【手続補正書】
【提出日】平成25年8月21日(2013.8.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液処理の対象となる基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部が保持する基板に対して所定の液体を供給する供給手段と、
液体供給部から前記供給手段に液体を供給する供給管と、
前記供給管に設けられ、前記液体の供給を開始し、又は停止する供給弁と、
前記供給弁に対して設けられ、前記供給弁の開閉速度を制御する速度制御器と、
前記供給弁よりも前記液体供給部側において前記供給管から分岐し、前記供給管を流れる前記液体を排液するドレイン管と、
前記ドレイン管に設けられる第１の開閉弁と
を備える液処理装置。
【請求項２】
前記液体供給部から前記供給手段に流れる前記液体を停止する際に、前記供給弁を開いた状態で、前記ドレイン管に設けられる前記第１の開閉弁を開き、前記速度制御器により減速した速度で前記供給弁を閉めるように制御する制御部を更に備える、請求項１に記載の液処理装置。
【請求項３】
前記供給管に対して設けられる第２の開閉弁であって、当該第２の開閉弁と前記供給手段との間において前記供給管内に残留する液体の少なくとも一部を前記供給管から流出させ得る当該第２の開閉弁を更に備える、請求項１又は２に記載の液処理装置。
【請求項４】
前記第２の開閉弁に対して設けられ、当該第２の開閉弁の開閉速度を制御する速度制御器を更に備える、請求項３に記載の液処理装置。
【請求項５】
前記液体供給部が、
複数種類の液体をそれぞれ供給する複数の配管と、
前記複数の配管に対応して設けられ、前記複数種類の液体を選択的に前記供給管へ提供する第３の開閉弁と
を備える、請求項１から４のいずれか一項に記載の液処理装置。
【請求項６】
前記供給管における前記第３の開閉弁と前記供給弁との間に設けられる流量制御器を更に備える、請求項５に記載の液処理装置。
【請求項７】
前記第３の開閉弁と前記流量制御器との間において前記供給管から分岐し、前記基板保持部が保持する前記基板の裏面に対して前記液体供給部からの液体を供給する裏面供給部に接続する裏面供給管を更に備える、請求項６に記載の液処理装置。
【請求項８】
所定の液体を供給する液体供給部と、基板保持部が保持する基板に対して前記所定の液体を供給する供給手段と、を接続する供給管に設けられる供給弁を開くことにより、前記基板に前記所定の液体を供給するステップと、
前記供給弁よりも前記液体供給部側において前記供給管から分岐するドレイン管に設けられる第１の開閉弁を開くステップと、
前記供給弁に対して設けられる速度制御器により低減した速度で前記供給弁を閉めるステップと
を含む、液処理装置の制御方法。
【請求項９】
前記供給管に対して設けられる第２の開閉弁であって、当該第２の開閉弁と前記供給手段との間において前記供給管内に残留する液体の少なくとも一部を前記供給管から流出させ得る当該第２の開閉弁を開くステップを更に含む、請求項８に記載の液処理装置の制御方法。
【請求項１０】
前記第２の開閉弁を開くステップにおいて、前記第２の開閉弁に対して設けられる速度制御器により低減した速度で前記第２の開閉弁が開けられる、請求項９に記載の液処理装置の制御方法。
【請求項１１】
請求項１から７のいずれか一項に記載の液処理装置に、請求項８から１０のいずれか一項に記載の液処理装置の制御方法を実行させるコンピュータプログラム。
【請求項１２】
請求項１１に記載のコンピュータプログラムを記憶するコンピュータ可読記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の第１の態様は、液処理の対象となる基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部が保持する基板に対して所定の液体を供給する供給手段と、液体供給部から前記供給手段に液体を供給する供給管と、前記供給管に設けられ、前記液体の供給を開始し、又は停止する供給弁と、前記供給弁に対して設けられ、前記供給弁の開閉速度を制御する速度制御器と、前記供給弁よりも前記液体供給部側において前記供給管から分岐し、前記供給管を流れる前記液体を排液するドレイン管と、前記ドレイン管に設けられる第１の開閉弁とを備える液処理装置を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
液処理ステーションＳ３は、Ｙ方向に延びる搬送室１６と、搬送室１６の両側に設けられた複数の液処理装置１とを有している。搬送室１６は搬送機構１４を有し、搬送機構１４は、ウエハＷを保持する保持アーム部１４ａを有している。搬送機構１４は、搬送室１６に設けられＹ方向に延びるガイド１５に沿って移動することができる。また、搬送機構１４は、保持アーム部１４ａをＸ方向に移動することができ、水平面内で回転させることができる。搬送機構１４は、搬入出ステーションＳ２のステージ１３と各液処理装置１との間でウエハＷを搬送する。
また、基板処理装置１００は、各種の部品及び部材を制御する制御部１７を有している
。制御部１７は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit
）等のプロセッサと、記憶装置と（共に図示せず）を備えている。記憶装置は、基板処理
装置１００及び液処理装置１で実行する各種処理（例えば後述の液処理装置１の制御方法
）を実現するための制御プログラム（ソフトウェア）を格納する。コンピュータで読み取
り可能な記録媒体１７ａはプログラムを格納する。上記の記憶装置は、記録媒体１７ａか
らプログラムをインストールし、プロセッサがプログラムを実行する。記録媒体１７ａは
、例えば、ハードディスク、コンパクトディスク、光磁気ディスク、メモリカード、フレ
キシブルディスク等であって良い。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
以上の構成を有する基板処理装置１００においては、搬送機構１１が、キャリアステーションＳ１のウエハキャリアＣからウエハＷを取り出し、そのウエハＷをステージ１３に載置する。液処理ステーションＳ３内の搬送機構１４が、ステージ１３上のウエハＷを液処理装置１に搬入する。また、液処理装置１は、搬入したウエハＷに対して所定の洗浄液を供給して洗浄し、例えば純水で洗浄液を洗い流し、ウエハＷの表面を乾燥する。ウエハＷの表面を乾燥した後、搬送機構１４及び搬送機構１１が、搬入時と逆の経路（手順）によりウエハＷをウエハキャリアＣへ戻す。また、一のウエハＷを洗浄する間に、搬送機構１１及び搬送機構１４が他のウエハＷを他の液処理装置１へ順次搬送し、液処理装置１が、搬送したウエハＷを洗浄する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、配管４１及び４２に対して集合弁（又はマニホールド）４６を設けている。集合弁４６の入口には配管４１及び４２を接続しており、集合弁４６の出口には供給管５０を接続している。また、集合弁４６においては、配管４１及び４２に対応して三方弁４６ａ及び４６ｂが設けられている。これらの三方弁４６ａ及び４６ｂは、図示しない高圧気体源からの高圧気体により択一的に開閉することができる。例えば三方弁４６ａが開くと、配管４１を流れるＳＣ１は、そのまま配管４１を流れるとともに供給管５０へも流れる。一方、閉まっている三方弁４６ｂにおいては、ＤＩＷはそのまま配管４２を流れる。このような構成により、供給アーム２０へ所望の液体を択一的に供給することができる。なお、このような構成を有する集合弁４６の代わりに複数の個別のバルブを配管４１及び４２に設けることにより、配管４１及び４２からの液体を択一的に供給管５０へ供給するよう構成しても良い。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、供給管５０には、集合弁４６から供給アーム２０へ向かう方向に沿って供給弁５２よりも上流側の位置において、ドレイン管５３が接続されている。ドレイン管５３は開閉弁５３Ｖを有している。ドレイン管５３は、図示しないドレインに接続されており、開閉弁５３Ｖが開くと、供給管５０を流れる液体はドレインへと流れる。なお、開閉弁５３Ｖの代わりに三方弁を用いても良い。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
再び図２を参照すると、供給管５０からは、集合弁４６と流量制御器５１との間において裏面供給管６０が分岐しており、スリーブ３４ｓ内の空間を通して延びる裏面供給管６０は裏面ノズル７０に接続している。裏面供給管６０には、裏面ノズル７０からウエハＷの裏面に供給する液体の流量を調整する流量制御器６１と、裏面ノズル７０からウエハＷの裏面への液体の供給を開始し、又は停止する供給弁６２と、開閉弁６４Ｖとを設けている。なお、流量制御器６１は、流量制御器５１と同様に差圧式センサを利用する流量制御器であり、供給管６０内を流れる流体の流量を測定する流量測定部６１ｓと、流量測定部６１ｓによる測定結果に基づき、供給管６０内を流れる流体の流量を調整する流量調整部６１ｎとを有している。例えば制御部１７（図１）が流量制御器６１に対して信号を供給することにより、供給管６０内を流れる流体毎にその流量を制御することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
（液処理）
次に、ウエハ支持部材１０によりウエハＷが回転し、供給アーム２０の駆動部２０ｄによって、ホーム位置から液体供給位置にヘッド部２０ｈが移動する。次いで、例えば集合弁４６の三方弁４６ａを開くことにより配管４１と供給管５０とを連通させ、供給弁５２を開くことにより、ヘッド部２０ｈの先端からＳＣ１がウエハＷに供給するとともに、供給弁６２を開いてウエハＷの裏面に対してＳＣ１を供給する。これにより、ウエハＷの表面及び裏面をＳＣ１により洗浄する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
所定の時間、ウエハＷを洗浄した後、集合弁４６の三方弁４６ａを閉めることによって配管４１と供給管５０との間の連通を遮断するとともに、三方弁４６ｂを開くことにより配管４２と供給管５０との間を連通させる。配管４２と連通することにより供給管５０にはＤＩＷが流れ、ウエハＷの表面及び裏面に対して洗浄液としてのＤＩＷを供給する。これにより、ウエハＷの表面及び裏面に残留しているＳＣ１をＤＩＷにより洗い流す。
（ＤＩＷの停止）
図４は、供給弁５２及び６２等の開閉（ＯＮ／ＯＦＦ）を示すタイムチャートであり、横軸に時間をとっている。図示のとおり、ＤＩＷを供給している間は、三方弁４６ｂ、供給弁５２、及び供給弁６２が開いている。
ウエハＷの表面及び裏面に残留するＳＣ１をＤＩＷにより十分に洗い流した後、まず、時点ｔ１においてドレイン管５３の開閉弁５３Ｖ（図２）が開く。これにより、集合弁４６から供給管５０へ流れたＤＩＷを、開いている供給弁５２を通して供給アーム２０へ供給するとともに、ドレイン管５３を通してドレインにも流す。
制御部１７が開閉弁５３Ｖを開いてから例えば１秒後（時点ｔ２）に、供給弁５２を閉め始める。このとき、供給弁５２には速度制御器５２ｃが設けられており、供給弁５２の閉まる速度を低減する。したがって供給弁５２はゆっくり閉まる。具体的には、図４に示すとおり、供給弁５２を閉め始めてから完全に閉めるまでに例えば１秒かける。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、制御部１７が供給弁５２を完全に閉めた時点ｔ３において、三方弁４６ｂ及び供給弁６２を閉める。これにより、供給管５０へのＤＩＷの供給を停止するとともに、裏面ノズル７０へのＤＩＷの供給を停止する。これにより、三方弁４６ｂ、供給弁５２、及び供給弁６２が閉まったことになる。ただし、このときにおいても、制御部１７は、ドレイン管５３の開閉弁５３Ｖを開いたままにしている。これは、供給管５０に残るＤＩＷをドレイン管５３を通して排出することにより、供給管５０内のＤＩＷの圧力を上昇させないためである。供給管５０内のＤＩＷの圧力が低下した後に、開閉弁５３Ｖを閉めることによっても流量制御器５１の流量測定部５１ｓに対して大きな圧力衝撃が加わることが無く、流量測定部５１ｓの損傷を防ぐことが可能となる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、制御部１７が供給弁５２を完全に閉めた時点ｔ３において、分岐管５４に設けられた開閉弁５４Ｖが開く。このとき、開閉弁５４Ｖには速度制御器５４ｃが設けられており、開閉弁５４Ｖを完全に開くのに例えば約０．５秒かける。０．５秒かけて完全に開いた後、時点ｔ４において開閉弁５４Ｖを閉める。このときには速度制御器５４ｃは動作せず、したがって開閉弁５４Ｖを瞬時に閉める。また、制御部１７が開閉弁５４Ｖを開くことにより、分岐管５４から供給アーム２０までの間において供給管５０内に残留しているＤＩＷが、時点ｔ３からｔ４の期間に自重によりドレイン管５４へ流れ、僅かな量のＤＩＷを開閉弁５４Ｖを通して排出する。これに伴って、供給アーム２０のヘッド部２０ｈにおける供給管５０内に残留するＤＩＷの液面が上流側に後退し、供給管５０の先端からの液だれを防止する。なお、供給管５０内に残留するＤＩＷの液面が上流側に後退した場合であっても、ヘッド部２０ｈにおける供給管５０内にはＤＩＷが残っている。このため、カップ部３０上方の雰囲気に存在し得る他の溶剤等によって、供給管５０が汚染されるのを防止する。この後、駆動部２０ｄにより供給アーム２０が旋回し、ヘッド部２０ｈが液体供給位置からホーム位置に戻る。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
また、時点ｔ４において、制御部１７は、供給弁６２を閉めると同時に、裏面供給管６０に設けられた開閉弁６４Ｖを開き、約０．５秒後に閉める。これにより、裏面ノズル７０の先端からのＤＩＷの液面が上流側に（下方に）後退する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
しかし、本実施形態においては、供給弁５２には速度制御器５２ｃが設けられており、
例えば約１秒かけて供給弁５２をゆっくり閉める。そのため、図５（ｂ）に示すように供
給アーム２０のヘッド部２０ｈにおける供給管５０内において液体がちぎれることを避け
ることができる。したがって、液がちぎれることにより生じ得るヘッド部２０ｈからの液
体の液だれを防止することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
また、本実施形態においては、集合弁４６から供給アーム２０へ至る供給管５０に沿って、供給弁５２よりも上流側から分岐するドレイン管５３が設けられ、ドレイン管５３に開閉弁５３Ｖが設けられている。供給弁５２がゆっくり閉まるときには、開閉弁５３Ｖが開いているため、液体は、ドレイン管５３を通してドレインに流れている。したがって、供給弁５２を閉めても、供給管５０内の圧力上昇を避けることができる。このため、供給管５０に設けられた流量制御器５１内の圧力上昇も避けられる。例えば差圧式センサを利用する流量制御器５１を用いた場合には、内部の圧力上昇によって流量制御器５１が損傷するおそれがある。しかし、ドレイン管５３に液体が流れているため、供給弁５２を閉めても流量制御器５１内の圧力が上昇することは殆ど無く、よって流量制御器５１の損傷を防ぐことが可能となる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、図３を参照しながら説明したように、液処理装置１においては、液処理装置１における供給アーム２０のヘッド部２０ｈには湾曲した導管２Ｃが設けられている。導管２Ｃが湾曲しているため、供給管５０もまたヘッド部２０ｈにおいて湾曲している。仮に、導管２Ｃが、ほぼ直角に折れ曲がって開口２Ａと開口２Ｂとを連通し、供給管５０を開口２Ａに挿入している場合には（すなわち、ウエハＷに対して開口２Ｂから液体を供給する）、液体が流れる流路には屈曲部を形成していることとなる。このような屈曲部の場合には、角部にせん断力が働くため、液体が残留し易い。しかし、液処理装置１における供給アーム２０のヘッド部２０ｈの導管２Ｃは湾曲しているため、液体の残留を低減することが可能となる。