【手続補正書】
【提出日】平成25年4月9日(2013.4.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の観察手段を備える拡大観察装置であって、
内部空間で減圧可能な試料室と、
第一の観察手段として、前記試料室内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、
前記電子線撮像手段で取得される電子顕微鏡画像の電子顕微鏡倍率を調整するための電子顕微鏡倍率調整手段と、
第二の観察手段として、前記試料室内の光学画像を取得可能な光学系撮像手段と、
前記光学系撮像手段で取得される光学画像の倍率であって、電子顕微鏡倍率と異なる基準で決定される光学倍率を調整するための光学倍率調整手段と、
一方の観察手段の光軸の方向を、他方の観察手段の光軸の方向と略一致させるように各観察手段を移動可能な移動手段と、
前記電子線撮像手段で取得された電子顕微鏡画像と、前記光学系撮像手段で取得された光学画像を、切り替えて、又は同時に表示するための表示手段と、
前記電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれか一方で取得された画像の倍率を認識し、該画像と略同一の表示サイズの画像を他方の観察手段で取得するための倍率を、他方の観察手段の基準に基づく倍率に換算するための倍率換算手段と、
を備えることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項２】
請求項１に記載の拡大観察装置であって、
一方の観察手段で取得され前記表示手段上に表示される画像の倍率を、前記倍率換算手段で他方の観察手段の倍率に換算した換算倍率、又は該換算倍率への設定が他方の観察手段では不可能な場合は、該換算倍率に近接した設定可能な倍率を、前記表示手段上に表示可能に構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の拡大観察装置であって、
一方の観察手段で取得された画像の倍率を、前記倍率換算手段で他方の観察手段の倍率に換算した換算倍率、又は該換算倍率への設定が他方の観察手段では不可能な場合は、該換算倍率に近接した設定可能な倍率に、該他方の観察手段の倍率調整手段で自動的に設定可能としてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記電子線撮像手段で取得される電子顕微鏡画像の、前記電子顕微鏡倍率調整手段で調整可能な電子顕微鏡倍率範囲と、
前記光学系撮像手段で取得される光学画像の、前記光学倍率調整手段で調整可能な光学倍率範囲とが、
前記倍率換算手段で換算された換算倍率において、少なくとも部分的に重複してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
前記電子線撮像手段で取得された電子顕微鏡画像と、前記光学系撮像手段で取得された光学画像とを合成する画像合成手段を備えることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記光学系撮像手段は、
光学画像を拡大するズーム機構と、
該ズーム機構により拡大された拡大倍率を認識する拡大倍率認識手段と、
を有し、
前記電子顕微鏡倍率調整手段は、
前記電子線撮像手段で取得する電子顕微鏡画像の倍率に関するパラメータを設定するパラメータ設定手段と、
前記パラメータ設定手段で設定されたパラメータを認識し、該パラメータにて得られる電子顕微鏡倍率を算出するための電子顕微鏡倍率算出手段と、
を有することを特徴とする拡大観察装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記表示手段が、電子顕微鏡画像と光学画像を、いずれかの倍率を基準とする換算倍率で同倍率として同時に表示可能であることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
観察モードとして、前記表示手段で電子顕微鏡画像と光学画像とを比較観察可能な比較モードと、電子顕微鏡画像と光学画像とを合成した合成画像を表示可能な合成モードを選択可能に構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
前記電子線撮像手段で取得可能な電子顕微鏡倍率範囲と、前記光学系撮像手段で取得可能な光学倍率範囲とを、同じ基準の倍率に換算して前記表示手段上に一次元状に表示可能な倍率範囲表示手段を備えることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
前記倍率換算手段が、前記電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれか一方で取得された画像の倍率と略同一の表示サイズの画像を他方の観察手段で取得するための換算倍率が、該他方の観察手段で設定不可能な倍率である場合、該他方の観察手段で設定可能な倍率の内で、該換算倍率に最も近い倍率を、換算倍率として出力するよう構成されてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記移動手段が、
前記電子線撮像手段及び光学系撮像手段の光軸を共通の回転軸に向かう姿勢に維持しつつ、該回転軸までの距離を一定に維持するように、前記電子線撮像手段及び光学系撮像手段を前記胴部の円筒状側面に沿って回転させるための回動手段であることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記試料台は、水平姿勢で非傾動状態に維持され、水平面内で移動させるための水平面移動機構及び高さ調整のための高さ調整機構を備えてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の拡大観察装置であって、
前記高さ調整機構で調整可能な高さ可動範囲に、前記回動手段の回転軸が含まれるよう構成されてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１４】
請求項１から１３のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
倍率が、同じ表示範囲を、観察視野範囲で除算した値で定義されてなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１５】
請求項１から１４のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記光学系撮像手段が、設定された倍率を読み取るための光学倍率読取手段を備えることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の拡大観察装置であって、
前記光学倍率読取手段で、光学画像の倍率を読み取り、該読み取った光学倍率に対応する電子顕微鏡画像の倍率を前記倍率換算手段で換算し、該換算倍率の電子顕微鏡画像を前記表示手段に表示可能に構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１７】
請求項１から１６のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記倍率換算手段で換算された換算倍率を、前記表示手段上に表示させる状態と、非表示とする状態とを切り替え可能に構成してなることを特徴とする拡大観察装置。
【請求項１８】
複数の観察手段を備える拡大観察装置であって、
内部空間で減圧可能な試料室と、
観察対象の第一の試料を載置するための第一の試料台と、
第一の観察手段として、前記試料室内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、
前記電子線撮像手段で取得される電子顕微鏡画像の電子顕微鏡倍率を調整するための電子顕微鏡倍率調整手段と、
観察対象の第二の試料を載置するための第二の試料台と、
第二の観察手段として、前記第二の試料の光学画像を取得可能な光学系撮像手段と、
前記光学系撮像手段で取得される光学画像の倍率であって、電子顕微鏡倍率と異なる基準で決定される光学倍率を調整するための光学倍率調整手段と、
前記電子線撮像手段で取得された第一の試料の電子顕微鏡画像と、前記光学系撮像手段で取得された第二の試料の光学画像を、切り替えて、又は同時に表示するための表示手段と、
前記電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれか一方で取得された画像の倍率を認識し、該画像と略同一倍率の画像を他方の観察手段で取得するための倍率を、他方の観察手段の基準に基づく倍率に換算するための倍率換算手段と、
を備えることを特徴とする拡大観察装置。