(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いの間に放電空間を形成する第１基板及び第２基板と、
前記第１基板の内面に配列されて第１方向に延び、それぞれが金属膜を有した複数の表示電極と、
前記第１基板上に堆積されて前記複数の表示電極を等方的に被覆し、前記表示電極の金属膜に対応した凸部と凸部間の凹部とを含んだ凹凸のある表面をもつ一定厚さの二酸化珪素膜からなる第１誘電体層と、
前記第２基板の内面に配列されて前記第１方向と交差する第２方向に延びる複数のアドレス電極と、
前記アドレス電極を被覆する第２誘電体層の上に形成され、前記放電空間を前記第１方向及び第２方向に沿った複数の放電セルの配列に区画する平面視格子状の隔壁と、を備え、
前記第１誘電体層における前記凸部に前記格子状隔壁が接し、前記第１誘電体層における表面の凹部と前記隔壁の第２方向に沿った垂直壁の対向面との間に前記金属膜の厚さと同じ高さ寸法の隙間を有することによって、前記第１方向に沿った複数のセルにまたがって連続する通気路が形成され、
前記第１誘電体層の厚さは５〜１０μｍの範囲内であり、前記金属膜の厚さは８〜１０μｍの範囲内であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前面基板と背面基板との間に表示のための行及び列のセル配列をもつプラズマディスプレイパネルであって、
前記前面基板上に形成された厚さが８〜１０μｍの範囲内の行方向に延びる金属膜電極を等方的に被覆する一定厚さの誘電体層の表面に、前記金属膜電極に対応した複数の凸部を有しており、
前記複数の凸部と前記背面基板上に前記セル配列を区画するように設けられた行方向の水平壁及び列方向の垂直壁を有する格子状の隔壁とが接し、
前記誘電体層は、５〜１０μｍの範囲内の一定厚さの二酸化珪素膜と当該二酸化珪素膜上のマグネシアからなる保護膜とで構成され、それによって前記誘電体層の凸部間の凹部に対向する垂直壁との間に前記金属膜電極の厚さと同じ高さ寸法の隙間が形成されて行方向に並ぶセルどうしの間の通気路が設けられた
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、表示電極を被覆する誘電体層および放電空間を区画する隔壁を有したプラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel：ＰＤＰ）に関する。
【０００２】
ＰＤＰに関して、高輝度および高解像度の表示に適したパネル構造が望まれている。
【０００３】
【従来の技術】
カラー表示用のＡＣ型ＰＤＰにおいて面放電形式が採用されている。ここでいう面放電形式は、輝度を確保する表示放電において陽極および陰極となる表示電極を、前面側または背面側の基板の上に平行に配列し、表示電極対と交差するようにアドレス電極を配列する形式である。面放電形式のＰＤＰでは、表示電極の長さ方向（これを行方向とする）について放電を局所化する隔壁が必要である。最も簡素で生産性に優れる隔壁パターンとして、平面視において真っ直ぐな帯状の隔壁をマトリクス表示の列（ｃｏｌｕｍｎ)列の境界ごとに配置する、いわゆるストライプパターンが知られている。
【０００４】
面放電形式における表示電極の配列に関して、行数Ｎに１を加えた本数の表示電極を実質的に等間隔に配列する形態がある。この形態では、隣り合う表示電極どうしが面放電のための電極対を構成し、配列の両端を除く表示電極が奇数行と偶数行の表示に係わる。この形態は、高精細化（行ピッチの縮小）および表示面の有効利用が可能という優位性をもっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ストライプパターンの隔壁と等間隔に配列された表示電極を有する従来のＰＤＰでは、奇数行の表示と偶数行の表示とで１本の表示電極が共通であるので、表示形式がインタレース形式に限られていた。インタレース形式の場合には、奇数フィールドでは偶数行を発光させないというように、奇数および偶数の各フィールドにおいて画面全体の半数の行を表示に用いないので、プログレッシブ形式と比べて輝度が低くなる。また、インタレース形式では、静止画表示においてフリッカが生じるので、ＤＶＤやフルスペックＨＤＴＶなどの高画質機器で要求される表示品位を満たすのは難しい。
【０００６】
プログレッシブ形式の表示は、隔壁パターンとして放電空間をセルごとに区画するメッシュパターンを採用することで可能となる。しかし、メッシュパターンの隔壁を有したＰＤＰは、その製造におけるガス封入工程の生産性が低い。内部の通気抵抗が大きくて真空排気に長い時間を要する。
【０００７】
通気抵抗の低減に関しては、隔壁を部分的に切り欠く方法がある。また、特開２００１−２１６９０３号公報に記載されている誘電体層が部分的に盛り上がった構造は、十分な通気路を有する。しかし、隔壁を切り欠いたり誘電体層を盛り上げたりすることは、その分だけ製造工程が増えるので、製品価格を上昇させてしまう。
【０００８】
本発明は、高精細のプログレッシブ表示が可能でかつ生産性に優れた構造をもつＰＤＰの提供を目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、表示電極を被覆する誘電体層をその表層面（上面）が形成面の起伏に沿った凹凸をもつような層とし、誘電体層の表層面における凸部と対向するように隔壁を配置する。誘電体層の表層には表示電極の厚さ分の段差があり、この段差分の寸法の隙間が通気路として隔壁と誘電体層との間に形成される。通気路はＰＤＰを製造するときの排気処理を効率化する。隔壁がメッシュパターンであっても、通気路があるので迅速な排気が可能である。このことは、セル構造が内部を十分に清浄化して放電特性の安定にするのに適していることを意味する。誘電体層の形成方法としては、プラズマ化学的気相成長法が好適である。この方法によって形成される層は下地面を等方的に覆うので、通気路を形成するための特別の工程は不要である。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１は第１実施形態に係るＰＤＰのセル構造を示し、図２は第１実施形態に係るＰＤＰの電極構成を示す。ＰＤＰ１は一対の基板構体（基板上にセル構成要素を設けた構造体）１０，２０からなる。前面側の基板構体１０の基材であるガラス基板１１の内面に、行ピッチと同じピッチで表示電極Ｘ，Ｙが配列されている。なお、行とは、列方向の配置順序が等しい列数分のセルの集合を意味する。表示電極Ｘ，Ｙのそれぞれは、面放電ギャップを形成する直線帯状の透明導電膜４１とその列方向の中央に重ねられた金属膜（バス導体）４２とからなる。金属膜４２は表示面の外側へ引き出され、ドライバ回路と接続される。表示電極Ｘ，Ｙを被覆するように誘電体層１７が設けられ、誘電体層１７の表面には保護膜１８としてマグネシア（ＭｇＯ）が被着されている。背面側の基板構体２０の基材であるガラス基板２１の内面には１列に１本ずつアドレス電極Ａが配列されており、これらアドレス電極Ａは誘電体層２４で被覆されている。誘電体層２４の上に高さ１５０μｍ程度のメッシュパターンの隔壁２９が設けられている。隔壁２９は、放電空間を列毎に区画する部分（以下、垂直壁という）２９１と、放電空間を行毎に区画する部分（以下、水平壁という）２９２とからなる。そして、誘電体層２４の表面および隔壁２９の側面を被覆するように、カラー表示のためのＲ，Ｇ，Ｂの３色の蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂが設けられている。図中の斜体文字（Ｒ，Ｇ，Ｂ）は蛍光体の発光色を示す。色配列は各列のセルを同色とするＲ，Ｇ，Ｂの繰り返しパターンである。蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂは放電ガスが放つ紫外線によって励起されて発光する。図２のように、金属膜４２は隔壁２９の水平壁２９２と重なるように配置され、透明導電膜４１は水平壁２９２の両側に張り出し、隣り合う透明導電膜４１とともにセルごとに面放電ギャップを形成する。図では代表として４個のセル５１Ｒ，５１Ｇ，５２Ｒ，５２Ｇを鎖線で示してある。隔壁パターンがメッシュパターンであるので、水平壁を省略するストライプパターンとは違って列方向の放電干渉が生じない。つまり、ＰＤＰ１では複雑な駆動シーケンスによらずにプログレッシブ表示を実現することができる。また、水平壁２９２の側面にも蛍光体を設けることにより、発光効率が高まる。水平壁２９２と重なるように表示電極Ｘ，Ｙの金属膜４２を配置することにより、金属膜４２による表示光の遮光を無くすことができる。１０〜２０％の効率向上が確認できた。
【００１１】
図３は第１実施形態に係るＰＤＰの内部構造を示す断面図である。ＰＤＰ１において、透明導電膜４１はＩＴＯからなり、その厚さは０．１μｍである。金属膜４２はクロム（Ｃｒ）／銅（Ｃｕ）／クロムの３層からなり、その厚さは２μｍ〜４μｍの範囲内の値に選定されている。誘電体層１７は二酸化珪素（ＳｉＯ2）からなり、プラズマＣＶＤによって一様な厚さに形成されている。誘電体層１７の厚さとしては５μｍ〜１０μｍの範囲内の値が好ましい。図３のように、誘電体層１７は形成面（基板面の一部と表示電極の表面）の起伏がほぼそのまま現れた凹凸をもつ。これはペーストを塗布して焼成する一般的な形成方法では得られない特徴である。誘電体層１７の表面が凹凸面であることから、隣り合う表示電極Ｘ，Ｙの間に通気路３７となる隙間が存在する。通気路３７は垂直壁２９１の上を横切って表示電極に沿って並ぶ複数のセルに跨って連続している。通気路３７の基板厚さ方向の寸法は金属膜４２の厚さとほぼ同じ２μｍ〜４μｍであり、誘電体層１７の表面粗さ（実測値は約１μｍ）よりも十分に大きい。このような通気路３７が存在するので、ＰＤＰ１の製造における排気時間は、ストライプパターンの隔壁を有した従来のＰＤＰと同様である。表示電極Ｘ，Ｙを厚さ８μｍ〜１０μｍの厚膜電極(例えば銀電極）とすれば、排気時間を短縮して製造の経済性を高めることができる。
【００１２】
図４は第２実施形態に係るＰＤＰの電極構成を示す平面図であり、図５は第２実施形態に係るＰＤＰの内部構造を示す断面図である。ＰＤＰ１ｂにおける表示電極Ｘｂ，Ｙｂは、列ごとに配置されたＩ字状の透明導電膜４１ｂと直線帯状の金属膜４２とからなり、誘電体層１７ｂおよび保護膜１８ｂで被覆されている。ＰＤＰ１ｂにおいても、隣り合う表示電極Ｘｂ，Ｙｂの間に通気路３７ｂとなる隙間が存在するので、製造に際して迅速な排気が可能である。透明導電膜４１ｂを金属膜４２から張り出す部分がＴ字状になるように配置することにより、放電電流を制限して発光効率を高めるとともに、電極間の静電容量を低減することができる。
【００１３】
図６は第３実施形態に係るＰＤＰの電極構成を示す平面図であり、図７は第３実施形態に係るＰＤＰの内部構造を示す断面図である。ＰＤＰ１ｃにおける表示電極Ｘｃ，Ｙｃは、列ごとに配置されたＴ字状の透明導電膜４１ｃと直線帯状の金属膜４２ｃとからなり、誘電体層１７ｃおよび保護膜１８ｃで被覆されている。ＰＤＰ１ｂにおいても、隣り合う表示電極Ｘｃ，Ｙｃの間に通気路３７ｃとなる隙間が存在するので、製造に際して迅速な排気が可能である。表示電極Ｘｃ，Ｙｃが行ごとに独立しているので、プログレッシブ表示の駆動が容易である。
【００１４】
図８は第４実施形態に係るＰＤＰの電極構成を示す平面図であり、図９は第４実施形態に係るＰＤＰの内部構造を示す断面図である。ＰＤＰ２における表示電極Ｘｄ，Ｙｄは、放電電流を制限する空隙を有した形状にパターニングされた帯状の金属膜からなり、誘電体層１７ｄおよび保護膜１８ｄで被覆されている。ＰＤＰ２においても、隣り合う表示電極Ｘｄ，Ｙｄの間に通気路３８となる隙間が存在するので、製造に際して迅速な排気が可能である。
【００１５】
図１０は第５実施形態に係るＰＤＰの電極構成を示す平面図であり、図１１は第５実施形態に係るＰＤＰの内部構造を示す断面図である。ＰＤＰ２ｂにおける表示電極Ｘｅ，Ｙｅは直線帯状の金属膜からなり、誘電体層１７ｅおよび保護膜１８ｅで被覆されている。ＰＤＰ２ｂにおいても、隣り合う表示電極Ｘｅ，Ｙｅの間に通気路３８ｂとなる隙間が存在するので、製造に際して迅速な排気が可能である。
【００１６】
図１２は第６実施形態に係るＰＤＰの隔壁パターンおよび表示電極を示す平面図である。ＰＤＰ３における隔壁２９ｆのパターンはメッシュパターンの１種であるハニカムパターンであり、セル形状は六角形である。表示電極Ｘｆ，Ｙｆは、直線帯状の透明導電膜４１ｆと遮光を最小にするために隔壁２９ｆに沿うように蛇行した帯状の金属膜４２ｆとからなる。
【００１７】
図１３は第７実施形態に係るＰＤＰの隔壁パターンおよび表示電極を示す平面図である。ＰＤＰ３ｂにおける隔壁パターンは蛇行した帯状の隔壁２９ｇからなるストライプパターンである。隔壁２９ｇは広大部と狭窄部とが交互に並ぶ列空間を形成するように配列されている。ＰＤＰ３ｂでは隔壁パターンがストライプパターンであるので、表示電極Ｘｆ，Ｙｆと交差する列方向の通気が自在であるとともに、上述の実施形態と同様の誘電体層を形成することで形成される通気路によって、表示電極Ｘｆ，Ｙｆに沿った方向の通気が起こり、排気がより迅速になる。
【００１８】
本発明によれば、隔壁の平面視形状に関わらず製造における排気を容易にする通気路を、生産性を下げることなく確保することができ、十分な排気を行って放電特性を安定にすることができる。また、高精細のプログレッシブ表示を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係るＰＤＰのセル構造を示す図である。
【図２】第１実施形態に係るＰＤＰの電極構成を示す図である。
【図３】第１実施形態に係るＰＤＰの内部構造を示す断面図である。
【図４】第２実施形態に係るＰＤＰの電極構成を示す平面図である。
【図５】第２実施形態に係るＰＤＰの内部構造を示す断面図である。
【図６】第３実施形態に係るＰＤＰの電極構成を示す平面図である。
【図７】第３実施形態に係るＰＤＰの内部構造を示す断面図である。
【図８】第４実施形態に係るＰＤＰの電極構成を示す平面図である。
【図９】第４実施形態に係るＰＤＰの内部構造を示す断面図である。
【図１０】第５実施形態に係るＰＤＰの電極構成を示す平面図でありる。
【図１１】第５実施形態に係るＰＤＰの内部構造を示す断面図である。
【図１２】第６実施形態に係るＰＤＰの隔壁パターンおよび表示電極を示す平面図である。
【図１３】第７実施形態に係るＰＤＰの隔壁パターンおよび表示電極を示す平面図である。
【符号の説明】
１，１ｂ，１ｃ，２，２ｂ，３，３ｂ  プラズマディスプレイパネル
１１  ガラス基板（第１の基板）
２１  ガラス基板（第２の基板）
Ｘ，Ｘｂ，Ｘｃ，Ｘｄ，Ｘｅ，Ｘｆ  表示電極
Ｙ，Ｙｂ，Ｙｃ，Ｙｄ，Ｙｅ，Ｙｆ  表示電極
１７，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１７ｅ  誘電体層
２９，２９ｆ，２９ｇ  隔壁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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