(57)【要約】      （修正有）【課題】運転時の騒音を低減したスナッパー式サイレンサを備えた多段ルーツ式真空ポンプを提供する。【解決手段】真空室に格納された一対のルーツロータを回転させ、吸込口１７ｃから吸引した空気を吐出口１７ｂから吐出する多段ルーツ式真空ポンプのスナッパー式サイレンサ１７の胴部１７ａを鉄板１７ｊで覆う。胴部からの透過音が減少し、多段ルーツ式真空ポンプの運転時の騒音を低減できる。また、鉄板を巻き付けるだけの簡素な構成であるため低コストで騒音の低減効果を得ることができる。【選択図】図６
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
吸込口を有する初段の真空室と、複数の中段の真空室と、吐出口を有する最終段の真空室及び初段の真空室と中段の真空室及び最終段の真空室を順に連通する通路を形成したケーシングと、各真空室に互いに逆方向へ回転可能に格納された一対の３葉式のルーツロータ及び吐出口に接続されたスナッパー式サイレンサを備え、
ルーツロータの隣接する二つの葉片と真空室の内壁面で囲まれた閉鎖空間を形成することにより吸込口と吐出口が連通することのないように、真空室に格納された一対のルーツロータを回転させ、吸込口から吸引した空気を吐出口から吐出する多段ルーツ式真空ポンプであって、
前記スナッパー式サイレンサの胴部に鉄板を巻き付け、鉄板で胴部を覆ったことを特徴とする多段ルーツ式真空ポンプ。
【請求項２】
最終段の真空室と最終段の前段の真空室とを連通する通路の端部と隣接する二つの葉片と真空室の内壁面で区画される空間との間が二つの葉片のうちの回転方向後側の葉片の頂部によって遮断されて閉鎖空間が形成されるときの回転方向前側の葉片の頂部の位置より回転方向前側の領域の真空室壁面に吐出口に連通する複数本の溝を形成したことを特徴とする請求項１に記載の多段ルーツ式真空ポンプ。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は多段ルーツ式真空ポンプに関し、より詳しくはポンプ運転時における放出音を低減するためスナッパー式サイレンサを備えた多段ルーツ式真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、多段ルーツ式真空ポンプは吸込口と吐出口及び通路で順に連通された複数の真空室を形成したケーシングと、各真空室に回転可能に格納された一対の３葉式のルーツロータを備え、ルーツロータの隣接する二つの葉片と真空室の内壁面で囲まれた閉鎖空間を形成することにより吸込口と吐出口が連通することのないように、各真空室に格納された一対のルーツロータを回転させ、吸込口から吸引した空気を吐出口から吐出するように構成されている。
【０００３】
この種の多段ルーツ式真空ポンプでは、ポンプ運転時の騒音を低減するため吐出口側に排気サイレンサを取り付けることが一般的に行われている。
多段ルーツ式真空ポンプは大気圧から高真空までの幅広い圧力領域で使用されるので、発生する騒音の周波数域も広くなる。そのため排気サイレンサとして、幅広い周波数域の騒音を低減できるスナッパー式サイレンサが用いられる。
このスナッパー式サイレンサは筒状の胴部の内部を複数の室に区画し、多数の孔を形成した短管を各室に配設した構造を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】引用なし
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
排気サイレンサとしてスナッパー式サイレンサを備えた多段ルーツ式真空ポンプでは、大気圧から高真空までの幅広い圧力領域で発生する広い周波数域の騒音を低減できる。しかし、ポンプ圧力が高真空になると、吸音材を使用したサイレンサに比べスナッパー式サイレンサでは胴部からの透過音が大きく、十分な騒音低減効果が得られない。
本考案はかかる問題点に鑑み、スナッパー式サイレンサを備えた多段ルーツ式真空ポンプの運転時の騒音を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の考案は、
吸込口を有する初段の真空室と、複数の中段の真空室と、吐出口を有する最終段の真空室及び初段の真空室と中段の真空室及び最終段の真空室を順に連通する通路を形成したケーシングと、各真空室に互いに逆方向へ回転可能に格納された一対の３葉式のルーツロータ及び吐出口に接続されたスナッパー式サイレンサを備え、
ルーツロータの隣接する二つの葉片と真空室の内壁面で囲まれた閉鎖空間を形成することにより吸込口と吐出口が連通することのないように、真空室に格納された一対のルーツロータを回転させ、吸込口から吸引した空気を吐出口から吐出する多段ルーツ式真空ポンプであって、
前記スナッパー式サイレンサの胴部に鉄板を巻き付け、鉄板で胴部を覆ったことを特徴とする。
【０００７】
請求項２に記載の考案は、請求項１に記載の多段ルーツ式真空ポンプにおいて、
最終段の真空室と最終段の前段の真空室とを連通する通路の端部と隣接する二つの葉片と真空室の内壁面で区画される空間との間が二つの葉片のうちの回転方向後側の葉片の頂部によって遮断されて閉鎖空間が形成されるときの回転方向前側の葉片の頂部の位置より回転方向前側の領域の真空室壁面に吐出口に連通する複数本の溝を形成したことを特徴とする。
【考案の効果】
【０００８】
請求項１に記載の考案によれば、スナッパー式サイレンサの胴部を鉄板で覆ったので、胴部からの透過音が減少し、多段ルーツ式真空ポンプの運転時の騒音を低減できる。
また、鉄板を巻き付けるだけの簡素な構成であるため低コストで騒音の低減効果を得ることができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明によれば、最終段の真空室内において、ルーツロータの回転に伴って形成された閉鎖空間によって最終段の真空室と、その前段の真空室を連通する通路の間が遮断された後、閉鎖空間が吐出口へと移動するが、吐出口に到達する前に閉鎖空間と吐出口が溝によって連通し、溝を通して外気と閉鎖空間内の圧縮空気が交り合う。そのため外気と閉鎖空間内の圧縮空気との急激な圧力混合に伴って生じる放出音を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本考案の実施例に係る多段ルーツ式真空ポンプの外観を示す側面図である。
【図２】同多段ルーツ式真空ポンプの内部構造を示す断面図である。
【図３】図２の３-３線から切断した断面図である。
【図４】同多段ルーツ式真空ポンプの第４真空室の部分拡大断面図である。
【図５】図４の５-５線からの矢視図である。
【図６】同多段ルーツ式真空ポンプのスナッパー式サイレンサを示す拡大断面図である。
【図７】図６の７-７線から切断した断面図である。
【実施例】
【００１１】
以下に本考案を図面に基づき説明する。図１には本考案の一実施例に係る多段ルーツ式真空ポンプ１０が示されている。当該多段ルーツ式真空ポンプ１０はケーシング１１と、ケーシング１１の両側面に組み付けたハウジング１２，１３と、各ハウジング１２，１３に組み付けたオイルカバー１４，１５、駆動モータ１６及びスナッパー式サイレンサ１７を備えている。
【００１２】
ケーシング１１の内部には吸込口１８を設けた初段の第１真空室２０、中段の第２真空室２１と第３真空室２２、吐出口１９を設けた最終段の第４真空室２３が形成され、第１真空室２０、第２真空室２１、第３真空室２２及び第４真空室２３が順に通路２４で連通している。
【００１３】
第１真空室２０には一対の３葉式のルーツロータ２５が回転可能に格納されている。同様に第２真空室２１に一対の３葉式のルーツロータ２６、第３真空室２２に一対の３葉式のルーツロータ２７が、また第４真空室２３に一対の３葉式のルーツロータ２８が格納されている。
【００１４】
第１真空室２０の一方の３葉式ルーツロータ２５と第３真空室２２の一方の３葉式ルーツロータ２７は回転軸２９に固設されている。第１真空室２０の他方の３葉式ルーツロータ２５と第３真空室２２の他方の３葉式ルーツロータ２７は回転軸３０に固設されている。
【００１５】
第２真空室２１の一方の３葉式ルーツロータ２６と第４真空室２３の一方の３葉式ルーツロータ２８は回転軸３１に固設されている。第２真空室２１の他方の３葉式ルーツロータ２６と第４真空室２３の他方の３葉式ルーツロータ２８は回転軸３２に固設されている。
【００１６】
回転軸２９と回転軸３０は第１真空室２０と第３真空室２２を貫通して両端部がそれぞれハウジング１２，１３内に突出している。また、回転軸３１と回転軸３２は第２真空室２１と第４真空室２３を貫通して両端部がそれぞれハウジング１２，１３内に突出している。
【００１７】
回転軸２９の一方の突出端部はハウジング１２に内蔵したベアリング３３で支承され、他方の突出端部がハウジング１３に内蔵したベアリング３４で支承されている。同様に、回転軸３０の一方の突出端部はハウジング１２に内蔵したベアリング（図示略）で支承され、他方の突出端部がハウジング１３に内蔵したベアリング（図示略）で支承されている。
【００１８】
回転軸３１の一方の突出端部はハウジング１２に内蔵したベアリング３５で支承され、他方の突出端部がハウジング１３に内蔵したベアリング３６で支承されている。同様に、回転軸３２の一方の突出端部はハウジング１２に内蔵したベアリング（図示略）で支承され、他方の突出端部がハウジング１３に内蔵したベアリング（図示略）で支承されている。
【００１９】
回転軸２９の一方の突出端部にはタイミングギヤ３７が固定され、回転軸３０の一方の突出端部に固定したタイミングギヤ（図示略）に噛み合っている。
回転軸３１の一方の突出端部にはタイミングギヤ３８が固定され、回転軸３２の一方の突出端部に固定したタイミングギヤ（図示略）に噛み合っている。
【００２０】
回転軸２９の他方の突出端部にはプーリ３９が固定され、回転軸３１の一方の突出端部にプーリ４０が固定されている。プーリ３９とプーリ４０はＶベルト４１で駆動モータ１６に連結されている。
なお、ハウジング１２、１３に取り付けたオイルカバー１４，１５の内部には潤滑油が貯えられている。
【００２１】
図２、図４及び図５に示すように、第４真空室２３の内周壁面には複数の溝１１ａ、１１ｂが形成されている。溝１１ａ、１１ｂは、第４真空室２３とその前段の第３真空室２２とを連通する通路２４の端部と、ルーツロータ２８の隣接する二つの葉片と第４真空室２３の内壁面で区画される空間の間が二つの葉片のうちの回転方向後側の葉片の頂部によって遮断されて閉鎖空間が形成されるときの回転方向前側の葉片の頂部の位置より回転方向前側の領域、すなわち通路２４の端部からルーツロータの回転角度で１２０度以上前側の領域の真空室壁面に形成され、第４真空室２３と吐出口１９を連通している。各溝１１ａ、１１ｂはルーツロータ２８の回転方向に沿って直線的に延びている。
【００２２】
図６及び図７にスナッパー式サイレンサ１７の構造の詳細を示す。スナッパー式サイレンサ１７は円筒状の胴部１７ａを有し、胴部１７ａの上端面に吐出口１７ｂが設けられ、周面に吸込口１７ｃが設けられ、吸込口１７ｃが吐出口１９に接続されている。胴部１７ａの内部は仕切板１７ｄで上下２室１７ｅ、１７ｆが区画形成されている。胴部１７ａの内部には仕切板１７ｄを貫通する４本の短管１７ｇが配設されている。この短管１７ｇの周面には多数の通孔１７ｈが形成されている。そして、胴部１７ａには鉄板１７ｊが巻き付けられ、鉄板１７ｊで胴部１７ａが覆われている。
【００２３】
本実施例に係る多段ルーツ式真空ポンプ１０の構造は以上の通りであって、駆動モータ１６でルーツロータ２５，２６，２７，２８が回転すると、吸込口１８から洗浄液等の液体が混じった空気が吸引され、第１真空室２０から第２真空室２１、第３真空室２２、第４真空室２３、吐出口１９、スナッパー式サイレンサ１７の吸込口１７ｃ、胴部１７ａを通って吐出口１７ｂから排出される。
【００２４】
上記実施例に係る多段ルーツ式真空ポンプ１０の騒音について実験を行った結果を表１及び表２に示す。この実験は５．５ｋＷ、回転速度毎分２３００回とし、真空ポンプ圧力は締め切り１０００Ｐａにて行った。
テストの結果、多段ルーツ式真空ポンプ１０の騒音が従来のものに比べ、スナッパー式サイレンサ１７無しで６〜７ｄＢ、スナッパー式サイレンサ１７付きで１３ｄＢ低下し、スナッパー式サイレンサ１７の透過音も２〜６ｄＢ低下した。
【表１】
0003220097.tif 000003
【表２】
0003220097.tif 000004
【００２５】
しかして、本実施例に係る多段ルーツ式真空ポンプ１０のスナッパー式サイレンサ１７の胴部１７ａを鉄板１７ｊで覆ったので、胴部１７ａからの透過音が減少し、多段ルーツ式真空ポンプ１０の運転時の騒音を低減できる。
また、鉄板１７ｊを巻き付けるだけの簡素な構成であるため低コストで騒音の低減効果を得ることができる。
【００２６】
第４真空室２３内において、ルーツロータ２８の回転に伴って形成された閉鎖空間によって第４真空室２３と、その前段の第３真空室２２を連通する通路２４の間が遮断された後、閉鎖空間が吐出口１９へと移動するが、吐出口１９に到達する前に閉鎖空間と吐出口１９が溝１１ａ、１１ｂによって連通し、溝１１ａ、１１ｂを通して外気と閉鎖空間内の圧縮空気が交り合う。そのため外気と閉鎖空間内の圧縮空気との急激な圧力混合に伴って生じる放出音を低減できる。
【符号の説明】
【００２７】
１０…多段ルーツ式真空ポンプ
１１…ケーシング
１１ａ、１１ｂ…溝
１２，１３…ハウジング
１４，１５…オイルカバー
１６…駆動モータ
１７…スナッパー式サイレンサ
１７ａ…胴部
１７ｂ…吐出口
１７ｃ…吸込口
１７ｄ…仕切板
１７ｅ、１７ｆ…室
１７ｇ…短管
１７ｈ…通孔
１７ｊ…鉄板
１８…吸込口
１９…吐出口
２０…第１真空室
２１…第２真空室
２２…第３真空室
２３…第４真空室
２４…通路
２５，２６，２７，２８…ルーツロータ
２９，３０，３１，３２…回転軸
３３，３４，３５，３６…ベアリング
３７，３８…タイミングギヤ
３９，４０…プーリ
４１…Ｖベルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0003220097.tif 000010
【図７】
0003220097.tif 000011