(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
枚葉移載装置と、搬送車本体の底部に配置された走行駆動部と、塵挨を吸引除去する吸引手段と、を備え、
前記枚葉移載装置は、移載手段を設けた昇降ユニットを備え、前記昇降ユニットを昇降駆動する昇降駆動部を、前記搬送車本体に取り付けたベース部に設けるとともに、前記ベース部の基台フレームとカバーとで前記昇降ユニットを囲む筒状体を構成し、前記筒状体の上方を、前記昇降ユニットが通過可能な開口部を形成した天板で覆っており、
前記吸引手段は、前記筒状部に形成された吸入口に連通されて、前記昇降ユニットと前記開口部との隙間周辺の空気を吸引して昇降駆動部及びその周囲から発生する塵挨を吸引除去するとともに、前記走行駆動部より上方に配置され、かつ、下向きに形成される空気の排出口から、前記吸引した空気を前記搬送車本体の下方へ向けて排出する、ことを特徴とする無人搬送車。
【請求項２】
ウエハの姿勢を整えるアライナーを搭載すると共に、前記アライナーに設けられた駆動部及びその周辺から発生する塵挨を吸引除去する第二吸引手段を設けた、ことを特徴とする請求項１に記載の無人搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、枚葉移載装置を搭載した無人搬送車に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ウエハを収納するための棚を多数設けたカセットを移載するための無人搬送車および、無人搬送車の搬送経路に沿って多数設けられた検査装置等の処理装置に、無人搬送車を用いて、カセット毎ウエハを移載させる無人搬送車システムが知られている。
このシステムでは、各処理装置に、載置されたカセットからウエハを１枚ずつ取り出し、１枚毎に処理部に移載する枚葉移載装置がそれぞれ設けてあった。このため、システムが大規模になるほど処理装置が多く設けられるので、この枚葉移載装置がその分多く必要になるという問題があった。その上、多品種少量生産を行う場合、品種により処理する枚数が異なるが、無人搬送車はカセット単位でウエハを移載するため、各処理装置には、処理するウエハが１から２枚であっても、例えば２５枚を収納可能なカセットが供給されることになる。このため、システムで要するカセットも非常に多く必要になり、そのカセットを収納するストッカー（カセット倉庫）が大きくならざるを得ないという問題があった。
そこで、ウエハを収納するための棚を多数設けたバッファカセットと、枚葉移載装置とを無人搬送車に搭載し、例えば、ストッカーのステーションに載置されたカセットからウエハを枚葉移載装置でバッファカセットに順次収納し、目的の処理装置まで搬送して、処理装置にウエハを直接移載することが検討されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記枚葉移載装置は、ウエハをすくい上げて移載するように構成されているため、枚葉移載装置のロボットハンド部は、搬送車本体に対して昇降可能に設けられる。このため、ロボットハンド部は、無人搬送車本体の天板に対して昇降するようになっている。
天板にはロボットハンド部が上下に通過可能となる開口部を設け、ロボットハンド部を天板に対して昇降させるために、天板と枚葉移載装置との間には、隙間が生じている。この隙間から、ロボットハンド部の下降に伴い、空気が隙間から上方に吹き出される。このとき、無人搬送車本体内部に配置されているロボットハンドの昇降駆動部等で発生した塵挨が一緒に巻き上げられることとなり、巻き上げられた塵挨が、ロボットハンドに支持されているウエハに付着するという問題が生じた。
この塵挨の付着を防ぐために、天板とロボットハンド部との間に、伸縮自在な、例えば、蛇腹状の保護カバーを設けて、ロボットハンド部の昇降駆動に依らず、隙間を覆うことも考えられるが、この構成では、保護カバーが塵挨の発生源となってしまう。
そこで本発明は、枚葉移載装置の昇降駆動部等の駆動部で発生する塵挨が、無人搬送車上のウエハに付着するのを抑えることができる無人搬送車を提供する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するための手段を説明する。
即ち、請求項１においては、枚葉移載装置と、搬送車本体の底部に配置された走行駆動部と、塵挨を吸引除去する吸引手段と、を備え、
前記枚葉移載装置は、移載手段を設けた昇降ユニットを備え、前記昇降ユニットを昇降駆動する昇降駆動部を、前記搬送車本体に取り付けたベース部に設けるとともに、前記ベース部の基台フレームとカバーとで前記昇降ユニットを囲む筒状体を構成し、前記筒状体の上方を、前記昇降ユニットが通過可能な開口部を形成した天板で覆っており、
前記吸引手段は、前記筒状部に形成された吸入口に連通されて、前記昇降ユニットと前記開口部との隙間周辺の空気を吸引して昇降駆動部及びその周囲から発生する塵挨を吸引除去するとともに、前記走行駆動部より上方に配置され、かつ、下向きに形成される空気の排出口から、前記吸引した空気を前記搬送車本体の下方へ向けて排出するものである。
【０００５】
請求項２においては、ウエハの姿勢を整えるアライナーを搭載すると共に、前記アライナーに設けられた駆動部及びその周辺から発生する塵挨を吸引除去する第二の吸引手段を設けたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施例である無人搬送車１について、図１から図３を用いて説明する。図１は搬送車１を示す正面図であり、図２は搬送車１を示す側面図であり、図３は搬送車１を示す平面図である。
走行部２には、無人搬送車１（以下搬送車１）の進行方向の左右に、搬送車１を支持すると共に、搬送車１を走行可能とする走行車輪９・９・・・が備えられている。搬送車１の左右に一対の走行車輪９・９が、前後で合計二対設けられて、搬送車１には全体で四輪の走行車輪９が設けられている。
走行車輪９・９・・は全輪駆動であり、同一の駆動モータ（不図示）の駆動力を分岐して、各々が駆動される。この駆動モータの駆動により、走行車輪９・９・・・が回転して、搬送車１が走行可能である。
【００１０】
本実施例においては、搬送車１は、搬送車１の走行経路に沿って敷設された走行レール１２・１３上を走行する有軌道台車である。走行レール１２・１３は床面１１上に設けられ、走行レール１２・１３には、走行車輪９・９が当接する走行面１２ａ・１３ａ（図７に図示）がそれぞれ形成されている。
また、走行経路に沿って給電線１８・１８が敷設されると共に、搬送車１にはコア２５（図７に図示）を備えた受電ユニット１９が設けられている。そして、搬送車１は、給電線１８・１８より電磁誘導を利用して、非接触で電力を取り出し可能である。
本実施例においては、搬送車１は、走行経路に沿って設けた給電線１８・１８より電力を供給されて、走行レール１２・１３からなる軌道上を走行するようにしている。搬送車に電力を供給させる手段としては、搬送車１に搭載したバッテリとしてもよい。搬送車にバッテリを搭載する場合は、給電線と平行なガイドレールを設ける必要がなく、搬送車を、走行レールからなる軌道上を走行させなくてもよい。例えば、搬送車を走行経路に案内する手段としては、誘導線またはレーザー誘導装置による誘導であってもよい。
【００１１】
搬送車１の走行経路に対する左右位置決め手段として、図１に示すように、走行レール１２上に、上方へ延出するガイドレール１２ｂ・１２ｂ（図７に図示）が形成されると共に、走行部２にはガイド部８が設けられている。ガイド部８は、ガイドレール１２ｂ・１２ｂに外側より当接するガイド輪１７・１７と、ガイド輪１７・１７を支持する支持部材１６とを備え、支持部材１６は走行部２に固設される。
【００１２】
搬送車本体３には、図１から図３に示すように、本体の中央部にウエハ１０（図３に図示）を移載するための枚葉移載装置５が搭載されている。また、枚葉移載装置５の前後両側に、アライナー４およびバッファカセット６が配置されている。
搬送車１は前後両側に走行可能であるが、特にアライナー４側を、搬送車１の前側とする。
【００１３】
枚葉移載装置５の構成について、図２、図３、図４、図５を用いて説明する。図４は枚葉移載装置５の構成を示す正面図であり、図５はベース部２１および昇降駆動部における塵挨の吸入機構を示す平面図である。
【００１４】
枚葉移載装置５には、図２、図３、図４、図５に示すように、搬送車本体３（前記搬送車本体３）に設けられるベース部２１と、ベース部２１に沿って昇降する昇降ユニット１５とが、備えられている。昇降ユニット１５には、昇降ベースフレーム４５と、昇降ベースフレーム４５に対して旋回するターンテーブル４６とが備えられる。ターンテーブル４６には、二組のロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓが備えられている。
ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓは、物品（本実施例ではウエハ１０）の移載手段である。そして、ベース部２１に対する昇降ユニット１５の昇降駆動により、移載手段であるロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓが昇降する。また、昇降ベースフレーム４５に対するターンテーブル４６の旋回駆動により、移載手段であるロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓが旋回する。
【００１５】
ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓはそれぞれ、ウエハ１０を支持可能な移載ハンド３１と、移載ハンド３１とターンテーブル４６とを連結する第一アーム３２・第二アーム３３とを備えている水平多関節式のスカラ式ロボットハンドである。ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓは、移載ハンド３１をターンテーブル４６に対して、直線的に進退可能である。
【００１６】
移載ハンド３１は、真空吸引によりウエハ１０を支持可能に構成されている。移載ハンド３１の上面には吸入口が形成されると共に、エアポンプ等の図示せぬ吸引手段が枚葉移載装置５に備えられている。
枚葉移載装置５は、ウエハ１０を下方より移載ハンド３１ですくい上げて吸着して、ロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓの伸縮、昇降ユニット１５の昇降およびターンテーブル４６の回転により、ウエハ１０の移載が可能である。ウエハ１０を載置する際は、移載ハンド３１によるウエハ１０の吸着を解除する。
【００１７】
枚葉移載装置５に備える昇降ユニット１５の昇降駆動部について、図４、図５を用いて説明する。
ベース部２１は、図４、図５に示す基台フレーム４７を備え、該基台フレーム４７は搬送車本体３に固定される。基台フレーム４７は図５に示すように、平面視で略コ字形状に形成され、該基台フレーム４７によって囲われた内部に、昇降ユニット１５が配置される。
基台フレーム４７の内側には螺子軸４８が上下方向に配置され、回動自在に支持されている。この螺子軸４８にはナット４９が係合され、該ナット４９は、昇降ユニット１５の昇降ベースフレーム４５に固設されている。
基台フレーム４７下部の外側には、螺子軸４８の駆動手段としての昇降駆動モータ５０が設けられている。昇降駆動モータ５０のモータ軸に固設したプーリー５０ａと、螺子軸４８の下端に設けたプーリー４８ａとには、ベルト５１が巻回されており、昇降駆動モータ５０により螺子軸４８が駆動する。
また、基台フレーム４７には、螺子軸４８と平行にガイドレール５２・５２が設けられると共に、昇降ベースフレーム４５にはガイドレールと摺接する摺接部材５３・５３が設けられる。
以上構成により、昇降ユニット１５の昇降駆動部が構成される。
【００１８】
昇降ユニット１５の昇降駆動部は、塵挨の発生源である。特に、螺子軸４８とナット４９との噛合部分、ガイドレール５２と摺接部材５３との摺接部分から、昇降ユニット１５を昇降駆動させる際に、塵挨が発生する。その他、プーリー４８ａ・５０ａと、両プーリー４８ａ・５０ａを巻回するベルト５１との接触部なども、塵挨の発生源である。
【００１９】
搬送車本体３の上面の覆いを形成する天板１４には、図３、図４に示すように、平面視で車体前後左右の中央部に、円形状の開口部１４ａが形成されている。昇降ユニット１５に設ける昇降ベースフレーム４５およびターンテーブル４６は、平面視で円形状に形成されると共に、これらの外径が前記開口部１４ａの内径よりも小さくなるように形成されている。したがって、昇降ベースフレーム４５およびターンテーブル４６は、開口部１４ａを通過して昇降可能である。
【００２０】
天板１４の開口部１４ａの内径と、ターンテーブル４６との外径との間には、図３、図４に示すように、隙間１００が形成される。このため、隙間１００を介して、搬送車本体３内の空気が、天板１４の上方へ漏れ出る可能性がある。
特に、昇降ユニット１５の下降時においては、昇降ユニット１５により搬送車本体３内の空気が、開口部１４ａとターンテーブル４６との隙間１００を介して上方へも漏れていこうとする。このとき、前記昇降駆動部の螺子軸４８とナット４９との間で発生した塵挨が、圧縮された空気の漏れる流れによって巻き上げられ、開口部１４ａの隙間１００から天板１４の上方へ漏れる。
開口部１４ａの上方には、移載手段であるロボットハンド３０Ｍ・３０Ｓが位置しており、移載ハンド３１上にウエハ１０があると、塵挨がウエハ１０に付着するなどの不具合が発生する。そこで、本発明では、枚葉移載装置５の昇降駆動部で発生する塵挨を吸引する吸引手段（ファン５４）を設け、この不具合の発生を防止している。
【００２１】
次に、前記吸引手段について、図２、図３、図５を用いて説明する。
まず、吸引手段であるファン５４・５４による吸引効果を向上させるための筒状体２８について説明する。
図３、図５に示すように、昇降ユニット１５の側方には、昇降ユニット１５を覆うカバー２７が設けられている。カバー２７は、搬送車本体３内で前後に延設される支持フレーム６３に立設した支柱６４に、取り付けられている。支持フレームは搬送車本体３に固設されている。
カバー２７は平面視で略コ字形状である。また、昇降ユニット１５の側方には、前記ベース部２１の基台フレーム４７も位置している。
そして、カバー２７と基台フレーム４７とを合わせて、昇降ユニット１５を囲う筒状体２８が構成される。筒状体２８は平面視で六角形状である。カバー２７および基台フレーム４７はそれぞれ、筒状体２８により形成される六角形をほぼ等分に二分割した形状であり、前述したように、それぞれが略コ字形状である。
【００２２】
筒状体２８を構成するカバー２７の上部には、開口部２９・２９が形成されている。開口部２９・２９にはそれぞれ、ダクト５５・５５を介して、吸引手段であるファン５４・５４が連通接続されている。ファン５４・５４は、カバー２７に固設されている。
そして、吸引手段であるファン５４・５４により、前記隙間１００および枚葉移載装置５の昇降駆動部周囲の空気を吸引するようにしている。
【００２３】
前記ファン５４・５４は、空気を排出するための排出口が下向きとなるように形成されている。ファン５４自体の排出口の向きに依らず、ファン５４に、下向きに開口する排出口を有するダクトを連結して、ファン５４からの排気を下方に排出するようにしてもよい。
また、前記搬送車本体３の下方は、開放状態となっている。このため、ファン５４・５４で吸引した塵挨は、下向きの排気空気に乗って前記搬送車本体３の下方から床面へ排出されるようになっている。
【００２４】
このため、塵挨を含んだ空気が下方に排出されて、無人搬送車１の天板１４の上方にあるウエハ１０の位置まで塵挨が巻きあがるのを効果的に防ぐことができる。
【００２５】
本実施例では、カバー２７を設けることで昇降ユニット１５を覆う筒状体２８を形成し、昇降ユニット１５と筒状体２８との間に前記隙間１００と連通する空間を区画することができる。そして、この区画された空間の空気をファン５４・５４で吸引することにより、より効率良く隙間１００周囲の空気を吸引することができる。
また、昇降ユニット１５の側方にファン５４・５４を設けたことにより、昇降ユニット１５の昇降駆動部で発生する塵挨が直ちに吸引手段であるファン５４・５４に吸入されて、除去される。また、発生時に吸入されず一旦搬送車１内の底面に落下した塵挨に関しても、昇降ユニット１５の昇降により巻き上げられた際に、吸引手段により吸引される。さらに、搬送車本体３の天板１４より上方に、塵挨を含んだ空気が漏れ出るのを、防止することができる。
【００２６】
また、昇降ユニット１５の外周を筒状体２８で囲うと共に、筒状体２８で囲われた内部の空気を、吸引手段であるファン５４・５４により吸引するようにしている。
【００２７】
このため、吸引手段であるファン５４・５４を駆動させると、筒状体２８の上方および下方から、筒状体２８に設けた開口部２９・２９に向かう空気流が発生し、筒状体２８で囲われる内部の空気が確実に吸引される。特に、昇降ユニット１５の昇降により、隙間１００から上方へ漏れ出て行こうとする空気流が発生しても、開口部２９・２９へ向かう吸入の空気流によって打ち消される。したがって、塵挨を含んだ空気はファン５４・５４に吸引され、搬送車本体３の上方へ漏れ出ることが防止される。
なお、吸引した塵挨は、排出される空気流に乗り、搬送車本体３の下方から外に排出される。本実施例の無人搬送車は、半導体ウエハの製造ラインや検査ラインが設けられているクリーンルームで用いられる。クリーンルームでは、天井から通気孔が形成されたグレーチングなどの床に向かって、クリーンエアーが流されているために、このクリーンエアーの流れに乗って、前記通気孔から床下に、塵挨を含んだ空気が排出されることになる。
【００２８】
また、ファン５４・５４は、前記天板１４より下方で、かつ、走行部２の下部に位置する走行駆動部より上方に配置される。該走行駆動部には、駆動モータや走行車輪９・９・９・９が設けられている。
【００２９】
このため、走行駆動部で発生した塵挨も、ファン５４・５４の排出口から排出される下向きの空気の流れに乗って、下方に排出されるようになっている。この結果、走行駆動部の塵挨を吸引する特別な吸引手段を設けることなく、該走行駆動部で発生した塵挨が天板１４の上方のウエハ１０のある位置に巻きあがるのを効果的に抑えることができる。
【００３０】
本実施例では、筒状体２８に設けた開口部の形成位置は、カバー２７の上部としている。吸引手段により吸引する際の吸入口（筒状体２８の開口部）の位置は、カバー２７に限定されるものではなく、ベース部２１の基台フレーム４７に開口部を形成してもよい。ベース部２１内に、吸引手段の吸入口（筒状体２８の開口部）を形成する場合は、カバー２７に形成する場合と比べて、より塵挨の発生源（螺子軸４８等）に近く、塵挨の除去により効果がある。
【００３１】
次に、アライナー４について、図２、図３、図６を用いて説明する。図６はアライナー４を示す側面図である。
アライナー４は、ウエハ１０が検査装置などの処理装置に対して、指定された姿勢で枚葉移載装置５により移載できるように、ウエハ１０の姿勢を整えるための装置で、枚葉移載装置５の移載ハンド３１に対するウエハ１０の支持位置及び方向を調整する。
【００３２】
枚葉移載装置５の前方にはアライナー４が設けられており、アライナー４はケーシング４０により覆われている。ケーシング４０の内部で、搬送車本体３の天板１４の上方には、天板１４上に立設された支柱（不図示）に支持された支持板５５が設けられており、該支持板５５の上方に、アライナー４に備える各種装置が設けられる。一方、支持板５５の下方には、アライナー４の駆動部が設けられる。
【００３３】
支持板５５上には、ウエハ１０の載置台４１が備えられている。載置台４１は、ウエハ１０を吸着保持可能であると共に、旋回可能に構成されている。
また、ケーシング４０の後面には、開口部４０ａが形成されており、枚葉移載装置５に備える移載ハンド３１を前方へ移動させて、載置台４１上にウエハ１０を載置可能としている。
【００３４】
支持板５５の下方には、載置台４１の旋回駆動部が配置されている。図３、図６に示すように、支持板５５の下方で、載置台４１の側方（図３では上方）には、載置台４１の旋回手段としてモータ５７が配置されている。モータ５７のモータ軸に設けたプーリー５７ａ（図３に図示）と、載置台４１に固設した軸５６の下端に設けたプーリー５８とに、ベルト５９（図３に図示）が巻回されている。以上のようにして載置台４１の旋回駆動部が構成され、モータ５７が駆動すると載置台４１が旋回される。
【００３５】
アライナー４には、図２、図３、図６に示すように、ウエハ１０の位置検出、つまり、載置台４１と同心にウエハ１０が載置されたかどうかを検出する手段として、外周位置検出センサ４２・４３が設けられている。外周位置検出センサ４２・４３は本実施例では、発光部および受光部を備えた光センサである。なお、外周位置検出センサ４２は８インチのウエハ用であり、外周位置検出センサ４３は１２インチ用であって、平面視で載置台４１の中心に対し、外周位置検出センサ４２の外側に外周位置検出センサ４３が配置される。
ウエハ１０は素材がシリコン単結晶であると共に、略円盤状に形成されている。このウエハ１０には方位性があり、方位を判断するための切欠であるオリエンテーションフラット（オリフラ）またはノッチが外周縁部に一箇所形成されている。さらに、ウエハ１０に付された番号やその製造履歴を示すＩＤマークが上面または下面に刻印されている。このＩＤマークは、切欠位置を基準に刻印される。そして、ウエハ１０を載置台４１と共に回転させて、ウエハ１０の外周位置を外周位置検出センサ４２・４３により検出することで、ウエハ１０の載置台４１に対するズレ量を算出すると共に、オリフラまたはノッチの位置を認識する。
ウエハ１０が載置台４１と同心にある時は、外周位置検出センサ４２・４３によるウエハ１０の外周位置検出の検出結果は、ウエハ１０の回転角度によらず一定量となる。また、ウエハ１０と載置台４１との中心がズレている時は、外周位置検出センサ４２・４３によるウエハ１０の外周位置検出の検出結果は、ウエハ１０の回転角度に対して、正弦（余弦）曲線状となる。
また、前記切欠位置で、外周位置が不連続、もしくは他の部分より低い（短い）値となって検出される。
【００３６】
また、アライナー４には、図３に示すように、ウエハ１０を特定する手段として、ＩＤセンサ４４が載置台４１の前方（枚葉移載装置５に対する奥側）に設けられている。
前記外周位置検出センサ４２（４３）による検出は、ＩＤセンサ４４によりＩＤマークを検出し、そのデータを読み込ませるために行われる。ＩＤセンサ４４にＩＤマークを読み込ませるために、枚葉移載装置５により載置台４１からウエハ１０をＩＤセンサ４４の真上まで移動させてやるようにする。その際に、ＩＤマークは非常に小さいため、ＩＤセンサ４４の真上にＩＤマークが位置するようにすることが好ましい。
そこで、前記外周位置検出センサ４２（４３）による検出結果を基に、枚葉移載装置５でＩＤマークをＩＤセンサ４４の真上に移載できるように、載置台４１を旋回させ、停止させると共に、枚葉移載装置５の前記移載ハンド３１で載置台４１上のウエハ１０をすくい上げて、移載ハンド３１を伸張させてウエハ１０をＩＤセンサ４４の真上まで移動させるようにする。そして、ＩＤセンサ４４を作動させて、ＩＤマークをＩＤセンサ４４で検出・読み込みし、番号や製造履歴などの情報を搬送車１の制御装置に記憶させ、ウエハ１０を製造装置や検査装置などの処理装置に移載する際に、ウエハ１０と共に情報を渡すようにする。
なお、ＩＤセンサ４４は、前記外周位置検出センサ４２（４３）のような透過型のセンサではないため、必ずしも上下一対設ける必要は無く、ウエハ１０のＩＤマークが付されている面を検出できるように設ければ良い。ＩＤマークが付される面が片面であれば、それを検出可能な位置に一つ設ければ良く、両面に付されるようであれば、ＩＤセンサ４４を上下一対設ければ良い。
【００３７】
以上において、アライナー４に設けた駆動部としては、載置台４１の旋回駆動部が相当する。該旋回駆動部は、塵挨の発生源である。特に、プーリー５７ａ・５８と、両プーリー５７ａ・５８を巻回するベルト５９との接触部などは、塵挨の発生源である。
載置台４１上に吸着保持されるウエハ１０に、アライナー４の駆動部で発生した塵挨が付着する不具合を防止するため、搬送車１には、塵挨の第二の吸引手段が設けられている。
ここで、枚葉移載装置５の昇降駆動部から発生する塵挨の吸引手段（ファン５４・５４）を第一の吸引手段とし、アライナー４の駆動部で発生する塵挨の吸引手段を第二の吸引手段としている。
【００３８】
図３、図６に示すように、ケーシング４０と支持板５５との間には、隙間が形成されている。該隙間より、載置台４１の旋回駆動部で発生した塵挨が上方へ漏れ出るのを防ぐため、スカート部材６０が設けられている。スカート部材６０は、本実施例では弾性を有する軟質の樹脂製としており、支持板５５の下面に固設される。スカート部材の端部は下方に垂れ下がりながら、自らの有する弾性により側方へ突っ張った状態となって、ケーシング４０に当接する。そして、支持板５５とケーシング４０との隙間を密閉して、該隙間からの塵挨を含んだ空気の漏れ出しを防止する。
【００３９】
支持板５５には、載置台４１を支持すると共に回転駆動力を伝達する前記軸５６を挿通可能とする挿通孔（不図示）が形成されている。軸５６の駆動回転の障害とならぬように、支持板５５に形成された挿通孔の内径は、軸５６の外径よりも幅広に形成されている。このため、挿通孔と軸５６との間の隙間より、塵挨を含んだ空気が、支持板５５の上方に漏れ出す可能性がある。
【００４０】
第二吸引手段（ファン６２）は、図２、図３、図６に示すように、搬送車本体３の天板１４の下方に設けられている。天板１４には、アライナー４の下方で開口部１４ｂが設けられている。開口部１４ｂには、ダクト６１を介して、吸引手段であるファン６２が連通接続されている。
そして、吸引手段であるファン６２に、ケーシング４０、支持板５５、スカート部材６０、天板１４によって囲まれる空間の空気が、吸入される。該空間には、アライナー４の駆動部である載置台４１の旋回駆動部が配置されており、該旋回駆動部周囲の空気が、ファン６２に吸入されて、塵挨が除去される。
また、旋回駆動部周囲の空間は、挿通孔と軸５６との隙間を除いて、略密閉状態であるが、ファン６２による空気吸入による空気圧低下に応じて、軟質材であるスカート部材６２がたわんで、外部の空気が流入する。具体的には、ケーシング４０の開口部４０ａからの空気が流入する。そして、ファン６２の駆動によらず、空間内部の空気圧が一定に保たれる。
【００４１】
このため、第二吸引手段であるファン６２を駆動させると、アライナー４の駆動部（載置台４１の旋回駆動部）周辺の空気が、ファン６２に吸入される。同時に、上方の載置台４１側から、下方のファン６２側へ向けて空気流が発生する。そして、駆動部で発生した塵挨が除去される。
ここで、スカート部材６２は軟質材で形成されているので、ファン６２による空気吸入による空気圧低下に応じて、自らがたわんで、駆動部周辺の略密閉空間に外部（支持板５５上方）の空気を流入させる。支持板５５に設けた挿通孔と、載置台４１の軸５６との隙間にも、下方向きの空気流が流れるので、該隙間を通じて塵挨を含んだ空気が載置台４１側へ漏れ出ることはない。
したがって、アライナー４により、ウエハ１０の姿勢合わせを行う時に、アライナー４でウエハ１０に塵挨が付着することがない。
【００４２】
バッファカセット６は、搬送車１側にウエハ１０を複数枚収納しておくための装置である。バッファカセット６は、図２に示すように、搬送車本体３の上面に設けた支持台３５により支持される。
バッファカセット６の前側（枚葉移載装置５を向く側）は開口しており、枚葉移載装置５の移載ハンド３１を内部に挿入して、バッファカセット６にウエハ１０を収納可能である。バッファカセット６の内部には、ウエハ１０の側端を水平に支持可能とするリブ３６・３６が、開口方向に対する左右に設けられ、多数段の棚が構成されている。そして、バッファカセット６内部に、多数のウエハ１０を水平に収納可能である。
【００４３】
このため、搬送車１によるウエハ１０の搬送および処理装置等への移載作業において、多数のウエハ１０を、搬送車１に収納可能である。
【００４４】
搬送車１への非接触給電の構成について、図７を用いて説明する。図７は非接触給電の構成を示す搬送車１要部の正面図である。
走行レール１２に沿って、給電線１８・１８が敷設されている。一方、搬送車１には、受電ユニット１９が設けられており、受電ユニット１９には、給電線１８より発生する磁場を増幅するコア２５が設けられている。コア２５には、コア２５に生じた磁場より電力を取り出すピックアップコイル２６が巻回されており、該ピックアップコイル２６は搬送車１内の電源部へ接続されている。この構成により、搬送車１は、給電線１８から非接触で電力を取り出すことが可能である。
給電線１８・１８は、往路と復路とをなす一対が、走行レール１２に沿って配置されている。つまり、両給電線１８・１８において、電流の流れる方向が逆であり、給電線１８の外側に発生する磁場の向きも逆である。そして、給電線１８・１８間で、両給電線１８・１８より発生する磁場が強まる方向に重ね合わせられるようにしている。
給電線１８・１８は、走行レール１２上に設けた給電線ホルダ７に支持される。
【００４５】
【発明の効果】
請求項１記載の如く、枚葉移載装置と、搬送車本体の底部に配置された走行駆動部と、塵挨を吸引除去する吸引手段と、を備え、
前記枚葉移載装置は、移載手段を設けた昇降ユニットを備え、前記昇降ユニットを昇降駆動する昇降駆動部を、前記搬送車本体に取り付けたベース部に設けるとともに、前記ベース部の基台フレームとカバーとで前記昇降ユニットを囲む筒状体を構成し、前記筒状体の上方を、前記昇降ユニットが通過可能な開口部を形成した天板で覆っており、
前記吸引手段は、前記筒状部に形成された吸入口に連通されて、前記昇降ユニットと前記開口部との隙間周辺の空気を吸引して昇降駆動部及びその周囲から発生する塵挨を吸引除去するとともに、前記走行駆動部より上方に配置され、かつ、下向きに形成される空気の排出口から、前記吸引した空気を前記搬送車本体の下方へ向けて排出するようにしたので、
吸引手段により、昇降ユニットと天板の開口部との隙間周辺の空気を吸引することで、昇降駆動部で発生した塵挨を吸引すると共に、昇降ユニットの昇降に伴う空気の流れに乗って、天板から外に出ようとする塵挨を吸引することができ、昇降駆動部での塵挨をより確実に吸引することができる。
また、塵挨を含んだ空気が下方に向けて排出されて、無人搬送車の天板の上方にあるウエハの位置まで塵挨が巻きあがるのを効果的に防ぐことができる。
また、無人搬送車を走行させる走行車輪や該走行車輪を駆動させる駆動モータを備えた走行駆動部で発生した塵挨を、排出口からの下向きの空気の流れに載せて、搬送車本体の下方へ排出することができる。このため、走行駆動部で発生した塵挨のために特別な吸引手段を設けなくてもよい。
【００４６】
請求項２記載の如く、ウエハの姿勢を整えるアライナーを搭載すると共に、前記アライナーに設けられた駆動部及びその周辺から発生する塵挨を吸引除去する第二吸引手段を設けたので、
アライナーの駆動部周辺の空気が、第二吸引手段に吸入される。そして、駆動部で発生した塵挨が除去される。
また、ウエハをアライナーにより姿勢を整えた上で、処理装置に渡すことができ、処理装置のアライナーを不要とすることができる。さらに、アライナーの駆動部で発生する塵挨も吸引手段により吸引することができ、アライナーで姿勢合わせ中のウエハに塵挨が付着するのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】搬送車１を示す正面図である。
【図２】搬送車１を示す側面図である。
【図３】搬送車１を示す平面図である。
【図４】枚葉移載装置５の構成を示す正面図である。
【図５】ベース部２１および昇降駆動部における塵挨の吸入機構を示す平面図である。
【図６】アライナー４を示す側面図である。
【図７】非接触給電の構成を示す搬送車１要部の正面図である。
【符号の説明】
１  搬送車
３  搬送車本体
４  アライナー
５  枚葉移載装置
６  バッファカセット
１０  ウエハ
１５  昇降ユニット
２１  ベース部
２７  カバー
２８  筒状体
２９  開口部
３０Ｍ・３０Ｓ  ロボットハンド（移載手段）
５４  ファン（吸引手段）
６２  ファン（吸引手段）
１００  隙間
【図１】
0004234935.tif 000002
【図２】
0004234935.tif 000003
【図３】
0004234935.tif 000004
【図４】
0004234935.tif 000005
【図５】
0004234935.tif 000006
【図６】
0004234935.tif 000007
【図７】
0004234935.tif 000008