(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井に設置した軌道に沿って走行する台車と、床上に設置された半導体製造装置との間で、搬送物を格納したキャリアを受け渡しするホイスト付天井走行搬送装置において、
前記ホイスト付天井走行搬送装置は、前記軌道と前記半導体製造装置との位置関係を監視する監視装置を有し、
この監視装置は、前記半導体装置に設置された投光器または受光器のいずれか一方と、前記軌道に設置された投光器または受光器のいずれか他方と、を備え、
前記監視装置は、前記投光器からの光を前記受光器が受光した場合には、前記軌道と前記半導体製造装置との位置関係が正常な状態であると判断して前記キャリアの受け渡しを行わせ、前記投光器からの光を前記受光器が受光しない場合には、前記軌道が前記半導体製造装置に対して位置関係が変化した異常状態であると判断して前記キャリアの受け渡しを中止させることを特徴とするホイスト付天井走行搬送装置。
【請求項２】
天井に設置した軌道に沿って走行する台車と、床上に設置された半導体製造装置との間で、搬送物を格納したキャリアを受け渡しするホイスト付天井走行搬送装置において、
前記ホイスト付天井走行搬送装置は、前記軌道と前記半導体製造装置との位置関係を監視する監視装置を有し、
この監視装置は、前記半導体装置に設置された投受光器または反射体のいずれか一方と、前記軌道に設置された投受光器または反射体のいずれか他方と、を備え、
前記監視装置は、前記反射体で反射された前記投受光器からの光を該投受光器が受光した場合には、前記軌道と前記半導体製造装置との位置関係が正常な状態であると判断して前記キャリアの受け渡しを行わせ、前記反射体で反射された前記投受光器からの光を該投受光器が受光しない場合には、前記軌道が前記半導体製造装置に対して位置関係が変化した異常状態であると判断して前記キャリアの受け渡しを中止させることを特徴とするホイスト付天井走行搬送装置。
【請求項３】
前記半導体装置は、少なくとも一部に、前記軌道に沿って走行する前記台車とほぼ同じ高さに設定された部分を有し、
前記投光器または前記受光器のいずれか一方は、前記半導体装置の前記台車とほぼ高さが同じとなる前記部分に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のホイスト付天井走行搬送装置。
【請求項４】
前記半導体装置は、少なくとも一部に、前記軌道に沿って走行する前記台車とほぼ同じ高さに設定された部分を有し、
前記投受光器または前記反射体のいずれか一方は、前記半導体装置の前記台車とほぼ高さが同じとなる前記部分に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のホイスト付天井走行搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエーハや半導体デバイス等の製造に用いられるホイスト付天井走行搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
クリーンルーム内での半導体デバイスの製造において、ウエーハを入れたキャリアは、自動化された搬送装置によって搬送されることが多い。図１４は、ＯＨＴ(Overhead Hoist Transport)と呼ばれる天井走行式の搬送装置の一従来例を示すものである。図１４における１はＯＨＴの搬送車、２は搬送車１を吊り下げ、移動させるためのレールである。３は搬送車１によって搬送される、ウエーハを入れたキャリア、４はこのキャリアに収納されたウエーハである。５はウエーハのプロセス装置、６はこのプロセス装置５のロードポートである。
【０００３】
このＯＨＴのレール２は、図１５に示すような形で天井から吊り下げられている。図１５における７は、レール２を天井から吊り下げるための支持部材である。
これに対し、ウエーハ４を処理するプロセス装置５は、図１６に示すような形で、床８の上に設置されている。９は床８とプロセス装置５の位置関係を調節するためのアジャスタボルトである。
なお、以後の説明において、同一の構成には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０００４】
上記のようなＯＨＴ施設において、ＯＨＴからプロセス装置５へキャリア３を自動的に移載するには、これらのシステムの設置時に、ＯＨＴと、プロセス装置５及びロードポート６との位置関係を調整し、キャリア３の移載に支障がないようにする必要があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この従来技術には、次のような問題があった。すなわち、上記自動移載においては、ＯＨＴと、プロセス装置５及びロードポート６とが所定の位置関係を維持していることを前提として動作するものであるから、天井と床の位置関係が装置を設置した後に変化すると、移載がうまくいかなくなる。例えば、地震や積雪の重み等で天井が変形したような場合、移載がうまくいかなくなる。
【０００６】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、天井が変形したような場合に異常を検知して移載ミスを無くし、高価な搬送物を壊すことがない移載装置を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、天井に設置した軌道に沿って走行する台車と、床上に設置された半導体製造装置との間で、搬送物を格納したキャリアを受け渡しするホイスト付天井走行搬送装置において、前記ホイスト付天井走行搬送装置は、前記軌道と前記半導体製造装置との位置関係を監視する監視装置を有し、この監視装置は、前記半導体装置に設置された投光器または受光器のいずれか一方と、前記軌道に設置された投光器または受光器のいずれか他方と、を備え、前記監視装置は、前記投光器からの光を前記受光器が受光した場合には、前記軌道と前記半導体製造装置との位置関係が正常な状態であると判断して前記キャリアの受け渡しを行わせ、前記投光器からの光を前記受光器が受光しない場合には、前記軌道が前記半導体製造装置に対して位置関係が変化した異常状態であると判断して前記キャリアの受け渡しを中止させることを特徴とするホイスト付天井走行搬送装置である。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、天井に設置した軌道に沿って走行する台車と、床上に設置された半導体製造装置との間で、搬送物を格納したキャリアを受け渡しするホイスト付天井走行搬送装置において、前記ホイスト付天井走行搬送装置は、前記軌道と前記半導体製造装置との位置関係を監視する監視装置を有し、この監視装置は、前記半導体装置に設置された投受光器または反射体のいずれか一方と、前記軌道に設置された投受光器または反射体のいずれか他方と、を備え、前記監視装置は、前記反射体で反射された前記投受光器からの光を該投受光器が受光した場合には、前記軌道と前記半導体製造装置との位置関係が正常な状態であると判断して前記キャリアの受け渡しを行わせ、前記反射体で反射された前記投受光器からの光を該投受光器が受光しない場合には、前記軌道が前記半導体製造装置に対して位置関係が変化した異常状態であると判断して前記キャリアの受け渡しを中止させることを特徴とするホイスト付天井走行搬送装置である。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、前記半導体装置は、少なくとも一部に、前記軌道に沿って走行する前記台車とほぼ同じ高さに設定された部分を有し、前記投光器または前記受光器のいずれか一方は、前記半導体装置の前記台車とほぼ高さが同じとなる前記部分に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のホイスト付天井走行搬送装置である。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、前記半導体装置は、少なくとも一部に、前記軌道に沿って走行する前記台車とほぼ同じ高さに設定された部分を有し、前記投受光器または前記反射体のいずれか一方は、前記半導体装置の前記台車とほぼ高さが同じとなる前記部分に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のホイスト付天井走行搬送装置である。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の第１参考例の構成を図１に示す。天井走行式の搬送車１は、天井１０から支持部材７を介して吊り下げられたレール２に沿って走行する。搬送車１は、ウエーハ４が収納されたキャリア３を吊り下げて搬送し、床８上に設置されたプロセス装置５のロードポート６に前記キャリア３をおろす。なお、図１では、従来の技術の説明における図１６に示したアジャスタボルト９は省略した。
【００１３】
床８上には、パーティション１１が設置されている。このパーティション１１は天井１０とは接していない。パーティション１１の表面上には、位置関係検出用の光源となるレーザ投光器１２が設けられている。
搬送車１のレーザ投光器１２と向かい合う面には、レーザ投光器１２からの光線を検出するレーザ受光器１３が設けられている。レーザ投受光器の詳細な構成を図２に示す。レーザ受光器１３の前には、レーザ受光器１３に入射する光線を所定のもののみに制限する穴１４ａが設けられた遮光板１４が置かれている。レーザ受光器１３および遮光板１４は前記搬送車１の側面に固定されている。レーザ投光器１２が発したレーザ光は、穴１４ａを通り、レーザ受光器１３で受光される。
【００１４】
レーザ投光器１２、レーザ受光器１３の位置関係は、搬送車１が移動し、レーザ投光器１２が発するレーザ光が穴１４ａを通ってレーザ受光器１３によって受光されるとき、キャリア３がロードポート６の真上に来るようになっている。
【００１５】
本参考例の動作を説明する。搬送車１は、その下部に、ウエーハ４が収納されたキャリア３を吊り下げて搬送する。搬送車１は、天井に設けられたレール２に沿って走行し、指定されたプロセス装置５の上で停止する。搬送車１が停止すると、キャリア３が吊り降ろされ、ロードポート６上に置かれる。
【００１６】
もし、天井１０が積雪等の影響で歪んでいて、搬送車１がプロセス装置５の上に来ても、キャリア３がロードポート６の真上に来なかったとする。このとき、床８と天井１０との位置関係が、装置の設置時とは変化しているので、前記床８に固定されているパーティション１１上のレーザ投光器１２と、天井１０から吊り下げられた搬送車１上に設けられたレーザ受光器１３との位置関係も変化している。従って、レーザ投光器１２が発する光は、レーザ受光器１３に入射しないので、この状態は異常と判断され、キャリア３が吊り降ろされてしまうことはない。
【００１７】
なお、投受光の関係を逆にする、すなわち搬送車１上のレーザ投光器からレーザ光を発射し、パーティション１１上の受光器で受光する構成とすることももちろん可能であり、この構成の方が費用がかからない。
また、必ずしもレーザ光に限定されるものでもなく、レンズで光束を絞った通常光等を用いて構成することも可能である。
【００１８】
次に、本発明の第２参考例を図３を参照して説明する。本参考例は、プロセス装置５の一部分の背が高く、搬送車１とほぼ同じ高さがある場合である。プロセス装置５の側面の、搬送車１の側面に設けられたレーザ投光器１３と向かい合う位置にレーザ受光器１２が設けられている。本参考例の動作は第１参考例と同様である。
【００１９】
次に、本発明の第３参考例を図４を参照して説明する。本参考例においては、レーザ投光器１２がパーティション１１上に、レーザ受光器１３がレール２の支持部材７上に設けられている。この構成においては、レーザ受光器１３の位置が固定されているので、搬送車１の位置に関わらず常に天井１０と床８との位置関係を監視できる。次に、本発明の第１実施形態を図５を参照して説明する。本実施形態においては、レーザ投光器１２がプロセス装置５上に、レーザ受光器１３がレール２の支持部材７上に設けられている。この構成によっても位置関係の常時監視が可能である。
【００２０】
次に、本発明の第４参考例を図６を参照して説明する。本実施形態においては、レーザ投光器１２がパーティション１１上に設けられ、レーザ受光器１３が対向する位置に設けられた別のパーティション１１上に設けられている。さらに、図７に示すような穴１５ａが開けられた遮光板１５が、レール２の支持部材７に固定されている。そして、レーザ投光器１２が発した光は、遮光板１５の穴１５ａを通って、レーザ受光器１３に入射する。天井１０の位置が変わった場合、穴１５ａの位置がずれるので、レーザ光がレーザ受光器１３に入射せず、これにより、天井１０の位置ずれを検出できる。なお、この構成によっても位置関係の常時監視が可能である。
【００２１】
次に、本発明の第５参考例を図８を参照して説明する。本参考例においては、反射式の投受光器が用いられている。図中の１６は投受光器で、これはパーティション１１上に設けられている。１７は投受光器１６からの光を反射する反射鏡である。反射鏡１７は、レール２の支持部材７に固定されている。
【００２２】
図９にこれらの詳しい構成を示す。投受光器１６は、投光器１６ａおよび受光器１６ｂを内蔵している。投受光器１６の前面には穴１８ａが開けられた遮光板１８が設けられている。投受光器１６および遮光板１８は、一体となってパーティション１１上に固定されている。投受光器１６に内蔵された投光器１６ａが発した光は、穴１８ａを通って反射鏡１７に達し、この反射鏡１７で反射され、再度穴１８ａを通って受光器１６ｂに入射する。
【００２３】
天井１０が正常位置にあれば、投光した光は反射鏡１７で投光されてきた方向と同じ方向に反射され、受光器１６ｂで受光される。天井１０が歪むと、反射鏡１７の角度が変わるので、光が同じ方向に反射されず、受光器１６ｂで受光されない。これにより、天井１０の位置ずれを検出できる。
【００２４】
図１０に示す第２実施形態は、反射式の投受光器１６をプロセス装置５上に直接設けた例である。反射鏡１７は、第５参考例と同様に、レール２の支持部材７に固定されている。図１１に示す第６参考例は、反射式の投受光器１６を搬送車１の下面に下向きに設置し、反射鏡１７をプロセス装置５のロードポート１６上の、投受光器１６と向かい合う位置に設けたものである。
【００２５】
図１２に示す第７参考例においては、ワイヤ式測距器１９が用いられている。ワイヤ式測距器１９は、巻き取り状態のワイヤが引っ張られて巻き出される、あるいは巻き戻される際の巻き出しあるいは巻き戻し量を検出し、ワイヤ式測距器１９本体が固定された物体と、ワイヤ２０の先端が結ばれた物体との距離を測るものである。ワイヤ式測距器１９は、パーティション１１上に固定されている。ワイヤ２０の先端は、レール２の支持部材７に結びつけられている。従って、ワイヤ式測距器１９と、支持部材７との位置関係が変化すれば、この変化を検出することができる。
【００２６】
図１３に示す第８参考例は、ワイヤ式測距器１９をプロセス装置５上に直接設けたものである。ワイヤ２０の先端は、第７参考例と同様に、レール２の支持部材７に結びつけられている。
【００２７】
【発明の効果】
本発明によれば、移載する前に正常に移載できないことが分かるので、移載不良を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１参考例の構成図。
【図２】 レーザ投受光器の詳細な構成図。
【図３】 本発明の第２参考例の構成図。
【図４】 本発明の第３参考例の構成図。
【図５】 本発明の第１実施形態の構成図。
【図６】 本発明の第４参考例の構成図。
【図７】 遮光板と光線の関係を示す図。
【図８】 本発明の第５参考例の構成図。
【図９】 投受光器と反射鏡の詳細な構成図。
【図１０】 本発明の第２実施形態の構成図。
【図１１】 本発明の第６参考例の構成図。
【図１２】 本発明の第７参考例の構成図。
【図１３】 本発明の第８参考例の構成図。
【図１４】 天井走行式搬送装置の一従来例の構成図。
【図１５】 レールおよびその支持部材の詳細図。
【図１６】 床とプロセス装置との関係を示す図。
【符号の説明】
１ 搬送車 ２ レール ３ キャリア４ ウエーハ ５ プロセス装置 ６ ロードポート７ 支持部材 ８ 床 １０ 天井１１ パーティション １２ レーザ投光器１３ レーザ受光器 １４ 遮光板 １４ａ 穴１５ 遮光板 １５ａ 穴 １６ 投受光器１６ａ 投光器 １６ｂ 受光器 １７ 反射鏡１９ ワイヤ式測距器 ２０ ワイヤ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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