(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウェーハが積載されたウェーハ積載カセットと、
前記ウェーハ積載カセットに隣接して設けられ、ウェーハを移送するウェーハ移送アームと、
前記ウェーハ移送アームに隣接して設けられ、ウェーハを反転した後に回転させるウェーハ反転／回転部と、
前記ウェーハ反転／回転部に隣り合って設けられるものの、前記ウェーハ移送アームに隣接して設けられ、前記ウェーハの裏面を検査するウェーハ検査部と、を含むことを特徴とするウェーハ裏面検査装置。
【請求項２】
前記ウェーハ積載カセットと前記ウェーハ反転／回転部との間に設けられ、ウェーハを一時的に待機させるウェーハ待機ステージをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のウェーハ裏面検査装置。
【請求項３】
前記ウェーハ移送アームは、少なくともウェーハカセット、ウェーハ反転／回転部及びウェーハ検査部からなる群のうち２要素間でウェーハを移送することを特徴とする請求項１に記載のウェーハ裏面検査装置。
【請求項４】
前記ウェーハ反転／回転部は、ウェーハを保持し回転させるウェーハテーブルと、
前記ウェーハテーブルに搭載されたウェーハを把持した後、ウェーハテーブルに対してウェーハを変位させ反転する反転機と、を含むことを特徴とする請求項１に記載のウェーハ裏面検査装置。
【請求項５】
前記ウェーハテーブルは、
テーブル胴体と、
前記テーブル胴体の上部にウェーハを載置させて回転する面を有する回転板と、
前記回転板に載置されたウェーハに形成された所定の放射方向を感知するセンサと、を含み、
前記テーブル胴体は、ウェーハの所定の放射方向を感知するセンサに対応して前記回転板の回転位置を固定することを特徴とする請求項４に記載のウェーハ裏面検査装置。
【請求項６】
前記センサは、ウェーハの外周縁に形成されたフラットゾーンまたはノッチを感知することを特徴とする請求項５に記載のウェーハ裏面検査装置。
【請求項７】
前記反転機は、
前記ウェーハの外周を把持する把持部と、
一側が前記把持部に連結され、前記把持部及び前記把持部に連結されたウェーハを回転して裏返す反転アームと、
前記反転アームの他側に連結され、前記ウェーハテーブルに対して反転アームを変位させる移送ガイドと、を含むことを特徴とする請求項５に記載のウェーハ裏面検査装置。
【請求項８】
前記移送ガイドは、前記ウェーハテーブルに対して前記把持部の回転半径以上の高さに前記把持部の位置を上下移動させることを特徴とする請求項７に記載のウェーハ裏面検査装置。
【請求項９】
前記ウェーハ検査部は、
ウェーハを搭載するウェーハステージと、
前記ウェーハステージに搭載されたウェーハの裏面を検査する検査モジュールと、を含むことを特徴とする請求項１に記載のウェーハ裏面検査装置。
【請求項１０】
前記検査モジュールは、
照準線が前記ウェーハステージに対して傾斜するように設けられる検査カメラと、
前記検査カメラに隣り合って設けられ、前記検査カメラの焦点を合せるフォーカスカメラと、
前記検査カメラとフォーカスカメラとの間に設けられ、ウェーハの表面をモニターするモニターカメラと、を含むことを特徴とする請求項９に記載のウェーハ裏面検査装置。
【請求項１１】
ウェーハ積載カセットから第１ウェーハを取り出す段階と、
前記ウェーハ積載カセットから第１ウェーハを、反転した後に回転させるウェーハ反転／回転部に移送する段階と、
前記ウェーハ反転／回転部に移送された第１ウェーハを、裏面が上向きになるように反転する段階と、
反転後、前記第１ウェーハを前記ウェーハ検査部に移送する段階と、
前記ウェーハ検査部を使用して前記第１ウェーハの裏面を検査する段階と、を含むことを特徴とするウェーハ裏面検査方法。
【請求項１２】
検査後、前記第１ウェーハを前記ウェーハ反転／回転部に再移送する段階と、
前記ウェーハ反転／回転部に再移送された第１ウェーハを、裏面が下向きになるように再反転する段階と、をさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載のウェーハ裏面検査方法。
【請求項１３】
前記検査結果を分析する段階と、
前記検査結果の分析に基づいて第１ウェーハを分類する段階とをさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載のウェーハ裏面検査方法。
【請求項１４】
前記分類する段階は、
前記再反転する段階後に実行されることを特徴とする請求項１３に記載のウェーハ裏面検査方法。
【請求項１５】
前記移送する段階は、
ウェーハ移送アームを用いて、ウェーハ積載カセットから第１ウェーハを供給し、前記第１ウェーハをウェーハ反転／回転部のウェーハテーブルに移送する段階を含み、
前記反転する段階は、
把持部を使用して、前記ウェーハテーブルに移送された第１ウェーハの外周を把持する段階と、
前記把持部及び把持部に把持された第１ウェーハを、ウェーハテーブルに対して変位する段階と、
前記把持部を回転して第１ウェーハを裏返す段階と、
裏返しになった前記第１ウェーハをウェーハテーブルに載置させる段階と、を含むことを特徴とする請求項１１に記載のウェーハ裏面検査方法。
【請求項１６】
変位する段階は、前記把持部を上向きに移動させる段階を含むことを特徴とする請求項１５に記載のウェーハ裏面検査方法。
【請求項１７】
前記第１ウェーハをウェーハテーブル上で回転させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項１５に記載のウェーハ裏面検査方法。
【請求項１８】
前記回転させる段階は、前記第１ウェーハの外周縁に形成されたフラットゾーン又はノッチを感知して確認する段階を含むことを特徴とする請求項１７に記載のウェーハ裏面検査方法。
【請求項１９】
前記第１ウェーハの裏面を検査する間、
ウェーハ積載カセットから第２ウェーハを取り出す段階と、
前記第２ウェーハをウェーハ反転／回転部に移送する段階と、
前記第２ウェーハの裏面が上向きになるように反転する段階と、をさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載のウェーハ裏面検査方法。
【請求項２０】
前記第１ウェーハをウェーハ検査部からウェーハ待機ステージに移送する段階をさらに含み、第１ウェーハを再反転する前に一時的に待機することを特徴とする請求項１９に記載のウェーハ裏面検査方法。
【請求項２１】
前記第１ウェーハをウェーハ待機ステージに待機させる間、第２ウェーハをウェーハ反転／回転部からウェーハ検査部に移送する段階と、
前記ウェーハ検査部を使用して前記第２ウェーハの裏面を検査する間、前記第１ウェーハをウェーハ待機ステージからウェーハ反転／回転部に再移送して再反転させる段階と、
をさらに含むことを特徴とする請求項２０に記載のウェーハ裏面検査方法。
【請求項２２】
前記第２ウェーハを検査する間、第３ウェーハをウェーハ積載カセットからウェーハ反転／回転部に移送する段階と、
前記第３ウェーハの裏面が上向きになるように反転する段階と、をさらに含むことを特徴とする請求項２１に記載のウェーハ裏面検査方法。
【請求項２３】
前記第１ウェーハを分類する段階は、第２ウェーハを検査する間に実行されることを特徴とする請求項２２に記載のウェーハ裏面検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体検査装置及び検査方法に関し、より詳しくは、半導体ウェーハ加工工程が完了したウェーハの裏面の汚染、クラック、スクラッチなどを自動に検査するウェーハ裏面検査装置及び検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子の製造工程は、大きく半導体ウェーハ加工、パッケージ組立及びテストに分けられる。ウェーハ加工工程は、ウェーハの内部または表面に回路や素子を設ける一連の操作を言い、拡散、写真、薄膜、エッチング工程を繰り返し実行することにより行われる。この過程が終われば、ウェーハを切削してウェーハ上の半導体素子を個別半導体チップに分離するウェーハ切削工程を経て、それぞれの個別半導体チップをパッケージ状態に組立てるパッケージ組立工程を実行する。
【０００３】
一方、パッケージ組立工程にウェーハを投入する前に、製造されたウェーハに対する検査工程が行われる。その理由は、ウェーハ加工工程を経る間、ウェーハ裏面の汚染、クラック、スクラッチなどが発生し得るが、これがパッケージ組立工程の不良及びウェーハ破損を発生させる要因として指摘されてきたからである。従来のウェーハ裏面検査は、作業者が直接ウェーハをピックアップして目視により検査した。
【０００４】
ところが、作業者による目視検査は、作業者の熟練度によって差異が生じるため、一定の検査信頼性を確保することができず、検査時間が多くかかり、人的資源が多く必要であるという問題点を有している。さらに、ウェーハが８インチから１２インチに大口径化するほど、作業者による目視検査の信頼性は低下する。
【０００５】
そして、作業者による目視検査は、作業者が直接手で把持した状態で検査するため、手で把持したウェーハ表面部分にスクラッチのようなウェーハの再汚染のおそれを有している。
【０００６】
また、ウェーハ裏面検査に対する情報を収集し分析し、必要な場合、写真などを撮影して管理することにより、全工程にフィードバックする作業が行われなければならないが、これもやはり作業者により行われるので、分析情報の体系的な管理が容易ではない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、ウェーハ裏面の汚染、クラック、スクラッチなどを自動に検査するウェーハ裏面検査装置及び検査方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明の一態様によれば、複数のウェーハが積載されたウェーハ積載カセットと、ウェーハ積載カセットに隣接して設けられ、ウェーハを移送するウェーハ移送アームと、ウェーハ移送アームに隣接して設けられ、ウェーハを反転するウェーハ反転／回転部と、ウェーハ反転／回転部に隣り合って設けられるものの、ウェーハ移送アームに隣接して設けられ、ウェーハの裏面を検査するウェーハ検査部と、を含むことを特徴とするウェーハ裏面検査装置を提供する。また、ウェーハ積載カセットとウェーハ反転／回転部との間に設けられ、ウェーハを一時的に待機させるウェーハ待機ステージをさらに含む。
【０００９】
また、本発明の他の態様によれば、ウェーハ反転／回転部は、ウェーハを保持し回転するウェーハテーブルと、ウェーハテーブルに搭載されたウェーハを把持した後、ウェーハテーブルに対してウェーハを変位させ反転する反転機とを含む。
【００１０】
ウェーハテーブルは、テーブル胴体と、テーブル胴体の上部にウェーハを載置させて回転する面を有する回転板と、回転板に載置されたウェーハに形成された所定の放射方向を感知するセンサとを含み、テーブル胴体は、ウェーハの所定の放射方向を感知するセンサに対応して回転板の回転位置を固定する。センサは、ウェーハの外周縁に形成されたフラットゾーンまたはノッチを感知する。
【００１１】
また、本発明のさらに他の態様によれば、反転機は、ウェーハの外周を把持する把持部と、一側が把持部に連結され、把持部及び把持部に連結されたウェーハを回転して裏返す反転アームと、反転アームの他側に連結され、ウェーハテーブルに対して反転アームを変位させる移送ガイドと、を含む。移送ガイドは、ウェーハテーブルに対して把持部の回転半径以上の高さに把持部の位置を上下移動させる。
【００１２】
また、本発明のさらに他の態様によれば、ウェーハ検査部は、ウェーハを搭載するウェーハステージと、ウェーハステージに搭載されたウェーハの裏面を検査する検査モジュールと、を含む。検査モジュールは、照準線がウェーハ表面ステージに対して傾斜するように設けられる検査カメラと、検査カメラに隣り合って設けられ、検査カメラの焦点を合せるフォーカスカメラと、検査カメラとフォーカスカメラとの間に設けられ、ウェーハの表面をモニターするモニターカメラと、を含む。
【００１３】
また、本発明のウェーハ裏面検査方法によれば、ウェーハ積載カセットから第１ウェーハを取り出す段階と、ウェーハ積載カセットから第１ウェーハをウェーハ反転／回転部に移送する段階と、ウェーハ反転／回転部に移送された第１ウェーハを、裏面が上向きになるように反転する段階と、反転後、第１ウェーハをウェーハ検査部に移送する段階と、ウェーハ検査部を使用して第１ウェーハの裏面を検査する段階と、を含むことができる。
【００１４】
検査後、第１ウェーハをウェーハ反転／回転部に移送する段階と、ウェーハ反転／回転部に再移送された第１ウェーハを、裏面が下向きになるように再反転する段階と、をさらに含むことができる。
【００１５】
また、検査結果を分析する段階と、検査結果の分析に基づいて第１ウェーハを分類する段階とをさらに含むことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して本発明の実施例をより詳細に説明する。
【００１７】
図１は、本発明の実施例によるウェーハ裏面検査装置１００を示す斜視図である。図１を参照すれば、ウェーハ裏面検査装置１００は、ウェーハ移送アーム２０を基準にしてほぼ同様の距離をもって一側にウェーハ積載カセット１０と不良ウェーハ積載カセット６０が配置され、他側にウェーハ反転／回転部３０とウェーハ検査部４０が互いに隣り合うように設けられ、ウェーハ積載カセット１０とウェーハ反転／回転部３０との間にウェーハ待機ステージ５０が設けられた構造を有する。ウェーハ積載カセット１０及び不良ウェーハ積載カセット６０は、積載カセット保持台７０に載置されて固定される。
【００１８】
ウェーハ移送アーム２０は、ウェーハ裏面検査装置１００においてウェーハ移送を担当する手段であり、前後左右及び上下に移動しながらウェーハを所望の位置に移送する。したがって、ウェーハ移送アーム２０を中心にしてほぼ同様の距離をもってウェーハ検査装置１００の各部分が設けられる。
【００１９】
ウェーハ積載カセット１０には、ウェーハ加工工程が完了したウェーハが積載されている。この際、ウェーハ積載カセット１０に積載されたウェーハは、集積回路が設けられた面が上向きになるように積載されている。本発明の実施例では、ウェーハ積載カセット１０に、ウェーハ裏面検査工程が完了したウェーハのうち良品と判定されたウェーハがさらに積載される。
【００２０】
ウェーハ反転／回転部３０は、図３及び図４に示されたように、ウェーハ移送アーム２０によりウェーハ積載カセット１０から移送されたウェーハを裏返した後、位置合わせをする部分であり、ウェーハテーブル３２と反転機３４とで構成される。
【００２１】
ウェーハテーブル３２は、ウェーハ移送アーム２０により移送されたウェーハを真空吸着し固定し、吸着されたウェーハを反転させて回転させる。ウェーハテーブル３２は、テーブル胴体３９と、テーブル胴体３９の上部から所定の高さに突出し、ウェーハ移送アーム２０により移送されるウェーハより小さな直径を有する回転板３６であって、ウェーハ移送アーム２０により移送されたウェーハを真空吸着し固定し、ウェーハを所定の速度で回転させる回転板３６と、回転板３６に移送されるウェーハの外周に対応する前記テーブル胴体３９の上部に設けられ、ウェーハに形成されたフラットゾーン（ｆｌａｔ ｚｏｎｅ）またはノッチ（ｎｏｔｃｈ）を感知しウェーハの位置合わせをするセンサ（図５の３８）とを含む。
【００２２】
反転機３４は、ウェーハテーブル３２に搭載されたウェーハを把持した後、所定の高さにピックアップして裏返す手段であり、移送ガイド３５、反転アーム３３及び把持部３１で構成される。移送ガイド３５は、上下に長くガイド穴３７が形成され、反転アーム３３の上下移動を案内する。反転アーム３３は、一側がガイド穴３７を介して移送ガイド３５に連結されており、他側には、半分に切られたリング形態の把持部３１が設けられた構造を有する。
【００２３】
把持部３１は、ウェーハテーブル３２上に搭載されたウェーハの外周を把持する手段であり、反転機３４の他側を軸にして拡縮する。すなわち、ウェーハテーブルの回転板３６にウェーハが搭載されると、把持部３１が移送ガイド３５に沿って下降し、ウェーハの外周を把持する。ウェーハを把持した把持部３１は、移送ガイド３５に沿って所定の高さ、例えば、把持部３１が形成された半径よりも高く上昇した後、反転アーム３３はウェーハを裏返す。次いで、把持部３１は、さらに、移送ガイド３５に沿って下降し、ウェーハをウェーハテーブルの回転板３６に搭載させ、回転板３６は、ウェーハを真空吸着した後、ウェーハを回動して、ウェーハの外周縁に形成されたフラットゾーンまたはノッチをセンサ（図５の３８）が確認し、位置合わせをする。
【００２４】
ウェーハ検査部４０は、図１及び図９に示されるように、反転及び回転（位置合わせ）工程が完了したウェーハの裏面を検査する部分であり、ウェーハステージ４２と検査モジュール４４とで構成される。
【００２５】
ウェーハステージ４２は、ウェーハ移送アーム２０によりウェーハ反転／回転部３０から移送された反転／回転されたウェーハを吸着し、ウェーハステージ４２上部に固設された検査モジュール４４がウェーハ裏面を検査できるように、ウェーハを前後左右に移動させる。この際、ウェーハステージ４２の下部には、ウェーハステージ４２が前後左右に移動できるように案内する移動レール４６が設けられている。
【００２６】
検査モジュール４４は、ウェーハステージ４２に吸着されたウェーハ裏面に対して所定の角度で傾斜するように設けられる検査カメラ４１と、検査カメラ４１に隣り合って設けられ、検査カメラ４１の焦点を合わせるフォーカスカメラ（図示せず）と、検査カメラ４１及びフォーカスカメラの間に設けられ、検査されているウェーハの裏面部分を示すモニターカメラ４５とを含む。検査カメラ４１で獲得した映像情報は、ウェーハ裏面検査装置１００の制御機（図示せず）に伝送され、制御機は、伝送された映像情報を分析し、ウェーハ裏面の汚染、クラック及びスクラッチなどを検出し、ウェーハの良否を判別する。
【００２７】
ウェーハ待機ステージ５０は、図１に示されるように、ウェーハ検査部４０により検査が完了したウェーハを、ウェーハ反転／回転部３０で元位置に返す前に、一時的に待機するステージであり、ウェーハ裏面検査工程が連続的になされるようにする。詳細な説明は、ウェーハ裏面検査方法と関連して後述する。
【００２８】
そして、ウェーハ裏面検査で良品と判定されたウェーハは、さらにウェーハ積載カセット１０に積載されるものの、不良と処理されたウェーハは、不良ウェーハ積載カセット６０に積載される。もちろん、不良ウェーハ積載カセット６０とウェーハ積載カセット１０は、同じ構造を有する。なお、本発明の実施例では、良品と判定されたウェーハをウェーハ積載カセット１０にさらに積載したが、良品のウェーハを別途に積載できる良品ウェーハ積載カセットを配設してもよい。
【００２９】
前述した本発明の実施例によるウェーハ裏面検査装置１００を用いたウェーハ裏面検査方法について説明する。図２は、図１のウェーハ裏面検査装置を用いたウェーハ裏面検査方法による工程流れ図（８０）である。この際、連続的に実行されるウェーハ裏面検査工程を説明するために、投入されるウェーハの順序にしたがって第１ウェーハ、第２ウェーハ、第３ウェーハと呼ぶ。
【００３０】
図１及び図２を参照すれば、ウェーハ裏面検査工程は、ウェーハ加工工程が完了したウェーハが積載されたウェーハ積載カセット１０がウェーハ裏面検査装置１００に提供される段階から出発する（ステップ８１）。ウェーハ積載カセット１０に積載されたウェーハは、集積回路が設けられた面が上向きになるように積載されている。
【００３１】
次に、図３に示されるように、第１ウェーハ１２がウェーハ反転／回転部３０に移送される（図２の８２）。ウェーハ積載カセット１０から第１ウェーハ１２がウェーハ移送アーム２０によりウェーハ反転／回転部３０のウェーハテーブル３２に移送されて搭載される。
【００３２】
次に、第１ウェーハ１２を裏返す段階が実行される（図２のステップ８３）。図４を参照すれば、ウェーハテーブル３２に第１ウェーハ１２が搭載されれば、ウェーハテーブル３２の上部に位置した把持部３１が移送ガイド３５に沿って下降し、第１ウェーハ１２の外周を把持する。引き続いて、図５及び図６に示されるように、第１ウェーハ１２を把持した把持部３１が移送ガイド３５に沿って所定の高さに上昇した後、反転アーム３３が第１ウェーハ１２を把持した把持部３１を１８０度回転させて、第１ウェーハ１２の裏面が上向きになるように第１ウェーハ１２を裏返す。次に、図７に示されるように、反転された第１ウェーハ１２を把持した把持部３１が移送ガイド３５に沿って下降し、第１ウェーハ１２をウェーハテーブル３２上に搭載させる。最後に、把持部３１は、第１ウェーハ１２の外周から分離され、元の位置に復帰する。
【００３３】
次に、図８に示されるように、第１ウェーハ１２の位置合わせをする段階が実行される（図２の８４）。反転された第１ウェーハ１２が搭載されれば、ウェーハテーブルの回転板３６が第１ウェーハ１２の表面を真空吸着し固定する。次に、回転板３６が第１ウェーハ１２を所定の速度で回転させながら第１ウェーハ１２の外周縁に形成されたフラットゾーンまたはノッチ１４をセンサ３８が確認し、第１ウェーハ１２の位置合わせをする。通常、８インチ以下のウェーハの場合、ウェーハの外周縁の一側にフラットゾーンが形成され、１２インチウェーハの場合、ウェーハの外周縁にノッチが形成されている。本発明の実施例では、第１ウェーハ１２の外周縁にノッチ１４が形成されている。
【００３４】
次に、図９に示されるように、第１ウェーハ１２の裏面を検査する段階が実行される（図２の８５）。すなわち、反転／回転工程が完了した第１ウェーハ１２を、ウェーハ移送アームがウェーハテーブルからウェーハ検査部４０のウェーハステージ４２に移送する。ウェーハステージ４２は、第１ウェーハ１２の表面を真空吸着し固定する。そして、検査モジュール４４は、移動レール４６に沿って前後左右に移動する第１ウェーハ１２の裏面を撮影した映像情報を制御機に伝送し、制御機は、伝送された映像情報を分析し、第１ウェーハ１２裏面の汚染、クラック及びスクラッチなどを検出し、第１ウェーハ１２の良否を判別する。
【００３５】
一方、第１ウェーハ１２の裏面を検査する間、図３に示されるように、ウェーハ積載カセット１０から第２ウェーハがウェーハ移送アーム２０によりウェーハ反転／回転部３０に移送され（図２の８６）、第２ウェーハに対する反転及び回転段階を実行した後、ウェーハ反転／回転部３０で待機する。すなわち、第１ウェーハ１２の裏面を検査する間、ウェーハ反転／回転部３０は待機状態にあり、第１ウェーハ１２の裏面を検査する間ならば、第２ウェーハに対する反転及び回転段階を実行する充分な時間があるため、第１ウェーハ１２の裏面を検査する間、第２ウェーハに対する反転及び回転段階を実行することによって、ウェーハ裏面検査装置の効率を最大化できる。
【００３６】
例えば、第１ウェーハ１２の裏面を検査する時間は、検査精密度によって若干の差異はあるが、１分乃至２分程度かかるが、ウェーハ積載カセット１０からウェーハをウェーハ反転／回転部３０に移送して反転／回転段階まで実行するには、数秒乃至数十秒で充分である。
【００３７】
次に、図１に示されるように、第１ウェーハに対する裏面検査段階が完了すれば、ウェーハ移送アーム２０は、第１ウェーハをウェーハ待機ステージ５０に移送させた後（図２のステップ８７）、第２ウェーハをウェーハ反転／回転部３０からウェーハ検査部４０に移送する。
【００３８】
次いで、第２ウェーハに対する裏面検査段階が実行される間、第１ウェーハをウェーハ待機ステージ５０からウェーハ反転／回転部３０に移送して再反転させる段階（図２の８８）と、第１ウェーハをウェーハ裏面検査結果によって分類する段階（図２の８９）及びウェーハ積載カセット１０から第３ウェーハをウェーハ反転／回転部３０に移送して（図２の９０）、第３ウェーハに対する反転及び回転段階を実行する。
【００３９】
すなわち、ウェーハ裏面検査段階が完了した第１ウェーハは、裏面が上向きになっているので、第１ウェーハに対する分類作業を実行する前に、第１ウェーハの表面が上向きになるように再反転する段階が実行される。再反転させる段階は、図４ないし図７に図示された反転させる段階と同様に実行されるため、詳細な説明は省略する。
【００４０】
第１ウェーハに対する裏面検査結果が良品と判定された場合には、第１ウェーハは、ウェーハ積載カセット１０にさらに積載されるが、反対に、不良と判定された場合には、ウェーハ積載カセット１０の側方に設置された不良ウェーハ積載カセット６０に積載される。次に、第３ウェーハは、ウェーハ反転／回転部３０に移送されて反転及び回転段階が実行された後、第２ウェーハがウェーハ待機ステージ５０に移送されるまでウェーハ反転／回転部３０で待機する。この際、ウェーハの裏面を検査する時間は、１分乃至２分程度で、第１ウェーハに対する再反転及び分類段階と、第３ウェーハに対する反転及び回転段階を実行する時間は、数十秒以内で実行できるため、第２ウェーハの裏面を検査する間に、第１ウェーハに対する再反転及び分類段階と、第３ウェーハに対する反転及び回転段階を十分に実行できる。
【００４１】
したがって、ウェーハ検査部で第ｎ＋１ウェーハに対する裏面検査段階が実行される間、第ｎウェーハに対する再反転及び分類段階と、第ｎ＋２ウェーハに対する反転及び回転段階を順に実行することによって、ウェーハ裏面検査工程を連続的に実行できる（ｎ：自然数）。もちろん、第ｎウェーハは、反転、回転及び裏面検査段階が完了したウェーハであり、第ｎ＋１ウェーハは、反転及び回転段階が完了したウェーハである。
【００４２】
ここで、ウェーハ待機ステージ５０は、単に裏面検査段階が完了したウェーハが待機するステージであるが、本発明の実施例によるウェーハ検査装置１００において、各工程が有機的で且つ連続的に行われるようにする構成要素であることが分かる。すなわち、ウェーハ待機ステージがない場合、ウェーハ検査装置内での第１ウェーハに対する分類段階が完了するまで次のウェーハに対する工程を予め実行することはできない。例えば、ウェーハ待機ステージがない状態で、前述したように、第１ウェーハに対する裏面検査を実行する間、第２ウェーハをウェーハ反転／回転部に移送させてウェーハ反転／回転部に待機させることはできるが、第１ウェーハに対する裏面検査を完了した後、再反転させる工程をウェーハ反転／回転部で実行しなければならない。しかし、ウェーハ反転／回転部に第２ウェーハが待機しているから、工程をこれ以上実行できないことが容易に分かる。
【００４３】
本発明は、本発明の技術的思想から逸脱することなく、他の種々の形態で実施することができる。前述の実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、そのような具体例のみに限定して狭義に解釈されるべきものではなく、本発明の精神と特許請求の範囲内で、いろいろと変更して実施することができるものである。
【００４４】
【発明の効果】
従って、本発明によるウェーハ裏面検査装置を用いてウェーハ裏面の汚染、クラック、スクラッチなどを自動的に検査できる。
【００４５】
また、ウェーハ検査部で第ｎ＋１ウェーハに対する裏面検査段階が実行される間、第ｎウェーハに対する再反転及び分類段階と、第ｎ＋２ウェーハに対する反転及び回転段階を順に実行することによって、ウェーハ裏面検査を連続的に実行できるという利点がある。
【００４６】
さらに、ウェーハ裏面検査装置を利用することによって、ウェーハ裏面検査からの情報を収集し、特に不良が検出されたウェーハの不良部位を分析して、全工程にフィードバックする作業を容易に実行でき、収集及び分析した情報のデータベース化も可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例によるウェーハ裏面検査装置を示す斜視図。
【図２】  図１のウェーハ裏面検査装置を用いたウェーハ裏面検査方法による工程流れ図。
【図３】  ウェーハ裏面検査装置のウェーハ反転／整列部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
【図４】  ウェーハ裏面検査装置のウェーハ反転／整列部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
【図５】  ウェーハ裏面検査装置のウェーハ反転／整列部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
【図６】  ウェーハ裏面検査装置のウェーハ反転／整列部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
【図７】  ウェーハ裏面検査装置のウェーハ反転／整列部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
【図８】  ウェーハ反転／整列部が反転されたウェーハを整列する段階を示す平面図。
【図９】  ウェーハ裏面検査装置のウェーハ検査部によりウェーハ裏面に対する検査が実行される段階を示す斜視図。
【符号の説明】
１０  ウェーハ積載カセット
２０  ウェーハ移送アーム
３０  ウェーハ反転／整列部
３１  把持部
３２  ウェーハテーブル
３３  反転アーム
３４  反転機
３５  移送ガイド
３６  回転板
３８  センサ
４０  ウェーハ検査部
４２  ウェーハステージ
４４  検査モジュール
５０  ウェーハ待機ステージ
６０  不良ウェーハ積載カセット
７０  積載カセット保持台
１００  ウェーハ裏面検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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