【手続補正書】
【提出日】平成25年6月3日(2013.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセスコントロールシステムのプロセス品質を予測する方法であって、
第１の測定変数に関連する第１の値および第２の測定変数に関連する第２の値を含むプロセスに関するプロセスコントロール情報を第１の時間に受信し、
前記プロセスに関連する前記受信されたプロセスコントロール情報に基づく変動が閾値を越えるかどうかを判定し、
前記変動が前記閾値を越える場合、前記変動に対する前記第１の変数の寄与に基づいて第１の寄与値、および前記変動に対する前記第２の測定変数の寄与に基づいて第２の寄与値を計算し、
前記第１の寄与値、前記第２の寄与値、前記第１の値、または前記第２の値に基づいて少なくとも１つの補正アクションを確定し、
前記第１の時間後のある時間に前記少なくとも１つの補正アクションに基づいて予測プロセス品質を計算する、
ことを含む方法。
【請求項２】
前記第１の寄与値に関連する第１の非説明変動および第１の説明変動を計算し、
前記第２の寄与値に関連する第２の非説明変動および第２の説明変動を計算し、
前記第１の説明変動の上に前記第１の非説明変動を重ね合せること、または、前記第１の非説明変動を前記第１の説明変動と一緒に示すことの少なくとも一方によって前記第２グラフィック内でバーチャートで前記第１の非説明変動および前記第１の説明変動の表示することを行い、
前記第２の説明変動の上に前記第２の非説明変動を重ね合せるここと、または、前記第２の非説明変動を前記第２の説明変動と一緒に示すことの少なくとも一方によって前記バーチャートで前記第２の非説明変動および前記第２の説明変動を表示することを行う、
ことをさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ユーザインタフェースを介して第１グラフィックにおいて前記変動をグラフィカルに表示し、
前記ユーザインタフェースを介して、前記第１グラフィックの一部分から選択可能な第２グラフィックにおいて前記第１の寄与値および前記第２の寄与値をグラフィカルに表示し、
前記ユーザインタフェースを介して前記少なくとも１つの補正アクションを表示し、
前記ユーザインタフェースを介して、前記第２グラフィックの一部分から選択可能な第３グラフィックにおいて前記予測プロセス品質をグラフィカルに表示する、
ことをさらに含む請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記第１グラフィック内で前記変動を説明変動および非説明変動としてグラフィカルに表示し、
前記第１グラフィック内で前記第１の寄与値および前記第２の寄与値をグラフィカルに表示する、  
ことをさらに含む請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の方法。
【請求項５】
前記第１の値または前記第２の値の少なくとも一方に基づいて、前記予測プロセス品質または前記変動の少なくとも一方を予測し、
前記予測プロセス品質または前記変動の前記少なくとも一方が第２閾値を越える場合、予測フォールトを示し、
前記第２グラフィック内で前記予測フォールトを表示し、かつ前記第３グラフィック内で前記少なくとも１つの補正アクションを表示する、
ことをさらに含む請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記第２グラフィックの一部分から前記第１の測定変数または前記第２の測定変数の少なくとも一方の選択を受信し、
前記選択された測定変数に関連する値および対応する過去の値を、前記ユーザインタフェースを介して第４グラフィックにおいて前記プロセスのある時間期間にわたってグラフィカルに表示し、
前記プロセスの前記時間期間にわたって前記第４グラフィックにおいて前記選択された測定変数に関連する過去の値の平均を表示し、
前記プロセスの前記時間期間にわたって前記第４グラフィックにおいて前記選択された測定変数に関連する過去の値の標準偏差を表示する、
ことをさらに含む請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記予測プロセス品質の信頼範囲または前記予測プロセス品質の閾値の少なくとも一方に関して前記予測プロセス品質を表示し、
前記プロセスのある時間期間にわたって前記予測プロセス品質を表示し、
前記プロセスに前記少なくとも１つの補正アクションを適用する、
ことをさらに含む請求項１〜請求項６の何れか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記第１の測定変数または前記第２の測定変数の少なくとも一方に基づく計算品質変数に関連する第３の値を計算し、
前記変動に対する前記計算品質変数の寄与に基づいて第３の寄与値を計算し、
前記第３の寄与値基づいて前記少なくとも１つの補正アクションを確定する、  
ことをさらに含む請求項１〜請求項７の何れか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記第１の値が第１閾値を越えるかどうかを判定し、
前記第２の値が第２閾値を越えるかどうかを判定し、
前記第３の値が第３閾値を越えるかどうかを判定し、
前記第１の値、前記第２の値、または前記第３の値の少なくとも１つが、前記それぞれの前記閾値を越える場合、プロセスフォールト、前記第１の測定変数の偏倚、前記第２の測定変数の偏倚、前記品質変数の偏倚、プロセス偏倚、前記フォールトの継続時間、前記プロセスフォールトの原因、または前記プロセスの前記変動の少なくとも１つを、前記ユーザインタフェースを介してチャートで示し、
前記チャートの一部分の選択を受信すると、前記第１グラフィックを表示する、
ことをさらに含む請求項１〜請求項８の何れか１項に記載の方法。
【請求項１０】
前記ユーザインタフェースを介して、前記第１グラフィックの一部分、前記第２グラフィックの一部分、または前記チャートの一部分の少なくとも１つから選択可能な第４グラフィックにおいて、前記第１の値および前記第２の値を表示し、
前記第４グラフィック内で、前記プロセスの時間期間に対応するタイムライン、平均および標準偏差に関して正規化された前記第１の値および前記第２の値を示すバーチャート、または前記第１の変数および前記第２の変数についての過去のプロセス値を示す前記第１の変数および前記第２の変数に対応するスパークラインの少なくとも１つを表示する、
ことをさらに含む請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記タイムラインは、前記プロセスの変動に関連するフォールトの指示、前記プロセスの前記時間期間に関する前記プロセスの目下の進行、選択可能な矢印であって、前記バーチャートで表示される値のうちの少なくとも１つの値を、前記タイムライン上の前記矢印の時間位置に対応する値に変更する、選択可能な矢印、または、前記タイムライン上の前記矢印の時間位置に対応する前記スパークラインの進行の少なくとも１つを含む請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記スパークラインは、前記第１の測定変数または前記第２の測定変数の前記少なくとも一方に関連する過去の値が第２閾値を越える場合、偏倚の指示を含む請求項１０又は請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第１の測定変数に関連する第３の値および前記第２の測定変数に関連する第４の値を含む前記プロセスに関するプロセスコントロール情報を第２の時間に受信し、
前記第２の時間における前記受信されたプロセスコントロール情報に基づく前記プロセスに関連する第２の変動が前記閾値を越えるかどうかを判定し、かつ前記第１グラフィックにおいて前記第２の変動をグラフィカルに表示し、
前記第２の変動が前記閾値を越える場合、前記第２の時間における前記第２の変動に対する前記第１の測定変数の寄与に基づいて第３の寄与値を、および前記第２の時間における前記第２の変動に対する前記第２の測定変数の寄与に基づいて第４の寄与値を計算し、
前記第１グラフィックの一部分から選択可能な前記第２グラフィックにおいて前記第３の寄与値および前記第４の寄与値をグラフィカルに表示し、
前記第３の寄与値または前記第４の寄与値に基づいて少なくとも１つの補正アクションを確定し、前記少なくとも１つの補正アクションを前記第２グラフィックにおいて表示し、
前記第２の時間後のある時間に前記少なくとも１つの補正アクションに基づいて前記予測プロセス品質を計算し、かつ前記第２グラフィックの一部分から選択可能な前記第３グラフィックにおいて前記予測プロセス品質をグラフィカルに表示する、
ことをさらに含む請求項１〜請求項１２の何れか１項に記載の方法。
【請求項１４】
前記第１の測定変数および前記第２の測定変数は、測定プロセス変数または測定品質変数の少なくとも一方を含む請求項１〜請求項１３の何れか１項に記載の方法。
【請求項１５】
前記変動は、前記第１の測定変数または前記第２の測定変数の少なくとも一方の多変量解析、代数解析、最適化解析、過去バッチプロセス解析、統計解析、回帰解析、相関解析、再現性解析、再生解析、または時系列解析の少なくとも１つに基づく請求項１〜請求項１４の何れか１項に記載の方法。
【請求項１６】
前記第１の寄与値および前記第２の寄与値を計算することは、多変量解析、代数解析、最適化解析、過去バッチプロセス解析、統計解析、回帰解析、相関解析、再現性解析、再生解析、または時系列解析の少なくとも１つに基づいて前記第１および第２の寄与値と前記変動との関係を確定することを含む請求項１〜請求項１５の何れか１項に記載の方法。
【請求項１７】
前記予測プロセス品質を計算することは、
多変量解析、代数解析、最適化解析、過去バッチプロセス解析、統計解析、回帰解析、相関解析、再現性解析、再生解析、または時系列解析の少なくとも１つに基づいて、前記予測プロセス品質に関連する総合品質変数と、前記第１の測定変数または前記第２の測定変数の少なくとも一方との関係を確定し、
前記少なくとも１つの補正アクションを前記関係に適用し、
前記関係から前記予測プロセス品質を計算する、
ことを含む請求項１〜請求項１６の何れか１項に記載の方法。
【請求項１８】
プロセスコントロールシステムのプロセス品質を予測する装置であって、
第１の測定変数に関連する第１の値および第２の測定変数に関連する第２の値を含むプロセスに関するプロセスコントロール情報を第１の時間に受信するバッチデータ受信機と、
プロセッサであって、
前記プロセスに関連する前記受信されたプロセスコントロール情報に基づく変動が閾値を越えるかどうかを判定し、
前記変動が前記閾値を越える場合、前記変動に対する前記第１の変数の寄与に基づいて第１の寄与値、および前記変動に対する前記第２の測定変数の寄与に基づいて第２の寄与値を計算し、
前記第１の寄与値、前記第２の寄与値、前記第１の値、または前記第２の値に基づいて少なくとも１つの補正アクションを確定し、
前記第１の時間後のある時間に前記少なくとも１つの補正アクションに基づいて予測プロセス品質を計算する、プロセッサと、
を備える装置。
【請求項１９】
前記プロセッサは、
前記第１の寄与値に関連する第１の非説明変動および第１の説明変動を計算し、
前記第２の寄与値に関連する第２の非説明変動および第２の説明変動を計算する請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記ディスプレイマネジャは、
前記第１の説明変動の上に前記第１の非説明変動を重ね合せること、または、前記第１の非説明変動を前記第１の説明変動と一緒に示すことの少なくとも一方によって前記第２グラフィック内でバーチャートで前記第１の非説明変動および前記第１の説明変動を表示することを行い、かつ
前記第２の説明変動の上に前記第２の非説明変動を重ね合せること、または、前記第２の非説明変動を前記第２の説明変動と一緒に示すことの少なくとも一方によって前記バーチャートで前記第２の非説明変動および前記第２の説明変動を表示することを行う請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記ディスプレイマネジャは、
前記予測プロセス品質の信頼範囲または前記予測プロセス品質の閾値の少なくとも一方に関して前記予測プロセス品質をグラフィカルに表示し、かつ
前記プロセスのある時間期間にわたって前記予測プロセス品質をグラフィカルに表示する請求項１８〜請求項２０の何れか１項に記載の装置。
【請求項２２】
前記プロセッサは、
前記プロセスに前記少なくとも１つの補正アクションを適用する請求項１８〜請求項２１の何れか１項に記載の装置。
【請求項２３】
前記プロセッサは、
多変量解析、代数解析、最適化解析、過去バッチプロセス解析、統計解析、回帰解析、相関解析、再現性解析、再生解析、または時系列解析の少なくとも１つに基づいて、前記予測プロセス品質に関連する総合品質変数と、前記第１の測定変数または前記第２の測定変数の少なくとも一方との関係を確定し、
前記少なくとも１つの補正アクションを前記関係に適用することによって、前記予測プロセス品質を計算する請求項１８〜請求項２２の何れか１項に記載の装置。
【請求項２４】
前記プロセッサは、前記第１の測定変数または前記第２の測定変数の少なくとも一方の、多変量解析、代数解析、最適化解析、過去バッチプロセス解析、統計解析、回帰解析、相関解析、再現性解析、再生解析、または時系列解析の少なくとも１つに基づいて前記変動を確定する請求項１８〜請求項２３の何れか１項に記載の装置。
【請求項２５】
多変量解析、代数解析、最適化解析、過去バッチプロセス解析、統計解析、回帰解析、相関解析、再現性解析、再生解析、または時系列解析の少なくとも１つに基づいて前記第１および第２の寄与値と前記変動との関係を確定するプロセスモデル生成器をさらに備える請求項１８〜請求項２４の何れか１項に記載の装置。
【請求項２６】
機械アクセス可能媒体であって、機械アクセス可能媒体上に格納される命令を有し、前記命令は、実行されると、機械に、
第１の測定変数に関連する第１の値および第２の測定変数に関連する第２の値を含むプロセスに関するプロセスコントロール情報を第１の時間に受信し、
前記プロセスに関連する前記受信されたプロセスコントロール情報に基づく変動が閾値を越えるかどうかを判定し、
前記変動が前記閾値を越える場合、前記変動に対する前記第１の測定変数の寄与に基づいて第１の寄与値を計算し、かつ、前記変動に対する前記第２の測定変数の寄与に基づいて第２の寄与値を計算し、
前記第１の寄与値、前記第２の寄与値、前記第１の値、または前記第２の値に基づいて少なくとも１つの補正アクションを確定し、
前記第１の時間後のある時間に前記少なくとも１つの補正アクションに基づいて予測プロセス品質を計算する、
ことをさせる機械アクセス可能媒体。
【請求項２７】
前記機械アクセス可能命令は、実行されると、前記機械に、
ユーザインタフェースを介して第１グラフィックにおいて前記変動をグラフィカルに表示し、
前記ユーザインタフェースを介して、前記第１グラフィックの一部分から選択可能な第２グラフィックにおいて前記第１の寄与値および前記第２の寄与値をグラフィカルに表示し、
前記ユーザインタフェースを介して前記少なくとも１つの補正アクションを表示し、
前記ユーザインタフェースを介して、前記第２グラフィックの一部分から選択可能な第３グラフィックにおいて前記予測プロセス品質をグラフィカルに表示する、
ことをさせる請求項２６に記載の機械アクセス可能媒体。