【手続補正書】
【提出日】平成25年4月3日(2013.4.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージの内部にセンサーチップを搭載している圧力センサーであって、
前記センサーチップは、平面視で矩形形状であり、一方の主面には、互いに離間して配置されている第１の接合部、第２の接合部および第３の接合部を有し、
前記第１の接合部、前記第２の接合部および前記第３の接合部は、それぞれ、第１の接着剤、第２の接着剤および第３の接着剤を介して前記パッケージに接合されており、
前記センサーチップの平面視にて、前記主面の１つの辺に沿う軸をＸ軸とし、前記Ｘ軸に直交する軸をＹ軸としたとき、前記第１の接合部は、前記矩形形状の第１の隅部に配置され、前記第２の接合部は、前記第１の隅部と前記Ｙ軸方向に隣り合う第２の隅部に配置され、前記第３の接合部は、前記矩形形状の第３の隅部と前記矩形形状の第４の隅部とを結ぶ中央部に設定されており、
前記主面の前記Ｘ軸方向の長さをＬｘとし、前記Ｙ軸方向の長さをＬｙとしたとき、Ｌｙ／Ｌｘが、０．６以上１．０以下の範囲にあることを特徴とする圧力センサー。
【請求項２】
前記第１の接合部、前記第２の接合部および前記第３の接合部は、それぞれ、円形状である請求項１に記載の圧力センサー。
【請求項３】
前記第１の接合部、前記第２の接合部および前記第３の接合部の直径は、それぞれ、２００μｍ以上５００μｍ以下の範囲にある請求項２に記載の圧力センサー。
【請求項４】
前記第１の接合部、前記第２の接合部および前記第３の接合部は、互いに直径が同じである請求項２または３に記載の圧力センサー。
【請求項５】
前記センサーチップは、ダイヤフラム、前記ダイヤフラムと対向配置されて水晶から構成されている基台および前記ダイヤフラムに固定され、前記Ｘ軸方向に延在する振動アームを備えている振動片を有し、
前記パッケージは、前記第１の接着剤、前記第２の接着剤および前記第３の接着剤を介して前記センサーチップが接合されていてセラミックスで構成されている板状の基部を有している請求項１ないし４のいずれか１項に記載の圧力センサー。
【請求項６】
前記基台の厚さは、２００μｍ以上である請求項５に記載の圧力センサー。
【請求項７】
前記センサーチップの前記主面には、前記振動片が有する一対の励振電極と電気的に接続されている一対の端子が配置されており、
前記基部には、前記パッケージの内外を電気的に接続し得る一対の導電部が配置されており、
前記第１の接着剤および前記第２の接着剤が導電性を有しており、
前記第１の接着剤によって前記一対の端子のうちの一方の前記端子と前記一対の導電部のうちの一方の前記導電部とを導通し、前記第２の接着剤によって、他方の前記端子と他方の前記導電部とを導通する請求項５または６に記載の圧力センサー。
【請求項８】
前記振動片は、双音叉型をなしている請求項５ないし７のいずれか１項に記載の圧力センサー。
【請求項９】
前記主面の前記Ｘ軸方向の長さは、４．０ｍｍ以上６．５ｍｍ以下の範囲にある請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧力センサー。
【請求項１０】
前記第１の接着剤、前記第２の接着剤および前記第３の接着剤の厚さは、それぞれ、４０μｍ以上６０μｍ以下の範囲にある請求項１ないし９のいずれか１項に記載の圧力センサー。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の圧力センサーは、パッケージの内部にセンサーチップを搭載している圧力センサーであって、
前記センサーチップは、平面視で矩形形状であり、一方の主面には、互いに離間して配置されている第１の接合部、第２の接合部および第３の接合部を有し、
前記第１の接合部、前記第２の接合部および前記第３の接合部は、それぞれ、第１の接着剤、第２の接着剤および第３の接着剤を介して前記パッケージに接合されており、
前記センサーチップの平面視にて、前記主面の１つの辺に沿う軸をＸ軸とし、前記Ｘ軸に直交する軸をＹ軸としたとき、前記第１の接合部は、前記矩形形状の第１の隅部に配置され、前記第２の接合部は、前記第１の隅部と前記Ｙ軸方向に隣り合う第２の隅部に配置され、前記第３の接合部は、前記矩形形状の第３の隅部と前記矩形形状の第４の隅部とを結ぶ中央部に設定されており、
前記主面の前記Ｘ軸方向の長さをＬｘとし、前記Ｙ軸方向の長さをＬｙとしたとき、Ｌｙ／Ｌｘが、０．６以上１．０以下の範囲にあることを特徴とする。
これにより、製造が簡単で歩留まりが高く、かつ機械的強度に優れた圧力センサーを提供することができる。さらには、熱膨張（熱撓み）により生じる圧電振動片の共振周波数のズレがほとんど生じない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
［適用例２］
本発明の圧力センサーでは、前記第１の接合部、前記第２の接合部および前記第３の接合部は、それぞれ、円形状であることが好ましい。
これにより、圧力センサーの製造の容易化を図ることができる。
［適用例３］
本発明の圧力センサーでは、前記第１の接合部、前記第２の接合部および前記第３の接合部の直径は、それぞれ、２００μｍ以上５００μｍ以下の範囲にあることが好ましい。
これにより、センサーチップの下面と第１、第２および第３の接着剤との接着面積を十分広くすることができ、センサーチップをパッケージにより確実に固定することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［適用例５］
本発明の圧力センサーでは、前記センサーチップは、ダイヤフラム、前記ダイヤフラムと対向配置されて水晶から構成されている基台および前記ダイヤフラムに固定され、前記Ｘ軸方向に延在する振動アームを備えている振動片を有し、
前記パッケージは、前記第１の接着剤、前記第２の接着剤および前記第３の接着剤を介して前記センサーチップが接合されていてセラミックスで構成されている板状の基部を有していることが好ましい。
これにより、線膨張率の違いから生じる振動片の不本意な反りや撓みを抑制することができ、圧力センサーの検知精度を向上させることができる。また、振動片を水晶で構成することにより、優れた温度特性および振動特性を有するセンサーチップを得ることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例６］
本発明の圧力センサーでは、前記基台の厚さは、２００μｍ以上であることが好ましい。
これにより、基台の厚みに依存したセンサーチップの熱歪みを防止することができる。
［適用例７］
本発明の圧力センサーでは、前記センサーチップの前記主面には、前記振動片が有する一対の励振電極と電気的に接続されている一対の端子が配置されており、
前記基部には、前記パッケージの内外を電気的に接続し得る一対の導電部が配置されており、
前記第１の接着剤および前記第２の接着剤が導電性を有しており、
前記第１の接着剤によって前記一対の端子のうちの一方の前記端子と前記一対の導電部のうちの一方の前記導電部とを導通し、前記第２の接着剤によって、他方の前記端子と他方の前記導電部とを導通することが好ましい。
これにより、圧力センサーの部品点数の削減や製造の容易化を図ることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［適用例８］
本発明の圧力センサーでは、前記振動片は、双音叉型をなしていることが好ましい。
これにより、優れた圧力検知能力を発揮することのできる振動片が得られる。
［適用例９］
本発明の圧力センサーでは、前記主面の前記Ｘ軸方向の長さは、４．０ｍｍ以上６．５ｍｍ以下の範囲にあることが好ましい。
これにより、センサーチップの分解能を高く維持しつつ、センサーチップの小型化を図ることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［適用例１０］
本発明の圧力センサーでは、前記第１の接着剤、前記第２の接着剤および前記第３の接着剤の厚さは、それぞれ、４０μｍ以上６０μｍ以下の範囲にあることが好ましい。
これにより、圧力センサーの信頼性を確保しつつ、圧力センサーの小型化を図ることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
（パッケージ）
パッケージ２の平面視形状（ＸＹ平面における形状）は、矩形である。なお、以下では、説明の便宜上、パッケージの平面視にて、図１中横方向へ延びる一対の辺に平行な軸（沿う軸）をＸ軸とし、図１中縦方向へ延びる一対の辺に平行な軸（沿う軸）をＹ軸として説明する。
ただし、パッケージ２の平面視形状としては、これに限定されず、例えば円形、五角形以上の多角形、異形等であってもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
次いで、３つの接合部３２１、３２２、３２３について説明する。
図６に示すように、第１の接合部３２１は、下面３２が有する４つの角部（隅部）のうちの同図中右上に位置する角部（第１の隅部）に設定されている。また、第２の接合部３２２は、同図中右下に位置する角部（第２の隅部）に設定されている。すなわち、第２の接合部３２２は、下面３２が有する４つの角部のうちの第１の接合部３２１が設定された角部とＹ軸方向に隣り合う角部に設定されている。なお、第１の接合部３２１と第２の接合部３２２の中心同士を結ぶ線分は、Ｙ軸と平行となっている。また、第３の接合部３２３は、Ｘ軸方向の第１、第２の接合部３２１、３２２と反対側の端部（縁部）でかつＹ軸方向の中央に設定されている。