(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラインセンサカメラと光源の間に、周期性パターン製品を移動させながら、該ラインセンサカメラを走査して該製品の透過光像を製品画像として入力すると共に、
前記周期性パターン製品が存在しない状態で、前記ラインセンサカメラを走査して光源画像を入力し、該光源画像に対する前記製品画像の透過率画像を作成し、該透過率画像を用いて前記周期性パターンを検査する周期性パターンの検査方法であって、
前記周期性パターン製品のパターン非形成部分に、その移動方向に直交する幅方向にスリットを形成し、該スリットを通して前記ラインセンサカメラによりスリット光源画像を入力し、
該スリット光源画像を複数ライン分配列して前記光源画像を作成することを特徴とする周期性パターンの検査方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記スリットが、周期性パターンの幅方向の形成範囲を越える全幅に形成されていることを特徴とする周期性パターンの検査方法。
【請求項３】
請求項１において、
前記周期性パターン製品が移動方向に連続形状で形成されていることを特徴とする周期性パターンの検査方法。
【請求項４】
請求項３において、
前記スリットが、周期性パターンの幅方向の形成範囲を越える全幅に形成されているとともに、製品の長さ方向には１又は２以上の周期性パターンの形成周期毎に形成されていることを特徴とする周期性パターンの検査方法。
【請求項５】
請求項３において、
前記スリットが、周期性パターンの幅方向の形成範囲を越える全幅を複数分割した長さに相当する部分幅に形成されているとともに、製品の長さ方向には１又は２以上の周期性パターンの形成周期毎に、各スリットを通して前記ラインセンサカメラによりスリット光源画像を入力すると全体として全幅分のスリット光源画像が入力されるように、幅方向に位置をずらして形成されていることを特徴とする周期性パターンの検査方法。
【請求項６】
ラインセンサカメラと光源の間に、周期性パターン製品を移動させながら、該ラインセンサカメラを走査して該製品の透過光像を製品画像として入力すると共に、
前記周期性パターン製品が存在しない状態で、前記ラインセンサカメラを走査して光源画像を入力し、該光源画像に対する前記製品画像の透過率画像を作成し、該透過率画像を用いて前記周期性パターンを検査する周期性パターンの検査方法であって、
前記周期性パターン製品が移動方向に所定長さで形成され、該製品を搬送用部材で保持して移動させると共に、
該搬送用部材の製品非保持部分に、その移動方向に直交する幅方向にスリットを形成し、該スリットを通して前記ライセンサカメラによりスリット光源画像を入力し、
該スリット光源画像を複数ライン分配列して前記光源画像を作成することを特徴とする周期性パターンの検査方法。
【請求項７】
請求項１又は６において、
前記ラインセンサカメラを、前記スリットの近傍で複数回走査して複数のライン画像を入力し、各ライン画像について全画素の輝度値を加算し、その加算値が最大のライン画像を前記スリット光源画像とすることを特徴とする周期性パターンの検査方法。
【請求項８】
請求項１又は６において、
前記光源画像を作成する際、前回の光源画像を構成するスリット光源画像の全てを、入力された今回のスリット光源画像に基づいて一括変更することを特徴とする周期性パターンの検査方法。
【請求項９】
請求項１又は６において、
前記光源画像を作成する際、前回の光源画像を構成するスリット光源画像の最古のものから、入力された今回のスリット光源画像に基づいて逐次変更することを特徴とする周期性パターンの検査方法。
【請求項１０】
ラインセンサカメラと、該カメラに対向配置された光源と、同カメラと光源の間に周期性パターン製品を移動させる搬送手段と、前記ラインセンサカメラを走査して、移動する周期性パターン製品の透過光像を製品画像として入力するとともに、前記周期性パターン製品が存在しない状態で、前記ラインセンサカメラを走査して光源画像を入力し、該光源画像に対する前記製品画像の透過率画像を作成し、該透過率画像を用いて前記周期性パターンを検査する画像処理手段とを備えている周期性パターンの検査装置であって、
前記ラインセンサカメラによる画像入力タイミングを決定するために、移動する前記周期性パターン製品を検知するタイミングセンサが設置され、
前記画像処理手段が、前記タイミングセンサから入力される検知信号に基づいて、前記周期性パターン製品のパターン非形成部分に、その移動方向に直交する幅方向に形成されているスリットを通して、前記ラインセンサカメラによりスリット光源画像を入力すると共に、
該スリット光源画像を複数ライン分配列して前記光源画像を作成する機能を有していることを特徴とする周期性パターンの検査装置。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記光源が、ラインセンサカメラの走査方向に平行に配設された線状光源であることを特徴とする周期性パターンの検査装置。
【請求項１２】
請求項１０において、
前記搬送手段が、上流側コンベアと下流側コンベアを有し、これら両コンベア間に形成された間隙に沿って前記ラインセンサカメラと光源が配設されていることを特徴とする周期性パターンの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、周期的に形成された開口のような周期性パターンが形成された、カラーテレビのブラウン管に用いられるシャドウマスク、アパーチャグリル等の製品の検査に適用して好適な、周期性パターンの検査方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周期的に形成された開口のような周期性パターンが形成された、カラーテレビのブラウン管に用いられるシャドウマスク、アパーチャグリル等の製品（周期性パターン製品）についてパターンムラ等の欠陥を検査する技術としては、例えば特開平６−２２９７３６号公報に開示されているような、ＣＣＤカメラ等のエリアセンサカメラで製品を画像入力し、その入力画像に基づいて周期性パターンを検査するものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のようにエリアセンサを用いて検査する場合には、周期性パターン製品を静止させた状態で画像入力しなければならないため、該製品を連続的に移動させながら検査することができず、それ故に検査能率が低いという問題があった。
【０００４】
そこで、本出願人は、特願平１０-２８０７０９号により、ラインセンサカメ ラと光源の間に、周期性パターン製品を移動させると共に、ラインセンサカメラを所定のスキャンレートで走査して該製品の透過光像を製品画像として入力し、該製品画像に基づいて周期性パターンを検査することにより、周期性パターン製品を連続的に移動させながら、その周期性パターンを検査することができるようにした技術を既に提案している。
【０００５】
ここで、図１３に要部構成を示した提案済みの周期性パターンの検査装置について詳述する。
【０００６】
この検査装置は、ラインセンサカメラ１０と、該カメラ１０に対向配置された蛍光灯（線状光源）１２と、同カメラ１０と蛍光灯１２の間にシャドウマスク等の周期性パターン製品である検査対象物Ｗを移動させる搬送手段である上流側と下流側の各ベルトコンベア１４Ａ、１４Ｂと、前記ラインセンサカメラ１０を所定のスキャンレートで走査して、移動する検査対象物Ｗの透過光をワーク（製品）画像として入力し、該ワーク画像に基づいて周期性パターンを検査するために画像処理する画像処理装置１６とを備えており、又、上記ラインセンサカメラ１０と蛍光灯１２との間には該蛍光灯１２からの照射光を均一にするための拡散板１８が配設されている。
【０００７】
前記上流側ベルトコンベア１４Ａと下流側ベルトコンベア１４Ｂは、検査対象物Ｗを矢印方向に搬送すると共に、両者間には矢印で示した搬送方向に直行する間隙が形成され、該間隙を通して前記蛍光灯１２からの照明光が前記ラインセンサカメラ１０に照射可能になっている。
【０００８】
ここでは、図示は省略するが、前記ラインセンサカメラ１０が、搬送方向に直交する方向に素子が一列に配設され、同方向に所定のスキャンレートで１回走査（スキャン）することにより、１ライン分の画像を取り込むことができるＣＣＤ（Ｃharge  Ｃoupled  Ｄevice）ラインセンサで構成されている。そして、前記蛍光灯１２は、上記ラインセンサカメラ１０の走査方向に平行に配設されている。
【０００９】
上記ラインセンサカメラ１０について詳述すると、このカメラ１０はスタートパルスに同期して走査が開始され、１ライン分の画像の取り込みが開始されるが、この画像取り込みを入力する画像に必要とされるライン数分繰り返すことにより、１画面分の画像が構成される。ラインセンサカメラ１０のスキャンレートは、このスタートパルスが繰り返される間隔を意味し、最初のスタートパルスで開始される走査により、それまで蓄積された電荷がＣＣＤに転送されると、次のスタートパルスまで露光が継続されるようになっており、従って、スタートパルス間隔、即ちスキャンレートを変更することにより、蓄積される光の量を調整することができるようになっている。なお、ラインセンサカメラ１０の最大スキャンレートは、１スキャン（走査）当りの最小必要時間で最高ビデオ周波数と画素数により決定される。高速スキャンを必要とする場合は、最高ビデオ周波数が高く、画素数の少ない機種ほど速くスキャンすることができる。
【００１０】
又、前記画像処理装置１６が、検査対象物Ｗが存在しない状態で、前記ラインセンサカメラ１０を、飽和受光量以下のスキャンレートで走査して光源画像を入力し、該光源画像に対する前記ワーク画像の透過率画像を作成し、該透過率画像を用いて前記周期性パターンを検査する機能を有している。この機能については後に詳述する。
【００１１】
前記提案済み検査装置により、検査を開始するにあたり、予め以下の準備を行う。
【００１２】
まず、検査対象物Ｗが、図１３に示したようにラインセンサカメラ１０と蛍光灯１２の間に位置する状態で、該カメラ１０を走査した場合にワーク画像を最適に撮像できるようにそのスキャンレートを設定する。
【００１３】
具体的には、入力画像データをＡＤ変換した後、０〜２５５の２５６階調で表示する場合であれば、受光量が飽和して階調値２５５以上にならない範囲で、しかもできるだけ大きな階調値になるようにスキャンレートを設定する。最適なスキヤンレート、即ち走査間隔が決まったならば、作成されるワーク画像が目標のアスペクト比（縦横比）になるように、検査対象物Ｗの移動速度、即ち同期して回転する上流側と下流側のベルトコンベア１４Ａ、１４Ｂによる搬送速度を調整し、その値に設定する。
【００１４】
ところで、上記条件で撮像されるワーク画像には、蛍光灯１２自体に場所による光強度のムラがあると、それに起因するシェーディングが含まれることになり、しかもこのムラは経時的に変化する。そこで、ここでは、光源に起因する誤検査を防止するために、予め光源自体を撮像して光源画像を作成し、該光源画像に対する上記ワーク画像の比を基に透過率画像を作成し、該画像を用いてシャドウマスクの周期性パターンを検査する。この透過率画像について簡単に説明すると、試料（シャドーマスク）の無い状態で撮像した画像データをＩ1、試料を入れ て撮像した画像データをＩ、ＣＣＤラインセンサの暗電流を表す画像データをＩoとすると、試料上の点の透過率ＴはＴ＝（Ｉ−Ｉo）／（Ｉ1−Ｉo）として計算できる。ここで、Ｉ，Ｉo，Ｉ1は対応する位置の画素データであり、これを各画素について行うことにより光源のシェーディング、長時間の変動の影響を受けない透過率画像データが得られる。
【００１５】
但し、光源画像を作成する場合は、シャドウマスクを撮像してワーク画像を入力する場合と同一の撮像条件では、画像入力することはできない。その理由は、図１４（Ａ）、（Ｂ）にそれぞれ検査対象物Ｗが無い場合と有る場合の同一光源からの照射光量の大きさを矢印の太さで概念的に示したように、検査対象物Ｗに形成されている周期性開口（周期性パターン）の開口率が、シャドウマスクであれば、例えば１５〜３０％と低いため、これが無い場合のラインセンサカメラ１０の受光量は、有る場合の約５倍になる。そのため、同一条件で画像入力すると、ＣＣＤラインセンサの電荷が飽和して、真白な画像になり、光源のムラを撮像できないことになる。
【００１６】
そこで、ここでは、透過率画像の作成に使用する光源画像を入力する際、前記図１３に相当する図１５の斜視図に示したように、検査対象物Ｗが存在しない状態で、前記ラインセンサカメラ１０を、その各素子に光電変換により蓄積される電荷が飽和する飽和受光量以下のスキャンレートで、即ちワーク画像を入力する場合の、例えば５倍高速のスキャンレートで走査して入力し、それを光源画像とする。この光源画像を撮像するためのスキャンレートが決定されたなら、該光源画像は、例えばワーク画像を撮像する直前に１スキャン分だけ入力し、それをメモリに保存するだけでよい。ワーク画像の大きさに相当する光源画像が必要であれば、保存されている画像データを該ワーク画像の走査数分繰り返す（コピーする）ことにより作成することができる。
【００１７】
次に、前述した方法で、ワーク画像及び光源画像をそれぞれ適切に入力可能な遅いスキャンレート（Ａ）及び速いスキャンレート（Ｂ）が決定されたならば、この両スキャンレートを用いて行う、本実施形態による検査動作を、図１６のフローチャートを参照して説明する。
【００１８】
まず、検査対象物Ｗが搬送されてくる前に、ラインセンサカメラ１０のスキャンレートを速くし、スキャンレート（Ｂ）に設定して光源画像を入力し、その１走査分の画像データをメモリに保存する（ステップ３１）。
【００１９】
次いで、スキャンレートを遅くし、スキャンレート（Ａ）に設定し直し、上流側ベルトコンベア１４Ａにより一定速度で検査対象物Ｗが搬送されてきたら、その先頭位置から尾端位置まで該スキャンレート（Ａ）の一定の間隔で撮像し、全体をワーク画像として画像入力する（ステップ３２）。
【００２０】
そして、各走査毎のワーク画像の画像データを上記光源画像の画像データ（対応する画素毎の画素値）で除算して透過率画像を作成し、これを基に周期性パターンの検査を行う（ステップ３３）。その後、次の検査を行う場合は上記ステップに戻り、以上の動作を繰り返す（ステップ３４）。このようにすることにより、検査対象物Ｗを移動させながら、正確に検査することができる。
【００２１】
以上詳述した如く、提案済の検査装置によれば、検査対象物Ｗを画像入力するために、静止させる必要がないので、検査装置のタクトタイムを短くすることができ、又、検査対象を移動させながら画像入力することができるため、大きな製品をも確実に検査することができる等の優れた利点がある。
【００２２】
しかしながら、以上詳述した提案済み検査装置を用いる周期性パターンの検査技術では、精度の高い検査をするためには、正確な透過率画像を作成する必要があり、そのためには経時的に変化する光源光を撮像して最新の光源画像を入力することが重要となることから、以下のような新たな問題があることが明らかになった。
【００２３】
例えば、前記図１３に相当する図１７に示すように、二点鎖線で示す矩形範囲に周期性パターンＰが形成された複数の検査対象物Ｗを、搬送効率を上げるために前後に隙間が生じないように連結して搬送する場合には、ラインセンサカメラ１０により光源１２を直接撮像することができないことになり、光源画像を入力することができない。この問題は、図示は省略するが、枠体からなる搬送用ホルダカセット（搬送用部材）に、所定の大きさの検査対象物Ｗを載置し、該カセットを連結して搬送する場合にも同様に生じる。因みに、この場合は、カセットが図１６の検査対象物Ｗであるとすると、検査対象物は二点鎖線で示したパターンＰに相当することになる。
【００２４】
又、図１８に示すように、検査対象物Ｗが二点鎖線の矩形範囲に当る周期性パターンＰが所定の間隔（周期）で形成された連続形状で、矢印で示した長さ方向に搬送される場合も同様に、光源１２を直接撮像することができない。このように、光源画像を入力することができない場合には、前記提案済み技術による透過率画像に基づく検査そのものができないことになるという新たな問題が生じる。
【００２５】
本発明は、上記のような新たな問題点を解決するべくなされたもので、所定形状の検査対象物若しくはそれを載置した搬送用部材を連結した状態で、又は連続形状の検査対象物を、光源とラインセンサカメラの間に移動させながら検査する場合でも、光源画像を確実に入力することができることから、透過率画像に基づいて高精度の検査を行うことができる周期性パターンの検査方法及び装置を提供することを課題とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、周期性パターンの検査方法において、ラインセンサカメラと光源の間に、周期性パターン製品を移動させながら、該ラインセンサカメラを走査して該製品の透過光像を製品画像として入力すると共に、前記周期性パターン製品が存在しない状態で、前記ラインセンサカメラを走査して光源画像を入力し、該光源画像に対する前記製品画像の透過率画像を作成し、該透過率画像を用いて前記周期性パターンを検査する周期性パターンの検査方法であって、前記周期性パターン製品のパターン非形成部分に、その移動方向に直交する幅方向にスリットを形成し、該スリットを通して前記ラインセンサカメラによりスリット光源画像を入力し、該スリット光源画像を複数ライン分配列して前記光源画像を作成することにより、前記課題を解決したものである。
【００２７】
本発明は、又、周期性パターンの検査方法において、ラインセンサカメラと光源の間に、周期性パターン製品を移動させながら、該ラインセンサカメラを走査して該製品の透過光像を製品画像として入力すると共に、前記周期性パターン製品が存在しない状態で、前記ラインセンサカメラを走査して光源画像を入力し、該光源画像に対する前記製品画像の透過率画像を作成し、該透過率画像を用いて前記周期性パターンを検査する周期性パターンの検査方法であって、前記周期性パターン製品が移動方向に所定長さで形成され、該製品を搬送用部材で保持して移動させると共に、該搬送用部材の製品非保持部分に、その移動方向に直交する幅方向にスリットを形成し、該スリットを通して前記ライセンサカメラによりスリット光源画像を入力し、該スリット光源画像を複数ライン分配列して前記光源画像を作成することにより、同様に前記課題を解決したものである。
【００２８】
本発明は、又、周期性パターンの検査装置において、ラインセンサカメラと、該カメラに対向配置された光源と、同カメラと光源の間に周期性パターン製品を移動させる搬送手段と、前記ラインセンサカメラを走査して、移動する周期性パターン製品の透過光像を製品画像として入力するとともに、前記周期性パターン製品が存在しない状態で、前記ラインセンサカメラを走査して光源画像を入力し、該光源画像に対する前記製品画像の透過率画像を作成し、該透過率画像を用いて前記周期性パターンを検査する画像処理手段とを備えている周期性パターンの検査装置であって、前記ラインセンサカメラによる画像入力タイミングを決定するために、移動する前記周期性パターン製品を検知するタイミングセンサが設置され、前記画像処理手段が、前記タイミングセンサから入力される検知信号に基づいて、前記周期性パターン製品のパターン非形成部分に、その移動方向に直交する幅方向に形成されているスリットを通して、前記ラインセンサカメラによりスリット光源画像を入力すると共に、該スリット光源画像を複数ライン分配列して前記光源画像を作成する機能を有するようにしたことにより、同様に前記課題を解決したものである。
【００２９】
即ち、本発明においては、周期性パターン製品のパターン非形成部分にスリットを形成し、該スリットからラインセンサカメラにより光源画像を入力できるようにしたので、所定長さの周期性パターン製品を隙間なく連結して移動させながら検査する場合でも、又は連続形状の周期性パターン製品を連続的に移動させながら検査する場合でも、確実に光源画像を入力することができるため、透過率画像に基づいて周期性パターンを高精度に検査することができる。
【００３０】
又、本発明においては、所定の長さの周期性パターン製品を搬送用部材で保持して移動させながら検査する場合でも、該搬送用部材の製品非保持部分に形成したスリットを通して光源画像を入力することができるようにしたので、同様に、周期性パターンを高精度に検査することができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００３２】
図１は、本発明に係る一実施形態の周期性パターンの検査装置の要部構成を示す概略斜視図である。
【００３３】
本実施形態の検査装置は、移動されてくる検査対象物（周期性パターン製品）Ｗを所定位置で検知するタイミングセンサ２０が設置され、該センサ２０からの検知信号と、予め入力されている後述する画像入力条件等の情報に基づいて、ワーク（製品）画像や光源画像を入力するタイミングを決定する演算を画像処理装置１６で実行すると共に、該処理装置１６により設定されたタイミングでそれぞれの画像を入力し、作成される透過率画像を元に周期性パターンを検査する制御を行うようにしている。
【００３４】
このタイミングセンサ２０としては、図２（Ａ）に示したような、ＬＥＤや半導体レーザ等の光源からなる投光器２０Ａと、これに対向して配置された受光器２０Ｂとを有する光電センサを用いることができる。この場合、検査対象物Ｗには、予めタイミング検知用の貫通孔Ｈを所定位置に形成しておく。こうすることにより、上記対象物Ｗが搬送されてきて、上記受光器２０Ｂが、投光器２０Ａからの光束が遮断されているＯＦＦ状態から、図のように貫通孔Ｈを通して入射されるＯＮ状態になった時に出力される信号を基準に、タイミングを決定することができる。
【００３５】
又、タイミングセンサ２０としては、同図（Ｂ）に示すように、ＣＣＤエリアセンサカメラ２０Ｃと、そのコントローラ２０Ｄとを備えた構成とし、検査対象物Ｗの所定位置にコントラストの高い色で予め付けておいた特定形状のタイミングマークＭが、該カメラ２０Ｃの視野に入った特に出力がＯＮとなるようにし、その時点を基準に決定するようにしてもよい。
【００３６】
本実施形態の検査装置は、以上のような要部構成とした以外は、前記図１３に示した提案済の検査装置と実質的に同一である。従って、ここでは共通する機能についての説明は省略する。
【００３７】
本実施形態における、検査対象物Ｗは、図３（Ａ）にその一部を示すように、前記図１８に示したものと同様に二点鎖線の矩形で範囲を示した周期性パターンＰが、一点鎖線で示した周期で形成されている連続した帯状体として形成されている。このような連続形状の検査対象画像Ｗを前記検査装置で検査する場合は、パターンＰについての透過光画像（ワーク画像）は入力できるが、光源１２そのものを画像入力することができない。
【００３８】
そこで、本実施形態では、図中斜線を付して示した検査対象物Ｗのパターン非形成部分を光源画像撮像エリアＡｒとし、該エリアに同図（Ｂ）に拡大して示したようにスリット（貫通孔）ＳＬを形成し、該スリットＳＬを通してラインセンサカメラ１０により光源１２を画像入力できるようにしている。
【００３９】
以下、このスリットＳＬについて詳述する。このスリットＳＬの幅方向長さは、パターンＰの全体にわたって正確な透過率画像を作成するために、該パターンＰの幅に相当する破線で示した幅を越えるようにすることが重要であり、同図（Ｃ）に拡大して示したように、スリット幅ＬＨはラインセンサカメラ１０の副走査方向の分解能以上、即ち１画素分以上あれば任意である。又、その長さ方向端部はコーナー部分にＲをつけた半円状にしても、二点鎖線で示した矩形としてもよい。
【００４０】
又、図４に示すように、上記スリットＳＬは検査対象物Ｗの長さ方向に対して一点鎖線で示すパターン形成周期毎に１本ずつ設ける全幅連続形成としている。このようにスリットＳＬを連続形成することにより、周期性パターンを画像入力する毎に光源画像を入力することができるため、常に正確な透過率画像を作成することができる。但し、スリットＳＬは、パターンＰの周期毎に設ける連続形成に限らず、図示は省略するが２以上の周期毎に設ける全幅不連続形成としてもよいことは言うまでもない。
【００４１】
又、上記検査対象物Ｗに形成するスリットとしては、図５に示すように部分幅連続形状としてもよい。これは、前記図４に示した全幅のスリットＳＬに対し、それを実質上１／３の長さの部分幅で形成すると共に、各部分幅のスリットＳＬ1〜ＳＬ3を、一点鎖線で示したパターン形成周期毎に、同幅分ずつずらして形成しており、このようにすることにより、３周期毎に全幅分の光源画像を入力することができる。なお、ここでは３周期で完全に全幅分の光源画像が入力できるようにするために、部分幅のスリットＳＬ1〜ＳＬ3は、破線で示したように、それぞれ端部で一部がオーバーラップするように形成されている。
【００４２】
このような部分幅連続形状とすることにより、一定の周期間隔で光源画像を入力できるため、同様に正確な透過率画像を作成することができ、しかも、幅方向の一部にしか貫通孔が形成されていないので、薄い板状の検査対象物Ｗであっても、その強度が低下することを防止できる利点もある。但し、部分幅スリットは、上記のような周期毎の連続形状に限らず、前記全幅の場合と同様に、１周期以上の間隔を隔てて形成する不連続形状であってもよい。
【００４３】
次に、本実施形態の作用を、図６に示したフローチャートに従って説明する。
【００４４】
まず、ステップ１でパラメータを設定する。ここでは、パラメータとして、（１）製品の大きさ（幅や長さ）、（２）スリットのタイプ（全幅／部分幅、連続／不連続）、（３）部分幅の場合のスリットの分割数、（４）不連続の場合のスリットの形成周期等の画像入力条件を決定する。
【００４５】
次いで、前記提案済みの検査の場合と同様に、製品（ワーク）画像用のスキャンレートを設定し（ステップ２）、画像入力用の前記タイミングセンサ２０からの信号が入力されると、製品画像の撮像を行う（ステップ３、４）。
【００４６】
前記ステップでパラメータとしてスリットが１周期毎に形成されていることを意味する連続が設定されている（ステップ５でＹＥＳ）の場合には、前記提案済み検査の場合と同様に光源画像用のスキャンレートに設定（変更）し（ステップ６）、前記タイミングセンサ２０からの信号入力をまって光源画像を撮像し、それが終了したら前記ステップ２に戻る（ステップ７、８）。
【００４７】
一方、上記ステップ５で連続が設定されていない、即ちスリットが各周期毎に形成されていない不連続と判定された場合には、ステップ９で光源画像を撮像するタイミングか否か、即ちこの段階で所定位置にスリットが有るか無いかを判定し、無し（ＮＯ）の場合は、ステップ３に戻って次の製品画像を撮像し、有り（ＹＥＳ）の場合は、連続の場合と同様にステップ６〜８に従って光源画像を撮像する。なお、ステップ９の判定では、撮像のタイミングであることを、パラメータ設定してあるスリットの周期をカウントして決めたり、前記ステップ３のタイミングセンサ２０からの信号入力と同時に毎回スリットの有無を伝送して決めたりするようになっている。
【００４８】
前記ステップ６〜８で光源画像を撮像する場合は、確実に光源を撮像するためにスリット位置の近傍で数スキャンライン分ずつ画像入力する。そして、図７に手順を示したように、１スキャン分のライン画像を単位に、各ライン画像について幅方向への輝度の投影処理を行い（ステップ１１）、その複数のライン画像をそれぞれ投影した中で、投影結果（全画素分の輝度の和）が最大値である座標を検出し（ステップ１２）、その座標の１スキャン分のライン画像を光源画像作成用のスリット光源画像とする。
【００４９】
図８（Ａ）には、上記のようにスリットを中心にスキャニングして入力した複数ライン分の画像のイメージを、又、その右側（Ｂ）が各ラインの画像について輝度値を合計した投影結果を示した。この例の場合は、輝度の最大値が上から５番目のラインであることから、このラインの画像を同図（Ｃ）に示したようにスリット光源画像とする。即ち、最も明るいラインをスリットの中央で撮影したラインと判断して取出し、それをスリット光源画像としている。
【００５０】
次に、以上のようにして入力されたスリット光源画像を用いて透過率画像を計算するための光源画像の作成方法を説明する。その第１は、一括全幅上書方式である。これは、上記のように作成したスリット光源画像を製品（ワーク）画像の大きさと実質上同一になるように繰り返して計算用の光源画像を作成するが、その光源画像を製品画像を入力する毎に全て新しいスリット光源画像により置き換えていくものである。
【００５１】
いま、ｔ番目の周期に形成されている周期性パターン部分を、便宜上製品ｔの如く表記するとともに、そのスリット光源画像をｔを付記した細い長方形（バー）で表すとすると、図９にこの作成方法のイメージを示したように、製品ｔ−１のスリット光源画像で全体が作成されている同図（Ａ）に示した光源画像を、同図（Ｂ）に示すように１つ後の製品ｔのスリット光源画像により一括で置き換える方法である。因みに、ここでは、ｔは今回を、ｔ−１は前回を意味する。
【００５２】
第２は、一括全幅平均方式であり、これは、図示は省略するが、前記図９に示したように、製品ｔ−１のスリット光源画像を製品ｔの新たなものに置き換えるのではなく、同図（Ｂ）の製品ｔのスリット光源画像を、全て製品ｔ−１と製品ｔの両画像の平均：｛（ｔ−１）＋ｔ｝／２の画像データで置き換え、前回の情報を残すようにする方法である。
【００５３】
第３は、逐次全幅上書き方式であり、これは図１０（Ａ）に示すように、光源画像全体を、１ラインずつ異なる製品で撮像したスリット光源画像を順次配列して作成するようにし、更新する際には同図（Ｂ）に示すように１番古い製品ｔ−ｎのスリット光源画像を最新の製品ｔのスリット光源画像に置き換えることにより順次更新して作成する方法である。但し、この逐次方式の場合、検査開始直後では、１画面分の光源画像を入力できないので、（１）最初は一時的に一括方式を採用するか、（２）それ以前の最新の光源画像を保存しておき、その画像を逐次更新するようにするか、場合によっては（３）１画面が構成されるのを待って検査を行うという対応が必要になる。
【００５４】
第４は、一括の場合と同様に、対象のスリット光源画像を、図１０（Ｂ）のように製品ｔのスリット光源画像ようにするのではなく、それまでの製品ｔ−ｎのスリット光源画像と新しい製品ｔのスリット光源画像の平均：｛（ｔ−ｎ）＋ｔ｝／２の画像データで置き換える方法である。
【００５５】
第５は、一括部分上書き方式である。全体の光源画像は、図１１（Ａ）に示すように、縦方向に３分割されたスリット光源画像で構成されている。これは、製品ｔ−１の光源画像を示しており、製品ｔ−３、ｔ−２のスリット光源画像と組合せて作成されている。製品ｔの光源画像は、同図（Ｂ）に示すように、一番古い製品ｔ−３のスリット光源画像を最新のｔのデータで一括変更して作成する。
【００５６】
第６は一括部分平均方式であり、これは前記図８で説明した全幅の場合と同様に、図１１（Ｂ）における製品ｔのスリット光源画像を｛（ｔ−３）＋ｔ｝／２の画像データで置き換える方法である。
【００５７】
第７は、逐次部分上書き方式であり、３分割の例を図１２に示す。便宜上、この図（Ａ）、（Ｂ）には更新した製品ｔ−１と製品ｔ−ｎを更新した製品ｔのスリット光源画像のみを明示し、他は省略してある。
【００５８】
第８は、逐次部分平均方式であり、これも前述した全幅の場合と同様で、新しいスリット光源画像が得られたら、それまであった古いものと新しいものの平均データで置き換える方法である。
【００５９】
以上詳述した本実施形態によれば、連続形状の検査対象物Ｗについても、光源画像を入力することができるので、透過率画像を用いた周期性パターンの検査が可能になる。又、スリット（光源画像の撮像エリア）という最小限の空間で光源画像を入力できるので、検査ラインのタクト時間への影響を少なくすることができる。
【００６０】
又、スリットの構成を不連続にすることによって、例えば、検査ラインにおいて一定期間中の検査対象物を同一の条件で検査したい場合、その期間の最初もしくは最後にスリットを設けておくことにより、その期間内の検査対象物は全て同一の光源画像（同じ条件）にすることができる。
【００６１】
更に、前述した如く、スリットの構成を部分幅にすることにより、スリットが前幅に設けられたことによる強度低下（前後の検査対象物が両端でのみつながっている）を防ぐことができる。
【００６２】
以上、本発明について具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に示したものに限られるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【００６３】
例えば、検査対象は、前記図３を用いて説明したように、所定長さからなるものであってもよい。又、スリットを形成する対象は、検査対象に限らず、所定長さの検査対象を保持する搬送用ホルダカセット等の搬送用部材であってもよい。
【００６４】
又、前記実施形態では、スリットが検査対象物の流れ方向に対して後ろ側にあるものを示したが、先頭側にあってもよく、更に部分幅は３分割の場合に限定されない。
【００６５】
又、検査対象物としては、前記シャドウマスクに限定されず、同じくカラーテレビ用ブラウン管に用いられるアパーチャグリル、カラー撮像装置用色分解フィルタ、液晶表示パネル用カラーフィルタ、電子管に用いられるメッシュ状電極、ＶＤＴフィルタ、フォトマスク、フレネルレンズ、レンチキラーレンズ、コーティングシート、カラーシート、偏光シート等の一定の光学的性質、形状を有する単位パターンが１次元方向、あるいは２次元方向に規則的に繰り返し配列されている工業製品、あるいは単体パターンがその光学的性質、形状及び１次元方向、２次元方向の配列ピッチが徐々に変化しながら繰り返し配列されている工業製品、あるいは無地か無地に近い濃淡の差が小さい均等な光学的性質を有する工業製品を挙げることができる。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、検査対象物又はそれを載置して搬送するための搬送部材を連結した状態で、又は、連続形状の検査対象物を光源とラインセンサカメラの間を通過させて検査する場合でも、光源画像を確実に撮像することができる。従って、光源画像から作成される透過率画像を元に周期性パターンの検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る一実施形態の周期性パターンの検査装置の要部構成を示す斜視図
【図２】タイミングセンサと、タイミングの決定方法の例を示す説明図
【図３】本発明の特徴を示す説明図
【図４】実施形態に用いられる検査対象物の特徴を示す説明図
【図５】実施形態に用いられる検査対象物の他の特徴を示す説明図
【図６】実施形態の作用を示すフローチャート
【図７】光源画像の作成手順を示すフローチャート
【図８】前記フローチャートに対応する説明図
【図９】一括全幅上書き方式による光源画像の特徴を示す説明図
【図１０】逐次全幅上書き方式による光源画像の特徴を示す説明図
【図１１】一括部分幅上書き方式による光源画像の特徴を示す説明図
【図１２】逐次部分幅上書き方式による光源画像の特徴を示す説明図
【図１３】提案済み検査装置の要部構成を示す斜視図
【図１４】光源画像とワーク画像を撮像する時の受光量の違いを概念的に示す説明図
【図１５】提案済み検査装置の光源画像の撮像状態を示す斜視図
【図１６】提案済み検査装置の作用を示すフローチャート
【図１７】提案済み検査技術の問題点を示す説明図
【図１８】提案済み検査技術の問題点を示す他の説明図
【符号の説明】
１０…ラインセンサカメラ
１２…蛍光灯
１４…ベルトコンベア
１４Ａ…上流側ベルトコンベア
１４Ｂ…下流側ベルトコンベア
２０…タイミングセンサ
Ｗ…検査対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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