(57)【要約】【課題】加工データが外部に漏えいするなどのセキュリティの問題の発生を抑制するデータ変換装置を提供すること。【解決手段】データ変換装置３００は、加工機２００とＰＣ４００とに接続され、データ入力部３１０とデータ変換部３２０とデータ出力部３３０とを備える。データ入力部３１０には、半導体ウェハに関する加工データが加工機２００から入力される。データ変換部３２０が、加工データの各桁の数値を示す文字コードを含む変換加工情報に変換する。データ出力部３３０が、変換加工情報をＰＣ４００に出力する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
加工機とコンピュータとに接続され、データ入力部とデータ変換部とデータ出力部とを備えたデータ変換装置であって、
前記データ入力部には、前記加工機の加工データが前記加工機から入力され、
前記データ変換部が、前記加工データの各桁の数値を示す文字コードを含む変換加工情報に変換し、
前記データ出力部が、前記変換加工情報を前記コンピュータに出力する、
データ変換装置。
【請求項２】
前記加工データは、半導体ウェハの切削加工におけるデータであって、切削ブレードの刃厚、カーフセンタとヘアラインセンタとの差であるセンターずれ量、カーフ幅及びチッピング幅の少なくともいずれかである、
請求項１に記載のデータ変換装置。
【請求項３】
前記文字コードは、アスキーコードである、
請求項１又は２に記載のデータ変換装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、データ変換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
加工機とコンピュータとを通信回線を介して接続する加工システムが知られている（特許文献１参照）。加工システムでは、加工条件や被加工物の形状を示す数値データ等に関する加工データが通信回線を通じてコンピュータに送られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−８４８１４号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、通信回線を通して加工データを送信する場合、加工データが外部に漏えいするなどのセキュリティの問題が発生する可能性がある。
【０００５】
本考案は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、加工データが外部に漏えいするなどのセキュリティの問題の発生を抑制するデータ変換装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本考案の一態様に係るデータ変換装置は、加工機とコンピュータとに接続され、データ入力部とデータ変換部とデータ出力部とを備えたデータ変換装置であって、前記データ入力部には、前記加工機の加工データが前記加工機から入力され、前記データ変換部が、前記加工データの各桁の数値を示す文字コードを含む変換加工情報に変換し、前記データ出力部が、前記変換加工情報を前記コンピュータに出力するデータ変換装置である。
【０００７】
本考案の他の態様に係るデータ変換装置において、前記加工データは、半導体ウェハの切削加工におけるデータであって、切削ブレードの刃厚、カーフセンタとヘアラインセンタとの差であるセンターずれ量、カーフ幅及びチッピング幅の少なくともいずれかである。
【０００８】
本考案のさらに他の態様に係るデータ変換装置において、前記文字コードは、アスキーコードである。
【考案の効果】
【０００９】
本考案によれば、加工データが外部に漏えいする可能性を抑制することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施形態に係るデータ変換装置を示すブロック図である。
【図２】図２は、半導体ウェハの加工データを示す表である。
【図３】図３は、センターずれ量を説明する模式図である。
【図４】図４は、カーフ幅を説明する模式図である。
【図５】図５は、チッピング幅を説明する模式図である。
【図６】図６は、加工データとアスキーコードとの対応を示す模式図である。
【図７】図７は、実施形態に係るデータ変換装置のハードウエアの構成の一例を示す図である。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
本考案を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本考案が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本考案の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
【００１２】
図１は、実施形態に係るデータ変換装置を示すブロック図である。図２は、半導体ウェハの加工データを示す表である。図３は、センターずれ量を説明する模式図である。図４は、カーフ幅を説明する模式図である。図５は、チッピング幅を説明する模式図である。
【００１３】
図１に示すように、データ変換装置３００は、加工機２００とＰＣ４００（コンピュータ）とに接続されて、加工データの変換システム１００を構成する。なお、ＰＣは、Personal  Computerの略である。
【００１４】
本実施形態では、加工機２００は、被加工物である半導体ウェハを切削加工する切削装置であるが、本考案では、切削装置に限定されずに、例えば、被加工物を研削する研削装置、被加工物を研磨する研磨装置等の被加工物に種々の加工を施す加工装置でも良い。
【００１５】
ＰＣ４００は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）のような演算装置と、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、ハードディスクドライブ、ストレージデバイス又はこれらを組み合わせた数値制御プログラムを保持する記憶装置等を備えるコンピュータである。
【００１６】
データ変換装置３００は、データ入力部３１０と、データ変換部３２０と、データ出力部３３０と、を含む。
【００１７】
データ入力部３１０は、加工機２００に接続する。データ入力部３１０には、加工機２００の加工データが加工機２００から入力される。データ変換部３２０は、加工データを、加工データの各桁の数値を示す文字コードを含む変換加工情報に変換する。変換加工情報はデータ出力部３３０に出力される。データ出力部３３０は、ＰＣ４００に接続し、変換加工情報をＰＣ４００に出力する。なお、本実施形態では、データ変換部３２０は、ＰＣ４００のキーボードが接続されるコネクタに接続される。
【００１８】
本実施形態では、被加工物は、例えば、半導体ウェハである。具体的には、被加工物は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウェハである。加工機２００は、前述したように、例えば、半導体ウェハ（被加工物）を切断する切削装置である。切削装置は、回転可能なスピンドルに装着された切削ブレードを備える。切削ブレードは、スピンドルと共に回転駆動する。切削ブレードを高速回転させながら半導体ウェハに切り込みを入れて切断するダイシングにより、半導体ウェハを個々のチップに分断する。
【００１９】
切削装置による切断加工では、一般的に、顕微鏡構成の撮像手段で半導体ウェハの切削加工する加工領域を撮像し、切削ブレードと切断予定ラインであるストリート位置合わせを実施するアライメントを遂行する。切削装置は、アライメントに結果に基づいて、切削ブレードでストリートの所定の位置（例えば、幅方向の中央）を切削加工してカーフ（加工溝）を形成する。
【００２０】
本実施形態では、加工データは、例えば、センターずれ量（μｍ）、カーフ幅（μｍ）、チッピング幅（μｍ）、切削ブレードの刃厚（μｍ）である。本実施形態では、切削ブレードの刃厚が１００（μｍ）、カーフのセンターずれ量が５（μｍ）、カーフ幅が１０５（μｍ）、カーフのチッピング幅が４（μｍ）の場合について説明する。
【００２１】
図４に示すように、カーフ幅５４０は、ダイシングで切削加工されたカーフ５００（加工溝）の最大幅を意味する。カーフセンタ５１０とは、カーフ５００の幅方向の中心位置である。従って、センターずれ量５３０とは、図３に示すように、カーフセンタ５１０とヘアラインセンタ５２０との幅方向のずれ量を示す。チッピング幅５６０は、図５に示すように、カーフ５００の幅方向の両側に生じる欠けであるチッピング５５０において、規格値となる幅（許容される幅の最大値）を意味する。なお、本実施形態では、加工データは、センターずれ量（μｍ）、カーフ幅（μｍ）、チッピング幅（μｍ）、切削ブレードの刃厚（μｍ）のうち少なくともいずれかであるが、本考案では、これらに限定されない。
【００２２】
図６は、加工データとアスキーコードとの対応を示す模式図である。
【００２３】
前述したように、データ変換部３２０では、加工データを、加工データの各桁の数値を示す文字コードを含む変換加工情報に変換する。以下に、データ変換部３２０が、加工データを各桁の数値を示す文字コードを含む変換加工情報に変換する要領を説明する。図６において、加工データの各桁の数値とは、キーボードに入力する場合に、実際に打ち込むキーを意味する。各桁の数値を示す文字コードとは、本実施形態では、図６に示すアスキーコード（ＡＳＣＩＩコード）を適用するが、本考案では、アスキーコードに限定されない。なお、アスキーコードとは、Ａｍｅｒｉｃａｎ  Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｃｏｄｅ  ｆｏｒ  Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ  Ｉｎｔｅｒｃｈａｎｇｅの略であり、コンピュータ間で正しくデータを伝送するために規定された文字コードである。
【００２４】
まず、加工データである刃厚が１００（μｍ）の場合、「１」に対応するアスキーコードは「１１０００１」であり、「０」に対応するアスキーコードは「１１００００」であり、「Ｓｐａｃｅ」に対応するアスキーコードは「１０００００」である。従って、刃厚が１００（μｍ）の場合、データ変換部３２０は、加工データである１００（μｍ）の各桁の数値を、アスキーコード「１１０００１」、アスキーコード「１１００００」、アスキーコード「１１００００」、「アスキーコード「１０００００」に変換する。データ変換部３２０は、各桁の数値を示すアスキーコードを合わせて、これらのアスキーコードを含む変換加工情報「１１０００１１１００００１１００００１０００００」を生成する。
【００２５】
同様に、加工データであるセンターずれ量が５（μｍ）（３桁の００５）の場合、「０」に対応するアスキーコードは「１１００００」であり、「５」に対応するアスキーコードは「１１０１０１」である。従って、センターずれ量が５（μｍ）の場合、データ変換部３２０は、加工データである５（μｍ）の各桁の数値を、アスキーコード「１１００００」、アスキーコード「１１００００」、アスキーコード「１１０１０１」、「アスキーコード「１０００００」に変換する。データ変換部３２０は、各桁の数値を示すアスキーコードを合わせて、これらのアスキーコードを含む変換加工情報「１１００００１１００００１１０１０１１０００００」を生成する。
【００２６】
なお、加工データであるカーフ幅が１０５（μｍ）の場合、データ変換部３２０は、加工データである１０５（μｍ）の各桁の数値を、アスキーコード「１１０００１」、アスキーコード「１１００００」、アスキーコード「１１０１０１」、「アスキーコード「１０００００」に変換する。データ変換部３２０は、各桁の数値を示すアスキーコードを合わせて、これらのアスキーコードを含む変換加工情報「１１００００１１００００１１０１００１０００００」を生成する。
【００２７】
また、加工データであるチッピング幅が４（μｍ）（３桁の００４）の場合、データ変換部３２０は、加工データである４（μｍ）の各桁の数値を、アスキーコード「１１００００」、アスキーコード「１１００００」、アスキーコード「１１０１００」、「アスキーコード「１０００００」に変換する。データ変換部３２０は、各桁の数値を示すアスキーコードを合わせて、これらのアスキーコードを含む変換加工情報「１１００００１１００００１１０１００１０００００」を生成する。
【００２８】
以上より、データ変換部３２０は、４つの加工データから生成した変換加工情報をまとめて、「１１０００１１１００００１１００００１０００００１１００００１１００００１１０１０１１０００００１１０００１１１００００１１０１０１１０００００１１００００１１００００１１０１００１０００００（以下、変換加工情報Ａと呼ぶ）」を生成する。データ変換部３２０は、変換加工情報Ａを、図１に示すデータ出力部３３０に出力する。データ出力部３３０は、変換加工情報ＡをＰＣ４００に出力する。
【００２９】
一方、キーボードで加工データ（刃厚：１００（μｍ）、センターずれ量：５（μｍ）、カーフ幅：１０５（μｍ）、チッピング幅：４（μｍ））がＰＣ４００に直接入力された場合のアスキーコードを含む変換加工情報Ｂは、変換加工情報Ａと同一である。従って、ＰＣ４００は、データ変換装置３００から送られる変換加工情報Ａを、キーボードで入力された場合の変換加工情報Ｂと同一であると認定して受け入れる。
【００３０】
図７は、実施形態に係るデータ変換装置のハードウエアの構成の一例を示す図である。
【００３１】
本実施形態において、データ変換装置３００は、図７に示すように、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）のような演算装置３４０と、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、ハードディスクドライブ、ストレージデバイス又はこれらを組み合わせた数値制御プログラムを保持する記憶装置３５０と、加工機２００及びＰ４００に接続する入出力ユニット３６０と、これらを接続する基板３７０とを備えるコンピュータにより構成される。データ変換部３２０の機能は、記憶装置３５０に保持される数値制御プログラムを演算装置３４０が実行することで実現される。データ入力部３１０及びデータ出力部３３０の機能は、入出力ユニット３６０により実現される。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態に係るデータ変換装置３００は、加工機２００とＰＣ４００（コンピュータ）とに接続され、データ入力部３１０とデータ変換部３２０とデータ出力部３３０とを備える。データ入力部３１０には、加工機２００の加工データが加工機２００から入力され、データ変換部３２０が、加工データの各桁の数値を示す文字コードを含む変換加工情報に変換し、データ出力部３３０が、変換加工情報をＰＣ４００（コンピュータ）に出力する。
【００３３】
本考案によれば、キーボードで入力された場合と同一の変換加工情報がデータ変換装置３００にて生成され、ＰＣ４００に送られる。従って、ＰＣ４００は、データ変換装置３００から送られる変換加工情報を、キーボードで入力された場合の変換加工情報と同一であると認定して受け入れる。即ち、加工機２００で表示される加工データを作業員が読み取って、キーボードに直接に入力した場合と同一のことが行われる。よって、通信回線を用いることなく、加工機２００からの加工データがＰＣ４００に送られるため、加工データが外部に漏えいするなどのセキュリティの問題の発生を抑制することができる。
【００３４】
加工データは、半導体ウェハの切削加工におけるデータであって、切削ブレードの刃厚、カーフセンタ５１０とヘアラインセンタ５２０との差であるセンターずれ量５３０、カーフ幅５４０、及びチッピング幅５６０である。
【００３５】
半導体ウェハの切削加工における加工データは煩雑であり、間違えないように集中して作業者が入力する必要がある。従って、データ変換装置３００を介して加工機２００からの加工データを変換して自動でＰＣ４００に送るため、作業の省力化が図れる。
【００３６】
文字コードは、アスキーコードであるため、効率的にデータ変換装置３００で加工機２００からの加工データを変換することができる。
【００３７】
なお、本考案は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。即ち、本考案の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、前述した実施形態では、加工データは、切削ブレードの刃厚、カーフセンタ５１０とヘアラインセンタ５２０との差であるセンターずれ量５３０、カーフ幅５４０、及びチッピング幅５６０としたが、これらの加工データの一部であってもよく、また、これらの加工データ以外のデータであってもよい。
【符号の説明】
【００３８】
２００  加工機
３００  データ変換装置
３１０  データ入力部
３２０  データ変換部
３３０  データ出力部
４００  ＰＣ（コンピュータ）
５１０  カーフセンタ
５２０  ヘアラインセンタ
５３０  センターずれ量
５４０  カーフ幅
５６０  チッピング幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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