(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スルーホールが形成された内層材と共に用いて多層プリント配線板を製造するための複合体であって、上記複合体は、シート状の支持体の片側の面に樹脂組成物が塗布され樹脂層が形成されて作製され、上記複合体の樹脂層の側は、内層材のスルーホールが形成された面に重ね合わせられるものであり、上記支持体の曲げ弾性率と厚みの積が３０００ＧＰａ・μｍ以上であることを特徴とする複合体。
【請求項２】
支持体が金属箔であることを特徴とする請求項１に記載の複合体。
【請求項３】
金属箔が銅箔であることを特徴とする請求項２に記載の複合体。
【請求項４】
支持体が樹脂フィルムであることを特徴とする請求項１に記載の複合体。
【請求項５】
樹脂フィルムがポリエチレンテレフタレート樹脂で形成されていることを特徴とする請求項４に記載の複合体。
【請求項６】
支持体が金属箔と樹脂フィルムとで形成されていることを特徴とする請求項１に記載の複合体。
【請求項７】
樹脂層の厚みが３０〜１５０μｍであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の複合体。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載の複合体とスルーホールが形成された内層材とを用いて多層プリント配線板を製造するにあたって、真空下において、内層材のスルーホールが形成された面に上記複合体の樹脂層の側を重ね合わせ、スルーホールの内部を樹脂層の樹脂組成物で充填することを特徴とする多層プリント配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多層プリント配線板を製造する際に用いられる樹脂付き金属箔や絶縁性フィルム等の複合体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、多層プリント配線板を製造する際には、樹脂付き金属箔や絶縁性フィルムが広く利用されている。これらのものはいずれも、シート状の支持体と樹脂組成物とからなる複合体であるという点において共通する。しかも、いずれのものも上記の支持体の片側の面に樹脂組成物が塗布され樹脂層が形成されて作製されるものである。そして、このような複合体としての樹脂付き金属箔や絶縁性フィルムは、具体的にはそれぞれ以下のようにして作製され、多層プリント配線板の製造に使用されているものである。
【０００３】
樹脂付き金属箔を作製する場合は、支持体として銅箔等の金属箔を用い、樹脂組成物としてエポキシ樹脂等の樹脂組成物を用いる。そして、上記の金属箔の片側の面に樹脂組成物を塗布し、これをＢステージ状態まで加熱することによって、半硬化した樹脂層が形成され樹脂付き金属箔が作製されるものである。
【０００４】
このようにして作製される樹脂付き金属箔を用いて多層プリント配線板を製造する場合は、以下のようにして行うことができる。まず、予め表面に回路パターン（内層パターン）が形成された内層材の片面あるいは両面に、上記の樹脂付き金属箔の樹脂層の側を重ね合わせると共にこれを加熱加圧して積層成形することによって、多層プリント配線板に加工するための多層配線板を製造することができる。次に、この多層配線板の片面あるいは両面にレーザ等により穴あけを行ってバイアホール等を形成すると共に、サブトラクティブ法等により外側の金属箔に回路パターン（外層パターン）を形成することによって、多層プリント配線板を製造することができるものである。そして、このようにして製造された多層プリント配線板にあって、内層パターンと外層パターンとの導通は、上記のバイアホール等によって取られているものである。
【０００５】
一方、絶縁性フィルムを作製する場合は、支持体としてポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート樹脂（ＰＢＴ）、ポリイミド樹脂等の樹脂フィルムを用い、樹脂組成物としてエポキシ樹脂等の樹脂組成物を用いる。そして、上記の樹脂フィルムの片側の面に樹脂組成物を塗布し、これをＢステージ状態まで加熱することによって、半硬化した樹脂層が形成され絶縁性フィルムが作製されるものである。
【０００６】
このようにして作製される絶縁性フィルムを用いて多層プリント配線板を製造する場合は、以下のようにして行うことができる。まず、樹脂付き金属箔の場合と同様に、予め表面に回路パターン（内層パターン）が形成された内層材の片面あるいは両面に、上記の絶縁性フィルムの樹脂層の側を重ね合わせると共にこれを加熱加圧して積層成形することによって、多層プリント配線板に加工するための多層配線板を製造することができる。次に、この多層配線板の外側に位置する樹脂フィルムを剥がし、露出した樹脂層にレーザ等により穴あけを行ってバイアホール等を形成すると共に、アディティブ法等により樹脂層の表面に回路パターン（外層パターン）を形成することによって、多層プリント配線板を製造することができるものである。そして、このようにして製造された多層プリント配線板にあって、内層パターンと外層パターンとの導通は、上記のバイアホール等によって取られているものである。
【０００７】
ここで、多層プリント配線板を製造するにあたって、複合材として上記のように樹脂付き金属箔又は絶縁性フィルムのいずれを用いる場合であっても、内層材としては、表面にスルーホールの開口を有するものを用いることができる。通常このような内層材を用いるにあたっては、スルーホールを保護する必要があるため、穴埋め樹脂を用い、この樹脂をスルーホールの内部に充填した後で、樹脂付き金属箔又は絶縁性フィルムの積層成形が行われているものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように穴埋め樹脂を用いてスルーホールの内部を充填する工程は、スルーホールを有する内層材に対してのみ行われるものであって、スルーホールの無い内層材に対しては行われないものである。このため多層プリント配線板を製造するにあたっては、内層材のスルーホールの有無によって工程数に差が生じるという問題があった。
【０００９】
そこで、スルーホールを有する内層材を用いて多層プリント配線板を製造する場合に、穴埋め樹脂によるスルーホールの充填を省略して工程を簡略化することが行われている。これは、内層材に積層する樹脂付き金属箔や絶縁性フィルムの樹脂層の樹脂組成物の一部をスルーホールに充填させようとするものであり、これによって穴埋め樹脂が不要となるものである。
【００１０】
しかしながら、従来の樹脂付き金属箔や絶縁性フィルムにあっては、樹脂層を形成する樹脂組成物の一部がスルーホールに充填されるに伴い、支持体である外側の金属箔や樹脂フィルムがスルーホールの方向に引き込まれ、特にスルーホールの近傍に位置する支持体の表面に凹みを生じるものであった。
【００１１】
このため、例えば樹脂付き金属箔を使用している場合に、サブトラクティブ法を行おうとして外側の金属箔にドライフィルムを載置しても、全面を密着させることはできず、上記の凹みの箇所にボイドが生じるものであった。従って、この状態で露光・現像が行われてエッチングレジストが形成されても、上記の凹みの箇所の金属箔はこのエッチングレジストで保護されてはおらず、エッチング液により除去されることとなり、回路パターンが欠けてしまうという問題が発生するものであった。
【００１２】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、スルーホールを有する内層材を用いる場合に、スルーホールを充填するために穴埋め樹脂を用いる必要がないと共に内層材に積層された複合体の表面に凹みが生じない複合体を提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係る複合体は、スルーホールが形成された内層材と共に用いて多層プリント配線板を製造するための複合体であって、上記複合体は、シート状の支持体の片側の面に樹脂組成物が塗布され樹脂層が形成されて作製され、上記複合体の樹脂層の側は、内層材のスルーホールが形成された面に重ね合わせられるものであり、上記支持体の曲げ弾性率と厚みの積が３０００ＧＰａ・μｍ以上であることを特徴とするものである。
【００１４】
また請求項２の発明は、請求項１において、支持体が金属箔であることを特徴とするものである。
【００１５】
また請求項３の発明は、請求項２において、金属箔が銅箔であることを特徴とするものである。
【００１６】
また請求項４の発明は、請求項１において、支持体が樹脂フィルムであることを特徴とするものである。
【００１７】
また請求項５の発明は、請求項４において、樹脂フィルムがポリエチレンテレフタレート樹脂で形成されていることを特徴とするものである。
【００１８】
また請求項６の発明は、請求項１において、支持体が金属箔と樹脂フィルムとで形成されていることを特徴とするものである。
【００１９】
また請求項７の発明は、請求項１乃至６のいずれかにおいて、樹脂層の厚みが３０〜１５０μｍであることを特徴とするものである。
【００２０】
また本発明の請求項８に係る多層プリント配線板の製造方法は、請求項１乃至７のいずれかに記載の複合体とスルーホールが形成された内層材とを用いて多層プリント配線板を製造するにあたって、真空下において、内層材のスルーホールが形成された面に上記複合体の樹脂層の側を重ね合わせ、スルーホールの内部を樹脂層の樹脂組成物で充填することを特徴とするものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
【００２２】
本発明において樹脂組成物を調製するための樹脂としては、特に限定されるものではないが、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂等の熱硬化性樹脂を用いるのが好ましい。樹脂組成物を調製するにあたっては、このような樹脂の他に公知の硬化剤、硬化促進剤その他の添加剤を用い、これらのものを混合することによって、行うことができる。この際の調製は無溶媒下で行っても良いが、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メトキシプロパノール（ＭＰ）、ジメチルフォルムアミド（ＤＭＦ）等の溶媒を加えて行っても良く、これによりワニスとすることもできる。
【００２３】
本発明において複合体とは、シート状の支持体の片側の面に上記の樹脂組成物が塗布され樹脂層が形成されて作製されるものであって、上記支持体の曲げ弾性率と厚みの積が３０００ＧＰａ・μｍ以上であるものをいい、このものは多層プリント配線板の製造に用いることができるものである。このような複合体を用いると、表面にスルーホールの開口を有する内層材を用いて積層成形を行う場合に、従来のように穴埋め樹脂を用いてスルーホールの内部を充填しておかなくても、積層される複合体の外側の面、即ち外部に露出する支持体の面に凹みが生じることがなくなるものである。逆に支持体の曲げ弾性率と厚みの積が３０００ＧＰａ・μｍ未満であると、上記のような場合に、穴埋め樹脂を用いてスルーホールの内部を充填しておかなければ、穴埋め樹脂の代わりに樹脂層を形成する樹脂組成物の一部がスルーホールの内部に充填されるに伴い、スルーホールの近傍にある支持体がスルーホールの方向に引き込まれ、外部に露出する支持体の面に凹みが生じてしまうものである。尚、支持体の曲げ弾性率と厚みの積の実質的な上限は、３００００ＧＰａ・μｍである。
【００２４】
本発明において複合体の具体例としては、樹脂付き金属箔、絶縁性フィルムを挙げることができる。以下ではこの２つのものについて説明する。
【００２５】
樹脂付き金属箔において支持体としては、曲げ弾性率と厚みの積が３０００ＧＰａ・μｍ以上の金属箔を用いるものであり、例えば銅箔、アルミニウム箔、ステンレス箔等を用いることができる。中でも銅箔が好ましく、このものを用いると、製造される多層プリント配線板の電気的信頼性が一層向上するものである。
【００２６】
ここで、同種あるいは異種の金属箔を重ね合わせたものも支持体として用いることができるが、一方の金属箔がキャリアーフィルムとなり、このものには後述する樹脂層は形成されない。またこの場合は、各金属箔の曲げ弾性率と厚みの積の和が３０００ＧＰａ・μｍ以上となるようにしておくものである。更に、金属箔に、後述する樹脂フィルムを重ね合わせたものも支持体として用いることができる。この場合は樹脂フィルムがキャリアーフィルムとなり、金属箔に樹脂層が形成される。またこの場合は、金属箔及び樹脂フィルムのそれぞれの曲げ弾性率と厚みの積の和が３０００ＧＰａ・μｍ以上となるようにしておくものである。このように支持体を金属箔とキャリアーフィルム（金属箔又は樹脂フィルム）とで形成しておくと、金属箔のみでは曲げ弾性率と厚みの積が３０００ＧＰａ・μｍ未満であっても、適宜キャリアーフィルムを選択し上記の金属箔に重ね合わせることで上記の値以上のものとすることができるものである。
【００２７】
上記の支持体及び樹脂組成物を用いて樹脂付き金属箔を作製するにあたっては、コンマコーター、転写コーター、カーテンコーター、ダイコーター等を用いて、金属箔の片側の表面に樹脂組成物を塗布し、これを連続的又は非連続的にＢステージ状態まで加熱乾燥することによって、行うことができる。ここで、金属箔の片側の面に半硬化して形成された樹脂層の厚みは２０〜２００μｍとするのが一般的であるが、３０〜１５０μｍとしておくことが好ましい。樹脂層の厚みが３０μｍ未満であると、積層成形時において表面にスルーホールの開口を有する内層材を用いる場合に、従来のように穴埋め樹脂によってスルーホールの内部を充填しておかなければ、この表面に積層される樹脂付き金属箔の外側の面に凹みが生じるおそれがあるものである。逆に樹脂層の厚みが１５０μｍを超えると、多層プリント配線板の製造時において、この樹脂層への穴あけの生産性が低下するおそれがあるものである。
【００２８】
そして、予め表面に回路パターン（内層パターン）が形成された内層材の片面あるいは両面に、上記の樹脂付き金属箔の樹脂層の側を重ね合わせると共にこれを加熱加圧して積層成形することによって、多層プリント配線板に加工するための多層配線板を製造することができる。尚、樹脂付き金属箔の支持体にキャリアーフィルムが含まれている場合は、このキャリアーフィルムが積層成形後において多層配線板の最も外側の面に配されることとなり、このキャリアーフィルムを引き剥がすことによって金属箔が露出される。
【００２９】
このようにして製造される多層配線板にあって、内層材として特にスルーホールが形成されたものが用いられている場合は、樹脂付き金属箔の樹脂層の樹脂組成物の一部がスルーホールの内部を充填することとなるため、穴埋め樹脂によって予め充填しておく必要がなくなるものである。また樹脂付き金属箔の支持体としては前述したものが用いられているため、この支持体は未硬化状態の樹脂組成物の流動や硬化収縮に抗して、樹脂層の最外表面を平滑に保持し、この状態で樹脂層を完全に硬化させることができて金属箔の表面には凹みが生じなくなるものである。
【００３０】
ここで、上記のように多層配線板を製造するにあたっては、大気圧下よりも真空下において積層成形することが好ましい。このように真空下で積層成形することは、スルーホールの内部にボイドを発生させないことを目的として、従来においても行われている。しかしながら、従来の真空下での積層成形では、スルーホールの近傍にある樹脂層の樹脂組成物が急激にスルーホールの内部に流入するのに伴い、スルーホールの近傍にある支持体がスルーホールの方向に引き込まれ、支持体の外側の表面に凹みが生じ、更にその凹みが深くなるものであった。これに対し本発明では、スルーホールの内部に樹脂組成物が完全に充填され、ボイドの残存が確実に阻止されると共に、スルーホールの内部への樹脂組成物の流入に際して、支持体は何ら影響を受けることなくその平滑性を保持することができて、支持体の外側の表面に凹みが全く生じなくなるものである。
【００３１】
そして、上記の多層配線板の片面あるいは両面にレーザ等により穴あけを行ってバイアホールを形成すると共に、外側の金属箔にサブトラクティブ法等により回路パターン（外層パターン）を形成することによって、多層プリント配線板を製造することができるものである。ここで、上記のサブトラクティブ法を行うにあたって、回路形成を行う金属箔の表面には凹みが全く無いため、金属箔とドライフィルムとの間にボイドを発生させることなく、両者を密着させることができるものであり、従って、露光・現像によって形成されるエッチングレジストが回路パターンとして残すべき金属箔の部分をエッチング液から確実に保護することができて、回路パターンが欠けてしまうことがなくなるものである。
【００３２】
一方、絶縁性フィルムにおいて支持体としては、曲げ弾性率と厚みの積が３０００ＧＰａ・μｍ以上の樹脂フィルムを用いるものであり、例えばポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート樹脂（ＰＢＴ）、ポリイミド樹脂等をフィルム状に形成したものを用いることができる。中でも、比較的安価で耐熱性が良好であるという点で、ポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）を用いることが好ましい。
【００３３】
ここで、同種あるいは異種の樹脂フィルムを重ね合わせたものも支持体として用いることができるが、この場合は双方の樹脂フィルムがキャリアーフィルムとなるが、一方の樹脂フィルムには樹脂層が形成される。またこの場合は、各樹脂フィルムの曲げ弾性率と厚みの積の和が３０００ＧＰａ・μｍ以上となるようにしておくものである。更に、樹脂フィルムに、前述したような金属箔を重ね合わせたものも支持体として用いることができる。この場合も双方のものがキャリアーフィルムとなるが、樹脂フィルムに樹脂層が形成される。またこの場合は、樹脂フィルム及び金属箔のそれぞれの曲げ弾性率と厚みの積の和が３０００ＧＰａ・μｍ以上となるようにしておくものである。このように支持体を樹脂フィルムとキャリアーフィルム（金属箔又は樹脂フィルム）とで形成しておくと、樹脂フィルムのみでは曲げ弾性率と厚みの積が３０００ＧＰａ・μｍ未満であっても、適宜キャリアーフィルムを選択し上記の樹脂フィルムに重ね合わせることで上記の値以上のものとすることができるものである。
【００３４】
そして、上記の支持体及び樹脂組成物を用いて絶縁性フィルムを作製するにあたっては、コンマコーター、転写コーター、カーテンコーター、ダイコーター等を用いて、樹脂フィルムの片側の表面に樹脂組成物を塗布し、これを連続的又は非連続的にＢステージ状態まで加熱乾燥することによって、行うことができる。ここで、樹脂フィルムの片側の表面に半硬化して形成された樹脂層の厚みは３０〜２００μｍとするのが一般的であるが、３０〜１５０μｍとしておくことが好ましい。樹脂層の厚みが３０μｍ未満であると、積層成形時において表面にスルーホールの開口を有する内層材を用いる場合に、従来のように穴埋め樹脂によってスルーホールの内部を充填しておかなければ、この表面に積層される絶縁性フィルムの外側の面に凹みを生じるおそれがあるものである。逆に樹脂層の厚みが１５０μｍを超えると、多層プリント配線板の製造時において、この樹脂層への穴あけの生産性が低下するおそれがあるものである。
【００３５】
そして、予め表面に回路パターン（内層パターン）が形成された内層材の片面あるいは両面に、上記の絶縁性フィルムの樹脂層の側を重ね合わせると共にこれを加熱加圧して積層成形することによって、多層プリント配線板に加工するための多層配線板を製造することができる。尚、絶縁性フィルムの支持体は、前述したように全体がキャリアーフィルムとなっており、このキャリアーフィルムを引き剥がすことによって樹脂層が露出される。
【００３６】
このようにして製造される多層配線板にあって、内層材として特にスルーホールが形成されたものが用いられている場合は、絶縁性フィルムの樹脂層の樹脂組成物の一部がスルーホールの内部を充填することとなるため、穴埋め樹脂によって予め充填しておく必要がなくなるものである。また絶縁性フィルムの支持体としては前述したものが用いられているため、この支持体は未硬化状態の樹脂組成物の流動や硬化収縮に抗して、樹脂層の最外表面を平滑に保持し、この状態で樹脂層を完全に硬化させることができて、凹みが生じなくなるものである。
【００３７】
ここで、上記のように多層配線板を製造するにあたっては、大気圧下よりも真空下において積層成形することが好ましい。前述したように、従来の真空下での積層成形では、支持体の外側の表面に生じた凹みの深さがより深くなるものであった。これに対し本発明では、ボイドの残存が確実に阻止されると共に、支持体の外側の表面に凹みが全く生じなくなるものである。
【００３８】
そして、上記の多層配線板の片面あるいは両面にレーザ等により穴あけを行ってバイアホールを形成すると共に、露出している樹脂層の表面にアディティブ法等により回路パターン（外層パターン）を形成することによって、多層プリント配線板を製造することができるものである。ここで、上記のアディティブ法を行うにあたって、回路形成を行う樹脂層の表面には凹みが全く無いため、樹脂層の表面とドライフィルムとの間にボイドを発生させることなく、両者を密着させることができるものであり、従って、露光・現像によって形成されるめっきレジストがめっきを行わない部分を確実に保護することができて、必要でないところに回路パターンが形成されることがなくなるものである。
【００３９】
このように多層プリント配線板を製造するにあたって、表面に開口するスルーホールを有する内層材を用いる場合に、前述した樹脂付き金属箔や絶縁性フィルムのような複合体を用いると、スルーホールの内部を穴埋め樹脂で充填する必要が無くなって工程が簡略化されると共に、多層配線板の最外表面に凹みが生じることが無くなって所望の回路パターンをこの面に確実に形成することができて、信頼性の高い多層プリント配線板を製造することができるものである。
【００４０】
【実施例】
以下、本発明を実施例によって具体的に説明する。
【００４１】
樹脂組成物を調製するための樹脂として、以下のエポキシ樹脂を用いた。
【００４２】
即ち、臭素化ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（東都化成社製「ＹＤＢ−５００」：エポキシ当量５００、臭素化率約２４質量％）、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（東都化成社製「ＹＤＣＮ−２２０」：エポキシ当量２２０、臭素化率約２４質量％）を用いた。
【００４３】
また硬化剤として、フェノールノボラック（群栄化学社製「ＰＳＭ６２００」）、ジシアンジアミド（分子量８４、理論活性水素当量２１）、硬化促進剤として、２−エチル−４−メチルイミダゾール、溶媒として、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メトキシプロパノール（ＭＰ）、ジメチルフォルムアミド（ＤＭＦ）を用いた。
【００４４】
＜エポキシ樹脂組成物のワニスの調製＞
上記「ＹＤＢ−５００」、「ＹＤＣＮ−２２０」を所定の溶媒に投入し、特殊機化工工業社製「ホモミキサー」で、約１０００ｒｐｍにて約９０分間混合した。その後、硬化促進剤（２−エチル−４−メチルイミダゾール）を配合し、再度約１５分間撹拌し、その後脱気して、２５℃で約５００〜１０００ｃｅｎｔｉ-ｐｏｉｓｅのエポキシ樹脂組成物のワニスを調製した。
【００４５】
＜樹脂付き金属箔の作製＞
支持体として、銅箔のみ、銅箔に銅のキャリアーフィルムを配したものを使用し、この銅箔の粗化面に上記のようにして調製したエポキシ樹脂組成物のワニスを室温にてコンマコーターで塗布し、その後、非接触タイプの加熱ユニットにより、約１３０〜１７０℃で加熱することにより、ワニス中の溶媒を乾燥除去し、エポキシ樹脂組成物を半硬化させることによって、樹脂層の厚みが７５〜８５μｍの樹脂付き金属箔を作製した。
【００４６】
＜絶縁性フィルムの作製＞
支持体として、ＰＥＴフィルムのみ、ＰＥＴフィルムにステンレスのキャリアーフィルムを配したものを使用し、これらのＰＥＴフィルムの片側の面に上記のようにして調製したエポキシ樹脂組成物のワニスを室温にてコンマコーターで塗布し、その後、非接触タイプの加熱ユニットにより、約１３０〜１７０℃で加熱することにより、ワニス中の溶媒を乾燥除去し、エポキシ樹脂組成物を半硬化させることによって、樹脂層の厚みが７５〜８５μｍの絶縁性フィルムを作製した。
【００４７】
＜評価項目＞
１．内層スルーホール上下部の凹み
内層材として、厚み０．８ｍｍの内層コア両面板（松下電工社製「ＣＲ１７６６」：銅箔の厚み３５μｍ、サイズ：たて３４０ｍｍ、よこ５１０ｍｍ）を使用した。この内層材にドリル加工により直径０．３ｍｍのスルーホールを形成し、デスミア、無電解めっき、電解めっき処理により、スルーホールの導通化を施した。次いで、この内層材に内層処理（黒化処理）を施し、両面に上記のようにして作製した樹脂付き金属箔や絶縁性フィルムを樹脂層の側で重ね、１７０℃、９０分間加熱しながら、２．９４ＭＰａで加圧して多層配線板を製造した。支持体として銅箔にキャリアーフィルムを配したものを用いた場合や、絶縁性フィルムを用いた場合は、表面のキャリアーフィルムを剥がし、多層配線板を得た。
【００４８】
その後、スルーホールの上部及び下部にある樹脂層の表面の凹み量（凹みの深さ）を光学顕微鏡による断面観察により測定した。凹み量が、０μｍ以上３μｍ未満のものを「○」、３μｍ以上５μｍ未満のものを「△」、５μｍ以上のものを「×」とした。
【００４９】
尚、本実施例においては、便宜上、積層方向を上下方向とする。
【００５０】
２．内層スルーホール内部のボイド
上記１．で製造した多層配線板について、スルーホールの内部におけるボイドの有無を光学顕微鏡による断面観察により確認した。
【００５１】
３．内層スルーホール上下部の回路パターン欠損
上記１．で製造した多層配線板の両面に回路形成を行い、スルーホールの上部及び下部にある樹脂層の表面に形成された回路パターンの欠損を観察した。回路パターンの欠損が全く無いものを「○」、回路パターンの一部に欠損がみられるものを「△」、回路パターンの全てに欠損がみられるものを「×」とした。
【００５２】
４．レーザ加工後ＩＶＨ底部の樹脂残渣
内層材として、予め表面の銅箔に内層処理（黒化処理）を施した厚み０．２ｍｍの内層コア両面板（松下電工社製「ＣＲ１７６６」：銅箔の厚み３５μｍ）を使用し、この内層材の両面に上記のようにして作製した樹脂付き金属箔を樹脂層の側で重ね、１７０℃、９０分間加熱しながら、２．９４ＭＰａで加圧して多層配線板を製造した。その後、表面の銅箔をエッチングにより除去し、レーザ加工用サンプルを得た。
【００５３】
一方、絶縁性フィルムの場合、上記と同種の内層材を使用し、この内層材の両面に上記のようにして作製した絶縁性フィルムを樹脂層の側で重ね、１７０℃、９０分間加熱しながら、２．９４ＭＰａで加圧して多層配線板を製造した。その後、表面のキャリアーフィルムを剥がし、レーザ加工用サンプルを得た。
【００５４】
次に、三菱電機社製レーザ機「ＭＬ５０５ＧＴ」を使用し、パルス周波数：１５００Ｈｚ、パルス幅：２０μｓ、出力：５．４ｍｊ／パルス、照射パルス数：３ショットの条件で、上記のようにして得られたレーザ加工用サンプルにＩＶＨ（interstitial via hole）の穴あけ加工を行った後、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を使用して穴の内部を観察し、樹脂残渣の有無を調査した。
【００５５】
【表１】
0004273652.tif 000002
【００５６】
【表２】
0004273652.tif 000003
【００５７】
表１及び２にみられるように、実施例１〜８のものは全ての評価項目において良好な結果であることが確認される。
【００５８】
また実施例９のものは、樹脂層の厚みが３０μｍ未満であるため、内層材のスルーホールの上部及び下部にある樹脂層の表面に凹みが若干残り、またこの樹脂層の表面に形成された回路パターンの一部に欠損がみられた。
【００５９】
また実施例１０のものは、樹脂層の厚みが１５０μｍを超えるため、レーザ加工後に穴の底部に樹脂残渣が残った。
【００６０】
また実施例１１のものは、積層成形を大気圧下で行ったため、内層材のスルーホールの内部にボイドが発生した。
【００６１】
これに対し比較例１のものは、支持体である銅箔の曲げ弾性率と厚みの積が３０００ＧＰａ・μｍ未満であるため、内層材のスルーホールの上部及び下部にある樹脂層の表面に大きな凹みが生じ、またこの樹脂層の表面に形成された回路パターンの全てに欠損がみられた。
【００６２】
【発明の効果】
上記のように本発明の請求項１に係る複合体は、スルーホールが形成された内層材と共に用いて多層プリント配線板を製造するための複合体であって、上記複合体は、シート状の支持体の片側の面に樹脂組成物が塗布され樹脂層が形成されて作製され、上記複合体の樹脂層の側は、内層材のスルーホールが形成された面に重ね合わせられるものであり、上記支持体の曲げ弾性率と厚みの積が３０００ＧＰａ・μｍ以上であるので、表面にスルーホールの開口を有する内層材を用いて積層成形を行う場合に、穴埋め樹脂を用いてスルーホールの内部を充填する必要が無く工程が簡略化されると共に、スルーホールの近傍にある支持体の表面に凹みが生じることがなくなるものである。
【００６３】
また請求項２の発明は、請求項１において、支持体が金属箔であるので、容易に曲げ弾性率と厚みの積を３０００ＧＰａ・μｍ以上とすることができ、樹脂層が完全に硬化するまでこの層の表面を平滑に保持しておくことができるものである。
【００６４】
また請求項３の発明は、請求項２において、金属箔が銅箔であるので、容易に曲げ弾性率と厚みの積を３０００ＧＰａ・μｍ以上とすることができ、樹脂層が完全に硬化するまでこの層の表面を平滑に保持しておくことができると共に、製造される多層プリント配線板の電気的信頼性を一層向上させることができるものである。
【００６５】
また請求項４の発明は、請求項１において、支持体が樹脂フィルムであるので、樹脂層が完全に硬化するまでこの層の表面を平滑に保持しておくことができると共に、硬化後は樹脂フィルムを引き剥がすことにより平滑な樹脂層の面を露出させることができるものである。
【００６６】
また請求項５の発明は、請求項４において、樹脂フィルムがポリエチレンテレフタレート樹脂で形成されているので、比較的安価であって耐熱性が良好であるポリエチレンテレフタレート樹脂を用いることによって、樹脂層が完全に硬化するまでこの層の表面を平滑に保持しておくことができると共に、硬化後は樹脂フィルムを引き剥がすことにより平滑な樹脂層の面を露出させることができるものである。
【００６７】
また請求項６の発明は、請求項１において、支持体が金属箔と樹脂フィルムとで形成されているので、金属箔あるいは樹脂フィルムのいずれか一方のみでは曲げ弾性率と厚みの積が３０００ＧＰａ・μｍ未満である場合に、他方のものをキャリアーフィルムとして重ね合わせることで上記の値以上のものとすることができるものである。
【００６８】
また請求項７の発明は、請求項１乃至６のいずれかにおいて、樹脂層の厚みが３０〜１５０μｍであるので、表面にスルーホールの開口を有する内層材を用いて積層成形を行う場合に、穴埋め樹脂を用いてスルーホールの内部を充填する必要が無く工程が簡略化され、積層された複合体の外側の面に凹みが生じなくなると共に、樹脂層への穴あけを行っても穴の底部に樹脂残渣が生じることなく生産性を高く維持することができるものである。
【００６９】
また請求項８に係る多層プリント配線板の製造方法は、請求項１乃至７のいずれかに記載の複合体とスルーホールが形成された内層材とを用いて多層プリント配線板を製造するにあたって、真空下において、内層材のスルーホールが形成された面に上記複合体の樹脂層の側を重ね合わせ、スルーホールの内部を樹脂層の樹脂組成物で充填するので、表面にスルーホールの開口を有する内層材を用いて積層成形を行う場合に、穴埋め樹脂を用いなくてもスルーホールの内部からボイドを確実に無くすことができると共に、スルーホールの内部へ樹脂組成物が充填されるに伴い、支持体は何ら影響を受けることなくその平滑性を保持することができて、支持体の外側の表面に凹みが全く生じなくなるものである。