【手続補正書】
【提出日】平成25年10月21日(2013.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、基板保持部に保持された基板に対して第１ノズルから第１処理液を供給し、第１処理液を排出機構を介して第１排出路から排出するとともに、第１処理液からの排気を第１排気機構により排気する第１処理工程と、第１処理工程後に、基板保持部に保持された基板に対して第２ノズルから第２処理液を供給し、第２処理液を排出機構を介して第２排出路から排出するとともに、第２処理液からの排気を第２排気機構により排気する第２処理工程とを備え、第２処理工程が開始される前に、第１ノズルから第２ノズルへのノズル切換作業、第１排出路から第２排出路への排出機構切換作業および第１排気機構から第２排気機構への排気機構切換作業が行なわれ、ノズル切換作業、排出機構切換作業および排気機構切換作業に要する時間のうち、最長の時間を最大準備時間として定め、第１処理工程の終了時よりこの最大準備時間以上早めた時点からノズル切換作業および排出機構切換作業、排気機構切換作業が開始されることを特徴とする液処理方法である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
ところで、ノズル支持アーム３２Ａに支持された第１ノズル３１Ａは下向きとなっており、このノズル支持アーム３２Ａの第１ノズル３１Ａからは硫酸と過酸化水素水とを混合して得たＳＰＭ液がウエハＷに向かって下方に吐出されるようになっている。上述のように第１ノズル３１Ａには、回動軸３４Ａおよびノズル支持アーム３２Ａ内を延びる供給ライン３５Ａが接続されており、並列に設けられたＨ２Ｏ２水供給部３６およびＨ２ＳＯ４供給部３７がそれぞれ開閉弁３６ａおよび開閉弁３７ａを介して供給ライン３５Ａに接続されている。また、Ｈ２ＳＯ４供給部３７から供給された硫酸を加熱するためのヒータ３７ｂが設けられている。そして、Ｈ２Ｏ２水供給部３６およびＨ２ＳＯ４供給部３７から供給された過酸化水素水および硫酸が混合され、この硫酸と過酸化水素水とを混合して得たＳＰＭ液が供給ライン３５Ａを介してノズル支持アーム３２Ａ先端の第１ノズル３１Ａに送られるようになっている。また、Ｈ２ＳＯ４供給部３７から供給された硫酸をヒータ３７ｂにより加熱するとともに、硫酸と過酸化水素水とが混合したときの化学反応により反応熱が生じる。それによって、第１ノズル３１Ａから吐出されるＳＰＭ液は、例えば１００℃以上、好ましくは１７０℃程度の高温となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
まず図２において、第１ノズル３１Ａおよび第２ノズル３１ＢをウエハＷ上から退避した退避位置にもってくる。また昇降シリンダ４４ａにより案内カップ４４を上昇させ、案内カップ４４を上昇位置（第１位置）へもってくる（図４（ａ）参照）。この場合、案内カップ４４は第１排出路４６ａと第２排出路４６ｂとを切換える排出機構として機能する。このような状態で、基板保持部２１におけるリフトピンプレート２２および処理液供給管２８を図２に示す位置から上方に移動させ、チャンバ２０の開口９４を開く（図１）。
そして、液処理装置１０の外部からウエハＷが搬送アーム１０４により開口９４を介してチャンバ２０内に搬送され、このウエハＷがリフトピンプレート２２のリフトピン２３上に載置され、その後、搬送アーム１０４はチャンバ２０から退避する。また、エアフード７０からチャンバ２０内にクリーンエア等のガスが常にダウンフローで送られ、このガスが排気されることにより、チャンバ２０内の雰囲気の置換が行われるようになっている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
この第２処理工程においては、案内カップ（排出機構）４４は下降して下降位置（第２位置）をとり、排出流路は第１排出路４６ａから第２排出路４６ｂへ切換えられる必要がある。また切換弁５１により第１排気機構５２ａから第２排気機構５２ｂへ切換え、第１排気機構５２ａの排気ポンプ５３ａを停止して第２排気機構５２ｂの排気ポンプ５３ｂを駆動する必要がある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
（排出機構切換作業）
昇降シリンダ４４ａにより案内カップ４４を降下させ、案内カップ４４が上昇位置（第１位置）から降下位置（第２位置）をとる（図４（ｂ）参照）。このことにより第１排出路４６ａから第２排出路４６ｂへの切換えが行なわれる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する基板保持部と、
基板保持部に保持された基板に対して第１処理液を供給する第１ノズルと、
基板保持部に保持された基板に対して第２処理液を供給する第２ノズルと、
第１排出路と第２排出路とを切換可能な排出機構と、
基板保持部、第１ノズル、第２ノズルおよび排出機構を各々制御する制御部とを備え、  制御部は、
基板保持部に保持された基板に対して第１ノズルから第１処理液を供給するとともに、第１処理液を排出機構を介して第１排出路から排出する第１処理工程と、
第１処理工程後に、基板保持部に保持された基板に対して第２ノズルから第２処理液を供給するとともに、第２処理液を排出機構を介して第２排出路から排出する第２処理工程とを備え、
第２処理工程が開始される前に、第１ノズルから第２ノズルへのノズル切換作業および第１排出路からの第２排出路への排出機構切換作業が行なわれ、
ノズル切換作業および排出機構切換作業に要する時間のうち、最長の時間を最大準備時間として定め、第１処理工程の終了時よりこの最大準備時間以上早めた時点からノズル切換作業および排出機構切換作業が開始されることを特徴とする液処理装置。
【請求項２】
排出機構は第１排出路に接続された第１位置と、第２排出路に接続された第２位置との間を移動可能となることを特徴とする請求項１記載の液処理装置。
【請求項３】
第１排気機構と、
第２排気機構と、を更に備え、
制御部は、第１処理工程において、更に第１処理液からの排気を第１排気機構により排気し、
第２処理工程において、更に第２処理液からの排気を第２排気機構により排気し、
第２処理工程が開始される前に、第１排気機構から第２排気機構への排気機構切換作業が行なわれ、
ノズル切換作業、排出機構切換作業および排気機構切換作業に要する時間のうち、最長の時間を最大準備時間として定め、第１処理工程の終了時よりこの最大準備時間以上早めた時点からノズル切換作業、排出機構切換作業および排気機構切換作業が開始されることを特徴とする請求項１記載の液処理装置。
【請求項４】
基板保持部に保持された基板に対して第１ノズルから第１処理液を供給するとともに、第１処理液を排出機構を介して第１排出路から排出する第１処理工程と、
第１処理工程後に、基板保持部に保持された基板に対して第２ノズルから第２処理液を供給するとともに、第２処理液を排出機構を介して第２排出路から排出する第２処理工程とを備え、
第２処理工程が開始される前に、第１ノズルから第２ノズルへのノズル切換作業および第１排出路から第２排出路への排出機構切換作業が行なわれ、
ノズル切換作業および排出機構切換作業に要する時間のうち、最長の時間を最大準備時間として定め、第１処理工程の終了時よりこの最大準備時間以上早めた時点からノズル切換作業および排出機構切換作業が開始されることを特徴とする液処理方法。
【請求項５】
基板保持部に保持された基板に対して第１ノズルから第１処理液を供給し、第１処理液を排出機構を介して第１排出路から排出するとともに、第１処理液からの排気を第１排気機構により排気する第１処理工程と、
第１処理工程後に、基板保持部に保持された基板に対して第２ノズルから第２処理液を供給し、第２処理液を排出機構を介して第２排出路から排出するとともに、第２処理液からの排気を第２排気機構により排気する第２処理工程とを備え、
第２処理工程が開始される前に、第１ノズルから第２ノズルへのノズル切換作業、第１排出路から第２排出路への排出機構切換作業および第１排気機構から第２排気機構への排気機構切換作業が行なわれ、
ノズル切換作業、排出機構切換作業および排気機構切換作業に要する時間のうち、最長の時間を最大準備時間として定め、第１処理工程の終了時よりこの最大準備時間以上早めた時点からノズル切換作業、排出機構切換作業および排気機構切換作業が開始されることを特徴とする液処理方法。
【請求項６】
第２処理工程の後で、基板を乾燥させる第３処理工程を更に備えたことを特徴とする請求項４または５のいずれか記載の液処理方法。
【請求項７】
排出機構は基板保持部外周に設けられた案内カップからなり、この案内カップは上下方向に移動して第１排出路に接続された第１位置と第２排出路に接続された第２位置をとることを特徴とする請求項４または５のいずれか記載の液処理方法。
【請求項８】
第１ノズルは第１ノズル支持アームに設けられ、第２ノズルは第２ノズル支持アームに設けられていることを特徴とする請求項４または５のいずれか記載の液処理方法。
【請求項９】
第１ノズルおよび第２ノズルは共通のノズル支持アームに設けられていることを特徴とする請求項４または５のいずれか記載の液処理方法。
【請求項１０】
第１排気機構および第２排気機構は、切換弁により切換可能となることを特徴とする請求項５記載の液処理方法。
【請求項１１】
コンピュータに液処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、この液処理方法は、
基板保持部に保持された基板に対して第１ノズルから第１処理液を供給するとともに、第１処理液を排出機構を介して第１排出路から排出する第１処理工程と、
第１処理工程後に、基板保持部に保持された基板に対して第２ノズルから第２処理液を供給するとともに、第２処理液を排出機構を介して第２排出路から排出する第２処理工程とを備え、
第２処理工程が開始される前に、第１ノズルから第２ノズルへのノズル切換作業および第１排出路から第２排出路への排出機構切換作業が行なわれ、
ノズル切換作業および排出機構切換作業に要する時間のうち、最長の時間を最大準備時間として定め、第１処理工程の終了時よりこの最大準備時間以上早めた時点からノズル切換作業および排出機構切換作業が開始されることを特徴とする記憶媒体。
【請求項１２】
コンピュータに液処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
この液処理方法は、
基板保持部に保持された基板に対して第１ノズルから第１処理液を供給し、第１処理液を排出機構を介して第１排出路から排出するとともに、第１処理液からの排気を第１排気機構により排気する第１処理工程と、
第１処理工程後に、基板保持部に保持された基板に対して第２ノズルから第２処理液を供給し、第２処理液を排出機構を介して第２排出路から排出するとともに、第２処理液からの排気を第２排気機構により排気する第２処理工程とを備え、
第２処理工程が開始される前に、第１ノズルから第２ノズルへのノズル切換作業、第１排出路から第２排出路への排出機構切換作業、および第１排気機構から第２排気機構への排気機構切換作業が行なわれ、
ノズル切換作業、排出機構切換作業および排気機構切換作業に要する時間のうち、最長の時間を最大準備時間として定め、第１処理工程の終了時よりこの最大準備時間以上早めた時点からノズル切換作業、排出機構切換作業および排気機構切換作業が開始されることを特徴とする記憶媒体。