(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品収納部を棚横幅方向及び棚上下方向に並べて備える物品収納棚と、
その物品収納棚の前方の搬送車移動空間を棚横幅方向に移動し且つ昇降自在な物品支持用の昇降台を備える物品搬送車と、
浄化空気を前記物品収納棚の後部側から前記物品収納部を通過させて前記搬送車移動空間に流動させる浄化空気通流手段とが設けられた物品保管庫であって、
前記物品搬送車に、前記昇降台の車両走行方向での両端部夫々における車両横幅方向の中央部を各別に昇降自在に案内支持する前後一対の中央支柱体が備えられ、
車両走行方向及び車両上下方向に沿う姿勢の偏平状の整流体が、前記昇降台及び前記前後一対の中央支柱体の夫々から車両走行方向外方側に離れかつ前記昇降台から車両横幅方向において前記物品収納棚側に離れて位置する状態で、且つ、前記中央支柱体の全長又は略全長に亘って車両上下方向に沿う状態で前後一対設けられている物品保管庫。
【請求項２】
前記昇降台を案内支持する前後一対の支柱の夫々が、前記中央支柱体と、前記昇降台から車両横幅方向外方側に離れかつ前記中央支柱体から車両走行方向外方側に離れて位置する左右一対の補助支柱体と、前記中央支柱体と前記左右一対の補助支柱体とを上下方向複数箇所にて接続する複数の棒状部材とを備えて構成され、
前記補助支柱体から車両走行方向の一方側又は両方側に突出する状態で前記補助支柱体に支持された整流用部材が備えられ、
前記整流体が、前記補助支柱体とそれに支持された前記整流用部材とで構成されている請求項１記載の物品保管庫。
【請求項３】
前記物品収納棚が、前記搬送車移動空間の車両横幅方向両方側に設けられ、
前記整流体が、前記昇降台よりも車両横幅方向外方側に離れた位置に左右一対設けられている請求項１又は２記載の物品保管庫。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品保管庫がダウンフロー式のクリーンルーム内に設けられたクリーンルーム用の物品保管設備であって、
前記浄化空気通流手段が、前記搬送車移動空間の床部を通して浄化空気を下方に流動させるように構成されているクリーンルーム用の物品保管設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品収納部を棚横幅方向及び棚上下方向に並べて備える物品収納棚と、その物品収納棚の前方の搬送車移動空間を棚横幅方向に移動し且つ昇降自在な物品支持用の昇降台を備える物品搬送車と、浄化空気を前記物品収納棚の後部側から前記物品収納部を通過させて前記搬送車移動空間に流動させる浄化空気通流手段とが設けられた物品保管庫、及び、その物品保管庫がダウンフロー式のクリーンルーム内に設けられたクリーンルーム用の物品保管設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品保管庫は、物品搬送車を棚横幅方向に移動させ且つ昇降台を棚上下方向に昇降させて、半導体製品や液晶表示素子等の製品の仕掛かり品等の物品を物品収納部に搬送し、物品収納部に保管されている物品をその物品に処理を施す物品処理装置や外部等に搬送するものである。
そして、浄化空気通流手段により、浄化空気を物品収納棚の後部側から物品収納部を通過させて搬送車移動空間に流動させることにより、物品搬送車が走行することにより塵埃が発生し易い搬送車移動空間から物品収納部側に空気が流動し難くして、物品収納部を塵埃の少ない環境に維持するように構成してある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−０８１４０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、物品搬送車が搬送車移動空間を移動すると昇降台の車両走行方向前方側の浄化空気が圧縮状態となり、その圧縮状態の浄化空気は、物品搬送車が減速又は停止するに伴って車両走行方向前方側に膨張し、その膨張した浄化空気の一部が、浄化空気通流手段による浄化空気の流動に勝って物品収納棚側にも流動する。
従って、従来では、物品搬送車が減速又は停止するに伴って、昇降台の車両走行方向前方側の圧縮状態の浄化空気の一部が物品収納棚側に流動することに起因して、搬送車移動空間から物品収納部に浄化空気が逆流すると、物品収納部の清浄度が低下することになる。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、物品保管部の清浄度を向上し得る物品保管庫、及び、その物品保管庫がダウンフロー式のクリーンルーム内に設けられたクリーンルーム用の物品保管設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的を達成するために、本発明にかかる物品保管庫は、物品収納部を棚横幅方向及び棚上下方向に並べて備える物品収納棚と、その物品収納棚の前方の搬送車移動空間を棚横幅方向に移動し且つ昇降自在な物品支持用の昇降台を備える物品搬送車と、浄化空気を前記物品収納棚の後部側から前記物品収納部を通過させて前記搬送車移動空間に流動させる浄化空気通流手段とが設けられたものであって、その第１特徴構成は、前記物品搬送車に、前記昇降台の車両走行方向での両端部夫々における車両横幅方向の中央部を各別に昇降自在に案内支持する前後一対の中央支柱体が備えられ、車両走行方向及び車両上下方向に沿う姿勢の偏平状の整流体が、前記昇降台及び前記前後一対の中央支柱体の夫々から車両走行方向外方側に離れかつ前記昇降台から車両横幅方向において前記物品収納棚側に離れて位置する状態で、且つ、前記中央支柱体の全長又は略全長に亘って車両上下方向に沿う状態で前後一対設けられている点にある。
【０００７】
すなわち、車両走行方向及び車両上下方向に沿う姿勢の偏平状の整流体が、昇降台から車両走行方向外方側に離れかつ昇降台から車両横幅方向において物品収納棚側に離れて位置する状態で設けられているから、昇降台の車両走行方向前方側から物品収納棚側に流動する浄化空気は、昇降台の昇降位置に拘らず、整流体によって物品搬送車の車両走行方向前方側に受け止め案内され、また、昇降台の車両走行方向前方側から車両走行方向後方側に流動する浄化空気は、昇降台と整流体との間を通して昇降台の車両走行方向後方側に流動する。
【０００８】
よって、物品搬送車が搬送車移動空間を移動することにより昇降台の車両走行方向前方側の浄化空気が圧縮状態となり、その圧縮状態の浄化空気が、物品搬送車が減速又は停止するに伴って車両走行方向前方側に拡散して物品収納棚側に流動したとしても、その物品収納棚側に流動する浄化空気は、昇降台の昇降位置に拘らず、整流体によって物品搬送車の車両走行方向の前方側に受け止め案内されるから、整流体よりも物品収納棚側に浄化空気が流動するのが抑えられるため、搬送車移動空間から物品収納部に浄化空気が逆流するのを抑制することができる。
また、物品搬送車が搬送車移動空間を移動するときに、昇降台の車両走行方向前方側の浄化空気を昇降台と整流体との間を通して昇降台の車両走行方向後方側に流動させることができるため、整流体を設けても昇降台の車両走行方向前方側の浄化空気が圧縮状態となり難く、浄化空気の拡散が抑えられるので、搬送車移動空間から物品収納部に浄化空気が逆流するのを抑制することができる。
従って、浄化空気が物品収納部に逆流するのを抑制することができるため、物品収納部の清浄度を向上させることができ、もって、物品収納部の清浄度を向上し得る物品保管庫を提供することができるに至った。
【００１０】
また、前記中央支柱体の全長又は略全長に亘って車両上下方向に沿う状態で設けられている整流体が、前後一対の中央支柱体の夫々よりも車両走行方向外方側に離れて位置する状態で設けられているから、搬送車移動空間を物品搬送車が棚横幅方向を往復移動したとしても、その物品搬送車の走行方向に拘らず、中央支柱体の車両走行方向前方側から物品収納棚側に流動する浄化空気は、整流体によって物品搬送車の走行方向前方側に受け止め案内され、また、中央支柱体の車両走行方向前方側から中央支柱体の車両走行方向後方側に流動する浄化空気は、中央支柱体と整流体との間を通して中央支柱体の車両走行方向後方側に流動する。
【００１１】
よって、物品搬送車が搬送車移動空間を移動することにより中央支柱体にてその中央支柱体の車両走行方向前方側で浄化空気が圧縮されて、その中央支柱体にて圧縮された浄化空気が、物品搬送車が減速又は停止するに伴って車両走行方向前方側に拡散して物品収納棚側に流動したとしても、その物品収納棚側に流動する浄化空気は、整流体によって物品搬送車の車両走行方向の前方側に受け止め案内されるため、整流体よりも車両横幅方向の物品収納棚側に浄化空気が流動するのが抑えられるので、搬送車移動空間から物品収納部に浄化空気が逆流するのを抑制することができる。
また、物品搬送車が搬送車移動空間を移動するときに、中央支柱体の車両走行方向前方側の浄化空気を中央支柱体と整流体との間を通して中央支柱体の車両走行方向後方側に流動させることができるため、整流体を設けたものにしては中央支柱体の車両走行方向前方側の浄化空気が圧縮状態となり難く、浄化空気の拡散が抑えられるので、搬送車移動空間から物品収納部に浄化空気が逆流するのを抑制することができる。
そして、搬送車移動空間を物品搬送車が棚横幅方向を往復移動したとしても、その物品搬送車の走行方向に拘らず搬送車移動空間から物品収納部に浄化空気が逆流するのを抑制することができる。
ちなみに、整流体は、前記中央支柱体の全長又は略全長に亘って車両上下方向に沿う状態で設けることにより、昇降台の昇降移動範囲の全範囲において昇降台に対応して位置する状態で設けられている。
従って、浄化空気が物品収納部に逆流するのを物品搬送車の走行方向に拘らず抑制することができるため、物品収納部の清浄度を向上させることができ、もって、物品収納部の清浄度を向上し得る物品保管庫を提供することができるに至った。
【００１２】
本発明にかかる物品保管庫の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記昇降台を案内支持する前後一対の支柱の夫々が、前記中央支柱体と、前記昇降台から車両横幅方向外方側に離れかつ前記中央支柱体から車両走行方向外方側に離れて位置する左右一対の補助支柱体と、前記中央支柱体と前記左右一対の補助支柱体とを上下方向複数箇所にて接続する複数の棒状部材とを備えて構成され、前記補助支柱体から車両走行方向の一方側又は両方側に突出する状態で前記補助支柱体に支持された整流用部材が備えられ、前記整流体が、前記補助支柱体とそれに支持された前記整流用部材とで構成されている点にある。
【００１３】
すなわち、中央支柱体と複数の棒状部材にて接続された左右一対の補助支柱体を、昇降台から車両横幅方向外方側に離れかつ中央支柱体から車両走行方向外方側に離れて位置させることにより、前後一対の支柱の車両横幅方向及び車両走行方向の強度が高められているから、昇降台に重量物を物品として支持させることができるものとなる。
そして、整流体を補助支柱体とそれに支持された整流用部材とで構成し、補助支柱体を利用して整流体を構成しているから、整流体を構成すべく新たに設ける整流用部材が小さなものでよく、さらに、整流体が中央支柱体の全長又は略全長に亘って車両上下方向に沿う状態で設けやすいものとなるため、整流体の構成の簡素化を図ることができる。
また、中央支柱体と左右一対の補助支柱体とが上下方向複数箇所にて棒状部材にて接続されているから、中央支柱体と左右一対の補助支柱体との間を浄化空気が通気可能となり、中央支柱体の走行方向前方側において浄化空気が圧縮され難くなるため、浄化空気が物品収納棚側に流動するのが抑えられ、搬送車移動空間から物品収納部に浄化空気が逆流するのを抑制することができる。
従って、支柱の強度を高めるべく設けられた左右一対の補助支柱体を利用して整流体を設けることにより、整流体の構成の簡素化を図ることができ、また、中央支柱体と左右一対の補助支柱体との間を浄化空気が通気可能とすることにより、物品収納部の清浄度を向上させることができる物品保管庫を提供することができるに至った。
【００１４】
本発明にかかるクリーンルーム用の物品保管設備は、第１又は第２特徴構成を備えた物品保管庫がダウンフロー式のクリーンルームに設けられたものであって、その第１特徴構成は、前記浄化空気通流手段が、前記搬送車移動空間の床部を通して浄化空気を下方に流動させるように構成されている点にある。
【００１５】
すなわち、浄化空気通流手段の通流作用により、浄化空気が、物品収納棚の後部側から物品収納部を通過して搬送車移動空間に流動し、搬送車移動空間からその搬送車移動空間の床部を通して下方に流動するから、塵埃が発生し易い搬送車移動空間から浄化空気が物品収納部に逆流することを抑制することができるため、物品収納部の清浄度を向上することができ、もって、物品収納部の清浄度を向上し得る物品保管庫がダウンフロー式のクリーンルーム内に設けられたクリーンルーム用の物品保管設備を提供することができるに至った。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。
図１及び図２に示すように、本発明に係るクリーンルーム用の物品保管設備（以下、単に物品保管設備と記載する場合がある）は、物品保管庫Ｗを清浄化された浄化空気が天井側から床側に向けて下向きに通流するダウンフロー式のクリーンルーム１内に設けて、例えば、半導体製品や液晶表示素子等の製品の仕掛かり品等の板状体を容器Ｃに収納した状態で塵埃の少ない環境にて保管するようになっている。ちなみに、この実施形態では、容器Ｃを物品として搬送したり保管したりするように構成してある。
尚、図２は、図１のイ−イ矢視図である。
【００１７】
ダウンフロー式のクリーンルーム１について説明を加えると、図２に示すように、クリーンルーム１の床部を、通気孔が多数形成された多孔状のグレーティング床２に形成し、クリーンルーム１の天井に天井吹出部３を形成して、グレーティング床２を通して吸引した吸引空気を天井吹出部３から吹き出す形態で、浄化空気をクリーンルーム１に循環させるクリーンルーム用循環通風手段Ｆを設けてある。
【００１８】
このクリーンルーム用循環通風手段Ｆについて、説明を加えると、前記グレーティング床２の下方側に吸気室４を設け、前記天井吹出部３にＨＥＰＡフィルタ等からなるエアーフィルタ５を並設し、その天井吹出部３の上方側に空気チャンバ室６を設けて、それら吸気室４と空気チャンバ室６とを接続流路７にて連通接続してある。
又、接続流路７に、循環用送風機８を前記吸気室４に吸引作用するように設け、更に、接続流路７における循環用送風機８の空気吐出側の部分にプレフィルタ９を設けてある。
つまり、クリーンルーム用循環通風手段Ｆを、前記グレーティング床２、前記吸気室４、前記接続流路７、前記循環用送風機８、前記プレフィルタ９、前記空気チャンバ室６、前記天井吹出部３及び前記エアーフィルタ５等を備えて構成してある。
【００１９】
そして、循環用送風機８の通風作用により、クリーンルーム１内の空気がグレーティング床２を通して吸気室４に吸い込まれ、その吸気室４に吸い込まれた空気が接続流路７を流動してプレフィルタ９を通過して清浄化された後、空気チャンバ室６に流入し、更に、天井吹出部３に設けられたエアーフィルタ５を通過して清浄化された後、天井吹出部３からクリーンルーム１内に向けて下向きに吹き出されるように構成してある。
従って、クリーンルーム１内の空気が、プレフィルタ９及びエアーフィルタ５を通過しながら上述の経路を通して循環されることにより、常に浄化空気が天井吹出部３から下方に吹き出される状態でクリーンルーム１に供給されて、クリーンルーム１内が清浄度の高い状態に維持される構成となっている。
【００２０】
更に、前記接続流路７における前記循環用送風機８の吸い込み側の部分に、外気取入流路１０を接続すると共に、その外気取入流路１０に外気取入量調節用ダンパ１１を設け、前記接続流路７における前記循環用送風機８の吐出側の部分に、排気流路１２を接続すると共に、その排気流路１２に排気量調節用ダンパ１３を設けてある。
そして、外気取入量調節用ダンパ１１及び排気量調節用ダンパ１３夫々の開度を調節することにより、前記クリーンルーム用循環通風手段Ｆにて循環されるクリーンルーム１内の浄化空気のうちの所定量を新鮮な空気と交換するように構成してある。
【００２１】
次に、図１ないし図４に基づいて、物品保管設備の構成について説明する。
前記物品保管庫Ｗは、物品収納部１４を棚横幅方向及び棚上下方向に複数並べて備えた物品収納棚Ｓと、その物品収納棚Ｓの前方の搬送車移動空間１５を棚横幅方向に移動するスタッカークレーン（物品搬送車に相当する）Ｖと、浄化空気を前記物品収納棚Ｓの後部側から前記物品収納部１４を通過させて前記搬送車移動空間１５に流動させ且つその搬送車移動空間１５の床部（グレーティング床２における搬送車移動空間１５に対応する床部分）を通して浄化空気を下方に流動させる浄化空気通流手段Ｂとを備えて構成し、その物品保管庫Ｗをクリーンルーム１内に設けてある。
尚、図３は、図１のロ−ロ矢視図である。
【００２２】
この実施形態では、前記物品収納棚Ｓが、夫々の前方側を互いに向かい合わせた状態で且つ互いの間に前記搬送車移動空間１５を形成すべく間隔を隔てる状態で、前記搬送車移動空間１５の車両横幅方向両方側に設けられている。
ちなみに、この一対の物品収納棚Ｓは、前記クリーンルーム１のグレーティング床２上に設けてある。
【００２３】
そして、このように設けた一対の物品収納棚Ｓの側周囲を、棚上下方向両端部が開口する矩形筒状の周壁２５にて、各物品収納棚Ｓの棚横幅方向両端部から搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔ及び排気用空間１６を形成すべく間隔を隔てた状態で、且つ、各物品収納棚Ｓの棚前後方向後端部とは後述する空気流通空間１９を形成すべく間隔を隔てた状態で囲んである。
つまり、搬送車移動空間１５を物品収納棚Ｓよりも棚横幅方向外方に突出する形態で設け、物品収納棚Ｓの横側部に排気用空間１６を設けてあり、搬送車移動空間１５における物品収納棚Ｓよりも棚横幅方向外方に突出する外方突出部１５ｔと排気用空間１６とが空気流動可能に連通されている。また、各物品収納棚Ｓの後部に、前記クリーンルーム１の天井吹出部３から吹き出された浄化空気を物品収納部１４に案内するための空気流通空間１９を設けてある。尚、各物品収納棚Ｓと排気用空間１６とは板状体１７にて仕切ってある。
【００２４】
図１に示すように、前記周壁２５において各排気用空間１６に対応する部分には、その排気用空間１６に出入りするための開口部を開閉する排気空間用扉２６を設け、前記周壁２５において搬送車移動空間１５の一方の外方突出部１５ｔに対応する部分には、搬送車移動空間１５に出入りするための開口部を開閉する移動空間用扉２７を設けてある。
尚、図示は省略するが、前記排気用空間１６には、物品保管設備の運転を制御する制御装置や分電盤等を、前記搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔからの浄化空気の流動を妨げない状態で設けてある。
【００２５】
前記浄化空気通流手段Ｂを、クリーンルーム１の天井吹出部３から吹き出された浄化空気を空気流通空間１９にて案内して物品収納部１４に供給し且つその物品収納部１４を通過して搬送車移動空間１５に流動する浄化空気をその搬送車移動空間１５からグレーティング床２を通して下方に流動させる形態で、浄化空気を流動させるように構成してある。
つまり、前記浄化空気通風手段Ｂを、前記空気流通空間１９、前記グレーティング床２、前記接続流路７及び前記循環用送風機８等を備えて構成して、前記クリーンルーム用循環通風手段Ｆを構成する前記循環用送風機８を、浄化空気通風手段Ｂ用の送風機に兼用する状態で構成してある。
【００２６】
図４に示すように、各物品収納棚Ｓは、前後一対の棚用支柱２１を棚横幅方向に並べ、前後一対の棚用支柱２１に亘って棚上下方向に複数の物品支持枠２２を支持する状態で、物品収納部１４を棚横幅方向及び棚上下方向に複数並べて構成し、物品収納部１４を、棚横幅方向に隣接する左右一対の物品支持枠２２にて容器Ｃを載置支持する形態で容器Ｃを収納するように構成してある。また、棚横幅方向に複数並ぶ前後一対の棚用支柱２１の上端を、矩形状の上部枠体２３にて一体的に連結してある。
そして、上述の如く各物品収納棚Ｓを構成することにより、物品収納部１４を、棚横幅方向に隣接するもの同士及び棚上下方向に隣接するもの同士が空気流動可能に連通する状態で、棚横幅方向及び棚上下方向に複数並べて設けて、物品収納効率を向上するようにしてある。
尚、図示は省略するが、物品収納棚Ｓに備えた複数の物品収納部１４のうちの１個を用いて、クリーンルーム１から物品収納棚Ｓに容器Ｃを搬入するための搬入口を形成し、他の１個を用いて、物品収納棚Ｓからクリーンルーム１に容器Ｃを搬出するための搬出口を形成してある。
【００２７】
前記グレーティング床２における各物品収納棚Ｓの設置箇所に対応する床部分及び前記空気流通空間１９に対応する床部分の開口率を、前記グレーティング床２における前記搬送車移動空間１５に対応する床部分及び前記排気用空間１６に対応する床部分の開口率よりも小さく形成してある。
具体的には、グレーティング床２における各物品収納棚Ｓの設置箇所に対応する床部分及び前記空気流通空間１９に対応する床部分の開口率を１８％、グレーティング床２における搬送車移動空間１５に対応する床部分及び排気用空間１６に対応する床部分夫々の開口率を５０％に設定してある。
又、前記物品収納棚Ｓの各横側部における前端縁部と前記周壁２５との間の棚横幅方向に開口する開口部分には、その開口部分の下方側部分を空気流動可能な状態で閉じる多孔状板状体２９を設けてある。
【００２８】
次に、前記スタッカークレーンＶについて、説明を加える。
図５及び図６に示すように、スタッカークレーンＶは、車両横幅方向に並ぶ状態で床面（グレーティング床２の上面）に設置された左右一対の走行レール（軌道に相当）３２の夫々に対して車両走行方向（棚横幅方向と同方向）に一対の走行輪３１を備える状態に構成された走行台車３４に、物品支持用の昇降台３６の車両走行方向での両端部夫々を各別に昇降自在に案内支持する前後一対の支柱３５を立設してある。
そして、前後一対の支柱３５の上端部同士を上部フレーム３７にて連結してある。また、前記昇降台３６に、車両横幅方向に出退移動する物品移載用の載置体５７を設けてある。
尚、図５は、スタッカークレーンの側面図を示しており、図面上の左側部分は縦断面図である。
【００２９】
図５に示すように、前記走行台車３４を、車両走行方向内方側が開口するコ字状に形成された前後一対の端部用枠体３４ａと、前後一対の端部用枠体３４ａにおける車両横幅方向外方側の端部同士を互いに連結する左右一対の中間部用枠体３４ｂと、各端部用枠体３４ａの車両走行方向内方側の端部同士を連結する前後一対の連結用枠体３４ｃとを備えて、平面視で目字状に形成してある。そして、走行台車３４の車両横幅方向中央部には端部用枠体３４ａと連結用枠体３４ｃとに亘って支持用枠体３４ｄを架設してある。
【００３０】
前記前後一対の端部用枠体３４ａの夫々における棚横幅方向両端部に、前記走行輪３１及びこの走行輪３１を各別に回転駆動させる走行用モータ３８とが設けられており、４つの走行用モータ３８にて４つの走行輪３１を各別に回転駆動させることにより、走行台車３４を棚横幅方向に沿って走行移動するように構成してある。
また、中間部用枠体３４ｂには、車両横幅方向外方側から浄化空気を吸引してその浄化空気を下方に向けて排出するためのファンを備えてある。
【００３１】
前記前後一対の支柱３５の夫々を、前記昇降台３６における車両横幅方向の中央部を案内支持する中央支柱体４１と、前記昇降台３６から車両横幅方向外方側に離れかつ前記中央支柱体４１から車両走行方向外方側に離れて位置する左右一対の補助支柱体４２とを、連結体４３にて接続して構成してある。
また、図６に示すように、前記左右一対の補助支柱体４２を、車両走行方向視にて、左右の走行輪３１よりも車体内方側に位置するように設けてある。
【００３２】
そして、中央支柱体４１は、走行台車３４の車両横幅方向中央部に位置する支持用枠体３４ｄに立設させることにより、前記昇降台３６における車両横幅方向の中央部を案内支持すべく、昇降台３６の車両走行方向外方側に隣接する位置に位置させている。
また、左右一対の補助支柱体４２は、平面視コ字状の端部用枠体３４ａにおける車両横幅方向に伸びる部分の車両横幅方向の両端部に立設させることにより、前記昇降台３６から車両横幅方向外方側に離れかつ前記中央支柱体４１から車両走行方向外方側に離れて位置させている。
また、前記連結体４３は、前記中央支柱体４１と前記左右一対の補助支柱体４２とを上下方向複数箇所にて接続する複数の棒状部材４３ａで構成してある。
【００３３】
前後一対の中央支柱体４１の夫々に、昇降台３６における車両走行方向外方側の端部でかつ車両横幅方向の中央部に設けた係合部材４４を摺動移動自在に案内するガイドレール４５を備えてあり、このガイドレール４５と係合部材４４との各組によりリニアガイドを構成してある。
【００３４】
図５及び図６に示すように、走行台車３４における前後一対の支持用枠体３４ｄの夫々には、左右一対の昇降用モータ４６と、この昇降用モータ４６にて各別に回転駆動される左右一対の駆動回転体４７とが備えられており、前記支柱３５における上端部の夫々には、回転自在な左右一対の従動回転体４８が備えられている。
そして、駆動回転体４７の夫々に下方側用の昇降用ベルト４９を巻き掛け、従動回転体４８の夫々に上方側用の昇降用ベルト４９を巻き掛けている。
車両走行方向一方側に位置する２本の下方側用の昇降用ベルト４９及び２本の上方側用の昇降用ベルト４９の夫々を、一端を昇降台３６の車両走行方向一端部に連結しかつ他端を前後一対の中央支柱体４１よりも車両走行方向一方側に位置するバランスウェイト５０に連結してある。また、車両走行方向他方側に位置する２本の下方側用の昇降用ベルト４９及び２本の上方側用の昇降用ベルト４９の夫々を、一端を昇降台３６の車両走行方向他端部に連結しかつ他端を前後一対の中央支柱体４１よりも車両走行方向他方側に位置するバランスウェイト５０に連結してある。
つまり、４つの昇降用モータ４６にて４つの駆動回転体４７を各別に回転駆動させることにより、昇降台３６を棚上下方向に沿って昇降移動するように構成してある。
【００３５】
図８に示すように、係合部材４４の昇降経路及びガイドレール４５を覆う内方側カバー５１を、車両上下方向に沿う状態で前後一対の中央支柱体４１夫々の車両走行方向内方側に支持しており、バランスウェイト５０の昇降経路を覆う外方側カバー５２を、前後一対の中央支柱体４１夫々の車両走行方向外方側に支持している。
そして、図６に示すように、クリーンルーム１内の浄化空気を外方側カバー５２内に導入するファンフィルタユニット５３を外方側カバー５２に設けてある。
【００３６】
図９に示すように、前記昇降台３６には、物品収納部１４と自己との間で容器Ｃを移載可能なフォーク式の物品移載装置５５を支持してある。
この物品移載装置５５は、上下軸心Ｐ１周りに旋回自在な旋回台５６、及び、その旋回台５６上に設けられた載置体５７を出退移動自在に支持するリンク機構５８から構成している。そして、物品移載装置５５は、旋回台５６の旋回により載置体５７を旋回移動可能で、且つ、リンク機構５８の伸縮により載置体５７を昇降台３６上に引退させた状態（図７参照）や載置体５７を物品収納部１４側に突出させた状態（図９参照）に切り換え可能に構成してある。
【００３７】
図５及び図７に示すように、スタッカークレーンＶには、車両走行方向及び車両上下方向に沿う姿勢の偏平状の整流体５９を、前記昇降台３６から車両走行方向外方側に離れかつ前記昇降台３６から車両横幅方向において前記物品収納棚Ｓ側に離れて位置する状態で、且つ、前記昇降台３６の昇降移動範囲の全範囲において前記昇降台３６に対応して位置する状態で設けてある。
説明を加えると、前記整流体５９を、前記前後一対の中央支柱体４１の夫々よりも車両走行方向外方側に離れて位置する状態でかつ前記中央支柱体４１の全長又は略全長に亘って車両上下方向に沿う状態で前後一対設けてある。
また、前記整流体５９を、前記昇降台３６よりも車両横幅方向外方側に離れた位置に左右一対設けてある。
【００３８】
前記補助支柱体４２から車両走行方向の両方側に突出する状態で前記補助支柱体４２に支持された整流用部材５９ａを備えており、前記整流体５９を、前記補助支柱体４２とそれに支持された前記整流用部材５９ａとで構成してある。
説明を加えると、図８に示すように、補助支柱体４２の夫々を、車両走行方向及び車両上下方向に沿う姿勢の扁平状に形成し、平面視では車両走行方向に沿う姿勢の扁平な矩形状に形成してある。
そして、補助支柱体４２の夫々に支持される整流用部材５９ａとして、車両走行方向内方側に突出する状態で補助支柱体４２に支持される内方側の整流用部材５９ａと、車両走行方向外方側に突出する状態で補助支柱体４２に支持される外方側の整流用部材５９ａとを支持してある。
内方側の整流用部材５９ａを、平面視で車両走行方向の内方側端部側ほど漸次細くなる先細り形状に形成し、外方側の整流用部材５９ａを、平面視で車両走行方向の外方側端部側に膨出する半円状に形成して、整流体５９における車両走行方向の両端部が平面視で先細り形状となるように形成してある。
また、内方側の整流用部材５９ａを、その車両走行方向内方側の端部が中央支柱体４１と車両横幅方向に並ぶような長さに構成し、外方側の整流用部材５９ａを、その車両走行方向外方側の端部が走行台車３４の後端よりわずかに車両走行方向内方側に位置する長さに構成してある。
ちなみに、補助支柱体４２の車両横幅方向の両側の側面と内方側及び外方側の整流用部材５９ａの車両横幅方向の両側の側面とが面一となるように構成してある。また、整流体５９は、中央支柱体４１よりも車両上下方向に少し短い長さで且つ補助支柱体４２と車両上下方向に同じ長さになるように構成されている。
【００４０】
〔別実施の形態〕
（１）  上記実施の形態では、整流体５９を、前後一対の中央支柱体４１の夫々よりも車両走行方向外方側に離れて位置する状態で設けたが、整流体５９を、中央支柱体４１と車両横幅方向に並ぶように設けてもよく、また、整流体５９を、中央支柱体４１から車両走行方向外方側に隣接する位置に設けてもよく、整流体５９は、昇降台３６から車両走行方向外方側に離れて位置する状態であればよい。
【００４１】
（２）  上記実施の形態では、前後一対の支柱３５の夫々を、中央支柱体４１と、左右一対の補助支柱体４２と、中央支柱体４１と左右一対の補助支柱体４２とを接続する複数の棒状部材４３ａとで構成したが、前後一対の支柱３５の夫々を、中央支柱体４１にて構成してもよい。
また、上記実施の形態では、左右一対の補助支柱体４２を、昇降台３６から車両横幅方向外方側に離れかつ中央支柱体４１から車両走行方向外方側に離れて位置するように設けたが、左右一対の補助支柱体４２を、中央支柱体４１から車両走行方向外方側に離れて位置するように設けなくてもよく、例えば、左右一対の補助支柱体４２を、中央支柱体４１と車両横幅方向に並ぶように設けてもよく、また、中央支柱体４１から車両走行方向外方側に隣接する位置に設けてもよい。
【００４２】
（３）  上記実施の形態では、整流体５９を、補助支柱体４２とそれに支持された整流用部材５９ａとで構成したが、整流用部材５９ａを設けずに、整流体５９を、補助支柱体４２にて構成してもよく、また、整流体５９を補助支柱体４２から離れた箇所に設ける場合や、補助支柱体４２が設けられていない場合等において、整流体５９を、整流用部材５９ａにて構成してもよい。
ちなみに、整流体５９を補助支柱体４２とそれに支持された整流用部材５９ａとで構成する場合、整流用部材５９ａを樹脂材にて構成して整流体５９の軽量化を図るように構成してもよい。
【００４３】
（４）  上記実施の形態では、物品収納棚Ｓを、搬送車移動空間１５の車両横幅方向両方側に設けたが、物品収納棚Ｓを、搬送車移動空間１５の車両横幅方向一方側にのみ設けるように構成してもよい。
このように、物品収納棚Ｓを搬送車移動空間１５の車両横幅方向一方側にのみ設けた場合、整流体５９を、昇降台３６よりも車両横幅方向外方側における物品収納棚Ｓが存在する一方側にのみ設けるように構成してもよい。
ちなみに、物品収納棚Ｓを搬送車移動空間１５の車両横幅方向一方側にのみ設けた場合でも、整流体５９を、昇降台３６よりも車両横幅方向外方側の両方側に設けてもよい。
【００４４】
（５）  上記実施の形態では、物品保管庫Ｗを、ダウンフロー式にクリーンルーム１内に設けたが、物品保管庫Ｗを、ダウンフロー式ではないクロス張りの簡易式のクリーン空間に設置してもよく、また、クリーン化されていない空間に設置してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】クリーンルーム用の物品保管設備を示す平面図
【図２】図１におけるイ−イ矢視図
【図３】図１におけるロ−ロ矢視図
【図４】クリーンルーム用の物品保管設備の要部を示す斜視図
【図５】スタッカークレーンを示す側面図
【図６】スタッカークレーンを示す正面図
【図７】走行台車を示す平面図
【図８】支柱を示す横断平面図
【図９】スタッカークレーンを示す平面図
【符号の説明】
【００４６】
１    クリーンルーム
１４    物品収納部
１５    搬送車移動空間
３５    支柱
３６    昇降台
４１    中央支柱体
４２    補助支柱体
４３ａ  棒状部材
５９    整流体
５９ａ  整流用部材
Ｂ    浄化空気通流手段
Ｓ    物品収納棚
Ｖ    物品搬送車
Ｗ    物品保管庫
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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