【手続補正書】
【提出日】平成25年7月31日(2013.7.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板領域と、
それぞれが第１方向に長く伸びて形成された少なくとも６つの線形導電性構造体を含む、前記基板領域の上に形成されたゲート電極レベル領域と、を備えた集積回路であって、
前記少なくとも６つの線形導電性構造体は、
第１のトランジスタ型式の第１のトランジスタのゲート電極を形成する第１ゲート部分と、第２のトランジスタ型式の第１のトランジスタのゲート電極を形成する第２ゲート部分とを有する第１の線形導電性構造体であって、前記第１の線形導電性構造体は、さらに、前記第１の線形導電性構造体の前記第１ゲート部分と第２ゲート部分との間で前記第１方向に伸びた非ゲート部分を有する、第１の線形導電性構造体と、
前記第１のトランジスタ型式の第２のトランジスタのゲート電極を形成するゲート部分を有する第２の線形導電性構造体であって、前記第２の線形導電性構造体は、さらに、前記第２の線形導電性構造体の前記ゲート部分から離間して前記第１方向に伸びた非ゲート部分を有する、第２の線形導電性構造体と、
前記第２のトランジスタ型式の第２のトランジスタのゲート電極を形成するゲート部分を有する第３の線形導電性構造体であって、前記第３の線形導電性構造体は、さらに、前記第３の線形導電性構造体の前記ゲート部分から離間して前記第１方向に伸びた非ゲート部分を有する、第３の線形導電性構造体と、
前記第１のトランジスタ型式の第３のトランジスタのゲート電極を形成するゲート部分を有する第４の線形導電性構造体であって、前記第４の線形導電性構造体は、さらに、前記第４の線形導電性構造体の前記ゲート部分から離間して前記第１方向に伸びた非ゲート部分を有する、第４の線形導電性構造体と、
前記第２のトランジスタ型式の第３のトランジスタのゲート電極を形成するゲート部分を有する第５の線形導電性構造体であって、前記第５の線形導電性構造体は、さらに、前記第５の線形導電性構造体の前記ゲート部分から離間して前記第１方向に伸びた非ゲート部分を有する、第５の線形導電性構造体と、
前記第１のトランジスタ型式の第４のトランジスタのゲート電極を形成する第１のゲート部分と、前記第２のトランジスタ型式の第４のトランジスタのゲート電極を形成する第２のゲート部分とを有する第６の線形導電性構造体であって、前記第６の線形導電性構造体は、さらに、前記第６の線形導電性構造体の前記第１ゲート部分と前記第２のゲート部分との間で前記第１方向に伸びた非ゲート部分を有する、第６の線形導電性構造体と、を有し、
前記第２の線形導電性構造体は、前記第１方向に伸びた共通ラインに沿って前記第３の線形導電性構造体と一直線に並んでおり、前記第２の線形導電性構造体は、第１のライン端離間距離によって、前記第３の線形導電性構造体から分離されており、
前記第４の線形導電性構造体は、前記第１方向に伸びた別の共通ラインに沿って前記第４の線形導電性構造体と一直線に並んでおり、前記第４の線形導電性構造体は、第２のライン端離間距離によって、前記第５の線形導電性構造体から分離されており、
前記第１のトランジスタ型式の前記第１、第２、第３及び第４のトランジスタは、前記基板領域の非活性部分によって、前記第２のトランジスタ型式の前記第１、第２、第３及び第４のトランジスタから分離されており、
前記第２の線形導電性構造体の第１端は、前記基板領域の非活性部分の上に配置されており、
前記第３の線形導電性構造体の第１端は、前記基板領域の非活性部分の上に配置されており、
前記第４の線形導電性構造体の第１端は、前記基板領域の非活性部分の上に配置されており、
前記第５の線形導電性構造体の第１端は、前記基板領域の非活性部分の上に配置されており、
前記第２及び第４の線形導電性構造体のいずれかの前記第１端は、前記第１方向でお互いにオフセットしており、または前記第３及び第５の線形導電性構造体の前記第１端は、前記第１方向でお互いにオフセットしており、または前記第２及び第４の線形導電性構造体の前記第１端が前記第１方向でお互いにオフセットしかつ前記第３及び第５の線形導電性構造体の前記第１端が前記第１方向でお互いにオフセットしている、ことを特徴とする集積回路。
【請求項２】
前記ゲート電極レベル領域内の前記少なくとも６つの線形導電性構造体は、トランジスタのゲート電極を形成せず、少なくとも１つのトランジスタの少なくとも１つのゲート電極をそれぞれ形成する少なくとも２つのゲート形成線形導電性構造体の間に配置された第７の線形導電性構造体を含み、
前記第１方向と垂直な第２方向で測定された前記第７の線形導電性構造体のサイズは、前記第２方向で測定された線形導電性構造体を形成する前記少なくとも２つのゲートのサイズと略等しいことを特徴とする請求項１に記載の集積回路。
【請求項３】
前記基板領域の上に形成された相互接続レベル領域を有し、
前記相互接続レベル領域は、前記第１方向と垂直な第２方向に長く伸びて形成された第１の線形導電性相互接続構造体を有することを特徴とする請求項１に記載の集積回路。
【請求項４】
前記相互接続レベル領域は、前記第２方向に長く伸びて形成された第２の線形導電性相互接続構造体を有し、
前記第２の線形導電性相互接続構造体は、前記第１の線形導電性相互接続構造体の隣りにかつ離間して配置されていることを特徴とする請求項３に記載の集積回路。
【請求項５】
前記第１方向で測定された前記第３の線形導電性構造体の長さは、前記第１方向で測定された前記第５の線形導電性構造体の長さより大きいことを特徴とする請求項１に記載の集積回路。
【請求項６】
前記第１方向で測定された前記第２の線形導電性構造体の長さは、前記第１方向で測定された前記第４の線形導電性構造体の長さより小さいことを特徴とする請求項５に記載の集積回路。
【請求項７】
前記第２、第３、第４及び第５の線形導電性構造体のそれぞれは、前記第１の線形導電性構造体と第６の線形導電性構造体との間に、前記第１方向と垂直な第２方向に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の集積回路。
【請求項８】
前記ゲート電極レベル領域内の前記少なくとも６つの線形導電性構造体は、トランジスタのゲート電極を形成せず、少なくとも１つのトランジスタの少なくとも１つのゲート電極をそれぞれ形成する少なくとも２つのゲート形成線形導電性構造体の間に配置された第７の線形導電性構造体を含むことを特徴とする請求項７に記載の集積回路。
【請求項９】
前記第２、第３、第４及び第５の線形導電性構造体は、前記第１の線形導電性構造体と第６の線形導電性構造体との間で、前記第２方向で、前記ゲート電極レベル領域内の唯一のトランジスタゲート形成導電性構造体であることを特徴とする請求項７に記載の集積回路。
【請求項１０】
前記ゲート電極レベル領域内の前記少なくとも６つの線形導電性構造体は、トランジスタのゲート電極を形成しない第７の線形導電性構造体を含み、
前記第１方向で測定された前記第７の線形導電性構造体の長さは、前記第１方向で測定された前記第１及び第６の線形導電性構造体の少なくとも１つの長さと略等しいことを特徴とする請求項９に記載の集積回路。
【請求項１１】
前記第１方向で測定された前記第２の線形導電性構造体の長さは、前記第１方向で測定された前記第４の線形導電性構造体の長さより小さいことを特徴とする請求項１に記載の集積回路。
【請求項１２】
前記第１方向で測定された前記第３の線形導電性構造体の長さは、前記第１方向で測定された前記第５の線形導電性構造体の長さより大きいことを特徴とする請求項１１に記載の集積回路。
【請求項１３】
前記第２、第３、第４及び第５の線形導電性構造体のそれぞれは、前記第１の線形導電性構造体と第６の線形導電性構造体との間に、前記第１方向と垂直な第２方向に配置されていることを特徴とする請求項１２に記載の集積回路。
【請求項１４】
前記ゲート電極レベル領域内の前記少なくとも６つの線形導電性構造体は、トランジスタのゲート電極を形成せず、少なくとも１つのトランジスタの少なくとも１つのゲート電極をそれぞれ形成する少なくとも２つのゲート形成線形導電性構造体の間に配置された第７の線形導電性構造体を含むことを特徴とする請求項１３に記載の集積回路。
【請求項１５】
前記第２、第３、第４及び第５の線形導電性構造体は、前記第１の線形導電性構造体と第６の線形導電性構造体との間で、前記第１方向で、前記ゲート電極レベル領域内の唯一のトランジスタゲート形成導電性構造体であることを特徴とする請求項１３に記載の集積回路。
【請求項１６】
前記ゲート電極レベル領域内の前記少なくとも６つの線形導電性構造体は、トランジスタのゲート電極を形成しない第７の線形導電性構造体を含み、
前記第１方向で測定された前記第７の線形導電性構造体の長さは、前記第１方向で測定された前記第１及び第６の線形導電性構造体の少なくとも１つの長さと略等しいことを特徴とする請求項１５に記載の集積回路。
【請求項１７】
前記基板領域の上に形成された相互接続レベル領域を有し、
前記相互接続レベル領域は、前記第１方向と垂直な第２方向に長く伸びて形成された第１の線形導電性相互接続構造体を有することを特徴とする請求項１に記載の集積回路。
【請求項１８】
前記相互接続レベル領域は、前記第２方向に長く伸びて形成された第２の線形導電性相互接続構造体を有し、
前記第２の線形導電性相互接続構造体は、前記第１の線形導電性相互接続構造体の隣りにかつ離間して配置されていることを特徴とする請求項１７に記載の集積回路。
【請求項１９】
前記少なくとも６つの線形導電性構造体のそれぞれは、長く伸びたセンターラインを有し、
前記少なくとも６つの線形導電性構造体は、前記第１方向と垂直な第２方向で測定された第１の等間隔センターライン−センターライン間ピッチに従って配置され、
前記少なくとも６つの線形導電性構造体の別のものの長く伸びたセンターラインの間の前記第２方向で測定された距離が、前記第１の等間隔センターライン−センターライン間ピッチの整数倍であり、
前記第１及び第２の線形導電性相互接続構造体は、第２方向で測定された前記第２の等間隔センターライン−センターライン間ピッチに従って並んで配置され、前記第２の等間隔センターライン−センターライン間ピッチは、前記第１の等間隔センターライン−センターライン間ピッチの分数倍として定義されている、ことを特徴とする請求項１８に記載の集積回路。
【請求項２０】
前記第２の等間隔センターライン−センターライン間ピッチは、前記第１の等間隔センターライン−センターライン間ピッチより小さいかまたは等しいことを特徴とする請求項１９に記載の集積回路。
【請求項２１】
前記第１の等間隔センターライン−センターライン間ピッチの分数倍は、１であることを特徴とする請求項２０に記載の集積回路。
【請求項２２】
前記ゲート電極レベル領域は、トランジスタのゲート電極を形成しない少なくとも１つの非ゲート形成線形導電性構造体を有することを特徴とする請求項２１に記載の集積回路。
【請求項２３】
前記少なくとも１つの非ゲート形成線形導電性構造体は、隣接して配置された線形導電性構造体と並んでかつ離間して配置され、
前記少なくとも１つの非ゲート形成線形導電性構造体の前記第１方向で測定した長さは、隣接して配置された前記線形導電性構造体の前記第１方向で測定した長さと略等しい、ことを特徴とする請求項２２に記載の集積回路。
【請求項２４】
前記第２の線形導電性構造体と物理的に接続して形成された第１の導電性接続構造体であって、前記第１の導電性接続構造体が、前記第１のトランジスタ型式の前記第２のトランジスタの前記ゲート電極を形成する前記ゲート部分から前記第１の方向で測定して第１の接続距離だけ離れて配置されている、第１の導電性接続構造体と、
前記第３の線形導電性構造体と物理的に接続して形成された第２の導電性接続構造体であって、前記第２の導電性接続構造体が、前記第２のトランジスタ型式の前記第２のトランジスタの前記ゲート電極を形成する前記ゲート部分から前記第１の方向で測定して第２の接続距離だけ離れて配置されている、第２の導電性接続構造体と、
前記第４の線形導電性構造体と物理的に接続して形成された第３の導電性接続構造体であって、前記第３の導電性接続構造体が、前記第１のトランジスタ型式の前記第３のトランジスタの前記ゲート電極を形成する前記ゲート部分から前記第１の方向で測定して第３の接続距離だけ離れて配置されている、第３の導電性接続構造体と、
前記第５の線形導電性構造体と物理的に接続して形成された第４の導電性接続構造体であって、前記第４の導電性接続構造体が、前記第２のトランジスタ型式の前記第３のトランジスタの前記ゲート電極を形成する前記ゲート部分から前記第１の方向で測定して第４の接続距離だけ離れて配置されている、第４の導電性接続構造体と、を有し、
前記第１、第２、第３及び第４の接続距離の少なくとも２つは異なる、ことを特徴とする請求項１に記載の集積回路。
【請求項２５】
前記第２、第３、第４及び第５の線形導電性構造体の少なくとも２つは、前記第１の方向で測定して異なる長さを有する、ことを特徴とする請求項２４に記載の集積回路。
【請求項２６】
前記ゲート電極レベル領域は、トランジスタのゲート電極を形成しない少なくとも１つの非ゲート形成線形導電性構造体を有する、ことを特徴とする請求項２５に記載の集積回路。
【請求項２７】
前記少なくとも１つの非ゲート形成線形導電性構造体は、隣接して配置された線形導電性構造体と並んでかつ離間して配置され、
前記少なくとも１つの非ゲート形成線形導電性構造体の前記第１方向で測定した長さは、隣接して配置された前記線形導電性構造体の前記第１方向で測定した長さと略等しい、ことを特徴とする請求項２６に記載の集積回路。
【請求項２８】
前記第２、第３、第４及び第５の線形導電性構造体は、前記第１の線形導電性構造体と第６の線形導電性構造体との間で、前記第１方向と垂直な第２方向で、前記ゲート電極レベル領域内の唯一のトランジスタゲート形成導電性構造体であることを特徴とする請求項２５に記載の集積回路。
【請求項２９】
前記ゲート電極レベル領域内の前記少なくとも６つの線形導電性構造体は、トランジスタのゲート電極を形成せず、少なくとも１つのトランジスタの少なくとも１つのゲート電極をそれぞれ形成する少なくとも２つのゲート形成線形導電性構造体の間に配置された第７の線形導電性構造体を含むことを特徴とする請求項２８に記載の集積回路。
【請求項３０】
前記第１、第２、第３及び第４の接続距離の少なくとも３つは異なることを特徴とする請求項２４に記載の集積回路。
【請求項３１】
前記第２、第３、第４及び第５の線形導電性構造体の少なくとも２つは、前記第１の方向で測定して異なる長さを有する、ことを特徴とする請求項３０に記載の集積回路。
【請求項３２】
前記ゲート電極レベル領域は、トランジスタのゲート電極を形成しない少なくとも１つの非ゲート形成線形導電性構造体を有する、ことを特徴とする請求項３１に記載の集積回路。
【請求項３３】
前記少なくとも１つの非ゲート形成線形導電性構造体は、隣接して配置された線形導電性構造体と並んでかつ離間して配置され、
前記少なくとも１つの非ゲート形成線形導電性構造体の前記第１方向で測定した長さは、隣接して配置された前記線形導電性構造体の前記第１方向で測定した長さと略等しい、ことを特徴とする請求項３２に記載の集積回路。
【請求項３４】
前記第２、第３、第４及び第５の線形導電性構造体のそれぞれは、前記第１の線形導電性構造体と第６の線形導電性構造体との間で、前記第１方向と垂直な第２方向で、前記ゲート電極レベル領域内の唯一のトランジスタゲート形成導電性構造体であることを特徴とする請求項３１に記載の集積回路。
【請求項３５】
前記ゲート電極レベル領域内の前記少なくとも６つの線形導電性構造体は、トランジスタのゲート電極を形成せず、少なくとも１つのトランジスタの少なくとも１つのゲート電極をそれぞれ形成する少なくとも２つのゲート形成線形導電性構造体の間に配置された第７の線形導電性構造体を含むことを特徴とする請求項３４に記載の集積回路。
【請求項３６】
前記第２の線形導電性構造体は、ゲート電極レベル以外の前記集積回路のレベル内に配置された１つ又は複数の導電性構造体を介して前記第５の線形導電性構造体に電気的に接続され、前記ゲート電極レベルは前記ゲート電極レベル領域を含む、ことを特徴とする請求項１に記載の集積回路。
【請求項３７】
前記第２の線形導電性構造体は、前記第５の線形導電性構造体の３６０ナノメートル以内に配置されている、ことを特徴とする請求項３６に記載の集積回路。
【請求項３８】
前記第１のライン端離間距離は、２４０ナノメートル以下である、ことを特徴とする請求項３６に記載の集積回路。
【請求項３９】
前記第３の線形導電性構造体は、ゲート電極レベル以外の前記集積回路のレベル内に配置された１つ又は複数の導電性構造体を介して前記第４の線形導電性構造体に電気的に接続され、前記ゲート電極レベルは前記ゲート電極レベル領域を含む、ことを特徴とする請求項３６に記載の集積回路。
【請求項４０】
前記第２のライン端離間距離は、２４０ナノメートル以下である、ことを特徴とする請求項３９に記載の集積回路。
【請求項４１】
前記第１のライン端離間距離は、前記第２のライン端離間距離と略等しい、ことを特徴とする請求項３９に記載の集積回路。
【請求項４２】
前記第１及び第２のライン端離間距離のそれぞれは、２４０ナノメートル以下である、ことを特徴とする請求項４１に記載の集積回路。
【請求項４３】
前記第２、第３、第４及び第５の線形導電性構造体の少なくとも２つは、前記第１の方向で測定して異なる長さを有する、ことを特徴とする請求項３９に記載の集積回路。
【請求項４４】
前記ゲート電極レベル領域は、トランジスタのゲート電極を形成せず、少なくとも１つのトランジスタの少なくとも１つのゲート電極をそれぞれ形成する少なくとも２つのゲート形成線形導電性構造体の間に配置された少なくとも１つの非ゲート形成線形導電性構造体を有し、
前記第１方向と垂直な第２方向で測定した前記非ゲート形成線形導電性構造体のサイズは、前記第２方向で測定した前記少なくとも２つのゲート形成線形導電性構造体の１つ又は複数のサイズと略等しい、ことを特徴とする請求項４３に記載の集積回路。
【請求項４５】
前記第１の線形導電性構造体の第１端は、前記第３の線形導電性構造体の第２端と前記第１の方向で整列しており、
前記第３の線形導電性構造体の前記第２端は、前記第５の線形導電性構造体の第２端と前記第１の方向で整列している、ことを特徴とする請求項４３に記載の集積回路。
【請求項４６】
前記第１の線形導電性構造体の第１端は、前記第２の線形導電性構造体の第２端と前記第１の方向で整列しており、
前記第２の線形導電性構造体の前記第２端は、前記第４の線形導電性構造体の第２端と前記第１の方向で整列している、ことを特徴とする請求項４３に記載の集積回路。
【請求項４７】
前記第１の線形導電性構造体の第２端は、前記第３の線形導電性構造体の第２端と前記第１の方向で整列しており、
前記第３の線形導電性構造体の前記第２端は、前記第５の線形導電性構造体の第２端と前記第１の方向で整列している、ことを特徴とする請求項４６に記載の集積回路。
【請求項４８】
集積回路のレイアウトを作成する方法であって、
コンピュータを操作して、ゲート電極レベル領域レイアウト内の少なくとも６つの線形導電性構造体形状を確定することを含み、
前記少なくとも６つの線形導電性構造体形状は、第１方向に長く伸びてそれぞれ形成され、
前記少なくとも６つの線形導電性構造体形状は、
第１のトランジスタ型式の第１のトランジスタのゲート電極を形成する第１ゲート部分と、第２のトランジスタ型式の第１のトランジスタのゲート電極を形成する第２ゲート部分とを有する第１の線形導電性構造体形状であって、前記第１の線形導電性構造体形状は、さらに、前記第１の線形導電性構造体形状の前記第１ゲート部分と第２ゲート部分との間で前記第１方向に伸びた非ゲート部分を有する、第１の線形導電性構造体形状と、
前記第１のトランジスタ型式の第２のトランジスタのゲート電極を形成するゲート部分を有する第２の線形導電性構造体形状であって、前記第２の線形導電性構造体形状は、さらに、前記第２の線形導電性構造体形状の前記ゲート部分から離間して前記第１方向に伸びた非ゲート部分を有する、第２の線形導電性構造体形状と、
前記第２のトランジスタ型式の第２のトランジスタのゲート電極を形成するゲート部分を有する第３の線形導電性構造体形状であって、前記第３の線形導電性構造体形状は、さらに、前記第３の線形導電性構造体形状の前記ゲート部分から離間して前記第１方向に伸びた非ゲート部分を有する、第３の線形導電性構造体形状と、
前記第１のトランジスタ型式の第３のトランジスタのゲート電極を形成するゲート部分を有する第４の線形導電性構造体形状であって、前記第４の線形導電性構造体形状は、さらに、前記第４の線形導電性構造体形状の前記ゲート部分から離間して前記第１方向に伸びた非ゲート部分を有する、第４の線形導電性構造体形状と、
前記第２のトランジスタ型式の第３のトランジスタのゲート電極を形成するゲート部分を有する第５の線形導電性構造体形状であって、前記第５の線形導電性構造体形状は、さらに、前記第５の線形導電性構造体形状の前記ゲート部分から離間して前記第１方向に伸びた非ゲート部分を有する、第５の線形導電性構造体形状と、
前記第１のトランジスタ型式の第４のトランジスタのゲート電極を形成する第１のゲート部分と、前記第２のトランジスタ型式の第４のトランジスタのゲート電極を形成する第２のゲート部分とを有する第６の線形導電性構造体形状であって、前記第６の線形導電性構造体形状は、さらに、前記第６の線形導電性構造体形状の前記第１ゲート部分と前記第２のゲート部分との間で前記第１方向に伸びた非ゲート部分を有する、第６の線形導電性構造体形状と、を有し、
前記第２の線形導電性構造体形状は、前記第１方向に伸びた共通ラインに沿って前記第３の線形導電性構造体形状と一直線に並んでおり、前記第２の線形導電性構造体形状は、第１のライン端離間距離によって、前記第３の線形導電性構造体形状から分離されており、
前記第４の線形導電性構造体形状は、前記第１方向に伸びた別の共通ラインに沿って前記第４の線形導電性構造体形状と一直線に並んでおり、前記第４の線形導電性構造体形状は、第２のライン端離間距離によって、前記第５の線形導電性構造体形状から分離されており、
前記第１、第２、第３、第４、第５及び第６の線形導電性構造体形状は、前記第１のトランジスタ型式の前記第１、第２、第３及び第４のトランジスタが、前記ゲート電極レベル領域レイアウトが作成されるべき基板領域の非活性部分によって、前記第２のトランジスタ型式の前記第１、第２、第３及び第４のトランジスタから分離されるように画定されており、
前記第２の線形導電性構造体形状の第１端は、前記基板領域の非活性部分の上に配置されており、
前記第３の線形導電性構造体形状の第１端は、前記基板領域の非活性部分の上に配置されており、
前記第４の線形導電性構造体形状の第１端は、前記基板領域の非活性部分の上に配置されており、
前記第５の線形導電性構造体形状の第１端は、前記基板領域の非活性部分の上に配置されており、
前記第２及び第４の線形導電性構造体形状のいずれかの前記第１端は、前記第１方向でお互いにオフセットしており、または前記第３及び第５の線形導電性構造体形状の前記第１端は、前記第１方向でお互いにオフセットしており、または前記第２及び第４の線形導電性構造体形状の前記第１端が前記第１方向でお互いにオフセットしかつ前記第３及び第５の線形導電性構造体形状の前記第１端が前記第１方向でお互いにオフセットしている、ことを特徴とする方法。