(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基本データベースとレシピ配布管理（ＲＤＭ：ｒｅｃｉｐｅ  ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ  ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ）データベースとを格納する記憶モジュールであって、前記基本データベースは、プロセス装置がプロセスを自動的に実行する際に用いる情報を含む複数の基本記録を記憶しており、前記ＲＤＭデータベースは、その装置で実行できないプロセスを指定している複数のＲＤＭ記録を記憶している前記記憶モジュールと、
製造装置から受信した操作データを前記ＲＤＭ記録および前記基本記録と比較して、前記操作データが前記ＲＤＭ記録および前記基本記録の少なくとも１つと一致するかを判定する比較モジュールと、
前記操作データが前記ＲＤＭ記録の少なくとも１つと一致する場合には第１の制限信号を出力する出力モジュールと、
を備えていることを特徴とする半導体製造実行システム（ＭＥＳ：ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ  ｓｙｓｔｅｍ）。
【請求項２】
前記比較モジュールは、前記操作データを前記ＲＤＭ記録と比較して前記操作データが制限されているかを判定し、前記操作データが制限されていない場合には前記操作データを前記基本記録と比較することを特徴とする請求項１に記載の半導体製造実行システム。
【請求項３】
前記出力モジュールは、前記操作データが前記ＲＤＭ記録の少なくとも１つと一致する場合には第１の制限信号を前記製造装置に対して出力すると共に第２の制限信号をユーザインターフェースに対して出力するのであり、
前記出力モジュールは、前記操作データが前記基本記録および前記ＲＤＭ記録のいずれとも一致しない場合にはアラーム信号を出力することを特徴とする請求項１に記載の半導体製造実行システム。
【請求項４】
前記半導体製造実行システムは、前記製造装置からの前記操作データを受信するための受信モジュールを更に備えており、
前記出力モジュールは、前記操作データが前記基本記録および前記ＲＤＭ記録のいずれとも一致しない場合には、第１のアラーム信号を前記製造装置に対して出力することと、ユーザインターフェースに対して第２のアラーム信号を出力することの少なくとも一方を実行することを特徴とする請求項１に記載の半導体製造実行システム。
【請求項５】
前記製造実行システムはセルコントローラと接続しており、  前記受信モジュールは、前記セルコントローラを介して前記製造装置から前記操作データを受信するのであり、
前記出力モジュールは、前記セルコントローラを介して前記第１の制限信号を前記製造装置に対して出力することを特徴とする請求項４に記載の半導体製造実行システム。
【請求項６】
前記製造実行システムはユーザインターフェースと接続しており、
前記出力モジュールは、前記操作データが前記ＲＤＭ記録のいずれとも一致しない場合には第２の制限信号を更に出力し、前記操作データが前記基本記録および前記ＲＤＭ記録のいずれとも一致しない場合には第２のアラーム信号を前記ユーザインターフェースに対して更に出力することを特徴とする請求項１に記載の半導体製造実行システム。
【請求項７】
ユーザが前記ＲＤＭデータベースに新たなＲＤＭ記録を入力するための入力モジュールを更に備えていることを特徴とする請求項１に記載の半導体製造実行システム。
【請求項８】
ユーザが前記ＲＤＭ記録の１つを編集するための編集モジュールを更に備えていることを特徴とする請求項１に記載の半導体製造実行システム。
【請求項９】
ユーザが前記ＲＤＭ記録の１つを削除するための削除モジュールを更に備えていることを特徴とする請求項１に記載の半導体製造実行システム。
【請求項１０】
製造装置から操作データを受信するステップと、
前記操作データを、その装置で実行できないプロセスを指定している複数のＲＤＭ記録と比較して、前記操作データが前記ＲＤＭ記録のいずれかと一致するかを判定するステップと、
前記操作データが前記ＲＤＭ記録のいずれとも一致しない場合には、前記操作データを、プロセス装置がプロセスを自動的に実行する際に用いる情報を含む複数の基本記録と比較して、前記操作データが前記基本記録のいずれかと一致するかを判定するステップと、
前記ＲＤＭ記録および前記基本記録に対する前記操作データの比較に基づいて信号を出力するステップとを備えていることを特徴とする半導体製造実行方法。
【請求項１１】
前記出力するステップは、
前記操作データが前記ＲＤＭ記録のいずれかと一致する場合には第１の制限信号を前記製造装置に対して出力することと、
前記操作データが前記ＲＤＭ記録および前記基本記録のいずれとも一致しない場合には第１のアラーム信号を前記製造装置に対して出力することと
を備えていることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記操作データが前記ＲＤＭ記録のいずれかと一致する場合には第２の制限信号をユーザインターフェースに対して出力することと、
前記操作データが前記ＲＤＭ記録および前記基本記録のいずれとも一致しない場合には第２のアラーム信号をユーザインターフェースに対して出力することとを更に備えていることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記受信するステップは、セルコントローラを介して前記製造装置から前記操作データを受信することを備えており、
前記第１の制限信号を出力する前記ステップは、前記セルコントローラを介して前記第１の制限信号を前記製造装置に対して出力することを備えており、
前記第１のアラーム信号を出力する前記ステップは、前記セルコントローラを介して前記第１のアラーム信号を前記製造装置に対して出力することを備えていることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
製品ＩＤと、経路名と、操作番号と、装置ＩＤと、レシピＩＤとを含んだ新たなＲＤＭ（レシピ配布管理）記録を受信するステップと、
前記新たなＲＤＭ記録をＲＤＭデータベースに追加するステップとを備えていることを特徴とする請求項１０または１１に記載の方法。
【請求項１５】
記録コードを受信するステップと、
対応する記録コードを格納したＲＤＭ（レシピ配布管理）データベースのＲＤＭ記録を編集するステップであって、前記ＲＤＭ記録は、製品ＩＤと、経路名と、操作番号と、装置ＩＤと、レシピＩＤとを含んでいる前記編集するステップと、
前記編集したＲＤＭ記録を前記ＲＤＭデータベースにおいて更新するステップとを備えていることを特徴とする請求項１０または１１に記載の方法。
【請求項１６】
記録コードを受信するステップと、
対応する記録コードを格納したＲＤＭ（レシピ配布管理）データベースのＲＤＭ記録を削除するステップであって、前記ＲＤＭ記録は、製品ＩＤと、経路名と、操作番号と、装置ＩＤと、レシピＩＤとを含んでいる前記削除するステップとを備えていることを特徴とする請求項１０または１１に記載の方法。
【請求項１７】
製造装置と、
比較モジュールと、プロセス装置がプロセスを自動的に実行する際に用いる情報を含む第１の記録を格納した基本データベースと、その装置で実行できないプロセスを指定している第２の記録を格納した第２のデータベースとを備えているＭＥＳ（製造実行システム）であって、前記第２のデータベースは容易に変更できるよう構成してある前記ＭＥＳと、
前記製造装置と前記ＭＥＳとの間を接続した第１のインターフェースであって、前記ＭＥＳは、前記第１のインターフェースを介して前記製造装置から操作データを受信すると共に、前記第１のインターフェースを介して第１の信号を前記製造装置に対して送信すべく構成してある前記第１のインターフェースと、
前記ＭＥＳに接続した第２のインターフェースであって、前記ＭＥＳは、前記第２のインターフェースを介して第２の信号をユーザに対して送信すべく構成してある前記第２のインターフェースとを備えている製造システムであって、
前記比較モジュールは前記操作データを前記第２の記録と比較すべく構成してあり、前記ＭＥＳは、前記操作データが前記第２の記録の少なくとも１つと一致する場合には少なくとも１つの制限信号を生成すべく構成してあることを特徴とする前記製造システム。
【請求項１８】
前記少なくとも１つの制限信号は第１の制限信号および第２の制限信号から成っており、前記第１の信号は前記第１の制限信号を備えており、前記第２の信号は前記第２の制限信号を備えていることを特徴とする請求項１７に記載の製造システム。
【請求項１９】
前記第１の記録は基本記録であり、前記比較モジュールは前記操作データを前記基本記録と比較すべく更に構成してあり、前記操作データが前記第２の記録のいずれとも一致しないと共に前記操作データが前記基本記録のいずれとも一致しない場合には前記ＭＥＳは少なくとも１つのアラーム信号を生成すべく構成してあることを特徴とする請求項１７に記載の製造システム。
【請求項２０】
前記少なくとも１つのアラーム信号は第１のアラーム信号および第２のアラーム信号から成っており、前記第１の信号は前記第１のアラーム信号を更に備えており、前記第２の信号は前記第２のアラーム信号を更に備えていることを特徴とする請求項１９に記載の製造システム。
【請求項２１】
前記ＭＥＳは、ユーザが前記第２のデータベースに新たな第２の記録を入力するための入力モジュールを更に備えていることを特徴とする請求項１７に記載の製造システム。
【請求項２２】
前記ＭＥＳは、ユーザが前記第２の記録の１つを編集するための編集モジュールを更に備えていることを特徴とする請求項１７に記載の製造システム。
【請求項２３】
前記ＭＥＳは、ユーザが前記第２の記録の１つを削除するための削除モジュールを更に備えていることを特徴とする請求項１７に記載の製造システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的には半導体製造システムに関しており、より詳しくは、製造実行システムを備えた半導体ウェハ製造システムに関する。
（関連出願の相互参照）
本願は、  年  月  日に出願の による「専門技術者要求データベースを備えた半導体ウェハ製造実行システム」に関する同時係属出願第 号（特許事務所参照番号第Ｐ９１００４８号）に関連しており、その技術内容は参照により本明細書に包含される。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路は、通常、複数の半導体ウェハをグループすなわち「ロット」として一連のウェハ製造プロセス装置（以下、プロセス装置）で処理することにより製造する。各プロセス装置では半導体ウェハに対して単一のウェハ製造操作のみを行うことが多い。このような方式で製造した集積回路同士は実質的に同一である。ウェハ製造に次いで、通常、集積回路の機能試験を行い、その後、分離して「チップ」または「ダイ」と呼ぶ個別の集積回路に形成する。完全に機能するダイは、通常、個別のユニットとしてパッケージして販売する。
【０００３】
競争の激化に伴って、半導体製造工場ではプロセス装置を経済効率的にスケジュールして利用することが必要となっている。設備の生産性を向上させるために、最新の半導体ウェハ製造システムでは集中制御の製造実行システム（ＭＥＳ：ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ  ｓｙｓｔｅｍ）を備えていることが多い。典型的なＭＥＳが行う機能としては、処理途中品（ＷＩＰ：ｗｏｒｋ  ｉｎ  ｐｒｏｃｅｓｓ）の追跡や、資源の配分とその状況監視や、処理のスケジューリングや、品質データの収集や、プロセスの制御などが挙げられる。ＭＥＳが、データの収集や配布のための集中記憶装置として機能しても良い。たとえばＭＥＳは、原材料、完成品、半完成品、装置、時間、コスト、等のデータをリアルタイムで動的に収集し、結合し、表示することができる。さらに、各製造プロセスを追跡して制御することができる。
【０００４】
典型的なＭＥＳでは、プロセス装置を自動的に監視して制御する際に用いる情報を記録するための単一のデータベースを備えている。たとえば、ＭＥＳを備えた半導体ウェハ製造システムでは、ＭＥＳの単一のデータベースが、「基本」記録を含む「基本」データベースであっても良い。なお、この「基本」記録にはプロセス装置がプロセスを自動的に実行する際に用いる情報が含まれている。このＭＥＳは、プロセス装置から受信した操作データを基本記録の各々と比較して、操作データが基本記録と一致する場合にのみプロセスを実行すべく構成しても良い。
【０００５】
しかし、上述の半導体ウェハ製造システムでは、操作データが基本データベースの基本記録と一致するにもかかわらず、ある条件の下ではＭＥＳがプロセスの実行を禁止することが起こり得るという問題がある。ＭＥＳは、装置性能が低下した場合やウェハプロセスに欠陥を生じた場合などにはプロセスの実行を禁止することがある。装置性能が低下したためにこのような状況となった場合には、通常、操作データと一致していた基本記録を削除することにより問題を解決し、その後に、その基本記録を再登録して基本データベースを元の状態に復帰させる。しかし、この基本記録を削除し再登録するためには相当の時間を必要とする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、プロセス装置内でプロセスを自動的に実行させるためには、ＭＥＳデータベースに対して記録を手動により削除しその後に再登録するという上述の従来技術における操作を不要としなければならない。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述の問題を解決するために、本発明は、記憶モジュールと、比較モジュールと、出力モジュールと、を備えた半導体ＭＥＳを提供する。記憶モジュールは基本データベースとレシピ配布管理（ＲＤＭ：ｒｅｃｉｐｅ  ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ  ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ）データベースとを格納している。基本データベースは複数の基本記録を記憶しており、ＲＤＭデータベースは複数のＲＤＭ記録を記憶している。
【０００８】
比較モジュールは、製造装置から受信した操作データを基本記録の各々と比較し、次いでＲＤＭ記録の各々と比較することにより、操作データが基本記録およびＲＤＭ記録の少なくとも１つと一致するかを判定する。操作データがＲＤＭ記録の少なくとも１つと一致する場合には、出力モジュールは製造装置に対して制限信号を出力する。この制限信号により、その製造装置でのその操作データに対応するプロセスの実行が禁止される。
【０００９】
操作データがＲＤＭ記録および基本記録のいずれとも一致しない場合には、出力モジュールは更に、第１のアラーム信号を製造装置に対して出力すると共に第２のアラーム信号をユーザインターフェースに対して出力しても良い。
【００１０】
この半導体ＭＥＳは、ＲＤＭデータベースに対する新たなＲＤＭ記録の追加や、ＲＤＭデータベース中のＲＤＭ記録の編集や、ＲＤＭデータベースからのＲＤＭ記録の削除を行う方法を更に備えていても良い。
【００１１】
本明細書に記載した特徴およびその組合せは、そのような組合せが文脈や本明細書や当業者の有する知識に照らして矛盾しない限り、本発明の範囲に包含される。本発明の更なる利点や観点は、以下の詳細な説明および請求の範囲で明らかにする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下では、現時点で好適な本発明の実施例の詳細を説明する。実施例を添付図面に示してある。図面および説明では、可能な限り、同一ないし類似の部分を示すためには同一ないし類似の参照符号を用いる。図面は簡略化してあり、縮尺が正確とは限らない。
【００１３】
本明細書ではいくつかの典型的実施例について説明する。これらの実施例は例示であって、制約を意図するものではない。以下の詳細な説明では典型的実施例を説明するが、添付の請求範囲に規定した本発明の観点および範囲の内に含まれ得る限りの本実施例の変更、改変、同等物を全て包含するものとする。たとえば、当業者には明らかであるように、実行が禁止され得るプロセスを特定する手段を備えた製造実行システム（ＭＥＳ）では、記録を作成、編集、削除することが容易な第２のデータベースを備えることが有利である。この第２のデータベースは、実行が禁止され得るプロセスを特定する標準の手段に優先しても良い。
【００１４】
本明細書で説明するプロセスステップおよび構造は、本明細書で説明するＭＥＳ用のプロセスフローを網羅したものではない。本発明は、従来技術に係る様々な半導体製造技術と共に実施して良い。本明細書では、本発明を説明するに必要な範囲でこの従来技術に係るプロセスステップを例として用いたに過ぎない。
【００１５】
図１には、受信モジュール２０と、記憶モジュール３２と、比較モジュール２２と、入力モジュール２４と、編集モジュール２６と、削除モジュール２８と、出力モジュール３０とを備えた半導体ＭＥＳ１０の一実施例を示す。ＭＥＳ１０は、製造装置１２と、セルコントローラ１４と、ユーザインターフェース１６とに接続している。
【００１６】
これらのモジュール２０，２２，２４，２６，２８，３０，３２をコンピュータで実施しても良い。このコンピュータは従来技術に係るコンピュータであって良く、これは、記憶装置、インターフェース、入力装置、および中央処理装置（ＣＰＵ）を備えていても良い。記憶装置は、ハードディスク装置（ＨＤＤ）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＲＡＭ、またはＥＥＰＲＯＭのような、コンピュータが読取り可能なテータ格納装置であって良い。インターフェースは、セルコントローラ１４とユーザインターフェース１６との間の信号通信を行う。インターフェースはＬＡＮであることが好ましいが、インターフェースとしてその他の通信方法を用いても良く、それらの方法が本発明の範囲に含まれることは当業者には明らかである。
【００１７】
セルコントローラ１４は、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  ａｎｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ：半導体装置および材料に関する国際団体、カリフォルニア州サンノゼ市）Ｅ５に規定されたメッセージ転送プロトコルを用いて製造装置１２との信号通信を行い、ＳＥＣＳ  ＩＩ（ＳＥＭＩ  ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  ｓｔａｎｄａｒｄ  ＩＩ：ＳＥＭＩ機器間通信規格ＩＩ）を用いて製造装置１２と通信を行うことが好ましい。このＳＥＣＳでは、半導体製造装置の制御に関するメッセージ群や、これらのメッセージの構文および意味が規定されている。その他の通信規格も存在しており、それらを用いた半導体ＭＥＳが本発明の範囲に含まれることは当業者には明らかである。
【００１８】
入力装置はマウスやキーボードであって良く、ユーザ１１はこれらを用いてメッセージを入力し、上述の各モジュールを制御する。ＣＰＵは、様々なデータ処理や演算を実行してコンピュータの各種装置の動作を制御するＡＬＵ、レジスタ、コントローラ等の従来技術に係る中央装置であって良い。
【００１９】
一実施例では、モジュール２０，２２，２４，２６，２８，３０，３２は記憶装置に記憶されたソフトウエアモジュールである。モジュール２０，２２，２４，２６，２８，３０，３２をロードした後には、ＣＰＵはコンピュータの各種装置によってモジュール２０，２２，２４，２６，２８，３０，３２の機能を実施する。しかし、当業者には明らかであるように、本明細書に開示するソフトウエアモジュールを特定用途集積回路（ＡＳＩＣ：ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ−ｓｐｅｃｉｆｉｃ  ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ）等のハードウエアで実施しても良い。これも本発明の観点および範囲の内に含まれる。
【００２０】
記憶モジュール３２は、基本データベース３４とレシピ配布管理（ＲＤＭ：ｒｅｃｉｐｅ  ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ  ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ）データベース３６とを備えている。一実施例では、基本データベース３４は、図２に示したように複数の基本記録３７を格納しており、ＲＤＭデータベース３６は、図３に示したように複数のＲＤＭ記録３８を格納している。本実施例では、基本記録３７の各々は、ロットＩＤ、レシピＩＤ、チャンバＩＤを含んでおり、製造装置１２（図１）での自動実行に使用して良い。本例では、ＲＤＭ記録３８は、「製品ＩＤ」、「経路名」、「操作番号」、「装置ＩＤ」、「レシピＩＤ」を含んでいる。本例では、ＲＤＭ記録３８は、いくつかの装置で制限されるプロセス名を指定している。つまり、或る装置で実行できるプロセスを指定している基本記録３７の場合とは逆に、ＲＤＭ記録３８は、その装置で実行できないプロセスを指定している。ＲＤＭ記録３８の各々は、製造装置１２から受信した操作データと比較しても良いコード（たとえば、レシピＩＤ）を含んでいる。
【００２１】
比較モジュール２２は、ＲＤＭ記録３８に基づいて、操作データが制限されるべきか否かを判定する。或る停止中の装置からロットリストを選択すると、本例のＭＥＳがＭＥＳロットリスト（基本記録３７）を準備し、このＭＥＳロットリストを比較モジュール２２に送信する。比較モジュール２２は、製品名、経路ＩＤ、操作ＩＤ、装置ＩＤ、レシピ名から成るＲＤＭ記録をＭＥＳロットリストと比較する（これが比較モジュール２２の機能である）。データが一致した場合には、比較モジュール２２はこのデータにマークを付して（または、拾い出して）出力モジュール３０に送信する。操作データが制限されていない場合には、比較モジュール２２は操作データを更に基本記録３７と比較して、アラーム等を生成すべきかを判定する。
【００２２】
受信モジュール２０はインターフェースを介してデータを受信し、出力モジュール３０はインターフェースを介してデータを出力する。したがって、受信モジュール２０はセルコントローラ１４を介して製造装置１２から操作データを受信できる。また、操作データが制限されている場合には、出力モジュール３０はセルコントローラ１４を介して製造装置１２に制限信号を出力できる。後述のように、制限信号によって、製造装置１２がこの操作データに対応したプロセスを実行するのが禁止される。
【００２３】
操作データが基本記録のいずれとも一致しない場合には、出力モジュール３０はセルコントローラ１４を介して製造装置１２にアラーム信号を更に出力できる。また、出力モジュール３０はユーザインターフェース１６に制限信号またはアラーム信号を出力してユーザ１１に警告できる。
【００２４】
ユーザ１１は、入力モジュール２４を用いてＲＤＭデータベース３６に新たなＲＤＭ記録３８を追加することができ、編集モジュール２６を用いて既存のＲＤＭ記録３８を編集することができ、削除モジュール２８を用いて既存のＲＤＭ記録３８を削除することができる。本例では、ユーザ１１は入力装置１６を用いて入力、編集、削除を行う。
【００２５】
図４に示した一実施例では、半導体製造実行方法が、以下に説明する幾つかのステップを備えている。ステップ４２では、セルコントローラ１４（図１）を介して製造装置１２（図１）から操作データを受信する。製造装置１２は操作データをセルコントローラ１４に出力する。セルコントローラ１４は操作データを受信して半導体ＭＥＳ１０（図１）に転送する。製造装置１２とセルコントローラ１４とは、ＳＥＣＳ（ＳＥＭＩ  ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  ｓｔａｎｄａｒｄ：ＳＥＭＩ機器間通信規格）を用いて相互に通信を行うことが好ましい。また、セルコントローラ１４とＭＥＳ１０とは、ネットワークを用いて相互に通信を行うことが好ましい。しかし、ＭＥＳ１０内でその他の通信規格を用いても良く、それらが本発明の範囲に含まれることは当業者には明らかである。
【００２６】
ステップ４４では、比較モジュール２２は操作データをＲＤＭ記録３８と比較する。操作データがＲＤＭ記録３８の少なくとも１つと一致した場合（すなわち、操作データが制限されている場合）には、ステップ４６を実行する。操作データがＲＤＭ記録３８のいずれとも一致しない場合（すなわち、操作データが制限されていない場合）には、ステップ４８を実行する。たとえば、ＲＤＭ記録３８が制限条件としてレシピＩＤ「００１」を含んでおり、操作データがレシピＩＤ「００１」を含んでいる場合には、一致するので、ステップ４６を実行する。
【００２７】
ステップ４６では、出力モジュール３０は製造装置１２に第１の制限信号を出力して、この操作データに対応するプロセスの実行を禁止する。出力モジュール３０はネットワークを介してユーザインターフェース１６に第２の制限信号を更に出力して、ユーザ１１が誤りを訂正できるようにする。一変更例では、第１および第２の制限信号が同一であっても良い。出力モジュール３０はこの第２の制限信号を、各製造装置にあらかじめ割当てたユーザインターフェース１６に対して出力して、ユーザ１１がアラームメッセージをそのユーザインターフェース１６上で見られるようにする。
【００２８】
ステップ４８では、比較モジュール２２は操作データが基本記録３７と一致するかを判定する。操作データが基本記録３７の１つと一致した場合には、終了５２を実行して、プロセスが正常に実行できる状態になる。操作データが基本記録３７のいずれとも一致しない場合には、ステップ５０を実行する。
【００２９】
ステップ５０では、出力モジュール３０は製造装置１２に第１の制限信号を出力すると共に、ユーザインターフェース１６に第２の制限信号を出力する。このアラーム信号は、製造装置１２に対してはセルコントローラ１４を介して送信しても良く、ユーザインターフェース１６に対してはネットワークを介して送信しても良い。これにより、ユーザ１１は誤りを訂正するための情報を受取る。たとえば、製造装置１２の操作を停止させるか制限しても良い。一変更例では、第１および第２の制限信号が同一である。
【００３０】
図５〜図７は、ＲＤＭデータベース３６（図１および図３）においてＲＤＭ記録３８（図３）を追加、編集、削除する方法を説明するための図である。図５には、ＲＤＭデータベース３６に新たなＲＤＭ記録３８を追加する方法を示してある。ステップ５４では、ユーザ１１が、ユーザインターフェース１６（図１）や入力モジュール２４（図１）等を介して新たなＲＤＭ記録３８を入力する。ステップ５６では、この新たなＲＤＭ記録３８がＲＤＭデータベース３６に追加される。
【００３１】
図６には、ＲＤＭデータベース３６にあるＲＤＭ記録３８を編集する方法を示してある。ステップ６０では、ユーザ１１が、ユーザインターフェース１６（図１）や入力モジュール２４（図１）等を介してコード（たとえば、レシピコードすなわちレシピＩＤ）を入力する。ステップ６２では、比較モジュール２２（図１）はこのレシピコードがＲＤＭデータベース３６中の１つのＲＤＭ記録３８のレシピコードと一致するかを判定する。このレシピコードがＲＤＭ記録３８の１つのレシピコードと一致する場合には、ステップ６４を実行する。ステップ６４では、ユーザ１１がＲＤＭ記録３８を編集する。その際、現時点で好適な実施例では、ＲＤＭ記録３８は同一のレシピコードを有するものとする。ユーザ１１は、ユーザインターフェース１６（図１）や編集モジュール２６（図１）等を介してＲＤＭ記録３８を編集する。ステップ６６では、編集したＲＤＭ記録３８がＲＤＭデータベース３６内で更新される。
【００３２】
図７には、ＲＤＭデータベース３６からＲＤＭ記録３８を削除する方法を示してある。ステップ６０では、ユーザ１１が、ユーザインターフェース１６（図１）や入力モジュール２４（図１）等を介してコード（たとえば、レシピコードすなわちレシピＩＤ）を入力する。ステップ６２では、比較モジュール２２はこのレシピコードがＲＤＭデータベース３６中の１つのＲＤＭ記録３８のレシピコードと一致するかを判定する。このレシピコードがＲＤＭ記録３８の１つのレシピコードと一致する場合には、ステップ７０を実行する。ステップ７０では、同一のレシピコードを有するＲＤＭ記録３８がＲＤＭデータベース３６から削除される。
【００３３】
上述のように、本発明に係る半導体ＭＥＳでは、製造装置での実行を禁止されたプロセスを取扱う簡単な方法が提供される。つまり、基本データベースから基本記録を削除してその後に再登録するという必要がない。本実施例で説明した方法を様々な態様で変更することができて同様の効果が得られることは当業者には明らかである。上述の問題を解決するための別個のデータベースを備えている半導体ＭＥＳは、いずれも本発明の範囲に包含される。上述の実施例は例示であって、これらの実施例によって本発明を制約するものではない。当業者ならば、上述の説明から、本発明から乖離することなくここに開示した実施例に対する多数の様々な変更を行い得る。たとえば、本発明の別の実施例では、操作データをＲＤＭデータベース３６のＲＤＭ記録３８と比較する前に、またはこれと同時に、基本データベース３４の基本記録３７と比較しても良い。このような変更や修正は、添付した請求範囲に規定した本発明の範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  半導体製造実行システム（ＭＥＳ：ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｅｘｅｃｕｔｉｏｎ  ｓｙｓｔｅｍ）を備えた半導体ウェハ製造システムの一実施例を示す図である。このＭＥＳは基本データベースとレシピ配布管理（ＲＤＭ：ｒｅｃｉｐｅ  ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ  ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ）データベースとを備えている。
【図２】  図１の基本データベースの一実施例を示す図である。
【図３】  図１のＲＤＭデータベースの一実施例を示す図である。
【図４】  図１のＭＥＳ内で実施しても良い製造実行システム方法の一実施例を示すフローチャートである。
【図５】  図１のＲＤＭデータベースに新たなＲＤＭ記録を追加する方法の一実施例を示すフローチャートである。
【図６】  図１のＲＤＭデータベース中のＲＤＭ記録を編集する方法の一実施例を示すフローチャートである。
【図７】  図１のＲＤＭデータベースからＲＤＭ記録を削除する方法の一実施例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１０  半導体製造実行システム
１１  ユーザ
２０  受信モジュール
２２  比較モジュール
２４  入力モジュール
２６  編集モジュール
２８  削除モジュール
３０  出力モジュール
３２  記憶モジュール
３４  基本データベース
３６  ＲＤＭデータベース
【図１】
0004357805.tif 000002
【図２】
0004357805.tif 000003
【図３】
0004357805.tif 000004
【図４】
0004357805.tif 000005
【図５】
0004357805.tif 000006
【図６】
0004357805.tif 000007
【図７】
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