(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能とする、前記蓋の開閉システムであって、
前記収容容器を支持すると共に所定の方向に前記収容容器を移動可能な収容容器支持機構と、
外部空間と分離され、塵が管理されて前記被収容物を搬送する機構が収容される微小空間と、
前記収容容器支持機構に前記収容容器をロードする位置近傍に前記外部空間の側の開口部である外部空間側開口部を有すると共に前記微小空間と連通して前記微小空間側に開口する微小空間側開口部を有するトンネルと、
前記蓋と当接して前記蓋を保持する保持機構を有し、前記トンネル内に配置されて前記所定の方向と直交し前記被収容物の延在面と平行な回転軸周りに回動可能であって、前記トンネルの延在方向と直行して前記トンネルを略閉鎖する姿勢において前記収容容器支持機構が移動させる前記収容容器に対して前記所定の方向に沿って相対的に移動可能なドアと、を有し、
前記トンネルは、前記ドアが前記収容容器に対して相対移動して前記蓋を前記収容容器から分離した際に前記収容容器の開口が前記トンネル内に位置させることが可能であり、且つ前記ドアが前記蓋を保持して前記回転軸周りに回動した際に前記収容容器の前記所定の方向への移動を妨げずに前記ドア及び前記蓋を収容可能な収容空間を含む大きさを有することを特徴とする蓋開閉システム。
【請求項２】
前記回転軸及び前記収容空間は前記収容容器の移動領域の鉛直下方に存在し、前記ドアの回動は前記ドアを前記収容容器の移動領域の下方に回動させる動作であることを特徴とする請求項１記載の蓋開閉システム。
【請求項３】
前記ドアは、一端部が前記ドアと連結され、他端部が前記回転軸と連結されるＬ字状のアームによって前記回転軸と連結されることを特徴とする請求項１記載の蓋開閉システム。
【請求項４】
前記収容空間を構成する壁部は前記外部空間と前記収容空間とを連通させるスリットを有し、前記スリットは、前記壁部において前記ドアが前記蓋を保持して前記収容空間に位置する際に、前記ドアと前記蓋との間に存在する隙間を前記壁部に投影した位置に形成されることを特徴とする請求項１記載の蓋開閉システム。
【請求項５】
前記トンネルを略閉鎖する位置に存在する際に前記ドアと前記トンネルの内壁との間に、前記微小空間から前記外部空間に向かって流れる前記収容容器周囲の塵を排出可能な気流を生成可能な隙間が形成されることを特徴とする請求項１記載の蓋開閉システム。
【請求項６】
被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能として、前記収容容器に対して前記被収容物を挿脱し、前記収容容器外部において前記被収容物に所定の処理を施す被収容物の処理方法であって、
塵が管理された微小空間と、
前記微小空間内に配置された被収容物の搬送機構と
前記微小空間に設けられた開口部を略閉鎖すると共に前記蓋を保持可能なドアと、
前記収容容器を支持して前記収容容器を所定の方向に駆動し、前記蓋を前記ドアに保持させる支持機構と、を有する蓋開閉システムを用い、
前記収容容器を支持機構に支持させて当該支持機構に対して前記収容容器を固定し、
前記支持機構を駆動させて前記蓋を前記ドアに当接させて前記ドアに前記蓋を保持させ、
前記支持機構と前記ドアとを前記所定の方向において相対駆動させて、前記収容容器と前記蓋とを分離し、
前記蓋及びドアを前記所定の方向と直交し且つ前記被収容物の延在面に含まれる軸周りに回動させて前記収容容器の駆動領域から前記蓋及びドアを退避させ、
前記収容容器を前記所定の方向に駆動させて前記被収容物の挿脱位置に配置する工程を有し、
前記収容容器から前記蓋を分離した際の前記収容容器、前記回動後の前記蓋及びドア、及び前記被収容物の挿脱位置にある前記収容容器は、前記微小空間と前記支持機構に対して前記被収容容器を支持させる操作を行なう空間とを結ぶトンネルの内部に位置することを特徴とする被収容物の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる搬送容器に内部保持されたレチクル、ウエハ等を半導体処理装置間等にて移送する際に用いられる、システム、所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システムの一形態に関する。より詳細には、数枚のレチクル等を収容する薄型の密閉容器たる所謂FOUP（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれるポッド複数個に同時に対応し、当該ポッドの蓋を開閉して該ポッドに対するレチクル等の移載を行うFIMSシステム、即ち蓋開閉システム、及び当該システムを用いた基板処理法方に関する。
【背景技術】
【０００２】
以前、半導体製造プロセスは、半導体ウエハを取り扱う部屋内部を高清浄化した所謂クリーンルーム内において行われていた。しかしウエハサイズの大型化への対処とクリーンルームの管理に要するコスト削減の観点から、近年では処理装置内部、ポッド（ウエハの収容容器）、及び当該ポッドから処理装置への基板受け渡しを行う微小空間のみを高清浄状態に保つ手法が採用されるに至っている。
【０００３】
当該ポッドは、その内部に複数のウエハを平行且つ隔置した状態で保持可能な棚と、外面を構成する面の一つにウエハ出し入れに用いられる開口とを有する略立方体形状を有する本体と、その開口を閉鎖する蓋とから構成される。この開口が形成されている面がポッドの底面ではなく一側面（微小空間に対して正対する面）に位置するポッドは、FOUP（front-opening unified pod）と総称され、本発明はこのFOUPを用いる構成を主たる対象としている。従来、生産効率等の観点から一個のポッドあたり十枚以上のウエハを収容するポッドが用いられていたが、昨今ウエハの大径化、或いは一枚のウエハに対する工程の増加等によってむしろポッドあたり数枚のウエハを収容し、小ロットの状態として個々の装置に対してウエハを供給する方法がより好ましいと考えられ始めている。このような数枚のウエハ用に特化した薄型のポッド及びその取り扱いに関しては特許文献１に詳細が述べられている。
【０００４】
ここで、上述した微小空間は、ポッドの開口と向かい合う開口部と、該開口部を閉鎖するドアと、半導体処理装置側に設けられた処理装置側の開口部と、ポッド側の開口部からポッド内部に侵入してウエハを保持すると共に該処理装置側の開口部を通過して処理装置側にウエハを搬送する移載ロボットとを有している。微小空間を形成する構成は、同時にドア正面にポッド開口部が正対するようポッドを支持する載置台を有している。通常、載置台はドア方向に対して所定距離の前後移動が可能となっている。ポッド内のウエハを処理装置に移載する際には、ポッドが載置された状態でポッドの蓋がドアと接触するまでポッドを移動させ、接触後にドアによってポッド開口部からその蓋が取り除かれる。これら操作によって、ポッド内部と処理装置内部とが微小空間を介して連通することとなり、以降ウエハの移載操作が繰り返して行われる。この載置台、ドア、ポッド側開口部、ドアの開閉機構、第一の開口部が構成された微小空間の一部を構成する壁等を含めて、本発明における蓋開閉システム、即ちFIMS（front-opening interface mechanical standard）システムと総称される。
【０００５】
先に述べたように、従来は十枚以上のウエハを収容したポッド単体のみに対応する構成で十分であった。しかしながら、前述した薄型のポッドを対象とした場合、工程時間の短縮に観点をおくと複数のポッドを略同時、或いは載置状態にある時間をオーバーラップさせて該微小空間に対するウエハの供給等を可能とすることが求められる。また、このようなウエハの取り扱いは、露光処理等に用いられるレチクルの搬送等にも使用することが可能である。ここで、薄型のポッド複数個に対応する場合、接地面積を小さく抑える観点から複数のポッドを縦に積み上げる構成が考えられる。このようなポッド配置に対応する蓋開閉システムとして特許文献２に開示する装置が考案されている。当該構成では、前述したポッド側開口部を縦に複数個形成し、各々を閉鎖するドアを矩形状の開口部の長手方向に延在する軸周りに回動させることでドア開閉に要する機構が占める空間を小さく治めている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２６２６５４号公報
【特許文献２】特開２０００−２８６３１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
引用文献２に開示する構成のように、所謂ダウンフローが常に形成されている微小空間内に回転軸が存在した場合、当該回転軸において発生した塵等がダウンフローによってその下方を搬送されるウエハ表面に送られる恐れがある。また、ポッドの蓋は塵等の管理において該微小空間に劣った環境下を搬送されており、当該蓋に塵が付着していることも考えられる。このような塵もダウンフローによって下方に運ばれ、ウエハに付着する可能性がある。更に、ウエハの処理工程上例えば複数のポッドが同時に開放されるタイミングが存在した場合、前述した塵が下方の他のポッドに対して侵入する可能性も考えられる。ここで、半導体素子の小型化、高性能化に伴って、従来では許容されてきたサイズの塵等が今後問題視されるであろうと考えられる。当該観点に立った場合、これまでは大きく問題視されていなかったこのような経緯からなる塵の存在に対しても留意する必要が生じると考えられる。
【０００８】
本発明はこのような現状に鑑みて為されたものであり、薄型のポッドを縦方向に複数並置してこれらを処理する蓋開閉システムに関するものであって、ポッドの蓋の開閉等に起因する個々のポッドから発生する塵或いはポッドの蓋等が持ち込む塵等が微小空間内に持ち込まれることを抑制し、当該塵が他のポッド内のウエハに悪影響を及ぼすことを防止可能とする当該ポッド用蓋開閉システム及び当該システムを用いてウエハに対して種々の処理を施す基板処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る蓋開閉システムは、被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能とする、前記蓋の開閉システムであって、前記収容容器を支持すると共に所定の方向に前記収容容器を移動可能な収容容器支持機構と、外部空間と分離され、塵が管理されて前記被収容物を搬送する機構が収容される微小空間と、前記収容容器支持機構に前記収容容器をロードする位置近傍に前記外部空間の側の開口部である外部空間側開口部を有すると共に前記微小空間と連通して前記微小空間側に開口する微小空間側開口部を有するトンネルと、前記蓋と当接して前記蓋を保持する保持機構を有し、前記トンネル内に配置されて前記所定の方向と直交し前記被収容物の延在面と平行な回転軸周りに回動可能であって、前記トンネルの延在方向と直行して前記トンネルを略閉鎖する姿勢において前記収容容器支持機構が移動させる前記収容容器に対して前記所定の方向に沿って相対的に移動可能なドアと、を有し、前記トンネルは、前記ドアが前記収容容器に対して相対移動して前記蓋を前記収容容器から分離した際に前記収容容器の開口が前記トンネル内に位置させることが可能であり、且つ前記ドアが前記蓋を保持して前記回転軸周りに回動した際に前記収容容器の前記所定の方向への移動を妨げずに前記ドア及び前記蓋を収容可能な収容空間を含む大きさを有することを特徴としております。
【００１０】
なお、上述したシステムに関して、前記回転軸及び前記収容空間は前記収容容器の移動領域の鉛直下方に存在し、前記ドアの回動は前記ドアを前記収容容器の移動領域の下方に回動させる動作であることが好ましい。また、前記ドアに関しては、一端部が前記ドアと連結され、他端部が前記回転軸と連結されるＬ字状のアームによって前記回転軸と連結されることが好ましい。更に当該システムに関しては、前記収容空間を構成する壁部は前記外部空間と前記収容空間とを連通させるスリットを有し、前記スリットは、前記壁部において前記ドアが前記蓋を保持して前記収容空間に位置する際に、前記ドアと前記蓋との間に存在する隙間を前記壁部に投影した位置に形成されることが好ましい。さらに当該システムに関しては、前記トンネルを略閉鎖する位置に存在する際に前記ドアと前記トンネルの内壁との間に、前記微小空間から前記外部空間に向かって流れる前記収容容器周囲の塵を排出可能な気流を生成可能な隙間が形成されることが好ましい。
【００１１】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る被収容物の処理方法は、被収容物を内部に収容可能であって一面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能として、前記収容容器に対して前記被収容物を挿脱し、前記収容容器外部において前記被収容物に所定の処理を施す被収容物の処理方法に関するものであって、塵が管理された微小空間と、前記微小空間内に配置された被収容物の搬送機構と前記微小空間に設けられた開口部を略閉鎖すると共に前記蓋を保持可能なドアと、前記収容容器を支持して前記収容容器を所定の方向に駆動し、前記蓋を前記ドアに保持させる支持機構と、を有する蓋開閉システムを用い、前記収容容器を支持機構に支持させて当該支持機構に対して前記収容容器を固定し、前記支持機構を駆動させて前記蓋を前記ドアに当接させて前記ドアに前記蓋を保持させ、前記支持機構と前記ドアとを前記所定の方向において相対駆動させて、前記収容容器と前記蓋とを分離し、前記蓋及びドアを前記所定の方向と直交し且つ前記被収容物の延在面に含まれる軸周りに回動させて前記収容容器の駆動領域から前記蓋及びドアを退避させ、前記収容容器を前記所定の方向に駆動させて前記被収容物の挿脱位置に配置する工程を有し、前記収容容器から前記蓋を分離した際の前記収容容器、前記回動後の前記蓋及びドア、及び前記被収容物の挿脱位置にある前記収容容器は、前記微小空間と前記支持機構に対して前記被収容容器を支持させる操作を行なう空間とを結ぶトンネルの内部に位置することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ポッドの蓋をポッド本体から取り外した際に、当該蓋及び当該蓋を開閉する機構をダウンフローから避けた位置、具体的には微小空間に対して突出した部分を作らないトンネル内部の位置に配置してウエハ等のポッドに対する挿入及び取り出し操作を行うことが可能となる。従って、ダウンフローによってポッドの蓋或いは当該蓋の開閉機構から塵等が吹き飛ばされることが無くなる。また、他のポッド、蓋、及びその駆動機構等も個々のトンネル内に配置されることから、一の蓋等に起因した塵等が他の蓋等の構成に再付着する可能性も低減されることとなる。
【００１３】
上記構成に加え、蓋の開閉機構、具体的には回転軸をポッド開口より下方となる位置に配置することで、当該機構から発生する塵等がポッド内部に侵入する可能性を体現できる。更に、ウエハの挿脱操作に際しては蓋開閉機構及び蓋をポッド本体によって覆う位置とすることにより、蓋の開閉機構から発生する塵等、及び搬送時等に蓋に付着した塵等がポッド開口に回り込み、ポッドに対して挿脱されるウエハに再付着することを防止可能となる。また、その際に、ポッド周囲とトンネル内壁との間隙間から、大気圧より高い圧力に保持される微小空間内の塵が管理された大気を流すことによって、前述した塵等がポッド内部に回り込む可能性を更に低減可能となる。
【００１４】
また、トンネル内の蓋及びドアの収容空間を形成するトンネル端部壁に対して、蓋及びドアの隙間に対応する位置にスリットを設けることによって、ウエハの挿脱操作を行うことと平行して、当該隙間に捕集してしまった塵等を再度これらから脱離させ、外部空間に放出することが可能となる。更に、開口部閉鎖時においてドア周囲から外部空間に向かって微小空間内の大気が流出可能な隙間或いはスリットを適当な位置に形成しておくことによって、トンネル内部に挿入されるポッド端部の塵等を該気流によって予め低減しておくこともできる。以上の構成を組み合わせていくことによって、本発明の主たる目的である各々のポッド間相互での塵等の授受の問題への対処のみならず、単一のポッドに関して問題となるポッド開放状態での蓋等に起因した塵等のポッドへの進入に関しても対処できるという効果も副次的に得られる。
【００１５】
なお、例えば特許文献２に開示されるように、ポッドの開口部周囲を、シール部材を介して微小空間を構成する壁に密着させて、外部空間から微小空間への塵等の流入を防止する構成も考えられる。しかしながら、本発明における構成のように微小空間と外部空間との間にトンネルを形成した場合、該トンネルの内部が一つしか開口を有さず内部に気体の流れを構成し得ないと、逆にトンネル内部が塵等の吹き溜まりとなる可能性も生じる。このため、上記隙間、スリット等を形成することでトンネル奥から外部空間に向かう気流を常に形成してこれら塵等の滞留を防止することが効果的となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。図１Ａは、本発明が対象とする薄型ポッドの一部、及び当該ポッド個々について対処可能な蓋開閉システムの主要部に関して、これら構成を側面から見た状態での構成を模式的に示している。なお、実際には図１Ａ等に示す構成は複数が積み重ねられるように配置されるが、説明容易化のため、以下実施形態の説明においては単独のシステムについて述べることとする。図１Ｂは図１Ａに示す構成を当該図中の線１Ｂ−１Ｂに沿った断面から見た場合の構成を、図１Ｃはこれら構成を矢印１Ｃ方向（微小空間側）から見た場合の構成を、図１Ｄはポッドを除いた構成を矢印１Ｄ方向（外部空間側）から見た場合の構成をそれぞれ示している。
【００１７】
また、図１Ａは後述する載置台上の所定位置にポッドが載置された状態を示し、図２Ａはポッドが一旦前進駆動されて蓋がドアに保持される位置に至った状態を示し、図３Ａはポッドが一旦後退駆動されてポッドから蓋が取り外された状態を示し、図４Ａは蓋開閉機構の動作によって当該機構及び蓋がトンネル内部のこれらの収容空間に移動した状態を示し、図５Ａはその後ポッドが更に前進駆動されたウエハ挿脱用の所定位置に至った状態を示している。また、図３Ｂ、４Ｂ、５Ｂ、及び５Ｃは、各々図１Ａと図１Ｂ〜１Ｃの関係に準じて、同様の様式にて各々の構成を示したものである。なお、図５Ｃに関しては、理解容易とするために、ポッド及び蓋を除外して示すものとする。
【００１８】
ここで、当該蓋開閉システムに対して載置されるポッド及び該ポッドに収容されるウエハについて先に述べる。ポッド２における本体２ａの内部には、被処理物たるウエハを１〜数枚内部に収めるための空間が形成されている。本体２ａは、水平方向に存在するいずれか一面に開口を有する薄い略箱状の形状を有する。また、ポッド２は、本体２ａの開口２ｂを密閉するための蓋４を備えている。本体２ａの内部に水平に保持されたウエハ１を鉛直方向に重ねる為の複数の段を有する棚（不図示）が配置されており、ここに載置されるウエハ１各々はその間隔を一定としてポッド２内部に収容される。ウエハ１は本発明における被収容物に、ポッド２は収容容器に、本体２ａは基本的な形状が箱体であることから略箱上の形状を有するとして定義される本体に、また、ポッド２の開口２ｂは基本形状が矩形であることから略矩形状として定義される開口に対応する。
【００１９】
本発明に係る蓋開閉システム１０は、載置台１３、ドア１５、トンネル２０を構成するトンネル部材２１、ドアの開閉機構３０、及びトンネルが連通する微小空間２５（後述する搬送室）の外壁を構成する一部材たる壁１１を含む。載置台１３は、実際にポッド２が載置され、且つ載置されたポッドを第一の開口部１０方向に向けて接近或いは離間させる動作が可能な、上部に平坦面を有する可動プレート１４を含む。可動プレート１４の平坦面表面には位置決めピン１４ａが埋設されており、ポッド本体２ａ下面に設けられた不図示の位置決め凹部に当該位置決めピン１４ａが嵌合することにより、ポッド２と可動プレート１４との位置関係が一義的に決定される。可動プレート１４ａにはステッピングモータ、ボールネジ等からなる不図示の公知の駆動機構に接続されており、ポッド２を載置した状態にて、後述するポッド２のロード位置、蓋保持位置、蓋離脱位置及びウエハ挿脱位置の四位置での当該プレートの停止を可能としている。なお、載置台１３或いは可動プレート１４からなる構成は、本発明においてポッド等を支持し且つこれを所定の方向に移動させる収容容器支持機構或いは支持機構として作用する。
【００２０】
トンネル部材２１は、壁１１から外部空間側に垂直に、即ち可動プレート１４の駆動方向に沿って立ち上がり且つ当該立ち上がり方向と垂直な断面が矩形となる空間を構成する周囲壁部２１ａと、当該周囲壁部２１ａの外部空間側開口を制限する端部壁部２１ｂと、からなる。トンネル部材２１によって構成されるトンネル２０の横方向長さ（該トンネル２０に対してポッド２が正対した場合のポッド２の正対面の長手方向長さ、即ち水平方向の長さ）は、ポッド２を収容可能となるようにポッド２におけるトンネルとの正対面の長手方向長さより大きく設定される。当該トンネル２０は、微小空間側開口２０ａと外部空間側開口２０ｂとの二つの開口を有する。即ち、当該トンネル２０は、ポッド２が可動プレート１４上に載置（即ちロード）される空間近傍に開口して外部空間と微小空間とを連通するトンネルとして作用する。
【００２１】
外部空間側開口２０ｂは、前述したトンネル２０の横方向長さと、ポッド２の正対面の短手方向長さより僅かに長く設定された縦方向長さを有する。これにより、ポッド２は該外部空間側開口２０ｂへの進入が可能となる。微小空間側開口２０ａは、横方向長さとして、ポッド２が通過可能な前述したトンネル２０の横方向長さに加え、後述するＬ字アーム１６がポッド２を避けて配置可能となるように当該アームの幅を考慮した長さを有する。また、縦方向長さとして、ポッド２の蓋４を保持したドア１５及び当該トンネル２０内部に配置されたドアの開閉機構の一部が収容される収容空間２０ｃを形成するだけの長さと前述したポッド２正対面の縦方向より僅かに長い長さとを加えた長さからなる縦方向長さとを有する。
【００２２】
トンネル２０の奥行き（外部空間側開口２０ｂから微小空間側開口２０ａまでの距離）は、後述するドア１５を支持するＬ字アーム１６の両直線部の長さと、ポッドの蓋４の短手方向長さ或いはドア１５の短手方向長さとの関係から設定される。具体的には、ドア１５が退避位置（ウエハ挿脱位置）に存在する際のドア１５或いは蓋４における最も微小空間側に近い部位が微小空間に突出するこがなく、且つポッド２から蓋４を取り外す位置（蓋離脱位置）におけるポッド２の開口がトンネル２０内部に存在可能となるように、当該奥行きが設定される。また、端部壁部２１ｂは、外部空間側開口２０ｂの大きさを上述したものとするために当該開口を制限するものであって、短手方向長さはポッド２の正対面の大きさと、微小空間側開口２０ａとの関係から定められる。また、当該端部壁部２１ｂは前述した空間２０ｃを規定している。
【００２３】
ドア１５は、ポッド２の蓋４と正対可能であって当該蓋４と略相似の正対面を有する平板状の当接部材１５ｂと、当該当接部材１５ｂを平盤面にて保持し且つ当接部材に対して強度を付加するドア本体部１５ａとを有する。ドア本体部１５ａは、微小空間側開口部２０ａの長手方向の長さより短い長手方向長さを有し、蓋４の開閉操作時において回動する際に当該開口部の周囲との接触が生ずる恐れをなくしている。当接部材１５ｂはドア本体部１５ａの長手方向の中央に配置される。当接部材１５ｂにおけるポッド２との正対面には、蓋４を真空吸着してこれを保持するための吸着パッド１５ｃ、及び蓋４と当該当接部材１５ｂとの位置関係を規定する位置決めピン１５ｄが配置される。なお、位置決めピン１５ｄは、蓋を保持する機能も有する場合があり、当該場合においては所謂ラッチキーとしても作用する。ドア本体部１５ａにおける当接部材１５ｂの両側部には、当該本体部における微小空間側面（裏面）から外部空間側面（表面）に貫通し且つドア本体１５ｃの短手方向に伸びるスリット１５ｅが形成されている。また、ドア本体部１５ａにおける当接部材１５ｂの両側部には、Ｌ字形状を有するＬ字アーム１６の一方の端部（後述する固定端部）が連結される。なお、吸着パッド１５ｃは、これと連結されて当該パッドに吸引力を生じせしめる不図示の排気系と合わせて被収容物たるウエハの保持機構として作用する。
【００２４】
Ｌ字アーム１６は、端部において後述する回転軸３０ａを介してドア開閉機構３０と連結される回転軸側直線部１６ａと、端部においてドア本体部１５ａと連結されるドア側直線部１６ｂとからなる。ドア側直線部１６ｂの端部はドア本体部１５ａに固定される固定端部として作用し、当該直線部はドア本体部１５ａの延在面に対して平行に延在する。回転軸３０ａは、トンネル部材２１を貫通して該部材の外方に配置されるドア開閉機構３０の駆動機構本体３０ｂと連結される。駆動機構本体３０ｂは、公知のエアシリンダ、リンク機構等から構成されており、回転軸３０ａを所定の二つの角度間で回転駆動させる。なお、回転軸３０ａは可動プレート１４の駆動方向である所定の方向に対して直交し且つポッド開口に対して垂直な面（被収容物たるウエハの延在面）と平行に設定される。
【００２５】
ここで、図６を参照して、トンネル２０内の空間における各寸法とＬ字アーム１６における各寸法との関係について述べる。なお、ここでt1は蓋４の厚さを、w1は蓋４の短手方向長さを、l1はＬ字アームにおける回転軸側直線部１６ａの固定端部の端面から吸着パッド１５ｃの吸着面を含む平面までの距離を、l1'は外部空間側開口部２０ｂの開口面から当該吸着面を含む平面までの距離を、t2はドア１５（吸着パッド、当接部材及びドア本体部を含む。）の厚さを、L1はこれらl1とt2とを加えた値を、d1はトンネル２０の奥行きを、l2はドア側直線部１６ｂの長さ（ドア１５の側面から固定端部とは異なる回転軸側直線部１６ａと連結される部分での固定端部と逆側に位置する端面までの距離）を、w2はドア１５の短手方向長さ（当接部材と本体部とを含めた場合の最も短手方向長さが長くなる部材の短手方向長さ）を、L2はこれらl2とw2とを加えた値を、d2はトンネル２０におけるドア１５が回転収容される側の周囲壁部２１ａであって長手方向に伸びる下面の内壁から端部壁部２１ｂが制限する外部空間側開口部２０ｂの下辺までの距離を、d3は、外部空間側開口部２０ｂの短手方向長さを、各々示している。また、ポッド２が前進して蓋４のドア正対面が吸着パッド１５ｃと当接した位置から一旦後退し、蓋４をポッド２と分離して停止するまでの後退距離をm1とし、蓋４とポッド２を分離して停止した位置からウエハの挿脱位置までポッド２が移動するまでの移動距離をm2とする。
【００２６】
ポッド２が蓋４を保持される位置から蓋４の分離位置まで距離m1は吸着パッド１５ｃ表面からトンネルの外部空間側開口部２０ｂまでの距離l1'よりも小さく、且つ蓋４の厚さt1は距離m1より小さく設定される。これにより、蓋４の開閉操作は常にトンネル２０の内部で行われることとなり、当該操作時の塵等のポッド内への進入を防止できる。また、トンネル２０の内部から外部空間に向かう気流を生成することにより、当該開閉操作の前後において、外部空間からトンネル内を介してポッドに進入する塵等を大きく低減することができる。また、ウエハ挿脱位置までの移動距離m2は、トンネル２０の奥行きより小さく設定される。従って、ウエハ挿脱時においてもポッド開口は常にトンネル２０の内部に存在する。これによりポッド開口部が微小空間内のダウンフローに直接曝されることが防止できる。
【００２７】
ドア１５の短手方向長さw2は、トンネル２０の外部空間側開口部２０ｂの短手方向幅d3よりも小さく設定される。また、該ドアを当該開口部の幅方向の略中央部に配置することにより、ドア１５の上辺上及び下辺下に、微小空間側開口部２０ａから外部空間側開口部２０ｂに直線状に延在する気体流路が構成される。当該気体流路と前述したスリット１５ｅとによって、ドア１５の周囲に外部空間に向かって流れる気流を構成することが可能となる。また、ドア１５が蓋４を保持した際にも当該気体流路が確保されるように、蓋４の短手方向長さw1は、ドア１５の短手方向長さw2と同等或いは小さく設定される。
【００２８】
ドア１５は、蓋４を保持した状態で回転軸３０ａを中心に回動し、収容空間２０ｃに収容される。従って、この収容操作を可能とするように上記した各種寸法が設定される。具体的には、寸法l2と寸法w2を加えた、回動前におけるＬ字アーム１６とドア１５を加えた高さ（ドアが蓋を保持した場合これら構成中で最も高くなる部材の端面とＬ字アーム１６において最も下端となる面との距離）L2は、奥行きd1から端部壁部２１ｂの厚さを除いた寸法より小さく設定される。これにより、ドア１５及び蓋４が収容空間において停止した際に、トンネル２０内からこれら構成が微小空間側に突出することを防止することができる。
【００２９】
また、前述した蓋４の厚さt1とドア１５の厚さt2を加えた寸法t1+t2は、収容空間の深さでもある寸法d2よりも小さく設定されることが好ましい。また、寸法L1に関しても、寸法d2より小さく設定されることが好ましい。これにより、ポッド２がウエハ挿脱操作を行う位置に移動した場合であっても、蓋及びドアはポッド２の移動に何ら影響を与えることが無くなる。なお、本実施形態においては、当該収用空間を
できるだけ小さく抑えるという観点から、Ｌ字アーム１６はポッド２の移動範囲から外れるように設置し、更に端部壁部２１ｂにもＬ字アーム１６との接触を避ける切欠部２１ｃを設けている。当該構成を採用することによって、収容空間を小さくし、当該空間において気流の滞留が生じる空間の減少を図っている。また、実際にはドア１５が回動する際にドア１５或いは蓋４に一部がトンネル２０内より微小空間２５側に突き出す瞬間があるが、非常に僅かな時間であってダウンフローを乱すという影響が小さいこと及び収容空間２０ｃを小さくするほうが塵の巻上げ或いは発生を防止する効果が大きいことから、本実施形態では停止時におけるこれらの位置関係のみ考慮することとしている。
【００３０】
なお、本発明においては、蓋４保持後のポッド２の後退空間の確保、及び蓋４を保持するドア１５を収容する収容区間２０ｃの確保が必須となる。従って、Ｌ字アームの回転軸側直線部及びドア側直線部の長さは、これら空間の確保という観点に留意して、ドア１５の厚さ、蓋４の厚さ等に基づいて決定されることが好ましい。また、回転軸３０ａの配置もこれらを考慮して設定されることが好ましい。また、当該観点に立った場合、例えばＬ字アームにおける回転軸側直線部を伸縮可能な構成とし、更に伸縮機構を設けて必要な位置へ随時駆動される構成としても良い。なお、この場合、伸縮機構は例えば二位置での停止が可能なエアシリンダを用いることが考えられる。
当該形態の更なる例として、回転軸３０ａを駆動させる構成としても良い。当該構成の構築例を図７（ａ）〜図７（ｅ）に示す。当該図において図７（ａ）は図１Ａと、図７（ｂ）は図２Ａと、図７（ｃ）は図３Ａと、各々対応し、図７（ｄ）及び図７（ｅ）は同様の様式にて本形態特有の各構成の動作を示すものである。なお、図１Ａ等に示す各構成と類似する作用効果を呈する構成に関しては同様の参照符号を用いることにより、詳細な説明は省略することとする。本形態においては、蓋４を保持したドア１５が収容空間２０ａに回動した後に、回転軸３０ａと共にこれら構成を端面壁部２１ｂ方向に駆動することとし、これによりトンネル２０からドア１５等が微小空間側に突き出すことを防止している。
これにより、収容空間の深さd2をより小さくすることが可能となり、当該空間において生じる気流の滞留をより低減して、これに伴う塵等の滞留を低減できる。しかし、実際に当該動作を実施せしめる構成を如何様に配置するか、或いは当該機構が駆動する際に発生する塵等についても考慮する必要があるため、現状では本実施形態がより好適であると考えられる。
【００３１】
また、本実施形態においては、ドア１５と回転軸３０ａとを一対のＬ字アーム１６によって連結することとしている。しかしながら、当該アームを２枚の板材を繋いでなる断面Ｌ字上の一体状の部材としてこれをドアと連結する、換言すればドア自体を断面Ｌ字上の形状とすることとしても良い。また、その際に、微小空間２５から外部空間に対して流れる気流を適当な位置に確保できるように、ドアに対して適当なスリットを付加することが好ましい。この場合、ドア回動後に回転軸と連結する側の板材が端部壁部２１ｂ等と干渉すること、或いはポッド２の駆動領域と干渉することを防止するために、収容空間２０ｃを本実施形態より大きくする必要が生じる。従って、気流の滞留領域が拡大するという欠点がある反面、ドア１５による外部空間と微小空間２５との分離特性を大きく向上し、ポッド２が載置等されていない状態で塵等が外部空間から微小空間２５に侵入する可能性を大きく低減することが可能となる。
【００３２】
次に、以上の構成からなる蓋開閉機構の実際の動作について説明する。まず図１Ａ〜Ｄに示すように、ドア１５がトンネル２０を略閉鎖した状態にあって、ロード位置に存在する可動プレート１４上にポッド２を載置する。ポッド２が位置決めピン１４ａの作用等によって可動プレート１４上の所定位置に載置された後、可動プレート１４が不図示の駆動機構によってドア１５方向に前進する。駆動機構による可動プレート１５の移動は、ポッド２を閉鎖する蓋４が吸着パッド１５ｃと当接する位置にて停止する。なお、その際、蓋４に設けられた不図示の位置決め凹部に位置決めピン１５ｄが嵌まり込み、蓋４とドア１５とが異常な配置にて当接することが防止される。当接後、吸着パッド１５が不図示の排気機構によって蓋４の吸着保持を実施する。当該状態が図２Ａに示される。
【００３３】
吸着パッド１５ｃを介したドア１５による蓋４の保持が為されると、可動プレート１４はポッド２を載置した状態で所定の蓋離脱位置まで後退する。この後退動作によって、ドア１５に保持された蓋４はポッド２の開口部２ｂから分離される。なお、分離時に際しては、ポッド本体２ａが不図示のシール部材によって、或いはポッド２内部とその外部空間との圧力差によって、蓋４に貼り付いていることが考えられる。このため、ポッド本体２ａは種々の構成によって可動プレート１４に固定されていることが好ましい。本実施形態では、位置決めピン１４ａの長さをある程度以上のものとすることで、当該ピン１４ａによって可動プレート後退時に蓋４からポッド本体２ａに作用する力に抗することとしている。図３Ａ及び３Ｂにおいては、このように可動プレート１４が所定位置に後退して蓋４をポッド本体２ａから分離した、蓋離脱位置に存在する状態を示している。
【００３４】
可動プレート１４がこの停止状態を維持したままで、ドア開閉機構３０によってドア１５が回動される。ドア１５の回動は図４Ａ及び４Ｂに示す状態で停止し、ドア１５及び蓋４は収容空間２１に収容される。続いて可動プレート１４が前進し、図５Ａ及び５Ｂに示すように、ポッド２がウエハの挿脱位置に達したところで停止される。当該状態において、蓋４、ドア１５等は可動プレート１４を挟んでポッド２の下側に入り込んでいる。このため、微小空間２５内に生成されるダウンフローの効果と相まって、これら蓋等の構成に付着する塵等は容易にポッド２内部に侵入できなくなる。また、ダウンフローの生成によって微小空間内部は外部空間よりも高い圧力に維持されている。従って、トンネル２０内部には常に微小空間側から外部空間側に向かう気流の流れが生成されており、これら蓋４等に付着した塵等がポッド２の開口部２ｂに向かう可能性はさらに低減される。また、本発明においては、当該効果を得る観点から、トンネル２０の内壁とドアの周囲及びポッドの外周との間において適切な間隔（微小空間内と外部空間との差圧を過度に低減させず、且つ過度の流速を生じさせずに当該隙間を流れる気流を生成する間隔）を保持することとしている。
【００３５】
なお、本実施形態においては、微小空間２５と外部空間とをある程度以上分離してこれら空間を連通させる領域を限定するという観点から、収容空間２１内部から直線的に外部空間に向かう気流は形成できない構成となっている。しかしながら、例えば蓋４のドア１５との正対面は、吸着パッド１５ｃと当接する領域以外において、当接部材１５ｂとの間に微小な隙間を形成している。当該隙間に塵等が存在した場合、現状の構成ではこれらを効率よく外部空間に排出することは困難と思われる。外部環境の塵等の管理状態がそれほど高くない場合には、蓋４の正対面に塵等が残存する可能性が高くなると考えられる。このような環境下においては、例えばこの隙間を端部壁部２１ｂに投影した位置にスリットを設け、微小空間２５−当該隙間−スリットと連なる気体流路を構成することとして、当該隙間を流れる気流を生成して塵等の排出を促すことが好ましい。
【００３６】
図８に、このようなスリットを設けた形態を示す。なお、図８は当該実施形態を図１Ａと同様の様式で示したものである。図に示すように、ドア１５が回動して収容空間２０ｃ内の所定位置に停止した際に、当接部材１５ｂと蓋４と間にできる隙間と対向する端部壁部２１ｂにおける所定位置に端部壁スリット２１ｃを設けている。当該スリット２１ｃの形成により収容状態で当接部材１５ｂと蓋４との間の隙間を直線的に流れる気流を常時生成することが可能となり、当該隙間の塵等を効率的に外部空間に排出可能となる。なお、端部壁スリット２１ｃの形成位置或いは個数は当該形態に限定されず、ドア１５或いは蓋４の形状等に準じて、塵等が補足され易い位置を通る気体流路を生成するように更なるスリットを配し、これら塵等も排出可能としても良い。
【００３７】
以上の構成からなる蓋開閉システムを設けることにより、ポッドの蓋をポッド本体から取り外す際に、当該蓋及び当該蓋を開閉する機構をダウンフローから避けた位置、具体的には微小空間に対して突出した部分を作らないトンネル内部の位置に配置してウエハ等のポッドに対する挿入及び取り出し操作を行うことが可能となる。従って、ダウンフローによってポッドの蓋或いは当該蓋の開閉機構から塵等が吹き飛ばされることが無くなる。また、他のポッド、蓋、及びその駆動機構等も個々のトンネル内に配置されることから、一の蓋等に起因した塵等が他の蓋等の構成に再付着する可能性も低減されることとなる。なお、本発明の最良の形態としてドア等がポッドの駆動領域の下方に回動し、ウエハ挿脱操作時においてはドア等がポッドによって覆われる構成を示している。しかしながら、トンネルを配することにより複数のポッド間での塵等の授受の問題は解決されることから、本発明の形態においてドアの回動方向を上方としてもある程度の効果は期待できる。この場合、ウエハ挿脱操作時にポッド開口が回動停止位置よりも微小空間側に位置することとすれば、停止状態にあるドア等とポッド間に形成されている前述した隙間を流れる気流によってドア等に起因する塵等を外部空間に排出されるのでこれら構成起因の塵等のポッド内への進入もある程度防止できる。
【実施例】
【００３８】
次に、先に説明した蓋開閉システムを実際に使用する基板処理装置について、本発明の実施例として説明する。図９は、所謂ミニエンバイロメント方式に対応した半導体ウエハ処理装置（基板処理装置）４０の概略構成を示す側面図である。半導体ウエハ処理装置４０は、主にロードポート部（FIMSシステム、蓋開閉装置）１０、搬送室（微小空間）２５、および処理室２９から構成されている。それぞれの接合部分は、ロードポート側の壁１１と、処理室側の連通路２８とにより分離区画されている。半導体ウエハ処理装置４０における搬送室２５では塵を排出して高清浄度を保つ為、その上部に設けられたファンフィルタユニット３３により搬送室２５の上方から下方に向かって空気流(ダウンフロー)を発生させている。また、搬送室２５の下面はメッシュ等により構成されており、これによりダウンフォローの排出経路が構成される。以上の構成により、塵等が管理された空気が搬送室２５内に常に導入され、当該室内に存在する或いはポッド等から持ち込まれる塵等は、該ダウンフローによって常に下側に向かって運ばれ、排出されることになる。
【００３９】
ロードポート部１０上には、シリコンウエハ等（以下、単にウエハと呼ぶ）の保管用容器たるポッド２が載置台１４上に据え付けられる。なお、本実施例に係る装置においては、縦方向に３個のポッドが重ね合わせるように配置され、ポッド２の内部には２枚のウエハ１が保持される。先にも述べたように、搬送室２５の内部はウエハ１を処理する為に高清浄度に保たれており、更にその内部には搬送機構として実際にウエハを保持可能な搬送ロボット３５が設けられている。搬送ロボット３５はポッド２の重ね合わせ方向（鉛直方向）に移動可能であり、且つロボットアーム３５ａをイ同軸周りに３６０度回転可能となっている。当該ロボット３５によって、ウエハ１はポッド２内部と処理室２９の内部との間を移送される。処理室２９には、通常ウエハ表面等に薄膜形成、薄膜加工等の処理を施すための各種機構が内包されているが、これら構成は本発明と直接の関係を有さないためにここでの説明は省略する。
【００４０】
ポッド２は、前述したように、被処理物たるウエハ１を内部２枚に収めるための空間を有し、いずれか一面に開口を有する箱状の本体２ａと、該開口を密閉するための蓋４とを備えている。本体２ａの内部にはウエハ１を一方向に重ねる為の複数の段を有する棚が配置されており、ここに載置されるウエハ１各々はその間隔を一定としてポッド２内部に収容される。なお、ここで示した例においては、トンネル部材２１は複数（３系統）のトンネル２０を内部に有するが、単に前述したトンネル２０が可動プレート１４の配置に応じて形成されているだけであり、詳細については上述した形態と同様である。即ち、トンネル２０等の本発明に係る主たる構成は、上記実施形態において述べていること、及び図面の理解を容易なものとするという観点から、ここでの説明及び詳細な図示を省略する。
【００４１】
図１０は、図９における蓋開閉システム１０を拡大して示すものである。従来の多数枚のウエハを保持するポッドに対応したFIMSシステムでは、蓋がある程度以上の大きさを有さざるを得なかったことから、蓋を取り外し且つ微小空間の開口部を閉鎖するドアは、微小空間内を移動して当該空間内にて停止せざるを得なかった。本発明においては、当該ドアが細長い板形状を有することから、蓋の幅に相当する量のポッドとドアの相対移動を可能とし且つポッドの移動領域外への蓋及びドアの回動を行うことで、ポッドからウエハ挿脱を行ない得る状態が得られる。従って、図９に示すようにドアの開閉機構を微小空間２５とは独立したトンネル内に配置することが可能となる。
【００４２】
例えばロボットがＸＹＺ等の３系統の動作を複合して駆動される場合、各々の方向への駆動時に全て障害が存在してこれらを避けて動作することが求められる場合、当該ロボットを安全に動作させるためにはかなり複雑な安全回路を構成する必要がある。本発明においては、ロボットの鉛直方向（Ｚ軸方向）における駆動で問題となる微小空間２５内部に突出する構成が何ら存在しない。従って、実際に安全回路等が必要となるのはウエハ挿脱の操作を行なうときのみとなり、回路構成は格段に容易となる。更に、微小空間２５内にロボット３５以外の構成が内包されなくなることにより、ダウンフローを乱す構成、特にポッド開口周囲でダウンフローを乱す構成が存在しなくなることによって、当該ダウンフローの塵等の排出効率が高くなる。同様に、ダウンフローの乱れによってドア等から塵が生じる可能性も低減される。また、半導体業界におけるSEMI（Semiconductor Equipment and Materials international）規格においては微小空間を構成する壁の微小空間側内壁において、ウエハ挿脱に供せられる開口部の周辺に突起物を配置することが認められていない。本発明は、当該規格に対しても合致するものである。
【００４３】
なお、上述した実施例では、可動プレート１４を載置台１３上に配置し、ポッド２はこれらの上に載置する構成とした。しかし、本発明の適用例は当該実施例に限定されず、例えばポッド２を上方から吊り下げる様式としても良い。当該実施例は図１０と同様の様式にて図１１に示す。ポッド２を所謂自動ハンドリングによって搬送等する場合、ポッド２の上面に固定された上部フランジ２ｃを用い、当該フランジを懸架することで、ポッド２の搬送等が行なわれる。本実施例では、懸架部材１７によって搬送されたポッド２を保持し、懸架部材駆動機構１９によって懸架部材１７と共にポッド２を移送することとしている。
【００４４】
当該構成によれば、前述した実施形態における可動プレート１４を無くすことが可能となり、当該プレートがポッド２と共にトンネル２０内部に侵入する状況を無くすことが可能となる。従って、収容空間２０ｃに要求されていた当該プレートの進入に応じる空間を削減することが可能となる。しかしながら、前述の実施例においては、蓋４の分離時にポッド本体２ａに加えられる力にある程度抗する強さで、ポッド本体２ａを可動プレート１４上に保持可能であった。本実施例の場合、単なる懸架では蓋の分離時のポッド本体２ａの保持力が不十分な恐れがあり、そのための構造の構築或いは更なる構成の付加が必要となる可能性がある。しかしながら、当該構成も使用も可能であることから、本発明のける収容機支持機構或いは支持機構にはこのような構成も含まれて解釈されなければならない。
【００４５】
本発明によれば、微小空間内に突出する構成を無くした蓋開閉システムが得られる。当該システムにおいては、ポッドローディング側に突出する構成が無いことから、微小空間内に形成されているダウンフローの効果を最大限に利用することが可能となる。また、ウエハ挿脱の操作に供せられる搬送ロボットに関しても、高速移動が要求されるＺ軸移動時にロボットが避けるべき構成が微小空間内に存在しなくなることから、ロボットの制御プログラムの構築が容易になると共に高速移動を行なうことも容易となる。更に、ポッド開口部をトンネルによって各々分離したことにより、個々のポッドが持ち込んだ或いは当該ポッドから発生した塵等が他のポッドに進入する可能性を低減できる。また、実際のウエハ挿脱時において蓋、ドア及びその駆動機構をポッド下面の下方に配置し且つ当該下面にて覆う配置としたことにより、これら構成に基づいた塵等が当該ポッド内部に侵入する可能性も低減できる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
なお、本実施形態及び実施例においては、FOUP及びFIMSを対象として述べているが、本発明の適用例はこれらに限定されない。内部に複数の被保持物を収容するフロントオープンタイプの容器と、当該容器の蓋を開閉して該容器より被保持物の挿脱を行う系であれば、本発明に係る蓋開閉装置を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係る蓋開閉システムと当該システムに載置されたポッドとの主要部を側面側から見た状態の概略構成を示す図である。
【図１Ｂ】図１Ａに示す構成を同図中線１Ｂ−１Ｂに示す面で切断して見える概略構成を示す図である。
【図１Ｃ】図１Ａに示す構成を同図中の矢印１Ｃ方向から見た状態の概略構成を示す図である。
【図１Ｄ】図１Ａに示す構成を同図中の矢印１Ｄ方向から見た状態の概略構成を示す図である。
【図２】図１Ａに示す構成において、ポッド２が駆動されて蓋４がドア１５に当接、保持された状態を図１Ａと同様の様式にて示す図である。
【図３Ａ】図１Ａに示す構成において、ポッド２が一旦後退して蓋４がポッド本体２ａから分離された状態を図１Ａと同様の様式にて示す図である。
【図３Ｂ】図３Ａに示す構成を同図中線３Ｂ−３Ｂに示す面で切断して見える概略構成を示す図である。
【図４Ａ】図１Ａに示す構成において、ドア１５が回動して蓋４及びドア１５が収容空間２０ｃに収容された状態を図１Ａと同様の様式にて示す図である。
【図４Ｂ】図４Ａに示す構成を同図中線４Ｂ−４Ｂに示す面で切断して見える概略構成を示す図である。
【図５Ａ】図１Ａに示す構成において、ポッド２がウエハ１の挿脱位置まで移動し、挿脱操作が実行可能となった状態を図１と同様の様式にて示す図である。
【図５Ｂ】図５Ａに示す構成を同図中線５Ｂ−５Ｂに示す面で切断して見える概略構成を示す図である。
【図５Ｃ】図５Ａに示す構成を同図中の矢印５Ｃ方向から見た状態であって、蓋及びポッド本体を除いた他の概略構成を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態に関して、個々の寸法の定義を示す図である。
【図７】本発明の他の実施形態に関しての実際のポッドローディングからウエハ載置位置への当該形態の諸構成の動作を図１Ａ〜図５Ａと同様の様式にて示す図である。
【図８】本発明の他の実施形態を図１Ａと同様の様式にて示す図である。
【図９】本発明の一実施例に係る基板処理装置の概略構成を模式的に示す図である。
【図１０】図９に示す構成における本発明の主要部を拡大して示す図である。
【図１１】図１０と同様の様式にて、本発明の他の実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１：ウエハ、  ２：ポッド、  ４：蓋、  １０：蓋開閉システム、  １３：載置台、    １４：可動プレート、  １５：ドア、  １７：懸架部材、  １８：懸架部材駆動機構、  ２０：トンネル、  ２１：トンネル部材、  ２５：微小空間、  ２８：連通路、  ２９：処理室、  ３０：ドア開閉機構、  ３３：ファンフィルタユニット、  ３５：搬送ロボット、  ４０：基板処理装置
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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