(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォーク部上に基板を水平に載置し、前記フォーク部を水平方向に移動させ、前記基板を搬送する基板搬送ロボットであって、
前記フォーク部の先端部分には、上部に斜面を有する突起部材が配置され、
前記基板を前記フォーク部の上方に位置させ、該基板を降下させたときに、前記基板は、端部が前記斜面上を滑りながら前記フォーク部上に載置されるように構成され、
前記フォーク部はアルミナで形成され、その表面にはアルミニウムの保護膜が形成された基板搬送ロボット。
【請求項２】
前記突起部材は、側面が前記フォーク部表面に垂直に配置された円柱形状の部分と、前記円柱形状の部分の上部底面上に設けられた円錐台形状の部分で構成され、前記円錐台形状の部分の側面が前記斜面として用いられる請求項１記載の基板搬送ロボット。
【請求項３】
フォーク部上に矩形の基板を水平に載置し、前記フォーク部を水平方向に移動させ、前記基板を搬送する基板搬送ロボットであって、
前記フォーク部の両脇には腕部が配置され、前記各腕部には、突部を有する保持部材が設けられ、
前記フォーク部上に前記基板を載置したときに、前記基板の三辺が前記突部に接触できるように構成され、
前記フォーク部はアルミナで形成され、その表面にはアルミニウムの保護膜が形成されたことを特徴とする基板搬送ロボット。
【請求項４】
前記各突部の上部には斜面が設けられ、
前記基板を前記フォーク部の上方に位置させ、前記基板を降下させたときに、前記基板は、端部が前記突部の前記斜面上を滑りながら前記フォーク部上に載置されるように構成された請求項３記載の基板搬送ロボット。
【請求項５】
前記フォーク部の先端部分には突起部材が配置され、前記フォーク部上に載置された前記基板の四辺のうち、前記突部に接触しない辺は、前記突起部材に接触できるように構成された請求項３又は請求項４のいずれか１項記載の基板搬送ロボット。
【請求項６】
根本部分が回転軸にそれぞれ取り付けられ、前記回転軸の回転によって伸縮する左腕と右腕と、
前記左腕と前記右腕の先端に設けられ、基板が載置されるフォーク部とを有し、
前記フォーク部上に四辺形の基板を水平に載置し、前記フォーク部を水平方向に移動させ、前記基板を搬送する基板搬送ロボットであって、
前記左腕と前記右腕にそれぞれ設けられた左保持部材と右保持部材と、
前記左保持部材と前記右保持部材にそれぞれ設けられた第一、第二の左突部と第一、第二の右突部とを有し、
前記第一の左突部と前記第一の右突部には、前記基板の四辺のうち前記回転軸に最近の一辺に接触可能で前記フォーク部表面に対して垂直な第一の垂直面と、前記第一の垂直面の上方に位置し、前記一辺に接触可能で前記フォーク部の先端に向けて傾斜された斜面とが形成され、
前記第二の左突部と前記第二の右突部には、前記一辺の左側の辺と右側の辺にそれぞれ接触可能で前記フォーク部表面に対して垂直な第二の垂直面と、前記第二の垂直面の上方に位置し、前記左側の辺と前記右側の辺に接触可能で前記フォーク部に向けて傾斜された斜面とが形成され、
前記基板を前記フォーク部の上方に位置させ、前記基板を降下させたときに、前記基板は、端部が前記突部の前記斜面上を滑りながら前記フォーク部上に載置されるように構成され、
前記フォーク部の先端部分には突起部材が配置され、前記フォーク部上に載置された前記基板の四辺のうち、前記突部に接触しない辺は、前記突起部材に接触できるように構成された基板搬送ロボット。
【請求項７】
前記突起部材には斜面が設けられ、
前記基板を前記フォーク部の上方に位置させ、前記基板を降下させたときに、前記基板は、端部が前記突部の斜面、又は前記突起部材の斜面のいずれか一方又は両方の斜面上を滑りながら前記フォーク部上に配置されるように構成された請求項５又は請求項６のいずれか１項記載の基板搬送ロボット。
【請求項８】
前記突起部材は、側面が前記フォーク部表面に垂直に配置された円柱形状の部分と、前記円柱形状の部分の上部底面上に設けられた円錐台形状の部分で構成され、前記円錐台形状の部分の側面が前記斜面として用いられる請求項７記載の基板搬送ロボット。
【請求項９】
前記フォーク部上には支持部材が配置され、前記基板は前記支持部材上に乗せられるように構成された請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載の基板搬送ロボット。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項９のいずれか１項記載の基板搬送ロボットが真空槽内に配置された搬送室。
【請求項１１】
請求項１０記載の搬送室と、該搬送室に接続された処理室であって、真空雰囲気中で前記基板の処理を行う処理室とを有する真空処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板搬送ロボットにかかり、特に、ガラス基板を搬送するのに適した基板搬送ロボットを提供する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、真空雰囲気中で基板を搬送するために、基板搬送ロボットは広く用いられている。
【０００３】
図１０(ａ)は、従来技術の基板搬送ロボットのフォーク部１１０の平面図であり、同図(ｂ)は側面図である。このフォーク部１１０は先端が二股に分かれており、その部分の表面には、凹部１１２が形成されている。
【０００４】
この凹部１１２は、円形のシリコン基板を落とし込めるような平面パターンに形成されている。図１０(ｃ)の符号１０５は、凹部１１２内に落とし込んだ状態のシリコン基板を示している。
【０００５】
この状態では、シリコン基板１０５の端部は、凹部１１２の壁面と接触するか、接触しているのに近い状態になり、フォーク部１１０を水平移動させても、シリコン基板１０５はフォーク部１１０上を滑らずに搬送されるようになっている。
【０００６】
しかしながら、近年用いられているガラス基板は上記のようなシリコン基板に比べて縁部分が破損しやすい。また、ガラス基板は矩形であるため、それを落とし込んで搬送できるような凹部を形成しようとすると、フォーク部が大型化するという問題がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、ガラス基板の搬送に適した基板搬送ロボットを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、フォーク部上に基板を水平に載置し、前記フォーク部を水平方向に移動させ、前記基板を搬送する基板搬送ロボットであって、前記フォーク部の先端部分には、上部に斜面を有する突起部材が配置され、前記基板を前記フォーク部の上方に位置させ、該基板を降下させたときに、前記基板は、端部が前記斜面上を滑りながら前記フォーク部上に載置されるように構成され、前記フォーク部はアルミナで形成され、その表面にはアルミニウムの保護膜が形成された基板搬送ロボットである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の基板搬送ロボットであって、前記突起部材は、側面が前記フォーク部表面に垂直に配置された円柱形状の部分と、前記円柱形状の部分の上部底面上に設けられた円錐台形状の部分で構成され、前記円錐台形状の部分の側面が前記斜面として用いられる基板搬送ロボットである。
請求項３記載の発明は、フォーク部上に矩形の基板を水平に載置し、前記フォーク部を水平方向に移動させ、前記基板を搬送する基板搬送ロボットであって、前記フォーク部の両脇には腕部が配置され、前記各腕部には、突部を有する保持部材が設けられ、前記フォーク部上に前記基板を載置したときに、前記基板の三辺が前記突部に接触できるように構成され、前記フォーク部はアルミナで形成され、その表面にはアルミニウムの保護膜が形成されたことを特徴とする基板搬送ロボットである。
請求項４記載の発明は、請求項３記載の基板搬送ロボットであって、前記各突部の上部には斜面が設けられ、前記基板を前記フォーク部の上方に位置させ、前記基板を降下させたときに、前記基板は、端部が前記突部の前記斜面上を滑りながら前記フォーク部上に載置されるように構成された基板搬送ロボットである。
請求項５記載の発明は、請求項３又は請求項４のいずれか１項記載の基板搬送ロボットであって、前記フォーク部の先端部分には突起部材が配置され、前記フォーク部上に載置された前記基板の四辺のうち、前記突部に接触しない辺は、前記突起部材に接触できるように構成された基板搬送ロボットである。
請求項６記載の発明は、根本部分が回転軸にそれぞれ取り付けられ、前記回転軸の回転によって伸縮する左腕と右腕と、前記左腕と前記右腕の先端に設けられ、基板が載置されるフォーク部とを有し、前記フォーク部上に四辺形の基板を水平に載置し、前記フォーク部を水平方向に移動させ、前記基板を搬送する基板搬送ロボットであって、前記左腕と前記右腕にそれぞれ設けられた左保持部材と右保持部材と、前記左保持部材と前記右保持部材にそれぞれ設けられた第一、第二の左突部と第一、第二の右突部とを有し、前記第一の左突部と前記第一の右突部には、前記基板の四辺のうち前記回転軸に最近の一辺に接触可能で前記フォーク部表面に対して垂直な第一の垂直面と、前記第一の垂直面の上方に位置し、前記一辺に接触可能で前記フォーク部の先端に向けて傾斜された斜面とが形成され、前記第二の左突部と前記第二の右突部には、前記一辺の左側の辺と右側の辺にそれぞれ接触可能で前記フォーク部表面に対して垂直な第二の垂直面と、前記第二の垂直面の上方に位置し、前記左側の辺と前記右側の辺に接触可能で前記フォーク部に向けて傾斜された斜面とが形成され、前記基板を前記フォーク部の上方に位置させ、前記基板を降下させたときに、前記基板は、端部が前記突部の前記斜面上を滑りながら前記フォーク部上に載置されるように構成され、前記フォーク部の先端部分には突起部材が配置され、前記フォーク部上に載置された前記基板の四辺のうち、前記突部に接触しない辺は、前記突起部材に接触できるように構成された基板搬送ロボットである。
請求項７記載の発明は、請求項５又は請求項６のいずれか１項記載の基板搬送ロボットであって、前記突起部材には斜面が設けられ、前記基板を前記フォーク部の上方に位置させ、前記基板を降下させたときに、前記基板は、端部が前記突部の斜面、又は前記突起部材の斜面のいずれか一方又は両方の斜面上を滑りながら前記フォーク部上に配置されるように構成された基板搬送ロボットである。
請求項８記載の発明は、請求項７記載の基板搬送ロボットであって、前記突起部材は、側面が前記フォーク部表面に垂直に配置された円柱形状の部分と、前記円柱形状の部分の上部底面上に設けられた円錐台形状の部分で構成され、前記円錐台形状の部分の側面が前記斜面として用いられる基板搬送ロボットである。
請求項９記載の発明は、請求項１乃至請求項８のいずれか１項記載の基板搬送ロボットであって、前記フォーク部上には支持部材が配置され、前記基板は前記支持部材上に乗せられるように構成された基板搬送ロボットである。
請求項１０記載の発明は、請求項１乃至請求項９のいずれか１項記載の基板搬送ロボットが真空槽内に配置された搬送室である。
請求項１１記載の発明は、請求項１０記載の搬送室と、該搬送室に接続された処理室であって、真空雰囲気中で前記基板の処理を行う処理室とを有する真空処理装置である。
【０００９】
本発明は上記のように構成されており、フォーク部の両脇に配置された腕部に、突部を有する保持部材が配置されている。
【００１０】
フォーク部上に矩形形状の基板を配置した場合、その基板の四辺のうち、三辺が突部に接触できるように構成されており、各突部により、基板がフォーク部に対して静止されるようになっている。基板の三辺は突部に近接して位置し、突部に接触できるようになっていればよく、必ずしも三辺が同時に突部に接触している必要はない。
【００１１】
また、フォーク部の先端には、突起部材が配置されており、基板の残りの一辺は、突起部材に接触できるようになっている。従って、基板の四辺が保持部材の突部又は突起部材に接触できるようになっており、矩形の基板はフォーク部上にしっかり保持されることになる。
【００１２】
また、保持部材や突起部材には斜面が設けられており、基板をフォーク部上に載置する際に、基板とフォーク部との相対的な位置がずれていた場合、フォーク部の上方に基板を静止させた状態から降下させると、基板の端部が斜面に当たり、基板が斜面上を滑り、フォーク部上に乗せられるようになっている。従って、基板の位置がずれていた場合でも、フォーク部上の正確な位置に載置することができる。
【００１３】
カーボン製の部材等の上を基板が滑り落ちる場合には、パーティクルが発生するので、突起部材や保持部材を耐熱性の樹脂で構成しておき、斜面上を基板が滑っても、パーティクルが発生しないようにするとよい。
【００１４】
また、本発明ではフォーク部上には耐熱性を有する支持部材が配置されており、基板は支持部材の上端部に接触した状態でフォーク部上に載置されるようになっている。従って、基板はフォーク部とは直接接触しないので、高温に加熱された基板を載置しても、フォーク部が高温に加熱されないようになっている。
【００１５】
更に、フォーク部はアルミナで構成され、その表面には輻射率の小さいアルミニウムから成る保護膜が形成されているので、基板から放射される輻射熱が大きくても、フォーク部を構成する材料が昇温しにくいようになっている。従って、基板の温度ムラが無くなり、反りが補正される。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１を参照し、符号１０は本発明の一例の基板搬送ロボットであり、搬送室５９内に配置されている。
【００１７】
この搬送室５９には、複数の処理室５１〜５５と、基板搬出入室５６とが接続されており、各室５１〜５９によってマルチチャンバ型の真空処理装置５０が構成されている。
【００１８】
基板搬送ロボット１０を説明すると、図２(ａ)を参照し、この基板搬送ロボット１０は、回転機構１７と、左腕１１及び右腕１２と、載置部１３とを有している。
【００１９】
回転機構１７内には図示しないモータが配置されており、該モータには回転軸１５が取り付けられている。回転軸１５は、二重構造になっており、筒状の外周部分と、その外周部分の内部に挿通された棒状の内部部分とで構成されている。外周部分と内部部分は、モータの回転力が同方向にも逆方向にも伝達されるように構成されており、逆方向に伝達された場合、外周部分と内部部分とは、反対方向に回転するように構成されている。
【００２０】
この回転軸１５の上端部分は、回転機構１７の上部に突き出されており、左腕１１の一端と右腕１２の一端とが、水平に配置された状態で、それぞれ外周部分と内部部分に接続されている。
【００２１】
左腕１１及び右腕１２は、それぞれ２個の部材１１1、１１2、１２1、１２2が連結されて構成されており、折れ曲げ可能になっている。
【００２２】
左腕１１の他端と右腕１２の他端とは、１個の載置部１３に取り付けられており、左腕１１と右腕１２の根本の部材１１1、１２1が互いに反対方向に回転する場合、左腕１１及び右腕１２は折り畳まれるか、又は折り畳まれた状態が元に戻され、その結果、載置部１３が水平方向に直線的に移動するようになっている。他方、左腕１１及び右腕１２が同方向に回転する場合、載置部１３は、水平面内で回転移動するようになっている。
【００２３】
載置部１３を説明すると、該載置部１３は、取付板１４と、フォーク部２２とを有している。載置部１３は、取付板１４が左腕１１及び右腕１２に取り付けられており、フォーク部２２は、水平に配置され、板２１を介して取付板１４に取り付けられている。
【００２４】
図２(ｂ)は、上記の基板搬送ロボット１０が配置された搬送室５９と、該搬送室５９に接続された処理室５１〜５５との関係を示す図である。
【００２５】
各処理室５１〜５５内には、基板載置台６４が配置されており、該基板載置台６４には、昇降ピン６５が挿通されている。
【００２６】
搬送室５９と各処理室５１〜５５の間に配置された隔壁６２には、開閉可能な通路６３が設けられており、回転機構１７を動作させ、載置部１３を水平方向に直線移動させると、フォーク部２２が通路６３を通過し、処理室５１〜５５内を出入りできるようになっている。
【００２７】
上記フォーク部２２の付近Ａの拡大図を図３に示す。
図３を参照し、フォーク部２２は、アルミナから成り先端側が二股に分かれた板で構成されており、その表面には、アルミニウム等の輻射率の小さな材料から成る保護膜２７が形成されている。
【００２８】
図中、二股に分かれた部分のうち、一方の二股部分を符号２６ａで示し、他方の二股部分を符号２６ｂで示す。各二股部分２６ａ、２６ｂの保護膜２７上には、支持部材２５1〜２５8と突起部材２８ａ、２８ｂとがそれぞれ配置されている。
【００２９】
支持部材２５1〜２５8は、各二股部分２６ａ、２６ｂ上に離間してそれぞれ４個ずつ固定されており、また、突起部材２８ａ、２８ｂは各二股部分２６ａ、２６ｂの先端付近の位置に固定されている。
【００３０】
図４に、支持部材２５1〜２５8の斜視図を示す。支持部材２５1〜２５8は、カーボンが有底円筒形状に成形されて構成されており、ねじ３７によって、底面がフォーク部２２上にねじ止め固定されている。
【００３１】
ねじ３７の上端は、支持部材２５1〜２５8の上端よりも低い位置に存しており、
【００３２】
支持部材２５1〜２５8上に後述する基板を乗せたときに、基板はねじ３７には接触しないようになっている。
【００３３】
図５に、突起部材２８ａ、２８ｂの拡大斜視図を示す。図６に、突起部材２８ａ、２８ｂ及びフォーク部２２の断面図を示す。突起部材２８ａ、２８ｂは、ポリイミド等の耐熱性樹脂が略円柱形状に成形されて構成されており、その一方の底面がフォーク部材２２の保護膜２７表面に密着されている。他方の底面は、フォーク部２２の鉛直上方を向いており、その先端部分は面取り成形され、その結果、突起部材２８ａ、２８ｂには、円柱形状の部分３４と円錐台形状の部分３５とが構成されている。
【００３４】
円柱形状の部分３４の側面４８1はフォーク部２２表面に対して垂直になっており、他方、円錐台形状の部分３５の外周部分により、突起部材２８ａ、２８ｂの中心位置から外方に向けて傾斜された斜面４８2が構成されている。側面４８1と斜面４８2とは、突起部材２８ａ、２８ｂの全周に亘って設けられている。
【００３５】
円柱形状の部分３４の底面には、ねじ部３９が設けられており、突起部材２８ａ、２８ｂは、フォーク部２２に設けられたねじ穴２９に、ねじ部３９によってねじ止め固定されている。
【００３６】
突起部材２８ａ、２８ｂの斜面４８2は、上述したように、全周に亘って設けられているから、ねじ止めする際に、突起部材２８ａ、２８ｂが静止した向きによらずに、斜面４８2には、フォーク部２２の根本方向に面する部分が存している。
【００３７】
次に、再度図３を参照し、フォーク部２２の両脇には、それぞれ腕部２３ａ、２３ｂが配置されている。
【００３８】
この腕部２３ａ、２３ｂは、金属の棒である、水平にされた状態で、一端が取付板１２にそれぞれ取り付けられている。
この腕部２３ａ、２３ｂは、フォーク部２２の両脇に、フォーク部２２とは離れた位置に配置されており、フォーク部２２の根本付近であって、各腕部２３ａ、２３ｂのフォーク部２２と面する位置に、保持部材２４ａ、２４ｂが取り付けられている。
【００３９】
腕部２４ａ、２４ｂのうち、図３の上部に記載された腕部２４ａの先端部分Ｂの拡大図を図７に示す。
【００４０】
保持部材２４ａ、２４ｂはポリイミド等の耐熱性樹脂で構成されており、各保持部材２４ａ、２４ｂのフォーク部２２に対向する部分には、その耐熱性樹脂から成り、フォーク部２２側にそれぞれ突出された大突部３１と小突部３２、３３が設けられている。大突部３１の突出量は、小突部３２、３３よりも大きくなっている。
【００４１】
各突部３１〜３３は、腕部２３ａ、２３ｂの長手方向に沿って列設されている。各突部３１〜３３のうち、大突部３１は、フォーク部２２先端の突起部材２８ａ、２８ｂから最も離れた位置に配置されており、小突部３２、３３は、大突部３１よりも突起部材２８ａ、２８ｂに近い位置に配置されている。
【００４２】
大突部３１の、フォーク部２２先端方向に向いた部分は、フォーク部２２の表面に対して垂直な側面４１1が形成されており、また、大突部３１の上端部分であって、側面４１1と連続した部分には、フォーク部２２の先端に向けて傾斜された斜面４１2が設けられている。
【００４３】
各小突部３１、３２は、フォーク部２２に面する部分に、フォーク部２２表面に対して垂直な側面４２1、４３1がそれぞれ設けられており、また、各突部３１、３２の上端の側面４２1、４２2と連続した部分には、フォーク部２２に向けて傾斜された斜面４２2、４３2が設けられている。
【００４４】
図３紙面の上部に記載された保持部材２４ａは上記のような構成であり、同図の下部に記載された保持部材２４ｂも、上記保持部材２４ａと同様の構成になっている。各保持部材２４ａ、２４ｂの突部３１〜３３は、それぞれフォーク部２２に向けられており、２個の保持部材２４ａ、２４ｂの突部３１〜３３同士は、フォーク部２２を間に挟んで向かい合わせになっている。
【００４５】
各突部３１〜３３の高さは、側面４１1〜４３1の下端部がフォーク部２２表面と同じ高さかそれよりも低く、斜面４１2〜４３2がフォーク部２２表面よりも高い位置に存するように配置されている。
【００４６】
また、突起部材２８ａ、２８ｂは、フォーク部２２の表面上に配置されているから、突起部材２８ａ、２８ｂと各突部３１〜３３で定められる領域内のフォーク部２２表面に矩形形状の基板を配置する場合、その基板の大きさは、一辺が大突部３１と突起部材２８ａ、２８ｂの間の間隔で決まり、他の辺が２個の保持部材２４ａ、２４ｂの小突部３２、３３の間の間隔で決まる。
【００４７】
図８の符号８は、上記のようなフォーク部２２上に載置可能な大きさの矩形形状の基板を示している。
【００４８】
図２(ｂ)は、その大きさの基板８が、昇降ピン６５の先端に乗せられた状態を示している。
【００４９】
次いで、左腕１１及び右腕１２を伸ばし、フォーク部２２を昇降ピン６５間に差し挟む。図９(ａ)は、フォーク部２２が基板８の直下位置で静止している状態を示している。
【００５０】
この状態から昇降ピン６５を降下させ、基板８をフォーク部２２上に載置する場合、基板８がフォーク部２２の根本側(板２１側)にずれていると、図９(ｂ)の符号Ｄで示すように、基板８の端部が保持部材２４ａ、２４ｂの大突部３１の斜面４１2に当接される。
【００５１】
昇降ピン６５が更に下方に移動されると、基板８は斜面４２2を滑りながら下方に移動し、同図(ｄ)に示すように、支持部材２５上に乗せられる。
【００５２】
基板８が支持部材２５上に乗った状態では、基板８の四辺は、２個の保持部材２４ａ、２４ｂの大突部３１の側面４１1と小突部３２、３３の側面４２1、４３1と、２個の突起部材２８ａ、２８ｂの側面４８1に接触するか、非接触であっても非常に近接して位置している。従って、基板８は、保持部材２４ａ、２４ｂと突起部材２８ａ、２８ｂによって保持されていることになり、左腕１１及び右腕１２が伸縮し、フォーク部２２が水平移動しても、基板８は、フォーク部２２に対して静止した状態が維持される。
【００５３】
他方、基板８がフォーク部２２の先端側にずれていた場合、同図(ｃ)の符号Ｅで示すように、基板８の端部が突起部材２８ａ、２８ｂの斜面４８2に当接され、斜面４８2上を滑りながら下方に移動し、支持部材２５上に乗せられる(同図(ｄ))。
【００５４】
また、基板８が、フォーク部２２の長手方向に対し、垂直方向にずれていた場合、基板８の端部は小突部３２、３３の斜面４２2、４３2に当接され、その斜面４２2、４３2を滑りながら移動し、支持部材２５(２５1〜２５8)に乗せられる。結局、基板８が斜面４１2〜４３2、４８2に当接できる範囲であれば、位置ズレがあってもフォーク部２２上の定まった位置に配置されることになる。
【００５５】
大突部３１や小突部３２、３３、及び突起部材２８ａ、２８ｂは耐熱性の樹脂で構成されており、基板８の端部が、いずれの斜面４１2〜４３2、４８2上を滑ってもパーティクルは発生しないようになっている。
【００５６】
この基板８は、処理室５１〜５５内で、スパッタリングやエッチング等の真空処理がされており、４００℃以上の温度に昇温されている。基板８は、フォーク部２２上では、支持部材２５1〜２５8上に乗せられている。支持部材２５1〜２５8はカーボン製であり、耐熱性が高いので、基板８によって加熱されても変形しない。また、真空中であるから、支持部材２５1〜２５8が高温になっても、酸素と反応することはない。
【００５７】
更に、アルミナ製のフォーク部２２の表面には、アルミニウムから成る保護膜２７が形成されているので、基板８の熱輻射は保護膜２７によって反射され、フォーク部２２が昇温しにくいようになっている。従って、基板の温度ムラが無くなり、反りが補正される。
【００５８】
なお、上記真空処理装置５０は、一つの搬送室５９に対し、複数台の処理室５１〜５５が接続されたマルチチャンバ型であったが、本発明の真空処理装置はそれに限定されるものではなく、搬送室に１台の処理室が接続された真空処理装置も含まれる。
【００５９】
また、上記基板搬送ロボット１０は、二本の腕(左腕１１と右腕１２)が折れ曲がることで伸縮し、フォーク部２２上の基板８を搬送する構造であったが、本発明の基板搬送ロボットは腕の本数によって限定されるものではない。
【００６０】
【発明の効果】
本発明によれば、基板とフォーク部の相対位置がずれていても、フォーク部の所定位置に基板を載置することができる。また、基板が高温であっても、フォーク部上に載置して搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の真空処理装置の一例
【図２】(ａ)：本発明の基板搬送装置の一例    (ｂ)：搬送室と処理室の関係を説明するための図
【図３】本発明の基板搬送装置のフォーク部とその周辺の拡大斜視図
【図４】支持部材の拡大斜視図
【図５】突起部材の拡大斜視図
【図６】突起部材の断面図
【図７】保持部材の拡大斜視図
【図８】フォーク部に基板を乗せた状態を説明するための図
【図９】(ａ)〜(ｄ)：基板が斜面上を滑る状態を説明するための図
【図１０】従来技術の基板搬送装置のフォーク部を説明するための図
【符号の説明】
８……基板
１０……基板搬送ロボット
２２……フォーク部
２３ａ、２３ｂ……腕部
２４ａ、２４ｂ保持部材
２５1〜２５8……支持部材
２７……保護膜
２８ａ、２８ｂ……突起部材
３１〜３３……突部
３４……円柱形状の部分
３５……円錐台形状の部分
４１2〜４１3、４８2……斜面
５０……真空処理装置
５９……搬送室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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