【手続補正書】
【提出日】平成25年4月17日(2013.4.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
イオン源５１４は一般に、ガリウム・イオン・ビームを供給する液体金属イオン源だが、イオン用に例えば酸素、アルゴンまたは他の貴ガスを使用する、マルチカスプ（ｍｕｌｔｉｃｕｓｐ）または他のプラズ・マイオン源などの他のイオン源を使用することもできる。イオン源５１４は一般に、イオン・ミリング、化学強化エッチング、材料付着によってワークピース５３０を改変するため、またはワークピース５３０を画像化するために、ワークピース５３０における幅が１／１０マイクロメータ以下のビームに集束させることができる。ビームを一点に集束させるのではなく、このイオン・カラムは成形ビームを提供することもできる。成形ビームは、より大きなビーム電流を供給して、スパッタリング時間を短縮することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
本発明の集束イオン・ビーム・システムの好ましい実施形態は、イオン源と、源からイオンを抽出し、それらのイオンをビームに形成する抽出電極と、指定されたエネルギーよりも小さいエネルギーを有するビーム中のイオンの通過を阻止し、指定されたエネルギー値よりも大きなエネルギーを有する実質的に全てのイオンを通過させる高域フィルタであり、指定された値が、イオン・ビームのピーク・エネルギー値よりも小さい、高域フィルタと、イオン・ビームを試料上に位置決めする偏向器と、試料上のサブマイクロメータの（サブミクロン・）スポット上にイオンを集束させる集束レンズとを含む。高域フィルタの好ましい実施形態は、ビームのエネルギー・ピークから４ｅＶ、６ｅＶまたはより好ましくは１０ｅＶを差し引いたエネルギー値よりも小さいエネルギーを有するイオンを除去する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
本発明の集束イオン・ビーム・システムの好ましい実施形態は、異なるエネルギーを有するイオンを生成し、それらのイオンをビームに形成するイオン源であり、前記エネルギーが、ピーク・エネルギー付近を中心に分布し、低エネルギー・テールを有する、イオン源と、エネルギー・ピークよりも小さい指定されたエネルギー値よりも小さいエネルギーを有するイオンの通過を阻止するエネルギー・フィルタであり、低エネルギー・イオン・テール中のイオンの通過を優先的に阻止し、エネルギー・ピークよりも大きなエネルギーを有するイオンを通過させるエネルギー・フィルタと、イオン・ビームを試料上に位置決めする偏向器と、試料上のサブマイクロメータのスポット上にイオンを集束させる集束レンズとを含むことができる。集束イオン・ビーム・システムの好ましい実施形態は、ビーム・ピーク・エネルギーよりも小さいイオンのうちの２％超のイオン、およびビーム・ピークよりも大きいイオンのうちの１％未満のイオンの通過を阻止し、より好ましくは、ビーム・ピーク・エネルギーよりも小さいイオンのうちの１．５％超のイオン、およびビーム・ピ
ークよりも大きいイオンのうちの０．５％未満のイオンの通過を阻止するエネルギー・フィルタを含む。エネルギー・フィルタの好ましい実施形態は、ビームのピーク・エネルギーに関して対称でないエネルギー範囲内のエネルギーを有するイオンを通過させ、このエネルギー範囲は、エネルギー・ピークの下側よりも、エネルギー・ピークの上側へより長く延びる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
本発明および本発明の利点を詳細に説明したが、本明細書に記載された実施形態に、さまざまな変更、置換および改変を加えることができることを理解すべきである。さらに、本出願の範囲が、本明細書に記載されたプロセス、機械、製造、組成物、手段、方法およびステップの特定の実施形態に限定されることは意図されていない。当業者なら本発明の開示から容易に理解するように、本明細書に記載された対応する実施形態と実質的に同じ機能を実行し、または実質的に同じ結果を達成する既存のまたは今後開発されるプロセス、機械、製造、組成物、手段、方法またはステップを、本発明に従って利用することができる。したがって、添付の特許請求の範囲は、その範囲内に、このようなプロセス、機械、製造、組成物、手段、方法またはステップを含むことが意図されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を処理する集束イオン・ビーム・システムであって、
イオン源と、
前記源からイオンを抽出し、前記イオンをビームに形成する抽出電極と、
指定されたエネルギーよりも小さいエネルギー値を有する前記ビーム中のイオンの通過を阻止し、前記指定されたエネルギーよりも大きなエネルギー値を有する実質的に全てのイオンを通過させる高域フィルタであり、前記指定されたエネルギー値が、イオン・ビームのピーク・エネルギー値よりも小さい、高域フィルタと、
前記イオン・ビームを前記試料上に位置決めする偏向器と、
前記試料上のサブマイクロメータのスポット上に前記イオンを集束させる集束レンズと、
を備える集束イオン・ビーム・システム。
【請求項２】
前記高域フィルタが、前記ビームのエネルギー・ピークから４ｅＶを差し引いたエネルギー値よりも小さいエネルギーを有するイオンを除去するために構成される、請求項１に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項３】
前記高域フィルタが、前記ビームのエネルギー・ピークから６ｅＶを差し引いたエネルギー値よりも小さいエネルギーを有するイオンを除去するために構成される、請求項１に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項４】
前記高域フィルタが、前記ビームのエネルギー・ピークから１０ｅＶを差し引いたエネルギー値よりも小さいエネルギーを有するイオンを除去するために構成される、請求項１に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項５】
前記高域フィルタが静電偏向器を備える、請求項１に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項６】
前記高域フィルタが、少なくとも４つの静電偏向器を備える、請求項５に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項７】
前記高域フィルタが半球フィルタを備える、請求項５に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項８】
前記高域フィルタが磁気偏向器を備える、請求項１に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項９】
前記高域フィルタが帯域フィルタを備え、通過帯域が、前記ビームのエネルギー・ピークよりも大きなエネルギーを有する実質的に全てのイオンを通過させる、請求項１に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項１０】
前記高域フィルタが、前記ピーク値よりも小さいエネルギーを有するイオンのうちの２％超のイオン、および前記ピーク値よりも大きなエネルギーを有するイオンのうちの１％未満のイオンの通過を阻止するために構成される、請求項１に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項１１】
前記高域フィルタが、前記ピーク値よりも小さいエネルギーを有するイオンのうちの３％超のイオン、および前記ピーク値よりも大きなエネルギーを有するイオンのうちの２％未満のイオンの通過を阻止するために構成される、請求項１に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項１２】
試料を処理する集束イオン・ビーム・システムであって、
異なるエネルギーを有するイオンを生成し、前記イオンをビームに形成するイオン源であり、前記エネルギーが、ピーク・エネルギー付近を中心に分布し、低エネルギー・テールを有する、イオン源と、
前記エネルギー・ピークよりも小さい指定されたエネルギー値よりも小さいエネルギーを有するイオンの通過を阻止するエネルギー・フィルタであり、前記低エネルギー・イオン・テール中のイオンの通過を優先的に阻止し、前記エネルギー・ピークよりも大きなエネルギーを有するイオンを通過させるエネルギー・フィルタと、
イオン・ビームを前記試料上に位置決めする偏向器と、
前記試上のサブマイクロメータのスポット上に前記イオンを集束させる集束レンズと、
を備える集束イオン・ビーム・システム。
【請求項１３】
前記エネルギー・フィルタが、前記ビーム・ピーク・エネルギーよりも小さいイオンのうちの２％超のイオン、および前記ビーム・ピークよりも大きいイオンのうちの１％未満のイオンの通過を阻止する、請求項１２に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項１４】
前記エネルギー・フィルタが、前記ビーム・ピーク・エネルギーよりも小さいイオンのうちの１．５％超のイオン、および前記ビーム・ピークよりも大きいイオンのうちの０．５％未満のイオンの通過を阻止する、請求項１２に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項１５】
前記エネルギー・フィルタが、前記ビームの前記ピーク・エネルギーに関して対称でないエネルギー範囲内のエネルギーを有するイオンを通過させ、前記エネルギー範囲が、前記エネルギー・ピークの下側よりも、前記エネルギー・ピークの上側へより長く延びる、請求項１２に記載の集束イオン・ビーム・システム。
【請求項１６】
集束イオン・ビーム・システムのビーム品質を改善する方法であって、
イオン源からイオンを放出し、前記イオンをビームに形成するステップであり、前記ビーム中のイオン・エネルギー分布が、ピーク値に関して非対称であり、前記分布が、前記ピーク・エネルギー値よりも小さいエネルギー値を有するイオンを、前記ピーク・エネルギー値より大きなエネルギーを有するイオンよりも多く含む、ステップと、
前記ピーク値よりも小さいエネルギーを有するイオンを、前記ピーク値よりも大きなエネルギーを有するイオンよりも多くフィルタによって除去するステップと、
残ったイオンを試料上に集束させるステップと、
を含む方法。
【請求項１７】
イオンをフィルタによって除去するステップが、前記ピーク値よりも大きなエネルギーを有する前記ビーム中の実質的に全てのイオンを通過させ、前記ピーク・エネルギー値よりも指定された量以上小さいエネルギーを有するイオンの通過を阻止するステップを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
イオンをフィルタによって除去するステップが、前記イオンを複数回偏向させるステップを含み、前記エネルギー・ピークよりも前記指定された偏差以上小さいエネルギーを有するイオンが、バリヤを通過するほど十分には偏向されない、請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
イオンをフィルタによって除去するステップが、前記ピーク・エネルギーから４ｅＶを差し引いた値よりも小さいエネルギーを有するイオンをフィルタによって除去するステップを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項２０】
イオンをフィルタによって除去するステップが、前記ピーク・エネルギーから６ｅＶを差し引いた値よりも小さいエネルギーを有するイオンをフィルタによって除去するステッ
プを含む、請求項１６に記載の方法。