【手続補正書】
【提出日】平成25年7月31日(2013.7.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
第３観点の圧電デバイスにおいて、ベース部の第２端面は所定の幅より広く形成され、
圧電振動片が導電性接着剤によりベース部の第２端面に載置され、金属膜が第１端面及び第２端面の接合領域のみに形成される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
第１水晶振動子１００は、ベース部凹部１２１とベース部凹部１２１の周囲に形成された第２端面Ｍ２とを有する水晶材料又はガラスからなるベース部１２を備えている。ベース部１２の凹部１２１とリッド部１１の凹部１１１とは水晶振動片１０を収納するキャビティＣＴが形成される。キャビティＣＴは、窒素ガスで満たされたり又は真空状態にされたりしている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
なお、スルーホール１２２ａ、１２２ｂは図２に示されたように−Ｙ’側が広い円錐台形状となっている。これは、リッド部１１とベース部１２とを接合した後、ボール状の共晶合金１２４によりスルーホール１２２ａ、１２２ｂを配置しやすくするためである。ここで、共晶合金１２４としては金スズ（Ａｕ-Ｓｎ）合金、金ゲルマニウム（Ａｕ-Ｇｅ）もしくは金シリコン（Ａｕ−Ｓｉ）合金、又は金ペースト及び銀ペーストが用いられる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
つまり、水晶振動子の接合強度に関する実験では、曲げ量Ｄがどの程度であるときに水晶振動子１００Ａ又は１００Ｂのリッド部とベース部とが剥離されるかを測定する。その結果が以下の表１に示されたとおりである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
第１実施形態において、第１水晶振動子１００は第２端面Ｍ２の接合領域ＥＡのみが粗面化されているが、第２端面Ｍ２全体が粗面化された水晶振動子にも適用される。また、第１実施形態ではリッド部１１及びベース部１２に金属膜が形成されているが、いずれか一方のみに形成されてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
ステップＳ１２では、ベース部１２が製造される。ステップＳ１２はステップＳ１２１〜Ｓ１２４を含んでいる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
ステップＳ１５では、金スズ（Ａｕ-Ｓｎ）合金、金ゲルマニウム（Ａｕ-Ｇｅ）もしくは金シリコン（Ａｕ−Ｓｉ）合金等の共晶合金１２４（図２を参照）がスルーホール１２２ａ、１２２ｂに配置される。そして、共晶合金１２４は、真空中もしくは不活性ガス中のリフロー炉内で溶かされ、ウエハを封止する。これにより、キャビティＣＴ内が真空になった又は不活性ガスで満たされた複数の第１水晶振動子１００が得られる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
水晶フレーム２０は、表面Ｍｅ及び裏面Ｍｉを有し、両面に励振電極２０１ａ、２０１ｂが形成された水晶振動部２７と水晶振動部２７を囲む外枠２５とで構成されている。また、水晶振動部２７と外枠２５との間には、水晶振動部２７からＸ軸方向の両側に沿ってそれぞれ伸びるように外枠２５と連結した一対の連結部２６ａ、２６ｂを有している。このため、水晶振動部２７と外枠２５との間に２つの「Ｌ」字型の間隙部２３ａ、２３ｂが形成される。なお、連結部２６ａの表面Ｍｅには励振電極２０１ａから引き出した引出電極２０２ａが形成され、連結部２６ｂの裏面Ｍｉには励振電極２０１ｂから引き出した引出電極２０２ｂが形成されている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
再び図８及び図９に戻り、リッド部２１と水晶フレーム２０とは、金属膜ＡＣ１１及び金属膜ＡＣ１２を封止材である低融点ガラスＬＧによって接合される。同様に、水晶フレーム２０とベース部２２とは、金属膜ＡＣ２１及び金属膜ＡＣ２２を封止材である低融点ガラスＬＧによって接合される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
第２水晶振動子２００では、リッド部１１の粗面に金属膜ＡＣ１１が形成され水晶フレーム２０における両面の粗面に金属膜ＡＣ１２、ＡＣ２１が形成されベース部２２の粗面に金属膜ＡＣ２２が形成されることで、互いの接合強度が強くなる。このため、リッド部２１と、水晶フレーム２０と、ベース部２２とが確実に接合することができる（表１を参照）。さらに、リッド部２１と、水晶フレーム２０と、ベース部２２とが確実に接合しているので、気体などが外側からキャビティＣＴ内へ又はその逆の距離が長くなり、リークが少なくなる（表２を参照）。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
＜第２水晶振動子２００の製造方法＞
図１１は、第２水晶振動子２００の製造を示し  図１１は、第２水晶振動子２００の製造を示したフローチャートである。図１１において、水晶フレーム２０の製造ステップＴ２０と、リッド部２１の製造ステップＴ２１と、ベース部２２の製造ステップＴ２２とは別々に並行して行うことができる。また、図１２は第２実施形態の水晶ウエハ２０Ｗの平面図で、図１３は第２実施形態のリッドウエハ２１Ｗの平面図で、図１４は第２実施形態のベースウエハ２２Ｗの平面図である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
ステップＴ２０では、水晶フレーム２０が製造される。ステップＴ２０はステップＴ２０１〜Ｔ２０３を含んでいる。
ステップＴ２０１において、両面が鏡面化された水晶ウエハ２１０Ｗが用意される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
ステップＴ２０４において、まずスパッタリングまたは真空蒸着によって水晶ウエハ２０Ｗの両面及び水晶貫通孔ＣＨに金属層が形成される。そして、金属層の全面にフォトレジストが均一に塗布される。その後、露光装置（不図示）を用いて、フォトマスクに描かれた励振電極２０１ａ、２０１ｂ、引出電極２０２ａ、２０２ｂ、金属膜ＡＣ１２、ＡＣ２１及び水晶側面電極２０３ａ、２０３ｂのパターンが水晶ウエハ２０Ｗに露光される。
次に、フォトレジストから露出した金属層がエッチングされる。これにより、水晶ウエハ２０Ｗ両面には励振電極２０１ａ、２０１ｂ、引出電極２０２ａ、２０２ｂ及び金属膜ＡＣ１２、ＡＣ２１が形成され、水晶貫通孔ＣＨには水晶側面電極２０３ａ、２０３ｂ形成される（図８及び図１０を参照）。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
１０  …  水晶振動片、  ２０  …  水晶フレーム
１１、２１  …  リッド部、  １１Ｗ、２１Ｗ  …  リッドウエハ
１２、２２  …  ベース部、  １２Ｗ、２２Ｗ  …  ベースウエハ
１３  …  導電性接着剤
１４ａ、１４ｂ  …  接続電極
２３  …  間隙部
２５  …  外枠
２６ａ、２６ｂ  …  連結部
２７  …  水晶振動部
１００、２００  …  水晶振動子
１０１  …  水晶片
１０２ａ、１０２ｂ、２０１ａ、２０１ｂ  …  励振電極
１０３ａ、１０３ｂ、２０２ａ、２０２ｂ  …  引出電極
１１１、２１１  …  リッド部凹部、  １２１、２２１  …  ベース部凹部
１２２ａ、１２２ｂ  …  スルーホール
１２３ａ、１２３ｂ  …  スルーホール電極
１２４  …  共晶合金
１２５ａ、１２５ｂ、２２２ａ、２２２ｂ  …  外部電極
２０３ａ、２０３ｂ、２２３ａ、２２３ｂ  …  側面電極
２０４ａ、２０４ｂ、２２４ａ、２２４ｂ  …  キャスタレーション
ＡＣ１、ＡＣ２、ＡＣ１１、ＡＣ１２、ＡＣ２１、ＡＣ２２  …  金属膜
ＥＡ  …  接合領域
ＬＧ  …  低融点ガラス
【手続補正１５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
前記ベース部の前記第２端面は、前記所定の幅より広く形成され、
前記圧電振動片が導電性接着剤により前記ベース部の前記第２端面に載置され、
前記金属膜が前記第１端面と前記第２端面とが接合する接合領域のみに形成される請求項１又は請求項２に記載の圧電デバイス。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2012074837.tif 000001
【手続補正１７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2012074837.tif 000002