(57)【要約】【課題】より容易に被取付部材を回転させて所定位置で支持可能なヒンジロック機構の提供。【解決手段】ヒンジロック機構１００は、一対の軸受孔４０を有する支持部材１０と、一対の軸受孔４０により回転自在に支持される軸部材２０と、軸部材２０を回転中心として回転し、被取付部材としての蓋部材１が取り付けられた回転部材３０と、を備える。軸部材２０は、互いに対向しながら軸方向と直交する方向に延びる一対の平坦部２１と、互いに対向しながら平坦部２１同士の間を延びる一対の曲面部２２とを有する。軸受孔４０は、軸部材２０の曲面部２２に沿った内面を有し、軸部材２０を回転自在に支持する第１孔部４１と、第１孔部４１から下方に向けて延出され、軸部材２０の平坦部２１に沿った内面を有し、軸部材２０を摺動自在に支持する長孔状の第２孔部４２とを有する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
被取付部材を回転させて所定位置で支持するヒンジロック機構であって、
一対の軸受孔を有する支持部材と、
前記一対の軸受孔により回転自在に支持される軸部材と、
前記軸部材を回転中心として回転し、前記被取付部材が取り付けられた回転部材と、
を備え、
前記軸部材は、互いに対向しながら軸方向と直交する方向に延びる一対の平坦部と、互いに対向しながら前記平坦部同士の間を延びる一対の曲面部とを有し、
前記軸受孔は、前記軸部材の前記曲面部に沿った内面を有し、前記軸部材を回転自在に支持する第１孔部と、前記第１孔部から下方に向けて延出され、前記軸部材の前記平坦部に沿った内面を有し、前記軸部材を摺動自在に支持する長孔状の第２孔部とを有することを特徴とするヒンジロック機構。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、被取付部材を回転させて所定位置で保持するヒンジロック機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば切削加工が施された半導体ウエーハ等に洗浄を施す洗浄装置といった各種装置に関する技術が知られている。例えば、特許文献１には、装置の上面を覆う蓋部材が設けられた洗浄装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１８−７３９３０号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載された蓋部材は、装置の使用前後において開閉される必要がある。そのため、蓋部材を被取付部材として、被取付部材を開状態と閉状態との間で回転させると共に、開状態および閉状態で支持（保持）するロック機構が必要となる。例えば、ロック機構の一部として、被取付部材を所定位置でロックして支持するためにプランジャを用いることが考えられる。しかしながら、プランジャを用いた場合、ロックを解除するためにプランジャを引っ張った状態で被取付部材を回転させる必要が生じ、作業に手間が生じてしまうという問題があった。
【０００５】
本考案は、上記に鑑みてなされたものであって、より容易に被取付部材を回転させて所定位置で支持可能なヒンジロック機構の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本考案は、被取付部材を回転させて所定位置で支持するヒンジロック機構であって、一対の軸受孔を有する支持部材と、前記一対の軸受孔により回転自在に支持される軸部材と、前記軸部材を回転中心として回転し、前記被取付部材が取り付けられた回転部材と、を備え、前記軸部材は、互いに対向しながら軸方向と直交する方向に延びる一対の平坦部と、互いに対向しながら前記平坦部同士の間を延びる一対の曲面部とを有し、前記軸受孔は、前記軸部材の前記曲面部に沿った内面を有し、前記軸部材を回転自在に支持する第１孔部と、前記第１孔部から下方に向けて延出され、前記軸部材の前記平坦部に沿った内面を有し、前記軸部材を摺動自在に支持する長孔状の第２孔部とを有することを特徴とする。
【考案の効果】
【０００７】
本考案にかかるヒンジロック機構は、より容易に被取付部材を回転させて所定位置で保持可能なヒンジロック機構を得ることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、実施形態にかかるロック機構が第１状態とされた様子を示す斜視図である。
【図２】図２は、実施形態にかかるロック機構が第２状態とされた様子を示す斜視図である。
【図３】図３は、第１状態での軸部材と軸受孔との位置関係を示す断面図である。
【図４】図４は、第２状態での軸部材と軸受孔との位置関係を示す断面図である。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本考案にかかるヒンジロック機構の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの考案が限定されるものではない。
【００１０】
図１は、実施形態にかかるロック機構が第１状態とされた様子を示す斜視図であり、実施形態にかかるロック機構が第２状態とされた様子を示す斜視図である。実施形態にかかるヒンジロック機構１００は、被取付部材を回転させ、第１状態１０１および第２状態１０２でロックして支持する機構である。本実施形態において、被取付部材は、例えば、切削加工等の加工が施された半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハを洗浄する図示しない洗浄装置の上面を覆う蓋部材１である。また、本実施形態において、図１に示す第１状態１０１は、蓋部材１が洗浄装置の上方を塞ぐ閉状態であり、図２に示す第２状態１０２は、蓋部材１が洗浄装置の上方を開放する開状態である。ただし、被取付部材は、洗浄装置の蓋部材１に限らず、回転して所定位置でロックして支持される必要がある部材であればよい。
【００１１】
ヒンジロック機構１００は、図１および図２に示すように、支持部材１０と、軸部材２０と、回転部材３０と、を備えている。
【００１２】
支持部材１０は、基部１１と、基部１１の両端部に設けられた一対の支持部１２とを有する。基部１１は、例えばボルトといった締結具によって、図示しない洗浄装置に取り付けられる。一対の支持部１２は、基部１１の両端部から鉛直方向上方に向けて延出されている。一対の支持部１２は、図１および図２に示すように、互いに対向して設けられた軸受孔４０を有している。すなわち、支持部材１０は、互いに対向する一対の軸受孔４０を有する。
【００１３】
軸部材２０は、支持部材１０に設けられた一対の軸受孔４０に挿通されて支持される。軸部材２０は、軸方向において支持部１２の外側まで突出する。また、本実施形態において、軸部材２０の両端部は、外周にねじ部が形成されている。
【００１４】
回転部材３０は、一対の軸固定部３１と、取付部３２とを有する。軸固定部３１は、支持部材１０の支持部１２に対して、軸部材２０の軸方向において外側に１つずつ配置される。軸固定部３１には、支持部１２の外側に突出する軸部材２０のねじ部がねじ込まれて固定される。それにより、回転部材３０は、軸部材２０を回転中心として回転する。取付部３２は、一対の軸固定部３１の間に延在する。取付部３２には、図１および図２に二点鎖線で示すように、被取付部材としての蓋部材１が取り付けられる。
【００１５】
次に、ヒンジロック機構１００を第１状態１０１と第２状態１０２との間で切り替えるための構造について、図３および図４を参照しながら説明する。図３は、第１状態での軸部材と軸受孔との位置関係を示す断面図であり、図４は、第２状態での軸部材と軸受孔との位置関係を示す断面図である。図３および図４は、支持部１２および軸部材２０を軸部材２０の軸方向に沿った方向から視た断面図である。
【００１６】
軸部材２０は、図３および図４に示すように、一対の平坦部２１と、一対の曲面部２２とを有している。一対の平坦部２１は、互いに対向しながら、軸部材２０の軸方向と直交する方向、すなわち軸部材２０の幅方向に沿って延びる。一対の平坦部２１は、直線状に延びる部分である。一対の曲面部２２は、互いに対向しながら一対の平坦部２１同士の間を延びる。一対の曲面部２２は、例えば円弧状に形成された曲線状部分である。
【００１７】
軸受孔４０は、第１孔部４１と、第２孔部４２とを有する。第１孔部４１は、図３に示すように、軸部材２０の一対の曲面部２２に沿った形状の内面４１１を有する円形状の孔部である。第１孔部４１は、一対の曲面部２２が内面４１１に回転自在に当接する大きさに形成されている。それにより、第１孔部４１は、軸部材２０を回転自在に支持する。
【００１８】
第２孔部４２は、第１孔部４１の幅方向（図３および図４の左右方向）の中心部から、鉛直方向の下方に向けて延出された長孔状の孔部である。第２孔部４２は、第１孔部４１から延びる一対の内面４２１と、一対の内面４２１の第１孔部４１とは反対側の終端部に形成される内面４２２とを有する。一対の内面４２１は、図４に示すように、その幅が第１孔部４１の内径よりも小さく、かつ、軸部材２０の一対の平坦部２１が摺動自在に当接する大きさに形成される。すなわち、内面４２１は、軸部材２０の平坦部２１に沿った直線状に形成される。また、内面４２２は、軸部材２０の曲面部２２に沿った形状に形成される。それにより、第２孔部４２は、軸部材２０を内面４２１に沿った方向に摺動自在、かつ、内面４２１に沿った方向以外に移動不能に支持する。
【００１９】
次に、ヒンジロック機構１００の動作について、図１から図４を参照しながら説明する。ヒンジロック機構１００が図１に示す第１状態１０１である場合、図３に示すように、軸部材２０の曲面部２２が軸受孔４０の第１孔部４１に回転自在に支持された状態となる。このとき、軸部材２０は、一対の平坦部２１が第１孔部４１の幅方向に沿って延在した状態である。
【００２０】
ヒンジロック機構１００を第１状態１０１から第２状態１０２に移行させるときには、図１に実線矢印で示すように、蓋部材１および回転部材３０に回転方向の力を作用させる。それにより、図３に実線矢印および破線で示すように、軸部材２０が第１孔部４１の内面４１１に沿って回転する。言い換えると、蓋部材１が回転部材３０と共に軸部材２０を回転中心として回転する。図４に破線で示すように、軸部材２０が図３に示す状態から９０度回転し、一方の曲面部２２が内面４１１に当接しない位置まで至ると、図４に実線で示すように、軸部材２０が第２孔部４２内へと落ち込んで嵌りこむ。それにより、軸部材２０が第２孔部４２の内面４２１に沿った方向以外に移動不能となる。その結果、ヒンジロック機構１００は、鉛直方向上向きの外力が付与されない限り、図２に示す第２状態１０２でロックされることになる。
【００２１】
一方、ヒンジロック機構１００を第２状態１０２から第１状態１０１に移行させるときには、図２に白抜き矢印で示すように、蓋部材１および回転部材３０に鉛直方向上向きの力を作用させる。それにより、軸部材２０が第２孔部４２の内面４２１に沿って摺動する。図４に破線で示す状態まで軸部材２０を摺動させて持ち上げることで、軸部材２０が第２孔部４２に嵌りこんだ状態が解除され、第１孔部４１内で軸部材２０を回転させることができる状態となる。その結果、図２に実線矢印で示すように、蓋部材１および回転部材３０に回転方向の力を作用させれば、図３に破線で示すように、軸部材２０が第１孔部４１の内面４１１に沿って回転自在に支持される状態となる。軸部材２０が図３に実線で示す状態まで回転すると、ヒンジロック機構１００は、図１に示す第１状態１０１となる。
【００２２】
以上説明したように、実施形態にかかるヒンジロック機構１００は、軸受孔４０の第１孔部４１に支持された軸部材２０を中心として、被取付部材としての蓋部材１を回転部材３０と共に回転させることができる。そして、軸部材２０が第１孔部４１内で回転すると、軸部材２０が第１孔部４１から下方に延びる第２孔部４２へと落ち込み、第２孔部４２によって、内面４２１に沿った方向以外に移動不能となるように支持される。それにより、軸部材２０が第２孔部４２に支持された状態で、蓋部材１を回転部材３０と共にロックして支持することができる。また、軸部材２０を第２孔部４２内で上方に向けて摺動させるだけで、軸部材２０を第１孔部４１内へと移動させて、軸部材２０が第１孔部４１で回転自在に支持される状態、すなわち軸部材２０を中心として蓋部材１を回転部材３０と共に回転させることができる状態へと、容易に移行することができる。したがって、実施形態によれば、より容易に被取付部材を回転させて所定位置で保持可能なヒンジロック機構１００を得ることができる。
【符号の説明】
【００２３】
１  蓋部材
１０  支持部材
１１  基部
１２  支持部
２０  軸部材
２１  平坦部
２２  曲面部
３０  回転部材
３１  軸固定部
３２  取付部
４０  軸受孔
４１  第１孔部
４２  第２孔部
１００  ヒンジロック機構
１０１  第１状態
１０２  第２状態
４１１，４２１，４２２  内面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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