(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面形状が環状であって前記平面内にて駆動振動可能な振動子（３０）と、前記振動子を支持する支持基板（２０）とを備え、
前記振動子は、前記駆動振動時には、その図心（Ｂ）を中心としてｙ軸方向に伸縮するように変位することにより、前記振動子のうち前記ｙ軸方向に沿って突出する一方の部位（８１、８２）と他方の部位（８３、８４）とが逆相に振動するようになっており、
前記駆動振動のもと、前記平面に垂直なｚ軸回りに角速度（Ω）が印加されたときに、前記一方の部位と前記他方の部位はコリオリ力によって、前記平面内にて前記ｙ軸と直交するｘ軸に沿って逆相に振動し、前記振動子は前記図心を中心に回転振動するようになっており、
前記支持基板は、枠状のものであり、
前記振動子は、平面形状が八角形の環状であって、前記支持基板の内周側に位置し、外周に一体に連結された４つの梁部（４０）を介して前記支持基板に支持されており、各梁部は、平面円環状を有し、前記ｘ軸方向および前記ｙ軸方向に自由度を持つものであって、前記図心を中心にして前記支持基板の四隅部へ延びるように対称的に配置されており、
前記振動子の前記一方の部位に対して前記ｘ軸方向に隔てて対向する第１の検出部（７１、７２）が設けられ、
前記振動子の前記他方の部位に対して前記ｘ軸方向に隔てて対向する第２の検出部（７３、７４）が設けられており、
前記角速度が印加されたときに、前記一方の部位と前記第１の検出部との間の第１の容量変化と、前記他方の部位と前記第２の検出部との間の第２の容量変化とを差動検出することにより前記角速度を求めるようにしたことを特徴とする角速度センサ。
【請求項２】
前記振動子（３０）を駆動させる駆動手段（５１、５２）は、前記振動子との間の静電容量を変化させることにより前記振動子を駆動させるものであることを特徴とする請求項１に記載の角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、所定軸回りの角速度が入力されたときにコリオリ力によって発生する振動子の振動に基づいて角速度を検出する角速度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の角速度センサでは、例えば、平面内にて第１の軸方向へ振動子を駆動振動させ、当該平面に垂直な軸回りに角速度が印加されると、振動子には、コリオリ力によって該平面にて第１の軸方向（駆動振動方向）とは直交する第２の軸方向への振動が発生する。
【０００３】
そして、振動子の周囲に検出電極を設け、この第２の軸方向への振動に伴う、振動子と検出電極との間の静電容量変化に基づいて角速度を検出するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来の角速度センサでは、第２の軸方向に外部から加速度が加わったときにおいても、この加速度によって振動子が第２の軸方向に変位する。そのため、このような加速度による容量変化も角速度によるものとして検出する。
【０００５】
即ち、角速度が０のときであっても、第２の軸方向に加速度が加わったときには、振動子の変位量を検出してしまい、この加速度による振動子の変位量がノイズとして加わってしまうため、角速度の検出精度が低下するという問題がある。
【０００６】
このような直線方向振動である加速度に対する出力（耐加速度感度）を低減するために、防振ゴムを用いて加速度による振動を減衰させたり、２個以上の振動子を用いて加速度によって発生する出力を差動検出してキャンセルする方法が用いられている。しかしながら、防振ゴムや２個の振動子を用いる方法では、構成点数が増大するなど、センサの小型化や低コスト化のためには好ましくない。
【０００７】
そこで、本発明は上記問題に鑑み、防振ゴムを用いることなく単一の振動子にて加速度による出力をキャンセルすることのできる角速度センサを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、平面形状が環状であって平面内にて駆動振動可能な振動子（３０）と、振動子を支持する支持基板（２０）とを備え、振動子は、駆動振動時には、その図心（Ｂ）を中心としてｙ軸方向に伸縮するように変位することにより、振動子のうち前記ｙ軸方向に沿って突出する一方の部位（８１、８２）と他方の部位（８３、８４）とが逆相に振動するようになっており、駆動振動のもと、平面に垂直なｚ軸回りに角速度（Ω）が印加されたときに、一方の部位と他方の部位はコリオリ力によって、平面内にてｙ軸と直交するｘ軸に沿って逆相に振動し、振動子は図心を中心に回転振動するようになっており、支持基板は、枠状のものであり、振動子は、平面形状が八角形の環状であって、支持基板の内周側に位置し、外周に一体に連結された４つの梁部（４０）を介して支持基板に支持され、各梁部は、平面円環状を有し、ｘ軸方向およびｙ軸方向に自由度を持つものであって、前記図心を中心にして支持基板の四隅部へ延びるように対称的に配置されており、振動子の一方の部位に対してｘ軸方向に隔てて対向する第１の検出部（７１、７２）が設けられ、振動子の他方の部位に対してｘ軸方向に隔てて対向する第２の検出部（７３、７４）が設けられており、角速度が印加されたときに、一方の部位と第１の検出部との間の第１の容量変化と、他方の部位と第２の検出部との間の第２の容量変化とを差動検出することにより角速度を求めるようにしたことを特徴とする。
【０００９】
それによれば、駆動振動時には、環状の振動子（３０）は、その図心（Ｂ）を中心としてｙ軸方向に伸びたり縮んだりすることにより、振動子のうちｙ軸方向に沿って突出する一方の部位（８１、８２）と他方の部位（８３、８４）とは、逆相に振動する(図４（ａ）参照）。
【００１０】
そして、駆動振動のもとでｚ軸回りに角速度（Ω）が印加された時には、コリオリ力により振動子の一方の部位（８１、８２）と他方の部位（８３、８４）は、平面内にてｙ軸と直交するｘ軸に沿って互いに逆相に振動し、振動子（３０）は図心（Ｂ）を中心に回転振動する（図４（ｂ）参照）。
【００１１】
そのため、この角速度印加時には、一方の部位（８１、８２）と第１の検出部（７１、７２）との間の第１の容量変化が増加（＋２ΔＣ）の場合、他方の部位（８３、８４）と第２の検出部（７３、７４）との間の第２の容量変化は減少（−２ΔＣ）となる。そこで、これら第１および第２の両容量変化を差動検出することで角速度を求めることができる。
【００１２】
ここで、上述のように、コリオリ力により振動子の一方の部位（８１、８２）と他方の部位（８３、８４）はｘ軸方向に互いに逆相に振動することに対し、上記第１の容量変化と上記第２の容量変化とは増減方向が逆になっている。このような構成に対しては、センサ出力に影響するｘ軸方向に加速度が印加された場合、当該加速度による第１の容量変化（−２ΔＣｇ）と第２の容量変化（−２ΔＣｇ）は増減方向が同じになる。
【００１３】
そこで、当該加速度による第１の容量変化と第２の容量変化は、第１および第２の両容量変化を差動検出することで実質的にキャンセルされる。よって、本発明によれば、防振ゴムを用いることなく単一の振動子にて加速度による出力をキャンセルすることのできる角速度センサを提供することができる。
【００１４】
また、請求項２に記載の発明のように、振動子（３０）を駆動させる駆動手段（５１、５２）は、振動子との間の静電容量を変化させることにより振動子を駆動させるものにできる。
【００１６】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施形態について説明する。図１は本発明の実施形態に係る角速度センサＳ１の概略平面図であり、図２は図１中のＡ−Ａ線に沿った概略断面構成を示す図である。この角速度センサＳ１は、半導体基板等に周知のマイクロマシン加工を施すことにより形成される。
【００１８】
本例の角速度センサＳ１を構成する基板は、図２に示す様に、第１の半導体基板としての第１シリコン基板１１上に絶縁層としての酸化膜１３を介して第２の半導体基板としての第２シリコン基板１２を貼り合わせてなる矩形状のＳＯＩ（シリコン−オン−インシュレータ）基板１０である。
【００１９】
ＳＯＩ基板１０において、第２シリコン基板１２には、エッチング加工等を施すことにより溝１５が形成され、当該溝１５によって当該第２シリコン基板１２を、周辺部側に位置する枠状の基部２０と、この基部２０の内周側に位置して可動する振動子３０とに区画している。
【００２０】
また、振動子３０に対応した部分においては、第１シリコン基板１１及び酸化膜１３は除去されており、開口部（本例では矩形状）１４が形成されている。そして、基部２０は、この開口部１４の縁部にて酸化膜１３を介して第１シリコン基板１１に支持されている。この開口部１４は、ＳＯＩ基板１０を第１シリコン基板１１側から異方性エッチングする等により形成することができる。
【００２１】
ここで、図１に示す平面において、矩形状のＳＯＩ基板１０の左右方向に沿った辺に平行な方向をｘ軸とし、ＳＯＩ基板１０の上下方向に沿った辺に平行な方向すなわちｘ軸に直交する方向をｙ軸とする。そして、これらｘ軸およびｙ軸に垂直な方向すなわち図１の紙面垂直方向をｚ軸とする。
【００２２】
図１に示すように、振動子３０は平面形状が環状であり、本例では八角形の環状をなしている。この振動子３０は、その外周に一体に連結された４つの梁部４０を介して支持基板としての基部２０に支持されている。各梁部４０は、図１中、黒丸にて示す図心Ｂを中心にして基部２０の四隅部へ延びるように対称的に配置されている。
【００２３】
各梁部４０はｘ軸方向およびｙ軸方向に自由度を持つものであり、限定するものではないが、図１に示す例では、各梁部４０は、直線部の中間に平面円環状もしくは平面楕円環状の環部を有する形状を有している。この梁部４０により、振動子３０は、ｘ軸方向およびｙ軸方向へ振動可能となっている。
【００２４】
また、第２シリコン基板１２のうち、振動子３０におけるｘ軸方向に沿った両端部の外側には、開口部１４の縁部に支持された櫛歯状の駆動電極５１、５２が、振動子３０に対向して形成されている。そして、駆動電極５１、５２は、対向する振動子３０から突出する櫛歯部（駆動用櫛歯部）６１、６２に対し、互いの櫛歯が噛み合うように対向して配置されている。
【００２５】
ここで、各駆動電極５１、５２には、図示しない外部回路とワイヤボンディング等により電気的に接続するためのパッド（駆動電極用パッド）５１ａ、５２ａがアルミ等により形成されている。
【００２６】
これら駆動電極５１、５２および駆動用櫛歯部６１、６２は、駆動信号の印加によって当該両者５１と６１、５２と６２間の静電容量ＣＤ１、ＣＤ２を変化させるようになっている。それにより、駆動電極５１、５２と駆動用櫛歯部６１、６２とが近づいたり離れたりするように静電力が作用し、振動子３０がｘ軸方向およびｙ軸方向へ伸縮して駆動振動するようになっている。
【００２７】
また、第２シリコン基板１２のうち、振動子３０におけるｙ軸方向に沿った両端部の外側には、開口部１４の縁部に支持された櫛歯状の検出電極７１、７２、７３、７４が、振動子３０に対向して形成されている。そして、検出電極７１〜７４は、対向する振動子３０から突出する櫛歯部（検出用櫛歯部）８１、８２、８３、８４に対し、互いの櫛歯が噛み合うように対向して配置されている。
【００２８】
これら検出電極７１〜７４は、振動子３０におけるｙ軸方向に沿った両端部としての検出用櫛歯部８１〜８４に対して、ｘ軸方向に隔てて対向している。そして、図１に示すように、それぞれの対向間隔に検出容量である各容量ＣＳ１１、ＣＳ１２、ＣＳ１３、ＣＳ１４が形成されている。
【００２９】
ここで、これら検出電極７１〜７４において、振動子３０におけるｙ軸方向に沿った両端部のうち一方の端部である検出用櫛歯部８１、８２（図１中、上側）に対向するものを第１の検出電極（第１の検出部）７１、７２とし、振動子３０におけるｙ軸方向に沿った両端部のうち他方の端部である検出用櫛歯部８３、８４（図１中、下側）に対向するものを第２の検出電極（第２の検出部）７３、７４とする。
【００３０】
また、第１の検出電極７１、７２は、隣り合う２つの検出電極７１と７２からなり、一方の第１の検出電極７１における検出容量（一方の第１の検出容量）ＣＳ１１と他方の第１の検出電極７２における検出容量（他方の第１の検出容量）ＣＳ１２とは、振動子３０のｘ軸方向の変位に対し、増減方向が逆である。
【００３１】
また、第２の検出電極７３、７４も、隣り合う２つの検出電極７３と７４からなり、一方の第２の検出電極７３における検出容量（一方の第２の検出容量）ＣＳ２１と他方の第２の検出電極７４における検出容量（他方の第２の検出容量）ＣＳ２２とは、振動子３０のｘ軸方向の変位に対し、増減方向が逆である。
【００３２】
ここで、各検出電極７１〜７４には、図示しない上記外部回路とワイヤボンディング等により電気的に接続されるためのパッド（検出電極用パッド）７１ａ、７２ａ、７３ａ、７４ａがアルミ等により形成されている。
【００３３】
また、梁部４０が連結され振動子３０を支持している部分の基部（振動子支持部）２０は、その周囲の基部２０とは溝１５を介して電気的に絶縁されており、この振動子支持部としての基部２０には、振動子３０を所定電位に維持するための振動子電位用パッド３０ａがアルミ等により形成されている。
【００３４】
また、上記した振動子支持部、駆動電極５１、５２、および検出電極７１〜７４以外の基部２０は、第２シリコン基板１２に形成された上記溝１５により互いに電気的に絶縁されており、この部分の基部２０には、該基部２０を基準電位にするための基準電位用パッド２０ａがアルミ等により形成されている。これら振動子電位用パッド２０ａや基準電位用パッド３０ａも図示しない上記外部回路とワイヤボンディング等により電気的に接続される。
【００３５】
また、図３は、上記角速度センサＳ１の検出回路図である。一方の駆動電極５１と駆動用櫛歯部６１との間に容量ＣＤ１が形成されており、他方の駆動電極５２と駆動用櫛歯部６２との間に容量ＣＤ２が形成されている。
【００３６】
一方の第１の検出用電極７１とこれに対向する検出用櫛歯部８１との間に一方の第１の検出容量ＣＳ１１が形成されており、他方の第１の検出用電極７２とこれに対向する検出用櫛歯部８２との間に他方の第１の検出容量ＣＳ１２が形成されている。
【００３７】
また、一方の第２の検出用電極７３とこれに対向する検出用櫛歯部８３との間に一方の第２の検出容量ＣＳ２１が形成されており、他方の第２の検出用電極７４とこれに対向する検出用櫛歯部８４との間に他方の第２の検出容量ＣＳ２２が形成されている。
【００３８】
これら各容量により、図３に示すような等価回路が形成される。ここで、電位Ｖｋは、振動子電位用パッド３０ａを介して振動子３０に印加されるもので、作動中、振動子３０は所定電位Ｖｋに維持される。また、電位Ｖｆｒは、基準電位用パッド２０ａを介して基部２０に印加されるもので、作動中、基部２０は基準電位Ｖｆｒに維持される。
【００３９】
また、駆動信号Ｖａｃは、駆動電極用パッド５１ａ、５２ａを介して駆動電極５１、５２に印加される交流電圧であり、両駆動電極５１、５２において同相である。
【００４０】
また、一方の第１の検出用電極７１（一方の第１の検出容量ＣＳ１１）に対応する検出電極用パッド７１ａには、容量を電圧に変換するためのチャージアンプ９１が電気的に接続されており、他方の第１の検出用電極７２（他方の第１の検出容量ＣＳ１２）に対応する検出電極用パッド７２ａには、同じくチャージアンプ９２が電気的に接続形成されている。
【００４１】
また、一方の第２の検出用電極７３（一方の第２の検出容量ＣＳ２１）に対応する検出電極用パッド７３ａには、チャージアンプ９３が電気的に接続されており、他方の第２の検出用電極７４（他方の第２の検出容量ＣＳ２２）に対応する検出電極用パッド７４ａには、チャージアンプ９４が電気的に接続形成されている。なお、容量Ｃｆは、これらチャージアンプ９１〜９４の帰還容量である。
【００４２】
さらに、チャージアンプ９１と９２との電圧は差動アンプ１０１にて差動がとられ、チャージアンプ９３と９４との電圧は差動アンプ１０２にて差動がとられるようになっている。そして、これら前段の両差動アンプ１０１と１０２からの電圧は、後段の差動アンプ１０３にて差動がとられ出力されるようになっている。
【００４３】
なお、本例では、第１の検出電極（第１の検出部）７１、７２および第２の検出電極（第２の検出部）７３、７４の各々は、検出容量の増減の異なる２つの検出電極から構成されているが、これは、駆動信号Ｖａｃの回り込みによる検出ノイズを低減するためである。
【００４４】
酸化膜１３を介して第１シリコン基板１１と第２シリコン基板１２との間には寄生容量が存在する。この寄生容量等の存在により、検出電極からの検出信号には、駆動信号が回り込んだ信号（回り込み駆動信号）がノイズとして乗ってくる。
【００４５】
その点、本例では、第１および第２の各検出電極７１〜７４を、それぞれ検出容量の増減の異なる２つの検出電極７１と７２、７３と７４から構成し、第１および第２の検出電極７１〜７４のそれぞれにおいて２つの検出電極からの信号の差動をとることにより、この回り込み信号をキャンセルすることができ、好ましい。
【００４６】
このような駆動信号の回り込みによるノイズが、さほど影響しない場合には、第１の検出電極および第２の検出電極の各々は、一つずつの検出電極でも良い。例えば、一方の第１の検出電極７１と一方の第２の検出電極７３とにより構成しても良い。
【００４７】
次に、上記構成を有する角速度センサＳ１の作動について、上記図３および図４の作動説明図を参照して述べる。なお、図４では、振動子３０における各櫛歯形状は省略してある。
【００４８】
まず、上記図示しない外部回路から駆動電極用パッド５１ａ、５２ａを介して駆動電極５１、５２に駆動信号（正弦波電圧等）Ｖａｃを印加することにより、駆動用櫛歯部６１、６２と駆動電極５１、５２との間に静電気力を発生させる。
【００４９】
それにより、図４（ａ）中の実線形状に示すように、梁部４０の弾性力によって振動子３０がへ駆動振動する。この駆動振動においては、振動子３０はその図心Ｂを中心としてｘ軸方向およびｙ軸方向に伸縮するように変位する。それにより、振動子３０のうちｙ軸方向に沿った一方の端部８１、８２と他方の端部８３、８４とが、ｙ軸に沿って逆相に振動する。
【００５０】
この振動子３０の駆動振動のもとｚ軸回りに角速度Ωが印加されると、振動子３０にはｘ軸方向にコリオリ力が印加され、図４（ｂ）中、実線と破線とで示すように、振動子３０のうちｙ軸方向に沿った一方の端部８１、８２と他方の端部８３、８４とは、梁部４０の弾性力によって、ｘ軸に沿って互いに逆相に振動する（検出振動）。
【００５１】
この検出振動においては、実際には振動子３０は図心Ｂを中心に回転振動をするものであり、このような回転振動によって、振動子３０のうちｙ軸方向に沿った一方の端部８１、８２と他方の端部８３、８４とは、ｘ軸に沿った方向へ振動するものとなっている。
【００５２】
そして、この検出振動によって、検出電極７１〜７４と検出用櫛歯部８１〜８４との櫛歯間の容量ＣＳ１１、ＣＳ１２、ＣＳ２１、ＣＳ２２が変化するため、この容量変化を検出することにより、角速度Ωの大きさを求めることができる。
【００５３】
例えば、図４（ｂ）において、振動子３０のうちｙ軸方向に沿った一方の端部８１、８２がｘ軸に沿って左方向へ変位し、同時に他方の端部８３、８４がｘ軸に沿って右方向へ変位した瞬間を考える（図４（ｂ）中の破線形状を参照）。
【００５４】
この場合、上記図１からわかるように、一方の第１の検出容量ＣＳ１１は増加し、他方の第１の検出容量ＣＳ１２は減少する。また、一方の第２の検出容量ＣＳ２１は減少し、他方の第２の検出容量ＣＳ２２は増加する。ここで、各検出容量の増減分をΔＣとする。
【００５５】
そして、第１の検出電極７１、７２からは、チャージアンプ９１と９２との差動がとられるため、単純には＋２ΔＣ分の出力が得られ、いっぽう第２の検出電極７３、７４からは、チャージアンプ９３と９４との差動がとられるため、単純には−２ΔＣ分の出力が得られる。
【００５６】
このように結果的に、角速度印加時には、一方の端部８１、８２と第１の検出電極７１、７２との間の第１の容量変化が増加（＋２ΔＣ）の場合、他方の端部８３、８４と第２の検出電極７３、７４との間の第２の容量変化は減少（−２ΔＣ）となる。そして、これら両出力が後段の差動アンプ１０３にて差動がとられ、単純には４ΔＣ分の容量変化に相当する出力すなわち角速度Ωに基づいたセンサ出力が得られる。
【００５７】
また、上述したように、第１の検出電極、第２の検出電極の各々が、一つずつの検出電極、例えば、一方の第１の検出電極７１、一方の第２の検出電極７３により構成される場合も同様に角速度検出を行うことができる。この場合、上記図３に示す検出回路において、他方の第１および第２の検出電極７２、７３、検出容量ＣＳ１２、ＣＳ２２、チャージアンプ９２、９４および前段の差動アンプ１０１、１０２が無い場合に相当する。
【００５８】
そして、この場合も、図４（ｂ）においてｘ軸に沿って、振動子３０の一方の端部８１、８２が左方向へ、他方の端部８３、８４が右方向へ変位した瞬間を考えると、一方の第１の検出容量ＣＳ１１は増加し、また、一方の第２の検出容量ＣＳ２１は減少する。
【００５９】
そして、チャージアンプ９１、９３および差動アンプ１０３を介して、第１の検出電極７１の検出容量変化と第２の検出電極７３の検出容量変化との差分（単純には２ΔＣ）に応じた出力が、角速度Ωに基づいたセンサ出力として得られる。
【００６０】
このようにして本実施形態の角速度センサＳ１によれば、角速度Ωが印加されたときに、振動子３０のうちｙ軸方向に沿った一方の端部８１、８２と他方の端部８３、８４とが逆相にて検出振動するため、一方の端部８１、８２と第１の検出電極７１、７２との間の第１の容量変化と、他方の端部８３、８４と第２の検出電極７３、７４との間の第２の容量変化とを差動検出することにより角速度Ωを求めることができる。
【００６１】
ここで、角速度センサＳ１に対して、ｘ軸方向の加速度が印加された場合を考える。例えば、図４（ｂ）においてｘ軸に沿って右方向の加速度が印加されたとする。すると、各検出容量ＣＳ１１、ＣＳ１２、ＣＳ２１、ＣＳ２２には、当該加速度による容量変化ΔＣｇが、それぞれ、−ΔＣｇ、＋ΔＣｇ、−ΔＣｇ、＋ΔＣｇとして発生する。
【００６２】
この加速度による、第１の検出電極７１、７２側の第１の容量変化および第２の検出電極７３、７４側の第２の容量変化は、ともに−２ΔＣｇと同じ（同符号）である。そして、これら第１および第２の容量変化の差動出力がとられるため、加速度による容量変化分はキャンセルされる。
【００６３】
こうして、加速度による出力をキャンセルした角速度出力が得られる。なお、このことは、第１の検出電極、第２の検出電極の各々が、一つずつの検出電極により構成される場合も同様に実現できることは明らかである。
【００６４】
以上のように、本実施形態によれば、防振ゴムを用いることなく単一の振動子にて加速度による出力をキャンセルすることのできる角速度センサを提供することができる。
【００６５】
なお、平面環状の振動子としては、上記八角形に限らず、六角形環状、その他の多角形環状、円環状であっても良い。要は、図心を中心としてｙ軸方向に伸縮するように変位することにより、振動子のうちｙ軸方向に沿った一方の部位と他方の部位とが逆相に振動するようなものであれば良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る角速度センサの概略平面図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ概略断面図である。
【図３】図１に示す角速度センサの検出回路図である。
【図４】図１に示す角速度センサの作動説明図である。
【符号の説明】
２０…基部、３０…振動子、４０…梁部、５１、５２…駆動電極、
７１…一方の第１の検出電極、７２…他方の第１の検出電極、
７３…一方の第２の検出電極、７４…他方の第２の検出電極、
８１、８２、８３、８４…検出用櫛歯部、Ｂ…振動子の図心、Ω…角速度。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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