(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上床をなす上床材が下床に設けられた支持手段に支持されて形成される二重床構造において、
前記上床材は、床面を形成する床パネル部と、この床パネル部の周縁から垂設されて周方向に繋った第１の壁部と、該第１の壁部に架け渡され、床パネル部の中央方向に向かって厚肉となる第２の壁部とで一体に構成されており、
前記支持手段は、下床から立設されたロッドと、該ロッドに係止され前記上床材が載置される上床載置手段とで構成され、
前記上床材は、該上床材を固定するための固定手段を上下方向に貫通させるための貫通手段を備え、該貫通手段を貫通する固定手段によって前記上床載置手段に固定されており、
前記上床載置手段はタップ孔を有し、前記貫通手段をなす貫通孔を貫通し前記固定手段をなすボルトが、前記タップ孔に締め込まれて前記上床材が固定されており、
前記上床載置手段は、前記ロッドに対する前記タップ孔の水平方向の位置を位置調整可能とする位置調整手段を備えており、
前記上床載置手段は、前記上床材を保持する保持手段を備え、該保持手段が前記ロッドの外形より大きな開孔と、前記タップ孔とを有し、前記位置調整手段は、前記ロッドを前記開孔に挿通した保持手段によって構成されることを特徴とする二重床構造。
【請求項２】
前記床パネル部は多角形状をなし、各辺から垂設された前記第１の壁部は、それぞれ各辺の中央方向に向かって厚肉となることを特徴とする請求項１に記載の二重床構造。
【請求項３】
前記多角形状は矩形状であることを特徴とする請求項２に記載の二重床構造。
【請求項４】
前記第１の壁部の外周面は、前記上床面側から下方に向かって前記上床材の内側に向かって傾斜していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の二重床構造。
【請求項５】
前記第１の壁部は、前記下床の近傍まで垂下され、その下端が前記支持手段に支持されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の二重床構造。
【請求項６】
前記上床は複数の前記上床材が並べられて形成され、前記支持手段は隣接する上床材の第１の壁部を一括して支持することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の二重床構造。
【請求項７】
前記並べられた複数の上床材を支持する複数の前記ロッドは、下床に設置される共通のベース板に立設されていることを特徴とする請求項６に記載の二重床構造。
【請求項８】
前記上床載置手段は、上下方向に移動可能に前記ロッドに係合される上下移動手段を備え、該上下移動手段に前記保持手段が載置されて前記上床材の高さ調整手段をなすことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の二重床構造。
【請求項９】
前記ロッドの外周にはねじ溝が設けられ、前記上下移動手段は、前記ロッドのねじ溝に螺合するねじ部を有し、前記保持手段は、前記ロッドに上方から螺合されるナットと、前記上下移動手段とに挟まれて係止されることを特徴とする請求項８に記載の二重床構造。
【請求項１０】
前記上下移動手段は、その外形形状が平面視六角形をなしていることを特徴とする請求項８又は９に記載の二重床構造。
【請求項１１】
前記上下移動手段は、その外周部にロッドに向かう開孔を備えていることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の二重床構造。
【請求項１２】
前記保持手段と前記下床との間に、該保持手段の曲げ変形を抑制すべく当該保持手段を支持する変形抑制手段を設けたことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載の二重床構造。
【請求項１３】
前記変形抑制手段は複数設けられ、前記ロッドを中心とする円周上に等間隔で配置されていることを特徴とする請求項１２に記載の二重床構造。
【請求項１４】
前記変形抑制手段は複数設けられ、前記ロッドと、前記固定手段の前記保持手段への固定部との間を結ぶ線の延長上に配置されることを特徴とする請求項１２に記載の二重床構造。
【請求項１５】
前記変形抑制手段は、ネジロッドと、該ネジロッドに前記保持手段と前記下床との間で移動可能に螺合されたナットとで構成され、前記保持手段は、前記ネジロッドが挿通される挿通孔を有し、該挿通孔に挿通されたネジロッドと、これに螺合されたナットとに支持されて前記曲げ変形が抑制されることを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれかに記載の二重床構造。
【請求項１６】
前記上床の角部に配置される上床材の一角部は、当該上床材のみを支持する支持手段に支持され、該支持手段は、下床から立設されたコーナー用ロッドと、前記上床材の角部が載置され前記コーナー用ロッドに沿って相対移動する角部載置手段とで構成される上床材の高さ調整手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれかに記載の二重床構造。
【請求項１７】
前記角部載置手段の内周部と、前記コーナー用ロッドの外周部とには、ねじ溝が形成され、前記高さ調整手段は、角部載置手段と、前記コーナー用ロッドとが螺合されて構成されることを特徴とする請求項１６に記載の二重床構造。
【請求項１８】
前記コーナー用ロッドは、その軸方向にねじ孔が設けられ、前記上床材の貫通孔を貫通した固定手段をなすボルトが、前記ねじ孔に締め込まれて前記上床材及び角部載置部材が固定されることを特徴とする請求項１６又は１７に記載の二重床構造。
【請求項１９】
前記上床材は、アルミ材で形成されていることを特徴とする請求項１乃至１８のいずれかに記載の二重床構造。
【請求項２０】
前記床材は、制振材料で形成されていることを特徴とする請求項１乃至１９のいずれかに記載の二重床構造。
【請求項２１】
前記上床を形成する上床材のうち、隣接する上床材間に、それらを貫通しプレストレス導入用の緊張手段が設けられ、該緊張手段にプレストレスが導入されていることを特徴とする請求項１乃至２０のいずれかに記載の二重床構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は上床が下床に設けられた支持手段に支持されて形成される二重床構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的な二重床構造としては、ＯＡ機器等の信号ケーブルや給電ケーブルの配線スペースを２つの床の間に設けた二重床や、下側の床下に空気調節室を備えプリント基板へのチップの実装等が行われるクリーンルームの二重床構造が知られている。これらの二重床構造は、下側の床面または床下地材上に、適宜間隔を隔てて束材をなす直径９ｍｍ程度の複数の丸棒鋼材が立設され、その丸棒鋼材にそれぞれ、下側の床から高さ３００ｍｍ〜６００ｍｍの位置に床材保持具を固定し、これら床材保持具に跨らせて床材を載置している。このとき床材は正方形状をなし、その四隅が床材保持具によって支持されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、プリント基板へのチップの実装は、基板を載置したベッドを所定距離だけ移動させて位置決めし、停止した基板上にチップを載置する作業が実装装置によって繰り返し高速で行われる。このとき、数μｍピッチでプリントされた基板上にチップを載置するため高い位置決め精度が要求される。
【０００４】
前記実装装置の中には、基板の位置決め、即ちベッドの移動と停止とが０．１ｓｅｃ／ｃｙｃｌｅという短い周期で繰り返されるものがあり、基板が載置されたベッドが上記周期で高速に移動するため、装置自身が振動源となる。このとき、従来の二重床構造では、束材が細く、かつ束材の高い位置で床材が支持されるので、上下方向および水平方向の剛性が低い。このため、実装装置による前記振動が大きく増幅され、かつ振動が減衰するまでに長い時間を要することになり、基板の位置決め精度が低下し、実装装置の性能が保てないという課題がある。
【０００５】
他方、高い剛性を備え、かつ高い振動減衰性能が得られるものとしては、重量３．５ｔ〜５ｔ程度の大型定盤がある。この大型定盤は１２００ｍｍ×３０００ｍｍの面積を有し厚さ６０ｍｍのステンレス製の鋼板や厚さ２００ｍｍのプレキャストコンクリートにステンレス板を巻き付けた板材等がＨ型鋼などの重量鋼材にボルト締めされたものである。定盤は表面の高い水平面精度が要求されるため、単体での精度はもとより、設置時においても水平面精度の確保に多大な手間がかかるためコストが高騰する。
【０００６】
さらに、重量が大きな大型定盤を設置する際には大がかりな機材を必要とするが、設置する場所がクリーンルームの場合にはそれらの機材が導入できない。このため、特殊な三叉やころを用いて作業しなければならず施工性が悪いという課題もあった。
【０００７】
本発明は上記従来の課題に鑑みて、高い制振性能が得られ安価で施工性の良い二重床構造を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するために請求項１に示す二重床構造は、上床をなす上床材が下床に設けられた支持手段に支持されて形成される二重床構造において、前記上床材は、床面を形成する床パネル部と、この床パネル部の周縁から垂設されて周方向に繋った第１の壁部と、該第１の壁部に架け渡され、床パネル部の中央方向に向かって厚肉となる第２の壁部とで一体に構成されており、
前記支持手段は、下床から立設されたロッドと、該ロッドに係止され前記上床材が載置される上床載置手段とで構成され、
前記上床材は、該上床材を固定するための固定手段を上下方向に貫通させるための貫通手段を備え、該貫通手段を貫通する固定手段によって前記上床載置手段に固定されており、
前記上床載置手段はタップ孔を有し、前記貫通手段をなす貫通孔を貫通し前記固定手段をなすボルトが、前記タップ孔に締め込まれて前記上床材が固定されており、
前記上床載置手段は、前記ロッドに対する前記タップ孔の水平方向の位置を位置調整可能とする位置調整手段を備えており、
前記上床載置手段は、前記上床材を保持する保持手段を備え、該保持手段が前記ロッドの外形より大きな開孔と、前記タップ孔とを有し、前記位置調整手段は、前記ロッドを前記開孔に挿通した保持手段によって構成されることを特徴とする。
【０００９】
かかる二重床構造によれば、床面を形成する床パネル部には、その周縁に垂設された第１の壁部が周方向に繋がっているため、床パネル部の周縁において高い剛性が得られる。さらに、第１の壁部には第２の壁部が架け渡され、この第２の壁部は、周縁から離れる方向となる床パネル部の中央方向に向かって厚肉となっているので、より高い剛性を備えた上床材を形成することが可能となる。
また、前記上床材は、下床から立設されたロッドに係止された上床載置手段に、上床材を貫通する固定手段によって固定するので、上床材を下床に確実に固定することが可能となる。
また、前記上床載置手段が有するタップ孔に、上床材を貫通するボルトが締め込まれて上床材が固定されるので、上床材を剛強に固定することが可能となる。
また、固定されたロッドに対してタップ孔は位置調整が可能なので、複数の上床材を貫通したボルトに合わせてタップ孔の位置を調整し、ボルトとタップ孔の位置を容易に整合させることが可能となり、施工性が向上する。
また、タップ孔が設けられた保持手段にロッドの外径より大きな開孔を設けることにより、容易に且つ安価に調整手段を備えることができる。
【００１０】
また、上床材の下側に、床パネル部と一体をなす壁部を設けることにより、例えば剛性を高めるために補助的に設けられる単なる補強リブと異なり、極めて高い剛性を備えることができる。
【００１１】
さらに、床パネル部と壁部とを一体とした簡単な構造としたので、鋳造できるため製造性がよく、且つ、鋳型の構造も簡単なので安価に製造することが可能となる。
【００１２】
また、前記床パネル部は多角形状をなし、各辺から垂設された前記第１の壁部は、それぞれ各辺の中央方向に向かって厚肉となることを特徴とする。
即ち、複数の面で構成された第１の壁部の中央部分は、互いに隣接する壁面の境界となる角部より剛性が低くなるが、この中央部分を厚肉とすることによって、第１の壁部の剛性を高めることができ、上床材にさらに高い剛性を備えることが可能となる。
さらに、前記多角形状は矩形状であることが望ましい。即ち、単純な形状であるため製造性がよく、また、複数の上床材を敷き並べる場合には配置が容易であるため効率よく施工することができる。
【００１３】
また、前記第１の壁部の外周面は、前記上床面側から下方に向かって前記上床材の内側に向かって傾斜していることを特徴とする。
即ち、複数の上床材を敷き並べる場合に、隣接する上床材の第１の壁部同士は干渉しないので、隣接する上床材の床パネル部同士を突き合わせて、隙間なく敷き詰めることが可能となる。
【００１４】
また、前記第１の壁部は、前記下床の近傍まで垂下され、その下端が前記支持手段に支持されていることを特徴とする。
上床材は下床近傍で支持されているので、たとえ水平方向の振動が作用しても支持手段に作用するモーメントは小さい。このため、支持手段は変形し難く、上床材を剛強に支持することができ、上床の振動を早期に減衰させることができる。
【００１５】
また、前記上床は複数の前記上床材が並べられて形成され、前記支持手段は、隣接する上床材の第１の壁部を一括して支持することを特徴とする。
隣接する上床材の第１の壁部は共通の支持手段に一括して支持されるので、隣接して共通の支持手段に支持された上床材の部位の高さを、何ら調整することなく揃えることが可能となる。
【００１７】
また、前記並べられた複数の上床材を支持する複数の前記ロッドは、下床に設置される共通のベース板に立設されていることを特徴とする。この構成によれば、複数の上床材を支持する複数のロッドが共通のベース板に立設されているので、工場等においてロッドの間隔を高精度に配置しておくことができる。このため、施工現場でのロッドの位置決めが不要となり、効率よく二重床を施工することが可能となる。
【００２１】
前記上床載置手段は、上下方向に移動可能に前記ロッドに係合される上下移動手段を備え、該上下移動手段に前記保持手段が載置されて前記上床材の高さ調整手段をなすことを特徴とする。
即ち、上床材が支持される支持手段が高さ調整手段を備えるので、複数の上床材を敷き並べた床面であっても、容易に平坦な床面を形成することが可能となる。
【００２２】
また、前記ロッドの外周にはねじ溝が設けられ、前記上下移動手段は、前記ロッドのねじ溝に螺合するねじ部を有し、前記保持手段は、前記ロッドに上方から螺合されるナットと、前記上下移動手段とに挟まれて係止されることを特徴とする。
【００２３】
即ち、上下移動手段のねじ溝とロッドのねじ溝とを螺合した構成としたので、上下移動手段を回転させることにより、保持手段、および上床材の高さを容易に調整可能となり、また、ロッドに上方からナットを螺合することにより、保持手段と、上下移動手段とを確実に且つ強固に固定することが可能となり、上床材を安定して支持することが可能となる。
【００２４】
前記上下移動手段は、その外形形状が平面視六角形をなしていることが望ましく、これにより、六角レンチ等を用いて容易に上下移動手段を移動させることが可能となる。
【００２５】
前記上下移動手段は、その外周部にロッドに向かう開孔を備えていることが望ましく、これにより、レンチ等が入りにくい狭い場所であっても、前記開孔に棒等を差し込んで容易に上下移動手段を移動させることが可能となる。
【００２６】
また、前記保持手段と前記下床との間に、該保持手段の曲げ変形を抑制すべく当該保持手段を支持する変形抑制手段を設けることが望ましい。変形抑制手段を設けることにより、保持手段の曲げ変形を抑えて上床材をさらに安定して支持することが可能となり、二重床構造の振動抑制効果ないしは振動減衰性能をさらに向上させることが可能となる。
【００２７】
前記変形抑制手段は複数設けられ、前記ロッドを中心とする円周上に等間隔で配置されている構成とすると、ロッドを中心としていずれの方向にも、保持手段の曲げ変形を効果的に抑えることが可能となる。
【００２８】
また、前記変形抑制手段は複数設けられ、前記ロッドと、前記固定手段の前記保持手段への固定部との間を結ぶ線の延長上に配置されることが望ましい。この構成によると、前記固定手段により前記保持手段に作用する下方への力を、変形抑制手段と、ロッドとによって、固定手段による力の作用点の両側で支持し保持手段の曲げ変形を、さらに効果的に抑えることが可能となる。
【００２９】
前記変形抑制手段は、ネジロッドと、該ネジロッドに前記保持手段と前記下床との間で移動可能に螺合されたナットとで構成され、前記保持手段は、前記ネジロッドが挿通される挿通孔を有し、該挿通孔に挿通されたネジロッドと、これに螺合されたナットとに支持されて前記曲げ変形が抑制されることを特徴とする。
即ち、ネジロッドとナットとを用いた簡単な構成によって、変形抑制支持手段を実現することが可能となる。
【００３０】
前記上床の角部に配置される上床材の一角部は、当該上床材のみを支持する支持手段に支持され、該支持手段は、下床から立設されたコーナー用ロッドと、前記上床材の角部が載置され前記コーナー用ロッドに沿って相対移動する角部載置手段とで構成される上床材の高さ調整手段を備えていることを特徴とする。
即ち、複数の床材で形成される上床の角部は、上床の角部をなす上床材の角を単独で支持し、且つ高さ調整手段を備えた支持手段により支持されているので、形成される上床を隅々まで容易に平坦に調整することが可能となる。
前記角部載置手段の内周部と、前記コーナー用ロッドの外周部とには、ねじ溝が形成され、前記高さ調整手段は、角部載置手段と、前記コーナー用ロッドとを螺合させた構成としたので、上床角部においても簡単な構成によって高さ調整手段を実現することが可能である。
【００３１】
前記コーナー用ロッドは、その軸方向にねじ孔が設けられ、前記上床材の前記貫通孔を貫通した前記固定手段をなすボルトが、前記ねじ孔に締め込まれて前記上床材及び角部載置部材が固定されることを特徴とする。
即ち、コーナー用ロッドに設けられたねじ孔に、上床材を貫通したボルトを締め込むことによって、上床材及び角部載置部材を剛強に固定することが可能となる。
前記上床材を、アルミ材で形成すると、上床材が軽量となり運搬等がし易く、施工性を向上させることができる。さらに、上床材を床パネル部と壁部とを一体とした簡単な構造としたことと相俟って、例えば砂型を用いて鋳造することが可能となり、製造性がよく、且つ安価に製造することが可能となる。
【００３２】
前記床材を、制振材料で形成すると、二重床構造の振動抑制効果ないしは振動減衰性能をさらに向上させることができる。
【００３３】
前記上床を形成する上床材のうち、隣接する上床材間に、それらを貫通しプレストレス導入用の緊張手段が設けられ、該緊張手段にプレストレスが導入されていることを特徴とする。
即ち、複数の上床材で形成された上床全体に亘ってプレストレスが導入されるので、隣接する上床材が互いに剛強に接合され、上床材が一体となった床が形成され、床全体に高い振動抑制効果ないしは振動減衰性能を備えた二重床構造を実現することが可能となる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態として例えば半導体の製造工場などに設けられるクリーンルームの二重床構造を添付図面を参照して説明する。
図１は本発明の二重床構造の一実施形態を示す断面図、図２は座板の平面図、図３は高さ調整板の平面図、図４は上床材の平面図、図５は上床材の側断面図である。
【００３５】
本実施形態の二重床構造が適用されるクリーンルームは、二重に設けられた床の下側に空調設備室が備えられている。この空調設備室の上部にはこのクリーンルームの架構をなす梁間に床下地材をなす根太５２が、約６００ｍｍピッチで架け渡されその上に下側の床材５０が張られ下床が形成されている。
【００３６】
本実施形態の二重床構造は、上床をなす上床材３０は、その下端が、下床の根太５２上に６００ｍｍピッチで設けられた支持手段１８に支持されて形成されている。支持手段１８は、ロッドをなすスタッドボルト２０と、上床載置手段２５をなす高さ調整板２４および座板２６とを備えており、上床材３０はこれら高さ調整板２４、座板２６を介してスタッドボルト２０に固定される。このとき、上記６００ｍｍピッチで立設された複数のスタッドボルト２０のうち、４本が一組となって、□６００ｍｍの正方形の四隅となるような４本のスタッドボルト２０の座板２６に、一辺が６００ｍｍの上床材３０の四隅がそれぞれ載置される。そして各座板２６に４つの上床材３０の角部が載置されることによって、上床材３０が縦横に整列されて上側の床面１２が形成される。
【００３７】
前記上床材３０はアルミ製でなり、平面視正方形状をなし厚さ約４０ｍｍの床パネル部３０ａと、この床パネル部３０ａの周縁から垂下され周方向に繋った第１の壁部をなす周壁部３０ｂと、この周壁部３０ｂに架け渡されて格子状をなす第２の壁部をなす中壁部３０ｃとが一体に形成されている。
【００３８】
前記周壁部３０ｂは、その下端が下床の近傍まで垂下され、上端部側の厚さを約５０ｍｍとし、その外周面は下方に向かって前記上床材３０の内側に向かって傾斜している。さらに、周壁部３０ｂは、床パネル部３０ａの各辺の中央方向に向かって厚肉となるように形成され、剛性が高められている。
【００３９】
前記中壁部３０ｃは、約２００ｍｍの高さを有し、対向する周壁部３０ｂに架け渡されている。この中壁部３０ｃは、縦横それぞれ２本づつ設けられ、等ピッチ（約１７０ｍｍ間隔）に配置されている。また、中壁部３０ｃは、周縁から離れる方向となる床パネル部３０ａの中央方向に向かって厚肉となるように形成され、上床材３０の剛性をさらに高めている。
【００４０】
上床材３０の四隅には、上床材３０の固定手段をなす長ボルト３２を挿通するための貫通手段をなす貫通孔３０ｄが設けられ、床面１２側には長ボルト３２の頭部が収納される座刳り３０ｅが設けられている。
【００４１】
前記支持手段１８は、ロッドをなすスタッドボルト２０（直径１６ｍｍ、長さ９０ｍｍ）と、このスタッドボルト２０に螺合され、上床材３０が載置される上床載置手段２５とで構成されている。
【００４２】
スタッドボルト２０は、根太５２の上に位置するように配置され、下床上に接着されたベース鋼板２２（□１５０ｍｍ、厚さ９ｍｍ）に立設されている。
【００４３】
上床載置手段２５は、スタッドボルト２０に螺合され上下方向に移動可能な高さ調整板２４と、高さ調整板２６に載置され上床材３０の保持手段をなす座板２６とで構成されている。
【００４４】
高さ調整板２４は、直径５０ｍｍ、厚さ２４ｍｍの円盤状の鋼板でなり、その中央にスタッドボルト２０に螺合されるタップ孔２４ａが設けられている。
【００４５】
前記座板２６は厚さ２２ｍｍ、一辺が１００ｍｍの正方形状のアルミ板でなり、中央にスタッドボルト２０が貫通され、スタッドボルト２０の直径より大きな直径をなすルーズホール２６ａが設けられている。このルーズホール２６ａと座板２６の４つの角部との間にはそれぞれそのほぼ中間位置に上床材３０を固定する固定孔２６ｂが設けられている。この固定孔２６ｂにはタップが形成され、上床材３０を貫通した前記長ボルト３２が、この固定孔２６ｂに締め込まれることによって、上床材３０は座板２６に固定される。
【００４６】
そして、各スタッドボルト２０には、高さ調整板２４が螺合され、その上に座板２６が、ルーズホール２６ａにスタッドボルト２０が貫通されて載置される。従って、高さ調整板２４を回転させると、スタッドボルト２０に沿って、座板２６と高さ調整板２４とが上下に移動する。
【００４７】
各座板２６上にはそれぞれ異なる４つの上床材３０の角部が載置され、座板２６の中央で隣接する４つの上床材３０の角部が突き合わされて床面１２が形成される。
【００４８】
また、上床材３０の周壁部３０ｂの外周面は、前述したように下方に向かって上床材の内側に向かって傾斜しているため、各上床材３０の周壁部３０ｂ間にはそれぞれ間隙３６が形成される。この隙間３６に、座板２６を貫通したスタッドボルト２０が突出している。このスタッドボルト２０には、前記ルーズホール２６ａより十分に大きなワッシャ３４が挿通されてその上からナット２８が螺合される。
【００４９】
すなわち、本二重床構造の高さ調整は、スタッドボルト２０に螺合させて所定の高さに仮固定された高さ調整板２４の上に、座板２６と上床材３０とを載置し、隣接する上床材３０の間で床面１２のレベルに差が生じた場合には、高さ調整板２４を正転または逆転させて床面１２が平坦になるように上下に移動させる。
【００５０】
床面１２を平坦に調整した後、スタッドボルト２０の前記ナット２８を締め込むことにより座板２６を高さ調整板２４とナット２８とで挟み込んで固定する。その後上床材３０の四隅を長ボルト３２で各座板２６に固定する。即ち、ナット２８と高さ調整板２４とがダブルナットとなって、座板２６とスタッドボルト２０とが強硬に固定され、上床材３０を剛強に固定することが可能となる。ここで、スタッドボルト２０の長さは９０ｍｍであるが、高さ調整板２４、座板２６、ナット２８が貫通されるため、高さ調整板２４の下側に突出するスタッドボルト２０の長さは１５ｍｍ程度となる。即ち、上床材３０を支持する高さ調整板２４および座板２６の位置は、下床の近傍、すなわち、上下の床間に形成される空間の高さに対して極めて低い位置に設定される。
【００５１】
ところで、高さ調整板２４の下側およびナット２８の上側に突出するスタッドボルト２０の長さは、高さ調整時に高さ調整板２４が上下に移動できる長さであり、下側床面の不陸やスタッドボルト２０の立設作業や螺合した高さ調整板２４の施工による誤差などを吸収できる程度の長さだけ備えていれば構わない。よって、床の制振性能を向上させるためには、高さ調整板２４および座板２６の固定位置をより低い位置に設定することが望ましい。
【００５２】
図６および図７には、座板２６を剛に支持する構造を付加した変形例が示されている。上記実施形態にあっても、十分な振動抑制効果ないしは振動減衰性能を確保できるが、この変形例にあってはさらなる振動抑制効果を確保することができる。上記実施形態の座板２６は図２から理解されるように、高さ調整板２４にこれより外側へ突出する形態で重ね合わされている。これは、座板２６に関し、４枚の上床材３０の周壁部３０ｂを安定に載置できかつ長ボルト３２の締結も可能な必要最小限の平面寸法で形成するようにして、それ自体の曲げ剛性をできるだけ高く確保するとともに、高さ調整板２４についても外径寸法の小さな円盤状として、スタットボルト２０周りに等方性の高い曲げ剛性を確保するためである。このような構成を採用した結果、座板２６は、高さ調整板２４周りにこれより外側に張り出して突出し、この突出部分はカンチレバー形態を呈して曲げ剛性の低下を招いて曲げ変形されやすく、そしてまた自由振動を誘発して、振動抑制効果ないしは振動減衰性能を低下させることが考えられる。
【００５３】
図示した変形例では、この突出部分２６ｄを高剛性化しその自由振動を抑制するために、当該突出部分２６ｄをベース鋼板２２から支持する支持構造を備えている。具体的には、この支持構造は、上床材３０の周壁部３０ｂを載置するための座板２６の各突出部分２６ｄにこれを上下方向に貫通して形成されたネジ孔４０と、ネジ孔４０に一端が螺合されて設けられ、他端をベース鋼板２２に当接させるべく座板２６からの突出量が調整可能な支持材としてのネジロッド４２と、ネジロッド４２に螺合され、ベース鋼板２２に他端が当接された当該ネジロッド４２に対して締め込まれることにより座板２６に圧接されて、ネジロッド４２をベース鋼板２２に強固に圧接固定するナット４４とから構成される。
【００５４】
そして、この支持構造は、高さ調整板２４によるレベル調整後、座板２６上からネジ孔４０に螺入されて当該座板２６下から突出するネジロッド４２にナット４４を螺入し、その後ベース鋼板２２に当接するまでネジロッド４２をネジ孔４０から繰り出し、そしてネジロッド４２をベース鋼板２２に当接させた状態でナット４４を締め込むことにより、ベース鋼板２２と座板２６との間に設置される。以上のような変形例にあっては、高さ調整板２４の外側に突出する座板２６の突出部分２６ｄを強固に剛に支持することができ、当該突出部分２６ｄを高剛性化できて座板２６の曲げ変形を抑制でき、またその自由振動を抑止できて、二重床構造の振動抑制効果ないしは振動減衰性能をさらに向上させることができる。
【００５５】
図８は、上床の角部における支持構造を示し、図８（ａ）は平面図、図８（ｂ）は側断面図である。図示するように、上床の角部に配置される上床材３０の一角部は、上床材３０のみを支持するコーナー支持手段５０に支持される。コーナー支持手段５０は、前記支持手段１８と同様に下床に接着したベース鋼板２２から立設されたコーナー用ロッド５２と、前記上床材３０の角部が載置され角部載置手段５４とで構成されている。
【００５６】
コーナー用ロッド５２の外周部にはネジ溝５２ｂが形成され、その中央には軸方向に上床材３０を固定するためのねじ孔５２ａが設けられている。前記角載置手段５４は、筒状をなしてその内周部にはねじ溝５４ｃが形成され、前記コーナー用ロッド５２の外周部に螺合される角載置部５４ａと、上床材３０を角載置部５４に安定して載置するために、角載置部５４ａ上端に設けられた載置板５４ｂとで構成されている。
【００５７】
コーナー支持手段５０は、コーナー用ロッド５２に螺合された角載置手段５４を回転させることにより、角載置手段５４が上下方向に移動に移動し、載置板５４ｂに載置された上床材３０の高さを調整することが可能である。
【００５８】
また、角載置手段５４に載置された上床材３０は、上床材３０の貫通孔３０ｄを貫通した長ボルト３２が、前記ネジ孔５２ａに締め込まれることにより、周壁部３０ｂの下端が載置板５４ｂに押圧されて、角載置手段５４とともにコーナー用ロッド５２に剛強に固定される。
【００５９】
また、図９は、隣接する上床材３０同士にプレストレスを導入して固定する例を示す説明図である。図示するように敷き並べられた複数の上床材３０のうち、隣接する上床材３０を貫通し連通する孔を形成し、この穴内に、端部にねじ部を有するプレストレス導入用の鋼棒６０やワイヤ等を挿通する。挿通した鋼棒６０等の両端部を上床の端部に位置する上床材３０から突出させる。鋼棒６０等には引張力を導入し、突出した両端のネジ部にナット６２を締め込むことによりプレストレスを導入して固定すると、上床をさらに剛な構造とすることが可能となり、振動抑制効果ないしは振動減衰性能をより向上させることが可能となる。
【００６０】
本実施形態によれば、この上床材３０は、周壁部３０ｂの下端が座板２６上に載置され、この座板２６は下床の近傍でスタッドボルト２０に固定されるので、この床に水平方向の振動が作用してもスタッドボルト２０の下端に作用するモーメントは小さいため、スタッドボルト２０が変形し難く、上床材３０とともに床全体の剛性を高めることができ、もって床上に載置された装置の振動を早期に減衰させることができる。
【００６１】
また、上床材３０は、全周にわたって設けられた周壁部３０ｂと、中壁部３０ｃとを一体に備えることによって、アルミという軽量な素材を肉抜きした形状であっても、高い剛性および強度を備えることができる。よって、従来の大型定盤のように大型機材や特殊な機材を用いることなく、搬入および施工作業を容易に行うことができる。
【００６２】
さらに、この上床材３０をアルミ製の簡単な構造とし、さらに一辺が６００ｍｍの正方形状として小型にしたので、砂型を用いて鋳造により製造することができ、さらに束材として汎用性の高いスタッドボルト２０を用いているので、この二重床構造を極めて安価に実現することができる。
【００６３】
上記実施形態では、床パネル部３０ａの形状を、正方形としたが、その他の形状、例えば長方形状、三角形状、六角形状などの多角形状でも構わず、それらを組み合わせて敷き詰めてもよい。
【００６４】
上記実施形態にあっては、上床材３０としてアルミ製のものを例示して説明したが、上床材３０としては、制振鋼材や制振合金などの周知の軽量な制振材料を素材として成形したものであっても良い。これら制振材料であっても、アルミの場合と同様にして、上床材３０を作成することができ、さらに良好な振動抑制効果ないしは振動減衰性能を確保することができる。
【００６５】
また、高さ調整板２４および角載置部５４の外形形状を図１０に示すような平面視六角形としたり、それらの外周部に図１１に示すスタッドボルト２０又はコーナー用ロッド５０に向かう開孔５６を備えて、その開孔５６に鋼棒５８等を挿入可能な構成とすると、高さ調整板２４および角載置部５４を容易に回転させて上下に移動させることが可能となり、高さ調整が容易となる。
【００６６】
また、上記実施形態においては、各スタッドボルト２０及び各コーナー用ロッド５２をそれぞれ別個のベース鋼板２２に立設させた例を示したが、図１２に示すように、複数の上床材３０が載置できるような細長い鋼板６４や、格子状の鋼板６６に多数のスタッドボルト２０及びコーナー用ロッド５２を立設する構成としてもよい。この場合には、工場等において細長い鋼板６４や、格子状の鋼板６６にスタッドボルト２０等を予め立設させておくことができる。これにより、スタッドボルト等を正確な位置に立設することができ、さらに現場でのスタッドボルト等の位置決めが不要となるため、効率よく施工することが可能となる。
【００６７】
また、上記実施形態においては、貫通手段として上床材に貫通孔を設けた例を示したが、円柱や角柱状の樹脂やゴム等を上床材３０を上下に貫通するように一体として設け、この樹脂やゴムの部位に、固定手段として自身がねじを切って締め込んでいくタッピンネジ等を用い、座板等に直接螺着する構成としてもよい。
【００６８】
【発明の効果】
以上説明したように、床面を形成する床パネル部には、その周縁に垂設された第１の壁部が周方向に繋がり、その第１の壁部に架け渡され一体をなす第２の壁部は、床パネル部の中央方向に向かって厚肉となっているので、極めて高い剛性を上床材に備えることができる。さらに、上床材は簡単な構造としたので安価に製造することが可能となる。
また、上床材は、下床から立設されたロッドに係止された上床載置手段に、上床材を貫通する固定手段によって固定するので、上床材を下床に確実に固定することが可能となる。
上床載置手段が有するタップ孔に、上床材を貫通するボルトが締め込まれて上床材が固定されるので、上床材を剛強に固定することが可能となる。
上床載置手段は、位置調整手段を有しているので、複数の上床材を貫通したボルトとタップ孔の位置を容易に整合させることが可能となり、施工性が向上する。
さらに、位置調整手段は、保持手段にロッドの外径より大きな開孔を設けることにより、容易に且つ安価に備えることができる。
【００６９】
また、複数の面で構成された第１の壁部の中央部分を厚肉とすることによって、上床材にさらに高い剛性を備えることが可能となり、そのうえ床パネル部を矩形状とすると、製造性が向上し、複数の上床材を敷き並べる場合には配置が容易であるため施工性も向上する。
【００７０】
さらに、第１の壁部の外周面は、下方に向かって前記上床材の内側に向かって傾斜しているので、隣接する上床材の床パネル部同士を突き合わせて、隙間なく敷き詰めることが可能となる。
【００７１】
また、前記第１の壁部は、前記下床の近傍まで垂下され、その下端が下床近傍で支持されているので、たとえ水平方向の振動が作用しても、支持手段は変形し難く、上床材を剛強に支持することができ、上床の振動を早期に減衰させることができる。
【００７２】
また、上床は複数の上床材が並べられて形成し、隣接する上床材の第１の壁部を一括して支持手段で支持するので、隣接する上床材の部位の高さを揃えることが容易となる。
【００７４】
また、複数の上床材を支持する複数のロッドを共通のベース板に立設すると、施工現場でのロッドの位置決めが不要となり、効率よく二重床を施工することが可能となる。
【００７８】
上床材が支持される支持手段が高さ調整手段を備えるので、複数の上床材を敷き並べた床面であっても、容易に平坦な床面を形成することが可能となる。
【００７９】
また、上下移動手段のねじ溝とロッドのねじ溝とを螺合した構成としたので、上下移動手段を回転させることにより、容易に高さ調整が可能となり、保持手段と、上下移動手段とを確実に且つ強固に固定して、上床材を安定して支持することが可能となる。
【００８０】
上下移動手段が、その外形形状が平面視六角形をなしていたり、その外周部にロッドに向かう開孔を備えている構成とすると、上下移動手段を容易に移動させることが可能となる。
【００８１】
また、当該保持手段の曲げ変形を抑制すべく該保持手段を支持する変形抑制手段を設けることにより、上床材をさらに安定して支持することが可能となり、二重床構造の振動抑制効果ないしは振動減衰性能をさらに向上させることが可能となる。
【００８２】
複数の変形抑制手段を、ロッドを中心とする円周上に等間隔で配置したので、保持手段の曲げ変形を効果的に抑えることが可能となる。
【００８３】
また、複数の変形抑制手段を、固定手段の保持手段への固定部との間を結ぶ線の延長上に配置したので、変形抑制手段と、ロッドとによって、固定手段による力の作用点の両側で支持し保持手段の曲げ変形を、さらに効果的に抑えることが可能となる。
【００８４】
前記変形抑制手段は、ネジロッドと、該ネジロッドに螺合されたナットとで構成したので、簡単な構成によって、保持手段の変形を抑制することが可能である。
【００８５】
複数の床材で形成される上床の角部を単独で支持し、且つ高さ調整手段を備えたので、上床を隅々まで容易に平坦に調整することが可能となる。
【００８６】
また、角部載置手段の内周部と、コーナー用ロッドの外周部とを螺合させたので、簡単な構成によって高さ調整手段を実現することが可能である。
【００８７】
上床材の角部は、固定手段をなすボルトをコーナー用ロッドのねじ孔に締め込んで固定するので、上床材及び角部載置部材を剛強に固定することが可能となる。
【００８８】
前記上床材をアルミ材で形成すると、製造性が向上し、且つ安価に製造することが可能となるとともに施工性も向上する。
【００８９】
上床材を制振材料で形成すると、二重床構造の振動抑制効果ないしは振動減衰性能をさらに向上させることができる。
【００９０】
また、隣接する上床材間に、それらを貫通しプレストレス導入用の緊張手段が設けられ、該緊張手段にプレストレスが導入されているので、床全体に高い振動抑制効果ないしは振動減衰性能を備えた二重床構造を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の二重床構造の一実施形態を示す断面図である。
【図２】座板を示す平面図である。
【図３】高さ調整板を示す平面図である。
【図４】上床材を示す平面図
【図５】上床材を示す側断面図である。
【図６】本発明の二重床構造の実施形態の変形例を示す座板周辺の一部破断側面図である。
【図７】図６に示した変形例の座板周辺の平面図である。
【図８】上床の角部における支持構造を示す説明図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側断面図である。
【図９】隣接する上床材同士にプレストレスを導入して固定する例を示す説明図である。
【図１０】高さ調整板および角載置手段の外形形状を平面視六角形とした場合の説明図である。
【図１１】高さ調整板および角載置手段にスタッドボルト又はコーナー用ロッドに向かう開孔を備えた場合の説明図である。
【図１２】複数の上床材を支持する複数のロッドを共通のベース板に立設する例を示す説明図である。
【符号の説明】
１２  床面
２６  座板
３０  上床材
３０ａ  床パネル部
３０ｂ  周壁部（第１の壁部）
３０ｃ  中壁部（第２の壁部）
１８  支持手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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