(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
全反射照明が可能な開口数を有する対物レンズを介して、光源からの照明光で標本を照明する顕微鏡の全反射照明装置において、
前記対物レンズの内部空間の先玉レンズを通る観察光路の最外周部近傍に配置され、入射する前記照明光を対物レンズの前記観察光路に沿った方向で、かつ前記先玉レンズに向けて反射する第１の全反射ミラーと、
前記対物レンズの観察光軸に対して前記第1の全反射ミラーと対称な位置であり且つ前記対物レンズの前記観察光路の最外周部近傍に配置されるとともに、前記標本と前記標本の対物レンズ側に配置されたカバーガラスとの境界面で全反射した、前記対物レンズの前記観察光路に沿った方向で、かつ前記対物レンズの内部空間の前記先玉レンズ内を通過して戻される戻り光を前記観察光路とは異なる方向で、且つ前記観察光路から離れる方向へ反射する第２の全反射ミラーと、
前記第２の全反射ミラーで反射した戻り光を減光する戻り光減光手段と、
を具備したことを特徴とする顕微鏡の全反射照明装置。
【請求項２】
前記戻り光減光手段は、前記顕微鏡の外部に設置した外設置部を有することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡の全反射照明装置。
【請求項３】
前記戻り光減光手段は、光ファイバを介して前記外設置部と接続されていることを特徴とする請求項２記載の顕微鏡の全反射照明装置。
【請求項４】
前記第１の全反射ミラー及び第２の全反射ミラーは、前記対物レンズの観察光路に対して挿脱可能な支持部材に設置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の顕微鏡の全反射照明装置。
【請求項５】
前記顕微鏡または前記支持部材の一方に、前記支持部材の挿脱に連動して照明光をオン・オフする切り換え手段を有することを特徴とする請求項４に記載の顕微鏡の全反射照明装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、全反射照明が可能な開口数を有する対物レンズを介して標本を照明する顕微鏡の全反射照明装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、蛍光観察に用いられる生物顕微鏡として、全反射蛍光顕微鏡(ＴＩＲＦＭ：Ｔｏｔａｌ  Ｉｎｔｅｒｎａｌ  Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ  Ｆｌｕｏ−      ｒｅｓｃｅｎｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ)と呼ばれる顕微鏡が注目されている。
【０００３】
この顕微鏡は、カバーガラスと標本の境界面で照明光を全反射させたときに、標本側に数１００ｍｍ以下のわずかな範囲に浸み出すエバネッセンス光と呼ばれる光を用いて蛍光物質を励起するようになっており、カバーガラス近傍のわずかな範囲の蛍光だけが観察されるので、バックグランドが非常に暗く、微弱な蛍光の観察が可能である。
【０００４】
そこで、従来、このような顕微鏡において、対物レンズを介して全反射照明を行う装置として、図６（特開平０９−１５９９２２号公報）に示すように、対物レンズ１００の方向に照明光１０２を反射するためのミラー１０１を移動可能に設け、このミラー１０１の移動により対物レンズ１００への照明光１０２の入射位置を対物レンズ１００の光軸から離れる方向へ移動し、対物レンズ１００からサンプルを有するカバーガラス１０３側に出射される光線の角度を変化させるようにしたものや、図７（特開平１０−９６８６１号公報）に示すように、対物レンズ２００の枠を二重構造とし、光源２０１からの光を環状のミラー２０２で反射し、二重構造枠の内枠と外枠の間に照明光を通してサンプル２０３に照射し、サンプル２０３からの戻し光を対物レンズ２０４を通して観察するようにしたものが考えられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、対物レンズを介した全反射照明では、標本に照射された照明光は原理的に再び対物レンズ内に戻ることになる。また、照明光を対物レンズ側に導くためのミラーは、対物レンズから観察手段に至る観察光路中に設けらている。
【０００６】
このことから、図６および図７に示すものは、いずれも標本から発せられる蛍光の観察光路が照明光や全反射した戻り光と交差するようになっているため、これらは照明光や全反射した戻り光線上で発生する自家蛍光が観察光線内に侵入するようになり、蛍光観察像が劣化する恐れがある。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、常に良好な蛍光観察像を確保することができる顕微鏡の全反射照明装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、全反射照明が可能な開口数を有する対物レンズを介して、光源からの照明光で標本を照明する顕微鏡の全反射照明装置において、前記対物レンズの内部空間の先玉レンズを通る観察光路の最外周部近傍に配置され、入射する前記照明光を対物レンズの前記観察光路に沿った方向で、かつ前記先玉レンズに向けて反射する第１の全反射ミラーと、前記対物レンズの観察光軸に対して前記第1の全反射ミラーと対称な位置であり且つ前記対物レンズの前記観察光路の最外周部近傍に配置されるとともに、前記標本と前記標本の対物レンズ側に配置されたカバーガラスとの境界面で全反射した、前記対物レンズの前記観察光路に沿った方向で、かつ前記対物レンズの内部空間の前記先玉レンズ内を通過して戻される戻り光を前記観察光路とは異なる方向で、且つ前記観察光路から離れる方向へ反射する第２の全反射ミラーと、前記第２の全反射ミラーで反射した戻り光を減光する戻り光減光手段と、を具備したことを特徴としている。
【００１０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記戻り光減光手段は、前記顕微鏡の外部に設置した外設置部を有することを特徴としている。
【００１１】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の発明において、前記戻り光減光手段は、光ファイバを介して前記外設置部と接続されていることを特徴としている。
【００１２】
請求項２記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記第１の全反射ミラー及び第２の全反射ミラーは、前記対物レンズの観察光路に対して挿脱可能な支持部材に設置されていることを特徴としている。
【００１３】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の発明において、前記顕微鏡または前記支持部材の一方に、前記支持部材の挿脱に連動して照明光をオン・オフする切り換え手段を有することを特徴としている。
【００１４】
この結果、本発明によれば、標本から発する蛍光の観察光線が観察光路上で第１の全反射ミラーで反射される照明光線や第２の全反射ミラーに入射される戻り光線と交差しないようにでき、また、観察光路上で、標本に照射される照明光線と全反射後の戻り光線が交差しないようにもできる。
【００１５】
また、本発明によれば、第２の全反射ミラーで反射される戻り光線を積極的に顕微鏡外部に除外しているので、戻り光線の散乱光が観察光路に侵入する可能性をさらに小さくできる。
【００１６】
さらに、本発明によれば、支持部材の挿脱に連動して照明光をオン・オフできるので、支持部材を抜き取った場合に、照明光を自動的に止めることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００１８】
(第１の実施の形態)
図１は、本発明の第１の実施の形態が適用される顕微鏡の全反射照明装置の概略構成を示している。
【００１９】
図において、１は対物レンズレボルバ保持台で、この対物レンズレボルバ保持台１は、図示しない顕微鏡本体に取り付けられている。
【００２０】
対物レンズレボルバ保持台１には、対物レンズレボルバ２の固定部２ａが保持されている。対物レンズレボルバ２の固定部２ａには、回転部２ｂが回転可能に設けられている。この回転部２ｂには、複数(図示例では１個のみ示している)の対物レンズ３がネジ止め固定されていて、回転部２ｂを回転操作することで、所望する対物レンズ３を観察光軸Ｏ上に移動できるようになっている。この場合、対物レンズレボルバ保持台１および対物レンズレボルバ２の固定部２ａには、それぞれ対物レンズ３の中心を通る観察光軸Ｏを中心とした円形状の孔部１ａ、２ａ１が設けられている。
【００２１】
対物レンズ３は、全反射照明が可能な開口数を有するもので、先端に先玉レンズ３ａを有し、この先玉レンズ３ａが標本Ｓを載置したカバーガラス４と対向する位置にイマージョンオイル５を介して配置されている。
【００２２】
対物レンズレボルバ保持台１の上面には、凹部１ｂが形成されている。この凹部１ｂには、観察光軸Ｏと直交する面に沿って挿脱可能に、支持部材としての箱状のスライダ本体６が設けられている。このスライダ本体６は、対物レンズレボルバ保持台１の凹部１ｂに装着された状態で、観察光軸Ｏ上に位置される上下面に、それぞれ観察光路ａが通る孔部６ａ、６ｂが形成されている。
【００２３】
スライダ本体６の側面には、光ファイバコネクタ８を介して光ファイバ７の出射端が固定されている。
【００２４】
スライダ本体６内には、光ファイバ７の出射端に対向する位置に凸レンズ９が配置され、また、凸レンズ９を透過して収束される光の光路上には、第１の全反射ミラー１０が配置されている。
【００２５】
この場合、凸レンズ９は、光ファイバ７から出射された拡散光線を収束光線に変換するもので、第１の全反射ミラー１０で対物レンズ３の方向に反射した光が対物レンズ３の後ろ側焦点位置３ｂで焦点を結ぶような焦点距離を有している。
【００２６】
また、第１の全反射ミラー１０は、観察光路ａの最外周部近傍に配置され、凸レンズ９を透過した収束光線を対物レンズ３の方向に反射させるとともに、この反射光を対物レンズ３の内部空間の最外周部近傍を観察光軸Ｏに沿って進ませるようにしている。
【００２７】
一方、第１の全反射ミラー１０と観察光軸Ｏに対して対称な位置関係に第２の全反射ミラー１１が配置されている。この第２の全反射ミラー１１は、標本Ｓ面で反射し対物レンズ３の内部空間の最外周部近傍を観察光軸Ｏに沿って戻される戻り光を観察光路ａと異なる方向へ反射させるようにしている。
【００２８】
第２の全反射ミラー１１の反射方向には、戻り光減光手段として光トラップ１２が配置されている。この光トラップ１２は、第２の全反射ミラー１１で反射された戻り光を減光するものである。
【００２９】
第１の全反射ミラー１０には、図２に示すように、第１のガイド軸１３が設けられている。この第１のガイド軸１３は、直線部１３ａと、この直線部１３ａの先端部をほぼ直角に折り曲げた折り曲げ部１３ｂを有し、この折り曲げ部１３ｂに第１の全反射ミラー１０が取り付けられている。また、第１のガイド軸１３は、直線部１３ａを一対のガイド１４ａ、１４ｂに支持され、これらガイド１４ａ、１４ｂに沿って直線移動することで、第１の全反射ミラー１０を観察光軸Ｏに対して近付けたり離したりできるようになっている。
【００３０】
また、第２の全反射ミラー１１には、第１のガイド軸１３と平行に配置された第２のガイド軸１５が設けられている。この第２のガイド軸１５は、直線部１５ａと、この直線部１５ａの先端部をほぼ直角に折り曲げた折り曲げ部１５ｂを有し、この折り曲げ部１５ｂに第２の全反射ミラー１１が取り付けられている。また、第２のガイド軸１５は、直線部１５ａを一対のガイド１６ａ、１６ｂに支持され、これらガイド１６ａ、１６ｂに沿って直線移動することで、第２の全反射ミラー１１を観察光軸Ｏに対して近付けたり離したりできるようになっている。
【００３１】
第１のガイド軸１３と第２のガイド軸１５の間には、リンク１７が設けられている。このリンク１７は、中間部をスライダ本体６底面に回転可能に支持されるとともに、両端部を第１のガイド軸１３の直線部１３ａおよび第２のガイド軸１５の直線部１５ａにそれぞれ回転可能に取り付けられ、第１のガイド軸１３の移動に対して、第２のガイド軸１５を、第１のガイド軸１３の移動方向と反対方向に移動させるようにしている。
【００３２】
また、リンク１７には、スライダ本体６底面との間にバネ１８が設けられている。このバネ１８は、常時リンク１７に反時計方向の回転トルクを与えるものである。
【００３３】
スライダ本体６の側面には、操作軸１９がネジ部１９ａを介して貫通して設けられている。この操作軸１９は、第１のガイド軸１３端部に当接されており、ツマミ１９ｂの操作により、ネジ部１９ａのねじ込み量を調整し、第１のガイド軸１３を直線移動させることにより、第１の全反射ミラー１０と第２の全反射ミラー１１を観察光軸Ｏに対する対称な位置関係を保持しながら、観察光軸Ｏに対して近付けたり離したりできるようにしている。
【００３４】
次に、このように構成した第１の実施の形態の作用を説明する。
【００３５】
いま、光ファイバ７の出射端から光が出射されると、拡散光線となって凸レンズ９に入射する。そして、凸レンズ９によって収束光線に変換され、第１の全反射ミラー１０によって対物レンズ３の方向に反射され、対物レンズ３の内部空間の最外周部近傍を観察光軸Ｏに沿って進む。そして、対物レンズ３の後ろ側焦点位置３ｂで焦点を結び、再び拡散光線となって先玉レンズ３ａを透過した後、観察光軸Ｏに対して傾斜した平行光線となって対物レンズ３から出射し、イマージョンオイル５およびカバーガラス４を透過して標本Ｓに照射される。
【００３６】
ここで、ツマミ１９ｂの操作により操作軸１９を回転させると、ネジ部１９ａのねじ込み量に応じて第１のガイド軸１３と第２のガイド軸１５が相反方向に直線移動され、第１の全反射ミラー１０と第２の全反射ミラー１１は、観察光軸Ｏに対する対称な位置関係を保持しながら、観察光軸Ｏに対して接離方向に位置調整され、これにより、対物レンズ３の内部空間を進む光線の観察光軸Ｏからの距離が変化し、対物レンズ３から出射する平行光線の傾斜角度が変化する。つまり、操作軸１９のツマミ１９ｂを回転操作して対物レンズ３から出射する平行光線の傾斜角度を変化させ、この傾斜角度を臨界角以上とすることにより全反射照明が得られる。
【００３７】
一方、標本Ｓ面で全反射した光線は、戻り光として再び対物レンズ３に入射し、対物レンズ３の後ろ側焦点位置３ｂで焦点を結んだ後、第２の全反射ミラー１１によって全て反射し、光トラップ１２に導入されて終端する。
【００３８】
この状態で、標本Ｓから蛍光が発せられると、この蛍光は、観察光線Ｏ'として観察光軸Ｏに沿って観察光路ａを進むようになるが、この時の観察光線Ｏ'は、第１の全反射ミラー１０で反射される照明光線や第２の全反射ミラー１１に入射される戻り光線と交差することなく観察側へ導かれる。また、標本Ｓに照射される照明光線と全反射後の戻り光線も観察光路ａ上で交差することがなく、観察光路ａから除外される。
【００３９】
従って、このような構成によれば、標本Ｓから発する蛍光の観察光線Ｏ'が観察光路ａ上で第１の全反射ミラー１０で反射される照明光線や第２の全反射ミラー１１に入射される戻り光線と交差しないようにできるので、これら照明光線や戻り光線上で発生する自家蛍光が観察光線Ｏ'内に侵入するのを防止でき、蛍光観察像の劣化を大幅に抑制することができる。また、観察光路ａ上で、標本Ｓに照射される照明光線と全反射後の戻り光線が交差することもないので、例えば、照明光にレーザ光を使用した場合でも、レーザ光同士が交差することにより生じる干渉縞も防止でき、常に、良好な蛍光観察像を確保することができる。
【００４０】
なお、上述した第１の実施の形態では、第１の全反射ミラー１０および第２の全反射ミラー１１の移動手段として第１のガイド軸１３、第２のガイド軸１５およびリンク１７により構成される連動機構を用いたが、これに代えて電動モータを用いるなど他の移動手段を用いても実施可能である。また、凸レンズ９は、固定式としたが、これを照明光線に沿って移動可能とし、精密な光学調整を可能なようにすることもできる。
【００４１】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００４２】
図３は、本発明の第２の実施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部分には、同符号を付している。
【００４３】
この場合、第２の全反射ミラー１１の反射光路上に凸レンズ２１が配置されている。この凸レンズ２１は、第２の全反射ミラー１１で全反射された戻り光を再び収束させるためのもので、この凸レンズ２１による戻り光の集光位置には、光ファイバ２２の入射端が２２ａが位置決めされている。この場合、光ファイバ２２の入射端２２ａは、戻り光の集光位置が多少ずれても確実にファイバ内に光を導入できるように充分に大きなコア径を有している。また、光ファイバ２２の出射端２２ｂには、光トラップ２３が接続されている。この光トラップ２３は、顕微鏡外部に設置されている。
【００４４】
次に、このように構成した第２の実施の形態の作用を説明する。
【００４５】
この場合、標本Ｓ面で全反射した光線は、戻り光として再び対物レンズ３に入射し、対物レンズ３の後ろ側焦点位置３ｂで焦点を結んだ後、第２の全反射ミラー１１によって全て反射され、凸レンズ２１に入射される。そして、この凸レンズ２１を透過し、再び収束光線となって、光ファイバ２２の入射端２２ａに入射し、顕微鏡外部の光トラップ２３で終端する。
【００４６】
従って、このようにすれば、上述した第１の実施の形態で述べたと同様な効果が得られ、さらに、光ファイバ２２を用いて第２の全反射ミラー１１で反射される戻り光線を積極的に顕微鏡外部に除外するようにしたので、戻り光線の散乱光が観察光路ａに侵入する可能性を極めて小さくでき、さらに良好な蛍光観察像を確保することができる。
【００４７】
(第３の実施の形態)
次に、本発明の第３の実施の形態を説明する。
【００４８】
図４および図５は、本発明の第３の実施の形態の概略構成を示すもので、図２と同一部分には、同符号を付している。
【００４９】
この場合、対物レンズレボルバ保持台１の凹部１ｂに挿脱可能に設けられるスライダ本体６は、凹部１ｂに当接される側面に沿って所定距離離して一対のクリック溝３１、３２が設けられている。また、対物レンズレボルバ保持台１の凹部１ｂ側には、スライダ本体６が当接される側面にボールプランジャー３３が設けられている。
【００５０】
ボールプランジャー３３は、常時、スライダ本体６側面を押圧するとともに、クリック溝３１、３２に落ち込むことによりスライダ本体６を位置決めするもので、図４に示すようにスライダ本体６を観察光軸Ｏ上まで挿入した状態では、クリック溝３１に落ち込み、図５に示すようにスライダ本体６を観察光軸Ｏから退避させた状態では、クリック溝３２に落ち込むようになっている。
【００５１】
一方、対物レンズレボルバ保持台１の凹部１ｂには、スライダ本体６の先端部によって押圧される位置にマイクロスイッチ３４が配置されている。このマイクロスイッチ３４は、図４に示すようにスライダ本体６が観察光軸Ｏに挿入された状態で押圧され導通するようになっている。
【００５２】
マイクロスイッチ３４の出力端子には、ケーブル３５を介してレーザ発振器３６のインターロック端子３６ａが接続されている。レーザ発振器３６は、マイクロスイッチ３４の導通によりインターロックが解除されて発振し、レーザ光線を発生するようになっており、このレーザ光線を光ファイバ７を介してスライダ本体６に導入するようにしている。
【００５３】
次に、このように構成した第３の実施の形態の作用を説明する。
【００５４】
いま、図４に示すように、スライダ本体６を観察光軸Ｏ上まで挿入すると、ボールプランジャー３３がクリック溝３１に落ち込み、スライダ本体６は簡単に動かないように保持される。この状態で、スライダ本体６の先端部によってマイクロスイッチ３４が押圧されて導通すると、このマイクロスイッチ３４の導通によりレーザ発振器３６のインターロックが解除されレーザ光線が発生する。このレーザ光線は、光ファイバ７を通ってスライダ本体６に導入され、以下、第１の実施の形態で述べたと同様な動作が得られる。
【００５５】
一方、図５に示すように、スライダ本体６を観察光軸Ｏから退避させると、ボールプランジャー３３がクリック溝３２に落ち込み、スライダ本体６は簡単に動かないように保持される。この状態では、マイクロスイッチ３４は、開放されており、ケーブル３５に接続されたレーザ発振器３６のインターロックが作動し、レーザ光線が発生されない。
【００５６】
従って、このようにしても、上述した第１の実施の形態で述べたと同様な効果が得られ、さらに、不用意に対物レンズレボルバ保持台１の凹部１ｂよりスライダ本体６を抜き取ったような場合に、確実にレーザ発振器３６からのレーザ光線を自動的に止めることができるので、安全性にも優れた効果を得られる。
【００５７】
なお、上述した第３の実施の形態では、ケーブル３５を直接レーザ発振器３６のインターロック端子３６ａに接続したが、例えば、レーザ発振器３６と光ファイバ７の間に電動シャッタを挿入し、ケーブル３５を電動シャッタに接続して、マイクロスイッチ３４のオンオフ動作に電動シャッタの開閉動作を連動させる等の手段を用いても、上述したと同様の効果を得ることができる。
【００５８】
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
【００５９】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００６０】
以上述べた各実施の形態には、次のような発明も含まれる。
【００６１】
（１）全反射照明が可能な開口数を有する対物レンズを介して標本を照明する顕微鏡の全反射照明装置であつて、顕微鏡外部から入射する照明光が、観察光路の最外周部近傍に配置された第１の全反射ミラーによって対物レンズ方向に反射されると共に、標本面で全反射した戻り光が、観察光軸に対して前記第１の全反射ミラーと対称な位置関係で配置された第２の全反射ミラーによって反射され、光トラップ手段によって終端されることを特徴とする顕微鏡の全反射照明装置。
【００６２】
（２）（１）記載の顕微鏡の全反射照明装置において、前記光トラップ手段は、光ファイバを介して顕微鏡の外部に配置されたことを特徴としている。
【００６３】
（３）（１）記載の顕微鏡の全反射照明装置において、前記顕微鏡の全反射照明装置は観察光路から一体的に退避させることができると共に、観察光路への挿入退避に連動して照明光のオンオフが成されることを特徴としている。
【００６４】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、常に良好な蛍光観察像を確保することができる顕微鏡の全反射照明装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態に用いられるスライダ本体の概略構成を示す図。
【図３】本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す図。
【図４】本発明の第３の実施の形態に用いられるスライダ本体の概略構成を示す図。
【図５】第３の実施の形態に用いられるスライダ本体の概略構成を示す図。
【図６】従来の全反射照明を採用した装置の一例の概略構成を示す図。
【図７】従来の全反射照明を採用した装置の一例の概略構成を示す図。
【符号の説明】
１…対物レンズレボルバ保持台
１ａ．２ａ１…孔部
１ｂ…凹部
２…対物レンズレボルバ
２ａ…固定部
２ｂ…回転部
３…対物レンズ
３ａ…先玉レンズ
３ｂ…側焦点位置
４…カバーガラス
５…イマージョンオイル
６…スライダ本体
６ａ、６ｂ…孔部
７…光ファイバ
８…光ファイバコネクタ
９…凸レンズ
１０…第１の全反射ミラー
１１…第２の全反射ミラー
１２…光トラップ
１３…第１のガイド軸
１３ａ…直線部
１３ｂ…折り曲げ部
１４ａ、１４ｂ…ガイド
１５…第２のガイド軸
１５ａ…直線部
１５ｂ…折り曲げ部
１６ａ、１６ｂ…ガイド
１７…リンク
１８…バネ
１９…操作軸
１９ａ…ネジ部
１９ｂ…ツマミ
２１…凸レンズ
２２…光ファイバ
２２ａ…入射端
２２ｂ…出射端
２３…光トラップ
３１、３２…クリック溝
３３…ボールプランジャー
３４…マイクロスイッチ
３５…ケーブル
３６…レーザ発振器
３６ａ…インターロック端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004331425.tif 000008