(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定間隔で離隔され相互に平行に設置された四角形である下板及び上板と、
前記下板及び前記上板の各角部と、一側辺及び他側辺の中心部に相当する位置とで、前記下板及び前記上板の間にそれぞれに垂直になるように設置され、表面に等間隔に配置される多数個の第１ギャップ維持リングを具備した支持用バーと、
前記上板及び前記下板の間に、スプリングの弾性力によって直線往復運動が可能になるように垂直に設置され、表面に等間隔に配置される多数個の第２ギャップ維持リングを具備したガラス基板ストッパーと、を有し、
ガラス基板の積載時及びカセットの返送時には前記ガラス基板ストッパーを上昇させて前記ガラス基板を前記支持用バーの前記第１ギャップ維持リング間に搬入及び搬出し、前記カセットの移動時には前記ガラス基板ストッパーを下降させて前記ガラス基板を前記第２ギャップ維持リングで押し付けて前記ガラス基板が動くのを防止するように配備したカセットに於いて、
前記ガラス基板ストッパーを、前記上板及び前記下板の前記一側辺及び前記一側辺に対向する他側辺の、それぞれの中心部に相当する位置に設置された支持用バーの設置位置と前記角部に設置された支持用バーの設置位置との中間に、互いに対向するように設置し、更に、前記第１ギャップ維持リングの上面と前記第２ギャップ維持リングの下面とを、前記下板及び前記上板に平行な平面で形成したことを特徴とするガラス基板収納用のカセット。
【請求項２】
前記ガラス基板ストッパーの下端は、前記下板の下方に所定長さ程度突き出してなることを特徴とする請求項１記載のガラス基板収納用のカセット。
【請求項３】
前記下板の下方に突き出された前記ガラス基板ストッパーの前記下端部分と前記下板との間に弾性力を与えるための圧縮スプリングを設置することを特徴とする請求項２記載のガラス基板収納用のカセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガラス基板収納用のカセットに関するものであり、より詳細には、ガラス基板間の間隔が狭くなることによる不良発生を防止することができるガラス基板収納用のカセットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板収納用のカセットは半導体製造工程及び平板表示装置製造工程などで使われている。このなかで液晶表示装置を含んだ平板表示装置（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）の製造工程で使われるガラス基板収納用のカセットはガラス基板の装備内部へのローディング及び装備の外へのアンローディング時に内部に数十枚のガラス基板を積載し、そして、積載したガラス基板らの移動手段として使われる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図１は従来のガラス基板収納用のカセットを図示した斜視図である。図に示すように、ガラス基板収納用のカセット１０は、四角形の下板１２と上板１４が数個の支持用バー１６の介在下に組み立てられた構造である。下板１２と上板１４各々は全体的には四角形でありながら写真枠の内部に十字型フレームが具備された形状を有する。支持用バー１６は下板１２と上板１４との間の各角部とガラス基板１の長辺に対応する一側辺及び他側辺それぞれの中心に介される。特に、支持用バー１６はその表面にガラス基板１の間の間隔維持のために等間隔に配置される多数個のギャップ（ｇａｐ）維持リング１８を具備する。
【０００４】
ここで、ギャップ維持リング１８の厚さはおおよそ２ｍｍ程度であり、リング１８とリング１８との間の間隔はおおよそ１ｃｍ程度である。
【０００５】
一方、薄膜トランジスタ液晶表示装置を製造するにおいて、アレイ基板及びカラーフィルター基板、特に、アレイ基板の製造時に公知のリソグラフィ工程を利用する。すなわち、アレイ基板の製造時には被エッチング層上にレジストを塗布、露光及び現像してレジストパターンを形成した後、このようなレジストパターンで被エッチング層をエッチングして所定のパターンを形成し、以後、レジストパターンをとり除く一連の工程を実行する。
【０００６】
ここで、被エッチング層の湿式エッチング時、そして、レジストパターンの除去時にはカセット内に数十枚、例えば、２４枚のガラス基板を収納した後、このようなカセットをケミカルまたは洗浄液が入れられたバス（ｂａｔｈ）内に所定時間浸漬させて２４枚のガラス基板全部に対して一括的にエッチングまたはレジストパターンの除去が行われるようにする。
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−２７９０１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、工程設備の大きさの縮小、すなわち、ケミカルバスの大きさを減らす場合、それに相応してガラス基板が収納されるカセットの大きさも縮小しなければならないし、この時、カセットの大きさ縮小のためにはガラス基板間の間隔を狭くして収納しなければならないが、このようにするとカセットの大きさを縮小することができるという利点はあるが、図２に示したように、湿式エッチング時にガラス基板１の間の間隔が小さくなることによってケミカル２２や洗浄液の流れの邪魔になるので最適の工程条件を果たすことができないし、また、図３に示したように、薄い厚さを有するガラス基板１では撓みの発生によって接するガラス基板１がお互いに当接してスクラッチ（ｓｃｒａｔｃｈ）及び乾燥不良が引き起こされるされることはもちろん、工程の進行後にガラス基板１を搬送させる過程でアンローディング（ｕｎｌｏａｄｉｎｇ）ロボット３０と衝突してガラス基板１が割れるという問題があった。
図２で、未説明の図面符号２０はケミカルバスを示す。
【０００９】
そこで、本発明は上記従来のガラス基板収納用のカセットにおける問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、ガラス基板間の間隔が狭くなることによる不良発生を防止することができるガラス基板収納用のカセットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するためになされた本発明によるガラス基板収納用のカセットは、所定間隔で離隔され相互に平行に設置された四角形である下板及び上板と、
下板及び上板の各角部と、一側辺及び他側辺の中心部に相当する位置とで、下板及び上板の間にそれぞれに垂直になるように設置され、表面に等間隔に配置される多数個の第１ギャップ維持リングを具備した支持用バーと、
上板及び下板の間に、スプリングの弾性力によって直線往復運動が可能になるように垂直に設置され、表面に等間隔に配置される多数個の第２ギャップ維持リングを具備したガラス基板ストッパーと、を有し、
ガラス基板の積載時及びカセットの返送時にはガラス基板ストッパーを上昇させてガラス基板を支持用バーの第１ギャップ維持リング間に搬入及び搬出し、カセットの移動時にはガラス基板ストッパーを下降させてガラス基板を第２ギャップ維持リングで押し付けてガラス基板が動くのを防止するように配備したカセットに於いて、
ガラス基板ストッパーを、上板及び下板の一側辺及び前記一側辺に対向する他側辺の、それぞれの中心部に相当する位置に設置された支持用バーの設置位置と角部に設置された支持用バーの設置位置との中間に、互いに対向するように設置し、更に、第１ギャップ維持リングの上面と第２ギャップ維持リングの下面とを、下板及び上板に平行な平面で形成したことを特徴とする。
【００１１】
ここで、ガラス基板ストッパー４５の下端は、下板４１の下方に所定長さ程度突き出してなる。
また、下板４１の下方に突き出されたガラス基板ストッパー４５の下端部分と下板４１との間に弾性力を与えるための圧縮スプリング４７を設置する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によるガラス基板収納用のカセットは、カセットに積載したガラス基板を固定させることができるガラス基板ストッパーをさらに設置することで、ガラス基板間の間隔維持を通じてケミカルや洗浄液の流れが安定になされるようにすることができる効果がある。
【００１３】
また、スクラッチ及び乾燥不良が発生されることを防止することができ、特に、ガラス基板の返送時にアンローディングロボットと衝突してガラス基板が割れる現象を防止することができ、薄膜トランジスター液晶表示装置の製造収率を改善させることができる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、本発明に係るガラス基板収納用のカセットを実施するための最良の形態の具体例を図面を参照しながら説明する。
【実施例】
【００１５】
図４乃至図６は、本発明の実施例によるガラス基板収納用のカセットを説明するための図面であり、図４は本発明の実施例によるガラス基板収納用のカセットを説明するための斜視図であり、図５及び図６は本発明によるガラス基板収納用のカセットでのガラス基板ストッパーの動作を説明するための図面であり、図７は本発明によるガラス基板収納用のカセットのバス内に浸漬された状態を示した図面である。
【００１６】
図４を参照すると、本発明によるガラス基板収納用のカセット４０は、相互に平行に設置された四角形の下板４１と上板４２が数個の支持用バー４３の介在下に組み立てられた構造であり、下板４１と上板４２各々は全体的には四角形でありながら写真枠の内部に十字型フレームが具備された形状を有し、支持用バー４３は所定間隔で離隔された下板４１と上板４２との間に介され、上下板の各角部と一側辺及び他側辺の中心部に相当する位置にそれぞれ設置され、そして、その表面にガラス基板５０間の支持及び間隔維持のための第１ギャップ維持リング４４を具備する。第１ギャップ維持リング４４の上面は下板４１及び上板４２に平行な平面で形成される。
【００１７】
また、本発明のガラス基板収納用のカセット４０は従来のものと比べて上板及び下板の一側辺及び前記一側辺に対向する他側辺の、それぞれの中心部に相当する位置に設置された支持用バーの設置位置と角部に設置された支持用バーの設置位置との中間に、互いに対向するように、ガラス基板ストッパー４５が設置される。
【００１８】
ガラス基板ストッパー４５は、支持用バー４３と類似にその表面に第２ギャップ維持リング４６を具備する。第ギャップ維持リング４６の下面は下板４１及び上板４２に平行な平面で形成される。特に、ガラス基板ストッパー４５は下板４１と上板４２との間で直線往復運動をすることができるように設置される。このために、ガラス基板ストッパー４５の下端は下板４１の下に一定長さ程度が突き出され、このように突き出された部分と下板４１との間には張力（ｔｅｎｓｉｏｎ）を与えることができる部材、望ましくは、圧縮スプリング４７が設置される。これによって、ガラス基板ストッパー４５は自身の昇下降によってガラス基板重量を保持するようになる。
【００１９】
このような本発明によるガラス基板収納用のカセットでのガラス基板ストッパーの動作は次のようである。
【００２０】
図５を参照すると、ガラス基板を積載する前の状態ではガラス基板ストッパー４５が圧縮スプリング４７によって下方に下がっている状態になっている。このような状態でカセット４０をガラス基板の載置のための位置に配置させるとき、ガラス基板ストッパー４５はあらかじめ設置しておいたブラケット（ｂｒａｃｋｅｔ）６０と当接して上方に所定高さ程度上昇する。
【００２１】
図６を参照すると、この状態で支持用バー４３の第１ギャップ維持リング４４間にガラス基板５０を挟んで積載させた後、カセット４０を移動させようとすれば、ガラス基板ストッパー４５は圧縮スプリング４７の張力によって下方に下がろうとする力を受けるようになり、これによって、積載したガラス基板５０はガラス基板ストッパー４５の第２ギャップ維持リング４の押し付け力によって固定される。
【００２２】
次に、図７に示すように、多数枚のガラス基板５０を積載したカセット４０をケミカル５２が入れられたバス５１内に浸漬させる場合、支持用バー４３の第１ギャップ維持リング４４とガラス基板ストッパー４５の第２ギャップ維持リング４６、特に、ガラス基板ストッパー４５の第２ギャップ維持リング４６によってガラス基板５０間の間隔維持がなされるので、ケミカルの流れは安定になされることができるようになり、また、後続する乾燥過程で乾燥不良も生じない。
【００２３】
以後、図示しなかったが、ガラス基板のアンローディング時にカセットを所定位置に配置させると、あらかじめ設置しておいたブラケットにガラス基板ストッパーが当接して上に上がり、これによって、ガラス基板を容易にアンローディングさせることができ、特に、ガラス基板間の間隔が２ｍｍ程度（最大で８ｍｍ程度）確保されることによってガラス基板のアンローディング過程でアンローディングロボットとの衝突による破壊問題は発生しない。
【００２４】
尚、本発明は、上述の実施例に限られるものではない。本発明の技術的範囲から逸脱しない範囲内で多様に変更実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】従来のガラス基板収納用のカセットを示した斜視図である。
【図２】従来のガラス基板収納用のカセットの問題点を説明するための図面である。
【図３】従来のガラス基板収納用のカセットの問題点を説明するための図面である。
【図４】本発明の実施例によるガラス基板収納用のカセットを説明するための斜視図である。
【図５】本発明によるガラス基板収納用のカセットでのガラス基板ストッパーの動作を説明するための図面である。
【図６】本発明によるガラス基板収納用のカセットでのガラス基板ストッパーの動作を説明するための図面である。
【図７】本発明によるガラス基板収納用のカセットがバス内に浸漬された状態を示した図面である。
【符号の説明】
【００２６】
４０        ガラス基板収納用のカセット
４１        下板
４２        上板
４３        支持用バー
４４        第１ギャップ維持リング
４５        ガラス基板ストッパー
４６        第２ギャップ維持リング
４７        圧縮スプリング
５０        ガラス基板
５１        バス
５２        ケミカル
６０        ブラケット
【図１】
0004295661.tif 000002
【図２】
0004295661.tif 000003
【図３】
0004295661.tif 000004
【図４】
0004295661.tif 000005
【図５】
0004295661.tif 000006
【図６】
0004295661.tif 000007
【図７】
0004295661.tif 000008