(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の積層体に積層されたシートを吸着可能に設けるとともに互いに回転して離間接近可能な吸着部を備えたシート吸着装置であって、
前記吸着部の姿勢をそれぞれ変更させる回転軸を含む姿勢変更部を備え、当該姿勢変更部は、前記吸着部を、前記積層体に積層されたシートを吸着した吸着位置から前記回転軸を中心とする回転方向に移動させることにより、前記吸着部が前記シートと共に前記積層体から浮上しつつ離れ、前記吸着部間のシートを撓み変形させて当該シートを前記積層体から分離することを特徴とするシート吸着装置。
【請求項２】
積層されたシートの最上位のシートを吸着可能に設けるとともに互いに回転して離間接近可能な吸着部を備えたシート吸着装置であって、
前記吸着部の姿勢をそれぞれ変更させる回転軸を含む姿勢変更部を備え、当該姿勢変更部は、前記吸着部を、積層されたシートの最上位のシートを吸着した吸着位置から前記回転軸を中心とする回転方向に移動させることにより、前記吸着部が前記最上位のシートと共にその下位に位置するシートから浮上しつつ離れ、前記吸着部間の最上位のシートを撓み変形させて当該最上位のシートをその下位に位置するシートから分離することを特徴とするシート吸着装置。
【請求項３】
所定の積層体に積層されたシートを吸着可能に設けるとともに互いに回転して離間接近可能な吸着部を備えたシート吸着方法であって、
前記吸着部の姿勢をそれぞれ変更させる回転軸を含む姿勢変更部を備え、当該姿勢変更部は、前記吸着部を、前記積層体に積層されたシートを吸着した吸着位置から前記回転軸を中心とする回転方向に移動させることにより、前記吸着部が前記シートと共に前記積層体から浮上しつつ離れ、前記吸着部間のシートを撓み変形させて当該シートを前記積層体から分離することを特徴とするシート吸着方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シート吸着装置及び吸着方法に係り、更に詳しくは、シートを所定の積層体又は下位のシートから容易に分離するシート吸着装置及び吸着方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子部品である半導体ウェハは、極薄化の傾向があり、従来の４００〜３００μｍ更には１００μｍそれ以下になりつつある。その場合の搬送は、割れ破損を防止するため、所定枚数毎に専用のボックスに積層して搬送される。その場合、半導体ウェハの回路形成面を保護するため、一般的に、回路形成面に紙製の緩衝材シートが敷設された状態で積層される。従って、半導体ウェハの積層体からウェハを一枚づつ取り出して処理する場合には、前記緩衝材シートを一枚ずつその都度取り除かなければならない。この場合には、バキューム装置等によって緩衝材シートのみを吸着することによって行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、半導体ウェハの回路形成面に敷設する緩衝材シートの厚みも１００〜６０μｍ程度と薄い他、緩衝材シートが、微細な小孔を多数有する特殊紙又は樹脂含浸紙製であるため、機械的に緩衝材シートのみを吸着して半導体ウェハから分離することは困難である。すなわち、緩衝材シートへの吸着力を強くすると、緩衝材シートの薄さや微細な小孔により、その下位に位置する半導体ウェハまでも吸着されてしまい、緩衝材シートを半導体ウェハから取り除くことができない。そこで、緩衝材シートへの吸着力を弱くすると、緩衝材シートの吸着が不可能になる。従って、緩衝材シートへの吸着力の調整が難しく、これでは、積層された半導体ウェハを一枚づつ取り出して、それに敷設された緩衝材シートを取り除く作業を機械的に行うことができず、かかる作業に手間がかかるという不都合がある。
【０００４】
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、シートを所定の積層体又は下位のシートから容易に取り除くことができるシート吸着装置及び吸着方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、所定の積層体に積層されたシートを吸着可能に設けるとともに互いに回転して離間接近可能な吸着部を備えたシート吸着装置であって、
前記吸着部の姿勢をそれぞれ変更させる回転軸を含む姿勢変更部を備え、当該姿勢変更部は、前記吸着部を、前記積層体に積層されたシートを吸着した吸着位置から前記回転軸を中心とする回転方向に移動させることにより、前記吸着部が前記シートと共に前記積層体から浮上しつつ離れ、前記吸着部間のシートを撓み変形させて当該シートを前記積層体から分離する、という構成を採っている。このような構成によれば、シートの下位に位置する積層体がシートとともに吸着されることが防止され、積層体からシートを容易に取り除くことができる。また、積層されたシートの最上位のシートを吸着可能に設けるとともに互いに回転して離間接近可能な吸着部を備えたシート吸着装置であって、
前記吸着部の姿勢をそれぞれ変更させる回転軸を含む姿勢変更部を備え、当該姿勢変更部は、前記吸着部を、積層されたシートの最上位のシートを吸着した吸着位置から前記回転軸を中心とする回転方向に移動させることにより、前記吸着部が前記最上位のシートと共にその下位に位置するシートから浮上しつつ離れ、前記吸着部間の最上位のシートを撓み変形させて当該最上位のシートをその下位に位置するシートから分離する、という構成を採用しても、前述と同様に、下位のシートから最上位のシートを容易に取り除くことができる。更に、シートを手で積層体から分離させることに擬似的な動作を与えることができ、シートを確実に分離することができる。
【０００６】
また、本発明は、所定の積層体に積層されたシートを吸着可能に設けるとともに互いに回転して離間接近可能な吸着部を備えたシート吸着方法であって、
前記吸着部の姿勢をそれぞれ変更させる回転軸を含む姿勢変更部を備え、当該姿勢変更部は、前記吸着部を、前記積層体に積層されたシートを吸着した吸着位置から前記回転軸を中心とする回転方向に移動させることにより、前記吸着部が前記シートと共に前記積層体から浮上しつつ離れ、前記吸着部間のシートを撓み変形させて当該シートを前記積層体から分離する、という手法を採っている。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のシート吸着装置が電子部品処理装置に適用された実施例を図面を参照しながら説明する。
【０００９】
図１には、本実施例に係る電子部品処理装置１０の概略斜視図が示されている。この図において、電子部品処理装置１０は、シートとしての緩衝材シート（以下、単に「シート」Sという）が敷設され積層された電子部品（積層体２１）としての半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」Ｗという）を積層した状態で保持する第１保持部１１と、この第１保持部１１から１つのウェハＷを取り出して次工程に反転移送する移送装置１２と、この移送装置１２によってウェハＷを取り出したのち、ウェハＷに敷設されたシートＳを取り除くシート吸着装置１４と、シートＳが取り除かれたウェハＷの位置決めを行うアライメント装置１５と、このアライメント装置１５で位置決めされたウェハＷの識別手段１６と、当該識別後のウェハＷを搬送するロボット搬送装置１８（搬送装置）と、このロボット搬送装置１８からのウェハＷが順次収納される第２保持部１９とを備えて構成されている。ここで、各装置はフレーム５にそれぞれ固定されている。なお、第１保持部１１に保持されている積層体２１のウェハＷは、図２に分解した状態で示されるように、被保護面である回路形成面Ｗ１が下側となるように積層されており、シートＳが回路形成面Ｗ１側に敷設されることによって、当該回路形成面Ｗ１側が、ウェハＷ間の接触による傷、破損等から保護されるようになっている。
【００１０】
前記第１保持部１１は、図３に拡大図示されるように、略円盤状のウェハＷとシートＳとが交互に積層された積層体２１を保持するウェハボックス２２と、このウェハボックス２２を所定のタイミングで昇降させるウェハボックス昇降装置２３とを備えて構成されている。このウェハボックス昇降装置２３は、ウェハボックス２２が固定されるアーム２４に形成されたナット（図示省略）に、送りねじ軸２５が係合しており、昇降用モーター２６が駆動すると、送りねじ軸２５が回転してウェハボックス２２が昇降するようになっている。
【００１１】
前記移送装置１２は、図４に拡大図示されるように、第１保持部１１（図３参照）から取り出されたウェハＷを略１８０度反転して移送する第１吸着移送部２８と、この第１吸着移送部２８からのウェハＷを受け取って、前記アライメント装置１５に移送する第２吸着移送部２９とによって構成されている。
【００１２】
前記第１吸着移送部２８は、シリンダー３０と、このシリンダー３０によって昇降可能に設けられるとともに、ウェハＷを吸着可能な第１吸着パッド３１と、この第１吸着パッド３１が固定される軸部材３２と、当該軸部材３２を回転させる反転シリンダー３３と、この反転シリンダー３３が固定される支持ブラケット３５と、当該支持ブラケット３５が取り付けられるとともに、前記第２吸着移送部２９に向かって延びる第１移送シリンダー３６とを備えて構成されている。ここで、支持ブラケット３５は、第１移送シリンダー３６の作動によって、その延出方向にスライド移動可能に設けられている。
なお、シリンダー３０の代わりに、スプリングを設け、その弾性を利用して同一の効果を得るようにしても勿論よい。
【００１３】
このように構成された第１保持部１１及び第１吸着移送部２８により、次のようにして、ウェハＷが第２吸着移送部２９側に搬送される。
【００１４】
すなわち、図３に示されるウェハボックス昇降装置２３によって、ウェハＷとシートＳが交互に積層されている積層体２１を保持するウェハボックス２２が上昇し、当該ウェハボックス２２に積層保持された最上位のウェハＷが所定の位置に達すると、ウェハボックス昇降装置２３の昇降用モーター２６が停止する。そして、図４に示される第１吸着パッド３１が、シリンダー３０により下降し、最上位のウェハＷの上面すなわち回路形成面Ｗ１の反対側（裏面）を吸着（図４では４箇所）し、吸着完了後、シリンダー３０により上昇すると、ウェハボックス２２から最上位のウェハＷ１枚が取り出される。すなわち、吸着された前記ウェハＷの下側に敷設していたシートＳは、ウェハＷから切り離れてウェハボックス２２内に残される。すると、第１吸着パッド３１に吸着保持されたウェハＷは、反転シリンダー３３が作動して、軸部材３２及び第１吸着パッド３１が回転すると共に、ウェハＷが略１８０度反転して、回路形成面Ｗ１が上側になる。ここで、ウェハＷ反転の際にウェハボックス２２は、当該ウェハＷと干渉しない高さ位置で待機するようになっている。その後、第１移送シリンダー３６が作動し、第１吸着パッド３１で保持されたウェハＷが第２吸着移送部２９に向かって移送される。
【００１５】
前記第２吸着移送部２９は、図４に拡大図示されるように、第１吸着移送部２８によって移送されたウェハＷを吸着可能な第２吸着パッド３８と、この第２吸着パッド３８を昇降させる昇降シリンダー３９と、この昇降シリンダー３９が取り付けられるとともに、前記アライメント装置１５に向かって延びる第２移送シリンダー４０とを備えて構成されている。この第２移送シリンダー４０は、その延出方向に向かって、第２吸着パッド３８及び昇降シリンダー３９をスライド移動させることができるようになっている。
【００１６】
このように構成された第２吸着移送部２９により、次のようにして、第１吸着移送部２８からのウェハＷが、アライメント装置１５側に搬送される。
【００１７】
すなわち、前記第１吸着移送部２８からのウェハＷは、前述したように、第１吸着移送部２８によって、ウェハＷが略１８０度反転されて上側が回路形成面Ｗ１となるため、先ず、第２吸着パッド３８の高さ位置を、昇降シリンダー３９によって、第１吸着移送部２８から移送されるウェハＷの高さ位置よりも低い位置に待機する。そして、第１吸着移送部２８によってウェハＷが、第２吸着パッド３８側に達したら、第１移送シリンダー３６の作動が停止し、そして、第２移送シリンダー４０に配設されるスライドシリンダー３７により、第２吸着パッド３８が、ウェハWを吸着保持する第１吸着パッド３１，３１間に挿入され、昇降シリンダー３９の上昇によって、第２吸着パッド３８がウェハＷの下面（裏面）を吸着する。この際、第２吸着パッド３８がウェハＷを吸着して昇降シリンダー３９によって上昇すると同時に、第１吸着パッド３１はウェハＷの吸着を停止し、第１移送シリンダー３６の作動によって、シート吸着装置１４が後述するシート収納ボックス７０（図３参照）側に停止していることを確認後、第１保持部１１の原位置に戻り待機し、前述の動作を繰り返し行う。そして、第２吸着パッド３８で吸着されたウェハＷは、第２移送シリンダー４０の作動によって、アライメント装置１５に移送され、昇降シリンダー３９の作動により、第２吸着パッド３８が下降し、後述するウェハ受け部７９Ａ，７９Ｂに載置される。ここで、アライメント装置１５に移送された後の第２吸着パッド３８は、吸着解除後スライドシリンダー３７が戻り、第２移送シリンダー４０の作動によって、第１吸着移送部２８側の待機位置に戻る。
【００１８】
前記シート吸着装置１４は、図３、図５及び図６に示されるように、シートＳを吸着可能な一対の吸着部４２Ａ，４２Ｂと、これらの姿勢を変更させる姿勢変更部４４とからなっている。
【００１９】
この姿勢変更部４４は、図６中左右両側に切欠部４８，４９が形成された固定板５０と、固定板５０の両端側にそれぞれ回転可能に取り付けられる回転軸５５，５６と、一方の端部の回転軸５５に固定されるアーム５８及びリンクアーム５９Ａと、反対側端部の回転軸５６に固定されるリンクアーム５９Ｂと、アーム５８を回転させるシリンダー６３と、各リンクアーム５９Ａ，５９Ｂに軸支されてそれらを連結する連結ロッド６４（図５参照）とを備えて構成されている。
【００２０】
前記アーム５８及びリンクアーム５９Ａがそれぞれ取り付けられた回転軸５５には、吸着シリンダー６０Ａ等を有する吸着部支持ブロック６８（図６）が固定される一方、他方の回転軸５６には、吸着シリンダー６０Ｂ等を有する吸着部支持ブロック６９が固定されている。また、吸着部支持ブロック６８，６９には、前記吸着部４２Ａ，４２Ｂが吸着シリンダー６０Ａ，６０Ｂのロッド先端にそれぞれ取り付けられている。従って、アーム５８がシリンダー６３の作動により回転（図５において矢印方向）すると、その回転角度に応じて、回転軸５５が回転し、これによって、吸着部支持ブロック６８、吸着部４２Ａ及びリンクアーム５９Ａが反時計方向に回転すると共に、連結ロッド６４により、他方のリンクアーム５９Ｂに連動され、回転軸５６及び吸着部支持ブロック６９が時計方向に回転することになり、一対の吸着部４２Ａ，４２Ｂがそれぞれ反対方向に回転することとなる。このため、これら吸着部４２Ａ，４２Ｂは互いに離間接近可能となる。
なお、ここで、吸着部４２Ａ，４２Ｂを吸着シリンダー６０Ａ，６０Ｂで昇降作動するようにしたが、吸着シリンダー６０Ａ，６０Ｂの代わりにスプリングを設け、その弾性を利用して同一の効果を得るようにしても勿論よい。
【００２１】
また、シート吸着装置１４には、図３に示されるように、その吸着部４２Ａ，４２Ｂによって吸着されたシートＳをシート収納ボックス７０に移送する移送シリンダー７１が取り付けられている。この移送シリンダー７１の作動によって、シート吸着装置１４の固定板５０の上面略中央部に固定された連結片７２を前記第１保持部１１の上方位置とシート収納ボックス７０の上方位置との間を移動可能に設け、吸着部４２Ａ，４２Ｂに吸着保持されたシートＳをウェハボックス２２からシート収納ボックス７０に移載可能となる。
【００２２】
前記シート収納ボックス７０は、前記シートＳを収納可能な形状に設けられているとともに、ボックス昇降装置７３によって昇降可能に設けられている。このボックス昇降装置７３は、シート収納ボックス７０が固定されるアーム７４に形成されたナット（図示省略）に、送りねじ軸７５が係合しており、昇降用モーター７６が駆動すると、送りねじ軸７５が回転してシート収納ボックス７０が昇降するようになっている。
【００２３】
以上のように構成されたシート吸着装置１４は、移送シリンダー７１によって、次のように、ウェハボックス２２からシートSを取り出して、シート収納ボックス７０に収納する。
【００２４】
すなわち、前記第１吸着移送部２８によって、ウェハＷがウェハボックス２２から取り出された後、図５に示されるように、シリンダー６０Ａ，６０Ｂのロッド先端部に取り付けられた吸着部４２Ａ，４２Ｂがウェハボックス２２に残されたシートＳを吸着する位置に下降する。そして、シリンダー６３が作動してロッド６３Ａが伸長し、アーム５８を図５中反時計回りに回転させる。すると、一方の回転軸５５が回転して、各リンクアーム５９Ａ，５９Ｂを連結しているリンク６４を介して他方の回転軸５６が反対方向に回転することにより、回転軸５５，５６に固定されている吸着部４２Ａ，４２Ｂが互いに回転し接近する。このとき、吸着部４２Ａ，４２ＢはシートＳを吸着しながらその略面方向に沿って移動し、それに伴い、図５，図７（Ａ）に示されるように、シートＳが部分的に撓み変形し、当該シートＳがその下位に位置するウェハＷから分離する。そして、シリンダー６０Ａ，６０Ｂの作動によって吸着部４２Ａ，４２Ｂが上昇し、シートＳをウェハボックス２２から吸着しながら取り出し、移送シリンダー７１（図３参照）の作動によって、吸着部４２Ａ，４２ＢにシートＳを吸着保持して、シート収納ボックス７０に移動し、そして、図７（Ｂ）に示されるように、シートＳがシート収納ボックス７０（図３参照）の上方位置に配置されると、シリンダー６０Ａ，６０Ｂの作動によって吸着部４２Ａ，４２Ｂが下降し、それらのシートＳの吸着が停止して、当該シートＳをシート収納ボックス７０に収納し、完了後、シリンダー６３のピストン６３Ａは戻る。その後、シリンダー６０Ａ，６０Ｂの作動によって吸着部４２Ａ，４２Ｂが上昇し、当該吸着部４２Ａ，４２Ｂは、その位置で待機する。その後、前述したように、ウェハWを吸着する第１吸着パッド３１が第２吸着パッド３８位置に移動したことを確認した後、吸着部４２Ａ，４２Ｂ等により構成されたシート吸着装置１４は、移送シリンダー７１の作動により第１保持部１１に戻って前述の動作を繰返す。
【００２５】
前記アライメント装置１５は、図４に図示されるように、前記第２吸着移送部２９から移送されたウェハＷをセットする一対のウェハ受け部７９Ａ，７９Ｂと、これらウェハ受け部７９Ａ，７９Ｂの下方に位置し、ウェハ受け部７９Ａ，７９ＢにセットされたウェハＷを回転可能にするターンテーブル８２と、当該ターンテーブル８２を回転するモーター８３とを備えて構成されている。
【００２６】
前記ウェハ受け部７９Ａ，７９Ｂは、前記第２吸着移送部２９の高さ位置よりも低い位置に配置されるとともに、載置されるウェハＷの面方向に沿って設けられている。また、これらウェハ受け部７９Ａ，７９Ｂは、図示しない駆動装置によって相互に離間接近可能に設けられ、ウェハＷをセンタリングしながら挟み込み保持できるようになっている。具体的に、ウェハ受け部７９Ａ，７９Ｂは、第２吸着移送部２９の第２移送シリンダー４０に設置された第２吸着パッド３８に吸着保持されたウェハＷが、昇降シリンダー３９によりウェハ受け部７９Ａ，７９Ｂに移載されるときには、当該ウェハＷが下方に脱落しない離間幅となり、その後、ウェハＷの挟み込みが行われるようになっている。一方、ウェハＷを前記ロボット搬送装置１８（図１参照）によって搬出するときには、ウェハ受け部７９Ａ，７９Ｂが離間して、ウェハＷの搬出をスムーズに行えるようになっている。
【００２７】
前記ターンテーブル８２は、ウェハＷの直径よりも小径に設定され、その上面がウェハＷを吸着可能となっている。また、前記モーター８３は、図示省略した昇降装置によって昇降可能に設けられている。
【００２８】
前記識別手段１６は、図１に示されるように、アライメント装置１５によって保持されたウェハＷに設けられた情報記録部としての文字情報Ｃを読み取るカメラ８４と、前記第１及び第２保持部１１，１９にそれぞれ設けられたバーコードラベルＬ１，Ｌ２（ラベル情報）を読み取るバーコードリーダー８５，８６（図１）と、第１及び第２保持部１１，１９にそれぞれ取り付けられたバーコードラベルＬ１，Ｌ２の情報とアライメント装置１５で位置決めされたウェハＷの文字情報Ｃとを比較処理し、その情報を上位コンピューターと通信可能な制御部１３とを備えて構成されている。
【００２９】
前記ロボット搬送装置１８は、ここではその詳細構造を省略するが、そのアーム８８が一定の動作を行えるようにティーチングされている。また、アーム８８の先端部に、図示省略した吸着孔が設けられてウェハＷを吸着可能になっている。
【００３０】
前記第２保持部１９は、図８に図示されるように、前記識別手段１６でウェハＷの文字情報の識別がされた後のウェハＷのみを収納するキャリヤボックス８９と、このキャリヤボックス８９を所定のタイミングで昇降させるキャリヤボックス昇降装置９０とを備えて構成されている。キャリヤボックス８９は、ウェハＷを上下方向に相互に接触しない寸法でキャリヤボックス８９の両端に溝が形成され、ウェハＷが収納可能になっている。また、キャリヤボックス昇降装置９０は、キャリヤボックス８９が固定されるアーム９２（図８）に形成されたナット（図示省略）に、送りねじ軸９３が係合しており、昇降用モーター９４が駆動すると、送りねじ軸９３が回転してキャリヤボックス８９が昇降するようになっている。
【００３１】
以上のように構成されたアライメント装置１５、識別手段１６、及び第２保持部１９によって、前記第１吸着移送部２８から搬送されたウェハＷは、次のようにしてキャリヤボックス８９に収納される。
【００３２】
先ず、図４に示されるように、第２吸着移送部２９によって搬送されてきたウェハＷは、ウェハ受け部７９Ａ，７９Ｂでセンタリングが行われた後、ターンテーブル８２が上昇し、ウェハＷの回路形成面Ｗ１を上面にしてその反対面の下面側を吸着する。そして、モーター８３が回転して、ターンテーブル８２に吸着されたウェハＷが回転され、ウェハＷに刻印された文字情報Ｃが所定位置に来るように位置合わせがされる。この位置合わせは、ウェハＷに形成されたＶノッチＮの位置を前記識別手段１６のカメラ８４で確認される。そして、第１及び第２保持部１１，１９のウェハボックス２２及びキャリヤボックス８９にそれぞれ貼付されたバーコードラベルＬ１，Ｌ２の情報とアライメント装置１５で位置決めされたウェハＷにレーザー等により刻印された文字情報Ｃとを比較し、一致すれば、図８に示されるロボット搬送装置１８のアーム８８に吸着されることによって、キャリヤボックス８９に搬送され収納され、更に、比較した情報を上位のコンピューターに送信し、その日の生産管理を上位コンピューターで管理できるようになっている。
【００３３】
従って、このような実施例によれば、ウェハＷの回路形成面Ｗ１側がシートＳで敷設されたウェハＷと当該シートＳとを交互に積層された積層体２１から、最上位のウェハＷ又はシートＳを交互に取り出して、ウェハＷをキャリヤボックス８９に、シートＳをシート収納ボックス７０に、容易に分離搬送することができるという効果を得る。
【００３４】
また、シート吸着装置１４で、シートＳを部分的に撓み変形させながらウェハＷから分離するため、シートＳ及びウェハＷの材質や厚み等に拘らず、ウェハＷからシートＳを取り除くことができる。
【００３５】
前記実施例においては、シート吸着装置１４を、シートＳで敷設されたウェハＷが積層されたウェハボックス２２から、シートＳを取り除いてウェハＷのみをキャリヤボックス８９に搬送する電子部品処理装置１０に適用したが、本実施例では、前述した動作の逆動作となる第２保持部１９から第１保持部１１にウェハＷを搬送する装置に適用も可能である。その場合、シート吸着装置１４は、前述とは逆に、一対の吸着部４２Ａ，４２Ｂが、シート収納ボックス７０に積層された最上位のシートＳを吸着し、当該最上位のシートＳを撓み変形させながら下位のシートＳから分離し、それをウェハボックス２２に積層されたウェハＷの上面に移載することで積層体２１が形成されることとなる。
【００３６】
また、前記実施例においては、一対の吸着部４２Ａ，４２Ｂを設けたが、本発明はこれに限定されるものではなく、多数の吸着部を設けても良い。要するに、シート吸着装置１４として、緩衝材シートＳを含むシートの略面方向に吸着部を移動可能に設け、前記シートを、部分的に撓み変形させながら、ウェハＷや下位の緩衝材シートＳ等の積層体２１から分離できる構造であれば何でも良い。ここで、積層体２１としては、ウェハＷや緩衝材シートＳの他に、シートが積層される他の電子部品や台材等であってもよく、要するに、シートが積層されるものであれば何でも良い。
【００３７】
更に、電子部品処理装置１０の前述した各処理を行う構造体は、図示構成例に限定されるものではなく、実質的に同じ動作を行うことができるものであれば、適宜設計変更することができる。
【００３８】
以上説明したように、本実施例によれば、吸着部の姿勢を変更させる姿勢変更部をシート吸着装置に備え、姿勢変更部を、前記吸着部が積層体或いは下位のシートに積層された上位のシートを吸着している状態で、当該最上位のシートの略面方向に前記吸着部を移動可能に設け、最上位のシートを部分的に撓み変形させながら積層体或いは下位のシートから分離する構成としたから、シートの下位に位置する積層体やシートが最上位のシートとともに吸着されることが防止され、シートを容易に取り除くことができる。
【００３９】
また、前記吸着部を少なくとも一対設け、これら一対の吸着部を相互に離間接近可能に設け、前記吸着部が互いに接近する方向に移動することで、前記撓み変形を生じさせる構成としたから、シートの分離をより効果的に行うことができる。
【００４０】
更に、前記シート吸着装置を、被保護面がシートで被覆された電子部品を積層した状態で保持する第１保持部と、この第１保持部から１つの電子部品を取り出して次工程に移送する移送装置と、シートが取り除かれた電子部品を順次収納する第２保持部と、前記第１保持部より取り出したシートを前記シート吸着装置により収納するシート収納ボックスとを備えた電子部品処理装置に適用したから、電子部品の保持態様を、シートが敷設された状態からそれが取り除かれた状態に変える場合であっても、工程を連続的且つ機械的に行うことができ、電子部品の処理効率を大幅に向上させることができる。
【００４１】
また、前記第１及び第２保持部に取り付けられたバーコードラベルの情報と前記アライメント装置で位置決めされた電子部品の情報記録部とを比較可能な識別手段を設けたから、積層された電子部品に異種のものが混じっていたとしても、第２保持部への搬送工程で、そのチェックを自動的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施例に係る全体構成を示す電子部品処理装置の概略斜視図。
【図２】ウェハボックスに保持されたウェハＷの積層状態を模式的に示す概略分解斜視図
【図３】図１の一部分を拡大した斜視図。
【図４】図１の他の部分を拡大した斜視図。
【図５】シート吸着装置の拡大側面図。
【図６】図５の平面図。
【図７】（Ａ）は、吸着部によって吸着された緩衝材シートをウェハから取り出される動作を説明するための模式図であって、（Ｂ）は、吸着部によって吸着された緩衝材シートをシート収納ボックスに収納する動作を説明するための模式図。
【図８】図１の更に他の部分を拡大した斜視図。
【符号の説明】
１０  電子部品処理装置
１１  第１保持部
１２  移送装置
１３  制御部
１４  シート吸着装置
１５  アライメント装置
１６  識別手段
１８  ロボット搬送装置（搬送装置）
１９  第２保持部
２１  積層体
２９  第２吸着移送装置
４０  第２移送シリンダー
４２Ａ  吸着部
４２Ｂ  吸着部
４４  姿勢変更部
７０  シート収納ボックス
７１  移送シリンダー
７９Ａ，７９Ｂ  ウェハ受け部（センターリング装置）
８２  ターンテーブル
Ｃ  文字情報（情報記録部）
Ｌ１，Ｌ２  バーコードラベル（ラベル情報）
Ｓ  緩衝材シート（シート）
Ｗ  半導体ウェハ（電子部品）
Ｗ１  回路形成面（被保護面）
Ｎ  Ｖノッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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