(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と、
レーザ光源からのレーザ光を受け入れる端と、レーザ光を反射する反射鏡が配置された端とを有し、前記二つの端の間の距離が変更可能な導光部と、
反射鏡により反射されたレーザ光の光路長に基づき反射鏡までの距離を求める測長部と、
を有する光学式測長機であって、
前記導光部は、
前記レーザ光の光軸上に共通の軸を有し、当該軸方向に相対移動可能であって、少なくとも一部が重なって配置される、外シリンダと内シリンダであって、当該外シリンダの一端と、内シリンダの一端が当該導光部の両端となる、外シリンダと内シリンダと、
前記外シリンダと前記内シリンダの重なった部分の、二つのシリンダの間に配置され、いずれか一方のシリンダに固定されたピストンであって、前記二つのシリンダの間の筒形状の空間を、それぞれ外部とほぼ遮断された第１圧力室と第２圧力室とに軸方向に区切るピストンと、
を有し、
さらに、前記第１圧力室内と前記第２圧力室内の圧力差を制御する圧力制御部を有し、前記圧力制御部は、前記導光部の反射鏡が配置された端を、測定対象物に当接させ、これを押圧する力である測定力を発生するように前記圧力差を制御する、
光学式測長機。
【請求項２】
請求項１に記載の光学式測長機であって、前記内シリンダの外シリンダ内側に位置する部分の一部は、伸縮自在のベローズ部を含み、当該内シリンダの両端が前記導光部の両端となる、光学式測長機。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光学式測長機であって、前記圧力制御部は、前記内シリンダに発生する軸方向の力を打ち消すように前記圧力差を制御する、光学式測長機。
【請求項４】
請求項１または２に記載の光学式測長機であって、前記圧力制御部は、前記導光部の前記２端の距離の変化と、大気圧の変化とに対して前記測定力を一定とする制御を行う、光学式測長機。
【請求項５】
請求項１または２に記載の光学式測長機であって、前記圧力制御部は、前記導光部の前記２端の距離の変化と、大気圧の変化と、前記内シリンダ内部の圧力の変化とに対して前記測定力を一定とする制御を行う、光学式測長機。
【請求項６】
請求項４に記載の光学式測長機であって、前記内シリンダの内部が、真空となっている光学式測長機。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の光学式測長機であって、
前記圧力制御部は、前記第１および第２圧力室内に作動流体を供給し、前記作動流体は、前記外シリンダと前記内シリンダのうち固定されたシリンダの壁内に設けられた管路より前記第１および第２圧力室に供給される、
光学式測長機。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の光学式測長機であって、
前記圧力制御部は、前記第１および第２圧力室のうち、作動流体を供給することによって前記導光部の２端の距離が延びる方の圧力室にのみ作動流体を供給する、
光学式測長機。
【請求項９】
請求項１から３、５のいずれか１項に記載の光学式測長機であって、
前記圧力制御部は、前記第１および第２の圧力室のうち、作動流体を供給することによって前記導光部の２端の距離が縮む方の圧力室にのみ作動流体を供給する、
光学式測長機。
【請求項１０】
レーザ光源と、
レーザ光源からのレーザ光を受け入れる端と、レーザ光を反射する反射鏡が配置された端とを有し、前記二つの端の間の距離が変更可能な導光部と、
反射鏡により反射されたレーザ光の光路長に基づき反射鏡までの距離を求める測長部と、
を有する光学式測長機であって、
前記導光部は、
前記レーザ光の光軸上に共通の軸を有し、当該軸方向に相対移動可能であって、少なくとも一部が重なって配置される、外シリンダと内シリンダであって、当該外シリンダの一端と、内シリンダの一端が当該導光部の両端となる、外シリンダと内シリンダと、
前記外シリンダと前記内シリンダの重なった部分の、二つのシリンダの間に配置されたシール部材であって、いずれか一方のシリンダに固定され、前記外シリンダ内に外部と遮断された圧力室を形成する、シール部材と、
を有し、
さらに、前記圧力室内の圧力を制御する圧力制御部を有し、前記圧力制御部は、前記圧力室内の圧力によって、前記導光部の反射鏡が配置された端を、測定対象物に当接させ、これを押圧する力である測定力を発生するように制御する、
光学式測長機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ光を利用した光学式測長機に関し、特にレーザ光が通る導光部の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図８は、従来の光学式測長機１１０の概略構成を示す図である。光学式測長機１１０は、レーザ光源１１２と、これから照射されたレーザ光を受け入れる導光部１１４を有している。導光部１１４は、ベース１１６上に固定される固定シリンダ１１８と、ベース１１６に対し、レーザ光軸方向に移動可能に軸受１２０を介して軸受ハウジング１２２に支持される移動シリンダ１２４と、二つのシリンダ１１８，１２４を連結するベローズ１２６を含む。二つのシリンダ１１８，１２４の外側の端面は閉じており、これによって導光部１１４の内部は、外部と遮断され、真空とすることが可能となっている。導光部１１４のレーザ光源１１２側の端には、レーザ光を受け入れるための窓１２８が設けられ、他端にはレーザ光を反射する反射鏡１３０が配置されている。レーザ光源１１２と窓１２８の間のレーザ光の光路上には、干渉計１３２が配置され、この干渉計１３２によって、レーザ光源１１２から参照光路側を往復した光と、反射鏡１３０で反射して導光部１１４内を往復した光との干渉によって光路差の変化が測定される。移動シリンダ１２４の移動は、これに固定されたナット１３４と、モータ１３６に駆動されるボールねじ１３８によって実行される。移動シリンダ１２４の反射鏡１３０が設けられた端は、当該シリンダの移動によって測定対象物に接触する探触子１４０である。探触子１４０の前方（図中左側）に測定対象物を、さらにその前方に基準面を配置して、この基準面と探触子１４０の表面とで測定対象物を挟持するように、移動シリンダ１２４が移動される。この移動量を干渉計１３２により求め、測定対象物の寸法測定を行うことができる。
【０００３】
【特許文献１】
特開平８−１６６２１５号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前述の光学式測長機は、導光部１１４の内部が真空となっており、外部の大気圧によって、この導光部１１４を縮めようとする力が作用する。一方、移動シリンダ１２４を支持する力は、ボールねじ１３８の軸線上に作用する。これらの力は、同一直線上にないため、モーメントが発生し、これが軸受部分などに歪みを生じさせて、測定精度を高められないという問題があった。
【０００５】
特開平８−１６６２１５号公報には、ベローズを２重に配置し、二つのベローズ間に加圧された流体を送り込むことによって、軸対称に力を発生させて、モーメントの発生を防止する装置が記載されている。しかし、ベローズを２重とすることにより装置が複雑化、大型化するという問題があった。
【０００６】
本発明は、前述の問題点を考慮してなされたものであり、簡易な機構により、前述のモーメントの発生を防止することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するために、本発明にかかる光学式測長機は、レーザ光の光路となる導光部を、内外二つのシリンダを含む構成としている。二つのシリンダは共通の軸を有するように配置されており、また、これらの間の筒状の空間には、これを軸方向に区切るピストンが設けられている。前記筒状の空間は、前記ピストンによって、導光部の外部から遮断された二つの圧力室に分けられる。二つの圧力室の圧力差により、二つのシリンダ間に軸方向の力を発生させる。このときの力は、導光部の軸線上に作用するため、モーメントが発生しない。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態（以下実施形態という）を、図面に従って説明する。図１は、本実施形態の光学式測長機１０の概略構成を示す図である。光学式測長機１０は、レーザ光源１２と、これから照射されたレーザ光を受け入れる導光部１４を有している。導光部１４は、共通の軸上に配置される二つのシリンダ１６，１８を含む。シリンダ１８の少なくとも一部は、シリンダ１６の内側に配置され、軸線方向に相対移動可能となっている。以下、外側に位置するシリンダ１６を外シリンダ１６と、内側に位置するシリンダ１８を内シリンダ１８と記す。
【０００９】
内シリンダ１８は、ベース２０に対し固定された固定シリンダ２２と、伸縮自在な部材、例えばベローズ２４を含み、さらに固定シリンダ２２とベローズ２４を結合する第１結合シリンダ２６、ベローズ２４と導光部１４の端面を結合する第２結合シリンダ２８を有する。図示するように、ベローズ２４は、外シリンダ１６の内側に位置するように配置され、固定シリンダ２２の一部も外シリンダ１６に入り込んでいる。内シリンダ１８のレーザ光源１２側の面には、レーザ光を導光部１４内に受け入れるための窓３０が設けられている。内シリンダ１８は、前述した各シリンダ２２，２６，２８とベローズ２４を一連に結合し、一方の端を窓３０、他方の端を後述する反射鏡により封止していることにより、その内部が外部と遮断されている。内シリンダ１８の内部空間は、ここを減圧するために、吸引管を介して真空ポンプ３１に接続されている。したがって、必要に応じて内シリンダ１８の内部を、所定の低圧、例えば真空に減圧することができる。また、測定中、真空ポンプ３１を、前記所定の低圧を維持するように動作させることも、真空ポンプ３１による減圧後、内シリンダ内を密閉し、測定を行うようにすることもできる。
【００１０】
外シリンダ１６は、軸受３２を介して、ベース２０に固定される軸受ハウジング３４に、軸方向に移動可能に支持されている。外シリンダ１６の図中左側の端は、導光部１４の端であり、測定対象物に接触する探触子３６である。左端には、また、レーザ光を反射する反射鏡３８が配置され、内シリンダ１８の端である第２結合シリンダ２８の端も固定されている。外シリンダ１６の反対側の端は、内シリンダ１８の外周と接触し、内部を封止する構造となっている。また、この部分の摩擦抵抗をより低減させるために、ラビリンス構造を採ることも可能である。すなわち、外シリンダ１６の、この端の内周面である内シリンダ１８外周面に対向する部分に、いくつかのつばを軸方向に配列し、後述するピストン４２と類似の構造とすることができる。
【００１１】
レーザ光源１２と窓３０の間のレーザ光の光路上には、干渉計４０が配置され、この干渉計４０によって、レーザ光源１２から参照光路側を往復した光と、反射鏡３８で反射して導光部１４内を往復した光との干渉によって光路差の変化が測定される。
【００１２】
導光部１４、特に内外のシリンダ１６，１８の重なった部分の詳細な構造を図２も参照して説明する。内シリンダ１８の外周には、つば状にピストン４２が固定され、その外周と外シリンダ１６の内周との間には、わずかの隙間が形成されている。そして、このピストンによって、内外シリンダ１６，１８の略円筒状の空間が、軸方向に区分される。区分された一方の空間、図中右側の空間を第１圧力室４４、左側の空間を第２圧力室４６とする。また、２つの圧力室を軸方向に区分するピストンは外シリンダ１６に固定することもできる。第１圧力室４４には、固定シリンダ２２の壁内に設けられた圧力導入管４８を介して圧力制御部５０より作動流体、本実施形態においては空気が供給される。同様に第２圧力室４６にも、圧力導入管５２を介して圧力制御部５０より作動流体が供給される。圧力制御部５０は、第１および第２圧力室４４，４６の圧力制御のために電空レギュレータを備えている。圧力室４４，４６の圧力は、これらの電空レギュレータに備えられている圧力センサの値を用いている。前述のように、固定シリンダ２２内に設けられた圧力導入管４８，５２を介して作動流体を供給しているので、可動部分にエアホース等を取り付けて流体を供給する場合に比べて、歪みが生じにくい。すなわち、可動部分に、エアホース等の反力が発生しないようになっている。
【００１３】
ピストン４２は、図示するように複数のつば状の部材より構成され、これによりラビリンスが形成され、この部分の圧力損失により、第１、第２圧力室４４，４６の圧力差が維持される。この構成によれば、ピストンの摺動抵抗を減少させることができる。また、この抵抗が問題とならない場合であれば、Ｏリングなどの一般的なシール方法を採用することもできる。
【００１４】
圧力制御部５０によって第１および第２圧力室４４，４６に供給される圧力の差により、探触子３６を測定対象物に当接させる力である測定力Ｆsを発生することができる。すなわち、固定シリンダ２２および第１および第２結合シリンダ２６、２８の外径ｄ1、ピストン外径ｄ2、第１圧力室４４内の圧力Ｐs1、第２圧力室４６内の圧力Ｐs2、ベローズ２４のばね定数ｋ、ベローズ長の変位量ｘ、ベローズ２４の有効断面積Ａe、大気圧Ｐ0、内シリンダ１８内の圧力Ｐaとすれば、前記の力Ｆsは、次式で表される。なお、ベローズ長の変位量ｘは、その自由長に対して圧縮方向を正、伸張方向を負とする。
【００１５】
【数１】
0004319396.tif 000002
【００１６】
第１、第２圧力室４４，４６の圧力差により生じる軸方向の力は、ピストン４２が軸に関して対称な形状をしているため、その作用線が軸線上となる。また、ベローズ２４の弾性力および大気圧と内シリンダ１８内の圧力とにより発生する抵抗力についても、導光部１４が軸対称の形状となっているために、これらの作用線が軸線上となる。よって、導光部１４にモーメントが作用することがなく、可動部分などに発生する歪みを抑えることができ、高い精度が補償される。
【００１７】
また、第１および第２圧力室４４，４６に適宜作動流体を供給することにより、導光部１４をアクチュエータとして機能させることができる。すなわち、第１圧力室４４に作動流体を送り込むことにより、こちらの圧力を高め、外シリンダ１６を図中右へ移動させることができる。これにより、探触子３６は、測定対象物に対して退避する運動を行う。また、逆に、第２圧力室４６に流体を供給すれば、外シリンダ１６を左へ移動させ、探触子３６を測定対象物に対して進出させることができる。
【００１８】
図１および図２に示した装置は、導光部１４のそのものを流体圧によるアクチュエータとして機能させるものであった。しかし、導光部１４の変位をモータにより行うようにすることが好ましい場合がある。このような場合には、従来技術で述べた装置の駆動機構、すなわちモータ１３６、ボールねじ１３８およびナット１３４を図１等に示した装置に適用することができる。
【００１９】
モータによる駆動が好ましい場合としては、例えばストロークの速度を一定とする場合がある。具体的には、図１の装置の探触子３６の部分にタッチ信号プローブを取り付け、倣い測定を行う場合などにストローク速度を一定とすることが精度の向上につながる。そして、二つの圧力室４４，４６の圧力差により、ベローズ伸縮方向に働く抵抗力を制御または相殺して、測定軸すなわちレーザ光軸上にてモーメントを発生しないようにする。これにより、モーメントによる歪みの発生を抑え、測定精度の向上が望める。また、この装置の場合には、移動速度をより安定化するために、圧力室の圧力制御の応答性を向上させることが好ましく、このため圧力室内に圧力センサを設けている。
【００２０】
図３は、他の実施形態の光学式測長機６０の概略構成を示す図である。前述した光学式測長機１０と同様の構成については、同一の符号を付し、説明を省略する。この光学式測長機６０においては、圧力制御部６２は作動流体を第１圧力室４４には供給せず、第２圧力室４６へのみ供給を行って、測定力および探触子の変位を制御している。この光学式測長機６０において、第１および第２圧力室４４，４６を仕切るシールは、非接触シールとなっている。すなわち、外シリンダ１６内壁面とピストン４２の外周面との間には、わずかに隙間が形成されており、この隙間を通って作動流体が流れる。また、外シリンダ１６の図中右側の端面内周と固定シリンダ２２の外周面も非接触シールとなっており、この間にも隙間が形成される。
【００２１】
光学式測長機６０において、第１および第２圧力室４４，４６の間に非接触シールを採用しているので、それぞれの圧力室の圧力Ｐs1（第１圧力室），Ｐs2（第２圧力室）は、ある関係を有している。この関係を、
Ｐs1＝η・Ｐs2  ・・・（２）
とおけば、前述の式（１）は、次式と書き換えられる。
【００２２】
【数２】
0004319396.tif 000003
【００２３】
また、内シリンダ１８内の圧力Ｐa が、導光部１４の長さの変化、すなわちベローズ長の変位に対して、一定として取り扱えない場合がある。例えば、内シリンダ１８内部の気圧を、十分高い真空度とせず、気体が残留している場合など、ベローズ長の変化に応じて内部の気圧が変化する。このような場合の、内シリンダ内圧力Ｐa は、内シリンダ内の、体積をＶt 、気体質量をｍ、絶対温度をＴ、気体定数をＲとすれば、気体の状態方程式より、
Ｐa ＝ｍＲＴ／Ｖt ・・・（４）
となる。また、内シリンダ１８内の体積Ｖt は、ベローズ部分の体積Ｖx と、固定シリンダ２２と第１および第２結合シリンダ２６，２８の内側空間の体積Ｖa の和である。体積Ｖx は変位に対して変化するのに対し、体積Ｖa は一定である。
【００２４】
ベローズ部分の体積Ｖx は、以下のように求めることができる。図４に示すように、ベローズ２４の中心軸をｘ軸に、また原点Ｏをベローズ２４の最大径ｒ2 の面内とし、原点Ｏを通り、ｘ軸に直交する方向にｙ軸をとる。ベローズ２４の最小径をｒ1 、隣接する最小径部分と最大径部分の距離をＸ1 とする。原点ＯからＸ1 までの円錐台形状の部分の体積Ｖ2 は、次式（５）となり、体積Ｖ2 がｎ個であるベローズ全体の体積は、次式（６）となる。さらに、ベローズ２４の長さがｘだけ、変化したときのベローズの体積Ｖx は、次式（７）となる。
【００２５】
【数３】
0004319396.tif 000004
【００２６】
式（４），式（７）などにより、式（３）を変形すれば次式を得る。
【００２７】
【数４】
0004319396.tif 000005
【００２８】
以上まとめると、非接触シールを用いる場合に、内シリンダ内圧Ｐa を一定として扱える場合には式（３）を、一定として取り扱えない場合には式（８）にて測定力Ｆs を算出することができる。
【００２９】
図５は、他の実施形態の光学式測長機７０の概略構成が示されている。前述の各光学式測長機１０，６０と同様の構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。光学式測長機７０は、光学式測長機６０と同様に、第２圧力室４６のみに作動流体を供給する。この供給によって導光部１４が伸長する。また、導光部１４を短縮するには、第２圧力室４６より作動流体を排出する。光学式測長機６０に対して、相違する点は圧力室のシールの構造が、接触式のものとなっている点である。第１および第２圧力室４４，４６を仕切るピストン７２の外周面と外シリンダ１６の内壁面には接触型のシールとしてＯリング７４が配置されている。また、外シリンダ１６の図中右端と固定シリンダ２２の外周面の間にも、接触型のシールとしてＯリング７６が配置されている。このときの測定力Ｆs は、次式（９）で表される。また、第１圧力室４４は閉じた空間であるから、その内部の圧力は、体積Ｖs1の関数、この例においては探触子３６の変位の関数となる。探触子３６の変位は、ベローズ２４の長さの変化ｘであり、初期値の第１圧力室４４の軸方向長さをＩ、第１圧力室内の気体の質量をｍ1 とすれば、気体の状態方程式などより、圧力Ｐs1は、次式（１０），（１１）で与えられる。式（９），（１０），（１１）を解けば、測定力Ｆs を得ることができる。
【００３０】
【数５】
0004319396.tif 000006
【００３１】
光学式測長機６０の場合と同様、内シリンダ１８内の圧力Ｐa を一定として取り扱える場合には上記の式（９）〜（１１）により、また一定として取り扱ったのでは不十分な場合には、次式（１２）および前出の式（１０），（１１）により、測定力Ｆs を算出することができる。
【００３２】
【数６】
0004319396.tif 000007
【００３３】
図６は、他の実施形態の光学式測長機７８の概略構成が示されている。前述の各光学式測長機１０，６０，７０と同様の構成については、同一の符号を付し、その説明を省略する。光学式測長機７８は、前述した各光学測長機の第１圧力室４４の図中右端を大気に対して開放した構成となっている。したがって、従前の第１圧力室４４は、圧力室として機能しない。光学式測長機７８においては、光学式測長機７０と同様に、第２圧力室４６に作動流体を供給し、またここから作動流体を排出することにより導光部１４の伸縮が制御される。測定力Ｆs は、式（９）または式（１２）にて、
Ｐs1＝Ｐ0
として、求めることができる。
【００３４】
光学式測長機７８においては、内シリンダ１８に固定されたピストン７２にＯリング７４を備えた構成であるが、内シリンダ１８は直管として、外シリンダ１６より内シリンダ１８外周面に向けてつばを設け、その先端にＯリングを配置して、第２圧力室４６をシールすることもできる。
【００３５】
以上の光学式測長機１０，６０，７０，７８を用いて測定を行う際には、測定力Ｆs を一定とする制御が要求される。すなわち、大気圧Ｐ0 、探触子３６の位置Ｌ、内シリンダ内圧Ｐa などの変化によらず、測定力Ｆs を一定にすることが要求される。また、所定の制御パラメータに対して、一定の変位が発生するようにとの要求がある。すなわち、圧力制御部５０，６２に供給する指令値に対して、大気圧などの変化によらず、１対１に対応した位置Ｌが発生するような制御が要求される。
【００３６】
上記の要求を達成する圧力制御部の構成について、光学式測長機６０，７０，７８に用いられる圧力制御部６２の場合に沿って説明する。図７に、圧力制御部６２の構成ブロック図を示す。圧力制御部６２は、所定の電圧Ｖにより第２圧力室４６内の圧力Ｐs2を所定の値に制御する電空レギュレータ８０を含む。また、電空レギュレータ８０に供給される電圧Ｖは、指定された測定力Ｆs を達成すべく、圧力センサ８２、位置センサ８４、大気圧センサ８６の各々の出力に基づき補正を行って決定される。圧力センサ８２は電空レギュレータ８０に備えられたセンサを用いることができ、第２圧力室の圧力Ｐs2に比例した信号を出力する。位置センサ８４は、この装置が測長機であるので装置そのものであり、測長機の出力が位置Ｌとなる。大気圧センサ８６は、大気圧Ｐ0 に比例した信号を出力する。
【００３７】
測定力Ｆs は式（１３）で表され、これを制御電圧Ｖにて解けば式（１４）となる。ここで、ＫV ：電圧比例係数、ＫL0：ベローズばね定数の定数項、ＫL1：ベローズばね定数の比例係数、ＫP ：大気圧比例係数、ＫPa：内シリンダ内圧力比例係数であり、また、ＣF ：測定力比例係数、ＣL0：位置係数定数項、ＣL1：位置係数比例係数、ＣP ：大気圧比例係数、ＣPa：内シリンダ内圧力比例係数である。
【００３８】
【数７】
0004319396.tif 000008
【００３９】
式（１２）において、各変数（Ｆs ，Ｖ，Ｌ，Ｐ0 ，Ｐa )に関して、互いに独立の５条件を与えて、５つの係数ＣF ，ＣL0，ＣL1，ＣP ，ＣPaを決定することができる。
【００４０】
実際の測定に当たっては、圧力制御部６２に所望の測定力Ｆs を与え、算出された補正係数に基づき補正部８８にて制御電圧Ｖを発生させ、電空レギュレータ８０を制御する。また、変位を発生させる場合には、Ｆs ＝０と与えて制御電圧Ｖを算出する。
【００４１】
以上、内シリンダ１８の内部圧力Ｐa を変数として取り扱ったが、式（８）、式（１２）を適用する場合であれば、圧力Ｐa は位置Ｌの関数となるので、変数および係数を一つ減らすことができる。
【００４２】
以上、作動流体を、これを供給することによって導光部が伸張する側の圧力室にのみに供給する場合について、大気圧などの変化によらず一定の測定力を発生させる構成について説明したが、光学式測長機１０などのように、二つの圧力室の双方の圧力を制御する場合においても、同様に補正係数を求め、測定力を一定とする補正を行うことが可能である。
【００４３】
また、作動流体を、これを供給することによって導光部１４が短縮する側の圧力室のみに供給するようにもできる。この場合は、内シリンダ１８内に所定量の気体を封入する。そして、第１圧力室４４の作動流体を供給することにより導光部１４を一旦短縮させ、その後第１圧力室４４より作動流体を排出することによって導光部１４を伸張させて測定を行う。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本実施形態の光学式測長機１０の概略構成図である。
【図２】  導光部１４の要部詳細図である。
【図３】  本実施形態の光学式測長機６０の概略構成図である。
【図４】  ベローズ２４内の体積の算出に関する説明図である。
【図５】  本実施形態の光学式測長機７０の概略構成図である。
【図６】  本実施形態の光学式測長機７８の概略構成図である。
【図７】  圧力制御部６２の構成を示すブロック図である。
【図８】  従来の光学式測長機の概略構成図である。
【符号の説明】
１０，６０，７０，７８  光学式測長機、１２  レーザ光源、１４  導光部、１６  外シリンダ、１８  内シリンダ、２２  固定シリンダ、２４  ベローズ、３６  探触子、３８  反射鏡、４０  干渉計、４２，７２  ピストン、４４  第１圧力室、４６  第２圧力室、５０，６２  圧力制御部。
【図１】
0004319396.tif 000009
【図２】
0004319396.tif 000010
【図３】
0004319396.tif 000011
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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