(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理ステージ部にセットされたリードフレーム収納ケースから吸着パッドによりリードフレームを１枚ずつ吸着取り出しして後工程の搬送路に供給し、リードフレーム以外の被吸着体を吸着したときは回収用ケースに収納するリードフレームの供給方法において、上部が開放され底板に開口部を有する直方体状の容器であって、少なくとも対向する一対の側板に、上端から所定の深さに有する切り欠き底面から上部が開放された切り欠き部を備えた容器本体と、上記切り欠き底面に突起部が載置され所定のリードフレームのみが積み重ねられている板状体であって、少なくとも第１の吸着パッドが当接される位置に、吸着動作時に大気へ連通し上記第１の吸着パッドの吸着時の真空度を設定値に達しない値に低下させる第１の連通路が設けられた挿間板とを備えたリードフレーム収納ケースを上記処理ステージ部に搬送しセットする工程、吸着パッドの吸着動作時に上記第１の吸着パッドの真空度が設定値に達したときは当該被吸着体をリードフレームと判断して後工程の搬送路に供給し、上記第１の吸着パッドの真空度が設定値に達しないときは当該被吸着体を上記挿間板と判断して上記回収用ケースに収納する工程を含むことを特徴とするリードフレームの供給方法。
【請求項２】
底板に載置され所定のリードフレームのみが積み重ねられている板状体であって、少なくとも第２の吸着パッドが当接される位置に、吸着動作時に大気へ連通し上記第２の吸着パッドの吸着時の真空度を設定値に達しない値に低下させる第２の連通路を有する支承板を備えており、吸着パッドの吸着動作時に上記第２の吸着パッドの真空度が設定値に達しないときは上記リードフレームの取り出しが終わったものと判断してリードフレーム収納ケースを処理ステージ部から移送する工程を含むことを特徴とする請求項１記載のリードフレームの供給方法。
【請求項３】
処理ステージ部にセットされたリードフレーム収納ケースから吸着パッドによりリードフレームを１枚ずつ吸着取り出しして後工程の搬送路に供給し、リードフレーム以外の被吸着体を吸着したときは回収用ケースに収納するリードフレーム供給装置において、上部が開放され底板に開口部を有する直方体状の容器であって、少なくとも対向する一対の側板に、上端から所定の深さにある切り欠き底面から上部が開放された切り欠き部を備えた容器本体、上記切り欠き底面に突起部が載置され所定のリードフレームのみが積み重ねられる板状体であって、第１の吸着パッドが当接される位置に、吸着動作時に大気へ連通し上記第１の吸着パッドの吸着時の真空度を設定値に達しない値に低下させる第１の連通路が設けられた挿間板及び上記底板上に載置され所定のリードフレームのみが積み重ねられる支承板を有するリードフレーム収納ケース、上記リードフレーム収納ケースに収納された最上位置にある被吸着体が上記吸着パッドの吸着位置に達するように上記支承板の底部を押し上げる被吸着体押し上げ手段、上記被吸着体を吸着する複数の吸着パッド及びその内の上記第１の吸着パッドが接続された第１の真空スイッチを備え、上記被吸着体を上記搬送路又は上記回収用ケースに供給可能な吸着供給手段、上記吸着供給手段の吸着パッドに真空を供給又は遮断する真空供給手段、上記真空供給手段に真空を供給又は遮断する命令信号を送ると共に、上記吸着パッドの吸着動作時に、真空度が設定値以上であることを示す上記第１の真空スイッチの信号を受けて当該被吸着体を上記搬送路に供給し、真空度が設定値に達していないことを示す上記第１の真空スイッチの信号を受けて当該被吸着体を上記回収用ケースに収納する命令信号を上記吸着供給手段に送る制御手段を備えたことを特徴とするリードフレーム供給装置。
【請求項４】
支承板は、複数の吸着パッドの内の少なくとも第２の吸着パッドが当接される位置に、吸着動作時に大気へ連通し上記第２の吸着パッドの吸着時の真空度を設定値に達しない値に低下させる第２の連通路を備えたものであり、被吸着体の吸着供給手段は、上記第２の吸着パッドが接続された第２の真空スイッチを備え、上記第２の吸着パッドの吸着動作時に真空度が設定値に達しないことを示す上記第２の真空スイッチの信号を受けた制御手段が発信する移送命令信号を受けてリードフレーム収納ケースを処理ステージ部から移送する収納ケース移送手段を備えていることを特徴とする請求項３記載のリードフレーム供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、リードフレームを所定枚数毎に挿間板で仕切って相互の荷重が加わらないように積み重ね収納し搬送できると共に、そのままリードフレーム供給装置にセットして使用できるリードフレームの供給方法及びリードフレーム供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置に使用されるリードフレームは、従来、短冊状のものを所定枚数フィルムシートで梱包したり、或いは図２０に示すような、側面に切り欠ぎ９２を設けたケース本体９１の上部の開口部９３に蓋９４を備えたリードフレームキャリアケース９０内に沈めダイパット部９６付きリードフレーム１を所定枚数（例えば５０枚）積み重ね収納し、バンド９５で緊縛して搬送していた。そして、リードフレーム供給装置によりリードフレーム１をダイボンド装置等へ供給する際には、フィルムシートを開梱し、或いはキャリアケース９０からリードフレーム１を人手によって取り出し、リードフレーム供給装置の専用マガジンへ移し替え後、供給作業を行っていた（例えば、特開平１０−８４０００号公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
リードフレームの収納・搬送及び供給は以上のようになされていたので、リードフレームキャリアケースから専用マガジンへ移し替える際の作業性が悪く時間を要するため、スループット低下の要因となっていた。また、このことは、リードフレームのキャリアケースへの収納枚数が、リードフレーム相互の絡み付き防止や取り扱い易さを考慮して通常５０枚程度であったため、専用マガジンへの移し替え（通常２００〜６００枚収納）の頻度も高く、作業性の悪さや多数のリードフレームキャリアケースが必要となることとも相俟って、リードフレームの搬送及び供給に要するコスト高を招いていた。更に、専用マガジンへの移し替えに際しリードフレームの変形が発生し易いと言う問題もあった。
【０００４】
この発明は、以上のような問題点を解消するためになされたもので、多数のリードフレームに変形を生じさせることなく収納できて、ダイボンド装置等への供給に際しても改めて専用マガジンへ移し替える必要のない、安価なリードフレーム収納ケース及びそれを用いたリードフレームの供給方法並びにリードフレーム供給装置を得ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るリードフレームの供給方法は、処理ステージ部にセットされたリードフレーム収納ケースから吸着パッドによりリードフレームを１枚ずつ吸着取り出しして後工程の搬送路に供給し、リードフレーム以外の被吸着体を吸着したときは回収用ケースに収納するリードフレームの供給方法において、上部が開放され底板に開口部を有する直方体状の容器であって、少なくとも対向する一対の側板に、上端から所定の深さに有する切り欠き底面から上部が開放された切り欠き部を備えた容器本体と、上記切り欠き底面に突起部が載置され所定のリードフレームのみが積み重ねられている板状体であって、少なくとも第１の吸着パッドが当接される位置に、吸着動作時に大気へ連通し上記第１の吸着パッドの吸着時の真空度を設定値に達しない値に低下させる第１の連通路が設けられた挿間板とを備えたリードフレーム収納ケースを上記処理ステージ部に搬送しセットする工程、吸着パッドの吸着動作時に上記第１の吸着パッドの真空度が設定値に達したときは当該被吸着体をリードフレームと判断して後工程の搬送路に供給し、上記第１の吸着パッドの真空度が設定値に達しないときは当該被吸着体を上記挿間板と判断して上記回収用ケースに収納する工程を含むものである。
【０００６】
また、底板に載置され所定のリードフレームのみが積み重ねられている板状体であって、少なくとも第２の吸着パッドが当接される位置に、吸着動作時に大気へ連通し上記第２の吸着パッドの吸着時の真空度を設定値に達しない値に低下させる第２の連通路を有する支承板を備えており、吸着パッドの吸着動作時に上記第２の吸着パッドの真空度が設定値に達しないときは上記リードフレームの取り出しが終わったものと判断してリードフレーム収納ケースを処理ステージ部から移送する工程を含むものである。
【０００７】
この発明に係るリードフレーム供給装置は、処理ステージ部にセットされたリードフレーム収納ケースから吸着パッドによりリードフレームを１枚ずつ吸着取り出しして後工程の搬送路に供給し、リードフレーム以外の被吸着体を吸着したときは回収用ケースに収納するリードフレーム供給装置において、上部が開放され底板に開口部を有する直方体状の容器であって、少なくとも対向する一対の側板に、上端から所定の深さにある切り欠き底面から上部が開放された切り欠き部を備えた容器本体、上記切り欠き底面に突起部が載置され所定のリードフレームのみが積み重ねられる板状体であって、第１の吸着パッドが当接される位置に、吸着動作時に大気へ連通し上記第１の吸着パッドの吸着時の真空度を設定値に達しない値に低下させる第１の連通路が設けられた挿間板及び上記底板上に載置され所定のリードフレームのみが積み重ねられる支承板を有するリードフレーム収納ケース、上記リードフレーム収納ケースに収納された最上位置にある被吸着体が上記吸着パッドの吸着位置に達するように上記支承板の底部を押し上げる被吸着体押し上げ手段、上記被吸着体を吸着する複数の吸着パッド及びその内の上記第１の吸着パッドが接続された第１の真空スイッチを備え、上記被吸着体を上記搬送路又は上記回収用ケースに供給可能な吸着供給手段、上記吸着供給手段の吸着パッドに真空を供給又は遮断する真空供給手段、上記真空供給手段に真空を供給又は遮断する命令信号を送ると共に、上記吸着パッドの吸着動作時に、真空度が設定値以上であることを示す上記第１の真空スイッチの信号を受けて当該被吸着体を上記搬送路に供給し、真空度が設定値に達していないことを示す上記第１の真空スイッチの信号を受けて当該被吸着体を上記回収用ケースに収納する命令信号を上記吸着供給手段に送る制御手段を備えたものである。
【０００８】
更に、支承板は、複数の吸着パッドの内の少なくとも第２の吸着パッドが当接される位置に、吸着動作時に大気へ連通し上記第２の吸着パッドの吸着時の真空度を設定値に達しない値に低下させる第２の連通路を備えたものであり、被吸着体の吸着供給手段は、上記第２の吸着パッドが接続された第２の真空スイッチを備え、上記第２の吸着パッドの吸着動作時に真空度が設定値に達しないことを示す上記第２の真空スイッチの信号を受けた制御手段が発信する移送命令信号を受けてリードフレーム収納ケースを処理ステージ部から移送する収納ケース移送手段を備えているものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下、この発明の一実施の形態であるリードフレーム収納ケースを図に基づいて説明する。図１は、この発明の実施の形態１であるリードフレーム収納ケース内にリードフレームを収納した状態を示す斜視図であり、図２は、リードフレーム収納ケースの底面図である。なお、各図中、同一符号は従来例におけるものと同一又は同等のものを示す。以下同じ。本実施の形態１によるリードフレーム収納ケース９は樹脂で形成され、中央部に矩形の開口部１７を有する長方形の底板１０ａ上に、上端から一定の深さで順次幅が狭く上部が開放された切り欠き１２ａ，１２ｂ，１２ｃが設けられた一対の短辺側側板１０ｂと、同様に形成され切り欠き１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄが設けられた一対の長辺側側板１０ｃとを組み合わせて上部が開放された直方体状の容器を形成し、その内部には、各切り欠き１１ａと１２ａ、１１ｂと１２ｂ及び１１ｃと１２ｃの夫々の段部で支持される、突起部（図示せず）を夫々有する樹脂製の挿間板１３，１４及び１５が載置され、底板１０ａ上には矩形平板からなる樹脂製の支承板１６が載置されている。支承板１６は、リードフレーム収納ケース９からリードフレーム１を吸着取り出しする際にリードフレーム１全体をリフトアップする時の支え板となる。なお、挿間板１３，１４，１５及び支承板１６と側板１０ｂ，１０ｃとの間には僅かの隙間を有しており、挿間板１３，１４，１５及び支承板１６は容易に取り出せるようになっている。リードフレーム１は、図示のように各挿間板１３，１４，１５及び支承板１６上に所定枚数（例えば５０枚）ずつ乗せて収納され、リードフレーム収納ケース９上部の開口部９３を蓋９４で覆いバンド９５で緊縛した状態で搬送される。
【００１２】
図３は、リードフレーム収納ケース内部に載置される挿間板及び支承板の平面図であり、図４は、図３のIV-IV 方向にみた断面図である。図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は夫々、挿間板１３，１４，１５に対応した図、図３（ｄ）は支承板の図である。中央部にはリードフレーム１に通常２００〜３００μｍ程度沈めて形成される沈めダイパッド部（図示せず）を収容し位置決めするダイパッド収容凹部１８が樹脂成型時に深さｈを約５００〜７００μｍ程度に６ケ形成された例を示す。また、上記突起部１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの形状と位置を示す。一点鎖線で示した円形部は吸着パッド３６の吸着位置であり、吸着パッド３６ｃに対しては挿間板１３，１４，１５及び支承板１６のいずれにおいても所定の真空度が得られないように、大気に連通する連通口１９ａが設けられている。したがって、図４に示す吸着パッド３６ｃからずれた連通口１９ａの隙間から大気に連通することとなり、この吸着パッド３６ｃでは設定値以上の真空度は得られないようにしている。一方、リードフレーム１にはこのような連通口はなく、すべての吸着パッドで設定値以上の真空度が得られる。したがって、連通口１９ａの有無により、吸着物がリードフレーム１なのか挿間板１３，１４，１５或いは支承板１６なのかが判別でき、被吸着物の移送先が指示できる。
【００１３】
図５は、代表的なリードフレームの平面図、図６は、図５のVI-VI 方向にみたダイパッド沈め部の断面図である。即ち、リードフレーム１は、短冊状の銅又は鉄系薄板の両枠２の間に吊りリード４でダイパッド３が支持されダイパッド沈め部９６が構成され、両側に支持枠６に支持されたリード５が設けられている。そして、半導体装置が形成されるダイパッド３、吊りリード４、リード５からなる部分を１単位とする半導体装置形成部が複数連なって設けられている。７はリードフレーム１の位置決め穴、８はリードフレーム１の次工程への送り穴である。図７は、リードフレームをリードフレーム収納ケース内に収納した状態を示す断面図、図８は、ダイパッド沈め部が挿間板又は支承板のダイパッド収容凹部内に収容位置決めされた状態を示す拡大図である。図から明らかなように、最初のリードフレーム１のダイパッド４が挿間板１３，１４，１５又は支承板１６のダイパッド収容凹部１８内に収容位置決めされ（図８は、挿間板１３で代表している）、その上に他のリードフレーム１が順次積み重ねられるので、リードフレーム収納ケース９を搬送する過程でお互いが移動して絡み合ったり変形したりすることはなく、リードフレーム収納ケース９から取り出し供給する際にも位置ずれを生じることなく容易に取り出せる。また、リードフレーム収納ケース９内に収納された状態では、各最上部のリードフレーム１とその上段の挿間板１３，１４又は１５との間には僅かに隙間を有するように収納されており、つまり、挿間板１３，１４，１５には自前のリードフレーム枚数（例えば５０枚）のみが負荷されているので、一つのリードフレーム収納ケース９内に多数のリードフレーム１を収納（本実施の形態１の場合は約２００枚収納している）しても、各リードフレームへの搬送時の衝撃は少なく、ダイパッド収容凹部１８内への収容位置決めと相俟って、リードフレームの変形防止の効果は大きい。
【００１４】
次に、この発明の一実施の形態１であるリードフレーム収納ケースを用いたリードフレーム供給装置を図に基づいて説明する。図９は、リードフレームの供給状況を示すリードフレーム供給装置の正面断面図、図１０は、吸着パッドの上方から見た平面配置図、図１１は、図９のXI-XI 方向に見た一部断面平面図、図１２は、図１１のXII-XII 方向に見た断面図である。
図９において、２０は基台であり、下部台板２１、上部台板２２及びこれら両台板２１，２２を連結する支柱２３で構成されている。そして、上部台板２２に形成された昇降口２４に上記底板１０ａの開口部１７が来るようにリードフレーム収納ケース９が載置され、ボールネジが形成された駆動軸２６の回転により押し上げロッド２７がガイド軸受け２９に案内されて昇降口２４を上昇することにより、先端の押し上げ板２８で支えられた支承板１６が押し上げられ、その上のリードフレーム１と挿間板１３，１４，１５がリードフレーム収納ケース９の上部開口部９３へ向けて上昇する。駆動軸２６は、下部台板２１に設けられた駆動軸支持部３０内の軸受け（図示せず）に支えられ、昇降用モータ３１で駆動される。駆動軸２６、押し上げロッド２７、押し上げ板２８、ガイド軸受け２９、駆動軸支持部３０、昇降用モータ３１を含んで被吸着体押し上げ手段２５が構成される。
【００１５】
リードフレーム収納ケース９の上には、被吸着体押し上げ手段２５により押し上げられて来たリードフレーム１を次工程の装置（例えば、ダイボンド装置）へ供給するためのレール３２へ移し替える吸着供給手段３４が配置されている。なお、挿間板１３，１４，１５が吸着されたときは回収用ケース３３へ移送されるようになっている。リードフレーム１及び挿間板１３，１４，１５は真空ユニット（図示せず）に接続された配管３５の先端に設けられた吸着パッド３６により吸着される。吸着パッド３６は、図１０に示すように、本実施の形態１においては８ケ（３６ａ〜３６ｈ）設けた場合を示している。吸着パッド３６ｃ，３６ｆの配管（図示せず）には真空スイッチ（図示せず）が接続されており、どの真空スイッチが真空度の設定値に達しているか否かにより吸着供給手段３４の動作が制御される。配管３５は支持板３７で支持され、シリンダ３８のロッド３９に結合されている。したがって、シリンダ３８が動作しロッド３９が伸縮すると、支持板３７は昇降動作を行い吸着パッド３６の位置が一体的に昇降する。シリンダ３８は移動枠４０に結合されており、移動枠４０は、基台２０の上部台板２２に固定（図示せず）されている固定枠４２に回転可能に取り付けられ、ボールネジが形成された回転軸４１により軸方向に移動可能になっており、固定枠４２に設けられた案内軸（図示せず）に沿ってスライドしながら横行する。回転軸４１は、移動枠４０に取り付けられた横行用モータ４３の軸に結合されており、横行用モータ４３の回転方向によって移動枠４０が左右に横行することにより吸着パッド３６の位置も一体的に横行し、レール３２或いは回収用ケース３３上の一点鎖線で示す位置に移動される。配管３５、吸着パッド３６、支持板３７、シリンダ３８、ロッド３９、移動枠４０、回転軸４１、固定枠４２、横行用モータ４３を含んで吸着供給手段３４が構成される。
【００１６】
リードフレーム１の取り出しが終わったリードフレーム収納ケース９は、収納ケース移送手段（図示せず）により矢Ｂの方向に移送されて一点鎖線で示す位置に達し、基台２０の上部台板２２における搬出口４４に設けられた収納ケース搬出手段４５により搬出される。４６は搬出用の回転ベルトであり、上部台板２２に取り付けられた軸受け４８，４９に回転可能に支持された駆動ローラ４７の回転により駆動される。駆動ローラ４７は軸受け４９に内蔵されているギヤー装置（図示せず）を介して搬出用駆動モータ５０に結合されている。回転ベルト４６、駆動ローラ４７、軸受け４８，４９、搬出用駆動モータ５０を含んで収納ケース搬出手段４５が構成される。
【００１７】
次に、リードフレーム収納ケース９の移送手段の構成につき説明する。図１１において、５２は、基台２０の上部台板２２における搬入口５１（図示せず）に設けられた収納ケース搬入手段であり、収納ケースローダ６３から位置［I]に搬入されたリードフレーム収納ケース９をリードフレーム１取り出し時のセット位置[II]へ矢Ａ方向に移送するものであり、収納ケース搬出手段４５と同様に構成され、搬入用の回転ベルト５３、駆動ローラ４７、搬入用駆動モータ５４を含んで構成される。セット位置[II]に搬送されたリードフレーム収納ケース９は、ストッパ５５で位置決めされ、前述の被吸着体押し上げ手段２５及び吸着供給手段３４（いずれも図示せず）によりリードフレーム１の取り出し供給が行われる。そして、リードフレーム１の取り出しが終わると、空のリードフレーム収納ケース９は収納ケース移送手段５６によりセット位置[II]から位置[III] へ矢Ｂ方向へ移送される。５８はリードフレーム収納ケース９に移送力を与える搬送枠であり、ボールネジが形成された回転軸５７の回転により、スライド可能に貫通して設けられた案内軸６２（図示せず）にガイドされて移動する。回転軸５７は、上部台板２２に取り付けられた固定板５９，６０の内蔵軸受け（図示せず）に回転可能に支持され、固定板５９の反対側に取り付けられた移送用モータ６１の軸に結合されている。図１２に、搬送枠５８、回転軸５７、案内軸６２の取り付け配置と、駆動ローラ４７が矢Ｄ方向へ回転して回転ベルト５３によりリードフレーム収納ケース９が矢Ａ方向へ搬送される状況を示している。回転軸５７、搬送枠５８、固定板５９，６０、移送用モータ６１を含んで収納ケース移送手段５６が構成される。位置[III] へ移送されたリードフレーム収納ケース９は、前述の収納ケース搬出手段４５により矢Ｃ方向へ位置[IV]に移動され、収納ケースアンローダ６４により装置外へ搬出される。
【００１８】
次に、この発明の一実施の形態１であるリードフレーム供給装置の動作を図に基づいて説明する。図１３は、リードフレーム供給装置の制御系のブロック図である。前述のように、リードフレーム収納ケース９が収納ケースローダ６３から位置［I]（いずれも図示せず）に搬入されると、制御装置７０により駆動信号が発信されて搬入用駆動モータ５４が駆動され、収納ケース搬入手段５２により位置[II]（図示せず）に移送されセットされる。そして、制御装置７０により駆動信号が発信されて昇降用モータ３１が駆動され、押し上げロッド２７が支承板１６を押し上げて最上位置にあるリードフレーム１が吸着パッド３６の吸着位置に達すると、可視光発光ダイオードとフォトトランジスタ受光部からなるフォトセンサ６５がそれを検知し制御装置７０に検知信号を送信する。この検知信号を受けた制御装置７０により駆動信号が発信されて横行用モータ４３、シリンダ３８及び真空ユニット６９に接続されている電磁弁６８が駆動され、リードフレーム１が吸着される。この場合、前述のように、吸着パッド３６ｃ，３６ｆ内は共に十分な真空度が保たれているので、真空スイッチ６６，６７は共に作動せず、制御装置７０は被吸着体がリードフレーム１であると判断して所定の移送信号を発信し、横行用モータ４３、シリンダ３８が駆動されて吸着供給手段３４により次工程の供給用レール３２上に移動し吸着したリードフレーム１をレール３２に供給する。なお、真空ユニット６９、電磁弁６８を含んで真空供給手段７２が構成される。
【００１９】
同様にして挿間板１３，１４，１５が押し上げられて吸着パッド３６の吸着位置に達したときは、前述のように、挿間板１３，１４，１５及び支承板１６には連通口１９ａ（図示せず）が設けられているので、吸着パッド３６ｃ内で真空スイッチ６６の設定値以上の十分な真空度が得られず、真空度不足信号が制御装置７０に送信される。そうすると、制御装置７０は被吸着体が挿間板１３，１４，１５又は支承板１６であると判断して所定の移送信号を発信し、横行用モータ４３、シリンダ３８が駆動されて吸着供給手段３４は回収用ケース３３上に移動し吸着した挿間板１３，１４，１５又は支承板１６を回収用ケース３３に収納する。  支承板１６が吸着された後は、昇降用モータ３１が停止し押し上げロッド２７が上昇しないので、一定時間後にフォトセンサ６５から吸着パッド３６の吸着点に被吸着体が存在しない情報信号が制御装置７０に発信され、これを受けた制御装置７０の移送命令信号により収納ケース移送手段５６（図示せず）によって空のリードフレーム収納ケース９は位置[III] へ移送される。移送が終わると、制御装置７０から警報装置７１へ終了信号が発信され、所定の表示ないしアラームが出される。
なお、制御装置７０への入／出線の矢印は、信号の流れる方向を示す。
【００２０】
実施の形態２．
以下、この発明の実施の形態２であるリードフレーム収納ケースを図に基づいて説明する。図１４は、この発明の実施の形態２であるリードフレーム収納ケース内にリードフレームを収納した状態を示す断面図であり、図１５は、図１４におけるXV-XV 方向に見た断面平面図である。図において、開口部１７を有する底板１０ａ，各一対の短辺側側板１０ｂ及び長辺側側板１０ｃでもって上部が開放された直方体状の容器を形成し、短辺側側板１０ｂ及び長辺側側板１０ｃに形成されている切り欠き１２ａ〜１２ｃ及び１１ａ〜１１ｃ（図示せず）を利用して挿間板１３〜１５を載置し、底板１０ａ上には支承板１６を載置した構成は実施の形態１におけるものと同様である。特徴的な点は、所定位置に収納されるリードフレーム１の位置決め穴７の内の対角位置にある穴に対応した位置の底板１０ａに位置決め棒７３が立設され、挿間板１３，１４，１５及び支承板１６の対応する位置には位置決め棒７３よりも大きな径であって位置決めできる程度の挿通口７４が開口されて、位置決め棒７３にリードフレーム１の位置決め穴７、挿間板１３，１４，１５及び支承板１６の挿通口７４が挿通された状態で収納されていることである。なお、この場合も、積み重ねられた各最上位にあるリードフレーム１とその上段の挿間板１３，１４又は１５との間には僅かな隙間を有するように収納され、下段のリードフレーム１に搬送時の衝撃荷重が加わることなく変形を生じさせないようになっている。
リードフレームには、ダイパッドを沈めて形成したものと沈め無しのものとがあるが、特に、ダイパッド沈め無しリードフレームの場合は、本実施の形態２に示す位置決め棒７３付きリードフレーム収納ケース９に位置決めして収納することにより、搬送中の荷崩れによるリードフレーム１の位置ずれや変形を効果的に防止できる効果がある。
なお、本実施の形態２においては、相互に対角の位置に位置決め棒７３を立設したものとしたが、これに限らず、任意の少なくとも二本の位置決め棒７３を用いるものであっても良い。
【００２１】
実施の形態３．
以下、この発明の実施の形態３であるリードフレーム収納ケースを図に基づいて説明する。図１６は、この発明の実施の形態３であるリードフレーム収納ケースの容器の斜視図である。図において、開口部１７（図示せず）を有する底板１０ａ，各一対の短辺側側板１０ｂ及び長辺側側板１０ｃでもって上部が開放された直方体状の容器を形成する構成は、実施の形態１におけるものと同様である。特徴的な点は、実施の形態１におけるものと異なり、挿間板１３，１４，１５（図示せず）を載置する切り欠き７５ａ，７５ｂ，７５ｃを図示のように分散して形成したことである。図中、一点鎖線で示した部分に挿間板１３，１４，１５（図示せず）がそれぞれれ載置されリードフレーム収納ケース９が構成される。なお、本実施の形態３のリードフレーム収納ケースにおいても、本実施の形態１の場合におけると同様の効果を奏する。
【００２２】
実施の形態４．
以下、この発明の実施の形態４であるリードフレーム収納ケースの挿間板を図に基づいて説明する。図１７（ａ），（ｂ）は、この発明の実施の形態４であるリードフレーム収納ケースの挿間板の斜視図である。図において、図１７（ａ）は、リードフレームの沈めダイパッド部（図示せず）を個別に収容し位置決めするダイパッド個別収容口７７が設けられた樹脂製の挿間板７６を示し、図１７（ｂ）は、リードフレームの沈めダイパッド部（図示せず）を集約的に収容し位置決めするダイパッド総合収容口７９が設けられた樹脂製の挿間板７８を示し、いずれも樹脂成型時に同時に、或いは打ち抜きにより形成することが出来る。なお、これらは代表例であり、それぞれ挿間板のみならず、支承板についても同様に適用し形成できることは勿論である。また、ダイパッド個別収容口７７及びダイパッド総合収容口７９へのリードフレームの沈めダイパッド部の収容位置決め要領は実施の形態１の場合と同様であるが、いずれも貫通口であるため、ダイパッド部のサイズが同じであればダイパッド沈め量の如何に関わりなく適用できる利点がある。
【００２３】
実施の形態５．
以下、この発明の実施の形態５であるリードフレーム収納ケースの支承板につき図に基づいて説明する。図１８は、リードフレーム収納ケースの支承板に吸着パッドによる吸着動作時の大気連通口が設けられた状態を示す平面図であり、図３（ｄ）と異なる点は、吸着パッド３６ｆの吸着位置に大気に連通する連通口１９ｂを設けていることである。そして、図１３に示したように、吸着パッド３６ｆは真空スイッチ６７に接続されているので、リードフレームの取り出し工程において吸着パッド３６が支承板１６を吸着しようとすると、吸着パッド３６ｆの真空度が設定値に達しないこととなり、真空スイッチ６７が作動して真空度不足信号が制御装置７０に送られる。そうすると、制御装置７０は被吸着体が支承板１６であると判断して移送信号を発信し、電磁弁６８の閉信号を発信して吸着パッド３６による支承板１６の吸着を解き、昇降用モータ３１を駆動して押し上げロッド２７を昇降口２４の下に下降させる。次いで移送用モータ６１が駆動され、収納ケース移送手段５６により空のリードフレーム収納ケース９は処理ステージである位置[II]から位置[III] （図示せず）へ移送される。つまり、吸着パッド３６ｆの支承板１６への吸着位置に大気に連通する連通口１９ｂを設けて、吸着位置に支承板１６があること、即ち、そのリードフレーム収納ケース内のリードフレーム１の取り出しが終わったことを直接検出できるようにしたので、リードフレームの取り出し終了を確実に検出して空になったリードフレーム収納ケースを処理ステージから移送できる。
【００２４】
実施の形態６．
以下、この発明の実施の形態６であるリードフレーム収納ケースの挿間板及び支承板につき図に基づいて説明する。図１９は、リードフレーム収納ケースの挿間板及び支承板に吸着パッドの吸着動作時における大気連通用切り欠きが設けられた状態を示す要部斜視図である。図１９（ａ）は、吸着パッド３６ａの吸着位置に対応して挿間板１３の角部に大気連通用切り欠き８０を設けた代表図であり、吸着動作時に吸着パッド３６ａ内の真空度を設定値に達しないようにしたものである。また、図１９（ｂ）は、吸着パッド３６ｈの吸着位置に対応して支承板１６の角部に大気連通用切り欠き８０を設けた図であり、吸着動作時に吸着パッド３６ｈ内の真空度を設定値に達しないようにしたものである。つまり、いずれの場合も、吸着動作時に大気へ連通させる連通路はどの吸着パッド３６の吸着位置に設けても良く、また、大気への連通路が形成されるものであれば如何なる形状のものでも良いことを示しており、実施の形態１及び実施の形態５の場合におけると同様の効果を奏する。
【００２５】
【発明の効果】
この発明は以上のように構成されているので、以下に示すような効果を奏する。ケース本体の底板に開口部を設け、側板に上部が開放された切り欠きを設け、この切り欠きに挿間板を載置し底板に支承板を載置して、挿間板及び支承板に所定のリードフレームのみを積み重ねて収納するようにしたので、多数のリードフレームに搬送中の変形を生じさせず、多数のリードフレームを収納でき、かつ、リードフレームの取り出し供給装置にそのままセットして使用できる、安価でスループット向上ができるリードフレーム収納ケースが得られる。
また、挿間板及び支承板にリードフレームの沈めダイパッド部収容位置決めするダイパッド収容凹部又はダイパッド収容開口部を設けたので、搬送中にリードフレームがずれて変形を生じることがなく、取り出し供給時にも位置ずれを生じることのないリードフレーム収納ケースが得られる。
更に、底板に位置決め棒を立設し、リードフレームの位置決め穴、挿間板及び支承板の挿通口に挿通した状態でケース本体内に収納するようにしたので、沈めダイパッド部のないリードフレームが搬送中にずれて変形を生じることがなく、また、サイズの小さいリードフレームに対しても立設位置を変えて収納できる、フレキシビリティの高いリードフレーム収納ケースが得られる。
【００２６】
また、所定吸着パッドの吸着位置に、大気へ連通し所定吸着パッドの真空度を設定値に達しない値に低下させる連通路を挿間板に設けたので、リードフレームの取り出し工程において、リードフレームと挿間板の判別を材質に関わりなく直接でき、後工程の搬送路と回収用ケースへの確実な仕分け供給ができる。
更に、所定吸着パッドの吸着位置に、大気へ連通し所定吸着パッドの真空度を設定値に達しない値に低下させる連通路を支承板に設けたので、支承板の判別を材質に関わりなく直接でき、リードフレームの取り出しが終わった空のリードフレーム収納ケースを処理ステージから確実に移送できる。
なお、実施の形態１、２、３のリードフレーム収納ケースにおいて、容器本体、挿間板及び支承板共、樹脂で形成するものとしたが、アルミ材で形成してもよい。また、挿間板を３個載置した例を示したが、１個であってもよく、さらに４箇所の切り欠きで支持するものとしたが、対向する一対の切り欠きの２箇所で支持させるものであってもよい。
【００２７】
また、側板に上部が開放された切り欠きを有するケース本体内に、所定吸着パッドの吸着位置に大気へ連通する連通路を備えた挿間板、支承板を載置したリードフレーム収納ケース、処理ステージで支承板を押し上げる被吸着体押し上げ手段、被吸着体の種類を判別し後工程の搬送路と回収用ケースへ仕分け供給する吸着供給手段、吸着供吸着供給手段給手段への真空供給手段、これら各手段を制御する制御手段を備えるようにしたので、スループットが高く、安価なリードフレーム供給装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明の実施の形態１のリードフレーム収納ケース内にリードフレームを収納した状態を示す斜視図である。
【図２】  この発明の実施の形態１のリードフレーム収納ケースの底面図である。
【図３】  この発明の実施の形態１のリードフレーム収納ケース内部に載置される挿間板及び支承板の平面図である。
【図４】  図３のIV-IV 方向に見た断面図である。
【図５】  代表的なリードフレームの説明用平面図である。
【図６】  図５のVI-VI 方向に見たダイパッド沈め部の断面図である。
【図７】  この発明の実施の形態１のリードフレーム収納ケース内にリードフレームを収納した状態を示す断面図である。
【図８】  この発明の実施の形態１のリードフレーム収納ケース内の挿間板又は支承板のダイパッド収容凹部内にダイパッド沈め部が収容位置決めされた状態を示す拡大断面図である。
【図９】  この発明の実施の形態１のリードフレーム供給装置の正面断面図である。
【図１０】  この発明の実施の形態１のリードフレーム供給装置の吸着パッドの平面配置図である。
【図１１】  図９のXI-XI 方向に見た一部断面平面図である。
【図１２】  図１１のXII-XII 方向に見た断面図である。
【図１３】  この発明の実施の形態１のリードフレーム供給装置の制御系のブロック図である。
【図１４】  この発明の実施の形態２のリードフレーム収納ケース内にリードフレームを収納した状態を示す断面図である。
【図１５】  図１４のXV-XV 方向に見た断面平面図である。
【図１６】  この発明の実施の形態３のリードフレーム収納ケースの容器の斜視図である。
【図１７】  この発明の実施の形態４のリードフレーム収納ケースの挿間板の斜視図である。
【図１８】  この発明の実施の形態５のリードフレーム収納ケースの支承板の平面図である。
【図１９】  この発明の実施の形態６のリードフレーム収納ケースの挿間板及び支承板に大気連通用切り欠きが設けられた状態を示す要部斜視図である。
【図２０】  従来のリードフレームキャリアケースのリードフレームを収納した状態を示す一部断面斜視図である。
【符号の説明】
９；リードフレーム収納ケース  １０；側板  １１、１２；切り欠き
１３，１４，１５；挿間板  １６；支承板  １７；開口部
１８；ダイパッド収容凹部  １９；連通口  ２０；基台
２５；被吸着体押し上げ手段  ２６；駆動軸  ２７；押し上げロッド
２８；押し上げ板  ３１；昇降用モータ  ３４；吸着供給手段
３６；吸着パッド  ３８；シリンダ  ３９；ロッド  ４０；移動枠
４１；回転軸  ４３；横行用モータ  ５６；収納ケース移送手段
５７；回転軸  ５８；搬送枠  ６１；移送用モータ
６６，６７；真空スイッチ  ６８；電磁弁  ６９；真空ユニット
７０；制御装置  ７２；真空供給手段  ７３；位置決め棒
７４；挿通口  ７５；切り欠き  ７７；ダイパッド個別収容口
７９；ダイパッド総合収容口  ９６；ダイパッド沈め部
８０；大気連通用切り欠き
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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