【手続補正書】
【提出日】平成25年9月9日(2013.9.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＡＴカットされた水晶基板と、
前記水晶基板の主面に設けられている第１の励振電極と、
前記第１の励振電極に対して前記水晶基板の−Ｚ′軸側に設けられ、前記第１の励振電極から引き出されている第１の引出電極と、
前記水晶基板の前記主面と反対側の主面に設けられている第２の励振電極と、
前記第２の励振電極に対して前記水晶基板の−Ｚ′軸側に設けられ、前記第２の励振電極から引き出されている第２の引出電極と、
を備え、
前記水晶基板の−Ｚ′軸側の端部には、Ｘ軸方向の成分を含むように延びている第１端面及び第２端面と、第１の段差部と、を有し、
前記第１の引出電極は前記第１端面側に、前記第２引出電極は前記第２端面側に、それぞれ配置され、
前記第１の段差部は、前記第１端面と前記第２端面との間に配置され、Ｚ′軸方向の成分を含む段差を有していることを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記第１および前記第２の励振電極の少なくとも一方の励振電極と前記第１および前記第２の励振電極の少なくとも一方の引出電極との間にスリットを有し、
前記スリットには、Ｚ′軸方向の成分を含む第２の段差部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記第１の段差部は、前記端部からＺ′軸方向の成分を含むように突き出た凸部および前記端部の一部を切り欠く凹部の少なくとも一方の形状を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記第１の引出電極または前記第２の引出電極の一方が、前記水晶基板の他方の主面に引き回されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記水晶基板は、薄肉部を有し、前記薄肉部には、前記第１の励振電極および前記第２の励振電極が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記薄肉部は、前記水晶基板のＺ′軸側の端部まで含まれていることを特徴とする請求項５に記載の圧電振動片。
【請求項７】
前記薄肉部は、前記水晶基板のＸ軸方向の端部まで含まれていることを特徴とする請求項５または６に記載の圧電振動片。
【請求項８】
請求項４乃至７のいずれか１項に記載の圧電振動片の第１引出電極および前記第２の引出電極と前記基板とを導電性接着剤を介して接続したことを特徴とする圧電振動子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］ＡＴカットの圧電素板をウエットエッチング加工した圧電振動片であって、前記圧電振動片においてＸ軸方向に長辺を有するスリットと、前記スリットと前記圧電振動片のＺ′軸側の端部との間に配置されたマウント部と、を有し、前記端部は、Ｘ軸方向に延びた第１端面及び第２端面と、段差部と、を有し、前記段差部は、前記第１端面と前記第２端面との間に配置され、Ｚ′軸方向の段差を有することを特徴とする圧電振動片。
また、本適用例にかかる圧電振動片は、ＡＴカットされた水晶基板と、前記水晶基板の主面に設けられている第１の励振電極と、前記第１の励振電極に対して前記水晶基板の−Ｚ′軸側に設けられ、前記第１の励振電極から引き出されている第１の引出電極と、前記水晶基板の前記主面と反対側の主面に設けられている第２の励振電極と、前記第２の励振電極に対して前記水晶基板の−Ｚ′軸側に設けられ、前記第２の励振電極から引き出されている第２の引出電極と、を備え、前記水晶基板の−Ｚ′軸側の端部には、Ｘ軸方向の成分を含むように延びている第１端面及び第２端面と、第１の段差部と、を有し、前記第１の引出電極は前記第１端面側に、前記第２引出電極は前記第２端面側に、それぞれ配置され、前記第１の段差部は、前記第１端面と前記第２端面との間に配置され、Ｚ′軸方向の成分を含む段差を有していることを特徴としていてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
［適用例２］前記スリットのＸ軸方向に長辺を有する端面にはＺ軸方向に長辺を有する第２の段差部が配置されたことを特徴とする適用例１に記載の圧電振動片。
スリットのＸ軸方向に長辺を有する端面にも上述同様にＸ軸方向に延びた谷部が形成されるため、導電性接着剤がこの端面に及ぶ場合にも導電性接着剤同士が短絡する虞がある。しかし、この端面にも段差部を設けることにより、導電性接着剤同士の短絡を防止して圧電振動片の実装時の歩留を高めることができる。
また、ある態様では、前記第１および前記第２の励振電極の少なくとも一方の励振電極と前記第１および前記第２の励振電極の少なくとも一方の引出電極との間にスリットを有し、前記スリットには、Ｚ′軸方向の成分を含む第２の段差部が設けられていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［適用例３］前記段差部は、前記端部からＺ′軸方向へ突き出た凸部、または前記端部の一部を切り欠く凹部であることを特徴とする適用例１または２に記載の圧電振動片。
これにより、段差部は圧電振動片の外形を形成する工程と同時に形成することが可能であるので、コストをかけることなく圧電振動片の実装の歩留を高めることができる。
また、ある態様では、前記第１の段差部は、前記端部からＺ′軸方向の成分を含むように突き出た凸部および前記端部の一部を切り欠く凹部の少なくとも一方の形状を含むことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例４］前記マウント部の前記第１端面側及び前記第２端面側にそれぞれ設けられ、前記圧電振動片に形成された励振電極に接続された一対の引出電極を有し、前記一対の引出電極のいずれか一方が反対面に引き回されることにより、前記一対の引出電極は前記圧電振動片の同一面に配置されたことを特徴とする適用例１乃至３のいずれか１例に記載の圧電振動片。
また、ある態様では、前記第１の引出電極または前記第２の引出電極の一方が、前記水晶基板の他方の主面に引き回されていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［適用例５］前記圧電振動片は、薄肉にウエットエッチング加工された薄肉部を有し、前記スリットを挟むように前記薄肉部と前記マウント部とが配置され、前記励振電極は、前記薄肉部に配置されたことを特徴とする適用例１乃至４のいずれか１例に記載の圧電振動片。
これにより、圧電振動片の高周波化を図ることができる。
また、ある態様では、前記水晶基板は、薄肉部を有し、前記薄肉部には、前記第１の励振電極および前記第２の励振電極が設けられている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
［適用例６］前記薄肉部は、前記マウント部の反対側の端部までを薄肉にウエットエッチング加工された形状であることを特徴とする適用例５に記載の圧電振動片。
これにより、圧電振動片の自由端側が軽量化されるので、実装後の圧電振動片の耐衝撃性を高めることができる。
また、ある態様では、記薄肉部は、前記水晶基板のＺ′軸側の端部まで含まれていることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
［適用例７］前記薄肉部は、前記圧電振動片のＸ軸方向の端部までを薄肉にウエットエッチング加工された形状であることを特徴とする適用例６に記載の圧電振動片。
これにより、実装後の圧電振動片の耐衝撃性をさらに高めることができる。
また、ある態様では、前記薄肉部は、前記水晶基板のＸ軸方向の端部まで含まれていることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
［適用例８］適用例３乃至７のいずれか１例に記載の圧電振動片の前記一対の引出電極が配置された面を基板側に向け、前記一対の引出電極と前記基板とを導電性接着剤を介して接続したことを特徴とする圧電振動子。
これにより、実装時の導電性接着剤同士の短絡を防止した圧電振動子となる。
また、本適用例にかかる圧電振動子は、圧電振動片の第１引出電極および前記第２の引出電極と前記基板とを導電性接着剤を介して接続したことを特徴としていてもよい。