【手続補正書】
【提出日】平成25年9月3日(2013.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，｜ψ｜≠９０°×ｎ（但し、ｎ＝０，１，２，３））の圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、複数の電極指を備え、ストップバンド上端モードのレイリー波を励振するＩＤＴと、
平面視で、前記電極指の間に位置する前記圧電基板の部分にある電極指間溝と、を有し、
前記レイリー波の波長λと前記電極指間溝の深さＧとが、０．０１λ≦Ｇ≦０．０７λの関係を満足し、
前記ＩＤＴのライン占有率ηと前記電極指間溝の深さＧとが、
2012060421.tif 000001
及び、
2012060421.tif 000002
の関係を満足し、
前記電極指の膜厚Ｈと前記ＩＤＴのライン占有率ηとが、
（１）０．０１０λ≦Ｈ＜０．０１５λ、かつ０．５７５≦η≦０．７４１
（２）０．０１５λ≦Ｈ＜０．０２０λ、かつ０．６０５≦η≦０．７４４
（３）０．０２０λ≦Ｈ＜０．０２５λ、かつ０．６０５≦η≦０．７４５
（４）０．０２５λ≦Ｈ≦０．０３０λ、かつ０．５７５≦η≦０．７４５
のいずれかを満足することを特徴とする弾性表面波デバイス。
【請求項２】
前記圧電基板のオイラー角ψが、４２．７９°≦｜ψ｜≦４９．５７°の範囲内にあることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項３】
前記圧電基板のオイラー角ψが、｜ψ｜＝４５°であることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項４】
前記ＩＤＴのライン占有率ηが、該ライン占有率ηを縦軸、前記電極指間溝の深さＧ（％λ）を横軸とした直交座標において、
（１）前記電極指の膜厚Ｈが１．０％λ≦Ｈ＜１．５％λで、各点（１，０．７４）、（２，０．７５）、（３，０．７４）、（４，０．７３５）、（５，０．７４１）、（６，０．７３）、（７，０．７３）、（７，０．５７５）、（６，０．６１５）、（５，０．６４）、（４，０．６６）、（３，０．６７５）、（２，０．７０３）、（１，０．７２５）を結ぶ多角形で囲まれる範囲内にあり、
（２）前記電極指の膜厚Ｈが１．５％λ≦Ｈ＜２．０％λで、各点（１，０．７０２）、（２，０．７１８）、（３，０．７４４）、（４，０．７３１）、（５，０．７２５）、（６，０．７３）、（７，０．７４５）、（７，０．６０５）、（６，０．６０５）、（５，０．６３）、（４，０．６５５）、（３，０．６７５）、（２，０．７）、（１，０．６８７）を結ぶ多角形で囲まれる範囲内にあり、
（３）前記電極指の膜厚Ｈが２．０％λ≦Ｈ＜２．５％λで、各点（２，０．７１８）、（３，０．７４４）、（４，０．７３１）、（５，０．７２５）、（６，０．７３）、（７，０．７４５）、（７，０．６０５）、（６，０．６０５）、（５，０．６２）、（４，０．６４５）、（３，０．６６９）、（２，０．６９５）を結ぶ多角形で囲まれる範囲内にあり、
（４）前記電極指の膜厚Ｈが２．５％λ≦Ｈ≦３．０％λで、各点（１，０．７４５）、（２，０．７４）、（３，０．７４）、（４，０．７４５）、（５，０．７２５）、（６，０．７２５）、（７，０．７２５）、（７，０．５７５）、（６，０．５７５）、（５，０．６０５）、（４，０．６３５）、（３，０．６６）、（２，０．６９５）、（１，０．７１５）を結ぶ多角形で囲まれる範囲内にあることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項５】
前記ＩＤＴのライン占有率ηが、
2012060421.tif 000003
を満足することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項６】
前記電極指間溝の深さＧと前記電極指の膜厚Ｈとの和が、０．０４０７λ≦Ｇ＋Ｈを満足することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項７】
前記ＩＤＴを駆動するための発振回路を更に有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイス。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイスを備えることを特徴とする電子機器。
【請求項９】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の弾性表面波デバイスを備えることを特徴とするセンサー装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
第１の形態の弾性表面波デバイスは、オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，｜ψ｜≠９０°×ｎ（但し、ｎ＝０，１，２，３））の圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられ、複数の電極指を備え、ストップバンド上端モードのレイリー波を励振するＩＤＴと、
平面視で、前記電極指の間に位置する前記圧電基板の部分にある電極指間溝と、を有し、
前記レイリー波の波長λと前記電極指間溝の深さＧとが、０．０１λ≦Ｇ≦０．０７λの関係を満足し、
前記ＩＤＴのライン占有率ηと前記電極指間溝の深さＧとが、
2012060421.tif 000004
及び、
2012060421.tif 000005
の関係を満足し、
前記電極指の膜厚Ｈと前記ＩＤＴのライン占有率ηとが、
（１）０．０１０λ≦Ｈ＜０．０１５λ、かつ０．５７５≦η≦０．７４１
（２）０．０１５λ≦Ｈ＜０．０２０λ、かつ０．６０５≦η≦０．７４４
（３）０．０２０λ≦Ｈ＜０．０２５λ、かつ０．６０５≦η≦０．７４５
（４）０．０２５λ≦Ｈ≦０．０３０λ、かつ０．５７５≦η≦０．７４５
のいずれかを満足することを特徴とする弾性表面波デバイス。
第２の形態の弾性表面波デバイスは、前記圧電基板のオイラー角ψが、４２．７９°≦｜ψ｜≦４９．５７°の範囲内にあることを特徴とする第1の形態に記載の弾性表面波デバイス。
第３の形態の弾性表面波デバイスは、前記圧電基板のオイラー角ψが、｜ψ｜＝４５°であることを特徴とする第１の形態に記載の弾性表面波デバイス。
第４の形態の弾性表面波デバイスは、前記ＩＤＴのライン占有率ηが、該ライン占有率ηを縦軸、前記電極指間溝の深さＧ（％λ）を横軸とした直交座標において、
（１）前記電極指の膜厚Ｈが１．０％λ≦Ｈ＜１．５％λで、各点（１，０．７４）、（２，０．７５）、（３，０．７４）、（４，０．７３５）、（５，０．７４１）、（６，０．７３）、（７，０．７３）、（７，０．５７５）、（６，０．６１５）、（５，０．６４）、（４，０．６６）、（３，０．６７５）、（２，０．７０３）、（１，０．７２５）を結ぶ多角形で囲まれる範囲内にあり、
（２）前記電極指の膜厚Ｈが１．５％λ≦Ｈ＜２．０％λで、各点（１，０．７０２）、（２，０．７１８）、（３，０．７４４）、（４，０．７３１）、（５，０．７２５）、（６，０．７３）、（７，０．７４５）、（７，０．６０５）、（６，０．６０５）、（５，０．６３）、（４，０．６５５）、（３，０．６７５）、（２，０．７）、（１，０．６８７）を結ぶ多角形で囲まれる範囲内にあり、
（３）前記電極指の膜厚Ｈが２．０％λ≦Ｈ＜２．５％λで、各点（２，０．７１８）、（３，０．７４４）、（４，０．７３１）、（５，０．７２５）、（６，０．７３）、（７，０．７４５）、（７，０．６０５）、（６，０．６０５）、（５，０．６２）、（４，０．６４５）、（３，０．６６９）、（２，０．６９５）を結ぶ多角形で囲まれる範囲内にあり、
（４）前記電極指の膜厚Ｈが２．５％λ≦Ｈ≦３．０％λで、各点（１，０．７４５）、（２，０．７４）、（３，０．７４）、（４，０．７４５）、（５，０．７２５）、（６，０．７２５）、（７，０．７２５）、（７，０．５７５）、（６，０．５７５）、（５，０．６０５）、（４，０．６３５）、（３，０．６６）、（２，０．６９５）、（１，０．７１５）を結ぶ多角形で囲まれる範囲内にあることを特徴とする第１の形態乃至第３の形態のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイス。
第５の形態の弾性表面波デバイスは、前記ＩＤＴのライン占有率ηが、
2012060421.tif 000006
を満足することを特徴とする第１の形態乃至第４の形態のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイス。
第６の形態の弾性表面波デバイスは、前記電極指間溝の深さＧと前記電極指の膜厚Ｈとの和が、０．０４０７λ≦Ｇ＋Ｈを満足することを特徴とする第１の形態乃至第５の形態のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイス。
第７の形態の弾性表面波デバイスは、前記ＩＤＴを駆動するための発振回路を更に有することを特徴とする第１の形態乃至第６の形態のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイス。
第８の形態は、第１の形態乃至第７の形態のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイスを備えることを特徴とする電子機器。
第９の形態は、第１の形態乃至第７の形態のいずれか１形態に記載の弾性表面波デバイスを備えることを特徴とするセンサー装置。
本発明のＳＡＷデバイスは、オイラー角（−１．５°≦φ≦１．５°，１１７°≦θ≦１４２°，｜ψ｜≠９０°×ｎ（但し、ｎ＝０，１，２，３））の圧電基板と、
該圧電基板の主面に設けられた複数の電極指からなり、ストップバンド上端モードのレイリー波を励振するＩＤＴと、
該ＩＤＴの隣り合う電極指間の圧電基板の表面に凹設した電極指間溝とを有し、
レイリー波の波長λと電極指間溝の深さＧとが、０．０１λ≦Ｇ≦０．０７λの関係を満足し、
ＩＤＴのライン占有率ηと電極指間溝の深さＧとが、
【数５】
2012060421.tif 000007
及び、
【数６】
2012060421.tif 000008
の関係を満足し、
電極指の膜厚ＨとＩＤＴのライン占有率ηとが、
（１）０．０１０λ≦Ｈ≦０．０１５λ、かつ０．５７５≦η≦０．７４１
（２）０．０１５λ≦Ｈ≦０．０２０λ、かつ０．６０５≦η≦０．７４４
（３）０．０２０λ≦Ｈ≦０．０２５λ、かつ０．６０５≦η≦０．７４５
（４）０．０２５λ≦Ｈ≦０．０３０λ、かつ０．５７５≦η≦０．７４５
のいずれかを満足することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
このシミュレーション結果を図１１（Ａ）〜（Ｅ）に示す。図１１（Ａ）は、ライン占有率ηを縦軸、電極指間溝の深さＧ（％λ）を横軸とした直交座標において、電極指膜厚Ｈ＝１．０％λの場合に周波数温度特性の二次温度係数β＝０．０１となる、電極指間溝深さＧ（％λ）及びＩＤＴライン占有率ηの各点をプロットしたものである。図１１（Ｂ）〜（Ｅ）は、図１１（Ａ）と同じ直交座標において、電極指膜厚Ｈ＝１．５％λ、２．０％λ、２．５％λ、３．０％λの場合に、それぞれ周波数温度特性の二次温度係数β＝０．０１となる、電極指間溝深さＧ（％λ）及びＩＤＴライン占有率ηの各点をプロットしたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
本実施例では、表２〜表５から、電極指の膜厚ＨとＩＤＴのライン占有率ηとを、
（１）０．０１０λ≦Ｈ＜０．０１５λ、かつ０．５７５≦η≦０．７４１
（２）０．０１５λ≦Ｈ＜０．０２０λ、かつ０．６０５≦η≦０．７４４
（３）０．０２０λ≦Ｈ＜０．０２５λ、かつ０．６０５≦η≦０．７４５
（４）０．０２５λ≦Ｈ≦０．０３０λ、かつ０．５７５≦η≦０．７４５
のいずれかを満足するように設定する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
図１２（Ａ）〜（Ｄ）は、図１１と同様に、ライン占有率ηを縦軸、前記電極指間溝の深さＧ（％λ）を横軸とした直交座標において、表２〜表５の各点をそれぞれプロットしたものである。即ち、図１２（Ａ）は、電極指膜厚Ｈが１．０％λ≦Ｈ＜１．５％λの範囲において周波数温度特性の二次温度係数β＝０．０１となる、電極指間溝深さＧ（％λ）及びＩＤＴライン占有率ηの各点をプロットしたものである。これらの各点（１，０．７４）、（２，０．７５）、（３，０．７４）、（４，０．７３５）、（５，０．７４１）、（６，０．７３）、（７，０．７３）、（７，０．５７５）、（６，０．６１５）、（５，０．６４）、（４，０．６６）、（３，０．６７５）、（２，０．７０３）、（１，０．７２５）を結ぶ多角形で囲まれる範囲で、変曲点感度が良化される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
図１２（Ｂ）は、電極指膜厚Ｈが１．５％λ≦Ｈ＜２．０％λの範囲において周波数温度特性の二次温度係数β＝０．０１となる、電極指間溝深さＧ（％λ）及びＩＤＴライン占有率ηの各点をプロットしたものである。これらの各点（１，０．７０２）、（２，０．７１８）、（３，０．７４４）、（４，０．７３１）、（５，０．７２５）、（６，０．７３）、（７，０．７４５）、（７，０．６０５）、（６，０．６０５）、（５，０．６３）、（４，０．６５５）、（３，０．６７５）、（２，０．７）、（１，０．６８７）を結ぶ多角形で囲まれる範囲で、変曲点感度が良化される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
図１２（Ｃ）は、電極指膜厚Ｈが２．０％λ≦Ｈ＜２．５％λの範囲において周波数温度特性の二次温度係数β＝０．０１となる、電極指間溝深さＧ（％λ）及びＩＤＴライン占有率ηの各点をプロットしたものである。これらの各点（２，０．７１８）、（３，０．７４４）、（４，０．７３１）、（５，０．７２５）、（６，０．７３）、（７，０．７４５）、（７，０．６０５）、（６，０．６０５）、（５，０．６２）、（４，０．６４５）、（３，０．６６９）、（２，０．６９５）を結ぶ多角形で囲まれる範囲で、変曲点感度が良化される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
図１２（Ｄ）は、電極指膜厚Ｈが２．５％λ≦Ｈ≦３．０％λの範囲において周波数温度特性の二次温度係数β＝０．０１となる、電極指間溝深さＧ（％λ）及びＩＤＴライン占有率ηの各点をプロットしたものである。これらの各点（１，０．７４５）、（２，０．７４）、（３，０．７４）、（４，０．７４５）、（５，０．７２５）、（６，０．７２５）、（７，０．７２５）、（７，０．５７５）、（６，０．５７５）、（５，０．６０５）、（４，０．６３５）、（３，０．６６）、（２，０．６９５）、（１，０．７１５）を結ぶ多角形で囲まれる範囲で、変曲点感度が良化される。