【手続補正書】
【提出日】平成25年2月5日(2013.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と第２基板とを互いに重ね合わせる重ね合わせ装置であって、
前記第１基板を保持する第１ステージと、
前記第２基板を保持し、前記第１基板と前記第２基板とを重ね合わせるべく移動する第２ステージと、
前記第２基板に重ね合わされた前記第１基板に対する前記第１ステージの保持が解除されたときに、前記第１ステージから前記第２ステージへの前記第１基板の荷重移動に伴って変位が生じた前記第２ステージの戻り動作による前記第１ステージへの前記第１基板の衝突を防止する衝突防止部と、
を備える重ね合せ装置。
【請求項２】
前記第２ステージを前記第１ステージの方向へ移動させる駆動部を備え、
前記衝突防止部は、前記駆動部の駆動力を前記第２ステージを介して前記第１ステージに作用させることが可能となったことを検出する検出部と、前記駆動部を制御する制御部とを有し、
前記制御部は、前記駆動部の駆動力を前記第１ステージに作用させることが可能となったことを前記検出部が検出した後であって、前記第１ステージと前記第１基板が離間するまでの間に、少なくとも前記第１基板の荷重に相当する大きさの駆動力を前記第２ステージから前記第１ステージに作用させるべく前記駆動部を制御する請求項１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３】
前記第１ステージと前記第２ステージは互いに重力方向で対向し、前記第２ステージは前記第１ステージの下方に配置されており、
前記駆動部は、前記第２ステージを前記第１ステージ方向へ駆動するアクチュエータを有し、
前記制御部は、前記荷重に相当する大きさの駆動力を前記アクチュエータにより発生させる請求項２に記載の重ね合わせ装置。
【請求項４】
前記駆動部は、前記第２ステージを前記第１ステージ方向へ駆動する支持機構を更に有し、前記制御部は、前記荷重に相当する大きさの駆動力を、前記アクチュエータから前記支持機構へ移行させる請求項３に記載の重ね合わせ装置。
【請求項５】
前記移行は、前記第１ステージが前記第１基板の保持を解除してから、前記第１ステージと前記第１基板が離間するまでの間に実行する請求項４に記載の重ね合わせ装置。
【請求項６】
前記第１ステージと前記第２ステージとは互いに重力方向で対向し、前記第２ステージは前記第１ステージの下方に配置されており、
前記駆動部は、前記第２ステージを重力方向に支持する支持機構を有し、
前記制御部は、前記荷重に相当する大きさの駆動力を支持機構により発生させる請求項２に記載の重ね合わせ装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記支持機構に前記荷重に相当する力を超える駆動力を発生させて前記第２基板を前記第１基板に向けて押圧した後、前記荷重に相当する大きさまで駆動力を減少させる請求項６に記載の重ね合わせ装置。
【請求項８】
前記第１基板及び前記第２基板の少なくとも一方は基板ホルダに保持されており、
前記衝突防止部は、前記第１基板が前記基板ホルダに保持されているときには、前記変位により前記基板ホルダが前記第１ステージに衝突することを防止する請求項２から７のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記第１基板が前記基板ホルダに保持されて、前記第１基板が前記基板ホルダと一体的に前記第１ステージから離間する場合に、前記基板ホルダの荷重に相当する大きさの駆動力を加えて前記第２ステージから前記第１ステージに作用させるべく前記駆動部を制御する請求項８に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１０】
前記検出部は、前記駆動部の駆動力を前記第２ステージを介して前記第１ステージに作用させることが可能となったことを、前記第１基板と前記第２基板をそれぞれ保持する前記基板ホルダが互いに接触したことにより検出する請求項８または９に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１１】
前記検出部は、前記駆動部の駆動力を前記第２ステージを介して前記第１ステージに作用させることが可能となったことを、前記第１基板と前記第２基板が接触したことにより検出する請求項２から９のいずれか一項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１２】
前記第２ステージを前記第１ステージの方向へ移動させる駆動部を備え、
前記衝突防止部は、前記第１基板と前記第１ステージとの間に気体を噴出する噴気機構と、前記噴気機構を制御する制御部とを有し、
前記制御部は、前記第１ステージが前記第１基板の保持を解除するタイミングに同期して前記気体を噴出させる請求項１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１３】
前記制御部は、前記第１ステージと前記第２ステージの距離が大きくなるに従って前記気体の噴出量を少なくする請求項１２に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１４】
前記第１ステージには前記気体が噴出される孔が設けられており、前記噴気機構は、前記孔から吸気することにより、前記第１基板を前記第１ステージに吸着させる保持機構を兼ねる請求項１２または１３に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１５】
前記第１基板及び前記第２基板の少なくとも一方は基板ホルダに保持されており、
前記衝突防止部は、前記第１基板が前記基板ホルダに保持されているときには、前記変位により前記基板ホルダが前記第１ステージに衝突することを防止する請求項１２から１４のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１６】
前記第１基板が前記基板ホルダに保持されているときには、前記噴気機構は、前記第１ステージと前記基板ホルダとの間に前記気体を噴出する請求項１５に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１７】
前記第１基板と前記第２基板をそれぞれ保持する前記基板ホルダが互いに接触したことを検出する検出部を更に備え、
前記制御部は、前記検出部が前記基板ホルダが互いに接触したことを検出した後に前記気体を噴出させる請求項１５または１６に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１８】
前記第１基板と前記第２基板が接触したことを検出する検出部を更に備え、
前記制御部は、前記検出部が前記第１基板と前記第２基板が接触したことを検出した後に前記気体を噴出させる請求項１２から１６のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項１９】
前記第１ステージと前記第２ステージの少なくとも一方を、互いに対向する方向に沿って相対的に移動させる駆動部を備え、
前記衝突防止部は前記駆動部を制御する制御部であって、
前記制御部は、前記第１基板と前記第２基板とが互いに重ね合わされた後であって、前記第１ステージが前記第１基板の保持を解除して前記第１基板の荷重が前記第２ステージに作用するまでの間の所定の時点で、前記第１ステージと前記第２ステージの間隔が所定距離より大きくなるように前記駆動部を制御する請求項１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２０】
前記第１ステージと前記第２ステージは互いに重力方向で対向し、前記第２ステージは前記第１ステージの下方に配置されており、
前記駆動部は、重力方向に伸縮可能な伸縮機構を備えて前記第２ステージを重力方向に支持する支持機構を有し、
前記制御部は、前記伸縮機構の流体を前記所定の時点で所定量分だけ抜出することにより前記第２ステージを前記第１ステージから所定距離より大きく離間させる請求項１９に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２１】
前記第１ステージと前記第２ステージは互いに重力方向で対向し、前記第２ステージは前記第１ステージの下方に配置されており、
前記駆動部は、重力方向に伸縮可能な伸縮機構を備えて前記第２ステージを重力方向に支持する支持機構を有し、
前記制御部は、前記伸縮機構の制御を圧力制御から位置制御に切り替えて、前記第２ステージを前記第１ステージから所定距離より大きく離間させる請求項１９に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２２】
前記第１ステージと前記第２ステージは互いに重力方向で対向し、前記第２ステージは前記第１ステージの下方に配置されており、
前記駆動部は、共に前記第２ステージを前記第１ステージ方向へ駆動する支持機構とアクチュエータを有し、
前記制御部は、前記所定の時点に同期して前記アクチュエータのフィードバックゲインの値を前記所定の時点以前の値よりも小さくする請求項１９に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２３】
前記所定の時点は、前記第１基板が前記第１ステージから離間する時点を含む請求項１９から２２のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２４】
前記所定の時点は、前記第１ステージが前記第１基板を吸着する真空装置に設けられた圧力計により検出する請求項１９から２３のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２５】
前記制御部は、前記所定距離以上の距離であって、前記第１基板及び前記第２基板を搬出する搬出装置の把持部が挿入できる距離まで、前記第２ステージを前記第１ステージから離間させる請求項１９から２４のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２６】
前記所定距離は、前記駆動部の駆動限界近傍に設けられたショックアブソーバの受面までの距離よりも小さい請求項１９から２５のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２７】
前記第１基板及び前記第２基板の少なくとも一方は基板ホルダに保持されており、
前記衝突防止部は、前記第１基板が前記基板ホルダに保持されているときには、前記変位により前記基板ホルダが前記第１ステージに衝突することを防止する請求項１９から２６のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２８】
前記第１基板が前記基板ホルダに保持されているときには、前記第１基板は、前記基板ホルダと一体的に前記第１ステージから離間する請求項２７に記載の重ね合わせ装置。
【請求項２９】
前記第１基板と前記第２基板をそれぞれ保持する前記基板ホルダが互いに接触したことを検出する検出部を更に備え、
前記制御部は、前記検出部が前記基板ホルダが互いに接触したことを検出した後の時点で、前記第１ステージと前記第２ステージの間隔が所定距離より大きくなるように前記駆動部を制御する請求項２７または２８に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３０】
前記第１基板と前記第２基板が接触したことを検出する検出部を更に備え、
前記制御部は、前記検出部が前記第１基板と前記第２基板が接触したことを検出した後の時点で、前記第１ステージと前記第２ステージの間隔が所定距離より大きくなるように前記駆動部を制御する請求項１９から２８のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３１】
前記第１ステージ及び前記第２ステージの少なくとも一方を、互いに対向する方向へ移動させる駆動部を更に備え、
前記衝突防止部は前記駆動部を制御する制御部であって、
前記制御部は、前記第１基板と前記第２基板とが互いに重ね合わされた後であって、前記第１ステージが前記第１基板の保持を解除して前記第１基板の荷重が前記第２ステージに作用するまでの間の所定の時点で、前記駆動部のフィードバックゲインの値を前記所定の時点以前の値よりも小さくする請求項１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３２】
前記所定の時点は、前記第１基板が前記第１基板の保持を解除する時点、または、前記第１基板が前記第１ステージから離間する時点を含む請求項３１に記載の重ね合わせ装置
。
【請求項３３】
前記所定の時点は、前記第１基板と前記第２基板との重ね合わせが完了する時点である請求項３１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３４】
前記第１基板と前記第２基板の接触を検出する検出部を備え、
前記制御部は、前記検出部が前記第１基板と前記第２基板との接触を検出した後に、前記駆動部のフィードバックゲインの値を前記所定の時点以前の値よりも小さくする請求項３１から３３のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３５】
前記検出部は、圧力を検出するロードセルから構成され、
前記所定の時点は、前記ロードセルの出力が所定値よりも小さくなる時点である請求項３４に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３６】
前記所定の時点は、前記駆動部における単位時間当たりの推力の上昇量が所定値を上回る時点である請求項３１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３７】
前記第１ステージは、前記第１基板の脱落を防止する脱落防止機構を備え、
前記所定の時点は、前記脱落防止機構を解除する時点である請求項３１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３８】
前記第１ステージと前記第２ステージの少なくとも一方を、互いに対向する方向へ移動させる駆動部を更に備え、
前記衝突防止部は前記駆動部を制御する制御部であって、
前記制御部は、前記第１基板と前記第２基板とが互いに重ね合わされた後であって、前記第１ステージが前記第１基板の保持を解除して前記第１基板の荷重が前記第２ステージに作用するまでの間の所定の時点で、前記駆動部の制御をフィードバック制御からオープンループ制御に切り替える請求項１に記載の重ね合わせ装置。
【請求項３９】
前記第１基板及び前記第２基板の少なくとも一方は基板ホルダに保持されており、
前記衝突防止部は、前記第１基板が前記基板ホルダに保持されているときには、前記変位により前記基板ホルダが前記第１ステージに衝突することを防止する請求項３１から３８のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項４０】
前記第１基板が前記基板ホルダに保持されているときには、前記所定の時点は、前記基板ホルダが前記第１ステージから離間する時点を含む請求項３９に記載の重ね合わせ装置。
【請求項４１】
前記第１基板と前記第２基板をそれぞれ保持する前記基板ホルダが互いに接触したことを検出する検出部を更に備え、
前記制御部は、前記検出部が前記基板ホルダが互いに接触したことを検出した後に、前記駆動部のフィードバックゲインの値を前記所定の時点以前の値よりも小さくする請求項３９に記載の重ね合わせ装置。
【請求項４２】
前記第１基板及び前記第２基板の少なくとも一方は、既に積層された複数の基板からなる請求項１から４１のいずれか１項に記載の重ね合わせ装置。
【請求項４３】
第１ステージに第１基板を保持するステップと、
前記第１ステージに対向して配置される第２ステージに第２基板を保持するステップと、
前記第２ステージの移動により前記第１基板と前記第２基板とを互いに重ね合せるステップと、
前記第１ステージによる前記第１基板の保持を解除するステップと、
前記解除により前記第１ステージから前記第２ステージへの前記第１基板の荷重移動に伴って変位が生じた前記第２ステージの戻り動作による前記第１ステージへの前記第１基板の衝突を防止する衝突防止ステップと、
を有する重ね合せ方法。
【請求項４４】
複数の基板を重ね合わせる重ね合わせ方法であって、
第１ステージに第１基板を保持させる第１保持ステップと、
第２ステージに、前記第１基板に対向して第２基板を保持させる第２保持ステップと、
駆動部により少なくとも前記第２ステージを前記第１ステージに向けて移動させる移動ステップと、
前記第２ステージから前記第１ステージに前記第２ステージの駆動力が作用することが可能となったことを検出する検出ステップと、
前記検出ステップで前記第１ステージへの前記駆動力の作用が可能となったことを検出した後であって、前記第１ステージが前記第１基板の保持を解除して前記第１基板の荷重が前記第２ステージに作用するまでの間に、少なくとも前記第１基板の荷重に相当する大きさの駆動力を前記第２ステージから前記第１ステージに作用させるべく前記駆動部を制御する制御ステップと
を有する重ね合わせ方法。
【請求項４５】
複数の基板を重ね合わせる重ね合わせ方法であって、
第１ステージに第１基板を保持させる第１保持ステップと、
第２ステージに、前記第１基板に対向して第２基板を保持させる第２保持ステップと、
駆動部により前記第２ステージを少なくとも前記第１ステージに向けて移動させる移動ステップと、
前記第１ステージが前記第１基板の保持を解除するタイミングに同期して、前記第１ステージと前記第１基板との間に気体を噴気させる噴気ステップと
を有する重ね合わせ方法。
【請求項４６】
複数の基板を重ね合わせる重ね合わせ方法であって、
第１ステージに第１基板を保持させる第１保持ステップと、
第２ステージに、前記第１基板に対向して第２基板を保持させる第２保持ステップと、
駆動部により前記第２ステージと前記第１ステージとを接近させる移動ステップと、
前記第１ステージが前記第１基板の保持を解除して前記第１基板の荷重が前記第２ステージに作用するまでの間の所定の時点で、前記第１ステージと前記第２ステージとが所定距離より大きく離間させるように前記駆動部を制御する制御ステップと
を有する重ね合わせ方法。
【請求項４７】
複数の基板を重ね合わせる重ね合わせ方法であって、
第１ステージに第１基板を保持させる第１保持ステップと、
第２ステージに、前記第１基板に対向して第２基板を保持させる第２保持ステップと、
駆動部により前記第２ステージと前記第１ステージとを接近させる移動ステップと、
前記第１基板と前記第２基板を重ね合わせる重ね合わせステップと、
前記第１基板と前記第１ステージとの非接触を検出する非接触検出ステップと、
前記重ね合わせステップと前記非接触検出ステップの間の所定の時点で、前記駆動部のフィードバックゲインの値を前記所定の時点以前の値よりも小さくするゲイン変更ステップと
を有する重ね合わせ方法。
【請求項４８】
複数の基板を重ね合わせる重ね合わせ方法であって、
第１ステージに第１基板を保持させる第１保持ステップと、
第２ステージに、前記第１基板に対向して第２基板を保持させる第２保持ステップと、
駆動部により前記第２ステージと前記第１ステージとを接近させる移動ステップと、
前記第１基板と前記第２基板とを重ね合わせる重ね合わせステップと、
前記第１基板と前記第１ステージの非接触を検出する非接触検出ステップと、
前記重ね合わせステップと前記非接触検出ステップの間の所定の時点で、前記駆動部の制御をフィードバック制御からオープンループ制御に切り替える制御切替ステップと
を有する重ね合わせ方法。
【請求項４９】
複数の基板を重ね合わせて製造されるデバイスの製造方法であって、
前記複数の基板を重ね合わせる工程は、
第１ステージに第１基板を保持させる第１保持ステップと、
第２ステージに、前記第１基板に対向して第２基板を保持させる第２保持ステップと、
駆動部により少なくとも前記第２ステージを前記第１ステージに向けて移動させる移動ステップと、
前記第２ステージから前記第１ステージに前記第２ステージの駆動力が作用することが可能となったことを検出する検出ステップと、
前記検出ステップで前記第１ステージへの前記駆動力の作用が可能となったことを検出した後であって、前記第１ステージが前記第１基板の保持を解除して前記第１基板の荷重が前記第２ステージに作用するまでの間に、少なくとも前記第１基板の荷重に相当する大きさの駆動力を前記第２ステージから前記第１ステージに作用させるべく前記駆動部を制御する制御ステップと
を含むデバイスの製造方法。
【請求項５０】
複数の基板を重ね合わせて製造されるデバイスの製造方法であって、
前記複数の基板を重ね合わせる工程は、
第１ステージに第１基板を保持させる第１保持ステップと、
第２ステージに、前記第１基板に対向して第２基板を保持させる第２保持ステップと、
駆動部により前記第２ステージと前記第１ステージとを接近させる移動ステップと、
前記第１ステージが前記第１基板の保持を解除して前記第１基板の荷重が前記第２ステージに作用するまでの間の所定の時点で、前記第１ステージと前記第２ステージとが所定距離より大きく離間させるように前記駆動部を制御する制御ステップと
を含むデバイスの製造方法。
【請求項５１】
複数の基板を重ね合わせて製造されるデバイスの製造方法であって、
前記複数の基板を重ね合わせる工程は、
第１ステージに第１基板を保持させる第１保持ステップと、
第２ステージに、前記第１基板に対向して第２基板を保持させる第２保持ステップと、
駆動部により前記第２ステージと前記第１ステージとを接近させる移動ステップと、
前記第１ステージが前記第１基板の保持を解除して前記第１基板の荷重が前記第２ステージに作用するまでの間の所定の時点で、前記第１ステージと前記第２ステージとが所定距離より大きく離間させるように前記駆動部を制御する制御ステップと
を含むデバイスの製造方法。
【請求項５２】
複数の基板を重ね合わせて製造されるデバイスの製造方法であって、
前記複数の基板を重ね合わせる工程は、
第１ステージに第１基板を保持させる第１保持ステップと、
第２ステージに、前記第１基板に対向して第２基板を保持させる第２保持ステップと、
駆動部により前記第２ステージと前記第１ステージとを接近させる移動ステップと、
前記第１基板と前記第２基板を重ね合わせる重ね合わせステップと、
前記第１基板と前記第１ステージの非接触を検出する非接触検出ステップと、
前記重ね合わせステップと前記非接触検出ステップの間の所定の時点で、前記駆動部のフィードバックゲインの値を前記所定の時点以前の値よりも小さくするゲイン変更ステップと
を含むデバイスの製造方法。
【請求項５３】
複数の基板を重ね合わせて製造されるデバイスの製造方法であって、
前記複数の基板を重ね合わせる工程は、
第１ステージに第１基板を保持させる第１保持ステップと、
第２ステージに、前記第１基板に対向して第２基板を保持させる第２保持ステップと、
駆動部により前記第２ステージと前記第１ステージとを接近させる移動ステップと、
前記第１基板と前記第２基板を重ね合わせる重ね合わせステップと、
前記第１基板と前記第１ステージの非接触を検出する非接触検出ステップと、
前記重ね合わせステップと前記非接触検出ステップの間の所定の時点で、前記駆動部の制御をフィードバック制御からオープンループ制御に切り替える制御切替ステップと
を含むデバイスの製造方法。