(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一部が透光性を有するフロントガラスとこのフロントガラスに対向配置された基板と前記フロントガラス及び前記基板の周縁部を密閉接続するスペーサとからなりかつ内部が真空排気された外囲器と、
この外囲器内の前記基板上に配置された制御電極と、
この制御電極から前記フロントガラス方向に離間して配置された多数の貫通孔を有する１枚の板状の電界放出型電子放出源と、
この電界放出型電子放出源と前記フロントガラスとの間に前記電界放出型電子放出源から離間して配置されたメッシュ状の電子引き出し電極と、
前記電界放出型電子放出源から離間して前記外囲器内の前記フロントガラス側に配置された蛍光体膜と
を備え、
前記電界放出型電子放出源は、
多数の貫通孔を有しナノチューブ状繊維の生成核となる板状金属部材と、
この金属部材の表面及び貫通孔壁に形成された多数のナノチューブ状繊維からなる被膜と
から構成されていることを特徴とする蛍光表示管。
【請求項２】
前記蛍光体膜は、表示するパターン形状に形成され、
前記制御電極は、表示するパターン形状に対応した形状で前記蛍光体膜と対向する位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の蛍光表示管。
【請求項３】
帯状に形成された複数の前記制御電極が互いに平行に配置され、帯状に形成された前記電子引き出し電極が前記制御電極の配置方向と直交する方向に複数配置され、前記蛍光体膜は少なくとも前記制御電極と前記電子引き出し電極とが交差する領域と対向していることを特徴とする請求項１記載の蛍光表示管。
【請求項４】
前記板状金属部材は、鉄又は鉄を含む合金から構成され、
前記被膜は、炭素からなるカールした状態の多数のナノチューブ状繊維から構成されていることを特徴とする請求項１に記載の蛍光表示管。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、蛍光表示管に関し、特に電界放出型電子放出源から放出された電子を蛍光体に衝突させて発光させる蛍光表示管に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、音響機器や自動車のダッシュボードの表示部品として、電子表示デバイスの一つである蛍光表示管が多用されている。この蛍光表示管とは、蛍光体が付着した陽極と、この陽極と対向した位置にある陰極とが真空容器内に配置され、陰極から放出された電子をこの蛍光体に衝突させて発光させるものである。一般的な蛍光表示管は、陰極と陽極の間に電子の流れを制御するグリッドを設けて蛍光体を選択的に発光させるようにした３極管形式が最も多く使用されている。
【０００３】
最近、蛍光表示管の輝度を飛躍的に向上させるものとして、カーボンナノチューブを用いた電界放出型電子放出源を陰極とした蛍光表示管が注目されている。図７は、このような蛍光表示管の一例を示す部分断面図である。同図において、この蛍光表示管は、少なくとも一部が透光性を有するフロントガラス３０１と、フロントガラス３０１に対向配置された基板３０２と、フロントガラス３０１及び基板３０２の周縁部を密閉接続する枠状のスペーサ３０３とからなり、かつ内部が真空排気された外囲器３００を備えている。
【０００４】
この外囲器３００内において、フロントガラス３０１の内面には、複数の前面支持部材３０４が互いに平行かつ一定間隔となるように垂設されており、これら前面支持部材３０４に挟まれたフロントガラス３０１内面の領域に表示画素を構成する発光部３１０が形成されている。この発光部３１０は、フロントガラス３０１内面に形成された帯状の蛍光体膜３１１と、この蛍光体膜３１１の表面に形成されて陽極となるメタルバック膜３１２とから構成されている。
【０００５】
また、基板３０２上には、前面支持部材３０４と対向して基板側支持部材３０５が垂設されており、かつ基板側支持部材３０５で挟まれた領域に発光部３１０と対向して帯状の配線電極３２０が複数形成されている。各配線電極３２０上には、カーボンナノチューブからなる電界放出型電子放出源３３０が形成されている。さらに、メッシュ状の電子引き出し電極３４０が電界放出型電子放出源３３０からフロントガラス３０１方向に所定距離離間して複数配置されている。これらの電子引き出し電極３４０は、電界放出型電子放出源３３０と直交する方向を長さ方向とする帯状に形成されており、互いに平行かつ一定間隔で配置されている。また、これらの電子引き出し電極３４０は、基板側支持部材１０５の頂部で支持されており、基板側支持部材３０５と前面支持部材３０４との間に挟まれて固定されている。
【０００６】
次に、この蛍光表示管の動作について図８を参照して説明する。図８は、図７で示した各電極に印加する電圧と発光状態の関係を説明する説明図である。なお、図８では、各電極の位置関係を分かりやすくするため、各電極間に配置されている支持部材３０４，３０５，３０６の表示を省略している。図８において、複数の電界放出型電子放出源３３０が所定間隔で平行に配置されており、これら電界放出型電子放出源３３０の上方に、複数の電子引き出し電極３４０が配置されている。これらの電子引き出し電極３４０は、メッシュ状であり、電界放出型電子放出源３３０と直交する方向を長さ方向として所定間隔で配置されている。これら電子引き出し電極３４０の上方には、各電界放出型電子放出源３３０と対向する位置に複数の発光部３１０が配置されている。
【０００７】
ここで、発光部３１０のメタルバック膜３１２には正電圧（加速電圧）が印加されている。このような状態において、この蛍光表示管は、各電界放出型電子放出源３３０と各電子引き出し電極３４０とに印加される電圧によって、これらが交差する領域に対向する発光部３１０の発光・非発光を切り替える。この蛍光表示管は、電子引き出し電極３４０に０Ｖが印加されている状態では、電子放出に必要な電界が電界放出型電子放出源３３０に生じないため、電界放出型電子放出源３３０に印加される電圧に関わらず非発光状態３１０ａとなる。
【０００８】
また、電子引き出し電極３４０に所定の正電圧を印加した場合は、配線電極３２０を介して電界放出型電子放出源３３０に印加される電圧によって、電界放出型電子放出源３３０と電子引き出し電極３４０とが交差する領域に対向する発光部３１０の発光・非発光を切り替えることができる。この場合、電界放出型電子放出源３３０に印加される電圧が０Ｖのときに発光状態３１０ｂとなり、所定の正電圧のときに非発光状態３１０ａとなる。よって、この蛍光表示管は、各電子引き出し電極３４０に順次正電圧が印加されるように走査し、走査に合わせて各電界放出型電子放出源３３０に印加する電圧を表示する画素に対応して切り替えることにより、マトリクス表示することができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の蛍光表示管では、基板上に電子放出源を形成しているため、電子放出源に輝度むらなどの不良があった場合、基板ごと廃棄するしかなく、製造歩留り悪化の原因となっていた。
この発明は、前述した課題を解決するためになされたものであり、その目的は電界放出型電子放出源を用いた高輝度の蛍光表示管において、製造歩留りを向上させることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、この発明の蛍光表示管は、少なくとも一部が透光性を有するフロントガラスとこのフロントガラスに対向配置された基板とフロントガラス及び基板の周縁部を密閉接続するスペーサとからなり、かつ内部が真空排気された外囲器と、この外囲器内の基板上に配置された制御電極と、この制御電極からフロントガラス方向に離間して配置された多数の貫通孔を有する板状の電界放出型電子放出源と、この電界放出型電子放出源とフロントガラスとの間に電界放出型電子放出源から離間して配置されたメッシュ状の電子引き出し電極と、電界放出型電子放出源から離間して外囲器内のフロントガラス側に配置された蛍光体膜とから構成されていることによって特徴づけられる。このように、この発明では、電界放出型電子放出源を多数の貫通孔を有する板状とし、基板から離間させるとともに、基板上に制御電極を設けたので、制御電極の直上にある電界放出型電子放出源にかかる電界強度を制御電極に印加する電圧により変化させて電子放出のＯＮ・ＯＦＦを制御することができる。このため、電界放出型電子放出源を１枚の板とすることができるとともに、基板に固着する必要がないので、組立前に電子放出源単体での動作確認が可能であり、電子放出源が原因の不良を減らすことができるため製品の製造歩留りを向上することができる。また、電子放出源が１つの部材で構成できるので、コストが低減できるとともに組立が容易にできる。
【００１１】
この発明の蛍光表示管の一構成例は、蛍光体膜が表示するパターン形状に形成され、制御電極が表示するパターン形状に対応した形状で蛍光体膜と対向する位置に配置されている。また、別の構成例は、帯状に形成された複数の制御電極が互いに平行に配置され、帯状に形成された電子引き出し電極が制御電極の配置方向と直交する方向に複数配置され、蛍光体膜が少なくとも制御電極と電子引き出し電極とが交差する領域と対向している。電界放出型電子放出源は、多数の貫通孔を有しナノチューブ状繊維の生成核となる板状金属部材と、この金属部材の表面及び貫通孔壁に形成された多数のナノチューブ状繊維からなる被膜とから構成されている。また、電子放出源の一構成例は、板状金属部材が鉄又は鉄を含む合金から構成され、被膜が炭素からなるカールした状態の多数のナノチューブ状繊維から構成されている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に図を用いてこの発明の実施の形態を説明する。
はじめに、この発明の第１の実施の形態について説明する。図１は、この発明の第１の実施の形態にかかる蛍光表示管の構成を示す部分断面図である。この実施の形態にかかる蛍光表示管は、少なくとも一部が透光性を有するフロントガラス１０１と、フロントガラス１０１に対向配置された基板１０２と、フロントガラス１０１及び基板１０２の周縁部を密閉接続する枠状のスペーサ１０３とからなり、かつ内部が真空排気された外囲器１００を備えている。
【００１３】
この外囲器１００内において、フロントガラス１０１の内面には、複数の前面支持部材１０４が互いに平行かつ一定間隔となるように垂設されており、これら前面支持部材１０４に挟まれたフロントガラス１０１内面の領域に表示画素を構成する発光部１１０が形成されている。この発光部１１０は、フロントガラス１０１内面に形成された帯状の蛍光体膜１１１と、この蛍光体膜１１１の表面に形成されて陽極となるメタルバック膜１１２とから構成されている。
【００１４】
また、基板１０２上には、前面支持部材１０４と対向して基板側支持部材１０５が垂設されており、かつ基板側支持部材１０５で挟まれた領域に発光部１１０と対向して帯状の制御電極１２０が複数形成されている。さらに、多数の貫通孔を有する板状の電界放出型電子放出源１３０がこれら制御電極１２０からフロントガラス１０１方向に所定距離離間して１つ配置されている。この電界放出型電子放出源１３０は、基板側支持部材１０５に支持されており、全ての制御電極１２０を覆っている。
【００１５】
さらに、メッシュ状の電子引き出し電極１４０が電界放出型電子放出源１３０からフロントガラス１０１方向に所定距離離間して複数配置されている。これらの電子引き出し電極１４０は、制御電極１２０と直交する方向を長さ方向とする帯状に形成されており、互いに平行かつ一定間隔で配置されている。また、これらの電子引き出し電極１４０は、電界放出型電子放出源１３０を介して基板側支持部材１０５の上方に配置された中間支持部材１０６と前面支持部材１０４との間に挟まれて固定されている。
【００１６】
ここで、外囲器１００を構成するフロントガラス１０１、基板１０２及びスペーサ１０３は、ソーダライムガラスを用いており、フロントガラス１０１と基板１０２は厚さ１〜２ｍｍの板ガラスを使用している。前面支持部材１０４は、低融点のフリットガラスを含む絶縁ペーストを所定の高さになるまでフロントガラス１０１内面の所定位置に繰り返しスクリーン印刷した後、焼成して形成した絶縁体で構成されている。この場合、前面支持部材１０４は、例えば、幅５０μｍ、高さ２〜４ｍｍで、前面支持部材１０４に挟まれた領域に配置される発光部１１０の幅が０．３ｍｍとなるように形成されている。
【００１７】
蛍光体膜１１１は、所定の発光色を有する蛍光体で構成されており、フロントガラス１０１の内面に蛍光体ペーストをストライプ状にスクリーン印刷した後、焼成して厚さ１０〜１００μｍ、幅０．３ｍｍに形成したものである。この場合、蛍光体膜１１１には、カラー表示用に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三原色を発光するため３種類の蛍光体膜を用いるようにしてもよいし、モノクロ表示用に、例えば白色発光する１種類の蛍光体膜を用いるようにしてもよい。これらの蛍光体膜にはブラウン管等で一般的に使用されている、４〜１０ＫＶの高電圧で加速した電子を衝突させることで発光する周知の酸化物蛍光体や硫化物蛍光体を用いることができる。メタルバック膜１１２は、厚さ０．１μｍ程度のアルミニウム薄膜から構成されており、周知の蒸着法を用いて蛍光体膜１１１の表面に形成されている。
【００１８】
基板側支持部材１０５は、制御電極１２０を挟むように低融点のフリットガラスを含む絶縁ペーストを所定の高さになるまで基板１０２上に繰り返しスクリーン印刷した後、焼成して形成した絶縁体で構成されている。この場合、基板側支持部材１０５は、例えば、幅５０μｍ、高さ０．３〜０．６ｍｍで、基板側支持部材１０５に挟まれる制御電極１２０の幅が０．３ｍｍとなるように形成されている。
【００１９】
制御電極１２０は、１０μｍ程度の厚さとなるように銀あるいはカーボンを導電材料として含んだ導電性ペーストを所定のパターンで基板１０２にスクリーン印刷した後、焼成して形成している。この場合、制御電極１２０は、前述した印刷で形成するものに限られるものではなく、例えば、周知のスパッタリング法とエッチング法を用いて形成された厚さ１μｍ程度のアルミニウム薄膜で構成してもよい。
【００２０】
電界放出型電子放出源１３０は、図２に示すように、多数の貫通孔を有しナノチューブ状繊維の生成核となる板状金属部材１３１と、この板状金属部材１３１の表面及び貫通孔壁を覆うように形成された多数のナノチューブ状繊維からなる被膜１３２とから構成されている。ここで、板状金属部材１３１は、鉄又は鉄を含む合金からなる金属板であり、貫通孔がマトリクス状に設けられて格子状となっている。なお、貫通孔の開口部の形状は、板状金属部材１３１上で被膜１３２の分布が均一となるものであればどのような形状でもよく、開口部の大きさが同一である必要はない。例えば、開口部の形状が三角形、四角形、六角形などの多角形やこれら多角形の角を丸めたもの、又は円形やだ円形など何でもよい。また、金属部分の隣り合う貫通孔の間の断面形状は、方形に限られるものではなく、例えば、円形やだ円形などの曲線で構成されたものや、三角形、四角形、六角形などの多角形やこれら多角形の角を丸めたものなど何でもよい。
【００２１】
この板状金属部材１３１は、次に述べるようにして得られる。まず、鉄又は鉄を含む合金からなる金属板に感光性レジスト膜を形成した後、多数の貫通孔のパターンを有するマスクを置き、光又は紫外線で露光し、現像して所望のパターンを有するレジスト膜を形成する。次に、この金属板をエッチング液に浸けて不要部分を除去した後、レジスト膜の除去と洗浄を行うことにより板状金属部材１３１が得られる。この場合、貫通孔の開口部の形状は、マスクのパターンにより任意の形状とすることができる。また、金属板の一方の面のレジスト膜にパターンを形成し、他方の面のレジスト膜をベタのままにすると、格子を構成する金属部分の隣り合う貫通孔の間の断面形状が台形又は三角形となり、両面のレジスト膜にパターンを形成すると六角形又は菱形となるなど、製造方法や製造条件によって断面形状を変化させることができる。また、エッチング後に電解研磨を行うことにより、断面形状を曲線状とすることができる。
【００２２】
ここで、板状金属部材１３１に鉄又は鉄を含む合金を用いるのは、鉄が炭素からなるナノチューブ状繊維の生成核となるためである。板状金属部材１３１に鉄を用いる場合は工業用純鉄（９９．９６Ｆｅ）を使用するが、その純度は特に規定の純度が必要なわけではなく、例えば、純度９７％や９９．９％などでもよい。また、鉄を含む合金としては、例えば４２合金や４２−６合金などが使用できるが、これに限られるものではない。この実施の形態では生産コストや入手の容易さを考慮して、厚さ０．０５〜０．２０ｍｍの４２−６合金の薄板を用いた。
【００２３】
被膜１３２を構成するナノチューブ状繊維は、太さが１０ｎｍ以上１μｍ未満程度で、長さが１μｍ以上１００μｍ未満程度の炭素で構成された物質であり、グラファイトの単層が円筒状に閉じ、かつ円筒の先端部に五員環が形成された単層構造のカーボンナノチューブや、複数のグラファイトの層が入れ子構造的に積層し、それぞれのグラファイト層が円筒状に閉じた同軸多層構造のカーボンナノチューブであってもよいし、構造が乱れて欠陥をもつ中空のグラファイトチューブやチューブ内に炭素が詰まったグラファイトチューブでもよい。また、これらが混在したものであってもよい。これらのナノチューブ状繊維は、一端が板状金属部材１３１の表面や貫通孔壁に結合するとともに、カールしたり互いに絡み合ったりして格子を構成する金属部分を覆い、綿状の被膜１３２を形成している。この場合、被膜１３２は、例えば厚さ０．０５〜０．２０ｍｍの４２−６合金からなる板状金属部材１３１を１０〜３０μｍの厚さで覆い、滑らかな曲面を形成している。
【００２４】
この被膜１３２は、次に述べる熱ＣＶＤ法を用いて形成することができる。まず、反応容器に前述した板状金属部材１３１を入れて真空に排気した後、メタンガスと水素ガス、あるいは一酸化炭素ガスと水素ガスを所定の比率で導入して１気圧に保ち、赤外線ランプで板状金属部材１３１を所定時間加熱する。これにより、板状金属部材１３１の表面や格子を構成する貫通孔壁に炭素からなるナノチューブ状繊維が成長し、被膜１３２が形成される。熱ＣＶＤ法を用いると、被膜１３２を構成する炭素からなるナノチューブ状繊維をカールした状態で形成することができる。なお、この電界放出型電子放出源１３０は、基板１０２に印刷する必要がないので、単体で動作確認を行って輝度むらの原因となる電子放出の不均一などがないかを調べることが可能であり、動作確認後に蛍光表示管内に組み込まれる。
【００２５】
電子引き出し電極１４０は、厚さ５０μｍのステンレス板又は４２−６合金で構成されており、エッチングにより多数の電子通過孔を形成したメッシュ構造を有している。この場合、電子通過孔の口径は、例えば２０〜１００μｍとしている。中間支持部材１０６は、長さと幅が発光部１１０と同じ寸法のスリットを発光部１１０に対応して設けた絶縁基板で構成されている。この場合、絶縁基板には、例えば厚さ０．３ｍｍのアルミナ基板を用いており、スリットの開口はレーザ光を使用している。なお、中間支持部材１０６はアルミナ基板に限られるものではなく、例えばガラス基板などの絶縁基板でもよい。中間支持部材１０６の厚さは、電界放出型電子放出源１３０と電子引き出し電極１４０の間の距離となり、電界放出型電子放出源１３０に加わる電界の強度に影響を与えるので、電界放出型電子放出源１３０と制御電極１４０の間の距離となる基板側支持部材１０５の高さとも勘案して決める必要がある。
【００２６】
次に、この実施の形態にかかる蛍光表示管の動作について図３を参照して説明する。図３は、図１で示した各電極に印加する電圧と発光状態の関係を説明する説明図である。なお、図３では、各電極の位置関係を分かりやすくするため、各電極間に配置されている支持部材１０４，１０５，１０６の表示を省略している。図３において、複数の制御電極１２０が所定間隔で平行に配置されており、これら制御電極１２０の上方に１つの電界放出型電子放出源１３０が配置されている。電界放出型電子放出源１３０の上方には、制御電極１２０と直交する方向を長さ方向とする電子引き出し電極１４０が所定間隔で複数配置されている。これら電子引き出し電極１４０の上方には、各制御電極１２０と対向する位置に複数の発光部１１０が配置されている。
【００２７】
ここで、電界放出型電子放出源１３０はグランド（ＧＮＤ）に接続され、発光部１１０のメタルバック膜１１２には正電圧（加速電圧）が印加されている。このような状態において、この蛍光表示管は、各制御電極１２０と各電子引き出し電極１４０とに印加される電圧によって、これらが交差する領域に対向する発光部１１０の発光・非発光を切り替える。この蛍光表示管は、電子引き出し電極１４０に０Ｖが印加されている状態では、電子放出に必要な電界が電界放出型電子放出源１３０に生じないため、制御電極１２０に印加される電圧に関わらず非発光状態１１０ａとなる。
【００２８】
また、電子引き出し電極１４０に所定の正電圧を印加した場合は、制御電極１２０に印加される電圧によって、制御電極１２０と電子引き出し電極１４０とが交差する領域に対向する発光部１１０の発光・非発光を切り替えることができる。この場合、制御電極１２０に印加される電圧が０Ｖのときに発光状態１１０ｂとなり、所定の負電圧のときに非発光状態１１０ａとなる。このように、制御電極１２０に印加する電圧によって発光部１１０の発光・非発光を切り替えられる理由を以下に説明する。
【００２９】
固体表面に強い電界をかけると、その固体内に電子を閉じこめている表面のポテンシャル障壁が低くなりまた薄くなる。この結果、閉じこめられていた電子がトンネル効果により外部に放出されるようになる。この現象を電界放出と言い、電界放出型電子放出源は、この電界放出現象を利用した電子放出源である。この電界放出を観測するためには、１０9Ｖ／ｃｍもの強い電界を固体表面にかけなければならない。電界放出を実現するための一手法として先端を鋭くとがらせた導体に電界をかける方法がある。この方法によれば、導体の尖った先端に電界が集中し、必要とされる高電界が得られて先端から電子が放出される。
【００３０】
この実施の形態においては、電界放出型電子放出源１３０を構成する被膜１３２に含まれるナノチューブ状繊維に高電界を作用させることによりナノチューブ状繊維から電子が電界放出される。ここで、電界放出型電子放出源１３０は、多数の貫通孔を有しており、制御電極１２０と電子引き出し電極１４０との間に配置されてグランド（ＧＮＤ）に接続されているので、制御電極１２０に０Ｖを印加し、電子引き出し電極１４０に例えば２ｋＶの正電圧を印加することにより、ナノチューブ状繊維に高電界が作用してナノチューブ状繊維から電子が電界放出されてエミッション電流が得られる。
【００３１】
ここで、電子引き出し電極１４０に印加される電圧と電界放出型電子放出源１３０から放出される電子によって生じるエミッション電流の関係を示すグラフを図４に示す。同図に示すように、この電界放出型電子放出源１３０から電界放出を発生させるためには、電子引き出し電極１４０に所定の閾値電圧以上の電圧を印加してナノチューブ状繊維に作用する電界の強度を所定の閾値以上とする必要がある。この場合、電子引き出し電極１４０に印加する電圧が１ｋＶ以上でエミッション電流が得られる。一方、制御電極１２０に、例えば−１ｋＶの負電圧を印加すると、電界放出型電子放出源１３０の貫通孔を通して負電界が作用するので、ナノチューブ状繊維に作用する電界の強度が所定の閾値よりも低くなる。その結果、電界放出が妨げられてエミッション電流が得られなくなる。
【００３２】
したがって、電子引き出し電極１４０に、例えば２ｋＶの正電圧を印加した状態において、電界放出型電子放出源１３０の、この電子引き出し電極１４０と、印加電圧を０Ｖとした制御電極１２０とに挟まれた領域から電子が放出される。放出された電子の多くは、電子引き出し電極１４０のメッシュを通過してメタルバック膜１１２に向かって加速され、さらにメタルバック膜１１２を透過して蛍光体膜１１１に衝突し、蛍光体膜１１１を発光させるため、この領域に対応した発光部１１０は発光状態１１０ｂとなる。一方、電界放出型電子放出源１３０の、この電子引き出し電極１４０と、印加電圧を例えば−１ｋＶの負電圧とした制御電極１２０とに挟まれた領域では、電子放出が抑制されるため、この領域に対応した発光部１１０は未発光状態１１０ａとなる。
【００３３】
以上説明したように、この実施の形態にかかる蛍光表示管は、電子放出源が１つの板状部材で構成されているので、電子放出源単体での動作確認が可能である。したがって、組立前に不良品を発見できるので、電子放出源が原因の不良を減らすことが可能であり、製品の歩留りを向上することができる。また、単一部材であるため組立も容易であり、組立工数を削減することができる。また、電子放出源を多数の貫通孔を有しナノチューブ状繊維の生成核となる板状金属部材と、この金属部材の表面及び貫通孔壁に形成された多数のナノチューブ状繊維からなる被膜とから構成したので、制御電極による発光・非発光の制御が可能であるとともに、高密度で均一な電子放出が得られる。
【００３４】
次に、この発明の第２の実施の形態について図５と図６を参照して説明する。図５は、この発明の第２の実施の形態にかかる蛍光表示管の構成を示す部分断面図であり、図６は、図５で示した各電極に印加する電圧と発光状態の関係を説明する説明図である。なお、図６では、各電極の位置関係を分かりやすくするため、各電極間に配置されている支持部材２０４，２０５，２０６の表示を省略している。
【００３５】
この実施の形態にかかる蛍光表示管は、少なくとも一部が透光性を有するフロントガラス２０１と、フロントガラス２０１に対向配置された基板２０２と、フロントガラス２０１及び基板２０２の周縁部を密閉接続する枠状のスペーサ２０３とからなり、かつ内部が真空排気された外囲器２００を備えている。この外囲器２００内において、フロントガラス２０１の内面には、複数の前面支持部材２０４が互いに平行かつ一定間隔となるように垂設されており、これら前面支持部材２０４に挟まれたフロントガラス２０１内面の領域に表示セグメントを構成する発光部２１０が形成されている。この発光部２１０は、フロントガラス２０１内面に形成されて陽極となる帯状の透明電極２１２と、この透明電極２１２の表面に形成された蛍光体膜２１１とから構成されている。
【００３６】
また、基板２０２上には、前面支持部材２０４と対向して基板側支持部材２０５が垂設されており、かつ基板側支持部材２０５で挟まれた領域に発光部２１０と対向して帯状の制御電極２２０が複数形成されている。さらに、多数の貫通孔を有する板状の電界放出型電子放出源２３０がこれら制御電極２２０からフロントガラス２０１方向に所定距離離間して１つ配置されている。この電界放出型電子放出源２３０は、基板側支持部材２０５に支持されており、全ての制御電極２２０を覆っている。
【００３７】
さらに、メッシュ状の電子引き出し電極２４０が電界放出型電子放出源２３０からフロントガラス２０１方向に所定距離離間して配置されている。この電子引き出し電極２４０は、１つで電界放出型電子放出源２３０の各制御電極２２０に対向した領域から電子を引き出せるように、電界放出型電子放出源２３０とほぼ同じ大きさに形成されている。また、この電子引き出し電極２４０は、電界放出型電子放出源２３０を介して基板側支持部材２０５の上方に配置された中間支持部材２０６と前面支持部材２０４との間に挟まれて固定されている。
【００３８】
ここで、フロントガラス２０１、基板２０２及びスペーサ２０３から構成された外囲器２００、前面支持部材２０４、基板側支持部材２０５、中間支持部材２０６、制御電極２２０及び電界放出型電子放出源２３０は、第１の実施の形態と同じであるので説明を省略する。電子引き出し電極２４０は、電界放出型電子放出源２３０とほぼ同じ大きさに形成されている以外は、第１の実施の形態と同じであるので説明を省略する。
【００３９】
透明電極２１２は、透明導電膜であるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）膜から構成されており、周知のスパッタリング法とリフトオフ法を用いてフロントガラス２０１の内面に所定のパターンで形成されている。なお、透明電極２１２は、ＩＴＯに限られるものではなく、例えば酸化インジウムのような他の透明導電膜を用いてもよい。また、透明導電膜の代わりに、周知のスパッタリング法とエッチング法を用いて開口部を有するアルミニウム薄膜を形成し、透明電極２１２としてもよい。
【００４０】
蛍光体膜２１１は、所定の発光色を有する低速電子線励起蛍光体で構成されており、蛍光体ペーストを所定のパターンで透明電極２１２にスクリーン印刷した後、焼成して形成したものである。この低速電子線励起蛍光体には、蛍光表示管で一般的に使用されている周知の酸化物蛍光体や硫化物蛍光体が使用できる。なお、表示パターンごとに蛍光体の種類を変えて発光色を異なるようにしてもよいことは言うまでもない。
【００４１】
次に、この実施の形態にかかる蛍光表示管の動作について図６を参照して説明する。図６において、複数の制御電極２２０が所定間隔で平行に配置されており、これら制御電極２２０の上方に１つの電界放出型電子放出源２３０が配置されている。電界放出型電子放出源２３０の上方には、電界放出型電子放出源２３０とほぼ同じ大きさの電子引き出し電極２４０が所定距離離間して配置されている。この電子引き出し電極２４０の上方には、各制御電極２２０と対向する位置に複数の発光部２１０が配置されている。
【００４２】
ここで、電界放出型電子放出源２３０はグランド（ＧＮＤ）に接続されており、電子引き出し電極２４０と発光部２１０の透明電極２１２には正電圧が印加されている。このような状態において、この蛍光表示管は、各制御電極２２０に印加される電圧によって、各制御電極２２０に対向する発光部２１０の発光・非発光を切り替える。この場合、制御電極２２０に印加される電圧が０Ｖのときに発光状態２１０ｂとなり、所定の負電圧のときに非発光状態２１０ａとなる。このように、制御電極２２０に印加する電圧によって発光部２１０の発光・非発光を切り替えられる理由は、第１の実施の形態で説明したとおりなので説明を省略する。
【００４３】
以上説明したように、この実施の形態にかかる蛍光表示管は、電界放出型電子放出源２３０と電子引き出し電極２４０をそれぞれ１つの板状部材で構成したので、第１の実施の形態示した効果に加えてさらに組立が容易になる効果が得られる。なお、この実施の形態では、表示セグメントとなる発光部２１０を帯状としたが、これに限られるものではなく、様々な形状への変形が可能である。この場合、制御電極２２０の形状を発光部２１０の形状に合わせることは言うまでもない。この実施の形態によれば、印刷形成する発光部２１０と制御電極２２０の形状で表示パターンを形成できるので、複雑な形状の表示パターンであっても容易に作製できる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の蛍光表示管は、外囲器内の基板上に配置された制御電極と、この制御電極からフロントガラス方向に離間して配置された多数の貫通孔を有する板状の電界放出型電子放出源と、この電界放出型電子放出源とフロントガラスとの間に電界放出型電子放出源から離間して配置されたメッシュ状の電子引き出し電極と、電界放出型電子放出源から離間して外囲器内のフロントガラス側に配置された蛍光体膜とから構成したので、電子放出源を基板に固着する必要がない。また、電界放出型電子放出源を板状としたので、組立前に電子放出源単体での動作確認ができるため、電子放出源が原因の不良を減らすことが可能であり、製品の製造歩留りを向上することができる。また、電子放出源が１つの部材で構成できるので、コストが低減できるとともに組立が容易にできる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の第１の実施の形態にかかる蛍光表示管の構成を示す部分断面図である。
【図２】  図１の電界放出型電子放出源の構成を示す部分断面図である。
【図３】  図１で示した各電極に印加する電圧と発光状態の関係を説明する説明図である。
【図４】  電子引き出し電極に印加される電圧と電界放出型電子放出源から放出される電子によって生じるエミッション電流の関係を示すグラフである。
【図５】  この発明の第２の実施の形態にかかる蛍光表示管の構成を示す部分断面図である。
【図６】  図５で示した各電極に印加する電圧と発光状態の関係を説明する説明図である。
【図７】  従来の蛍光表示管の一例を示す部分断面図である。
【図８】  図７で示した各電極に印加する電圧と発光状態の関係を説明する説明図である。
【符号の説明】
１００，２００，３００…外囲器、１０１，２０１，３０１…フロントガラス、１０２，２０２，３０２…基板、１０３，２０３，３０３…スペーサ、１０４，２０４，３０４…前面支持部材、１０５，２０５，３０５…基板側支持部材、１０６，２０６…中間支持部材、１１０，２１０，３１０…発光部、１１０ａ，２１０ａ，３１０ａ…非発光状態、１１０ｂ，２１０ｂ，３１０ｂ…発光状態、１１１，２１１，３１１…蛍光体膜、１１２、３１２…メタルバック膜、１２０，２２０…制御電極、１３０，２３０，３３０…電界放出型電子放出源、１３１…板状金属部材、１３２…被膜、１４０，２４０，３４０…電子引き出し電極、２１２…透明電極、３２０…配線電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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