(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一圧力検知部と第二圧力検知部とを備える圧力異常検知装置において、
第一圧力検知部からの第一出力として、所定の圧力域である第一圧力値と第二圧力値との間においてオフ信号が出力され、その他の圧力域ではオン信号が出力されると共に、
第二圧力検知部からの第二出力として、第一圧力検知部の前記所定の圧力域より低圧域である第三圧力値と第四圧力値との間において圧力が第四圧力値となるまでオン信号が出力され、圧力が一旦第四圧力値となった後に第四圧力値と第三圧力値との間にあるときにはオフ信号が出力されるが、圧力が第三圧力値になるとオン信号に切り替わり、再度第四圧力値になるまでオン信号が出力され、その他の圧力域ではオン信号が出力される機構をそれぞれ有し、
第一出力がオフ信号で第二出力がオン信号の状態であるか、第一出力がオン信号で第二出力がオフ信号の状態であるか、第一出力と第二出力とがともにオン信号の状態であるか、によって圧力が正常域か、異常域かを判定する判定手段を設けた、ことを特徴とする圧力異常検知装置。
【請求項２】
減圧作動においては、前記第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値は、第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値の順に小さくなる値であり、
第一圧力値と第二圧力値との間は、非作用時に通常発生するロスによって生じる減圧域であり、第三圧力値と第四圧力値との間は、正常に作用している減圧域であるように、第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値がそれぞれ設定される、ことを特徴とする請求項１に記載の圧力異常検出装置。
【請求項３】
板状物を移載する移載手段と、該移載手段で板状物を吸引保持するための吸引保持手段と、吸引保持手段の吸引圧力の異常を検出するための請求項１から請求項２の何れかに記載の圧力異常検出装置とを備えた、ことを特徴とする無人搬送車。
【請求項４】
前記圧力異常検出装置のオン信号及びオフ信号が、前記移載手段を具備する枚葉移載装置の動作シーケンスに組み込まれている、ことを特徴とする、請求項３に記載の無人搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、所定の圧力域にて発信される信号の組み合わせによって圧力が正常域か、異常域かを判定することが可能な圧力異常検出装置の構成、並びに、移載手段及び吸引保持手段と、この圧力異常検出装置とを備えた無人搬送車の構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体デバイス用等のウエハを一枚ずつ移載する枚葉移載装置、該ウエハを複数枚収納可能なバッファカセット、該ウエハの位置合わせを行うアライナーを搭載し、バッファカセットに収納されたウエハを枚葉移載装置により取り出し、アライナーにて所定の向きに位置合わせした上で、処理装置へ移載する無人搬送車が検討されている。
無人搬送車には吸引手段が備えられており、枚葉移載装置はウエハを吸引手段により吸着して移載を行う。この吸引手段は、エアコンプレッサーと、真空エジェクターと、配管と、保持バルブとを備えており、枚葉移載装置の板状物支持部であるピンセットに形成される吸引孔に接続されている。
ピンセットは、複数枚のウエハが若干の隙間を設けた積層状態で収納されるバッファカセットへの、ウエハの移載を可能とするため、厚みが非常に薄く造られているため、ウエハがピンセット上に載置されているか否かの確認を行う載荷センサを設けることができないという問題があった。
そこで、吸引手段の配管途中に圧力検知センサを設け、ウエハがピンセット上に載置されて正常に吸着されている場合に到達する圧力検知センサの圧力を検出することで、ピンセット上のウエハの有無を確認することが検討されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述の如く、圧力検知センサによりピンセット上のウエハの有無を確認するように構成した場合、ピンセット上に載置されているウエハが正常に吸着されているときには、ウエハの有無を正確に検出することができるが、ピンセット上にウエハが載置されてはいるが正常に吸着できていない場合や、吸引手段の配管詰まりや、圧力検知センサの断線等があった場合には、ウエハの有無を正確に検出することができないという問題があった。
そこで、本発明においては、圧力検知センサにより複数の異常を検知可能な圧力検知手段を提供すること、及びその圧力検知手段を用いることで、載荷センサを用いることなく、枚葉移載装置上のウエハの有無を正確に把握することができる無人搬送車を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するための手段を説明する。
即ち、請求項１においては、第一圧力検知部と第二圧力検知部とを備える圧力異常検知装置において、第一圧力検知部からの第一出力として、所定の圧力域である第一圧力値と第二圧力値との間においてオフ信号が出力され、その他の圧力域ではオン信号が出力されると共に、第二圧力検知部からの第二出力として、第一圧力検知部の前記所定の圧力域より低圧域である第三圧力値と第四圧力値との間において圧力が第四圧力値となるまでオン信号が出力され、圧力が一旦第四圧力値となった後に第四圧力値と第三圧力値との間にあるときにはオフ信号が出力されるが、圧力が第三圧力値になるとオン信号に切り替わり、再度第四圧力値になるまでオン信号が出力され、その他の圧力域ではオン信号が出力される機構をそれぞれ有し、第一出力がオフ信号で第二出力がオン信号の状態であるか、第一出力がオン信号で第二出力がオフ信号の状態であるか、第一出力と第二出力とがともにオン信号の状態であるか、によって圧力が正常域か、異常域かを判定する判定手段を設けた。
【０００５】
請求項２においては、減圧作動においては、前記第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値は、第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値の順に大きくなる値であり、第一圧力値と第二圧力値との間は、非作用時に通常発生するロスによって生じる減圧域であり、第三圧力値と第四圧力値との間は、正常に作用している減圧域であるように、第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値がそれぞれ設定される。
【０００６】
請求項３おいて、板状物を移載する移載手段と、該移載手段で板状物を吸引保持するための吸引保持手段と、吸引保持手段の吸引圧力の異常を検出するための請求項１から請求項２何れかに記載の圧力異常検出装置とを備えた。
【０００７】
請求項４において、前記圧力異常検出装置のオン信号及びオフ信号が、前記移載手段を具備する枚葉移載装置の動作シーケンスに組み込まれている。
【０００９】
【発明の実施の形態】
次に、発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明を適用した実施の一形態の無人搬送車を示す側面図、図２は同じく平面図、図３は吸引手段のエア回路を示す回路図、図４は圧力検知センサの圧力スイッチからの出力と吸引手段の配管内圧力との関係を示す図、図５は圧力検知センサの表示部及び第二アームのストッパを示す平面図、図６は同じく側面図である。
【００１０】
本発明の無人搬送車の構成について説明する。
図１、図２に示す無人搬送車１は、下部の走行部２と、上部の作業部３とから構成され、
走行部２には、進行方向に対する左右に、無人搬送車１を走行可能とする走行車輪９・９・・・が備えられており、該走行部２により床面１１に敷設された走行レール１３上を走行するように構成されている。
走行車輪９・９・・は全輪駆動であり、同一の駆動モータ（不図示）の駆動力を分岐して、各々が駆動される。
【００１１】
作業部３には、本体の中央部にウエハ１０（図２図示）を移載するための枚葉移載装置５が設けられている。また、枚葉移載装置５の前後両側に、ウエハ１０の位置合わせを行うアライナー４、および複数枚のウエハ１０を収納可能なバッファカセット６が配置されている。
無人搬送車１は前後両側に走行可能であるが、以降の説明においてはアライナー４側を、無人搬送車１の前側とする。
なお、本実施の一形態の無人搬送車では、枚葉移載装置５により半導体のウエハ１０を移載するが、液晶ガラス板や樹脂パネル板などの板状物でも良い。
【００１２】
枚葉移載装置５には、二組のロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓが備えられている。無人搬送車１本体には基台２１が固設され、基台２１に対して昇降可能に設けられる昇降台２２には、ターンテーブル２３が水平方向へ回動可能に設けられ、ターンテーブル２３にロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓが設けられている。
ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓはそれぞれ、ウエハ１０を支持可能なピンセット３１Ｍ・３１Ｓと、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓとターンテーブル２３とを連結する第一アーム３２Ｍ・３２Ｓ、第二アーム３３Ｍ・３３Ｓとを備えている。
そして、ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓは、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓをターンテーブル２３に対して、進退可能に構成されている。
【００１３】
無人搬送車１には、吸引手段１２が備えられており、ウエハ１０を支持するピンセット３１Ｍ・３１Ｓは、吸引手段１２によりウエハ１０を吸着可能としており、ウエハ１０の姿勢を保持しながら支持することができる。
即ち、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓの上面には、吸引手段１２に接続される吸引孔３１ａ・３１ａが形成されており、該吸引孔３１ａ・３１ａにより、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上に支持されるウエハ１０を吸着して保持するのである。
【００１４】
そして、枚葉移載装置５は、ウエハ１０を下方よりピンセット３１Ｍ・３１Ｓですくい上げるとともに吸着して支持し、ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓの伸縮、およびターンテーブル２３の回転を行うことで、ウエハ１０の移載が可能である。尚、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上に支持しているウエハ１０をバッファカセット６内や処理装置上等に載置する際は、吸引孔３１ａ・３１ａによるウエハ１０の吸着を解除する。
【００１５】
アライナー４は、ウエハ１０の位置合わせをして、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓに対するウエハ１０の支持位置を整える装置である。ウエハ１０の支持位置を整えることで、無人搬送車１から処理装置のステーション（ウエハの載置部）へウエハ１０を移載する際等に、適確に載置することが可能となる。
【００１６】
また、バッファカセット６は、無人搬送車１側にウエハ１０を複数枚収納しておくための装置である。
バッファカセット６の前側（枚葉移載装置５を向く側）は開口しており、内部にはウエハ１０の両側端を支持するリブ３６・３６が、開口方向に対する左右に設けられて、多数段の棚が構成されている。
そして、ウエハ１０を保持したピンセット３１Ｍ・３１Ｓをバッファカセット６内部に挿入して、該ウエハ１０をリブ３６・３６上に載置することで、バッファカセット６に複数のウエハ１０を収納することが可能となっている。
【００１７】
次に、前記吸引手段１２について説明する。
図３に示すように、吸引手段１２は、エアコンプレッサ５１、吸着エア供給バルブ５２、真空エジェクタ５３、負圧保持バルブ５４、及びこれらを接続するエア配管を有しており、真空エジェクタ５３より先端側の負圧部分を、ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓにおけるピンセット３１Ｍ・３１Ｓの吸引孔３１ａ・３１ａに接続している。
【００１８】
そして、吸着エア供給バルブ５２を開くと、コンプレッサ５１で圧縮されたエアが高速で真空エジュクタ５３に供給され、該真空エジェクタ５３より先端側の吸引孔３１ａ・３１ａに負圧が発生するため、該吸引孔３１ａ・３１ａによりウエハ１０を吸着することが可能となっている。
また、吸引孔３１ａ・３１ａにウエハ１０を吸着させた場合、真空エジェクタ５３から吸引孔３１ａ・３１ａまでの配管５７内はウエハ１０が吸引保持可能な程度の負圧状態となるが、負圧保持バルブ５４を閉じることで、この負圧状態を保持することが可能となっている。
さらに、吸引手段１２には、負圧開放用手動弁５５が設けられており、配管５７内の負圧状態を手動で開放できるように構成している。
【００１９】
また、配管５７には、該配管５７内の圧力を検知する圧力検知センサ５６が接続されている。
圧力検知センサ５６には、所定の圧力範囲でオン−オフの切り換えが行われる、
第一圧力検知部である圧力スイッチ５６ａと第二圧力検知部である圧力スイッチ５６ｂの二つが設けられており、それぞれの圧力スイッチ５６ａ・５６ｂが独立して、オン状態又はオフ状態の信号を外部に出力することができるように構成されている（以下、圧力スイッチ５６ａからの出力を第一出力と、圧力スイッチ５６ｂからの出力を第二出力という）。
そして、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂの出力により、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上にウエハ１０が載置されているか否かの判別を行うようにしている。
【００２０】
そして、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上にウエハ１０が載置されているか否かの判別は、吸引孔３１ａ・３１ａがウエハ１０を吸着して密閉されている状態と、吸引孔３１ａ・３１ａがウエハ１０を吸着しないで開放されている状態とでは、配管５７内の圧力が変わるため、この圧力の違いを圧力スイッチ５６ａ・５６ｂにより検出することで行っている。
しかし、吸引孔３１ａ・３１ａがウエハ１０により完全に密閉されている状態と、吸引孔３１ａ・３１ａが完全に開放されている状態との違いのみを検出するように構成していると、例えば、ウエハ１０と吸引孔３１ａ・３１ａとの間に異物を噛み込んたり、ウエハ１０の載置位置が正確でなかったりして、吸引孔３１ａ・３１ａが若干開放された状態となっている場合、配管５７に詰まりが生じた場合、及び圧力検知センサ５６に電気的な断線が生じた場合などには、これらの異常状況を把握することができず、ウエハ１０の載置状態も正確に検出することができない。
そこで、本案においては、圧力検知センサ５６を以下のように設定・制御することで、ウエハ１０の有無や異常状況を正確に把握できるようにしている。
【００２１】
図４に示すように、圧力スイッチ５６ａからは、配管５７内の圧力が第一圧力値である圧力ｐａから第二圧力値である圧力ｐｂの範囲内にあるときに、第一出力としてオフ信号が出力され、それ以外の圧力範囲にあるときにはオン信号が出力されるように設定している。
また、圧力スイッチ５６ｂからは、配管５７内の圧力が第四圧力値である圧力ｐｄとなるまで第二出力としてオン信号が出力され、圧力ｐｄに達すると、オン状態となっていた圧力センサ５６ｂがオフ状態に切り換わり、圧力が一旦圧力ｐｄとなった後に圧力ｐｄと圧力ｐｃとの間にあるときにはオフ信号が出力されるが、圧力上昇により配管内圧力が圧力ｐｃまで達すると、圧力センサ５６ｂがオン状態に切り換えられて、再度圧力ｐｄになるまでオン信号が出力されるように設定している。
尚、圧力ｐｃから圧力ｐｄまでの圧力範囲は、圧力ｐａから圧力ｐｂまでの圧力範囲よりも低圧である。また、各圧力ｐａ・ｐｂ・ｐｃ・ｐｄは全て負圧であり、圧力ｐａ、圧力ｐｂ、圧力ｐｃ、及び圧力ｐｄの順に低圧となっている。
【００２２】
ここで、各圧力ｐａ及び圧力ｐｂは、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上にウエハ１０が載置されず、吸引孔３１ａ・３１ａが完全に開放した状態で、吸着エア供給バルブ５２を開いた場合における配管５７内の圧力が、配管５７等で吸引抵抗の影響を受ける範囲の圧力ｐａから圧力ｐｂまでの範囲、すなわち、吸引・減圧作動しているが、ウエハ１０を保持する作用をしていないときに、配管５７内等で通常発生する減圧ロスによって生じる圧力域の値に設定している。
また、各圧力ｐｃ及び圧力ｐｄは、吸着エア供給バルブ５２が開いた状態で、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上にウエハ１０を載置して、吸引孔３１ａ・３１ａがウエハ１０により完全に閉じられた場合における配管５７内の圧力が、ウエハ１０が確実に真空吸着できる範囲の圧力ｐｃから圧力ｐｄまでの範囲内に含まれるような値に設定している。
【００２３】
そして、吸着エア供給バルブ５２が閉じた状態では配管５７内は大気開放されているため、該配管５７内の圧力は０（ｋＰａ）を示す。
また吸着エアバルブ５２が開かれている状態で配管５７に詰まりや破れなどの異常が生じているときには、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂにより検出される圧力は、圧力ｐａから圧力ｐｂの範囲から外れることになる。
つまり、配管５７が多少詰まっている状態では、吸引抵抗が通常の場合より若干増すため、圧力はｐｂから圧力ｐｃの範囲になる。
また、配管５７が完全に詰まっている状態では、吸引抵抗が増えて圧力ｐｄより低くなる。これは、作業者が誤ってピンセット３１Ｍ（３１Ｓ）上にウエハ１０を載置した場合も同様の圧力を示す。
また、配管５７が破れている状態では、大気が配管５７内に流入することで負圧を保てずに、圧力ｐａより高くなる。
このため、以上のような異常状態の時には、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの出力はいずれもオン状態を示す。
また、ウエハ１０とピンセット３１Ｍ（３１Ｓ）の間に異物がある場合や、ウエハ１０の位置ずれなどにより吸引孔３１ａ・３１ａが若干開放された状態となっている場合は、配管５７内の圧力は圧力ｐｂから圧力ｐｃまでの範囲内の値を示し、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの信号出力はともにオン状態となる。
なお、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂの断線および圧力スイッチ５６ａ・５６ｂ自身の異常を検出するために、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂは、通電しない状態ではオフ状態となり、通電するとオン信号を出力するようになっている。さらに、上記特定の場合にのみオフ信号を出力するようになっている。
したがって、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂを通電させた直後に、オフ状態からオン信号が出力されないときは、上記断線および圧力スイッチ５６ａ・５６ｂ自身の異常の可能性を検出できる。
【００２４】
以上のような特性を利用して、本無人搬送車１においては、ウエハ１０の有無や異常状況を、無人搬送車１に設けられる制御基板にて、次のようなシーケンスにより把握した上で、枚葉移載装置５でのウエハ１０の移載をするようにしている。
【００２５】
（１）まず、圧力検知センサ５６に電源供給がなされ、吸着エア供給バルブ５２が閉じた状態での、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの信号出力状態を確認する。
この場合、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂに断線が生じているなどの異常がなければ両圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの信号出力はオン状態となり、異常があれば異常がある圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの信号出力がオフ状態となる。
従って、この状態では、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂの断線や圧力スイッチ５６ａ・５６ｂ自体の故障などの異常の有無をチェックすることができ、制御基板では圧力スイッチ５６ａ・５６ｂがともにオン状態となっているかの確認がなされる。
【００２６】
（２）次に、（１）の状態で圧力スイッチ５６ａ・５６ｂがともにオン状態となっていることを確認すると、真空エジェクタ５３をオンするとともに、吸着エア供給バルブ５２が開かれる。
この状態では、ウエハ１０がピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上に載置されていなくて、配管５７に詰まりや破れなどの異常がない場合には、配管５７内の圧力は圧力ｐａから圧力ｐｂまでの範囲に収まり、圧力スイッチ５６ａの出力はオフ状態を、圧力スイッチ５６ｂの出力はオン状態を示す。
逆に、圧力スイッチ５６ａの出力がオフ状態、圧力スイッチ５６ｂの出力がオン状態を示していなければ、配管５７等に異常があると判断することができる。前述のように、配管５７が破れていても、多少詰まっていても、完全に詰まっていても、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂの出力は、ともにオン状態を示すからである。
従って、この状態にて配管５７の異常を検出することができる。
尚、この（２）の状態で圧力スイッチ５６ａ・５６ｂが、所定時間経過後にそれぞれオン状態・オン状態から、オン状態・オフ状態へ切り換わるようであれば、配管５７の異常ではなく、作業者によりピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上にウエハ１０が載置されている可能性が高い。
【００２７】
（３）さらに、（２）の状態に加えて、ウエハ１０をピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上に載置し、吸引孔３１ａ・３１ａに吸着させた状態とすると、ウエハ１０が吸引孔３１ａ・３１ａに正常に吸着されている場合には、配管５７内の圧力は低下していき、圧力ｐｄにまで達する。圧力がｐｄに達すると、圧力がｐｄより低い範囲でオン状態となっていた圧力センサ５６ｂの圧力がオフ状態に切り換わる。
逆に、ウエハ１０とピンセット３１Ｍ（３１Ｓ）との間に異物がある場合や、ウエハ１０の位置ずれなどにより吸引孔３１ａ・３１ａが若干開放された状態となっている場合は、配管５７内の圧力は圧力ｐｂから圧力ｐｃまでの範囲内の値を示し、圧力ｐｄまでは減少せず、圧力スイッチ５６ｂはオン状態を保ったままとなる。
これにより、ウエハ１０がピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上に正常に載置されているか否かの確認を行うことができ、正常に載置されていると判断されると、枚葉移載装置５によるウエハ１０の移載が行われる。
【００２８】
また、圧力がｐｄに達して圧力センサ５６ｂがオフ状態に切り換わると、真空エジェクタ５３が停止し、負圧保持バルブ５４を開状態から閉状態にすることによって、配管５７内が負圧状態に保持される。
真空エジェクタ５３を停止しての真空保持状態にあるときは、例えば、ウエハ１０とピンセット３１Ｍ・３１Ｓの隙間から大気が少しずつ配管５７内に侵入して徐々に配管内圧力が上昇していき、圧力上昇により配管内圧力が圧力ｐｃまで達すると、圧力センサ５６ｂがオン状態に切り換えられて、吸着エアバルブ５２が開状態となるとともに真空エジェクタ５３が再度運転を開始する。
このように、ウエハ１０をピンセット３１Ｍ・３１Ｓ上で吸着して移載する際には、配管５７内の圧力を圧力ｐｃから圧力ｐｄの範囲内に保持して、確実かつ安定した姿勢でウエハ１０を移載するようにしている。
【００２９】
以上の如く、前述の（１）、（２）、（３）の各状態で異常の有無の検出が行われ、異常がない場合に限り（１）の状態から（２）の状態へ、（２）の状態から（３）の状態へ、（３）の状態からウエハ１０の移載動作へ、といったように、動作の切り換えが行われる。
一方、異常が検出された場合には、無人搬送車１の制御基板から上位の搬送車コントローラへ異常信号が出力されるとともに、無人搬送車１に設けられるパイロットランプが点灯される。また、搬送車コントローラは、無人搬送車１が設置される生産システムを管理しているホストコントローラへ異常信号を出力して、作業者に異常があったことを知らせるようにしている。
このため、本実施の一形態を示す無人搬送車１に、負圧によりウエハ１０を吸引・保持する枚葉移載装置５と、圧力センサ５６等を備えた圧力異常検出装置とを搭載し、移載動作のシーケンスプログラムに圧力異常検出装置の出力信号を利用することで、無人搬送車１でウエハ１０を目的の処理装置などに一枚ずつ確実に移載することができる。
また、移載動作中に異常があった場合には、速やかに作業者に知らせることができる。
【００３０】
このように、圧力検知センサ５６の圧力スイッチ５６ａ・５６ｂといったように、２系統の出力からの信号出力を組み合わせて判断を行うようにすることで、ウエハ１０が載置されているか否かの判断だけでなく、配管５７の異常や、圧力検知センサ５６自体の異常、及びウエハ１０の載置状態の異常などといった、複数の状況を判断することが可能となる。
【００３１】
また、圧力検知センサ５６における２系統の出力の内、一方の出力である圧力スイッチ５６ａが、ウエハ１０がピンセット３１Ｍ・３１Ｓへ載置されない状態で真空バルブ５４が開くとともに、真空エジェクタ５３が作動した際の配管の圧力範囲（圧力ｐａから圧力ｐｂまでの範囲）にて信号出力がオフ状態となり、他方の出力である圧力スイッチ５６ｂが、ピンセット３１Ｍ・３１Ｓへ載置されたウエハ１０を正常な状態で吸着した際の圧力範囲（圧力ｐｃから圧力ｐｄまでの範囲）にて信号出力がオフ状態となるように設定し、それ以外では圧力スイッチ５６ａ・５６ｂがともにオン状態となるように設定しており、前述の複数の状況の判断は、圧力スイッチ５６ａ・５６ｂにおける２つの出力のロジックを組み合わせるだけで実現することができるので、容易に判断することが可能である。
【００３２】
さらに、前述の如く、圧力検知センサ５６における圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの出力信号を、枚葉移載装置５の動作シーケンスに組み込んでいるので、該圧力スイッチ５６ａ・５６ｂからの出力結果に基づき、異常がないことを確認してから枚葉移載装置５の動作を進めていくことができ、ウエハ１０の確実な移載を行うことができる。
【００３３】
また、図５、図６に示すように、ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓにそれぞれ備えられる圧力検知センサ５６・５６は、枚葉移載装置５のロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓが取り付けられる天板であるターンテーブル２３に、表示部５９・５９を設けており、該圧力検知センサ５６・５６により検知した圧力値などを表示するようにしている。
このように、圧力検知センサ５６・５６に表示部５９・５９を設け、該表示部５９・５９を、作業者が見やすい位置にあるターンテーブル２３に配置することで、圧力検知センサ５６・５６の検出値などを容易に把握することが可能となり、枚葉移載装置５のメンテナンス作業が行い易くなる。
【００３４】
また、ターンテーブル２３上には、ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓにおける第二アーム３３Ｍ・３３Ｓの前進方向（図５における上方）への回動動作を規制する前進側ストッパ６１・６１、該第二アーム３３Ｍ・３３Ｓの後退方向（図５における下方）への回動動作を規制する後退側ストッパ６２・６２が設けられている。
前進側ストッパ６１・６１及び後退側ストッパ６２・６２は、ターンテーブル２３の上面から上方へ突出するピン部材であり、第二アーム３３Ｍ・３３Ｓの回動動作を機械的に規制するものである。
従って、第二アーム３３Ｍ・３３Ｓは、前進側ストッパ６１・６１により規制される位置から、後退側ストッパ６２・６２により規制される位置までの範囲Ｒ内で回動動作を行うこととなり、その回動動作範囲Ｒよりも前進側及び後退側には回動しない。
【００３５】
そして、前記表示部５９・５９は、第二アーム３３Ｍ・３３Ｓの回動動作範囲Ｒ外に配置されている。
このように、表示部５９・５９を回動動作範囲Ｒ外に配置することで、第二アーム３３Ｍ・３３Ｓがどのような回動位置に位置していようとも、表示部５９・５９が該第二アーム３３Ｍ・３３Ｓによって隠れることがなく、容易に表示内容を見ることができる。
【００３６】
【発明の効果】
請求項１記載の如く、第一圧力検知部と第二圧力検知部とを備える圧力異常検知装置において、第一圧力検知部からの第一出力として、所定の圧力域である第一圧力値と第二圧力値との間においてオフ信号が出力され、その他の圧力域ではオン信号が出力されると共に、第二圧力検知部からの第二出力として、第一圧力検知部の前記所定の圧力域より低圧域である第三圧力値と第四圧力値との間において圧力が第四圧力値となるまでオン信号が出力され、圧力が一旦第四圧力値となった後に第四圧力値と第三圧力値との間にあるときにはオフ信号が出力されるが、圧力が第三圧力値になるとオン信号に切り替わり、再度第四圧力値になるまでオン信号が出力され、その他の圧力域ではオン信号が出力される機構をそれぞれ有し、第一出力がオフ信号で第二出力がオン信号の状態であるか、第一出力がオン信号で第二出力がオフ信号の状態であるか、第一出力と第二出力とがともにオン信号の状態であるか、によって圧力が正常域か、異常域かを判定する判定手段を設けたので、
簡単な構成で、例えば、配管の異常や、圧力検知センサ自身の異常など、複数の状況の正常、異常を判断することができ、単一の状況の正常、異常を判断するものに比し、メンテナンス性が良い。
また、圧力が第四圧力値から上昇していくようなもの、例えば、ウエハなどの板状物を吸引保持するようなものの圧力を検出する場合に好適である。
つまり、第四圧力値になるまで負圧にし続け、第四圧力値になると圧力を保持するバルブなどを閉じて、負圧を維持するようにする。
そして、配管などからごく僅かに漏れだしていくので、安全な負圧保持が可能な上限圧力である第三圧力値まで圧力が上昇すると、前記バルブを開いて第四圧力値になるまで負圧にし続ける。
このような吸引保持の制御を、出力信号を利用することで容易に行うことができる。
【００３７】
請求項２記載の如く、減圧作動においては、前記第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値は、第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値の順に小さくなる値であり、第一圧力値と第二圧力値との間は、非作用時に通常発生するロスによって生じる減圧域であり、第三圧力値と第四圧力値との間は、正常に作用している減圧域であるように、第一圧力値、第二圧力値、第三圧力値、及び第四圧力値がそれぞれ設定されるので、
非作用時に圧力が第一圧力値から第二圧力値の間にあれば正常、そうでなければ異常と判断することができ、さらに、作用時に第三圧力値から第四圧力値の間にあれば正常、そうでなければ異常と判断することができる。
このため、非作用時に異常で有れば、配管やセンサ自体などの異常と判断でき、作用時に異常で有れば、正常に作用していない、例えば、吸着する作用を行う場合には、物品を吸着できていないということなどが判断できる。
【００３８】
請求項３記載の如く、板状物を移載する移載手段と、該移載手段で板状物を吸引保持するための吸引保持手段と、吸引保持手段の吸引圧力の異常を検出するための請求項１から請求項２の何れかに記載の圧力異常検出装置とを備えたので、
無人搬送車にこの圧力異常検出装置を適用して、ウエハやガラス基板などの板状物を搬送し、板状物を吸引保持して移載する際の圧力を、圧力異常検出装置で検出するようにすると、配管の異常や、センサ自体の異常、さらには、板状物の載置の有無などの検出を行うことができ、従来の圧力異常検出装置に比べて、検出も簡単で、コストも安価にできる。
【００３９】
請求項４記載の如く、前記圧力異常検出装置のオン信号及びオフ信号が、前記移載手段を具備する枚葉移載装置の動作シーケンスに組み込まれているので、
無人搬送車の運行・移載動作をシーケンスプログラムで制御する場合には、圧力検知センサからの出力結果に基づき、異常がないことを確認してから枚葉移載装置の動作を進めていくことができ、ウエハの移載を確実なものとすることができる。
また、そのシーケンスの動作状態と、圧力異常検出装置の前記圧力スイッチのオン信号及びオフ信号の組み合わせ状態とを比較することにより、異常箇所を特定できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した実施の一形態の無人搬送車を示す側面図である。
【図２】同じく平面図である。
【図３】吸引手段のエア回路を示す回路図である。
【図４】圧力検知センサの圧力スイッチからの出力と吸引手段の配管内圧力との関係を示す図である。
【図５】圧力検知センサの表示部及び第二アームのストッパを示す平面図である。
【図６】同じく側面図である。
【符号の説明】
１  無人搬送車
５  枚葉移載装置
１２  吸引手段
２３  ターンテーブル
３１  ピンセット
３１ａ  吸入孔
５１  コンプレッサ
５３  真空エジェクタ
５４  負圧保持バルブ
５６  圧力検知センサ
５６ａ・５６ｂ  圧力スイッチ
【図１】
0004226252.tif 000002
【図２】
0004226252.tif 000003
【図３】
0004226252.tif 000004
【図４】
0004226252.tif 000005
【図５】
0004226252.tif 000006
【図６】
0004226252.tif 000007