(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
工作機械であって、
テーブル上で可動する可動部材である工具と、前記可動部材を支持する前記テーブルと、前記テーブルを移動可能に支持するベッドと、前記テーブルの前記ベッドに対する位置を調整する調整手段と、前記ベッドに支持された工作物を加工する際に前記調整手段を制御して前記テーブルを前記ベッドに対してテーブル送り方向に所定の移動量で移動させる制御手段とを備え、
前記制御手段は、加工前に予め、前記工具を稼動させて前記工具を前記テーブルに対して動かした際に発生する前記テーブルの前記ベッドに対するテーブル送り方向の微小振動である位置ずれ量を求め、加工時には、前記位置ずれ量を相殺するような位置ずれ補正量を前記ベッドに対する前記テーブルの前記所定の移動量に加減算した移動量で前記調整手段により前記テーブルを前記ベッドに対して前記テーブル送り方向に移動させることを特徴とする工作機械。
【請求項２】
請求項１に記載の工作機械であって、
前記位置ずれ量と前記位置ずれ補正量は、前記工具の前記テーブルに対する稼動位置に対応して変化するものであり、前記制御手段は、前記工具の前記テーブルに対する稼動位置に対応して前記テーブルの移動量を制御することを特徴とする工作機械。
【請求項３】
請求項２に記載の工作機械であって、
前記位置ずれ量を可動部材である工具のテーブルに対する稼動位置に対応する関係式で近似し、関係式より求まる可動部材の各位置に対する位置ずれ量から位置ずれ補正量を求める工作機械。
【請求項４】
請求項１に記載の工作機械であって、
加工前に予め、可動部材の稼動に伴い発生するテーブルのベッドに対するテーブル送り方向の微小振動である位置ずれ量を前記テーブルに対する前記可動部材の複数の稼動速度において測定し、各稼動速度における位置ずれ量に基づいて、前記可動部材の稼動に伴い発生する前記テーブルの前記ベッドに対するテーブル送り方向の微小振動である位置ずれを補正する位置ずれ補正量を前記可動部材の稼動速度及び前記可動部材の前記テーブルに対する稼動位置に対応させて求め、制御手段は、前記位置ずれ補正量に基づいて調整手段を制御する工作機械。
【請求項５】
請求項４に記載の工作機械であって、
前記位置ずれ量を可動部材の稼動速度と可動部材のテーブルに対する稼動位置に対応する関係式で近似し、関係式より求まる可動部材の各稼動速度と各位置に対応する位置ずれ量から位置ずれ補正量を求める工作機械。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の工作機械であって、
可動部材である工具は、稼動してテーブル上で回転する回転工具であり、
位置ずれ量である振動は、前記工具のアンバランスに起因して発生する工作機械。
【請求項７】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の工作機械であって、
可動部材である工具は、稼動してテーブル上で往復移動し、
位置ずれ量である振動は、前記工具の往復移動に起因する振動である工作機械。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は可動部材を有する工作機械に関する。
【０００２】
【従来の技術】
可動部材を有する工作機械は、可動部材、例えば回転工具のバランスがとれていない場合、回転工具の回転運動によって回転工具を支持するテーブルが工作物を支持するベッドに対して振動する。この振動によりテーブルとベッド、従って回転工具と工作物との位置ずれが発生するため加工精度が低下する。特に、精密加工を行う場合はこれが問題になる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来は、この問題を解決するために、例えば、オートバランサ等を用いて回転工具のバランスを調整することにより、回転工具のアンバランスによる振動を減少させていた。しかし、回転工具のアンバランスを調整する方法は、準備に時間を要する、設備に費用が嵩む等の問題があった。
本発明は、可動部材の稼動により生じる振動等に基づく位置ずれを、容易に、安価に防止することができる工作機械を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための第１発明は、請求項１に記載されたとおりの工作物である。請求項１に記載の工作機械は、可動部材を支持するテーブルと、ベッドとの位置が調整手段により調整可能であり、制御手段は、可動部材の稼動に伴い発生するテーブル送り方向の微小振動を相殺するように調整手段を制御する。
従って、可動部材の稼動により生じる振動等に基づく位置ずれを容易で安価に防止することができる。
【０００５】
さらに請求項１に記載の工作機械によれば、例えば、工作物を加工する前に、可動部材の稼動に伴い発生するテーブル送り方向の微小振動によるテーブルの位置ずれ量に基づいて、テーブルの位置ずれの補正量を可動部材の位置に対応させて、予め求めておく。従って、可動部材の稼動により生じる位置ずれを確実に防止することができる。また第２発明は、請求項２に記載されたとおりの工作機械であり、位置ずれ量と位置ずれ補正量は、工具のテーブルに対する稼動位置に対応して変化するものであり、制御手段は、工具のテーブルに対する稼動位置に対応してテーブルの移動量を制御する。
【０００６】
次に、第３発明は、請求項３に記載されたとおりの工作機械である。請求項２に記載の工作機械によれば、位置ずれ量を可動部材である工具のテーブルに対する稼動位置に対応する関係式で近似し、各可動部材に対する位置ずれの補正量をその関係式より求める。そのため、測定していない可動部材の位置に対する位置ずれ量を柔軟に求めることが可能になり、可動部材のすべての各位置に対して位置ずれ量を求めた場合よりも測定点を少なくすることができ、測定時間を削減できる。また、各可動部材の位置に対しての位置ずれ量もしくは位置ずれ補正量を記録する場合と比較して、記憶装置の容量が少なくすむ。
【０００７】
さらに、第４発明は、請求項４に記載されたとおりの工作機械である。請求項４の記載の工作機械によれば、複数の可動部材の稼動速度に対応したテーブルとベッドとの位置ずれ量を測定し、その測定した位置ずれ量に基づいて、テーブルの位置ずれの補正量を求め、その補正量に基づいて調整手段を制御する。従って、可動部材の稼動により生じる位置ずれ量が、可動部材の稼動速度（回転工具にあっては回転速度）により異なる場合に、複数の可動部材の各稼動速度に対応した位置ずれ量から位置ずれの補正量を求めるため、可動部材の稼動速度により変化する位置ずれに対しても確実に位置ずれを防止することができる。
【０００８】
また、第５発明は、請求項５に記載されたとおりの工作機械である。請求項４に記載の工作機械では、位置ずれ量を可動部材の稼動速度及び可動部材の位置に対応する関係式で近似し、位置ずれの補正量をその関係式より求める。そのため、測定していない可動部材の稼動速度及び可動部材のテーブルに対する稼動位置に対応する位置ずれ量を柔軟に求めることが可能になり、すべての可動部材の速度及び可動部材の位置に対しての位置ずれ量を求める場合よりも測定点を少なくすることができ、測定時間を削減できる。また、各可動部材の速度及び可動部材の位置に対して、位置ずれ量もしくは位置ずれ補正量を記録する場合と比較して、記憶装置の容量が少なくすむ。
【０００９】
第６の発明は、請求項６に記載されたとおりの工作機械である。請求項６に記載の工作機械によれば、第１から第５の発明においての可動部材が回転工具である工作機械が構成される。そのため、回転工具を有し、第１から第５の発明のそれぞれと同様の作用効果を享受できる工作機械を構成できる。
第７の発明は、請求項７に記載されたとおりの工作機械である。請求項７に記載の工作機械によれば、第１から第５の発明においての可動部材である工具は、稼動してテーブル上で往復移動し、位置ずれ量である振動は、工具の往復移動に起因して発生する。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の一実施の形態に係る工作機械を、図面を参照して説明する。
図１は、円筒研削盤１の斜視図であり、図２は図１のII−II線断面図である。円筒研削盤１は、砥石テーブル２０、砥石テーブルベース３０、ベッド２、制御装置７０を有している。砥石テーブルベース３０はベッド２に固定され、永久磁石３１およびレール３２が上に固定されている。また、レール３２の上にはマグネットスケール４１がブラケット４２により固定されている。
【００１１】
砥石テーブル２０には、工具である砥石５０および測定ヘッド４３および電磁石２１が設けられ、調整手段によって砥石テーブルベース３０に対して位置調整可能な構造である。本実施の形態では、調整手段として永久磁石３１と電磁石２１により構成されるリニアモータを用い、図１の矢印Ａ方向に移動可能である。また、砥石テーブル２０の砥石テーブルベース３０に対する位置、すなわち砥石テーブル２０とベッド２との位置ずれ量を測定する位置測定器４０を有している。本実施の形態では、位置測定器４０はマグネットスケール４１と測定ヘッド４３により構成されている。
【００１２】
砥石５０は、図２に示すように砥石軸５３を介して砥石軸モータ５１に連結され、図１に示す矢印Ｂ方向に回転駆動される。また、砥石５０あるいは砥石軸５３の回転角度を測定するための角度センサ５２が設けられている。回転角度を検出する角度センサとしては、磁気式、光学式、電気式等の様々の形式のものが知られている。
【００１３】
図１に示す工作物３は、矢印Ｄ方向に回転可能に設けられ、さらにベッド２に対して矢印Ｃ方向に移動可能に設けられている。
また、工作物３の回転及び移動、砥石５０の回転、砥石テーブル２０の移動は、制御装置７０により制御される。
【００１４】
制御装置７０は大きく２つの役割を担う。１つめの役割は、工作物データや測定器の測定データ等に基づいて、砥石テーブル２０の位置（矢印Ａ方向）と工作物３の位置（矢印Ｃ、Ｄ方向）を制御するとともに、砥石５０の回転速度を制御することである。２つめの役割は、砥石５０の偏心等により発生する砥石テーブル２０の砥石テーブルベース３０に対する位置ずれを補正することである。
【００１５】
図３は、制御装置７０のブロック図を示している。制御装置７０は工作物３の研削データや研削プログラム等を格納するＲＡＭ７３やシステムプログラム等を記憶するＲＯＭ７７と、入出力手段としての操作盤７１と、ＣＰＵ７４を有している。
また、工作物３を矢印Ｃ方向へ移動する駆動モータ８２と、矢印Ｄ方向へ回転させる駆動モータ８３には、位置測定器（例えば、エンコーダ）８４、８５が設けられている。
【００１６】
本実施の形態では、制御装置７０は、工作物３の加工データと、工作物３の矢印Ｃ方向の位置測定器８４、矢印Ｄ方向の位置測定器８５と、砥石テーブル２０の矢印Ａ方向の位置測定器４０と、砥石５０の回転角度を検出する角度センサ５２に基づいて、ドライブユニット８０、８１、９０、９１を介して、工作物３の矢印Ｃ方向駆動モータ８２、矢印Ｄ方向駆動モータ８３と、砥石テーブル２０の矢印Ａ方向駆動モータとなる電磁石２１と、砥石５０の砥石軸モータ５１を制御する。また、砥石５０の回転角度を検出する角度センサ５２、砥石テーブル２０の矢印Ａ方向の位置測定器４０からのデータに基づいて、砥石５０の回転に伴う砥石テーブル２０の砥石テーブルベース３０に対する位置ずれ量を測定し、位置ずれ補正量を求める。
【００１７】
次に、位置ずれ量を算出する方法を図４に示すフロー図に従って説明する。まず、砥石５０を砥石軸５３に取付け、砥石テーブル２０を所定位置に位置決めした状態で、砥石５０を加工するときの回転数Ｎ１で砥石軸モータ５１を回転させる（ステップＳ４１）。
その時の位置測定器４０の測定データと角度センサ５２の回転角度データをサンプリングして制御装置７０に取り込む（ステップＳ４２）。
【００１８】
位置ずれデータは、砥石テーブル２０を位置決めした位置と、砥石５０を回転させた時の砥石テーブル２０の位置とのずれ量で表される。各データは、例えば１ｍｓ毎に取り込む。この時、砥石５０の回転速度が９０００ｒｐｍであれば、１回転中に６点の位置ずれデータを得ることができる。得られた６つの位置ずれデータを回転角度―位置ずれ線図でプロットすると、図７のＸ印のようになる。
【００１９】
データ数が多いほど位置ずれ量を正確に解析できるため、作業時間に影響が及ぼさない程度のなるべく長い時間内の回転角度データおよび位置ずれデータを得るのが好ましい。そのため、例えばデータの測定回数を指定し、測定回数が指定回数に達したか否かを判定する（ステップＳ４３）。
測定回数が、指定回数に達していなければ、ステップＳ４２に戻ってデータ測定を繰り返す。
【００２０】
測定回数が指定回数に達すると、サンプリングしたデータに基づいて、回転角度に対する位置ずれ量を近似する関係式を計算する。例えば、下記の式（１）の正弦関数で近似し、振幅Ａおよび初期位相角φを制御装置７０で計算する（ステップＳ４４）。
式（１）    Ｐ＝Ａｓｉｎ（θ＋φ）
ここで、Ｐは位置ずれ量、θは砥石５０の基準位置からの回転角度である。また、位置ずれ量Ｐの正負は、矢印Ａ方向のいずれの方向を砥石テーブル２０の正の移動方向にするかによって決定される。φは、砥石５０の基準位置（θ＝０とする回転位置）をどこに設定するかに応じて変化する。
【００２１】
図７でプロットしたデータを具体的に解析した近似式線は、正弦線１００で表される。この式（１）が、砥石５０のアンバランス等に基づいた砥石テーブル２０と砥石テーブルベース３０に対する位置ずれ量である。また、砥石テーブルベース３０はベッド２に固定されているため、言い換えれば、式（１）は砥石テーブル２０とベッド２との位置ずれ量を示す近似式である。
【００２２】
次に、研削加工処理時における砥石テーブル２０の位置制御処理を、図５に示すフロー図に従って説明する。図５に示す砥石テーブル２０の位置制御処理は、加工が開始されてから加工が終了するまで適宜の時間毎に実行される。
工作物３の加工データや砥石５０（砥石軸モータ５１）の回転速度Ｎ１等は、操作盤７１等を介して入力される。
【００２３】
工作物３を保持した後、加工開始操作、例えば加工開始ボタンを操作すると、制御装置７０のＣＰＵ７４は、工作物３の加工データや砥石軸モータ５１の回転速度Ｎ１等に基づいて、工作物３の位置指示信号（矢印Ｃ方向、Ｄ方向）、砥石テーブル２０の位置指示信号（矢印Ａ方向）を演算する（ステップＳ５１）。
その演算された工作物３の位置指示信号と砥石軸モータ５１の回転速度指示信号（Ｎ１）は、ドライブユニット８０、８１、９１に出力される。
【００２４】
砥石テーブル２０の位置指示信号が演算されると、砥石５０の回転角度θを位置測定器４０により検出する（ステップＳ５２）。
そして、式（１）にステップＳ５２で検出した砥石５０の回転角度θを代入して、位置ずれ量Ｐを算出する（ステップＳ５３）。
【００２５】
次に、ステップＳ５３で算出した位置ずれ量Ｐにより、砥石５０の回転による砥石テーブル２０の砥石テーブルベ−ス３０に対する位置ずれを補正するように砥石テーブル２０の位置指示信号を補正する（ステップＳ５４）。位置指示信号を補正する方法としては、砥石テーブル２０が、砥石５０の回転によって砥石テーブルベ−ス３０に対して位置ずれする方向と逆方向に移動するように砥石テーブル２０の位置指示信号を補正する。例えば、砥石テーブル２０の位置指示信号からステップＳ５３で算出した位置ずれ量Ｐを減算する。つまり、砥石５０の回転による位置ずれを補正するための位置ずれ補正量は、位置ずれ量の式（１）で表される。なお、位置ずれ量Ｐの符号の設定によっては、砥石テーブル２０の位置指示信号に位置ずれ量Ｐを加算する場合もある。
【００２６】
次に、砥石テーブル２０の位置指示信号を位置ずれ量Ｐにより補正した砥石テーブルの補正位置指示信号をドライブユニット９０に出力する（ステップＳ５５）。
なお、砥石テーブル２０の位置指示信号を位置ずれ量Ｐで補正する補正処理をＣＰＵ７４で行ったが、ドライブユニット９１内で行うことも可能である。この場合には、ＣＰＵ７４の処理負担が減少する。
【００２７】
このように、砥石５０の回転による砥石テーブル２０、従って砥石５０のベッド２に対する位置ずれを砥石テーブル２０の位置を制御することによって打ち消す（補正する）ことができるため、砥石５０を外してバランス調整する作業や、オートバランサを装着する作業等を省略できる。また、オートバランサによる重量の付加がないため、重量増加による円筒研削盤１各部の剛性劣化や、駆動部（砥石軸モータ５１、駆動モータ８２、８３、砥石軸モータ５１）の耐久性劣化を防止できる。また、本発明の振動対策は測定データの解析により砥石テーブル２０の位置を調整するだけでよいため、自動化することができ、作業性が向上する。
なお、上記実施の形態では、位置ずれ量を研削加工中に式（１）により計算したが、砥石５０の各回転角度に対応する位置ずれ量を予めＲＡＭ７３等に記憶させておくこともできる。
【００２８】
また、振動発生率および大きさは、機械式連結部材を介して連結されたモータによって砥石テーブル２０を駆動するタイプに比べ、砥石テーブル２０をリニアモータによって駆動するタイプの方が大きい。
【００２９】
ところで、工作物３を最適に研削するために、砥石５０の回転数を可変制御することがある。砥石５０の回転数を変更すると、砥石５０の回転による砥石テーブル２０の位置ずれ量が変化する。この場合、砥石５０の各回転数に対して、砥石５０の回転角度に対する砥石テーブル２０の位置ずれ量を測定し、位置ずれ補正量を各回転数毎に予め計算、あるいは記憶させておく方法が考えられるが、各回転数に対して位置ずれ補正量を計算あるいは記憶するには時間がかかる。
【００３０】
そこで、以下では、砥石５０の回転数を可変制御する場合にも容易にその回転数に対応した位置ずれ量を算出することができる補正方法を説明する。
ここで、砥石５０の回転数Ｎ２における回転角度―位置ずれ線図の近似正弦線１０１、および回転数Ｎ３における回転角度―位置ずれ線図の近似正弦線１０２を図７に示す。図７に示すように、回転数の異なる場合における近似正弦線を比較すると、振幅のみが異なる正弦線でよく近似されることがわかる。
【００３１】
そこで、振幅Ａを砥石５０の回転数Ｎの関数とすると、位置ずれ量Ｐと回転角度θの関係式は、下記の式（２）で表現できる。
式（２）    Ｐ（Ｎ）＝Ａ（Ｎ）ｓｉｎ（θ＋φ）
ここで、振幅Ａと回転数Ｎの関係を調べるため、回転数Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３の時の振幅Ａ１、Ａ２、Ａ３を図８に示す回転数−振幅線図に●印でプロットした。また、Ａ（Ｎ）を回転数Ｎの２次関数と仮定し、データより近似曲線を求めると、図８に示すようになり、これらをよく近似した。そこで、回転数Ｎと振幅Ａの関係式を式（３）のように表現する。
式（３）    Ａ（Ｎ）＝ａ０＋ａ１・Ｎ＋ａ２・Ｎ2
ここで、ａ０、ａ１、ａ２は未知数である。
【００３２】
次に、式（２）のＡ（Ｎ）及びφを求める方法を図６に示すフロー図に従って説明する。まず、砥石５０を砥石軸５３に取付け、砥石テーブル２０を所定位置に位置決めした状態で、砥石５０を加工するときの回転数Ｎ１で砥石軸モータ５１を回転させる（ステップＳ６１）。その時の位置測定器４０の測定データ（位置ずれデータ）と、角度センサ５２の回転角度データをサンプリングして制御装置７０に読み込む（ステップＳ６２）。
【００３３】
そして、データの測定回数が指定回数に達したか否かを判定する（ステップＳ６３）。測定回数が、指定回数に達していなければ、ステップＳ６２に戻ってデータ測定を繰り返す。
【００３４】
測定回数が指定回数に達したら、砥石５０の回転数をＮ２に変更する（ステップＳ６４）。その時の位置測定器４０の測定データ（位置ずれデータ）と、角度センサ５２の回転角度データをサンプリングして制御装置７０に読み込む（ステップＳ６５）。そして、測定回数が指定回数に達したか否かを判定し（ステップＳ６６）、指定回数に達していなければ、ステップＳ６５に戻ってデータ測定を繰り返す。
【００３５】
測定回数が指定回数に達したら、砥石５０の回転数をＮ３に変更し（ステップＳ６７）、データをサンプリングして制御装置７０に読み込む（ステップＳ６８）。測定回数が指定回数に達するまでステップＳ６８を繰り返す（ステップＳ６９）。必要ならば他の数種類の回転数に対しても同様にデータをサンプリングし、制御装置７０に読み込む。これらの作業は、制御装置７０において自動化することも可能である。
【００３６】
式（２）と式（３）より、位置ずれ量Ｐと回転角度θの関係式は、未知数φ、ａ０、ａ1、ａ２を求めることにより得られる。
そこで、制御装置７０に記憶させた回転数Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３における位置ずれデータと回転角度データより、上記近似式の未知数φ、ａ０、ａ1、ａ２を制御装置７０で計算する（ステップＳ７０）。これにより式（２）の位置ずれ量Ｐは、回転角度θと砥石５０の回転数Ｎの関数になるため、砥石５０の回転数Ｎが定まると、位置ずれ量Ｐと回転角度θの関係式が求まる。
【００３７】
そして、研削加工処理時における砥石テーブル２０の位置制御処理を行う場合は、図５のフロー図中のステップＳ５３における位置ずれ量をこの式（２）より算出する。算出した位置ずれ量（位置ずれ補正量）を砥石テーブル２０の位置指示信号に加算あるいは減算し（ステップＳ５４）、その補正位置指示信号により砥石テーブル２０の移動を制御する（ステップＳ５５）。これにより、砥石５０の回転数Ｎにおける振動は、砥石テーブル２０の位置を制御することによって相殺することができる。
【００３８】
砥石５０の回転数Ｎを変更する場合は、式（２）及び式（３）に新しい回転数Ｎの値を代入することにより、位置ずれ量Ｐと回転角度θの関係式を求めることができる。このように、少ないデータで砥石５０の回転数Ｎに対応した位置ずれ量を計算することができる。
【００３９】
なお、本発明は上記した本実施の形態に限定されず、例えば以下の構成を有する工作機械であってもよい。
（１）上記実施の形態では砥石５０の回転角度と振動の関数を式（１）のように正弦関数で近似したが、正弦関数に限定されない。これにより、砥石５０の回転による振動がより精密に近似され、振動を減少させることができる。
（２）また、上記実施の形態では円筒研削盤１について説明したが、本発明は、円筒研削盤１に限定されず、平面研削盤、ボール盤、フライス盤などの工具が回転する工作機械に適用することができる。また、工具が回転する場合について説明したが、回転以外の、例えば往復移動する場合にも適用可能である。すなわち、可動部材の稼動によってテーブルの位置ずれが発生する場合に適応可能である。
（３）また、上記実施の形態では、砥石５０の回転角度データが砥石テーブル２０の位置を計算する時点と、砥石テーブル２０を動作する時点の両時点において必要であったが、砥石５０の回転角度データ（角度センサ５２）を不要とすることもできる。例えば、回転角度のある一点のみにおいて信号を出すような装置（例えば、砥石軸５３に設けられた印を光学的に検出する装置）を設け、その点を検出した時点からの位置ずれ量を時間との関係式で近似し、その位置ずれ量に基づいて位置ずれ補正量を時間の関係式で計算する。
（４）また、本実施の形態では砥石５０の回転による位置ずれ量を工作物３の加工前に測定したが、加工中において位置ずれ量を測定してもよい。この場合には、加工準備の時間を短縮することが可能になる。また、加工中に位置ずれ量を適正な値に自動的に調整することもできる。
（５）また、本実施の形態では位置測定器４０によって、砥石５０の回転による位置ずれ量を求めたが、振動計等の他の測定器を用いて位置ずれ量を求めることもできる。
（６）また、本実施の形態では、位置ずれ補正量が位置ずれ量と同じ関係式により表現されるが、同じ関係式になる必要はなく、別の関係式にしてもよい。これにより、位置ずれに対する補正の微調整が可能になる。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の工作機械を用いれば、可動部材の稼動により生じる振動（位置ずれ）を、テーブルのベッドに対する位置を調整することにより減少させることができ、容易で安価な振動対策が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】円筒研削盤の主要部を示す本実施の形態の斜視図である。
【図２】図１におけるII−II線断面図である。
【図３】制御ブロック図である。
【図４】位置ずれ量算出方法のフロー図である。
【図５】研削加工処理のフロー図である。
【図６】可変の砥石回転数に対応可能な位置ずれ量算出方法のフロー図である。
【図７】砥石の回転により生じる位置ずれ量と砥石の回転角度の関係を示す図である。
【図８】砥石の回転により生じる位置ずれ量の振幅と砥石の回転数の関係を示す図である。
【符号の説明】
１  …円筒研削盤
２  …ベッド
３  …工作物
２０…砥石テーブル
２１…電磁石
３０…砥石テーブルベース
３１…永久磁石
４０…位置測定器
５０…砥石
５１…砥石軸モータ
５２…角度センサ
７０…制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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