【手続補正書】
【提出日】平成25年1月18日(2013.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多段式ポンプであって、
ポンプ入口流路と、
ポンプ出口流路と、
前記ポンプ入口流路と流体連通している送液ポンプであって、
送液チャンバ内で可動である送液ステージダイヤフラムであって、回転ダイヤフラムである送液ステージダイヤフラムと、
前記送液ダイヤフラムに接触して、ある動作範囲にわたって前記送液ステージダイヤフラムを動かすための送液ピストンであって、前記送液ピストンの動作によって、前記送液ステージダイヤフラムが、前記送液ピストンと前記送液チャンバの壁との間の間隙内で丸くなりかつ展開する送液ピストンと、
前記送液ピストンを往復運動させるために前記送液ピストンに結合された送液モータと、を備える送液ポンプと、
前記送液ポンプおよび前記ポンプ出口流路と流体連通している分注ポンプであって、
分注チャンバ内で可動である分注ダイヤフラムであって、分注回転ダイヤフラムを備える分注ダイヤフラムと、
前記分注ダイヤフラムに接触して、ある動作範囲にわたって前記分注ダイヤフラムを動かすための分注ピストンであって、前記分注ピストンの動作によって、前記分注ダイヤフラムが、前記分注ピストンと前記分注チャンバの壁との間の間隙内で丸くなりかつ展開する分注ピストンと、
前記分注ピストンを往復運動させるために前記分注ピストンに結合された分注モータと、を備える分注ポンプと、
前記送液ポンプから前記分注ポンプへと流れる流体が前記フィルタを通過するように前記送液チャンバおよび前記分注チャンバと流体連通している前記送液ポンプと前記分注ポンプとの間のフィルタと、
前記分注チャンバの少なくとも一部分を画定する単体の素材から形成された分注ブロックと、
前記多段式ポンプを通る流体の流れを選択的に可能にする弁一式と、
を備えることを特徴とする多段式ポンプ。
【請求項２】
前記送液モータはステップモータあるいは第１のブラシレスＤＣモータであり、かつ、前記分注モータは第２のブラシレスＤＣモータであることを特徴とする請求項１に記載の多段式ポンプ。
【請求項３】
前記送液ピストンに結合されかつ前記送液モータによって動作可能である第１の親ねじと、
前記分注ピストンに結合されかつ前記分注モータによって動作可能である第２の親ねじと、をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の多段式ポンプ。
【請求項４】
前記フィルタと流体連通しているガス抜き流路と、
前記分注チャンバと流体連通している浄化流路と、をさらに備え、
前記分注ブロックは、さらに、前記ポンプ入口流路の第１および第２の部分、前記送液ステージ出口流路の第１および第２の部分、前記分注ステージ入口流路の第１および第２の部分、前記ガス抜き流路の第１および第２の部分、前記浄化流路の第１および第２の部分、ならびに前記ポンプ出口流路の少なくとも一部分を完全に画定していることを特徴とする請求項１に記載の多段式ポンプ。
【請求項５】
前記ポンプ入口流路の前記第１の部分は、入口から入口弁へと通じ、かつ、前記ポンプ入口路の前記第２の部分は、前記入口弁から前記送液チャンバへと通じ、
前記送液ステージ出口流路の前記第１の部分は、前記送液チャンバから隔離弁へと通じ、かつ、前記送液ステージ出口流路の前記第２の部分は、前記隔離弁から前記フィルタへと通じ、
前記分注ステージ入口流路の前記第１の部分は、前記フィルタから前記遮断弁へと通じ、かつ、前記分注ステージ入口流路の前記第２の部分は、前記遮断弁から前記分注チャンバへと通じ、
前記ガス抜き流路の前記第１の部分は、前記フィルタからガス抜き弁へと通じ、かつ、前記ガス抜き流路の前記第２の部分は、前記ガス抜き弁からガス抜き出口へと通じ、
前記浄化流路の前記第１の部分は、前記分注チャンバから浄化弁へと通じ、かつ、前記浄化流路の前記第２の部分は、前記浄化弁から前記送液チャンバへと通じていることを特徴とする請求項４に記載の多段式ポンプ。
【請求項６】
前記分注ブロックのただ一つの面に対して結合された弁板をさらに備え、前記弁板および分注ブロックは、前記流入弁、隔離弁、遮断弁および浄化弁のための弁チャンバを画定し、前記弁チャンバは、前記分注ブロックに面する前記弁板のただ一つの側に配置されていることを特徴とする請求項５に記載の多段式ポンプ。
【請求項７】
前記ポンプチャンバ内の圧力を読み取るよう配置された圧力センサをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の多段式ポンプ。
【請求項８】
ポンプであって、
ポンプ入口流路と、
ポンプ出口流路と、
前記ポンプ出口流路および前記ポンプ入口流路と流体連通しているポンプチャンバの少なくとも一部分を画定する単体の分注ブロックと、
前記送液チャンバ内で動作可能であるダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムを動かすピストンであって、前記ダイヤフラムを直接動作させるピストンと、
前記送液ピストンを往復運動させるために前記ピストンに結合されたモータと、
前記ポンプチャンバ内の圧力を読み取るよう配置された圧力センサと、
前記分注ブロックに結合された弁板であって、前記弁板および前記分注ブロックは、前記入口弁および浄化弁のための弁チャンバを画定している弁板と、
前記分注ブロックの表面によって部分的に画定される電子機器ハウジングと、
前記分注ブロックの前記表面から遠位で前記電子機器ハウジング内に配設されたマニホールドであって、前記入口弁および前記浄化弁と流体連通しており、１つ以上のソレノイド弁を備えるマニホールドと、
前記マニホールドと連通しており、かつ、前記電子機器ハウジングを貫通している少なくとも１つの供給ラインと、
裏板と、
前記電子機器ハウジング内に配置されたＰＣＢボードと、を備え、
前記ＰＣＢボードは、１つ以上の発熱部品で構成され、前記１つ以上の発熱部品は、前記分注ブロックの前記表面から前記ＰＣＢボードの反対側にあり、前記マニホールドおよびＰＣＢボードは前記裏板に結合され、かつ、前記裏板は、前記ＰＣＢボードおよび前記マニホールドから熱を放散するよう選択された材料から形成されていることを特徴とするポンプ。
【請求項９】
前記分注ブロックは、さらに、前記ポンプ入口流路の第１および第２の部分、前記浄化流路の第１および第２の部分、ならびに前記ポンプ出口流路の少なくとも一部分を画定し、かつ、
前記ポンプ入口流路の前記第１の部分は、入口から入口弁へと通じ、かつ、前記ポンプ入口路の前記第２の部分は、前記入口弁から前記ポンプチャンバへと通じ、
前記浄化流路の前記第１の部分は、前記ポンプチャンバから浄化弁へと通じ、かつ、前記浄化流路の前記第２の部分は浄化出口へと通じていることを特徴とする請求項８に記載のポンプ。
【請求項１０】
前記多段式ポンプは、さらに、電子機器ハウジングを備え、かつ、前記分注ブロックは、前記電子機器ハウジングから離れるように液滴を導くための傾斜機構を備え、かつ、
前記分注ブロックは、さらに、前記電子機器ハウジングのトップカバーに接する前記分注ブロックの端縁に配置されたフランジを備え、前記トップカバーの上部表面は前記フランジの上部表面と同一平面をなし、かつ、前記トップカバーの側部表面は、前記フランジの外縁から内部に嵌め込まれていることを特徴とする請求項９に記載のポンプ。
【請求項１１】
フォトレジスト化学物質を分注するよう構成された多段式ポンプであって、
ポンプ入口流路と、
ポンプ出口流路と、
前記ポンプ出口流路と流体連通している分注チャンバの少なくとも一部分、ならびに前記ポンプ入口流路と流体連通している送液チャンバの少なくとも一部分を画定する単体の分注ブロックと、
前記送液チャンバおよび前記分注チャンバと流体連通しているフィルタと、
前記送液チャンバ内で動作可能である送液ステージダイヤフラムであって、回転ダイヤフラムである送液ステージダイヤフラムと、
前記送液ステージダイヤフラムを動かす送液ピストンであって、前記送液ピストンは、ある動作範囲にわたって前記送液ステージダイヤフラムと接触するよう構成されており、かつ、前記送液ピストンの動作によって、前記送液ステージダイヤフラムが、前記送液ピストンと前記送液チャンバの壁との間の間隙内で丸くなりかつ展開する送液ピストンと、
前記送液ピストンを往復運動させるために前記送液ピストンに結合された送液モータと、
前記分注チャンバ内で動作可能である分注ダイヤフラムであって、回転ダイヤフラムである分注ダイヤフラムと、
前記分注ダイヤフラムを動かす分注ピストンであって、前記分注ピストンは、ある動作範囲にわたって前記分注ステージダイヤフラムと接触するよう構成されており、かつ、前記分注ピストンの動作によって、前記分注ダイヤフラムが、前記分注ピストンと前記分注チャンバの壁との間の間隙内で丸くなりかつ展開する分注ピストンと、
前記分注ピストンを往復運動させるために前記分注ピストンに結合された分注モータと、
前記分注ブロックに結合された弁板であって、前記弁板および前記分注ブロックは、入口弁、隔離弁、遮断弁および浄化弁のための弁チャンバを画定し、前記弁板は、この弁板のただ一つの側で前記弁チャンバを画定し、かつ、前記弁板は前記分注ブロックの端面に結合されている弁板と、
を備えることを特徴とする多段式ポンプ。
【請求項１２】
前記分注ブロックは、さらに、前記ポンプ入口流路の第１および第２の部分、前記送液ステージ出口流路の第１および第２の部分、分注ステージ入口流路の第１および第２の部分、ガス抜き流路の第１および第２の部分、浄化流路の第１および第２の部分、ならびに前記ポンプ出口流路の少なくとも一部分を画定することを特徴とする請求項１１に記載の多段式ポンプ。
【請求項１３】
前記ポンプ入口流路の前記第１の部分は、入口から前記入口弁へと通じ、かつ、前記ポンプ入口路の前記第２の部分は、前記入口弁から前記送液チャンバへと通じ、
前記送液ステージ出口流路の前記第１の部分は、前記送液チャンバから前記隔離弁へと通じ、かつ、前記送液ステージ出口流路の前記第２の部分は、前記隔離弁から前記フィルタへと通じ、
前記分注ステージ入口流路の前記第１の部分は、前記フィルタから前記遮断弁へと通じ、かつ、前記分注ステージ入口流路の前記第２の部分は、前記遮断弁から前記分注チャンバへと通じ、
前記ガス抜き流路の前記第１の部分は、前記フィルタからガス抜き弁へと通じ、かつ、前記ガス抜き流路の前記第２の部分は、前記ガス抜き弁からガス抜き出口へと通じ、
前記浄化流路の前記第１の部分は、前記分注チャンバから浄化弁へと通じ、かつ、前記浄化流路の前記第２の部分は、前記浄化弁から前記送液チャンバへと通じていることを特徴とする請求項１１に記載の多段式ポンプ。
【請求項１４】
前記分注チャンバ内の圧力を読み取るよう配置された圧力センサをさらに備えることを特徴とする請求項１１に記載の多段式ポンプ。