(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、真空空間中から飛来した電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を前記単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極と、給電線から成る表示用パネルであって、
前記アノード電極は、所定数の前記単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
各前記独立電極は、前記給電線を介してアノード電極駆動回路に接続されており、
前記独立電極は、下部電極層及び上部電極層から構成されており、
前記基板上に前記下部電極層が設けられており、
前記下部電極層上に、間隔を開けて前記単位蛍光体層が設けられており、
前記単位蛍光体層上及び前記下部電極層上に前記上部電極層が設けられている表示用パネル。
【請求項２】
基板と、真空空間中から飛来した電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を前記単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極と、給電線から成る表示用パネルであって、
前記アノード電極は、所定数の前記単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
各前記独立電極は、前記給電線を介してアノード電極駆動回路に接続されており、
前記独立電極は、下部電極層及び上部電極層から構成されており、
前記基板上に前記単位蛍光体層が設けられており、
前記単位蛍光体層上に前記下部電極層が設けられており、
前記下部電極層上に前記上部電極層が設けられている表示用パネル。
【請求項３】
基板と、真空空間中から飛来した電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を前記単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極と、給電線から成る表示用パネルであって、
前記アノード電極は、所定数の前記単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
各前記独立電極は、前記給電線を介してアノード電極駆動回路に接続されており、
前記独立電極は、所定数の前記単位蛍光体層から構成された蛍光体層グループに対応してマトリクス状に配置されており、
前記給電線は、本線、及び、前記本線から分岐された複数の支線を有し、
マトリクスの各行又は各列に含まれる全ての前記独立電極は、各行毎又は各列毎に共通の前記支線に抵抗体薄膜を介して接続されている表示用パネル。
【請求項４】
前記蛍光体層グループを構成する前記単位蛍光体層の数は１である請求項３に記載の表示用パネル。
【請求項５】
前記独立電極と前記給電線とは、共通の導電材料層を用いて形成されている請求項３に記載の表示用パネル。
【請求項６】
前記基板上に前記単位蛍光体層が設けられており、
前記単位蛍光体層上に前記独立電極が設けられている請求項３に記載の表示用パネル。
【請求項７】
前記基板上に前記独立電極が設けられており、
前記独立電極上に前記単位蛍光体層が設けられている請求項３に記載の表示用パネル。
【請求項８】
前記基板上に前記独立電極が設けられており、
前記抵抗体薄膜は前記独立電極上へ延在されており、
前記抵抗体薄膜上に前記単位蛍光体層が設けられている請求項３に記載の表示用パネル。
【請求項９】
前記抵抗体薄膜と前記独立電極との間、及び／又は、前記抵抗体薄膜と前記単位蛍光体層との間には、密着層が設けられている請求項８に記載の表示用パネル。
【請求項１０】
基板と、真空空間中から飛来した電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を前記単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極と、給電線から成る表示用パネルであって、
前記アノード電極は、所定数の前記単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
各前記独立電極は、前記給電線を介してアノード電極駆動回路に接続されており、
前記独立電極は、複数の前記単位蛍光体層から構成された蛍光体層グループに対応してストライプ状に配置されており、
各前記独立電極は、それぞれ、抵抗体薄膜を介して前記給電線に接続されており、
前記基板上に前記独立電極が設けられており、
前記抵抗体薄膜は前記独立電極上へ延在されており、
前記抵抗体薄膜上に前記単位蛍光体層が設けられている表示用パネル。
【請求項１１】
前記抵抗体薄膜と前記独立電極との間、及び／又は、前記抵抗体薄膜と前記単位蛍光体層との間には、密着層が設けられている請求項１０に記載の表示用パネル。
【請求項１２】
基板と、真空空間中から飛来した電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を前記単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極から成る表示用パネルであって、
前記基板上に設けられた給電層と、
前記給電層上に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層に設けられた貫通孔と、
前記貫通孔に埋め込まれた抵抗体層とを有し、
前記アノード電極は、所定数の前記単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
前記単位蛍光体層は、前記給電層上若しくは前記絶縁層上に設けられており、
前記独立電極は、前記単位蛍光体層から前記絶縁層上に亙って設けられており、
前記独立電極と前記給電層とは、前記抵抗体層によって接続されている表示用パネル。
【請求項１３】
前記独立電極は、所定数の前記単位蛍光体層から構成された蛍光体層グループに対応してマトリクス状に配置されている請求項１２に記載の表示用パネル。
【請求項１４】
前記蛍光体層グループを構成する前記単位蛍光体層の数は１である請求項１２に記載の表示用パネル。
【請求項１５】
前記独立電極は、複数の前記単位蛍光体層から構成された蛍光体層グループに対応してストライプ状に配置されている請求項１２に記載の表示用パネル。
【請求項１６】
表示用パネルと、複数の電子放出体を有する背面パネルとが真空空間を挟んで対向配置され、
前記表示用パネルは、基板と、電子放出体から真空空間中へ放出された電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を前記単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極と、給電線から成り、
前記アノード電極は、所定数の前記単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
各前記独立電極は、前記給電線を介してアノード電極駆動回路に接続されており、
前記独立電極は、下部電極層及び上部電極層から構成されており、
前記基板上に前記下部電極層が設けられており、
前記下部電極層上に、間隔を開けて前記単位蛍光体層が設けられており、
前記単位蛍光体層上及び前記下部電極層上に前記上部電極層が設けられている表示装置。
【請求項１７】
表示用パネルと、複数の電子放出体を有する背面パネルとが真空空間を挟んで対向配置され、
前記表示用パネルは、基板と、電子放出体から真空空間中へ放出された電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を前記単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極と、給電線から成り、
前記アノード電極は、所定数の前記単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
各前記独立電極は、前記給電線を介してアノード電極駆動回路に接続されており、
前記独立電極は、下部電極層及び上部電極層から構成されており、
前記基板上に前記単位蛍光体層が設けられており、
前記単位蛍光体層上に前記下部電極層が設けられており、
前記下部電極層上に前記上部電極層が設けられている表示装置。
【請求項１８】
表示用パネルと、複数の電子放出体を有する背面パネルとが真空空間を挟んで対向配置され、
前記表示用パネルは、基板と、電子放出体から真空空間中へ放出された電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を前記単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極と、給電線から成り、
前記アノード電極は、所定数の前記単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
各前記独立電極は、前記給電線を介してアノード電極駆動回路に接続されており、
前記独立電極は、所定数の前記単位蛍光体層から構成された蛍光体層グループに対応してマトリクス状に配置されており、
前記給電線は、本線、及び、前記本線から分岐された複数の支線を有し、
マトリクスの各行又は各列に含まれる全ての前記独立電極は、各行毎又は各列毎に共通の前記支線に抵抗体薄膜を介して接続されている表示装置。
【請求項１９】
表示用パネルと、複数の電子放出体を有する背面パネルとが真空空間を挟んで対向配置され、
前記表示用パネルは、基板と、電子放出体から真空空間中へ放出された電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を前記単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極と、給電線から成り、
前記アノード電極は、所定数の前記単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
各前記独立電極は、前記給電線を介してアノード電極駆動回路に接続されており、
前記独立電極は、複数の前記単位蛍光体層から構成された蛍光体層グループに対応してストライプ状に配置されており、
各前記独立電極は、それぞれ、抵抗体薄膜を介して前記給電線に接続されており、
前記基板上に前記独立電極が設けられており、
前記抵抗体薄膜は前記独立電極上へ延在されており、
前記抵抗体薄膜上に前記単位蛍光体層が設けられている表示装置。
【請求項２０】
表示用パネルと、複数の電子放出体を有する背面パネルとが真空空間を挟んで対向配置され、
前記表示用パネルは、基板と、電子放出体から真空空間中へ放出された電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を前記単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極から成り、前記基板上に設けられた給電層と、前記給電層上に設けられた絶縁層と、前記絶縁層に設けられた貫通孔と、前記貫通孔に埋め込まれた抵抗体層とを有し、
前記アノード電極は、所定数の前記単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
前記単位蛍光体層は、前記給電層上若しくは前記絶縁層上に設けられており、
前記独立電極は、前記単位蛍光体層から前記絶縁層上に亙って設けられており、
前記独立電極と前記給電層とは、前記抵抗体層によって接続されている表示装置。
【請求項２１】
前記電子放出体は、冷陰極電界電子放出素子である請求項１６乃至請求項２０のいずれか１項に記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示用パネル及びこれを用いた表示装置に関し、より詳しくは、真空空間中から飛来した電子によって蛍光体層を励起発光させる表示用パネル、及び、かかる表示用パネルが組み込まれた表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在主流の陰極線管（ＣＲＴ）に代わる画像表示装置として、平面型（フラットパネル形式）の表示装置が種々検討されている。このような平面型の表示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）、エレクトロルミネッセンス表示装置（ＥＬＤ）、プラズマ表示装置（ＰＤＰ）を例示することができる。また、熱的励起によらず、固体から真空中に電子を放出することが可能な冷陰極電界放出型の表示装置、所謂フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）も提案されており、画面の明るさ及び低消費電力の観点から注目を集めている。
【０００３】
ＦＥＤの代表的な構成例を図２４に示す。この表示装置においては、表示用パネル５００と背面パネル４００とが対向配置され、両パネル４００，５００は、各々の周縁部において図示しない枠体を介して互いに接着され、両パネル間の閉鎖空間が真空空間ＶＡＣとされている。背面パネル４００は、電子放出体として冷陰極電界電子放出素子（以下、電界放出素子と称する）を備えている。図２４では、電界放出素子の一例として、円錐形の電子放出部４５を有する、所謂スピント（Ｓｐｉｎｄｔ）型電界放出素子を示す。スピント型電界放出素子は、支持体４０上に形成されたカソード電極４１と、カソード電極４１及び支持体４０上に形成された層間絶縁膜４２と、層間絶縁膜４２上に形成されたゲート電極４４と、ゲート電極４４及び層間絶縁膜４２に設けられた開口部４３内に形成された円錐形の電子放出部４５から構成されている。通常、所定の配列を有する所定数の電子放出部４５が、後述する蛍光体層５１の１つに対応付けられている。電子放出部４５には、カソード電極駆動回路４６からカソード電極４１を通じて相対的に負電圧（ビデオ信号）が印加され、ゲート電極４４にはゲート電極駆動回路４７から相対的に正電圧（走査信号）が印加される。これらの電圧印加によって生じた電界に応じ、電子放出部４５の先端から電子が放出される。尚、電子放出体としては、上述のようなスピント型電界放出素子に限られず、所謂エッジ型や平面型やクラウン型等、他のタイプの電界放出素子が用いられる場合もある。また、上述とは逆に、走査信号がカソード電極４１に入力され、ビデオ信号がゲート電極４４に入力される場合もある。
【０００４】
一方、表示用パネル５００は、ガラス等から成る透明基板５０上にマトリクス状あるいはストライプ状に形成された複数の蛍光体層５１と、蛍光体層５１及び透明基板５０上に形成された導電性反射膜５２を有する。導電性反射膜５２には、加速電源（アノード電極駆動回路）５３から、ゲート電極４４に印加される正電圧よりも高い正電圧が印加され、電子放出部４５から真空空間ＶＡＣ中へ放出された電子を、蛍光体層５１に向かって誘導する役割を果たす。また、導電性反射膜５２は、蛍光体層５１を構成する蛍光体粒子をイオン等の粒子によるスパッタから保護する機能、電子励起によって生じた蛍光体層５１の発光を透明基板５０側へ反射させ、透明基板５０の外側から観察される表示画面の輝度を向上させる機能、及び、過剰な帯電を防止して表示用パネル５００の電位を安定化させる機能も有する。即ち、導電性反射膜５２は、アノード電極としての機能と、陰極線管（ＣＲＴ）の分野でメタルバック膜として知られる部材が果たす機能とを兼ねている。導電性反射膜５２は、通常、アルミニウム薄膜を用いて構成されている。
【０００５】
図２５の（Ａ）に、蛍光体層５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂがマトリクス状に形成された表示用パネルの模式的な平面図を示し、図２５の（Ｂ）に、図２５の（Ａ）の線Ｘ−Ｘに沿った模式的な一部断面図を示す。蛍光体層５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂが配列されている領域が表示装置としての実用上の機能を果たす有効領域であり、アノード電極の形成領域はこの有効領域にほぼ一致している。図２５の（Ａ）では、明確化のために、アノード電極の形成領域に斜線を施した。有効領域の周囲は、周辺回路の収容や表示画面の機械的支持等、有効領域の機能を支援する無効領域である。アノード電極を例えば５キロボルトの加速電源（図２４の加速電源５３を参照）に接続するための導出部５４が、透明基板５０のエッジ部に設けられている。また、加速電源とアノード電極との間には、通常、過電流や放電を防止するための抵抗部材（図示した例では抵抗値１００ＭΩ）が配設されている。この抵抗部材は、基板外に配設されている。
【０００６】
尚、ＦＥＤにおけるアノード電極は、必ずしも上述のように導電性反射膜５２によって構成されている必要はなく、図２５の（Ａ）の線Ｘ−Ｘに沿ったと同様の模式的な一部断面図である図２５の（Ｃ）に示すように、透明基板５０上に形成された透明導電膜５５にアノード電極の機能を持たせた構成例も可能である。透明基板５０上において、アノード電極の機能を果たす導電性反射膜５２又は透明導電膜５５の形成領域は、有効領域のほぼ全面に亙っている。
【０００７】
図２６の（Ａ）に、蛍光体層がストライプ状に形成された表示用パネルの模式的な平面図を示し、図２６の（Ｂ）及び（Ｃ）に、図２６の線Ｘ−Ｘに沿った模式的な一部断面図を示す。図２６の参照符号は図２５と一部共通であり、共通部分については詳しい説明を省略する。図２６の（Ｂ）は、アノード電極が導電性反射膜５２から成る構成例、図２６の（Ｃ）はアノード電極が透明導電膜５５から成る構成例を示す。アノード電極の機能を果たす導電性反射膜５２又は透明導電膜５５の形成領域は、表示用パネルの有効領域のほぼ全面に亙っている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、平面型の表示装置であるＦＥＤにおいては、電子の飛行距離が陰極線管におけるよりも遥かに短く、電子の加速電圧を陰極線管の場合ほど高めることができない。ＦＥＤの場合、電子の加速電圧が高過ぎると、背面パネルの電子放出部と、表示用パネルにおいてアノード電極の役割を果たす膜との間で火花放電が極めて発生し易くなり、表示品質が著しく損なわれる虞が大きい。真空空間中における放電の発生機構においては、先ず、強電界下における電子放出部からの電子やイオンの放出がトリガーとなって小規模な放電が発生する。そして、加速電源からアノード電極へエネルギーが供給されてアノード電極の温度が局所的に上昇したり、アノード電極の内部の吸蔵ガスの放出、あるいはアノード電極を構成する材料そのものの蒸発が生ずることによって、小規模な放電が火花放電へ成長すると考えられている。加速電源以外にも、アノード電極と電子放出部との間、あるいはアノード電極とカソード電極との間に形成される静電容量に蓄積されたエネルギーが、火花放電への成長を促すエネルギー供給源となる可能性がある。火花放電を抑制するには、放電のトリガーとなる電子やイオンの放出を抑制することが有効であるが、そのためには極めて厳密なパーティクル管理が必要となる。このような管理を表示用パネルあるいはこれを用いた表示装置の通常の製造プロセスにおいて実行することには、多大な技術的困難が伴う。
【０００９】
このように電子の加速電圧を低く選択せざるを得ないＦＥＤに関しては、この他にも陰極線管にはみられない特有の問題が生じている。高電圧加速が行われる陰極線管においては、蛍光体層への電子の侵入深さが深いために、電子のエネルギーは蛍光体層内の比較的広い領域に受容され、かかる広い領域内に存在する相対的に多数の蛍光体粒子を一斉に励起させ、高輝度を達成することができる。これに対してＦＥＤでは、蛍光体層への電子の侵入深さが浅いため、電子のエネルギーを蛍光体層の狭い領域でしか受容することができない。このため、実用上十分な輝度を達成するためには、電界放出素子から放出される電子の密度を高めたり（即ち、電流密度を増大させたり）、電子が蛍光体層に照射されている時間を陰極線管におけるよりも長くする必要がある。また、アノード電極を蛍光体層上に形成する場合、アノード電極の厚さを０．０７μｍ程度に制限することによってアノード電極を透過できる電子の数を増やしている。それ故、アノード電極に陰極線管のメタルバック膜（一般的な厚さは約０．２μｍ）ほどの帯電防止効果を期待することができない。従って、電界放出素子の蛍光体層は、電子の長時間照射と帯電とに起因して、極めて劣化し易い環境に置かれている。蛍光体層の劣化は、蛍光体層が例えば硫化物系蛍光体粒子から構成されている場合、その構成元素であるイオウが、単体、又は一酸化イオウ（ＳＯ）や二酸化イオウ（ＳＯ2）の形で脱離し、硫化物系蛍光体粒子の組成変化や物理的な崩壊として現れる。かかる蛍光体層の劣化は、発光色や発光効率の変動、ＦＥＤ内部の構成部材の汚染、ひいてはＦＥＤの信頼性や寿命特性の低下につながる。
【００１０】
また、従来のＦＥＤには、背面パネル４００側で選択された画素又はサブピクセルの数に応じて、表示画面の輝度が変動する問題といったもある。背面パネル４００の模式的な平面図を図２７の（Ａ）及び図２７の（Ｂ）に模式的に示す。これらの図面では、明確化のために、非選択状態のカソード電極４１（カソード電極駆動回路４６より＋５０ボルトの電圧を印加）を薄いハッチングで表し、選択状態のカソード電極４１（同じく０ボルトの電圧を印加）を濃いハッチングで表す。選択状態のカソード電極４１に印加されるビデオ信号は、階調に応じて０ボルト以上、＋５０ボルト未満の値をとり得るが、ここでは簡単のために０ボルトとする。一方、非選択状態のゲート電極４４（ゲート電極駆動回路４７より０ボルトの電圧を印加）を白抜きで表示し、選択状態のゲート電極４４（同じく＋５０ボルトの電圧を印加）をハッチングで表す。カソード電極４１とゲート電極４４の射影像が重なる領域（以下、重複領域と称する）は、単色表示装置では１画素、カラー表示装置では１サブピクセルに相当する。１つの重複領域に、通常、複数の電界放出素子が配される。選択されたカソード電極４１と選択されたゲート電極４４との重複領域は、選択画素（又は選択サブピクセル）であり、図中、白丸で表示する。ゲート電極４４は上から下へ順に第ｍ行、カソード電極４１は左から右へ順に第ｎ列と称することにする。
【００１１】
いま、図２７の（Ａ）に示すように、第１行のゲート電極４４と第１列のカソード電極４１が選択されたとすると、第１行第１列に位置する重複領域に配列された電界放出素子から電子が放出され、対向する蛍光体層５１が発光する。ここで、表示用パネル５００から背面パネル４００に向けて１μＡの電流が流れるとすると、このときの電圧降下は１μＡ×１００ＭΩ＝０．１キロボルトとなる。即ち、背面パネル４００と表示用パネル５００の間には、５−０．１＝４．９キロボルトの加速電圧が加わる。ところが、図２７の（Ｂ）に示すように、第２行のゲート電極４４の選択に対して、例えば第２列、第６列、第９列、第１１列及び第１４列の５本のカソード電極４１が選択されたとすると、表示用パネル５００から背面パネル４００に向けて流れる電流は合計５μＡとなり、電圧降下は０．５キロボルトとなり、従って、背面パネル４００と表示用パネル５００の間に加わる加速電圧は５−０．５＝４．５キロボルトに減少する。このことは、蛍光体層５２に衝突する電子のエネルギーの低下、ひいては表示画面の輝度低下につながる。つまり、表示画面の輝度は、ゲート電極４４の１行毎に選択されたカソード電極４１の本数に応じて変動する。
【００１２】
従って、本発明の第１の目的は、帯電による蛍光体層の劣化を抑制することが可能な表示用パネルと、かかる表示用パネルを用いた長寿命の表示装置を提供することにある。本発明の第２の目的は、火花放電を抑制することが可能な表示用パネルと、かかる表示用パネルを用いた長寿命且つ高信頼性を有する表示装置を提供することにある。更に、本発明の第３の目的は、背面パネル側においてビデオ信号が入力される電極の選択本数に依らず、電圧降下を一定範囲内に押さえ、以て、表示画面の輝度が安定した表示装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上述の第１の目的を達成するための本発明の第１の態様に係る表示用パネルは、基板と、真空空間中から飛来した電子によって発光する蛍光体層と、電子を蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極から成る表示用パネルであって、アノード電極は、下部電極層と上部電極層から成ることを特徴とする。本発明の第１の態様に係る表示用パネルにおいては、アノード電極が下部電極層と上部電極層の２層構成を有し、帯電除去は下部電極層と上部電極層の双方を通じて行われるため、過剰な帯電による蛍光体層の劣化を抑制することができる。
【００１４】
上述の第１の目的を達成するための本発明の第１の態様に係る表示装置は、本発明の第１の態様に係る表示用パネルを利用した表示装置であり、表示用パネルと、複数の電子放出体を有する背面パネルとが真空空間を挟んで対向配置され、表示用パネルは、基板と、電子放出体から真空空間中へ放出された電子によって発光する蛍光体層と、電子を蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極から成り、アノード電極は、下部電極層と上部電極層から成ることを特徴とする。
【００１５】
本発明の第１の態様に係る表示用パネル及び表示装置においては、構造上、２種類のケースがあり得る。即ち、
▲１▼下部電極層は基板上に設けられ、蛍光体層は下部電極層上に設けられ、上部電極層は蛍光体層上に設けられたケース
▲２▼蛍光体層は基板上に設けられ、下部電極層は蛍光体層上に設けられ、上部電極層は下部電極層上に設けられたケース
である。ケース▲１▼及びケース▲２▼において、蛍光体層は、単色の蛍光体粒子から構成されていても、３原色の蛍光体粒子から構成されていてもよい。また、蛍光体層の配列様式は、ドットマトリクス状であっても、ストライプ状であってもよい。尚、ドットマトリクス状やストライプ状の配列様式においては、隣り合う蛍光体層の間の隙間がコントラスト向上を目的としたブラックマトリクスで埋め込まれていてもよい。ケース▲１▼においてかかるブラックマトリクスが形成されている場合、蛍光体層とブラックマトリクスとが下部電極層上に設けられ、蛍光体層及びブラックマトリクス上に上部電極層が設けられる。ケース▲２▼においてかかるブラックマトリクスが形成されている場合、蛍光体層とブラックマトリクスとが基板上に設けられ、蛍光体層及びブラックマトリクス上に下部電極層が設けられる。いずれのケースにおいても、下部電極層と上部電極層とは互いに導通しており、表示装置の動作時には同電位にある。
【００１６】
これらのケース▲１▼及びケース▲２▼の各々においては、下部電極層と上部電極層の構成材料が透明であるか不透明（反射性）であるかに応じて、基板の構成材料の透明／不透明の別が決まり、ひいては表示用パネルが表示装置に組み込まれた場合の表示装置の透過型／反射型の別が自ずと決まる。尚、「／」は、「又は」の意に用いる。ここで、透過型とは、表示用パネルの基板を通して画像を観察する形式であり、基板が透明であることは勿論、蛍光体層と基板との間に介在される全ての層も透明である必要がある。一方、反射型とは、表示用パネルと対向配置される背面パネルを通して画像を観察する形成であり、有効領域内に存在する背面パネルの全ての構成要素が透明であることは勿論、表示用パネル側において蛍光体層よりも背面パネル側にある全ての層も透明でなければならない。
【００１７】
上述の条件に鑑み、ケース▲１▼は、更に、以下の表１に示す各ケースに分類することができる。尚、表中、「○」印は透明な材料を表し、「×」は不透明な材料を表し、「○／×」印は透明、不透明のいずれの材料でもよいことを表し、「ＴＲ」は透過型の表示装置を表し、「ＲＦ」は反射型の表示装置を表し、「ＴＲ／ＲＦ」は透過型又は反射型の表示装置のいずれにもなり得ることを表す。
【００１８】
［表１］
ケース    上部電極層    下部電極層    基板      表示装置
▲１▼−１        ×            ○        ○        ＴＲ
▲１▼−２        ○            ×        ○／×    ＲＦ
▲１▼−３        ○            ○        ○        ＴＲ／ＲＦ
▲１▼−４        ○            ○        ×        ＲＦ
【００１９】
上述の条件に鑑み、ケース▲２▼は、更に、以下の表２に示す各ケースに分類することができる。
【００２０】
［表２］
ケース    上部電極層    下部電極層    基板      表示装置
▲２▼−１        ×            ○        ○        ＴＲ
▲２▼−２        ○／×        ×        ○        ＴＲ
▲２▼−３        ○            ○        ○        ＴＲ／ＲＦ
▲２▼−４        ○            ○        ×        ＲＦ
【００２１】
尚、下部電極層と上部電極層とは、共に有効領域全体に亙って形成されていてもよいし、いずれか一方が独立した複数の領域に分割され、他方が有効領域全体に亙って形成されていてもよいし、双方が独立した複数の領域に分割されていてもよい。双方が独立した複数の領域に分割されている場合、分割数は同一であっても異なっていてもよい。特に、ケース▲１▼において少なくとも上部電極層が独立した複数の領域に分割された場合、及び、ケース▲２▼において下部電極層と上部電極層の双方が独立した複数の領域に分割された場合には、アノード電極の面積が減少することによって、例えばアノード電極とカソード電極との間の静電容量を低減することができ、火花放電を効果的に防止することが可能となる。独立した複数の領域は、実用上は所定数の単位蛍光体層に対応していることが好ましく、これについては本発明の第２の態様に関連して次に述べる。
【００２２】
上述の第２の目的を達成するための本発明の第２の態様に係る表示用パネルは、基板と、真空空間中から飛来した電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極と、給電線から成る表示用パネルであって、
アノード電極は、所定数の単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
各独立電極は、給電線を介してアノード電極駆動回路に接続されていることを特徴とする。
【００２３】
上述の第２の目的を達成するための本発明の第２の態様に係る表示装置は、本発明の第２の態様に係る表示用パネルを利用した表示装置であり、表示用パネルと、複数の電子放出体を有する背面パネルとが真空空間を挟んで対向配置され、表示用パネルは、基板と、電子放出体から真空空間中へ放出された電子によって発光する蛍光体層と、電子を単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極と、給電線から成り、アノード電極は、所定数の単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、各独立電極は、給電線を介してアノード電極駆動回路に接続されていることを特徴とする。
【００２４】
本発明の第２の態様に係る表示用パネル及び表示装置においては、放電のトリガーそのものを抑制するのではなく、たとえ小規模な放電が発生しても、これを火花放電にまで成長させないように、例えばアノード電極とカソード電極との間の蓄積エネルギーを火花放電への成長を促さない程度の大きさに抑えることを基本的な考え方としている。アノード電極を有効領域のほぼ全面に亙って形成する代わりに、より小さな面積を有する独立電極に分割した形で形成するので、例えばアノード電極とカソード電極との間の静電容量を減少させ、蓄積エネルギーを低減することができる。
【００２５】
ここで、単位蛍光体層とは、表示用パネル上において１つの輝点を生成する蛍光体層であると定義する。カラー陰極線管等の表示装置の分野では、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の光の三原色に対応する赤色蛍光体層、緑色蛍光体層、青色蛍光体層の３つ１組を「ピクセル」と称し、これを画面精細度の記述単位とすることが多いが、本発明における単位蛍光体層は、ピクセルとは異なる。上記の定義は、本発明の第１の態様を除く全ての態様に係る表示用パネル、及び、本発明の第１の態様を除く全ての態様に係る表示装置に共通である。
【００２６】
給電線は複数の単位給電線から構成することができ、各単位給電線は各独立電極に接続されている。即ち、各単位給電線を各独立電極に対応して設けることができる。このような構成を、第２Ａの構成と称することにする。各給電線を、例えば表示用パネルの縁部の１ヶ所に設けられた接続端子まで無効領域上を形成し、この接続端子から配線を介してアノード電極駆動回路に接続することができる。
【００２７】
更に、各単位給電線には抵抗部材が挿入されていてもよい。このような構成を、第２Ｂの構成と称することにする。抵抗部材を接続することにより、放電発生時にアノード電極駆動回路からのエネルギー供給を一時的に停止することができる。第２Ｂの構成においては、例えば、無効領域において単位給電線の中途部に抵抗部材としてチップ抵抗を挿入するか、又は、抵抗体薄膜を形成することができる。抵抗部材の抵抗値は、通常の表示動作時にアノード電流による電圧降下が生じても表示輝度に殆ど影響が現れない程度に小さく、しかも、小規模な放電の発生時には、単位給電線を通じたアノード電極駆動回路からアノード電極へのエネルギー供給を仮想的に遮断し得る程度に大きい値に選択する。アノード電極の分割と抵抗部材の使用に関する基本的な考え方は、後述する本発明の第３の態様に係る表示用パネル、及び、本発明の第３の態様に係る表示装置にも共通である。
【００２８】
第２の態様に係る表示用パネル及び表示装置においては、独立電極は、所定数の単位蛍光体層から構成された蛍光体層グループに対応してマトリクス状に配置され、給電線は、本線及び該本線から分岐された複数の支線を有し、マトリクスの各行又は各列に含まれる全ての独立電極は、各行毎又は各列毎に共通の支線に抵抗体薄膜を介して接続されていてもよい。かかる構成を、第２Ｃの構成と称することにする。各独立電極の平面形状は特に限定されないが、有効領域内における輝度分布を均一化する観点からは、隣接する独立電極間に不規則な大きさの隙間を生じさせない平面形状であることが好ましい。本線から分岐された支線の数や分岐の方向も特に限定されないが、有効領域内における輝度分布を均一化する観点からは、各支線の長さをできるだけ揃え、配線抵抗を均一化することが好ましい。１本の支線から、更に複数の支線が分岐していてもよい。
【００２９】
第２Ｃの構成において、１つの独立電極に対応付けられる蛍光体層グループを構成する単位蛍光体層の数は、特に限定されない。カラー表示装置の画素単位で考えれば、１つの蛍光体層グループに、複数の画素を構成し得る数の単位蛍光体層が含まれていてもよいし、１つの画素を構成し得る３つの単位蛍光体層が含まれていてもよい。更には、蛍光体層グループを構成する単位蛍光体層の数を１としてもよい。蛍光体層グループを構成する単位蛍光体層の数を１とすれば、ある有限の大きさの有効領域を有する表示用パネルにおいて、静電容量を最小とし得る。尚、第２Ｃの構成に係る表示用パネルにおいては、単位蛍光体層の配置が所謂ドットマトリクス状であることが好ましい。本段落の記載は、後述する第３の態様の第３Ａの構成に係る表示用パネルにも同様に当てはまる。
【００３０】
第２の態様に係る表示用パネル及び表示装置において、独立電極は、複数の単位蛍光体層から構成された蛍光体層グループに対応してストライプ状に配置することができる。かかる構成を、第２Ｄの構成と称することにする。ストライプの延在方向は、有効領域を矩形と考えた場合、長手方向であっても短手方向であってもよい。第２Ｄの構成においては、単位蛍光体層の配置もストライプ状であることが好ましい。即ち、赤色（Ｒ）の単位蛍光体層が１列に配置されて赤色の蛍光体層グループが形成され、緑色（Ｇ）の単位蛍光体層が１列に配置されて緑色の蛍光体層グループが形成され、青色（Ｂ）の単位蛍光体層が１列に配置されて青色の蛍光体層グループが形成された構成である。１本の独立電極は、蛍光体層グループの１列に対応していてもよいし、各色の蛍光体層グループの３列１組に対応していてもよいし、更に、３列１組の蛍光体ストライプの複数の組に対応していてもよい。尚、本段落の記載は、後述する第３の態様の第３Ｂの構成に係る表示用パネルにも同様に当てはまる。
【００３１】
本発明の第２の態様に係る表示用パネル及び表示装置においては、独立電極と給電線とは共通の導電材料層を用いて基板上に形成することができる。一例として、或る導電材料から成る導電材料層を基板上に形成し、この導電材料層をパターニングして独立電極と給電線とを同時に形成することができる。あるいは、独立電極と給電線のパターンを有するマスクやスクリーンを介して導電材料の蒸着やスクリーン印刷を行うことにより、基板上に独立電極と給電線とを同時に形成することもできる。尚、第２Ｃの構成及び第２Ｄの構成に係る表示用パネルにおいては、抵抗体薄膜も同様に形成することができる。即ち、或る抵抗体材料から成る抵抗体薄膜を基板上に形成し、この抵抗体薄膜をパターニングして抵抗部材を形成してもよいし、あるいは、抵抗部材のパターンを有するマスクやスクリーンを介して抵抗体材料を蒸着又はスクリーン印刷することにより、抵抗体薄膜を形成してもよい。
【００３２】
尚、表示用パネル側に抵抗部材や抵抗体薄膜が設けられていない場合であっても、アノード電極駆動回路の内部に抵抗部材を設けておき、かかるアノード電極駆動回路に給電線を接続することができる。これにより、背面パネルと表示用パネルとの間で小規模な放電が発生した場合にも、給電線を通じたアノード電極駆動回路からアノード電極へのエネルギー供給を一時的に遮断し、火花放電の発生を防止することができる。
【００３３】
ところで、上述の第２Ａの構成〜第２Ｄの構成は、給電線や抵抗部材や抵抗体薄膜の配設様式、及び独立電極の形成パターンに着目した分類であるが、本発明の第２の態様に係る表示用パネル及び表示装置においては、構造上、次の５種類のケース（１）〜（５）があり得る。即ち、
（１）基板上に単位蛍光体層が設けられ、単位蛍光体層上に独立電極が設けられているケース
（２）基板上に独立電極が設けられ、独立電極上に単位蛍光体層が設けられているケース
（３）独立電極が下部電極層と上部電極層より構成され、基板上に下部電極層が設けられ、下部電極層上に単位蛍光体層が設けられ、単位蛍光体層から下部電極層上に亙って上部電極層が設けられているケース
（４）独立電極が下部電極層と上部電極層より構成され、基板上に単位蛍光体層が設けられ、単位蛍光体層上に下部電極層が設けられ、下部電極層上に上部電極層が設けられているケース
（５）基板上に独立電極が設けられ、抵抗体薄膜は独立電極上へ延在され、抵抗体薄膜上に単位蛍光体層が設けられているケース
である。ケース（５）については、更に、抵抗体薄膜と独立電極との間、及び／又は、抵抗体薄膜と単位蛍光体層との間に密着層が設けられていてもよい。独立電極が上部電極層と下部電極層より構成されるケース（３）及びケース（４）においては、本発明の第２の目的に加えて第１の目的も達成され得る。
【００３４】
これらのケース（１）〜（５）の各々においては、独立電極及び抵抗部材の構成材料が透明であるか不透明（反射性）であるかに応じて、基板の構成材料の透明／不透明の別が決まり、ひいては表示用パネルが表示装置に組み込まれた場合の表示装置の透過型／反射型の別が自ずと決まる。
【００３５】
上述の条件に鑑みて、ケース（１）は、更に、以下の表３に示す各ケースに分類することができる。中でもケース（１−１）は、製造に際して既存の製造プロセスとの整合性に最も優れている。即ち、従来より導電性反射膜（陰極線管のメタルバック膜に相当）として用いられていた導電材料層を利用して、独立電極及び給電線を構成することができる。
【００３６】
［表３］
ケース      上部電極層    基板      表示装置
（１−１）      ×        ○        ＴＲ
（１−２）      ○        ○        ＴＲ／ＲＦ
（１−３）      ○        ×        ＲＦ
【００３７】
上述の条件に鑑みて、ケース（２）は、更に、以下の表４に示す各ケースに分類することができる。中でもケース（２−２）は、製造に際して既存の製造プロセスとの整合性に最も優れている。即ち、従来より透明導電膜として用いられていた層を利用して、独立電極及び給電線を構成することができる。
【００３８】
［表４］
ケース      上部電極層    基板      表示装置
（２−１）      ×        ○／×    ＲＦ
（２−２）      ○        ○        ＴＲ／ＲＦ
（２−３）      ○        ×        ＲＦ
【００３９】
ケース（３）の分類については、第１の態様のケース（▲１▼−１）〜ケース（▲１▼−４）と同様である。また、ケース（４）の分類については、第１の態様のケース（▲２▼−１）〜ケース（▲２▼−４）と同様である。
【００４０】
上述の条件に鑑みて、ケース（５）は、更に、以下の表５に示す各ケースに分類することができる。
【００４１】
［表５］
ケース      抵抗体薄膜      独立電極      基板      表示装置
（５−１）      ×          ○／×        ○／×    ＲＦ
（５−２）      ○          ×            ○／×    ＲＦ
（５−３）      ○          ○            ×        ＲＦ
（５−４）      ○          ○            ○        ＴＲ／ＲＦ
【００４２】
抵抗体薄膜と独立電極との間、抵抗体薄膜と蛍光体層との間、あるいは、これらの両方に密着層が設けられている場合、密着層の透明／不透明の別に起因して更に多くのケースが可能であるが、これらの場合においても、表示装置の透過型／反射型の別に関連して上述した事柄が当てはまる。即ち、透過型の表示装置を構成する場合には、基板が透明であることは勿論、蛍光体層と基板との間に介在される全ての層も透明である必要があり、反射型の表示装置を構成する場合には、有効領域内に存在する背面パネルの全ての構成要素が透明であることが必要である。
【００４３】
上述の第２の目的を達成するための本発明の第３の態様に係る表示用パネルは、基板と、真空空間中から飛来した電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極から成る表示用パネルであって、
アノード電極は、所定数の単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
基板上に設けられた給電層と、
給電層上に設けられた絶縁層と、
給電層上若しくは絶縁層上に設けられた単位蛍光体層と、
単位蛍光体層から絶縁層上に亙って設けられた独立電極と、
絶縁層に設けられた貫通孔と、
貫通孔に埋め込まれた抵抗体層とを有し、
独立電極と給電層とは、抵抗体層によって接続されていることを特徴とする。
【００４４】
上述の第２の目的を達成するための本発明の第３の態様に係る表示装置は、本発明の第３の態様に係る表示用パネルを利用した表示装置であり、表示用パネルと、複数の電子放出体を有する背面パネルとが真空空間を挟んで対向配置され、表示用パネルは、基板と、電子放出体から真空空間中へ放出された電子によって発光する複数の単位蛍光体層と、電子を単位蛍光体層に向かって誘導するためのアノード電極から成り、
アノード電極は、所定数の単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極から成り、
表示用パネルは、基板上に設けられた給電層と、
給電層上に設けられた絶縁層と、
給電層上若しくは絶縁層上に設けられた単位蛍光体層と、
単位蛍光体層から絶縁層上に亙って設けられた独立電極と、
絶縁層に設けられた貫通孔と、
貫通孔に埋め込まれた抵抗体層とを有し、
独立電極と給電層とは抵抗体層によって接続されていることを特徴とする。
【００４５】
第３の態様に係る表示用パネル及び表示装置においては、独立電極にアノード電極駆動回路から正電圧を供給するための給電手段が、給電「線」ではなく、給電「層」である。第３の態様に係る表示用パネル及び表示装置では、給電手段と独立電極とが絶縁層を介して立体的に配置されているので、第２の態様に係る表示用パネル及び表示装置のように、同一面内で給電手段と独立電極のレイアウトを考える必要がなく、給電手段を有効領域の全面に亙って形成することができる。但し、給電層が所定のパターンを有していても一向に構わない。第３の態様に係る表示用パネル及び表示装置においては、単位蛍光体層の帯電除去が給電層と独立電極の双方を通じて行われ得るため、本発明の第１の目的も達成される。
【００４６】
第３の態様に係る表示用パネル及び表示装置において、複数の単位蛍光体層を給電層上に設ける場合、単位蛍光体層が給電層と独立電極の双方に接することになるため、単位蛍光体層が良好な絶縁性を有している必要があるが、単位蛍光体層が絶縁層とほぼ同一面内に形成されるので、表示用パネルの薄型化に有利となる。一方、複数の単位蛍光体層を絶縁層上に設ける場合、単位蛍光体層の絶縁性の良、不良は問わない。
【００４７】
本発明の第３の態様に係る表示用パネル及び表示装置において、独立電極は、所定数の単位蛍光体層から構成された蛍光体層グループに対応してマトリクス状に配置された構成とすることができる。かかる構成を、第３Ａの構成と称することにする。１つの独立電極に対応付けられる蛍光体層グループを構成する単位蛍光体層の数は、特に限定されず、１としてもよい。また、第３の態様に係る表示用パネル及び表示装置において、独立電極は、複数の単位蛍光体層から構成された蛍光体層グループに対応してストライプ状に配置された構成とすることもできる。かかる構成を、第３Ｂの構成と称することにする。
【００４８】
第３の態様に係る表示用パネルについても、独立電極の構成材料が透明であるか不透明（反射性）であるかに応じて、基板の構成材料の透明／不透明の別が決まり、ひいては表示用パネルが表示装置に組み込まれた場合の表示装置の透過型／反射型の別が自ずと決まる。即ち、複数の単位蛍光体層を給電層上に設けた場合には、前述のケース▲１▼の上部電極層を独立電極に置き換え、下部電極層を給電層に置き換えれば、ケース（▲１▼−１）〜ケース（▲１▼−４）と同様の議論が成り立つ。また、複数の単位蛍光体層を絶縁層上に設けた場合には、絶縁層の透明／不透明の別を更に考慮する必要がある。即ち、独立電極が不透明であれば、基板、及び蛍光体層と基板との間にある層は全て透明でなければならず、透過型の表示用パネルを構成することができる。一方、独立電極が透明である場合、基板、給電層及び絶縁層のいずれもが透明であれば、透過型／反射型の表示用パネルを構成することができ、これらの層のうち１つでも不透明な層があれば、反射型の表示用パネルを構成することができる。
【００４９】
第１の態様〜第３の態様に係る表示装置において、電子放出体としては、冷陰極電界電子放出素子（以下、電界放出素子と称する）が好適である。電界放出素子の型式は、特に限定されず、スピント型素子、エッジ型素子、平面型素子、扁平型素子、クラウン型素子のいずれであってもよい。尚、電子放出体は、走査信号が入力される一方向に延びた第１電極群と、ビデオ信号が入力される他方向に延びた第２電極群との射影像が互いに重複する領域に配されていることが一般的である。第２の態様及び第３の態様に係る表示装置において、選択された第２電極群の本数に応じた表示画面の輝度の変動を防止するといった、本発明の第３の目的を達成するためには、独立電極はストライプ状に配置され、且つ、第２電極群と略平行な方向に延びていることが好適である。第１電極群がゲート電極である場合、第２電極群はカソード電極である。また、第１電極群がカソード電極である場合、第２電極群はゲート電極である。
【００５０】
尚、電界放出素子として、上述の各型式の他に、表面伝導型電子放出素子と通称される素子も知られており、本発明の第１の態様〜第３の態様に係る表示装置に適用することができる。表面伝導型電子放出素子においては、例えばガラスから成る基板上に酸化錫（ＳｎＯ2）、金（Ａｕ）、酸化インジウム（Ｉｎ2Ｏ3）／酸化錫（ＳｎＯ2）、カーボン、酸化パラジウム（ＰｄＯ）等の材料から成り、微小面積を有する薄膜がマトリクス状に形成され、各薄膜は２つの薄膜片から成り、一方の薄膜片に行方向配線、他方の薄膜片に列方向配線が接続されている。一方の薄膜片と他方の薄膜片との間には数ｎｍのギャップが設けられている。行方向配線と列方向配線とによって選択された薄膜においては、ギャップを介して薄膜から電子が放出される。第１電極群が行方向配線である場合、第２電極群は列方向配線である。また、第１電極群が列方向配線である場合、第２電極群は行方向配線である。
【００５１】
本発明の全ての態様に係る表示用パネル、及び全ての態様に係る表示装置において使用される基板は、少なくとも表面が絶縁性部材より構成されていればよく、ガラス基板、表面に絶縁膜が形成されたガラス基板、石英基板、表面に絶縁膜が形成された石英基板、表面に絶縁膜が形成された半導体基板を挙げることができる。但し、反射型の表示用パネル又は表示装置を構成する場合には、基板が必ずしも透明である必要はない。尚、ここに列挙した各基板は、背面パネルの支持体を構成してもよい。
【００５２】
独立電極、給電線、給電層、下部電極層、上部電極層、第１電極群、並びに、第２電極群の構成材料として、タングステン（Ｗ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）等の金属、これらの金属元素を含む合金あるいは化合物（例えばＴｉＮ等の窒化物や、ＷＳｉ2、ＭｏＳｉ2、ＴｉＳｉ2、ＴａＳｉ2等のシリサイド）、ＩＴＯ（インジウム・錫酸化物）、酸化インジウム、酸化亜鉛等の導電性金属酸化物、あるいはシリコン（Ｓｉ）等の半導体を例示することができる。これらの部材を作製するには、ＣＶＤ法、スパッタリング法、蒸着法、イオンプレーティング法、電解めっき法、無電解めっき法、スクリーン印刷法、レーザーアブレーション法、ゾル−ゲル法等の公知の薄膜形成技術により、上述の構成材料から成る薄膜を被製膜体上に形成する。このとき、薄膜を被製膜体の全面に形成した場合には、公知のパターニング技術を用いて薄膜をパターニングし、各部材を形成する。また、薄膜を形成する前の被製膜体上に予めレジストパターンを形成しておけば、リフトオフ法による各部材の形成が可能である。更に、独立電極や給電線の形状に応じた開口部を有するマスクを用いて蒸着を行ったり、かかる開口部を有するスクリーンを用いてスクリーン印刷を行えば、製膜後のパターニングは不要となる。
【００５３】
抵抗体薄膜又は抵抗体層の構成材料として、カーボン系材料、アモルファスシリコン等の半導体材料、酸化タンタル等の高融点金属酸化物を挙げることができる。抵抗体薄膜の作製方法は、上述した独立電極や給電層等の部材の場合と同様である。通常の表示動作時に表示用パネルから背面パネルに向けて流れる電流による電圧降下が生じても表示輝度に殆ど影響が現れない程度に抵抗値が小さく、しかも、小規模な放電の発生時には、給電線や給電層を通じたアノード電極駆動回路からアノード電極へのエネルギー供給を仮想的に遮断し得る程度に大きくなるように、抵抗体薄膜のパターン幅や厚さを決定すればよい。かかる条件を満たす限りにおいて、抵抗値を数十ｋΩ〜数百ＭΩの範囲で選択することができる。この抵抗値は、チップ抵抗等の抵抗部材についても同様である。更に、密着層の構成材料として、チタン（Ｔｉ）を典型的に用いることができる。
【００５４】
本発明の第３の態様に係る表示用パネル、並びに、本発明の第３の態様に係る表示装置において、絶縁層の構成材料として、ＳｉＯ2、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ、ＳＯＧ（スピンオングラス）あるいはガラスペースト硬化物を、単独あるいは適宜組み合わせて使用することができる。絶縁層の形成には、ＣＶＤ法、塗布法、スパッタリング法、スクリーン印刷法等の公知のプロセスが利用できる。尚、これらの構成材料及び形成プロセスは、冷陰極電界電子放出素子の構成要素である層間絶縁膜の構成材料及び形成プロセスにも適用することができる。
【００５５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態（以下、実施の形態と略称する）に基づき本発明を説明する。
【００５６】
（実施の形態１）
実施の形態１は、第１の態様に係る表示用パネル、及び、第１の態様に係る表示装置に関する。図１の（Ａ）〜（Ｃ）には、ケース▲１▼に係る表示用パネルの模式的な一部断面図を示し、図２の（Ａ）〜（Ｃ）には、ケース▲２▼に係る表示用パネルの模式的な一部断面図を示し、図３には、実施の形態１の表示装置の概念図を示し、更に、図４には表示装置の輝度寿命特性を示す。
【００５７】
図１の（Ａ）〜図１の（Ｃ）に、ケース▲１▼に係る表示用パネルの３種類の構成例を示す。アノード電極４は、下部電極層２と上部電極層３から成り、下部電極層２は基板１上に設けられ、蛍光体層５は下部電極層２上に設けられ、上部電極層３は蛍光体層５上に設けられている。図１の（Ａ）に示す表示用パネルは、単色表示用の表示用パネルを想定しており、一例として緑色（Ｇ）を発光する蛍光体層５が有効領域の全面に設けられている。下部電極層２と上部電極層３とは、図示しない領域、例えば有効領域の周縁部において互いに導通している。図１の（Ｂ）に示す表示用パネルは、カラー表示用の表示用パネルを想定しており、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色を発光する蛍光体層５が所定のパターンに従って設けられている。上部電極層３は、蛍光体層５から下部電極層２上に亙って設けられている。図１の（Ｃ）には、図１の（Ｂ）に示した表示用パネルにおける各蛍光体層５間の隙間がブラックマトリクス６で埋め込まれた表示用パネルを示す。上部電極層３は、蛍光体層５からブラックマトリクス６上に亙って設けられている。下部電極層２と上部電極層３とは、図示しない領域、例えば有効領域の周縁部において互いに導通している。尚、単色表示用の表示用パネルにおいても、蛍光体層５が所定のパターンに従って形成され、更には、各蛍光体層５間の隙間がブラックマトリクス６で埋め込まれていてもよい。
【００５８】
図１の（Ａ）に示した表示用パネルを製造するには、先ず、例えばガラス板から成る基板１上の有効領域の全面に、例えばＩＴＯから成る下部電極層２をスパッタリング法あるいはゾル−ゲル法により概ね０．０１〜０．５μｍの厚さ、より好ましくは概ね０．０５〜０．２μｍの厚さ（典型的には約０．０５μｍ）に形成する。次に、下部電極層２上に、蛍光体層５をスクリーン印刷法あるいはスラリー法により形成する。スクリーン印刷法による場合には、蛍光体粒子を含む蛍光体組成物を下部電極層２上にスクリーン印刷し、乾燥、焼成を経て蛍光体層５を形成することができる。また、スラリー法による場合には、蛍光体粒子と感光性ポリマーを含むスラリーを下部電極層２上に塗布して塗膜を形成し、露光により感光性ポリマーを現像液に対して不溶化することで蛍光体層５を形成することができる。その後、例えばスパッタリング法により、アルミニウム（Ａｌ）から成る上部電極層３を概ね０．０１〜０．５μｍの厚さ、より好ましくは概ね０．０５〜０．１μｍの厚さ（典型的には約０．１μｍ）に形成する。尚、上部電極層３の構成材料として、アルミニウムの代わりにニッケル（Ｎｉ）や銀（Ａｇ）を用いることもできる。図１の（Ｂ）に示した表示用パネルを製造する場合には、赤色発光蛍光体粒子として例えばＹ2Ｏ2Ｓ：Ｅｕ、緑色発光蛍光体粒子として例えばＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ、青色発光蛍光体粒子として例えばＺｎＳ：Ａｇ，ＡｌやＺｎＳ：Ａｇ，Ｃｌをそれぞれ含む３種類の蛍光体組成物あるいは３種類のスラリーを順次用い、スクリーン印刷法又はスラリー法により蛍光体層５を形成することができる。更には、図１の（Ｃ）に示した表示用パネルを製造する場合には、下部電極層２上にブラックマトリクス６を形成した後に、３種類の蛍光体組成物あるいは３種類のスラリーを順次用い、スクリーン印刷法又はスラリー法により蛍光体層５を形成することができる。
【００５９】
図２の（Ａ）〜図２の（Ｃ）には、ケース▲２▼に係る表示用パネルの３種類の構成例を示す。アノード電極４は、下部電極層２と上部電極層３から成り、蛍光体層５は基板１上に設けられ、下部電極層２は蛍光体層５上に設けられ、上部電極層３は下部電極層２上に設けられている。図２の（Ａ）に示す表示用パネルは、単色表示用の表示用パネルを想定しており、一例として緑色（Ｇ）を発光する蛍光体層５が有効領域の全面に設けられている。図２の（Ｂ）に示す表示用パネルは、カラー表示用の表示用パネルを想定しており、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色を発光する蛍光体層５が所定のパターンに従って設けられている。下部電極層２は、蛍光体層５から基板１上に亙って設けられている。図２の（Ｃ）には、図２の（Ｂ）に示した表示用パネルにおける各蛍光体層５間の隙間がブラックマトリクス６で埋め込まれた表示用パネルを示す。下部電極層２は、蛍光体層５からブラックマトリクス６上に亙って設けられている。尚、単色表示用の表示用パネルにおいても、蛍光体層５が所定のパターンに従って形成され、更には、各蛍光体層５間の隙間がブラックマトリクス６で埋め込まれていてもよい。
【００６０】
図２の（Ａ）に示した表示用パネルを製造するには、先ず、例えばガラス板から成る基板１上の有効領域の全面に蛍光体層５をスクリーン印刷法あるいはスラリー法により形成する。次に、蛍光体層５上に、ＩＴＯから成る下部電極層２をスパッタリング法あるいはゾル−ゲル法により約０．０５μｍの厚さに形成する。次に、下部電極層２上に、例えばアルミニウムから成る厚さ約０．１μｍの上部電極層３をスパッタリング法により形成する。図２の（Ｂ）に示した表示用パネルを製造する場合には、３原色に対応する３種類の蛍光体組成物あるいは３種類のスラリーを順次用い、スクリーン印刷法又はスラリー法により蛍光体層５を形成することができる。更に、図２の（Ｃ）に示した表示用パネルを製造する場合には、基板１上にブラックマトリクス６を形成した後に、３種類の蛍光体組成物あるいは３種類のスラリーを順次用い、スクリーン印刷法又はスラリー法により蛍光体層５を形成することができる。
【００６１】
図３に、一例として、図１の（Ｂ）に示した表示用パネルを用いた表示装置の構成例を示す。この表示装置においては、表示用パネル７と背面パネル３００とが対向配置され、両パネル７，３００は、各々の周縁部において図示しない枠体を介して互いに接着され、両パネル７，３００間の閉鎖空間が真空空間ＶＡＣとされている。背面パネル３００は、電子放出体として冷陰極電界電子放出素子（以下、電界放出素子と称する）を備えている。図３では、電界放出素子の一例として、円錐形の電子放出部３５を有する、所謂スピント（Ｓｐｉｎｄｔ）型電界放出素子を示す。スピント型電界放出素子は、支持体３０上に形成されたカソード電極３１と、カソード電極３１と支持体３０上に形成された層間絶縁膜３２と、層間絶縁膜３２上に形成されたゲート電極３４と、ゲート電極３４及び層間絶縁膜３２に設けられた開口部３３内に形成された円錐形の電子放出部３５から構成されている。図３では、複数の電子放出部３５が１つの単位蛍光体層５に対応付けられているが、電子放出部３５は極めて微小な構造物であり、実際には１画素に対して数百〜数千個もの電子放出部３５が設けられることもある。電子放出部３５には、カソード電極駆動回路３６からカソード電極３１を通じて相対的に負電圧（ビデオ信号）が印加され、ゲート電極３４にはゲート電極駆動回路３７から相対的に正電圧（走査信号）が印加される。これらの電圧印加によって生じた電界に応じ、電子放出部３５の先端から電子が放出される。表示用パネル７の下部電極層２には、アノード電極駆動回路８から、ゲート電極３４に印加される正電圧よりも高い正電圧が印加されているので、電子放出部３５から放出された電子は蛍光体層５に向かって誘導される。尚、電子放出体は、上述のようなスピント型電界放出素子に限られず、所謂エッジ型や、平面型、扁平型、クラウン型等、他のタイプの電界放出素子を用いることもできる。
【００６２】
図１の（Ａ）及び図１の（Ｃ）、並びに、図２の（Ａ）〜図２の（Ｃ）に示した各表示用パネルを用いても、同様に表示装置を構成することができる。また、これまで述べてきた下部電極層２は透明なＩＴＯ、上部電極層３は不透明な（反射性を有する）アルミニウム、基板１はガラスから成るため、構成される表示装置は透過型となるが、これらの各部材の構成材料によっては反射型あるいは透過型の表示装置を構成することもできる。これらの構成例については、実施の形態２で後述する。
【００６３】
図４に、かかる表示装置の輝度寿命特性を示す。図４の（Ａ）には、図１の（Ｂ）に示したケース▲１▼に係る表示用パネルを組み込んだ表示装置と、下部電極層２を設けない他は同様に製造した表示用パネルを組み込んだ表示装置の輝度寿命特性を示す。図４の（Ｂ）には、図２の（Ｂ）に示したケース▲２▼に係る表示用パネルを組み込んだ表示装置と、下部電極層２を設けない他は同様に製造した表示用パネルを組み込んだ表示装置の輝度寿命特性を示す。測定条件はいずれも、加速電圧６キロボルト、電流密度１０μＡ／ｃｍ2である。下部電極層２を設けない場合には、測定開始後の最初の５００時間で輝度が最終的な安定レベル近傍まで急激に低下し、最終的な安定レベルは測定開始直後の４０％未満に下がってしまう。然るに、下部電極層２を設けた場合には、ケース▲１▼及びケース▲２▼のいずれに係る表示用パネルを組み込んだ表示装置においても、輝度の低下は緩やかであり、測定開始後１３００時間後でも測定開始直後の輝度の８０％近くが保たれている様子が明らかである。
【００６４】
（実施の形態２）
実施の形態２は、第２Ｃの構成に係る表示用パネル、及び、第２の態様に係る表示装置に関する。図５の（Ａ）には、実施の形態２の表示パネルの模式的な平面図を示し、図５の（Ｂ）〜（Ｅ）及び図６の（Ａ）〜（Ｄ）には、図５の（Ａ）の線Ｘ−Ｘに沿った模式的な一部断面図を示し、図７には、実施の形態２の表示装置の概念図を示し、図８の（Ａ）〜（Ｃ）、図９の（Ａ）〜（Ｄ）、図１０の（Ａ）〜（Ｅ）、図１１の（Ａ）〜（Ｄ）には独立電極と基板の組合せを示す。
【００６５】
実施の形態２の表示用パネル１００においては、図５の（Ａ）に示すように、アノード電極は、所定数の単位蛍光体層に対応して設けられた複数の独立電極１３から成り、これらの複数の独立電極１３が全体として有効領域をほぼカバーするように配列されている。給電線は、例えばガラスから成る矩形の基板１０の上に形成され、その短手方向に延びる１本の本線１４と、本線１４から行方向、即ち、ここでは矩形の基板１０の長手方向に平行に延びる複数の支線２４から構成されている。各独立電極１３は、抵抗体薄膜１１を介して給電線に接続されており、より具体的には、各行毎に共通の支線２４に接続されている。本線１４は、導出部１５を経て接続端子（図示せず）へ接続され、さらにこの接続端子がアノード電極駆動回路に接続されている。尚、図５の（Ａ）では簡単のために、アノード電極駆動回路を電源（５キロボルト）の記号で表示する。独立電極１３の形状は、ここでは一例として矩形であり、各独立電極１３は３つの単位蛍光体層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂから構成された蛍光体層グループＧｒに対応して設けられている。単位蛍光体層１２Ｒは赤色、単位蛍光体層１２Ｇは緑色、単位蛍光体層１２Ｂは青色をそれぞれ発光するので、上記の蛍光体層グループＧｒは通常のカラー表示装置の１画素に相当する。但し、蛍光体層グループＧｒを構成する単位蛍光体層の数は、３には限られない。
【００６６】
図５の（Ａ）に示した表示用パネル１００には、独立電極の構成に応じて、更に、図５の（Ｂ）〜図５の（Ｅ）、並びに、図６の（Ａ）〜図６の（Ｄ）に示す８種類の構造上の変形がある。図５の（Ｂ）〜図５の（Ｅ）、並びに、図６の（Ａ）〜図６の（Ｄ）は、図５の（Ａ）の線Ｘ−Ｘに沿った模式的な一部断面図である。図５の（Ｂ）は、基板１０上に単位蛍光体層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂが設けられ、単位蛍光体層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂ上に独立電極１３Ａが設けられたケース（１）に相当し、メタルバック膜に代表される導電性反射膜のみを用いて独立電極１３Ａを構成しようとする場合に、最も既存の製造プロセスとの整合性が高いケースである。図５の（Ｃ）は、基板１０上に独立電極１３Ｂが設けられ、独立電極１３Ｂ上に単位蛍光体層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂが設けられたケース（２）に相当し、ＩＴＯ層に代表される透明導電膜を用いて独立電極１３Ｂを構成しようとする場合に、最も既存の製造プロセスとの整合性が高いケースである。図５の（Ｄ）のケースは、独立電極１３Ｃが下部電極層１３１と上部電極層１３２より構成され、基板１０上に下部電極層１３１が設けられ、下部電極層１３１上に単位蛍光体層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂが設けられ、単位蛍光体層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂ及び下部電極層１３１上に上部電極層１３２が設けられたケース（３）に相当し、第１の態様のケース▲１▼におけるアノード電極が独立した複数の領域に分割された構成に該当する。図５の（Ｅ）は、独立電極１３Ｄが下部電極層１３１と上部電極層１３２より構成され、基板１０上に単位蛍光体層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂが設けられ、単位蛍光体層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂ上に下部電極層１３１が設けられ、下部電極層１３１上に上部電極層１３２が設けられたケース（４）に相当する。これは、第１の態様のケース▲２▼におけるアノード電極が独立した複数の領域に分割された構成に該当する。
【００６７】
図６の（Ａ）は、基板１０上に独立電極１３Ｂが設けられ、抵抗体薄膜１１が独立電極１３Ｂ上へ延在され、抵抗体薄膜１１上に単位蛍光体層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂが設けられたケース（５）に相当する。図６の（Ｂ）は、ケース（５）において抵抗体薄膜１１と独立電極１３Ｂとの間に密着層１６を設けた例である。図６の（Ｃ）は、ケース（５）において抵抗体薄膜１１と単位蛍光体層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂとの間に密着層１６を設けた例である。更に、図６の（Ｄ）は、ケース（５）において、抵抗体薄膜１１と独立電極１３Ｂとの間、並びに、抵抗体薄膜１１と単位蛍光体層１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂとの間の双方に密着層１６を設けた例である。
【００６８】
図５の（Ｂ）、図５の（Ｄ）及び図５の（Ｅ）に示したケースにおいて、独立電極１３Ａ及び上部電極層１３２をアルミニウム等の金属から成る導電性反射膜を用いて形成する場合には、典型的には金属製のマスクを用いた蒸着法によってこれらを形成することができる。また、図５の（Ｃ）〜図５の（Ｅ）、並びに、図６の（Ａ）〜図６の（Ｄ）に示したケースにおいて、独立電極１３Ｂ及び下部電極層１３１を透明導電膜を用いて形成する場合には、典型的には透明導電材料の全面製膜とパターニングによって形成することができる。
【００６９】
ところで、図５の（Ｂ）において、支線２４Ａは、独立電極１３Ａと共通の導電材料層を用いて形成されている。また、図５の（Ｃ）、並びに、図６の（Ａ）〜図６の（Ｄ）において、支線２４Ｂは、独立電極１３Ｂと共通の導電材料層を用いて形成されている。更に、図５の（Ｄ）及び図５の（Ｅ）において、支線２４Ｃ，２４Ｄを構成する下部電極層１４１は独立電極１３Ｃ，１３Ｄを構成する下部電極層１３１と共通の導電材料層から成り、支線２４Ｃ，２４Ｄを構成する上部電極層１４２は独立電極１３Ｃ，１３Ｄを構成する上部電極層１３２と共通の導電材料層から成る。尚、本線１４及び導出部１５についても、これらの各ケースにおける独立電極１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄと共通の導電材料層を用いて構成することができる。即ち、独立電極と給電線と導出部とは、同時に形成することができる。
【００７０】
また、図５の（Ｂ）〜図５の（Ｅ）に示した各ケースにおいては、抵抗体薄膜１１が先ず基板１０上に形成されており、その後に独立電極１３Ａ，１３Ｂあるいは下部電極層１３１が形成されているが、この順序は逆であってもよい。即ち、独立電極と給電層とを形成した後に、該給電層の中の支線と独立電極とを接続するように抵抗体薄膜１１を形成してもよい。更に、図５の（Ｄ）及び図５の（Ｅ）に示すケースでは、抵抗体薄膜１１の形成を上部電極層１３２の形成後に行ってもよいし、下部電極層１３１，１４１の形成と上部電極層１３２，１４２の形成との間で行ってもよい。
【００７１】
図７には、一例として、図５の（Ｄ）に示した表示用パネル１００を用いた表示装置の構成例を示す。この表示装置においては、表示用パネル１００と背面パネル３００とが対向配置され、両パネル１００，３００は、各々の周縁部において図示しない枠体を介して互いに接着され、両パネル１００，３００間の閉鎖空間が真空空間ＶＡＣとされている。背面パネル３００は、電子放出体として電界放出素子を備えている。図７では、電界放出素子の一例として、円錐形の電子放出部３５を有する、所謂スピント（Ｓｐｉｎｄｔ）型電界放出素子を示す。尚、電子放出体として、上述のようなスピント型電界放出素子に限られず、所謂エッジ型、平面型、扁平型、クラウン型等の電子放出体も使用可能である。更に、表面伝導型電子放出素子等、タイプの異なる電界放出素子を用いることもできる。
【００７２】
実施の形態２に係る表示装置の構成は、アノード電極が有効領域のほぼ全面に亙って形成される代わりに、分割して形成され、１つ１つのアノード電極の面積が縮小された構成に相当する。その結果、アノード電極（実施の形態２では独立電極１３）と背面パネル３００との間の静電容量が減少し、この静電容量に蓄えられるエネルギーは、もはや放電の開始あるいは継続のためのエネルギーたり得なくなる。しかも、各独立電極１３がアノード電極駆動回路に直接に接続されず、抵抗体薄膜１１を介して接続されているので、小規模な放電が発生しても、火花放電への成長を抑制することが可能となる。従って、表示用パネルと背面パネルとの間のギャップが比較的小さい所謂低電圧タイプの表示装置においても、アノード電極に高電圧を安定して印加することが可能となり、低電圧タイプの本来の長所はそのままに、短所であった低輝度の問題を解決することができる。
【００７３】
ところで、図５の（Ｂ）〜図５の（Ｅ）、及び図６の（Ａ）に示した表示用パネル１００の各々については、独立電極１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ、抵抗体薄膜１１、並びに基板１０の構成材料の透明／不透明（反射性）の組合せのパターンに応じて、最終的に構成される表示装置の透過型／反射型の区別が生ずる。上記組合せパターンについて、図８〜図１１を参照して説明する。図８は図５の（Ｂ）に示した表示用パネルにおける組合せパターン、図９は図５の（Ｃ）に示した表示用パネルにおける組合せパターン、図１０は図５の（Ｄ）に示した表示用パネルにおける組合せパターン、図１１は図６の（Ａ）に示した表示用パネルにおける組合せパターンをそれぞれ表す。但し、図８〜図１１では、簡略化のために、単位蛍光体層１２Ｒのみを図示し、単位蛍光体層１２Ｇ，１２Ｂは省略する。
【００７４】
図８の（Ａ）は、ケース（１）において、単位蛍光体層１２Ｒの上に設けられた独立電極１３Ａが、例えば導電性反射膜のような不透明材料から成る場合を示す。この場合、基板１０が透明である以外に表示用パネル１００は成り立たず、従って、図８の（Ａ）の表示用パネルを用いて構成される表示装置は、必然的に透過型となる。これに対し、独立電極１３ＡがＩＴＯのような透明導電膜から成る場合、基板１０が透明、不透明のいずれであってもよい。即ち、基板１０が図８の（Ｂ）に示すように透明である場合には透過型／反射型の表示装置が構成され、図８の（Ｃ）に示すように不透明である場合には反射型の表示装置が構成される。
【００７５】
図９の（Ａ）及び図９の（Ｂ）は、ケース（２）において、基板１０と単位蛍光体層１２Ｒとの間に設けられた独立電極１３Ｂが、例えば導電性反射膜のような不透明材料から成る場合を示す。この場合、図９の（Ａ）に示すように基板１０が透明であるか、あるいは図９の（Ｂ）に示すように基板１０が不透明であるかに係わらず、構成される表示装置は反射型となる。図９の（Ｃ）及び図９の（Ｄ）は、独立電極１３ＢがＩＴＯのような透明材料から成る場合を示す。この場合、図９の（Ｃ）に示すように基板１０が透明であれば透過型／反射型の表示装置を構成することができ、図９の（Ｄ）に示すように基板１０が不透明であれば反射型の表示装置を構成することができる。
【００７６】
図１０の（Ａ）は、ケース（３）において、単位蛍光体層１２Ｒの上に設けられた上部電極層１３２が、例えば導電性反射膜のような不透明材料から成る場合を示す。この場合、上部電極層１３１と基板１０の双方が透明である以外に表示用パネル１００は成り立たず、従って、図１０の（Ａ）の表示用パネルを用いて構成される表示装置は、必然的に透過型となる。図１０の（Ｂ）及び図１０の（Ｃ）は、基板１０と単位蛍光体層１２Ｒとの間に設けられた下部電極層１３１が、例えば導電性反射膜のような不透明材料から成る場合を示す。この場合、図１０の（Ｂ）に示すように基板１０が透明であるか、あるいは図１０の（Ｃ）に示すように基板１０が不透明であるかに係わらず、構成される表示装置は反射型となる。更に、図１０の（Ｄ）及び図１０の（Ｅ）は、下部電極層１３１と上部電極層１３２とが共に透明な場合を示し、このような場合、図１０の（Ｄ）に示すように基板１０が透明であれば透過型／反射型の表示装置を構成することができ、図１０の（Ｅ）に示すように基板１０が不透明であれば反射型の表示装置を構成することができる。尚、図１０の（Ａ）〜図１０（Ｅ）に示した組合せパターンは、本発明の第１の態様のケース▲１▼にも同様に当てはまる。
【００７７】
尚、ケース（４）に係る下部電極層１３１と上部電極層１３２から成る独立電極１３Ｄは、本発明の第１の態様のケース▲２▼において、下部電極層と上部電極層の双方が独立した複数の領域に分割された場合に相当する。図示は省略するが、独立電極１３Ｄの上部電極層１３２が例えば導電性反射膜のような不透明材料から成る場合、下部電極層１３１と基板１０とがいずれも透明である以外に表示用パネルは成り立たず、従って、構成される表示装置は必然的に透過型となる。これに対し、上部電極層１３２がＩＴＯのような透明材料から成る場合、下部電極層１３１が不透明であれば、基板１０の透明／不透明によらず表示装置は反射型となる。更に、上部電極層１３２と下部電極層１３１とが共に透明である場合、基板１０が透明であれば表示装置は反射型／透過型となり、基板１０が不透明であれば表示装置は反射型となる。
【００７８】
図１１の（Ａ）は、ケース（５）において、独立電極１３Ｂ上へ延在された抵抗体薄膜１１が、例えば導電性反射膜のような不透明材料から成る場合を示す。この場合、独立電極１３Ｂの透明／不透明の別、及び基板１０の透明／不透明の別に係わらず、構成される表示装置は反射型となる。抵抗体薄膜１１が例えば酸化タンタルのような透明材料から成る場合、図１１の（Ｂ）に示すように独立電極１３Ｂが不透明であれば、基板１０の透明／不透明の別に拘わらず反射型の表示装置を構成することができ、図１１の（Ｃ）に示すように独立電極１３Ｂが透明、且つ、基板１０が不透明であれば、やはり反射型の表示装置を構成することができる。更に、抵抗体薄膜１１も独立電極１３Ｂも基板１０も透明である場合には、図１１の（Ｄ）に示すような透過型／反射型の表示装置を構成することができる。
【００７９】
尚、抵抗体薄膜と独立電極との間に密着層が設けられた場合に構成され得る表示装置のタイプを下記の表６に示し、抵抗体薄膜と単位蛍光体層との間に密着層が設けられた場合に構成され得る表示装置のタイプを表７に示し、更に、抵抗体薄膜と独立電極との間、及び、抵抗体薄膜と単位蛍光体層との間の双方に密着層が設けられた場合に構成され得る表示装置のタイプを表８に示す。
【００８０】
［表６］
抵抗体薄膜    ×        ○        ○        ○        ○
密着層        ○／×    ×        ○        ○        ○
独立電極      ○／×    ○／×    ×        ○        ○
基板          ○／×    ○／×    ○／×    ×        ○
表示装置      ＲＦ      ＲＦ      ＲＦ      ＲＦ      ＴＲ／ＲＦ
【００８１】
［表７］
密着層        ×        ○        ○        ○        ○
抵抗体薄膜    ○／×    ×        ○        ○        ○
独立電極      ○／×    ○／×    ×        ○        ○
基板          ○／×    ○／×    ○／×    ×        ○
表示装置      ＲＦ      ＲＦ      ＲＦ      ＲＦ      ＴＲ／ＲＦ
【００８２】
［表８］
密着層        ×        ○        ○        ○        ○        ○
抵抗体薄膜    ○／×    ×        ○        ○        ○        ○
密着層        ○／×    ○／×    ×        ○        ○        ○
独立電極      ○／×    ○／×    ○／×    ×        ○        ○
基板          ○／×    ○／×    ○／×    ○／×    ×        ○
表示装置      ＲＦ      ＲＦ      ＲＦ      ＲＦ      ＲＦ    ＴＲ／ＲＦ
【００８３】
（実施の形態３）
実施の形態３は、第２Ｃの構成に係る表示用パネルの他の例として、１つの独立電極が１つの単位蛍光体層に対応して設けられた表示用パネルに関する。図１２の（Ａ）には、実施の形態３の表示用パネルの模式的な平面図を示し、図１２の（Ｂ）〜（Ｅ）には、図１２の（Ａ）の線Ｘ−Ｘに沿った模式的な一部断面図を示す。この表示用パネル１０１におけるアノード電極は、図１２の（Ａ）に示すように、単位蛍光体層１１２Ｒ，１１２Ｇの１つずつに対応してマトリクス状に設けられた複数の独立電極１１３から成り、これらの複数の独立電極１１３が全体として有効領域をほぼカバーするように配列されている。給電線は、例えばガラスから成る矩形の基板１１０の上に形成され、基板１１０の短手方向に延びる１本の本線１１４と、本線１１４から行方向、即ち、矩形の基板１１０の長手方向に平行に延びる複数の支線１２４から構成されている。各独立電極１１３は、抵抗体薄膜１１１を介して給電線に接続されており、より具体的には、各行毎に共通の支線１２４に接続されている。本線１１４は、導出部１１５を経て接続端子（図示せず）へ接続され、さらにこの接続端子がアノード電極駆動回路に接続されている。尚、図１２の（Ａ）では、簡単のために、アノード電極駆動回路を電源（５キロボルト）の記号で表示する。独立電極１１３の形状は、ここでは一例として矩形であり、各独立電極１１３は１つの単位蛍光体層１１２Ｒ（赤色），１１２Ｇ（緑色）のそれぞれに対応して設けられている。尚、図１２の（Ａ）〜（Ｅ）にはスペースの都合で図示していないが、青色の単位蛍光体層の上にも同様に独立電極１１３が形成されている。
【００８４】
図１２の（Ａ）に示した表示用パネル１０１には、独立電極１１３の構成に応じて更に幾つかの構造上の変形がある。その一例を、図１２の（Ｂ）〜図１２の（Ｅ）に示す。図１２の（Ｂ）〜図１２の（Ｅ）は、図１２の（Ａ）の線Ｘ−Ｘに沿った模式的な一部断面図である。図１２の（Ｂ）は、基板１１０上に単位蛍光体層１１２Ｒ，１１２Ｇが設けられ、単位蛍光体層１１２Ｒ，１１２Ｇ上に独立電極１１３Ａが設けられたケース（１）に相当し、メタルバック膜に代表される導電性反射膜を用いて独立電極１１３Ａを構成しようとする場合に、最も既存の製造プロセスとの整合性が高いケースである。図１２の（Ｃ）は、基板１１０上に独立電極１１３Ｂが設けられ、独立電極１１３上に単位蛍光体層１１２Ｒ，１１２Ｇが設けられたケース（２）に相当し、ＩＴＯ層に代表される透明導電膜を用いて独立電極１１３Ｂを構成しようとする場合に、最も既存の製造プロセスとの整合性が高いケースである。図１２の（Ｄ）のケースは、独立電極１１３Ｃが下部電極層２３１と上部電極層２３２より構成され、基板１１０上に下部電極層２３１が設けられ、下部電極層２３１上に単位蛍光体層１１２Ｒ，１１２Ｇが設けられ、単位蛍光体層１１２Ｒ，１１２Ｇ及び下部電極層２３１上に上部電極層２３２が設けられたケース（３）に相当し、本発明の第１の態様のケース▲１▼におけるアノード電極が独立した複数の領域に分割された構成に該当する。更に、図１２の（Ｅ）は、独立電極１１３Ｄが下部電極層２３１と上部電極層２３２より構成され、基板１１０上に単位蛍光体層１１２Ｒ，１１２Ｇが設けられ、単位蛍光体層１１２Ｒ，１１２Ｇ上に下部電極層２３１が設けられ、下部電極層２３１上に上部電極層２３２が設けられたケース（４）に相当する。これは、第１の態様のケース▲２▼におけるアノード電極が独立した複数の領域に分割された構成に該当する。その他、図１２の（Ｃ）に示した表示パネルにおいて抵抗体薄膜１１１が独立電極１１３Ｂ上へ延在されたケース（５）の構成も可能である。支線１２４Ａ，１２４Ｂ，１２４Ｃ及び１２４Ｄは、それぞれ独立電極１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃ及び１１３Ｄと共通の導電材料層を用いて形成されている。即ち、支線１２４Ａ，１２４Ｂ，１２４Ｃ及び１２４Ｄを構成する下部電極層２４１は、独立電極１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃ及び１１３Ｄを構成する下部電極層２３１と共通の導電材料層から成り、支線１２４Ａ，１２４Ｂ，１２４Ｃ及び１２４Ｄを構成する上部電極層２４２は、独立電極１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃ及び１１３Ｄを構成する上部電極層２３２と共通の導電材料層から成る。
【００８５】
実施の形態３の表示用パネル１０１の独立電極１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃ，１１３Ｄは、それぞれ実施の形態２の表示用パネル１００の独立電極１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄと同様に形成することができる。実施の形態３の表示用パネル１０１の抵抗体薄膜１１１は、実施の形態２の表示用パネル１００の抵抗体薄膜１１と同様に形成することができる。実施の形態３の表示用パネル１０１の本線１１４、支線１２４，１２４Ａ，１２４Ｂ，１２４Ｃ，１２４Ｄ、導出部１１５は、それぞれ実施の形態２の表示用パネル１００の本線１４、支線２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄ、導出部１５と同様に形成することができる。また、図８〜図１１を用いて説明したケースは、実施の形態３の表示用パネル１０１についても全て当てはまる。
【００８６】
更に、実施の形態３の表示用パネル１０１は、実施の形態２の表示用パネル１００と同様に表示装置に組み込むことができる。実施の形態３の表示用パネル１０１を用いて構成された表示装置においては、実施の形態２の表示用パネル１００を用いて構成された表示装置におけるよりも、静電容量が更に低減される。
【００８７】
（実施の形態４）
実施の形態４は、独立電極がストライプ状に配置された本発明の第２Ｄの構成に係る表示用パネルに関する。実施の形態４の表示用パネルの概念的な平面図を図１３の（Ａ）及び（Ｂ）に示し、図１３の（Ｂ）の線Ｘ−Ｘに沿った模式的な一部断面図を図１４の（Ａ）〜（Ｄ）に示す。この表示用パネル１０２におけるアノード電極は、図１３の（Ａ）に示すように、所定数の単位蛍光体層から構成される蛍光体層グループＧｒ1に対応してストライプ状に設けられた複数の独立電極２１３から成る。蛍光体層グループＧｒ1とは、基板２１０の短手方向に沿って３原色の内の１色を発光するストライプ状に配置された複数の単位蛍光体層の集合体である。即ち、表示用パネル１０２における独立電極２１３は、例えば複数の画素に対応して形成されている。これらの複数の独立電極２１３が全体として有効領域をほぼカバーするように配列されている。図１３の（Ａ）では、ストライプが列方向、即ち、矩形の基板２１０の短手方向に平行に延びているが、長手方向に延びていても構わない。基板２１０上には、一方の長辺に沿って平行に１本の給電線２１４が設けられ、各独立電極２１３は抵抗体薄膜２１１を介して給電線２１４に接続されている。独立電極２１３の形状は、ここでは一例として短冊状である。
【００８８】
図１３の（Ｂ）に示す表示用パネル１０３においては、表示用パネル１０２における独立電極２１３が更に３原色の各色毎に分割されている。即ち、表示用パネル１０３の独立電極３１３は、１つの蛍光体層グループＧｒ2に対応して設けられている。この蛍光体層グループＧｒ2とは、３原色のいずれか１色毎にストライプ状に配置された複数の単位蛍光体層の集合体である。基板３１０上には、一方の長辺に沿って平行に１本の給電線３１４が設けられ、各独立電極３１３は抵抗体薄膜３１１を介して給電線３１４に接続されている。給電線２１４，３１４は、表示用パネル１０２，１０３の縁部に設けられた図示しない接続端子へ接続され、さらにこの接続端子がアノード電極駆動回路に接続されている。尚、図１３の（Ａ）及び図１３の（Ｂ）では、簡単のために、アノード電極駆動回路を電源（５キロボルト）の記号で表示する。
【００８９】
図１３の（Ａ）に示した表示用パネル１０２、及び図１３の（Ｂ）に示した表示用パネル１０３には、それぞれ独立電極２１３，３１３の構成に応じて幾つかの構造上の変形が存在する。一例として、表示用パネル１０３の構造上の変形例を図１４の（Ａ）〜図１４の（Ｄ）に示すが、表示用パネル１０２についても同様である。図１４では、３原色中、赤色（Ｒ）の蛍光体層グループＧｒ2のみを代表例として示す。図１４の（Ａ）は、基板３１０上に蛍光体層グループＧｒ2が設けられ、蛍光体層グループＧｒ2上に独立電極３１３Ａが設けられたケース（１）に相当し、メタルバック膜に代表される導電性反射膜のみを用いて独立電極３１３Ａを構成しようとする場合に、最も既存の製造プロセスとの整合性が高いケースである。図１４の（Ｂ）は、基板３１０上に独立電極３１３Ｂが設けられ、独立電極３１３Ｂ上に蛍光体層グループＧｒ2が設けられたケース（２）に相当し、ＩＴＯ層に代表される透明導電膜を用いて独立電極３１３Ｂを構成しようとする場合に、最も既存の製造プロセスとの整合性が高いケースである。図１４の（Ｃ）のケースは、独立電極３１３Ｃが下部電極層３３１と上部電極層３３２より構成され、基板３１０上に下部電極層３３１が設けられ、下部電極層３３１上に蛍光体層グループＧｒ2が設けられ、蛍光体層グループＧｒ2及び下部電極層３３１上に上部電極層３３２が設けられたケース（３）に相当し、本発明の第１の態様のケース▲１▼におけるアノード電極が独立した複数の領域に分割された構成に該当する。図１４の（Ｄ）は、独立電極３１３Ｄが下部電極層３３１と上部電極層３３２より構成され、基板３１０上に蛍光体層グループＧｒ2が設けられ、蛍光体層グループＧｒ2上に下部電極層３３１が設けられ、下部電極層３３１上に上部電極層３３２が設けられたケース（４）に相当し、本発明の第１の態様のケース▲２▼おけるアノード電極が独立した複数の領域に分割された構成に該当する。更に、図１４の（Ｂ）に示した表示用パネルにおいて、抵抗体薄膜３１１が独立電極３１３Ｂ上へ延在されたケース（５）の構成も可能である。給電線３１４Ａ，３１４Ｂ，３１４Ｃ及び３１４Ｄは、それぞれ独立電極３１３Ａ，３１３Ｂ，３１３Ｃ及び３１３Ｄと共通の導電材料層を用いて形成されている。即ち、給電線３１４Ａ，３１４Ｂ，３１４Ｃ及び３１４Ｄを構成する下部電極層３４１は、独立電極３１３Ａ，３１３Ｂ，３１３Ｃ及び３１３Ｄを構成する下部電極層３３１と共通の導電材料層から成り、給電線３１４Ａ，３１４Ｂ，３１４Ｃ及び３１４Ｄを構成する上部電極層３４２は、独立電極３１３Ａ，３１３Ｂ，３１３Ｃ及び３１３Ｄを構成する上部電極層３３２と共通の導電材料層から成る。
【００９０】
実施の形態４の表示用パネル１０２の独立電極２１３、並びに、表示用パネル１０３の独立電極３１３，３１３Ａ，３１３Ｂ，３１３Ｃ，３１３Ｄは、それぞれ実施の形態２の表示用パネル１００の独立電極１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄと同様に形成することができる。実施の形態４の表示用パネル１０２の抵抗体薄膜２１１、及び表示用パネル１０３の抵抗体薄膜３１１は、いずれも実施の形態２の表示用パネル１００の抵抗体薄膜１１と同様に形成することができる。実施の形態４の表示用パネル１０２の給電線２１４、及び表示用パネル１０３の給電線３１４は、いずれも実施の形態２の表示用パネル１００の給電線と同様に形成することができる。また、図８〜図１１を用いて説明したケースは、実施の形態４の表示用パネル１０２，１０３についても全て当てはまる。
【００９１】
更に、実施の形態４の表示用パネル１０２，１０３は、実施の形態２の表示用パネル１００と同様に表示装置に組み込むことができる。通常、このようなストライプ状の蛍光体層グループを有する表示装置では、所謂、線順次表示が行われており、例えば図１３の（Ａ）に示した表示用パネル１０２においては、１つの独立電極２１３には通常、数μＡ程度の電流しか流れず、従って、上記抵抗体薄膜２１１による電圧降下は数ボルトから数十ボルト程度となり、通常数キロボルトのオーダーのアノード電圧に対して無視し得る程度である。従って、実施の形態４の表示用パネル１０２，１０３を用いて構成された表示装置においては、輝度の低下を事実上生ずることなく、アノード電極（即ち、複数の独立電極２１３，３１３）に高電圧を安定して印加することが可能となる。
【００９２】
（実施の形態５）
実施の形態５は、本発明の第２Ａの構成及び第２Ｂの構成に係る表示用パネルに関する。図１５の（Ａ）に、第２Ａの構成に係る表示用パネル１０３Ａの模式的な平面図を示す。この表示用パネル１０３Ａにおいて、独立電極３１３は、複数の単位蛍光体層から構成された蛍光体層グループに対応してストライプ状に配置され、給電線は複数の単位給電線３１５から成り、単位給電線３１５は各独立電極３１３に接続されている。即ち、各単位給電線３１５は各独立電極３１３に対応して設けられている。尚、図１５の（Ａ）では、明確化のために、独立電極３１３にハッチングを施した。図示した独立電極３１３は１６本であるが、この本数は例示に過ぎない。表示用パネル１０３Ａの縁部において、単位給電線３１５の末端には図示しない接続端子が設けられ、個々の単位給電線３１５は接続端子を通じてアノード電極駆動回路３１７Ａに接続されている。このようにアノード電極を分割しただけの構成であっても静電容量の低減効果を得ることができるが、実施の形態５では更に、放電発生時の独立電極３１３へのエネルギー供給を一時的に停止可能としたり、輝度安定化効果を得るために、個々の単位給電線３１５に抵抗部材を設ける。図１５の（Ａ）に示した例では、アノード電極駆動回路３１７Ａ内において各単位給電線３１５に接続する配線の途中に例えば１００ＭΩの抵抗部材３１６が挿入され、各配線は共通の電源線に接続され、この電源線を通じ、アノード電極駆動回路３１７Ａに内蔵される電源から例えば５キロボルトの正電圧が各独立電極３１３に印加される。尚、図１５の（Ａ）は等価回路的な表現であって、実用的な構成においては、例えば図１６の（Ａ）に示すように、各単位給電線３１５は表示用パネル１０３Ａの無効領域上にまで形成され、表示用パネル１０３Ａの縁部の一ヶ所に集められ、例えば接続手段３１８を介し、抵抗部材を備えたアノード電極駆動回路３１７Ａに接続される。尚、独立電極３１３は、ケース（１）〜ケース（４）のいかなる構成を有していてもよい。尚、接続手段３１８としては、フレキシブルプリント配線板やボンディングワイヤを例示することができる。接続手段３１８がフレキシブルプリント配線板である場合、個々の独立電極３１３とこれに対応するアノード電極駆動回路３１７Ａの接続端子とを結ぶ配線の途中に抵抗部材を挿入することができる。また、接続部材３１８がボンディングワイヤである場合、使用するボンディングワイヤに所望の抵抗値を持たせることができる。
【００９３】
図１５の（Ｂ）には、上記の表示用パネル１０３Ａと真空空間を挟んで対向配置される、複数の電子放出体を有する背面パネル３００の模式的な平面図を示す。電子放出体は、走査信号が入力される一方向に延びた第１電極群（具体的には複数のゲート電極３４）と、ビデオ信号が入力される他方向に延びた第２電極群（具体的には複数のカソード電極３１）との射影像が互いに重複する領域（即ち、重複領域）に配されている。走査信号はゲート電極駆動回路３７から入力され、ビデオ信号はカソード電極駆動回路３６から入力される。図１５の（Ａ）に示した独立電極３１３は、第２電極群、即ち複数のカソード電極３１と略平行な方向に延びている。ここでは、独立電極３１３の本数とカソード電極３１の本数を同じとしたが、複数本のカソード電極３１と１本の独立電極３１３とが対応していてもよい。かかる構成においては、第１電極群を構成する各電極上に位置する重複領域の中、所望の重複領域から実質的に同時に電子が放出される。
【００９４】
図１５の（Ｂ）においては、明確化のために、非選択状態のカソード電極３１（カソード電極駆動回路３６より＋５０ボルトの電圧を印加）を薄いハッチングで表し、選択状態のカソード電極３１（同じく０ボルトの電圧を印加）を濃いハッチングで表す。選択状態のカソード電極３１に印加されるビデオ信号は、階調に応じて０ボルト以上、＋５０ボルト未満の値をとり得る（中間階調）が、ここでは簡単のために最大輝度（フル階調）が得られる０ボルトとして考える。一方、ゲート電極３４に関しては、非選択状態（ゲート電極駆動回路３７より０ボルトの電圧を印加）を白抜きで表示し、選択状態（同じく＋５０ボルトの電圧を印加）をハッチングで表す。カソード電極３１とゲート電極３４の射影像が重なる領域（重複領域）は、単色表示装置では１画素、カラー表示装置では１サブピクセルに相当し、通常は１つの重複領域に複数の電界放出素子が配されている。選択されたカソード電極３１と選択されたゲート電極３４との重複領域は、選択画素（又は選択サブピクセル）であり、図中では白丸で表示する。ゲート電極３４は上から下へ順に第ｍ行、カソード電極３１と独立電極３１３は左から右へ順に第ｎ列と称することにする。
【００９５】
いま、図１５の（Ｂ）に示すように、第２行のゲート電極３４の選択に対して、例えば第２列、第６列、第９列、第１１列及び第１４列の５本のカソード電極３１が選択され、これらのカソード電極３１の各々と対面する第２列、第６列、第９列、第１１列及び第１４列の５本の独立電極３１３の各々からフル階調時に１μＡの電流が流れるとすると、電圧降下は１μＡ×１００ＭΩ＝０．１キロボルトとなる。即ち、どの列のカソード電極３１と独立電極３１３との間においても、加速電圧は５−０．１＝４．９キロボルトとなる。中間階調時には電流が１μＡより少ないので、電圧降下も０．１キロボルトより小さくなる。いずれにしても、アノード電極が複数の独立電極３１３に分割されたことにより、選択されたカソード電極３１の本数に依らず、電圧降下が常に一定範囲内（上記の例では０．１キロボルト）でしか起こり得なくなり、これによって表示画面の輝度が安定化する。尚、上述した例とは逆に、カソード電極３１に走査信号、ゲート電極３４にビデオ信号をそれぞれ入力する場合には、独立電極３１３をゲート電極３４と略平行に配置すればよい。
【００９６】
図１６の（Ｂ）は、第２Ｂの構成に係る表示用パネル１０３Ｂを模式的に示す図である。この表示用パネル１０３Ｂにおいて、独立電極３１３の構成は表示用パネル１０３Ａと同様であるが、抵抗部材３１６が各単位給電線３１５の中途部に挿入されている。抵抗部材３１６としては、例えばチップ抵抗あるいは抵抗体薄膜を使用することができる。尚、図１６の（Ｂ）も等価回路的な表現であって、実用的な構成においては、例えば図１６の（Ａ）に示したように各単位給電線３１５を表示用パネル１０３Ｂの縁部の一ヶ所に集め、同様に接続手段３１８を用い、抵抗部材を含まないアノード電極駆動回路３１７Ｂに接続することができる。
【００９７】
（実施の形態６）
実施の形態６は、第３Ａの構成に係る表示用パネルに関する。図１７の（Ａ）に実施の形態６の表示用パネルの模式的な平面図を示し、図１７の（Ｂ）に独立電極近傍の拡大図を示す。図１８の（Ａ）及び（Ｂ）は、図１７の（Ａ）の線Ｘ−Ｘに沿った模式的な一部断面図であり、独立電極の構成に応じた２種類の構造上の変形を示す。
【００９８】
実施の形態６の表示用パネル１０４においては、アノード電極は、所定数の単位蛍光体層４１２Ｒ，４１２Ｇ，４１２Ｂに対応して設けられた複数の独立電極４１３から成り、基板４１０上に設けられた給電層４１４と、給電層４１４上に設けられた絶縁層４１７と、給電層４１４上若しくは絶縁層４１７上に設けられた単位蛍光体層４１２Ｒ，４１２Ｇ，４１２Ｂと、単位蛍光体層４１２Ｒ，４１２Ｇ，４１２Ｂから絶縁層４１７上に亙って設けられた独立電極４１３と、絶縁層４１７に設けられた貫通孔４１６と、貫通孔４１６に埋め込まれた抵抗体層４１１とを有し、独立電極４１３と給電層４１４とは、抵抗体層４１１によって接続されている。給電層４１４は、有効領域をほぼカバーするように基板４１０上に設けられ、独立電極４１３も全体として有効領域をほぼカバーするように配列されている。尚、給電層４１４は、所望の形状に形成されていてもよい。各独立電極４１３は、図１７の（Ｂ）に拡大して示すように、単位蛍光体層４１２Ｒ，４１２Ｇ，４１２Ｂから構成された蛍光体層グループＧｒに対応して設けられている。尚、図１７の（Ｂ）に示した単位蛍光体層４１２Ｒ，４１２Ｇ，４１２Ｂの配置は、図１８に示す断面図と整合させるための便宜的な配置であり、図示される例に限られるものではない。
【００９９】
図１７の（Ａ）に示した表示用パネル１０４には、独立電極４１３の構成に応じて、図１８の（Ａ）及び図１８の（Ｂ）に示す２種類の構成がある。図１８の（Ａ）は、単位蛍光体層４１２Ｒ，４１２Ｇ，４１２Ｂが給電層４１４上に設けられた構成を示し、図１８の（Ｂ）は、単位蛍光体層４１２Ｒ，４１２Ｇ，４１２Ｂが絶縁層４１７上に設けられた構成を示す。図１８の（Ａ）は、単位蛍光体層４１２Ｒ，４１２Ｇ，４１２Ｂの抵抗率が十分に高い場合に可能な構成であり、表示用パネルの平坦化、ひいてはこれを用いて構成される表示装置の薄型化に有利な構成である。図１８の（Ｂ）は、単位蛍光体層４１２Ｒ，４１２Ｇ，４１２Ｂの抵抗率が不足している場合に好適な構成である。尚、独立電極４１３Ａ，４１３Ｂは、第１の態様のケース▲２▼と同様、下部電極層とその上に設けられた上部電極層との２層構成を有していてもよい。
【０１００】
図１８の（Ａ）に示した構成については、基板４１０、給電層４１４、及び独立電極４１３Ａの構成材料の透明／不透明（反射性）の組合せのパターンに応じて、最終的に構成される表示装置の透過型／反射型の区別が生ずるが、この区別は図１０を参照しながら説明した例に実質的に等しい。図１８の（Ｂ）に示した構成については、これらの各層に絶縁層４１７が加わるので、組合せ例はより多岐に亙るが、単位蛍光体層４１２Ｒ，４１２Ｇ，４１２Ｂよりも基板４１０側に不透明な層が１層でもあれば表示装置は反射型となり、独立電極４１３Ｂが不透明であれば透過型となり、いずれの層や基板も透明であれば透過型と反射型のいずれにもなり得る、という基本的な考え方はどのケースに共通である。例えば、ＩＴＯ層に代表される透明導電膜を用いて給電層４１４を構成し、メタルバック膜に代表される導電性反射膜を用いて独立電極４１３Ａ，４１３Ｂを構成することができ、このときの表示装置は透過型となる。
【０１０１】
実施の形態６の表示用パネル１０４では、独立電極４１３Ａ，４１３Ｂと同一面内で給電線を形成する必要がなくなるため、単位蛍光体層の配置を高密度化することができる。従って、この表示用パネル１０４を組み込んだ表示装置においては、より精細度の高い画面表示を達成することが可能となる。
【０１０２】
（実施の形態７）
実施の形態７は、第３Ａの構成に係る表示用パネルの他の例として、１つの独立電極が１つの単位蛍光体層に対応して設けられた表示用パネルに関する。図１９の（Ａ）に実施の形態７の表示用パネルの模式的な平面図を示し、図１９の（Ｂ）に独立電極近傍の拡大図を示す。図２０の（Ａ）及び（Ｂ）は、図１９の（Ａ）の線Ｘ−Ｘに沿った模式的な一部断面図であり、独立電極の構成に応じた２種類の構造上の変形を示す。
【０１０３】
実施の形態７の表示用パネル１０５においては、アノード電極は、単位蛍光体層５１２Ｒ，５１２Ｇ，５１２Ｂの１つずつに対応して設けられた複数の独立電極５１３から成り、基板５１０上に設けられた給電層５１４と、給電層５１４上に設けられた絶縁層５１７と、給電層５１４上若しくは絶縁層５１７上に設けられた単位蛍光体層５１２Ｒ，５１２Ｇ，５１２Ｂと、単位蛍光体層５１２Ｒ，５１２Ｇ，５１２Ｂから絶縁層５１７上に亙って設けられた独立電極５１３と、絶縁層５１７に設けられた貫通孔５１６と、貫通孔５１６に埋め込まれた抵抗体層５１１とを有し、独立電極５１３と給電層５１４とは、抵抗体層５１１によって接続されている。給電層５１４は、有効領域をほぼカバーするように基板５１０上に設けられ、独立電極５１３も全体として有効領域をほぼカバーするように配列されている。尚、給電層５１４は、独立電極５１３と同様のパターンに形成されていてもよい。
【０１０４】
図２０は、図１９の（Ａ）に示した表示用パネル１０５の２種類の構成を表す。図２０の（Ａ）は、単位蛍光体層が５１２Ｒ，５１２Ｇ，５１２Ｂが給電層５１４上に設けられた構成を示し、図２０の（Ｂ）は、単位蛍光体層５１２Ｒ，５１２Ｇ，５１２Ｂが絶縁層５１７上に設けられた構成を示す。図１９及び図２０で用いた５００番台の符号と、図１７及び図１８で用いた４００番台の符号とは、下２桁で対応する部材を表しており、各部材の説明は実施の形態６と共通するので省略する。
【０１０５】
実施の形態７の表示用パネル１０５も、実施の形態２の表示用パネル１００と同様に表示装置に組み込むことができる。実施の形態７の表示用パネル１０５のように単位蛍光体層５１２Ｒ，５１２Ｇ，５１２Ｂの１つずつに対応して独立電極５１３を設ける場合、独立電極５１３の数が膨大となるが、給電層５１４と独立電極５１３とが絶縁層５１７を介して立体的に配置されることで、良好な画面精細度を達成することができる。
【０１０６】
（実施の形態８）
実施の形態８は、独立電極がストライプ状に設けられた本発明の第３Ｂの構成に係る表示用パネル１０６に関する。この表示用パネル１０６の模式的な平面図を図２１の（Ａ）に示し、図２１の（Ｂ）及び（Ｃ）は、図２１の（Ａ）の線Ｘ−Ｘに沿った模式的な一部断面図である。図２１で用いた６００番台の符号と、図１９及び図２０で用いた５００番台の符号とは、下２桁で対応する部材を表す。実施の形態８の表示用パネル１０６においては、実施の形態７の表示用パネル１０５における単位蛍光体層５１２Ｒがストライプ状に延在される蛍光体層グループＧｒに置き換えられており、詳しい説明は省略する。実施の形態８の表示用パネル１０６も、実施の形態２の表示用パネル１００と同様に表示装置に組み込むことができる。
【０１０７】
以上、本発明を実施の形態に基づき説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。表示用パネルの構造の細部、この表示用パネルを適用した表示装置の構造の細部は例示であり、適宜変更、選択、組合せが可能である。また、表示用パネルに用いた構成材料や形成方法についても、適宜変更、選択、組合せが可能である。
【０１０８】
電界放出素子は、スピント型電界放出素子に限られず、エッジ型、平面型、扁平型、クラウン型等の電界放出素子を用いることもできる。
【０１０９】
模式的な一部断面図を図２２の（Ａ）に示すエッジ型電界放出素子は、支持体７００上に形成された電子放出層７０１と、支持体７００及び電子放出層７０１上に形成された層間絶縁膜７０２と、層間絶縁膜７０２上に形成されたゲート電極７０３から構成されており、開口部７０４がゲート電極７０３及び層間絶縁膜７０２に設けられており、開口部７０４の底部には電子放出層７０１の端部７０１Ａが露出している。電子放出層７０１及びゲート電極７０３に電圧を印加することによって、電子放出層７０１のエッジ部７０１Ａから電子が放出される。尚、図２２の（Ｂ）に示すように、開口部７０４内の電子放出層７０１の下の支持体７００に凹部７０５が形成されていてもよい。あるいは又、模式的な一部断面図を図２２の（Ｃ）に示すように、支持体７００上に形成された第１のゲート電極７０３Ａと、支持体７００及び第１のゲート電極７０３Ａ上に形成された第１の層間絶縁膜７０２Ａと、第１の層間絶縁膜７０２Ａ上に形成された電子放出層７０１と、第１の層間絶縁膜７０２Ａ及び電子放出層７０１に形成された第２の層間絶縁膜７０２Ｂと、第２の層間絶縁膜７０２Ｂ上に形成された第２のゲート電極７０３から構成することもできる。そして、開口部７０４が第２のゲート電極７０３Ｂ、第２の層間絶縁膜７０２Ｂ、電子放出層７０及び第１の層間絶縁膜７０２Ａに設けられており、開口部７０４の側壁には電子放出層７０１の端部が露出している。電子放出層７０１並びに第１ゲート電極７０３Ａ、第２のゲート電極７０３Ｂに電圧を印加することによって、電子放出層７０１の端部７０１Ｂから電子が放出される。
【０１１０】
模式的な一部断面図を図２３の（Ａ）に示す平面型電界放出素子は、支持体７００上に形成されたカソード電極７１１と、支持体７００及びカソード電極７１１上に形成された層間絶縁膜７０２と、層間絶縁膜７０２上に形成されたゲート電極７０３から構成されており、開口部７０４がゲート電極７０３及び層間絶縁膜７０２に設けられており、開口部７０４の底部にはカソード電極７１１が露出している。カソード電極７１１及びゲート電極７０３に電圧を印加することによって、カソード電極７１１の表面７１１Ａから電子が放出される。
【０１１１】
模式的な一部断面図を図２３の（Ｂ）に示す扁平型電界放出素子は、支持体７００上に形成されたカソード電極７１１と、支持体７００及びカソード電極７１１上に形成された層間絶縁膜７０２と、層間絶縁膜７０２上に形成されたゲート電極７０３から構成されており、開口部７０４がゲート電極７０３及び層間絶縁膜７０２に設けられており、開口部７０４の底部に位置するカソード電極７１１上には、平坦な形状を有する電子放出部７２１が露出している。カソード電極７１１及びゲート電極７０３に電圧を印加することによって、電子放出部７２１から電子が放出される。電子放出部７２１は、一般的な高融点金属よりも電子放出効率の高い材料から構成されている。尚、図２３の（Ｃ）に示すように、電子放出部を王冠形の電子放出部７２２とすれば、クラウン型の電界放出素子を得ることができる。
【０１１２】
【発明の効果】
以上の説明からも明らかなように、本発明の第１の態様に係る表示用パネル及び表示装置においては、アノード電極が下部電極層と上部電極層の２層構成を有し、帯電除去は下部電極層と上部電極層の双方を通じて行われるため、蛍光体層の劣化が抑制され、表示用パネル、ひいては表示装置を長寿命化することができ、以て、本発明の第１の目的が達成される。本発明の第２の態様に係る表示用パネル及び表示装置においては、火花放電のトリガーとなる放電現象そのものを防止するのではなく、小規模な放電が発生しても火花放電への成長を促すに十分なエネルギー供給が行われないように、例えばアノード電極とカソード電極との間の静電容量を低減することによって、火花放電を効果的に抑制することができる。従って、表示用パネルと背面パネルとの間のギャップが比較的小さい所謂低電圧タイプの表示装置においても、アノード電極に高電圧を安定して印加することが可能となり、パネル構造の単純さ、低コストといった低電圧タイプの表示装置の本来の長所はそのままに、従来の短所を克服し、低消費電力にて常に安定した高輝度表示が可能な表示装置を提供するという、本発明の第２の目的を達成することができる。また、独立電極の配置様式によっては、背面パネル側においてビデオ信号が入力される電極の選択本数に依らず、電圧降下を常に一定範囲内に抑えることが可能となり、以て、本発明の第２の目的に加え、表示画面の輝度が安定化した表示装置を得るという本発明の第３の目的も達成される。第３の態様に係る表示用パネル及び表示装置においては、第１の態様及び第２の態様に係る表示用パネル及び表示装置と同様の効果を達成しながら、即ち、本発明の第１の目的と第２の目的とを達成しながら、画面精細度をより一層高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】２層構成を有するアノード電極を備えた実施の形態１の表示用パネルの模式的な一部断面図である。
【図２】２層構成を有するアノード電極を備えた実施の形態１の表示用パネルの更に別の模式的な一部断面図である。
【図３】実施の形態１の表示装置の概念図である。
【図４】実施の形態１の表示装置の輝度寿命特性を示すグラフである。
【図５】独立電極がマトリクス状に配置された実施の形態２の表示用パネルの模式的な平面図、及び、模式的な一部断面図である。
【図６】実施の形態２の表示パネルの更に別の模式的な一部断面図である。
【図７】実施の形態２の表示装置の概念図である。
【図８】独立電極と基板の構成材料の組合せを示す模式的な一部断面図である。
【図９】独立電極と基板の構成材料の組合せを示す模式的な一部断面図である。
【図１０】独立電極と基板の構成材料の組合せを示す模式的な一部断面図である。
【図１１】抵抗体薄膜と独立電極と基板の構成材料の組合せを示す模式的な一部断面図である。
【図１２】独立電極がマトリクス状に配置された実施の形態３の表示用パネルの模式的な平面図、及び、模式的な一部断面図である。
【図１３】独立電極がストライプ状に配置された実施の形態４の表示用パネルの模式的な平面図である。
【図１４】図１３に示した表示用パネルの模式的な一部断面図である。
【図１５】単位給電線が設けられ、独立電極がカソード電極と略平行に配置された実施の形態５の表示用パネルの模式的な平面図、及びこの表示用パネルと対向配置される背面パネルの模式的な平面図である。
【図１６】実施の形態５の表示用パネルの他の構成例を示す模式的な平面図である。
【図１７】独立電極がマトリクス状に配置された実施の形態６の表示用パネルの模式的な平面図である。
【図１８】図１７に示した表示用パネルの模式的な一部断面図である。
【図１９】独立電極がマトリクス状に配置された実施の形態７の表示用パネルの模式的な平面図である。
【図２０】図１９に示した表示用パネルの模式的な一部断面図である。
【図２１】独立電極がストライプ状に配置された実施の形態８の表示用パネルの模式的な平面図、及び、模式的な一部断面図である。
【図２２】エッジ型の冷陰極電界電子放出素子の模式的な一部断面図である。
【図２３】平面型、扁平型及びクラウン型の冷陰極電界電子放出素子の模式的な一部断面図である。
【図２４】電界放出素子を備えた従来の表示装置の概念図である。
【図２５】蛍光体層がマトリクス状に配置された従来の表示用パネルの模式的な平面図、及び、模式的な一部断面図である。
【図２６】蛍光体層がストライプ状に配置された従来の表示用パネルの模式的な平面図、及び、模式的な一部断面図である。
【図２７】カソード電極の選択数の違いによる加速電圧の変動を説明するための表示用パネルの模式的な平面図である。
【符号の説明】
１，１０，１１０，２１０，３１０，４１０，５１０，６１０・・・基板、１１，１１１，２１１，３１１・・・抵抗体薄膜、３１６・・・抵抗部材、４１１，５１１，６１１・・・抵抗体層、４・・・アノード電極、５・・・蛍光体層、６・・・ブラックマトリクス、１２Ｒ，１２Ｇ，１２Ｂ，１１２Ｒ，１１２Ｇ，４１２Ｒ，４１２Ｇ，４１２Ｂ，５１２Ｒ，５１２Ｇ，５１２Ｂ・・・単位蛍光体層、１３，１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ，１１３Ａ，１１３Ｂ，１１３Ｃ，２１３，３１３，３１３Ａ，３１３Ｂ，３１３Ｃ，３１３Ｄ，４１３，４１３Ａ，４１３Ｂ，５１３，５１３Ａ，５１３Ｂ，６１３，６１３Ａ，６１３Ｂ・・・独立電極、１４，１１４・・・本線、２４，２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，１２４，１２４Ａ，１２４Ｂ，１２４Ｃ・・・支線、２，１３１，２３１，３３１・・・下部電極層、３，１３２，２３２，３３２・・・上部電極層、２１４，３１４，３１４Ａ，３１４Ｂ，３１４Ｃ，３１４Ｄ，３１５・・・給電線、８，３１７Ａ，３１７Ｂ・・・アノード電極駆動回路、４１４，５１４，６１４・・・給電層、４１６，５１６，６１６・・・貫通孔、４１７，５１７・・・絶縁層、７，１００，１０１，１０２，１０３，１０３Ａ，１０３Ｂ，１０４，１０５，１０６・・・表示用パネル、３００・・・背面パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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