(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気相還元法を用いて製造され、Ｎｉ及びＦｅを合計９０質量％以上含有し、平均粒径が０．１〜１μｍで、Ｆｅ／（Ｆｅ＋Ｎｉ）の平均値が１５質量％以上２５質量％以下であり、各粒子の中心から粒子半径の０．９倍までの範囲内の粒子内の各点におけるＦｅ／（Ｆｅ＋Ｎｉ）の最大値Ｘと最小値Ｙとの比Ｘ／Ｙが１〜２であることを特徴とするＮｉ−Ｆｅ系合金粉末。
【請求項２】
前記した比Ｘ／Ｙが１〜２である粒子の合計が、粉末全体の８０質量％以上であることを特徴とする請求項１記載のＮｉ−Ｆｅ系合金粉末。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁性ペーストフィラー用合金粉末として用いられるＮｉ−Ｆｅ系合金粉末に関し、さらに詳しくは、高い透磁率を必要とするノイズフィルタ、チョークコイル、インダクタ又は磁気ヘッド等の電子回路部品や電波吸収体等の素材として用いるＮｉ−Ｆｅ系合金粉末に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般にパーマロイと呼ばれる、非常に高い透磁率を有するＮｉ−Ｆｅ合金が知られている。例えば、小型電子機器のスイッチング電源のＡ−Ｄ変換装置に用いられる高周波対応のノイズフィルタでは、直流成分が多いので、飽和磁化が高くかつ高い透磁率を示すＮｉ−Ｆｅ合金が優れた機能を発揮する。このようなノイズフィルタ用コアなどの電子機器部品は、主に粉末材料を樹脂と混合して成形するか、又は粉末冶金法によって成形されることが多い。従来、各種電子機器の部品の素材となるＮｉ−Ｆｅ合金粉末は、用途に応じて、ガスアトマイズ法又は機械的粉砕法によって製造されていた。しかしながら、従来、組成が均質で高い透磁率を示すサブミクロンの粒径のＮｉ−Ｆｅ系合金粉末は知られていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
機械的粉砕法による粉末は、粉砕工程で塑性歪みが生じ、磁気特性が大きく劣化し、本来Ｎｉ−Ｆｅ系合金が有している高い透磁率を活用することができなかった。また、圧縮成形性はよいが、十分な焼結密度を得るには、１０００℃以上の高温を要し、生産性が低い。ガスアトマイズ法による粉末は、形状成形性に劣り、成形が容易でない。また、これらの従来の粉末は粒径が大きいので（通常数１０μｍ以上）、薄膜を製造することができない。
【０００４】
本発明は透磁率は高いが、電気抵抗が低いため高周波での特性に難があるパーマロイ合金に改善を施し、高周波帯で使用可能にする技術を提供使用とするものである。このためには、厚さ１μｍ程度の薄膜を製造できるようにしなければならない。このような薄膜は、圧延によって製造することができない。本発明はこのような厚さの薄い製品の作成を可能とする技術を提供する。つまり、厚さ１μｍ程度のパーマロイヘッド又は磁心を作製することができるようなＮｉ−Ｆｅ系合金粉末を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために開発されたもので、気相還元法を用いて製造され、Ｎｉ及びＦｅを合計９０質量％以上含有し、平均粒径が０．１〜１μｍで、Ｆｅ／（Ｆｅ＋Ｎｉ）の平均値が１５質量％以上２５質量％以下であり、各粒子の中心から粒子半径の０．９倍までの範囲内の粒子内の各点におけるＦｅ／（Ｆｅ＋Ｎｉ）の最大値Ｘと最小値Ｙとの比Ｘ／Ｙが１〜２であることを特徴とするＮｉ−Ｆｅ系合金粉末である。この場合、さらに、合金粉末中のＦｅ／（Ｆｅ＋Ｎｉ）の平均値が１８質量％以上２２質量％以下であると一層好適である。
【０００６】
上記Ｘ及びＹの値は粉末を樹脂に埋めて集束イオンビーム（ＦＩＢ）加工装置で任意の粒子を切断した断面をエネルギー分散型Ｘ線分析法（ＥＤＸ）により分析して得られたＦｅ／（Ｎｉ＋Ｆｅ）の最大値をＸとし、最小値をＹとする。比Ｘ／Ｙが１〜２であることは、粒子の内部の均質性を担保するものである。ここで、粒子の中心から粒子半径の０．９倍までの範囲内の粒子内を採ったのは、粒子の表面は酸化の影響を受けているのでこれを除外し、酸化の影響を受けていない粒子内部の状況により均質性を確認するようにしたものである。
【０００７】
上記Ｎｉ−Ｆｅ系合金粉末は、各粒子内の前記した比Ｘ／Ｙが１〜２である粒子の合計が、粉末全体の８０質量％以上であるように均質であることが望ましい。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のＮｉ−Ｆｅ系合金粉末について、さらに詳しく説明する。本発明のＮｉ−Ｆｅ系合金はＮｉ及びＦｅの合計が９０質量％以上とする。ＮｉとＦｅの合計が９０質量％未満では磁束密度が低下し、透磁率が悪化するので不可である。なお、上記Ｎｉ−Ｆｅ系合金粉末におけるＮｉ及びＦｅ以外の成分については、特に限定するものではない。Ｎｉ−Ｆｅ合金の透磁率その他の電磁気特性を改善するために、従来、各種パーマロイに通常用いられている成分、例えばＭｏ，Ｃｏ，Ｃｒ，ＣｕおよびＭｎ等から選ばれた１種又は複数の成分を含有してもよい。
【０００９】
本発明のＮｉ−Ｆｅ系合金粉末におけるＮｉ及びＦｅの量としてＮｉ＋Ｆｅに対してＮｉ：７５〜８５質量％及びＦｅ：１５〜２５質量％を含有する組成とした。これは本発明が対象とする材料に要求される特性が高透磁率であることによる。すなわち、この組成範囲を外れると初透磁率は２０００以下となり、高透磁率材料としての要求を満足することができない。さらに好適にはＮｉ＋Ｆｅに対してＮｉ：７８〜８２質量％及びＦｅ：１８〜２２質量％である。
【００１０】
図３は、Ｎｉ−Ｆｅ系合金におけるＦｅ／（Ｎｉ＋Ｆｅ）の値を横軸にとり、透磁率を縦軸にとってその関係を示す特性曲線のグラフである。Ｆｅ／（Ｎｉ＋Ｆｅ）の値が２０質量％近傍で著しいピークを示しており、Ｆｅ／（Ｎｉ＋Ｆｅ）の値が２０質量％近傍の１５〜２５質量％で優れた特性を示している。さらに好ましくは１８〜２２質量％とすれば一層好適である。
【００１１】
ＮｉおよびＦｅの含有量は、原料のＮｉ塩化物（例えば、ＮｉＣｌ2）およびＦｅ塩化物（例えば、ＦｅＣｌ3）の混合比の調整、そして必要に応じて反応温度等の条件を調節することによって、変化させることができる。
【００１２】
次に、Ｎｉ−Ｆｅ系合金粉末の平均粒径を０．１〜１．０μｍとする。低い焼結温度にて所望の十分な磁気特性を得るためには、平均粒径を上記の範囲に規制する必要がある。この粒径範囲は気相還元法を用いて極めて細かい微粉を製造する条件下で得ることができる。このようなＮｉ−Ｆｅ系合金粉末の微細化は、従来製品では実現されていない。この微細化により、薄膜の製品を製造することができ、電子機器の使用周波数の高周波化を達成することが可能となり、磁気的損失の低減を図ることができるという効用ももたらす。
【００１３】
粉末の平均粒径が０．１μｍ未満の超微細粒は、粉末の表面活性が高いために大気中での取り扱いが難しく、また、生産性が低く、生産効率を著しく阻害する。一方、平均粒径が１．０μｍをこえた場合も、気相還元の滞留時間を著しく長くする必要があり、生産効率が著しく阻害され、経済性が損なわれる。
【００１４】
上記の条件を満足するＮｉ−Ｆｅ系合金粉末は、気相還元法を用いて、製造時の種々の条件を適正に制御することによって、有利に製造することができる。
【００１５】
気相還元法の具体的な条件については、粉末製造の生産効率や目標成分範囲内での許容度などを考慮して、原料中の原料塩化物の配合比、反応温度および反応ガス流量などの諸条件を適正に適宜選択して設定することによって得ることができる。
【００１６】
【実施例】
（実施例１）
工業的規模の気相化学反応装置を用い、Ｆｅ／（Ｎｉ+Ｆｅ）の値が２０質量％となるように調整した純度９９．５質量％のＮｉＣｌ2と純度９９．５質量％のＦｅＣｌ3との混合物をこの装置に連続的に装入し、９００℃に加熱した状態において、アルゴンガスを搬送ガスとして、ＮｉＣｌ2及びＦｅＣｌ3の蒸気を上記反応装置で反応させた。そして、反応装置の出側において、塩化物蒸気と水素ガスとを接触、混合させ、還元反応を起こさせて、Ｎｉ−Ｆｅ合金の微粉末を生成した。
【００１７】
得られた生成粉末の化学組成は、Ｎｉ：７９．６質量％、Ｆｅ：１９．８質量％に少量の酸素が含まれていた。Ｎｉ，Ｆｅの組成は湿式法で測定した。粉体特性は、比表面積がＢＥＴ法による測定値で２．９２ｍ2／ｇであり、走査型電子顕微鏡の画像解析で測定した平均粒径は０．２３μｍであった。次に、バーコーター法により塗布し、１０００℃で焼成して作成した厚さ４μｍの単相膜の１０ＭＨｚにおける透磁率（μ）の値を表１に示す。
【００１８】
【表１】
0004209614.tif 000002
【００１９】
（実施例２〜４、比較例１、２）
実施例１と同様にＮｉ−Ｆｅ系合金粉末を製造し、実施例１と同様の方法で評価した。結果を表１に示す。
【００２０】
なお、実施例１〜４と比較例１、２は、還元に要する水素量を変えて製造した。すなわち、実施例１では水素量を理論量の数十倍とし、実施例２，３，４、比較例１，２の順に水素量を徐々に減らして、比較例２では水素の理論量の２倍とした。
【００２１】
表１から明らかなように、本発明のＮｉ−Ｆｅ系合金粉末は、非常に優れた磁気特性を示している。
【００２２】
また、表１に示す実施例１の粒子内のＦｅとＮｉの分布の例を図１に示した。図１の横軸は、粒子の中心位置を０とし、粒子の表面を１０とし、その間を１０等分した位置を示し、縦軸はＮｉ及びＦｅ濃度を示したものである。粒子の中心から粒子の半径の０．９倍までのＮｉ、Ｆｅの分布はそれぞれ８０±１．０、２０±１．０質量％の範囲内である。比較例２の粒子内のＮｉ及びＦｅの分布の測定例を図２に示した。図２の横軸は粒子の中心位置を０とし、粒子の表面位置を１０とし、その間を１０等分した位置を示している。縦軸はＮｉ及びＦｅ濃度である。比較例２では、表面近傍にＦｅが濃化し、中心部では５質量％まで低下し、粒子内濃度の均質性が得られていない。
【００２３】
【発明の効果】
本発明によれば、透磁率の高く高周波特性の優れたＮｉ−Ｆｅ系合金粉末を提供することが可能となる。従って、本発明のＮｉ−Ｆｅ系合金粉末は、電子機器の高周波化並びに小型化が急速に進展している技術的趨勢に対応できる電子部品素材として、今後重要な役割が期待される。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１の粒子内部の成分の分布を示すグラフである。
【図２】比較例２の粒子内部の成分の分布を示すグラフである。
【図３】Ｆｅ含有量と透磁率との関係を示すＮｉ−Ｆｅ系合金の特性を示すグラフである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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