(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リード部（１１、５０、５１）が樹脂（４０）にてモールドされるようになっているリードフレームを製造する方法であって、
板状の素材を所望形状に型抜きして前記リードフレームの形状を形成した後、
前記リード部のうち少なくともインナーリード（１２、５２）におけるアウターリード（１３、５３）との境界部の全周面を、前記樹脂との密着性を向上させるように表面処理するものであって、
前記表面処理は、サンドブラストもしくはレーザ照射のノズルの向きを変えることにより、被処理面としての前記インナーリードにおけるアウターリードとの境界部の表裏両面および両側面に研磨材もしくはレーザを当てて当該被処理面を粗くする処理を行うものであることを特徴とするリードフレームの製造方法。
【請求項２】
リード部（１１、５０、５１）が樹脂（４０）にてモールドされるようになっているリードフレームを製造する方法であって、
板状の素材を所望形状に型抜きして前記リードフレームの形状を形成した後、
前記リード部のうち少なくともインナーリード（１２、５２）におけるアウターリード（１３、５３）との境界部の全周面を、前記樹脂との密着性を向上させるように表面処理するものであって、
前記表面処理は、サンドブラストもしくはレーザ照射により、被処理面としての前記インナーリードにおけるアウターリードとの境界部の表裏両面および両側面に研磨材やレーザを当てて処理を行うものであり、
前記側面を処理するときには、前記サンドブラストもしくはレーザ照射のノズル（Ｋ１）の絞りを、前記表裏両面の処理時に比べてゆるめて放射状に噴射もしくは照射を行うことで、前記側面を粗くする処理を行うものであることを特徴とするリードフレームの製造方法。
【請求項３】
リード部（１１、５０、５１）が樹脂（４０）にてモールドされるようになっているリードフレームを製造する方法であって、
板状の素材を所望形状に型抜きして前記リードフレームの形状を形成した後、
前記リード部のうち少なくともインナーリード（１２、５２）におけるアウターリード（１３、５３）との境界部の全周面を、前記樹脂との密着性を向上させるように表面処理するものであって、
前記表面処理は、被処理面としての前記インナーリードにおけるアウターリードとの境界部の表裏両面および両側面にレーザ照射を行うものであり、
前記側面を処理するときには、前記レーザ照射のノズル（Ｋ１）と前記側面との間に、ミラー（Ｋ２）を介在させ、このミラー（Ｋ２）によるレーザの屈折を利用して、前記側面を粗くする処理を行うものであることを特徴とするリードフレームの製造方法。
【請求項４】
リード部（１１、５０、５１）が樹脂（４０）にてモールドされるようになっているリードフレームを製造する方法であって、
板状の素材を所望形状に型抜きして前記リードフレームの形状を形成した後、
前記リード部のうち少なくともインナーリード（１２、５２）におけるアウターリード（１３、５３）との境界部の全周面を、前記樹脂との密着性を向上させるように表面処理するものであって、
前記表面処理は、被処理面としての前記インナーリードにおけるアウターリードとの境界部の表裏両面および両側面にプラズマ照射を行うものであり、
前記プラズマ照射は、プラズマ照射装置における上部電極（Ｋ４）と下部電極（Ｋ５）との間に前記インナーリードを介在させ、前記両電極（Ｋ４、Ｋ５）に電界印加してプラズマを発生させるものであって、
前記上部電極（Ｋ４）に対して、前記側面の近傍まで突出する突起（Ｋ６）を設け、前記下部電極（Ｋ５）には、前記突起（Ｋ６）に対応した凹部（Ｋ７）を設けることにより、前記側面にまでプラズマを照射するものであることを特徴とするリードフレームの製造方法。
【請求項５】
前記インナーリード（１２）は、前記表面処理後にワイヤ（３０）と接合されるものであり、
前記表面処理は、前記インナーリードの表裏両面および両側面のうち、前記ワイヤとの接合部（１２ｄ）を除いた部位に対して行うものであることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載のリードフレームの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リード部が電子部品に接続された状態で該電子部品とともに樹脂にてモールドされるようになっているリードフレームの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、樹脂にてモールドされるリード部を有するリードフレームを用いた電子部品として、半導体チップを樹脂にてモールドした半導体装置がある。その一般的な断面構成を図１に示す。
【０００３】
このＩＣチップ２０は、次のような工程でリードフレームのリード部１１および樹脂４０と一体化される。まず、板状のリードフレーム素材（フープ材）を用意し、この板状素材に型抜き加工を施し、所定形状のリードフレームとなるように打ち抜く。
【０００４】
次に、リードフレームのアイランド部１５にＩＣチップ２０を搭載し、導電性接着剤７０あるいは半田により両者を接続するとともに、インナーリード１２にＩＣチップ２０をワイヤボンディングにて電気的に接続する。
【０００５】
次に、リード部１１と一体化されたＩＣチップ２０を、樹脂４０にてモールドする。その後、リード部１１を連結しているタイバーを切断し、個々の半導体装置に分断するとともに、アウターリード１３を折り曲げる等により、その形状を調整（フォーミング）することで、図１に示す半導体装置Ｓ１が出来上がる。
【０００６】
そして、この半導体装置Ｓ１は、図７に示す様に、基板１００に実装される。部品実装用の表面電極１０１が形成された基板１００を用意し、所定の表面電極１０１に半田ペースト１０２を印刷する（図７（ａ））。続いて、所定部位の半田ペースト１０２上に、タンタルコンデンサＣ２や、ＩＣチップ等の他部品１０３とともに上記半導体装置Ｓ１を搭載する（図７（ｂ））。
【０００７】
次に、加熱することで半田を溶融させ、各部品を半田接続する（図７（ｃ））。次に、半田ペースト１０２中の成分であるフラックス１０５を除去するために、グリコールエーテル等を主成分とした洗浄剤を用いて、基板１００を洗浄する（図７（ｄ））。そして、ワイヤボンディング１０８、放熱板１０６の基板１００への接着、封止部材１０７による封止等のパッケージングを行う（図７（ｅ））。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記した部品の基板１００への実装工程における洗浄工程にて、半導体装置Ｓ１において、リード部１１のインナーリード（樹脂４０内に位置するリード部の部分）１２とモールド樹脂４０との界面から洗浄剤が侵入しやすいという問題があった。
【０００９】
これを防ぐため、リードフレームを製造する際に、板状素材の表裏両面をサンドブラストしたり、メッキする等により、当該表裏両面を粗くし、樹脂４０との密着性を向上させることが、従来より行われている（特開平４−２５３３１４号公報、特開平５−２１２９０号公報、特開昭６３−１６０３６７号公報等）。しかし、本発明者等の検討では、それでも、洗浄剤の侵入防止は不十分であることがわかった。
【００１０】
特に、近年の脱フロン化に伴い、洗浄剤には、上記したようなグリコールエーテル等を主成分とした洗浄剤が用いられている。このようなフロンに替わる洗浄剤は、侵入力がフロンよりも高いだけでなく、フロンよりも沸点が高いため内部に侵入したら、抜けにくい。そして、洗浄剤が侵入すると、素子の特性（漏れ電流等）が変化したり、Ａｌ腐食発生に至ったりする。
【００１１】
そして、このような問題は、上記の半導体装置Ｓ１に限らず、リード部と一体化された電子部品を樹脂にてモールドしてなるものにおいては、共通の問題である。例えば、タンタル粉末の焼結体をリードフレームのリード部に接続し、これを樹脂にてモールドしたタンタルコンデンサ等の電解コンデンサにおいても、同様の問題が生じる。
【００１２】
そこで、本発明は上記問題に鑑み、リード部が樹脂にてモールドされるようになっているリードフレームにおいて、リード部とモールド樹脂と界面からの洗浄剤の侵入をより確実に防止できるようにすることを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明者等の検討によれば、従来では、樹脂との密着性を向上させるべくリードフレームの板状素材の表裏両面を粗くする処理は、型抜き加工の前に行うため、型抜きされたリード部の側面（型抜きによる切断面）では未処理のままであり、この側面と樹脂との界面から侵入することがわかった。本発明はこの点に着目してなされたものである。
【００１４】
すなわち、請求項１に記載の発明では、リード部（１１、５０、５１）が樹脂（４０）にてモールドされるようになっている板状のリードフレームを製造する方法であって、板状の素材を所望形状に型抜きしてリードフレームの形状を形成した後、リード部のうち少なくともインナーリード（１２、５２）におけるアウターリード（１３、５３）との境界部の全周面を、前記樹脂との密着性を向上させるように表面処理するものであって、当該表面処理は、サンドブラストもしくはレーザ照射のノズルの向きを変えることにより、被処理面としてのインナーリードにおけるアウターリードとの境界部の表裏両面および両側面に研磨材もしくはレーザを当てて当該被処理面を粗くする処理を行うものであることを特徴としている。
【００１５】
請求項２に記載の発明では、リード部（１１、５０、５１）が樹脂（４０）にてモールドされるようになっているリードフレームを製造する方法であって、板状の素材を所望形状に型抜きして前記リードフレームの形状を形成した後、リード部のうち少なくともインナーリード（１２、５２）におけるアウターリード（１３、５３）との境界部の全周面を、当該樹脂との密着性を向上させるように表面処理するものであって、当該表面処理は、サンドブラストもしくはレーザ照射により、被処理面としてのインナーリードにおけるアウターリードとの境界部の表裏両面および両側面に研磨材やレーザを当てて処理を行うものであり、当該側面を処理するときには、サンドブラストもしくはレーザ照射のノズル（Ｋ１）の絞りを、当該表裏両面の処理時に比べてゆるめて放射状に噴射もしくは照射を行うことで、当該側面を粗くする処理を行うものであることを特徴とする。
【００１６】
請求項３に記載の発明では、リード部（１１、５０、５１）が樹脂（４０）にてモールドされるようになっているリードフレームを製造する方法であって、板状の素材を所望形状に型抜きしてリードフレームの形状を形成した後、リード部のうち少なくともインナーリード（１２、５２）におけるアウターリード（１３、５３）との境界部の全周面を、当該樹脂との密着性を向上させるように表面処理するものであって、当該表面処理は、被処理面としてのインナーリードにおけるアウターリードとの境界部の表裏両面および両側面にレーザ照射を行うものであり、当該側面を処理するときには、レーザ照射のノズル（Ｋ１）と当該側面との間に、ミラー（Ｋ２）を介在させ、このミラー（Ｋ２）によるレーザの屈折を利用して、当該側面を粗くする処理を行うものであることを特徴とする。
【００１７】
請求項４に記載の発明では、リード部（１１、５０、５１）が樹脂（４０）にてモールドされるようになっているリードフレームを製造する方法であって、板状の素材を所望形状に型抜きしてリードフレームの形状を形成した後、リード部のうち少なくともインナーリード（１２、５２）におけるアウターリード（１３、５３）との境界部の全周面を、当該樹脂との密着性を向上させるように表面処理するものであって、当該表面処理は、被処理面としてのインナーリードにおけるアウターリードとの境界部の表裏両面および両側面にプラズマ照射を行うものであり、当該プラズマ照射は、プラズマ照射装置における上部電極（Ｋ４）と下部電極（Ｋ５）との間にインナーリードを介在させ、当該両電極（Ｋ４、Ｋ５）に電界印加してプラズマを発生させるものであって、当該上部電極（Ｋ４）に対して、当該側面の近傍まで突出する突起（Ｋ６）を設け、当該下部電極（Ｋ５）には、当該突起（Ｋ６）に対応した凹部（Ｋ７）を設けることにより、当該側面にまでプラズマを照射するものであることを特徴とする。
【００１８】
これら請求項１〜３に記載の発明のように、被処理面にサンドブラスト処理を行ったり、レーザ照射を行ったりする処理によれば、被処理面の面粗さを粗くして、樹脂との密着性を向上させることができる。また、請求項４に記載の発明のように、被処理面にプラズマ照射を行うものであれば、リード部の各面に存在する汚れや酸化物を除去することが出来、樹脂との密着性を向上させることができる。こうして、請求項１〜４に記載の発明によれば、板状のリード部におけるインナーリードの表裏両面（１２ａ、１２ｂ、５２ａ、５２ｂ）だけでなく、従来、樹脂との密着性を向上させる処理がなされていなかったインナーリードの側面（１２ｃ、５２ｃ）まで、樹脂との密着性を向上させるように表面処理がなされるため、リード部と樹脂との界面の全周において密着性を良好に確保できる。従って、リード部とモールド樹脂との界面からの洗浄剤の侵入をより確実に防止することができる。
【００１９】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれか１つに記載のリードフレームの製造方法において、インナーリード（１２）を、表面処理後にワイヤ（３０）と接合されるものとしたとき、表面処理は、インナーリードの表裏両面および両側面のうち、ワイヤとの接合部（１２ｄ）を除いた部位に対して行うものであることを特徴とする。
【００２０】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係るリードフレームを用いた樹脂モールドされる電子部品としての半導体装置Ｓ１の概略断面図である。
【００２２】
この半導体装置Ｓ１において、リードフレームのアイランド部１５に導電性接着剤（または半田）７０を介して搭載されたＩＣチップ２０が、曲げられた板状のリード部１１に対して、ＡｕやＡｌ等のワイヤボンディングにより形成されたワイヤ３０を介して電気的に接続されている。
【００２３】
そして、これらアイランド部１５に搭載されたＩＣチップ２０、リード部１１およびワイヤ３０が、エポキシ樹脂等の樹脂４０にて包み込まれるようにモールドされてなり、いわゆる樹脂封止型半導体装置が構成されている。
【００２４】
ここで、リード部１１は、Ｃｕ、Ｎｉ、４２アロイ等の金属材料より構成することができる。各リード部１１のうち、樹脂４０の内部に位置する部位はインナーリード１２、樹脂４０の外部に引き出されている部位はアウターリード１３である。そして、アウターリード１３は、樹脂４０の外部にて所定形状に曲げられている。
【００２５】
なお、図１に示す各リード部１１においては、紙面垂直方向にリード部１１の板面の表裏両面（つまり、インナーリード１２の表面１２ａ、裏面１２ｂ）が位置し、紙面にはリード部１１における一方の側面（つまり、インナーリード１２の一方の側面１２ｃ）が表されている。
【００２６】
次に、リードフレームの製造方法を中心に、上記半導体装置Ｓ１の製造方法について説明する。まず、板状（テープ形状）のリードフレーム素材（フープ材）を用意し、この板状素材に型抜き加工を施し、所定形状のリード部１１及びアイランド部１５が形成されるように、打ち抜く。
【００２７】
ここで、図２は、型抜き加工後における板状リードフレームの形状を、リードフレームの板面の表面側つまりインナーリード１２の表面１２ａ側からみた平面図である。また、図３は、型抜き加工後における板状リードフレームの概略側面形状を、上記図１と同様の視点から見た図である。
【００２８】
図２及び図３中に矩形破線で囲んだ領域内が樹脂４０でモールドされる領域である。また、この状態では、各リード部１１はタイバー１４にて連結されている。
【００２９】
このように型抜き加工によってリードフレームの形状を形成した後、本実施形態では、リード部１１のうち少なくともインナーリード１２におけるアウターリード１３との境界部の全周面（表裏両面１２ａ、１２ｂおよび両側面１２ｃ）を、樹脂４０との密着性を向上させるように表面処理する。
【００３０】
図２、図３に示す例では、上記表面処理された部位（表面処理部）Ｈは、斜線ハッチングにて表してある。つまり、表面処理部Ｈは、インナーリード１２の表裏両面１２ａ、１２ｂおよび両側面１２ｃのうち、ワイヤ３０との接合部（ワイヤ接合部）１２ｄを除いた部位に、形成されている。
【００３１】
この表面処理の方法としては、図４、図５に示す様に、被処理面１２ａ、１２ｂ、１２ｃにサンドブラスト処理を行ったり、レーザ照射を行ったり、無機物を吹きつけたりすることで行うことができる。これらの処理によれば、被処理面の面粗さを粗くして、樹脂との密着性を向上させることができる。なお、図４、図５では、インナーリード１２は断面形状を示してある。
【００３２】
まず、図４は、サンドブラストやレーザ照射による表面処理方法を示す説明図である。図４（ａ）に示す様に、サンドブラストやレーザ照射のノズルＫ１の向きを変えることにより、型抜きされたリードフレームにおけるインナーリード１２の表裏両面１２ａ、１２ｂおよび両側面１２ｃに研磨材やレーザを当て、被処理面を粗くすることができる。
【００３３】
また、図４（ｂ）に示す様に、側面１２ｃを処理するときには、上記ノズルＫ１の絞りを、表裏両面１２ａ、１２ｂの処理時に比べてゆるめ、放射状に噴射（照射）することで、ノズルＫ１の向きを変えずに、側面１２ｃを粗くすることができる。
【００３４】
また、図４（ｃ）に示す様に、レーザ照射においては、ノズルＫ１と側面１２ｃとの間に、ミラーＫ２を介在させ、このミラーＫ２によるレーザの屈折を利用して、側面１２ｃを粗くするようにしても良い。ここで、サンドブラストにおいては、例えばアルミナ等の研磨材を用い、また、レーザ照射においては、被処理面を溶かして荒らすためにＹＡＧレーザ等を用いることができる。
【００３５】
また、図５は、無機物を吹きつけることによる表面処理方法を示す説明図であり、ＳｉＯ2等の溶融ガラスや金属等の粒子Ｋ３を、被処理面１２ａ〜１２ｃに吹き付けることにより、当該被処理面を粗くすることができる。ちなみに、通常のリードフレームの面粗さはＲｚで０．７μｍ程度であるが、上記表面処理後の面粗さはＲｚで２μｍ以上にすることができる。
【００３６】
また、上記表面処理方法としては、図６の断面図に示す様に、被処理面１２ａ〜１２ｃにプラズマ照射を行うものであっても良い。型抜きされたリードフレームをプラズマ照射装置における上部電極Ｋ４と下部電極Ｋ５との間に介在させて、両電極Ｋ４、Ｋ５に電界印加してプラズマを発生させる。
【００３７】
このとき、例えば、上部電極Ｋ４に対して、当該側面１２ｃの近傍まで突出する突起Ｋ６を設け、下部電極Ｋ５には、突起Ｋ６に対応した凹部Ｋ７を設けることにより、図中の矢印に示す様に、インナーリード１２の側面１２ｃにまでプラズマを照射することができる。このプラズマ照射によって、被処理面に存在する汚れや酸化物を除去することが出来、樹脂４０との密着性を向上させることができる。
【００３８】
こうして、図２及び図３に示した様な、上記表面処理がなされたリードフレームが出来上がる。そして、このリードフレームにおいて、アイランド部１５に導電性接着剤７０を介してＩＣチップ２０を接着し、ワイヤボンディングを行ってＩＣチップ２０とインナーリード１２における上記ワイヤ接合部１２ｄとをワイヤ３０にて結線し、電気接続する。
【００３９】
次に、上記導電性接着剤７０を硬化させ、続いて、アイランド部１５に搭載されたＩＣチップ２０、リード部１１およびワイヤ３０を、樹脂４０にてモールドする。その後、リード部１１を連結しているタイバー１４を切断し、リード部１１を折り曲げる等により、その形状を調整（フォーミング）することで、図１に示す半導体装置Ｓ１が出来上がる。
【００４０】
そして、この半導体装置Ｓ１は、上記図７の実装方法と同様にして、基板１００に実装される。
【００４１】
すなわち、まず、半田ペースト１０２の印刷を行い（図７（ａ））、半導体装置Ｓ１を他の部品１０３、１０４とともに搭載し（図７（ｂ））、半田を溶融（リフロー）させ（図７（ｃ））、洗浄剤を用いた基板洗浄を行い（図７（ｄ））、パッケージングを行う（図７（ｅ））。こうして半導体装置Ｓ１は基板１００に実装される。
【００４２】
ところで、本実施形態によれば、リード部１１のうち少なくともインナーリード１２におけるアウターリード１３との境界部の全周面（表裏両面１２ａ、１２ｂおよび両側面１２ｃ）に上記表面処理を施すことにより、表裏両面１２ａ、１２ｂだけでなく、従来、樹脂４０との密着性を向上させる処理がなされていなかった側面１２ｃまで、樹脂４０との密着性を向上させるように表面処理がなされる。
【００４３】
そのため、リード部１１（インナーリード１２）と樹脂４０との界面の全周において両者の密着性を良好に確保できるため、上記基板洗浄工程において、リード部１１とモールド樹脂４０との界面からの洗浄剤の侵入をより確実に防止することができる。
【００４４】
ここで、上記図２及び図３に示す例では、表面処理部Ｈは、インナーリード１２の表裏両面１２ａ、１２ｂおよび両側面１２ｃのうちワイヤ接合部１２ｄを除いた部位に、形成されているが、上記表面処理の影響が、これらワイヤ接合部１２ｄにおける接合性に影響を与えなければ、これらワイヤ接合部１２ｄにも上記表面処理を行っても良い。
【００４５】
更には、上記表面処理は、アウターリード１３における表裏両面及び両側面にも行って良い。つまり、リード部１１の全体に表面処理を行って良い。要するに、あくまでも、リード部１１のうち少なくともインナーリード１２におけるアウターリード１３との境界部の全周に、上記表面処理が行われていればよい。
【００４６】
また、板状のリード部１１の両側面１２ｃは、上記板状素材の型抜き後の切断面である。そこで、図８の断面図に示す様に、打ち抜き型におけるオス型Ｋ８とメス型Ｋ９にそれぞれテーパ部Ｋ１０を設けることにより、リード部１１のうち少なくともインナーリード１２の両側面１２ｃに突起１２ｆが形成されるように、上記型抜きを行う。
【００４７】
このように、テーパ部を有する金型を用いて型抜き（金型テーパ処理）を行えば、インナーリード１２の側面１２ｃでは、形成された突起１２ｆが樹脂４０へ食い込むような作用を発揮するため、当該側面１２ｃと樹脂４０との密着性を向上させることができる。そして、当該側面１２ｃと樹脂４０との界面からの洗浄剤の侵入をより確実に防止することができる。
【００４８】
次に、上記各表面処理方法および金型テーパ処理の効果について、具体的に述べる。リードフレームの素材としては、板厚（つまりインナーリードの側面１２ｃの幅）が０．１ｍｍのＮｉ板材を用いた。
【００４９】
図９は、上記サンドブラストによる表面処理の具体的効果を示す図である。サンドブラスト条件としては、ノズルＫ１の径：０．４ｍｍ、研磨材：φ０．０１ｍｍのアルミナ、リード送り速度：２０ｍｍにて行った。
【００５０】
図９において、表面処理を行わない場合（図示では「表面通常」、０．７６Ｒｚ）に比べて、表裏面１２ａ、１２ｂのみ粗くする（図示では「表面のみ粗くする」、４．６Ｒｚ）場合の方が洗浄後の重量変化が小さく洗浄剤の侵入が抑制されており、表裏両面および側面１２ａ〜１２ｃ全てを粗くする（図示では「側面も粗くする」、４．６Ｒｚ）場合は、よりいっそう、洗浄後の重量変化が小さく洗浄剤の侵入が抑制されている。
【００５１】
また、図１０は、各表面処理方法および金型テーパ処理の効果を具体的に示す図表である。この表中、例▲１▼、▲２▼はサンドブラスト（▲１▼は面粗さ２．９Ｒｚ、▲２▼は面粗さ７．９Ｒｚ）、例▲３▼はＹＡＧレーザ照射、例▲４▼は表裏両面１２ａ、１２ｂにサンドブラスト（面粗さ２．９Ｒｚ）、側面１２ｃに金型テーパ処理を行った場合、例▲５▼はプラズマ処理、例▲６▼はＳｉＯ2の吹き付けである。
【００５２】
ここで、ＹＡＧレーザ照射の照射条件は、出力：７５Ｗ、移動速度：１００ｍｍ／ｓｅｃとした。また、金型テーパ処理は、テーパ部Ｋ１０の高さ（打ち抜き方向に沿った高さ）を０．０２５ｍｍとして行った。また、プラズマ処理の条件は、出力７５０Ｗ、ガス：２％Ｈ2／Ａｒガス  ５０ＳＣＣＲ、時間１分とした。
【００５３】
また、例▲１▼〜▲３▼、▲５▼については、側面処理が有る場合と、側面処理が無い場合（つまり、表裏両面１２ａ、１２ｂのみ表面処理した場合）とについても調べた。さらに、図１０中、比較例として表面処理を全く行わない面粗さ０．７Ｒｚの場合も示す。これら図１０に示す各例について、モールド（樹脂）内部への洗浄剤の侵入の有無を調べ、その結果を示してある。
【００５４】
図１０からわかるように、例▲１▼〜▲３▼、▲５▼における側面処理が有る場合、及び、例▲４▼、▲６▼では、モールド（樹脂）内部への洗浄剤の侵入が無く、上記洗浄工程において、リード部１１とモールド樹脂４０との界面からの洗浄剤の侵入をより確実に防止できることが確認できた。
【００５５】
（第２実施形態）
上記第１実施形態では、本発明に係るリードフレームを用いたに樹脂モールドタイプの電子部品として、樹脂封止型半導体装置を示したが、当該電子部品としては、図１１に示す様なタンタルコンデンサＣ１でも良い。図１１は、本発明の第２実施形態に係る電子部品としてのタンタルコンデンサＣ１を示す概略断面図である。
【００５６】
この図１１は、一般的なタンタルコンデンサの断面構成と形状的には同様であるが、リード部５０、５１のうち少なくともインナーリード５２の表面５２ａ、裏面５２ｂおよび両側面５２ｃに、樹脂４０との密着性を向上させるような表面処理が行われていることが、従来のタンタルコンデンサとは大きく異なるものである。
【００５７】
このタンタルコンデンサＣ１の本体部６０は、タンタル粉末を焼結してなる素子部としての焼結体６１と、この焼結体６１に一体化されたタンタルよりなるリード６２とよりなる。
【００５８】
そして、本体部６０には、曲げ加工された板状をなす一対のリード部５０、５１が電気的に接続されている。これらリード部５０、５１は、Ｃｕ、Ｎｉ、４２アロイ等の金属材料より構成することができる。
【００５９】
すなわち、焼結体６１には、導電性接着剤（例えばエポキシ樹脂にＡｇフィラーを分散させたもの）７０を介して一方のリード部５０が接着されて陰極側リード部５０として構成され、リード６２には、溶接により他方のリード部５１が接着されて陽極側リード部５１として構成されている。
【００６０】
ここで、本体部６０およびリード部５０、５１の一部は、エポキシ等の樹脂４０にて包み込まれるようにモールドされている。各リード部５０、５１のうち、樹脂４０の内部に位置する部位はインナーリード５２、樹脂４０の外部に引き出されている部位はアウターリード５３である。そして、アウターリード５３は、樹脂４０の外表面に沿った形状に曲げられている。
【００６１】
なお、図１１に示す各リード部５０、５１においても、上記図１と同様に、紙面垂直方向にリード部５０、５１の板面の表裏両面（つまり、インナーリード５２の表面５２ａ、裏面５２ｂ）が位置し、紙面にはリード部５０、５１における一方の側面（つまり、インナーリード５２の一方の側面５２ｃ）が表されている。
【００６２】
次に、リードフレームの製造方法を中心に、上記タンタルコンデンサＣ１の製造方法について説明する。まず、上記第１実施形態と同様、板状のリードフレーム素材に型抜き加工を施し、所定形状のリード部５０、５１が形成されるように、打ち抜く。
【００６３】
ここで、図１２は、型抜き加工後における板状リードフレームの形状を示す図であり、（ａ）はリードフレームの板面の表面側つまりインナーリード５２の表面５２ａ側からみた平面図、（ｂ）は（ａ）中のＡ−Ａ断面図である。各リード部５０、５１はタイバー５４にて連結されている。また、図１２中に矩形破線で示す領域内が樹脂４０でモールドされる領域である。
【００６４】
このように型抜き加工によってリードフレームの形状を形成した後、本実施形態も、上記第１実施形態と同様に、リード部５０、５１のうち少なくともインナーリード５２におけるアウターリード５３との境界部の全周面（表裏両面５２ａ、５２ｂおよび両側面５２ｃ）を、樹脂４０との密着性を向上させるように表面処理する。
【００６５】
図１２に示す例では、上記表面処理部Ｈは、斜線ハッチングにて表してある。つまり、表面処理部Ｈは、インナーリード５２の表裏両面５２ａ、５２ｂおよび両側面５２ｃのうち、リード６２との接合部５２ｄや導電性接着剤７０を介して焼結体６１と接着される接着部５２ｅを除いた部位に、形成されている。
【００６６】
この表面処理の方法としては、上記第１実施形態と同様に、被処理面５２ａ、５２ｂ、５２ｃにサンドブラスト処理を行ったり、レーザ照射を行ったり、無機物を吹きつけたり、無機物を吹きつけたり、プラズマ照射を行ったりすることで行うことができ、同様の効果を実現できる。また、金型テーパ処理も同様に行うことができる。
【００６７】
こうして、図１２に示した様な、上記表面処理がなされたリードフレームが出来上がる。そして、このリードフレームにおいて、陰極側リード部５０と焼結体６１とを導電性接着剤７０を介して接続するとともに、陽極側リード部５１とリード６２とを溶接固定することにより、本体部６０とリード部５０、５１とを接続する。
【００６８】
次に、リード部５０、５１と一体化された本体部６０を、樹脂４０にてモールドする。その後、リード部５０、５１を連結しているタイバー５４を切断し、リード部５０、５１の形状を調整（フォーミング）することで、図１１に示すタンタルコンデンサＣ１が出来上がる。
【００６９】
そして、このタンタルコンデンサＣ１は、図１３に示す様に、半田ペースト印刷（図１３（ａ））、部品搭載（図１３（ｂ））、半田溶融（リフロー）（図１３（ｃ））、洗浄剤を用いた基板洗浄（図１３（ｄ））、パージング（図１３（ｅ））の各工程を行い、基板１００に実装される。なお、図１３中、図７と同一部分には、同一符号を付してある。
【００７０】
そして、本実施形態によっても、リード部５０、５１のうち少なくともインナーリード５２におけるアウターリード５３との境界部の全周面（表裏両面５２ａ、５２ｂおよび両側面５２ｃ）に上記表面処理を施すことにより、表裏両面５２ａ、５２ｂだけでなく、従来、樹脂４０との密着性を向上させる処理がなされていなかった側面５２ｃまで、樹脂４０との密着性を向上させるように表面処理がなされる。
【００７１】
そのため、リード部５０、５１（インナーリード５２）と樹脂４０との界面の全周において両者の密着性を良好に確保できるため、上記基板洗浄工程において、リード部５０、５１とモールド樹脂４０との界面からの洗浄剤の侵入をより確実に防止することができる。
【００７２】
ここで、上記図１２に示す例では、表面処理部Ｈは、インナーリード５２の表裏両面５２ａ、５２ｂおよび両側面５２ｃのうち、リード６２との接合部６２ｄや導電性接着剤７０との接着部６２ｅを除いた部位に、形成されているが、上記表面処理の影響が、これら接合部５２ｄや接着部５２ｅにおける接合性に影響を与えなければ、これら接合部５２ｄや接着部５２ｅにも上記表面処理を行っても良い。
【００７３】
更には、本実施形態においても、上記表面処理は、アウターリード５３における表裏両面及び両側面にも行って良い。つまり、リード部５０、５１の全体に表面処理を行って良い。
【００７４】
また、本発明は、上記樹脂封止型半導体装置やタンタルコンデンサに限らず、リードフレームに搭載された状態で樹脂にてモールドされる電子部品であれば、その電子部品に用いるリードフレームに対して適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る半導体装置を示す概略断面図である。
【図２】上記第１実施形態における型抜き加工後のリードフレームの形状を示す平面図である。
【図３】図２に示すリードフレームの側面図である。
【図４】サンドブラスト及びレーザ照射による表面処理方法を示す説明図である。
【図５】無機物を吹きつけることによる表面処理方法を示す説明図である。
【図６】プラズマ照射による表面処理方法を示す説明図である。
【図７】図１に示す半導体装置の基板への実装方法を示す工程図である。
【図８】テーパ部を有する金型を用いたリードフレームの型抜き方法を示す説明図である。
【図９】サンドブラストによる表面処理の具体的効果を示す図である。
【図１０】各表面処理方法および金型テーパ処理の効果を具体的に示す図表である。
【図１１】本発明の第２実施形態に係るタンタルコンデンサの概略断面図である。
【図１２】上記第２実施形態における型抜き加工後のリードフレームの形状を示す図である。
【図１３】タンタルコンデンサの基板への実装方法を示す工程図である。
【符号の説明】
１１、５０、５１…リード部、１２、５２…インナーリード、
１２ａ…インナーリードの表面、１２ｂ…インナーリードの裏面、
１２ｃ…インナーリードの側面、１２ｆ…インナーリードの側面の突起、
１３、５３…アウターリード、４０…樹脂。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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