(57)【要約】【課題】冷却されるチャックテーブルに対する加熱空気の影響を抑えることができる分割装置を提供すること。【解決手段】本実施形態の分割装置１０は、ウエーハ１の外周と環状フレーム６の内周との間のエキスパンドテープ５の中間領域５Ａの下方にそれぞれ配置され、拡張された中間領域５Ａに向けて加熱空気を吹き付けて収縮させる複数のヒータユニット６０と、複数のヒータユニット６０よりもウエーハ１の内周側に設けられ、エキスパンドテープ５の中間領域５Ａで反射された加熱空気を吸引して排出する吸引排気ユニット７０とを備えた。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
環状フレームの開口を塞いで貼着したテープに、分割起点を形成したウエーハを貼着して一体化したウエーハユニットの該テープを拡張させ、該分割起点を起点に該ウエーハを分割する分割装置であって、
該ウエーハユニットの該環状フレームを保持するフレーム保持手段と、
該フレーム保持手段に保持された該ウエーハユニットに対し、該テープを介して上方から該ウエーハを吸引保持する保持面を下面に有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルを冷却する冷却手段と、
該チャックテーブルと該フレーム保持手段とを相対的に上下方向に昇降させて該テープを拡張する昇降手段と、
該ウエーハの外周と該環状フレームの内周との間の該テープの中間領域の下方にそれぞれ配置され、拡張された該テープの中間領域に向けて加熱空気を吹き付けて収縮させる複数のヒータユニットと、
複数の該ヒータユニットよりも該ウエーハの内周側に設けられ、該テープの中間領域で反射された加熱空気を吸引して排出する吸引排気ユニットと、を備えたことを特徴とする分割装置。
【請求項２】
該吸引排気ユニットは、該ヒータユニットと該チャックテーブルとの間に配置される円盤状部材と、該円盤状部材を支持する支持体と、を備え、
該円盤状部材は、内部空間を備えて中空に形成されており、
上面外周側に形成された吸入口と、下面中央部に形成されて該内部空間を通じて該吸入口と連通する排気口とを備え、
該排気口は、該支持体を貫通する経路を含む吸引路を介して吸引源に連結されていることを特徴とする請求項１に記載の分割装置。
【請求項３】
該円盤状部材は、該支持体に磁力で着脱自在に固定されていることを特徴とする請求項２に記載の分割装置。
【請求項４】
該円盤状部材は、該ヒータユニットの空気吹出口に対応する位置に形成された切欠部を外周部に備え、
該支持体は、該円盤状部材の切欠部がそれぞれ空気吹出口上に位置付けられて該空気吹出口を開放する開放位置と、
該切欠部がそれぞれ該空気吹出口から外れて位置付けられ該空気吹出口を閉鎖する閉鎖位置と、で該円盤状部材を回転自在に支持することを特徴とする請求項２または３に記載の分割装置。
【請求項５】
前記テープは、ダイボンディング用の接着フィルムを含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の分割装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ウエーハに貼着されたテープを拡張することでウエーハを個々のチップに分割する分割装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、環状フレームにテープを介して支持されたウエーハを、該テープを拡張することでウエーハに形成された分割起点に沿って分割する分割装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この種の分割装置は、ウエーハの分割時に該ウエーハの外周側のテープを放射状に拡張するため、拡張後にウエーハの外周と環状フレームの内周との間のテープの中間領域に弛みが生じ、チップ同士の擦れなどの原因となり得る。このため、分割装置は、拡張して弛んだテープの中間領域に加熱空気を吹き付け、中間領域を収縮させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５７９１８６６号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、分割装置では、テープを介してウエーハを保持するチャックテーブルを冷却する冷却手段を備え、冷却環境下でテープを拡張してウエーハを分割することが行われている。このような構成では、テープの弛みを収縮させる加熱空気によりチャックテーブルが温められるため、チャックテーブルを再び冷却するまでの時間を要し、ウエーハを分割する作業効率が低減する問題があった。
【０００５】
本考案は、上記に鑑みてなされたものであって、冷却されるチャックテーブルに対する加熱空気の影響を抑えることができる分割装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本考案は、環状フレームの開口を塞いで貼着したテープに、分割起点を形成したウエーハを貼着して一体化したウエーハユニットの該テープを拡張させ、該分割起点を起点に該ウエーハを分割する分割装置であって、該ウエーハユニットの該環状フレームを保持するフレーム保持手段と、該フレーム保持手段に保持された該ウエーハユニットに対し、該テープを介して上方から該ウエーハを吸引保持する保持面を下面に有するチャックテーブルと、該チャックテーブルを冷却する冷却手段と、該チャックテーブルと該フレーム保持手段とを相対的に上下方向に昇降させて該テープを拡張する昇降手段と、該ウエーハの外周と該環状フレームの内周との間の該テープの中間領域の下方にそれぞれ配置され、拡張された該テープの中間領域に向けて加熱空気を吹き付けて収縮させる複数のヒータユニットと、複数の該ヒータユニットよりも該ウエーハの内周側に設けられ、該テープの中間領域で反射された加熱空気を吸引して排出する吸引排気ユニットと、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成において、該吸引排気ユニットは、該ヒータユニットと該チャックテーブルとの間に配置される円盤状部材と、該円盤状部材を支持する支持体と、を備え、該円盤状部材は、内部空間を備えて中空に形成されており、上面外周側に形成された吸入口と、下面中央部に形成されて該内部空間を通じて該吸入口と連通する排気口とを備え、該排気口は、該支持体を貫通する経路を含む吸引路を介して吸引源に連結された構成としてもよい。
【０００８】
また、該円盤状部材は、該支持体に磁力で着脱自在に固定された構成としてもよい。また、該円盤状部材は、該ヒータユニットの空気吹出口に対応する位置に形成された切欠部を外周部に備え、該支持体は、該円盤状部材の切欠部がそれぞれ空気吹出口上に位置付けられて該空気吹出口を開放する開放位置と、該切欠部がそれぞれ該空気吹出口から外れて位置付けられ該空気吹出口を閉鎖する閉鎖位置と、で該円盤状部材を回転自在に支持してもよい。また、テープは、ダイボンディング用の接着フィルムを含んでもよい。
【考案の効果】
【０００９】
本考案によれば、ヒータユニットよりもウエーハの内周側に設けられ、テープの中間領域で反射された加熱空気を吸引して排出する吸引排気ユニットを備えるため、冷却されるチャックテーブルに対する加熱空気の影響を抑えることができ、ウエーハを分割する作業効率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、本実施形態に係る分割装置で分割されるウエーハを有するウエーハユニットの斜視図である。
【図２】図２は、分割装置の構成例を示す斜視図である。
【図３】図３は、分割装置の内部構成を示す概略図である。
【図４】図４は、ヒータユニットと吸引排気ユニットとを示す概略図である。
【図５】図５は、ヒータユニットと吸引排気ユニットとを示す平面図である。
【図６】図６は、フレーム保持手段にウエーハユニットを保持した状態を示す概略図である。
【図７】図７は、エキスパンドテープを拡張してウエーハを分割する状態を示す概略図である。
【図８】図８は、拡張後にエキスパンドテープの中間領域に弛みが生じた状態を示す概略図である。
【図９】図９は、中間領域の弛みを収縮する状態を示す概略図である。
【考案を実施するための形態】
【００１１】
以下、本実施形態に係る分割装置について図面を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る分割装置で分割されるウエーハを有するウエーハユニットの斜視図である。図２は、分割装置の構成例を示す斜視図である。図３は、分割装置の内部構成を示す概略図である。図４は、ヒータユニットと吸引排気ユニットとを示す概略図である。図５は、ヒータユニットと吸引排気ユニットとを示す平面図である。
【００１２】
図１に示すウエーハ１は、円形板状の被加工物の一例であって、例えばシリコンを母材とする円盤状の半導体ウエーハや、サファイア、ＳｉＣ（炭化ケイ素）などを母材とする光デバイスウエーハである。ウエーハ１の表面１ａは、格子状の分割予定ライン２によって区画され、各領域にはデバイス３がそれぞれ形成されている。ウエーハ１の表面１ａと反対側の面である裏面１ｂには、エキスパンドテープ（テープ）５が貼着されている。このエキスパンドテープ５は、少なくともウエーハ１よりも大きいサイズを有し、エキスパンドテープ５の外周縁には、中央が開口した環状フレーム６が固定される。
【００１３】
本実施形態に示すウエーハ１は、表面１ａ側から分割予定ライン２に沿って分割起点４が形成されている。この分割起点４は、レーザー加工によりウエーハ１の内部の強度が低下した改質層であるが、これに限るものではない。例えば、すべての分割予定ライン２に沿って切削加工することによりウエーハ１を完全切断（フルカット）した切削溝を形成し、これを分割起点としてもよいし、すべての分割予定ライン２に沿ってレーザー加工することによりウエーハ１を完全切断した溝を形成し、この溝を分割起点としてもよい。
【００１４】
エキスパンドテープ５は、伸縮性（エキスパンド性）を有する樹脂材料から構成され、加熱されると収縮する熱収縮性を有する。また、エキスパンドテープ５は、ウエーハ１の裏面２ｂとの間に、ＤＡＦ（Die  Attach  Film）等のダイボンディング用の接着フィルムを備えた構成となっている。この接着フィルムは、冷却環境下（例えば０℃以下）において、伸縮性が低下する性質を有し、エキスパンドテープ５の拡張に伴いウエーハ１とともに分割される。環状フレーム６は、剛性を有する金属板等からなるもので、ウエーハ１は、エキスパンドテープ５及び環状フレーム６を備えたウエーハユニット７としてハンドリングされる。
【００１５】
このウエーハユニット７において、ウエーハ１の外周と環状フレーム６の内周との間のリング状に露出した中間領域５Ａが、エキスパンドテープ５に外力を加えるべき領域であるとともに、エキスパンドテープ５を拡張した後に弛みが生じやすい領域となっている。
【００１６】
分割装置１０は、環状フレーム６にエキスパンドテープ５を介して支持されたウエーハ１（及び接着フィルム）を、冷却環境下でエキスパンドテープ５の拡張により個々のチップに分割する装置である。また、分割装置１０は、エキスパンドテープ５の拡張を解除した時に中間領域５Ａの弛みを熱収縮（ヒートシュリンク）によって除去するように構成されている。
【００１７】
図２に示すように、分割装置１０には、上ケース１１と下ケース１２からなるケース体１３が設けられる。上ケース１１と下ケース１２は開閉手段１５を介して連結され、開閉手段１５によってケース体１３（上ケース１１）が開かれることでウエーハユニット７の搬入及び搬出を可能にしている。開閉手段１５は、例えばエアシリンダで構成されており、下ケース１２に設けたシリンダから突出したシリンダロッドに上ケース１１が連結されている。
【００１８】
分割装置１０は、図３に示すように、チャックテーブル２０と、冷却手段３０と、フレーム保持手段４０と、昇降手段５０と、ヒータユニット６０と、吸引排気ユニット７０とを備えて構成される。チャックテーブル２０は、ケース体１３（上ケース１１）内に吊り下げて配置される。チャックテーブル２０の下面には多孔質のポーラス板２１が設けられ、このポーラス板２１によってチャックテーブル２０の下面にウエーハ１を吸引保持する保持面２１Ａが形成されている。ポーラス板２１にはチャックテーブル２０内の流路を含む吸引路２２を通じてケース体１３の外部（機外）の吸引源９０が接続され、保持面２１Ａに生じる負圧によって、ウエーハ１がエキスパンドテープ５を介してチャックテーブル２０の保持面２１Ａ（下面）に吸引保持される。なお、チャックテーブル２０と吸引源９０とを連通する吸引路２２には開閉バルブ（不図示）が設けられており、この開閉バルブによってチャックテーブル２０の吸引保持と吸引解除とが切り替えられる。
【００１９】
冷却手段３０は、上ケース１１の上部に配置されている。冷却手段３０は、例えば、スターリング冷凍機を備えて構成され、チャックテーブル２０に連結されて該チャックテーブル２０を支持している。冷却手段３０は、圧縮した冷媒（作動流体）をチャックテーブル２０に循環して供給し、このチャックテーブル２０で冷媒を膨張させることによりチャックテーブル２０を所定温度（例えば−５℃以下）に冷却する。これにより、チャックテーブル２０に吸引保持されたウエーハ１は、チャックテーブル２０と接触することで冷却される。なお、冷却手段３０は、チャックテーブル２０を冷却できるのであれば、スターリング冷凍機に限るものではなく他の冷凍機を用いてもよい。
【００２０】
フレーム保持手段４０は、チャックテーブル２０の周囲に配置されて、ウエーハユニット７の環状フレーム６を保持する。本実施形態では、環状フレーム６は、ウエーハユニット７のウエーハ１の表面１ａが下面に位置する状態でフレーム保持手段４０に保持される。フレーム保持手段４０は、載置テーブル４１とカバープレート４２とを備え、カバープレート４２は、例えばクランプ部（不図示）によって載置テーブル４１に固定される。フレーム保持手段４０は、載置テーブル４１上の環状フレーム６を上からカバープレート４２で挟み込むようにして保持している。載置テーブル４１及びカバープレート４２の中央には、チャックテーブル２０よりも大径の円形開口４３、４４がそれぞれ形成されている。載置テーブル４１上にカバープレート４２が被せられると、カバープレート４２と載置テーブル４１によって環状フレーム６が保持されるとともに、載置テーブル４１及びカバープレート４２の円形開口４３、４４からエキスパンドテープ５が露出してチャックテーブル２０に対向する。
【００２１】
フレーム保持手段４０は昇降手段５０に支持されている。昇降手段５０は、フレーム保持手段４０をチャックテーブル２０に対して、保持面２１Ａに直交する方向（上下方向）に離間及び接近させる。昇降手段５０は、載置テーブル４１の四隅を支持する４つの電動シリンダで構成されており、昇降手段５０のシリンダロッド５１の突出量を制御することで、チャックテーブル２０上のウエーハ１とフレーム保持手段４０との距離が調節される。
【００２２】
昇降手段５０は、ベース板５３上にそれぞれ設けられている。ベース板５３は、例えば下ケース１２の底板であるが、下ケース１２の底板上に配置されたものであってもよい。ベース板５３上の略中央には回転駆動機構８０が配置され、この回転駆動機構８０上に支持板８１が設けられている。回転駆動機構８０は、モータと減速機とベアリングなどを備えて構成される。回転駆動機構８０は、載置テーブル４１の円形開口４３の中心軸上に設けられ、支持板８１をベース板５３に対して回転（旋回）する。支持板８１上には、上記したヒータユニット６０と吸引排気ユニット７０とが配置されている。
【００２３】
ヒータユニット６０は、ウエーハ１の外周と環状フレーム６の内周との間のエキスパンドテープ５の中間領域５Ａに所定温度（例えば２００℃）の加熱空気を吹き付けて、中間領域５Ａに生じた弛みを収縮させるものである。ヒータユニット６０は、フレーム保持手段４０に保持されたウエーハユニット７におけるエキスパンドテープ５の中間領域５Ａの下方に空気吹出口６１Ａを備えて配置される。本実施形態では、回転駆動機構８０によって回転する支持板８１の回転軸を中心とした円周上に所定間隔（等間隔）で４つ設けられている。このため、４つのヒータユニット６０の空気吹出口６１Ａから加熱空気を吹き出しつつ、支持板８１とともに４つのヒータユニット６０を９０℃以上回転させることにより、エキスパンドテープ５の中間領域５Ａを全周に亘って収縮させることができる。
【００２４】
ヒータユニット６０は、図４に示すように、ヒータケース６１と、ヒータケース６１内に収容されるヒータ本体６２とを備える。ヒータケース６１は、中空の箱体であり、上面に空気吹出口６１Ａが形成され、側面下方部に空気導入口６１Ｂが形成されている。各空気導入口６１Ｂには空気導入流路６３が接続され、この空気導入流路６３には開閉バルブ（不図示）を介して外部の空気供給源６４が接続されている。この開閉バルブの動作によってヒータユニット６０への空気導入と導入解除とが切り替えられる。ヒータ本体６２は、例えば電気ヒータが用いられ、ヒータユニット６０に導入された空気を加熱して空気吹出口６１Ａから吹き出すようになっている。
【００２５】
吸引排気ユニット７０は、ヒータユニット６０の空気吹出口６１Ａから吹き出され、エキスパンドテープ５の中間領域５Ａに当たって反射した加熱空気を吸引してケース体１３の外部（機外）に排出する。吸引排気ユニット７０は、円周上に配置されたヒータユニット６０よりもウエーハ１の内周側（中心側）に設けられ、支持板８１の略中央に配置された台座部７１と、台座部７１上に設置されたロータリシリンダ（支持部）７２と、ロータリシリンダ７２上に固定されるヒータシャッタ（円盤状部材）７３とを備える。ヒータシャッタ７３は、例えば鉄等の磁性体材料で形成され、ヒータユニット６０の空気吹出口６１Ａの上方に延在する大きさを有し、空気吹出口６１Ａとの間に上下方向の僅かな隙間を設けて配置されている。
【００２６】
また、ヒータシャッタ７３は、図５に示すように、平面視で円盤形状に形成され、外周部にはヒータユニット６０の空気吹出口６１Ａに対応する位置にそれぞれ切欠部７３Ａが形成されている。また、ヒータシャッタ７３は、図４に示すように、内部空間７４を備えた中空に形成されており、切欠部７３Ａに隣接した上面７３Ｂの外周側に形成された４つの吸入口７３Ｃと、下面７３Ｄの中央部に形成された排気口７３Ｅとを備える。これら４つの吸入口７３Ｃは、内部空間７４を通じて排気口７３Ｅと連通している。この排気口７３Ｅには、ロータリシリンダ７２を上下方向に貫通する経路７２Ａを含む吸引路７５を介して上記した吸引源９０に連結されている。
【００２７】
エキスパンドテープ５の中間領域５Ａで反射した加熱空気は、ヒータシャッタ７３の吸入口７３Ｃから内部空間７４内に流れ込み、内部空間７４に連通する排気口７３Ｅ及び経路７２Ａを含む吸引路７５を通じて吸引源９０に吸引されてケース体１３の外部に排出される。なお、ロータリシリンダ７２と吸引源９０とを連通する吸引路７５には開閉バルブ（不図示）が設けられており、この開閉バルブによって吸引排気ユニット７０の吸引動作と吸引解除とが切り替えられる。また、本実施形態では、チャックテーブル２０と吸引排気ユニット７０とに連結される吸引源９０を同一としたがそれぞれ別個の吸引源に連結してもよい。
【００２８】
ロータリシリンダ７２は、ヒータシャッタ７３を支持するとともに、該ヒータシャッタ７３を予め決められた所定角度だけ回転自在に構成されている。ロータリシリンダ７２の上面部７２Ｂは、空気圧または電力によって本体７２Ｃに対して回転する。このため、ロータリシリンダ７２は、図５に示すように、ヒータシャッタ７３の切欠部７３Ａがそれぞれ空気吹出口６１Ａ上に位置付けられて該空気吹出口６１Ａを開放する開放位置７８Ａ（実線で示す）と、該切欠部７３Ａがそれぞれ空気吹出口６１Ａから外れて位置付けられ該空気吹出口６１Ａを閉鎖する閉鎖位置７８Ｂ（破線で示す）とでヒータシャッタ７３を回転自在に支持している。この構成によれば、ヒータシャッタ７３の切欠部７３Ａを上記閉鎖位置７８Ｂに位置付けることにより、作業者等が空気吹出口６１Ａに触れて火傷することを防止できる。
【００２９】
また、本実施形態では、ロータリシリンダ７２の上面部７２Ｂには、図４に示すように、永久磁石７６が固着されており、ヒータシャッタ７３は、永久磁石７６の上面７６Ａに磁力により着脱自在に固定されている。このため、ヒータシャッタ７３とロータリシリンダ７２とを、例えばねじ等で固着する構成と比べて、ヒータシャッタ７３の着脱が極めて容易となり、ヒータシャッタ７３の内部の清掃や、ロータリシリンダ７２及びヒータユニット６０のメンテナンス等の作業を容易に行うことができる。
【００３０】
また、本実施形態では、吸引排気ユニット７０を、円周上に配置されたヒータユニット６０よりもウエーハ１の内周側に設けているため、例えば、フレーム保持手段４０のようにヒータユニット６０の外側に吸引排気ユニットを設けた構成と比べて、エキスパンドテープ５の中間領域５Ａで反射した加熱空気の拡散を抑えることができる。このため、加熱空気が冷却されたチャックテーブル２０と接触して、該チャックテーブル２０が温められて再冷却する事態を低減できるため、単位時間当たりの分割処理量の低減を防止でき、チャックテーブル２０に対する加熱空気の影響を抑えることができる。また、フレーム保持手段４０に吸引排気ユニットを設ける場合には、フレーム保持手段４０に追従して吸引排気ユニットの吸引路を昇降させる必要がある。これに対して、吸引排気ユニット７０を、円周上に配置されたヒータユニット６０よりもウエーハ１の内周側に設けているため、吸引排気ユニット７０の吸引路の構成を簡素化することができる。
【００３１】
次に、分割装置１０の動作について説明する。図６は、フレーム保持手段にウエーハユニットを保持した状態を示す概略図である。図７は、エキスパンドテープを拡張してウエーハを分割する状態を示す概略図である。図８は、拡張後にエキスパンドテープの中間領域に弛みが生じた状態を示す概略図である。図９は、中間領域の弛みを収縮する状態を示す概略図である。
【００３２】
まず、ウエーハユニット７の環状フレーム６をフレーム保持手段４０に保持する。図６に示すように、ウエーハ１の表面１ａを下向きとした状態で、ウエーハユニット７がケース体１３（図３）内に搬入されると、環状フレーム６がフレーム保持手段４０に保持される。次に、チャックテーブル２０が上ケース１１（図２）とともに下降してチャックテーブル２０の下面である保持面２１Ａとウエーハユニット７のエキスパンドテープ５とが接触する。この場合、チャックテーブル２０は冷却手段３０により所定温度に冷却されているため、チャックテーブル２０に接触するウエーハ１及びエキスパンドテープ５（接着フィルム）も冷却される。これにより、ウエーハ１及びエキスパンドテープ５が硬化されて、エキスパンドテープ５のウエーハ１の貼着箇所ではウエーハ１と接着フィルムとが一体化される。なお、チャックテーブル２０に連なる吸引路２２の開閉バルブ（不図示）は閉じられており、吸引源９０からチャックテーブル２０への吸引力が遮断されている。
【００３３】
続いて、エキスパンドテープを拡張することにより、ウエーハ１と接着フィルムの分割が実施される。図７に示すように、昇降手段５０によって、フレーム保持手段４０が上昇され、チャックテーブル２０とフレーム保持手段４０とが離間される。これにより、エキスパンドテープ５が放射状に拡張されて、強度が低下した改質層からなる分割起点４（図１）に外力が作用して、分割起点４でウエーハ１が個々のチップ９に分割される。この場合、ウエーハ１の冷却により接着フィルムがウエーハ１と一体化しているため、エキスパンドテープ５の拡張に伴って接着フィルムが引き延ばされることがなく、接着フィルムはウエーハ１とともに分割される。本実施形態では、ウエーハ１は表面１ａを下向きとして保持されているため、ウエーハ１を分割する際に生じる破断屑はウエーハ１から下方に落下する。この場合、ウエーハ１の下方には、吸引排気ユニット７０の一部を構成する円盤状のヒータシャッタ７３が配置されているため、このヒータシャッタ７３の上面７３Ｂに落下して上面７３Ｂ上に溜まる。このため、ヒータシャッタ７３の上面７３Ｂに溜まった破断屑を定期的に除去することにより、破断屑の清掃（処理）作業を容易に行うことができる。
【００３４】
続いて、ウエーハ１をチャックテーブル２０に吸引保持する。図８に示すように、ウエーハ１が個々のチップ９に分割されると、開閉バルブ（不図示）を開いて吸引源９０からチャックテーブル２０への吸引力を作用させ、チャックテーブル２０は、エキスパンドテープ５を介して分割されたチップ９を吸引保持する。次に、チャックテーブル２０が吸引保持した状態で、フレーム保持手段４０が下降され、チャックテーブル２０とフレーム保持手段４０とが接近する。このため、チャックテーブル２０上では個々のチップ９が間隔をあけた状態でエキスパンドテープ５が吸引保持される一方、ウエーハ１の外周と環状フレーム６の内周の間の中間領域５Ａではエキスパンドテープ５のテンションが緩んで中間領域５Ａに弛みが発生する。
【００３５】
続いて、エキスパンドテープ５の中間領域５Ａの弛みの熱収縮を行う。図５に示すように、ロータリシリンダ７２は、ヒータシャッタ７３を回転させて該ヒータシャッタ７３の切欠部７３Ａがそれぞれヒータユニット６０の空気吹出口６１Ａを開放する開放位置７８Ａに位置付ける。そして、開閉バルブ（不図示）を開いて空気供給源６４から供給される空気をヒータユニット６０に導入し、空気吹出口６１Ａから加熱空気を吹き出す。ヒータシャッタ７３は、空気吹出口６１Ａを開放する開放位置７８Ａにあるため、空気吹出口６１Ａから吹き出された加熱空気は、切欠部７３Ａを通過してエキスパンドテープ５の中間領域５Ａに吹き付けられる。
【００３６】
また、図９に示すように、回転駆動機構８０を同時に動作させて、４つのヒータユニット６０の空気吹出口６１Ａから加熱空気を吹き出しつつ、４つのヒータユニット６０を支持板８１とともに９０℃以上回転させる。これにより、エキスパンドテープ５の中間領域５Ａの全周に亘って加熱空気が吹き付けられ、中間領域５Ａを全周に亘って収縮させることができる。このようにウエーハ１の周囲のエキスパンドテープ５の中間領域５Ａだけが収縮されるため、チャックテーブル２０の吸引保持が解除されても、隣接するチップ９の間隔が維持された状態で固定される。
【００３７】
また、これらと同時に、開閉バルブ（不図示）を開いて吸引源９０から吸引排気ユニット７０への吸引力を作用させる。これにより、エキスパンドテープ５の中間領域５Ａで反射した加熱空気は、ヒータシャッタ７３の吸入口７３Ｃから内部空間７４内に流れ込み、内部空間７４に連通する排気口７３Ｅ及び経路７２Ａを含む吸引路７５を通じて吸引源９０に吸引されて外部に排出される。従って、エキスパンドテープ５の中間領域５Ａで反射した加熱空気を中間領域５Ａよりも内周側で吸引して外部に排出するため、加熱空気が分割装置１０内（ケース体１３内）で拡散されることを抑えることができる。このため、加熱空気が冷却されたチャックテーブル２０と接触して、該チャックテーブル２０が温められる事態を低減できるため、チャックテーブル２０に対する加熱空気の影響を抑えることができ、チャックテーブル２０の冷却を維持した状態でウエーハ１の分割とエキスパンドテープ５の熱収縮を連続的に実施することができる。
【００３８】
以上のように、本実施形態の分割装置１０は、ウエーハ１の外周と環状フレーム６の内周との間のエキスパンドテープ５の中間領域５Ａの下方にそれぞれ配置され、拡張された中間領域５Ａに向けて加熱空気を吹き付けて収縮させる複数のヒータユニット６０と、複数のヒータユニット６０よりもウエーハ１の内周側に設けられ、エキスパンドテープ５の中間領域５Ａで反射された加熱空気を吸引して排出する吸引排気ユニット７０とを備えたため、冷却されるチャックテーブル２０に対する加熱空気の影響を抑えることができ、ウエーハ１を分割する作業効率の向上を図ることができる。
【００３９】
また、本実施形態によれば、吸引排気ユニット７０は、ヒータユニット６０とチャックテーブル２０との間に配置される円盤状のヒータシャッタ７３と、ヒータシャッタ７３を支持するロータリシリンダ７２と、を備え、ヒータシャッタ７３は、内部空間７４を備えて中空に形成されており、上面７３Ｂの外周側に形成された吸入口７３Ｃと、下面７３Ｄの中央部に形成されて内部空間７４を通じて吸入口７３Ｃと連通する排気口７３Ｅとを備え、排気口７３Ｅは、ロータリシリンダ７２を貫通する経路７２Ａを含む吸引路７５を介して吸引源９０に連結されているため、エキスパンドテープ５の中間領域５Ａで反射された加熱空気を、速やかに吸入口７３Ｃから内部空間７４内に導入し、内部空間７４に連通する排気口７３Ｅ及び経路７２Ａを含む吸引路７５を通じて外部に排出することができる。このため、加熱空気が分割装置１０内（ケース体１３内）で拡散されることを抑えることができ、加熱空気が冷却されたチャックテーブル２０と接触して、該チャックテーブル２０が温められる事態を低減できるため、チャックテーブル２０に対する加熱空気の影響を抑えることができる。
【００４０】
また、ヒータシャッタ７３は、ロータリシリンダ７２に磁力で着脱自在に固定されているため、ヒータシャッタ７３の着脱が極めて容易となり、ヒータシャッタ７３の内部の清掃や、ロータリシリンダ７２及びヒータユニット６０のメンテナンス等の作業を容易に行うことができる。
【００４１】
また、円盤状のヒータシャッタ７３は、ヒータユニット６０の空気吹出口６１Ａに対応する位置に形成された切欠部７３Ａを外周部に備え、ロータリシリンダ７２は、ヒータシャッタ７３の切欠部７３Ａがそれぞれ空気吹出口６１Ａ上に位置付けられて該空気吹出口６１Ａを開放する開放位置７８Ａと、切欠部７３Ａがそれぞれ空気吹出口６１Ａから外れて位置付けられ空気吹出口６１Ａを閉鎖する閉鎖位置７８Ｂとで、ヒータシャッタ７３を回転自在に支持するため、エキスパンドテープ５の中間領域５Ａの収縮後には、ヒータシャッタ７３の切欠部７３Ａを閉鎖位置７８Ｂに位置付けることにより、作業者等が空気吹出口６１Ａに触れて火傷することを防止できる。
【００４２】
なお、本考案は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本考案の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本実施形態では、昇降手段５０は、チャックテーブル２０に対してフレーム保持手段４０を昇降させる構成としたが、フレーム保持手段４０とチャックテーブル２０とを相対的に保持面２１Ａに直交する方向（上下方向）に離間及び接近させることができれば、チャックテーブル２０を昇降させる構成としてもよい。また、昇降手段５０は電動シリンダに限定されず、他のアクチュエータで構成されていてもよい。
【００４３】
また、本実施形態では、エキスパンドテープとしてテープ基材に接着フィルムが積層された構成を例示して説明したが、この構成に限定されない。エキスパンドテープは、熱収縮するテープ基材上に粘着層が形成された構成としてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１  ウエーハ
５  エキスパンドテープ（テープ）
５Ａ  中間領域
６  環状フレーム
７  ウエーハユニット
９  チップ
１０  分割装置
１３  ケース体
２０  チャックテーブル
２１Ａ  保持面
３０  冷却手段
４０  フレーム保持手段
４１  載置テーブル
４２  カバープレート
５０  昇降手段
６０  ヒータユニット
６１  ヒータケース
６１Ａ  空気吹出口
６１Ｂ  空気導入口
６２  ヒータ本体
６３  空気導入流路
６４  空気供給源
７０  吸引排気ユニット
７２  ロータリシリンダ（支持部）
７２Ａ  経路
７３  ヒータシャッタ（円盤状部材）
７３Ａ  切欠部
７３Ｂ  上面
７３Ｃ  吸入口
７３Ｄ  下面
７３Ｅ  排気口
７４  内部空間
７５  吸引路
７６  永久磁石
７８  開放位置
７８Ｂ  閉鎖位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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