(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
個々に識別可能な複数の半導体チップを所定の順序で特性の測定を行っていく半導体チップの特性測定方法において、
前記各半導体チップの各測定データを、測定データ記憶領域における前記各半導体チップごとに割り当てられた所定のアドレスに、次の半導体チップの測定データの前記所定のアドレスを示す連結先情報と共に書き込んでいき、
前記測定が途中で中断され、再び前記測定を再開する場合には、
前記測定中断時に測定中であった半導体チップを検索して、この半導体チップをリスタート半導体チップと決定し、
前記リスタート半導体チップから前記測定を再開し、
このリスタート半導体チップの測定再開後の測定データを、前記リスタート半導体チップに前記測定中断前に割り当てられた前記アドレスとは別の測定再開時用アドレスに書き込み、
前記リスタート半導体チップの１つ前に測定された半導体チップの前記連結先情報を、前記リスタート半導体チップの前記測定再開時用アドレスに更新して、前記測定中断前の測定データと前記測定再開後の測定データとを連結する
ことを特徴とする半導体チップの特性測定方法。
【請求項２】
前記測定の際、測定中の半導体チップを特定する情報を現チップ記憶領域に書き込み、
前記測定中の半導体チップが前記所定の順序で代わるごとに前記現チップ記憶領域の前記情報を更新していき、
前記測定再開時、前記現チップ記憶領域の前記情報を読み取ることで、前記リスタート半導体チップを特定する
ことを特徴とする請求項１に記載の半導体チップの特性測定方法。
【請求項３】
個々に識別可能な複数の半導体チップを所定の順序で特性の測定を行っていく半導体チップの特性測定方法において、
前記各半導体チップの各測定データを、測定データ記憶領域における前記各半導体チップごとに割り当てられた所定のアドレスに、次の半導体チップの測定データの前記所定のアドレスを示す連結先情報と共に書き込んでいき、
前記測定が途中で中断され、再び前記測定を再開する場合には、
前記測定中断時に測定中であった半導体チップの数個前の半導体チップを検索して、この半導体チップをリスタート半導体チップと決定し、
前記リスタート半導体チップから前記測定を再開し、
このリスタート半導体チップの測定再開後の測定データを、前記リスタート半導体チップに前記測定中断前に割り当てられた前記アドレスとは別の測定再開時用アドレスに書き込み、
前記リスタート半導体チップの１つ前に測定された半導体チップの前記連結先情報を、前記リスタート半導体チップの前記測定再開時用アドレスに更新して、前記測定中断前の測定データと前記測定再開後の測定データとを連結する
ことを特徴とする半導体チップの特性測定方法。
【請求項４】
測定中の半導体チップを特定する情報を記憶する現チップ記憶領域と、前記測定中の半導体チップより前に測定された、前記数個分の半導体チップを特定する情報をそれぞれ記憶する前記数個分の測定済みチップ記憶領域を設け、
前記測定の際、測定中の半導体チップを特定する情報を前記現チップ記憶領域に書き込み、
前記測定中の半導体チップが前記所定の順序で代わると前記現チップ記憶領域の前記情報を更新すると共に、前記数個分の前記測定済みチップ記憶領域に記憶されていた情報も更新していき、
前記測定再開時、前記数個前の前記測定済みチップ記憶領域の前記情報を読み取ることで、前記リスタート半導体チップを特定する
ことを特徴とする請求項３に記載の半導体チップの特性測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、個々に識別可能な複数の半導体チップを所定の順序で特性の測定を行っていく半導体チップの特性測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７に示すように、１枚の半導体ウェーハＷ上には多数の半導体チップが形成され、ウェーハ１枚あたりの半導体チップの理論収率が例えば５００である場合、５００個の半導体チップそれぞれにはチップ番号１からチップ番号５００まで番号が付され他と区別されている。そして、半導体チップの各種特性の測定は、測定項目ごとに、チップ番号１の半導体チップ１からチップ番号順にチップ番号５００の半導体チップ５００まで行われていく。
【０００３】
この測定中に、測定機の異常や瞬時停電などにより測定機が停止してしまうこと、あるいは得られた測定データが異常を示したので測定機を停止させること、などにより測定が途中で中断されることがある。そして、再度同じウェーハＷについて測定を行う場合には、チップ番号１の半導体チップ１（イニシャルチップ）から測定を再開していた。すなわち、従来では、測定は常に、予め定められたイニシャルチップから順次始めていくようにプログラムされていた。
【０００４】
例えば、図８に示すように、時刻ｔ１でチップ番号１のイニシャルチップ１から順次、チップ番号２の半導体チップ、チップ番号３の半導体チップ、・・・と測定を行っていき、時刻ｔ２でチップ番号４００の半導体チップの測定中に測定機のトラブルなどにより一旦測定機を停止させて測定が中断されたとする。そして、時刻ｔ２から４時間後の時刻ｔ３で測定を再開する際には、チップ番号４００の半導体チップからでななく、イニシャルチップ１から測定を再開し、最後のチップ番号５００の半導体チップ５００まで測定を行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
そのため、測定中断前に途中まで測定した時間（１０時間）が無駄な時間（ロスタイム）となり、測定に中断があった場合には全体の測定に要する時間がその分長くなってしまう。特に、測定順序が最後の方の半導体チップの測定中に測定が中断されると時間の浪費が大きくなる。また、測定中断前までの測定データは正常なものであっても消去されてしまうのでこれも無駄となっており効率の悪い測定となっていた。また、現在は、直径５インチ、８インチのウェーハを中心に測定を行っているが、ウェーハの大きさは将来的には現在より大きくなることが推測される。従って、ウェーハ径が大きくなることで、ウェーハ１枚あたりの理論収率も大きくなることが予想され、よって、従来の測定方法では、測定が途中で中断された場合の測定時間のロスタイムも増大しがちとなる。
【０００６】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、測定が中断するまでに作成された測定データと測定再開後に作成される測定データとを連結し、測定中断前までの測定データと測定時間を有効にする半導体チップの特性測定方法を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するにあたり、本発明の請求項１では、各半導体チップの各測定データを、測定データ記憶領域における各半導体チップごとに割り当てられた所定のアドレスに、次の半導体チップの測定データのアドレスを示す連結先情報と共に書き込んでいき、測定が途中で中断され、再び測定を再開する場合には、測定中断時に測定中であった半導体チップを検索して、この半導体チップをリスタート半導体チップと決定し、このリスタート半導体チップから測定を再開し、このリスタート半導体チップの測定再開後の測定データを、リスタート半導体チップに測定中断前に割り当てられたアドレスとは別の測定再開時用アドレスに書き込み、リスタート半導体チップの１つ前に測定された半導体チップの連結先情報を、リスタート半導体チップの測定再開時用アドレスに更新して、測定中断前の測定データと測定再開後の測定データとを連結する。
【０００８】
これにより、測定に中断があった場合には、また最初の半導体チップから測定をやり直す必要はなく、中断時に測定中であった半導体チップから測定を再開できる。
【０００９】
また、本発明の請求項３では、各半導体チップの各測定データを、測定データ記憶領域における各半導体チップごとに割り当てられた所定のアドレスに、次の半導体チップの測定データのアドレスを示す連結先情報と共に書き込んでいき、測定が途中で中断され、再び測定を再開する場合には、測定中断時に測定中であった半導体チップの数個前の半導体チップを検索して、この半導体チップをリスタート半導体チップと決定し、このリスタート半導体チップから測定を再開し、このリスタート半導体チップの測定再開後の測定データを、リスタート半導体チップに測定中断前に割り当てられたアドレスとは別の測定再開時用アドレスに書き込み、リスタート半導体チップの１つ前に測定された半導体チップの連結先情報を、リスタート半導体チップの測定再開時用アドレスに更新して、測定中断前の測定データと測定再開後の測定データとを連結する。
【００１０】
これにより、測定に中断があった場合には、また最初の半導体チップから測定をやり直す必要はなく、更に、中断時に測定中であった半導体チップの数個前の半導体チップから測定を再開することで信頼性の高い測定データが得られる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１２】
図２に示すように、ＬＡＮ（Local Area Network）２３上に測定機サーバー２２が接続されており、この測定機サーバー２２内には測定データを格納する記憶装置（磁気ディスク）２２ａが備えられている。同一ＬＡＮ２３上には半導体チップの各種特性測定用の測定機２４が複数台接続され、測定機サーバー２２と測定機２４との間で、ＬＡＮ２３を介して測定データの読み書きが行われる。
【００１３】
各半導体チップの各測定データは、磁気ディスク２２ａ内の測定データ記憶領域に各半導体チップごとに区別されて書き込まれる。図５に示すように、チップ番号１の半導体チップは、例えばアドレス１００Ｈを書き込み開始位置とする領域Ａに書き込まれる。同様に、チップ番号２の半導体チップは、例えばアドレス２００Ｈを書き込み開始位置とする領域Ｂに、チップ番号３の半導体チップは、例えばアドレス３００Ｈを書き込み開始位置とする領域Ｃに、チップ番号４の半導体チップは、例えばアドレス４００Ｈを書き込み開始位置とする領域Ｄに、チップ番号５の半導体チップは、例えばアドレス５００Ｈを書き込み開始位置とする領域Ｅに、それぞれ書き込まれる。以下、チップ番号６以降の半導体チップについても同様である。
【００１４】
また、任意個の要素（各測定データ）が連結先情報（順序情報やポインタとも言う）でつながったリスト構造で各測定データは配列されており、各領域Ａ〜Ｅには、次に測定された半導体チップの測定データがどこから書き込まれているかという連結先情報が書き込まれている。例えば、領域Ａには、チップ番号２の半導体チップの測定データが書き込まれいる領域Ｂの先頭アドレス２００Ｈが書き込まれており、連続的に配列されていない２つの測定データをつなげている。このようなリスト構造をとることにより、要素（各測定データ）の挿入、削除などの操作が柔軟に行え、各要素の物理的位置を変えないで要素の順序を変更できる。
【００１５】
また、測定時には、測定機サーバー２２内の磁気ディスク２２ａ、あるいはこれとは別のメモリに、図４に示す４つの領域２８、２９、３０、３１が作成される。現チップ記憶領域３０には、今、測定中の半導体チップを特定する情報として、測定データが書き込まれる測定データ記憶領域の先頭アドレスが書き込まれる。例えば、チップ番号２の半導体チップの測定を行っているときには、図５に示す領域Ｂの先頭アドレス２００Ｈが現チップ記憶領域３０に書き込まれる。次測定チップ記憶領域３１には、次に測定される半導体チップ（チップ番号２の半導体チップを測定中だとするとチップ番号３の半導体チップ）を特定する情報、すなわちチップ番号３の半導体チップの測定データが書き込まれる領域Ｃの先頭アドレス３００Ｈが書き込まれる。そして、チップ番号２の半導体チップの測定が終わり、チップ番号３の半導体チップの測定に移ると、次チップ記憶領域３１に格納されていた”３００Ｈ”という情報を現チップ記憶領域３０にスライドさせ、現チップ記憶領域３０に格納されていた”２００Ｈ”という情報を、現在測定中の半導体チップの１つ前に測定した半導体チップを特定する情報を格納する１チップ前測定済みチップ記憶領域２９にスライドさせる。そして、１チップ前測定済みチップ記憶領域２９に格納されていた情報は、現在測定中の半導体チップの２つ前に測定した半導体チップを特定する情報を格納する２チップ前測定済みチップ記憶領域２８にスライドさせる。２チップ前測定済みチップ記憶領域２８に格納されていた情報は消去される。
【００１６】
すなわち、測定中の半導体チップが代わるごとに、各領域２８〜３１に格納されていた情報を他の領域にスライド、あるいは消去して更新していく。これにより、例えばチップ番号２の半導体チップの測定中に測定が中断されたとした場合、現チップ記憶領域３０の情報（２００Ｈ）を読み取ることで、チップ番号２の半導体チップの測定中に測定が中断されたということを特定できる。また、後述するように、測定が中断されたときに測定中であった半導体チップの１つ前、あるいは２つ前の半導体チップから測定を再開したいときには、それぞれ１チップ前測定済みチップ記憶領域２９、２チップ前測定済みチップ記憶領域２８の情報を読みとることで、どの半導体チップから測定を再開すべきか、その半導体チップを特定できる。
【００１７】
そして、今、例えばチップ番号５の半導体チップの測定中に測定が中断されたとして、図１のフローチャートに沿って測定再開後の流れを説明する。
【００１８】
先ず、ステップＳ１において、作業者が、測定機２４、ＬＡＮ２３を介して測定機サーバー２２に、測定を再開すべきウェーハのロット番号を入力し、測定機サーバー２２（磁気ディスク２２ａ）内に、同一ロット番号を持つ測定データファイルが存在するかどうか検索する。
【００１９】
そして、ステップＳ２における判断で存在しない場合には、そのロット番号については測定途中のデータファイルが無いということなので、例えばチップ番号１の半導体チップから順次測定を実行していくが、同一ロット番号を持つ測定データファイル（途中までしか測定されていないデータファイル）が存在した場合には、その測定データファイルＸを開く（ステップＳ３）。
【００２０】
次にステップＳ４において、測定を再開すべき半導体チップを特定する。
【００２１】
上述した図４に示す現チップ記憶領域３０の情報を読み取れば、どのチップの測定中に測定が中断されたかを特定できる。今、チップ番号５の半導体チップの測定中に中断されたとしているので、現チップ記憶領域３０には、チップ番号５の半導体チップを特定する情報として、このチップ番号５の半導体チップの測定データが書き込まれる測定データ記憶領域Ｅ（図５）の先頭アドレス５００Ｈが書き込まれている。しかし、本実施の形態では、測定を再開すべき半導体チップ（リスタート半導体チップ）を、中断時に測定中であった半導体チップではなく、その半導体チップの２つ前に測定された半導体チップ（この場合チップ番号３の半導体チップ）と設定している。従って、２チップ前測定済みチップ記憶領域２８の情報（３００Ｈ）を読み取って、リスタート半導体チップをチップ番号３の半導体チップと特定する。これにより、ある一箇所の記憶領域だけを見ればリスタートチップの特定が容易にできる。
【００２２】
上述したように、また図３に示すように、本実施の形態では、測定中断時に測定していた半導体チップ５から測定を再開させるのではなく、この場合２つ前の半導体チップ３から測定を再開させる。この理由としては、測定機が停止する少し前のチップについても正確な測定が行われたかどうかは不明であり、測定データの信頼性が疑わしいとしているためである。但し、何チップ前から測定を再開させるかは、測定対象や測定項目などに応じて、更にはこれまでの経験に基づいて設定する。図４に示す、測定済みチップ記憶領域２８、２９の数を増減することにより、何チップ前から測定を再開させるかを任意に変更できる。
【００２３】
そして、次のステップＳ５で、リスタート半導体チップであるチップ番号３の半導体チップから特性の測定を再開する。
【００２４】
そして、次のステップＳ６に進み、測定再開後の測定データを、中断前の測定データファイルＸに、中断前の測定データにつなげて書き込んでいく。
【００２５】
中断前の測定では、図５に示すように、チップ番号３の半導体チップの測定データは、測定データファイルＸ内の先頭アドレスが３００Ｈの領域Ｃに書き込まれていたが、測定再開後は、図６に示すように、チップ番号３の半導体チップの測定データは、３００Ｈとは別の測定再開時用アドレスとして１０００から始まる領域Ｃ’に書き込まれる。
【００２６】
更に、測定データファイルＸ内の領域Ｂに書き込まれていた連結先情報を”３００Ｈ”から”１０００”へと書き換える。すなわち、リスタート半導体チップの１つ前に測定された（これは中断前に測定されている）半導体チップ（チップ番号２）の測定データが書き込まれている領域Ｂにおける連結先情報を、リスタート半導体チップの測定データが書き込まれる領域Ｃ’の先頭アドレス１０００とすることで、中断前の測定データファイルＸに、測定再開後の測定データを連結させて書き込むことができる。これにより、測定中断前の測定データ及び測定時間を有効にすることができる。
【００２７】
そして、ステップＳ７で測定すべき次の半導体チップがあれば、その半導体チップ（チップ番号４）の測定を行い、チップ番号４の半導体チップについても４００Ｈとは別の測定再開時用アドレスとして２０００から始まる領域Ｄ’に書き込まれる。以下、同様に、このステップＳ５からステップＳ７を、最後の測定チップまで繰り返し行う。なお、測定再開後の各測定データ記憶領域にも次に測定されたチップの先頭アドレスが連結先情報として書き込まれる。
【００２８】
最後の半導体チップまで測定が終了すると、測定データファイルＸを閉じる（ステップＳ８）。
【００２９】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００３０】
リスタート半導体チップは、測定中断時に測定中であった半導体チップの２チップ前に限ることはなく、また、過去の経験上信頼性のある測定データが得られていると判断されれば、測定中断時に測定中であった半導体チップから測定を再開してもよい。
【００３１】
また、現チップ記憶領域３０や測定済みチップ記憶領域２８、２９などを設けなくても、測定中断前までの測定データファイルＸ内を、チップ番号１の半導体チップの測定データが格納された領域のアドレス（１００Ｈ）から順番にたどっていって測定データの有無を確認して、どの半導体チップまで測定が行われたかを検索するようにしてもよい。
【００３２】
【発明の効果】
本発明の請求項１によれば、測定に中断があった場合でも、測定の重複を避け、測定時間を無駄に長くすることなく効率的に測定を行える。
【００３３】
本発明の請求項２によれば、測定再開時に、どの半導体チップから測定を開始すべきかをすばやく特定できる。
【００３４】
本発明の請求項３によれば、測定に中断があった場合でも、測定の重複を避け、測定時間を無駄に長くすることなく効率的に測定を行え、更に信頼性の高い測定データが得られる。
【００３５】
本発明の請求項４によれば、測定再開時に、どの半導体チップから測定を開始すべきかをすばやく特定できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による、半導体チップの特性測定再開後の流れを示すフローチャートである。
【図２】測定機と測定機サーバーの関係を示す図である。
【図３】測定再開時のリスタート半導体チップの位置を説明する図である。
【図４】測定データの連結位置を得る方法を説明する図である。
【図５】測定データの配列構造を説明する図である。
【図６】測定データの連結方法を説明する図である。
【図７】チップ番号１から５００までの５００個の半導体チップが形成された半導体ウェーハの平面図である。
【図８】途中で測定が中断した場合における、従来の測定方法を説明する図である。
【符号の説明】
２２……測定機サーバー、２２ａ……磁気ディスク、２３……ＬＡＮ、２４……測定機、Ａ……測定データ記憶領域、Ｂ……測定データ記憶領域、Ｃ……測定データ記憶領域、Ｃ’……測定データ記憶領域、Ｄ……測定データ記憶領域、Ｄ’……測定データ記憶領域、Ｅ……測定データ記憶領域、Ｅ’……測定データ記憶領域、Ｆ’……測定データ記憶領域、２８……測定済みチップ記憶領域、２９……測定済みチップ記憶領域、３０……現チップ記憶領域、３１……次チップ記憶領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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