(57)【要約】      （修正有）【課題】圧力チャンバの耐用性が高く、破損や変形を生じにくいペット用小型高気圧酸素装置を提供する。【解決手段】圧力チャンバ１０のチャンバ本体３０が管状の透明ハウジング５０を含み、透明ハウジングの前端部に取り付けたチャンバドア枠６０が、気体流路と、気体流路及び透明ハウジングの内部に連通した噴気孔と、酸素生成機及び気体流路に連通した気体導入口を備え、チャンバ背面板７０を透明ハウジングの後端部に取り付け、透明ハウジングの外側に周方向に等間隔で設置した複数の連結バー５１の両端をチャンバドア枠６０とチャンバ背面板７０に連結し、チャンバドア４０に設けた複数のチャンバ封鎖ボルト４３をチャンバドア枠に螺合してチャンバドアとチャンバドア枠を密閉可能とし、対応するチャンバ封鎖ボルト４３と連結バー５１が軸心を共有する。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ペット用小型高気圧酸素装置であって、圧力チャンバと、該圧力チャンバに加圧酸素を提供する酸素生成機を含み、
前記圧力チャンバが、チャンバ本体と、該チャンバ本体の入口を密封するチャンバドアを含み、前記チャンバ本体が、透明ハウジングと、チャンバドア枠と、チャンバ背面板を含み、前記透明ハウジングが軸方向の両端が開放された管状の透明構造体であり、前記チャンバドア枠が環状の構造体であり、前記透明ハウジングの前端部に取り付けられて前記入口を構成し、前記チャンバドア枠が内部に設けられた気体流路と、該気体流路及び前記透明ハウジングの内部に連通された複数の噴気孔と、前記酸素生成機及び前記気体流路に連通された気体導入口を備え、前記チャンバ背面板が前記透明ハウジングの後端部に取り付けられ、該透明ハウジングの後端部を封鎖し、
前記透明ハウジングの外側に複数の連結バーが設置され、該複数の連結バーの両端が該チャンバドア枠と該チャンバ背面板にそれぞれ連結され、該複数の連結バーが前記透明ハウジングの周方向に等間隔で分布され、前記チャンバドアがヒンジにより前記チャンバドア枠に連結され、該チャンバドアが該ヒンジを回動中心として開放位置と閉鎖位置まで揺動でき、該閉鎖位置にある前記チャンバドアと前記チャンバドア枠が密閉され、前記入口を密封して前記圧力チャンバに密閉状態が形成され、該開放位置にある前記チャンバドアが前記チャンバドア枠と密閉されず、前記チャンバドアに回動自在な複数のチャンバ封鎖ボルトが設置され、前記チャンバドアが該閉鎖位置にあるとき、該複数のチャンバ封鎖ボルトを前記チャンバドア枠に螺合し、前記チャンバドアと前記チャンバドア枠を密閉することができ、前記複数のチャンバ封鎖ボルトの位置が前記複数の連結バーにそれぞれ対応し、相互に対応するすべての前記チャンバ封鎖ボルトと連結バーが軸心を共有することを特徴とする、ペット用小型高気圧酸素装置。
【請求項２】
前記圧力チャンバが、引っかき防止インナーライナーを含み、該引っかき防止インナーライナーが透明材質で成る薄壁構造体であり、該引っかき防止インナーライナーが前記透明ハウジングの内部に固定され、該引っかき防止インナーライナーと前記透明ハウジングの内側壁面の間に間隙が形成されたことを特徴とする、請求項１に記載のペット用小型高気圧酸素装置。
【請求項３】
前記チャンバドア枠が座体部を備え、前記チャンバ背面板の内側面に凹陥槽が形成され、前記引っかき防止インナーライナーの後端部を該凹陥槽に挿入して固定し、前記引っかき防止インナーライナーの前端部が固定部材により該座体部に固定されたことを特徴とする、請求項２に記載のペット用小型高気圧酸素装置。
【請求項４】
前記引っかき防止インナーライナーの横断面形状が封鎖されていない環状であり、該引っかき防止インナーライナーの断面形状と該透明ハウジングの横断面形状が一致しており、該引っかき防止インナーライナーの封鎖されていない環状の開口が前記座体部に向けられたことを特徴とする、請求項３に記載のペット用小型高気圧酸素装置。
【請求項５】
前記圧力チャンバが、金属底面板と、少なくとも２つの支持棒を含み、該複数の支持棒の前端部が前記座体部に固定され、該複数の支持棒の後端部が前記チャンバ背面板に固定され、前記金属底面板が前記複数の支持棒上に設置され、該金属底面板が前記引っかき防止インナーライナーの横断面の封鎖されていない開口を遮蔽し、前記金属底面板の外面と前記透明ハウジングの内側壁面の間に間隙が形成されたことを特徴とする、請求項４に記載のペット用小型高気圧酸素装置。
【請求項６】
前記金属底面板の外面に保冷剤または氷袋が配置されたことを特徴とする、請求項５に記載のペット用小型高気圧酸素装置。
【請求項７】
前記複数の連結バーの両端に前部連結器と後部連結器がそれぞれ連結され、該前部連結器が前記チャンバドア枠に着脱自在に設置され、前記複数の連結バーがステンレスを使用して製作され、前記前部連結器が螺子孔を備えた銅継手であり、前記複数の連結バーの両端にねじ山が設けられ、該複数の連結バーの前端部を前記前部連結器の螺子孔に螺合し、前記複数のチャンバ封鎖ボルトを前記前部連結器の螺子孔に螺合可能であり、前記複数の連結バーの後端部を前記チャンバ背面板に穿通させて前記後部連結器に螺合することを特徴とする、請求項１に記載のペット用小型高気圧酸素装置。
【請求項８】
前記透明ハウジングの前端部と前記チャンバドア枠の接触位置にシール材が設置され、また前記透明ハウジングの後端部と前記チャンバ背面板の接触位置にもシール材が設置されたことを特徴とする、請求項１に記載のペット用小型高気圧酸素装置。
【請求項９】
前記チャンバドアと前記チャンバドア枠の接触位置にシール材が設置されたことを特徴とする、請求項１に記載のペット用小型高気圧酸素装置。
【請求項１０】
前記チャンバ背面板が排気口を備え、前記チャンバ背面板の外側に該排気口に接続された排気弁が設置されたことを特徴とする、請求項１に記載のペット用小型高気圧酸素装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、家庭での使用に適したペット用小型高気圧酸素装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ペット用高気圧酸素医療は、ペットを高気圧酸素治療チャンバ内に入れ、自然に呼吸させることにより、気圧が１大気圧よりやや高い環境で酸素を呼吸させ、酸素を組織液中に溶解しやすくし、組織内の酸素含量を高める方法の１つである。
この方法によれば、十分な酸素によって、ペット自身の免疫力、白血球の殺菌力を高め、血液循環を改善することができる。また、この方法は、単独で使用できるほか、従来の治療に組み合わせても、病気の経過を短縮し、治癒率を高める優れた効果を発揮できる。
【０００３】
現在、動物病院等でよく見受けられる動物用高気圧酸素チャンバは、ほとんどが次の２つに分けられる。
１つは同時に比較的多くの動物に使用でき、主に動物の疾病治療に用いられるスチール製の「高気圧酸素治療チャンバ」であり、もう１つはペット美容業で使用され、手入れをするペットに対して酸素の補給を行う保健目的の「小型アクリル酸素カプセル」で、これは約１．４大気圧の圧力を使用でき、一般にエアコンプレッサと酸素生成機を酸素及び加圧源としている。
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
本考案が解決しようとする課題は、ペットが入る圧力チャンバの耐久性が高く、破損や変形が生じにくいペット用小型高気圧酸素装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本考案のペット用小型高気圧酸素装置は、圧力チャンバと、該圧力チャンバに加圧酸素を提供する酸素生成機を含み、前記圧力チャンバが、チャンバ本体と、該チャンバ本体の入口を密封するチャンバドアを含み、前記チャンバ本体が、透明ハウジングと、チャンバドア枠と、チャンバ背面板を含み、前記透明ハウジングが軸方向の両端が開放された管状の透明構造体であり、前記チャンバドア枠が環状の構造体であり、前記透明ハウジングの前端部に取り付けられて前記入口を構成し、前記チャンバドア枠が内部に設けられた気体流路と、該気体流路及び前記透明ハウジングの内部に連通された複数の噴気孔と、前記酸素生成機及び前記気体流路に連通された気体導入口を備え、前記チャンバ背面板が前記透明ハウジングの後端部に取り付けられ、該透明ハウジングの後端部を封鎖し、前記透明ハウジングの外側に複数の連結バーが設置され、該複数の連結バーの両端が該チャンバドア枠と該チャンバ背面板にそれぞれ連結され、該複数の連結バーが前記透明ハウジングの周方向に等間隔で分布され、前記チャンバドアがヒンジにより前記チャンバドア枠に連結され、該チャンバドアが該ヒンジを回動中心として開放位置と閉鎖位置まで揺動でき、該閉鎖位置にある前記チャンバドアと前記チャンバドア枠が密閉され、前記入口を密封して前記圧力チャンバに密閉状態が形成され、該開放位置にある前記チャンバドアが前記チャンバドア枠と密閉されず、前記チャンバドアに回動自在な複数のチャンバ封鎖ボルトが設置され、前記チャンバドアが該閉鎖位置にあるとき、該複数のチャンバ封鎖ボルトを前記チャンバドア枠に螺合し、前記チャンバドアと前記チャンバドア枠を密閉することができ、前記複数のチャンバ封鎖ボルトの位置が前記複数の連結バーにそれぞれ対応し、相互に対応するすべての前記チャンバ封鎖ボルトと連結バーが軸心を共有する。
【０００６】
好ましくは、前記圧力チャンバが、引っかき防止インナーライナーを含み、該引っかき防止インナーライナーが透明材質で成る薄壁構造体であり、該引っかき防止インナーライナーが前記透明ハウジングの内部に固定され、該引っかき防止インナーライナーと前記透明ハウジングの内側壁面の間に間隙が形成されている。
【０００７】
好ましくは、前記チャンバドア枠が座体部を備え、前記チャンバ背面板の内側面に凹陥槽が形成され、前記引っかき防止インナーライナーの後端部を該凹陥槽に挿入して固定し、前記引っかき防止インナーライナーの前端部が固定部材により該座体部に固定されている。
【０００８】
好ましくは、前記引っかき防止インナーライナーの横断面形状が封鎖されていない環状であり、該引っかき防止インナーライナーの断面形状と該透明ハウジングの横断面形状が一致しており、該引っかき防止インナーライナーの封鎖されていない環状の開口が前記座体部に向けられる。
【０００９】
好ましくは、前記圧力チャンバが、金属底面板と、少なくとも２つの支持棒を含み、該複数の支持棒の前端部が前記座体部に固定され、該複数の支持棒の後端部が前記チャンバ背面板に固定され、前記金属底面板が前記複数の支持棒上に設置され、該金属底面板が前記引っかき防止インナーライナーの横断面の封鎖されていない開口を遮蔽し、前記金属底面板の外面と前記透明ハウジングの内側壁面の間に間隙が形成される。
【００１０】
好ましくは、前記金属底面板の外面に保冷剤または氷袋が配置される。
【００１１】
好ましくは、前記複数の連結バーの両端に前部連結器と後部連結器がそれぞれ連結され、該前部連結器が前記チャンバドア枠に着脱自在に設置され、前記複数の連結バーがステンレスを使用して製作され、前記前部連結器が螺子孔を備えた銅継手であり、前記複数の連結バーの両端にねじ山が設けられ、該複数の連結バーの前端部を前記前部連結器の螺子孔に螺合し、前記複数のチャンバ封鎖ボルトを前記前部連結器の螺子孔に螺合可能であり、前記複数の連結バーの後端部を前記チャンバ背面板に穿通させて前記後部連結器に螺合する。
【００１２】
好ましくは、前記透明ハウジングの前端部と前記チャンバドア枠の接触位置にシール材が設置され、また前記透明ハウジングの後端部と前記チャンバ背面板の接触位置にもシール材が設置される。
【００１３】
好ましくは、前記チャンバドアと前記チャンバドア枠の接触位置にシール材が設置される。
【００１４】
好ましくは、前記チャンバ背面板が排気口を備え、前記チャンバ背面板の外側に該排気口に接続された排気弁が設置される。
【考案の効果】
【００１５】
本考案のペット用小型高気圧酸素装置には次のような有益な効果がある。
チャンバドア枠とチャンバ背面板が透明ハウジングの外側に平均的に配置された複数の金属連結バーにより連結されているため、透明ハウジングがチャンバドア枠とチャンバ背面板の間にしっかり挟んで密封されるとともに、チャンバドアを閉じた時、複数のチャンバ封鎖ボルトによりチャンバドア枠に連結されて圧力チャンバに高度な密閉状態が形成され、該チャンバ封鎖ボルトの位置が連結バーにそれぞれ対応し、チャンバ封鎖ボルトの作用力と連結バーの作用力がいずれも同一の軸線上に作用して、圧力チャンバのチャンバドア枠とチャンバ背面板の構造が不均一な力を受けて破損や変形を生じないよう確約される。
【００１６】
加えて、圧力チャンバが引っかき防止インナーライナーを含むことにより、ペットが透明ハウジングの内側壁面に傷をつけないようにすることができる。
さらに、圧力チャンバが金属底面板と保冷剤を含むことにより、ペット／動物に良好な放熱と温度低下の効果を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本考案の実施例を示すペット用小型高気圧酸素装置の正面図である。
【図２】本考案の実施例に係る圧力チャンバの正面図である。
【図３】本考案の実施例に係る圧力チャンバの側面図である。
【図４】本考案の実施例に係る圧力チャンバの平面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ断面図である。
【図６】本考案の実施例に係る圧力チャンバの、チャンバドアを開いた状態の正面図である。
【図７】図３のＢ部分の断面図である。
【図８】図３のＣ部分の断面図である。
【図９】図３のＤ部分の断面図である。
【図１０】図３のＥ部分の断面図である。
【図１１】本考案の実施例に係る圧力チャンバの引っかき防止インナーライナー取り外し時における側面図を示す。
【考案を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面に基づいて本考案の実施例を詳細に説明する。
図１は、本考案の実施例を示すペット用小型高気圧酸素装置の正面図である。
本実施例のペット用小型高気圧酸素装置は、基本的に、圧力チャンバ１０と、圧力チャンバ１０に加圧酸素を提供する酸素生成機２０を含む。
圧力チャンバ１０は中空の筐体２１の上方に設置され、酸素生成機２０が筐体２１内部に設置される。筐体２１の前方の制御パネル２２及びその他制御部材（例えば電磁弁、回路等）と検出部材（例えば気圧計）を通じ、酸素生成機２０の圧力チャンバ１０に対する加圧酸素の提供、排気または圧力チャンバ１０内の気圧を制御することができる。
【００１９】
図２〜図４は、それぞれ圧力チャンバ１０の正面図、右側面図、平面図である。
構造が強固で、透明かつ耐用性の高い圧力チャンバ１０は、チャンバ本体３０と、チャンバドア４０を含む。
チャンバ本体３０は内部が中空で、入口３１（図６参照）を備え、チャンバドア４０がチャンバ本体３０の入口３１を密封するために用いられる。チャンバドア４０の外側にはハンドル４４が設置される。
【００２０】
チャンバ本体３０は、透明ハウジング５０と、チャンバドア枠６０と、チャンバ背面板７０を含む。
透明ハウジング５０は軸方向の両端が開放された管状透明構造体であり、好ましくは、アクリル管材料を使用して透明ハウジング５０が製作される。
チャンバドア枠６０は、環状の構造体であり、透明ハウジング５０の前端部に設置されて、チャンバ本体３０の該入口３１を構成する。チャンバドア枠６０は、図７および図８に示すように、三層式の構造体であり、三層を相互に結合して一体とした金属材料でチャンバドア枠６０が構成される。
チャンバドア枠６０は内部に設けられた気体流路６１と、気体流路６１と透明ハウジング５０の内部を連通する複数の噴気孔６２を備える。
チャンバドア枠６０はさらに酸素生成機２０と気体流路６１を連通する気体導入口６３を備えており、例えば、酸素生成機２０は管路を通じてチャンバドア枠６０の気体導入口６３に連通され、酸素生成機２０が発生する加圧酸素を該気体導入口６３からチャンバドア枠６０の気体流路６１に進入させた後、さらに複数の噴気孔６２からチャンバ本体３０の透明ハウジング５０内に進入させることができる。
【００２１】
図１０に示すように、チャンバ背面板７０は排気口７１を備え、チャンバ背面板７０の外側に排気口７１に連結された排気弁７２が設置される。
好ましい実施例において、噴気孔６２は透明ハウジング５０に近い内側上方の位置に配置され、チャンバ背面板７０の排気口７１は透明ハウジング５０の内側の底部近くの位置に配置され、酸素が透明ハウジング５０内部に進入する位置と、透明ハウジング５０から排出される位置をそれぞれチャンバ本体３０内の対角位置にすることで、酸素の分布と拡散を有利にする。
【００２２】
チャンバ背面板７０は透明ハウジング５０の後端部に設置され、透明ハウジング５０の後端部を封鎖する。
透明ハウジング５０の前端部とチャンバドア枠６０の接触位置にシール材７３が設置され、また透明ハウジング５０の後端部とチャンバ背面板７０の接触位置にもシール材７３が設置され（図９参照）、さらにチャンバドア４０とチャンバドア枠６０の接触位置にもシール材４１が設置される（図７、図８参照）。シール材４１，７３はゴム製リングである。
チャンバドア４０、チャンバドア枠６０、チャンバ背面板７０は、好ましくは、強化された金属材料を使用して製造され、本実施例では、アルミニウム合金材料を採用してチャンバドア４０、チャンバドア枠６０、チャンバ背面板７０を製造し、かつ陽極処理を実施しており、強固で耐用性の高い構造という利点を備えている。
【００２３】
透明ハウジング５０の外側に複数の連結バー５１が設置され、複数の連結バー５１の両端がチャンバドア枠６０とチャンバ背面板７０にそれぞれ連結され、透明ハウジング５０がチャンバドア６０枠とチャンバ背面板７０の間にしっかり挟んで密封される。複数の連結バー５１は透明ハウジング５０の周方向に等間隔で左右対称に分布される。
【００２４】
チャンバドア４０はヒンジ４２（好ましい実施例においては２組のヒンジ４２が使用される）によりチャンバドア枠６０に連結され、チャンバドア４０がヒンジ４２を回動の中心として開放位置（図６参照）と閉鎖位置（図４、図１１参照）まで揺動できる。
そして、閉鎖位置のチャンバドア４０とチャンバドア枠６０が密着し、入口３１を密封して圧力チャンバ１０に密閉状態が形成され、開放位置のチャンバドア４０はチャンバドア枠６０と密閉されない。
【００２５】
チャンバドア４０には回動自在な複数のチャンバ封鎖ボルト４３が設置され、チャンバドア４０が閉鎖位置にあるとき、複数のチャンバ封鎖ボルト４３をチャンバドア枠６０に螺合して、チャンバドア４０とチャンバドア枠６０を密閉状態に維持することができる。
複数のチャンバ封鎖ボルト４３の位置は複数の連結バー５１にそれぞれ対応し、相互に対応するすべてのチャンバ封鎖ボルト４３と連結バー５１が軸心を共有している。このため、チャンバ封鎖ボルト４３の作用力と連結バー５１の作用力がいずれも同一の軸線上に作用して、圧力チャンバ１０のチャンバドア枠６０とチャンバ背面板７０の構造が不均一な力を受けて破損や変形を生じないよう確約される。
【００２６】
このほか、ペット用小型高気圧酸素装置の構造または気密性が破壊されないようにするために、あらゆるボルトまたは連結部材はいずれも隠した設計を採用する。例えばヒンジ４２に使用するボルトの位置は座ぐり設計を採用し、カバーやシールでボルトを封鎖することで、いたずらなどで取り外したり、不適切な使用により破損が生じたりすることを防止でき、また事故の発生も回避することができる。
【００２７】
本考案のペット用小型高気圧酸素装置の好ましい構造は、複数の連結バー５１の両端に前部連結器５３と後部連結器５２がそれぞれ連結され、前部連結器５３は着脱自在にチャンバドア枠６０に設置される。
好ましい実施例ではステンレスを使用して複数の連結バー５１が製作され、前部連結器５３が螺子孔を備えた銅継手であり、ねじ山が崩壊した場合単独交換することができる。複数の連結バー５１の両端にねじ山が設けられ、複数の連結バー５１の前端部を前部連結器５３の螺子孔に螺合することができ、チャンバ封鎖ボルト４３を前部連結器５３の螺子孔に螺合することができる（図８参照）。
複数の連結バー５１の後端部はチャンバ背面板７０に穿通させた後、後部連結器５２に螺合でき、圧力チャンバ１０の加圧時に受ける力がより均一になるよう保障することで安全性が高められる。後部連結器５２の好ましい実施例はナットである（図９参照）。
銅とステンレスの２種類の特性が異なる材料で前部連結器５３と連結バー５１を製作することで、連結バー５１と前部連結器５３を相互に螺合した後、より緊密な結合性と機械強度が得られる。
【００２８】
本考案のペット用小型高気圧酸素装置の好ましい構造は、圧力チャンバ１０が、引っかき防止インナーライナー１１を含み、ペットが透明ハウジング５０の内側壁面を破壊しないようにすることができる。
引っかき防止インナーライナー１１は透明材質で成る薄壁構造体であり、好ましい実施例はアクリル材料を使用して製造される。引っかき防止インナーライナー１１は透明ハウジング５０の内部に固定され、引っかき防止インナーライナー１１と透明ハウジング５０の内側壁面の間に間隙が形成される（図５参照）。一例として、チャンバドア枠６０の内円周下縁に座体部６４が形成され、チャンバ背面板７０の内側面に凹陥槽７４が形成され、引っかき防止インナーライナー１１の後端部を凹陥槽７４に挿入して固定することができ（図９、図１０）、引っかき防止インナーライナー１１の前端部は固定部材１２（例えばボルト）により座体部６４に固定される（図６）。
【００２９】
引っかき防止インナーライナー１１の前端部外側辺縁に複数のパッド１３を設置することができ、複数のパッド１３が引っかき防止インナーライナー１１とチャンバドア枠６０の内周の間に介在され、固定部材１２を取り外した後、簡単に引っかき防止インナーライナー１１を取り出して交換したり、手入れしたりすることができる（図１１参照）。
引っかき防止インナーライナー１１の好ましい構造は、引っかき防止インナーライナー１１の横断面形状が封鎖されていない環状で（図５参照)、引っかき防止インナーライナー１１の断面形状と透明ハウジング５０の横断面形状が一致しており、引っかき防止インナーライナー１１の封鎖されていない環状の開口１４が座体部６４に向けられる。
【００３０】
図５、図６に示すように、本考案のペット用小型高気圧酸素装置の好ましい構造は、圧力チャンバ１０が、金属底面板８０と、少なくとも２つの支持棒８１を含む。
複数の支持棒８１の前端部が座体部６４に固定され、複数の支持棒８１の後端部がチャンバ背面板７０に固定され（例えばボルトを使用して固定される）、金属底面板８０が複数の支持棒８１上に設置され、金属底面板８０が引っかき防止インナーライナー１１の封鎖されていない環状の開口１４を遮蔽でき、金属底面板８０の外面と透明ハウジング５０の内側壁面の間に間隙が形成される。
金属底面板８０の好ましい構造は、金属底面板８０の底面に保冷剤８２（または氷袋でもよい）が配置され、ペット／動物に良好な放熱と温度低下の効果を提供することができる。
【００３１】
上述の説明は本考案の権利範囲を限定するものではなく、当業者であれば本考案の要旨を逸脱することなく幾許かの変更と修飾が可能であろう。このため、本考案の権利範囲は本明細書に添付された実用新案登録請求の範囲による。
【符号の説明】
【００３２】
１０  圧力チャンバ
１１  引っかき防止インナーライナー
１２  固定部材
１３  パッド
１４  開口
２０  酸素生成機
２１  筐体
２２  制御パネル
３０  チャンバ本体
３１  入口
４０  チャンバドア
４１  シール材
４２  ヒンジ
４３  チャンバ封鎖ボルト
４４  ハンドル
５０  透明ハウジング
５１  連結バー
５２  後部連結器
５３  前部連結器
６０  チャンバドア枠
６１  気体流路
６２  噴気孔
６３  気体導入口
６４  座体部
７０  チャンバ背面板
７１  排気口
７２  排気弁
７３  シール材
７４  凹陥槽
８０  金属底面板
８１  支持棒
８２  保冷剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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