【手続補正書】
【提出日】平成25年3月11日(2013.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動板と、
一端が前記可動板と連結され、所定の軸の周りに前記可動板を回動可能に支持する、弾性支持部と、
前記弾性支持部の他端と連結された支持部材と、を備え、
前記弾性支持部は、上面、下面、及び側面を有し、前記側面は、前記上面又は前記下面よりも外側に存在する１つ又は複数の斜面によって形成され、
前記弾性支持部の上面及び側面に、光吸収部が設けられている、光偏向器。
【請求項２】
可動板と、
一端が前記可動板と連結され、所定の軸の周りに前記可動板を回動可能に支持する、弾性支持部と、
前記弾性支持部の他端と連結された支持部材と、を備え、
前記支持部材は、上面、下面、及び側面を有し、前記側面は、前記上面又は前記下面よりも外側に存在する１つ又は複数の斜面によって形成され、
前記支持部材の上面及び側面に、光吸収部が設けられている、光偏向器。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光偏向器であって、
前記可動板は、反射部が形成された上面、下面、及び側面を有し、前記可動板の側面は、前記可動板の上面又は下面よりも外側に存在する１つ又は複数の斜面によって形成され、
前記可動板の側面に、光吸収部が設けられている、光偏向器。
【請求項４】
上面、下面、及び側面を有する可動板と、
上面、下面、及び側面を有し、一端が前記可動板と連結され、所定の軸の周りに前記可動板を回動可能に支持する、弾性支持部と、
前記弾性支持部の他端と連結された支持部材と、を形成する第１工程と、
前記弾性支持部の上面及び側面に、光吸収部を形成する第２工程と、
前記可動板の上面に反射部を形成する第３工程と、を備え、
前記第１工程において、
前記弾性支持部の側面は、前記弾性支持部の上面又は下面よりも外側に存在する１つ又は複数の斜面によって形成する、光偏向器の製造方法。
【請求項５】
上面、下面、及び側面を有する可動板と、
一端が前記可動板と連結され、所定の軸の周りに前記可動板を回動可能に支持する、弾性支持部と、
上面、下面、及び側面を有し、前記弾性支持部の他端と連結された支持部材と、を形成する第１工程と、
前記支持部材の上面及び側面に光吸収部を形成する第２工程と、
前記可動板の上面に反射部を形成する第３工程と、を備え、
前記第１工程において、
前記支持部材の側面は、前記支持部材の上面又は下面よりも外側に存在する１つ又は複数の斜面によって形成する、光偏向器の製造方法。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の光偏向器の製造方法であって、
前記第１工程において、
前記可動板の側面は、前記可動板の上面又は下面よりも外側に存在する１つ又は複数の斜面によって形成し、
前記第２工程において、前記可動板の側面に光吸収部を形成する、光偏向器の製造方法。
【請求項７】
光反射性を有する光反射部が設けられた可動板と、
支持部と、
前記可動板を前記支持部に対して回動可能に連結する連結部とを備え、
前記連結部は、前記可動板の回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動板の一方の面側から他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動板の板面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記連結部の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられていることを特徴とする光偏向器。
【請求項８】
前記光吸収部は、さらに前記連結部の前記他方の面側の面に設けられていることを特徴とする請求項７に記載の光偏向器。
【請求項９】
前記光反射部は、前記可動板の前記他方の面に設けられることを特徴とする請求項８に記載の光偏向器。
【請求項１０】
光反射性を有する光反射部が設けられた可動板と、
支持部と、
前記可動板を前記支持部に対して回動可能に連結する連結部とを備え、
前記支持部は、前記可動板の回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動板の一方の面側から他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動板の板面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記支持部の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられていることを特徴とする光偏向器。
【請求項１１】
前記連結部は、前記回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動板の前記一方の面側から前記他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動板の板面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記連結部の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられていることを特徴とする請求項１０に記載の光偏向器。
【請求項１２】
前記光吸収部は、前記連結部の前記他方の面側の面に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の光偏向器。
【請求項１３】
前記光吸収部は、前記支持部の前記他方の面側の面に設けられていることを特徴とする請求項１２に記載の光偏向器。
【請求項１４】
前記光反射部は、前記可動板の前記他方の面に設けられることを特徴とする請求項１２または１３に記載の光偏向器。
【請求項１５】
前記可動板は、その回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動板の一方の面側から他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動板の板面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記可動板の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられている請求項７ないし１４のいずれかに記載の光偏向器。
【請求項１６】
請求項７ないし１５のいずれかに記載の光偏向器の製造方法であって、
面方位（１００）のシリコン基板をエッチングすることにより、前記可動板、前記支持部および前記連結部を形成する第１の工程と、
前記光吸収部を形成する第２の工程と、
前記光反射部を形成する第３の工程とを有することを特徴とする光偏向器の製造方法。
【請求項１７】
回動中心軸まわりに回動可能な可動部、前記可動部と連結した連結部、前記連結部を支持した支持部、を含む基板と、
前記可動部に位置し、かつ光反射性を有する光反射部と、
前記可動部を前記回動中心軸まわりに回動させる駆動部と、を備え、
前記連結部は、前記回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動部の一方の面側から他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動部の前記一方の面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記連結部の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられていることを特徴とする光偏向器。
【請求項１８】
前記光吸収部は、さらに前記連結部の前記他方の面側の面に設けられていることを特徴とする請求項１７に記載の光偏向器。
【請求項１９】
前記光反射部は、前記可動部の前記他方の面に設けられることを特徴とする請求項１８に記載の光偏向器。
【請求項２０】
回動中心軸まわりに回動可能な可動部、前記可動部と連結した連結部、前記連結部を支持した支持部、を含む基板と、
前記可動部に位置し、かつ光反射性を有する光反射部と、
前記可動部を前記回動中心軸まわりに回動させる駆動部と、を備え、
前記支持部は、前記回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動部の一方の面側から他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動部の前記一方の面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記支持部の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられていることを特徴とする光偏向器。
【請求項２１】
前記連結部は、前記回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動部の前記一方の面側から前記他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動部の前記一方の面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記連結部の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられていることを特徴とする請求項２０に記載の光偏向器。
【請求項２２】
前記光吸収部は、前記連結部の前記他方の面側の面に設けられていることを特徴とする請求項２１に記載の光偏向器。
【請求項２３】
前記光吸収部は、前記支持部の前記他方の面側の面に設けられていることを特徴とする請求項２２に記載の光偏向器。
【請求項２４】
前記光反射部は、前記可動部の前記他方の面に設けられることを特徴とする請求項２２または２３に記載の光偏向器。
【請求項２５】
前記可動部は、前記回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動部の前記一方の面側から前記他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動部の前記一方の面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記可動部の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられていることを特徴とする請求項１７ないし２４のいずれかに記載の光偏向器。
【請求項２６】
請求項１７ないし２５のいずれかに記載の光偏向器の製造方法であって、
面方位（１００）のシリコン基板をエッチングすることにより、前記可動部、前記支持部および前記連結部を形成する第１の工程と、
前記光吸収部を形成する第２の工程と、
前記光反射部を形成する第３の工程とを有することを特徴とする光偏向器の製造方法。
【請求項２７】
光を出射する光出射部と、
請求項７ないし１５のいずれか、または、請求項１７ないし２５のいずれかに記載の光偏向器とを備え、
前記光出射部から出射した光を前記光偏向器で走査することにより、画像を表示することを特徴とする画像表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
これにより、スパッタ、蒸着等の一般的な成膜方法を用いても、連結部の傾斜面に均一な光吸収部を成膜することができる。そのため、連結部の傾斜面に形成された光吸収部の光反射を防止する機能（光を吸収する機能）を優れたものとすることができる。そのため、可動板を回動させたときに、この傾斜面に光が入射しても、迷光の発生を防止し、例えば、光偏向器を画像表示装置に用いた場合に、迷光による画像品質の劣化を防止することができる。
本発明の光偏向器では、前記光吸収部は、さらに前記連結部の前記他方の面側の面に設けられていることが好ましい。
また、本発明の光偏向器では、前記光反射部は、前記可動板の前記他方の面に設けられることが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
これにより、スパッタ、蒸着等の一般的な成膜方法を用いても、支持部の傾斜面に均一な光吸収部を成膜することができる。そのため、支持部の傾斜面に形成された光吸収部の光反射を防止する機能を優れたものとすることができる。そのため、この傾斜面に光が入射しても、迷光の発生を防止し、例えば、光偏向器を画像表示装置に用いた場合に、迷光による画像品質の劣化を防止することができる。
本発明の光偏向器では、前記連結部は、前記回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動板の前記一方の面側から前記他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動板の板面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記連結部の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられていることが好ましい。
本発明の光偏向器では、前記光吸収部は、前記連結部の前記他方の面側の面に設けられていることが好ましい。
本発明の光偏向器では、前記光吸収部は、前記支持部の前記他方の面側の面に設けられていることが好ましい。
本発明の光偏向器では、前記光反射部は、前記可動板の前記他方の面に設けられることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
これにより、スパッタ、蒸着等の一般的な成膜方法を用いても、傾斜面に均一な光吸収部を成膜することができる。そのため、傾斜面に形成された光吸収部の光反射を防止する機能（光を吸収する機能）を優れたものとすることができる。そのため、得られた光偏向器において、可動板を回動させたときに、傾斜面に光が入射しても、迷光の発生を防止し、例えば、光偏向器を画像表示装置に用いた場合に、迷光による画像品質の劣化を防止することができる。
また、本発明に係る光偏向器は、回動中心軸まわりに回動可能な可動部、前記可動部と連結した連結部、前記連結部を支持した支持部、を含む基板と、
前記可動部に位置し、かつ光反射性を有する光反射部と、
前記可動部を前記回動中心軸まわりに回動させる駆動部と、を備え、
前記連結部は、前記回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動部の一方の面側から他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動部の前記一方の面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記連結部の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられていることを特徴とする。
本発明の光偏向器では、前記光吸収部は、さらに前記連結部の前記他方の面側の面に設けられていることが好ましい。
本発明の光偏向器では、前記光反射部は、前記可動部の前記他方の面に設けられることが好ましい。
また、本発明に係る光偏向器は、回動中心軸まわりに回動可能な可動部、前記可動部と連結した連結部、前記連結部を支持した支持部、を含む基板と、
前記可動部に位置し、かつ光反射性を有する光反射部と、
前記可動部を前記回動中心軸まわりに回動させる駆動部と、を備え、
前記支持部は、前記回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動部の一方の面側から他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動部の前記一方の面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記支持部の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられていることを特徴とする。
本発明の光偏向器では、前記連結部は、前記回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動部の前記一方の面側から前記他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動部の前記一方の面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記連結部の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられていることが好ましい。
本発明の光偏向器では、前記光吸収部は、前記連結部の前記他方の面側の面に設けられていることが好ましい。
本発明の光偏向器では、前記光吸収部は、前記支持部の前記他方の面側の面に設けられていることが好ましい。
本発明の光偏向器では、前記光反射部は、前記可動部の前記他方の面に設けられることが好ましい。
本発明の光偏向器では、前記可動部は、前記回動中心軸に垂直な断面でみたときに、前記可動部の前記一方の面側から前記他方の面側へ向けて幅が漸次増加し、その幅の増加に伴って前記可動部の前記一方の面の法線方向に対して傾斜する傾斜面を有し、
前記可動部の傾斜面には、光吸収性を有する光吸収部が設けられていることが好ましい。
また、本発明に係る光偏向器の製造方法は、前述した光偏向器の製造方法であって、
面方位（１００）のシリコン基板をエッチングすることにより、前記可動部、前記支持部および前記連結部を形成する第１の工程と、
前記光吸収部を形成する第２の工程と、
前記光反射部を形成する第３の工程とを有することを特徴とする。
本発明の画像表示装置は、光を出射する光出射部と、
本発明の光偏向器とを備え、
前記光出射部から出射した光を前記光偏向器で走査することにより、画像を表示することを特徴とする。
これにより、迷光による画像品質の劣化を防止することができる。