(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超臨界領域の水の環境下で被処理物を反応させて処理するための高圧反応容器において、
一方側から高圧水を入れるための水入口と前記一方側より上の方向になる他方側から前記高圧水を出すための水出口と該水出口から出されると臨界温度以上の温度に加熱されると共に酸素が加えられる前記高圧水を前記他方側から再度入れるための水再入口と前記被処理物を前記他方側から入れるための原料入口と前記被処理物が反応処理された後の流体を前記一方側から出すための流体出口とを備えた耐圧容器と、前記一方側の端から前記他方側に向けて該他方側の端の近くまで前記耐圧容器との間で仕切られた外側空間を形成するように前記耐圧容器の内側に設けられた中間仕切体と、前記他方側の端から前記一方側に向けて途中まで延設され前記反応のための反応部となるように仕切られた内側空間を形成すると共に前記中間仕切体との間で間隙を形成するように前記中間仕切体の内側に設けられた内側仕切体と、前記間隙における流体の導通を制限するように前記間隙の前記上の方向の端に設けられるシール手段と、を有し、前記水入口と前記水出口とは前記外側空間に導通するように設けられ、前記水再入口と前記原料入口と前記流体出口とは、加熱されると共に酸素が加えられる前記高圧水と前記被処理物とが反応して発熱し超臨界温度に到達して前記超臨界領域の水の環境を現出させるために、前記内側空間に導通するように設けられている、ことを特徴とする高圧反応容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水の超臨界領域の環境下で被処理物を反応処理するための高圧反応容器に関し、難分解性有機物の分解処理に好都合に利用される。
【０００２】
【従来の技術】
高圧反応容器としては、従来、外筒内に先端の開口した内筒を入れた二重管構造のものが知られている（例えば特開平７ー３１３９８７号公報参照）。このような高圧反応容器では、水をポンプで臨界圧力以上に加圧すると共にヒータで加熱し、これを外筒の後端側から内外筒間で形成する外側空間に入れて先端側に送り、その間に内筒側から熱を吸収させ、臨界温度近傍の温度まで昇温させ、反転させて内筒に入れ、一方、内筒に先端側から被処理物を含有する原水及び酸化剤による酸素を入れ、高温に加熱された水と原水及び酸素が混合されることにより、水の臨界領域近傍以上の環境下において原水中の被処理物と酸素とを内筒内で酸化反応させ、被処理物を分解しつつ分解時の発熱によって原水を臨界温度以上の高温になった反応流体にし、これを後端側から導入される前記水と熱交換させて冷却し、後端から排出することにより、被処理物を酸化処理することができる。このような超臨界領域近傍以上の環境における反応を利用した装置によれば、被処理物が難分解性の有害有機物を含む場合であっても、これを無害な分子等に分解して排水することができる。
【０００３】
しかしながら、このような高圧反応容器には次のような諸問題があった。即ち：
▲１▼  外筒内に導入された水を基本的に内外筒間の熱交換を最終段階として超臨界温度まで昇温させなければならないため、外筒への導入前に水を相当の温度まで予熱する必要があった。そのため、反応流体から除去できる熱量が少なくなり、超臨界状態から凝縮する水量が少なかった。その結果、凝縮水によって反応生成物である無機塩等のスケール成分を流し出す効果が小さく、反応容器へのスケール付着量が多かった。又、反応容器内における熱回収効率も低かった。
▲２▼  上記のように目的とする最終温度を得るために水を予熱するが、このときには、反応容器内での熱吸収による水の温度上昇を予測して予熱器を温度制御する必要がある。そのため、温度制御が間接的になり、目的とする最終温度を精度良く制御できなかった。従って、設定温度の変更等も容易でなく、運転の自由度に欠けていた。
▲３▼  内筒の先端側では、反応部の熱が内筒壁を介して水側に伝達されるため、反応温度が下がり易く反応条件に悪影響を与えていた。
▲４▼  外筒内で水が加熱されて温度が高くなると共に、反応部が外筒に開口し双方が導通しているため、被処理物によって外筒の内側表面が腐食され易い。そのため、高圧になる外筒に耐蝕性の大きい高級材料を使用すると共に、腐食を考慮した余分の厚み付与しなければならず、製品コストが高くなっていた。
【０００４】
上記の諸問題の一部分を解決できる高圧反応容器としては、内外筒間を均圧化し、内筒を耐圧容器にすることなく外筒の腐食を防止し、コスト低減を図ったものが提案されている（特開平９ー８５０７５号公報参照）。しかしながら、この容器の特長は耐圧性能と耐蝕性能とを分離した点に止り、この容器では、熱的性能の向上やスケール付着の軽減等について全く考慮されていない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は従来技術に於ける上記問題を解決し、耐圧部分の耐蝕性を軽減して低コスト化を図ると共に、熱的性能が良く、スケール付着が軽減され、運転操作の自由度の高い高圧反応容器を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、請求項１の発明は、超臨界領域の水の環境下で被処理物を反応させて処理するための高圧反応容器において、
一方側から高圧水を入れるための水入口と前記一方側より上の方向になる他方側から前記高圧水を出すための水出口と該水出口から出されると臨界温度以上の温度に加熱されると共に酸素が加えられる前記高圧水を前記他方側から再度入れるための水再入口と前記被処理物を前記他方側から入れるための原料入口と前記被処理物が反応処理された後の流体を前記一方側から出すための流体出口とを備えた耐圧容器と、前記一方側の端から前記他方側に向けて該他方側の端の近くまで前記耐圧容器との間で仕切られた外側空間を形成するように前記耐圧容器の内側に設けられた中間仕切体と、前記他方側の端から前記一方側に向けて途中まで延設され前記反応のための反応部となるように仕切られた内側空間を形成すると共に前記中間仕切体との間で間隙を形成するように前記中間仕切体の内側に設けられた内側仕切体と、前記間隙における流体の導通を制限するように前記間隙の前記上の方向の端に設けられるシール手段と、を有し、前記水入口と前記水出口とは前記外側空間に導通するように設けられ、前記水再入口と前記原料入口と前記流体出口とは、加熱されると共に酸素が加えられる前記高圧水と前記被処理物とが反応して発熱し超臨界温度に到達して前記超臨界領域の水の環境を現出させるために、前記内側空間に導通するように設けられている、ことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１は本発明を適用した高圧反応容器の構造例及びこのような高圧反応容器の機能を発揮させることができる超臨界反応装置の全体構成の一例を示す。
高圧反応容器は、超臨界領域である圧力２１８気圧、温度３７４℃以上の領域の水の環境下で有害有機物等の被処理物を反応させて処理するためのものであり、外筒１ａ並びにその一端及び他端になる蓋１ｂ及び１ｃで構成された耐圧容器１、その内側に設けられた中間仕切体としての中間筒２、更にその内側に設けられた内側仕切体としての内筒３、シール手段としてのシール材４、等によって構成されている。
【０００８】
耐圧容器１は、一方側である蓋１ｂ側から高圧水を入れるための水入口５、他方側である蓋１ｃ側から高圧水を出すための水出口６、高圧水を蓋１ｃ側から再度入れるための水再入口７、被処理物として難分解性有機物等を含む廃液を蓋１ｃ側から入れるための原料入口である廃液入口８、廃液が反応処理された後の流体を蓋１ｂ側から出すための流体出口９、等を備えている。耐圧容器１の主要部分となる外筒１ａには、通常程度の耐蝕性を備えた材料として例えば厚肉のステンレス鋼管にフランジを付けた管ピースが用いられる。蓋１ｂ、１ｃには例えばインコロイ（商標名）のような高耐蝕性材料が用いられる。なお、蓋１ｂ、１ｃとしては、フランジに代えて耐圧性及び気密性のあるネジ継手状部材も好都合に０用される。
【０００９】
中間筒２は、蓋１ｂ側の端である蓋１ｂから蓋１ｃ側に向けてその端である蓋１ｃの近くまで耐圧容器１との間で仕切られた外側空間である外側流路１０を形成するように設けられている。中間筒２も蓋と同様に高耐蝕性材料で出来ている。内筒３は、蓋１ｃ側の端である蓋１ｃから蓋１ｂ側に向けて途中まで延設され反応のための反応部になるように仕切られた内側空間としての反応部１１を形成すると共に中間筒２との間で間隙１２を形成するように導設されている。内筒３の延設された先端３ａから蓋１ｂまでの中間筒２の内側空間は冷却部１３になる。内筒３も中間筒２と同材質のものである。
【００１０】
内筒３の長さは、取り扱う被処理物の種類、導入する高圧水の温度や圧力、これらの流量、その他の反応の諸条件によって異なり、実際の装置に適合するように定められる。この長さは、内筒３内で反応がほぼ完了する程度であってもよいが、できれば冷却部１３による冷却作用が反応に悪影響を及ぼさないように長めに設けられることが望ましい。又、必要によってはバッチ処理試験を行い、反応に必要な内部流体の滞留時間を求め、処理量と流速からその滞留時間を満足する長さを定めるようにしてもよい。一方、内筒の先端３ａから蓋１ｂまで形成された冷却部１３の長さは、耐圧容器１の長さと先端３ａの位置とによって決まる。この場合冷却部１３の長さは、冷却効果の点からは長い方がよいが、これを長くすると耐圧容器１や中間筒２の長さが長くなって装置コストが高くなるので、これらの兼ね合いから実際の設計等において最適なように定められる。
【００１１】
シール材４は、間隙１２における流体の導通を制限する。即ち、高圧反応容器内の各部分は同じ高圧条件になっているが、内部流体の流れ方向ではある程度の圧力差を持つので、本例では、シール材４を内筒３に固定して中間筒２側に圧接させることにより、外側流路１０と反応部１２及び冷却部１３との間の導通を遮断している。この場合、中間筒２と内筒３との間は運転時と冷態時とで相互に反対方向に膨張／収縮するので、シール材４の部分で多少の漏れを生ずる可能性があるが、このような漏れは実質的に問題になることなく許容される。なお、シール手段としては例えばラビリンスシールのように少量のリークを前提とした構造のものや、中間筒２又は内筒３の一部分に縮管部又は拡管部を設けることによってシールするような構造のもの等であってもよい。
【００１２】
このような構造において、水入口５と水出口６とは外側流路１０に導通するように設けられ、水再入口７と廃液入口８と流体出口９とは反応部１１に導通するように設けられている。なお、本例では水再入口７と廃液入口８とをそれぞれ別々に設けているが、このようにすれば、後述する廃液の酸化反応を反応部１１に入ってから開始させることができる。但し、これらに導入される管系を入口の近傍で共通の１ラインにし、入口７、８を１つの入口にしてその数を減らし、蓋の解放を容易にすることも可能である。
【００１３】
このような高圧反応容器を作動可能にする超臨界反応装置は、脱気水又は清浄水を水入口５に高圧で圧送するポンプ２０、外部で熱回収を図る熱回収器２１、水出口６から出た高圧水を更に高温まで必要に応じて自由に加熱し加熱後の高温高圧水を水再入口７に供給できる加熱器２２、加熱器２２の入口部もしくは出口部又はこれらの両方に酸化剤等によって酸素を供給する酸素供給系２３、加熱器２２の出口の高圧高温水の温度又は反応温度を制御するための温調器２４、図示しないポンプによって廃液入口８に廃液を供給する廃液供給系２５、これにアルカリ剤を注入するアルカリ剤注入系２６、流体出口９から出た流体を導入して液体、水、蒸気、固体及び非凝縮性ガスを分離する気液固分離器２７、これから分離された気体を前記熱回収器２１を通過させて導入し水蒸気を凝縮させ非凝縮性ガスを分離する第１フラッシュタンク２８、その前に設けられ上流側の圧力を高圧に維持して下流側を減圧するための第１定圧弁２９、液を通過させるドレンセパレータ３０、上流側の系を高圧に維持して下流側を減圧するための第２定圧弁３１、高温高圧水を大気圧近傍の圧力まで減圧して水蒸気をフラッシュ蒸発させる第２フラッシュタンク３２、この中の圧力を低圧に維持するための水蒸気及びガス排出管３３、等によって構成されている。第１及び第２フラッシュタンク２８、３２には、それぞれ水蒸気及び非凝縮ガス出口２８ａ並びに非溶解固体を含む液出口３２ａが設けられている。
【００１４】
以上のような超臨界反応装置は次のように運転され、その中で高圧反応容器は次のような作用をする。
ポンプ２０が運転され脱気水又は清浄水が圧送される。定圧弁２９、３１は、その上流側の圧力を水の超臨界圧力として例えば２３０気圧程度に維持する。このようにポンプ２０から常温で超臨界圧で圧送される清浄な高圧水は、熱回収器２１で気液分離器２７から排出される気体を冷却することによってその熱を回収し、ある程度温度上昇して外側流路１０に導入され、その上流側部分で冷却部１３内の反応後の高温流体を冷却し、それによって例えば２００°Ｃ程度まで昇温され、更に外側流路１０で昇温してその水出口６から３００℃程度で排出され、加熱器２２及び温調器２４で臨界温度である３７４°Ｃ以上に加熱されると共に酸素を注入され、超臨界状態となって水再入口７から今度は高圧反応容器の反応部１１内に入れられる。
【００１５】
このような超臨界水の流れと並行して、難分解性有機物を含む廃液がアルカリ剤と共に廃液入口８から反応部１１内に入れられ、この中で超臨界水と接触して一挙に昇温する。その結果、水の超臨界状態の環境下で廃液中の有機物等が酸素と反応して発熱し、混合流体は超臨界温度に到達する。そして、このような高温環境が維持されることにより、流入する廃液の全体において酸化反応が完結し、難分解性の有害有機物は、ＣＯ2 、Ｎ2 、ＳＯ2 、ＨＣＬ等の超臨界状態のガスや無機物に分解され、酸はアルカリと反応して塩を生成する。この場合、本発明では、内筒と中間筒との間にシール材４でシールされた間隙１２を設けているので、間隙１２が上記ガスで充満され、反応部１１と外部空間１０との間に断熱効果が生じ、反応部１１内の温度低下が抑制され、反応条件として必要な高温状態が良好に維持される。なお、アルカリ剤は、廃液中に塩素等の酸生成成分が含まれる場合に生成した塩酸等の酸を中和して塩にし、腐食を防止するためのものである。
【００１６】
超臨界条件で酸化反応した後の流体は、上記の如く超臨界状態の水を主成分としてこれに生成した各種ガス及び析出した小量の無機固形物が混在した状態になっている。このような流体は、前述の如く外側流路１０を流れる高圧水によって冷却部１３内で冷却される。その場合、外側流路１０を流れる高圧水が比較的低温であるため冷却効率が良いので、冷却部１３をある程度長くとることにより、反応後の流体を例えば３００°Ｃ程度の臨界温度より低い温度まで冷却し、そのうちの相当量を復水させることができる。
【００１７】
一方、酸化反応によって生成した前記無機物の一部は、反応直後にはドライな状態のミクロン単位の大きさの粉体になっているが、冷却部で冷却されると、付着性を持ったスケール成分になる。しかし、上記のように超臨界水が冷却されその相当量が復水して水になるため、この水と共に外部に排出される。その結果、中間筒内部へのスケールの付着が少なくすることができる。
【００１８】
排出された流体は気液分離器２７に入り、その上方及び下方からそれぞれガスと水及び固形分として取り出される。ガスは前記の如く熱回収器２１を通過して高圧水を予熱することによって冷却され、定圧弁２９を通過して大気圧近くまで減圧され、第１フラッシュタンク２８の水中に噴出されてそのエネルギーを吸収された後、ガス出口２８ａから排出される。ガスに随伴して導入された水蒸気は、凝縮して液出口２８ｂから排出される。
【００１９】
水及び固形分はドレンセパレータ３０及び定圧弁３１を介して第２フラッシュタンク３２内に噴出される。この中で発生した水蒸気及び水中に混在してして分離されたガスは、ガス出口３２ｂから排出され第１フラッシュタンク２８に導入される。水及び固形分は液出口３２ａから排出される。なお、図示していないが、第１、第２フラッシュタンク内の水は冷却管等によって冷却されている。又、これらから排出された水を、脱気、ＰＨ調整、軟水化等の必要な処理をした後、ポンプ２０に供給する清浄水として再使用してもよい。
【００２０】
以上のように運転される超臨界反応装置において、本発明を適用した高圧反応容器によれば、外側流路１０において冷却部１３の高温流体から吸熱した高圧水を、従来のように反転させて内側の反応部に入れることなく、その全量を一度外部に出して加熱器２２によって再加熱するので、反応部１１に入れる前に高圧水を確実に臨界温度近傍の温度又はそれ以上の十分高い温度まで昇温させ、反応開始に必要な温度条件に確実に到達させることができる。又、加熱器２２により、処理対象物等によってある程度変化する可能性のある反応条件に適合するように、容易且つ自在に最終温度を設定できるので、運転のフレキシビリティを得ることができる。
【００２１】
又、このように高圧水を加熱器２２で最終加熱するので、高圧反応容器内ではこれを臨界温度まで昇温させなくてもよいため、従来のように容器内へ導入される高圧水を特別の加熱器によって高い温度まで予熱する必要がない。本例では熱回収器２１で排熱回収をしている程度である。従って、反応後の高温流体は外側流路１０内の比較的温度の低い高圧水によって冷却されることになり、冷却部における伝熱温度差が大きくなって冷却効果が良くなる。その結果、冷却部１３をある程度の長さにするだけで、熱回収によって反応流体を従来よりも低い温度まで下げ、その相当量を復水させることができる。従って本発明によれば、耐圧容器や中間筒をそれ程長くすることなく、装置コストを抑えて熱的性能を向上させることができる。
【００２２】
更に、高圧反応容器に三重部分を設けて間隙１２を形成させているので、この部分に反応ガスを充満させて断熱効果を発揮させ、反応部の流体と外側の高圧水との間の熱伝達を制限し、反応部１１内の超臨界状態にある高い温度を維持し、良好な反応条件を持続させることができる。又、外側流路１０内には高圧水のみを流し、この中に廃液や酸素を入れないと共に、従来のように高圧水が反応水と導通する開口反転部がなくその部分での反応水との混合のおそれがないので、耐圧容器１の外筒１ａの内部が廃液中の成分や反応生成物及び酸素によって腐食されることがない。その結果、外筒１ａに高級な耐蝕材料を使用しなくてもよくなると共に、腐食のための余分の厚みを付与する必要もなくなる。
【００２３】
一方、中間筒２及び内筒３は反応生成物等によって腐食作用を受けるので、これらに対しては高耐蝕性材料を使用する必要がある。しかし、高圧反応容器内は定圧弁２９、３１によって全体的にほぼ同じ圧力になっているので、中間筒２及び内筒３には殆ど圧力による周応力が生じない。従って、これらに対しては厚みの薄い材料を用いることができる。その結果、全体として高圧反応容器のコスト低減を図ることができる。
【００２４】
そして更に、外側流路１０には前記の如く廃液が流れないため、スケール成分がなくその壁面へスケールが付着することがない。一方、中間筒２の内部では、前述の如く冷却効果の向上によって臨界状態の流体の復水量が多くなるので、冷却されて付着性の生じたスケール成分の多くを復水と共に多く外部に排出することができる。その結果、中間筒内部へのスケールの付着が少なくなる。なお、加熱器２２に送られる高圧水は非凝縮性ガスを含まないので、反応流体との熱交換や加熱器における加熱において熱交換効率が良い。
【００２５】
図２は、高圧反応容器にスケール対策用の構造部分としてガイド筒１４及びスケール剥離部材１５を設けた例を示す。
ガイド筒１４は、反応部１１内の反応後の流体が中央部分から噴出するように案内する。その結果、流体中に存在する反応によって生成した灰状のスケール成分が、冷却部１３内で既に冷却され液化した流体のある下方に噴出され、これに混合・吸着される。そして、このようなスケール成分が冷却部１３で直接中間筒２の壁面に当たって冷却され、付着性を付与されてそのまま壁面に付着する不具合が防止されることになる。
【００２６】
スケール剥離部材１５は、心材１５ａの回りに切欠スパイラル１５ｂを取り付けて形成されていて、内筒３に嵌め込み等によって着脱可能に取り付けられ、熱による膨張／収縮作用、即ち、使用時と冷態時とで中間筒２及び内筒３が互いに反対方向に伸び縮みすることを利用し、スパイラルの先端エッジで中間筒２の内面に付着したスケールを掻き落とすようにしている。
【００２７】
このような構造部分を設ければ、スケールの付着を軽減させ、高圧反応容器を分解してスケールを除去する保守作業を減らすことができる。又、装置の停止時に、容器を開放することなく蓋１ｃと共に内筒３を回転させるだけの操作により、中間筒２の内面に付着したスケールを掻き取ることができ、その作業を容易にすることができる。
【００２８】
【発明の効果】
以上の如く本発明によれば、超臨界領域の水の環境下で被処理物を反応処理するための高圧反応容器は、それぞれ必要な構成部分を備えた耐圧容器と中間仕切体と内側仕切体とシール手段とを有するので、耐圧容器の一方側の水入口から高圧水を中間仕切体との間で形成された外側空間に入れ、水出口から一度外部に出し、加熱器等の適当な加熱手段で自由に加熱することができる。その結果、高圧水を、水再入口から内側空間に入れる前に、臨界温度の近傍の温度又はそれ以上の十分高い温度まで確実に昇温させ、被処理物を分解させるための反応開始に必要な温度に確実に到達させることができる。又、水再入口から入れる高温高圧水の設定温度を変更する必要が生じたようなときには、外部に設けられるべき加熱器等を調整することにより、容易且つ自在に温度変更が可能になるので、運転操作の自由度が得られる。
【００２９】
中間仕切体と内側仕切体とはそれぞれ一方側の端及び他方側の端から設けられていると共に、内側仕切体は内部で反応が行われる位置まで内側空間を形成するように一方側端に到達するまでの途中まで設けられているので、内側空間を被処理物の反応処理部分とし、これに連続して形成される中間仕切体の内側を反応後の流体の冷却部分にすることができる。この場合、上記のように高圧水を外部の加熱手段で最終加熱できるので、特別に予熱することなく適当に低い温度で外部空間に入れて反応熱の回収効率を良くし、冷却部分を適当な長さにして反応流体の復水量を多くすることができる。
【００３０】
更に、中間仕切体と内側仕切体との間に間隙を形成させ、シール手段によって間隙の導通を制限しているので、内側空間における被処理物の反応処理によって生成したガスをこの間隙に充満させて断熱効果を発揮させ、内側空間の反応部の流体と外側空間の高圧水との間の熱伝達を大幅に制限し、反応部分における超臨界状態の高い温度を維持し、良好な反応条件を持続させることができる。又、外側空間内には高圧水のみを流し、この中に被処理物及び酸素を入れないので、耐圧容器の主要部である外側空間に面した部分が被処理物中の成分や反応生成物によって腐食されることがない。その結果、耐圧容器の主要部分に高級且つ高価な耐蝕材料を使用しなくてもよくなると共に、腐食のための余分の厚みを付与する必要もなくなる。
【００３１】
一方、中間仕切体及び内側仕切体は反応生成物等によって腐食作用を受けるので、これらに対しては高耐蝕性材料を使用する必要がある。しかし、高圧反応容器内は通常定圧弁等によって全体的にほぼ同じ圧力にされているので、両仕切体には殆ど圧力による周応力がかからない。従って、これらに対しては厚みの薄い材料を用いることができる。その結果、全体として高圧反応容器のコスト低減を図ることができる。
【００３２】
そして更に、外側空間には前記の如く被処理物を入れないので、スケール成分がなくその壁面にスケールが付着しない。一方、中間仕切体の内部では、前記の如く超臨界状態の流体を多く復水させることができるので、冷却されて付着性の生じたスケール成分の多くを復水した水に吸着・溶解させ、これと共に外部に排出することができる。その結果、中間仕切体の内部へのスケールの付着が少なくなる。又、外部の加熱手段に送られる高圧水は非凝縮性ガスを含まないため、この点においても反応後の流体との熱交換や加熱器での加熱における熱交換効率が良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】高圧反応容器を含む超臨界反応装置の構成例を示す説明図である。
【図２】スケール対策用の構造部分を備えた高圧反応容器の説明図である。
【符号の説明】
１                耐圧容器
１ａ              外筒（耐圧容器）
１ｂ、１ｃ        蓋（耐圧容器、一方側及び他方側の端）
２                中間筒（中間仕切体）
３                内筒（内側仕切体）
４                シール材（シール手段）
５                水入口
６                水出口
７                水再入口
８                廃液入口（原料入口）
９                流体出口
１０              外側流路（外側空間）
１１              反応部（内側空間）
１２              間隙
【図１】
0004355863.tif 000002
【図２】
0004355863.tif 000003