【手続補正書】
【提出日】平成25年3月28日(2013.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
受光することにより受光信号として電荷を発生する受光素子と、前記受光素子の受光信号としての電荷を排出する排出手段と、転送されてくる前記受光素子の受光信号としての電荷を蓄積する電荷蓄積部と、前記受光信号としての電荷を前記排出手段により排出する経路とは異なる、他の経路にて電荷蓄積部に転送する転送手段と、前記電荷蓄積部に蓄積された電荷を開放してリセットするリセット手段と、前記電荷蓄積部に蓄積された受光信号を増幅して出力する増幅手段と、前記増幅手段の出力を選択する選択手段とを単位とする画素をアレイ状に有するＣＭＯＳイメージセンサと、
前記選択手段を動作させるための選択パルスを発生して、動作を制御する制御手段とを含み、
前記転送手段により、現在より前のフレームの受光素子に蓄積された受光信号としての電荷が一括して電荷蓄積部に一括転送された後、前記電荷蓄積部に前記受光信号としての電荷が保持され、その後、前記排出手段の動作により、行単位で一括して受光素子により蓄積されている電荷が排出され続ける状態で、かつ、前記転送手段により、順次、行単位で、前記電荷蓄積部に蓄積されている受光信号が、前記増幅手段により増幅されて、読み出される状態で、
前記排出手段による、前記受光素子の受光信号としての電荷の排出が停止され、前記受光素子による前記受光信号としての電荷の蓄積が開始され、
前記選択手段による読み出しが終了したフレームの次のフレームである現在のフレームの先頭で、前記リセット手段により、前記電荷蓄積部に蓄積されている電荷が一括して排出されてリセットされた後、前記転送手段により、行単位で一括して、前記受光素子に蓄積されている受光信号としての電荷が電荷蓄積部に一括転送されて蓄積され、
再び前記排出手段により、行単位で一括して受光素子に蓄積されている電荷が排出され続ける状態で、前記選択手段により、順次、行単位で、前記電荷蓄積部に蓄積されている受光信号が、前記増幅手段により増幅されて、読み出される一連の動作が繰り返される場合、
順次、行単位で、前記電荷蓄積部に蓄積された受光信号が前記増幅手段により増幅されて、前記選択手段により読み出されているとき、前記制御手段は、前記排出手段により受光素子に蓄積された電荷の排出が停止されるタイミングで、前記画素のうち、画像に寄与しない所定行数分の画素について、前記選択手段を動作させるための選択パルスを発生するように制御する
固体撮像素子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記増幅手段により前記受光信号が増幅されて、前記選択手段により出力される少なくとも１行分の画像信号を順次記憶する行単位画像情報記憶手段と、
前記増幅手段により前記受光信号が増幅されて、前記選択手段により出力される１行分の画像信号が、前記画像に寄与しない行の画素の画像信号であるか否かを判定し、前記選択手段により出力される１行分の画像信号が、前記画像に寄与しない行の画素の画像信号ではないとき、前記行単位画像情報記憶手段により記憶されている、直前の１行分の画像信号を選択して出力し、前記選択手段により出力される１行分の画像信号が、前記画像に寄与しない行の画素の画像信号であるとき、前記行単位画像情報記憶手段により記憶されている、前記選択手段により出力される１行分の画像信号を選択して出力すると共に、以降の行については、前記選択手段により出力される１行分の画像信号を選択して出力する選択手段とを含む
請求項１に記載の固体撮像素子。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
受光することにより受光信号として電荷を発生する受光素子と、前記受光素子の受光信号としての電荷を排出する排出手段と、転送されてくる前記受光素子の受光信号としての電荷を蓄積する電荷蓄積部と、前記受光信号としての電荷を前記排出手段により排出する経路とは異なる、他の経路にて電荷蓄積部に転送する転送手段と、前記電荷蓄積部に蓄積された電荷を開放してリセットするリセット手段と、前記電荷蓄積部に蓄積された受光信号を増幅して出力する増幅手段と、前記増幅手段の出力を選択する選択手段とを単位とする画素をアレイ状に有するＣＭＯＳイメージセンサと、
前記選択手段を動作させるための選択パルスを発生して、動作を制御する制御手段とを含む固体撮像素子を駆動する駆動方法であって、
前記制御手段における、前記選択手段を動作させるための選択パルスを発生して、動作を制御する制御ステップを含み、
前記転送手段により、現在より前のフレームの受光素子に蓄積された受光信号としての電荷が一括して電荷蓄積部に一括転送された後、前記電荷蓄積部に前記受光信号としての電荷が保持され、その後、前記排出手段の動作により、行単位で一括して受光素子により蓄積されている電荷が排出され続ける状態で、かつ、前記転送手段により、順次、行単位で、前記電荷蓄積部に蓄積されている受光信号が、前記増幅手段により増幅されて、読み出される状態で、
前記排出手段による、前記受光素子の受光信号としての電荷の排出が停止され、前記受光素子による前記受光信号としての電荷の蓄積が開始され、
前記選択手段による読み出しが終了したフレームの次のフレームである現在のフレームの先頭で、前記リセット手段により、前記電荷蓄積部に蓄積されている電荷が一括して排出されてリセットされた後、前記転送手段により、行単位で一括して、前記受光素子に蓄積されている受光信号としての電荷が電荷蓄積部に一括転送されて蓄積され、
再び前記排出手段により、行単位で一括して受光素子に蓄積されている電荷が排出され続ける状態で、前記選択手段により、順次、行単位で、前記電荷蓄積部に蓄積されている受光信号が、前記増幅手段により増幅されて、読み出される一連の動作が繰り返される場合、
順次、行単位で、前記電荷蓄積部に蓄積された受光信号が前記増幅手段により増幅されて、前記選択手段により読み出されているとき、前記制御ステップの処理は、前記排出手段により受光素子に蓄積された電荷の排出が停止されるタイミングで、前記画素のうち、画像に寄与しない所定行数分の画素について、前記選択手段を動作させるための選択パルスを発生するように制御する
固体撮像素子の駆動方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１２】
前記増幅手段により前記受光信号が増幅されて、前記選択手段により出力される少なくとも１行分の画像信号を順次記憶する行単位画像情報記憶手段と、
前記増幅手段により前記受光信号が増幅されて、前記選択手段により出力される１行分の画像信号が、前記画像に寄与しない行の画素の画像信号であるか否かを判定し、前記選択手段により出力される１行分の画像信号が、前記画像に寄与しない行の画素の画像信号ではないとき、前記行単位画像情報記憶手段により記憶されている、直前の１行分の画像信号を選択して出力し、前記選択手段により出力される１行分の画像信号が、前記画像に寄与しない行の画素の画像信号であるとき、前記行単位画像情報記憶手段により記憶されている、前記選択手段により出力される１行分の画像信号を選択して出力すると共に、以降の行については、前記選択手段により出力される１行分の画像信号を選択して出力する選択手段とを含む
請求項８に記載の固体撮像素子の駆動方法。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１５】
受光することにより受光信号として電荷を発生する受光素子と、前記受光素子の受光信号としての電荷を排出する排出手段と、転送されてくる前記受光素子の受光信号としての電荷を蓄積する電荷蓄積部と、前記受光信号としての電荷を前記排出手段により排出する経路とは異なる、他の経路にて電荷蓄積部に転送する転送手段と、前記電荷蓄積部に蓄積された電荷を開放してリセットするリセット手段と、前記電荷蓄積部に蓄積された受光信号を増幅して出力する増幅手段と、前記増幅手段の出力を選択する選択手段とを単位とする画素をアレイ状に有するＣＭＯＳイメージセンサと、
前記選択手段を動作させるための選択パルスを発生して、動作を制御する制御手段とを含み、
前記転送手段により、現在より前のフレームの受光素子に蓄積された受光信号としての電荷が一括して電荷蓄積部に一括転送された後、前記電荷蓄積部に前記受光信号としての電荷が保持され、その後、前記排出手段の動作により、行単位で一括して受光素子により蓄積されている電荷が排出され続ける状態で、かつ、前記転送手段により、順次、行単位で、前記電荷蓄積部に蓄積されている受光信号が、前記増幅手段により増幅されて、読み出される状態で、
前記排出手段による、前記受光素子の受光信号としての電荷の排出が停止され、前記受光素子による前記受光信号としての電荷の蓄積が開始され、
前記選択手段による読み出しが終了したフレームの次のフレームである現在のフレームの先頭で、前記リセット手段により、前記電荷蓄積部に蓄積されている電荷が一括して排出されてリセットされた後、前記転送手段により、行単位で一括して、前記受光素子に蓄積されている受光信号としての電荷が電荷蓄積部に一括転送されて蓄積され、
再び前記排出手段により、行単位で一括して受光素子に蓄積されている電荷が排出され続ける状態で、前記選択手段により、順次、行単位で、前記電荷蓄積部に蓄積されている受光信号が、前記増幅手段により増幅されて、読み出される一連の動作が繰り返される場合、
順次、行単位で、前記電荷蓄積部に蓄積された受光信号が前記増幅手段により増幅されて、前記選択手段により読み出されているとき、前記制御手段は、前記排出手段により受光素子に蓄積された電荷の排出が停止されるタイミングで、前記画素のうち、画像に寄与しない所定行数分の画素について、前記選択手段を動作させるための選択パルスを発生するように制御する
電子機器。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
その中でも、行順次読み出し期間と露光期間とに時間的自由度を持たせるため、フォトダイオードに一括電荷排出手段(オーバーフローゲート)を設けたものが提案されている（特許文献１参照）。特許文献１では、行順次読み出し期間の途中で、オーバーフローゲートが全行一括して開かれ、フォトダイオードＰＤの電荷が排出される動作と、所定行の時点での排出動作を停止する、すなわちオーバーフローゲートを一括して閉じたままにして、フォトダイオードＰＤの露光を一括して開始し、継続するという動作が行われる。そして、次のフレーム期間の先頭において、フォトダイオードＰＤの信号が、フローティングディフュージョンＦＤなどの電荷蓄積部への全行同時転送駆動により露光が終了されて、その信号の順次読み出し動作が行われる。これら一連の動作により、露光期間の開始が行単位で、順次読み出される期間を含む自由な行タイミングに設定でき、露光期間の時間的自由度の向上を実現している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
【図１】従来のＣＭＯＳイメージセンサの動作を説明する図である。
【図２】従来のＣＭＯＳイメージセンサの動作を説明する図である。
【図３】本発明の固体撮像素子を適用したＣＭＯＳイメージセンサの第１の実施の形態の構成例を示すブロック図である。
【図４】図３の画素アレイ部における単位画素の構成例を説明する回路図である。
【図５】図３の画素アレイ部における単位画素の構成例を説明する側面断面図である。
【図６】図３のＣＭＯＳイメージセンサの駆動処理を説明するフローチャートである。
【図７】図３のＣＭＯＳイメージセンサの駆動処理を説明するタイミングチャートである。
【図８】ＣＭＯＳイメージセンサの第２の実施の形態の構成例を示すブロック図である。
【図９】図８のＣＭＯＳイメージセンサの駆動処理を説明するフローチャートである。
【図１０】図８のＣＭＯＳイメージセンサの駆動処理を説明するタイミングチャートである。
【図１１】ＣＭＯＳイメージセンサの第３の実施の形態の構成例を示すブロック図である。
【図１２】図１１の画素アレイ部における単位画素の構成例を説明する回路図である。
【図１３】図１１の画素アレイ部における単位画素の構成例を説明する側面断面図である。
【図１４】図１１のＣＭＯＳイメージセンサの駆動処理を説明するフローチャートである。
【図１５】図１１のＣＭＯＳイメージセンサの駆動処理を説明するタイミングチャートである。
【図１６】図１１のＣＭＯＳイメージセンサの出力処理を説明するフローチャートである。
【図１７】図１１のＣＭＯＳイメージセンサの出力処理を説明する図である。
【図１８】その他の単位画素のその他の構成例を説明する図である。
【図１９】その他の単位画素の第１構成例を説明する図である。
【図２０】その他の単位画素の第２構成例を説明する図である。
【図２１】その他の単位画素の第３構成例を説明する図である。
【図２２】その他の単位画素の第４構成例を説明する図である。
【図２３】その他の単位画素の第５構成例を説明する図である。
【図２４】本発明の固体撮像素子を適用したＣＭＯＳイメージセンサを備えた電子機器の構成例を説明するブロック図である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
画素アレイ部１１１には、入射光量に応じた電荷量の光電荷を受光信号として発生し内部に蓄積する光電変換素子を有する単位画素が行列状に２次元配置されている。なお、以下では、入射光量に応じた電荷量の光電荷を、単に「電荷」と記述し、単位画素を、単に「画素」と記述する場合もある。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
［図２のＣＭＯＳイメージセンサ１００の単位画素の回路構成例］
次に、図４，図５を参照して、図３の画素アレイ部１１１に配設される単位画素の構成例について説明する。尚、図４は、画素アレイ部１１１に配設される単位画素１２０の回路構成を説明する図であり、図５は、単位画素１２０の断面構成を説明する図である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
ステップＳ３０において、システム制御部１１５は、動作の終了が指示されたか否かを判定し、動作の終了が指示されていない場合、処理は、ステップＳ１３に戻る。また、ステップＳ３０において、例えば、図示せぬ操作部が操作されて、動作の終了が指示された場合、処理は終了する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
ステップＳ６４において、システム制御部１１５’は、第（ｎ−１）行を処理対象行とみなし、第（ｎ−１）行の画素に対して、選択パルス線ＳＥＬより選択パルスＳＥＬを発生する。例えば、第（ｎ−１）行の処理の後のタイミングで露光期間を開始する場合、図１０の時刻ｔ１１９乃至ｔ１２６において、直前に読み出された行と同一の第（ｎ−１）行に対して、選択パルスＳＥＬを発生する。これにより、直前の処理により既に受光信号が読み出されている第（ｎ−１）行の垂直信号線ＶＳＬが有効となり、浮遊拡散領域ＦＤより受光信号としての電荷を転送させる。ただし、第（ｎ−１）行のフォトダイオードＰＤは、直前の処理により受光信号は読み出されているので、出力される受光信号は理想的にはゼロとなる。このとき、同時に、システム制御部１１５’は、カラム処理部１１３に対してサンプルホールドタイミングパルスＳＨＳを発生する。すなわち、第（ｎ−１）行の画素に対して、図１０の時刻ｔ１２０乃至ｔ１２１といった、選択パルスＳＥＬの発生期間内に、サンプルホールドタイミングパルスＳＨＳが発生される。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
すなわち、以上の処理においては、全画素について、排出パルス線ＯＦＧに一括してローレベルの排出パルスが入力する行期間において、本来の撮像により得られる画像信号とは無関係の既に受光信号の読み出しが終わっている行の受光信号が読み出すように制御している。換言すれば、上述したダミー行に対する処理を、既に受光信号の読み出しが終了している行に対して実行させるようにしている。このため、ダミー行を設けた場合と同様の作用効果を奏する。尚、ダミー行を設けた場合よりも、実質的に必要な画素のみで同様の処理が実行できるため、ソフトウェアプログラムにより既存の画素アレイ部１１１に対しても適用することが可能となる。また、ダミー行に掛かる回路を不要とするため、低コストで実現できる他、ダミー行に掛かる回路がないので、ＩＲドロップの発生も低減することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
［図１１のＣＭＯＳイメージセンサ１００の駆動処理］
次に、図１４のフローチャート、および図１５のタイミングチャートを参照して、図１１のＣＭＯＳイメージセンサ１００の駆動処理について説明する。尚、図１５においては、上から３段目までにおいては、それぞれ画素アレイ部１１１の第（ｎ−１）行乃至第（ｎ＋１）行の画素に対するリセットパルスＲＳＴ、第２の転送パルスＴＲＧ、第１の転送パルスＲＯＧ、排出パルスＯＦＧ、および選択パルスＳＥＬの発生タイミングを示している。また、最下段には、サンプルホールドタイミングパルスＳＨＮ，ＳＨＳの発生タイミングが示されている。また、図１４のサンプルホールドタイミングパルスＳＨＮ，ＳＨＳは、図１０のサンプルホールドタイミングパルスＳＨＳ，ＳＨＮと表示位置が上下逆にされている点に注意されたい。また、図１４のフローチャートにおけるステップＳ８１，Ｓ８２，Ｓ９９，Ｓ１００の処理は、図９のフローチャートにおけるステップＳ５１，５２，Ｓ６９，Ｓ７０の処理と同様であるので、その説明は省略するものとする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
ステップＳ８３において、システム制御部１１５’’は、例えば、図１５の時刻ｔ１０１乃至ｔ１０２で示されるように、所定の露光期間が経過したところで、全画素のリセットパルス線ＲＳＴおよび第１の転送パルス線ＲＯＧに対して、リセットパルスＲＳＴおよび第１の転送パルスＲＯＧを発生させる。その後、システム制御部１１５’’は、リセットパルスＲＳＴおよび第１の転送パルスＲＯＧの直後となるタイミング、すなわち、例えば、図１５の時刻ｔ１０３乃至ｔ１０４で示されるように、全画素の第２の転送パルス線ＴＲＧに対して、第２の転送パルスＴＲＧを発生させる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２５】
ステップＳ８８において、サンプルホールドタイミングパルスＳＨＮにより、カラム処理部１１３は、垂直信号線１１７（ＶＳＬ）を介して読み出される受光信号をリセットレベルの情報として記憶する。すなわち、第（ｎ−１）行目の単位画素の場合、図１５における点線で示される時刻ｔ１１２乃至ｔ１１３近傍のタイミングにおいて、リセットレベルの受光信号が読み出される。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２６】
ステップＳ８９において、システム制御部１１５’’は、処理対象行の画素の第１の転送パルス線ＲＯＧに第１の転送パルスＲＯＧを発生する。すなわち、例えば、処理対象行が（ｎ−１）行である場合、選択パルスＳＥＬの発生期間の中間タイミングである時刻ｔ１１４乃至ｔ１１５において、第１の転送パルスＲＯＧが発生される。この処理により、処理対象行の画素のメモリ部ＭＥＭの蓄積されていた受光信号としての電荷が、浮遊拡散領域ＦＤに転送される。さらに、システム制御部１１５は、カラム処理部１１３に対してサンプルホールドタイミングパルスＳＨＳを発生する。すなわち、処理対象行が第（ｎ−１）行である場合、時刻ｔ１１６乃至ｔ１１７といった、選択パルスＳＥＬの発生期間内に、サンプルホールドタイミングパルスＳＨＳが発生される。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３５】
ステップＳ９５において、システム制御部１１５’’は、全画素について、例えば、図１５で示されるように、時刻ｔ１２０において、排出パルス線ＯＦＧより排出パルスＯＦＧをローレベルにして発生する。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３７】
そして、ステップＳ９７において、カラム処理部１１３は、サンプルホールドタイミングパルスＳＨＮに基づいて、垂直信号線１１７（ＶＳＬ）より供給されてくる受光信号をリセットレベルの情報として記憶する。すなわち、第（ｎ−１）行目の次のタイミングで露光期間が開始される場合、図１５における点線で示される時刻ｔ１２０乃至ｔ１２１近傍のタイミングにおいて、リセットレベルの受光信号が読み出される。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３９】
そして、ステップＳ９０において、カラム処理部１１３は、サンプルホールドタイミングパルスＳＨＳに基づいて、垂直信号線１１７（ＶＳＬ）より供給されてくる受光信号を信号レベルの情報として記憶する。すなわち、第（ｎ−１）行目の次のタイミングで露光期間が開始される場合、図１５における点線で示される時刻ｔ１２４乃至ｔ１２５近傍のタイミングにおいて、信号レベルの受光信号が読み出される。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５４】
ステップＳ１１６において、セレクタ１０２は、ラインメモリ１０１より供給されてきた画像情報を破棄して、信号処理部１１８より出力されてきた、取得した１行分の画像情報を出力する。すなわち、図１７の時刻ｔ３０３乃至ｔ３０４の場合、セレクタ１０２は、信号処理部１１８より出力されてくる第ｎ行目の１行分の画像情報を出力する。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６０】
尚、以上においては、ラインメモリ１０１よりダミー行の画像情報が送られてきた場合に、セレクタ１０２が、ラインメモリ１０１より供給されてきた１行分の画像情報を破棄し、信号処理部１１８より出力されてきた１行分の画像信号を出力する例について説明してきた。しかしながら、画像に寄与しない画像情報が供給されてきた場合、信号処理部１１８より出力されてきた１行分の画像情報が出力されるようにすればよいので、図８のＣＭＯＳイメージセンサ１００を用いて、ダミー行の画像信号に代えて、既に、読み出し済みの行を再度読み出した画像情報の場合、同様に、信号処理部１１８からの画像情報を出力するようにしてもよい。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７４】
また、単位画素１２０Ａでは、フォトダイオード１２１の蓄積電荷を排出したり、フォトダイオード１２１で電荷が溢れるのを防止したりするために電荷排出部１２９を設ける構成を採っている。これに対して、転送パルスＴＲＸ，ＴＲＧおよびリセットパルスＲＳＴを全てアクティブ（本例では、“Ｈ”レベル）状態にする構成を採ることによっても、電荷排出部１２９と同等の作用効果を得ることができる。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８３】
尚、図１８のフォトダイオード１２１、第１転送ゲート１２２、メモリ部（ＭＥＭ）１２３、第２転送ゲート１２４および浮遊拡散領域（ＦＤ：Floating Diffusion）１２５は、それぞれ、図１２のフォトダイオードＰＤ、第２の転送ゲートＴＲ＿ＴＲＧ、浮遊拡散領域ＦＤ２、第１の転送ゲートＴＲ＿ＲＯＧ、および浮遊拡散領域ＦＤに対応するものであり、対応した動作により、同様の作用効果を奏する。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８６】
単位画素１２０Ｂでは、図１８の単位画素１２０Ａにおける第１転送ゲート１２２とメモリ部１２３が省略され、Ｐ型ウェル層１３２を挟んで、フォトダイオード１２１と浮遊拡散領域１２５が隣接する配置となっている。フォトダイオード１２１と浮遊拡散領域１２５の間のＰ型ウェル層１３２の上側には、第２転送ゲート１２４が配置されている。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９０】
単位画素１２０Ｃでは、ゲート電極１２２Ａの下で、かつ、フォトダイオード１２１とメモリ部１２３との境界部分に、Ｐ−の不純物拡散領域１３７を設けることによりオーバーフローパス１３０を形成した点が図１８の単位画素１２０Ａと異なる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０２】
図２０の単位画素１２０Ｃでは、メモリ部１２３が埋め込みチャネル１３５によって形成された構成となっている。これに対して、図２２の単位画素１２０Ｅでは、メモリ部１２３を、埋め込み型のＮ型拡散領域１３９によって形成した構成が採用されている。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０４】
ここで、メモリ部１２３のＮ型拡散領域１３９の不純物濃度は、浮遊拡散領域１２５の不純物濃度よりも低くすることが好ましい。このような不純物濃度の設定により、第２転送ゲート１２４によるメモリ部１２３から浮遊拡散領域１２５への電荷の転送効率を高めることができる。単位画素１２０Ｅにおけるグローバル露光動作は、図２０の単位画素１２０Ｃと同様である。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０６】
また、単位画素１２０Ｅの構成においても、図２０の単位画素１２０Ｃにおける場合と同様に電荷排出部１２９を省略し、転送パルスＴＲＸ，ＴＲＧおよびリセットパルスＲＳＴを全てアクティブ状態にする構成を採ることができる。この構成を採ることにより、電荷排出部１２９と同等の作用効果、即ちフォトダイオード１２１の電荷を排出し、また、読み出し期間中にフォトダイオード１２１で溢れた電荷を基板側に逃がすことができる。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０９】
図２０の単位画素１２０Ｃでは、フォトダイオード１２１と浮遊拡散領域１２５の間に１つのメモリ部（ＭＥＭ）１２３が配置されていたが、図２３の単位画素１２０Ｆでは、さらにもう１つのメモリ部（ＭＥＭ２）１４２が配置されている。即ち、メモリ部が２段構成となっている。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１５】
なお、上述した単位画素１２０、および１２０Ａ乃至１２０Ｆにおけるデバイス構造の導電型は一例に過ぎず、Ｎ型、Ｐ型が逆でも構わないし、また、Ｎ型基板１３１の導電型についてもＮ型、Ｐ型のどちらでも構わない
【手続補正３１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2011216971.tif 000001
【手続補正３２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2011216971.tif 000002
【手続補正３３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2011216971.tif 000003
【手続補正３４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】
2011216971.tif 000004
【手続補正３５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2011216971.tif 000005
【手続補正３６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６】
2011216971.tif 000006