(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セルフロック機能と、複数の高さ調整機構とを備えた装置において、
装置本体の傾斜を粗い精度で検出する粗レベル検出機構と、傾斜を高精度に検出する精レベル検出機構とを設け、
前記各高さ調整機構は推力を可変する推力調整機構と、速度を調整する速度調整機構とを有し、
前記粗レベル検出機構の検出値に基づいて、前記推力調整機構により各高さ調整機構の推力の合計が装置本体重量より小さくなるように設定すると共に、前記速度調整機構により速度を高速に設定して粗レベル調整を行う粗レベル調整機構と、
前記精レベル検出機構の検出値に基づいて、前記推力調整機構により各高さ調整機構の推力の合計が装置本体重量より大きくなるように設定すると共に、前記速度調整機構により速度を低速に設定して精レベル調整を行う精レベル調整機構とを
設けたことを特徴とする設置レベル調整機構付き装置。
【請求項２】
請求項１記載の設置レベル調整機構付き装置において、
前記各支持脚の推力調整機構は、
装置本体重量の重心位置が略中央部の場合は、装置本体重量を支持脚数で割った値より小さく設定し、
重心が一方にずれている場合は、装置本体重量を支持脚数で割った値を前記重心位置に応じて比例配分するようにした
ことを特徴とする設置レベル調整機構付き装置。
【請求項３】
セルフロック機能を有する複数の高さ調整機構を備えた装置のレベル調整方法であって、
前記高さ調整機構の高さを可変するモータの推力の合計値が装置本体の重量より小さくなるように設定して、前記モータを高速で駆動して第１の粗レベル調整を行い、
その後、前記モータの推力を前記第１の粗レベル調整よりも大きく、かつ速度を前記高速より低い中速に設定して、粗レベル検出機構の検出値に基づいて第２の粗レベル調整を行い、
その後、前記モータの推力は大きい状態のままモータ速度を前記中速より低い低速に設定して、高精度の精レベル検出機構の検出結果に基づいて精レベル調整を行うようにしたことを特徴とする装置のレベル調整方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は設置レベル調整機構を備えた装置に関し、設置場所が頻繁に変えられる装置の水平度（レベル）を自動的に精密に設定する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
機械装置や電子装置には、装置の姿勢を水平に設定して設置するものが多く、装置の下面の四隅には高さ調整が可能はハイトアジャスタが設けられている。ハイトアジャスタは一般にねじ構造となっていて、ねじを正転させるとハイトアジャスタは装置下面からの突出長さが長くなり、逆転させるとハイトアジャスタが装置内に入り、装置下面からの突出長さが短くなる。
【０００３】
設置した装置の水平度調整（レベル出し）は、作業者がハイトアジャスタのねじをスパナ等を用いて手で回して行なうため、手間暇を要していた。この問題に鑑み、装置のレベル出し作業を自動化する技術が特開平８−３２０７２９号公報に開示されている。
【０００４】
特開平８−３２０７２９号公報で開示されている装置は、調整自在のハイトアジャスタを複数有する設置高さ調整付き物体であって、前記物体の水平Ｘ軸方向の水平度を検出するＸ軸水準センサと、前記物体の水平Ｙ軸方向の水平度を検出するＹ軸水準センサと、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサの検出信号に基づいて前記ハイトアジャストの物体からの突出長さを調整する高さ調整機構を具備する。前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサは水準器の気泡を検出する複数の並んだ水準センサとからなり、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサのそれぞれの水準センサのＯＮ、ＯＦＦ状態に基づいて所定のハイトアジャスタが制御される。前記ハイトアジャスタはねじ軸に沿って移動する可動体が連結され、前記ねじ軸は制御モータによって正逆回転制御されるものである。又、装置本体の支持脚近傍に変位センサを設け床面との距離を計測して、その大小によってハイトアジャスタの突出長さを調整することも記載されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
特開平８−３２０７２９号公報では、Ｘ軸水準センサ及びＹ軸水準センサに水準器と水準器の気泡を検出する複数のセンサを用いている。一般に気泡式水準器は感度が一目盛り０．０２／１０００（約４秒）（第１種）から０．１／１０００（約２０秒）（第３種）と極めて高い。このため、水準器気泡の位置を複数の水準センサのＯＮ、ＯＦＦ状態に基づいて検出して、高さ調整機構を制御しようとすると、制御系が不安定になり易いため、高さ調整機構の速度（例えばブレーキ付きステッピングモータに加えるパルスレート）を極めて遅く制限する必要がある。そのため、自動レベル調整に長時間を要するという問題がある。
【０００６】
さらに、４本以上のハイトアジャスタを有する装置では、装置の水平度が出ても全てのハイトアジャスタの支持脚にかかる力が均等であるとの保証は無く、極端な場合には１本の支持脚が床面から浮いていて、その支持脚には荷重が全くかからない状態も存在しうる。このような場合には装置のフレームに変形が生じたり、短時間で装置の水平度が狂う恐れがある。
【０００７】
又、変位センサで床面との距離に応じてハイトアジャスタの突出長さを調整する方法だけでは、床面の凹凸の影響を受けて装置本体の水平度を高精度に調整することは難しい。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、短時間に装置のレベル調整が可能で、レベル調整後に複数の装置支持脚に荷重がほぼ均等に作用するような設置レベル調整機能付き装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は粗レベル検出機構と精レベル検出機構を備え、装置設置時、又は装置移動時に粗レベル検出機構で検出した値に基づいて、高速に粗レベル調整を実施し、その後、精レベル検出機構の検出値に基づいて低速で精レベル調整を実施するように構成した。
【００１０】
また、支持脚が均等に装置本体荷重を分担する場合、支持脚を突出するためのモータの駆動トルクを、装置本体荷重を支持脚数で割った値より小さく設定して駆動する第1の粗レベル調整を行い、次に粗レベル検出機構で検出した検出に基づいて第２の粗レベル調整を行い、次に精レベル検出機構の検出値に基づいて精レベル調整を行う、３段階の制御を行うようにした。
【００１１】
なお、第１の粗レベル調整を省略して第２の粗レベル調整と、精レベル調整とを行う２段階の制御方法でも良い。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。なお、実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付けてある。
【００１３】
図1は本発明の一実施例である設置レベル調整機構付き装置の外観を示す斜視図である。
【００１４】
設置レベル調整機構付き装置の本体１は、所定の処理、加工、表示等の係わる装置であるが、本発明が装置の水平度調整（レベル出し）に係わるものであることから、その内容構造の説明は省略する。装置本体１は、特に限定されないが、外観的に見て矩形体となり、装置本体１は４つの高さ調整機構２で支持されている。高さ調整機構２の下部からは支持脚３が突出しており、高さ調整機構２によってその突出長さが制御される。本実施例では支持脚３は装置本体１に対して、奥左をＨ１、手前左をＨ２、手前右をＨ３、奥右をＨ４と呼ぶ。
【００１５】
装置本体１内には設置レベル調整を行なうための制御装置４が内蔵されている。また、装置本体１の正面には制御装置４の操作パネル５が配置されている。なお、本実施例のように、操作パネル５が取り外し自在な操作ペンダントとしても良い。また、装置本体１の上面（内部でもよい）には装置本体１の水平度を検出するための水準センサユニット６は設けられている。
【００１６】
図２に水準センサユニット６の一構成例を示す。図３に水準センサユニットの配置の平面図を示す。水準センサユニット６は、高精度に水準を計測し、高精度のレベル調整を行うための制御に用いられるＸ軸水準センサユニット７とＹ軸水準センサユニット８からなる精レベル検出機構（第１の水準センサと言う場合もある)と、粗い精度で水準を計測し、短時間で粗いレベル調整のための制御に用いられる傾斜センサユニット９からなる粗レベル検出機構（第２の水準センサという場合もある)とから構成されている。
【００１７】
Ｘ軸水準センサユニット７はＸ軸水準器１０の気泡を感知する水準センサＸ０，Ｘ１，Ｘ２が設けられている。これらの水準センサは、装置本体１のＸ方向水準が精レベル許容値以内のときには全てがＯＮ信号を発生し、装置本体１が左右に傾き、気泡がセンサの下から外れると、外れたセンサはＯＦＦ信号を発生する。なお、後述するように、Ｘ軸水準センサのうち中央部に設けた水準センサＸ０を粗レベル検出機構として用いることも出来る。
【００１８】
Ｙ軸水準センサユニット８もＸ軸水準センサユニット７と同様な構成であり、Ｙ軸水準器１１の気泡を感知する水準センサＹ０，Ｙ１，Ｙ２が設けられている。これらの水準センサは装置本体１のＹ方向水準が許容値以内のときには全てがＯＮ信号を発生し、装置本体１が前後に傾き、気泡がセンサの下から外れると、外れたセンサはＯＦＦ信号を発生する。なお、Ｘ軸水準センサと同じくＹ軸水準センサのうち中央の水準センサＹ０を粗レベル検出機構として用いることも出来る。
【００１９】
水準センサの感度と精度は使用する水準器の感度とセンサＸ１、Ｘ２及びＹ１、Ｙ２の設置位置で決まる。１種の水準器を用いた場合、水泡が一目盛り（約２mm）移動する傾斜は０．０２／１０００であり、例えばセンサＸ１、Ｘ２及びＹ１、Ｙ２を水準が出た状態における水泡端から２mmの位置に設置した場合は、水準センサは０．０２／１０００の傾斜を検知することができる。
粗レベル検出機構である傾斜センサユニット９はＸ軸傾斜振り子１２とＹ軸傾斜振り子１３を備えている。Ｘ軸傾斜振り子１２の下部には傾斜センサα１とα２が設けられている（本実施例では振り子の面の有無を検出する光センサが設けてある）。装置本体１のＸ方向水準が粗レベル許容値以内のときには傾斜センサα１とα２の両方がＯＦＦ信号を発生し、装置本体１が左右に傾き、Ｘ方向水準が粗レベル許容値から外れると一方の傾斜センサがＯＮ信号を発生する。Ｙ軸傾斜振り子１３の下部にはＸ軸と同様に傾斜センサβ１とβ２が設けられている。装置本体１のＹ方向水準が粗レベル許容値以内のときには両方がＯＦＦ信号を発生し、装置本体１が左右に傾き、Ｙ方向水準が粗レベル許容値から外れると一方の傾斜センサがＯＮ信号を発生する。振り子式傾斜センサの感度は振り子１２、１３の長さに比例する。振り子の長さを２００mm、振り子の端面から０．４mmの位置にセンサが配置されている場合には約０．４／２００＝２／１０００の傾斜をセンサが検知する。なお傾斜センサとして光センサを用いたが磁気センサ等を用いても良いことは言うまでも無い。
【００２０】
図４は本体１に対して右側に配置された高さ調整機構２（Ｈ３及びＨ４）の構造を示す側面図である。また、図５に高さ調整機構２の詳細構成を示す。
他の高さ調整機構２も向きの違いはあるが同様の構造である。高さ調整機構２のフレーム２１は本体１のフレーム（２点鎖線で表示）を下部から抱え込んでいる。フレーム２１には制御モータ２２が取付けられており、制御モータ２２の出力軸は継手２３を介して回転・直進変換機構２４の入力軸と連結されている。回転・直進変換機構２４は制御モータ２２の回転を直進変換機構２４の出力軸２５の直進運動に変換する。回転・直進変換機構２４はウオーム歯車機構とねじ機構の組み合わせから構成されている。また、回転・直進変換機構２４は制御モータ２２のトルクを出力軸２５の推力として外部に伝えるが、出力軸２５に軸方向の外力を加えても制御モータ２２を回転させることがないセルフロック機能を備えている。回転・直進変換機構２４の出力軸は自在継手２６を介してスライドブロック２７に連結され、スライドブロック２７には支持脚Ｈ３が結合されている。フレーム２１に取り付けられたガイドロッド２８はスライドブロック２７の動きを上下方向のみに拘束する働きをする。
【００２１】
制御モータ２２の背面側の軸２９には、軸２９の回転位置によってセンサ３１の入力光を遮る遮光板３０が取付けられている。遮光板３０は半円状となっており、制御モータ２２の１／２回転はセンサ３１を遮光し、残りの１／２回転は透光する。
【００２２】
スライドブロック２７にはセイサドグ３２が取付けられており、高さ調整機構２のフレーム２１側の上下に設けた２つのセンサ３３、３４によって、センサドグ３２の移動に伴って上限位置と下限位置を検出する構成となっている。すなわち、これらのセンサ３３、３４のうちのどちらか一方がＯＦＦすると、高さ調整機構２は非常停止状態となる。
【００２３】
図６に操作パネルの外観を示す。本操作パネルは前にも述べたようにペンダントスイッチタイプとしてあり、各ボタン等は次のように配置されている。信号ケーブル５１側を上側とすると、下側に、非常停止ボタン４１と表示機能付き警報ブザー４２が配置され、その上部に表示ランプ付き押しボタンが複数配置されている。本実施例では表示ランプ付き押しボタンは、下側から、電源ボタン４３、手動上昇ボタン４５、自動運転ボタン４４、手動下降ボタン４６、左奥（Ｈ１）選択ボタン４７、右手前（Ｈ３）選択ボタン４９、左手前（Ｈ２）選択ボタン４８、右奥（Ｈ４）選択ボタン５０の順に配置してある。この配置は自由に変更できることは言うまでもない。
【００２４】
図７から図１０に設置レベル調整自動運転の制御フローチャートを示す。
図７は自動調整運転制御の基本的なフローチャートを示したものである。自動調整運転を選択(６１)すると、プログラムは第１粗レベル調整（６２）、第２粗レベル調整（６３）、精レベル調整（６４）、支持脚支持力調整（６５）の順番に制御を実行し、自動調整運転を終了（６６）する。尚、本図では第1粗レベル調整、第２粗レベル調整を行うようにしているが、第１粗レベル調整は省略して第２粗レベル調整から調整を開始しても良い。
図８は第１粗レベル調整（６２）の制御内容である。第１粗レベル調整が開始（７１）すると、モータトルク(モータ推力とも言う)を低トルク(電流制御により行う)に設定する（７２）と共に、モータ速度を高速（モータに印加するパルスレートを制御する）に設定（７３）する。ここで、本実施例では装置本体重心位置が複数本設置した支持脚の略中央部に位置するものとしている。このとき、低トルクとは本実施例では高さ調整機構２の有効推力が装置重量を支持脚数で割った値（本実施例では装置重量の４分の１）よりもやや低い値となるトルクである。
【００２５】
その後、Ｈ１からＨ４までの全ての支持脚を突き出す方向にモータを駆動する（７４）。装置本体１の重心の水平面投影位置はほぼ装置の中心にあるため、装置本体１のレベルが出ていれば各支持脚Ｈ１からＨ４は装置重量のほぼ４分の１をほぼ均等に支持する。しかし、レベルが出ていないと本体１の重量は３本の脚で支持されるため1本の脚には殆ど荷重が作用せず、残り３本の脚には４分の１以上の荷重が作用している。従って、手順７４でＨ１からＨ４までの全ての支持脚を突き出す方向にモータを駆動すると装置重量の４分の１以上の荷重を支えている脚は動かず、支持している荷重が装置重量の４分の１以下の支持脚のみが伸長し、伸長につれて負担荷重が上昇する。その結果、各支持脚の支持荷重の分担が変化し、最終的に各支持脚の荷重負担が装置重量の約４分の１の値になったところで、全ての支持脚が伸長できなくなる。
【００２６】
この状態は高さ調整機構２の制御モータ２２に設けられた遮光板３０の動きをセンサ３１で検出して判断できる。例えば、制御モータ２２が入力パルス数４００パルスで１回転する場合には、半円の遮光板３０がセンサ３１の光を遮るのは２００パルス分であり、残りの２００パルス分は遮光しないため、モータ２２が回転している場合には２００パルス毎にセンサ３１の出力がＯＮからＯＦＦへ、ＯＦＦからＯＮへと交互に変化する。従って２００パルス以上のパルスが印加されたにもかかわらず、センサ３１の出力が変化しない場合にはモータ２２が停止状態にあると判断することができる。手順７５で全てのモータが停止状態になったことを判断し、モータ２２への通電を止めて（７６）、第１粗レベル調整が終了する（７７）。
【００２７】
なお、本実施例では装置本体の重心位置が、各支持脚の中央部に位置するとして説明したが、重心が一方側に片寄っている場合は、片寄りに応じて各支持脚毎に発生する駆動トルク(推力)を変えて制御すれば良い。すなわち、全体の支持脚３に加わるトルクの合計が本体１の荷重より小さな値になるように、各支持脚の駆動トルクを設定すればよい。このように、第１粗レベル調整は床面の凹凸による装置の傾きに関係無く、浮いた支持脚３が無いように調整するものである。
【００２８】
その後、第２粗レベル調整動作へと移行する（７８）。
【００２９】
なお、第１粗レベル調整では制御モータ２２のトルクを低トルクに設定し、制御モータ２２の停止状態を検出して第１粗レベル調整終了を判定したが、この方法の代わりに、各支持脚３に荷重センサを設け、その検出値を制御装置４にフィードバックして高さ調整機構２の推力を制御する方法もあるが、その方法を用いても本発明の趣旨と何ら異なるものではない。
【００３０】
図９に第２粗レベル調整動作（６３）の制御手順を示す。
先ず、モータ２２の出力トルクの限界値を高トルクに設定（１０２）し、モータの速度を中速に設定する（１０３）。最初にＸ軸の第２粗レベル調整を開始（１０４）する。ここではＸ軸傾斜センサα１とα２の出力状態をチェックする（１０５）。ここで、振り子１２がセンサα１とα２の両方を遮光し、ともにＯＦＦ状態にあればＸ軸の第２粗レベルの許容値内に装置のレベルが入っているため、手順は１１２に移行し、Ｘ軸第２粗レベル調整は終了する。もしもα１とα２のいずれかがＯＮ状態、例えば、左側のセンサα１がＯＮ状態の場合（１０６）は装置本体１が左側に傾いていることを示すため、この場合は左側の支持脚Ｈ１とＨ２を突き出す方向にモータ２２を回転させる（１０７）。逆にα２がＯＮ状態の場合は装置本体１が右側に傾いていることを示すため、この場合は右側の支持脚Ｈ3とＨ4を突き出す方向にモータ２２を回転させる（１１０）。いずれのケースにおいても、センサα１とα２の状態を監視し、センサの出力信号の状態が変化したことを検知したら（１０８及び１１１）モータ２２の回転を停止（１０９）してＸ軸の第２粗レベル調整を終了する（１１２）。その後、１１３から１１９の手順に従って、軸の第２粗レベル調整を実行する。ここでは、監視するセンサがβ１とβ２に変わり、同時に駆動する支持脚の組み合わせがＨ１とＨ４，またはＨ２とＨ３に変るが調整の手順はＸ軸と同様のため、説明を省略する。尚、第２粗レベル調整を始めるに当たって、各センサα１、α２、β１、β２が全てＯＦＦであれば、第２粗レベル調整を行わずに、精レベル調整に移行することは言うまでもない。
図１０に精レベル調整動作（６４）の制御手順を示す。
【００３１】
先ず、モータ２２の出力トルクの限界値を高トルクに設定（２０２）し、モータの速度を低速に設定する（２０３）。最初にＸ軸の精レベル調整を開始（２０４）する。ここでは、Ｘ軸水準センサＸ０、Ｘ１及びＸ２の出力状態をチェックする（２０５）。ここで、Ｘ軸水準器１０の気泡が略中央にあり、Ｘ０、Ｘ１及びＸ２が全てＯＮ状態にあればＸ軸の精レベルの許容値内に装置のレベルが入っているため、手順は２１２に移行し、Ｘ軸精レベル調整は終了する。もしもＸ１とＸ２のいずれかがＯＦＦ状態、例えば、左側のセンサＸ１がＯＦＦ状態の場合（２０６）は、装置本体１が左側に傾いていることを示す。この場合は左側の支持脚Ｈ１とＨ２を突き出す方向にモータ２２を回転させる（２０７）。逆にＸ２がＯＦＦ状態の場合は、装置本体１が右側に傾いていることを示す。この場合は右側の支持脚Ｈ3とＨ4を突き出す方向にモータ２２を回転させる（２１０）。いずれのケースにおいても、センサＸ１とＸ２の状態を監視し、センサの状態が変化したことを検知したら（２０８及び２１１）モータ２２の回転を停止（２０９）してＸ軸の精レベル調整を終了する（２１２）。その後、２１３から２１９の手順に従って、Ｙ軸の精レベル調整を実行する。ここでは、監視するセンサがＹ０、Ｙ１及びＹ２に代わり、同時に駆動する支持脚の組み合わせがＨ１とＨ４，またはＨ２とＨ３に変るが調整の手順はＸ軸と同様のため、説明を省略する。
【００３２】
なお、本実施例でモータ速度を低速、中速、高速としているがその割合は、低速を１とすると中速は２、高速は４程度にしている。なお、この速度変化の割合は本実施例に限られるものではない。
【００３３】
図１０に支持脚支持力調整の制御手順を示す。支持脚支持力調整が開始（３０１）すると、モータトルクを低トルクに設定（３０２）すると共に、モータ速度を低速に設定（３０３）する。その後の３０４から３０７の手順は第１粗レベル調整の手順と同じため、説明を省略する。なお、各支持脚が浮いた状態ではなく、装置本体の重量が略均等にかかっている場合は、本処理を行う必要は無い。
【００３４】
以上の手順を終了して、設置レベル調整が完了（３０８）する。
【００３５】
図１１に、第２粗レベル調整の他の実施例をフローチャートを示す。本実施例では、傾斜センサユニット９は使用せずに、Ｘ軸、及びＹ軸の水準センサのうちの中央のセンサＸ０、Ｙ０を粗レベル検出機構として使用するようにしたものである。このときのＸ軸水準センサＸ０の感度と精度はＸ１、又はＸ２とＸ０の距離が約１０目盛り離れており（約２０ｍｍ）移動する傾斜は０．２／１０００と高精度の検出センサの１０倍程度感度が下がる。又Ｙ軸水準センサＹ０も同程度の感度である。また、粗レベル検出時には、他のＸ軸水準センサＸ１、Ｘ２及びＹ軸水準センサＹ１、Ｙ２は装置の傾き方向を検出するために用いている。
【００３６】
先ず、モータ２２の出力トルクの限界値を高トルクに設定（４０２）し、モータの速度を中速に設定する（４０３）。最初にＸ軸の第２粗レベル調整を開始（４０４）する。ここではＸ軸水準センサＸ０の出力状態をチェックする（４０５）。ここで、Ｘ軸水準器１０の気泡が中央近くにあり、Ｘ０がＯＮ状態にあればＸ軸の第２粗レベルの許容値内に装置のレベルが入っているため、手順は４１２に移行し、Ｘ軸第２粗レベル調整は終了する。もしもＸ０がＯＦＦ状態にあり、左側のセンサＸ１もＯＦＦ状態の場合（４０６）は装置本体１が左側に傾いていることを示すため、この場合は左側の支持脚Ｈ１とＨ２を突き出す方向にモータ２２を回転させる（４０７）。逆にＸ２がＯＦＦ状態の場合は、装置本体１が右側に傾いていることを示すため、この場合は右側の支持脚Ｈ3とＨ4を突き出す方向にモータ２２を回転させる（４１０）。いずれのケースにおいても、センサＸ0の出力信号の状態を監視し、センサの出力信号の状態が変化したことを検知したら（４０８及び４１１）モータ２２の回転を停止（４０９）してＸ軸の第２粗レベル調整を終了する（４１２）。その後、４１３から４１９の手順に従って、Ｙ軸の第２粗レベル調整を実行する。ここでは、監視するセンサがＹ０、Ｙ１及びＹ２に変わり、同時に駆動する支持脚の組み合わせがＨ１とＨ４，またはＨ２とＨ３に変るが調整の手順はＸ軸と同様のため、説明を省略する。
【００３７】
以上は自動レベル調整の手順であるが、装置の高さを全体的に調整したい場合には、図５に示した操作パネル５の左奥（Ｈ１）選択ボタン４７、左手前（Ｈ２）選択ボタン４８、右手前（Ｈ３）選択ボタン４９、右奥（Ｈ４）選択ボタン５０の全てを選択し、手動上昇ボタン４５を押すと装置本体１全体が上昇し、手動下降ボタン４６を押すと装置本体１全体が下降する。また、４７から５０までのボタンの組み合わせを選択することにより、Ｈ１からＨ４までの任意の支持脚を手動昇降させることが可能である。
【００３８】
以上のように、本発明の構成とすることで、粗レベル調整を高速、又は中速で行い、精レベル調整を低速で行うようにしたため、制御系は安定に制御でき、かつ短時間にレベル調整を行うことが出来る。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、短時間に装置のレベル調整が可能な設置レベル調整機能付き装置を実現することが可能となり、また、レベル調整後に複数の装置の支持脚に、荷重が略均等に作用するような設置レベル調整機能付き装置を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の設置レベル調整機能付き装置の外観を示す斜視図である。
【図２】水準センサユニットの一構成例を示す斜視図である。
【図３】水準センサユニットに設けられたセンサの配置を示す平面図である。
【図４】装置本体に対して右前に配置された高さ調整機構の構造を示す側面図である。
【図５】図４の高さ調整機構の詳細を示した図である。
【図６】操作パネルの外観を示す正面図である。
【図７】本発明の全体動作のフローチャートである。
【図８】第１粗レベル調整の動作のフローチャートである。
【図９】第２粗レベル調整の動作のフローチャートである。
【図１０】精レベル調整の動作のフローチャートである。
【図１１】支持脚支持力調整の動作のフローチャートである。
【図１２】第２粗レベル調整の他の動作のフローチャートである。
【符号の説明】
１…装置本体、２…高さ調整機構、３…支持脚、４…制御装置、５…操作パネル、６…水準センサユニット、２２…制御モータ、２４…回転・直進変換機構、２６…自在継手、３０…遮光板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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