【手続補正書】
【提出日】平成25年6月6日(2013.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】投影光学系、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記課題を解決するために、本発明の第１形態では、液体を介して照明光で基板を露光する露光装置に搭載され、前記照明光が照射される第１面の像を、前記液体を介して第２面に投影する投影光学系において、
一部を前記照明光が通過する射出面を有し、前記投影光学系の光軸上で、前記射出面が前記液体と接するように最も前記第２面側に配置される屈折光学素子を備え、
前記屈折光学素子は、前記第２面上で互いに直交する第１、第２方向の一方に関して、前記射出面の中心軸線が、前記光軸と、前記屈折光学素子の入射面の中心軸線との両方から偏心するように前記射出面が形成されることを特徴とする投影光学系を提供する。なお、本明細書中に記載された「回転非対称な形状」とは、「無限回回転対称な形状以外の形状」を指す。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第２形態では、液体を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持するステージと、
前記照明光でパターンを照明する照明光学系と、
前記照明されたパターンの像を、前記液体を介して前記基板上に投影する、第１形態の投影光学系と、を備え、
前記基板は、前記ステージによって前記投影光学系と対向して配置されるとともに、前記投影光学系と前記液体とを介して前記照明光で露光されることを特徴とする露光装置を提供する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の第３形態では、液体を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、
第１形態の投影光学系と対向して前記基板を配置することと、
前記照明光でパターンを照明することと、
前記投影光学系と前記液体とを介して、前記照明されたパターンの像を前記基板上に投影することと、を含むことを特徴とする露光方法を提供する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の第４形態では、第３形態の露光方法を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を介して照明光で基板を露光する露光装置に搭載され、前記照明光が照射される第１面の像を、前記液体を介して第２面に投影する投影光学系において、
一部を前記照明光が通過する射出面を有し、前記投影光学系の光軸上で、前記射出面が前記液体と接するように最も前記第２面側に配置される屈折光学素子を備え、
前記屈折光学素子は、前記第２面上で互いに直交する第１、第２方向の一方に関して、前記射出面の中心軸線が、前記光軸と、前記屈折光学素子の入射面の中心軸線との両方から偏心するように前記射出面が形成されることを特徴とする投影光学系。
【請求項２】
前記屈折光学素子は、前記一方の方向に関して前記光軸と前記入射面の中心軸線とがほぼ一致するように配置されることを特徴する請求項１に記載の投影光学系。
【請求項３】
前記屈折光学素子は、前記第１、第２方向の他方に関して、前記射出面の中心軸線が前記屈折光学素子の入射面の中心軸線とほぼ一致するように前記射出面が形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の投影光学系。
【請求項４】
前記屈折光学素子は、前記他方の方向に関して前記光軸と前記入射面の中心軸線とがほぼ一致するように配置されることを特徴とする請求項３に記載の投影光学系。
【請求項５】
前記屈折光学素子の射出面は、少なくとも前記一方の方向に関してほぼ対称な形状を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項６】
前記屈折光学素子の入射面は凸面であることを特徴する請求項１〜５のいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項７】
前記第２面上の前記像の投影領域はその中心が前記射出面の中心軸線とほぼ一致することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項８】
前記第２面上の前記像の投影領域はその中心が前記一方の方向に関して前記光軸から偏心するように形成されることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項９】
前記屈折光学素子の射出面は平面であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項１０】
前記屈折光学素子の射出面は、前記第１方向と前記第２方向とで長さが異なることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項１１】
前記屈折光学素子の射出面は、前記一方の方向の長さが前記第１、第２方向の他方の長さよりも短く設定されること特徴する請求項１０に記載の投影光学系。
【請求項１２】
前記屈折光学素子の入射面は、前記２つの軸線方向で長さが互いにほぼ同じであることを特徴する請求項１０又は１１に記載の投影光学系。
【請求項１３】
前記第１面からの照明光で第１中間像を形成する第１光学系と、
前記第１光学系からの照明光で第２中間像を形成する、反射鏡を含む第２光学系と、
前記第２光学系からの照明光で前記第２面上に前記像を形成する第３光学系と、を有し、
前記第３光学系は、前記屈折光学素子を含む複数の屈折光学素子を有する屈折系であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の投影光学系。
【請求項１４】
前記第１光学系は、複数の屈折光学素子を有する屈折系であり、
前記第１、第２及び第３光学系によって、開口数が１．３以上の反射屈折光学系が構成されることを特徴とする請求項１３に記載の投影光学系。
【請求項１５】
液体を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持するステージと、
前記照明光でパターンを照明する照明光学系と、
前記照明されたパターンの像を、前記液体を介して前記基板上に投影する、請求項１〜１４のいずれか一項に記載の投影光学系と、を備え、
前記基板は、前記ステージによって前記投影光学系と対向して配置されるとともに、前記投影光学系と前記液体とを介して前記照明光で露光されることを特徴とする露光装置。
【請求項１６】
前記基板は走査露光が行われ、
前記走査露光中に前記基板が移動される走査方向は、前記一方の方向と実質的に平行であることを特徴とする請求項１５に記載の露光装置。
【請求項１７】
前記投影光学系と前記基板との間に液体を供給するとともに、前記供給された液体を回収する局所液浸システムを、さらに備え、
前記局所液浸システムはその一部が前記屈折光学素子の周囲に配置されることを特徴とする請求項１５又は１６に記載の露光装置。
【請求項１８】
液体を介して照明光で基板を露光する露光方法であって、
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の投影光学系と対向して前記基板を配置することと、
前記照明光でパターンを照明することと、
前記投影光学系と前記液体とを介して、前記照明されたパターンの像を前記基板上に投影することと、を含むことを特徴とする露光方法。
【請求項１９】
前記基板は走査露光が行われ、
前記走査露光中に前記基板が移動される走査方向は、前記一方の方向と実質的に平行であることを特徴とする請求項１８に記載の露光方法。
【請求項２０】
請求項１８又は１９に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。