(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂及び／又は樹脂形成成分からなる成分(Ａ)と必須の光重合開始剤（Ｂ）と、i線感度を有するその他の光重合開始剤（Ｃ）から選ばれる少なくとも１種とを含む光重合性樹脂組成物であって、成分(Ａ)として、常圧において１００℃以上の沸点を有し、且つ、１分子中に少なくとも２つのエチレン性不飽和基を有する付加重合性化合物（Ａ１）を含有し、必須の光重合開始剤（Ｂ）として、下記一般式（１）
【化１】
0004245740.tif 000010
（但し、式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基を示し、同じであっても、異なってもよい）で表されるジアミノベンゾフェノン化合物（Ｂ１）、下記一般式（２）
【化２】
0004245740.tif 000011
（但し、式中、Ｒ５は水素原子又は炭素数１〜８のアルキル基を示し、Ｒ６は炭素数１〜８のアルキル基を示し、同じであっても、異なってもよく、ｎは０〜５の整数である）で表されるN-フェニルグリシン類（Ｂ２）及び下記一般式（３）
【化３】
0004245740.tif 000012
（但し、式中Ｒ７、Ｒ８、Ｒ９及びＲ１０は炭素数１〜８のアルキル基を示し、同じであっても、異なってもよい）で表される3,3',4,4'−テトラ（アルキルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン（Ｂ３）との３成分を含有することを特徴とする光重合性樹脂組成物。
【請求項２】
成分(Ａ）として、付加重合性化合物（Ａ１）とアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）とを含み、且つ、（Ａ１）／（Ａ２）の重量比が１０／９０〜９０／１０である請求項１に記載の光重合性樹脂組成物。
【請求項３】
成分（Ａ）１００重量部に対して、必須の光重合開始剤（Ｂ）として、ジアミノベンゾフェノン化合物（Ｂ１）を０．０５〜２．０重量部、N-フェニルグリシン類（Ｂ２）を０．３〜２重量部及び3,3',4,4'−テトラ（アルキルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン（Ｂ３）を０．１〜２．５重量部の割合で含有し、i線感度を有するその他の光重合開始剤（Ｃ）として、2-メチル−1-〔4-（メチルチオ）フェニル〕−2-モルフォリノ−プロパン−1-オン（Ｃ１）、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-（4-モルフォリノフェニル）ブタノン-1（Ｃ２）、下記一般式（４）
【化４】
0004245740.tif 000013
（但し、式中Ｒ１１、Ｒ１２及びＲ１３は水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を示し、同じであっても、異なってもよく、Ｘ及びＹは芳香族基若しくは芳香族アシル基を示す）で表されるアシルフォスフィンオキサイド化合物（Ｃ３）及び下記一般式（５）
【化５】
0004245740.tif 000014
（但し、式中Ｒ１4、Ｒ１5、Ｒ１6及びＲ１7は水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を示し、同じであっても、異なってもよい）で表されるチオキサントン化合物（Ｃ４）からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を１〜１０重量部含有し、又は更に１分子中に少なくとも１つはトリハロゲノメチル基を持つ1,3,5-トリアジン誘導体（Ｃ５）０〜０．５重量部を含有することを特徴とする請求項１又は２に記載の光重合性樹脂組成物。
【請求項４】
着色剤を配合してなる請求項１、２又は３記載の光重合性樹脂組成物。
【請求項５】
請求項４記載の光重合性樹脂組成物からなるインキ。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれかに記載の光重合性樹脂組成物を塗布、硬化して得られる塗膜。
【請求項７】
請求項５記載のインキを塗布、硬化して得られる塗膜。
【請求項８】
請求項６又は７記載の塗膜を有するカラーフィルター。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体用絶縁膜、半導体用レジスト、カラー液晶ディスプレイやカラー液晶プロジェクター等のカラーフィルター並びにこれを形成する光重合性樹脂組成物若しくはインキに関する。
【０００２】
【従来の技術】
光重合性樹脂組成物は、光照射して感光する際には、一般にＵＶ光源が用いられており、凸版用、レリーフ像用、フォトレジスト用等に広く適用されており、このような光重合性樹脂組成物は、形成された画像の主体となる樹脂成分と、紫外線等の光に対して感光して重合活性種となる光重合開始剤を含有するものである。
【０００３】
また、近年の環境問題の観点や露光前後における大きな溶解度差が容易に得られるという観点から、光重合性樹脂組成物には、有機溶剤現像よりもアルカリ水溶液現像が好まれており、このような場合、画像の主体となる樹脂成分は、エチレン性不飽和基を有する付加重合性化合物とアルカリ水溶液に可溶な樹脂との組み合わせが好んで用いられる。そして、このような光重合性樹脂組成物は、より感度の高いものが望まれており、従来より感度を向上させるために光重合開始剤系について多くの研究が行われている。
【０００４】
例えば、光重合開始剤としては、ベンゾイン及びその誘導体、置換又は非置換のキノン類等多くの物質が既に知られている（フォトポリマーハンドブック第６章、フォトポリマー懇話会編）が、いずれの場合も、一般的に用いられる水銀ＵＶランプから主に発生するｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）及びｇ線（４３７ｎｍ）において十分な感度を有するものではなかった。
【０００５】
また、従来においても、３００〜４５０ｎｍにおいて、より高感度の光重合性樹脂組成物を得るために、ベンゾフェノンと、ジアミノベンゾフェノン化合物と、N-フェニルグリシン類とを組み合わせた光重合開始剤を用いることが提案されている（特公平４−２７５４１号公報）。
【０００６】
しかしながら、このベンゾフェノンと、ジアミノベンゾフェノン化合物と、N-フェニルグリシン類とを組み合わせた光重合開始剤を用いた光重合性樹脂組成物は、これをｉ線主体で露光する際に、光照射時の膜厚が１０μｍ未満の薄膜では表面硬化を十分に進める感度に不足し、また、光照射時の膜厚が１０μｍを超える場合では、現像時のパターン密着性が確保されるまで内部光硬化を進めるためにジアミノベンゾフェノン化合物の添加量を減少していくと、光重合開始剤からのラジカル発生量が少なくなって表面硬化阻害が発生し、現像後の塗膜表面の荒れの問題が生じる。
【０００７】
また、カラーフィルター用着色光重合組成物として、ハロメチル化トリアジン化合物を光重合開始剤として含有する方法が知られている（特公昭５９−２８３２８号公報、特公平５−８８２４３号公報、特開平６−１６７８０８号公報及び特開平６−２７６６２号公報等）。しかしながら、これらのハロメチル化トリアジン化合物を含有した光重合組成物は、表面荒れがなく深部硬化が進むまで十分に加えると、このものによる青色領域の吸収のため（言い換えると黄色に着色するため）、カラーフィルターの色再現性に問題があり、特に青色フィルターの透過率を低下させるという問題があり、また、加熱時の変色を大きくする原因となっていた。
【０００８】
また、近年のカラー液晶ディスプレイでは高色純度、且つ明るいディスプレーが求められており、高色純度カラーフィルターでは、紫外線領域の光は塗膜深部までとどきにくくなっており、塗膜深部の硬化不良による密着不良や現像時のパターン剥がれが問題になり、また光開始剤の吸収や熱処理後の黄変がカラーフィルターの明るさを落とすことがあった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、解像度、現像マージン及び表面硬化性に優れ、更に、厚膜例えば、光照射時の膜厚が10μm以上であっても塗膜内部の硬化性に優れ、しかも着色光重合組成物に対しては、その色特性に大きな影響を与えることなく、透明性に優れた光重合性樹脂組成物を提供することにある。また、本発明の目的は、ｉ線のみならず、ｈ線、ｇ線までのＵＶ光に対して高感度を有する光重合性樹脂組成物を提供することにある。
【００１０】
更に、本発明の目的は、色特性の優れたインキ、特に青色インキを提供することにあり、また前記光重合性樹脂組成物又はインキを塗布、硬化して得られる塗膜並びにこの塗膜を有するカラーフィルターや半導体装置を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明は、樹脂及び／又は樹脂形成成分からなる成分(Ａ)と必須の光重合開始剤（Ｂ）と、i線感度を有するその他の光重合開始剤（Ｃ）から選ばれる少なくとも１種とを含む光重合性樹脂組成物であって、成分(Ａ)として、常圧において１００℃以上の沸点を有し、且つ、１分子中に少なくとも２つのエチレン性不飽和基を有する付加重合性化合物（Ａ１）を含有し、必須の光重合開始剤（Ｂ）として、下記一般式（１）
【化６】
0004245740.tif 000002
（但し、式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基を示す）で表されるジアミノベンゾフェノン化合物（Ｂ１）、下記一般式（２）
【化７】
0004245740.tif 000003
（但し、式中、Ｒ５は水素原子又は炭素数１〜８のアルキル基を示し、Ｒ６は炭素数１〜８のアルキル基を示し、ｎは０〜５の整数である）で表されるN-フェニルグリシン類（Ｂ２）及び下記一般式（３）
【化８】
0004245740.tif 000004
（但し、式中Ｒ７、Ｒ８、Ｒ９及びＲ１０は炭素数１〜８のアルキル基を示し、同じであってもよい）で表される3,3',4,4'−テトラ（アルキルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン（Ｂ３）との３成分を含有することを特徴とする光重合性樹脂組成物である。そして、成分(Ａ）として、付加重合性化合物（Ａ１）とアルカリ可溶性樹脂（Ａ２）とを含み、且つ、（Ａ１）／（Ａ２）の重量比が１０／９０〜９０／１０であることが有利である。
【００１２】
また、本発明は、成分（Ａ）１００重量部に対して、必須の光重合開始剤剤（Ｂ）として、ジアミノベンゾフェノン化合物（Ｂ１）を０．０５〜２．０重量部、N-フェニルグリシン類（Ｂ２）を０．３〜２重量部及び3,3',4,4'−テトラ（アルキルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン（Ｂ３）を０．１〜２．５重量部の割合で含有し、i線感度を有するその他の光重合開始剤（Ｃ）として、2-メチル−1-〔4-（メチルチオ）フェニル〕−2-モルフォリノ−プロパン−1-オン（Ｃ１）、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-（4-モルフォリノフェニル）ブタノン-1（Ｃ２）、下記一般式（４）
【化９】
0004245740.tif 000005
（但し、式中Ｒ１１、Ｒ１２及びＲ１３は水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を示し、同じであっても、異なってもよく、Ｘ及びＹは芳香族基若しくは芳香族基アシル基を示す）で表されるアシルフォスフィンオキサイド化合物（Ｃ３）及び下記一般式（５）
【化１０】
0004245740.tif 000006
（但し、式中Ｒ１4、Ｒ１5、Ｒ１6及びＲ１7は水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を示し、同じであっても、異なってもよい）で表されるチオキサントン化合物（Ｃ４）からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を１〜１０重量部含有し、又は更に１分子中に少なくとも１つはトリハロゲノメチル基を持つ1,3,5-トリアジン誘導体（Ｃ５）０〜０．５重量部を含有することを特徴とする前記光重合性樹脂組成物である。
【００１３】
更に、本発明は、着色剤を配合してなる前記光重合性樹脂組成物であり、また、この着色剤を配合してなる光重合性樹脂組成からなるインキである。更にまた、本発明は、前記光重合性樹脂組成物又はインキを塗布、硬化して得られる塗膜であり、またこの塗膜を有するカラーフィルターである。
【００１４】
本発明の光重合性樹脂組成物は、成分（Ａ）、必須の重合開始剤（Ｂ）及びその他の重合開始剤（Ｃ）を含有してなる。以下、（Ａ）、（Ｃ）、（Ｂ）の順に説明する。
【００１５】
樹脂及び／又は樹脂形成成分からなる成分（Ａ）は、樹脂又は重合して樹脂となる成分であり、付加重合性化合物（Ａ１）を必須の成分として含有してなる。この成分（Ａ１）は紫外線露光時に光重合開始剤から発生したラジカルと反応し、架橋構造を形成して照射後の塗膜の強度や硬度を付与するという作用を有し、更に、アルカリ可溶性樹脂（Ａ２）と共存する際には、照射後のアルカリ不溶化に関わる作用を有する。また、同様に樹脂成分である上記成分（Ａ２）は、未露光部をアルカリ現像液に可溶とする作用並びに塗布乾燥後の塗膜形成という作用を有する。
【００１６】
本発明の光重合性樹脂組成物で用いる成分（Ａ１）は、常圧において１００℃以上の沸点を有し、且つ、１分子中に少なくとも２つのエチレン性不飽和基を有する付加重合性化合物であり、このような化合物としては、多価アルコールとα，β−不飽和カルボン酸とを結合して得られるもの、例えばジエチレングリコール（メタ）アクリレート（ジアクリレート又はジメタアクリレートを意味する、以下同じ）、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、 1,3-プロパンジオール（メタ）アクリレート、 1,3-ブタンジオール（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、2,2-ビス（４−アクリロキシジエトキシフェニル）プロパン、2,2-ビス（4-メタクリロキシペンタエトキシフェニル）プロパン、2,2-ビス（4-メタクリロキシポリエトキシフェニル）プロパンの混合物〔新中村化学（株）製商品名:BEP-500〕等や、グリシル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を付加して得られるもの、例えばトリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、フルオレン環を有するジグリシジルエーテルのアクリル酸付加体〔新日鐵化学（株）製商品名:ASF400 〕等や、不飽和アミド類、例えばメチレンビスアクリロアミド、1,6-ヘキサメチレンビスアクリルアミド等や、ビニルエステル類、例えばジビニルサクシネート、ジビニルアジベート、ジビニルフタレート、ジビニルテレフタレート、ジビニルベンゼン−1,3-ジスルホネート等が挙げられる。
【００１７】
また、成分（Ａ２）のアルカリ可溶性樹脂としては、アルカリ現像性を有するカルボキシル基、フェノール性水酸基等の酸性官能基を有し、且つ、塗布乾燥後の塗膜割れや、タック性がないように分子量６００以上の固形化合物若しくは数平均分子量１０００以上の重合体が使用され、例えば（メタ）アクリル酸（メタアクリル酸又はアクリル酸を意味する。以下同じ。）と（メタ）アクリル酸アルキルエステルとの共重合体、（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリル酸アルキルエステルとこれらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合体等が用いられる。ここで（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸2-エチルヘキシルエステル等が挙げられる。また、（メタ）アクリル酸や（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合し得るビニルモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、2,2,2-トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、2,2,3,3-テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレートアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。また、スチレン−無水マレイン酸共重合体のハーフエステル、ジオールと酸二無水物との共重合体、不飽和ポリエステル等のカルボキシル基を持つエステルオリゴマーも挙げられる。
【００１８】
更に、１分子中における２つ以上のエチレン性不飽和基とアルカリ可溶に関するカルボキシル基等との両方を持つ化合物を、成分（Ａ２）として、成分（Ａ１）と共に用いることも可能であり、これは、光重合性樹脂組成物に優れた解像度を与えるという点で好ましい。例えば、水酸基を有する付加重合体に環状酸無水物を付加させたもの、例えばエポキシアクリレートの酸付加体（特開平６−１９３８号公報）が挙げられる。
【００１９】
成分（Ａ２）を配合する場合の、成分（Ａ１）と成分（Ａ２）の配合割合は、重量比（Ａ１）／（Ａ２）として、１０／９０〜９０／１０であり、好ましくは２０／８０〜８０／２０である。成分（Ａ１）の配合割合が９０／１０より多いと、光硬化後の硬化物が脆くなり、また、未露光部において塗膜の酸価が低いためにアルカリ現像液に対する溶解性が低下し、フォトレジストとしての十分な物性が得られないという問題が生じ、また、成分（Ａ１）の配合割合が１０／９０よりも少ないと、露光部の成分（Ａ１）による架橋構造形成やアルカリ不溶化が十分でなくなり、更に、樹脂成分における酸価度が高くなりすぎ、露光部におけるアルカリ現像液に対する溶解性が高くなり、フォトレジストとしての十分な物性が得られなくなる。
【００２０】
また、成分（Ａ）として、上記成分（Ａ１）及び（Ａ２）に加えて、これらの成分と相溶するエチレン性不飽和基を１分子中に１つしか持たない反応性希釈剤や、光重合性並びにアルカリ可溶性に関与しない樹脂成分、例えば、エポキシ樹脂、ロジン樹脂、アルキド樹脂等を、成分（Ａ１）及び（Ａ２）の合計１００重量部に対して１００重量部未満の割合で添加することができる。この添加量が、成分（Ａ１）及び（Ａ２）の合計１００重量部に対して１００重量部以上であると、未露光部の酸価低下による難溶化や、露光部の架橋密度低下による現像時のパターン欠落等が生じる。
【００２１】
i線感度を有する光重合開始剤（Ｃ）は、必須の光重合開始剤（Ｂ）以外の光重合開始剤であり、i線（３６５nmの紫外線光）照射によりラジカル種を発生し、付加重合性化合物（Ａ１）に付加してラジカル重合を開始させ、樹脂又は樹脂形成成分を硬化させるものである。また、成分（Ｃ）は後述する３種の必須の光重合開始剤（Ｂ）と併用することにより、感度を顕著に向上させることができ、特に酸素による重合阻害を受けやすい塗膜表面の硬化に寄与する。この意味で公知の各種の光重合開始剤を成分（Ｃ）として用いることができる。そして、成分（Ｃ）は、１種であっても２種以上であってもよいが、少なくとも１種は使用する。
【００２２】
好ましい例としては、アセトフェノン系化合物では、例えば、チバスペシャリティケミカルズ社からイルガキュア９０７として市販されている2-メチル−1-〔4-（メチルチオ）フェニル〕-2- モルフォリノ−プロパン−1-オン（Ｃ１）や、例えば、同じくイルガキュア３６９として市販されている2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-（4-モルフォリノフェニル）ブタノン-1（Ｃ２）等がある。
【００２３】
その他、上記一般式（４）で示されるアシルフォスフィンオキサイド化合物（Ｃ３）も好ましいものとして挙げられる。具体的には、例えば同じくＣＧＩ８１９として市販されているビス（2,4,6-トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイドや、BASFよりLucirin TPOとして市販されている2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。
【００２４】
また、上記一般式（５）で表されるチオキサントン化合物（Ｃ４）も好ましいものとして挙げられる。このような化合物（Ｃ４）は、例えば、日本化薬社よりカヤキュアITX、カヤキュアDETX、カヤキュアCTX、カヤキュアCPTXなどとして市販されている。
【００２５】
光重合開始剤（Ｃ）としては、これら（Ｃ１）〜（Ｃ４）に限定されるものではないが、これからなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を配合することが望ましく、その配合量は成分（Ａ）１００重量部に対して１〜１０重量部、より好ましくは（Ｃ１）、（Ｃ３）及び（Ｃ４）からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を２〜８重量部含有させる。含有量が１重量部未満だと表面硬化が不十分で表面硬度の不足や現像時の表面荒れが生じ、１０重量部を超えても目的とする感度の向上には実質的に効果がなく、その上、架橋密度が低くなってしまい、塗膜強度の低下につながるため好ましくない。
【００２６】
トリハロゲノメチル基を持つ1,3,5-トリアジン誘導体（Ｃ５）も光重合開始剤（Ｃ）として優れたものであるが、多量に含有すると色再現性を損なうので、配合する場合は、成分（Ａ）１００重量部に対して０．５重量部以下にとどめることがよい。０．５重量部以下であれば、厚膜時の深部硬化性や塗膜の色再現性を損なうことのない光重合性樹脂組成物となる。したがって、（Ｃ１）、（Ｃ２）、（Ｃ３）及び（Ｃ４）からなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物１〜８重量部に加えて、成分（Ｃ５）を０．５重量部以下で加えると、色再現性を損なうことなく高感度の光重合性樹脂組成物を提供できる。成分（Ｃ５）の含有量が０．５重量部を超えると、厚膜時の深部硬化性の阻害や青色フィルターの明度低下を起こす。
【００２７】
ここで、上記成分（Ｃ５）の少なくとも１つはトリハロゲノメチル基を持つ1,3,5-トリアジン誘導体としては、2,4-トリクロロメチル-（ピプロロニル）-6-トリアジン（例えば日本シーベルヘグナー社製商品名トリアジンPP）、2,4-トリクロロメチル-（4-メトキシフェニル）-6-トリアジン（例えば日本シーベルヘグナー社製商品名トリアジンA）、2,4-トリクロロメチル-（4-メトキシスチリル）-6-トリアジン（例えば日本シーベルヘグナー社製商品名トリアジンPMS）等を挙げることができる。
【００２８】
本発明の必須の光重合開始剤（Ｂ）は、ジアミノベンゾフェノン化合物（Ｂ１）、N-フェニルグリシン類（Ｂ２）、3,3',4,4'−テトラ（アルキルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン（Ｂ３）との３成分からなる。前述の成分（Ｃ）のみでは主にｉ線（３６５nm）感度を示すのに対し、この３成分が同時に存在することにより、i線（３６５nm）のみならず、ｈ線（４０５nm）とｇ線（４３７nm）とにも感光すると同時に、青色領域の吸収が少なく、加熱時の黄変の少ない塗膜を与える光重合性樹脂組成物を提供する。（Ｂ１）、（Ｂ２）又は（Ｂ３）の何れかを欠くと、特にｇ線光に対する光重合性が劣る。
【００２９】
特に、色純度の高い青色塗膜では、青色着色剤の吸収によりi線（３６５nm）の紫外線光は塗膜深部にわずかしか到達しないので、i線感度をもつ光開始剤系では塗膜深部の硬化性が不十分となり、現像時のマージンの低下や細線流れが生じて好ましくない。本発明の光重合性樹脂組成物を用いた青色の樹脂組成物、すなわち、青色インキは、青色領域にあるｇ線（４３７nm）が青色塗膜深部まで透過するので塗膜深部まで光重合可能となり、高感度並びに現像時の密着性に優れたインキになる。しかも、熱処理後の青色領域に透過率の高い塗膜を与えるので、青色フィルター用の光重合性組成物として好適である。
【００３０】
また、緑色塗膜では４４０nm以下の短波長領域の透過率は10％未満で波長によりほとんど変わりなく、少ない。この場合、本発明の重合開始剤系を用いるとｉ、 h、g線の紫外光全てを利用できるので、露光感度が高く有益である。
【００３１】
また、絶縁膜などの厚膜の硬化では、光重合開始剤の吸収により塗膜深部へ行くに従い、紫外線の透過が減少し、波長が短くなるほど著しい。したがって、本発明では塗膜表面をi線で光重合し、塗膜深部ではｇ線で光重合することで現像後のパターン形状の優れたものを与え、半導体素子や多層配線基板用の層間絶縁膜、メッキレジスト、アディティブ用画像形成剤、ソルダーレジストとして好適に用いることができる。
【００３２】
ジアミノベンゾフェノン化合物（Ｂ１）としては、例えば、 4,4'-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、 4,4'-ビスジメチルアミノベンゾフェノン等を挙げることができる。この成分（Ｂ１）の添加量は、成分（Ａ）１００重量部に対して、０．０５〜２．０重量部であり、好ましくは０．１〜２重量部である。成分（Ｂ１）の添加量が、成分（Ａ）１００重量部に対して０．０５より少ないと、ラジカル発生量が少ないため、酸素阻害によって表面硬化不足となり十分な物性が得られないという問題が生じ、また、２．０重量部より多いと、膜厚が厚い場合の露光時に大部分の光が組成物表面で吸収されてしまい、塗膜内部の光硬化が不十分となる。また、青色インキでは熱処理後の黄変が顕著になり色特性を損なう。
【００３３】
また、本発明の光重合性樹脂組成物においては、感度を上げて表面硬化性並びに内部硬化性を促進させるために、N-フェニルグリシン類（Ｂ２）を使用する必要がある。この成分（Ｂ２）のフェニルグリシン類としては、好ましくは、例えばN-フェニルグリシン、N-フェニルグリシンエチルエステル、N-フェニルグリシンメチルエステル、N-フェニルグリシンブチルエステル、N-フェニルグリシンエチルエステル等を挙げることができる。
【００３４】
この成分（Ｂ２）の添加量は、樹脂成分（Ａ）１００重量部に対して、０．３〜２．０重量部であり、好ましくは０．３〜１．５重量部である。この成分（Ｂ２）の添加量が、樹脂成分（Ａ）１００重量部に対して０．３重量部より少ないと、光感度が十分な程度にまで向上せず、また、２．０重量部より多いと、光重合性樹脂組成物の保存安定性が低下する。
【００３５】
更に、感度の向上と内部硬化性の促進にテトラ（アルキルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン化合物（Ｂ３）を使用する。その具体例として、テトラ（アルキルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン（例えば、市販品日本油脂製ＢＴＴＢの２５％トルエン溶液）を挙げることができる。その添加量は、樹脂成分（Ａ）１００重量部に対して０．１〜２．５重量部である。２．５重量部を超えると光重合性樹脂組成物の保存安定性に劣る。
【００３６】
更に、本発明の光重合性樹脂組成物を均一な溶液状として得るために、上記各成分を溶解し得る溶剤、例えば、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキスルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチテングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル等の各種のグリコールエーテル類や、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン、ペントキノン、N-メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン等のケトン類や、ブチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等のエーテル類や、メトキシブタノール、ジアセトンアルコール、ブタノール、イソプロパノール等のアルコール類や、トルエン、キシレン、ヘキサン等の炭化水素類や、酢酸エチル、酢酸ブチル、安息香酸エチル等のエステル類等を用いることができる。
【００３７】
更に、本発明の光重合性樹脂組成物に着色を目的に、染料、顔料等の着色剤を含有させてもよい。着色剤としては、各種の染料、顔料等が好ましく、例えば、チタニア、カーボンブラック、酸化鉄、キナクリドン系顔料、フタロシアニン系顔料、アゾ系顔料、酸性染料等を挙げることができる。特に、液晶ディスプレイや液晶プロジェクターのカラーフィルター用に用いられる場合、その透明性と色純度から有機顔料が用いられる。
【００３８】
好ましい例としては、青色の顔料にはフタロシアニン系顔料、スレン系顔料など、特に好ましくはε-フタロシアニンブルー（C.I.ピグメントブルー１５：６）であり、赤色の顔料としてはアントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、ジケトピロロール系顔料、ペリレン系顔料など、特に好ましくはジケトピロロピロールレッド（ C.I.ピグメントレッド２５４）やジアントラキノリルレッド（ C.I.ピグメントレッド１７７）であり、緑色の顔料としては塩素化フタロシアニングリーン（ C.I.ピグメントグリーン７）、臭塩素化フタロシアニングリーン（ C.I.ピグメントグリーン３６）であり、紫色の顔料としてはジオキサジンバイオレット（C.I.ピグメントバイオレット２３）、黄色の顔料としてはイソインドリンイエロー（ C.I.ピグメントイエロー１３９）、ジアリリドイエロー（ C.I.ピグメントイエロー８３）などである。これら着色顔料は、微分散安定化に寄与する顔料誘導体やグラフトポリマーと共に有機溶剤中サンドミルで平均粒径０．２μm以下に微分散され、本発明の光重合性樹脂組成物と混合し、光重合性着色樹脂組成物又はインキとなる。
【００３９】
また、本発明の光重合性樹脂組成物には、塗布時のレベリング性向上や乾燥時の蒸発ムラ低減を目的に界面活性剤や、基板との密着性を目的にカップリング剤や、ヒートサイクル試験時の耐クラック性向上を目的に充填剤や、充填剤との密着を目的に接着促進剤等の添加物を加えることもできる。
【００４０】
本発明の着色剤を配合した光重合性樹脂組成物はインキとして使用できる。特に、着色剤が青色及び紫色、緑色、特に青色インキが好ましく、具体的には高感度かつ現像時のマージンの広いインキを与え、また硬化後の塗膜は加熱処理時の色再現性並びに明度に優れたカラーフィルターを与える。例えば、青色インキでは、青色着色剤の吸収によりi線（３６５nm）の紫外線光は青色インキで形成した塗膜深部にわずかしか到達しないので、i線感度をもつ光重合開始剤（Ｃ）で塗膜表面を光重合せしめ、青色領域にあるｈ線（４０５nm）とｇ線（４３７nm）が塗膜深部まで透過するので必須の光重合性開始剤（Ｂ成分）により塗膜深部まで光重合可能なのである。しかも光重合開始剤による青色領域の吸収が少なく、また熱処理後の青色領域の透過率の高い塗膜を与えるので、青色フィルター用の光重合性組成物として好適となる。
【００４１】
【発明の実施の形態】
本発明の光重合性樹脂組成物には、樹脂及び／又は樹脂形成からなる成分（Ａ）及び光重合開始剤（Ｂ）及び（Ｃ）のみからなる組成物とこれに必要な添加物、溶剤等を添加した組成物とがあるが、これらは用途によって使い分けられる。例えば、溶液状の組成物やインキは、半導体用絶縁膜、半導体用レジスト材料、液晶ディスプレイやCCDカメラのカラーフィルター用材料、着色膜、タッチパネルやディスプレイ用のスペーサー等の用途に使用され、パターン形成材料、画像形成材料としても使用される。特に、本発明の光重合性樹脂組成物は、カラーフィルターとしての用途に好ましく供することができる。
【００４２】
使用方法は、溶液状にして基板に所定厚みに塗布した後、これを乾燥後、所定の範囲を活性光（UV）に露光し、光硬化させる方法が一般的であるが、これに限られるものではない。また、得られた光重合性樹脂組成物をポリエチレンテレフタレートフィルムやポリエチレンフィルムに積層し、乾燥後にドライフィルムの形態で基板上にラミネートすることも可能である。塗布厚みは、乾燥状態で0.2〜100μｍ，カラーフィルターや液晶ディスプレイ用には好ましくは1〜5μｍ程度、絶縁膜や半導体レジスト向けには5〜60μｍが好ましい。活性光の光源は高圧水銀ランプなどｉ, g, h線の紫外光を主体とするものがよい。更に、未露光部分を現像により洗い流し、ついで水により洗浄してパターンを形成する。なお、必要に応じて全面露光して、現像を省略する場合もあり得る。現像はアルカリ希薄水溶液を使用するのが好ましく、そのアルカリ種としては炭酸ナトリウム等のアルカリ金属炭酸塩、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物、テトラエチルアンモニウムヒドロキサイド、シエタノールアミン等の水溶性有機塩基などを例示できる。更に,現像速度の促進や現像後の基板上の残渣低減の目的で、ノニルフェノールやアルキルナフタレンのスルフォン酸塩等の界面活性剤を現像液に添加する。現像、水洗後は、所望の耐薬品性、耐熱性などの物性を発揮させるために、１６０〜２５０℃で熱硬化を行う。
【００４３】
本発明の光重合性樹脂組成物の具体的使用例として、カラーフィルターの作製方法としては公知の方法を用いることができる。例えば、本発明の光重合性着色樹脂組成物に前記の溶剤、必要に応じて添加剤を加えて塗工液とし、これをスピンコーター、ロールコーターなどを用いてガラス基板上に塗布し、乾燥することにより０．２〜５０μmの塗膜を得る。この塗膜にフォトマスクを介して、高圧水銀灯などの光源から紫外線を照射し、光重合させる。次に、この塗膜を、例えば炭酸ナトリウム等のアルカリ金属炭酸塩、水酸化カリウム等のアルカリ金属水酸化物、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド等の有機塩基などのアルカリ性水溶液や、トリクロロエチレン等の有機ハロゲン化物、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサン等のケトン類、エチルセルソルブアセテート等のエステル類などの有機溶剤で未露光部分を溶解させて、パターンを形成する。各色についてこの工程を繰り返すことで、カラーフィルターを調製することができる。
【００４４】
以下、実施例及び比較例に基づいて、本発明の公的な実施の形態を具体的に説明する。
実施例１〜７及び比較例１〜5
成分（Ａ１）としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリストールペンタアクリレートとの混合物３０重量部（日本化薬製商品名KAYARAD-DPHA）を用い、また、成分（Ａ２）としてフルオレンビスフェノール型エポキシアクリレート／酸無水物付加重合体の56.5wt%-プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液〔新日鐵化学（株）製商品名：V259ME〕１２４重量部（固形分として７０重量部）を用いた。
【００４５】
これら成分（Ａ１）及び成分（Ａ２）の合計量１００重量部に対して、熱処理後の耐アルカリ性付与の目的で樹脂成分としてテトラメチルビフェニル型エポキシ樹脂（油化シェル製商品名：XY4000H ）１５重量部、基板との密着性付与の目的でシランカップリング剤〔チッソ（株）製商品名：S510〕１．２重量部、及び溶剤としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート６１重量部を配合した。
【００４６】
次に、この光重合性樹脂組成物中に、成分（Ａ１）及び成分（Ａ２）の合計量１００重量部に対して、光重合開始剤成分（Ｂ）として、 4,4'-ビスジエチルアミノベンゾフェノン（Ｂ１）、N-フェニルグリシン（Ｂ２）成分及び3,3',4,4'−テトラ（t-ブチル-パーオキシカルボニル）ベンゾフェノン（Ｂ３）を、更にi線感度をもつ光重合開始剤成分（Ｃ）として、2-メチル−1-〔4-（メチルチオ）フェニル〕-2- モルフォリノ−プロパン−1-オン（Ｃ１）、2ーベンジル-2-ジメチルアミノ-1-（4-モルフォリノフェニル）ブタノン-1（Ｃ２）、ビス（2,4,6-トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド（Ｃ３）、2,4-ジエチルチオキサントン（Ｃ４）及び2,4-トリクロロメチル-（4'-メトキシスチリル）-6-トリアジン（Ｃ５）を表１に示す割合（重量部）で添加し、実施例１〜７及び比較例１〜４の全体が均一な溶液状態の光重合性樹脂組成物を調製した。
【００４７】
【表１】
0004245740.tif 000007
【００４８】
得られた実施例１〜７及び比較例１〜４の光重合性樹脂組成物を使用し、スピンコーターを用いてガラス基板上に乾燥後の膜厚が２μｍ、１０μｍ又は４０μｍとなるように塗布した後、膜厚２μｍ並びに１０μｍの場合には８０℃で５分間プレベークし、また、膜厚４０μｍの場合には１００℃で１５分間プレベークし、ガラス基板上に層間絶縁膜用塗膜を形成した。
【００４９】
このようにして形成した実施例１〜７及び比較例１〜４の塗膜について、ネガ型マスクを通して露光機〔ハイテック（株）製商品名：HTE505S 〕（照度11mW/cm２, ｉ線基準）によりＵＶを照射し、次いで膜厚２μｍ及び１０μｍの場合に濃度０．７重量％の、また、膜厚４０μｍの場合に濃度１．４重量％のジエタノールアミン水溶液（28℃）により現像し、感度、解像度及び形成されたパターン形状並びに色再現性を調べた。
【００５０】
〔感度測定〕
感度測定用ウェッジフィルター〔松崎真空（株）製〕を使用し、前述と同様の露光機〔ハイテック（株）製商品名：HTE505S 〕でｉ線基準で２００ｍＪ／ｃｍ２の紫外光を照射した後、前述と同様のジエタノールアミン現像液を用いて膜厚２μｍの場合には現像時間2０秒で、膜厚１０μｍの場合には現像時間６０秒で、また、膜厚４０μｍの場合には現像時間９０秒でそれぞれ現像した。現像後に残膜を与える最小露光量を感度として求めた。すなわち、この数値が小さければ小さい程、高感度であるということになる。結果を表１に示す。
【００５１】
〔分光照射測定〕
実施例１〜７及び比較例１〜４の光重合性樹脂組成物を用いて形成した塗膜を使用し、照射分光装置〔日本分光（株）製商品名：SS25CP〕を用いて、光重合性樹脂組成物の一定波長幅の光毎における感度（硬化速度）とを測定した。具体的には、一定波長幅の各々の紫外光において、照射時間と照射位置を変化させながらステップ状に照射し、次いで、濃度０．７重量％のジエタノールアミン水溶液（28℃）を用いて10μm膜厚では６０秒間、2μm膜厚では20秒間の現像し、この現像後に基板上に残った各波長毎の照射時間に対する残膜ステップ数を調べた。また、40μm膜厚では濃度１.４重量％のジエタノールアミン水溶液（28℃）を用いて９０秒間現像した。この場合、ステップ数が多い程高感度となる。結果を表１に示す。
【００５２】
〔解像度測定〕
実施例及び比較例の光重合性樹脂組成物を用いて形成した膜厚２μｍ並びに１０μｍの塗膜について、解像度用ライン＆スペース（line and space）マスク〔日本フィルコン（株）製〕を使用し、２００ｍＪ／ｃｍ２の光を照射した後、０．７重量％ジエタノールアミン水溶液中、２８℃にて現像した。膜厚40μｍの場合は1.4重量％ジエタノールアミン水溶液を現像に用いた。現像後に露光部のラインが欠落せずに基板に残り、さらに未露光部分が現像により抜けてスペースが形成されたライン幅の最小値を解像度とした。結果を表１に示す。表１において、分子はラインを示し、分母はスペースを示し、単位はμmである。
【００５３】
上記の結果より、成分（Ｂ１）、成分（Ｂ２）及び成分（Ｂ３）の３種を組み合わせた光重合開始剤である実施例１〜７は、これら３種の成分うち２種の成分のみ添加されている比較例１〜４に比較して高感度であり、ｇ線（437nm）にも硬化することが明らかになった。また、実施例は比較例に比較して解像度測定に於けるＬ／Ｓがより細かいものまで基板上に残っていることから、実施例は現像時のパターンの密着性に優れていることが分かった。
【００５４】
実施例８〜１３及び比較例５〜９
〔着色された光重合性樹脂組成物の調製〕
成分（Ａ１）としてジペンタエリストールヘキサアクリレートとジペンタエリストールペンタアクリレートとの混合物５０重量部（日本化薬製商品名KAYARAD-DPHA）を用い、また成分（Ａ２）としてフルオレン型エポキシアクリレート／酸無水物付加交互共重合体56.5%を含むプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液（新日鐵化学製商品名Ｖー３０１Ｍ）88.5重量部（固形分として５０重量部）を用いた。
成分（Ａ１）及び（Ａ２）の固形分合計100重量部に対して、熱架橋剤としてＹＸ4000Ｈ15.7重量部（油化シェル製）と表２に示す光重合開始剤並びに界面活性剤FC430（住友3Ｍ製）0.23重量部と共に溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート540重量部を用いて均一溶液を調製した。さらに青色顔料としてε-フタロシアニンブルー（PB15:6）分散体（御国色素製、顔料分20％、プロピレングリコールモノメチルアセテート分散媒を使用）318重量部を前記樹脂溶液に均一に混合して着色された光重合製樹脂組成物を調製した（顔料／樹脂重量比0.55）。ここで実施例１〜６記載の光重合開始剤以外に用いたものは、2,4-トリクロロメチル-（ピプルロニル）-6-トリアジン（Ｃ５’）（日本シーベルヘグナー社製商品名トリアジンＰＰ）である。
【００５５】
得られた各実施例８〜１３及び比較例５〜９の着色された光重合性樹脂組成物を使用し、スピンコーターを用いてガラス基板上に乾燥後の膜厚が1.1μmとなるように塗布した後、80℃で5分間乾燥し、ガラス基板上にカラーフィルター用塗膜を形成し、以下のようにして感度測定、分光照射測定、色度測定を行った。
【００５６】
〔感度測定〕
感度測定用ウェッジフィルター〔松崎真空（株）製〕を使用し、ガラス基板上のカラーフィルター用塗膜にｉ線基準で１００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線露光を行った後、濃度０．４％炭酸ナトリウム水溶液（25℃）により４０秒間現像し、現像後に残膜を与える最小露光量を感度として求めた。結果を表２に示す。
【００５７】
〔色度測定〕
前述のガラス基板上のカラーフィルター用塗膜をｉ線基準で２００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線露光を行った後、濃度０．４炭酸ナトリウム水溶液（25℃）により４０秒間現像し、青色パターンを得た。更に、それを２３０℃で３０分間ポストベークした後、カラーアナライザー〔東京電飾（株）製商品名：TC-1800MK2〕を用いて色度を測定した。結果を表２に示す。
【００５８】
〔分光照射測定〕
ガラス基板上のカラーフィルター用塗膜に、照射分光装置〔日本分光（株）製商品名：SS25CP〕を用いて一定波長幅の光毎に、照射時間と照射位置を変化させながら照射し、次いで、濃度０．４重量％炭酸ナトリウム水溶液（２５℃）を用いて４０秒間現像し、この現像後に基板上に残った各波長毎の照射時間に対する残膜ステップ数を調べることにより、光重合性樹脂組成物の感光波長領域とその波長ににおける感度（硬化速度）とを測定した。この場合、ステップ数が多い程高感度となる。結果を表２に示す。
【００５９】
【表２】
0004245740.tif 000008
【００６０】
実施例８〜１３では、ジエチルアミノベンゾフェノン（Ｂ１）、フェニルグリシン（Ｂ２）、BTTB（Ｂ３）の３成分とi線感度の各種光開始剤（Ｃ）が共存することで感度が高い青色インキとなり、それから得たカラーフィルターは明度の優れたものであった。また、比較例６〜９ではジエチルアミノベンゾフェノン、ＢＴＴＢ及びＮ-フェニルグリシンのいずれかないため、若しくは成分（Ｃ）がないために、感度が低く、現像時に現像流れもしくは表面荒れが生じた。
実施例及び比較例における分光照射測定の結果を比較すると、ジエチルアミノベンゾフェノン、フェニルグリシン、BTTBの３成分の共存によりｇ線（437nm）でも硬化することから、青色塗膜においてはｉ線をほとんど透過せず、ｇ線に透明であることで高感度で、深部硬化が十分であることが示唆された。また、比較例８より表面硬化にはｉ線感度硬化剤の添加が必要であることも示唆された。
【００６１】
実施例１４〜１５及び比較例１0〜１1
成分（Ａ１）としてジペンタエリストールヘキサアクリレートとジペンタエリストールペンタアクリレートとの混合物２５重量部（日本化薬製商品名KAYARAD-DPHA）とペンタエリスリトールトリアクリレート（共栄社化学製商品名PET-30）２５重量部とを用い、また成分（Ａ２）としてイソボルニルメタクリレート／メタクリル酸／エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート共重合体（モノマーモル比２８／３６／３６）５０重量部、成分（Ａ１）及び（Ａ２）の固形分合計100重量部に対して熱架橋剤としてセロキサイド２０２１Ｐ（ダイセル化学製）５．５重量部、基板との密着性向上の目的で、カップリング剤としてシランカップリング剤〔チッソ（株）製商品名: S510〕１．５重量部、光重合開始剤成分として、成分（Ｂ１）のｐ, ｐ'-ジエチルアミノベンゾフェノン、成分（Ｂ２）のN-フェニルグリシン、成分（Ｂ３）のＢＴＴＢを、また成分（Ｃ１）の2-メチル−1-〔4-（メチルチオ）フェニル〕-2- モルフォリノ−プロパン−1-オン〔チバ（株）製商品名：イルガキュア907 〕、（Ｃ３）のビス（2,4,6-トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド〔チバ製商品名: CGI-819 〕又は（Ｃ５）の2-（4-メトキシスチリル）-4,6- ビス（トリクロロメチル）-1,3,5- トリアジン〔みどり化学製商品名: TAZ110〕を下記表３に示す割合（重量部）で添加し、溶剤としてジグライムとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（混合重量比３：２）を用いて、固形分が２０重量％となる全体が均一な溶液状態の光重合性樹脂組成物を調製した。更に、青色顔料としてε−フタロシアニンブルー（ＰＢ１５：６）分散体（御国色素製、顔料分２０％、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート分散媒）１４０重量部を前記樹脂溶液に均一に混合して着色した４種類の光重合性樹脂組成物、すなわち青色インキを調製した。
【００６２】
得られた実施例１４〜１５及び比較例１０〜１１の着色された光重合性樹脂組成物を使用し、スピンコーターを用いてガラス基板上に乾燥後の膜厚が１．５μｍとなるように塗布した後、６０℃で５分間乾燥し、ガラス基板上にカラーフィルター用塗膜を形成して感度及び色度を測定した。
【００６３】
〔感度測定〕
感度測定用ウェッジフィルター〔松崎真空（株）製〕を使用し、前述のようにｉ線基準で１００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線露光を行った後、濃度０．０１％規定水酸化カリウム水溶液（25℃）により３０秒間現像し、現像後に残膜を与える最小露光量を感度として求めた。結果を表３に示す。
【００６４】
〔色度測定〕
前述のガラス基板上のカラーフィルター用塗膜をｉ線基準で３００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線露光を行った後、濃度０．０１％規定水酸化カリウム水溶液（25℃）により３０秒間現像し、青色パターンを得た。更に、それを２００℃で３０分間ポストベークした後、カラーアナライザー〔東京電飾（株）製商品名：TC-1800MK2〕を用いて色度を測定した。結果を表３に示す。
【００６５】
【表３】
0004245740.tif 000009
【００６６】
表３の結果から、実施例14は比較例１0に比べて高感度を示すことがわかる。また、実施例１5の青色フィルターは、比較例１1と比べて、同一色相（ｘ，ｙ）においてより高い明度（Ｙ）示し、色特性に大きな影響を与えることなく感度上昇効果が発揮され、顔料の色再現性に優れていることが確認できた。
【００６７】
【発明の効果】
本発明の光重合性樹脂組成物は、解像度やパターン密着性、現像マージン、表面及び内部硬化性に優れ、特に３００〜４５０nmの紫外線に対して高感度を有するものであり、着色光重合組成物に対しては透明性にも優れ、良好な色再現性を与えることができる。更に、厚膜に対しても、例えば、光照射時の膜厚が１０μｍ以上であっても硬化性に優れる。
このため、本発明の光重合性樹脂組成物は、絶縁膜、半導体用絶縁膜、カラーフィルター用保護膜、カラーフィルター用インキ、着色膜、レジスト剤、半導体用レジスト、タッチパネルや液晶ディスプレイなどのスペーサー等、並びにこれらを用いた液晶カラーディスプレー、液晶プロジェクション、半導体素子、カラーイメージセンサー等に好適に利用することができる。