(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１筐体内に収納されて処理用ガスを、バルブを介して供給するガス供給源と、このガス供給源と第１配管を介して接続され且つ第２筐体内に収納された集合バルブと、この集合バルブの下流側で第２配管を介して接続され且つ第３筐体内に収納された遮断バルブとを備え、上記バルブ、上記集合バルブ及び遮断バルブを介して上記ガス供給源から処理装置へ処理用ガスを供給するガス供給システムであって、上記第１筐体と上記第２筐体を互いに接続すると共に上記第１配管との間に第１隙間を介在させて二重管構造を形成する第１外管と、上記第２筐体と上記第３筐体を互いに接続すると共に上記第２配管との間に第２隙間を介在させて二重管構造を形成する第２外管と、上記第２筐体側から上記第１、第３筐体内へ上記第１、第２隙間を介して不活性ガスを供給する不活性ガス供給源と、少なくとも上記第１、第３筐体内に設けられて上記処理用ガスを検出するガス検知器と、を備え、上記第２筐体内では上記第１、第２外管それぞれの端部で上記第１、第２隙間の端部が封止されていると共に上記第１、第３筐体内では第１、第２外管それぞれの他端部で上記第１、第２隙間がそれぞれ開口しており、上記不活性ガス供給源から上記第１、第３筐体へ上記第１、第２隙間を介して上記不活性ガスをそれぞれ供給するようにしてあることを特徴とするガス供給システム。
【請求項２】
上記各ガス検知器を介して上記第１、第２配管から第１、第２隙間へのガス漏れを監視する遠隔操作装置が設けられており、上記遠隔操作装置が上記ガス検知器を介して上記処理用ガスを検出して上記各バルブを閉じると共にガス漏れした配管を特定することを特徴とする請求項１に記載のガス供給システム。
【請求項３】
上記遠隔操作装置は、上記処理装置が正常に動作しているか否かを示す装置状態信号を受信する受信手段と、上記装置状態信号に基づいて上記バルブ、上記集合バルブ及び上記遮断バルブそれぞれの開閉信号を送信する送信手段を有することを特徴とする請求項２に記載のガス供給システム。
【請求項４】
上記第２筐体内に除害装置を設けると共にこの除害装置と上記集合バルブを接続したことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のガス供給システム。
【請求項５】
加熱後の上記不活性ガスを上記第１、第２隙間に供給することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のガス供給システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば種々の処理装置に対して種々の処理用ガスを供給する際に好適に用いられるガス供給システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種のガス供給システムは例えば半導体製造工場において用いられている。半導体製造工場のクリーンルーム内には熱処理装置、成膜処理装置あるいはエッチング処理装置等の各種の処理装置が配置され、それぞれの処理装置では各種のプロセスガスが用いられる。プロセスガスとしては無機系化合物や有機系化合物が用いられ、これらの中にはモノシランや六フッ化タングステン等の無機系化合物やトリメチルアルミニウム等の有機系化合物のような有害なガスが比較的多いため、半導体製造工場内のガス供給システム周辺の要所要所にはガス検知器が配置され、ガス検知器によってガス供給システムの配管等からのガス漏れを検出し、有害ガスの漏洩の有無を常に監視している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のガス供給システムの場合には、配管が一重構造であるため、配管においてガス漏れが発生すれば周辺に配置されたガス検知器によってガス漏れを検出することができるが、配管のガス漏れ箇所までは特定することが難しく、仮に石鹸膜等を用いてガス漏れ箇所を特定できるにしても、特定するまでに多大な時間が必要になり、更に、配管の修繕、交換作業が必要になり、処理装置の停止時間が長くなるという課題があった。
【０００４】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、ガス供給ラインでのガス漏れ箇所を迅速に特定し、ガス供給ラインの配管の修繕、交換作業を迅速に行うことができ、処理装置の停止時間を格段に短縮することができるガス供給システムを提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のガス供給システムは、第１筐体内に収納されて処理用ガスを、バルブを介して供給するガス供給源と、このガス供給源と第１配管を介して接続され且つ第２筐体内に収納された集合バルブと、この集合バルブの下流側で第２配管を介して接続され且つ第３筐体内に収納された遮断バルブとを備え、上記バルブ、上記集合バルブ及び遮断バルブを介して上記ガス供給源から処理装置へ処理用ガスを供給するガス供給システムであって、上記第１筐体と上記第２筐体を互いに接続すると共に上記第１配管との間に第１隙間を介在させて二重管構造を形成する第１外管と、上記第２筐体と上記第３筐体を互いに接続すると共に上記第２配管との間に第２隙間を介在させて二重管構造を形成する第２外管と、上記第２筐体側から上記第１、第３筐体内へ上記第１、第２隙間を介して不活性ガスを供給する不活性ガス供給源と、少なくとも上記第１、第３筐体内に設けられて上記処理用ガスを検出するガス検知器と、を備え、上記第２筐体内では上記第１、第２外管それぞれの端部で上記第１、第２隙間の端部が封止されていると共に上記第１、第３筐体内では第１、第２外管それぞれの他端部で上記第１、第２隙間がそれぞれ開口しており、上記不活性ガス供給源から上記第１、第３筐体へ上記第１、第２隙間を介して上記不活性ガスをそれぞれ供給するようにしてあることを特徴とするものである。
【０００６】
また、本発明の請求項２に記載のガス供給システムは、請求項１に記載の発明において、上記各ガス検知器を介して上記第１、第２配管から第１、第２隙間へのガス漏れを監視する遠隔操作装置が設けられており、上記遠隔操作装置が上記ガス検知器を介して上記処理用ガスを検出して上記各バルブを閉じると共にガス漏れした配管を特定することを特徴とするものである。
【０００７】
また、本発明の請求項３に記載のガス供給システムは、請求項２に記載の発明において、上記遠隔操作装置は、上記処理装置が正常に動作しているか否かを示す装置状態信号を受信する受信手段と、上記装置状態信号に基づいて上記バルブ、上記集合バルブ及び上記遮断バルブそれぞれの開閉信号を送信する送信手段を有することを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の請求項４に記載のガス供給システムは、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記第２筐体内に除害装置を設けると共にこの除害装置と上記集合バルブを接続したことを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の請求項５に記載のガス供給システムは、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の発明において、加熱後の上記不活性ガスを上記第１、第２隙間に供給することを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図７に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のガス供給システムは、図１の（ａ）に示すように、シリンダキャビネット（Ｃ／Ｃ）内に設けられ且つ所定の処理用ガスを供給するシリンダ１と、このシリンダ１と第１配管２を介して接続された集合バルブ３と、この集合バルブ３の下流側で第２配管４を介して接続された遮断バルブ５と、遮断バルブ５と処理装置（Ｍ／Ｃ）６を接続する第３配管７とを備え、第１、第２、第３配管２、４、７からなるガス供給ラインの集合バルブ３及び遮断バルブ５を介してシリンダ１から処理装置６へ処理用ガスを供給するようにしてある。シリンダ１には例えばエアバルブ１Ａが付設され、このエアバルブ１Ａは遠隔操作できるようにしてある。集合バルブ３は複数（図１の（ａ）では４個）の分配用エアバルブ３Ａ〜３Ｄを有し、各分配用エアバルブ３Ａ〜３Ｄは遠隔操作により開きシリンダ１の処理用ガスを４箇所へ分配できるようにしてある。更に、遮断バルブ５も遠隔操作できるエアバルブからなっている。
【００１２】
また、上記集合バルブ３の分配用エアバルブ３Ａ及び遮断バルブ５の上流側には圧力計３１、３２がそれぞれ配設され、これらの圧力計３１、３２によって集合バルブ３及び遮断バルブ５直前の処理用ガス圧をそれぞれ検出するようにしてある。一方の圧力計３１は第２筐体（Ｂ／Ｂ）９内に配置され、他方の圧力計３２は第３筐体（Ｓ／Ｂ）１０内に配置されている。
【００１３】
上記シリンダ１、集合バルブ３及び遮断バルブ５はいずれも第１、第２、第３筐体８、９、１０内に収納され、外部から遮断されている。そして、第１、第２筐体８、９は第１配管２を囲む第１外管１１を介して接続され、第２、第３筐体９、１０は第２配管４を囲む第２外管１２を介して接続されている。更に云えば、第１筐体８には第１配管２が貫通する開口部が形成され、この開口部は第１配管２より大径で第１外管１１の外径より若干小径に形成されている。第２筐体９には第１、第２配管２、４がそれぞれ貫通する開口部が形成され、これらの開口部はいずれも各配管２、４より大径で第１、第２外管１１、１２の外径より若干小径に形成されている。第３筐体１０には第２、第３配管４、７がそれぞれ貫通する開口部が形成され、第２配管４の開口部は第２外管１２の外径より若干小径に形成され、第３配管７の開口部は第３配管７より若干小径に形成されている。
【００１４】
第１筐体８と第２筐体９はそれぞれの開口部で第１外管１１を介して互いに気密に接続され、第１配管２と第１外管１１とで二重配管構造が形成されている。第１外管１１と第１配管２との間には後述する不活性ガス（例えば、窒素ガス）が流れる隙間δ1が形成され、第１外管１１は一端が第１筐体８の開口部を貫通してその内部で開口し、他端が第２筐体９の開口部を貫通しその内部で隙間δ1を封止している。また、第２筐体９と第３筐体１０もそれぞれの開口部で第２外管１２を介して互いに気密に接続され、第２配管４と第２外管１２とで二重配管構造が形成されている。また、第２外管１２と第２配管４との間にも窒素ガスが流れる隙間δ2が形成され、第２外管１２は一端が第２筐体９の開口部を貫通してその内部で隙間δ1を封止し、他端が第３筐体１０の開口部を貫通してその内部で開口している。第１、第２外管１１、１２は例えばフッ素系樹脂等の耐熱性、耐食性にある合成樹脂によって形成されている。
【００１５】
また、第１、第２外管１１、１２の外周面には図１の（ｂ）に示すように加熱用テープ１１Ａ、１２Ａが巻き付けられ、各外管１１、１２内を流れる窒素ガスを加熱し、ひいては第１、第２配管２、４内を流れる処理用ガスを加熱するようにしてある。これにより有機金属化合物等のように低蒸気圧性のガスを処理用ガスとして用いた場合でも第１、第２配管２、４内で処理用ガスの再液化を確実に防止するようにしてある。隙間δ1、δ2には予め所定温度まで加熱した窒素ガスを供給することが好ましい。
【００１６】
そして、第１外管１１と第２外管１２は第２筐体９の近傍において連通管１３を介して互いに接続され、連通管１３を介して第１外管１１内の隙間δ1と第２外管１３の隙間δ2が互いに連通している。連通管１３には配管１４を介して窒素ガスの供給源が接続され、配管１４及び連通管１３を介して各隙間δ1、δ2内へ窒素ガスを供給するようにしてある。従って、配管１４及び連通管１３を介して窒素ガスを供給すると、第１、第２外管１１、１２内の隙間δ1、δ2が第２筐体９内で封止されているため、窒素ガスは第２筐体９側から第１、第３筐体８、１０側へ隙間δ1、δ2に沿って流れ、第１、第２外管１１、１２の開口から第１、第３筐体８、１０内へそれぞれ流入するようにしてある。
【００１７】
第１、第３筐体８、１０には排気管１５、１６がそれぞれ接続され、各排気管１５、１６から第１、第２外管１１、１２内の隙間δ1、δ2から第１、第３筐体８、１０内に流入した窒素ガスを排出するようにしてある。また、図示してないが、これらの排気管１５、１６は途中で互いに接続され、第１、第２筐体８、９からの窒素ガスが合流するようにしてある。
【００１８】
更に、第１、第２、第３筐体８、９、１０内には処理用ガスを検出するガス検知器１７がそれぞれ配設され、これらのガス検知器１７を介して第１、第２、第３筐体８、９、１０内で処理用ガスを検出するようにしてある。ガス検知器１７は使用される処理用ガスの種類に応じて選定して設置されている。例えば、二種類の処理用ガスを使用する場合には、後述するようにそれぞれの処理用ガスを個別に検出するガス検知器が設けられている。従って、万一、第１、第２配管２、４においてガス漏れが発生した場合には、第１、第２配管２、４と第１、第２外管１１、１２間の各隙間δ1、δ2に沿って窒素ガスが流れているため、各配管１１、１２内で漏出した処理用ガスが窒素ガスをキャリアガスとしてそれぞれの隙間δ1、δ2に沿って流れ、第１、第３筐体８、１０内へ流入し、各筐体８、１０内でガス検知器１７、１７によって処理用ガスを検出するようにしてある。これらのガス検知器１７は、いずれもクリーンルーム内の複数箇所に配設された後述の遠隔操作装置及びパイロットライト等の警報装置に接続され、ガス検知器１７でガス漏れを検出した時、これらの遠隔操作装置及び警報装置を介してガス漏れを報知すると共に漏洩箇所に関連する上記各バルブ１Ａ、３、５を閉じ、その時点から処理用ガスの供給を停止し、ガス漏れを最小限に止めるようにしてある。
【００１９】
更に、第２筐体９内には処理用ガスを無害化する除害装置１８が配設され、この除害装置１８はエアバルブ１９を介して分配用エアバルブ３Ａの第２配管４に接続されている。除害装置１８には第２筐体９を貫通する排気管２０が接続され、無害化したガスを排気管２０を介して外部へ排気するようにしてある。この無害化ガスは窒素ガスと合流するようにしても良い。勿論、処理装置６にも除害装置２１が接続され、処理装置６から排気される処理後のガスを無害化して排出するようにしてある。
【００２０】
上記ガス供給システムは例えば図２に示すようにクリーンルーム棟内に設けて使用される。ガス供給システムについては上述したため、ここでは図２に示すクリーンルーム棟を中心に説明する。クリーンルーム棟５０には空調機やシリンダ１を収納した第１筐体８が配置された機械棟６０が隣接している。そして、クリーンルーム棟５０は二階が処理装置６が配置されたクリーンルーム５１として形成され、一階が集合バルブ３を収納した第２筐体９等の補機類が配置された補機室５２として形成されている。クリーンルーム５１と補機室５２は、図２に示すように、剛性の高いパネル５３によって遮断されている。パネル５３の上方には所定の隙間５４を介してフリーアクセスフロア５５が形成され、このフリーアクセスフロア５５は例えばグレーティングパネルを敷き詰めて形成されている。この隙間５４内には遮断バルブ５を収納した第３筐体１０が配置されている。クリーンルーム５１の天井上側にはプレナムスペース５６が形成され、天井に配設された高性能フィルタ５７でプレナムスペース５６内の清浄度を上げた清浄空気を下降流でクリーンルーム５１内へ供給するようにしてある。この清浄空気は白抜きの矢印で示したようにパネル５３の補機室５２側の面及びクリーンルーム５１側壁に沿って形成されたリターンダクト５８を介してクリーンルーム５１、フリーアクセスフロア５５及びその下方の隙間５４を循環するようにしてある。つまり、クリーンルーム５１の空気は一定の流れ方向を持ち、特定の領域（リターンダクト５８）を必ず通過する。このリターンダクト５８にもガス検知器１７が配置され、万一、クリーンルーム５１内でガス漏れが発生した場合でも、そのガスが空気流に従ってリターンダクト５８を通過するのでガス漏れを検出することができる。
【００２１】
また、本実施形態の図３に示すようにガス供給システムは遠隔操作モニタ２２を有し、遠隔操作モニタ２２を介して処理装置６の稼働状態に即して処理用ガスを供給し、停止すると共にガスの供給状況を監視するようにしてある。即ち、処理装置６は例えば除害装置１８が正常に動作し得る状態（READY状態）であるか否かを示す装置状態信号を遠隔操作モニタ２２の受信手段へ送信する送信手段（図示せず）を備え、また、遠隔操作モニタ２２は受信手段で受けた装置状態信号に基づいてシリンダ１のバルブ１Ａ、集合バルブ３及び遮断バルブ５それぞれの開閉信号を送信する送信手段を備えている。従って、遠隔操作モニタ２２は、処理装置６の送信手段から装置状態信号を受信すると、バルブ１Ａ、集合バルブ３の該当分配用エアバルブ３Ａ（図１参照）を開閉操作し、処理用ガスを供給したり、停止したりするようにしてある。
【００２２】
ところで、上記遠隔操作モニタ２２は表示画面を有し、この表示画面に図４に示す遠隔操作画面２２Ａや装置別状態監視画面２２Ｂ等を表示するようにしてある。また、第１、第２、第３筐体８、９、１０それぞれには遠隔操作モニタ２２の遠隔操作モードとマニュアル操作モードを選択する選択スイッチ（図示せず）が付設され、全ての選択スイッチで遠隔操作モードを選択して初めて遠隔操作モニタ２２が機能するようにしてあり、いずれか一つの選択スイッチがマニュアル操作モードであれば遠隔操作モニタ２２による遠隔操作が機能しないようにしてある。更に、中央監視室５９内には中央監視装置（図示せず）に配置され、中央監視装置の表示画面に表示された作業者登録画面５２Ａを用いて各クリーンルーム５１内に設置された種々の処理装置６及びそれぞれの担当作業者の名前等のＩＤデータやパスワード等のデータを予め入力して登録し、登録データを中央監視装置のファイル５２Ｂで記憶するようにしてある。そして、遠隔操作モニタ２２は中央監視装置５２に接続され、ファイル５２Ｂから登録データを読み込み、例えば遠隔操作画面２２Ａや装置別状態監視画面２２Ｂ等を表示画面に表示するようにしてある。
【００２３】
図４に示す遠隔操作画面２２Ａには例えば所定の処理装置（Ｍ／Ｃ）の担当作業者のＩＤデータを表示する領域、ガスボンベ１のバルブ１Ａ、集合バルブ３及び遮断バルブ５を操作する操作領域、及びその処理装置（Ｍ／Ｃ）でのガス使用量（Ｌ）を入力する領域が表示され、それぞれの領域のキーを操作することで所定の処理装置のガス供給を開始し、停止しあるいは中止できるようにしてある。そして、操作領域の開始キーを操作すると、その左側に示した装置別状態監視画面２２Ｂを表示画面に表示するようにしてある。装置別状態監視画面２２Ｂには開始キーによって操作された処理装置（Ｍ／Ｃ）及びこの処理装置（Ｍ／Ｃ）に接続された各種のガス供給ラインを表示するようにしてある。そして、表示された処理装置（Ｍ／Ｃ）に用いる処理用ガスやキャリアガスを装置別状態監視画面２２Ｂの操作キー（Ｃ／Ｃ）で操作すると、そのガス供給ラインのガスボンベ１のバルブ１Ａ、集合バルブ３及び遮断バルブ５が自動的に開き、処理装置（Ｍ／Ｃ）が稼働するようになっている。
【００２４】
更に、遠隔操作モニタ２２の表示画面には図５に示すオーバービュー警報監視画面２２Ｃを表示するようにしてある。このオーバービュー警報監視画面２２Ｃにはクリーンルーム棟５０内に配置された全てのガス検知器１７の検出の有無を示すガス検出マーク（同図では●印で示してある）及をそれぞれの設置場所と共に表示するようにしてある。そして、例えばあるガス検知器１７においてガスの漏洩を検出した場合にはそのガス検知器１７に該当するガス検出マークが点滅し、ガス漏洩場所が瞬時に一目で判るようになっている。このようにガス漏洩が検出されると、遠隔操作モニタ２２を介してガス漏洩場所に関連する各バルブ１Ａ、３、５を自動的に閉じるようになっている。
【００２５】
また、ガス供給システムで二種類の処理用ガスを二台の処理装置に分配する場合には例えば図６に示すシステム構成になる。尚、図６では一方のシリンダ１及び集合バルブ３のみを図示し、他方のものは省略してある。このシステムでは図６に示すように、シリンダ１側の集合バルブ３の分配用エアバルブ３Ａには第２外管１２Ａで囲まれた第２配管４Ａを介して処理装置６Ａの遮断バルブ５Ａが接続され、分配用バルブ３Ｂには第２外管１２Ｂで囲まれた第２配管４Ｂを介して処理装置６Ｂの遮断バルブ５Ｂが接続され、一方の処理用ガスをシリンダ１から処理装置６Ａ、６Ｂへそれぞれ分配して供給するようにしてある。また、他方のシリンダ側の集合バルブの各分配用エアバルブ（共に図示せず）には第２配管４Ｃ、４Ｄがそれぞれ接続され、図示しない集合バルブが収納された第２筐体と遮断バルブ５Ｃ、５Ｄが収納された第３筐体１０Ａ、１０Ｂは同図に示すように第２外管１２Ｃ、１２Ｄによって互いに接続されている。そして、第１筐体８及び第２筐体９内にはそれぞれシリンダ１の処理用ガスを検出するガス検知器１７Ａが設置され、第３筐体１０Ａ、１０Ｂ内及び処理装置６Ａ、６Ｂには二種類の処理用ガスをそれぞれ個別に検出するガス検知器１７Ａ、１７Ｂが設置されている。そして、各ガス検知器１７Ａ、１７Ｂには警報装置２３が接続され、いずれかのガス検知器１７Ａ、１７Ｂで処理用ガスを検出すると警報装置２３が点灯したり、警報を発するようにしてある。
【００２６】
次に、本実施形態のガス供給システムの動作について説明する。処理装置６を稼働させるためには、作業者が第１、第２、第３筐体８、９、１０それぞれの選択スイッチで遠隔操作モニタ２２の遠隔操作モードを選択して遠隔操作モニタ２２を作動させると、図７に示すように遠隔操作モニタ２２では第１筐体８の選択スイッチで遠隔操作モードが選択されたか否かを判断し（ステップＳ１）、遠隔操作モードが選択されていると、ガスボンベ１に電気的あるいは機械的な異常があるか否かを判断する（ステップＳ２）。異常がなければ第２筐体９の遠隔操作モードが選択されているか否かを判断した後（ステップＳ３）、集合バルブ３に異常があるか否かを判断する（ステップＳ４）。集合バルブ３に異常がなければ第３筐体の遠隔操作モードが選択されているか否かを判断した後（ステップＳ５）、遮断バルブ５に異常があるか否かを判断する（ステップＳ６）。異常がなければ処理装置６がREADY状態であるか否かを判断した後（ステップＳ７）、処理装置６のガス供給ラインのガス検知器１７でガス漏洩が検出されたか否かを判断し（ステップＳ８）、ガス漏洩が無ければ遠隔操作モニタ２２の表示画面に遠隔操作画面２２Ａ（図４参照）が表示され（ステップＳ９）、ガス供給ラインの遠隔操作が可能になる。
【００２７】
ステップ８においてガス漏洩を検出した場合には遠隔操作モニタ２２による入力を禁止した後（ステップＳ１０）、ガス漏洩に関連するバルブを自動的に閉じ（ステップＳ１１）、ガス漏洩箇所をオーバービュー警報監視画面２２Ｃへ表示し（ステップＳ１２）、処理装置６を稼働する前にガス漏洩を検出することができる。また、ステップＳ１において選択スイッチが遠隔操作モードになっていなければマニュアル操作モードが選択されている旨を遠隔操作モニタ２２の表示画面に表示する（ステップＳ１３）。更に、ステップＳ２、Ｓ４、Ｓ６において異常があると判断した場合、あるいはステップＳ３、Ｓ５、Ｓ７において遠隔操作モードが選択されていないと判断した場合には「異常あり」あるいは「遠隔操作不可能」と表示画面に表示する（ステップＳ１４）。
【００２８】
遠隔操作可能な状態で、作業者が遠隔操作画面２２Ａ上でＩＤデータやパスワード等のデータを入力し、操作領域の開始キーを操作すると、遠隔操作画面２２Ａから装置別状態監視画面２２Ｂへ切り替わる。この装置別状態監視画面２２Ｂ上で処理装置６で使用する処理用ガスやキャリアガス等のガス種（画面では「Ｃ／Ｃ」で表示されている）を入力すると、そのガス供給ラインにおけるシリンダ１のエアバルブ１Ａ、集合バルブ３の分配用エアバルブ３Ａがそれぞれ開き、処理装置６へ処理用ガスやキャリアガス等を供給する。これにより処理装置６では半導体ウエハに対して所定の処理を施す。
【００２９】
この際、窒素ガスの供給源から配管１４及び連通管１３を介して第１、第２外管１１、１２内の隙間δ1、δ2へ窒素ガスが流入する。窒素ガスは第２筐体９側から第１、第３筐体８、１０に向かって隙間δ1、δ2に沿って流れ、各筐体８、１０内へ流出し、それぞれの内部に充満した後排気管１５、１６から排気される。万一、半導体ウエハの処理中に第１配管２あるいは第２配管４の溶接継ぎ目等から処理用ガスが漏れた場合には、漏れた処理用ガスは第１、第２外管１１、１２内の隙間δ1、δ2を流れる窒素ガスをキャリアガスとして第１筐体８または第３筐体１０内へ流入する。第１筐体８内または第３筐体１０内には処理用ガスを検出するガス検知器１７が設置されているため、それぞれのガス検知器１７で処理用ガスを検出し、第１配管２または第２配管４におけるガス漏れを警報装置を介してオペレータに知らせる。また、第２筐体９内の集合バルブ３の周辺でガス漏れがあった場合にはその内部に設置されたガス検知器１７により処理用ガスを検出し、第２筐体９内でのガス漏れを警報装置を介してオペレータに知らせる。
【００３０】
しかも、遠隔操作モニタ２２の表示画面にオーバービュー警報監視画面２２Ｃを表示することでガス漏洩に関連するガス検出マークが点滅し、瞬時にしてガス漏洩場所を知ることができる。更に、ガス漏洩が検出されると、遠隔操作画面２２Ａ等の画面での入力操作が禁止されると共に、漏洩場所に関連するバルブ１Ａ、３、５を自動的に閉じる。
【００３１】
従って、オペレータは第１配管２、第２配管４、第２筐体９のいずれかでのガス漏れを速やかに知ることができ、ガス漏れに該当する配管を迅速に特定することができ、ガス漏洩に関連するバルブが自動的に閉じ、ガス供給が停止する。従って、その後には特定された配管系の修復や不良部品等を速やかに交換することができる。第１配管２あるいは第２配管４を交換する場合には、集合バルブ３に付帯するエアバルブ１９を開き、除害装置１８を介して配管内の処理用ガスを無害化してパージする。
【００３２】
処理用ガスが六フッ化タングステン等のように常温では液体で蒸気圧が低い処理用ガスの場合には、窒素ガスを予め加熱し、加熱された窒素ガスを第１、第２外管１１、１２の隙間δ1、δ2へ供給すると共に各配管１１、１２を加熱用テープ１１Ａ、１２Ａによって加熱し、窒素ガスを介して第１、第２配管２、４を加熱して各配管２、４内での処理用ガスの再液化を防止し、安定したガスの供給を行う。このように窒素ガスを介して加熱することで各配管２、４をムラなく加熱して局所的に再液化してしまうポイントを低減することができる。
【００３３】
以上説明したように本実施形態によれば、シリンダ１、集合バルブ３及び遮断バルブ５をそれぞれ第１、第２、第３筐体８、９、１０内に収納し、また、第１筐体８と第２筐体９を互いに第１外管１１で接続すると共に第１外管１１と第１配管２との間に隙間δ１が介在する二重管構造として形成し、第２筐体９と第３ 筐体１０を互いに第２外管１２で接続すると共に第２外管１２と第２配管４との間に隙間δ２が介在する二重管構造として形成し、更に、第２筐体９側から第１ 、第３筐体８、１０内へ二重管構造の隙間δ１、δ２を介して窒素ガスを供給し、第１、第３筐体８、１０内のガス検知器１７、１７により第１、第２配管２、４での処理用ガスの漏れを検出するようにしたため、例えば第１配管２で処理用ガスのガス漏れがあれば、その処理用ガスは第２筐体９から第１筐体８へ流れる窒素ガスに伴って第１筐体８内へ流入し、その内部に設置されたガス検知器１７で処理用ガスを検出し、ガス漏れ箇所が第１配管２であることを速やかに特定することができ、その配管２を迅速に交換することができ、ひいては処理装置６の停止時間を格段に短縮することができる。
【００３４】
また、本実施形態によれば、第１、第２外管１１、１２に対して加熱用テープ１１Ａ、１２Ａを巻き付けたため、その内部を流れる窒素ガスを加熱することができ、処理用ガスが低蒸気圧性のガスであっても第１、第２配管２、４内での再液化を防止し、処置装置６へ処理用ガスの供給を安定化することができる。
【００３５】
また、第２筐体９内に除害装置１８を設けると共にこの除害装置１８と第２配管４を接続したため、第１、第２、第３配管２、４、７のいずれを交換する場合であっても、その内部の処理用ガスを除害装置１８からパージすることにより、処理用ガスを無害化することができ、交換作業の安全を確保することができる。
【００３６】
また、本実施形態によれば、シリンダ１のバルブ１Ａ、集合バルブ３及び遮断バルブ５それぞれの遠隔操作を行う遠隔操作モニタ２２を設け、この遠隔操作モニタ２２を介して上記各バルブ１Ａ、３、５を遠隔操作するようにしたため、処理用ガスが危険性のあるガスであっても従来のように作業者が各バルブ１Ａ、３、５を直接開閉操作する必要がなく、各バルブ１Ａ、３、５から離れた場所で遠隔操作することができ、常に作業者の安全を確保することができる。
【００３７】
しかも、各ガス検知器１７を介して二重配管（第１配管２と第１外管１１、第２配管４と第２外管１２）でのガス漏洩を監視する遠隔操作モニタ２２を設け、この遠隔操作モニタ２２を介して各ガス検知器１７を監視するようにしたため、処理用ガスのガス漏洩が判った時には、オーバービュー警報監視画面２２Ｃによってガス漏洩場所を瞬時にして知ることができ、緊急時の対応を迅速化することができる。
【００３８】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて適宜設計変更を加えることができる。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、第１筐体内に収納されて処理用ガスを、バルブを介して供給するガス供給源と、このガス供給源と第１配管を介して接続され且つ第２筐体内に収納された集合バルブと、この集合バルブの下流側で第２配管を介して接続され且つ第３筐体内に収納された遮断バルブとを備え、上記バルブ、上記集合バルブ及び遮断バルブを介して上記ガス供給源から処理装置へ処理用ガスを供給するガス供給システムであって、上記第１筐体と上記第２筐体を互いに接続すると共に上記第１配管との間に第１隙間を介在させて二重管構造を形成する第１外管と、上記第２筐体と上記第３筐体を互いに接続すると共に上記第２配管との間に第２隙間を介在させて二重管構造を形成する第２外管と、上記第２筐体側から上記第１、第３筐体内へ上記第１、第２隙間を介して不活性ガスを供給する不活性ガス供給源と、少なくとも上記第１、第３筐体内に設けられて上記処理用ガスを検出するガス検知器と、を備え、上記第２筐体内では上記第１、第２外管それぞれの端部で上記第１、第２隙間の端部が封止されていると共に上記第１、第３筐体内では第１、第２外管それぞれの他端部で上記第１、第２隙間がそれぞれ開口しており、上記不活性ガスをそれぞれ供給するようにしてあるため、ガス供給ラインでのガス漏れ箇所を迅速に特定し、ガス供給ラインの配管の修繕、交換作業を迅速に行うことができ、処理装置の停止時間を格段に短縮することができるガス供給システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のガス供給システムの一実施形態を示す概念図である。
【図２】図１に示すガス供給システムをクリーンルームに設けた例を示す概念図である。
【図３】図１に示すガス供給システムの遠隔操作モニタに関連するブロック図である。
【図４】図３に示す遠隔操作モニタの表示画面を示す図である。
【図５】図３に示す遠隔操作モニタの表示画面を示す図である。
【図６】本発明のガス供給システムの他の実施形態を示す概念図である。
【図７】遠隔操作モニタが作動する時のフローチャートを示す図である。
【符号の説明】
１    シリンダ（ガス供給源）
２    第１配管
３    集合バルブ
４    第２配管
５    遮断バルブ
６    処理装置
８    第１筐体
９    第２筐体
１０    第３筐体
１１    第１外管
１１Ａ  加熱テープ
１２    第２外管
１２Ａ  加熱テープ
１３    連通管
１４    配管（不活性ガス供給用）
１７    ガス検知器
１８    除害装置
２２    遠隔操作モニタ（遠隔操作装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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