【手続補正書】
【提出日】平成25年6月6日(2013.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記課題を解決するために、本発明の第１形態では、液体を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持するステージと、
前記照明光でパターンを照明する照明光学系と、
前記照明されたパターンの像を、前記液体を介して前記基板上に投影する投影光学系と、を備え、
前記基板は、前記ステージによって前記投影光学系と対向して配置されるとともに、前記投影光学系と前記液体とを介して前記照明光で露光され、
前記投影光学系は、
前記像の投影領域の中心が、前記投影光学系の光軸と直交する第１方向に関して前記光軸から離れて配置され、
一部を前記照明光が通過する射出面を有し、前記射出面が前記液体と接するように前記投影光学系の、最も像面側に配置される屈折光学素子を含み、
前記屈折光学素子はその射出側に、前記射出面が他の部分に対して突出して形成される突出部を有し、前記第１方向に関して前記射出面の中心が前記光軸から離れるように前記突出部が形成されることを特徴とする露光装置を提供する。なお、本明細書中に記載された「回転非対称な形状」とは、「無限回回転対称な形状以外の形状」を指す。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の第２形態では、液体を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、
前記液体と接し、かつ一部を前記照明光が通過する射出面を有する屈折光学素子を含む投影光学系と対向して前記基板を配置することと、
前記照明光でパターンを照明することと、
前記投影光学系と前記液体とを介して、前記照明されたパターンの像を前記基板上に投影することと、を含み、
前記投影光学系は、前記像の投影領域の中心が、前記投影光学系の光軸と直交する第１方向に関して前記光軸から離れて配置され、
前記屈折光学素子はその射出側に、前記射出面が他の部分に対して突出して形成される突出部を有し、前記第１方向に関して前記射出面の中心が前記光軸から離れるように前記突出部が形成されることを特徴とする露光方法を提供する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の第３形態では、第１形態の露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の第４形態では、第２形態の露光方法を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法を提供する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持するステージと、
前記照明光でパターンを照明する照明光学系と、
前記照明されたパターンの像を、前記液体を介して前記基板上に投影する投影光学系と、を備え、
前記基板は、前記ステージによって前記投影光学系と対向して配置されるとともに、前記投影光学系と前記液体とを介して前記照明光で露光され、
前記投影光学系は、
前記像の投影領域の中心が、前記投影光学系の光軸と直交する第１方向に関して前記光軸から離れて配置され、
一部を前記照明光が通過する射出面を有し、前記射出面が前記液体と接するように前記投影光学系の、最も像面側に配置される屈折光学素子を含み、
前記屈折光学素子はその射出側に、前記射出面が他の部分に対して突出して形成される突出部を有し、前記第１方向に関して前記射出面の中心が前記光軸から離れるように前記突出部が形成されることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記基板は走査露光が行われ、
前記走査露光中に前記基板が移動される走査方向は、前記第１方向と実質的に平行であることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記屈折光学素子の周囲に設けられる局所液浸部材を、さらに備え、
前記局所液浸部材を介して前記投影光学系と前記基板との間に液体が供給されるとともに、前記局所液浸部材を介して前記供給された液体が回収されることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記投影光学系は、前記パターンからの照明光で第１中間像を形成する第１光学系と、
前記第１光学系からの照明光で第２中間像を形成する、反射鏡を含む第２光学系と、前記第２光学系からの照明光で前記基板上に前記像を形成する第３光学系と、を有し、
前記第３光学系は、前記屈折光学素子を含む複数の屈折光学素子を有する屈折系であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記第１光学系は、複数の屈折光学素子を有する屈折系であり、
前記第１、第２及び第３光学系によって、開口数が１．３以上の反射屈折光学系が構成されることを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記屈折光学素子は、入射面が凸面かつ射出面が平面の正レンズであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項７】
前記屈折光学素子は、前記第１方向に関して前記射出面の中心が前記屈折光学素子の入射面の中心からずれるように前記突出部が形成されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項８】
前記屈折光学素子は、前記第１方向に関して前記入射面の中心が前記光軸とほぼ一致するように配置されることを特徴とする請求項７に記載の露光装置。
【請求項９】
前記屈折光学素子は、前記第１方向及び前記投影光学系の光軸と直交する第２方向に関して前記射出面の中心が前記入射面の中心とほぼ一致するように前記突出部が形成されることを特徴とする請求項７又は８に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記屈折光学素子は、前記第２方向に関して前記入射面の中心が前記光軸とほぼ一致するように配置されることを特徴とする請求項９に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記投影領域はその中心が前記射出面の中心とほぼ一致するように形成されることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１２】
液体を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、
前記液体と接し、かつ一部を前記照明光が通過する射出面を有する屈折光学素子を含む投影光学系と対向して前記基板を配置することと、
前記照明光でパターンを照明することと、
前記投影光学系と前記液体とを介して、前記照明されたパターンの像を前記基板上に投影することと、を含み、
前記投影光学系は、前記像の投影領域の中心が、前記投影光学系の光軸と直交する第１方向に関して前記光軸から離れて配置され、
前記屈折光学素子はその射出側に、前記射出面が他の部分に対して突出して形成される突出部を有し、前記第１方向に関して前記射出面の中心が前記光軸から離れるように前記突出部が形成されることを特徴とする露光方法。
【請求項１３】
前記基板は走査露光が行われ、
前記走査露光中に前記基板が移動される走査方向は、前記第１方向と実質的に平行であることを特徴とする請求項１２に記載の露光方法。
【請求項１４】
前記屈折光学素子の周囲に設けられる局所液浸部材を介して前記投影光学系と前記基板との間に液体が供給されるとともに、前記局所液浸部材を介して前記供給された液体が回収されることを特徴とする請求項１２又は１３に記載の露光方法。
【請求項１５】
前記屈折光学素子は、入射面が凸面かつ射出面が平面の正レンズであることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項１６】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
【請求項１７】
請求項１２〜１５のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。