【手続補正書】
【提出日】平成25年5月15日(2013.5.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材と液体を介して露光光で基板に露光を行う液浸露光装置であって、
前記光学部材下を移動する移動体と、
供給流路を介して液体を前記光学部材下に供給し、前記供給される液体によって前記光学部材下に形成される液浸領域から回収流路を介して液体を回収する液浸装置と、を備え、
前記供給流路から供給された液体が前記回収流路で回収されずに前記液浸領域から漏洩することを引き起こす異常の発生により、前記液浸装置による前記光学部材下への液体の供給が停止される液浸露光装置。
【請求項２】
前記基板が前記移動体に保持され、
前記移動体は前記基板の一部に前記液浸領域が位置するように移動し、
前記液浸領域を介して前記基板が露光される請求項１に記載の液浸露光装置。
【請求項３】
前記基板の一部に、前記露光光が照射される領域よりも大きく且つ前記基板よりも小さい前記液浸領域が形成される請求項１又は２に記載の液浸露光装置。
【請求項４】
前記異常は、前記移動体または前記液浸装置の動作を変更することを引き起こす異常を含む請求項１〜３のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項５】
前記異常の発生により、前記光学部材下に前記移動体が維持される請求項４に記載の液浸露光装置。
【請求項６】
前記異常は、前記液浸露光装置の内部における異常動作、または前記液浸露光装置の外部で発生した異常を含む請求項１〜５のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項７】
前記異常動作は、前記液浸装置の異常動作を含む請求項６に記載の液浸露光装置。
【請求項８】
前記液浸装置の異常動作は、前記回収流路を介した液体の回収動作の異常を含む請求項７に記載の液浸露光装置。
【請求項９】
前記液浸領域の液体が気体とともに前記回収流路を介して回収され、
前記回収流路から回収された前記気体と前記液体とが気液分離装置により分離され、
前記回収動作の異常は、前記気液分離装置の異常を含む請求項８に記載の液浸露光装置。
【請求項１０】
前記回収流路により回収された液体の回収量に基づいて前記回収動作の異常が判定される請求項８または９に記載の液浸露光装置。
【請求項１１】
前記回収量と、前記供給流路から供給された液体の供給量とに基づいて、前記回収動作の異常が判定される請求項１０に記載の液浸露光装置。
【請求項１２】
前記液浸装置の異常動作は、前記供給流路を介した液体の供給動作の異常を含む請求項７〜１１のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１３】
前記供給流路から供給される液体の供給量に基づいて前記供給動作の異常が判定される請求項１２に記載の液浸露光装置。
【請求項１４】
前記異常動作は、前記移動体に関する異常を含む請求項６〜１３のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１５】
前記移動体の位置を検出する位置検出装置を有し、
前記移動体に関する異常は、前記位置検出装置の異常を含む請求項１４に記載の液浸露光装置。
【請求項１６】
前記位置検出装置の異常は、前記移動体の位置が計測不能な状態、または前記位置検出装置の故障を含む請求項１５に記載の液浸露光装置。
【請求項１７】
前記位置検出装置の異常により、前記光学部材を通過する露光光の光軸方向または前記光軸方向と直交する方向に関して異常な位置に前記移動体が位置付けられる請求項１５または１６に記載の液浸露光装置。
【請求項１８】
前記液浸露光装置の外部で発生した異常は、前記液浸露光装置が配置されるクリーンルームで生じた異常、前記液浸露光装置で用いられる用力の供給に関する異常、地震の発生、火災の発生、前記液浸露光装置と接続される関連装置で生じた異常の少なくとも１つを含む請求項６〜１７のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項１９】
前記回収流路は真空系と接続され、
前記関連装置は、前記真空系を含む請求項１８に記載の液浸露光装置。
【請求項２０】
前記漏洩した液体は、前記液浸領域から流出して前記移動体の上面に残留または前記移動体の外側に流出する請求項１〜１９のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２１】
前記移動体の上面に開口が形成され、前記開口内で前記基板が保持される請求項２０に記載の液浸露光装置。
【請求項２２】
前記移動体の上面に残留する液体は、前記保持された前記基板の外側に流出した液体である請求項２１に記載の液浸露光装置。
【請求項２３】
前記漏洩により前記基板の外側に流出した液体は、前記移動体の上面と前記基板の隙間に流入する請求項２２に記載の液浸露光装置。
【請求項２４】
前記基板は、前記保持された基板の表面と前記移動体の上面とが同じ高さとなるように、前記移動体に保持される請求項２１〜２３のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２５】
前記移動体を駆動する駆動機構を有し、
前記漏洩した液体は、前記移動体の外側に流出して前記駆動機構に付着する請求項２０〜２４のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２６】
前記駆動機構は、前記移動体に設けられた可動子と、前記可動子がその一部と対向して配置される固定子とを有し、
前記漏洩した液体は、前記固定子に付着する請求項２５に記載の液浸露光装置。
【請求項２７】
前記駆動機構は、平面モータを含む請求項２５に記載の液浸露光装置。
【請求項２８】
前記移動体がその上方を移動するベース部材を有し、
前記漏洩した液体は、前記移動体の外側に流出して前記ベース部材に付着する請求項２０〜２７のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項２９】
前記液体の供給が停止された後、前記液浸領域から前記回収流路を介した前記液体の回収が行われる請求項１〜２８のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３０】
前記液体の供給が停止された後に前記液体の回収が継続される請求項２９に記載の液浸露光装置。
【請求項３１】
前記液体の供給を停止した後、前記光学部材下で前記移動体の移動が制限される請求項２９または３０に記載の液浸露光装置。
【請求項３２】
前記行なわれた液体回収が停止される前に、前記基板の露光処理が停止される請求項２９〜３１のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３３】
前記液浸領域から漏洩した液体を検出する検出器を備え、
前記検出器の検出に基づいて前記光学部材下への前記液体の供給が停止される請求項１〜３２のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３４】
前記移動体の上面に開口が形成され、前記開口内で前記基板が保持される請求項３３に記載の液浸露光装置。
【請求項３５】
前記検出器は、前記保持された前記基板の外側の液体を検出する請求項３４に記載の液浸露光装置。
【請求項３６】
前記検出器は、前記移動体の上面と前記基板との隙間の外側に流出した液体を検出する請求項３４に記載の液浸露光装置。
【請求項３７】
前記基板は、前記移動体の上面と同じ高さとなるように、前記移動体に保持される請求項３４〜３６のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３８】
前記検出器は、前記移動体の上面よりも下方に漏洩した液体を検出する請求項３３〜３７のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項３９】
前記検出器は、前記移動体の側面の液体を検出する請求項３８に記載の液浸露光装置。
【請求項４０】
前記移動体を駆動する駆動機構を有し、
前記検出器は、前記下方に漏洩して前記駆動機構に付着した前記液体を検出する請求項３８に記載の液浸露光装置。
【請求項４１】
前記駆動機構は、前記可動部材に設けられた可動子と、前記可動子がその一部と対向して配置される固定子を有し、
前記漏洩した液体は、前記固定子に付着する請求項４０に記載の液浸露光装置。
【請求項４２】
前記駆動機構は、平面モータを含む請求項４０に記載の液浸露光装置。
【請求項４３】
前記移動体がその上方を移動するベース部材を有し、
前記検出器は、前記下方に漏洩して前記ベース部材に付着した前記液体を検出する請求項３３〜４２のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項４４】
前記検出器は、前記ベース部材の側面に付着した前記液体を検出する請求項４３に記載の液浸露光装置。
【請求項４５】
前記光学部材下に供給された液体が周囲の気体とともに前記回収流路を介して回収される請求項１〜４４のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項４６】
前記回収流路を介して回収した前記液体から前記気体を分離する気液分離装置を備える請求項４５に記載の液浸露光装置。
【請求項４７】
前記回収流路は吸引装置と接続され、
前記気液分離装置は、前記回収流路の回収口と前記吸引装置の間で、前記回収流路に配置される請求項４６に記載の液浸露光装置。
【請求項４８】
前記回収流路は乾燥装置と接続され、
前記分離した気体が前記乾燥装置により乾燥される請求項４６または４７に記載の液浸露光装置。
【請求項４９】
前記基板は、前記移動体の上面に形成された開口内で保持され、
前記移動体の上面と前記保持された前記基板との隙間に流入する液体が流れる流路が、前記移動体に形成されている請求項１〜４８のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項５０】
前記基板は、その表面が前記移動体の上面と同じ高さとなるように、前記移動体に保持される請求項４９に記載の液浸露光装置。
【請求項５１】
前記隙間に流入した前記液体が周囲の気体とともに回収される請求項４９または５０に記載の液浸露光装置。
【請求項５２】
前記隙間を介して前記流路に流入した前記液体と前記気体とを分離する分離装置を備える請求項４９〜５１のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項５３】
前記光学部材下に供給された液体の一部が多孔部材を介して回収される請求項１〜５２のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項５４】
前記多孔部材は前記移動体に配置され、
前記液体の一部が前記多孔部材に流入する請求項５３に記載の液浸露光装置。
【請求項５５】
前記液浸装置は、露光光が通過する開口を有するノズル部材を含み、
前記ノズル部材の下面には、前記回収流路と接続されて前記液浸領域の液体を回収する回収口が設けられている請求項１〜５４のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項５６】
前記供給流路と接続されて前記光学部材下に前記液体を供給する供給口が、前記ノズル部材の下面に設けられている請求項５５に記載の液浸露光装置。
【請求項５７】
前記ノズル部材は、前記供給流路と接続されて前記光学部材下に液体を供給する供給口を有し、
前記回収口は、前記露光光の投影領域に対して前記供給口よりも外側に設けられている請求項５５または５６に記載の液浸露光装置。
【請求項５８】
前記ノズル部材と前記光学部材は、互いの振動が伝わらないように配置されている請求項５５〜５７のいずれか一項に記載の液浸露光装置。
【請求項５９】
請求項１〜５８のいずれか一項に記載の液浸露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【請求項６０】
光学部材と液体とを介して露光光で基板に露光を行う液浸露光装置の制御方法であって、
前記光学部材下に位置付けられた移動体上に供給流路を介して前記光学部材下に液体を供給するとともに、前記供給される液体によって前記光学部材下に形成される液浸領域から回収流路を介して液体の回収をすることと、
前記供給流路から供給された液体が前記回収流路で回収されずに前記液浸領域から漏洩することを引き起こす異常の発生により、前記光学部材下への液体の供給を停止することと、を含む液浸露光装置の制御方法。
【請求項６１】
前記基板が前記移動体に保持され、
前記移動体は前記基板の一部に前記液浸領域が位置するように移動し、
前記液浸領域を介して前記基板が露光される請求項６０に記載の制御方法。
【請求項６２】
前記基板の一部に、前記露光光が照射される領域よりも大きく且つ前記基板よりも小さい前記液浸領域が形成される請求項６０または６１に記載の制御方法。
【請求項６３】
前記異常は、前記移動体、または前記供給流路及び前記回収流路を有する液浸装置の動作を変更することを引き起こす異常を含む請求項６０〜６２のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項６４】
前記異常の発生により、前記光学部材下に前記移動体が維持される請求項６３に記載の制御方法。
【請求項６５】
前記異常は、前記液浸露光装置の内部における異常動作、または前記液浸露光装置の外部で発生した異常を含む請求項６０〜６４のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項６６】
前記異常動作は、前記液浸装置の異常動作を含む請求項６５に記載の制御方法。
【請求項６７】
前記液浸装置の異常動作は、前記回収流路を介した液体の回収動作の異常を含む請求項６６に記載の制御方法。
【請求項６８】
前記液浸領域の液体が気体とともに前記回収流路を介して回収され、
前記回収流路から回収された前記気体と前記液体とが気液分離装置により分離され、
前記回収動作の異常は、前記気液分離装置の異常を含む請求項６７に記載の制御方法。
【請求項６９】
前記回収流路により回収された液体の回収量に基づいて前記回収動作の異常が判定される請求項６７または６８に記載の制御方法。
【請求項７０】
前記回収量と、前記供給流路から供給された液体の供給量とに基づいて、前記回収動作の異常が判定される請求項６９に記載の制御方法。
【請求項７１】
前記液浸装置の異常動作は、前記供給流路を介した液体の供給動作の異常を含む請求項６７〜７０のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項７２】
前記供給流路から供給される液体の供給量に基づいて前記供給動作の異常が判定される請求項７１に記載の制御方法。
【請求項７３】
前記異常動作は、前記移動体に関する異常を含む請求項６５〜７２のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項７４】
前記移動体に関する異常は、前記移動体の位置を検出する位置検出装置の異常を含む請求項７３に記載の制御方法。
【請求項７５】
前記位置検出装置の異常は、前記移動体の位置が計測不能な状態、または前記位置検出装置の故障を含む請求項７４に記載の制御方法。
【請求項７６】
前記位置検出装置の異常により、前記光学部材を通過する露光光の光軸方向または前記光軸方向と直交する方向に関して異常な位置に前記移動体が位置付けられる請求項７４または７５に記載の制御方法。
【請求項７７】
前記液浸露光装置の外部で発生した異常は、前記液浸露光装置が配置されるクリーンルームで生じた異常、前記液浸露光装置で用いられる用力の供給に関する異常、地震の発生、火災の発生、前記液浸露光装置と接続される関連装置で生じた異常の少なくとも１つを含む請求項６５〜７６のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項７８】
前記回収流路は真空系と接続され、
前記関連装置は、前記真空系を含む請求項７７に記載の制御方法。
【請求項７９】
前記漏洩した液体は、前記液浸領域から流出して前記移動体の上面に残留または前記移動体の外側に流出する請求項６０〜７８のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項８０】
前記移動体の上面に開口が形成され、前記開口内で前記基板が保持される請求項７９に記載の制御方法。
【請求項８１】
前記移動体の上面に残留する液体は、前記保持された前記基板の外側に流出した液体である請求項８０に記載の制御方法。
【請求項８２】
前記漏洩により前記基板の外側に流出した液体は、前記移動体の上面と前記基板の隙間に流入する請求項８０または８１に記載の制御方法。
【請求項８３】
前記基板は、前記保持された基板の表面と前記移動体の上面とが同じ高さとなるように、前記移動体に保持される請求項８０〜８２のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項８４】
前記移動体の外側に流出した液体は、前記移動体を駆動する駆動機構に付着する請求項７９〜８３のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項８５】
前記駆動機構は、前記移動体に設けられた可動子と、前記可動子がその一部と対向して配置される固定子とを有し、
前記漏洩した液体は、前記固定子に付着する請求項８４に記載の制御方法。
【請求項８６】
前記駆動機構は、平面モータを含む請求項８４に記載の制御方法。
【請求項８７】
前記移動体の外側に流出した液体は、前記移動体がその上方を移動するベース部材に付着する請求項７９〜８６のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項８８】
前記液体の供給が停止された後、前記液浸領域から前記回収流路を介した前記液体の回収が行われる請求項６０〜８７のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項８９】
前記液体の供給が停止された後に前記液体の回収が継続される請求項８８に記載の制御方法。
【請求項９０】
前記液体の供給を停止した後、前記光学部材下で前記移動体の移動が制限される請求項８８または８９に記載の制御方法。
【請求項９１】
前記行なわれた液体回収が停止される前に、前記基板の露光処理が停止される請求項８８〜９０のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項９２】
前記液浸領域から漏洩した液体を検出する検出器の検出に基づいて前記光学部材下への前記液体の供給が停止される請求項６０〜９１のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項９３】
前記移動体の上面に開口が形成され、前記開口内で前記基板が保持される請求項９２に記載の制御方法。
【請求項９４】
前記検出器は、前記保持された前記基板の外側の液体を検出する請求項９３に記載の制御方法。
【請求項９５】
前記検出器は、前記移動体の上面と前記基板との隙間の外側に流出した液体を検出する請求項９３または９４に記載の制御方法。
【請求項９６】
前記基板は、前記移動体の上面と同じ高さとなるように、前記移動体に保持される請求項９３〜９５のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項９７】
前記検出器は、前記移動体の上面よりも下方に漏洩した液体を検出する請求項９２〜９６のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項９８】
前記検出器は、前記移動体の側面の液体を検出する請求項９７に記載の制御方法。
【請求項９９】
前記検出器は、前記下方に漏洩して前記移動体を駆動する駆動機構に付着した前記液体を検出する請求項９７に記載の制御方法。
【請求項１００】
前記駆動機構は、前記可動部材に設けられた可動子と、前記可動子がその一部と対向して配置される固定子を有し、
前記漏洩した液体は、前記固定子に付着する請求項９９に記載の制御方法。
【請求項１０１】
前記駆動機構は、平面モータを含む請求項９９に記載の制御方法。
【請求項１０２】
前記検出器は、前記下方に漏洩して前記移動体がその上方を移動するベース部材に付着した前記液体を検出する請求項９７に記載の制御方法。
【請求項１０３】
前記検出器は、前記ベース部材の側面に付着した前記液体を検出する請求項１０２に記載の制御方法。
【請求項１０４】
前記光学部材下に供給された液体が周囲の気体とともに前記回収流路を介して回収される請求項６０〜１０３のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項１０５】
前記回収流路を介して回収した前記液体から前記気体を分離する求項１０４に記載の制御方法。
【請求項１０６】
前記分離した気体を乾燥させる請求項１０５に記載の制御方法。
【請求項１０７】
前記基板は、前記移動体の上面に形成された開口内で保持され、
前記移動体の上面と前記保持された前記基板との隙間に流入する液体が回収される請求項６０〜１０６のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項１０８】
前記基板は、その表面が前記移動体の上面と同じ高さとなるように、前記移動体に保持される請求項１０７に記載の制御方法。
【請求項１０９】
前記隙間に流入した前記液体が周囲の気体とともに回収される請求項１０７または１０８に記載の制御方法。
【請求項１１０】
前記隙間を介して前記流路に流入した前記液体と前記気体とを分離する請求項１０９に記載の制御方法。
【請求項１１１】
前記光学部材下に供給された液体の一部が多孔部材を介して回収される請求項６０〜１１０のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項１１２】
前記多孔部材は前記移動体に配置され、
前記液体の一部が前記多孔部材に流入する請求項１１１に記載の制御方法。