【手続補正書】
【提出日】平成25年4月12日(2013.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を回折するＶＰＨ回折格子を含み、
前記ＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を、前記ＶＰＨ回折格子または他のＶＰＨ回折格子に入射させることを特徴とする分光装置。
【請求項２】
少なくとも第１のＶＰＨ回折格子と第２のＶＰＨ回折格子とを含み、
前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を、前記第２のＶＰＨ回折格子に入射させることを特徴とする分光装置。
【請求項３】
請求項２に記載の分光装置において、
前記第１のＶＰＨ回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第２のＶＰＨ回折格子に入射する０次回折光の入射角は、異なることを特徴とする分光装置。
【請求項４】
請求項３に記載の分光装置において、
前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向と、前記第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向は、一致することを特徴とする分光装置。
【請求項５】
請求項３に記載の分光装置において、
前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向と、前記第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向は、平行であることを特徴とする分光装置。
【請求項６】
請求項３に記載の分光装置において、
前記第１のＶＰＨ回折格子の波長分散面と、前記第２のＶＰＨ回折格子の波長分散面は、平行であり、
前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向と、前記第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向は、前記波長分散面上で、平行であることを特徴とする分光装置。
【請求項７】
請求項３に記載の分光装置において、
前記第１のＶＰＨ回折格子の波長分散面と、前記第２のＶＰＨ回折格子の波長分散面は、平行であり、
前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を前記波長分散面に投影した光の射出方向と、前記第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を前記波長分散面に投影した光の射出方向は、平行であることを特徴とする分光装置。
【請求項８】
請求項４乃至請求項７のいずれか１項に記載の分光装置において、
前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角と、前記第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角は、波長毎に略等しいことを特徴とする分光装置。
【請求項９】
請求項４乃至請求項７のいずれか１項に記載の分光装置において、
前記第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角と、前記第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角は、特定の波長で等しいことを特徴とする分光装置。
【請求項１０】
請求項２乃至請求項９のいずれか１項に記載の分光装置において、さらに、
少なくとも前記第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と前記第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光を集光する集光レンズと、
前記集光レンズで集光された前記１次回折光を検出する一つの検出器と、を含むことを特徴とする分光装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の分光装置において、
前記第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と、前記第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光は、前記波長分散面上で、波長毎に略平行に前記集光レンズに入射することを特徴とする分光装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の分光装置において、
前記検出器は、複数の受光素子を含み、
前記第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と、前記第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光は、波長毎に同一の前記受光素子に入射することを特徴とする分光装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の分光装置において、
前記第１のＶＰＨ回折格子の格子定数と、前記第２のＶＰＨ回折格子の格子定数は、異なり、
前記第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と、前記第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光は、一つの前記集光レンズに入射することを特徴とする分光装置。
【請求項１４】
請求項１２に記載の分光装置において、
前記集光レンズは、前記第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光が入射する第１の集光レンズと、前記第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光が入射する第２の集光レンズと、
を含み、
前記第１の集光レンズの光軸は、前記第１のＶＰＨ回折格子の入射面の法線と平行であり、
前記第２の集光レンズの光軸は、前記第２のＶＰＨ回折格子の入射面の法線と平行であることを特徴とする分光装置。
【請求項１５】
請求項１０乃至請求項１４のいずれか１項に記載の分光装置において、さらに、
前記１次回折光の光路を切り換える光路切換え手段を含み、
前記光路切換え手段による光路の切換えにより、前記検出器上での前記１次回折光の波長分散量が変化することを特徴とする分光装置。
【請求項１６】
入射光を回折する一つのＶＰＨ回折格子を含み、
前記ＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を、前記ＶＰＨ回折格子に入射させることを特徴とする分光装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の分光装置において、
前記ＶＰＨ回折格子に入射する前記入射光の入射角と、前記ＶＰＨ回折格子に入射する前記０次回折光の入射角は、異なることを特徴とする分光装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の分光装置において、さらに、
前記ＶＰＨ回折格子からの１次回折光を集光する集光レンズと、
前記集光レンズで集光された前記１次回折光を検出する一つの検出器と、を含むことを特徴とする分光装置。
【請求項１９】
請求項１８に記載の分光装置において、
前記入射光の入射により前記ＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光と、前記０次回折光の入射により前記ＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光は、波長分散面上で、波長毎に略平行に前記集光レンズに入射することを特徴とする分光装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の分光装置において、
前記検出器は、複数の受光素子を含み、
前記入射光の入射により前記ＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光と、前記０次回折光の入射により前記ＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光は、波長毎に同一の前記受光素子に入射することを特徴とする分光装置。
【請求項２１】
請求項１８に記載の分光装置において、
前記検出器は、複数の受光素子を含み、
前記入射光の入射により前記ＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光と、前記０次回折光の入射により前記ＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光は、波長毎に同一のチャネルに設定される前記受光素子に入射することを特徴とする分光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の第１の態様は、入射光を回折するＶＰＨ回折格子を含み、前記ＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を、前記ＶＰＨ回折格子または他のＶＰＨ回折格子に入射させることを特徴とする分光装置を提供する。
本発明の第２の態様は、少なくとも第１のＶＰＨ回折格子と第２のＶＰＨ回折格子とを含み、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を、第２のＶＰＨ回折格子に入射させる分光装置を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の第３の態様は、第２の態様に記載の分光装置において、前記第１のＶＰＨ回折格子に入射する入射光の入射角と、前記第２のＶＰＨ回折格子に入射する０次回折光の入射角は、異なることを特徴とする分光装置を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の第４の態様は、第３の態様に記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向と、第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向は、一致する分光装置を提供する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の第５の態様は、第３の態様に記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向と、第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向は、平行である分光装置を提供する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第６の態様は、第３の態様に記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子の波長分散面と、第２のＶＰＨ回折格子の波長分散面は、平行であり、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向と、第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光の射出方向は、波長分散面上で、平行である分光装置を提供する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の第７の態様は、第３の態様に記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子の波長分散面と、第２のＶＰＨ回折格子の波長分散面は、平行であり、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を波長分散面に投影した光の射出方向と、第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を波長分散面に投影した光の射出方向は、平行である分光装置を提供する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第８の態様は、第４の態様乃至第７の態様のいずれか１つに記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角と、第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角は、波長毎に略等しい分光装置を提供する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の第９の態様は、第４の態様乃至第７の態様のいずれか１つに記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角と、第２のＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光と１次回折光とのなす角は、特定の波長で等しい分光装置を提供する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の第１０の態様は、第２の態様乃至第９の態様のいずれか１つに記載の分光装置において、さらに、少なくとも第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光を集光する集光レンズと、集光レンズで集光された１次回折光を検出する一つの検出器と、を含む分光装置を提供する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の第１１の態様は、第１０の態様に記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と、第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光は、波長分散面上で、波長毎に略平行に集光レンズに入射する分光装置を提供する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の第１２の態様は、第１１の態様に記載の分光装置において、検出器は、複数の受光素子を含み、第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と、第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光は、波長毎に同一の受光素子に入射する分光装置を提供する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明の第１３の態様は、第１２の態様に記載の分光装置において、第１のＶＰＨ回折格子の格子定数と、第２のＶＰＨ回折格子の格子定数は、異なり、第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光と、第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光は、一つの集光レンズに入射する分光装置を提供する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の第１４の態様は、第１２の態様に記載の分光装置において、集光レンズは、第１のＶＰＨ回折格子からの１次回折光が入射する第１の集光レンズと、第２のＶＰＨ回折格子からの１次回折光が入射する第２の集光レンズと、を含み、第１の集光レンズの光軸は、第１のＶＰＨ回折格子の入射面の法線と平行であり、第２の集光レンズの光軸は、第
２のＶＰＨ回折格子の入射面の法線と平行である分光装置を提供する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明の第１５の態様は、第１０の態様乃至第１４の態様のいずれか１つに記載の分光装置において、さらに、１次回折光の光路を切り換える光路切換え手段を含み、光路切換え手段による光路の切換えにより、検出器上での１次回折光の波長分散量が変化する分光装置を提供する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の第１６の態様は、入射光を回折する一つのＶＰＨ回折格子を含み、ＶＰＨ回折格子で生じる０次回折光を、ＶＰＨ回折格子に入射させる分光装置を提供する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の第１７の態様は、第１６の態様に記載の分光装置において、ＶＰＨ回折格子に入射する入射光の入射角と、ＶＰＨ回折格子に入射する０次回折光の入射角は、異なる分光装置を提供する。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の第１８の態様は、第１７の態様に記載の分光装置において、さらに、ＶＰＨ回折格子からの１次回折光を集光する集光レンズと、集光レンズで集光された１次回折光を検出する一つの検出器と、を含む分光装置を提供する。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本発明の第１９の態様は、第１８の態様に記載の分光装置において、入射光の入射によりＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光と、０次回折光の入射によりＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光は、波長分散面上で、波長毎に略平行に集光レンズに入射する分光装置を提供する。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明の第２０の態様は、第１９の態様に記載の分光装置において、検出器は、複数の受光素子を含み、入射光の入射によりＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光と、０次回折光の入射によりＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光は、波長毎に同一の受光素子に入射する分光装置を提供する。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明の第２１の態様は、第１８の態様に記載の分光装置において、検出器は、複数の受光素子を含み、入射光の入射によりＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光と、０次回折光の入射によりＶＰＨ回折格子で生じる１次回折光は、波長毎に同一のチャネルに設定される受光素子に入射する分光装置を提供する。