【手続補正書】
【提出日】平成24年3月7日(2012.3.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に並んだ、
物体側に平面を向けた平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとを接合した接合レンズを有し、全体として正の屈折力を持つ第１レンズ群と、
複数の接合レンズを有し、全体として正の屈折力を持つ第２レンズ群と、
全体として負の屈折力を持つ第３レンズ群とを有し、
物体面から第１レンズ面までの距離をｄ０とし、対物レンズ全系の焦点距離をｆとしたとき、式
０．１２＜ｄ０／ｆ＜０．２５
の条件を満足するとともに、
前記第２レンズ群内の少なくとも１組の接合レンズを構成する正レンズと負レンズにおいて、前記正レンズのＦ線、Ｃ線、ｔ線に関する部分分散比をθＣｔ（ｐ）及びｈ線、ｇ線、Ｆ線、Ｃ線に関する部分分散比をθｈｇ（ｐ）とし、前記負レンズのＦ線、Ｃ線、ｔ線に関する部分分散比をθＣｔ（ｎ）及びｈ線、ｇ線、Ｆ線、Ｃ線に関する部分分散比をθｈｇ（ｎ）としたとき（但し、硝材のＣ線に対する屈折率をｎＣとし、ｔ線に対する屈折率をｎｔとし、Ｆ線に対する屈折率をｎＦとし、ｈ線に対する屈折率をｎｈとし、ｇ線に対する屈折率をｎｇとした場合、前記部分分散比θＣｔ及びθｈｇをそれぞれ、θＣｔ＝（ｎＣ−ｎｔ）／（ｎＦ−ｎＣ）及びθｈｇ＝（ｎｈ−ｎｇ）／（ｎＦ−ｎＣ）で定義する）、式
０．０４＜θＣｔ（ｐ）−θＣｔ（ｎ）＜０．０９
−０．０３＜θｈｇ（ｐ）−θｈｇ（ｎ）＜０．００
の条件を満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】
前記第１レンズ群を構成する前記平凸レンズと前記物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとを接合した接合レンズにおいて、前記接合レンズの接合面の曲率半径をｒ２とし、対物レンズ全系の焦点距離をｆとし、前記物体側に凹面を向けたメニスカスレンズの像側レンズ面の曲率半径をｒ３とし、前記物体側に凹面を向けたメニスカスレンズの厚さをｄ２としたとき、式
０．３＜｜ｒ２／ｆ｜＜０．７
１．０＜｜ｒ３／ｄ２｜＜１．３
の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】
前記第２レンズ群の最も物体側に配置された接合レンズを構成する負レンズにおいて、アッベ数をν３ｎとしたとき、式
４０＜ν３ｎ＜６０
の条件を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】
前記第２レンズ群は、少なくとも、蛍石を正のレンズ成分の硝材として用いた接合レンズと、アッベ数が８０以上の異常分散ガラスを正のレンズ成分の硝材として用いた接合レンズとを含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項５】
前記アッベ数が８０以上の異常分散ガラスは、フッ化物系もしくはリン酸化合物系の異常分散ガラスであることを特徴とする請求項４に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項６】
前記第３レンズ群は、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズと、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズとを有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項７】
前記２つの接合メニスカスレンズのうち、物体側に凹面を向けた前記接合メニスカスレンズは、物体側から順に並んだ、負レンズと、正レンズとを有し、前記負レンズ及び前記正レンズのＣ線、ｔ線、Ａ´線に関する部分分散比をそれぞれθＣｔＡ´(Ln)及びθＣｔＡ´(Lp)とし、前記負レンズ及び前記正レンズのＦ線、ｇ線、ｈ線に関する部分分散比をそれぞれθＦｇｈ(Ln)及びθＦｇｈ(Lp)とし、前記負レンズ及び前記正レンズのｄ線におけるアッベ数をそれぞれνｄ(Ln)及びνｄ(Lp)としたとき、式
0.0029＜{θＣｔＡ´(Ln)−θＣｔＡ´(Lp)}/{νｄ(Ln)−νｄ(Lp)}≦0.0052
0.00034＜{θＦｇｈ(Ln)−θＦｇｈ(Lp)}/{νｄ(Ln)−νｄ(Lp)}≦0.00046
３８＜νｄ(Lp)＜５０
の条件を満足することを特徴とする請求項６に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
但し、硝材のＣ線に対する屈折率をｎＣとし、ｔ線に対する屈折率をｎｔとし、Ａ´線に対する屈折率をｎＡ´とし、Ｆ線に対する屈折率をｎＦとし、ｇ線に対する屈折率をｎｇとし、ｈ線に対する屈折率をｎｈとした場合、前記部分分散比θＣｔＡ´及びθＦｇｈをそれぞれ、θＣｔＡ´＝（ｎＣ−ｎｔ）／（ｎＣ−ｎＡ´）及びθＦｇｈ＝（ｎＦ−ｎｇ）／（ｎＦ−ｎｈ）で定義する。
【請求項８】
最も物体側に、物体側に凹面を向けた接合面を持つ平凸埋め込みレンズと、
互いの凹面が向かい合うように配置された２つの接合メニスカスレンズとを有し、
前記２つの接合メニスカスレンズのうち、物体側に凹面を向けた前記接合メニスカスレンズは、物体側から順に並んだ、負レンズと、正レンズとを有し、前記負レンズ及び前記正レンズのＣ線、ｔ線、Ａ´線に関する部分分散比をそれぞれθＣｔＡ´(Ln)及びθＣｔＡ´(Lp)とし、前記負レンズ及び前記正レンズのＦ線、ｇ線、ｈ線に関する部分分散比をそれぞれθＦｇｈ(Ln)及びθＦｇｈ(Lp)とし、前記負レンズ及び前記正レンズのｄ線におけるアッベ数をそれぞれνｄ(Ln)及びνｄ(Lp)としたとき、式
0.0029＜{θＣｔＡ´(Ln)−θＣｔＡ´(Lp)}/{νｄ(Ln)−νｄ(Lp)}≦0.0052
0.00034＜{θＦｇｈ(Ln)−θＦｇｈ(Lp)}/{νｄ(Ln)−νｄ(Lp)}≦0.00046
３８＜νｄ(Lp)＜５０
の条件を満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。
但し、硝材のＣ線に対する屈折率をｎＣとし、ｔ線に対する屈折率をｎｔとし、Ａ´線に対する屈折率をｎＡ´とし、Ｆ線に対する屈折率をｎＦとし、ｇ線に対する屈折率をｎｇとし、ｈ線に対する屈折率をｎｈとした場合、前記部分分散比θＣｔＡ´及びθＦｇｈをそれぞれ、θＣｔＡ´＝（ｎＣ−ｎｔ）／（ｎＣ−ｎＡ´）及びθＦｇｈ＝（ｎＦ−ｎｇ）／（ｎＦ−ｎｈ）で定義する。
【請求項９】
前記平凸埋め込みレンズは、物体側から順に並んだ、物体側に平面を向けた平凸レンズと、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとを前記接合面にて接合したものであり、
前記平凸埋め込みレンズの前記接合面の曲率をｒ２とし、物体面から前記平凸レンズの物体側のレンズ面までの距離をｄ０とし、前記平凸レンズの中心厚をｄ１としたとき、式
１．０＜｜ｒ２｜／（ｄ０＋ｄ１）＜１．７
の条件を満足することを特徴とする請求項８に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
このような目的を達成するため、本発明の液浸系顕微鏡対物レンズは、物体側から順に並んだ、物体側に平面を向けた平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとを接合した接合レンズを有し、全体として正の屈折力を持つ第１レンズ群と、複数の接合レンズを有し、全体として正の屈折力を持つ第２レンズ群と、全体として負の屈折力を持つ第３レンズ群とを有し、物体面から第１レンズ面までの距離をｄ０とし、対物レンズ全系の焦点距離をｆとしたとき、式
０．１２＜ｄ０／ｆ＜０．２５ の条件を満足するとともに、前記第２レンズ群内の少なくとも１組の接合レンズを構成する正レンズと負レンズにおいて、前記正レンズのＦ線、Ｃ線、ｔ線に関する部分分散比をθＣｔ（ｐ）及びｈ線、ｇ線、Ｆ線、Ｃ線に関する部分分散比をθｈｇ（ｐ）とし、前記負レンズのＦ線、Ｃ線、ｔ線に関する部分分散比をθＣｔ（ｎ）及びｈ線、ｇ線、Ｆ線、Ｃ線に関する部分分散比をθｈｇ（ｎ）としたとき（但し、硝材のＣ線に対する屈折率をｎＣとし、ｔ線に対する屈折率をｎｔとし、Ｆ線に対する屈折率をｎＦとし、ｈ線に対する屈折率をｎｈとし、ｇ線に対する屈折率をｎｇとした場合、前記部分分散比θＣｔ及びθｈｇをそれぞれ、θＣｔ＝（ｎＣ−ｎｔ）／（ｎＦ−ｎＣ）及びθｈｇ＝（ｎｈ−ｎｇ）／（ｎＦ−ｎＣ）で定義する）、式０．０４＜θＣｔ（ｐ）−θＣｔ（ｎ）＜０．０９ 及び −０．０３＜θｈｇ（ｐ）−θｈｇ（ｎ）＜０．００ の条件を満足する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、前記アッベ数が８０以上の異常分散ガラスは、フッ化物系もしくはリン酸化合物系の異常分散ガラスであることが好ましい。
また、前記第３レンズ群は、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズと、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズとを有することが好ましい。
また、前記２つの接合メニスカスレンズのうち、物体側に凹面を向けた前記接合メニスカスレンズは、物体側から順に並んだ、負レンズと、正レンズとを有し、前記負レンズ及び前記正レンズのＣ線、ｔ線、Ａ´線に関する部分分散比をそれぞれθＣｔＡ´(Ln)及びθＣｔＡ´(Lp)とし、前記負レンズ及び前記正レンズのＦ線、ｇ線、ｈ線に関する部分分散比をそれぞれθＦｇｈ(Ln)及びθＦｇｈ(Lp)とし、前記負レンズ及び前記正レンズのｄ線におけるアッベ数をそれぞれνｄ(Ln)及びνｄ(Lp)としたとき、式0.0029＜{θＣｔＡ´(Ln)−θＣｔＡ´(Lp)}/{νｄ(Ln)−νｄ(Lp)}≦0.0052、0.00034＜{θＦｇｈ(Ln)−θＦｇｈ(Lp)}/{νｄ(Ln)−νｄ(Lp)}≦0.00046、３８＜νｄ(Lp)＜５０の条件を満足することが好ましい。但し、硝材のＣ線に対する屈折率をｎＣとし、ｔ線に対する屈折率をｎｔとし、Ａ´線に対する屈折率をｎＡ´とし、Ｆ線に対する屈折率をｎＦとし、ｇ線に対する屈折率をｎｇとし、ｈ線に対する屈折率をｎｈとした場合、前記部分分散比θＣｔＡ´及びθＦｇｈをそれぞれ、θＣｔＡ´＝（ｎＣ−ｎｔ）／（ｎＣ−ｎＡ´）及びθＦｇｈ＝（ｎＦ−ｎｇ）／（ｎＦ−ｎｈ）で定義する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の液浸系顕微鏡対物レンズは、最も物体側に、物体側に凹面を向けた接合面を持つ平凸埋め込みレンズと、互いの凹面が向かい合うように配置された２つの接合メニスカスレンズとを有し、前記２つの接合メニスカスレンズのうち、物体側に凹面を向けた前記接合メニスカスレンズは、物体側から順に並んだ、負レンズと、正レンズとを有し、前記負レンズ及び前記正レンズのＣ線、ｔ線、Ａ´線に関する部分分散比をそれぞれθＣｔＡ´(Ln)及びθＣｔＡ´(Lp)とし、前記負レンズ及び前記正レンズのＦ線、ｇ線、ｈ線に関する部分分散比をそれぞれθＦｇｈ(Ln)及びθＦｇｈ(Lp)とし、前記負レンズ及び前記正レンズのｄ線におけるアッベ数をそれぞれνｄ(Ln)及びνｄ(Lp)としたとき、式 0.0029＜{θＣｔＡ´(Ln)−θＣｔＡ´(Lp)}/{νｄ(Ln)−νｄ(Lp)}≦0.0052 、0.00034＜{θＦｇｈ(Ln)−θＦｇｈ(Lp)}/{νｄ(Ln)−νｄ(Lp)}≦0.00046 、
３８＜νｄ(Lp)＜５０ の条件を満足する。但し、硝材のＣ線に対する屈折率をｎＣとし、ｔ線に対する屈折率をｎｔとし、Ａ´線に対する屈折率をｎＡ´とし、Ｆ線に対する屈折率をｎＦとし、ｇ線に対する屈折率をｎｇとし、ｈ線に対する屈折率をｎｈとした場合、前記部分分散比θＣｔＡ´及びθＦｇｈをそれぞれ、θＣｔＡ´＝（ｎＣ−ｎｔ）／（ｎＣ−ｎＡ´）
及び θＦｇｈ＝（ｎＦ−ｎｇ）／（ｎＦ−ｎｈ）で定義する。