【手続補正書】
【提出日】平成24年11月30日(2012.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の振動腕、
前記一対の振動腕と連結されている連結部、
前記連結部から延出され、前記一対の振動腕の間に配置されている中央支持腕、
を含む本体と、
平面視で、前記本体の外周に配置されている枠体と、
を備え、
前記本体が、
平面視で、前記中央支持腕の前記連結部側とは反対側の端部で前記枠体に支持されていることを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１において、
前記端部が、前記枠体の側辺部に接合されていることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記側辺部は、表裏の主面の少なくとも一方に溝が設けられ、
前記溝は、
前記一対の振動腕の並ぶ方向に沿って配置され、
且つ、平面視で、前記側辺部の中央支持腕側と、前記中央支持腕側とは反対側との間に配置されていることを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項３において、
前記溝は、
前記側辺部の両端と、前記側辺部が前記中央支持腕と接続する部分との間に配置されていることを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項３又は４において、
前記溝が有底の溝であることを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項３又は４において、
前記溝は貫通していることを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項において、
圧電駆動、静電駆動及び磁気駆動の何れかにより屈曲振動することを特徴とする振動片。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項において、
前記振動腕、前記連結部及び前記中央支持腕が、水晶及びシリコンの何れかで一体的に構成されていることを特徴とする振動片。
【請求項９】
一対の振動腕、
前記一対の振動腕と連結されている連結部、
前記連結部から延出され、前記一対の振動腕の間に配置されている中央支持腕、
を含む本体と、
平面視で、前記本体の外周に配置されている枠体と、
平面視で、前記枠体の内側で対向する一対の側辺部に接続されている支持部と、
を備え、
前記本体が、
平面視で、前記中央支持腕の前記連結部側とは反対側の端部が前記支持部に接続されていることを特徴とする振動片。
【請求項１０】
請求項９において、
前記支持部は、表裏の主面の少なくとも一方に溝が設けられ、
前記溝は、
前記一対の振動腕の並ぶ方向に沿って配置され、
且つ、平面視で、前記支持部の本体側と、前記本体側とは反対側との間に配置されていることを特徴とする振動片。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記溝は、
前記支持部の両端と、前記支持部が前記中央支持腕と接続する部分との間に配置されている
ことを特徴とする振動片。
【請求項１２】
請求項１０又は１１において、
前記溝が有底の溝であることを特徴とする振動片。
【請求項１３】
請求項１０又は１１において、
前記溝は貫通していることを特徴とする振動片。
【請求項１４】
請求項９乃至１３のいずれか一項において、
圧電駆動、静電駆動及び磁気駆動の何れかにより屈曲振動することを特徴とする振動片。
【請求項１５】
請求項９乃至１４のいずれか一項において、
前記振動腕、前記連結部及び前記中央支持腕が、水晶及びシリコンの何れかで一体的に構成されていることを特徴とする振動片。
【請求項１６】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の振動片と、
ベースと、
リッドと、
を備え、
前記枠体の前記中央支持腕が結合されている前記側辺部とは異なる側辺部が前記ベースに固定され、
前記リッドが前記ベースに接合されていることを特徴とする振動子。
【請求項１７】
請求項９乃至１５のいずれか一項に記載の振動片と、
ベースと、
リッドと、
を備え、
前記枠体の一方の主面に前記ベースが接合され、
前記枠体の前記一方の主面とは反対側の他方の主面に前記リッドが接合されていることを特徴とする振動子。
【請求項１８】
請求項９乃至１５のいずれか一項に記載の振動片と、
ベースと、
リッドと、
を備え、
前記枠体の側辺部が前記ベースに固定され、
前記リッドが前記ベースに接合されていることを特徴とする振動子。
【請求項１９】
請求項１乃至１５のいずれか一項に記載の振動片を備えることを特徴とするセンサー。
【請求項２０】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の振動片を備えることを特徴とする電子部品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】振動片、振動子、センサー及び電子部品
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明は、上記目的を達成するために、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のある実施形態に係る振動片は、一対の振動腕、前記一対の振動腕と連結されている連結部、前記連結部から延出され、前記一対の振動腕の間に配置されている中央支持腕、を含む本体と、平面視で、前記本体の外周に配置されている枠体と、を備え、前記本体が、平面視で、前記中央支持腕の前記連結部側とは反対側の端部で前記枠体に支持されていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、前記端部が、前記枠体の側辺部に接合されていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、前記側辺部は、表裏の主面の少なくとも一方に溝が設けられ、前記溝は、前記一対の振動腕の並ぶ方向に沿って配置され、且つ、平面視で、前記側辺部の中央支持腕側と、前記中央支持腕側とは反対側との間に配置されていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、前記溝は、前記側辺部の両端と、前記側辺部が前記中央支持腕と接続する部分との間に配置されていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、前記溝が有底の溝であることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、前記溝は貫通していることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、圧電駆動、静電駆動及び磁気駆動の何れかにより屈曲振動することを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、前記振動腕、前記連結部及び前記中央支持腕が、水晶及びシリコンの何れかで一体的に構成されていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、一対の振動腕、前記一対の振動腕と連結されている連結部、前記連結部から延出され、前記一対の振動腕の間に配置されている中央支持腕、を含む本体と、平面視で、前記本体の外周に配置されている枠体と、平面視で、前記枠体の内側で対向する一対の側辺部に接続されている支持部と、を備え、前記本体が、平面視で、前記中央支持腕の前記連結部側とは反対側の端部が前記支持部に接続されていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、前記支持部は、表裏の主面の少なくとも一方に溝が設けられ、前記溝は、前記一対の振動腕の並ぶ方向に沿って配置され、且つ、平面視で、前記支持部の本体側と、前記本体側とは反対側との間に配置されていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、前記溝は、前記支持部の両端と、前記支持部が前記中央支持腕と接続する部分との間に配置されていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、前記溝が有底の溝であることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、前記溝は貫通していることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、圧電駆動、静電駆動及び磁気駆動の何れかにより屈曲振動することを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動片は、前記振動腕、前記連結部及び前記中央支持腕が、水晶及びシリコンの何れかで一体的に構成されていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動子は、前記振動片と、ベースと、リッドと、を備え、前記枠体の前記中央支持腕が結合されている前記側辺部とは異なる側辺部が前記ベースに固定され、前記リッドが前記ベースに接合されていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動子は、前記振動片と、ベースと、リッドと、を備え、前記枠体の一方の主面に前記ベースが接合され、前記枠体の前記一方の主面とは反対側の他方の主面に前記リッドが接合されていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係る振動子は、前記振動片と、ベースと、リッドと、を備え、前記枠体の側辺部が前記ベースに固定され、前記リッドが前記ベースに接合されていることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係るセンサーは、前記振動片を備えることを特徴とする。
本発明のある実施形態に係るセンサーは、前記振動片を備えることを特徴とする。
［適用例１］複数本の平行な振動腕、該振動腕を結合する連結部、及び該連結部から振動腕の間にそれらと等間隔をもって平行に延出する１本の中央支持腕からなる振動片本体と、該振動片本体の外側に配置された枠体とを備え、振動片本体が、中央支持腕の連結部とは反対側の端部で枠体により支持されている屈曲振動片が提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
適用例１によれば、振動腕の屈曲振動は、振動片本体の連結部を屈曲振動させ、それが中央支持腕に長手方向に沿って圧縮又は引張応力を作用させ、枠体の中央支持腕との結合部分を屈曲変形させるが、枠体の他の部分にはほとんど作用しない。従って、本発明の屈曲振動片は、枠体の中央支持腕との結合部分以外の部分でパッケージ等に固定支持することにより、振動腕の外部への振動漏れを抑制することができ、その性能向上を図ることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
適用例１に係る屈曲振動片には、振動子や共振子、ジャイロ、各種センサー等の圧電デバイス、その他の電子部品に使用される圧電駆動型の圧電振動片が含まれる。更に本発明の屈曲振動片には、従来技術に関連して上述した静電駆動型及び磁気駆動型のものが含まれる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
［適用例２］振動片本体を支持するために、中央支持腕の連結部とは反対側の端部が枠体の１側辺部に直接結合されている。この側辺部は、振動腕の屈曲振動により圧縮又は引張応力を受けて屈曲変形するが、その影響は他の側辺部にほとんど及ばないので、該他の側辺部で圧電振動片をパッケージ等に固定支持することにより、振動腕の外部への振動漏れを抑制することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
［適用例３］枠体の中央支持腕を結合した側辺部がその表裏主面の少なくとも一方に形成された溝を有し、該溝が、枠体の側辺部に沿ってその幅方向内側と外側とで振動腕の屈曲振動による圧縮応力と引張応力とが交互に発生する範囲に配置されると好都合である。この側辺部の内部には、その幅方向内側と外側とで圧縮による温度上昇と伸張による温度下降とが交互に発生して温度差を生じるが、それらの間における熱伝達を側辺部の溝で制限することができる。従って、熱弾性損失によるＱ値の低下が抑制され、屈曲振動片の性能向上を図ることができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
［適用例４］溝が、側辺部に沿ってその両端と中央支持腕を接続する部分との間の範囲に形成されることにより、該側辺部の強度及び剛性を損なうことなく、有効に熱弾性損失を減少させてＱ値の改善を図ることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
［適用例５］前記側辺部の溝が有底の溝であることにより、該側辺部の幅方向内側と外側との間における熱伝達経路が途中で狭められ、見かけ上従来よりも長くなる。その結果、側辺部の幅方向内側と外側との間で温度が平衡状態となるまでの緩和時間τが長くなるので、Ｑ値の極小値を生じる緩和振動数（ｆ＝１／２πτ）は、側辺部に溝が無い場合の緩和振動数よりも低くなり、その場合の緩和振動数よりも高い周波数範囲では、Ｑ値が高くなる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
［適用例６］前記側辺部の溝が貫通溝であることにより、該側辺部の幅方向内側と外側との間における熱伝達経路は途中で遮断され、従来よりも短くなる。その結果、側辺部の幅方向内側と外側との間で温度が平衡状態となるまでの緩和時間τが短くなるので、Ｑ値の極小値を生じる緩和振動数（ｆ＝１／２πτ）は、側辺部に溝が無い場合の緩和振動数よりも高くなり、その場合の緩和振動数よりも低い周波数範囲では、Ｑ値が高くなる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
［適用例７］枠体が、該枠体の内側にその対向する１対の側辺部の間を延長する支持部を有し、振動片本体を支持するために、中央支持腕の連結部とは反対側の端部が支持部に結合されている。この支持部は、振動腕の屈曲振動により圧縮又は引張応力を受けて屈曲変形するが、その影響は枠体の側辺部にほとんど及ばないので、該側辺部で圧電振動片をパッケージ等に固定支持することにより、振動腕の外部への振動漏れを抑制することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
［適用例８］枠体の支持部がその表裏主面の少なくとも一方に形成した溝を有し、該溝が、支持部に沿ってその振動片本体側とその反対側とで振動腕の屈曲振動による圧縮応力と引張応力とが交互に発生する範囲に配置されると好都合である。支持部の内部には、その幅方向に振動片本体側とその反対側とで圧縮による温度上昇と伸張による温度下降とが交互に発生して温度差を生じるが、それらの間における熱伝達を支持部の溝で制限することができる。従って、熱弾性損失によるＱ値の低下が抑制され、屈曲振動片の性能向上を図ることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
［適用例９］前記支持部の溝が、該支持部に沿ってその両端と中央支持腕を接続する部分との間の範囲に形成されることにより、支持部の強度及び剛性を損なうことなく、有効に熱弾性損失を減少させてＱ値の改善を図ることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
［適用例１０］前記支持部の溝が有底の溝であることにより、同様に該支持部の振動片本体側とその反対側との間における熱伝達経路が途中で狭められ、見かけ上従来よりも長くなる。その結果、支持部の振動腕側とその反対側との間で温度が平衡状態となるまでの緩和時間τが長くなり、Ｑ値の極小値を生じる緩和振動数（ｆ＝１／２πτ）は、支持部に溝が無い場合の緩和振動数よりも低くなるから、その場合の緩和振動数よりも高い周波数範囲では、Ｑ値が高くなる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
［適用例１１］前記支持部の溝が貫通溝であることにより、該支持部の振動片本体側とその反対側との間における熱伝達経路は途中で遮断され、従来よりも短くなる。その結果、支持部の振動片本体側とその反対側との間で温度が平衡状態となるまでの緩和時間τが短くなり、Ｑ値の極小値を生じる緩和振動数（ｆ＝１／２πτ）は、支持部に溝が無い場合の緩和振動数よりも高くなるから、その場合の緩和振動数よりも低い周波数範囲では、Ｑ値が高くなる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
［適用例１２］上述した屈曲振動片と、ベースと、リッドとを備え、該屈曲振動片をベース上に配置し、かつ枠体の中央支持腕を結合した側辺部とは異なる側辺部でベースに固定し、リッドをベースに接合してその内部に屈曲振動片を気密に封止した、従来よりも高いＱ値及び高性能を有する圧電デバイス等の電子部品が提供される。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
［適用例１３］上述した枠体に支持部を有する屈曲振動片と、ベースと、リッドとを備え、該屈曲振動片の枠体の下面にベースを接合しかつ枠体の上面にリッドを接合して、その内部に屈曲振動片を気密に封止した、従来よりも高いＱ値及び高性能を有する圧電デバイス等の電子部品が提供される。
［適用例１４］上述した枠体に支持部を有する屈曲振動片と、ベースと、リッドとを備え、前記屈曲振動片を前記ベース上に配置しかつ前記枠体の側辺部で前記ベースに固定し、前記リッドを前記ベースに接合してその内部に前記屈曲振動片を気密に封止した、従来よりも高いＱ値及び高性能を有する圧電デバイス等の電子部品が提供される。