(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の中間部品、および、第１の中間部品から生産される第２の中間部品、の各段階を経て生産される製品を対象とし、中間部品在庫引当により中間部品の段階で受注製品に対する顧客の引当てを行なう顧客引当システムであって、
前記第１の中間部品について、検査結果が顧客の要求規格を満足している第１の中間部品を引当候補として選出し、さらにその引当候補の中から前記顧客に引き当てる第１の中間部品を仮確定する引当処理手段と、
前記引当処理手段により引当てが仮確定された第１の中間部品を製造工程で処理することにより得られた第２の中間部品について、検査結果が顧客の要求規格を満足している場合は、前記第２の中間部品に対する顧客の引当てを確定し、一方、満足していない場合は、前記第２の中間部品に対する顧客の引当てを解消すると共に、前記顧客に対する引当候補として選出した他の第１の中間部品を製造工程で処理することにより得られた第２の中間部品の中から、検査結果が顧客の要求規格を満足している第２の中間部品を、前記顧客に再引当する第２の中間部品として選出する再引当処理手段と、を有すること
を特徴とする顧客引当システム。
【請求項２】
請求項１記載の顧客引当システムであって、
前記再引当処理手段は、
前記顧客に再引当する第２の中間部品の元となる第１の中間部品について、他の顧客への引当が仮確定されている場合、前記顧客が前記他の顧客より優先度が高い場合に、前記第１の中間部品の前記他の顧客への引当てを解消して、前記第１の中間部品を前記顧客に再引当すること
を特徴とする顧客引当システム。
【請求項３】
請求項２記載の顧客引当システムであって、
前記再引当処理手段は、
受注製品の納期日に基づいて前記優先度を決定すること
を特徴とする顧客引当システム。
【請求項４】
請求項１、２または３記載の顧客引当システムであって、
前記引当処理手段での顧客に対する引当候補の仮確定日と、前記顧客へ納品日とに応じて、前記顧客に仮確定した第１の中間部品を特急で処理するべきか否かを示す情報を作成する生産計画見直処理手段をさらに有すること
を特徴とする顧客引当システム。
【請求項５】
請求項１、２、３または４記載の顧客引当システムであって、
前記生産計画見直処理手段は、
未引当ての第２の中間部品の在庫を品種別に集計し、その集計結果に応じて、品種別に、第１の中間部品の投入計画を示す情報を作成すること
を特徴とする顧客引当システム。
【請求項６】
請求項１、２、３、４または５記載の顧客引当システムであって、
前記第１の中間部品は、半導体のインゴットであり、
前記第２の中間部品は、半導体のインゴットをスライス工程に投入することにより得られる、研磨工程前の半導体ウエハであること
を特徴とする顧客引当システム。
【請求項７】
第１の中間部品、および、第１の中間部品から生産される第２の中間部品、の各段階を経て生産される製品を対象とし、中間部品在庫引当により中間部品の段階で受注製品に対する顧客の引当てを行なう顧客引当システムを、コンピュータシステム上に構築するためのプログラムであって、
前記プログラムは、
前記コンピュータシステムに読み取られて実行されることにより、前記コンピュータシステム上に、
前記第１の中間部品について、検査結果が顧客の要求規格を満足している第１の中間部品を引当候補として選出し、さらにその引当候補の中から前記顧客に引き当てる第１の中間部品を仮確定する引当処理手段と、
前記引当処理手段により引当てが仮確定された第１の中間部品を製造工程で処理することにより得られた第２の中間部品について、検査結果が顧客の要求規格を満足している場合は、前記第２の中間部品に対する顧客の引当てを確定し、一方、満足していない場合は、前記第２の中間部品に対する顧客の引当てを解消すると共に、前記顧客に対する引当候補として選出した他の第１の中間部品を製造工程で処理することにより得られた第２の中間部品の中から、検査結果が顧客の要求規格を満足している第２の中間部品を、前記顧客に再引当する第２の中間部品として選出する再引当処理手段と、を構築すること
を特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、顧客引当の管理技術に関し、特に、中間部品の段階で顧客引当を行なう中間部品在庫引当の管理に好適な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
生産管理技術の１つとして、受注による顧客引当がある。顧客引当は、受注対象製品の生産方式の形態によって、完成品在庫引当、中間部品在庫引当および原材料在庫引当の３つに大別できる。
【０００３】
完成品在庫引当は、受注対象製品が見込み生産方式により生産される製品に対して用いられることが多い。また、原材料在庫引当は、受注対象製品が個別受注生産方式により生産される製品に対して用いられることが多い。
【０００４】
そして、中間部品在庫引当は、多くの製品に共通して使用できる中間部品を見込み生産方式により生産し、その後、個別受注生産方式によりこの中間部品から受注対象製品が生産される場合に用いられることが多い。このような製品としては、複数の共通部品から構成されるアセンブリ品や、共通のインゴットから生産されるプロセス品などがある。
【０００５】
従来の中間部品在庫引当について、受注対象製品が半導体ウエハである場合を例にとり説明する。図１７は、従来の中間部品在庫引当が適用された半導体ウエハの製造工程を示している。
【０００６】
まず、前工程として、中間部品であるインゴットを見込み生産方式により生産する。結晶成長工程によりインゴットを生産し（Ｓ９０１）、このインゴットの結晶特性等を検査する（Ｓ９０２）。
【０００７】
以上のようにして生産されたインゴットは、在庫として取り扱われる（Ｓ９０３）。その後、在庫のインゴット各々について、結晶特性等の検査結果に基づいて、このインゴットから生産される半導体ウエハの用途を決定し、その用途に合わせて、半導体ウエハを注文した顧客を引き当てる（Ｓ９０４）。
【０００８】
次に、後工程として、インゴットから半導体ウエハを個別受注生産方式により生産する。インゴットを、このインゴットに引き当てた顧客の注文（規格・仕様）に従って、インゴットを半導体ウエハに切断するスライス工程（Ｓ９０５）、および、半導体ウエハを研磨する研磨工程（Ｓ９０６）を行なう。
【０００９】
以上のようにして生産された半導体ウエハ各々を、この半導体ウエハの元となったインゴットに引き当てられている顧客へ出荷する（Ｓ９０７）。
【００１０】
なお、中間部品在庫引当に関する技術として、特開平１１-３５３３９３号記載のものや特開平１１-３４５７５０号公報記載のものがある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、中間部品在庫引当において、顧客の注文に従って、この顧客に引き当てたインゴットから生産した半導体ウエハが、最終的に、この顧客が要求する特性を満足していない場合が考えられる。この点について、特開平１１-３５３３９３号記載や特開平１１-３４５７５０号公報記載の中間部品在庫引当に関する技術では、何ら考慮されていなかった。
【００１２】
なお、一般的な対策として、在庫されているインゴットに対して、この顧客を再度引き当てる方法が考えられる。しかし、この方法では、出荷までに、この顧客に再引当したインゴットに対する後工程の期間が更に追加されるため、納期遅延を生じる可能性が高まる。また、顧客が要求する特性を満足していないと判断された半導体ウエハが、過剰在庫の要因となり得る。
【００１３】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、中間部品在庫引当において、引当解消による納期遅延や過剰在庫の発生の可能性をより低くできるようにすることにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明では、中間部品在庫引当により中間部品の段階で受注製品に対する顧客の引当てを行なうために、顧客引当システムに、引当処理手段と、再引当処理手段とを設けている。
【００１５】
前記引当処理手段は、検査結果が顧客の要求規格を満足している第１の中間部品を引当候補として選出し、さらにその引当候補の中から前記顧客に引き当てる第１の中間部品を仮確定する。また、前記再引当処理手段は、前記引当処理手段により引当てが仮確定された第１の中間部品を処理することにより得られた第２の中間部品について、検査結果が顧客の要求規格を満足している場合は、前記第２の中間部品に対する顧客の引当てを確定し、一方、満足していない場合は、前記第２の中間部品に対する顧客の引当てを解消すると共に、前記顧客に対する引当候補として選出した第１の中間部品を処理することにより得られた第２の中間部品の中から、検査結果が顧客の要求規格を満足している第２の中間部品を、前記顧客に再引当する第２の中間部品として選出する。
【００１６】
本発明によれば、前記の構成により、中間部品在庫引当において、第２の中間部品の段階で、第１の中間部品の段階で仮確定した顧客への引当てを解消する必要が生じた場合、この顧客に対して、先ず、在庫されている他の第２の中間部品の再引当が試みられる。したがって、従来に比べ、引当解消による納期遅延や過剰在庫の発生の可能性をより低くできる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の中間部品在庫引当について、受注対象製品が半導体ウエハである場合を例にとり、一実施形態を説明する。
【００１８】
図１は、本発明の中間部品在庫引当が用いられる半導体ウエハの製造工程を示している。
【００１９】
まず、前工程として、中間部品であるインゴットを見込み生産方式により生産する。比抵抗等の特性を成長条件として、結晶成長工程によりインゴットを生産し（Ｓ１０１）、このインゴットの結晶特性等を検査する（Ｓ１０２）。なお、以下の説明において、半導体ウエハのロットは、インゴットを単位として決定されるものとする。
【００２０】
さて、以上のようにして生産されたインゴットは、在庫として取り扱われ、サイズや特性毎に仕分けされる（Ｓ１０３）。その後、在庫のインゴット各々について、結晶特性等の検査結果に基づいて、このインゴットから生産される半導体ウエハの用途を決定する。そして、半導体ウエハを注文した顧客各々に対して、半導体ウエハの用途や特性がこの顧客の要求を満足しているインゴットを調べ、これらを引当候補とする。それから、半導体ウエハを注文した顧客各々に対して、引当候補の中から、この顧客に引き当てるインゴットを選び出す（Ｓ１０４）。
【００２１】
次に、後工程として、インゴットから半導体ウエハを個別受注生産方式により生産する。インゴットを、このインゴットに引き当てた顧客の注文（規格・仕様）に従って、スライス工程（Ｓ１０５）を行ない、半導体ウエハのロットを生産する。それから、この半導体ウエハのロットの特性検査を行なう（Ｓ１０６）。以上のようにして生産された半導体ウエハのロットは、在庫として取り扱われる（Ｓ１０７）。その後、在庫の半導体ウエハのロット各々について、再引当処理を行なう（Ｓ１０８）。
【００２２】
まず、半導体ウエハのロットの特性検査結果に基づいて、このロットが、元となるインゴットに引き当てた顧客が要求する特性を満足しているか否かを評価する。満足している場合は、このロットに対し、この顧客の注文に従って研磨工程を行なう（Ｓ１０９）。一方、満足していない場合は、引当を解消する。そして、在庫の半導体ウエハのロットであって、この顧客の引当候補から生産したロットの中から、この顧客が要求する特性を満足するロットを選び出し、これをこの顧客に引き当てる（再引当）。そして、このロットに対し、この顧客の注文に従って研磨工程を行なう（Ｓ１０９）。なお、再引当のために選び出したロットに、別の顧客が引き当てられている場合、この別の顧客と再引当を行なう顧客との間で優先度を決定し、優先度の高い方にこのロットを引き当てる。この結果、このロットが引き当てられなかった顧客に対しても、上述の再引当を行なう。引き当するロットに別の顧客が引き当てられていなくなるまで、この処理を繰り返す。
【００２３】
以上のようにして生産された半導体ウエハ各々が、この半導体ウエハのロットの元となったインゴットに引き当てられている顧客へ出荷される（Ｓ１１０）。
【００２４】
図２に、本発明の一実施形態が適用された中間部品在庫引当システムの概略構成を示す。
【００２５】
図示するように、本実施形態の中間部品在庫引当システムは、情報の入出力を行なう入出力部１０と、生産管理に用いる情報を記憶する記憶部２０と、処理部３０と、を有する。
【００２６】
処理部３０は、図１のＳ１０４に示す引当処理を行なうための引当処理部３１と、図１のＳ１０８に示す再引当処理を行なうための再引当処理部３２と、再引当処理により修正された顧客への引当状況に応じて、前工程や後工程の生産計画の見直しを支援する生産計画見直処理部３４と、引当処理部３１や再引当処理部３２や生産計画見直処理部３４や入出力部１０よりの指示に従い、記憶部２０に記憶する情報の登録・更新・削除を管理するＤＢ管理部３３と、を有する。
【００２７】
記憶部２０には、顧客からの受注情報を登録する受注情報ＤＢ２１と、インゴットおよび半導体ウエハそれぞれの在庫情報を登録する在庫情報ＤＢ２２と、インゴットおよび半導体ウエハそれぞれの仕掛り情報を登録する仕掛り情報ＤＢ２３と、インゴットおよび半導体ウエハそれぞれの検査情報を登録する検査情報ＤＢ２４と、インゴットおよび半導体ウエハそれぞれの生産計画情報を登録する生産計画情報ＤＢ２５と、顧客引当情報を登録する顧客引当情報ＤＢ２６と、を有する。
【００２８】
図３に、受注情報ＤＢ２１の登録内容例を示す。図示するように、受注情報ＤＢ２１に登録される各レコード２１１は、受注番号を登録するためのフィールド２１２と、顧客の識別情報である顧客ＩＤを登録するためのフィールド２１３と、顧客の要求納期を登録するためのフィールド２１４と、顧客の要求ウエハ数量を登録するフィールドための２１５と、顧客の要求ウエハ規格（比抵抗およびウエハ厚）を登録するためのフィールド２１６と、このレコードにより特定される顧客への引当処理の実行状況（未処理、処理中および処理済のいずれか）を登録するためのフィールド２１７と、を備えている。
【００２９】
図４に、在庫情報ＤＢ２２の登録内容例を示す。図示するように、在庫情報ＤＢ２２は、インゴットの在庫情報を登録する前工程在庫情報ＤＢ２２１と、半導体ウエハの在庫情報を登録する後工程在庫情報ＤＢ２２２と、を有する。
【００３０】
前工程在庫情報ＤＢ２２１に登録される各レコード２２１１には、在庫されている各インゴットのロット番号が登録される。また、後工程在庫情報ＤＢ２２２に登録される各レコード２２２１は、ロット番号を登録するためのフィールド２２２２と、このロット番号が付与されたインゴットから生産された半導体ウエハの入庫枚数を登録するためのフィールド２２２３と、前記半導体ウエハの在庫からの出庫枚数を登録するためのフィールド２２２４と、前記半導体ウエハの在庫枚数を登録するためのフィールド２２２５と、を備えている。
【００３１】
図５に、仕掛り情報ＤＢ２３の登録内容例を示す。図示するように、仕掛り情報ＤＢ２３は、ロット番号を登録するためのフィールド２３２と、このロットが引き当てられた顧客の顧客ＩＤを登録するためのフィールド２３３と、このロットの仕掛り工程を登録するためのフィールド２３４と、を備えている。
【００３２】
図６に、検査情報ＤＢ２４の登録内容例を示す。図示するように、検査情報ＤＢ２４は、インゴットの特性検査結果を登録する前工程検査情報ＤＢ２４１と、半導体ウエハの特性検査結果を登録する後工程検査情報ＤＢ２４２と、を有する。
【００３３】
前工程検査情報ＤＢ２４１に登録される各レコード２４１１には、ロット番号を登録するためのフィールド２４１２と、このロット番号が付与されたインゴットに対する検査結果（ここではインゴット長（サイズ）および比抵抗）を登録するためのフィールド２４１３と、を備えている。また、後工程検査情報ＤＢ２４２に登録される各レコード２４２１は、ロット単位でユニークに付与される半導体ウエハの識別情報であるウエハ番号を登録するためのフィールド２４２２と、このウエハ番号が付与された半導体ウエハが属するロットのロット番号を登録するためのフィールド２４２３と、このウエハ番号が付与された半導体ウエハに対する検査結果（ここでは比抵抗およびウエハ厚）を登録するためのフィールド２４２４と、を備えている。
【００３４】
図７に、生産計画情報ＤＢ２５の登録内容例を示す。図示するように生産計画情報ＤＢ２５は、見込み生産方式により計画されたインゴットの生産計画情報を登録する前工程生産計画情報ＤＢ２５１と、個別受注生産方式により計画された半導体ウエハの生産計画情報を登録する後工程生産計画情報ＤＢ２５２と、を有する。
【００３５】
前工程生産計画情報ＤＢ２５１に登録される各レコード２５１１には、ロット番号を登録するためのフィールド２５１２と、このロット番号が付与されたインゴットの生産予定日を登録するためのフィールド２５１３と、を備えている。また、後工程生産計画情報ＤＢ２５２に登録される各レコード２５２１には、ロット番号を登録するためのフィールド２５２２と、このロットから生産される半導体ウエハの枚数を登録するためのフィールド２５２３と、このロットが引当られる顧客ＩＤを登録するためのフィールド２５２４と、この顧客に引き当てる半導体ウエハの生産予定日を登録するためのフィールド２５２５と、を備えている。
【００３６】
図８に、顧客引当情報ＤＢ２６の登録内容例を示す。図示するように、顧客引当情報ＤＢ２６に登録される各レコード２６１は、受注番号を登録するためのフィールド２６２と、引当候補ロットのロット番号を優先順位と共に登録するためのフィールド２６３と、フィールド２６３に登録されているロット番号各々に対して、このロット番号のインゴットから取得可能な、顧客の要求規格を満足する半導体ウエハの枚数（取得枚数）を登録するためのフィールド２６４と、フィールド２６３に登録されているロット番号各々に対して引当を確定したか否かを示すフラグを登録するためのフィールド２６５と、を備えている。
【００３７】
上記構成の中間部品在庫引当システムは、例えば図９に示すような、ＣＰＵ４１と、メモリ４２と、ハードディスク装置等の外部記憶装置４３と、ＣＤ-ＲＯＭやＤＶＤ-ＲＯＭ等の可搬性を有する記憶媒体４４からデータを読み取る読取装置４５と、キーボードやマウス等の入力装置４６と、ＣＲＴやＬＣＤ等の出力装置４７と、インターネット等のネットワークを介して通信を行う通信装置４８と、これらの各装置を接続するバス４９とを備えた、一般的な構成を有するコンピュータシステム、あるいは、このコンピュータシステムを複数備えたネットワークシステム上に構築することができる。
【００３８】
このようなコンピュータシステムあるいはネットワークシステム上に、上記の中間部品在庫引当システムを実現するためのプログラムは、外部記憶装置４３あるいは読取装置４５を介して記憶媒体４４から、メモリ４２上にロードして、ＣＰＵ４１に実行させるようにしてもよい。もしくは、通信装置４８を介してネットワークからメモリ４２上にロードして、ＣＰＵ４１に実行させるようにしてもよい。
【００３９】
次に、上記構成を有する中間部品在庫引当システムの動作フローについて、図１に示す半導体ウエハの製造工程の順番に従って説明する。なお、以下に説明する各工程での処理が進むと、例えば操作者により、対象ロットの仕掛り情報が中間部品在庫引当システムに入力される。ＤＢ管理部３３は、入出力部１０を介して、対象ロットの仕掛り情報を受け取ると、仕掛り情報ＤＢ２３に、このロットに対する仕掛り情報のレコード２３１を登録・更新する。
【００４０】
（１）前工程（Ｓ１０１〜Ｓ１０２）
まず、見込み生産方式により前工程生産計画が作成され、この計画情報が、例えば操作者により、中間部品在庫引当システムに入力される。ＤＢ管理部３３は、入出力部１０を介して、前工程生産計画の情報を受け取ると、前工程生産計画情報ＤＢ２５１に、この情報が登録されたレコード２５１１を追加する。
【００４１】
以上のようにして作成された前工程生産計画に従って、結晶成長工程によるインゴット生産が行なわれ、その後、生産されたインゴットについて、所定検査項目に対する検査が行なわれる。そして、インゴットの検査結果情報が、例えば操作者により、中間部品在庫引当システムに入力される。ＤＢ管理部３３は、入出力部１０を介して、インゴットの検査結果情報を受け取ると、前工程検査情報ＤＢ２４１に、この情報が登録されたレコード２４１１を追加する。
【００４２】
（２）インゴット在庫（Ｓ１０３）
検査終了したインゴットが入庫される。そして、入庫されたインゴットのロット番号が、例えば操作者により、中間部品在庫引当システムに入力される。ＤＢ管理部３３は、入出力部１０を介して、インゴットのロット番号を受け取ると、前工程在庫情報ＤＢ２２１に、このロット番号が登録されたレコード２２１１を追加する。
【００４３】
（３）顧客引当（Ｓ１０４）
顧客の注文が、受注情報として、例えば操作者により、中間部品在庫引当システムに入力される。ＤＢ管理部３３は、入出力部１０を介して、受注情報を受け取ると、受注情報ＤＢ２０５に、新たなレコード２１１を追加し、このレコード２１１に、受注情報を、ユニークに生成した受注番号と共に登録する。このとき、フィールド２１７の処理状況は「未処理」とする。
【００４４】
さて、中間部品在庫引当システムは、入出力部１０を介して、例えば操作者より、顧客引当依頼を受け取ると、前工程在庫情報ＤＢ２２１および前工程検査情報ＤＢ２４１を用いて、注文情報ＤＢ２０５に登録されているレコード２１１に対してロットを引き当てる。そして、この引当結果に従って顧客引当情報ＤＢ２６を更新する。
【００４５】
図１０は、中間部品在庫引当システムによる顧客引当処理を説明するためのフロー図である。
【００４６】
まず、引当処理部３１は、入出力部１０を介して、例えば操作者より、注文情報ＤＢ２０５に登録されている受注情報のレコード２１１であって、フィールド２１７の処理状況が「未処理」であるレコード２１１の中から、処理すべき受注情報のレコード２１１の指定を受け付ける（Ｓ２０１）。そして、ＤＢ管理部３３を介して受注情報ＤＢ２１から指定された受注情報のレコード２１１を取得する（Ｓ２０２）。
【００４７】
次に、引当処理部３１は、ＤＢ管理部３３を介して前工程在庫情報ＤＢ２２１から、在庫されているインゴットのロット番号を取得する。そして、ロット番号を取得したインゴットについて、ＤＢ管理部３３を介して前工程検査情報ＤＢ２４１から、フィールド２４１２にこのロット番号が登録されている検査情報のレコード２４１１を取得する。それから、検査情報のレコード２４１１のフィールド２４１３に登録されている検査結果と、Ｓ２０２で取得した受注情報のレコード２１１のフィールド２１６に登録されている要求規格とを用いて、このインゴットから取得可能な、要求規格を満足する半導体ウエハの取得枚数を推定する。この取得枚数の推定処理を、在庫されている全てのインゴットに対して行なう（Ｓ２０３）。
【００４８】
具体的には、検査情報のレコード２４１１のフィールド２４１３に登録されている比抵抗の検査結果が、受注情報のレコード２１１のフィールド２１６に登録されている比抵抗の要求規格を満足するか否かを判断する。そして、満足できない場合は、このレコード２４１１のフィールド２４１２に登録されているロット番号を持つインゴットからの取得枚数を０にする。一方、満足できる場合は、インゴット長を、受注情報のレコード２１１のフィールド２１６に登録されているウエハ厚の要求規格で割ることにより得られる値を、このインゴットからの取得枚数にする。以上の処理を在庫されている全てのインゴットに対して行なう。
【００４９】
次に、引当処理部３１は、Ｓ２０３において、取得枚数が０でないと推定された全てのインゴットを、Ｓ２０２で取得した受注情報のレコード２１１により特定される顧客に対する引当候補に決定する（Ｓ２０４）。
【００５０】
次に、引当処理部３１は、Ｓ２０３で推定した各引当候補からの取得枚数の総和を算出する。そして、この総和が、Ｓ２０２で取得した受注情報のレコード２１１のフィールド２１５に登録されている要求数量以上であるか否かを調べる（Ｓ２０５）。要求数量未満である場合は、例えば入出力部１０を介して操作者に、その旨のメッセージを出力すると共に、Ｓ２０１で指定を受けた受注情報のレコード２１１に対する引当処理を保留（中止）する（Ｓ２０６）。一方、要求数量以上であるならば、各引当候補の優先順位を決定する（Ｓ２０７）。ここで、本実施形態では、取得枚数の多い順番に従って、各引当候補の優先順位を付与している。
【００５１】
さて、以上のようにして、各引当候補に優先順位を付与したならば、引当処理部３１は、この優先順位に従って引当候補を１つ選出する（Ｓ２０８）。
【００５２】
次に、引当処理部３１は、ＤＢ管理部３３を介して顧客引当情報ＤＢ２６を調べる。そして、選出した引当候補のロット番号に引当確定のフラグが付与されている顧客引当情報のレコード２６１を検索する（Ｓ２０９）。
【００５３】
このようなレコード２６１が顧客引当情報ＤＢ２６に登録されていない場合は、選出した引当候補が他の顧客に引き当てられていないことが判明する。この場合、引当処理部３１は、選出した引当候補の、Ｓ２０２で取得した受注情報のレコード２１１により特定される顧客への引当を仮確定する（Ｓ２１０）。
【００５４】
一方、このようなレコード２６１が顧客引当情報ＤＢ２６に登録されている場合は、選出した引当候補が他の顧客に引き当てられていることが判明する。この場合、引当処理部３１は、このレコード２６１のフィールド２６２に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１の処理状態が「処理済」であるか否かを調べる。ここで、処理情報が「処理済」の場合、引当が最終確定（変更不可）されていることを示す。また、Ｓ２０２で取得した受注情報のレコード２１１により特定される顧客と、この他の顧客（選出した引当候補のロット番号に引当確定のフラグが付与されている顧客引当情報のレコード２６１のフィールド２６２に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１により特定される顧客）との優先度を調べる（Ｓ２１１）。ここで、本実施形態では、受注情報のレコード２１１のフィールド２１４に登録されている納期が近いもの程、優先度が高くなるようにしている。
【００５５】
Ｓ２１１において、他の顧客の受注情報のレコード２１１の処理状態が「処理済」である場合、もしくは、Ｓ２０２で取得した受注情報のレコード２１１により特定される顧客の優先度の方が他の顧客より低い場合、引当処理部３１は、未処理つまり前回選出した引当候補よりも優先順位が下の引当候補があるか否かをさらに調べる（Ｓ２１２）。このような引当候補があるならば、Ｓ２０８に戻る。そして、前回選出した引当候補よりも優先順位が１つ下の引当候補を新たに選出する。このような引当候補がないならば、Ｓ２０６に移行して、例えば入出力部１０を介して操作者に、その旨のメッセージを出力すると共に、Ｓ２０１で指定を受けた受注情報のレコード２１１に対する引当処理を保留（中止）する。
【００５６】
一方、Ｓ２１１において、Ｓ２０２で取得した受注情報のレコード２１１により特定される顧客の優先度の方が他の顧客より高い場合、後述する引当変更処理Ａを行なって（Ｓ２１３）、選出した引当候補の他の顧客との引当を解消する。それから、Ｓ２１０に移行して、選出した引当候補の、Ｓ２０２で取得した受注情報のレコード２１１により特定される顧客への引当を仮確定する。
【００５７】
以上のようにして、選出した引当候補に対して、Ｓ２０２で取得した受注情報のレコード２１１により特定される顧客への引当を仮確定したならば、引当処理部３１は、それまでに引当を仮確定した引当候補各々からの取得枚数の総和を算出する。そして、この総和が、Ｓ２０２で取得した受注情報のレコード２１１のフィールド２１５に登録されている要求数量以上であるか否かを調べる（Ｓ２１４）。
【００５８】
要求数量未満である場合、引当処理部３１は、未処理つまり前回選出した引当候補よりも優先順位が下の引当候補があるか否かをさらに調べる（Ｓ２１２）。このような引当候補があるならば、Ｓ２０８に戻る。そして、前回選出した引当候補よりも優先順位が１つ下の引当候補を新たに選出する。このような引当候補がないならば、Ｓ２０６に移行して、例えば入出力部１０を介して操作者に、その旨のメッセージを出力すると共に、Ｓ２０１で指定を受けた受注情報のレコード２１１に対する引当処理を保留（中止）する。
【００５９】
一方、要求数量以上である場合、引当処理部３１は、Ｓ２０２で取得した受注情報のレコード２１１のフィールド２１２に登録されている受注番号と、引当候補各々のロット番号、優先順位、取得枚数および引当確定の有無と、が登録された顧客引当情報のレコード２６１を作成し、これをＤＢ管理部３３を介して顧客引当情報ＤＢ２６に追加する。また、この受注情報のレコード２１１のフィールド２１７の処理状況を「未処理」から「処理中」に更新する（Ｓ２１５）。
【００６０】
次に、引当処理部３１は、入出力部１０を介して例えば操作者より、引当処理の終了指示を受け付けていないならば、Ｓ２０１に戻って、処理状況が「未処理」である受注情報のレコード２１１の指定を受け付ける（Ｓ２１６）。そして、新たに指定を受け付けた受注情報のレコード２１１に対して、上述の処理を行なう。
【００６１】
図１１は、図１０に示すフローのＳ２１３（引当変更処理Ａ）を説明するためのフロー図である。
【００６２】
引当処理部３１は、ＤＢ管理部３３を用いて顧客引当情報ＤＢ２６から、Ｓ２０８で選出した引当候補のロット番号に引当確定のフラグが付与されている顧客引当情報のレコード２６１（選出した引当候補が引き当てられた他の顧客の顧客引当情報のレコード２６１）を取得する（Ｓ３０１）。それから、取得したレコード２６１に登録されている前記選出した引当候補のロット番号に対する引当確定のフラグを外す（Ｓ３０２）。
【００６３】
さて、引当処理部３１は、Ｓ３０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１に登録されている引当候補であって、引当確定フラグが登録されていない引当候補（Ｓ３０２で引当確定フラグを外した引当候補を除く）を、このレコード２６１に登録されている優先順位に従って１つ選出する（Ｓ３０３）。
【００６４】
次に、引当処理部３１は、ＤＢ管理部３３を介して顧客引当情報ＤＢ２６を調べ、選出した引当候補のロット番号に引当確定のフラグが付与されている顧客引当情報のレコード２６１（Ｓ３０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１を除く）を検索する（Ｓ３０４）。
【００６５】
このようなレコード２６１が顧客引当情報ＤＢ２６に登録されていない場合、選出した引当候補が他の顧客に引き当てられていないことが判明する。この場合、引当処理部３１は、Ｓ３０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１に対して、選出した引当候補の引当を仮確定する（Ｓ３０５）。
【００６６】
一方、このようなレコード２６１が顧客引当情報ＤＢ２６に登録されている場合、選出した引当候補が他の顧客に引き当てられていることが判明する。この場合、引当処理部３１は、このレコード２６１のフィールド２６２に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１の処理状態が「処理済」であるか否かを調べる。また、Ｓ３０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１により特定される顧客と、この他の顧客（選出した引当候補のロット番号に引当確定のフラグが付与されている顧客引当情報のレコード２６１のフィールド２６２に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１により特定される顧客）との優先度を調べる（Ｓ３０６）。上述したように、本実施形態では、受注情報のレコード２１１のフィールド２１４に登録されている納期が近いもの程、優先度が高くなるようにしている。
【００６７】
Ｓ３０６において、他の顧客の受注情報のレコード２１１の処理状態が「処理済」である場合、もしくは、Ｓ３０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１により特定される顧客の優先度の方が他の顧客より低い場合、引当処理部３１は、この顧客引当情報のレコード２６１に、未処理つまり引当確定フラグが登録されていない引当候補であって未だ選出されていない引当候補があるか否かをさらに調べる（Ｓ３０７）。このような引当候補があるならば、Ｓ３０３に戻る。そして、未処理の引当候補を優先順位に従って１つ選出する。このような引当候補がないならば、Ｓ３０８に移行して、例えば入出力部１０を介して操作者に、その旨のメッセージを出力すると共に、Ｓ３０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１を顧客引当情報ＤＢ２６から削除する。また、レコード２６１に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１を受注情報ＤＢ２１から検索し、検出したレコード２１１のフィールド２１７に登録されている処理状況を「処理中」から「未処理」に変更する。
【００６８】
一方、Ｓ３０６において、Ｓ３０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１により特定される顧客の優先度の方が他の顧客より高い場合、このフローにより特定される引当変更処理Ａ（Ｓ２１３）をさらに行なう（Ｓ３０９）。これにより、選出した引当候補の他の顧客との引当を解消する。それから、Ｓ３０５に移行し、Ｓ３０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１に対して、選出した引当候補の引当を仮確定する。
【００６９】
以上のようにして、選出した引当候補の顧客引当を確定したならば、引当処理部３１は、Ｓ３０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１において、選出した引当候補に対する引当確定フラグを登録し、顧客引当情報ＤＢ２６を更新する（Ｓ３１０）。それから、引当処理部３１は、Ｓ３０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１において、引当確定フラグが登録されている引当候補各々の取得枚数の総和を算出する。そして、この総和が、レコード２６１に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１に登録されている要求数量以上であるか否かを調べる（Ｓ３１１）。
【００７０】
要求数量未満である場合、Ｓ３０７に移行し、引当処理部３１は、顧客引当情報のレコード２６１に、未処理つまり引当確定フラグが登録されていない引当候補であって未だ選出されていない引当候補があるか否かをさらに調べる。このような引当候補があるならば、Ｓ３０３に戻る。そして、未処理の引当候補を優先順位に従って１つ選出する。このような引当候補がないならば、Ｓ３０８に移行して、例えば入出力部１０を介して操作者に、その旨のメッセージを出力すると共に、Ｓ３０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１を顧客引当情報ＤＢ２６から削除する。また、レコード２６１に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１を受注情報ＤＢ２１から検索し、検出したレコード２１１のフィールド２１７に登録されている処理状況を「処理中」から「未処理」に変更する。
【００７１】
（４）後工程：スライス工程〜評価工程（Ｓ１０５〜Ｓ１０６）
まず、上記（３）の引当処理により作成された顧客引当情報に従い、個別受注生産方式による後工程生産計画が作成される。そして、この計画情報が、例えば操作者により、中間部品在庫引当システムに入力される。ＤＢ管理部３３は、入出力部１０を介して、後工程生産計画の情報を受け取ると、後工程生産計画情報ＤＢ２５２に、この情報が登録されたレコード２５２１を追加する。
【００７２】
さて、以上のようにして作成された後工程生産計画に従って、スライス工程による半導体ウエハ生産が行なわれ、その後、生産された半導体ウエハについて、所定検査項目に対する検査が行なわれる。そして、半導体ウエハの検査結果情報が、例えば操作者により、中間部品在庫引当システムに入力される。ＤＢ管理部３３は、入出力部１０を介して、半導体ウエハの検査結果情報を受け取ると、後工程検査情報ＤＢ２４１に、この情報が登録されたレコード２４２１を追加する。
【００７３】
（５）後工程：ウエハ在庫（Ｓ１０７）
検査終了した半導体ウエハが入庫される。そして、入庫された半導体ウエハのロット番号が、例えば操作者により、中間部品在庫引当システムに入力される。ＤＢ管理部３３は、入出力部１０を介して、ロット番号を伴う入庫指示を受け取ると、後工程在庫情報ＤＢ２２２に登録されているこのロット番号を持つレコード２２２１の入庫数量に、入出力部１０を介して受付けたこのロット番号の半導体ウエハ入庫枚数を加算する。このロット番号を持つレコード２２２１が登録されていない場合は、このレコード２２２１を新たに生成して、このロット番号の半導体ウエハ入庫枚数を登録する。
【００７４】
（６）後工程：再引当（Ｓ１０８）
中間部品在庫引当システムは、入出力部１０を介して、例えば操作者より、顧客再引当確認依頼を受け取ると、後工程在庫情報ＤＢ２２２および後工程検査情報ＤＢ２４２を用いて、顧客引当情報ＤＢ２６に登録されているレコード２６１に対して、引当変更の必要性を確認する。そして、この確認結果に従って顧客引当情報ＤＢ２６を更新する。
【００７５】
図１２は、中間部品在庫引当システムによる顧客再引当処理を説明するためのフロー図である。
【００７６】
まず、再引当処理部３２は、入出力部１０を介して、例えば操作者より、注文情報ＤＢ２０５に登録されている受注情報のレコード２１１であって、フィールド２１７の処理状況が「処理中」であるレコード２１１の中から、処理すべき受注情報のレコード２１１の指定を受け付ける（Ｓ４０１）。そして、ＤＢ管理部３３を介して受注情報ＤＢ２１から、指定された受注情報のレコード２１１を取得する（Ｓ４０２）。
【００７７】
次に、再引当処理部３２は、ＤＢ管理部３３を介して顧客引当情報ＤＢ２０６から、Ｓ４０２で取得したレコード２１１のフィールド２１２に登録されている受注番号を持つ顧客引当情報のレコード２６１を取得する（Ｓ４０３）。それから、後工程在庫情報ＤＢ２２２を調べ、顧客引当情報のレコード２６１に登録されている全ての引当候補のロットが、それぞれの取得枚数以上在庫されているか否かを調べる（Ｓ４０４）。
【００７８】
全ての引当候補ロット各々が取得枚数以上在庫されていないならば、例えば入出力部１０を介して操作者に、その旨のメッセージを出力すると共に、Ｓ４０１で指定を受けた受注情報のレコード２１１に対する再引当処理を保留（中止）する（Ｓ４０５）。一方、全ての引当候補ロット各々が取得枚数以上在庫されているならば、これらに付与されている優先順位に従って、引当確定ロット（引当確定フラグが付与されている引当候補）を１つ選出する（Ｓ４０６）。
【００７９】
次に、再引当処理部３２は、ＤＢ管理部３３を介して後工程検査情報ＤＢ２４２を調べる。そして、選出した引当確定ロットが、Ｓ４０２で取得した受注レコード２１１より特定される顧客の要求を満足しているか否かを調べる（Ｓ４０７）。本実施形態では、選出した引当確定ロットにおいて、顧客の要求を満足する半導体ウエハが、顧客の要求枚数に所定マージンを加えた枚数以上存在する場合に、顧客の要求を満足しているものと判定する。但し、引当確定ロットが複数ある場合は、顧客引当情報のレコード２６１に登録されているこれらの引当確定ロットの総取得枚数に対する前記選出した引当確定ロットの取得枚数の比率に、顧客の要求枚数を乗じる。そして、選出した引当確定ロットにおいて、顧客の要求を満足する半導体ウエハが、この乗算値に所定マージンを加えた枚数以上存在する場合に、顧客の要求を満足しているものと判定する。
【００８０】
さて、再引当処理部３２は、選出した引当確定ロットが、Ｓ４０２で取得した受注レコード２１１より特定される顧客の要求を満足していると判断したならば、この引当確定ロットの顧客に対する引当を最終確定（その後の変更不可）する（Ｓ４０８）。そして、未選出の引当確定ロットがあるならば、Ｓ４０６に戻り、優先順位上、次の引当確定ロットを選出する（Ｓ４０９）。未選出の引当確定ロットがないならば、Ｓ４０２、Ｓ４０３で取得した受注情報のレコード２１１、顧客引当情報のレコード２６１の最終確定内容を、受注情報ＤＢ２１、顧客引当情報ＤＢ２６に反映させる（Ｓ４１０）。具体的には、顧客引当情報のレコード２６１から、引当確定フラグが付与されていない引当候補の情報（フィールド２６３〜２６４に登録されている優先順位、ロット番号、取得枚数および引当確定の有無）を削除する。これに伴い、引当確定ロットに付与されている優先順位をリナンバする。また、受注情報のレコード２１１のフィールド２１７に登録されている処理状況を「処理中」から「処理済み」に変更する。
【００８１】
一方、再引当処理部３２は、選出した引当確定ロットが、Ｓ４０２で取得した受注レコード２１１より特定される顧客の要求を満足していないと判断したならば、この引当確定ロットの情報（フィールド２６３〜２６４に登録されている優先順位、ロット番号、取得枚数および引当確定フラグの有無）を、Ｓ４０３で取得した顧客引当情報のレコード２６１より削除する（Ｓ４１１）。それから、再引当処理部３２は、Ｓ４０３で取得した顧客引当情報のレコード２６１に登録されている、引当確定フラグが付与されていない引当候補を、優先順位に従って１つ選出する（Ｓ４１２）。
【００８２】
次に、再引当処理部３２は、ＤＢ管理部３３を介して後工程検査情報ＤＢ２４２を調べる。そして、Ｓ４０７での処理と同様の要領により、選出した引当候補ロットが、Ｓ４０２で取得した受注レコード２１１より特定される顧客の要求を満足しているか否かを調べる（Ｓ４１３）。
【００８３】
そして、この引当候補ロットが顧客の要求を満足していないと判断したならば、再引当処理部３２は、引当確定フラグが付与されていない未選出の引当候補が存在するか否かを調べる（Ｓ４１４）。存在する場合は、Ｓ４１２に戻って、この未選出の引当候補の中から優先順位に従って１つ選出する。一方、存在しない場合は、Ｓ４０３で取得した顧客引当情報のレコード２６１を顧客引当情報ＤＢ２６から削除する。また、Ｓ４０２で取得した受注情報のレコード２１１のフィールド２１７に登録されている処理状況を「処理中」から「未処理」に変更する（Ｓ４１５）。
【００８４】
一方、Ｓ４１３において、選出した引当候補ロットが顧客の要求を満足していると判断した場合、再引当処理部３２は、ＤＢ管理部３３を介して顧客引当情報ＤＢ２６を調べる。そして、選出した引当候補ロットが引当確定ロットとして登録されている顧客引当情報のレコード２６１を検索する（Ｓ４１６）。
【００８５】
このようなレコード２６１が顧客引当情報ＤＢ２６に登録されていない場合、選出した引当候補が他の顧客に引き当てられていないことが判明する。この場合、再引当処理部３２は、Ｓ４０３で取得した顧客引当情報のレコード２６１において、選出した引当候補ロットに引当確定フラグを付与して引当確定ロットに変更すると共に、この引当確定ロットの顧客に対する引当を最終確定（その後の変更不可）する（Ｓ４１７）。それから、再引当処理部３２は、Ｓ４１７で最終確定した引当確定ロットの総取得枚数が、Ｓ４１１で削除した引当確定ロットの取得枚数以上であるならば、Ｓ４０９へ戻り、未選出の引当確定ロットがあるか否かを調べる。一方、Ｓ４１７で最終決定した引当確定ロットの総取得枚数がＳ４１１で削除した引当確定ロットの取得枚数以上でないならば、Ｓ４１４に戻り、未選出の引当確定されていない引当候補ロットがあるか否かを調べる（Ｓ４１８）。
【００８６】
一方、Ｓ４１６において、このようなレコード２６１が顧客引当情報ＤＢ２６に登録されている場合、選出した引当候補が他の顧客に引き当てられていることが判明する。この場合、再引当処理部３２は、このレコード２６１のフィールド２６２に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１の処理状態が「処理済」であるか否かを調べる。ここで、処理情報が「処理済」の場合、引当確定が最終確定（変更不可）されていることを示す。また、Ｓ４０２で取得した受注情報のレコード２１１により特定される顧客と、この他の顧客（選出した引当候補ロットが引当確定ロットとして登録されている顧客引当情報のレコード２６１のフィールド２６２に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１により特定される顧客）との優先度を調べる（Ｓ４１９）。ここで、本実施形態では、受注情報のレコード２１１のフィールド２１４に登録されている納期が近いもの程、優先度が高くなるようにしている。
【００８７】
Ｓ４１９において、他の顧客の受注情報のレコード２１１の処理状態が「処理済」である場合、もしくは、Ｓ４０２で取得した受注情報のレコード２１１により特定される顧客の優先度の方が他の顧客より低い場合、再引当処理部３２は、Ｓ４１４へ移行して、未選出の引当確定されていない引当候補ロットがあるか否かを調べる。
【００８８】
一方、Ｓ４１９において、Ｓ４０２で取得した受注情報のレコード２１１により特定される顧客の優先度の方が他の顧客より高い場合、後述する引当変更処理Ｂを行なって（Ｓ４２０）、選出した引当候補ロットの他の顧客との引当を解消する。それから、Ｓ４１７に移行し、Ｓ４０３で取得した顧客引当情報のレコード２６１において、選出した引当候補ロットに引当確定フラグを付与して引当確定ロットに変更すると共に、この引当確定ロットの顧客に対する引当を最終確定（その後の変更不可）する。
【００８９】
再引当処理部３２は、Ｓ４０５、Ｓ４１０およびＳ４１５での処理終了後、入出力部１０を介して例えば操作者より、再引当処理の終了指示を受け付けていないならば、Ｓ４０１に戻って、処理状況が「処理中」である受注情報のレコード２１１の指定を受け付ける（Ｓ４２１）。そして、新たに指定を受け付けた受注情報のレコード２１１に対して、上述の処理を行なう。
【００９０】
図１３は、図１２に示すフローのＳ４２０（引当変更処理Ｂ）を説明するためのフロー図である。
【００９１】
再引当処理部３２は、ＤＢ管理部３３を用いて顧客引当情報ＤＢ２６から、Ｓ４１２で選出した引当候補のロット番号に引当確定のフラグが付与されている顧客引当情報のレコード２６１（選出した引当候補が引当られた他の顧客の顧客引当情報のレコード２６１）を取得する（Ｓ５０１）。それから、取得したレコード２６１から、前記選出した引当候補の情報（フィールド２６３〜２６４に登録されている優先順位、ロット番号、取得枚数および引当確定フラグの有無）を削除する（Ｓ５０２）。
【００９２】
次に、再引当処理部３２は、Ｓ５０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１に登録されている引当候補であって、引当確定フラグが登録されていない引当候補を、このレコード２６１に登録されている優先順位に従って１つ選出する（Ｓ５０３）。それから、再引当処理部３２は、ＤＢ管理部３３を介して顧客引当情報ＤＢ２６を調べ、選出した引当候補のロット番号に引当確定のフラグが付与されている顧客引当情報のレコード２６１（Ｓ５０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１を除く）を検索する（Ｓ５０４）。
【００９３】
このようなレコード２６１が顧客引当情報ＤＢ２６に登録されていない場合、選出した引当候補が他の顧客に引き当てられていないことが判明する。この場合、再引当処理部３２は、Ｓ５０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１に対して、選出した引当候補の引当を最終確定する（Ｓ５０５）。
【００９４】
一方、このようなレコード２６１が顧客引当情報ＤＢ２６に登録されている場合、選出した引当候補が他の顧客に引き当てられていることが判明する。この場合、再引当処理部３２は、このレコード２６１のフィールド２６２に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１の処理状態が「処理済」であるか否かを調べる。また、Ｓ５０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１により特定される顧客と、この他の顧客（このようなレコード２６１のフィールド２６２に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１により特定される顧客）との優先度を調べる（Ｓ５０６）。上述したように、本実施形態では、受注情報のレコード２１１のフィールド２１４に登録されている納期が近いもの程、優先度が高くなるようにしている。
【００９５】
Ｓ５０６において、他の顧客の受注情報のレコード２１１の処理状態が「処理済」である場合、もしくは、Ｓ５０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１により特定される顧客の優先度の方が他の顧客より低い場合、再引当処理部３２は、この顧客引当情報のレコード２６１に、未処理つまり引当確定フラグが登録されていない引当候補であって未だ選出されていない引当候補があるか否かをさらに調べる（Ｓ５０７）。このような引当候補があるならば、Ｓ５０３に戻る。そして、未処理の引当候補を優先順位に従って１つ選出する。このような引当候補がないならば、Ｓ５０８に移行して、例えば入出力部１０を介して操作者に、その旨のメッセージを出力すると共に、Ｓ５０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１を顧客引当情報ＤＢ２６から削除する。また、このレコード２６１に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１を受注情報ＤＢ２１から検索し、検出したレコード２１１のフィールド２１７に登録されている処理状況を「処理中」から「未処理」に変更する。
【００９６】
一方、Ｓ５０６において、Ｓ５０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１により特定される顧客の優先度の方が他の顧客より高い場合、このフローにより特定される引当変更処理Ｂ（Ｓ４２０）をさらに行なう（Ｓ５０９）。これにより、選出した引当候補の他の顧客との引当を解消する。それから、Ｓ５０５に移行し、Ｓ５０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１に対して、選出した引当候補の引当を最終確定する。
【００９７】
以上のようにして、選出した引当候補の引当を最終確定したならば、再引当処理部３２は、Ｓ５０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１において、選出した引当候補に対する引当確定フラグを登録し、顧客引当情報ＤＢ２６を更新する（Ｓ５１０）。それから、再引当処理部３２は、Ｓ５０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１において、引当確定フラグが登録されている引当候補各々の取得枚数の総和を算出する。そして、この総和が、このレコード２６１に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１に登録されている要求数量以上であるか否かを調べる（Ｓ５１１）。
【００９８】
要求数量未満である場合、Ｓ５０７に移行し、再引当処理部３２は、顧客引当情報のレコード２６１に、未処理つまり引当確定フラグが登録されていない引当候補であって未だ選出されていない引当候補があるか否かをさらに調べる。このような引当候補があるならば、Ｓ５０３に戻る。そして、未処理の引当候補を優先順位に従って１つ選出する。このような引当候補がないならば、Ｓ５０８に移行して、例えば入出力部１０を介して操作者に、その旨のメッセージを出力すると共に、Ｓ５０１で取得した顧客引当情報のレコード２６１を顧客引当情報ＤＢ２６から削除する。また、このレコード２６１に登録されている受注番号を持つ受注情報のレコード２１１を受注情報ＤＢ２１から検索し、検出したレコード２１１のフィールド２１７に登録されている処理状況を「処理中」から「未処理」に変更する。
【００９９】
（７）後工程：研磨工程（Ｓ１０９）
上記（６）の再引当処理により顧客引当情報ＤＢ２６が修正されると、生産計画見直処理部３４は、この修正内容に従って、前工程生産計画や後工程生産計画の見直しに必要な情報を生成する。それから、修正された前工程生産計画、後工程生産計画情報が、例えば操作者により中間部品在庫引当システムに入力され、前工程生産計画ＤＢ２５１、後工程生産計画２５２に反映される。そして、以上のようにして修正された後工程生産計画に従って、在庫されている半導体ウエハが研磨工程に投入される。また、以上のようにして修正された前工程生産計画に従って、上記（１）の結晶成長工程が実施される。
【０１００】
図１４は、中間部品在庫引当システムによる後工程生産計画の見直支援処理を説明するためのフロー図である。
【０１０１】
まず、生産計画見直処理部３４は、ＤＢ管理部３３を用いて受注情報ＤＢ２１にアクセスする。そして、受注情報ＤＢ２１から、図１２〜図１３に示す再引当処理の結果、処理状態が「処理中」から「未処理」に戻された受注情報のレコード２１１を抽出する（Ｓ７０１）。これは、受注情報ＤＢ２１の変更履歴を登録しておくことで特定できる。
【０１０２】
次に、生産計画見直処理部３４は、ＤＢ管理部３３を用いて後工程在庫情報ＤＢ２２２および顧客引当情報ＤＢ２６にアクセスする。そして、これらのＤＢに登録されている諸情報を用いて未引当の在庫ロットを特定する。それから、ＤＢ管理部３３を用いて後工程検査情報ＤＢ２４２にアクセスし、未引当の在庫ロットのうち、Ｓ７０１で抽出した受注情報のレコード２１１により特定される顧客の要求規格を満足する在庫ロットがあるか否かを調べる（Ｓ７０２）。そのような在庫ロットがあるならば、これらの在庫ロットの在庫数量の総和が、Ｓ７０１で抽出した受注情報のレコード２１１により特定される顧客の要求数量以上であるか否かをさらに調べる（Ｓ７０３）。
【０１０３】
そして、要求数量以上であるならば、これらの在庫ロットの、Ｓ７０１で抽出した受注情報のレコード２１１により特定される顧客への引当を最終確定する。そして、Ｓ７０１で抽出した受注情報のレコード２１１のフィールド２１２に登録されている受注番号と、引当を最終確定した在庫ロット各々のロット番号、優先順位（例えば取得枚数の多い順）、取得枚数および引当確定ありを示すフラグが登録された顧客引当情報のレコード２６１を作成し、これをＤＢ管理部３３を介して顧客引当情報ＤＢ２６に追加する（Ｓ７０４）。
【０１０４】
一方、Ｓ７０２で顧客の要求規格を満足する在庫ロットが検出されなかった場合、あるいは、Ｓ７０３で顧客の要求規格を満足する在庫ロットが顧客の要求数量以上を検出できなかった場合、生産計画見直処理部３４は、引当処理部３１に、Ｓ７０１で抽出した受注情報のレコード２１１に対して引当処理（図１０のＳ２０２〜Ｓ２１５および図１１に示す処理）を行なわせて、この受注情報のレコード２１１に対する顧客引当情報のレコード２６１を作成し、顧客引当情報ＤＢ２６に追加する（Ｓ７０５）。
【０１０５】
それから、生産計画見直処理部３４は、Ｓ７０１で抽出した受注情報のレコード２１１により特定される顧客へ納期日までの残日数が所定日数以上であるか否かを調べる（Ｓ７０６）。例えば、図１５に示すように、顧客への納期日までの残日数が所定日数未満の場合、顧客へ引き当てたロットを通常処理（１５０１）したのでは納期日を守れない。そこで、このような場合は、このロットを特急処理（１５０２）することで納期日を守れるようにする必要がある。このため、納期日までの残日数が所定日数未満の場合、生産計画見直処理部３４は、特急処理の必要性を示すフラグを、この受注情報レコード２１１に対応する顧客引当情報のレコード２６１（例えば引当確定の有無を示すフラグと共にフィールド２６５に）に追加する（Ｓ７０７）。
【０１０６】
以上のようにして、顧客引当情報のレコード２６１を作成し、これを顧客引当情報ＤＢ２６に追加したならば、Ｓ７０１で指定を受けた受注情報のレコード２１１のフィールド２１７の処理状況を「未処理」から「処理済み」に更新する（Ｓ７０８）。
【０１０７】
なお、後工程生産計画自体は、例えば操作者が既存の生産計画管理システムを用いて、以上のようにして作成した顧客引当情報を参考に、工程能力枠を生成し、ロットのＭＲＰ（Material Requirements Planning：資材所要量計画）展開、作業山積み、山崩しなどを行って、生成するようにすればよい。但し、全ロット中における特急ロットの割合が高くなると、段取り替えが多く発生し、生産計画が守れない。そのため、特急ロットの工程能力は、通常ロットの工程能力と別に設定するとよい。
【０１０８】
図１６は、中間部品在庫引当システムによる前工程生産計画の見直支援処理を説明するためのフロー図である。
【０１０９】
まず、生産計画見直処理部３４は、ＤＢ管理部３３を用いて後工程在庫情報ＤＢ２２２および顧客引当情報ＤＢ２６にアクセスする。そして、これらのＤＢに登録されている諸情報を用いて未引当のロットを品種毎に集計する（Ｓ６０１）。
【０１１０】
具体的には、後工程在庫情報ＤＢ２２２に登録されているロットであって、顧客引当情報ＤＢ２６にて引当確定ロットとして登録されていないロットを抽出する。次に、抽出したロットを、前工程検査情報ＤＢ２４１や後工程検査情報ＤＢ２４２に登録されている検査結果に従って、品種別に分類する。ここで、品種とは、顧客の要求特定（比抵抗およびウエハ厚等）を、近似したもの同士に分類することで得られるグループを意味する。
【０１１１】
次に、生産計画見直処理部３４は、いずれかの品種に着目する（Ｓ６０２）。そして、着目品種に分類されたロットの半導体ウエハ在庫の総量が、予め設定された安全仕掛量以上あるか否かを判断する（Ｓ６０３）。安全仕掛り量以上あるようならば、Ｓ６０５に移行し、全ての品種に着目したか否かを判断する。判断していない場合は、Ｓ６０２に戻って次の品種に着目する。一方、安全仕掛り量より少ないならば、安全仕掛り量以上となるように、この品種のインゴットの投入計画を作成する（Ｓ６０４）。それから、Ｓ６０５に移行し、全ての品種に着目したか否かを判断する。判断していない場合は、Ｓ６０２に戻って次の品種に着目する。
【０１１２】
なお、前工程生産計画自体は、例えば操作者が既存の生産計画管理システムを用いて、以上のようにして作成した投入計画を参考に、工程能力枠を生成し、ロットのＭＲＰ展開、作業山積み、山崩しなどを行って、生成するようにすればよい。
【０１１３】
（８）出荷（Ｓ１１０）
以上のようにして生産された半導体ウエハが、この半導体ウエハのロットの元となったインゴットに引き当てられている顧客へ出荷される。
【０１１４】
以上、本発明の一実施形態について説明した。
【０１１５】
本実施形態では、顧客引当（図１のＳ１０４）において、インゴットに対して行なった評価工程（図１のＳ１０２）での検査結果が顧客の要求規格を満足しているロットを引当候補とし、その引当候補の中から顧客に引当てるロットを仮確定している。そして、再引当（図１のＳ１０８）において、顧客に引当てたロットが、このロットの半導体ウエハに対して行なった評価工程（図１のＳ１０６）での検査結果が顧客の要求規格を満足している場合に、このロットの顧客への引当を最終確定している。一方、要求規格を満足していない場合は、このロットの顧客への引当を解消すると共に、在庫されている半導体ウエハの中から、この顧客に引当て可能なロットを新たに検索し、検出したロットを顧客に再引当している。そして、このようなロットが在庫されていない場合にのみ、インゴットに対して再引当を行なうようにしている。したがって、本実施形態によれば、中間部品在庫引当において、引当解消による納期遅延や過剰在庫の発生の可能性をより低くできる。
【０１１６】
また、本実施形態では、引当を解消した顧客に対し、インゴットを引当てる場合は、その顧客への納入日に応じて、そのインゴットに対する特急処理の必要性を判断するようにしている。したがって、この判断結果を利用することで、より納期遅延や過剰在庫の発生の可能性を低くできるように、生産計画を立てることが可能になる。
【０１１７】
なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
【０１１８】
例えば、上記の実施形態において、中間部品顧客引当システムに、インターネットなどのネットワークとのインターフェースを設けて、ネットワーク端末から受注情報を受付けたりするようにしてもよい。また、ネットワーク端末からの指示に従い、この受注情報に引当てられたロットの仕掛り情報を仕掛り情報ＤＢ２３から抽出して、ネットワーク端末に提示するようにしてもよい。
【０１１９】
また、上記の実施形態では、受注対象製品が半導体ウエハである場合を例にとり説明したが、本発明は中間部品在庫引当が適用される様々な製品（複数の共通部品から構成されるアセンブリ品や共通のインゴットから生産されるプロセス品など）の顧客引当てに広く適用できる。
【０１２０】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、中間部品在庫引当において、引当解消による納期遅延や過剰在庫の発生の可能性をより低くできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の中間部品在庫引当が用いられる半導体ウエハの製造工程を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態が適用された中間部品在庫引当システムの概略構成を示す図である。
【図３】図２に示す受注情報ＤＢ２１の登録内容例を示す図である。
【図４】図２に示す在庫情報ＤＢ２２の登録内容例を示す図である。
【図５】図２に示す仕掛り情報ＤＢ２３の登録内容例を示す図である。
【図６】図２に示す検査情報ＤＢ２４の登録内容例を示す図である。
【図７】図２に示す生産計画情報ＤＢ２５の登録内容例を示す図である。
【図８】図２に示す顧客引当情報ＤＢ２６の登録内容例を示す図である。
【図９】図２に示す中間部品在庫引当システムのハードウエア構成例を示す図である。
【図１０】図２に示す中間部品在庫引当システムによる顧客引当処理を説明するためのフロー図である。
【図１１】図１０に示すフローのＳ２１３（引当変更処理Ａ）を説明するためのフロー図である。
【図１２】図２に示す中間部品在庫引当システムによる顧客再引当処理を説明するためのフロー図である。
【図１３】図１２に示すフローのＳ４２０（引当変更処理Ｂ）を説明するためのフロー図である。
【図１４】図２に示す中間部品在庫引当システムによる後工程生産計画の見直支援処理を説明するためのフロー図である。
【図１５】ロットの通常処理および特急処理を説明するための図である。
【図１６】図２に示す中間部品在庫引当システムによる前工程生産計画の見直支援処理を説明するためのフロー図である。
【図１７】従来の中間部品在庫引当が用いられる半導体ウエハの製造工程を示す図である。
【符号の説明】
１０…入出力部、  ２０…記憶部、  ２１…受注情報ＤＢ、  ２２…在庫情報ＤＢ、  ２３…仕掛り情報ＤＢ、  ２４…検査情報ＤＢ、  ２５…生産計画情報ＤＢ、  ２６…顧客引当情報ＤＢ、  ３０…処理部、  ３１…引当処理部、  ３２…再引当処理部、  ３３…ＤＢ管理部、  ３４…生産計画見直処理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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