(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベッドに取り付けられる軌道レール，搭載物取付け用の取付けフランジを備え前記軌道レール上を摺動自在なスライダ，前記ベッド又は前記軌道レールに取り付けられ前記スライダの走行路を覆う単一又は複数のカバー，前記スライダの摺動に伴って前記取付けフランジが通過するのを許容するため前記ベッド又は前記軌道レールと前記カバーとの間又は隣接する前記カバー間に前記軌道レールの長手方向に延び且つ横方向に開口した状態に形成されたスリット，及び前記取付けフランジの周りにおいて前記スリットをシールするため前記取付けフランジが通過する領域では前記取付けフランジに密接した状態に分離され，前記取付けフランジが通過する前後の領域では自己弾力性により互いに衝合する上シール及び下シールから構成された伸縮性シール体を具備し，
前記上シールと前記下シールに作用する重力の影響を相殺するため，前記下シールの弾性力は前記上シールの弾性力よりも強く設定されており，
前記取付けフランジは，前記取付けフランジの通過に伴って前記上シール及び前記下シールを徐々に伸縮変形させるため，前記上シール及び前記下シールと接触する接触面の両端部に傾斜面を備えており，
前記上シールと前記下シールとの前記衝合する位置は前記スリットの幅中央位置より下側に偏位しており，前記取付けフランジの前記両端部に形成される前記傾斜面のうち，前記上シールと密接する上傾斜面は，前記下シールと密接する下傾斜面よりも緩傾斜で且つ長い斜面であり，前記上傾斜面と前記下傾斜面とは前記衝合する位置で交差していることから成るスライド装置のシール構造。
【請求項２】
前記上シール及び前記下シールは，それぞれ一方の側端部が前記スリットの開口縁部に取り付けられ且つ他方の側端部が前記自己弾力性により互いに衝合する帯板状のシール部材から構成されていることから成る請求項１に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項３】
前記上シール及び前記下シールは，前記他方の側端部が前記一方の側端部から前記スリットの外方に向かって傾斜して配設されていることから成る請求項２に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項４】
前記下シールの帯板厚さは，前記上シールの帯板厚さよりも厚くされていることから成る請求項１〜３のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【請求項５】
前記下シールの帯板幅は，前記上シールの帯板幅よりも狭くされていることから成る請求項１〜４のいずれか１項に記載のスライド装置のシール構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は，例えば，半導体・液晶関連装置，測定器，組立機，工作機械，産業用ロボット，試験装置又は搬送機等の直線摺動部に適用されるスライド装置において，スライダの摺動部に塵埃等の異物が侵入するのを防止すると共にスライド装置内部で発生した塵埃が外部に放散されるのを防止するスライド装置のシール構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年，メカトロ技術の発展が目覚ましく，当該技術を支える基礎的且つ汎用的な装置としてスライド装置がある。スライド装置は，現在では，工作機械，半導体製造装置，搬送装置，検査装置，測定器，加工機，組立機，産業用ロボット等の各技術分野の装置に組み込まれて多用されているが，技術の発展と共にその用途は拡大している。そして，スライド装置自体に対しても高精度，高速摺動化，組立容易性，汎用化等の要求が益々高まっている。特に，半導体・液晶関連のスライド装置では，クリーンルームで使用されるため，スライド装置自身の発塵性を低く抑えることが求められている。
【０００３】
スライド装置は，一般に，軌道溝を備えた軌道レール（又はベッド），該軌道レール上を摺動自在なスライダ（又はテーブル），及びスライダを軌道レールの軌道溝に沿って位置決め自在に駆動する駆動機構を備えている。駆動機構は，例えば，スライダに設けられたねじ部に螺合するボールねじと，ねじ軸を両端において軸支する支持プレート，及びいずれか一方の支持プレートに取り付けられ且つ前記ねじ軸を回転するＡＣサーボモータから成る。スライダは駆動機構を制御することにより軌道レール上を案内されて走行し，スライダの軌道レールに対する位置は駆動機構の電気・電子的な制御によって高精度に制御される。
【０００４】
従来のスライド装置として，図５及び図６に示したものがある。図５は上部カバーを軌道レールに取り付けた状態のスライド装置の一例を示す斜視図，図６は図５に示したスライド装置を，上部カバー及びベッドの一部を破断して示した斜視図である。図５及び図６に示すスライド装置５０は，基本的に，上面側が開口した断面Ｕ字状で長尺なベッド２，ベッド２に配設された軌道レール１２に移動可能に嵌挿されたスライダ３，スライダ３に螺合してスライダ３を軌道レール１２の長手方向に駆動するねじ駆動機構４から構成されている。ベッド２は，底部１０とその両側から起立する一対の側部１１とによって横断面Ｕ字状に構成されている。
【０００５】
ねじ駆動機構４は，軌道レール１２の長手方向に延びるねじ軸５，ねじ軸５がボール（図示せず）を介して螺合する螺旋溝を有するスライダ３に取り付けられたナット体６，ねじ軸５を回転駆動する駆動モータとしてのＡＣサーボモータ７から構成されている。ねじ軸５は，ベッド２に配設されたモータ側ねじ軸支持体８とエンド側ねじ軸支持体（図示せず）とに回転自在に支持されている。モータ側ねじ軸支持体８に取り付けられているＡＣサーボモータ７は，カップリング９を介してねじ軸５を回転駆動する。
【０００６】
ベッド２は底部１０に軌道レール１２を備えており，スライダ３は軌道レール１２を跨ぐスライダ部１３を備えている。軌道レール１２とスライダ部１３とには，一対の対向する軌道溝（図示せず）が長手方向に平行に延びて形成されており，スライダ部１３は，複数のボール（図示せず）が無限軌道を転動しつつ循環する直動転がり案内機構を介して軌道レール１２に対して摺動自在であり，ボールを介して滑らかで正確な直線走行を行う。スライダ３は，前述のナット体６，前述のスライダ部１３，及びナット体６を嵌挿してスライダ部１３に取り付けられた取付けフランジ１４から構成されている。取付けフランジ１４は，テーブル等の搭載物（図示せず）を取り付けるため側方に且つ先端が上方に延びている。取付けフランジ１４の先端上面には，搭載物を取付けボルト等の固着手段によって固定するためのねじ穴１５が形成されている。
【０００７】
モータ側ねじ軸支持体８とエンド側ねじ軸支持体には，上部カバー１６がベッド２の凹状内部を覆うように上方から取付けねじによって取り付けられている。また，ベッド２の両端には，それぞれ，上部カバー１６と接合する状態でエンドカバー１７が取り付けられている。上部カバー１５とエンドカバー１７とは，スライド装置５０の駆動部分として軌道レール１２内に収容されるスライダ３やボールねじ機構４を覆い，上方及び端方からの塵埃や異物が侵入するのを防止し，スライド装置５０の内部を保護している。
【０００８】
搭載物（搬送物）を支持する取付けフランジ１４は，上部カバー１６との干渉を回避するため，ベッド２の各側部１１の上面２１の上方を横方向から更に上方へと略Ｌ字状に延びている。スライダ３が軌道レール２に対して移動することにより，搭載物はベッド２に対して移動することができる。
【０００９】
軌道レール２の一対の側部１１には，センサレール（図示せず）が取付けられている。ベッド２には，原点等の位置を特定する必要がある任意の位置に原点前センサ１９と，スライダ３のストロークの限界を設定するリミットセンサ２０，２０とが配設されている。センサレール，原点前センサ１９及びリミットセンサ２０，２０がスライダ３のフランジ１４を検出した検出信号は，図示しないリード線を経てセンサ用コネクタからコントローラに入力される。なお，コントローラは，これらのセンサが検出したスライダ３の位置情報に基づいて，ＡＣサーボモータ７の駆動を制御する。
【００１０】
上記のように，スライド装置５０は，上部カバー１６とエンドカバー１７とで周囲を覆っているが，スライダ３の各取付けフランジ１４が通過できるように，軌道レール２の各側部１１の上面２１と上部カバー１６との間には，スリット２３が形成されている。本出願人は，スリット２３のシールのため，自己弾力性を有する伸縮性シール体をスリット２３に配設し，スライダ３が伸縮性シール体を伸縮変形させつつ走行することを可能にしたスライド装置のシール構造を提案している（特願平１０−１４６４９４号）。
【００１１】
スライダによってワークを移動させるため，一対のガイドレールにそれぞれ設けられたブロックを，トップカバーとサイドカバーとの間に画成されたスリットを挿通して上方に突出した状態でガイドレールに沿って摺動自在とし，スリットをシールするため，各スリットを形成する対向する一対の側壁にそれぞれ取り付けられゴム等の弾性材料で撓曲自在に形成された一対のシール部材でスリットを閉塞し，ブロックの存在する領域では一対のシール部材をブロックの側壁面に当接して開成させ，ブロックの存在しない領域では一対のシール部材を互いに屋根状に密接させることにより，ブロックの走行を許容しながら，外部から塵埃，水，クーラント，切削液等がスリットを通じて内部に侵入するのを防止したアクチュエータが提案されている（特開平９−２０１００２号公報）。このアクチュエータによれば，スライド装置のモータ，ボールねじ，軸受等に使用されて発散するグリース又は内部で発生した塵埃がスリットを通じてクリーンルーム等の清潔性を保つ必要がある外部に流出するのを防止している。この，アクチュエータにおいて，スライダの変位方向の端部は超高分子ポリエチレンのような合成樹脂で成る楔状部に形成されており，スライダの摺動時，楔状の端部が低摩擦力でシール部材を撓曲させる。また，シール部材の縁部は，各スリットを形成する対向する一対の側壁に形成された溝部に挿入されて抜出し不能に取り付けられている。
【００１２】
更に，フレームに装着されたトップカバーによって遮蔽される空間を除く移動部材が移動するスリットを閉塞するシール部材と，シール部材を保持する保持溝が形成された保持部を備え，保持部とフレームとを一体的に或いはそれぞれ別体で形成したアクチュエータ（特開平１０−４７３０８号公報）が提案されている。このアクチュエータにおいて，保持部は，鉄又はアルミニウム等の金属材料を用い，引き抜き加工又は研削加工のいずれかによってフレームと一体に形成される。あるいは，保持部をアルミニウム製材料とし，フレームを鉄製材料とし，それぞれ引き抜き加工又は研削加工によって別体で形成されている。シール部材は，例えば，超高分子量ポリエチレン，含浸油を浸透させた超高分子量ポリエチレン，ポリエチレン，ポリテトラフルオロエチレン，又は，ポリウレタンゴム等の弾性体から形成される。鉄製材料としてはＳＫＤ材とし，鉄製材料又はアルミニウム製材料に対してはバレル仕上げ，ショットピーニング等の仕上げをして，後加工を簡単にすることができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，軌道レールやベッドの両側壁，上部カバーやエンドカバー等の各種カバーでスライド装置内部の密封性を高めた防塵構造を構成する場合，スライダの取付けフランジが通過するスリットが上方に向かって開放しており，スリットを伸縮性のシール部材で覆っても，取付けフランジがシール部材を撓ませながら走行する際に，シール部材に降り積もった異物や塵埃等が僅かに生じる隙間を通じてスライド装置の内部に侵入したり，クリーンルーム等での使用に際しては，スライド装置自身の発塵がスリットから漏れる懸念がある。スライダの取付けフランジが通過するスリットを側方に向かって開放させると，上方から降る塵埃等がシール部材に付着することがなくなり上記のような問題は生じ難くなるが，シール部材が上下に分割されるため，それぞれのシール部材に働く重力の影響によって，特に下側のシール部材のシール性能が低下し易いという問題が生じる。即ち，上シール部材の先端部分は重力により下側へ速く対応できるが，下シール部材の先端部分は重力により上側への対応が遅くなる。取付けフランジの通過後，上シール部材と下シール部材とが自己弾性によって衝合するまで両シール部材間に生じる可能性がある隙間を通じて異物や塵埃等が侵入する機会が生じる。また，取付けフランジの通過に際して各シール部材との摺接による抵抗が大きくなり，スライダ駆動に要するエネルギ消費が増加すると共にスライダの位置決め精度も悪化するという問題がある。
【００１４】
そこで，軌道レールと上部カバーとの間に形成される横向きに開口するスリットを搭載物の取付け用の取付けフランジが通過する構造を有し，通常はスリットを塞いでいるが，通過する取付けフランジによって変形され取付けフランジの通過を許容する通路を順次形成する上下一対のシール部材から成る伸縮性シール体を設けたスライド装置において，取付けフランジの通過後の下側のシール部材の応答性を改善することで，取付けフランジの通過を許容しつつ，粉塵や異物がスリットを通じてスライド装置内部に侵入したり，スライド装置の内部で生じた発塵が外部に放散することのより一層の防止を図る点で解決すべき課題がある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この発明の目的は，上記課題を解決することであり，スライダの搭載物取付け用の取付けフランジが通過するスリットを伸縮性シール体で塞ぐことによって，取付けフランジが伸縮性シール体を変形させつつ通過することを可能にすると共に，外部の粉塵や異物がスリットを通じてスライド装置内部に侵入することを防止し，或いはスライド装置内で発生した塵埃が外部に放散するのを防止するスライド装置において，伸縮性シール部材が上下に分割される場合にも，それぞれのシール部材に働く重力がシール性能に影響を及ぼさないようにして，伸縮性シール部材がスリットを確実に閉塞してスリットを通じての塵埃等の侵入・放散を防止するスライド装置のシール構造を提供することである。
【００１６】
この発明は，ベッドに取り付けられる軌道レール，搭載物取付け用の取付けフランジを備え前記軌道レール上を摺動自在なスライダ，前記ベッド又は前記軌道レールに取り付けられ前記スライダの走行路を覆う単一又は複数のカバー，前記スライダの摺動に伴って前記取付けフランジが通過するのを許容するため前記ベッド又は前記軌道レールと前記カバーとの間又は隣接する前記カバー間に前記軌道レールの長手方向に延び且つ横方向に開口した状態に形成されたスリット，及び前記取付けフランジの周りにおいて前記スリットをシールするため前記取付けフランジが通過する領域では前記取付けフランジに密接した状態に分離され，前記取付けフランジが通過する前後の領域では自己弾力性により互いに衝合する上シール及び下シールから構成された伸縮性シール体を具備し，
前記上シールと前記下シールに作用する重力の影響を相殺するため，前記下シールの弾性力は前記上シールの弾性力よりも強く設定されており，
前記取付けフランジは，前記取付けフランジの通過に伴って前記上シール及び前記下シールを徐々に伸縮変形させるため，前記上シール及び前記下シールと接触する接触面の両端部に傾斜面を備えており，
前記上シールと前記下シールとの前記衝合する位置は前記スリットの幅中央位置より下側に偏位しており，前記取付けフランジの前記両端部に形成される前記傾斜面のうち，前記上シールと密接する上傾斜面は，前記下シールと密接する下傾斜面よりも緩傾斜で且つ長い斜面であり，前記上傾斜面と前記下傾斜面とは前記衝合する位置で交差していることから成るスライド装置のシール構造に関する。
【００１７】
この発明によれば，ベッド又は軌道レールに取り付けられた単一又は複数のカバーがスライダの走行路を覆っており，ベッド又は軌道レールとカバーとの間又は隣接するカバー間には，搭載物取付け用の取付けフランジを備えたスライダの摺動に伴って取付けフランジが通過するのを許容するため，軌道レールの長手方向に延び且つ横方向に開口した状態にスリットが形成されている。取付けフランジの周りにおいてスリットをシールするため，上シール及び下シールから構成された伸縮性シール体が設けられている。スライダが軌道レール上を摺動するとき，上シールと下シールとは，取付けフランジが通過する領域では取付けフランジによって上下に切り開かれて分離され，取付けフランジが通過するための通路を形成する。上シール及び下シールは，通過する取付けフランジによってスリットの開口縁部に向かって伸縮変形され，取付けフランジの表面に密接した状態になる。上シール及び下シールは，取付けフランジの通過領域以外の領域では自己弾力性により伸長して互いに衝合し，スリットを塞いでいる。
【００１８】
伸縮性シール体が常に自己弾力性によって取付けフランジの周りを塞ぐように変形するので，前記スリットは，常に伸縮性シール体によって塞がれる状態となり，外部からスライド装置内への塵埃等の侵入が防止され，内部で発生した塵埃も外部へ放散されることがない。伸縮性シール体に作用する重力の影響を相殺するため，下シールの弾性力は上シールの弾性力よりも強く設定されているので，重力が自己の弾性力に加勢される上シールに対して下シールは重力に打ち勝つ充分な自己弾性力を備えることになり，取付けフランジの通過前後において下シールは上シールと同様な伸縮変形をし，スライド装置内部の気密性が向上する。
【００１９】
前記上シール及び前記下シールは，それぞれ一方の側端部が前記スリットの開口縁部に取り付けられ且つ他方の側端部が前記自己弾力性により互いに衝合する帯板状のシール部材から構成されている。この場合，前記上シール及び前記下シールは，前記他方の側端部が前記一方の側端部から前記スリットの外方に向かって傾斜して配設される。下シールの弾性力を上シールの弾性力よりも強く設定するため，前記下シールの帯板厚さを前記上シールの帯板厚さよりも厚くされる。また，前記下シールの帯板幅を，前記上シールの帯板幅よりも狭くされる。下シールの帯板厚さを厚くし且つ帯板幅を幅狭くすることにより，下シールは腰の強いもの，即ち，弾性体としてのへたりに対する抵抗が強くなる。
【００２０】
このスライド装置のシール構造は，上記の斜面構造によれば，取付けフランジの通過に伴って，先ず，接触面の端部の傾斜面が伸縮性シール体を徐々に圧縮変形させ，通過後には端部の傾斜面が伸縮性シール体を徐々に伸長変形させる。上シールと下シールとで斜面の傾斜を異ならせることにより，取付けフランジの通過時における上シールと下シールとの変形量を少なくすると共に，下シールの伸縮変形の応答性と上シールの伸縮変形の応答性とを揃えることが可能になる。また，上傾斜面が下傾斜面より長いことにより，リフト量の大きい上シールの変形速度を，ダウン量の少ない下シールの変形速度に対応させることが可能になる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下，添付図面を参照して，この発明によるスライド装置のシール構造の実施例を説明する。図１〜図４において，スライド装置それ自体は図５及び図６に示した従来のスライド装置に用いられているのと同様であり，同等の機能を奏する構成要素については，図５及び図６に付された符号と同一の符号を付して説明する。
【００２２】
図１〜図３に示すスライド装置１のシール構造を参照すると，ベッド２は，底部１０と底部１０の両側においてスライダ３の側面１８に沿って上方に起立した一対の側部１１とから構成され，Ｕ字状の断面を有している。ベッド２の底部１０の中央には，長手方向に延びる軌道レール１２がいんろう状態に配設されている。スライダ３は，軌道レール１２上に跨がって配設されている。単一の上部カバー１６は，ベッド２の幅よりも僅かに広い幅を有しており，ベッド２に固定されたモータ側及びエンド側の各ねじ軸支持体（図６でモータ側のねじ軸支持体８のみ示す）に取り付けられて，ベッド２上のスライダ３の走行路とスライダ３の上部を覆っている。ベッド２の各側部１１の上面２１と上部カバー１６の両側縁部２２との間は，軌道レール１２の長手方向に延び且つ横方向に開口した状態に形成されたスリット２３となっている。スリット２３は，スライダ３の摺動に伴って後述するスライダ３の取付けフランジ１４の通過を許容する。
【００２３】
スライダ３は，ベッド２の内側に形成される凹部に摺動自在に嵌合しており，図５及び図６で説明した通り，ベッド２に回転自在に軸支されたねじ軸５及びスライダ３に配設され且つねじ軸５とボールを介して螺合するナット体６から成るボールねじ機構４によって駆動される。また，スライダ３は，公知の直動案内ユニットを介して軌道レール１２上を摺動可能である。直動案内ユニットによれば，スライダ３のスライダ部１３は，軌道レール１２との間で互いに対向して形成された軌道路を含む無限循環路（図示せず）を転走する複数のボール（図示せず）を介してガタツキなく嵌挿され，且つ，前記軌道レール上をスムーズに走行すると共に，スライダ３の軌道レール１２に対する位置と速度とが高精度に制御可能である。直動案内ユニットを構成するため，スライダ部１３は，詳細には図示しないが軌道レール１２に設けられた軌道溝と対応する軌道溝を備えたケーシング，両軌道溝間を転走する転動体，ケーシングの端面に固定されたエンドキャップ，及びエンドキャップの端面に取り付けられたエンドシールを有している。
【００２４】
スライダ３は，テーブル等の搭載物を取り付けるための取付けフランジ１４を横方向に突出した状態で備えている。即ち，取付けフランジ１４は，スライダ３の側面１８から横方向に突出する横方向突出部２４と，その先端から上部カバー１６の外側において上部カバー１６よりも上方に延びる起立部２５とを有する略Ｌ字状のアームの形状を有している。横方向突出部２４の上面２６と下面２７は，図３と詳細には図４とに示すように，スライダ３の摺動方向両端部３０を除く中央寄りの大部分の領域で水平な平面に形成されている。横方向突出部２４の摺動方向両端部３０，３０においては，上面２６と下面２７とに滑らかに繋がり且つ上面２６及び下面２７から次第に接近する上傾斜面２８，２８，及び下傾斜面２９，２９が形成されている。
【００２５】
スライダ３の各摺動方向両端部３０において，上傾斜面２８，２８と下傾斜面２９，２９とは尖端縁３１で交差しているが，この交差位置は，取付けフランジ１４の上面２６から距離ΔＬ1 を下げた高さで，且つ取付けフランジ１４の下面２７から距離ΔＬ1 より短い距離ΔＬ2 の距離だけ上方の高さ位置にある。この交差位置Ｌは，上面２６と下面２７との中間の高さＬ0 ，即ち，取付けフランジ１４の横方向突出部２４の断面高さの中心と比較して下側に距離ΔＬだけ偏位している。
【００２６】
このスライド装置のシール構造の実施例においては，ベッド２の各側部１１の上面２１と上部カバー１６の両側縁部２２との間に形成されているスリット２３には，スリット２３を塞ぎ且つ取付けフランジ１４の周りをシールする伸縮性シール体４０が配設されている。幅広い上部カバー１６は，伸縮性シール体４０を覆っており，上方からの物体（固体，液体を問わず）の落下に対して伸縮性シール体４０を保護している。伸縮性シール体４０は，上部カバー１６の両側縁部２２に取り付けられた上シール４１と，ベッド２の各側部１１に取り付けられた下シール４２とから構成されている。上部カバー１６は単にねじ軸支持体にねじ止めされているだけであるので，上部カバー１６を取り外すことによって，内部点検や給油作業を容易に行うことができる。上シール４１及び下シール４２は，取付けフランジ１４が通過するときには取付けフランジ１４によって切り開かれて分離されるが，取付けフランジ１４に密接し，スリット２３の開口縁部に向かって伸縮変形される。上シール４１及び下シール４２は，取付けフランジ１４が通過する前後の領域では自己弾力性により互いに衝合しており，上シール４１と下シール４２との間に隙間を形成していない。
【００２７】
伸縮性シール体４０においては，図１の断面図に示すように，上シール４１は，上部カバー１６の下面に長手方向に沿って取り付けられ，その取り付けられた下面からスリット２３の外方に向かって斜め下に延びた帯板状のシール部材として構成されている。即ち，上シール４１の側端部４３が上部カバー１６の両側縁部２２に形成された膨出部３３に嵌め込まれた状態に取り付けられている。下シール４２は，ベッド２の側壁１１の上面２１に長手方向に沿って取り付けられ，その取り付けられた上面２１からスリット２３の外方に向かって斜め上方に延びた帯板状のシール部材として構成されている。即ち，下シール４２の側端部４４がベッド２の側部１１の上部３２に嵌め込まれた状態に取り付けられている。
【００２８】
上シール４１の他方の側端部である先端部４５と下シール４２の他方の側端部である先端部４６とは，取付けフランジ１４が存在する領域では，それぞれ横方向突出部２４の上面２６と上傾斜面２８，下面２７と下傾斜面２９に密接に当接し，取付けフランジ１４が存在しない領域ではスリット２３の外方において互いに衝合している。その結果，伸縮性シール体４０は，スリット２３内において，取付けフランジ１４の通過を許容しつつ，スライダ装置１の内部と外部との間で塵埃や異物が侵入したり放散するのを防止している。
【００２９】
伸縮性シール体４０に作用する重力の影響を相殺するため，下シール４２の弾力性は上シール４１の弾力性よりも強く設定されている。即ち，上シール４１と下シール４２との先端部４５，４６の衝合位置４７への応答時間が同時におこなわれるように，重力の作用で復元性が劣り易い下シール４２の弾力性は，重力の加勢で復元性が促進される上シール４１の弾力性よりも強く設定されている。このような弾力性の設定を得るための一つの形態として，下シール４２の帯板厚さｔ2 は，上シール４１の帯板厚さｔ1 よりも厚くされている。また，別の形態として，下シール４２の帯板幅ｗ2 は，上シール４１の帯板幅ｗ1 よりも狭くされている。帯板厚さを厚くするほど，更に帯板幅を狭くするほど，下シール４２の可撓性が低下し，同じ変位量に対する弾力性，即ち，復元性が高くなる。上シール４１と下シール４２とに対して帯板厚さと帯板幅とについての対策を同時に採用してもよいことは勿論である。弾力性の設定として，各シールの傾斜（図１で見た各シールの傾斜）を急にするほど，弾力性を高めることも可能である。
【００３０】
このような構造によって，下シール４２の重力に抗する復元応答性が向上し，シール性を向上させることができる。下シール４２は腰の強いシールとなり，上シール４１がぶら下がるのを下から支えることができる。上シール４１は腰の弱いシールとなり，シールの折り癖が少なくなると共に，重力の作用によって下方に垂れようとして，下シール４２の先端部４６が上シール４１の先端部４５と確実に衝合するので，下シール４２との気密性を高めることができる。
【００３１】
上シール４１及び下シール４２の帯板幅を勘案して，上シール４１の先端部４５と下シール４２の先端部４６との衝合位置４７は，スリット２３の中央高さ（幅中央位置）より下側，即ち，取付けフランジ１４の上傾斜面２８と下傾斜面２９とが交差する交差位置Ｌに合致している。上傾斜面２８，２８の傾斜は，下傾斜面２９，２９の傾斜と比較して緩斜面に形成され，且つ斜面長さが長く形成されている。上シール４１は弾力性が弱いが変形量，即ち，リフト量が大きいので，遅い上シール４１の変形速度に応じて上傾斜面２８の斜面長さを長く設定してある。逆に，下シール４２は弾力性が強く変形量，即ち，リフト量が小さいので，速い下シール４２の変形速度に応じて下傾斜面２９の斜面長さを短く設定してある。取付けフランジ１４の通過する際，上シール４１の先端部４５は上シール４１が重力の作用を受けながらも早期に比較的ゆっくりと降下し，下シール４２の先端部４６は下シール４２が重力の作用を受けながらも遅れて上側へ比較的速く対応し，上シール４１と下シール４２は，交差位置Ｌにおける衝合位置４７で同時に衝合する。したがって，取付けフランジ１４の通過後，速く降下した上シール４１の先端部４５が遅く上昇してくる下シール４２の先端部４６との衝合を待つことがない。
【００３２】
上下シール４１，４２の各先端部４５，４６の衝合高さは，取付けフランジ１４の上傾斜面２８と下傾斜面２９とが交差する交差位置Ｌと等しくなるように設定されているので，テーブル動作が速い場合であっても，取付けフランジ１４の通過の前後において，従来のスライド装置において上下シール４１，４２の追従性が一致していないことに起因して生じていたような隙間を発生することがなく，塵埃や異物がスライド装置内部に侵入したり又はスライド装置外部に放散されることがない。しかも，取付けフランジ１４の通過に際して上下シール４１，４２の切り開きがスムーズであり，取付けフランジ１４の通過抵抗が小さくなり，スライダ３の駆動力を低減できると共にスライダ３の軌道レール１２に対する位置決め精度を向上することができる。
【００３３】
以上のように構成されたスライド装置１のシール構造によると，スライダ３が軌道レール１２に沿って摺動するときには，横方向突出部２４に形成された上傾斜面２８及び下側に形成された下傾斜面２９は，各先端が尖端縁３１となっているので，衝合している上シール４１又は下シール４２にそれぞれ摺接して順次に上方又は下方にスムーズに分離させながら切り開き，上下に押圧して圧縮変形させる。上シール４１及び下シール４２は，スライダ３の進行方向側で衝合位置４７から横方向突出部２４の平坦な上面２６又は平坦な下面２７まで開口するようにリフトアップ又はリフトダウンし，取付けフランジ１４が通過するための通路を形成する。取付けフランジ１４が通過した反進行方向側では，上シール４１及び下シール４２は，自己弾力性によって，横方向突出部２４の上面２６又は下面２７から端部３０に形成された上傾斜面２８と下傾斜面２９に案内されつつ，元の衝合位置４７まで伸長し復元する。上傾斜面２８及び下傾斜面２９を通過した上シール４１及び下シール４２は，先端部４５，４６において尖端縁３１の直後においてスムーズに衝合して，スリット２３を埋める。
【００３４】
上シール４１及び下シール４２は，取付けフランジ１４の通過前に伸長状態にあって衝合しているとき，及び取付けフランジ１４の通過後に伸長状態にあって衝合しているときには，先端部４５，４６は互いに密接に当接してシールする。また，上シール４１及び下シール４２は，通過する取付けフランジ１４の上下各面２６，２７及び上下各傾斜面２８，２９に対しても圧縮状態となり密接状態に当接している。したがって，取付けフランジ１４の通過中及び通過前後において，伸長状態から圧縮状態へ及び圧縮状態から伸長状態に移行する際，及び圧縮状態に移行した後も，上シール４１と下シール４２との間及び上シール４１又は下シール４２と取付けフランジ１４との間に隙間は生じず，スリット２３を確実に塞いで伸縮性シール体４０の防塵性を常に維持することができる。その結果，スライド装置１の外部から内部への塵埃等の異物の侵入や，スライド装置１の内部で発生した塵埃がクリーン性が求められる外部環境への放散が防止される。
【００３５】
スライド装置１が，特に，クリーンルーム内で使用される場合，発塵性を小さくするために，取付けフランジ１４と摺接する伸縮性シール体４０には，帯状部材として，クリーンルーム内で使用されているウェハ搬送用ベルトが利用されている。ウェハ搬送用ベルトはポリエステルでできており，摩耗粉が出にくいものである。伸縮性シール体４０は，取付けフランジ１４と摺接する少なくとも表面をポリエステル樹脂，ポリエステル繊維等のポリエステル製とされる。スライド装置１のクリーン度は，一般に，クラス１０以下のクリーン度が要求されるが，本発明のスライド装置は，次のテスト結果から，要求されるクリーン度を充分に達成していることが判明した。即ち，ストロークが２７０ｍｍ，加速度が０．１ｓｅｃ，吸引量が２５リットル／分，ボールねじリードが２０ｍｍ，クリーングリースを使用するテスト条件で，テーブル速度が６００ｍｍ／ｓにおいて，クラス３以下のクリーン度が，また，テーブル速度１０００ｍｍ／ｓにおいて，クラス５以下のクリーン度が達成された。
【００３６】
上記の実施例では，スリット２３がスライド装置１のベッド２と単一の上部カバー１６との間の横方向に開口して形成されていたが，この発明のシール構造は，軌道レールと上部カバーとの間に形成される横方向に開口したスリットに対しても適用することができる。また，スリットの向きが横方向に開口するスライド装置ばかりではなく，例えば上部カバーを分割して隣接する二つの上部カバー間に，上方に開口し取付けフランジが通過するスリットを形成しても良い。スリットが上部カバーに平行な面内に形成されるスライド装置においても，横転状態に使用する場合等，シール部材が上下に位置することになり，この発明のシール構造を適用することができる。また，取付けフランジ１４の横方向突出部２４は，両端部３０を突出部本体と一体に形成していたが，先端が尖って上傾斜面部２８と下傾斜面部２９とが形成された別体としての先端部を予め製作しておき，突出部本体に取り付けても良い。更に，伸縮性シール体４０は，帯板状に形成した例を示したが，軌道レール１２の長手方向に平行な折り畳み線で折り畳まれた，襞折り又は蛇腹様の折畳みシール部材やチューブ状のシール部材で構成し，内部に気体又は液体を収容して製作してもよい。
【００３７】
【発明の効果】
この発明によるスライド装置のシール構造は以上のように構成されているので，次のような効果を有する。即ち，この発明によるスライド装置のシール構造によれば，スライダの搭載物取付け用の取付けフランジが通過するスリットを伸縮性シール体で塞ぐことによって，取付けフランジは伸縮性シール体を変形させつつ通過することができ，外部の粉塵や異物がスリットを通じてスライド装置内部に侵入することを防止し，スライド装置内で発生した塵埃が外部に放散するのを防止することができる。上下に分割されている伸縮性シール体を構成する下シールの弾力性が上シールの弾力性よりも強められているので，重力が上シールの変形を加勢して垂れ易くし且つ下シールの復元の応答性を遅らせるように作用する場合でも，調節された弾力性で重力の影響が相殺され，上シールと下シールとが重力の影響が現れないように均等に復元して，伸縮性シール部材によってスリットを確実に閉塞し高い気密状態でシールすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  この発明によるスライド装置のシール構造の一実施例を示す図であり図２の線Ａ−Ａについての断面図である。
【図２】  図１に示すスライド装置の上部カバーを一部破断し且つ一部を切断して示す平面図である。
【図３】  図１に示すスライド装置の一部を切断して示す側面図である。
【図４】  図３に示すスライド装置の一部を拡大して示す一部断面側面図である。
【図５】  上部カバーを軌道レールに取り付けた状態の従来のスライド装置の一例を示す斜視図である。
【図６】  図５に示したスライド装置を，上部カバー及びベッドの一部を破断して示した斜視図である。
【符号の説明】
１    スライド装置
２    ベッド
３    スライダ
１０  底部
１１  側部
１２  軌道レール
１３  スライダ部
１４  取付けフランジ
１６  上部カバー
１８  側面
２３  スリット
２４  横方向突出部
２５  起立部
２６  上面
２７  下面
２８  上傾斜面
２９  下傾斜面
４０  伸縮性シール体
４１  上シール
４２  下シール
４３，４４  側端部（基端側）
４５，４６  側端部（先端側）
４７  衝合位置
ｔ1 ，ｔ2 帯板厚さ
ｗ1 ，ｗ2 帯板幅
Ｌ    交差位置
Ｌ0   衝合高さ
ΔＬ  偏位
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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