(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａｌ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の、炭化水素類又はエーテル類の水素原子の一部がフッ素原子のみで置換され、塩素原子を含まない非塩素系フッ素化合物と（ｂｌ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満のグリコールエーテルモノアルキルエーテル類から選ばれる一種以上の化合物と（ｂ２）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満のグリコールエーテルジアルキルエーテル類、グリコールエーテルアセテート類およびヒドロキシカルボン酸エステル類からなる群から選ばれる一種以上の化合物との組み合わせを含有する引火点を有さない洗浄剤。
【請求項２】
さらに（ａ２）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上のアルコール類、ケトン類、エステル類および炭化水素類よりなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物を含有する請求項１記載の洗浄剤。
【請求項３】
（ａ１）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の、炭化水素類又はエーテル類の水素原子の一部がフッ素原子のみで置換され、塩素原子を含まない非塩素系フッ素化合物８０．０質量％〜９９．９質量％、（ｂｌ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満のグリコールエーテルモノアルキルエーテル類から選ばれる一種以上の化合物と（ｂ２）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満のグリコールエーテルジアルキルエーテル類、グリコールエーテルアセテート類およびヒドロキシカルボン酸エステル類からなる群から選ばれる一種以上の化合物との組み合わせ０．１質量％〜２０．０質量％を含有する引火点を有さないリンス剤。
【請求項４】
さらに（ａ２）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上のアルコール類、ケトン類、エステル類および炭化水素類よりなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物０．１〜２０．０質量％を含有する請求項３記載の引火点を有さないリンス剤。
【請求項５】
成分（ａｌ）が、下記一般式（５）、（６）及び（７）で表される化合物からなる群から選ばれる一種または二種以上の組み合わせを含有する引火点を有さない請求項１または２に記載の洗浄剤。
ＣｎＨ２ｎ−ｍＦｍ              （５）
（式中、４≦ｎ≦６、５≦ｍ≦２ｎ−１の整数を示す）
ＣｘＨ２ｘ＋２−ｙＦｙ            （６）
（式中、４≦ｘ≦６、６≦ｙ≦１２の整数を示す）
ＣｓＦ２ｓ＋１ＯＲ             （７）
（式中、４≦ｓ≦６、Ｒは炭素数１〜３のアルキル基）
【請求項６】
成分（ａｌ）がメチルパーフルオロブチルエーテル、メチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびこれらの混合物から選ばれる化合物を含有する引火点を有さない請求項１または２に記載の洗浄剤。
【請求項７】
成分（ａｌ）が、下記一般式（５）、（６）及び（７）で表される化合物からなる群から選ばれる一種または二種以上の組み合わせを含有する引火点を有さない請求項３または４に記載のリンス剤。
ＣｎＨ２ｎ−ｍＦｍ              （５）
（式中、４≦ｎ≦６、５≦ｍ≦２ｎ−１の整数を示す）
ＣｘＨ２ｘ＋２−ｙＦｙ            （６）
（式中、４≦ｘ≦６、６≦ｙ≦１２の整数を示す）
ＣｓＦ２ｓ＋１ＯＲ             （７）
（式中、４≦ｓ≦６、Ｒは炭素数１〜３のアルキル基）
【請求項８】
成分（ａ１）がメチルパーフルオロブチルエーテル、メチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびこれらの混合物から選ばれる化合物を含有する引火点を有さない請求項３または４に記載のリンス剤。
【請求項９】
成分（ｂ１）が、下記一般式（１）、成分（ｂ２）が一般式（２）、（３）、（４）で表される化合物よりなる群から選ばれる一種または二種以上の組み合わせを含有する引火点を有さない請求項１〜４のいずれか１項に記載の洗浄剤またはリンス剤。
0004267911.tif 000021
（式中、Ｒ１は炭素数１〜６のアルキル基、アルケニル基、またはシクロアルキル基、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は水素またはメチル基、ｎは０または１の整数を表す。）
0004267911.tif 000022
（式中、Ｒ５は炭素数４〜６のアルキル基、アルケニル基、またはシクロアルキル基、Ｒ７、Ｒ８、Ｒ９は水素またはメチル基、Ｒ６は炭素数３〜６のアルキル基、アルケニル基またはシクロアルキル基、ｎは０または１の整数を表す。）
0004267911.tif 000023
（式中、Ｒ１０は炭素数１〜６のアルキル基、アルケニル基又はシクロアルキル基、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３は水素またはメチル基、ｎは０〜１の整数、ｍは１〜４の整数を示す）
0004267911.tif 000024
（式中、Ｒ１４は炭素数１〜６のアルキル基、アルケニル基又はシクロアルキル基を示す。）
【請求項１０】
成分（ｂｌ）が、親水性グリコールエーテルモノアルキルエーテル類から選ばれる一種以上の化合物と成分（ｂ２）が疎水性グリコールエーテルジアルキルエーテル類から選ばれる一種以上の化合物の組み合わせである引火点を有さない請求項１〜４のいずれか１項に記載の洗浄剤またはリンス剤。
【請求項１１】
成分（ｂｌ）が、疎水性グリコールエーテルモノアルキルエーテル類から選ばれる一種以上の化合物と成分（ｂ２）が親水性グリコールエーテルジアルキルエーテル類から選ばれる一種以上の化合物の組み合わせである引火点を有さない請求項１〜４のいずれか１項に記載の洗浄剤またはリンス剤。
【請求項１２】
成分（ｂｌ）および成分（ｂ２）がともに親水性である引火点を有さない請求項１〜４のいずれか１項に記載の洗浄剤またはリンス剤。
【請求項１３】
成分（ｂｌ）および成分（ｂ２）がともに疎水性である引火点を有さない請求項１〜４のいずれか１項に記載の洗浄剤またはリンス剤。
【請求項１４】
成分（ｂｌ）が、３−メトキシブタノール、３−メチル−３−メトキシブタノール、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルから選ばれる一種または二種以上の組み合わせを含有する引火点を有さない請求項１〜４のいずれか１項に記載の洗浄剤またはリンス剤。
【請求項１５】
成分（ｂ２）が、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルから選ばれる一種または二種以上の組み合わせを含有する引火点を有さない請求項１〜４のいずれか１項に記載の洗浄剤またはリンス剤。
【請求項１６】
さらに（ｃ）酸化防止剤を含有する引火点を有さない請求項１〜１５のいずれか１項に記載の洗浄剤またはリンス剤。
【請求項１７】
成分（ｃ）がフェノール系酸化防止剤、アミン系酸化防止剤、リン系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤よりなる群から選ばれる少なくとも一種以上の化合物を含有する引火点を有さない請求項１６に記載の洗浄剤またはリンス剤。
【請求項１８】
成分（ｃ）がフェノール系酸化防止剤またはアミン系酸化防止剤の群から選ばれる一種以上とリン系酸化防止剤またはイオウ系酸化防止剤の群から選ばれる−種以上の組み合わせである引火点を有さない請求項１６または１７に記載の洗浄剤またはリンス剤。
【請求項１９】
成分（ｃ）の融点が、１２０℃以下である引火点を有さない請求項１６〜１８のいずれか１項に記載の洗浄剤またはリンス剤。
【請求項２０】
さらに（ｄ）紫外線吸収剤を含有する引火点を有さない請求項１〜１９のいずれか１項に記載の洗浄剤またはリンス剤。
【請求項２１】
請求項１〜２０のいずれか１項に記載の洗浄剤および／またはリンス剤を利用することを特徴とする洗浄方法。
【請求項２２】
請求項１〜２０のいずれか１項に記載の洗浄剤および／またはリンス剤の蒸気および／またはその蒸気の凝縮液を利用して、リンスおよび／または蒸気洗浄することを特徴とする洗浄方法。
【請求項２３】
請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の（ｅ）洗浄剤で洗浄し、かつ、（ｆ）該洗浄剤の蒸気またはその蒸気の凝縮液を利用して、リンスおよび／または蒸気洗浄することを特徴とする洗浄方法。
【請求項２４】
請求項２１〜２３のいずれか一項に記載の洗浄方法において、リンスおよび／または蒸気洗浄に請求項３および請求項４のいずれか１項に記載のリンス剤の蒸気またはその蒸気の凝縮液を利用することを特徴とする洗浄方法。
【請求項２５】
請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の（ｅ）洗浄剤で洗浄したのち、請求項１記載の成分（ａ１）または、請求項１記載の成分（ａ１）および請求項２記載の（ａ２）または、請求項３記載のリンス剤、請求項４記載のリンス剤から選ばれる少なくとも１つの液体またはその液体の蒸気またはその液体の蒸気の凝縮液を利用して、リンスおよび／または蒸気洗浄することを特徴とする洗浄方法。
【請求項２６】
請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の（ｅ）洗浄剤で洗浄し、かつ、（ｆ）該洗浄剤の蒸気を凝縮した液と洗浄槽において汚れの混入した該洗浄剤とを汚れ分離槽において接触させ該洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離した後、汚れの分離された液体を洗浄槽へ戻すことを特徴とする汚れ分離方法。
【請求項２７】
請求項２６記載の汚れ分離方法において、汚れ分離槽で処理された液を分離フィルターを通過させた後、洗浄槽に戻すことを特徴とする汚れ分離方法。
【請求項２８】
請求項２１〜２５のいずれか一項に記載の洗浄方法および請求項２６または２７に記載の汚れ分離方法を併用することを特徴とする洗浄方法。
【請求項２９】
請求項１に記載の成分（ｂ１）および／または（ｂ２）を含有するプレリンス剤でリンス前にプレリンスすることを特徴とする請求項２１〜２５記載の洗浄方法。
【請求項３０】
請求項２６〜２８のいずれか１項に記載の汚れ分離方法で処理された液をリンス前にプレリンス剤として利用し、プレリンスすることを特徴とする洗浄方法。
【請求項３１】
請求項１記載の洗浄剤で洗浄し、ついで請求項１に記載の成分（ｂ１）を含有するプレリンス剤でプレリンスした後、請求項１に記載の成分（ｂ１）を含有するプレリンス剤の蒸気またはその蒸気の擬縮液でリンスまたは／および蒸気洗浄することを特徴とする洗浄方法。
【請求項３２】
請求項２１〜２８のいずれか１項に記載の洗浄方法または分離方法と請求項２９〜３１のいずれか１項に記載の洗浄方法を併用することを特徴とする洗浄方法。
【請求項３３】
（Ａ）（ｅ）請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の洗浄剤を加熱または／および蒸気を発生させるための加熱機構を有する洗浄槽、（Ｂ）該洗浄槽（Ａ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｃ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（Ｄ）水分離槽に滞留する該凝縮液を蒸気ゾーン（Ｂ）内でシャワーリンスする機構を有する洗浄装置。
【請求項３４】
（Ｅ）（ｅ）請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の洗浄剤により被洗物を洗浄するための洗浄槽、（Ｆ）該洗浄剤の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽、（Ｇ）該加熱槽（Ｆ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｈ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（Ｉ）水分離槽（Ｈ）に滞留する該凝縮液を蒸気ゾーン（Ｇ）内でシャワーリンスする機構、（Ｊ）該洗浄剤を洗浄槽（Ｅ）と加熱槽（Ｆ）との間で循環する機構を有する洗浄装置。
【請求項３５】
（Ｏ）（ｅ）請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の洗浄剤を加熱または／および蒸気を発生させるための加熱機構を有する洗浄槽、（Ｐ）該洗浄槽（Ｏ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｑ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（Ｒ）水分離槽において水分の除去された凝縮液により浸漬リンスするためのリンス槽を有する洗浄装置。
【請求項３６】
（Ｓ）（ｅ）請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の洗浄剤により被洗物を洗浄するための洗浄槽、（Ｔ）請求項１に記載の成分（ａ１）または請求項３または請求項４に記載のリンス剤により浸漬リンスするための浸漬リンス槽、（Ｕ）請求項１に記載の成分（ａ１）または請求項３または請求項４に記載のリンス剤の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽、（Ｖ）該加熱槽（Ｕ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｗ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽を有する洗浄装置。
【請求項３７】
（Ａ）（ｅ）請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の洗浄剤を加熱または／および蒸気を発生させるための加熱機構を有する洗浄槽、（Ｂ）該洗浄槽（Ａ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｃ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（Ｋ）汚れ成分を含む洗浄剤と該凝縮液とを接触させ洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離させるための汚れ分離槽、（Ｄ）水分離槽に滞留する該凝縮液を蒸気ゾーン（Ｂ）内でシャワーリンスする機構、（Ｌ）洗浄槽（Ａ）の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送る機構を有する洗浄装置。
【請求項３８】
（Ｅ）（ｅ）請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の洗浄剤により被洗物を洗浄するための洗浄槽、（Ｆ）該洗浄剤を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽、（Ｇ）該加熱槽（Ｆ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｈ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（Ｍ）汚れ成分を含む洗浄剤と該凝縮液とを接触させ洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離させるための汚れ分離槽、（Ｉ）水分離槽（Ｈ）に滞留する該凝縮液を蒸気ゾーン（Ｇ）内でシャワーリンスする機構、（Ｊ）該洗浄剤を洗浄槽（Ｅ）と加熱槽（Ｆ）との間で循環する機構、（Ｎ）洗浄槽（Ｅ）の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送る機構を有する洗浄装置。
【請求項３９】
（ｅ）請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の洗浄剤を利用することを特徴とするプレリンス槽を有する洗浄装置。
【請求項４０】
（ｅ）請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の洗浄剤を利用することを特徴とする汚れ分離槽または／および分離フィルターで処理した液をプレリンス剤としてプレリンス槽で使用する洗浄装置。
【請求項４１】
請求項３３〜３８のいずれか一項に記載の洗浄装置と請求項３９または４０に記載の洗浄装置を併用した洗浄装置。
【請求項４２】
（Ｅ）（ｅ）請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の洗浄剤により被洗物を洗浄するための洗浄槽、（Ｆ）該洗浄剤の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽、（Ｇ）該加熱槽（Ｆ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｈ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（Ｍ）汚れ成分を含む洗浄剤と該凝縮液とを接触させ洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離させるための汚れ分離槽、（Ｘ）汚れ分離槽で処理された液中の汚れ成分を分離フィルターにより分離するための機構、（Ｙ）分離フィルターを通過した液及び水分離槽（Ｈ）に滞留する該凝縮液を蒸気ゾーン（Ｇ）内でシャワーリンスする機構、（Ｊ）該洗浄剤を洗浄槽（Ｅ）と加熱槽（Ｆ）との間で循環する機構、（Ｎ）洗浄槽（Ｅ）の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送る機構を有する洗浄装置。
【請求項４３】
（Ｚ）（ｅ）請求項１、２、５、６および９〜２０のいずれか１項に記載の洗浄剤を加熱または／および加熱して蒸気を発生させるための加熱機構を有する洗浄槽、（ＡＡ）該洗浄槽から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（ＡＢ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（ＡＣ）水分離槽（ＡＢ）において水分の除去された擬縮液により浸漬リンスするためのリンス槽、（ＡＤ）汚れ成分を含む洗浄剤と該凝縮液とを接触させ洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離させるための汚れ分離槽、（ＡＥ）洗浄槽（Ｚ）の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送る機構、（ＡＦ）水分離槽（ＡＢ）において水分の除去された凝縮液を連続的に汚れ分離槽に送る機構、（ＡＧ）汚れ分離槽で処理された液中の汚れ成分を分離フィルターにより分離するための機構、（ＡＨ）分離フィルターを通過した液により浸漬プレリンスをするためのプレリンス槽を有する洗浄装置。
【請求項４４】
請求項３３〜４３のいずれか１項に記載の洗浄装置を用いる請求項２１〜２５、２８〜３２のいずれか１項に記載の洗浄方法および／または請求項２６または２７に記載の汚れ分離方法を利用した洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、精密機械部品、光学機械部品等の加工時に使用される加工油類、グリース類、ワックス類や電気電子部品のハンダ付け時に使用されるフラックス類および液晶等のあらゆる汚れを洗浄するのに好適な洗浄剤、リンス剤、洗浄方法、汚れ分離方法および洗浄装置に関するものである。
背景技術
精密機械部品、光学機械部品等の加工時に種々の加工油類、例えば、切削油、プレス油、引抜き油、熱処理油、防錆油、潤滑油等、または、グリース類、ワックス類等が使用されるが、これらの汚れは最終的には除去する必要があり、溶剤による除去が一般的に行われている。
また、電子回路の接合方法としてはハンダ付けが最も一般的に行われているが、ハンダ付けすべき金属表面の酸化物の除去清浄化、再酸化防止、ハンダ濡れ性の改良の目的で、ロジンを主成分としたフラックスでハンダ付け面を予め処理することが通常行われている。ハンダ付けの方法としては溶液状のフラックス中に基板を浸漬する等により、フラックスを基板面に付着させた後、溶融ハンダを供給する方法や予めフラックスとハンダの粉末を混合してペースト状にしたものをハンダ付けすべき場所に供給した後加熱する方法等があるが、いずれにしても、フラックス残渣は金属の腐食や絶縁性の低下の原因となるため、ハンダ付け終了後、十分に除去する必要がある。
これらの洗浄、除去には、不燃性で毒性が低く、優れた溶解性を示す等、多くの特徴を有することから、１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフルオロエタン（以下ＣＦＣ１１３という）やＣＦＣ１１３とアルコールなどを混合した溶剤で洗浄していた。しかしながら、ＣＦＣ１１３はオゾン層破壊等の地球環境汚染問題が指摘され、日本では１９９５年末にその生産が全廃された。このＣＦＣ１１３の代替品として、３，３−ジクロロ−１，１，１，２，２−ペンタフルオロプロパンと１，３−ジクロロ−１，１，２，２，３−ペンタフルオロプロパンの混合物（以下ＨＣＦＣ２２５という）や１，１−ジクロロ−１−フルオロエタン（以下ＨＣＦＣ１４１ｂという）等のハイドロクロロフルオロカーボンが提案されているが、これらについても僅かにオゾン層破壊能があるために日本では２０２０年にその使用が禁止される予定である。
さらに、近年では塩素原子を全く含まないハイドロフルオロカーボン類（以下ＨＦＣという）やハイドロフルオロエーテル類（以下ＨＦＥという）等のオゾン層破壊能が全くなく、不燃性のフッ素系溶剤が提案されているが、塩素原子を含まないために溶解能が低く単独では洗浄剤として使用できず、特開平１０−３６８９４号公報および特開平１０−１９２７９７にＨＦＣやＨＦＥに高沸点溶剤を添加した洗浄剤で洗浄した後、リンス剤としてＨＦＣやＨＦＥを利用した技術が開示されている。
しかし、いずれの発明においても高沸点溶剤を洗浄剤に利用しているために被洗物の乾燥性の低下や洗浄剤中に蓄積する汚れ成分の増加による被洗物表面への汚れの再付着等が問題となる。したがって、このような洗浄方法では、特開２０００−８０９５に開示された汚れ溶解能が低く乾燥性に優れるＨＦＣやＨＦＥを入れたリンス槽を設けることにより、溶解性に優れる高沸点成分をリンスすると共にリンス槽中のリンス液を利用して洗浄剤中に蓄積された汚れ成分を分離する方法が提案されているが、リンス槽中のリンス液を利用しているために汚れ分離性が著しく低下し、効率的に汚れを分離することができない。
以上のごとく、ＣＦＣ１１３の代替品として、これまで提案されてきた洗浄剤および洗浄方法では、洗浄が可能であってもオゾン層破壊の問題により将来その使用が禁止されていたり、洗浄剤中に蓄積する汚れ成分を連続的に分離できるもののリンス槽中のリンス液を利用するために洗浄剤中の汚れ分離効率が著しく低下する等、洗浄剤として使用する上で多くの問題を抱えているのが現状である。
発明の開示
本発明は、あらゆるタイプの汚れに対して、ＨＣＦＣ２２５に匹敵するような高い洗浄力を示すと共に被洗物表面における汚れの再付着による洗浄性の低下を防止し、かつ、高温下における洗浄や蒸気洗浄時における酸化劣化を防止しつつ、低毒性で、引火性が低く、オゾン層破壊の恐れが全くない洗浄性に優れる高沸点溶剤を含有する洗浄剤およびリンス剤とその洗浄剤または／およびリンス剤に適した洗浄方法、汚れ分離方法および洗浄装置を提供することを課題とする。
本発明者は、上記課題を達成するため、洗浄剤、リンス剤、洗浄方法、汚れ分離方法及び洗浄装置についてそれぞれ検討した。洗浄剤については成分（ｂ）の蒸発抑制効果および優れた汚れ溶解特性を生かし、低引火性である洗浄剤を見出すべく鋭意検討した結果、蒸発速度の異なる（ａ１）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物と（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分とを併用することにより、成分（ａ１）の引火点を有さない特性を保持したまま、汚れに対する洗浄力を改善できることを見出した。さらに、（ａ２）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上のアルコール類、ケトン類、エステル類および炭化水素類よりなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物や（ｂ１）グリコールエーテルモノアルキルエーテル類と（ｂ２）グリコールエーテルジアルキルエーテルを併用することにより、より高い洗浄効果が得られ、あらゆる汚れを洗浄できることを見出した。さらに、成分（ｂ）に含まれるグリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類およびヒドロキシカルボン酸エステル類には、併用する成分（ａ２）の引火危険性を抑制する効果があり、成分（ａ２）の添加量の増量が可能となることを見出した。さらに、成分（ｂ）がグリコールエーテル類の場合には（ｃ）酸化防止剤や（ｄ）紫外線吸収剤を併用することにより、酸化防止が可能となることを見出した。
また、リンス剤については、成分（ａ１）の高い乾燥性及び引火点を有さない特性と成分（ｂ）の高い汚れ溶解性を生かし，リンス性に優れるリンス剤を見出すべく鋭意検討した結果、成分（ａ１）と成分（ｂ）を特定の組成比で使用し、被洗物表面での汚れの再付着を防止することでリンス性が著しく向上することを見出した。
また、本発明の洗浄剤に適した洗浄方法、汚れ分離方法および洗浄装置を見出すべく鋭意検討を重ねた結果、本発明の洗浄剤と該洗浄剤を加熱することによって発生する洗浄剤の蒸気および凝縮液または本発明のリンス剤を利用して、リンスおよび／または蒸気洗浄することで、高い洗浄効果の得られる洗浄方法を見出し、また、本発明の洗浄方法を利用して、リンス剤を必要せず１液洗浄が可能となる液管理の容易な洗浄装置および浸漬リンス槽を設けることにより、より高い洗浄レベルを求められる精密洗浄に適した洗浄装置を見出した。
また、洗浄槽中の該洗浄剤と水分離槽中の該洗浄剤の蒸気を凝縮した液とを汚れ分離槽に送り、２液を接触させることにより汚れ分離槽内で洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離除去し、その後、汚れの分離された液体を洗浄槽へ戻すことで、洗浄剤中の汚れを効率的に連続分離できることを見出し、さらに洗浄槽への戻り液中に微分散している汚れ成分を分離フィルターにより分離することで、より高い汚れ分離性の得られることを見出し本発明を完成した。すなわち発明の第１は、（ａ１）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物と（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分とを含有する引火点を有さない洗浄剤である。
発明の第２は、さらに（ａ２）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上のアルコール類、ケトン類、エステル類および炭化水素類よりなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物を含有する発明の第１に記載の洗浄剤である。
発明の第３は、（ａ１）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物８０．０質量％〜９９．９質量％と（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分０．１質量％〜２０．０質量％とを含有する引火点を有さないリンス剤である。
発明の第４は、さらに（ａ２）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上のアルコール類、ケトン類、エステル類および炭化水素類よりなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物０．１〜２０．０質量％を含有する発明の第３に記載の引火点を有さないリンス剤である。
発明の第５は、成分（ａ１）がメチルパーフルオロブチルエーテル、メチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびこれらの混合物から選ばれる化合物を含有する引火点を有さない発明の第１〜４のいずれかに記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第６は、成分（ｂ）が、エーテル結合及び／またはエステル結合を有する有機化合物からなる群から選ばれる一種以上の化合物である引火点を有さない発明の第１〜５のいずれかに記載の洗浄剤またはリンス剤。
発明の第７は、成分（ｂ）が、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類およびヒドロキシカルボン酸エステル類からなる群から選ばれる一種以上の化合物を含有する引火点を有さない発明の第１〜６のいずれかに記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第８は、成分（ｂ）が、下記一般式（１）、（２）、（３）、（４）で表される化合物よりなる群から選ばれる一種または二種以上の組み合わせを含有する引火点を有さない発明の第１〜７のいずれかに記載の洗浄剤またはリンス剤である。
0004267911.tif 000002
（式中、Ｒ１は炭素数１〜６のアルキル基、アルケニル基、またはシクロアルキル基、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は水素またはメチル基、ｎは０または１の整数を表す。）
0004267911.tif 000003
（式中、Ｒ５は炭素数４〜６のアルキル基、アルケニル基、またはシクロアルキル基、Ｒ７、Ｒ８、Ｒ９は水素またはメチル基、Ｒ６は炭素数３〜６のアルキル基、アルケニル基またはシクロアルキル基、ｎは０または１の整数を表す。）
0004267911.tif 000004
（式中、Ｒ１０は炭素数１〜６のアルキル基、アルケニル基又はシクロアルキル基、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３は水素またはメチル基、ｎは０〜１の整数、ｍは１〜４の整数を示す）
0004267911.tif 000005
（式中、Ｒ１４は炭素数１〜６のアルキル基、アルケニル基又はシクロアルキル基を示す。）
発明の第９は、成分（ｂ）が、（ｂ１）グリコールエーテルモノアルキルエーテル類から選ばれる一種以上の化合物と（ｂ２）グリコールエーテルジアルキルエーテル類から選ばれる一種以上の化合物との組み合わせを含有する引火点を有さない発明の第１〜８のいずれかに記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第１０は、成分（ｂ１）が、親水性グリコールエーテルモノアルキルエーテル類から選ばれる一種以上の化合物と成分（ｂ２）が疎水性グリコールエーテルジアルキルエーテル類から選ばれる一種以上の化合物の組み合わせである引火点を有さない発明の第９に記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第１１は、成分（ｂ１）が、疎水性グリコールエーテルモノアルキルエーテル類から選ばれる一種以上の化合物と成分（ｂ２）が親水性グリコールエーテルジアルキルエーテル類から選ばれる一種以上の化合物の組み合わせである引火点を有さない発明の第９に記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第１２は、成分（ｂ１）および成分（ｂ２）がともに親水性である引火点を有さない発明の第９に記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第１３は、成分（ｂ１）および成分（ｂ２）がともに疎水性である引火点を有さない発明の第９に記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第１４は、成分（ｂ１）が、３−メトキシブタノール、３−メチル−３−メトキシブタノール、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルから選ばれる一種または二種以上の組み合わせを含有する引火点を有さない発明の第９に記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第１５は、成分（ｂ２）が、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルから選ばれる一種または二種以上の組み合わせを含有する引火点を有さない発明の第９に記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第１６は、さらに（ｃ）酸化防止剤を含有する引火点を有さない発明の第１〜１５のいずれかに記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第１７は、成分（ｃ）がフェノール系酸化防止剤、アミン系酸化防止剤、リン系酸化防止剤、イオウ系酸化防止剤よりなる群から選ばれる少なくとも一種以上の化合物を含有する引火点を有さない発明の第１６に記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第１８は、成分（ｃ）がフェノール系酸化防止剤またはアミン系酸化防止剤の群から選ばれる一種以上とリン系酸化防止剤またはイオウ系酸化防止剤の群から選ばれる一種以上の組み合わせである引火点を有さない発明の第１６または１７のいずれかに記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第１９は、成分（ｃ）の融点が、１２０℃以下である引火点を有さない発明の第１６〜１８のいずれかに記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第２０は、さらに（ｄ）紫外線吸収剤を含有する引火点を有さない発明の第１〜１９のいずれかに記載の洗浄剤またはリンス剤である。
発明の第２１は、発明の第１〜２０のいずれかに記載の洗浄剤および／またはリンス剤を利用することを特徴とする洗浄方法である。
発明の第２２は、発明の第１〜２０のいずれかに記載の洗浄剤および／またはリンス剤の蒸気および／またはその蒸気の凝縮液を利用して、リンスおよび／または蒸気洗浄することを特徴とする洗浄方法である。
発明の第２３は、（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の成分と（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分とを含有する洗浄剤で洗浄し、かつ、（ｆ）該洗浄剤の蒸気またはその蒸気の凝縮液を利用して、リンスおよび／または蒸気洗浄することを特徴とする洗浄方法である。
発明の第２４は、発明の第１〜２および５〜２０のいずれかに記載の（ｅ）洗浄剤で洗浄し、かつ、（ｆ）該洗浄剤の蒸気またはその蒸気の凝縮液を利用して、リンスおよび／または蒸気洗浄することを特徴とする洗浄方法である。
発明の第２５は、発明の第２１〜２３のいずれかに記載の洗浄方法において、リンスおよび／または蒸気洗浄に発明の第３、発明の第４および発明の第１６のいずれかに記載のリンス剤の蒸気またはその蒸気の凝縮液を利用することを特徴とする洗浄方法である。
発明の第２６は、発明の第１〜２および５〜２０のいずれかに記載の（ｅ）洗浄剤で洗浄したのち、成分（ａ）、発明の第３に記載のリンス剤、発明の第４に記載のリンス剤および発明の第１６に記載のリンス剤から選ばれる液体またはその液体の蒸気またはその液体の蒸気の凝縮液を利用して、リンスおよび／または蒸気洗浄することを特徴とする洗浄方法である。
発明の第２７は、発明の第１〜２および５〜２０のいずれかに記載の（ｅ）洗浄剤で洗浄し、かつ、（ｆ）該洗浄剤の蒸気を凝縮した液と洗浄槽において汚れの混入した該洗浄剤とを汚れ分離槽において接触させ該洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離した後、汚れの分離された液体を洗浄槽へ戻すことを特徴とする汚れ分離方法である。
発明の第２８は、洗浄剤の蒸気を凝縮した液と洗浄槽において汚れの混入した該洗浄剤とを接触させた液体を分離フィルターを通過させた後、洗浄槽に戻すことを特徴とする汚れ分離方法。
発明の第２９は、発明の第２７に記載の汚れ分離方法において、汚れ分離槽で処理された液を分離フィルターを通過させた後、洗浄槽に戻すことを特徴とする汚れ分離方法である。
発明の第３０は、発明の第２１〜２６のいずれかに記載の洗浄方法および発明の第２７〜２９のいずれかに記載の汚れ分離方法を併用することを特徴とする洗浄方法である。
発明の第３１は、成分（ｂ）を含有するプレリンス剤でリンス前にプレリンスすることを特徴とする洗浄方法である。
発明の第３２は、発明の第２７〜２９のいずれか１項に記載の汚れ分離方法で処理された液をリンス前にプレリンス剤として利用し、プレリンスすることを特徴とする洗浄方法である。
発明の第３３は、成分（ａ）と成分（ｂ）とを含有する洗浄剤で洗浄し、ついで成分（ｂ）を含有するプレリンス剤でプレリンスした後、成分（ｂ）を含有するプレリンス剤の蒸気またはその蒸気の凝縮液でリンスまたは／および蒸気洗浄することを特徴とする洗浄方法である。
発明の第３４は、発明の第２１〜３０のいずれか１項に記載の洗浄方法または分離方法と本発明の第３１〜３３のいずれか１項に記載の洗浄方法を併用することを特徴とする洗浄方法である。
発明の第３５は、（Ａ）（ｅ）洗浄剤を構成する少なくとも一種の成分を加熱または／および蒸気を発生させるための加熱機構を有する洗浄槽、（Ｂ）該洗浄槽（Ａ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｃ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（Ｄ）水分離槽に滞留する該凝縮液を蒸気ゾーン（Ｂ）内でシャワーリンスする機構を有する洗浄装置である。
発明の第３６は、（Ｅ）（ｅ）洗浄剤により被洗物を洗浄するための洗浄槽、（Ｆ）該洗浄剤を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽、（Ｇ）該加熱槽（Ｆ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｈ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（Ｉ）水分離槽（Ｈ）に滞留する該凝縮液を蒸気ゾーン（Ｇ）内でシャワーリンスする機構、（Ｊ）該洗浄剤を洗浄槽（Ｅ）と加熱槽（Ｆ）との間で循環する機構を有する洗浄装置である。
発明の第３７は、（Ｏ）（ｅ）洗浄剤を構成する少なくとも一種の成分を加熱または／および蒸気を発生させるための加熱機構を有する洗浄槽、（Ｐ）該洗浄槽（Ｏ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｑ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（Ｒ）水分離槽において水分の除去された凝縮液により浸漬リンスするためのリンス槽を有する洗浄装置である。
発明の第３８は、（Ｓ）（ｅ）洗浄剤により被洗物を洗浄するための洗浄槽、（Ｔ）成分（ａ）またはリンス剤により浸漬リンスするための浸漬リンス槽、（Ｕ）成分（ａ）またはリンス剤の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽、（Ｖ）該加熱槽（Ｕ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｗ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽を有する洗浄装置である。
発明の第３９は、（Ａ）（ｅ）洗浄剤を構成する少なくとも一種の成分を加熱または／および蒸気を発生させるための加熱機構を有する洗浄槽、（Ｂ）該洗浄槽（Ａ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｃ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（Ｋ）汚れ成分を含む洗浄剤と該凝縮液とを接触させ洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離させるための汚れ分離槽、（Ｄ）水分離槽に滞留する該凝縮液を蒸気ゾーン（Ｂ）内でシャワーリンスする機構、（Ｌ）洗浄槽（Ａ）の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送る機構を有する洗浄装置である。
発明の第４０は、（Ｅ）（ｅ）洗浄剤により被洗物を洗浄するための洗浄槽、（Ｆ）該洗浄剤を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽、（Ｇ）該加熱槽（Ｆ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｈ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（Ｍ）汚れ成分を含む洗浄剤と該凝縮液とを接触させ洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離させるための汚れ分離槽、（Ｉ）水分離槽（Ｈ）に滞留する該凝縮液を蒸気ゾーン（Ｇ）内でシャワーリンスする機構、（Ｊ）該洗浄剤を洗浄槽（Ｅ）と加熱槽（Ｆ）との間で循環する機構、（Ｎ）洗浄槽（Ｅ）の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送る機構を有する洗浄装置である。
発明の第４１は、プレリンス槽を有する洗浄装置である。
発明の第４２は、汚れ分離槽または／および分離フィルターで処理した液をプレリンス剤としてプレリンス槽で使用する洗浄装置である。
発明の第４３は、本発明の第３５〜４０のいずれかに記載の洗浄装置と本発明の第４１または第４２に記載の洗浄装置を併用した洗浄装置である。
発明の第４４は、（Ｅ）（ｅ）洗浄剤により被洗物を洗浄するための洗浄槽、（Ｆ）該洗浄剤を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽、（Ｇ）該加熱槽（Ｆ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｈ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（Ｍ）汚れ成分を含む洗浄剤と該凝縮液とを接触させ洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離させるための汚れ分離槽、（Ｘ）汚れ分離槽で処理された液中の汚れ成分を分離フィルターにより分離するための機構、（Ｙ）分離フィルターを通過した液及び水分離槽（Ｈ）に滞留する該凝縮液を蒸気ゾーン（Ｇ）内でシャワーリンスする機構、（Ｊ）該洗浄剤を洗浄槽（Ｅ）と加熱槽（Ｆ）との間で循環する機構、（Ｎ）洗浄槽（Ｅ）の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送る機構を有する洗浄装置である。
発明の第４５は、（Ｚ）（ｅ）洗浄剤を構成する少なくとも一種の成分を加熱または／および加熱して蒸気を発生させるための加熱機構を有する洗浄槽、（ＡＡ）該洗浄槽から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（ＡＢ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽、（ＡＣ）水分離槽（ＡＢ）において水分の除去された凝縮液により浸漬リンスするためのリンス槽、（ＡＤ）汚れ成分を含む洗浄剤と該凝縮液とを接触させ洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離させるための汚れ分離槽、（ＡＥ）洗浄槽（Ｚ）の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送る機構、（ＡＦ）水分離槽（ＡＢ）において水分の除去された凝縮液を連続的に汚れ分離槽に送る機構、（ＡＧ）汚れ分離槽で処理された液中の汚れ成分を分離フィルターにより分離するための機構、（ＡＨ）分離フィルターを通過した液により浸漬プレリンスをするためのプレリンス槽を有する洗浄装置である。
発明の第４６は、発明の第３５〜４５のいずれかに記載の洗浄装置を用いる発明の第２１〜３４のいずれかに記載の洗浄方法である。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明を詳細に説明する。
本明細書において、洗浄とは被洗物に付着している汚れを次工程に影響のないレベルまで除去することである。また、リンスとは洗浄後、被洗物に付着している汚れ成分を含む洗浄剤を汚れ成分の含まれない溶剤に置換することである。また、シャワーリンスとは洗浄後、単独あるいは複数の吐出口から液状または霧状の溶剤を吐出して被洗物に当て、被洗物に付着している洗浄剤を溶剤に置換することである。プレリンスとは洗浄後、リンス前に被洗物に付着している汚れ成分を含む洗浄剤を溶剤で置換することである。さらに、蒸気洗浄とは被洗物表面にわずかに残留する汚れ成分を、被洗物と蒸気との温度差によって被洗物表面で凝縮する液体で除去することである。
本発明の洗浄剤及びリンス剤に使用する（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の成分は、２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上あれば特に種類を問わないが、例えば、（ａ１）非塩素系フッ素化合物や（ａ２）アルコール類、ケトン類、エステル類および炭化水素類等の乾燥性に優れる化合物である。以下に成分（ａ）を化合物の種類ごとに例示する。
（ａ１）非塩素系フッ素化合物とは、炭化水素類やエーテル類の水素原子の一部がフッ素原子のみで置換され、塩素原子を含まないフッ素化合物であり、例えば、下記一般式（５）で特定される環状ＨＦＣ、（６）で特定される鎖状ＨＦＣ、又は（７）で特定されるＨＦＥの、塩素原子を含まない、炭素原子、水素原子、酸素原子、フッ素原子からなる化合物、及びこれらの中から選ばれる２種以上の化合物の組み合わせ等を挙げることができる。
ＣｎＨ２ｎ−ｍＦｍ            （５）
（式中、４≦ｎ≦６、５≦ｍ≦２ｎ−１の整数を示す）
ＣｘＨ２ｘ＋２−ｙＦｙ        （６）
（式中、４≦ｘ≦６、６≦ｙ≦１２の整数を示す）
ＣｓＦ２ｓ＋１ＯＲ            （７）
（式中、４≦ｓ≦６、Ｒは炭素数１〜３のアルキル基）
環状ＨＦＣの具体例としては３Ｈ，４Ｈ，４Ｈ−パーフルオロシクロブタン、４Ｈ，５Ｈ，５Ｈ−パーフルオロシクロペンタン、５Ｈ，６Ｈ，６Ｈ−ノナフルオロシクロヘキサン等を挙げることができる。
鎖状ＨＦＣの具体例としては１Ｈ，２Ｈ，３Ｈ，４Ｈ−パーフルオロブタン、１Ｈ，２Ｈ−パーフルオロブタン、１Ｈ，３Ｈ−パーフルオロブタン、２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロブタン、４Ｈ，４Ｈ−パーフルオロブタン、１Ｈ，１Ｈ，３Ｈ−パーフルオロブタン、１Ｈ，１Ｈ，４Ｈ−パーフルオロブタン、１Ｈ，２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロブタン、１Ｈ，１Ｈ，４Ｈ−パーフルオロブタン、１Ｈ，２Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，４Ｈ−パーフルオロペンタン、２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロペンタン、２Ｈ，４Ｈ−パーフルオロペンタン、２Ｈ，５Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，５Ｈ，５Ｈ−パーフルオロペンタン、２Ｈ，２Ｈ，４Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，２Ｈ，４Ｈ，５Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，４Ｈ，５Ｈ，５Ｈ，５Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，２Ｈ−パーフルオロヘキサン、２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロヘキサン、２Ｈ，４Ｈ−パーフルオロヘキサン、２Ｈ，５Ｈ−パーフルオロヘキサン、３Ｈ，４Ｈ−パーフルオロヘキサン等を挙げることができる。
ＨＦＥの具体例としてはメチルパーフルオロブチルエーテル、メチルパーフルオロイソブチルエーテル、メチルパーフルオロペンチルエーテル、メチルパーフルオロシクロヘキシルエーテル、エチルパーフルオロブチルエーテル、エチルパーフルオロイソブチルエーテル、エチルパーフルオロペンチルエーテル等を挙げることができる。
本発明の洗浄剤及びリンス剤においては、これら（ａ１）非塩素系フッ素化合物の中から選ばれる１種又は２種以上の化合物を組み合わて用いることができるが、好ましくは、アルコール類、ケトン類、エステル類、グリコールエーテル類等の高極性溶剤に対する溶解性が高く地球温暖化係数の低い環状ＨＦＣまたはＨＦＥを挙げることができる。より好ましくは、４Ｈ，５Ｈ，５Ｈ−パーフルオロシクロペンタン、メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびその混合物、エチルパーフルオロブチルエーテルとエチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびその混合物を挙げることができる。さらに好ましくは引火点抑制効果に優れるメチルパーフルオロブチルエーテル、メチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびその混合物を挙げることができる。特に洗浄剤及びリンス剤を非引火性とするためには成分（ａ１）である非塩素系フッ素化合物を含有する必要がある。
本発明の洗浄剤及びリンス剤に使用する（ａ２）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上のアルコール類、ケトン類、エステル類および炭化水素類よりなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物を化合物の種類ごと以下に例示する。
アルコール類としてはメタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール等を挙げることができる。
ケトン類としてはアセトン，メチルエチルケトンを挙げることができる。
エステル類としてはギ酸エチル、ギ酸プロピル、ギ酸イソブチル、酢酸メチル、酢酸エチル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル等を挙げることができる。
炭化水素類としては、ｎ−ヘキサン、イソヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキセン、２−メチルペンタン、２，３−ジメチルブタン、ｎ−ヘプタン、２−メチルヘキサン、３−メチルヘキサン、２，４−ジメチルペンタン、イソオクタン等が挙げられる。
成分（ａ２）あるいは成分（ｂ）の比重は成分（ａ１）との相溶性を向上するために、併用する成分（ａ１）の比重の±０．８の範囲に入ることが好ましく、さらに好ましくは±０．７である。特に非塩素系フッ素化合物（ａ１）の他成分との相溶性は温度依存性が高く、低温での相溶性を維持するためには併用する他成分との比重差を小さくすることが重要である。
成分（ａ２）の沸点は使用中の組成変動を少なくするために、併用する成分（ａ１）の沸点の±４０℃の範囲に入ることが好ましく、さらに好ましくは±３０℃である。
また、成分（ａ１）は、併用する成分（ａ２）が共沸組成物あるいはそれに近似する組成の共沸様組成物であることが好ましい。本発明の洗浄剤及びリンス剤においては、加工油類、グリース類、ワックス類やフラックス類等のあらゆる汚れに対する洗浄力の向上及びリンス性の向上を目的に（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分から選ばれる化合物の一種、または二種以上の組み合わせを使用する必要がある。例えば、種々の炭化水素類、アルコール類、ケトン類およびエーテル結合及び／またはエステル結合を有する有機化合物等の、各種汚れに対して良好な洗浄性を有し、且つ２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の化合物である。成分（ｂ）の蒸気圧が、この範囲にあるときに、本願発明に係る、リンス性および洗浄性に優れた洗浄剤が得られる。好ましくは、２０℃において６．６６×１０２Ｐａ以下であり、さらに好ましくは１．３３×１０２Ｐａ以下である。以下、成分（ｂ）を溶剤の種類ごとに例示する。
炭化水素類ではデカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペンタデカン、メンタン、ビシクロヘキシル、シクロドデカン、２，２，４，４，６，８，８−ヘプタメチルノナン等があげられる。
アルコール類ではｎ−ブタノール、イソブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、イソアミルアルコール、ｎ−ヘプタノール、ｎ−オクタノール、ｎ−ノナノール、ｎ−デカノール、ｎ−ウンデカノール、ベンジルアルコール、フルフリルアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコール等が挙げあれる。
ケトン類ではメチル−ｎ−アミルケトン、ジイソブチルケトン、ジアセトンアルコール、ホロン、イソホロン、シクロヘキサノン、アセトフェノン等を挙げられる。
本発明の洗浄剤及びリンス剤に使用するエーテル結合を有する有機化合物とは、分子構造の中にエーテル結合（Ｃ−Ｏ−Ｃ）を少なくとも１個以上含有する化合物であり、エステル結合を有する有機化合物とは、分子構造の中にエステル結合（−ＣＯＯ−）を少なくとも１個以上含有する化合物である。
エーテル結合を有する化合物としては、例えば、下記一般式（８）で特定される化合物を挙げることができる。
0004267911.tif 000006
（式中、Ｒ１５およびＲ１６はアルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アセチル基、カルボニル基、水酸基、エステル結合およびエーテル結合の中から選ばれる一種以上を有する脂肪族化合物残基、脂環式化合物残基、芳香族化合物残基および複素環化合物残基を表し、Ｒ１７〜Ｒ２０は水素またはアルキル基を表す）
また、エステル結合を有する化合物としては、例えば、下記一般式（９）で特定される化合物を挙げることができる。
0004267911.tif 000007
（式中、Ｒ２１およびＲ２２はアルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アセチル基、カルボニル基、水酸基、エステル結合およびエーテル結合の中から選ばれる一種以上を有する脂肪族化合物残基、脂環式化合物残基、芳香族化合物残基および複素環化合物残基を表す。）
具体例としては酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソアミル、酢酸−２−エチルヘキシル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、γ−ブチロラクトン、コハク酸ジメチル、グルタル酸ジメチル、アジピン酸ジメチル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられる。
上記、成分（ｂ）の中でも、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類およびヒドロキシカルボン酸エステル類は、併用するアルコール類の引火性を抑制する効果が特に高いので好ましい。
グリコールエーテル類としては、（ｂ１）グリコールエーテルモノアルキルエーテル類や（ｂ２）グリコールエーテルジアルキルエーテル類を挙げることができる。（ｂ１）グリコールエーテルモノアルキルエーテル類とは、２個の水酸基が２個の相異なる炭素原子に結合している脂肪族あるいは脂環式化合物において、該水酸基の１個の水素が炭化水素残基またはエーテル結合を含む炭化水素残基に置換されている化合物であり、（ｂ２）グリコールエーテルジアルキルエーテル類とは２個の水酸基が２個の相異なる炭素原子に結合している脂肪族あるいは脂環式化合物において、２個の水酸基の水素のいずれもが炭化水素残基またはエーテル結合を含む炭化水素残基に置換されている化合物である。例えば、下記一般式（１０）で特定される（ｂ１）グリコールエーテルモノアルキルエーテル類および下記一般式（１１）で特定される（ｂ２）グリコールエーテルジアルキルエーテル類を挙げることができる。
0004267911.tif 000008
（式中、Ｒ２３は炭素数１〜６のアルキル基、アルケニル基又はシクロアルキル基、Ｒ２４、Ｒ２５，Ｒ２６は水素またはメチル基、ｎは０〜１の整数、ｍは１〜４の整数を示す）
0004267911.tif 000009
（式中、Ｒ２７は炭素数１〜６のアルキル基、アルケニル基又はシクロアルキル基、Ｒ２８は炭素数１〜４のアルキル基又はアルケニル基、Ｒ２９、Ｒ３０、Ｒ３１は水素またはメチル基、ｎは０〜１の整数、ｍは１〜４の整数を示す）
また、本発明の洗浄剤およびリンス剤に使用する親水性グリコールエーテルモノアルキルエーテル類および親水性グリコールエーテルジアルキルエーテル類とは、３０℃においてグリコールエーテル類／水を６０／４０の質量割合で混合した時、水と相分離せず溶解できるグリコールエーテル類であり、疎水性グリコールエーテルモノアルキルエーテル類および疎水性グリコールエーテルジアルキルエーテル類とは、３０℃において、グリコールエーテル類／水を６０／４０の質量割合で混合した時、水と相分離するグリコールエーテル類である。
好ましい親水性グリコールエーテルモノアルキルエーテル類および親水性グリコールエーテルジアルキルエーテル類としては、３０℃において、水と任意の割合で溶解できるグリコールエーテル類であり、好ましい疎水性グリコールエーテルモノアルキルエーテル類および疎水性グリコールエーテルジアルキルエーテル類としては、３０℃において、水への溶解度が６０質量％以下のグリコールエーテル類である。
（ｂ１）グリコールエーテルモノアルキルエーテル類において、例えば、親水性グリコールエーテルモノアルキルエーテルの具体例としては、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｉ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、３−メトキシブタノール、３−メチル−３−メトキシブタノール等を挙げることができ、疎水性グリコールエーテルモノアルキルエーテルの具体例としては、エチレングリコールモノ−ｎ−ヘキシルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル等を挙げることができる。なお、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルは、フラックス洗浄におけるイオン性残渣の原因となるアミンの塩酸塩や有機酸等の汚れおよびハンダ付け工程によって生成され、白色残渣の原因となる重合ロジンやロジンの金属塩等の汚れに対する洗浄性に優れている。
さらに、３−メトキシブタノール、３−メチル−３−メトキシブタノール等の下記一般式（１）で特定される（ｂ１）グリコールエーテルモノアルキルエーテル類は特に各種汚れに対して良好な洗浄性を有し、優れた洗浄効果の得られる化合物である。
0004267911.tif 000010
（式中、Ｒ１は炭素数１〜６のアルキル基、アルケニル基、またはシクロアルキル基、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は水素またはメチル基、ｎは０または１の整数を表す。）
また、（ｂ２）グリコールエーテルジアルキルエーテル類において、例えば、親水性グリコールエーテルジアルキルエーテルの具体例としては、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル等を挙げることができ、疎水性グリコールエーテルジアルキルエーテルとしては、ジエチレングリコールジ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等を挙げることができる。なお、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルは、特にフラックス成分に含まれるロジンに対する洗浄性に優れている。
さらに、ジエチレングリコールジ−ｎ−ブチルエーテル等の下記一般式（２）で特定される（ｂ２）グリコールエーテルジアルキルエーテル類は各種汚れに対して良好な洗浄性を有し、優れた洗浄効果の得られる化合物である。
0004267911.tif 000011
（式中、Ｒ５は炭素数４〜６のアルキル基、アルケニル基、またはシクロアルキル基、Ｒ７、Ｒ８、Ｒ９は水素またはメチル基、Ｒ６は炭素数３〜６のアルキル基、アルケニル基またはシクロアルキル基、ｎは０または１の整数を表す。）
また、本発明においては、その洗浄目的に応じて、各種汚れに対するより好ましいグリコールエーテルモノアルキルエーテル類とグリコールエーテルジアルキルエーテル類との組み合わせを選ぶことができる。例えば、成分（ｂ１）、（ｂ２）のうちいずれか一方が親水性、他方が疎水性の組み合わせは、各種フラックス洗浄や基板表面に塗布される各種ソルダーレジストインキ等の熱硬化性インキやＵＶ硬化性インキ等の洗浄および液晶洗浄に特に適しており，両成分が共に親水性の組み合わせは、各種フラックス洗浄や各種電気および電子部品の接着や封止等に使用されるエポキシやウレタン系の２液性樹脂の混合吐出機（ディスペンサー）ミキサー部やノズル部の洗浄に特に適している。また、両成分が共に疎水性の組み合わせは、極性の低い精密機械部品、光学機械部品等の加工時に種々の加工油類、例えば、切削油、プレス油、引抜き油、熱処理油、防錆油、潤滑油等、やグリース類、ワックス類等や液晶等の洗浄に特に適している。
本発明に使用するグリコールエーテル類としては、人体における代謝系でアルコキシ酢酸を生成しないジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、３−メトキシブタノールおよび３−メチル−３−メトキシブタノール等がより毒性が低く好ましい。
グリコールエーテルアセテート類とは、水酸基を有するグリコールエーテル類をアセチル化した化合物であり、好ましくは下記一般式（３）で特定される。
0004267911.tif 000012
（式中、Ｒ１０は炭素数１〜６のアルキル基、アルケニル基又はシクロアルキル基、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ１３は水素またはメチル基、ｎは０〜１の整数、ｍは１〜４の整数を示す）
具体例としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコールおよびトリプロピレングリコール等のモノアルキルエーテルのアセテート、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート等を挙げることができる。本発明に使用するグリコールエーテルアセテート類としては、人体における代謝系でアルコキシ酢酸を生成しないジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルアセテートおよび３−メチル−３−メトキシブチルアセテート等がより毒性が低く好ましい。
ヒドロキシカルボン酸エステル類とは水酸基を有するエステル化合物であり、好ましくは下記一般式（４）で特定される。
0004267911.tif 000013
（式中、Ｒ１４は炭素数１〜６のアルキル基、アルケニル基又はシクロアルキル基を示す。）
具体例としては、乳酸エステル、リンゴ酸エステル、酒石酸エステル、クエン酸エステル、グリコールモノエステル、グリセリンモノエステル、グリセリンジエステル、リシノール酸エステルおよびヒマシ油等を挙げることができる。
上記、（ｂ）成分の中でも特に乳酸エステル類が好ましく、その具体例としては乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチルおよび乳酸ペンチル等を挙げることができる。
また、特に好ましい成分（ｂ）としては、その分子構造の一部としてブチル基またはイソブチル基の少なくとも一種以上を含む化合物および炭素数４〜６の鎖状炭化水素構造と酸素原子を分子内に含む化合物を挙げることができる。例えば、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、乳酸ブチル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−イソブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｉ−ブチルエーテル、３−メトキシブタノール、３−メチル−３−メトキシブタノールおよびジエチレングリコールジ−ｎ−ブチルエーテル等を挙げることができる。これらの化合物は、フラックス洗浄において、単にロジン溶解性に優れるだけでなく、イオン性物質および白色残渣原因物質に対する洗浄性にも優れている。これら成分（ｂ）のうち、加工油、グリース、ワックス、液晶等の洗浄には炭化水素類の添加が好ましく、フラックスなどの樹脂類の洗浄にはグリコールエーテル類、エステル類、ケトン類が好ましく、なかでもグリコールエーテル類が特に好ましい。
本発明の洗浄剤およびリンス剤には、洗浄剤の酸化を防止する目的で，（ｃ）酸化防止剤を使用することができる。その具体例を以下に示す。その融点を（）内に示した。フェノール系酸化防止剤としては、１−オキシ−３−メチル−４−イソプロピルベンゼン（１１２℃）、２，４−ジメチル−６−ｔ−ブチルフェノール（２０℃で液体）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール（３７℃）、ブチルヒドロキシアニソール（５７〜６３℃）、２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール（６９〜７１℃）、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−エチルフェノール（４４〜４５℃）、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシメチルフェノール（１４１℃）、トリエチレングリコール−ビス［３−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート（７６〜７９℃）、１，６−ヘキサンジオール−ビス［３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］（１０４〜１０８℃）、オクタデシル−３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート（５０〜５２℃）等の化合物を挙げることができる。
アミン系酸化防止剤としては、ジフェニル−ｐ−フェニレン−ジアミン（１３０℃）、４−アミノ−ｐ−ジフェニルアミン（７４℃）、ｐ、ｐ’−ジオクチルジフェニルアミン（８０〜１００℃）等の化合物を挙げることができる。
リン系酸化防止剤としては、フェニルイソデシルホスファイト（２０℃で液体）、ジフェニルジイソオクチルホスファイト（２０℃で液体）、ジフェニルジイソデシルホスファイト（２０℃で液体）、トリフェニルホスファイト（２０℃で液体）、トリスノニルフェニルホスファイト（２０℃で液体）、ビス（２，４−ジ−ｔブチルフェニル）ペンタエリストールジホスファイト（２０℃で液体）等の化合物を挙げることができる。
イオウ系酸化防止剤としては、ジラウリル−３、３’−チオジプロピオン酸エステル（３４〜４２℃）、ジトリデシル−３、３’−チオジプロピオン酸エステル（２０℃で液体）、ジミリスチル−３、３’−チオジプロピオン酸エステル（４９〜５５℃）、ジステアリル−３、３’−チオジプロピオン酸エステル（６３〜６９℃）等の化合物を挙げることができる。
これら例示された化合物のなかで、フェノール系酸化防止剤の添加効果が高く、特に２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾールが好ましい。また、洗浄剤を連続して加熱使用する蒸気洗浄等の場合には、フェノール系酸化防止剤およびアミン系酸化防止剤の群から選ばれる少なくとも一種以上とリン系酸化防止剤およびイオウ系酸化防止剤の群から選ばれる一種以上を併用することによって、長期間洗浄剤の酸化分解を抑制することが可能となる。さらに、酸化防止剤の融点は、洗浄した後被洗物表面に発生するシミを抑制するために１２０℃以下が好ましく、さらに蒸気洗浄における洗浄温度より低いことが好ましい。
本発明の洗浄剤及びリンス剤においては、（ｃ）酸化防止剤との併用による一層の酸化安定性の向上を目的に（ｄ）紫外線吸収剤を添加しても良い。その例としては、４−ヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２，２’−ジヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシ−４’−クロロベンゾフェノン、２、２’−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン、２，４−ジヒドロキシベンゾフェノン、５−クロロ−２−ヒドロキシベンゾフェノン、２，２’−ジヒドロキシ−４，４’−ジメトキシベンゾフェノン、４−ドデシル−２−ヒドロキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、フェニルサリシレート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、４−オクチルフェニルサリシレート、ビスフェノールＡ−ジ−サリシレート等のフェニルサリシレート類および２−（５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２−［２−ヒドロキシ−３，５−ビス（α、α’−ジジメチルベンジル）フェニル］−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、２−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−２−ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、２−（３，５−ジ−ｔ−アミル−２−ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−４’−ｔ−オクチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−５’−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−５’−ｔ−オクチルフェニル）ベンゾトリアゾール等のベンゾトリアゾール類を挙げることができる。
本発明の洗浄剤は、上述した成分（ａ１）、成分（ｂ）、成分（ｃ）および成分（ｄ）の各成分を定法に従って混合し均一化して得られる。
各成分の質量割合については、洗浄剤の特徴である、高洗浄性、低酸化劣化性、低毒性、低引火性が損なわれない範囲であれば、特に制限はないが、（ａ１）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の非塩素性フッ素化合物と（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分とを併用する場合の成分（ａ１）／成分（ｂ）の質量割合の範囲が９０／１０〜２０／８０であることがより好ましい。成分（ｂ）の質量割合が１０より大きいときに、各種汚れに対するより好ましい溶解力改善効果が得られ、８０より小さいときにより好ましい被洗物表面における洗浄剤成分の低残留性が得られる。洗浄剤の洗浄性と被洗物表面における洗浄剤成分の残留性のバランスを考慮した、さらに好ましい成分（ａ１）と（ｂ）の質量割合の範囲は８０／１０〜４０／６０であり、いっそう好ましくは７０／３０〜５０／５０である。
成分（ａ１）と成分（ａ２）を併用して使用する場合の質量割合の範囲は、９９／１〜７０／３０であることがより好ましい。成分（ａ２）の質量割合が１より大きいときに、各種汚れに対するより好ましい溶解力改善効果が得られ、３０より小さい時により好ましい低引火性が得られる。
成分（ｂ１）と成分（ｂ２）を併用して使用する場合の質量割合の範囲は、９０／１０〜１０／９０であることがより好ましい。成分（ｂ１）の質量割合が１０より大きいときに、より好ましいロジン溶解性が得られ、９０より小さいときに、重合ロジンやロジンの金属塩に対するより好ましい洗浄性が得られる。洗浄剤のロジンに対する溶解性と重合ロジン等の白色残渣の原因となる汚れに対する洗浄性のバランスを考慮したとき、さらに好ましい成分（ｂ１）／成分（ｂ２）の質量割合の範囲は８０／２０〜２０／８０であり、いっそう好ましくは７０／３０〜３０／７０である。
成分（ｃ）酸化防止剤および成分（ｄ）紫外線吸収剤を添加する場合には｛（ａ）＋（ｂ）｝に対して、｛（ｃ）＋（ｄ）｝が好ましくは１〜１０００ｐｐｍ、より好ましくは１０〜１０００ｐｐｍである。また、（ｃ）／（ｄ）の質量割合の範囲が９０／１０〜１０／９０であることが好ましく、より好ましくは８０／２０〜２０／８０である。
本発明のリンス剤は、例えば、上述した成分（ａ１）、成分（ａ２）、成分（ｂ）、成分（ｃ）および成分（ｄ）の各成分を定法に従って混合し均一化して得る方法や本発明の洗浄剤を加熱し、蒸気を発生させ冷却することによって凝縮液として得る方法を挙げることができる。本発明のリンス剤を連続的に使用する場合には、蒸気を発生させて得られる凝縮液を利用することが好ましい。
各成分の配合量は、高リンス性、高乾燥性、低酸化劣化性、低毒性、低引火性等のリンス剤としての特徴を示すために以下に示す配合量である必要がある。成分（ａ１）非塩素系フッ素化合物の配合量は、全組成中に８０．０質量％〜９９．９質量％、好ましくは９０．０質量％〜９９．９質量％であり、さらに好ましくは９５．０質量％〜９９．５質量％である。配合量が８０．０質量％以上の時に充分な蒸発速度により優れた乾燥性が得られ、また、９９．９質量％以下の時に汚れ成分を多く含む洗浄剤に対する優れたリンス性が得られる。成分（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分の配合量は０．１質量％〜２０．０質量％、好ましくは０．１質量％〜１０質量％であり、さらに好ましくは０．５質量％〜５質量％である。配合量が０．１質量％以上の時に優れたリンス効果が得られ、２０．０質量％以下で充分な乾燥性が得られる。
（ａ２）アルコール類、ケトン類、エステル類および炭化水素類よりなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物を、成分（ａ１）と成分（ｂ）とを含有するリンス剤に添加することができる。添加量としては｛（ａ１）＋（ｂ）｝に対して、０．１質量％〜２０．０質量％を添加することができ、好ましくは０．１質量％〜１０質量％であり、さらに好ましくは０．５質量％〜５質量％である。添加量が０．１質量％以上の時により好ましい蒸気洗浄性が得られ、２０質量％以下の時により好ましい引火危険性の低いリンス剤が得られる。
成分（ｃ）酸化防止剤および成分（ｄ）紫外線吸収剤を添加する場合には｛（ａ１）＋（ｂ）｝に対して、｛（ｃ）＋（ｄ）｝が好ましくは１〜１０００ｐｐｍ、より好ましくは１０〜５００ｐｐｍである。また、（ｃ）／（ｄ）の質量割合の範囲が９０／１０〜１０／９０であることが好ましく、より好ましくは８０／２０〜２０／８０である。
また、リンス剤成分はリンスする該洗浄剤と同一成分とすることにより、リンス剤成分を一定に保持することが可能となるので好ましい。
本発明の洗浄剤及びリンス剤の融点は１５℃以下が好ましいが、冬期使用することも考慮すると１０℃以下がより好ましく，さらに好ましくは５℃以下である。
本発明の洗浄剤及びリンス剤には、必要に応じて本願の効果を損ねない範囲で各種助剤、例えば，界面活性剤、安定剤、消泡剤、紫外線吸収剤等を必要に応じて添加しても良い。
以下に本発明の洗浄剤に添加できる添加剤の具体例を例示する。
界面活性剤としては、アニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤及び両性界面活性剤を添加しても良い。アニオン系界面活性剤としては、炭素数が６〜２０の脂肪酸、ドデシルベンゼンスルホン酸等のアルカリ金属、アルカノールアミンおよびアミン塩等が挙げられる。カチオン系界面活性剤としては、第４級アンモニウム塩等が挙げられる。ノニオン系界面活性剤としては、アルキルフェノール、炭素数が８〜１８の直鎖または分岐の脂肪族アルコールのエチレンオキサイド付加物、ポリエチレンオキサイドポリプロピレンオキサイドのブロックポリマー等が挙げられる。両性界面活性剤としては，ベタイン型、アミノ酸型等が挙げられる。
金属の腐食、発錆及び変色を抑制するための安定剤としてはニトロメタン、ニトロエタン等のニトロアルカン類、１，２−ブチレンオキサイド等のエポキシド類、１，４−ジオキサン等のエーテル類、トリエタノールアミン等のアミン類、１，２，３−ベンゾトリアゾール類等が挙げられる。
消泡剤としては、自己乳化シリコーン、シリコン、脂肪酸、高級アルコール、ポリプロピレングリコールポリエチレングリコールおよびフッ素系界面活性剤等が挙げられる。
本発明の洗浄剤及びリンス剤は、以下に示す洗浄方法、汚れ分離方法及び洗浄装置を利用することによって、最も効果的な洗浄を行うことができる。
本発明の第２１〜第２５に記載の洗浄方法は、被洗物に付着したあらゆるタイプの汚れを（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の成分に（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分を含有した（ｅ）洗浄剤で洗浄するが、必要に応じて、（ｃ）酸化防止剤を添加することによって、優れた金属安定性が得られる。また、洗浄剤で洗浄したのち、該洗浄剤を加熱することによって発生する（ｆ）洗浄剤の蒸気および凝縮液を利用して、リンスおよび／または蒸気洗浄することを特徴としている。特に洗浄剤及びリンス剤を非引火性とするためには成分（ａ１）である非塩素系フッ素化合物を含有する必要がある。洗浄工程には洗浄性を向上することを目的とした手拭き、浸漬、シャワー等の物理的な方法を組み合わせることにより、効果的な洗浄が可能となる。また、リンス工程ではリンス性を向上することを目的とした浸漬、シャワー等の物理的な方法を組み合わせることにより、リンス性がより向上する。また、実質的に汚れ成分を含まない溶剤をリンス剤として用いることがリンス性を向上する上でより好ましい。洗浄またはリンスを目的としたシャワーリンスを行う場合の吐出圧としては１×１０３〜２×１０６Ｐａであることが好ましく、より好ましくは１×１０４〜１×１０６Ｐａである。本発明の洗浄方法は洗浄剤を使用する上で、洗浄性及び乾燥性に優れ、被洗物の材質に対する影響も少なく、最も適した洗浄方法と言える。
本発明の洗浄剤で洗浄を実施する洗浄方法及び洗浄装置としては、被洗物を洗浄可能な如何なる方法および装置でも良く、例えば、これまで塩素系洗浄剤で使用されていた一般的な洗浄方法及び洗浄装置等を改良することにより使用することも可能であり、洗浄方法及び洗浄装置を限定するものではないが、本発明の洗浄剤およびリンス剤を使用する上で好ましい洗浄装置について以下に説明する。
２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の蒸気圧の低い成分（ｂ）を含有する本発明の洗浄剤を利用して、リンス剤を使用せずに一液洗浄する場合に好ましい洗浄装置としては、洗浄槽を加熱することにより、洗浄槽において被洗物に付着した汚れを加熱洗浄し、かつ、主に洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｂ）の凝縮液を蒸気ゾーン内でシャワーリンスにより、被洗物表面に付着している可能性のあるわずかな汚れ成分をリンスするとともに、被洗物温度を低下させることで蒸気洗浄効果を高めた洗浄方法及び装置を挙げることができる。本発明の洗浄方法及び洗浄装置ではリンス剤を使用する必要がなく、一液洗浄が可能となり液管理の容易な洗浄システムとすることができる。
具体的な洗浄方法の事例として、好ましくは本発明の第３５に記載の洗浄装置および本発明の第３６に記載の洗浄装置を挙げることができる。以下に本発明の洗浄方法及び洗浄装置を添付図面によって具体的に説明する。本発明の第３５に記載の洗浄装置の一例である図１に示す洗浄装置は、主な構造として（ｅ）洗浄液を入れる洗浄槽（Ａ）１、洗浄剤の蒸気に満たされる蒸気ゾーン（Ｂ）２、蒸発した洗浄剤を冷却管６によって凝縮し、凝縮した液と冷却管に付着した水とを静置分離するための水分離槽（Ｃ）３，水分離槽（Ｃ）３で静置分離された凝縮液をシャワーリンスするための機構（Ｄ）５、１０、１１、１２、１３とからなる。実際の洗浄においては被洗物を専用のジグやカゴ等に入れて、洗浄装置内を洗浄槽（Ａ）１、蒸気ゾーン（Ｂ）２の順に通過させながら洗浄を完了させる。
洗浄槽（Ａ）１では、本発明の洗浄剤をヒーター４で加熱し、加熱状態で被洗物に付着した汚れを洗浄除去する。この時，物理的な力としては揺動や洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
蒸気ゾーン（Ｂ）２では、主に本発明の洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｂ）の蒸気を冷却管６で凝縮させ水分離槽（Ｃ）３に集め冷却管９７により凝縮液の液温を下げた後、これら凝縮液をシャワーポンプ（Ｄ）５で配管（Ｄ）１０，１１に送液し、シャワーノズル（Ｄ）１２、１３から被洗物にシャワーすることによって，被洗物に付着している洗浄剤中に溶解および／または分散している汚れ成分を除去する。凝縮液は、水分離槽（Ｃ）３に集められた後、配管９およびシャワーポンプ（Ｄ）５から洗浄槽（Ａ）１に入りヒーター４で加熱され、その組成の一部または全部が蒸気となって矢印７のように冷却管６で凝縮された後、配管８から水分離槽（Ｃ）３に戻る。
洗浄槽（Ａ）１で発生した蒸気に満たされた蒸気ゾーン（Ｂ）２で行う蒸気洗浄は、被洗物表面で蒸気が凝縮することによりできた液中に汚れ成分が全く含まれないので、洗浄工程最後の仕上げ洗浄として有効である。
本発明の洗浄装置では、主に洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｂ）が洗浄装置内で液体や気体に状態変化させながら循環することによって、被洗物に付着しているわずかに残留している可能性の有る汚れ成分をリンス剤を使用せずにリンス及び蒸気洗浄することができる。
次に本発明の第３６に記載の洗浄装置の一例である図２に示す洗浄装置は、主な構造として（ｅ）洗浄液を入れる洗浄槽（Ｅ）１４および加熱槽（Ｆ）１５、洗浄剤の蒸気に満たされる蒸気ゾーン（Ｇ）１６、蒸発した洗浄剤を冷却管２２によって凝縮し、凝縮した液と冷却管に付着した水とを静置分離するための水分離槽（Ｈ）１７，水分離槽（Ｈ）１７で静置分離された凝縮液をシャワーリンスするための機構（Ｉ）２１，２６，２７，２８，２９、洗浄剤を洗浄槽（Ｅ）１４と加熱槽（Ｆ）１５との間で循環するための機構（Ｊ）１９，３１とからなる。実際の洗浄においては被洗物を専用のジグやカゴ等に入れて、洗浄装置内を洗浄槽（Ｅ）１４、蒸気ゾーン（Ｇ）１６の順に通過させながら洗浄を完了させる。
洗浄槽（Ｅ）１４では、一定温度にコントロールしながら被洗物に付着した汚れを超音波１８で洗浄除去する。この時，物理的な力としては揺動や洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
蒸気ゾーン（Ｇ）１６では、主に本発明の洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）の蒸気とわずかに含まれる成分（ｂ）の蒸気を冷却管２２で凝縮させ水分離槽（Ｈ）１７に集め冷却管９８により凝縮液の液温を下げた後、これら凝縮液をシャワーポンプ（Ｉ）２１で配管（Ｉ）２６，２７に送液し、シャワーノズル（Ｉ）２８、２９から被洗物にシャワーすることによって，被洗物に付着している洗浄剤中に溶解および／または分散している汚れ成分を除去する。凝縮液は、水分離槽（Ｈ）１７に集められた後、配管２５およびシャワーポンプ（Ｉ）２１から洗浄槽（Ｅ）１４に入り、オーバーフローして矢印３０のように加熱槽（Ｆ）１５に入り、ヒーター２０で加熱され、その組成の一部または全部が蒸気となって矢印２３のように冷却管２２で凝縮された後、配管２４から水分離槽（Ｈ）１７に戻る。
加熱槽（Ｆ）１５で発生した蒸気に満たされた蒸気ゾーン（Ｇ）１６で行う蒸気洗浄は、被洗物表面で蒸気が凝縮することによりできた液中に汚れ成分が全く含まれないので、洗浄工程最後の仕上げ洗浄として有効である。
洗浄槽（Ｅ）１４と加熱槽（Ｆ）１５との間で洗浄剤を循環するための機構（Ｊ）１９，３１は、洗浄剤を加熱槽（Ｆ）１５から配管（Ｊ）３１を通って循環ポンプ（Ｊ）１９で洗浄槽（Ｅ）１４に送液し、洗浄槽（Ｅ）１４からオーバーフローして矢印３０のように加熱槽（Ｆ）１５に戻すことによって、洗浄槽（Ｅ）１４と加熱槽（Ｆ）１５の洗浄剤組成を常に同一に保ち、洗浄槽（Ｅ）１４における洗浄剤の組成変動を抑制し、安定した洗浄性を得ることができる。
本発明の洗浄装置では、主に洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｂ）が洗浄装置内で液体や気体に状態変化させながら循環することによって、被洗物に付着しているわずかに残留している可能性の有る汚れ成分をリンス剤を使用せずにリンス及び蒸気洗浄することができる。
前記図１または図２に示した洗浄装置では、その目的や用途によって、洗浄槽および／または加熱槽の数を２槽以上にすることができる。
また、２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の蒸気圧の低い成分（ｂ）を含有する本発明の洗浄剤で高い洗浄レベルの要求される精密洗浄を行う場合に好ましい洗浄装置としては、洗浄槽を加熱することにより、洗浄槽において被洗物に付着した汚れを加熱洗浄し、かつ、主に洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｂ）の凝縮液を浸漬リンス槽に滞留させ被洗物を浸漬してリンスことにより、被洗物表面に付着している可能性のあるわずかな汚れ成分をリンスするとともに、被洗物温度を低下させることで蒸気洗浄効果を高めた装置を挙げることができる。本発明の洗浄装置ではリンス槽に凝縮液を滞留させ、浸漬リンスすることでより優れたリンス効果が得られると共に被洗物表面への汚れ成分の再付着を防止することのできる洗浄システムである。また、浸漬リンス槽に使用できるリンス剤としては、洗浄剤を加熱することによって得られる凝縮液及び本発明のリンス剤を使用することができる。
具体的な洗浄方法の事例として、好ましくは本発明の第３７に記載の洗浄装置を挙げることができる。以下に本発明の洗浄方法及び洗浄装置を添付図面によって具体的に説明する。本発明の第３７に記載の洗浄装置の一例である図５に示す洗浄装置は、主な構造として（ｅ）洗浄剤を構成する少なくとも一種の成分を加熱または／および蒸気を発生させるための加熱機構を有する洗浄槽（Ｏ）７１、洗浄槽（Ｏ）７１から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン（Ｐ）７３、蒸発した洗浄剤を冷却管７７によって凝縮し、凝縮した液と冷却管に付着した水とを静置分離するための水分離槽（Ｑ）７４，水分離槽（Ｑ）７４において水分の除去された凝縮液により浸漬リンスするためのリンス槽（Ｒ）７２とからなる。実際の洗浄においては被洗物を専用のジグやカゴ等に入れて、洗浄装置内を洗浄槽（Ｏ）７１、リンス槽（Ｒ）７２、蒸気ゾーン（Ｐ）７３の順に通過させながら洗浄を完了させる。
洗浄槽（Ｏ）７１では、本発明の洗浄剤をヒーター７６で加熱し、加熱状態で被洗物に付着した汚れを洗浄除去する。この時，物理的な力としては揺動や洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
リンス槽（Ｒ）７２では、本発明の洗浄剤をヒーター７６で加熱し、蒸発した洗浄剤を冷却管７７によって凝縮し、水分離槽（Ｑ）７４で冷却管１０３により凝縮液の液温を低下させるとともに水分を除去し、リンス槽（７２）に戻った水分の除去された凝縮液で超音波７５により、被洗物に付着した洗浄剤および汚れ成分を洗浄除去する。この時、物理的な力としては揺動や洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。また、リンス槽にはあらかじめ本発明のリンス剤を使用することにより、洗浄剤の組成変動を抑制することが可能となる。さらに、本発明のリンス剤組成は、洗浄剤を加熱して得られる凝縮液と同一組成とすることで、洗浄剤の組成変動を抑制できるのでより好ましい。
蒸気ゾーン（Ｐ）７３では、主に本発明の洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｂ）の蒸気を冷却管７７で凝縮させ水分離槽（Ｑ）７４に集めた後、リンス槽（Ｒ）７２に送りリンス槽において被洗物を凝縮液に浸漬することによって付着している洗浄剤中に溶解および／または分散している汚れ成分を除去する。凝縮液は、水分離槽（Ｑ）７４に集められた後、配管８０からリンス槽（Ｒ）７２に入り、オーバーフローして矢印８１のように洗浄槽（Ｏ）７１に戻りヒーター７６で加熱沸騰され、その組成の一部または全部が蒸気となって矢印７８のように冷却管７７で凝縮された後、配管７９から水分離槽（Ｑ）７４に戻る。
洗浄槽（Ｏ）７１で発生した蒸気に満たされた蒸気ゾーン（Ｐ）７３で行う蒸気洗浄は、被洗物表面で蒸気が凝縮することによりできた液中に汚れ成分が全く含まれないので、洗浄工程最後の仕上げ洗浄として有効である。
本発明の洗浄装置では、主に洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｂ）が洗浄装置内で液体や気体に状態変化させながら循環被洗物に付着しているわずかに残留している可能性の有る汚れ成分をリンス槽（Ｒ）７２および蒸気ゾーン（Ｐ）７３で洗浄することで、より高い洗浄レベルの求められる精密洗浄に適合することができる。
前記図５に示した洗浄装置では、その目的や用途によって、洗浄槽および／またはリンス槽の数を２槽以上にすることができる。
本発明の第２６に記載の洗浄方法は、２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の蒸気圧の低い成分（ｂ）を含有する本発明の洗浄剤と成分（ａ）または／および本発明のリンス剤の二液を使用する洗浄において、洗浄槽とリンス槽または／および加熱槽との間で液循環せず、洗浄剤と成分（ａ）または／およびリンス剤を分離して使用するのに好ましい洗浄方法である。
具体的には、洗浄槽中の洗浄剤を加熱して、洗浄剤温度を一定温度にコントロールしながら被洗物に付着した汚れを洗浄し、かつ、成分（ａ）または／および本発明のリンス剤の凝縮液を浸漬リンス槽に滞留させ被洗物を浸漬してリンスすることにより、被洗物表面に付着している可能性のあるわずかな汚れ成分をリンスするとともに、被洗物温度を低下させることで加熱槽で加熱した成分（ａ）または／および本発明のリンス剤蒸気による蒸気洗浄効果を高めた洗浄方法とすることができる。本発明の洗浄方法及び洗浄装置では洗浄槽内の洗浄剤温度をコントロールすることで、フラックス洗浄におけるアルミ電解コンデンサー等の部品を搭載した基板洗浄において、搭載部品に対する影響を低く抑制することのできる洗浄システムである。
具体的な洗浄方法の事例として、好ましくは本発明の第３８に記載の洗浄装置を挙げることができる。以下に本発明の洗浄方法及び洗浄装置を添付図面によって具体的に説明する。本発明の第３８に記載の洗浄装置の一例である図６に示す洗浄装置は、主な構造として、洗浄剤を加熱するための加熱機構を有する洗浄槽（Ｓ）８２、リンス剤により被洗物をリンスするためのリンス槽（Ｔ）８３、リンス剤を沸騰させるための加熱機構を有する加熱槽（Ｕ）８４、加熱槽（Ｕ）８４から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン（Ｖ）８５、蒸発した洗浄剤を冷却管９２によって凝縮し、凝縮した液と冷却管に付着した水とを静置分離するための水分離槽（Ｗ）８６とからなる。実際の洗浄においては被洗物を専用のジグやカゴ等に入れて、洗浄装置内を洗浄槽（Ｓ）８２、リンス槽（Ｔ）８３、蒸気ゾーン（Ｖ）８５の順に通過させながら洗浄を完了させる。
洗浄槽（Ｓ）８２では、本発明の洗浄剤をヒーター８７で加熱した状態で超音波８９により被洗物に付着した汚れを洗浄除去する。この時，物理的な力としては揺動や洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。なお、洗浄剤中に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）は、加熱によって蒸発するが冷却管９０によって凝縮し、凝縮液となって洗浄槽（Ｓ）８２に戻るので、洗浄剤組成の変動を低く抑制できる。
リンス槽（Ｔ）８３では、成分（ａ）、本発明のリンス剤およびこれらの凝縮液により被洗物に付着した洗浄剤および汚れ成分を洗浄除去する。この時，物理的な力としては揺動、超音波および洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
蒸気ゾーン（Ｖ）８５では、主に蒸気圧の高い成分（ａ）の蒸気を冷却管９２で凝縮させ水分離槽（Ｗ）８６に集め冷却管１０５により凝縮液の液温を低下させた後リンス槽（Ｔ）８３に送り、リンス槽（Ｔ）８３において被洗物を冷却管１０４で液温を下げた凝縮液に浸漬することによって、付着している洗浄剤中に溶解および／または分散している汚れ成分を除去する。凝縮液は、水分離槽（Ｗ）８６に集められた後、配管９５からリンス槽（Ｔ）８３に入り、オーバーフローして矢印９６のように加熱槽（Ｕ）８４に戻り、ヒーター８８で加熱され、その組成の一部または全部が蒸気となって矢印９３のように冷却管９２で凝縮された後、配管９４から水分離槽（Ｗ）８６に戻る。なお、冷却管９１では空気中の水分を凝縮し、洗浄機への水分の持込みを防止すると共に、蒸気拡散による洗浄剤およびリンス剤のロス量を抑制することができる。
蒸留槽（Ｕ）８４で発生した蒸気に満たされた蒸気ゾーン（Ｖ）８５で行う蒸気洗浄は、被洗物表面で蒸気が凝縮することによりできた液中に汚れ成分が全く含まれないので、洗浄工程最後の仕上げ洗浄として有効である。
本発明の洗浄装置では、洗浄剤とリンス剤の２液を異なる槽で使用することで洗浄槽中の洗浄剤の組成変動を抑制しつつ、被洗物に付着しているわずかに残留している可能性の有る汚れ成分をリンス槽（Ｔ）８３および蒸気ゾーン（Ｖ）８５で洗浄することで、より高い洗浄レベルの求められる精密洗浄に適合することができる。
前記図６に示した洗浄装置では、その目的や用途によって、洗浄槽および／またはリンス槽の数を２槽以上にすることができる。
本発明の第２７に記載の汚れ分離方法は、本発明の洗浄剤を加熱することによって発生する（ｆ）水分離器内に滞留した洗浄剤の蒸気を凝縮した液と洗浄槽において汚れの混入した該洗浄剤とを汚れ分離槽において接触させ該洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離した後、汚れの分離された液体を洗浄槽へ戻すことで、洗浄剤中の汚れを連続的に分離することを特徴としている。特に洗浄剤及びリンス剤を非引火性とするためには成分（ａ１）である非塩素系フッ素化合物を含有する必要がある。また、汚れ分離効率を高めるためには汚れ分離槽への洗浄剤供給量を増加すると共に汚れ分離槽内温度を下げることで、より効率的に汚れを分離することが可能となる。汚れ分離槽内温度は、２０℃以下に保つことが好ましく、より好ましくは１０℃以下である。さらに、分離された汚れ成分の比重が汚れ分離槽内の液体の比重と差のある場合には、比重差分離することが可能となるので好ましい。本発明の汚れ分離方法は、（ｅ）洗浄剤を使用する上で、洗浄剤寿命が飛躍的に改善され、洗浄剤の液交換等の作業頻度の低減及びランニングコストの低減が可能となり、最も適した汚れ分離方法と言える。
本発明の洗浄剤で洗浄を実施する汚れ分離機構を有する洗浄方法及び洗浄装置としては、被洗物を洗浄可能な如何なる装置でも良く、例えば、これまでの塩素系洗浄剤で使用されていた一般的な洗浄装置等を改造した上で汚れ分離機構を付加して使用することが可能であり、汚れ分離機構を付加する洗浄方法及び洗浄装置を限定するものではないが、具体的な汚れ分離機構を有する洗浄方法の事例として、本発明の第３９に記載の洗浄装置および本発明の第４０に記載の洗浄装置を挙げることができる。以下に本発明の汚れ分離機構を有する洗浄方法及び洗浄装置を添付図面によって具体的に説明する。本発明の第３９に記載の洗浄装置の一例である図３に示す汚れ分離機構を有する洗浄装置は、主な構造として洗浄液を入れる洗浄槽（Ａ）３２、洗浄剤の蒸気に満たされる蒸気ゾーン（Ｂ）３３、蒸発した洗浄剤を冷却管３９によって凝縮し、凝縮した液と冷却管に付着した水とを静置分離するための水分離槽（Ｃ）３４、水分離槽（Ｃ）３４に滞留する凝縮液と洗浄槽において汚れの混入した該洗浄剤とを接触させ該洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離除去する汚れ分離槽（Ｋ）３５、水分離槽（Ｃ）３４で静置分離された凝縮液をシャワーリンスするための機構（Ｄ）３６、４３、４４、４５、４６、洗浄槽（Ａ）３２の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送る機構（Ｌ）３７、４７とからなる。実際の洗浄においては被洗物を専用のジグやカゴ等に入れて、洗浄装置内を洗浄槽（Ａ）３２、蒸気ゾーン（Ｂ）３３の順に通過させながら洗浄を完了させる。
洗浄槽（Ａ）３２では、本発明の洗浄剤をヒーター３８で加熱し、加熱状態で被洗物に付着した汚れを洗浄除去する。この時，物理的な力としては揺動や洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
蒸気ゾーン（Ｂ）３３では、主に本発明の洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ１）の蒸気とわずかに含まれる成分（ｂ）を冷却管３９で凝縮させ水分離槽（Ｃ）３４に集め冷却管９９により凝縮液の液温を下げた後、これら凝縮液をシャワー用ポンプ（Ｄ）３６で配管（Ｄ）４３、４４に送液し、シャワーノズル（Ｄ）４５、４６から被洗物にシャワーすることによって、被洗物に付着している洗浄剤中に溶解および／または分散している汚れ成分を除去する。
汚れ分離槽（Ｋ）３５では、配管４２から入る水分離槽（Ｃ）３４の凝縮液と洗浄剤送液ポンプ（Ｌ）３７で送液される洗浄槽（Ａ）３２の洗浄剤とを接触させるとともに冷却管１００により液温を下げることで洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離除去した後、汚れの分離された洗浄剤と凝縮液とを洗浄槽（Ａ）３２へ戻すことで、洗浄剤中に持ち込まれる汚れ成分を連続的に除去する。凝縮液は、水分離槽（Ｃ）３４に集め冷却管９９により液温を下げた後、配管４２、汚れ分離槽（Ｋ）３５、配管４８を通って洗浄槽（Ａ）３２に戻り、また、シャワーポンプ（Ｄ）３６から配管（Ｄ）４３、４４、シャワーノズル（Ｄ）４５、４６を通って洗浄槽（Ａ）３２に戻り、ヒーター３８で加熱され、その組成の一部または全部が蒸気となって矢印４０のように冷却管３９で凝縮された後、配管４１から水分離槽（Ｃ）３４に戻る。
洗浄槽（Ａ）３２で発生した蒸気に満たされた蒸気ゾーン（Ｂ）３３で行う蒸気洗浄は、被洗物表面で蒸気が凝縮することによりできた液中に汚れ成分が全く含まれないので、洗浄工程最後の仕上げ洗浄として有効である。
本発明の洗浄装置では、主に洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｂ）が洗浄装置内で液体や気体に状態変化させながら循環することによって、被洗物に付着しているわずかに残留している可能性の有る汚れ成分をリンス剤を使用せずにリンス及び蒸気洗浄が可能であり、さらに、洗浄剤中に持ち込まれる汚れ成分を連続的に分離除去することで洗浄剤寿命を飛躍的に改善できる。
次に本発明の第４０に記載の洗浄装置の一例である図４に示す汚れ分離機構を有する洗浄装置は、主な構造として（ｅ）洗浄液を入れる洗浄槽（Ｅ）４９および加熱槽（Ｆ）５０、洗浄剤の蒸気に満たされる蒸気ゾーン（Ｇ）５１、蒸発した洗浄剤を冷却管５９によって凝縮し、凝縮した液と冷却管に付着した水とを静置分離するための水分離槽（Ｈ）５２、水分離槽（Ｈ）５２に滞留する凝縮液と洗浄槽において汚れの混入した該洗浄剤とを接触させ該洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離除去する汚れ分離槽（Ｍ）５３、水分離槽（Ｈ）５２で静置分離された凝縮液をシャワーリンスするための機構（Ｉ）５４、６３、６４、６５、６６、洗浄剤を洗浄槽（Ｅ）４９と加熱槽（Ｆ）５０との間で循環するための機構（Ｊ）５６、６８、洗浄槽（Ｅ）４９の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送る機構（Ｎ）５５、６９とからなる。実際の洗浄においては被洗物を専用のジグやカゴ等に入れて、洗浄装置内を洗浄槽（Ｅ）４９、蒸気ゾーン（Ｇ）５１の順に通過させながら洗浄を完了させる。
洗浄槽（Ｅ）４９では、一定温度にコントロールしながら被洗物に付着した汚れを超音波５７で洗浄除去する。この時，物理的な力としては揺動や洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
蒸気ゾーン（Ｇ）５１では、主に本発明の洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）の蒸気とわずかに含まれる成分（ｂ）を冷却管５９で凝縮させ水分離槽（Ｈ）５２に集め冷却管１０１により液温を下げた後、これら凝縮液をシャワー用ポンプ（Ｉ）５４で配管（Ｉ）６３、６４に送液し、シャワーノズル（Ｉ）６５、６６から被洗物にシャワーすることによって，被洗物に付着している洗浄剤中に溶解および／または分散している汚れ成分を除去する。
汚れ分離槽（Ｍ）５３では、配管６２から入る水分離槽（Ｈ）５２の凝縮液と洗浄剤送液ポンプ（Ｎ）５５で送液される洗浄槽（Ｅ）４９の洗浄剤とを接触させるとともに冷却管１０２により液温を下げることで、洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離除去した後、汚れの分離された洗浄剤と凝縮液とを洗浄槽（Ｅ）４９へ戻すことで、洗浄剤中に持ち込まれる汚れ成分を連続的に除去する。凝縮液は、水分離槽（Ｈ）５２に集められた後、配管６２、汚れ分離槽（Ｍ）５３、配管７０を通過して洗浄槽（Ｅ）４９に戻り、また、シャワーポンプ（Ｉ）５４から配管（Ｉ）６３、６４、シャワーノズル（Ｉ）６５、６６を通って洗浄槽（Ｅ）４９に戻り、洗浄槽（Ｅ）４９からオーバーフローして矢印６７のように加熱槽（Ｆ）５０に入りヒーター５８で加熱され、その組成の一部または全部が蒸気となって矢印６０のように冷却管５９で凝縮された後、配管６１から水分離槽（Ｈ）５２に戻る。
加熱槽（Ｆ）５０で発生した蒸気に満たされた蒸気ゾーン（Ｇ）５１で行う蒸気洗浄は、被洗物表面で蒸気が凝縮することによりできる液中に汚れ成分が全く含まれないので、洗浄工程最後の仕上げ洗浄として有効である。
洗浄槽（Ｅ）４９と加熱槽（Ｆ）５０との間で洗浄剤を循環するための機構（Ｊ）５６、６８は、洗浄剤を加熱槽（Ｆ）５０から配管（Ｊ）６８を通って循環ポンプ（Ｊ）５６で洗浄槽（Ｅ）４９に送液し、洗浄槽（Ｅ）４９からオーバーフローして矢印６７のように加熱槽（Ｆ）５０に戻すことによって、洗浄槽（Ｅ）４９と加熱槽（Ｆ）５０の洗浄剤組成を常に同一に保ち、洗浄槽（Ｅ）４９における洗浄剤の組成変動を抑制し、安定した洗浄性を得ることができる。
本発明の洗浄装置では、主に洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｂ）が洗浄装置内で液体や気体に状態変化させながら循環することによって、被洗物に付着しているわずかに残留している可能性の有る汚れ成分をリンス剤を使用せずにリンス及び蒸気洗浄が可能であり、さらに、洗浄剤中に持ち込まれる汚れ成分を連続的に分離除去することで洗浄剤寿命を飛躍的に改善できる。前記図３または図４に示した洗浄装置では、その目的や用途によって、洗浄槽および／または加熱槽の数を２槽以上にすることができる。
本発明の洗浄剤で洗浄を実施する洗浄装置には、本発明の第２８または第２９に記載の汚れ分離方法を付加することができる。例えば、本発明の第２７に記載の汚れ分離方法において、汚れ分離槽で処理された液が洗浄槽に戻る配管に汚れ分離フィルターを組み込むことで、洗浄槽への戻り液中に微分散している汚れ成分を分離することができる。
本発明で用いる「分離フィルター」は、織布、編布、不織布のいずれでも良い。また、この「分離フィルター」を構成する繊維は、何ら限定されるものではないが、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系共重合体の繊維、ポリヘキサメチレンアジパミド、ポリカプラミド等のポリアミド繊維、ポリアミド・イミド繊維、芳香族ポリアミド繊維、ポリパラオキシベンゾエート等のポリエステルエーテルの繊維、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン等のハロゲン含有重合体の繊維、ポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィンの繊維、各種アクリル繊維およびポリビニルアルコール系繊維、再生セルロース、アセテート、木綿、麻、絹、羊毛、等の天然繊維が挙げられる。これらの繊維は単独あるいは組み合わせて使用される。また、これら繊維をジメチルポリシロキサンやパーフルオロアルキル基を持ったフッ素系樹脂等で撥水加工処理したものも使用可能である。
本発明で用いる「分離フィルター」を構成する繊維の単繊維直径は汚れ分離性が損なわれない範囲であれば特に限定はないが、好ましくは０．１〜１０μｍのものを主体とし、より好ましくは単繊維直径２μｍ以下のものを主体とする。「主体とする」とは、分離フィルターを構成する繊維の総重量に対して、上述の単繊維直径を有する繊維の総重量が５０％以上であることである。単繊維直径が１０μｍ以下で、より好ましい微分散した汚れ成分の除去性及び処理速度が得られ、０．１μｍ以上で容易に入手することができる。
分離フィルターの厚みは汚れ分離性が損なわれない範囲であれば特に限定はないが、好ましくは０．１〜７０ｍｍである。厚みが０．１ｍｍ以上でより好ましい分離効果が得られ、７０ｍｍ以下でより好ましい液透過時の圧力損失の抑制が可能となる。
本発明に用いる分離フィルターは平膜状、円筒状、スパイラル状、プリーツ状等の任意の形態で用いることができる。処理効率の面から、分離フィルターはプリーツ状の形態で用いることが好ましい。また、分離フィルターは１枚あるいは復数枚の重ね合わせによって使用され、通液方法は重力による液透過、圧送による液透過等の任意の方法をとることができ、なんら限定されるものではない。
本発明で用いる分離フィルターに対して、補強等の目的で金網、プラスチック、繊維構造体等の補強剤を用いることも可能である。また、本発明に用いる分離フィルターに戻り液を通す前にゴミ等の捕集するためのプレフィルター、例えば膜状、わた状のゴミ捕集材を置くことも可能である。
本発明に用いる分離フィルターとしては旭化成（株）より商標「ユーテック」として販売されている（イ）または（ロ）の特徴を有する分離フィルターが特に好ましい。
分離フィルター（イ）は単繊維直径０．１〜１０μｍの繊維を主体とし、空隙率が３０〜９０％、厚さ０．１〜７０ｍｍで、かつ、繊維表面の臨界表面張力が３．５×１０−２Ｎ／ｍ以上の分離フィルターによって粗粒化分離するフィルターであり、分離フィルター（ロ）は単繊維直径０．１〜１０μｍの繊維を主体とし、空隙率が３０〜９０％の撥水性を有する分離フィルターによって、戻り液中の汚れ成分を分離するフィルターである。
本発明の分離フィルター（イ）または／および（ロ）により、汚れ成分を分離する場合には、汚れ分離槽において微分散した汚れ成分の戻り液への再溶解を防止することを目的に液温２０℃をより低く保持することが好ましく、より好ましくは１０℃以下である。
本発明の第３１〜３４に記載の洗浄方法は、成分（ｂ）を含有するプレリンス剤でリンス前にプレリンスすることで、洗浄剤中の汚れ濃度が上昇した場合のリンス槽におけるリンス不良の発生を抑制することが可能となる。プレリンス剤としては、プレリンス剤の特徴である、高プレリンス性が損なわれない溶剤であれば、特に制限はないが本発明の洗浄剤および／またはリンス剤の構成成分を添加することが可能であり、特に成分（ｂ）を含有することがプレリンス性を高めるので好ましい。プレリンス剤を非引火性とするためには成分（ａ１）である非塩素系フッ素化合物を含有する必要がある。さらに、プレリンス剤成分は洗浄剤およびリンス剤成分と同一とすることが、洗浄剤およびリンス剤の組成変動を抑制することが可能となるので好ましい。また、プレリンス剤中の成分（ｂ）の濃度はプレリンス剤の特徴である、高プレリンス性が損なわれない範囲であれば、特に制限はないが、洗浄剤中の成分（ｂ）濃度より低い時、リンス槽におけるリンス剤によるリンス性が向上し、高い乾燥性が得られるので好ましく、または、リンス剤中の成分（ｂ）濃度より高い時、汚れ成分を含む洗浄剤成分の置換性が向上し、高いプレリンス性が得られるので好ましい。さらに、プレリンス剤中の成分（ｂ）濃度が使用する洗浄剤中の成分（ｂ）濃度より低く、かつ、洗浄剤の蒸気を凝縮した液またはリンス剤中の成分（ｂ）の濃度より高いことがより好ましい。さらに、プレリンス剤中の成分（ｂ）の濃度は５〜５０質量％が好ましく、より好ましくは１０〜３０質量％である。さらに、本発明の第２７〜２９に記載の汚れ分離方法で処理された液をプレリンス剤として使用することは、連続的に洗浄を行う上でプレリンス剤中の汚れ濃度を低く、かつ、一定に保持することが可能となり、プレリンス剤の液交換を必要とせずランニングコストを低減できるので好ましく、また、プレリンス剤中の成分（ｂ）の濃度が洗浄剤中の成分（ｂ）の濃度とリンス剤中の成分（ｂ）との中間の好ましい成分（ｂ）濃度となり、かつ、一定濃度を保つことが可能となることで、リンス槽におけるより高いリンス性が得られるので好ましい。プレリンス工程ではプレリンス性を向上することを目的とした浸漬シャワー、超音波等の物理的な方法を組み合わせることにより、効果的なプレリンスが可能となる。シャワーによるプレリンスを行う場合の吐出圧は、１×１０３〜２×１０６Ｐａであることが好ましく、より好ましくは１×１０４〜１×１０６Ｐａである。本発明の洗浄方法は洗浄剤を使用する上で、洗浄性及び乾燥性に優れ、被洗物の材質に対する影響も少なく、最も適した洗浄方法と言える。
本発明のプレリンス剤を利用する洗浄方法及び洗浄装置としては、被洗物を洗浄可能な如何なる方法および装置でも良く、例えば、これまで塩素系洗浄剤で使用されていた一般的な洗浄方法及び洗浄装置等を改良することにより使用することも可能であり、洗浄方法及び洗浄装置を限定するものではないが、リンスを行う前に成分（ｂ）を含有するプレリンス剤でプレリンスを行う方法としては、浸漬、シャワー等の物理的な方法を組み合わせることにより、プレリンス性が向上するので好ましい。本発明の洗浄剤およびプレリンス剤を使用する上で好ましい具体的な洗浄方法の事例として、プレリンスをシャワーによって行うのに好ましい。本発明の第４４に記載の洗浄装置およびプレリンスを浸漬によって行うのに好ましい本発明の第４５に記載の洗浄装置を挙げることができる。以下に本発明の洗浄方法および洗浄装置を添付図面によって具体的に説明する。本発明の第４４に記載の洗浄装置の一例である図７に示す洗浄装置は、主な構造として（ｅ）洗浄液を入れる洗浄槽（Ｅ）１０６および加熱槽（Ｆ）１２１、洗浄剤の蒸気に満たされる蒸気ゾーン（Ｇ）１０８、蒸発した洗浄剤を冷却管１２２によって凝縮し、凝縮した液と冷却管に付着した水とを静置分離するための水分離槽（Ｈ）１０９、水分離槽（Ｈ）１０９に滞留する凝縮液と洗浄槽において汚れの混入した該洗浄剤とを接触させ該洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離除去する汚れ分離槽（Ｍ）１１２、汚れ分離槽で処理された液中の汚れ成分を分離フィルターにより分離するための機構（Ｘ）１１５、１１７、１１８、水分離槽（Ｈ）１０９で静置分離された凝縮液および分離フィルター−により処理された液をシャワーリンスするための機構（Ｙ）１１１、１１７、１２４〜１２７、１２９、１３１〜１３３、洗浄剤を洗浄槽（Ｅ）１０６と加熱槽（Ｆ）１０７との間で循環するための機構（Ｊ）１２０、１３４、洗浄槽（Ｅ）１０６の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送る機構（Ｎ）１１４とからなる。実際の洗浄においては被洗物を専用のジグやカゴ等に入れて、洗浄装置内を洗浄槽（Ｅ）１０６、蒸気ゾーン（Ｇ）１０８の順に通過させながら洗浄を完了させる。
洗浄槽（Ｅ）１０６では、一定温度にコントロールしながら被洗物に付着した汚れを超音波５７で洗浄除去する。この時，物理的な力としては揺動や洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
蒸気ゾーン（Ｇ）１０８では、分離フィルター（Ｘ）１１８を通過したプレリンス液をポンプ（Ｘ）１１７で逆止弁（Ｙ）１３３、配管（Ｙ）１２６，１２７に送液し、シャワーノズル（Ｙ）１２４，１２５から被洗物にシャワーすることによって，被洗物に付着している洗浄剤中に溶解および／または分散している汚れ成分をプレリンス剤で除去し、その後、主に本発明の洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）の蒸気とわずかに含まれる成分（ｂ）を冷却管１２２で凝縮させ水分離槽（Ｈ）１０９に集め冷却管１１０により液温を下げた後、これら汚れ成分を含まない凝縮液をシャワー用ポンプ（Ｙ）１１１で逆止弁（Ｙ）１２９、配管（Ｙ）１２６，１２７に送液し、シャワーノズル（Ｙ）１２４，１２５から被洗物にシャワーすることによって，被洗物に付着していプレリンス剤中に溶解および／または分散している汚れ成分を除去する。
汚れ分離槽（Ｍ）１１２では、配管１３０から入る水分離槽（Ｈ）１０９の凝縮液と洗浄剤送液ポンプ（Ｎ）１１４で送液される洗浄槽（Ｅ）１０６の洗浄剤とを接触させるとともに冷却管１１３により液温を下げることで、洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離除去した後、汚れの分離された洗浄剤と凝縮液とを洗浄槽（Ｅ）１０６へ戻すことで、洗浄剤中に持ち込まれる汚れ成分を連続的に除去する。汚れ分離槽（Ｍ）１１２で処理された液は、洗浄槽（Ｅ）１０６に戻る前に、一度汚れ分離槽処理液用タンク（Ｘ）１１５に集め冷却管１１６で液温を下げ、ポンプ（Ｘ、Ｙ）１１７で分離フィルター（Ｘ）１１８を通過することで液中に微分散している汚れ成分を分離し、プレリンス剤として使用可能とする一方で、配管１３２を通り洗浄槽（Ｅ）１０６にそのまま戻す。凝縮液は、水分離槽（Ｈ）１０９に集められた後、配管１３０、汚れ分離槽（Ｍ）１１２、配管１３２を通過して洗浄槽（Ｅ）１０６に戻り、また、シャワーポンプ（Ｙ）１１１から配管（Ｙ）１２６、１２７、シャワーノズル（Ｙ）１２４、１２５を通って洗浄槽（Ｅ）１０６に戻り、洗浄槽（Ｅ）１０６からオーバーフローして矢印１３５のように加熱槽（Ｆ）１０７に入りヒーター１２１で加熱され、その組成の一部または全部が蒸気となって矢印１２３のように冷却管１２２で凝縮された後、配管１２８から水分離槽（Ｈ）１０９に戻る。
加熱槽（Ｆ）１０７で発生した蒸気に満たされた蒸気ゾーン（Ｇ）１０８で行う蒸気洗浄は、被洗物表面で蒸気が凝縮することによりできる液中に汚れ成分が全く含まれないので、洗浄工程最後の仕上げ洗浄として有効である。
洗浄槽（Ｅ）１０６と加熱槽（Ｆ）１０７との間で洗浄剤を循環するための機構（Ｊ）１２０、１３４は、洗浄剤を加熱槽（Ｆ）１０７から配管（Ｊ）１３４を通って循環ポンプ（Ｊ）１２０で洗浄槽（Ｅ）１０６に送液し、洗浄槽（Ｅ）１０６からオーバーフローして矢印１３５のように加熱槽（Ｆ）１０７に戻すことによって、洗浄槽（Ｅ）１０６と加熱槽（Ｆ）１０７の洗浄剤組成を常に同一に保ち、洗浄槽（Ｅ）１０６における洗浄剤の組成変動を抑制し、安定した洗浄性を得ることができる。本発明の洗浄装置では、リンス前に成分（ｂ）を含むプレリンス剤でシャワーリンスすることにより、洗浄剤中に溶解している汚れ成分の被洗物表面への残留量を低減すると共に、洗浄剤中に持ち込まれる汚れ成分を連続的に分離除去することで洗浄剤寿命を飛躍的に改善できる。
次に本発明の第４５に記載の洗浄装置の一例である図８に示す洗浄装置は、主な構造として、洗浄剤を構成する少なくとも一種の成分を加熱または／および蒸気を発生させるための加熱機構を有する洗浄槽（Ｚ）１３６、該洗浄槽から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン（ＡＡ）１３９、発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽（ＡＢ）１４０、水分離槽（ＡＢ）において水分の除去された凝縮液により浸漬リンスするためのリンス槽（ＡＣ）１３８、汚れ成分を含む洗浄剤と該凝縮液とを接触させ洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離させるための汚れ分離槽（ＡＤ）１４３、洗浄槽（Ｚ）の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送る機構（ＡＥ）１４５、水分離槽（ＡＢ）において水分の除去された凝縮液を連続的に汚れ分離槽に送る機構（ＡＦ）１４２、汚れ分離槽で処理された液中の汚れ成分を分離フィルターにより分離するための機構（ＡＧ）１４６、１４８、１４９、分離フィルターを通過した液により浸漬プレリンスをするためのプレリンス槽（ＡＨ）１３７を有する洗浄装置である。実際の洗浄においては被洗物を専用のジグやカゴ等に入れて、洗浄装置内を洗浄槽（Ｚ）１３６、プレリンス槽（ＡＨ）１３７、リンス槽（ＡＣ）１３８、蒸気ゾーン（ＡＡ）１３９の順に通過させながら洗浄を完了させる。
洗浄槽（Ｚ）１３６では、本発明の洗浄剤をヒーター１５２で加熱し、加熱状態で被洗物に付着した汚れを洗浄除去する。この時，物理的な力としては揺動や洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
プレリンス槽（ＡＨ）１３７では、汚れ分離フィルター（ＡＧ）１４９を通過した汚れ分離槽（ＡＤ）１４３で処理された液をプレリンス剤として利用し、成分（ａ）、被洗物に付着した洗浄剤および汚れ成分を洗浄除去する。この時，物理的な力としては揺動、超音波および洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
リンス槽（Ｔ）８３では、成分（ａ）、本発明のリンス剤およびこれらの凝縮液により被洗物に付着したプレリンス剤および汚れ成分を洗浄除去する。この時，物理的な力としては揺動、超音波および洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
洗浄槽（Ｚ）１３６で発生した蒸気に満たされた蒸気ゾーン（ＡＡ）１３９で行う蒸気洗浄は、被洗物表面で凝縮することにより液中に汚れ成分が全く含まれない凝縮液ので、洗浄工程最後の仕上げ洗浄として有効である。
汚れ分離槽（ＡＤ）１４３では、凝縮液送液ポンプ１４２により入る水分離槽（ＡＢ）１４０の凝縮液と配管１６２を通り洗浄剤送液ポンプ（ＡＥ）１４５で送液される洗浄槽（Ｚ）１３６の洗浄剤とを接触させるとともに冷却管１４４により液温を下げることで、洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離除去した後、汚れの分離された洗浄剤と凝縮液とを洗浄槽（Ｚ）１３６へ戻すことで、洗浄剤中に持ち込まれる汚れ成分を連続的に除去する。汚れ分離槽（ＡＤ）１４３で処理された液は、一度汚れ分離槽処理液用タンク（ＡＧ）１４６に集め冷却管１４７で液温を下げ、ポンプ（ＡＧ）１４８で分離フィルター（ＡＧ）１４９を通過することで液中に微分散している汚れ成分を分離し、プレリンス槽（ＡＨ）１３７に入り、プレリンス剤の成分として使用した後、矢印１５３のようにオーバーフローして洗浄槽（Ｚ）１３６に戻る。
凝縮液は水分離槽（ＡＢ）１４０に集め冷却管１４１で液温を下げた後、配管１５９を通りリンス槽（ＡＣ）１３８入り冷却管１５５で液温を下げリンス液として利用し、矢印１５４のように洗浄槽（Ｚ）１３６に戻る一方、凝縮液用ポンプ１４２から汚れ分離槽（ＡＤ）１４３、配管１６０、汚れ分離槽処理液用タンク（ＡＧ）を通り、さらに分かれて、一方の液が汚れ分離槽処理液用ポンプ（ＡＧ）１４８、分離フィルター（ＡＧ）１４９、配管１６１、プレリンス槽（ＡＨ）１３７に入り、プレリンス剤の成分として使用した後、矢印１５３のようにオーバーフローして洗浄槽（Ｚ）１３６に戻る。洗浄槽（Ｚ）１３６に戻った凝縮液はヒーター１５２で加熱沸騰され、その組成の一部または全部が蒸気となって矢印１５６のように冷却管１５７で凝縮された後、配管１５８から水分離槽（ＡＢ）１４０に戻る。
本発明の洗浄装置では、リンス前に成分（ｂ）を含むプレリンス剤で浸漬リンスすることにより、洗浄剤中に溶解している汚れ成分の被洗物表面への残留量を低減すると共に、洗浄剤中に持ち込まれる汚れ成分を連続的に分離除去することで洗浄剤寿命を飛躍的に改善できる。
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。なお、洗浄剤の各種物性は以下のようにして測定、評価した。
［実施例１〜２２及び比較例１〜１２］
（１）引火点測定
ＪＩＳ  Ｋ  ２２６５に従い、クリーブランド開放式で引火点の測定を行った。評価は以下の基準による。
○：引火点なし
×：引火点あり
実施例１〜８
表１に記載の組成で各成分を混合し、目的のリンス剤を得た。各リンス剤について、引火点測定を行ない、結果を表１にまとめた。（ａ１）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物と（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分とを併用することにより、引火点が消去されることが確認された。
実施例９〜２２
表１に記載の組成で各成分を混合し、目的の洗浄剤を得た。各洗浄剤について、引火点測定を行ない、結果を表１にまとめた。（ａ１）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物と（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分とを併用することにより、引火点が消去されることが確認された。さらに、（ａ１）非塩素系フッ素化合物、（ａ２）アルコール類、ケトン類、エステル類および炭化水素類よりなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物および（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分とを併用することにより、成分（ａ１）と成分（ａ２）とを単に併用するだけでは完全に引火点を消去することができない組成において、成分（ｂ）を添加することにより完全に引火点を消去できることが確認された。
比較例１〜１２
表２に記載の化合物について実施例と同じ引火点測定を行った。結果を表２にまとめた。測定した全ての化合物およびで、引火点が確認された。
［実施例２３〜３９及び比較例１３〜１５］
（２）油溶解性試験
３０メッシュのステンレス金網（１０ｍｍ×２０ｍｍ）に下記金属加工油を含浸させ、１００℃で３０分加熱しサンプルとした。これを６０℃の洗浄剤１０ｍｌで２分間揺動洗浄（２００回／分）し、メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパープルオロイソブチルエーテルとの混合物（商品名：ＨＦＥ７１００、住友スリーエム（株）製）ですすぎ乾燥後、溶解性を目視評価する。評価は以下の基準による。
○：加工油の残留なし
△：わずかに加工油の残留あり
×：加工油の残留あり
試験に用いた金属加工油：ＡＭ３０（商品名：ユニカットテラミ、日石三菱（株）製）
（３）ロジン溶解性試験
フラックスを加熱して、イソプロパノール等の溶剤成分を蒸発乾固したのち、約０．２ｇのペレットを作成する。これを６０℃の洗浄剤５０ｍｌで２分間揺動洗浄（２００回／分）し、メチルパーフルオロブチルエーテルおよびメチルパーフルオロイソブチルエーテルの混合物（商品名：ＨＦＥ７１００、住友スリーエム（株）製）でリンスした後、エアーブローして乾燥する。溶解性は試験の前後にペレットの重量を測定し、以下の計算式で計算する。
ロジン溶解性（％）＝｛（試験前重量−試験後重量）／試験前重量｝×１００
評価は以下の基準による。
◎：４０％以上
○：３０％以上〜４０％未満
△：１０％以上〜３０％未満
×：１０％未満
試験に用いたフラックスの商品名：ＣＦＲ−２２５（（株）タムラ製作所製）
（４）フラックス洗浄性試験
重合ロジン、およびロジン金属塩等、白色残渣の原因となる汚れに対する洗浄剤のフラックス洗浄性を、以下の操作により測定した。
ガラスエポキシ製プリント基板（３５ｍｍ×４８ｍｍ）をフラックスに片面浸漬し風乾した後、２５０℃でハンダ付けして作成した試験片を６０℃の洗浄剤５０ｍｌで２分間揺動洗浄（２００回／分）し、メチルパーフルオロブチルエーテルおよびメチルパーフルオロイソブチルエーテルの混合物（商品名：ＨＦＥ７１００、住友スリーエム（株）製）でリンスした後、ＨＦＥ７１００で蒸気洗浄して乾燥する。フラックス洗浄性は基板表面の外観を目視評価する。評価は以下の基準による。
◎：白色残渣なし
○：わずかに白色残渣あり
×：白色残渣あり
試験に用いたフラックスの商品名：ＣＦＲ−２２５（（株）タムラ製作所製）
実施例２３〜３９
表３に記載の組成で各成分を混合し、目的の洗浄剤を得た。各洗浄剤について、洗浄試験を行ない、結果を表３にまとめた。（ａ１）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物と（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分とを併用することにより、油、ロジンおよびフラックス溶解性に優れた洗浄剤が得られた。さらに、成分（ｂ１）と成分（ｂ２）を組み合わせた組成および成分（ｂ）のグリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類およびヒドロキシカルボン酸エステル類からなる群から選ばれる二種以上を組み合わせた組成では、より高い洗浄効果の得られることが確認された。
また、成分（ａ２）アルコール類、ケトン類、エステル類および炭化水素類よりなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物を添加することにより、成分（ｂ）の添加量を抑制した上で、優れた洗浄性の得られることが確認された。
比較例１３〜１５
表３に記載の溶剤について実施例と同じ評価試験を行った。結果を表３にまとめた。４Ｈ，５Ｈ，５Ｈ−パーフルオロシクロペンタン、２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロペンタン、メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパーフルオロイソブチルエーテルの混合物では油、ロジンおよびフラックス溶解性が不充分であった。
［実施例４０〜５４及び比較例１６〜１７］
（５）リンス剤性能確認試験
洗浄剤によりフラックス洗浄したガラスエポキシ製プリント基板のリンス性を以下の操作により測定した。
ガラスエポキシ製プリント基板（３５ｍｍ×４８ｍｍ）をフラックスに片面浸漬し風乾した後、２５０℃でハンダ付けしサンプルとした。このサンプルを汚れ成分であるフラックスを全く含まない洗浄剤と汚れ成分を３質量％含む洗浄剤を６０℃に加温した後、各洗浄剤１００ｍｌで２分間揺動洗浄（２００回／分）し、リンス剤ですすぎ乾燥した。フラックス洗浄性は基板表面の外観を目視評価する。評価は以下の基準による。
◎：白色残渣なし
○：わずかに白色残渣あり
×：白色残渣あり
試験に用いた洗浄剤：メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパープルオロイソブチルエーテルとの混合物（商品名：ＨＦＥ７１００、住友スリーエム（株）製）／３−メチル−３−メトキシブタノール／ジプロピレングリコールジメチルエーテル＝５０／３０／２０（質量％）
試験に用いたフラックス：ＣＦＲ−２２５（（株）タムラ製作所製）
実施例４０〜５４
表４に記載の組成で各成分を混合し、目的のリンス剤を得た。各リンス剤について、リンス性確認試験を行ない、結果を表４にまとめた。（ａ１）非塩素系フッ素化合物と（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分とを併用することにより、リンス性に優れたリンス剤が得られた。さらに、成分（ａ２）アルコール類、ケトン類、エステル類および炭化水素類よりなる群から選ばれる一種または二種以上の化合物を添加することにより、汚れ成分を３質量％含む洗浄剤に対して高いリンス効果の得られることが確認された。
比較例１６、１７
表４に記載の溶剤について実施例と同じ評価試験を行った。結果を表４にまとめた。２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロペンタン、メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパーフルオロイソブチルエーテルの混合物では汚れ成分を３質量％含む洗浄剤に対してリンス性が不充分であった。
［実施例５５〜６７及び比較例１８〜２０］
（６）酸化安定性試験
洗浄剤サンプル０．２Ｌを還流冷却器および酸素導入管を備えた０．５Ｌ硬質ガラス製三角フラスコに入れる。これに、よく磨き十分に洗浄後乾燥した軟鋼片（ＪＩＳ−Ｇ−３１４１ＳＰＣＣ−Ｂ、２ｍｍ×６ｍｍ×２０ｍｍ）１個をサンプル液中に浸し、他の軟鋼片（ＪＩＳ−Ｇ−３１４１ＳＰＣＣ−Ｂ、２ｍｍ×６ｍｍ×２ｍｍ）１個を酸素導入管に結び付け、サンプル液面上部の蒸気相につるす。酸素導入管の先端は、サンプル液面下、三角フラスコの底部から６ｍｍ以内に位置するように調節し、水分を飽和させた常温の酸素気泡を毎分１０〜１２個の割合で通じながら１５０ｗのつや消し電球で三角フラスコ全体を加熱し、サンプル液蒸気が還流冷却管の半分以下での高さの位置で凝縮するように冷却水の流量を調節する。試験を１０日間続けた後サンプル液を室温まで冷却し、軟鋼片を２個とも取り出した後、サンプル液のｐＨを次の方法により測定した。
ｐＨ：サンプル液５ｍｌに蒸留水５０ｍｌを加えて約３分間激しく揺動し、水相のｐＨを測定する。評価は以下の基準による。
○：ｐＨ５以上〜８以下
×：ｐＨ１以上〜５未満
実施例５５〜６７
表５に記載の組成で各成分を混合し、目的の洗浄剤およびリンス剤を得た。各洗浄剤について、酸化安定性試験を行ない、結果を表５にまとめた。（ａ１）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物、（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分、（ｃ）酸化防止剤および（ｄ）紫外線吸収剤の各成分を併用することにより、引火点がなく酸化分解の抑制された洗浄剤およびリンス剤が得られた。さらに、フェノール系酸化防止剤とリン系酸化防止剤の併用およびフェノール系酸化防止剤と（ｄ）紫外線吸収剤の併用により、（ｃ）酸化防止剤の添加量を削減できることが確認された。
比較例１８〜２０
表５に記載の組成で各成分を混合し洗浄剤およびリンス剤を得た。この洗浄剤およびリンス剤について実施例と同じ酸化安定性試験を行った。結果を表５にまとめた。（ａ１）非塩素系フッ素化合物と（ｂ）グリコールエーテルだけでは酸化分解した。
［実施例６８〜７９及び比較例２１、２２］
（７）実機洗浄試験１
図１に示す洗浄装置の洗浄槽（Ａ）１及び水分離槽（Ｃ）３に洗浄剤を入れ、洗浄槽（Ａ）の洗浄剤をヒーター７により加熱沸騰させ、１時間空運転を行い水分離槽（Ｃ）３の洗浄剤に含まれる蒸気圧の低い成分の濃度を低下させた上で、重合ロジン、およびロジン金属塩等、白色残渣の原因となる汚れおよび加工油に対する洗浄性について、以下の操作及び洗浄条件により測定した。
操作
・フラックス洗浄性評価
ガラスエポキシ製プリント基板（３５ｍｍ×４８ｍｍ）をフラックスに片面浸漬し風乾した後、２５０℃でハンダ付けして作成した試験片を上記洗浄装置を用いて洗浄し、（ｆ）非引火性洗浄剤の凝縮液でシャワーリンスした後、蒸気洗浄して乾燥する。洗浄性はイオン性残渣（単位：μｇＮａＣｌ／ｓｑｉｎ）をオメガメーター（６００Ｒ−ＳＣ、アルファメタルズ社製）で測定し、その測定値を「β」とする。評価は以下の基準による。
◎：β≦７
○：７＜β≦１４
×：β＞１４
試験に用いたフラックスの商品名：ＪＳ−６４ＮＤ（（株）弘輝製）
・脱脂洗浄性評価
３０メッシュのステンレス金網（１０ｍｍ×２０ｍｍ）に下記金属加工油を含浸させ、１００℃で３０分間加熱して作成した試験片を上記洗浄装置で洗浄し、（ｆ）非引火性洗浄剤の凝縮液でシャワーリンスした後、蒸気洗浄して乾燥する。洗浄性は目視評価する。評価は以下の基準による。
○：加工油の残留なし
△：一部に加工油の残留あり
×：加工油の残留あり
試験に用いた金属加工油：パークロロエチレン中に染料（ズダン）０．１重量％、ユニカットＧＨ３５（商品名、日本石油（株）製）を２５重量％含有する液を調整し、試験用金属加工油とした。
洗浄条件
洗浄槽（Ａ）１    ：２分間沸騰洗浄
蒸気ゾーン（Ｂ）２：２分間シャワーリンス（５Ｌ／分）後，２分間静置
実施例６８〜７３
表６に記載の組成で各成分を混合し、目的の洗浄剤を得た。洗浄剤を用いて上記評価試験を行ない、結果を表６にまとめた。（ａ１）非塩素系フッ素化合物と（ｂ）グリコールエーテルとを含有する（ｅ）非引火性洗浄剤と（ｆ）該非引火性洗浄剤を沸騰することによって発生する蒸気および凝縮液で洗浄することにより、フラックス及び油に対する優れた洗浄性が確認された。また、該洗浄剤を沸騰することによって発生した蒸気および凝縮液中には成分（ｂ）をほとんど含まず、該凝縮液でシャワーリンスすることによって充分なリンス性が得られた。
さらに成分（ａ２）であるアルコール類を併用することによって、イオン性残渣量が低減された。
比較例２１
表６に記載の洗浄剤について実施例６８〜７３と同じ評価試験を行った。結果を表６にまとめた。成分（ａ１）メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパーフルオロイソブチルエーテルの混合物だけではフラックス及び油に対する洗浄性がいずれも不充分であった。
［実施例７４〜７９及び比較例２２］
（８）実機洗浄試験２
図２に示す洗浄装置の洗浄槽（Ｅ）１４、加熱槽（Ｆ）１５及び水分離槽（Ｈ）１７に洗浄剤を入れ、加熱槽（Ｆ）１５の洗浄剤をヒーター２０により加熱沸騰させ、１時間空運転を行い水分離槽（Ｈ）１７の洗浄剤に含まれる蒸気圧の低い成分の濃度を低下させた上で、重合ロジン、およびロジン金属塩等、白色残渣の原因となる汚れおよび加工油に対する洗浄性について、以下の操作及び洗浄条件により測定した。
操作
・フラックス洗浄性評価
ガラスエポキシ製プリント基板（３５ｍｍ×４８ｍｍ）をフラックスに片面浸漬し風乾した後、２５０℃でハンダ付けして作成した試験片を上記洗浄装置を用いて洗浄し、（ｃ）非引火性洗浄剤の凝縮液でシャワーリンスした後、蒸気洗浄して乾燥する。洗浄性はイオン性残渣（単位：μｇＮａＣｌ／ｓｑｉｎ）をオメガメーター（６００Ｒ−ＳＣ、アルファメタルズ社製）で測定し、その測定値を「β」とする。評価は以下の基準による。
◎：β≦７
○：７＜β≦１４
×：β＞１４
試験に用いたフラックスの商品名：ＪＳ−６４ＮＤ（（株）弘輝製）
・脱脂洗浄性評価
３０メッシュのステンレス金網（１０ｍｍ×２０ｍｍ）に下記金属加工油を含浸させ、１００℃で３０分間加熱して作成した試験片を上記洗浄装置を用いて洗浄し、（ｆ）非引火性洗浄剤の凝縮液でシャワーリンスした後、蒸気洗浄して乾燥する。洗浄性は目視評価する。評価は以下の基準による。
○：加工油の残留なし
△：一部に加工油の残留あり
×：加工油の残留あり
試験に用いた金属加工油：パークロロエチレン中に染料（ズダン）０．１重量％、ユニカットＧＨ３５（商品名、日本石油（株）製）を２５重量％含有する液を調整し、試験用金属加工油とした。
洗浄条件
洗浄槽（Ｅ）１４    ：２分間沸騰洗浄
蒸気ゾーン（Ｇ）１６：２分間シャワーリンス（５Ｌ／分）後，２分間静置
実施例７４〜７９
表６に記載の組成で各成分を混合し、目的の洗浄剤を得た。洗浄剤を用いて上記評価試験を行ない、結果を表６にまとめた。（ａ）非塩素系フッ素化合物と（ｂ）グリコールエーテルとを含有する（ｅ）非引火性洗浄剤と（ｆ）該非引火性洗浄剤を沸騰することによって発生する蒸気および凝縮液で洗浄することにより、フラックス及び油に対する優れた洗浄性が確認された。また、該洗浄剤を沸騰することによって発生した蒸気および凝縮液中には成分（ｂ）をほとんど含まず、該凝縮液でシャワーリンスすることによって充分なリンス性が得られた。
さらに成分（ａ２）であるアルコール類を併用することによって、イオン性残渣量が低減された。
比較例２２
表６に記載の洗浄剤について実施例７４〜７９と同じ評価試験を行った。結果を表６にまとめた。成分（ａ１）メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパーフルオロイソブチルエーテルの混合物だけではフラックス及び油に対する洗浄性がいずれも不充分であった。
［実施例８０〜８２及び比較例２３］
（９）実機洗浄試験３
図５に示す洗浄装置の洗浄槽（Ｏ）７１に洗浄剤を入れ、リンス槽（Ｒ）７２及び水分離槽（Ｑ）７４にリンス剤を入れ、洗浄槽（Ｏ）７１の洗浄剤をヒーター７６により加熱沸騰させ、被洗物を洗浄槽（Ｏ）７１、リンス槽（Ｒ）７２、蒸気ゾーン（Ｐ）７３の順に移動して、重合ロジン、およびロジン金属塩等、白色残渣の原因となる汚れおよび加工油に対する洗浄性について、以下の操作及び洗浄条件により測定した。
操作
・フラックス洗浄性評価
ガラスエポキシ製プリント基板（３５ｍｍ×４８ｍｍ）をフラックスに片面浸漬し風乾した後、２５０℃でハンダ付けして作成した試験片を上記洗浄装置を用いて洗浄し、リンス剤で浸漬リンスした後、蒸気洗浄して乾燥する。洗浄性はイオン性残渣（単位：μｇＮａＣｌ／ｓｑｉｎ）をオメガメーター（６００Ｒ−ＳＣ、アルファメタルズ社製）で測定し、その測定値を「β」とする。評価は以下の基準による。
◎：β≦７
○：７＜β≦１４
×：β＞１４
試験に用いたフラックスの商品名：ＣＦＲ−２２５（（株）タムラ製作所製）
・脱脂洗浄性評価
３０メッシュのステンレス金網（１０ｍｍ×２０ｍｍ）に下記金属加工油を含浸させ、１００℃で３０分間加熱して作成した試験片を上記洗浄装置で洗浄し、リンス剤で浸漬リンスした後、蒸気洗浄して乾燥する。洗浄性は目視評価する。評価は以下の基準による。
○：加工油の残留なし
△：一部に加工油の残留あり
×：加工油の残留あり
試験に用いた金属加工油：ＡＭ３０（商品名：ユニカットテラミ、日石三菱（株）製）
洗浄条件
洗浄槽（Ｏ）７１    ：２分間沸騰洗浄
リンス槽（Ｒ）７２  ：２分間浸漬超音波洗浄（２８ｋＨｚ、２００ｗ）
蒸気ゾーン（Ｐ）７３：２分間静置
リンス剤：メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパープルオロイソブチルエーテルとの混合物（商品名：ＨＦＥ７１００、住友スリーエム（株）製）／３−メチル−３−メトキシブタノール／ジプロピレングリコールジメチルエーテル＝９９／０．６／０．４（質量％）
実施例８０〜８２
表７に記載の組成で各成分を混合し、目的の洗浄剤を得た。洗浄剤を用いて上記評価試験を行ない、結果を表７にまとめた。（ａ１）非塩素系フッ素化合物と（ｂ）グリコールエーテルとを含有する（ｅ）非引火性洗浄剤で洗浄し、リンス剤、（ｆ）該非引火性洗浄剤を沸騰することによって発生する蒸気および凝縮液でリンスまたは／および蒸気洗浄することにより、フラックス及び油に対する優れた洗浄性が確認された。また、該洗浄剤を沸騰することによって発生した蒸気および凝縮液中には成分（ｂ）をわずかに含み、該凝縮液で浸漬リンスすることによって充分なリンス性が得られた。さらに成分（ａ２）であるアルコール類を併用することによって、イオン性残渣量が低減された。
比較例２３
表７に記載の洗浄剤について実施例３１〜３５と同じ評価試験を行った。結果を表７にまとめた。成分（ａ１）メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパーフルオロイソブチルエーテルの混合物だけではフラックス及び油に対する洗浄性がいずれも不充分であった。
［実施例８３〜８８及び比較例２４］
（１０）実機洗浄試験４
図６に示す洗浄装置の洗浄槽（Ｓ）８２に洗浄剤を入れ、リンス槽（Ｔ）８３、蒸留槽（Ｕ）８４及び水分離槽（Ｗ）８６にリンス剤を入れ、洗浄槽（Ｈ）１９の洗浄剤をヒーター８７により６０℃に加熱し、蒸留槽（Ｕ）８４のリンス剤をヒーター８８により加熱沸騰させた上で、重合ロジン、およびロジン金属塩等、白色残渣の原因となる汚れおよび加工油に対する洗浄性について、以下の操作及び洗浄条件により測定した。
操作
・フラックス洗浄性評価
ガラスエポキシ製プリント基板（３５ｍｍ×４８ｍｍ）をフラックスに片面浸漬し風乾した後、２５０℃でハンダ付けして作成した試験片を上記洗浄装置を用いて洗浄し、リンス槽で浸漬リンスした後、蒸気洗浄して乾燥する。洗浄性はイオン性残渣（単位：μｇＮａＣｌ／ｓｑｉｎ）をオメガメーター（６００Ｒ−ＳＣ、アルファメタルズ社製）で測定し、その測定値を「β」とする。評価は以下の基準による。
◎：β≦７
○：７＜β≦１４
×：β＞１４
試験に用いたフラックスの商品名：ＣＦＲ−２２５（（株）タムラ製作所製）
・脱脂洗浄性評価
３０メッシュのステンレス金網（１０ｍｍ×２０ｍｍ）に下記金属加工油を含浸させ、１００℃で３０分間加熱して作成した試験片を上記洗浄装置を用いて洗浄し、リンス槽で浸漬リンスした後、蒸気洗浄して乾燥する。洗浄性は目視評価する。評価は以下の基準による。
○：加工油の残留なし
△：一部に加工油の残留あり
×：加工油の残留あり
試験に用いた金属加工油：ＡＭ３０（商品名：ユニカットテラミ、日石三菱（株）製）
洗浄条件
洗浄槽（Ｓ）８２    ：２分間超音波洗浄（２８ｋＨｚ、２００ｗ）
リンス槽（Ｔ）８３  ：２分間浸漬リンス
蒸気ゾーン（Ｖ）８５：２分間静置
リンス剤：メチルパーフルオロブチルエーテルおよびメチルパーフルオロイソブチルエーテルの混合物（商品名：ＨＦＥ７１００、住友スリーエム（株）製）
実施例８３〜８８
表７に記載の組成で各成分を混合し、目的の洗浄剤を得た。洗浄剤を用いて上記評価試験を行ない、結果を表７にまとめた。（ａ１）非塩素系フッ素化合物と（ｂ）グリコールエーテルとを含有する（ｅ）非引火性洗浄剤で洗浄し、成分（ａ１）で浸漬リンスすることにより、フラックス及び油に対する優れた洗浄性が確認された。また、成分（ａ２）であるアルコール類を併用することによって、イオン性残渣量が低減された。
比較例２４
表７に記載の洗浄剤について実施例３６〜４０と同じ評価試験を行った。結果を表７にまとめた。成分（ａ１）メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパーフルオロイソブチルエーテルの混合物だけではフラックス及び油に対する洗浄性がいずれも不充分であった。
［実施例８９及び比較例２５］
（１１）実機による汚れ分離および洗浄試験１
図３に示す洗浄装置の洗浄槽（Ａ）３２および水分離槽（Ｃ）３４に洗浄剤を入れ、洗浄槽（Ａ）３２の洗浄剤をヒーター３８により加熱沸騰させ、１時間空運転を行い、水分離槽（Ｃ）３４および汚れ分離槽（Ｋ）３５の洗浄剤に含まれる蒸気圧の低い成分の濃度を低下させた上で、洗浄剤送液ポンプ（Ｌ）３７で洗浄槽（Ａ）３２の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽（Ｋ）３５に送ることにより洗浄剤中に溶解した加工油を分離する。分離した加工油の比重は汚れ分離槽内の液体の比重より軽く分離浮上するので、連続的に汚れ分離槽から排出する。このように汚れ成分である加工油を連続的に分離しつつ、加工油に対する洗浄性および洗浄剤中の油濃度変化について以下の操作及び洗浄条件により測定した。
操作
洗浄サンプルはベアリング（２５０個）に下記金属加工油を含浸させた後、バレル洗浄用のカゴに入れる。上記洗浄装置の洗浄槽（Ａ）３２中の洗浄剤に２質量％の加工油を加えた後に洗浄し、（ｆ）非引火性洗浄剤の凝縮液でシャワーリンスした後、蒸気洗浄して乾燥する。洗浄は１５分タクトで４０時間連続（１６０回）して行い、１回目と４０時間運転後のベアリングの洗浄性および洗浄剤中の油濃度を測定する。洗浄性は洗浄した部品表面に残留する加工油を油分測定装置（ＯＩＬ−２０、セントラル科学（株）製）で測定する。評価は以下の基準による。
◎：残存油分量７０μｇ未満／個
○：残存油分量７０μｇ以上／個〜１００μｇ未満／個
×：残存油分量１００μｇ以上／個
洗浄剤中の油濃度については、洗浄剤２０ｍｌを真空乾燥機（１１０℃、０ｐａ）で乾燥し、不揮発残分濃度を測定する。評価は以下の基準による。
○：上昇した油濃度が２質量％未満
×：上昇した油濃度が２質量％以上
洗浄条件
洗浄槽（Ａ）３２    ：２分間沸騰洗浄
蒸気ゾーン（Ｂ）３３：２分間シャワーリンス（５Ｌ／分）後，２分間静置
洗浄剤凝縮液量：５００ｍｌ／ｍｉｎ
汚れ分離槽への洗浄剤フィード量：１１０ｍｌ／ｍｉｎ
汚れ分離槽液温：３〜６℃
汚れ分離槽稼動状態：実施例では「稼動」、比較例では「停止」
試験に用いた洗浄剤：メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパープルオロイソブチルエーテルとの混合物（商品名：ＨＦＥ７１００、住友スリーエム（株）製）／３−メチル−３−メトキシブタノール／ジプロピレングリコールジメチルエーテル＝５０／３０／２０（質量％）
試験に用いた金属加工油：ＦＭ２２０（商品名、ユシロンフォーマー、ユシロ化学工業（株）製）
実施例８９
結果を以下にまとめた。
洗浄性        １回目：○、４０時間後（１６０回）：○
油濃度変化                ４０時間後（１６０回）：○
洗浄剤中に持ち込まれる加工油を汚れ分離槽で連続して分離除去することで、洗浄剤中の油濃度を一定に保つことが可能となり、４０時間後の加工油洗浄性は、洗浄試験の１回目と同等の高い洗浄レベルが維持された。
比較例２５
結果を以下にまとめた。
洗浄性        １回目：○、４０時間後（１６０回）：×
油濃度変化                ４０時間後（１６０回）：×
洗浄剤中に持ち込まれる加工油により、洗浄剤中の油濃度が上昇し、４０時間後の加工油洗浄性が低下した。
［実施例９０、９１及び比較例２６］
（１２）実機による汚れ分離および洗浄試験２
図４に示す洗浄装置の洗浄槽（Ｅ）４９、加熱槽（Ｆ）５０及び水分離槽（Ｈ）５２に洗浄剤を入れ、加熱槽（Ｆ）５０の洗浄剤をヒーター５８により加熱沸騰させ、洗浄剤循環用ポンプ（Ｊ）５６で洗浄槽（Ｅ）４９と加熱槽（Ｆ）５０の洗浄剤を循環することにより一定の組成に保ちつつ１時間空運転を行い、水分離槽（Ｈ）５２および汚れ分離槽（Ｍ）５３の洗浄剤に含まれる蒸気圧の低い成分の濃度を低下させた上で、洗浄剤送液ポンプ（Ｎ）５５で洗浄槽（Ｅ）４９の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽（Ｍ）５３に送ることにより洗浄剤中に溶解した加工油の分離および洗浄を行う。分離した加工油の比重は汚れ分離槽内の液体の比重より軽く分離浮上するので、連続的に汚れ分離槽から排出する。また、図４において加工油の分離および洗浄を行いつつ、さらに、汚れ分離槽（Ｍ）５３から洗浄槽（Ｅ）４９への戻り液配管７０に分離フィルターによる分離効果を確認するために、戻り液用貯液タンク、戻り液用送液ポンプ、分離フィルターを内蔵した分離装置を設置することで、戻り液中に微分散している加工油の分離を行う。加工油に対する洗浄性および洗浄剤中の油濃度変化について以下の操作及び洗浄条件により測定した。
操作
洗浄サンプルはベアリング（２５０個）に下記金属加工油を含浸させた後、バレル洗浄用のカゴに入れる。上記洗浄装置の洗浄槽（Ｅ）４９および加熱槽（Ｆ）５２中の洗浄剤に２質量％の加工油を加えた後に洗浄し、（ｆ）非引火性洗浄剤の凝縮液でシャワーリンスした後、蒸気洗浄して乾燥する。洗浄は１５分タクトで４０時間連続（１６０回）して行い、１回目と４０時間運転後のベアリングの洗浄性および洗浄剤中の油濃度を測定する。洗浄性は洗浄した部品表面に残留する加工油を油分測定装置（ＯＩＬ−２０、セントラル科学（株）製）で測定する。評価は以下の基準による。
◎：残存油分量７０μｇ未満／個
○：残存油分量７０μｇ以上／個〜１００μｇ未満／個
×：残存油分量１００μｇ以上／個
洗浄剤中の油濃度については、洗浄剤２０ｍｌを真空乾燥機（１１０℃、０Ｐａ）で乾燥し、不揮発残分濃度を測定する。評価は以下の基準による。
◎：上昇した油濃度が１質量％未満
○：上昇した油濃度が１質量％以上〜２質量％未満
×：上昇した油濃度が２質量％以上
洗浄条件
洗浄槽（Ｅ）４９    ：２分間沸騰洗浄
蒸気ゾーン（Ｇ）５１：２分間シャワーリンス（５Ｌ／分）後，２分間静置
洗浄剤凝縮液量：５００ｍｌ／ｍｉｎ
汚れ分離槽への洗浄剤フィード量：１１０ｍｌ／ｍｉｎ
汚れ分離槽液温：３〜６℃
汚れ分離槽稼動状態：実施例では「稼動」、比較例では「停止」
分離フィルター：ＥＵＳ０４ＡＶ（商品名：ユーテック、旭化成（株）製）
試験に用いた洗浄剤：メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパープルオロイソブチルエーテルとの混合物（商品名：ＨＦＥ７１００、住友スリーエム（株）製）／３−メチル−３−メトキシブタノール／ジプロピレングリコールジメチルエーテル＝５０／３０／２０（質量％）
試験に用いた金属加工油：ＦＭ２２０（商品名、ユシロンフォーマー、ユシロ化学工業（株）製）
実施例９０
結果を以下にまとめた。
洗浄性        １回目：○、４０時間後（１６０回）：○
油濃度変化                ４０時間後（１６０回）：○
洗浄剤中に持ち込まれる加工油を汚れ分離槽で連続して分離除去することで、洗浄剤中の油濃度を一定に保つことが可能となり、４０時間後の加工油洗浄性は、洗浄試験の１回目と同等の高い洗浄レベルが維持された。
実施例９１
結果を以下にまとめた。
洗浄性        １回目：○、４０時間後（１６０回）：○
油濃度変化                ４０時間後（１６０回）：◎
洗浄剤中に持ち込まれる加工油を汚れ分離槽で連続して分離除去すると共に、分離フィルターで戻り液中に微分散している加工油を分離することで、洗浄剤中の油濃度をより低く抑制することが可能となり、４０時間後の加工油洗浄性は、洗浄試験の１回目と同等の高い洗浄レベルが維持された。
比較例２６
結果を以下にまとめた。
洗浄性        １回目：○、４０時間後（１６０回）：×
油濃度変化                ４０時間後（１６０回）：×
洗浄剤中に持ち込まれる加工油により、洗浄剤中の油濃度が上昇し、４０時間後の加工油洗浄性が低下した。
［実施例９２、９３］
（１３）実機による汚れ分離および洗浄試験３
図７に示す洗浄装置の洗浄槽（Ｅ）１０６、加熱槽（Ｆ）１０７に洗浄剤を入れ、水分離槽（Ｈ）１０９、汚れ分離槽（Ｍ）１１２、汚れ分離槽処理液用タンク（Ｘ）１１５、分離フィルターユニット（Ｘ）１１８にリンス剤を入れ、加熱槽（Ｆ）１０７の洗浄剤をヒーター１２１により加熱沸騰させ、洗浄剤循環用ポンプ（Ｊ）１２０で洗浄槽（Ｅ）１０６と加熱槽（Ｆ）１０７の洗浄剤を循環することにより一定の組成に保ちつつ１時間空運転を行った上で、洗浄剤送液ポンプ（Ｎ）１１４で洗浄槽（Ｅ）１０６の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽（Ｍ）１１２に送ることにより洗浄剤中に溶解した加工油の分離および洗浄を行う。加工油に対する洗浄性および洗浄剤中の油濃度変化について以下の操作及び洗浄条件により測定した。
操作
洗浄サンプルはベアリング（２５０個）に下記金属加工油を含浸させた後、バレル洗浄用のカゴに入れる。上記洗浄装置の洗浄槽（Ｅ）１０６および加熱槽（Ｆ）１０７中の洗浄剤に２質量％（実施例９２）または４質量％（実施例９３）の加工油を加えた後に洗浄し、分離フィルター（Ｘ）１１８を通過した液でプレシャワーリンスしたあと、さらに、（ｆ）非引火性洗浄剤の凝縮液でシャワーリンスし、最後に蒸気洗浄して乾燥する。洗浄は１５分タクトで行い、ベアリングの洗浄性を測定する。洗浄性は洗浄した部品表面に残留する加工油を油分測定装置（ＯＩＬ−２０、セントラル科学（株）製）で測定する。評価は以下の基準による。
◎：残存油分量７０μｇ未満／個
○：残存油分量７０μｇ以上／個〜１００μｇ未満／個
×：残存油分量１００μｇ以上／個
洗浄条件
洗浄槽（Ｅ）１０６  ：２分間沸騰洗浄
蒸気ゾーン（Ｇ）１０８：２分間プレシャワーリンス（５Ｌ／分）後、
２分間シャワーリンス（５Ｌ／分）後，２分間静置
洗浄剤凝縮液量：５００ｍｌ／ｍｉｎ
汚れ分離槽への洗浄剤フィード量：１１０ｍｌ／ｍｉｎ
汚れ分離槽液温：３〜６℃
汚れ分離槽処理液タンク（Ｘ）１１５の液温：３〜６℃
分離フィルター：ＥＵＳ０４ＡＶ（商品名：ユーテック、旭化成（株）製）
試験に用いた洗浄剤：メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパープルオロイソブチルエーテルとの混合物（商品名：ＨＦＥ７１００、住友スリーエム（株）製）／３−メチル−３−メトキシブタノール／ジプロピレングリコールジメチルエーテル＝５０／３０／２０（質量％）
試験に用いたリンス剤：メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパープルオロイソブチルエーテルとの混合物（商品名：ＨＦＥ７１００、住友スリーエム（株）製）／３−メチル−３−メトキシブタノール／ジプロピレングリコールジメチルエーテル＝９９／０．６／０．４（質量％）
試験に用いた金属加工油：ＦＭ２２０（商品名、ユシロンフォーマー、ユシロ化学工業（株）製）
実施例９２
結果を以下にまとめた。
洗浄性  ：◎
加工油２質量％を含む洗浄剤で洗浄した後、プレシャワーリンスを行ったことで、優れた洗浄性が確認された。
実施例９３
結果を以下にまとめた。
洗浄性    ：○
加工油４質量％を含む洗浄剤で洗浄した後、プレシャワーリンスを行ったことで、充分な洗浄性が得られた。
［実施例９４、９５］
（１４）実機による汚れ分離および洗浄試験４
図８に示す洗浄装置の洗浄槽（Ｚ）１３６洗浄剤を入れ、プレリンス槽（ＡＨ）１３７、リンス槽（ＡＣ）１３８、水分離槽（ＡＢ）１４０、汚れ分離槽（ＡＤ）１４３、汚れ分離槽処理液用タンク（ＡＧ）１４６、分離フィルターユニット（ＡＧ）１４９にリンス剤を入れ、洗浄槽（Ｚ）１３６の洗浄剤をヒーター１５２により加熱沸騰させ、１時間空運転を行った上で、洗浄剤送液ポンプ（ＡＥ）１４５で洗浄槽（Ｚ）１３６の洗浄剤を連続的に汚れ分離槽（ＡＤ）１４３に送ると共に、汚れ分離槽処理液用送液ポンプ（ＡＧ）１４８を稼動し、洗浄剤中に溶解した加工油の分離および洗浄を行う。加工油に対する洗浄性および洗浄剤中の油濃度変化について以下の操作及び洗浄条件により測定した。
操作
洗浄サンプルはベアリング（２５０個）に下記金属加工油を含浸させた後、バレル洗浄用のカゴに入れる。上記洗浄装置の洗浄槽（Ｚ）１３６の洗浄剤に２質量％（実施例９４）または４質量％（実施例９５）の加工油を加えた後に洗浄し、プレリンス槽内で分離フィルター（ＡＧ）１４９を通過した液でプレ浸漬リンスしたあと、さらに、（ｆ）非引火性洗浄剤の凝縮液で浸漬リンスし、最後に蒸気洗浄して乾燥する。洗浄は１５分タクトで行い、ベアリングの洗浄性を測定する。洗浄性は洗浄した部品表面に残留する加工油を油分測定装置（ＯＩＬ−２０、セントラル科学（株）製）で測定する。評価は以下の基準による。
◎：残存油分量７０μｇ未満／個
○：残存油分量７０μｇ以上／個〜１００μｇ未満／個
×：残存油分量１００μｇ以上／個
洗浄条件
洗浄槽（Ｚ）４９    ：２分間沸騰洗浄
プレリンス槽（ＡＨ）１３７：１分間超音波洗浄（２８ｋＨｚ、２００ｗ）
リンス槽（ＡＣ）１３８：１分間超音波洗浄（２８ｋＨｚ、２００ｗ）
蒸気ゾーン（ＡＡ）１３９：１分間蒸気洗浄後，２分間静置
洗浄剤凝縮液量：５００ｍｌ／ｍｉｎ
汚れ分離槽への洗浄剤フィード量：１１０ｍｌ／ｍｉｎ
汚れ分離槽液温：３〜６℃
汚れ分離槽処理液タンク（Ｘ）１１５の液温：３〜６℃
分離フィルター：ＥＵＳ０４ＡＶ（商品名：ユーテック、旭化成（株）製）
試験に用いた洗浄剤：メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパープルオロイソブチルエーテルとの混合物（商品名：ＨＦＥ７１００、住友スリーエム（株）製）／３−メチル−３−メトキシブタノール／ジプロピレングリコールジメチルエーテル＝５０／３０／２０（質量％）
試験に用いたリンス剤：メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパープルオロイソブチルエーテルとの混合物（商品名：ＨＦＥ７１００、住友スリーエム（株）製）／３−メチル−３−メトキシブタノール／ジプロピレングリコールジメチルエーテル＝９９／０．６／０．４（質量％）
試験に用いた金属加工油：ＦＭ２２０（商品名、ユシロンフォーマー、ユシロ化学工業（株）製）
実施例９４
結果を以下にまとめた。
洗浄性  ：◎
加工油２質量％を含む洗浄剤で洗浄した後、プレ浸漬リンスを行ったことで、優れた洗浄性が確認された。
実施例９５
結果を以下にまとめた。
洗浄性    ：◎
加工油４質量％を含む洗浄剤で洗浄した後、プレ浸漬リンスを行ったことで、優れた洗浄性が得られた。
0004267911.tif 000014
0004267911.tif 000015
0004267911.tif 000016
0004267911.tif 000017
0004267911.tif 000018
0004267911.tif 000019
0004267911.tif 000020
産業上の利用可能性
本発明の洗浄剤およびリンス剤は、蒸気圧の異なる成分を組み合わせて使用することで、優れた油およびフラックス溶解性を有するとともに引火危険性を低減できる。一方、本発明の洗浄方法、汚れ分離方法および洗浄装置では、本発明の洗浄剤を沸騰することによって発生する該洗浄剤の蒸気および凝縮液を利用することにより、洗浄から乾燥まで行うことができる。
すなわち、乾燥性に優れ、かつ、引火危険性のないものの、洗浄性が著しく劣る（ａ１）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物に各種汚れに対する洗浄性に優れる（ｂ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０３Ｐａ未満の成分を添加することで、成分（ｂ）の含まれた洗浄剤による沸騰洗浄と成分（ｂ）のわずかに含まれる該洗浄剤の凝縮液によるリンスとを実質的に１液で行うことが可能となり、各種汚れに対する優れた洗浄性を有する成分（ｂ）の特性を有効に活用した洗浄方法および洗浄装置を提供できる。
また、成分（ａ１）非塩素系フッ素化合物を含有する洗浄剤では、引火点を有さないという非塩素系フッ素化合物の特性により、該洗浄剤を引火点を有さない洗浄剤とすることが可能となり、引火の危険性が低減されることによって、洗浄機等の設備上、引火，爆発等を防ぐための防爆構造とする必要がなく、かつ、既存の洗浄設備をそのまま使用できるため低コストの洗浄システムを確立することが可能となる。
また、洗浄槽中の該洗浄剤と水分離槽中の該洗浄剤の蒸気を凝縮した液とを汚れ分離槽に送り、２液を接触させることにより汚れ分離槽内で洗浄剤中に溶解している汚れ成分を分離除去し、その後、汚れの分離された液体を洗浄槽へ戻すことで、洗浄剤中の汚れを効率的に連続分離することが可能となり、さらに分離フィルターを付加することで、より高い汚れ分離性を得ることが可能となる。
本発明の洗浄剤、リンス剤、洗浄方法、汚れ分離方法および洗浄装置を必要に応じて組み合わせて使用することにより、洗浄剤寿命が長く、かつ、酸化分解及び引火の危険を低減したことであらゆるタイプの汚れを容易に被洗物表面から溶解洗浄する事ができる。
【図面の簡単な説明】
図１は本発明の第３５に記載の洗浄装置の一例である。
図２は本発明の第３６に記載の洗浄装置の一例である。
図３は本発明の第３９に記載の洗浄装置の一例である。
図４は本発明の第４０に記載の洗浄装置の一例である。
図５は、本発明の第３７に記載の洗浄装置の一例である。
図６は、本発明の第３８に記載の洗浄装置の一例である。
図７は、本発明の第４４に記載の洗浄装置の一例である。
図８は、本発明の第４５に記載の洗浄装置の一例である。
図面中の各符号は以下のものをそれぞれ表す。
１  洗浄槽（Ａ）、２  蒸気ゾーン（Ｂ）、３  水分離槽（Ｃ）、４  ヒーター、５  シャワー用ポンプ（Ｄ）、６  冷却管、７  蒸気の流れ、８  凝縮液用配管、９  水分離後の凝縮液用配管、１０  シャワー用の凝縮液配管（Ｄ）、１１  シャワー用の凝縮液配管（Ｄ）、１２  シャワーノズル（Ｄ）、１３  シャワーノズル（Ｄ）、１４  洗浄槽（Ｅ）、１５  加熱槽（Ｆ）、１６  蒸気ゾーン（Ｇ）、１７  水分離槽（Ｈ）、１８  超音波、１９  洗浄剤循環用ポンプ（Ｊ）、２０  ヒーター、２１  シャワー用ポンプ（Ｉ）、２２  冷却管、２３  蒸気の流れ、２４  凝縮液用配管、２５  水分離後の凝縮液用配管、２６  シャワー用の凝縮液配管（Ｉ）、２７  シャワー用の凝縮液配管（Ｉ）、２８  シャワーノズル（Ｉ）、２９  シャワーノズル（Ｉ）、３０  洗浄剤の流れ、３１  洗浄液の循環用配管（Ｊ）、３２  洗浄槽（Ａ）、３３  蒸気ゾーン（Ｂ）、３４  水分離槽（Ｃ）、３５  汚れ分離槽（Ｋ）、３６  シャワー用ポンプ（Ｄ）、３７  洗浄剤送液ポンプ（Ｌ）、３８  ヒーター、３９  冷却管、４０  蒸気の流れ、４１  凝縮液用配管、４２  水分離後の凝縮液用配管、４３  シャワー用の凝縮液配管（Ｄ）、４４  シャワー用の凝縮液配管（Ｄ）、４５  シャワーノズル（Ｄ）、４６  シャワーノズル（Ｄ）、４７  洗浄剤送液用配管（Ｌ）、４８  汚れ分離後の戻り液用配管、４９  洗浄槽（Ｅ）、５０  加熱槽（Ｆ）、５１  蒸気ゾーン（Ｇ）、５２  水分離槽（Ｈ）、５３  汚れ分離槽（Ｍ）、５４  シャワー用ポンプ（Ｉ）、５５  洗浄剤送液ポンプ（Ｎ）、５６  洗浄剤循環ポンプ（Ｊ）、５７  超音波、５８  ヒーター、５９  冷却管、６０  蒸気の流れ、６１  凝縮液用配管、６２  水分離後の凝縮液配管、６３  シャワー用の凝縮液配管（Ｉ）、６４  シャワー用の凝縮液配管（Ｉ）、６５  シャワーノズル（Ｉ）、６６  シャワーノズル（Ｉ）、６７  洗浄剤の流れ、６８  洗浄剤の循環用配管（Ｊ）、６９  洗浄剤給液用配管（Ｎ）、７０  汚れ分離後の戻り液用配管、７１  洗浄槽（Ｏ）、７２  リンス槽（Ｒ）、７３  蒸気ゾーン（Ｐ）、７４  水分離槽（Ｑ）、７５  超音波、７６  ヒーター、７７  冷却管、７８  蒸気の流れ、７９  凝縮液用配管、８０  水分離後の凝縮液用配管、８１  凝縮液の流れ、８２  洗浄槽（Ｓ）、８３  リンス槽（Ｔ）、８４  加熱槽（Ｕ）、８５  蒸気ゾーン（Ｖ）、８６  水分離槽（Ｗ）、８７  洗浄槽ヒーター、８８  蒸留槽ヒーター、８９  超音波、９０  洗浄槽冷却管、９１  冷却管、９２  蒸留槽冷却管、９３  蒸気の流れ、９４  凝縮液用配管、９５  水分離後の凝縮液配管、９６  凝縮液の流れ、９７〜１０５  冷却管、１０６  洗浄槽（Ｅ）、１０７  加熱槽（Ｆ）、１０８  蒸気ゾーン（Ｇ）、１０９  水分離槽（Ｈ）、１１０  冷却管、１１１  シャワーポンプ（Ｙ）、１１２  汚れ分離槽（Ｍ）、１１３  冷却管、１１４  洗浄剤送液用ポンプ（Ｎ）、１１５  汚れ分離槽処理液用タンク（Ｘ）、１１６  冷却管、１１７  汚れ分離槽処理液用送液およびシャワー用ポンプ（Ｘ、Ｙ）、１１８  分離フィルターユニット（Ｘ）、１１９  超音波、１２０  洗浄剤循環用ポンプ（Ｊ）、１２１  ヒーター、１２２  冷却管、１２３  蒸気の流れ、１２４  シャワーノズル（Ｙ）、１２５  シャワーノズル（Ｙ）、１２６  シャワー用配管（Ｙ）、１２７  シャワー用配管（Ｙ）、１２８  凝縮液用配管、１２９  逆止弁（Ｙ）、１３０  凝縮液用配管、１３１  汚れ分離槽処理液用配管（Ｙ）、１３２  プレリンス液用配管（Ｙ）、１３３  逆止弁（Ｙ）、１３４  洗浄剤循環用配管（Ｊ）、１３５  洗浄剤の流れ、１３６  洗浄槽（Ｚ）、１３７  プレリンス槽（ＡＨ）、１３８  リンス槽（ＡＣ）、１３９  蒸気ゾーン（ＡＡ）、１４０  水分離槽（ＡＢ）、１４１  冷却管、１４２  凝縮液用送液ポンプ、１４３  汚れ分離槽（ＡＤ）、１４４  冷却管、１４５  洗浄剤送液用ポンプ（ＡＥ）、１４６  汚れ分離槽処理液用タンク（ＡＧ）、１４７  冷却管、１４８  汚れ分離槽処理液送液用ポンプ（ＡＧ）、１４９  分離フィルターユニット（ＡＧ）、１５０  超音波、１５１  超音波、１５２  ヒーター、１５３  プレリンス液の流れ、１５４  リンス液の流れ、１５５  冷却管、１５６  蒸気の流れ、１５７  冷却管、１５８  凝縮液用配管、１５９  凝縮液用配管、１６０  汚れ分離槽処理液用配管、１６１  プレリンス液用配管、１６２  洗浄剤送液用配管。
【図１】
0004267911.tif 000025
【図２】
0004267911.tif 000026
【図３】
0004267911.tif 000027
【図４】
0004267911.tif 000028
【図５】
0004267911.tif 000029
【図６】
0004267911.tif 000030
【図７】
0004267911.tif 000031
【図８】
0004267911.tif 000032