(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリッジに支持されるベースプレートと、
該ベースプレートに剛体部が弾性支持され先端のスライダに負荷荷重を与えるロードビームと、
該ロードビームに位置決めして取り付けられ先端に記録再生用のヘッド部を有するフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションの製造方法において、
前記ベースプレートと前記剛体部とを連結部により一体に連結すると共に前記フレキシャの一部に形成された位置決め用の孔を合わせて位置決めるための孔を前記ベースプレート又は剛体部に設けた突片部に有するサスペンション半製品を製造する第１の工程と、
前記剛体部を前記ベースプレートに弾性支持する別体のばね部材を前記サスペンション半製品のベースプレートと剛体部とに固定する第２の工程と、
前記フレキシャの位置決め用の孔を前記突片部の位置決め用の孔に位置合わせした後、該フレキシャを前記剛体部に固定する第３の工程と、
該第３の工程後に前記フレキシャの一部と前記位置決め用の孔を含めた突片部と前記連結部とを前記ベースプレート及び剛体部から切り離す第４の工程とを備えたことを特徴とするディスクドライブ用サスペンションの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションの製造方法であって、
前記連結部は、前記突片部を兼ねることを特徴とするディスクドライブ用サスペンションの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載のディスクドライブ用サスペンションの製造方法であって、
前記第１の工程では、前記突片部又は連結部の位置決め用の孔を、前記ベースプレート寄りに設けることを特徴とするディスクドライブ用サスペンションの製造方法。
【請求項４】
請求項３記載のディスクドライブ用サスペンションの製造方法であって、
前記第１の工程では、前記突片部又は連結部を、少なくとも前記ベースプレート側に角部を有する形状に形成すると共に、前記突片部又は連結部の位置決め用の孔を、前記角部に設けることを特徴とするディスクドライブ用サスペンションの製造方法。
【請求項５】
連結部により予め一体に連結されたベースプレート及び剛体部と、
前記ベースプレート又は剛体部に設けられた突片部と、
該突片部に設けられた孔とを備え、
前記孔は、フレキシャの位置決め用の孔を合わせて位置決めるためのものである、
ことを特徴とするサスペンション半製品。
【請求項６】
請求項５記載のサスペンション半製品であって、
前記連結部は、前記突片部を兼ねることを特徴とするサスペンション半製品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばパーソナルコンピュータなどの情報処理装置に内蔵されるディスクドライブ用サスペンションの製造方法及びサスペンション半製品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
回転する磁気ディスクあるいは光磁気ディスク等に情報を記録し再生するためのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、軸を中心に旋回可能なキャリッジを有している。このキャリッジはポジショニング用モータによって前記軸を中心に旋回駆動される。例えば米国特許（ＵＳＰ）第４１６７７６５号明細書に記載されているように、キャリッジはキャリッジアームと、該キャリッジアームの先端部に設けたディスクドライブ用サスペンション（以下単に「サスペンション」と称す。」と、該サスペンションに取り付けたスライダを含むヘッド部などを備えている。
【０００３】
そしてディスクが高速回転することによってスライダがディスクから僅かに浮上すると共にディスクとスライダとの間にエアベアリングが形成されるようになっている。
【０００４】
前記サスペンション１０１は、図４のようにロードビーム１０３の基部側がベースプレート１０５にレーザ溶接などによって固定されており、このベースプレート１０５がキャリッジアームに固定して取り付けられている。
【０００５】
前記ロードビーム１０５は長さＬ１で示される剛体部１０７と、長さＬ２で示されるばね部１０９とからなっている。前記ロードビーム１０３の剛体部１０７にはフレキシャ１１１がレーザ溶接などによって固定されている。フレキシャ１１１にはその先端のタング部１１３にスライダ１１５が取り付けられている。タング部１１３には前記剛体部１０７の先端に設けられたディンプル１１７が当接している。なお、図３ではディンプル１１７を実線で示しているが、ディンプル１１７は剛体部１０７に突設され、タング部１１３の背面側に当接しているものである。
【０００６】
このようなサスペンション１０１は、前記ロードビーム１０３の剛体部１０７及びフレキシャ１１１の双方に、位置決め用の孔１２１，１２３，１２５，１２７が設けられている。図４において孔１２１，１２５は剛体部１０７側に設けられており、孔１２３，１２７がフレキシャ１１１側に設けられているものである。
【０００７】
そして孔１２１，１２３、孔１２５，１２７がそれぞれ治具の位置決め用ピンに差し込まれ、剛体部１０７とフレキシャ１１１とが位置決めされた状態でレーザ溶接などによって結合される。このようにフレキシャ１１１がロードビーム１０３に対し位置決めして固定されることによって、振動特性に優れたサスペンション１０１を得ることができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで近年では、記録すべき情報の高密度化とディスクの高回転化が進む傾向にあり、ディスクの記録面に対してより高精度に位置決めすることの可能な振動特性のより優れたサスペンションが要求されている。
【０００９】
従って、サスペンション１０１がより小型化し、サスペンション１０１のディンプル１１７とベースプレート１０５の取付中心との間の距離Ａがますます短くなる傾向にある。距離Ａが十分にとれる場合には、ロードビーム１０３の剛体部１０７上に位置決め用の孔１２１，１２５の双方を所定の間隔をもって設けることができ、十分な位置決め機能を奏することができる。
【００１０】
しかしながら、振動特性向上のために距離Ａを短くすると、位置決め用の孔１２１，１２５相互の距離が短くなり、十分な位置決め機能を奏することができなくなる恐れがある。
【００１１】
そこで、図４のばね部１０９側の位置決め用の孔１２５を図３のように配置することが考えられる。図３（ｃ）は、図４のサスペンション１０１に対応するサスペンション１０１Ａの平面図を示したものである。このサスペンション１０１Ａでは、ベースプレート１０５の側部側に位置決め用の孔１２５が設けられ、前記図４で示す距離Ａ、すなわちディンプル１１７とベースプレート１０５の取付中心との間の距離が短くなった場合でも、位置決め用の孔１２１，１２３と位置決め用の孔１２５，１２７との間の距離を十分に確保することができ、十分な位置決め機能を保持させることができる。
【００１２】
このようなサスペンション１０１Ａは、図３（ａ），図３（ｂ）の状態を経て形成されている。図３（ａ）は組付け前の各部の平面図、図３（ｂ）は結合状態の平面図である。図３（ａ）のようにフレキシャ１１１には位置決め用の孔１２３，１２７が形成されている。ベースプレート１０５には、補強プレート１２９が取り付けられるもので、該補強プレート１２９は連結部１３１によってロードビーム１０３の剛体部１０７と共に予め一体に形成され、サスペンション半製品１３３を構成している。このサスペンション半製品１３３の剛体部１０７と、補強プレート１２９とに位置決め用の孔１２１，１２５が形成されている。
【００１３】
前記ばね部１０９は別体のばね部材１３５で形成されている。そして、ばね部材１３５を、サスペンション半製品１３３の剛体部１０７及び補強プレート１２９の双方に渡って重ねる。この重ね状態でばね部１３５と剛体部１０７及び補強プレート１２９とをレーザ溶接等によって固定し、補強プレート１２９にはベースプレート１０５を嵌合させ、レーザ溶接等によって固定する。
【００１４】
次に、治具のピンに差し込まれた補強プレート１２９の位置決め用の孔１２１，１２５に対しフレキシャ１１１の位置決め用の孔１２３，１２７を重ね、治具のピンに同時に嵌め込む。これによって位置決め用の孔１２１，１２３と位置決め用の孔１２５，１２７とがそれぞれ位置決められ、図３（ｂ）のようにフレキシャ１１１を剛体部１０７に正確に位置決めることができる。
【００１５】
この位置決めに際しては、位置決め用の孔１２１，１２３と位置決め用の孔１２５，１２７との間の距離を十分に確保することができ、剛体部１０７に対するフレキシャ１１１の正確な位置決めを確実に行うことができる。この状態でフレキシャ１１１は剛体部１０７にレーザ溶接などによって固定される。
【００１６】
その後、プレス等によって連結部１３１等が切断され、図２（ｃ）のようにサスペンション１０１Ａを得ることができる。
【００１７】
しかしながら、前記のようにサスペンション１０１Ａにおいて位置決め用の孔１２５，１２７及びその周辺部分がベースプレート１０５側に残存することとなり、ベースプレート１０５において左右のアンバランスを生じ易く、小型にしたにもかかわらず振動特性の向上に限界を招く恐れがある。
【００１８】
本発明は、サスペンションを小型化しながら、位置決め用の孔の相互距離を十分に確保することができ、しかもベースプレート側での左右のアンバランスを生じ難くすることのできるディスクドライブ用サスペンションの製造方法、サスペンション半製品の提供を課題とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、キャリッジに支持されるベースプレートと、該ベースプレートに剛体部が弾性支持され先端のスライダに負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに位置決めして取り付けられ先端に記録再生用のヘッド部を有するフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションの製造方法において、前記ベースプレートと前記剛体部とを連結部により一体に連結すると共に前記フレキシャの一部に形成された位置決め用の孔を合わせて位置決めるための孔を前記ベースプレート又は剛体部に設けた突片部に有するサスペンション半製品を製造する第１の工程と、  前記剛体部を前記ベースプレートに弾性支持する別体のばね部材を前記サスペンション半製品のベースプレートと剛体部とに固定する第２の工程と、前記フレキシャの位置決め用の孔を前記突片部の位置決め用の孔に位置合わせした後、該フレキシャを前記剛体部に固定する第３の工程と、該第３の工程後に前記フレキシャの一部と前記位置決め用の孔を含めた突片部と前記連結部とを前記ベースプレート及び剛体部から切り離す第４の工程とを備えたことを特徴とする。
【００２０】
請求項２の発明は、請求項１記載のディスクドライブ用サスペンションの製造方法であって、前記連結部は、前記突片部を兼ねることを特徴とする。
【００２１】
請求項３の発明は、請求項１又は２記載のディスクドライブ用サスペンションの製造方法であって、前記第１の工程では、前記突片部又は連結部の位置決め用の孔を、前記ベースプレート寄りに設けることを特徴とする。
【００２２】
請求項４の発明は、請求項３記載のディスクドライブ用サスペンションの製造方法であって、前記第１の工程では、前記突片部又は連結部を、少なくとも前記ベースプレート側に角部を有する形状に形成すると共に、前記突片部又は連結部の位置決め用の孔を、前記角部に設けることを特徴とする。
【００２３】
請求項５の発明は、連結部により予め一体に連結されたベースプレート及び剛体部と、前記ベースプレート又は剛体部に設けられた突片部と、該突片部に設けられた孔とを備え、前記孔は、フレキシャの位置決め用の孔を合わせて位置決めるためのものであることを特徴とする。
【００２４】
請求項６の発明は、請求項５記載のサスペンション半製品であって、前記連結部は、前記突片部を兼ねることを特徴とする。
【００２５】
【発明の効果】
請求項１の発明では、キャリッジに支持されるベースプレートと、該ベースプレートに剛体部が弾性支持され先端のスライダに負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに位置決めして取り付けられ、先端に記録再生用のヘッド部を有するフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションの製造方法において、第１の工程では、ベースプレートと剛体部とを連結部により一体に連結すると共に前記フレキシャの一部に形成された位置決め用の孔を合わせて位置決めるための孔を前記ベースプレート又は剛体部に設けた突片部に有するサスペンション半製品を製造する。
【００２６】
第２の工程では、剛体部をベースプレートに弾性支持する別体のばね部材を前記サスペンション半製品のベースプレートと剛体部とに固定する。
【００２７】
第３の工程ではフレキシャの位置決め用の孔を前記突片部の位置決め用の孔に位置合わせした後、フレキシャを前記剛体部に固定する。従って、突片部の位置決め用の孔を突片部においてベースプレート側に位置させることもでき、剛体部側の位置決め用の孔との間の距離を十分にとることができる。この位置決めを正確に行って剛体部に対しフレキシャを正確に固定することができる。
【００２８】
第４の工程では、第３の工程後にフレキシャの一部と前記位置決め用の孔を含めた突片部と前記連結部とを前記ベースプレート及び剛体部から切り離す。この切り離しで連結部と共に位置決め用の孔を有する突片部が切り離され、フレキシャ側の位置決め用の孔もフレキシャの一部と共に切り離される。
【００２９】
従って、完成したディスクドライブ用サスペンションにおいてはベースプレート側に位置決め用の孔及びその周辺部が残存することがなく、左右のバランスをとりやすく、振動特性を大幅に向上させることができる。しかもサスペンションは、全体をコンパクトに形成することができ、この点からも振動特性を大幅に向上することができる。
【００３０】
請求項２の発明では、キャリッジに支持されるベースプレートと、該ベースプレートに剛体部が弾性支持され先端のスライダに負荷荷重を与えるロードビームと、該ロードビームに位置決めして取り付けられ、先端に記録再生用のヘッド部を有するフレキシャとを備えたディスクドライブ用サスペンションの製造方法において、第１の工程では、ベースプレートと剛体部とを一体に連結すると共に前記フレキシャの一部に形成された位置決め用の孔を合わせて位置決めるための孔を備えた連結部を有するサスペンション半製品を製造する。
【００３１】
第２の工程では、剛体部をベースプレートに弾性支持する別体のばね部材を前記サスペンション半製品のベースプレートと剛体部とに固定する。
【００３２】
第３の工程ではフレキシャの位置決め用の孔を前記連結部の位置決め用の孔に位置合わせした後、フレキシャを前記剛体部に固定する。従って、連結部の位置決め用の孔を連結部においてベースプレート側に位置させることもでき、剛体部側の位置決め用の孔との間の距離を十分にとることができる。この位置決めを正確に行って剛体部に対しフレキシャを正確に固定することができる。
【００３３】
第４の工程では、第３の工程後にフレキシャの一部及び位置決め用の孔を含めて前記連結部を前記ベースプレート及び剛体部から切り離す。この切り離しで連結部と共に位置決め用の孔が切り離され、フレキシャ側の位置決め用の孔もフレキシャの一部と共に切り離される。
【００３４】
従って、完成したディスクドライブ用サスペンションにおいてはベースプレート側に位置決め用の孔及びその周辺部が残存することがなく、左右のバランスをとりやすく、振動特性を大幅に向上させることができる。しかもサスペンションは、全体をコンパクトに形成することができ、この点からも振動特性を大幅に向上することができる。
【００３５】
請求項３の発明では、請求項１又は２の発明の効果に加え、第１の工程では、前記突片部又は連結部の位置決め用の孔を前記ベースプレート寄りに設けるため、突片部又は連結部の位置決め用の孔とロードビーム側の位置決め用の孔との距離を確実に確保することができ、ロードビームに対するフレキシャの正確な位置決めを確実に行うことができる。
【００３６】
請求項４の発明では、請求項２の発明の効果に加え、第１の工程では、突片部又は連結部を少なくとも前記ベースプレート側に角部を有する形状に形成すると共に、前記突片部又は連結部の位置決め用の孔を前記突片部又は連結部のベースプレート側の角部に設けるため、突片部又は連結部の位置決め用の孔とロードビーム側の位置決め用の孔との間の距離を確実に長くすることができ、サスペンションをコンパクトにしながらロードビームに対するフレキシャの正確な位置決めをより確実に行うことができる。
【００３７】
請求項５の発明では、連結部により予め一体に連結されたベースプレート及び剛体部と、前記ベースプレート又は剛体部に設けられた突片部と、該突片部に設けられた孔とを備え、前記孔は、フレキシャの位置決め用の孔を合わせて位置決めるためのものであるため、連結部及び突片部を切り離してベースプレート側に対して位置決め用の孔及びその周辺部分を確実に除去することができる。従って、サスペンションのベースプレート左右のバランスを取りやすく、振動特性を大幅に向上することができる。
【００３８】
請求項６の発明では、連結部により予め一体に連結されたベースプレート及び剛体部と、該連結部に設けられた孔とを備え、前記孔は、フレキシャの位置決め用の孔を合わせて位置決めるためのものであるため、連結部を切り離してベースプレート側に対して位置決め用の孔及びその周辺部分を確実に除去することができる。従って、サスペンションのベースプレート左右のバランスを取りやすく、振動特性を大幅に向上することができる。
【００３９】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施形態を適用したサスペンションを有するハードディスクドライブの一部断面図を示している。この図１のように、ハードディスクドライブ１は、軸３を中心に旋回可能なキャリッジ５を有している。キャリッジ５はボイスコイルモータ等のポジショニング用モータ７によって軸３を中心に旋回駆動される。
【００４０】
前記キャリッジ５は複数のキャリッジアーム９（図１では４個）と、各キャリッジアーム９の先端部に取り付けられたサスペンション１１と、各サスペンション１１の先端部に設けられた記録再生用のヘッド部１３などを備えている。
【００４１】
前記キャリッジ５は前記ボイスコイルモータ７によって駆動され、キャリッジ５が軸３を中心に旋回することによってヘッド部１３がディスク１５の所望トラックまで移動することができる。
【００４２】
前記ヘッド部１３は前記ディスク１９のトラックと対向可能な位置に設けられたスライダ１７と、該スライダ１７に保持されたトランスジューサ（図示せず）などを含んでいる。前記スライダ１７は前記ディスク１９が高速回転したとき、該ディスク１９との間に空気が入り込むことによってディスク１５から僅かに浮上する。同時にディスク１５及びスライダ１７間にエアベアリングが形成される。
【００４３】
ここで本発明の特徴は、サスペンションの製造方法において位置決め用の孔を切り取ることにあるが、まず前記サスペンション１１の構造について説明し、その後製造方法を説明する中で前記特徴を説明する。
【００４４】
前記サスペンション１１は本実施形態において図２のようになっている。図２（ａ）は結合前の各部の平面図を示し、（ｂ）は結合後の平面図を示し、図２（ｃ）はサスペンション１１の平面図を示している。
【００４５】
まず、図２（ｃ）のように、本実施形態のサスペンション１１は、全体に極めてコンパクトに形成され、ベースプレート１９とロードビーム２１とを備えている。前記ベースプレート１９は、前記図１のキャリッジアーム９に取り付けられるものである。このベースプレート１９はステンレス鋼等で形成され、図２（ａ）をも参照すると、フランジ部２３とボス部２５とからなっている。フランジ部２３は平面から見てほぼ円形状を呈し、ボス部２５はフランジ部２３の板厚方向に突設されている。このボス部２５は、前記図１のキャリッジアーム９に設けられた取付孔９ａに嵌合してキャリッジアーム９に対するベースプレート１９の取付けを行う。
【００４６】
前記ロードビーム２１は、先端部のスライダ１７に負荷荷重を与えるものである。このロードビーム２１は、剛体部２７とばね部２９とからなり、ばね部２９は剛体部２７とは別体のばね部材３１で構成されている。この剛体部２７は例えばステンレス鋼で形成されている。但し、剛体部２７はアルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）等の軽金属（Ｆｅよりも軽い金属）の合金もしくは合成樹脂によって形成することにより、より軽量化と高剛性化とを両立させることもできる。あるいは剛体部２７をアルミニウムやチタンなどの軽金属もしくはこれらを主体とする合金とそれ以外の金属（例えばステンレス鋼）とを積層した２種類以上の材料からなる複合材（クラッド材）によって形成することもできる。
【００４７】
前記ばね部材３１は、ベースプレート１９上から剛体部２７側へ延びたほぼ矩形の板状に形成されている。このばね部材３１は、例えばばね性のある薄いステンレス鋼などからなっており、前記剛体部２７よりもそのばね定数が低く、精度の高い低ばね定数を有している。このばね部材３１には、前記ベースプレート１９のボス部２５に嵌合する嵌合孔３３が設けられている。この嵌合孔３３は例えば前記ボス部２５に遊嵌する大きさとなっている。
【００４８】
前記ばね部材３１の一側３１ａは、ベースプレート１９側の後述する補強プレート３７よりも突出し、この一側３１ａに矩形の開口部３５がエッチングあるいは精密プレス加工などによって形成されている。この開口部３５によって部分的に曲げ剛性（ばね定数）を小さくし、ばね部材３１の一側３１ａと他側３１ｂとの間にヒンジ部としてばね部２９を構成している。このばね部材３１の一側３１ａに前記剛体部２７の基端部２７ｂが上方から重ね合わせてレーザ溶接などによって溶着されている。この溶着状態において、剛体部の後端縁２７ｃは前記ばね部材３１の開口部３５の前縁にほぼ一致している。前記剛体部２７をばね部材３１の一側３１ａに結合する手段としては、レーザ溶接の他、接着剤を用いることもできる。
【００４９】
前記ばね部材３１の他側３１ｂは、嵌合孔３３がベースプレート１９のボス部２５に遊嵌するようにしてフランジ部２３に重ね合わされている。又、本実施形態においては、前記ばね部材３１の他側３１ｂを前記ベースプレート１９のフランジ部２３に対し挟み込む補強プレート３７が設けられている。従って、補強プレート３７もベースプレートを構成している。
【００５０】
前記補強プレート３７は、ステンレス鋼などによって形成され、前記ボス部２５に嵌合する位置決め孔３９が設けられている。この位置決め孔３９は前記ボス部２５の外周に精度良く嵌合して平面方向の位置決めを行うものである。この位置決め孔３９はエッチングなどによって形成されている。
【００５１】
そして、前記補強プレート３７がばね部材３１の他側３１ｂ上に重ねられ、位置決め孔３９が前記ベースプレート１９のボス部２５に精度良く嵌合してベースプレート１９のフランジ部２３及び補強プレート３７によりばね部材３１の他側３１ｂを挟持固定している。この挟持固定はレーザ溶接などの固定によって行われている。この結合状態で、補強プレート３７の前端縁は、前記ばね部材３１の開口部３５の後縁にほぼ一致している。
【００５２】
前記剛体部２１には、フレキシャ４１が取り付けられている。フレキシャ４１は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板などの金属基板４３の表面に電気絶縁層を介して導電路４５を形成したものである。導電路４５の一端はヘッド部１３の端子に導通し、他端は図外の端子に導通している。このフレキシャ４１は、剛体部２１にレーザ溶接によって溶着されている。但し、フレキシャ４１を剛体部２１に接着剤によって固定することなども可能である。前記フレキシャ４１のタング部４７には、前記ヘッド部１３のスライダ１７が装着されている。
【００５３】
このような構成のサスペンション１１は、図１のようにキャリッジアーム９に固定される。具体的には前記ボス部２５が前記キャリッジアーム９の取付孔９ａに挿入され、治具によって前記ボス部２５を拡げるなどの塑性加工が行われ、サスペンション１１がキャリッジアーム９に固定され、サスペンション１１のキャリッジ５に対する取付けが行われる。
【００５４】
このようにボス部１９のフランジ部２３がキャリッジアーム９に対しロードビーム２１のばね部材３１よりも外側に位置することにより、ロードビーム２１のばね部材３１がベースプレート１９及び補強プレート３７で挟まれる３層構造であってもロードビーム２１のディスク１５に対する間隔を保つことができ、全体をコンパクトにしながらディスク１５に対するロードビーム２１の傾斜角度を十分にとることができる。
【００５５】
そして、このような構成のサスペンション１１は、ロードビーム２１を構成する剛体部２７と、ばね部材３１とが別体で構成されているため、それぞれに適した材料と板厚を選定することができ、剛体部２７に要求される性能（例えば高剛性）と、ばね部２９に要求される性能（例えば低ばね定数）とを容易に両立させることができる。
【００５６】
又、ばね部２９に精度の高い圧延材を使用することで安定した低ばね定数のばね部２９を得ることができる。しかも、ばね部材３１は、該ばね部材３１よりも厚いベースプレート１９のフランジ部２３及び補強プレート３７で挟み込まれ、挟持固定されているから、ばね部材３１をベースプレート１９に安定して支持させることができ、剛体部２７側をベースプレート１９に対し安定して弾性支持することができる。
【００５７】
次に、本実施形態のサスペンション１１の製造方法を説明する。
【００５８】
前記フレキシャ４１には予め位置決め用の孔４９，５１が設けられている。位置決め用の孔４９はタング４７の後方近傍に設けられ、位置決め用の孔５１は金属基板４３に対し突設されたフレキシャ４１の一部である突出部５３に設けられている。突出部５３の形状は、後述するサスペンション半製品５５の連結部５７上に安定して乗るように鍵状に形成されてる。
【００５９】
そして、第１の工程においてサスペンション半製品５５を製造する。このサスペンション半製品５５は、エッチングなどによって形成されており、剛体部２７及び補強プレート３７が平面方向両側の連結部５７で結合されている。前記連結部５７は、補強プレート３７側と剛体部２７側とにそれぞれ角部５７ａ，５７ｂを有する平面から見てほぼ矩形状に形成されている。また、補強プレート３７は、図外のスクラップ部に連結脚５９を介して結合され、剛体部２７及び補強プレート３７がスクラップ部に対し所定ピッチで列状に並ぶ連鎖品を形成する。
【００６０】
そして、剛体部２７には先端部２７ａ側において位置決め用の孔６１が形成され、連結部５７の補強プレート３７側の角部５７ａに他方の位置決め用の孔６３が形成されている。従って、本実施形態において、連結部５７は前記ベースプレートとしての補強プレート３７又は剛体部２７に設けた突片部を構成している。尚、剛体部２７の先端部２７ａには、ディンプル６０が設けられている。
【００６１】
そして、剛体部２７及び補強プレート３７連鎖品のスクラップ部の位置決め孔を治具の位置決めピンに差し込んで位置決める。このときサスペンション半製品５５においても治具の他のピンが位置決め用の孔６１，６３に差し込まれることになる。
【００６２】
第２の工程では、連鎖品状態のばね部材３１を連鎖品状態のサスペンション半成品５５に重ね合わせ、ばね部材３１の連鎖品のスクラップ部の位置決め用の孔を治具の位置決めピンに嵌合させる。
【００６３】
更に、ばね部材３１の連鎖品の上から各ばね部材３１毎にベースプレート１９を重ね合わせ、ボス部２５を嵌合穴３３を通して位置決め孔３９に嵌合させる。図２では、紙面直交方向下側からベースプレート１９，ばね部材３１，補強プレート３７の順に重なっている。次いで、ベースプレート１９、ばね部材３１、補強プレート３７の各部をレーザ溶接によって結合する。
【００６４】
第３の工程では、フレキシャ４１の位置決め用の孔４９、５１をサスペンション半製品５５の位置決め用の孔６１、６３に合わせるようにして治具のピンに嵌合させる。この嵌合によって、フレキシャ４１が剛体部２７に対し正確に位置決められることになる。このとき補強プレート３７側の位置決め用の孔６３は、連結部５７の角部５７ａに設けられているため、剛体部２７側の位置決め用の孔６１に対しその距離を極力長くとることができる。従って、振動特性向上のためにディンプル６０とベースプレート１９の取付中心との間の距離を短くしても位置決め用の孔６１，６３間の距離を十分に確保することができ、この孔６１，６３を用いて位置決められるフレキシャ４１を剛体部２７に対し正確に取り付けることができる。
【００６５】
従って、サスペンション１１として完成したときに、フレキシャ４１の正確な位置決めによって振動特性を大幅に向上させることができる。そして、この第３の工程でフレキシャ４１が剛体部２７に位置決め状態でレーザ溶接などによって固定される。このように結合された状態が図２（ｂ）である。
【００６６】
第４の工程では、この図２（ｂ）の状態においてプレスなどにより連結部５７を剛体部２７とベースプレート１９側の補強プレート３７から切り離すと共に、脚部５９を切り離す。これによって図２（ｃ）のようなサスペンション１１を得ることができる。
【００６７】
この完成状態において、サスペンション１１は、ベースプレート１９側の前記位置決め用の孔６３及びその周辺部が除去されており、かつフレキシャ４１の位置決め用の孔５１及び突出部５３が除去されている。従って、ベースプレート１９側の左右方向において、バランスを向上させることができ、振動特性を大幅に向上させることができる。
【００６８】
こうして、位置決め用の孔６１，６３間の距離を確保して、フレキシャ４１を剛体部２７に正確に固定することによる振動特性向上と、ベースプレート１９側の左右バランスを保つことによる振動特性向上、更には全体をコンパクトに形成することによる振動特性向上とが相乗的に働き、全体的な振動特性を大幅に向上させることができる。
【００６９】
なお、上記実施形態では、位置決め用の孔６３を連結部５７の角部５７ａに設けたが、角部からずらして設けることも可能である。又、連結部５７は剛体部２７及び補強プレート３７を一体に連結するものであればよく、必ずしも角部５７ａ，５７ｂを有する必要はない。又、補強プレート３７側においてのみ角部５７ａを設け、剛体部２７側においては角部を設けることなく湾曲させて剛体部に結合させる形状に形成することもできる。
【００７０】
また、上記実施形態では、位置決め用の孔６３を連結部５７に設けたが、ベースプレートとしての補強プレート３７又はロードビーム２１の剛体部２７に連結部５７とは別の突片部を設け、該突片部に位置決め用の孔６３を設けることもできる。この場合、突片部に、ベースプレートとしての補強プレート３７寄りに角部を設け、該角部に位置決め用の孔６３を設けることにより、剛体部２７の位置決め用の孔６１との距離を確保する構成にすることもできる。この場合、サスペンション半製品５５も、ベースプレートとしての補強プレート３７又はロードビーム２１の剛体部２７に連結部５７とは別の突片部を設けた構成となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態に係るサスペンションを備えたハードディスクドライブの一部断面図である。
【図２】  一実施形態に係り、（ａ）は組付前の各部の平面図、（ｂ）は結合状態の平面図、（ｃ）は完成したサスペンションの平面図である。
【図３】  考えられる構造を示し、（ａ）は結合前の各部の平面図、（ｂ）は結合後の平面図、（ｃ）は完成状態のサスペンションの平面図である。
【図４】  従来例に係るサスペンションの平面図である。
【符号の説明】
５  キャリッジ
１１  サスペンション
１７  スライダ
１９  ベースプレート
２１  ロードビーム
２７  剛体部
３７  補強プレート（ベースプレート）
４１  フレキシャ
４９，５１，６１，６３  位置決め用の孔
５５  サスペンション半製品
５７  連結部
５７ａ  角部
【図１】
0004293582.tif 000002
【図２】
0004293582.tif 000003
【図３】
0004293582.tif 000004
【図４】
0004293582.tif 000005