(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性シートと、この絶縁性シートの厚み方向に伸びる複数の貫通孔内に配置された、各々導電路を形成する複数の可動導体とよりなる複合導電性シートと、  この複合導電性シートの上面に設けられた、厚み方向に導電性を示す上面側異方導電性エラストマーシートと
よりなるシート状コネクターであって、
複合導電性シートにおいて、前記貫通孔は、その形状が上方に向かって広がるテーパー状であり、または当該貫通孔に形成された段部を有し、
前記可動導体の各々が、前記貫通孔のテーパー状の斜面または貫通孔に形成された段部と、前記上面側異方導電性エラストマーシートとにより、前記貫通孔において絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能に支持されていることを特徴とするシート状コネクター。
【請求項２】
上面側異方導電性エラストマーシートが複合導電性シートの上面に一体に固着されていることを特徴とする請求項１に記載のシート状コネクター。
【請求項３】
複合導電性シートにおける絶縁性シートは、その厚みが２０〜１０００μｍであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート状コネクター。
【請求項４】
複合導電性シートにおける可動導体は、その厚みが絶縁性シートより５〜３００μｍ大きいことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のシート状コネクター。
【請求項５】
複合導電性シートにおける可動導体は、押圧力が作用されていない状態において、絶縁性シートの下面から突出する突出部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のシート状コネクター。
【請求項６】
複合導電性シートにおける可動導体が、磁性を示す金属材料よりなることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のシート状コネクター。
【請求項７】
複合導電性シートの下面に、厚み方向に導電性を示す下面側異方導電性エラストマーシートが設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のシート状コネクター。
【請求項８】
下面側異方導電性エラストマーシートが複合導電性シートの下面に一体に固着されていることを特徴とする請求項７に記載のシート状コネクター。
【請求項９】
上面側異方導電性エラストマーシートの厚みが下面側異方導電性エラストマーシートより大きいことを特徴とする請求項７または請求項８に記載のシート状コネクター。
【請求項１０】
上面側異方導電性エラストマーシートの硬度が下面側異方導電性エラストマーシートより小さいことを特徴とする請求項７または請求項８に記載のシート状コネクター。
【請求項１１】
請求項１に記載のシート状コネクターを製造する方法であって、
複数の貫通孔を有する絶縁性シートの当該各貫通孔内に金属体が一体的に充填されてなる複合導電性シート材を形成する工程と、
この複合導電性シート材の上面に上面側異方導電性エラストマーシートを設ける工程と、
前記金属体を絶縁性シートから分離させ、これにより、絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能に支持された可動導体を形成する工程と
を有することを特徴とするシート状コネクターの製造方法。
【請求項１２】
請求項１に記載のシート状コネクターを製造する方法であって、
絶縁性シート材料の下面に突出部形成用補助層が積層されてなる複合導電性シート形成材料に、レーザー加工により厚み方向の全体に伸びる貫通孔を形成し、この貫通孔内に金属体を充填し、前記突出部形成用補助層を除去することにより、複合導電性シート材を形成する工程と、
この複合導電性シート材の上面に上面側異方導電性エラストマーシートを設ける工程と、
前記金属体を、絶縁性シートの厚み方向に押圧することにより絶縁性シートから分離させ、これにより、絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能に支持された可動導体を形成する工程と
を有することを特徴とするシート状コネクターの製造方法。
【請求項１３】
請求項１に記載のシート状コネクターを製造する方法であって、
絶縁性シート材料にレーザー加工により厚み方向に伸びる貫通孔を形成し、この貫通孔内に金属体主体部を形成し、絶縁性シート材料の下面に金属箔を設け、この金属箔をエッチングすることにより、前記金属体主体部に接する領域の金属箔部分を残留させて、前記金属体主体部と残留金属箔部分との積層体からなる金属体を形成することにより、複合導電性シート材を形成する工程と、
この複合導電性シート材の上面に上面側異方導電性エラストマーシートを設ける工程と、
前記金属体を、絶縁性シートの厚み方向に押圧することにより絶縁性シートから分離させ、これにより、絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能に支持された可動導体を形成する工程と
を有することを特徴とするシート状コネクターの製造方法。
【請求項１４】
複合導電性シート材の上面に、硬化されて弾性高分子物質となる高分子形成材料中に磁性を示す導電性粒子が含有されてなるシート成形材料層を形成し、このシート成形材料層に対して、平行磁場を当該シート成形材料層の厚み方向に作用させると共に、当該シート成形材料層を硬化処理することにより、複合導電性シート材の上面に一体に固着された状態の上面側異方導電性エラストマーシートが形成されることを特徴とする請求項１１乃至請求項１３のいずれかに記載のシート状コネクターの製造方法。
【請求項１５】
検査治具と、この検査治具における多数の検査用接続電極が設けられた検査領域に、請求項１乃至請求項１０のいずれかに記載のシート状コネクターが配置されてなり、当該シート状コネクターの複合導電性シートには、その上面に配置される検査対象の被検査電極の位置に対応して可動導体が絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能に支持されていることを特徴とする電気的検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シート状コネクターおよびその製造方法、並びに電気的検査装置に関し、更に詳しくは、例えば電子部品などの回路装置相互間の電気的接続や、プリント回路基板、半導体集積回路などの回路装置の検査装置におけるコネクターとして好ましく用いられるシート状コネクターおよびその製造方法、並びにこれを用いた電気的検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、機器の小型化、高性能化に伴い、当該機器に用いられる半導体回路基板などの回路装置においては、電極数は増加し、その電極間のピッチも微細化する傾向にある。そして、このような回路装置の電気的動作検査などにおいては、正確かつ確実な電気的接続が必要になってきている。
【０００３】
現在、例えばプリント回路基板や半導体集積回路などの回路装置の電気的動作検査においては、検査対象である回路装置の下面に形成された被検査電極と、検査治具の接続電極との電気的な接続を達成するために、当該回路装置と検査治具との間にシート状コネクターを介在させることが行われている。
かかるシート状コネクターとしては、柔軟性を有する絶縁性シート基体に、その上面上に配置される回路装置の被検査電極に対応して位置するよう、厚さ方向に貫通して伸びる導電路が形成されてなる異方導電性シートなどが知られている。
【０００４】
図２０は、回路装置の電気的動作検査を行うために、異方導電性シートをそのままコネクターとして用いた場合における、回路装置の被検査電極と検査治具の接続電極との接触状態を示す説明用断面図である。
この例における異方導電性シート８０は、回路装置８８の被検査電極８９のパターンに対応して各々厚さ方向に伸びる複数の導電路形成部８１と、これらの導電路形成部８１を相互に絶縁する弾性体よりなる絶縁部８２とにより構成されており、導電路形成部８１の各々が絶縁部８２と同一の厚さを有し、その上面および下面は全体に平坦なものである。
【０００５】
このような異方導電性シート８０に対し、その下面側には、検査治具８５が配置されてその接続電極８６が、対応する導電路形成部８１に電気的に接続された状態とされると共に、上面側には、下面に多数の被検査電極８９が形成された検査対象である回路装置８８が配置される。
そして、回路装置８８の被検査電極８９が、異方導電性シート８０の導電路形成部８１に一致するよう位置合わせされた状態で、当該回路装置８８を下方に押圧することにより、その被検査電極８９と検査治具８５の接続電極８６とが導電路形成部８１を介して電気的に接続された状態が実現され、これにより、当該回路装置８８の電気的動作検査が行われる。
【０００６】
しかしながら、通常、回路装置８８には反りがあり、しかも個々の被検査電極８９には高さのバラツキがあってすべての被検査電極８９の表面の高さレベルが均一となっているものではない。また、検査治具８５についても、その接続電極８６の表面の高さレベルは厳密に均一なものではない。従って、このような異方導電性シート８０のみからなるコネクターにおいては、押圧力が大きくてもすべての被検査電極８９について一斉に十分な電気的接続を達成することができない場合が生じ、押圧力が小さい場合にはその傾向が顕著である。
このような問題に対して、例えば異方導電性シート８０の厚みを大きくすれば、回路装置８８の被検査電極８９の表面の高さレベルの不均一性をある程度吸収させることが可能であるが、この場合には、導電路形成部８１における抵抗値が大きいものとなるため感度が低下してしまい、十分な導電性が得られなくなる。
【０００７】
一方、図２１に示すように、絶縁性シート基体９３と、各々この絶縁性シート基体９３の厚み方向に貫通して伸びるよう固定的に形成された複数の金属部９４とからなるコアシート９１の両面に、厚み方向に導電性を示す異方導電性エラストマー層９２、９２が一体的に設けられてなる異方導電性シート９０が知られている（特開平１１−２７３７７２号公報参照）。
【０００８】
しかしながら、このような異方導電性シート９０においては、コアシート９１における金属部９４によって、異方導電性エラストマー層９２、９２の各々の変形量が個々に制限されるので、その一面に対する高さレベルの不均一性に対して、他面側の異方導電性エラストマー層は有効な凹凸吸収性を発揮するものではなく、結局、大きな凹凸吸収性を得ながら回路装置のすべての被検査電極について一斉に十分な電気的接続状態を得ることが困難である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、異方導電性エラストマーシートを有してなり、作用される押圧力が小さい場合にも、電気的に接続されるべき接続対象体について十分に信頼性の高い電気的接続を確実に達成することができるシート状コネクターを提供することにある。
本発明の他の目的は、上記のようなシート状コネクターを有利に製造することができる方法を提供することにある。
本発明の更に他の目的は、検査対象である回路装置の電気的動作検査を高い信頼性をもって実施することができる電気的検査装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のシート状コネクターは、絶縁性シートと、この絶縁性シートの厚み方向に伸びる複数の貫通孔内に配置された、各々導電路を形成する複数の可動導体とよりなる複合導電性シートと、この複合導電性シートの上面に設けられた、厚み方向に導電性を示す上面側異方導電性エラストマーシートとよりなるシート状コネクターであって、
複合導電性シートにおいて、前記貫通孔は、その形状が上方に向かって広がるテーパー状であり、または当該貫通孔に形成された段部を有し、
前記可動導体の各々が、前記貫通孔のテーパー状の斜面または貫通孔に形成された段部と、前記上面側異方導電性エラストマーシートとにより、前記貫通孔において絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能に支持されていることを特徴とする。
【００１１】
上記のシート状コネクターにおいては、上面側異方導電性エラストマーシートが複合導電性シートの上面に一体に固着されていることが好ましい。
また、複合導電性シートにおける絶縁性シートは、その厚みが２０〜１０００μｍであることが好ましい。
また、複合導電性シートにおける可動導体は、その厚みが絶縁性シートより５〜３００μｍ大きいことが好ましい。
また、複合導電性シートにおける可動導体は、押圧力が作用されていない状態において、絶縁性シートの下面から突出する突出部が形成されていることが好ましい。
また、複合導電性シートにおける可動導体が、磁性を示す金属材料よりなることが好ましい。
【００１２】
また、上記のシート状コネクターにおいては、複合導電性シートの下面に、厚み方向に導電性を示す下面側異方導電性エラストマーシートが設けられた構成とすることができ、この場合には、下面側異方導電性エラストマーシートが複合導電性シートの下面に一体に固着されていることが好ましい。
また、上面側異方導電性エラストマーシートの厚みが下面側異方導電性エラストマーシートより大きいことが好ましい。
また、上面側異方導電性エラストマーシートの硬度が下面側異方導電性エラストマーシートより小さいことが好ましい。
【００１３】
本発明のシート状コネクターの製造方法は、上記のシート状コネクターを製造する方法であって、複数の貫通孔を有する絶縁性シートの当該各貫通孔内に金属体が一体的に充填されてなる複合導電性シート材を形成する工程と、この複合導電性シート材の上面に上面側異方導電性エラストマーシートを設ける工程と、前記金属体を絶縁性シートから分離させ、これにより、絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能に支持された可動導体を形成する工程とを有することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明のシート状コネクターの製造方法は、上記のシート状コネクターを製造する方法であって、絶縁性シート材料の下面に突出部形成用補助層が積層されてなる複合導電性シート形成材料に、レーザー加工により厚み方向の全体に伸びる貫通孔を形成し、この貫通孔内に金属体を充填し、前記突出部形成用補助層を除去することにより、複合導電性シート材を形成する工程と、この複合導電性シート材の上面に上面側異方導電性エラストマーシートを設ける工程と、前記金属体を、絶縁性シートの厚み方向に押圧することにより絶縁性シートから分離させ、これにより、絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能に支持された可動導体を形成する工程とを有することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明のシート状コネクターの製造方法は、上記のシート状コネクターを製造する方法であって、絶縁性シート材料にレーザー加工により厚み方向に伸びる貫通孔を形成し、この貫通孔内に金属体主体部を形成し、絶縁性シート材料の下面に金属箔を設け、この金属箔をエッチングすることにより、前記金属体主体部に接する領域の金属箔部分を残留させて、前記金属体主体部と残留金属箔部分との積層体からなる金属体を形成することにより、複合導電性シート材を形成する工程と、この複合導電性シート材の上面に上面側異方導電性エラストマーシートを設ける工程と、前記金属体を、絶縁性シートの厚み方向に押圧することにより絶縁性シートから分離させ、これにより、絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能に支持された可動導体を形成する工程とを有することを特徴とする。
【００１６】
上記のシート状コネクターの製造方法においては、硬化されて弾性高分子物質となる高分子形成材料中に磁性を示す導電性粒子が含有されてなるシート成形材料層を形成し、このシート成形材料層に対して、平行磁場を当該シート成形材料層の厚み方向に作用させると共に、当該シート成形材料層を硬化処理することにより、複合導電性シート材の上面に一体に固着された状態の上面側異方導電性エラストマーシートが形成されることが好ましい。
【００１７】
本発明の電気的検査装置は、検査治具と、この検査治具における多数の検査用接続電極が設けられた検査領域に、上記に記載のシート状コネクターが配置されてなり、当該シート状コネクターの複合導電性シートには、その上面に配置される検査対象の被検査電極の位置に対応して可動導体が絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能に支持されていることを特徴とする。
【００１８】
【作用】
上記のシート状コネクターによれば、押圧されて使用されることにより、複合導電性シートにおける可動導体の各々が、接続対象体の表面の個々の個所における高さ位置に応じた変位量で各々独立して絶縁性シートの厚み方向に移動することができるので、両面に配置される接続対象体の表面における高さレベルの不均一性に対して大きな凹凸吸収性が得られると共に、全体において高い感度状態が得られる。
従って、接続対象体の表面における高さレベルに相当に大きな不均一性があっても、低い押圧力で接続対象体の表面におけるすべての個所について信頼性の高い電気的接続を確実に達成することができる。
【００１９】
特に、複合導電性シートの両面に異方導電性エラストマーシートが設けられてなるシート状コネクターによれば、押圧されたときに、上面側異方導電性エラストマーシートおよび下面側異方導電性エラストマーシートが共に圧縮変形されるため、その結果として接続対象体の表面における高さレベルの不均一性に対して一層大きな凹凸吸収性が得られると共に、上面側異方導電性エラストマーシートおよび下面側異方導電性エラストマーシートは、別個の異方導電性エラストマーシートであるので、全体において十分に高い感度状態が確実に得られる。
【００２０】
本発明のシート状コネクターの製造方法によれば、可動導体を有する複合導電性シートを容易に製造することができるので、上記のようなシート状コネクターを有利に製造することができる。
【００２１】
本発明の電気的検査装置によれば、上記のシート状コネクターを備えてなることにより、検査対象である回路装置の電気的動作検査を、高い信頼性をもって実施することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のシート状コネクターの実施の形態について、回路装置の電気的検査を行う場合について具体的に説明する。
〈第１の実施の形態〉
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るシート状コネクターの構成を示す説明用断面図である。
このシート状コネクター１０は、複合導電性シート１１と、この複合導電性シート１１の上面に設けられた、厚み方向に導電性を示す上面側異方導電性エラストマーシート１２により構成されている。
【００２３】
複合導電性シート１１は、検査対象となる回路装置の被検査電極に対応した位置において、各々厚み方向に伸び、上方に向かって広がるテーパー状の複数の貫通孔１３が形成された絶縁性シート１４と、これらの貫通孔１３内に移動可能に支持された、各々導電路を形成する円錐台状の複数の、例えば金属体よりなる可動導体１５とにより構成されている。
【００２４】
絶縁性シート１４は、絶縁性を有する弾性高分子物質あるいは剛性高分子物質により構成される。
弾性高分子物質としては、例えばポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴムなどを挙げることができる。
また、剛性高分子物質としては、例えば、ポリイミド、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル、塩化ビニル樹脂、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリエチレン、ポリプロピレン、アクリル樹脂、ポリブタジエン、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンサルファイド、ポリアミド、ポリオキシメチレン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂などを挙げることができる。
これらの中でも、剛性高分子物質を用いることが好ましく、さらに、優れた耐熱性および寸法安定性が得られることから、熱硬化性樹脂を用いることが好ましく、特にポリイミドを用いることが好ましい。
【００２５】
絶縁性シート１４の厚みは、例えば２０〜１０００μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜２００μｍ、特に好ましくは４０〜１５０μｍである。この範囲内であることにより、配置ピッチが極めて小さい電極に対して接続する場合であっても、小さい押圧力で可動導体を機能させることができる。
【００２６】
可動導体１５の各々は、絶縁性シート１４とは分離されて貫通孔１３のテーパー形状に係る斜面と上面側異方導電性エラストマーシート１２とにより支持されており、これにより、絶縁性シート１４に対してその厚み方向（図の上方）に可動とされている。
【００２７】
可動導体１５の各々には、押圧力が作用されていない状態において、その下端部が絶縁性シート１４の下面から突出する突出部１５Ａが形成されている。これにより、可動導体１５の高さｈは、絶縁性シート１４の厚みｄより例えば２０μｍ以上、より好ましくは４０μｍ以上大きいものとされている。可動導体１５の高さｈと絶縁性シート１４の厚みｄとの差（ｈ−ｄ）が２０μｍ以上であることにより、所期の凹凸吸収性を確実に得ることができる。
【００２８】
可動導体１５を構成する材料としては、ある程度以上の硬度を有する導電体であればよく、例えばニッケル、鉄、コバルト、銅、金、銀、アルミニウムなどの金属またはこれらの合金、導電ペーストなどを用いることができ、実際上は金属を用いることが好ましい。
可動導体１５がニッケル、鉄、コバルトなどの磁性を示す金属により形成されている場合には、後述するように、複合導電性シート１１の上面に上面側異方導電性エラストマーシート１２を形成する際に、磁場を作用させてシート形成材料層中に含まれる磁性を示す金属粒子をシート基体の厚み方向に並ぶよう配向させることが容易となる。
可動導体１５は、後述するように、メッキ法などにより好ましく形成することができるが、別途製造されたものを配置することも可能である。
【００２９】
上面側異方導電性エラストマーシート１２は、複合導電性シート１１の上面側、すなわち、前記可動導体１５が移動する前方に位置する側に、好ましくは一体的に固着した状態で設けられる。この上面側異方導電性エラストマーシート１２は、絶縁性の弾性高分子物質よりなるシート基体１６中に、導電性粒子が当該シート基体１６全体においてその厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されて構成されており、この導電性粒子の連鎖によって導電路が形成される。
【００３０】
導電性粒子としては、例えばニッケル、鉄、コバルトなどの磁性を示す金属粒子もしくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子もしくはガラスビーズなどの無機質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性体のメッキを施したものなどが挙げられる。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に金や銀などの導電性の良好な金属のメッキを施したものを用いることが好ましい。
【００３１】
シート基体１６を構成する絶縁性の弾性高分子物質としては、架橋構造を有するものが好ましい。架橋構造を有する高分子物質を得るために用いることのできる高分子物質用材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエンブロック共重合体ゴムなどのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、シリコーンゴム、フッ素ゴム、シリコーン変性フッ素ゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、クロロプレンゴム、エピクロルヒドリンゴムなどが挙げられる。
以上において、成形加工性および電気絶縁特性が高いことから、シリコーンゴム、シリコーン変性フッ素ゴムを用いることが好ましい。
【００３２】
上面側異方導電性エラストマーシート１２の厚みは、特に限定されるものではないが、例えば５０〜５００μｍであることが好ましく、さらに好ましくは７０〜３００μｍ、特に好ましくは８０〜２００μｍである。上面側異方導電性エラストマーシート１２の厚みがこの範囲内であることにより、所期の凹凸吸収性および高い感度状態を確実に得ることができる。
【００３３】
上面側異方導電性エラストマーシート１２の硬度も、特に限定されるものではないが、例えば６０以下であることが好ましく、特に好ましくは５０以下である。上面側異方導電性エラストマーシート１２の硬度が６０以下であることにより、所期の凹凸吸収性および高い感度状態を確実に得ることができる。
【００３４】
次に、本発明のシート状コネクターの製造方法の具体例について説明する。
＜方法（イ）＞
先ず、図２に示すように、絶縁性シート材料１４１の下面に、所定の厚みを有する突出部形成用補助層２１を剥離可能に積重してなる複合導電性シート形成材料２０を用意し、この複合導電性シート形成材料２０における所定の位置に上面側からレーザ光を照射するレーザ加工を行い、これにより、図３に示すように、複合導電性シート形成材料２０の全体をその厚み方向に貫通して伸び、上方に広がるテーパー状の貫通孔１３を形成する。
【００３５】
次いで、図４に示すように、この複合導電性シート形成材料２０の下面に、例えば銅よりなる金属箔２２を設けて貫通孔１３の底部開口が塞がれた状態とし、この金属箔２２を電極としてメッキ処理を行うことにより、貫通孔１３内に例えばニッケルよりなる金属を充填して金属体１５１を形成する。そして、金属箔２２および突出部形成用補助層２１を除去することにより、図５に示すように、下端部が絶縁性シート材料１４１の下面より突出部形成用補助層２１の厚み分だけ突出する突出部１５Ａを有する金属体１５１が、絶縁性シート材料１４１に一体的に固着された状態で形成された複合導電性シート材１１Ａが得られる。
【００３６】
以上においては、複合導電性シート形成材料２０の下面に予め金属箔２２を形成した状態で、金属箔２２には貫通孔が形成されないようにレーザ加工を行ってもよい。
また、複合導電性シート形成材料２０に貫通孔１３を形成する手段は、レーザ加工による手段に限定されず、例えばドライエッチングによる手段を利用することもできる。特に、レーザ加工によれば、特別な制御をしなくても、テーパー状の斜面を有する貫通孔が形成されるので好ましい。
さらに、複合導電性シート形成材料２０の貫通孔１３に金属体１５１を形成する手段は、メッキによる手段に限定されず、例えばペースト状の金属体形成材料を当該貫通孔１３内に充填することにより形成してもよい。
【００３７】
次に、得られた複合導電性シート材１１Ａの上面に上面側異方導電性エラストマーシートを形成する。具体的には、例えば図６に示すように、上型３１およびこれと対となる下型３２が枠状のスペーサー３３を介して互いに対向するよう配置されて構成されてなる金型３０が用いられる。
上型３１および下型３２は、いずれも成形面が平滑な強磁性体基板により構成されている。この強磁性体基板を構成する材料としては、鉄、コバルト、ニッケル、またはこれらの合金などを用いることができる。
【００３８】
図７に示すように、この金型３０内に上記の複合導電性シート材１１Ａを配置し、この複合導電性シート１１Ａの上面に、硬化処理によって柔軟性を有する高分子材料となる高分子形成材料中に磁性金属粒子を分散されてなる流動性のシート成形材料を塗布し、シート成形材料層１６１を形成する。ここに、シート成形材料を塗布する手段としては、特に限定されないが、例えばロール塗布、ブレード塗布、スクリーン印刷などの印刷による手段を利用することができる。
【００３９】
次いで、図８に示すように、上型３１の上面および下型３２の下面に電磁石３５，３６をそれぞれ配置してこれを作動させることにより、シート成形材料層１６１に対してその厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、図９に示すように、シート成形材料層１６１においては、当該シート成形材料層１６１中に分散されている導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向する。
そして、この状態において、シート成形材料層を硬化処理することによりシート基体１６が形成され、これにより、複合導電性シートに一体的に固着した層として上面側異方導電性エラストマーシート１２が形成される。
【００４０】
シート成形材料層１６１の硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。
シート成形材料層１６１に作用される平行磁場の強度は、平均で２００〜１００００ガウスとなる大きさが好ましい。
また、シート成形材料層１６１に平行磁場を作用させる手段としては、電磁石の代わりに永久磁石を用いることもできる。永久磁石としては、上記の範囲の平行磁場の強度が得られる点で、アルニコ（Ｆｅ−Ａｌ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金）、フェライトなどよりなるものが好ましい。
シート成形材料層１６１の硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、シート成形材料の種類、磁性金属粒子の移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。
【００４１】
そして、このように複合導電性シート材１１Ａの上面に上面側異方導電性エラストマーシート１２が積重して形成された状態で、金属体１５１を絶縁性シート材料１４１に対してその厚み方向上方に押圧することにより、絶縁性シート材料１４１の貫通孔１３のテーパー状の内周面に固着していた金属体１５１を分離させることができて可動導体１５が形成され、これにより、図１に示す構成のシート状コネクター１０が製造される。
金属体１５１を絶縁性シート材料１４１から分離させる手段は、上記の手段に限定されるものではなく、例えば金属体１５１を、ペースト状の金属体形成材料を貫通孔１３内に充填することにより形成し、これを硬化処理する際の収縮力を利用することによって行うことも可能である。
【００４２】
＜方法（ロ）＞
この方法（ロ）においては、図１０に示すように、絶縁性シート材料１４１における所定の位置にレーザー光を照射してレーザー加工を行うことにより、絶縁性シート材料１４１の厚み方向に伸び、上方に向かって広がるテーパー状の貫通孔１３を形成する。
【００４３】
図１１に示すように、この貫通孔１３が形成された絶縁性シート材料１４１の下面に例えば銅よりなる金属箔２２を設けて貫通孔１３の底部開口が塞がれた状態とし、この金属箔２２を電極としてメッキ処理を行うことにより、貫通孔１３内に例えばニッケルよりなる金属を充填して、金属箔２２に一体的に固着された金属体主体部１５２を形成する。
そして、金属箔２２をエッチング処理することにより、図１２に示すように、前記金属体主体部１５２に連続する金属箔部分を残留させて金属体残留部１５３を形成し、これにより、金属体主体部１５２と金属体残留部１５３からなる金属体１５１が絶縁性シート材料１４１に一体的に固着された状態で形成された複合導電性シート材１１Ａが形成される。
【００４４】
そして、例えば方法（イ）と同様にして、得られた複合導電性シート材１１Ａの上面に一体的に固着された層として上面側異方導電性エラストマーシート１２を形成し、この状態で、金属体１５１を絶縁性シート材料１４１に対してその厚み方向上方に押圧することにより、絶縁性シート材料１４１から金属体１５１を分離させることができて可動導体１５が形成され、これにより、図１に示す構成のシート状コネクター１０が製造される。
金属体１５１を絶縁性シート材料１４１から分離させる手段は、上記の手段に限定されるものではなく、例えば金属体１５１を、ペースト状の金属体形成材料を貫通孔１３内に充填することにより形成し、これを硬化処理する際に生ずる収縮力を利用して金属体１５１を分離させることも可能である。
【００４５】
上記のシート状コネクター１０は、次のようにして、回路装置の被検査電極と、これに対応する検査治具の接続電極との電気的な接続に供される。
図１３は、図１に示すシート状コネクターにより構成された回路装置の電気的検査装置の概略を示す説明用断面図である。この例における接続対象である回路装置１は、その下面より突出する複数の被検査電極２を有するものであり、検査治具５は、被検査電極２に対応した位置に複数の突出した検査用接続電極６をその上面に有するものである。
【００４６】
先ず、検査治具５の上面にシート状コネクター１０を、その複合導電性シート１１が上方に位置されると共に、その可動導体１５が対応する当該検査治具５の検査用接続電極６上に位置されるよう配置して固定する。
一方、シート状コネクター１０の上面上には、検査治具５と電気的に接続すべき回路装置１を、その被検査電極２が可動導体１５上に位置するよう配置する。そして、その状態で適宜の加圧機構により回路装置１を検査治具５に対して下方に押圧する。これにより、回路装置１の被検査電極２と、これに対応する検査用接続電極６とは、複合導電性シート１１の可動導体１５および上面側異方導電性エラストマーシート１２に形成される導電路を介して電気的に接続された状態となり、この状態で回路装置１の所要の電気的動作検査が実施される。
【００４７】
而して、上記のシート状コネクター１０によれば、回路装置１および検査治具５によって狭圧されることにより、複合導電性シート１１における可動導体１５の各々が、回路装置１の表面における被検査電極２の高さ位置に応じた変位量で各々独立して絶縁性シート１４の厚み方向に移動することができ、これにより、上面側異方導電性エラストマーシート１２がその厚み方向に圧縮されて変形するので、当該異方導電性エラストマーシート１２の所要の個所が確実に押圧されて導電路が形成されると共に、接続対象体の表面における高さレベルの不均一性を確実に吸収することができる。
また、上面側異方導電性エラストマーシート１２は微小の可動導体１５により圧縮されるので、高い感度状態および高い分解能が得られる。
従って、回路装置１の表面における被検査電極２の高さレベルに相当に大きな不均一性がある場合に、小さい押圧力で、回路装置１の表面におけるすべての被検査電極２について十分に信頼性の高い電気的接続を確実に達成することができる。
【００４８】
また、この例のシート状コネクター１０においては、テーパー状の斜面により制限された可動導体１５の変位方向の前方側に上面側異方導電性エラストマーシート１２が設けられているので、接続対象体の表面における高さレベルの不均一性による局部的変位が個々の可動導体１５を介して上面側異方導電性エラストマーシート１２により吸収され、従って、各々の導電路の独立性が高い状態であって隣接する導電路の形成に対する影響が小さく、これによっても分解能が向上したものとなる。
さらに、各々の可動導体１５がテーパ状であるので、絶縁シート１４の厚み方向に対して容易に移動することができる。
【００４９】
〈第２の実施の形態〉
図１４は、本発明の第２の実施の形態に係るシート状コネクターの構成を示す説明用断面図である。このシート状コネクター４０は、複合導電性シート４１と、この複合導電性シート４１の上面および下面に一体的に設けられた、厚み方向に導電性を示す上面側異方導電性エラストマーシート４２および下面側異方導電性エラストマーシート４３とにより構成されている。
【００５０】
このシート状コネクター４０における複合導電性シート４１の構成は、基本的に、既述の第１の実施の形態に係るシート状コネクター１０を構成する複合導電性シート１１と同様であり、検査対象となる回路装置の被検査電極に対応した位置において、各々厚み方向に伸び、上方に向かって広がるテーパー状の複数の貫通孔１３が形成された絶縁性シート１４と、これらの貫通孔１３内に配置された、各々導電路を形成する円錐台状の複数の可動導体１５とにより構成されている。そして、可動導体１５の各々は、絶縁性シート１４とは分離されており、貫通孔１３の斜面と上面側異方導電性エラストマーシート４２とにより支持されることにより、絶縁性シート１４に対してその厚み方向（図の上方）に可動とされている。
【００５１】
下面側異方導電性エラストマーシート４３は、上面側異方導電性エラストマーシート４２と同様の構成とされており、それぞれの構成は既述の第１の実施の形態に係るシート状コネクター１０を構成する上面側異方導電性エラストマーシート１２と同様である。
【００５２】
このような３層構成のシート状コネクター４０全体の厚みは、０．１５〜５ｍｍであることが好ましく、より好ましくは０．２〜０．５ｍｍである。
シート状コネクター４０全体の厚みがこの範囲内にあることにより、低い押圧力で安定した電気的接続状態を確実に得ることができる。
【００５３】
このシート状コネクター４０においては、例えば上面側異方導電性エラストマーシート４２と下面側異方導電性エラストマーシート４３の硬度が同じ大きさとされている場合において、上面側異方導電性エラストマーシート４２の厚みＴ１は、下面側異方導電性エラストマーシート４３の厚みＴ２より大きいことが好ましく、具体的には、これらの厚みの比（Ｔ１／Ｔ２）が１〜３であることが好ましい。
上面側異方導電性エラストマーシート４２の厚みを所定の範囲内で下面側異方導電性エラストマーシート４３より大きくすることにより、上面側異方導電性エラストマーシート４２の凹凸吸収性を下面側異方導電性エラストマーシート４３より大きくすることができると共に、複合導電性シート４１における可動導体１５の各々が移動して、上面側異方導電性エラストマーシート４２を確実に圧縮するので、高い動作の信頼性が得られる。
【００５４】
ここに、上面側異方導電性エラストマーシート４２および下面側異方導電性エラストマーシート４３の具体的な寸法の一例を示すと、上面側異方導電性エラストマーシート４２の厚みＴ１は、例えば０．１〜２ｍｍ、下面側異方導電性エラストマーシート４３の厚みＴ２は、例えば０．０５〜１ｍｍとされる。
【００５５】
このようなシート状コネクター４０は、既述の方法（イ）または方法（ロ）において、複合導電性シート材の金属体を絶縁性シートから分離させて可動導体とした後、さらに異方導電性エラストマーシートを形成する工程を繰り返して行い、複合導電性シートの下面に下面側異方導電性エラストマーシート４３を形成することにより、製造することができる。
【００５６】
このようなシート状コネクター４０を使用して電気的検査を行う場合には、シート状コネクター４０の上面および下面のいずれの表面が回路装置に接触するように配置されるかは特に制限されないが、表面における高さレベルの不均一性が相対的に大きい接続対象体に下面側異方導電性エラストマーシート４３が接触するよう配置されることが好ましい。
【００５７】
上記のシート状コネクター４０によれば、回路装置および検査治具によって狭圧されることにより、複合導電性シート４１における可動導体１５の各々が、回路装置の表面における被検査電極の高さ位置に応じた変位量で各々独立して絶縁性シート１４の厚み方向に移動することができ、上面側異方導電性エラストマーシート４２および下面側異方導電性エラストマーシート４３が共に圧縮変形されるため、その総合結果として、接続対象体の表面における高さレベルの不均一性に対する大きな凹凸吸収性が得られる。
これに対し、例えば図２１に示す構成の異方導電性シート９０では、コアシート９１における金属部９４が可動ではないので、各々の異方導電性エラストマー層９２、９２が絶縁された状態となるため、総合的な凹凸吸収性を得ることはできない。
【００５８】
また、上面側異方導電性エラストマーシート４２および下面側異方導電性エラストマーシート４３は、別個の異方導電性エラストマーシートであるので、全体において高い感度状態が得られる。この理由は、シート基体１６中に導電性粒子が含有されてなる異方導電性エラストマーシートにおいては、厚みと感度との関係は、図１５に示すように、その圧縮割合が同じであるならば、厚みが大きいものほど全体の感度低下の程度が大きくなるからである。
上記の例では、上面側異方導電性エラストマーシート４２および下面側異方導電性エラストマーシート４３がそれぞれ変形するが、各々の変形量は分割された小さなものであり、各々に高い感度が得られ、結局、全体として高い感度状態が得られる。これに対し、例えば上面側異方導電性エラストマーシート４２および下面側異方導電性エラストマーシート４３の厚みの合計と同一の厚みを有する１層構造の異方導電性シートでは、同一の大きさの押圧力が作用されると、当該シート全体の厚みの変化量の合計は同じでも、全体に得られる感度が小さいものとなるからである。
【００５９】
本発明の電気的検査装置は、検査治具と、この検査治具における多数の検査用接続電極が設けられた検査領域に、上記のシート状コネクターが配置されて構成されており、このシート状コネクターの複合導電性シートには、その上面に配置される検査対象の被検査電極の位置に対応して可動導体が絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能に支持されている。
【００６０】
このような電気的検査装置によれば、回路装置におけるすべての被検査電極に対して十分に信頼性の高い電気的接続状態が得られると共に、安定した導電性が得られる既述のシート状コネクターを備えてなることにより、検査対象である回路装置の電気的動作検査を、高い信頼性をもって実施することができる。
【００６１】
以上、本発明について説明したが、本発明は上記の構成に限定されるものではなく、種々の変更を加えることが可能である。
（１）可動導体を絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能に支持する態様は、特に限定されるものではなく、例えば図１６に示すように、複合導電性シート５１における絶縁性シート５４に段部５２を有する貫通孔５３を形成し、この段部５２により可動導体５５を支持する構成とすることもできる。
また、複合導電性シートの両面に異方導電性エラストマーシートが設けられている場合であっても、同様の構成とすることができる。
【００６２】
特に、複合導電性シートの両面に異方導電性エラストマーシートが設けられてなる構成においては、複合導電性シートにおける可動導体は、上面側異方導電性エラストマーシートおよび下面側異方導電性エラストマーシートによって支持されるので、絶縁性シートに形成される貫通孔は、径が均一な円柱状であってもよい。
【００６３】
（２）複合導電性シートの両面に異方導電性エラストマーシートが設けられてなる構成においては、上面側異方導電性エラストマーシートと下面側異方導電性エラストマーシートの構成、特性、条件などを異なったものとすることができる。例えば、各々の異方導電性エラストマーシートの厚みが同じ大きさであってもよく、この場合には、可動導体の移動方向側に位置する上面側異方導電性エラストマーシートの硬度Ｄ１は、下面側異方導電性エラストマーシートの硬度Ｄ２より小さいことが好ましく、具体的には、これらの硬度の比（Ｄ１／Ｄ２）が０．５〜１であることが好ましい。
【００６４】
上面側異方導電性エラストマーシートの硬度を所定の範囲内で下面側異方導電性エラストマーシートより小さくすることにより、上面側異方導電性エラストマーシートには、十分に大きい凹凸吸収性を得ることが容易になると共に、複合導電性シートにおける可動導体の各々が移動して、上面側異方導電性エラストマーシートを確実に圧縮するので、高い動作の信頼性が得られる。
【００６５】
（３）本発明のシート状コネクターを構成する異方導電性エラストマーシートは、上記の構成に限定されるものではなく、例えば、図１７および図１８に示すように、導電性粒子がシート基体６１中にその厚み方向に配向した状態で密に充填された導電路形成部６２と、これらの導電路形成部６２を相互に絶縁する、導電性粒子が全くあるいは殆ど存在しない絶縁部６３とからなる異方導電性エラストマーシート６０であってもよい。
このような異方導電性エラストマーシート６０は、例えば図１９に示す金型を用いて製造することができる。
【００６６】
この金型は、上型７０およびこれと対となる下型７５が枠状のスペーサー７４を介して互いに対向するよう配置されて構成されている。
上型７０は、強磁性体基板７１の下面に、目的とする異方導電性エラストマーシート６０の導電路形成部６２に対掌なパターンに従って強磁性体部分７２が形成され、この強磁性体部分７２以外の個所に非磁性体部分７３が形成されている。強磁性体部分７２および非磁性体部分７３は、実質的に同一の厚みを有し、上型７０の下面、すなわち成形面は、平坦面とされている。
一方、下型７５は、強磁性体基板７６の上面に、目的とする異方導電性エラストマーシート６０の導電路形成部６２に対掌なパターンに従って強磁性体部分７７が形成され、この強磁性体部分７７以外の個所に非磁性体部分７８が形成されている。強磁性体部分７２および非磁性体部分７３は、実質的に同一の厚みを有し、上型７０の下面、すなわち成形面は、平坦面とされている。
上型７０および下型７５の各々における強磁性体基板７１、７６および強磁性体部分７２、７７を構成する材料としては、鉄、ニッケル、コバルトまたはこれらの合金などを用いることができる。
また、上型７０および下型７５の各々における非磁性体部分７３、７８を構成する材料としては、銅などの非磁性金属、ポリイミドなどの耐熱性樹脂などを用いることができる。
【００６７】
このような金型を用い、金型内に複合導電性シート材を配置し、この複合導電性シートの上面にシート成形材料層を形成し、上型７０の上面および下型７５の下面の各々に例えば電磁石を配置しこれを作動させることにより、上型７０における強磁性体部分７２と下型７５における強磁性体部分７７との間に位置する部分に大きい強度を有する平行磁場を作用させる。これにより、当該シート成形材料層中に分散されている磁性金属粒子が、上型７０における強磁性体部分７２と下型７５における強磁性体部分７７との間に位置する部分に集合すると共に、厚み方向に並ぶよう配向する。そして、この状態において、シート成形材料層を硬化処理することによりシート基体６１が形成され、複合導電性シートに一体に固着した層としての異方導電性エラストマーシート６０が製造される。
【００６８】
このような構成のシート状コネクターによれば、複合導電性シート１１の可動導体１５を磁性を示す金属材料で形成することにより、可動導体１５自体が磁極になるので、容易に導電性粒子を可動導体１５の配置位置に集中的に配向させることができ、従って、十分な電気的接続を確実に達成することができるシート状コネクターを容易に製造することができる。
【００６９】
上記の構成の異方導電性エラストマーシートの場合には、導電路形成部が絶縁部の表面より突出した状態に形成されていてもよい。
【００７０】
（４）本発明のシート状コネクターによって電気的に接続される接続対象体においては、その表面における接続個所が突出していることは必須のことではない。例えば接続対象体における平坦な接続個所においては、例えばピンなどを介在させてシート状コネクターを押圧して可動導体を変位させてもよい。
【００７１】
（５）複合導電性シートの一方の面に異方導電性エラストマーシートが設けられてなるシート状コネクターを使用して電気的検査を行う場合には、シート状コネクターにおける複合導電性シートと接続対象体との間に、別個の異方導電性エラストマーシートを介在させてもよい。
【００７２】
（６）本発明の電気的検査装置において、シート状コネクターが検査治具におけるコネクター板の表面に一体的に設けられた構成とすることも可能である。
【００７３】
【発明の効果】
本発明のシート状コネクターによれば、押圧されて使用されることにより、複合導電性シートにおける可動導体の各々が、接続対象体の表面の個々の個所における高さ位置に応じた変位量で各々独立して絶縁性シートの厚み方向に移動することができるので、両面に配置される接続対象体の表面における高さレベルの不均一性に対して大きな凹凸吸収性が得られると共に、全体において高い感度状態が得られる。
従って、接続対象体の表面における高さレベルに相当に大きな不均一性があっても、低い押圧力で接続対象体の表面におけるすべての個所について信頼性の高い電気的接続を確実に達成することができる。
【００７４】
特に、複合導電性シートの両面に異方導電性エラストマーシートが設けられてなるシート状コネクターによれば、押圧されたときに、上面側異方導電性エラストマーシートおよび下面側異方導電性エラストマーシートが共に圧縮変形されるため、その結果として接続対象体の表面における高さレベルの不均一性に対して一層大きな凹凸吸収性が得られると共に、上面側異方導電性エラストマーシートおよび下面側異方導電性エラストマーシートは、別個の異方導電性エラストマーシートであるので、全体において十分に高い感度状態が確実に得られる。
【００７５】
本発明のシート状コネクターの製造方法によれば、可動導体を有する複合導電性シートを容易に製造することができるので、上記のようなシート状コネクターを有利に製造することができる。
【００７６】
本発明の電気的検査装置によれば、上記のシート状コネクターを備えてなることにより、検査対象である回路装置の電気的動作検査を、高い信頼性をもって実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のシート状コネクターの一例における構成を示す説明用断面図である。
【図２】中間層が絶縁性シートの下面に剥離可能に形成された複合導電性シート形成材料の一例における構成を示す説明用断面図である。
【図３】複合導電性シート形成材料に貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図４】複合導電性シート形成材料の貫通孔内に金属体が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図５】複合導電性シート材の構成の一例を示す説明用断面図である。
【図６】本発明のシート状コネクターを構成する異方導電性エラストマーシートを製造するために用いられる金型の一例における構成を示す説明用断面図である。
【図７】図６に示す金型内に配置された複合導電性シートの上面に、シート成形材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図８】シート成形材料層に磁場を作用させた状態を示す説明用断面図である。
【図９】シート成形材料層が硬化処理された状態を示す説明用断面図である。
【図１０】絶縁性シート材料に貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１１】絶縁性シート材料の貫通孔内に金属体主体部が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１２】複合導電性シート材の他の構成例を示す説明用断面図である。
【図１３】図１に示すシート状コネクターにより構成された回路装置の電気的検査装置の概略を示す説明用断面図である。
【図１４】本発明のシート状コネクターの他の構成例を示す説明用断面図である。
【図１５】異方導電性エラストマーシートにおける厚みと感度との関係を示すグラフである。
【図１６】本発明のシート状コネクターの更に他の構成例を示す説明用断面図である。
【図１７】本発明のシート状コネクターの更に他の構成例を示す説明用断面図である。
【図１８】本発明のシート状コネクターの更に他の構成例を示す説明用断面図である。
【図１９】図１６および図１７に示すシート状コネクターを構成する異方導電性エラストマーシートを製造するために用いられる金型の一例における構成を示す説明用断面図である。
【図２０】回路装置の電気的動作検査を行うために、異方導電性エラストマーシートをそのままコネクターとして用いた場合における、回路装置の被検査電極と検査治具の接続電極との接触状態を示す説明用断面図である。
【図２１】従来のシート状コネクターの構成の一例を示す説明用断面図である。
【符号の説明】
１  回路装置
２  被検査電極
５  検査治具
６  接続電極
１０  シート状コネクター
１１  複合導電性シート
１１Ａ  複合導電性シート材
１２  上面側異方導電性エラストマーシート
１３  貫通孔
１４  絶縁性シート
１４１  絶縁性シート用材料
１５  可動導体
１５１  金属体
１５２  主要部
１５３  残留金属箔部分
１５Ａ  突出部
１６  シート基体
１６１  シート成形材料層
２０  複合導電性シート形成材料
２１  突出部形成用補助層
２２  金属箔
３０  金型
３１  上型
３２  下型
３３  スペーサー
３５，３６  電磁石
４０  シート状コネクター
４１  複合導電性シート
４２  上面側異方導電性エラストマーシート
４３  下面側異方導電性エラストマーシート
５１  複合導電性シート
５２  段部
５３  貫通孔
５４  絶縁性シート
５５  可動導体
６０  異方導電性エラストマーシート
６１  シート基体
６２  導電路形成部
６３  絶縁部
７０  上型
７５  下型
７４  スペーサー
７１，７６  強磁性体基板
７２，７７  強磁性体部分
７３，７８  非磁性体部分
８０  異方導電性シート
８１  導電路形成部
８２  絶縁部
８５  検査治具
８６  接続電極
８８  回路装置
８９  被検査電極
９０  異方導電性シート
９１  コアシート
９２  弾性体層
９３  絶縁性シート基体
９４  金属部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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