(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線的なトラフと、該トラフを水平方向に振動可能に支持する支持手段と、前記トラフに１次側又は２次側の一方が固定され、当該トラフを加振するリニアモータとを備え、前記リニアモータに駆動指令として速度指令、位置指令又は加速度指令の何れか一つ又は複数を与えて前記トラフに該駆動指令に基づいた加振力を与えるようにした振動コンベヤにおいて、
前記トラフは、当該トラフに固定されていない前記１次側又は２次側の他方の反力により駆動され、
前記速度指令は、周期性を有し、
前記位置指令は、前記周期性を有する速度指令がフーリェ級数に展開され、当該フーリェ級数の積分により形成され、
前記加速度指令は、前記フーリェ級数の微分により形成されることを特徴とする振動コンベヤ。
【請求項２】
請求項１に記載の振動コンベヤであって、
前記速度指令は鋸歯状に変化することを特徴とする振動コンベヤ。
【請求項３】
請求項２に記載の振動コンベヤであって、
前記鋸歯状波形の速度指令ｆ（ｔ）はフーリェ級数２・ａ／π×（ｓｉｎωｔ＋１／２ｓｉｎ ２ωｔ＋１／３ｓｉｎ ３ωｔ＋・・・＋１／ｎｓｉｎ ｎωｔ＋・・・）に展開される、（ｔ：時間、ω：角周波数、ａ：振幅）ことを特徴とする振動コンベヤ。
【請求項４】
請求項３に記載の振動コンベヤであって、
低次成分、ｆ（ｔ）≒２・ａ／π｛ｓｉｎ（ωｔ）＋１／２ｓｉｎ（２ωｔ）｝、又はｆ（ｔ）≒２・ａ／π｛ｓｉｎ（ωｔ）＋１／２ｓｉｎ（２ωｔ）＋１／３ｓｉｎ（３ωｔ）｝のみを速度指令としたことを特徴とする振動コンベヤ。
【請求項５】
請求項３又は請求項４に記載の振動コンベヤであって、
前記低次成分の係数１／ｎを１／ｍ（ｍ＞ｎ）としたことを特徴とする振動コンベヤ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は振動コンベヤに関する。
【０００２】
【従来の技術】
リニアモータを加振源として用いた振動コンベヤは、例えば図７及び図８に振動コンベヤ１’として示されている。この振動コンベヤ１’は、リンク機構を有した複数（図においては２つ示されている）の支持体１１と、これによって水平方向に振動し得るように支持されたトラフ７と、このトラフ７（このトラフは、一点鎖線で示されている）に取り付けられて、トラフ７を振動させるための加振源であるリニアモータ１６’とから構成されている。そして、トラフ７内には複数の図示しない物品が点在しており、これら図９において矢印ｆに示すように、左方から右方へ移送される。
【０００３】
なお、トラフ７を支持している支持体１１は、２つの支持部１２、１２’と、トラフ７の底面に上端部１３ａが固定されている可動部１３と、２つの連接部１４とから構成されている。支持部１２、１２’は、逆Ｌ字形状をしており、その底部１２ｂ、１２ｂ’が設置面Ｇに設置されている。支持部１２、１２’の水平端部１２ａ、１２ａ’は、連接部１４の一方の端部１４ａ、１４ａ’と整合し、ここにピンＰを挿通して、ヒンジ部Ｈ、Ｈ’を構成している。他方、可動部１３は、逆Ｔ字形状をしており、その水平端部１３ｂ、１３ｂ’は、連接部１４の他方の端部１４ｂ、１４ｂ’と整合し、ヒンジ部Ｉ、Ｉ’を形成している。すなわち、ヒンジ部Ｈ、Ｈ’、Ｉ、Ｉ’が回動することにより、可動部１３が一点鎖線及び二点鎖線で示すように揺動する。これにより、可動部１３の上端部１３ａが固定されているトラフ７は、物品の移送方向ｆ、すなわち水平方向に振動可能に支持されている。
【０００４】
振動コンベヤ１’を加振しているリニアモータ１６’は、その拡大斜視図を図１０に示すが、トラフ７の底面に固着されている２次側部材１７と、この２次側部材１７上に、車輪１８ａによって支持されている１次側部材１８とから構成されている。２次側部材１７は、水平部１７ａとこの両端を支持している支持部１７ｂ、１７ｂ’とから構成され、上に開口を向けたコの字形状をしている。この水平部１７ａの上面には、図９に示されるように、その両側部にトラフ７の長手方向に延びている溝１７ａａが形成され、その中央には、磁性体でなる複数の歯１７ａｂが、物品の移送方向に直角に並んで配設されている。１次側部材１８には、溝１７ａａを回動する車輪１８ａが軸に固定され、これにより１次側部材１８は、所定の空隙ｔ’を有して２次側部材１７上をガイドされて摺動する。更に、１次側部材１８は、コイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃを巻回した３つの極Ｕ、Ｖ、Ｗを有し、この極Ｕ、Ｖ、Ｗには、図１１に示すように、薄板状の永久磁石Ｍが３枚ずつ、同極を向けるように配設されている。なお、このコイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃは、それぞれ１２０度ずつ、異なる３相交流が供給されている。更に、１次側部材１８には、ブロック形状をした慣性体３０が取付部材２０を介して固着されている。すなわち、１次側部材１８は、設置面Ｇから離れた空中に配設されている。なお、リニアモータ１６’には、速度を検出するために公知のリニアエンコーダＥが配設されている。なお、この従来例では、このリニアエンコーダＥから求められた移動距離を時間微分することにより後述する速度Ｖs ”を求めている。
【０００５】
次に、この振動コンベヤ１’の作用について説明するが、加振しているリニアモータ１６’は、神鋼電機技報告の１２８号ｖｏｌ．３６，Ｎｏ２（１９９１）の第８６〜９３頁に詳しい原理が記載されている、いわば高力密度リニアモータと呼ばれているものである。このリニアモータ１６’は、例えば１次側部材１８のコイル１９ａに、図１１に示す方向に電流を流すと、この電流によって下向きの磁極が発生する。そのため極Ｕにおいて、永久磁石Ｍによって発生している下向きの磁極は強められ、それと逆向きの磁極は打ち消される。このとき、極Ｖ、Ｗは、極Ｕに対してそれぞれ１２０度、２４０度位相がずれているため、コイル１９ｂ、１９ｃは図１１に示される方向に電流が流れる。そのため、極Ｖ、Ｗにおいては永久磁石Ｍによって発生している上向きの磁極は強められ、それと逆向きの磁極は打ち消されることになる。従って、極Ｕ、Ｖ、Ｗにおいて、図１１に示すような磁力線が発生し、すなわち磁気吸引力が２次側部材１７の歯１７ａｂと１次側部材１８の極Ｕ、Ｖ、Ｗとの間で発生し、１次側部材１８が左方に移動する。
【０００６】
すなわち、リニアモータ１６’のコイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃに、それぞれ位相差が１２０度ずつずれた交流を流すと、上述した作用により、極Ｕ、Ｖ、Ｗの順番で、代わる代わるに磁気吸引力が、歯１７ａｂと極Ｕ、Ｖ、Ｗとの間で発生し、これにより１次側部材１８が左方に移動する。このとき、１次側部材１８は車輪１８ａを介して２次側部材１７上を摺動するため、この１次側部材１８の反力を２次側部材１７の水平部１７ａが受ける。従って、２次側部材１７は、１次側部材１８の移動方向と反対側の右方に移動する。すなわち、２次側部材１７が取り付けられているトラフ７も、右方へと移動する。なお、このときには、トラフ７がゆっくりと移動するように、すなわちこれに反力を与える１次側部材１８がゆっくり移動するように、コイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃの電流値を調節する。なお、このとき、すべての支持体１１は、図９において２点鎖線で示されるように揺動して、トラフ７を支えている。
【０００７】
次に、極Ｕ、Ｖ、Ｗに与えるコイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃに、逆向きに電流を与える。すなわち、極Ｗ、Ｖ、Ｕの順番で、代わる代わるに磁気吸引力が、２次側部材１７の歯１７ａｂと１次側部材１８の極Ｕ、Ｖ、Ｗとの間で発生する。この磁気吸引力により１次側部材１８は右方に移動する。このときも、２次側部材１７の水平部１７ａが１次側部材１８の反力を受けるため、２次側部材１７が取り付けられているトラフ７は、１次側部材１８の移動方向と反対側の左方に移動する。このときには、トラフ７を物品の静止摩擦力に打ち勝つ力で左方に移動する（物品に対してトラフ７のみが後退する）よう、１次側部材１８を素早く移動できるように、コイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃの電流値を調節する。
【０００８】
以上の一連の動作を繰り返すことで、すなわち、トラフ７が物品の移送方向と同じ方向に移動する際には、ゆっくりと、移動方向と反対側に移動する際には、トラフ７のみが後退するようにして、振動コンベヤ１’は振動し、トラフ７上の物品を右方へと移送する。
【０００９】
このように、リニアモータ１６’のコイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃに供給される電流値を調節することにより、振動コンベヤ１’の振動が制御されて、トラフ７上の物品が移送されている。振動コンベヤ１’の上述した一連の動作は、例えば図１２にブロック図として示される制御で行われている。このブロック図では、速度指令値Ｖ0 ”が供給されており、すなわち速度（これは２次側部材１７に対する相対速度である）を与えることにより制御するものである。この速度指令値Ｖ0 ”にリニアモータ１６’の１次側部材１８の速度Ｖs ”に相当する信号をフィードバックし、この速度指令値Ｖ0 ”とリニアモータ１６’の１次側部材１８の速度Ｖs ”との速度偏差ΔＶ”が求められる。そして、この速度偏差ΔＶ”をゲインＫd で増幅して、伝達関数ＫM を有するリニアモータ１６’に与える電流値を定める。すなわち、ゲインＫd で増幅された速度偏差ΔＶ”に応じた電流値を、リニアモータ１６’のコイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃに供給する。リニアモータ１６’は、伝達関数ＫM を有し、これによって、リニアモータ１６’の１次側部材１８を加振し、すなわちトラフ７を加振する。
【００１０】
しかしながら、トラフ７を加振するリニアモータ１６’を駆動すると、実際には、その制御回路上で発生するオフセットノイズや外乱や積分不定項などの影響により、１次側部材１８の位置が、振動コンベヤ１’の振動開始時の位置から徐々にずれてしまう。なおまた、これらの影響は、図１２において、オフセットノイズＮとして示している。
【００１１】
この図１１に示されるブロック図において、１次側部材１８の質量ｍを１、１次側部材１８の減衰率Ｃ＝０、定数Ｋd を１、リニアモータ１６’の伝達関数ＫM を１、オフセットノイズＮを０．１し、図１２に示すように変化する速度（これは、図１１のオシロスコープ５０に表れた波形であり、上述したトラフ７の運動をするために、一方向にはゆっくりと、これと反対方向には素早く設定されている。すなわち、すなわち緩やかな下向き傾斜の直線と急な上向きの傾斜の直線とで示される周期（この波形を明示するため図１３の１周期を一点鎖線で囲んでいる）が繰り返されている。）を速度指令値Ｖ0 ”として与えてシミュレーションを行ったときの、１次側部材１８の２次側部材１７に対する位置の時間的変化を図１４に示す。図１４には、１次側部材１８の位置は時間が増すにつれて累積できに増大しており、すなわち１次側部材１８が初期位置０から徐々に一方向にずれていくことが示されている。
【００１２】
ところで、図７及び図８に示されているように、トラフ７を加振しているリニアモータ１６’の１次側部材１８は、２次側部材１７の水平部１７ａ上を可動するように配設されている。しかしながら、２次側部材１７の推力を発生する部分における移送方向ｆの長さＬ1 は有限である。このため、１次側部材１８は、この長さＬ1 の範囲でしか可動できない。しかしながら、上述したように外乱などにより１次側部材１８は段々と一方向に位置がずれていくので、振動コンベヤ１’を長時間、稼働させると、この長さＬ1 を越えて１次側部材１８が駆動される。このとき、１次側部材１８は２次側部材１７の支持部１７ｂ、１７ｂ’に衝突し、所定の振動を得ることができなくなる。そのため、振動コンベヤ１が物品を安定して移送できなくなる。加えて、この衝突により、騒音を発生したり、あるいは、１次側部材１８及び支持部１７ｂ、１７ｂ’が損傷を受けたりする。
【００１３】
本出願人は上述の問題に鑑みて、先に前記リニアモータにより加振する振動コンベヤにおいて１次側又は２次側が、常に所定の範囲でのみ可動でき、常に、所定の振動を安定して発生させることができ、トラフ上の物品を確実に移送できる振動コンベヤ及びその駆動制御方法を提供することを課題して、少なくとも水平方向に振動して物品を移送するトラフと、該トラフの底部にその１次側又はその２次側が取り付けられ、前記トラフを加振するリニアモータと、前記トラフを前記水平方向に振動し得るように支持する支持部とから構成される振動コンベヤの駆動制御方法において、前記リニアモータの１次側及び２次側のうち推力を発生する部分における、前記物品を移送させる移送方向の長さが大きい長尺側の前記移送方向の両端部間で可動し、前記リニアモータの１次側及び２次側のうち前記推力を発する部分における前記移送方向の長さが小さい短尺側の位置を検出し、該位置と位置指令値との偏差を求め、該偏差を所定の第１ゲインで増幅した後、フィードバックして、前記１次側のコイルに供給される電流値を、前記位置に基づいて定めることにより制御することを特徴とする振動コンベヤの駆動制御方法を開発した（特願平１０−９２８０３号）。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
然るに、上記装置においては速度指令は図１４Ａで示すように鋸歯状波であるが、このような波形は直線の組み合わせで構成されているので、振幅や周波数の変更が容易にできる。しかしながら、位置指令はこのような波形を数値積分で求めている。これは時間もかかり面倒である。数値積分の結果、図１４Ｂで示すような波形が得られるのであるが、このような波形の振幅、周波数を任意に変更して位置指令を形成することは極めて面倒である。更に加速度指令が必要な場合には、図１４Ａの鋸歯状波を数値微分することによって得られるが、図１４Ｃで示すような矩形波形になり、このとき、ハッチングで示すように正の部分と負の部分で面積を同一としなければならない。このような波形を形成することも面倒である。
【００１５】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、速度指令から位置指令及び加速度指令を容易に形成することができる振動コンベヤを提供することを課題とする。
【００１６】
以上の課題は、直線的なトラフと、該トラフを水平方向に振動可能に支持する支持手段と、前記トラフに１次側又は２次側の一方が固定され、当該トラフを加振するリニアモータとを備え、前記リニアモータに駆動指令として速度指令、位置指令又は加速度指令の何れか一つ又は複数を与えて前記トラフに該駆動指令に基づいた加振力を与えるようにした振動コンベヤにおいて、前記トラフは、当該トラフに固定されていない前記１次側又は２次側の他方の反力により駆動され、前記速度指令は、周期性を有し、前記位置指令は、前記周期性を有する速度指令がフーリェ級数に展開され、当該フーリェ級数の積分により形成され、前記加速度指令は、前記フーリェ級数の微分により形成されることを特徴とする振動コンベヤ、によって解決される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本実施の形態の振動コンベヤは、全体として１”として示されており、この振動コンベヤ１”は従来例の振動コンベヤ１’とほぼ同じ構成を有しているが、その制御は、振動コンベヤ１’と異なっている。なお、図２は、図１のリニアモータ１６’をシミュレーションで示したブロック図である。この制御系は、リニアエンコーダＥにより、リニアモータ１６’の１次側部材１８の２次側部材１７に対する位置（すなわち変位）Ｐを検出し、これを微分することにより（２次側部材１７に対する相対的な）速度ＶS を検出している。検出された速度ＶS は、速度指令値Ｖ0 （これも２次側部材１７の相対速度として与えられる）と比較されて、その速度偏差ΔＶが求められる。これがゲインＫc で増幅された値ｅV がフィードバックされる。一方、検出された位置Ｐ（これは２次側部材１７に対する相対位置）は位置指令値Ｐ。（これも２次側部材１７に対する相対位置として与えられる）と比較して、その偏差ΔＰ’が求められた後、この偏差ΔＰ’をゲインＫP で増幅し値ｅP がフィードバックされる。そして、これら値ｅV 、ｅP を加算して、リニアモータ１６’のコイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃにそれぞれ与える電流値を定めるための指令信号値ｅが求められる。理想的には、これがリニアモータ１６’のコイル１９ａ、１９ｂ、１９ｃに伝達されるのであるが、実際には、この指令信号値ｅに、例えば制御回路上のノイズなどのオフセット外乱Ｄが加わったものが、リニアモータ１６’に入力される。リニアモータ１６’は、伝達関数ＫM を有しており、これにより、リニアモータ１６’の１次側部材１８が可動する。
【００１８】
図２に示す制御系を用いて、シミュレーションを行った結果を、図３に示す。このシミュレーションでは、図２に示されるブロック図において、リニアモータ１６’の伝達関数ＫM ＝１、リニアモータ１６’の１次側部材１８の質量を１、速度指令値を図１３に示す波形とし、更に、オフセット外乱Ｄを０．１と設定した。図３に示されているように、リニアモータ１６’の１次側部材１８の位置は、位置０から正の方向にずれ量ΔＸf ずれたＸA を中心として、約±０．８の範囲で振動する。このずれΔＸf は充分に小さく、全体の振幅から見れば無視できる。
【００１９】
このように、本実施の形態によれば、従来の振動コンベヤ１’の制御方法を変えるだけで、１次側部材１８を所定（範囲）の位置で振動させることができる。従って、リニアモータ１６’の推力を発生する部分の移送方向ｆにおける長さが小さい１次側部材１８が、２次側部材１７の長さＬ1 を越えて振動することはなく、１次側部材１８と２次側部材１７とが衝突することがない。そのため、リニアモータ１６’は、常に所定の振動を発生することができ、確実にトラフ７を所定通りに加振させることができる。従って、トラフ７上の物品は、確実に安定して移送方向ｆへと搬送することができる。
【００２０】
然るに、上記速度指令値は図１３で示すように変化するのであるが、本実施の形態によれば、この鋸歯状波を
（数１）で示すように、フーリェ級数に展開し、この低次成分、例えば３項目（１／３ｓｉｎ  ３ωｔ）までを採用する。更に、上記の位置指令値は図１５Ｂに示すような鋸歯状波を数値積分により得ていたが、本実施の形態によれば、（数１）を積分することにより得られる（数２）のフーリェ級数の低次成分（３項目まで）のみを採用する。これは単なる積分であるので、簡単に計算して位置指令を形成することができる。このようなフーリェ級数の低次成分のみで速度指令及び位置指令を形成した場合にも、上述したような効果が得られる。
【００２１】
【数１】
0004273537.tif 000002
【００２２】
【数２】
0004273537.tif 000003
【００２３】
図４は上述の振動コンベヤ１’に更にオフセット外乱Ｄが加わった場合の中心位置への復帰を確実にするための制御ブロックを示すものであるが、本実施の形態によれば、加速度指令値と位置指令値がリニアモータに駆動指令として与えられる。この場合にも、位置指令値としては上述の（数２）が用いられ、また加速度指令値としては速度指令値のフーリェ級数の展開を微分することによって、（数３）が得られるが、これが指令値として加えられ、第１の実施の形態と同様に、中心位置を大きく外れることなく、所望の振動を行なうことができる。
【００２４】
【数３】
0004273537.tif 000004
【００２５】
一般に鋸歯状波は図５のように示されるが、この鋸歯状波の関数ｆ（ｔ）は同じ波形を繰り返す駆動指令であり、その関数は数式４で示される。
【００２６】
【数４】
0004273537.tif 000005
【００２７】
このような関数で表される駆動指令は、上述したようにフーリェ級数、（数５）に展開することができる。
【００２８】
【数５】
0004273537.tif 000006
【００２９】
以上のように表されるのであるが、数式を分かり易くするために振幅ａを１、角周波数ωを１としている。
【００３０】
本発明の実施の形態によれば、これら級数項のうち、低次項のみが速度指令として選ばれる。
【００３１】
【数６】
0004273537.tif 000007
【００３２】
図６で示すように第１項のｓｉｎｔはａで示すように正弦波形であり、また、これに２次の項１／２  ｓｉｎ２ｔを加えた関数ｆ2 （ｔ）はｂで表すように変化する。更に第３項の１／３  ｓｉｎ３ｔを加えればｃで示すように、かなり本来の鋸歯状波ｆ（ｔ）に近づく。従ってこのような関数ｆ2 （ｔ）又はｆ3 （ｔ）をリニアモータの一次側のコイルに印加すれば、トラフ７は、従来技術で述べたような振動と殆んど同じ振動を行ないながら、高次周波数はカットされているので、トラフの移送面の高次振動が抑えられることができ、騒音は小さい。また、移送面が従来技術で上述したような微小な高次な振動を生じないので、物品と移送面との摩擦係数を安定に保持して高速搬送を行なうことが出来る。よって、トラフ７の板厚を極力薄く出来て軽量化を行なって、リニアモータの負荷を小さくすることが出来る。なお、駆動指令を加速度指令、又は位置指令、速度指令の微分又は積分によって得られるとしても同様な効果が得られる。
【００３３】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００３４】
例えば、低次成分は上述の数式６に限ることなく、４項、５項までを含めてもよい。また、この級数項の係数を小さくしても良い。これにより、高周波成分を抑えて、高周波による騒音を小さくすることができる。
【００３５】
また以上は図示の振動コンベヤ１’について説明したが、勿論、これに限ることなく、例えば加振源としてはリニアモータを用いたが、これに代えてボイスコイルのような構成で電流を流し、所望のトラフの振動を得るようにしてもよい。また電磁石のコイルについても同様であり、電流にコイルを流して力を得る構成でなく、圧電素子に電圧を加えて遅れなく力を発生し、トラフに所望の運動を行なわせるようにしてもよい。
【００３６】
また、以上の実施例では、リニアモータとして、高力密度リニアモータの駆動原理を有するリニアモータ１６を使用したが、勿論、他のリニアモータ、例えば公知のリニアインダクションモータやリニアパルスモータなどを用いてもよい。
【００３７】
また、上記実施形態では、短尺側である１次側１８の位置Ｐ及び速度Ｖs を検出するために、公知の磁気センサを具備したリニアエンコーダを用いた。短尺側の位置や速度（又は加速度）は、他の方法、例えば光センサを具備したリニアエンコーダで検出してもよいし、また、車輪の回転数から位置や速度を検出してもよいし、また超音波を用いて検出してもよい。
【００３８】
また、上記実施形態ではトラフ７を支持する支持体１１としてリンク機構を用いたが、これに代えて振り子機構やリニアガイドを用いてもよい。上記実施例の支持体１１は例示であり、その他、トラフ７が水平方向に振動可能で、垂直方向にはほとんど振動しないように支持できる支持体であればどのようなものでもよく、例えば、本願出願人が先に出願した特願平８−１５６０７号に記載されている支持機構であってもよい。
【００３９】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明による振動コンベヤによれば、駆動指令として速度指令、位置指令及び加速度指令のいづれを用いても簡単に振巾と周波数の異なる波形を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態による振動コンベヤのブロック図である。
【図２】同シミュレーションを行ったモデルのブロック図である。
【図３】図２に示すブロック図において、位置フィードバックループのゲインを１とし、０．１の外乱が入力されたときの、リニアモータの短尺側の位置の時間的変化を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施形態による振動コンベヤの駆動制御を示すブロック図であり、短尺側の位置と短尺側の加速度をフィードバックして、指令信号を発生している状態を示している。
【図５】本発明の速度指令に近似化される鋸歯状波のタイムチャートである。
【図６】本発明により、フーリェ級数に展開された級数項の低次項の２項または３項を採用した場合の本来の鋸歯状波に対する接近のしかたを示すタイムチャートである。
【図７】従来例の振動コンベヤの斜視図である。
【図８】従来例の振動コンベヤの正面図である。
【図９】従来例の振動コンベヤに用いたリニアモータの拡大斜視図である。
【図１０】従来例の振動コンベヤに用いたリニアモータの拡大正面図である。
【図１１】従来例の振動コンベヤの制御回路のブロック図である。
【図１２】図１１に示されるブロック図において与えられる速度指令値の時間的変化を示す図である。
【図１３】中央位置の時間的変化を示すグラフである。
【図１４】各駆動指令の波形図で、Ａは速度指令、Ｂは位置指令、Ｃは加速度指令を表わす。
【符号の説明】
１’    振動コンベヤ
７      トラフ
１６’  リニアモータ
１７    ２次側部材
１８    １次側部材
【図１】
0004273537.tif 000008
【図２】
0004273537.tif 000009
【図３】
0004273537.tif 000010
【図４】
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【図５】
0004273537.tif 000012
【図６】
0004273537.tif 000013
【図７】
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【図８】
0004273537.tif 000015
【図９】
0004273537.tif 000016
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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