(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の積層型圧電素子を構成する圧電素子の厚さを、第２の積 層型圧電素子を構成する圧電素子よりも薄くし、当該第１および第２の積層型圧 電素子を並設し一体化したことを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項２】
さらに、構成する圧電素子の厚さが異なる他の積層型圧電素子 を積層方向に一体化したことを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電素子。
【請求項３】
前記各積層型圧電素子を構成する圧電素子の厚さの比を整数値 としたことを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電素子。
【請求項４】
前記各積層型圧電素子の面積を異なるものとしたことを特徴と する請求項１に記載の積層型圧電素子。
【請求項５】
構成する圧電素子の厚さを異なるものとした複数の積層型圧電 素子を一体化し、各積層型圧電素子に対して電圧を印加する駆動手段を設けると 共にこの駆動手段を制御して電圧を印加する積層型圧電素子を選択する制御手段 を設けたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
構成する圧電素子の厚さを異なるものとした複数の積層型圧電 素子を一体化すると共にこの積層型圧電素子に振動変換部材を設け、さらに、各 積層型圧電素子に対して電圧を印加する駆動手段と、この駆動手段を制御して電 圧を印加する積層型圧電素子を選択する制御手段とを設け、前記振動変換部材を 振動接触させることで移動体を駆動することを特徴とする超音波モータ。
【請求項７】
第１の積層型圧電素子を構成する圧電素子の厚さを、第２の積 層型圧電素子を構成する圧電素子よりも薄くし、当該第１および第２の積層型圧 電素子を積み重ねて一体化すると共に当該一体化した積層型圧電素子の側面に振 動変換部材を取り付け、さらに、各積層型圧電素子に対して周波電圧を印加する 駆動手段を設け、
前記第１の積層型圧電素子により縦振動を励振し、前記第２の積層型圧電素子に より屈曲振動を励振し、前記振動変換部材を移動体に振動接触させることで当該 移動体を駆動することを特徴とする超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、簡単な制御回路で変位制御が可能な積層型圧電素子およびこれを用いた圧電アクチュエータ、圧電センサ、超音波モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１２は、従来の積層型圧電素子の一例を示す構造図である。この積層型圧電素子１０００は、複数枚の圧電素子１００１と、各圧電素子１００１との間に設けた電極１００２とから構成されている。一般に圧電縦効果は、横効果と比較して同一電界下で約２倍の変位を発生するためエネルギー変換効率が高いものとなる。このため、積層した各圧電素子１００１はそれぞれ厚み方向に分極処理されている。また、電極１００２は一層おきにずらして形成し、外部で電気的に並列接続してある。圧電素子１００１の積層は接着により行ってもよいが、グリーンシート法により一体化するほうが、信頼性、量産性の点で有利であり、圧電素子１００１を薄型化することができる。この積層型圧電素子１０００に駆動電圧を印加すると、各圧電素子１００１の伸縮により積層方向の変位を得ることができる。
【０００３】
図１３は、積層型圧電素子を用いたアクチュエータを示す構成図である。このアクチュエータ１１００は、前記積層型圧電素子１０００と、積層型圧電素子１０００を駆動する駆動回路１１０１と、駆動回路１１０１を制御する制御回路１１０２と、制御回路１１０２に積層型圧電素子１０００の動作状態をフィードバックする動作状態検出回路１１０３と、制御回路１１０２に動作指示の信号を与える指示部１１０４とから構成されている。制御回路１１０２は、指示部１１０４からの指示に従い、駆動回路１１０１に制御信号を送出する。駆動回路１１０１では、制御信号に基づき所定の直流電圧を積層型圧電素子１０００に印加する。積層型圧電素子１０００の変位量は動作状態検出回路１１０３により検出され、制御回路１１０２にフィードバックされる。制御回路１１０２は、目標値になるまで制御信号を駆動回路１１０１に送出する。
【０００４】
図１４は、積層型圧電素子の他の従来例を示す断面図であり、特開平８−２１３６６４号公報に開示のものである。この積層型圧電素子１０００はランジュバン型の超音波モータに応用するものであって、かかる超音波モータ１２００は、積層型圧電素子１０００を弾性体１２０１、１２０２で挟み、中心をボルト１２０３で固定した構造となる。弾性体１２０１の端面には回転体１２０４が加圧接触しており、この接触圧力はボルト１２０３の締め力とバネ１２０５の弾性力によって規制されている。積層型圧電素子１０００に周波電圧を印加するとその振動が弾性体１２０１に伝わり、この弾性体１２０１と回転体１２０４との間の摩擦力によって回転体１２０４が回転する。
【０００５】
図１５は、従来の積層型圧電素子を用いたセンサの一例を示す構成図である。このセンサ１３００は、具体的には加速度センサや圧電ジャイロなどである。この加速度センサ１３００は、Ｕ字形状をした複数枚の板状圧電体１３０１を積層焼成した構造である。加速度センサ１３００は、圧電素子の圧電効果（変形することで電圧を得る）を利用したものであり、２本の梁部分１３０２、１３０３が水平方向または垂直方向にたわむことで微弱な電流を発生させている。この電流を増幅すれば、センサ信号として用いることができる。また、梁部分１３０２、１３０３は２本に限らず、３本にしてもよい。このように、積層型圧電素子１０００を用いた超音波モータ、アクチュエータおよびセンサによれば、全体を小型化することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の積層型圧電素子１０００では、アクチュエータとして用いる場合、各圧電素子１００１に印加する電圧が一定のとき一定の変位をするから、変位量を制御するためには異なる駆動電圧を用いる制御回路を用いなければならないため、回路構成が複雑になってしまうという問題点があった。
【０００７】
つぎに、上記超音波モータ１２００では、縦振動を強くするとトルクを大きくでき、ねじり振動を強くすると回転数を高くすることができるが、例えば縦振動に強弱をつけてトルクを調節しようとする場合、圧電素子１００１の厚さが同一であるため２つの異なる周波電圧発生手段が必要になり、同じく制御回路が複雑化するという問題点があった。さらに、上記センサ１３００では、積層型圧電素子を構成する板状圧電体１３０１の厚みが同一であるため、検出できる変位の大きさや周波数が制約されるという問題点があった。
【０００８】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡単な制御回路で変位制御が可能な積層型圧電素子およびこれを用いた圧電アクチュエータ、圧電センサ、超音波モータを提供することを目的とする。また、検出範囲を広くできる圧電センサを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、請求項１に係る積層型圧電素子は、第１の積層型 圧電素子を構成する圧電素子の厚さを、第２の積層型圧電素子を構成する圧電素 子よりも薄くし、当該第１および第２の積層型圧電素子を並設し一体化したもの である。
【００１０】
また、請求項５に係る圧電アクチュエータは、構成する圧電素子の厚さを異な るものとした複数の積層型圧電素子を一体化し、各積層型圧電素子に対して電圧 を印加する駆動手段を設けると共にこの駆動手段を制御して電圧を印加する積層 型圧電素子を選択する制御手段を設けたものである。
【００１１】
また、請求項６に係る超音波モータは、構成する圧電素子の厚さを異なるもの とした複数の積層型圧電素子を一体化すると共にこの積層型圧電素子に振動変換 部材を設け、さらに、各積層型圧電素子に対して電圧を印加する駆動手段と、こ の駆動手段を制御して電圧を印加する積層型圧電素子を選択する制御手段とを設 け、前記振動変換部材を振動接触させることで移動体を駆動するものである。
【００１２】
また、請求項７に係る超音波モータは、第１の積層型圧電素子を構成する圧電 素子の厚さを、第２の積層型圧電素子を構成する圧電素子よりも薄くし、当該第 １および第２の積層型圧電素子を積み重ねて一体化すると共に当該一体化した積 層型圧電素子の側面に振動変換部材を取り付け、さらに、各積層型圧電素子に対 して周波電圧を印加する駆動手段を設け、前記第１の積層型圧電素子により縦振 動を励振し、前記第２の積層型圧電素子により屈曲振動を励振し、前記振動変換 部材を移動体に振動接触させることで当該移動体を駆動するものである。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１にかかる積層型圧電素子を示す構造図である。この積層型圧電素子１００は、第１の積層型圧電素子１１０と第２の積層型圧電素子１２０とを厚み方向に重ねた一体構造であり、第１の積層型圧電素子１１０は、第２の積層型圧電素子１２０を構成する圧電素子１２１よりも薄い圧電素子１１１を積層したものである。第１の積層形圧電素子１１０では、各圧電素子１１１の間に電極１１２が設けられており、一層おきに外部で電気的に並列接続されている。圧電素子１１１、１２１には、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）、チタン酸バリウム、酸化チタンなどを用いることができ、この他に電圧を加えると変形する材料であれば適宜使用することができる。この圧電素子１１１、１２１は、厚み方向に分極処理されている。また、第２の積層形圧電素子１２０においても、各圧電素子１２１の間に電極１２２が設けられており、一層おきに外部で電気的に並列接続されている。
【００３０】
第１の積層形圧電素子１１０と第２の積層形圧電素子１２０には、別々に周波電圧が印加される。具体的な回路構成については、下記の実施の形態にて例示する。圧電素子１１１、１２１の変位は、その縦効果を利用するものとし、厚さが薄いほど低い電圧で大きな変位を得ることができる。このため、同じ厚み（積層数は異なる）では、第１の積層形圧電素子１１０のほうが第２の積層形圧電素子１２０よりも得られる変位量が大きくなる。
【００３１】
つぎに、この積層形圧電素子１００の製造方法について説明する。まず、仮焼粉末に有機溶剤、バインダ、可塑剤および分散剤を添加すると共にこれらを混合してスラリーを作成する。なお、仮焼粉末を用いるのは、焼成による寸法変化などを防止するためである。続いて、前記スラリーをポリエステル製キャリヤフィルム上に厚さ１００μｍ程度でキャスティングする。スラリーが乾燥したら、キャスティングフィルムから剥離してグリーンシートを得る（テープキャスティング法）。このグリーンシートを第１の積層形圧電素子１１０に用いるとすれば、第２の積層形圧電素子１２０に用いるグリーンシートを得るには、スラリーを厚めにキャスティングする必要がある。グリーンシートの厚みを変えるには、テープキャスティング装置のドクターブレードとキャリアシートとの間隔を広くすればよい。そして、このグリーンシートを所定寸法の矩形状に打ち抜き、その片面に内部電極用導体ペーストを形成する。この導体ペーストは厚さが数μｍ程度であって、スクリーン印刷により形成することができる。また、電極１１２、１２２は、各圧電素子１１１、１２１の表裏でずらして形成する。
【００３２】
まず、厚い方のグリーンシートを金型内に４枚積層して第２の積層型圧電素子１２０とすると共に更にその上に薄い方のグリーンシート６枚積層し、高圧でプレス成形する。これにより厚さの異なる圧電素子１１１、１２１が積層一体化する。プレス時の温度は約１００℃程度であるが、この温度は、用いる有機バインダの軟化温度により決定される。脱脂工程に入ると、５００℃〜６００℃まで温度を上げてゆっくりと加熱することで、含まれている有機バインダを熱分解し、除去するようにする。その後、耐火煉瓦を用いた電気炉内にて１０００〜１２００℃で焼成する。焼成中は、誤差が２℃程度になるように精密に温度制御を行う。最後に積層した圧電素子１１１、１２１の両面に電極１１２、１２２を塗布して焼き付ける。上記したように電極１１２、１２２は圧電素子１１１、１２１の表裏でずらして成形されているから、短絡電極１１３、１２３に対して当該電極１１２、１２２が一つおきに短絡し、並列接続される。
【００３３】
以上、この積層型圧電素子１００では、第２の積層型圧電素子１２０と第１の積層型圧電素子１１０との組み合わせにより、２つ以上の駆動力、変位量の発生ならびに検出が容易になる。また、複雑な駆動回路を有することなく、微動（第２の積層型圧電素子１２０）と粗動（第１の積層型圧電素子１１０）が可能になる。また、高周波数で且つ微小変位の検出（第１の積層型圧電素子１１０）と低周波数で且つ大きな変位の検出（第２の積層型圧電素子１２０）が可能になる。
【００３４】
実施の形態２．
図２は、この発明の実施の形態２にかかる積層型圧電素子を示す構造図である。この積層型圧電素子２００は、第１の積層型圧電素子２１０と第２の積層型圧電素子２２０とを並列に一体化した構造であり、第１の積層型圧電素子２１０は、第２の積層型圧電素子２２０を構成する圧電素子２２１よりも薄い圧電素子２１１を積層したものである。各圧電素子２１１、２２１は、その両面に電極２１２、２２２が形成されており、それぞれ厚み方向に分極処理されている。この積層型圧電素子２００では、例えば同位相の電圧を印加した場合、第１の積層型圧電素子２１０と第２の積層型圧電素子２２０とで変位が異なるから、図３に示すように、それぞれの上面にブリッジ２５０を形成してその中心にミラー２５１を取り付ければ、ミラー角度を変更することができる。同位相の電圧を印加すると第２の積層型圧電素子２２０よりも第１の積層型圧電素子２１０の変位の方が大きいので、ミラー２５１が時計回りに傾いて光線Ｌの反射方向を変えることができる。例えばレーザ光の走査ミラーなどに応用できる。
【００３５】
この積層型圧電素子２００は、上記実施の形態１と略同様の方法によって製造することができ、各第１および第２の積層型圧電素子２１０、２２０の構成は実施の形態１と同様であるから、詳細な説明は省略する。なお、第１の積層型圧電素子２１０と第２の積層型圧電素子２２０とに介在する短絡電極２１３は共通電極となり、焼成前に予め塗布しておく。かかる構成であっても、上記同様の効果を奏することができると共に変位量の差を利用して各種の装置（図３参照）に応用することができる。
【００３６】
実施の形態３．
図４は、この発明の実施の形態４にかかる積層型圧電素子を示す構造図である。この積層型圧電素子３００は、実施の形態１にかかる積層型圧電素子１００と略同一の構造であるが、第２の積層型圧電素子３２０を構成する圧電素子３２１の厚みが、第１の積層型圧電素子３１０を構成する圧電素子３１１の厚み（ｔ）の整数倍（ｎｔ：ｎは整数）になっている点が異なる。これ以外は、実施の形態１と同様であるから説明を省略する。通常、所望厚さの圧電素子を作成するには、最も薄肉の圧電素子を作成しておき、この圧電素子を必要枚数だけ積層焼結するようにしている。このため、基本となる圧電素子の整数倍にすることで、積層型圧電素子３００を製造しやすくなる。
【００３７】
実施の形態４．
図５は、この発明の実施の形態５にかかる積層型圧電素子を示す構造図である。この積層型圧電素子４００は、構成する圧電素子の厚さが異なる３種類の積層型圧電素子４１０、４２０、４３０を組み合わせて一体化したものである。第１の積層型圧電素子４１０を構成する圧電素子４１１は、第２の積層型圧電素子４２０を構成する圧電素子４２１の半分の厚さであり、第３の積層型圧電素子４３０を構成する圧電素子４３１の厚さは、第１の積層型圧電素子４１０を構成する圧電素子４１１の厚さの半分である。さらに、第１の積層型圧電素子４１０の面積は、第２の積層型圧電素子４２０の面積の半分であり、第３の積層型圧電素子４３０の面積は、第１の積層型圧電素子４１０と第２の積層型圧電素子４２０とを加えた面積と同じである。圧電素子の面積が大きいほど発生力が大きくなる。
【００３８】
各第１〜第３の積層型圧電素子４１０〜４３０は、上記実施の形態１にて説明した工程により作成するが、第３の積層型圧電素子４３０については分割構造とし、その分割面が第１と第２の積層型圧電素子４１０、４２０の接合面と同位置になるようにする。焼成する際にこの分割面に短絡電極４３２となる導電ペーストを塗布し、第１と第２の積層型圧電素子４１０、４２０の共通電極４１２、第３の積層型圧電素子４３０の左側と右側との共通電極４３２とする。第３の積層型圧電素子４３０については２分割構造し、独立に通電可能な構造にしているので、左側と右側とを独立に駆動することができる。さらに、第１と第２の積層型圧電素子４１０、４２０を独立に駆動可能であるから、この積層型圧電素子４００によれば、より複雑な変形を行うことができる。
【００３９】
実施の形態６．
図６は、上記積層型圧電素子１００を圧電アクチュエータに応用する場合の回路構成を示すブロック図である。この圧電アクチュエータ１００は、上記第１の積層型圧電素子１１０および第２の積層型圧電素子１２０と、第１の積層型圧電素子１１０を駆動する第１駆動回路６０１と、第２の積層型圧電素子１２０を駆動する第２駆動回路６０２と、第１駆動回路６０１および第２駆動回路６０２を制御する制御回路６０３と、制御回路６０３に動作指示の信号を与える指示部６０４と、積層型圧電素子１００に設けた出力取出部６０５と、積層型圧電素子１００を固定支持する固定支持台６０６とから構成されている。
【００４０】
制御回路６０３は、指示部６０４からの指示に従い各駆動回路６０１、６０２に制御信号を送出する。駆動回路６０１、６０２では、制御信号に基づき所定の直流電圧を積層型圧電素子１００に印加する。また、指示部６０４からの信号により第１の積層型圧電素子１１０と第２の積層型圧電素子１２０との選択が行われ、例えば第１の積層型圧電素子１１０を駆動する場合は、第１駆動回路６０１に制御信号を送出する。これにより第１の積層型圧電素子１１０が粗動変位する。また、第２の積層型圧電素子１２０を駆動する場合は、第２駆動回路６０２に制御信号を送出することで、第２の積層型圧電素子１２０が微動変位する。
【００４１】
図７は、この圧電アクチュエータを応用した超音波モータの構成例を示す説明図である。この積層型圧電素子１００に突起６５１を持った振動体６５２を接合し、突起先端を斜めに形成する。そして、この突起６５１に対向して移動体６５３を配置する。なお、積層型圧電素子１００の他面は、固定支持台６０６に固定されている。この状態で積層型圧電素子１００を振動させると、突起６５１先端が移動体６５３に連続的に接触し、移動体６５３を一方向に移動させる。制御回路６０３により第１の積層型圧電素子１１０を選択駆動すると、第１の積層型圧電素子１１０が微動変位するため、移動体６５３の移動量は小さくなる。一方、第２の積層型圧電素子１２０を選択駆動すると、第２の積層型圧電素子１２０が粗動変位するので、移動体６５３の移動量は大きくなる。
【００４２】
実施の形態７．
図８は、上記積層型圧電素子を圧電センサに応用する場合の回路構成を示すブロック図である。図９は、この圧電アクチュエータの具体的構成例を示す説明図である。この圧電センサ７００は、固定支持部７０１の一方側に第１の積層型圧電素子１１０を、他方側に第２の積層型圧電素子１２０を接合した構成である。また、第１および第２の積層型圧電素子１１０、１２０は検出回路７０２に接続されており、この検出回路７０２から送出した信号は信号増幅・整形回路７０３により増幅・整形される。第１の積層型圧電素子１１０は、各圧電素子が薄いため低周波数で大きな変位の検出が可能である。第２の積層型圧電素子１２０は、各圧電素子が厚いため高周波数で小さな変位の検出が可能である。
【００４３】
実施の形態８．
図１０は、上記積層型圧電素子を超音波モータに応用する場合の回路構成を示すブロック図である。図１１は、超音波モータの具体的構成例を示す説明図である。積層型圧電素子１００は、振動体支持部材８０１により支持台８０２上に固定されている。積層型圧電素子１００の側面には振動変換部材８０３が設けられており、この振動変換部材８０３は移動体８０４と接触している。移動体８０４はその中心軸８０５により軸支されている。中心軸８０５は、支持台８０２に固定されている。
【００４４】
第１の積層型圧電素子１１０は、駆動回路８０６により周波電圧を印加することで縦振動を励振する。この場合、第１の積層型圧電素子１１０を構成する各圧電素子１１１の横効果を利用して伸縮運動をおこさせることになる。第２の積層型圧電素子１２０は、バイモルフ変位素子として用い、周波電圧を印加することにより一方の圧電素子１２１に縮み変位を、もう一方の圧電素子１２１に伸び変位を起こさせて屈曲振動を励振させる。この縦振動と屈曲振動との組み合わせにより、振動変換部材８０３が移動体８０４の表面に対して楕円運動を行う。この振動変換部材８０３と移動体８０４との間の摩擦力により移動体８０４が回転する。なお、本実施の形態では、第１の積層型圧電素子で伸縮運動、第２の積層型圧電素子で屈曲運動を起こすことにより、トルクの大きな超音波モータを実現する場合を示したが、反対に第１の積層型圧電素子で屈曲振動、第２の積層型圧電素子で伸縮運動を起こすようにして、回転数を速くすることも容易に実施でき、本願に該当するものである。
【００４５】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の積層型圧電素子（請求項１）によれば、一体化した各積層型圧電素子を構成する圧電素子の厚みを変えることにより、簡単な制御回路で変位量の制御が可能になる。
【００４６】
つぎに、この発明の積層型圧電素子（請求項２）によれば、第１の積層型圧電素子を構成する圧電素子の厚みを、第２の積層型圧電素子を構成する圧電素子よりも薄くした。このため、第１および第２の積層型圧電素子を選択することで簡単に変位ならびに駆動力を制御することができる。
【００４７】
つぎに、この発明の積層型圧電素子（請求項３）では、第１の積層型圧電素子と第２の積層型圧電素子とを並設したので、複雑な変位を行うことができる。
【００４８】
つぎに、この発明の積層型圧電素子（請求項４）では、構成する圧電素子の厚さが異なる他の積層型圧電素子を一体化したので、より複雑で緻密な変位制御が可能になる。
【００４９】
つぎに、この発明の積層型圧電素子（請求項５）では、各積層型圧電素子を構成する圧電素子の厚さの比を整数値としたので、製造しやすい。
【００５０】
つぎに、この発明の積層型圧電素子（請求項６）では、各積層型圧電素子の面積を異なるものとしたため、変位量の制御に加えて発生力の制御を行うことができる。
【００５１】
つぎに、この発明の圧電アクチュエータ（請求項７）では、電圧を印加する積層型圧電素子を選択して変位量を制御するようにしたので、簡単な回路で変位制御が可能になる。
【００５２】
つぎに、この発明の圧電センサ（請求項８）では、圧電素子の厚さを異なるものとした複数の積層型圧電素子を用いることで、検出できる範囲を広くすることできる。
【００５３】
つぎに、この発明の超音波モータ（請求項９）では、積層型圧電素子を選択することにより移動体の移動量を制御できるから、簡単な回路で移動量を制御可能になる。
【００５４】
つぎに、この発明の超音波モータ（請求項１０）では、一体化した積層型圧電素子の第１の積層型圧電素子により縦振動を励振し、前記第２の積層型圧電素子により屈曲振動を励振し、前記振動変換部材を移動体に振動接触させることで当該移動体を駆動するようにしたので、簡易な構造により超音波モータを構成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１にかかる積層型圧電素子を示す構造図である。
【図２】この発明の実施の形態２にかかる積層型圧電素子を示す構造図である。
【図３】図２の積層型圧電素子の具体的応用例を示す説明図である。
【図４】この発明の実施の形態４にかかる積層型圧電素子を示す構造図である。
【図５】この発明の実施の形態５にかかる積層型圧電素子を示す構造図である。
【図６】積層型圧電素子を圧電アクチュエータに応用する場合の回路構成を示すブロック図である。
【図７】図６に示した圧電アクチュエータを応用した超音波モータの構成例を示す説明図である。
【図８】積層型圧電素子を圧電センサに応用する場合の回路構成を示すブロック図である。
【図９】図８に示した圧電アクチュエータの具体的構成例を示す説明図である。
【図１０】積層型圧電素子を超音波モータに応用する場合の回路構成を示すブロック図である。
【図１１】図１０に示した超音波モータの具体的構成例を示す説明図である。
【図１２】従来の積層型圧電素子の一例を示す構造図である。
【図１３】積層型圧電素子を用いたアクチュエータを示す構成図である。
【図１４】積層型圧電素子の他の従来例を示す断面図であり、特開平８−２１３６６４号公報に開示のものである。
【図１５】従来の積層型圧電素子を用いたセンサの一例を示す構成図である。
【符号の説明】
１００  積層型圧電素子
１１０  第１の積層型圧電素子
１１１  圧電素子
１１２  電極
１２０  第２の積層型圧電素子
１２１  圧電素子
１２２  電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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