【手続補正書】
【提出日】平成24年11月22日(2012.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理面と対向しかつ被処理面の下方に配置されていてエッチング液を送出する送出口と、前記被処理面と対向しかつ前記被処理面の下方に前記送出口と並んで配置されていて前記送出口から送出されたエッチング液を吸引する第１の吸引口と、を有しているノズル本体と、
前記第１の吸引口から吸引しきれなかった前記エッチング液を受ける液受け部と、を備えていることを特徴とするノズル。
【請求項２】
前記液受け部の底部に第２の吸引口が配置されている請求項１に記載のノズル。
【請求項３】
前記液受け部は、前記被処理面に垂直な方向の平面視で前記送出口と前記第１の吸引口を囲むように設けられている請求項１または２に記載のノズル。
【請求項４】
前記液受け部は、前記ノズル本体と一体的である請求項１乃至３の何れか一項に記載のノズル。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項に記載のノズルを有することを特徴とするエッチング液供給装置。
【請求項６】
前記送出口から送出させるためのエッチング液が貯留される貯留タンクに、前記液受け部で受けた前記エッチング液を回収する回収手段を有している請求項５に記載のエッチング液供給装置。
【請求項７】
前記貯留タンクに回収されるエッチング液の液量を検知する液量検知部と、前記液量検知部の検知結果に基づいて、前記吸引口から吸引する単位時間当たりの前記エッチング液の量を変化させる吸引量制御部と、を有する請求項６に記載のエッチング液供給装置。
【請求項８】
前記液受け部に溜まった前記エッチング液の量を検知する貯留量検知部と、前記貯留量検知部の検知結果に基づいて、前記送出口からのエッチング液の送出量を変化させる送出量制御部と、を有している請求項６または７に記載のエッチング液供給装置。
【請求項９】
被処理物の被処理面にエッチング液を供給することにより前記被処理面に対してエッチ
ングを行うエッチング方法であって、
前記被処理面と対向しかつ前記被処理面の下方に配置されていて前記エッチング液を送出する送出口と、前記被処理面と対向しかつ前記被処理面の下方に前記送出口と並んで配置されていて前記送出口から送出されたエッチング液を吸引する吸引口と、を有しているノズル本体を準備する工程と、
前記送出口から前記エッチング液を送出し前記被処理面に前記エッチング液を供給するとともに、前記吸引口から前記被処理面に供給されたエッチング液を吸引し、また、前記吸引口から吸引しきれなかった前記エッチング液がある場合は、前記吸引しきれなかったエッチング液を液受け部で受けるとともに貯留タンクに回収するエッチング工程と、を含み、
前記エッチング工程では、前記液受け部に溜まった前記エッチング液の量に基づいて前記送出口からの前記エッチング液の単位時間当たりの送出量を変化させることを特徴とするエッチング方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明のノズルは、被処理面と対向しかつ被処理面の下方に配置されていてエッチング液を送出する送出口と、前記被処理面と対向しかつ前記被処理面の下方に前記送出口と並んで配置されていて前記送出口から送出されたエッチング液を吸引する第１の吸引口と、を有しているノズル本体と、
前記第１の吸引口から吸引しきれなかった前記エッチング液を受ける液受け部と、を備えていることを特徴とする。
これにより、液受け部によって、吸引口から吸引しきれなかったエッチング液を受けることができ、エッチング液による装置の腐食を防止することのできるノズルを提供することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
［適用例２］
本発明のノズルでは、前記液受け部の底部に第２の吸引口が配置されているのが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［適用例３］
本発明のノズルでは、前記液受け部は、前記被処理面に垂直な方向の平面視で前記送出口と前記第１の吸引口を囲むように設けられているのが好ましい。
これにより、液受け部によって、第１の吸引口で吸引しきれなかったエッチング液（特にノズル本体の側面を伝って流下するエッチング液）をより確実に受けることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
［適用例４］
本発明のノズルでは、前記液受け部は、前記ノズル本体と一体的であるのが好ましい。
これにより、液受け部の形成が簡単となる。また、ノズル本体と液受け部との間に隙間や接合箇所が存在しないため、特に、ノズル本体の側面を伝って流下するエッチング液を確実に受けることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［適用例６］
本発明のエッチング液供給装置では、前記送出口から送出させるためのエッチング液が貯留される貯留タンクに、前記液受け部で受けた前記エッチング液を回収する回収手段を有しているのが好ましい。
これにより、液受け部で受けたエッチング液を再び被処理物に供給されるエッチング液として利用することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例７］
本発明のエッチング液供給装置では、前記貯留タンクに回収されるエッチング液の液量を検知する液量検知部と、前記液量検知部の検知結果に基づいて、前記吸引口から吸引する単位時間当たりの前記エッチング液の量を変化させる吸引量制御部と、を有するのが好ましい。
これにより、エッチング液の送出量と吸引量のバランスを取ることができ（すなわち、被処理面に所望量のエッチング液を供給することができ）、被処理物に対して所望のエッチング処理を行うことができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［適用例８］
本発明のエッチング液供給装置では、前記液受け部に溜まった前記エッチング液の量を検知する貯留量検知部と、前記貯留量検知部の検知結果に基づいて、前記送出口からのエッチング液の送出量を変化させる送出量制御部と、を有しているのが好ましい。
これにより、被処理物に対して所望のエッチング処理を行うことができる。また、所望のプロファイルが得られないエッチン処理を途中で中止することができるため、歩留まりを向上させることができる。また、作業時間の短縮や、エッチング液の使用量削減等を図ることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［適用例９］
本発明のエッチング方法は、被処理物の被処理面にエッチング液を供給することにより前記被処理面に対してエッチングを行うエッチング方法であって、
前記被処理面と対向しかつ前記被処理面の下方に配置されていて前記エッチング液を送出する送出口と、前記被処理面と対向しかつ前記被処理面の下方に前記送出口と並んで配置されていて前記送出口から送出されたエッチング液を吸引する吸引口と、を有しているノズル本体を準備する工程と、
前記送出口から前記エッチング液を送出し前記被処理面に前記エッチング液を供給するとともに、前記吸引口から前記被処理面に供給されたエッチング液を吸引し、また、前記吸引口から吸引しきれなかった前記エッチング液がある場合は、前記吸引しきれなかったエッチング液を液受け部で受けるとともに貯留タンクに回収するエッチング工程と、を含み、
前記エッチング工程では、前記液受け部に溜まった前記エッチング液の量に基づいて前記送出口からの前記エッチング液の単位時間当たりの送出量を変化させることを特徴とする。
これにより、吸引口から吸引しきれなかったエッチング液を受けることにより、エッチング液による装置の腐食を防止することのできるエッチング方法を提供することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
回収管５２の途中には、液存在検知部（液量検知部）６２が設けられている。液存在検知部６２は、吸引孔５１から吸引されたエッチング液の存在を検知する機能、すなわち吸引孔５１から貯留タンク３２３にエッチング液が回収されているか否かを判断する機能を有している。液存在検知部６２としては、前述の機能を発揮することができれば、特に限定されず、例えば、光学的なセンサを用いることができる。