(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体を有し、該支持体上に少なくとも電荷発生層、電荷輸送層および保護層をこの順に有し、該電荷輸送層が電荷輸送物質および結着樹脂を含有する電子写真感光体を製造する方法であって、
該電荷発生層の上に該電荷輸送層を形成する電荷輸送層形成工程と、該電荷輸送層形成工程により形成された電荷輸送層の表面を洗浄する電荷輸送層表面洗浄工程と、該電荷輸送層表面洗浄工程により表面が洗浄された電荷輸送層の直上に該保護層を形成する保護層形成工程とを有する電子写真感光体の製造方法において、
該電荷輸送層表面洗浄工程が、該支持体上に該電荷輸送層までを形成してなる被洗浄物を自転させながら、かつ、ドライアイス粒子を噴射口から噴射するドライアイス粒子噴射手段と該被洗浄物とを、該被洗浄物の自転軸と平行な方向に相対移動させながら、該電荷輸送層の表面にドライアイス粒子を吹き付けることによって、該電荷輸送層の表面を洗浄する工程であり、
該被洗浄物の自転の回転周速度が、６８〜９４ｍ／ｍｉｎであり、
該ドライアイス粒子噴射手段と該被洗浄物との相対移動の速度が、１０００〜２０００ｍｍ／ｍｉｎである
ことを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子写真感光体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子写真感光体として、支持体上に有機材料を用いて形成された感光層を有する電子写真感光体（有機電子写真感光体）が広く用いられている。また、その電子写真特性の向上のために、感光層が電荷発生層と電荷輸送層とに機能分離されたり、支持体と感光層との間にレーザー光などの散乱による干渉縞の防止や支持体の傷の被覆を目的とした導電層や、バリア機能や接着機能を付与することを目的とした中間層が設けられたり、感光層上に該感光層を保護することを目的とした保護層が設けられたりすることもある。これら各層は、各層用の塗布液を塗布し、乾燥および／または硬化することによって形成される。
【０００３】
このように、層数が増加することによって、層間の界面の数も増加する。塗布液の塗布はクリーンルームで行われることが一般的であるが、それでも、層形成後、層の表面に微少の異物が付着することがある。その形成された層（以下、「下層」または「第１の層」ともいう。）の表面に異物が付着したまま、この上に別の層（以下、「上層」または「第２の層」ともいう。）を形成してしまうと、該異物由来の画像欠陥（黒点など）が出力画像に生じることがある。
【０００４】
また、装置の都合上、下層形成後、一旦クリーンルームから電子写真感光体を排出して、その後、再度クリーンルームに電子写真感光体を投入して下層上に上層の塗布液を塗布するという工程を経る場合、上層用塗布液の塗布前に下層表面に異物が付着してしまうこともある。
【０００５】
従来、層表面の異物を除去する、すなわち層表面を洗浄する方法として、様々な方法が採られてきた。例えば、エアを層表面に吹き付けることによって異物を吹き飛ばす方法が挙げられる。このとき、エアとして除電エアを用いることによって、静電気により層表面に付着した異物に対して高い除去効果が期待できる。この層表面洗浄方法は、装置の構成が簡便であり、かつ、非接触であるという利点を有する反面、付着力の比較的強い異物、とりわけ直径１μｍ未満の微粒子に対しては除去能力が十分とはいえない。
【０００６】
また、別の層表面洗浄方法として、層表面に異物除去部材を接触させて異物を除去する方法も挙げられる。具体的には、層表面に表面粘着性を有するゴムローラーを接触させてそれぞれを回転させつつ異物を除去する方法や、層表面に不織布を接触させて異物を除去する方法（特開２００２−０６２６７０号公報：特許文献１）などがある。
【０００７】
しかしながら、ゴムローラーを用いる方法を採用した場合、高い異物除去効果が期待できる反面、ゴムローラー表面の粘着性物質が洗浄対象の層表面に移行し、逆汚染してしまうことがある。
【０００８】
また、不織布を用いる方法を採用した場合、ゴムローラーを用いる方法のような欠点はないものの、直径１μｍ以下の微粒子に対しては除去能力が十分とはいえず、また、一度不織布に移行した異物が洗浄対象の層表面に再付着することがあり、また、使用するにしたがって異物除去効果が低下した不織布の交換のタイミングの判別が難しい。
【０００９】
また、層表面に異物除去部材を接触させて行う層表面洗浄方法は、層表面に傷（引っかき傷）を付ける可能性もある。
【００１０】
さらに別の層表面洗浄方法として、水や層を溶解しない溶剤を用いた湿式洗浄方法も挙げられるが、湿式洗浄方法では、洗浄の後に乾燥工程が必要であり、装置の大型化や生産効率の低下が著しく、必ずしも好ましい方法とはいえない。
【特許文献１】特開２００２−０６２６７０号公報（第７頁、第６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、下層（第１の層）である電荷輸送層の表面にダメージを与えることなく電荷輸送層の表面に付着した異物を効率良く除去することが可能な電荷輸送層の表面の洗浄方法を採用した電子写真感光体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、支持体を有し、該支持体上に少なくとも電荷発生層、電荷輸送層および保護層をこの順に有し、該電荷輸送層が電荷輸送物質および結着樹脂を含有する電子写真感光体を製造する方法であって、
該電荷発生層の上に該電荷輸送層を形成する電荷輸送層形成工程と、該電荷輸送層形成工程により形成された電荷輸送層の表面を洗浄する電荷輸送層表面洗浄工程と、該電荷輸送層表面洗浄工程により表面が洗浄された電荷輸送層の直上に該保護層を形成する保護層形成工程とを有する電子写真感光体の製造方法において、
該電荷輸送層表面洗浄工程が、該支持体上に該電荷輸送層までを形成してなる被洗浄物を自転させながら、かつ、ドライアイス粒子を噴射口から噴射するドライアイス粒子噴射手段と該被洗浄物とを、該被洗浄物の自転軸と平行な方向に相対移動させながら、該電荷輸送層の表面にドライアイス粒子を吹き付けることによって、該電荷輸送層の表面を洗浄する工程であり、
該被洗浄物の自転の回転周速度が、６８〜９４ｍ／ｍｉｎであり、
該ドライアイス粒子噴射手段と該被洗浄物との相対移動の速度が、１０００〜２０００ｍｍ／ｍｉｎである
ことを特徴とする電子写真感光体の製造方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、下層（第１の層）である電荷輸送層の表面にダメージを与えることなく電荷輸送層の表面に付着した異物を効率良く除去することが可能な電荷輸送層の表面の洗浄方法を採用した電子写真感光体の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
上記電荷輸送層表面洗浄工程によって、電荷輸送層の表面にダメージを与えることなく電荷輸送層の表面に付着した異物を効率良く除去することができる理由としては、ドライアイス粒子が衝突することによる物理的な衝撃、ドライアイス粒子の急速な気化・体積膨張による異物の剥離、電荷輸送層の表面の急速な冷却による異物の収縮、などが考えられる。ドライアイス粒子の粒径は１ｍｍ以下が好ましい。
【００１５】
図１に、本発明の電子写真感光体の製造方法の電荷輸送層表面洗浄工程を実施するための洗浄装置の一例を示す。
【００１６】
図１において、１０１は液化二酸化炭素を貯留する液化二酸化炭素貯留手段（ボンベ）であり、１０２は液化二酸化炭素を冷却するおよび／または膨張させることによって固化させてドライアイス粒子を製造するドライアイス粒子製造手段であり、１０３はドライアイス粒子を噴射するドライアイス粒子噴射手段（ノズル）であり、１０３１はドライアイス粒子の噴射口であり、１０４はドライアイス粒子に運動エネルギーを与えるための高圧ガスをドライアイス粒子噴射手段１０３に供給するための高圧ガス供給手段であり、１０５はドライアイス粒子噴出手段１０３の噴出口１０３１から噴出されたドライアイス粒子であり、１０６は被洗浄物（支持体上に電荷輸送層までを形成してなる被洗浄物）である。
【００１７】
ドライアイス粒子噴射手段の噴射口からドライアイス粒子を噴射する際の噴射圧力ｂ［ＭＰａ］は、１ＭＰａ以下であることが好ましく、特には０．８ＭＰａ以下であることがより好ましく、一方、０．０５ＭＰａ以上であることが好ましく、特には０．０８ＭＰａ以上であることがより好ましい。噴射圧力ｂが大きすぎると、電荷輸送層の表面に傷（凹み傷）が付く場合があり、一方、噴射圧力ｂが小さすぎると、ドライアイス粒子の運動エネルギーが不十分となり、電荷輸送層の表面の異物への衝突力が不十分となる場合がある。なお、この噴射圧力ｂ［ＭＰａ］は、ドライアイス粒子が高圧ガスと混合された時点での管内圧力を圧力計にて測定した値である。
【００１８】
また、ドライアイス粒子噴射手段の噴射口と電荷輸送層の表面との距離ａ［ｍｍ］と、上記の噴射圧力ｂ［ＭＰａ］とは、下記式（１）で示される関係を満足することが好ましく、また、下記式（２）で示される関係を満足することが好ましい。なお、距離ａ［ｍｍ］とは、例えば図２を参照すると、噴射口１０３１の噴射面１０３２に垂直な方向における該噴射面から被洗浄物１０６の電荷輸送層の表面までの距離を意味する。
【００１９】
ａ≦−３００ｂ２＋６２０ｂ  ・・・（１）
−６ｂ２＋１１ｂ≦ａ        ・・・（２）
距離ａが上記式（１）で示される関係を満足しない場合、ドライアイス粒子の運動エネルギーが不十分となり、電荷輸送層の表面の異物への衝突力が不十分となる場合があり、一方、距離ａが上記式（２）で示される関係を満足しない場合、ドライアイス粒子の消費効率が悪くなる傾向にある。
【００２０】
被洗浄物（支持体上に電荷輸送層までを形成してなる被洗浄物）とドライアイス粒子噴射手段（ノズル）との角度は図２（ａ）に示すように垂直でもよく、図２（ｂ）に示すように傾斜させてもよい。
【００２１】
ドライアイス粒子に運動エネルギーを与えるための高圧ガスとしては、例えば、コンプレッサーを用いて高圧にした窒素、二酸化炭素などが挙げられる。また、コンプレッサーを用いて高圧にした空気を用いることもできるが、空気の清浄度を向上させるためにフィルターを通過させることが好ましい。
【００２２】
また、高圧ガスの供給流量としては、５００リットル／分以下であることが好ましく、特には３００リットル／分以下であることがより好ましく、一方、５リットル／分以上であることが好ましい。高圧ガスの供給流量が多すぎると、ドライアイス粒子が電荷輸送層の表面に衝突する前に気化してしまう割合が増大して、洗浄能力が低下してしまう場合があり、一方、高圧ガスの供給流量が少なすぎると、ドライアイス粒子の運動エネルギーが不十分となり、電荷輸送層の表面の異物への衝突力が不十分となる場合がある。
【００２３】
また、本発明において、電荷輸送層表面洗浄工程において電荷輸送層の表面にドライアイス粒子を吹き付ける際には、電荷輸送層の表面にドライアイス粒子を均一に衝突させるために、被洗浄物（支持体上に電荷輸送層までを形成してなる被洗浄物）を自転させながら行う。被洗浄物の自転の回転周速度は６８〜９４ｍ／ｍｉｎである。被洗浄物を自転させることによって、ドライアイス粒子の衝突により剥離した異物をはじき飛ばす効果が得られるが、回転周速度が速すぎると、ドライアイス粒子自体がはじき飛ばされてしまう場合がある。
【００２４】
また、本発明において、電荷輸送層表面洗浄工程において電荷輸送層の表面にドライアイス粒子を吹き付ける際には、電荷輸送層の表面にドライアイス粒子を均一に衝突させるために、ドライアイス粒子噴射手段と被洗浄物（支持体上に電荷輸送層までを形成してなる被洗浄物）とを、被洗浄物の自転軸と平行な方向に相対移動させながら行う。この相対移動の速度は１０００〜２０００ｍｍ／分である。相対移動の速度が遅すぎると、電荷輸送層の表面の同一箇所において連続的なドライアイス粒子の衝突が起こり、電荷輸送層の表面に傷（凹み傷）が付く場合がある。なお、ドライアイス粒子の吹き付けは、複数回繰り返しても構わない。
【００２５】
電荷輸送層表面洗浄工程における被洗浄物（支持体上に電荷輸送層までを形成してなる被洗浄物）の設置については、図３（ａ）に示すような横置き、図３（ｂ）に示すような縦置き、図３（ｃ）に示すような斜め置きのいずれでも可能である。また、使用するドライアイス粒子噴射手段（ノズル）の数は１個でも複数個（例えば図３（ｃ）参照）でもよく、ドライアイス粒子噴射手段（ノズル）を複数使用する場合、各ドライアイス粒子噴射手段（ノズル）と被洗浄物との距離や角度は一致させてもよく異ならせてもよい。
【００２６】
ドライアイス粒子噴射手段（ノズル）を被洗浄物（支持体上に電荷輸送層までを形成してなる被洗浄物）に対して傾斜した状態で設置する場合、ドライアイス粒子噴射手段（ノズル）をドライアイス粒子の噴射に対して対向する向き（例えば図３（ａ）〜（ｃ）の矢印参照）に移動させることが好ましい。
【００２７】
次に、本発明の製造方法により製造される電子写真感光体の構成について説明する。
【００２８】
電子写真感光体としては、支持体上に感光層を有する電子写真感光体が一般的である。
【００２９】
本発明において、感光層は、電子写真特性の観点から、電荷発生物質を含有する電荷発生層と電荷輸送物質を含有する電荷輸送層とに分離した積層型（機能分離型）感光層であり、その中でも、支持体側から電荷発生層、電荷輸送層の順に積層した順層型感光層である。
【００３０】
また、後述のとおり、支持体と感光層（電荷発生層、電荷輸送層）との間には、レーザー光などの散乱による干渉縞の防止や、支持体の傷の被覆などを目的とした導電層や、感光層の接着性改良、塗工性改良、支持体からの電荷注入性改良、感光層の電気的破壊に対する保護などを目的としたバリア機能や接着機能を有する中間層を設けてもよい。
【００３１】
また、後述のとおり、感光層上には、該感光層を保護することを目的とした保護層が設けられる。
【００３２】
ここでいう「保護層」には、電荷輸送能を有する保護層なども含む。
【００３３】
支持体としては、導電性を有していればよく（導電性支持体）、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、亜鉛、ステンレス、バナジウム、モリブデン、クロム、チタン、ニッケル、インジウム、金、白金などの金属製（合金製）の支持体を用いることができる。また、これら金属（合金）を真空蒸着によって被膜形成した層を有する上記金属製支持体やプラスチック（ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリル樹脂など）製支持体を用いることもできる。また、カーボンブラック、酸化スズ粒子、酸化チタン粒子、銀粒子などの導電性粒子を適当な結着樹脂と共にプラスチックや紙に含浸した支持体や、導電性結着樹脂を有するプラスチック製の支持体などを用いることもできる。また、支持体の形状としては、円筒状、ベルト状などが挙げられるが、円筒状が好ましい。
【００３４】
また、支持体の表面は、レーザー光などの散乱による干渉縞の防止などを目的として、切削処理、粗面化処理、アルマイト処理などを施してもよい。
【００３５】
上述のとおり、支持体と感光層（電荷発生層、電荷輸送層）または後述の中間層との間には、レーザー光などの散乱による干渉縞の防止や、支持体の傷の被覆を目的とした導電層を設けてもよい。
【００３６】
導電層は、カーボンブラック、金属粒子、金属酸化物粒子などの導電性粒子を結着樹脂に分散させて形成することができる。
【００３７】
導電層の膜厚は、１〜４０μｍであることが好ましく、特には２〜２０μｍであることがより好ましい。
【００３８】
上述のとおり、支持体または導電層と感光層（電荷発生層、電荷輸送層）との間には、バリア機能や接着機能を有する中間層を設けてもよい。中間層は、感光層の接着性改良、塗工性改良、支持体からの電荷注入性改良、感光層の電気的破壊に対する保護などのために形成される。
【００３９】
中間層は、アクリル樹脂、アリル樹脂、アルキッド樹脂、エチルセルロース樹脂、エチレン−アクリル酸コポリマー、エポキシ樹脂、カゼイン樹脂、シリコーン樹脂、ゼラチン樹脂、ナイロン、フェノール樹脂、ブチラール樹脂、ポリアクリレート樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアリルエーテル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ユリア樹脂などの樹脂や、酸化アルミニウムなどの材料を用いて形成することができる。また、中間層には、金属、合金、それらの酸化物、塩類、界面活性剤などを含有させてもよい。
【００４０】
中間層の膜厚は０．０５〜７μｍであることが好ましく、特には０．１〜２μｍであることがより好ましい。
【００４１】
本発明の製造方法により製造される電子写真感光体に用いられる電荷発生物質としては、例えば、モノアゾ、ジスアゾ、トリスアゾなどのアゾ顔料や、金属フタロシアニン、非金属フタロシアニンなどのフタロシアニン顔料や、インジゴ、チオインジゴなどのインジゴ顔料や、ペリレン酸無水物、ペリレン酸イミドなどのペリレン顔料や、アンスラキノン、ピレンキノンなどの多環キノン顔料や、スクワリリウム色素や、ピリリウム塩およびチアピリリウム塩や、トリフェニルメタン色素や、セレン、セレン−テルル、アモルファスシリコンなどの無機物質や、キナクリドン顔料や、アズレニウム塩顔料や、シアニン染料や、キサンテン色素や、キノンイミン色素や、スチリル色素や、硫化カドミウムや、酸化亜鉛などが挙げられる。これら電荷発生物質は１種のみ用いてもよく、２種以上用いてもよい。
【００４２】
電荷発生層に用いる結着樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、アリル樹脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂、スチレン−ブタジエンコポリマー、ナイロン、フェノール樹脂、ブチラール樹脂、ベンザール樹脂、ポリアクリレート樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアリルエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリプロピレン樹脂、メタクリル樹脂、ユリア樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニルコポリマー、酢酸ビニル樹脂などが挙げられる。特には、ブチラール樹脂などが好ましい。これらは単独、混合または共重合体として１種または２種以上用いることができる。
【００４３】
電荷発生層は、電荷発生物質を結着樹脂および溶剤と共に分散して得られる電荷発生層用塗布液を塗布し、加熱および／または放射線の照射などにより乾燥および／または硬化することによって形成することができる。分散方法としては、ホモジナイザー、超音波分散機、ボールミル、サンドミル、ロールミル、振動ミル、アトライター、液衝突型高速分散機などを用いた方法が挙げられる。
【００４４】
電荷発生層中の結着樹脂の割合は、電荷発生層全質量に対して９０質量％以下であることが好ましく、特には５０質量％以下であることがより好ましい。
【００４５】
電荷発生層用塗布液に用いる溶剤は、使用する結着樹脂や電荷発生物質の溶解性や分散安定性から選択されるが、有機溶剤としてはアルコール、スルホキシド、ケトン、エーテル、エステル、脂肪族ハロゲン化炭化水素、芳香族化合物などが挙げられる。
【００４６】
電荷発生層の膜厚は０．００１〜６μｍであることが好ましく、特には０．０１〜１μｍであることがより好ましい。
【００４７】
また、電荷発生層には、種々の増感剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤などを必要に応じて添加することもできる。
【００４８】
本発明の製造方法により製造される電子写真感光体に用いられる電荷輸送物質としては、例えば、トリアリールアミン化合物、ヒドラゾン化合物、スチリル化合物、スチルベン化合物、ピラゾリン化合物、オキサゾール化合物、チアゾール化合物、トリアリールメタン化合物などが挙げられる。これら電荷輸送物質は１種のみ用いてもよく、２種以上用いてもよい。
【００４９】
電荷輸送層に用いる結着樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、アクリロニトリル樹脂、アリル樹脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ナイロン、フェノール樹脂、フェノキシ樹脂、ブチラール樹脂、ポリアクリルアミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアリルエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリフェニレンオキシド樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリプロピレン樹脂、メタクリル樹脂、ユリア樹脂、塩化ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂などが挙げられる。特には、ポリアリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂などが好ましい。これらは単独、混合または共重合体として１種または２種以上用いることができる。
【００５０】
電荷輸送層は、電荷輸送物質と結着樹脂を溶剤に溶解して得られる電荷輸送層用塗布液を塗布し、加熱および／または放射線の照射などにより乾燥および／または硬化することによって形成することができる。
【００５１】
電荷輸送層中の電荷輸送物質の割合は、電荷輸送層全質量に対して２０〜８０質量％であることが好ましく、特には３０〜７０質量％であることがより好ましい。
【００５２】
電荷輸送層用塗布液に用いる溶剤としては、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン、酢酸メチル、酢酸エチルなどのエステル、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素、１，４−ジオキサン、テトラヒドロフランなどのエーテル、クロロベンゼン、クロロホルム、四塩化炭素などのハロゲン原子で置換された炭化水素などが用いられる。
【００５３】
電荷輸送層の膜厚は５〜５０μｍであることが好ましく、特には１０〜３０μｍであることがより好ましい。
【００５４】
また、電荷輸送層には、酸化防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤などを必要に応じて添加することもできる。
【００５５】
また、感光層上には、該感光層を保護することを目的とした保護層が設けられる。保護層は、上述した各種結着樹脂を溶剤に溶解して得られる保護層用塗布液を塗布し、加熱および／または放射線の照射などにより乾燥および／または硬化することによって形成することができる。
【００５６】
また、本発明の製造方法により製造される電子写真感光体の表面層には、潤滑剤を含有させてもよい。潤滑剤としては、例えば、ケイ素原子やフッ素原子を含むポリマー、モノマーおよびオリゴマーなどが挙げられる。具体的には、Ｎ−（ｎ−プロピル）−Ｎ−（β−アクリロキシエル）−パーフルオロオクチスルホン酸アミド、Ｎ−（ｎ−プロピル）−（β−メタクリロキシエル）−パーフルオロオクチルスルホン酸アミド、パーフルオロオクタンスルホン酸、パーフルオロカプリル酸、Ｎ−ｎ−プロピル−ｎ−パーフルオロオクタンスルホン酸アミド−エタノール、３−（２−パーフルオロヘキシル）エオキシ−１，２−ジヒドロキシプロパン、Ｎ−ｎ−プロピル−Ｎ−２，３−ジヒドロキシプロピルパーフルオロオクチルスルホンアミドなどが挙げられる。また、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリジクロロジフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体などのフッ素原子含有樹脂の粒子なども挙げられる。これらは単独または混合して１種または２種以上用いることができる。また、潤滑剤の数平均分子量は、３０００〜５００００００であることが好ましく、特には１００００〜３００００００であることがより好ましい。潤滑剤が粒子である場合、その平均粒径は０．０１〜１０μｍであることが好ましく、特には０．０５〜２．０μｍであることがより好ましい。
【００５７】
また、本発明の製造方法により製造される電子写真感光体の表面層には、抵抗調整剤を含有させてもよい。抵抗調整剤としては、例えば、ＳｎＯ２、ＩＴＯ、カーボンブラック、銀粒子などが挙げられる。また、これらに疎水化処理を施したものを用いてもよい。抵抗調整剤を添加した場合の表面層の抵抗は１０９〜１０１４Ω・ｃｍであることが好ましい。
【００５８】
なお、保護層を設ける本発明の場合は、保護層が電子写真感光体の表面層である。
【００５９】
上記各層の塗布液を塗布する際には、例えば、浸漬塗布法（浸漬コーティング法）、スプレーコーティング法、スピンナーコーティング法、ローラーコーティング法、マイヤーバーコーティング法、ブレードコーティング法などの塗布方法を用いることができる。
【００６０】
図４に、本発明の製造方法により製造された電子写真感光体を有するプロセスカートリッジを備えた電子写真装置の概略構成の一例を示す。
【００６１】
図４において、１は円筒状の電子写真感光体であり、軸２を中心に矢印方向に所定の周速度で回転駆動される。
【００６２】
回転駆動される電子写真感光体１の表面は、帯電手段（一次帯電手段：帯電ローラーなど）３により、正または負の所定電位に均一に帯電され、次いで、スリット露光やレーザービーム走査露光などの露光手段（不図示）から出力される露光光（画像露光光）４を受ける。こうして電子写真感光体１の表面に、目的の画像に対応した静電潜像が順次形成されていく。
【００６３】
電子写真感光体１の表面に形成された静電潜像は、現像手段５の現像剤に含まれるトナーにより現像されてトナー像となる。次いで、電子写真感光体１の表面に形成担持されているトナー像が、転写手段（転写ローラーなど）６からの転写バイアスによって、転写材供給手段（不図示）から電子写真感光体１と転写手段６との間（当接部）に電子写真感光体１の回転と同期して取り出されて給送された転写材（紙など）Ｐに順次転写されていく。
【００６４】
トナー像の転写を受けた転写材Ｐは、電子写真感光体１の表面から分離されて定着手段８へ導入されて像定着を受けることにより画像形成物（プリント、コピー）として装置外へプリントアウトされる。
【００６５】
トナー像転写後の電子写真感光体１の表面は、クリーニング手段（クリーニングブレードなど）７によって転写残りの現像剤（トナー）の除去を受けて清浄面化され、さらに前露光手段（不図示）からの前露光光（不図示）により除電処理された後、繰り返し画像形成に使用される。なお、図４に示すように、帯電手段３が帯電ローラーなどを用いた接触帯電手段である場合は、前露光は必ずしも必要ではない。
【００６６】
上述の電子写真感光体１、帯電手段３、現像手段５、転写手段６およびクリーニング手段７などの構成要素のうち、複数のものを容器に納めてプロセスカートリッジとして一体に結合して構成し、このプロセスカートリッジを複写機やレーザービームプリンターなどの電子写真装置本体に対して着脱自在に構成してもよい。図４では、電子写真感光体１と、帯電手段３、現像手段５およびクリーニング手段７とを一体に支持してカートリッジ化して、電子写真装置本体のレールなどの案内手段１０を用いて電子写真装置本体に着脱自在なプロセスカートリッジ９としている。
【実施例】
【００６７】
以下に、具体的な実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。ただし、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、実施例中の「部」は「質量部」を意味する。また、実施例で用いたポリアリレート樹脂は、すべて、テレフタル酸構造とイソフタル酸構造とのモル比（テレフタル酸構造：イソフタル酸構造）が５０：５０（モル比）のものである。
【００６８】
（実施例１）
直径３０ｍｍ、長さ３６０ｍｍのアルミニウムシリンダーを支持体（円筒状支持体）とした。
【００６９】
次に、ポリアミド樹脂（商品名：Ｍ−４０００、東レ（株）製）１０部を、メタノール１００部／イソプロパノール９０部の混合溶剤に溶解して、中間層用塗布液を調製した。
【００７０】
この中間層用塗布液を、支持体上に浸漬塗布し、１００℃で１５分間乾燥して、膜厚が１．０μｍの中間層を形成した。
【００７１】
次に、ＣｕＫα特性Ｘ線回折におけるブラッグ角２θ±０．２°の７．３°、２８．１°に強いピークを有する結晶形のヒドロキシガリウムフタロシアニン結晶（電荷発生物質）９部、ポリビニルブチラール樹脂（商品名：エスレックＢＸ−１、積水化学（株）製）３部、および、テトラヒドロフラン１００部を、直径１ｍｍのガラスビーズを用いたサンドミル装置で３時間分散し、これに酢酸ブチル２００部を加えて、電荷発生層用塗布液を調製した。
【００７２】
この電荷発生層用塗布液を、中間層上に浸漬塗布し、１００℃で１０分間乾燥して、膜厚が０．２μｍの電荷発生層を形成した。
【００７３】
次に、下記式（ＣＴ−１）で示される構造を有するアミン化合物（電荷輸送物質）９部、
【００７４】
【化１】
0004310225.tif 000002
【００７５】
下記式（ＣＴ−２）で示される構造を有するアミン化合物（電荷輸送物質）１部、
【００７６】
【化２】
0004310225.tif 000003
【００７７】
および、下記式（Ｒ−１）で示される繰り返し構造単位ならびに下記式（Ｒ−２）で示される繰り返し構造単位を有する２元共重合体のポリアリレート樹脂（（Ｒ−１）と（Ｒ−２）とのモル比（（Ｒ−１）：（Ｒ−２））は７：３）１０部
【００７８】
【化３】
0004310225.tif 000004
【００７９】
を、クロロベンゼン６００部／ジクロロメタン２００部の混合溶剤に溶解して、電荷輸送層用塗布液を調製した。
【００８０】
この電荷輸送層用塗布液を、電荷発生層上に浸漬塗布し、１２０℃で６０分間乾燥して、膜厚が２０μｍの電荷輸送層を形成した。
【００８１】
次に、図１に示す構成の洗浄装置を用い、上述のとおり上に中間層、電荷発生層および電荷輸送層まで形成した支持体を自転させ、ノズルを図３（ｂ）に示すように該支持体の自転軸の方向に上から下に向かって移動させつつ、粒径１ｍｍ以下のドライアイス粒子を電荷輸送層の表面に吹き付けることによって電荷輸送層の表面を洗浄した（詳細な洗浄条件は表１に示す）。なお、高圧ガスとしては窒素を用い、高圧ガス供給手段としては窒素ガスボンベを用いた。
【００８２】
次に、下記式で示される構造を有するヒドラゾン化合物（電荷輸送物質）５部、
【００８３】
【化４】
0004310225.tif 000005
【００８４】
および、ビスフェノールＺ型ポリカーボネート樹脂（数平均分子量：６００００）１０部を、クロロベンゼン５００部／ジクロロメタン３００部の混合溶剤にボールミル装置を用いて溶解して、保護層（第二電荷輸送層）用塗布液を調製した。
【００８５】
この保護層（第二電荷輸送層）用塗布液を、電荷輸送層上にスプレーコーティングし、６０℃で１５分間乾燥し、次に１３０℃で１時間乾燥して、膜厚が７．５μｍの保護層（第二電荷輸送層）を形成した。
【００８６】
このようにして、表面層が保護層（第二電荷輸送層）である電子写真感光体を作製した。以上の工程はクリーンルーム内で行った。
【００８７】
また、このようにして作製した電子写真感光体を１０本用意した。
【００８８】
（実施例２）
実施例１で用いた支持体を直径１８０ｍｍ、長さ３６０ｍｍのアルミニウムシリンダーに変更し、次に、実施例１と同様にして支持体上に中間層、電荷発生層および電荷輸送層までを形成し、次に、クリーンルームから排出後、再びクリーンルームに投入し、次に、洗浄条件を表１に示すように変更して粒径１ｍｍ以下のドライアイス粒子を用いて電荷輸送層の表面を洗浄し、次に、実施例１と同様にして保護層（第二電荷輸送層）を形成した。
【００８９】
このようにして、表面層が保護層（第二電荷輸送層）である電子写真感光体を作製した。
【００９０】
また、このようにして作製した電子写真感光体を１０本用意した。
【００９１】
（実施例３）
実施例１において、支持体を直径１８０ｍｍ、長さ３６０ｍｍのアルミニウムシリンダーに変更し、洗浄条件を表１に示すように変更して粒径１ｍｍ以下のドライアイス粒子を用いて電荷輸送層の表面を洗浄した以外は、実施例１と同様にして、表面層が保護層（第二電荷輸送層）である電子写真感光体を作製した。
【００９２】
また、このようにして作製した電子写真感光体を１０本用意した。
【００９３】
【表１】
0004310225.tif 000006
【００９４】
（比較例１）
実施例１において、電荷輸送層の表面の洗浄を、ドライアイス粒子の吹き付けはせずに高圧ガス（窒素）の吹き付けのみにより行った以外は、実施例１と同様にして、表面層が保護層（第二電荷輸送層）である電子写真感光体を作製した。
【００９５】
また、このようにして作製した電子写真感光体を１０本用意した。
【００９６】
（比較例２）
実施例２において、電荷輸送層の表面の洗浄を、ドライアイス粒子の吹き付けはせずに高圧ガス（窒素）の吹き付けのみにより行った以外は、実施例２と同様にして、表面層が保護層（第二電荷輸送層）である電子写真感光体を作製した。
【００９７】
また、このようにして作製した電子写真感光体を１０本用意した。
【００９８】
（比較例３）
実施例３において、電荷輸送層の表面の洗浄を、ドライアイス粒子の吹き付けはせずに高圧ガス（窒素）の吹き付けのみにより行った以外は、実施例３と同様にして、表面層が保護層（第二電荷輸送層）である電子写真感光体を作製した。
【００９９】
また、このようにして作製した電子写真感光体を１０本用意した。
【０１００】
（評価）
実施例１〜３および比較例１〜３で作製した各１０本の電子写真感光体について、目視により表面から異物が確認される電子写真感光体の本数を数えた（目視評価）。
【０１０１】
また、実施例２〜３および比較例３で作製した各１０本の電子写真感光体を、それぞれキヤノン（株）製カラーレーザー複写機（商品名：ＣＬＣ−７００）に搭載し、Ａ３サイズの普通紙に４色（イエロー、マゼンタ、シアン、ブラック）のハーフトーン画像を出力し、出力画像上に黒ポチが発生した電子写真感光体の本数を数えた（出力画像評価）。
【０１０２】
結果を表２に示す。
【０１０３】
【表２】
0004310225.tif 000007
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の電子写真感光体の製造方法の電荷輸送層表面洗浄工程を実施するための洗浄装置の一例を示す図である。
【図２】距離ａを説明する図である。
【図３】電荷輸送層表面洗浄工程における被洗浄物の設置について説明する図である。
【図４】本発明の製造方法により製造された電子写真感光体を有するプロセスカートリッジを備えた電子写真装置の概略構成の一例を示す図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１０１  液化二酸化炭素貯留手段（ボンベ）
１０２  ドライアイス粒子製造手段
１０３  ドライアイス粒子噴射手段（ノズル）
１０３１  ドライアイス粒子の噴射口
１０４  高圧ガス供給手段
１０５  ドライアイス粒子
１０６  被洗浄物
ａ  噴射口と（被洗浄物の）電荷輸送層の表面との距離
１  電子写真感光体
２  軸
３  帯電手段
４  露光光
５  現像手段
６  転写手段
７  クリーニング手段
８  定着手段
９  プロセスカートリッジ
１０  案内手段
Ｐ  転写材
【図１】
0004310225.tif 000008
【図２】
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【図３】
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【図４】
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