(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
底面及び該底面から立設して形成された少なくとも２つの外壁部を有する基板と、
前記基板の前記底面上に形成される個別電極と、
前記外壁部の１つに形成され、前記個別電極への駆動電圧の印加により発生する静電力により変形する振動板と、
前記個別電極に接続され、当該接続箇所側の前記外壁部の内側面から外側面に沿って這いまわされて前記基板の裏面まで至る電極パッドと、を備え、
前記電極パッドは、前記個別電極に駆動電圧を印加する駆動電源回路に、当該電極パッドの外側面を覆われるように接続されること特徴とする電気アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の電気アクチュエータと、インク液滴を吐出するノズル孔と、前記ノズル孔が連通するインク流路のインク液室と、を備え、
前記電気アクチュエータは、前記インク液室の壁面を形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
電気アクチュエータからなるインクジェット記録ヘッドでインク画像を記録するインクジェット記録装置において、インク画像を記録する被記録体を搬送する被記録体搬送手段と、該被記録体搬送手段によって搬送される被記録体にインクを吐出してインク記録画像を記録する請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドとを有することを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、駆動電圧の印加により作動する電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータの製造方法、その電気アクチュエータを具備してインク液滴を吐出するインクジェット記録ヘッド及びそのインクジェット記録ヘッドの製造方法並びにそのインクジェット記録ヘッドを具備してインク画像を記録するインクジェット記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
駆動電圧の印加により作動する電気アクチュエータの応用製品には、熱式や圧電式があり、高速高画質化のために低消費電力で量産性に優れた静電型のオンデマンド型インクジェット記録ヘッドがある。インク液滴をノズル孔から直接記録媒体上に噴射して記録する静電型のアクチュエータを用いたインクジェット記録装置用のインクジェット記録ヘッドの駆動方法が種々提案されている。
例えば、インクジェット記録ヘッドとして、インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔の各々の連通する吐出室のインク液室の少なくとも一方の壁を構成する振動板に変形を生じさせる静電型のアクチュエータを備え、静電型のアクチュエータが振動板と電極間に電圧を印加して静電気力により変位し、静電気力を開放する際の振動板の弾性力のインク液室の圧力上昇でインクを吐出するものは公知である（特開平６−７１８８２号等の公報を参照）。
図４７に示すように、静電型の電気アクチュエータ１００を用いたインクジェット記録装置１５０用のインクジェット記録ヘッド１１０の作動部材１０１の振動板１０１ａや個別電極１０１ｂが形成される基板１０２の第２の基板１０２ｂや第１の基板１０２ａに同一平面又は水平方向に可撓性基板１０４を各端子１０３の電極パッドの第１の端子１０３ａの電極パッドと第２の端子１０３ｂの電極パッドと接続することも公知である（特開平９−３０７２１８号の公報を参照）。
この技術においては、可撓性基板１０４を基板１０２に同一平面又は平行な面で各端子１０３の電極パッドの第１の端子１０３ａの電極パッドと第２の端子１０３ｂの電極パッドと接続しているために、同一平面又は平行な面で接続する広い余分な配線スペースが必要であった。
図４８に示すように、熱式の電気アクチュエータ２００を用いたインクジェット記録装置２５０用のインクジェット記録ヘッド２１０において、作動部材２０１のヒータボードの端子２０３の電極パッドを可撓性基板２０４を曲げて用いることにより、基板２０２の裏面２０２ａに引き出すことも公知である（特開平５−１６９６６０号の公報を参照）。この技術においては、可撓性基板２０４の方向を変えているために、曲げて配置する場合でも曲げるための余分なスペースが必要であった。
従って、従来の駆動電圧の印加により作動する電気アクチュエータ及びそれを用いたインクジェット記録装置用のインクジェット記録ヘッドにおいて、駆動電源回路を電極パッドに接続（配線）するが、可撓性基板を基板に同一平面又は平行な面で接続しているために同一平面又は平行な面で接続する広い余分な配線スペースが必要になるだけでなく、可撓性基板の方向を変えているために曲げて配置する場合でも曲げるための余分なスペースが必要となり、大型化してコスト高になると言う不具合が生じていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の駆動電圧の印加により作動する電気アクチュエータ及びそれを用いたインクジェット記録装置用のインクジェット記録ヘッドにおいて、駆動電源回路を電極パッドに接続するが、可撓性基板を基板に同一平面又は平行な面で接続しているために同一平面又は平行な面で接続する広い余分な配線スペースが必要になるだけでなく、可撓性基板の方向を変えているために曲げて配置する場合でも曲げるための余分なスペースが必要となり、大型化してコスト高になると言う問題が発生していた。
そこで本発明の課題は、このような問題点を解決するものであり、駆動電源回路を電極パッドに接続るスペースが狭く小型で低コストの電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータの製造方法、その電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッド及びそのインクジェット記録ヘッドの製造方法並びにそのインクジェット記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、底面及び該底面から立設して形成された少なくとも２つの外壁部を有する基板と、前記基板の前記底面上に形成される個別電極と、前記外壁部の１つに形成され、前記個別電極への駆動電圧の印加により発生する静電力により変形する振動板と、前記個別電極に接続され、当該接続箇所側の前記外壁部の内側面から外側面に沿って這いまわされて前記基板の裏面まで至る電極パッドと、を備え、前記電極パッドは、前記個別電極に駆動電圧を印加する駆動電源回路に、当該電極パッドの外側面を覆われるように接続される電気アクチュエータを特徴とする。
【０００５】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の電気アクチュエータと、インク液滴を吐出するノズル孔と、前記ノズル孔が連通するインク流路のインク液室と、を備え、前記電気アクチュエータは、前記インク液室の壁面を形成することを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、電気アクチュエータからなるインクジェット記録ヘッドでインク画像を記録するインクジェット記録装置において、インク画像を記録する被記録体を搬送する被記録体搬送手段と、該被記録体搬送手段によって搬送される被記録体にインクを吐出してインク記録画像を記録する請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドとを有するインクジェット記録装置を特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータを示す断面図である。図１に示すように、本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ０は、駆動電圧の印加により作動する作動部材１の振動版１ａと個別電極１ｂと、作動部材１の振動版１ａと個別電極１ｂが形成される基板２と、作動部材１の振動版１ａと個別電極１ｂに接続されて基板２の側面２ａに形成された電極パッド３とで構成されている。電極パッド３は、基板２の裏面２ｂに延長して形成された裏面延長部３ａを有する。従って、駆動電源回路Ｗを電極パッド３に接続（配線）するスペースが狭く小型で低コストの電気アクチュエータ０を提供することができるようになった。
電極パッド３は、導電性接着剤の材質にして製造することにより、スクリ−ン印刷で、基板２の側面２ａに容易な製造方法で形成することが可能になり、駆動電源回路Ｗを電極パッド３に接続するスペースが狭く小型で低コストの電気アクチュエータ０及びその電気アクチュエータ０の製造方法を提供することができるようになった。
電極パッド３は、厚膜導体ペーストの材質ににして製造することにより、スクリ−ン印刷で、基板２の側面２ａに容易な製造方法で形成することが可能になり、駆動電源回路Ｗを電極パッド３に配線するスペースが狭く小型で低コストの電気アクチュエータ０及びその電気アクチュエータ０の製造方法を提供することができるようになった
電極パッド３は、金属薄膜の材質にして製造することにより、抵抗を更に低減し作動が精確で、駆動電源回路Ｗを電極パッド３に配線するスペースが狭く小型で低コストの電気アクチュエータ０及びその電気アクチュエータ０の製造方法を提供することができるようになった。
【０００７】
図２乃至図４において、電気アクチュエータ０及び電気アクチュエータ０を具備するインクジェット記録ヘッド１０を説明する。
インクジェット記録ヘッド１０は、電気アクチュエータ０からなり、ノズル孔ユニット１１のインク液室１１ｂの一部をなす作動部材１の振動板１ａと作動部材１の個別電極１ｂとの間に電圧を印加し静電力で作動部材１の振動板１ａを変形し、作動部材１の振動板１ａの弾性力を開放することでインクをノズル孔ユニット１１のノズル孔１１ａから吐出するようになっている。
電気アクチュエータ０は、静電型のインクジェット記録ヘッド１０に使用されるだけなく、作動部材１の発熱により作動する熱型のアクチュエータからなるインクを沸騰させインク液室１１ｂを加圧する熱式インクジェット記録ヘッドや図示しない圧電型のアクチュエータの圧電式インクジェット記録ヘッド等にも使用可能である。
基板２は、作動部材１の個別電極１ｂが形成されるＳｉの基板からなる個別電極基板２ｃと作動部材１の振動板１ａが形成されるＳｉの基板からなる振動板基板２ｄとを直接接合する場合を例として説明する。
電気アクチュエータ０は、作動部材１の個別電極１ｂと作動部材１の振動板１ａの間に個別電極パッド３ｃと作動部材１の振動板１ａに導通している共通電極パッド３ｄを通して駆動電源回路Ｗ又は可撓性基板４を介して駆動電圧が印加される。電圧の開放後、作動部材１の振動板１ａの弾性復元力によりインク液室１１ｂの圧力が増加し、ノズル孔１１ａからインクが噴射され、インクは共通インク液室１１ｃからインク流路１１ｄを経て供給される。
作動部材１の振動板１ａに対向する作動部材１の個別電極１ｂの個別電極パッド３ｃと駆動電源回路Ｗとは、可撓性基板４と異方性導電膜５の圧着部で電気的に接続される。従って、個別電極パッド３ｃを基板２の側面２ａや裏面２ｂに広がる構造にしたから、作動部材１の個別電極１ｂの個別電極パッド３ｃから駆動電源回路Ｗ、又は、可撓性基板４への接続での曲がり部分でのスペースを省かれている。又、個別電極パッド３ｃを基板２の側面２ａや裏面２ｂに広がる構造にしたから、個別電極パッド３ｃと基板２の裏面２ｂの駆動電源回路Ｗ、又は、可撓性基板４への接続を容易にしている。
【０００８】
図５乃至３７において、駆動電圧の印加により作動する電気アクチュエータ０及びそれを具備するインクジェット記録ヘッド１０の製造方法を、電極パッド３と電極パッド３を介して隣り合う基板２の端の主要部付近を抜き出して、個別電極基板２ｃを作成する熱酸化膜形成工程（ａ）〜インクジェット記録ヘッド完成工程（ｏ）で説明する。
まず、作動部材１の個別電極１ｂを形成する個別電極基板２ｃを単結晶Ｓｉウエハを用いた例について説明する。電気アクチュエータ０及びそれを具備するインクジェット記録ヘッド１０の製造方法は、熱酸化膜形成工程（ａ）と、溝部形成工程（ｂ）と、個別電極形成工程（ｃ）と、拡散工程（ｄ）と、接合工程（ｅ）と、ＳｉＮ膜マスク形成工程（ｆ）と、振動板形成工程（ｇ）と、共通金属電極成膜工程（ｈ）と、共通金属電極形成工程（ｉ）と、ＡＬ電極裏面延長部形成工程（ｊ）と、ダイシング洗浄工程（ｋ）と、エッチング工程（ｌ）と、酸化膜除去工程（ｍ）と、電極パッド形成工程（ｎ）と、インクジェット記録ヘッド完成工程（ｏ）とから構成されている。
図５に示すように、熱酸化膜形成工程（ａ）において、ＷＥＴ酸化プロセスにより熱酸化膜２ｃ１を２μｍをＳｉウエハ２ｃ２上に形成する。次に、図６に示すように、溝部形成工程（ｂ）において、フォトリソグラフィを用い有機レジスト膜をパターンニングし、緩衝フッ酸で酸化膜をエッチングし、レジストを酸素プラズマでアッシングして溝部２ｃ３を形成する。
次に、図７に示すように、個別電極形成工程（ｃ）において、Ｎ2を添加したＡｒでＴｉターゲットをスパッタしＴｉＮを成膜し、プラズマＣＶＤで酸化膜１ｂ１を成膜し、フォトリソグラフィで有機レジストをパターンニングした後酸化膜エッチングし、アッシングする。さらに過酸化水素とアンモニアの混合液でエッチングしてＴｉＮの個別電極１ｂを形成する。
【０００９】
次に、図８に示すように、拡散工程（ｄ）において、振動板１ａが形成される振動板基板２ｄを形成するために、１１０面方位ウエハ２ｄ１に１Ｅ２０ｃｍ3以上の高濃度のＢを振動板１ａの厚みに対応した深さに拡散する。又は、この拡散工程（ｄ）において、振動板１ａの厚さに対応したｎ形ドナー不純物を含んだ活性層を持つ、実際にはシリコン基板上にシリコン酸化膜がありその上に更に薄い活性層用のシリコン層が積層された市販されているＳＯＩ（Silicon On Insulator）ウエハを用いることもできる。
次に、図９に示すように、接合工程（ｅ）において、１１０面方位ウエハ２ｄ１を個別電極基板２ｃに真空中で重ね、大気開放後に１０００℃で加熱し直接接合する。
次に、図１０に示すように、ＳｉＮ膜マスク形成工程（ｆ）において、１１０面方位ウエハ２ｄ１側を研磨し、例えば、９０μｍにして、ＳｉＮを熱ＣＶＤ法で成膜し、フォトリソグラフィでパターンニングし、ＳｉＮ膜マスク２ｄ２を形成する。
次に、図１１および図１２に示すように、振動板形成工程（ｇ）において、ＫＯＨ水溶液でＳｉの異方性エッチングを行うと、高濃度Ｂ層でエッチング速度が急速に低下し、所定の厚みのＳｉの作動部材１の振動板１ａが形成され、電極パッド３が形成されるパッド領域２ｄ３に振動板１ａと同じ厚みのＳｉが残り、ＳｏＩウエハではＳｉエッチングが進行し酸化膜でエッチングが停止することで振動板１ａを形成する。
次に、図１３および図１４に示すように、共通金属電極成膜工程（ｈ）において、メタルマスク２ｄ４を使用して振動板１ａの共通電極となる共通金属電極１ａ１を、スパッタ装置や蒸着装置を使用して、金属としてはオーミック性接触を示す金属例えばＡｌ、Ｔｉ、またはＡｕ等でスパッタ又は蒸着で成膜する。
次に、図１５乃至図１８に示すように、共通金属電極形成工程（ｉ）において、成膜され、共通金属電極１ａ１が形成される。また、基板２の裏面２ｂに電極パッド３の裏面延長部３ａを形成する場合には、Ｓｉウエハ２ｃ２の裏面２ｂは熱酸化膜で覆われており、その上に裏面電極になる金属薄膜、例えば、Ａｌをスパッタ法で例えば約５００ｎｍを成膜する（図１８を参照）。
次に、図１９乃至図２２に示すように、ＡＬ電極裏面延長部形成工程（ｊ）において、フォトリソグラフィで有機レジストパターンを形成して、酢酸、リン酸、硝酸の混合液でＡｌ薄膜をエッチングし、レジストをアッシングで除去しＡＬ電極の裏面延長部３ａを形成する。又は、成膜せずに厚膜導体ペーストをスクリーン印刷し、焼成して電極を形成することもできる。
【００１０】
次に、図２３乃至２５に示すように、ダイシング洗浄工程（ｋ）において、ダイシングを行って洗浄を行う。
次に、図２６乃至２８に示すように、エッチング工程（ｌ）において、石英など、ＲＩＥ中にエッチングされ反応生成物が生じない物質で構成されたエッチング用冶具３０に装着して、振動版基板２ｄのＳｉのＲＩＥを、例えば、ＳＦ6の混合ガスなどフッ素系ガスでエッチングし、また、ＴｉＮの個別電極１ｂ上の端子部パッシベーションの酸化膜１ｂ１はＣＨＦ3の混合ガスのＲＩＥによりエッチングしＴｉＮの個別電極１ｂを露出する。
次に、図２９乃至図３２に示すように、酸化膜除去工程（ｍ）において、酸化膜を除去する。
次に、図３３乃至３６に示すように、電極パッド形成工程（ｎ）において、基板２の側面２ａに、例えば、４００番程度のメッシュでＡｇ導電性接着剤やＡｇなどの導体ペーストをスクリーン印刷して、電極パッド３を形成する。導電性接着剤の場合、１５０℃程度の熱処理で硬化できる。このとき、エポキシ系接着剤であれば、熱処理で流動化して、共通金属電極１ａ１や端子部１ｂ２上にも広がり電気的に接続される。
次に、図３７に示すように、インクジェット記録ヘッド完成工程（ｏ）において、アクチュエータ０の基板２の上部にノズル孔ユニット１１を形成して、例えば、ノズル孔１１ａ、インク液室１１ｂ、共通インク液室１１ｃ、インク流路１１ｄ、ステンレス板からなるノズル板１１ｅ、流体抵抗１１ｆ等からなるノズル孔ユニット１１をアクチュエータ０の基板２の上部にエポキシ系接着剤で接着し、駆動電源回路Ｗ基板を異方性導電膜５を介して熱圧着してインクジェット記録ヘッド１０を完成させる。
従って、駆動電源回路Ｗを電極パッド３に接続するスペースが狭く小型で、電気アクチュエータ０の基板２の上部にノズル孔ユニット１１を形成するようにしたので不良品も少なく容易な製造工程で歩留まりも高く低コストの電気アクチュエータ０及び電気アクチュエータ０の製造方法並びに電気アクチュエータ０を具備するコンパクトなインクジェット記録ヘッド１０及びインクジェット記録ヘッド１０の製造方法を提供することができるようになった。
【００１１】
図３８に示すように、マスク３ｂのスリット３ｂ１の長さ（Ｌ）は、基板２の側面２ａの長さ（ｌ）よりも長い４００番程度のスクリューン印刷用メッシュ３ｂ２である。
電極パッド３の個別電極パッド３ｃと共通電極パッド３ｄは、スクリューン印刷用メッシュ３ｂ２を基板２の側面２ａに図示の矢印Ａ方向に押し当てることで、例えば、Ａｇ導電性接着剤やＡｇなどの導体ペーストを押し当てることで、Ａｇ導電性接着剤やＡｇなどの導体ペーストは図示しない作動部材１で振動板１ａの共通金属電極１ａ１と、図示しない作動部材１で個別電極１ｂの端子部１ｂ２と、裏面延長部３ａの端部３ａ１上にも広がるスクリーン印刷をした後に、４００℃程度の熱処理をＮ2などの不活性ガス中で焼成を行い基板２の側面２ａへの密着を向上するようにして形成される。
基板２の側面２ａのダイシングされた端面にＳｉが露出しており、Ａｇ導電性接着剤やＡｇ導体ペーストが接するが、個別電極１ｂのような小さい面積の場合、Ｓｉ基板の比抵抗が１０Ωｃｍ程度以上なら、Ｓｉ基板とＡｇ導電性接着剤やＡｇ導体ペーストの界面の抵抗が高く、ほとんど絶縁される。
従って、電極パッド３の所定の形状に形成する製造が更に容易になり、駆動電源回路Ｗを電極パッド３の共通金属電極１ａ１と端子部１ｂ２に配線するスペースが狭くなると共に基板２の裏面２ｂにも電極が取り出せて可撓性基板４が不要で直接的に駆動電源回路Ｗのプリント基板に接続ができて更に曲げの配線スペースが不要になり小型で低コストの電気アクチュエータを提供することができるようになった。
図３９に示すように、基板２は、基板ホルダ２ｅの固定ホルダ２ｅ１に重ねて固定され、基板ホルダ２ｅの図示の矢印Ｂ方向の時計方向に回動する回動ホルダ２ｅ２に固定されたスクリューン印刷用メッシュ３ｂ２を押し付けられてスクリーン印刷の印刷や熱処理が行われる。
従って、電極パッド３は、基板ホルダ２ｅに基板２を重ねスクリューン印刷用メッシュ３ｂ２を回動可能に固定してスクリーン印刷で製造したので、電極パッド３の所定の形状に形成する多量の製造が更に容易になり、駆動電源回路を電極パッドに配線するスペースが不要になり小型で更に低コストの電気アクチュエータを提供することができるようになった。
【００１２】
図４０と図４１において、電極パッド３の個別電極パッド３ｃと共通電極パッド３ｄを金属薄膜をスパッタ装置や蒸着装置のスパッタ法や蒸着法で形成する場合は、金属薄膜成膜前に、例えば、ＳｉＯ2膜をＳｉ基板と作動部材１で個別電極１ｂの端子部１ｂ２と作動部材１で振動板１ａの共通金属電極１ａ１との絶縁膜として成膜する。パターン形成はメタルマスク法を用いる。作動部材１で個別電極１ｂの端子部１ｂ２と作動部材１で振動板１ａの共通金属電極１ａ１としては、Ａｌが一般的であるが、Ａｕ、Ｎｉ、ＴｉＮなども使用できる。
図示のように、マスク３ｂのメタルマスクのスリット３ｂ１の長さ（Ｌ）は、基板２の側面２ａの長さ（ｌ）よりもある程度長くすることで、作動部材１で振動板１ａの共通金属電極１ａ１と作動部材１で個別電極１ｂの端子部１ｂ２と、更に、裏面延長部３ａの端部３ａ１上にもスパッタリングや蒸着での回り込みにより成膜できるようになっている。
従って、電極パッド３の所定の形状に精確に形成され更に容易に製造され、駆動電源回路Ｗを電極パッド３の共通金属電極１ａ１と端子部１ｂ２に配線するスペースが狭くなると共に基板２の裏面２ｂにも電極が取り出せて可撓性基板４が不要で直接的に駆動電源回路Ｗのプリント基板に接続ができて更に曲げの配線スペースが不要になり小型で低コストの電気アクチュエータを提供することができるようになった。
図４２と図４３に示すように、駆動電源回路Ｗの基板は、異方性導電膜を介して熱圧着してインクジェット記録ヘッド１０が完成する。
この時、作動部材１の振動板１ａからの電極である共通電極パッド３ｄと作動部材１の個別電極１ｂの電極である個別電極パッド３ｃは、おおむね一列に並んで基板２の側面２ａや裏面２ｂに形成され、駆動電源回路Ｗ基板に一括して圧着することができる。
従って、電気アクチュエータ０並びにそれを具備するインクジェット記録ヘッド１０の構造では駆動電源回路Ｗ基板の曲げスペースが不要で、駆動電源回路Ｗ基板の構造も簡単になり、コストが低減できる。
【００１３】
図４４と図４５に示すように、基板２の裏面２ｂに形成された電極パッド３の裏面延長部３ａに、駆動電源回路Ｗの基板を導電性接着剤のバンプ３ｅを介して直接接続することができ、可撓性基板４が不要になり実装コストが低減できる。更に、可撓性基板４以外の接続方法として、基板２の側面２ａや裏面２ｂの個別電極パッド３ｃ、共通電極パッド３ｄ、裏面延長部３ａにワイヤーボンディングでの配線も可能である。
図４６に示すように、インクジェット記録装置５０は、インク画像を記録する被記録体（Ｐ）の記録紙を搬送する被記録体搬送手段５１と、被記録体搬送手段５１によって搬送される被記録体（Ｐ）の記録紙にインクを吐出してインク記録画像を形成するインクジェット記録ヘッド１０とからなる。
インクジェット記録ヘッド１０は、配線スペースが縮小されてキャリッジ５２に取り付けられ、キャリッジ５２はガイドレール５３に移動自在に取り付けられており、被記録体搬送手段５１のローラ５１ａによって搬送され送り出される被記録体（Ｐ）の記録紙の図示の矢印Ｃ方向の幅方向にその位置がスムースに制御されて、被記録体（Ｐ）の記録用紙に高速高品質のインク画像を記録するようになっている。
従って、駆動電源回路Ｗを電極パッド３に接続するスペースが狭く小型で低コストの電気アクチュエータ０を具備するインクジェット記録ヘッド１０からならり、被記録体（Ｐ）の記録用紙に高速高品質のインク画像を記録するインクジェット記録装置５０を提供することができるようになった。
【００１４】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１の発明によれば、駆動電圧の印加により作動する作動部材と、この作動部材が形成される基板と、前記作動部材に接続されて前記基板の側面に形成された電極パッドとからなるから、駆動電源回路を電極パッドに配線するスペースが狭く小型で低コストの電気アクチュエータを提供することができる。
【００１６】
また、請求項２の発明によれば、駆動電源回路を電極パッドに配線するスペースが狭く小型で低コストの電気アクチュエータを具備してインク液滴を吐出するコンパクトなインクジェット記録ヘッドを提供することができる。
【００１７】
また、請求項３の発明よれば、駆動電源回路を電極パッドに配線するスペースが狭く小型で低コストの電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドからなる高速高品質のインク画像を記録するインクジェット記録装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態例に係る電気アクチュエータを示す断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドを示す平面図である。
【図３】図２におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの主要部を説明する説明図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の主要部の工程を説明する説明図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図９】本発明の実施の形態濡係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図１０】本発明の実施の形態例を示す電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図１２】図１１におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図１３】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図１４】図１３におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図１５】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図１６】図１５におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図１７】図１５におけるＹ−Ｙ線断面図である。
【図１８】図１５におけるＺ１−Ｚ１線断面図である。
【図１９】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図２０】図１９におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図２１】図１９におけるＹ−Ｙ線断面図である。
【図２２】図１９におけるＺ２−Ｚ２線断面図である。
【図２３】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図２４】図２３におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図２５】図２３における右側面図である。
【図２６】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図２７】図２６におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図２８】図２６における右側面図である。
【図２９】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図３０】図２９におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図３１】図２９におけるＹ−Ｙ線断面図である。
【図３２】図２９における右側面図である。
【図３３】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図３４】図３３におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図３５】図３３におけるＹ−Ｙ線断面図である。
【図３６】図３３における右側面図である。
【図３７】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の工程を説明する説明図である。
【図３８】本発明の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の状態を説明する上面図である。
【図３９】本発明の他の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の主要部の状態を説明する説明図である。
【図４０】本発明の他の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の主要部の状態を説明する説明図である。
【図４１】本発明の他の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の他の主要部の状態を説明する説明図である。
【図４２】本発明の他の実施の形態例に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの製造方法の主要部の状態を説明する説明図である。
【図４３】図４２におけるＺ３−Ｚ３線断面図である。
【図４４】本発明の他の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの状態を説明する説明図である。
【図４５】本発明の他の実施の形態に係る電気アクチュエータ及びその電気アクチュエータを具備するインクジェット記録ヘッドの他の状態を説明する説明図である。
【図４６】本発明の実施の形態に係る静電アクチュエータからなるインクジェット記録ヘッドを具備するインクジェット記録装置を説明する斜視図である。
【図４７】従来の静電型の電気アクチュエータを用いたインクジェット記録装置用のインクジェット記録ヘッドを説明する斜視図である。
【図４８】従来の熱式の電気アクチュエータを用いたインクジェット記録装置用のインクジェット記録ヘッドを説明する説明図である。
【符号の説明】
０  電気アクチュエータ、１  作動部材、１ａ  振動板、１ａ１  共通金属電極、１ｂ  個別電極、１ｂ１  酸化膜、１ｂ２  端子部、２  基板、２ａ  側面、２ｂ  裏面、２ｃ  個別電極基板、２ｃ１  熱酸化膜、２ｃ２  Ｓｉウエハ、２ｃ３  溝部、、２ｄ  振動板基板、２ｄ１  １１０面方位ウエハ、２ｄ２  ＳｉＮマスク、２ｄ３  パッド領域、２ｄ４  メタルマスク、２ｅ  基板ホルダ、２ｅ１  固定ホルダ、２ｅ２  回転ホルダ、３  電極パッド、３ａ  裏面延長部、３ａ１  端部、３ｂ  マスク、３ｂ１  スリット、３ｂ２  スクリュー印刷用メッシュ、３ｃ  個別電極パッド、３ｄ  共通電極パッド、３ｅ  バンプ、４  可撓性基板、５  異方性導電膜、１０  インクジェット記録ヘッド、１１  ノズル孔ユニット、１１ａ  ノズル孔、１１ｂ  インク液室、１１ｃ  共通インク液室、１１ｄ  インク流路、１１ｅ  ノズル板、１１ｆ  流体抵抗、３０  エッチング用冶具、５０  インクジェット記録装置、５１  被記録体搬送手段、５１ａローラ、５２  キャリッジ、５３  ガイドレール、１００  電気アクチュエータ、１０１  作動部材、１０１ａ  振動板、１０１ｂ  個別電極、１０２  基板、１０２ａ  第１の基板、１０２ｂ  第２の基板、１０３  端子、１０３ａ  第１の端子、１０３ｂ  第２の端子、１０４  可撓性基板、１１０  インクジェット記録ヘッド、１５０  インクジェット記録装置、２００  電気アクチュエータ、２０１  作動部材、２０２  基板、２０２ａ  裏面、２０３  端子、２０４  可撓性基板、２１０  インクジェット記録ヘッド、２５０  インクジェット記録装置、（ａ）  熱酸化膜形成工程、（ｂ）  溝部形成工程、（ｃ）  個別電極形成工程、（ｄ）  拡散工程、（ｅ）  接合工程、（ｆ）  ＳｉＮ膜マスク形成工程、（ｇ）  振動板形成工程、（ｈ）  共通金属電極成膜工程、（ｉ）  共通金属電極形成工程、（ｊ）  ＡＬ電極裏面延長部形成工程、（ｋ）  ダイシング洗浄工程、（ｌ）  エッチング工程、（ｍ）  酸化膜除去工程、（ｎ）  電極パッド形成工程、（ｏ）  インクジェット記録ヘッド完成工程。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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