【手続補正書】
【提出日】平成25年11月7日(2013.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の目的は、上水や淡水を手軽に得ることができる濾過用フィルタの製造方法を提供する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記目的を達成するために、請求項１記載の濾過用フィルタの製造方法は、硬質の基板の表面上に形成された該表面の一部を露出させる均一な大きさの複数の開口部を有するマスク膜を用いて前記基板の開口部に対応する部分をエッチングし、複数の孔又は溝を前記基板に形成し、前記基板を厚み方向に圧縮して前記孔又は溝の内壁が突出するように前記孔又は溝を変形させて前記孔の径又は前記溝の幅を調整することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項２記載の濾過用フィルタの製造方法は、請求項１記載の濾過用フィルタの製造方法において、前記孔の径又は前記溝の幅は１０ｎｍ〜１００ｎｍであり、前記基板を厚み方向に圧縮して前記孔又は溝を変形させて前記孔の径又は前記溝の幅を１ｎｍ〜５ｎｍに調整することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項３記載の濾過用フィルタの製造方法は、請求項１記載の濾過用フィルタの製造方法において、前記孔の径又は前記溝の幅は１０ｎｍ〜１０００ｎｍであり、前記基板を厚み方向に圧縮して前記孔又は溝を変形させて前記孔の径又は前記溝の幅を１ｎｍ〜１００ｎｍに調整することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項４記載の濾過用フィルタの製造方法は、硬質の基板の表面上に形成された該表面の一部を露出させる均一な大きさの複数の開口部を有するマスク膜を用いて前記基板の開口部に対応する部分をエッチングし、複数の孔又は溝を前記基板に形成し、前記形成された孔又は溝の内表面、並びに前記基板の表面及び裏面のいずれか一方に所定の物質を堆積させて前記孔の径又は前記溝の幅を１ｎｍ〜１００ｎｍに調整することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項５記載の濾過用フィルタの製造方法は、請求項４記載の濾過用フィルタの製造方法において、前記形成された孔又は溝の内表面、並びに前記基板の表面及び裏面のいずれか一方に酸化膜の堆積部を形成し、前記基板を複数枚重ねる際に各前記基板の前記酸化膜同士を加熱接合させることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
請求項６記載の濾過用フィルタの製造方法は、請求項５記載の濾過用フィルタの製造方法において、前記基板における前記酸化膜の堆積部を形成していない面を削って前記孔又は溝を前記基板に対して貫通させることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
請求項７記載の濾過用フィルタの製造方法は、請求項６記載の濾過用フィルタの製造方法において、前記基板における前記酸化膜の堆積部を形成していない面を削って前記基板を削除すると共に前記堆積部を残存させ、前記残存した堆積部を複数枚重ねることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項８記載の濾過用フィルタの製造方法は、複数の硬質の基板を、互いの間隔が所定値となるように間に有機材を介して重ねた後、前記有機材を除去することを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
請求項９記載の濾過用フィルタの製造方法は、請求項８記載の濾過用フィルタの製造方法において、各前記基板において当該基板を貫通する孔又は溝を形成し、平面視において各前記基板の前記孔又は溝が重ね合わさらないように前記複数の基板を重ねることを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項１０記載の濾過用フィルタの製造方法は、請求項８又は９記載の濾過用フィルタの製造方法において、前記有機材は大きさが１ｎｍ〜１００ｎｍの間隔保持材を含むことを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
請求項１１記載の濾過用フィルタの製造方法は、請求項１０記載の濾過用フィルタの製造方法において、前記間隔保持材の大きさが１ｎｍ〜５ｎｍであることを特徴とする。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項１２記載の濾過用フィルタの製造方法は、請求項８乃至１１のいずれか１項に記載の濾過用フィルタの製造方法において、前記複数の基板を重ねた後、前記複数の基板をまとめて貫通する貫通孔を形成し、該貫通孔に硬質部材を導入して柱を形成することを特徴とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
請求項１３記載の濾過用フィルタの製造方法は、請求項８乃至１２のいずれか１項に記載の濾過用フィルタの製造方法において、前記重ねられた複数の基板をセラミックからなる他の基板に接合することを特徴とする。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項１４記載の濾過用フィルタの製造方法は、請求項８乃至１２のいずれか１項に記載の濾過用フィルタの製造方法において、前記重ねられた複数の基板に高分子膜を用いる逆浸透膜を接合することを特徴とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
請求項１５記載の濾過用フィルタの製造方法は、請求項８乃至１４のいずれか１項に記載の濾過用フィルタの製造方法において、少なくとも１つの前記基板にセンサ機能を有する電気回路を組み込むことを特徴とする。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
本発明によれば、高度な加工精度を実現することのできるエッチング技術を用いることで、マスク膜の開口部の大きさ及び形状を調整することにより、基板に形成される複数の孔の径又は溝の幅及び形状を直接的に制御することができ、もって、所望のサイズの径や幅の孔や溝を形成する際、該形成される孔の径又は溝の幅のばらつきを防止できる。その結果、濾過の対象物である大きさが数十ｎｍのウィルスや数百ｎｍのコレラ菌、若しくは汚染物質が基板を通過するのを防止することができ、当該基板を用いた濾過用フィルタによる上水や淡水の精製の際、蒸留法等を併用する必要を無くすことができるので、上水や淡水を手軽に得ることができる。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
硬質の基板の表面上に形成された該表面の一部を露出させる均一な大きさの複数の開口部を有するマスク膜を用いて前記基板の開口部に対応する部分をエッチングし、複数の孔又は溝を前記基板に形成し、前記基板を厚み方向に圧縮して前記孔又は溝の内壁が突出するように前記孔又は溝を変形させて前記孔の径又は前記溝の幅を調整することを特徴とする濾過用フィルタの製造方法。
【請求項２】
前記孔の径又は前記溝の幅は１０ｎｍ〜１００ｎｍであり、前記基板を厚み方向に圧縮して前記孔又は溝を変形させて前記孔の径又は前記溝の幅を１ｎｍ〜５ｎｍに調整することを特徴とする請求項１記載の濾過用フィルタの製造方法。
【請求項３】
前記孔の径又は前記溝の幅は１０ｎｍ〜１０００ｎｍであり、前記基板を厚み方向に圧縮して前記孔又は溝を変形させて前記孔の径又は前記溝の幅を１ｎｍ〜１００ｎｍに調整することを特徴とする請求項１記載の濾過用フィルタの製造方法。
【請求項４】
硬質の基板の表面上に形成された該表面の一部を露出させる均一な大きさの複数の開口部を有するマスク膜を用いて前記基板の開口部に対応する部分をエッチングし、複数の孔又は溝を前記基板に形成し、前記形成された孔又は溝の内表面、並びに前記基板の表面及び裏面のいずれか一方に所定の物質を堆積させて前記孔の径又は前記溝の幅を１ｎｍ〜１００ｎｍに調整することを特徴とする濾過用フィルタの製造方法。
【請求項５】
前記形成された孔又は溝の内表面、並びに前記基板の表面及び裏面のいずれか一方に酸化膜の堆積部を形成し、前記基板を複数枚重ねる際に各前記基板の前記酸化膜同士を加熱接合させることを特徴とする請求項４記載の濾過用フィルタの製造方法。
【請求項６】
前記基板における前記酸化膜の堆積部を形成していない面を削って前記孔又は溝を前記基板に対して貫通させることを特徴とする請求項５記載の濾過用フィルタの製造方法。
【請求項７】
前記基板における前記酸化膜の堆積部を形成していない面を削って前記基板を削除すると共に前記堆積部を残存させ、前記残存した堆積部を複数枚重ねることを特徴とする請求項６記載の濾過用フィルタの製造方法。
【請求項８】
複数の硬質の基板を、互いの間隔が所定値となるように間に有機材を介して重ねた後、前記有機材を除去することを特徴とする濾過用フィルタの製造方法。
【請求項９】
各前記基板において当該基板を貫通する孔又は溝を形成し、平面視において各前記基板の前記孔又は溝が重ね合わさらないように前記複数の基板を重ねることを特徴とする請求項８記載の濾過用フィルタの製造方法。
【請求項１０】
前記有機材は大きさが１ｎｍ〜１００ｎｍの間隔保持材を含むことを特徴とする請求項８又は９記載の濾過用フィルタの製造方法。
【請求項１１】
前記間隔保持材の大きさが１ｎｍ〜５ｎｍであることを特徴とする請求項１０記載の濾過用フィルタの製造方法。
【請求項１２】
前記複数の基板を重ねた後、前記複数の基板をまとめて貫通する貫通孔を形成し、該貫通孔に硬質部材を導入して柱を形成することを特徴とする請求項８乃至１１のいずれか１項に記載の濾過用フィルタの製造方法。
【請求項１３】
前記重ねられた複数の基板をセラミックからなる他の基板に接合することを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか１項に記載の濾過用フィルタの製造方法。
【請求項１４】
前記重ねられた複数の基板に高分子膜を用いる逆浸透膜を接合することを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか１項に記載の濾過用フィルタの製造方法。
【請求項１５】
少なくとも１つの前記基板にセンサ機能を有する電気回路を組み込むことを特徴とする請求項８乃至１４のいずれか１項に記載の濾過用フィルタの製造方法。