【手続補正書】
【提出日】平成25年8月7日(2013.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として試料に対して照射する荷電粒子光学系と、
前記荷電粒子光学系の収差を補正する収差補正器と、
前記荷電粒子光学系と前記収差補正器との各構成要素を制御する制御手段と、
前記荷電粒子光学系の複数の収差係数を測定する前記収差測定手段と、
前記測定された複数の収差係数のうち、どの収差を補正するかを示す値を保持する価値関数テーブルが保存された記憶装置と、
前記測定された収差係数と前記価値関数テーブルとの値に基づいて、複数の収差の補正を判断する補正対象判断手段と、
前記補正対象判断手段で前記補正の判断がされた前記複数の収差を補正する収差補正手段と、を有する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記補正対象判断手段は、
前記収差測定手段により測定された収差補正前後の収差係数から該収差補正の効果を報酬として定量化し、
該報酬に基づいて前記価値関数テーブルの前記値を更新する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記価値関数テーブルは、
各収差係数を各々の補正目標値で規格化した値をＮ段階に階級化し、
該階級化された値を並べてできるＮ進数の数値を１０進数に変換することで得られる数値を収差状態とし、
該収差状態を行インデックスとしたものである
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記価値関数テーブルは、
初期値として、
ある行の前記収差状態においては、相対的に大きい収差ほど高い値を持ち、
異なる収差状態の間では、各収差係数の総和が小さい収差状態ほど高い値を持つように設定される
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項１において、
前記補正対象判断手段は、
前記価値関数テーブルに応じた選択確率に従って１つ乃至複数の収差の補正を判断する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項６】
請求項２において、
前記報酬は、
補正後の総合的な収差が小さいほど大きい重み係数をＷとして
Ｗ×（（補正前の収差係数）−（補正後の収差係数））とする
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記重み係数は、
各収差係数を各々の補正目標値で規格化した値をＮ段階に階級化し、
該階級化された値の総和の逆数とする
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項８】
請求項１において、
前記収差補正手段は、
前記記憶装置に保存された変換係数テーブルを参照することで補正する収差の収差係数から補正制御量に変換し、
該補正制御量に減衰係数Ｋを掛けて前記制御手段にフィードバックすることで前記収差を補正する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記減衰係数Ｋは、
１．０−（収差係数の相対誤差）とする
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１０】
請求項１において、
前記制御手段の制御量を記録する制御量記録手段を備え、
前記制御量記録手段は、前記収差補正手段が収差を補正する前の前記制御手段の制御量を記録し、
前記補正対象判断手段が算出する前記報酬が全て負の場合には該記録された制御量を前記制御手段に復帰させることで補正前の状態に戻る
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１１】
請求項１において、
前記収差補正手段は、
前記収差測定手段により測定された収差係数を測定履歴として記録し、
該測定履歴から該収差係数の標準偏差を算出し、
該標準偏差が事前に設定された閾値以下となるまで前記収差の補正を制限する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１２】
請求項１０において、
前記制御量記録手段は、
記録された前記制御手段の制御量を履歴として保存しておき、任意の時点の制御量を前記制御手段に復帰させることで任意の時点の状態に戻る
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１３】
請求項１０において、
前記制御量記録手段は、
記録された前記制御手段の制御量を外部記憶装置にファイルとして書き出し、該書き出されたファイルを読み込んで前記制御手段の制御量を復帰する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１４】
請求項１において、
前記自動収差補正装置は、画像表示手段を備え、
前記画像表示手段に前記補正の進捗を表示する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１５】
請求項１４において、
前記補正の進捗は、複素数で表される収差係数を複素平面上にプロットするものである
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１６】
請求項１４において、
前記制御手段の制御量の履歴を記録する制御量記録手段を備えており、
前記画像表示手段に、前記制御量記録手段の情報に基づき、前記補正の履歴を表示し、
該表示された履歴の一項目に対する指定を受けて、該履歴に該一項目が追加された時点の前記制御量の状態に戻る
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１７】
請求項１４において、
前記画像表示手段に、前記価値関数テーブルの値と該価値関数テーブルの値を基に選択された収差を表示し、前記価値関数テーブルの修正を対話的に行えるようにした
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１８】
荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として試料に対して照射する荷電粒子光学系と、
前記荷電粒子光学系の収差補正の測定結果に基づき、実施した補正手順を評価する評価部と、
前記評価に基づき、他の補正手順よりも高い評価を得た補正手順を選択する選択部と、
前記選択された補正手順を実行する収差補正器と、
を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項１９】
荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として試料に対して照射する荷電粒子光学系と、
前記荷電粒子光学系の収差補正の測定結果に基づき、実施した補正手順を評価する評価部と、
前記評価に基づき、補正手順を定めるテーブルの値を変更するテーブル変換部と、
前記テーブルに基づき定められた補正手順を実行する収差補正器と、
を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２０】
荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として試料に対して照射する荷電粒子光学系と、
過去の調整手順を強化学習法によって評価し、調整手順を自動的に選択することにより前記荷電粒子光学系の収差を補正する収差補正器と、を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記課題を解決するために、本発明では、荷電粒子線源と、前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として試料に対して照射する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系の収差を補正する収差補正器と、前記荷電粒子光学系と前記収差補正器の各構成要素を制御する制御手段と、前記荷電粒子光学系の複数の収差係数を測定する前記収差測定手段と、前記測定された複数の収差係数のうち、どの収差を補正するかを示す値を保持する価値関数テーブルが保存された記憶装置と、前記測定された収差係数と前記価値関数テーブルとの値に基づいて、複数の収差の補正を判断する補正対象判断手段と、前記補正対象判断手段で前記補正の判断がされた前記複数の収差を補正する収差補正手段と、を有することを特徴とする。