【誤訳訂正書】
【提出日】平成25年8月7日(2013.8.7)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着性流体の貯蔵ならびに計量分配用の吸着・脱着装置であって、 
・炭素吸着剤を保持するように、また流体を選択的に容器に流入また容器から流出させるよう構成、配置した貯蔵ならびに計量分配用容器と；
・内部気体圧力で、前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置され、吸着性流体の炭素吸着剤への物理的吸着に適し前記吸着性流体が炭素吸着剤に固定されるような、ビーズ炭素を含む炭素吸着剤と；
・前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連結された分配アセンブリーと；からなり、該分配アセンブリーは
（I）前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部で前記内圧以下の圧力を供給して、前記炭素吸着剤からの吸着性流体の脱着を行い、前記計量分配アセンブリーを通る脱着ずみ流体の流体流れを供給するか、および／または、
（II）熱的に脱着ずみ流体を流し、かつ炭素吸着剤を加熱して流体の脱着を行い、脱着ずみ流体が前記容器から前記計量分配アセンブリーに流入させる手段からなるように、構成、配置され；
前記炭素吸着剤が、
（１）アルシンガスに対して４０トルと６５０トルの圧力で測定した少なくとも５０の、吸着作業能力、Ｃｗを備え；
（２）アルシンガスに対する脱着性ソルベートの割合が少なくとも１５％であり；
前記炭素吸着剤の水分含量が０．０１％以下である
という特徴を有する吸着・脱着装置。
【請求項２】
前記炭素吸着剤が、アルシンガスに対して４０トルと６５０トルの圧力で測定した少なくとも１００の吸着作業能力、Ｃｗを備えることを特徴とする請求項１記載の吸着・脱着装置。
【請求項３】
前記炭素吸着剤が、アルシンガスに対して４０トルと６５０トルの圧力で測定した少なくとも１８０の吸着作業能力、Ｃｗを備えることを特徴とする請求項１記載の吸着・脱着装置。
【請求項４】
前記炭素吸着剤が、アルシンガスに対して４０トルと６５０トルの圧力で測定した少なくとも２００の吸着作業能力、Ｃｗを備えることを特徴とする請求項１記載の吸着・脱着装置。
【請求項５】
前記炭素吸着剤が、モノリス構造を有することを特徴とする請求項１記載の吸着・脱着装置。
【請求項６】
前記炭素吸着剤が、その吸着剤上に吸着される吸着性流体を有することを特徴とする請求項１記載の吸着・脱着装置。
【請求項７】
前記吸着性流体が、シラン、ジボラン、アルシン、ホスフィン、ホスゲン、塩素、ＢＣｌ3、ＢＦ3、Ｂ2Ｄ6、六弗化タングステン、弗化水素、塩化水素、沃化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、シアン化水素、セレン化水素、テルル化水素、重水素化水素化物、水素化物気体混合物、オルガノ化合物、ならびに有機金属化合物からなる群より選ばれることを特徴とする請求項６記載の吸着・脱着装置。
【請求項８】
前記吸着性流体が、有機金属化合物からなり、前記有機金属化合物が、アルミニウム、バリウム、ストロンチウム、ガリウム、インジウム、タングステン、アンチモン、銀、金、パラジウム、ガドリニウム、カルシウム、リチウム、カリウム、セシウム、チタン、イットリウム、ジルコニウム、鉛、タンタリウム、ニオビウム、バナジウム、白金、タリウム、ビスマス、錫、テルル、セレン、ニッケル、亜鉛、タングステン、マンガン、鉄、コバルト、モリブデン、マグネシウム、スカンジウム、クローム、銅、カドミウム、ランタンならびにセリウムからなる群より選ばれる金属成分からなることを特徴とする請求項６記載の吸着・脱着装置。
【請求項９】
流体供給用装置の製造方法であって、前記製造方法が下記の方法：
・炭素吸着剤の保持に適し、かつ流体を選択的に前記容器に流入また容器から流出させるのに適した、貯蔵ならびに計量分配用容器を構成し、
・内部気体圧力で吸着性流体が炭素吸着剤に固定されるように吸着性流体の炭素吸着剤上への物理的吸着に適し、かつビーズ炭素を含む炭素吸着剤を、前記貯蔵ならびに計量分配用容器に配置し、
・分配アセンブリーを前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連結する方法からなり、該分配アセンブリーは；
（I）前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外部で前記内圧以下の圧力を供給して、前記炭素吸着剤からの吸着性流体の脱着を行い、前記計量分配アセンブリーを通る脱着ずみ流体の流体流れを供給するか、および／または、
（II）熱的に脱着ずみ流体を流し、かつ炭素吸着剤を加熱して流体の脱着を行い、脱着ずみ流体が前記容器から前記計量分配アセンブリーに流入させる手段からなるように、構成、配置され；
前記炭素吸着剤は：
（１）アルシンガスに対して４０トルと６５０トルの圧力で測定した少なくとも５０の吸着作業能力、Ｃｗを備え；そして
（２）アルシンガスに対する脱着性ソルベートの割合が少なくとも１５％であり；
前記炭素吸着剤の水分含量が０．０１％以下である
ことを特徴とする流体供給用装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項１記載の吸着・脱着装置の貯蔵ならびに計量分配用容器内の炭素吸着剤上に流体を吸着的に充填する方法からなる流体源の製造方法。
【請求項１１】
使用する流体の供給方法において、請求項１記載の吸着・脱着装置の貯蔵ならびに計量分配用容器内の炭素吸着剤上に予め吸着的に充填した流体を脱着し、分配アセンブリーを通る流れによって前記吸着・脱着装置から脱着した流体を計量分配する方法からなる、流体の供給方法。
【請求項１２】
流体を含んだ請求項１記載の吸着・脱着装置から前記流体を計量分配する方法からなる、製品内の流体を用いた半導体製品の製造方法。
【請求項１３】
流体を含んだ請求項１記載の吸着・脱着装置から前記流体を計量分配する方法からなる、イオン注入源流体を用いたイオン注入方法。
【請求項１４】
流体を含んだ請求項１記載の吸着・脱着装置から前記流体を計量分配する方法からなる、製品内の流体を用いたフラットパネル表示製品の製造方法。
【請求項１５】
前記炭素吸着剤が、２５℃の温度で圧力（トル）の関数として、吸着剤１リットル当りのアルシンのグラム数において、次の吸着充填特性：
圧力（トル）      充填量（吸着剤１リットル当りのアルシンのｇ数）
２５                            ３５−１０６
５０                            ６２−１３８
１００                          １００−１８５
２００                          １４５−２３２
３００                          １６８−２６３
４００                          １７７−２８８
５００                          １８５−３０８
５５０                          １８８−３１５
６５０                          １９２−３３０；
を有するアルシンガスの吸着等温線を有することを特徴とする請求項１記載の吸着・脱着装置。
【請求項１６】
前記炭素吸着剤が、２５℃の温度で圧力（トル）の関数として、吸着剤１リットル当りのアルシンのグラム数において、次の吸着充填特性：
圧力（トル）      充填量（吸着剤１リットル当りのアルシンのｇ数）
２５                            ３５−１０６
５０                            ６２−１３８
１００                          １００−１８５
２００                          １４５−２３２
３００                          １６８−２６３
４００                          １７７−２８８
５００                          １８５−３０８
５５０                          １８８−３１５
６５０                          １９２−３３０；
を有するアルシンガスの吸着等温線を有することを特徴とする請求項９記載の流体供給用装置の製造方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３２】
本発明の広範な実施で有用な高性能吸着剤は、アルシンガスを４０トルと６５０トルの圧力で測定し、吸着材料１リットル当り少なくとも５０、好ましくは少なくとも１００、さらに好ましくは少なくとも１５０、そして最も好ましくは少なくとも２００ｇの「吸着剤作業能力、Ｃｗ」を有するものを含み、次のように測定される：
Ｃｗ＝（圧力６５０トル、温度２５℃における１リットルの吸着剤に対するアルシンガスのｇで示す重量）−（圧力４０トル、温度２５℃における１リットルの吸着剤に対するアルシンガスのｇで示す重量）
［式中、アルシンはこのようなＣｗ特徴に対する基準流体であり、そして吸着剤のリットル基準は説明の通り、空隙もしくは間空隙を含む吸着媒体のベッドのベッド形態におけるリットル容積である。］
この点で、増大する作業能力は圧力を１トルという低い値に下げることで可能であることを注目すべきである。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７５】
米国を指定国として指定し、１９９５年１０月１３日付けで提出された国際特許願第ＰＣＴ／ＵＳ９５／１３０４０号（国際公開第９６／１１７３９号）の開示と、１９９４年１０月１３日付けで提出された米国特許願第０８／３２２，２２４号の１９９６年５月２１日付けで発行された米国特許第５，５１８，５２８号の開示と、１９９６年５月２０日付けで提出された米国特許願第０８／６５０，６３４号（米国特許第５，７０４，９６５号）の開示ならびに１９９６年５月２０日付けで提出された米国特許願第０８／６５０，６３３号（米国特許第５，７０４，９６７号）の開示をこの明細書で参考として取入れている。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１３１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１３１】
図３に概略図で示された配置により、収着質流体の熱助成脱着と計量分配を、収着質流体の圧力差圧媒介計量分配の別法とするか、あるいは組み合わせにして、特定の脱着様式の選択を当業者による不必要な実験なしに容易に選択および／または決定できる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１５０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１５０】
図６はｇ／リットル表示のアルシンのビーズ炭素吸着材料上の充填を貯蔵ならびに計量分配用容器のトルで示す圧力の関数としてプロットしたアルシン吸着等温線のプロットである。図１のアルシン吸着等温線（曲線Ａ）と事実上同一の形状を有するこの吸着等温線から、４０トルと６５０トルの圧力とでアルシンガスに対して測定され、また、
Ｃｗ＝（６５０トルの圧力と２５℃の温度で１リットルの吸着剤上のｇで表示するアルシンガスの重量）−（４０トルの圧力と２５℃の温度で１リットルの吸着剤上のｇ表示のアルシンガスの重量）、として測定された吸着作業能力、Ｃｗは、 
（２７８−７０＝吸着剤１リットル当り２０８ｇのアルシン）
となる。