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【手続補正書】
【提出日】平成25年7月29日(2013.7.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部、及び前記基部から第１方向に沿って延出されている振動腕を含む振動片と、
前記振動片が収容されているパッケージと、
を含み、
前記振動腕は、
第１錘部と、
前記第１錘部よりも前記基部側に配置されている腕部と、
前記腕部と前記第１錘部との間に配置されている第２錘部と、
を含み、
前記振動腕の前記第１方向と交差する第２方向に沿った幅において、
前記第１錘部の幅は前記腕部の幅より広く、
前記第２錘部の幅は前記腕部の幅より広く、且つ、前記第１錘部の幅より狭く、
前記パッケージは、平面視において、開口部の内側が前記第１錘部の外縁と重なっている凹部を含み、前記凹部の縁の一部が前記第２錘部と重なる位置に配置されていることを特徴とする振動デバイス。
【請求項２】
請求項１において、
前記振動腕は、前記腕部と前記第２錘部との間、及び前記第２錘部と前記第１錘部との間にテーパ部を含み、
前記テーパ部は、前記振動腕の先端側に向うに従って、前記第２方向の幅が連続的に変化していることを特徴とする振動デバイス。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記縁の一部に、緩衝部が設けられていることを特徴とする振動デバイス。
【請求項４】
請求項３において、
前記緩衝部の前記第１方向に沿った断面の形状が、略半円状または略半楕円状であることを特徴とする振動デバイス。
【請求項５】
請求項３または４において、
前記緩衝部が金属被膜を含むことを特徴とする振動デバイス。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記腕部は、前記第１方向に沿って溝部が設けられていることを特徴とする振動デバイス。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか一項に記載の振動デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】振動デバイスおよび電子機器
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、上記の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のある形態に係る振動デバイスは、基部、及び前記基部から第１方向に沿って延出されている振動腕を含む振動片と、前記振動片が収容されているパッケージと、を含み、前記振動腕は、第１錘部と、前記第１錘部よりも前記基部側に配置されている腕部と、前記腕部と前記第１錘部との間に配置されている第２錘部と、を含み、前記振動腕の前記第１方向と交差する第２方向に沿った幅において、前記第１錘部の幅は前記腕部の幅より広く、前記第２錘部の幅は前記腕部の幅より広く、且つ、前記第１錘部の幅より狭く、前記パッケージは、平面視において、開口部の内側が前記第１錘部の外縁と重なっている凹部を含み、前記凹部の縁の一部が前記第２錘部と重なる位置に配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動デバイスは、前記振動腕は、前記腕部と前記第２錘部との間、及び前記第２錘部と前記第１錘部との間にテーパ部を含み、前記テーパ部は、前記振動腕の先端側に向うに従って、前記第２方向の幅が連続的に変化していることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動デバイスは、前記縁の一部に、緩衝部が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動デバイスは、前記緩衝部の前記第１方向に沿った断面の形状が、略半円状または略半楕円状であることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動デバイスは、前記緩衝部が金属被膜を含むことを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る振動デバイスは、前記腕部は、前記第１方向に沿って溝部が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の形態に係る電子機器は、前記振動デバイスを備えていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月12日(2013.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
RTP部１３３は、RTPパケットを再構成して、冗長パケットを含む符号化データであるFEC冗長符号化データを生成し、それをFEC部１３４に供給する。FEC部１３４は、パケットの損失の検出を行い、必要に応じて冗長符号化復号処理によって損失パケットデータを回復する。FEC部１３４は、処理後の符号化データを復号部１３５に供給する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７５】
さらに、ステップＳ１４６において、受信バッファ時間設定部１３８は、「画像品質要求」、「伝送品質要求」、「可変圧縮符号化遅延時間」、および「冗長符号化ブロック受信待ち時間」を、例えば、RTCP部１３７を介して、RTCPメッセージとして送信装置１０１へ通知する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７８】
受信バッファ時間・処理パラメータ設定処理が開始されると、受信バッファ時間・処理パラメータ設定部１１９は、ステップＳ１６１において、RTCP部１１７を介して、受信装置１０３から供給されるRTCPメッセージに含まれる「画像品質要求」、「伝送品質要求」、「可変圧縮符号化遅延時間」、および「冗長符号化ブロック受信待ち時間」を取得する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７９】
ステップＳ１６２において、受信バッファ時間・処理パラメータ設定部１１９は、「可変圧縮符号化遅延時間」を符号化部１１１に設定する。ステップＳ１６３において、受信バッファ時間・処理パラメータ設定部１１９は、「冗長符号化ブロック受信待ち時間」をFEC部１１２に設定する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８２】
FEC部１１２は、ステップＳ１６５において、「伝送品質要求」および「冗長符号化ブロック受信待ち時間」を用いてFECブロックパラメータを設定する。「冗長符号化ブロック受信待ち時間」は、FECブロックに含まれるパケット全ての平滑化伝送にかかる時間の最大値である。FEC部１１２は、この時間が「冗長符号化ブロック受信待ち時間」以下となるように、FECブロック毎の元データパケット数を調整する。さらに、FEC部１１２は、例えば、上述した式（３）を満たすように、冗長パケット数ｎ−ｋを設定する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８５】
より具体的には、送信装置１０１は、遅延を増大させない程度に、符号化部１１１の「可変圧縮符号化遅延時間」をより長く設定し、エンコーダ想定バッファサイズＢ(byte)をより大きく設定することができる。また、送信装置１０１は、遅延を増大させない程度に、FEC部１１２の「冗長符号化ブロック受信待ち時間」をより長く設定し、FECブロックや冗長度をより大きく設定することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成24年12月12日(2012.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】メンテナンス方法、露光装置、及びデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液浸露光装置のメンテナンス方法であって、
前記液浸露光装置は、露光光が射出される光学部材の近傍に配置され、液体供給口及び液体回収口を有するノズル部材を有し、
前記ノズル部材を洗浄用液体に浸漬するとともに、前記洗浄用液体に超音波を印加することと、
前記洗浄用液体に浸漬後、前記液体供給口からの液体供給を行うとともに、前記液体回収口からの液体回収を行って、前記ノズル部材に残留している前記洗浄用液体を除去することと、を含み、
前記ノズル部材に残留している前記洗浄用液体を除去するために前記液体供給口から純水が供給されるメンテナンス方法。
【請求項２】
前記純水を汚染しない物体と前記ノズル部材の下面とを対向させた状態で、前記液体供給口からの液体供給と、前記液体回収口からの液体回収とを行う請求項１記載のメンテナンス方法。
【請求項３】
前記物体は、前記基板を保持する基板ホルダを有し、前記光学部材の光射出側で移動可能な基板ステージ、及び前記基板ホルダに保持されたダミー基板の少なくとも一方を含む請求項２に記載のメンテナンス方法。
【請求項４】
前記ノズル部材の温度調整を行いながら、前記ノズル部材を前記洗浄用液体に浸漬する請求項１〜３のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項５】
前記ノズル部材を洗浄用液体に浸漬することは、前記ノズル部材を第１の洗浄用液体に浸漬することと、前記第１の洗浄用液体に浸漬後、前記ノズル部材を第２の洗浄用液体に浸漬することと、を含む請求項１〜４のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項６】
前記ノズル部材は、前記液体供給口を有する第１ノズル部材と、前記液体回収口を有する第２ノズル部材と、を含む請求項１〜５のいずれか一項に記載のメンテナンス方法。
【請求項７】
液浸露光装置であって、
露光光が射出される光学部材と、
前記光学部材の近傍に配置され、液体供給口及び液体回収口を有するノズル部材と、を備え、
超音波が印加された洗浄用液体に浸漬後の前記ノズル部材の前記液体供給口からの液体供給を行うとともに、前記液体回収口から液体回収を行って、前記ノズル部材に残留している前記洗浄用液体を除去し、
前記ノズル部材に残留している前記洗浄用液体を除去するために、前記液体供給口から純水を供給する露光装置。
【請求項８】
前記純水を汚染しない物体と前記ノズル部材の下面とを対向させた状態で、前記液体供給口からの液体供給を行うとともに、前記液体回収口からの液体回収を行う請求項７に記載の露光装置。
【請求項９】
前記基板を保持する基板ホルダを有し、前記光学部材の光射出側で移動可能な基板ステージを備え、
前記物体は、前記基板ステージ及び前記基板ホルダに保持されたダミー基板の少なくとも一方を含む請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】
温度調整装置で前記ノズル部材の温度調整を行いながら、前記ノズル部材を前記洗浄用液体に浸漬する請求項７〜９のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記ノズル部材は、前記液体供給口を有する第１ノズル部材と、前記液体回収口を有する第２ノズル部材と、を含む請求項７〜１０のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１２】
前記ノズル部材に残留している前記洗浄用液体の除去において前記液体回収口に接続される液体排出管を備える請求項７〜１１のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１３】
前記基板の露光において前記排出管からの液体排出を行わない請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１４】
請求項７〜１３のいずれか一項に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月9日(2013.8.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１枚のフレーム画像から、Ｎ倍速駆動表示用の、１番目からＮ番目までのＮ枚（Ｎ≧２）のサブフレーム画像を生成する画像処理装置であって、
フレーム画像を入力する入力手段と、
前記フレーム画像から、１番目からＮ番目までのＮ枚の中間画像を生成する生成手段と、
オリジナルフィルタを分割することにより生成された、１番目からＮ番目までのＮ個のサブフィルタと、それぞれの前記サブフィルタが参照する画素の相対位置情報とを保持する保持手段と、
ｉ番目（１≦ｉ≦Ｎ）の前記中間画像の着目画素に対して、ｉ番目の前記サブフィルタの前記相対位置情報が示す相対位置にある、前記中間画像の画素値を収集する収集手段と、
前記収集手段が収集した画素値に対して、ｉ番目の前記サブフィルタを用いて得られる演算値から、ｉ番目の前記サブフレーム画像の前記着目画素の画素値を求めることにより、Ｎ枚の前記サブフレーム画像を作成する演算手段とを備え、
Ｎ枚の前記サブフレーム画像についての画素値の平均値が、前記フレーム画像に対して前記オリジナルフィルタを用いて得られる値に一致することを特徴とする、画像処理装置。
【請求項２】
１枚のフレーム画像から、Ｎ倍速駆動表示用の、１番目からＮ番目までのＮ枚（Ｎ≧２）のサブフレーム画像を生成する画像処理装置であって、
フレーム画像を入力する入力手段と、
連続する２つの前記フレーム画像を参照し、補間処理を行うことによって、前記フレーム画像から、１番目からＮ番目までのＮ枚の中間画像を生成する生成手段と、
オリジナルフィルタを分割することにより生成された、１番目からＮ番目までのＮ個のサブフィルタと、それぞれの前記サブフィルタが参照する画素の相対位置情報とを保持する保持手段と、
ｉ番目（１≦ｉ≦Ｎ）の前記中間画像の着目画素に対して、ｉ番目の前記サブフィルタの前記相対位置情報が示す相対位置にある、前記中間画像の画素値を収集する収集手段と、
前記中間画像の着目画素周辺の画素の画素値が、前記Ｎ枚の中間画像の間で一致するか否かを判断する判断手段と、
前記収集手段が収集した画素値に対して、ｉ番目の前記サブフィルタを用いて得られる演算値から、ｉ番目の前記サブフレーム画像の前記着目画素の画素値を求めることにより、Ｎ枚の前記サブフレーム画像を作成する演算手段とを備え、
前記演算手段は、前記判断手段が画素値が一致すると判断した場合には、前記収集手段が収集した画素値に対してｉ番目の前記サブフィルタを用いた演算を行い、前記判断手段が画素値が一致しないと判断した場合には、前記中間画像の着目画素周辺の画素の画素値に対して前記サブフィルタとは別のフィルタを用いた演算を行うことにより、前記サブフレーム画像の前記着目画素の画素値を取得し、
Ｎ枚の前記サブフレーム画像についての、前記演算手段が前記サブフィルタを用いて演算した前記着目画素の画素値の平均値が、前記フレーム画像の前記着目画素周辺の画素の画素値に対して前記オリジナルフィルタを用いて得られる値に一致することを特徴とする、画像処理装置。
【請求項３】
前記演算手段は、
ｉ番目の前記サブフィルタを用いた前記演算で得られた演算値が所定値を超えない場合、前記演算値を、ｉ番目の前記サブフレーム画像の前記着目画素の画素値として取得し、
前記演算値が前記所定値を超える場合、前記所定値を、ｉ番目の前記サブフレーム画像の前記着目画素の画素値として取得し、前記演算値と前記所定値との差分を、ｉ＋１番目の前記サブフィルタを用いた前記演算の結果に加える
ことを特徴とする、請求項１又は２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記中間画像と前記サブフレーム画像とを用いて、前記中間画像を拡大して得られる拡大画像を得るための拡大手段を備えることを特徴とする、請求項１乃至３の何れか１項に記載の画像処理装置。
【請求項５】
１枚のフレーム画像から、Ｎ倍速駆動表示用の、１番目からＮ番目までのＮ枚（Ｎ≧２）のサブフレーム画像を生成する、入力手段と生成手段と保持手段と収集手段と演算手段とを備える画像処理装置が行う画像処理方法であって、
前記入力手段が、フレーム画像を入力する入力工程と、
前記生成手段が、前記フレーム画像から、１番目からＮ番目までのＮ枚の中間画像を生成する生成工程と、
前記保持手段が、オリジナルフィルタを分割することにより生成された、１番目からＮ番目までのＮ個のサブフィルタと、それぞれの前記サブフィルタが参照する画素の相対位置情報とを保持する保持工程と、
前記収集手段が、ｉ番目（１≦ｉ≦Ｎ）の前記中間画像の着目画素に対して、ｉ番目の前記サブフィルタの前記相対位置情報が示す相対位置にある、前記中間画像の画素値を収集する収集工程と、
前記演算手段が、前記収集手段が収集した画素値に対して、ｉ番目の前記サブフィルタを用いて得られる演算値から、ｉ番目の前記サブフレーム画像の前記着目画素の画素値を求めることにより、Ｎ枚の前記サブフレーム画像を作成する演算工程とを備え、
Ｎ枚の前記サブフレーム画像についての画素値の平均値が、前記フレーム画像に対して前記オリジナルフィルタを用いて得られる値に一致することを特徴とする、画像処理方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年1月29日(2013.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ノズル部材、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影光学系と液体とを介して露光光を基板上に照射することによって、前記基板を露光する露光装置に備えられるノズル部材であって、
前記投影光学系の像面側に配置された前記基板の表面とほぼ平行に液体を供給する第１液体供給口と、
前記第１液体供給口とは別に、前記投影光学系の像面側に配置された前記基板の表面に向かって下向きに液体を供給する第２液体供給口と、
前記投影光学系の像面側に配置された前記基板の表面が対向するように、前記投影光学系の端面を囲むように、かつ前記基板の表面との距離が、前記投影光学系の端面と前記基板の表面との距離よりも小さくなるように配置される下面と、
前記下面の外側に、前記基板の表面が対向するように設けられた液体回収口と、を備えたノズル部材。
【請求項２】
前記投影光学系の像面側が液体で満たされた状態で前記第２液体供給口からの液体供給を行う請求項１記載のノズル部材。
【請求項３】
前記投影光学系の像面側への液体供給を、前記第１液体供給口からの液体供給で開始する請求項２に記載のノズル部材。
【請求項４】
前記投影光学系の像面側が液体で満たされるように前記投影光学系の像面側に液体の供給を開始するときに、前記第１液体供給口からの液体の供給量を前記第２液体供給口からの液体の供給量よりも多くする請求項２に記載のノズル部材。
【請求項５】
前記下面は、撥液性の領域を含む請求項１〜４のいずれか一項に記載のノズル部材。
【請求項６】
前記領域は、前記投影光学系の端面よりも撥液性である請求項５に記載のノズル部材。
【請求項７】
前記領域の液体との接触角は、前記投影光学系の端面の液体との接触角よりも大きい請求項５又は６に記載のノズル部材。
【請求項８】
前記領域の液体との接触角は、８０〜１２０度である請求項５〜７のいずれか一項に記載のノズル部材。
【請求項９】
前記領域は、撥液性材料を塗布する、あるいは撥液性材料の薄膜を貼付する撥液化処理によって形成される請求項５〜８のいずれか一項に記載のノズル部材。
【請求項１０】
前記投影光学系の端面は、親液性である請求項１〜９のいずれか一項に記載のノズル部材。
【請求項１１】
前記投影光学系の端面の前記液体との接触角は、５〜２０度である請求項１〜１０のいずれか一項に記載のノズル部材。
【請求項１２】
前記液体回収口は、多孔部材を介して液体を回収する請求項１〜１１のいずれか一項に記載のノズル部材。
【請求項１３】
前記液体回収口は、第１の多孔部材と第２の多孔部材とを介して液体を回収する請求項１〜１２のいずれか一項に記載のノズル部材。
【請求項１４】
凹部を有し、
前記下面は、前記凹部の周囲に設けられる請求項１〜１３のいずれか一項に記載のノズル部材。
【請求項１５】
前記凹部は、前記投影光学系の下に配置された前記基板の表面が対向する面を有する請求項１４に記載のノズル部材。
【請求項１６】
前記凹部の前記面は、前記投影光学系の光軸とほぼ垂直である請求項１５に記載のノズル部材。
【請求項１７】
前記液体回収口は、前記第１液体供給口及び前記第２液体供給口の少なくとも一方から前記基板の表面に供給された液体を回収する請求項１〜１６のいずれか一項に記載のノズル部材。
【請求項１８】
前記液体回収口は、前記第１、第２液体供給口を囲むように配置される請求項１〜１７のいずれか一項に記載のノズル部材。
【請求項１９】
前記液体回収口に接続された環状流路と、
前記環状流路に接続されたマニホールド流路と、を有する請求項１〜１８のいずれか一項に記載のノズル部材。
【請求項２０】
前記投影光学系の像面側の気体を排出するための吸引口を有する請求項１〜１９のいずれか一項記載のノズル部材。
【請求項２１】
前記投影光学系の終端部の光学素子を配置可能な穴部を有する請求項１〜２０のいずれか一項に記載のノズル部材。
【請求項２２】
投影光学系と、
請求項１〜２１のいずれか一項に記載のノズル部材と、を備え、
前記ノズル部材を用いて前記基板上の一部に液浸領域を形成するとともに、前記液浸領域の液体を介して前記投影光学系からの露光光を前記基板に照射する露光装置。
【請求項２３】
前記ノズル部材は、環状の部材であり、
前記投影光学系の終端部の光学素子を囲むように配置される請求項２２に記載の露光装置。
【請求項２４】
前記基板を基板ホルダに保持する基板ステージを備え、
前記基板ステージは、前記基板ホルダに保持された前記基板の表面とほぼ面一の上面を有する請求項２２又は２３に記載の露光装置。
【請求項２５】
前記基板ステージの前記上面は、撥液性の領域を含む請求項２４に記載の露光装置。
【請求項２６】
前記基板ステージの前記撥液性の領域の前記液体との接触角は、９０〜１３０度である請求項２５に記載の露光装置。
【請求項２７】
前記基板ステージの前記撥液性の領域は、撥液性材料を塗布する、あるいは撥液性材料の薄膜を貼付する撥液化処理によって形成される請求項２５又は２６に記載の露光装置。
【請求項２８】
前記基板ステージの前記上面は、前記基板ホルダに保持された前記基板を囲むように設けられた平坦部を含む請求項２４〜２７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項２９】
請求項１〜２８のいずれか一項に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
【請求項３０】
請求項１〜２８のいずれか一項に記載のノズル部材を用いて、基板上の一部に液浸領域を形成することと、
前記液浸領域の液体を介して投影光学系からの露光光を前記基板に照射することと、を含む露光方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月2日(2013.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる分光感度特性を有する４以上の色のカラーセンサを構成する画素を備え、
第１の信号読み出し時間で第１の情報量の画像信号を読み出す第１の信号読み出しモードと、
前記第１の読み出し時間よりも短い第２の読み出し時間で前記第１の情報量よりも少ない第２の情報量の画像信号を読み出す第２の信号読み出しモードと、
のいずれかで動作可能な撮像素子を備えるデジタルカメラであって、
前記撮像素子は、
前記第１の信号読み出しモード時には前記４以上の色のカラーセンサを構成する画素から読み出される前記４以上の色全部に対応する色数の画像信号を出力する一方、
前記第２の信号読み出しモード時には、前記第１の信号読み出しモード時よりも少ない色数の画像信号を出力することを特徴とするデジタルカメラ。
【請求項２】
前記撮像素子は、前記第２の信号読み出しモード時に、三原色を構成するＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に相当する色の信号を少なくとも含む画像信号を出力することを特徴とする請求項１に記載のデジタルカメラ。
【請求項３】
前記撮像素子は、
前記４以上の色のカラーセンサを構成する画素中に、前記三原色を構成するＲ、Ｇ、Ｂに相当する分光感度特性を有する画素を含み、
前記第２の信号読み出しモード時には間引き読み出しを行い、前記間引き読み出しで前記画像信号が読み出されるときに、前記Ｒ、Ｇ、Ｂに相当する画素以外の画素の画像信号を間引くことを特徴とする請求項１に記載のデジタルカメラ。
【請求項４】
前記撮像素子は、
前記間引き読み出しの読み出し対象となる画素の配列がベイヤ配列となるように前記カラーセンサを構成する画素の配列および前記間引き読み出しの対象となる画素が設定されていることを特徴とする請求項３に記載のデジタルカメラ。
【請求項５】
前記撮像素子は、
前記間引き読み出しで前記画像信号が読み出されるときの読み出し対象となるそれぞれの画素に関して、同色の画素間の配設ピッチが略一定となるように前記Ｒ、Ｇ、Ｂに相当する色の分光感度特性を有するカラーセンサを構成する画素が配列されていることを特徴とする請求項３に記載のデジタルカメラ。
【請求項６】
前記撮像素子は、
前記第２の信号読み出しモード時に画素加算読み出しを行うことが可能に構成され、
前記画素加算読み出しで前記画像信号が読み出されるときに、前記４以上の色のカラーセンサを構成する画素のうち少なくとも２色の画素については、互いに異なる分光感度特性を備えた複数の画素から出力される信号が足し合わせられるように画素加算されることを特徴とする請求項１に記載のデジタルカメラ。
【請求項７】
前記撮像素子は、
前記第２の信号読み出しモード時に画素加算読み出しを行うことが可能に構成され、
前記画素加算読み出しで前記画像信号が読み出されるときに、前記４以上の色のカラーセンサを構成する画素のうち、少なくとも２色の画素については、互いに異なる分光感度特性を備えた複数の画素から出力される信号が足し合わせられるように画素加算され、
前記画素加算される対象の画素それぞれの分光感度特性を組み合わせた結果として得られる分光感度特性が、前記Ｒ、Ｇ、Ｂに相当する分光感度特性のうち、いずれかの分光感度特性を有することを特徴とする請求項２に記載のデジタルカメラ。
【請求項８】
前記カラーセンサを構成する画素の中で、前記画素加算される複数の画素の組み合わせを一つのセンサブロックとしたとき、
前記センサブロックで画素加算された配列がＲＧＢベイヤ配列となるように前記画素の配列および前記画素加算読み出しの対象となる画素が設定されていることを特徴とする請求項６に記載のデジタルカメラ。
【請求項９】
前記撮像素子から読み出された画像信号を処理して生成される画像データに基づき、画像を表示可能な画像表示部と、
前記第２の信号読み出しモードで前記撮像素子から読み出された画像信号をもとに、前記画像表示部にライブビュー表示をするためのライブビュー画像データを生成するライブビュー画像データ生成部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１から８のいずれか一つに記載のデジタルカメラ。
【請求項１０】
前記撮像素子は、
全画素の露光を同時に行って得られた信号電荷を画素ごとに設けられた電荷蓄積部に蓄積する露光モードである一括露光モードと、前記撮像素子中における特定の水平ラインのみで露光動作を行う部分露光モードと、が動作可能に構成され、
前記第１の信号読み出しモードの露光は前記一括露光モードで行われる一方、前記第２の信号読み出しモードの露光は前記部分露光モードで行われ、
前記一括露光モードで露光動作が行われた後の前記第１の信号読み出しモードでの画像信号読み出しに際し、前記特定の水平ラインの画素に対応する画像信号を優先的に読み出すことを特徴とする請求項１から５のいずれか一つに記載のデジタルカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明のある態様によれば、互いに異なる分光感度特性を有する４以上の色のカラーセンサを構成する画素を備え、第１の信号読み出し時間で第１の情報量の画像信号を読み出す第１の信号読み出しモードと、前記第１の読み出し時間よりも短い第２の読み出し時間で前記第１の情報量よりも少ない第２の情報量の画像信号を読み出す第２の信号読み出しモードと、のいずれかで動作可能な撮像素子を備えるデジタルカメラにおいて、
前記撮像素子は、前記第１の信号読み出しモード時には前記４以上の色のカラーセンサを構成する画素から読み出される前記４以上の色全部に対応する色数の画像信号を出力する一方、前記第２の信号読み出しモード時には、前記第１の信号読み出しモード時よりも少ない色数の画像信号を出力することにより、上述した課題を解決する。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月14日(2013.8.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像によって得られた画像データに、前記撮像時に設定されていた階調補正の度合いと異なる度合いの階調補正を適用するための階調補正特性を生成する画像処理装置であって、
前記撮像時における階調補正特性を表すデータを取得する取得手段と、
前記撮像時に設定されていた階調補正の度合いと、前記異なる度合いとの差異に応じて前記階調補正特性を補正することにより、前記異なる度合いの階調補正を適用するための階調補正特性を算出する補正手段とを有することを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記補正手段が、
前記撮像時における階調補正特性を、第１の補正特性と、前記第１の補正特性とは異なる第２の補正特性とに分離し、
前記第１の補正特性と前記第２の補正特性を、前記撮像時に設定されていた階調補正の度合いと、前記異なる度合いとの差異に応じてそれぞれ補正し、
前記補正した前記第１の補正特性と前記第２の補正特性を合成することにより、前記撮像時に設定されていた階調補正の度合いと異なる度合いの階調補正を適用するための階調補正特性を算出することを特徴とする請求項１記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記第１の補正特性及び前記第２の補正特性は、前記画像データの輝度ヒストグラムに基づく補正特性であることを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記第１の補正特性は、前記輝度ヒストグラムにおいて暗部側からの累積度数が第１の値となるレベル及び前記輝度ヒストグラムにおいて暗部側からの累積度数が前記第１の値とは異なる第２の値となるレベルに基づく補正特性であり、
前記第２の補正特性は、前記輝度ヒストグラムにおいて暗部側からの累積度数が前記第１の値及び前記第２の値とは異なる第３の値となるレベルに基づく補正特性であることを特徴とする請求項３に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記画像データに顔領域が含まれない場合、前記第１の補正特性と前記第２の補正特性とに基づく補正特性が前記撮像時における階調補正特性として用いられることを特徴とすることを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項６】
前記画像データに含まれる顔領域に輝度情報に基づく補正特性が前記撮像時における階調補正特性として用いられることを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項７】
前記補正手段が、
前記撮像時に設定されていた階調補正の度合いと、前記異なる度合いとの関係によって予め定められた補正係数によって前記撮像時における階調補正特性を補正することにより、前記異なる度合いの階調補正を適用するための階調補正特性を算出することを特徴とする請求項１記載の画像処理装置。
【請求項８】
前記撮像時にＡＥロックされていたかどうかを判別する判別手段をさらに有し、
前記補正手段は、
前記撮像時にＡＥロックされていた場合には、前記撮像時に設定されていた階調補正の度合いと、前記異なる度合いとの差異に応じて前記階調補正特性を補正することにより、前記異なる度合いの階調補正を適用するための階調補正特性を算出し、前記撮像時にＡＥロックされていなかった場合には、前記画像データの輝度情報に基づいて前記異なる度合いの階調補正を適用するための階調補正特性を算出することを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項９】
前記撮像時における階調補正特性を表すデータと、前記補正手段が生成した階調補正特性を表す情報と、前記画像データとを有する画像ファイルを出力する出力手段をさらに有することを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項１０】
前記画像データは、ＲＡＷ形式の画像データであることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項１１】
撮像によって得られた画像データに、前記撮像時に設定されていた階調補正の度合いと異なる度合いの階調補正を適用するための階調補正特性を生成する画像処理方法であって、
取得手段が、前記撮像時における階調補正特性を表すデータを取得する取得工程と、
補正手段が、前記撮像時に設定されていた階調補正の度合いと、前記異なる度合いとの差異に応じて前記階調補正特性を補正することにより、前記異なる度合いの階調補正を適用するための階調補正特性を算出する補正工程とを有することを特徴とする画像処理方法。
【請求項１２】
被写体光学像を撮像し、画像データを生成する撮像部と、
前記画像データに適用するための階調補正特性を、現在の階調補正特性と、目標となる階調補正特性とから、前記現在の階調補正特性から段階的に前記目標となる階調補正特性に達するように、かつ、設定されている階調補正の度合いに応じて算出する算出手段と、
請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の画像処理装置と、
前記算出手段が算出した前記撮像時における階調補正特性を表すデータと、前記補正手段が生成した階調補正特性を表す情報と、前記画像データとを有する画像ファイルを出力する出力手段と、
を有することを特徴とする撮像装置。
【請求項１３】
コンピュータを、請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の画像処理装置の各手段として機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の画像処理装置は、撮像によって得られた画像データに、撮像時に設定されていた階調補正の度合いと異なる度合いの階調補正を適用するための階調補正特性を生成する画像処理装置であって、撮像時における階調補正特性を表すデータを取得する取得手段と、撮像時に設定されていた階調補正の度合いと、異なる度合いとの差異に応じて階調補正特性を補正することにより、異なる度合いの階調補正を適用するための階調補正特性を算出する補正手段とを有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月9日(2013.8.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
信号を増幅するアンプと、
信号を蓄積するホールド容量と、
前記アンプの出力端子及び前記ホールド容量の間に接続されるスイッチとを有し、
前記スイッチがオンの状態で前記アンプは第１の信号帯域幅で増幅し、その後、前記スイッチがオンの状態で前記アンプは前記第１の信号帯域幅より狭い第２の信号帯域幅で増幅し、その後、前記アンプが前記第２の信号帯域幅で増幅する状態において、前記スイッチをオフにすることを特徴とするサンプルホールド回路。
【請求項２】
信号を増幅するアンプと、
信号を蓄積するホールド容量と、
前記アンプの出力端子及び前記ホールド容量の間に接続されるスイッチとを有し、
前記スイッチがオンの状態で前記アンプは第１のバイアス電流の供給を受けることにより増幅し、その後、前記スイッチがオンの状態で前記アンプは前記第１のバイアス電流より小さい第２のバイアス電流の供給を受けることにより増幅し、その後、前記アンプが前記第２のバイアス電流の供給を受けることにより増幅する状態において、前記スイッチをオフにすることを特徴とするサンプルホールド回路。
【請求項３】
前記アンプは、容量及び可変抵抗の直列接続回路を有する位相補償回路を有する負帰還アンプであり、前記可変抵抗を第１の抵抗値にすることにより前記第１の信号帯域幅で増幅し、前記可変抵抗を前記第１の抵抗値より低い第２の抵抗値にすることにより前記第２の信号帯域幅で増幅することを特徴とする請求項１記載のサンプルホールド回路。
【請求項４】
前記可変抵抗は、ＭＯＳトランジスタのドレイン及びソース間抵抗であり、前記ＭＯＳトランジスタのゲート電圧に応じて抵抗値が変化することを特徴とする請求項３記載のサンプルホールド回路。
【請求項５】
前記アンプは、負帰還アンプであることを特徴とする請求項１又は２記載のサンプルホールド回路。
【請求項６】
前記アンプは、ソースフォロワーアンプであることを特徴とする請求項１又は２記載のサンプルホールド回路。
【請求項７】
光電変換素子を有する画素と、
前記画素の信号を増幅するアンプと、
信号を蓄積するホールド容量と、
前記アンプの出力端子及び前記ホールド容量の間に接続されるスイッチとを有し、
前記スイッチがオンの状態で前記アンプは第１の信号帯域幅で増幅し、その後、前記スイッチがオンの状態で前記アンプは前記第１の信号帯域幅より狭い第２の信号帯域幅で増幅し、その後、前記スイッチがオフの状態で前記アンプは第２の信号帯域幅で増幅することを特徴とする撮像装置。
【請求項８】
前記アンプは、第１のバイアス電流の供給を受けることにより前記第１の信号帯域幅で増幅し、前記第１のバイアス電流より小さい第２のバイアス電流の供給を受けることにより前記第２の信号帯域幅で増幅することを特徴とする請求項７記載の撮像装置。
【請求項９】
前記アンプは、容量及び可変抵抗の直列接続回路を有する位相補償回路を有する負帰還アンプであり、前記可変抵抗を第１の抵抗値にすることにより前記第１の信号帯域幅で増幅し、前記可変抵抗を前記第１の抵抗値より低い第２の抵抗値にすることにより前記第２の信号帯域幅で増幅することを特徴とする請求項７記載の撮像装置。
【請求項１０】
前記アンプは、負帰還アンプであることを特徴とする請求項７又は８記載の撮像装置。
【請求項１１】
前記画素は、２次元的に複数配列され、
前記アンプは、前記画素の各列に設けられることを特徴とする請求項７〜１０のいずれか１項に記載の撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明のサンプルホールド回路は、信号を増幅するアンプと、信号を蓄積するホールド容量と、前記アンプの出力端子及び前記ホールド容量の間に接続されるスイッチとを有し、前記スイッチがオンの状態で前記アンプは第１の信号帯域幅で増幅し、その後、前記スイッチがオンの状態で前記アンプは前記第１の信号帯域幅より狭い第２の信号帯域幅で増幅し、その後、前記アンプが前記第２の信号帯域幅で増幅する状態において、前記スイッチをオフにすることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成25年7月29日(2013.7.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
なお、ブロック鍵（Ｋｂｘ）は、例えば、以下の演算処理によって生成される。
Ｋｂｘ＝（ＡＥＳ＿Ｅ（Ｋｔ，ＳＥＥＤｘ））（ＸＯＲ）（ＳＥＥＤｘ）
上記式において、
ＡＥＳ＿Ｅ（Ｋｔ，ＳＥＥＤｘ）は、タイトル鍵によるシードｘ（ＳＥＥＤｘ）の暗号化処理（ＡＥＳ  Ｅｎｃｒｙｐｔｉｏｎ）、
（ＸＯＲ）は、排他論理和演算、
を示している。
すなわち、各ユニットにおけるブロック鍵は、そのユニットｘのシード（ＳＥＥＤｘ）をタイトル鍵（Ｋｔ）で暗号化したデータ（ＡＥＳ＿Ｅ（Ｋｔ，ＳＥＥＤｘ））と、シード（ＳＥＥＤｘ）との排他論理和（ＸＯＲ）演算結果として算出される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
図６には、左から、
（１）コンテンツ提供処理を実行するサーバ１５０、
（２）コンテンツを受信しメディアに対する記録処理を実行する記録装置１６０、
（３）コンテンツ記録用のメモリカード等の記録メディア１７０
（４）コンテンツを記録したディスク１８０
これらを示している。
記録メディア１７０は、図４を参照して説明したメモリカード１００に対応し、機器に応じたアクセス制限のなされる保護領域（Ｐｒｏｔｅｃｔｅｄ  Ａｒｅａ）１７１と、アクセス制限のない非保護領域（Ｕｓｅｒ  Ａｒｅａ）１７２を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０５】
図９は、サーバから受信したコンテンツがタイトル鍵とシードを用いて生成したブロック鍵で暗号化した暗号化コンテンツである場合の処理例である。図９には、
（ａ）サーバからの受信コミンテンツ（タイトル鍵（Ｋｔ）を適用した暗号化コンテンツ）
（ｂ）記録装置の生成した暗号化コンテンツ（一部ユニットのみ個別鍵で再暗号化した暗号化コンテンツ）
これらのコンテンツ例を示している。
記録装置１６０は、このようにサーバからの受信コンテンツの一部のみを個別鍵を適用して暗号化する構成としてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５０】
まず、ステップＳ１３１においてコンテンツを記録するメディアを記録装置にセットする。例えば図１に示すメモリカード３１を記録装置としてのＰＣ等にセットする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６２】
ステップＳ１５５では、暗号化コンテンツのユニット単位で、シードとタイトル鍵に基づくブロック鍵を生成し暗号化ブロックを復号する。
ブロック鍵の生成は、先に説明したように以下の式によって行われる。
Ｋｂｘ＝（ＡＥＳ＿Ｅ（Ｋｔ，ＳＥＥＤｘ））（ＸＯＲ）（ＳＥＥＤｘ）
上記式において、
ｘはブロック識別子
ＡＥＳ＿Ｅ（Ｋｔ，ＳＥＥＤｘ）は、タイトル鍵によるシードｘ（ＳＥＥＤｘ）の暗号化処理（ＡＥＳ  Ｅｎｃｒｙｐｔｉｏｎ）、
（ＸＯＲ）は、排他論理和演算、
を示している。
すなわち、各ユニットにおけるブロック鍵は、そのユニットのシードをタイトル鍵（Ｋｔ）で暗号化したデータ（ＡＥＳ＿Ｅ（Ｋｔ，ＳＥＥＤｘ））と、シードとの排他論理和演算結果として取得される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７７】
なお、メモリカード４００は、図４等を参照して説明したように機器に応じたアクセス制限のなされる保護領域（Ｐｒｏｔｅｃｔｅｄ  Ａｒｅａ）と、アクセス制限のない非保護領域（Ｕｓｅｒ  Ａｒｅａ）に分割されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８１】
図１６に示す（Ｃ）メモリカード４００には保護領域（Ｐｒｏｔｅｃｔｅｄ  Ａｒｅａ）４１２を示している。保護領域４１２以外の領域は非保護領域である。保護領域（ｐｏｔｅｃｔｅｄ  Ａｒｅａ）４１２は、図に示すように個別鍵（Ｋｉｎｄ）４１３が記録される。その他のデータは、非保護領域（Ｕｓｅｒ  Ａｒｅａ）に記録される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９５】
図１７を参照して処理シーケンスについて説明する。
ステップＳ２０１〜Ｓ２０３の処理は、先に図１６を参照して説明したと同様の処理である。
ステップＳ２０１において、コンテンツサーバ２００とメモリカード４００間で相互認証処理を実行し、相互認証の成立後、コンテンツサーバ２００は、コンテンツＩＤ等のＩＤやその他のコンテンツ管理情報を記録したトークン２１３を生成し、ステップＳ２０２においてトークン２１３に対する署名を実行して、コンテンツ記録装置（ホスト）３００に対して送信、すなわちメモリカード４００に対する書き込みデータとして送信する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１４】
入出力インタフェース８０５に接続されている通信部８０６は、例えばサーバ、ホスト機器との通信を実行する。記憶部８０７は、データの記憶領域であり、先に説明したようにアクセス制限のある保護領域（Ｐｒｏｔｅｃｔｅｄ  Ａｅａ）８１１、自由にデータ記録読み取りができる非保護領域８１２を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成25年7月19日(2013.7.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハをプラズマ処理するチャンバと、プラズマを生成するための高周波電力を導波路を介して前記チャンバへ供給する高周波電源と、前記高周波電力をパルス変調させるための制御を行う制御手段とを備える半導体製造装置において、
前記導波路と前記チャンバの間に配置され、パルス変調され前記導波路を介して伝送された高周波電力を前記チャンバに供給するアンテナ板をさらに備え、
前記アンテナ板は、前記半導体ウエハに対向し外周部にスロットを具備することを特徴とする半導体製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体製造装置において、
前記外周部は、前記半導体ウエハの半径の２分の１より外側の領域であることを特徴とする半導体製造装置。
【請求項３】
半導体ウエハをプラズマ処理するチャンバと、プラズマを生成するための高周波電力を導波路を介して前記チャンバへ供給する高周波電源と、前記高周波電力をパルス変調させるための制御を行う制御手段とを備える半導体製造装置において、
前記導波路と前記チャンバの間に配置され、パルス変調され前記導波路を介して伝送された高周波電力を前記チャンバに供給する電力吸収体をさらに備え、
前記電力吸収体は、前記半導体ウエハに対向し前記チャンバの中央部に配置されていることを特徴とする半導体製造装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の半導体製造装置において、
前記プラズマは、磁場と電子サイクロトロン共鳴を利用して生成されるものであることを特徴とする半導体製造装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の半導体製造装置において、
前記制御手段は、前記高周波電力をオンさせた後、生成されたプラズマが定常状態に至る前に前記高周波電力をオフさせる制御を行うことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の半導体製造装置において、
前記制御手段は、前記高周波電力をオフさせた後、プラズマ密度が定常時の２分の１以下に減少してから前記高周波電力をオンさせる制御を行うことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項７】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の半導体製造装置において、
前記パルス変調のオン期間は、１５０ｍｓより短いことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項８】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の半導体製造装置において、
前記パルス変調のオフ期間は、９ｍｓより長いことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項９】
請求項５に記載の半導体製造装置において、
前記制御手段は、予め取得されたデータに基づいて前記高周波電力をオフさせる制御を行うことを特徴とする半導体製造装置。
【請求項１０】
請求項６に記載の半導体製造装置において、
前記制御手段は、予め取得されたデータに基づいて前記高周波電力をオンさせる制御を行うことを特徴とする半導体製造装置。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月8日(2013.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱する電気部品を内装し、少なくとも５つの面で構成される第１の筺体と、
前記第１の筺体との間に間隙をおいて前記第１の筺体を内包した第２の密閉筺体と、
前記第１の筺体に取り付けられ、前記第１の筐体と前記第２の密閉筐体との間に形成された間隙または前記第１の筺体内に空気を強制対流させる送風機と、を備え、
前記第１の筺体を構成する面の中で送風機が取り付けられた面に送風機用の孔を有し、少なくとも他の１つの面に通気孔を有し、前記強制対流させられた空気が前記通気孔を介して前記第１の筺体と前記第２の密閉筺体との間に形成された間隙と前記第１の筐体の内部との間を行き来することで循環させることを特徴とする電子機器。
【請求項２】
発熱する電気部品を内装し、少なくとも５つの面で構成される第１の筺体と、
前記第１の筺体との間に間隙をおいて前記第１の筺体を内包した第２の密閉筺体と、を備え、
前記第１の筺体を構成する面の中で少なくとも２つの面に通気孔を有し、前記電気部品から発生した熱により自然対流した空気が前記通気孔を介して前記第１の筺体と前記第２の密閉筺体との間に形成された間隙と前記第１の筐体の内部との間を行き来することで循環させることを特徴とする電子機器。
【請求項３】
請求項１乃至２に記載の電子機器であって、
前記電気部品で発熱の大きい電気部品は、前記第１の筺体のいずれかの面に当接して取り付けられることを特徴とする電子機器。
【請求項４】
請求項３に記載の電子機器であって、
前記電気部品は面積の大きい面を前記第１の筺体のいずれかの面に当接して取り付けられることを特徴とする電子機器。
【請求項５】
請求項３乃至４に記載の電子機器であって、
前記発熱の大きい電気部品が取り付けられる面は、前記第１の筺体を構成する面の中で１番大きな面であることを特徴とする電子機器。
【請求項６】
請求項３乃至５に記載の電子機器であって、
前記電気部品は少なくとも電源および記録装置であり、前記電源および前記記録装置は前記第１の筺体の面に当接して取り付けられることを特徴とする電子機器。
【請求項７】
請求項１乃至６に記載の電子機器であって、
前記電気部品のうちで発熱の大きい電気部品が前記第１の筺体内の底部付近に配置されることを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電子機器
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、上記電子機器の放熱構造は、前記電気部品で発熱の大きい電気部品は、前記第１の筺体のいずれかの面に当接して取り付けられることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、上記電子機器の放熱構造は、前記電気部品は面積の大きい面を前記第１の筺体のいずれかの面に当接して取り付けられることを特徴とする
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、上記電子機器の放熱構造は、前記電気部品は少なくとも電源および記録装置であり、前記電源および前記記録装置が前記第１の筺体の面に当接して取り付けられることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、上記電子機器の放熱構造は、前記電気部品のうちで発熱の大きい電気部品が前記第１の筺体内の底部付近に配置されることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月22日(2013.8.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明部材と、フォトダイオードを備えた撮像素子チップと、前記撮像素子チップの周辺に配置され、前記透明部材と前記撮像素子チップとを固定する固定部材と、を備える撮像装置であって、
前記撮像素子チップは、半導体基板と、前記半導体基板を貫通する貫通電極を有し、
前記半導体基板は、撮像領域と、前記撮像装置を前記透明部材側から見て前記固定部材に対応する固定領域を有し、前記固定領域に前記貫通電極が配置されており、
前記撮像領域における前記半導体基板の厚みより前記半導体基板が薄くなる境界が、前記固定領域に位置していることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記撮像領域を第１領域とし、前記撮像装置を前記透明部材側から見た前記固定領域の、前記貫通電極が配置された領域と前記第１領域との間を第２領域とし、前記貫通電極が配置された領域を第３領域とし、
前記第２領域の前記半導体基板の厚みは、前記第１領域の前記半導体基板の厚み以下、かつ前記第３領域の厚みより厚いことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記半導体基板がシリコン基板であり、前記透明部材がガラスまたは光学用プラスチックであることを特徴とする請求項１または２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記シリコン基板の第３領域の厚みが０．２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項３に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記シリコン基板の前記第１領域の厚みＴ１および前記第２領域の厚みＴ２と、前記透明部材と前記撮像素子チップと前記固定部材とで囲まれた空間の長辺の幅Ｗ１と、の関係が以下の（１）式を満たすことを特徴とする請求項３または４に記載の撮像装置。
Ｔ１、Ｔ２≧０．００９Ｗ１１．３３・・・（１）
【請求項６】
前記撮像素子チップがＦｏｕｒＴｈｉｒｄｓサイズ相当であり、前記シリコン基板の前記第１領域の厚みＴ１および前記第２領域の厚みＴ２が０．４ｍｍ以上であることを特徴とする請求項３ないし５のいずれか一項に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記撮像素子チップがＡＰＳ−Ｃサイズ相当であり、前記シリコン基板の前記第１領域の厚みＴ１および前記第２領域の厚みＴ２が０．６ｍｍ以上であることを特徴とする請求項３ないし５のいずれか一項に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記撮像装置を前記透明部材側から見た前記第２領域の前記シリコン基板の厚みＴ２と幅Ｗ２の関係が以下の（２）式、（３）式を満たすことを特徴とする請求項３ないし７のいずれか一項に記載の撮像装置。
Ｗ２≧０．３ｍｍ・・・（２）
Ｗ２≧２Ｔ２＋０．２ｍｍ・・・（３）
【請求項９】
前記撮像素子チップがＦｏｕｒＴｈｉｒｄｓサイズ相当であり、前記シリコン基板の前記第２の領域の厚みＴ２が０．４ｍｍ以上、かつ幅Ｗ２が１．０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項８に記載の撮像装置。
【請求項１０】
前記撮像素子チップがＡＰＳ−Ｃサイズ相当であり、前記シリコン基板の前記第２の領域の厚みＴ２が０．６ｍｍ以上、かつ幅Ｗ２が１．４ｍｍ以上であることを特徴とする請求項８に記載の撮像装置。
【請求項１１】
前記撮像素子チップが１／２．５”サイズ相当であり、前記シリコン基板の前記第２の領域の厚みＴ２が０．１ｍｍ以上、かつ幅Ｗ２が０．４ｍｍ以上であることを特徴とする請求項８に記載の撮像装置。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置の上に配置された光学ローパスフィルタと、
前記撮像素子チップと電気的に接続された回路基板と、を有する撮像モジュール。
【請求項１３】
請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置によって得られた信号を処理する信号処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
そして、上記目的を達成するために、本発明にかかる撮像装置は、透明部材と、フォトダイオードを備えた撮像素子チップと、前記撮像素子チップの周辺に配置され、前記透明部材と前記撮像素子チップとを固定する固定部材と、を備える撮像装置であって、前記撮像素子チップは、半導体基板と、前記半導体基板を貫通する貫通電極を有し、前記半導体基板は、撮像領域と、前記撮像装置を前記透明部材側から見て前記固定部材に対応する固定領域を有し、前記固定領域に前記貫通電極が配置されており、撮像領域における前記半導体基板の厚みより前記半導体基板が薄くなる境界が、前記固定領域に位置している構成としたものである。