(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１個のキャリアに複数のワークを保持し、前記キャリアを複数個配置して研磨加工を行う研磨装置を用いたワークの製造方法であって、カセットに載置されたワークを、研磨加工に使用する１個のキャリアに載置されるワークの個数に対応した個数分、ワーク供給コンベアのワーク載置部に搬送し、前記ワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括して搬入テーブルのワーク載置部に搬送し、前記搬入テーブルに載置された全てのワークを一括して研磨装置に配備した複数のキャリアに搬送し、前記キャリアに搬送された全てのワークを一括して研磨加工することを特徴とするワークの製造方法。
【請求項２】
１個のキャリアに複数のワークを保持し、前記キャリアを複数個配置して研磨加工を行う研磨装置を用いたワークの製造方法であって、カセットに載置されたワークを、研磨加工に使用する１個のキャリアに載置されるワークの個数に対応した個数分、ワーク供給コンベアのワーク載置部に搬送し、前記ワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括して搬入テーブルのワーク載置部に搬送し、前記搬入テーブルに載置された全てのワークを一括して研磨装置に配備した複数のキャリアに搬送し、前記キャリアに搬送された全てのワークを一括して研磨加工し、前記研磨加工を終了した全てのワークを一括して搬出テーブルのワーク載置部に搬送し、前記キャリアに対応した前記搬出テーブルのワーク載置部に載置されたワークを一括してワーク搬出部のワーク載置部に搬送し、前記ワークを洗浄装置に搬送して洗浄を行い、前記洗浄を終了したワークを乾燥装置に搬送して乾燥を行い、前記乾燥を終了したワークをカセットに収納することを特徴とするワークの製造方法。
【請求項３】
１個のキャリアに複数のワークを保持し、前記キャリアを複数個配置して研磨加工を行う研磨装置を用いたワークの製造装置であって、ワークを収納したカセットを供給するカセット供給部と、研磨加工に使用する１個のキャリアに載置されるワークの個数に対応した個数分のワークを載置するワーク供給コンベアのワーク載置部と、前記ワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括して載置する搬入テーブルのワーク載置部と、前記搬入テーブルに載置された全てのワークを一括して載置する研磨装置に配備した複数のキャリアと、前記キャリアに搬送された全てのワークを一括して研磨加工する研磨装置とを備えたことを特徴とするワークの製造装置。
【請求項４】
１個のキャリアに複数のワークを保持し、前記キャリアを複数個配置して研磨加工を行う研磨装置を用いたワークの製造装置であって、ワークを収納したカセットを供給するカセット供給部と、研磨加工に使用する１個のキャリアに載置されるワークの個数に対応した個数分のワークを載置するワーク供給コンベアのワーク載置部と、前記ワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括して載置する搬入テーブルのワーク載置部と、前記搬入テーブルに載置された全てのワークを一括して載置する研磨装置に配備した複数のキャリアと、前記キャリアに搬送された全てのワークを一括して研磨加工する研磨装置と、前記研磨加工を終了した全てのワークを一括して載置する搬出テーブルのワーク載置部と、前記キャリアに対応した前記搬出テーブルのワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括して載置するワーク搬出部のワーク載置部と、前記ワークを洗浄する洗浄装置と、前記洗浄を終了したワークを乾燥する乾燥装置と、前記乾燥を終了したワークをカセットに収納するカセット収納部とを備えたことを特徴とするワークの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク基板などのワークの面を研磨加工し、洗浄、乾燥するワークの製造方法およびワークの製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、磁気ディスク基板などのワークを多数同時に研磨加工するための研磨方法および研磨装置として、特許第２５３５０８９号公報（特許文献１）に記載されたものがある。この研磨方法および研磨装置は、図２に図示したように、搬入テーブル６に同時に研磨加工する全てのワーク３を載置しておき、研磨装置８に全てのワーク３を一括搬送してワーク３を研磨装置８のキャリア９に載置した後、全てのワーク３を一括して研磨加工するものである。研磨加工が完了したワーク３は、全てのワーク３を一括して搬出テーブル１２のワーク載置部１３に搬送する。さらに、この従来技術には先行する磁気ディスク用基板の研磨を完了して、上部定盤が上方待機位置に復帰した状態において、作業者あるいはロボットが、研磨加工機のキャリアーに保持されている基板を１個づつ取り出していき、そして取出しが完了したら今度は未加工基板を１つづつワークキャリアーに配置していく。そして上部定盤を下降し、基板の研磨を再開する。しかしながら、加工済基板を研磨加工機から１個づつ取り出し、取り出し終えたらまた１個づつ未加工基板をキャリアーに配置していくという作業では、一回の研磨加工を終えて次の研磨加工を開始するまでの時間、即ち、研磨加工機のアイドルタイムがかなり長いものとなってしまい、ワークの研磨処理スピードが遅くなってしまう。（第５欄第６〜２１行）や、研磨方法、研磨装置では、複数個のワークを一括して研磨加工する研磨加工部に隣接して、対応する複数の未加工ワークを待機させる未加工ワーク待機部と、対応する複数の加工済ワークを待機させる加工済ワーク待機部とが配置され、ワーク一括移送装置にて、研磨加工部で研磨加工し終えた各ワークを一括して加工済ワーク待機部に移送すると共に、未加工ワーク待機部に待機させた各ワークを前記研磨加工部に一括して移送するものである（第７欄第３３〜４１行）、との記載がある。
【０００３】
この研磨方法および研磨装置においては、搬入テーブル６のワーク載置部７にワーク３を載置する場合には、ワーク３を人手で載置したり、カセットに載置されているワーク３をロボットで搬入したりしている。
【０００４】
前記研磨方法および研磨装置では、研磨加工を行っている時間内に、搬入テーブル６の全てのワーク載置部７にワーク３を載置する必要があり、研磨加工が終了したら直ぐに全ての加工済みワーク３を搬出テーブル１２に一括搬送し、直ぐに搬入テーブル６のワーク載置部７に載置されている全てのワーク３を一括して研磨装置８のキャリア９に搬送して、直ちに研磨加工を行うようにしている。これにより、研磨加工をほとんど中断することなく連続して行うことができ、研磨加工の生産効率を高めている。
【０００５】
しかしながら、ワーク３の研磨加工は、さらに生産効率を高めるために、同時に研磨加工するワーク３の個数を増加させる傾向にある。この場合、ワーク３の同時加工個数が５０個程度までは、前述のように、研磨加工を行っている時間内に、搬入テーブル６のワーク載置部７に全てのワーク３を載置することができる。ところが、ワーク３の同時研磨加工個数が５０個程度よりも多くなると、研磨加工を行っている時間内に、搬入テーブル６のワーク載置部７に全てのワーク３を載置することができなくなり、研磨加工を連続して行うことができず、研磨加工を中断することになり、研磨加工の生産効率が悪くなってしまう。
【特許文献１】特許第２５３５０８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
解決しようとする課題は、ワークの同時研磨加工個数が多くなっても、研磨加工を行っている時間内に、搬入テーブルのワーク載置部に全てのワークを載置することができ、研磨加工を中断することなく、研磨加工を連続して行うことができる全自動化された生産効率の高いワークの製造方法およびワークの製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、前記課題を解決するために、１個のキャリアに複数のワークを保持し、前記キャリアを複数個配置して研磨加工を行う研磨装置を用いたワークの製造方法であって、カセットに載置されたワークを、研磨加工に使用する１個のキャリアに載置されるワークの個数に対応した個数分、ワーク供給コンベアのワーク載置部に搬送し、前記ワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括して搬入テーブルのワーク載置部に搬送し、前記搬入テーブルに載置された全てのワークを一括して研磨装置に配備した複数のキャリアに搬送し、前記キャリアに搬送された全てのワークを一括して研磨加工することを特徴とするものである。
【０００８】
また、１個のキャリアに複数のワークを保持し、前記キャリアを複数個配置して研磨加工を行う研磨装置を用いたワークの製造方法であって、カセットに載置されたワークを、研磨加工に使用する１個のキャリアに載置されるワークの個数に対応した個数分、ワーク供給コンベアのワーク載置部に搬送し、前記ワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括して搬入テーブルのワーク載置部に搬送し、前記搬入テーブルに載置された全てのワークを一括して研磨装置に配備した複数のキャリアに搬送し、前記キャリアに搬送された全てのワークを一括して研磨加工し、前記研磨加工を終了した全てのワークを一括して搬出テーブルのワーク載置部に搬送し、前記キャリアに対応した前記搬出テーブルのワーク載置部に載置されたワークを一括してワーク搬出部のワーク載置部に搬送し、前記ワークを洗浄装置に搬送して洗浄を行い、前記洗浄を終了したワークを乾燥装置に搬送して乾燥を行い、前記乾燥を終了したワークをカセットに収納することを特徴とするものである。
【０００９】
また、１個のキャリアに複数のワークを保持し、前記キャリアを複数個配置して研磨加工を行う研磨装置を用いたワークの製造装置であって、ワークを収納したカセットを供給するカセット供給部と、研磨加工に使用する１個のキャリアに載置されるワークの個数に対応した個数分のワークを載置するワーク供給コンベアのワーク載置部と、前記ワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括して載置する搬入テーブルのワーク載置部と、前記搬入テーブルに載置された全てのワークを一括して載置する研磨装置に配備した複数のキャリアと、前記キャリアに搬送された全てのワークを一括して研磨加工する研磨装置とを備えたことを特徴とするものである。
【００１０】
また、１個のキャリアに複数のワークを保持し、前記キャリアを複数個配置して研磨加工を行う研磨装置を用いたワークの製造装置であって、ワークを収納したカセットを供給するカセット供給部と、研磨加工に使用する１個のキャリアに載置されるワークの個数に対応した個数分のワークを載置するワーク供給コンベアのワーク載置部と、前記ワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括して載置する搬入テーブルのワーク載置部と、前記搬入テーブルに載置された全てのワークを一括して載置する研磨装置に配備した複数のキャリアと、前記キャリアに搬送された全てのワークを一括して研磨加工する研磨装置と、前記研磨加工を終了した全てのワークを一括して載置する搬出テーブルのワーク載置部と、前記キャリアに対応した前記搬出テーブルのワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括して載置するワーク搬出部のワーク載置部と、前記ワークを洗浄する洗浄装置と、前記洗浄を終了したワークを乾燥する乾燥装置と、前記乾燥を終了したワークをカセットに収納するカセット収納部とを備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のワークの製造方法およびワークの製造装置は、１個のキャリアに複数のワークを保持し、前記キャリアを複数個配置して研磨加工を行う研磨装置を用いたワークの製造装置であって、カセットに載置されたワークを、研磨加工に使用する１個のキャリアに載置されるワークの個数に対応した個数分、ワーク供給コンベアのワーク載置部に搬送し、ワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括して搬入テーブルのワーク載置部に搬送し、搬入テーブルに載置された全てのワークを一括して研磨装置のキャリアに搬送し、キャリアに搬送された全てのワークを一括して研磨加工するようにしたので、ワークの同時研磨加工個数が多くなっても、研磨加工を行っている時間内に、搬入テーブルのワーク載置部に全てのワークを載置することができ、研磨加工を中断することなく、研磨加工を連続して行うことができる全自動化された生産効率の高いワークの製造方法およびワークの製造装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明のワークの製造方法およびワークの製造装置は、１個のキャリアに複数のワークを保持し、前記キャリアを複数個配置して研磨加工を行う研磨装置を用いたワークの製造装置であって、カセットに載置されたワークを、研磨加工に使用する１個のキャリアに載置されるワークの個数に対応した個数分、ワーク供給コンベアのワーク載置部に搬送し、ワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括して搬入テーブルのワーク載置部に搬送し、搬入テーブルに載置された全てのワークを一括して研磨装置のキャリアに搬送し、キャリアに搬送された全てのワークを一括して研磨加工し、研磨加工を終了した全てのワークを一括して搬出テーブルのワーク載置部に搬送し、キャリアに対応した搬出テーブルのワーク載置部に載置された１個のキャリアに載置されるワークを一括してワーク搬出部のワーク載置部に搬送し、次にワークを洗浄装置に搬送して洗浄を行い、洗浄を終了したワークを乾燥装置に搬送して乾燥を行い、乾燥を終了したワークをカセットに収納するものである。このように構成したことにより、ワークの同時研磨加工個数が多くなっても、研磨加工を行っている時間内に、搬入テーブルのワーク載置部に全てのワークを載置することができ、研磨加工を中断することなく、研磨加工を連続して行うことができる全自動化された生産効率の高いワークの製造方法およびワークの製造装置を提供することができる。
【実施例１】
【００１３】
図１は、本発明の一実施例に係わるワークの製造方法および製造装置を示す説明図である。
【００１４】
本発明のワークの製造方法およびワークの製造装置は、磁気ディスク基板などのワーク３を収納するカセット２に所定の個数のワーク３を収納して、カセット供給部１に所定の個数のカセット２を載置しておく。
【００１５】
カセット２に収納されたワーク３を搬入して次工程の搬入テーブル６にワーク３を搬出するためにワーク供給コンベア４を設け、ワーク供給コンベア４には研磨加工に使用する１個のキャリア９に載置されるワーク３の個数に対応した個数分のワーク３を載置するワーク載置部５を複数個設け、このワーク載置部５にカセット２に収納されているワーク３を、例えばロボットにより搬送する。ロボットによる搬送は、１台のロボットでワーク３を同時に４個搬送し、２個のワーク載置部にワークを各々２個づつ載置するようにしている。なお、図１の図示では、１個のキャリア９にワーク３を５個載置しているが、実際には１個のキャリア９にワーク３を１０個載置している。
【００１６】
ワーク供給コンベア４のワーク載置部５に所定の個数のワーク３が載置されると、ワーク３を載置したワーク載置部５はカセット供給部１側から搬入テーブル６側にコンベアで移動する。
【００１７】
ワーク供給コンベア４の１個のワーク載置部５に載置された所定の個数のワーク３は、一括して搬入テーブル６のワーク載置部７にロボットにより搬送される。ワーク３を搬出したワーク供給コンベア４のワーク載置部５は搬入テーブル６側からカセット供給部１側にコンベアで移動する。
【００１８】
搬入テーブル６に設けた複数のワーク載置部７には、ワーク供給コンベア４のワーク載置部５に載置された１個のキャリアに載置されるワーク３が各々一括して搬送される。この際、搬入テーブル６が回転してワーク３の供給を受けるワーク載置部７がワーク供給コンベア４側に位置するようにしている。そして、搬入テーブル６の全てのワーク載置部７にワーク３が供給される。搬入テーブル６の全てのワーク載置部７に載置された全てのワーク３は、一括して研磨装置８のキャリア９に搬送され載置される。
【００１９】
研磨装置８は、キャリア９が太陽歯車１０と内歯歯車１１とにより自転及び公転しながら、キャリア９に載置されたワーク３が上側研磨具と下側研磨具とにより研磨加工される。図１の図示では、１個のキャリア９に５個のワーク３を載置しているが、実際には１個のキャリア９に１０個のワーク３を載置している。また、研磨装置８には、５個のキャリア９が載置されているが、実際には研磨装置８に１０個のキャリア９を載置しており、同時に１００個のワーク３を一括研磨できるようにしている。
【００２０】
研磨加工が終了すると、研磨加工を終了した全てのワーク３を一括して搬出テーブル１２のワーク載置部１３に搬送する。
【００２１】
研磨加工を行っている時間内に、搬入テーブル６の全てのワーク載置部７にはワーク３が載置される。そして、研磨加工が終了すると、直ぐに研磨加工を終了した全てのワーク３を一括して搬出テーブル１２のワーク載置部１３に搬送する。続いて直ぐに搬入テーブル６の全てのワーク載置部７に載置された全てのワーク３は、一括して研磨装置８のキャリア９に搬送され載置される。そして直ぐに研磨加工が開始される。従って、ワークの同時研磨加工個数が多くなっても、研磨加工を行っている時間内に、搬入テーブル６のワーク載置部７に全てのワーク３を載置することができ、研磨加工を中断することなく、研磨加工を連続して行うことができる全自動化された生産効率の高いワークの製造方法およびワークの製造装置を提供することができる。
【００２２】
１個のキャリア９に対応した搬出テーブル１２のワーク載置部１３に載置されたワーク３を、ロボットにより一括してワーク搬出部１４のワーク載置部１５に搬送して載置する。搬出テーブル１２の全てのワーク載置部１３に載置された全てのワーク３は、研磨加工を行っている時間内に、ワーク搬出部１４のワーク載置部１５に搬送され載置される。
【００２３】
ワーク搬出部１４のワーク載置部１５に載置されたワーク３は、順次、洗浄装置１６に搬送され洗浄が行われる。洗浄装置１６へのワーク３の搬送は、１台のロボットでワーク３を４個同時に搬送する。
【００２４】
洗浄装置１６で洗浄が終了したワーク３は、順次、乾燥装置１７に搬送され乾燥が行われる。乾燥装置１７へのワーク３の搬送は、１台のロボットでワーク３を４個同時に搬送する。乾燥を終了したワーク３は、順次、カセット２に収納される。
【００２５】
以上のように本発明のワークの製造方法およびワークの製造装置は、１個のキャリアに複数のワークを保持し、前記キャリアを複数個配置して研磨加工を行う研磨装置を用いたワークの製造方法およびワークの製造装置であって、カセット２に載置されたワーク３を、研磨加工に使用する１個のキャリア９に載置されるワーク３の個数に対応した個数分、ワーク供給コンベア４のワーク載置部５に搬送し、ワーク載置部５に載置された１個のキャリアに載置されるワーク３を一括して搬入テーブル６のワーク載置部７に搬送し、搬入テーブル６に載置された全てのワーク３を一括して研磨装置８のキャリア９に搬送し、キャリア９に搬送された全てのワーク３を一括して研磨加工し、研磨加工を終了した全てのワーク３を一括して搬出テーブル１２のワーク載置部１３に搬送し、１個のキャリア９に対応した搬出テーブル１２のワーク載置部１３に載置されたワーク３を一括してワーク搬出部１４のワーク載置部１５に搬送し、次にワーク３を洗浄装置１６に搬送して洗浄を行い、洗浄を終了したワーク３を乾燥装置１７に搬送して乾燥を行い、乾燥を終了したワーク３をカセット２に収納するものである。このように構成したことにより、ワーク３の同時研磨加工個数が多くなっても、研磨加工を行っている時間内に、搬入テーブル６のワーク載置部７に全てのワーク３を載置することができ、また、搬出テーブル１２の全てのワーク載置部１３に載置された全てのワーク３は、研磨加工を行っている時間内に、ワーク搬出部１４のワーク載置部１５に搬送されるから、研磨加工を中断することなく、研磨加工を連続して行うことができる全自動化された生産効率の高いワークの製造方法およびワークの製造装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施例に係わるワークの製造方法およびワークの製造装置を示す説明図である。
【図２】従来のワークの製造方法およびワークの製造装置を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２７】
１カセット供給部
２カセット
３ワーク
４ワーク供給コンベア
５ワーク載置部
６搬入テーブル
７ワーク載置部
８研磨装置
９キャリア
１２搬出テーブル
１３ワーク載置部
１４ワーク搬出部
１５ワーク載置部
１６洗浄装置
１７乾燥装置
【図１】
0004310807.tif 000002
【図２】
0004310807.tif 000003