(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
窓枠内を断面Ｌ字状の板体が下降するポートドアと、ポートドアの内側に配設された搬送ロボットとを備え、内部にウエハを棚段状に収納すべき密閉型ポッドをポートドアに向けて移動し、断面Ｌ字状の板体に密閉型ポッドの前扉を係着保持させた後、密閉型ポッドを後退させて前扉を分離し、その後、前扉を合体した断面Ｌ字状の板体を上下方向に移動するウエハ搬送装置において、
前記板体に密閉型ポッドの前扉が係着保持され密閉型ポッドが後退したときに、棚段状に収納されるべきウエハを挟んで投光器と受光器が密閉型ポッド内に向けて回動して互いに対向するように、前記断面Ｌ字状の板体上部の両端縁部に当該投光器と受光器を夫々水平回動可能に取り付け、
前記板体の下部のＬ字状段部の中央端縁部とこれに対向する窓枠の天井内面部であって、上記密閉型ポッドの前蓋が前記板体に係着保持された際に前蓋により遮蔽されない位置に他の受光器と他の投光器とを夫々対向するように取り付け、
対向する投光器と受光器の間が遮蔽したときにウエハの存在を検知することを特徴としたウエハ認識装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウエハ搬送ロボットによりカセット内に収納されたウエハを搬送する装置に於けるウエハ認識装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図６は従来装置を示すものであって、Ａは平面図、Ｂは側面図である。
１はステージであって、片側にはカセット２が架台３上に載置されてなり、且つ該カセット２の中央に於ける前後方向位置でカセット２内へ収納されるウエハ４を挟む状態に昇下降するセンサー手段５が設けてある。
【０００３】
ここにセンサー手段５はカセット２の中央前後位置にＵ字状の腕杆５ａをモータ５ｂで回動される支軸５ｃで支承させ、且つＵ字状腕杆５ａの上端に投光器５ｄと受光器５ｅを設けた構成であり、モータ５ｂの駆動でカセット２の下端から上端（図示例は下端位置にある）の距離間を昇下降するものとなっている。
【０００４】
６はステージ１の他側位置に設けたウエハ搬送ロボット、７は制御装置である。なお、８は上記搬送ロボット６でカセット２から取出したウエハ４を処理するためのウエハ処理装置である。
【０００５】
上記使用に於いて、最初にカセット２内のウエハ４がどの棚に入っているか認識する動作を行う。これは通常カセット２はウエハ４を１０枚から２５枚収納できる構成になっており、どの棚にウエハ４が収納されているかわからないためである。
即ち、架台３上にカセット２が載置されると制御装置７は、センサーの取付けられた腕杆５ａを最下位置から最上位置まで設定された速度で上昇するよう支持を行う。この過程に於いて、センサーの出力信号と搬送ロボット６のアーム６ａ，６ｂの移動量との組合せにより、制御装置７はウエハの位置情報を知得する。而して、腕杆５ａが最上位置まで上昇するとウエハ搬送装置は制御装置７にて命令を処理し、ウエハ搬送ロボット６へ指示された段の棚のウエハ４をウエハ処理装置８へ搬送を行い、処理の終わったウエハ４を支持された段の棚に収納するようになされるのである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来の装置は上記の如くウエハマッピング機構が専用の機構であるため、装置設置の占有面積を大きくする問題がある。一方、今日半導体製造工場でミニエンバイロメント方式の密閉型ポッドが主流となりつつあり、これには上記のウエハマッピング機構そのものが密閉型のために装置内に組み込めないという決定的な問題がある。
本発明は後者のミニエンバイロメント方式の密閉型ポッドに対する新規なウエハ認識装置を提供せんとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は窓枠内を断面Ｌ字状の板体が下降するポートドアと、ポートドアの内側に配設された搬送ロボットとを備え、内部にウエハを棚段状に収納すべき密閉型ポッドをポートドアに向けて移動し、断面Ｌ字状の板体に密閉型ポッドの前扉を係着保持させた後、密閉型ポッドを後退させて前扉を分離し、その後、前扉を合体した断面Ｌ字状の板体を上下方向に移動するウエハ搬送装置において、前記板体に密閉型ポッドの前扉が係着保持され密閉型ポッドが後退したときに、棚段状に収納されるべきウエハを挟んで投光器と受光器が密閉型ポッド内に向けて回動して互いに対向するように、前記断面Ｌ字状の板体上部の両端縁部に当該投光器と受光器を夫々水平回動可能に取り付け、前記板体の下部のＬ字状段部の中央端縁部とこれに対向する窓枠の天井内面部であって、上記密閉型ポッドの前蓋が前記板体に係着保持された際に前蓋により遮蔽されない位置に他の受光器と他の投光器とを夫々対向するように取り付け、対向する投光器と受光器の間が遮蔽したときにウエハの存在を検知することを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１は本発明装置を備えたウエハ搬送装置全体の平面図、図２は同一部破断側面図、図３は上記に於ける密閉型ポッドを移動ステージ１０から取外してポートドア部分を見た一部破断斜視図である。
上記各図に於いて１がステージ、６が搬送ロボット、８がウエハ処理装置であることは図６の従来装置に示したものと変わりがないが、本発明ではウエハ４を収納するカセット２を密閉型ポッド１１の構成となし、移動ステージ１０上に取付けられて図示しない移動手段で矢印の水平方向へ移動可能となされてあり、且つウエハ４の取出し側には前蓋１１ａが取付けてある。
【０００９】
１２は密閉型ポッド１１と搬送ロボット６との間に介在させてなるポッドドアであって、窓枠１２ａ内を断面Ｌ字状の板体１３が昇下降するものとなされる。ここに断面Ｌ字状の板体１３は前記密閉型ポッド１１の前蓋１１ａとほぼ同様の大きさのものとなし、且つ後述する如く密閉型ポッド１１が前進移動の前端でこれを受け止めて係止するようになされている。１３ａはそのための位置決めピン、１３ｂは係止フックである。この係止フック１３ｂは前蓋１１ａの固定を施錠したり解除したりする機能を備えている。
【００１０】
而して、上記Ｌ字状板体１３の上部に於ける両端縁部１３ｃ，１３ｃにはウエハ検出器１４として一対のセンサー１４ａ，１４ｂが図示一点鎖線の如く９０°の水平移動可能に取付けてあり、またＬ字状段部１３ｄの中央端縁部には受光器１５が取付けてある。このさい、該受光器１５は板体１３がポッド１１の前蓋１１ａを係着させたとき、該前蓋１１ａによって遮断されない位置に取付けしめるのである。
【００１１】
１６は上記板体１３の昇下降機構を示すものであって、板体１３の下端部に対しロッド１３ｅを介して取付けた軸承部１３ｆをスクリュー軸１６ａに螺合させ、該スクリュー軸１６ａをモータ１６ｂの駆動で正転或いは逆転回動されることにより昇降動作するものとなされる。なお、１７は上記Ｌ字状段部１３ｂの中央端縁部に設けた受光器１５と対応する窓枠１２ａの天井内面部箇所に設けた投光器である。
【００１２】
図４及び図５は上記構成の要部に於ける作用説明図であって、夫々れは一部切断側面図及び同平面図で且つ各図のＡ〜Ｆは夫々れ対応状態となっている。
即ち、各図で図Ａはスタート状態を示し、図Ｂはポッド１１が移動ステージ１０の移動でポートドア１２に向って前進移動し、その前蓋１１ａをポートドア１２の前面で係合止着させる状態を示す。而して、図Ｃは上記上蓋１１ａの係合止着が終了するとポッド１１が少し後退する状態を示すのであり、このさい、ポッド１１の棚段に収納されたウエハ２の中で位置ずれなどで外方へ突出したりしているものがあると、投光器１７と受光器１５間の光路が遮断されることにより、この情報を制御装置７に伝えて後の工程でウエハマッピングを行うさいにウエハ４を破損することのないように情報伝達する。
【００１３】
上記でウエハ４の飛出しがなく、受光器１５がこれを検知しなかった場合には、ポートドア１２を図Ｄで示す位置まで下降させる。この位置はポッド１１内の最上段に収納されたウエハ４とポッド１１内の天井面との間にウエハ検出器１４のセンサー１４ａ，１４ｂが干渉せずにポッド１１内へ９０°の回動可能となる位置である。ここにセンサーは透過式センサーであって、即ちセンサーのポッド１１内へ向けて９０°回動し、投光器１４ａと受光器１４ｂの光路がウエハ４の存在を検出可能となされるものとなる。
【００１４】
而して、図Ｅに示す如くポートドア１２を下降させるのであり、これにより投光器１４ａと受光器１４ｂの光路が遮断されたり遮断されなかったりするのであり、具体的にはウエハ４が存在する場合はウエハ４が透過式センサーの光路を遮光するため、受光器１４ｂからの遮光信号が制御装置７に出力されるのであり、制御装置７は遮光信号が出力された上下方向の移動量を記憶するものとなり、従ってこれら情報が順次制御装置７に記憶されると共に、また全体の統括装置へ伝達されるものとなる。
【００１５】
斯くして、ポートドア１２がウエハ最下段まで移動を終えると、ウエハ検出器１４の投光器１４ａ及び受光器１４ｂを９０°の逆回動させて当初位置に復帰させるのであり、上記した透過式センサー１７からの遮光信号とウエハ検出器１４の上下移動量の組合せにより、ウエハ認識情報を得ることができるものとなり、この結果を全体の統括装置へ伝達するものとなす。
而して、図Ｆに示す如くポートドア１２をステージ１の最下部まで移動させ、次にポッド１１をウエハ４の移載が可能となる位置まで前進させる。
【００１６】
上記操作の終了により制御装置７は統括装置からの命令を処理し、ウエハ搬送ロボット６がポッド１１内の指定された棚のウエハ４をウエハ処理装置８に向けて搬送するようになすのであり、また同様に制御装置７はウエハ処理装置８で処理の終了したウエハ４をポッド１１内の指定された棚に搬送するようになすのである。
【００１７】
【表１】
0004310556.tif 000002
【００１８】
表１は上記認識情報のフローシートであって、１５のステップ段階で表示したものである。
【００１９】
【発明の効果】
本発明は以上の如く構成するものであって、密閉型ポッドに於けるウエハの取出し、搬送及び処理にさいし、ウエハの破損を未然に防止しながら効率の良い作業を遂行する上で優れた作用効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明装置を備えたウエハ搬送装置の全体平面図である。
【図２】上記の一部破断平面図である。
【図３】上記の一部破断斜視図である。
【図４】上記構成の作用説明図（一部切断側面図）である。
【図５】上記構成の作用説明図（一部切断平面図）である。
【図６】従来装置を示すものでＡは平面図、Ｂは側面図である。
【符号の説明】
１      ステージ
４      ウエハ
６      ウエハ搬送ロボット
７      制御装置
８      ウエハ処理装置
１０    移動ステージ
１１    密閉型ポッド
１２    ポッドドア
１３    Ｌ字状板体
１４    ウエハ検出器
１５    受光器
１７    投光器
【図１】
0004310556.tif 000003
【図２】
0004310556.tif 000004
【図３】
0004310556.tif 000005
【図４】
0004310556.tif 000006
0004310556.tif 000007
0004310556.tif 000008
0004310556.tif 000009
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0004310556.tif 000011
【図５】
0004310556.tif 000012
0004310556.tif 000013
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0004310556.tif 000017
【図６】
0004310556.tif 000018
0004310556.tif 000019