【手続補正書】
【提出日】平成25年8月22日(2013.8.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクに設けられたパターンの露光光像を基板に投影して前記基板に前記パターンの転写パターンを形成する露光方法であって、
前記転写パターンを計測し、
この計測結果に対して投影時の所定の寄与分を補正して算出されたマスクの伸縮変動量に基づいて算出されたマスク伸縮補正値に応じて前記露光光像を調整し、
調整された前記露光光像を前記基板に投影する
露光方法。
【請求項２】
前記所定の寄与分は、前記マスクの熱変形に対応する補正量を含む
請求項１に記載の露光方法。
【請求項３】
前記補正量、または、前記マスクの伸縮変動量は、
前記マスクの熱変形量に関する所定の関数に基づいて設定され、
前記露光光像の調整は、前記関数を補正することを含む
請求項１又は請求項２に記載の露光方法。
【請求項４】
前記露光光像の調整は、前記計測結果の倍率誤差、または、前記計測結果の倍率誤差の変動率が所定の閾値を超えている場合に行う
請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項５】
前記転写パターンの計測は、前記転写パターンの形成に関する他の動作と並行して行う請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項６】
マスクに設けられたパターンの転写パターンを基板に形成する露光装置であって、
前記マスクに設けられたパターンの露光光像が前記基板に投影されて形成される転写パターンを計測した計測結果を含む入力信号が入力される入力部と、
入力された前記計測結果に対して投影時の所定の寄与分を補正して算出されたマスクの伸縮変動量に基づいて算出されたマスク伸縮補正値に応じた前記露光光像の調整データを生成する生成部と、
生成された前記調整データを含む出力信号が出力される出力部と、を備える露光装置。
【請求項７】
請求項６に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと
を含むデバイスの製造方法。
【請求項８】
前記露光光像の投影に用いられる投影光学系の倍率キャリブレーションの補正値として、前記マスクに設けられた前記露光パターンの伸縮変動量に基づいて算出された前記マスク伸縮補正値と前記マスクに設けられた倍率キャリブレーションパターンの伸縮変動量に基づいて算出されたマスク伸縮補正値との差分を算出し、この差分値で倍率キャリブレーション値の補正を行う
請求項１から請求項５のうちいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項９】
マスクに設けられたパターンの露光光像を基板に投影して前記基板に前記パターンの転写パターンを形成する露光装置であって、
前記露光光像の投影に用いられる投影光学系と、
前記投影光学系を較正する較正装置と、
前記マスクに設けられたパターンの露光光像が基板に投影されて形成される転写パターンを計測した計測結果を含む入力信号が入力される入力部と、入力された前記計測結果に対して投影時の所定の寄与分を補正して算出されたマスクの伸縮変動量に基づいて算出されたマスク伸縮補正値に応じた前記露光光像の調整データを生成する生成部と、生成された前記調整データを含む出力信号が出力される出力部と、を有するサーバ装置から、前記マスクに設けられた露光パターンの伸縮変動量と前記マスクに設けられた倍率キャリブレーションパターンの伸縮変動量とを受信する受信装置と、
マスクに設けられた露光パターンの伸縮変動量に基づいて算出されたマスク伸縮補正値とマスクに設けられた倍率キャリブレーションパターンの伸縮変動量に基づいて算出されたマスク伸縮補正値との差分を算出し、この差分値で倍率キャリブレーション値の補正を行わせる制御装置と、
を備える露光装置。
【請求項１０】
前記制御装置は、
前記マスクの熱変形量に関する第２関数、及び、前記マスクの熱変形量に関する第１関数に基づいて倍率キャリブレーションの補正値を算出し、
前記投影光学系の倍率キャリブレーションを実行する際には、前記第２関数を補正することを含む
請求項９に記載の露光装置。
【請求項１１】
請求項９又は請求項１０に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと
を含むデバイスの製造方法。
【請求項１２】
前記露光光像の調整は、前記計測結果に含まれる０次変形成分、１次変形成分及び２次以上の高次変形成分のうち少なくとも１つが所定の閾値を超えている場合に行う
請求項１から請求項５、請求項８のうちいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項１３】
前記露光光像の調整は、前記計測結果の０次変形成分の変動率、１次変形成分の変動率及び２次以上の高次変形成分の変動率のうち少なくとも１つが所定の閾値を超えている場合に行う
請求項１から請求項５、請求項８、及び、請求項１２のうちいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項１４】
前記転写パターンの形成は、
前記マスクに設けられた前記パターンの前記露光光像を、複数の前記基板を含む第一の単位基板群のそれぞれの前記基板に対して連続して投影することと、
第一の前記単位基板群に対する前記露光光像の投影の後、所定の時間をおいて、前記マスクと同一のマスクに設けられた前記パターンの前記露光光像を、第二の前記単位基板群のそれぞれの前記基板に対して連続して行うことと、
を含み、
前記露光光像の調整は、第一の前記単位基板群への前記露光光像の投影と第二の前記単位基板群への前記露光光像の投影との間における前記マスクの伸縮変動量に基づいて算出された前記マスク伸縮補正値に応じて行うことを含む
請求項１から請求項５、請求項８、請求項１２、請求項１３のうちいずれか一項に記載の露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光方法、露光装置及びデバイスの製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、露光方法、露光装置及びデバイスの製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１２】
また、例えば上記実施形態においては、露光システムＳＹＳの構成として露光装置ＥＸ、計測装置ＭＳ及びサーバ装置ＳＲが１台ずつ設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば図６に示すように、露光システムＳＹＳ２が露光装置ＥＸ及び計測装置ＭＳを有する構成とし、サーバ装置ＳＲが例えば露光装置ＥＸに組み込まれている構成としても構わない。また、図７に示すように、露光システムＳＹＳ３が露光装置ＥＸ及び計測装置ＭＳを有する構成とし、サーバ装置ＳＲが計測装置ＭＳに組み込まれている構成としても構わない。
（４）露光方法において、
前記関数の補正は、
前記マスクの伸縮変動量を用いて前記関数の更新値を算出し、前記更新値を用いて前記関数を更新することを含む
こともできる。
（７）サーバー装置は、
マスクに設けられたパターンの露光光像が基板に投影されて形成される転写パターンを計測した計測結果を含む入力信号が入力される入力部と、
入力された前記計測結果に対して投影時の所定の寄与分を補正して算出されたマスクの伸縮変動量に基づいて算出されたマスク伸縮補正値に応じた前記露光光像の調整データを生成する生成部と、
生成された前記調整データを含む出力信号が出力される出力部と
を備える
こともできる。
（８）サーバー装置において、
前記所定の寄与分は、前記マスクの熱変形に対応する補正量を含む
こともできる。
（９）サーバー装置において、
前記補正量、または、マスクの伸縮変動量は、前記マスクの熱変形量に関する所定の関数に基づいて設定され、
前記調整データは、前記関数を補正するデータである
こともできる。
（１０）サーバー装置において、
前記調整データは、前記マスクの伸縮変動量を用いて算出される更新値によって前記関数を更新するデータである
こともできる。
（１１）サーバー装置において、
前記調整データの生成は、前記計測結果の倍率誤差、または、前記計測結果の倍率誤差の変動率が所定の閾値を超えている場合に行う
こともできる。
（１２）サーバー装置において
前記転写パターンの計測は、前記転写パターンの形成に関する他の動作と並行して行う
こともできる。
（１６）露光方法において、
前記投影光学系の倍率キャリブレーションの補正値は、前記請求項１５に記載のマスクの熱変形量に関する第２関数、及び、前記請求項３に記載のマスクの熱変形量に関する第１関数に基づいて算出され、
前記投影光学系の倍率キャリブレーションの実行は、前記第２関数を補正することを含む
こともできる。
（１７）露光方法において、
前記第２関数の補正は、前記マスクの伸縮変動量を用いて前記第２関数の第２更新値を算出し、
前記第２更新値を用いて前記第２関数を更新することを含む
こともできる。
（１８）露光方法は、
倍率キャリブレーション結果に対して、投影時の所定の寄与分を補正して算出されたマスク上の倍率キャリブレーションパターンの伸縮変動量に基づいて算出されたマスクの伸縮補正値と、前記倍率キャリブレーションパターンの伸縮変動量との差分、または、この差分の変動率が所定の閾値を超えている場合に前記第２関数を更新することを含む
こともできる。
（１９）サーバー装置において、
前記生成部は、前記マスクの伸縮変動量に基づいて、前記露光光像の投影に用いられる投影光学系の倍率キャリブレーション値を補正するデータを生成する
こともできる。
（２０）サーバー装置において、
前記倍率キャリブレーション値を補正するデータは、前記マスクの熱変形量に関する第２関数と第１関数に基づいて設定され、
前記投影光学系の倍率キャリブレーションの実行は、前記第２関数を補正することを含む
こともできる。
（２１）サーバー装置において、
前記第２関数の補正は、前記マスクの伸縮変動量を用いて前記第２関数の第２更新データを算出し、前記第２更新データを用いて前記第２関数を更新することを含む
こともできる。
（２４）露光装置において、
前記制御装置は、前記第２関数の補正の際、前記マスクの伸縮変動量を用いて前記第２関数の第２更新値を算出し、前記第２更新値を用いて前記第２関数を更新することを含む
こともできる。
（２８）露光方法において、
前記露光光像の調整は、前記所定の閾値を超えた対象についての前記関数の更新値を算出することを含む
こともできる。
（２９）サーバー装置において、
前記調整データの生成は、前記計測結果の０次変形成分、１次変形成分並びに２次以上の高次変形成分のうち少なくとも１つが所定の閾値を超えている場合に行う
こともできる。
（３０）サーバー装置において、
前記調整データの生成は、前記計測結果の０次変形成分の変動率、１次変形成分の変動率並びに２次以上の高次変形成分の変動率のうち少なくとも１つが所定の閾値を超えている場合に行う
こともできる。
（３１）サーバー装置において、
前記露光光像の調整は、前記所定の閾値を超えた対象についての前記関数の更新値を算出することを含む
こともできる。
（３５）露光方法において、
前記転写パターンの計測結果に基づく第一の単位基板群のマスク伸縮変動量と第二の単位基板群のマスク伸縮変動量との間におけるマスク伸縮変動量オフセットは、前記投影光学系の倍率キャリブレーションパターンの計測結果に基づく第一の単位基板群のマスク伸縮変動量と第二の単位基板群のマスク伸縮変動量との間におけるマスク伸縮変動量オフセットに合わせるように補正され、
この補正されたマスク伸縮変動量に基づいて算出されたマスク伸縮補正値に応じて、前記露光光像の調整量を算出することを含む
こともできる。
（３６）露光方法において、
前記投影光学系の倍率キャリブレーションパターンの計測結果に基づく第一の単位基板群のマスク伸縮変動量は、第一の前記単位基板群のうち最後の基板に対するマスク伸縮変動量を算出し、
前記投影光学系の倍率キャリブレーションパターンの計測結果に基づく第二の単位基板群のマスク伸縮変動量は、第二の前記単位基板群のうち最初の基板に対するマスク伸縮変動量を算出し、
前記２つの算出結果の差分を前記マスク伸縮変動量オフセットとする
こともできる。
（３７）露光方法において
前記転写パターンの計測結果に基づく第一の単位基板群のマスク伸縮変動量と第二の単位基板群のマスク伸縮変動量との間におけるマスク伸縮変動量オフセットは、前記投影光学系の倍率キャリブレーションパターンの計測結果に基づく第一の単位基板群のマスク伸縮変動量と第二の単位基板群のマスク伸縮変動量との間におけるマスク伸縮変動量オフセットに合わせるため、前記２つのマスク伸縮変動量オフセットの差分を前記転写パターンの計測結果に基づく第二の前記単位基板群の各マスク伸縮変動量に加算する
こともできる。
（３８）露光方法において、
前記投影光学系の倍率キャリブレーションの計測結果が、第一の前記単位基板群のうち最後の前記基板に対して所定数以前に行われた投影光学系の倍率キャリブレーションの計測結果である場合には、警告表示を行う
こともできる。
（３９）サーバー装置において、
前記伸縮補正量は、
前記マスクに設けられた前記パターンの前記露光光像を、複数の前記基板を含む第一の単位基板群のそれぞれの前記基板に対して連続して投影すると共に、第一の前記単位基板群に対する前記露光光像の投影の後、所定の時間をおいて、前記マスクと同一のマスクに設けられた前記パターンの前記露光光像を、第二の前記単位基板群のそれぞれの前記基板に対して連続して行う場合における、第一の前記単位基板群への前記露光光像の投影と第二の前記単位基板群への前記露光光像の投影との間における前記マスクの伸縮変動量である
こともできる。
（４０）サーバー装置において、
前記入力信号は、第二の前記単位基板群のうち最初の前記基板に対する計測結果を含み、
前記生成部は、
第一の前記単位基板群のうち最後の前記基板に対する前記転写パターンの形成時における前記マスク伸縮変動量を算出すると共に、
最初の前記基板に対する前記計測結果と、算出された最後の前記基板に対する前記転写パターンの形成時における前記マスク伸縮変動量と、に応じて前記調整データを生成する
こともできる。
（４１）サーバー装置は、
前記入力信号に含まれる前記計測結果が、第一の前記単位基板群のうち最後の前記基板に対して所定数以前に行われた投影光学系の倍率キャリブレーションの計測結果である場合には、警告表示を行う
こともできる。