【手続補正書】
【提出日】平成25年10月16日(2013.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板処理部に対して第１の基板搬送機構により基板の搬送を行うための第１の搬送ブロックと、
この第１の搬送ブロックの下方側に積層して設けられ、第２の基板処理部に対して第２の基板搬送機構により基板の搬送を行うための第２の搬送ブロックと、
前記第１の搬送ブロック内に清浄気体のダウンフローを形成するために、当該第１の搬送ブロックの上部に設けられた第１のファンフィルタユニットと、
前記第１の搬送ブロックの底部には排気口を備えた床板が設けられ、この排気口から前記ダウンフローを取り込んで前記第２の搬送ブロック内に清浄気体のダウンフローを形成するために、当該第２の搬送ブロックの上部に設けられた第２のファンフィルタユニットと、を備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記第１の基板搬送機構は、基板保持部と、前記第１の搬送ブロックの底部に設けられ、当該基板保持部を走行させるための軌道を構成する走行ガイド機構部とを備え、当該走行ガイド機構部には、前記第１の搬送ブロック内のダウンフローを前記第２のファンフィルタユニット側へ向けて通過させるための通気口が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記走行ガイド機構部には、前記通気口を通過するダウンフローを前記第２のファンフィルタユニット側へ向けて送り出すための中間ファンが設けられていることを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記第１の搬送ブロックの底部と、前記第２のファンフィルタユニットの吸込口との間を連通させる空間内に外部の雰囲気を取り込むための開口部が設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記第１のファンフィルタユニット及び第２のファンフィルタユニットには、送風量の調節を行うための風量調節部が設けられ、
前記第１の搬送ブロック内の圧力、及び第２の搬送ブロック内の圧力を検出する内部圧力検出部と、
これら内部圧力検出部の検出結果に基づいて、前記第１の搬送ブロック内の圧力と第２の搬送ブロック内の圧力とが揃うように前記風量調節部に制御信号を出力する制御部と、を備えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の基板処理装置。
【請求項６】
第１の搬送ブロック及び第２の搬送ブロックの外部の圧力を検出する外部圧力検出部を備え、
前記制御部は、前記内部圧力検出部及び前記外部圧力検出部の検出結果に基づいて、第１の搬送ブロック内及び第２の搬送ブロック内の圧力が外部の圧力よりも高くなるように前記風量調節部に制御信号を出力することを特徴とする請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記第１の搬送ブロックの天井部には、前記第１のファンフィルタユニットから吐出された清浄気体の流れを整えるための整流板が設けられ、この整流板に形成された清浄気体の供給口の開口面積は、前記床板の排気口の開口面積よりも大きいことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一つに記載の基板処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（ｄ）前記第１のファンフィルタユニット及び第２のファンフィルタユニットには、送風量の調節を行うための風量調節部が設けられ、前記第１の搬送ブロック内の圧力、及び第２の搬送ブロック内の圧力を検出する内部圧力検出部と、これら内部圧力検出部の検出結果に基づいて、前記第１の搬送ブロック内の圧力と第２の搬送ブロック内の圧力とが揃うように前記風量調節部に制御信号を出力する制御部と、を備えること。  
（ｅ）（ｄ）において、第１の搬送ブロック及び第２の搬送ブロックの外部の圧力を検出する外部圧力検出部を備え、前記制御部は、前記内部圧力検出部及び前記外部圧力検出部の検出結果に基づいて、第１の搬送ブロック内及び第２の搬送ブロック内の圧力が外部の圧力よりも高くなるように前記風量調節部に制御信号を出力すること。
（ｆ）前記第１の搬送ブロックの天井部には、前記第１のファンフィルタユニットから吐出された清浄気体の流れを整えるための整流板が設けられ、この整流板に形成された清浄気体の供給口の開口面積は、前記床板の排気口の開口面積よりも大きいこと。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
さらに本例の液処理装置１では、図２、３、４、６に示すように第１の搬送ブロック１４２ａ内に安定なダウンフローを形成するための排気ファンとして、下段側の第２の搬送ブロック１４２ｂにダウンフローを形成するための第２のＦＦＵ３２を用いている。詳細には、第１の搬送ブロック１４２ａの底部に設けられた床板１５には、ダウンフローの排気を行うための排気口１５１が形成されており、この床板１５の下方側（排気口１５１の出口側）に第２のＦＦＵ３２が配置されている。  
第２のＦＦＵ３２にて上段側のダウンフローを取り込むことにより、第１の搬送ブロック１４２ａ内に均一で乱れの少ないダウンフローが形成される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
第２のＦＦＵ３２は、床板１５の排気口１５１を通過した第１の搬送ブロック１４２ａのダウンフローを送風ファン３２１にて取り込み、フィルタ部３２３によってパーティクルが除去された清浄気体が第２の搬送ブロック１４２ｂに流れ込むことにより、当該搬送ブロック１４２ｂ内にダウンフローが形成される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
この結果、クリーンルーム内の大気など液処理装置１の外部雰囲気を取りこむ上段側の送風ファン３１１と比べて、下段側の送風ファン３２１は吸込側の圧力が低く、空気の供給量が少ない条件下で稼動することになる。このような条件下で下段側の第２の搬送ブロック１４２ｂ内の圧力条件やダウンフローの流量、流速を上段側の第１の搬送ブロック１４２ａと同じにしようとすると、下段側の第２のＦＦＵ３２には、より大きな送風能力を有する送風ファン３２１が必要となり、装置コストの上昇要因となる。また第１の搬送ブロック１４２ａ側で失われた空気を補う必要も生じる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
ここで第１、第２の搬送ブロック１４２ａ、１４２ｂ内の圧力を調整する機能に関し、制御部４は、これらのブロック１４２ａ、１４２ｂ内の圧力が外部の圧力よりも高くなるように調節する機能を備えている。例えば第１、第２の搬送ブロック１４２ａ、１４２ｂや、液処理装置１の外部、各液処理部２内には、これらの雰囲気の圧力を検出するため複数の圧力計（不図示）が設けられている。そして、各圧力計の検出結果に基づいて、第１、第２のＦＦＵ３１、３２の送風ファン３１１、３２１の回転数を調節し、第１、第２の搬送ブロック１４２ａ、１４２ｂ内の圧力を外部（液処理装置１の外部雰囲気や液処理部２）の圧力よりも高くする制御を行っている。この場合は、第１、第２の搬送ブロック１４２ａ、１４２ｂの内部の圧力を検出する圧力計は内部圧力検出部に相当し、液処理装置１の外部や各液処理部２内の圧力を検出する圧力計は外部圧力検出部に相当する。  
またこのとき、既述のように第１、第２の搬送ブロック１４２ａ、１４２ｂ内の圧力やダウンフロー流量、流速が揃うように調整される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
また残るウエハＷはウエハ搬送機構１４３によって第２の受け渡し棚１３１ｂから取り出され、下段側の第２の搬送ブロック１４２ｂ内を搬送されて各液処理部２に搬入される。  
このときも第２の搬送ブロック１４２ｂの天井面側と底部側では、第２のＦＦＵ３２、排気ファン３３１が稼動しており、上段側の第１の搬送ブロック１４２ａを通過したダウンフローが第２のＦＦＵ３２に取り込まれる。この結果、下段側の第２の搬送ブロック１４２ｂにダウンフローが形成され、パーティクルの巻き上げなどの少ない清浄な空間内をウエハＷが搬送される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
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