(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮及び浄化した装入空気（１）を少なくとも高圧塔（２）と低圧塔（３）とを含む窒素−酸素分離用精留設備へ導入し、高圧塔（２）からクリプトン・キセノン含有フラクション（１３，１４，１５，１６，４１６）を取り出し、このクリプトン・キセノン含有フラクション（１３，１４，１５，１６，４１６）を第１の凝縮・蒸発器（１７）の蒸発室へ導入して部分的に蒸発させ、第１の凝縮・蒸発器（１７）の蒸発室からパージ用液体（２６，２２６）を抽出してクリプトン・キセノン富化塔（２４）へ供給し、クリプトン・キセノン富化塔（２４）からクリプトン・キセノン濃縮流（３０）を取り出すようにした低温空気分離によるクリプトン及び／又はキセノンの製造方法において、
クリプトン・キセノン富化塔（２４）の下部領域からの液体を、第１の凝縮・蒸発器（１７）から分離されている第２の凝縮・蒸発器（２７）へ導入することを特徴とする低温空気分離によるクリプトン及び／又はキセノンの製造方法。
【請求項２】
低圧塔（３）からのアルゴン含有フラクション（４８）を粗アルゴン精留段（１８，１９）へ導入し、粗アルゴン精留段（１８，１９）からのアルゴン富化蒸気（５０）を第１の凝縮・蒸発器（１７）内で蒸発しているクリプトン・キセノン含有フラクション（１６）と間接的に熱交換させることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
装入空気の部分流（４４）を液体状態で高圧塔（２）へ第１の中間高さ位置にて導入し、第１の中間高さ位置よりも上部に位置する第２の中間高さ位置にて高圧塔（２）から酸素含有液（４５）を抽出して低圧塔（３）へ導入することを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
第１の中間高さ位置と第２の中間高さ位置との間に物質移動要素が存在していないことを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
高圧塔（２）内にバリヤープレート（２７１）を配置してクリプトン・キセノン含有フラクション（２７３）をバリヤープレート（２７１）よりも下部から抽出すると共に、酸素富化液（２７０）を前記バリヤープレートよりも上部から取り出すことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
第１の凝縮・蒸発器（１７）の蒸発室から気体流（２５，２２５）を抽出してパージ用液体と同様にクリプトン・キセノン富化塔（２４）へ導入することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
装入空気の部分流（３７３）をタービン内で高圧塔（２）の作動圧近傍に膨張させてから気液分離器（３７４）へ導入し、気液分離器（３７４）からの液体フラクションの少なくとも一部（３７６）を第１の凝縮・蒸発器（１７）の蒸発室へ導入することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
装入空気の部分流（４７７）をタービン内で低圧塔（３）の作動圧近傍に膨張させてストリッピング塔（４７８）へ導入し、ストリッピング塔（４７８）からの塔底液（４７９）をクリプトン・キセノン富化塔（２４）へ導入することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
圧縮及び浄化された装入空気を少なくとも高圧塔（２）と低圧塔（３）とを含む窒素−酸素分離用精留設備へ導入する装入空気管路（１）、クリプトン・キセノン含有フラクションを高圧塔（２）から取り出す管路であって第１の凝縮・蒸発器（１７）の蒸発室に接続された取出管路（１３，１４，１５，１６，４１６）、第１の凝縮・蒸発器（１７）の蒸発室とクリプトン・キセノン富化塔（２４）とに接続されたパージ用液体管路（２６，２２６）、及びクリプトン・キセノン濃縮流のための製品管路（３０）を有するクリプトン・キセノン富化塔（２４）を備えた低温空気分離によるクリプトン及び／又はキセノンの製造装置において、
第１の凝縮・蒸発器（１７）から分離されている第２の凝縮・蒸発器（２７）を備え、第２の凝縮・蒸発器の蒸発室がクリプトン・キセノン富化塔（２４）の下部領域に流路接続されていることを特徴とする低温空気分離によるクリプトン及び／又はキセノンの製造装置。
【請求項１０】
低圧塔（３）がアルゴン移送管路（４８）を介して粗アルゴン精留段（１８，１９）に接続され、第１の凝縮・蒸発器（１７）の液化室が粗アルゴン精留段（１８，１９）に流路接続されていることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧縮及び浄化した装入空気を少なくとも高圧塔と低圧塔とを含む窒素−酸素分離用精留設備へ導入し、高圧塔からクリプトン・キセノン含有フラクションを取り出し、このクリプトン・キセノン含有フラクションを第１の凝縮・蒸発器の蒸発室へ導入して部分的に蒸発させ、第１の凝縮・蒸発器の蒸発室からパージ用液体を抽出してクリプトン・キセノン富化塔へ供給し、クリプトン・キセノン富化塔からクリプトン・キセノン濃縮流を取り出すようにした低温空気分離によるクリプトン及び／又はキセノンの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
低温空気分離の一般的な基本理念及び特に窒素−酸素分離用の精留設備の構成については、ハウゼンとリンデによる「深冷技術（Tieftemperaturtechnik）第2版1985年」及びケミカル・エンジニアリング・プログレス誌（Chemical Engineering Progress）第63巻第2号（1967年）第35頁のラティマーによる記事に述べられている。高圧塔は低圧塔よりも高圧で作動し、両塔は例えば主凝縮器を介して互いに好適な熱交換関係にあり、高圧塔からの塔頂ガスは低圧塔からの塔底液の蒸発で液化されるようになっている。本発明における精留設備も従来からの二塔式設備として設計することができるが、三塔式或いはそれ以上の多塔式設備として設計することも可能である。これら窒素−酸素分離用の各塔に加えて、他の大気成分、特に希ガスを製造するための例えばアルゴン製造設備を付設することも可能である。
【０００３】
低温空気分離によってクリプトン及び／又はキセノンを製造する方法とそれに対応する装置はドイツ特許出願公開第１０００００１７号公報により知られている。この公知の方法では、窒素−酸素分離用二塔式精留設備の高圧塔からのクリプトン・キセノン含有フラクション、特に高圧塔の塔底液は、何ら濃度変化を受けることなくクリプトン・キセノン製造用の別の塔へと送られている。
【０００４】
ドイツ特許出願公開第２６０５３０５号公報には、冒頭に述べた形式の低温空気分離によるクリプトン及び／又はキセノン製造方法及び装置が示されている。この公知文献では、第１凝縮・蒸発器は粗アルゴン塔からの塔頂ガスの凝縮で加熱され、同時にクリプトン・キセノン富化塔の塔底加熱流を形成する。また、クリプトン・キセノン富化塔内を上昇する全ての蒸気は第１凝縮・蒸発器内で生成される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は上述のクリプトン及びキセノンの製造工程を更に改善して、特に係る製造工程を経済的に実行できるようにすることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、クリプトン・キセノン富化塔の下部領域からの液体を、第１凝縮・蒸発器から分離されている第２凝縮・蒸発器へ導入することによって上述の課題を解決したものである。
【０００７】
従って本発明においては別の熱交換器、即ち第２の凝縮・蒸発器が存在し、その内部でクリプトン・キセノン富化塔のための上昇蒸気が第１の凝縮・蒸発器とは独立して生成され、これにより比較的低揮発性の組成成分が更に濃縮されるものである。第２の凝縮・蒸発器は好ましくはクリプトン・キセノン富化塔の塔底加熱器として構成される。また、第２の凝縮・蒸発器は、クリプトン・キセノン富化塔の内部もしくは別体容器の内部に配置することができる。
【０００８】
第２の凝縮・蒸発器は、第１の凝縮・蒸発器内で達成される高い酸素濃度をわずかに低下させるので、対応する温度差の低下を考慮して第１の凝縮・蒸発器の全体寸法を減少することが可能である。更に、第１の凝縮・蒸発器内においては比較的低揮発性の組成成分の濃縮はさほど強くしないほうがよく、この位置における強度の濃縮は作動操作上の理由で望ましくない。本発明の理念の範疇で第２の凝縮・蒸発器のための加熱媒体の選択は所望のままである。基本的には適切なあらゆる系統内フラクションを利用することができ、これには、例えばおそらくは高圧塔からの窒素をはじめ、高圧塔からの他のあらゆるフラクション、装入空気の部分流、或いは低圧塔に接続された粗アルゴン塔からのフラクション、特にこの形式の粗アルゴン塔の塔頂からの粗アルゴンなどが含まれる。
【０００９】
第１の凝縮・蒸発器のパージ用液体は、クリプトン・キセノン富化塔のための装入フラクションとして役立つものである。ここで、「クリプトン・キセノン富化塔」とは、塔内への個々の装入フラクションよりも高い濃度のクリプトン及び／又はキセノンを含有するフラクションを生成する向流式物質移動塔を意味するものである。例えば、このクリプトン・キセノン濃縮液では、クリプトン及び／又はキセノンのモルレベルがクリプトン・キセノン富化塔へ供給されるパージ用液体よりも高い。例えばこのクリプトン・キセノン富化塔は、ドイツ特許公開第１０００００１７号公報に述べられているような物質移動カラムとして構成してもよく、或いはまた同時にメタン除去に使用してもよい。
【００１０】
パージ用液体は、クリプトン・キセノン富化塔の例えば塔底直上部など、下部領域に導入することが好ましい。この場合、塔内を上昇する蒸気中に存在するクリプトンを下方へ向かわせ且つメタンを上方へ向かわせるためにクリプトン・キセノン富化塔の塔頂に液体を導入する。この液体としては、例えば高圧塔の塔底又はその数段だけ上方の位置から取り出した液体を利用することができる。クリプトン・キセノン富化塔の塔頂に導入する液体の別の供給源又は追加の供給源としては純アルゴン塔の塔頂凝縮器の蒸発室が利用できる。クリプトン・キセノン富化塔の塔底では、塔底蒸発器によって流下液を沸騰させることができ、これによってクリプトン・キセノン濃縮液のクリプトン及びキセノン含有量を更に増加させることが可能である。塔底蒸発器は、例えば圧縮空気或いは高圧塔の塔頂からの圧縮窒素で作動させることができる。
【００１１】
本発明においては、高圧塔から取り出したクリプトン・キセノン含有フラクションをクリプトン・キセノン富化塔へ供給するまでの間に第１の凝縮・蒸発器内で部分蒸発させる中間工程を実行してもよい。この中間工程は、クリプトン・キセノン富化塔に達する前であってもクリプトン及び／又はキセノンを濃縮するために有効である。更なる効果として、酸素よりも低揮発性の他の全ての成分を部分蒸発の対象外にしてパージ用液体と共にクリプトン・キセノン富化塔へ導くことができ、かくしてこれら不要成分を他の設備部分、特に低圧塔から遠ざけておくことが可能となる。
【００１２】
クリプトン・キセノン富化塔内で生成されるクリプトン・キセノン濃縮液のクリプトン濃度は例えば６００〜５０００ｐｐｍ、好ましくは１２００〜４０００ｐｐｍであり、キセノン濃度は例えば６０〜５００ｐｐｍ、好ましくは１２０〜４００ｐｐｍである。これ以外にこの濃縮液は酸素を主体に典型的には約１０モル％までの窒素を含むものである。
【００１３】
本発明は、低圧塔からのアルゴン含有フラクションを粗アルゴン精留段へ導入しているアルゴン製造設備を付帯した空気分離設備の一部として特に有利に実施可能である。粗アルゴン精留段は特にアルゴンと酸素の分離に用いられ、一つ以上の分離塔で実行される（例えば欧州特許第３７７１１７号公報又は同６２８７７７号公報参照）。
【００１４】
あらゆる場合に必要な粗アルゴン精留段の冷却は、本発明においてはクリプトン・キセノン含有フラクションによって行われ、粗アルゴン精留段からのアルゴン富化蒸気が第１の凝縮・蒸発器内で蒸発するクリプトン・キセノン含有フラクションとの間接熱交換に利用される。従って、クリプトン・キセノン製造工程の一部としての部分蒸発は同時に粗アルゴン精留段における還流及び／又は液体製品流の生成に寄与する。
【００１５】
多くの場合、例えば一つ以上の製品流の内部圧縮において液化装入空気流が存在する。この液化空気は、例えば高圧塔内に配置された容器内に導かれることにより高圧塔と低圧塔の間で分岐されることが多く、この容器からその一部を再び取り出して低圧塔へ送るようにしている。この代わりに、本発明の範疇において高圧塔から酸素含有液を取り出して低圧塔へ導入すると好都合であり、この酸素含有液は、高圧塔内への上記液化装入空気の導入高さ位置に対応する第１の中間高さ位置よりも上方に位置する第２の中間高さ位置で高圧塔から抽出することが好ましい。これにより、液化装入空気中に存在するクリプトン及びキセノンは確実に高圧塔の塔底へ向かって流れ、低圧塔へは流れて行かなくなるので、低圧塔でクリプトン・キセノンの損失を生じることが回避できるものである。更に、他の低揮発性成分も主凝縮器から遠ざけておくことができる。本発明のこのような形態によれば、上記液化空気（或いは同様な組成の酸素含有液）は、実質的にクリプトン及びキセノンを含んでいない高圧塔内の還流液で構成可能である。
【００１６】
本発明によるこの形態は、高圧塔からのフラクションをクリプトン・キセノン製造段へ供給するあらゆるプロセスに好適に適用することができる。その使用対象は、クリプトン・キセノン含有フラクションの部分蒸発を伴うプロセス及び装置に限定されるものではない。同じことが、対応する更に別の形態にも当てはまることは述べるまでもない。
【００１７】
この場合、前記第１の中間高さ位置と第２の中間高さ位置の間に配置される物質移動要素、即ちプレートやパッキングは、好ましくは無くすべきである。結果として、酸素含有液は、酸素よりも高温で沸騰する不要成分を除き、装入空気と同じ組成を有するものとなる。
【００１８】
高圧塔内にはバリヤープレートが存在してもよく、このバリヤープレートよりも下部からクリプトン・キセノン含有フラクションを抽出し、バリヤープレートよりも上部から酸素富化液を取り出すようにする。従って、酸素富化液は、クリプトン及びキセノンの含有量がクリプトン・キセノン含有フラクションよりも際だって低く、例えば低圧塔へそのまま直接導入したり、或いはまた純アルゴン塔の塔頂凝縮器の冷却に利用したりしても、結果として失われるクリプトン及びキセノンの損失量は取るに足らないものとすることができる。バリヤープレートの配置数は理論プレート枚数で例えば１〜９であり、好ましくは２〜６である。
【００１９】
パージ用液体に加えて気体流を第１の凝縮・蒸発器の蒸発室から抽出することもでき、例えばパージ用液体と同じ高さ位置で同様にクリプトン・キセノン富化塔へ供給してもよい。その結果、クリプトン・キセノン含有フラクションの蒸発部分に依然として残っているクリプトンもクリプトン・キセノン製造段へ供給されることになる。
【００２０】
本プロセスにおいて、冷却作用は仕事を遂行する形式での空気の膨張（例えば中圧タービン内での膨張）により生起せしめることができ、この膨張は常に空気の液化を伴う高圧塔の作動圧力近傍までの膨張である。本発明の範疇で、この仕事遂行形式で膨張した後の空気を気液分離器へ導入してもよく、この気液分離器からの液相の少なくとも一部は、クリプトン・キセノン富化塔及び／又は第１の凝縮・蒸発器の蒸発室へ導入することができる。
【００２１】
これに代えて、或いはこれに加えて、例えば定圧タービン内でほぼ低圧塔作動圧力近傍まで空気を仕事遂行形式で膨張させてもよい。この膨張で得られる低圧空気流に含まれているクリプトン及び／又はキセノンは、この低圧空気流をストリッピング塔に導入し、ストリッピング塔からの塔底液をクリプトン・キセノン富化塔へ好ましくはその塔頂又はそれより数枚のプレートだけ下方の中間高さ位置で導入することにより回収することが可能である。更にストリッピング塔は、低圧塔にとって望ましくない例えばＮ２Ｏなどの低揮発性成分も捕捉する。
【００２２】
空気の仕事遂行形式の膨張を伴う本発明の形態における利点は、クリプトン・キセノン含有フラクションの部分蒸発を伴うプロセス及び装置に限定されるものではなく、他形態のクリプトン・キセノン製造プロセスにも利用できるものであることは述べるまでもない。
【００２３】
本発明は更に請求項９及び１０に従って低温空気分離によりクリプトン及び／又はキセノンを製造する装置も提供するものである。
【００２４】
【発明の実施の形態】
添付図面に系統図として示した実施形態に基づいて本発明の特徴とその他の詳細を以下に詳しく説明する。
【００２５】
図１において、ほぼ露点温度まで冷却された清浄空気は気体状態で管路１を介して窒素−酸素分離用精留設備の高圧塔２へ流入し、この精留設備には低圧塔３と主凝縮器４も設けられており、本実施形態において主凝縮器は流下膜式蒸発器として構成されている。高圧塔の塔頂から取り出される気体窒素５の第１部分流６は主凝縮器４の凝縮室へ供給される。この凝縮室内で生成される凝縮液７の第１部分流８は環流として高圧塔に導入される。また、凝縮液７の第２部分流９は過冷却向流式熱交換器１０で過冷却されてから管路１１及び絞り弁１２を介して低圧塔３の塔頂へ供給される。この第２部分流９の一部９２は低圧塔の塔頂から液体窒素製品（ＬＩＮ）として取り出すことができる。
【００２６】
高圧塔２の塔底から取り出される酸素富化液１３は同様に過冷却向流式熱交換器１０で冷却される。過冷却後の酸素富化液１４は下流で二つの部分流に別れ、第１の部分流１５−１６は粗アルゴン精留段１８／１９の塔頂凝縮器として表されている第１の凝縮・蒸発器１７の蒸発室へ「クリプトン・キセノン含有フラクション」として導入され、第２の部分流１５−２０は純アルゴン塔２２の塔頂凝縮器２１の蒸発室へ供給される。
【００２７】
第１の凝縮・蒸発器１７は強制循環蒸発器として構成され、換言すればその蒸発室には液浴が存在していて、この液浴中に熱交換ブロックが例えば部分的に浸漬されている（尚、図示とは異なるが、熱交換ブロックは液浴中に完全に浸漬されているほうが好ましい）。蒸発室内では液浴が蒸発流路の下端へ熱サイフォン作用で吸引されている。蒸発流路の上端には蒸気と未蒸発液が現れ、未蒸発液は液浴中へ戻される。第１の凝縮・蒸発器１７内においてクリプトン・キセノン含有フラクション１６は部分的に蒸発され、例えば供給された部分流１６の０．５〜１０モル％、好ましくは１〜５モル％が第１の凝縮・蒸発器１７の蒸発室からパージ用液体２６として液体状態で抽出される。このような部分蒸発により、比較的低揮発性の成分、特にクリプトン及びキセノンの濃度は液体中で増加し、蒸気中では減少する（いずれもクリプトン・キセノン含有フラクション１６における濃度と比較して）。この部分蒸発の間に生成された蒸気は、気体流２５として第１の凝縮・蒸発器１７の蒸発室から抽出される。残留液は液浴からパージ用液体２６として排出され、クリプトン・キセノン富化塔２４の塔底直上部に供給される。
【００２８】
クリプトン・キセノン富化塔２４は塔底蒸発器２７（第２の凝縮・蒸発器）を備えており、これはいずれか適切なフラクションで加熱可能である。図示の実施形態においては高圧塔２の塔頂からの加圧窒素流２８が加熱媒体として利用されている（この代わりに、例えば高圧塔からの他の任意のフラクション、装入空気の部分流、或いは第２段目の粗アルゴン塔１９の塔頂からの粗アルゴン５０の一部などを利用することができる）。塔底凝縮器２７内で液化された窒素２９は主凝縮器４からの凝縮液７に混合される。クリプトン・キセノン富化塔２４の塔頂には、純アルゴン塔２２の塔頂凝縮器２１の蒸発器からのパージ用液体の部分流２３が環流液として導入される。塔底蒸発器２７から上昇してくる蒸気はクリプトン及びキセノンの含有量が僅かであるがクリプトン・キセノン富化塔内で環流液２３と向流で物質移動を行う。その結果、両成分が洗浄作用により塔底へ流下する一方で殆どのメタンが塔頂ガス３１と共に排出されることになる。本実施形態においては、塔頂ガス３１は低圧塔３へ適切な中間高さ位置で供給されている。クリプトン・キセノン富化塔２４の塔底からは液体状態のクリプトン・キセノン濃縮液３０（ＬＯＸ／Ｋｒ／Ｘｅ）が取り出され、この濃縮液は例えばクリプトン濃度が約２４００ｐｐｍ及びキセノン濃度が約２００ｐｐｍであり、それ以外には濃縮液３０は酸素が主要部で約１０モル％の窒素も含有している。濃縮液３０は液体タンクに貯蔵することができ、或いは純粋なクリプトン及び／又はキセノンを製造するための工程プロセスへ直接供給することもできる。
【００２９】
低圧塔３からは、液体窒素９２の他に、塔頂の気体純窒素３２、その下方の同様に気体状態の不純窒素３３、そして塔底の液体酸素３４などが製品として少なくとも部分的に取り出される。このうち気体製品窒素３２及び３３は過冷却向流熱交換器１０で加温され、次いで主熱交換器（図示しない）で更に加温される。液体酸素３４は全部で三つの部分流に分けられ、第１と第２の部分流は最初は管路３５及びポンプ３６を介して一緒に送られる。第１の部分流３７は主凝縮器４の蒸発室へ流入して部分的に蒸発され、生成した気液混合流３８は低圧塔３の塔底へ戻される。第２の部分流は管路３９及び４０を介して液体製品流（ＬＯＸ）として取り出され、この場合、必要であれば過冷却向流熱交換器１０における過冷却が行われる。
【００３０】
低圧塔３の塔底からの液体酸素３４の第３の部分流４１は、ポンプ４２で所要の製品圧力に調整することにより内部圧縮させ、管路４３（ＬＯＸ−ＩＣ）を介して一つ以上の熱交換器に送ることにより蒸発（或いは超臨界製品圧力とする場合は疑似蒸発）させてほぼ周囲温度まで加温する。この蒸発と加温は、例えば高圧空気流との間接熱交換により行うことができる。液化（又は超臨界）状態の高圧空気は膨張（図示せず）させてから液化空気４４として高圧塔２へ「第１の中間高さ位置」で供給される。この第１の中間高さ位置の直ぐ上方に位置する第２の中間高さ位置で高圧塔２から少なくとも液化空気４４の一部に相当する量の酸素含有液４５が抽出されるが、この酸素含有液４５の流量は液化空気４４よりも多量であっても良い。第１と第２の中間高さ位置の間には、プレートその他の物質移動要素は一切存在していない。酸素含有液４５は空気にほぼ相当する組成を有し、過冷却向流熱交換器１０で過冷却されてから管路４６及び絞り弁４７を介して低圧塔３へ供給される。
【００３１】
低圧塔３からのアルゴン含有フラクションはアルゴン移送管路４８を介して粗アルゴン精留段へ送られ、本実施形態では粗アルゴンの精留は二段の直列接続された粗アルゴン塔１８及び１９によって行われる。アルゴン含有フラクション４８は気体状態で第１段目の粗アルゴン塔１８の塔底直上部に供給され、塔内では蒸気の上昇に伴ってアルゴン含有量が上昇する。第１段目の粗アルゴン塔１８からは流れに従って塔頂ガスが管路４９を介して第２段目の粗アルゴン塔１９の塔底へ送られる。
【００３２】
第２段目の粗アルゴン塔１９の塔頂にはアルゴン富化蒸気（粗アルゴン）５０が生成され、この粗アルゴンは第１の凝縮・蒸発器１７内で強度に凝縮される。この凝縮で生成された液体５１は第２段目の粗アルゴン塔１９へ環流として戻される。第２段目の粗アルゴン塔１９の塔底に生成される液体５２はポンプ５３により管路５４を介して第１段目の粗アルゴン塔１８の塔頂へ送られる。第１段目の粗アルゴン塔１８の塔底液は別のポンプ５６により管路５７を介して低圧塔３へ戻される。
【００３３】
第１の凝縮・蒸発器１７の液化室からは依然として気体状態のままの粗アルゴン５８も出てくるが、この気体状態の粗アルゴンは純アルゴン塔２２内で更に分離作用を受けて例えば窒素などの特に高揮発性の成分が除去される。純アルゴン塔２２の塔底液は管路５９を介して一部が管路６０から純アルゴン製品流（ＬＡＲ）として液体状態で取り出され、別の一部は液体部分流６１として気液分離器６２を介して純アルゴン蒸発器６３へ送られ、蒸発器６３から戻ってくる流れの気相流が気液分離器６２及び管路６４を介して純アルゴン塔２２へ上昇蒸気流として戻される。純アルゴン蒸発器６３は、高圧塔２の塔底から熱交換器１０で過冷却された部分流１５の少なくとも一部との間接熱交換で加熱されている。前述のように、純アルゴン塔２２の塔頂凝縮器２１はこの過冷却された部分流１５の更なる部分流２０を利用して冷却されている。この塔頂凝縮器２１の蒸発室からは蒸気６６と残液２３，６５が抽出され、蒸気６６と残液６５はそれぞれ適切な中間高さ位置で低圧塔３へ送り込まれ、また残液２３はクリプトン・キセノン富化塔２４へ送り込まれる。純アルゴン塔２２の塔頂ガス６７は塔頂凝縮器２１の液化室で部分凝縮され、これによって生成された凝縮液６８は環流として純アルゴン塔へ戻される。残りの蒸気６９は大気（ＡＴＭ）へ放散される。
【００３４】
図１に示した実施形態においては、高圧塔２内で生成される酸素富化液の全てが塔底から取り出されている（管路１３）。これにより、高圧塔２は比較的単純な構成のものとすることが可能となっている。図２は、図１のプロセスの変形実施形態を示しており、クリプトンとキセノンの収量が更に改善されるようになっている。この場合、高圧塔２から更に別の中間高さ位置で液体フラクション２７０を取り出しており、この取り出し位置は塔底液２７３の取り出し位置から約４枚のバリヤープレート２７１を間にして上方に離れている。これらのバリヤープレートが低揮発性成分、特にクリプトン及びキセノンの殆どを高圧塔２の塔底部内に留めることになる。従って、液体フラクション２７０のクリプトン及びキセノン含有量は塔底液２７３に比べて極めて少ない。この液体フラクション２７０の部分流２２０は過冷却向流熱交換器１０を介して純アルゴン塔２２の塔頂凝縮器２１の蒸発室へ送り込まれ、残部２２３は環流液としてクリプトン・キセノン富化塔２４の塔頂へ供給される。このような構成によれば、塔頂凝縮器２１から低圧塔３へ送り込まれるフラクション２６５，２６６と、上記環流液２２３との双方についてクリプトン及びキセノン含有量を極めて低くすることができ、これによってクリプトン及びキセノンの収量を特に高くすることができる。
【００３５】
装入空気中のクリプトンとキセノンの大部分（典型的には約９０モル％）は、塔底液２７３と共に過冷却向流熱交換器１０及び管路２１５を介して純アルゴン蒸発器６３を通り、管路２１６を介して第１の凝縮・蒸発器１７へ、そして流れに従って管路２２５及び２２６を経てクリプトン・キセノン富化塔２４へ送り込まれ、この富化塔においてクリプトン・キセノン濃縮液３０としてほぼ完全に回収される。
【００３６】
塔底液２７３には、必要に応じて中間高さ位置からの液体フラクション２７０の一部をバイパス管路２７２を介して混合しても良い。この液体フラクション２７０の取り出し高さ位置は、内部圧縮液化空気４４が導入される第１の中間高さ位置４４から例えば理論プレート枚数で２〜１４枚、好ましくは５〜８枚程度下方である。
【００３７】
図１及び図２には冷却流の生成については特に詳しく示されていないが、図３に示す設備では図１に示されている設備に対して中圧タービンで冷却流を獲得するようにした点で異なっている。このタービン自体は図示しないが、タービン出力から到来する部分流３７３が二相混合流として示されている。この二相混合流の冷媒は気液分離器（相分離器）３７４に導入される。気液分離器３７４からの蒸気流３７５は通例の通りに装入空気１と合流させて高圧塔２へ供給される。気液分離器３７４からの液化空気３７６は蒸気流３７５に比べてクリプトン及びキセノンの含有レベルが増加しており、この液化空気３７６は高圧塔２からの過冷却塔底液１４の一部と共に管路４１６を介して第１の凝縮・蒸発器１７の蒸発室へ導入される。また高圧塔２からの過冷却塔底液１４の他の一部３２３はクリプトン・キセノン富化塔２４の塔頂へ供給される。勿論、この図３に示した付加的な特徴は図２に示した実施形態に組み合わせることも可能である。
【００３８】
図４に示す実施形態においては、プロセス冷却流は低圧タービンによって生成される。同様に図示しない低圧タービンの出力から到来する空気流４７７はほぼ低圧塔３の作動圧力であるが、この実施形態では低圧塔へ直接送られるのではなく、その前にストリッピング塔４７８に導入され、ストリッピング塔内で洗浄されて比較的低揮発性の成分が塔底へ除去される。ストリッピング塔の塔底液４７９はクリプトン・キセノン富化塔２４の適切な中間高さ位置へ送り込まれ、富化塔２４内の環流液の一部となる。このようにしてストリッピング塔４７８からの低クリプトン・低キセノン塔頂ガス４８０のみが低圧塔３へ直送され、クリプトン・キセノン製造系をバイパスするようにしてある。尚、この場合も高圧塔からの過冷却塔底液１４の部分流４２３，４９１がクリプトン・キセノン富化塔２４及びストリッピング塔４７８の各塔頂へ供給されている。
【００３９】
図５に示す実施形態おいては、簡略化のために高圧塔２と低圧塔３及び主凝縮器４が一基の二段式精留塔として示されている。この場合、プロセス冷却流はバリヤープレート２７１の直上の中間高さ位置から取り出された気体状態のフラクション５８１を物理的な仕事を伴う膨張操作に付すことによって生成している。このフラクションは、主熱交換器５８２内で冷却すべき装入空気５８３との間接熱交換で加温することができ、次いで管路５８４を介して再圧縮機５８５へ導いてから流れに従って管路５８６を経て主熱交換器５８２の温端側へ流入させる。主熱交換器５８２からは中間温度で管路５８７へ流出させ、仕事を行う膨張機器５８８へ導入する。この膨張機器５８８は例えばタービンであり、好ましくはこのタービンに再圧縮機５８５を機械的に直結して駆動するようにする。仕事を伴う膨張を果たした流れは最終的には低圧塔３へ適切な高さ位置（５８９）から導入する。尚、フラクション５８１を主熱交換器５８２内で波線で示したように管路５９０を介してタービン５８８の入口温度に加温するだけでタービンへの管路５８７へ直接送り込む場合は、主熱交換機を全長貫通する完全加熱と再圧縮の系統を省略することができる。
【００４０】
図５では、アルゴン製造系統及びクリプトン・キセノン製造系統は図示を省略してあるが、これらは図１又は図２に示した実施形態と同様にして実行される。また、図５の実施形態では内部圧縮は存在しない。
【００４１】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明によれば、クリプトン・キセノン富化塔の下部領域からの液体を第１凝縮・蒸発器とは別の第２凝縮・蒸発器へ導入するので、第２凝縮・蒸発器の熱交換器作用によって内部でクリプトン・キセノン富化塔のための上昇蒸気が第１の凝縮・蒸発器とは独立して生成されることになり、これにより比較的低揮発性の組成成分が更に濃縮され、この目的で第２凝縮・蒸発器を加熱する媒体としては基本的に適切なあらゆる系統内フラクションを利用することができるものである。また、第２凝縮・蒸発器は第１凝縮・蒸発器内で達成される高い酸素濃度をわずかに低下させるので、対応する温度差の低下を考慮して第１凝縮・蒸発器の全体寸法を減少することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を示す系統図である。
【図２】高圧塔内にバリヤープレートを備えた第２実施形態を示す系統図である。
【図３】中圧タービンを備えた第３実施形態を示す系統図である。
【図４】低圧タービンを備えた第４実施形態を示す系統図である。
【図５】高圧塔と低圧塔の間にタービンを備えた第５実施形態を示す系統図である。
【符号の説明】
１：装入空気
２：高圧塔
３：低圧塔
４：主凝縮器
１０：過冷却向流熱交換器（主熱交換器）
１７：第１の凝縮・蒸発器
１８：第１段目の粗アルゴン塔
１９：第２段目の粗アルゴン塔
２１：純アルゴン塔の塔頂凝縮器
２２：純アルゴン塔
２４：クリプトン・キセノン富化塔
２７：第２の凝縮・蒸発器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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