(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形薄板状の基板を所定位置に導き入れる送りローラと、
この送りローラの所定位置に支持された前記基板の四辺の近傍に配置され、前記基板の端面を押動する押動部を有する移動機構部と、
前記押動部で押動した前記基板の周縁に対向する位置に配置され前記基板の端面の変形を感知の有無によって検出する基板検出センサと、
この基板検出センサで感知できなかった前記基板を前記送りローラ上から排出するための基板排出機構部とを備えることを特徴とする予備位置決め機構。
【請求項２】
矩形薄板状の基板を所定位置に導き入れる送りローラと、
この送りローラで所定位置に配置された前記基板の四辺の近傍に配置され、前記送りローラ間を移動して前記基板の端面を押動する押動部を有する移動機構部と、
前記送りローラの上端が突出する貫通穴を有すると共に、前記押動部が移動する貫通長穴を有する前記基板の載置板と、
この載置板に載置された基板に対して前記押動部が押動する前記基板の周縁に対向する位置に配置され前記基板の端面の変形を感知の有無によって検出する基板検出センサと、
前記送りローラまたは前記載置板の少なくとも一方を昇降させるための昇降機構部と、
前記基板検出センサで感知できなかった前記基板を前記載置板上から排出するための基板排出機構部とを備えることを特徴とする予備位置決め機構。
【請求項３】
前記基板検出センサが、前記移動機構部の押動部を支持する支持躯体側に配置されたことを特徴とする請求項１または２に記載の予備位置決め機構。
【請求項４】
矩形薄板状の基板の端面を、前記基板の四辺の近傍に配置された移動機構部の押動部で押動することにより、前記基板を予備位置決めする方法において、
前記押動部で押動する前記基板の周縁に対向する位置に配置され前記基板の端面の変形を感知の有無によって検出する基板検出センサにより前記基板の端面を感知しながら、前記基板の端面を前記押動部で押動して、前記基板検出センサの感知が正常にならないときは、前記押動部の押動を停止し、退行移動させる第１工程と、再度、前記基板の端面を前記押動部で押動して、前記基板検出センサの感知が正常なときには前記押動部の押動による予備位置決めを行い、前記基板検出センサの感知が正常にならないときには基板排出機構部により前記基板を排出する第２工程とを備えることを特徴とする予備位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プリント基板や液晶基板などの露光作業により所定のパターンを形成する基板の位置を予備的に位置決めするための予備位置決め機構に係り、特に基板が薄板である場合に適正な予備位置決め作業を行うことができる予備位置決め機構およびその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来において、基板に所定パターンを露光作業により形成する場合には、搬入ステージ、整合ステージ、露光ステージおよび搬出ステージなどの各ステージを備える露光装置が使用されている。そして、各ステージに基板を搬送するためには、搬送手段であるハンドラが一般的に使用されている。搬入ステージでは、基板を受け取る送りローラが設けられ、送りローラの回転により所定位置まで基板を導き入れ、予備位置決め機構により基板の位置を予備位置決めする。基板の予備位置決めが終了すると、ハンドラは、送りローラ近傍まで降下し、吸着パットを基板に当接して基板を真空吸着し、その状態で上昇することで、基板を送りローラからハンドラに受け渡している。ハンドラは、基板を保持した状態で、ガイドフレームに沿って水平方向に移動し、次ステージ（整合ステージ等）に基板を搬送している。
【０００３】
ここで、基板の位置を予備位置決めする際、基板を導き入れると共に、基板を載置するための送りローラと、基板の端面を押動し、基準位置にその基板を予備位置決めする押動部を有する移動機構部とから構成された予備位置決め機構が知られている。この予備位置決め機構では、基板が送りローラ上の所定位置に載置されると、その基板の四方の近傍に配置された移動機構部の押動部が、送りローラの上端より突出し、送りローラ間を移動し、基板の端面を押動して、基板を基準位置に移動させている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の基板の予備位置決め機構の構成では以下のような問題点が存在した。
【０００５】
送りローラ上の基板は、特に基板が薄い場合には基板自体に腰が無いために、基板の端面に反りが生じやすかった。さらに、このような端面に反りが生じた基板は、押動部で押動されると、その端面が押動部の下に潜り込み、端面に曲がり、折れ等の変形が生じる（図４参照）。従来の予備位置決め装置では、このような基板も、基板が基準位置に移動するまで、押動部により押動されるので、基板の端面が復元することなく変形してしまい、適切な予備位置決めができない不良基板が発生するという問題があった。また、この不良基板もハンドラで次ステージ（整合ステージ）に搬送されてしまうという問題もあった。
【０００６】
そこで、本発明は、このような問題点を解決すべく創案されたもので、その目的は、基板の端面に反りが生じても適正な予備位置決めができ、また位置決め不良基板を次ステージへ搬送することのない予備位置決め機構を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、矩形薄板状の基板を所定位置に導き入れる送りローラと、この送りローラの所定位置に支持された前記基板の四辺の近傍に配置され、前記基板の端面を押動する押動部を有する移動機構部と、前記押動部で押動した前記基板の周縁に対向する位置に配置され前記基板の端面の変形を感知の有無によって検出する基板検出センサと、この基板検出センサで感知できなかった前記基板を前記送りローラ上から排出するための基板排出機構部とを備える予備位置決め機構として構成したものである。
【０００８】
前記の構成において、基板検出センサが押動部で押動した基板の周縁となる位置に配置されていることにより、基板の端面の曲がり、折れ等の変形を検出し、押動部の押動を停止および退行移動させて、基板の端面の変形を復元させる（基板の端面の曲がり、折れ等がなくなり、水平状態に戻る）。また、変形が復元しない基板は基板排出機構部により予備位置決め機構外に排出させる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、矩形薄板状の基板を所定位置に導き入れる送りローラと、この送りローラで所定位置に配置された前記基板の四辺の近傍に配置され、前記送りローラ間を移動して前記基板の端面を押動する押動部を有する移動機構部と、前記送りローラの上端が突出する貫通穴を有すると共に、前記押動部が移動する貫通長穴を有する前記基板の載置板と、この載置板に載置された基板に対して前記押動部が押動する前記基板の周縁に対向する位置に配置され前記基板の端面の変形を感知の有無によって検出する基板検出センサと、前記送りローラまたは前記載置板の少なくとも一方を昇降させるための昇降機構部と、前記基板検出センサで感知できなかった前記基板を前記載置板上から排出するための基板排出機構部とを備える予備位置決め機構として構成したものである。
【００１０】
前記の構成において、載置板上に基板が載置されるので、基板の端面に反りが発生しにくくなり、基板の端面を押動部で押動しても曲がり、折れ等の変形が発生しにくくなる。また、発生した基板の端面の変形は基板検出センサが検出し、再度、基板の予備位置決めがなされる。さらに、変形した基板は基板排出機構部により予備位置決め機構外に排出される。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、前記基板検出センサが、前記移動機構部の押動部を支持する支持躯体側に配置された予備位置決め機構として構成したものである。
【００１２】
前記の構成により、基板の端面の曲がり、折れ等の変形を検出し、押動部の押動を停止および退行移動させて、基板の端面の変形を復元させる（基板の端面の曲がり、折れ等がなくなり、水平状態に戻る）。また、変形が復元しない基板は基板排出機構部により予備位置決め機構外に排出させる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、矩形薄板状の基板の端面を、前記基板の四辺の近傍に配置された移動機構部の押動部で押動することにより、前記基板を予備位置決めする方法において、前記押動部で押動する前記基板の周縁に対向する位置に配置され前記基板の端面の変形を感知の有無によって検出する基板検出センサにより前記基板の端面を感知しながら、前記基板の端面を前記押動部で押動して、前記基板センサの感知が正常にならないときは、前記押動部の押動を停止し、退行移動させ、再度、前記基板の端面を前記押動部で押動して、前記基板検出センサの感知が正常なときには前記押動部の押動による予備位置決めを行い、前記基板検出センサの感知が正常にならないときには基板排出機構部により前記基板を排出する予備位置決め方法として構成したものである。
【００１４】
前記の構成により、基板検出センサが基板の端面の変形を検出し、押動部の停止および退行移動させるので、基板の変形が復元し、再度、基板の予備位置決めがなされる。また、変形が復元しない基板は基板排出機構部により予備位置決め機構外に排出される。
【発明の実施の形態】
【００１５】
以下、本発明にかかる予備位置決め機構の実施の形態を図面に基づき説明する。
図１は第１の実施形態の予備位置決め作業を示す模式図、図２は移動機構部の斜視図、図３は移動機構部の平面図、図４は基板の端面の状態を示す模式図、図５は第２の実施形態の載置板の平面図、図６は第２の実施形態の予備位置決め作業を示す模式図、図７は第２の実施形態の載置板昇降機構部の断面図、図８は第３の実施形態の予備位置決め作業を示す模式図、図９は第３の実施形態の載置板の平面図、図１０は第３の実施形態の送りローラ昇降機構部の部分断面図である。
【００１６】
予備位置決め機構１は、図１〜図３で示すように、基板Ｗを載置する送りローラ２ａと、基板Ｗの端面を押動して基板Ｗを移動させるための移動機構部３１、３２、４１、４２と、基板検出センサ３１ｈ、３２ｈ、４１ｈ、４２ｈと、基板排出機構部６から構成されている。
【００１７】
送りローラ２ａは、図５で示すように、支持フレーム２ｆに複数列に配置された回転軸２ｂに支持されており、その回転軸２ｂの両端に取り付けたプーリ２ｄに掛け渡した無端ベルト２ｃを介して、駆動モータ（図示せず）により所定速度で回転するように構成されている。
【００１８】
また、送りローラ２ａは、列ごとに、あるいは、所定の位置ごとに、それぞれが、独立した駆動源（駆動モータ）を介して回転するように構成しても構わない。そして、送りローラ２ａの駆動源を異ならせる場合は、所定位置の送りローラ２ａに駆動源を設けないで従動回転する従動送りローラ（図示せず）を設ける構成としても良い。
【００１９】
移動機構部３１、３２、４１、４２は、図１〜図３で示すように、基板Ｗの四方で設置板３０上の対面する位置に配置され、その押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａで基板Ｗ中心方向に、基板Ｗを四方から押動する。
【００２０】
移動機構部３１、３２は、基板Ｗの対向する端部を押動する押動部３１ａ、３２ａと、この押動部３１ａ、３２ａを支持する支持躯体３１ｂ、３２ｂと、この支持躯体３１ｂ、３２ｂを支持する基台３１ｊ、３２ｊと、この基台３１ｊ、３２ｊを支持する架台３１ｄ、３２ｄとを備えている。そして、この架台３１ｄ、３２ｄは、支持躯体３１ｂ、３２ｂの移動方向に沿って設けたガイド３１ｃ、３２ｃを摺動自在に保持し、駆動モータ３１ｆによって駆動する駆動ベルト３１ｅに接続されている（移動機構部３１、３２で共有）。
【００２１】
したがって、駆動モータ３１ｆの回転によって駆動ベルト３１ｅが駆動すると、架台３１ｄ、３２ｄがガイド３１ｃ、３２ｃに沿って移動し、架台３１ｄ、３２ｄに支持されている支持躯体３１ｂ、３２ｂ、押動部３１ａ、３２ａが基板Ｗ側に移動する。また、駆動モータ３１ｆの反転駆動により、押動部３１ａ、３２ａは基板Ｗから離間する方向に移動する。また、対面する２つの移動機構部３１、３２のそれぞれが駆動ベルト３１ｅ、駆動モータ３１ｆを備えた構成としても良い。
【００２２】
また、基台３１ｊ、３２ｊは、押動部３１ａ、３２ａを、基板Ｗの大きさ、予備位置決めする基準位置に対応して１つ以上支持できるように構成されている。そして、支持躯体３１ｂ、３２ｂの後方には、基板Ｗの端面に押動部３１ａ、３２ａが当接する際に、その衝撃を吸収するように、弾性部材の伸縮方向と、押動部３１ａ、３２ａの移動方向が沿うように、弾性部材３１ｇ、３２ｇが設けられている。
【００２３】
また、基板Ｗが送りローラ２ａに搬入されて来たときに、邪魔にならないように、押動部３１ａ、３２ａが上下に移動して送りローラ２ａから出没自在になるように支持躯体３１ｂ、３２ｂを上下動させる上下駆動部３１ｉ、３２ｉを備える。
【００２４】
また、前記の駆動モータ３１ｆとしては、交流（または直流）モータやパルスモータ等が使用される。特に、パルスモータは動力制御をパルス量で制御するので、前記支持躯体３１ｂ、３２ｂの移動精度が高まり、押動部３１ａ、３２ａを数ｍｍ単位で制御できる。なお、パルスモータでは、押動部３１ａ、３２ａの制御幅が狭いので、基板Ｗの厚さに対応した調整が必要でないため、作業効率の面からパルスモータの使用が好ましい。
【００２５】
さらに、移動機構部４１、４２は移動機構部３１、３２と同一の構造であり、図３における押動部４１ａ、４２ａは押動部３１ａ、３２ａ、支持躯体４１ｂ、４２ｂは支持躯体３１ｂ、３２ｂ、ガイド４１ｃ、４２ｃはガイド３１ｃ、３２ｃ、架台４１ｄ、４２ｄは架台３１ｄ、３２ｄ、駆動ベルト４１ｅは駆動ベルト３１ｅ、駆動モータ４１ｆは駆動モータ３１ｆ、弾性部材４１ｇ、４２ｇは弾性部材３１ｇ、３２ｇ、上下駆動部４１ｉ、４２ｉは上下駆動部３１ｉ、３２ｉ、基台４１ｊ、４２ｊは基台３１ｊ、３２ｊと同一であるが、押動部４１ａ、４２ａ間の距離、ガイド４１ｃ、４２ｃの長さは押動部３１ａ、３２ａ間、ガイド３１ｃ、３２ｃと異なる場合がある。また、押動部４１ａ、４２ａは、基板Ｗの搬入時（搬入方向Ａ）の障害にならないので、上下駆動部４１ｉ、４２ｉによる上下動を行わない構成としても良い。
【００２６】
基板検出センサ３１ｈ、３２ｈ、４１ｈ、４２ｈは、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａで押動した基板Ｗの周縁に対向する位置に配置される。周縁に対向する位置は、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａの前方（基板Ｗ側）で、基板Ｗの端面を検出できる位置ならば移動機構部３１、３２、４１、４２上に限定されず、例えば、設置板３０上でも構わない。なお、作業性または検出精度の点から、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａを支持する支持躯体３１ｂ、３２ｂ、４１ｂ、４２ｂ側に配置され、図１〜図４では押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ，４２ａの基端近傍の基板Ｗ側（支持躯体３１ｂ、３２ｂ、４１ｂ、４２ｂの先端）に配置されることが好ましい。
【００２７】
この基板検出センサ３１ｈ、３２ｈ、４１ｈ、４２ｈには、光電センサや静電容量センサ等が使用される。この基板検出センサ３１ｈ、３２ｈ、４１ｈ、４２ｈは、基板Ｗを感知した場合を正常、基板Ｗを感知しない場合を異常と判断する。すなわち、基板Ｗの水平が狂うような曲がり、折れ等の変形が生じた基板Ｗは、基板検出センサ３１ｈ、３２ｈ、４１ｈ、４２ｈでは感知できず、異常と判断する。このような基板Ｗの変形は、図４に示すように、端面に反りが生じた基板Ｗを押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（３２ａ、４１ａ、４２ａは図示せず）で押動し、基板Ｗの端面が押動部の下部に潜り込んでしまった場合等に発生する。
【００２８】
基板排出機構部６は、図１に示すように、端面が変形した基板Ｗを予備位置決め機構１外に排出する機能を有するものであれば特に限定されず、例えば、搬入ステージから次ステージ（整合ステージ等）に基板Ｗを搬送しているハンドラ２０に、端面が変形し位置決め不良となった基板Ｗの排出機能を兼用させることできる。ハンドラ２０はガイドレールに沿って水平、垂直方向に移動できるように配置されている。前記ハンドラ２０は、基板Ｗを吸着する吸着パッド２１と、この吸着パッド２１を支持する保持板２２と、この保持板２２を上下動自在に支持する緩衝部２３と、この緩衝部２３を支持する支持フレーム２４とから構成されている。緩衝部２３は載置板５上の基板Ｗと当接した際の衝撃を吸収するようにコイルスプリング、ゴム筒、板バネ、エアークッション等の弾性部材で構成されている。
【００２９】
予備位置決め機構１の予備位置決め方法は、下記の通りである。
（第１工程）図１（ａ）で示すように、送りローラ２ａの上に基板Ｗを受け取ると、送りローラ２ａが回転し、基板Ｗを所定の位置まで移動させて、停止する。
【００３０】
（第２工程）図１（ｂ）で示すように、移動機構部３１、３２、４１、４２（４１、４２は図示せず）の押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（４１ａ、４２ａは図示せず）が、上下駆動部３１ｉ、３２ｉ、４１ｉ、４２ｉ（４１ｉ、４２ｉは図示せず）により送りローラ２ａの上端から突出する。さらに押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（４１ａ、４２ａは図示せず）が、駆動モータ３１ｆ、４１ｆ（４１ｆは図示せず）の駆動により送りローラ２ａ間を移動して、基板Ｗの端面を押動して予備位置決めを行う。
【００３１】
（第３工程）基板検出センサ３１ｈ、３２ｈ、４１ｈ、４２ｈが基板Ｗを感知して正常と判断された場合には、駆動モータ３１ｆ、４１ｆが停止して押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａによる押動が停止し、基板Ｗを次ステージ（整合ステージ等）に搬出する指示を基板排出機構部６に出力する。（第６工程）の動作に移る。
【００３２】
（第４工程）基板検出センサ３１ｈ、３２ｈ、４１ｈ、４２ｈが基板Ｗを感知できず異常と判断された場合、すなわち、図４に示されているような端面が変形した基板Ｗが発生した場合には、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（３２ａ、４１ａ、４２ａは図示せず）の押動が停止し、駆動モータ３１ｆ、４１ｆ（図示せず）が反転駆動して押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（３２ａ、４１ａ、４２ａは図示せず）が退行移動する。そして、再度、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａによる予備位置決めをやり直す指示を移動機構部３１、３２、４１、４２に出力する。
【００３３】
（第５工程）再度の予備位置決めで、基板Ｗが感知された場合には（第３工程）へ、基板Ｗが感知されない場合には、基板Ｗを予備位置決め機構１外に排出する指示を基板排出機構部６に出力する。
【００３４】
（第６工程）図１（ｃ）で示すように、基板排出機構部６のハンドラ２０が、送りローラ２ａ近傍まで降下し、吸着パット２１が基板Ｗに当接して、基板Ｗを真空吸着する。その状態でハンドラ２０が上昇することで、基板Ｗが送りローラ２ａからハンドラ２０に受け渡される。ハンドラ２０が基板Ｗを保持した状態で、ガイドフレームに沿って水平方向に移動して、基板Ｗを次ステージに搬出、または予備位置決め機構１外に排出する。
【００３５】
前記（第４工程）の動作において、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａが停止し、駆動モータ３１ｆ、４１ｆが反転駆動して押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａが退行移動することにより、基板Ｗの端面の曲がり、折れ等の変形が復元し、再度、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａで押動することができ、基板Ｗが適正な位置に予備位置決めされる。
【００３６】
また前記（第４工程）の動作において、基板Ｗ端面の曲がり、折れ等の変形が復元しない場合には、（第６工程）の動作において、基板排出機構部６により基板Ｗが予備位置決め機構１外に排出される。
【００３７】
つぎに、本発明の第２の実施形態について説明する。予備位置決め機構１０は、図６に示すように、前記予備位置決め機構１に、基板Ｗの反りを防止するための載置板５と、この載置板５を昇降させる昇降機構部としての載置板昇降機構部９を追加した予備位置決め機構である。なお、前記した構成と同じ部材については同じ符号を付して説明を省略する。
【００３８】
載置板５は、図５に示すように、その貫通穴５ａが、送りローラ２ａの回転の障害にならず、かつ、その送りローラ２ａの上端が少なくとも載置板５より上方に突出できるように構成されている。そして、予備位置決め用の貫通長穴５ｂを、移動機構部３１、３２、４１、４２の押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａの基板Ｗ中心方向への移動の障害にならないように、送りローラ２ａの送り方向に沿ったＡ方向に２本の貫通長穴５ｂと、送りローラ２ａの送り方向に直交するＢ方向に２本の貫通長穴５ｂを形成している。
【００３９】
また、貫通穴５ａおよび貫通長穴５ｂは、それぞれの開口周縁を面取りするように形成されており、載置板５上の基板Ｗの移動がスムーズにできるように構成されている。この貫通穴５ａおよび貫通長穴５ｂの面取りは基板Ｗが薄板である場合に重要であり、基板Ｗの端部が貫通穴５ａおよび貫通長穴５ｂに引っ掛かることを防止し、移動をスムーズにしている。
【００４０】
さらに、図５には載置板５に開口部５ｃ（図５では４箇所）が形成されている。開口部５ｃは、基板Ｗの予備位置決め時には空気を吹いて基板Ｗの移動をスムーズにし、また、予備位置決め終了時には真空吸引して載置板５上での基板Ｗの位置を固定する。
【００４１】
載置板昇降機構部９は、載置板５を昇降させる機能を有するものであれば特に限定されず、例えば、図７に示すように、載置板５を着脱自在に支持する支持脚７と、この支持脚７の上部に設けた緩衝部８と、支持脚７を上下動自在に保持する駆動部９Ａとから構成されている。
【００４２】
また、緩衝部８は、載置板５に接続して設けた筒状の当接部８ａと、この当接部８ａに設けた支持棹８ｃと、この支持棹８ｃに巻回して設けた弾性部材であるコイルスプリング８ｂとから構成されている。そして、支持脚７の上端に取り付けた支持環７ａが、コイルスプリング８ｂの下端を支持すると共に、支持棹８ｃが支持脚７の内部に沿って摺動自在となるように構成されている。そのため、載置板５上の基板Ｗが、後記する基板排出機構部６としてのハンドラ２０に当接した際、コイルスプリング８ｂが収縮し、支持環７ａおよび支持脚７が、支持棹８ｃ側に摺動することで、衝撃を吸収するように構成されている。また、弾性部材として、ゴム筒、板バネ、エアークッション等を使用しても良い。
【００４３】
さらに、駆動部９Ａは、設置板３０の下方に設けられており、その設置板３０を貫通して配置されている支持脚７の下端を保持する保持部９ｈと、この保持部９ｈを固定支持する固定板９ｇと、この固定板９ｇに設けられた移動ブロック９ｄと、この移動ブロック９ｄを移動させる送りネジ９ｃと、この送りネジ９ｃを伝達ベルト９ｂを介して回動させる駆動モータ９ａと、送りネジ９ｃに対して平行に配置され、固定板９ｇに取り付けた摺動部９ｅを介して移動ブロック９ｄの移動をガイドするガイドフレーム９ｆとから構成されている。前記の送りねじ機構の代わりに、シリンダ機構、ラックアンドピニオン等により支持脚７を上下動させ、載置板５を昇降移動させる構成であっても良い。
【００４４】
基板排出機構部６は、図６に示すように、搬入ステージから次ステージ（整合ステージ等）に基板Ｗを搬送しているハンドラ２０を用いることができる。
予備位置決め機構１０の予備位置決め方法は、以下の通りである。
【００４５】
（第Ａ工程）図６（ａ）で示すように、載置板５の貫通穴５ａ（図示せず）から上端を突出した送りローラ２ａの上に基板Ｗを受け取ると、送りローラ２ａが回転し、基板Ｗを所定の位置まで移動させて、停止する。
【００４６】
（第Ｂ工程）図６（ｂ）で示すように、載置板昇降機構部９の駆動部９Ａを介して支持脚７が上方に移動して載置板５が上昇し、送りローラ２ａの上端が基板Ｗに接触しない状態で載置板５上に基板Ｗが支持される。移動機構部３１、３２、４１、４２（４１、４２は図示せず）の上下駆動部３１ｉ、３２ｉ、４１ｉ、４２ｉ（４１ｉ、４２ｉは図示せず）により押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（４１ａ、４２ａは図示せず）が送りローラ２ａの上端から突出し、駆動モータ３１ｆ、４１ｆ（４１ｆは図示せず）の駆動により、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（４１ａ、４２ａは図示せず）が載置板５の貫通長穴５ｂ（図示せず）に沿って移動して、基板Ｗの端面を押動して予備位置決めを行う。このとき、開口部５ｃから空気が流出して基板Ｗの移動をスムーズにしている。
【００４７】
（第Ｃ工程）基板検出センサ３１ｈ、３２ｈ、４１ｈ、４２ｈが基板Ｗを感知して正常と判断された場合には、駆動モータ３１ｆ、４１ｆが停止して押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａによる押動が停止し、基板Ｗを次ステージ（整合ステージ等）に搬出する指示を基板排出機構部６に出力する。（第Ｆ工程）の動作に移る。
【００４８】
（第Ｄ工程）基板検出センサ３１ｈ、３２ｈ、４１ｈ、４２ｈが基板Ｗを感知できず異常と判断された場合、すなわち、図４に示されているような端面が変形した基板Ｗが発生した場合には、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（３２ａ、４１ａ、４２ａは図示せず）の押動が停止し、駆動モータ３１ｆ、４１ｆ（図示せず）が反転駆動して押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（３２ａ、４１ａ、４２ａは図示せず）が退行移動する。そして、再度、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａによる予備位置決めをやり直す指示を移動機構部３１、３２、４１、４２に出力する。
【００４９】
（第Ｅ工程）再度の予備位置決めで、基板Ｗが感知された場合には（第Ｃ工程）へ、基板Ｗが感知されない場合には、基板Ｗを予備位置決め機構１０外に排出する指示を基板排出機構部６に出力する。
【００５０】
（第Ｆ工程）図６（ｃ）で示すように、載置板昇降機構部９の駆動部９Ａにより支持脚７がさらに上方に移動して、載置板５が上昇し、待機している基板排出機構部６のハンドラ２０の吸着パット２１が基板Ｗに当接して、基板Ｗを真空吸着する。その状態で載置板５が降下することで、基板Ｗが載置板５からハンドラ２０に受け渡される。ハンドラ２０が基板Ｗを保持した状態で、ガイドフレームに沿って水平方向に移動して、基板Ｗを次ステージに搬出、または予備位置決め機構１０外に排出する。
【００５１】
前記（前記Ｂ工程）の動作において、基板Ｗは載置板５上で支持保持されるので、基板Ｗ端面の反りが発生しにくくなり、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａの押動による基板Ｗの端面の変形が発生しにくくなり、基板Ｗが適正な位置に予備位置決めされる。
【００５２】
前記（前記Ｄ工程）の動作において、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａが停止し、駆動モータ３１ｆ、４１ｆが反転駆動して押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａが退行移動することにより、基板Ｗの端面の曲がり、折れ等の変形が復元し、再度、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａで押動することができ、基板Ｗが適正な位置に予備位置決めされる。
【００５３】
また前記（前記Ｄ工程）の動作において、基板Ｗ端面の曲がり、折れ等の変形が復元しない場合には、（前記Ｆ工程）の動作において、基板排出機構部６により基板Ｗが予備位置決め機構１０外に排出される。
【００５４】
つぎに、本発明の第３の実施形態について説明する。予備位置決め機構４０は、図８に示すように、前記予備位置決め機構１０の載置板昇降機構部９の代わりに、前記載置板５を送りローラ２ａ上に配置するための受渡機構部５１と、基板Ｗを載置板５の上に支持するための送りローラ昇降機構部２ｇ（図１０）を備えた予備位置決め機構である。なお、前記した構成と同じ部材については同じ符号を付して説明を省略する。
【００５５】
受渡機構部５１は、図９に示すように、載置板５の端面に接続された受渡腕５１ｃと、この受渡腕５１ｃで載置板５を送りローラ２ａ上から垂直方向に立ち上げるための回転軸５１ｂと、この回転軸５１ｂを回転させる駆動モータ５１ａから構成されている。この受渡機構部５１により、開口部５ｃの真空吸引により載置板５上に固定された基板Ｗが次ステージ（整合ステージ等）へ受け渡される。
【００５６】
送りローラ昇降機構部２ｇは、送りローラ２ａを昇降させる機能を有するものであれば特に限定されず、例えば、図１０に示すように、シリンダ機構により支持フレーム２ｆに固定された駆動モータ２ｅを降下させて、送りローラ２ａの上端が基板Ｗと接触しない状態にして、基板Ｗを載置板５上に支持させるように構成されており、シリンダ機構の代わりに、送りネジ機構、ラックアンドピニオン等により駆動モータ２ｅを上下動させ、送りローラ２ａを昇降移動させる構成であっても良い。
【００５７】
予備位置決め機構４０の予備位置決め方法は、以下の通りである。
（第イ工程）図８（ａ）で示すように、受渡機構部５１を介して載置板５を送りローラ２ａ上に閉じて、この載置板５の貫通穴５ａ（図示せず）から上端を突出した送りローラ２ａの上に基板Ｗを受け取ると、送りローラ２ａが回転し、基板Ｗを所定の位置まで移動させて、停止する。
【００５８】
（第ロ工程）図８（ｂ）で示すように、送りローラ昇降機構部２ｇ（図１０）のシリンダ機構により送りローラ２ａを降下させて、送りローラ２ａの上端が基板Ｗに接触しない状態で載置板５上に基板Ｗが支持される。移動機構部３１、３２、４１、４２（４１、４２は図示せず）の上下駆動部３１ｉ、３２ｉ、４１ｉ、４２ｉ（４１ｉ、４２ｉは図示せず）により押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（４１ａ、４２ａは図示せず）が送りローラ２ａの上端から突出し、駆動モータ３１ｆ、４１ｆ（４１ｆは図示せず）の駆動により、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（４１ａ、４２ａは図示せず）が載置板５の貫通長穴５ｂ（図示せず）に沿って移動して、基板Ｗの端面を押動して予備位置決めを行う。
【００５９】
（第ハ工程）基板検出センサ３１ｈ、３２ｈ、４１ｈ、４２ｈが基板Ｗを感知して正常と判断された場合には、駆動モータ３１ｆ、４１ｆが停止して押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａによる押動が停止し、載置板５の開口部５ｃで基板Ｗを真空吸引して、載置板５上に基板Ｗを固定し、受渡機構部５１により基板Ｗを次ステージ（整合ステージ等）へ受け渡す。
【００６０】
（第ニ工程）基板検出センサ３１ｈ、３２ｈ、４１ｈ、４２ｈが基板Ｗを感知できず異常と判断された場合、すなわち、図４に示されているような端面が変形した基板Ｗが発生した場合には、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（３２ａ、４１ａ、４２ａは図示せず）の押動が停止し、駆動モータ３１ｆ、４１ｆ（図示せず）が反転駆動して押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ（３２ａ、４１ａ、４２ａは図示せず）が退行移動する。そして、再度、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａによる予備位置決めをやり直す指示を移動機構部３１、３２、４１、４２に出力する。
【００６１】
（第ホ工程）再度の予備位置決めで、基板Ｗが感知された場合には（第ハ工程）へ、基板Ｗが感知されない場合には、基板Ｗを予備位置決め機構４０外に排出する指示を基板排出機構部６に出力する。
【００６２】
（第ヘ工程）図８（ｃ）で示すように、基板排出機構部６のハンドラ２０が、送りローラ２ａ近傍まで降下し、吸着パット２１が基板Ｗに当接して、基板Ｗを真空吸着する。その状態でハンドラ２０が上昇することで、基板Ｗが送りローラ２ａからハンドラ２０に受け渡される。ハンドラ２０が基板Ｗを保持した状態で、ガイドフレームに沿って水平方向に移動して、基板Ｗを予備位置決め機構４０外に排出する。
【００６３】
前記（前記ロ工程）の動作により、基板Ｗは載置板５上で支持保持されるので、基板Ｗ端面の反りが発生しにくくなり、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａの押動による基板Ｗの端面の変形が発生しにくくなり、基板Ｗが適正な位置に予備位置決めされる。
【００６４】
前記（前記ニ工程）の動作において、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａが停止し、駆動モータ３１ｆ、４１ｆが反転駆動して押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａが退行移動することにより、基板Ｗの端面の曲がり、折れ等の変形が復元し、再度、押動部３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａで押動することができ、基板Ｗが適正な位置に予備位置決めされる。
【００６５】
また前記（前記ニ工程）の動作において、基板Ｗ端面の曲がり、折れ等の変形が復元しない場合には、（前記ヘ工程）の動作において、基板排出機構部６により基板Ｗが予備位置決め機構４０外に排出される。
【００６６】
【発明の効果】
前記したように、本発明において、基板検出センサが押動部で押動した基板の周縁となる位置または移動機構部の押動部を支持する支持躯体側に配置されていることにより、基板の端面に反りが生じても適正な予備位置決めができ、また位置決め不良基板を次ステージへ搬送することのない予備位置決め機構を提供できる。
【００６７】
また、本発明において、基板を載置板上で支持するための載置板昇降機構部または送りローラ昇降機構部が備えられていることにより、基板の端面に反りが発生しにくくなり、さらに適正な予備位置決めが可能となる。
【００６８】
また、所定位置に導き入れられた基板を、移動機構部の押動部の押動により予備位置決め作業を行う際に、押動部で押動した基板の周縁となる位置に配置された基板検出センサの感知が正常にならないときは、前記押動部の押動を停止し、退行移動させた後に再度押動による予備位置決めを行う、または、前記基板検出センサの感知が正常にならないときには基板排出機構部により前記基板を排出するので、基板の端面に反りが生じても適正な予備位置決めができ、また位置決め不良基板を次ステージへ搬送することのない予備位置決め方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態の予備位置決め作業を示す模式図である。
【図２】本発明の移動機構部の斜視図である。
【図３】本発明の移動機構部の平面図である。
【図４】本発明の基板の端面の状態を示す模式図である。
【図５】本発明の第２の実施形態の載置板の平面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態の予備位置決め作業を示す模式図である。
【図７】本発明の第２の実施形態の載置板昇降機構部の断面図である。
【図８】本発明の第３の実施形態の予備位置決め作業を示す模式図である。
【図９】本発明の第３の実施形態の載置板の平面図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態の送りローラ昇降機構部を示す部分断面図である。
【符号の説明】
１、１０、４０    予備位置決め機構
２ａ    送りローラ
２ｂ    回転軸
２ｃ    無端ベルト
２ｄ    プーリ
２ｅ    駆動モータ
２ｆ    支持フレーム
２ｇ    送りローラ昇降機構部
３０    設置板
３１、３２、４１、４２    移動機構部
３１ａ、３２ａ、４１ａ、４２ａ    押動部
３１ｂ、３２ｂ、４１ｂ、４２ｂ    支持躯体
３１ｃ、３２ｃ、４１ｃ、４２ｃ    ガイド
３１ｄ、３２ｄ、４１ｄ、４２ｄ    架台
３１ｅ、４１ｅ    駆動ベルト
３１ｆ、４１ｆ    駆動モータ
３１ｇ、３２ｇ、４１ｇ、４２ｇ    弾性部材
３１ｈ、３２ｈ、４１ｈ、４２ｈ    基板検出センサ
３１ｉ、３２ｉ、４１ｉ、４２ｉ    上下駆動部
３１ｊ、３２ｊ、４１ｊ、４２ｊ    基台
５    載置板
５ａ    貫通穴
５ｂ    貫通長穴
５ｃ    開口部
５１    受渡機構部
５１ａ    駆動モータ
５１ｂ    回転軸
５１ｃ    受渡腕
６    基板排出機構部
７    支持脚
８    緩衝部
９    載置板昇降機構部
９Ａ    駆動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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