(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
全長にわたって長手方向にスリット（１６）を有するパイプ（６）と、前記パイプ（６）の外周近傍に全長に亘って配置され前記スリット（１６）を前記パイプ（６）内の空気吸引により閉塞可能なシール用線材（７）と、前記パイプ（６）に挿入され前記パイプ（６）内空気の真空吸引により前記パイプ（６）内を走行可能な走行中子（８）と、前記パイプ（６）内の前記走行中子（８）に接続され前記スリット（１６）を通って前記パイプ（６）外に位置し先端に被搬送物（１３）のための搬送手段（１７）とを備えた搬送装置であって、前記走行中子（８）は、外部からパイプ（６）内へ流入する空気中のチリを吸引し去る外部チリ吸引穴（２８）が設けられた密封部材（１０）と、中子ブロック（９）とを有し、該中子ブロック（９）は、開口部（３２）を有するものであり、前記パイプ（６）の前後両側にフィルタ（４）を有することを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記走行中子（８）の中子ブロック（９）に前記スリット（１６）を貫通する薄型の接続部材（２９）が設けられ、該接続部材（２９）の端部（３０）には前記シール用線材（７）を前記スリット（１６）の近傍にガイドするためのガイド部材（１２）及び前記シール用線材（７）を前記スリット（１６）の箇所に押し上げるための押上部材（１１）が設けられていることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記パイプ（６）の内壁、および、該内壁内に収納される前記走行中子（８）の外周のうち、いずれか１方に中子の姿勢保持用溝（２４）が穿たれ、他方には姿勢保持用凸部（２５）が設けられ、該凸部（２５）は該溝（２４）内を摺動することを特徴とする請求項１又は２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記走行中子（８）には、開口部径が大きい環状の可撓性部材（１０ａ）が、径の大きい開口部を互いに向き合わせて２つ固定されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、塵埃を生じることなくパイプに沿って被搬送物を搬送し或いはケーブルのような被敷設物を敷設するための装置に関し、更に詳しくは、パイプの内側にパイプ内空気の真空吸引により該パイプ内を走行可能な走行中子を有し、パイプの外側に該走行中子から延設された被搬送物接続部材を有する運搬装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、圧搾空気により被搬送物をパイプ輸送するニューマチックな物体搬送手段は周知であり、これら搬送手段はときには、搬送物体の混合或いは逆に比重分離をも兼ねた手段として用いられている。また、我々は、パイプの外側にパイプに沿ってケーブルのような被敷設物を敷設し、或いは有機溶剤等の引火性物質を取り扱う、電動機を使えない場所での物体を運搬する装置であって、パイプ内の移動体を圧縮空気や牽引線で推進させることにより移動体に接続したケーブルや物体を敷設又は運搬する装置を、特願平６−４３００４号及び特願平７−５７３４号を優先権主張の基礎とするＷＯ９５／２１４８２号として既に出願しているが、このＷＯ９５／２１４８２号記載の装置は、図１１に示すように、全長にわたって長手方向に切れ目（５６）を有するパイプ（５９）と、前記パイプ（５９）に挿入され、前記パイプ（５９）内に送り込まれる圧縮空気により前記パイプ（５９）内を移動可能な移動体（６３）と、基端が前記パイプ（５９）内の前記移動体（６３）に接続され前記切れ目（５６）を通って前記パイプ（５９）外に位置する先端に被搬送物が接続されるワイヤーであり得る接続部材（５１）とを備えた搬送装置であり、パイプ（５９）内に切れ目（５６）を閉塞可能なシール用線材（５８）が前記パイプ全長に配置されたものであって、小人数でケーブルや物体を敷設又は運搬でき、従来より敷設又は運搬時間を大幅に短縮でき、かつ能率良く安全に敷設又は運搬することができる。
【０００３】
しかしながら、このＷＯ９５／２１４８２号明細書記載の装置は、その後の更なる検討の結果、移動体（６３）を圧縮空気により移動させるものであるため、運転時に少なくとも若干の塵埃発生は回避することができないという問題点があり、かつ移動体（６３）をパイプ（５９）内でスムースに移動させるには圧縮空気の圧力を比較的高く保持せねばならず、そのため、例えば半導体用シリコンウエハを収容したラックや容器の取り扱いのような僅かの塵埃をも回避しなければならない分野、或いは食品加工分野で使用するには不向きであるという解決すべき問題点のあることが見い出された。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の目的は、搬送又は敷設作業が効率的で、従来より搬送又は敷設動力を大幅に削減でき、塵埃を生じることがない搬送又は敷設装置を提供することにある。
本発明の別の目的は、目的箇所や位置に正確かつスムースに搬送又は敷設することができ、振動なく安全に搬送することができる搬送（及び敷設）装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、本発明の（１）「全長にわたって長手方向にスリット（１６）を有するパイプ（６）と、前記パイプ（６）の外周近傍に全長に亘って配置され前記スリット（１６）を前記パイプ（６）内の空気吸引により閉塞可能なシール用線材（７）と、前記パイプ（６）に挿入され前記パイプ（６）内空気の真空吸引により前記パイプ（６）内を走行可能な走行中子（８）と、前記パイプ（６）内の前記走行中子（８）に接続され前記スリット（１６）を通って前記パイプ（６）外に位置し先端に被搬送物（１３）のための搬送手段（１７）とを備えた搬送装置であって、前記走行中子（８）は、外部からパイプ（６）内へ流入する空気中のチリを吸引し去る外部チリ吸引穴（２８）が設けられた密封部材（１０）と、中子ブロック（９）とを有し、該中子ブロック（９）は、開口部（３２）を有するものであり、前記パイプ（６）の前後両側にフィルタ（４）を有することを特徴とする搬送装置」により達成され、また、
（２）「前記走行中子（８）の中子ブロック（９）に前記スリット（１６）を貫通する薄型の接続部材（２９）が設けられ、該接続部材（２９）の端部（３０）には前記シール用線材（７）を前記スリット（１６）の近傍にガイドするためのガイド部材（１２）及び前記シール用線材（７）を前記スリット（１６）の箇所に押し上げるための押上部材（１１）が設けられていることを特徴とする前記第（１）項記載の搬送装置」により達成され、また、
（３）「前記パイプ（６）の内壁、および、該内壁内に収納される前記走行中子（８）の外周のうち、いずれか１方に中子の姿勢保持用溝（２４）が穿たれ、他方には姿勢保持用凸部（２５）が設けられ、該凸部（２５）は該溝（２４）内を摺動することを特徴とする前記第（１）項又は前記第（２）項に記載の搬送装置」により達成され、さらに、
（４）「前記走行中子（８）には、開口部径が大きい環状の可撓性部材（１０ａ）が、径の大きい開口部を互いに向き合わせて２つ固定されていることを特徴とする前記第（１）項乃至第（３）項いずれか１に記載の搬送装置」により達成される。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基いて本発明を詳細に説明する。
ここで、図１は本発明の搬送装置の１例を示す概要図であり、図２、３及び４は本発明の搬送装置におけるスリット（１６）を有するパイプ（６）の接合例を示す概要図であり、図５は本発明の搬送装置におけるパイプ（６）の１架設断面例を示す概要図であり、図６は本発明のパイプ（６）のスリット（１６）中へのシール用線材（７）の着脱の１態様例を示す図であり、図７は本発明のパイプ（６）内を走行し被搬送物を搬送する走行中子（８）の１例を示す概要図であり、図８、図９は本発明のパイプ（６）内を走行し被搬送物を搬送する走行中子（８）の他の１例を示す概要図であり、図１０は本発明のスリット（１６）を有するパイプ（６）と走行中子（８）との関係例を示す概要図であり、図１１は従来例を説明する図である。
【０００７】
図１の搬送装置例において、パイプ（６）は真空推進用のパイプであって、ステンレススチールにより作られ、パイプ全長にわたって長手方向にスリット（１６）を有する。パイプ（６）の前後両側にはバキューマ（１）、真空タンク（２）、バルブユニット（３）、フィルタ（４）、筒状の中子挿入部材（５）が設けられている。真空タンク（２）、バルブユニット（３）は、限りあるバキューマ（１）の吸引能力を補完して、この搬送装置系の真空度を必要時に所望程度に保持し走行中子（８）をほぼ瞬間的に走行させ或いは停止させるためのものである。フィルタ（４）は、走行中子（８）によりパイプ（６）内へ外部から流入する空気中のチリを捕獲し、したがって、この搬送装置系外に塵埃を放出することがないようにしている。中子挿入部材（５）は、他方の側に配置されたバルブユニット（３）のバルブ開閉操作により吸引された走行中子（８）をパイプ（６）端からパイプ（６）中に挿入するが、このバルブ開閉操作は、操作ケーブル（１４）を介して操作盤（１５）により行われる。例えば図中一方のバルブユニット（３）を開にして他方のバルブユニット（３）を閉にすることにより、走行中子（８）は開にされたバルブユニット（３）側に吸引される。中子挿入部材（５）は筒状のものでなくてもかまわない。
【０００８】
走行中子（８）は、パイプ（６）内を真空吸引したときにパイプ（６）を密封する密封部材（１０）を両側に有する中子ブロックから成り、パイプ（６）内の真空吸引により、図中左右いずれの方向にも自在に走行する。この中子ブロック（９）には、被搬送物（１３）例えばウエハラック等を搬送する搬送手段（１７）が接続されており、この搬送手段（１７）は前記パイプ（６）の長手方向に設けられたスリット（１６）を貫通してパイプ（６）外にまで延長している。
【０００９】
また、パイプ（６）の外周近傍には、全長に亘って配置されスリット（１６）をパイプ（６）内の空気吸引により閉塞可能なシール用線材（７）が設けられ、シール用線材（７）は、走行中子（８）の走行に伴ってスリット（１６）近傍にガイドされるように、走行中子（８）に設けられた筒状のガイド部材（１２）により支承され、スリット（１６）の前後に設けられたロール状の押上部材（１１）によりスリット（１６）の位置に押し上げられ、スリット（１６）からの真空吸引によりスリット（１６）を閉塞する。ガイド部材（１２）は、無論筒状のものに限られず、また、押上部材（１１）は無論ロール状のものでなくてもよいが、動的摩擦係数が小さいものが好ましい。
【００１０】
また、シール用線材（７）は、軽く、耐久性に富み、可撓性であるものが好ましく、さらに、押上部材（１１）やガイド部材（１２）との摺擦により静電気を発生しないように、帯電防止処理されたものが好ましい。例えば表面が帯電防止処理された中空ゴムや中空ポリウレタン等が好ましく使用される。
【００１１】
パイプ（６）は被運搬物の運搬距離に応じて複数本直列に接続される。図２〜図５に示すように、被連結用パイプ（６ａ）の基端に連結用パイプ（６ｂ）の先端が接続用パイプ（３５）により接続される。この接続用パイプ（３５）は被連結用パイプ（６ａ）及び連結用パイプ（６ｂ）のスリット（１６）を残して両パイプ（６ａ），（６ｂ）の継ぎ目（３６）を塞ぐように構成される。具体的には接続用パイプ（３５）はスリット（１６）より広い幅の切れ目（３２ａ）をパイプ全長にわたって有する。この接続用パイプ（３５）の一端は被連結用パイプ（６ａ）の基端にスリット（１６）が切れ目（３２ａ）の中央に位置するようにして溶着され、接続用パイプ（３５）の他端外面には一対の第１台座（３７）が設けられる。また連結用パイプ（６ｂ）の先端外面には一対の第２台座（３８）が設けられる。台座（３７）及び（３８）はそれぞれＵ字状に形成され、パイプ外面に溶着される。第１台座（３７）にはピン（３７ａ）がパイプを直交する方向に設けられ、このピン（３７ａ）にはネジ（３９）の基端が枢着される。ネジ（３９）はパイプ（６ａ）の基端とパイプ（６ｂ）の先端を接続した状態で、その先端が第２台座（３８）に達する長さを有する。接続用パイプ（３５）により両パイプ（６ａ）及び（６ｂ）を接続するには、連結用パイプ（６ａ）に溶着された接続用パイプ（３５）の開放端に連結用パイプ（６ｂ）を挿入する。両パイプ（６ａ），（６ｂ）を互いに接続した状態で、ネジ（３９）の先端を第２台座（３８）の間に入れてネジ（３９）を両台座（３７），（３８）間に架設した後、ナット（４０）を螺合する。このナット（４０）を締め付けることにより、両パイプ（６ａ），（６ｂ）は密着し、継ぎ目（３６）に隙間はなくなる。パイプ（６ａ）及び（６ｂ）を湾曲している搬送経路で接続する場合も同様である。
なお、接続用パイプ（３５）の他端外面に一対の第２台座（３８）を設け、連結用パイプ（６ｂ）の先端外面にネジ（３９）の基端が枢着する一対の第１台座（３７）を設けてもよい。
【００１２】
例えば図５に示されるように、本発明の搬送装置においては、スリット（１６）及び中子の姿勢保持用溝（２４）を有するパイプ（６）を、好ましくはこれに適宜箇所に延設されたＬ型鋼（２１）の端部で締結ボルト（２２）により支持構造物（２０）に固定して用いられ、走行中子の走行に伴って走行方向後部のシール用線材（７）が押上部材（１１）によりスリット（１６）の位置に押し上げられスリット（１６）を閉鎖する。
【００１３】
本発明においては、真空吸引したときにシール用線材（７）のスリット（１６）内への嵌まり込み状態を良好にするため、図６に示されるように、シール用線材（７）の例えば径を、スリット（１６）の嵌まり込み口（１６ａ）の間隙より僅かに大きくすることもでき、これにより、シール用線材（７）がスリット（１６）に接した後に、その弾性に基く極く少しの断面形状変形によりスリット（１６）の内腔部（１６ｂ）に収まるようにすることができ、斯して走行中子の走行方向後部のシール用線材（７）が、スリット（１６）を良好に閉鎖することができる。また、シール用線材（７）が内腔部（１６ｂ）からパイプ（６）内にまで入り込むことを避けるため、内腔部（１６ｂ）の内壁側の間隙は嵌まり込み口（１６ａ）の間隙より小さいことが望ましい。
【００１４】
シール用線材（７）は、走行中子の走行方向の後方のスリット（１６）の内腔部（１６ｂ）に収まったままであるが、走行中子を次に例えば逆方向に走行させることによりスリット（１６）から離脱する。走行中子を逆方向に走行させるときには、前進方向（順方向に走行させた場合の後退方向）のパイプ（６）端部を開放する。パイプ（６）端部が開放されていることにより、走行方向の前部と後部との間の空気圧差は前進の場合と同様に保持されることになり、而して、走行中子の走行に伴って、シール用線材（７）は走行中子の走行部分において中子の前部に位置するシール用線材（７）が次々にスリット（１６）から離脱し、かつ後部に位置するがシール用線材（７）が次々にスリット（１６）の内腔部（１６ｂ）中に再度収容されるので、シール用線材（７）の弛みによるパイプ（６）周辺からの大幅な離脱を回避することができる（図１は、本発明の概要を理解し易くするため、シール用線材（７）を弛みのあるものとして描いている）。
【００１５】
この例の搬送装置における走行中子（８）は、図７に示されるように、中子ブロック（９）の前後両側にパイプ（６）の２つの密封部材（１０）（１０）を有し、各密封部材（１０）は、外部からパイプ（６）内へ流入する空気中のチリを吸引し去る外部チリ吸引穴（２８）を有し、また中子ブロック（９）及び前後双方の密封部材（１０）（１０）を貫通する連結軸（２７）の先端が締結摘み（２６）により螺子止めされている。密封部材（１０）にはまた、前記パイプ（６）内壁の姿勢保持用溝（２４）に嵌合して姿勢保持用溝（２４）内を滑らかに摺動する姿勢保持用凸部（２５）が設けられているが、本発明においてはこの姿勢保持用凸部（２５）は中子ブロック（９）に設けられていてもよく、さらに、この姿勢保持用凸部（２５）が前記パイプ（６）に設けられ、転倒防止溝（２４）が密封部材（１０）や中子ブロック（９）に設けられていてもよい。
【００１６】
スリットパイプ（６）中を走行中子（８）が円滑に走行し、かつ目的の位置で正確に停止するためには、パイプ（６）内壁が平滑であることと共に、密封部材（１０）が、製作時のパイプ（６）内径の歪みに相応して多少変形できる程度の弾力性を有し、また、中空であってその外周の摺動面が潤滑性を有し、かつ、密封部材（１０）が中空（軽量）であることが好ましい。そのため、この例の搬送装置においては、密封部材（１０）には熱可塑性ポリエステル樹脂（ポリエチレンテレフタレート樹脂）の中空体を用い表面に潤滑性のシリコン樹脂の含浸加工を施したものを使用したが、本発明においては無論、ポリエステル樹脂等の樹脂に限られるものではなく例えばアルミ製等の金属材料で形成してもよく、また、潤滑加工もシリコン樹脂に限らず、例えばパーフッ化炭化水素樹脂を焼付け加工したものであってもよい。
【００１７】
また、中子ブロック（９）には搬送手段（１７）が設けられ、この搬送手段（１７）は、パイプ外まで延びた薄板状の接続部材（２９）、この接続部材（２９）に固着された筒状のガイド部材（１２）、接続部材（２９）の下端部（３０）の前後両側に固定されたヨーク部材（３１）、ヨーク部材（３１）の軸受けに軸止めされたシール材のための回転自在なロール状の押上部材（１１）、下端に設けられた被搬送物を係合するための係合部材（２３）から成る。係合部材（２３）は図ではフックとして示されているが、本発明においては無論フックのみに限られる訳ではない。
【００１８】
薄板状の接続部材（２９）は、パイプ（６）の走行中子（８）の走行時にスリット（１６）内を前後自在に摺動できる程度に薄くかつ平滑な摺動面を有し、また、押上部材（１１）、ガイド部材（１２）、ヨーク部材（３１）及び被搬送物を垂下した係合部材（２３）を保持する強度を有する程度に充分な厚みを有し、かつ、スリット（１６）中を支障なく走行できる程度に充分薄いものでなければならない。
【００１９】
密封部材（１０）には外部からパイプ（６）内へ流入する空気中のチリを吸引し去る外部チリ吸引穴（２８）が設けられているので塵埃を生じることがなく、例えば半導体用シリコンウエハを収容したラックや容器の取り扱いのような僅かの塵埃をも回避しなければならない分野、或いは食品加工分野で効果的に使用することができる。
【００２０】
さらにまた、この例における中子ブロック（９）には開孔部（３２）を設けることにより軽量化が図られまたパイプ（６）内へ流入する空気中のチリを吸引することができるが、このような開孔部（３２）は本発明においては必ずしも不可欠のものではない。
【００２１】
本発明における走行中子（８）は、代わりに図８に示すようなものとすることができる。この例の走行中子（８）は、密封部材（１０）の内側端面に開口部径が大きい裁頭円錐形の環状の可撓性部材（１０ａ）が、径の大きい開口部を互いに向き合わせて２つ固定され、かつまた、押上部材（１１）の近隣下方に円筒状のガイド補助部材（１１ａ）がガイド部材（１２）方向に設けられている。
図９に示されるように、径の大きい開口部を互いに向き合わせている環状の可撓性部材（１０ａ）は、開口部径が固定端の径より大きく拡がった裁頭円錐形の環状を成し、可撓性のものであるため、走行中子（８）が走行する際に、前側の（真空吸引される側の）可撓性部材（１０ａ）は開口部径先端が進行方向に縮小するような力を受けるので前側の密封部材（１０）が前方向（真空吸引方向）に進行するのに妨げにならず、かつ他方の（後側の）可撓性部材（１０ａ）は開口部径先端が進行に伴って拡がるような力を受けるので後側の密封部材（１０）がパイプ（６）内壁と常に良好な密封状態を維持して摺動するのに役立つが、このような作用は、走行中子（８）が逆方向に走行する場合にも同様に成立する。
また、ガイド補助部材（１１ａ）は、軽く可撓性あるシール用線材（７）をその可撓性を利用して無理なく曲げ、ガイド部材（１２）と押上部材（１１）との間で、より短い間隔で、コンパクトに縣架することによって、所望位置でのシール用線材（７）のスリット（１６）への着脱をさらに正確かつ容易に行うことができる。
【００２２】
図１０に示されるように、走行中子（８）には、ウエハラック等の被搬送物（１３）の搬送に伴って下方の被搬送物（１３）が通過する領域の空気を撹拌することにより塵埃を舞い上がらせることを防止するため、搬送手段（１７）の周囲に、上方向のみが開放したゴミ吸引防止カバー（３３）を設けることが好ましく、これにより、搬送現場での塵埃の発生を抑制し、また本発明の搬送装置の円滑な走行を長期間保持することができる。
【００２３】
【発明の効果】
以上、詳細且つ具体的に説明したように、本発明によれば、全長にわたって長手方向にスリットを有するパイプの外周近傍に全長に亘って配置され前記スリットを前記パイプ内の空気吸引により閉塞可能なシール用線材と、前記パイプに挿入され前記パイプ内空気の真空吸引により前記パイプ内を走行可能な走行中子と、前記パイプ内の前記走行中子に接続され前記スリットを通って前記パイプ外に位置し先端に被搬送物のための搬送手段とを備えた搬送装置が提供され、この搬送装置は、搬送又は敷設作業が効率的で、従来より搬送又は敷設動力を大幅に削減でき、塵埃を生じることなしに、目的個所や位置に正確かつスムースに搬送又は敷設することができ、振動なく安全に搬送することができるという極めて優れたものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の搬送装置の１例を示す概要図である。
【図２】本発明の搬送装置におけるパイプ（６）の接合例を示す図である。
【図３】本発明の搬送装置におけるパイプ（６）の接合例を示す図である（図２におけるＣ−Ｃ線断面図）。
【図４】本発明の搬送装置におけるパイプ（６）の接合例を示す図である（図２におけるＤ−Ｄ線断面図）。
【図５】本発明の搬送装置におけるパイプ（６）の１架設断面例を示す概要図である。
【図６】本発明のパイプ（６）のスリット（１６）中へのシール用線材（７）の着脱の１態様例を示す図である。
【図７】本発明の搬送装置におけるパイプ（６）内を走行し被搬送物を搬送する走行中子（８）の１例を示す概要図である。
【図８】本発明の搬送装置におけるパイプ（６）内を走行し被搬送物を搬送する走行中子（８）の他の１例を示す概要図である。
【図９】本発明の搬送装置における図８の例の裁頭円錐形の可撓性部材（１０ａ）及びガイド補助部材（１１ａ）を説明する図である。
【図１０】本発明の搬送装置におけるスリットパイプ（６）と走行中子（８）との関係例を示す概要図である。
【図１１】従来の搬送装置の１例を示す図である。
【符号の説明】
１    バキューマ
２    真空タンク
３    バルブユニット
４    フィルタ
５    中子挿入部材
６    パイプ
６ａ    被連結用パイプ
６ｂ    連結用パイプ
７    シール用線材
８    走行中子
９    中子ブロック
１０    密封部材
１０ａ  可撓性部材(輪状）
１１    押上部材
１１ａ  ガイド補助部材
１２    ガイド部材
１３    被搬送物
１４    操作ケーブル
１５    操作盤
１６    スリット
１６ａ  嵌まり込み口
１６ｂ  内腔部
１７    搬送手段
２０    支持構造物
２１    Ｌ型鋼
２２    締結ボルト
２３    係合部材
２４    姿勢保持用溝
２５    姿勢保持用凸部
２６    締結摘み
２７    連結軸
２８    外部チリ吸引穴
２９    接続部材
３０    接続部材端部
３１    ヨーク部材
３２    開孔部
３３    ゴミ吸引防止カバー
３５    接続用パイプ
３５ａ  切れ目
３６    パイプ継ぎ目
３７    第１台座
３７ａ  ピン
３８    第２台座
３９    ネジ
４０    ナット
５１    接続部材（ワイヤ）
５１ａ  リング
５２ａ  ベアリングケース
５２ｂ  ベアリングボール
５３    合成ゴム
５４    スポンジ
５５    リング
５６    パイプの切れ目
５７    ガイド溝
５８    シール用線材
５９    パイプ
６１    ワイヤ保持用リング
６２    鉄板
６３    移動体
６６    シール部
６９    中心軸
【図１】
0004312902.tif 000002
【図２】
0004312902.tif 000003
【図３】
0004312902.tif 000004
【図４】
0004312902.tif 000005
【図５】
0004312902.tif 000006
【図６】
0004312902.tif 000007
【図７】
0004312902.tif 000008
【図８】
0004312902.tif 000009
【図９】
0004312902.tif 000010
【図１０】
0004312902.tif 000011
【図１１】
0004312902.tif 000012