(57)【要約】【課題】清掃対象物の被清掃面に異物が残ることを極力防止することができる清掃装置を提供すること。【解決手段】清掃装置ＥＡは、一方向に延びる吸引口１１Ａで清掃対象物ＷＫの被清掃面ＷＫ１上の異物を吸引する吸引機構１０と、被清掃面ＷＫ１に直交する回転軸ＲＡを中心として清掃対象物ＷＫと吸引機構１０とを相対回転させる回転機構２０とを備え、吸引機構１０は、吸引口１１Ａの延設方向中央部に対応した位置に吸引連通口１１Ｂが設けられている。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延びる吸引口で清掃対象物の被清掃面上の異物を吸引する吸引機構と、
前記被清掃面に直交する回転軸を中心として前記清掃対象物と前記吸引機構とを相対回転させる回転機構とを備え、
前記吸引機構は、前記吸引口の延設方向中央部に対応した位置に吸引連通口が設けられていることを特徴とする清掃装置。
【請求項２】
前記被清掃面に気体を吹き付ける吹付機構を備えていることを特徴とする請求項１に記載の清掃装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、清掃装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、清掃対象物と清掃機構とを相対回転させて清掃対象物の被清掃面を清掃する清掃装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−０７７９８７号公報
【考案の概要】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された基板保持ステージ清掃装置１（清掃装置）は、アーム１２（吸引機構）内に延びる中空部（吸引口）に複数のバキュームノズル１３が連通し、吸引口の延設方向の一端部に対応した位置に真空ホース１５（吸引連通口）が設けられているため、基板保持ステージ２（清掃対象物）の被清掃面における吸引口の延設方向の他端部側の異物が吸引されず、被清掃面に残ってしまうという不都合がある。
【０００５】
本考案の目的は、清掃対象物の被清掃面に異物が残ることを極力防止することができる清掃装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案は、請求項に記載した構成を採用した。
【考案の効果】
【０００７】
本考案によれば、吸引口の延設方向中央部に対応した位置に吸引連通口が設けられているので、清掃対象物の被清掃面に異物が残ることを極力防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）、（Ｂ）は、本考案の一実施形態に係る清掃装置の説明図。（Ｃ）、（Ｄ）は、本考案の変形例に係る清掃装置の説明図。
【考案を実施するための形態】
【０００９】
以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｘ軸と平行な図１（Ｂ）の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「右」がＹ軸の矢印方向で「左」がその逆方向、「前」がＸ軸と平行な図１（Ｂ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
図１（Ａ）、（Ｂ）において、清掃装置ＥＡは、一方向（Ｘ軸方向）に延びる吸引口１１Ａで清掃対象物ＷＫの被清掃面ＷＫ１上の異物を吸引する吸引機構１０と、被清掃面ＷＫ１に直交する回転軸ＲＡを中心として清掃対象物ＷＫと吸引機構１０とを相対回転させる回転機構２０と、被清掃面ＷＫ１に単体ガスや大気等の気体を吹き付ける吹付機構３０とを備えている。
【００１１】
吸引機構１０は、下面に２つの吸引口１１Ａが形成されるとともに、吸引口１１Ａの延設方向中央部に対応した位置に吸引連通口１１Ｂが設けられた吸引ケース１１と、吸引連通口１１Ｂに接続された吸引管１２Ａを介して吸引口１１Ａに吸引力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引力付与機構１２とを備えている。なお、本実施形態の吸引口１１Ａの長さは、被清掃面ＷＫ１の最大長さよりも長く設定されている。
【００１２】
回転機構２０は、駆動機器としての回動モータ２１と、回動モータ２１の出力軸２１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧機構によって吸着保持が可能な支持面２２Ａを有する支持部材としてのテーブル２２とを備えている。なお、本実施形態の回転機構２０は、吸引口１１Ａの延設方向中央部と一致した位置に回転軸ＲＡが設定されている。
【００１３】
吹付機構３０は、吸引ケース１１の左右両側に支持され、それぞれに吹出口３１Ａが形成された吹付ケース３１と、吹付ケース３１に接続された供給管３２Ａを介して吹出口３１Ａに気体を供給する加圧ポンプやタービン等の気体供給機構３２とを備えている。なお、吹出口３１Ａは、被清掃面ＷＫ１に吹き付けた気体が吸引口１１Ａ方向に向かうようにその気体吹出方向が設定されている。
【００１４】
以上の清掃装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）、（Ｂ）で示す初期位置に各部材が配置された清掃装置ＥＡに対し、当該清掃装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）、または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送機構が、清掃対象物ＷＫを支持面２２Ａ上の所定の位置に載置すると、回転機構２０が図示しない減圧機構を駆動し、支持面２２Ａでの清掃対象物ＷＫの吸着保持を開始する。
【００１５】
次いで、吸引機構１０および回転機構２０が吸引力付与機構１２および回動モータ２１を駆動し、吸引機構１０に対して清掃対象物ＷＫを回転させつつ、被清掃面ＷＫ１上の異物を吸引口１１Ａで吸引して被清掃面ＷＫ１を清掃する。この際、吹付機構３０が気体供給機構３２を駆動し、被清掃面ＷＫ１に気体を吹き付けることで、被清掃面ＷＫ１上の異物を吹き飛ばしたり、吹付機構３０から吸引口１１Ａに向かう気流を生じさせて当該吸引口１１Ａに異物を誘導したりする。その後、清掃対象物ＷＫが１回または複数回回転し、テーブル２２が初期位置に復帰すると、吸引機構１０、回転機構２０および吹付機構３０が吸引力付与機構１２、回動モータ２１および気体供給機構３２の駆動を停止する。次に、回転機構２０が図示しない減圧機構の駆動を停止し、支持面２２Ａでの清掃対象物ＷＫの吸着保持を解除すると、使用者または図示しない搬送機構が清掃対象物ＷＫを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００１６】
以上のような実施形態によれば、吸引口１１Ａの延設方向中央部に対応した位置に吸引連通口１１Ｂが設けられているので、清掃対象物ＷＫの被清掃面ＷＫ１に異物が残ることを極力防止することができる。
【００１７】
以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。
【００１８】
例えば、吸引機構１０は、清掃対象物ＷＫの破片や塵埃等を異物として吸引してもよいし、磁力や静電気等で異物を吸引してもよいし、被清掃面ＷＫ１からはみ出した支持面２２Ａ上の異物を吸引する構成でもよいし、テーブル２２を清掃対象物とし、支持面２２Ａを被清掃面としてもよい。
吸引口１１Ａは、吸引ケース１１の下面全体が開口して１つの吸引口１１Ａとされたものでもよいし、複数の吸引口１１Ａが一方向に断続して設けられたものでもよいし、１つでもよいし、３つ以上でもよい。
吸引連通口１１Ｂは、図１（Ｃ）、（Ｄ）に示すように、吸引ケース１１の左側または右側の側面や角部に設けられてもよい。
【００１９】
回転機構２０は、清掃対象物ＷＫを回転させずにまたは回転させつつ、吸引機構１０を回転させてよいし、吸引口１１Ａの延設方向中央部から回転軸ＲＡをずらして清掃対象物ＷＫと吸引機構１０とを相対回転させてもよいし、清掃対象物ＷＫと吸引機構１０とを駆動機器でＸ軸方向、Ｙ軸方向またはその他の方向に相対移動させながら、または、清掃対象物ＷＫと吸引機構１０とを駆動機器でＸ軸方向、Ｙ軸方向またはその他の方向に相対移動させた後、清掃対象物ＷＫと吸引機構１０とを相対回転させてもよく、これらの場合、吸引口１１Ａの長さは、被清掃面ＷＫ１の最大長さよりも短くてもよいし長くてもよい。
【００２０】
吹付機構３０は、吸引機構１０から独立した別体の構成とされてもよいし、吸引ケース１１に直接設けた吹出孔から被清掃面ＷＫ１に気体を吹き付けてもよいし、吹出口が１つまたは複数の長孔、丸孔、角孔等であってもよいし、被清掃面ＷＫ１に直交する方向に気体が向かうようにその気体吹出方向が設定されていてもよいし、被清掃面ＷＫ１に吹き付けた気体が吸引口１１Ａ方向に向かわないようにその気体吹出方向が設定されていてもよいし、単数または３つ以上の吹付ケース３１を備えていてもよいし、吹付ケース３１の延設方向中央部に供給管３２Ａが接続されていてもよいし、吹付ケース３１の延設方向中央部以外の位置に供給管３２Ａが接続されていてもよいし、清掃装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
【００２１】
清掃対象物ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、清掃対象物ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。また、清掃対象物ＷＫとしては、例えば、接着シート、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００２２】
本考案における機構および工程は、それら機構および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、回転機構は、被清掃面に直交する回転軸を中心として清掃対象物と清掃機構とを相対回転させるものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の機構および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、支持（保持）機構や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持機構、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【００２３】
ＥＡ…清掃装置
１０…吸引機構
１１Ａ…吸引口
１１Ｂ…吸引連通口
２０…回転機構
３０…吹付機構
ＲＡ…回転軸
ＷＫ…清掃対象物
ＷＫ１…被清掃面
【図１】
0003224529.tif 000003