【手続補正書】
【提出日】平成25年2月25日(2013.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から、所定面内で第１方向に延出する駆動腕と、
前記基部から、前記所定面内において前記第１方向と交差する第２方向に延出する検出腕と、
前記駆動腕に設けられる駆動電極と、
前記検出腕に設けられる検出電極と、
を含み、
前記駆動腕は、前記所定面に垂直な第３方向に振動することを特徴とするジャイロ素子。
【請求項２】
請求項１記載のジャイロ素子であって、
前記第１方向の軸回りに作用する角速度によって前記駆動腕に第１検出振動が生じると、前記検出腕に、前記第１検出振動に対応した第２検出振動が生じ、前記第２検出振動に基づく歪みによって前記検出腕に電界が生じ、前記検出腕に生じる電界によって電荷の移動が生じ、前記電荷の移動による電気信号が前記検出電極から出力される、
ことを特徴とするジャイロ素子。
【請求項３】
請求項１または２に記載のジャイロ素子であって、
前記第２方向は、前記第１方向に直交する方向であり、
前記駆動腕および前記検出腕は、同じ圧電材料で構成される、
ことを特徴とするジャイロ素子。
【請求項４】
請求項３記載のジャイロ素子であって、
前記駆動腕が、前記駆動腕における前記圧電材料の、前記第１方向の電界による前記第１方向の歪みによって前記第３方向に振動しているときに、前記第１方向の軸回りに角速度が作用すると、前記駆動腕には、前記第１方向の前記第２検出振動が生じ、
前記検出腕には、前記第１検出振動に対応して、前記第１方向の前記第２検出振動が生じ、これによって、前記検出腕における前記圧電材料の、前記第２方向の歪みによる前記第１方向の電界によって電荷の移動が生じ、前記電荷の移動による電気信号が前記検出電極から出力される、
ことを特徴とするジャイロ素子。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載のジャイロ素子であって、
前記検出腕は、第１面と、前記第１面と表裏関係にある第２面と、前記第１面と前記第２面を連結する第３面および第４面と、を備え、
前記検出電極は、
前記検出腕の前記第１面に設けられる第１電極と、
前記検出腕の前記第２面に設けられ、前記第１電極に接続されている第２電極と、
前記検出腕の前記第３面に設けられ、前記第１電極および前記第２電極から電気的に独立している第３電極と、
前記検出腕の前記第４面に設けられ、前記第３電極に接続されている第４電極と、
を備えることを特徴とするジャイロ素子。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載のジャイロ素子であって、
前記駆動腕は、互いに表裏関係にある１対の主面を備え、
前記１対の主面の少なくとも一方には櫛歯電極が設けられている、
ことを特徴とするジャイロ素子。
【請求項７】
請求項６に記載のジャイロ素子であって、
前記櫛歯電極は、
所定距離だけ離れて互いに対向して配置される一対の電極からなる第１対向部分と、
前記第１対向部分に隣接して設けられ、かつ、前記所定距離だけ離れて互いに対向して配置される一対の電極からなる第２対向部分と、
を備え、
前記第１対向部分と第２対向部分は、前記駆動腕の前記第１方向に沿って配置されており、かつ、前記所定距離をＬ１とし、前記第１対向部分と前記第２対向部分との間の距離をＬ２としたとき、Ｌ１＜Ｌ２が成立する、
ことを特徴とするジャイロ素子。
【請求項８】
請求項７記載のジャイロ素子であって、
前記櫛歯電極は、
前記第２対向部分に隣接して設けられ、かつ、前記所定距離だけ離れて互いに対向して配置される一対の電極からなる第３対向部分を、備え、
前記第１対向部分、前記第２対向部分、前記第３対向部分の順に、前記基部からの距離が大きくなるものとし、かつ、前記第２対向部分と前記第３対向部分との間の距離をＬ３としたとき、Ｌ２＜Ｌ３が成立する、
ことを特徴とするジャイロ素子。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載のジャイロ素子であって、
前記駆動腕は、前記基部から、正の第１方向に延出する第１駆動腕と、前記基部から、前記正の第１方向とは逆向きの負の第１方向に延出する第２駆動腕と、を備え、
前記検出腕は、前記基部から、前記第１方向に直交する正の第２方向に延出する第１検出腕と、前記基部から、正の第２方向とは逆向きの負の第２方向に延出する第２検出腕と、を備え、
前記駆動電極は、前記第１駆動腕に設けられる第１駆動電極と、前記第２駆動腕に設けられる第２駆動電極と、を備え、
前記検出電極は、前記第１検出腕に設けられる第１検出電極と、前記第２検出腕に設けられる第２検出電極と、を備える、
ことを特徴とするジャイロ素子。
【請求項１０】
請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載のジャイロ素子と、
前記ジャイロ素子に接続される検出回路と、
を含むことを特徴とするジャイロセンサー。
【請求項１１】
請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載のジャイロ素子を搭載した電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ジャイロ素子、ジャイロセンサー、および電子機器
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（１）本発明のジャイロ素子の一態様は、基部と、前記基部から、所定面内で第１方向に延出する駆動腕と、前記基部から、前記所定面内において前記第１方向と交差する第２方向に延出する検出腕と、前記駆動腕に設けられる駆動電極と、前記検出腕に設けられる検出電極と、を含む。また、前記駆動腕は、前記駆動電極によって形成される電界による歪みによって、前記所定面に垂直な第３方向に振動し、前記第１方向の軸回りに作用する角速度によって前記駆動腕に第１検出振動が生じると、前記検出腕に、前記第１検出振動に対応した第２検出振動が生じ、前記第２検出振動に基づく歪みによって前記検出腕に電界が生じ、前記検出腕に生じる電界によって電荷の移動が生じ、前記電荷の移動による電気信号が前記検出電極から出力される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
（２）本発明のジャイロ素子の他の態様では、前記第２方向は、前記第１方向に直交する方向であり、前記駆動腕および前記検出腕は同じ圧電材料で構成される。また、前記駆動腕が、前記駆動腕における前記圧電材料の、前記第１方向の電界による前記第１方向の歪みによって前記第３方向に振動しているときに、前記第１方向の軸回りに角速度が作用すると、前記駆動腕には、前記第２方向の前記第１検出振動が生じ、前記検出腕には、前記第１検出振動に対応して、前記第１方向の前記第２検出振動が生じ、これによって、前記検出腕における前記圧電材料の、前記第２方向の歪みによる前記第１方向の電界によって電荷の移動が生じ、前記電荷の移動による電気信号が前記検出電極から出力される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
（３）本発明のジャイロ素子の他の態様では、前記検出腕は、第１面と、前記第１面と表裏関係にある第２面と、前記第１面と前記第２面を連結する第３面および第４面と、を備え、前記検出電極は、前記検出腕の前記第１面に設けられる第１電極と、前記検出腕の前記第２面に設けられ、前記第１電極に接続されている第２電極と、前記検出腕の前記第３面に設けられ、前記第１電極および前記第２電極から電気的に独立している第３電極と、前記検出腕の前記第４面に設けられ、前記第３電極に接続されている第４電極と、を備えることを特徴とする。また他の態様では、前記駆動腕は、互いに表裏関係にある１対の主面を備え、前記１対の主面の少なくとも一方には櫛歯電極が設けられていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
（４）本発明のジャイロ素子の他の態様は、前記駆動電極としての前記櫛歯電極は、所定距離だけ離れて互いに対向して配置される一対の電極からなる第１対向部分と、前記第１対向部分に隣接して設けられ、かつ、前記所定距離だけ離れて互いに対向して配置される一対の電極からなる第２対向部分と、を備え、前記第１対向部分と第２対向部分は、前記駆動腕の延出方向である前記第１方向に沿って配置されており、かつ、前記所定距離をＬ１とし、前記第１対向部分と前記第２対向部分との間の距離をＬ２としたとき、Ｌ１＜Ｌ２が成立する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
（５）本発明のジャイロ素子の他の態様では、前記駆動電極としての前記櫛歯電極は、前記第２対向部分に隣接して設けられ、かつ、前記所定距離だけ離れて互いに対向して配置される一対の電極からなる第３対向部分を、さらに備え、前記第１対向部分、前記第２対向部分、前記第３対向部分の順に、前記基部からの距離が大きくなるものとし、かつ、前記第２対向部分と前記第３対向部分との間の距離をＬ３としたとき、Ｌ２＜Ｌ３が成立する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
（６）本発明のジャイロ素子の他の態様では、前記駆動腕は、前記基部から、正の第１方向に延出する第１駆動腕と、前記基部から、前記正の第１方向とは逆向きの負の第１方向に延出する第２駆動腕と、を備え、前記検出腕は、前記基部から、前記第１方向に直交する正の第２方向に延出する第１検出腕と、前記基部から、正の第２方向とは逆向きの負の第２方向に延出する第２検出腕と、を備え、前記駆動電極は、前記第１駆動腕に設けられる第１駆動電極と、前記第２駆動腕に設けられる第２駆動電極と、を備え、前記検出電極は、前記第１検出腕に設けられる第１検出電極と、前記第２検出腕に設けられる第２検出電極と、を備える。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
（８）本発明のジャイロセンサーの一態様では、前記ジャイロ素子に接続される検出回路、を含む。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
（１０）本発明の電子機器の一態様は、上記いずれか一項に記載のジャイロ素子を搭載する。