(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、光源からの励起光を試料に導くための光源光学系と、前記試料から発生した蛍光を集光する対物光学系と、前記試料を挾んで前記対物光学系の反対側に配置され、前記試料から発生した蛍光波長のみを反射する分光特性を有する反射光学系と、前記対物光学系で集光された蛍光を検出する検出光学系を備える光量測定装置。
【請求項２】
前記対物光学系は対物レンズを有し、前記検出光学系が光検出素子と、負の屈折力を有し前記対物レンズからの射出ＮＡを小さくして前記光検出素子の受光部に入射させるＮＡ変換素子を有する請求項１に記載の光量測定装置。
【請求項３】
前記蛍光波長以外の波長の光を検出するノイズ検出光学系を備えた請求項１に記載の光量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料から発生した微弱な蛍光を測定する光量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
試料から発生する極めて微弱な光である蛍光を測定するには、蛍光顕微鏡やレーザースキャニング顕微鏡が用いられる。これらは、基本構成として試料に励起光を照射すための照明光学系と、蛍光を検出するための検出光学系を備えている。ところで、一般に励起光を試料に照射して得られる蛍光の光量レベルは極めて低く、蛍光を効率良く検出することは困難であるため、従来、特許第２５７１８５９号や特開平１１−１４２３３５号公報等に開示されているように、試料を透過した励起光を反射面で反射させて、再度試料に照射する方法が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記の従来技術においてミラーがない場合、光検出器に向かう励起光は、試料面で反射された光である。ここで、試料の反射率は数％であるから、光検出器に向かう励起光の強さは入射光の数％である。よって、励起光をカットする光学フィルタを光検出器の前に配置しておけば、励起光を除去することができる。
しかしながら、上記の従来技術のように試料の下にミラーが配置される構成にすると、試料を通過した励起光はミラーで反射されて試料に再び入射した後、対物レンズを通過して光検出器に向かうことになる。通常、ミラーの反射率は８０％以上であるため、光検出器に向かう励起光の強さは入射光の数１０％になる。従って、たとえ励起光をカットする光学フィルタを光検出器の前に配置したとしても、十分に励起光を除去することは難しくなり、蛍光対励起光のＳ／Ｎが悪化するという問題があった。
【０００４】
本発明は、従来技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、試料から発生する蛍光を効率良く検出できる光量測定装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の光量測定装置は、光源と、光源からの励起光を試料に導くための光源光学系と、前記試料から発生した蛍光を集光する対物光学系と、前記試料を挾んで前記対物光学系の反対側に配置され、前記試料から発生した蛍光波長のみを反射する分光特性を有する反射光学系と、前記対物光学系で集光された蛍光を検出する検出光学系を有することを特徴としている。
図１は蛍光のモデルであるが、スライドガラスやメンブレン等の試料保持部材Ａ−２上に試料Ａ−３を付着させ、この試料に励起光Ａ−１を照射した場合に発せられる蛍光Ａ−４は、略点光源となり３６０゜方向に発散する。励起光に対して極めて強度の弱い蛍光を効率良く検出するには、３６０゜方向に発散する蛍光をより多く集めて、検出部に導くことが望ましい。そこで、上記の如き構成の反射光学系を用いれば、蛍光を効率良く検出光学系へ集光させることが可能となる。ここで反射光学系の構成としては、次の３つが考えられる。１つは、励起光波長を吸収し蛍光波長を透過する分光特性を有する吸収フィルタと反射光学素子を含む反射光学系。２つ目は、励起波長を透過し蛍光波長を反射する分光特性を有する干渉フィルタを含む反射光学系。３つ目は、前記２つの構成を組合せた反射光学系である。これら、いずれの構成を用いても、励起光を検出光学系へ導くことなしに、蛍光のみを集光することが可能となる。このため、極めてＳ／Ｎ良く効率的に蛍光を検出することが可能である。
【０００６】
また、本発明の光量測定装置は、前記対物光学系は対物レンズを有し、前記検出光学系が光検出素子と、負の屈折力を有し前記対物レンズからの射出ＮＡを小さくして前記光検出素子の受光部に入射させるＮＡ変換素子を有することが好ましい。
試料からの蛍光を効率的に検出するにはＮＡの大きな明るい対物レンズを用いることが望ましい。ところが、光検出素子で検出可能なＮＡには限界があるため、ＮＡの大きな対物レンズを用いても、蛍光を効率的に検出することはできない。そこで、ＮＡ変換素子を用いることが望ましい。ＮＡ変換素子を用いて対物光学系の射出ＮＡを前記光検出素子への入射ＮＡよりも大きい構成とすることで、蛍光を効率的に検出することが可能である。
また、ＮＡ変換素子としては負の屈折力を有するレンズを用いることが望ましい。負の屈折力のレンズを用いることで、光検出素子への入射ＮＡを小さくすることが可能である。
【０００８】
また、本発明の光量測定装置は、前記蛍光波長以外の波長の光を検出するノイズ検出光学系を備えることが好ましい。
試料からの微弱な蛍光を検出するには、所望の蛍光以外のノイズ光を十分に除去する必要がある。一般に、完全にクリーンな状態で試料を作製することは困難であり、試料上や試料内部には微小なゴミが混入している。強い励起光を試料に照射すると所望の蛍光が発生すると共に、ゴミによって発生した自家蛍光やゴミによって散乱された励起光が対物光学系に入射することによるノイズが発生し、Ｓ／Ｎを低下させ効率良く蛍光を検出することが困難となる。そこで、所望の蛍光以外の光を検出するノイズ検出手段を備えることが望ましい。このような構成とすれば、所望の蛍光とノイズが混在する蛍光検出光学系の情報から、ノイズ光検出光学系で検出したノイズ情報（ノイズ成分）を差し引くことで、所望の蛍光情報を効率的に検出することが可能となる。
【０００９】
本発明の各構成では蛍光をＳ／Ｎ良く検出することが可能であるが、特に、蛍光情報が離散的に分布している試料を用いる場合の試料保持部材Ａ−２として、例えば、図２に示すように、ガラスやプラスチック基板上に蛍光情報を含む試料Ａ−３が離散的に分布しているもの、図３に示すように、ガラスやプラスチック基板に試料を入れる微小な穴Ｈが離散的に分布しているもの、或いは図４に示すように、濾過紙のような多孔質体で構成されるフィルタ基板に蛍光情報を含む試料Ａ−３が離散的に分布しているものの場合に有効である。
これらは、ＤＮＡの解析や反応を調べるために用いるチップであるが、何れも微弱な蛍光をＳ／Ｎ良く測定したいニーズがある。そこで、本発明の構成を用いればこれを達成することが可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図示した実施例に基づき説明する。各実施例において、実質上同一の光学部材には同一符号が付されており、それらについて重複する説明は省略されている。
実施例１
図５は本発明の第１実施例を示している。図中、１はレーザ光源，水銀光源，ハロゲン光源またはキセノン光源等の光源、２は光源１からの照明光を成形する作用を有する光源レンズ、３は励起フィルタ、４は励起光を反射し蛍光を透過させ得るビームスプリッタ、５は対物レンズ、６はスライドガラス７上に載置された試料、８は試料６を衝として対物レンズ５とは反対側に配置された対物レンズ、９は試料から発生した蛍光のみを反射させ励起光やその他の光の反射を防ぐ光学特性を有する、例えばダイクロイック面を有する反射光学素子、１０は反射光学素子９を透過した励起光、１１は反射光学素子９により反射された蛍光、１２は蛍光を検出する検出光学系である。
【００１１】
光源１からの照明光は、光源レンズ２により平行光束にされ、励起フィルタ３により所定の励起波長を有する励起光に選択され、ビームスプリッタ４により反射され、対物レンズ５により集光されて、試料６上に照射される。かくして、試料６から発生した蛍光のうちの一方は、対物レンズ５により集光され、ビームスプリッタ４を透過して、検出光学系１２により受光される。また、スライドガラス７を透過した試料６からの他方の蛍光は、対物レンズ８により平行光にされ、反射光学素子９により反射され、再度対物レンズ８を透過して試料面に焦点を結んだ後、対物レンズ５により平行にされ、ビームスプリッタ４を透過して、検出光学系１２により受光される。この場合、試料６を透過した励起光やその他の光は、反射光学素子９を透過し、対物レンズ８側へは戻らないようになっている。従って、試料６からの蛍光は、検出光学系１２によりＳ／Ｎ良く効率的に検出される。
【００１２】
本実施例では、軸上光束による照明で発生した蛍光（光軸上から発生した蛍光）は反射光学素子９に対して垂直に入射されるため、反射光学素子９で反射されて再び対物レンズ５に戻る。一方、軸外光束による照明で発生した蛍光（光軸から離れた位置から発生した蛍光）は反射光学素子９に対して斜めに入射するため、反射光学素子９で反射されても再び対物レンズ５に戻らない場合がある。よって、本実施例の構成で試料の蛍光像を得る場合は、照明光を動かさずに試料６即ちスライドガラス７を移動させる（例えば光軸に垂直な方向に２次元走査する）のが好ましい。ただし、反射光学素子９を対物レンズ８の後側焦点位置に配置すると、軸外光束による照明で発生した蛍光は反射光学素子９に対して斜めに入射して反射光学素子９で反射されるが、反射された光は入射時の光路と光軸を挾んで対称であるため、再び対物レンズ５に戻る。よって、このような構成では、試料６を動かさずに励起光を走査することもできる。
【００１３】
なお、ビームスプリッタ４は、励起光の戻り光が検出光学系１２に入射しノイズ成分となることを防ぐため、ダイクロイックミラーとすることが望ましい。また、上記実施例では、試料６はスライドガラス７上に載置されているものとして説明したが、スライドガラスに代えてメンブレン等を用いることも可能である。また、特に励起光としてレーザ光源を使用した場合、励起光が光軸上付近に強い光強度を持っている場合がある。そこで、反射光学素子９の反射面の中心部（光軸中心）に穴をあけることにより、励起光の戻りを防ぐようにすることも可能である。なお、反射光学素子９の位置では蛍光の光束は広がっており、また光量分布も均一と考えられるため、反射光学素子９の反射面の中心部に穴を開けても蛍光光量の損失は少ない。なお、他の光源でも同様に、上記構成による効果を得ることはできる。
【００１４】
実施例２
図６は本発明の第２実施例を示している。この実施例は、図６（ａ）に示すように反射光学素子９が凹面形状をなしていて、対物レンズ８が除去されている点で第１実施例とは異なる。即ち、本実施例によれば、凹面に図６（ｂ）において符号（９）で示した如き分光透過率特性を有するコーティングを施した反射光学素子９を用いることにより、試料６からの蛍光１１のみを反射させて対物レンズ５へ導き、試料６を透過した励起光１０やその他の光は反射光学素子９を透過させ、対物レンズ５へは戻らないように構成している。図６（ｂ）において、（１０）は励起波長、（１１）は蛍光波長である。従って、Ｓ／Ｎ良く効率的に蛍光を検出することができる。この場合、励起光１０は反射光学素子９の内部で吸収されるから、反射光学素子９の凸面側には上記コーティングを施さなくても、略同様の効果を得ることが出来る。また、本実施例では、レンズ作用を有する反射光学素子を用いているので、第１実施例における如く反射光学素子側に対物レンズを用いることなく構成することが可能であり、装置の簡素化の点で有利である。また、特に光量の強くなる反射面の中心部に穴を開けることにより、励起光の戻りを防ぐことも可能である。
本実施例では、軸外光束による照明で発生した蛍光（光軸から離れた位置から発生した蛍光）は再び対物レンズ５に戻らないため、試料６の蛍光像を得る場合は、照明光を動かさずに試料６を移動させるのが好ましい。
【００１５】
実施例３
図７は本発明の第３実施例を示している。この実施例は、反射光学素子９がコーナーキューブ形状をなしていて、光線の入射した方向と平行に光線を反射させるようにした点で、既述の実施例の何れとも異なる。本実施例は、反射光学素子の傾きや位置ずれに強い構成となり、アライメントが容易であると云う特徴を有する。また、特に光量の強くなる反射面の中心部に穴を開けることにより、励起光の戻りを防ぐことも可能である。
本実施例では、試料６の蛍光像を得るために照明光を動かさずに試料６を移動する方法、試料６を動かさずに励起光を走査する方法のいずれも用いることができる。
【００１６】
実施例４
図８は本発明の第４実施例を示している。この実施例は、励起光の照明光学系が非同軸照明方式である点で第１実施例とは異なる。即ち、本実施例は、励起光を斜め方向から試料６に照射させて、試料面や反射光学素子９からの反射光が対物レンズ５に戻らず、高いＳ／Ｎを達成できるようにした点に特徴を有する。なお、本実施例の場合には、反射光学素子９はダイクロイック面である必要がないが、ダイクロイック面とすることも可能である。また、この実施例においては、反射光学素子９として第２実施例に示した凹面形状の反射光学素子を用いることも、第３実施例に示したコーナーキューブ形状の反射光学素子を用いることも出来るが、何れも実質上同様の効果を得ることが可能である。
【００１７】
実施例５
図９は本発明の第５実施例を示している。この実施例は、試料６を透過した励起光１０が凹面形状をなす反射光学素子９の内部で吸収されるように構成され且つ反射光学素子９の凸面側が蛍光反射面として構成されている（図９（ａ）参照）点で、図６に示した第２実施例とは異なる。即ち、反射光学素子９の媒質９ａは図９（ｂ）に示すように励起波長（１０）に対しては透過率の低い分光透過率特性（９ａ）を有し、励起光１０を吸収する作用を持つ。反射光学素子９の媒質９ａがこのような分光透過率特性（９ａ）を有することで、蛍光波長（１１）は反射光学素子９の内部を透過するが、励起波長（１０）は内部で吸収される。また、反射光学素子９の凸面側は、所望の蛍光波長を反射できるような反射面９ｂとなっており、アルミなどの蒸着や干渉コートにより作製されている。励起光Ａ−１の照射により試料６の表面から発生した蛍光Ａ−４は対物レンズ５により集光され、また試料６の裏面から発生した蛍光１１は反射光学素子９の反射面９ｂにより反射されて対物レンズ５により集光される。
【００１８】
実施例６
図１０は本発明の第６実施例を示している。この実施例は、試料６を透過した励起光１０が反射光学素子９の内部で吸収されるように構成されている点で、図５に示した第１実施例とは異なる。即ち、反射光学素子９は略平面の反射ミラーで構成されていて、反射面は反射光学素子９の下面側に形成されている。そして、この反射ミラーの媒質は図９（ａ）において符号（９ａ）で示された如き分光透過率特性を有している。なお、反射面を反射光学素子９の上面側に形成して、その媒質を図６（ｂ）において符号（９ａ）で示された如き分光透過率特性を有するように構成すれば、図５に示した第１実施例における如く試料６を透過した励起光１０は反射光学素子９を透過し、対物レンズ側に戻ることはない。
【００１９】
実施例７
図１１は本発明の第７実施例を示している。図中、１３は複数の励起フィルタ３を切り替えるための切り替え装置、１４は対物レンズ５の位置を調整してオートフォーカスやスキャニングを可能にするための駆動機構、１５は試料保持部材７の位置出しを行うための位置センサーやビデオカメラ等の位置出しセンサー、１６は上記の各種実施例で説明した反射光学素子９を含む反射光学系、１７は試料保持部材７をセットしてその位置を変えることが出来る駆動機構を備えたステージ、１８は検出光学系１２へ蛍光を導くための集光レンズ、１９は光源１，励起フィルタの切り替え装置１３，対物レンズの駆動機構１４，位置出しセンサー１５，ステージ１７，検出光学系１２を制御し且つ測定した蛍光データを計算することも可能なコンピュータ及びコントローラ、２０は蛍光情報を見ることが出来るモニターである。なお、試料保持部材７としては、例えば、図２乃至４に示されたものが使用される。また、本実施例の構成は他の各種実施例の構成と組み合わせて用いることも可能である。
【００２０】
実施例８
図１２は本発明の第８実施例を示している。図１２（ａ）は試料６からの蛍光を対物レンズ５により、符号Ａ１で示すＮＡ（開口数）で、ラインセンサーやＣＣＤまたはＣＭＤ等の１次元あるいは２次元に配列された撮像素子から成る検出部２１に集光せしめる様子を示す説明図、図１２（ｂ）及び（ｃ）は撮像素子へ入射する光線の様子を示す説明図、図１２（ｄ）は撮像素子の前にＮＡ変換素子２２を配置した場合の光線の入射の様子を示す説明図である。図中、２１ａは撮像素子の１画素の受光面、２１ｂは電荷転送部、Ｌは符号Ａ１で示されるＮＡの光線を示す。図１２（ｂ）に示すように検出部２１の受光面２１ａへの入射ＮＡが大きいと、電荷転送部２１ｂの表面で光線Ｌが遮られて効率的に蛍光を検出することが困難となる。また、図１２（ｃ）に示すように検出部２１を移動させて光線Ｌが電荷転送部２１ｂの表面で遮られないようにしたとしても、今度は電荷転送部２１ｂの内面で遮られてしまう。そこで、図１２（ｄ）に示すように、ＮＡ変換素子２２を用いて検出部２１の受光面２１ａへの入射ＮＡをＡ２で表わされるように対物レンズ５の射出ＮＡよりも小さくするようにしている。本実施例では、ＮＡ変換素子２２として負の屈折力を有するマイクロレンズを用いている。また、励起光は、既述の実施例で示したように、対物レンズと同軸あるいは非同軸で照明することが可能である。また、本実施例の構成に加えて、既述の実施例で示したように反射光学素子を用いることも可能である。
【００２１】
実施例９
図１３は本発明の第９実施例を示している。図１３（ａ）は試料６からの蛍光を対物レンズ５により、Ａ１で示すＮＡで検出部２１に集光させる様子を示す説明図、図１３（ｂ）及び（ｃ）は検出部２１を拡大して示した互いに異なる構成の説明図である。この実施例は、走査型の光量測定装置に用いることが出来るように構成した点で第８実施例とは異なる。図中、２３はＮＡを変換する負の屈折力のレンズで、検出素子として受光面が単一であるフォトマル（光電子増倍管）等を用いた例である。受光面が単一であるフォトマル等の場合でも、受光面に入射する光線が受光面の前に配置されたケースなどで遮光されてしまう場合がある。そこで、負の屈折力を有するレンズ２３を用いてＮＡを変換することにより、蛍光を効率良く検出することが出来るようにしたものである。また、受光面が単一であるフォトマル等では、受光面の感度のばらつきや強い強度の光が集光した場合に受光面が焼ける問題があることから、光束を太くして受光面へ入射させるようにすることが望ましい。そこで、本実施例における如く、ＮＡ変換素子を受光面への光束が太くなるように配置してやることが望ましい。
【００２２】
参考例１
図１４は本発明に関連する第１参考例を示している。この参考例は、励起光の照射により試料６から発生する蛍光が２つの光路により検出されるように構成されている点で、既述の実施例とは異なる。即ち、第１の光路は、対物レンズ５により集光され、ビームスプリッタ４を透過し、蛍光波長のみを透過させる作用を有する蛍光フィルタ２４を通して検出光学系１２により検出される光路であり、第２の光路は、スライドガラス７を透過し対物レンズ８により集光された蛍光のみを透過させる作用を有する蛍光フィルタ２５を通して検出光学系２６により検出される光路である。本参考例では、２つの検出光学系１２，２６を試料６に対して略対称に配置している。このため、励起光が下側の検出光学系２６に直接入射してＳ／Ｎを悪化させることを防ぐため、励起光をカットする作用を有する蛍光フィルタ２５が対物レンズ８と検出光学系２６の間に配置されている。また、ビームスプリッタ４と検出光学系１２の間にも励起光をカットする作用を有する蛍光フィルタ２４が配置されている。対物レンズ５と８は略等しいＮＡを有することが望ましく、同じ対物レンズを用いるようにすれば、２種類の対物レンズを製作する必要がないので、装置を安価に作製することが可能となる。
【００２３】
参考例２
図１５は本発明に関連する第２参考例を示している。この参考例は、検出光学系が１つであるにも拘わらず第１参考例と同等の効果を得ることが出来るように構成されている点で、第１参考例とは異なる。即ち、試料６からの蛍光が対物レンズ５を透過して検出光学系１２へ入射する光路と、対物レンズ８を透過し反射光学素子２７，２８により反射せしめられて検出光学系１２へ入射する光路を有するように構成されている。このように、本参考例では、反射光学素子２７，２８を用いることより、検出光学系と蛍光フィルタを１つずつ用いるだけで済むように構成することができ、安価な装置を提供することが出来る。
【００２４】
参考例３
図１６は本発明に関連する第３参考例を示している。この参考例は、光源を２つ備え、より明るい励起光を試料６に照射することができ、より明るい蛍光を得ることができるように構成した点で、第１参考例とは異なる。即ち、対物レンズ８と蛍光フィルタ２５との間に、光源１と同様な光源２９と光源レンズ３０と励起フィルタ３１と対物レンズ８及びスライドガラス７を介して試料６に励起光を照射するように配置されたビームスプリッタ３２から成る第２の照明光学系が設けられている。本参考例によれば、試料６から発生した蛍光は、２つの光路により検出される。第１の光路は、対物レンズ５により集光され、ビームスプリッタ４を透過し、蛍光波長のみを透過させる作用を有する蛍光フィルタ２４を通して検出光学系１２により検出される光路であり、第２の光路は、対物レンズ８により集光され、ビームスプリッタ３２を透過し、蛍光波長のみを透過させる作用を有する蛍光フィルタ２５を通して検出光学系２６により検出される光路である。このように、本参考例では、対物レンズ及び検出光学系を２つ用いたことにより、効率良く蛍光を検出することが可能であり、また、照明光学系を２つ備えたことにより、強い強度の励起光を試料に照射することが可能となり、効率良く蛍光を検出することが出来る。
【００２５】
実施例１０
図１７は本発明の第１０実施例を示している。この実施例は、対物レンズ８と検出光学系２６との間に、所望の蛍光以外の波長の光を検出光学系２６へ選択透過させ得るノイズ検出フィルタ３３が配置されている点で、第７実施例（図１４）とは異なる。一般に、試料６に付着しているゴミは、励起光を受けて白色光ノイズ成分を発する。このノイズ成分の中には蛍光波長も含まれていることが多いため、蛍光フィルタ２４のみではノイズ成分を完全に除去するとは困難である。このため、本来蛍光を発する物質が存在しない位置にゴミが付着していると、誤認識を起こす結果となる。図１７（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ）は本実施例の効果のモデルを夫々示しているが、図１７（ｂ）は試料中の所望の蛍光を発する物質（イ）とゴミ成分（ロ）であり、図１７（ｃ）は検出光学系１２により検出される情報であって、（イ），（ロ）何れも検出されている。図１７（ｄ）は検出光学系２６で検出される情報であり、蛍光波長はノイズ検出フィルタ３３でカットされるため、ゴミ成分（ロ）しか検出されない。そこで、図１７（ｃ）から図１７（ｄ）のゴミ情報を防ぐ処理を施せば、図１７（ｅ）に示すように所望の蛍光情報のみを効率的に検出することが出来る。また、ノイズ検出フィルタ３３では試料６からの蛍光波長が対物レンズ８側に反射されるため、対物レンズ５を通して検出光学系１２で検出することが可能であり、ノイズ検出に加えて効率良く蛍光を検出することが可能である。本実施例においては、第２実施例と同様に、ノイズ検出フィルタ３３を凹面形状にすることにより対物レンズ８を省略することができ、また、ノイズ検出フィルタ３３を用いる代わりにミラーやプリズムを用いて分光によりゴミ情報を検出するように構成することも出来る。また、所望の蛍光物質とゴミの蛍光寿命が異なる場合は、蛍光寿命の差からゴミ成分を除去するように構成することも可能である。
【００２６】
以上説明したように、本発明の光量測定装置は、特許請求の範囲に記載した特徴の他に、下記の特徴を有している。
（１）反射光学素子は実質上平行平板であり、試料からの蛍光を集光して反射光学素子に導く対物レンズを備え、該対物レンズが試料と反射光学素子間に配置されたことを特徴とする請求項１に記載の光量測定装置。
【００２７】
（２）反射光学素子は凹面形状であることを特徴とした請求項１に記載の光量測定装置。
【００３１】
（３）試料で発生する所望の蛍光波長をカットするノイズ検出フィルタを備え、ノイズ検出光学系にて試料で発生する所望の蛍光以外の光を検出することを特徴とした請求項３に記載の光量測定装置。
【００３２】
（４）反射光学素子の媒質が励起波長に対しては透過率の低い分光特性であり、蛍光波長に対しては透過率の高い分光特性であることを特徴とする上記（１）又は（２）に記載の光量測定装置。
【００３３】
（５）反射光学素子の少なくとも片側の面が、励起波長に対しては透過率の高い分光特性であり、所望の蛍光波長に対しては透過率の低い分光特性であることを特徴とする上記（１）又は（２）に記載の光量測定装置。
【００３４】
（６）ＮＡ変換素子が検出素子の１ピクセルと１対１の関係に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の光量測定装置。
【００３５】
（７）蛍光情報を含む離散的な試料を測定することを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の光量測定装置。
【００３６】
（８）試料を乗せているステージが移動可能であり、ステージ位置を検出する検出手段を用いたことを特徴とする上記（７）に記載の光量測定装置。
【００３７】
（９）蛍光を検出するための対物レンズの位置を変えられるようにしたことを特徴とする上記（７）に記載の光量測定装置。
【００３８】
（１０）励起光を選択透過させるフィルタが複数配置され、所望のフィルタを選択できる切り替え装置を付加したことを特徴とする上記（７）に記載の光量測定装置。
【００３９】
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、励起光の照射により試料から発生する蛍光を効率良く検出することの出来る光量測定装置を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】  試料に励起光を照射した場合の蛍光の発生状態を示す図である。
【図２】  試料保持部材の一例を示す斜視図である。
【図３】  試料保持部材の他の例を示す斜視図である。
【図４】  試料保持部材の更に他の例を示す斜視図である。
【図５】  本発明に係る光量測定装置の第１実施例を示す図である。
【図６】  本発明に係る光量測定装置の第２実施例の要部を示す図で、（ａ）は要部構成図、（ｂ）は試料保持部材と励起光と蛍光の分光透過特性を示す線図である。
【図７】  本発明に係る光量測定装置の第３実施例の要部を示す図である。
【図８】  本発明に係る光量測定装置の第４実施例を示す図である。
【図９】  本発明に係る光量測定装置の第５実施例を示す図で、（ａ）は要部構成を示す図、（ｂ）は試料保持部材の媒質と励起光と蛍光の分光透過率特性を示す線図である。
【図１０】  本発明の光量測定装置の第６実施例を示す図である。
【図１１】  本発明の光量測定装置の第７実施例を示す図である。
【図１２】  本発明に係る光量測定装置の第８実施例を示す図で、（ａ）は要部構成図、（ｂ）及び（ｃ）は互いに異なる検出部の構成を示す図である。
【図１３】  本発明に係る光量測定装置の第９実施例を示す図で、（ａ）は要部構成図、（ｂ）及び（ｃ）は互いに異なる検出部の構成を示す図である。
【図１４】  本発明に係る光量測定装置の第１参考例を示す図である。
【図１５】  本発明に係る光量測定装置の第２参考例を示す図である。
【図１６】  本発明に係る光量測定装置の第３参考例を示す図である。
【図１７】  本発明に係る光量測定装置の第１０実施例を示す図である。
【符号の説明】
１，２９          光源
２，３０          光源レンズ
３，３１          励起フィルタ
４，３２          ビームスプリッタ
５，８            対物レンズ
６，Ａ−３        試料
７，Ａ−２        スライドガラス（試料保持部材）
９，２７，２８    反射光学素子
（９）            反射光学素子の表面に施されたコーティングの分光透過率特性
９ａ              反射光学素子の媒質
（９ａ）          反射光学素子の媒質の分光透過率特性
９ｂ              反射面
１０，Ａ−１      励起光
（１０）          励起波長
１１，Ａ−４      蛍光
（１１）          蛍光波長
１２，２６        検出光学系
１３              励起フィルタの切り替え装置
１４              駆動機構
１５              位置出しセンサー
１６              反射光学系
１７              ステージ
１８              集光レンズ
１９              コンピュータ及びコントローラ
２０              モニター
２１              検出部
２１ａ            撮像素子の１画素
２１ｂ            電荷転送部
２２              ＮＡ変換素子
２３              レンズ
２４，２５        蛍光フィルタ
３３              ノイズ検出フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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