(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録装置において、
前記記録媒体の表面に前記近視野光が生成するように当該記録媒体に向けて、有限の波長幅あるいは複数の波長を持つ照射光を照射させる光照射手段と、
前記照射光の波長よりも小さい径の微小開口を有し、該微小開口により前記近視野光を生成または散乱させる開口素子と、
前記近視野光と前記記録媒体あるいは前記開口素子との相互作用の結果発生した散乱光を前記照射光の波長に対応して検出する散乱光検出手段と、
検出された前記散乱光に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段とを備え、
前記開口素子は、前記記録媒体と向い合う平坦な対向面を有する平面基板によって形成されており、
前記微小開口及び前記散乱光検出手段は、前記対向面に備えられることを特徴とする記録装置。
【請求項２】
近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、
前記近視野光を生成または散乱させる開口素子と、
有限の波長幅あるいは複数の波長を持つ照射光を、前記開口素子に設けられた前記照射光の波長よりも小さい径の微小開口に向けて照射し、当該微小開口に近視野光を生成させると共に前記複数の波長のうち一つを有する照射光により記録媒体に情報を記録する光照射／記録手段と、
前記近視野光と前記記録媒体あるいは前記開口素子との相互作用の結果発生した散乱光を前記照射光の波長に対応して検出する散乱光検出手段と、
検出された前記散乱光に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段とを備え、
前記開口素子は、前記記録媒体と向い合う平坦な対向面を有する平面基板によって形成されており、
前記微小開口及び前記散乱光検出手段は、前記対向面に備えられることを特徴とする記録装置。
【請求項３】
前記照射光の複数の波長は、時間的に切り替わるものであることを特徴とする請求項１または２に記載の記録装置。
【請求項４】
前記散乱光検出手段は、選択波長が時間的に切り替わるものであることを特徴とする請求項１または２に記載の記録装置。
【請求項５】
前記照射光の波長は複数あり、同時に入力されるものであることを特徴とする請求項１または２に記載の記録装置。
【請求項６】
前記散乱光検出手段は、複数の受光素子が前記照射光の異なる波長のそれぞれに対応して受光するものであることを特徴とする請求項１または２に記載の記録装置。
【請求項７】
前記照射光は複数の波長成分からなり、前記照射光は前記複数の波長のそれぞれに対して有限の幅の波長幅を持つものであることを特徴とする請求項１または２に記載の記録装置。
【請求項８】
前記照射光の波長は有限の幅をもっており、波長選択手段によって前記幅の一部分を選択するものであることを特徴とする請求項１または２に記載の記録装置。
【請求項９】
近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録装置において、
近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口素子と、
前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように当該記録媒体に向けて、互いに異なる２つの変調周波数の光を混合した照射光を照射する光照射手段と、
前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、前記２つの変調周波数の一方をもつ伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、
前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、前記２つの変調周波数の他方をもつ伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、
前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段とを備え、
前記開口素子は、前記記録媒体と向い合う平坦な対向面を有する平面基板によって形成されており、
前記微小開口、前記第１の光検出手段及び第２の光検出手段は、前記対向面に備えられることを特徴とする記録装置。
【請求項１０】
近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、
近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口素子と、
互いに異なる２つの変調周波数を混合した照射光を前記微小開口に向けて照射し、当該微小開口に近視野光を生成させると共に少なくとも前記２つの変調周波数の一方を有する照射光により記録媒体に情報を記録する光照射／記録手段と、
前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、前記一方の変調周波数をもつ伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、
前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、前記２つの変調周波数の他方をもつ伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、
前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段とを備え、
前記開口素子は、前記記録媒体と向い合う平坦な対向面を有する平面基板によって形成されており、
前記微小開口、前記第１の光検出手段及び第２の光検出手段は、前記対向面に備えられることを特徴とする記録装置。
【請求項１１】
近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録装置において、
近視野光を生成または散乱させる２つの微小開口を有する開口素子と、
前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように当該記録媒体に向けて照射光を照射する光照射手段と、
前記近視野光が前記微小開口の一方によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、
前記近視野光が前記微小開口の他方によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、
前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする記録装置。
【請求項１２】
近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、
近視野光を生成または散乱させる２つの微小開口を有する開口素子と、
前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように当該記録媒体に向けて照射光を照射する第１の光照射手段と、
前記微小開口の一方に近視野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導入する第２の光照射／記録手段と、
前記近視野光が前記微小開口の一方によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、
前記近視野光が前記微小開口の他方によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、
前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする記録装置。
【請求項１３】
近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、
近視野光を生成または散乱させる２つの微小開口を有する開口素子と、
前記微小開口の一方に近視野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導入する光照射／記録手段と、
前記微小開口の他方に近視野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導入する光照射手段と、
前記一方の微小開口に生成された前記近視野光が前記記録媒体によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、
前記他方の微小開口に生成された前記近視野光が前記記録媒体によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、
前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする記録装置。
【請求項１４】
近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、
近視野光を生成または散乱させる２つの微小開口を有する開口素子と、
前記微小開口の一方に近視野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導入する光照射／記録手段と、
前記記録媒体の表面のうち前記微小開口の他方に対向する部分に近視野光が生成するように当該記録媒体に向けて照射光を照射する光照射手段と、
前記近視野光が前記一方の微小開口によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、
前記近視野光が前記他方の微小開口によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、
前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする記録装置。
【請求項１５】
前記開口素子は、厚み方向に段差を設けることにより第１の底面と第２の底面を有し、前記第１の底面に前記一方の微小開口を設け、前記第２の底面に前記他方の微小開口を設け、
前記制御手段は、前記第１の光検出手段により検出される再生信号と前記第２の光検出手段により検出される信号との相対値を算出し、当該相対値に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御することを特徴とする請求項１１〜１４のいずれか１つに記載の記録装置。
【請求項１６】
近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録装置において、
近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口素子と、
前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように前記記録媒体に向けて照射光を照射する光照射手段と、
前記近視野光が前記微小開口によって散乱されて生じる伝搬光を検出する光検出手段と、
前記微小開口を前記開口素子の厚み方向に微小振動させる垂直微小振動手段と、
前記垂直微小振動手段により前記微小開口が所望の高さに位置した際に前記光検出手段において検出された信号を再生信号とし、前記垂直微小振動手段により前記微小開口が前記所望の高さよりも上点に位置した際に前記光検出手段において検出された信号を演算対象信号とし、当該再生信号と当該演算対象信号との相対値を算出して、当該相対値に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする記録装置。
【請求項１７】
近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、
近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口素子と、
前記微小開口に近視野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導入する光照射／記録手段と、
前記近視野光が前記記録媒体によって散乱されて生じる伝搬光を検出する光検出手段と、
前記微小開口を前記開口素子の厚み方向に微小振動させる垂直微小振動手段と、
前記垂直微小振動手段により前記微小開口が所望の高さに位置した際に前記光検出手段において検出された信号を再生信号とし、前記垂直微小振動手段により前記微小開口が前記所望の高さよりも上点に位置した際に前記光検出手段において検出された信号を演算対象信号とし、当該再生信号と当該演算対象信号との相対値を算出して、当該相対値に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする記録装置。
【請求項１８】
さらに、前記開口素子を、前記記録媒体上に記録された情報単位の配列方向に対して垂直な方向且つ当該記録媒体の表面に平行な方向に微小振動させる水平微小振動手段と、
前記水平微小振動手段による微小振動の振動中心において前記再生信号が最大となるように前記開口素子の位置を制御する位置制御手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１〜１７に記載のいずれか１つの記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録媒体上に高密度に記録された情報を近視野光を利用して再生する記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現状の情報再生デバイスの多くは、ＣＤおよびＣＤ−ＲＯＭに代表される再生専用型の光ディスクに記録された情報の再生を行っている。例えばＣＤにおいては、その表面に、再生の際に使用されるレーザ光の波長程度のサイズかつその波長の４分の１程度の深さを有したピットを凹凸情報として記録しており、その情報を再生するのに光の干渉現象が利用される。
【０００３】
また、光磁気記録方式および相変化記録方式に代表される方式を採用した書き換え可能型の記録媒体が流通しており、高密度な情報の記録が実現されている。例えば、相変化記録方式においては、表面に相変化膜を形成した記録媒体上にレーザ光を照射し、照射されたレーザ光のスポット部において生じる温度を、レーザ光の強度を変化させることによって、相変化膜の結晶化とアモルファス化との２値の記録を可能としている。このようにして記録された情報は、記録媒体上に記録時よりも弱い強度のレーザ光を照射し、その反射強度によって結晶相とアモルファス相とを区別することによって再生される。
【０００４】
上述した再生専用型の光ディスクに記録された情報の再生は、従来の光学顕微鏡において用いられているレンズ光学系を使用しており、光の回折限界のためにレーザ光のスポットサイズを２分の１波長以下にすることはできない。よって、光ディスクの情報記録密度をさらに増加させた場合、ピットの大きさやトラックピッチは縮小され、情報記録単位がレーザ光の波長よりも小さなサイズとなってしまい、情報の再生は不可能となる。
【０００５】
また、光磁気記録方式および相変化記録方式によって情報を記録した記録媒体においては、レーザ光の微小なスポットにより高密度な情報の記録・再生を実現しているために、記録媒体の情報記録密度はレーザ光を集光させて得られるスポットの径に制限される。よって、光磁気記録方式および相変化記録方式を採用した従来の光情報記録装置においては、レーザ光を集光して得られるスポットの径をレーザ光の回折限界、すなわちレーザ光の波長の１／２以下とすることはできなかった。
【０００６】
一方、利用するレーザ光の波長以下、例えばその波長の１／１０程度の径を有する微小開口を介して生成される近視野光を利用した情報再生方法／装置が提案されている。
【０００７】
元来、近視野光を利用した装置として上記した微小開口を有するプローブを用いた近視野顕微鏡があり、試料の微小な表面構造の観察に利用されている。近視野顕微鏡における近視野光利用方式の一つとして、プローブの微小開口と試料表面との距離をプローブの微小開口の径程度まで近接させ、プローブを介して且つそのプローブの微小開口に向けて伝搬光を導入することにより、その微小開口に近視野光を生成させる方式（イルミネーションモード）がある。この場合、生成された近視野光と試料表面との相互作用により生じた散乱光が、試料表面の微細構造を反映した強度や位相を伴って散乱光検出系により検出され、従来の光学顕微鏡において実現し得なかった高い分解能を有した観察を行うことができる。
【０００８】
また、近視野光を利用した近視野顕微鏡の他の方式として、試料に向けて伝搬光を照射して試料表面に近視野光を局在させ、その試料表面にプローブの微小開口をプローブの微小開口の径程度まで近接させる方式がある（コレクションモード）。この場合、局在した近視野光とプローブの微小開口との相互作用により生じた散乱光が、試料表面の微細構造を反映した強度や位相を伴って、プローブの微小開口を介して散乱光検出系に導かれて、高分解能な観察が実現される。
【０００９】
上述した近視野光を利用した情報再生方法／装置は、近視野顕微鏡におけるこれらの観察方式を利用したものである。
【００１０】
従って、近視野光を利用することにより、従来の情報記録媒体の記録密度を越えて記録された情報記録媒体の情報再生が可能となる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、記録媒体上に記録された情報の再生を、上述した近視野光を利用して実現するには、光ヘッドとなるプローブの微小開口部と記録媒体表面との距離が、数ナノメートル〜１０ナノメートルとなるように十分に近接させるプローブ近接制御技術が必要となる。
【００１２】
従来のハードディスクの技術において、記録ヘッドと記録媒体とを近接させるフライングヘッド技術があるが、記録媒体表面からのフライングヘッドの浮上量は、約５０ナノメートル〜１００ナノメートルであり、近視野光を利用した情報再生を実現するには大きな値である。
【００１３】
一方、試料表面においてナノメートルオーダの微小な領域を観察するために走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）に代表される走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）が用いられている。ＳＰＭは、先端が先鋭化したプローブを用い、このプローブと試料表面との間に生じるトンネル電流や原子間力などの物理量を検出することにより、試料表面に近接させつつ試料表面を走査して、高分解能な像を得ることができる。
【００１４】
よって、このＳＰＭにおけるプローブ近接技術を近視野顕微鏡または近視野光を利用した記録装置に適用することができ、記録媒体とプローブの微小開口の先端との十分に近接した状態を保持できる。
【００１５】
しかしながら、この場合、記録媒体に記録された情報に置換される物理量すなわち近視野光と、プローブを近接制御するのに必要となる物理量すなわち原子間力等とをそれぞれ固有の機構において検出する必要が生じ、装置全体の構成が複雑になるという問題があった。
【００１６】
また、ＳＰＭのプローブ近接技術は、プローブに先鋭化された先端を必要とし、プローブとして、先鋭化された先端を有さない平面プローブを用いる近視野顕微鏡または近視野光を利用した記録装置においては、最適な方法とは言えなかった。
また、上述した近視野光は、プローブと記録媒体を結ぶ線をｚ方向と定義すると、ｚ方向には急速に減衰するため、プローブが何らかの原因で記録媒体表面からｚ方向に位置がずれた時には出力信号が変動する。記録媒体上のデータマークの有無によっても出力信号が増減するので、出力信号が変化したときにそれがデータマークの存在のためなのか、プローブのｚ方向位置ずれのためなのかの判断がつかない、という問題点があった。
プローブを機械的にｚ方向に振動させてその振幅を一定に保つことでプローブのｚ方向位置を制御する方法もあるが、これは記録媒体表面に物理的衝撃を与えることになり、記録媒体およびプローブの損傷を招いていた。また、プローブの振動制御および振幅検出機構のために装置の小型化が困難であった。
【００１７】
従って、本発明は上記問題を鑑みて、高密度に記録された記録媒体に対して信頼性の高い情報再生または記録を簡単な構成にて実現させるための記録装置を提供することを目的としている。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、前記記録媒体に光を照射して当該記録媒体の表面に近視野光を生成させると共に、微小開口を持つプローブを前記記録媒体の表面に近接させて当該微小開口により前記近視野光を散乱させ、この伝搬光の強度を検出し当該伝搬光の強度に基づき前記微小開口と前記記録媒体との距離を制御することを特徴とする。
【００１９】
よって、近視野光を利用して記録媒体上に記録された高密度な情報の再生が達成されると同時に、同じく近視野光を利用して開口素子の微小開口と記録媒体との距離制御を可能とする。
【００２０】
また、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように前記記録媒体に向けて照射光を照射する光照射手段と、前記近視野光が前記微小開口によって散乱されて生じる伝搬光を検出し、これを再生信号とする光検出手段と、前記再生信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２１】
よって、近視野光を利用して記録媒体上に記録された高密度な情報の再生が達成されると同時に、その再生信号から距離制御信号導出手段によって開口素子の微小開口と記録媒体との距離を示す距離制御信号を得ることが可能となり、その距離制御信号に基づいて開口素子と記録媒体との近接した状態を保持することが可能になる。
【００２２】
また、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口素子と、前記微小開口に近視野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導入する光照射／記録手段と、前記近視野光が前記記録媒体によって散乱されて生じる伝搬光を検出し、これを再生信号とする光検出手段と、前記再生信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２３】
よって、記録媒体上に記録された高密度な情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。また、微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が行えることによって情報の記録をも可能にする。
【００２４】
また、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように当該記録媒体に向けて、有限の波長幅あるいは複数の波長を持つ照射光を照射させる光照射手段と、
前記近視野光と前記記録媒体あるいは前記開口素子との相互作用の結果発生した散乱光を前記照射光の波長に対応して検出する散乱光検出手段と、
検出された前記散乱光に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
【００２５】
よって、記録媒体上に記録された高密度な情報の再生、および、開口素子と記録媒体との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さらに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用される照射光とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて利用することにより、再生信号と開口素子を近接制御するための距離制御信号とを確実に分離できる。また、異なる波長の照射光に対応して散乱光を検出するので、照射光波長によって散乱光強度が異なることを利用して、再生プローブと情報記録媒体との距離情報が得られ、情報の再生と、プローブのｚ方向位置制御を、プローブのｚ方向振動なしに行うことができる。これにより、プローブのｚ方向振動機構、ｚ方向振幅検出機構が不要になりコンパクトな装置構成が可能になる。また、距離制御のために信号のピークを検出する必要がなくなる。また、プローブが情報記録媒体に物理的に接触することがなくなったため、プローブおよび情報記録媒体の損傷が減少した。
【００２６】
また、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口素子と、有限の波長幅あるいは複数の波長を持つ照射光を前記微小開口に向けて照射し、当該微小開口に近視野光を生成させると共に前記複数の波長のうち一つを有する照射光により記録媒体に情報を記録する光照射／記録手段と、
前記近視野光と前記記録媒体あるいは前記開口素子との相互作用の結果発生した散乱光を前記照射光の波長に対応して検出する散乱光検出手段と、
検出された前記散乱光に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２７】
よって、記録媒体上に記録された高密度な情報の再生、および、開口素子と記録媒体との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さらに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用される照射光とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて利用することにより、再生信号と開口素子を近接制御するための距離制御信号とを確実に分離できる。また、微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が行えることによって情報の記録をも可能にする。
また、本発明に係る記録装置は、請求項４あるいは５のいずれか１つの発明において、前記照射光の複数の波長は、時間的に切り替わるものであることを特徴とする。
よって、請求項４あるいは５の効果に加えて、単一の発光源によって複数の波長の光を放射するため、コンパクトな装置構成が可能となった。
また、本発明に係る記録装置は、請求項４あるいは５のいずれか１つの発明において、前記散乱光検出手段は、選択波長が時間的に切り替わるものであることを特徴とする。
よって、請求項４あるいは５の効果に加えて、単一の受光素子によって前記散乱光を受光するため、コンパクトな装置構成が可能となった。
また、本発明に係る記録装置は、請求項４あるいは５のいずれか１つの発明において、前記照射光の波長は複数あり、同時に入力されるものであることを特徴とする。
よって、請求項４あるいは５の効果に加えて、入力光の波長を選択する機構が不要なので、よりコンパクトな装置構成が可能となった。
また、本発明に係る記録装置は、請求項４あるいは５のいずれか１つの発明において、前記散乱光検出手段は、複数の受光素子が前記照射光の異なる波長のそれぞれに対応して受光するものであることを特徴とする。
よって、請求項４あるいは５の効果に加えて、受光素子が散乱光を受光するときに選択波長を時間的に切り替えることが不要なので、波長選択手段が簡素になりコンパクトな装置構成が可能となった。
また、本発明に係る記録装置は、請求項４あるいは５のいずれか１つの発明において、前記照射光は複数の波長成分からなり、前記照射光は前記複数の波長のそれぞれに対して有限の幅の波長幅を持つものであることを特徴とする。
よって、請求項４あるいは５の効果に加えて、入力手段は入力光の波長が幅を持っていることが許容されるので、利用できる入力手段の種類が増え、その結果利用できる波長の種類も増える。それにより、プローブと情報記録媒体の距離を高い精度で制御できる波長を利用しやすくなった。
また、本発明に係る記録装置は、請求項４あるいは５のいずれか１つの発明において、前記照射光の波長は有限の幅をもっており、波長選択手段によって前記幅の一部分を選択するものであることを特徴とする。
よって、請求項４あるいは５の効果に加えて、入力光はレーザのような波長の限定されたものである必要がなくなり、より簡便な構成が実現された。
【００２８】
また、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように当該記録媒体に向けて、互いに異なる２つの変調周波数の光を混合した照射光を照射する光照射手段と、前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、前記２つの変調周波数の一方をもつ伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、前記２つの変調周波数の他方をもつ伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２９】
よって、記録媒体上に記録された高密度な情報の再生、および、開口素子と記録媒体との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になると共に、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用される照射光とをそれぞれ互いに異なった変調周波数を割り当てて利用することにより、再生信号と開口素子を近接制御するための距離制御信号とを確実に分離できる。
【００３０】
また、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口素子と、互いに異なる２つの波長の変調周波数を混合した照射光を前記微小開口に向けて照射し、当該微小開口に近視野光を生成させると共に少なくとも前記２つの変調周波数の一方を有する照射光により記録媒体に情報を記録する光照射／記録手段と、前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、前記一方の変調周波数をもつ伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、前記生成した近視野光を前記微小開口により散乱させ、前記２つの変調周波数の他方をもつ伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３１】
よって、記録媒体上に記録された高密度な情報の再生、および、開口素子と記録媒体との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さらに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用される照射光とをそれぞれ互いに異なった変調周波数を割り当てて利用することにより、再生信号と開口素子を近接制御するための距離制御信号とを確実に分離できる。また、微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が行えることによって情報の記録をも可能にする。
【００３２】
また、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱させる２つの微小開口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように当該記録媒体に向けて照射光を照射する光照射手段と、前記近視野光が前記微小開口の一方によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、前記近視野光が前記微小開口の他方によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３３】
よって、記録媒体上に記録された高密度な情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さらに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成されているので、再生信号と開口素子を近接制御するための距離制御信号とをより確実に分離できる。
【００３４】
また、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱させる２つの微小開口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように当該記録媒体に向けて照射光を照射する第１の光照射手段と、前記微小開口の一方に近視野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導入する第２の光照射／記録手段と、前記近視野光が前記微小開口の一方によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、前記近視野光が前記微小開口の他方によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３５】
よって、記録媒体上に記録された高密度な情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になるとともに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成されているので、再生信号と開口素子を近接制御するための距離制御信号とをより確実に分離できる。さらに、第２の光照射手段により微小開口部に導入する照射光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射の付与による情報の記録をも可能にする。
【００３６】
また、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱させる２つの微小開口を有する開口素子と、前記微小開口の一方に近視野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導入する光照射／記録手段と、前記微小開口の他方に近視野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導入する光照射手段と、前記一方の微小開口に生成された前記近視野光が前記記録媒体によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、前記他方の微小開口に生成された前記近視野光が前記記録媒体によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３７】
よって、記録媒体上に記録された高密度な情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さらに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成されているので、再生信号と開口素子を近接制御するための距離制御信号とをより確実に分離できる。また、微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が行えることによって情報の記録をも可能にする。
【００３８】
また、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱させる２つの微小開口を有する開口素子と、前記微小開口の一方に近視野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導入する光照射／記録手段と、前記記録媒体の表面のうち前記微小開口の他方に対向する部分に近視野光が生成するように当該記録媒体に向けて照射光を照射する光照射手段と、前記近視野光が前記一方の微小開口によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを再生信号とする第１の光検出手段と、前記近視野光が前記他方の微小開口によって散乱されて生じる伝搬光を検出しこれを制御信号とする第２の光検出手段と、前記制御信号に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００３９】
よって、記録媒体上に記録された高密度な情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。さらに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成され、かつ記録媒体に記録された情報の再生と、開口素子の記録媒体への近接制御に利用される近視野光をそれぞれ異なった生成方法により行うことで、互いの近視野光を干渉することなく、より確実に再生信号と距離制御信号とを分離して検出することが可能になる。また、微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が行えることによって情報の記録をも可能にする。
【００４０】
また、本発明に係る記録装置は、請求項１４〜１７のいずれか１つの発明において、前記開口素子は、厚み方向に段差を設けることにより第１の底面と第２の底面を有し、前記第１の底面に前記一方の微小開口を設け、前記第２の底面に前記他方の微小開口を設け、前記制御手段は、前記第１の光検出手段により検出される再生信号と前記第２の光検出手段により検出される信号との相対値を算出し、当該相対値に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御することを特徴とする。
【００４１】
よって、開口素子の底面に段差を設けることで、検出される伝搬光の強度に違いが生じ、２つの微小開口の各々により検出される信号間における相対的な値を、開口素子の近接制御を行うための距離制御信号として用いるので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号が得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号に対する比として安定した強度を得ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制御を行うことができる。
【００４２】
また、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口素子と、前記記録媒体の表面に近視野光が生成するように前記記録媒体に向けて照射光を照射する光照射手段と、前記近視野光が前記微小開口によって散乱されて生じる伝搬光を検出する光検出手段と、前記微小開口を前記開口素子の厚み方向に微小振動させる垂直微小振動手段と、前記垂直微小振動手段により前記微小開口が所望の高さに位置した際に前記光検出手段において検出された信号を再生信号とし、前記垂直微小振動手段により前記微小開口が前記所望の高さよりも上点に位置した際に前記光検出手段において検出された信号を演算対象信号とし、当該再生信号と当該演算対象信号との相対値を算出して、当該相対値に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００４３】
よって、１つの微小開口を上下振動させることにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、微小開口の所望の高さにて検出される信号すなわち再生信号と、微小開口の前記所望の高さよりも上点にて検出される信号すなわち演算対象信号との相対的な値を、開口素子の近接制御を行うための距離制御信号として用いるので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号が得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号に対する比として安定した強度を得ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制御を行うことができる。
【００４４】
また、本発明に係る記録装置は、近視野光を利用して記録媒体に記録された情報の再生または記録を行う記録装置において、近視野光を生成または散乱させる微小開口を有する開口素子と、前記微小開口に近視野光が生成するように当該微小開口に向けて照射光を導入する光照射／記録手段と、前記近視野光が前記記録媒体によって散乱されて生じる伝搬光を検出する光検出手段と、前記微小開口を前記開口素子の厚み方向に微小振動させる垂直微小振動手段と、前記垂直微小振動手段により前記微小開口が所望の高さに位置した際に前記光検出手段において検出された信号を再生信号とし、前記垂直微小振動手段により前記微小開口が前記所望の高さよりも上点に位置した際に前記光検出手段において検出された信号を演算対象信号とし、当該再生信号と当該演算対象信号との相対値を算出して、当該相対値に基づいて前記開口素子と前記記録媒体との間隔を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００４５】
よって、１つの微小開口を上下振動させることにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、微小開口の所望の高さにて検出される信号すなわち再生信号と、微小開口の前記所望の高さよりも上点にて検出される信号すなわち演算対象信号との相対的な値を、開口素子の近接制御を行うための距離制御信号として用いるので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号が得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号に対する比として安定した強度を得ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制御を行うことができるとともに、微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が行えることによって情報の記録をも可能にする。
【００４６】
また、本発明に係る記録装置は、請求項１〜２０のいずれか１つの発明において、さらに、前記開口素子を、前記記録媒体上に記録された情報単位の配列方向に対して垂直な方向且つ当該記録媒体の表面に平行な方向に微小振動させる水平微小振動手段と、前記水平微小振動手段による微小振動の振動中心において前記再生信号が最大となるように前記開口素子の位置を制御する位置制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【００４７】
よって、記録媒体上の情報単位の配列方向に垂直且つ記録媒体表面に平行な方向に対する位置制御、すなわちトラッキング制御を可能とし、このトラッキング制御により安定な再生信号が得られるので、この再生信号を利用する近接制御もまた、確実なものとなり情報再生の信頼性を向上することができる。
【００４８】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る記録装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００４９】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。
【００５０】
開口素子１１は、例えばシリコン基板からなる平面基板であり、これを貫通するように逆錐状の穴がその頂点を微小開口１２とするように形成されている。微小開口１２は、近視野光を生成または散乱するのに適した大きさであり、例えば数十ナノメートルの径を有している。さらに開口素子１１上には、微小開口１２部分を記録媒体１０に近接制御するためのＺ軸制御機構１４が設けられている。Ｚ軸制御機構１４は、例えば圧電アクチュエータや静電アクチュエータなどの微小変位機構である。
【００５１】
また、Ｚ軸制御機構１４は、図２に示すように、フライングヘッド構造を応用した制御機構であってもよい。図２において、開口素子２１はフライングヘッド技術におけるスライダとして兼用され、上述した微小開口１２と同様な微小開口２２が形成されている。さらに開口素子２１はバネ機構２３に支持され、バネ機構２３の弾性によって記録媒体１０の表面に押圧されている。バネ機構２３は、バネ制御機構２４に接続されており、バネ制御機構２４はバネ機構２３のバネ制御機構２４側の支持部の高さを変位させることが可能であり、この変位制御によって開口素子２１の記録媒体１０への近接制御が行える。
【００５２】
図１において、記録媒体１０上に記録された情報を、近視野光を利用して再生するために、まず、微小開口１２が記録媒体１０の表面に十分近接するように開口素子１１を記録媒体１０の表面に対して垂直な方向に制御する必要がある。この近接制御を行うために検出される物理量として、情報を再生するために検出される物理量と同じく、近視野光を利用する。
【００５３】
記録媒体１０の裏面から記録媒体１０の表面に向けて、レーザ光２０を好ましくは記録媒体１０の裏面に対して全反射条件となるように照射する。これによって、記録媒体１０の表面に近視野光が生成されて局在し、局在した近視野光の領域内に微小開口１２が配置されるように開口素子１１を記録媒体１０に近付ける。この際、開口素子１１に設けられたＺ軸制御機構１４は、開口素子１１の微小な変位を制御する機構であるため、開口素子１１が記録媒体１０から十分に離れた距離から、Ｚ軸制御機構１４によって制御する必要が生じる距離までの開口素子１１の比較的大きな距離に対する制御を、例えばインチワームモータ等の制御機構を付加して行っても良い。
【００５４】
微小開口１２が記録媒体１０上に局在した近視野光の領域内に挿入されると、この微小開口１２によって近視野光が散乱され、且つその散乱光（伝搬光）が微小開口１２を介して微小開口１２の上方に配置された集光光学系１５に導入されて集光されることにより、前述したコレクションモードによる近視野光の検出が達成される。集光光学系１５に導入された伝搬光は、ミラー１６を介して光検出機構１７に導かれ、再生信号となる電気信号に変換される。ここで、集光光学系１５は、例えばレンズ光学系、光ファイバ光学系またはライトガイド等である。また、光検出機構１７は、例えば光電子増倍管またはフォトダイオード等である。光検出機構１７において出力される再生信号は、制御機構１９に送信されると共にピーク検出機構１８に送信される。ピーク検出機構１８は所定の信号検出時間内または所定のサンプリング回数内における再生信号の強度の最大値、すなわちピーク信号を導出し、そのピーク信号を制御機構１９に送信する。データマークあるいはデータマーク間のすきまの長さは上限と下限が定義されていて、典型的には最小単位長さの８倍程度である。ピーク検出機構１８が信号を検出する時間を、プローブがデータマークの長さの上限だけ走査するのに要する時間に設定することにより、信号検出時間内に必ずデータマークが検出されるようにできる。制御機構１９においては、ピーク検出機構１８から送信されたピーク信号の示す値が保持されるように微小開口１２の位置を制御すべく、Ｚ軸制御機構１４に制御信号を送信し、開口素子１１の位置制御を行う。また、制御機構１９において、光検出機構１７から直接に受信した再生信号により、微小開口１２の配置された再生位置における情報の記録状態が判断され、情報の再生が達成される。
【００５５】
よって、記録媒体１０上に記録された高密度な情報に対して、近視野光を利用した再生が達成されると同時に、その再生信号が、ピーク信号検出機構１８によって開口素子１１の微小開口１２と記録媒体１０との距離を示す距離信号として処理可能となり、この距離信号に基づいて開口素子１１と記録媒体１０との近接した状態を保持することが可能になる。このように、情報再生および微小開口１２の近接制御において検出される物理量が共に近視野光とすることにより、従来の近視野光を利用した記録装置において必要とされた近視野光以外の物理量を利用したプローブ近接制御機構が排除され、記録装置の構成を簡単にすることが可能になる。さらに、以上に説明されたような先鋭化された先端を有さない再生プローブ（平面プローブ）を使用した記録装置を提供することが可能になる。
【００５６】
図３は、図１において説明された記録装置において、前述したイルミネーションモードによる近視野光の検出を行う場合の記録装置の概略構成を示すブロック図である。なお、図１と共通する部分には同一符号を付している。
【００５７】
図３において、レーザ光源２５から射出されたレーザ光は、ミラー２６を介して光照射光学系２７に導入され、開口素子１１の逆錐状の穴を介して微小開口１２に向けて照射される。これにより、微小開口１２に近視野光が生成され、生成された近視野光の領域内に記録媒体１０の表面が位置するように開口素子１１を記録媒体１０に近付ける。
【００５８】
記録媒体１０の表面に、微小開口１２に生成された近視野光が達すると、記録媒体１０の表面の微細構造によって近視野光が散乱される。この散乱光（伝搬光）が、記録媒体１０の裏面に配置された集光光学系１５に導入されて集光されることにより、前述したイルミネーションモードによる近視野光の検出が達成される。集光光学系１５に導入された伝搬光は、記録媒体１０の裏面側に配置されたミラー１６を介して光検出機構１７に導かれ、再生信号となる電気信号に変換される。光検出機構１７において出力される再生信号は、制御機構１９に送信されると共にピーク検出機構１８に送信される。制御機構１９においては、図１における説明と同様に、ピーク検出機構１８から送信されたピーク信号に基づいてＺ軸制御機構１４に制御信号を送信し、開口素子１１の位置制御を行い、かつ光検出機構１７から受信した再生信号に基づいて微小開口１２の配置された再生位置における情報の記録状態が判断され、情報の再生が達成される。
【００５９】
よって、記録媒体１０上に記録された高密度な情報の再生および開口素子１１と記録媒体１０との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。よって、記録装置の構成が簡単になり、さらに、先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面プローブ）を記録装置に使用することも可能になる。また、近視野光の検出にイルミネーションモードを採用しているため、微小開口部に導入させるレーザ光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が可能になる。従って、高密度に記録された情報の再生だけでなく、熱エネルギー付与による高密度な情報の記録をも可能になる。
【００６０】
（実施の形態２）
図４は、実施の形態２に係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。なお、図１と共通する部分には同一符号を付している。
【００６１】
図４において、記録媒体１０の裏面から記録媒体１０の表面に向けて、レーザ光２９を好ましくは記録媒体１０の裏面に対して全反射条件となるように照射する。これにより、記録媒体１０の表面に近視野光が生成されて局在し、局在した近視野光の領域内に微小開口１２が配置されるように開口素子１１を記録媒体１０に近付ける。ここで、レーザ光２９は、互いに異なる２つの波長を有する情報再生用レーザ光（波長λ１）および距離制御用レーザ光（波長λ２）が混合された光であり、記録媒体１０の表面に局在する近視野光においても互いに異なる２つの波長成分が含まれている。
【００６２】
微小開口１２が記録媒体１０上に局在した近視野光の領域内に挿入されると、微小開口１２によって近視野光が散乱され、且つその散乱光（伝搬光）が微小開口１２を介して微小開口１２の上方に配置された集光光学系１５に導入されて集光されることにより、コレクションモードによる近視野光の検出が達成される。集光光学系１５に導入された伝搬光は、散乱される近視野光と同じく、互いに異なる２つの波長成分（λ１およびλ２）を含んでおり、ダイクロイックミラー３１を介することによって波長分離される。ダイクロイックミラー３１において波長分離された伝搬光の一方（波長λ１）は、透過してミラー３２、光学フィルタ３４を介して光検出機構３６に導かれ、他方（波長λ２）は反射されて光学フィルタ３３を介して光検出機構３５に導かれる。ここで、光学フィルタ３４は波長λ１の伝搬光を、光学フィルタ３３は波長λ２の伝搬光をそれぞれ選択して透過させるためのフィルタである。光検出機構３６に導かれた伝搬光は再生信号となる電気信号に変換され、光検出機構３５に導かれた伝搬光は距離制御信号となる電気信号に変換され、それぞれ制御機構１９に送信される。制御機構１９においては、光検出機構３５から送信された距離制御信号の示す値を保持するように微小開口１２の位置を制御すべく、Ｚ軸制御機構１４に制御信号を送信し、開口素子１１の位置制御を行う。実施の形態１と同様にピーク検出機構を組み込んで検出されたピーク値を保持するようにすることもできる。また、制御機構１９において、光検出機構３６から送信された再生信号に基づいて微小開口１２の配置された再生位置における情報の記録状態が判断され、情報の再生が達成される。
【００６３】
よって、記録媒体１０上に記録された高密度な情報の再生、および、開口素子１１と記録媒体１０との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、さらに、先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面プローブ）を記録装置に使用することも可能になる。さらに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用されるレーザ光（情報再生用レーザ光）と、開口素子の近接制御を行うのに使用されるレーザ光（距離制御用レーザ光）とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて利用することにより、確実で信頼性の高い情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能になる。
【００６４】
図５は、図４において説明された記録装置において、イルミネーションモードによる近視野光の検出を行う場合の記録装置の概略構成を示すブロック図である。なお、図４と共通する部分には同一符号を付している。
【００６５】
図５において、レーザ光源４４から図４において説明された情報再生用レーザ光（波長λ１）が射出され、ミラー４２を介して波長合成器４１に導かれる。また、レーザ光源４３から図４において説明された距離制御用レーザ光（波長λ２）が射出され、波長合成器４１に導かれる。波長合成器４１に導かれた情報再生用レーザ光および距離制御用レーザ光は合成されて、光照射光学系２７に導入され、開口素子１１の逆錐状の穴を介して微小開口１２に向けて照射される。これにより、微小開口１２に近視野光が生成され、生成された近視野光の領域内に記録媒体１０の表面が位置するように開口素子１１を記録媒体１０に近付ける。ここで、微小開口１２に生成される近視野光においても互いに異なる２つの波長成分（λ１およびλ２）が含まれている。
【００６６】
記録媒体１０の表面に、微小開口１２に生成された近視野光が達すると、記録媒体１０の表面の微細構造によって近視野光が散乱される。その散乱光（伝搬光）は、記録媒体１０の裏面に配置された集光光学系１５に導入されて集光されることにより、イルミネーションモードによる近視野光の検出が達成される。集光光学系１５に導入された伝搬光は、前述した互いに異なる２つの波長成分（λ１およびλ２）を含んでおり、ダイクロイックミラー３１を介することによって、波長分離される。ダイクロイックミラー３１を介した伝搬光の処理、すなわち再生信号および距離制御信号の生成と距離制御信号に応じた近接制御とは、図４において示した動作と同様であるため、ここではその説明を省略する。
【００６７】
よって、記録媒体１０上に記録された高密度な情報の再生および開口素子１１と記録媒体１０との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、さらに、先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面プローブ）を記録装置に使用することも可能になる。さらに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用されるレーザ光（情報再生用レーザ光）と、開口素子の近接制御を行うのに使用されるレーザ光（距離制御用レーザ光）とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて利用することにより、確実で信頼性の高い情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能になる。また、近視野光の検出にイルミネーションモードを採用しているため、微小開口部に導入させるレーザ光の強度を比較的大きくすることによって、局所的な熱エネルギーの照射が可能になる。従って、高密度に記録された情報の再生だけでなく、熱エネルギー付与による高密度な情報の記録をも可能になる。
【００６８】
（実施の形態３）
図６は、本発明の実施の形態３に係る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。レーザ光源２０１はたとえばArの気体レーザで、波長４８８ｎｍと５１５ｎｍの光を放射し、その光は音響光学フィルタ２０２で波長を選択され、近視野光プローブ２０３に導入される。音響光学フィルタ２０２は水晶結晶と音響波ドライバ（図示略）から構成され、ブロードバンド光から単色光を分離する機能を持っている。音響波が結晶中を通過するときに結晶格子の歪みを生じ、これがグレーティングのような働きをする。音響工学フィルタは単色光のみを回折させるため、透過型フィルタに近い機能を持つ。選択波長の半値幅は１ｎｍオーダーまで狭めることが可能である。近視野光プローブ２０３はその先端に約１００ｎｍの微小開口が形成されている。本実施の形態においては、近視野光プローブ２０３は光ファイバを加熱、延引、切断のあとＡｌコーティングによって作成した。これは従来の近視野光顕微鏡のための近視野光プローブの作成方法として一般に知られている方法と同じである。近視野光プローブ２０３は情報記録媒体２０６の表面に数十ｎｍまで近接されている。近視野光プローブ２０３の先端の微小開口からは近視野光２０５が発生し、これが情報記録媒体２０６の表面によって散乱されて伝播可能な散乱光２０８となり、受光素子２０４で検出される。先端にこのような微小開口を設けたプローブを用いることにより、記録媒体と相互作用する光は近視野光が主成分とすることができ、検出された信号は近視野光によるものとなる。検出された信号は信号処理回路２１４に送られ、信号処理回路２１４からは出力信号２１５と、制御回路２１２に送られる信号が出力される。制御回路２１２は音響光学フィルタ２０２の動作を制御するとともに、アクチュエータ２０７、２１１に対する信号を出し、それによって記録媒体２０６のｚ方向位置を粗動機構２１０と微動機構２０９が制御する。
音響光学フィルタ２０２はλ1＝４８８ｎｍとλ2＝５１５ｎｍの２種類の波長を２５０マイクロ秒の速度で切り替えることができる。これにより、近視野光プローブ２０３には４８８ｎｍと５１５ｎｍの２種類の波長の光が時間的に交互に導入される。近視野光２０５のｚ方向依存性は指数関数減衰であるが、波長によって指数部が異なるため、λ2が入力光波長のときの近視野光はより遠方まで分布に広がりを持つ。図７は近視野光強度のプローブ-記録媒体表面間距離に対する依存性を示す。図７において縦軸が表す近視野光強度はプローブ-記録媒体表面間距離が大きくなるにつれて急激に減衰するが、その減衰の傾きは波長に依存している。
図８は情報記録媒体２０６の一部分の上面図である。データマーク２２０として、基板と反射率の異なる材質を形成している。本実施の形態においては、局所的な加熱によって状態が変化する物質、たとえば相変化記録方式において用いられる相変化膜を用いた。近視野光プローブ２０３が情報記録媒体２０６の表面上を走査すると、データマーク２２０の有無によって近視野光２０５と記録媒体２０６表面の相互作用の大きさが変化する。例として図９に波長λ2＝５１５ｎｍのときのデータマーク２２０の有無による出力光強度の違いを示す。同様の図（省略）がλ1＝４８８ｎｍに対しても得られる。
図１０は、図７と図９を組み合わせて、出力信号強度の入力波長およびデータマークの有無に対する依存性を示した図である。以下に信号処理方法について述べる。
波長λ1である瞬間に出力信号強度２２８が得られたとする。このときプローブと記録媒体との距離が２２６でプローブの下にデータマークが存在していない可能性Ａと、プローブと記録媒体との距離が２２７でプローブの下にデータマークが存在している可能性Ｂがある。そこで、次にプローブが有意な距離移動する前に波長をλ2に切り替える。可能性Ａの場合は出力は２３０になり、可能性Ｂの場合は出力は２２９になる。２２９と２３０はかならず異なることを利用すると、プローブと記録媒体の距離および、データマークの有無の２つの情報が同時に得られる。プローブと記録媒体の距離は、図１０の４本のカーブから得られる信号強度が最も大きく異なるように設定することが望ましい。距離情報は制御回路２１２に与えられ、アクチュエータ２０７および２１１がそれぞれ微動機構２０９および粗動機構２１０を動作させて望ましい距離を保つように制御する。また、データマークの有無に関する情報は本情報再生装置の出力信号となる。
これによって、プローブ２０３を機械的にｚ方向に振動させることなくプローブ２０３のｚ軸位置を制御することが実現された。プローブ２０３をｚ方向に振動させる機構および、その振動の振幅を検出する機構が不要となり、コンパクトな装置構成が実現できた。また、プローブ２０３は記録媒体に物理的に接触することがなくなったため、これによるプローブおよび記録媒体の損傷がなくなった。実施の形態１と２においては信号のピーク検出機構１８が必要で、しかも上述したようにデータマークの大きさの最小単位の８倍程度の距離をプローブが走査してから距離制御に必要な情報が得られていたが、本実施の形態においてはピーク検出は不要となり、しかもデータマークの最小単位分だけプローブが走査した段階で距離制御が可能となった。
（実施の形態４）
図１１は、本発明の実施の形態４に係る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。図６との違いは近視野光プローブ２３１として先端に図６のような微小開口ではなく、１００ｎｍ程度の大きさの先鋭な突起を持つプローブを用いた点と、入射光を記録媒体２０６の下方から入射し、全反射によって近視野光２０５を発生させている点である。他は図６と同じであるので、説明を省略する。入射光は光ファイバ（図示略）などによって記録媒体２０６の側面に導入され、記録媒体２０６中を全反射によって伝播する。記録媒体２０６の表面には内部の全反射のために近視野光２０５が発生している。近視野光２０５は記録媒体２０６の表面の光学特性すなわちデータマークの有無によってその強度分布が異なる。この近視野光２０５が近視野光プローブ２３１によって散乱されて散乱光２０８となり、受光素子２０４で検出される。近視野光プローブ２３１と記録媒体２０６表面の距離を精度よく制御する必要がある点は実施の形態３と同一であり、また、近視野光のｚ方向依存性は実施の形態３と理論的に同一であるので、実施の形態３と同一の方法を用いることができる。すなわち、音響光学素子２０２によって２種類の波長を切り替えた入力をおこない、そのそれぞれに対する出力信号強度を用いて、制御回路２１２を介してプローブ２３１のｚ軸位置制御をプローブ２３１を機械的に振動することなく行うことができ、同時に記録媒体２０６から情報の再生が可能となった。
プローブ２３１をｚ方向に振動させる機構および、その振動の振幅を検出する機構が不要となり、コンパクトな装置構成が実現できた。また、プローブ２３１は記録媒体に物理的に接触することがなくなったため、これによるプローブおよび記録媒体の損傷がなくなった。
また、プローブ２３１として先端に微小開口を設ける必要がなくなったため、プローブの作成がより容易になった。
（実施の形態５）
本実施の形態においては、近視野光プローブとして、逆錐状の穴がその頂部を前記微小開口とするように貫通して形成された平面基板からなる平面プローブ２３７を利用した。図１２に実施の形態５に係る情報再生装置の概略構成を示す。装置の概略および動作機構、信号処理回路は実施の形態３と同じであるので、詳細な説明は略すが、本実施の形態における平面型プローブは、一般に、従来の半導体製造技術においてもちいられるシリコンプロセスによって作成され、受光素子２３３は、シリコンウェハ上に集積されたフォトダイオードなどから成る。シリコン基板にはシリコンの異方性エッチングによって逆錐状の穴を設けることができ、その内面にはシリコン基板に光が入射してシリコンに吸収されてしまうことを防止するための反射膜２３６としてAlを製膜する。レンズ系あるいは光導波路（図示略）によって導入された入力光２３２は、このプローブの先端に形成された微小開口２３５から近視野光２０５を発生させる。これとデータマーク２３４との相互作用の結果発生した散乱光２０８を受光素子２３３で検出する。近視野光のｚ方向依存性は実施の形態３と理論的に同一であるので、実施の形態３と同一の方法によって、プローブのｚ軸位置制御をプローブを機械的に振動することなく行うことができ、同時に記録媒体２０６から情報の再生が可能となった。
平面プローブ２３７をｚ方向に振動させる機構および、その振動の振幅を検出する機構が不要となり、コンパクトな装置構成が実現できた。また、平面プローブ２３７は記録媒体に物理的に接触することがなくなったため、これによるプローブおよび記録媒体の損傷がなくなった。また、平面プローブを採用しているので、よりコンパクトな装置構造が達成された。さらに、平面プローブは、半導体製造技術を用いて作成することができるため、再現性の高い大量生産が可能である。さらに、平面プローブ２３７は記録媒体上を走査する方法として、従来のハードディスクに利用されているフライングヘッド法（プローブを含むヘッド部に楔状のテーパを設け、空気をそこから送り込んでプローブと記録媒体表面の間に空気流を形成し、あらかじめかけてある記録媒体方向にヘッドを押す力とのバランスによってヘッドを記録媒体から浮かせる方法）を用いることができる。
（実施の形態６）
図１３は、本発明の実施の形態６に係る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。図６との違いは、レーザ光源２０１からの入力光の波長を選択する音響光学素子２０２は持たず、かわりに受光素子として波長λ1に対する受光素子２３８と、波長λ2に対する受光素子２３９を持つ点と、信号処理回路２４０で行われる処理の内容が異なる点である。その他は図６と同じであるので説明を略す。レーザ光源２０１からは、たとえば４８８ｎｍと５１５ｎｍの波長を持つ光が放射され、近視野光２０５となって、記録媒体２０６と相互作用した結果、散乱光２０８になる。ここで、受光素子２３８は波長λ1の光を受光し、受光素子２３９は波長λ2の光を受光する。信号処理回路２４０においては、これらの信号を用いて実施の形態３で説明した図１０により、プローブと情報記録媒体との距離情報と、データマークの有無情報を同時に得ることができる。このうち、距離情報は制御回路２１２に送られ、粗動機構２１１および微動機構２０７によるプローブ媒体距離制御に使われる。データマークの有無情報はこの情報再生装置の出力信号２１５となる。
本実施の形態においては、音響光学素子を持たないため、簡便な装置構成が可能となり、さらに２つの波長による出力信号が同時に得られるため、入力光との同期をとる必要が無くなり信号処理回路がより単純なものになった。
（実施の形態７）
図１４は、本発明の実施の形態７に係る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。図６との違いは、光源２４１としてＬＥＤを用いている点である。ＬＥＤは気体レーザと違って、出射光波長が有限の幅を持っている（典型的には波長８００ｎｍの光源で、波長の半値幅約１５ｎｍ）。実施の形態３で説明したように、近視野光のｚ方向減衰は波長に強く依存する。プローブの位置制御を精度良く行うためには利用する光の波長を２種類精度良く選択する必要がある。音響光学素子２０２を用いることにより、ブロードな波長幅を持つＬＥＤ光源の光から、特定の２波長を時間的に選択して切り替えることができる。これによって、近視野光プローブ２０３に入力する光の波長を２種類切り替えることになり、あとは実施の形態３と同じ動作でプローブのｚ方向位置制御を行うことができた。これにより利用できる光源の種類が増え、プローブの位置制御にとって最適な波長の光を選ぶことができた。また、ＬＥＤ光源はインコヒーレントな光源であり、スペックルなどコヒーレントな光源を使用する場合に生じるノイズ成分を除去することができた。
この実施の形態において、実施の形態６と同じように２つの受光素子を用いることで音響光学素子を使わない構成にすることも可能である。
（実施の形態８）
図１５は、実施の形態８に係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。なお、図１と共通する部分には同一符号を付している。
【００６９】
図１５において、記録媒体１０の裏面から記録媒体１０の表面に向けて、レーザ光４０を好ましくは記録媒体１０の裏面に対して全反射条件となるように照射する。これによって、記録媒体１０の表面に近視野光が生成されて局在し、局在した近視野光の領域内に微小開口１２が配置されるように開口素子１１を記録媒体１０に近付ける。ここで、レーザ光４０は、互いに異なる変調周波数の情報再生用レーザ光（変調周波数ｆ１）および距離制御用レーザ光（変調周波数ｆ２）が混合された光であり、記録媒体１０の表面に局在する近視野光においても互いに異なる２つの変調周波数成分が含まれている。２つの変調周波数成分を含んだレーザ光４０は、レーザ光源５３から射出されたレーザ光を光変調器５４において、制御機構５９から送信される変調信号に基づいて、情報再生用レーザ光に割り当てられる変調周波数ｆ１および距離制御用レーザ光に割り当てられる変調周波数ｆ２にそれぞれ変調することにより生成され、ミラー５５を介して記録媒体１０に照射される。また、２つの変調周波数成分を含んだレーザ光４０は、光変調器５４を用いずに、直接にレーザ光源５３において周波数変調を行うことにより生成してもよい。
【００７０】
微小開口１２が記録媒体１０上に局在した近視野光の領域内に挿入されると、微小開口１２によって近視野光が散乱され、且つその散乱光（伝搬光）が微小開口１２を介して微小開口１２の上方に配置された集光光学系１５に導入されて集光されることにより、コレクションモードによる近視野光の検出が達成される。集光光学系１５に導入された伝搬光は、ミラー１６を介して光検出機構１７に導かれ、電気信号に変換される。光検出機構１７から出力される電気信号は、散乱された近視野光と同じく、互いに異なる２つの変調周波数成分（ｆ１およびｆ２）を含んでおり、情報再生信号位相検波器５１および距離信号位相検波器５２に送信される。情報再生信号位相検波器５１は、周波数成分ｆ１を抽出する検波参照信号を制御機構５９から受信することによって再生信号を導出し、距離信号位相検波器５２は、周波数成分ｆ２を抽出する検波参照信号を制御機構５９から受信することによって距離制御信号を導出する。導出された再生信号および距離制御信号は、それぞれ制御機構５９に送信される。制御機構５９においては、距離信号位相検波器５２から送信された距離制御信号の示す値を保持するように微小開口１２の位置を制御すべく、Ｚ軸制御機構１４に制御信号を送信し、開口素子１１の位置制御を行う。また、制御機構５９において、情報再生信号位相検波器５１から送信された再生信号に基づいて微小開口１２の配置された再生位置における情報の記録状態が判断され、情報の再生が達成される。
【００７１】
よって、記録媒体１０上に記録された高密度な情報の再生、および、開口素子１１と記録媒体１０との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、さらに、先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面プローブ）を記録装置に使用することも可能になる。またさらに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用されるレーザ光（情報再生用レーザ光）と、開口素子の近接制御を行うのに使用されるレーザ光（距離制御用レーザ光）とをそれぞれ互いに異なった変調周波数を割り当てて利用することにより、確実で信頼性の高い情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能になる。
【００７２】
図１６は、図１５において説明された記録装置において、イルミネーションモードによる近視野光の検出を行う場合の記録装置の構成図を示している。なお、図１５と共通する部分には同一符号を付している。
【００７３】
図１６において、レーザ光源５３から射出されたレーザ光を光変調器５４により周波数変調することによって生成された情報再生および距離制御のための２つの変調周波数成分を含むレーザ光が、ミラー２６を介して光照射光学系２７に導入され、開口素子１１の逆錐状の穴を介して微小開口１２に向けて照射される。これによって、微小開口１２に近視野光が生成され、生成された近視野光の領域内に記録媒体１０の表面が位置するように開口素子１１を記録媒体１０に近付ける。ここで、微小開口１２に生成される近視野光においても互いに異なる２つの変調周波数成分（ｆ１およびｆ２）が含まれている。
【００７４】
記録媒体１０の表面に、微小開口１２に生成された近視野光の領域が達すると、記録媒体１０の表面の微細構造によって近視野光が散乱される。その散乱光（伝搬光）が、記録媒体１０の裏面に配置された集光光学系１５に導入されて集光されることにより、イルミネーションモードによる近視野光の検出が達成される。集光光学系１５に導入された伝搬光は、ミラー１６を介して光検出機構１７に導かれ、電気信号に変換される。光検出機構１７において出力される電気信号の処理、すなわち再生信号および距離制御信号の生成と距離制御信号に応じた近接制御とは、図５において示した動作と同様であるため、ここではその説明を省略する。
【００７５】
よって、記録媒体上に記録された高密度な情報の再生および開口素子と記録媒体との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、先鋭化された先端を持たない再生プローブ（平面プローブ）を記録装置に使用することも可能になる。さらに、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用されるレーザ光と、開口素子の近接制御を行うのに使用されるレーザ光とをそれぞれ互いに異なった変調周波数を割り当てて利用することにより、確実で信頼性の高い情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能になる。また、近視野光の検出にイルミネーションモードを採用しているため、局所的な熱エネルギーの照射が可能になる。従って、高密度に記録された情報の再生だけでなく、熱エネルギー付与による高密度な情報の記録をも可能になる。
【００７６】
以上に説明した実施の形態１、２あるいは８において、開口素子（再生プローブ）として微小開口を有した平面基板（平面プローブ）を使用したが、近視野顕微鏡に用いられるカンチレバー型の光プローブや光ファイバプローブを用いることもできる。
【００７７】
特に、再生プローブとして平面プローブを採用した場合は、微小開口に対向した上面部に、光検出機構に代わるフォトダイオード等の光検出器を直接配置してコレクションモードを達成することができる。図１７は、図１における集光光学系１５、ミラー１６および光検出機構１７からなる構成を、開口素子１１に直接配置された光検出器６１と置き換えた場合の記録装置を示すブロック図である。
【００７８】
図１７に示すように、光検出器６１を開口素子１１に配置することで、集光光学系１５、ミラー１６および光検出機構１７からなる構成を取り除くことができ、より簡略な構成による記録装置を提供することができるとともに、光検出器６１は、微小開口１２の上方に十分接近した位置に配置されるので、微小開口１２から取り出される伝搬光の損失を防ぐことが可能になり、強度の大きな再生信号または距離制御信号を得ることが可能になる。
【００７９】
また、微小開口に対向した上面部に、レーザ光源に代わる面発光レーザ等の光照射器を直接配置してイルミネーションモードを達成することができる。図１８は、図３におけるレーザ光源２５、ミラー２６および光照射光学系２７からなる構成を、開口素子１１に直接配置された光照射器６２と置き換えた場合の記録装置を示すブロック図である。
【００８０】
図１８に示すように、光照射器６２を開口素子１１に配置することで、レーザ光源２５、ミラー２６および光照射光学系２７からなる構成を取り除くことができ、より簡略な構成による記録装置を提供することができる。また、光照射器６２は、微小開口１２の上方に十分接近した位置に配置されるので、伝搬損失の少ない十分大きな強度の光を微小開口１２に照射することができ、これに伴って十分大きな強度の近視野光を生成することができる。
【００８１】
さらに、図１８に示す開口素子１１に対して、微小開口１２の縁部近傍にフォトダイオード等の光検出器を配置することにより、図１８における集光光学系１５、ミラー１６および光検出機構１７からなる構成を取り除くことができる。図１９は、図１８における集光光学系１５、ミラー１６および光検出機構１７からなる構成を、開口素子に直接配置された光検出器７４および７５と置き換え、これら光検出器７４および７５から出力される電気信号を適宣増幅して光検出機構１８よび制御機構１９に送信する増幅機構７６を備えた記録装置を示すブロック図である。
【００８２】
図１９に示すように、光照射器６２、光検出器７４および７５を配置した開口素子７１を用いることで、レーザ光源２５、ミラー２６および光照射光学系２７からなる構成だけでなく、集光光学系１５、ミラー１６および光検出機構１７からなる構成をも取り除くことができ、より簡略な構成による記録装置を提供することができる。また、この光検出器７４および７５による伝搬光の検出は、記録媒体１０の表面において生成した近視野光に対して行うので、近視野光を生成するための構成と、この近視野光の散乱による伝搬光の検出するための構成とが、記録媒体１０の表面側に配置することができ、装置の小型化を図ることが可能になる。
【００８３】
なお、図１７、図１８および図１９に示した光検出器６１および光照射器６２を配置した開口素子１１、または光照射器、光検出器７４および７５を配置した開口素子７１は、実施の形態２および８において説明した記録装置に対しても適用できることはいうまでもない。
【００８４】
（実施の形態９）
図２０は、実施の形態９に係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。なお、図１と共通する部分には同一符号を付している。
【００８５】
図２０において、開口素子１０１は、実施の形態１に説明された開口素子１１において、２つの微小開口１０２および１０３が形成された平面基板である。微小開口１０２および１０３は、それぞれ近視野光を生成または散乱するのに適した大きさであり、例えば数十ナノメートルの径を有している。さらに開口素子１０１上には、微小開口１０２および１０３部分を記録媒体１０に近接制御するためのＺ軸制御機構１４が設けられている。ここで、微小開口１０２は、情報再生のために使用される微小開口であり、微小開口１０３は、開口素子１０１を記録媒体１０に近接制御するために使用される微小開口である。
【００８６】
近視野光を利用した情報再生を達成するために、まず、記録媒体１０の裏面から記録媒体１０の表面に向けて、レーザ光１００を好ましくは記録媒体１０の裏面に対して全反射条件となるように照射する。これによって、記録媒体１０の表面に近視野光が生成されて局在し、局在した近視野光の領域内に微小開口１０２および１０３が配置されるように開口素子１０１を記録媒体１０に近付ける。
【００８７】
微小開口１０２および１０３が記録媒体１０上に局在した近視野光の領域内に挿入されると、微小開口１０２および１０３によってそれぞれ近視野光が散乱され、且つその散乱光（伝搬光）が微小開口１０２および１０３を介して微小開口１０２および１０３の上方に配置された集光光学系１０５および１０６にそれぞれ導入されて集光されることにより、コレクションモードによる近視野光の検出が達成される。微小開口１０２において生成された近視野光が散乱して集光光学系１０５に導入された伝搬光は、ミラー１０７を介して光検出機構１１０に導かれ、再生信号として電気信号に変換される。また、微小開口１０３において生成された近視野光を散乱して集光光学系１０６に導入された伝搬光は、ミラー１０８を介して光検出機構１０９に導かれ、距離制御信号として電気信号に変換される。これら再生信号および距離制御信号は共に制御機構１９に送信される。制御機構１９においては、光検出機構１０９から送信された距離制御信号の示す値を保持するように微小開口１０３の位置を制御すべく、Ｚ軸制御機構１４に制御信号を送信し、開口素子１０１の位置制御を行う。また、制御機構１９において、光検出機構１１０から送信された再生信号に基づき、微小開口１０２の配置された再生位置における情報の記録状態が判断され、情報の再生が達成される。
【００８８】
よって、記録媒体１０上に記録された高密度な情報の再生および開口素子１０１と記録媒体１０との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、先鋭化された先端を持たない再生プローブを記録装置に使用することも可能になる。さらに、記録媒体１０に記録された情報を再生するのに使用される微小開口１０２と、開口素子１０１の近接制御を行うのに使用される微小開口１０３とが開口素子１０１にそれぞれ独立して形成されているので、確実で信頼性の高い情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能になる。
【００８９】
図２１は、図２０において説明された記録装置において、一方のミラー、集光光学系および微小開口からなる系を利用して、記録媒体１０への情報記録を可能にした記録装置のブロック図である。なお、図２０と共通する部分には同一符号を付している。
【００９０】
図２１（ａ）において、ダイクロイックミラー１１７および光照射／集光光学系１１５は、情報再生を行う場合には、それぞれ図２０に示すミラー１０７および集光光学系１１５として機能する。レーザ光源１１１は、情報記録をおこなう場合の光照射手段であり、情報再生を行う場合には、そのレーザ光はシャッタ１１２により遮断されている。よって、図２１（ａ）に示す記録装置は、図２０に示す記録装置と同様なコレクションモードによる情報再生を行う。
【００９１】
図２１（ｂ）は、図２１（ａ）に示す記録装置において、記録媒体１０への情報記録を行う場合の状態を示している。図２１（ｂ）において、シャッタ１１２は、レーザ光源１１１から照射されるレーザ光の遮断を解除し、そのレーザ光をダイクロイックミラー１１７へと導く。このシャッタ１１２の解除と同時に、記録媒体１０の裏面より照射されるレーザ光１００もまた遮断手段（図示せず）により、その照射が遮断される。これにより、記録媒体１０の表面において近視野光の生成が行われず、よって、光検出機構１０９および１１０からの再生信号または距離制御信号の出力は行われない。
【００９２】
ダイクロイックミラー１１７に入射したレーザ光は、光照射／集光光学系１１５へと導入される。この際、光照射／集光光学系１１５は、集光光学系として機能する。そして、光照射／集光光学系１１５により集光されたレーザ光は、微小開口１０２に導入されて近視野光を生成する。この近視野光は、レーザ光源１１１において照射するレーザ光の強度に比例して、比較的大きな強度を伴わせることができる。
【００９３】
なお、記録媒体１０は、局所的な熱エネルギーの付与によって、物性または構造の変化する材料をその表面に有しており、これにより、例えば２値の情報の高密度な記録を可能とし、記録された情報は、図２１（ａ）に示す状態の記録装置によって再生できるものとする。
【００９４】
よって、コレクションモードによる情報の再生および開口素子１０１の近接制御を実現するとともに、レーザ光源１１１およびシャッタ１１２を備えることで、イルミネーションモードによる局所的な熱エネルギーの付与が可能となり、高密度な情報の記録が可能になる。
【００９５】
図２２は、図２０において説明された記録装置において、前述したイルミネーションモードによる近視野光の検出を行う場合の記録装置のブロック図である。なお、図２０と共通する部分には同一符号を付している。
【００９６】
図２２において、レーザ光源１１１から射出されたレーザ光が、ミラー１１３を介して光照射光学系１１５に導入され、開口素子１０１の逆錐状の穴を介して微小開口１０２に向けて照射される。これによって、微小開口１０２に近視野光が生成される。また、レーザ光源１１２から射出されたレーザ光が、ミラー１１４を介して光照射光学系１１６に導入され、開口素子１０１の逆錐状の穴を介して微小開口１０３に向けて照射され、これによって、微小開口１０３に近視野光が生成される。微小開口１０２および１０３に生成された近視野光の領域内に記録媒体１０の表面が位置するように開口素子１０１を記録媒体１０に近付ける。
【００９７】
記録媒体１０の表面に、微小開口１０２および１０３に生成された近視野光の領域が達すると、記録媒体１０の表面の微細構造によって近視野光が散乱される。その散乱光（伝搬光）が、記録媒体１０の裏面に配置された集光光学系１０５および１０６に導入されて集光されることにより、イルミネーションモードによる近視野光の検出が達成される。微小開口１０２において生成された近視野光を散乱して集光光学系１０５に導入された伝搬光は、ミラー１０７を介して光検出機構１１０に導かれ、再生信号として電気信号に変換される。また、微小開口１０３において生成された近視野光を散乱して集光光学系１０６に導入された伝搬光は、ミラー１０８を介して光検出機構１０９に導かれ、距離制御信号として電気信号に変換される。これら再生信号および距離制御信号の処理は、すなわち再生信号および距離制御信号の生成と距離制御信号に応じた近接制御とは、図２０において示した動作と同様であるため、ここではその説明を省略する。
【００９８】
よって、記録媒体１０上に記録された高密度な情報の再生および開口素子１０１と記録媒体１０との近接した状態の保持が、共に近視野光を利用して可能になる。こうして、記録装置の構成が簡単になり、さらに、先鋭化された先端を持たない再生プローブを記録装置に使用することも可能になる。さらに、記録媒体３に記録された情報を再生するのに使用される微小開口１０２と、開口素子の近接制御を行うのに使用される微小開口１０３とが開口素子１０１にそれぞれ独立して形成されているので、確実で信頼性の高い情報再生および開口素子１０１の近接制御を行うことが可能になる。また、近視野光の検出にイルミネーションモードを採用しているため、微小開口部に導入させるレーザ光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が可能になる。従って、高密度に記録された情報の再生だけでなく、熱エネルギーの付与による高密度な情報の記録をも可能にする。
【００９９】
以上に説明した図２０〜２２においては、微小開口１０２、１０３により散乱される伝搬光の検出を、それぞれの微小開口に対応した集光光学系１０５、１０６を介して行うとしたが、集光光学系１０５、１０６に代えて、１つの光学レンズ系を配置し、この光学レンズ系により集光された光を、波長や変調周波数に基づいて分離することにより、２つの微小開口による伝搬光を区別することができる。
【０１００】
図２３は、図２２において説明された記録装置において、開口素子１０１を記録媒体１０に近接制御させるための微小開口１０３をコレクションモードとして利用した場合の記録装置の構成図を示している。なお、図２２と共通する部分には同一符号を付している。
【０１０１】
図２３に示すように、記録媒体１０に記録された情報の再生と、開口素子１０１の記録媒体１０への近接制御に利用される近視野光をそれぞれ異なった生成方法（イルミネーションモードとコレクションモード）により行うことで、互いの近視野光を干渉することなく、より確実に再生信号と距離制御信号とを区別して検出することが可能になる。
【０１０２】
以上に説明した実施の形態９において、再生信号および距離制御信号を得るための近視野光を生成させる各レーザ光に、実施の形態２または８において説明したように互いに異なる波長または変調周波数を割り当てることにより、さらに効果的に再生信号と距離制御信号とを区別して検出することもできる。
【０１０３】
また、開口素子（再生プローブ）として近視野顕微鏡に用いられるカンチレバー型の光プローブや光ファイバプローブを用いることもできる。なお、図１７、図１８および図１９に示した光検出器６１および光照射器６２を配置した開口素子１１、または光照射器、光検出器７４および７５を配置した開口素子７１を、実施の形態９において説明した記録装置の各微小開口に対して適用できる。
【０１０４】
さらに、以上に説明した実施の形態１、２および８、９において、再生信号を検出するのに利用される微小開口は、開口素子に複数形成されてもよく、この場合、記録媒体に記録された複数の情報を同時に再生することができる。
【０１０５】
（実施の形態１０）
つぎに、実施の形態１０に係る記録装置について説明する。実施の形態１０に係る記録装置は、実施の形態９に係る記録装置における開口素子の下面に段差を設け、異なる段差に対応させてそれぞれ微小開口を設けることを特徴としている。
【０１０６】
図２４は、実施の形態１０に係る記録装置の開口素子を示すブロック図である。図２４において、開口素子１２１は、段差ａを有して２つの下面に区分され、微小開口１２２と微小開口１２３とがそれぞれの下面に対応して設けられている。換言すれば、開口素子１２１は、実施の形態９において示した微小開口において、２つの微小開口間に段差を設けた平面基板である。微小開口１２２と微小開口１２３は、それぞれ近視野光を生成または散乱するのに適した大きさであり、例えば数十ナノメートルの径を有している。さらに開口素子１２１上には、微小開口１０２および１０３部分を記録媒体１０に近接制御するためのＺ軸制御機構１４が設けられている。ここで、微小開口１２２は、情報再生のために使用される微小開口であり、微小開口１２３は、開口素子１２１を記録媒体１０に近接制御するための、かつ微小開口１２２において検出される信号に相対的に定まる信号を生成するための微小開口である。
【０１０７】
段差ａの存在により、記録媒体の表面に生成された近視野光を散乱させる位置、すなわち記録媒体の表面から微小開口に至る距離が異なるため、例えば微小開口１２２により散乱されて、実施の形態９において示した光検出機構１１０に導入される伝搬光の強度は、微小開口１２３により散乱されて、実施の形態４において示した光検出機構１０９に導入される伝搬光の強度と大きく異なる。これは、記録媒体の表面に生成された近視野光の強度は、その表面からの距離に強く依存するためである。
【０１０８】
よって、微小開口１２３により散乱される伝搬光の強度は、段差ａの距離により定まる近視野光の強度差に基づいて、常に微小開口１２２により散乱される伝搬光の強度と一定の相対比を有することになる。微小開口１２２により散乱される伝搬光を検出して得られる電気信号をＳ１とし、微小開口１２３により散乱される伝搬光を検出して得られる電気信号をＳ２とすると、上記した相対比は、例えば、（Ｓ１−Ｓ２）／Ｓ１、（Ｓ１−Ｓ２）／Ｓ２、Ｓ２／Ｓ１、Ｓ１／Ｓ２等に演算式により算出される。これら相対比の算出は、例えば、実施の形態４において示した制御機構１９においておこなわれ、この相対比を距離制御信号として処理することにより、Ｚ軸制御機構１４を介した近接制御が達成される。
【０１０９】
また、図２４に示したような段差を設けた平面プローブ以外にも、図２５に示すように、光ファイバ１３２および１３３を２つ束ね、なおかつ、上下に段差ａが生じるように配置することで、開口素子１２１と同様な効果をもたらすことができる。なお、図２５において、再生プローブ１３１は、平面基板に光ファイバ１３２および１３３を固定し、その平面基板上にＺ軸制御機構１４を配置している。光ファイバ１３２は、上述した再生信号の検出をおこなうために使用され、コア１３４、クロム（Ｃｒ）等の遮光膜１３６および微小開口１３８を備え、微小開口１３８において近視野光を散乱し、これにより生成された伝搬光をコア１３４に導く。また、光ファイバ１３３は、上述した距離制御信号の検出をおこなうために使用され、コア１３５、クロム（Ｃｒ）等の遮光膜１３７および微小開口１３９を備え、微小開口１３９において近視野光を散乱し、これにより生成された伝搬光をコア１３５に導く。
【０１１０】
以上に説明した実施の形態１０に係る記録装置の開口素子１２１または再生プローブ１３１は、実施の形態９において説明した開口素子１０１と置換でき、コレクションモードによる情報再生のみならず、イルミネーションモードによる情報再生が可能である。
【０１１１】
よって、再生信号を検出するための微小開口１２２に対して段差の設けられた微小開口１２３を使用し、この微小開口１２３により検出される信号と再生信号との相対的な値を、開口素子１２１の近接制御を行うための距離制御信号として用いるので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号が得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号に対する比として安定した強度を得ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制御を行うことができる。
【０１１２】
（実施の形態１１）
つぎに、実施の形態１１に係る記録装置について説明する。実施の形態１１に係る記録装置は、実施の形態１０に係る記録装置の２つの開口素子間の段差によってもたらされる効果を、１つの微小開口を設けた開口素子を上下に微小振動させることにより達成したことを特徴としている。
【０１１３】
図２６は、実施の形態１１に係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。なお、図１と共通する部分には同一符号を付している。図２６において、開口素子１１上には、Ｚ軸制御機構１４とともに微小振動駆動機構１４１が設けられている。微小振動駆動機構１４１は、微小開口１２の部分に実施の形態５において説明した段差ａ程度の上下振動を与え、微小駆動信号発生機構１４２から送信される微小駆動信号に応じて動作する。
【０１１４】
レーザ光２０の照射により記録媒体１０の表面に生成された近視野光は、近接した微小開口１２によって散乱される。この散乱により生成された伝搬光は、微小開口１２を介して集光光学系１５に導入され、ミラー１６を介して光検出機構１７に導かれる。この際、微小開口１２は、微小振動駆動機構１４１により上下に振動しており、記録媒体１０の表面に対して定まる最上点と最下点との間において、散乱の対象となる近視野光の強度が異なるので、光検出機構１７から出力される電気信号もまた、開口素子１１の振動に対応した強度の変遷を示す。
【０１１５】
ここで、微小開口１２が所望の高さ、例えば最下点に位置した時点に対応して光検出機構１７から出力される信号は、記録媒体１０の表面に生成された最も大きな強度の近視野光に対応する信号であるので、これを再生信号として再生信号検出機構１４３により抽出し、制御機構１９に送信する。また、微小開口１２が前記所望の高さよりも上点、例えば最上点に位置した時点に対応して光検出機構１７から出力される信号を、演算対象信号として演算対象信号検出機構１４４により抽出し、制御機構１９に送信する。
【０１１６】
なお、再生信号検出機構１４３および演算対象信号検出機構１４４による信号の検出は、微小駆動信号発生機構１４２から出力される微小駆動信号との同期検出により行うことができる。
【０１１７】
制御機構１９は、再生信号と演算対象信号とを入力して、上述したような相対比の算出を行い、距離制御信号を生成する。この距離制御信号は、Ｚ軸制御機構１４に送信され、Ｚ軸制御機構１４による開口素子１１の近接制御が達成される。
【０１１８】
図２７は、１つの微小開口の振動により再生信号および距離制御信号の生成を行う記録装置の他の例を示したブロック図である。なお、図１と共通する部分には同一符号を付している。図２７において、開口素子１５１上には、開口素子１５１の基体となる平面基板の厚みよりも十分薄い部分を下面に向けて突出させ、この突出した部分に微小開口１５２を設けている。さらに、微小開口１５２の縁部の上面部において、微小振動駆動素子１５３および１５４が設けられ、開口素子１５１上にＺ軸制御機構１４が設けられている。微小振動駆動素子１５３および１５４は、微小開口１５２の部分に実施の形態１０において説明した段差ａ程度の上下振動を与え、微小駆動信号発生機構１５５から送信される微小駆動信号に応じて動作する。
【０１１９】
レーザ光２０の照射により記録媒体１０の表面に生成された近視野光は、近接した微小開口１５２によって散乱される。この散乱により生成された伝搬光は、微小開口１５２を介して集光光学系１５に導入され、ミラー１６を介して光検出機構１７に導かれる。この際、微小開口１５２は、微小振動駆動素子１５３および１５４によって上下に振動しており、記録媒体１０の表面に対して定まる最上点と最下点との間において、散乱の対象となる近視野光の強度が異なるので、光検出機構１７から出力される電気信号もまた、開口素子１１の振動に対応した強度変遷を示す。
【０１２０】
ここで、図２６に示した記録装置と同様に、微小開口１５２が所望の高さ、例えば最下点に位置した時点に対応して光検出機構１７から出力される信号は、記録媒体１０の表面に生成された最も大きな強度の近視野光に対応する信号であるので、これを再生信号として再生信号検出機構１５６により抽出し、制御機構１９に送信する。また、微小開口１５２が前記所望の高さよりも上点、例えば最上点に位置した時点に対応して光検出機構１７から出力される信号を、演算対象信号として演算対象信号検出機構１５７により抽出し、制御機構１９に送信する。なお、再生信号検出機構１５６および演算対象信号検出機構１５７による信号の検出は、微小駆動信号発生機構１５５から出力される微小駆動信号との同期検出により行うことができる。
【０１２１】
制御機構１９は、再生信号と演算対象信号とを入力して、上述したような相対比の算出を行い、距離制御信号を生成する。この距離制御信号は、Ｚ軸制御機構１４に送信され、Ｚ軸制御機構１４による開口素子１５１の近接制御が達成される。
【０１２２】
よって、１つの微小開口を上下振動させることにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、微小開口の所望の高さ、例えば最下点にて検出される信号すなわち再生信号と、微小開口の前記所望の高さよりも上点、例えば最上点にて検出される信号との相対的な値を、開口素子の近接制御を行うための距離制御信号として用いるので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号が得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号に対する比として安定した強度を得ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制御を行うことができる。
【０１２３】
（実施の形態１２）
つぎに、実施の形態１２に係る記録装置について説明する。実施の形態１２に係る記録装置は、記録媒体上に一定の規則の配列（トラック）により記録された情報単位に対して、実施の形態１、２および８〜１１に係る記録装置を用いた情報再生を行う際に、さらに、微小開口の直下に情報単位を正確に配置させるための位置制御、すなわちトラッキング制御を可能としたことを特徴としている。
【０１２４】
ここでは、特に図２０に示す開口素子１０１の各微小開口に、図１７に示す光検出器６１を設けた構成に対して、さらにトラッキング制御のための種々の機構を設けた場合の記録装置について説明する。
【０１２５】
図２８は、実施の形態１２に係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。なお、図１と共通する部分には同一符号を付している。図２８において、開口素子１６１は、微小振動機構１６５を挟んで開口素子固定機構１６４により支持される。開口素子固定機構１６４上には、Ｚ軸制御機構１４とともにトラッキング機構１６６が設けられている。開口素子１６１に設けられた２つの微小開口（図示せず）の上方にそれぞれ光検出器１６２、１６３が設けられ、光検出器１６２によって上述した再生信号が検出される。
【０１２６】
微小振動機構１６５は、微小振動駆動機構１７１によって、記録媒体上において情報単位の配列された方向（トラック方向）に垂直な方向且つ記録媒体表面に並行な方向に、開口素子１６１を微小振動させる。微小振動駆動機構１７１は、微小振動信号発生機構１７２から微小振動信号を入力することに駆動する。
【０１２７】
ここで、再生信号を検出するための微小開口が情報記録媒体のトラック上に位置した状態では、光検出器１６２から出力される再生信号は大きな強度を示す。しかしながら、再生信号を検出するための微小開口が情報記録媒体のトラックからずれて位置した状態では、光検出器１６２から出力される再生信号は小さな強度を示す。よって、上述した微小振動機構１６５による開口素子１６１の振動に応じて、光検出器１６２から出力される再生信号もまた強度の変遷を示す。
【０１２８】
光検出器１６２および１６３から出力される信号は、ともに制御機構１９に入力され、再生信号に応じた情報の再生と、距離制御信号に応じた近接制御とを行う。光検出器１６２から出力される再生信号はまた、微小振動信号発生機構１７２から出力される微小振動信号再生信号とともに入力される。トラッキング制御機構１７３は、再生信号と微小振動信号との同期検出によって、微小開口を情報記録媒体のトラック上に配置させるためのトラッキング信号を生成し、このトラッキング信号をトラッキング機構１６６に送信する。すなわち、トラッキング信号は、微小振動信号の振動中心における再生信号と、微小振動信号によって与えられる振動に亘って最大の値を示す再生信号との振動位置のずれを示す。
【０１２９】
トラッキング機構１６６は、入力されたトラッキング信号に応じて開口素子１６１を変位させる。これにより開口素子１６１のトラッキング制御が達成され、微小開口のトラック上への配置を保持することができ、良好な再生信号を得ることができる。
【０１３０】
よって、記録媒体上のトラックに対するトラッキング制御を可能とし、このトラッキング制御により安定な再生信号が得られるので、この再生信号を利用する近接制御もまた、確実なものとすることができる。
【０１３１】
なお、実施の形態１、２および８〜１２において、近視野光を生成させるために使用されるレーザ光は、特にコヒーレントな光である必要はなく、インコヒーレントな光であるＬＥＤ等を用いてもよい。さらに、開口素子を微小振動させる微小振動機構や微小振動素子は、圧電アクチュエータや静電アクチュエータ等の微小変位機構が用いられる。
【０１３２】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１に係る発明によれば、近視野光を利用して記録媒体上に記録された高密度な情報の再生が達成されると同時に、同じく近視野光を利用して開口素子の微小開口と記録媒体との距離制御を可能とする記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１３３】
請求項２に係る発明によれば、情報再生および微小開口の近接制御において検出される物理量が共に近視野光とすることにより、従来の近視野光を利用した記録装置において必要とされた近視野光以外の物理量を利用したプローブ近接制御機構が排除され、記録装置の構成を簡単にすることが可能になる。また、再生プローブとして先鋭化された先端を有さないプローブを使用することが可能になる記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１３４】
請求項３に係る発明によれば、請求項２における効果に加えて、微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が可能になり、高密度に記録された情報の再生だけでなく、高密度な情報の記録をも可能にする記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１３５】
請求項４に係る発明によれば、請求項２における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用される照射光とをそれぞれ互いに異なった波長を割り当てて利用することにより、確実で信頼性の高い情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能になる記録装置を提供できるという効果を奏する。また、情報の再生と、プローブのｚ方向位置制御を、プローブのｚ方向振動なしに行うことができる。よって、プローブをｚ方向に振動させる機構および、その振動の振幅を検出する機構が不要となり、コンパクトな装置構成が実現できた。また、距離制御のために信号のピークを検出する必要がなくなった。また、プローブは記録媒体に物理的に接触することがなくなったため、これによるプローブおよび記録媒体の損傷がなくなった、という効果を奏する。
【０１３６】
請求項５に係る発明によれば、請求項４における効果に加えて、微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が可能になり、高密度に記録された情報の再生だけでなく、高密度な情報の記録をも可能にする記録装置を提供できるという効果を奏する。
請求項６に係る発明によれば、請求項２における効果に加えて、単一の発光源によって複数の波長の光を放射するため、コンパクトな装置構成が可能となった、という効果を奏する。
請求項７に係る発明によれば、請求項２における効果に加えて、単一の受光素子によって前記散乱光を受光するため、コンパクトな装置構成が可能となった、という効果を奏する。
請求項８に係る発明によれば、請求項２における効果に加えて、入力光の波長を選択する機構が不要なので、よりコンパクトな装置構成が可能となった、という効果を奏する。
請求項９に係る発明によれば、請求項２における効果に加えて、受光素子が散乱光を受光するときに選択波長を時間的に切り替えることが不要になり、波長選択手段が簡素になりコンパクトな装置構成が可能となった、という効果を奏する。
請求項１０に係る発明によれば、請求項２における効果に加えて、入力手段は入力光の波長が幅を持っていることが許容されるので、利用できる入力手段の種類が増え、その結果利用できる波長の種類も増える。それにより、プローブと情報記録媒体の距離を高い精度で制御できる波長を利用しやすくなった、という効果を奏する。
請求項１１に係る発明によれば、請求項２における効果に加えて、入力光はレーザのような波長の限定されたものである必要がなくなり、より簡便な構成が実現された、という効果を奏する。
【０１３７】
請求項１２に係る発明によれば、請求項２における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される照射光と、開口素子の近接制御を行うのに使用される照射光とをそれぞれ互いに異なった変調周波数を割り当てて利用することにより、確実で信頼性の高い情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能になる記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１３８】
請求項１３に係る発明によれば、請求項３における効果に加えて、微小開口部に導入させる照射光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射が可能になり、高密度に記録された情報の再生だけでなく、高密度な情報の記録をも可能にする記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１３９】
請求項１４に係る発明によれば、請求項２における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成されているので、より確実で信頼性の高い情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能になる記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４０】
請求項１５に係る発明によれば、請求項２における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成されているので、再生信号と開口素子を近接制御するための距離制御信号とをより確実に分離できるとともに、第２の光照射手段により微小開口部に導入する照射光の強度を比較的大きくすることによって、強度の大きな近視野光を生成することが可能となり、局所的な熱エネルギーの照射の付与による情報の記録をも可能にする記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４１】
請求項１６に係る発明によれば、請求項３における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成されているので、より確実で信頼性の高い情報再生および開口素子の近接制御を行うことが可能になる記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４２】
請求項１７に係る発明によれば、請求項３における効果に加えて、記録媒体に記録された情報を再生するのに使用される微小開口と、開口素子の近接制御を行うのに使用される微小開口とが開口素子にそれぞれ独立して形成され、かつ記録媒体に記録された情報の再生と、開口素子の記録媒体への近接制御に利用される近視野光をそれぞれ異なった生成方法により行うことで、互いの近視野光を干渉することなく、より確実に再生信号と距離制御信号とを分離して検出することが可能になる記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４３】
請求項１８に係る発明によれば、請求項１４〜１７のいずれか１つにおける効果に加えて、開口素子の底面に段差を設けることで、検出される伝搬光の強度に違いが生じ、２つの微小開口の各々により検出される信号間における相対的な値を、開口素子の近接制御を行うための距離制御信号として用いるので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号が得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号に対する比として安定した強度を得ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制御を行うことができる記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４４】
請求項１９に係る発明によれば、請求項２における効果に加えて、１つの微小開口を上下振動させることにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、微小開口の所望の高さ、例えば最下点にて検出される信号すなわち再生信号と、微小開口の前記所望の高さよりも上点、例えば最上点にて検出される信号すなわち演算対象信号との相対的な値を、開口素子の近接制御を行うための距離制御信号として用いるので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号が得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号に対する比として安定した強度を得ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制御を可能とする記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４５】
請求項２０に係る発明によれば、請求項３における効果に加えて、１つの微小開口を上下振動させることにより、近視野光を散乱させる位置を変化させ、微小開口の所望の高さ、例えば最下点にて検出される信号すなわち再生信号と、微小開口の前記所望の高さよりも上点、例えば最上点にて検出される信号すなわち演算対象信号との相対的な値を、開口素子の近接制御を行うための距離制御信号として用いるので、例えば、記録媒体上の情報を十分検出できずに強度の大きな再生信号が得られない場合であっても、距離制御信号を再生信号に対する比として安定した強度を得ることができ、信頼性の高い開口素子の近接制御を可能とする記録装置を提供できる記録装置を提供できるという効果を奏する。
【０１４６】
請求項２１に係る発明によれば、請求項１〜２０のいずれか１つにおける効果に加えて、記録媒体上の情報単位の配列方向に垂直且つ記録媒体表面に平行な方向に対する位置制御、すなわちトラッキング制御を可能とし、このトラッキング制御により安定な再生信号が得られるので、この再生信号を利用する近接制御もまた、確実なものとなり情報再生の信頼性を向上することを可能とする記録装置を提供できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態１による記録装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】  本発明による記録装置におけるＺ軸制御機構の他の例を示す図である。
【図３】  本発明の実施の形態１による記録装置の変形例を示すブロック図である。
【図４】  本発明の実施の形態２による記録装置の概略構成を示すブロック図である。
【図５】  本発明の実施の形態２による記録装置の変形例を示すブロック図である。
【図６】  本発明の実施の形態３に係る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。
【図７】  近視野光強度のプローブ-記録媒体表面間距離に対する依存性を示す図である。
【図８】  情報記録媒体２０６の一部分の上面図である。
【図９】  波長λ2＝５１５ｎｍのときのデータマーク２２０の有無による出力光強度の違いを示す図である。
【図１０】  図７と図９を組み合わせて、出力信号強度の入力波長およびデータマークの有無に対する依存性を示した図である。
【図１１】  本発明の実施の形態４に係る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１２】  本発明の実施の形態５に係る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１３】  本発明の実施の形態６に係る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１４】  本発明の実施の形態７に係る情報再生装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１５】  本発明の実施の形態８による記録装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１６】  本発明の実施の形態８による記録装置の変形例を示すブロック図である。
【図１７】  本発明による記録装置の開口素子の他の例を示すブロック図である。
【図１８】  本発明による記録装置の開口素子の他の例を示すブロック図である。
【図１９】  本発明による記録装置の開口素子の他の例を示すブロック図である。
【図２０】  本発明の実施の形態９による記録装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２１】  本発明の実施の形態９による記録装置の変形例を示すブロック図である。
【図２２】  本発明の実施の形態９による記録装置の他の変形例を示すブロック図である。
【図２３】  本発明の実施の形態９による記録装置の他の変形例を示すブロック図である。
【図２４】  本発明の実施の形態１０による記録装置の開口素子を示すブロック図である。
【図２５】  本発明の実施の形態１０による記録装置の開口素子の他の例を示すブロック図である。
【図２６】  実施の形態１１に係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２７】  実施の形態１１に係る記録装置の他の例を示すブロック図である。
【図２８】  実施の形態１２に係る記録装置の概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１０  記録媒体
１１，２１，７１，１０１，１２１，１３１，１５１，１６１  開口素子
１２，２２，７２，１０２，１０３，１２２，１２３，１３８，１３９，１５２  微小開口
１４  Ｚ軸制御機構
１５，１０５，１０６  集光光学系
１６，２６，３２，４２，１０７，１０８，１１３，１１４  ミラー
１７，３５，３６，１０９，１１０  光検出機構
１８  ピーク検出機構
１９，５９  制御機構
２１  光変調器
２５，５３，１１１  レーザ光源
２７  光照射光学系
３１  ダイクロイックミラー
３３，３４  光学フィルタ
４１  波長合成器
５１  情報再生信号位相検波器
５２  距離信号位相検波器
５４  光変調器
６１，７４，７５，１６２，１６３  光検出器
６２  光照射器
７６  増幅機構
１１２  シャッタ
１４１  微小振動駆動機構
１４２，１５５  微小駆動信号発生機構
１５３，１５４  微小振動駆動素子
１６４  開口素子固定機構
１６５  微小振動機構
１６６  トラッキング機構
１７１  微小振動駆動機構
１７２  微小振動信号発生機構
１７３  トラッキング制御機構
２０１  レーザ
２０２  音響光学フィルタ
２０３  近視野光プローブ
２０４  受光素子
２０５  近視野光
２０６  情報記録媒体
２０７  アクチュエータ
２０８  散乱光
２０９  微動機構
２１０  粗動機構
２１１  アクチュエータ
２１２  制御回路
２１３  支持体
２１４  信号処理回路
２１５  出力信号
２１６  近視野光強度
２１７  プローブと情報記録媒体２０６表面との距離
２１８  波長λ2の入力光を用いた時の近視野光強度
２１９  波長λ1の入力光を用いた時の近視野光強度
２２０  データマーク
２２１  出力信号強度
２２２  波長λ2を入力光とし、プローブがデータマークの上にあるときの出力強度
２２３  波長λ2を入力光とし、プローブがデータマークの上にないときの出力強度
２２４  波長λ1を入力光とし、プローブがデータマークの上にないときの出力強度
２２５  波長λ1を入力光とし、プローブがデータマークの上にあるときの出力強度
２２６、２２７  プローブと情報記録媒体２０６表面との距離
２３０  出力信号強度
２３１  近視野光プローブ
２３２  入力光
２３３  受光素子
２３４  データマーク
２３５  微小開口
２３６  反射膜
２３７  平面プローブ
２３８  波長λ1の散乱光を受光する受光素子
２３９  波長λ2の散乱光を受光する受光素子
２４０  信号処理回路
２４１  ＬＥＤ光源
【図１】
0004213279.tif 000002
【図２】
0004213279.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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