(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスク材に所定パターンの貫通開口部を形成し、該開口部に該開口部内壁保護用樹脂を充填したのち、ハーフエッチング加工を行う印刷用マスクの製造方法において、
上記マスク材の第１の面に表面保護用プラスチックフィルムを貼付する工程と、次いで、該第１の面と反対側の第２の面を上にして上記開口部に上記樹脂を充填する工程と、次いで、該第２の面に該フィルムを貼付する工程と、次いで、該第１の面より該フィルムを除去する工程と、次いで、該第１の面を加工面としてハーフエッチング加工を行う工程とを含むことを特徴とする印刷用マスクの製造方法。
【請求項２】
請求項１の印刷用マスクの製造方法によって製造されたことを特徴とする印刷用マスク。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、印刷用マスクの製造方法に関し、詳しくは、マスク材に所定パターンの貫通開口部を形成し、該開口部に該開口部内壁保護用樹脂を充填したのち、ハーフエッチング加工を行う印刷マスクの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
クリーム半田、インク、接着剤、ペースト状の樹脂などのペーストをプリント基板などの被印刷体上に印刷するための印刷用マスクとしては、金属板にパンチプレスにより印刷パターンの貫通開口部を形成したパンチプレスマスク、金属板にＹＡＧレーザにより印刷パターンの貫通開口部を形成したＹＡＧレーザマスク、感光性樹脂を金属板両面に塗布してレジスト層を形成し、開口部のパターンを描いたフォトマスクを介して露光し、次いでレジスト層を現像することにより、開口部パターンに対応する部分のレジスト層を除去し、それをエッチングして金属板に印刷パターンの貫通開口部を形成したエッチングマスク、メッキ母材上にやや厚めの感光性樹脂層を形成し、開口部パターンを描いたフォトマスクを介して露光し、次いで感光性樹脂層を現像することにより、開口部パターンに対応する部分以外の感光性樹脂層を除去し、開口部パターンに対応する部分の感光性樹脂層を残して雌型を作製し、この雌型周囲の面にマスクとして必要な厚さにメッキ（主にニッケル）を行い、印刷パターンの貫通開口部を金属板に形成したアディティブマスクなどのメタルマスクが知られている。また、メタルマスクの欠点を改良し高精細な微少ピッチの貫通開口部を形成することができ、被印刷体上に微細なピッチの印刷を行うことができる印刷用マスクとしては、マスク材としてプラスチック板を用い、該プラスチック板にエキシマレーザやその他の方法により印刷パターンの貫通開口部を形成したプラスチックマスクが知られている（特開平７−８１０２７号公報）。
【０００３】
また、特に、微細な開口が穿孔される印刷用マスクでは、ハーフエッチング加工が施されることがある。このハーフエッチング加工は、比較的厚手のマスク材の表面を一定の深さに掘り下げる加工方法であって、例えば、印刷用マスクに形成される周辺の開口部と比べさらにファインな微細孔のクリーム半田やインキなどのペーストの抜け性を向上させる目的で、該印刷用マスクの微細孔形成部の板厚を薄くする際の加工方法として利用されている。
【０００４】
上記ハーフエッチング加工は、従来、印刷パターンの貫通開口部が形成された印刷用マスクの片面に表面保護用のプラスチックフィルムを貼付け、該面の反対側の面である加工面を上にして、該貫通開口部の内壁を保護するための樹脂を該貫通開口部に充填したのち、マスキングを行い、次いで、表面を一定の深さに掘り下げるように、エッチング液によりエッチングする方法が採られている。
【０００５】
ここで、上記貫通開口部に樹脂を充填する際には、図２（ａ）に示すように、該貫通開口部以外の加工面に余剰な樹脂が残らないように、該樹脂をスキージで加工面に擦り付けるようにして展延して該開口部に樹脂を充填していた。ところが、スキージを該加工面に擦り付けるため、スキージングが過剰となった場合には、該貫通開口部に充填された樹脂の上部がスキージによってえぐり取られてしまうことがあった。この様子を図２（ｂ）に示す。また、図２（ｃ）に示すように、ハーフエッチングによるエッチング深さを３０μｍとした場合、スキージによってえぐり取られた樹脂の深さが３０μｍを超えると、加工面にエッジ部Ａが発生する。そして、エッジ部Ａが発生した状態でエッチングが進むと、エッジ部Ａでは、上方向及び横方向からエッチング液の影響を受けるため、図２（ｄ）に示すように他の加工面よりもエッチングが進んでしまい、その結果、貫通開口部の形状を良好に保てなくなるという不具合が発生する。
【０００６】
一方、樹脂のスキージングが不足した場合には、図２（ｂ）のＢで示すような、加工面上に樹脂が残ってしまうおそれがある。エッチング液に対して耐性を持つ樹脂が加工面上に残ると、図２（ｃ）に示すように、ハーフエッチングの際に均一なエッチングがなされず、エッチングムラが発生するという問題がある。
【０００７】
このように、ハーフエッチング加工においては、加工面上に樹脂が残ることなく、かつ、貫通開口部に充填された樹脂のスキージングによって削り取られる深さが、ハーフエッチング加工による所望のエッチング深さを超えないように、スキージングの制御を行う必要があるが、数十ミクロン程度の正確な一定のスキージングは非常に困難なものであった。
【０００８】
なお、上述したような問題点は、ハーフエッチング加工にエッチング液を用いる場合において生じるものであるが、図２（ｃ）で示したような樹脂残Ｂによるエッチングムラの問題については、他のハーフエッチング加工方法、例えば、エキシマレーザによる加工においても、同様に発生するものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、ハーフエッチング加工を行う場合の、貫通開口部の内壁保護用樹脂のスキージング過剰に起因する該開口部の変形を防止し、かつ、スキージング不足に起因するエッチングムラを防止することのできる印刷用マスクの製造方法及び該方法により製造した印刷用マスクを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１の発明は、マスク材に所定パターンの貫通開口部を形成し、該開口部に該開口部内壁保護用樹脂を充填したのち、ハーフエッチング加工を行う印刷用マスクの製造方法において、該マスク材の第１の面に表面保護用プラスチックフィルムを貼付する工程と、次いで、該第１の面と反対側の第２の面を上にして該開口部に該樹脂を充填する工程と、次いで、該第２の面に該フィルムを貼付する工程と、次いで、該第１の面より該フィルムを除去する工程と、次いで、該第１の面を加工面としてハーフエッチング加工を行う工程とを含むことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１の印刷用マスクの製造方法によって製造されたことを特徴とする印刷用マスクである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図１（ａ）乃至（ｅ）は、本発明の実施形態に即した印刷用マスクの製造方法を示す図である。図示例は、主にメタルマスク、または、エッチング液によるエッチングが可能なプラスチックマスクのハーフエッチング加工品の製造方法に適用することができる。本実施形態においては、マスク材としてステンレスを用いた。
本実施形態では、まず、図１（ａ）に示すように、マスク材１に所定のパターンからなる大小の貫通開口部５及び６を穿孔する。この貫通開口部５及び６は、メタルマスクにおいては、パンチプレス、ＹＡＧレーザ、エッチング、メッキなど、プラスチックマスクにおいては、エキシマレーザなどによって形成することができる。そして、貫通開口部５及び６形成後には、マスク材１の片面であるＡ面に、表面保護用のプラスチックフィルムとしてのラミネートフィルム２を接着剤で貼り付ける。
【００１３】
次に、図１（ｂ）に示すように、ラミネートフィルム２を貼り付けたＡ面とは逆の面であるＢ面から、貫通開口部５及び６に該開口部５及び６の内壁保護用の樹脂３を充填する。ここで、樹脂３は、貫通開口部５及び６に完全に充填できさえすればよく、該開口部５及び６の上部から溢れてマスク材１の上面に広がっても構わない。なお、樹脂充填時には、マスク材１のＡ面からのラミネートフィルム２の剥離を防止するために、ラミネートフィルム２の下に平坦な下支え部材を配置することが望ましい。そして、樹脂３の乾燥後に、マスク材１のＢ面にラミネートフィルム２ａを貼り付ける。
【００１４】
次に、図１（ｃ）に示すように、マスク材１を上下反転して、マスク材１のＡ面からラミネートフィルム２を除去する。ラミネートフィルム２が除去されたＡ面は樹脂３の充填時にはラミネートフィルム２で覆われていたため、貫通開口部５及び６内にはＡ面と同じ高さまで樹脂３が充填されているとともに、面上に樹脂３が存在することはない。その後、ハーフエッチング加工部７以外の部分のマスキングを行い、塩化第二鉄等のエッチング液を用いて、図１（ｄ）で示すようなＢ面から一定の深さに掘り下げられたハーフエッチング加工部７を形成する。そして、マスク材１より樹脂３及びラミネートフィルム２ａを除去することにより、図１（ｅ）に示すような、ハーフエッチング加工部７を有するマスク材１を得ることができる。
【００１５】
このように、本実施形態においては、樹脂３を充填する面とは逆の面よりハーフエッチング加工を行うため、樹脂充填の際には貫通開口部５及び６内に樹脂３を充填しさえすればよく、従来のような樹脂のスキージングが不要となる。よって、スキージング過剰に起因する貫通開口部の変形や、スキージング不足に起因するエッチングムラのない、良好なハーフエッチング加工が可能となる。
【００１６】
なお、本実施形態においては、エッチング液によるハーフエッチング加工を例に説明したが、本発明を、他のハーフエッチング加工方法に適用することもできる。例えば、エキシマレーザによるハーフエッチング加工を行う場合には、上述したような樹脂残によるエッチングムラの問題を解決することができる。
【００１７】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、ラミネートフィルムを貼付された第１の面を底面にして第２の面から貫通開口部に樹脂を充填するので、該貫通開口部には該第１の面と同じ位置まで該樹脂が充填されるとともに、該第１の面上に該樹脂が存在することがない。そして、該第１の面よりハーフエッチング加工を行うので、該樹脂のスキージングが不要となり、スキージング過剰に起因する貫通開口部の変形や、スキージング不足に起因するエッチングムラのない、良好なハーフエッチング加工を行うことができるという優れた効果がある。
【００１８】
請求項２の発明によれば、請求項１の製造方法により製造されるので、スキージング過剰に起因する貫通開口部の変形やスキージング不足に起因するエッチングムラのないハーフエッチング加工部を有するマスク材を得られるという優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）乃至（ｅ）は、本実施形態に係る印刷用マスクの製造方法を説明するための概略断面図。
【図２】（ａ）乃至（ｄ）は、従来技術の不具合を説明するための印刷用マスクの概略断面図。
【符号の説明】
１        マスク材
２，２ａ  ラミネートフィルム
３        樹脂
４        スキージ
５        貫通開口部（大）
６        貫通開口部（小）
７        ハーフエッチング加工部
【図１】
0004297538.tif 000002
【図２】
0004297538.tif 000003