(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外板で囲まれる密閉室体を中央のシャワー室と該シャワー室と室内壁により仕切られた左右の側面室とに画成し、前記側面室の一方又は双方に前記シャワー室内にエアを噴出する送風部を形成してなるエアシャワー装置であって、前記送風部は、前記側面室内に着脱可能に取り付けられる別体のジェットプレナムボックスと、該ジェットプレナムボックス側に連結され前記シャワー室内のエアを吸引してジェットプレナムボックス側に送るファンと、前記室内壁に配置されて前記シャワー室内にエアを噴出するエアジェットと、該エアジェットの上流側に配置されるフィルタとを有するものからなり、前記ジェットプレナムボックスは、ボックス側壁部と、この上下に連結されるボックス天井板及びボックス底板と、前記ボックス側壁部側に連結され該ボックス側壁部との間に圧力室を形成すると共に前記フィルタを設けてなるフィルタ設置壁部とからなり、前記圧力室と前記室内壁との間の前記ジェットプレナムボックス内には適宜容積の圧力緩和室が形成されると共に前記ジェットプレナムボックスには、前記ファンを支持するファン支持体が設けられることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項２】
前記ジェットプレナムボックスの構成部材が、ガリバニウム鋼板からなることを特徴とする請求項１に記載のエアシャワー装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体用クリーンルーム，病院手術室，食品・バイオ等の施設において、これ等の室内と前室との間に設置され、入室者や製品等をジェットエアによって清浄化するためのエアシャワー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体クリーンルーム等の清浄室内は清浄状態に保持されることが必要であり、入室者や製品は前記清浄室に入る前に塵埃等を完全に除去して清浄化されることが必要である。このため、前記清浄室と前室との間には入室者や製品にエアジェットをかけてこれ等を清浄状態にするためのエアシャワー装置が従来より採用されている。図５，図６はこの従来のエアシャワー装置１ａの概要構造を示す図である。
【０００３】
従来のエアシャワー装置１ａは、外板２と天井部８及び床部６とで囲まれる密閉室体からなり、密閉室体は室内壁９ａ，９ａにより３つの室に画成される。即ち、左右の側面室４ａ，４ａと、この両者に挟まれるシャワー室３ａとからなる。なお、シャワー室３ａの前後には開閉扉１０，１０が開閉自在に設けられている。図５及び図６は中心線３０，３１で区切った図からなり、一方の側面室４ａ側のみが表示されている。
【０００４】
側面室４ａ内には送風部５ａが設けられている。この送風部５ａは、圧力室２８ａを形成する圧力室壁３２と、フィルタ１４ａとファン１２ａ及びジェットノズル１３ａ等とからなる。画成された側面室４ａの下方側には仕切板３３が設けられ、ファン１２ａを収納する区画室２６ａが形成される。区画室２６ａは室内壁４ａの下方に設けた吸入口１５ａを介してシャワー室３ａ側と連通する。また、仕切板３３上には圧力室壁３２が載置され内部に圧力室２８ａを形成する。なお、圧力室２８ａの出口側にフィルタ１４ａが配置され、ファン１２ａは圧力室２８ａ内と連通する位置に装着される。仕切板３３の上方に形成されている側面室４ａには圧力緩和室２９ａが形成される。また、室内壁９ａにはジェットノズル１３ａが複数個配設される。また、シャワー室３ａを介して相対向して配置されるもう１つの側面室４ａには前記した送風部５ａが収納される場合もあるがなくてもよい。また、入室者や製品等の出入するシャワー室３ａの前後には開閉扉１０，１０が配設される。
【０００５】
以上の構造のシャワー装置１ａにおいて、シャワー室３ａ内を出入する入室者や製品はファン１２ａから圧力室２８ａやフィルタ１４ａ及び圧力緩和室２９ａを介してジェットノズル１３ａから噴出されるエアにより清浄化されて半導体用クリーンルーム等内に送られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
以上の構造の従来のエアシャワー装置１ａにより入室者や物品は清浄化されるが、エアシャワー装置１ａ自体の構造に次のような問題点がある。図５や図６に示すように、まず、室内壁９ａは天井板７ａや床部６ａに固定されて配置されると共に圧力室２８ａを形成する圧力室壁３２は外板２に溶接等により固定され、その下部も仕切板３３に溶着固定されるものからなる。また、仕切板３３も室内壁９ａと外板２とに固着される。また、ファン１２ａを支持するファン支持体２１ａも外板２に固着される。勿論、天井板７ａも外板２等に固着される。以上のように、従来のエアシャワー装置１ａの各構成部材はほとんど溶接等により固着されるものであり、別体のものから形成されていない。よって、エアシャワー装置１ａはその仕様に合わせて一品毎に製作する必要があり、仕込み生産ができず、大量生産によるコストダウン等が図れない問題点があった。また、各構成部材が互いに溶着されるため、材料の歪みの度合が異なると全体が変形して不良品となる恐れもあるため、各構成部材は同一の材料を使用せざる得なかった。このため、コスト低減や軽量化が難しい問題点があった。更に、表面に出ない箇所にも錆防止処理が必要であり、塗装処理等が必要になるが、溶接による塗装剥がれも生じ易く、補修作業が必要であり作業コストが大となる問題点がある。また、各部が溶着のため溶接歪みが生じ易く、作業者に熟練度が要請され、その確保が難しい問題点もあった。
【０００７】
一方、前記の問題点を解決した公知技術の１つとして実開平７−３２４３９号公報のエアシャワー装置が挙げられるが、このエアシャワー装置はエアジェットノズルの構造に重点をおいたものであり、送風部の具体的な構造に関しては開示内容が不十分であり、本発明とは技術内容において相異するものである。また、各構成部材の材料についても殆ど触れていない。
【０００８】
本発明は、以上の事情に鑑みて発明されたものであり、圧力室等を本体と別体化し、仕込み生産が可能となり大量生産によるコストダウンが図れると共に、溶接による歪みや後処理もなく作業者の熟練度も必要なく、工期の短縮が図れ、無塗装化が可能なエアシャワー装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明のエアシャワー装置は、以上の目的を達成するために、請求項１記載の通り、本発明のエアシャワー装置は外板で囲まれる密閉室体を中央のシャワー室と該シャワー室と室内壁により仕切られた左右の側面室とに画成し、前記側面室の一方又は双方に前記シャワー室内にエアを噴出する送風部を形成してなるエアシャワー装置であって、前記送風部は、前記側面室内に着脱可能に取り付けられる別体のジェットプレナムボックスと、該ジェットプレナムボックス側に連結されて前記シャワー室内のエアを吸引してジェットプレナムボックス側に送るファンと、前記室内壁に配置される前記シャワー室内にエアを噴出するエアジェットと、該エアジェットの上流側に配置されるフィルタとを有するものからなり、前記ジェットプレナムボックスは、ボックス側壁部と、この上下に連結されるボックス天井板及びボックス底板と、前記ボックス側壁部側に連結され該ボックス側壁部との間に圧力室を形成すると共に前記フィルタを設けてなるフィルタ設置壁部とからなり、前記圧力室と前記室内壁との間の前記ジェットプレナムボックス内には適宜容積の圧力緩和室が形成されると共に前記ジェットプレナムボックスには、前記ファンを支持するファン支持体が設けられることを特徴とする。
また、請求項２に記載のエアシャワー装置は、請求項１記載のエアシャワー装置において、前記ジェットプレナムボックスの構成部材が、ガリバニウム鋼板からなることを特徴とする。
【００１０】
送風部を構成する各部材はすべてリベットやビス等により着脱可能の状態で互いに取り付けられる。特に、ジェットプレナムボックスは夫々別体の板部材をリベット等により組み合わせたものからなる。以上の構造のため、溶接歪みやその後処理もなく、仕込み生産が可能であり、更に、任意の材料、例えば塗装処理の不要な材料を用いることができる。また、組み付けが容易なため熟練作業者を必要としない。また、顧客指定の外板色相に無関係に各部を構成することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のエアシャワー装置の実施の形態を図面を参照して詳述する。
図１及び図２は中心線３０，３１により左右を表示したもので、一方の側面室の送風部しか表示されていないが、他の側面室も同様の送風部が収納されてもよく、又はなくてもよい。
まず、本発明のエアシャワー素装置１は外板２や天井部８や床部６により囲まれた密閉室体からなり、この密閉室体は天井板７と左右の室内壁９，９により区切られたシャワー室３と、室内壁９，天井板７，外板２，底部６等により画成されてシャワー室３の両側に設けられた側面室４，４からなる。側面室４内には送風部５が収納される。なお、シャワー室３の前後には開閉扉１０，１０が配設される。また、図１，図２に示すように、室内壁９は天井板７と床部６間に着脱可能に図略のリベット又はビスにより取り付けられている。また、室内壁９の下方側には吸入口１５が設けられフィルタ部材１６が配設される。
【００１２】
送風部５は、大別してジェットプレナムボックス１１と、ファン１２と、ジェットノズル１３及びフィルタ１４等からなる。図３，図４に示すように、ジェットプレナムボックス１１は、ボックス側壁部１７と、ボックス天井板１８と、ボックス底板１９と、フィルタ設置壁部２０及びファン支持体２１等とからなる。これ等の各部材には補強のための鍔部２２が設けられているが、厚板や十分な強度のある板材を用いる場合には鍔部２２は無くてもよい。
【００１３】
ボックス側壁部１７はコ字形状に曲げられた部材からなり、図１，図２に示すように側面室４の横幅（外板２と室内壁９との間の寸法）にほぼ近い幅寸法を有するものからなる。このボックス側壁部１７の上下の開口部はボックス天井板１８とボックス底板１９により閉止されるがこれ等はすべてリベット又はビス等により連結される。なお、ボックス底板１９には通気口２３が開口形成される。一方、フィルタ設置壁部２０はボックス側壁部１７の前方側から挿入されるＬ字形状の部材からなり、ボックス側壁部１７の奥板２４とボックス底板１９に夫々リベット又はビス等により連結される。なお、フィルタ設置壁部２０には前面側に開口部２５が形成され、開口部２５は図１，図２に示すようにフィルタ１４により閉止される。一方、ファン支持体２１はボックス側壁部１７の奥板２４にリベット又はビス等により連結されると共に床部６に近接する位置まで下方側に向かって伸延して配設される。
【００１４】
図１に示すようにボックス底板１９と床部６との間には区画室２６が形成され、この内部にはファン１２が収納される。なお、ファン１２はボックス底板１９とファン支持体２１に支持されて装着されると共にその吹出口２７はボックス底板１９の通気口２３に合致して配置される。図１，図２に示すように、ボックス側壁部１７とフィルタ設置壁部２０によって囲まれた区画部は圧力室２８を形成する。一方、ジェットプレナムボックス１１の圧力室２８以外の部分は圧力緩和室２９となる。以上のように、本発明における送風部５の構成部材はすべて互いに着脱可能に連結できるものからなり、別体のものを組み付けることにより形成される。また、本実施の形態ではジェットプレナムボックス１１の各構成部材はガリバニウム鋼材から形成される。ガリバニウム鋼板は塗装処理の不要な処理済鋼板であり、アルミシート鋼板よりも反射効率のよい鋼板であり、建材に広く使用される無錆鋼板である。
【００１５】
次に、本実施の形態のエアシャワー装置１によるシャワー室３内の清浄対象物の清浄方法について簡単に説明する。
シャワー室３内のエアは吸入口１５からフィルタ部１６により濾過されて区画室２６内に吸引され、ファン１２の吹出口から通気口２３側に送られて圧力室２８内に入る。圧力室２８はフィルタ１４により出口側が閉止されているため、ある程度の圧力上昇が生ずる。この圧力エアはフィルタ１４を介して圧力緩和室２９側に送られて膨脹し、塵埃等を除去した後、ジェットノズル１３によりシャワー室３内に噴射される。用済のエアは再び吸入口１５から吸引され再び使用されて循環する。以上により、入室者や製品等の清浄化が確実に行われる。
【００１６】
以上の説明において、前記したように本実施の形態では側面室４の一方に送風部５を設けた場合を説明したが、双方の側面室４に同一の送風部５を配置することにより、シャワー効率を更に一層向上することができる。また、本実施の形態では、ジェットプレナムボックス１１の各構成部材をガルバニウム鋼板としたがこれに限定するものではない。また、前記構成部材としては同一の材料のものを用いる必要がなく、別々の材料を組み付けるものでもよい。
【００１７】
【発明の効果】
１）本発明の請求項１に記載のエアシャワー装置によれば、ジェットプレナムボックス等が本体側と別体のものからなり、仕込み生産が可能となり大量生産が図れコストダウンが図れる。また、無溶接のため、溶接に伴う歪みや後処理がなく工期の短縮ができ、熟練者も不要となる。
２）本発明の請求項１に記載のエアシャワー装置によれば、ファン支持体によりファンを支持することによりファンの支持強度の向上が図れ、騒音，振動の発生が防止される。
３）本発明の請求項２に記載のエアシャワー装置によれば、ガルバニウム鋼板を用いることにより無塗装化が図れ、工期の短縮ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のエアシャワー装置の全体構造を示す正面図。
【図２】図２の上面図。
【図３】本発明のエアシャワー装置のジェットプレナムボックスの各構成部材の詳細構造を示す斜視図。
【図４】本発明のジェットプレナムボックスの組み付け形態を示す斜視図。
【図５】従来のエアシャワー装置の全体構造を示す正面図。
【図６】図５の上面図。
【符号の説明】
１    エアシャワー装置
２    外板
３    シャワー室
４    側面室
５    送風部
６    床部
７    天井板
８    天井部
９    室内壁
１０  開閉扉
１１  ジェットプレナムボックス
１２  ファン
１３  ジェットノズル
１４  フィルタ
１５  吸入口
１６  フィルタ部
１７  ボックス側壁部
１８  ボックス天井板
１９  ボックス底板
２０  フィルタ設置壁部
２１  ファン支持体
２２  鍔部
２３  通気口
２４  奥板
２５  開口部
２６  区画室
２７  吹出口
２８  圧力室
２９  圧力緩和室
３０  中心線
３１  中心線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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