Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成25年2月26日(2013.2.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、少なくとも赤色フィルタセグメント、緑色フィルタセグメント、および青色フィルタセグメントを有するカラーフィルタであって、
該青色フィルタセグメントが、カチオン性基を有する化合物（ａ）とキサンテン系酸性染料とを反応させて得られた造塩化合物（Ａ）および青色顔料を含む着色剤とバインダー樹脂とを含有する青色着色組成物から形成されることを特徴とする有機ＥＬ表示装置用カラーフィルタ。
【請求項２】
造塩化合物（Ａ）中の有効色素成分の含有量が、青色顔料１００重量部に対して５〜１５０重量部であることを特徴とする請求項１に記載の有機ＥＬ表示装置用カラーフィルタ。
【請求項３】
カチオン性基を有する化合物（ａ）が、側鎖にカチオン性基を有する樹脂（ａ１）及び／または下記一般式（１）で表される四級アンモニウム塩化合物（ａ２）であることを特徴とする請求項１または２に記載の有機ＥＬ表示装置用カラーフィルタ。
一般式（１）
【化１】
2012013757.tif 000001
［一般式（１）中、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立にアルキル基またはベンジル基を表す。Ｙ−は無機または有機のアニオンを表す。］
【請求項４】
波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲内で２つ以上の極大値を有する分光特性を有し、少なくとも波長４３０ｎｍ〜４８５ｎｍの範囲と波長５８０ｎｍ〜６２０ｎｍの範囲に発光強度が極大となるピーク波長（λ１）、（λ２）それぞれを有し、波長λ１における発光強度Ｉ１と波長λ２における発光強度Ｉ２の比（Ｉ２／Ｉ１）が０．４以上０．９以下である発光スペクトルをもつ白色発光有機ＥＬ素子を用いた場合に、ＣＩＥ表色系における色度点（ｘＢ、ｙＢ）がｘＢ≦０．１６０、ｙＢ≦０．１００を満たすことを特徴とする請求項１〜３いずれか１項に記載の有機ＥＬ表示装置用カラーフィルタ。
【請求項５】
波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの範囲内で２つ以上の極大値を有する分光特性を有し、少なくとも波長４３０ｎｍ〜４８５ｎｍの範囲と波長５８０ｎｍ〜６２０ｎｍの範囲に発光強度が極大となるピーク波長（λ１）、（λ２）それぞれを有し、波長λ１における発光強度Ｉ１と波長λ２における発光強度Ｉ２の比（Ｉ２／Ｉ１）が０．４以上０．９以下である分光特性をもつ白色発光有機ＥＬ素子を用いた場合に、前記赤色フィルタセグメント、緑色フィルタセグメントおよび青色フィルタセグメントのＣＩＥ表色系における色度点をそれぞれ（ｘＲ，ｙＲ）、（ｘＧ，ｙＧ）、（ｘＢ，ｙＢ）としたとき、ｘ−ｙ色度図上のこれらの３点で囲まれる三角形の面積が、赤（０．６７，０．３３）、緑（０．２１，０．７１）、青（０．１４，０．０８）により囲まれる面積に対して８５％以上であることを特徴とする請求項１〜４いずれか１項に記載の有機ＥＬ表示装置用カラーフィルタ。
【請求項６】
赤色フィルタセグメントが、Ｃ．Ｉ．ピグメント レッド １７７およびＣ．Ｉ．ピグメント レッド １７９から選ばれる少なくとも１種の顔料を含有することを特徴とする請求項１〜５いずれか１項に記載の有機ＥＬ表示装置用カラーフィルタ。
【請求項７】
緑色フィルタセグメントが、Ｃ．Ｉ．ピグメント グリーン ７、Ｃ．Ｉ．ピグメント グリーン ３６、およびＣ．Ｉ．ピグメント グリーン ５８から選ばれる少なくとも１種の緑色顔料と、Ｃ．Ｉ．ピグメント イエロー １３９、Ｃ．Ｉ．ピグメント イエロー １５０、およびＣ．Ｉ．ピグメント イエロー １８５から選ばれる少なくとも１種の黄色顔料とを含有することを特徴とする請求項１〜６いずれか１項に記載の有機ＥＬ表示装置用カラーフィルタ。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のカラーフィルタと、白色発光有機ＥＬ素子を光源として有する発光装置とを備えたカラー表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月27日(2013.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
そこで、本発明は、第２の光軸方向に配置される光学素子のスペース効率を高めて、レンズ鏡筒の収納時の撮像装置の小型化を図ることができる撮像装置を提供することを目的とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の撮像装置は、収納位置と撮影位置との間を光軸方向に移動して撮影倍率を変更するズーム式のレンズ鏡筒を備える撮像装置であって、第１の光軸に沿って移動可能に配置されるレンズ群と、前記第１の光軸と交差する方向に延びる第２の光軸に沿って移動可能とされ、前記レンズ群が前記第１の光軸に沿って前記撮影位置に移動した際に、前記レンズ群から入射した光束を前記第２の光軸の方向に屈曲させて結像面に導き、前記レンズ群が前記第１の光軸に沿って前記収納位置に移動した際に、前記第２の光軸の方向に沿って退避位置に移動して前記レンズ群の収納空間を形成する反射光学素子と、前記反射光学素子を前記第２の光軸方向に駆動するための第１のアクチュエータと、前記反射光学素子と前記結像面との間に配置される光学素子と、を備え、前記光学素子は、該光学素子を駆動する第２のアクチュエータとともに前記第２の光軸の方向に沿って移動可能とされ、前記第２のアクチュエータは、少なくとも前記レンズ群の前記収納位置で、前記反射光学素子に対して前記第１の光軸方向から見て重なる位置に配置される、ことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明によれば、第２の光軸方向に配置される光学素子のスペース効率を高めて、レンズ鏡筒の収納時の撮像装置の小型化を図ることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
絞り兼シャッタ９は、シャッタ地板９２に固定され、３群レンズ３は、３群地板３１に保持されており、３群地板３１とシャッタ地板９２とを互いにねじ等で結合して一体化することで第３レンズ群３０を構成している。第３レンズ群３０がステッピングモータ３２の駆動により光軸Ｂに沿って進退することで変倍動作が行われる。ここで、絞り兼シャッタ９は、本発明の光学素子（光学系）の一例に相当する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納位置と撮影位置との間を光軸方向に移動して撮影倍率を変更するズーム式のレンズ鏡筒を備える撮像装置であって、
第１の光軸に沿って移動可能に配置されるレンズ群と、
前記第１の光軸と交差する方向に延びる第２の光軸に沿って移動可能とされ、前記レンズ群が前記第１の光軸に沿って前記撮影位置に移動した際に、前記レンズ群から入射した光束を前記第２の光軸の方向に屈曲させて結像面に導き、前記レンズ群が前記第１の光軸に沿って前記収納位置に移動した際に、前記第２の光軸の方向に沿って退避位置に移動して前記レンズ群の収納空間を形成する反射光学素子と、
前記反射光学素子を前記第２の光軸方向に駆動するための第１のアクチュエータと、
前記反射光学素子と前記結像面との間に配置される光学素子と、を備え、
前記光学素子は、該光学素子を駆動する第２のアクチュエータとともに前記第２の光軸の方向に沿って移動可能とされ、前記第２のアクチュエータは、少なくとも前記レンズ群の前記収納位置で、前記反射光学素子に対して前記第１の光軸方向から見て重なる位置に配置される、ことを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記第２のアクチュエータは、少なくとも前記レンズ群の前記収納位置で、前記第２の光軸の方向の位置が前記反射光学素子と一致するように、前記反射光学素子に対して全域が前記第１の光軸方向から見て重なる位置に配置される、ことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記光学素子は、複数の羽根を有する絞り兼シャッタであり、前記第２のアクチュエータは、前記複数の羽根を開閉駆動する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記第２のアクチュエータは、前記光学素子から前記反射光学素子に向けて前記第２の光軸に対して平行に突出して配置され、前記第２のアクチュエータと前記光学素子とで囲まれる空間に前記反射光学素子の収納空間が形成される、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記反射光学素子は、前記撮影位置にあり、前記第２のアクチュエータは、前記第１の光軸方向から見て、前記反射光学素子に重なる、ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記ズーム式のレンズ鏡筒は、前記レンズ群を保持する群鏡筒を含み、前記第２のアクチュエータは、前記第１の光軸方向から見て前記群鏡筒の内側に設けられている請求項５記載の撮像装置。
【手続補正書】
【提出日】平成25年5月28日(2013.5.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
望遠レンズを支持する鏡筒を有する望遠レンズユニットであって、
被写体側を前方として前記鏡筒が望遠レンズを支持する前方鏡筒部と、該前方鏡筒部と着脱可能な後方鏡筒部からなっており、
望遠レンズの最も像側の面から望遠レンズの結像面までの距離が、前記後方鏡筒部に代えて正立像化手段と接眼レンズユニットを接続して望遠レンズを地上望遠鏡として機能できる距離となっていることを特徴とする望遠レンズユニット。
【請求項２】
前記正立像化手段が、地上望遠鏡としての視野をθ１、カメラ撮影時の対角の画角をθ２として、θ１＞＝θ２×０．４の視野を持つことを特徴とする請求項１に記載の望遠レンズユニット。 
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明（請求項１）は、
望遠レンズを支持する鏡筒を有する望遠レンズユニットであって、
被写体側を前方として前記鏡筒が望遠レンズを支持する前方鏡筒部と、該前方鏡筒部と着脱可能な後方鏡筒部からなっており、
望遠レンズの最も像側の面から望遠レンズの結像面までの距離が、前記後方鏡筒部に代えて正立像化手段と接眼レンズユニットを接続して望遠レンズを地上望遠鏡として機能できる距離となっていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明では、切り離した後方鏡筒部に代えて、正立像化手段と接眼レンズユニットを接続して望遠レンズを地上望遠鏡として用いることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月25日(2013.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の絞り羽根により絞り開口を形成し、アクチュエータにより前記複数の絞り羽根を移動させて前記絞り開口の大きさを変化させる絞り装置と、
前記絞り開口の大きさを指示する情報に基づいて前記アクチュエータの駆動を制御するとともに、前記アクチュエータの駆動速度を可変設定する制御手段とを有し、
前記制御手段は、前記アクチュエータを、前記情報により指示された前記絞り開口の大きさに対応した第１の駆動量に補正駆動量を付加した第２の駆動量だけ駆動するように制御し、
前記制御手段は、前記アクチュエータの駆動速度が遅いほど前記補正駆動量を大きくすることを特徴とする光学機器。
【請求項２】
複数の絞り羽根により絞り開口を形成し、アクチュエータにより前記複数の絞り羽根を移動させて前記絞り開口の大きさを変化させる絞り装置と、
前記絞り開口の大きさを指示する情報に基づいて前記アクチュエータの駆動を制御するとともに、前記アクチュエータの駆動速度を制御する制御手段とを有し、
前記制御手段は、前記アクチュエータを、前記情報により指示された前記絞り開口の大きさに対応した第１の駆動量に補正駆動量を付加した第２の駆動量だけ駆動するように制御し、
前記制御手段は、前記アクチュエータの加速制御を行った後に停止に向かって減速制御を行う駆動モードとして、前記減速制御を第１の減速率で行う第１の駆動モードと、前記減速制御を前記第１の減速率よりも小さい第２の減速率で行う第２の駆動モードとを有し、
前記制御手段は、前記第２の駆動モードでの前記減速制御において、前記第１の駆動モードでの前記減速制御よりも、前記補正駆動量を大きくすることを特徴とする光学機器。
【請求項３】
前記光学機器は、動画撮影モードと静止画撮影モードを選択する撮影モード選択手段を有するカメラであり、
前記制御手段は、前記撮影モード選択手段により、前記静止画撮影モードが選択されている場合は、前記駆動モードを前記第１の駆動モードに設定し、
前記撮影モード選択手段により、前記動画撮影モードが選択されている場合は、前記駆動モードを前記第２の駆動モードに設定することを特徴とする請求項２に記載の光学機器。
【請求項４】
前記光学機器は、カメラまたはカメラに対して着脱可能な交換レンズであることを特徴とする請求項１または２に記載の光学機器。
【請求項５】
複数の絞り羽根により絞り開口を形成し、アクチュエータにより前記複数の絞り羽根を移動させて前記絞り開口の大きさを変化させる絞り装置の制御方法であって、
前記絞り開口の大きさを指示する情報に基づいて定められる第１の駆動量に補正駆動量を付加した、第２の駆動量だけ前記アクチュエータを駆動し、前記アクチュエータの駆動速度が遅いほど前記補正駆動量を大きくすることを特徴とする絞り装置の制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】光学機器及び絞り装置の制御方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、絞り装置を備えた光学機器、及び絞り装置の制御方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
絞り開口の大きさが小さくなるほど互いに重なり合った複数の絞り羽根間の接触力が大きくなるため、該複数の絞り羽根を移動させるために必要な駆動力が大きくなる。したがって、エラー量は、絞り開口の大きさが小さくなるほど、またステッピングモータの駆動速度が遅いほど（駆動力が小さいほど）大きくなる。また、ステッピングモータを加速した後に減速する場合において、減速率が小さい（緩やかに減速する）ほどエラー量が大きくなる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の他の一側面としての光学機器は、複数の絞り羽根により絞り開口を形成し、アクチュエータにより複数の絞り羽根を移動させて絞り開口の大きさを変化させる絞り装置と、絞り開口の大きさを指示する情報に基づいてアクチュエータの駆動を制御するとともに、アクチュエータの駆動速度を制御する制御手段とを有する。制御手段は、アクチュエータを、該情報により指示された絞り開口の大きさに対応した第１の駆動量に補正駆動量を付加した第２の駆動量だけ駆動するように制御する。また、制御手段は、アクチュエータの加速制御を行った後に停止に向かって減速制御を行う駆動モードとして、減速制御を第１の減速率で行う第１の駆動モードと、減速制御を第１の減速率よりも小さい第２の減速率で行う第２の駆動モードとを有する。そして、制御手段は、第２の駆動モードでの減速制御において、第１の駆動モードでの減速制御よりも、補正駆動量を大きくすることを特徴とする。
また、本発明の他の一側面としての絞り装置の制御方法は、複数の絞り羽根により絞り開口を形成し、アクチュエータにより複数の絞り羽根を移動させて絞り開口の大きさを変化させる絞り装置の制御方法であって、絞り開口の大きさを指示する情報に基づいて定められる第１の駆動量に補正駆動量を付加した、第２の駆動量だけアクチュエータを駆動し、アクチュエータの駆動速度が遅いほど補正駆動量を大きくすることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図５には、１−２相励磁方式でのＡ相コイル２５３ａおよびＢ相コイル２５３ｂに印加される（ａ）駆動電圧と（ｂ）駆動電流の変化（つまりは励磁パターンの切り替え）を示している。図５の（ａ）において、ＡおよびＮＡはＡ相コイル２５３ａの端子電圧を、ＢおよびＮＢはＢ相コイル２５３ｂの端子電圧を示している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
ステッピングモータとしての絞り駆動アクチュエータ２５０では、絞り羽根が開放位置にあるときの励磁パターンが、図５に示された励磁パターン中の特定励磁パターンと一致するように設定されている。また、絞り駆動アクチュエータ２５０は、１−２相励磁方式での１ステップの駆動による絞り値の変化量が、１／８段となるように設定されている。さらに、励磁パターンの切り替え時間間隔を変更することにより、絞り駆動アクチュエータ２５０の駆動速度（つまりは絞り羽根の移動速度）を変更することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2012013896.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成25年5月30日(2013.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【図１】実施例１の広角端における断面図
【図２】（ａ）実施例１のｆ＝3.85ｍｍにおける収差図、（ｂ）実施例１のｆ＝15.4ｍｍにおける収差図、（ｃ）実施例１のｆ＝53.9ｍｍにおける収差図
【図３】実施例２の広角端における断面図
【図４】（ａ）実施例２のｆ＝4.5ｍｍにおける収差図、（ｂ）実施例２のｆ＝18ｍｍにおける収差図、（ｃ）実施例２のｆ＝63ｍｍにおける収差図
【図５】実施例３の広角端における断面図
【図６】（ａ）実施例３のｆ＝4.5ｍｍにおける収差図、（ｂ）実施例３のｆ＝18ｍｍにおける収差図、（ｃ）実施例３のｆ＝63ｍｍにおける収差図
【図７】負レンズ群の２色色消しと二次スペクトル残存に関する模式図
【図８】光学材料のアッベ数νと部分分散比θの分布の模式図
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ズームレンズは、物体側から順に、変倍のためには移動しない正の屈折力を有する第１群と、変倍のために移動する負の屈折力を有する第２群とを有し、
該第１群は、物体側から順に、負の屈折力を有する不動の第１部分群と、合焦のために移動する正の屈折力を有する第２部分群と、正の屈折力を有する不動の第３部分群とから構成され、
該第１部分群に含まれる負レンズのアッベ数νとｇ線、Ｆ線における部分分散比θの平均値を各々νna、θna、該第１部分群を構成するレンズの内、最もアッベ数が小さい正レンズのアッベ数と部分分散比を各々νp、θpとしたとき、
−２．２７×１０−３＜（θp-θna）／（νp-νna）＜−１．９×１０−３
ここで、θ＝（Ｎｇ−ＮＦ）／（ＮＦ−ＮＣ）
Ｎｇ、ＮＦ、ＮＣは、それぞれ、ｇ線、Ｆ線、Ｃ線における屈折率
を満足することを特徴とするズームレンズ。
【請求項２】
前記第１部分群の焦点距離をｆ１１、前記第３部分群の焦点距離をｆ１３としたとき、
０．５＜｜ｆ１１／ｆ１３｜＜０．７７
を満足することを特徴とする請求項１に記載のズームレンズ。
【請求項３】
前記第１部分群に含まれる負レンズの屈折率の平均をNnとしたとき、
１．７１＜Ｎｎ＜１．７８
を満たすことを特徴とする請求項１または２に記載のズームレンズ。
【請求項４】
前記第２群の像面側に、物体側から順に、変倍に伴う像面変動を補正するために移動する負の屈折率を有する第３群、変倍のためには移動しない正の屈折率を有する第４群、をさらに有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のズームレンズを有する撮像装置。
【請求項６】
広角端の焦点距離をｆｗ、イメージサイズをＩＳとしたとき、
０．３３＜ｆｗ／ＩＳ＜０．４４
を満足することを特徴とする請求項５に記載の撮像装置。
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月26日(2013.6.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
ライトガイドＬＧ（導光部材）は、光源部ＬＳ１、ＬＳ２が発光した光源光を導光するものである。例えばライトガイドＬＧは、光源部ＬＳ１、ＬＳ２からの光源光を曲線状の導光経路に沿って導光し、その形状は曲線形状になっている。具体的には図１０ではライトガイドＬＧは円弧形状になっている。なお図１０ではライトガイドＬＧはその中心角が１８０度の円弧形状になっているが、中心角が１８０度よりも小さい円弧形状であってもよい。ライトガイドＬＧは、例えばアクリル樹脂やポリカーボネートなどの透明な樹脂部材等により形成される。
【手続補正書】
【提出日】平成25年3月28日(2013.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象から入射される光束を所定の波長帯ごとに分光し、分光特性を測定する分光特性測定方法において、
波長帯の一部が互いに重複している少なくとも２つの光強度信号を検出する検出工程と、
該検出工程で検出された光強度信号を用いて、波長帯の一部が互いに重複している２つの光強度信号の積を演算し、当該演算した結果に基づいて、波長帯が重複していない２つの光強度信号の積を含まない拡張センサ応答を生成する拡張センサ応答生成工程と、
該拡張センサ応答生成工程で生成された拡張センサ応答に基づいて前記測定対象の分光特性を導出する分光特性導出工程とを有することを特徴とする分光特性測定方法。
【請求項２】
請求項１の分光特性測定方法において、
既知の分光特性をそれぞれ有する複数のサンプルから入射される各光束を前記所定の波長帯ごとに分光して、波長帯ごとの光強度信号を検出するサンプル検出工程と、
該サンプル検出工程で検出された光強度信号を用いて、変換パラメータを算出する変換パラメータ算出工程とを有し、
前記分光特性導出工程は、該変換パラメータ算出工程が算出した変換パラメータを用いて、前記拡張センサ応答生成工程で生成される拡張センサ応答から前記測定対象の分光特性を導出することを特徴とする分光特性測定方法。
【請求項３】
請求項１又は２の分光特性測定方法において、前記拡張センサ応答生成工程は、中心波長が隣り合っている波長帯間の２つの光強度信号の積を演算し、当該演算した結果をセンサ応答と組み合わせて、中心波長が隣り合っていない波長帯間における２つの光強度信号の積を含まない拡張センサ応答を生成するものであることを特徴とする分光特性測定方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の分光特性測定方法において、前記拡張センサ応答生成工程は、前記２つの光強度信号の積に代えて該２つの光強度信号の積の平方根を用いて、前記拡張センサ応答を算出することを特徴とする分光特性測定方法。
【請求項５】
測定対象から入射される光束を所定の波長帯ごとに分光し、分光特性を測定する分光特性測定装置において、
波長帯の一部が互いに重複している少なくとも２つの光強度信号を検出する検出手段と、
該検出手段で検出された光強度信号を用いて、波長帯の一部が互いに重複している２つの光強度信号の積を演算し、当該演算した結果に基づいて、波長帯が重複していない２つの光強度信号の積を含まない拡張センサ応答を生成する拡張センサ応答生成手段と、
該拡張センサ応答生成手段で生成された拡張センサ応答に基づいて前記測定対象の分光特性を導出する分光特性導出手段とを有することを特徴とする分光特性測定装置。
【請求項６】
画像担持媒体上に複数色で構成される画像を形成する画像形成装置において、
画像担持媒体上に形成した前記画像の分光特性を測定する分光特性測定手段と、
該分光特性測定手段により測定した分光特性に基づいて画像形成条件を調整する画像形成条件調整手段とを有し、
前記分光特性測定手段として、請求項５の分光特性測定装置を用いることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
前記目的を達成するために、請求項１の発明は、測定対象から入射される光束を所定の波長帯ごとに分光し、分光特性を測定する分光特性測定方法において、波長帯の一部が互いに重複している少なくとも２つの光強度信号を検出する検出工程と、該検出工程で検出された光強度信号を用いて、波長帯の一部が互いに重複している２つの光強度信号の積を演算し、当該演算した結果に基づいて、波長帯が重複していない２つの光強度信号の積を含まない拡張センサ応答を生成する拡張センサ応答生成工程と、該拡張センサ応答生成工程で生成された拡張センサ応答に基づいて前記測定対象の分光特性を導出する分光特性導出工程とを有することを特徴とするものである。
また、請求項２の発明は、請求項１の分光特性測定方法において、既知の分光特性をそれぞれ有する複数のサンプルから入射される各光束を前記所定の波長帯ごとに分光して、波長帯ごとの光強度信号を検出するサンプル検出工程と、該サンプル検出工程で検出された光強度信号を用いて、変換パラメータを算出する変換パラメータ算出工程とを有し、前記分光特性導出工程は、該変換パラメータ算出工程が算出した変換パラメータを用いて、前記拡張センサ応答生成工程で生成される拡張センサ応答から前記測定対象の分光特性を導出することを特徴とするものである。
また、請求項３の発明は、請求項１又は２の分光特性測定方法において、前記拡張センサ応答生成工程は、中心波長が隣り合っている波長帯間の２つの光強度信号の積を演算し、当該演算した結果をセンサ応答と組み合わせて、中心波長が隣り合っていない波長帯間における２つの光強度信号の積を含まない拡張センサ応答を生成するものであることを特徴とするものである。
また、請求項４の発明は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の分光特性測定方法において、前記拡張センサ応答生成工程は、前記２つの光強度信号の積に代えて該２つの光強度信号の積の平方根を用いて、前記拡張センサ応答を算出することを特徴とするものである。
また、請求項５の発明は、測定対象から入射される光束を所定の波長帯ごとに分光し、分光特性を測定する分光特性測定装置において、波長帯の一部が互いに重複している少なくとも２つの光強度信号を検出する検出手段と、該検出手段で検出された光強度信号を用いて、波長帯の一部が互いに重複している２つの光強度信号の積を演算し、当該演算した結果に基づいて、波長帯が重複していない２つの光強度信号の積を含まない拡張センサ応答を生成する拡張センサ応答生成手段と、該拡張センサ応答生成手段で生成された拡張センサ応答に基づいて前記測定対象の分光特性を導出する分光特性導出手段とを有することを特徴とするものである。
また、請求項６の発明は、画像担持媒体上に複数色で構成される画像を形成する画像形成装置において、画像担持媒体上に形成した前記画像の分光特性を測定する分光特性測定手段と、該分光特性測定手段により測定した分光特性に基づいて画像形成条件を調整する画像形成条件調整手段とを有し、前記分光特性測定手段として、請求項５の分光特性測定装置を用いることを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成25年3月14日(2013.3.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図２に戻り、加熱室２は、被処理物Ｘの加熱処理を行う円筒形状の部屋であり、各加熱用昇降室１ｂの上方に設置されている。つまり、本実施形態の多室型熱処理装置Ｓ１は、２つの加熱室２を備えている。なお、加熱室２は、被処理物Ｘに対して加熱処理という処理（熱処理）を行うものであり、本発明の熱処理室であり、本発明における冷却室と異なる他の処理室に相当するものである。
これらの加熱室２には、ヒータ１３が設置されており、当該ヒータ１３が発熱することによって被処理物Ｘが加熱処理される。なお、ヒータ１３としては、ニッケルクロム（Ｎｉ−Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）あるいは黒鉛を発熱体とする電熱ヒータや、高周波電力にて加熱を行うヒータ等を用いることができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
再び図２に戻り、冷却室３は、液体粒子であるミストの潜熱により被処理物の冷却を行う熱処理室であり、上述のように中間搬送室１の中央室１ａの下方に接続されている。
冷却室３の内部には、冷却室３内にミストを噴霧する複数のノズル１６と、これらのノズル１６にミストとなる冷却液を案内する複数のヘッダ管１７とが設置されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、図４に示すように、冷却室３には、冷却室３の内部を真空引きするための冷却室用真空ポンプ２０が接続されている。
さらに、冷却室３には、冷却室３内に冷却ファン２１が接続されており、ガス供給装置１１から雰囲気形成ガスを冷却室３内に供給し、さらに冷却ファン２１を駆動して冷却室３内の雰囲気形成ガスを熱交換器１８ｃ、ヘッダ管１７及びノズル１６を介して循環させることによって、被処理物Ｘをガス冷却することも可能に構成されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
また、本実施形態の多室型熱処理装置Ｓ１では、ガス供給装置１１は、被処理物Ｘの冷却に使用可能な冷却ガスを冷却室３内に送風することによって冷却室３内を乾燥可能とされている。
つまり、本実施形態の多室型熱処理装置Ｓ１では、ガス供給装置１１を本発明における冷却ガス供給装置として使用し、乾燥手段として機能させることができる。なお、ガス供給装置１１を乾燥手段として機能させる場合には、熱交換器１８ｃによる雰囲気形成ガスの冷却は、必ずしも必要なものではない。
なお、本実施形態の多室型熱処理装置Ｓ１では、ガス供給装置１１は、ヘッダ管１７と接続されており、ヘッダ管１７及びノズル１６を通じて冷却ガスとなる雰囲気形成ガスを冷却室３内に送風する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
なお、本実施形態の多室型熱処理装置Ｓ１では、冷却室３において液体（冷却液）を扱うため、当該液体が最も供給及び排出しやすい下方に冷却室３が配置されている。そして、図２に示すように、冷却室３の上方に中間搬送室１が接続され、さらには中間搬送室１の上方に加熱室２が接続され、加熱室２と中間搬送室１との間及び冷却室３と中間搬送室１との間において昇降装置９，２３を用いて被処理物Ｘの受渡しを行う。
つまり、本実施形態の多室型熱処理装置Ｓ１では、接続される処理室（中間搬送室１、加熱室２及び冷却室３）同士が高さ方向に配置され、接続された処理室間で被処理物Ｘの受渡しが昇降装置９，２３によって行われる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
なお、熱風供給装置１９による冷却室３の乾燥処理に加えてあるいは換えて、ガス供給装置１４からヘッダ管１７及びノズル１６を通じて雰囲気形成ガス（被処理物Ｘの冷却に使用可能な冷却ガス）を冷却室３内に送風することによって冷却室３の乾燥を行っても良い。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
このように冷却室３の乾燥が行われた後、上蓋６が上蓋昇降装置７によって上昇されると共に昇降装置２３によって載置台２２が中間搬送室１内に上昇されることによって、冷却処理が完了した被処理物Ｘが中間搬送室１に搬送される。
その後、加熱処理及び冷却処理が完了し、焼入れ処理が完了した被処理物Ｘが搬出入扉４から本実施形態の多室型熱処理装置Ｓ１の外部に搬出される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
また、本実施形態の多室型熱処理装置Ｓ１によれば、接続される処理室（中間搬送室１、加熱室２及び冷却室３）同士が高さ方向に配置され、接続された処理室間で被処理物Ｘの受渡しが昇降装置９，２３によって行われる。
このため、本実施形態の多室型熱処理装置Ｓ１は、平面視形状がコンパクトなものとなり、小さい設置面積に設置することができる。また、被処理物Ｘを下方から支えながら鉛直搬送する機会が増え、被処理物Ｘを安定して搬送することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
また、上記実施形態においては、接続される処理室（中間搬送室１、加熱室２及び冷却室３）同士が高さ方向に配置され、接続された処理室間で被処理物Ｘの受渡しが昇降装置９，２３によって行われる構成について説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、接続される処理室同士を水平に配置し、接続された処理室間における被処理物Ｘの受渡しを水平搬送によって行っても良い。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2012013341.tif 000001
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2012013341.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成25年7月17日(2013.7.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
自動車用変速機に組み込んだスラストニードル軸受の軸方向寸法の短縮を図る為には、前述の図４に記載した構造から、前記両レース４ａ、４ｂを省略する事が考えられる。即ち、前記ハウジング部材等に設けた段部の軸方向側面と前記歯車等の相手部材の軸方向側面とのうちの一方又は両方の側面をスラスト軌道面とすれば、前記両レース４ａ、４ｂのうちの一方又は両方を省略して、その分、スラストニードル軸受の軸方向寸法の短縮を図れる。但し、この様な手法では、ハウジング部材や歯車等の、比較的嵩張る部材の軸方向側面を、高硬度、且つ、高精度に仕上げなければならず、加工コストが嵩む原因となる。特に、歯車に比べても更に嵩張る、ハウジング部材等の大型の部材の一部に、必要な硬度、平面精度、表面粗さ（平滑さ）を有するスラスト軌道面を形成する事は、加工コストを上昇させる程度が著しい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
この様な本発明のスラストニードル軸受用レースの製造方法では、先ず、板状素材を熱処理により、前記レース部に必要とされる硬さを、例えばＨｖ６００〜８００若しくはそれ以上にまで硬くする。尚、前記板状素材として好ましくは、請求項６に記載した発明の様に、厚さが０．２〜０．４mmのものを使用する。
上述の様に、前記板状素材を前記レース部に必要とされる硬さにまで熱処理硬化させた後、この板状素材に打ち抜き加工を施して、円輪状の中間素材とする。
次いで、この中間素材のうち、前記レース部となるべき部分の硬度を低下させずに、少なくともこの中間素材の径方向中間部で前記レース部と前記フランジ部との折れ曲がり部となるべき部分の硬度を全周に亙って、高周波焼鈍により、例えばＨｖ２００〜４００程度にまで低下させる。
次いで、前記レース部に対して前記フランジ部を曲げ形成する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上述の様な本発明を実施する場合、例えば請求項２に記載した発明の様に、前記フランジ部の先端縁部に、この先端縁部を、径方向に関して前記レース部の側に曲げ形成する事により係止部とするスラストニードル軸受用レースを造る。この為に、前記中間素材に対し、前記折れ曲がり部となるべき部分に加えて前記係止部となるべき部分の硬度に就いても、高周波焼鈍により低下させてから、前記レース部に対して前記フランジ部を曲げ形成して第二中間素材とする。その後、このフランジ部の先端縁部を曲げ形成して前記係止部とする。
この様な請求項２に記載した発明を実施する場合に、例えば請求項３に記載した発明の様に、前記折れ曲がり部となるべき部分、及び、前記係止部となるべき部分の硬度を、局部的に低下させる。
或いは、請求項１〜３に記載した発明を実施する場合に、請求項４に記載した発明の様に、前記中間素材のうち、前記折れ曲がり部となるべき部分から外周縁に掛けての部分の硬度を、全周に亙って低下させる事もできる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
或いは、上述の様な本発明を実施する場合、例えば請求項５に記載した発明の様に、前記中間素材の径方向中間部で前記レース部と前記フランジ部との折れ曲がり部となるべき円環状部分のみの硬度を、局部的に低下させる。そして、この円環状部分よりも径方向内側に加えて、径方向外側に関しても、硬度を低下させない。
又、請求項７に記載したスラストニードル軸受の発明は、放射方向に配列された複数のニードルと、全体を円輪状に造られてこれら各ニードルを転動自在に保持する保持器と、円輪状のレース部及びこのレース部の周縁部を軸方向に曲げ形成する事により造られた円筒状のフランジ部を備えたレースとを備える。
特に、請求項７に記載したスラストニードル軸受に於いては、このレースが請求項１〜６のうちの何れか１項に記載された製造方法により造られたものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉄系合金板製で、円輪状のレース部と、このレース部の周縁部を軸方向に曲げ形成する事により造られた円筒状のフランジ部とを備えたスラストニードル軸受用レースの製造方法であって、板状素材を熱処理により、前記レース部に必要とされる硬さにまで硬くした後、この板状素材に打ち抜き加工を施して円輪状の中間素材とし、この中間素材のうち、前記レース部となるべき部分の硬度を低下させずに、少なくともこの中間素材の径方向中間部で前記レース部と前記フランジ部との折れ曲がり部となるべき部分の硬度を全周に亙って、高周波焼鈍により低下させてから、前記レース部に対して前記フランジ部を曲げ形成する事を特徴とするスラストニードル軸受用レースの製造方法。
【請求項２】
前記フランジ部の先端縁部に、この先端縁部を、径方向に関して前記レース部の側に曲げ形成する事により係止部とするスラストニードル軸受用レースを造る為に、前記中間素材に対し、前記折れ曲がり部となるべき部分に加えて前記係止部となるべき部分の硬度に就いても、高周波焼鈍により低下させてから、前記レース部に対して前記フランジ部を曲げ形成して第二中間素材とした後、このフランジ部の先端縁部を曲げ形成して前記係止部とする、請求項１に記載したスラストニードル軸受用レースの製造方法。
【請求項３】
前記折れ曲がり部となるべき部分及び前記係止部となるべき部分の硬度を局部的に低下させる、請求項２に記載したスラストニードル軸受用レースの製造方法。
【請求項４】
前記中間素材のうち、前記折れ曲がり部となるべき部分から外周縁に掛けての部分の硬度を全周に亙って低下させる、請求項１〜３のうちの何れか１項に記載したスラストニードル軸受用レースの製造方法。
【請求項５】
中間素材の径方向中間部で前記レース部と前記フランジ部との折れ曲がり部となるべき円環状部分のみの硬度を局部的に低下させ、この円環状部分よりも径方向内側に加えて径方向外側に関しても硬度を低下させない、請求項１に記載したスラストニードル軸受用レースの製造方法。
【請求項６】
板状素材として、厚さが０．２〜０．４mmのものを使用する、請求項１〜５のうちの何れか１項に記載したスラストニードル軸受用レースの製造方法。
【請求項７】
放射方向に配列された複数のニードルと、全体を円輪状に造られてこれら各ニードルを転動自在に保持する保持器と、円輪状のレース部及びこのレース部の周縁部を軸方向に曲げ形成する事により造られた円筒状のフランジ部を備えたレースとを備えたスラストニードル軸受に於いて、このレースが請求項１〜６のうちの何れか１項に記載された製造方法により造られたものである事を特徴とするスラストニードル軸受。
【手続補正書】
【提出日】平成25年6月27日(2013.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
重量物の転倒を防止するために前記重量物の下に敷かれる防振パッドにおいて、
弾性材料からなる弾性シートであって、粘着性ゲルからなる粘着部と、前記粘着部よりも硬くて反発弾性率の高い防振ゴムからなる防振ゴム部とを有し、前記防振ゴム部の露出上面が前記粘着部の露出上面よりも低い位置となるように形成された弾性シートと、
前記弾性シート内に設置され、前記重量物の荷重を受けるための隆起部が塑性変形加工により形成されている金属製補強プレートと、
を備えることを特徴とする防振パッド。
【請求項２】
前記金属製補強プレートは、前記粘着部内に設置されていることを特徴とする請求項１記載の防振パッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る防振パッドは、重量物の転倒を防止するために前記重量物の下に敷かれる防振パッドにおいて、弾性材料からなる弾性シートであって、粘着性ゲルからなる粘着部と、前記粘着部よりも硬くて反発弾性率の高い防振ゴムからなる防振ゴム部とを有し、前記防振ゴム部の露出上面が前記粘着部の露出上面よりも低い位置となるように形成された弾性シートと、前記弾性シート内に設置され、前記重量物の荷重を受けるための隆起部が塑性変形加工により形成されている金属製補強プレートと、を備えることを特徴とする。さらに、本発明に係る防振パッドは、前記金属製補強プレートは、前記粘着部内に設置されていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成24年12月21日(2012.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
油を受ける窪みを備えた油受けと、該油受けの上にセットされ、中央に開けられた熱流入口を備え、該窪みに向けて放射状に均等に開けられた排出口を備えた焼板と、該焼板に掛ける半球形の蓋とを含む簡便調理器において、
前記油受けは、中央の上側方向へ直径を次第に小さくしながら一体的に延長、上昇し、前記焼板の熱流入口に火炎を案内する排熱口と、
前記油受けの外郭側面に開けられて、前記蓋の内部及び前記焼板の排出口を経由して下降した火炎を外部に排出させる通風口と、
前記排熱口の周囲に開けられて補助火炎を流入させる補助孔と、を含み、
前記蓋は、前記油受けの枠に支持される天井孔を備えた金属ボディと、前記天井孔にバンド装着されるガラスカバーとを含んで構成されることを特徴とする簡便調理器。
【請求項２】
排熱口の周囲に窪みを備えた油受けと、該油受け上にセットされ、該排熱口を経由した炎を流入させる熱流入口を備えた焼板と、該焼板に掛ける半球形の蓋と、前記蓋の天井に組み立てられた反射板を含む簡便調理器において、
前記反射板は、中心が低く放射状に次第に高くなり、ふたたび最外郭に向かって低くなり、該中心から最外郭へ向け渦巻状に均等に配列された谷部と頂部とを含んで構成されることを特徴とする簡便調理器。
【請求項３】
前記蓋は、前記油受けの枠に支持される天井孔を備えた金属ボディと、前記天井孔にバンド装着されるガラスカバーとを含んで構成されることを特徴とする、請求項２に記載の簡便調理器。
【請求項４】
前記ガラスカバーの中央に開けられた上側孔と、
前記反射板の中央に開けられた下側孔と、
前記ガラスカバーの上に被せられ楕円形の孔を備えた補助板と、
前記楕円形の孔に嵌められて装着される楕円形ナットと、
前記下側孔および上側孔を経由して前記楕円形ナットに結合されるボルトとを含んで構成されることを特徴とする請求項３に記載の簡便調理器。
【請求項５】
前記蓋の側面に装着され、天井の中心に向かって折り曲がって延長された取手を含んで構成されることを特徴とする、請求項２から４のいずれか１項に記載の簡便調理器。
【請求項６】
前記取手は、前記蓋の側面にリベット装着され、天井の中心へ向けて折り曲げられた固定片と、該固定片に嵌め込まれながらネジ結合され、該蓋の天井の中心へ向けて延長される手掴み部とを含んで構成されることを特徴とする請求項５に記載の簡便調理器。
【請求項７】
前記焼板は、前記油受けの窪みに向けて放射状に均等に開けられた排出口を含んで構成されることを特徴とする請求項２から４のいずれか１項に記載の簡便調理器。
【請求項８】
前記油受けの側面に開けられた通風口を含んで構成されることを特徴とする請求項７に記載の簡便調理器。
【請求項９】
前記油受けは、前記排熱口の周囲に開けられた補助孔をも含んで構成されることを特徴とする、請求項２から４のいずれか１項に記載の簡便調理器。
【手続補正書】
【提出日】平成25年11月13日(2013.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゲートから搬入された基板を処理する処理室と、
前記基板を保持して前記処理室に搬送する搬送アームと、
前記搬送アームの位置を計測する位置計測部と、
前記位置計測部により計測された前記搬送アームの位置に基づいて、前記基板を前記搬送アームにより搬送して前記処理室に搬入する場合に前記ゲートに対する接触が生じるか否かを判断する判断部と、
前記接触が生じると前記判断部が判断した場合に、前記搬送アームの位置を補正する補正部と、
を備える基板処理装置。
【請求項２】
前記補正部は、前記位置計測部により計測された前記搬送アームの位置の、前記接触が生じない目標位置に対するずれ量に基づいて、前記搬送アームの位置を補正する請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記搬送アームに設けられ、前記搬送アームの位置を計測するアーム位置計測部を更に備え、
前記位置計測部は、前記搬送アームとは別に設けられており、
前記補正部は、前記アーム位置計測部により計測された位置と前記位置計測部により計測された位置とのずれ量に基づいて、前記搬送アームの位置を補正する請求項１または２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記アーム位置計測部は、前記搬送アームの移動量を計測する移動量計測部を備え、
前記位置計測部は、前記搬送アームとは別に設けられており、
前記補正部は、前記移動量計測部により計測された移動量に対応する位置と前記位置計測部により計測された位置とのずれ量に基づいて、前記搬送アームの位置を補正する請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記移動量計測部および前記位置計測部は、前記搬送アームが前記基板を保持した状態における前記移動量および前記位置、並びに、前記搬送アームが前記基板を保持しない状態における前記移動量および前記位置をそれぞれ計測し、
前記補正部は、前記搬送アームが前記基板を保持した状態における前記位置に対応する前記移動量と、前記搬送アームが前記基板を保持しない状態における前記位置に対応する前記移動量とのずれ量が閾値を超えたら警告する請求項４に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記搬送アームは、前記基板とともに前記基板を静電吸着したホルダを搬送し、
前記搬送アームは、前記ホルダの静電吸着の端子に電圧を供給する端子を有し、
前記閾値は、前記搬送アームの前記端子と前記ホルダの前記端子との間で電圧を供給することができるずれの許容値である請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記位置計測部は、前記基板を保持したときの前記搬送アームの位置と、前記基板を保持していないときの前記搬送アームの位置とを計測し、
前記補正部は、二つの前記位置のずれ量に基づいて前記搬送アームの位置を補正する請求項１または請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記位置計測部は、前記搬送アームに保持された前記基板の位置を計測し、
前記補正部は、予め定めた位置に対する、前記位置計測部により計測された前記基板の位置のずれ量に基づいて、前記搬送アームの位置を補正する請求項３から７までのいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記補正部は、前記ずれ量が閾値を超えたら警告する請求項３から８のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記補正部は、前記ずれ量が閾値を超えたら前記搬送アームの動作を停止する請求項３から９のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１１】
前記処理室は、減圧環境で複数の前記基板を押圧して貼り合わせる加圧室、および、前記搬送アームに受け渡す前記基板を仮置きするロードロック室の一方である請求項１から１０のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１２】
前記搬送アームは、前記基板の面に垂直な方向に重なって配された一対の搬送アームを含み、
前記一対の搬送アームは互いに独立して動作し、
前記位置計測部が前記一対の搬送アームの一方の位置を計測する場合に、他方の前記搬送アームは前記基板の面方向について前記一方の搬送アームに対してずれた位置にある請求項１から１１のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１３】
前記処理室に連結され、前記搬送アームが配置される連結室を備え、
前記連結室は、筐体および蓋により密閉空間を形成しており、
前記位置計測部は、前記筐体に固定される請求項１から１２のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１４】
前記搬送アームが前記基板を保持しているか否かを検知する検知部をさらに備え、
前記検知部は、前記搬送アームが前記基板を前記処理室に搬送するときに前記基板を保持しているか否かを検知する請求項１から１３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
【請求項１５】
前記位置計測部の計測回数は、前記検知部の検知回数よりも少ない請求項１４に記載の基板処理装置。
【請求項１６】
複数の前記処理室を備え、
前記検知部は、複数の前記処理室を連結する連結室の周縁における前記処理室の各々の近傍にそれぞれ配され、
前記位置計測部は、前記連結室の周縁における前記複数の処理室のいずれからも遠い位置に配される請求項１４または１５に記載の基板処理装置。
【請求項１７】
前記複数の処理室の少なくとも一つは、減圧環境で複数の前記基板を押圧して貼り合わせる加圧室であり、前記複数の処理室の少なくとも一つは、前記搬送アームに受け渡す前記基板を仮置きするロードロック室であり、
前記検知部は、前記連結室内における前記加圧室の近傍に配され、
前記位置計測部は、前記連結室内における前記ロードロック室の近傍に配される請求項１６に記載の基板処理装置。
【請求項１８】
基板を処理する処理室と、
前記基板を前記処理室に搬送する搬送アームと、
前記搬送アームに設けられ、前記搬送アームの位置を計測する第１位置計測部と、
前記第１位置計測部とは別に設けられ、前記搬送アームの位置を計測する第２位置計測部と、
前記第１位置計測部により計測された位置と前記第２位置計測部により計測された位置との差に基づいて、前記搬送アームの位置を補正する補正部と、
を備える基板処理装置。
【請求項１９】
互いに重ね合された少なくとも二つの基板を有する積層基板を処理する処理室と、
前記積層基板を保持し、前記処理室に前記積層基板を搬送する搬送アームと、
前記搬送アームにより前記積層基板を前記処理室に搬入するときに前記積層基板が前記処理室の一部に接触するか否かを予測する予測部と、
前記予測部により前記積層基板の接触が予測されたときに、前記搬送アームの位置を補正する補正部と、
を備える基板処理装置。
【請求項２０】
基板を処理する処理室と、
前記基板を前記処理室に搬送する搬送アームと、
前記搬送アームを目標位置に移動したときの前記搬送アームの実際の位置を計測する計測部と、
前記目標位置と前記計測部により計測された位置との差を算出する算出部と、
前記算出部で算出された前記差に基づいて前記搬送アームの位置を補正する補正部と、
を備える基板処理装置。
【請求項２１】
請求項１から２０のいずれか一項に記載の基板処理装置により基板を処理することを含む積層半導体装置製造方法。
【請求項２２】
請求項２１に記載の積層半導体装置製造方法により製造された積層半導体装置。