(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザを使用することによりインクジェットプリントヘッドの構成要素から材料が除去されて、この間にノズルが形成される、インクジェットプリントヘッドの構成要素にノズルを形成する方法であって、
サブビームがレーザ通過構成要素を通過するように、レーザビームで、複数のレーザ通過構成要素が設けられたマスクを照射することと、
サブビームにより材料を除去することとを含み、
各レーザ通過構成要素が実質的に他のレーザ通過構成要素と同一の経路でレーザビームを横切るように、マスクを、レーザビームに対して、ビームに実質的に垂直な方向に移動させることと、
サブビームが構成要素の同じ位置に固定されるように前記構成要素をマスクを移動させる前記方向と実質的に反対な方向に移動させることを特徴とする方法。
【請求項２】
実質的に一定の速度で、レーザビームに対してマスクを動かす請求項１に記載の方法。
【請求項３】
レーザビームが静止している間、マスクと構成要素を動かす請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
サブビームは、レンズにより構成要素に映し出される請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
少なくとも２つのサブビームが、マスクを通過する請求項１から４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
マスクを通過するサブビームよりも多くのノズルが、構成要素に形成される請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
マスクへのレーザビームの投影が長手方向を有し、投影が実質的に平行線で長手方向に制限されるようにレーザビームが使用される請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザを使用することによりインクジェットプリントヘッドの構成要素から材料が除去されてノズルが形成される、インクジェットプリントヘッドの構成要素にノズルを形成する方法であって、サブビームがマスクを通過するようにレーザビームでマスクを照射することと、サブビームにより材料を除去することとを含む方法に関する。また、本発明は、実質的に同一のノズルを有するノズル構成要素と、このノズル構成要素が設けられたインクジェットプリントヘッドと、このようなプリントヘッドが設けられたインクジェットプリンタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
米国特許第５，３０５，０１５号に、この種の方法が開示されている。ノズルが形成される構成要素は、インクジェットプリンタのプリントヘッドの一部として使用される。この種のプリントヘッドは、通常、一連の実質的に閉口したインクダクトを備え、各インクダクトは、比較的に大きな開口部により、プリントヘッドの表面へと通じている。一実施形態において、これらの開口部は、平行な二列からなるパターンをなす。平坦な構成要素が、このプリントヘッドの表面に対して固定され、この開口部のパターンに対応するパターン状に多数のノズルを含む。その結果、各ダクトは、最終的に、小型で精密なノズルへと通じる。各ダクトには、例えば、熱構成要素または圧電アクチュエータからなる駆動手段が設けられ、この駆動手段を用いて、ダクト内の圧力を急速に上昇させることにより、対応するノズルを介してインク滴が吐出される。このようにして、インクダクトをイメージ状に作動させることにより、受材上に多数の個々のインク滴からなるイメージを形成できる。
【０００３】
この種のインクジェットプリンタを用いる場合、印刷の品質は、ノズルの特徴に非常に左右されることになる。ノズルの形状、サイズ（断面）およびダクトとの角度は、特に、小滴の重要な特性を決定する。これらの特性には、特に、小滴のサイズ、小滴が吐出される方向および小滴が吐出される瞬間の速度がある。例えば、プリントヘッドに固定される可撓性金属やプラスチックフィルムなど、別の構成要素にノズルを設けることに加え、インクダクトが設けられた構成要素にノズルを直接形成することもできる。
【０００４】
上記に挙げた特許明細書に開示された方法においては、可撓性プラスチックからなる構成要素が、レーザビームでマスクを照射する処理ステーションを通るように搬送され、このマスクは、レーザ通過構成要素のパターンで形成される。レーザビームは、例えば、Ｆ２、ＡｒＦ、ＫｒＣｌ、ＫｒＦまたはＸｅＣｌタイプのエキシマレーザから生じる。小さな領域に高エネルギー密度が得られるため、この種のレーザビームは、ノズルの形成に優れた能力を発揮する。マスクのレーザ通過要素のパターンにより、マスクを通過するサブビームパターンが得られる。これらのサブビームのそれぞれで、テープから材料が除去されてノズルが形成される。構成要素に特定形状をもつ連続した孔が形成されると、ノズルの形成が終了する。レーザビームから生じるサブビームの数が、設けられるノズルの総数よりもかなり少ないため、第１の一連のノズルが形成された後、マスクとレーザビームに対して構成要素が動かされ、その後、次の一連のノズルが形成される。この方法は、ステップアンドリピート方式のプロセスとして知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この方法には重大な欠点がある。レーザビームの構成、特に、放射がビームで伝播する角度およびこの放射の強度は、ビームの幅全体にわたってまったく同じものではない。すなわち、マスクを通過するサブビームの構成を正確に把握できないということである。その結果、このサブビームで処理して形成されるノズルの特性の調節は、不可能でないにしろ、困難である。したがって、ノズルの特性に比較的かなりの程度のばらつきが存在する。さらに、公知の方法において、必要とされるノズルの形状からかなり外れたノズルが形成されることがある。例えば、ダクトに対して大幅に傾斜したり、断面が必要以上にかなり大きなものになったりしたノズルが形成される可能性が大きい。これは、印刷の品質に悪影響を及ぼすものである。
【０００６】
本発明の目的は、良好な印刷品質が得られるインクジェットプリントヘッドノズル構成要素を簡潔な方法で提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、マスクに対して、マスクに実質的に平行な方向にレーザビームを動かすことにより、材料を除去している間、サブビームがレーザビームの一連の異なる部分から生じ、レーザビームの前記一連の異なる部分は前記方向に延びることを特徴とする請求項１のプリアンブルによる方法が見い出された。この方法において、ノズルは、ある種の「平均的な」レーザビームにより形成される。
【０００８】
このため、形成されるノズル毎のノズル特性のばらつきは、比較的小さいものであり、必要とされるノズルの形状に十分に対応するノズルの形成が簡単なものとなる。
【０００９】
この実施形態において、常にレーザビームの異なる部分でマスクのレーザ通過構成要素を照射するように、マスクに対してレーザビームを動かすことにより、レーザビームの異なる部分も常にサブビームとして通過する。このようにして、ノズルを形成する手段であるレーザビーム、ひいてはサブビームの偏向が、このようなビームのより多数の部分にわたって平均化される。これには、レーザビームの体系的な欠陥の発生を容易に解消できるという利点がある。さらに、レーザビームの設定の変化が、「平均的な」ビームに対しては、ビームの各部分に対してほどに厳しい影響を及ぼさないため、ノズルの形成をより簡単に制御することができる。
【００１０】
別の実施形態において、前述したレーザビームの一連の異なる部分が連続した列をなす。この方法の利点は、マスクをレーザビームで継続的に照射できることである。これにより、より簡潔な方法が得られるとともに、レーザビームの１つの部分から他の部分へ転移するときに鋭い転移がないという利点も得られる。この代わりとして、１つの流動的な動きになるように、マスクにわたってレーザビームが動かされる。
【００１１】
さらなる別の実施形態において、一連の部分は、前記方向に実質的にビームの全幅にわたって延びる。使用するレーザビームは、多くの場合、その特性の点で対称的なものであるため、レーザビームの偏向が非常に良好に平均化され、実質的にレーザビームの全幅を用いてノズルが形成される。その結果、実質的に対称的なノズルが得られ、これが印刷の品質を高める要因になる。
【００１２】
一つの好適な実施形態において、レーザビームは、実質的に一定の速度でマスクに対して動かされる。これは、本発明による方法を単純化するだけでなく、ビームにわたったよりよい平均化にも貢献する。このようにして、ノズルの対称性が十分に保証され、印刷品質の向上が得られる。
【００１３】
さらなる実施形態において、マスクと構成要素は、レーザビームが静止している間に動かされる。この実施形態において、レーザビームは、処理ステーションに固定されてよい。マスクを通過するサブビームが、構成要素の同じ場所に常に映し出されるように、マスクと構成要素は、動かされている間、互いに対して光学的に固定されている。
【００１４】
一つの好適な実施形態において、サブビームは、レンズにより構成要素に映し出される。この実施形態には多くの利点がある。まず、このようにすると、構成要素に要求される削減をレンズによって達成することができるため、比較的粗いマスク、すなわち、レーザ通過構成要素が比較的大きなマスクを使用できる。さらに、このようにすると、マスクでのレーザビームの放射強度を比較的小さくしたままにできるため、マスクへのダメージを防止できる。また、レンズを使用することにより、レーザビーム、マスクおよび互いの構成要素のレイアウトの点で、より高い自由度が得られる。
【００１５】
さらなる好適な実施形態において、少なくとも２つのサブビームがマスクを通過する。この方法には、公知の方法よりも非常に重要な利点がある。公知の方法において、マスクを通過する少なくとも２つのサブビームが可能な限り同一のものとなるように、レーザビームの均質性は慎重に制御され調節される。このようにして、形成されるノズルは、互いに異なること、すなわち、形状、サイズ、角度の点で異なることが可能な限り防止される。このような制御および調節には、高価な測定制御機器が要求されるが、ノズル間に差があると印刷品質が認知できる程度に劣化するため、必要なのである。これに対して、本発明による方法では、レーザビームの均質性を制御および調節せずとも、形成されるノズルは実質的に同一のものになることが分かっている。これは、各ノズルが、レーザビームにわたって実質的に同一に「平均」化されて形成される結果である。この方法のさらなる利点は、非常に不均質な、すなわち安価なレーザビームを使用できることである。特に、マスクに対してレーザビームを動かす方向と同じ方向に一列に並べてノズルを配置する場合、ノズルは特に同一のものになることが分かっている。
【００１６】
さらなる実施形態において、レーザビームから生じるサブビームよりも多くのノズルが構成要素に形成される。この実施形態には、断面が小さい、すなわち比較的安価なレーザビームを選択できるという利点がある。このようなレーザを用いても、レーザビームに対して構成要素を動かすことにより、多数のノズルを形成することができる。
【００１７】
さらなる別の実施形態において、マスクへのレーザビームの投影が長手方向を有し、実質的に平行線で長手方向の投影が規定されるように、レーザビームが使用される。この実施形態には、マスクのレーザ通過構成要素に対してビームを高精度に位置決めする必要がないという利点がある。すなわち、レーザビームが全体にわたって実質的に等しい幅のものであるため、各ノズルは、全レーザ強度が実質的に同一となるように形成される。これは、ノズルの均一性、ひいては本発明によるノズル構成要素が装備されるインクジェットプリンタの印刷品質に利益をもたらす。
【００１８】
本発明は、インクジェットプリントヘッドのノズル構成要素にも関し、このノズル構成要素は、実質的に同一のノズルを備え、本発明による方法により得られうるものである。この種の構成要素の利点は、ノズルから吐出されるインク滴が、可能な限り同じ特性を備えるということである。この種のノズル構成要素が設けられるインクジェットプリントヘッドの利点は、ヘッドの長さにわたった印刷の特性の差が可能な限り少ないということである。この種のプリントヘッドが設けられるインクジェットプリンタでは、高品質のイメージを作り出すことができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下の例を参照して、本発明を以下に説明する。
【００２０】
図１は、インクジェットプリンタを略図的に示す。この実施形態において、プリンタは、基材２を支持し、それを４つのプリントヘッド３に沿って供給するローラ１を備える。ローラ１は、矢印Ａで示されているように、ローラの軸を中心に回転可能である。走査キャリッジ４が、４つのプリントヘッド３を運び、ローラ１に平行な双方向矢印Ｂで示される方向に往復運動できる。このようにして、プリントヘッド３は、受入基材２、例えば、紙を完全に走査できる。キャリッジ４は、ロッド５および６上を誘導され、適切な手段（図示せず）により駆動される。
【００２１】
図示されているような実施形態において、各プリントヘッドは、それぞれにノズル７が設けられている８個の内部インクダクト（図示せず）を備えており、このノズルは、各プリントヘッドに、４つのノズルからなる実質的に平行な二列に並んだ列をなす。この実施形態において、これらの列のそれぞれは、ローラ１の軸に対して実質的に垂直である。インクジェットプリンタの現実の一実施形態においては、１つのプリントヘッド当たりのインクダクトの数は、多数倍多く、通常、約２００から４００ノズル／ヘッドとなるであろう。各インクダクトには、ダクト内のインクを加圧する手段（図示せず）が設けられているため、ダクトから受材の方向に、対応するノズル７を介してインク滴が吐出される。この種の手段は、例えば、サーミスタまたは圧電アクチュエータであってよい。また、これらの手段を作動させるために、各ダクトに電気駆動回路（図示せず）が設けられる。これらの手段がイメージ状に作動されると、インク滴からなるイメージが基材２上に形成される。この種のプリンタで基材が印刷される場合、このような基材またはその一部は、ピクセル行およびピクセル列からなる一定範囲をなす固定場所に（仮想的に）分割される。一実施形態において、ピクセル行はピクセル列に対して垂直のものである。その結果得られる別個の固定場所のそれぞれに、１以上のインク滴が与えられてよい。ピクセル行とピクセル列に平行な方向での単位長さ当たりの固定場所数を、例えば、４００×６００ｄ．ｐ．ｉ．（「ドット／インチ」）として示す印刷イメージの解像度と呼ぶ。
【００２２】
図２は、インクジェットプリントヘッド３の一例である。簡潔にするために、一列のみのインクダクトからなるヘッドが示されており、さまざまな部品を互いに別々に離して示している。
【００２３】
ヘッド３は、一列の平行なダクト１１が形成されるダクトプレート１０からなる。ダクトプレートの前面で、ダクトは出口開口部１２に通じる。背面で、ダクトは、ダクトプレートの壁を境界とする。底面で、ダクトは、液体インク（図示せず）を充填できるように、インクリザーバ（図示せず）へと狭い開口部（図示せず）を介して接続される。上面で、ダクトプレートは、ダクトを上面で閉口するようにアクチュエータフィルム１３で被覆される。このフィルム上に、圧電アクチュエータプレート１４が配置される。このアクチュエータプレート１４には、一列の平行な圧電フィンガ１５および１６が設けられる。フィンガ１５は、インクダクトの上方に配置される。フィンガ１６は、インクダクト１１を互いに分離するダム１８上に、フィルム１３を介して支持される。この実施形態において、ダクトプレート１０の前面は、この例では、ノズル７が形成される金属合金の薄い帯であるノズル構成要素１７で被覆される。この場合、ノズルの列は、インクダクト１１の出口開口部の列に対応する。出口開口部１２がなく、インクダクトがダクトプレート１０の前面でも壁を境界としている代替実施形態においては、ノズルはダクトプレート１０に直接形成される。
【００２４】
圧電フィンガ１５を作動させることにより、フィンガ１５がダクトプレートの方向に膨張すると、アクチュエータフィルム１３は、対応するインクダクト１２内で歪み、ダクト内の圧力が上昇する。これらの状況下では隣接するフィンガ１６により、圧電プレート１４に十分な支持が与えられる。フィンガ１５を正確に作動させることにより、圧力が上昇することで、インクダクトから対応するノズルを介してインク滴が吐出されることになる。
【００２５】
図３は、図３ａおよび図３ｂからなり、従来技術として公知のノズルを適用する方法を示す。この方法では、ソース２０からのレーザビーム２１でマスク２２が照射され、このマスクは、レーザ光を通す材料からなり、マスクにはレーザ光を伝達する一列の構成要素２３が設けられている。多数のサブビーム２４がマスクを通過する。その後、これらのサブビームは、レンズ２５により収束される。レーザソース２０と、マスク２２と、レンズ２５は、処理ステーション（図示せず）に配置され、互いに常に固定される。
【００２６】
構成要素１７、この場合は可撓性のポリイミドフィルムにノズルを設けるために、レーザソース２０がオフに切り換えられている間、フィルムは処理ステーションに沿って搬送される。構成要素がマスク２２に対して適切な位置を占めるとすぐに、レーザソースはオンに切り換えられ、図３ａに示されているように、構成要素上にサブビーム２４が映し出される。レンズ２５の収束作用の結果として、サブビームの列は、構成要素１７上に多数倍小さく映し出されて、マスクから出る。構成要素上でサブビームが作用した結果、この構成要素から材料が除去される（この手順はレーザアブレーションとして知られている）ことにより、マスクのレーザ通過構成要素２３の数に等しい多数のノズル７が形成される。レーザビームが不均質なものであると、構成要素のそれぞれの場所での材料の除去が異なるため、その結果得られる一連のノズルが、例えば、形状、頂角、サイズ、方向などの点で互いに異なるものになる。その結果、各ダクトにより吐出されたインク滴も異なるものになる。ノズルが形成された後、レーザソース２０はオフに切り換えられ、構成要素１７は、マスクに対して正確な位置を占めるまで搬送され、そして次の一連のノズルが構成要素に形成されうる。その後、レーザソース２０は、構成要素が次の処理を受けるように、再度オンに切り換えられる。これは、図３ｂに示されている。ステップアンドリピート方式として知られるこのような方法で、比較的小さなレーザビームを用いて、長いノズル列をもつノズル構成要素を得ることができる。
【００２７】
図４は、本発明による方法の第１の例を示す。この実施形態において、レーザソース２０は、処理ステーション（図示せず）において固定された構造の一部をなす。構成要素１７の処理中、レーザ通過構成要素２３が設けられているマスク２２は、レーザビーム２１で照射される。この例において、マスク２２は、３つのサブビーム２４を通過させ、これらのサブビームは、構成要素１７上にレンズ２５により映し出される。現実の一実施形態において、レーザビームの断面と構成要素２３のサイズとの間の比率は、数十のサブビームが形成される程度のものとなりうる。
【００２８】
レーザビーム２１に対して、ビームに実質的に垂直な方向Ｃにマスク２２を移動させることにより、各レーザ通過構成要素２３は、レーザビーム２１の実質的に同じ部分を横切る。この実施形態において、レンズ２５の焦点より少し遠くに配置された構成要素１７が、方向Ｃとは実質的に反対方向の方向Ｄに正確な速度で動かされると、各サブビーム２４は、構成要素１７上の同じ位置で固定された状態になる。これらの状況において、この構成要素１７の速度は、マスク２２の速度よりも多数倍遅いものであり、この比率は、構成要素上にサブビームを映し出す減少係数に等しい。この例において、最も左にあるサブビーム２４は、構成要素の位置ｊに映し出される。このサブビームは、レーザビームを横切って広がりの実質的な全体をすでに通ってきたものであり、対応するノズルは、位置ｊで実質的に完全に形成されたものに一致しつつある。マスク２２が方向Ｃにさらにわずかに動かされるとすぐに、対応するレーザ通過構成要素は、レーザビーム２１により照射されることがなくなる。レーザビームの強度、レーザ通過構成要素のサイズ、レンズの減少係数、およびマスクと構成要素の移動速度を適切に選択することにより、位置ｊのノズルは、対応する放射伝達構成要素がレーザビームから離れるときに完成する。
【００２９】
同図に示す処理ステージの位置ｈで、ノズルの形成が開始される。最初に、対応するレーザ通過構成要素２３にレーザビームが入り、出現したサブビームが位置ｈに映し出される。位置ｉは、ある程度長く継続している第２のサブビームで照射され、この位置のノズルはすでにある程度は形成されている。マスク２２と構成要素１７を指示した方向に移動させることにより、各レーザ通過構成要素２３は、レーザビーム２１の同じ部分を実質的に横切る。その結果、時間が経過するにつれ、実質的に同じように各位置で材料が除去されることになり、ノズルが実質的に同一のものとなる。この実施形態では、マスクが最小でも構成要素に形成されるノズルと同程度の数のレーザ通過構成要素をもつため、すべてのノズルは、１つの連続的な動作で形成可能である。
【００３０】
図５は、好適な実施形態によるレーザビームの一例を示す。この実施形態において、マスク２２上のレーザビーム２１の投影３０は長手方向を有する。長手方向、すなわち、マスクを横断して延びる方向において、投影は、実質的に平行なライン３１および３２で画定される。この実施形態において、ビームの幅が投影の全長にわたってほぼ等しいものであるため、マスクに対してマスクを横断する方向にビームを位置決めする精度はより低いものであってよい。これにより、特に、多数のレーザ通過構成要素が（マスクの長手方向に対して）互いに隣り合わせにマスクに存在する場合、利点が得られる。この例では、構成要素（図示せず）に同数のノズル列を同時に形成するように、マスクに二列の構成要素２３がある。第１列の構成要素にあるビーム２１の投影３０の幅が、第２列のものと等しいため、これらの列の構成要素は、マスクに対するビームの位置にかかわらず、同じ長さの時間照射されることになる。例えば、投影が円形であれば、この目的に合わせて、マスクに対してビームを非常に高精度に位置決めする必要が生じるだろう。構成要素２３が三列以上あれば、円形の投影ではこのような状況にすら達しないであろう。
【００３１】
典型的な例において、投影の幅ｄ１は、７．５ｍｍである。長さｄ２は、２４ｍｍである。このレーザビームは、構成要素列間の距離ｄ３が約２０ｍｍであるマスクを照射するために使用される。放射通過構成要素２３の形状は、通常、断面が約１００μｍの円形である。構成要素２３間の距離は、通常、１０００μｍである。サブビームが、レンズを使用して減少係数３で映し出されると、その結果得られるノズル構成要素は、互いに約６．５ｍｍの距離で平行な二列のノズルを有し、このノズルの断面は、約３０μｍであり、一列内にあるノズルの距離は、互いに約３３０μｍである。この種の列を、７５ノズル／インチ（７５ｎ．ｐ．ｉ．）の分解能をもつ列とも呼ぶ。このような二列が互い違いに設けられるため、その結果得られるノズル構成要素の最終的な分解能は、１５０ノズル／インチのものとなる。
【００３２】
図６は、使用するノズル構成要素に応じた多数のプリントヘッドの角度誤差を示す。
【００３３】
図６ａにおいて、従来技術として公知の方法を用いて形成されたノズル構成要素の場合の角度誤差が示されている。インク滴が、意図するものとは異なる角度でノズル構成要素を出た場合に、角度誤差が生じる。その結果、インク滴は、受材上の必要とされるピクセル位置からある距離離れた位置に達する。この距離を角度誤差と呼ぶ。角度誤差は、正（高すぎる場所への滴下）または負（低すぎる場所への滴下）の場合がある。この例において、角度誤差は、ノズル番号の関数として無次元単位「デルタ」として表される。
【００３４】
この図６ａの例において、角度誤差は、ノズル１２８個分の長さと７５ｎ．ｐ．ｉの分解能をもつプラスチックノズル構成要素を対象としている。ノズルを形成するために、レーザビームとマスクが使用され、それを用いて、１ステップにつき構成要素に２９個のノズルが形成される。図面に、ノズルの角度誤差のばらつきが示されている。角度誤差には再現パターンがあることは特に明らかであり、その周期は、１ステップ毎に形成されるノズル数に等しい。このノズル構成要素が、受材にイメージを印刷するインクジェットプリンタのプリントヘッドを形成するために使用されると、これらの誤差により、イメージに視覚的に認識可能な印刷アーチファクトが生じることになる。公知の方法では、特に、角度誤差以外にも小滴サイズの誤差があり、再現パターンが再度生じる。これも、印刷されたイメージに生じる厄介な印刷アーチファクトとなる場合がある。
【００３５】
図６ａと同様に、図６ｂは、比較可能なノズル構成要素の角度誤差を示すが、このノズル構成要素は、図４に示す方法により形成されたものである。ノズルがインク滴毎に同じ吐出角度をもたらしていることが有意であり、視覚的に認識できる再現誤差がないことは明らかであろう。より精密な検査によれば、インク滴の他の特性、特に、小滴サイズは、実質的に同じであることが分かっている。この利点は、ノズル列が比較的長い場合に特に顕著である。
【００３６】
【発明の効果】
本発明の方法により形成されるノズル構成要素を用いると、ノズルの偏差のばらつきがかなり小さくなり、単一のノズル列内に再現誤差パターンがないことは明らかであろう。その結果、このようなノズル構成要素を使用するプリントヘッドを用いると、小滴形成の偏差の数および程度が低減されることになる。これにより、印刷されるイメージの品質がより良好になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】インクジェットプリンタの図である。
【図２】インクジェットプリントヘッドの一例である。
【図３】図３ａおよび図３ｂからなり、従来技術として公知のノズル形成方法を示す図である。
【図４】本発明による方法の第１の例を示す。
【図５】一つの好適な実施形態によるレーザビームの一例である。
【図６】使用するノズル構成要素に応じた多数のプリントヘッドの角度誤差を示す。
【符号の説明】
１  ローラ
２  基材
３  プリントヘッド
４  走査キャリッジ
５、６  ロッド
７  ノズル
１０  ダクトプレート
１１  ダクト
１２  出口開口部
１３  アクチュエータフィルム
１４  圧電アクチュエータプレート
１５、１６  圧電フィンガ
１７  ノズル構成要素
１８  ダム
２０  レーザソース
２１  レーザビーム
２２  マスク
２３  レーザ通過構成要素
２４  サブビーム
２５  レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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