【手続補正書】
【提出日】平成25年7月3日(2013.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物にエッチング液を供給することにより前記被処理物を加工する加工装置であって、
前記被処理物を支持する支持台と、
前記支持台に対して移動可能に設けられ、前記支持台に支持されている前記被処理物に対して前記エッチング液を送出する送出口および前記送出口から送出された前記エッチング液を吸引する吸引口を有するノズルと、を有し、
前記吸引口および前記送出口は、それぞれ、前記ノズルの移動方向に交差する方向に延在する長手形状をなし、前記ノズルの移動方向に並んでいて、
前記吸引口は、前記送出口の前記ノズルの移動方向後方側に配置されていることを特徴とする表面加工装置。
【請求項２】
前記ノズルの移動速度を制御する移動速度制御部を備えている請求項１に記載の表面加工装置。
【請求項３】
前記吸引口および前記送出口は、長手方向の長さが互いに等しいことを特徴とする請求項１または２に記載の表面加工装置。
【請求項４】
前記吸引口および前記送出口は、互いに同じ形状をなしている請求項１ないし３のいずれか一項に記載の表面加工装置。
【請求項５】
前記吸引口および前記送出口は、それぞれ、長方形状をなしている請求項４に記載の表面加工装置。
【請求項６】
前記ノズルは、前記エッチング液を前記送出口から前記吸引口へ案内する案内溝を有している請求項１ないし５のいずれか一項に記載の表面加工装置。
【請求項７】
前記案内溝は、前記ノズルの移動方向に延在している請求項６に記載の表面加工装置。
【請求項８】
前記ノズルは、第１の開口および第２の開口を有し、
前記ノズルの移動方向に応じて、前記第１の開口を前記送出口とし前記第２の開口を前記吸引口とする状態と、前記第１の開口を前記吸引口とし前記第２の開口を前記送出口とする状態とを切り替えることができる請求項１ないし７のいずれか一項に記載の表面加工装置。
【請求項９】
前記ノズルは、前記送出口を介して対向配置された１対の前記吸引口を有し、
前記１対の吸引口のうちの前記ノズルの移動方向後方側にある前記吸引口から前記エッチング液を吸引する請求項１ないし７のいずれか一項に記載の表面加工装置。
【請求項１０】
前記１対の吸引口は、前記送出口に対して対称的に設けられており、かつ、互いに同じ形状および大きさをなしている請求項９に記載の表面加工装置。
【請求項１１】
前記ノズルは、前記吸引口を介して対向配置された１対の前記送出口を有し、
前記１対の送出口のうちの前記ノズルの移動方向先方側にある前記送出口から前記エッチング液を送出する請求項１ないし７のいずれか一項に記載の表面加工装置。
【請求項１２】
前記１対の送出口は、前記吸引口に対して対称的に設けられており、かつ、互いに同じ形状および大きさをなしている請求項１１に記載の表面加工装置。
【請求項１３】
前記ノズルは、前記エッチング液が供給された前記被処理面内の領域に前記エッチング液が均一に分布するように前記吸引口から前記エッチング液を吸引する請求項１ないし１２のいずれか一項に記載の表面加工装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の表面加工装置は、被処理物にエッチング液を供給することにより前記被処理物を加工する加工装置であって、
前記被処理物を支持する支持台と、
前記支持台に対して移動可能に設けられ、前記支持台に支持されている前記被処理物に対して前記エッチング液を送出する送出口および前記送出口から送出された前記エッチング液を吸引する吸引口を有するノズルと、を有し、
前記吸引口および前記送出口は、それぞれ、前記ノズルの移動方向に交差する方向に延在する長手形状をなし、前記ノズルの移動方向に並んでいて、
前記吸引口は、前記送出口の前記ノズルの移動方向後方側に配置されていることを特徴とする。
これにより、被処理面のエッチング液が供給されている領域内でのエッチングレートを均一化し、被処理物に対して所望のエッチングを行うことができる表面加工装置を提供することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
［適用例２］
本発明の表面加工装置では、前記ノズルの移動速度を制御する移動速度制御部を備えていることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［適用例３］
本発明の表面加工装置では、前記吸引口および前記送出口は、長手方向の長さが互いに等しいことが好ましい。
これにより、エッチング液が供給された被処理面内の領域に、エッチング液が均一に分布することとなり、領域内のエッチングレートが均一となる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
［適用例４］
本発明の表面加工装置では、前記吸引口および前記送出口は、互いに同じ形状をなしていることが好ましい。
これにより、送出口からのエッチング液の送出量と、吸引口からのエッチング液の吸引量とのバランスが良好となり、エッチング液を被処理面上に均一に分散させることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［適用例５］
本発明の表面加工装置では、前記吸引口および前記送出口は、それぞれ、長方形状をなしていることが好ましい。
これにより、エッチング液は、送出口の各部位から偏りなく等しい流量で送出され、被処理面に供給された後、吸引口の各部位から偏りなく等しい流量で吸引される。その結果、所定時刻にエッチング液が供給された被処理面内の領域に、エッチング液が均一に分布することとなり、領域内のエッチングレートが均一となる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例６］
本発明の表面加工装置では、前記ノズルは、前記エッチング液を前記送出口から前記吸引口へ案内する案内溝を有していることが好ましい。
これにより、被処理面に供給されたエッチング液をスムーズに吸引口に導くことができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［適用例７］
本発明の表面加工装置では、前記案内溝は、前記ノズルの移動方向に延在していることが好ましい。
これにより、被処理面に供給されたエッチング液をよりスムーズに吸引口に導くことができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［適用例８］
本発明の表面加工装置では、前記ノズルは、第１の開口および第２の開口を有し、
前記ノズルの移動方向に応じて、前記第１の開口を前記送出口とし前記第２の開口を前記吸引口とする状態と、前記第１の開口を前記吸引口とし前記第２の開口を前記送出口とする状態とを切り替えることができることが好ましい。
これにより、ノズルが一方の開口側に移動する場合、他方の開口側に移動する場合のいずれの場合であっても、被処理面の任意の領域をエッチング液の送出口に遅れて吸引口が通過するため、送出口から送出され被処理面に供給されたエッチング液を吸引口からスムーズに吸引することができる。そのため、より確実に、被処理面に供給されたエッチング液を吸引口から偏りなく均一に吸引することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
［適用例９］
本発明の表面加工装置では、前記ノズルは、前記送出口を介して対向配置された１対の前記吸引口を有し、
前記１対の吸引口のうちの前記ノズルの移動方向後方側にある前記吸引口から前記エッチング液を吸引することが好ましい。
これにより、ノズルが一方の吸引口側に移動する場合、他方の吸引口側に移動する場合のいずれの場合であっても、被処理面の任意の領域をエッチング液の送出口に遅れて吸引口が通過するため、送出口から送出され被処理面に供給されたエッチング液を吸引口からスムーズに吸引することができる。そのため、より確実に、被処理面に供給されたエッチング液を吸引口から偏りなく均一に吸引することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
［適用例１０］
本発明の表面加工装置では、前記１対の吸引口は、前記送出口に対して対称的に設けられており、かつ、互いに同じ形状および大きさをなしていることが好ましい。
これにより、一方の吸引口からエッチング液を吸引する場合と、他方の吸引口からエッチング液を吸引する場合とで、エッチング液の単位時間当たりの吸引量を等しくすることができる。そのため、上記いずれの場合であっても、同じ条件（エッチングレート）で被処理面に対するエッチング処理を行うことができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
［適用例１１］
本発明の表面加工装置では、前記ノズルは、前記吸引口を介して対向配置された１対の前記送出口を有し、
前記１対の送出口のうちの前記ノズルの移動方向先方側にある前記送出口から前記エッチング液を送出することが好ましい。
これにより、ノズルが一方の送出口側に移動する場合、他方の送出口側に移動する場合のいずれの場合であっても、被処理面の任意の領域をエッチング液の送出口に遅れて吸引口が通過するため、送出口から送出され被処理面に供給されたエッチング液を吸引口からスムーズに吸引することができる。そのため、より確実に、被処理面に供給されたエッチング液を吸引口から偏りなく均一に吸引することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
［適用例１２］
本発明の表面加工装置では、前記１対の送出口は、前記吸引口に対して対称的に設けられており、かつ、互いに同じ形状および大きさをなしていることが好ましい。
これにより、一方の送出口からエッチング液を送出する場合と、他方の送出口からエッチング液を送出する場合とで、エッチング液の単位時間当たりの送出量を等しくすることができる。そのため、上記いずれの場合であっても、同じ条件（エッチングレート）で被処理面に対するエッチング処理を行うことができる。
［適用例１３］
本発明の表面加工装置では、前記ノズルは、前記エッチング液が供給された前記被処理面内の領域に前記エッチング液が均一に分布するように前記吸引口から前記エッチング液を吸引することが好ましい。