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【手続補正書】
【提出日】平成25年2月25日(2013.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロール紙を転動可能に収容するロール紙収容部と、
回動して前記ロール紙収容部を開閉する開閉カバーと、
前記開閉カバーの回動に伴い変位する付勢部材と、を備え、
前記ロール紙収容部は、前記開閉カバーの回動に伴い前記開閉カバーの回動方向に回動し、
前記付勢部材は、前記開閉カバーが開方向へ回動することに伴い、前記ロール紙収容部が回動する方向の逆向きに前記ロール紙を付勢することを特徴とするロール紙プリンター。
【請求項２】
前記付勢部材は、ロール紙を前記ロール紙収容部に押し付ける方向に付勢する請求項１に記載のロール紙プリンター。
【請求項３】
前記ロール紙収容部に収容されたロール紙を繰り出す繰り出しローラーと、
前記繰り出しローラーの搬送方向下流側に設けられロール紙を狭持して搬送する搬送ローラーと、を備え、
前記付勢部材は、前記繰り出しローラーから前記搬送ローラーまでの搬送路に、前記搬送ローラーに対するロール紙の張力を一定に保つテンションローラーである請求項１または２に記載のロール紙プリンター。
【請求項４】
前記搬送ローラーと前記テンションローラーとが搬送ユニットに設けられ、
前記開閉カバーの開方向への回動の開始に伴って前記搬送ユニットは前記開方向に移動し、
前記テンションローラーは前記ロール紙収容部に収容されたロール紙に接触可能な位置に変位し、
前記ロール紙収容部は回動され、
前記ロール紙は前記テンションローラーによって付勢される請求項３に記載のロール紙プリンター。
【請求項５】
前記付勢部材は、前記開閉カバーが完全に開いた状態で前記ロール紙収容部の前記開閉カバー側の端部より上方に配置される請求項１から４の何れか一項に記載のロール紙プリンター。
【請求項６】
前記開閉カバーの回動により変位してロール紙の移動を規制する移動規制部材を備え、
前記移動規制部材は、前記開閉カバーを閉じた状態では前記ロール紙収容部の上方に配置されるとともに、前記開閉カバーを開いた状態では前記ロール紙収容部より前記開閉カバー側に配置される請求項１から５の何れか一項に記載のロール紙プリンター。
【請求項７】
ロール紙を転動可能に収容するロール紙収容部と、
回動して前記ロール紙収容部を開閉する開閉カバーと、を備えたロール紙プリンターのカバー開閉方法であって、
前記ロール紙収容部が前記開閉カバーの開く方向に回転する時に、前記ロール紙収容部に収容されたロール紙を、前記開閉カバーの開閉動作に伴い変位する付勢部材によって前記開閉カバーの開方向の逆向きに付勢することを特徴とするロール紙プリンターのカバー開閉方法。
【請求項８】
前記付勢部材はロール紙を前記ロール紙収容部に押し付ける動作を行う請求項７に記載のロール紙プリンターのカバー開閉方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決することのできる本発明に係るロール紙プリンターは、ロール紙を転動可能に収容するロール紙収容部と、
回動して前記ロール紙収容部を開閉する開閉カバーと、
前記開閉カバーの回動に伴い変位する付勢部材と、を備え、
前記ロール紙収容部は、前記開閉カバーの回動に伴い前記開閉カバーの回動方向に回動し、
前記付勢部材は、前記開閉カバーが開方向へ回動することに伴い、前記ロール紙収容部が回動する方向の逆向きに前記ロール紙を付勢することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明のロール紙プリンターにおいて、前記ロール紙収容部に収容されたロール紙を繰り出す繰り出しローラーと、
前記繰り出しローラーの搬送方向下流側に設けられシート状のロール紙を狭持して搬送する搬送ローラーと、を備え、
前記付勢部材は、前記繰り出しローラーから前記搬送ローラーまでの搬送路に、前記搬送ローラーに対するロール紙の張力を一定に保つように支持されたテンションローラーであることが好ましい。
この構成によれば、テンションローラーによってロール紙に張力を付与して搬送ローラーにかかる張力を一定に保って紙送り精度を安定させることができる。また、このテンションローラーを、ロール紙の飛び出しを防止する付勢部材としているので、別個の構造を付加することによるコストアップを招くことなく、ロール紙の飛び出し防止を実現することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のロール紙プリンターにおいて、前記搬送ローラーと前記テンションローラーが共通の搬送ユニットに設けられ、
前記開閉カバーの開方向への回動開始に伴って前記搬送ユニットは前記開方向に移動し、前記テンションローラーは前記ロール紙収容部に収容されたロール紙に接触可能な位置に変位し、前記ロール紙収容部は回動され、前記ロール紙は前記テンションローラーによって付勢されることが好ましい。
この構成によれば、開閉カバーを開くことにより、搬送ユニットを移動させ、テンションローラーによってロール紙を付勢し、ロール紙の飛び出しを防止することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のロール紙プリンターにおいて、前記付勢部材は、前記開閉カバーが完全に開いた状態で前記ロール紙収容部の前記開閉カバー側の端部より上方に配置されることが好ましい。
この構成によれば、ロール紙が飛び出そうとしても、ロール紙収容部における開閉カバー側の端部よりも上方に配置された付勢部材によってロール紙の飛び出しを確実に防止することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明のロール紙プリンターのカバー開閉方法は、ロール紙を転動可能に収容するロール紙収容部と、
回動して前記ロール紙収容部を開閉する開閉カバーと、を備えたロール紙プリンターのカバー開閉方法であって、
前記ロール紙収容部が前記開閉カバーの開く方向に回転する時に、前記ロール紙収容部に収容されたロール紙を、前記開閉カバーの開閉動作に伴い変位する付勢部材によって前記開閉カバーの開方向の逆向きに付勢することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明のロール紙プリンターのカバー開閉方法において、前記付勢部材はロール紙を前記ロール紙収容部に押し付ける動作を行うことが好ましい。
この方法によれば、ロール紙収容部の回動に伴って慣性によって回動する方向へ飛び出そうとするロール紙を、付勢部材によってロール紙収容部へ押し付け、確実に保持することができる。これにより、ロール紙の飛び出しをより効果的に防止することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成25年2月7日(2013.2.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
しかしながら、合成温度が７４０℃の場合、図２６の（２６Ａ）では、ＣＮＴ高さの変化量が７００℃と７２０℃の場合におけるＣＮＴ高さの変化に比べて小さく、硝酸濃度の増加に対して殆ど変化していないと考えることもできる。図２６の（２６Ｂ）には、配向カーボンナノチューブの合成に用いた各触媒体の触媒液濃度毎に、合成温度に対するかさ密度をプロットしている。合成温度の増加に伴ってＣＮＴ高さが減少し、その減少率は、硝酸鉄濃度が増加すると小さくなる傾向にあることが分かる。
【手続補正書】
【提出日】平成24年12月11日(2012.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス・タービン・システムに対する流体被冷却改質器（２２）であって、
圧力容器（２４）と、
前記圧力容器（２４）内に配置された反応器アセンブリ（２６）であって、発熱反応器（４６）と前記発熱反応器（４６）を囲む反応器ライナ（４８）とを備え、酸素／燃料混合物を受け取って改質し、加熱改質油ストリームを生成するように構成された反応器アセンブリ（２６）と、
流体ストリームを前記圧力容器（２４）内に送るように構成された入口（３０）であって、前記流体ストリームの少なくとも一部が前記反応器ライナの周りに送られて、外部との熱交換により前記反応器アセンブリ（２６）を冷却する、入口（３０）と、
前記発熱反応器（４６）の下流に配置された改質油冷却部（３２）であって、前記反応器アセンブリ（２６）によって生成される前記加熱改質油ストリームを前記流体ストリームの前記少なくとも一部を用いて冷却するように構成された改質油冷却部（３２）と、
を備え、
前記反応器アセンブリ（２６）を冷却する前記流体ストリームの少なくとも一部が、前記発熱反応器（４６）の下流の前記加熱改質油ストリームと混合される、
流体被冷却改質器（２２）。
【請求項２】
前記流体ストリームには、バルク燃料ストリーム、蒸気ストリーム、または希釈剤ストリームが含まれる、請求項１に記載の流体被冷却改質器（２２）。
【請求項３】
前記発熱反応器（４６）の上流に配置された混合部（２８）であって、酸素含有ガスを燃料と混合して前記酸素／燃料混合物を形成するように構成された混合部（２８）を備える、請求項１に記載の流体被冷却改質器（２２）。
【請求項４】
少なくとも部分的に前記反応器ライナ（４８）を囲む衝突スリーブ（５８）であって、前記流体ストリームの前記少なくとも一部を前記反応器ライナ（４８）の回りに分配するように構成された衝突スリーブ（５８）を備える、請求項１に記載の流体被冷却改質器（２２）。
【請求項５】
前記発熱反応器（４６）は触媒部分酸化反応器である、請求項１に記載の流体被冷却改質器（２２）。
【請求項６】
前記反応器アセンブリ（２６）は、前記圧力容器（２４）の前方端部（３４）から離間に配置されて、前記反応器アセンブリ（２４）と前記前方端部（３４）との間に空洞（６６）を画定し、前記流体ストリームの前記少なくとも一部の一部分は分流されて前記空洞（６６）内に入る、請求項１に記載の流体被冷却改質器（２２）。
【請求項７】
前記改質油冷却部（３２）は、前記加熱改質油ストリームを前記流体ストリームの前記少なくとも一部と混合するように構成された少なくとも１つの混合要素（９４）を備える、請求項１に記載の流体被冷却改質器（２２）。
【手続補正書】
【提出日】平成25年3月8日(2013.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データ通信可能に接続される端末から出力された画像形成ジョブの一覧を画面に表示するために、一覧に表示する対象の画像形成ジョブを識別する情報と、前記対象の画像形成ジョブに含まれる画像形成処理の設定を指定する設定情報と、を少なくとも含むジョブ情報を取得する情報取得部と、
前記情報取得部が取得したジョブ情報に基づいて、画像形成ジョブの一覧を前記画面に表示する表示制御部であって、前記一覧の表示において、前記設定情報によって指定される画像形成処理の設定を、設定項目ごとに設定の内容を示唆する図形で表示する表示制御部と、
前記一覧に表示された画像形成ジョブの中から、操作入力により選択された画像形成ジョブの実行を制御する画像形成処理制御部と、
を備える画像形成装置。
【請求項２】
請求項１に記載の画像形成装置において、
前記端末から出力された画像形成ジョブを取得するジョブ取得部と、
前記ジョブ取得部が取得した画像形成ジョブを記憶領域に記憶させる記憶制御部と、
をさらにそなえる画像形成装置。
【請求項３】
請求項２に記載の画像形成装置において、
前記ジョブ取得部が取得した画像形成ジョブに含まれる設定情報のうち、前記一覧の表示において前記図形で表示する設定項目の設定情報を抽出する設定情報抽出部をさらに備え、
前記記憶制御部は、前記設定情報抽出部が抽出した設定情報を、前記設定情報が抽出された前記画像形成ジョブと関連付けて記憶させる画像形成装置。
【請求項４】
請求項３に記載の画像形成装置において、
前記情報取得部は、前記一覧に表示する対象の画像形成ジョブを識別する情報と、前記画像形成ジョブと関連付けられて記憶された、前記設定情報抽出部が抽出した設定情報と、を前記ジョブ情報として取得する画像形成装置。
【請求項５】
請求項１に記載の画像形成装置において、
前記表示制御部は、前記一覧の表示において図形で表示する画像形成処理の設定に、画像形成処理を実行できない設定が存在する場合には、その画像形成処理を実行できない設定に対応する図形の表示を変化させる画像形成装置。
【請求項６】
請求項５に記載の画像形成装置において、
前記表示制御部は、画像形成装置の機能が画像形成ジョブの画像形成処理の設定に対応していないために画像形成処理を実行できない場合と、画像形成装置の消耗品の不足により一時的に画像形成処理を実行できない場合とで、画像形成処理を実行できない設定に対応する図形の表示が互いに異なる表示となるように図形を変化させて表示する画像形成装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１つに記載の画像形成装置と、
データ通信可能に接続される端末から出力された画像形成ジョブを取得するジョブ取得部と、
前記ジョブ取得部が取得した画像形成ジョブを記憶領域に記憶させる記憶制御部と、
前記一覧に表示する対象の画像形成ジョブの前記ジョブ情報を要求するジョブ情報要求指示を、画像形成装置から取得する指示取得部と、
前記ジョブ情報要求指示に基づき、一覧に表示する対象の画像形成ジョブの前記ジョブ情報を、前記ジョブ情報要求指示が出された前記画像形成装置に送信する情報送信部と、
を備えるサーバと、
を備える画像形成処理システム。
【請求項８】
データ通信可能に接続される端末から出力された画像形成ジョブの一覧を画面に表示するために、一覧に表示する対象の画像形成ジョブを識別する情報と、前記対象の画像形成ジョブに含まれる画像形成処理の設定を指定する設定情報と、を少なくとも含むジョブ情報を取得し、
前記取得したジョブ情報に基づいて、画像形成ジョブの一覧を前記画面に表示するとともに、前記一覧の表示において、前記設定情報によって指定される画像形成処理の設定を、設定項目ごとに設定の内容を示唆する図形で表示し、
前記一覧表示された画像形成ジョブの中から、操作入力により選択された画像形成ジョブの実行を制御する処理をコンピュータに実行させるコンピュータ読取可能な記録媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月5日(2013.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口に連通する圧力発生室と、
圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、
前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記鉄酸マンガン酸ビスマスと前記チタン酸ビスマスカリウムのモル比である鉄酸マンガン酸ビスマス／チタン酸ビスマスカリウムが、０．４２以上１．５以下であることを特徴とする請求項１に記載する液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記圧電体層は、厚さが２μｍ以下の薄膜であることを特徴とする請求項１または２に記載する液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記圧電体層は、比誘電率が３００以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項６】
圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子であって、
前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であることを特徴とする圧電素子。
【請求項７】
請求項６に記載する圧電素子を具備することを特徴とする焦電センサー。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び焦電センサー
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ノズル開口に連通する圧力発生室に圧力変化を生じさせ、圧電体層と圧電体層に電圧を印加する電極を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び焦電センサーに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び焦電センサーを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができる液体噴射ヘッドを有するため、絶縁破壊が防止され信頼性に優れた液体噴射装置となる。それに加え、誘電率および圧電性が高い圧電材料を具備する液体噴射ヘッドを有するため、液体吐出能力に優れた液体噴射装置となる。
また、本発明の他の態様は、圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子であって、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であることを特徴とする圧電素子にある。かかる態様では、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない圧電素子となる。
また、本発明の他の態様は、上記態様の圧電素子を具備することを特徴とする焦電センサーにある。かかる態様では、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができる圧電素子を有するため、優れた焦電特性を発現できる信頼性の高い焦電センサーとなる。
【手続補正書】
【提出日】平成25年3月25日(2013.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
次に、本発明を実施例により、さらに詳細に説明するが、本発明は、この例によってなんら限定されるものではない。
実施例１
（１）転写フィルムの製造
以下の手順で、焼成用転写フィルムを作製した。
まず、剥離フィルムとして、シリコーン系離形層を設けたＰＥＴフィルム「Ａ７０」（帝人デュポンフィルム（株）製、フィルムサイズ３．５ｃｍ×３０ｃｍ、厚み５０μｍ）を用意した。次に、機能性パターンの塗布液として、導電性ペーストを３本ロールミルを用いて作成した。また、粘着層の塗布液としてアクリル系粘着剤「ＳＫ１４５１」（綜研化学工業（株）製）の溶媒をソルベッソ１５０で置換した粘着層ペーストを作製した。
次に、前記剥離フィルムの離形層上に、スクリーン印刷機を用いて前記導電性ペーストをサイズ２ｃｍ×５ｃｍ、膜厚１５μｍとなるように印刷し、機能性パターンを形成した。
次いで、剥離フィルムの剥離層側の全面に、該機能性パターンを覆うようにして、前記粘着層ペーストを厚さ１０μｍとなるようにメイヤーバーを用いて塗布し、接着層を形成した。そして、粘着層に含有される溶剤を十分に揮発させた。
粘着層と機能性パターンからなる転写膜が形成された剥離フィルムから、機能性パターンを含む部分をフィルムサイズ６ｃｍ×３５ｃｍに切り出し、実施例１の転写フィルムとした。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月6日(2013.8.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、複数の画像処理装置のうち１以上の画像処理装置に搭載されるソフトウェアのライセンスを管理するライセンス管理サーバと、前記複数の画像処理装置に接続可能な機器管理装置と、を含み、前記複数の画像処理装置のうち１以上の第１の画像処理装置が有するソフトウェアのライセンスを、前記複数の画像処理装置のうち１以上の第２の画像処理装置に移行させるライセンス移行システムにおいて、前記ライセンスの移行元となる前記１以上の第１の画像処理装置から、前記ライセンスを移行させる前記ソフトウェアの第１のライセンスファイルを取得するライセンスファイル制御手段と、前記複数の画像処理装置それぞれの保守契約期間を管理する保守契約情報管理サーバから、前記ライセンスの移行先となる前記１以上の第２の画像処理装置の保守契約期間に関する情報を取得する保守契約情報取得手段と、前記ライセンスファイル制御手段により取得された前記第１のライセンスファイルと、前記保守契約情報取得手段により取得された前記保守契約期間に関する情報とに基づいて、前記１以上の第２の画像処理装置へ移行させる前記ソフトウェアの前記ライセンスの有効期間を決定するライセンス決定手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画像処理装置のうち１以上の画像処理装置に搭載されるソフトウェアのライセンスを管理するライセンス管理サーバと、前記複数の画像処理装置に接続可能な機器管理装置と、を含み、前記複数の画像処理装置のうち１以上の第１の画像処理装置が有するソフトウェアのライセンスを、前記複数の画像処理装置のうち１以上の第２の画像処理装置に移行させるライセンス移行システムにおいて、
前記ライセンスの移行元となる前記１以上の第１の画像処理装置から、前記ライセンスを移行させる前記ソフトウェアの第１のライセンスファイルを取得するライセンスファイル制御手段と、
前記複数の画像処理装置それぞれの保守契約期間を管理する保守契約情報管理サーバから、前記ライセンスの移行先となる前記１以上の第２の画像処理装置の保守契約期間に関する情報を取得する保守契約情報取得手段と、
前記ライセンスファイル制御手段により取得された前記第１のライセンスファイルと、前記保守契約情報取得手段により取得された前記保守契約期間に関する情報とに基づいて、前記１以上の第２の画像処理装置へ移行させる前記ソフトウェアの前記ライセンスの有効期間を決定するライセンス決定手段と、
を有することを特徴とするライセンス移行システム。
【請求項２】
前記ライセンスファイル制御手段は、前記ライセンス決定手段により決定された前記有効期間に基づいて作成された第２のライセンスファイルを、前記１以上の第２の画像処理装置に送信することを特徴とする請求項１に記載のライセンス移行システム。
【請求項３】
移行元となる前記１以上の第１の画像処理装置の台数が、移行先となる前記１以上の第２の画像処理装置の台数よりも多い場合、前記ライセンスファイル制御手段により取得された前記第１のライセンスファイルのうち、移行に用いられなかった前記第１のライセンスファイルが返却されることにより、返却される該第１のライセンスファイルに示される残有効期間に基づく残有効期間分のライセンスを金額に換算することを特徴とする請求項１または２に記載のライセンス移行システム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月17日(2013.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発注システムから送信された商品の識別子に応じて受注システムを複数から選択し当該選択した受注システムに前記商品の注文情報を送信すると共に、前記発注システムから送信された画像又は前記発注システムにおいて選択された画像を前記商品に付加するために前記選択した受注システムに送信する仲介システムを備えた画像付加商品の取引システムにおいて、
前記仲介システムは、団体ごとに固有のアクセスコードを当該団体をなす各自の個人情報に関連付けて記憶手段に予め登録し、
前記発注システムは、前記商品の注文の際に前記アクセスコードが入力された場合は、当該入力されたアクセスコードを前記仲介システムに送信し、
前記仲介システムは、前記発注システムから送信されたアクセスコードと一致するアクセスコードに関連付けられた前記団体をなす各自の個人情報を前記記憶手段から読み出し、当該各自の個人情報を含む注文情報を前記選択した受注システムに送信する、
画像付加商品の取引システム。
【請求項２】
発注システムから送信された商品の識別子に応じて受注システムを複数から選択し当該選択した受注システムに前記商品の注文情報を送信すると共に、前記発注システムから送信された画像又は前記発注システムにおいて選択された画像を前記商品に付加するために前記選択した受注システムに送信する仲介システムを備えた画像付加商品の取引システムにおいて、
前記仲介システムは、団体ごとに固有のアクセスコードを当該団体をなす各自の個人情報に関連付けて記憶手段に予め登録し、
前記発注システムは、前記商品の注文の際に前記アクセスコードが入力された場合は、当該入力されたアクセスコードを前記仲介システムに送信し、
前記仲介システムは、前記発注システムから送信されたアクセスコードと一致するアクセスコードに関連付けられた前記団体をなす各自の個人情報を前記記憶手段から読み出し、当該各自の個人情報を含む注文情報を前記選択した受注システムに送信する、
画像付加商品の取引方法。
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月17日(2013.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】表示装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画素部および外部入力端子を有する表示装置であって、
前記画素部は、ゲート電極と、半導体膜と、前記ゲート電極上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に前記半導体膜と電気的に接続された電極と、を有するＴＦＴと前記電極に電気的に接続された画素電極を有し、
前記外部入力端子は、
前記ゲート電極と同じ層に形成された第１の配線と、
前記電極と同じ層に形成され、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介し前記第１の配線と接続された第２の配線と、
前記第２の配線に接続され、前記第２の配線上に形成された透明導電膜と、
前記第２の配線と前記透明導電膜が接続している位置で前記透明導電膜と電気的に接続するフレキシブルプリント配線板を有することを特徴とする表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月17日(2013.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】表示装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁表面上に複数の第１配線と、
前記複数の第１配線と交差する複数の第２配線と、
前記複数の第１配線と重なり、前記複数の第２配線の一つとのみ重なる第３配線と、を有する画素部を有する表示装置であって、
前記画素部における一つの画素は、
前記複数の第１配線の一つの上に第１絶縁膜と、
前記第１絶縁膜上に半導体膜と、
前記半導体膜上に第２絶縁膜と、
前記第２絶縁膜上に、前記複数の第１配線の一つと電気的に接続するゲート電極と、
前記ゲート電極上に第３絶縁膜と、
前記複数の第１配線の一つおよび、前記複数の第２配線の一つと重なる保持容量領域と、を有し、
前記複数の第１配線の一つは、前記半導体膜のソース領域、チャネル形成領域、ドレイン領域と重なることを特徴とする表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月10日(2013.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子が備えられた複数の画素と、信号線駆動回路とを有する発光装置であって、
前記信号線駆動回路は、入力されたビデオ信号の電圧に応じた大きさの電流を生成する手段と、前記生成された電流の前記画素への供給もしくは一定の電圧の前記画素への供給を選択する手段とを有し、
前記画素は、前記供給された電流を電圧に変換し、なおかつ前記変換された電圧に応じた大きさの第１の電流を前記発光素子に供給する第１の手段と、前記変換された電圧に応じた大きさの第２の電流を前記発光素子に供給する第２の手段とを有し、
前記一定の電圧が前記画素に供給されたときに、前記第２の手段によって逆方向バイアスの電圧が前記発光素子に印加されることを特徴とする発光装置。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月28日(2013.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の離間した反応成分容器と、
前記複数の容器へ励起ビームを差し向けるようにした光源と、
前記光源と前記複数の容器との間に、励起ビーム光路に沿って配置された視野レンズと、
発光ビーム光路に沿って配置され、前記視野レンズから発せられた発光ビームを受けるように配置された検出器と、を備える機器であって、
前記視野レンズも、前記複数の容器と前記検出器との間に、発光ビーム光路に沿って配置されている、機器。
【請求項２】
前記視野レンズがテレセントリック光学系を提供する、請求項１に記載の機器。
【請求項３】
複数の離間した反応成分容器を保持するための手段と、
前記複数の容器へ励起ビームを差し向けるようにした光源と、
前記光源と前記複数の容器を保持する保持手段との間に、励起ビーム光路に沿って配置された視野レンズと、
発光ビーム光路に沿って配置され、前記視野レンズから発せられた発光ビームを受けるように配置された検出器と、を備える機器であって、
前記視野レンズも、前記保持手段と前記検出器との間に、発光ビーム光路に沿って配置されている、機器。
【請求項４】
前記視野レンズおよび複数のバイアルレンズを含むフォーカス手段をさらに備え、該視野レンズおよび該複数のバイアルレンズの各々は、それぞれの反応成分容器の上に位置づけするために配置される、請求項１〜３のいずれか１項に記載の機器。
【請求項５】
前記機器は、前記反応成分容器の少なくともいくつか、および前記光源からの励起光線の関連する部分からの個々の放出光線を通過するように、前記反応成分容器とともに用いるために並べられる孔を中に有するプラテンをさらに備える、請求項１〜４のいずれか１項に記載の機器。
【請求項６】
前記複数の反応成分容器を保持するための熱サイクルブロックをさらに備える、請求項１〜５のいずれか１項に記載の機器。
【手続補正書】
【提出日】平成25年10月17日(2013.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度センサと、２つのワークウェハと、スペーサウェハとを備える温度検出装置の製造方法であって、
前記スペーサウェハを前記２つのワークウェハで挟み込んで接合する接合工程と、
前記接合工程の前および後の少なくとも一方で実行され、前記２枚のワークウェハのうち少なくとも一方の前記ワークウェハと前記スペーサウェハとの間に形成された空間に前記温度センサを収容する収容工程と
を含む温度検出装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】温度検出装置の製造方法
【手続補正書】
【提出日】平成25年9月18日(2013.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
顔画像の取得手段、画像処理を行う演算手段、及びディスプレイを備え、
演算手段が、顔画像に化粧を施すメイクアップシミュレーションの画像処理、髪形を変更するヘアスタイルシミュレーションの画像処理又は髪色を変更するヘアカラーシミュレーションの画像処理を行い、ディスプレイにシミュレーション画像を形成する美容シミュレーションシステムであって、
演算手段が、ディスプレイ上で選択された複数の顔画像に対し、並行してメイクアップシミュレーション、ヘアスタイルシミュレーション又はヘアカラーシミュレーションの画像処理を行う機能を有し、
演算手段が、前記髪形を変更するヘアスタイルシミュレーションの画像処理において、重ね合わせる髪形画像と顔画像との大きさや輪郭の縦横比が異なる場合に、それらを自然な見え方に自動で合成する髪形の自動フィッティングシステムを有し、
演算手段が、ディスプレイに表示させたメイクアップシミュレーション、ヘアスタイルシミュレーション及びヘアカラーシミュレーションの各操作画面に、メイクアップシミュレーション、ヘアスタイルシミュレーション及びヘアカラーシミュレーションの少なくとも２つ以上の操作パレットを同時に表示させ、表示させた操作パレットによるシミュレーション操作を、ユーザーが、任意の順序で続けて行えるようにする美容シミュレーションシステム。
【請求項２】
ディスプレイに、シミュレーション画像と共に、該シミュレーション画像の形成に関わったメイクアップシミュレーション、ヘアスタイルシミュレーション又はヘアカラーシミュレーションについて、独立的に個々のシミュレーション効果を非表示とするシミュレーションＯＦＦボタン、又は一旦シミュレーション効果を非表示とした画像に対してそのシミュレーション効果を再表示するシミュレーションＯＮボタンが表示される請求項１記載の美容シミュレーションシステム。
【請求項３】
肌領域、眉領域、目領域、唇領域及び髪領域の輪郭ラインの自動検出手段を有する請求項１又は２記載の美容シミュレーションシステム。
【請求項４】
演算手段が、シミュレーション履歴の異なる複数のシミュレーション画像及び／又はシミュレーション対象とする顔画像が異なる複数のシミュレーション画像を同時にディスプレイに表示させることができる請求項１〜３のいずれかに記載の美容シミュレーションシステム。
【請求項５】
演算手段が、メイクアップシミュレーション、ヘアスタイルシミュレーション又はヘアカラーシミュレーションにおける個々のシミュレーション項目について変化の程度を変えたシミュレーション画像の複数を同時にディスプレイに表示させることができる請求項１〜４のいずれかに記載の美容シミュレーションシステム。
【請求項６】
演算手段が、化粧品の製品情報を蓄積したデータベースを備え、当該ユーザーについてシミュレーション画像に対応した化粧品又は化粧方法を選択し、ディスプレイに提示する請求項１〜５のいずれかに記載の美容シミュレーションシステム。
【請求項７】
ユーザーによりディスプレイ上でユーザー及び別人の顔画像が選択可能であり、演算手段が、ディスプレイ上で選択されたユーザー及び別人の顔画像に対して並行してメイクアップシミュレーション、ヘアスタイルシミュレーション又はヘアカラーシミュレーションの画像処理を行い、それぞれのシミュレーション画像を同時又は切り替えてディスプレイに表示する請求項１〜６のいずれかに記載の美容シミュレーションシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年8月14日(2013.8.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の成分（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を含有する着色組成物。
（Ａ）発色部に重合性不飽和基を有するキサンテン系着色剤；
（Ｂ）バインダー樹脂；及び
（Ｃ）架橋剤。
【請求項２】
前記キサンテン系着色剤が、下記式（１）で表される構造を有する、請求項１に記載の着色組成物。
【化１】
2013178478.tif 000001
〔式（１）において、
Ｒaは、重合性不飽和基を有する基を示す。；
Ｒ1〜Ｒ4は、相互に独立に、水素原子、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３〜８のシクロアルキル基又はフェニル基（当該アルキル基、シクロアルキル基、フェニル基は、置換基を有していても良い。）を示す。；
Ｒ5及びＲ6は、相互に独立に、水素原子、炭素数１〜８のアルキル基又は塩素原子を示す。；
ｒは１〜５の整数を示し、ｒが２以上の整数である場合、複数のＲaは、同一でも異なっていてもよい。〕
【請求項３】
前記キサンテン系着色剤が、下記式（２）で表される構造を有する、請求項１又は２に記載の着色組成物。
【化２】
2013178478.tif 000002
〔式（２）において、
Ｒbは、重合性不飽和基を有する基を示す。；
Ｒ1〜Ｒ6は、前記式（１）におけるＲ1〜Ｒ6と同義である。〕
【請求項４】
前記重合性不飽和基が、（メタ）アクリロイル基である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の着色組成物。
【請求項５】
前記Ｒb基が、下記式（２ａ）又は（２ｂ）で表される基である、請求項３又は４に記載の着色組成物。
【化３】
2013178478.tif 000003
〔式（２ａ）及び（２ｂ）において、
Ｒ10及びＲ11は、相互に独立に、水素原子又はメチル基を示す。
Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3及びＹ4は、相互に独立に、置換又は非置換の炭素数１〜１２のアルカンジイル基を示す。
Ｚは、−ＣＯ−基又は−ＣＯＯ−（＊）基を示す（但し、＊はＹ2との結合手を表す）。
Ｑは、２価の脂環式炭化水素基を示す。
ｐ1は、０〜１２の整数を示す。
ｐ2及びｐ3は、相互に独立に、０〜６の整数を示す。〕
【請求項６】
前記キサンテン系着色剤が、下記式（３）で表される化合物と、水酸基及び（メタ）アクリロイル基を有する化合物とのエステル化反応により得られるものである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の着色組成物。
【化４】
2013178478.tif 000004
〔式（３）において、
Ｒ1〜Ｒ6は、前記式（１）におけるＲ1〜Ｒ6と同義である。
Ｘ-は、アニオンを示す。〕
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の着色組成物を用いて形成された着色層を備えてなるカラーフィルタ。
【請求項８】
請求項７に記載のカラーフィルタを具備する表示素子。
【請求項９】
下記式（１）で表される構造を有する着色剤。
【化５】
2013178478.tif 000005
〔式（１）において、
Ｒaは、重合性不飽和基を有する基を示す。；
Ｒ1〜Ｒ4は、相互に独立に、水素原子、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数３〜８のシクロアルキル基又はフェニル基（当該アルキル基、シクロアルキル基、フェニル基は、置換基を有していても良い。）を示す。；
Ｒ5及びＲ6は、相互に独立に、水素原子、炭素数１〜８のアルキル基又は塩素原子を示す。；
ｒは１〜５の整数を示し、ｒが２以上の整数である場合、複数のＲaは、同一でも異なっていてもよい。〕
【請求項１０】
前記当該式（１）で表される構造が、下記式（２）で表される構造である、請求項９に記載の着色剤。
【化６】
2013178478.tif 000006

〔式（２）において、
Ｒbは、重合性不飽和基を有する基を示す。；
Ｒ1〜Ｒ6は、前記式（１）におけるＲ1〜Ｒ6と同義である。〕
【請求項１１】
前記重合性不飽和基が、（メタ）アクリロイル基である、請求項９又は１０に記載の着色剤。
【請求項１２】
前記Ｒb基が、下記式（２ａ）又は（２ｂ）で表される基である、請求項１０又は１１に記載の着色組成物。
【化７】
2013178478.tif 000007

〔式（２ａ）及び（２ｂ）において、
Ｒ10及びＲ11は、相互に独立に、水素原子又はメチル基を示す。
Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3及びＹ4は、相互に独立に、置換又は非置換の炭素数１〜１２のアルカンジイル基を示す。
Ｚは、−ＣＯ−基又は−ＣＯＯ−（＊）基を示す（但し、＊はＹ2との結合手を表す）。
Ｑは、２価の脂環式炭化水素基を示す。
ｐ1は、０〜１２の整数を示す。
ｐ2及びｐ3は、相互に独立に、０〜６の整数を示す。〕
【請求項１３】
前記式（２）で表される構造を有する着色剤が、下記式（３）で表される化合物と、水酸基及び（メタ）アクリロイル基を有する化合物とのエステル化反応により得られるものである、請求項１０〜１２のいずれか１項に記載の着色剤。
【化８】
2013178478.tif 000008
〔式（３）において、
Ｒ1〜Ｒ6は、前記式（１）におけるＲ1〜Ｒ6と同義である。
Ｘ-は、アニオンを示す。〕
【手続補正書】
【提出日】平成25年1月18日(2013.1.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の端面に底壁が設けられ他方の端面が開放された円筒状のチャンバと、前記チャンバに収納され複数枚のウェーハを同一円周上に間隔をあけて保持することにより前記ウェーハを公転可能にするウェーハ保持手段と、前記チャンバの開口部をシール部材により気密を保って閉止する円板状のキャップとを備えたイオン注入装置を用いて前記ウェーハに酸素イオン注入を行うＳＩＭＯＸウェーハの製造方法において、
前記ウェーハ保持手段の内部又は裏面に通路を形成し、この通路に加熱流体を流して前記ウェーハ保持手段と接触する前記ウェーハの外周部を加熱しながら酸素イオン注入することを特徴とするＳＩＭＯＸウェーハの製造方法。
【請求項２】
加熱流体を貯蔵するタンクと、このタンク内の加熱流体を加熱するヒータと、前記タンク内の加熱流体の温度を検出する温度センサと、前記温度センサの検出出力に基づいて前記ヒータを制御するコントローラと、加熱流体をタンクからウェーハ保持手段に循環させるポンプとを備えた加熱流体供給装置を用いて、前記ウェーハ保持手段の通路に加熱流体を流してウェーハの外周部を加熱する請求項１記載のＳＩＭＯＸウェーハの製造方法。
【請求項３】
加熱流体が水又はオイルである請求項１記載のＳＩＭＯＸウェーハの製造方法。
【請求項４】
加熱流体の温度が２０℃以上８０℃以下である請求項１記載のＳＩＭＯＸウェーハの製造方法。
【請求項５】
ウェーハへの全ての酸素イオン注入工程或いは一部の酸素イオン注入工程で、ウェーハ保持手段の通路に加熱流体を流す請求項１記載のＳＩＭＯＸウェーハの製造方法。
【請求項６】
ウェーハ保持手段が、ウェーハ保持基板と、その裏面に取り付けられ内部にＵ字形状の加熱流体の通路を有するアームと、前記ウェーハ保持基板の外周表面に取り付けられウェーハ外周部を載せるための１つの先端ステージと、２つの側端ステージと、前記ウェーハを固定するために前記先端ステージ上に設置される先端保持ピンと、前記側端ステージ上に設置される側端保持ピンとを備え、
前記通路が、前記アームの基端から先端に向いかつ前記アームの一側縁に沿って延びる往路と、前記アームの先端から基端に向いかつ前記アームの他側縁に沿って延びる復路と、前記往路の先端と前記復路の基端とを接続するＵ字形状の接続路とを有し、
前記往路が前記ウェーハ保持板に取付けられた２つの側端ステージのうちの一方の側端ステージに接近して設けられ、前記復路が２つの側端ステージのうちの他方の側端ステージに接近して設けられ、前記接続路がウェーハ保持板に取付けられた先端ステージに接近して設けられる請求項２記載のＳＩＭＯＸウェーハの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の第１の観点は、一方の端面に底壁が設けられ他方の端面が開放された円筒状のチャンバと、上記チャンバに収納され複数枚のウェーハを同一円周上に間隔をあけて保持することにより上記ウェーハを公転可能にするウェーハ保持手段と、上記チャンバの開口部をシール部材により気密を保って閉止する円板状のキャップとを備えたイオン注入装置を用いて上記ウェーハに酸素イオン注入を行うＳＩＭＯＸウェーハの製造方法において、上記ウェーハ保持手段の内部又は裏面に通路を形成し、この通路に加熱流体を流して上記ウェーハ保持手段と接触する上記ウェーハの外周部を加熱しながら酸素イオン注入することを特徴とする。
本発明の第２の観点は、第１の観点に基づく発明であって、更に加熱流体を貯蔵するタンクと、このタンク内の加熱流体を加熱するヒータと、上記タンク内の加熱流体の温度を検出する温度センサと、上記温度センサの検出出力に基づいて上記ヒータを制御するコントローラと、加熱流体をタンクからウェーハ保持手段に循環させるポンプとを備えた加熱流体供給装置を用いて、上記ウェーハ保持手段の通路に加熱流体を流してウェーハの外周部を加熱することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の第３の観点は、第１の観点に基づく発明であって、更に加熱流体が水又はオイルであることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の第４の観点は、第１の観点に基づく発明であって、更に加熱流体の温度が２０℃以上８０℃以下であることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第６の観点は、第２の観点に基づく発明であって、更にウェーハ保持手段が、ウェーハ保持基板と、その裏面に取り付けられ内部にＵ字形状の加熱流体の通路を有するアームと、ウェーハ保持基板の外周表面に取り付けられウェーハ外周部を載せるための１つの先端ステージと、２つの側端ステージと、ウェーハを固定するために先端ステージ上に設置される先端保持ピンと、側端ステージ上に設置される側端保持ピンとを備え、通路が、アームの基端から先端に向いかつアームの一側縁に沿って延びる往路と、アームの先端から基端に向いかつアームの他側縁に沿って延びる復路と、往路の先端と復路の基端とを接続するＵ字形状の接続路とを有し、往路がウェーハ保持板に取付けられた２つの側端ステージのうちの一方の側端ステージに接近して設けられ、復路が２つの側端ステージのうちの他方の側端ステージに接近して設けられ、接続路がウェーハ保持板に取付けられた先端ステージに接近して設けられることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成25年1月15日(2013.1.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の導電膜、絶縁膜、半導体膜、不純物半導体膜及び第２の導電膜を順に積層して形成し、
前記第２の導電膜上に第１のレジストマスクを形成し、
前記第１のレジストマスクを用いて、前記絶縁膜、前記半導体膜、前記不純物半導体膜及び前記第２の導電膜に第１のエッチングを行って前記第１の導電膜の少なくとも表面を露出させ、
酸化処理を行うことで、少なくともエッチングされた前記半導体膜の側壁を酸化させ、
前記第１の導電膜の一部にサイドエッチングを伴う第２のエッチングをドライエッチングにより行ってゲート電極層を形成し、
前記第２の導電膜上に第２のレジストマスクを形成し、
前記第２のレジストマスクを用いて前記第２の導電膜、前記不純物半導体膜及び前記半導体膜の一部に第３のエッチングを行ってソース電極及びドレイン電極層、ソース領域及びドレイン領域並びに半導体層を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項２】
第１の導電膜、絶縁膜、半導体膜、不純物半導体膜及び第２の導電膜を順に積層して形成し、
前記第２の導電膜上に第１のレジストマスクを形成し、
前記第１のレジストマスクを用いて、前記絶縁膜、前記半導体膜、前記不純物半導体膜及び前記第２の導電膜に第１のエッチングを行って前記第１の導電膜の少なくとも表面を露出させ、
酸化処理を行うことで、少なくともエッチングされた前記半導体膜の側壁を酸化させ、
前記第２の導電膜上に第２のレジストマスクを形成し、
前記第１の導電膜の一部にサイドエッチングを伴う第２のエッチングをドライエッチングにより行ってゲート電極層を形成し、
前記第２のレジストマスクを用いて前記第２の導電膜、前記不純物半導体膜及び前記半導体膜の一部に第３のエッチングを行ってソース電極及びドレイン電極層、ソース領域及びドレイン領域並びに半導体層を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項３】
第１の導電膜、絶縁膜、半導体膜、不純物半導体膜及び第２の導電膜を順に積層して形成し、
前記第２の導電膜上に凹部を有する第１のレジストマスクを形成し、
前記第１のレジストマスクを用いて、前記絶縁膜、前記半導体膜、前記不純物半導体膜及び前記第２の導電膜に第１のエッチングを行って前記第１の導電膜の少なくとも表面を露出させ、
酸化処理を行うことで、少なくともエッチングされた前記半導体膜の側壁を酸化させ、
前記第１の導電膜の一部にサイドエッチングを伴う第２のエッチングをドライエッチングにより行ってゲート電極層を形成し、
前記第１のレジストマスクを縮小させることで前記第１のレジストマスクの凹部と重畳する前記第２の導電膜を露出させつつ第２のレジストマスクを形成し、
前記第２のレジストマスクを用いて前記第２の導電膜、前記不純物半導体膜及び前記半導体膜の一部に第３のエッチングを行ってソース電極及びドレイン電極層、ソース領域及びドレイン領域並びに半導体層を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項４】
第１の導電膜、絶縁膜、半導体膜、不純物半導体膜及び第２の導電膜を順に積層して形成し、
前記第２の導電膜上に凹部を有する第１のレジストマスクを形成し、
前記第１のレジストマスクを用いて、前記絶縁膜、前記半導体膜、前記不純物半導体膜及び前記第２の導電膜に第１のエッチングを行って前記第１の導電膜の少なくとも表面を露出させ、
酸化処理を行うことで、少なくともエッチングされた前記半導体膜の側壁を酸化させ、
前記第１のレジストマスクを縮小させることで前記第１のレジストマスクの凹部と重畳する前記第２の導電膜を露出させつつ第２のレジストマスクを形成し、
前記第１の導電膜の一部にサイドエッチングを伴う第２のエッチングをドライエッチングにより行ってゲート電極層を形成し、
前記第２のレジストマスクを用いて前記第２の導電膜、前記不純物半導体膜及び前記半導体膜の一部に第３のエッチングを行ってソース電極及びドレイン電極層、ソース領域及びドレイン領域並びに半導体層を形成することを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第１の導電膜はタングステンにより形成し、
前記ドライエッチングはＣｌＦ３ガスを用いて行うことを特徴とする薄膜トランジスタの作製方法。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか一に記載の方法により薄膜トランジスタを作製し、
前記薄膜トランジスタを覆って保護絶縁膜を形成し、
前記ソース電極及びドレイン電極層の一部を露出させるように前記保護絶縁膜に開口部を形成し、
前記開口部及び前記保護絶縁膜上に画素電極を選択的に形成することを特徴とする表示装置の作製方法。
【請求項７】
請求項６において、
前記保護絶縁膜は、ＣＶＤ法またはスパッタリング法により形成した絶縁膜と、スピンコート法により形成した絶縁膜と、を積層して形成することを特徴とする表示装置の作製方法。