(57)【要約】      （修正有）【課題】狭隘な隙間を有する搬送路に通して搬送方向に沿って面圧を高精度に検出できる面圧測定ツールを提供する。【解決手段】ガラス板を搬送方向に沿って搬送する狭隘な隙間を有した搬送路に通されて搬送路におけるガラス板へ付与される面圧を測定する面圧測定ツール５０であって、一部に制御部５５が接続された可撓性を有するシート材からなり、制御部５５に繋がる複数の圧力検出部５７が少なくとも幅方向に沿って配列されたセンサ部５３を有する面圧センサ５１と、面圧センサ５１が一方の面に重ね合わされて搭載される板材からなり、制御部５５を収容する収容穴部６７を有する支持板６１と、を備え、平面視における全領域において搬送路の最小の隙間よりも厚さが薄くされている。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送方向に沿って搬送する狭隘な隙間を有した搬送路に通されて前記搬送路における前記基板へ付与される面圧を測定する面圧測定ツールであって、
一部に制御部が接続された可撓性を有するシート材からなり、前記制御部に繋がる複数の圧力検出部が少なくとも幅方向に沿って配列されたセンサ部を有する面圧センサと、
前記面圧センサが一方の面に重ね合わされて搭載される板材からなり、前記制御部を収容する収容穴部を有する支持板と、
を備え、
平面視における全領域において前記搬送路の最小の隙間よりも厚さが薄くされている、
面圧測定ツール。
【請求項２】
前記制御部は、外部機器と通信を行う通信部を有する、
請求項１に記載の面圧測定ツール。
【請求項３】
防水性を有する樹脂シートからなる防水カバーによって周囲が覆われている、
請求項１または請求項２に記載の面圧測定ツール。
【請求項４】
前記防水カバーは、前記収容穴部を臨む位置に、開閉片によって開閉可能とされた開閉窓部を有し、前記開閉窓部を開くことにより、前記収容穴部内の前記制御部が露出される、
請求項３に記載の面圧測定ツール。
【請求項５】
前記センサ部は、前記幅方向に沿って配列された前記圧力検出部が、前記搬送方向に沿って複数列に配列されている、
請求項１から４のいずれか一項に記載の面圧測定ツール。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、面圧測定ツールに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、例えば、一対のローラの高温ロールニップに薄いツールを挿入し、高温ロールニップにおける接触幅を測定する技術が開示されている。
また、特許文献２には、感圧部を有する圧電計測シートを一対のローラに挟んで搬送し、ローラから印加される圧力分布を計測することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−５０６５号公報
【特許文献２】特許第４９３２３９５号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、ガラス板等の基板に対して各種の加工や処理を施す設備は、搬送路に沿って搬送されるガラス板に各種の洗浄ブラシを押し当てて洗浄する基板洗浄装置を備えている。このような基板洗浄装置において、洗浄ブラシ等の押し当て力を連続的に測定する場合、狭隘な隙間の搬送路へ上流から下流にわたって測定ツールを通過させる必要がある。しかし、上記特許文献１，２に記載の技術では、ツールや圧電計測シートに繋がる電気構成部分やコネクタが厚いため、ガラス板の搬送路へ連続的に通して面圧を搬送方向にわたって検出することが困難であった。
【０００５】
そこで本考案は、狭隘な隙間を有する搬送路に通して搬送方向に沿って面圧を高精度に検出できる面圧測定ツールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は下記構成からなる。
基板を搬送方向に沿って搬送する狭隘な隙間を有した搬送路に通されて前記搬送路における前記基板へ付与される面圧を測定する面圧測定ツールであって、
一部に制御部が接続された可撓性を有するシート材からなり、前記制御部に繋がる複数の圧力検出部が少なくとも幅方向に沿って配列されたセンサ部を有する面圧センサと、
前記面圧センサが一方の面に重ね合わされて搭載される板材からなり、前記制御部を収容する収容穴部を有する支持板と、
を備え、
平面視における全領域において前記搬送路の最小の隙間よりも厚さが薄くされている、
面圧測定ツール。
【考案の効果】
【０００７】
本考案の面圧測定ツールによれば、狭隘な隙間を有する搬送路に通して搬送方向に沿って面圧を高精度に検出できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】面圧測定ツールが用いられる基板洗浄装置の概略斜視図である。
【図２】面圧測定ツールが用いられる基板洗浄装置の概略側面図である。
【図３】本実施形態に係る面圧測定ツールの斜視図である。
【図４】本実施形態に係る面圧測定ツールの分解斜視図である。
【図５】図３におけるＡ−Ａ断面図である。
【図６】面圧測定ツールの制御部を説明する機能ブロック図である。
【図７】基板洗浄装置における可視化された圧力分布を示す模式図である。
【図８】変形例に係る面圧測定ツールの斜視図である。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案に係る実施の形態の例を、図面を参照して説明する。
まず、本実施形態に係る面圧測定ツールが用いられる基板洗浄装置について説明する。
図１は、面圧測定ツールが用いられる基板洗浄装置の概略斜視図である。図２は、面圧測定ツールが用いられる基板洗浄装置の概略側面図である。
【００１０】
図１及び図２に示すように、基板洗浄装置１０は、ガラス板（基板）を搬送する搬送路１１を備えており、この搬送路１１に、ディスク洗浄部１３、ローラ洗浄部１５及びエアナイフ１７が設けられている。
【００１１】
基板洗浄装置１０は、矩形状に形成されたガラス板を洗浄する装置である。この基板洗浄装置１０によって洗浄するガラス板は、例えば、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）やＯＬＥＤ（Organic Light-Emitting Diode）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ:Flat Panel Display）用に使用される無アルカリガラス系材料からなる。基板洗浄装置１０は、水平に搬送されるガラス板の上下面を洗浄する装置であり、特に、ガラス板の各種の処理や加工が施される上面を洗浄する。
【００１２】
搬送路１１は、平行に配置された枠体２１に架け渡された複数の搬送ローラ２３を備えており、これらの搬送ローラ２３によって洗浄対象のガラス板が一方向である搬送方向Ｘへ向かって搬送される。搬送路１１には、上下に配置されたピンチローラ２５を備えており、ガラス板は、ピンチローラ２５に上下から挟持されて下流側のディスク洗浄部１３及びローラ洗浄部１５へ送り出される。
【００１３】
ディスク洗浄部１３は、上下に配列された複数のディスクブラシ３１を有している。ディスクブラシ３１は、搬送路１１の上下において、ガラス板の搬送方向Ｘに対して直交する方向に配列されており、それぞれ鉛直軸線を中心に回転する。ローラ洗浄部１５は、ローラブラシ３３を有している。ローラブラシ３３は、搬送路１１の上側におけるガラス板の搬送方向Ｘに対して直交する水平軸線を中心に回転する。ディスク洗浄部１３及びローラ洗浄部１５には、ガラス板の上下面に洗浄液を噴射するノズル（図示略）を備えている。ディスク洗浄部１３では、各ローラブラシ３３が回転することにより、ガラス板の上下面が洗浄され、ローラ洗浄部１５では、ローラブラシ３３が回転することによりガラス板の上面が洗浄される。
【００１４】
エアナイフ１７は、ローラ洗浄部１５の下流側に設けられている。このエアナイフ１７は、ガラス板に対してエアを吹き付けることにより、洗浄後のガラス板に付着した洗浄液を吹き飛ばして除去する。このエアナイフ１７は、搬送路１１の搬送ローラ２３との間に隙間Ｇ１をあけて配置されている。ここでは、この隙間Ｇ１は、搬送するガラス板の厚さよりも大きい寸法とされており、例えば、３．５ｍｍとされている。なお、本例では図示しないが、エアナイフ１７は、搬送路１１における上部のみならず下部にも設置され、ガラス板の上下面の洗浄液を除去する。
【００１５】
ディスク洗浄部１３及びガラス洗浄部１５で洗浄され、エアナイフ１７によって洗浄液が除去されたガラス板は、搬送路１１の下流端に設置された上下の隔壁３７の隙間Ｇ２を通過して次工程等に送り出される。ここでは、隙間Ｇ２も、隙間Ｇ１と同様に、搬送するガラス板の厚さよりも大きい寸法とされており、例えば、３．５ｍｍとされている。
【００１６】
次に、本実施形態に係る面圧測定ツールについて説明する。
図３は、本実施形態に係る面圧測定ツールの斜視図である。図４は、本実施形態に係る面圧測定ツールの分解斜視図である。図５は、図３におけるＡ−Ａ断面図である。
【００１７】
図３及び図４に示すように、本実施形態に係る面圧測定ツール５０は、面圧センサ５１と、支持板６１とを備えている。
【００１８】
面圧センサ５１は、センサ部５３と、制御部５５とを有している。センサ部５３は、可撓性及び絶縁性を有する樹脂シートに導体パターンが形成された、例えば、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）からなるもので、矩形状に形成されている。このセンサ部５３には、その前縁部に、シート状に形成された複数の圧力検出部５７が幅方向に沿って配列されている。これらの圧力検出部５７は、感圧抵抗体素子や圧電素子からなるもので、例えば、３０ｇ以下の荷重測定が可能とされている。
【００１９】
これらの圧力検出部５７は、センサ部５３を構成するフレキシブルプリント配線板に形成された導体パターンに接続されている。センサ部５３には、その後端部に配線部５９を有しており、この配線部５９に制御部５５が取り付けられている。制御部５５は、プリント配線板に制御回路を構成する各種の電子部品等を実装した制御基板である。また、この制御部５５には、制御回路を駆動させるためのボタン電池が設けられている。この制御部５５には、面圧センサ５１の各圧力検出部５７からの検出信号が入力され、制御部５５は、入力された検出信号に対して各種の処理を行う。
【００２０】
支持板６１は、例えば、ステンレスやアルミニウム等の金属板からなるもので、平面視矩形状に形成されている。この支持板６１は、その上面にセンサ配置領域６５が設けられており、このセンサ配置領域６５に面圧センサ５１のセンサ部５３が載置されて両面接着テープ等によって接着される。なお、支持板６１としては、プラスチック板やガラス板を用いてもよい。
【００２１】
支持板６１には、センサ配置領域６５よりも後方側に、表裏に貫通する角孔からなる収容穴部６７が形成されている。この収容穴部６７は、面圧センサ５１の制御部５５の外形よりも大きな内形を有している。この収容穴部６７には、面圧センサ５１の制御部５５が嵌め込まれて収容される。
【００２２】
面圧測定ツール５０は、防水カバー７１に収容される。防水カバー７１は、例えば、防水性及び可撓性を有する透明な樹脂シートから形成されている。防水カバー７１は、それぞれ矩形状に形成された表カバー７３及び裏カバー７５を有している。この防水カバー７１は、表カバー７３と裏カバー７５との間に面圧測定ツール５０を配置させた状態で、表カバー７３と裏カバー７５の周縁を溶着または接着材による接着等によって周方向の全周にわたって固着される。これにより、面圧測定ツール５０は、その周囲が防水カバー７１によって覆われて防水される。
【００２３】
また、この防水カバー７１には、表カバー７３に、開閉片７７を有する開閉窓部７９が形成されている。この開閉窓部７９は、表カバー７３における収容穴部６７の上方位置に設けられている。開閉片７７は、面圧センサ５１の配線部５９側を除く収容穴部６７の周囲に切込みを形成することにより形成されており、この開閉片７７によって開閉窓部７９が開閉可能とされている。そして、この開閉窓部７９を開くことにより、収容穴部６７に収容されたセンサ部５５を露出させることが可能とされている。なお、開閉窓部７９は、開閉片７７の周囲を防水テープ（図示略）によって表カバー７３に接着することにより、シールされた状態で閉ざされる。
【００２４】
図５に示すように、収容穴部６７に収容される制御部５５は、その厚さが支持板６１以下とされ、支持板６１の表裏面から突出しないようになっている。そして、防水カバー７１を含めた面圧測定ツール５０は、平面視における全領域において厚さＴ（図５参照）が、搬送路１１における最小の隙間よりも薄くされている。本例では、互いに同一寸法に設定された搬送ローラ２３の隙間Ｇ１及びエアナイフ１７の隙間Ｇ２が搬送路１１における最小の隙間である。したがって、面圧測定ツール５０の厚さＴは、これらの隙間Ｇ１，Ｇ２よりも小さくされている。例えば、隙間Ｇ１，Ｇ２が３．５ｍｍである場合、面圧測定ツール５０の厚さＴは、３．５ｍｍよりも小さくされ、基板洗浄装置１０で搬送される際に、エアナイフ１７及び隔壁３７に干渉しないようになっている。なお、面圧測定ツール５０の厚さＴとしては、２．０ｍｍ以下とするのが好ましい。
【００２５】
次に、面圧測定ツール５０の機能について説明する。
図６は、面圧測定ツールの制御部を説明する機能ブロック図である。
図６に示すように、面圧測定ツール５０の制御部５５は、分圧部８１、ＬＰＦ（ローパスフィルタ）部８３、ＡＤＣ（アナログデジタルコンバータ）部８５、ペリフェラルデータ送信部（通信部）８７を有している。この制御部５５では、センサ部５３の圧力検出部５７からの検出信号を分圧部８１で分圧してＬＰＦ部８３でノイズを除去し、さらに、ＡＤＣ部８５でデジタル変換する。そして、制御部５５は、デジタルに変換された検出信号をペリフェラルデータ送信部８７から送信する。この制御部５５から送信される検出信号を含む検出データは、コンピュータ（外部装置）９１に設けられたペリフェラルデータ受信部９３によって受信されてコンピュータ９１に入力される。コンピュータ９１は、入力された面圧測定ツール５０の制御部５５からの検出データを解析する。
【００２６】
図１及び図２に示すように、面圧測定ツール５０は、基板洗浄装置１０の上流側から送り込まれる。すると、この面圧測定ツール５０は、搬送路１１の搬送ローラ２３によって搬送方向Ｘに向かって搬送され、さらに、ピンチローラ２５によって挟まれてディスク洗浄部１３及びローラ洗浄部１５へ送り出される。そして、面圧測定ツール５０は、ディスク洗浄部１３の各ディスクブラシ３１間及びローラ洗浄部１５のローラブラシ３３の下方を通過する。その後、面圧測定ツール５０は、エアナイフ１７が設置された隙間Ｇ１の洗浄液の除去領域を通過し、隔壁３７の隙間Ｇ２を通り、次工程等へ送り出される。
【００２７】
このように、基板洗浄装置１０で搬送される面圧測定ツール５０は、搬送路１１において、センサ部５３の圧力検出部５７で検出された圧力の検出信号を含む検出データを制御部５５のペリフェラルデータ送信部８７から逐一送信する。この送信される検出データは、ペリフェラルデータ受信部９３によって受信されてコンピュータ９１に送られる。そして、コンピュータ９１は、送られた検出データを解析して可視化された圧力分布を求める。なお、この面圧測定ツール５０における測定サンプリングレートとしては、例えば、５０ｍｓとされている。
【００２８】
図７は、基板洗浄装置１０における可視化された圧力分布を示す模式図である。
図７に示すように、面圧測定ツール５０で検出された検出信号に基づいて可視化された圧力分布では、ピンチローラ２５による挟持箇所Ｐ１、ディスク洗浄部１３でのディスクブラシ３１の接触箇所Ｐ２及びローラ洗浄部１５でのローラブラシ３３の接触箇所Ｐ３において、他の部分と比較し、面圧が高くなっていることが分かる。即ち、基板洗浄装置１０では、搬送されるガラス板に対してピンチローラ２５、ディスク洗浄部１３のディスクブラシ３１及びローラ洗浄部１５のローラブラシ３３がバランスよく接触することが確認できる。
【００２９】
このように、面圧測定ツール５０によって検出された検出信号に基づいた圧力分布を参照することにより、搬送されるガラス板に対するピンチローラ２５、ディスクブラシ３１、ローラブラシ３３等の接触の有無及び接触圧を容易に確認できる。これにより、基板洗浄装置１０のピンチローラ２５、ディスクブラシ３１、ローラブラシ３３等を的確に位置調整してガラス板に対する良好な洗浄性能を得ることができる。
【００３０】
以上、説明したように、本実施形態に係る面圧測定ツール５０によれば、面圧センサ５１が支持板６１の一方の面に重ね合わされて搭載され、面圧センサ６１の制御部５５が支持板６１の収容穴部６７に収容されている。そして、平面視における全領域において搬送路１１の最小の隙間Ｇ，Ｇ２よりも厚さが薄くされている。したがって、この面圧測定ツール５０は、ガラス板を搬送する狭隘な隙間Ｇ１，Ｇ２を有する搬送路１１へ送り込んで搬送させることができ、これにより、面圧センサ５１の複数の圧力検出部５７を有するセンサ部５３によって搬送路１１におけるガラス板への面圧を搬送方向Ｘにわたって高精度に測定できる。
【００３１】
また、面圧測定ツール５０の制御部５５は、外部機器であるコンピュータ９１に設けられたセントラルデータ受信部９３と通信を行うペリフェラルデータ送信部８７を有する。したがって、制御部５５から検出データを取り出すためのケーブルを不要にでき、しかも、制御部５５の構造を簡略化して低背化できる。
【００３２】
また、防水性を有する樹脂シートからなる防水カバー７１によって周囲が覆われているので、洗浄液等の液体が使用される基板洗浄装置１０の搬送路１１へ通して面圧を円滑に測定することができる。
【００３３】
しかも、防水カバー７１は、収容穴部６７を臨む位置に、開閉片７７によって開閉可能とされた開閉窓部７９を有している。したがって、この防水カバー７１の開閉窓部７９を開いて収容穴部６７内の制御部５５を露出させることにより、例えば、電池交換等の制御部５５に対するメンテナンスを容易に行える。
【００３４】
なお、上記実施形態では、センサ部５３において、複数の圧力検出部５７を幅方向に沿って一列に配置したが、センサ部５３における圧力検出部５７の配置や数量は幅方向に沿って一列に配置したものに限らない。
【００３５】
ここで、図８に示すものは、圧力検出部５７が異なる配置及び数量で設けられた面圧測定ツール５０Ａである。図８に示すように、この面圧測定ツール５０Ａは、センサ部５３において、幅方向に沿って配列された圧力検出部５７が、搬送方向Ｘである前後方向に沿って複数列に配置されている。つまり、この面圧測定ツール５０Ａは、圧力検出部５７がマトリックス状に配置されたセンサ部５３を備えている。
【００３６】
この面圧測定ツール５０Ａでは、基板洗浄装置１０で搬送される際に、搬送方向Ｘに対して直交する幅方向だけでなく、搬送方向Ｘに沿う複数位置で面圧を測定でき、より高精細に圧力分布を求められる。
【００３７】
このように、本考案は上記の実施形態に限定されるものではなく、実施形態の各構成を相互に組み合わせることや、明細書の記載、並びに周知の技術に基づいて、当業者が変更、応用することも本考案の予定するところであり、保護を求める範囲に含まれる。
【００３８】
例えば、上記実施形態では、制御部５５にボタン電池を搭載したが、ボタン電池に代えて二次電池等の充電式電池を搭載させ、この充電式電池に対して電磁誘導を用いて非接触充電する構成としてもよい。
【００３９】
また、制御部５５にメモリ及び検出データを取り出すためのコネクタを設け、検出作業後にメモリに記憶された検出データを、コネクタに接続したケーブルを介してコンピュータ９１で取り出してもよい。さらには、メモリを着脱可能とし、検出作業後に制御部５５から取り外したメモリからコンピュータ９１に検出データを取り込んでもよい。
【００４０】
なお、上記実施形態では、搬送路１１を搬送されるガラス板等の基板を洗浄する基板洗浄装置１０に適用した場合を例示したが、本実施形態に係る面圧測定ツール５０，５０Ａは、基板洗浄装置１０に限らず、ガラス板等の基板を搬送方向Ｘに沿って搬送する狭隘な隙間を有した搬送路を備える各種の装置に適用できる。
【００４１】
また、面圧測定ツール５０，５０Ａを、他の用途に用いることも可能である。他の用途としては、例えば、回転する研磨ヘッドで基板を研磨する回転研磨装置における研磨ヘッドの押圧力の測定、ガラス板等の基板にシートを積層させる積層装置における面圧の測定、ガラス板等の基板に沿わせて基板の反りを測定する反りの検出、一対のローラでフィルムを挟持して送り出すフィルムニップにおける挟持力の測定、ダイボンディング装置におけるコレットの圧力測定などがある。
【００４２】
また、搬送路１１で搬送する基板としては、ガラス板に限らず、例えば、金属、セラミックあるいは樹脂から成形されたものでもよい。
【００４３】
以上の通り、本明細書には次の事項が開示されている。
（１）  基板を搬送方向に沿って搬送する狭隘な隙間を有した搬送路に通されて前記搬送路における前記基板へ付与される面圧を測定する面圧測定ツールであって、
一部に制御部が接続された可撓性を有するシート材からなり、前記制御部に繋がる複数の圧力検出部が少なくとも幅方向に沿って配列されたセンサ部を有する面圧センサと、
前記面圧センサが一方の面に重ね合わされて搭載される板材からなり、前記制御部を収容する収容穴部を有する支持板と、
を備え、
平面視における全領域において前記搬送路の最小の隙間よりも厚さが薄くされている、
面圧測定ツール。
【００４４】
上記（１）の構成の面圧測定ツールによれば、面圧センサが支持板の一方の面に重ね合わされて搭載され、面圧センサの制御部が支持板の収容穴部に収容されている。そして、平面視における全領域において搬送路の最小の隙間よりも厚さが薄くされている。したがって、この面圧測定ツールは、基板を搬送する狭隘な隙間を有する搬送路へ送り込んで搬送させることができ、これにより、面圧センサの複数の圧力検出部を有するセンサ部によって搬送路における基板への面圧を搬送方向にわたって高精度に測定できる。
【００４５】
（２）  前記制御部は、外部機器と通信を行う通信部を有する、（１）に記載の面圧測定ツール。
【００４６】
上記（２）の構成の面圧測定ツールによれば、制御部が外部機器と通信を行う通信部を有する。したがって、制御部から検出データを取り出すためのケーブルを不要にでき、しかも、制御部の構造を簡略化して低背化できる。
【００４７】
（３）  防水性を有する樹脂シートからなる防水カバーによって周囲が覆われている、（１）または（２）に記載の面圧測定ツール。
【００４８】
上記（３）の構成の面圧測定ツールによれば、防水性を有する樹脂シートからなる防水カバーによって周囲が覆われているので、洗浄液等の液体が使用される基板洗浄装置等の搬送路へ通して面圧を円滑に測定することができる。
【００４９】
（４）  前記防水カバーは、前記収容穴部を臨む位置に、開閉片によって開閉可能とされた開閉窓部を有し、前記開閉窓部を開くことにより、前記収容穴部内の前記制御部が露出される、（３）に記載の面圧測定ツール。
【００５０】
上記（４）の構成の面圧測定ツールによれば、開閉窓部を開いて収容穴部内の制御部を露出させることにより、例えば、電池交換等の制御部に対するメンテナンスを容易に行うことができる。
【００５１】
（５）  前記センサ部は、前記幅方向に沿って配列された前記圧力検出部が、前記搬送方向に沿って複数列に配列されている、（１）から（４）のいずれか一つに記載の面圧測定ツール。
【００５２】
上記（５）の構成の面圧測定ツールによれば、搬送路を搬送される際に、搬送方向に対して直交する幅方向だけでなく、搬送方向に沿う複数位置で面圧を測定でき、より高精細に圧力分布を求められる。
【符号の説明】
【００５３】
１１  搬送路
５０，５０Ａ  面圧測定ツール
５１  面圧センサ
５３  センサ部
５５  制御部
５７  圧力検出部
６１  支持板
６７  収容穴部
７１  防水カバー
７７  開閉片
７９  開閉窓部
８７  ペリフェラルデータ送信部（通信部）
９１  コンピュータ（外部機器）
Ｇ１，Ｇ２  隙間
Ｔ  厚さ
Ｘ  搬送方向
【図１】
0003224354.tif 000003
【図２】
0003224354.tif 000004
【図３】
0003224354.tif 000005
【図４】
0003224354.tif 000006
【図５】
0003224354.tif 000007
【図６】
0003224354.tif 000008
【図７】
0003224354.tif 000009
【図８】
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