(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線入射面の直下に画像撮像面を直結積層した検知表面を備えた２次元半導体Ｘ線撮像素子を前記検知表面が継がれるようにライン状に複数個連設して構成したＸ線センサーユニットであって、
前記２次元半導体Ｘ線撮像素子を、その連設面がこの連設で形成される連設ライン方向に垂直となるように連設すると共に、被写体を透過したＸ線ビームを走査する走査方向に垂直な方向に対して、前記連設ライン方向が傾斜するように構成したことを特徴とするＸ線センサーユニット。
【請求項２】
請求項１において、
前記それぞれの２次元半導体Ｘ線撮像素子を、その検知表面が前記連設面において相互に重なりあうように、連設していることを特徴とするＸ線センサーユニット。
【請求項３】
請求項２において、
前記２次元半導体Ｘ線撮像素子を、その検知表面が前記Ｘ線ビームの入射方向に対して傾斜して相互に重なりあうように、連設していることを特徴とするＸ線センサーユニット。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項において、
前記２次元半導体Ｘ線撮像素子を、前記連設ライン方向に直角方向にも連設していることを特徴とするＸ線センサーユニット。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項において、
前記２次元半導体Ｘ線撮像素子が、ＣｄＴｅ素子、ＣｄＺｎＴｅ素子、ＭＯＳ素子、ＣＭＯＳ素子、ＦＴ型ＣＣＤのいずれかで構成されていることを特徴とするＸ線センサーユニット。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項において、
前記複数個連設された２次元半導体Ｘ線撮像素子が、カーボンファイバー製ケースに収納されていることを特徴とするＸ線センサーユニット。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載のＸ線センサーユニットを用いたことを特徴とするＸ線撮影装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記Ｘ線撮影装置が、パノラマＸ線撮影装置であることを特徴とするＸ線撮影装置。
【請求項９】
請求項７において、
前記Ｘ線撮影装置が、セファロＸ線撮影装置であることを特徴とするＸ線撮影装置。
【請求項１０】
請求項７において、
前記Ｘ線撮影装置が、Ｘ線ＣＴ撮影装置であることを特徴とするＸ線撮影装置。
【請求項１１】
請求項７において、
前記Ｘ線撮影装置が、パノラマＸ線撮影装置、セファロＸ線撮影装置、Ｘ線ＣＴ撮影装置のいずれか２以上の機能を備えた複合Ｘ線撮影装置であることを特徴とするＸ線撮影装置。
【請求項１２】
Ｘ線源と、このＸ線源から発生するＸ線を被写体に照射すべきＸ線ビームに規制するスリット体と、前記被写体を透過したＸ線ビームを撮像するＸ線センサーユニットとを備え、前記Ｘ線ビームを走査して被写体に照射し前記被写体のＸ線画像を生成するＸ線撮影装置であって、
上記Ｘ線センサーユニットは、Ｘ線入射面の直下に画像撮像面を直結積層した検知表面を備えた２次元半導体Ｘ線撮像素子を前記検知表面が継がれるようにライン状に複数個連設して構成され、かつ、その連設面がこの連設で形成される連設ライン方向に垂直となるようにされ、前記Ｘ線ビームの走査方向に対して、前記スリット体のスリット方向と、前記Ｘ線センサーユニットを構成する前記２次元半導体Ｘ線撮像素子の前記連設ライン方向とを、同じ方向に傾斜させるようにしたことを特徴とするＸ線撮影装置。
【請求項１３】
請求項１２において、
前記Ｘ線撮影装置が、パノラマＸ線撮影装置、セファロＸ線撮影装置、Ｘ線ＣＴ撮影装置、あるいはこれら３つの撮影装置のいずれか２以上の機能を備えた複合Ｘ線撮影装置のいずれかであることを特徴とするＸ線撮影装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の２次元半導体Ｘ線撮像素子をその検知表面が継がれるように並べて、被写体を透過したＸ線を全域に渡って走査できるようにしたＸ線センサーユニットと、これを用いたＸ線撮影装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被写体を透過したＸ線を画像化する手段として、２次元半導体Ｘ線撮像素子は、受光Ｘ線データを電気信号あるいはデジタル信号として出力することができ、適切な表示手段でリアルタイムに被写体のＸ線画像を見ることができるので近年多用されている。
【０００３】
しかしながら、半導体素子の生産技術的な制約から、一方向の長さが一定以上のものは、製造することができず、あるいは、半導体素子の素材となるシリコンウエハーの歩留まり率に起因して非常に高価なものにならざるを得ない。
【０００４】
したがって、例えば、人体頭部Ｘ線画像を、頭部に対して水平方向に走査して得る場合には、走査方向に垂直な検知表面の長さが少なくとも２５ｃｍ程度は必要であるが、これを一本の２次元半導体Ｘ線撮像素子で構成することはせず、副数本、例えば、８ｃｍから９ｃｍの長さの撮像素子を縦に継がれるように連設して、この２５ｃｍの検知表面を充足させるようにしている。
【０００５】
しかし、この場合、この撮像素子間の継ぎ目自体の隙間や、撮像素子の境界領域における検知不可部分の存在により、この部分の画像が得られないという問題が生じ、この問題を解決すべく種々の提案がなされている。
【０００６】
図１８に示すＸ線センサーユニットは、この問題を解決するもので、本出願人によって提案され、特開平８−２１５１９０号公報に記載されたものである。
【０００７】
このＸ線センサーユニット１２０は、長方形の蛍光板１２０ａ、この蛍光板１２０ａで可視化された可視光線を導光する３つの光ファイバ束１２０ｂ１，１２０ｂ２，１２０ｂ３、この光ファイバ束１２０ｂ１，１２０ｂ２，１２０ｂ３で導光された可視光線を受け電気信号として出力するＦＦＴ型ＣＣＤ撮像素子１２０ｃ１，１２０ｃ２，１２０ｃ３から構成されている。
【０００８】
蛍光板１２０ａは、そのＸ線受光側のスリット１２０ｄの長さに対応した長方形となっているが、この受光表面を１２０ａ１，１２０ａ２，１２０ａ３の３つの画像領域に分け、この領域の境界面１２０ｈをスリット１２０ｄの長手方向に対して、角度θ′だけ傾くようにしている。
【０００９】
一方、この蛍光板１２０ａからの可視光線を受ける長方形形状のＦＦＴ型ＣＣＤ撮像素子１２０ｃ１，１２０ｃ２，１２０ｃ３は、３個の単体の撮像素子を相互に重畳しないように、また、その長手方向がスリット１２０ｄの長手方向に一致するように配置されている。
【００１０】
蛍光板１２０ａとＣＣＤ撮像素子１２０ｃ１，１２０ｃ２，１２０ｃ３とを導光連結する光ファイバ束１２０ｂ１，１２０ｂ２，１２０ｂ３は、そのファイバ束の断面が蛍光板１２０ａのそれぞれの傾いた画像領域１２０ａ１，１２０ａ２，１２０ａ３を覆うような長方形断面で、また、相互間の境界面が画像領域１２０ａ１，１２０ａ２，１２０ａ３の境界面１２０ｈと一致した状態で、これらの画像領域１２０ａ１，１２０ａ２，１２０ａ３の裏面に接合されている。
【００１１】
光ファイバ束１２０ｂ１，１２０ｂ２，１２０ｂ３の他端は、その長方形断面が画像領域１２０ａ１，１２０ａ２，１２０ａ３の傾きと同様に角度θ′だけ傾いたままで、ＣＣＤ撮像素子１２０ｃ１，１２０ｃ２，１２０ｃ３のそれぞれの表面に接合されている。
【００１２】
この際、光ファイバ束１２０ｂ１，１２０ｂ２，１２０ｂ３は、ＣＣＤ撮像素子１２０ｃ１，１２０ｃ２，１２０ｃ３の画像化有効領域内に接合されるようにしている。
【００１３】
このようにすると、蛍光板１２０ａで可視化された可視光線が全部、ＣＣＤ撮像素子１２０ｃ１，１２０ｃ２，１２０ｃ３の画像化有効領域へ導光されると共に、その分割導光の継ぎ目がスリット１２０ｄの長手方句に垂直となっているＸ線走査方向（これは、ＣＣＤ撮像素子１２０ｃ１，１２０ｃ２，１２０ｃ３におけるデータ走査方向にも一致する。）に対して、角度θ′だけ傾いているため、一つの走査方向列の全部のデータがない、という現象を回避することが出来、従来、撮像素子の継ぎ目のために発生していた画像のない領域の発生の問題を解消することができた。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようにして構成されたＸ線センサーユニットは、非常に複雑な構成のものにならざるを得ず、短いＣＣＤ撮像素子を用いることによるコストダウンの効果を減殺しかねないものであった。また、近年、このようなファイバー束のような導光手段を用いることなく、その検知表面で高速にＸ線を直接電気信号化することのできる２次元半導体Ｘ線撮像素子も提供されているが、そのようないわゆる直結タイプのものには、上記の方法は適用することができなかった。
【００１５】
本発明は、このような問題を解決しようとするもので、直結タイプの２次元半導体Ｘ線撮像素子を用いながら、撮像素子間の継ぎ目による問題を解消することができるＸ線センサーユニット、これを用いたＸ線撮影装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、直結タイプの２次元半導体Ｘ線撮像素子が、そのデータ出力のための走査方向を問わないという特質と、本出願人が上記Ｘ線センサーユニットで知見した撮像素子の継ぎ目の方向とＸ線の走査方向とを相対的に傾けるという方法を組み合わせることを着想したものであり、請求項１から６において、この着想を実体化して上記課題を解決するＸ線センサーユニットを、請求項７から１３において、このＸ線センサーユニットを用いたＸ線撮影装置を提案している。
【００１７】
請求項１に記載のＸ線センサーユニットは、Ｘ線入射面の直下に画像撮像面を直結積層した検知表面を備えた２次元半導体Ｘ線撮像素子を前記検知表面が継がれるようにライン状に複数個連設して構成したＸ線センサーユニットであって、前記２次元半導体Ｘ線撮像素子を、その連設面がこの連設で形成される連設ライン方向に垂直となるように連設すると共に、被写体を透過したＸ線を走査する走査方向に垂直な方向に対して、前記連設ライン方向が傾斜するように構成したことを特徴とする。
【００１８】
ここで、Ｘ線入射面の直下に画像撮像面を直結積層した検知表面を備えた２次元半導体Ｘ線撮像素子とは、上述のいわゆる直結タイプの半導体撮像素子であって、そのＸ線入射面とは、Ｘ線を入射させる面であって後述の画像撮像面を保護する役割も持つものであり、画像撮像面とは、Ｘ線入射面を介して受光したＸ線をＸ線入射面の直下で電気信号に変換して出力するものであり、これらを直結積層した検知表面は、この撮像素子の２次元的広がり部分全部に渡って表面に形成されたものである。
【００１９】
連設面とは、連設された撮像素子間の接合面、換言すれば、検知表面の継ぎ目となる面のことを意味し、連設ライン方向とは、撮像素子を連設して並べた時のそれぞれの撮像素子の中心を結んだ線を意味し、また、後述するように、縦横に並べる際には、この連設ライン方向は相互に直交するｘ、ｙの二方向から構成されるものである。
【００２０】
このＸ線センサーユニットは、いわゆる直結タイプの２次元半導体Ｘ線撮像素子をその検知表面が継がれるようにライン状に複数個連設し、撮像素子の連設面は従来と同様に連設ライン方向に垂直な方向に対して傾斜させず、一方、連設ライン方向自体を、Ｘ線の走査方向に対して傾斜させることで、連設面、つまり継ぎ目方向と走査方向とが相対的に傾斜するようにしたものである。
【００２１】
このようにすると、上述したように、撮像素子の継ぎ目によって生じる画像欠損の問題を解消することができる。
また、２次元半導体Ｘ線撮像素子の検知表面の全体が有効利用され、無駄が少なくなる。
【００２２】
請求項２に記載のＸ線センサーユニットは、請求項１に記載のＸ線センサーユニットにおいて、前記それぞれの２次元半導体Ｘ線撮像素子を、その検知表面が前記連設面において相互に重なりあうように、連設していることを特徴とする。
【００２３】
このＸ線センサーユニットは、更に、撮像素子をその連設面で相互に重なりあうようにしており、この重なりにより、撮像素子の検知表面端で生じるデータ欠損を解消することができ、より良く、データ欠損の問題を解決することができる。
【００２４】
請求項３に記載のＸ線センサーユニットは、請求項２に記載のＸ線センサーユニットにおいて、前記２次元半導体Ｘ線撮像素子を、その検知表面が前記Ｘ線の入射方向に対して傾斜して相互に重なりあうように、連設していることを特徴とする。
【００２５】
このＸ線センサーユニットは、請求項２に比べ、同様に撮像素子の縁辺が重なり合うようにするものであるが、その際に、検知表面がＸ線の入射方向に対して傾斜するように重ねあわせるもので、つまり、屋根がわらのように重ね合わせるもので、請求項２と同様の効果を発揮する。
【００２６】
請求項４に記載のＸ線センサーユニットは、請求項１から３のいずれかに記載のＸ線センサーユニットにおいて、前記２次元半導体Ｘ線撮像素子を、前記連設ライン方向に直角方向にも連設していることを特徴とする。
【００２７】
このＸ線センサーユニットは、要するに、撮像素子を縦横に連設し、縦方向だけでなく横方向にも所望の撮像可能領域を広げながら、連設による継ぎ目の問題の解消を図ることができる。
【００２８】
請求項５に記載のＸ線センサーユニットは、請求項１から４のいずれかに記載のＸ線センサーユニットにおいて、前記２次元半導体Ｘ線撮像素子が、ＣｄＴｅ素子、ＣｄＺｎＴｅ素子、ＭＯＳ素子、ＣＭＯＳ素子、ＦＴ型ＣＣＤのいずれかで構成されていることを特徴とする。
【００２９】
請求項６に記載のＸ線センサーユニットは、請求項１から５のいずれかに記載のＸ線センサーユニットにおいて、前記複数個連設された２次元半導体Ｘ線撮像素子が、カーボンファイバー製ケースに収納されていることを特徴とする。
【００３０】
請求項７に記載のＸ線撮影装置は、請求項１から６のいずれかに記載のＸ線センサーユニットを用いたことを特徴とする。
【００３１】
請求項８に記載のＸ線撮影装置は、請求項７に記載のＸ線撮影装置において、前記Ｘ線撮影装置が、パノラマＸ線撮影装置であることを特徴とする。
【００３２】
請求項９に記載のＸ線撮影装置は、請求項７に記載のＸ線撮影装置において、前記Ｘ線撮影装置が、セファロＸ線撮影装置であることを特徴とする。
【００３３】
請求項１０に記載のＸ線撮影装置は、請求項７に記載のＸ線撮影装置において、前記Ｘ線撮影装置が、Ｘ線ＣＴ撮影装置であることを特徴とする。
【００３４】
請求項１１に記載のＸ線撮影装置は、請求項７に記載のＸ線撮影装置において、前記Ｘ線撮影装置が、パノラマＸ線撮影装置、セファロＸ線撮影装置、Ｘ線ＣＴ撮影装置のいずれか２以上の機能を備えた複合Ｘ線撮影装置であることを特徴とする。
【００３５】
請求項１２に記載のＸ線撮影装置は、Ｘ線源と、このＸ線源から発生するＸ線を被写体に照射すべきＸ線ビームに規制するスリット体と、前記被写体を透過したＸ線ビームを撮像するＸ線センサーユニットとを備え、前記Ｘ線ビームを走査して被写体に照射し前記被写体のＸ線画像を生成するＸ線撮影装置であって、上記Ｘ線センサーユニットは、Ｘ線入射面の直下に画像撮像面を直結積層した検知表面を備えた２次元半導体Ｘ線撮像素子を前記検知表面が継がれるようにライン状に複数個連設して構成され、かつ、その連設面がこの連設で形成される連設ライン方向に垂直となるようになっており、前記Ｘ線ビームの走査方向に対して、前記スリット体のスリット方向と、前記Ｘ線センサーユニットを構成する前記２次元半導体Ｘ線撮像素子の前記連設ライン方向とを、同じ方向に傾斜させるようにしたことを特徴とする。
【００３６】
請求項１３に記載のＸ線撮影装置は、請求項１２に記載のＸ線撮影装置において、前記Ｘ線撮影装置が、パノラマＸ線撮影装置、セファロＸ線撮影装置、Ｘ線ＣＴ撮影装置、あるいはこれら３つの撮影装置のいずれか２以上の機能を備えた複合Ｘ線撮影装置のいずれかであることを特徴とする。
【００３７】
【発明の実施の形態】
本発明のＸ線センサーユニット、これを用いたＸ線撮影装置の実施の形態について、添付図面を参照しながら、説明する。
【００３８】
図１は、本発明のＸ線センサーユニットを例示するもので、（ａ）はその一例の外観斜視図、（ｂ）は他例の外観斜視図、（ｃ）は（ａ）のＹ−Ｙ断面図である。
【００３９】
図１（ａ）に示すＸ線センサーユニット２は、図の上下方向に複数個連設された２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａと、この撮像素子２ａの表面をカバーしＸ線の受光を許容し可視光線などを遮るＸ線窓２ｂ、このＸ線窓２ｂを設け、複数個連設された２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａの全体を収容するケース２ｃを備えている。
【００４０】
２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａは、図１（ｃ）のＹ−Ｙ断面図に示すように、その表面から、Ｘ線入射面２ｅ、その直下に直結積層された画像撮像面２ｆ、その下に基板２ｇが積層されており、Ｘ線入射面２ｅと画像撮像面２ｆとを併せて検知表面２ｄという。
【００４１】
この撮像素子２ａは、その一方の表面全体が検知表面２ｄとして構成され、図示したように、この検知表面２ｄが継がれるように連設することで、個々の２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａ一個だけではカバー仕切れない、長い検知領域あるいは広い検知領域を実現することができる。
【００４２】
一方、従来例で説明したように、このような連設を行うと、その連設部つまり継ぎ目によって、Ｘ線受光データを検知できない部分が生じるが、その問題を図示したように、連設された撮像素子２ａの継ぎ目を形成する連設面２ｈの方向を、図示するようにＸ線の走査方向Ｄに対して、所定の角度θだけ傾けることによって、解消している。この原理については、図２を用いて後述する。
【００４３】
ここで、図１（ａ）において、符号Ｒは、撮像素子２ａを連設して並べた時のそれぞれの撮像素子２ａの中心を結んだ線の方向である連設ライン方向を示し、符号ＤＬは、Ｘ線の走査方向Ｄに対する垂線方向を示している。
【００４４】
この図から、解るように、この場合、連設ライン方向Ｒは、走査方向に対する垂線方向ＤＬと一致しており、この連設ライン方向自体は通常のＸ線センサーユニットと変わるところはない。一方、連設ライン方向Ｒに垂直な方向、つまり、走査方向Ｄと連設面２ｈの方向は角度θだけ傾斜している。
【００４５】
２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａの素材としては、ＣｄＴｅ素子、ＣｄＺｎＴｅ素子、ＭＯＳ素子、ＣＭＯＳ素子、ＦＴ型ＣＣＤが好適であり、いずれも、受光したＸ線を電気信号あるいはデジタル信号として出力可能で、また、その出力のための受光データの走査方向は、撮像素子２ａの外形形状、つまり縁辺方向に拘束させることなく、所望の方向とすることができるものであり、本発明のように、撮像素子２ａはＸ線走査方向Ｄに対して傾けて設けるが、データの読みだしは、この走査方向Ｄと同じ方向に読み出す必要がある場合に適している。
【００４６】
特に、ＣｄＴｅ素子あるいはＣｄＺｎＴｅ素子は、高感度、高速撮影が可能であるため、１５０枚／秒程度のフレーム画像の転送が可能となり、静止画像だけでなく被写体のＸ線画像を動画像として再生表示することができ、本発明の効果と相乗してその効果を発揮する。
【００４７】
また、ＦＴ型ＣＣＤは、ＣＣＤにメモリ領域を有するフルトランスファー型ＣＣＤと呼ばれるものである。
【００４８】
ケース２ｃは、カーボンファイバー製ケースとするのが、軽量で機械的強度もあるので、好適であるが、Ｘ線を透過させず、機械的強度があり、重量も重くならないものであれば、これに限るものではない。
【００４９】
なお、この図１（ａ）では、Ｘ線窓２ｂでカバーされた２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａの連設面２ｈが実線で示されているが、実際には、このＸ線窓２ｂの素材は、可視光線を透過させないものであり、この連設面２ｈを見ることが出来ないものである。しかしながら、ここでは、撮像素子２ａの連設についてより明瞭な概念把握を促すために、このような表記としたものである。この点については、以下の各図でも同様である。
【００５０】
図１（ｂ）に示すＸ線センサーユニット２Ａは、図１（ａ）のＸ線センサーユニット２に比べ、連設された２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａの連設面２ｈは、連設ライン方向Ｒに対して、図示するように傾斜しておらず、垂直となっている。その代わりに、この連設ライン方向Ｒ自体が、Ｘ線の走査方向Ｄに対する垂直方向ＤＬに対して、角度θだけ傾斜している。また、このため、Ｘ線窓２ｂも同様に傾斜し、ケース２ｃもこれに対応したものとなっている。
【００５１】
このようにしても、結果的に、連設面の方向とＸ線の走査方向とを相対的に傾斜させることができ、Ｘ線センサーユニット２と同様の効果を発揮する。この点についても、図２を用いて説明する。
【００５２】
また、図１（ａ）のＸ線センサーユニット２では、個々の２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａの検知表面２ｄの内、Ｘ線窓２ｂから透過してくるＸ線に曝されるのは、実線で表示した部分であり、それ以外の点線で表示した部分は、有効に利用されていないが、図１（ｂ）のＸ線センサーユニット２Ａの場合には、その検知表面が全部利用されており、無駄がなく、撮像素子の面積効率がよい。
【００５３】
図２（ａ）は本発明のＸ線センサーユニットの動作原理の概念説明図、（ｂ）は従来のＸ線センサーユニットの動作原理の概念説明図である。これより、すでに説明した部分と同じ部分については、同じ符号を付して重複説明を省略する。
図２（ａ）は、図１（ａ）のＸ線センサーユニット２を用いて撮像したＸ線画像データＩＡと、図１（ｂ）のＸ線センサーユニット２Ａを用いて撮像したＸ線画像データＩＡ′を示しており、有効な画像がある領域を、それぞれ右上がりと右下がりの斜線で示している。
【００５４】
この図において、ＩＢで示した斜線のない部分は、有効な画像が得られない境界領域ＩＢであり、符号ＩＳは、ユニット２の撮像素子２ａにおいて、この画像データＩＡ、ＩＢを電気信号化するために走査する走査方向（点線）を示している。
【００５５】
一方、図２（ｂ）は、従来例の、連設された撮像素子の連設面をＸ線の走査方向Ｄに対して傾けないで撮像したＸ線画像データＩＣと、有効な画像が得られない境界領域ＩＢとを示している。
【００５６】
この両者、つまり、画像データＩＡと画像データＩＣとを比較すると、Ｘ線照射の走査方向Ｄと同じ走査方向ＩＳにデータ走査をした場合、図２（ｂ）では、図示するように、境界領域ＩＢを走査する場合には、走査ライン上で連続して有効な画像データが得られない状態が生じ、これが画像欠陥となって現れる。
【００５７】
一方、図２（ａ）では、この図が示すように、Ｘ線センサーユニット２を用いて撮像した場合には、境界領域ＩＢの大きさは同様であるが、その領域の長手方向が、撮像素子２ａの連設面２ｈと走査方向Ｄの傾きと同じように、傾いて現れる。したがって、このような画像データＩＡを走査方向ＩＳで走査しても、一つの走査ライン上で、有効な画像データが得られない部分はすくなく、画像全体では目立たなくなる。
【００５８】
また、この場合は、走査ライン上の境界領域ＩＢの前後の画像データＩＡを用いて、補完することも簡単であり、補完することによって、画像データのない部分をほぼ完全になくすことも可能である。
【００５９】
こうして、撮像素子間の継ぎ目による問題を解消することができるのである。
【００６０】
また、図２（ａ）において、画像データＩＡ′に注目すると、この境界領域ＩＢも、その撮影原理から、画像データＩＡの場合と同様であり、したがって、同様に効果が発揮されることも解る。
【００６１】
なお、この場合、画像データＩＡ′全体が傾いているが、この傾いた状態で、被写体の全体に走査を行うことによって、被写体全体の画像を得ることができるので、何ら問題は生じない。
【００６２】
図３（ａ）は本発明のＸ線センサーユニットの他例を示す外観正面図、（ｂ）は、そのＹ１−Ｙ１断面図である。
【００６３】
このＸ線センサーユニット２Ｂは、図示するように、図１（ａ）のＸ線センサーユニット２に比べ、２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａの連設面２ｈにおいて、双方の撮像素子２ａが重なりあっていることを特徴とする。なお、この図において、角度θ１は、この場合の連設面２ｈの方向と走査方向Ｄとの間の傾斜角度である。
【００６４】
このような重なりの効果については、特開２０００−２９２５４６号公報に記載されているように、境界領域の画像データ欠損の問題を解消できるものであるが、本発明の連設面の方向とＸ線の走査方向とを相対的に傾斜させることによる境界領域の画像データ欠損の問題解消と相俟って、より良く、その効果を発揮する。
【００６５】
図４（ａ）は本発明のＸ線センサーユニットの他例を示す外観正面図、（ｂ）は、そのＹ２−Ｙ２断面図である。
【００６６】
このＸ線センサーユニット２Ｃは、図示するように、図３のＸ線センサーユニット２Ｂに比べ、２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａの連設面２ｈにおいて、双方の撮像素子２ａが重なりあっている点は同一であるが、その重なりあいの態様が異なっている。
【００６７】
つまり、図３のＸ線センサーユニット２Ｂでは、撮像素子２ａの重なりは、その両端の重なり状態を、その相手の上か下かでしめすと、上−上、下−下、上−上、下−下、・・・となっており、それぞれの撮像素子２ａの検知表面２ｄは、Ｘ線の入射方向に対して垂直となっている。
【００６８】
それに比べ、図４のＸ線センサーユニット２Ｃでは、上−下、上−下、上−下、・・・と、屋根瓦方式となっており、それぞれの撮像素子２ａの検知表面２ｄは、Ｘ線の入射方向に対して多少傾いている。
【００６９】
このような重ね方でも、特開２０００−２９２５４６号公報に記載されているように、上記と同様に、境界領域の画像データ欠損の問題を解消でき、本発明の連設面の方向とＸ線の走査方向とを相対的に傾斜させることによる境界領域の画像データ欠損の問題解消と相俟って、より良く、その効果を発揮する。
【００７０】
なお、この図では、連設面２ｈと走査方向Ｄとの傾斜の角度を角度θ２としているが、これは、この傾斜角度は、個々の要請に応じて適宜設定されるものであり、常に同一である必要はないことを示している。
【００７１】
図５は、本発明のＸ線センサーユニットの他例を示すもので、（ａ）は（ｂ）のＹ３−Ｙ３断面図、（ｂ）は、その外観正面図である。
【００７２】
このＸ線センサーユニット２Ｄは、図１（ｂ）で説明したＸ線センサーユニット２Ａと同様に、連設ライン方向Ｒと連設面２ｈが傾斜せず垂直となる点では共通しているが、隣り合う２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａを、図４のＸ線センサーユニット２Ｃのように傾斜させて重ね合わせ、更に、２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａを一つ連設ライン方向（縦方向）Ｒだけでなく、それにほぼ直交する他方向、例えば、横方向、つまり、連設ライン方向Ｒ′にも連設している点が異なっている。
【００７３】
このＸ線センサーユニット２Ｄは、連設ライン方向Ｒ、Ｒ′と連設面２ｈを傾斜させていないので、その代わりに、連設ライン方向Ｒ、Ｒ′の全体を、Ｘ線の走査方向Ｄに対する垂直方向ＤＬに対して角度θ３だけ傾斜させることで、連設面２ｈと走査方向Ｄを傾斜させるようにしている。
【００７４】
このようにすると、連設によって生じる継ぎ目の問題を解消すると共に、一方向にだけ長い検知表面だけでなく、縦横に広い検知表面を実現することができる。
【００７５】
図６（ａ）、（ｂ）は、それぞれ本発明のＸ線センサーユニットの他例を示す外観正面図である。
【００７６】
これらのＸ線センサーユニット２Ｅ、２Ｆは、２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａを縦横に連設する場合の種々の連設方法を示している。
【００７７】
図６（ａ）に示すＸ線センサーユニット２Ｅは、図示したように、一つの連設ライン方向Ｒについては、２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａの連設面２ｈを角度θ４だけ傾斜させ、他の連設ライン方向Ｒ′については、連設面２ｈを傾斜させないで、また、図５のように撮像素子２ａ同士を重ね合わせないで、図１のＸ線センサーユニット２，２Ａと同様に、突き合わせ密着させて連設している。
【００７８】
このようにしても、図２の動作原理説明から解るように、走査方向Ｄに平行な撮像素子２ａの連設面２ｈで形成される継ぎ目によって発生する問題を解決することができる。
【００７９】
一方、この方法の場合、図中に点線斜線で示した撮像素子２ａの検知表面２ｄの不利用領域Ｚが発生し、この不利用領域Ｚは、傾斜の角度θ４と、連設ライン方向Ｒ′の連設個数によって大きくなるので、この点を考慮して、Ｘ線センサーユニット２Ｅを構成する必要がある。
【００８０】
図６（ｂ）に示すＸ線センサーユニット２Ｆは、図示したように、縦方向の連設ライン方向Ｒと、横方向の連設ライン方向Ｒ′のそれぞれについて、２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａの連設面２ｈを角度θ５だけ傾斜させて、撮像素子２ａを連設している。
【００８１】
また、この場合、縦方向の連設ライン方向Ｒには、図６（ａ）のＸ線センサーユニット２Ｅと同様に、撮像素子２ａ同士を連設面２ｈで突き合わせ密着させて連設しているが、横方向の連設ライン方向Ｒ′には、図５のＸ線センサーユニット２Ｅと同様に、撮像素子２ａ同士を連設面２ｈで重ね合わせている。
【００８２】
このようにしても、図２の動作原理説明、図５との対比から解るように、走査方向Ｄに平行な撮像素子２ａの連設面２ｈで形成される継ぎ目によって発生する問題を解決することができる。
これより、このような特徴を有するＸ線センサーユニットを活用したＸ線撮影装置について説明する。
【００８３】
図７は、本発明のＸ線センサーユニットを用いたＸ線撮影装置の一例を示す概略構成図である。このＸ線撮影装置は、歯科用などのパノラマＸ線撮影装置、Ｘ線ＣＴ（ComputedTomography）撮影装置として機能するものである。
【００８４】
このＸ線撮影装置２０においては、被写体Ｏを挟んで対向するようにＸ線源１とＸ線センサーユニット２が配置され、これらは旋回アーム３のアーム両端に取付けられる。Ｘ線源１には１次スリットが設けられ、旋回軸３ａに対して平行な縦長スリット状のＸ線ビームを発生して、被写体Ｏを照射しながら旋回軸３ａを中心に旋回する。
【００８５】
Ｘ線センサーユニット２は、被写体Ｏを通過したＸ線を縦長のスリット像として２次元的に検出して電気信号に変換する。このＸ線センサーユニット２については既に説明した。
【００８６】
旋回アーム３は、被写体Ｏの周りを回転自在に支持されており、演算処理手段Ｆからの駆動信号を受けた旋回アーム駆動制御手段Ｃからの制御により所定角速度で回転する。像記憶手段Ｆａは、アーム３の旋回中にＸ線センサーユニット２から出力される被写体ＯのＸ線透過画像情報を連続的に記録するものであり、たとえばＶＴＲ(Video TapeRecorder）や光ディスク、光磁気ディスクなどのビデオ信号記録装置や大容量のＲＡＭ（Random AccessMemory）のような半導体記憶素子やハードディスクなどが使用される。
【００８７】
演算処理手段Ｆはコンピュータなどで実現され、像記憶手段Ｆａに記憶された画像データに基づいて演算処理を行うとともに、装置全体の動作を制御する。演算処理手段Ｆには、使用者がデータを入力するキーボード等の操作部１１が接続される。演算処理手段Ｆでの画像処理によって得られたパノラマ画像などは、フレームメモリＦｂに記憶され、ＣＲＴや液晶等の画像表示装置または画像を印刷するハードコピー装置などの出力部Ｅに出力される。
図８は、図７の装置におけるＸ線撮像の手順を示すフローチャートである。
【００８８】
まず旋回アーム駆動制御手段Ｃを駆動しながらＸ線源１からＸ線を照射し、被写体Ｏを通過したＸ線をＸ線センサーユニット２で受け、得られたＸ線の画像情報をフレーム画像の電気信号に変換する。この電気信号として、たとえばテレビジョンのビデオ信号と同じ信号形式が採用され、１秒当り３０枚の割合で像記憶手段Ｆａに連続的に記録される（ステップＳ１）。このフレーム画像はＸ線のスリットビームに対応した縦長のスリット像となっており、たとえば３０秒で被写体Ｏの周りを半周させれば９００枚の一連のフレーム画像が得られる。なお、フレーム画像は上述のビデオ信号のような連続信号でなく、短い周期で間欠的に撮影して、これを電気信号に変換したものであってもよい。
【００８９】
次に、像記憶手段Ｆａに連続的に記録されている一連のフレーム画像から、或る時間間隔で並ぶフレーム画像を選択的に取り出すための取出し間隔と、取出した各フレーム画像をスリット像の幅方向に所定距離ずつ位置をずらしながら加算するための距離、すなわちシフト量とを選定し（ステップＳ２）、この取出し間隔で該当するフレーム画像をデジタル信号の形式で順次取出し、選定したシフト量に従って位置をずらせながら加算処理を行う（ステップＳ３）。
【００９０】
このときの取出し間隔とシフト量とは任意に選定することができ、これに対応して或る特定の断層面のパノラマ画像が上記加算処理によって得られる。そこでこれをフレームメモリＦｂに記憶させ、必要に応じてこのパノラマ画像を出力部Ｅで表示し、あるいはハードコピーとして出力するのである（ステップＳ４）。
【００９１】
なお、符号Ｓ１ａ、Ｓ３ａ、Ｓ４ａは各ステップにおいて得られる画像の概略を例示したものである。
【００９２】
上記の取出し間隔とシフト量に応じて特定の断層面のパノラマ画像が得られることは、従来のフィルム式のパノラマＸ線撮影装置において、Ｘ線源とフィルムとを所定の比率で相対運動させることにより、特定の断層面のパノラマ画像が得られることと原理的に同じであるが、デジタル方式では撮影後に取出し間隔とシフト量を選定することによって任意の断層面を対象としてそのパノラマ画像を適宜形成できる点が異なっている。
【００９３】
なお、本出願人の出願に係る特開平９−１４０７０１号公報では、本発明のＸ線センサーユニットで用いたものと同様の二次元的広がりのある２次元半導体Ｘ線撮像素子と幅広のＸ線ビームとを用いて、ぼけの少ないＸ線画像を得る方法が記載されているが、この方法は、本発明のように撮像素子の継ぎ目方向とＸ線の走査方向とを相対的に傾斜させるＸ線センサーユニットにおいても適用可能であり、双方を組合わせて用いることにより、相乗的効果を発揮する。
【００９４】
図９は、本発明のＸ線センサーユニットを用いて立体的なＸ線画像を得る原理の概念説明図である。
【００９５】
ここで、図９（ａ），（ｂ），（ｃ）は、固定された被写体Ｏに対して、Ｘ線源１とＸ線センサーユニット２、より具体的には、このユニット２に内蔵された２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａとが同期的に図中に黒矢印で示した方向に平行移動して、これによって、被写体ＯをＸ線Ｘを図に示す走査方向Ｄに走査している様子を示している。
【００９６】
この時、被写体の一点Ｐ０に注目すると、図９（ａ）では、この点Ｐ０にＸ線Ｘの走査方向Ｄに一番先端のＸ線Ｘ１が照射され、（ｂ）では、Ｘ線Ｘの内、真ん中あたりのＸ線Ｘ２が照射され、（ｃ）では、Ｘ線Ｘの走査方向Ｄに一番後端のＸ線Ｘ３が照射されているのが解る。
【００９７】
この３つのＸ線Ｘ１，Ｘ２，Ｘ３に注目すると、図９（ｄ）で解るように、少なくとも、３つの方向からＸ線Ｘが照射され、その透過Ｘ線画像が２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａにデータとして獲得されていることが解る。
【００９８】
したがって、このようなデータを用いて、点Ｐ０の走査方向Ｄの平面上の位置だけでなく、走査方向Ｄに直交する方向の位置も得られることがわかる。
【００９９】
つまり、このような一定幅のＸ線源と２次元半導体Ｘ線撮像素子とを被写体に対して一方向に走査しながら撮影するＸ線撮影方法によっても、被写体の３次元的なＸ線画像を得ることができるのである。また、この方法は、先にも説明したように、被写体を中心として、Ｘ線源と２次元半導体Ｘ線撮像素子とを対面旋回させてＸ線を走査するＸ線撮影方法においても、同様に適用可能である。
【０１００】
図１０は、本発明のＸ線センサーユニットを用いたＸ線撮影装置の他例を示す全体構成図である。なお、このＸ線撮影装置の基本構成は、図７に示すＸ線撮影装置と同様であり、同じものには同じ符号を付して重複説明を省略する。
【０１０１】
このＸ線撮影装置２０Ａは、本発明のＸ線センサーユニット２を備えたＸ線撮影手段Ａ、Ｘ線ビーム幅制限手段Ｂ、旋回アーム駆動制御手段Ｃ、演算処理手段Ｆ、表示部（出力部）Ｅ、被写体保持手段４、主フレーム１０、操作部１１、操作パネル１２などを備え、後述するいわゆる局所照射Ｘ線ＣＴ撮影を行うことができるものである。また、Ｘ線撮影手段Ａと旋回アーム駆動制御手段Ｃとを合わせて、旋回手段と呼ぶ。
【０１０２】
Ｘ線撮影手段Ａは旋回アーム３を有しており、この旋回アーム３は、Ｘ線源１とＸ線センサーユニット２とを対向した状態で吊り下げ配置している。
【０１０３】
Ｘ線源１は、出射制御スリット８とＸ線ビームコントローラ８ｂとを備えたＸ線ビーム幅制限手段Ｂを有しており、Ｘ線管より発射するＸ線ビームをＸ線ビーム幅制限手段Ｂで調整して、所望のビーム幅のＸ線コーンビーム１ａ、あるいはオルソＸ線コーンビーム１ｂが放射できるようになっている。
【０１０４】
旋回アーム３には、ＸＹテーブル３１と昇降制御モータ３２と回転制御モータ３３とが設けられており、Ｙ軸制御モータ３１ａ、Ｘ軸制御モータ３１ｂを制御することによって、その回転中心３ａをＸＹ方向に位置調整可能とし、昇降制御モータ３２を駆動することによって上下に昇降するとともに、撮影時には回転制御モータ３３を等速度で駆動させて旋回アーム３を被写体Ｏの周りに旋回できるようにしている。この昇降制御モータ３２は、旋回アーム３のアーム上下位置調整手段を構成している。
【０１０５】
また、旋回アーム３の回転中心３ａ、つまり、旋回軸３ａが鉛直に設けられ、旋回アーム３が水平に回転し、Ｘ線コーンビーム１ａが水平に局所照射されるので、装置を占有床面積の少ない縦型として構成することができる。
【０１０６】
この回転制御モータ３３は、旋回アーム３の旋回駆動手段を構成しており、サーボモータなどのように、その回転速度、回転位置を自由に制御することができるモータを用い、また、旋回アーム３の回転中心（旋回軸）３ａに軸直結（同軸）で設置されている。
【０１０７】
したがって、旋回アーム３を等速度又は可変速で回転をさせることができるとともに、その回転位置も時間軸に沿って知ることができるので、タイミングを合わせて、Ｘ線センサーユニット２でＸ線投影画像を取り出すのに都合がよく、また、芯振れがなく、局所照射Ｘ線ＣＴ撮影方法を有効に実施することができる。
【０１０８】
旋回アーム３の回転中心３ａには、中空部３ｂが設けられている。このような中空部３ｂを設けるためには、回転中心３ａ上に有る関連部品に全て、中空孔を設ける必要があるが、例えば、回転制御モータ３３としては、そのために、中空軸を使用したサーボモータを使用することができる。
【０１０９】
この中空部３ｂは、旋回アーム３に吊り下げ配置されたＸ線源１とＸ線センサーユニット２と、主フレーム１０側に設けた操作部１１との間の接続線を配置するためのものである。
【０１１０】
回転部分に対して、電気配線を接続する場合、その接続線の配置方法が問題になるが、このように、旋回アーム３の回転中心３ａを通して接続線を配置すると、回転による捻じれなどの影響を最小限にすることができるとともに、配線の美観上も好ましい効果を得ることができる。
【０１１１】
旋回アーム駆動制御手段Ｃは、この実施例ではＸＹテーブルからなる位置調整手段３１と、旋回アームを昇降させるための昇降制御モータ３２と、回転制御モータ３３とを組み合わせて構成され、位置調整手段３１は旋回アーム３の回転中心３ａ、つまり旋回軸３ａをＸ軸方向に移動させるためのＸ軸制御モータ３１ｂ、Ｙ軸方向に移動させるためのＹ軸制御モータ３１ａから構成されている。
【０１１２】
しかしながら、旋回アーム駆動制御手段Ｃは、このような構成に限られない。最も簡易な構造では、旋回アーム３の中心３ａは、手回しハンドルを操作して、任意の位置に設定できるようにしてもよい。
【０１１３】
旋回アーム３の回転中心３ａを水平方向に移動設定するための位置調整手段３１は、その回転中心３ａを被写体Ｏの内部の局所照射Ｘ線ＣＴ撮影をすべき局所部位Ｐあるいは所定位置Ｑの中心に一致させるように位置調整するためのものであるが、次に述べるような保持手段位置調整機構４１を備えた被写体保持手段４が設置されている場合には、被写体側で、同様の調整をすることができるので、必ずしも、設けなくともよいものである。
【０１１４】
被写体Ｏ（ここでは、人体頭部を例として説明する。）は、被写体保持手段４のチンレスト４ａに下顎を載せ、イヤロッド４ｂの先端を両外耳穴に嵌めて、位置設定されるようになっている。この被写体保持手段４は、Ｘ軸制御モータ４１ａ、Ｙ軸制御モータ４１ｂ、Ｚ軸制御モータ４１ｃを備えた保持手段位置調整機構４１を備え、この保持手段位置調整機構４１によって、上下方向は被写体Ｏの高さに合わせ、左右方向は、撮影に適した位置に被写体Ｏの位置を設定できるようになっている。
【０１１５】
被写体保持手段４は、それぞれ駆動源としてＸ軸制御モータ４１ａ、Ｙ軸制御モータ４１ｂ、Ｚ軸制御モータ４１ｃをそなえたＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸直線移動テーブルを組み合わせたテーブル（不図示）に載置されている。これらのＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸直線移動テーブルは、それぞれ周知のクロスローラガイドや、通常のベアリングとガイドを組み合わせたものなどで構成され、正確に直線移動ができるものである。駆動源のモータ４１ａ〜４１ｃによる、これらのＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸直線移動テーブルの移動は、ラックとピニオン方式や、ボールネジ方式や、通常のネジ軸を用いる方式などを適用できるが、正確に位置決めできるものが望ましい。
【０１１６】
このような直線移動テーブルと駆動方式を備えたＸ軸制御モータ４１ａとＹ軸制御モータ４１ｂで、被写体水平位置調節手段４２を構成し、また、Ｚ軸制御モータ４１ｃで、被写体上下位置調節手段４３を構成している。
【０１１７】
こうして、被写体Ｏの水平位置を自由に設定できる被写体水平位置調節手段４２と、被写体Ｏの上下位置を自由に設定できる被写体上下位置調節手段４３を備えているので、被写体Ｏの高さに被写体保持手段４の高さを合わせることができると共に、旋回アーム３の回転中心３ａに、被写体Ｏの内部の局所部位Ｐの中心Ｐａを合わせるのに便利がよい。
【０１１８】
また、上述したように、旋回アーム３側でも、その回転中心３ａの位置を移動設定する位置調整手段３１と昇降制御モータ３２を備えている場合には、被写体水平位置調節手段４２は、必ずしも必要なものではない。しかし、まず、被写体Ｏのあらましの位置設定を被写体水平位置調節手段４２と被写体上下位置調節手段４３によって行い、その後に、微調整を、旋回アーム３側の位置調整手段３１と昇降制御モータ３２によって行うという使い方も便利な場合があるので、双方を備えてもよい。
【０１１９】
また、被写体位置調節手段としては、上述したものの他、被写体Ｏ（ここではその人体頭部を有する被検者をさす。）の座っている椅子と共に被写体保持手段４を移動させて位置設定するという手段も可能である。このようにすると、被検者は、椅子に座った自然な姿勢を保ったままで、撮影に適切な位置決めがなされるので、被検者にとって優しい装置となる。
演算処理手段Ｆは、画像処理解析に高速で作動する演算プロセッサを含んでおり、Ｘ線センサーユニット２上に生成されたＸ線投影画像を前処理した後、所定の演算処理を実行することによって、Ｘ線を透過させた物体内部のＸ線吸収係数の３次元分布情報を算出し、また、所定の算術平均などの演算を行って、表示装置Ｅに撮影されたＸ線画像や、パノラマＸ線画像を表示させ、また必要な記憶媒体に画像情報として記憶させる。
【０１２０】
なお、演算処理手段Ｆは、撮影中に順次演算処理しても良いし、撮影後に必要に応じて演算処理するようにしても良い。
【０１２１】
主フレーム１０は、この装置２０Ａ全体を支持している構造体である。操作部１１は、この装置２０Ａ全体を制御し、かつ、操作パネル１２からの入力を受けて、種々の設定制御司令を行うものである。
【０１２２】
操作パネル１２は、装置２０Ａの必要な設定のための入力や、操作をするためのものである。
なお、局所照射のＸ線ＣＴ装置の場合、撮影前に位置調整手段または被写体保持手段４でＸ線装置と被写体Ｏの相対的位置付けを行ってから回転中心３ａを固定した状態で撮影する。歯科用パノラマＸ線撮影装置の場合には、上記Ｘ線ＣＴ装置と同様に被写体Ｏの位置付けを行った後、撮影中に位置調整手段３１で従来の装置と同様に歯列弓の断層に対してほぼ垂直になるようにＸ線を照射するように回転中心３ａを移動させても良いし、また、回転中心３ａを固定のまま撮影し、撮影後に画像処理によりパノラマ像を得るようにすることもできる。
【０１２３】
図１１は、図１０の装置における局所照射Ｘ線ＣＴ撮影方法の原理説明図である。
【０１２４】
この図において、Ｘ線源１、Ｘ線センサーユニット２、旋回アーム３についてはすでに説明した。Ｐは被写体の内、撮影すべき局所部位となる前歯を示しており、Ｓは歯列弓を示している。
【０１２５】
局所照射Ｘ線ＣＴ撮影では、図１１に示したように、局所部位Ｐの中心Ｐａ、を旋回アーム３の回転中心３ａとして、旋回アーム３を等速で旋回させる。このとき、Ｘ線源１は、局所部位Ｐのみを包含する大きさのビーム幅を有したＸ線コーンビームＸｂを放射するので、Ｘ線センサーユニット２の検知表面２ｄには、拡大率の一定した局所部位ＰのＸ線画像が順次生成される。
【０１２６】
このようにして撮影されたＸ線投影画像をコンピュータによって逆投影などの演算処理をすれば、局所部位Ｐの内部のＸ線吸収係数の３次元分布情報が算出されるので、その局所部位Ｐの任意の断層面を指定し、あるいは予め指定しておけば、そのＸ線画像が得られる。
【０１２７】
旋回アーム３は、局所部位Ｐの中心Ｐａと旋回アーム３の回転中心３ａを一致させた状態で旋回する。この際、Ｘ線コーンビームＸｂは、常に局所部位Ｐのみを包含するように局所照射される。また、撮影条件に応じて、少なくとも局所部位Ｐに対して半周照射すれば、その部分の任意の断層面画像が生成できる。
【０１２８】
このような局所照射可能なＸ線ＣＴ撮影装置においても、本発明のＸ線センサーユニットは、その継ぎ目によって生じる画像欠損を解消することができ、このような画像欠損のない原画像を元に、逆投影することによって、得られるＸ線吸収係数の３次元分布情報も、より欠陥の少ないものとなる。
【０１２９】
図１２（ａ）は図１０のＸ線撮影装置の外観正面図、（ｂ）は（ａ）を上方から見た平面図である。この装置は、図１０で説明したパノラマ撮影機能に加え、以下に説明するように、頭部規格撮影機能（セファロ撮影機能）を備えたものである。
【０１３０】
Ｘ線撮影装置２０Ａには、既に説明した部分に加え、旋回アーム３は、Ｘ線源１を回動可能に支承するＸ線源保持部３４と、Ｘ線センサーユニット２を着脱可能に保持する検出器ホルダ３５とをその両端に下垂しており、また、この装置全体を支持する構造体４とを備えている。
【０１３１】
構造体９は、旋回アーム３を旋回可能に支承する昇降体９ａ、この昇降体９ａを上下位置調整可能に支承する支柱９ｂ、この支柱９ｂを立設した台座９ｃ、昇降体９ａに下垂設置され、旋回アーム３の旋回中心付近に被写体を固定するパノラマ用被写体固定手段９ｄ、昇降体９ａから横方向に延設されたセファロ用アーム９ｅを備えている。
【０１３２】
被写体固定手段６は、このセファロ用アーム９ｅの端部に、図１２（ｂ）の平面図で示されているように、旋回アーム３が図の旋回角度位置となり、これに下垂されたＸ線源１と被写体固定手段６と結ぶ線が、セファロ用アーム９ｅとほぼ平行になるような位置であって、被写体固定手段６とＸ線源１間の距離が所定のセファロ撮影距離となる位置に、水平アーム６ｅを介して設置されている。
【０１３３】
この被写体固定手段６には、人体頭部Ｏの前額部を規定する前額ガイド６ａ、両耳部を規定する左右一対の耳ガイド６ｂ，６ｃ、これらのガイド６ａ、６ｂ、６ｃを調整可能に下垂させた固定板６ｄが設けられている。
【０１３４】
セファロ用アーム９ｅの端部には、更に、検出器支持部５を備え、この検出器支持部５には、Ｘ線センサーユニット２を電気的機械的に着脱可能に保持する検出器ホルダ５１、この検出器ホルダ５１を走査方向Ｄに速度、位置調整可能に移動させる検出器移動軸５２、Ｘ線源１の１次スリット１ｉで制限されたＸ線ビームＸを被写体に照射される前に、更に一定範囲だけに制限するための２次スリット５５が備えられている。
【０１３５】
このＸ線撮影装置２０Ａは、このような構成であって、図のような配置で、被写体固定手段６に被写体を固定して、一方、Ｘ線源１は図の位置に固定され、１次スリット１ｉ、２次スリット５５、Ｘ線センサーユニット２を同期移動させて、Ｘ線細隙ビームＸを走査し、被写体である人体頭部のセファロ撮影を行うことができ、その際に、上述のＸ線センサーユニットを用いているので、２次元半導体Ｘ線撮像素子の継ぎ目の影響のない良好なＸ線画像を得ることができる。
【０１３６】
なお、ここでは、同期移動の方向Ｄ、つまりＸ線細隙ビームＸの走査方向Ｄは、水平方向、つまり、Ｘ線細隙ビームの照射方向に直交する左右方向としているが、図中に二点鎖線（想像線）の矢印で示した方向Ｄ′のように、垂直方向、つまり、Ｘ線細隙ビームの照射方向に直交する上下方向の移動としてもよい。
【０１３７】
一方、旋回アーム３において、Ｘ線源１をこの旋回中心を向くようにし、また、検出器ホルダ３５にＸ線センサーユニット２を装着し、被写体固定手段９ｄに被写体である人体頭部を固定して、この被写体を中心として、Ｘ線源１とＸ線センサーユニット２を対面旋回させながらＸ線細隙ビームを照射して撮影するパノラマ撮影も行うことができる。
【０１３８】
このＸ線撮影装置２０Ａは、このように２種類の撮影が、Ｘ線源やＸ線センサーユニットを別個に設けることなくできるので、省資源であるという効果を更に発揮する。
図１３（ａ）は図１２のＸ線撮影装置における撮影方法の一例の概念説明図、（ｂ）は他例の概念説明図である。
【０１３９】
図１２のＸ線撮影装置２０Ａは、図１（ｂ）に示したＸ線センサーユニット２Ａを用いて、Ｘ線撮影を行うものであるが、その際に、この図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、照射されるＸ線ＸをＸ線源１の前面において、被写体Ｏに照射する前に規定する一次スリット１ｉをそのスリット方向１ｊが傾斜しているものとし、その傾斜角度θと、Ｘ線センサーユニット２Ａの２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａの連設ライン方向Ｒの傾斜角度θとを一致させるようにしたものである。
【０１４０】
この方法は、図１３（ａ）のように、Ｘ線源１とＸ線センサーユニット２Ａとが対向状態を保って旋回中心３ａを中心として回転して撮影を行うパノラマ撮影、Ｘ線ＣＴ撮影、局所照射Ｘ線ＣＴ撮影をする場合にも、また、図１３（ｂ）のように、Ｘ線源１とＸ線センサーユニット２Ａとを被写体Ｏを挟んで平行移動させて撮影を行うセファロ撮影をする場合にも適用可能であって、このようにすると、Ｘ線センサーユニット２Ａに連設された複数の２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａで形成される検知表面の傾きに対応したＸ線が照射され、最も効率よくＸ線が受光されるので無駄がない。
【０１４１】
一方、この傾斜角度θがあまり大きくない場合には、特に、Ｘ線のスリット方向を傾斜させることなく、幅広のビームを照射することによって、傾斜した検知表面をもつＸ線センサーユニット２Ａに対応することができる。
図１４は、（ａ）、（ｂ）は図１３（ａ）のパノラマ撮影方法に対応するもので、（ａ）はその概念説明図、（ｂ）はこの撮影方法によって得られるＸ線画像、（ｃ）、（ｄ）は図１３（ｂ）のセファロ撮影方法に対応するもので、（ｃ）はその概念説明図、（ｄ）はこの撮影方法によって得られるＸ線画像である。
【０１４２】
この図１４（ａ），（ｃ）は、被写体Ｏに対して、どのようにＸ線（Ｘ線ビーム）Ｘが照射されるかを示しており、Ｘ線ビームＸを角度θだけ傾けた場合と、これを傾けないでスリット方向と走査方向Ｄに対する垂直方向ＤＬとを一致させた場合のビームの広がり（二点鎖線で示す。）の関係がよく解る。
【０１４３】
このようにして、連設面を傾けたＸ線センサーユニット２Ａなどを用いて、結果的に得られる画像（ｂ），（ｄ）は同様のものであり、更に、この画像では、連設面に生じる継ぎ目によって発生する画像欠損のない、良好なＸ線画像を得ることができる。
図１５は、図１０のＸ線撮影装置のＸ線源付近を示すもので、（ａ）はその上面図、（ｂ）はその縦断面図、図１６は、（ａ）は図１５のＸ線スリット手段の外観斜視図、（ｂ）は（ａ）のマスク板を前面より見た所を示す概念図である。
【０１４４】
本発明のＸ線撮影装置では、Ｘ線センサーユニットに対応してＸ線のスリット方向を傾斜可能とすべく、Ｘ線源１にＸ線のスリット方向を傾けるＸ線スリット手段を備えている。
【０１４５】
（ａ）は、Ｘ線源１を回転させるＸ線源保持部３４を上部から見た所を示しており、この図から、同保持部３４は、Ｘ線源１全体を角度位置決め可能に駆動するサーボモータ３４ａ、このモータ３４ａに回転駆動されるウォームギヤ３４ｂ、ウォームギヤ３４ｂに噛み合うウォームホイール３４ｃと、これらを載置しているベース３４ｄからなっている。
【０１４６】
このウォームホイール３４ｃが、Ｘ線源１全体を、旋回アーム３の保持部３４に対して支持している支持軸１ｃに係合しており、Ｘ線源保持部３４は、Ｘ線源１を、角度位置決め可能に回動させることができる。
【０１４７】
図１５（ｂ）に示すように、Ｘ線源１は、Ｘ線発生源１ａ、これから発生されるＸ線ビームを必要以外に漏れささないように遮蔽する遮蔽箱１ｂ、この遮蔽箱１ｂの開口側に設けられたＸ線スリット手段１ｈを備えている。
【０１４８】
Ｘ線スリット手段１ｈは、支持機構１ｄによって所定形状のスリットを形成した二種類のマスク部１ｅ、１ｆをスライド可能に支持する構造になっており、マスク部１ｅ、１ｆは、それぞれ独立に、位置決め可能に移動力を付与する駆動機構を備え、この双方のマスク部１ｅ、１ｆのスリットの組み合わせで、目的とするスリット形状を選択的に形成する。
【０１４９】
図１６から解るように、支持機構１ｄは、支持板１ｄａと、これに設けられた４つ１組の２組のガイドローラ１ｄｂ、１ｄｃを備えている。ガイドローラ１ｄｂは、マスク部１ｅをスライド可能に支持し、ガイドローラ１ｄｃはマスク部１ｆをスライド可能に支持している。
【０１５０】
マスク部１ｅは、ガイドローラ１ｄｂにガイドされるガイド枠１ｅａ、このガイド枠１ｅａに交換可能に嵌め込まれ、所定形状のスリット１ｅｃを備えたマスク板１ｅｂ、このマスク板１ｅｂにスライド力を与える駆動板１ｅｄ、この駆動板１ｅｄに雌ネジ、ネジ軸を介して、位置決め可能に回転駆動力を与えるサーボモータ１ｅｆを備えている。
【０１５１】
マスク部１ｆにも、同様のガイド枠１ｆａ、所定形状のスリット１ｆｃを備えたマスク板１ｆｂ、駆動板１ｆｄ、ネジ軸１ｆｅ、サーボモータ１ｆｆを備えている。２種類のサーボモータ１ｅｆ、１ｆｆは、支持板１ｄａに支えられ、さらに、この支持板１ｄａが遮蔽箱１ｂの開口部に取りつけられて、Ｘ線スリット手段１ｈが、Ｘ線発生源１ａから開口部を通して照射されるＸ線ビームを規制するようになっている。
【０１５２】
マスク板１ｅｂ、１ｆｂは、遮蔽箱１ｂと同様に、鉛あるいは鉛系合金等のＸ線遮蔽金属で製されている。また、１ｇは、真鍮や錫などより製されたＸ線半透過性の軟組織解像用フィルタであり、Ｘ線透過率の高い軟組織などの透過画像が特に要求される場合に、Ｘ線源１から照射されるＸ線ビームのエネルギーを低下させるために用いられる。このフィルタ１ｇは、その側縁が凹湾曲上に加工され、この湾曲縁端に向かうに従って、徐々にその厚みが小さくなるように構成されたものが望ましい。
【０１５３】
このような他用途に対応可能なＸ線スリット手段には、連設ライン方向Ｒを斜めにしたＸ線センサーユニット２Ａなどに対応可能なように、図１６に示すように、マスク板１ｆｂに角度θだけ傾斜したスリット１ｉが設けられ、マスクの位置をスライドさせることによって、必要に応じて、この傾斜したスリット１ｉを用いたり、用いなかったりすることができる。
【０１５４】
このスリット１ｉのスリット方向１ｊとＸ線の走査方向Ｄ、この走査方向Ｄに対する垂直方向ＤＬとの間の関係は、図１６（ｂ）に示す通りであり、これにより、図１３に示したようなＸ線を照射することが可能となっている。
【０１５５】
なお、図１６では、２組のマスク板を用いて開口形状を設定しうる機構としているが、これに限らずマスク板１枚にＸ線の走査方向に傾斜したスリット開口を設け、Ｘ線センサーユニットと同期してマスク板を移動させても良いことは言うまでもない。
【０１５６】
また、スリット開口形状は、センサーの有効面積を大きくとるために斜めの階段状に形成し、Ｘ線センサーユニット側あるいはセファロ装置の２次スリットについてもセンサーの形状に合わせて斜め階段状としても良い。
【０１５７】
図１７は、本発明のＸ線センサーユニットの他例を示すもので、（ａ）はその装着状態の外観正面図、（ｂ）は（ａ）を右側から見た側面図、（ｃ）は要部詳細破断図である。
【０１５８】
このＸ線センサーユニット２Ｇは、２次元半導体Ｘ線撮像素子２ａの連設面２ｈの走査方向Ｄに対する傾け方は、図１（ｂ）のＸ線センサーユニット２Ａと同様であり、連設ライン方向Ｒと走査方向Ｄに対する垂直方向ＤＬとは角度θだけ傾斜しているが、Ｘ線パノラマ撮影とＸ線セファロ撮影の双方に用いるため、また、装置本体と着脱可能とするためカセット式となっており、更に、セファロ撮影用の検出器ホルダ５１、パノラマ撮影用の検出器ホルダ３５の双方にワンタッチ装着することができるが、ここでは、そのための機構を説明する。
【０１５９】
Ｘ線センサーユニット２Ｇには、このワンタッチ装着のために、このセンサーユニット２Ｇを片手で把持するための把持部２ｊ、この把持部２ｊを把持しながら、その把持した片手の親指で押し操作できる操作ボタン２ｋ、この操作ボタン２ｋを押し操作すると、図１７（ｃ）に示すような収納状態となり、操作ボタン２ｋから指を離すと、図１７（ａ）、（ｂ）に示すように、ケース２ｃ上側から突出状態となる係止ピン２ｌが備えられている。
【０１６０】
操作ボタン２ｋには、軸部２ｏとその先端に設けられクランク溝２ｎａを形成したクランク板２ｎが設けられ、この軸部２ｏには自然状態で操作ボタン２ｋが把持部２ｊからの突出状態を維持するような弾性力を与えるスプリング２ｍが外挿されている。これに対し、係止ピン２ｌの下部には、クランク板２ｎのクランク溝２ｎａにスライド嵌合するスライドピン２ｌａが設けられている。
【０１６１】
クランク板２ｎのクランク溝２ｎａは、操作ボタン２ｋを図において左右にスライドさせると、このクランク溝２ｎａに嵌合したスライドピン２ｌａを上下させる形状となっている。
【０１６２】
このような構造であるので、このＸ線センサーユニット２Ｇを検出器ホルダ５１に装着する時は、把持部２ｊを片手で把持し操作ボタン２ｋを押しながら、検出器ガイド５１ｂにＸ線センサーユニット２Ｇを嵌め込み、このＸ線センサーユニット２Ｇの接続部２ｉと検出器ホルダ５１の接続部５１ｃが自然と結合接続されるまで押し込んでから、操作ボタン２ｋを開放し、把持部２ｊを掴んだ片手を開放すれば、図１７（ａ）、（ｂ）のような状態となり、Ｘ線センサーユニット２Ｇと検出器ホルダ５１とは、ワンタッチで電気的、機械的に接続される。
【０１６３】
Ｘ線センサーユニット２Ｇを引き出す際には、把持部２ｊを片手で把持し操作ボタン２ｋを押して図１７（ｃ）の状態とし、引っ張るだけでよい。こうして、Ｘ線センサーユニット２Ｇを取り外す際もワンタッチで簡単に取り外すことができる。
【０１６４】
このＸ線センサーユニット２Ｇを装着する他の検出器ホルダ３５のホルダガイド（不図示）は、この図に示した検出器ホルダ５１のホルダガイド５１ｂと同様の構造となっており、ワンタッチでＸ線センサーユニット２Ｇを脱着することができ、便利がよく、同一のＸ線センサーユニットを簡単に異なる撮影に用いることができる。
【０１６５】
以上、主に歯科用パノラマＸ線撮影装置、歯科用頭部規格（セファロ）Ｘ線撮影装置、ＣＴＸ線撮影装置について述べてきたが、本発明は、これに限らずスリットラジオグラフィーと呼ばれるＸ線撮影措置などにも幅広く応用できるものである。
【０１６６】
また、本発明におけるＸ線走査においては、Ｘ線源とＸ線センサーユニットに対して、被写体が相対的に移動すれば良く、どの一方が移動し、他方が固定されるかは問わない。
【０１６７】
例えば、歯科用パノラマＸ線撮影装置、セファロＸ線撮影装置、ＣＴＸ線撮影装置では、Ｘ線撮影中にＸ線源とＸ線センサーユニットを移動させ、固定された被写体を撮影する。また、人体の全身用に用いられる通常の医療用Ｘ線撮影装置では、被写体を移動させ、固定されたＸ線源とＸ線センサーユニットによって、輪切り状に走査するのが通常である。
【０１６８】
さらに、本発明は、歯科用、医療用に限らず応用可能なものであって、例えば、ベルトコンベアで移動する物品（被写体）に対して固定されたＸ線源とＸ線センサーユニットとで撮影する空港などのＸ線手荷物検査機などにも適用可能である。
【０１６９】
また、Ｘ線センサーユニットのＸ線撮像素子の単体、あるいは連設された全体の撮像面積が被写体の撮像部位の大きさと同等かより広い場合には、Ｘ線走査の自由度はより高くなり、撮影目的に対応させて、相対的に固定状態でＸ線照射をしてもよいし、いずれか一つだけを相対的に移動させてもよいし、Ｘ線源、Ｘ線センサーユニット、被写体のそれぞれを相対的に移動させてもよい。ただし、Ｘ線源から照射されたＸ線が被写体を透過してＸ線センサーユニットの撮像面のいずれかの部分あるいは前面に入射していることが条件であることはもちろんである。
【０１７０】
また、走査の移動態様も、回転、直線移動、曲線移動のいずれでも良い。
【０１７１】
【発明の効果】
請求項１に記載のＸ線センサーユニットによれば、いわゆる直結タイプの２次元半導体Ｘ線撮像素子をその検知表面が継がれるようにライン状に複数個連設し、撮像素子の連設面は従来と同様に連設ライン方向に対して傾斜させず、一方、連設ライン方向自体を、Ｘ線の走査方向に垂直な方向に対して傾斜させることで、連設面、つまり継ぎ目方向と走査方向とが相対的に傾斜するようにしたので、撮像素子の継ぎ目によって生じる画像欠損の問題を解消することができる。
また、２次元半導体Ｘ線撮像素子の検知表面の全体が有効利用され、無駄が少なくなる。
【０１７２】
請求項２に記載のＸ線センサーユニットによれば、請求項１の効果に加え、更に、撮像素子をその連設面で相互に重なりあうようにしており、この重なりにより、撮像素子の検知表面端で生じるデータ欠損を解消することができ、より良く、データ欠損の問題を解決することができる。
【０１７３】
請求項３に記載のＸ線センサーユニットによれば、請求項２と同様に撮像素子の縁辺が重なり合うようにするものであるが、その際に、検知表面がＸ線の入射方向に対して傾斜するように重ねあわせるもので、つまり、屋根がわらのように重ね合わせるもので、請求項２と同様の効果を発揮する。
【０１７４】
請求項４に記載のＸ線センサーユニットによれば、請求項１から３のいずれかの効果に加え、撮像素子を縦横に連設し、縦方向だけでなく横方向にも所望の撮像可能領域を広げながら、連設による継ぎ目の問題の解消を図ることができる。
【０１７５】
請求項５に記載のＸ線センサーユニットによれば、請求項１から４のいずれかの効果に加え、２次元半導体Ｘ線撮像素子が、ＣｄＴｅ素子、ＣｄＺｎＴｅ素子、ＭＯＳ素子、ＣＭＯＳ素子、ＦＴ型ＣＣＤのいずれかで構成されているので、本発明のように、撮像素子はＸ線走査方向に対して傾けて設けるが、データの読みだしは、この走査方向と同じ方向に読み出す必要がある場合に適し、とくに、ＣｄＴｅ素子あるいはＣｄＺｎＴｅ素子は、高感度、高速撮影が可能であるため、１５０枚／秒程度のフレーム画像の転送が可能となり、静止画像だけでなく被写体のＸ線画像を動画像として再生表示することができ、本発明の効果と相乗してその効果を発揮する。
【０１７６】
請求項６に記載のＸ線センサーユニットによれば、請求項１から５のいずれかの効果に加え、２次元半導体Ｘ線撮像素子が、カーボンファイバー製ケースに収納されているので、撮像素子を保護することができる。
【０１７７】
請求項７に記載のＸ線撮影装置によれば、請求項１から６のいずれかに記載のＸ線センサーユニットを用いたので、これらのＸ線センサーユニットの効果をＸ線撮影装置として発揮する。
【０１７８】
請求項８〜１１に記載のＸ線撮影装置によれば、それぞれ、Ｘ線撮影装置が、パノラマＸ線撮影装置、またはセファロＸ線撮影装置、Ｘ線ＣＴ撮影装置、若しくはパノラマＸ線撮影装置、セファロＸ線撮影装置、Ｘ線ＣＴ撮影装置のいずれか２以上の機能を備えた複合Ｘ線撮影装置として規定されているので、請求項７の効果をそれぞれの装置として発揮する。
【０１７９】
請求項１２に記載のＸ線撮影装置によれば、連設ライン方向を傾けたＸ線センサーユニットを用いる場合に、この連設ライン方向とＸ線ビームのスリット方向とを同じように傾斜させているので、照射されたＸ線ビームが無駄なくＸ線センサーユニットで受光され、被写体に余分のＸ線ビームを照射せず、被写体へのＸ線被爆量を軽減することができる。
【０１８０】
請求項１３に記載のＸ線撮影装置によれば、請求項１２に記載のＸ線撮影装置が、パノラマＸ線撮影装置、セファロＸ線撮影装置、Ｘ線ＣＴ撮影装置、あるいはこれら３つの撮影装置のいずれか２以上の機能を備えた複合Ｘ線撮影装置として構成されているので、請求項１２の効果をそれぞれの装置として発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のＸ線センサーユニットを例示するもので、（ａ）はその一例の外観斜視図、（ｂ）は他例の外観斜視図、（ｃ）は（ａ）のＹ−Ｙ断面図
【図２】  （ａ）は本発明のＸ線センサーユニットの動作原理の概念説明図、（ｂ）は従来のＸ線センサーユニットの動作原理の概念説明図
【図３】  （ａ）は本発明のＸ線センサーユニットの他例を示す外観正面図、（ｂ）は、そのＹ１−Ｙ１断面図
【図４】  （ａ）は本発明のＸ線センサーユニットの他例を示す外観正面図、（ｂ）は、そのＹ２−Ｙ２断面図
【図５】  本発明のＸ線センサーユニットの他例を示すもので、（ａ）は（ｂ）のＹ３−Ｙ３断面図、（ｂ）は、その外観正面図
【図６】  （ａ）、（ｂ）は、それぞれ本発明のＸ線センサーユニットの他例を示す外観正面図
【図７】  本発明のＸ線センサーユニットを用いたＸ線撮影装置の一例を示す概略構成図
【図８】  図７の装置におけるＸ線撮像の手順を示すフローチャート
【図９】  （ａ）〜（ｄ）は、本発明のＸ線センサーユニットを用いて立体的なＸ線画像を得る原理の概念説明図
【図１０】  本発明のＸ線センサーユニットを用いたＸ線撮影装置の他例を示す全体構成図
【図１１】  図１０の装置における局所照射Ｘ線ＣＴ撮影方法の原理説明図
【図１２】  （ａ）は図１０のＸ線撮影装置の外観正面図、（ｂ）は（ａ）を上方から見た平面図
【図１３】  （ａ）は図１２のＸ線撮影装置における撮影方法の一例の概念説明図、（ｂ）は他例の概念説明図
【図１４】  （ａ）、（ｂ）は図１３（ａ）の撮影方法に対応するもので、（ａ）はその概念説明図、（ｂ）はこの撮影方法によって得られるＸ線画像、（ｃ）、（ｄ）は図１３（ｂ）の撮影方法に対応するもので、（ｃ）はその概念説明図、（ｄ）はこの撮影方法によって得られるＸ線画像
【図１５】  図１０のＸ線撮影装置のＸ線源付近を示すもので、（ａ）はその上面図、（ｂ）はその縦断面図
【図１６】  （ａ）は図１５のＸ線スリット手段の外観斜視図、（ｂ）は（ａ）のマスク板を前面より見た所を示す概念図
【図１７】  本発明のＸ線センサーユニットの他例を示すもので、（ａ）はその装着状態の外観正面図、（ｂ）は（ａ）を右側から見た側面図、（ｃ）は要部詳細破断図
【図１８】  従来のＸ線センサーユニットを示す概念図
【符号の説明】
１              Ｘ線源
１ｉ            一次スリット
１ｊ            スリット方向
２〜２Ｇ        Ｘ線センサーユニット
２ａ            ２次元半導体Ｘ線撮像素子
２ｃ            ケース
２ｄ            検知表面
２ｅ            Ｘ線入射面
２ｆ            画像撮像面
２ｈ            連設面
３              旋回アーム
４              被写体保持具
２０，２０Ａ    Ｘ線撮影装置
Ｄ              走査方向
ＤＬ            走査方向に対する垂線方向
Ｏ              被写体
Ｒ              連設ライン方向
Ｘ              Ｘ線ビーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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