(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品移載装置を昇降操作自在に備えた物品搬送車が、物品移載箇所の上方側を走行レールに沿って走行自在に設けられ、
前記物品搬送車の運転を制御する運転制御手段が、
前記物品移載装置を搬送用の上昇位置に位置させた状態で前記物品搬送車を走行させる走行処理、および、
物品移載用の目標停止位置に前記物品搬送車を停止させた状態で、前記物品移載装置を前記上昇位置から前記物品移載箇所に対して物品移載を行う目標下降位置に下降させて、前記物品移載箇所に配置された載置台の載置面上に載置支持された物品の上部を把持して掬い取るまたは自己が把持する物品を前記載置台の載置面上に載置して卸す物品移載を行い、その後、前記物品移載装置を前記上昇位置に上昇させる物品移載処理を実行するように構成された搬送設備であって、
前記運転制御手段が、前記上昇位置に位置する前記物品移載装置を前記目標下降位置に下降させるための初期目標下降量を記憶し、前記物品移載装置と前記載置台の載置面との距離を検出するレーザ距離センサを備えて、前記物品移載処理において、前記物品搬送車の停止状態で前記上昇位置に位置する前記物品移載装置と前記載置台の載置面との距離を前記レーザ距離センサからの光を前記載置面における物品載置位置の外側で反射させて検出し、その検出情報に基づいて前記初期目標下降量を補正することにより、前記上昇位置に位置する前記物品移載装置を前記目標下降位置に下降させるための目標下降量を、前記目標下降位置に前記物品移載装置を下降させるための下降作動情報として求め、前記物品移載装置の前記物品搬送車に対する昇降位置を検出する昇降位置検出手段の検出情報に基づいて、前記目標下降量を下降させることにより、前記物品移載装置を前記目標下降位置に下降させるように構成されている搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品移載装置を昇降操作自在に備えた物品搬送車が、物品移載箇所の上方側を走行レールに沿って走行自在に設けられ、前記物品搬送車の運転を制御する運転制御手段が、前記物品移載装置を搬送用の上昇位置に位置させた状態で前記物品搬送車を走行させる走行処理、および、物品移載用の目標停止位置に前記物品搬送車を停止させた状態で、前記物品移載装置を前記上昇位置から前記物品移載箇所に対して物品移載を行う目標下降位置に下降させて、前記物品移載箇所に配置された載置台の載置面上に載置支持された物品の上部を把持して掬い取るまたは自己が把持する物品を前記載置台の載置面上に載置して卸す物品移載を行い、その後、前記物品移載装置を前記上昇位置に上昇させる物品移載処理を実行するように構成された搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記のような搬送設備は、例えば、半導体基板などを収納した搬送容器を物品として、運転制御手段が、物品移載処理を行うことにより、物品移載箇所から物品を掬い取ると、物品移載装置にて物品を保持した状態で走行処理を行ったのち、再度、物品移載処理を行うことにより、物品移載箇所に物品を卸すようにして、半導体基板などを製造するための処理が配置された物品移載箇所に順次物品を搬送させるものである。
【０００３】
このような搬送設備において、物品移載箇所から物品を掬い取るまたは物品移載箇所へ物品を卸す物品移載を的確に行うために、上昇位置に位置する物品移載装置を目標下降位置に下降させるための下降作動情報を、上昇位置と物品移載箇所との相対距離を基準に求めて、その下降作動情報に基づいて物品移載装置を下降させる必要があった。
【０００４】
そこで、従来では、運転制御手段が、設備の設置初期などに、上昇位置に位置する物品移載装置を目標下降位置に下降させるための初期目標下降量を求めることにより、上昇位置と物品移載箇所との相対距離に対応して、初期目標下降量を下降作動量として求めて記憶し、その記憶されている初期目標下降量を下降させることにより、物品移載装置を目標下降位置に下降させるようにしているものがある。
そして、このような搬送設備では、設備の設置初期などの上昇位置と物品移載箇所との相対距離に対応することはできるものの、積雪などにより天井の高さが変化して、上昇位置と物品移載箇所との相対距離が変化すると、物品移載を的確に行うことができず、移載不良を発生することになる。
したがって、上記従来の搬送設備では、物品移載装置を記憶されている初期目標下降量に基づいて下降させた状態において、物品移載装置と物品移載箇所との距離を距離検出手段にて検出して、物品移載装置が目標下降位置からずれている位置ずれ状態であるか否かを判別することにより、移載不良の発生を未然に防止するようにしている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１５０６２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の搬送設備では、設備の設置初期から上昇位置と物品移載箇所との相対距離が変化している場合に、運転制御手段が、単に、位置ずれ状態であるか否かを判別しているだけであるので、位置ずれ状態であると判別されるたびに、物品移載処理を一旦停止させて、そのときの上昇位置と物品移載箇所との相対距離に対応するように初期目標下降量を調整する必要が生じることになる。
したがって、上昇位置と物品移載箇所との相対距離が変化していると、物品移載を的確に行うために、物品移載を途中で中断しなければならず、搬送効率の低下を招くものとなっていた。
【０００７】
本発明は、かかる点に着目してなされたものであり、その目的は、搬送効率の向上を図りながら、物品移載箇所から物品を掬い取るまたは物品移載箇所へ物品を卸す物品移載を的確に行うことができる搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するために、本発明にかかる搬送設備の第１特徴構成は、物品移載装置を昇降操作自在に備えた物品搬送車が、物品移載箇所の上方側を走行レールに沿って走行自在に設けられ、
前記物品搬送車の運転を制御する運転制御手段が、
前記物品移載装置を搬送用の上昇位置に位置させた状態で前記物品搬送車を走行させる走行処理、および、物品移載用の目標停止位置に前記物品搬送車を停止させた状態で、前記物品移載装置を前記上昇位置から前記物品移載箇所に対して物品移載を行う目標下降位置に下降させて、前記物品移載箇所に配置された載置台の載置面上に載置支持された物品の上部を把持して掬い取るまたは自己が把持する物品を前記載置台の載置面上に載置して卸す物品移載を行い、その後、前記物品移載装置を前記上昇位置に上昇させる物品移載処理を実行するように構成された搬送設備において、
前記運転制御手段が、前記上昇位置に位置する前記物品移載装置を前記目標下降位置に下降させるための初期目標下降量を記憶し、前記物品移載装置と前記載置台の載置面との距離を検出するレーザ距離センサを備えて、前記物品移載処理において、前記物品搬送車の停止状態で前記上昇位置に位置する前記物品移載装置と前記載置台の載置面との距離を前記レーザ距離センサからの光を前記載置面における物品載置位置の外側で反射させて検出し、その検出情報に基づいて前記初期目標下降量を補正することにより、前記上昇位置に位置する前記物品移載装置を前記目標下降位置に下降させるための目標下降量を、前記目標下降位置に前記物品移載装置を下降させるための下降作動情報として求め、前記物品移載装置の前記物品搬送車に対する昇降位置を検出する昇降位置検出手段の検出情報に基づいて、前記目標下降量を下降させることにより、前記物品移載装置を前記目標下降位置に下降させるように構成されている点にある。
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
すなわち、運転制御手段が、設備の設置初期などに、初期目標下降量を記憶し、物品移載を行う際に、レーザ距離センサの検出情報に基づいて初期目標下降量を補正して目標下降量を求めることにより、設置初期から上昇位置と物品移載箇所に配置された載置台の載置面との相対距離が変化している場合でも、初期目標下降量を補正するという簡易な処理により、その変化した上昇位置と物品移載箇所に配置された載置台の載置面との相対距離に対応する状態で目標下降量を求めることができることになる。
そして、運転制御手段は、物品移載装置の下降中における昇降位置検出手段の検出情報に基づいて、求めた目標下降量を下降させることにより、物品移載装置を目標下降位置に下降させることができることになる。
したがって、設置初期から上昇位置と物品移載箇所に配置された載置台の載置面との相対位置が変化している場合でも、初期目標下降量を補正するという簡易な処理により、構成の簡素化を図りながら、物品移載を中断することなく的確に行うことができることになる。
【００１３】
【００１４】
【００１５】
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【００１９】
【００２０】
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明にかかる搬送設備を図面に基づいて説明する。
この搬送設備は、例えば、半導体基板などを収納した搬送容器を物品Ｂとして、その物品Ｂを、半導体基板などを製造するための処理を行う処理装置が配置された物品移載箇所の夫々に搬送するものであり、図１および図２に示すように、物品移載装置１を昇降操作自在に備えた物品搬送車２が、物品移載箇所３の上方側を走行レール４に沿って走行自在に設けられ、この物品搬送車２の運転を制御する運転制御手段としての運転制御部Ｈも設けられている。
【００２２】
前記物品移載箇所３の夫々には、物品Ｂを載置可能な載置台６が配置され、その載置台６に載置されている物品Ｂを処理装置に供給したり、処理装置での処理が終了した物品Ｂを載置台６に載置させるように構成されている。
そして、物品搬送車２が、載置台６に対応する物品移載用の目標停止位置に停止した状態で、べルトなどの昇降部材５を巻き取りまたは巻き出すことにより、載置台６の載置面上に載置支持された物品Ｂの上部を把持して掬い取る、または、自己が把持している物品Ｂを載置台６の載置面上に載置して卸す物品移載を行うように構成されている。
【００２３】
前記物品移載装置１は、図示はしないが、物品Ｂを把持する把持状態とその把持を解除する解除状態とに切換自在に構成され、物品Ｂを把持していない状態で目標下降位置まで下降したときに把持状態に切り換えることにより、物品Ｂを載置台６の載置面上から掬い取り、物品Ｂを把持している状態で目標下降位置まで下降したときに解除状態に切り換えることにより、物品Ｂを載置台６の載置面上に卸すように構成されている。
【００２４】
そして、物品搬送車２には、昇降部材５の巻き出し量を検出することにより、物品移載装置１の物品搬送車２に対する昇降位置を検出する昇降位置検出手段としての昇降位置センサ７、物品移載装置１と載置台６との距離を検出する距離検出手段としての距離センサ８が設けられている。
【００２５】
前記昇降位置センサ７は、昇降部材５を巻き取りまたは巻き出すために備えられている駆動モータの駆動量などを検出することにより、昇降部材５の巻き出し量を検出するように構成されている。
前記距離センサ８は、例えば、レーザ距離センサにて構成され、載置台６に向けて光を発射して載置台６の載置面における物品Ｂの載置位置の外側にて反射された反射光を受信し、光が往復する時間を計測することにより、距離センサ８の下端位置と載置台６の載置面との距離を検出するように構成されている。
【００２６】
前記運転制御部Ｈは、図２に示すように、物品移載装置１を搬送用の上昇位置Ｔ１に位置させた状態で物品搬送車２を走行させる走行処理、および、物品移載用の目標停止位置に物品搬送車２を停止させた状態で、物品移載装置１を上昇位置Ｔ１から載置台６に対して物品移載を行う目標下降位置Ｔ２に下降させて、載置台６の載置面上に位置する物品Ｂを掬い取るまたは自己が保持する物品Ｂを載置台６の載置面上に卸す物品移載を行い、その後、物品移載装置１を上昇位置Ｔ１に上昇させる物品移載処理を実行するように構成されている。
【００２７】
前記走行処理について説明を加えると、運転制御部Ｈは、設備の設置初期などに、物品移載装置１の昇降により載置台６に対して物品移載を行うための目標停止位置についての情報が記憶されており、その記憶されている目標停止位置についての情報に基づいて、物品移載対象の載置台６に対応する目標停止位置に物品搬送車２を停止させるように、物品搬送車２の運転を制御するように構成されている。
【００２８】
前記物品移載処理について説明を加えると、運転制御部Ｈは、上昇位置Ｔ１から目標下降位置Ｔ２に物品移載装置１を下降させるための下降作動情報を求めて、その下降作動情報に基づいて昇降部材５を巻き出すことにより、物品移載装置１を目標下降位置Ｔ２に下降させるように構成されている。
そして、運転制御部Ｈは、物品移載装置１を目標下降位置に下降させた状態において、物品移載装置１を把持状態に切り換えることにより載置台６から物品Ｂを掬い取りまたは物品移載装置１を解除状態に切り換えることにより載置台６に物品Ｂを卸す物品移載を行い、その後、昇降部材５を巻き取ることにより、物品移載装置１を上昇位置Ｔ１に上昇させるように構成されている。
【００２９】
以下、運転制御部Ｈによる物品移載処理において物品移載装置１を目標下降位置に下降させる際の動作について説明する。
前記運転制御部Ｈは、上昇位置Ｔ１に位置する物品移載装置１を目標下降位置Ｔ２に下降させるための初期目標下降量を記憶し、上昇位置Ｔ１に位置する物品移載装置１と載置台６の載置面との距離を距離センサ８にて検出して、その検出情報に基づいて初期目標下降量を補正することにより、上昇位置Ｔ１に位置する物品移載装置１を目標下降位置Ｔ２に下降させるための目標下降量を、下降作動情報として求めるように構成されている。
そして、運転制御部Ｈは、昇降位置センサ７の検出情報に基づいて、目標下降量を下降させることにより、物品移載装置１を目標下降位置Ｔ２に下降させるように構成されている。
【００３０】
前記初期目標下降量を記憶する構成について説明を加えると、図３の（イ）に示すように、設備の設置初期などに、上昇位置Ｔ１に位置する物品移載装置１を手動操作などにより目標下降位置Ｔ２まで下降させることにより、そのときの物品移載装置１の下降移動量を、初期目標下降量Ｑ１として求めて記憶するように構成されている。
【００３１】
前記目標下降量を求める構成について説明を加えると、図３の（ロ）に示すように、物品移載装置１が上昇位置Ｔ１に位置する状態で、距離センサ８にて距離センサ８の下端位置と載置台６の載置面との距離Ｒ２を検出する。
そして、初期目標下降量Ｑ１に基づく初期距離Ｒ１と距離センサ８の検出距離Ｒ２とを比較することにより、上昇位置Ｔ１と載置台６の載置面との相対距離の変化に対応した補正量Δｒを求めて、その補正量Δｒと初期目標下降量Ｑ１とから、目標下降量Ｑ２を求めるように構成されている。
【００３２】
具体的に説明を加えると、まず、初期目標下降量Ｑ１に、距離センサ８の下端位置と物品移載装置１の上端位置との距離Ｋ１と、物品移載装置１を目標下降位置Ｔ２に下降させた状態において、載置台６の載置面と物品移載装置１の上端位置との距離Ｋ２とを加えて、初期距離Ｒ１（＝Ｑ１＋Ｋ１＋Ｋ２）を求めておく。
そして、その初期距離Ｒ１と距離センサ８による検出距離Ｒ２とから下記〔数１〕に基づいて、補正量Δｒを求めたのち、その補正量Δｒと初期目標下降量Ｑ１とから下記〔数２〕に基づいて、目標下降量Ｑ２を求めるように構成されている。
【００３３】
ちなみに、図３の（ロ）は、図３の（イ）に示すものよりも、積雪などにより天井の高さが低くなり、図３の（イ）から、上昇位置Ｔ１と載置台６の載置面との相対距離が短く変化したものを示している。
また、図３の（イ）および（ロ）において、距離センサ８の下端位置と物品移載装置１の上端位置との距離Ｋ１と、物品移載装置１を目標下降位置Ｔ２に下降させた状態において、載置台６の載置面と物品移載装置１の上端位置との距離Ｋ２とは、一定値である。
【００３４】
〔数１〕
Δｒ＝Ｒ１−Ｒ２
【００３５】
〔数２〕
Ｑ２＝Ｑ１＋Δｒ
【００３６】
このようにして、初期距離Ｒ１と距離センサ８による検出距離Ｒ２とを比較して、上昇位置Ｔ１と載置台６の載置面との相対距離の変化に対応した補正量Δｒを求めて、その補正量Δｒにて初期目標下降量Ｑ１を補正した目標下降量Ｑ２を求めることにより、上昇位置Ｔ１と載置台６の載置面との相対距離が、初期目標下降量を記憶したときから変化していても、その変化した上昇位置Ｔ１と載置台６の載置面との相対距離に対応した状態で、目標下降量Ｑ２を求めるように構成されている。
【００３７】
【００３８】
【００３９】
【００４０】
【００４１】
【００４２】
【００４３】
【００４４】
【００４５】
【００４６】
【００４７】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、距離センサ８を、物品搬送車２において昇降駆動しない台車部分に配設するようにしているが、例えば、昇降駆動可能な物品移載装置１に設けて実施することも可能であり、距離センサ８の配設位置については適宜変更が可能である。
【００４８】
【００４９】
（２）上記実施形態では、昇降位置検出手段として、昇降部材５の巻き出し量を検出することにより、物品移載装置１の物品搬送車２に対する昇降位置を検出するように構成されているが、例えば、距離センサなどを用いて、物品移載装置１の物品搬送車２に対する昇降位置を検出することも可能であり、昇降位置検出手段の構成については適宜変更が可能である。
【００５０】
（３）上記実施形態では、物品Ｂとして、半導体基板などを収納した搬送容器を例示したが、その他各種の物品を適応することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】搬送設備の一部斜視図
【図２】搬送設備の一部側面図
【図３】物品移載処理での物品移載装置の動作を示す側面図
【符号の説明】
【００５２】
１          物品移載装置
２          物品搬送車
３          物品移載箇所
４          走行レール
６ 載置台
７          昇降位置検出手段
８          レーザ距離センサ
Ｈ          運転制御手段
【図１】
0004348613.tif 000002
【図２】
0004348613.tif 000003
【図３】
0004348613.tif 000004