(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工すべき複数の製品を列状に配置した帯状製品に前記帯状製品の位置決め用孔とは別に所定のピッチで設けられたチェック孔と、
加工機が設置された加工ステーションに設けられ、前記チェック孔の中に侵入して前記帯状製品の加工センターが加工機の加工センターと一致していることを確認するためのチェックピンと、を有し、
前記位置決め用孔と前記帯状製品の加工センターとの間にズレがあり、
前記チェックピンは、前記帯状製品の移動方向に互いに離間されて複数配置され、この複数のチェックピンが、前記位置決め孔と前記帯状製品の加工センターとの間にズレの量に関連して互いに間隔を隔てて設けられたことを特徴とする帯状製品の正規加工位置の確認装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、帯状製品、例えばＴＡＢフィルムに搭載した複数の半導体チップを、各製品毎に加工を施すための金型に関し、特に、帯状製品の加工の際の位置決め用孔の中に位置決めピンを挿入することによって、帯状製品の個々の加工センターを正規位置に位置決めするようにした金型に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
特開平５−１２３７９０号公報に見られるように、半導体チップ等の製造に、帯状フィルムを使用し、この帯状フィルムにチップを実装して順次機械加工することが行われている。例えば、ＴＡＢフィルムの場合、所定のピッチで設けられたスプロケット孔を利用してフィルムの送り込み、つまりＴＡＢフィルムの移動が行われ、例えば金型などを設置した加工ステーションでは、金型の加工センターと、フィルムに搭載された各半導体チップの加工センターとが整合するように位置決めされ、この位置決めが正常に行われたことを確認した後に、例えば半導体チップの打ち抜きが行われる。そして、加工ステーションで行われている、製品の位置決めは、一般に、加工ステーションに設けられたパイロットピンを、帯状製品のスプロケット孔に挿入させることにより行われ、その確認は、センサーを用いて行われている。
【０００３】
しかし、従来の加工センターの位置決めは、帯状フィルムに搭載された各製品の加工センターが、これに最も近いスプロケット孔と整合している（最も典型的には、両者が同一ライン上に位置している）ことを前提として行われるものであり、例えば、帯状フィルムに搭載する製品のピッチを狭めた場合には、この前提が崩壊することになる。
【０００４】
近時のコスト競争は、帯状フィルムにできるだけ多くの製品を搭載することを強要しており、このニーズに応じるには、帯状フィルムのスプロケット孔との関係が或る程度破壊されたとしても製品の実装ピッチを狭める必要があり、この場合には、製品の加工センターとスプロケット孔との間にズレがあったとしても、これを適切に対応して正確に加工することのできる装置が必要となる。
この要請に応じるために、各製品毎に金型の加工センターを調整するための手段を設けることは、メカニズムが複雑になり、実用的ではない。他方、位置決めピンとしてのパイロットピンを移動させて、製品の加工センターとスプロケット孔との間にズレを保障するのが実際的である。
【０００５】
しかし、金型側のパイロットピンを変位可能とすることは、これを固定式とした従来の装置に比べて信頼性に欠けることになる。
すなわち、従来の方式では、帯状フィルムのスプロケット孔と各製品の加工センターとが整合しており、これを前提として金型側のパイロットピンが固設されていることから、このパイロットピンが帯状フィルムのスプロケット孔の中に挿入することによって正規に位置決めすることができるものであるが、帯状フィルムのスプロケット孔と各製品の加工センターとの間にズレがあり、しかもパイロットピンが可動式であるということになると、仮にパイロットピンが何らの支障無くスプロケット孔の中に入り込んだとしても、この事実によって、帯状フィルムの各製品の加工センターが金型の加工センターと一致していると信頼するには多少の不安が残る。
【０００６】
換言すれば、本来侵入すべきでないスプロケット孔（例えば、本来侵入すべきスプロケット孔の隣りのスプロケット孔）の中にパイロットピンが入り込んだときには、当該製品の加工センターが金型の加工センターと不一致であるにも係わらず、その加工が実施される恐れがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、帯状フィルムにできるだけ多くの製品を搭載するという要請に応じるために、位置決め用のピンつまりパイロットピンを可動とした場合に発生する、帯状製品の加工センターと金型の加工センターとの一致関係を保障するための帯状製品の正規加工位置の確認方法及びその装置を提供するをその課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明は、加工すべき複数の製品を列状に配置した帯状製品に前記帯状製品の位置決め用孔とは別に所定のピッチで設けられたチェック孔と、加工機が設置された加工ステーションに設けられ、前記チェック孔の中に侵入して前記帯状製品の加工センターが加工機の加工センターと一致していることを確認するためのチェックピンと、を有し、前記位置決め用孔と前記帯状製品の加工センターとの間にズレがあり、前記チェックピンは、前記帯状製品の移動方向に互いに離間されて複数配置され、この複数のチェックピンが、前記位置決め孔と前記帯状製品の加工センターとの間にズレの量に関連して互いに間隔を隔てて設けられたことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を好ましい実施例に基づき詳述する。
図１は、パイロットピン可動式金型の概略正面図であり、図２は、図１の金型に設置したパイロットホルダとその駆動機構を抽出して示す図である。図３は、図１のパイロットピン可動式金型に関連して設置された選択式チェックピン装置を示す縦断面図である。
【００１１】
図１を参照すると、パイロットピン可動式金型１００は機枠２を有し、この機枠２の上方水平枠４には、互いに間隔を隔てて一対のガイドつまりリニアガイド６が設置され、このガイド６にはパイロットホルダ８が取付けられて、パイロットホルダ８は、例えば、半導体チップを一定間隔で搭載したＴＡＢ、エポキシリードフレーム、通常のリードフレームからなる、金型１００によって加工すべき帯状製品１０の移動方向Ａ（図２参照）に可動である。パイロットホルダ８には、横方向つまり帯状製品１０の幅方向に離間した一対の製品加工位置確認用ピン、つまりパイロットピン１２が下方に向けて突設されている。
【００１２】
パイロットホルダ８は、その幅方向の一端が機枠２から外部に突出して位置しており、パイロットホルダ８の一端面には係合ピン１４が上方に向けて突設されている。金型１００外には、図２に示すように、図外のエンコーダ（多位置数値制御）を備えたサーボモータ１６と、このサーボモータ１６に連結されたボールネジ１８とが設けられ、このボールネジ１８は、帯状製品１０の移動方向Ａと平行に配置され、ボールネジ１８の先端に設けられた外方に向けて開放した切欠き２０の中に、上述したパイロットホルダ８の係合ピン１４が収容されている。この外方に開放した切欠き２０および係合ピン１４の組み合わせによって、パイロットピン移動機構の駆動要素を金型１００外へ容易に設けることができるとともに、金型１０の脱着性を良好にしている。なお、パイロットピン移動機構の駆動要素は機枠２の外部に設けることも可能である。
【００１３】
このような多位置数値制御によるパイロットピン移動機構によって、パイロットホルダ８つまりパイロットピンを任意の位置に移動させることができるが、例えはパイロットホルダ８を２つの位置で位置決めすれば足りる場合には、エアーシリンダで代用してもよい。
【００１４】
帯状製品１０は、金型１００の中を、その幅方向に離間して設置されたガイドレール２２に案内されて移動する。パイロットピン可動式金型１００は、帯状製品１０を挟んで、上方にダイ２４が定置され、下方にパンチ２６が配設されており、パンチ２６は図１の矢印方向Ｂつまり上下方向に移動可能である。金型１００は、パンチ２６がダイ２４に向けて上方に移動して帯状製品１０を打ち抜き、図外のバキュームチャックで受け取って外部に搬送するようになっている。
【００１５】
図３を参照すると、選択式チェックピン装置２００は、上述したパイロットピン可動式金型１００の上に設置されている。選択式チェックピン装置２００には、帯状製品１０の移動方向Ａに沿って離間された第１〜第３の３つチェックピン３０、３２、３４が設けられている。第１のチェックピン３０と第２のチェックピン３２との間の離間距離はＣ２とＣ３の間の距離を考慮して、また第２のチェックピン３２と第３のチェックピン３４との間の離間距離はＣ１とＣ２の間の距離を考慮してそれぞれ決定される。
【００１６】
第１〜第３のチェックピン３０、３２、３４は、各々、リターンスプリング３６、３８、４０によって上方に向けて付勢されている。第１〜第３のチェックピン３０、３２、３４に関連して、それぞれ、第１〜第３のエアーシリンダ４２、４４、４６が配設されており、これら第１〜第３のエアーシリンダ４２、４４、４６によって、第１〜第３のチェックピン３０、３２、３４は個々独立して下方に向けて駆動される。
【００１７】
選択式チェックピン装置２００は、また、第１〜第３のチェックピン３０、３２、３４に関連して、各チェックピンの動作確認つまり各チェックピンが正常に作動したか否かを検出するための３組のセンサー対（透過型光電スイッチの対）４８が配設され、これらセンサー対４８は、帯状製品１０の移動方向Ａに沿って互いに離間して配置されている。隣接するセンサー４８対の組の間の間隔つまりピッチは、各チェックピンの動作確認の検出が確実にできることを考慮に入れて設定される。上記ではセンサーとして一対の透過型光電スイッチを用いたが、その他、ファイバーセンサー等の公知の各種フォトセンサーを用いてもよい。
【００１８】
次に、上述したパイロットピン可動式金型１００及び選択式チェックピン装置２００の動作を図４を参照して説明する。
帯状製品１０は、その長手方向に３つの同じ製品Ｐ１〜Ｐ３が順に配列されており、各製品Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の加工センターＣ１、Ｃ２、Ｃ３は、帯状製品１０の両側縁に沿って等間隔に設けられたスプロケット孔５４（各加工センターに最も近いスプロケット孔）と、その相対位置が夫々異なっている。このような帯状製品１０は、図４の枠フレームＦの中に収容した状態で金型１００の中に送り込まれる。枠フレームＦは、例えば、真ん中の製品Ｐ２の加工センターＣ２に整合した位置にチェックピン孔５２が等間隔に設けられている。
【００１９】
金型１００の中に入った帯状製品１０は、運び込まれる製品Ｐ１〜Ｐ３に隣接したスプロケット孔５４の中にパイロットピン１２が侵入することができるように予めパイロットピン１２の位置がサーボモータ１６によって制御されており、このパイロットピン１２によって、帯状製品１０の位置決めが行われ、次いで、パンチ２６がダイ２４に向けて上方に移動して各製品Ｐ１〜Ｐ３の打ち抜きが行われる。
【００２０】
第１の製品Ｐ１の打ち抜きの際には、この第１の製品Ｐ１の加工センターＣ１が間違いなく金型１００の加工センターと一致していることを保障するために、第３のチェックピン３４が下降動作する。この第３のチェックピン３４が正しくチェックピン孔５２の中に入ることによって、第１の製品Ｐ１の加工センターＣ１が金型１００の加工センターに存在していることが確認される。第３のチェックピン３４が正常にチェックピン孔５２の中に入り込んだか否か、換言すれば、製品Ｐ１の加工センターＣ１がパンチ２６の加工センターに正しく存在していることの最終的な確認は、センサー４８によって行われる。
【００２１】
これと同様に、第２の製品Ｐ２の打ち抜きの際には、第２のチェックピン３２がチェックピン孔５２の中に入り込む動作によって、第２の製品Ｐ２加工センターＣ２が金型１００の加工センターに存在していることが確認され、その最終確認は、センサー４８によって行われる。同様に、第３の製品Ｐ３の打ち抜きの際には、第１のチェックピン３０がチェックピン孔５２の中に入り込む動作によって、第３の製品Ｐ３の加工センターＣ３が金型１００の加工センターに存在していることが確認され、その最終確認は、センサー４８によって行われる。
【００２２】
第１〜第３の製品Ｐ１〜Ｐ３の各加工センターＣ１〜Ｃ３とスプロケット孔５４との相対的な相違は、パイロットピン１２を適当に移動させることによって補償され、これによって、各製品Ｐ１〜Ｐ３がパンチ２６によって打ち抜かれる際に、その加工センターＣ１〜Ｃ３がパンチ２６の加工センターと整合する位置でパイロットピン１２が正規にスプロケット孔５４の中に入り込むように、パイロットピン１２の位置が調整される。
【００２３】
すなわち、エンコーダを備えたサーボモータ１６と、このサーボモータ１６に連結されたボールネジ１８は、パイロットピン１２を帯状製品１０の移動方向Ａとその反対に動かして、パイロットピン１２の配置位置を調整するための手段を構成するものであり、これにより各製品Ｐ１〜Ｐ３がパンチ２６によって打ち抜かれる際に、パイロットピン１２がスプロケット孔５４の中に正常に入り込むことによって、各製品の加工センターＣ１〜Ｃ３とパンチ２６の加工センターとが一致していることを確認することができる。
【００２４】
サーボモータ１６の作動は、図外のコントローラによって自動的に行われる。例えば、サーボモータ１６が８１９２パルス／ｒで駆動され、また、ボールネジ１８のリードが１．５ｍｍの場合に、その分解能は、０．２ミクロン（１．５／８１９２＝０．０００２）となり、パイロットピン１２の微妙な調整が可能となる。
【００２５】
【発明の効果】
本発明によれば、帯状フィルムにできるだけ多くの製品を搭載するというニーズに応えるとともに、位置決め用のピンつまりパイロットピンを可動とした場合に発生する、帯状製品の加工センターと金型の加工センターとの一致関係を保障することを可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】パイロットピン可動式金型の概略正面図である。
【図２】図１の金型に設置したパイロットホルダとその駆動機構を抽出して示す図である。
【図３】図１のパイロットピン可動式金型に関連して設置された選択式チェックピン装置を示す縦断面図である。
【図４】３加工センター単位で規則性のあるチェックピン孔を１個所設けた例を示す平面図である。
【符号の説明】
１００    パイロットピン可動式金型
２００    選択式チェックピン装置
８    パイロットホルダ
１０    帯状製品
１２    パイロットピン
３０    第１のチェックピン
３２    第２のチェックピン
３４    第３のチェックピン
４２    第１のエアーシリンダ
４４    第２のエアーシリンダ
４６    第３のエアーシリンダ
Ａ    帯状製品の移動方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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