(57)【要約】      （修正有）【課題】感度を変えることができる漏洩検出装置を提供する。【解決手段】検査対象１から漏洩したサーチガスが導入されるサーチガス導入口４を備えた第１の真空ポンプ５と、第１の真空ポンプ５の吸気側に接続され、検査対象１から漏洩したサーチガスを検出する分析管６と、を備える、検査対象１からのサーチガスの漏洩を検出する漏洩検出装置に、第１の真空ポンプ５の回転数が設定される回転数設定部と、回転数設定部に設定された回転数で第１の真空ポンプ５を駆動させる機能を有する第１の真空ポンプ制御部と、を備えた真空ポンプ制御装置を備える。第１の真空ポンプ５を、回転数設定部に設定された、第１の真空ポンプ５の回転数で駆動させることによって、第１の真空ポンプ５の排気速度を変えることができるので、感度を変えることができる。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
検査対象から漏洩したサーチガスが導入されるサーチガス導入口を備えた第１の真空ポンプと、該第１の真空ポンプの吸気側に接続され、前記検査対象から漏洩したサーチガスを検出する分析管と、を備える、前記検査対象からのサーチガスの漏洩を検出する漏洩検出装置であって、
前記第１の真空ポンプの回転数が設定される回転数設定部と、該回転数設定部に設定された前記第１の真空ポンプの回転数で該第１の真空ポンプを駆動させる機能を有する第１の真空ポンプ制御部と、を備える真空ポンプ制御装置を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする漏洩検出装置。
【請求項２】
前記検査対象に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する、感度に基づいて、前記回転数設定部に設定する、前記第１の真空ポンプの回転数を求める機能を有する回転数導出手段を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする請求項１記載の漏洩検出装置。
【請求項３】
前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力を、前記回転数設定部に設定される、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて求める機能を有する導入圧力導出手段を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の漏洩検出装置。
【請求項４】
前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力が、前記導入圧力導出手段で求めた導入圧力になるように、前記検査対象からサーチガスが漏れ出る空間の圧力の制御を行なう機能を有する導入圧力制御装置を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする請求項３記載の漏洩検出装置。
【請求項５】
前記分析管に前記サーチガスと同じ種類のガスを大気中から導入するガス導入装置を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の漏洩検出装置。
【請求項６】
前記ガス導入装置から前記分析管に導入された、前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスに基づいて、該分析管の加速電圧を調整する制御を、該分析管に行なう機能を有する加速電圧調整装置を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする請求項５記載の漏洩検出装置。
【請求項７】
前記第１の真空ポンプは、前記サーチガス導入口を、前記第１の真空ポンプの圧縮比の異なる複数の位置に備え、
前記回転数導出手段は、前記サーチガス導入口ごとに、前記回転数設定部に設定する前記第１の真空ポンプの回転数を求める機能を有し、
該回転数導出手段が前記サーチガス導入口ごとに求めた、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて、前記サーチガス導入口ごとに、感度、前記第１の真空ポンプの排気速度の少なくとも一つを求める基準値導出機能と、該基準値導出機能により求めた感度、前記基準値導出機能により求めた前記第１の真空ポンプの排気速度、前記回転数導出手段で求めた前記第１の真空ポンプの回転数の少なくとも一つに基づいて、前記複数のサーチガス導入口から、前記検査対象から漏洩したサーチガスを導入させる、サーチガス導入口を判定するサーチガス導入口判定機能と、を有する判定手段を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする請求項２から請求項６のいずれか１項に記載の漏洩検出装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、検査対象からの漏洩を検出するために用いられる漏洩検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
検査対象からの漏洩を検出するために用いられる漏洩検出装置としては、従来、検査対象から漏洩したサーチガスを分析管で検出することにより、前記検査対象からの前記サーチガスの漏洩を検出する形式の漏洩検出装置が知られている。
【０００３】
このような形式の漏洩検出装置としては、たとえば、検査対象から漏洩したサーチガスが導入されるサーチガス導入口を備えた主真空ポンプと、該主真空ポンプの吸気口に接続され、前記検査対象から漏洩したサーチガスを検出する分析管と、前記主真空ポンプの排気側に接続された補助真空ポンプと、を備え、前記主真空ポンプは、前記サーチガス導入口を前記主真空ポンプの圧縮比の異なる複数の位置に備えるようにした構成の漏洩検出装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１３３４３７号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記特許文献１に記載されたような形式の漏洩検出装置は、検査対象から漏洩したサーチガスが導入される、サーチガス導入口の位置ごとに、主真空ポンプの排気速度が異なることを利用して、該サーチガス導入口ごとに異なる感度が得られるようにした漏洩検出装置である。
【０００６】
このような形式の漏洩検出装置は、原則として、感度が主真空ポンプに対するサーチガス導入口の位置で決まってしまうため、感度を変えることが困難であった。
【０００７】
本考案は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、感度を変えることができる、漏洩検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本考案の漏洩検出装置は、前記課題を解決するために、請求項１に対応して、検査対象から漏洩したサーチガスが導入されるサーチガス導入口を備えた第１の真空ポンプと、該第１の真空ポンプの吸気側に接続され、前記検査対象から漏洩したサーチガスを検出する分析管と、を備える、前記検査対象からのサーチガスの漏洩を検出する漏洩検出装置に、前記第１の真空ポンプの回転数が設定される回転数設定部と、該回転数設定部に設定された前記第１の真空ポンプの回転数で該第１の真空ポンプを駆動させる機能を有する第１の真空ポンプ制御部と、を備える真空ポンプ制御装置を備えるようにした構成とする。
【０００９】
又、請求項２に対応して、前記漏洩検出装置は、前記検査対象に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する、感度に基づいて、前記回転数設定部に設定する、前記第１の真空ポンプの回転数を求める機能を有する回転数導出手段を備えるようにした構成とする。
【００１０】
更に、請求項３に対応して、前記漏洩検出装置は、前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力を、前記回転数設定部に設定される、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて求める機能を有する導入圧力導出手段を備えるようにした構成とする。
【００１１】
更に又、請求項４に対応して、前記請求項３における漏洩検出装置は、前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力が、前記導入圧力導出手段で求めた導入圧力になるように、前記検査対象からサーチガスが漏れ出る空間の圧力の制御を行なう機能を有する導入圧力制御装置を備えるようにした構成とする。
【００１２】
又、請求項５に対応して、前記漏洩検出装置は、前記分析管に前記サーチガスと同じ種類のガスを大気中から導入するガス導入装置を備えるようにした構成とする。
【００１３】
更に、請求項６に対応して、前記請求項５における漏洩検出装置は、前記ガス導入装置から前記分析管に導入された、前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスに基づいて、該分析管の加速電圧を調整する制御を、該分析管に行なう機能を有する加速電圧調整装置を備えるようにした構成とする。
【００１４】
更に又、請求項７に対応して、前記請求項２から前記請求項５における、前記第１の真空ポンプは、前記サーチガス導入口を、前記第１の真空ポンプの圧縮比の異なる複数の位置に備え、前記回転数導出手段は、前記サーチガス導入口ごとに、前記回転数設定部に設定する前記第１の真空ポンプの回転数を求める機能を有し、該回転数導出手段が前記サーチガス導入口ごとに求めた、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて、前記サーチガス導入口ごとに、感度、前記第１の真空ポンプの排気速度の少なくとも一つを求める基準値導出機能と、該基準値導出機能により求めた感度、前記基準値導出機能により求めた前記第１の真空ポンプの排気速度、前記回転数導出手段で求めた前記第１の真空ポンプの回転数の少なくとも一つに基づいて、前記複数のサーチガス導入口から、前記検査対象から漏洩したサーチガスを導入させる、サーチガス導入口を判定するサーチガス導入口判定機能と、を有する判定手段を備えるようにした構成とする。
【考案の効果】
【００１５】
本考案の漏洩検出装置によれば、以下のような優れた効果を発揮する。
（１）本考案の漏洩検出装置は、検査対象から漏洩したサーチガスが導入されるサーチガス導入口を備えた第１の真空ポンプと、該第１の真空ポンプの吸気側に接続され、前記検査対象から漏洩したサーチガスを検出する分析管と、を備える、前記検査対象からのサーチガスの漏洩を検出する漏洩検出装置に、前記第１の真空ポンプの回転数が設定される回転数設定部と、該回転数設定部に設定された前記第１の真空ポンプの回転数で該第１の真空ポンプを駆動させる機能を有する第１の真空ポンプ制御部と、を備える真空ポンプ制御装置を備えるようにした構成としているので、前記第１の真空ポンプを、前記回転数設定部に設定された前記第１の真空ポンプの回転数で駆動させることができる。したがって、前記第１の真空ポンプの排気速度を変えることができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、感度を変えることができる。
（２）又、前記漏洩検出装置は、前記検査対象に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する、感度に基づいて、前記回転数設定部に設定する、前記第１の真空ポンプの回転数を求める機能を有する回転数導出手段を備えるようにした構成とすることにより、前記検査対象に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する、感度に基づいて、前記回転数設定部に設定する、前記第１の真空ポンプの回転数を求めることができるので、該求めた前記第１の真空ポンプの回転数を、前記回転数設定部に設定することができる。したがって、前記検査対象に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する感度に基づいて求めた、前記第１の真空ポンプの回転数で、該第１の真空ポンプを駆動させることができるので、該感度に基づいた、前記第１の真空ポンプの排気速度を得ることができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、前記検査対象に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する感度に応じた、応答時間にすることができる。
（３）更に、前記漏洩検出装置は、前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力を、前記回転数設定部に設定される、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて求める機能を有する導入圧力導出手段を備えるようにした構成とすることにより、前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力を、前記回転数設定部に設定される、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて求めることができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、前記第１の真空ポンプの排気速度に応じた、導入圧力を求めることができる。
（４）更に又、前記（３）の漏洩検出装置は、前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力が、前記導入圧力導出手段で求めた導入圧力になるように、前記検査対象からサーチガスが漏れ出る空間の圧力の制御を行なう機能を有する導入圧力制御装置を備えるようにした構成とすることにより、前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力を、前記導入圧力導出手段で求めた導入圧力にすることができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、前記第１の真空ポンプの排気速度に応じた、導入圧力を得ることができる。
（５）又、前記漏洩検出装置は、前記分析管に前記サーチガスと同じ種類のガスを大気中から導入するガス導入装置を備えるようにした構成とすることにより、前記分析管に、前記サーチガスと同じ種類のガスを大気中から導入することができる。
（６）更に、前記（５）の漏洩検出装置は、前記ガス導入装置から前記分析管に導入された、前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスに基づいて、該分析管の加速電圧を調整する制御を、該分析管に行なう機能を有する加速電圧調整装置を備えるようにした構成とすることにより、前記分析管の加速電圧を、前記ガス導入装置から導入した前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスに基づいて調整することができる。
（７）更に又、前記（２）から前記（５）の漏洩検出装置における、前記第１の真空ポンプは、前記サーチガス導入口を、前記第１の真空ポンプの圧縮比の異なる複数の位置に備え、前記回転数導出手段は、前記サーチガス導入口ごとに、前記回転数設定部に設定する前記第１の真空ポンプの回転数を求める機能を有し、該回転数導出手段が前記サーチガス導入口ごとに求めた、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて、前記サーチガス導入口ごとに、感度、前記第１の真空ポンプの排気速度の少なくとも一つを求める基準値導出機能と、該基準値導出機能により求めた感度、前記基準値導出機能により求めた前記第１の真空ポンプの排気速度、前記回転数導出手段で求めた前記第１の真空ポンプの回転数の少なくとも一つに基づいて、前記複数のサーチガス導入口から、前記検査対象から漏洩したサーチガスを導入させる、サーチガス導入口を判定するサーチガス導入口判定機能と、を有する判定手段を備えるようにした構成とすることにより、前記複数のサーチガス導入口から、前記検査対象から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口を特定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本考案の漏洩検出装置の第１実施形態の構成を示す概略図である。
【図２】図２は、図１の漏洩検出装置の構成間の関係を示す概略図である。
【図３】図３は、本考案の漏洩検出装置の第２実施形態の構成を示す概略図である。
【図４】図４は、図３の漏洩検出装置の構成間の関係を示す概略図である。
【考案を実施するための形態】
【００１７】
以下、本考案を実施するための形態を図面を参照して説明する。
【００１８】
図１及び図２は本考案の漏洩検出装置の第１実施形態の構成を示す概略図である。第１実施形態の漏洩検出装置は、検査対象１内にサーチガスを供給するサーチガス供給手段２と、前記検査対象１を収納する容器３と、前記検査対象１から漏洩したサーチガスが導入されるサーチガス導入口４を備えた第１の真空ポンプ５と、該第１の真空ポンプ５の吸気側に接続され、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを検出する分析管６と、前記第１の真空ポンプ５の排気側に接続された第２の真空ポンプ７と、設定された前記第１の真空ポンプ５の回転数で該第１の真空ポンプ５を駆動させる機能を有する真空ポンプ制御装置８と、前記検査対象１に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する感度に基づいて、真空ポンプ制御装置８に設定する、前記第１の真空ポンプ５の回転数を求める機能を有する回転数導出手段９と、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４に導入させる導入圧力を、前記回転数導出手段９で求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数に基づいて求める機能を有する導入圧力導出手段１０と、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４に導入させる導入圧力が、前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力になるように、前記検査対象１からサーチガスが漏れ出る空間の圧力の制御を行なう機能を有する導入圧力制御装置１１と、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４に導入させる導入圧力が、前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力になったときに、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４に導入させる機能を有するサーチガス導入手段１２と、前記分析管６に前記サーチガスと同じ種類のガスを大気中から導入するガス導入装置１３と、該ガス導入装置１３から前記分析管６に導入された、前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスに基づいて、前記分析管６の加速電圧を調整する制御を、該分析管６に行なう機能を有する加速電圧調整装置１４と、を備えるようにした構成とされている。
【００１９】
より具体的には、前記サーチガス供給手段２は、前記検査対象１内を減圧する機能と、前記検査対象１内にサーチガスを供給する機能と、を有した構成とされている。前記サーチガス供給手段２には、図１に示されるように、サーチガス供給流路１５が接続されている。該サーチガス供給流路１５は、前記容器３に収納された前記検査対象１に接続可能に構成されている。これにより、サーチガスは、前記サーチガス供給手段２によって、前記容器３に収納された前記検査対象１の内部に、前記容器３内の圧力を超える所定の圧力まで供給される。
【００２０】
前記容器３は、たとえば、前記検査対象１を出し入れするための開閉部を備える。該開閉部は、前記容器３を密閉可能に構成されている。これにより、前記検査対象１から漏洩したサーチガスが、前記開閉部から漏洩することが防止される。また、前記容器３には、図１に示されるように、リーク遮断バルブ１６を介して校正リーク１７が接続されている。これにより、第１実施形態の漏洩検出装置は校正される。さらに、前記容器３には、大気に接続した第４の開閉弁１８が設けられている。
【００２１】
前記第１の真空ポンプ５は、たとえば、前記分析管６を吸気側に接続されたターボ分子ポンプと、該ターボ分子ポンプの排気側に吸気側を接続されたドラッグポンプと、を備えた構成とされている。前記第１の真空ポンプ５は、図１に示されるように、該第１の真空ポンプ５の吸気口と排気口とを含む、該第１の真空ポンプ５の吸気口から排気口までのいずれかの位置、たとえば、前記ターボ分子ポンプの排気口位置に、前記検査対象１から漏洩したサーチガスが導入されるサーチガス導入口４と、前記サーチガスと同じ種類のガスが大気中から導入される大気接続口１９と、を備える。前記サーチガス導入口４には、前記容器３内の空間に接続するサーチガス導入流路２０が接続されている。これにより、前記検査対象１から漏洩したサーチガスは、前記容器３内の空間、前記サーチガス導入流路２０、前記サーチガス導入口４を介して前記第１の真空ポンプ５内に導入された後、逆拡散させられて、前記分析管６内に導入される。前記サーチガス導入流路２０には、第１の開閉弁２１が設けられている。
【００２２】
前記分析管６は、たとえば、前記第１の真空ポンプ５から逆拡散したサーチガスをイオン化して放出するイオン化部と、該イオン化部から放出されたサーチガスイオンを導く分析部と、該分析部により導かれたサーチガスイオンを捕集してイオン電流を検出する検出部と、を備えた構成の磁場偏向型質量分析管とされている。前記イオン化部は、前記第１の真空ポンプ５から逆拡散したサーチガスが導入されるグリッドと、該グリッド内に熱電子を放出するフィラメントと、前記熱電子と前記サーチガスとの衝突により発生したサーチガスイオンとの間で加速電圧を生じるイオン引出電極と、を備えた構成とされている。これにより、前記第１の真空ポンプ５から逆拡散したサーチガスは、前記グリッド内でサーチガスイオンにされる。また、該サーチガスイオンは、該サーチガスイオンと前記イオン引出電極との間の電位差である加速電圧に基づいて前記分析部に放出される。前記分析部は、たとえば、永久磁石を備えた構成とされている。これにより、前記イオン化部から放出されたサーチガスイオンは、その進路が前記永久磁石により生じた磁場により曲げられて前記検出部に導かれる。前記検出部は、前記分析部により導かれてきたサーチガスイオンを他のイオンと選別するコレクタースリットと、該コレクタースリットを通過したサーチガスイオンを捕集するイオンコレクタと、該イオンコレクタに捕集されたサーチガスイオンに基づいて流れるイオン電流を検出するイオン電流検出器と、を備えた構成とされている。これにより、前記イオン電流検出器は、前記検査対象１から漏洩したサーチガスの量に応じた電流を検出することができる。また、前記分析管６は、該分析管６内の圧力の出力信号を発信するように構成されている。
【００２３】
前記第２の真空ポンプ７は、前記第１の真空ポンプ５による前記分析管６内の減圧を補助する真空ポンプである。前記第２の真空ポンプ７は、たとえば、油回転ポンプ等の大気圧から稼働可能な真空ポンプとされている。
【００２４】
前記真空ポンプ制御装置８は、図２に示されるように、前記第１の真空ポンプ５の回転数が設定される回転数設定部８Ａと、該回転数設定部８Ａに設定された前記第１の真空ポンプ５の回転数で該第１の真空ポンプ５を駆動させる機能を有する第１の真空ポンプ制御部８Ｂと、を備えた構成とされている。前記回転数設定部８Ａは、送信されてきた前記第１の真空ポンプ５の回転数の出力信号を受信するように構成されている。これにより、送信されてきた前記第１の真空ポンプ５の回転数が、前記回転数設定部８Ａに設定される。前記第１の真空ポンプ制御部８Ｂは、回転数設定部８Ａに設定された前記第１の真空ポンプ５の回転数を読み込むように構成されている。これにより、前記第１の真空ポンプ制御部８Ｂは、前記回転数設定部８Ａに設定された前記第１の真空ポンプ５の回転数で該第１の真空ポンプ５を駆動させることができる。また、前記第１の真空ポンプ制御部８Ｂは、前記分析管６から圧力の出力信号を受信するように構成されている。該第１の真空ポンプ制御部８Ｂは、前記分析管６を機能させるために必要な圧力に該分析管６内が減圧されたときに、前記第１の真空ポンプ５の回転数を、前記回転数設定部８Ａに設定された、前記第１の真空ポンプ５の回転数に切り替えるように構成されている。これにより、前記真空ポンプ制御装置８は、前記分析管６が前記検査対象１から漏洩したサーチガスを検出するときに、前記回転数設定部８Ａに設定された、前記第１の真空ポンプ５の回転数で前記第１の真空ポンプ５を駆動させることができる。また、前記真空ポンプ制御装置８は、前記第２の真空ポンプ７の駆動を制御する機能と、前記容器３内を減圧する第３の真空ポンプ２２の駆動を制御する機能と、を備える。
【００２５】
前記回転数導出手段９は、図２に示されるように、前記検査対象１に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて漏洩検出装置に設定する、感度に基づいて、前記第１の真空ポンプ５の回転数を求める機能と、該求めた回転数の出力信号を前記真空ポンプ制御装置８の前記回転数設定部８Ａに送信する機能と、前記求めた回転数の出力信号を前記導入圧力導出手段１０に送信する機能と、を有した構成の物品とされている。前記回転数導出手段９は、第１実施形態の漏洩検出装置に設定する、前記感度が入力されると、たとえば、感度と第１の真空ポンプ５の回転数との関係を実験等により求めた結果をまとめたデータベースや演算等により、前記第１の真空ポンプ５の回転数を求めるように構成されている。これにより、前記回転数設定部８Ａに設定する、前記第１の真空ポンプ５の回転数が、前記検査対象１に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する、感度に基づいて求められる。また、前記回転数導出手段９は、前記第１の真空ポンプ５を駆動させることができる回転数の間隔に制限がある場合、たとえば、前記第１の真空ポンプ５の規定回転数の数％間隔等の制限がある場合に、演算等により求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数を、前記第１の真空ポンプ５を駆動させることができる回転数のうち、最も近い回転数に切り下げる処理を行う、回転数切り下げ機能を有する。該回転数切り下げ機能は、切り下げ幅の最大値を設定可能にされている。該回転数切り下げ機能の切り下げ幅の最大値は、たとえば、前記第１の真空ポンプ５を回転させることができる、回転数の間隔と同じに設定することが好ましい。これにより、第１の真空ポンプ５の規定回転数を大幅に超える回転数が前記回転数切り下げ機能により大幅に切り下げられることによって得られた回転数が、前記回転数設定部８Ａに設定されることによって、前記回転数導出手段９に入力した感度と大幅に異なる感度が得られることになってしまうことを防止することができる。
【００２６】
前記導入圧力導出手段１０は、図２に示されるように、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４に導入させる導入圧力を、前記回転数導出手段９で求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数に基づいて求める機能と、該求めた導入圧力の出力信号を、前記導入圧力制御装置１１に備えた導入圧力制御部２３と前記サーチガス導入手段１２に備えた第１の開閉弁制御装置２４とに送信する機能と、を有した構成の物品とされている。前記導入圧力導出手段１０は、前記回転数導出手段９から前記第１の真空ポンプ５の回転数の出力信号を受信すると、たとえば、第１の真空ポンプ５の回転数と導入圧力と前記分析管６内の圧力との関係を実験等により求めた結果をまとめたデータベースや演算等により、前記分析管６を機能させるために必要な該分析管６内の圧力を維持できる、最も高い導入圧力を求めるように構成されている。これにより、前記導入圧力導出手段１０は、漏洩検出装置に設定する感度ごとに前記第１の真空ポンプ５を駆動させる回転数が異なっていたとしても、前記分析管６を機能させるために必要な前記分析管６内の圧力を維持できる、最も高い導入圧力を求めることができる。
【００２７】
前記導入圧力制御装置１１は、図１及び図２に示されるように、前記検査対象１からサーチガスが漏れ出る空間の圧力、すなわち、前記容器３内の圧力と前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１よりも上流側位置の圧力と、を減圧する第３の真空ポンプ２２と、該第３の真空ポンプ２２と前記容器３との間に設けられた第２の開閉弁２５と、前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１よりも上流側位置の圧力を計測する圧力計２６と、前記真空ポンプ制御装置８を介して前記第３の真空ポンプ２２を制御する機能と前記第２の開閉弁２５を制御する機能とを有する導入圧力制御部２３と、を備えた構成とされている。前記第３の真空ポンプ２２は、図１に示されるように、前記第２の開閉弁２５を介して前記容器３に接続される。前記圧力計２６は、前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１よりも上流側位置に設けられる。これにより、前記圧力計２６は、前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１よりも上流側位置の圧力と前記容器３内の圧力とを計測する。また、前記圧力計２６は、計測した圧力の出力信号を前記導入圧力制御部２３と第１の開閉弁制御装置２４とに送信するように構成されている。前記導入圧力制御部２３は、送信されてきた前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力の出力信号を受信するように構成されている。これにより、導入圧力が、前記導入圧力制御部２３に設定される。該導入圧力制御部２３は、前記第２の開閉弁２５を開く制御を行なうと共に前記真空ポンプ制御装置８を介して前記第３の真空ポンプ２２を駆動させる機能と、前記圧力計２６により計測された圧力が前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力になったときに前記第２の開閉弁２５を閉止させる制御を行なうと共に前記真空ポンプ制御装置８を介して前記第３の真空ポンプ２２を停止させる機能と、を有した構成とされている。これにより、前記導入圧力制御装置１１は、前記検査対象１からサーチガスが漏れ出る空間、すなわち、前記容器３内と前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１よりも上流側位置、の圧力を制御することができる。したがって、前記導入圧力を、前記分析管６を機能させるために必要な該分析管６内の圧力を維持できる、最も高い導入圧力にすることができる。
【００２８】
前記サーチガス導入手段１２は、図１及び図２に示されるように、前記サーチガス導入流路２０に設けられた前記第１の開閉弁２１と、前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１よりも上流側位置の圧力を計測する前記圧力計２６と、該圧力計２６により計測された圧力が前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力になったときに前記第１の開閉弁２１を開く制御を行なう第１の開閉弁制御装置２４と、を備えた構成とされている。前記第１の開閉弁制御装置２４は、前記導入圧力導出手段１０から送信された導入圧力の出力信号を受信するように構成されている。これにより、導入圧力が、前記第１の開閉弁制御装置２４に設定される。また、前記第１の開閉弁制御装置２４は、前記圧力計２６から送信された出力信号を受信するように構成されている。これにより、前記第１の開閉弁制御装置２４は、前記圧力計２６により計測された圧力が前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力になったときに、前記第１の開閉弁２１を開く制御を行なうことができる。したがって、前記サーチガス導入手段１２は、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを、前記分析管６を機能させるために必要な該分析管６内の圧力を維持できる導入圧力で前記サーチガス導入口４に導入させることができる。
【００２９】
前記ガス導入装置１３は、図１及び図２に示されるように、前記第１の真空ポンプ５と、前記第２の真空ポンプ７と、前記第１の真空ポンプ５の大気接続口１９に接続した大気接続流路２７と、該大気接続流路２７の上流側端部に設けられたガス透過装置２８と、前記大気接続流路２７における前記ガス透過装置２８よりも下流側位置に設けられた第３の開閉弁２９と、を備えた構成とされている。前記ガス透過装置２８は、前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスを透過するガス透過部を備えた構成とされている。前記ガス透過部は、大気中から前記サーチガスと同じ種類のガスを透過するように構成されており、たとえば、前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスを透過する、透過膜や石英ガラス製の毛細管等とされている。これにより、前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスは、前記ガス透過部で大気中の他のガスと分離された後、前記大気接続流路２７から前記大気接続口１９に導入され、前記第１の真空ポンプ５内を逆拡散して、前記分析管６に導入される。
【００３０】
前記加速電圧調整装置１４は、図２に示されるように、前記第２の真空ポンプ７を、前記真空ポンプ制御装置８を介して駆動させる機能と、前記第１の真空ポンプ５を、前記真空ポンプ制御装置８における前記第１の真空ポンプ制御部８Ｂを介して駆動させる機能と、前記第２の真空ポンプ７と前記第１の真空ポンプ５とを駆動させて、前記分析管６内の圧力が該分析管６を機能させるために必要な圧力になったときに、前記第３の開閉弁２９を開く制御を行なう機能と、前記第３の開閉弁２９が開かれたときに前記分析管６の加速電圧を該分析管６に導入された前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスに基づいて調整する機能と、前記分析管６の加速電圧が調整された後に前記第３の開閉弁２９を閉止する制御を行なう機能と、該第３の開閉弁２９が閉止された後に、前記第１の真空ポンプ５を、前記真空ポンプ制御装置８における前記第１の真空ポンプ制御部８Ｂを介して停止させると共に、前記第２の真空ポンプ７を、前記真空ポンプ制御装置８を介して停止させる機能と、を有する構成とされている。前記加速電圧調整装置１４による前記分析管６の加速電圧の調整は、たとえば、前記イオン引出電極の電圧を変化させると、前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスによる出力、すなわち、前記イオン電流検出器により検出されるイオン電流値が変化するので、このイオン電流値が最大となるように、前記イオン引出電極の電圧を調整することにより行われる。
【００３１】
なお、前記サーチガスは、前記分析管６で検出可能な気体であれば、たとえば、ヘリウム、水素、アルゴンガスなど、如何なる気体を用いてもよい。
【００３２】
次に、漏洩試験の試験者が第１実施形態の漏洩検出装置を用いて漏洩試験を行う手順の一例について説明する。
【００３３】
漏洩試験の試験者は、漏洩試験前の準備として以下の前記分析管６の加速電圧を調整する工程を行う。まず、漏洩試験の試験者は、前記第１の開閉弁２１と前記第３の開閉弁２９とを閉止した状態で、前記加速電圧調整装置１４を起動させる。前記試験者が、前記加速電圧調整装置１４を起動させると、該加速電圧調整装置１４は、前記真空ポンプ制御装置８に前記第２の真空ポンプ７を駆動させる信号を送信する。該信号を受信した前記真空ポンプ制御装置８は、前記第２の真空ポンプ７を駆動させる。前記分析管６内の圧力が所定圧力まで減圧されると、前記加速電圧調整装置１４は、前記第１の真空ポンプ制御部８Ｂに前記第１の真空ポンプ５を駆動させる信号を送信する。該信号を受信した前記第１の真空ポンプ制御部８Ｂは前記第１の真空ポンプ５を駆動させる。その後、前記分析管６内の圧力が該分析管６を機能させるために必要な圧力まで減圧されると、前記加速電圧調整装置１４は、前記第３の開閉弁２９に信号を送信し、該信号を受信した第３の開閉弁２９は開かれる。前記第３の開閉弁２９が開かれると、前記ガス透過装置２８におけるガス透過部で大気中の他のガスから分離された、前記サーチガスと同じ種類のガスが、前記大気接続流路２７を介して前記大気接続口１９に導入され、前記第１の真空ポンプ５内を逆拡散して、前記分析管６に導入される。また、前記加速電圧調整装置１４は、前記第３の開閉弁２９が開かれると、前記分析管６の加速電圧を調整する制御を前記分析管６に対して行う。該加速電圧調整装置１４による制御が行われると、前記分析管６内に導入された、前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスに基づいて、該分析管６の加速電圧の調整が行われる。該分析管６の加速電圧の調整は、たとえば、前記イオン電流検出器により検出されるイオン電流の値が最大となるように前記イオン引出電極の電圧が調整される。前記分析管６の加速電圧の調整が終了すると、前記加速電圧調整装置１４は前記第３の開閉弁２９に信号を送信し、該信号を受信した前記第３の開閉弁２９は閉止される。その後、前記加速電圧調整装置１４は、前記第１の真空ポンプ制御部８Ｂに前記第１の真空ポンプ５を停止させる信号を送信し、該信号を受信した前記第１の真空ポンプ制御部８Ｂは、前記第１の真空ポンプ５を停止させる。また、前記加速電圧調整装置１４は、前記真空ポンプ制御装置８に前記第２の真空ポンプ７を停止させる信号を送信し、該信号を受信した前記真空ポンプ制御装置８は、前記第２の真空ポンプ７を停止させる。
【００３４】
又、漏洩試験の試験者は、漏洩試験前の準備として以下の工程を行う。漏洩試験の試験者は、前記回転数導出手段９と前記導入圧力導出手段１０とを起動させて、前記回転数導出手段９に、前記検査対象１に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する、感度を入力する。該感度が入力されると、前記回転数導出手段９は、前記第１の真空ポンプ５の回転数を求める。前記回転数導出手段９は、該求めた回転数の出力信号を、前記真空ポンプ制御装置８の前記回転数設定部８Ａに送信する。これにより、前記回転数導出手段９で求めた、前記第１の真空ポンプ５の回転数が、前記回転数設定部８Ａに設定される。また、前記回転数導出手段９は、前記求めた回転数の出力信号を、前記導入圧力導出手段１０に送信する。前記導入圧力導出手段１０は、前記回転数導出手段９から送信された前記第１の真空ポンプ５の回転数の出力信号を受信すると、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４に導入させる導入圧力を求める。前記導入圧力導出手段１０は、該求めた導入圧力の出力信号を、前記導入圧力制御装置１１の前記導入圧力制御部２３と前記サーチガス導入手段１２の前記第１の開閉弁制御装置２４に送信する。これにより、前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力が、前記導入圧力制御部２３と前記第１の開閉弁制御装置２４とに設定される。
【００３５】
更に、漏洩試験の試験者は、前記準備の後、漏洩試験前の準備として、漏洩検出装置の校正、すなわち、前記校正リーク１７のリーク値と、該校正リーク１７からのリークを前記分析管６で検出した際のイオン電流値と、の関連付けを行う。その後、漏洩試験の試験者は、前記第１の真空ポンプ５と前記第２の真空ポンプ７とを駆動させた状態で、前記第４の開閉弁１８を開く。該第４の開閉弁１８が開かれると、前記分析管６内の圧力は該分析管６を機能させるために必要な圧力を超えるので、前記第１の真空ポンプ５の回転数が、前記回転数設定部８Ａに設定された回転数から規定回転数に変更され、前記容器３内、前記サーチガス導入流路２０内、前記第１の真空ポンプ５内、前記第２の真空ポンプ７内、前記分析管６内に滞留する、前記校正リーク１７に基づく前記サーチガスと同じ種類のガスは、大気中に排気される。
【００３６】
次に、漏洩試験の試験者が漏洩試験を実施する場合、前記試験者は、前記した漏洩試験前の準備を行った後、前記第１の開閉弁２１と前記第２の開閉弁２５と前記第３の開閉弁２９と前記第４の開閉弁１８とリーク遮断バルブ１６とを閉止した状態で、前記真空ポンプ制御装置８を操作して、前記第２の真空ポンプ７を駆動させる。前記分析管６内の圧力が所定圧力まで減圧されると、前記真空ポンプ制御装置８は、前記第１の真空ポンプ５を駆動させる。前記分析管６内の圧力が該分析管６を機能させるために必要な圧力まで減圧されると、前記第１の真空ポンプ５の回転数が、前記回転数設定部８Ａに設定された、第１の真空ポンプ５の回転数に変更される。また、前記試験者は、前記容器３内に検査対象１を設置して、該検査対象１に前記サーチガス供給手段２を接続する。この状態で、前記試験者は、前記導入圧力制御装置１１の前記導入圧力制御部２３を起動させる。該導入圧力制御部２３を起動させると、該導入圧力制御部２３は前記第２の開閉弁２５に信号を送信し、該信号を受信した前記第２の開閉弁２５は開かれる。また、前記導入圧力制御部２３は前記真空ポンプ制御装置８に信号を送信し、該信号を受信した前記真空ポンプ制御装置８は前記第３の真空ポンプ２２を駆動させる。さらに、前記試験者は、前記容器３に収納された前記検査対象１内の圧力を所定の圧力まで減圧させると共に、前記サーチガス供給手段２から前記容器３に収納された前記検査対象１の内部に前記サーチガスを、前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力を超える所定の圧力まで供給する。その後、前記第３の真空ポンプ２２の駆動により、前記圧力計２６により計測される圧力が、前記導入圧力制御部２３に設定された導入圧力に達すると、該導入圧力制御部２３は、前記第２の開閉弁２５を閉止させる制御を行なうと共に前記真空ポンプ制御装置８に信号を送信する。該信号を受信した真空ポンプ制御装置８は前記第３の真空ポンプ２２の駆動を停止させる。また、前記圧力計２６により計測される圧力が、前記第１の開閉弁制御装置２４に設定された導入圧力に達すると、該第１の開閉弁制御装置２４は前記第１の開閉弁２１を開く制御を行なう。該第１の開閉弁２１を開かせると、前記検査対象１から前記サーチガスの漏洩がある場合には、前記検査対象１内の圧力と、前記容器３内、前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１よりも上流側位置と、の差圧に基づいて、前記検査対象１内から前記容器３内に漏洩したサーチガスが、前記サーチガス導入流路２０から前記サーチガス導入口４に導入される。該導入されたサーチガスは、前記第１の真空ポンプ５内を逆拡散させられて、前記分析管６内に導入される。該分析管６は、導入された前記サーチガスをイオン化し、該サーチガスイオンに基づいたイオン電流値を検出する。これにより、前記検査対象１からの前記サーチガスの漏れ量が検出される。次に、前記試験者は、前記第１の開閉弁２１を閉止して、前記第４の開閉弁１８を開き、前記容器３を大気解放する。また、前記試験者は、検査対象１を大気解放し、該検査対象１を前記容器３から取り出す。その後、前記第１の真空ポンプ５と前記第２の真空ポンプ７とを駆動させた状態で、前記第１の開閉弁２１を開く。該第１の開閉弁２１が開かれると、前記分析管６内の圧力は該分析管６を機能させるために必要な圧力を超えるので、前記第１の真空ポンプ５の回転数が前記回転数設定部８Ａに設定された回転数から規定回転数に変更され、前記容器３内、前記サーチガス導入流路２０内、前記第１の真空ポンプ５内、前記第２の真空ポンプ７内、前記分析管６内に滞留する、前記サーチガスは、大気中に排気される。
【００３７】
このように、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記第１の真空ポンプ５を、前記回転数設定部８Ａに設定された、前記第１の真空ポンプ５の回転数で駆動させることができる。したがって、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記第１の真空ポンプ５の排気速度を変えることができる。よって、第１実施形態の漏洩検出装置によれば、感度を変えることができる。
【００３８】
又、第１実施形態の漏洩検出装置は、送信されてきた第１の真空ポンプ５の回転数の出力信号を受信することにより前記第１の真空ポンプ５の回転数が設定される回転数設定部８Ａと、該回転数設定部８Ａに設定された前記第１の真空ポンプ５の回転数で該第１の真空ポンプ５を駆動させる機能を有する第１の真空ポンプ制御部８Ｂと、を備えた真空ポンプ制御装置８と、前記検査対象１に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて漏洩検出装置に設定する、感度に基づいて、前記第１の真空ポンプ５の回転数を求める機能と、該求めた回転数の出力信号を前記真空ポンプ制御装置８の前記回転数設定部８Ａに送信する機能と、を有した回転数導出手段９と、を備えているので、前記感度に基づいて求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数で、該第１の真空ポンプ５を駆動させることができる。したがって、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記感度に基づいた、前記第１の真空ポンプ５の排気速度を得ることができる。よって、第１実施形態の漏洩検出装置によれば、前記検査対象１に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する感度に応じた、応答時間にすることができる。
【００３９】
更に、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４に導入させる導入圧力を、前記回転数導出手段９で求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数に基づいて求める機能を有した導入圧力導出手段１０を備えているので、前記導入圧力を、前記第１の真空ポンプ５の回転数に基づいて求めることができる。よって、第１実施形態の漏洩検出装置によれば、前記第１の真空ポンプ５の排気速度に応じた、導入圧力を求めることができる。
【００４０】
更に又、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記容器３内の圧力と前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１よりも上流側位置とを減圧する第３の真空ポンプ２２と、該第３の真空ポンプ２２と前記容器３との間に設けられた第２の開閉弁２５と、前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１よりも上流側位置の圧力を計測する圧力計２６と、前記第２の開閉弁２５を開く制御を行なうと共に前記真空ポンプ制御装置８を介して前記第３の真空ポンプ２２を駆動させる機能と前記圧力計２６により計測された圧力が前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力になったときに前記第２の開閉弁２５を閉止させる制御を行なうと共に前記真空ポンプ制御装置８を介して前記第３の真空ポンプ２２を停止させる機能とを有した導入圧力制御部２３と、を備える導入圧力制御装置１１を備えているので、前記導入圧力を、前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力にすることができる。よって、第１実施形態の漏洩検出装置によれば、前記第１の真空ポンプ５の排気速度に応じた、導入圧力を得ることができる。
【００４１】
又、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記サーチガス導入流路２０に設けられた前記第１の開閉弁２１と、前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１よりも上流側位置の圧力を計測する前記圧力計２６と、該圧力計２６により計測された圧力が前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力になったときに前記第１の開閉弁２１を開く制御を行なう第１の開閉弁制御装置２４と、を備えたサーチガス導入手段１２を備えているので、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを、前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力で前記サーチガス導入口４に導入させることができる。したがって、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを、前記第１の真空ポンプ５の排気速度に応じた導入圧力で前記サーチガス導入口４に導入させることができる。よって、第１実施形態の漏洩検出装置によれば、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを、前記分析管６を機能させるために必要な前記分析管６内の圧力を維持できる導入圧力で前記サーチガス導入口４に導入させることができる。
【００４２】
更に又、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記第１の真空ポンプ５と、前記第２の真空ポンプ７と、前記第１の真空ポンプ５の大気接続口１９に接続した大気接続流路２７と、該大気接続流路２７に設けられ、前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスを透過するガス透過装置２８と、前記大気接続流路２７における前記ガス透過装置２８よりも下流側位置に設けられた第３の開閉弁２９と、を備えたガス導入装置１３と、前記第２の真空ポンプ７と前記第１の真空ポンプ５とを前記真空ポンプ制御装置８を介して駆動させる機能と、前記分析管６内の圧力が該分析管６を機能させるために必要な圧力になったときに前記第３の開閉弁２９を開く制御を行なう機能と、前記第３の開閉弁２９が開かれた後に前記分析管６の加速電圧を該分析管６に導入された前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスに基づいて調整する機能と、前記分析管６の加速電圧が調整された後に前記第３の開閉弁２９を閉止する制御と前記第１の真空ポンプ５と前記第２の真空ポンプ７とを前記真空ポンプ制御装置８を介して停止させる制御とを行なう機能と、を有する加速電圧調整装置１４と、を備えているので、前記分析管６の加速電圧を、前記ガス導入装置１３から導入した前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスに基づいて調整することができる。
【００４３】
又、第１実施形態の漏洩検出装置は、前記分析管６を機能させるために必要な圧力に該分析管６内が減圧されたときに、前記第１の真空ポンプ５の回転数を、前記回転数設定部８Ａに設定された前記第１の真空ポンプ５の回転数に切り替える機能を有する第１の真空ポンプ制御部８Ｂを備えているので、漏洩試験開始前の前記分析管６内の減圧や、漏洩試験後に行われる、前記容器３内、前記サーチガス導入流路２０内、前記第１の真空ポンプ５内、前記第２の真空ポンプ７内、前記分析管６内に滞留する前記サーチガスの排気を、前記第１の真空ポンプ５の規定回転数で行うことができる。
【００４４】
図３及び図４は本考案の漏洩検出装置の第２実施形態の構成を示す概略図である。なお、本実施形態の漏洩検出装置において、前記第１実施形態と同様の構成については、その説明を省略あるいは簡略化する。
【００４５】
図３及び図４に示される、第２実施形態の漏洩検出装置は、第１実施形態の漏洩検出装置おける、前記第１の真空ポンプ５が、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃを、前記第１の真空ポンプ５の圧縮比の異なる複数の位置に備え、回転数導出手段３０は、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、前記回転数設定部８Ａに設定する前記第１の真空ポンプ５の回転数を求める機能を備え、導入圧力導出手段３１は、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃに導入させる導入圧力を求める機能を備え、更に、前記回転数導出手段３０が前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数に基づいて、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、感度と前記第１の真空ポンプ５の排気速度とを求める基準値導出機能と、該基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた感度、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の排気速度、前記導入圧力導出手段３１で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた導入圧力、前記回転数導出手段３０で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数の少なくとも一つに基づいて、前記複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃから、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを判定するサーチガス導入口判定機能と、を有する判定手段３２を備え、サーチガス導入手段３３は、前記サーチガス導入口判定機能により前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃと判定されたサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃに、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させる機能を備えるようにした、構成とされている。
【００４６】
より具体的には、前記第１の真空ポンプ５は、図３に示されるように、サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃを、前記第１の真空ポンプ５の圧縮比の異なる複数の位置、すなわち、該第１の真空ポンプ５の吸気口と排気口とを含む、該第１の真空ポンプ５の吸気口から排気口までのいずれかの位置のうち、異なる複数の位置に備える。該複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃのうち、１つのサーチガス導入口４Ｃは、前記第１の真空ポンプ５の排気口とされている。該各サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃには、それぞれ、前記サーチガス導入流路２０の下流側を分岐させた分岐流路が接続される。該各分岐流路には、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃに対応して、それぞれ、第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃが設けられている。前記分岐流路のうち、前記サーチガス導入口４Ｃに接続された分岐流路における、前記第１の開閉弁２１Ｃよりも下流側位置には、前記第２の真空ポンプ７が接続されている。前記サーチガス導入口４Ｃに接続された分岐流路における前記第２の真空ポンプ７の接続位置と、前記サーチガス導入口４Ｃと、の間には、第５の開閉弁３５が設けられている。
【００４７】
前記回転数導出手段３０は、図４に示されるように、前記検査対象１に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて漏洩検出装置に設定する、感度に基づいて、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、前記第１の真空ポンプ５の回転数を求める機能と、該サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた回転数の出力信号を前記判定手段３２に送信する機能と、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた回転数の出力信号を前記導入圧力導出手段３１に送信する機能と、を有した構成の物品とされている。前記回転数導出手段３０は、第２実施形態の漏洩検出装置に設定する、前記感度が入力されると、たとえば、感度と第１の真空ポンプ５の回転数との関係を実験等により求めた結果をまとめたデータベースや演算等により、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、前記第１の真空ポンプ５の回転数を求めるように構成されている。また、前記回転数導出手段３０は、前記第１の真空ポンプ５を駆動させることができる、回転数の間隔に制限がある場合、たとえば、前記第１の真空ポンプ５の規定回転数の数％間隔等の制限がある場合に、演算等により求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数を、前記第１の真空ポンプ５を駆動させることができる回転数のうち、最も近い回転数に切り下げる処理を行う、回転数切り下げ機能を有する。該回転数切り下げ機能は、切り下げ幅の最大値を設定可能にされている。該回転数切り下げ機能の切り下げ幅の最大値は、たとえば、前記第１の真空ポンプ５を回転させることができる、回転数の間隔と同じに設定することが好ましい。
【００４８】
前記導入圧力導出手段３１は、図４に示されるように、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃに導入させる導入圧力を、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、前記回転数導出手段３０で求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数に基づいて求める機能と、該求めた導入圧力の出力信号を前記判定手段３２に送信する機能と、を有した構成の物品とされている。前記導入圧力導出手段３１は、前記回転数導出手段３０から前記第１の真空ポンプ５の回転数の出力信号を受信すると、たとえば、第１の真空ポンプ５の回転数と導入圧力と前記分析管６内の圧力との関係を実験等により求めた結果をまとめたデータベースや演算等により、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、前記分析管６を機能させるために必要な前記分析管６内の圧力を維持できる、最も高い導入圧力を求めるように構成されている。
【００４９】
前記判定手段３２は、図４に示されるように、前記回転数導出手段３０が前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数に基づいて、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、感度と前記第１の真空ポンプ５の排気速度とを求める基準値導出機能と、該基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた感度、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の排気速度、前記導入圧力導出手段３１で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた導入圧力、前記回転数導出手段３０で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数の少なくとも一つに基づいて、前記複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃから、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを判定するサーチガス導入口判定機能と、該サーチガス導入口判定機能により判定されたサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃにおける、前記回転数導出手段３０で求められた、前記第１の真空ポンプ５の回転数の出力信号を、前記回転数設定部８Ａに送信する回転数送信機能と、前記サーチガス導入口判定機能により判定されたサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃにおける、前記導入圧力導出手段３１で求められた、導入圧力の出力信号を、前記導入圧力制御部２３と第１の開閉弁制御装置３４に送信する導入圧力送信機能と、前記サーチガス導入口判定機能により判定されたサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃに接続される前記分岐流路上の前記第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃを特定し、該第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃを、前記検査対象１から漏洩したサーチガスをサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃに導入させるときに開く第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃとして、前記第１の開閉弁制御装置３４に設定する開閉弁設定機能と、を有した構成の物品とされている。また、前記判定手段３２は、前記複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃから前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを判定する基準となる、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた感度と、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の排気速度と、前記導入圧力導出手段３１で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた導入圧力と、前記回転数導出手段３０で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数と、の間に優先順位を設定する優先順位設定部を備える。
【００５０】
前記判定手段３２の前記基準値導出機能は、前記回転数導出手段３０から送信された、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数の出力信号を受信すると、たとえば、感度と第１の真空ポンプ５の回転数との関係を実験等により求めた結果をまとめたデータベースや演算等により、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、感度を求めるように構成されている。また、前記基準値導出機能は、前記回転数導出手段３０から送信された、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数の出力信号を受信すると、たとえば、第１の真空ポンプ５の排気速度と第１の真空ポンプ５の回転数との関係を実験等により求めた結果をまとめたデータベースや演算等により、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、第１の真空ポンプ５の排気速度を求めるように構成されている。これにより、前記回転数導出手段３０の回転数切り下げ機能によって切り下げられた後の前記第１の真空ポンプ５の回転数により得られる、感度及び前記第１の真空ポンプ５の排気速度を、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに比較することができる。
【００５１】
前記判定手段３２の前記サーチガス導入口判定機能は、前記優先順位設定部に設定された優先順位を読み込んで、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた感度、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の排気速度、前記導入圧力導出手段３１で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた導入圧力、前記回転数導出手段３０で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数のうち、前記優先順位設定部に設定された最も優先順位の高いものを、前記複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃの間で比較し、該最も優先順位の高いものにおいて、前記複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃ間の優劣が求まる場合には、該最も優れていたサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃと判定し、前記最も優先順位の高いものにおいて、前記複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃ間の優劣が求まらない場合には、以降、同様の手順で、前記優先順位設定部に設定された優先順位の高いものから順に前記複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃ間の優劣が求まるまで比較するように構成されている。前記サーチガス導入口判定機能は、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた感度については、たとえば、感度が最も良いサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを優れていると判断し、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の排気速度については、該排気速度が最も速いサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを優れていると判断し、前記導入圧力導出手段３１で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた導入圧力については、該導入圧力が最も高いサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを優れていると判断する。また、前記回転数導出手段３０で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数については、たとえば、該回転数が最も小さいサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを優れていると判断する。これにより、漏洩試験の試験者は、複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃから、漏洩試験に合ったサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを選ぶことができる。
【００５２】
前記判定手段３２の前記開閉弁設定機能は、前記サーチガス導入口判定機能により前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃと判定された、サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃに接続される、前記分岐流路上の前記第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃを特定し、該第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃを、前記検査対象１から漏洩したサーチガスをサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃに導入させるときに開く第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃとして、前記第１の開閉弁制御装置３４に設定するように構成されている。
【００５３】
前記サーチガス導入手段３３は、図３及び図４に示されるように、前記複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに接続した分岐流路上の前記第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃと、前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃよりも上流側位置の圧力を計測する前記圧力計２６と、該圧力計２６により計測された圧力が、前記サーチガス導入口判定機能により前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃと判定された、サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃにおける、前記導入圧力導出手段３１で求めた導入圧力になったときに、該判定されたサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃに接続した分岐流路上の前記第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃを開く制御を行なう第１の開閉弁制御装置３４と、を備えた構成とされている。前記第１の開閉弁制御装置３４は、前記判定手段３２から送信された出力信号を受信するように構成されている。これにより、導入圧力が、前記第１の開閉弁制御装置３４に設定される。また、前記第１の開閉弁制御装置３４は、前記圧力計２６から送信された出力信号を受信するように構成されている。これにより、前記第１の開閉弁制御装置３４は、前記開閉弁設定機能により前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるときに開く第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃとして設定された、第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃに対して、前記設定された導入圧力で開く制御を行なうことができる。
【００５４】
次に、漏洩試験の試験者が第２実施形態の漏洩検出装置を用いて漏洩試験を行う手順の一例について説明する。
【００５５】
漏洩試験の試験者は、漏洩試験前の準備として、前記第１実施形態の漏洩検出装置を用いた漏洩試験と同様に、前記分析管６の加速電圧を調整する工程を行う。まず、漏洩試験の試験者は、前記第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃと前記第３の開閉弁２９とを閉止し、前記第５の開閉弁３５を開かせる。この状態で、前記試験者は、前記加速電圧調整装置１４を起動させる。前記試験者が、前記加速電圧調整装置１４を起動させると、前記第１実施形態の漏洩検出装置と同様の工程を経て、前記分析管６の加速電圧の調整が行われる。
【００５６】
又、漏洩試験の試験者は、漏洩試験前の準備として以下の工程を行う。漏洩試験の試験者は、前記回転数導出手段３０と前記導入圧力導出手段３１と前記判定手段３２とを起動させる。前記試験者は、前記回転数導出手段３０に、前記検査対象１に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する、感度を入力する。また、前記試験者は、前記判定手段３２の前記優先順位設定部に、前記感度と前記第１の真空ポンプ５の排気速度と前記導入圧力と前記第１の真空ポンプ５の回転数との間の優先順位を設定する。前記回転数導出手段３０に前記感度が入力されると、前記回転数導出手段３０は、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、前記第１の真空ポンプ５の回転数を求める。前記回転数導出手段３０は、該求めた回転数の出力信号を、前記判定手段３２に送信する。また、前記回転数導出手段３０は、該求めた回転数の出力信号を、前記導入圧力導出手段３１に送信する。前記導入圧力導出手段３１は、前記回転数導出手段３０から送信された前記第１の真空ポンプ５の回転数の出力信号を受信すると、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃに導入させる導入圧力を求める。前記導入圧力導出手段３１は、該求めた導入圧力の出力信号を、前記判定手段３２に送信する。前記判定手段３２は、前記回転数導出手段３０から、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとの前記第１の真空ポンプ５の回転数の出力信号を受信すると、前記基準値導出機能により、該回転数から感度と第１の真空ポンプ５の排気速度とを前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求める。その後、前記判定手段３２は、前記サーチガス導入口判定機能により、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた感度、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の排気速度、前記導入圧力導出手段３１で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた導入圧力、前記回転数導出手段３０で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数を、前記優先順位設定部に設定された優先順位に基づいて比較し、前記複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃから、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを判定する。次に、前記判定手段３２は、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃと判定された、サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃにおける、前記回転数導出手段３０で求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数の出力信号を、前記回転数送信機能により、前記回転数設定部８Ａに送信する。これにより、該第１の真空ポンプ５の回転数が前記回転数設定部８Ａに設定される。また、前記判定手段３２は、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃと判定された、サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃにおける、前記導入圧力導出手段３１で求めた導入圧力の出力信号を、前記導入圧力送信機能により、前記導入圧力制御部２３と前記第１の開閉弁制御装置３４に送信する。これにより、導入圧力がこれらに設定される。さらに、前記判定手段３２は、前記開閉弁設定機能により、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃと判定された、サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃに接続される、前記分岐流路上の前記第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃを、前記検査対象１から漏洩したサーチガスをサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃに導入させるときに開く第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃとして、前記第１の開閉弁制御装置３４に設定する。
【００５７】
更に、漏洩試験の試験者は、前記準備の後、漏洩試験前の準備として、前記第１実施形態の漏洩検出装置を用いた漏洩試験と同様に、第２実施形態の漏洩検出装置の校正と、該校正に基づいて第２実施形態の漏洩検出装置内に滞留する、前記サーチガスと同じ種類のガスの排気と、を行う。
【００５８】
次に、漏洩試験の試験者が漏洩試験を実施する場合、前記試験者は、前記した漏洩試験前の準備を行った後、まず、前記第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃと前記第２の開閉弁２５と前記第３の開閉弁２９と前記第４の開閉弁１８とリーク遮断バルブ１６とを閉止し、前記第５の開閉弁３５を開いた状態で、前記真空ポンプ制御装置８の操作等を行う。その後、前記第１実施形態の漏洩検出装置を用いた漏洩試験と同様の工程を経て、前記圧力計２６により計測される圧力が、前記導入圧力制御部２３に設定された導入圧力に達すると、該導入圧力制御部２３は、前記第２の開閉弁２５を閉止させる制御を行なうと共に前記真空ポンプ制御装置８に信号を送信する。該信号を受信した真空ポンプ制御装置８は前記第３の真空ポンプ２２の駆動を停止させる。また、前記圧力計２６により計測される圧力が、前記第１の開閉弁制御装置３４に設定された導入圧力に達すると、前記第１の開閉弁制御装置３４は、前記判定手段３２に前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃと判定された、サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃに接続される、前記分岐流路上の前記第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃを開く制御を行なう。該第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃを開かせると、前記検査対象１から前記サーチガスの漏洩がある場合には、前記検査対象１内の圧力と、前記容器３内、前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃよりも上流側位置と、の差圧に基づいて、前記検査対象１内から前記容器３内に漏洩したサーチガスが、前記サーチガス導入流路２０を介して前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃに導入される。該導入されたサーチガスは、前記第１の真空ポンプ５内を逆拡散させられて、前記分析管６内に導入される。該分析管６は、導入された前記サーチガスをイオン化し、該サーチガスイオンに基づいたイオン電流値を検出する。これにより、前記検査対象１からの前記サーチガスの漏れ量が検出される。その後、前記試験者は、前記第１実施形態の漏洩検出装置を用いた漏洩試験と同様の工程を行う。
【００５９】
このように、第２実施形態の漏洩検出装置は、前記回転数導出手段３０が前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数に基づいて、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、感度と前記第１の真空ポンプ５の排気速度とを求める基準値導出機能と、該基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた感度、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の排気速度、前記導入圧力導出手段３１で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた導入圧力、前記回転数導出手段３０で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数の少なくとも一つに基づいて、前記複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃから、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを判定するサーチガス導入口判定機能と、を有する判定手段３２を備えるので、漏洩試験の試験者は、複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃから、漏洩試験に合ったサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを選ぶことができる。
【００６０】
更に、図３及び図４に示された、第２実施形態の漏洩検出装置は、第１実施形態の漏洩検出装置と同様の効果も奏する。
【００６１】
なお、本考案の漏洩検出装置は前記した各実施形態の構成に限定されるものではない。前記各実施形態における容器３は、検査対象１を収納する構成に限られるものではなく、たとえば、検査対象１の表面の一部を覆うことが可能な構成としてもよい。
【００６２】
前記各実施形態におけるサーチガス供給流路１５は前記容器３に接続させ、前記サーチガス導入流路２０は前記検査対象１に接続させる構成としてもよい。この場合には、前記各実施形態における前記第２の開閉弁２５及び前記第３の真空ポンプ２２、前記リーク遮断バルブ１６及び前記校正リーク１７、並びに、前記第４の開閉弁１８は、たとえば、前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１，２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃよりも上流側位置に設ければよい。
【００６３】
前記各実施形態における回転数導出手段９，３０は、前記検査対象１に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて漏洩検出装置に設定する、感度に基づいて、前記第１の真空ポンプ５の回転数を求める機能を有する物品であれば如何なる構成でもよい。前記回転数導出手段９，３０は、たとえば、感度と第１の真空ポンプ５の回転数との関係を示す表や図等であってもよい。
【００６４】
前記各実施形態における導入圧力導出手段１０，３１は、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃに導入させる導入圧力を、前記回転数設定部８Ａに設定される、前記第１の真空ポンプ５の回転数に基づいて求める機能を有する物品であれば如何なる構成でもよい。前記サーチガス導入圧力導出手段１０，３１は、たとえば、第１の真空ポンプ５の回転数と導入圧力と前記分析管６内の圧力との関係を示す表や図等であってもよい。また、前記サーチガス導入圧力導出手段１０，３１は、たとえば、前記回転数設定部８Ａに設定される、前記第１の真空ポンプ５の回転数を読み込んで、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃに導入させる導入圧力を求める構成としてもよい。
【００６５】
前記各実施形態における導入圧力制御装置１１は、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃに導入させる導入圧力が、前記導入圧力導出手段１０，３１で求めた導入圧力になるように、前記検査対象１からサーチガスが漏れ出る空間の圧力の制御を行うことができれば如何なる構成でもよい。前記第１実施形態における前記導入圧力制御装置１１は、たとえば、前記第１の真空ポンプ５と前記第２の真空ポンプ７との間の流路に設けたフォアバルブと、前記第２の真空ポンプ７と、該第２の真空ポンプ７と前記フォアバルブとの間の流路と前記容器３とを接続する流路と、該流路に設けた第２の開閉弁２５と、前記圧力計２６と、前記導入圧力制御部２３と、を備え、前記導入圧力制御部２３は、前記第１の真空ポンプ５と前記第２の真空ポンプ７の駆動により、前記分析管６を機能させるために必要な圧力に該分析管６内の圧力が減圧された後に、前記フォアバルブを閉止させる制御と前記第２の開閉弁２５を開く制御とを行なう機能と、前記圧力計２６により計測された圧力が前記導入圧力導出手段１０で求めた導入圧力になったときに前記フォアバルブを開く制御と前記第２の開閉弁２５を閉止させる制御とを行なう機能と、を有した構成としてもよい。また、前記第２実施形態における前記導入圧力制御装置１１は、たとえば、前記第５の開閉弁３５と、前記第２の真空ポンプ７と、前記サーチガス導入流路４Ｃに接続した分岐流路上の第１の開閉弁２１Ｃと、前記圧力計２６と、前記導入圧力制御部２３と、を備え、前記導入圧力制御部２３は、前記第１の真空ポンプ５と前記第２の真空ポンプ７の駆動により、前記分析管６を機能させるために必要な圧力に該分析管６内の圧力が減圧された後に、前記第５の開閉弁３５を閉止させる制御と前記第１の開閉弁２１Ｃを開く制御とを行なう機能と、前記圧力計２６により計測された圧力が前記導入圧力導出手段３１で求めた導入圧力になったときに前記第５の開閉弁３５を開く制御と前記第１の開閉弁２１Ｃを閉止させる制御とを行なう機能と、を有した構成としてもよい。
【００６６】
前記各実施形態におけるガス導入装置１３は、前記分析管６にサーチガスと同じ種類の大気中のガスを導入することができれば如何なる構成でもよい。前記ガス導入装置１３は、たとえば、前記第１の開閉弁２１，２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃを３方弁として、該第１の開放弁２１，２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃに前記大気接続流路２７を接続し、該大気接続流路２７の上流側先端に前記ガス透過装置２８を設けた構成としてもよい。また、前記ガス導入装置１３は、前記第１の真空ポンプ５と前記分析管６との間の流路に前記大気接続流路２７を接続して、該大気接続流路２７の上流側先端に前記ガス透過装置２８を設け、前記大気接続流路２７における前記ガス透過装置２８よりも下流側位置に第３の開閉弁２９を設けるようにした構成としてもよい。
【００６７】
前記各実施形態における圧力計２６は、前記サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１，２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃよりも上流側位置の圧力を計測できれば如何なる位置に設けられていてもよい。前記圧力計２６は、たとえば、前記容器３に設けられてもよい。
【００６８】
前記第２実施形態におけるサーチガス導入流路２０は、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを、前記判定手段３２の前記サーチガス導入口判定機能による判定で求めた前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃに導入できれば如何なる構成でもよい。前記サーチガス導入流路２０は、たとえば、その下流側を分岐させないで、該サーチガス導入流路２０における前記第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃを１つとし、前記判定手段３２の前記サーチガス導入口判定機能による判定で前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを求める度に、該サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃに、前記サーチガス導入流路２０を接続するようにしてもよい。この場合には、前記判定手段３２における開閉弁設定機能を削除して、前記第１の開閉弁制御装置３４は、前記圧力計２６により計測された圧力が、前記判定手段３２に前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃと判定されたサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃにおける、前記導入圧力導出手段３１で求めた導入圧力になったときに、前記第１の開閉弁２１Ａ，２１Ｂ又は２１Ｃを開くように構成すればよい。
【００６９】
前記第２実施形態における判定手段３２は、前記基準値導出機能、前記サーチガス導入口判定機能を有する物品であれば如何なる構成でもよい。前記判定手段３２は、前記基準値導出機能を、たとえば、感度と第１の真空ポンプ５の回転数との関係を示した表や図等、第１の真空ポンプ５の排気速度と第１の真空ポンプ５の回転数との関係を示した表や図等により有した構成としてもよい。また、前記判定手段３２は、前記サーチガス導入口判定機能を、たとえば、前記第１の真空ポンプ５のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに、前記基準値導出機能により求めた感度、前記基準値導出機能により求めた前記第１の真空ポンプ５の排気速度、前記導入圧力導出手段３１で求めた導入圧力、前記回転数導出手段３０で求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数を示した表や図等により有した構成としてもよい。
【００７０】
前記第２実施形態における判定手段３２の基準値導出機能は、感度、前記第１の真空５ポンプの排気速度の少なくとも一つを導出できれば如何なる構成でもよい。判定手段３２の基準値導出機能は、たとえば、感度と前記第１の真空ポンプ５の排気速度のいずれか一方を導出するように構成されていてもよい。
【００７１】
前記第２実施形態における判定手段３２のサーチガス導入口判定機能は、前記複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃの中から、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを判定する判定基準を、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた感度、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の排気速度、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに前記導入圧力導出手段３１求めた導入圧力、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに前記回転数導出手段３０で求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数の少なくとも一つとしているが、これらの判定基準は増減してもよい。たとえば、判定手段３２のサーチガス導入口判定機能は、前記判定基準を１つ減少させて、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた感度、前記基準値導出機能により前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに求めた前記第１の真空ポンプ５の排気速度、前記サーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃごとに前記回転数導出手段３０で求めた前記第１の真空ポンプ５の回転数の少なくとも一つに基づいて、前記複数のサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ，４Ｃの中から、前記検査対象１から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口４Ａ，４Ｂ又は４Ｃを判定するようにしてもよい。
【００７２】
以上、本考案の漏洩検出装置の好ましい実施形態について説明したが、本考案はこれら実施形態に限定されることはない。本考案の趣旨を逸脱しない範囲で、構成の付加、省略、置換、およびその他の変更が可能である。本考案は前述した説明によって限定されることはなく、実用新案登録請求の範囲の記載によってのみ限定される。
【符号の説明】
【００７３】
１  検査対象
４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃ  サーチガス導入口
５  第１の真空ポンプ
６  分析管
８  真空ポンプ制御装置
８Ａ  回転数設定部
８Ｂ  第１の真空ポンプ制御部
９，３０  回転数導出手段
１０，３１  導入圧力導出手段
１１  導入圧力制御装置
１３  ガス導入装置
１４  加速電圧調整装置
３２  判定手段
【図１】
0003219549.tif 000003
【図２】
0003219549.tif 000004
【図３】
0003219549.tif 000005
【図４】
0003219549.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成30年11月2日(2018.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】実用新案登録請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
検査対象から漏洩したサーチガスが導入されるサーチガス導入口を備えた第１の真空ポンプと、該第１の真空ポンプの吸気側に接続され、前記検査対象から漏洩したサーチガスを検出する分析管と、を備える、前記検査対象からのサーチガスの漏洩を検出する漏洩検出装置であって、
前記第１の真空ポンプの回転数が設定される回転数設定部と、該回転数設定部に設定された前記第１の真空ポンプの回転数で該第１の真空ポンプを駆動させる機能を有する第１の真空ポンプ制御部と、を備える真空ポンプ制御装置を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする漏洩検出装置。
【請求項２】
前記検査対象に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する、感度に基づいて、前記回転数設定部に設定する、前記第１の真空ポンプの回転数を求める機能を有する回転数導出手段を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする請求項１記載の漏洩検出装置。
【請求項３】
前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力を、前記回転数設定部に設定される、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて求める機能を有する導入圧力導出手段を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の漏洩検出装置。
【請求項４】
前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力が、前記導入圧力導出手段で求めた導入圧力になるように、前記検査対象からサーチガスが漏れ出る空間の圧力の制御を行なう機能を有する導入圧力制御装置を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする請求項３記載の漏洩検出装置。
【請求項５】
前記分析管に前記サーチガスと同じ種類のガスを大気中から導入するガス導入装置を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の漏洩検出装置。
【請求項６】
前記ガス導入装置から前記分析管に導入された、前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスに基づいて、該分析管の加速電圧を調整する制御を、該分析管に行なう機能を有する加速電圧調整装置を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする請求項５記載の漏洩検出装置。
【請求項７】
前記第１の真空ポンプは、前記サーチガス導入口を、前記第１の真空ポンプの圧縮比の異なる複数の位置に備え、
前記回転数導出手段は、前記サーチガス導入口ごとに、前記回転数設定部に設定する前記第１の真空ポンプの回転数を求める機能を有し、
該回転数導出手段が前記サーチガス導入口ごとに求めた、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて、前記サーチガス導入口ごとに、感度、前記第１の真空ポンプの排気速度の少なくとも一つを求める基準値導出機能と、該基準値導出機能により求めた感度、前記基準値導出機能により求めた前記第１の真空ポンプの排気速度、前記回転数導出手段で求めた前記第１の真空ポンプの回転数の少なくとも一つに基づいて、前記複数のサーチガス導入口から、前記検査対象から漏洩したサーチガスを導入させる、サーチガス導入口を判定するサーチガス導入口判定機能と、を有する判定手段を備えるようにした、
構成を有することを特徴とする請求項２記載の漏洩検出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
更に又、請求項７に対応して、前記請求項２における、前記第１の真空ポンプは、前記サーチガス導入口を、前記第１の真空ポンプの圧縮比の異なる複数の位置に備え、前記回転数導出手段は、前記サーチガス導入口ごとに、前記回転数設定部に設定する前記第１の真空ポンプの回転数を求める機能を有し、該回転数導出手段が前記サーチガス導入口ごとに求めた、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて、前記サーチガス導入口ごとに、感度、前記第１の真空ポンプの排気速度の少なくとも一つを求める基準値導出機能と、該基準値導出機能により求めた感度、前記基準値導出機能により求めた前記第１の真空ポンプの排気速度、前記回転数導出手段で求めた前記第１の真空ポンプの回転数の少なくとも一つに基づいて、前記複数のサーチガス導入口から、前記検査対象から漏洩したサーチガスを導入させる、サーチガス導入口を判定するサーチガス導入口判定機能と、を有する判定手段を備えるようにした構成とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本考案の漏洩検出装置によれば、以下のような優れた効果を発揮する。
（１）本考案の漏洩検出装置は、検査対象から漏洩したサーチガスが導入されるサーチガス導入口を備えた第１の真空ポンプと、該第１の真空ポンプの吸気側に接続され、前記検査対象から漏洩したサーチガスを検出する分析管と、を備える、前記検査対象からのサーチガスの漏洩を検出する漏洩検出装置に、前記第１の真空ポンプの回転数が設定される回転数設定部と、該回転数設定部に設定された前記第１の真空ポンプの回転数で該第１の真空ポンプを駆動させる機能を有する第１の真空ポンプ制御部と、を備える真空ポンプ制御装置を備えるようにした構成としているので、前記第１の真空ポンプを、前記回転数設定部に設定された前記第１の真空ポンプの回転数で駆動させることができる。したがって、前記第１の真空ポンプの排気速度を変えることができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、感度を変えることができる。
（２）又、前記漏洩検出装置は、前記検査対象に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する、感度に基づいて、前記回転数設定部に設定する、前記第１の真空ポンプの回転数を求める機能を有する回転数導出手段を備えるようにした構成とすることにより、前記検査対象に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する、感度に基づいて、前記回転数設定部に設定する、前記第１の真空ポンプの回転数を求めることができるので、該求めた前記第１の真空ポンプの回転数を、前記回転数設定部に設定することができる。したがって、前記検査対象に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する感度に基づいて求めた、前記第１の真空ポンプの回転数で、該第１の真空ポンプを駆動させることができるので、該感度に基づいた、前記第１の真空ポンプの排気速度を得ることができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、前記検査対象に要求されるサーチガスの漏れ量の閾値に応じて設定する感度に応じた、応答時間にすることができる。
（３）更に、前記漏洩検出装置は、前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力を、前記回転数設定部に設定される、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて求める機能を有する導入圧力導出手段を備えるようにした構成とすることにより、前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力を、前記回転数設定部に設定される、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて求めることができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、前記第１の真空ポンプの排気速度に応じた、導入圧力を求めることができる。
（４）更に又、前記（３）の漏洩検出装置は、前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力が、前記導入圧力導出手段で求めた導入圧力になるように、前記検査対象からサーチガスが漏れ出る空間の圧力の制御を行なう機能を有する導入圧力制御装置を備えるようにした構成とすることにより、前記検査対象から漏洩したサーチガスを前記サーチガス導入口に導入させる導入圧力を、前記導入圧力導出手段で求めた導入圧力にすることができる。よって、本考案の漏洩検出装置によれば、前記第１の真空ポンプの排気速度に応じた、導入圧力を得ることができる。
（５）又、前記漏洩検出装置は、前記分析管に前記サーチガスと同じ種類のガスを大気中から導入するガス導入装置を備えるようにした構成とすることにより、前記分析管に、前記サーチガスと同じ種類のガスを大気中から導入することができる。
（６）更に、前記（５）の漏洩検出装置は、前記ガス導入装置から前記分析管に導入された、前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスに基づいて、該分析管の加速電圧を調整する制御を、該分析管に行なう機能を有する加速電圧調整装置を備えるようにした構成とすることにより、前記分析管の加速電圧を、前記ガス導入装置から導入した前記サーチガスと同じ種類の大気中のガスに基づいて調整することができる。
（７）更に又、前記（２）の漏洩検出装置における、前記第１の真空ポンプは、前記サーチガス導入口を、前記第１の真空ポンプの圧縮比の異なる複数の位置に備え、前記回転数導出手段は、前記サーチガス導入口ごとに、前記回転数設定部に設定する前記第１の真空ポンプの回転数を求める機能を有し、該回転数導出手段が前記サーチガス導入口ごとに求めた、前記第１の真空ポンプの回転数に基づいて、前記サーチガス導入口ごとに、感度、前記第１の真空ポンプの排気速度の少なくとも一つを求める基準値導出機能と、該基準値導出機能により求めた感度、前記基準値導出機能により求めた前記第１の真空ポンプの排気速度、前記回転数導出手段で求めた前記第１の真空ポンプの回転数の少なくとも一つに基づいて、前記複数のサーチガス導入口から、前記検査対象から漏洩したサーチガスを導入させる、サーチガス導入口を判定するサーチガス導入口判定機能と、を有する判定手段を備えるようにした構成とすることにより、前記複数のサーチガス導入口から、前記検査対象から漏洩したサーチガスを導入させるサーチガス導入口を特定することができる。