【手続補正書】
【提出日】平成25年2月27日(2013.2.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置し、前記光学部材に対して相対移動可能なテーブルと、
表面を有する部材と、
前記光学部材と対向して前記表面を位置付けるように前記部材を保持する保持部材と、を備え、
前記テーブルは、前記光学部材と対向して位置付けられるとともに、前記光学部材とその位置付けられるテーブルとの間に維持される液浸液体に対して前記載置した基板を相対的に移動し、
前記部材は、前記テーブルによって前記基板が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材の直下から離れて位置付けられるとともに、前記保持部材によって前記表面が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記テーブルの代わりに前記光学部材の下に前記液浸液体を維持し、
前記テーブルは、前記部材によって前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記光学部材の直下から離れて位置付け可能である。
【請求項２】
請求項１に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは相対移動可能である。
【請求項３】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置するテーブルと、
前記テーブルに対して相対移動可能な部材と、
前記光学部材と対向して位置付けられるように前記部材を保持する保持部材と、を備え、
前記テーブルと前記部材とはそれぞれ、前記光学部材と対向して位置付けられることによって、前記光学部材の下に液浸液体を維持し、
前記部材は、前記テーブルによって前記基板が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材の直下から離れて位置付けられ、前記テーブルは、前記保持部材によって前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材の直下から離れて移動可能となる。
【請求項４】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光装置であって、
前記基板を載置するテーブルと、
前記テーブルに対して相対移動可能な部材と、
前記光学部材と対向して位置付けられるように前記部材を保持する保持部材と、を備え、
前記部材は、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される状態において、前記光学部材の直下から離れて位置付けられ、
前記テーブルは、前記保持部材で保持され前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される状態において、前記光学部材の直下から離れて移動可能となる。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動され、前記液浸液体は、前記光学部材の下に実質的に維持されつつ前記テーブルから前記部材に移載され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の下に維持される。
【請求項６】
請求項５に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルに載置される基板に対して前記部材が並置された状態で、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項７】
請求項５に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは、その表面が並置された状態で、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルは、前記光学部材と対向して位置付けられるように前記保持部材で保持された前記部材に対して相対的に移動され、前記光学部材の直下から離れて移動可能となる。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルは、前記部材を保持して前記保持部材の下方で移動可能であるとともに、前記光学部材の直下から離れるために前記部材をリリースし、前記リリースされた部材は、前記保持部材によって前記光学部材と対向して位置付けられるように保持される。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記部材は、前記テーブルを有する基板ステージによって前記光学部材と対向して位置付けられるとともに、前記保持部材と前記基板ステージとの一方からリリースされて、前記保持部材と前記基板ステージとの他方に保持される。
【請求項１１】
請求項１０に記載の液浸露光装置において、
前記部材は、前記テーブルに載置される基板が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記基板ステージに保持され、前記テーブルが前記光学部材の直下から離れる間、前記保持部材に保持される。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記部材は、その表面が前記テーブルの表面と実質的に面一となるように、前記テーブルを有する基板ステージに設けられるとともに、前記テーブルが前記光学部材の直下から離れるために前記基板ステージからリリースされて前記保持部材に保持される。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液浸露光装置において、
前記部材は、前記テーブルによって前記基板が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記基板ステージに保持される。
【請求項１４】
請求項１２又は１３に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルは、前記載置した基板の表面と実質的に面一となる表面を有する。
【請求項１５】
請求項１２〜１４のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記基板ステージは、前記テーブルによって、前記保持部材からリリースされた前記部材を保持する。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記保持部材は、前記部材をリリース可能に保持し、
前記テーブルは、前記保持部材からリリースされる前記部材の載置部を有する。
【請求項１７】
請求項１６に記載の液浸露光装置において、
前記載置部は、前記テーブルの基板保持部と異なる位置に設けられる。
【請求項１８】
請求項１７に記載の液浸露光装置において、
前記載置部は、前記部材を保持するクランプ部材を含む。
【請求項１９】
請求項１８に記載の液浸露光装置において、
前記クランプ部材は、真空クランプ、静電クランプ、及びメカニカルクランプの１つを含む。
【請求項２０】
請求項１６〜１９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルに載置される基板の露光中、前記部材は、前記載置部に載置される。
【請求項２１】
請求項１６〜２０のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記載置部に載置される前記部材は、前記テーブルの移動によって前記基板の代わりに前記光学部材と対向して位置付けられるとともに、前記テーブルからリリースされて前記保持部材で保持される。
【請求項２２】
請求項２１に記載の液浸露光装置において、
前記保持部材で保持される前記部材によって、前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記テーブルは、前記光学部材の直下から離れて移動可能である。
【請求項２３】
請求項１〜２２のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
それぞれ基板を載置する、前記テーブルを含む２つのテーブルを有するステージアセンブリによって、前記２つのテーブルにそれぞれ載置される基板が交互に前記光学部材と対向して位置付けられ、
前記保持部材からリリースされた前記部材は、前記露光が行われる基板を載置する、前記２つのテーブルの一方に設けられる。
【請求項２４】
請求項２３に記載の液浸露光装置において、
前記部材は、前記光学部材と対向して位置付けられる前記２つのテーブルの一方が他方に置き換えられる間、前記保持部材によって前記光学部材と対向して位置付けられる。
【請求項２５】
請求項１〜２４のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルの前記部材への置換において、前記光学部材の下に前記液浸液体が実質的に維持される、あるいは、前記光学部材は前記液浸液体との接触が実質的に維持される。
【請求項２６】
請求項２５に記載の液浸露光装置において、
前記部材はその表面が、前記光学部材と対向して位置付けられる前記基板の表面と並んで配置され、
前記テーブルと前記部材とは、前記基板の代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられるまで、前記並置された状態で、前記光学部材に対して移動され、
前記保持部材は、前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材を保持して、前記光学部材の下に前記液浸液体を維持する。
【請求項２７】
請求項２６に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルは、前記部材の載置部を有し、
前記部材は、前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記テーブルに載置され、前記テーブルが前記光学部材の直下から離れるために、前記載置部からリリースされて前記保持部材で保持される。
【請求項２８】
請求項１〜２７のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材と前記基板との間に前記液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と前記部材との間に前記液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記光学部材に対して移動され、前記第２状態では、前記保持部材によって前記部材が保持される。
【請求項２９】
請求項１〜２８のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルは、前記保持部材によって前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材に対して相対的に移動されるとともに、前記光学部材の直下から離れて移動可能である。
【請求項３０】
請求項１〜２９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記保持部材は、前記光学部材に対して前記基板を相対的に移動する前記テーブルの上方に配置され、
前記テーブルは、前記保持部材に対して相対移動可能である。
【請求項３１】
請求項１〜３０のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記部材によって前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記テーブルは、前記基板のアライメントが行われるアライメント領域内で移動可能である。
【請求項３２】
請求項１〜３１のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルに載置される基板の露光中、前記部材は、前記光学部材の直下から離れて位置付けられる。
【請求項３３】
請求項１〜３２のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記基板が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記部材は、前記保持部材からリリースされて前記テーブルに載置される。
【請求項３４】
請求項１〜３３のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記部材によって前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記テーブルは前記光学部材の直下から離れて、前記基板の露光動作と異なる動作が行われる。
【請求項３５】
請求項３４に記載の液浸露光装置において、
前記異なる動作は、前記基板のロード及び／又はアンロードを含む。
【請求項３６】
請求項３５に記載の液浸露光装置において、
前記異なる動作は、前記基板のアライメントを含む。
【請求項３７】
請求項１〜３６のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記基板のアライメントを行うアライメントシステムを、さらに備え、
前記部材によって前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記アライメントシステムによって、前記テーブルに載置される基板のアライメントが行われる。
【請求項３８】
請求項１〜３７のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルに載置される基板を交換する交換システムを、さらに備え、
前記部材によって前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記交換システムによって、前記テーブルに載置される基板の交換が行われる。
【請求項３９】
請求項３８に記載の液浸露光装置において、
前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材と前記液浸液体とを介して前記テーブルに載置される基板の露光が行われ、
前記部材によって前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記交換システムによって、前記テーブルに載置される前記露光された基板の交換が行われる。
【請求項４０】
請求項１〜３９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記部材は、その表面が前記液浸液体を弾く、あるいはコーティング面である。
【請求項４１】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記基板を載置するテーブルによって、前記光学部材と対向して前記載置した基板を位置付けることと、
前記光学部材と液浸液体とを介して、前記テーブルに載置される基板を露光することと、
前記基板の代わりに、前記光学部材と対向してその表面が位置付けられるように部材を保持することと、を含み、
前記基板の露光において、前記液浸液体は、前記光学部材と前記テーブルとの間に維持されるとともに、前記基板は、前記テーブルによって前記液浸液体に対して相対移動され、
前記部材は、前記テーブルによって前記基板が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材の直下から離れて位置付けられるとともに、前記部材の保持部材によって前記表面が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材の下に前記液浸液体を維持し、
前記テーブルは、前記部材によって前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記光学部材の直下から離れて位置付け可能である。
【請求項４２】
請求項４１に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは相対移動可能である。
【請求項４３】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記基板を載置するテーブルによって、前記光学部材と対向して前記基板を位置付けられることと、
前記光学部材と液浸液体とを介して前記露光が行われた基板の代わりに、前記テーブルに対して相対移動可能な部材が前記光学部材と対向して位置付けられるようにその部材を保持部材で保持することと、を含み、
前記テーブルと前記部材とはそれぞれ、前記光学部材と対向して位置付けられることによって、前記光学部材の下に液浸液体を維持し、
前記部材は、前記テーブルによって前記基板が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材の直下から離れて位置付けられ、前記テーブルは、前記保持部材によって前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材の直下から離れて移動可能となる。
【請求項４４】
光学部材を介して露光ビームで基板を露光する液浸露光方法であって、
前記基板を載置するテーブルによって、前記光学部材と対向して前記基板を位置付けられることと、
前記光学部材と液浸液体とを介して前記露光が行われた基板の代わりに、前記テーブルに対して相対移動可能な部材が前記光学部材と対向して位置付けられるようにその部材を保持部材で保持することと、を含み、
前記部材は、前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルによって前記光学部材の下に液浸液体が維持される状態において、前記光学部材の直下から離れて位置付けられ、
前記テーブルは、前記保持部材で保持され前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される状態において、前記光学部材の直下から離れて移動可能となる。
【請求項４５】
請求項４１〜４４のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動され、前記液浸液体は、前記光学部材の下に実質的に維持されつつ前記テーブルから前記部材に移載され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の下に維持される。
【請求項４６】
請求項４５に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは、前記テーブルに載置される基板に対して前記部材が並置された状態で、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項４７】
請求項４５に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは、その表面が並置された状態で、前記光学部材の下方で液浸液体に対して移動され、前記テーブルの代わりに前記部材によって前記光学部材の下に液浸液体が維持される。
【請求項４８】
請求項４１〜４７のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルは、前記光学部材と対向して位置付けられるように前記保持部材で保持された前記部材に対して相対的に移動され、前記光学部材の直下から離れて移動可能となる。
【請求項４９】
請求項４１〜４８のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルは、前記部材を保持して前記保持部材の下方で移動可能であるとともに、前記光学部材の直下から離れるために前記部材をリリースし、前記リリースされた部材は、前記保持部材によって前記光学部材と対向して位置付けられるように保持される。
【請求項５０】
請求項４１〜４９のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材は、前記テーブルを有する基板ステージによって前記光学部材と対向して位置付けられるとともに、前記保持部材と前記基板ステージとの一方からリリースされて、前記保持部材と前記基板ステージとの他方に保持される。
【請求項５１】
請求項５０に記載の液浸露光方法において、
前記部材は、前記テーブルに載置される基板が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記基板ステージに保持され、前記テーブルが前記光学部材の直下から離れる間、前記保持部材に保持される。
【請求項５２】
請求項４１〜５１のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材は、その表面が前記テーブルの表面と実質的に面一となるように、前記テーブルを有する基板ステージに設けられるとともに、前記テーブルが前記光学部材の直下から離れるために前記基板ステージからリリースされて前記保持部材に保持される。
【請求項５３】
請求項５２に記載の液浸露光方法において、
前記部材は、前記テーブルによって前記基板が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記基板ステージに保持される。
【請求項５４】
請求項５２又は５３に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルは、前記載置した基板の表面と実質的に面一となる表面を有する。
【請求項５５】
請求項５２〜５４のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記基板ステージは、前記テーブルによって、前記保持部材からリリースされた前記部材を保持する。
【請求項５６】
請求項４１〜５５のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材は、前記保持部材によってリリース可能に保持され、
前記保持部材からリリースされる前記部材は、前記テーブルの載置部に載置される。
【請求項５７】
請求項５６に記載の液浸露光方法において、
前記載置部は、前記テーブルの基板保持部と異なる位置に設けられる。
【請求項５８】
請求項５７に記載の液浸露光方法において、
前記部材は、前記載置部においてクランプ部材によって保持される。
【請求項５９】
請求項５８に記載の液浸露光方法において、
前記クランプ部材は、真空クランプ、静電クランプ、及びメカニカルクランプの１つを含む。
【請求項６０】
請求項５６〜５９のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルに載置される基板の露光中、前記部材は、前記載置部に載置される。
【請求項６１】
請求項５６〜６０のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記載置部に載置される前記部材は、前記テーブルの移動によって前記基板の代わりに前記光学部材と対向して位置付けられるとともに、前記テーブルからリリースされて前記保持部材で保持される。
【請求項６２】
請求項６１に記載の液浸露光方法において、
前記保持部材で保持される前記部材によって、前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記テーブルは、前記光学部材の直下から離れて移動可能である。
【請求項６３】
請求項４１〜６２のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
それぞれ基板を載置する、前記テーブルを含む２つのテーブルを有するステージアセンブリによって、前記２つのテーブルにそれぞれ載置される基板が交互に前記光学部材と対向して位置付けられ、
前記保持部材からリリースされた前記部材は、前記露光が行われる基板を載置する、前記２つのテーブルの一方に設けられる。
【請求項６４】
請求項６３に記載の液浸露光方法において、
前記部材は、前記光学部材と対向して位置付けられる前記２つのテーブルの一方が他方に置き換えられる間、前記保持部材によって前記光学部材と対向して位置付けられる。
【請求項６５】
請求項４１〜６４のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記光学部材と対向して位置付けられる前記テーブルの前記部材への置換において、前記光学部材の下に前記液浸液体が実質的に維持される、あるいは、前記光学部材は前記液浸液体との接触が実質的に維持される。
【請求項６６】
請求項４１〜６５のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材はその表面が、前記光学部材と対向して位置付けられる前記基板の表面と並んで配置され、
前記テーブルと前記部材とは、前記基板の代わりに前記部材が前記光学部材と対向して位置付けられるまで、前記並置された状態で、前記光学部材に対して移動され、
前記保持部材は、前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材を保持して、前記光学部材の下に前記液浸液体を維持する。
【請求項６７】
請求項４１〜６６のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルは、前記部材の載置部を有し、
前記部材は、前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記テーブルに載置され、前記テーブルが前記光学部材の直下から離れるために、前記載置部からリリースされて前記保持部材で保持される。
【請求項６８】
請求項１〜６７のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルと前記部材とは、前記光学部材と前記基板との間に前記液浸液体が維持される第１状態から、前記光学部材と前記部材との間に前記液浸液体が維持される第２状態に遷移するように、前記光学部材に対して移動され、前記第２状態では、前記保持部材によって前記部材が保持される。
【請求項６９】
請求項４１〜６８に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルは、前記保持部材によって前記光学部材と対向して位置付けられる前記部材に対して相対的に移動されるとともに、前記光学部材の直下から離れて移動可能である。
【請求項７０】
請求項４１〜６９のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記保持部材は、前記光学部材に対して前記基板を相対的に移動する前記テーブルの上方に配置され、
前記テーブルは、前記保持部材に対して相対移動可能である。
【請求項７１】
請求項４１〜７０のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材によって前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記テーブルは、前記基板のアライメントが行われるアライメント領域内で移動可能である。
【請求項７２】
請求項４１〜７１のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルに載置される基板の露光中、前記部材は、前記光学部材の直下から離れて位置付けられる。
【請求項７３】
請求項４１〜７２のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記基板が前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記部材は、前記保持部材からリリースされて前記テーブルに載置される。
【請求項７４】
請求項４１〜７３のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材によって前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記テーブルは前記光学部材の直下から離れて、前記基板の露光動作と異なる動作が行われる。
【請求項７５】
請求項７４に記載の液浸露光方法において、
前記異なる動作は、前記基板のロード及び／又はアンロードを含む。
【請求項７６】
請求項７５に記載の液浸露光方法において、
前記異なる動作は、前記基板のアライメントを含む。
【請求項７７】
請求項４１〜７６のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材によって前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記テーブルに保持される基板のアライメントが行われる。
【請求項７８】
請求項４１〜７７のいずれか一項に記載の液浸露光方法において、
前記部材によって前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記テーブルに載置される基板の交換が行われる。
【請求項７９】
請求項７８に記載の液浸露光方法において、
前記テーブルが前記光学部材と対向して位置付けられる間、前記光学部材と前記液浸液体とを介して前記テーブルに載置される基板の露光が行われ、
前記部材によって前記光学部材の下に前記液浸液体が維持される間、前記テーブルに載置される前記露光された基板の交換が行われる。
【請求項８０】
請求項４１〜７９のいずれか一項に記載の液浸露光装置において、
前記部材は、その表面が前記液浸液体を弾く、あるいはコーティング面である。
【請求項８１】
デバイス製造方法であって、
請求項１〜４０のいずれか一項に記載の液浸露光装置を用いてワークピースを露光することと、
前記露光されたワークピースを現像することと、を含む。
【請求項８２】
デバイス製造方法であって、
請求項４１〜８０のいずれか一項に記載の液浸露光方法を用いてワークピースを露光することと、
前記露光されたワークピースを現像することと、を含む。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液浸露光装置、液浸露光方法、及びデバイス製造方法