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【手続補正書】
【提出日】平成25年10月2日(2013.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して処理液を供給する供給ノズルに、処理液供給源から処理液供給管を通じて処理液を供給する処理液供給装置であって、
前記処理液供給管における前記処理液供給源と前記供給ノズルとの間に設けられ、前記処理液供給源から供給された処理液を一旦貯留する中間貯槽を有し、
前記中間貯槽は、当該中間貯槽の内部に貯留された処理液に直流電圧を印加する電極と、
前記電極に対して、極性反転自在に直流電圧を印加する電源ユニットと、
前記中間貯槽へ洗浄液を供給する洗浄液供給管と、を有することを特徴とする、処理液供給装置。
【請求項２】
前記中間貯槽には、前記中間貯槽内部に貯留された処理液と前記電極とを相対的に移動させる撹拌機構が設けられていることを特徴とする、請求項１に記載の処理液供給装置。
【請求項３】
前記電極は、メッシュ状に形成されていることを特徴とする、請求項１または２のいずれか一項に記載の処理液供給装置。
【請求項４】
前記電極の正極又は負極のいずれか一方の極は、前記中間貯槽の底面に平行なメッシュ板状に形成されて、且つ前記中間貯槽の内側に設けられ、
他方の極は、前記中間貯槽の外側に設けられ、
前記撹拌機構は、前記中間貯槽の内部に設けられた方の極を上下方向に昇降させる昇降機構であることを特徴とする、請求項２に記載の処理液供給装置。
【請求項５】
前記電極の正極又は負極のいずれか一方の極は、メッシュ板状に形成され、且つ前記中間貯槽の内側に、鉛直方向に延伸して設けられた回転軸に沿って設けられ、
他方の極は、前記中間貯槽の外側に設けられ、
前記撹拌機構は、前記回転軸を回転させる回転機構であることを特徴とする請求項２に記載の処理液供給装置。
【請求項６】
前記中間貯槽から洗浄液を排出する廃液管を有することを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の処理液供給装置。
【請求項７】
前記処理液供給管に複数の前記中間貯槽が並列に配置されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の処理液供給装置。
【請求項８】
基板に対して処理液を供給する供給ノズルに、処理液供給源から処理液供給管を通じて処理液を供給する処理液供給方法であって、
前記処理液供給源から供給された処理液を、前記処理液供給管における、前記処理液供給源と前記供給ノズルとの間に設けられた中間貯槽に一旦貯留し、
その後、前記中間貯槽に設けられた電極を介して、前記中間貯槽中の処理液に直流電圧を印加して処理液中の異物を電極に捕集し、
その後、異物が除去された前記中間貯槽内の処理液を前記供給ノズルに供給し、
前記供給ノズルへの処理液の供給を停止した後に、前記電極に印加した直流電圧の極性を反転又は前記電極への電圧の印加を停止し、
その後、前記中間貯槽に洗浄液を供給して前記中間貯槽内を洗浄することを特徴とする、処理液供給方法。
【請求項９】
少なくとも前記電極に電圧を印加している間は、前記中間貯槽内部に貯留された処理液と前記電極とを相対的に移動させることを特徴とする、請求項８に記載の処理液供給方法。
【請求項１０】
請求項８または９に記載の処理液供給方法を処理液供給装置によって実行させるように、当該処理液供給装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
【請求項１１】
請求項１０に記載のプログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記の目的を達成するため、本発明は、基板に対して処理液を供給する供給ノズルに、処理液供給源から処理液供給管を通じて処理液を供給する処理液供給装置であって、前記処理液供給管における前記処理液供給源と前記供給ノズルとの間に設けられ、前記処理液供給源から供給された処理液を一旦貯留する中間貯槽を有し、前記中間貯槽は、当該中間貯槽の内部に貯留された処理液に直流電圧を印加する電極と、前記電極に対して、極性反転自在に直流電圧を印加する電源ユニットと、前記中間貯槽へ洗浄液を供給する洗浄液供給管と、を有していることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
一般に、処理液中のパーティクルは正か負のいずれかの電荷を帯電している。そして、本発明によれば、中間貯槽内に電極が設けられているので、当該電極に直流電圧を印加することで、従来のフィルタでは除去することが困難であった処理液中の微小パーティクルを電極により捕集することができる。また、洗浄液供給源から中間貯槽に洗浄液を供給するための洗浄液供給管を有し、電極に電圧を印加する電源ユニットが極性反転自在であるため、中間貯槽に洗浄液を供給する際に電極に印加する直流電圧の極性を反転させることで電極に捕集されていたパーティクルを放出することができる。したがって、本発明によれば、従来のフィルタでは除去することが困難であった処理液中の微小なパーティクルを除去し、且つ従来のフィルタのように目詰まりによる交換作業が発生しないのでメンテナンスも容易となるため、効率のよいパーティクルの除去が可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
前記中間貯槽から洗浄液を排出する廃液管を有していてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
別な観点による本発明は、基板に対して処理液を供給する供給ノズルに、処理液供給源から処理液供給管を通じて処理液を供給する処理液供給方法であって、前記処理液供給源から供給された処理液を、前記処理液供給管における、前記処理液供給源と前記供給ノズルとの間に設けられた中間貯槽に一旦貯留し、その後、前記中間貯槽に設けられた電極を介して、前記中間貯槽中の処理液に直流電圧を印加して処理液中の異物を電極に捕集し、その後、異物が除去された前記中間貯槽内の処理液を前記供給ノズルに供給し、前記供給ノズルへの処理液の供給を停止した後に、前記電極に印加した直流電圧の極性を反転又は前記電極への電圧の印加を停止し、その後、前記中間貯槽に洗浄液を供給して前記中間貯槽内を洗浄することを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
別な観点による本発明によれば、前記処理液供給方法を処理液供給装置によって実行させるように、当該処理液供給システムを制御する制御装置のコンピュータ上で動作するプログラムが提供される。
【手続補正書】
【提出日】平成25年10月2日(2013.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に対して処理液を供給する供給ノズルに、処理液供給源から処理液供給管を通じて処理液を供給する処理液供給装置であって、
前記処理液供給管に設けられ、当該処理液供給管中の処理液に直流電圧を印加する電極と、
前記電極に対して、極性反転自在に直流電圧を印加する電源ユニットと、
前記処理液供給管に接続され、洗浄液供給源から当該処理液供給管に洗浄液を供給するための洗浄液供給管と、を有することを特徴とする、処理液供給装置。
【請求項２】
前記電極の正極と負極は、前記処理液供給管に沿って当該処理液供給管中の処理液の流れ方向に延存し且つ互いに対向して設けられることを特徴とする、請求項１に記載の処理液供給装置。
【請求項３】
前記電極は、前記処理液供給管の中心軸と同心円状に設けられることを特徴とする、請求項１に記載の処理液供給装置。
【請求項４】
前記電極の正極又は負極の少なくともいずれか一方の極は、前記処理液供給管の内側に設けられることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の処理液供給装置。
【請求項５】
複数の前記処理液供給管が互いに平行に設けられ、
隣り合う複数の前記処理液供給管の間に、前記電極の正極と負極が交互に前記各処理液供給管を挟んで設けられることを特徴とする、請求項２に記載の処理液供給装置。
【請求項６】
前記処理液供給管における前記電極が設けられた位置を通過した洗浄液を、前記処理液供給管から排出する廃液管を有することを特徴とする、
請求項１〜５のいずれか一項に記載の処理液供給装置。
【請求項７】
前記洗浄液供給管は、前記処理液供給管における前記電極の下流に接続され、
前記廃液管は、前記処理液供給管における前記電極の上流側に接続されていることを特徴とする、請求項６に記載の処理液供給装置。
【請求項８】
基板に対して処理液を供給する供給ノズルに、処理液供給源から処理液供給管を通じて処理液を供給する処理液供給方法であって、
前記処理液供給管に設けられた電極を介して当該処理液供給管中の処理液に直流電圧を印加することで、処理液中の異物を電極で捕集しながら基板に処理液を供給することを特徴とする、処理液供給方法。
【請求項９】
前記処理液の供給後に、当該処理液の供給を停止し、
その後、前記電極に印加した直流電圧の極性を反転又は前記電極への電圧の印加を停止した状態で、前記処理液供給管に洗浄液を供給することを特徴とする、請求項８に記載の処理液供給方法。
【請求項１０】
請求項８または９に記載の処理液供給方法を処理液供給装置によって実行させるように、当該処理液供給装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
【請求項１１】
請求項１０に記載のプログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記の目的を達成するため、本発明は、基板に対して処理液を供給する供給ノズルに、処理液供給源から処理液供給管を通じて処理液を供給する処理液供給装置であって、前記処理液供給管に設けられ、当該処理液供給管中の処理液に直流電圧を印加する電極と、前記電極に対して、極性反転自在に直流電圧を印加する電源ユニットと、前記処理液供給管に接続され、洗浄液供給源から当該処理液供給管に洗浄液を供給するための洗浄液供給管と、を有することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
一般に、処理液中のパーティクルは正か負のいずれかの電荷を帯電している。そして、本発明によれば、処理液供給管中の処理液に直流電圧を印加する電極を有しているので、従来のフィルタでは除去することが困難であった処理液中の微小パーティクルを電極により捕集することができる。また、洗浄液供給源から当該処理液供給管に洗浄液を供給するための洗浄液供給管を有し、電極に直流電圧を印加する電源ユニットが極性反転自在であるため、処理液供給管に洗浄液を供給する際に電極に印加する電圧の極性を反転させて電極に捕集されていたパーティクルを放出することができる。このため、処理液供給管の内部を清浄な状態に保つことができる。したがって、本発明によれば、従来のフィルタでは除去することが困難であった処理液中の微小なパーティクルを除去し、且つ従来のフィルタのように目詰まりによる交換作業が発生しないのでメンテナンスも容易となる。そのため、効率のよいパーティクルの除去が可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
前記処理液供給管における前記電極が設けられた位置を通過した洗浄液を、前記処理液供給管から排出する廃液管を有していてもよい。かかる場合、前記洗浄液供給管は、前記処理液供給管における前記電極の下流に接続され、前記廃液管は、前記処理液供給管における前記電極の上流側に接続されていてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
別な観点による本発明は、基板に対して処理液を供給する供給ノズルに、処理液供給源から処理液供給管を通じて処理液を供給する処理液供給方法であって、前記処理液供給管に設けられた電極を介して当該処理液供給管中の処理液に直流電圧を印加することで、処理液中の異物を電極で捕集しながら基板に処理液を供給することを特徴としている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
前記処理液の供給後に、当該処理液の供給を停止し、その後、前記電極に印加した直流電圧の極性を反転又は前記電極への電圧の印加を停止した状態で、前記処理液供給管に洗浄液を供給してもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
別な観点による本発明によれば、前記処理液供給方法を処理液供給装置によって実行させるように、当該処理液供給システムを制御する制御装置のコンピュータ上で動作するプログラムが提供される。
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月18日(2013.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多部品出力構造体を形成する方法であって、
半導体ダイ、第一の金属層と第二の金属層を有する絶縁性基板、液体冷却用の密閉された通路を有するサーマルデバイス、及び母材系を準備すること、ここでこの母材系は比較的融点の低い低温材料と比較的融点の高い高温材料を含み、この比較的低い融点は比較的高い融点よりも低い、
導電性及び熱伝導性である第一の一時的液相ボンドにより半導体ダイと絶縁性基板の第一の金属層を結合させること、
絶縁性基板の第二の金属層を母材系の高温材料の第一の層でコートすること、
サーマルデバイスの表面を母材系の高温材料の第二の層でコートすること、
絶縁性基板の第二の金属層とサーマルデバイスの間に母材系を固定すること、
母材系を比較的低い融点よりも高く、比較的高い融点よりも低い融点に加熱して低温材料を高温材料中に拡散させること、
母材系を固化させて導電性及び熱伝導性である第二の一時的液相ボンドを形成することを含む方法。
【請求項２】
母材系の高温材料の第一の層及び母材系の高温材料の第二の層が電気メッキ、無電解メッキ、又はスパッタ蒸着により形成される、請求項１記載の方法。
【請求項３】
母材系の高温材料の第一の層と母材系の高温材料の第二の層の間に層状プレフォームを配置することをさらに含み、この層状プレフォームが母材系の高温材料の第一の層と母材系の高温材料の第二の層の間に配置された高温材料の第三の層を含む、請求項１記載の方法。
【請求項４】
母材系の高温材料の第一の層と母材系の高温材料の第二の層の間に１つの合金プレフォームを配置することをさらに含み、この１つの合金プレフォームが低温材料を含む、請求項１記載の方法。
【請求項５】
母材系の高温材料の第一の層と母材系の高温材料の第二の層の間にペーストを配置することをさらに含み、このペーストが低温材料を含む、請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記ペーストが高温材料を含む、請求項５記載の方法。
【請求項７】
母材系の高温材料の第一の層及び／又は母材系の高温材料の第二の層に母材系の低温材料の層をコートすることをさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項８】
前記サーマルデバイスがアルミニウムより形成されている、請求項１記載の方法。
【請求項９】
前記多部品出力構造体が約−４０℃〜約２００℃の作動温度で作動可能である、請求項１記載の方法。
【請求項１０】
前記高温材料がＡｕ、Ａｇ、Ｎｉ、又はＣｕを含み、前記低温材料がＳｎ又はＩｎを含む、請求項１記載の方法。
【請求項１１】
前記第二の一時的液相ボンドが比較的低い融点よりも高い融点を有する、請求項１記載の方法。
【請求項１２】
約−４０℃〜約２００℃の作動温度を有する多部品出力構造体を形成する方法であって、
比較的融点の低い低温材料と比較的融点の高い高温材料を含む母材系を準備すること、ここでこの比較的低い融点は比較的高い融点よりも低い、
第一の出力成分の第一の表面を母材系の高温材料の第一の層でコートすること、
サーマルデバイスの第二の表面を母材系の高温材料の第二の層でコートすること、ここでこの母材系の高温材料の第一の層及び母材系の高温材料の第二の層は、母材系を構成する前に電気メッキ、無電解メッキ、又はスパッタ蒸着により形成されている、
サーマルデバイスと第一の出力成分の間に母材系を固定すること、ここでサーマルデバイスは液体冷却用の密閉された通路を有する、
母材系を比較的低い融点よりも高くかつ比較的高い融点よりも低い融点に加熱して低温材料を高温材料中に拡散させること、
母材系を固化させて導電性及び熱伝導性である第一の一時的液相ボンドを形成すること、
第二の一時的液相ボンドを形成して第一の出力成分と第二の出力成分を結合させること、ここで第二の一時的液相ボンドは導電性及び熱伝導性であり、第一の一時的液相ボンド及び第二の一時的液相ボンドは、第一の一時的液相ボンドと第二の一時的液相ボンドの一方が加熱され、第一の一時的液相ボンドと第二の一時的液相ボンドのもう一方が形成されるように順次に形成される、
を含む方法。
【請求項１３】
母材系の高温材料の第一の層と母材系の高温材料の第二の層の間に層状プレフォームを配置することをさらに含み、この層状プレフォームが母材系の高温材料の第一の層と母材系の高温材料の第二の層の間に配置された高温材料の第三の層を含む、請求項１２記載の方法。
【請求項１４】
母材系の高温材料の第一の層と母材系の高温材料の第二の層の間に１つの合金プレフォームを配置することをさらに含み、この１つの合金プレフォームが低温材料を含む、請求項１２記載の方法。
【請求項１５】
母材系の高温材料の第一の層と母材系の高温材料の第二の層の間にペーストを配置することをさらに含み、このペーストが低温材料を含む、請求項１２記載の方法。
【請求項１６】
母材系の高温材料の第一の層及び／又は母材系の高温材料の第二の層に母材系の低温材料の層をコートすることをさらに含む、請求項１２記載の方法。
【請求項１７】
第一の出力成分が電気的相互接続、半導体デバイス、絶縁性基板、又はベースプレートである、請求項１２記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成24年12月26日(2012.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明は、半導体基板と、半導体基板の表面に設けられた不純物拡散領域と、半導体基板上に設けられたパッシベーション膜と、パッシベーション膜を貫通して不純物拡散領域に接続された焼成電極とを備え、パッシベーション膜に不純物拡散領域まで達しない凹部が設けられ、該凹部が焼成電極により覆われている結晶太陽電池セルである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
ここで、本発明の結晶太陽電池セルにおいて、凹部が焼成電極の両側に設けられていることが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明は、半導体基板の表面に不純物拡散領域を形成する工程と、半導体基板の表面にパッシベーション膜を形成する工程と、パッシベーション膜上にエッチングペーストを塗布する工程と、エッチングペーストを加熱してパッシベーション膜に不純物拡散領域に達するコンタクトホールと不純物拡散領域に達しない凹部とを形成する工程と、コンタクトホールおよび凹部の上に導電性ペーストを塗布する工程と、導電性ペーストを焼成することによって焼成電極を形成する工程とを含む結晶太陽電池セルの製造方法である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明の結晶太陽電池セルの製造方法のエッチングペーストを加熱する工程においては、エッチングペーストが、エッチングペーストによってパッシベーション膜のエッチングが開始される温度未満に加熱され、次に、パッシベーション膜のエッチングが開始される温度に加熱されることが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、
前記半導体基板の表面に設けられた不純物拡散領域と、
前記半導体基板上に設けられたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜を貫通して前記不純物拡散領域に接続された焼成電極とを備え、
前記パッシベーション膜に前記不純物拡散領域まで達しない凹部が設けられ、該凹部が前記焼成電極により覆われている、結晶太陽電池セル。
【請求項２】
前記凹部が前記焼成電極の両側に設けられた、請求項１に記載の結晶太陽電池セル。
【請求項３】
半導体基板の表面に不純物拡散領域を形成する工程と、
前記半導体基板の表面にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜上にエッチングペーストを塗布する工程と、
前記エッチングペーストを加熱して前記パッシベーション膜に前記不純物拡散領域に達するコンタクトホールと前記不純物拡散領域に達しない凹部とを形成する工程と、
前記コンタクトホールおよび前記凹部の上に導電性ペーストを塗布する工程と、
前記導電性ペーストを焼成することによって焼成電極を形成する工程とを含む、結晶太陽電池セルの製造方法。
【請求項４】
前記エッチングペーストを加熱する工程において、前記エッチングペーストは、前記エッチングペーストによって前記パッシベーション膜のエッチングが開始される温度未満に加熱され、次に、前記パッシベーション膜のエッチングが開始される温度に加熱される、請求項３に記載の結晶太陽電池セルの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月14日(2013.8.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理容器内に搬入出領域を介して搬入された被処理基板に対して高圧流体を用いて処理を行う処理装置において、
前記搬入出領域を気密に塞ぐための蓋体と、
前記蓋体が前記処理容器内の圧力により当該処理容器側から後退することを規制するための規制機構と、
前記蓋体と前記処理容器との間に前記搬入出領域を囲んだ状態で介在するように設けられ、高圧流体に対して耐食性を有する材質により構成された第１のシール部材と、
前記第１のシール部材に対して処理雰囲気から外側に離れた位置において、前記搬入出領域を区画形成する搬入出口を囲んだ状態で前記蓋体と前記処理容器との間に介在するように設けられた第２のシール部材と、
前記第１のシール部材と前記第２のシール部材との間の領域に補助流体を供給する流体供給機構と、を備えたことを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記第２のシール部材は、硬度７５〜８３の弾性体からなるものであることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
【請求項３】
前記第１のシール部材は、少なくとも表面がフッ素樹脂からなるものであることを特徴とする請求項１または２に記載の処理装置。
【請求項４】
前記第１のシール部材は、ばね構造体として構成され、このばね構造体に金属材からなる補強材が組み合わされていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項５】
前記処理容器内の圧力をＰ１、前記第１のシール部材と前記第２のシール部材との間の領域の圧力をＰ２とすると、前記処理容器内の昇圧時には圧力Ｐ１がその設定した圧力に昇圧するまでＰ１≧Ｐ２となるように制御信号を出力し、また前記処理容器内の降圧時には圧力Ｐ１がその設定した圧力に降圧するまでＰ１≧Ｐ２となるように制御信号を出力する制御部を備えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記処理容器内の降圧時には、圧力Ｐ１の減圧勾配よりも圧力Ｐ２の減圧勾配の方が小さくなるように制御信号を出力することを特徴とする請求項５に記載の処理装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記処理容器内の降圧時には、圧力Ｐ１及び圧力Ｐ２の少なくとも一方について、減圧勾配を複数段階に切り替えて降圧するように制御信号を出力することを特徴とする請求項６に記載の処理装置。
【請求項８】
前記第１のシール部材と前記第２のシール部材との間に供給された補助流体を排出するための流体排出機構を備え、
前記制御部は、被処理基板に対して処理を行う時は、前記流体供給機構及び前記流体排出機構を介して、前記第１のシール部材と前記第２のシール部材との間の領域への補助流体の供給と排出とを継続し、
この補助流体は、前記第２のシール部材を冷却するために、前記処理容器内における高圧流体よりも低い温度に設定されていることを特徴とする請求項５ないし７のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項９】
補助流体は、前記第２のシール部材の劣化を抑えるために、不活性ガス、及び炭素と水素とを含む無極性ガスの少なくとも一方であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項１０】
前記流体供給機構は、前記処理容器内の圧力よりも低く且つ前記処理容器の外部よりも高い圧力で補助流体を供給することを特徴とする請求項１ないし９のいずれか一つに記載の処理装置。
【請求項１１】
被処理基板を処理容器内に、搬入出領域を区画形成する搬入出口から搬入して、蓋体を前記処理容器側に押圧する工程と、
次いで、前記蓋体が前記処理容器内の圧力により当該処理容器側から後退することを規制する工程と、
前記蓋体と前記処理容器との間に、高圧流体に対して耐食性を有する材質により構成された第１のシール部材を、前記搬入出領域を囲んだ状態で介在させると共に、前記第１のシール部材から外側に離れた位置において、第２のシール部材を前記搬入出口を囲んだ状態で前記蓋体と前記処理容器との間に介在させることにより、前記処理容器内と外部とを気密にシールする工程と、
前記第１のシール部材と前記第２のシール部材との間の領域に補助流体を供給する工程と、
その後、被処理基板に対して高圧流体を用いて処理を行う工程と、を含むことを特徴とする処理方法。
【請求項１２】
前記処理容器内から高圧流体を排出する工程と、
前記第１のシール部材と前記第２のシール部材との間の領域から補助流体を排出する工程と、を備え、
前記処理容器内の圧力をＰ１、前記第１のシール部材と前記第２のシール部材との間の領域の圧力をＰ２とすると、前記補助流体を供給する工程及び前記高圧流体を用いて処理を行う工程は、圧力Ｐ１がその設定した圧力に昇圧するまでＰ１≧Ｐ２となるように高圧流体及び補助流体の供給量を調整する工程であり、
前記高圧流体を排出する工程及び前記補助流体を排出する工程は、圧力Ｐ１がその設定した圧力に降圧するまでＰ１≧Ｐ２となるように高圧流体及び補助流体の供給量を調整する工程であることを特徴とする請求項１１に記載の処理方法。
【請求項１３】
前記高圧流体を排出する工程及び前記補助流体を排出する工程は、圧力Ｐ１の減圧勾配よりも圧力Ｐ２の減圧勾配の方が小さくなるように高圧流体及び補助流体の供給量を調整する工程であることを特徴とする請求項１２に記載の処理方法。
【請求項１４】
前記高圧流体を排出する工程及び前記補助流体を排出する工程の少なくとも一方は、減圧勾配を複数段階に切り替えて降圧する工程であることを特徴とする請求項１３に記載の処理方法。
【請求項１５】
処理容器内に搬入出領域を介して搬入された被処理基板に対して高圧流体を用いて処理を行う処理装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
前記コンピュータプログラムは、請求項１１ないし１４のいずれか一つに記載の処理方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2013030502.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成25年7月12日(2013.7.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
ファクシミリデータを受信可能な情報処理装置であって、前記ファクシミリデータの受信に関する条件を記憶する受信条件記憶手段と、受信するファクシミリデータが前記受信条件記憶手段に記憶された受信条件を満たすか否かを、該ファクシミリデータの受信するページに対して判定する受信判定手段と、前記受信判定手段により受信制限を満たすと判定されたら受信を継続し、一方、受信制限を満たさないと判定されたら前記ファクシミリデータの受信を中断する受信制御手段と、前記受信制御手段により受信が中断された場合、少なくとも前記中断されたファクシミリデータの再送が必要なページを識別するための情報を特定可能な識別情報を含む中断通知を送信元に通知する通信中断通知手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファクシミリデータを受信可能な情報処理装置であって、
前記ファクシミリデータの受信に関する条件を記憶する受信条件記憶手段と、
受信するファクシミリデータが前記受信条件記憶手段に記憶された受信条件を満たすか否かを、該ファクシミリデータの受信するページに対して判定する受信判定手段と、
前記受信判定手段により受信制限を満たすと判定されたら受信を継続し、一方、受信制限を満たさないと判定されたら前記ファクシミリデータの受信を中断する受信制御手段と、
前記受信制御手段により受信が中断された場合、少なくとも前記中断されたファクシミリデータの再送が必要なページを識別するための情報を特定可能な識別情報を含む中断通知を送信元に通知する通信中断通知手段と、
を有することを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記送信元から受信するファクシミリデータに前記識別情報が付与されていた場合に、前記識別情報が付与されたファクシミリデータと、前記識別情報により特定される既に受信済みのファクシミリデータとを結合するＦＡＸ結合手段を、
有することを特徴とする請求項１記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記通信中断通知手段で通知される中断通知には、前記中断された理由が含まれることを特徴とする請求項１または２記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記通信中断通知手段で通知される中断通知には、前記中断されたファクシミリデータの未受信のページから送信を促すメッセージが含まれることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記受信判定手段は、少なくとも所定の枚数を超えたかもしくは、所定の時間が経過した場合に制限を満たさないと判定することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記受信制限は、前記受信の制限方法として、前記枚数による制限および前記時間による制限を切替え、または組み合わせて設定することが可能なことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記受信判定手段は、指定された曜日、時間に動作させることが可能であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項８】
ファクシミリデータを受信可能で、当該ファクシミリデータの受信に関する条件を記憶可能な情報処理装置の制御方法であって、
受信するファクシミリデータが前記記憶された受信に関する条件を満たすか否かを、該ファクシミリデータの受信するページに対して判定する受信判定ステップと、
前記受信判定ステップにより受信制限を満たすと判定されたら受信を継続し、一方、受信制限を満たさないと判定されたら前記ファクシミリデータの受信を中断する受信制御ステップと、
前記受信制御ステップにより受信が中断された場合、少なくとも前記中断されたファクシミリデータの再送が必要なページを識別するための情報を特定可能な識別情報を含む中断通知を送信元に通知する通信中断通知ステップと、
を有することを特徴とする情報処理装置の制御方法。
【請求項９】
ファクシミリデータを受信可能で、当該ファクシミリデータの受信に関する条件を記憶可能な情報処理装置で実行可能なプログラムであって、
前記情報処理装置を、
受信するファクシミリデータが前記記憶された受信に関する条件を満たすか否かを、該ファクシミリデータの受信するページに対して判定する受信判定手段と、
前記受信判定手段により受信制限を満たすと判定されたら受信を継続し、一方、受信制限を満たさないと判定されたら前記ファクシミリデータの受信を中断する受信制御手段と、
前記受信制御手段により受信が中断された場合、少なくとも前記中断されたファクシミリデータの再送が必要なページを識別するための情報を特定可能な識別情報を含む中断通知を送信元に通知する通信中断通知手段と、
を有することを特徴とする情報処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月12日(2013.6.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数段のパルス出力回路を有し、
前記パルス出力回路は、
第１のノード及び第２のノードの電位に応じて出力信号を出力することができる機能を有する第１の回路と、
前記第１のノードに、前段のパルス出力回路の出力信号に応じた信号を供給することができる機能を有する第２の回路と、
前記第２のノードに間欠的に高電源電位の信号を供給することができる機能を有する第３の回路と、
前記第２のノードがゲートに電気的に接続され、前記第２のノードの電位に応じて、前記第１のノードの電位を制御することができる機能を有する第１のトランジスタと、
前記前段のパルス出力回路の出力信号に応じた信号がゲートに供給され、前記第２のノードの電位を制御することができる機能を有する第２のトランジスタと、
前記第１のトランジスタのソース端子と、低電源電位を供給することができる機能を有する配線との間に、前記第１のトランジスタのソース端子の電位を低電源電位より昇圧することができる機能を有する第４の回路と、
前記第２のトランジスタのソース端子と、低電源電位を供給することができる機能を有する前記配線との間に、前記第２のトランジスタのソース端子の電位を低電源電位より昇圧することができる機能を有する第５の回路と、
前記第１のトランジスタのソース端子の電位を低電源電位にすることができる機能を有する第１のスイッチと、
前記第２のトランジスタのソース端子の電位を低電源電位にすることができる機能を有する第２のスイッチと、を有し、
前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタは、チャネル領域に酸化物半導体を有し、
前記第１のスイッチ及び前記第２のスイッチは、前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタがエンハンスメント型、またはディプレッション型であるかを判定することができる機能を有する判定回路によって制御され、
前記第４の回路を構成するトランジスタのゲート長（Ｌ）とゲート幅（Ｗ）の比（Ｌ／Ｗ）は、前記第１のトランジスタのゲート長（Ｌ）とゲート幅（Ｗ）の比（Ｌ／Ｗ）よりも大きいことを特徴とする駆動回路。
【請求項２】
複数段のパルス出力回路を有し、
前記パルス出力回路は、
第１のノード及び第２のノードの電位に応じて出力信号を出力することができる機能を有する第１の回路と、
前記第１のノードに、前段のパルス出力回路の出力信号に応じた信号を供給することができる機能を有する第２の回路と、
前記第２のノードに間欠的に高電源電位の信号を供給することができる機能を有する第３の回路と、
前記第２のノードがゲートに電気的に接続され、前記第２のノードの電位に応じて、前記第１のノードの電位を制御することができる機能を有する第１のトランジスタと、
前記前段のパルス出力回路の出力信号に応じた信号がゲートに供給され、前記第２のノードの電位を制御することができる機能を有する第２のトランジスタと、
前記第１のトランジスタのソース端子と、低電源電位を供給することができる機能を有する配線との間に、前記第１のトランジスタのソース端子の電位を低電源電位より昇圧することができる機能を有する第４の回路と、
前記第２のトランジスタのソース端子と、低電源電位を供給することができる機能を有する前記配線との間に、前記第２のトランジスタのソース端子の電位を低電源電位より昇圧することができる機能を有する第５の回路と、
前記第１のトランジスタのソース端子の電位を低電源電位にすることができる機能を有する第１のスイッチと、
前記第２のトランジスタのソース端子の電位を低電源電位にすることができる機能を有する第２のスイッチと、を有し、
前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタは、チャネル領域に酸化物半導体を有し、
前記第１のスイッチ及び前記第２のスイッチは、前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタがエンハンスメント型、またはディプレッション型であるかを判定することができる機能を有する判定回路によって制御され、
前記第４の回路を構成するトランジスタの半導体層の膜厚は、前記第１のトランジスタの半導体層の膜厚よりも小さいことを特徴とする駆動回路。
【手続補正書】
【提出日】平成25年10月17日(2013.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
実施形態の店舗システムは、商品名及び商品画像を記憶する記憶手段と、撮像手段が撮像した画像の特徴量を読み取ることによって特定の物体を認識する物体認識手段と、認識された前記物体について、前記記憶手段が記憶する商品名及び商品画像に基づいて売上登録を行う登録手段と、認識された前記物体毎の画像を表示部の第１の表示領域に表示し、商品名及び個数及び価格を履歴として、前記表示部の第２の表示領域に表示する確認画像表示手段と、を備える。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
実施形態のプログラムは、コンピュータを、商品名及び商品画像を記憶する記憶手段と、撮像手段が撮像した画像の特徴量を読み取ることによって特定の物体を認識する物体認識手段と、認識された前記物体について、前記記憶手段が記憶する商品名及び商品画像に基づいて売上登録を行う登録手段と、認識された前記物体毎の画像を表示部の第１の表示領域に表示し、商品名及び個数及び価格を履歴として、前記表示部の第２の表示領域に表示する確認画像表示手段と、として機能させる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
商品名及び商品画像を記憶する記憶手段と、
撮像手段が撮像した画像の特徴量を読み取ることによって特定の物体を認識する物体認識手段と、
認識された前記物体について、前記記憶手段が記憶する商品名及び商品画像に基づいて売上登録を行う登録手段と、
認識された前記物体毎の画像を表示部の第１の表示領域に表示し、商品名及び個数及び価格を履歴として、前記表示部の第２の表示領域に表示する確認画像表示手段と、
を備えることを特徴とする店舗システム。
【請求項２】
前記物体認識手段が物体認識に用いる前記画像の特徴量は、前記物体の表面の状態である、
ことを特徴とする請求項１記載の店舗システム。
【請求項３】
前記確認画像表示手段が認識された前記物体についての画像を表示する前記表示部は、顧客に向けて情報を表示する顧客用表示デバイスである、
ことを特徴とする請求項１または２記載の店舗システム。
【請求項４】
前記物体認識手段は、認識の結果、物体の候補が複数あると判定した場合には、当該複数の物体の候補を報知し、何れか一つの物体の選択を受け付ける、
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一記載の店舗システム。
【請求項５】
コンピュータを、
商品名及び商品画像を記憶する記憶手段と、
撮像手段が撮像した画像の特徴量を読み取ることによって特定の物体を認識する物体認識手段と、
認識された前記物体について、前記記憶手段が記憶する商品名及び商品画像に基づいて売上登録を行う登録手段と、
認識された前記物体毎の画像を表示部の第１の表示領域に表示し、商品名及び個数及び価格を履歴として、前記表示部の第２の表示領域に表示する確認画像表示手段と、
として機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項６】
前記物体認識手段が物体認識に用いる前記画像の特徴量は、前記物体の表面の状態である、
ことを特徴とする請求項５記載のプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年1月11日(2013.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の有利な一層の展開は、保護管に溶接されるスリーブの一部がプラグ本体から突き出ている。スリーブの壁厚が、プラグ本体によって囲まれた部分に関するよりも、プラグ本体から突き出る部分に関してより薄いならば、それはその場合に特に好まれる。なぜなら、より薄い壁厚は、保護管の囲まれた部分へのスリーブの溶接促進という利点を提供するからである。他方では、プラグ本体によって囲まれた部分に関するより大きな壁厚は、プラグ本体へスリーブを圧入する方法が促進されるように、スリーブの機械的安定性を増加させる利点を提供する。
【手続補正書】
【提出日】平成25年1月28日(2013.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
タービンエンジン（１０）の燃料ノズル（１２）内に取り付けられるように構成される液体カートリッジ（７０）であって、
噴霧用空気用先端具（１１０）と、
前記噴霧用空気用先端具（１１０）内で同軸に配置される水用先端具（１１６）と、
前記水用先端具（１１６）内で同軸に配置される燃料用先端具（１２０）と、
前記噴霧用空気用先端具（１１０）と前記水用先端具（１１６）との間に同軸に配置され、前記噴霧用空気用先端具（１１０）にしっかりと固定されるシュラウド（１１２）と、
前記液体カートリッジ（７０）を通る流れの下流側の軸方向において径方向に延在する上流側端部分（１２８）を有する、前記燃料用先端具（１２０）内で同軸に配置される燃料インサート（１２４）と、
を有する、液体カートリッジ（７０）
を有するシステム。
【請求項２】
前記噴霧用空気用先端具（１１０）、前記水用先端具（１１６）、前記燃料用先端具（１２０）、前記シュラウド（１１２）および前記燃料インサート（１２４）がコバルト基合金を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記シュラウド（１１２）が前記噴霧用空気用先端具（１１０）に直接にろう付けされる、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記燃料インサート（１２４）が、傾斜部分（１２８）により中空円筒形の下流側部分（１３０）に連結されている実質的に平坦な上流側の端部分（１２６）を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記液体カートリッジ（７０）が、水入口、空気入口および燃料入口を有する一部品の取付フランジ（７６）を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記液体カートリッジ（７０）が、前記液体カートリッジ（７０）の同軸管（８６、９０、９４）を径方向に分離する１つまたは複数のスタンドオフ（１００、１０２）を有しており、前記スタンドオフ（１００、１０２）が前記液体カートリッジ（７０）の中心軸を中心に対称である、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記スタンドオフ（１００、１０２）の各々が、前記同軸管（８６、９０、９４）の間にサイズが等しく対称に離隔された複数の流れチャネルを画定する、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記液体カートリッジ（７０）を備える前記燃料ノズル（１２）を有する燃焼器（１６）を有する、請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記燃焼器（１６）を有するタービンエンジン（１０）を有する、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
タービンエンジン（１０）の燃料ノズル（１２）内に取り付けられるように構成される液体カートリッジ（７０）であって、
噴霧用空気用先端具（１１０）と、
前記噴霧用空気用先端具（１１０）内で同軸に配置される水用先端具（１１６）と、
前記水用先端具（１１６）内で同軸に配置される燃料用先端具（１２０）と、
前記噴霧用空気用先端具（１１０）と前記水用先端具（１１６）との間に同軸に配置され、前記噴霧用空気用先端具（１１０）にしっかりと固定されるシュラウド（１１２）と、
前記液体カートリッジ（７０）を通る流れの下流側の軸方向において径方向に延在する上流側端部分（１２８）を有する、前記燃料用先端具（１２０）内で同軸に配置される燃料インサート（１２４）と、
前記液体カートリッジ（７０）の同軸管（８６、９０、９４）を径方向に分離し、前記同軸管（８６、９０、９４）の間に等しいサイズの複数のチャネルを画定しており、前記液体カートリッジ（７０）の中心軸を中心に対称であるスタンドオフ（１００、１０２）と、
を有する、液体カートリッジ（７０）
を有するシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年5月7日(2013.5.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
タービンエンジン（１０）を備えるシステムであって、前記タービンエンジン（１０）が、
タービンエンジンの作動中に炎を収容する燃焼室（１６）と、
前記燃焼室（１６）の内部を見通せるビューポート（３６）と、
前記ビューポート（３６）を介して前記燃焼室（１６）の中の炎（８０）の１枚以上の画像を撮像するように構成されたカメラ（３８）と、
前記カメラから１枚以上の画像を受信して、前記炎（８０）の１枚以上の画像に基づいて炎温度、逆火、保炎、過剰な動的振動、燃料組成の変化、希薄消火の前兆の少なくとも１つを識別するため前記１枚以上の画像を解析し、前記エンジン（１０）のパラメータを調整するように構成された制御装置（４２）と
を備えている、システム。
【請求項２】
前記タービンエンジン（１０）が複数の燃焼室（１６）とそれに対応する複数のカメラとを有しており、各々のカメラが個々の燃焼室と光学的に結合しているとともに、前記制御装置と通信可能に結合している、請求項１記載のシステム。
【請求項３】
前記カメラ（３８）がビデオカメラである、請求項１又は請求項２記載のシステム。
【請求項４】
前記カメラ（３８）が、可視波長、赤外線波長及び紫外線波長の少なくともいずれかを検出するように構成されたイメージセンサを具備する、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載のシステム。
【請求項５】
前記カメラ（３８）が、光ファイバケーブル（８６）により前記ビューポート（３６）に光学的に結合している、請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載のシステム。
【請求項６】
前記燃焼室（１６）は複数のビューポート（３６）を具備し、且つ少なくとも１つのカメラは、前記複数のビューポート（３６）を介して前記燃焼室（１６）の中の前記炎（８０）の画像を撮像するように構成される、請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載のシステム。
【請求項７】
前記カメラに結合した位置決め機構であって、前記ビューポート（３６）に対して回転するか、前記ビューポート（３６）に対して並進運動するか又はそれらを組み合わせた運動をするようにカメラを配置することのできる位置決め機構を備えている、請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載のシステム。
【請求項８】
前記エンジン（１０）のパラメータが、前記燃焼室（１６）に供給される燃料の流量である、請求項乃至請求項７のいずれか１項１記載のシステム。
【請求項９】
前記エンジン（１０）のパラメータが、前記燃焼室（１６）の内部における複数の燃料ノズル（１２）への燃料の配分である、請求項１乃至請求項７のいずれか１項記載のシステム。
【請求項１０】
前記エンジン（１０）のパラメータが、入口案内羽根角度、入口抽気加熱装置及び／又は水噴射系である、請求項１乃至請求項９のいずれか１項記載のシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年3月14日(2013.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るキャップの用いられた流体圧シリンダの外観斜視図である。
【図２】図１の流体圧シリンダからスライドテーブルを上方へと離脱させた状態を示す分解斜視図である。
【図３】図１の流体圧シリンダを下方側から見た分解斜視図である。
【図４】図１の流体圧シリンダの全体縦断面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。
【図６】図４のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。
【図７】図１のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図である。
【図８】図５に示すキャップの単体斜視図である。
【図９】図５に示す流体圧シリンダにおけるキャップ近傍の拡大断面図である。
【図１０】図１０Ａは、プレート体を貫通孔に挿入し、第１及び第２ポンチの間に配置した状態を示した拡大断面図であり、図１０Ｂは、前記第１ポンチと第２ポンチとによって前記プレート体を拡径させキャップを形成した状態を示す拡大断面図である。
【図１１】図１１Ａは、第１変形例に係るプレート体を貫通孔に挿入し、第１及び第２ポンチの間に配置した状態を示した拡大断面図であり、図１１Ｂは、前記第１ポンチと第２ポンチとによって前記プレート体を拡径させキャップを形成した状態を示す拡大断面図である。
【図１２】図１２Ａは、第２変形例に係るキャップの外観斜視図を示し、図１２Ｂは、前記キャップの断面図である。
【図１３】図１３Ａは、第３変形例に係るキャップの外観斜視図を示し、図１３Ｂは、前記キャップの断面図である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態に係るキャップの用いられた流量調整弁の全体断面図である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
一方の貫通孔３０ａは、第１及び第２ポート２６、２８とそれぞれ連通し、他方の貫通孔３０ｂは、一方の貫通孔３０ａとの間に形成された一組の接続通路６２を介して互いに連通している。すなわち、第１及び第２ポート２６、２８に供給された圧力流体は、一方の貫通孔３０ａへと導入された後、接続通路６２を通じて他方の貫通孔３０ｂにも導入される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
そして、ストッパボルト８６をホルダ部８４に対して螺回させることにより、該ストッパボルト８６が軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位し、ガイド機構１６に接近・離間する。例えば、ストッパボルト８６を螺回させ所定長さだけガイド機構１６側（矢印Ｂ方向）へと突出させた後、ロックナット８８を螺回することにより移動させ前記ホルダ部８４の側面に当接させることにより、前記ストッパボルト８６の進退動作が規制される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
換言すれば、プレート体５６の断面積が、貫通孔３０ａ、３０ｂの断面積に対して少なくとも略同等以下に設定される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
そして、第２ポンチ１０８の下降によってプレート体５６が該第２ポンチ１０８の端面と第１ポンチ１０６の端面との間で挟持されて押圧され、その押圧力によって第１ポンチ１０６と第２ポンチ１０８との間において、平面状の本体部５８が形成されると共に、その外縁部が、上方に向かって折曲された状態となり折曲部６０となる。換言すれば、プレート体５６は、第１及び第２ポンチ１０６、１０８によって挟持された部位が平面状の本体部５８となり、且つ、該本体部５８の外縁部が半径外方向に拡径しつつ上方へと塑性変形した折曲部６０となってキャップ４６となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
この第１ポート２６に供給された圧力流体は、一方の貫通孔３０ａへ供給されると共に、接続通路６２を通じて他方の貫通孔３０ｂへと供給され、ピストン４０をロッドホルダ５２側（矢印Ｂ方向）に向かって押圧する。これにより、ピストン４０に連結されたピストンロッド４２と共に、スライドテーブル１４がシリンダ本体１２から離間する方向へと変位する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
一方、上述した変位終端位置からスライドテーブル１４を前記とは反対方向に変位させる場合には、第１ポート２６に供給されていた圧力流体を第２ポート２８に対して供給すると共に、前記第１ポート２６を大気開放状態とする。これにより、第２ポート２８から一対の貫通孔３０ａ、３０ｂへと供給された圧力流体によってピストン４０がロッドホルダ５２から離間する方向（矢印Ａ方向）へと変位し、該ピストン４０と共にピストンロッド４２を介してスライドテーブル１４がシリンダ本体１２に接近する方向へと変位する。そして、スライドテーブル１４を構成するエンドプレート６６に設けられたダンパ８０が、シリンダ本体１２の端面に当接することにより初期位置へと復帰する（図４参照）。
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2011214697.tif 000001
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2011214697.tif 000002