(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに９０度位相の異なる第１のパルスと第２のパルスとが移動方向に応じて４つの状態を、定められた順番に状態遷移しながら繰り返すように出力されるエンコーダの信号エラー検出装置において、上記第１のパルスと第２のパルスとが入力されて上記第１のパルスと第２のパルスとの状態遷移を検出する状態遷移検出手段を設け、該状態遷移検出手段は上記定められた順番以外の状態遷移を無効遷移出力として出力するようになっており、上記無効遷移出力の出力後の状態遷移によりエラー出力を出すようにしたことを特徴とするエンコーダの信号エラー検出装置。
【請求項２】
上記無効遷移出力が２回連続して出力された時は、エラー出力を出さないようにしたことを特徴とする請求項１記載のエンコーダの信号エラー検出装置。
【請求項３】
上記無効遷移出力が出力された後所定時間状態遷移がなかった時、又は、上記無効遷移出力が３回以上の定められた回数連続して出力された時は、エラー出力を出すようにしたことを特徴とする請求項１または２記載のエンコーダの信号エラー検出装置。
【請求項４】
上記状態遷移の間隔を検出するタイマー手段と、無効な状態遷移と有効な状態遷移との発生関係を判定する状態遷移順序判定手段とを設け、上記状態遷移の間隔と状態遷移の発生順序とに基づいてエラー出力を出すようにしたことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のエンコーダの信号エラー検出装置。
【請求項５】
エラー出力をクリアするエラークリア信号は一定周期で自動発信し、または手動発信するものであることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のエンコーダの信号エラー検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エンコーダの信号エラー検出装置に関する。さらに詳述すると、本発明は、エラー検出装置において検出されたエラー信号を処理する手段の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
モータの位置や速度を検出するのに、図１１（Ａ）に示すような９０度位相の異なる２つのパルス信号を用いた場合、通常は、２つのパルスから図１１（Ｂ）に示すＣＷパルス、ＣＣＷパルスのようにカウンタ入力用加工パルスを生成している。このような２つのパルスは、Ｈ状態とＬ状態との状態変化（遷移）がＡ相とＢ相とで順番に繰り返され、状態遷移が同時に起こらないように生成されている。したがって、Ａ相の状態とＢ相の状態の組み合わせは図１２に示すように（反）時計回りに移り変わり、Ｈ／Ｈ状態とＬ／Ｌ状態の間あるいはＨ／Ｌ状態とＬ／Ｈ状態の間で状態が直接遷移する無効な状態遷移が生じることがない。
【０００３】
しかし、Ａ相、Ｂ相の２つのパルス信号のいずれか一方あるいは両方にノイズが混入した場合に、無効な状態遷移が生じることがある。例えば図１３（Ａ）に示すようにノイズ１０１が両パルスに混入すると、▲１▼〜▲３▼までは有効に状態遷移していたものが、▲４▼のノイズの同時立ち上がり時あるいは▲５▼の同時立ち下がり時において、図１３（Ｂ）に示すようにＬ／Ｌ状態とＨ／Ｈ状態との間で無効な状態遷移が生じることがある。
【０００４】
この場合、従来のエラー検出装置は、Ａ相信号とＢ相信号の状態遷移を監視し、無効な状態遷移を検出した場合には検波エラーとしてモータへの通電を停止し、誤動作を防止していた。
【０００５】
また、特開平２−１９７１４号公報には、Ａ相信号およびＢ相信号のぞれぞれの立ち上がりまたは立ち下がりを検出する回路により、Ａ相信号とＢ相信号が同時に変化した場合にインクリメンタルエンコーダが異常状態を出力する異常検出方法に関する技術が掲載されている。さらに特開平４−３２４３６７号公報には、Ａ相信号とＢ相信号が同時に変化したときにノイズによるパルスと判断し、このパルスがエンコーダの信号の変化と同時に発生した場合にはカウント出力をマスクして出力しないようにするパルス列変換回路に関する技術が掲載されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のエラー検出装置および特開平２−１９７１４号公報に記載の技術では、無効な状態遷移を検出すると即座にエラーであると判断しているため、エンコーダのパルス信号に同時にノイズが混入した場合、即座にエラー信号が出力されてモータなどの機器が停止してしまう欠点がある。ノイズが微小であり、停止させなくても機器の運転の継続に支障がない場合にこの欠点はより顕著である。
【０００７】
一方、特開平４−３２４３６７号公報の技術では、エンコーダ信号の位相ずれ等のエンコーダの故障が検出できず、またノイズと信号が同時に発生したとき単純に出力をマスクしているだけで誤カウントが生じ、位置把握がおかしくなるおそれがある。
【０００８】
そこで本発明は、ノイズによる誤動作を防止してノイズに対する耐性を向上させ、あるいはエンコーダの故障を検出して誤動作を防止することができるエンコーダの信号エラー検出装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、請求項１記載の発明のエンコーダの信号エラー検出装置は、互いに９０度位相の異なる第１のパルスと第２のパルスとが移動方向に応じて４つの状態を、定められた順番に状態遷移しながら繰り返すように出力されるエンコーダの信号エラー検出装置において、第１のパルスと第２のパルスとが入力されて第１のパルスと第２のパルスとの状態遷移を検出する状態遷移検出手段を設け、該状態遷移検出手段は定められた順番以外の状態遷移を無効遷移出力として出力するようになっており、無効遷移出力の出力後の状態遷移によりエラー出力を出すようにしたものである。
【００１０】
この装置では、定められた順番に沿って第１パルスと第２のパルスの状態が遷移している限りは有効な状態遷移であると判断して動作をしない。一方、順番以外の状態遷移が検出されれば無効なものであるという判断を保持したまま最終判断を保留することが可能である。この場合は、判断を保留したままその後に生じる状態遷移を検出し、この検出結果を併せて検討することによって最初に検出された結果に判断を下すことができる。つまり、無効遷移出力が検出された場合に、即座に機器を停止させるのではなく後の結果を併せて確認してから最終的に判断をすることが可能である。
【００１１】
すなわち、無効状態検出後の状態遷移を確認し、その内容を確認することによって最初の無効状態遷移を無視することができ、したがって結果的にエンコーダ信号と一致しないノイズを除去することができる。よって、無効遷移が検出されても結果的に機器を停止させなくて済むような場合に、最初の検出で機器を停止させてしまう無駄を防止することができるし、ノイズによる誤動作を防止してノイズに対する耐性を向上させることもできる。
【００１２】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のエンコーダの信号エラー検出装置において、無効遷移出力が２回連続して出力された時は、エラー出力を出さないようにしたものである。例えば２つのパルス信号に同時にかつエンコーダの状態遷移とは独立してノイズが混入した場合にエラーとならず、また誤カウントもないためノイズの多い環境でも使用可能となる。また、エンコーダ信号の誤配線による誤動作を検出することができる。
【００１３】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載のエンコーダの信号エラー検出装置において、無効遷移出力が出力された後所定時間状態遷移がなかった時、又は、無効遷移出力が３回以上の定められた回数連続して出力された時は、エラー出力を出すようにしたものである。これによればエンコーダ機能の停止を検出することができる。また無効遷移出力を２回検出しノイズを除去した後に生じたノイズ混入を検出することができる。
【００１４】
請求項４記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載のエンコーダの信号エラー検出装置において、状態遷移の間隔を検出するタイマー手段と、無効な状態遷移と有効な状態遷移との発生関係を判定する状態遷移順序判定手段とを設け、状態遷移の間隔と状態遷移の発生順序とに基づいてエラー出力を出すようにしたものである。この場合、ノイズとエンコーダの故障を判別し、エンコーダの故障のみをエラーとして、ノイズによる誤カウントを修正することができる。
【００１５】
請求項５記載の発明は、請求項１から４のいずれかに記載のエンコーダの信号エラー検出装置において、エラー出力をクリアするエラークリア信号は一定周期で自動発信し、又は手動発信するようにしたものである。この場合、カウンタの値を確認してノイズ環境のモニタに利用し得るものとすることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の構成を図面に示す実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。
【００１７】
図１〜図１０に、本発明のエンコーダの信号エラー検出装置の一実施形態を示す。このエンコーダの信号エラー検出装置は、互いに９０度位相の異なる第１のパルス（以下「Ａ相信号」ともいう）１と第２のパルス（以下「Ｂ相信号」ともいう）２とが移動方向に応じて４つの状態を、定められた順番に状態遷移しながら繰り返すように出力されるエンコーダの信号エラーを検出するものである。そして、本実施形態の信号エラー検出装置は、Ａ相信号１とＢ相信号２とが入力されてＡ相信号１とＢ相信号２との状態遷移を検出する状態遷移検出手段３を備えて設けられている。この状態遷移検出手段３は、定められた順番以外の状態遷移を無効遷移出力として出力するようになっており、無効遷移出力の出力後の状態遷移によりエラー出力を出すようにしている。
【００１８】
なお、以下の説明において、ノイズが混入した場合に想定される各種波形の形態を表１に例１〜例１４として示し、さらに、例１〜例１４の各波形をそれぞれ図８（Ａ）〜（Ｊ）あるいは図９（Ａ）〜（Ｄ）に図示している。
【００１９】
【表１】
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【００２０】
まず、本発明の第１の実施形態について説明する。例えばＡ相信号１とＢ相信号２の両方に微小時間のノイズ信号９が同時に混入して例１〜例４に示すような波形となった場合、各信号１，２は、ノイズ信号９が混入している微小時間の間だけ図８に示すように瞬時的に逆相に遷移している。この場合、Ａ相の状態（Ｈ状態であるかＬ状態であるか）とＢ相の状態の組み合わせを（Ａ相の状態）／（Ｂ相の状態）のように示すと、例１の波形ではノイズ信号３の混入によってＬ／Ｌ状態→Ｈ／Ｈ状態→Ｌ／Ｌ状態と遷移し、無効な状態遷移が２回連続して生じることとなる。また、例２〜例４においても同様に無効な状態遷移が２回連続で生じている。
【００２１】
ここで、ノイズ信号９が消滅した後はＡ相信号１およびＢ相信号２は通常の状態に復帰しており、ノイズ混入による位置ずれという影響を受けていない。したがって、この微小時間のノイズ信号９の混入を検出しなくてもその後に影響を及ぼすことなくパルス信号出力を継続することが可能である。
【００２２】
そこで、本実施形態の信号エラー検出装置では、無効遷移出力が２回連続して出力された時は、この無効遷移出力は波形に影響を及ぼさないノイズ信号９によるものと判断し、エラー出力を出さないようにしている。このように、微小時間のノイズ信号９をなかったものとみなすことによりエンコーダ信号と一致しないノイズ信号９を除去し、エラー検出装置のノイズに対する耐性を向上させることができる。
【００２３】
本実施形態のエラー検出装置を構成する回路は、例えば図１に示すように設けられている。この回路では、Ａ相信号１とＢ相信号２を状態遷移検出手段３に入力し、両信号１，２の立ち上がり時あるいは立ち下がり時に表れるＣＷ信号あるいはＣＣＷ信号を有効な状態遷移時の信号として出力している。ここでは状態遷移を検出する回路を状態遷移検出手段３とし、この回路にＡ相信号１およびＢ相信号２を入力するとともに少なくとも３系統の信号を出力し、状態遷移の有効無効を検出している。なお、この場合の状態遷移検出手段３は回路によって構成することとしているが、例えばソフトなどによって構成することも可能である。
【００２４】
一方、異常な状態遷移を検出するため、ＣＷ出力とＣＣＷ出力をＯＲ回路６に入力して得られる信号と、無効な状態遷移時に出力される状態遷移検出回路３からの無効遷移出力を、入力信号により０、１を交互に繰り返すように構成したトグル手段４にてトグル反転した信号とをＡＮＤ回路５に入力し、このＡＮＤ回路５からの出力をエラー出力としている。これにより無効な状態遷移の次に有効な状態遷移があった時のみエラーが出力され、無効な状態遷移の連続はエラーにならず、例１、例２、例３、例４に示されるノイズ信号は除去され、ノイズに強くかつ誤動作しないエンコーダ信号処理の実現が可能になる。
【００２５】
次に、本発明の第２の実施形態は、例えば図２に示すような回路を用い、無効遷移出力が出力された後所定時間状態遷移がなかった時、又は、無効遷移出力が３回以上の定められた回数連続して出力された時は、エラー出力を出すようにしたものである。この回路は、第１の実施形態におけるトグル手段４およびＡＮＤ回路５をカウンタ７に置き換えたような構成であり、無効な状態遷移発生時に出力されるパルス（ＰＥ）をカウンタ７に入力し、カウント値が３回以上となったときにエラーを出力するようにしている。このカウンタ７の値は、正常な状態遷移発生時に出力されるＣＷ出力またはＣＣＷ出力のＯＲ信号にてクリアするようにしている。
【００２６】
この機能により、図９（Ｃ）に示す例１３のような故障、誤配線（エンコーダのＡ相信号１だけを制御装置のＡ相入力、Ｂ相入力に接続してしまったような場合）を検出できる。なお、カウンタ７のクリアをＣＷ信号やＣＣＷ信号ではなく一定周期又は手動にて実行し、カウンタ７の値をみることによってノイズ環境をモニタするのに利用することができる。
【００２７】
また第３の実施形態では、信号エラー検出装置は図３に示すようにタイマー手段８を備えた回路によって構成されている。この回路は、Ａ相信号１やＢ相信号２において無効な状態遷移が発生した後、一定時間経過するまでに次の状態遷移がなければ動作していないなどの状況を検出してエラー信号を出力する。この実施形態では、一定時間を計測するため回路中にタイマー手段８を設置し、第１の実施形態で無効な状態遷移発生時に出力されるパルス（ＰＥ）によってこのタイマー手段８を起動するようにしている。タイマー手段８は正常な状態遷移発生時に出力されるＣＷ出力とＣＣＷ出力又はＰＥによってクリアされ、停止する。
【００２８】
この実施形態での信号エラー検出装置は、上述の機能を備えることによって例えば図９（Ｄ）に示す例１４のような故障（Ａ相信号１およびＢ相信号２のシールド、フレームグラウンドへのショート、エンコーダ電源の遮断などによるエンコーダ機能の停止など）が検出できる。なお、本実施形態における一定時間は、通常ノイズでは発生し得ない程度の時間に設定するようにしている。
【００２９】
さらに、本発明の第４の実施形態は以下のとおりである。すなわち、図４に示すように、信号エラー検出装置は状態遷移の間隔を検出するタイマー手段（本実施形態では特に図示していないが状態遷移順序判定手段１０と一体的に設けられている）と、無効な状態遷移と有効な状態遷移との発生関係を判定する状態遷移順序判定手段１０とを備えるように設けられ、状態遷移の間隔と状態遷移の発生順序とに基づいてエラー出力を出すようにしている。本実施形態では、必要ある場合にカウンタパルスの修正を図るが、このときの修正あるいは無修正の判定結果は図４に破線で示すようにしてＣＷ信号あるいはＣＣＷ信号とともに出力される。
【００３０】
また本実施形態における信号エラー検出装置では、まずノイズ信号を対象としてエンコーダの最高周波数よる状態遷移時間より短くなるように特定の時間を設定する。ある状態遷移から次の状態遷移までの時間が特定の時間以内の場合には無効な状態遷移と有効な状態遷移との関係を判断してパルス出力を修正する。ここで、無効な状態遷移と有効な状態遷移が発生した場合、以下のように場合分けすることができるので、それぞれの場合について図を用いて説明する。
【００３１】
第一に、無効な状態遷移が発生した場合の処理は、▲１▼−▲１▼〜▲１▼−▲３▼に示すように３つの態様がとり得る。まず、図５に示すようにＢ相信号２にノイズ信号９が混入した場合、Ａ相信号１の立ち上がりとＢ相信号２の立ち下がりとが重なればノイズ信号９に対応してＰＥ信号が出力されるとともに、本来出力されるべきであったＣＷ信号（図５中破線で表示）の代わりにＣＣＷ信号が出力される。この場合は即座にエラー扱いとせず、特定時間の間に有効な状態遷移があるどうか検出するため待機する。そして、▲１▼−▲１▼ＰＥ信号出力時から特定時間内に有効な状態遷移があった場合は、エラーとせず回路によって検出される回転方向とは逆方向のカウントパルスを出力して、ノイズによる誤カウントを修正する。例えば図５ではＢ相信号２のノイズ後半の立ち上がり時にＣＣＷ信号が出力されるが、本来ならここでＣＷ信号が出力されるべきであったため、このＣＣＷ信号を反転して逆方向のＣＷ信号とする。この場合、位置はずれるがカウント数はずれないため、引き続きカウントを続行することができる。この▲１▼−▲１▼によれば、図８（Ｅ）、（Ｆ）に示す例５や例６のように、一方の信号に混入したノイズの立ち上がりが他方の信号のパルス変化と一致した場合にこのノイズを除去することが可能となる。
【００３２】
また、▲１▼−▲２▼特定時間内に状態遷移がなければ図６に示すようにエラーであると判断し、エラー信号を出力する。これにより、例えば図９（Ａ）、（Ｂ）に示す例１１や例１２のように、ノイズが混入した側の信号の後端が他方の正常信号の変化に一致している場合にエンコーダの故障を検出することができる。
【００３３】
さらに▲１▼−▲３▼特定時間内に無効な状態遷移があった場合はカウントパルス、エラーとも出力せず、次の状態遷移があるまで待機する。この場合、無効遷移出力が連続して出力されれば第１の実施形態と同様にしてノイズを除去することができる。
【００３４】
第二に、有効な状態遷移が発生した場合の処理として図７に示すように▲２▼−▲１▼〜▲２▼−▲３▼の３つの態様がとり得る。なお、図７は回路中に遅延回路を組み込んだ場合の波形などを示したものであるが、本発明によってノイズを除去するにあたり、このような遅延回路などが組み込まれていることは処理に影響を及ぼさない。
【００３５】
例えば図７に示すようにＢ相信号２にノイズが混入した場合、▲２▼−▲１▼特定時間内に無効な状態遷移があれば、エラー扱いとせず、回路によって検出される回転方向とは逆方向のカウントパルスを出力し、ノイズによる誤カウントを修正する。図７ではＢ相信号２にノイズ信号９が混入しており、このノイズによる信号変化のうち後半の立ち下がり変化に対応してＣＣＷ信号が出力されているが、これをＣＷ信号に修正することによって引き続きカウントを継続することを可能としている。そして、この▲２▼−▲１▼によれば、例７や例８に示すように、一方の信号に混入したノイズの後半の変化が他方の信号のパルス変化と一致した場合にこのノイズを除去することができる。
【００３６】
また、▲２▼−▲２▼特定時間内に有効な状態遷移があった場合は、図７に示すようにカウントパルスを出力するとともに時間計測を再スタートさせるようにする。一方、▲２▼−▲３▼特定時間以内に状態態遷移がない場合は、カウントパルスを出力して状態遷移の検出を待てば良い。
【００３７】
以上説明したように、本発明のエンコーダの信号エラー検出装置によれば、エンコーダ信号と一致しないノイズを除去することにより、ノイズの影響を受け難い耐性の強い装置とすることができる。また、エンコーダ信号の誤配線による誤動作を検出することができるし、さらにはエンコーダ機能の停止を検出することもできる。加えて、ノイズとエンコーダの故障を判別してエンコーダの故障のみをエラーとし、ノイズによる誤カウントを修正することによりノイズに強く信頼性の高い装置とすることができる。
【００３８】
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば、上述した各実施形態ではそれぞれに例示した回路によってノイズを除去したり誤動作や機能停止を検出したりしているが、このように各回路を単独で機能させる他、それぞれを組み合わせて実施することも可能である。
【００３９】
【実施例】
図１に示した回路と等価な回路の一例を図１０に示す。この回路では、フリップフロップやセレクタなどの組み合わせにより状態遷移を検出して判定する回路が構成されている。また無効な状態遷移は、ＰＥ信号として出力されるとともにＸＯＲ（エクスクルーシブオア）回路１１に送られ、トグル反転されてＡＮＤ回路５に入力される。
【００４０】
この回路は有効な状態遷移の発生時にはカウントパルスを出力して有効な状態遷移発生を示す。一方、無効な遷移状態発生時はＸＯＲ回路１１およびその後段のフリップフロップでＨ状態とＬ状態の信号を交互に出力する。さらに後段のＡＮＤ回路５では無効な状態遷移の次に有効な状態遷移が発生したことを検出し、エラー信号を出力する。エラーが出力された場合、エラー信号はエラー保持回路１２において一時保持されるが、エラークリア信号によってクリアされる。この場合のエラークリア信号は、一定周期で自動発信し、あるいは手動発信するようにすることで、カウンタの値を確認してノイズ環境のモニタに利用し得るものとすることができる。
【００４１】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、請求項１記載のエンコーダの信号エラー検出装置によれば、無効遷移出力の出力後の状態遷移によりエラー出力を出すようにしているため、最初の検出で機器を停止させてしまう無駄を防止することができるし、ノイズによる誤動作を防止してノイズに対する耐性を向上させることもできる。
【００４２】
また請求項２記載のエンコーダの信号エラー検出装置によれば、例えば２つのパルス信号に同時にかつエンコーダの状態遷移とは独立してノイズが混入した場合にエラーとならず、また誤カウントもないため、ノイズの多い環境でも使用可能となる。また、エンコーダ信号の誤配線による誤動作を検出することができる。
【００４３】
さらに請求項３記載のエンコーダの信号エラー検出装置によれば、無効遷移出力が出力された後所定時間状態遷移がなかった時、又は、無効遷移出力が３回以上の定められた回数連続して出力された時はエラー出力を出すようにしているため、エンコーダ機能の停止を検出することができる。また無効遷移出力を２回検出しノイズを除去した後に生じたノイズ混入を検出することができる。
【００４４】
また請求項４記載のエンコーダの信号エラー検出装置によれば、ノイズとエンコーダの故障を判別し、エンコーダの故障のみをエラーとしてノイズによる誤カウントを修正することができる。
【００４５】
そして請求項５記載のエンコーダの信号エラー検出装置では、エラー出力をクリアするエラークリア信号は一定周期で自動発信し、又は手動発信するようにしているため、カウンタの値を確認してノイズ環境のモニタに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるエンコーダの信号エラー検出装置の第１の実施形態を示す装置の回路図である。
【図２】本発明の第２の実施形態を示す信号エラー検出装置の回路図である。
【図３】本発明の第３の実施形態を示す信号エラー検出装置の回路図である。
【図４】本発明の第４の実施形態を示す信号エラー検出装置の回路図である。
【図５】第４の実施形態において無効な状態遷移が発生した場合の▲１▼−▲１▼の処理を示す図である。
【図６】第４の実施形態において無効な状態遷移が発生した場合の▲１▼−▲２▼の処理を示す図である。
【図７】第４の実施形態において有効な状態遷移が発生した場合の▲２▼−▲１▼〜▲２▼−▲３▼の処理を示す図である。
【図８】ノイズが混入した場合に想定される各種波形の形態の例のうち例１〜例１０を（Ａ）〜（Ｊ）にそれぞれ示す図である。
【図９】ノイズが混入した場合に想定される各種波形の形態の例のうち例１１〜例１４を（Ａ）〜（Ｄ）にそれぞれ示す図である。
【図１０】本実施例において例示する回路例を示す図である。
【図１１】（Ａ）９０度位相エンコーダ信号と（Ｂ）カウンタ入力用パルスを示す図である。
【図１２】エンコーダ信号のＡ相の状態とＢ相の状態の組み合わせの状態遷移を示す図である。
【図１３】（Ａ）９０度位相エンコーダ信号にノイズが混入した様子、（Ｂ）Ａ相の状態とＢ相の状態の組み合わせが無効な状態遷移を生じている様子を示す図である。
【符号の説明】
１  Ａ相信号（第１のパルス）
２  Ｂ相信号（第２のパルス）
３  状態遷移検出手段
８  タイマー手段
１０  状態遷移順序判定手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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