【手続補正書】
【提出日】平成25年2月8日(2013.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸と、機械軸としてのＹ軸と、光学軸としてのＺ軸と、からなる直交座標系の前記Ｘ軸を中心として、前記Ｚ軸を前記Ｙ軸の−Ｙ方向へ傾けた軸をＺ’軸とし、前記Ｙ軸を前記Ｚ軸の＋Ｚ方向へ傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸と前記Ｚ’軸を含む面を主面とし、前記Ｙ’軸に沿った方向を厚みとする水晶基板を、水晶振動片の外形に対応する水晶素子片と、支持部と、前記水晶素子片を前記支持部に連結する第１の連結部及び第２の連結部と、を含む水晶ウェーハに加工するエッチング工程と、
前記連結部を折り取ることにより前記水晶素子片を前記支持部から切り離す工程と、
を含み、
前記エッチング工程は、
前記第１の連結部及び前記第２の連結部を、前記水晶素子片の前記Ｘ軸に沿った一対の辺が延びる方向に沿って、前記水晶素子片の前記Ｚ’軸に沿った一方の辺から、それぞれ延長するように形成し、
かつ
＋Ｚ’軸側に配置されている前記第１の連結部の前記水晶素子片との接続部には、＋Ｙ’側の主面に有底の溝を形成し、
−Ｚ’軸側に配置されている前記第２の連結部の前記水晶素子片との接続部には、−Ｙ’側の主面に有底の溝を形成することを特徴とする水晶振動片の加工方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記連結部を、前記水晶素子片の前記Ｚ’軸に沿った一対の辺のうち＋Ｘ軸側の辺から延長するように形成することを特徴とする水晶振動片の加工方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記溝を、前記連結部の前記Ｚ’軸に沿った幅の全長に亘って形成することを特徴とする水晶振動片の加工方法。
【請求項４】
請求項１又は２において、
前記溝を、前記連結部の前記Ｚ’軸に沿った幅に沿って部分的に形成することを特徴とする水晶振動片の加工方法。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項において、
前記水晶素子片に電極を形成する電極形成工程を含むことを特徴とする水晶振動片の加工方法。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか一項において、
前記水晶基板はＡＴカット水晶基板であることを特徴とする水晶振動片の加工方法。
【請求項７】
水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸と、機械軸としてのＹ軸と、光学軸としてのＺ軸と、からなる直交座標系の前記Ｘ軸を中心として、前記Ｚ軸を前記Ｙ軸の−Ｙ方向へ傾けた軸をＺ’軸とし、前記Ｙ軸を前記Ｚ軸の＋Ｚ方向へ傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸と前記Ｚ’軸を含む面を主面とし、前記Ｙ’軸に沿った方向を厚みとする水晶基板からエッチングにより残された水晶ウェーハから折り取り可能な複数の水晶素子片と、支持部と、前記水晶素子片が前記支持部に連結されている第１の連結部及び第２の連結部と、を含み、
前記連結部は、前記水晶素子片の前記Ｘ軸に沿った一対の辺が延びる方向に沿って、前記水晶素子片の前記Ｚ’軸に沿った一方の辺から、それぞれ延長するように設けられ、
かつ
＋Ｚ’軸側に配置されている前記第１の連結部の前記水晶素子片との接続部には、＋Ｙ’側の主面に有底の溝が設けられ、
−Ｚ’軸側に配置されている前記第２の連結部の前記水晶素子片との接続部には、−Ｙ’側の主面に有底の溝が設けられていることを特徴とする水晶ウェーハ。
【請求項８】
請求項７において、
前記連結部は、前記水晶素子片の前記Ｚ’軸に沿った一対の辺のうち＋Ｘ軸側の辺から延長するように設けられていることを特徴とする水晶ウェーハ。
【請求項９】
請求項７又は８において、
前記溝は、前記連結部の前記Ｚ’軸に沿った幅の全長に亘って設けられていることを特徴とする水晶ウェーハ。
【請求項１０】
請求項７又は８において、
前記溝は、前記連結部の前記Ｚ’軸に沿った幅に沿って部分的に設けられていることを特徴とする水晶ウェーハ。
【請求項１１】
請求項７乃至１０の何れか一項において、
前記水晶素子片に電極が形成されていることを特徴とする水晶ウェーハ。
【請求項１２】
請求項７乃至１１の何れか一項において、
前記水晶基板はＡＴカット水晶基板であることを特徴とする水晶ウェーハ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】水晶振動片の加工方法及び水晶ウェーハ
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のある実施形態に係る水晶振動片の加工方法は、水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸と、機械軸としてのＹ軸と、光学軸としてのＺ軸と、からなる直交座標系の前記Ｘ軸を中心として、前記Ｚ軸を前記Ｙ軸の−Ｙ方向へ傾けた軸をＺ’軸とし、前記Ｙ軸を前記Ｚ軸の＋Ｚ方向へ傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸と前記Ｚ’軸を含む面を主面とし、前記Ｙ’軸に沿った方向を厚みとする水晶基板を、水晶振動片の外形に対応する水晶素子片と、支持部と、前記水晶素子片を前記支持部に連結する第１の連結部及び第２の連結部と、を含む水晶ウェーハに加工するエッチング工程と、前記連結部を折り取ることにより前記水晶素子片を前記支持部から切り離す工程と、を含み、前記エッチング工程は、前記第１の連結部及び前記第２の連結部を、前記水晶素子片の前記Ｘ軸に沿った一対の辺が延びる方向に沿って、前記水晶素子片の前記Ｚ’軸に沿った一方の辺から、それぞれ延長するように形成し、かつ＋Ｚ’軸側に配置されている前記第１の連結部の前記水晶素子片との接続部には、＋Ｙ’側の主面に有底の溝を形成し、−Ｚ’軸側に配置されている前記第２の連結部の前記水晶素子片との接続部には、−Ｙ’側の主面に有底の溝を形成することを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片の加工方法は、前記連結部を、前記水晶素子片の前記Ｚ’軸に沿った一対の辺のうち＋Ｘ軸側の辺から延長するように形成することを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片の加工方法は、前記溝を、前記連結部の前記Ｚ’軸に沿った幅の全長に亘って形成することを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片の加工方法は、前記溝を、前記連結部の前記Ｚ’軸に沿った幅に沿って部分的に形成することを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片の加工方法は、前記水晶素子片に電極を形成する電極形成工程を含むことを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶振動片の加工方法は、前記水晶基板はＡＴカット水晶基板であることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶ウェーハは、水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸と、機械軸としてのＹ軸と、光学軸としてのＺ軸と、からなる直交座標系の前記Ｘ軸を中心として、前記Ｚ軸を前記Ｙ軸の−Ｙ方向へ傾けた軸をＺ’軸とし、前記Ｙ軸を前記Ｚ軸の＋Ｚ方向へ傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸と前記Ｚ’軸を含む面を主面とし、前記Ｙ’軸に沿った方向を厚みとする水晶基板からエッチングにより残された水晶ウェーハから折り取り可能な複数の水晶素子片と、支持部と、前記水晶素子片が前記支持部に連結されている第１の連結部及び第２の連結部と、を含み、前記第１の連結部及び前記第２の連結部は、前記水晶素子片の前記Ｘ軸に沿った一対の辺が延びる方向に沿って、前記水晶素子片の前記Ｚ’軸に沿った一方の辺から、それぞれ延長するように設けられ、かつ＋Ｚ’軸側に配置されている前記第１の連結部の前記水晶素子片との接続部には、＋Ｙ’側の主面に有底の溝が設けられ、−Ｚ’軸側に配置されている前記第２の連結部の前記水晶素子片との接続部には、−Ｙ’側の主面に有底の溝が設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶ウェーハは、前記連結部は、前記水晶素子片の前記Ｚ’軸に沿った一対の辺のうち＋Ｘ軸側の辺から延長するように設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶ウェーハは、前記溝は、前記連結部の前記Ｚ’軸に沿った幅の全長に亘って設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶ウェーハは、前記溝は、前記連結部の前記Ｚ’軸に沿った幅に沿って部分的に設けられていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶ウェーハは、前記水晶素子片に電極が形成されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る水晶ウェーハは、前記水晶基板はＡＴカット水晶基板であることを特徴とする。
［適用例１］適用例１に係る水晶振動片の加工方法は、上記目的を達成するために、水晶の結晶軸をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸として、Ｙ軸及びＺ軸をＸ軸の回りに反時計方向に所定の角度回転させてＹ´軸及びＺ´軸とし、Ｚ´軸とＸ軸とを含む±Ｙ´面を表裏主面として切り出したＡＴカット水晶板をフォトエッチングすることにより、水晶振動片の外形を有する水晶素子片と、水晶板の支持枠部と、水晶素子片を支持枠部に結合する連結部とを加工する工程と、連結部を折り取ることにより水晶振動片を支持枠部から切り離す工程とを有し、前記フォトエッチングによる加工工程において、連結部が、水晶素子片のＺ´方向に延長する一方の側辺に、Ｘ方向に延長する互いに対向する各側辺に沿って延長するように、かつ水晶素子片の外形線に沿って有底の溝を形成するように加工され、該有底の溝が、＋Ｙ´側の主面の＋Ｚ´側にかつ／又は−Ｙ´側の主面の−Ｚ´側に配置されることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
［適用例２］適用例２に係る水晶振動片の加工方法は、連結部を水晶素子片のＺ´方向に延長する＋Ｘ側の側辺に設けることにより、エッチングの入り込みをより効果的に抑制することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
［適用例３］適用例３に係る水晶振動片の加工方法は、連結部を、水晶素子片をその基端部で支持枠部に連結するように設けることにより、水晶振動片を折り取る際に、振動領域が設けられる先端部側の外形形状を確保することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
［適用例４］適用例４に係る水晶振動片の加工方法は、水晶素子片のＸ方向に延長する互いに対向する各側辺に沿ってそれぞれ延長するように、Ｚ´方向に離隔した２つの連結部を設けることにより、より小さい断面積で水晶振動片を支持枠部に結合支持し、その折り取りを容易にすることができる。
［適用例５］適用例５に係る水晶振動片の加工方法は、有底の溝を連結部のＺ´方向の全幅に亘って設けることにより、水晶振動片の折り取りをより容易にすることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
［適用例６］適用例６に係る水晶振動片の加工方法は、有底の溝を連結部のＺ´方向の幅に沿って部分的に設けることにより、連結部をより小さくしても、水晶振動片を支持枠部に結合支持するのに十分な強度を確保しながら、その折り取りを容易にすることができる。