【手続補正書】
【提出日】平成25年10月10日(2013.10.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板に修復処理を行う欠陥修正部と、を備えた欠陥修正装置であって、
前記撮像部が取得した前記画像で特定された認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定部と、
前記判定結果に基づいて前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡部と、
前記追跡部で追跡された欠陥全体に対して修正領域を割り振る修正領域設定部と、
を備えたことを特徴とする欠陥修正装置。
【請求項２】
前記追跡部は、前記撮像部と前記対象基板を相対移動させて前記認識欠陥領域を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している前記認識外欠陥領域を追跡することを特徴とする請求項１に記載の欠陥修正装置。
【請求項３】
前記追跡部は、前記認識欠陥領域と前記視野領域の四辺と交わった線分の辺中心座標を求め、この辺中心座標を前記視野領域の中心に引き込むことによって前記視野領域外に延在している前記認識外欠陥領域を追跡することを特徴とする請求項２に記載の欠陥修正装置。
【請求項４】
前記追跡部は、前記撮像部が初めに取得した前記画像で特定された認識欠陥領域が前記視野領域と交わらない辺を追跡対象処理から外すことを特徴とする請求項３に記載の欠陥修正装置。
【請求項５】
前記追跡部は、前記認識欠陥領域の中心座標を求め、この中心座標を前記視野領域の中心に引き込むことによって前記視野領域外に延在している前記認識外欠陥領域を追跡することを特徴とする請求項２に記載の欠陥修正装置。
【請求項６】
前記追跡部は、前記修正領域設定部により前記認識欠陥領域に対して設定された追跡対象修正領域の中心座標を求め、この中心座標を前記視野領域の中心に引き込むことによって前記視野領域外に延在している前記認識外欠陥領域を追跡することを特徴とする請求項２に記載の欠陥修正装置。
【請求項７】
前記追跡部は、前記視野領域の外周部を複数の領域に分割された各分割領域に引き込みの基準となる基準点をそれぞれ設定し、前記認識欠陥領域が含まれる分割領域の基準点を前記視野領域の中心に引き込むことによって前記視野領域外にまで延在している前記認識外欠陥を追跡することを特徴とする請求項２に記載の欠陥修正装置。
【請求項８】
前記追跡部は、前記欠陥の延在方向に前記撮像部を走査して前記欠陥全体を複数の分割画像に分けて撮像することで前記先の追跡後の認識欠陥領域を前記視野領域の中心に引き込みながら視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡し、
前記修正領域設定部は、前記撮像部で撮像されて複数の画像をつなぎ合わせて生成された欠陥全体に対して修正領域を割り振ることを特徴とする請求項１に記載の欠陥修正装置。
【請求項９】
前記修正領域設定部は、前記欠陥全体に割り振られた２つの修正領域が互いに重畳する重畳領域がある場合、前記２つの修正領域のうちいずれか一方の修正領域から前記重畳領域を除くことを特徴とする請求項１に記載の欠陥修正装置。
【請求項１０】
前記修正領域設定部は、前記欠陥に対して設定した修正領域から、前記対象基板における前記修復処理を禁止する禁止領域を除くことを特徴とする請求項１に記載の欠陥修正装置。
【請求項１１】
撮像部により対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像ステップと、
前記撮像部が取得した前記画像で特定された認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップの判定結果に基づいて前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡ステップと、
を含むことを特徴とする欠陥追跡方法。
【請求項１２】
前記追跡ステップは、前記撮像部と前記対象基板を相対移動させて前記認識欠陥領域を前記視野領域の中心に引き込みながら前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡することを特徴とする請求項１１に記載の欠陥追跡方法。
【請求項１３】
前記追跡ステップは、前記認識欠陥領域と前記視野領域の四辺と交わった線分の辺中心座標を求め、この辺中心座標を前記視野領域の中心に引き込むことによって前記視野領域外に延在している前記認識外欠陥領域を追跡することを特徴とする請求項１２に記載の欠陥追跡方法。
【請求項１４】
前記追跡ステップは、前記認識欠陥領域の中心座標を求め、この中心座標を前記視野領域の中心に引き込むことによって前記視野領域外に延在している前記認識外欠陥領域を追跡することを特徴とする請求項１２に記載の欠陥追跡方法。
【請求項１５】
前記追跡ステップは、前記認識欠陥領域に対して設定された追跡対象修正領域の中心座標を求め、この中心座標を前記視野領域の中心に引き込むことによって前記視野領域外に延在している前記認識外欠陥領域を追跡することを特徴とする請求項１２に記載の欠陥追跡方法。
【請求項１６】
前記追跡ステップは、前記視野領域の外周部を複数の領域に分割された各分割領域に引き込みの基準となる基準点をそれぞれ設定し、前記認識欠陥領域が含まれる分割領域の基準点を前記視野領域の中心に引き込むことによって前記視野領域外にまで延在している前記認識外欠陥を追跡することを特徴とする請求項１２に記載の欠陥追跡方法。
【請求項１７】
前記追跡ステップは、前記欠陥の延在方向に前記撮像部を走査させ前記欠陥全体を複数の分割画像に分けて撮像することで前記先の追跡後の認識欠陥領域を前記視野領域の中心に引き込みながら視野領域外にまで延在している認識外欠陥領域を追跡することを特徴とする請求項１２に記載の欠陥追跡方法。
【請求項１８】
対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板と前記撮像部の相対位置を制御する制御部を機能させるための欠陥追跡プログラムであって、
前記撮像部により対象基板の一部を拡大した画像を取得させる撮像処理と、
前記撮像部が取得した前記画像で特定される認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定処理と、
前記判定処理による判定結果に基づいて前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡処理と、
を前記制御部に実行させるための欠陥追跡プログラム。
【請求項１９】
追跡処理は、前記認識欠陥領域を前記視野領域の中心に引き込むように前記撮像部と前記対象基板との相対位置を制御することを特徴とする請求項１８記載の欠陥追跡プログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
かかる目的を達成するため、本発明による欠陥修正装置は、対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板に修復処理を行う欠陥修正部と、を備えた欠陥修正装置であって、前記撮像部が取得した前記画像で特定された認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定部と、前記判定結果に基づいて前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡部と、前記追跡部で追跡された欠陥全体に対して修正領域を割り振る修正領域設定部と、を備えたことを特徴とする
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明による欠陥追跡方法は、撮像部により対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像ステップと、前記撮像部が取得した前記画像で特定された認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定ステップと、前記判定ステップの判定結果に基づいて前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡ステップと、を含むことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明による欠陥追跡プログラムは、対象基板の一部を拡大した画像を取得する撮像部と、該撮像部が取得した画像に基づいて前記対象基板と前記撮像部の相対位置を制御する制御部を機能させるための欠陥追跡プログラムであって、前記撮像部により対象基板の一部を拡大した画像を取得させる撮像処理と、前記撮像部が取得した前記画像で特定される認識欠陥領域が視野領域外に延在しているか否かを判定する判定処理と、前記判定処理による判定結果に基づいて前記視野領域外に延在している認識外欠陥領域を追跡する追跡処理と、を前記制御部に実行させる。