Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成25年2月26日(2013.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像手段により撮像された対象物体の距離画像を取得する取得手段と、
取得された前記距離画像のうち、前記撮像手段により距離値が計測されていない欠損画像領域を検出する検出手段と、
前記欠損画像領域を対応付けの対象から除外して、前記対象物体の形状を示す形状モデルの特徴と前記距離画像上の前記対象物体の特徴とを対応づける対応付け手段と、
前記対応付けの結果から求められる前記形状モデルの特徴と前記距離画像上の前記対象物体の特徴との間の距離を用いて、前記対象物体の位置姿勢を導出する導出手段と、
を備えることを特徴とする位置姿勢計測装置。
【請求項２】
前記検出手段は、
前記距離画像上の欠損画像領域を前記形状モデル上に投影し、当該投影された領域を欠損モデル領域として検出することを特徴とする請求項１に記載の位置姿勢計測装置。
【請求項３】
前記対応付け手段は、
前記欠損画像領域に含まれない領域の特徴を用いて、前記対象物体の形状モデルの特徴と前記距離画像上の前記対象物体の特徴とを対応づけることを特徴とする請求項１または２に記載の位置姿勢計測装置。
【請求項４】
前記対応付け手段は、前記欠損画像領域に含まれない領域の特徴の重みを、前記欠損画像領域における特徴の重みよりも高く設定し、前記設定された重みを用いて、前記対象物体の形状モデルの特徴と前記距離画像上の前記対象物体の特徴とを対応づけることを特徴とする請求項１または２に記載の位置姿勢計測装置。
【請求項５】
前記検出手段は、
距離画像上の特徴と前記形状モデル上の特徴との距離が最小となる組み合わせを、前記距離画像上の特徴の位置を示す情報と前記形状モデル上の特徴の位置を示す情報と、に基づき検出することを特徴とする請求項２に記載の位置姿勢計測装置。
【請求項６】
前記距離画像上の特徴に対して距離が最小となる前記形状モデル上の特徴が、前記欠損モデル領域内に存在するか否かを判定する判定手段を更に備えることを特徴とする請求項５に記載の位置姿勢計測装置。
【請求項７】
前記形状モデル上の特徴が前記欠損モデル領域内に存在すると前記判定手段により判定された場合に、前記検出手段により検出された、距離が最小となる前記距離画像上の特徴と前記形状モデル上の特徴との組み合わせを削除する補正手段を更に備えることを特徴とする請求項６に記載の位置姿勢計測装置。
【請求項８】
前記導出手段は、前記補正手段による補正後の前記距離画像上の特徴と前記形状モデル上の特徴との距離が最小となる組み合わせにおいて、前記距離の総和を最小にする前記形状モデルの位置及び姿勢を、前記対象物体の位置及び姿勢の計測値として導出することを特徴とする請求項７に記載の位置姿勢計測装置。
【請求項９】
位置姿勢計測装置の位置姿勢計測方法であって、
取得手段が、撮像手段により撮像された対象物体の距離画像を取得する取得工程と、
検出手段が、取得された前記距離画像のうち、前記撮像手段により距離値が計測されていない欠損画像領域を検出する検出工程と、
対応付け手段が、前記欠損画像領域を対応付けの対象から除外して、前記対象物体の形状モデルの特徴と前記距離画像上の前記対象物体の特徴とを対応づける対応付け工程と、
導出手段が、前記対応付けの結果から求められる前記形状モデルの特徴と前記距離画像上の前記対象物体の特徴との間の距離を用いて、前記対象物体の位置姿勢を導出する導出工程と、
を有することを特徴とする位置姿勢計測方法。
【請求項１０】
コンピュータを請求項１乃至８のいずれか１項に記載の位置姿勢計測装置の各手段として機能させるためのプログラム。
【請求項１１】
請求項１０に記載のプログラムを記憶したコンピュータにより読み取り可能な記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】位置姿勢計測装置、位置姿勢計測方法、プログラムおよび記憶媒体
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、３次元形状が既知である対象物体の位置及び姿勢を計測する技術に関する。特に対象物体を撮影した距離画像に基づいて対象物体の位置姿勢を計測する位置姿勢計測装置、位置姿勢計測方法、プログラムおよび記憶媒体に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の一つの側面にかかる位置姿勢計測装置は、撮像手段により撮像された対象物体の距離画像を取得する取得手段と、
取得された前記距離画像のうち、前記撮像手段により距離値が計測されていない欠損画像領域を検出する検出手段と、
前記欠損画像領域を対応付けの対象から除外して、前記対象物体の形状を示す形状モデルの特徴と前記距離画像上の前記対象物体の特徴とを対応づける対応付け手段と、
前記対応付けの結果から求められる前記形状モデルの特徴と前記距離画像上の前記対象物体の特徴との間の距離を用いて、前記対象物体の位置姿勢を導出する導出手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月25日(2013.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基準波長と第２基準波長との間で周期的に波長走査をして光束を射出する波長可変レーザと、
第３基準波長の光束を射出する波長固定レーザと、
前記波長可変レーザから射出する前記光束の波長を前記第１基準波長および前記第２基準波長に設定可能な波長基準素子と、
前記波長可変レーザおよび前記波長固定レーザから射出した光束を参照光束および被検光束に分割する光束分割素子と、
参照面で反射した参照光束と被検面で反射した被検光束との干渉信号から位相を検出する位相検出部と、
前記第１基準波長をλ１、前記第２基準波長をλ２、前記第３基準波長をλ３、λ１・λ２／｜λ１−λ２｜で表される第１合成波長をΛ１２、λ１・λ３／｜λ１−λ３｜で表される第２合成波長をΛ１３としたとき、該第３基準波長λ３、該第１合成波長Λ１２、該第２合成波長Λ１３、前記波長走査の際の前記第３基準波長λ３における前記干渉信号の位相変化量の整数成分、および、該第１合成波長Λ１２と該第２合成波長Λ１３の干渉次数から逐次的に該第３基準波長λ３の干渉次数を決定し、前記被検面と前記参照面との間の絶対距離を算出する解析装置と、を有することを特徴とする光波干渉計測装置。
【請求項２】
前記解析装置は、前記波長走査の際における前記第３基準波長の位相変化から前記被検面の相対変位を算出し、該被検面の相対変位による影響を受けないように前記第１合成波長および前記第２合成波長の干渉次数を補正することを特徴とする請求項１に記載の光波干渉計測装置。
【請求項３】
前記解析装置は、前記第１基準波長λ１から前記第２基準波長λ２への波長走査の際に、前記第３基準波長λ３における前記干渉信号の位相変化から時刻ｔ０〜ｔ１間における前記被検面の相対変位ΔＤ（ｔ０〜ｔ１）を算出し、
以下の式（１）を用いて、時刻ｔ０における前記第１基準波長λ１の位相Φａ（ｔ０）を時刻ｔ１における位相φ’ａ（ｔ１）に補正し、
以下の式（２）を用いて、前記第１合成波長Λ１２の干渉次数Ｍ１２（ｔ１）を算出することを特徴とする請求項１に記載の光波干渉計測装置。
2011179934.tif 000001
2011179934.tif 000002
【請求項４】
前記解析装置は、前記第１基準波長λ１、前記第２基準波長λ２、および、前記第３基準波長λ３の位相をそれぞれφ１、φ２、φ３、前記第３基準波長λ３、前記第１合成波長Λ１２、および、前記第２合成波長Λ１３に対するそれぞれの大気屈折率ｎ（λ３）、ｎｇ（λ１、λ２）、ｎｇ（λ１、λ３）を用いて、前記参照面と前記被検面の間の絶対距離を以下の式により算出することを特徴とする請求項３に記載の光波干渉計測装置。
2011179934.tif 000003
【請求項５】
前記波長可変レーザは、前記第１基準波長で安定化される第１期間および前記第２基準波長で安定化される第２期間を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光波干渉計測装置。
【請求項６】
前記波長基準素子はエタロンであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の光波干渉計測装置。
【請求項７】
前記波長基準素子は周波数安定化光源であり、
前記波長可変レーザは、前記周波数安定化光源に周波数オフセットロックされて構成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の光波干渉計測装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一側面としての光波干渉計測装置は、第１基準波長と第２基準波長との間で周期的に波長走査をして光束を射出する波長可変レーザと、第３基準波長の光束を射出する波長固定レーザと、前記波長可変レーザから射出する前記光束の波長を前記第１基準波長および前記第２基準波長に設定可能な波長基準素子と、前記波長可変レーザおよび前記波長固定レーザから射出した光束を参照光束および被検光束に分割する光束分割素子と、参照面で反射した参照光束と被検面で反射した被検光束との干渉信号から位相を検出する位相検出部と、前記第１基準波長をλ１、前記第２基準波長をλ２、前記第３基準波長をλ３、λ１・λ２／｜λ１−λ２｜で表される第１合成波長をΛ１２、λ１・λ３／｜λ１−λ３｜で表される第２合成波長をΛ１３としたとき、該第３基準波長λ３、該第１合成波長Λ１２、該第２合成波長Λ１３、前記波長走査の際の前記第３基準波長λ３における前記干渉信号の位相変化量の整数成分、および、該第１合成波長と該第２合成波長の干渉次数から逐次的に該第３基準波長λ３の干渉次数を決定し、前記被検面と前記参照面との間の絶対距離を算出する解析装置とを有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
【数１６】
2011179934.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月28日(2013.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のクラッチディスク（１１６ａ，１１６ｂ）及び複数のクラッチプレート（１１１ａ，１１１ｂ）をクラッチアウタ（１０６）とクラッチセンタ（１０７ａ，１０７ｂ）との間に設け、
前記複数のクラッチディスク（１１６ａ，１１６ｂ）及び前記複数のクラッチプレート（１１１ａ，１１１ｂ）をクラッチプレッシャプレート（１０２ａ，１０２ｂ）で押圧してクラッチ（１００）の断接を行う油圧クラッチにおいて、
前記複数のクラッチディスク（１１６ａ，１１６ｂ）は、前記クラッチセンタ（１０７ａ，１０７ｂ）のガイド部（１１５ａ，１１５ｂ）の外周に相対回転不能に支持され、
前記クラッチセンタ（１０７ａ，１０７ｂ）の前記ガイド部（１１５ａ，１１５ｂ）と、前記ガイド部（１１５ａ，１１５ｂ）の内周面に摺動可能に嵌合される前記クラッチプレッシャプレート（１０２ａ，１０２ｂ）の外壁部（１１８ａ，１１８ｂ）とのラップ部分に給油穴（１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂ）がそれぞれ形成され、
クラッチ接続時に、前記クラッチプレッシャプレート（１０２ａ，１０２ｂ）の前記給油穴（１２２ａ，１２２ｂ）と前記クラッチセンタ（１０７ａ，１０７ｂ）の前記給油穴（１２１ａ，１２１ｂ）との重なりが最大となることを特徴とする油圧クラッチ（１００）。
【請求項２】
前記クラッチセンタ（１０７ａ，１０７ｂ）の前記給油穴（１２１ａ，１２１ｂ）は、前記クラッチセンタ（１０７ａ，１０７ｂ）の内部に設けられるキャンセラ室（１０５ａ，１０５ｂ）に開口していることを特徴とする請求項１に記載の油圧クラッチ（１００）。
【請求項３】
前記キャンセラ室（１０５ａ，１０５ｂ）には、前記給油穴（１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂ）とは個別に、前記キャンセラ室（１０５ａ，１０５ｂ）内の油圧を前記キャンセラ室（１０５ａ，１０５ｂ）外に放出するキャンセル穴（１２３ａ，１２３ｂ）が設けられることを特徴とする請求項２に記載の油圧クラッチ（１００）。
【請求項４】
前記キャンセル穴（１２３ａ，１２３ｂ）は、前記クラッチプレッシャプレート（１０２ａ，１０２ｂ）によりクラッチ接続時に閉塞され、クラッチ切断時に開放されることを特徴とする請求項３に記載の油圧クラッチ（１００）。
【請求項５】
ツインクラッチ式変速機（８０）に使用されることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の油圧クラッチ（１００）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、複数のクラッチディスク及び複数のクラッチプレートをクラッチアウタとクラッチセンタとの間に設け、複数のクラッチディスク及び複数のクラッチプレートをクラッチプレッシャプレートで押圧してクラッチの断接を行う油圧クラッチにおいて、複数のクラッチディスクは、クラッチセンタのガイド部の外周に相対回転不能に支持され、クラッチセンタのガイド部と、ガイド部の内周面に摺動可能に嵌合されるクラッチプレッシャプレートの外壁部とのラップ部分に給油穴がそれぞれ形成され、クラッチ接続時に、クラッチプレッシャプレートの給油穴とクラッチセンタの給油穴との重なりが最大となることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項１の発明によれば、複数のクラッチディスクは、クラッチセンタのガイド部の外周に相対回転不能に支持され、クラッチセンタのガイド部と、ガイド部の内周面に摺動可能に嵌合されるクラッチプレッシャプレートの外壁部とのラップ部分に給油穴がそれぞれ形成され、クラッチ接続時に、クラッチプレッシャプレートの給油穴とクラッチセンタの給油穴との重なりが最大となるため、クラッチ接続時に給油量が最大となり、クラッチ切断時に給油量が最小となる。これにより、クラッチの引きずりを防止することができ、変速時のチェンジ打音を小さくすることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成25年7月10日(2013.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
生成された変形シフトアップテーブルは、上記した移動係数保持時間Ｔｈを経過すると、連続的に変形しながら基本シフトアップテーブルに戻される。移動係数戻し時間設定部１５０は、この基本シフトアップテーブルに戻す際の変形所用時間（戻し始めから戻し終わりまでの時間）である移動係数戻し時間Ｔｍを設定するものであり、Ｄモード用移動係数戻し時間マップ１５１およびＳモード用移動係数戻し時間マップ１５２を用いて、走行モードに応じた移動係数戻し時間Ｔｍが導出される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
図５のフローチャートに戻って、ステップＳ１５では、前回処理でシフトアップしたか否かが判定される。ステップＳ１５で否定判定されると、ステップＳ１６に進んで加速状態が変化したか否かが判定され、肯定判定されるとステップＳ１７に進む。ステップＳ１６で否定判定されると、ステップＳ１８において、後述するシフトアップライン移動係数ベース値Ｋｂの値を保持して、現在の加速状態に応じてシフトアップテーブルを戻す処理または固定する処理、または、シフトアップ禁止の処理を行う。具体的には、ステップＳ２８で現在スロットルオフ領域か否かを判定し、肯定判定されるとシフトアップを実行せずに一連の制御を終了する。また、ステップＳ２８で否定判定されるとステップＳ２９に進んで、現在減速領域であるか否かが判定される。ステップＳ２９で否定判定されるとステップＳ２０に進み、一方、肯定判定されるとステップＳ２５に進む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
コーナリング状態判定部１１０は、加速領域からクルーズ領域へ突入したこと、あるいは、減速領域からクルーズ領域へ突入したことによって、車両がコーナリング状態に移行したと判定する。例えば、車速が６０ｋｍ／ｈでスロットルが閉じられることによってＡ点で境界線Ｌ１をまたいで加速領域からクルーズ領域に突入したり、また、車速が１４０ｋｍ／ｈでスロットルが開けられることによりＢ点で境界線Ｌ２をまたいで減速領域からクルーズ領域へ突入すると、コーナリング状態に移行したと判定する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
ステップＳ２０では、シフトアップライン移動係数ベース値Ｋｂがゼロか否かが判定される。ステップＳ２０で否定判定されるとステップＳ２１に進む。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
なお、ステップＳ２０で肯定判定されると、ステップＳ２３で移動係数Ｋ＝０と設定し、ステップＳ２１，２２をスキップしてステップＳ２５に進む。また、ステップＳ２１で否定判定されると、ステップＳ２４で移動係数Ｋ＝Ｋｂと設定し、ステップＳ２１，２２をスキップしてステップＳ２５に進む。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
次に、前記ステップＳ１５で肯定判定された場合の制御の流れを説明する。ステップＳ１５で肯定判定される、すなわち、前回のコーナリング状態突入判定の後にシフトアップが行われた場合は、図６に示すサブフロー（Ａ）に進む。このサブフロー（Ａ）は、前回シフトアップした場合に、移動係数を保持して連続シフトアップを回避するための処理である。まず、ステップＳ１００では、クルーズ領域または加速領域またはスロットルオフ領域にあるか否かが判定される。ステップＳ１００で肯定判定されると、ステップＳ１０１においてＫｂ＝現在の移動係数Ｋと設定される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
一方、ステップＳ２００で否定判定された場合には、ステップＳ２０５に進む。ステップＳ２０５では、減速領域に突入したか否かが判定され、肯定判定されるとステップＳ２０６に進む。ステップＳ２０６では、減速領域突入時用の目標シフトアップテーブル（不図示）に基づいてシフトアップ目標車速Ｖｍが算出され、ステップＳ２０７でシフトアップライン移動係数ベース値Ｋｂが算出され、さらに、ステップＳ２０８で移動係数Ｋ＝Ｋｂと設定されて、メインフローに戻る。ここでは、変形シフトアップテーブルを基本シフトアップテーブルに戻す処理は行われず、変形状態が保持（Ｋが固定）されることとなる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
時刻ｔ３０では、先に設定した保持時間Ｔｈ２の経過に伴って移動係数戻し時間Ｔｍ２による移動係数戻し制御が開始される。しかしながら、この図の例では、時刻ｔ２０から時間Ｔｍ２が経過した時刻ｔ４０において、車速の上昇によって５速へのシフトアップ条件が満たされてシフトアップが実行される。ここでも、移動係数Ｋの推移を保留して新たな保持時間Ｔｈ３が設定される。これにより、時刻ｔ４０では、移動係数Ｋ３を引き継いだ５速用の変形シフトアップテーブルが適用される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2011179643.tif 000001
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2011179643.tif 000002
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2011179643.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成25年4月30日(2013.4.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ねじ構造を有し、ねじ山頂部側の上部と、ねじ谷底側の下部とを備える締結部材であって、
前記締結部材は、基準山形に対応したねじ山形状を有する相手側締結部材に締結されるように用いられるものであって、
前記山頂部及び前記上部に形成された圧力側フランク面が、前記相手側締結部材の前記基準山形に対応した前記締結部材の基準山形の圧力側フランク面よりも座面側に設けられ、
前記下部の少なくとも一方の側面が、前記上部において対応するフランク面の延長線よりも内側に設けられ、該側面が前記対応するフランク面の下端から連続して形成されている締結部材。
【請求項２】
請求項１に記載の締結部材において、
前記締結部材の軸線を含む断面にて、前記下部の少なくとも一方の側面の形状は、前記対応するフランク面の延長線から内側に向かって湾曲する曲面形状であり、平坦部分を有しないことを特徴とする締結部材。
【請求項３】
請求項１に記載の締結部材において、
前記締結部材の軸線を含む断面にて、前記下部の少なくとも一方の側面の形状は、前記対応するフランク面の延長線から内側に配置された平面形状と当該延長線から内側に向かって湾曲する曲面形状とを組み合わせた形状である締結部材。
【請求項４】
請求項３に記載の締結部材において、
前記平面形状は前記締結部材の軸方向に垂直な面とする締結部材。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載の締結部材において、
遊び側フランク面の下端が、前記締結部材の前記基準山形の有効径を示す仮想円筒よりも前記ねじ山頂部側に位置し、
前記下部における遊び側の側面が前記遊び側フランク面の延長線よりも内側に設けられると共に、前記下部における遊び側の側面が前記遊び側フランク面の下端から連続して形成されている締結部材。
【請求項６】
請求項１〜４の何れか一項に記載の締結部材において、
前記圧力側フランク面の下端が、前記遊び側フランク面の下端よりも前記ねじ山頂部側に位置し、
前記圧力側の側面が、前記圧力側フランク面の延長線よりも内側に設けられると共に、前記圧力側フランク面の下端から連続して形成され、
前記下部における遊び側の側面が、前記遊び側フランク面の延長線よりも内側に設けられると共に、前記遊び側フランク面の下端から連続して形成されている締結部材。
【請求項７】
請求項６に記載の締結部材において、
前記圧力側フランク面の下端が、前記締結部材の前記基準山形の有効径を示す仮想円筒よりも前記ねじ山頂部側に位置し、
前記遊び側フランク面の下端が、前記仮想円筒よりも前記ねじ谷底側に位置する締結部材。
【請求項８】
請求項１に記載の締結部材において、
前記上部のねじ山の角度が、前記締結部材の前記基準山形のねじ山の角度より大きく、
前記圧力側フランク面のフランク角が、前記締結部材の前記基準山形のフランク角と略同一である締結部材。
【請求項９】
請求項８に記載の締結部材において、
前記圧力側フランク面の下端が、前記遊び側フランク面の下端よりも前記ねじ山頂部側に位置し、
前記圧力側の側面が、前記圧力側フランク面の延長線よりも内側に設けられると共に、前記圧力側フランク面の下端から連続して形成され、
前記下部における遊び側の側面が、前記遊び側フランク面の延長線よりも内側に設けられると共に、前記遊び側フランク面の下端から連続して形成されている締結部材。
【請求項１０】
請求項９に記載の締結部材において、
前記圧力側フランク面の下端が、前記締結部材の前記基準山形の有効径を示す仮想円筒よりも前記ねじ山頂部側に位置し、
前記遊び側フランク面の下端が、前記仮想円筒よりも前記ねじ谷底側に位置する締結部材。
【請求項１１】
ねじ構造を有し、ねじ山頂部側の上部と、ねじ谷底側の下部とを備える締結部材であって、
前記締結部材は、基準山形に対応したねじ山形状を有する相手側締結部材に締結されるように用いられるものであって、
前記ねじ構造の山頂部及び圧力側フランク面は、前記相手側締結部材の前記基準山形に対応した前記締結部材の基準山形の一対の谷底を基点として、前記締結部材の前記基準山形の山頂部及び圧力側フランク面より座面側へシフトしており、
前記下部の少なくとも圧力側の側面が、前記上部において対応するフランク面の延長線よりも内側に設けられ、該側面が前記対応するフランク面の下端から連続して形成されている締結部材。
【請求項１２】
前記ねじ構造の圧力側フランク面は前記締結部材の前記基準山形の圧力側フランク面と平行である、請求項１１に記載の締結部材。
【請求項１３】
請求項１１又は請求項１２に記載の締結部材において、
前記締結部材の軸線を含む断面にて、前記下部の圧力側の側面の形状は、前記対応するフランク面の延長線から内側に配置された平面形状と当該延長線から内側に向かって湾曲する曲面形状とを組み合わせた形状であり、前記平面形状は前記締結部材の軸方向に垂直な面とする締結部材。
【請求項１４】
請求項１〜７及び請求項１１〜１３の何れか一項に記載の締結部材において、
前記上部のねじ山の角度が前記締結部材の前記基準山形のねじ山の角度と略同一である締結部材。
【請求項１５】
前記締結部材の前記基準山形はＪＩＳ規格またはＩＳＯ規格で規定される、６０度又は５５度のねじ山角度を有するねじ山形状である、請求項１〜１４のいずれか一項に記載の締結部材。
【請求項１６】
前記上部の圧力側フランク面の下端が、前記ねじ構造の有効径の近傍に位置する、請求項２〜４及び請求項１３の何れか一項に記載の締結部材。
【請求項１７】
請求項１〜３及び請求項８〜１３の何れか一項に記載の締結部材と、
その締結部材に締結される相手側締結部材とを備え、
前記締結部材を前記相手側締結部材に締結したとき、前記相手側締結部材の圧力側フランク面が前記締結部材の前記圧力側フランク面を押圧することにより、ねじ山全体が撓むため、前記締結部材の圧力側フランク面と前記相手側締結部材の圧力側フランク面との摩擦力が増加する締結構造。
【請求項１８】
請求項１７に記載の締結構造において、
前記締結部材を前記相手側締結部材に締結したとき、前記締結部材のねじ山頂部が前記相手側締結部材のねじ谷底に当接する締結構造。
【請求項１９】
請求項１７に記載の締結構造において、
前記締結部材を前記相手側締結部材に締結したとき、前記締結部材の遊び側フランク面が前記相手側締結部材の遊び側フランク面に当接する締結構造。
【請求項２０】
請求項１７に記載の締結構造において、
前記締結部材のねじ山頂部の近傍を、圧力側フランク面に向かって下降傾斜するように切り取った切り取り面が形成されている締結構造。
【請求項２１】
ねじ構造を有し、ねじ山頂部側の上部と、ねじ谷底側の下部とを備える締結部材であって、
前記締結部材は、基準山形に対応したねじ山形状を有する相手側締結部材に締結されるように用いられるものであって、
前記山頂部及び前記上部に形成された圧力側フランク面が、前記相手側締結部材の前記基準山形に対応した前記締結部材の基準山形の圧力側フランク面よりも座面側に設けられ、
前記ねじ谷底の形状は、前記締結部材の軸線を含む断面にて左右非対称となる曲面形状であることを特徴とする締結部材。
【手続補正書】
【提出日】平成24年11月20日(2012.11.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも時刻に関する衛星情報を受信する受信手段と、
該受信手段で受信した情報を処理する処理手段と、
時刻を計時する計時手段と、
前記処理手段の復調信号を元に時刻情報を生成し、前記計時手段に設定する時刻情報生成手段と、
各種データを記憶する不揮発性記憶手段と、
各種制御を実施する制御手段と、
を有するＧＰＳ受信時計において、
前記制御手段は、前記ＧＰＳ受信時計の受信手段の受信可能状態と受信不可能状態とを判別し、
第１の所定条件により、受信不可能状態に移行し、
第２の所定条件により、受信不可能状態から受信可能状態へ復帰し、
受信不可能状態への移行後に、うるう秒情報を前記不揮発性記憶手段に記憶し、
受信不可能状態から受信可能状態への復帰時に、うるう秒情報を前記不揮発性記憶手段から読み出す
ことを特徴とするＧＰＳ受信時計。
【請求項２】
前記制御手段は、
受信不可能状態から受信可能状態への復帰後の最初の受信時にうるう秒情報を取得せず、前記不揮発性記憶手段から読み出したうるう秒情報を使用して時刻情報を生成するように制御する
ことを特徴とする請求項１に記載のＧＰＳ受信時計。
【請求項３】
前記制御手段は、受信不可能状態から受信可能状態への復帰後の最初の受信時に、
さらに、第３の所定条件を満たした場合にうるう秒情報を受信し、
うるう秒情報取得に成功した場合に、取得したうるう秒情報により時刻情報を生成するよ
うに制御する
ことを特徴とする請求項２に記載のＧＰＳ受信時計。
【請求項４】
電源を供給する電源部を有し、
前記第１、第２、第３の所定条件は該電源部の電源電圧が所定値に達したことである
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載のＧＰＳ受信時計。
【請求項５】
前記第３の所定条件に対応する電圧の絶対値は、前記第２の所定条件に対応する電圧の絶対値より高い
ことを特徴とする請求項４に記載のＧＰＳ受信時計。
【請求項６】
前記電源部が、充電可能な蓄電手段と、該蓄電手段に充電する発電手段を有し、
前記第１、第２の所定条件は該発電手段の発電状態を示す値である
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載のＧＰＳ受信時計。
【請求項７】
前記第１、第２の所定条件は前記発電手段の発電電圧であり、
前記第２の所定条件に対応する電圧の絶対値は、
前記第１の所定条件に対応する電圧の絶対値より高いか同一である
ことを特徴とする請求項６に記載のＧＰＳ受信時計。
【請求項８】
前記第２の所定条件以上の発電電圧の検出により受信可能状態への復帰した場合の最初の受信時は、時刻情報のみ取得する
ことを特徴とする請求項６ないし７のいずれか１つに記載のＧＰＳ受信時計。
【請求項９】
うるう秒情報として、現在のうるう秒、うるう秒の更新週、うるう秒の更新日、更新後のうるう秒を記憶し、
受信時に週番号を受信し、
週番号の受信に成功した場合に受信した週番号から得られた更新タイミングと、
記憶していたうるう秒情報の更新タイミングを比較し、
更新タイミング前ならば現在のうるう秒にて、
更新タイミング後ならば更新後のうるう秒にて、時刻情報を生成する
ことを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載のＧＰＳ受信時計。
【請求項１０】
生産時に、前記不揮発性記憶手段にうるう秒のデフォルトデータが記憶され、
使用開始から最初のうるう秒受信成功までは、該デフォルトデータを使用して時刻情報が作成される
ことを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１つに記載のＧＰＳ受信時計。
【手続補正書】
【提出日】平成25年3月12日(2013.3.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
ところで、上記連結タイプのロッカーアームにおいては、各アーム部が互いに連動することとなるが、隣り合うバルブの作動特性（リフト量、タイミング等）に差異が生じないようにするために、ロッカーアームの成形精度を高めると共に、作動時の変形を抑えるべく剛性を高める必要がある。このため、例えば各アーム部を肉厚にして剛性を高める等も考えられるが、この場合、ロッカーアームの重量が嵩むと高回転域での使用に耐えられない虞があるため、連結タイプのロッカーアームの剛性アップ及び軽量化の両立が望まれている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
ここで、後に詳述するが、動弁機構５は、各バルブ６，７の開閉作動に用いるカムを高速側又は低速側に切り替え可能な可変動弁機構として構成される。
吸排気ポート８，９は、それぞれ一気筒毎に一対の燃焼室側開口を形成し、これら各燃焼室側開口がそれぞれ一対の吸排気バルブ６，７により開閉される。すなわち、エンジン１は四バルブ式であり、気筒毎にそれぞれ左右一対の吸排気バルブ６，７を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
そして、エンジン１の運転時には、各カムシャフト１１，１２がクランクシャフト１０と連係して回転駆動し、各カム１１Ａ，１２Ａの外周パターンに応じて各ロッカーアーム１３，１７を適宜揺動させることで、これら各ロッカーアーム１３，１７が吸排気バルブ６，７をそれぞれ押圧し、これら吸排気バルブ６，７を適宜往復動させて吸排気ポート８，９の燃焼室側開口を開閉させる。
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月3日(2013.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光学系と、該投影光学系下に供給される液体により形成される液浸領域とを介して基板を露光する露光装置であって、
前記投影光学系に対して移動可能なステージと、
前記ステージ上に設けられ、前記基板を保持する基板ホルダと、を備え、
前記基板ホルダは、
前記基板の裏面を支持する複数の支持部と、
前記複数の支持部に支持された前記基板の裏面に対向するように前記複数の支持部の周囲に設けられた第１壁部と、
前記第１壁部より内側で前記複数の支持部の周囲に設けられた第２壁部と、
前記第２壁部に囲まれ前記複数の支持部が配置された第１空間内のガスを吸引可能なように該第１空間に接続された第１流路と、を含み、
前記基板は、前記第１流路を介して前記第１空間内のガスが吸引されることにより該第１空間が負圧にされた状態で前記基板ホルダに保持される露光装置。
【請求項２】
請求項１に記載の露光装置であって、
前記ステージは、前記第１壁部と前記第２壁部との中間の空間に接続された第２流路を備える露光装置。
【請求項３】
請求項２に記載の露光装置であって、
前記中間の空間内の気体は、前記第２流路を介して吸引される露光装置。
【請求項４】
請求項３に記載の露光装置であって、
前記中間の空間の圧力は、大気圧よりも低く設定される露光装置。
【請求項５】
請求項３または４に記載の露光装置であって、
前記中間の空間の圧力は、前記第１空間の圧力よりも高く設定される露光装置。
【請求項６】
請求項２に記載の露光装置であって、
前記中間の空間内は、前記第２流路を介して気体が供給される露光装置。
【請求項７】
請求項６に記載の露光装置であって、
前記中間の空間の圧力は、大気圧よりも高く設定される露光装置。
【請求項８】
請求項６または７に記載の露光装置であって、
前記中間の空間の圧力は、前記第１空間の圧力よりも高く設定される露光装置。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれか一項に記載の露光装置であって、
前記中間の空間の圧力は、前記第１壁部より外側の第２空間の圧力よりも高く設定される露光装置。
【請求項１０】
請求項２に記載の露光装置であって、
前記中間の空間は、前記第２流路を介して大気開放される露光装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の露光装置であって、
前記中間の空間の圧力は、ほぼ大気圧に設定される露光装置。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載の露光装置であって、
前記中間の空間の圧力は、前記第１空間の圧力よりも高く設定される露光装置。
【請求項１３】
請求項２に記載の露光装置であって、
前記中間の空間の圧力は、前記第２流路を介して調整可能である露光装置。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の露光装置であって、
前記第１壁部の上面の高さは、前記複数の支持部の上面の高さよりも低い露光装置。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の露光装置であって、
前記第２壁部の上面の高さは、前記複数の支持部の上面の高さよりも低い露光装置。
【請求項１６】
請求項２〜５のいずれか一項に記載の露光装置であって、
前記複数の支持部に支持された前記基板と前記液浸領域に接触可能なステージ上面との間のギャップを介して前記中間の空間に浸入した前記液体は、前記第２流路を介して排出される露光装置。
【請求項１７】
請求項１〜１６のいずれか一項に記載の露光装置であって、
前記ステージは、前記複数の支持部に支持された前記基板と前記液浸領域に接触可能なステージ上面との間のギャップを介して前記第１壁部より外側の第２空間に浸入した前記液体を排出可能なように該第２空間に接続された第３流路を備える露光装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の露光装置であって、
前記ステージは、前記第１壁部の周囲に設けられ該第１壁部の外側の側面に対向する側面部を含み、
前記第３流路は、前記第２空間のうち前記第１壁部と前記側面部との間の空間に浸入した前記液体を排出可能なように配置されている露光装置。
【請求項１９】
請求項１８に記載の露光装置であって、
前記ステージは、前記第１壁部と前記側面部との間の前記空間に液体を供給するために前記第２空間に接続された第４流路を備える露光装置。
【請求項２０】
請求項１８に記載の露光装置であって、
前記ステージは、前記第１壁部と前記側面部との間の前記ギャップに気体を供給するために前記外側の空間に接続された第４流路を備える露光装置。
【請求項２１】
請求項１８に記載の露光装置であって、
前記ステージは、前記第１壁部と前記側面部との間の前記空間の圧力をほぼ大気圧に設定するために前記第２空間に接続された第４流路を備える露光装置。
【請求項２２】
請求項１〜２１のいずれか一項に記載の露光装置であって、
前記ステージは、前記複数の支持部に支持された前記基板の裏面に対向するように前記第２壁部より内側に設けられたベース面と、該ベース面に形成された複数の吸引口とを含み、
前記複数の支持部は、前記ベース面のうち前記複数の吸引口が形成されていない位置に設けられ前記ベース面から突出した複数の突起部を含み、
前記第１流路は、前記複数の吸引口に接続されている露光装置。
【請求項２３】
請求項１〜２２のいずれか一項に記載の露光装置であって、
前記第２壁部より外側に配置され前記液浸領域に接触可能なステージ上面は、前記複数の支持部に支持された前記基板の上面とほぼ同じ高さになるように設けられている露光装置。
【請求項２４】
請求項２３に記載の露光装置であって、
前記ステージ上面は、平坦面を含む露光装置。
【請求項２５】
請求項１〜２４のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板にパターンを露光することと、
前記パターンが露光された前記基板上にデバイスを組み立てることと、
を含むデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置、及びデバイス製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本出願は特願２００３−１６９９０４号（２００３年６月１３日出願）、特願２００３−３８３８８７号（２００３年１１月１３日出願）、および特願２００４−０３９６５４号（２００４年２月１７日出願）を基礎出願とし、その内容を取り込むものとする。
本発明は、投影光学系と液体とを介してパターンの像を基板に露光する露光装置、及びデバイス製造方法に関するものである。
【手続補正書】
【提出日】平成25年1月29日(2013.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極層と、電極絶縁層とからなる静電チャック部材において、この部材最外層に、元素の周期律表の３Ａ族元素の酸化物の溶射被覆層を設けてなり、
前記溶射被覆層は、高エネルギー照射処理により、その表面に緻密化再溶融層が形成されたものであり、
前記緻密化再溶融層は、気孔率が５％未満で、かつ、その表面の平均粗さ（Ｒａ）が０．８〜３．０μｍであることを特徴とする静電チャック部材。
【請求項２】
前記緻密化再溶融層は、この層に含まれる溶射熱源に起因する一次変態した酸化物を高エネルギー照射処理によって、二次変態させて形成した二次再結晶層であることを特徴とする請求項１に記載の静電チャック部材。
【請求項３】
前記緻密化再溶融層は、斜方晶系の結晶を含む多孔質層が高エネルギー照射処理によって二次変態して正方晶系の組織になった層であることを特徴とする請求項１または２に記載の静電チャック部材。
【請求項４】
前記溶射皮膜層は、表面の平均粗さ（Ｒａ）が４〜８μｍであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載した静電チャック部材。
【請求項５】
前記溶射被覆層の気孔率が５〜２０％であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載した静電チャック部材。
【請求項６】
前記高エネルギー照射処理が、該溶射被覆層の平均粗さ（Ｒａ）の値よりも厚さ方向において深い部位まで及ぶものであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載した静電チャック部材。
【請求項７】
前記緻密化再溶融層は、該緻密化再溶融層からのエロージョンによるパーティクルの発生量が、１００時間を超えるプラズマエッチングを行った場合においても少なく、かつ、耐プラズマエロージョン性を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載した静電チャック部材。
【請求項８】
電極層と、電極絶縁層とからなる静電チャック部材において、
静電チャックを構成する基本となる電気導伝性の基材と、
前記基材の表面に被覆される電気絶縁層と、
前記電気絶縁層の表面に高エネルギー照射処理を施すことによって形成された緻密化再溶融層と、
を有し、
前記電気絶縁層は、元素の周期律表の３Ａ族元素の酸化物の溶射被覆層であり、
前記緻密化再溶融層は、前記溶射被覆層を高エネルギー照射処理によって、二次変態させて形成し、その気孔率が５％未満で、かつ、その表面の平均粗さ（Ｒａ）が０．８〜３．０μｍになる二次再結晶層であることを特徴とする静電チャック部材。
【請求項９】
前記溶射被覆層は、その表面の平均粗さ（Ｒａ）が４〜８μｍであることを特徴とする請求項８に記載した静電チャック部材。
【請求項１０】
前記溶射被覆層は、５〜２０％の気孔率を有することを特徴とする８または９に記載した静電チャック部材。
【請求項１１】
前記高エネルギー照射処理が、該溶射被覆層の平均粗さ（Ｒａ）の値よりも厚さ方向において深い部位まで及ぶものであることを特徴とする請求項８〜１０のいずれか１項に記載した静電チャック部材。
【請求項１２】
前記緻密化再溶融層は、該緻密化再溶融層からのエロージョンによるパーティクルの発生量が、１００時間を超えるプラズマエッチングを行った場合においても少なく、かつ、耐プラズマエロージョン性を有することを特徴とする請求項８〜１１のいずれか１項に記載した静電チャック部材。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
即ち、本発明は、電極層と、電極絶縁層とからなる静電チャック部材において、この部材最外層に、元素の周期律表の３Ａ族元素（以下、周期律表の３Ａ族元素と言う）の酸化物の溶射被覆層を設けてなり、前記溶射被覆層は、高エネルギー照射処理により、その表面に緻密化再溶融層が形成されたものであり、前記緻密化再溶融層は、気孔率が５％未満で、かつ、その表面の平均粗さ（Ｒａ）が０．８〜３．０μｍであることを特徴とする静電チャック部材である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
なお、本発明においては、
ａ．前記緻密化再溶融層は、この層に含まれる溶射熱源に起因する一次変態した酸化物を高エネルギー照射処理によって、二次変態させて形成した二次再結晶層であること、
ｂ．前記緻密化再溶融層は、斜方晶系の結晶を含む多孔質層が高エネルギー照射処理によって二次変態して正方晶系の組織になった層であること、
ｃ．前記溶射皮膜層は、表面の平均粗さ（Ｒａ）が４〜８μｍであること、
ｄ．前記溶射被覆層の気孔率が５〜２０％であること、
ｅ．前記高エネルギー照射処理が、該溶射被覆層の平均粗さ（Ｒａ）の値よりも厚さ方向において深い部位まで及ぶものであること、
ｆ．前記緻密化再溶融層は、該緻密化再溶融層からのエロージョンによるパーティクルの発生量が、１００時間を超えるプラズマエッチングを行った場合においても少なく、かつ、耐プラズマエロージョン性を有すること、
がより有効な解決手段を与える。
また、本発明は、電極層と、電極絶縁層とからなる静電チャック部材において、静電チャックを構成する基本となる電気導伝性の基材と、前記基材の表面に被覆される電気絶縁層と、前記電気絶縁層の表面に高エネルギー照射処理を施すことによって形成された緻密化再溶融層と、を有し、前記電気絶縁層は、元素の周期律表の３Ａ族元素の酸化物の溶射被覆層であり、前記緻密化再溶融層は、前記溶射被覆層を高エネルギー照射処理によって、二次変態させて形成し、その気孔率が５％未満で、かつ、その表面の平均粗さ（Ｒａ）が０．８〜３．０μｍになる二次再結晶層であることを特徴とする静電チャック部材である。なお、本発明においては、
ｇ．前記溶射被覆層は、その表面の平均粗さ（Ｒａ）が４〜８μｍであること、
ｈ．前記溶射被覆層は、５〜２０％の気孔率を有すること、
ｉ．前記高エネルギー照射処理が、該溶射被覆層の平均粗さ（Ｒａ）の値よりも厚さ方向において深い部位まで及ぶものであること、
ｊ．前記緻密化再溶融層は、該緻密化再溶融層からのエロージョンによるパーティクルの発生量が、１００時間を超えるプラズマエッチングを行った場合においても少なく、かつ、耐プラズマエロージョン性を有すること、
がより有効な解決手段を与える。
【手続補正書】
【提出日】平成25年1月31日(2013.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一列に並んだ発光素子の素子列が基板上に実装されかつ前記素子列が封止部材で封止されており、前記発光素子に接続されるワイヤは前記素子列に沿う方向に配置されていることを特徴とする発光モジュール。
【請求項２】
前記封止部材の長手方向に沿う中心軸と、前記素子列に属する各発光素子の平面視における中心を結んでなる配列軸とが一致することを特徴とする請求項１記載の発光モジュール。
【請求項３】
前記ワイヤが前記封止部材に封止されていることを特徴とする請求項１記載の発光モジュール。
【請求項４】
前記素子列では前記発光素子が直線状に配列されていることを特徴とする請求項１記載の発光モジュール。
【請求項５】
前記発光素子はそれらの最大幅方向が前記素子列に沿うように配置されていることを特徴とする請求項１記載の発光モジュール。
【請求項６】
請求項１記載の発光モジュールを備えることを特徴とする光源装置。
【請求項７】
請求項１記載の発光モジュールを備えることを特徴とする液晶表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る発光モジュールは、一列に並んだ発光素子の素子列が基板上に実装されかつ前記素子列が封止部材で封止されており、前記発光素子に接続されるワイヤは前記素子列に沿う方向に配置されていることを特徴とする。
本発明の一態様に係る光源装置は、上記発光モジュールを備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一態様に係る液晶表示装置は、上記発光モジュールを備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月5日(2013.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の複数のショット領域のそれぞれを、前記基板の表面の一部を覆う液浸領域の液体を介して順次露光する露光装置であって、
前記基板を基板ホルダに保持する基板ステージと、
光学素子を有する投影光学系と、
前記投影光学系の光学素子が配置される穴部と、前記基板の表面が対向するように設けられた液体供給口と、前記基板の表面が対向するように設けられた液体回収口とを有する流路形成部材と、
前記投影光学系からの露光光を透過可能な透過部材と、前記透過部材を介して前記投影光学系からの露光光を受光する受光素子とを有するセンサと、を備え、
前記センサの前記透過部材は、前記基板ステージに設けられ、
前記センサには、前記投影光学系からの露光光が、前記投影光学系と前記透過部材との間の液体を介して入射する露光装置。
【請求項２】
前記液体回収口から、前記基板上の液体を気体とともに回収する請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記液体供給口は、前記投影光学系の投影領域を囲むように環状に配置されている請求項１又は２記載の露光装置。
【請求項４】
前記液体回収口は、前記液体供給口を囲むように配置されている請求項３記載の露光装置。
【請求項５】
前記光学素子と前記流路形成部材との間にはギャップが形成される請求項１〜４のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項６】
前記光学素子と前記流路形成部材との間に前記ギャップを形成する面は撥液性である請求項５記載の露光装置。
【請求項７】
前記光学素子と前記流路形成部材の少なくとも一方が、前記撥液性の面を有する請求項６記載の露光装置。
【請求項８】
前記光学素子は、前記ギャップの上方で鏡筒に支持されている請求項５〜７のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項９】
前記光学素子は、前記流路形成部材の上方で鏡筒に支持されている請求項１〜７のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１０】
前記液体供給口から供給された液体で前記基板の表面の一部に液浸領域が形成され、前記投影光学系からの露光光が前記液浸領域の液体を介して前記基板上に照射される請求項１〜９のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１１】
前記流路形成部材は、前記液体回収口に接続された回収流路を有し、
前記液体回収口から回収された液体は、前記回収流路において、鉛直上向きに流れた後、水平方向に流れる請求項１〜１０のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１２】
前記流路形成部材は、前記投影光学系の光軸と平行な方向に移動可能である請求項１〜１１のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１３】
前記センサは、前記投影光学系からの露光光の照度、あるいは照度分布を検出する請求項１〜１２のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
【請求項１５】
基板ステージに保持された基板の複数のショット領域のそれぞれを、前記基板の表面の一部を覆う液浸領域の液体を介して、投影光学系の光学素子からの露光光で順次露光する露光方法であって、
前記投影光学系の光学素子が配置される穴部を有する流路形成部材に前記基板の表面が対向するように設けられ液体供給口から液体を供給するとともに、前記基板の表面が対向するように前記流路形成部材に設けられた液体回収口から液体を回収して、前記投影光学系の像面側に液浸領域を形成することと、
前記投影光学系からの露光光を前記液浸領域の液体を介してセンサの受光素子で受光することと、を含み、
前記センサは、前記投影光学系からの露光光を透過可能な透過部材と、前記透過部材を介して前記投影光学系からの露光光を受光する受光素子とを有し、
前記透過部材は、前記基板ステージに設けられ、
前記受光素子は、前記投影光学系からの露光光を、前記投影光学系と前記透過部材との間の液体、及び前記透過部材を介して受光する露光方法。
【請求項１６】
前記液体供給口は、前記投影光学系の投影領域を囲むように環状に配置されている請求項１５記載の露光方法。
【請求項１７】
前記液体回収口は、前記液体供給口を囲むように配置されている請求項１６記載の露光装置。
【請求項１８】
前記センサを使って、前記投影光学系からの露光光の照度、あるいは照度分布を検出する請求項１５〜１７のいずれか一項記載の露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置、デバイス製造方法、及び露光方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年11月12日(2013.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
これにより、パケットロスなどの異常が発生した場合でも、受信側のデコーダ１１３のクロックが、送信側のエンコーダのクロックと確実に同期するので、長時間の動画であっても映像が破綻することなく、安定して配信し続けることができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
これにより、長時間平均値Ｆの評価結果に応じたクロックの周波数の調整を停止している間に、バッファ１１２で発生する可能性があるオーバーフローやアンダーフローを未然に防止することができる。すなわち、受信側のデコーダ１１３のクロックが、送信側のエンコーダのクロックとゆるやかに同期するため、受信側のバッファ１１２のオーバーフローやアンダーフローの発生が抑制され、ネットワークを利用した動画配信を長時間安定して行うことが可能となる。