(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガラス基板及び該ガラス基板に挟んだ合紙を傾斜させて積み重ねた状態で積載する斜め積みパレットから前記合紙を取り去る合紙除去装置と、前記合紙除去装置の近傍に設けて前記ガラス基板を取り出すハンドリング装置と、
前記斜め積みパレットを搬入口から前記ハンドリング装置の近傍に搬送し、更に前記ガラス基板及び合紙を取り出した後の前記斜め積みパレットを搬出口に搬送する第１〜第４の搬送手段からなるパレット搬送手段とを有し、
前記合紙除去装置は、前記斜め積みパレットに積載した前記ガラス基板の表面に対して直角方向に移動し得る合紙取り出し装置と、該合紙取り出し装置の先側に設けられて前記合紙を把持する吸着パッドと、前記合紙取り出し装置に取付けられて前記斜め積みされたガラス基板と前記合紙取り出し装置との間の距離を検出するセンサーと、前記斜め積みされたガラス基板及び合紙の上部を押さえる合紙押さえ部材と、該合紙押さえ部材を前記ガラス基板の積み厚の変化に応じて移動させる合紙押さえ走行装置とを有して、
更に、前記第１、第２、第４の搬送手段はチェンコンベアからなって、前記第３の搬送手段は前記第２の搬送手段の中間部と前記合紙除去装置及び前記ハンドリング装置が設けられた取り出し作業場との間を往復搬送するパレット台車を有し、
しかも前記斜め積みパレットの背面には、前記第１の搬送手段に前記斜め積みパレットを載置するときに取付けられ、前記パレット搬送手段での搬送中に前記斜め積みパレットが転倒するのを防ぐ補助支持部材を有し、前記第３の搬送手段では、前記第２の搬送手段の中間部から移し替えた前記補助支持部材が取付けられた前記斜め積みパレットを前記パレット台車に固定して搬送することを特徴とするガラス基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）用、カラーフィルター用などのガラス基板を複数枚傾斜させた状態で積み重ねて載置する斜め積みパレットを用いてガラス基板を搬送するガラス基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、複数枚のカラーフィルター等のガラス基板の、例えば厚みが０．７ｍｍ程度のガラス基板を搬送する場合、ＰＰ（ポリプロピレン樹脂製）ケースやＰＥ（ポリエチレン樹脂製）ケースといわれる内部に板をさし込む溝を設けた樹脂製の容器に２０〜３０枚のガラス基板を縦に入れ、蓋をかぶせてガラス基板製造メーカーと加工メーカーとの間をトラック輸送している。工場内では、受入れに際し、パレット上に例えば４分割に区分けした載置枠を設け、各載置枠内にＰＰケースあるいはＰＥケースを積載する。そして、コンベア上にパレットを載置してガラス基板の取り出し装置の近傍まで搬送している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガラス基板、特にガラス基板の面積が大型化する近年の傾向に対し、上記従来の方法では、パレット上の区分けした載置枠の面積も大きくする必要があり、従ってパレットの大きさも標準パレットが使えず、大きくする必要がでてくる。
また、工場内でガラス基板を搬送するとき、パレットの載置枠にはガラス基板が収納されたＰＰケースあるいはＰＥケースが載置された状態であるため、ＰＰケースあるいはＰＥケースの側壁の厚さと、内部にガラス基板をさし込む溝を設けるためのスペースが必要であり、それだけ、ガラス基板を載置するスペースが犠牲になって、１台のパレットで搬送するガラス基板の数が制限される。
当然、パレットの製作費用も大幅にアップする。更にはパレットを搬送する搬送装置も大きな寸法に変更しなければならなくなり、高額の設備費用を要するという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、大型のガラス基板でも安全かつ多量に搬送できる安価なガラス基板の斜め積みパレットを用いたガラス基板搬送装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前記目的に沿う本発明に係るガラス基板搬送装置は、複数のガラス基板及びガラス基板に挟んだ合紙とを傾斜させて積み重ねた状態で積載する斜め積みパレットから合紙を取り去る合紙除去装置と、合紙除去装置の近傍に設けてガラス基板を取り出すハンドリング装置と、
斜め積みパレットを搬入口からハンドリング装置の近傍に搬送し、更にガラス基板及び合紙を取り出した後の斜め積みパレットを搬出口に搬送する第１〜第４の搬送手段からなるパレット搬送手段とを有し、
合紙除去装置は、斜め積みパレットに積載したガラス基板の表面に対して直角方向に移動し得る合紙取り出し装置と、合紙取り出し装置の先側に設けられて合紙を把持する吸着パッドと、合紙取り出し装置に取付けられて斜め積みされたガラス基板と合紙取り出し装置との間の距離を検出するセンサーと、斜め積みされたガラス基板及び合紙の上部を押さえる合紙押さえ部材と、合紙押さえ部材をガラス基板の積み厚の変化に応じて移動させる合紙押さえ走行装置とを有して、
更に、第１、第２、第４の搬送手段はチェンコンベアからなって、第３の搬送手段は第２の搬送手段の中間部と合紙除去装置及びハンドリング装置が設けられた取り出し作業場との間を往復搬送するパレット台車を有し、
しかも斜め積みパレットの背面には、第１の搬送手段に斜め積みパレットを載置するときに取付けられ、パレット搬送手段での搬送中に斜め積みパレットが転倒するのを防ぐ補助支持部材を有し、第３の搬送手段では、第２の搬送手段の中間部から移し替えた補助支持部材が取付けられた斜め積みパレットをパレット台車に固定して搬送する。
この場合、ガラス基板は合紙を挟んで隙間を開けずに傾斜させて積み重ねた状態で斜め積みパレットに積載して搬送するので、合紙によってガラス基板の表面を保護し、大型のガラス基板でも安全かつ多量に搬送できる。特に、プラズマディスプレイパネル用、液晶用のガラス基板を搬送するのに適している。
また、斜め積みパレットを合紙除去装置の近傍まで搬送するパレット搬送工程、斜め積みパレットからガラス基板を１枚ずつ取り出すときの合紙除去工程及びガラス基板の取り出し工程、空の斜め積みパレットの戻し工程の全ての工程の自動化が可能となる。
【０００５】
ここで、合紙除去装置は、合紙取り出し装置と、合紙取り出し装置の先側に設けられた吸着パッドと、斜め積みされたガラス基板と合紙取り出し装置との間の距離を検出するセンサーと、斜め積みされたガラス基板及び合紙の上部を押さえる合紙押さえ部材と、合紙押さえ部材をガラス基板の積み厚の変化に応じて移動させる合紙押さえ走行装置とを備えている。
この場合、センサーによって吸着パッドと合紙押さえ部材との位置決めを正確にかつ自動的に行うことができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
ここに、図１は本発明の一実施の形態に係るガラス基板搬送装置を示す平面図、図２は同ガラス基板搬送装置に設けた合紙除去装置を示す側面図、図３は同ガラス基板搬送装置に用いる斜め積みパレットを示す側面図である。
【０００７】
図１に示すように、本発明の一実施の形態に係るガラス基板搬送装置５０は、斜め積みパレット１０を搬入口Ｈから取り出し作業場Ｔまで往復搬送するパレット搬送手段６０を備えている。パレット搬送手段６０は、搬入口Ｈで複数のガラス基板Ｗを積載した斜め積みパレット１０を搭載して搬送するチェンコンベアからなる第１の搬送手段６１と、第１の搬送手段６１から斜め積みパレット１０を受けて直角方向に搬送するチェンコンベアからなる第２の搬送手段６２を設けている。また、第２の搬送手段６２の中間部から斜め積みパレット１０を受けて、第２の搬送手段６２の中間部と合紙除去装置７０及びハンドリング装置８０を設けた取り出し作業場Ｔとの間を往復搬送する第３の搬送手段６３と、第３の搬送手段６３から第２の搬送手段６２の中間部で受けた空の斜め積みパレット１０を第２の搬送手段６２の最終端から受けて搬出口ｈまで搬送するチェンコンベアからなる第４の搬送手段６４とを有している。なお、図１、図２に示すように、第３の搬送手段６３は斜め積みパレット１０をパレット台車６３１にクランプ６３２によって固定し、パレット台車６３１をエアシリンダやリニアアクチュエータなどの直線移動装置６３３により駆動する構成にしている。
【０００８】
図２に示すように、取り出し作業場Ｔに設けた合紙除去装置７０は、斜め積みパレット１０に積載したガラス基板Ｗの表面に対して垂直（直角）方向に移動し得る合紙取り出し装置７１を備え、合紙取り出し装置７１は直線移動装置７１１によりパレット台車６３１と同じ方向に移動できるようにしている。合紙取り出し装置７１の先端には合紙Ｓを吸着する吸着パッド７２を設けている。合紙取り出し装置７１の吸着パッド７２を設けた付近には、ガラス基板Ｗと吸着パッド７２との間の距離を検出する例えば光電式などのセンサー７３を設けている。このセンサー７３の出力により、ガラス基板Ｗの積み厚Ｌの変化に追随するように、合紙取り出し装置７１を制御し、吸着パッド７２をガラス基板Ｗの表面の合紙Ｓに押しつけて、合紙Ｓを把持するようにしている。
【０００９】
また、斜め積みパレット１０に積載したガラス基板Ｗの上方には、斜め積みされたガラス基板Ｗ及び合紙Ｓの上部を押さえる合紙押さえ部材７４と、合紙押さえ部材７４をガラス基板Ｗの積載厚み方向に移動させる直線移動装置からなる合紙押さえ走行装置７５とを設け、合紙押さえ部材７４をガラス基板Ｗの積載厚みの変化に追随して移動し得るようにしている。図２にＡ部を拡大して示したように、合紙押さえ部材７４の先端にはスポンジなどの柔らかい弾性部材からなる押さえパッド７６を、例えばエアシリンダなどにより上下方向に移動する押さえパッド作動部７７を設け、合紙Ｓ及びガラス基板Ｗの上部を押さえるようにしている。
【００１０】
合紙除去装置７０に隣接して設けたハンドリング装置８０は、例えば多関節産業用ロボットからなり、そのアーム８１の先端には複数の吸着パッド８２をガラス基板Ｗの表面に分散するように配置している。合紙除去装置７０で合紙Ｓを除去した後に、アーム８１によって吸着パッド８２をガラス基板Ｗの表面に押しつけてガラス基板Ｗを１枚ずつ把持し、アーム８１を回動させて、近傍に設けた枚葉コンベア８３（図１参照）にガラス基板Ｗを載置できるようにしている。
【００１１】
ところで、図３に示すように、ガラス基板の搬送装置に用いる斜め積みパレット１０は、水平の載置面２１を有するベース２０の上に、傾斜して立て掛けた複数のガラス基板Ｗを受ける傾斜した受け面２２を有する支持部材２３を設けている。支持部材２３には、その両側面から水平方向に突出させて旋回軸２４を設け、旋回軸２４にはその回りに回動し得るブラケット２５を設けている。ブラケット２５には、旋回軸２４に対して直角方向に向けて設けた連結ピン２６に回動自在に連結した保持枠部材３０を設けている。保持枠部材３０は保持アーム３１を備え、保持アーム３１の先端付近には長手方向に沿って間隔を開けて複数個のセット孔３２を設けている。
また、保持枠部材３０は、支持部材２３の両側面にロック機構３３を備えている。両保持アーム３１の先端には、押圧手段３４の両端部を着脱自在に取付けている。
【００１２】
ここで、ガラス基板Ｗを積載した斜め積みパレット１０の搬送、合紙Ｓの除去、ガラス基板Ｗの取り出しを行うガラス基板搬送装置５０の動作について説明する。
ガラス基板Ｗは、補助支持部材４０を取付けていない状態の斜め積みパレット１０の載置面２１上に、複数枚の斜め積みした隣り合うガラス基板Ｗの間に合紙Ｓを挟み、ガラス基板Ｗの表裏面を合紙Ｓで覆った状態にして積載し、保持枠部材３０及び押圧手段３４によってガラス基板Ｗを囲むように保持しておく。
この状態で斜め積みパレット１０を外部の例えばトラックなどの搬送装置（図示しない）によって搬入口Ｈまで搬送し、第１の搬送手段６１に載置する。ここで、フックピン４４を切り欠き長孔２７に係合し、フック２８を支持脚部４２の上端に掛止して、斜め積みパレット１０の背面に補助支持部材４０を取付け、パレット搬送手段６０で搬送中に振動などで斜め積みパレット１０が転倒するのを防ぐ。この状態で、斜め積みパレット１０を第１の搬送手段６１上を移動させ、第１の搬送手段６１から第２の搬送手段６２に移し替える。更に、第２の搬送手段６２の中間部で第３の搬送手段６３のパレット台車６３１に移し替え、クランプ６３２により斜め積みパレット１０をパレット台車６３１に固定して、直線移動装置６３３によって合紙除去装置７０の合紙取り出し装置７１の下方に移動する。なお、符号２３１は取付けバー、４１は補助支持部材４０の水平部、４３は補強部を示す。
【００１３】
ここで、押圧手段３４を外し、ロック機構３３を解除して、外側に開き加減にして保持アーム３１を旋回軸２４の回りに回動させ、ガラス基板Ｗに接触しないように下方に下げ、ガラス基板Ｗ及び合紙Ｓを取り出せる状態にする。
その後、合紙取り出し装置７１を駆動して吸着パッド７２をガラス基板Ｗの表面に近づけ、合紙取り出し装置７１に設けたセンサー７３によってガラス基板Ｗの表面までの距離を検出する。センサー７３の出力から求めたガラス基板Ｗの表面の位置に応じて、合紙押さえ部材７４により押さえパッド作動部７７を積み重ねたガラス基板Ｗの表面の上端部まで移動して、押さえパッド作動部７７により押さえパッド７６をガラス基板Ｗの端部に押しつけ、合紙Ｓの上部をガラス基板Ｗの上端に固定する。この状態で、合紙取り出し装置７１により、検出したガラス基板Ｗの表面までの距離に応じて、吸着パッド７２を移動させ、更にガラス基板Ｗの表面を覆う合紙Ｓを押しつけて吸着した後、合紙取り出し装置７１を移動することにより吸着パッド７２をガラス基板Ｗの表面から遠ざけて合紙Ｓを引き剥がし、合紙除去作業を行う。その後、直線移動装置７１１により合紙取り出し装置７１を合紙投入ボックス７８の位置まで移動して、剥がされた合紙Ｓを合紙投入ボックス７８に入れ、外部に搬出する。なお、吸着パッド７２によって合紙Ｓを剥がすときには、僅かに押さえパッド作動部７７を上昇させて押さえパッド７６の押さえを緩め、合紙Ｓが剥がされた後は、積み重ねられたガラス基板Ｗの厚みに応じて、押さえパッド作動部７７を支持部材２３の方向にガラス基板Ｗの表面の上端部にくるまで移動し、その位置で押さえパッド作動部７７を動作させて合紙Ｓの上部を押さえる。
【００１４】
次に、ハンドリング装置８０のアーム８１を移動して吸着パッド８２をガラス基板Ｗの表面に押しつけて１枚のガラス基板Ｗを把持し、アーム８１を旋回して枚葉コンベア８３上に載置し、ガラス基板Ｗの取り出し作業を行う。枚葉コンベア８３は１枚ずつガラス基板Ｗを次の工程に搬送する。
ガラス基板Ｗを斜め積みパレット１０から枚葉コンベア８３に移動した後、合紙除去作業とガラス基板Ｗの取り出し作業とを繰り返して、斜め積みパレット１０に積載された全てのガラス基板Ｗを枚葉コンベア８３に載せる。
空になった斜め積みパレット１０は、第３の搬送手段６３によって第２の搬送手段６２の中間部の上に載せ替え、第２の搬送手段６２を移動して最終端部から第４の搬送手段６４に載せ替え、第４の搬送手段６４によって搬出口ｈに戻す。
【００１５】
このようなガラス基板搬送装置５０により、ガラス基板Ｗは合紙Ｓを挟んで隙間を開けずに傾斜させて積み重ねた状態で斜め積みパレット１０に積載して搬送するので、従来のように、ガラス基板が収納されたＰＰケースあるいはＰＥケースによってガラス基板の載置スペースが制限されることがなく、大型のガラス基板でも、合紙によってガラス基板を保護して安全かつ多量に搬送できる。また、斜め積みパレット１０からガラス基板Ｗを１枚ずつ取り出すときに、斜め積みパレット１０の搬送工程、合紙Ｓの除去工程、ガラス基板Ｗの取り出し工程、空になった斜め積みパレット１０の戻し工程の全ての自動化が可能となる。
【００１６】
【発明の効果】
請求項１記載のガラス基板搬送装置においては、複数のガラス基板及びガラス基板間に挟んだ合紙を斜め積みする斜め積みパレットから合紙を取り去る合紙除去装置と、合紙除去装置の近傍に設けたハンドリング装置と、斜め積みパレットを搬入口からハンドリング装置の近傍に搬送し、更にガラス基板及び合紙を取り出した後の斜め積みパレットを搬出口に搬送するパレット搬送手段とを有している。
したがって、ガラス基板は合紙を挟んで隙間を開けずに傾斜させて積み重ねた状態で斜め積みパレットに積載して搬送するので、大型のガラス基板でも安全かつ多量に搬送でき、搬送コストを低減することが可能である。
また、斜め積みパレットを合紙除去装置の近傍まで搬送するパレット搬送工程、斜め積みパレットからガラス基板を１枚ずつ取り出すときの合紙除去工程及びガラス基板の取り出し工程、空の斜め積みパレットの戻し工程の全ての工程の自動化が可能となり、作業工数を大幅に減らすことができる。
【００１７】
特に、請求項１記載のガラス基板搬送装置においては、合紙除去装置は、合紙取り出し装置と、合紙取り出し装置の先側に設けられた吸着パッドと、斜め積みされたガラス基板と合紙取り出し装置との間の距離を検出するセンサーと、斜め積みされたガラス基板及び合紙の上部を押さえる合紙押さえ部材と、合紙押さえ部材をガラス基板の積み厚の変化に応じて移動させる合紙押さえ走行装置とを有するので、センサーによって吸着パッドと合紙押さえ部材との位置決めを正確にかつ自動的に行い、合紙除去作業の自動化を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るガラス基板搬送装置を示す平面図である。
【図２】同ガラス基板搬送装置に設けた合紙除去装置を示す側面図である。
【図３】同ガラス基板搬送装置に用いる斜め積みパレットを示す側面図である。
【符号の説明】
１０：斜め積みパレット、２０：ベース、２１：載置面、２２：受け面、２３：支持部材、２４：旋回軸、２５：ブラケット、２６：連結ピン、２７：切り欠き長孔、２８：フック、３０：保持枠部材、３１：保持アーム、３２：セット孔、３３：ロック機構、３４：押圧手段、４０：補助支持部材、４１：水平部、４２：支持脚部、４３：補強部、４４：フックピン、５０：ガラス基板搬送装置、６０：パレット搬送手段、６１：第１の搬送手段、６２：第２の搬送手段、６３：第３の搬送手段、６４：第４の搬送手段、７０：合紙除去装置、７１：合紙取り出し装置、７２：吸着パッド、７３：センサー、７４：合紙押さえ部材、７５：合紙押さえ走行装置、７６：押さえパッド、７７：押さえパッド作動部、７８：合紙投入ボックス、８０：ハンドリング装置、８１：アーム、８２：吸着パッド、８３：枚葉コンベア、２３１：取付けバー、６３１：パレット台車、６３２：クランプ、６３３：直線移動装置、７１１：直線移動装置
【図１】
0004282827.tif 000002
【図２】
0004282827.tif 000003
【図３】
0004282827.tif 000004