた前記代表ベクトルが分類されている第二の集合のインデックスを、前記第二の特徴ベクトルに割り当てるインデックス割り当て工程と、
出力手段が、前記インデックス割り当て工程により割り当てられたインデックスの出現頻度を示す情報を出力する出力工程と、
を有することを特徴とする画像処理方法。
【請求項７】
コンピュータを、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の画像処理装置の各手段として機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の一つの側面に係る画像処理装置は、学習に用いる学習画像から第一の特徴ベクトルを抽出する第一の特徴ベクトル抽出手段と、
前記抽出された前記第一の特徴ベクトルを、第一の分類手法に基づいて第一の集合に分類する第一の分類手段と、
前記第一の集合に分類された特徴ベクトルの代表ベクトルを生成する代表ベクトル生成手段と、
前記生成された代表ベクトルを前記第一の分類手法とは異なる第二の分類手法に基づいて第二の集合に分類する第二の分類手段と、
入力された識別対象の画像から第二の特徴ベクトルを抽出する第二の特徴ベクトル抽出手段と、
前記抽出された第二の特徴ベクトルに、前記代表ベクトルを割り当てる代表ベクトル割り当て手段と、
割り当てられた前記代表ベクトルが分類されている第二の集合のインデックスを、前記第二の特徴ベクトルに割り当てるインデックス割り当て手段と、
前記インデックス割り当て手段により割り当てられたインデックスの出現頻度を示す情報を出力する出力手段と、
を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
あるいは、本発明の他の側面に係る画像処理方法は、画像処理装置の画像処理方法であって、
第一の特徴ベクトル抽出手段が、学習に用いる学習画像から第一の特徴ベクトルを抽出する第一の特徴ベクトル抽出工程と、
第一の分類手段が、前記抽出された前記第一の特徴ベクトルを、第一の分類手法に基づいて第一の集合に分類する第一の分類工程と、
代表ベクトル生成手段が、前記第一の集合に分類された特徴ベクトルの代表ベクトルを生成する代表ベクトル生成工程と、
第二の分類手段が、前記生成された代表ベクトルを前記第一の分類手法とは異なる第二の分類手法に基づいて第二の集合に分類する第二の分類工程と、
第二の特徴ベクトル抽出手段が、入力された識別対象の画像から第二の特徴ベクトルを抽出する第二の特徴ベクトル抽出工程と、
代表ベクトル割り当て手段が、前記抽出された前記第二の特徴ベクトルに、前記代表ベクトルを割り当てる代表ベクトル割り当て工程と、
インデックス割り当て手段が、割り当てられた前記代表ベクトルが分類されている第二の集合のインデックスを、前記第二の特徴ベクトルに割り当てるインデックス割り当て工程と、
出力手段が、前記インデックス割り当て工程により割り当てられたインデックスの出現頻度を示す情報を出力する出力工程と、
を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成24年12月25日(2012.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報処理装置と印刷装置とを含む印刷システムであって、
前記印刷装置で用いられる印刷媒体を特定するために当該印刷装置と前記情報処理装置とにおいて通信される第１の識別子と、複数種類の印刷媒体のそれぞれに固有の第２の識別子とが、当該印刷装置と当該情報処理装置のそれぞれに設定されている場合に、当該情報処理装置と当該印刷装置のそれぞれに設定されている当該第２の識別子を取得する取得手段と、
前記取得手段により取得された前記情報処理装置に設定されている第２の識別子と前記印刷装置に設定されている第２の識別子とに基づき、前記情報処理装置と前記印刷装置とにおいて設定される第１の識別子に対応する印刷媒体の種類が一致し、異なる種類の印刷媒体に対しては異なる第１の識別子が設定されるように、当該情報処理装置と当該印刷装置とに設定される第１の識別子を決定する決定手段と、
を有することを特徴とする印刷システム。
【請求項２】
前記決定手段は、前記情報処理装置と前記印刷装置との組み合わせが変更されたときに、新たな組み合わせの前記情報処理装置と前記印刷装置に設定される第１の識別子を決定することを特徴とする請求項１に記載の印刷システム。
【請求項３】
前記取得手段は、前記情報処理装置と前記印刷装置のそれぞれに設定されている第２の識別子に加えて更に第１の識別子を取得し、
前記決定手段は、前記情報処理装置と前記印刷装置との少なくとも一方に設定されている第１の識別子を更新する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の印刷システム。
【請求項４】
前記情報処理装置が前記取得手段と前記決定手段とを有し、
前記決定手段は、当該情報処理装置に接続されている前記印刷装置から前記第２の識別子を取得し、当該印刷装置から取得された当該第２の識別子と、当該情報処理装置自身に設定されている第２の識別子とに基づき、当該情報処理装置と当該印刷装置とに設定される第１の識別子を決定する、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の印刷システム。
【請求項５】
前記情報処理装置と前記印刷装置とはそれぞれ、前記第２の識別子に対応する種類のメディアに応じて画像の印刷処理を行うための情報を有し、当該情報に従って、画像の印刷処理を実行する、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の印刷システム。
【請求項６】
前記情報処理装置と前記印刷装置のいずれかの装置にのみ設定されている第２の識別子があった場合に、当該第２の識別子に対応する種類のメディアに応じて画像の印刷処理を行うための情報を、他方の装置に記憶させることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の印刷システム。
【請求項７】
前記第１の識別子と前記第２の識別子を含むファイルが前記情報処理装置と前記印刷装置のそれぞれに記憶されており、
前記取得手段は、当該情報処理装置と当該印刷装置とに記憶されている当該ファイルを、当該情報処理装置と当該印刷装置のそれぞれから取得する、ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の印刷システム。
【請求項８】
前記決定手段は、前記取得手段により前記情報処理装置と前記印刷装置から取得された前記ファイルを比較することによって、当該情報処理装置と当該印刷装置に記憶されているファイルに含まれる前記第１の識別子を決定する、ことを特徴とする請求項７に記載の印刷システム。
【請求項９】
印刷装置で用いられる印刷媒体を特定するために当該印刷装置と情報処理装置とにおいて通信される第１の識別子と、複数種類の印刷媒体のそれぞれに固有の第２の識別子とが、当該印刷装置と当該情報処理装置のそれぞれに設定されている場合に、当該情報処理装置と当該印刷装置のそれぞれに設定されている当該第２の識別子を取得し、
前記取得された前記情報処理装置に設定されている第２の識別子と前記印刷装置に設定されている第２の識別子とに基づき、前記情報処理装置と前記印刷装置とにおいて設定される第１の識別子に対応する印刷媒体の種類が一致し、異なる種類の印刷媒体に対しては異なる第１の識別子が設定されるように、当該情報処理装置と当該印刷装置とに設定される第１の識別子を決定する、ことを特徴とする情報処理方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の情報処理方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】印刷システム、情報処理方法、およびプログラム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、印刷装置で用いられる印刷媒体を特定するため、識別子を処理する印刷システム、情報処理方法、およびプログラムに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の目的は、このような従来の問題点を解決することである。上記の点に鑑み、本発明は、印刷装置で用いられる印刷媒体を特定するため、識別子を適切に処理することができる印刷システム、情報処理方法、およびプログラムを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明に係る印刷システムは、情報処理装置と印刷装置とを含む印刷システムであって、前記印刷装置で用いられる印刷媒体を特定するために当該印刷装置と前記情報処理装置とにおいて通信される第１の識別子と、複数種類の印刷媒体のそれぞれに固有の第２の識別子とが、当該印刷装置と当該情報処理装置のそれぞれに設定されている場合に、当該情報処理装置と当該印刷装置のそれぞれに設定されている当該第２の識別子を取得する取得手段と、前記取得手段により取得された前記情報処理装置に設定されている第２の識別子と前記印刷装置に設定されている第２の識別子とに基づき、前記情報処理装置と前記印刷装置とにおいて設定される第１の識別子に対応する印刷媒体の種類が一致し、異なる種類の印刷媒体に対しては異なる第１の識別子が設定されるように、当該情報処理装置と当該印刷装置とに設定される第１の識別子を決定する決定手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明によれば、印刷装置で用いられる印刷媒体を特定するため、識別子を適切に処理することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成24年12月19日(2012.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
シミュレーション装置１５は、例えば、発光強度Ｉに基づいて、チャンバ壁９の温度（壁温度Ｔ）の補正量ΔＴを算出して制御部１７に出力する。なお、補正量の算出と目標値の算出とは等価であり、以下では、これらを特に区別しないことがある。シミュレーション装置１５は、補正量の算出動作のために、付着確率算出部１９、付着確率データベース２１、データベース構築部２３、シミュレーション部２４及び補正値算出部２５を有している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２０】
以上の実施形態によれば、エッチング装置２０１は、チャンバ２０２において付着確率Ｓを変動させることが可能な作用部として、チャンバ壁２０９に光を照射する照射装置２１１を有する。制御部１７は、付着確率算出部１９の算出する付着確率Ｓの変動に応じて照射装置２１１の光照射量Ｆを制御する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２１】
チャンバ壁２０９は、光が照射されると、温度が上昇し、粒子の付着確率が変化する。従って、第１の実施形態と同様に、付着確率Ｓの制御により、チャンバ壁２０９の状態を所望の状態に維持し、エッチングレートを安定化することができる。その結果、良質の半導体装置を安定して生産することが可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４５】
エネルギー制御用電源部５１１は、壁に付着する粒子のエネルギーを制御するために、上部電極５Ａに交流電圧を印加する。当該電圧の周波数は、プラズマを生成するために上部電源部７Ａが上部電極５Ａに印加する電圧の周波数よりも低い。例えば、上部電源部７Ａが印加する電圧の周波数は５００ＭＨｚであり、エネルギー制御用電源部５１１が印加する電圧の周波数は１３．５６ＭＨｚである。なお、下部電源部７Ｂが印加する電圧の周波数は、例えば、２ＭＨｚである。
【手続補正書】
【提出日】平成24年12月21日(2012.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
映像記録装置であって、
記録メディアを接続する接続手段と、
自装置でしか復号できない第１暗号化を映像データに対して施す第１暗号処理手段と、
自装置でも他の映像記録装置でも復号できる第２暗号化を映像データに対して施す第２暗号処理手段と、
暗号化方式として、前記第１暗号処理手段により前記第１暗号化を映像データに対して施す第１暗号化方式、又は、前記第２暗号処理手段により前記第２暗号化を映像データに対して施す第２暗号化方式を選択する選択手段と、
映像データを取得する取得手段と、
前記選択手段で選択された暗号化方式を使用して、前記取得手段で取得された映像データを暗号化する暗号制御手段と、
前記暗号制御手段で暗号化された映像データを前記記録メディアに記録する記録手段と、
を備えることを特徴とする映像記録装置。
【請求項２】
前記接続手段に接続された記録メディアの種類を検出する検出手段を更に備え、
前記選択手段は、記録メディアの種類毎に前記第１暗号化方式又は前記第２暗号化方式を対応付けて保持するメモリを参照し、前記検出手段で検出された種類に対応付けられた暗号化方式を選択する
ことを特徴とする請求項１に記載の映像記録装置。
【請求項３】
前記接続手段に接続された記録メディアの種類を検出する検出手段と、
記録メディアの種類毎に、前記接続手段に対する記録メディアの接続及び切断の履歴を管理する履歴管理手段と、
を更に備え、
前記選択手段は、前記検出手段で検出された種類に対応する履歴が示す接続及び切断の頻度が閾値未満である場合、前記第１暗号化方式を選択し、そうでない場合、前記第２暗号化方式を選択する
ことを特徴とする請求項１に記載の映像記録装置。
【請求項４】
前記選択手段で前記第１暗号化方式が選択されている場合に、前記記録手段による記録対象の映像データの識別情報と、当該映像データのコピー可能回数とを、相互に関連付けて管理するコピー管理手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の映像記録装置。
【請求項５】
前記第１暗号化方式は、前記第１暗号処理手段による前記第１暗号化が施された映像データに対して更に前記第２暗号処理手段により前記第２暗号化を施す暗号化方式であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の映像記録装置。
【請求項６】
記録メディアを接続する接続手段を備える映像記録装置の制御方法であって、
前記映像記録装置の第１暗号処理手段が、自装置でしか復号できない第１暗号化を映像データに対して施す第１暗号処理工程と、
前記映像記録装置の第２暗号処理手段が、自装置でも他の映像記録装置でも復号できる第２暗号化を映像データに対して施す第２暗号処理工程と、
前記映像記録装置の選択手段が、暗号化方式として、前記第１暗号処理工程により前記第１暗号化を映像データに対して施す第１暗号化方式、又は、前記第２暗号処理工程により前記第２暗号化を映像データに対して施す第２暗号化方式を選択する選択工程と、
前記映像記録装置の取得手段が、映像データを取得する取得工程と、
前記映像記録装置の暗号制御手段が、前記選択工程で選択された暗号化方式を使用して、前記取得工程で取得された映像データを暗号化する暗号制御工程と、
前記映像記録装置の記録手段が、前記暗号制御工程で暗号化された映像データを前記記録メディアに記録する記録工程と、
を備えることを特徴とする制御方法。
【請求項７】
前記映像記録装置の検出手段が、前記接続手段に接続された記録メディアの種類を検出する検出工程を更に備え、
前記選択工程では、記録メディアの種類毎に前記第１暗号化方式又は前記第２暗号化方式を対応付けて保持するメモリを参照し、前記検出工程で検出された種類に対応付けられた暗号化方式を選択する
ことを特徴とする請求項６に記載の制御方法。
【請求項８】
前記映像記録装置の検出手段が、前記接続手段に接続された記録メディアの種類を検出する検出工程と、
前記映像記録装置の履歴管理手段が、記録メディアの種類毎に、前記接続手段に対する記録メディアの接続及び切断の履歴を管理する履歴管理工程と、
を更に備え、
前記選択工程では、前記検出工程で検出された種類に対応する履歴が示す接続及び切断の頻度が閾値未満である場合、前記第１暗号化方式を選択し、そうでない場合、前記第２暗号化方式を選択する
ことを特徴とする請求項６に記載の制御方法。
【請求項９】
前記映像記録装置のコピー管理手段が、前記選択工程で前記第１暗号化方式が選択されている場合に、前記記録工程による記録対象の映像データの識別情報と、当該映像データのコピー可能回数とを、相互に関連付けて管理するコピー管理工程を更に備えることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載の制御方法。
【請求項１０】
前記第１暗号化方式は、前記第１暗号処理工程による前記第１暗号化が施された映像データに対して更に前記第２暗号処理工程により前記第２暗号化を施す暗号化方式であることを特徴とする請求項６乃至９のいずれか１項に記載の制御方法。
【手続補正書】
【提出日】平成24年12月10日(2012.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トラックの幅方向に配置された複数の再生素子を有し、前記トラック毎に記録されているバースト信号を、前記トラック上に位置する前記複数の再生素子で再生するとともに、１トラックの幅方向に複数形成されたデータトラック毎に記録されているデータ信号を、前記データトラック上に位置する２以上の再生素子で同時に再生する再生ヘッドと、
信号再生時における前記トラックの中心に対する前記再生ヘッドの位置ずれ量を、前記トラックに記録されている前記バースト信号から算出する位置ずれ量算出部と、
前記再生ヘッドの位置ずれ量に相当する位置誤差から、前記データトラック上に位置する前記２以上の再生素子と前記データトラックの位置関係を判定し、判定結果に基づき前記データトラック毎に同時に再生された前記データ信号を重み付け合成し、前記データトラックの出力値を算出する出力値算出部と、
を備える、装置。
【請求項２】
前記トラックの幅方向に配置された複数の記録素子を有し、前記１トラックの幅方向に前記複数のデータトラックを形成するようにデータ信号を瓦記録する記録ヘッドと、
前記記録ヘッドの位置ずれ量を格納する位置ずれ量格納部と、をさらに備え、
前記位置ずれ量算出部は、信号記録時における前記トラックの中心に対する前記記録ヘッドの位置ずれ量を、前記トラックに記録されている前記バースト信号から算出し、
前記位置ずれ量格納部は、前記記録ヘッドの位置ずれ量を、信号記録先を示す論理アドレスに関連付けて格納し、
前記出力値算出部は、信号再生時において、同一論理アドレスにおける前記再生ヘッドと前記記録ヘッドの位置ずれ量の差に相当する位置誤差から、前記データトラック上に位置する前記２以上の再生素子と前記データトラックの位置関係を判定し、前記判定結果に基づき前記データトラック毎に同時に再生された前記データ信号を重み付け合成し、前記データトラックの前記出力値を算出する、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記位置ずれ量算出部は、信号記録時における前記トラックと前記データトラックのオフセットを考慮して、前記トラックの中心に対する前記記録ヘッドの位置ずれ量を算出する、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記出力値算出部は、前記２以上の再生素子中のいずれかが前記データトラック内に位置し、他の再生素子が前記データトラックのエッジ上に位置すると判定された場合、前記データトラック内に位置する前記再生素子で再生された前記データ信号を、前記他の再生素子で再生された前記データ信号よりも重み付けて前記データトラックの出力値を算出する、請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記出力値算出部は、前記２以上の再生素子が前記データトラック内に位置すると判定された場合、前記２以上の再生素子中、ディスク媒体の内周側に位置する再生素子で再生された前記データ信号を、他の再生素子で再生された前記データ信号よりも重み付けて前記データトラックの出力値を算出する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記位置ずれ量算出部は、前記トラックの中心に対して一方の側に位置する１以上の再生素子で再生された前記バースト信号と、他方の側に位置する１以上の再生素子で再生された前記バースト信号の比率に基づき、前記再生ヘッドの位置ずれ量を算出する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
トラックの幅方向に配置された複数の再生素子を有する再生ヘッドを用いて、前記トラック毎に記録されているバースト信号を、前記トラック上に位置する前記複数の再生素子で再生するステップと、
前記再生ヘッドを用いて、１トラックの幅方向に複数形成されたデータトラック毎に記録されているデータ信号を、前記データトラック上に位置する２以上の再生素子で同時に再生するステップと、
信号再生時における前記トラックの中心に対する前記再生ヘッドの位置ずれ量を、前記トラックに記録されている前記バースト信号から算出するステップと、
前記再生ヘッドの位置ずれ量に相当する位置誤差から、前記データトラック上に位置する前記２以上の再生素子と前記データトラックの位置関係を判定し、判定結果に基づき前記データトラック毎に同時に再生された前記データ信号を重み付け合成し、前記データトラックの出力値を算出するステップと、
を備える、方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】装置および方法
【手続補正書】
【提出日】平成24年11月30日(2012.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアに支持された前記基板の支持位置を変化させるために、センタ孔を有する基板を回転させる基板回転装置であって、
前記基板回転装置は、駆動源に連結されて進退動及び上下動可能なシャフトと、前記シャフトの端部側に取り付けられ、前記シャフトの進退動に伴って前記基板のセンタ孔に挿入することができるピックと、を有してなり、
前記ピックは、前記シャフトに連結された第１の支持部と、前記第１の支持部に弾性的に屈曲可能に接続され、前記センタ孔の内側上部に接する第２の支持部とを備えることを特徴とした基板回転装置。
【請求項２】
キャリアに支持された前記基板の支持位置を変化させるために、センタ孔を有する基板を回転させる基板回転装置であって、
前記基板回転装置は、駆動源に連結されて進退動及び上下動可能なシャフトと、前記シャフトの端部側に取り付けられ、前記シャフトの進退動に伴って前記基板のセンタ孔に挿入することができるピックと、を有してなり、
前記ピックは、前記シャフトに連結され、前記センタ孔の内側上部に接する第１の支持部と、前記第１の支持部よりも前記センタ孔中心の直上位置から離れた位置に接する第２の支持部と、前記第２の支持部を前記第１の支持部に対して弾性的に屈曲可能に接続する連結部材とを有することを特徴とした基板回転装置。
【請求項３】
前記連結部材は、前記第２の支持部だけを前記基板の前記センタ孔の内側上部に接触させて前記基板の自重を支持しても屈曲せず、且つ、前記第２の支持部が前記基板の２倍の重量を支持したときには弾性的に屈曲する曲げ強度を有していることを特徴とする請求項２に記載の基板回転装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板回転装置を備えることを特徴とする真空処理装置。
【請求項５】
真空処理室内で、センタ孔を有する絶縁材製の基板をキャリアによって支持し、前記基板の表面に複数層の薄膜を順次成膜する真空処理装置であって、
前記複数層の薄膜中、少なくとも一層がバイアススパッタリング法で成膜される薄膜形成方法において、前記バイアススパッタリング法により成膜される層より基板側の層の成膜後であって、バイアススパッタリング法による成膜前に、前記キャリアによる前記基板の支持位置を変化させる基板回転装置を備え、
前記キャリアは、弾性部材からなり、一端部側が前記基板の外周部を支持し、他端部側が前記キャリアに取り付けられた基板支持爪を有し、
前記基板回転装置は、駆動源に連結されて進退動及び上下動可能なシャフトと、前記シャフトの端部側に取り付けられ、前記シャフトの進退動に伴って前記基板のセンタ孔に挿入することができるピックと、前記基板支持爪に当接して屈曲させることができるアームと、を有してなり、
前記ピックは、前記シャフトに連結され、前記センタ孔の内側上部に接する第１の支持部と、前記第１の支持部よりも前記センタ孔中心の直上位置から離れた位置に接する第２の支持部と、前記第２の支持部を前記第１の支持部に対して弾性的に屈曲可能に接続する連結部材とを有することを特徴とした真空処理装置。
【請求項６】
前記連結部材は、前記第２の支持部だけを前記基板の前記センタ孔の内側上部に接触させて前記基板の自重を支持しても屈曲せず、且つ、前記第２の支持部が前記基板の２倍の重量を支持したときには弾性的に屈曲する曲げ強度を有していることを特徴とする請求項５に記載の真空処理装置。
【請求項７】
真空処理室内で、センタ孔を有する絶縁材製の基板をキャリアによって支持し、前記基板の表面に複数層の薄膜を順次成膜し、前記複数層の薄膜中、少なくとも一層がバイアススパッタリング法で成膜される薄膜形成方法において、前記バイアススパッタリング法により成膜される層より前記基板側の層の成膜後であって、バイアススパッタリング法による成膜前に、前記キャリアによる前記基板の支持位置を変化させる薄膜形成方法であって、
前記キャリアは、弾性部材からなり、一端部側が前記基板の外周部を支持し、他端部側が前記キャリアに取り付けられた複数の基板支持爪を有し、駆動源に連結されて進退動及び上下動可能なシャフトと、前記シャフトの端部側に取り付けられ、前記シャフトの進退動に伴って前記基板のセンタ孔に挿入することができるピックと、下方に位置する前記基板支持爪に当接して屈曲させるアームと、を有してなる  基板回転装置を備え、
前記ピックは、前記シャフトに連結され、前記センタ孔の内側上部に接する第１の支持部と、前記第１の支持部よりも前記センタ孔中心の直上位置から離れた位置に接する第２の支持部と、前記第２の支持部を前記第１の支持部に対して弾性的に屈曲可能に接続する連結部材とを有してなり、
前記シャフトを前進させて、所定位置に停止させた前記キャリアに支持された前記基板の前記センタ穴に前記ピックを挿入する第１の工程と、
前記シャフトを上方に移動させて、前記センタ孔の内側に前記第２の支持部を当接させる第２の工程と、
前記アームによって前記基板支持爪を屈曲させて、前記基板の支持を解除する第３の工程と、
前記シャフトを下方に移動させて、前記センタ孔の内側を前記ピックの前記第１の支持部及び前記第２の支持部の両方で支持する第４の工程と、
前記シャフトを上方に移動させて、前記第２の支持部を前記第１の支持部に対して弾性的に屈曲させる第５の工程と、
前記アームによる前記基板支持爪の屈曲状態を解除する第６の工程と、を有することを特徴とする薄膜形成方法。
【請求項８】
前記第５の工程は、前記シャフトを上方に移動させたときに、上方に位置する前記基板支持爪に前記基板の外周部を当接させて、前記第２の支持部を前記第１の支持部に対して弾性的に屈曲させることを特徴とする請求項７に記載の薄膜形成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明に係る基板回転装置は、キャリアに支持された基板の支持位置を変化させるために、センタ孔を有する基板を回転させる基板回転装置であって、基板回転装置は、駆動源に連結されて進退動及び上下動可能なシャフトと、シャフトの端部側に取り付けられ、シャフトの進退動に伴って基板のセンタ孔に挿入することができるピックと、を有してなり、ピックは、シャフトに連結された第１の支持部と、第１の支持部に弾性的に屈曲可能に接続され、センタ孔の内側上部に接する第２の支持部とを備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成24年12月19日(2012.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記曲率半径Ｒ（ｍｍ）は、
０．３ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル回路基板。
【手続補正書】
【提出日】平成24年12月21日(2012.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被エッチング層上に反射防止膜を形成する工程と、
前記反射防止膜上にパターン化されたレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜をマスクとして、ＣＦ４ガスとＣＯＳガスとＯ２ガスとを含むエッチングガスを処理室内に導入し、導入されたエッチングガスを用いて前記反射防止膜をエッチングすることにより、前記反射防止膜に所望のパターンを形成する工程と、を含むエッチング方法において、
前記エッチングガスに含まれる前記ＣＯＳガスの流量及び前記Ｏ２ガスの流量を比例させるように制御することを特徴とするエッチング方法。
【請求項２】
前記ＣＯＳガスが前記反射防止膜のエッチング面のコーティングに用いられ、前記Ｏ２ガスが前記ＣＯＳガスによる前記コーティングの抑止に用いられることを特徴とする請求項１に記載のエッチング方法。
【請求項３】
前記レジスト膜は、ＡｒＦレジスト膜であることを特徴とする請求項１又は２に記載のエッチング方法。
【請求項４】
前記反射防止膜は、シリコンを含有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のエッチング方法。
【請求項５】
前記エッチングガスに含まれるＣＯＳガスの流量の上限は５０ｓｃｃｍであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のエッチング方法。
【請求項６】
前記エッチングガスに含まれるＣＦ４ガスの流量は、５０〜３００ｓｃｃｍの範囲内であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のエッチング方法。
【請求項７】
前記エッチングガスに含まれるＯ２ガスの流量の上限は１００ｓｃｃｍであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のエッチング方法。
【請求項８】
前記処理室内の圧力は、３０〜１００ｍＴの範囲内であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のエッチング方法。
【請求項９】
前記処理室内の圧力の上限は７５ｍＴであることを特徴とする請求項８に記載のエッチング方法。
【請求項１０】
ＣＦ４ガスとＣＯＳガスとＯ２ガスとを含むエッチングガスを処理室に供給するガス供給源と、
前記処理室に所望の高周波電力を供給する高周波電源と、を備え、
高周波電力を用いて前記エッチングガスからプラズマを生成し、前記プラズマにより反射防止膜及びパターン化されたレジスト膜が形成された被処理体に対して、エッチング処理を施すことによって、前記反射防止膜に所望のパターンを形成するエッチング処理装置において、
前記エッチングガスに含まれる前記ＣＯＳガスの流量及び前記Ｏ２ガスの流量が比例するように制御されることを特徴とするエッチング処理装置。
【請求項１１】
前記ＣＯＳガスが前記反射防止膜のエッチング面のコーティングに用いられ、前記Ｏ２ガスが前記ＣＯＳガスによる前記コーティングの抑止に用いられることを特徴とする請求項１０に記載のエッチング処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、被エッチング層上に反射防止膜を形成する工程と、前記反射防止膜上にパターン化されたレジスト膜を形成する工程と、前記レジスト膜をマスクとして、ＣＦ４ガスとＣＯＳガスとＯ２ガスとを含むエッチングガスを処理室内に導入し、導入されたエッチングガスを用いて前記反射防止膜をエッチングすることにより、前記反射防止膜に所望のパターンを形成する工程と、を含むエッチング方法において、前記エッチングガスに含まれる前記ＣＯＳガスの流量及び前記Ｏ２ガスの流量を比例させるように制御することを特徴とするエッチング方法が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、ＣＦ４ガスとＣＯＳガスとＯ２ガスとを含むエッチングガスを処理室に供給するガス供給源と、前記処理室に所望の高周波電力を供給する高周波電源と、を備え、高周波電力を用いて前記エッチングガスからプラズマを生成し、前記プラズマにより反射防止膜及びパターン化されたレジスト膜が形成された被処理体に対して、エッチング処理を施すことによって、前記反射防止膜に所望のパターンを形成するエッチング処理装置において、前記エッチングガスに含まれる前記ＣＯＳガスの流量及び前記Ｏ２ガスの流量が比例するように制御されることを特徴とするエッチング処理装置が提供される。