【手続補正書】
【提出日】平成25年6月6日(2013.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光電変換領域を半導体ウエハの一方の面に形成する第１工程と、
少なくとも一方側から光学素子が挿入されるように形成された挿入開口部を前記光電
変換領域のそれぞれに対応して有する遮光性ウエハを準備する第２工程と、
前記光電変換領域と前記挿入開口部が対応するように、前記半導体ウエハの前記一方
の面と、前記遮光性ウエハの前記一方側の面とは反対側の面とを接合してウエハ接合体
を形成する第３工程と、
前記光電変換領域の周囲で前記ウエハ接合体を分割して、前記光電変換領域を有する
接合体チップを得る第４工程と
を有する、光電変換装置の製造方法。
【請求項２】
前記遮光性ウエハは、炭素又は樹脂からなるウエハである、請求項１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項３】
前記遮光性ウエハは、前記挿入開口部が形成され炭素又は樹脂からなるユニットウエハの複数が積層され接合されたウエハであり、第３工程に先立って、前記挿入開口部に前記光学素子を挿入する工程を有する、請求項１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項４】
前記第３工程に先立って、前記半導体ウエハの前記一方の面と反対側の面、又は／及び、前記遮光性ウエハの前記一方側の面に補強板を接合する工程を有する、請求項１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項５】
前記第４工程において前記ウエハ接合体が分割される部位であり、前記遮光性ウエハの前記挿入開口部に隣接する部位に、前記第２工程において、前記遮光性ウエハを貫通する穴が形成される、請求項１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項６】
前記第３工程において、前記半導体ウエハの前記光電変換領域と前記遮光性ウエハの前記挿入開口部とが対応するように、前記半導体ウエハと前記遮光性ウエハの位置合せを行う、請求項１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項７】
前記半導体ウエハの前記一方の面、前記遮光性ウエハの前記反対側の面のそれぞれに、前記半導体ウエハと前記遮光性ウエハとが嵌合する嵌合部が形成されており、前記第３工程において、前記半導体ウエハと前記遮光性ウエハとが嵌合される、請求項１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項８】
前記第４工程の前又は後に、前記挿入開口部に前記光学素子を挿入する工程を有する、請求項１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項９】
前記光学素子を挿入する工程に先立って、光の通過を許容する光通過開口部と、この光通過開口部以外の領域における光の通過を制限する光通過制限部からなる開口部材が、前記光学素子に設けられる、請求項８に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第４工程の前に、前記挿入開口部に前記光学素子を挿入する工程を有し、前記挿入開口部に光学素子を挿入した後に、遮光シートを前記遮光性ウエハの前記一方側の面に接合し、前記遮光シートは、前記遮光性ウエハの前記挿入開口部に対応して形成され光の通過を許容する光通過開口部と、この光通過開口部以外の領域における光の通過を制限する光通過制限部を有する光通過領域を規定する光学シートである、請求項１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項１１】
前記第４工程の前又は後に、前記光学素子が保持された光学バレルを前記挿入開口部に挿入する工程を有する、請求項１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項１２】
前記光学バレルを前記挿入開口部に挿入する工程に先立って、光の通過を許容する光通過開口部と、この光通過開口部以外の領域における光の通過を制限する光通過制限部からなる開口部材が、前記光学バレルに保持された前記光学素子に設けられる、請求項１１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項１３】
前記第４工程の前に、前記光学素子が保持された光学バレルを前記挿入開口部に挿入する工程を有し、前記挿入開口部に前記光学バレルが挿入された後に、遮光シートを前記遮光性ウエハの前記一方側の面に接合し、前記遮光シートは、前記遮光性ウエハの前記挿入開口部に対応して形成され光の通過を許容する光通過開口部と、この光通過開口部以外の領域における光の通過を制限する光通過制限部を有する光通過領域を規定する光学シートである、請求項１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項１４】
前記光学素子は光学レンズを含み、前記光電変換領域が受光領域であり、光電変換装置が撮像装置である、請求項１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項１５】
前記光学素子は光学レンズを含み、前記光電変換領域が発光領域であり、光電変換装置が発光装置である、請求項１に記載の光電変換装置の製造方法。
【請求項１６】
一方の面に複数の光電変換領域が形成された半導体ウエハと、少なくとも一方側から光学素子が挿入されるように形成された挿入開口部が前記光電変換領域のそれぞれに対応して有する遮光性ウエハとについて、前記半導体ウエハの前記一方の面と、前記遮光性ウエハの前記一方側とは反対側の面とが接合されてウエハ接合体が形成され、前記光電変換領域の周囲で前記ウエハ接合体が分割され、前記光電変換領域を有する接合体チップが形成され、前記光電変換領域と前記挿入開口部が対応するように構成されている、光電変換装置のパッケージ構造。
【請求項１７】
前記遮光性ウエハは、炭素又は樹脂からなるウエハである、請求項１６に記載の光電変換装置のパッケージ構造。
【請求項１８】
請求項１６又は請求項１７に記載の光電変換装置のパッケージ構造を有する光電変換装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
本発明の光電変換装置の製造方法では、前記遮光性ウエハは、炭素又は樹脂からなるウエハである構成とするのがよい。このような構成によれば、ウエハ自体が遮光性を有しているので、これに前記光学素子を保持させる機能を持たせることによって、製造方法の簡素化が可能な光電変換装置の製造方法を提供することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、前記半導体ウエハの前記一方の面、前記遮光性ウエハの前記反対側の面のそれぞれに、前記半導体ウエハと前記遮光性ウエハとが嵌合する嵌合部が形成されており、前記第３工程において、前記半導体ウエハと前記遮光性ウエハとが嵌合される構成とするのがよい。このような構成によれば、前記挿入開口部の中心位置と前記光電変換領域の中心位置が正確に対応するように、前記嵌合部によって前記半導体ウエハと前記遮光性ウエハが位置合せされるので、光電変換装置の光軸が正確に設定することが可能である、光電変換装置の製造方法を提供することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
本発明の光電変換装置のパッケージ構造では、前記遮光性ウエハは、炭素又は樹脂からなるウエハである構成とするのがよい。このような構成によれば、ウエハ自体が遮光性を有しているので、これに前記光学素子を保持させる機能を持たせることによって、簡素化が可能となる、光電変換装置のパッケージ構造を提供することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
図１（Ｂ）の（ａ）において、黒色ウエハ１００の挿入開口部１０５ａにレンズ１３０を図１の上方から挿入しているが、図１（Ａ）において、黒色ウエハ１００の挿入開口部１０５ａにレンズ１３０を図１の下方から挿入した後に、黒色ウエハ１００と半導体ウエハ１１０を接合して、次に、図１（Ｃ）に示すように、イメージセンサ領域１１５の周囲で、黒色ウエハ１００と半導体ウエハ１１０のウエハ接合体を分割して個片化することもできる。この場合に得られるカメラモジュールでは、図１（Ｄ）に示すレンズチップ１３５の上方部の空間に保持されているレンズ１３０は、レンズチップ１３５の下方の空間に保持された構成を有している。そして、レンズチップ１３５の上方部の空間には、例えば、後述する赤外線遮断フイルタを保持させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
なお、図１（Ｂ）の（ｂ）に示すように、黒色ウエハ１００ａと半導体ウエハ１１０のウエハ接合体における挿入開口部１０５ｂに、例えば、薄い平面ガラス１４０を挿入し、平面ガラス１４０の周辺部を挿入開口部１０５ｂの内周部に、例えば、光及び熱硬化性樹脂によって接合した、黒色ウエハ１００ａと半導体ウエハ１１０とによって形成される空間を、外部空間と遮断された状態とすることもできる。この場合、イメージセンサ領域１１５の周囲で、黒色ウエハ１００ａと半導体ウエハ１１０のウエハ接合体を分割して個片化することによって、図１（Ｄ）の（ｂ）に示すように、イメージセンサ領域１１５を有する半導体チップ１２０、平面ガラス１４０が保持されたガラス保持チップ１４５が接合された構成をもった接合体チップとして、センサモジュールを得ることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
図３（Ａ）に示すように、黒色ウエハ１００には、挿入開口部１０５ａの他に、半導体ウェハ１１０と接合される面に凸部１９２が形成されている。また、図３（Ｂ）に示すように、半導体ウエハ１１０のイメージセンサ領域１１５が形成された側の面に凹部１９４が形成されている。黒色ウエハ１００と半導体ウエハ１１０の両ウエハの直線部分、並びに、凸部１９２、凹部１９４の各中心位置を一致させるように、黒色ウエハ１００と半導体ウエハ１１０を積層させた場合、挿入開口部１０５ａとイメージセンサ領域１１５の各中心位置が対応し、図３（Ｃ）に示すように、凸部１９２と凹部１９４が嵌合するように、凸部１９２と凹部１９４が形成されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
図４（Ｂ）の（ａ）に示すように、挿入開口部１０５ａに対応して形成された貫通穴１３７を有する黒色の開口シート１３３を、黒色ウエハ１００と半導体ウエハ１１０が接合されたウエハ接合体（挿入開口部１０５ａにレンズ１３０が挿入されている。）に積層し接合する。次に、図４（Ｂ）の（ｂ）に示すように、開口シート１３３が接合された上記のウエハ接合体が個片化され、図４（Ｄ）に示す断面構造を有し、開口規定体１３４ｂが設けられた接合体チップを得ることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
挿入開口部１０５ａが形成された黒色ウエハ１００と、イメージセンサ領域１１５が形成された半導体ウエハ１１０を積層して、接合する際、黒色ウエハ１００及び／又は半導体ウエハ１１０の厚さが薄い場合に、黒色ウエハ１００及び／又は半導体ウエハ１１０に反りを生じる場合がある。このような場合に、黒色ウエハ１００及び／又は半導体ウエハ１１０にウエハ補強板を仮固定用接着剤によって接合する。黒色ウエハ１００と半導体ウエハ１１０が接合された後、このウエハ補強板は、黒色ウエハ１００及び／又は半導体ウエハ１１０から剥離される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
凸部１８２、凹部１８４は、挿入開口部１０５ｆ、１００ｇにそれぞれ挿入、固定されるレンズ等の光学素子の中心光軸が、黒色ウエハ１００ｄ、１００ｅを接合して時に、共通な同軸をなすようにするためのものである。図７（Ｃ）に示すように、凸部１８２と凹部１８４の嵌合によって、黒色ウエハ１００ｄ、１００ｅの位置合わせが実行される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
図８（Ａ）の（ａ）に示すように、挿入開口部１０５ｈの内周面には螺合部２０１として雌螺子が形成されており、図８（Ａ）の（ｂ）に示すように、レンズバレル２００ａの外周面には螺合部２０１として雄螺子が形成されている。