(57)【要約】【課題】基板製造工程で用いるマイクロ波乾燥装置を提供する。【解決手段】マイクロ波チャンバ１０と、搬送プラットフォーム２０と、少なくとも1つのマイクロ波発生器３０とを備える、基板製造工程のマイクロ波乾燥装置であって、マイクロ波チャンバ１０は、マイクロ波を遮断することができる金属材料で形成されており、マイクロ波チャンバ１０の内部にマイクロ波作用室が形成されると共に、マイクロ波チャンバ１０の前端に前方開口１１が形成され、マイクロ波チャンバ１０の後端に後方開口が形成され、搬送プラットフォーム２０は、マイクロ波チャンバ１０の前方開口１１と後方開口を貫通し、且つ搬送方向が設定されており、少なくとも1つのマイクロ波発生器３０が、マイクロ波チャンバ１０のマイクロ波作用室内に設けられ、且つマイクロ波を放射する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ波チャンバと、搬送プラットフォームと、少なくとも1つのマイクロ波発生器とを備える、基板製造工程のマイクロ波乾燥装置であって、
前記マイクロ波チャンバは、マイクロ波を遮断することができる金属材料で形成されており、該マイクロ波チャンバの内部にマイクロ波作用室が形成されると共に、該マイクロ波チャンバの前端に前方開口が形成され、該マイクロ波チャンバの後端に後方開口が形成され、
前記搬送プラットフォームは、前記マイクロ波チャンバの前方開口と後方開口を貫通し、且つ搬送方向が設定されており、
前記少なくとも1つのマイクロ波発生器が、前記マイクロ波チャンバのマイクロ波作用室内に設けられ、且つマイクロ波を放射することを特徴とする、基板製造工程のマイクロ波乾燥装置。
【請求項２】
前記マイクロ波チャンバのマイクロ波作用室内に、少なくとも1つの排気ユニットをさらに含み、各排気ユニットは、前記搬送プラットフォームの一側に配置され、且つ少なくとも1つの吸気部材を含み、各吸気部材は、該搬送プラットフォームの方向を向く吸気口を有することを特徴とする、請求項１に記載の基板製造工程のマイクロ波乾燥装置。
【請求項３】
前記各排気ユニットにおける、少なくとも1つの吸気部材は、前記搬送プラットフォームの搬送方向に沿って間隔を置いて設けられた複数の吸気部材を含むことを特徴とする、請求項２に記載の基板製造工程のマイクロ波乾燥装置。
【請求項４】
前記各排気ユニットにおける、少なくとも1つの吸気部材は、前記マイクロ波チャンバの前端と後端に向かって延伸するように設けられる1つの吸気部材を含むことを特徴とする、請求項２に記載の基板製造工程のマイクロ波乾燥装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つの排気ユニットは、前記搬送プラットフォームの相対する位置にそれぞれ２つの排気ユニットが配置されることを特徴とする、請求項２〜４のいずれか１項に記載の基板製造工程のマイクロ波乾燥装置。
【請求項６】
前記少なくとも1つのマイクロ波発生器は、前記搬送プラットフォームの搬送方向に沿って間隔を置いて設けられた複数のマイクロ波放射器を含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板製造工程のマイクロ波乾燥装置。
【請求項７】
前記少なくとも1つのマイクロ波発生器は、前記搬送プラットフォームの搬送方向に対して垂直に、間隔を置いて設けられた複数のマイクロ波放射器を含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板製造工程のマイクロ波乾燥装置。
【請求項８】
前記搬送プラットフォームには複数の搬送車軸が架設され、該搬送車軸は、該搬送プラットフォームの搬送方向に沿って間隔を置いて設けられると共に、各搬送車軸の回転軸は、該搬送プラットフォームの搬送方向に対して垂直に延びることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板製造工程のマイクロ波乾燥装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、乾燥装置に関するものであって、特に基板の加工製造工程において、基板上の液体を除去するためのマイクロ波乾燥装置を提供するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、基板は、化学薬液でエッチングを行い、基板上に銅箔のラインを出現させた後、次の加工を行うために、揮発性液体（例えば、イソプロピルアルコール）又は不揮発性液体（例えば、純水）を用いて基板上の化学薬液を洗浄により除去し、洗浄後の基板を乾燥させる。
【０００３】
そのうち、基板を乾燥させる従来技術の乾燥装置では、搬送プラットフォームにより、その上方に、基板が搬送され、更に、複数のガス噴射管、又は、該搬送プラットフォームの上方及び下方の両方に複数のガス噴出管が設置されており、又は、該搬送プラットフォームの上方及び下方の両方に複数のガス噴出管が設置されており、これらのガス噴射管は、配管によってブロワに接続されており、該ブロワによって供給される高温高圧のガスが、乾燥対象の前記基板に吹き付けられ、該ガス噴射管から吹き出された高温高圧のガスは、該基板上の液体を直接吹き飛ばすことができるほか、該液体を昇温させてさらに蒸発させることもできる。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、電子産業の飛躍的な発展に伴い、各種の電子機器は機能が多様化し、複雑化しているだけでなく、外形も軽量化・薄型化・短尺化・小型化している。そして、これら電子機器における基板もまた、それに応じて小型化・薄型化しており、該基板上の回路は絶えず微細化が進められ、該基板上の、各種電子部品が実装されるスルーホール及びブラインドビアの穴径も、ますます小さくなっている。そのため、ガス噴射管から吹き出した高圧ガスが穴径の小さなスルーホール及びブラインドビアに入り込んで液体を吹き飛ばすことが難しくなり、該スルーホール及びブラインドビア内に溜まった液体が、該基板上の微細化された回路を酸化させたり、損傷させたりしてしまう。そのほか、ブロワによって供給される空気にはチリが含まれている場合があり、このチリによっても、微細化された回路に損傷を与える可能性がある。
【０００５】
さらに、前記従来技術の乾燥装置内の温度を維持し、前記基板上の液体を昇温させて蒸発させるために、前記ブロワは高温のガスを絶えず供給しなければならないが、これでは、エネルギの浪費を招くだけでなく、乾燥装置の周囲が常に高温状態となり、作業環境が作業者にとって非常に不快なものとなってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の従来技術に存在する問題に鑑み、本考案の創作の目的は、基板上の液体をマイクロ波で加熱することによって蒸発させ、該基板上の液体を除去して該基板を乾燥させる乾燥装置を提供することにある。
【０００７】
上記の目的を達成するため、本考案が採用する技術手段は、
マイクロ波を遮断することができる金属材料で形成されており、内部にマイクロ波作用室が形成されると共に、前端に前方開口が形成され、後端に後方開口が形成されたマイクロ波チャンバと、
前記マイクロ波チャンバの前方開口と後方開口を貫通し、且つ搬送方向が設定されている搬送プラットフォームと、
前記マイクロ波チャンバのマイクロ波作用室内に設けられ、且つマイクロ波を放射する少なくとも1つのマイクロ波発生器と、
を備える基板製造工程で用いるマイクロ波乾燥装置である。
【０００８】
前記基板製造工程のマイクロ波乾燥装置は、前記マイクロ波チャンバのマイクロ波作用室内に、少なくとも1つの排気ユニットをさらに含み、各排気ユニットは、前記搬送プラットフォームの一側に配置され、且つ少なくとも1つの吸気部材を含み、各吸気部材は、該搬送プラットフォームの方向を向く吸気口を有している。
【０００９】
前記各排気ユニットにおける、少なくとも1つの吸気部材は、前記搬送プラットフォームの搬送方向に沿って間隔を置いて設けられた複数の吸気部材を含んでいる。
【００１０】
前記各排気ユニットにおける、少なくとも1つの吸気部材は、前記マイクロ波チャンバの前端と後端に向かって延伸するように設けられた1つの吸気部材を含んでいる。
【００１１】
前記少なくとも１つの排気ユニットは、前記搬送プラットフォームの相対する位置にそれぞれ２つの排気ユニットが配置されている。
【００１２】
前記少なくとも1つのマイクロ波発生器は、前記搬送プラットフォームの搬送方向に沿って間隔を置いて設けられた、又は、前記搬送プラットフォームの搬送方向に対して垂直に、間隔を置いて設けられた、複数のマイクロ波放射器を含んでいる。
【００１３】
前記搬送プラットフォームには複数の搬送車軸が架設され、該搬送車軸は、該搬送プラットフォームの搬送方向に沿って間隔を置いて設けられると共に、各搬送車軸の回転軸は、該搬送プラットフォームの搬送方向に対して垂直に延びている。
【考案の効果】
【００１４】
上述の考案によれば、マイクロ波で液体の水分子を直接加熱して、前記基板のスルーホール又はブラインドビアに溜まった液体を死角なく昇温・蒸発させることにより、該基板を乾燥させることができるとともに、風で基板を乾燥させた場合に、チリによって回路基板が損傷するという問題を避けることもできる。さらに、マイクロ波は液体のみを加熱し、該基板の昇温にエネルギが使われることはないことから、効率よく乾燥でき、節電の効果があるので、該基板の加工コストを節約することができるとともに、該マイクロ波乾燥装置全体を、人が快適な温度に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本考案の第１の好ましい実施形態の外観斜視模式図である。
【図２】本考案の第１の好ましい実施形態の平面模式図である。
【図３】本考案の第２の好ましい実施形態の平面模式図である。
【図４】本考案の第２の好ましい実施形態の側面視模式図である。
【考案を実施するための形態】
【００１６】
図１〜図３に示すように、本考案の基板製造工程のマイクロ波乾燥装置は、マイクロ波チャンバ１０と、搬送プラットフォーム２０と、少なくとも1つのマイクロ波発生器３０、３０Ａと、少なくとも1つの排気ユニット４０、４０Ａと、を含む。
【００１７】
前記マイクロ波チャンバ１０は、マイクロ波を遮断することができる金属材料で形成されており、該マイクロ波チャンバ１０の内部にマイクロ波作用室が形成されると共に、該マイクロ波チャンバ１０の前端に前方開口１１が形成され、該マイクロ波チャンバ１０の後端に後方開口１２が形成されている。
【００１８】
前記搬送プラットフォーム２０は、前記マイクロ波チャンバ１０の前方開口１１と後方開口１２を貫通することにより、該マイクロ波チャンバ１０が該搬送プラットフォーム２０の一部を覆うものである。前記搬送プラットフォーム２０は、乾燥対象の基板５０を搬送方向２０１に移動させて、前記マイクロ波チャンバ１０の前方開口１１から前記マイクロ波作用室に入れ、乾燥後の基板５０を、該マイクロ波チャンバ１０の後方開口１２から該マイクロ波作用室を出るように移動させる。
【００１９】
具体的に述べると、前記搬送プラットフォーム２０には複数の搬送車軸２１が架設され、これらの搬送車軸２１は、該搬送プラットフォーム２０が前記基板５０を移動させる搬送方向２０１に沿って間隔を置いて設けられ、各搬送車軸２１の回転軸は、該搬送プラットフォーム２０の搬送方向２０１に対して垂直に延びている。
【００２０】
図４に示すように、前記少なくとも1つのマイクロ波発生器３０、３０Ａは、前記マイクロ波チャンバ１０のマイクロ波作用室内に設けられ、且つマイクロ波を放射することができ、前記基板５０上の液体の水分子を振とうさせ、摩擦させて昇温・蒸発させることによって、該基板５０上の液体を除去し、該基板５０を乾燥させる。
【００２１】
図１及び図２に示すように、本考案の第１の好ましい実施形態では、前記少なくとも1つのマイクロ波発生器３０は、前記搬送プラットフォーム２０の搬送方向２０１に沿って間隔を置いて設けられた複数のマイクロ波放射器３０を含んでいる。
【００２２】
図３に示すように、本考案の第２の好ましい実施形態では、前記少なくとも1つのマイクロ波発生器３０Ａは、前記搬送プラットフォーム２０の搬送方向２０１に対して垂直に、間隔を置いて設けられた複数のマイクロ波放射器３０Ａをさらに含んでいる。
【００２３】
本考案の具体的な実施形態では、前記マイクロ波発生器３０、３０Ａは、前記搬送プラットフォーム２０の上方に架設されて、該搬送プラットフォーム２０上の基板５０の方向に向かってマイクロ波を放射し、該マイクロ波発生器３０、３０Ａから放射されたマイクロ波は、前記金属材料からなる前記マイクロ波チャンバ１０に到達すると反射し、前記マイクロ波作用室に充満する。そのため、前記基板５０の上面の液体がマイクロ波によって昇温・蒸発するだけでなく、該基板５０の底面の液体もマイクロ波によって昇温・蒸発する。すなわち、前記マイクロ波発生器３０、３０Ａが、前記マイクロ波チャンバ１０のマイクロ波作用室に対してマイクロ波を放射することができれば、基板５０全体を乾燥させることができる。
【００２４】
前記少なくとも1つの排気ユニット４０、４０Ａが、前記マイクロ波チャンバ１０のマイクロ波作用室内に設けられ、各排気ユニット４０、４０Ａは、前記搬送プラットフォーム２０の一側に配置され、且つ少なくとも1つの吸気部材４１、４１Ａを含み、該少なくとも1つの吸気部材４１、４１Ａは、該搬送プラットフォーム２０の搬送方向２０１に沿って設けられ、且つ配管４２を介して排気ポンプ（図示せず）と連通しており、各吸気部材４１は、前記搬送プラットフォーム２０上の基板５０から蒸発する水分を吸い取って排出するために、該搬送プラットフォーム２０方向を向く吸気口４１１を有している。
【００２５】
本考案の具体的な実施形態において、前記少なくとも1つの排気ユニット４０、４０Ａは、前記搬送プラットフォーム２０の相対する両側にそれぞれ配置された２つの排気ユニット４０、４０Ａを含む。さらに述べると、図１及び図２に示すように、本考案の第１の好ましい実施形態では、前記各排気ユニット４０の少なくとも1つの吸気部材４１は、前記搬送プラットフォーム２０の搬送方向２０１に沿って間隔を置いて設けられた複数の吸気部材４１を含んでいる。一方、図３に示すように、本考案の第２の好ましい実施形態では、前記各排気ユニット４０Ａの少なくとも1つの吸気部材４１Ａは、前記マイクロ波チャンバ１０の前端と後端に向かって延伸するように設けられた1つの吸気部材４１Ａを含んでいる。
【００２６】
本考案の優れた点としては、マイクロ波乾燥装置が、マイクロ波により液体の水分子を直接加熱することから、前記基板５０のスルーホール又はブラインドビアに溜まった液体を死角なく昇温・蒸散させて、該基板５０を乾燥させるとともに、風を基板５０に吹き付けて乾燥させる場合の、チリによる回路の損傷を防止できるところにある。さらに、マイクロ波は液体のみを加熱し、該基板５０の昇温にエネルギが使われることはないことから、効率よく乾燥でき、且つ節電の効果があるので、該基板５０の加工コストを節約するとともに、該マイクロ波乾燥装置全体を人が許容できる快適な温度に保つことができる。
【００２７】
以上の説明は、本考案の好ましい実施形態に過ぎず、本考案に対して何ら限定を行うものではない。本考案について、比較的好ましい実施形態をもって上記のとおり開示したが、これは本考案を限定するものではなく、すべての当業者が、本考案の技術構想を逸脱しない範囲において、本考案の技術の本質に基づいて上記の実施形態に対して行ういかなる簡単な修正、変更及び修飾も、依然としてすべて本考案の技術構想の範囲内にある。
【符号の説明】
【００２８】
１０    マイクロ波チャンバ
１１    前方開口
１２    後方開口
２０    搬送プラットフォーム
２０１  搬送方向
２１    搬送車軸
３０、３０Ａ  マイクロ波発生器
４０、４０Ａ  排気ユニット
４１、４１Ａ  吸気部材
４１１  吸気口
４２    配管
５０    基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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