(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
炉内に搬入されてくる未焼成セラミックを炉内のヒータにより加熱して焼成する焼成炉において、
該焼成炉の入口付近から前記ヒータ付近までの領域に、前記未焼成セラミックを搬送するコンベアの上方を覆う防滴板を配置するとともに、
前記防滴板と前記焼成炉の炉内壁天井との間に空間を存在させるようにしたこと
を特徴とする焼成炉。
【請求項２】
前記防滴板は、中央部が高く、前記コンベアの両側に向かって低くなるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の焼成炉。
【請求項３】
前記防滴板は、前記焼成炉の内側壁に設けられた装着部に、入口側から着脱自在に装着されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の焼成炉。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、未焼成セラミックをヒータにより加熱して焼成する焼成炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、例えば低温焼成セラミック基板等を焼成する焼成炉は、図３に示すように、未焼成セラミック基板１を焼成支持体７に乗せた状態でコンベア２によって焼成炉内に搬送し、この焼成炉の入口３をエアカーテン４で外気と遮断した状態で、焼成炉のヒータ５で未焼成セラミック基板１を加熱して焼成するようにしている。この際、未焼成セラミック基板１に含まれたバインダーの分解・除去（脱バインダー）を促進するために、エア配管６から焼成炉内に外気を送り込むと共に、バインダーの分解ガスを排気管（図示せず）等から外部へ排出するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記構成の焼成炉では、エア配管６から焼成炉内への空気の吹出しにより焼成炉の内圧が外気圧よりも少し高いため、焼成炉内の空気が少しずつ入口３のエアカーテン４から外部へ漏れ、それに伴って、バインダーの分解ガスの一部がヒータ５側から入口３側に逆流していく。焼成炉内のヒータ５よりも入口３側（ヒータ５の上流側）の領域では、焼成炉内のエア配管６や炉内壁の温度がヒータ５周辺の雰囲気温度と比べて低いため、ヒータ５の上流側に逆流したバインダー分解ガスは、焼成炉内のエア配管６や炉内壁等に触れて冷やされて液化（凝縮）し、それらの表面に付着していく。このため、焼成炉内のエア配管６や炉内壁天井等から分解ガス液化分が滴となって搬送中の未焼成セラミック基板１の表面に落下することがあり、これが原因で、焼成品の表面にクラック、汚れ等の不良が発生することがある。
【０００４】
本発明はこのような事情を考慮してなされたものであり、従ってその目的は、焼成炉内でバインダー分解ガスの液化分が未焼成セラミック表面に落下することを防止でき、焼成品の歩留まりを向上することができる焼成炉を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
バインダー分解ガスの液化現象は、焼成炉の入口付近からヒータ付近までの雰囲気温度の比較的低い領域で発生することを考慮して、本発明の請求項１では、焼成炉の入口付近からヒータ付近までの領域に、未焼成セラミック及び焼成支持体を搬送するコンベアの上方を覆う防滴板を設けるとともに、防滴板と焼成炉の炉内壁天井との間に空間を存在させるようにしたものである。このようにすれば、焼成炉の入口からヒータまでの雰囲気温度の比較的低い領域で、エア配管や炉内壁天井等から分解ガス液化分が滴となって落下しても、その分解ガス液化分は、防滴板の上面で受けられ、搬送中の未焼成セラミック表面に落下することが防止される。
【０００６】
この場合、請求項２のように、防滴板を、中央部が高く、コンベアの両側に向かって低くなるように形成すると良い。このようにすれば、バインダー分解ガスが防滴板の下面で液化したとしても、その分解ガス液化分が防滴板の下面の傾斜に沿って側方に流れるようになる。その結果、防滴板の下面から分解ガス液化分が落下する場合には、防滴板の下面中央部付近からは落下せず、防滴板の側縁部から落下するようになり、防滴板の下面から未焼成セラミック表面への分解ガス液化分の落下が防止される。
【０００７】
更に、請求項３のように、防滴板を、焼成炉の内側壁に設けられた装着部に、入口側から着脱自在に装着するようにすると良い。このようにすれば、防滴板を容易に脱着することが可能となり、防滴板の清掃作業が容易となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を低温焼成セラミック基板の焼成炉に適用した一実施形態を図１及び図２に基づいて説明する。低温焼成セラミックのグリーンシートにより形成された未焼成セラミック基板１１は、耐熱性の焼成支持体１９に乗せられてコンベア１２によって焼成炉の炉芯２０内を搬送される。この未焼成セラミック基板１１を形成するグリーンシートは、低温焼成セラミック粉末にバインダー（樹脂）、溶剤等を混合したスラリーをテープ成形して作られる。
【０００９】
炉芯２０の入口１３は、エアカーテン１４によって外気と遮断されている。炉芯２０の外周部には、炉芯２０内の搬送方向の温度分布を所定の温度分布（ピーク温度８００〜１０００℃）に温度調節するための複数のヒータ１５が設置されている。また、炉芯２０内に外気を送り込むための複数のエア配管１６が、エアカーテン１４とヒータ１５との間から炉芯２０内に引き込まれ、炉芯２０の天井面に沿って搬送方向に配管されている。
【００１０】
更に、入口１３のエアカーテン１４付近から最初のヒータ１５付近までの間には、例えばステンレス、炉心材等により形成された防滴板１７がコンベア１２の上方を覆うように設置されている。この防滴板１７は、図２に示すように、中央部が高く、コンベア１２の両側に向かって低くなるように湾曲面状に形成されている。この防滴板１７は、炉芯２０の内側壁に固定されたフック状の装着部１８に入口１３側から搬送方向に着脱自在に嵌合装着されている。
【００１１】
以上のように構成した焼成炉では、入口１３をエアカーテン１４で外気と遮断した状態で、エア配管１６から炉芯２０内に外気を送り込み、炉芯２０の外周部に搬送方向に沿って配置した複数のヒータ１５によって炉芯２０内の搬送方向の温度分布を所定の温度分布（ピーク温度８００〜１０００℃）に温度調節する。この状態で、コンベア１２により炉芯２０内を搬送される未焼成セラミック基板１１は、その搬送過程で、バインダーが分解・除去（脱バインダー）された後、８００〜１０００℃で焼結される。
【００１２】
この際、炉芯２０内で、脱バインダーにより生じた分解ガスは排気管（図示せず）から外部へ排出されるが、一部の分解ガスが炉芯２０内を入口１３側（ヒータ１５の上流側）に逆流する。炉芯２０内でも、入口１３から最初のヒータ１５までの領域は、雰囲気温度が比較的低いため、ヒータ１５の上流側に逆流した分解ガスは、炉芯２０内のエア配管１６や炉内壁に触れて冷やされて液化し、それらの表面に付着していく。このため、炉芯２０内のエア配管１６や炉芯２０の天井等から分解ガス液化分が滴となって落下することがあるが、本実施形態では、エアカーテン１４から最初のヒータ１５付近までの領域に、防滴板１７がコンベア１２の上方を覆うように設置されているため、炉芯２０内でエア配管１６や天井等から落下する分解ガス液化分は、防滴板１７の上面で受けられ、防滴板１７の傾斜に沿って側方へ流れ、炉芯２０の内側壁を伝って下方に流れる。
【００１３】
また、バインダーの分解ガスが防滴板１７の下面で液化した場合でも、その分解ガス液化分は防滴板１７の下面の傾斜に沿って側方へ流れ、炉芯２０の内側壁を伝って下方に流れる。これによって、分解ガス液化分が搬送中の未焼成セラミック基板１１表面に落下することを防止でき、焼成品の歩留まりを向上することができる。また、防滴板１７の設置位置は、入口１３から最初のヒータ１５までの雰囲気温度が低い領域のみであるため、炉芯２０内の空気の流れや温度分布にも、ほとんど影響を与えることがなく、脱バインダー性、焼結性を損なうことがない。
【００１４】
また、本実施形態では、防滴板１７を、炉芯２０の内側壁の装着部１８に入口１３側から着脱自在に装着するようにしたので、防滴板１７の清掃時に、防滴板１７を簡単に炉芯２０の入口１３から脱着することができ、防滴板１７の清掃時の作業性を向上できる。しかしながら、防滴板１７は、これ以外の方法で取り付けても良く、例えば炉芯２０の天井面から吊り下げるようにしたり、炉芯２０の内側壁に金具等で固定するようにしても良い。また、防滴板１７の両側縁部の下方に樋を設置して、防滴板１７の両側縁部から流れ落ちる分解ガス液化分を樋で受けて外部に排出するようにしても良い。
【００１５】
尚、本実施形態では、防滴板１７を凸状に湾曲させたが、防滴板１７を逆Ｖ字形に折曲しても良く、要は、防滴板１７の中央部が高く、コンベア１２の両側に向かって低くなるように形成すれば、防滴板１７の上下両面の分解ガス液化分を側方に流すことができる。しかしながら、防滴板１７の形状は、分解ガス液化分を未焼成セラミック基板１１表面に落とさないような形状であれば、適宜変更しても良い。
【００１６】
また、本実施形態では、防滴板１７を支持する装着部１８を複数箇所に分割して配置したが、これを防滴板１７の全長にわたって延びる１本のレール状に形成しても良く、また、この装着部を防滴板１７の全長にわたって延びる樋状に形成して、この樋状の装着部に防滴板１７から流れ落ちる分解ガス液化分を受けて外部に排出するように構成しても良い。
その他、本発明は、低温焼成セラミックの焼成炉に限定されず、アルミナ等の他のセラミックの焼成炉に適用することができる。
【００１７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の請求項１によれば、焼成炉の入口付近からヒータ付近までの領域に、コンベアの上方を覆う防滴板を設けるとともに、防滴板と焼成炉の炉内壁天井との間に空間を存在させるようにしたので、焼成炉内のエア配管や炉内壁天井等から落下する分解ガス液化分を防滴板の上面で受けることができて、未焼成セラミック表面への分解ガス液化分の落下を防止でき、焼成品の歩留まりを向上することができる。
【００１８】
また、請求項２では、防滴板を、中央部が高く、コンベアの両側に向かって低くなるように形成したので、防滴板の下面に付着した分解ガス液化分が防滴板の下面の傾斜に沿って側方に流れるようになり、防滴板の下面から未焼成セラミック表面への分解ガス液化分の落下も防止できる。
【００１９】
更に、請求項３では、防滴板を入口側から着脱自在に装着できるようにしたので、防滴板の清掃作業性を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の焼成炉の縦断側面図
【図２】焼成炉の縦断正面図
【図３】従来の焼成炉の縦断側面図
【符号の説明】
１１…未焼成セラミック基板、１３…入口、１４…エアカーテン、１５…ヒータ、１６…エア配管、１７…防滴板、１８…装着部、１９…焼成支持体、２０…炉芯。
【図１】
0004325004.tif 000002
【図２】
0004325004.tif 000003
【図３】
0004325004.tif 000004