【手続補正書】
【提出日】平成25年4月22日(2013.4.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物にエッチング液を供給することにより所望の形状に加工する加工装置であって、
前記被処理物を支持する支持台と、
前記支持台に支持されている前記被処理物の少なくとも一部分の温度を制御する温度制御手段と、
前記被処理物に対して前記エッチング液を送出する送出口および前記送出口から送出された前記エッチング液を吸引する吸引口を有するノズルと、を備え、
前記支持台とノズルとは、相対移動することを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記温度制御手段は、前記エッチング液が供給され前記吸引口から吸引された前記一部分の温度を冷却することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
前記温度制御手段は、前記被処理物の前記エッチング液が供給される前の領域内を等しい温度に維持するよう構成されている請求項１または２に記載の加工装置。
【請求項４】
前記温度制御手段は、前記被処理物の前記エッチング液が供給される前の領域内を３０℃以上８０℃以下の一定温度とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項５】
前記温度制御手段は、前記被処理物の前記エッチング液が供給される前の領域内を前記エッチング液の温度と等しい温度とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項６】
前記温度制御手段は、前記被処理物の前記エッチング液が供給され前記吸引口から吸引された前記一部分を２５℃以下に冷却する請求項１ないし５のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項７】
前記温度制御手段は、前記支持台に配置されている複数の加熱・冷却素子を有している請求項１ないし６のいずれか１項に記載の加工装置。
【請求項８】
前記複数の加熱・冷却素子は、前記被処理物に対する前記ノズルの移動方向に沿って並んで設けられている請求項７に記載の加工装置。
【請求項９】
１つの前記加熱・冷却素子によって温調される前記被処理物の各部位の前記ノズルの移動方向に直交する方向における長さは、所定時刻に前記被処理物に供給された前記エッチング液の前記ノズルの移動方向に直交する方向における長さと等しいかまたはそれよりも短い請求項７または８に記載の加工装置。
【請求項１０】
前記複数の加熱・冷却素子は、ペルチェ素子である請求項７ないし９のいずれか１項に記載の加工装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】加工装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、加工装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の目的は、被処理物に対して所望のエッチング処理を行うことができる加工装置を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の加工装置は、被処理物にエッチング液を供給することにより所望の形状に加工する加工装置であって、
前記被処理物を支持する支持台と、
前記支持台に支持されている前記被処理物の少なくとも一部分の温度を制御する温度制御手段と、
前記被処理物に対して前記エッチング液を送出する送出口および前記送出口から送出された前記エッチング液を吸引する吸引口を有するノズルと、を備え、
前記支持台とノズルとは、相対移動することを特徴とする。
これにより、被処理物に対して所望のエッチング処理を行うことができる加工装置を提供することができる。
［適用例２］
本発明の加工装置では、前記温度制御手段は、前記エッチング液が供給され前記吸引口から吸引された前記一部分の温度を冷却することが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
［適用例３］
本発明の加工装置では、前記温度制御手段は、前記被処理物の前記エッチング液が供給される前の領域内を等しい温度に維持するよう構成されていることが好ましい。
これにより、被処理物に対して高精度なエッチング処理を行うことができる。
［適用例４］
本発明の加工装置では、前記温度制御手段は、前記被処理物の前記エッチング液が供給される前の領域内を３０℃以上８０℃以下の一定温度とすることが好ましい。
これにより、エッチング液を被処理物の各部位に正確に供給することができるとともに、被処理物の各部位を比較的高いエッチングレートにてエッチング処理することができる。そのため、被処理物に対して、迅速かつ高精度なエッチング処理を施すことができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［適用例５］
本発明の加工装置では、前記温度制御手段は、前記被処理物の前記エッチング液が供給される前の領域内を前記エッチング液の温度と等しい温度とすることが好ましい。
これにより、被処理物とエッチング液の温度差を実質的に０（ゼロ）とすることができるため、エッチング液が供給されることによって被処理物の表面温度が変化するのを確実に防止することができる。そのため、所定のエッチングレートで被処理物をエッチングすることができ、被処理物に対してより高精度なエッチング処理を施すことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
［適用例６］
本発明の加工装置では、前記温度制御手段は、前記被処理物の前記エッチング液が供給され前記吸引口から吸引された前記一部分を２５℃以下に冷却することが好ましい。
これにより、被処理物に対するエッチング液のエッチングレートを実質的に０（ゼロ）とすることができるため、所望のエッチング処理が施された部位が、その部位に残存するエッチング液によって、さらにエッチング処理されてしまうのを確実に防止することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
［適用例７］
本発明の加工装置では、前記温度制御手段は、前記支持台に配置されている複数の加熱・冷却素子を有していることが好ましい。
これにより、支持台に固定された被処理物を迅速かつ効率的に加熱または冷却することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［適用例８］
本発明の加工装置では、前記複数の加熱・冷却素子は、前記被処理物に対する前記ノズルの移動方向に沿って並んで設けられていることが好ましい。
これにより、被処理物のエッチングが終了した部位を順次、その部位に対応する加熱・冷却素子によって冷却することができる。そのため、被処理物のエッチングが終了した部位を速やかに冷却することができ、被処理物から除去されずに残存したエッチング液による不本意なエッチングをより効果的に防止することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例９］
本発明の加工装置では、１つの前記加熱・冷却素子によって温調される前記被処理物の各部位の前記ノズルの移動方向に直交する方向における長さは、所定時刻に前記被処理物に供給された前記エッチング液の前記ノズルの移動方向に直交する方向における長さと等しいかまたはそれよりも短いことが好ましい。
これにより、被処理物のエッチングが終了した部位のみを、より確実に、エッチング終了後速やかに冷却することができる。そのため、被処理物から除去されずに残存したエッチング液による不本意なエッチングをさらに効果的に防止することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［適用例１０］
本発明の加工装置では、前記複数の加熱・冷却素子は、ペルチェ素子であることが好ましい。
これにより、１つの素子で、被処理物の加熱、冷却を共に行うことができるので、温度制御手段の構成が簡単となる。また、電流の印加に対する応答性にも優れており、より迅速かつ正確に被処理面を所定温度とすることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【図１】本発明の加工装置（表面加工装置）の第１実施形態の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示す表面加工装置が有する温度制御部の構成を示す図である。
【図３】図１に示す表面加工装置が有する制御部のブロック図である。
【図４】図１に示す表面加工装置が有するノズルの移動を説明する平面図である。
【図５】図１に示す表面加工装置が有する温度制御装置の概略構成を示す図である。
【図６】図５に示す温度制御装置が有する複数のペルチェ素子とノズルの移動ルートとの関係を示す平面図である。
【図７】ワークの被処理面を示す平面図である。
【図８】本発明の第２実施形態にかかる加工装置（表面加工装置）が備える温度制御装置の概略構成を示す断面図である。
【図９】被処理物の温度分布の一例を示す平面図である。
【図１０】本発明の第３実施形態にかかる加工装置（表面加工装置）が備えるノズルの平面図である。
【図１１】図１０に示すノズルの変形例を示す平面図である。
【図１２】ペルチェ素子の配列を示す平面図である。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
以下、本発明の加工装置を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の加工装置（表面加工装置）の第１実施形態の概略構成を示す図、図２は、図１に示す表面加工装置が有する温度制御部の構成を示す図、図３は、図１に示す表面加工装置が有する制御部のブロック図、図４は、図１に示す表面加工装置が有するノズルの移動を説明する平面図、図５は、図１に示す表面加工装置が有する温度制御装置の概略構成を示す図、図６は、図５に示す温度制御装置が有する複数のペルチェ素子とノズルの移動ルートとの関係を示す平面図、図７は、ワークの被処理面を示す平面図である。なお、以下の説明では、図１中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の加工装置の第２実施形態について説明する。
図８は、本発明の第２実施形態にかかる加工装置（表面加工装置）が備える温度制御装置の概略構成を示す断面図、図９は、被処理物の温度分布の一例を示す平面図である。
以下、第２実施形態の加工装置について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
本発明の第２実施形態にかかる加工装置（表面加工装置）では、温度制御装置９Ａがワーク１０の被処理面の温度を検知する温度検知手段を有する以外は、前述した第１実施形態の表面加工装置１と同様である。なお、図８および図９にて、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
図８に示すように、本実施形態の温度制御装置９Ａは、チャッキングプレート２１に配置された複数のペルチェ素子９１と、各ペルチェ素子９１の駆動を独立して制御する駆動制御部９２と、チャッキングプレート２１に固定されたワーク１０の被処理面１０１の温度を検知する温度検知素子９３とを有している。このような温度制御装置９は、駆動制御部９２が温度検知素子９３の検知結果に基づいて各ペルチェ素子９１の駆動を制御するように構成されている。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の加工装置の第３実施形態について説明する。
図１０は、本発明の第３実施形態にかかる加工装置（表面加工装置）が備えるノズルの平面図、図１１は、図１０に示すノズルの変形例を示す平面図、図１２は、ペルチェ素子の配列を示す平面図である。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
以下、第３実施形態の加工装置について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第３実施形態にかかる加工装置（表面加工装置）では、ノズル４Ｂの構成およびペルチェ素子９１の配列が異なる以外は、前述した第１実施形態の表面加工装置１と同様である。なお、図９にて、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
以上、本発明の加工装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物や、工程が付加されていてもよい。また、前述した各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
また、前述した実施形態では、加熱・冷却素子として、ペルチェ素子を用いた構成について説明したが、加熱・冷却素子としては、ワークの被処理面を加熱および冷却することができれば特に限定されず、例えば、内部を冷媒が循環する冷却管により被処理面を冷却し、マイクロヒーター等のヒーターにより被処理面を加熱するように構成してもよい。