(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着剤を充填する一対の吸着筒のうちの、一方の吸着筒に湿った圧縮気体を導いて吸着剤に吸着させ除湿する工程および、この工程により得られた乾燥気体の一部を他方の吸着筒に導き吸着剤から湿分を脱着してパージする工程を並行して行い、これら工程を両吸着筒の間で交互に切換えて連続的に乾燥気体を供給する標準運転をなす圧縮気体の除湿方法において、
運転開始から、除湿して供給される乾燥気体の湿度を継続して検知し、この検知湿度をもとに演算露点温度Ｔａを求め、得られた演算露点温度Ｔａが予め記憶した設定露点温度Ｔｓよりも高い条件（Ｔａ＞Ｔｓ）下で上記標準運転をなし、
演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓに等しいか、演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓ以下の条件（Ｔａ≦Ｔｓ）下になったとき上記標準運転を切換えて、第１回目の省エネ運転である、双方の吸着筒でのパージ工程を停止しかつ一方の吸着筒での除湿工程を継続し、
再び演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓよりも高い条件（Ｔａ＞Ｔｓ）下となったときは、上記標準運転に戻り、
再び演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓに等しいか、それ以下の条件（Ｔａ≦Ｔｓ）下となったときは、上記標準運転から２回目以降の省エネ運転に切換え、この２回目以降の省エネ運転は、双方の吸着筒でのパージ工程を停止しかつ前回の省エネ運転で除湿を行った吸着筒とは別の吸着筒で除湿工程を継続し、もしくは、双方の吸着筒でのパージ工程を停止しかつ各吸着筒の省エネ運転における除湿積算時間を比較し、少ない方の吸着筒で除湿工程を継続して行い、
再び演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓよりも高い条件（Ｔａ＞Ｔｓ）下となったときは、再び標準運転に戻り、以下、上記条件下で省エネ運転と標準運転とを切換えて運転終了に至る
ことを特徴とする圧縮気体の除湿方法。
【請求項２】
吸着剤を充填する一対の吸着筒のうちの、一方の吸着筒に湿った圧縮気体を導いて吸着剤に吸着させ除湿し、得られた乾燥気体の一部を他方の吸着筒に導き吸着剤から湿分を脱着してパージし、両吸着筒の間で除湿とパージを交互に切換えて連続的に乾燥気体を供給する標準運転をなす圧縮気体の除湿装置において、
運転開始から、除湿して供給される乾燥気体の湿度を継続して検知し、この検知湿度をもとに演算露点温度Ｔａを求め、得られた演算露点温度Ｔａが予め記憶した設定露点温度Ｔｓよりも高い条件（Ｔａ＞Ｔｓ）下で上記標準運転をなし、
演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓに等しいか、演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓ以下の条件（Ｔａ≦Ｔｓ）下になったとき上記標準運転を切換えて、第１回目の省エネ運転である、双方の吸着筒でのパージを停止しかつ一方の吸着筒での除湿を継続し、
再び演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓよりも高い条件（Ｔａ＞Ｔｓ）下となったときは、上記標準運転に戻り、
再び演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓに等しいか、それ以下の条件（Ｔａ≦Ｔｓ）下となったときは、上記標準運転から２回目以降の省エネ運転に切換え、この２回目以降の省エネ運転は、双方の吸着筒でのパージを停止しかつ前回の省エネ運転で除湿を行った吸着筒とは別の吸着筒で除湿を継続し、もしくは、双方の吸着筒でのパージを停止しかつ各吸着筒の省エネ運転における除湿積算時間を比較し、少ない方の吸着筒で除湿を継続して行い、
再び演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓよりも高い条件（Ｔａ＞Ｔｓ）下となったときは、再び標準運転に戻り、以下、上記条件下で省エネ運転と標準運転とを切換えて運転終了に至るよう制御する制御手段を備えた
ことを特徴とする圧縮気体の除湿装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、吸着剤を用いて湿った圧縮気体を吸着除湿して乾燥する、圧縮気体の除湿方法および除湿装置に係わり、特に吸着剤の早期劣化を防止するための省エネ運転に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の除湿装置においては、乾燥した空気を連続して供給するため、活性アルミナ、シリカゲル、合成ゼオライトあるいは塩化リチウムなどの吸着剤を容器に充填した吸着筒が２基用意される。一方の吸着筒に湿った圧縮空気を導いて吸着除湿し乾燥化して所定の供給先に供給する。同時に、得られた乾燥空気の一部を他方の吸着筒に導き、前段階で吸湿して吸湿能力の低下した吸着剤から湿分を脱着再生し、さらにこの湿分を吸着筒から外部へパージする。
【０００３】
このような一方の吸着筒における圧縮空気の乾燥と、他方の吸着筒における吸着剤の再生は同時に並行して行われるとともに、所定時間経過後に両吸着筒間に設けられた切換え弁を切換えて、連続的に乾燥空気を供給する。
【０００４】
ところで、除湿装置は周囲温度や入気温度が上昇する最も過酷な夏季の条件を基本として設計されるため、たとえば冬季の使用や、供給先の負荷が軽減したときなどは、吸着剤の吸着作用を軽減させて長寿命化を図ることが望ましい。
【０００５】
従来は、切換え弁の切換え動作を停止し、各吸着筒に接続されるパージ弁のいずれも閉成状態となす。たとえば、Ｂ筒にのみ湿った圧縮空気を導いて吸着除湿を継続する一方で、Ａ，Ｂ両筒ともに再生を中断してパージによる乾燥空気の排出量を減少させエネルギーロスを少なくする省エネ運転が行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような省エネ運転を継続すると、いずれは元の標準運転に戻る条件に変わるが、また標準運転を継続していると条件によっては省エネ運転に切換る必要が出てくる。
【０００７】
従来においては、複数回に亘って行われる省エネ運転での除湿を継続する吸着筒が特定されておらず、一方の吸着筒のみに除湿が重なる虞れがあり、その吸着剤が多用される。標準運転に戻った状態では、除湿を多く継続した側の吸着剤と、少ない側の吸着剤との水分吸着量のバランスが悪くなり、除湿を多く継続した側から給出される乾燥空気の露点温度が、他方から給出される露点温度よりも高くなってしまう。
【０００８】
結局、省エネ運転での除湿回数もしくはその積算時間が多い側の吸着筒の吸着剤が、他方側の吸着剤に比較して早期に劣化し、新たな吸着剤と交換の必要が生じる。吸着剤はいずれか一方が劣化すれば、一般的に両方とも交換するようになっていて、他方にとってみれば無駄な交換になりランニングコストに悪影響を与えている。
【０００９】
本発明は上述の課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、特に２回目以降の省エネ運転をなすにあたって、各筒内の吸着剤の劣化を均等に進行させ、標準運転に戻った際の各吸着筒間露点温度の変動を抑制し、吸着剤交換のタイミングを同時にとれてランニングコストの低減に寄与する圧縮気体の除湿方法および除湿装置を提供しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を満足するため本発明の圧縮気体の除湿方法は、吸着剤を充填する一対の吸着筒のうちの、一方の吸着筒に湿った圧縮気体を導いて吸着剤に吸着させ除湿する工程と、この工程により得られた乾燥気体の一部を他方の吸着筒に導き吸着剤から湿分を脱着してパージする工程を並行して行い、これら工程を両吸着筒の間で交互に切換えて連続的に乾燥気体を供給する標準運転をなす方法において、
運転開始から、除湿して供給される乾燥気体の湿度を継続して検知し、この検知湿度をもとに演算露点温度Ｔａを求め、得られた演算露点温度Ｔａが予め記憶した設定露点温度Ｔｓよりも高い条件（Ｔａ＞Ｔｓ）下で上記標準運転をなし、
演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓに等しいか、演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓ以下の条件（Ｔａ≦Ｔｓ）下になったとき上記標準運転を切換えて、第１回目の省エネ運転である、双方の吸着筒でのパージ工程を停止しかつ一方の吸着筒での除湿工程を継続し、
再び演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓよりも高い条件（Ｔａ＞Ｔｓ）下となったときは、上記標準運転に戻り、
再び演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓに等しいか、それ以下の条件（Ｔａ≦Ｔｓ）下となったときは、上記標準運転から２回目以降の省エネ運転に切換え、この２回目以降の省エネ運転は、双方の吸着筒でのパージ工程を停止しかつ前回の省エネ運転で除湿を行った吸着筒とは別の吸着筒で除湿工程を継続し、もしくは、双方の吸着筒でのパージ工程を停止しかつ各吸着筒の省エネ運転における除湿積算時間を比較し、少ない方の吸着筒で除湿工程を継続して行い、
再び演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓよりも高い条件（Ｔａ＞Ｔｓ）下となったときは、再び標準運転に戻り、以下、上記条件下で省エネ運転と標準運転とを切換えて運転終了に至る。
【００１１】
上記目的を満足するため本発明の圧縮気体の除湿装置は、連続的に乾燥気体を供給する標準運転をなす装置において、
運転開始から、除湿して供給される乾燥気体の湿度を継続して検知し、この検知湿度をもとに演算露点温度Ｔａを求め、得られた演算露点温度Ｔａが予め記憶した設定露点温度Ｔｓよりも高い条件（Ｔａ＞Ｔｓ）下で上記標準運転をなし、
演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓに等しいか、演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓ以下の条件（Ｔａ≦Ｔｓ）下になったとき上記標準運転を切換えて、第１回目の省エネ運転である、双方の吸着筒でのパージを停止しかつ一方の吸着筒での除湿を継続し、
再び演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓよりも高い条件（Ｔａ＞Ｔｓ）下となったときは、上記標準運転に戻り、
再び演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓに等しいか、それ以下の条件（Ｔａ≦Ｔｓ）下となったときは、上記標準運転から２回目以降の省エネ運転に切換え、この２回目以降の省エネ運転は、双方の吸着筒でのパージを停止しかつ前回の省エネ運転で除湿を行った吸着筒とは別の吸着筒で除湿を継続し、もしくは、双方の吸着筒でのパージを停止しかつ各吸着筒の省エネ運転における除湿積算時間を比較し、少ない方の吸着筒で除湿を継続して行い、
再び演算露点温度Ｔａが露点温度Ｔｓよりも高い条件（Ｔａ＞Ｔｓ）下となったときは、再び標準運転に戻り、以下、上記条件下で省エネ運転と標準運転とを切換えて運転終了に至るよう制御する制御手段を備えた。
【００１２】
このような課題を解決する手段を採用することにより、特に、２回目以降の省エネ運転で各筒内の吸着剤の寿命を均一化させ、標準運転に戻った際の各吸着筒間における露点温度の変動を抑制し、吸着剤交換のタイミングを同時にとれるようになる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面にもとづいて説明する。
図１と、図２は、同じ圧縮気体の除湿装置を断面図として示し、それぞれの図面は互いに異なる作用状態を示す。
この除湿装置は、架台１と、この架台１の一側部上に取付けられる電気部品箱２と、他側部上に取付けられる２基の吸着筒（説明の都合上、以下、図の左側吸着筒をＡ筒、右側吸着筒をＢ筒と呼ぶ）３，４と、これらＡ，Ｂ筒３，４の上端部に亘って載設されるアウトレットヘッド５、および下端部に亘って取付けられるインレットヘッド１５とから構成される。
【００１４】
アウトレットヘッド５の一側面に、吸着乾燥した気体を給出案内するための給出口９が設けられ、インレットヘッド１５の一側面には、湿った圧縮気体を装置内へ導入案内するための導入口１０が開口される。さらに、アウトレットヘッド５には湿度インジケータ１１と、パージオリフィス１２が設けられている。
【００１５】
上記Ａ，Ｂ筒３，４は、上下端面が開口する筒体からなり、上端開口部はアウトレットヘッド５の凹部５ａに挿嵌され、下端開口部はインレットヘッド１５の凹部１５ａに挿嵌される。各Ａ，Ｂ筒３，４の上，下端開口から所定間隔を存した位置に多孔板１６が設けられ、これら相互間に吸着剤１７が充填される。吸着剤１７として、活性アルミナ、シリカゲル、ゼオライトなどが用いられる。
【００１６】
上記アウトレットヘッド５のＡ，Ｂ筒３，４中央部と対向する位置に筒３，４内から上方への気体の流れを許容し、上部から筒内への気体の流れを阻止する逆止弁１８Ａ，１８Ｂを収容する弁室１９が形成される。さらに、アウトレットヘ ッド５には給出口９と各弁室１９とを連通する給出路２０が設けられ、上記湿度インジケータ１１と連通する分岐路２１が分岐している。
【００１７】
各弁室１９の周囲でＡ，Ｂ両筒３，４が挿嵌される範囲内は凹陥形成され、パージオリフィス１２と連通するパージ室２２となっている。上記給出路２０における給出口９とは反対側の端部に湿度センサ２３が取付けられる。上記電気部品箱２内に制御手段をなす制御回路２５が収容され、上記湿度センサ２３が電気的に接続される。上記インレットヘッド１５の下面には切換え弁２６が取付けられ、一側部には上記導入口１０が設けられ、他側部にはパージ弁２７とサイレンサ２８が直列に接続される。
【００１８】
上記切換え弁２６には、図の左側から右側へ第１のポートａ〜第５のポートｅが順に設けられ、弁体ｆが移動することにより各ポートａ〜ｅ相互の連通切換えがなされる。上記弁体ｆは、上記制御回路２５と電気的に接続されるソレノイド２６Ｓによって駆動制御されるようになっている。
【００１９】
上記インレットヘッド１５には、導入口１０と第３のポートｃとを連通する導入路３０、Ａ筒３の下部開口端と第２のポートｂとを連通するＡ筒連通路３１、Ｂ筒４の下部開口端と第４のポートｄとを連通するＢ筒連通路３２、第１のポートａと第５のポートｅとを連通するポート連通路３３および、このポート連通路３３から分岐しパージ弁２７に連通するパージ分岐路３４が設けられている。
【００２０】
上記パージ弁２７は、上記制御回路２５と電気的に接続され、開閉制御されてパージ分岐路３４から導かれるパージ気体の導通もしくは遮断をなす。ここから導出されるパージ気体はサイレンサ２８に導かれて消音されたあと、外部へ放出されるようになっている。
【００２１】
上記制御回路２５は、上記湿度センサ２３からの検知信号を受けて露点温度  （圧力下露点）Ｔａに換算する回路と、この露点温度Ｔａとあらかじめ記憶された設定露点温度（圧力下露点）Ｔｓとを比較する回路と、この比較結果にもとづいて上記切換え弁２６の切換え制御とパージ弁２７の開閉制御をなす回路と、後述する２回目以降の省エネ運転を制御する回路を備えている。
【００２２】
このように構成される除湿装置であって、以下に述べるような作用をなす。なお、圧縮気体として圧縮空気を適用して説明する。
切換え弁２６の弁体ｆが図１に示す位置にあるとき、湿った圧縮空気は導入口１０から切換え弁２６を介してＢ筒４内へ導かれ、吸着剤１７によって吸着除湿され乾燥化する除湿工程が行われる。そして、逆止弁１８Ｂと、アウトレットヘッド５の給出路２０を介して給出口９から所定の供給先に給出される。
【００２３】
また、Ｂ筒４から出た乾燥空気の一部はパージ室２２、パージオリフィス１２とＡ筒３上部のパージ室２２を介してＡ筒３内に案内され、前段階の除湿工程において吸着剤１７が吸着した湿分を脱着する。吸着剤１７は再生され、湿分を脱着したパージ空気はＡ筒連通路３１から切換え弁２６を介してパージ分岐路３４に導かれる。
【００２４】
パージ弁２７が閉成状態にあるとき、パージ空気は遮断されＡ筒３内を圧力上昇する昇圧工程となす。パージ弁２７が開放状態にあるとき、パージ空気はパージ弁２７を通過してサイレンサ２８に導かれ、消音されてから外部へ放出されるパージ工程となす。
【００２５】
一方、切換え弁２６の弁体ｆが図２に示す位置にあるとき、湿った圧縮空気はＡ筒３内に導かれて吸着剤１７に吸着除湿され乾燥化する除湿工程をなす。また、一部の乾燥空気はＡ筒３からＢ筒に導かれて前段階の除湿工程において吸着剤１７が吸着した湿分を脱着して再生する。パージ弁２７が閉成状態にあるときＢ筒４の昇圧工程をなし、開放状態にあるときパージ工程をなす。
【００２６】
図３（Ａ）に示すように、標準運転時において、制御回路２５は切換え弁２６を２分間隔で切換わるよう制御していて、Ａ筒３における除湿工程と、Ｂ筒４に対する除湿工程での切換えが、約２分間隔で行われる。パージ弁２７の開放を切換え弁２６の切換えとほぼタイミングを合せ、この閉成はつぎに切換え弁２６を切換える以前となるように制御している。
【００２７】
上記湿度センサ２３は吸着除湿して乾燥化した圧縮空気の湿度を検知して制御回路２５へ検知信号を送り、ここで露点温度（圧力下露点）Ｔａに演算し、その結果をセンサ出力電圧として出力する。
【００２８】
たとえば、給出口９からの供給先において必要とする空気量がごく少なくてすみ負荷が小さい場合や、導入口１０から導入される圧縮空気の湿度が極めて低く乾燥している場合は、制御回路２５が演算した露点温度Ｔａが予め記憶した設定露点温度Ｔｓ（たとえば圧力下露点−４０℃）に等しいか、それ以下となり、ここで省エネ運転開始信号が出される。
【００２９】
図３（Ｂ）に、省エネ運転での制御を示す。このときパージ弁２７を閉成する一方で、切換え弁２６の切換え動作を停止する。Ａ，Ｂ両筒３，４ともにパージ再生を中断して乾燥空気の外部排出量を減少させエネルギーロスを少なくし、かつたとえばＢ筒４にのみ湿った圧縮空気を導いて吸着除湿を継続する省エネ運転をなす。
【００３０】
パージ弁２７を閉成したので吸着剤１７からの脱着湿分のパージがなく、露点温度Ｔａは再び徐々に上昇する。演算露点温度Ｔａが設定露点温度Ｔｓよりも高くなると、制御回路２５は１回目の省エネ運転が終了したものと判断し、再び標準運転に戻るよう制御する。
【００３１】
この標準運転を継続していても省エネ運転の条件が揃った場合には、その都度、省エネ運転に移行する。２回目以降の省エネ運転をなすにあたって、制御回路２５は以下に述べるような２通りの制御方法のうちのいずれか一方を選択する。
【００３２】
図４に、第１の制御方法のフローチャートを示す。
運転開始してから、ステップＳ１で標準運転がなされる。このとき、上記湿度センサ２３がＡ筒３もしくはＢ筒４において吸着除湿された乾燥空気の湿度を検知し、制御回路２５に検知信号を送る。ステップＳ２で制御回路２５は設定値（設定露点温度Ｔｓ）と出口露点（演算露点温度Ｔａ）を比較する。出口露点が設定値よりも低い？がＮｏの場合（演算露点温度Ｔａ＞設定露点温度Ｔｓ）は継続して標準運転をなし、Ｙｅｓの場合はステップ３に移って省エネ運転の回数を確認する。
【００３３】
ここで、省エネ運転回数（ｎ）がｎ≦１であることを確認すると、実質的に１回目であるから、ステップＳ４に移って先に図３（Ｂ）で説明したような省エネ運転を開始する。このとき除湿工程を継続する側の吸着筒３，４の選択はランダムでよい。
【００３４】
１回目の省エネ運転中でも湿度センサ２３は出口側の乾燥空気の湿度を検知して制御回路２５へ検知信号を送る。つぎに、ステップＳ５に移って出口露点が設定値よりも高くなったら（Ｙｅｓ）、ステップＳ１の標準運転に戻る。
【００３５】
ステップＳ５で出口露点が設定値よりも低い場合（Ｎｏ）は、ステップＳ３に戻って省エネ運転回数の確認をなす。この省エネ運転が第２回目以降であればｎ＞１となり、ステップＳ６に移る。ここでは、前回の省エネ運転を開始した吸着筒の確認をなす。
【００３６】
すなわち、先に図３（Ｂ）で説明したように、前回Ｂ筒４での除湿を継続する省エネ運転を行った場合は、ステップＳ７に移ってＡ筒３で除湿を継続する省エネ運転を開始する。あるいは、ステップＳ６において、前回Ａ筒３での除湿を継続する省エネ運転を行ったことを確認したら、ステップＳ８に移ってＢ筒４での除湿を継続する省エネ運転を開始する。
【００３７】
いずれのステップＳ７，Ｓ８での省エネ運転でも、パージ弁２７を閉成して両筒３，４のパージを停止することは言うまでもない。そして、各ステップＳ７，Ｓ８からステップＳ５に移って出口露点と設定値との比較をなし、以下、上述のようなフローを繰り返す。
【００３８】
このような２回目以降の省エネ運転の制御から、Ａ，Ｂ筒３，４内の吸着剤１７がほとんど等しく吸着除湿し、そのため均等に劣化する。吸着剤１７の寿命が均一になり、標準運転に戻った際の各吸着筒３，４間における露点温度の変動が抑制され、吸着剤１７交換のタイミングが同時にとれるようになる。
【００３９】
図５に、第２の制御方法のフローチャートを示す。
ステップＳ１からステップＳ５は、先に図４で説明した通りのフローであるので説明を省略する。ステップＳ３において２回目以降の省エネ運転であることが確認されると、ステップＳ１０に移って省エネ運転時における各筒の除湿工程の時間を積算して比較する。
【００４０】
省エネ運転時の除湿積算時間がＡ筒３とＢ筒４で互いに等しいか、Ａ筒３側がＢ筒４側よりも長いことを確認した場合（Ａ筒≧Ｂ筒）は、ステップＳ１１に移ってＢ筒４での除湿を継続する省エネ運転を開始する。
【００４１】
あるいは、ステップＳ１０において、省エネ運転時の除湿積算時間がＢ筒４がＡ筒３よりも長い場合（Ａ筒＜Ｂ筒）は、ステップＳ１２に移ってＡ筒３での除湿を継続する省エネ運転を開始する。
【００４２】
いずれのステップＳ１１，Ｓ１２での省エネ運転でも、パージ弁２７を閉成して両筒３，４のパージを停止することは言うまでもない。そして、各ステップＳ７，Ｓ８からステップＳ５に移って出口露点と設定値との比較をなし、以下、上述のようなフローを繰り返す。
【００４３】
このような２回目以降の省エネ運転の制御から、Ａ，Ｂ筒３，４内の吸着剤１７がほとんど等しく吸着除湿をなし、そのため均等に劣化していく。吸着剤１７の寿命が均一になり、標準運転に戻った際の各吸着筒３，４間における露点温度の変動を抑制し、吸着剤１７交換のタイミングが同時にとれるようになる。
【００４４】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、２回目以降の省エネ運転を開始する吸着筒を特定したから、パージ量を少量に維持しながらも両方の吸着剤の劣化を均等に進行させ、標準運転に戻った際の各吸着筒間露点温度の変動を抑制して信頼性の向上を得るとともに、両吸着剤交換のタイミングを同時にとってランニングコストの低減に寄与するなどの効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態を示す、除湿装置の概略の断面図。
【図２】同実施の形態を示す、除湿装置の概略の断面図で、図１とは異なる工程を説明する図。
【図３】同実施の形態を示す、標準運転の制御を説明する図と、省エネ運転の制御を説明する図。
【図４】同実施の形態を示す、第１の省エネ運転制御のフローチャート図。
【図５】同実施の形態を示す、第２の省エネ運転制御のフローチャート図。
【符号の説明】
１７…吸着剤、
３…吸着筒（Ａ筒）、
４…吸着筒（Ｂ筒）、
２６…切換え弁、
２７…パージ弁、
２５…制御回路（制御手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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