(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材を搬送するための少なくとも２つの搬送部材と、
前記２つの搬送部材間における前記基材の搬送方向の左右両側に配置され、前記基材の両エッジ部を挟持する少なくとも１対の基材挟持部材と、
前記基材挟持部材を駆動する駆動手段と、
前記基材の搬送方向がずれた時にそのずれを修正するように前記駆動手段を制御する方向修正手段とを備え、
前記１対の基材挟持部材は、前記基材を押し付ける押付ローラをそれぞれ有し、各押付ローラが、それらの軸心を前記基材の搬送方向側で交差させるように前記基材の搬送方向に対して傾斜して配置され、
前記基材挟持部材は、前記２つの搬送部材間において前記基材の搬送方向に直線状に複数配置された前記押付ローラと、前記基材の搬送方向に延びる平板としての板状部材とで前記基材のエッジ部を挟持するように構成され、
前記駆動手段は、前記各押付ローラを個別に駆動する手段であることを特徴とする基材搬送装置。
【請求項２】
前記方向修正手段は、前記基材のエッジ位置を検出するエッジセンサと、前記エッジセンサにより前記基材の搬送方向ずれが検出されると、前記基材のずれ側の反対側で作動させる前記押付ローラの数が前記基材のずれ側で作動させる前記押付ローラの数よりも多くなるように前記駆動手段を制御する手段とを有することを特徴とする請求項１記載の基材搬送装置。
【請求項３】
前記方向修正手段は、前記基材のエッジ位置を検出するエッジセンサと、前記エッジセンサにより前記基材の搬送方向ずれが検出されると、前記基材のずれ側の反対側に位置する前記押付ローラの押付力が前記基材のずれ側に位置する前記押付ローラの押付力よりも高くなるように前記駆動手段を制御する手段とを有することを特徴とする請求項１記載の基材搬送装置。
【請求項４】
前記基材の厚さは、１００μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の基材搬送装置。
【請求項５】
請求項１記載の基材搬送装置により基材を搬送する工程と、
前記基材の搬送方向に配置された前記複数の押付ローラのうちのいずれか２つの押付ローラ間で、前記基材における前記基材挟持部材と接触する部分の内側の領域に塗工液を塗工して塗工膜を形成する工程とを有することを特徴とする基材塗工体の製造方法。
【請求項６】
前記基材として、その材質が熱可塑性ポリマー、ガラス繊維、アルミナ繊維のいずれかであるものを使用し、前記塗工液として、芳香族ポリアミド、芳香族ポリイミド、芳香族ポリアミドイミドのいずれかを含むものを使用することを特徴とする請求項５記載の基材塗工体の製造方法。
【請求項７】
前記基材として多孔質フィルムを使用することを特徴とする請求項６記載の基材塗工体の製造方法。
【請求項８】
前記基材の厚さは、１００μｍ以下であることを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項記載の基材塗工体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、織物、不織布、紙、フィルム（多孔質フィルムを含む）等の基材を搬送する基材搬送装置、及び、基材搬送装置により搬送される基材に塗工液を塗工して塗工膜を形成する基材塗工体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
複数のロールを有する基材搬送装置により織物、不織布、紙、フィルム等の基材を連続的に搬送させる場合には、基材が蛇行することにより、ロールから基材が脱線したり、基材の巻取りの端部が揃わない等の問題が発生することがある。このような基材の蛇行を修正する装置としては、例えば特公平７−５９４５５号公報や特開平９−１０９３５９号公報に記載されているものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術においては、ガイドロール等が基材の幅方向全体に接するため、基材の受ける変形や破損等のダメージが大きく、品質の良好な製品が得られなくなる虞れがある。
【０００４】
本発明の目的は、基材に大きなダメージを与えることなく、基材の搬送方向ずれを修正することができる基材搬送装置および基材塗工体の製造方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る基材搬送装置は、基材を搬送するための少なくとも２つの搬送部材と、２つの搬送部材間における基材の搬送方向の左右両側に配置され、基材の両エッジ部を挟持する少なくとも１対の基材挟持部材と、基材挟持部材を駆動する駆動手段と、基材の搬送方向がずれた時にそのずれを修正するように駆動手段を制御する方向修正手段とを備え、１対の基材挟持部材は、基材を押し付ける押付ローラをそれぞれ有し、各押付ローラが、それらの軸心を基材の搬送方向側で交差させるように基材の搬送方向に対して傾斜して配置され、基材挟持部材は、２つの搬送部材間において基材の搬送方向に直線状に複数配置された押付ローラと、基材の搬送方向に延びる平板としての板状部材とで基材の端部を挟持するように構成され、駆動手段は、各押付ローラを個別に駆動する手段であることを特徴とするものである。
【０００６】
このように構成した本発明においては、１対の基材挟持部材の各押付ローラを、それらの軸心が基材の搬送方向側で交差するように基材の搬送方向に対して傾斜させて配置することにより、基材の搬送方向にかかる張力が押付ローラを介して基材の幅方向外側に作用するようになる。このとき、方向修正手段により基材の左右両側で幅方向外側にかかる張力を調整することで、基材の搬送方向ずれを修正することが可能となる。具体的には、基材が搬送方向に対して右側にずれたときは、左側のエッジ部にかかる張力が右側のエッジ部にかかる張力よりも大きくなるように駆動手段を制御し、基材が搬送方向に対して左側にずれたときは、右側のエッジ部にかかる張力が左側のエッジ部にかかる張力よりも大きくなるように駆動手段を制御する。このようにする事により、１対の基材挟持部材により基材の両エッジ部のみを挟持した場合であっても、基材の搬送方向ずれを修正することができるので、基材に大きなダメージを与えることはほとんど無い。
【０００７】
好ましくは、方向修正手段は、基材のエッジ位置を検出するエッジセンサと、エッジセンサにより基材の搬送方向ずれが検出されると、基材のずれ側の反対側で作動させる押付ローラの数が基材のずれ側で作動させる押付ローラの数よりも多くなるように駆動手段を制御する手段とを有する。これにより、エッジセンサの検出結果に応じて、基材の左右両側における幅方向外側にかかる張力が調整されるため、基材の搬送方向ずれの修正を自動的に行うことができる。
【０００８】
また、方向修正手段は、基材のエッジ位置を検出するエッジセンサと、エッジセンサにより基材の搬送方向ずれが検出されると、基材のずれ側の反対側に位置する押付ローラの押付力が基材のずれ側に位置する押付ローラの押付力よりも高くなるように駆動手段を制御する手段とを有してもよい。この場合も、エッジセンサの検出結果に応じて、基材の左右両側における幅方向外側にかかる張力が調整されるため、基材の搬送方向ずれの修正を自動的に行うことができる。
【０００９】
さらに、方向修正手段は、基材のエッジ位置を検出するエッジセンサと、エッジセンサにより基材の搬送方向ずれが検出されると、基材のずれ側の反対側に位置する押付ローラの基材搬送方向に対する傾斜角度が基材のずれ側に位置する押付ローラの基材搬送方向に対する傾斜角度よりも大きくなるように駆動手段を制御する手段とを有してもよい。この場合も、エッジセンサの検出結果に応じて、基材の左右両側における幅方向外側にかかる張力が調整されるため、基材の搬送方向ずれの修正を自動的に行うことができる。
【００１０】
なお、エッジセンサは、基材の両エッジ位置を検出するものであってもよいし、基材の片方のエッジ位置を検出するものであってもよい。また、基材の片方のエッジ位置を検出する場合、エッジセンサの数は、２個以上でもよいし、１個でもよい。
【００１２】
また、基材挟持部材は、押付ローラと板状部材とで基材のエッジ部を挟持するように構成されていてもよい。この場合には、押付ローラを基材の搬送方向に複数配置した構成としたときに、板状部材として長板を基材の搬送方向に延びるように配置することで、複数の押付ローラと１枚の板状部材とで基材のエッジ部を挟持できる。これにより、基材挟持部材を構成する部品数を減らすことができる。
【００１３】
さらに、好ましくは、押付ローラは、２つの搬送部材間における基材の搬送方向の左右両側にそれぞれ複数配置されている。これにより、基材の搬送方向ずれの修正を効果的に行うことができる。
【００１４】
本発明に係る基材塗工体の製造方法は、上述した基材搬送装置により基材を搬送する工程と、基材の搬送方向に配置された複数の押付ローラのうちのいずれか２つの押付ローラ間で、基材における基材挟持部材と接触する部分の内側の領域に塗工液を塗工して塗工膜を形成する工程とを有することを特徴とするものである。
【００１５】
このような基材塗工体の製造方法においては、基材に塗工液を塗工する部位（塗工部）の上流側および下流側に、基材挟持部材が配置されることになる。このように塗工部の上流側に基材挟持部材を配置することによって、塗工前に基材の搬送方向ずれが修正されるため、基材の塗工位置がずれることが防止され、塗工液の塗工精度が高くなる。また、塗工部の下流側にも基材挟持部材が配置されるが、この基材挟持部材は基材の幅方向全体ではなく、基材の両エッジ部を挟持するものであり、しかも、基材挟持部材によって、塗工液が固化して安定するまで、基材の搬送方向ずれの修正を行うことができるため、基材に塗工した塗工液が基材挟持部材に触れることが防止される。従って、基材に大きなダメージを与えることはほとんど無い。
【００１６】
好ましくは、基材として、その材質が熱可塑性ポリマー、ガラス繊維、アルミナ繊維のいずれであるものを使用し、塗工液として、芳香族ポリアミド、芳香族ポリイミド、芳香族ポリアミドイミド等の耐熱性樹脂を１種または２種以上含むものを使用する。これにより、基材上には耐熱性を有する層が形成される。
【００１７】
この場合、基材として多孔質フィルムを使用することが好ましい。より好ましくは、基材として熱可塑性ポリマーからなる多孔質フィルムを用い、塗工液として、芳香族ポリアミド、芳香族ポリイミド、芳香族ポリアミドイミドのいずれかを含むものを用いる。このようにして得られた基材塗工体は、二次電池用セパレータとして好適に使用できる。
また、基材の厚さは、１００μｍ以下であることが好ましい。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る基材搬送装置および基材塗工体の製造方法の好適な実施形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
まず、本発明の第１の実施形態を図１〜図８により説明する。図１は、本実施形態の基材搬送装置の概略を示す構成図であり、図２はその平面図である。これらの図において、基材搬送装置１は、基材塗工体を製造（製膜ともいう）する製膜装置に備えられるものであり、この製膜装置は、織物、不織布、紙、樹脂フィルム（多孔質フィルムを含む）、金属フィルム等の基材２に塗工液（以下、ドープという）Ｄを塗工することで、基材２に樹脂膜を形成する。基材２としては、幅寸法が１５０〜１０００ｍｍ程度であり、厚さが通常１００μｍ以下、好ましくは５０μｍ以下、より好ましくは２５μｍ以下のものが用いられる。なお、本実施形態で使用する基材２及びドープＤについては、後で詳述する。
【００２０】
基材搬送装置１は、巻き出し機３を有し、この巻き出し機３から巻き出された基材２は、ガイドロール（搬送部材）４を介して塗工部５に送られる。塗工部５は、基材２を支持する支持台６と、この支持台６の上部に設けられドープＤをせき止めるダム部７とを有し、ダム部７の吐出口７ａからドープＤを基材２の搬送方向に連続的に送り出し、基材２上に塗工膜Ｓを形成する。この塗工膜Ｓが形成された基材２は、乾燥炉８内の析出部に送られ、この析出部で析出処理が行われた後、ガイドロール（搬送部材）９を介して凝固部に送られる。
【００２１】
ガイドロール４と塗工部５との間における基材２の搬送方向の左右両側には、基材２の両エッジ部をそれぞれ挟持する１対の基材挟持部材１０ａ，１０ｂが配置されている。また、塗工部５とガイドロール９との間における基材２の搬送方向の左右両側には、塗工膜Ｓが形成された基材２の両エッジ部をそれぞれ挟持する１対の基材挟持部材１１ａ，１１ｂが配置されている。なお、上述した塗工部５は、基材２における基材挟持部材１１ａ，１１ｂと接触する部分の内側の領域にドープＤを塗工するように構成されている。
【００２２】
基材挟持部材１０ａ，１０ｂは、押付ローラ１２と平板１３とで構成されている。基材挟持部材１１ａ，１１ｂは、基材２の搬送方向に直線状に配置された複数（ここでは６つ）の押付ローラ１２と、基材２の搬送方向に延びる平板１４とで構成されている。ここで、平板１４を長板とし、１枚の平板１４と複数の押付ローラ１２とで基材２のエッジ部を挟むようにしたので、基材挟持部材１１ａ，１１ｂを構成する部品の数が少なくて済む。左右両側の各押付ローラ１２は、それらの軸心を基材２の搬送方向側で交差させるように基材２の搬送方向に対して傾斜して配置されている。なお、押付ローラ１２は、図示しない傾斜角調整手段によって、その傾斜角度を調節できるようになっている。また、押付ローラ１２の直径は例えば３０ｍｍであり、幅は例えば５ｍｍである。
【００２３】
各押付ローラ１２は、図３に示すように、その軸部がエアーシリンダ１５のピストンロッド１５ａに連結されている。なお、エアーシリンダ１５は、取付アーム（図示せず）に固定されている。このエアーシリンダ１５によって、押付ローラ１２が平板１３，１４に対して接触・離間可能であると共に、押付ローラ１２と平板１３，１４との押し付け荷重が調節可能となっている。このようなエアーシリンダ１５の制御系構成図を図４に示す。
【００２４】
同図において、複数本のエアーシリンダ１５は、通常用シリンダ１５ｒと修正用シリンダ１５ｓとからなり、これらは基材２の搬送方向に交互に配置されている。左右両側の通常用シリンダ１５ｒと空気圧源１６との間には圧力調整弁１７ａ，１７ｂがそれぞれ接続されており、これら圧力調整弁１７ａ，１７ｂによって左右の各通常用シリンダ１５ｒの作動圧力を調整することで、基材２の走行バランスをとっている。修正用シリンダ１５ｓと空気圧源１６との間には圧力調整弁１８が接続されており、この圧力調整弁１８によって、基材２の搬送方向ずれの修正の度合い（速度）を調整する。
【００２５】
圧力調整弁１８と左右両側の修正用シリンダ１５ｓとの間には電磁バルブ１９ａ，１９ｂがそれぞれ接続されており、この電磁バルブ１９ａ，１９ｂによって修正用シリンダ１５ｓの駆動／停止及びストローク方向を切り換える。具体的には、電磁バルブ１９ａ，１９ｂが図５（ａ）に示す位置（以下、加圧位置という）にあるときは、空気圧源１６からの空気が修正用シリンダ１５ｓのボトム側に供給され、これにより修正用シリンダ１５ｓのピストンロッドが下側（ロッド側）に移動する。一方、電磁バルブ１９ａ，１９ｂが図５（ｂ）に示す位置（以下、開放位置という）にあるときは、空気圧源１６からの空気が修正用シリンダ１５ｓのロッド側に供給され、これにより修正用シリンダ１５ｓのピストンロッドが上側（ボトム側）に移動する。また、電磁バルブ１９ａ，１９ｂが図示しないオフ位置にあるときは、修正用シリンダ１５ｓへの空気の供給が遮断され、修正用シリンダ１５ｓが停止状態となる。
【００２６】
なお、電磁バルブとしては、図示のような形式のものには限定されず、例えばセレックスバルブ等も使用できる。また、エアーシリンダとしては、図示のような直線駆動式のシリンダには限定されず、回転駆動式のシリンダ等も使用できる。
【００２７】
電磁バルブ１９ａは、エッジセンサ２０ｂからの電気信号によって加圧位置と開放位置とが切り換えられ、電磁バルブ１９ｂは、エッジセンサ２０ａからの電気信号によって加圧位置と開放位置とが切り換えられる。エッジセンサ２０ａ，２０ｂは、ガイドロール９の下流側において基材２の両エッジ位置を検出するものであり、例えば光センサ等で構成されている。エッジセンサ２０ａは、基材２が右側に所定量ずれるとオン信号を出力し、エッジセンサ２０ｂは、基材２が左側に所定量ずれるとオン信号を出力する。
【００２８】
なお、エッジセンサとしては、上記のものに限らず、基材２の片方のエッジ位置を検出するものであってもよい。この場合、エッジセンサの数は、２個以上でもよいし、１個でもよい。要は、エッジセンサとしては、基材２のエッジ位置を検出することによって、基材２の搬送方向ずれを検出するものであれば何でも良い。
【００２９】
ここで、空気圧源１６、圧力調整弁１７ａ，１７ｂ，１８、電磁バルブ１９ａ，１９ｂ、エッジセンサ２０ａ，２０ｂは、基材２の搬送方向がずれた時にそのずれを修正するようにエアーシリンダ１５を制御する方向修正手段を構成する。
【００３０】
このような基材搬送装置１において、基材２が図６（ａ）に示すように搬送方向に対してほぼ直進状態で走行しているときは、エッジセンサ２０ａ，２０ｂの出力信号は共にオフ信号であるので、電磁バルブ１９ａ，１９ｂはオフ位置にある。このため、複数本のエアーシリンダ１５のうち全ての修正用シリンダ１５ｓは作動せず、通常用シリンダ１５ｒのみが作動する。この場合には、基材２の左右両側において、通常用シリンダ１５ｒにより駆動される押付ローラ１２のみで基材２を押し付ける。
【００３１】
このような状態から、基材２が図６（ｂ）に示すように搬送方向に対して右側にずれると、エッジセンサ２０ａの出力信号がオン信号となり、電磁バルブ１９ｂが加圧位置に切り換えられる。これにより、空気圧源１６からの空気が左側の全ての修正用シリンダ１５ｓのボトム側に送られるため、その修正用シリンダ１５ｓに対応する押付ローラ１２が作動するようになる。つまり、基材２の右側では、通常用シリンダ１５ｒにより駆動される押付ローラ１２のみで基材２を押し付け、基材２の左側では、全ての押付ローラ１２で基材２を押し付ける。
【００３２】
ここで、押付ローラ１２を基材２に対して押し付けると、押付ローラ１２は変形して基材２に対し線接触した状態となる。また、各押付ローラ１２は、上述したように、それらの軸心を基材２の搬送方向側で交差させるように基材２の搬送方向に対して傾斜されている。このため、図７（ａ）に示すように、Ａ点で押付ローラ１２と接した基材２は、基材２の走行に応じた押付ローラ１２の回転によってＡ点の外側のＢ点に移動することになる。これによって、図７（ｂ）に示すように、基材２の搬送方向にかかる張力Ｗが押付ローラ１２を介して基材２の幅方向外側に作用し、基材２の幅方向外側に張力Ｐがかかるようになる。
【００３３】
そこで、上記のように基材２の左側で作動させる押付ローラ１２の数を基材２の右側で作動させる押付ローラ１２の数よりも多くすると、基材２の左側に作用する張力Ｐが基材２の右側に作用する張力Ｐよりも大きくなる。これにより、基材２は左側に移動し、基材２は図６（ａ）に示すように搬送方向に対してほぼ直進状態で走行するようになる。すると、エッジセンサ２０ａの出力信号がオフ信号となり、電磁バルブ１９ｂが開放位置に切り換えられ、空気圧源１６からの空気が左側の全ての修正用シリンダ１５ｓのロッド側に送られるため、その修正用シリンダ１５ｓに対応する押付ローラ１２が基材２から離れる。
【００３４】
また、基材２が図６（ｃ）に示すように搬送方向に対して左側にずれると、エッジセンサ２０ｂの出力信号がオン信号となり、電磁バルブ１９ａが開放位置から加圧位置に切り換えられる。これにより、空気圧源１６からの空気が右側の全ての修正用シリンダ１５ｓのボトム側に送られるため、その修正用シリンダ１５ｓに対応する押付ローラ１２が作動するようになる。つまり、基材２の左側では、通常用シリンダ１５ｒにより駆動される押付ローラ１２のみで基材２を押し付け、基材２の右側では、全ての押付ローラ１２で基材２を押し付ける。このため、基材２の右側に作用する張力Ｐが基材２の左側に作用する張力Ｐよりも大きくなる。これにより、基材２は右側に移動し、基材２は図６（ａ）に示すように搬送方向に対してほぼ直進状態で走行するようになる。すると、エッジセンサ２０ｂの出力信号がオフ信号となり、電磁バルブ１９ａが開放位置に切り換えられ、空気圧源１６からの空気が右側の全ての修正用シリンダ１５ｓのロッド側に送られるため、その修正用シリンダ１５ｓに対応する押付ローラ１２が基材２から離れる。
【００３５】
このように基材２の搬送方向が左右両側にずれても、エッジセンサ２０ａ，２０ｂにより基材２のずれ方向を検出し、これに応じて作動させる押付ローラ１２の数を左右両側で変えることによって、基材２の搬送方向ズレが自動的に修正される。
【００３６】
上記の基材２の幅方向外側に加わる張力Ｐは、押付ローラ１２の傾斜角度を調整したり、圧力調整弁１７ａ，１７ｂ，１８によりエアーシリンダ１５の作動圧を変えることで押付ローラ１２と平板１３，１４との押し付け荷重を調整することによって、適宜変更することができる。
【００３７】
また、基材２の幅方向外側に張力Ｐを効率良くかけるには、図８に示すような構成を採用するのが好ましい。同図において、押付ローラ１２の外周面にはゴムリング２１が装着されており、押付ローラ１２における基材２との当たり面の動摩擦係数を大きくしている。この動摩擦係数は、具体的には０．１〜１０であることが好ましい。これにより、基材２の幅方向外側への張力Ｐがより効果的に作用するようになる。また、押付ローラ１２にゴムリング２１を設けることによって、押付ローラ１２が基材２に当たることで生じる基材２の変形や破損を防止できるという効果もある。平板１３，１４の上面部には、ポリテトラフルオロチレン（登録商標名：テフロン）製の板材２２が設けられており、平板１３，１４における基材２との当たり面の動摩擦係数を小さくしている。この動摩擦係数は、具体的には１．０以下であることが好ましい。このような板材２２によって、基材２の幅方向外側への張力Ｐを更に効率良くかけることが可能となる。
【００３８】
以上のように構成した基材搬送装置１を備えた製膜装置により製膜処理を行う場合、巻き出し機３から巻き出された基材２は塗工部５に送られ、この塗工部５において、基材２における基材挟持部材１１ａ，１１ｂと接触する部分の内側の領域にドープＤを塗工して塗工膜Ｓを形成する。このとき、ガイドロール４と塗工部５との間に配置された基材挟持部材１０ａ，１０ｂによって、基材２の搬送方向ズレが修正される。これにより、基材２の塗工位置が所望の位置からずれることが防止され、ドープＤの塗工精度が高くなる。
【００３９】
この塗工膜Ｓが形成された基材２は、乾燥炉８を介して次の工程に送られる。このとき、塗工部５とガイドロール９との間に配置された基材挟持部材１１ａ，１１ｂによって、基材２の搬送方向ズレが修正される。このため、ガイドロール９から基材２が脱線したり、基材２の巻取りの端部が揃わなくなること等が防止される。しかも、基材挟持部材１１ａ，１１ｂは、基材２の両エッジ部のみを挟持するので、基材２に塗工したドープＤが基材挟持部材１１ａ，１１ｂに触れる可能性は少なく、これにより、塗工膜Ｓが固化して安定するまで、ドープＤを乱さないで基材２の搬送方向ずれの修正を行うことができる。
【００４０】
その後、塗工膜Ｓが固化した基材２は、次の工程に順次送られ、所定の処理が行われ、巻き取り機９に巻き取られる。その後、必要に応じ、基材２における基材挟持部材１０ａ，１０ｂ及び基材挟持部材１１ａ，１１ｂと接触した部分を切断することにより、品質の高い製品を得ることができる。
【００４１】
次に、本実施形態で使用される基材２及びドープＤについて説明する。基材２及びドープＤは、その目的に応じて適宜選択することができる。
【００４２】
基材２の材質としては、有機物でも無機物でもよく、また合成物でも天然物でもよい。有機物としては、具体的には熱可塑性ポリマーがあげられる。熱可塑性ポリマーとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、レーヨン、ビニロン、ポリエステル、アクリル、ポリスチレン、ナイロン等があげられる。無機物としては、ガラス繊維、アルミナ繊維等があげられる。
【００４３】
ドープＤとしては、塗工により基材２上に耐熱性を有する層を形成するためには、耐熱樹脂を含むドープを用いる。耐熱樹脂としては、芳香族ポリアミド（以下、アラミドということがある）、芳香族ポリイミド（以下、ポリイミドということがある）、芳香族ポリアミドイミド等があげられる。
【００４４】
アラミドとしては、例えばメタ配向芳香族ポリアミド（以下、メタアラミドということがある）、パラ配向芳香族ポリアミド（以下、パラアラミドということがある）等があげられ、多孔質になりやすい点ではパラアラミドが好ましい。
【００４５】
ここで、パラアラミドとは、パラ配向芳香族ジアミンとパラ配向芳香族ジカルボン酸ハライドの縮合重合により得られるものであり、アミド結合が芳香族環のパラ位またはそれに準じた配向位（例えば、４，４’−ビフェニレン，１，５−ナフタレン，２−６−ナフタレン等のような反対方向に同軸または平行に延びる配向位）で結合される繰り返し単位から実質的になるものである。
【００４６】
具体的には、ポリ（パラフェニレンテレフタルアミド）、ポリ（パラベンズアミド）、ポリ（４，４’−ベンズアニリドテレフタルアミド）、ポリ（パラフェニレン−４，４’−ビフェニレンジカルボン酸アミド）、ポリ（パラフェニレン−２，６−ナフタレンジカルボン酸アミド）、ポリ（２−クロロ−パラフェニレンテレフタルアミド）、パラフェニレンテレフタルアミド／２，６−ジクロロパラフェニレンテレフタルアミド共重合体等のパラ配向型またはパラ配向型に準じた構造を有するパラアラミドが例示される。
【００４７】
本実施形態におけるパラアラミドは、極性有機溶媒に溶けて低粘度の溶液とすることができ、塗工性が優れるので、固有粘度１．０〜２．８ｄｌ／ｇであることが好ましく、固有粘度１．７〜２．５ｄｌ／ｇであることがより好ましい。これにより、十分なフィルム強度が得られると共に、安定したパラアラミド溶液となってフィルム化が容易になる。
【００４８】
ここで、極性有機溶媒としては、例えば極性アミド系溶媒または極性尿素系溶媒であり、具体的には、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド，Ｎ−メチル−２−ピロリドン、テトラメチルウレア等があげられるが、これらに限定されるものではない。
【００４９】
本実施形態におけるパラアラミドは、多孔質であり、フィブリル状ポリマーであることが好ましい。このフィブリル状ポリマーは、微視的には不織布状であり、層状で多孔状の空隙を有するものであり、いわゆるパラアラミド多孔質樹脂を形成している。
【００５０】
本実施形態で使用されるポリイミドとしては、芳香族の二酸無水物とジアミンの縮重合で製造される全芳香族ポリイミドが好ましい。二酸無水物の具体例としては、ピロメリット酸二無水物、３，３’，４，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン 酸二無水物、２，２’−ビス（３，４−ビカルボキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、３，３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物などがあげられる。ジアミンの具体例としては、オキシジアニリン、パラフェニレンジアミン、ベンゾフェノンジアミン、３，３’−メチレンヂアニリン、３，３’−ジアミノジフェニルスルフォン、１，５’−ナフタレンジアミンなどがあげられるが、これらに限定されるものではない。本実施形態では、ポリイミド溶液から直接的に多孔質フィルムを作成する場合には、溶媒に可溶なポリイミドが好適に使用できる。このポリイミドとしては、例えば、３，３’，４，４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物と、芳香族ジアミンとの重縮合物のポリイミドがあげられる。
【００５１】
ポリイミドに用いる極性有機溶媒としては、アラミドの記載箇所で例示したもののほか、ジメチルスルホキサイド、クレゾール、ｏ−クロロフェノール等が好適に使用できる。
【００５２】
耐熱樹脂を含むドープは、セラミック粉末を含んでしてもよい。このセラミック粉末は、耐熱樹脂と絡まって、塗工フィルム全体または部分的に分散して配置している。
【００５３】
セラミック粉末は、強度に与える影響、塗工面の平滑性の点より、一次粒子の平均粒径が１．０μｍ以下であることが好ましく、０．５μｍ以下であることがより好ましい。一次粒子の平均粒径は、電子顕微鏡により得た写真を、粒子径計測器で解析する方法によって測定する。
【００５４】
セラミック粉末としては、電気絶縁性の金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物等からなるセラミック粉末があげられ、例えばアルミナ、シリカ、二酸化チタンまたは酸化ジルコニウム等の粉末が好ましく用いられる。上記セラミック粉末は、単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いることもできる。
【００５５】
以上のような本実施形態にあっては、左右両側の押付ローラ１２を、その軸心が基材２の搬送方向側で交差するように傾斜させると共に、作動させる押付ローラ１２の数を基材２の左右両側で変えることによって、基材２の搬送方向ズレを修正するようにしたので、基材２に与えるダメージは少なく、その結果欠陥の少ない製品が得られる。
【００５６】
なお、本実施形態では、押付ローラ１２と平板１３，１４とで基材２の両エッジ部を挟持する構成としたが、平板の代わりに、上面（基材２と接触する側の面）が曲面形状をなした板材やバー等を用いてもよい。
【００５７】
本発明の第２の実施形態を図９〜図１１により説明する。本実施形態では、押付ロール１２を駆動するエアーシリンダの構成が第１の実施形態と異なっている。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００５８】
本実施形態の基材搬送装置３１は、図９に示すような２重構造のエアーシリンダ部３２を有し、このエアーシリンダ部３２は、両ロッド型シリンダである下側エアーシリンダ３３と、片ロッド型シリンダである上側エアーシリンダ３４とからなっている。そして、下側エアーシリンダ３３の一方のピストンロッド３３ａが押付ロール１２の軸部に連結され、下側エアーシリンダ３３の他方のピストンロッド３３ｂが上側エアーシリンダ３４のピストンロッド３４ａと連結されている。このようなエアーシリンダ部３２の制御系構成図を図１０に示す。
【００５９】
同図において、空気源１６と各下側エアーシリンダ３３との間には圧力調整弁３５ａ，３５ｂが接続され、空気源１６と各上側エアーシリンダ３４との間には圧力調整弁３６が接続されている。この圧力調整弁３６と左右両側の各上側エアーシリンダ３４との間には、電磁バルブ３７ａ，３７ｂがそれぞれ接続されている。この電磁バルブ３７ａ，３７ｂの構成は、図４に示す電磁バルブ１９ａ，１９ｂと同じである。
【００６０】
電磁バルブ３７ａは、エッジセンサ２０ｂからの信号によって加圧位置と開放位置とが切り換えられ、電磁バルブ３７ｂは、エッジセンサ２０ａからの信号によって加圧位置と開放位置とが切り換えられる。電磁バルブ３７ａ，３７ｂが図１０に示すような位置（加圧位置）にあるときは、空気圧源１６からの空気が上側エアーシリンダ３４のボトム側に供給され、これにより下側エアーシリンダ３３及び上側エアーシリンダ３４の両方で押付ロール１２が作動する。この場合、押付ロール１２の押付力は、下側エアーシリンダ３３の作動圧と上側エアーシリンダ３４の作動圧３４との和となる。
【００６１】
このような基材搬送装置３１において、基材２が図１１（ａ）に示すように搬送方向に対してほぼ直進状態で走行しているときは、エッジセンサ２０ａ，２０ｂの出力信号は共にオフ信号であるので、電磁バルブ３７ａ，３７ｂは共にオフ位置にある。このため、基材２の左右両側において、上側エアーシリンダ３４は作動せず、下側エアーシリンダ３３のみが作動する。従って、押付ローラ１２の押付力は左右で同じである。
【００６２】
このような状態から、基材２が図１１（ｂ）に示すように搬送方向に対して右側にずれると、エッジセンサ２０ａの出力信号がオン信号となり、電磁バルブ３７ｂが加圧位置に切り換えられ、左側の上側エアーシリンダ３４が作動するようになる。つまり、基材２の右側では、下側エアーシリンダ３３のみが作動し、基材２の左側では、下側エアーシリンダ３３及び上側エアーシリンダ３４の両方が作動する。このため、左側の押付ロール１２の押付力が右側の押付ロール１２の押付力よりも大きくなるので、基材２の左側に作用する基材２の幅方向外側の張力（以下、単に張力という）が基材２の右側に作用する張力よりも大きくなる。これにより、基材２は左側に移動し、基材２は図１１（ａ）に示すように搬送方向に対してほぼ直進状態で走行するようになる。すると、エッジセンサ２０ａの出力信号がオフ信号となり、電磁バルブ３７ｂが開放位置に切り換えられるため、基材２の左側でも、下側エアーシリンダ３３のみが作動するようになる。
【００６３】
一方、基材２が図１１（ｃ）に示すように搬送方向に対して左側にずれると、エッジセンサ２０ｂの出力信号がオン信号となり、電磁バルブ３７ａが加圧位置に切り換えられ、右側の上側エアーシリンダ３４が作動する。この場合には、右側の押付ロール１２の押付力が左側の押付ロール１２の押付力よりも大きくなるため、基材２の右側に作用する張力が基材２の左側に作用する張力よりも大きくなる。これにより、基材２は右側に移動し、基材２は図１１（ａ）に示すように搬送方向に対してほぼ直進状態で走行するようになる。すると、エッジセンサ２０ｂの出力信号がオフ信号となり、電磁バルブ３７ａが開放位置に切り換えられるため、基材２の右側でも、下側エアーシリンダ３３のみが作動するようになる。
【００６４】
なお、本実施形態では、押付ロール１２を駆動するエアーシリンダを２重構造とすることで、押付ローラ１２の押付力を左右両側で変えるようにしたが、スムーズな搬送方向修正が可能であれば、１つのエアーシリンダにより左右の押付ローラ１２の押付力を変えてもよい。
【００６５】
本発明の参考実施形態を図１２により説明する。本実施形態では、基材挟持部材の構造が第１の実施形態と異なっている。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００６６】
図１２において、本実施形態の基材搬送装置４１は、基材２の搬送方向の左右両側に配置された複数対の基材挟持部材４２を有している。各基材挟持部材４２は上下１対の押付ローラ１２，１２で構成され、これらの押付ローラ１２，１２により基材２の両エッジ部を挟持する。左右両側に位置する押付ローラ１２は、それらの軸心を基材２の搬送方向側で交差させるように基材２の搬送方向に対して傾斜して配置されている。これにより、作動させる押付ローラ１２の数や押付ローラ１２の押付力を基材２の左右両側で変えることによって、基材２の搬送方向ズレを修正することができる。
【００６７】
また、基板２の変形や破損を防止する観点からは、押付ローラ１２の外周面の形状は、平面状または湾曲面状とし、局部的な応力集中が基材２にかからないようにするのが好ましい。このとき、上下１対の押付ローラ１２，１２の外周面を同じ形状にしてもよく、あるいは上下１対の押付ローラ１２，１２の一方の外周面を平面状とすると共に、他方の外周面を湾曲面状としてもよい。また、押付ローラ１２の外周面に、図８に示すようなゴムリングを装着してもよい。
【００６８】
以上、本発明に係る基材搬送装置の実施形態についていくつか説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、作動させる押付ローラ１２の数を基材２の左右両側で変えたり、押付ローラ１２の押付力を左右両側で変えるようにしたが、押付ローラ１２の基材搬送方向に対する傾斜角度を左右両側で変えることで、基材２の搬送方向ズレを修正することもできる。具体的には、傾斜角調整手段（図示せず）によって、基材２のずれ側の反対側に位置する押付ローラ１２の基材搬送方向に対する傾斜角度を、基材２のずれ側に位置する押付ローラ１２の基材搬送方向に対する傾斜角度よりも大きくする。この場合にも、基材２の左右両側における幅方向外側にかかる張力が調整されるため、基材２の搬送方向ずれを修正できる。
【００６９】
また、上記実施形態の基材搬送装置は、基材２にドープＤを塗工する製膜装置に備えられたものであるが、本発明に係る基材搬送装置は、ドープを塗工しない基材の搬送についても適用できる。また、ドープが塗工された基材の水洗、乾燥等の工程にも適用できる。
【００７０】
また、押付ローラ１２を上下動させる手段は、上記のような空気圧を用いるエアーシリンダに限定されるものでなく、油圧、電気動力、バネ等の弾性体を用いるものであってもよい。
【００７１】
さらに、本発明の基材搬送装置は、基材２を水平方向に走行させるものには限定されず、基材２を垂直方向または傾斜方向に走行させるものにも、適用可能である。
【００７２】
【発明の効果】
本発明によれば、１対の基材挟持部材の各押付ローラを、それらの軸心が基材の搬送方向側で交差するように基材の搬送方向に対して傾斜させると共に、各押付ローラを個別に駆動するようにしたので、１対の基材挟持部材により基材のエッジ部のみを挟持した場合であっても、基材の搬送方向ずれを確実に修正することができる。これにより、基材に与えるダメージは少なく、欠陥の少ない製品が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の実施形態による基材搬送装置の概略を示す構成図である。
【図２】  図１に示す基材搬送装置の平面図である。
【図３】  図１に示す押付ローラの駆動機構を示す図である。
【図４】  図３に示すエアーシリンダの制御系を示す構成図である。
【図５】  図４に示す電磁バルブの切換位置を示す図である。
【図６】  図１に示す基材搬送装置による基材の搬送方向ズレの修正動作を示す図である。
【図７】  図１に示す基材搬送装置による基材の搬送方向ズレの修正の原理を示す図であり、（ｂ）は（ａ）のＸ部を拡大したものである。
【図８】  図１に示す基材挟持部材の変形例を示す図である。
【図９】  本発明の第２の実施形態による基材搬送装置の押付ローラの駆動機構を示す図である。
【図１０】  図９に示すエアーシリンダ部の制御系を示す構成図である。
【図１１】  本発明の第２の実施形態による基材の搬送方向ズレの修正動作を示す図である。
【図１２】  本発明の参考実施形態による基材搬送装置の概略を示す構成図である。
【符号の説明】
１…基材搬送装置、２…基材、４…ガイドロール（搬送部材）、５…塗工部、９…ガイドロール（搬送部材）、１０ａ，１０ｂ…基材挟持部材、１１ａ，１１ｂ…基材挟持部材、１２…押付ローラ、１３…平板（板状部材）、１４…平板（板状部材）、１５…エアーシリンダ（駆動手段）、１６…空気圧源（方向修正手段）、１７ａ，１７ｂ…圧力調整弁（方向修正手段）、１８…圧力調整弁（方向修正手段）、１９ａ，１９ｂ…電磁バルブ（方向修正手段）、２０ａ，２０ｂ…エッジセンサ（方向修正手段）、３１…基材搬送装置、３２…エアーシリンダ部（駆動手段）、３５，３６…圧力調整弁（方向修正手段）、３７ａ，３７ｂ…電磁バルブ（方向修正手段）、４１…基材搬送装置、４２…基材挟持部材、Ｄ…ドープ（塗工液）、Ｓ…塗工膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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