【手続補正書】
【提出日】平成25年3月7日(2013.3.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
a) 被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つの光束にまとめて平行光線化する光学系と、
b) 前記光学系によって平行光線化された光が通過する光路であって該光を第１及び第２の光に分割する分割光路と、
c) 前記第１及び第２の光を同一直線上に干渉させるシリンドリカルレンズと、
d) 前記第１及び第２の光の間に連続的な光路長差分布を与える光路長差付与手段と、
e) 前記シリンドリカルレンズによって形成された干渉光が延びる方向に沿った該干渉光の強度分布を検出する検出部と、
f) 前記検出部で検出される前記干渉光の強度分布に基づき、前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を有し、
前記光路長差付与手段が、前記分割光路内の前記第１の光の光路上に配置された、該第１の光が入射する入射面及び該第１の光が出射する出射面を有し、前記入射面に対して前記出射面が傾斜するくさび形の光学部材を備え、前記第１の光は前記くさび形の光学部材を透過して前記シリンドリカルレンズに向かい、前記第２の光はそのまま前記シリンドリカルレンズに向かうように構成されており、
前記シリンドリカルレンズの軸を挟んで一方側に前記第１の光が入射し、他方側に前記第２の光が入射することを特徴とする分光計測装置。
【請求項２】
a) 被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つの光束にまとめて平行光線化する光学系と、
b) 前記光学系によって平行光線化された光が通過する光路であって該光を第１及び第２の光に分割する分割光路と、
c) 前記第１及び第２の光を同一直線上に干渉させるシリンドリカルレンズと、
d) 前記第１及び第２の光の間に連続的な光路長差分布を与える光路長差付与手段と、
e) 前記シリンドリカルレンズによって形成された干渉光を光学的にフーリエ変換して前記測定点の分光スペクトルと等価な形状の空間周波数分布を形成する分光光学系と、
f) 前記空間周波数分布を検出する検出部と
を有し、
前記光路長差付与手段が、前記分割光路内の前記第１の光の光路上に配置された、該第１の光が入射する入射面及び該第１の光が出射する出射面を有し、該入射面に対して該出射面が傾斜するくさび形の光学部材を備え、前記第１の光は前記くさび形の光学部材を透過して前記シリンドリカルレンズに向かい、前記第２の光はそのまま前記シリンドリカルレンズに向かうように構成されており、
前記シリンドリカルレンズの軸を挟んで一方側に前記第１の光が入射し、他方側に前記第２の光が入射することを特徴とする分光計測装置。
【請求項３】
a) 被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つの光束にまとめて平行光線化した後、並べて配置された第１反射面と第２反射面に導く対物レンズと、
b) 前記第１反射面によって反射された第１反射光及び前記第２反射面によって反射された第２反射光が入射することによりこれら第１及び第２反射光を同一直線上に干渉させるシリンドリカルレンズと、
c) 前記第１反射光と前記第２反射光の間に連続的な光路長差分布を与える光路長差付与手段と、
d) 前記シリンドリカルレンズによって形成された干渉光が延びる方向に沿った該干渉光の強度分布を検出する検出部と、
e) 前記検出部で検出される前記干渉光の強度分布に基づき、前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を有し、
前記シリンドリカルレンズの軸が前記第１反射面と前記第２反射面の並ぶ方向と直交するように構成されており、
前記光路長差付与手段が、前記第１反射光の出射角と前記第２反射光の出射角が異なるように配置された前記第１反射面及び前記第２反射面から構成されていることを特徴とする分光計測装置。
【請求項４】
a) 被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つの光束にまとめて平行光線化した後、並べて配置された第１反射面と第２反射面に導く対物レンズと、
b) 前記第１反射面によって反射された第１反射光及び前記第２反射面によって反射された第２反射光が入射することによりこれら第１及び第２反射光を同一直線上に干渉させるシリンドリカルレンズと、
c) 前記第１反射光と前記第２反射光の間に連続的な光路長差分布を与える光路長差付与手段と、
d) 前記干渉光を光学的にフーリエ変換して前記測定点の分光スペクトルと等価な形状の空間周波数分布を形成する分光光学系と、
e) 前記空間周波数分布を検出する検出部と
を有し、
前記シリンドリカルレンズの軸が前記第１反射面と前記第２反射面の並ぶ方向と直交するように構成されており、前記光路長差付与手段が、前記第１反射光の出射角と前記第２反射光の出射角が異なるように配置された前記第１反射面及び第２反射面から構成されていることを特徴とする分光計測装置。
【請求項５】
前記処理部は、前記被測定物のうち前記対物レンズの合焦位置に位置する線状の測定領域内の測定点から多様な方向に向かって発せられた光のスペクトルを求めることを特徴とする請求項３又は４に記載の分光計測装置。
【請求項６】
前記線状の測定領域を走査する走査手段を備えることを特徴とする請求項５に記載の分光計測装置。
【請求項７】
前記シリンドリカルレンズを透過した前記第１反射光の光軸に対する、前記シリンドリカルレンズを透過した前記第２反射光の光軸の位置を、相対的に変更する光軸位置変更手段を備えることを特徴とする請求項３〜６のいずれかに記載の分光計測装置。
【請求項８】
前記被測定物に対する前記対物レンズの合焦位置を相対的に変更する合焦位置変更手段を備えることを特徴とする請求項３又は４に記載の分光計測装置。
【請求項９】
a) 被測定物の各測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つの光束にまとめて平行光線化した後、並べて配置された基準反射面と傾斜反射面とに入射させることによって前記基準反射面の反射光である基準光線群と前記傾斜反射面の反射光である傾斜光線群に分割し、
b) 前記基準光線群と前記傾斜光線群の間に連続的な光路長差分布を付与しつつ前記基準光線群と前記傾斜光線群を、前記基準反射面と前記傾斜反射面の並ぶ方向と直交する軸を有するシリンドリカルレンズによって同一直線上に干渉させ、
c) 前記シリンドリカルレンズによって形成された干渉光が延びる向きに沿う該干渉光の強度分布に基づき前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する分光計測方法。
【請求項１０】
a) 被測定物の各測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つの光束にまとめて平行光線化した後、並べて配置された基準反射面と傾斜反射面とに入射させることによって前記基準反射面の反射光である基準光線群と前記傾斜反射面の反射光である傾斜光線群に分割し、
b) 前記基準光線群と前記傾斜光線群の間に連続的な光路長差分布を付与しつつ前記基準光線群と前記傾斜光線群を、前記基準反射面と前記傾斜反射面の並ぶ方向と直交する軸を有するシリンドリカルレンズによって同一直線上に干渉させ、
c) 前記シリンドリカルレンズによって形成された干渉光を分光光学系によって光学的にフーリエ変換することにより前記測定点の分光スペクトルと等価な形状の空間周波数分布を取得する分光計測方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記課題を解決するために成された本発明の第１態様に係る分光計測装置は、
a) 被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つの光束にまとめて平行光線化する光学系と、
b) 前記光学系によって平行光線化された光が通過する光路であって該光を第１及び第２の光に分割する分割光路と、
c) 前記第１及び第２の光を同一直線上に干渉させるシリンドリカルレンズと、
d) 前記第１及び第２の光の間に連続的な光路長差分布を与える光路長差付与手段と、
e) 前記シリンドリカルレンズによって形成された干渉光が延びる方向に沿った該干渉光の強度分布を検出する検出部と、
f) 前記検出部で検出される前記干渉光の強度分布に基づき、前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を有し、
前記光路長差付与手段が、前記分割光路内の前記第１の光の光路上に配置された、該第１の光が入射する入射面及び該第１の光が出射する出射面を有し、前記入射面に対して前記出射面が傾斜するくさび形の光学部材を備え、前記第１の光は前記くさび形の光学部材を透過して前記シリンドリカルレンズに向かい、前記第２の光はそのまま前記シリンドリカルレンズに向かうように構成されており、
前記シリンドリカルレンズの軸を挟んで一方側に前記第１の光が入射し、他方側に前記第２の光が入射することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、上記第１態様と同じ原理であるが、別の構成として、本発明の第２態様に係る分光計測装置は、
a) 被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つの光束にまとめて平行光線化した後、並べて配置された第１反射面と第２反射面に導く対物レンズと、
b) 前記第１反射面によって反射された第１反射光及び前記第２反射面によって反射された第２反射光が入射することによりこれら第１及び第２反射光を同一直線上に干渉させるシリンドリカルレンズと、
c) 前記第１反射光と前記第２反射光の間に連続的な光路長差分布を与える光路長差付与手段と、
d) 前記シリンドリカルレンズによって形成された干渉光が延びる方向に沿った該干渉光の強度分布を検出する検出部と、
e) 前記検出部で検出される前記干渉光の強度分布に基づき、前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を有し、
前記シリンドリカルレンズの軸が前記第１反射面と前記第２反射面の並ぶ方向と直交するように構成されており、
前記光路長差付与手段が、前記第１反射光の出射角と前記第２反射光の出射角が異なるように配置された前記第１反射面及び前記第２反射面から構成されていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
さらに、本発明の第３態様に係る分光計測装置は、
a) 被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つの光束にまとめて平行光線化する光学系と、
b) 前記光学系によって平行光線化された光が通過する光路であって該光を第１及び第２の光に分割する分割光路と、
c) 前記第１及び第２の光を同一直線上に干渉させるシリンドリカルレンズと、
d) 前記第１及び第２の光の間に連続的な光路長差分布を与える光路長差付与手段と、
e) 前記シリンドリカルレンズによって形成された干渉光を光学的にフーリエ変換して前記測定点の分光スペクトルと等価な形状の空間周波数分布を形成する分光光学系と、
f) 前記空間周波数分布を検出する検出部と
を有し、
前記光路長差付与手段が、前記分割光路内の前記第１の光の光路上に配置された、該第１の光が入射する入射面及び該第１の光が出射する出射面を有し、該入射面に対して該出射面が傾斜するくさび形の光学部材を備え、前記第１の光は前記くさび形の光学部材を透過して前記シリンドリカルレンズに向かい、前記第２の光はそのまま前記シリンドリカルレンズに向かうように構成されており、
前記シリンドリカルレンズの軸を挟んで一方側に前記第１の光が入射し、他方側に前記第２の光が入射することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、上記第３態様と同じ原理であるが、別の構成として本発明の第４態様に係る分光計測装置は、
a) 被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つの光束にまとめて平行光線化した後、並べて配置された第１反射面と第２反射面に導く対物レンズと、
b) 前記第１反射面によって反射された第１反射光及び前記第２反射面によって反射された第２反射光が入射することによりこれら第１及び第２反射光を同一直線上に干渉させるシリンドリカルレンズと、
c) 前記第１反射光と前記第２反射光の間に連続的な光路長差分布を与える光路長差付与手段と、
d) 前記干渉光を光学的にフーリエ変換して前記測定点の分光スペクトルと等価な形状の空間周波数分布を形成する分光光学系と、
e) 前記空間周波数分布を検出する検出部と
を有し、
前記シリンドリカルレンズの軸が前記第１反射面と前記第２反射面の並ぶ方向と直交するように構成されており、前記光路長差付与手段が、前記第１反射光の出射角と前記第２反射光の出射角が異なるように配置された前記第１反射面及び第２反射面から構成されていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
更に、本発明の第５態様に係る分光計測方法は、
a) 被測定物の各測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つの光束にまとめて平行光線化した後、並べて配置された基準反射面と傾斜反射面とに入射させることによって前記基準反射面の反射光である基準光線群と前記傾斜反射面の反射光である傾斜光線群に分割し、
b) 前記基準光線群と前記傾斜光線群の間に連続的な光路長差分布を付与しつつ前記基準光線群と前記傾斜光線群を、前記基準反射面と前記傾斜反射面の並ぶ方向と直交する軸を有するシリンドリカルレンズによって同一直線上に干渉させ、
a) 前記シリンドリカルレンズによって形成された干渉光が延びる向きに沿う該干渉光の強度分布に基づき前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明の第６態様に係る分光計測方法は、
a) 被測定物の各測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つの光束にまとめて平行光線化した後、並べて配置された基準反射面と傾斜反射面とに入射させることによって前記基準反射面の反射光である基準光線群と前記傾斜反射面の反射光である傾斜光線群に分割し、
b) 前記基準光線群と前記傾斜光線群の間に連続的な光路長差分布を付与しつつ前記基準光線群と前記傾斜光線群を、前記基準反射面と前記傾斜反射面の並ぶ方向と直交する軸を有するシリンドリカルレンズによって同一直線上に干渉させ、
c) 前記シリンドリカルレンズによって形成された干渉光を分光光学系によって光学的にフーリエ変換することにより前記測定点の分光スペクトルと等価な形状の空間周波数分布を取得することを特徴とする。