【手続補正書】
【提出日】平成25年2月15日(2013.2.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】基板裏面平坦化方法及び基板裏面平坦化装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、基板裏面平坦化方法及び基板裏面平坦化装置に関し、特に、露光・現像によって表面に所望のマスクパターンのフォトレジスト膜が形成される基板の基板裏面平坦化方法及び基板裏面平坦化装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の目的は、基板の裏面を荒らすことなく微小な傷を除去することができる基板裏面平坦化方法及び基板裏面平坦化装置を提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１記載の基板裏面平坦化方法は、基板の裏面を平坦化する基板裏面平坦化方法であって、前記基板の裏面へ少なくともガスを含む平坦化物質を吹き付けて前記基板の裏面を平坦化する平坦化ステップと、前記基板の表面に塗布された感光性樹脂を露光する露光ステップとを有し、前記平坦化物質はエアロゾルであることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項２記載の基板裏面平坦化方法は、請求項１記載の基板裏面平坦化方法において、前記平坦化ステップに先立って前記基板の裏面における傷又は異物を検出する検出ステップをさらに有し、前記平坦化ステップでは、前記検出ステップにおいて検出された値に基づいて前記平坦化物質の吹き付け時間を調整することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項３記載の基板裏面平坦化方法は、請求項１記載の基板裏面平坦化方法において、前記平坦化ステップに先立って前記基板の裏面における傷又は異物の位置を検出する検出ステップをさらに有し、前記平坦化ステップでは、前記検出ステップにおいて位置が検出された傷又は異物へ選択的に前記平坦化物質を吹き付けることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項４記載の基板裏面平坦化方法は、請求項１記載の基板裏面平坦化方法において、前記平坦化ステップに先立って前記基板の裏面における傷又は異物を検出する検出ステップをさらに有し、前記検出ステップおよび平坦化ステップは、前記基板の裏面を上に向けて行われることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項５記載の基板裏面平坦化方法は、請求項４記載の基板裏面平坦化方法において、前記平坦化ステップの処理後に、前記基板の上下を反転させる基板反転ステップをさらに有し、前記露光ステップは、前記感光性樹脂が塗布された表面を上に向けて前記感光性樹脂を露光することを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項６記載の基板裏面平坦化方法は、請求項１記載の基板裏面平坦化方法において、前記エアロゾルは、固体からなる多数の微粒子を含むことを特徴とする。
請求項７記載の基板裏面平坦化方法は、請求項１記載の基板裏面平坦化方法において、前記固体はドライアイスであることを特徴とする。
上記目的を達成するために、請求項８記載の基板裏面平坦化方法は、基板の表面に感光性樹脂を塗布する塗布ステップと、基板の裏面へ少なくともガスを含む平坦化物質を吹き付けることにより前記基板の裏面を平坦化する平坦化ステップとを有し、前記平坦化物質はエアロゾルであることを特徴とする。
上記目的を達成するために、請求項９記載の基板裏面平坦化装置は、表面に感光性樹脂が塗布された基板の裏面へエアロゾルを吹き付けることにより前記基板の裏面を平坦化することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項１記載の基板裏面平坦化方法及び請求項８記載の基板裏面平坦化方法によれば、基板の表面に塗布された感光性樹脂が露光される前に、基板の裏面へ少なくともガスを含む平坦化物質が吹き付けられる。平坦化物質はガスを含むので、当該平坦化物質が有する運動エネルギーはさほど大きくなく、平坦化物質が基板の裏面に衝突した際に該基板の裏面へ付与する物理的衝撃力はさほど大きくない。ここで、平坦化物質はエアロゾルであるので、多数の微粒子を微小な傷にも衝突させることができ、もって、微小な傷を効率良く除去することができる。したがって、基板の裏面を荒らすことなく微小な傷を除去することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項３記載の基板裏面平坦化方法によれば、基板の裏面の平坦化に先立って基板の裏面における傷又は異物の位置が検出され、該位置が検出された傷又は異物へ選択的に平坦化物質が吹き付けられる。したがって、基板の裏面の全面に平坦化物質を吹き付ける必要がなく、基板の裏面の平坦化を効率良く行うことができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項６記載の基板裏面平坦化方法によれば、平坦化物質は固体からなる多数の微粒子を含むエアロゾルであるので、多数の微粒子を微小な傷にも衝突させることができ、もって、微小な傷を効率良く除去することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項７記載の基板裏面平坦化方法によれば、固体はドライアイスである。ドライアイスは昇華しやすいので、微小な傷の除去後、固体としてのドライアイスが基板の裏面に異物として残留するのを防止することができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の裏面を平坦化する基板裏面平坦化方法であって、
前記基板の裏面へ少なくともガスを含む平坦化物質を吹き付けて前記基板の裏面を平坦化する平坦化ステップと、
前記基板の表面に塗布された感光性樹脂を露光する露光ステップとを有し、
前記平坦化物質はエアロゾルであることを特徴とする基板裏面平坦化方法。
【請求項２】
前記平坦化ステップに先立って前記基板の裏面における傷又は異物を検出する検出ステップをさらに有し、
前記平坦化ステップでは、前記検出ステップにおいて検出された値に基づいて前記平坦化物質の吹き付け時間を調整することを特徴とする請求項１記載の基板裏面平坦化方法。
【請求項３】
前記平坦化ステップに先立って前記基板の裏面における傷又は異物の位置を検出する検出ステップをさらに有し、
前記平坦化ステップでは、前記検出ステップにおいて位置が検出された傷又は異物へ選択的に前記平坦化物質を吹き付けることを特徴とする請求項１記載の基板裏面平坦化方法。
【請求項４】
前記平坦化ステップに先立って前記基板の裏面における傷又は異物を検出する検出ステップをさらに有し、
前記検出ステップおよび平坦化ステップは、前記基板の裏面を上に向けて行われることを特徴とする請求項１記載の基板裏面平坦化方法。
【請求項５】
前記平坦化ステップの処理後に、前記基板の上下を反転させる基板反転ステップをさらに有し、
前記露光ステップは、前記感光性樹脂が塗布された表面を上に向けて前記感光性樹脂を露光することを特徴とする請求項４記載の基板裏面平坦化方法。
【請求項６】
前記エアロゾルは、固体からなる多数の微粒子を含むことを特徴とする請求項１記載の基板裏面平坦化方法。
【請求項７】
前記固体はドライアイスであることを特徴とする請求項１記載の基板裏面平坦化方法。
【請求項８】
基板の表面に感光性樹脂を塗布する塗布ステップと、
基板の裏面へ少なくともガスを含む平坦化物質を吹き付けることにより前記基板の裏面を平坦化する平坦化ステップとを有し、
前記平坦化物質はエアロゾルであることを特徴とする基板裏面平坦化方法。
【請求項９】
表面に感光性樹脂が塗布された基板の裏面へエアロゾルを吹き付けることにより前記基板の裏面を平坦化することを特徴とする基板裏面平坦化装置。