【手続補正書】
【提出日】平成24年11月30日(2012.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の振動腕と、
前記一対の振動腕と連結されている連結部と、
前記連結部から延出され、前記一対の振動腕の間に配置されている中央支持腕と、
を含み、
前記連結部は、表裏の主面に開口を有している溝が設けられ、
前記溝は、
前記一対の振動腕の並ぶ方向に沿って配置され、
且つ、平面視で、前記連結部の振動腕が延出されている側と前記延出されている側とは反対側との間に配置されていることを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１において、
前記溝は、
前記連結部が前記振動腕と接続されている部分と、前記連結部が前記中央支持腕と接続されている部分との間に配置されていることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記溝が有底の溝であることを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１又は２において、
前記溝は貫通していることを特徴とする振動片。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記溝の前記振動腕の延出方向の幅をＷ、
前記連結部の前記延出方向の幅をＴとしたとき、
０．１×Ｔ≦Ｗ≦０．６５×Ｔ
を満たしていることを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項５において、
０．２×Ｔ≦Ｗ≦０．６×Ｔ
を満たしていることを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項において、
前記振動腕は、圧電駆動、静電駆動及び磁気駆動の何れかにより屈曲振動することを特徴とする振動片。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項において、
前記振動腕、前記連結部及び前記中央支持腕が、水晶及びシリコンの何れかで一体的に構成されていることを特徴とする振動片。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の振動片を備えることを特徴とする振動子。
【請求項１０】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の振動片を備えることを特徴とするセンサー。
【請求項１１】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の振動片を備えることを特徴とする電子部品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】振動片、振動子、センサー及び電子部品
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明は、上記目的を達成するために、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明のある実施形態に係る振動片は、一対の振動腕と、前記一対の振動腕と連結されている連結部と、前記連結部から延出され、前記一対の振動腕の間に配置されている中央支持腕と、を含み、前記連結部は、表裏の主面に開口を有している溝が設けられ、前記溝は、前記一対の振動腕の並ぶ方向に沿って配置され、且つ、平面視で、前記連結部の振動腕が延出されている側と前記延出されている側とは反対側との間に配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片は、前記溝は、前記連結部が前記振動腕と接続されている部分と、前記連結部が前記中央支持腕と接続されている部分との間に配置されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片は、前記溝が有底の溝であることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片は、前記溝は貫通していることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片は、前記溝の前記振動腕の延出方向の幅をＷ、前記連結部の前記延出方向の幅をＴとしたとき、０．１×Ｔ≦Ｗ≦０．６５×Ｔを満たしていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片は、０．２×Ｔ≦Ｗ≦０．６×Ｔを満たしていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片は、前記振動腕は、圧電駆動、静電駆動及び磁気駆動の何れかにより屈曲振動することを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動片は、前記振動腕、前記連結部及び前記中央支持腕が、水晶及びシリコンの何れかで一体的に構成されていることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る振動子は、前記振動片を備えることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係るセンサーは、前記振動片を備えることを特徴とする。
本発明のある別の実施形態に係る電子部品は、前記振動片を備えることを特徴とする。
［適用例１］複数本の平行な振動腕と、該振動腕を結合する連結部と、該連結部から振動腕の間にそれらと等間隔をもって平行に延出する１本の中央支持腕とを備え、連結部がその表裏主面に形成された溝を有し、該溝が、振動腕の幅方向において、連結部の振動腕側とその反対側とで振動腕の屈曲振動による圧縮応力と引張応力とが交互に発生する領域に配置されている屈曲振動片が提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
適用例１によれば、振動腕の屈曲振動により圧縮応力と引張応力とが交互に発生する連結部の振動腕側とその反対側との間で、圧縮による温度上昇と伸張による温度下降とによって温度差が発生するが、その間における熱伝達は連結部の溝によって妨げられる。その結果、熱弾性損失によるＱ値の低下が抑制されるので、性能の向上を図ることにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
適用例１に係る屈曲振動片には、振動子や共振子、ジャイロ、各種センサ等の圧電デバイス、その他の電子部品に使用される圧電駆動型の圧電振動片が含まれる。更に適用例１に係る屈曲振動片には、従来技術に関連して上述した静電駆動型及び磁気駆動型のものが含まれる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
［適用例２］連結部の溝は、振動腕の幅方向において連結部の振動腕に接続する部分と連結部の中央支持腕に接続する部分との間の範囲内に形成することが好ましい。
本願発明者が様々に検討した結果、この連結部の溝は、振動腕又は中央支持腕の延長上に形成されると、却って振動腕の屈曲振動に影響して振動エネルギの損失を生じ、Ｑ値を低下させ得ることが分かった。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
［適用例３］連結部の溝が有底の溝である。
適用例３によれば、連結部の振動腕側とその反対側との間における熱伝達経路は途中で狭められ、見かけ上従来よりも長くなる。その結果、連結部の振動腕側とその反対側との間で温度が平衡状態となるまでの緩和時間τが長くなるので、Ｑ値の極小値を生じる緩和振動数（ｆ＝１／２πτ）は、溝が無い場合の緩和振動数よりも低くなる。従って、溝が無い場合の緩和振動数よりも高い周波数範囲では、Ｑ値が従来よりも高くなる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
［適用例４］連結部の溝が貫通溝である。
適用例４によれば、連結部の振動腕側とその反対側との間における熱伝達経路は途中で遮断され、従来よりも短くなる。その結果、連結部の振動腕側とその反対側との間で温度が平衡状態となるまでの緩和時間τが短くなるので、Ｑ値の極小値を生じる緩和振動数（ｆ＝１／２πτ）は、溝が無い場合の緩和振動数よりも高くなる。従って、溝が無い場合の緩和振動数よりも低い周波数範囲では、Ｑ値が従来よりも高くなる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
［適用例５］振動腕の長手方向における溝の幅Ｗを連結部の幅Ｔに関して０．１Ｔ≦Ｗ≦０．６５Ｔの範囲内に設定する。
適用例５によれば、Ｑ値を従来よりも約５％以上向上させることができるので、好ましい。
［適用例６］振動腕の長手方向における溝の幅Ｗを連結部の幅Ｔに関して０．２Ｔ≦Ｗ≦０．６Ｔの範囲内に設定する。
適用例６によれば、Ｑ値を更に向上させることができるので、より好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
［適用例７］適用例７に係る本発明の屈曲振動片は、従来の音叉型圧電振動片と同様に水晶材料で形成することができ、他の公知の圧電材料を用いて形成することもできる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
［適用例８］上述した屈曲振動片を備えることにより、高いＱ値及び高性能を発揮し得る、圧電振動子や共振子、圧電発振器、角速度センサー等の圧電デバイス、その他の電子部品が提供される。