(57)【要約】      （修正有）【課題】ベストな利便性を持ち、テスト時間及びコストを節約できる治具をテストするアダプター構造を提供する。【解決手段】被検査物１、アダプタープレート２、プローブカード３で構成する治具をテストするアダプター構造であり、被検査物１は複数のテストポイント１１を具有する。一つのアダプタープレート２の一面に複数のテスト接触点２１１を設けることを利用して、テスト接触点２１１は被検査物１の複数のテストポイント１１に対応して電気接続を行い、アダプタープレート２の別面に複数のプローブ接触点２２１を設け、プローブ接触点２２１とテスト接触点２１１の間で、複数の内部配線を利用して電気接続を行う。プローブカード３は複数のプローブ３１を具有する。複数のプローブ３１の第一端３１１は、アダプタープレート２の複数のプローブ接触点２２１と電気接続を行う。複数のプローブ３１の第二端３１２は複数のワイヤー５と一つのテスト機械６を利用して電気接続を行う。【選択図】図５
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
被検査物、アダプタープレート、プローブカードを含み、
被検査物は複数のテストポイントを具有し、
アダプタープレートには一つの第一面及び一つの第二面を具有し、該第一面に複数のテスト接触点を設け、該複数のテスト接触点は該被検査物の該複数のテストポイントに対応して電気接続を行い、該第二面に複数のプローブ接触点を設け、該複数のプローブ接触点と該複数のテスト接触点の間で、複数の内部配線を利用して電気接続を行い、及び、
プローブカードは複数のプローブを具有し、該複数のプローブは一つの第一端及び一つの第二端を具有し、該複数のプローブの該第一端は、該アダプタープレートの該複数のプローブ接触点と電気接続を行い、該複数のプローブの該第二端は複数のワイヤーと一つのテスト機械を利用して電気接続を行うことを特徴とする治具をテストするアダプター構造。
【請求項２】
前記該アダプタープレートは一つの上蓋及び一つの台座で組み合わせて構成し、該複数のテスト接触点は該上蓋の表面に設置し、該複数のプローブ接触点を該台座の底部に設置し、該複数のプローブ接触点と該複数のテスト接触点を電気接続する内部配線は、一つのエナメル線で構成することを特徴とする請求項１記載の治具をテストするアダプター構造。
【請求項３】
前記該アダプタープレートの該複数のテスト接触点の相隣する接触点との間の距離は、該複数のプローブ接触点の相隣する接触点との間の距離より大きいことを特徴とする請求項１記載の治具をテストするアダプター構造。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は治具をテストするアダプター構造に関し、特にプローブカードと被検査物の間にて、アダプターを通じて電気接続を行い、従来技術の露出タイプのエナメル線を使用する際に、電気特性が悪く、外からの衝撃を受けやすい欠点を有効的に克服することができる。ベストな利便性を持ち、テスト時間及びコストを節約できるメリットを持つ治具をテストするアダプター構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
プローブカード(Probe Card)は集積回路(ＩＣ)をパッケージする前に、ベアクリスタルに対し、プローブを用いてテストポイントの伝動或いは開放回路テストを行うことで、不良品を取り除いてからパッケージ工程に入る。よってプローブカードを用いて集積回路をテストするのは、集積回路の重要な製造過程である。プローブカードテストにより、製品の良品率を元の７０％から９０％にまで引き上げることができ、その２０％の貢献度は、良品率のパーセンテージを少しでも上げたい半導体メーカにとって、この製造工程がもたらす影響の大きさは計り知れないものがある。プローブカードはテスト機械とウェハー(Wafer)の間のインターフェイスであり、各種類の集積回路には、少なくとも一つの相対応するプローブカードでテストを行う。プローブカードテストを行う目的は、ウェハーをカットした後に、テストをパスした良品を次のパッケージ製造過程に入らせるため、不良品を引き続き加工することで、更なる浪費になるのを避けることができる。
【０００３】
目下業界で使用しているウェハー(Wafer)或いはプリント基板(ＰＣＢ)テスト装置において、そのテスト治具は一つのプローブカードの中に設置する複数のプローブを通じて、該複数のプローブと被検査のウェハー或いはプリント基板にある複数のテストポイントを電気接続し、且つ該テストポイントの電子信号をプローブがキャッチし、複数のワイヤーを通じて一つのテスト機械に伝送する。
該テスト機械は被検査のウェハー或いはプリント基板のそれらのテストポイントが、伝動或いは開放回路の状態を表示する。プローブとテストポイントの間を接続するエナメル線は、人の手で一つずつ溶接してから電気接続ができる。また、人工的に溶接するエナメル線は、人の手で裁断及び溶接でしか行えないため、正確なワイヤーの長さをしっかり制御できず、プローブとテストポイントの間のワイヤーが長すぎるために、インピーダンスを増やさせることができず、それによりテスト機械の検査時間もそれに従って延長になる。
同時にプローブとテストポイントの間にあるエナメル線は露出している状態であるため、外力からの衝撃或いはワイヤーを引っ張ることによりはんだ除去或いはワイヤーが外れやすく、それによりテスト機械のテスト結果に誤りが生じる。また、人工的にワイヤーを溶接するのは、時間とコストがかかる。前記プローブとテストポイントの間に電気接続構造に多くの欠点があるのを鑑みて、更なる改善が必要であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１８−−１３２４５９号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
前記公知構造の欠点を解決するため、本考案は治具をテストするアダプター構造を提供することを主な課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案の主な目的は、一種の治具をテストするアダプター構造を提供するものである。一つの被検査物は複数のテストポイントを具有する。一つのアダプタープレートの一面に複数のテスト接触点を設けることを利用して、該複数のテスト接触点は該被検査物の該複数のテストポイントに対応して電気接続を行う。
アダプタープレートの別面に複数のプローブ接触点を設け、該複数のプローブ接触点と該複数のテスト接触点の間で、複数の内部配線を利用して電気接続を行う。プローブカードは複数のプローブを具有する。該複数のプローブの該第一端は、該アダプタープレートの該複数のプローブ接触点と電気接続を行う。
該複数のプローブの該第二端は複数のワイヤーと一つのテスト機械を利用して電気接続を行う。本考案の該プローブカードと該被検査物との間は、該アダプターを通じて電気接続しているため、従来技術の露出タイプのエナメル線を使用する際に、電気特性が悪く、外からの衝撃を受けやすい欠点を有効的に克服することができ、ベストな利便性を持ち、テスト時間及びコストを節約できるメリットを持つ。
【０００７】
本考案の次の目的は、該アダプタープレートは一つの上蓋及び一つの台座で組み合わせて構成する。該複数のテスト接触点は該上蓋の表面に設置する。該複数のプローブ接触点を該台座の底部に設置する。
該複数のプローブ接触点と該複数のテスト接触点を電気接続する内部配線は、一つのエナメル線で構成する。且つ該アダプタープレートの該複数のテスト接触点の相隣する接触点との間の距離は、該複数のプローブ接触点の相隣する接触点との間の距離より大きい。
【考案の効果】
【０００８】
本考案はプローブカードと被検査物の間にて、アダプターを通じて電気接続を行い、従来技術の露出タイプのエナメル線を使用する際に、電気特性が悪く、外からの衝撃を受けやすい欠点を有効的に克服することができる。ベストな利便性を持ち、テスト時間及びコストを節約できるメリットを持つ。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本考案の治具をテストするアダプターの立体分解構造図である。
【図２】本考案の治具をテストするアダプターの別の立体分解構造図である。
【図３】本考案のアダプタープレートの第一面の俯瞰構造図である。
【図４】本考案のアダプタープレートの第二面の俯瞰構造図である。
【図５】本考案のアダプタープレートの側視断面局部構造図である。
【考案を実施するための形態】
【００１０】
以下、本考案の構造と特徴および効果を、最良実施例と図面を参照しながら詳細に説明する。
【実施例】
【００１１】
図１から図５に示すのは、それぞれ本考案の治具をテストするアダプターの立体分解構造図、治具をテストするアダプターの別の立体分解構造図、アダプタープレートの第一面の俯瞰構造図で、アダプタープレートの第二面の俯瞰構造図、アダプタープレートの側視断面局部構造図である。本考案の治具をテストするアダプター構造に含まれるのは被検査物１、アダプタープレート２、プローブカード３、抵抗板４、ワイヤー５及びテスト機械６である。各部品の詳細記述は下記の通りである：
【００１２】
被検査物１は複数のテストポイント１１を具有し、該被検査物１とはウェハー(Ｗａｆｅｒ)或いはプリント基板(ＰＣＢ)を指す。およそウェハー或いはプリント基板には複数のテストポイント１１を設け、全て本考案の実施例とすることができる。ウェハー或いはプリント基板にある複数のテストポイント１１の実施構造は、パッド(Ｐａｄ)或いはバンプ(Bump)である。
【００１３】
該アダプタープレート２には一つの第一面２１及び一つの第二面２２を具有し、該第一面２１に複数のテスト接触点２１１を設け、該複数のテスト接触点２１１は該被検査物１の該複数のテストポイント１１に対応して電気接続を行う。該第二面２２に複数のプローブ接触点２２１を設け、該複数のプローブ接触点２１１と該複数のテスト接触点２１１の間で、複数の内部配線２３を利用して電気接続を行う。該アダプター２の第一面２１を被検査物１の下表面に貼合し、且つ被検査物１の複数のテストポイント１１とアダプタープレート２のテスト接触点２１１の電気接続とは、表面実装(Surface Mount Technology、ＳＭＴ)を通じて行う。
該被検査物１の上表面には一つの抵抗板４を設置し、該抵抗板４の上方には、抵触できる機構を設ける(図に未掲載、該抵触機構は本考案の重要ポイントではないため、ここで説明をしない)。該抵抗板４からは被検査物１に復元力を持たせることで、該被検査物１の下表面と接続するアダプタープレート２及びプローブカード３が確実にしっかりと貼合することができ、よって安定したテスト構造に達する。
【００１４】
該アダプタープレート２は一つの上蓋及び一つの台座で組み合わせて構成する。該複数のテスト接触点２１１は該上蓋の表面に設置する。該上蓋の表面とは即ち該第一面２１であり、該複数のプローブ接触点２２１を該台座の底部に設置する。該台座の底部とは即ち該第二面２２であり、該複数のプローブ接触点２２１と該複数のテスト接触点２１１を電気接続する内部配線２３は、一つのエナメル線或いはその他の金属ワイヤー(例えば金線、銀線、銅線)で構成するが、エナメル線は比較的エコノミーなセレクトであり、アダプタープレート２の製造コストを下げる手助けとなる。
しかし、該アダプタープレート２は一つの上蓋及び一つの台座の組立構造のほか、それぞれ二枚、三枚或いは三枚以上の複数のプレートで構成することもでき、およそ前記効果に達成できる構造は、全て本考案の範囲とし、簡単な装飾及び同じ効果を得る変化については、本考案の特許範囲内に含まれるべきである。
該アダプタープレート２の上蓋及び台座は、複数の固定部品(図に未掲載、ねじ或いはリベットとすることができる)を該上蓋及び台座に設置する固定穴に通して螺接して固定する。該上蓋及び台座の固定構造は、本考案の重要ポイントではないため、ここで説明をしない。
【００１５】
前記アダプタープレート２の第一面２１及び第二面２２の間にある内部配線２３は、タイト且つ最短ワイヤーピッチの構造であるため、正確にワイヤーの長さを制御することができる。また、該プローブカード３と該被検査物１のそれらのテストポイント１１の間にある接続ワイヤー抵抗は、確実に最小抵抗であると保障でき、また、テスト機械６の検査時間を大幅に短縮することができる。
同時に、該アダプタープレート２の内部配線２３は上蓋及び台座によって守られ、外から加わる力による衝撃、或いはワイヤーを引っ張ることによりはんだが外れる、或いはワイヤーが取れにくくなり、テスト機械のテスト結果の正確性を確保することができる。
【００１６】
該アダプタープレート２の該複数のテスト接触点２１１の相隣する接触点との間の距離は、該複数のプローブ接触点２２１の相隣する接触点との間の距離より大きい。このデザイン構造を利用すれば、該複数のテスト接触点２１１はウェハー或いはプリント基板の比較的大きな間隔のテストポイント１１を対応する。該複数のプローブ接触点２２１は固定を保ち、且つ比較的狭い間隔でテスト機械６と接続することができる。この種類のアダプタープレート２構造を利用すれば、該アダプタープレート２のデザイン製造コストを下げることができる。
【００１７】
該プローブカード３は複数のプローブ３１を具有する。該複数のプローブ３１は一つの第一端３１１及び一つの第二端３１２を具有し、該複数のプローブ３１の該第一端は、該アダプタープレート２の該複数のプローブ接触点２２１と電気接続を行う。
該複数のプローブ３１の該第二端３１２は複数のワイヤー５と一つのテスト機械６を利用して電気接続を行う。該プローブカード３は複数のワイヤー５を通じてテスト機械６の構造と電気接続するのは、一般的な従来技術であるためここで説明をしない。
【００１８】
前記図１から図５に掲示するように、本考案は治具をテストするアダプター構造である。主に一種の治具をテストするアダプター構造であり、一つの被検査物に複数のテストポイントを具有する。一つのアダプタープレートの一面にある複数のテスト接触点を利用し、該複数のテスト接触点は被検査物の該複数のテストポイントと対応して電気接続を行う。アダプタープレートの別の面にあるプローブ接触点は、該複数のプローブ接触点と該複数のテスト接触点の間で、複数の内部配線を利用して電気接続を行う。
プローブカードに複数のプローブを具有し、該複数のプローブの該第一端は該アダプタープレートの該複数のプローブ接触点と電気接続する。該複数のプローブの該第二端は複数のワイヤーと一つのテスト機械を利用して電気接続を行う。本考案の該プローブカードと該被検査物との間は、該アダプターを通じて電気接続しているため、従来技術の露出タイプのエナメル線を使用する際に、電気特性が悪く、外からの衝撃を受けやすい欠点を有効的に克服することができ、ベストな利便性を持ち、テスト時間及びコストを節約できるメリットを持つ。
本考案はウェハー或いはプリント基板の治具をテストする構造に対し、良好的な改善策を案出した。
【００１９】
以上の実施例による本考案の詳細な説明は本考案の範囲を制限するものではない。本技術に熟知する者は、固定構造の変更などの適当な変更および調整を行うことができ、これらの変更および調整を行っても本考案の重要な意義は失われず、本考案の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００２０】
１  被検査物
１１  テストポイント
２  アダプタープレート
２１  第一面
２１１  テスト接触点
２２  第二面
２２１  プローブ接触点
２３  内部配線
３  プローブカード
３１  プローブ
３１１  第一端
３１２  第二端
４  抵抗板
５  ワイヤー
６  テスト機械
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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