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【手続補正書】
【提出日】平成24年12月21日(2012.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁束とコイルを鎖交する電磁誘導用鎖交具であって、
第０の磁路と、
前記第０の磁路と鎖交される第１のコイルと、
前記第１のコイルと電磁的に結合される第２のコイルと、
前記第１のコイルと鎖交される第１の磁路と、
前記第２のコイルと鎖交される前記第１の磁路の方向と逆向きの第２の磁路と、
前記第０の磁路と前記第１の磁路と前記第２の磁路とを有する第１の磁性芯材とを具備する電磁誘導用鎖交具。
【請求項２】
前記第０の磁路から分岐され前記第０の磁路に至る分岐磁路と、
前記分岐磁路と鎖交される前記第２のコイルと、
前記分岐磁路を有する前記第１の磁性芯材とを具備する、請求項１記載の電磁誘導用鎖交具。
【請求項３】
前記第１のコイルと電磁的に結合される第３のコイルと、
前記第１の磁路の方向と同じ向きに前記第１のコイルと鎖交される第３の磁路と、
前記第３のコイルと鎖交される前記第３の磁路の方向と逆向きの第４の磁路と、
前記第２のコイルと電磁的に結合される前記第３のコイルと、
前記第２の磁路の方向と同じ向きに前記第２のコイルと鎖交される第５の磁路と、
前記第３のコイルと鎖交される前記第５の磁路の方向と逆向きの第６の磁路と、
前記第３の磁路と前記第４の磁路と前記第５の磁路と前記第６の磁路とを有する前記第１の磁性芯材とを具備する、請求項２記載の電磁誘導用鎖交具。
【請求項４】
前記第１のコイルと鎖交される前記第１の磁路の方向と同じ向きで経路を異にする第３の磁路と、
前記第２のコイルと鎖交される前記第３の磁路の方向と逆向きで経路を一にする第４の磁路と、
前記第３の磁路と前記第４の磁路とを有する前記第１の磁性芯材とを具備する、請求項１記載の電磁誘導用鎖交具。
【請求項５】
磁束とコイルを鎖交する電磁誘導用鎖交具であって、
食み出て曲行し還向する向きに磁化される少なくとも一つの経路を有する一連の磁性芯材と、
前記磁性芯材に対置して巻回され、少なくとも一つが前記経路に巻回される複数のコイルと、
前記複数のコイルに流される電流からの磁界が互いに略同じ大きさで反対方向に対蹠に誘導する、前記複数のコイルと鎖交する複数の磁束と、
前記複数のコイルのうちの少なくとも一つのコイルに対置して、前記磁性芯材に巻回される少なくとも一つの第１のコイルと、
前記第１のコイルに流される電流からの磁界が誘導する、前記複数のコイルのうちの少なくとも一つのコイルと鎖交する第１の磁束と、を具備する電磁誘導用鎖交具。
【手続補正書】
【提出日】平成25年5月23日(2013.5.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、二酸化シリコン、ガラス、石英多結晶シリコン層及び金属の一つを含む基板と、
前記基板上のゲート電極と、
前記ゲート電極上のバッファ層であって、前記バッファ層は、ゲート絶縁層及び前記基板の保護層として機能し、前記バッファ層は、前記基板の融点よりも高い融点を有する、バッファ層と、
前記バッファ層の上に形成された多結晶シリコン層であって、前記多結晶シリコン層は、約２以下、または、約２に等しい平均粒径バラツキを有する、多結晶シリコン層と、
を含む構造。
【請求項２】
前記バッファ層は、前記基板の上にアイランド状に形成されている、請求項１に記載の構造。
【請求項３】
前記バッファ層は、ＭｇＯ、ＭｇＡｌ2Ｏ4、Ａｌ2Ｏ3及びＺｒＯ2の少なくとも一つである、請求項２に記載の構造。
【請求項４】
前記多結晶シリコン層の二乗平均表面粗度は、約６ｎｍ以下である、請求項３に記載の構造。
【請求項５】
前記ゲート電極は、薄膜トランジスタのボトムゲートである、請求項４に記載の構造。
【請求項６】
前記粒径バラツキは、等方結晶粒子の粒径と側方結晶粒子の粒径との比である、請求項１に記載の構造。
【請求項７】
前記多結晶シリコン層は、レーザ結晶によって形成される、請求項１ないし６のいずれかに記載の構造。
【請求項８】
前記平均粒径は、前記多結晶シリコン層の厚さ以下、または、厚さと等しい、請求項１ないし７のいずれかに記載の構造。
【手続補正書】
【提出日】平成25年4月19日(2013.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光学系および液体を介して基板を露光する露光装置において、
前記基板を保持して前記投影光学系の光軸に垂直な第１方向に移動可能なステージを備え、
前記ステージには、前記ステージの側面から前記第１方向に平行な方向に突き出した突出部が設けられている露光装置。
【請求項２】
前記突出部は、前記ステージの上面に設けられている請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記突出部は、前記ステージに取り付けられている請求項１または２記載の露光装置。
【請求項４】
前記突出部は、板状である請求項１〜３のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項５】
前記ステージには、前記ステージに保持される基板を囲むように、前記ステージの上面に部材が配置されており、
前記突出部は、前記部材の外側に設けられている請求項１〜４のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項６】
前記部材の上面は、前記突出部の上面と実質的に同じ高さである請求項５記載の露光装置。
【請求項７】
前記突出部と前記部材との間にギャップが形成されている請求項５または６記載の露光装置。
【請求項８】
前記突出部の表面は、撥液性を有する請求項１〜７のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項９】
前記突出部は、フッ素化合物または合成樹脂材料で形成されている請求項１〜８のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１０】
前記突出部の上面に液体が配置可能である請求項１〜９のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１１】
投影光学系および液体を介して基板を露光する露光装置に用いられるステージの制御方法において、
前記基板を保持して前記投影光学系の光軸に垂直な第１方向に移動可能であり、側面から前記第１方向に平行な方向に突き出した突出部が設けられたステージと、前記投影光学系との間に液体を供給することと、
前記突出部の上で液体が動くように前記ステージを移動することと、を含むステージの制御方法。
【請求項１２】
前記突出部は、前記ステージの上面に設けられている請求項１１記載のステージの制御方法。
【請求項１３】
前記突出部は、前記ステージに取り付けられている請求項１１または１２記載のステージの制御方法。
【請求項１４】
前記突出部は、板状である請求項１１〜１３のいずれか一項記載のステージの制御方法。
【請求項１５】
前記ステージには、前記ステージに保持される基板を囲むように、前記ステージの上面に部材が配置されており、
前記突出部は、前記部材の外側に設けられている請求項１１〜１４のいずれか一項記載のステージの制御方法。
【請求項１６】
前記部材の上面は、前記突出部の上面と実質的に同じ高さである請求項１５記載のステージの制御方法。
【請求項１７】
前記突出部と前記部材との間にギャップが形成されている請求項１５または１６記載のステージの制御方法。
【請求項１８】
前記突出部の表面は、撥液性を有する請求項１１〜１７のいずれか一項記載のステージの制御方法。
【請求項１９】
前記突出部は、フッ素化合物または合成樹脂材料で形成されている請求項１１〜１８のいずれか一項記載のステージの制御方法。
【請求項２０】
前記突出部の上面に液体が配置可能である請求項１１〜１９のいずれか一項記載のステージの制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置、ステージの制御方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、投影光学系と液体とを介して基板にパターンを露光する露光装置及びステージの制御方法に関するものである。
本願は、２００３年８月２９日に出願された特願２００３−３０７０２５号に対し優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月6日(2013.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体回路配線装置を用いて、第１信号配線パターンが形成される第１の層とは別の第２の層に、空き領域をそれぞれの間に挟んで複数列の第１電源配線パターンを規則的に配置する工程と、
前記半導体回路配線装置を用いて、前記第２の層における前記空き領域に、隣接する両側の前記第１電源配線パターンに接触しないように、前記第１の層と電気的に導通した第２信号配線パターンを配置する工程と、
前記半導体回路配線装置を用いて、前記空き領域に残存するパターン配置可能領域の少なくとも一部に、第２電源配線パターンを配置する工程と、を備えることを特徴とする半導体集積回路の配線方法。
【請求項２】
前記第２信号配線パターンを配置する工程と、その後の前記第２電源配線パターンを再配置する工程とにより、前記複数列の第１電源配線パターン間の前記空き領域のそれぞれに、前記第２信号配線パターンのみが配置されるか、前記第２電源配線パターンのみが配置されるか、前記第２信号配線パターンおよび前記第２電源配線パターンが配置されることを特徴とする請求項１に記載の半導体集積回路の配線方法。
【請求項３】
第１信号配線パターンが形成される第１の層とは別の第２の層に、空き領域をそれぞれの間に挟んで複数列の第１電源配線パターンを規則的に配置する第１のパターン配置部と、
前記第２の層における前記空き領域に、隣接する両側の前記第１電源配線パターンに接触しないように、前記第１の層と電気的に導通した第２信号配線パターンを配置する第２のパターン配置部と、
前記第２の層の前記空き領域に残存するパターン配置可能領域の少なくとも一部に、第２電源配線パターンを配置する第３のパターン配置部と、を備えることを特徴とする半導体回路配置装置。
【請求項４】
前記第２のパターン配置部と前記第３のパターン配置部とにより、前記複数列の第１電源配線パターン間の前記空き領域のそれぞれに、前記第２信号配線パターンのみが配置されるか、前記第２電源配線パターンのみが配置されるか、前記第２信号配線パターンおよび前記第２電源配線パターンが配置されることを特徴とする請求項３に記載の半導体回路配置装置。
【請求項５】
第１信号配線パターンが形成される第１の層と、
前記第１の層の上方または下方に配置され、第１電源配線パターンが形成される第２の層と、を備え、
前記第２の層には、それぞれが間隔を置いて配置される複数列の電源配線パターンが規則的に配置され、
前記第２の層における前記間隔のそれぞれには、隣接する両側の前記電源配線パターンに接触しないように、前記第１の層と電気的に導通した第２信号配線パターンが配置され、
前記第２の層の前記間隔の少なくとも一部には、前記第２信号配線パターンに加えて、前記第２電源配線パターンが配置されることを特徴とする半導体集積回路。
【手続補正書】
【提出日】平成25年3月6日(2013.3.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アプリケータの表面上に選択的にナノ物質を付置するステップであって、前記アプリケータの表面上に前記ナノ物質を含むパターンを形成することを含む、前記ステップと、
前記アプリケータの前記表面を、第一電極を含む基板に接触させ、それにより前記ナノ物質の少なくとも一部を前記基板に転写するステップと、
前記第一電極に向かい合わせて第二電極を配置するステップと、
を含む、デバイス形成方法。
【請求項２】
前記パターンが、隆起部又は窪み部を含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記ナノ物質が、複数の半導体ナノクリスタルである、請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記複数の半導体ナノクリスタルが、前記基板上に層を形成する、請求項１〜３のいずれか1項記載の方法。
【請求項５】
前記層が、半導体ナノクリスタルの多層である、請求項４記載の方法。
【請求項６】
前記層が、半導体ナノクリスタルの部分単層である、請求項８記載の方法。
【請求項７】
前記アプリケータの前記表面上に前記ナノ物質を付置する前に、前記アプリケータの前記表面を改質するステップをさらに含む、請求項１〜６のいずれか1項記載の方法。
【請求項８】
第二アプリケータの表面上に第二ナノ物質を付置するステップと、
前記第二アプリケータの前記表面を前記基板に接触させ、それにより前記ナノ物質の少なくとも一部を前記基板に転写するステップと、
をさらに含む、請求項１〜７のいずれか1項記載の方法。
【請求項９】
前記第二ナノ物質が、複数の半導体ナノクリスタルであり、前記第二の複数の半導体ナノクリスタルが、前記第一の複数の半導体ナノクリスタルと異なる、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
前記第一の複数の半導体ナノクリスタルが、前記第二の複数の半導体ナノクリスタルから区別可能な発光波長を有する、請求項９記載の方法。
【請求項１１】
第三のアプリケータの表面上に第三の複数の半導体ナノクリスタルを付置するステップと、
前記第三のアプリケータの前記表面を前記基板に接触させ、それにより前記第三の複数の半導体ナノクリスタルの少なくとも一部を前記基板に転写するステップと、
をさらに含む、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
前記第三の複数の半導体ナノクリスタルの発光波長が、前記第一の複数の半導体ナノクリスタルから区別可能であり、且つ前記第二の複数の半導体ナノクリスタルからも区別可能である、請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
前記第一、第二、及び第三の複数の半導体ナノクリスタルが、前記基板の重なり合わない事前定義領域内に塗布される、請求項１０〜１２のいずれか1項記載の方法。
【請求項１４】
前記第一、第二、及び第三の複数の半導体ナノクリスタルの発光波長が、紫外、青色、緑色、黄色、赤色、又は赤外発光波長、或いはそれらの組合せから選択される、請求項１０〜１３のいずれか1項記載の方法。
【請求項１５】
アプリケータが、回転可能なドラムに取り付けられている、請求項１〜１４のいずれか1項記載の方法。
【請求項１６】
第一電極と、
前記第一電極に向かい合わされた第二電極と、
前記第一電極と前記第二電極との間に配置された半導体ナノクリスタルの単層を含む事前定義領域であって、前記半導体ナノクリスタルの単層がパターン形成されている、前記事前定義領域と、
を含む、請求項１〜１５のいずれか1項記載の方法によって製造される発光デバイス。
【請求項１７】
請求項１６記載の発光デバイスを含む、ディスプレイ。
【手続補正書】
【提出日】平成25年1月29日(2013.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子線装置において、
荷電粒子線の照射領域から発生される二次信号を検出する検出器と、
前記二次信号の検出信号から生成された元画像データを保存する記憶領域と、
前記元画像からヒストグラムを生成するヒストグラム生成部と、
前記ヒストグラムに現れる全ての谷を検出した後、１つの谷から隣の谷までの区間を１つの選択領域として設定し、表示階調範囲の全域を複数の選択領域に分割する選択領域判定部と、
前記複数の選択領域を優先順位付けし、優先順位の高い選択領域を候補領域に設定する候補領域判定部と、
各候補領域の階調情報を強調した階調変換後画像を生成する階調変換部と、
前記階調変換後画像を画面上に表示する表示制御部と
を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
請求項１に記載の荷電粒子線装置において、
前記表示制御部は、元画像と複数の階調変換後画像とを同一画面上に表示する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項３】
請求項１に記載の荷電粒子線装置において、
前記候補領域の境界を規定する閾値は、操作画面上での操作入力を通じ、調整可能である
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項４】
請求項３に記載の荷電粒子線装置において、
前記操作入力は、数値入力又は数値の増減指示を通じて実行される
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項３に記載の荷電粒子線装置において、
前記操作入力は、元画像から生成された前記ヒストグラムと共に画面表示される各選択領域の境界線の移動を通じて実行される
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項６】
請求項１に記載の荷電粒子線装置は、
元画像から生成された前記ヒストグラムに対し、前記候補領域と、当該候補領域に付された優先順位を示す情報とを対応付けた画面を表示する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項１に記載の荷電粒子線装置は、
表示画面上においてユーザーにより選択された階調変換後画像に対応する候補領域を、前記ヒストグラムの表示画面上で強調表示する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項８】
請求項１に記載の荷電粒子線装置は、
前記候補領域の数の変更を入力可能な操作画面を表示する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項１に記載の荷電粒子線装置は、
優先順位付けに使用するルールの変更を入力可能な操作画面を表示する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の荷電粒子線装置は、
前記元画像データから生成された前記ヒストグラムを平滑化し、平滑化後のヒストグラムを前記選択領域判定部に供給する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１１】
荷電粒子線装置で取得された試料画像から観察画像を生成する方法において、
荷電粒子線の照射領域から発生される二次信号を検出する処理と、
前記二次信号の検出信号から生成された元画像データを保存する処理と、
前記元画像からヒストグラムを生成する処理と、
前記ヒストグラムに現れる全ての谷を検出した後、１つの谷から隣の谷までの区間を１つの選択領域として設定し、表示階調範囲の全域を複数の選択領域に分割する処理と、
前記複数の選択領域を優先順位付けし、優先順位の高い選択領域を候補領域に設定する処理と、
各候補領域の階調情報を強調した階調変換後画像を生成する処理と、
前記階調変換後画像を画面上に表示する処理と
を有することを特徴とする観察画像生成方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
例えばトーンカーブ５０５（図５）の場合、候補領域には階調値C1（≠0）から255(白)までを割り当てる一方で、閾値X2以上の階調を階調値C2（≠255）に変換する。このように、閾値X2以上の階調を階調値C2に落すことにより、候補領域を 256階調のほぼ全域を使用した見栄えの良い画像に階調変換することができる。階調変換後画像は、対応するフレームメモリ１１９に記憶される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2012142143.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成25年4月2日(2013.4.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水素を含有する燃料を用いて水素含有ガスを発生させる水素発生部と、
前記水素含有ガスを用いて発電を行うセルスタックと、を備える燃料電池システムであって、
前記セルスタックから出力される電圧を検出する電圧検出部と、
前記燃料電池システムが定格運転状態であるか否かを判断する運転状態判断部と、
前記運転判断部によって前記燃料電池システムが定格運転状態であると判断された場合に前記燃料電池システムの燃料利用率を変動させる燃料利用率変動部と、
前記燃料利用率変動部によって変動する前記燃料利用率の各値に対する前記電圧の各値を前記電圧検出部から取得し、当該電圧の各値を基準値と比較する比較部と、
前記比較部によって前記電圧の各値が前記基準値に対して閾値を超えて低下していると判断された場合に、前記定格運転状態における前記燃料利用率の上限値を所定の割合で低下させる燃料利用率制御部と、を備えたことを特徴とする燃料電池システム。
【請求項２】
前記セルスタックの劣化についての診断処理を実行するか否かを判断する診断開始条件判断部を更に備え、
前記診断開始条件判断部は、前記燃料電池システムが発電を開始してから所定時間が経過した場合、或いは前記燃料電池システムが熱回収をしている状態にある場合に前記診断処理を実行すると判断することを特徴とする請求項１記載の燃料電池システム。
【請求項３】
前記電圧検出部は、前記燃料電池システムが発電を行っている間、セルスタックから出力される電圧を常時検出することを特徴とする請求項１又は２記載の燃料電池システム。
【請求項４】
前記比較部は、過去の処理の実行の際に前記電圧検出部から取得した電圧の各値を前記基準値として記憶することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の燃料電池システム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年4月2日(2013.4.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水素を含有する燃料を用いて水素含有ガスを発生させる水素発生部と、
前記水素含有ガスを用いて発電を行うセルスタックと、を備える燃料電池システムであって、
前記セルスタックから出力される電圧を検出する電圧検出部と、
当該燃料電池システムが定格運転状態であるか否かを判断する運転状態判断部と、
前記運転状態判断部によって前記燃料電池システムが定格運転状態であると判断された場合に、前記電圧検出部によって検出された前記電圧の現時点の第１移動平均値と、前記現時点より一定時間前の第２移動平均値とを算出し、前記第１移動平均値と前記第２移動平均値との比較に基づいて前記燃料の性状変化の有無を判断する性状変化判断部と、を備えることを特徴とする燃料電池システム。
【請求項２】
前記運転状態判断部は、前記電圧検出部によって検出される電圧の移動平均値の変化が一定時間にわたって閾値以下であった場合に、前記燃料電池システムが定格運転状態であると判断することを特徴とする請求項１記載の燃料電池システム。
【請求項３】
前記燃料の性状変化についての診断処理を実行するか否かを判断する診断開始条件判断部を更に備え、
前記診断開始条件判断部は、前記燃料電池システムが発電を開始してから所定時間が経過した場合、或いは前記燃料電池システムが熱回収をしている状態にある場合に前記診断処理を実行すると判断することを特徴とする請求項１又は２記載の燃料電池システム。
【請求項４】
前記性状変化判断部は、前記第１移動平均値が前記第２移動平均値の０．９７倍以上１．０３倍以下である場合に前記燃料の性状が変化していないと判断し、前記第１移動平均値が前記第２移動平均値の０．９７未満又は１．０３倍を超えている場合は前記燃料の性状が変化したと判断することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の燃料電池システム。
【請求項５】
前記性状変化判断部の判断結果に基づいて前記燃料の供給テーブルを選択する燃料供給テーブル選択部を更に備え、
前記燃料供給テーブル選択部は、前記性状変化判断部によって前記燃料の発熱量が従来よりも高くなっていると判断された場合には、前記燃料及び水の供給量が従来よりも低い高発熱量用燃料供給テーブルを選択し、前記性状変化判断部によって前記燃料の発熱量が従来よりも低くなっていると判断された場合には、前記燃料及び水の供給量が従来よりも高い低発熱量用燃料供給テーブルを選択することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載の燃料電池システム。
【請求項６】
水素を含有する燃料を用いて水素含有ガスを発生させる水素発生部と、
前記水素含有ガスを用いて発電を行うセルスタックと、
前記セルスタックから供給されるオフガスを燃焼させる燃焼部と、を備える燃料電池システムであって、
前記燃焼部の温度を検出する温度検出部と、
当該燃料電池システムが定格運転状態であるか否かを判断する運転状態判断部と、
前記運転状態判断部によって前記燃料電池システムが定格運転状態であると判断された場合に、前記温度検出部によって検出された前記温度の現時点の第１移動平均値と、前記現時点より一定時間前の第２移動平均値とを算出し、前記第１移動平均値と前記第２移動平均値との比較に基づいて前記燃料の性状変化の有無を判断する性状変化判断部と、を備えることを特徴とする燃料電池システム。
【請求項７】
前記運転状態判断部は、前記温度検出部によって検出される温度の移動平均値の変化が一定時間にわたって閾値以下であった場合に、前記燃料電池システムが定格運転状態であると判断することを特徴とする請求項６記載の燃料電池システム。
【請求項８】
前記燃料の性状変化についての診断処理を実行するか否かを判断する診断開始条件判断部を更に備え、
前記診断開始条件判断部は、前記燃料電池システムが発電を開始してから所定時間が経過した場合、或いは前記燃料電池システムが熱回収をしている状態にある場合に前記診断処理を実行すると判断することを特徴とする請求項６又は７記載の燃料電池システム。
【請求項９】
前記性状変化判断部は、前記第１移動平均値が前記第２移動平均値の０．９７倍以上１．０３倍以下である場合に前記燃料の性状が変化していないと判断し、前記第１移動平均値が前記第２移動平均値の０．９７未満又は１．０３倍を超えている場合は前記燃料の性状が変化したと判断することを特徴とする請求項６〜８のいずれか一項記載の燃料電池システム。
【請求項１０】
前記性状変化判断部の判断結果に基づいて前記燃料の供給テーブルを選択する燃料供給テーブル選択部を更に備え、
前記燃料供給テーブル選択部は、前記性状変化判断部によって前記燃料の発熱量が従来よりも高くなっていると判断された場合には、前記燃料及び水の供給量が従来よりも低い高発熱量用燃料供給テーブルを選択し、前記性状変化判断部によって前記燃料の発熱量が従来よりも低くなっていると判断された場合には、前記燃料及び水の供給量が従来よりも高い低発熱量用燃料供給テーブルを選択することを特徴とする請求項６〜９のいずれか一項記載の燃料電池システム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年11月7日(2013.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水素含有燃料を用いて水素含有ガスを発生させる水素発生部と、
前記水素含有ガスを用いて発電を行うセルスタックと、を備える燃料電池システムであって、
所定量の前記水素含有燃料と所定量の酸化剤とを燃焼させる燃焼部と、
前記燃焼部の温度を検出する温度検出部と、
前記温度検出部の検出結果に基づいて前記燃焼部の温度変化を判定する判定部と、
前記判定部によって温度変化があると判定された場合、前記水素発生部に対する前記水素含有燃料の供給量を調整する調整部と、を備えることを特徴とする燃料電池システム。
【請求項２】
前記水素発生部に前記水素含有燃料を供給する第１の水素含有燃料供給部と、
前記燃焼部に一定量の前記水素含有燃料を供給する第２の水素含有燃料供給部と、
前記セルスタックに前記酸化剤を供給する第１の酸化剤供給部と、
前記燃焼部に一定量の前記酸化剤を供給する第２の酸化剤供給部と、
前記燃焼部で発生する熱を利用する熱利用部と、を更に備え、
前記第１の水素含有燃料供給部と前記第２の水素含有燃料供給部とは別体に構成され、
前記第１の酸化剤供給部と前記第２の酸化剤供給部とは別体に構成され、
前記熱利用部は、貯湯槽又はシステム内の水の凍結を防止する凍結防止部であることを特徴とする請求項１記載の燃料電池システム。
【請求項３】
前記水素含有燃料または前記酸化剤の濃度を検出する濃度検出部を更に備えることを特徴とする請求項１又は２記載の燃料電池システム。
【請求項４】
前記調整部は、前記水素含有燃料の濃度の変化量、及び前記燃焼部の温度の変化量と、それらに対して設定される前記水素含有燃料の最適供給量が設定されたデータテーブルに基づいて、前記水素発生部に対する前記水素含有燃料の供給量を調整することを特徴とする請求項３に記載の燃料電池システム。
【請求項５】
前記調整部は、前記酸化剤の濃度の変化量、及び前記燃焼部の温度の変化量と、それらに対して設定される前記酸化剤の最適供給量が設定されたデータテーブルに基づいて、前記セルスタックに対する前記酸化剤の供給量を調整することを特徴とする請求項３に記載の燃料電池システム。
【請求項６】
前記燃焼部によって発生する熱を利用する熱利用部を更に備え、
前記熱利用部は、貯湯槽であることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項記載の燃料電池システム。
【請求項７】
前記燃焼部によって発生する熱を利用する熱利用部を更に備え、
前記熱利用部は、前記水素発生部へ供給される水蒸気を生成する水気化部であることを特徴とする請求項１記載の燃料電池システム。
【請求項８】
前記燃焼部によって発生する熱を利用する熱利用部を更に備え、
前記熱利用部は、前記水素発生部へ供給される前記水素含有燃料を脱硫する脱硫部であることを特徴とする請求項１記載の燃料電池システム。
【請求項９】
前記燃焼部によって発生する熱を利用する熱利用部を更に備え、
前記熱利用部は、システム内の水の凍結を防止する凍結防止部であることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項記載の燃料電池システム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年4月2日(2013.4.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セルスタックの劣化具合に応じて運転を行う固体電解質型の燃料電池システムであって、
燃料利用率の変動に対応する前記セルスタックの電圧値の変動を取得する手段と、
前記電圧値を予め定められた閾値と比較して前記セルスタックが劣化したか否かを判断する手段と、
前記セルスタックの劣化が判断されたときに前記燃料電池システムの出力を低下させる補正を行う手段と、を備えたことを特徴とする燃料電池システム。
【請求項２】
水素を含有する燃料を用いて水素含有ガスを発生させる水素発生部と、
前記水素含有ガスを用いて発電を行うセルスタックと、を備える燃料電池システムであって、
前記セルスタックから出力される電圧を検出する電圧検出部と、
前記燃料電池システムが定格運転状態であるか否かを判断する運転状態判断部と、
前記運転判断部によって前記燃料電池システムが定格運転状態であると判断された場合に前記燃料電池システムの燃料利用率を変動させる燃料利用率変動部と、
前記燃料利用率変動部によって変動する前記燃料利用率の各値に対する前記電圧の各値を前記電圧検出部から取得し、当該電圧の各値を基準値と比較する比較部と、
前記比較部によって前記電圧の各値が前記基準値に対して閾値を超えて低下していると判断された場合に、前記燃料電池システムの定格出力を所定の割合で低下させる定格出力制御部と、を備えたことを特徴とする燃料電池システム。
【請求項３】
前記運転状態判断部は、前記セルスタックで発電される電力が使用上最大の電力となるような運転状態を前記定格運転状態とすることを特徴とする請求項２記載の燃料電池システム。
【請求項４】
前記運転状態判断部は、前記電圧検出部によって検出される電圧の移動平均値の変化が一定時間にわたって閾値以下であった場合に、前記燃料電池システムが定格運転状態であると判断する請求項２又は３記載の燃料電池システム。
【請求項５】
前記燃料利用率変動部は、前記運転状態判断部によって前記燃料電池システムが定格運転状態であると判断された場合に、前記燃料の供給を制御して前記燃料利用率を変動させることを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項記載の燃料電池システム。
【請求項６】
前記比較部は、予め設定された電圧値を前記基準値として記憶していることを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項記載の燃料電池システム。
【請求項７】
前記比較部は、過去の処理の実行の際に前記電圧検出部から取得した電圧の各値を前記基準値として記憶することを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項記載の燃料電池システム。
【請求項８】
前記比較部は、前記燃料利用率の各値に対する前記電圧の各値の低下が閾値未満である場合には、前記セルスタックの劣化が生じていないと判断し、前記燃料利用率の各値に対する前記電圧の各値の低下が閾値以上である場合には、前記セルスタックの劣化が生じていると判断することを特徴とする請求項２〜７のいずれか一項記載の燃料電池システム。
【請求項９】
前記比較部は、前記燃料利用率が５０％〜７０％の範囲で１０％刻みで前記電圧の各値を前記基準値と比較することを特徴とする請求項２〜８のいずれか一項記載の燃料電池システム。
【請求項１０】
前記セルスタックの劣化についての診断処理を実行するか否かを判断する診断開始条件判断部を更に備え、
前記診断開始条件判断部は、前記燃料電池システムが発電を開始してから所定時間が経過した場合、或いは前記燃料電池システムが熱回収をしている状態にある場合に前記診断処理を実行すると判断することを特徴とする請求項２〜９のいずれか一項記載の燃料電池システム。
【請求項１１】
前記電圧検出部は、前記燃料電池システムが発電を行っている間、セルスタックから出力される電圧を常時検出することを特徴とする請求項２〜１０のいずれか一項記載の燃料電池システム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年11月7日(2013.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水素含有燃料を含む燃料を用いて水素含有ガスを発生させる水素発生部と、
前記水素含有ガスを用いて発電を行うセルスタックと、を備える燃料電池システムであって、
排ガスの中の酸素の量を測定する測定部と、
前記排ガスの中の酸素の量を演算する演算部と、
前記測定部による測定値と前記演算部による演算値とを比較する比較部と、
前記比較部による比較結果に基づいて、前記燃料の供給量を調整する調整部と、を備えることを特徴とする燃料電池システム。
【請求項２】
前記調整部は、前記測定値が前記演算値より大きい場合、前記燃料の供給量を増加させ、前記測定値が前記演算値より小さい場合、前記燃料の供給量を減少させ、
前記比較部は、前記調整部による調整の後、再び前記測定値と前記演算値との比較を行うことを特徴とする請求項１記載の燃料電池システム。
【請求項３】
前記比較部による比較と、前記調整部による調整を繰り返し行う、請求項１又は２に記載の燃料電池システム。
【請求項４】
前記調整部は、前記測定値が前記演算値より大きい場合、燃料利用率を１ポイントずつ減らすことで前記燃料の供給量を増加させ、前記測定値が前記演算値より小さい場合、燃料利用率を１ポイントずつ増やすことで前記燃料の供給量を減少させる、請求項２又は３に記載の燃料電池システム。
【請求項５】
前記演算部による前記演算値は、システム内に供給される前記燃料に空気が含まれておらず、全て水素含有燃料であった場合における前記排ガスの中の酸素の量を示す理想値である、請求項１〜４の何れか一項に記載の燃料電池システム。
【請求項６】
前記演算部が取得するパラメータには、空気中の窒素濃度が含まれる、請求項１〜５の何れか一項に記載の燃料電池システム。
【請求項７】
酸化剤として純酸素が用いられる、請求項１〜５の何れか一項に記載の燃料電池システム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年4月22日(2013.4.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
実焦点短手側の窓６から取り出されるＸ線についてのＸ線焦点、及び実焦点長手側の窓１６から取り出されるＸ線についてのＸ線焦点は、実効焦点と呼ばれている。実焦点短手側の窓６から取り出されるＸ線の実効焦点の大きさは、実焦点が４０×４００μｍであれば、４０×４０μｍの矩形状又はφ（直径）４０μｍの円形状である。他方、実焦点が７０×７００μｍであれば７０×７０μｍ又はφ７０μｍである。こうして取り出されたＸ線はポイントフォーカスのＸ線と呼ばれる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
実焦点長手側の窓１６から取り出されるＸ線の実効焦点の大きさは、実焦点が４０×４００μｍであれば、４×４００μｍの長方形状である。他方、実焦点が７０×７００μｍであれば７×７００μｍの長方形状である。こうして取り出されたＸ線はラインフォーカスのＸ線と呼ばれる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
図１及び図２において、ケーシング２はその内部を真空状態に保持する機能を持っている。そのため、ケーシング２には、ターボ分子ポンプとロータリーポンプとを備えた排気系や、その他の任意の構成から成る排気系が付設される。しかしながら、図１及び図２ではその排気系の図示を省略している。異なる方式の排気系を採用する場合でケーシング２の形状が変わることがあるが、いずれの場合でもケーシング２はその内部を気密に保持する。
【手続補正書】
【提出日】平成25年11月7日(2013.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水素含有燃料を用いて水素含有ガスを発生させる水素発生部と、
前記水素含有ガスを用いて発電を行うセルスタックと、を備える燃料電池システムであって、
前記セルスタックでの発電における電流を取得する電流取得部と、
前記セルスタックでの発電における発電パラメータの測定結果に基づく発電状態判定値を取得する発電状態判定値取得部と、
前記電流に対して予め定められた前記発電パラメータの推定値を取得する推定値取得部と、
前記発電状態判定値と前記推定値とを比較する比較部と、
前記推定値に対する前記発電状態判定値の増減に基づいて、前記水素含有燃料の供給量を調整する供給量調整部と、を備えることを特徴とする燃料電池システム。
【請求項２】
前記推定値は、ベースとなる所定の条件下における前記発電パラメータの値である請求項１に記載の燃料電池システム。
【請求項３】
前記発電状態判定値の変化量が所定の閾値より大きい状態が、所定時間継続したか否かを判定する第一判定部と、
前記第一判定部によって、前記変化量が前記閾値より大きい状態が所定時間継続したと判定されたとき、システムを停止する第一システム停止部と、を更に備えることを特徴とする請求項１又は２記載の燃料電池システム。
【請求項４】
前記発電状態判定値の前記推定値に対する変化量が所定の閾値より大きいか否かを判定する第二判定部と、
前記第二判定部によって、前記変化量が前記閾値より大きいと判定されたとき、システムを停止する第二システム停止部と、を更に備えることを特徴とする請求項１又は２記載の燃料電池システム。
【請求項５】
前記発電パラメータは、前記セルスタックでのスタック電圧であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項記載の燃料電池システム。
【請求項６】
前記発電パラメータは、前記セルスタックの発電に基づく交流電力であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項記載の燃料電池システム。
【請求項７】
前記発電パラメータは、前記セルスタックからのオフガスを燃焼させたオフガス燃焼温度であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項記載の燃料電池システム。
【請求項８】
前記発電パラメータは、前記セルスタックのスタック温度であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項記載の燃料電池システム。
【請求項９】
前記発電パラメータは、システム内の排熱の回収量である排熱回収熱量であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項記載の燃料電池システム。
【請求項１０】
前記発電パラメータは、排ガスが燃焼触媒を通過した直後の温度であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項記載の燃料電池システム。
【請求項１１】
前記発電パラメータは、システム内の排熱を回収する排熱回収器の入口温度であることを特徴とする請求項１０記載の燃料電池システム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年1月30日(2013.1.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子を発生する陰極と、
円筒形状の電子衝突面を有しており前記電子が当該電子衝突面に衝突した領域がＸ線焦点となる回転対陰極と、
前記陰極から出た電子に電界を付与するウエネルト電極と、を有しており、
前記ウエネルト電極は、前記電界を形成する電界形成面と、当該電界形成面によって形成されている電子通過用の開口とを有しており、
前記ウエネルト電極の電界形成面は、前記Ｘ線焦点の中心における前記回転対陰極の外周面の接線面に対して傾斜している
ことを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項２】
前記電子通過用の開口の中心を通り前記電界形成面に直交する面上に前記陰極の中心があることを特徴とする請求項１記載のＸ線発生装置。
【請求項３】
前記陰極から出る電子は前記ウエネルト電極の電界形成面と直交する方向に直線状に進行することを特徴とする請求項１又は請求項２記載のＸ線発生装置。
【請求項４】
前記ウエネルト電極は、前記電子通過用の開口に近い位置に設けられた第１空間と、前記電子通過用の開口から遠い位置にあり前記第１空間につながっており当該第１空間よりも容積が小さい第２空間とを有しており、
前記陰極の一部は前記第１空間内にあり、前記陰極の残りの一部は前記第２空間内にある
ことを特徴とする請求項１から請求項３の少なくとも１つに記載のＸ線発生装置。
【請求項５】
前記第１空間と前記第２空間との境界部分の壁に第１Ｘ線遮蔽部材が取外し可能に取り付けられており、
前記Ｘ線焦点の中心における前記回転対陰極の外周面の法線は前記第１空間を通過して前記第１Ｘ線遮蔽部材と交わる
ことを特徴とする請求項４記載のＸ線発生装置。
【請求項６】
前記第１Ｘ線遮蔽部材はモリブデンを主成分とする金属より成ることを特徴とする請求項５記載のＸ線発生装置。
【請求項７】
前記第２空間は第２Ｘ線遮蔽部材でふさがれており、
前記Ｘ線焦点の中心における前記回転対陰極の外周面の法線は前記陰極の周囲の前記第２空間を通過して前記第２Ｘ線遮蔽部材と交わる
ことを特徴とする請求項４記載のＸ線発生装置。
【請求項８】
前記第２Ｘ線遮蔽部材はタングステンを主成分とする金属より成ることを特徴とする請求項７記載のＸ線発生装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係るＸ線発生装置においては、前記電子通過用の開口の中心を通り前記電界形成面に直交する面上に前記陰極の中心があることが望ましい。つまり、開口を形成しているウエネルト電極は陰極に対して上下又は左右で対称の位置関係にあることが望ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
特許文献２（特開２００７−１１５５５３号公報）に開示されたＸ線発生装置では陰極をウエネルト電極の中心位置から適切な距離だけずらせることにより、電子ビームの進行方向を曲げて回転対陰極の外周面上にＸ線焦点を形成し、これにより、Ｘ線焦点から回転対陰極の法線方向に出る正イオンが陰極にぶつからないように構成した。しかしながら、この場合には、陰極の配置位置を設計によって求めることが非常に難しく、しかも陰極の配置位置を正確に位置決めするための調整も非常に難しい。これに対し、上記のように電子通過用の開口の中心を通り電界形成面に直交する面上に陰極の中心があるように構成すれば、陰極は単にウエネルト電極の中心位置に配置するだけで良いので、設計が非常に簡単であり、陰極の設置も非常に簡単に行うことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
実焦点短手側の窓１３ａから取り出されるＸ線についてのＸ線焦点、及び実焦点長手側の窓１３ｂから取り出されるＸ線についてのＸ線焦点は、実効焦点と呼ばれている。実焦点短手側の窓１３ａから取り出されるＸ線の実効焦点の大きさは、実焦点が４０×４００μｍであれば、４０×４０μｍの矩形状又はφ（直径）４０μｍの円形状である。他方、実焦点が７０×７００μｍであれば７０×７０μｍ又はφ７０μｍである。こうして取り出されたＸ線はポイントフォーカスのＸ線と呼ばれる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
ウエネルト電極７の電界形成面７ａは、陰極２から発生した電子を通過させる開口１４を区画して形成している。電子はこの開口１４を通過して進行する。本実施形態において、ウエネルト電極７の電界形成面７ａ従ってウエネルト平面Ｓ１は、回転対陰極４の外周面上のＸ線焦点Ｆの中心における回転対陰極４の外周面の接線を含む面（以下、接線面という）Ｓ２に対して角度βで傾いている。角度βは例えば角度３°である。そして、陰極２のコイル輪の中心線Ｘ１は、電子通過用の開口１４の中心を通り電界形成面７ａ従ってウエネルト平面Ｓ１に直交する面Ｓ３内にある。
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月10日(2013.6.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池セルと前記太陽電池セルを保護する封止材シートを有する太陽電池モジュールであって、
前記封止シートには蛍光体が封止された針状樹脂が混合されており、前記封止シートの厚さはｃであり、
前記針状樹脂の平均長径をａ、前記針状樹脂の平均短径をｂとした場合、a＞bであり、かつ、a＞cであり、
前記針状樹脂中に封止される蛍光体がMMｇAl10017:Eu,Mnであり、MはBa, Sr, Caの一種または複数種の元素であり、
太陽光が入射する側から、前記針状樹脂、前記太陽電池セルの順に積層されていることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の太陽電池モジュールであって、
前記針状樹脂の平均長径をａ、前記針状樹脂の平均短径をｂとした場合、a＞２bであり、かつ、a＞cであることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項３】
請求項１または２に記載の太陽電池モジュールであって、
前記針状樹脂の平均長径をa、前記封止材シートの厚さをcとしたとき、a＞1.34cであることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項４】
請求項１に記載の太陽電池モジュールであって、
前記封止材がエチレンー酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）を主成分とすることを特徴とする太陽電池に用いる太陽電池モジュール。
【請求項５】
請求項４に記載の太陽電池モジュールであって、
前記封止材が有機過酸化物、架橋助剤及び接着向上材のいずれか一種または複数種の添加剤を混合したことを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項６】
外側表面に反射防止膜が形成された前面ガラスと、前記前面ガラスの内側において、前記前面ガラスと太陽電池セルとの間に保護封止材シートを有する太陽電池モジュールであって、
前記反射防止膜には蛍光体が封止された針状樹脂が混合されており、前記反射防止膜の厚さはｃであり、
前記針状樹脂の平均長径をａ、前記針状樹脂の平均短径をｂとした場合、a＞bであり、かつ、a＞ｃであり、
前記針状樹脂中に封止される蛍光体がMMｇAl10017:Eu,Mnであり、MはBa, Sr, Caの一種または複数種の元素であり、
太陽光が入射する側から、前記針状樹脂、前記太陽電池セルの順に積層されていることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項７】
外側の面に波長変換膜が形成された前面ガラスと、前記前面ガラスの内側において、前記前面ガラスと太陽電池セルとの間に保護封止材シートを有する太陽電池モジュールであって、
前記波長変換膜には蛍光体が封止された針状樹脂が混合されており、前記波長変換膜の厚さはｃであり、
前記針状樹脂の平均長径をａ、前記針状樹脂の平均短径をｂとした場合、a＞bであり、かつ、a＞cであり、
前記針状樹脂中に封止される蛍光体がMMｇAl10017:Eu,Mnであり、MはBa, Sr, Caの一種または複数種の元素であり、
太陽光が入射する側から、前記針状樹脂、前記太陽電池セルの順に積層されていることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項８】
請求項１に記載の太陽電池モジュールであって、
前記針状樹脂からの発光の成分は、太陽光が入射する面と垂直な方向の方が、太陽光が入射する面と平行な方向よりも大きいことを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項９】
請求項６に記載の太陽電池モジュールであって、
前記針状樹脂からの発光の成分は、太陽光が入射する面と垂直な方向の方が、太陽光が入射する面と平行な方向よりも大きいことを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項１０】
請求項７に記載の太陽電池モジュールであって、
前記針状樹脂からの発光の成分は、太陽光が入射する面と垂直な方向の方が、太陽光が入射する面と平行な方向よりも大きいことを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項１１】
請求項１に記載の太陽電池モジュールであって、
前記針状樹脂の長軸と、太陽光が入射する面と垂直な方向との角度が４１．８度より大きいことを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項１２】
請求項６に記載の太陽電池モジュールであって、
前記針状樹脂の長軸と、太陽光が入射する面と垂直な方向との角度が４１．８度より大きいことを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項１３】
請求項７に記載の太陽電池モジュールであって、
前記針状樹脂の長軸と、太陽光が入射する面と垂直な方向との角度が４１．８度より大きいことを特徴とする太陽電池モジュール。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】太陽電池モジュール
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月5日(2013.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材から射出される露光光で基板を露光する液浸露光装置で用いられる液浸部材であって、
液体供給口と、
前記露光光の光路の周囲に形成された下面と、
前記露光光の光路に対して前記下面の外側に配置された第１開口部と、
前記液体供給口から供給された液体が前記第１開口部を介して流入可能な空隙部と、
前記第１開口部よりも高い位置に配置され、前記空隙部に流入した前記液体の少なくとも一部を回収可能な液体回収部と、
前記液体回収部よりも高い位置に配置された第２開口部と、を備え、
前記空隙部の気体が前記第２開口部を介して前記空隙部の外へ流出可能な液浸部材。
【請求項２】
前記第１開口部が前記下面を囲むように配置される請求項１記載の液浸部材。
【請求項３】
前記液体供給口は、前記下面に設けられている請求項１又は２記載の液浸部材。
【請求項４】
前記露光光が通過する開口を有する第１部材と、
前記第１部材とは異なる第２部材とをさらに備え、
前記液体回収部は、前記第２部材に設けられている請求項１〜３のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項５】
前記第１部材は第１部分を有し、
前記第２部材は第２部分を有し、
前記第１部分と前記第２部分が対向するように前記第１部材と前記第２部材とが配置され、
前記空隙部は、前記第１部分と前記第２部分との間に形成され、
前記液体回収部は、前記第２部分に設けられている請求項４記載の液浸部材。
【請求項６】
前記液体供給口は、前記第１部材に設けられている請求項４又は５記載の液浸部材。
【請求項７】
前記第１部材と前記第２部材とは、相対的に移動可能である請求項４〜６のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項８】
前記液体回収部からから回収された前記液体が流れる回収流路をさらに備える請求項１〜７のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項９】
前記液体回収部は、前記空隙部から前記回収流路への気体の通過を抑制する請求項８記載の液浸部材。
【請求項１０】
前記液体回収部は、前記空隙部から前記回収流路へ液体のみを通過させる請求項８又は９記載の液浸部材。
【請求項１１】
前記液体供給口から供給された前記液体は、前記露光光が通過する前記開口を介して前記第１開口部から前記空隙部に流入する請求項１〜１０のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項１２】
前記第２開口部が、前記基板の表面と対向しない位置に配置される請求項１〜１１のいずれか一項記載の液浸部材。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか一項記載の液浸部材を備えた液浸露光装置。
【請求項１４】
光学部材から射出される露光光で基板を露光する液浸露光装置で用いられる液浸部材であって、
液体供給口と、
前記露光光が通過可能な開口を有する第１部材と、
前記第１部材に対して移動可能な第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材との間の第１開口部から空隙部に流入した液体の少なくとも一部を回収可能な液体回収部と、
前記空隙部に接続され、気体が流通可能な第２開口部と、を備え、
前記第２開口部が、前記液体回収部よりも高い位置に配置される液浸部材。
【請求項１５】
前記第２部材は、前記第１部材の第１下面よりも低い位置に配置される第２下面を有する請求項１４記載の液浸部材。
【請求項１６】
前記液体供給口が、前記第１下面に設けられた請求項１５記載の液浸部材。
【請求項１７】
請求項１４〜１６のいずれか一項記載の液浸部材を備えた液浸露光装置。
【請求項１８】
前記第２部材を移動する駆動装置をさらに備えた請求項１７記載の液浸露光装置。
【請求項１９】
前記基板の表面の一部が局所的に覆われるように液浸空間を形成するときに、前記液浸部材の液体供給口から液体供給を行うとともに、前記液浸部材の液体回収部から液体回収を行う請求項１３〜１８のいずれか一項記載の液浸露光装置。
【請求項２０】
請求項１３〜１９のいずれか一項に記載の液浸露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液浸部材、液浸露光装置、及びデバイス製造方法。