(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方にマスクを収容する開口を備えた合成樹脂製のケース本体と、該ケース本体に被せられて該開口を塞ぐ合成樹脂製の被せ蓋を有し、該ケース本体の周面に設けた突起に該蓋の下縁から下方へ延びた弾力性を有する係合片に形成した係合孔を係合させてロックするマスク運搬用ケースに於いて、該ケース本体の開口縁に続く外周面に該係合片がはまり込む上方から切り込まれた凹部を形成すると共に、該ケース本体の開口縁に続く外周面と、該被せ蓋の下縁に続く外周面及び該係合片の外周面を同一面に形成し、該凹部に該係合片の係合孔と係合する該突起を設け、該係合片の側部にこれを横方向へ引き起こし可能にする切り込みを設けたことを特徴とするマスク運搬用ケース。
【請求項２】
上記凹部の面積を、上記係合片の側方にこれを引き起こすための指を差し込める程度のスペースを持つ大きさに形成したことを特徴とする請求項１に記載のマスク運搬用ケース。
【請求項３】
上記係合片の係合孔を上記切り込みの下方に位置して形成したことを特徴とする請求項１に記載のマスク運搬用ケース。
【請求項４】
上記ケース本体及び被せ蓋の周面に上下方向に延びる指掛け片を設けたことを特徴とする請求項１に記載のマスク運搬用ケース。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体パターンの形成など半導体の製造に使用されるフォトマスクやマスクブランクなどのマスクを運搬するケースに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のマスクは、例えば図１に示すような上方にマスクを収容する開口を備えた合成樹脂製のケース本体ａと、これに被せて該開口を塞ぐ合成樹脂製の被せ蓋ｂを有するマスク運搬用ケースｃにより運搬されている。該被せ蓋ｂの下縁にはこれと一体に弾力的な係合片ｄを形成し、これの係合孔ｅにケース本体ａの周面に設けた突起ｆを係合させてロックしたのち、図２に示すように、ケース本体ａと被せ蓋ｂの接合部を塞ぐようにテープｇを貼り付ける。該ケースｃの外形寸法は、縦１９ｃｍ、横２０ｃｍ、高さ１８ｃｍ程度である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記マスクは、篭型のキャリアに収めたのちマスク運搬用ケースに収容されるが、従来の運搬用ケースでは、係合片ｄが多少ともケース本体ａの周面から浮き上がって段差を生じて隙間が発生しやすく、特に係合片ｄの下方と該周面との間には大きな隙間が生じ、外部から浸入した埃がマスクに付着してそのまま半導体製造室内まで運び込まれてしまう不都合があった。また、マスクの取出しはクリーンベンチなどの机上で行われるが、係合片ｄはその下辺を指で上方へ引き上げて突起ｆとの係合を解除する必要があり、その作業は立ち作業になり作業性が悪く作業員の疲労を伴うので好ましくない。
【０００４】
本発明は、埃の浸入を防止できる密閉性を備えると共に被せ蓋の取り外しの作業が容易で、作業性の良いマスク運搬用ケースを提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決しようとする手段】
本発明では、上記の目的を達成するため、上方にマスクを収容する開口を備えた合成樹脂製のケース本体と、該ケース本体に被せられて該開口を塞ぐ合成樹脂製の被せ蓋を有し、該ケース本体の周面に設けた突起に該蓋の下縁から下方へ延びた弾力性を有する係合片に形成した係合孔を係合させてロックするマスク運搬用ケースに於いて、該ケース本体の開口縁に続く外周面に該係合片がはまり込む上方から切り込まれた凹部を形成すると共に、該ケース本体の開口縁に続く外周面と、該被せ蓋の下縁に続く外周面及び該係合片の外周面を同一面に形成し、該凹部に該係合片の係合孔と係合する該突起を設け、該係合片の側方にこれを横方向へ引き起こし可能にする切り込みを設け、テープの貼着で隙間無く密封でき且つ座ったまま開封作業を行えるようにした。該凹部の面積は、該係合片の側部にこれを引き起こすための指を差し込める程度のスペースを持つ大きさに形成され、該係合片の係合孔を該切り込みの下方に位置して形成しておくことで、係合片を上方或いは横方向のいずれに起こしても突起との係合を解除できる。該ケース本体及び被せ蓋の周面に上下方向に延びる指掛け片を設けておくことで、その解除が一層容易になる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づき説明すると、図３に於いて符号１は、上方に開口２を備えた合成樹脂製のケース本体を示し、該開口２は合成樹脂製の被せ蓋３により塞がれる。該開口２にはキャリア４に整列して収容したフォトマスクやマスクブランクなどのマスク５が収められる。該ケース本体１の開口縁６にはこれに嵌着される被せ蓋３のズレを防止する立ち上がり縁６ａを設け、該ケース本体１に被せ蓋３をロックするために、該被せ蓋３の対向する下縁７から延長形成した弾力性を有する係合片８、８の各係合孔９がケース本体１の対向周面に設けた突起１０に夫々嵌合される。
【０００７】
こうした構成は従来のものと変わりがないが、本発明では、該ケース本体１の開口縁６に続く外周面１１に、該係合片８がはまり込む上方から切り込まれた凹部１２を形成すると共に、該開口縁６に続く外周面１１と被せ蓋３の下縁７に続く外周面１３及び係合片８の外周面１４を同一面に形成し、該係合片８の側部８ａにこれを横方向へ引き起こすための切り込み１５を設け、粘着テープを巻き付けたときの密封性と被せ蓋３の開放作業を容易に行えるようにした。
【０００８】
これを更に説明すると、該ケース本体１の開口縁６の肉厚を下方の周面よりも厚く形成し、その厚手の外周面１１の下方に連続部１６を残して途中から該立ち上がり縁６ａまでの肉厚を減殺することにより上方から切り込まれた凹部１２を形成すると共に、該被せ蓋３の下縁７及び係合片８の肉厚と該突起１０の高さを該凹部１２の深さに一致させ、図４に示すように該被せ蓋３を閉じてロックしたときに各外周面１１、１３、１４が同一面になるようにした。ロックしたのちケース本体１と被せ蓋３の接合部には、図５に見られるように、テープ１７が巻き付け貼着されるが、係合片８でロックしたとき該係合片８の左右側面及び下方側面の三方の側面が該凹部１２の側壁により囲まれ、しかも各外周面１１、１３、１４が同一面にあるので、係合片８を包んで外部に連なる隙間のないように該テープ１７を貼着することができ、ケース内を外部からの埃が浸入しないように密閉できる。
【０００９】
該係合片８は、側部８ａから設けた切り込み１５のために上方向だけでなく横方向にも引き起こせるので、被せ蓋３の開封作業がクリーンベンチなどで椅子に座ったままでも行え、作業が容易になる。該係合片８の引き起こしを容易にするため、該係合片８の下方及び側方に指先を差し込めるスペース１８を持たせて凹部１２を形成した。また、該係合孔９は、上方及び横方向に係合片８を引き起こせる切り込み１５の下方の位置に形成し、その係脱を容易に行えるようにした。更に、係合片８を横方向に係合解除するときにケース全体に旋回させないように安定させるため、ケース本体１及び被せ蓋３の周面の適当な位置に、上下方向に延びる指掛け片１９を設けた。尚、係合孔９及び突起１０の形状は確実な係合が得られる形状であればよい。
【００１０】
マスク５はクリーンベンチなどの清浄な雰囲気に於いてキャリア４と共にケース本体１内に納められ、被せ蓋３で開口２を塞いだのちテープ１７で密封され、運搬される。該テープ１７は、外周面１１、１３、１４が同一面で浮き上がることがなく、係合片８の三方の周囲が凹部１２の壁面で囲まれているためケース内を密封した貼着が行え、運搬中にケース内へ埃が浸入することがなくなる。運搬先ではテープ１７を剥がしてクリーンベンチ上で開封されるが、ロックの解除作業は座ったままの作業姿勢で係合片８を指で横方向に引き起こすことで行え、このとき指掛け片１９に指を掛けておくことでケース全体が回らぬように安定して解除作業を行える。
【００１１】
【発明の効果】
以上のように本発明によるときは、マスク運搬用ケースのケース本体の外周面に上方から切り込まれた凹部を形成してロック時に係合片の三方を囲むようにし、該ケース本体、被せ蓋及び係合片の外周面を同一面に形成し、該係合片の側部に切り込みを設けるようにしたので、ケース本体と被せ蓋の接合部をテープの巻き付け貼着により隙間なく密封でき、運搬中にマスクにゴミが付着する不都合が解消され、該係合片を横方向に引き起こしてロックを解除できるので、開封作業を座り作業で行えて作業者の疲労を減少させることができ、その構成も簡単で安価に製作できる等の効果があり、該凹部を該係合片の側方にこれを引き起こすための指を差し込める程度のスペースを持つ大きさに形成することで係合片のロック解除操作を簡単に行え、該係合片の係合孔を該切り込みの下方に位置して形成し、更にはケース本体及び被せ蓋の周面に上下方向に延びる指掛け片を設けることで一層容易にロック解除操作を行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のマスク運搬用ケースの斜視図
【図２】従来のマスク運搬用ケースの封緘状態の斜視図
【図３】本発明の実施の形態を示す斜視図
【図４】図１のロック状態を示す斜視図
【図５】図４の封緘状態を示す斜視図
【符号の説明】
１  ケース本体、２  開口、３  被せ蓋、５  マスク、６  開口縁、７  下縁、８  係合片、９  係合孔、１０  突起、１１・１３・１４  外周面、１２  凹部、１５  切り込み、１７  テープ、１８  スペース、１９  指掛け片、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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