Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成23年12月15日(2011.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヒトＴＮＦα抗体を用いた治療後に強直性脊椎炎（ＡＳ）患者から得られたコラーゲン分解バイオマーカー及び／又は滑膜炎バイオマーカーの所定レベルを、病態に関連したコラーゲン分解バイオマーカー及び／又は滑膜炎バイオマーカーの既知標準レベルと比較することと、
患者の治療後のコラーゲン分解バイオマーカー及び／又は滑膜炎バイオマーカーレベルがコラーゲン分解バイオマーカー及び／又は滑膜炎バイオマーカーの既知標準レベルよりも低いかどうかを評価することと
を含み、ヒトＴＮＦα抗体を用いた治療後に患者から得られたコラーゲン分解バイオマーカー及び／又は滑膜炎バイオマーカーレベルが既知標準レベルよりも低いことによって、ＡＳの治療のためのヒトＴＮＦα抗体の効力が示される、
ＡＳの治療のためのヒトＴＮＦα抗体又はその抗原結合部の効力を決定する方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】配列表
【補正方法】変更
【補正の内容】
【配列表】
2012093361000001.app
【手続補正書】
【提出日】平成25年3月18日(2013.3.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
生細胞内の変化を検出する方法であって：
生細胞へ一または複数の物質を供与するか又は細胞の外部環境を変化させる工程；および
生細胞に物質を供与した後又は細胞の外部環境を変化させた後に、ミトコンドリアの分極状態の変化に起因する表面プラズモン共鳴角の変化を検出する工程であって、このときミトコンドリアの分極状態の変化に起因する表面プラズモン共鳴角の変化を検出する工程が、物質を供与した時又は細胞の外部環境を変化させた時から35分経過以後の時間帯におけるその変化を検出する工程を含み、さらに
検出した表面プラズモン共鳴角の変化が一定である時間帯であって、少なくとも10分間以上である時間帯を特定し、その時間帯における表面プラズモン共鳴角の変化率を求める工程を含む、前記方法。
【手続補正書】
【提出日】平成24年11月15日(2012.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物理量を検出するセンサと、
前記センサの稼動状態を診断する診断部と、
前記センサの検出結果および前記診断部の診断結果を送信する通信部と、
前記通信部が前記センサの検出結果および前記診断部の診断結果のうちいずれを送信するかを選択する選択部と、
を備え、
前記選択部は、
前記センサが正常に稼動していると前記診断部が診断した場合は前記センサの検出結果を選択し、
前記センサが正常に稼動していないと前記診断部が診断した場合は前記センサの検出結果を選択せずに前記診断部の診断結果を選択する
ことを特徴とする物理量検出装置。
【請求項２】
前記通信部は、
前記センサの検出結果または前記診断部の診断結果を１つの通信パケット内に含めることができない場合は、前記センサの検出結果を記述する情報を下位ビットから順に圧縮して情報量を削減する
ことを特徴とする請求項１記載の物理量検出装置。
【請求項３】
前記通信部は、
前記センサの検出結果のみを送信するときはその旨を示す情報を併せて送信し、
前記センサの検出結果を送信しないときはその旨を示す情報を併せて送信する
ことを特徴とする請求項１記載の物理量検出装置。
【請求項４】
当該物理量検出装置が備える前記センサの種類を定義する定義テーブルを備え、
前記通信部は、
前記定義テーブルが定義している前記センサの検出結果およびそのセンサについての前記診断部の診断結果を送信する
ことを特徴とする請求項１記載の物理量検出装置。
【請求項５】
前記センサは、
互いに直交する第１方向および第２方向に変位可能な振動体を有し、
前記振動体を前記第１方向に振動させた状態において、角速度の発生により前記振動体が前記第２方向に変位したときの変位量を角速度として検出する
ことを特徴とする請求項１記載の物理量検出装置。
【請求項６】
前記センサは、
互いに直交する第１方向および第２方向に変位可能な振動体を有し、
前記振動体が前記第１方向および前記第２方向に変位したときの変位量を加速度として検出する
ことを特徴とする請求項１記載の物理量検出装置。
【請求項７】
請求項１記載の物理量検出装置と、
前記物理量検出装置が送信する情報を受信する受信装置と、
を有することを特徴とするネットワークシステム。
【請求項８】
請求項３記載の物理量検出装置と、
前記物理量検出装置が送信する情報を受信する受信装置と、
を有し、
前記受信装置は、
前記物理量検出装置から前記診断部の診断結果を受信した場合のみ、その診断結果をログとして記録する
ことを特徴とするネットワークシステム。
【請求項９】
前記受信装置は、
前記物理量検出装置から前記センサの検出結果のみを送信した旨の情報を受信したときは、前記センサが正常に稼動していると判断して前記センサの検出結果を全て記録し、前記診断部の診断結果を受信する処理を実施しない
ことを特徴とする請求項８記載のネットワークシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年10月24日(2013.10.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物を載置する載置面が少なくとも１軸を中心として回転可能な載置部と、
前記載置部を支持するベース部と、
前記ベース部に固定されて、前記ベース部に支持された前記載置部の位置との位置関係が既知の基準部と、
を備える載置台。
【請求項２】
前記基準部は、少なくとも３つの基準部材からなる請求項１に記載の載置台。
【請求項３】
前記基準部材は、球体からなる請求項２に記載の載置台。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の載置台と、
前記載置台を固定する定盤と、
前記定盤に固定された第２の基準部材と、
前記定盤に支持され、前記被検物の形状を測定する測定プローブとを備える形状測定装置。
【請求項５】
前記載置台は、前記載置面を傾動可能とし、前記定盤に対する前記載置面の傾斜角を検出する傾斜角検出部を備えた請求項４に記載の形状測定装置。
【請求項６】
定盤に配置され、被検物を載置する載置面が回転可能な載置台を有し、前記載置面に載置された前記被検物の形状測定方法であって、
前記定盤に対する前記載置台の位置情報を取得するとともに、該位置情報に基づいて前記載置台の回転軸の位置ずれ量を算出する工程と、
前記被検物を測定して得た測定座標値を、前記算出された回転軸の位置ずれに応じて補正して第１補正値を算出する工程と、
前記定盤上の所定の位置に設置された載置台に対して予め設定された補正関数テーブルを用いて前記第１補正値を補正して第２補正値を算出する工程と、
前記第２補正値を、前記回転軸の位置ズレに応じて補正された量を戻すように補正して第３補正値を算出する工程と、
を含む形状測定方法。
【請求項７】
前記載置台に設けられ、前記被検物を載置する載置部の位置を規定する位置規定部材を用いて前記載置台の位置情報を取得する請求項６に記載の形状測定方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月5日(2013.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】測定装置および測定方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、樹脂製容器の帯電量の測定、特に、樹脂製容器の内面と外面の電位差を測定する測定装置および測定方法に関するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記実施例では、電気回路１８の連通遮断を行うスイッチ２２を、図示の位置に設けたが、例えば、図１中に符号Ａで示す位置にスイッチを設けるようにしてもよい。但し、この位置にスイッチを設けた場合には、コンテナが樹脂製の場合には問題ないが、金属製のコンテナの場合には、床面に直接設置すると樹脂製容器内とコンテナが連通してしまうので、非電導性の土台を設ける必要がある。なお、この実施例では、電導性の媒体として水などの液体６、１０を用いたが、このような液体以外の電導性の媒体として、例えば、銅やアルミニウムの薄膜を用いることもできる。これら薄膜を樹脂製容器２の内面と外面に貼り付けても前記実施例と同様に電位差を測定することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成25年5月21日(2013.5.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部時計を有する計時部と、該内部時計の示す時刻を表示する表示部と、
受信動作が開始されると複数のＧＰＳ衛星をサーチして１の衛星を捕捉し、
該衛星からのＧＰＳ放送を受信して情報を取得するＧＰＳ受信装置と、
該ＧＰＳ放送から取得した情報に基づいて前記内部時計の修正を行うようＧＰＳ修正指令を発することができる外部入力手段と、
各種データおよびプログラムを記憶する記憶回路と、
前記外部入力手段により前記ＧＰＳ修正指令が発せられると、
前記プログラムに従って特定手順で前記ＧＰＳ受信装置の受信動作を制御し、
前記ＧＰＳ放送の全てのサブフレームに含まれる現在時刻情報と、
特定サブフレームにのみ含まれる１以上の特定情報を取得して前記内部時計の修正を行う制御回路と、
を有するＧＰＳ時計であって、
前記特定手順は、
全てのサブフレームを対象として主として前記現在時刻情報を取得する現在時刻取得モードと、
特定サブフレームを対象として主として前記特定情報を取得する特定情報取得モードとを有し、
少なくとも該特定情報取得モードでは、
前記外部入力手段によりＧＰＳ修正指令が発せられると、
前記内部時計を参照して前記特定サブフレームの先頭が到来する時刻を予測して予測先頭時刻ｔｐを算出し、前記ＧＰＳ修正指令が発せられたときの前記内部時計の時刻ｔが少なくとも、
前記特定サブフレームの前記予測先頭時刻ｔｐから第１の所定時間Ｔｓだけ先行する第１の先行時刻ｔｑと、
前記特定サブフレームの予測先頭時刻ｔｐから第２の所定時間Ｔｔだけ先行する第２の先行時刻ｔｒとの間である場合は、該第２の先行時刻ｔｒまで待ってから受信動作を開始す
る
ことを特徴とするＧＰＳ時計。
【請求項２】
前記ＧＰＳ受信装置が複数のＧＰＳ衛星から１のＧＰＳ衛星を捕捉するまでの時間の上限を現在時刻取得モードと特定情報取得モードとで異なる値に設定可能とした
ことを特徴とする請求項１に記載のＧＰＳ時計。
【請求項３】
前記記憶回路は１以上の前記特定情報のそれぞれについて前回の受信時刻を記憶しておく受信履歴記憶部を有し、
前記外部入力手段によりＧＰＳ修正指令が発せられると、
前記特定情報のそれぞれについて受信履歴記憶部の記憶内容と前記内部時計の内容との差を特定情報経過時間として算出し、
該特定情報経過時間が所定の時間内である特定情報については当該特定情報を有する特定サブフレームについて特定情報取得モードを無効とし、現在時刻取得モードを適用する
ことを特徴とする請求項１ないし請求項２のいずれか１に記載のＧＰＳ時計。
【請求項４】
前記現在時刻取得モードはＧＰＳ修正指令があると直ちに受信動作を開始する
ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１に記載のＧＰＳ時計。
【請求項５】
前記現在時刻取得モードは、
各サブフレームの予測先頭時刻より所定の時間Ｔｗだけ早い時刻を見込み受信動作開始時刻ｔｖとし、
ＧＰＳ修正指令が発せられると、それ以降の最先の見込み受信動作開始時刻ｔｖを受信動作開始時刻とすことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１に記載のＧＰＳ時計。
【請求項６】
前記特定情報が２以上である場合において前記第１の所定時間Ｔｓと第２の所定時間Ｔｔは特定情報ごとに設定可能であることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１に記載のＧＰＳ時計。
【請求項７】
前記第１の先行時刻ｔｑ以降にＧＰＳ修正指令が発せられた場合は、
前記予測先頭時刻ｔｐを経過するまでは受信動作が終了しないよう制御する
ことを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１に記載のＧＰＳ時計。
【請求項８】
前記特定情報取得モードが無効のときは前記現在時刻取得モードで特定サブフレームから現在時刻情報を取得した後は特定情報を取得することなく受信動作を終了する
ことを特徴とする請求項７に記載のＧＰＳ時計。
【請求項９】
前記現在時刻情報は週時刻情報ＴＯＷであり、
前記特定情報は週番号情報ＷＮまたは／および累積閏秒情報ΔＴＬＳである
ことを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか１に記載のＧＰＳ時計。
【請求項１０】
前記特定情報に衛星番号情報ＳＶＩＤを含む
ことを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１に記載のＧＰＳ時計。
【請求項１１】
週番号情報ＷＮのロールオーバー回数を前記記憶回路のＲＯＭまたは書き換え可能な不揮発性メモリに記憶させたことを特徴とする請求項１ないし請求項１０のいずれか１に記載のＧＰＳ時計。
【請求項１２】
特定情報の少なくとも１を書き換え可能な不揮発性メモリに記憶させた
ことを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれか１に記載のＧＰＳ時計。
【手続補正書】
【提出日】平成25年4月9日(2013.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
上記表層接合技術は、上記第１および第２の基材は、少なくとも一方の接合面に対してエネルギーを付与することによりこの接合面を活性化させた状態で互いを接合する、請求項７に記載のマイクロチップ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
図２６は、キャピラリー電気泳動法を用いた分析装置に装てんされる従来のマイクロチップの一例を示している（たとえば、特許文献１参照）。マイクロチップ９００は、基板９０１，９０２が互いに貼り合わされた構成とされている。基板９０１，９０２は、透明材料によって形成されており、具体的には、ガラス、石英、シリコンが挙げられる。基板９０２には、ごく細い溝が形成されており、この溝が微細流路９０３を構成している。基板９０１には、２つの貫通孔が形成されており、これらの貫通孔が導入槽９０４および排出槽９０５を構成している。導入槽９０４と排出槽９０５とは微細流路９０３によってつながっている。導入槽９０４からは、バッファと呼ばれる泳動液や試料が導入される。微細流路９０３に充てんされた泳動液および試料に対して図示しない電極から電圧を印加することにより電気泳動による特定成分の分離が行われる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記微細流路の断面は、直径が２５〜１００μｍの円形、または辺の長さが２５〜１００μｍの矩形である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
基板１は、透明な樹脂からなる長矩形状の板状部材であり、マイクロチップ１０１の本体となるものである。透明な樹脂としては、ＰＤＭＳ（シリコーン樹脂）、ＰＭＭＡ（アクリル樹脂）、ＰＳ（ポリスチレン樹脂）、ＰＣ（ポリカーボネート樹脂）が挙げられる。さらに、基板１の材料としては、石英ガラスなどのガラスが挙げられる。基板１のサイズは、たとえばその長さが５８ｍｍ程度、幅が９ｍｍ程度、厚さが１．５ｍｍ程度とされる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
次に、マイクロチップ１０１の製造方法について、図７〜図１０を参照しつつ以下に説明する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
１０１〜１０３  マイクロチップ
１      基板（基材）
１’    シート（基材）
１０    接合面
１０ａ  端縁
１１    凹部
１２    パーティングライン
１３    内側面
１４    底面
１５    傾斜面
１６    凹曲面
１７    凸曲面
１８    接着剤
２      位置決め領域
２１，２１’，２２  位置決め面
２６    位置決め凹部
３      分離流路（微細流路）
３１    溝
４１    導入槽
４２    排出槽
５      発光側凹部５１    外側凹部
５２    内側凹部
５２１  透光面
６      受光側凹部
６１    透光面
６２    反射面
７００    位置決め手段
７１１，７１２  位置決めブロック
７２１，７２２  位置決め面
７５０  鋳型
７５１  第１ブロック
７５２  第２ブロック
８００    分析システム
８０１    分析装置
８１０  分析部
８１１  照射手段
８１４  光ファイバ
８１５  コア
８１６  被覆
８１７  保持具
８１８  ケース
８１９  バネ
８２０  検出手段
８５０  位置決め手段
８５１，８５２，８５３  位置決めブロック
８５５，８５６  位置決め面
８６０  位置決めブロック
８６１  突起
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2012093285.tif 000001
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2012093285.tif 000002
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2012093285.tif 000003
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２４】
2012093285.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成25年10月15日(2013.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
請求項１の発明は、
板状の誘電体を挟んで表側に外周に切り欠き部が形成された板状の放射導体、裏側に板状の接地導体が設けられたアンテナ装置と、前記アンテナ装置の表側に配置されたソーラーパネルと、前記アンテナ装置の裏側に配置され前記ソーラーパネルの外周に形成された電極部に電気的に接続された回路基板とを備えた電子機器において、
前記ソーラーパネルの外周縁は、前記電極部を除いて、前記放射導体の外周縁から外方にはみ出さないように形成され、前記電極部は、前記放射導体の前記切り欠き部を除く所定の位置で前記放射導体および前記誘電体の外周縁よりも外方に突出し、前記誘電体の外方で前記回路基板に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１に記載の電子機器であって、
さらに、前記ソーラーパネルと前記放射導体との間には絶縁体が介在されていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１または２に記載の電子機器であって、
前記ソーラーパネルの外周縁は、前記切り欠き部の底よりも外方にはみ出さないように形成されていることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の誘電体を挟んで表側に外周に切り欠き部が形成された板状の放射導体、裏側に板状の接地導体が設けられたアンテナ装置と、前記アンテナ装置の表側に配置されたソーラーパネルと、前記アンテナ装置の裏側に配置され前記ソーラーパネルの外周に形成された電極部に電気的に接続された回路基板とを備えた電子機器において、
前記ソーラーパネルの外周縁は、前記電極部を除いて、前記放射導体の外周縁から外方にはみ出さないように形成され、前記電極部は、前記放射導体の前記切り欠き部を除く所定の位置で前記放射導体および前記誘電体の外周縁よりも外方に突出し、前記誘電体の外方で前記回路基板に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
【請求項２】
さらに、前記ソーラーパネルと前記放射導体との間には絶縁体が介在されていることを特徴とする請求項１に記載の電子機器。
【請求項３】
前記ソーラーパネルの外周縁は、前記切り欠き部の底よりも外方にはみ出さないように形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の電子機器。
【手続補正書】
【提出日】平成25年10月18日(2013.10.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ギャップを介して対向する反射膜と、入力値に基づいて前記ギャップ寸法を変動させるギャップ可変部とを有する波長可変干渉フィルターと、
アレイ状に配置される複数の検出素子を有し、前記波長可変干渉フィルターを透過した光を検出する検出部と、
前記ギャップ可変部に前記入力値を出力して、前記ギャップ寸法を制御する駆動制御部と、
前記入力値に対する前記複数の検出素子で受光される光の波長が記録された相関データを記憶した記憶部と、
前記相関データに基づいて、前記入力値に対して、前記測定対象波長の光を受光可能な前記検出素子を特定する素子特定部と、
前記素子特定部により特定された前記検出素子で検出された前記測定対象波長の光の光量を取得する光量取得部と、
を備えたことを特徴とする光測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光測定装置において、
前記相関データは、前記入力値に対して同一波長域の光を受光する少なくとも１つ以上の前記検出素子である同波長検出素子群毎に、それぞれ設定されている
ことを特徴とする光測定装置。
【請求項３】
請求項１に記載の光測定装置において、
前記相関データは、前記検出素子毎に、それぞれ設定されている
ことを特徴とする光測定装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の光測定装置において、
前記駆動制御部は、前記相関データに基づいて、測定対象波長の光に対する入力値を取得するとともに、取得した入力値を前記ギャップ可変部に出力する
ことを特徴とする光測定装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の光測定装置において、
前記光量取得部により取得された各前記検出素子での測定対象波長の光の光量に基づいて、測定対象波長の光の強度分布を測定する強度分布測定部を備えている
ことを特徴とする光測定装置。
【手続補正書】
【提出日】平成25年1月30日(2013.1.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れる主通路内に配置され前記流体の一部を取り込む副通路と、前記副通路内に配置され発熱抵抗体パターンが形成された流量計測素子と、前記流量計測素子が搭載される支持体と、を有し、前記流量計測素子が搭載される面と前記副通路の通路形成面とで構成される第一の流体通路部と、前記流量計測素子が搭載される面とは反対側の面と前記副通路の通路形成面とで構成される第二の流体通路部と、を備えた流量測定装置において、
前記流量計測素子に対して前記流体の流れの上流側に対向する前記第一の流体通路部の前記通路形成面は、前記流体の流れを前記流量計測素子へ向けるような傾斜面を有し、
前記傾斜面は、異なる向きの二面以上の面から構成されていることを特徴とする流量測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の流量測定装置において、
前記傾斜面を構成する異なる向きの二面以上の面は、平面あるいは凹曲面であることを特徴とする流量測定装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の流量測定装置において、
前記傾斜面を構成する異なる向きの二面で構成される稜線の少なくとも一本は、前記発熱抵抗体のパターンの中心線上に形成されていることを特徴とする流量測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の流量測定装置において、
前記傾斜面を構成する前記発熱抵抗体のパターンの中心線上に稜線を形成する二面は、前記傾斜面に衝突したダストを前記発熱抵抗体のパターンの中心線上から遠ざかる方向へ誘導する向きであることを特徴とする流量測定装置。
【請求項５】
請求項１に記載の流量測定装置において、
前記発熱抵抗体のパターンが形成される面と対向する前記第一の中台通路部の前記通路形成面は、前記流体の流れを前記発熱抵抗体のパターンに平行に向きを変える対向面を有し、
前記対向面は、異なる向きの二面以上の面で構成されていることを特徴とする流量測定装置。
【請求項６】
請求項５に記載の流量測定装置において、
前記対向面を構成する異なる向きの二面以上の面は、平面あるいは凹曲面であることを特徴とする流量測定装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載の流量測定装置において、
前記対向面を構成する異なる向きの二面で構成される稜線の少なくとも一本は、前記発熱抵抗体のパターンの中心線上に形成されていることを特徴とする流量測定装置。
【請求項８】
請求項７に記載の流量測定装置において、
前記対向面は、前記傾斜面に衝突したダストを前記発熱抵抗体のパターンの中心線上から遠ざかる方向へ誘導する向きであることを特徴とする流量測定装置。
【手続補正書】
【提出日】平成25年10月29日(2013.10.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明者らは重合工程時における重合体スケールの発生の抑制、およびその除去について鋭意検討を行った結果、以下の方法を見出した。
（１）重合性単量体および着色剤を含有する重合性単量体組成物を、無機分散安定剤を含有する水系媒体である液体Ａに加え、該液体Ａ中で該重合性単量体組成物の粒子を形成する造粒工程、および
該重合性単量体組成物の該粒子に含まれる該重合性単量体を重合させてトナー粒子を得る重合工程
を含むトナー粒子の製造方法であって、
あらかじめ、該重合工程に用いる重合容器の内壁の少なくとも一部に、難水溶性無機化合物を含む液体である液体Ｂを塗布しておき、かつ
該重合工程の終了後に該重合容器の内容物を排出した後、該重合容器の内壁にｐＨ９以上の水溶液である液体Ｃを接触させる
ことを特徴とするトナー粒子の製造方法。
（２）前記液体Ｂを前記重合容器の内壁の少なくとも一部に塗布した後、前記重合容器の内壁を加温する（１）に記載のトナー粒子の製造方法。
（３）前記造粒工程で用いる前記液体Ａ中の前記無機分散安定剤と、前記液体Ｂ中の前記難水溶性無機化合物が同じものである（１）または（２）に記載のトナー粒子の製造方法。
（４）前記液体Ａ中の前記無機分散安定剤の濃度をＣａ（質量％）とし、前記液体Ｂ中の前記難水溶性無機化合物の濃度をＣｂ（質量％）としたとき、ＣａおよびＣｂが、１．０×Ｃａ≦Ｃｂ≦４０．０×Ｃａの関係を満たす（１）〜（３）のいずれかに記載のトナー粒子の製造方法。
（５）前記難水溶性無機化合物が前記重合容器の内壁の表面に０．０５ｍｇ／ｃｍ2以上７．５０ｍｇ／ｃｍ2以下で存在するよう、あらかじめ、前記液体Ｂを前記重合容器の内壁の少なくとも一部に塗布する（１）〜（４）のいずれかに記載のトナー粒子の製造方法。
（６）前記液体Ｂ中の前記難水溶性無機化合物に難水溶性金属化合物を用いる（１）〜（５）のいずれかに記載のトナー粒子の製造方法。
（７）前記液体Ｂ中の前記難水溶性無機化合物に難水溶性リン酸金属塩を用いる（１）〜（６）のいずれかに記載のトナー粒子の製造方法。
（８）前記重合容器の内壁に前記液体Ｃを接触させる方法が、前記重合容器を前記液体Ｃで満たした後にこれを加熱しながら撹拌する方法である（１）〜（７）のいずれかに記載のトナー粒子の製造方法。
（９）前記液体Ｃが炭酸ナトリウム水溶液である（１）〜（８）のいずれかに記載のトナー粒子の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
重合性単量体および着色剤を含有する重合性単量体組成物を、無機分散安定剤を含有する水系媒体である液体Ａに加え、該液体Ａ中で該重合性単量体組成物の粒子を形成する造粒工程、および
該重合性単量体組成物の該粒子に含まれる該重合性単量体を重合させてトナー粒子を得る重合工程
を含むトナー粒子の製造方法であって、
あらかじめ、該重合工程に用いる重合容器の内壁の少なくとも一部に、難水溶性無機化合物を含む液体である液体Ｂを塗布しておき、かつ
該重合工程の終了後に該重合容器の内容物を排出した後、該重合容器の内壁にｐＨ９以上の水溶液である液体Ｃを接触させる
ことを特徴とするトナー粒子の製造方法。
【請求項２】
前記液体Ｂを前記重合容器の内壁の少なくとも一部に塗布した後、前記重合容器の内壁を加温する請求項１に記載のトナー粒子の製造方法。
【請求項３】
前記造粒工程で用いる前記液体Ａ中の前記無機分散安定剤と、前記液体Ｂ中の前記難水溶性無機化合物が同じものである請求項１または２に記載のトナー粒子の製造方法。
【請求項４】
前記液体Ａ中の前記無機分散安定剤の濃度をＣａ（質量％）とし、前記液体Ｂ中の前記難水溶性無機化合物の濃度をＣｂ（質量％）としたとき、ＣａおよびＣｂが、
１．０×Ｃａ≦Ｃｂ≦４０．０×Ｃａ
の関係を満たす請求項１〜３のいずれか１項に記載のトナー粒子の製造方法。
【請求項５】
前記難水溶性無機化合物が前記重合容器の内壁の表面に０．０５ｍｇ／ｃｍ2以上７．５０ｍｇ／ｃｍ2以下で存在するよう、あらかじめ、前記液体Ｂを前記重合容器の内壁の少なくとも一部に塗布する請求項１〜４のいずれか１項に記載のトナー粒子の製造方法。
【請求項６】
前記液体Ｂ中の前記難水溶性無機化合物に難水溶性金属化合物を用いる請求項１〜５のいずれか１項に記載のトナー粒子の製造方法。
【請求項７】
前記液体Ｂ中の前記難水溶性無機化合物に難水溶性リン酸金属塩を用いる請求項１〜６のいずれか１項に記載のトナー粒子の製造方法。
【請求項８】
前記重合容器の内壁に前記液体Ｃを接触させる方法が、前記重合容器を前記液体Ｃで満たした後にこれを加熱しながら撹拌する方法である請求項１〜７のいずれか１項に記載のトナー粒子の製造方法。
【請求項９】
前記液体Ｃが炭酸ナトリウム水溶液である請求項１〜８のいずれか１項に記載のトナー粒子の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月10日(2013.6.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
着色剤（Ａ）、樹脂型分散剤（Ｂ）、樹脂（Ｃ）、光重合性単量体、光重合開始剤、及び溶剤を含有してなるカラーフィルタ用感光性着色組成物において、
該樹脂型分散剤（Ｂ）が、
エチレン性不飽和単量体（ｂ１）を、分子内に２つの水酸基と１つのチオール基を有する化合物（ｂ２）の存在下でラジカル重合してなる、片末端に２つの水酸基を有するビニル重合体を含むポリオール（ｂ３）中の水酸基と、下記一般式（１）または一般式（２）で表わされるテトラカルボン酸二無水物を含むポリカルボン酸無水物（ｂ４）中の酸無水物基とを反応させてなる、ビニル重合体部位（ｂ）を有するポリエステル分散剤であって、
該ビニル重合体部位（ｂ）のガラス転移温度Ｔｇが２６０Ｋ以上であることを特徴とするカラーフィルタ用感光性着色組成物。
一般式（１）：
【化１】
2012093438.tif 000001
［一般式（１）中、ｋは１または２である。］
一般式（２）：
【化２】
2012093438.tif 000002
［一般式（２）中、Ｑ1は、直接結合、−Ｏ−、−ＣＯ−、−ＣＯＯＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯ
−、−ＳＯ2−、−Ｃ（ＣＦ3）2−、式（３）：
【化３】
2012093438.tif 000003
で表される基、または式（４）：
【化４】
2012093438.tif 000004
で表される基である。］
【請求項２】
樹脂型分散剤（Ｂ）において、カルボキシル基を有する構成単位の含有量が、ビニル重合体部位（ｂ）の全構成単位の重量を基準として、１０〜９０重量％であることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ用感光性着色組成物。
【請求項３】
樹脂型分散剤（Ｂ）が、樹脂型分散剤（Ｂ）と樹脂（Ｃ）との合計を基準として、１０重量％以上含まれていることを特徴とする請求項１または２記載のカラーフィルタ用感光性着色組成物。
【請求項４】
基板上に、請求項１〜３いずれか１項に記載のカラーフィルタ用感光性着色組成物を用いて形成されたフィルタセグメントを具備することを特徴とするカラーフィルタ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３２】
【表１】
2012093438.tif 000005
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３３】
【表２】
2012093438.tif 000006
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３４】
【表３】
2012093438.tif 000007
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３５】
【表４】
2012093438.tif 000008
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５０】
[実施例１]
（カラーフィルタ用感光性着色組成物（ＲＢ−１）の調製）
下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、１μｍのフィルタで濾過して、カラーフィルタ用感光性着色組成物（ＲＢ−１）を得た。
顔料分散体（ＤＢ−１）                                ：２３．１８部
アクリル樹脂溶液                                      ：１３．２７部
光重合性単量体                                        ：  ３．７６部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
光重合開始剤                                          ：  １．１７部
（２−（ジメチルアミノ）−２−[（４−メチルフェニル）メチル]−１−[４−（４−モルホリニル）フェニル]−１−ブタノン）
増感剤                                                  ：  ０．２９部
（２，４−ジエチルチオキサントン）
溶剤                                                  ：５８．３３部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５２】
【表６】
2012093438.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成25年10月23日(2013.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】撮像装置システム、撮像装置、及び閃光装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、撮像装置システム、撮像装置、及び閃光装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の目的は、混在通信インタフェースを用いて撮像装置と閃光装置とが接続されたとき、撮像装置がスリープ状態であっても閃光装置から撮像装置に信号を伝達することができる撮像装置システム、撮像装置、及び閃光装置を提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記の目的を達成するために、請求項１記載の撮像装置システムは、発光を行う閃光装置と、該閃光装置に接続された撮像装置とを有する撮像装置システムにおいて、少なくとも１つの接続端子を備える接続部を備え、前記撮像装置は、撮影動作が可能なスタンバイモードと該スタンバイモードよりも消費電力が少ないスリープモードとを備え、前記閃光装置は、前記撮像装置を前記スリープモードから前記スタンバイモードに遷移させるとき、前記接続端子の電位を接地レベルとする第１の端子レベル制御手段を備え、前記撮像装置は、前記スリープモードであるとき、前記接続端子の電位が前記接地レベルとなったか否かを検知して前記接続端子の電位が前記接地レベルとなると、前記スリープモードから前記スタンバイモードへの切替えを行う切替手段を備えることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明によれば、混在通信インタフェースを用いて撮像装置と閃光装置とが接続されたとき、撮像装置がスリープ状態であっても閃光装置から撮像装置に信号を伝達することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光を行う閃光装置と、該閃光装置に接続された撮像装置とを有する撮像装置システムにおいて、
少なくとも１つの接続端子を備える接続部を備え、
前記撮像装置は、撮影動作が可能なスタンバイモードと該スタンバイモードよりも消費電力が少ないスリープモードとを備え、
前記閃光装置は、前記撮像装置を前記スリープモードから前記スタンバイモードに遷移させるとき、前記接続端子の電位を接地レベルとする第１の端子レベル制御手段を備え、
前記撮像装置は、前記スリープモードであるとき、前記接続端子の電位が前記接地レベルとなったか否かを検知して前記接続端子の電位が前記接地レベルとなると、前記スリープモードから前記スタンバイモードへの切替えを行う切替手段を備えることを特徴とする撮像装置システム。
【請求項２】
前記切替手段は、割込み端子を備えると共に該割込み端子を介して前記接続端子の電位を監視し、前記スタンバイモードのときは前記割込み端子による割込みを禁止し、前記スリープモードのときは前記割込み端子による割込みを許可することを特徴とする請求項１記載の撮像装置システム。
【請求項３】
前記撮像装置は、前記閃光装置に発光開始を指示するとき、前記接続端子の電位を接地レベルとする第２の端子レベル制御手段を有し、
前記閃光装置は、前記接続端子の電位が前記接地レベルとなったか否かを検知して前記接続端子の電位が前記接地レベルとなると、前記発光開始の指示があったとして発光制御を行う発光制御手段を有することを特徴とする請求項１記載の撮像装置システム。
【請求項４】
前記閃光装置は第１の通信インタフェース部を備え、前記撮像装置は第２の通信インタフェース部を備え、前記閃光装置及び前記撮像装置は前記第１の通信インタフェース部及び前記第２の通信インタフェース部によって相互にデータ通信を行い、
前記閃光装置は、前記撮像装置が前記スタンバイモードである場合において前記撮像装置と前記データ通信を行うとき、前記接続端子の電位を接地レベルとする第３の端子レベル制御手段を備え、
前記撮像装置は、前記接続端子の電位が前記接地レベルとなったか否かを検知して前記接続端子の電位が前記接地レベルとなると、前記第１の通信インタフェース部及び前記第２の通信インタフェース部を介して前記閃光装置と通信を行う通信制御手段を備えることを特徴とする請求項１記載の撮像装置システム。
【請求項５】
前記通信制御手段は、割込み端子を備えると共に該割込み端子を介して前記接続端子の電位を監視し、前記スタンバイモードのときには前記割込み端子による割込みを許可することを特徴とする請求項４記載の撮像装置システム。
【請求項６】
発光を行う閃光装置と、該閃光装置と接続端子によって接続された撮像装置とを備える撮像装置システムであって、
前記撮像装置は、当該撮像装置の制御を行う第１の制御手段と、
前記第１の制御手段によってオン／オフ制御されて、オンのときは前記接続端子を接地する第１のスイッチング手段とを有し、
前記閃光装置は、当該閃光装置の制御を行う第２の制御手段と、
前記第２の制御手段によってオン／オフ制御されて、オンのときは前記接続端子を接地する第２のスイッチング手段とを有し、
前記第１の制御手段及び前記第２の制御手段は、夫々前記接続端子に接続された第１の割込み端子及び第２の割込み端子を備えることを特徴とする撮像装置システム。
【請求項７】
前記撮像装置は、カソードが前記接続端子に接続され、アノードが前記第１の割込み端子に接続された第１のダイオードを有し、
前記閃光装置は、カソードが前記接続端子に接続され、アノードが前記第２の割込み端子に接続された第２のダイオードを有することを特徴とする請求項６記載の撮像装置システム。
【請求項８】
発光を行う閃光装置に接続可能な撮像装置であって、
閃光装置と接続される少なくとも１つの接続端子を備える接続部と、
撮影動作が可能なスタンバイモードと該スタンバイモードよりも消費電力が少ないスリープモードとを切替える切替手段と、を有し、
前記切替手段は、前記スリープモードである際、前記接続端子の電位が前記接地レベルとなったか否かを検知して、前記接続端子の電位が前記接地レベルとなると、前記スリープモードから前記スタンバイモードへの切替えを行うことを特徴とする撮像装置。
【請求項９】
撮影動作が可能なスタンバイモードと該スタンバイモードよりも消費電力が少ないスリープモードとを備えた撮像装置に接続可能な閃光装置であって、
撮像装置と接続される少なくとも１つの接続端子を備える接続部と、
接続された撮像装置が前記スリープモードである場合に、前記接続端子の電位を接地レベルにして、前記撮像装置を前記スリープモードから前記スタンバイモードに切替えさせる第１の端子レベル制御手段と、を有することを特徴とする閃光装置。
【手続補正書】
【提出日】平成25年2月27日(2013.2.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を位置合わせして重ね合わせる重ね合わせ装置であって、
第１基板を保持する第１ステージと、
前記第１基板に対向して配置される第２基板を保持し、前記第１基板と前記第２基板とを互いに重ね合せるべく第１方向に移動する第２ステージと、
前記第１方向に交差する第２方向に移動可能な第３ステージと、
前記第２ステージを前記第１方向に支持し、前記第３ステージと一体的に移動する支持機構とを備え、
前記第３ステージおよび前記支持機構は、互いに非接触で支持されていることを特徴とする重ね合せ装置。
【請求項２】
前記第３ステージが移動する場合に、前記支持機構に対して少なくとも前記第２方向に非接触で力を作用させて、前記支持機構を前記第３ステージに追従させる力作用部を備える請求項１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３】
前記力作用部は第１エアパッドを備える請求項２に記載の重ね合わせ装置。
【請求項４】
前記第３ステージは、前記支持機構を挿通させるための貫通穴を備え、
前記第１エアパッドは、前記支持機構と前記貫通穴との間に設けられている請求項３に記載の重ね合わせ装置。
【請求項５】
前記第３ステージは、重力方向に直交するＸＹ方向に駆動される粗動ステージであり、
前記第３ステージが前記ＸＹ方向に駆動されたときに、前記第１エアパッドを介して前記支持機構と前記第２ステージが前記第３ステージに追従する請求項３または請求項４に記載の重ね合わせ装置。
【請求項６】
前記第３ステージに、前記第２ステージを駆動する駆動機構を備える請求項１から５のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項７】
前記支持機構は、前記駆動機構が受ける前記第２ステージの自重を減少させる請求項６に記載の重ね合わせ装置。
【請求項８】
前記第１ステージを支持する枠体を更に有し、
前記支持機構は、前記枠体上に設置される請求項１から７のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項９】
前記支持機構は、前記枠体との間に第２エアパッドを備える請求項８に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１０】
前記枠体は、前記第３ステージが駆動された場合でも、前記第３ステージと非接触状態を保つ請求項８または９に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１１】
前記第３ステージが駆動されるときに前記第３ステージをガイドするガイド部と、
前記ガイド部を支持する定盤とを更に備え、
前記枠体は、前記定盤上に防振部を介して支持される請求項８から１０のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１２】
前記支持機構に一体的に備えられた、前記第２ステージの高さを測定する測定器を備える請求項１から１１のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【手続補正書】
【提出日】平成24年11月16日(2012.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版のパターンを基板に投影する投影光学系であって、
光路を折り曲げる第１鏡および第２鏡と、前記投影光学系の物体面と前記第１鏡との間に配置された第１光学部材と、前記投影光学系の像面と前記第２鏡との間に配置された第２光学部材とを備え、
前記第１光学部材および前記第２光学部材のうちの一方は、パワーを有し、移動可能な屈折光学部材であり、他方は、変形可能な平行平板であり、
前記屈折光学部材の位置を変更することによって発生する前記投影光学系のディストーションおよび非点収差のうちの一方が、前記平行平板を変形させることによって低減され、又は、
前記平行平板を変形させることによって発生する前記投影光学系のディストーションおよび非点収差のうちの一方が、前記屈折光学部材の位置を変更することによって低減される、
ことを特徴とする投影光学系。
【請求項２】
前記屈折光学部材は、シリンドリカル面を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
【請求項３】
前記第１光学部材がパワーを有する屈折光学部材であり、前記第２光学部材が平行平板である、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の投影光学系。
【請求項４】
前記第１光学部材が平行平板であり、前記第２光学部材がパワーを有する屈折光学部材である、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の投影光学系。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の投影光学系を有することを特徴とする露光装置。
【請求項６】
デバイスを製造するデバイス製造方法であって、
基板に感光剤を塗布する工程と、
請求項５に記載の露光装置を使用して前記基板を露光する工程と、
前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】投影光学系、露光装置およびデバイス製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、投影光学系、露光装置およびそれを使ってデバイスを製造するデバイス製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の１つの側面は、原版のパターンを基板に投影する投影光学系に係り、前記投影光学系は、光路を折り曲げる第１鏡および第２鏡と、前記投影光学系の物体面と前記第１鏡との間に配置された第１光学部材と、前記投影光学系の像面と前記第２鏡との間に配置された第２光学部材とを備え、前記第１光学部材および前記第２光学部材のうちの一方は、パワーを有し、移動可能な屈折光学部材であり、他方は、変形可能な平行平板であり、前記屈折光学部材の位置を変更することによって発生する前記投影光学系のディストーションおよび非点収差のうちの一方が、前記平行平板を変形させることによって低減され、又は、前記平行平板を変形させることによって発生する前記投影光学系のディストーションおよび非点収差のうちの一方が、前記屈折光学部材の位置を変更することによって低減される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2011108793.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成24年12月3日(2012.12.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクの上に配置されたマスクマークとプレートの上に配置されたプレートマークとの間の位置合わせを行う位置合わせ装置であって、
前記マスクマーク及び前記プレートマークを同時に計測して画像を取得する画像計測装置と、
前記画像計測装置により取得された画像から前記マスクマークと前記プレートマークとの間の相対的な位置誤差を算出する位置誤差演算装置と、
前記画像計測装置による画像取得期間中に、前記マスクを搭載したマスクステージ又は前記プレートを搭載したプレートステージの駆動目標位置に対する位置偏差を計測する偏差計測装置と、
前記偏差計測装置により得られた前記マスクステージ又は前記プレートステージの位置偏差と、前記位置誤差演算装置により得られた前記位置誤差とを用いて、前記マスクマークと前記プレートマークとの間の位置合わせを行うための補正量を算出する補正量演算装置と、
を有することを特徴とする位置合わせ装置。
【請求項２】
前記マスクマーク及び前記プレートマークの前記画像取得期間中に、前記マスクステージ及び前記プレートステージが同期制御されていることを特徴とする請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項３】
前記位置合わせ装置は、前記補正量演算装置により算出された補正量に基づき前記マスクステージ及び前記プレートステージの位置を補正することを特徴とする請求項１又は２に記載の位置合わせ装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のうちいずれか一項に記載の位置合わせ装置と、
前記位置合わせ装置により前記マスクマークと前記プレートマークを位置合わせした後で前記マスクのパターンを前記プレートに投影する投影光学系と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項５】
請求項４に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
露光された前記基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】位置合わせ装置、露光装置及びデバイス製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、マスクとプレートとの間の位置合わせを行う位置合わせ装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そこで本発明は、マスクとプレートとの間の高精度な位置合わせが可能な位置合わせ装置を提供することを例示的目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の一側面としての位置合わせ装置は、マスクの上に配置されたマスクマークとプレートの上に配置されたプレートマークとの間の位置合わせを行う位置合わせ装置であって、前記マスクマーク及び前記プレートマークを同時に計測して画像を取得する画像計測装置と、前記画像計測装置により取得された画像から前記マスクマークと前記プレートマークとの間の相対的な位置誤差を算出する位置誤差演算装置と、前記画像計測装置による画像取得期間中に、前記マスクを搭載したマスクステージ又は前記プレートを搭載したプレートステージの駆動目標位置に対する位置偏差を計測する偏差計測装置と、前記偏差計測装置により得られた前記マスクステージ又は前記プレートステージの位置偏差と、前記位置誤差演算装置により得られた前記位置誤差とを用いて、前記マスクマークと前記プレートマークとの間の位置合わせを行うための補正量を算出する補正量演算装置とを有する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の他の側面としての露光装置は、上記の位置合わせ装置と、前記位置合わせ装置により前記マスクマークと前記プレートマークを位置合わせした後で前記マスクのパターンを前記プレートに投影する投影光学系とを有する。また、本発明の他の側面としてのデバイス製造方法は、前記露光装置を用いて基板を露光する工程と、露光された前記基板を現像する工程とを有する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明によれば、マスクとプレートとの間の高精度な位置合わせが可能な位置合わせ装置を提供することができる。