【手続補正書】
【提出日】平成24年11月27日(2012.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１処理方法を実行するように構成された第１処理室と、
第２処理方法を実行するように構成された第２処理室と、
前記第１処理室と前記第２処理室に基板を搬送する搬送手段を備えた搬送室と、
制御装置と、を有する基板処理装置であって、
前記制御装置は、前記第１処理方法と前記第２処理方法のいずれか一方を第１処理選択情報とし、前記第１処理方法と前記第２処理方法の他方を第２処理選択情報として外部から入力可能に構成され、
さらに、前記制御装置は、
前記第１処理方法と対応する処理室が前記第１処理室で行われることを示す第１情報と、前記第２処理方法と対応する処理室が前記第２処理室で行われることを示す第２情報とを、処理方法と処理室との関連付け情報として記憶するメモリ部と、
前記第１処理選択情報を受信した際、前記第１処理選択情報と前記メモリ部に記憶された前記関連付け情報とを参照して、基板を搬送する処理室を示す第１搬送情報を作成し、前記第２処理選択情報を受信した際、前記第２処理選択情報と前記メモリ部に記憶された前記関連付け情報とを参照して、基板を搬送する処理室を示す第２搬送情報を作成し、前記第１搬送情報および前記第２搬送情報の少なくとも一方に基づき、基板の搬送順序を示す搬送順序情報を生成する判断部と、
前記搬送順序情報を受信した際、該搬送順序情報の搬送順序に基づき、対応する処理室に基板が搬送されるように、前記搬送手段を制御する制御部と
を有することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
少なくとも２つの独立した処理室を有する第１処理室であって、前記少なくとも２つの処理室の各々は、少なくとも１つ以上のターゲット材料により基板に対して第１処理方法を実行するように構成された第１処理室と、
第２処理方法を実行するように構成された第２処理室と、
前記第１処理室の前記少なくとも２つの処理室の各々と前記第２処理室に基板を搬送する搬送手段を備えた搬送室と、
制御装置と、を有する基板処理装置であって、
前記制御装置は、前記第１処理方法と前記第２処理方法のいずれか一方を第１処理選択情報とし、前記第１処理方法と前記第２処理方法の他方を第２処理選択情報として外部から入力可能に構成され、
さらに、前記制御装置は、
前記少なくとも１つ以上のターゲット材料のうちの、第１のターゲット材料に係わる前記第１処理方法が前記少なくとも２つの処理室の一つの処理室で行われることを示す第１情報と、前記少なくとも１つ以上のターゲット材料のうちの、第２のターゲット材料に係わる前記第１処理方法が前記少なくとも２つの処理室の他の１つの処理室で行われることを示す第２情報と、前記第２処理方法と対応する処理室が前記第２処理室であることを示す第３情報とを、処理方法と処理室との関連付け情報として記憶するメモリ部と、
前記第１処理選択情報を受信した際、前記第１処理選択情報と前記メモリ部に記憶された前記関連付け情報とを参照して、前記第１処理選択情報が前記第１のターゲット材料に係わる第１処理方法であるときには、基板を搬送する処理室として、前記第１処理室中の前記第１のターゲット材料に係わる前記第１処理方法を実行可能な前記一つの処理室を示す第１搬送情報を作成し、前記第１処理選択情報を受信した際、前記第１処理選択情報と前記メモリ部に記憶された前記関連付け情報とを参照して、前記第１処理選択情報が前記第２のターゲット材料に係わる第１処理方法であるときには、基板を搬送する処理室として、前記第１処理室の前記第２のターゲット材料に係わる前記第１処理方法を実行可能な前記他の１つの処理室を示す第２搬送情報を作成し、前記第２処理選択情報を受信した際、前記第２処理選択情報と前記メモリ部に記憶された前記関連付け情報とを参照して、基板を搬送する処理室を示す第３搬送情報を作成し、前記第１搬送情報、前記第２搬送情報、および第３搬送情報の少なくとも一つに基づき、基板の搬送順序を示す搬送順序情報を生成する判断部と、
前記制御部は、前記搬送順序情報を受信した際、該搬送順序情報の搬送順序に基づき、対応する処理室に基板が搬送されるように、前記搬送手段を制御する制御部と
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】
前記制御装置は、前記関連付け情報と前記搬送順序情報を表示する入力表示部をさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
第１処理方法を実行するように構成された第１処理室と第２処理方法を実行するように構成された第２処理室に基板を搬送する搬送手段を有する基板処理装置を制御し、前記第１処理方法と前記第２処理方法のいずれか一方を第１処理選択情報とし、前記第１処理方法と前記第２処理方法の他方を第２処理選択情報として外部から入力可能に構成された制御装置であって、
前記第１処理方法と対応する処理室が前記第１処理室で行われることを示す第1情報と、前記第２処理方法と対応する処理室が前記第２処理室で行われることを示す第２情報とを、処理方法と処理室との関連付け情報として記憶するメモリ部と、  
前記第１処理選択情報を受信した際、前記第１処理選択情報と前記メモリ部に記憶された前記関連付け情報とを参照して、基板を搬送する処理室を示す第１搬送情報を作成し、前記第２処理選択情報を受信した際、前記第２処理選択情報と前記メモリに記憶された前記関連付け情報とを参照して、基板を搬送する処理室を示す第２搬送情報を作成し、前記第１搬送情報および前記第２搬送情報の少なくとも一方に基づき、基板の搬送順序を示す搬送順序情報を生成する判断部と、  
前記搬送順序情報を受信した際、該搬送順序情報の搬送順序に基づき、対応する処理室に基板が搬送されるように、前記搬送手段を制御する前記制御部と、
を備えることを特徴とする制御装置。
【請求項５】
前記関連付け情報と前記搬送順序情報を表示する入力表示部をさらに備えることを特徴とする請求項４に記載の制御装置。
【請求項６】
第１処理方法を実行する第１処理室と、
第２処理方法を実行する第２処理室と、
前記処理室に基板を搬送する搬送手段と、
前記第１処理方法と対応する処理室が前記第１処理室で行われることを示す第1情報と、前記第２処理方法と対応する処理室が前記第２処理室で行われることを示す第２情報とを、処理方法と処理室との関連付け情報として記憶するメモリ部と、を備える基板処理装置により基板を処理する基板処理方法であって、 
前記第１処理方法と前記第２処理方法のいずれか一方を第１処理選択情報として取得し、前記第１処理方法と前記第２処理方法の他方を第２処理選択情報として取得する第１工程と、
前記第１処理選択情報と前記関連付け情報とを参照し、基板を搬送する処理室を示す第１情報を作成し、前記第２処理選択情報と前記関連付け情報と参照し、基板を搬送する第２搬送情報を作成し、前記第１搬送情報および前記第２搬送情報の少なくとも一方に基づき、基板の搬送順序を示す搬送順序情報を生成する第２工程と、
前記搬送順序情報の搬送順序に基づき、対応する処理室に基板が搬送されるように、前記搬送手段を制御する第３工程と
を有することを特徴とする基板処理方法。
【請求項７】
第１処理方法を実行する第１処理室と、
第２処理方法を実行する第２処理室と、
前記処理室に基板を搬送する搬送手段と、
前記第１処理方法と対応する処理室が前記第１処理室で行われることを示す第1情報と、前記第２処理方法と対応する処理室が前記第２処理室で行われることを示す第２情報とを、処理方法と処理室との関連付け情報として記憶するメモリ部と、を備える基板処理装置を制御するコンピュータプログラムであって、
コンピュータに、
前記第１処理方法と前記第２処理方法のいずれか一方を第１処理選択情報として取得し、前記第１処理方法と前記第２処理方法の他方を第２処理選択情報として取得する第１ステップと、
前記第１処理選択情報と前記関連付け情報とを参照し、基板を搬送する処理室を示す第１情報を作成し、前記第２処理選択情報と前記関連付け情報と参照し、基板を搬送する第２搬送情報を作成し、前記第１搬送情報および前記第２搬送情報の少なくとも一方に基づき、基板の搬送順序を示す搬送順序情報を生成する第２ステップと、
前記搬送順序情報の搬送順序に基づき、対応する処理室に基板が搬送されるように、前記搬送手段を制御する第３ステップと
を実行させるためのコンピュータプログラム。
【請求項８】
コンピュータにより読み出し可能なプログラムを格納した記憶媒体であって、請求項７に記載のコンピュータプログラムを格納したことを特徴とする記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
このような課題を達成するために、本発明は、第１処理方法を実行するように構成された第１処理室と、第２処理方法を実行するように構成された第２処理室と、前記第１処理室と前記第２処理室に基板を搬送する搬送手段を備えた搬送室と、制御装置と、を有する基板処理装置であって、前記制御装置は、前記第１処理方法と前記第２処理方法のいずれか一方を第１処理選択情報とし、前記第１処理方法と前記第２処理方法の他方を第２処理選択情報として外部から入力可能に構成され、さらに、前記制御装置は、前記第１処理方法と対応する処理室が前記第１処理室で行われることを示す第１情報と、前記第２処理方法と対応する処理室が前記第２処理室で行われることを示す第２情報とを、処理方法と処理室との関連付け情報として記憶するメモリ部と、前記第１処理選択情報を受信した際、前記第１処理選択情報と前記メモリ部に記憶された前記関連付け情報とを参照して、基板を搬送する処理室を示す第１搬送情報を作成し、前記第２処理選択情報を受信した際、前記第２処理選択情報と前記メモリ部に記憶された前記関連付け情報とを参照して、基板を搬送する処理室を示す第２搬送情報を作成し、前記第１搬送情報および前記第２搬送情報の少なくとも一方に基づき、基板の搬送順序を示す搬送順序情報を生成する判断部と、前記搬送順序情報を受信した際、該搬送順序情報の搬送順序に基づき、対応する処理室に基板が搬送されるように、前記搬送手段を制御する制御部とを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、本発明は、少なくとも２つの独立した処理室を有する第１処理室であって、前記少なくとも２つの処理室の各々は、少なくとも１つ以上のターゲット材料により基板に対して第１処理方法を実行するように構成された第１処理室と、第２処理方法を実行するように構成された第２処理室と、前記第１処理室の前記少なくとも２つの処理室の各々と前記第２処理室に基板を搬送する搬送手段を備えた搬送室と、制御装置と、を有する基板処理装置であって、前記制御装置は、前記第１処理方法と前記第２処理方法のいずれか一方を第１処理選択情報とし、前記第１処理方法と前記第２処理方法の他方を第２処理選択情報として外部から入力可能に構成され、さらに、前記制御装置は、前記少なくとも１つ以上のターゲット材料のうちの、第１のターゲット材料に係わる前記第１処理方法が前記少なくとも２つの処理室の一つの処理室で行われることを示す第１情報と、前記少なくとも１つ以上のターゲット材料のうちの、第２のターゲット材料に係わる前記第１処理方法が前記少なくとも２つの処理室の他の１つの処理室で行われることを示す第２情報と、前記第２処理方法と対応する処理室が前記第２処理室であることを示す第３情報とを、処理方法と処理室との関連付け情報として記憶するメモリ部と、前記第１処理選択情報を受信した際、前記第１処理選択情報と前記メモリ部に記憶された前記関連付け情報とを参照して、前記第１処理選択情報が前記第１のターゲット材料に係わる第１処理方法であるときには、基板を搬送する処理室として、前記第１処理室中の前記第１のターゲット材料に係わる前記第１処理方法を実行可能な前記一つの処理室を示す第１搬送情報を作成し、前記第１処理選択情報を受信した際、前記第１処理選択情報と前記メモリ部に記憶された前記関連付け情報とを参照して、前記第１処理選択情報が前記第２のターゲット材料に係わる第１処理方法であるときには、基板を搬送する処理室として、前記第１処理室の前記第２のターゲット材料に係わる前記第１処理方法を実行可能な前記他の１つの処理室を示す第２搬送情報を作成し、前記第２処理選択情報を受信した際、前記第２処理選択情報と前記メモリ部に記憶された前記関連付け情報とを参照して、基板を搬送する処理室を示す第３搬送情報を作成し、前記第１搬送情報、前記第２搬送情報、および第３搬送情報の少なくとも一つに基づき、基板の搬送順序を示す搬送順序情報を生成する判断部と、前記制御部は、前記搬送順序情報を受信した際、該搬送順序情報の搬送順序に基づき、対応する処理室に基板が搬送されるように、前記搬送手段を制御する制御部とを備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明は、第１処理方法を実行するように構成された第１処理室と第２処理方法を実行するように構成された第２処理室に基板を搬送する搬送手段を有する基板処理装置を制御し、前記第１処理方法と前記第２処理方法のいずれか一方を第１処理選択情報とし、前記第１処理方法と前記第２処理方法の他方を第２処理選択情報として外部から入力可能に構成された制御装置であって、前記第１処理方法と対応する処理室が前記第１処理室で行われることを示す第1情報と、前記第２処理方法と対応する処理室が前記第２処理室で行われることを示す第２情報とを、処理方法と処理室との関連付け情報として記憶するメモリ部と、  前記第１処理選択情報を受信した際、前記第１処理選択情報と前記メモリ部に記憶された前記関連付け情報とを参照して、基板を搬送する処理室を示す第１搬送情報を作成し、前記第２処理選択情報を受信した際、前記第２処理選択情報と前記メモリに記憶された前記関連付け情報とを参照して、基板を搬送する処理室を示す第２搬送情報を作成し、前記第１搬送情報および前記第２搬送情報の少なくとも一方に基づき、基板の搬送順序を示す搬送順序情報を生成する判断部と、前記搬送順序情報を受信した際、該搬送順序情報の搬送順序に基づき、対応する処理室に基板が搬送されるように、前記搬送手段を制御する前記制御部と、を備えることを特徴とする。
また、本発明は、第１処理方法を実行する第１処理室と、第２処理方法を実行する第２処理室と、前記処理室に基板を搬送する搬送手段と、前記第１処理方法と対応する処理室が前記第１処理室で行われることを示す第1情報と、前記第２処理方法と対応する処理室が前記第２処理室で行われることを示す第２情報とを、処理方法と処理室との関連付け情報として記憶するメモリ部と、を備える基板処理装置により基板を処理する基板処理方法であって、前記第１処理方法と前記第２処理方法のいずれか一方を第１処理選択情報として取得し、前記第１処理方法と前記第２処理方法の他方を第２処理選択情報として取得する第１工程と、前記第１処理選択情報と前記関連付け情報とを参照し、基板を搬送する処理室を示す第１情報を作成し、前記第２処理選択情報と前記関連付け情報と参照し、基板を搬送する第２搬送情報を作成し、前記第１搬送情報および前記第２搬送情報の少なくとも一方に基づき、基板の搬送順序を示す搬送順序情報を生成する第２工程と、前記搬送順序情報の搬送順序に基づき、対応する処理室に基板が搬送されるように、前記搬送手段を制御する第３工程とを有することを特徴とする。
さらに、本発明は、第１処理方法を実行する第１処理室と、第２処理方法を実行する第２処理室と、前記処理室に基板を搬送する搬送手段と、前記第１処理方法と対応する処理室が前記第１処理室で行われることを示す第1情報と、前記第２処理方法と対応する処理室が前記第２処理室で行われることを示す第２情報とを、処理方法と処理室との関連付け情報として記憶するメモリ部と、を備える基板処理装置を制御するコンピュータプログラムであって、コンピュータに、前記第１処理方法と前記第２処理方法のいずれか一方を第１処理選択情報として取得し、前記第１処理方法と前記第２処理方法の他方を第２処理選択情報として取得する第１ステップと、前記第１処理選択情報と前記関連付け情報とを参照し、基板を搬送する処理室を示す第１情報を作成し、前記第２処理選択情報と前記関連付け情報と参照し、基板を搬送する第２搬送情報を作成し、前記第１搬送情報および前記第２搬送情報の少なくとも一方に基づき、基板の搬送順序を示す搬送順序情報を生成する第２ステップと、前記搬送順序情報の搬送順序に基づき、対応する処理室に基板が搬送されるように、前記搬送手段を制御する第３ステップとを実行させるためのコンピュータプログラムである。