【手続補正書】
【提出日】平成25年10月25日(2013.10.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物をプラズマ処理する真空処理部と、プラズマを発生するプラズマ発生部と、前記真空処理部と前記プラズマ発生部とを接続するガス輸送部と、前記ガス輸送部に設けられた分岐部に接続されたバイパス部と、前記プラズマ発生部で発生した活性ガスの流路を前記真空処理部または前記バイパス部のいずれかに切り替えるプラズマ処理装置を使用して、
前記活性ガスを用いて前記被処理物の加工処理を行うときに、前記活性ガスが流れるガス流路をバイパス部に切り替え、
前記プラズマ発生部における放電が安定した後に前記ガス流路を前記真空処理部に切り替えることを特徴とするプラズマ処理方法。
【請求項２】
被処理物をプラズマ処理する真空処理部と、プラズマを発生するプラズマ発生部と、前記真空処理部と前記プラズマ発生部とを接続するガス輸送部と、前記ガス輸送部に設けられた分岐部に接続されたバイパス部と、前記プラズマ発生部で発生した活性ガスの流路を前記真空処理部または前記バイパス部のいずれかに切り替えるプラズマ処理装置を使用して、
前記活性ガスを用いて前記被処理物の加工処理を行うときに、前記活性ガスが流れるガス流路を真空処理部に切り替え、
前記プラズマ発生部においてプラズマを消火するときに、前記ガス流路を前記バイパス部に切り替えることを特徴とするプラズマ処理方法。
【請求項３】
前記プラズマ発生部における放電が安定した後に、前記ガス流路を前記真空処理部に切り替え、前記プラズマ発生部から前記ガス輸送部を介して前記真空処理部に導入された前記活性ガスを利用して、前記被処理物に対してプラズマ処理を実施することを特徴とした請求項１記載のプラズマ処理方法。
【請求項４】
被処理物に対するプラズマ処理が終了したときに、前記ガス流路を前記バイパス部に切り替え、次の被処理物に対してプラズマ処理を実施するときに、前記ガス流路を前記真空処理部に切り替えることを特徴とする請求項１または請求項３記載のプラズマ処理方法。
【請求項５】
被処理物をプラズマ処理する真空処理部と、プラズマを発生するプラズマ発生部と、前記真空処理部と前記プラズマ発生部とを接続し、前記プラズマ発生部で発生した活性ガスを前記真空処理部に送るガス輸送部と、前記ガス輸送部に設けられた分岐部と、この分岐部に接続されたバイパス部と、前記プラズマ発生部からのガスを前記真空処理室に流入するか、前記バイパス部に流入するかを切り替える流路切替部とを有し、
前記流路切替部は、プラズマ発生部においてプラズマを点火するときに、前記活性ガスが流れるガス流路をバイパス部に切り替え、プラズマ発生部における放電が安定した後に前記ガス流路を前記真空処理部に切り替えることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項６】
被処理物をプラズマ処理する真空処理部と、プラズマを発生するプラズマ発生部と、前記真空処理部と前記プラズマ発生部とを接続し、前記プラズマ発生部で発生した活性ガスを前記真空処理部に送るガス輸送部と、前記ガス輸送部に設けられた分岐部と、この分岐部に接続されたバイパス部と、前記プラズマ発生部からのガスを前記真空処理室に流入するか、前記バイパス部に流入するかを切り替える流路切替部とを有し、
前記流路切替部は、前記プラズマ発生部における放電が安定した後に前記活性ガスが流れるガス流路を前記真空処理部に切り替え、前記プラズマ発生部においてプラズマを消火するときに、前記ガス流路を前記バイパス部に切り替えることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項７】
前記プラズマ発生部はプラズマ点火または消火を検知するセンサまたはタイマを有し、前記流路切替部は前記センサまたは前記タイマの情報に基づいて前記ガス流路を切り替えることを特徴とする請求項５または６記載のプラズマ処理装置。
【請求項８】
前記流路切替部は、被処理物の処理が終了したときに、前記ガス流路を前記バイパス部に切り替え、次の被処理物に対してプラズマ処理を実施するときに、前記ガス流路を前記真空処理部に切り替えることを特徴とする請求項５〜７いずれか１つに記載のプラズマ処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明のプラズマ処理方法は、次のような特徴を有する。
（１）  被処理物をプラズマ処理する真空処理部と、プラズマを発生するプラズマ発生部と、前記真空処理部と前記プラズマ発生部とを接続するガス輸送部と、前記ガス輸送部に設けられた分岐部に接続されたバイパス部と、前記プラズマ発生部で発生した活性ガスの流路を前記真空処理部または前記バイパス部のいずれかに切り替えるプラズマ処理装置を使用して、
前記活性ガスを用いて前記被処理物の加工処理を行うときに、前記活性ガスが流れるガス流路をバイパス部に切り替え、
前記プラズマ発生部における放電が安定した後に前記ガス流路を前記真空処理部に切り替えることを特徴とする。
（２） 被処理物をプラズマ処理する真空処理部と、プラズマを発生するプラズマ発生部と、前記真空処理部と前記プラズマ発生部とを接続するガス輸送部と、前記ガス輸送部に設けられた分岐部に接続されたバイパス部と、前記プラズマ発生部で発生した活性ガスの流路を前記真空処理部または前記バイパス部のいずれかに切り替えるプラズマ処理装置を使用して、
前記活性ガスを用いて前記被処理物の加工処理を行うときに、前記活性ガスが流れるガス流路を真空処理部に切り替え、
前記プラズマ発生部においてプラズマを消火するときに、前記ガス流路を前記バイパス部に切り替えることを特徴とする。  
また、本発明のプラズマ処理装置は、次のような特徴を有する。
（１）  被処理物をプラズマ処理する真空処理部と、プラズマを発生するプラズマ発生部と、前記真空処理部と前記プラズマ発生部とを接続し、前記プラズマ発生部で発生した活性ガスを前記真空処理部に送るガス輸送部と、前記ガス輸送部に設けられた分岐部と、この分岐部に接続されたバイパス部と、前記プラズマ発生部からのガスを前記真空処理室に流入するか、前記バイパス部に流入するかを切り替える流路切替部とを有し、
前記流路切替部は、プラズマ発生部においてプラズマを点火するときに、前記活性ガスが流れるガス流路をバイパス部に切り替え、プラズマ発生部における放電が安定した後に前記ガス流路を前記真空処理部に切り替えることを特徴とする。
（２） 被処理物をプラズマ処理する真空処理部と、プラズマを発生するプラズマ発生部と、前記真空処理部と前記プラズマ発生部とを接続し、前記プラズマ発生部で発生した活性ガスを前記真空処理部に送るガス輸送部と、前記ガス輸送部に設けられた分岐部と、この分岐部に接続されたバイパス部と、前記プラズマ発生部からのガスを前記真空処理室に流入するか、前記バイパス部に流入するかを切り替える流路切替部とを有し、
前記流路切替部は、前記プラズマ発生部における放電が安定した後に前記活性ガスが流れるガス流路を前記真空処理部に切り替え、前記プラズマ発生部においてプラズマを消火するときに、前記ガス流路を前記バイパス部に切り替えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
（３）プラズマ発生部６０からの活性ガスの流路をバイパス部８０、８０ａに切り替える場合は、例えば、プラズマ発生部６０のクリーニングやシーズニングを行うときであっても良い。このようにすると、プラズマ発生部６０の温度の安定、化学的な安定を維持することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
（６）なお、実施例中ではプラズマ点火時に流路をバイパス部へ切り替えるタイミングとしてセンサ８６が、処理用のガスがプラズマ発生部６０に供給されたことを検出するときとしているが、ガス供給前にバイパス部８０、８０ａの開閉バルブを開き、ガス流路をバイパスに切り替えてもよい。また、センサ８６は処理用のガスがプラズマ発生部６０へ供給されたことを検出するものの他、プラズマ発生部６０や真空処理室３０内の圧力やガス流速、濃度、流量を検知するものであってもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
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