(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクに描かれた所定のパターンを露光台に載置された基板に露光する露光装置であって、
前記露光台と第一の方向に相対的に移動することにより、前記露光台全域に渡って均一な積算露光量で露光できるように離散的に二次元配列された複数の発光素子を有する光源ユニットを複数有する発光手段と、
露光期間中に、前記発光手段と、前記露光台とを前記第一の方向に沿って相対的に移動させる走査手段と、
前記発光手段の発光制御を行う制御手段と、を備え、
前記光源ユニットは、前記発光素子からの光を平行光束として照射する第一ユニットと、前記発光素子からの光を発散光束として照射する第二ユニットと、に分類され、
前記制御手段は、所定の情報に対応して、第一ユニットからの光束を均一の光量を有する所定形状に整形した光線と、第二ユニットからの光束の照射領域および光強度を調整した光線のいずれか一方を選択して発光させ、
前記第一ユニットの発光素子は、前記第１の方向と直角をなす第２の方向と、前記第１の方向と前記第２の方向との間で所定の角度をなす第３の方向とによって規定される面上に、相互に等間隔で配列していることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記発光手段は、少なくとも１以上の前記第一ユニットと少なくとも１以上の前記第二ユニットとが、前記第一の方向に交互に並べて配設されていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記発光手段は、少なくとも２以上の前記第一ユニットと少なくとも２以上の前記第二ユニットとが、各々まとめて配設されていることを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記所定の情報とは、前記基板に塗布された感光剤の種類に関する情報であることを特徴とする請求項１ないし３の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記発光素子は、紫外領域の光を発光する紫外ＬＥＤであることを特徴とする請求項１ないし４の何れか一項に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、マスクに描かれた所定のパターンを基板に露光するために用いられる露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、露光装置は、超高圧水銀灯を備える光源部から照射された光によって露光台に固定された基板に回路パターン等を露光していた。
【０００３】
例えば、回路パターン露光工程においては、解像度の高いポジ感光剤が塗布される基板に対しては、より解像度の高い露光が可能な平行光を照射する光源部を備える露光装置（以下、平行光照射型の露光装置という）による露光が行われ、液状ネガ感光剤が塗布される基板に対しては、スルーホール内壁も露光が可能な発散光を照射する光源部を備える露光装置（以下、発散光照射型の露光装置という）による露光が行われる。また、回路パターン露光工程の後で行われるソルダレジスト露光工程においては、ソルダレジストの光に対する感度が低いために、平行光よりも光強度の強い発散光を照射する発散光照射型の露光装置が多用される。
【０００４】
このように、一連の基板作製工程中において、工程の種類や該工程中に基板に塗布される感光剤の特性に応じて、平行光照射型と発散光照射型とのいずれか一方の露光装置が選択されて、使用されている。従って、感光剤を露光するという共通の工程に用いられる装置であるにもかかわらず、平行光照射型および発散光照射型という異なる二種類の露光装置を準備しなければならない。そのため、露光装置の製造ラインの統一化を図ることが難しく、製造コストや製造期間がかさんでしまい製造の非効率性が指摘されている。特に、従来の平行光照射型の露光装置は、超高圧水銀灯から照射された光を平行光にするために、光源部を非常に大型で複雑な構成にする必要があるため、高価になってしまう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、上記の従来の問題点に鑑み、簡素な構成でありながら各工程中に基板に塗布される感光剤の特性に対応した光を照射することができ、かつ安価で効率よく製造することができる露光装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成させるため、この発明は、マスクに描かれた所定のパターンを露光台に載置された基板に露光する露光装置に関するものである。該露光装置は、露光台と第一の方向に相対的に移動することにより、露光台全域にわたって隙間なく均一な積算露光量で露光できるように離散的に二次元配列された複数の発光素子を有する光源ユニットを複数有する発光手段と、露光期間中に、前記発光手段と、露光台とを第一の方向に沿って相対的に移動させる走査手段と、発光手段の発光制御を行う制御手段と、を備えている。該光源ユニットは、前記発光素子からの光を平行光束として照射する第一ユニットと、前記発光素子からの光を発散光束として照射する第二ユニットとに分類され、前記制御手段は、所定の情報に対応して、第一ユニットからの光束を均一の光量を有する所定形状に整形した光線と、第二ユニットからの光束の照射領域および光強度を調整した光線のいずれか一方を選択して発光させ、前記第一ユニットの発光素子は、前記第１の方向と直角をなす第２の方向と、前記第１の方向と前記第２の方向との間で所定の角度をなす第３の方向とによって規定される面上に、相互に等間隔で配列していることを特徴とする。
【０００７】
このように、光源部が平行光を照射するユニットと発散光を照射するユニットとを備える構成にすることにより、一台の露光装置で容易に平行光束と発散光束とを生成することが可能となった。つまり、本発明の露光装置ならば、工程の種類や該工程中に基板に塗布される感光剤の特性に対応した光を照射することができ、かつ安価で効率よく製造することができる。また、一台でさまざまな感光剤に適した光束を照射可能であるため、感光剤に対応する露光装置を複数台設置する必要がなくなり、工場内での省スペース化に寄与することができる。
【０００８】
また超高圧水銀灯の代わりに発光素子を使用することにより、上記光源部全体の規模を非常に小型化させることができる。ここで発光素子自体にも以下のような利点がある。まず、点灯後すぐに安定した光量の光を照射することができるため、必要に応じて点灯制御することができる。つまり、常時点灯しつづける必要がある超高圧水銀灯に比べて、消費電力をはるかに抑えることができる。また、発光素子の寿命は長いため、光源の交換に関するユーザにかかる負担を軽減することができる。
【０００９】
平行光束を照射する第一ユニットは、複数の発光素子の配列に対応して配設された複数の凸レンズを有する一枚の平面板を有し、平面板は、発光素子から凸レンズまでの距離が、凸レンズの焦点距離に略等しくなる位置に配設されることが望ましい。これにより、凸レンズは、コリメータレンズレンズとして機能し、発光素子からの光を平行光束にすることができる。また、一枚の平面板、例えばガラス版に凸レンズを配設することにより、ユニットの製造を簡素化させ、コストダウンを図ることができる。
【００１０】
発散光束を照射する第二ユニットは、上記第一ユニットと同様に複数の発光素子の配列に対応して配設された複数の凸レンズを有する一枚の平面板を有しており、該平面板は、発光素子から凸レンズまでの距離が、凸レンズの焦点距離と一致しない任意の位置に配設される。このように、第一ユニットと第二ユニットとを共通の部材を用いて構成することにより、露光装置を製造する際のより一層のコストダウンを図ることができる。
【００１１】
より広い照射領域を得たい場合には、第二ユニットを、複数の発光素子の配列に対応して配設された複数の凹レンズを有する一枚の平面板で構成すると良い。
【００１２】
光源部内において、第一ユニットと第二ユニットは、第一の方向に交互に並べて配設されていても良いし、同種のユニットでまとめて配設されていてもよい。
【００１３】
また、光源システムには、複数の発光素子から発光された各光束の露光台と平行な面での断面形状を所定形状に成形する光束成形手段をさらに有することが望ましい。光束成形手段によって光束断面を所定形状にすることにより、一つの光束における光強度が弱い照射領域（光束の外延部近傍によって照射された領域）が隣接する他の光束の照射領域で補完されることになり、より均一な積算露光量での露光が可能になる。
【００１４】
上記光束成形手段としては、発光素子の配列に対応して配設された複数の開口を有する一枚の平面板であることが望ましい。該開口の形状は、光束断面をどのような形状にするかによって異なり、例えば、円形状や、台形状などが考えられる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、この発明にかかる露光装置の実施形態について説明する。図１は、実施形態の露光装置１００の光源部１、露光台２近傍を拡大した斜視図である。図２は露光台２近傍の上面図、図３は露光台２近傍の側面図である。実施形態の露光装置１００は、マスクＭに描かれた回路パターンを基板Ｓに露光するための装置であり、この露光装置１００では、マスクＭと基板Ｓをわずか（10μｍ〜20μｍ）に離して露光するプロキシミティー法を用いている。なお各図中、Ｘ方向（およびＸ方向の逆方向）は、光源部１および露光台２が相対的に移動する方向（第一の方向）、つまり露光装置１００における走査方向である。Ｙ方向は、基板の露光される面（被露光面）において、Ｘ方向と直交する方向（第二の方向）である。Ｚ方向は、被露光面と直交する方向、つまり光源部１から照射される光の直進方向である。
【００１６】
図１から図３に示すように、露光装置１００は、光源部１（図１中二点鎖線で示す）、露光台２、第一モータ３、第一レール４、第一ドライバ５、一対のレール（第二レール）６、第一ボールねじ７ａ、テーブル駆動モータ７ｂ、ベース８、マスクホルダ部９を備えている。
【００１７】
光源部１は、第一モータ３の駆動によって、第一レール４に沿ってＸ方向に移動する。第一モータ３は、第一ドライバ５を介して制御部１０によって制御されている。ここで光源部１から発光される光によって露光されるＹ方向の最大幅は、露光装置１００で露光可能な基板Ｓが有するＹ方向における最大長さよりも十分に長く構成される。つまり光源部１がＸ方向に平行移動することにより、どのようなサイズの基板Ｓの被露光面も全域を露光されることになる。
【００１８】
基板Ｓが載置される露光台２は、ベース８上に設けられている。露光台２は、その下面がＸ方向に延びる第二レール６に沿ってガイドされた状態で、第一ボールねじ７ａをテーブル駆動モータ７ｂにより回転させることによって、Ｘ方向に駆動自在な状態にある。
【００１９】
各図中斜線部で示すマスクＭは、マスクホルダ部９によって保持されている。詳しくは、マスクホルダ部９は、図３に示すように凹字状の断面形状を有しており、凹部にマスクＭが載置される。該凹部に載置されるマスクＭは、Ｘ方向の位置決めを行うＸ調整機構９ａおよびＹ方向の位置決めを行う一対のＹ調整機構９ｂによって所定位置に固定される。具体的には、各調整機構９ａ、９ｂはＬ字状のマスク支持部材（図中、塗りつぶし）を備えており、それぞれのマスク支持部材がＸ、またはＹ方向に駆動することにより、マスクＭの位置決めが行われる。なお、位置決めの際に、一対のＹ調整機構９ｂの駆動量をそれぞれ異ならせれば、マスクＭをＸ−Ｙ平面内において回転させることもできる。マスクホルダ部９は、Ｚ軸ベース９ｃによって露光台２に取り付けられているため、走査時（露光動作時）は、露光台２とともにＸ方向に相対移動する。また、マスクホルダ部９は、昇降機構９ｄによってＺ方向に昇降自在な状態にある。
【００２０】
前工程において、感光材を表面に塗布された基板Ｓは、図示しない搬送路を介して露光装置１００に搬送されて、露光台２に載置、固定される。その際、前述のＸ、Ｙ調整機構９ａ、９ｂにより、マスクＭの基板Ｓに対する相対的な位置決めが行われる。このときマスクホルダ部９は、基板Ｓの移動の妨げにならぬような高さまで、昇降機構９ｄによってＺ方向の逆方向（つまり光源部１方向）に上昇している。そして基板Ｓが、位置決めされて露光台２に固定されると、マスクホルダ部９は、マスクＭと基板Ｓの間隔が、10μｍ〜20μｍ程度になるまで昇降機構９ｄによってＺ方向（つまり露光台２方向）に下降する。
【００２１】
以下、本発明の特徴の一つである光源部１の構成について詳説する。図４は、光源部１の概略を示す図である。光源部１は、複数の発光素子１２が離散的に２次元配列された複数の光源ユニット（Ｐ１〜Ｐｎ、Ｗ１〜Ｗｎ）を備える。本発明では、光源ユニットは、各発光素子１２からの光を平行光束として照射する平行光ユニットＰ１〜Ｐnと、各発光素子１２からの光を発散光束として照射する発散光ユニットＷ１〜Ｗｎとを総括した名称である。図４に示すように、平行光ユニットＰ１〜Ｐnと発散光ユニットＷ１〜Ｗnとは、光源部１内において、Ｘ方向に交互に並べて設けられている。
【００２２】
まず、平行光ユニットＰ１〜Ｐｎについて図５を参照しつつ説明する。図５は、平行光ユニットＰ１をＹ−Ｚ面で切った断面図である。各平行光ユニットはどれも同一の構成であるため、ここでは平行光ユニットＰ１の構成についてのみ説明する。図５に示すように、平行光ユニットＰ１は、プリント基板１１に取り付けられた複数の発光素子１２と、レンズパネル１３と、開口パネル１４とを有する。プリント基板１１、レンズパネル１３、開口パネル１４は、光源ユニットの側面部を形成する支持板１５に取り付けられている。発光素子１２は、基板Ｓに塗布される感光材にとって最も感度の高い紫外域の光を発光する紫外ＬＥＤを使用している。
【００２３】
図６は、平行光ユニットＰ１内にある紫外ＬＥＤ１２の配列を示した図である。ここで、露光装置１００は、露光期間中、回路パターンを正確に基板に焼き付けるために、基板Ｓの被露光面全域をくまなく均一な積算露光量で露光する必要がある。そこで、光源ユニット内の紫外ＬＥＤ１２は、Ｘ方向に注目すると、Ｘ−Ｙ面内でＸ方向に対して所定角度傾いた第三の方向に延びる線分上に沿って複数個配置される。ここで、第三の方向に延びる線分上に沿って配置された紫外ＬＥＤ１２は、隣接する他の紫外ＬＥＤ１２とのＹ方向におけるずれ量が互いに等しい。また、紫外ＬＥＤ１２は、Ｙ方向に注目すると、Ｙ方向に平行な線分上に等間隔で複数個配置されている。つまり、紫外ＬＥＤ１２は、Ｙ方向と第三の方向とによって規定される面（略平行四辺形状）に二次元配列されている。
【００２４】
さらに、紫外ＬＥＤ１２の配置ずれによって露光されない領域が発生するのを回避するために、光源部１は、第三の方向に配置された各紫外ＬＥＤ１２から発光された光によって被露光面上で形成されるスポットのＸ方向の軌跡が、Ｙ方向において互いに接してあるいは一部重複して描かれるように配置構成される。このように配置構成することにより、光源部１をＸ方向に走査すれば、基板Ｓの被露光面全域をくまなく均一な積算露光量で露光することができる。
【００２５】
図５に示すように、レンズパネル１３は、一枚のガラス製またはプラスティック製の平面板であり、所定位置に複数の凸レンズ１３ａを備えている。レンズパネル１３上において各凸レンズ１３ａは、レンズパネル１３を支持板１５に取り付けることにより、各紫外ＬＥＤ１２の基板１１における配置位置に対応した位置に設けられている。つまり、凸レンズ１３ａは、レンズパネル１３において、図６に示すような配列と略同一の配列状態にある。
【００２６】
平行光ユニットＰ１内において、レンズパネル１３は、紫外ＬＥＤ１２と凸レンズ１３ａとの距離が、該凸レンズ１３ａの焦点距離に略等しくなる位置に取り付けられる。このように取り付けることにより、各凸レンズ１３ａは、コリメータレンズとしての機能を有することになる。すなわち紫外ＬＥＤ１２から照射された光束は、平行光束となって凸レンズ１３ａから射出される。平行光束は、ポジ感光剤が塗布された基板Ｓを露光するのに適している。
【００２７】
また、開口パネル１４には、複数の開口１４ａが形成されている。各開口１４ａも、各凸レンズ１３ａ同様、開口パネル１４を支持板１５に取り付けると、基板１１における紫外ＬＥＤ１２の配置位置（図６参照）に対応するように開口パネル１４の所定位置に形成されている。開口パネル１４に入射する光束が平行光束である場合、開口１４ａがどの位置にあっても、該開口通過後、被露光面に入射する光束の照射領域は略同一である。そのため、平行光ユニットＰ１内において開口パネル１４は、レンズパネル１２のＺ方向における取り付け位置とは無関係に予め定められた所定位置に取り付けられる。
【００２８】
各開口１４ａは、各凸レンズ１３ａを透過した光束の断面形状を該開口の形状に対応した所定形状に成形する。各開口１４ａによって光束を成形することにより、各光束の被露光面における照射領域が調整される。具体的には、各開口１４ａは、特定の光束の光強度が弱い照射領域（光束の外延部近傍によって照射された領域）が隣接する他の光束の照射領域で補完されて、被露光面上ではどの場所でも均一な光量の光が入射するような所定形状に光束を成形している。所定形状としては、例えば円形状、四角形状、六角形状、台形状などがある。
【００２９】
以上が平行光ユニットＰ１〜Ｐｎの説明である。上記のように構成される平行光ユニットＰ１〜Ｐｎは、紫外ＬＥＤ１２から発光された光を、凸レンズ１３ａによって平行光束とし、開口１４ａによって光束断面を所定形状に成形して、露光台２へ向かって照射する。
【００３０】
次に発散光ユニットＷ１〜Ｗｎについて説明する。図７は、発散光ユニットＷ１をＹ−Ｚ面で切った断面図である。各発散光ユニットはどれも同一の構成であるため、ここでは発散光ユニットＷ１の構成についてのみ説明する。また、発散光ユニットＷ１〜Ｗｎは、紫外ＬＥＤ１２の配列やユニットを構成する部材が、上述した平行光ユニットＰ１〜Ｐｎと同一であるため、図中の同一部材に同一符号を付してここでの説明は省略する。
【００３１】
発散光ユニットＷ１では、レンズパネル１３は、紫外ＬＥＤ１２と凸レンズ１３ａとの距離が、該凸レンズ１３ａの焦点距離ではない所定の位置に取り付けられる。図７（Ａ）は、紫外ＬＥＤ１２と凸レンズ１３ａとの距離が、該凸レンズ１３ａの焦点距離よりも短く設定された発散光ユニットＷ１を表す。このようにレンズパネル１３を支持板１５に取り付けることにより、各紫外ＬＥＤ１２からの光は、凸レンズ１３から発散光束となって射出される。発散光束は、液状ネガ感光剤が塗布された基板Ｓを露光する場合に適している。
【００３２】
凸レンズ１３ａを透過した発散光束は、次に開口パネル１４に形成された開口１４ａを通過して所定形状に成形される。発散光ユニットＷ１では、開口パネル１４を凸レンズ１３ａからどのくらい離して支持板１５に取り付けるかによって、被露光面に入射する各光束の照射領域が変化することになる。具体的には、開口パネル１４（開口１４ａ）をレンズパネル１３（凸レンズ１３ａ）近傍に配設すれば、特定の光束の照射領域は広くなり、開口パネル１４（開口１４ａ）をレンズパネル１３（凸レンズ１３ａ）から遠い位置に配設すれば、特定の光束の照射領域は狭くなる。図７（Ａ）では、開口パネル１４をレンズパネル１３近傍に取り付けることにより、特定の光束の被露光面における照射領域をより広くしている。
【００３３】
図７（Ｂ）は、紫外ＬＥＤ１２と凸レンズ１３ａとの距離が、該凸レンズ１３ａの焦点距離よりも長く設定された発散光ユニットＷ１を表す。図７（Ｂ）に示すようにレンズパネル１３を取り付けることによっても発散光束を生成することが可能である。このようにして発散光束を生成する場合、光強度の強い光束の中心部近傍のみを抽出して被露光面に入射させることができる。ただし光束は、レンズパネル１３を透過した後、露光台２に入射するまでに一回収束するため、図７（Ａ）の構成に比べると、露光台２上における照射領域は狭くなる。なお、図７（Ｂ）に示す構成の場合、開口パネル１４は紫外ＬＥＤ１２から照射された光の収束位置よりも露光台２よりに配設する。
【００３４】
以上が発散光ユニットＷ１〜Ｗｎの説明である。発散光ユニットＷ１〜Ｗｎは、紫外ＬＥＤ１２から発光された光を凸レンズ１３ａによって発散光束とし、開口１４ａによって光束断面を所定の形状に成形して、露光台２へ向かって照射する。なお、発散光ユニットＷ１〜Ｗｎについては、図７（Ａ）と図７（Ｂ）との二例を挙げて説明したが、より均一な積算露光量で露光を行うためには、どの発散光ユニットも共通の構成であったほうが良い。つまり、一つの光源部１の中には、図７（Ａ）の構成の発散光ユニットと、図７（Ｂ）に示す構成の発散光ユニットとが混在しないほうがよい。
【００３５】
図８は、光源部１の制御系を示すブロック図である。光源部１の制御系は、制御部１０と、露光に関するさまざまな設定を行うための露光情報入力部１６とを備えている。制御部１０は発光ユニット選択部１７と、点灯制御部１８Ｐ１〜１８Ｗｎを有する。各点灯制御部１８Ｐ１〜１８Ｗｎは、光源部１に設けられている各光源ユニットＰ１〜Ｐｎ、Ｗ１〜Ｗｎに接続されており、一つの点灯制御部につき一つの光源ユニットの点灯、消灯を制御している（例えば、点灯制御部１８Ｐ１なら平行光ユニットＰ１）。
【００３６】
制御部１０の発光ユニット選択部１７は、露光情報入力部１６に入力された、基板に塗布された感光剤に関するデータ（以下、感光剤データという）に基づいて、露光時に使用する光束（平行光束または発散光束）を選択する。そして、発光ユニット選択部１７は、選択した光束を照射する光源ユニット後段の点灯制御部１８Ｐ１〜１８Ｗｎに発光指示信号を送信する。各点灯制御部１８Ｐ１〜１８Ｗｎのうち、発光ユニット選択部１７から発光指示信号を受信したものは、対応する光源ユニットを点灯制御する。例えば、感光剤データがポジ感光剤であるならば発光ユニット選択部１７は、平行光束を選択して、該平行光束を照射する平行光ユニットＰ１〜Ｐｎを点灯制御する点灯制御部１８Ｐ１、１８Ｐ２・・・１８Ｐｎに対して発光指示信号を送信する。これにより、露光時、光源部１からは平行光束のみが照射されることになる。
【００３７】
露光時は、まず、所定の感光材が塗布された基板Ｓが前工程（感光剤塗布工程）から露光装置１００に搬送される。搬送された基板Ｓは、マスクＭとの相対的位置決めが行われつつ露光台２上に載置、固定される。そして、光源部を発光させた状態で光源部１と露光台２（つまり基板ＳとマスクＭ）とを相対的にＸ方向へ移動させる。よって、基板Ｓは、光源部１から照射される、基板Ｓに塗布された感光剤に対応した状態の光束によって、被露光面全域を隙間なくかつ均一な積算露光量で露光される。
【００３８】
以上が本発明の実施形態である。本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく趣旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
【００３９】
上記実施形態では、便宜上、回路パターン露光工程に使用される場合を想定して露光装置１００を説明したが、本発明の露光装置１００は、他の感光剤を塗布した基板Ｓを露光する工程にも適用することができる。例えば、基板表面を保護するためのソルダレジストが塗布された基板Ｓを露光する工程に対しても使用することができる。ソルダレジスト露光工程に使用する場合、光に対するソルダレジストの感度が低いために、平行光よりも光強度の強い発散光束を照射する設定にすることが望ましい。または、一般的にソルダレジスト露光工程時のマスクパターンが回路パターンよりも簡素な内容であることから、制御部１０は、感光剤データがソルダレジストである場合にはすべての光源ユニットＰ１〜Ｐｎ、Ｗ１〜Ｗｎを発光させて、露光台２における積算露光量を増加させることも可能である。
【００４０】
上記実施形態の光源部１は、複数の平行光ユニットＰ１〜Ｐｎと複数の発散光ユニットＷ１〜Ｗｎとが互いに交互に配列していると説明したが、本発明の光源部１の構成はこれに限定されるものではない。例えば、同種の光源ユニットはひとまとめに配設して、光源部１内を平行光ユニットのみが配列するブロックと発散光ユニットのみが配列するブロックごとに分けてもよい。この場合、上述した点灯制御部１８Ｐ１〜１８Ｗｎを光源ユニットごとに設ける必要はなく、平行光ユニットＰ１〜Ｐｎのみが配列されているブロック全体を制御する点灯制御部と、発散光ユニットＷ１〜Ｗｎのみが配列されているブロック全体を制御する点灯制御部との二つあれば足りるため、制御部１０の構成を簡素化させることができる。また、本発明を実施するために、光源部１は、少なくとも１つの平行光ユニットと一つの発散光ユニットがあれば足りる。
【００４１】
上記実施形態では、発散光ユニットＷ１〜Ｗｎに関して図７（Ａ）、（Ｂ）を参照しつつ二種類の構成を説明したが、これ以外の構成によって発散光ユニットを形成してもよい。例えば、凸レンズ１３ａの代わりに凹レンズを設けたレンズパネル１３を使用すれば、より広い照射領域の発散光束を照射可能な発散光ユニットを構成することができる。
【００４２】
さらに、光束断面を所定の形状に成形しなくても、被露光面上におけるどの場所においても積算露光量が略均一な状態で露光されるのであれば、光源ユニットＰ１〜Ｐｎ、Ｗ１〜Ｗｎは、光束成形手段としての開口パネル１４を設けない簡素な構成にすることもできる。特に、上記の凹レンズを設けたレンズパネル１３を使用する発散光ユニットの場合、その利点である広い照射領域を確保するために開口パネル１４は設けないほうが好ましい。
【００４３】
なお、上記実施形態では、露光情報入力部１６に入力する感光剤データは、ユーザが手入力で入力しても良い。また、露光装置１００と前工程（感光剤塗布工程）の装置とが接続されており、該前工程の装置から自動的に入力される構成であっても良い。さらに、露光情報入力部１６に入力されるデータは、感光剤データである必要はなく、所望の光束そのものを直接入力する構成であっても良い。
【００４４】
上記実施形態では、感光剤の感度が最も高い紫外光を発光する紫外ＬＥＤ１２を光源として使用しているが、半導体素子のように高速のオンオフ制御が可能なランプ素子やプラズマ（放電による発光）等を発光素子として使用することも可能である。
【００４５】
なお、上記実施形態では、便宜上、基板Ｓの片面のみを露光する露光装置を想定して説明したが、本発明は両面露光装置にも適用することができる。また、本発明は上記実施形態のようなプロキシミティー法以外の手法、例えば密着法などで露光を行う装置にも適用することができる。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の露光装置は、平行光束と発散光束との少なくともいずれか一方を選択して照射させることができる構成にすることにより、回路パターン露光工程のみならずソルダレジスト露光工程にも対応して使用できる。特に回路パターン露光工程においては、基板に塗布される感光剤の種類に対応した光を照射することができる。このように、どの露光工程、およびどの感光剤を塗布した基板に対しても共通して使用可能な露光装置であるため、単一の製造ラインで非常に効率よく製造することができる。
【００４７】
さらに、従来の回路パターン露光工程では、ポジ感光剤用に平行光照射型の露光装置と液状ネガ感光剤用に発散光照射型の露光装置との二種類の装置が必要であったが、本発明によれば一台の露光装置で対応できることにより、基板作製工場の省スペース化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の露光装置の概略構成図である。
【図２】本発明の実施形態の露光装置の露光台近傍を示す上面図である。
【図３】本発明の実施形態の露光装置の露光台近傍を示す側面図である。
【図４】実施形態の露光装置の光源部の概略構成図である。
【図５】平行光ユニットをＹ−Ｚ面で切った断面図である。
【図６】実施形態の発光素子の配列を表す図である。
【図７】発散光ユニットをＹ−Ｚ面で切った断面図である。
【図８】実施形態の光源部に関する制御系を示すブロック図である。
【符号の説明】
１    光源部
２    露光台
１０    制御部
１２    紫外ＬＥＤ
１３    レンズパネル
１３ａ    凸レンズ
１４    開口パネル
１４ａ    開口
１７    発光ユニット選択部
１８Ｐ１〜１８Ｗｎ    点灯制御部
１００    露光装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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