【手続補正書】
【提出日】平成25年7月26日(2013.7.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み滑り振動する振動部、
前記振動部の外縁のうち少なくとも前記厚み滑り振動の変位方向と交差する外縁に沿って一体化され、前記振動部よりも厚さの薄い周辺部、
及び前記周辺部に設けられている凸部、
を含む素板と、
前記振動部に設けられている励振電極と
を含み、
前記振動部の前記変位方向に沿った長さをＭｘ、
前記励振電極の前記変位方向に沿った長さをＥｘ、
前記素板の前記変位方向沿って生ずる屈曲振動の波長をλとしたとき、
2011097183.tif 000001
2011097183.tif 000002
但し、ｆは前記厚み滑り振動の共振周波数、ｌは正の整数、
の関係を満たし、
前記凸部の前記変位方向に沿った長さをＤｘ、
前記振動部と前記凸部との間の長さをＳｘとしたとき、
Ｄｘ＝（λ／２）×ｍ、
（λ／２）×ｎ−０．１×λ≦Ｓｘ≦（λ／２）×ｎ＋０．１×λ、
但し、ｍは正の整数、ｎは正の整数、
の関係を満たすことを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１において、
前記励振電極が、前記振動部と前記凸部との間に位置する前記周辺部に延出され、
前記振動部の外縁から前記周辺部に延出されている前記励振電極の端縁までの距離Ｌ１は、
Ｌ１＝（λ／２）×ｐ、
但し、ｐは正の整数
の関係を満たすことを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記素板の前記変位方向に沿った長さをＸ、
前記振動部の厚さをｔとしたとき、
Ｘ≧２０×ｔ
の関係を満たすことを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記素板が水晶板であり、
前記振動部と周辺部との段差部、および前記周辺部と前記凸部との段差部が傾斜面を有するとき、
前記振動部の前記変位方向に沿った長さ、前記振動部から前記凸部までの前記変位方向に沿った長さ、および前記凸部の前記変位方向に沿った長さは、前記傾斜面の中心を端縁とし、当該端縁を起点としてそれぞれの寸法が定められることを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記凸部は、前記振動部の前記変位方向の両側のいずれか一方の前記周辺部に設けられていることを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記凸部の前記変位方向と交差する方向に沿った長さが、前記振動部の前記交差する方向に沿った長さと同じであることを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項において、
前記周辺部の主面から前記凸部の主面まで高さが、前記周辺部の主面から前記振動部の主面までの高さと同じであることを特徴とする振動片。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片が搭載されているパッケージと、
を備えていることを特徴とする振動子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】振動片及び振動子
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、上記の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のある形態に係る振動片は、厚み滑り振動する振動部、前記振動部の外縁のうち少なくとも前記厚み滑り振動の変位方向と交差する外縁に沿って一体化され、前記振動部よりも厚さの薄い周辺部、及び前記周辺部に設けられている凸部、を含む素板と、前記振動部に設けられている励振電極とを含み、前記振動部の前記変位方向に沿った長さをＭｘ、前記励振電極の前記変位方向に沿った長さをＥｘ、前記素板の前記変位方向沿って生ずる屈曲振動の波長をλとしたとき、
2011097183.tif 000003
2011097183.tif 000004
但し、ｆは前記厚み滑り振動の共振周波数、ｌは正の整数、
の関係を満たし、前記凸部の前記変位方向に沿った長さをＤｘ、前記振動部と前記凸部との間の長さをＳｘとしたとき、
Ｄｘ＝（λ／２）×ｍ、
（λ／２）×ｎ−０．１×λ≦Ｓｘ≦（λ／２）×ｎ＋０．１×λ、
但し、ｍは正の整数、ｎは正の整数、
の関係を満たすことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記励振電極が、前記振動部と前記凸部との間に位置する前記周辺部に延出され、前記振動部の外縁から前記周辺部に延出されている前記励振電極の端縁までの距離Ｌ１は、
Ｌ１＝（λ／２）×ｐ、
但し、ｐは正の整数
の関係を満たすことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記素板の前記変位方向に沿った長さをＸ、前記振動部の厚さをｔとしたとき、
Ｘ≧２０×ｔ
の関係を満たすことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記素板が水晶板であり、前記振動部と周辺部との段差部、および前記周辺部と前記凸部との段差部が傾斜面を有するとき、前記振動部の前記変位方向に沿った長さ、前記振動部から前記凸部までの前記変位方向に沿った長さ、および前記凸部の前記変位方向に沿った長さは、前記傾斜面の中心を端縁とし、当該端縁を起点としてそれぞれの寸法が定められることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記凸部は、前記振動部の前記変位方向の両側のいずれか一方の前記周辺部に設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記凸部の前記変位方向と交差する方向に沿った長さが、前記振動部の前記交差する方向に沿った長さと同じであることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動片は、前記周辺部の主面から前記凸部の主面まで高さが、前記周辺部の主面から前記振動部の主面までの高さと同じであることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動子は、前記振動片と、前記振動片が搭載されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。
［適用例１］厚み滑り振動を主振動とし、周辺部に囲まれ該周辺部よりも厚み寸法が大きい振動部を有する圧電素板と、前記圧電素板の主面に配置された励振電極とを備えた圧電振動子であって、前記振動部の長辺と前記励振電極の長辺が共に、前記圧電素板の長辺と平行であり、前記圧電素板の長辺寸法をＸ、前記振動部の厚み寸法をｔ、前記振動部の長辺寸法をＭｘ、前記励振電極の長辺寸法をＥｘとし、前記圧電素板の長手方向に生ずる屈曲振動の波長をλとするとき、
2011097183.tif 000005
の関係を満たし、前記振動部の長手方向の延長線上に、前記振動部の短辺方向に平行に配置された凸部を有し、前記凸部における前記主振動の変位方向の寸法をＤｘとしたとき、
2011097183.tif 000006
の関係を満たし、前記振動部と前記凸部との間の寸法をＳｘとしたとき
2011097183.tif 000007
の関係を満たすことを特徴とする圧電振動子。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
このような水晶素板により構成される圧電振動片１２は、厚肉部（振動部）１４と薄肉部（周辺部）１６、凸部１８、および電極膜２０により構成される。厚肉部１４は、薄肉部１６との関係で定義され、厚肉部１４の周囲に薄肉部１６が設けられている。本実施形態では、前述のように水晶のＸ軸に平行な方向を長辺とした矩形状の平板上に、互いの長辺が平行となるように平面が矩形状の厚肉部１４を重ねて一体化した形態を１枚の素板により構成している。なお厚肉部１４は、薄肉部１６の両主面に凸となるように設けられる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2011097183.tif 000008