(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハのいずれかの薄板状の製品を収納したケースないし収納するためのケースを、クリーンルーム内と外とで受け渡しする、ケース受け渡し装置であって、ケースを収納してクリーンルーム外を搬送移動するためのコンテナで、外雰囲気に影響されない密封性を有し、且つ、クリーンルーム内とケースの受け渡しを行うための第１のドアを設けたコンテナと、クリーンルーム内と前記コンテナとの間でケースの受け渡しを行うために、クリーンルームの外部との境部に設けられた第２のドアと、第１のドアを第２のドアに重なるように近づけた際に、第１のドアと第２のドアの外側全周に渡り、コンテナとクリーンルーム間の隙間を、密閉する第１の密閉機構と、第１のドアと第２のドアの内側において、第１のドアと第２のドアとの間を、密閉する第２の密閉機構とを備えており、ケースの受け渡しの際には、第１のドアを第２のドアに重なるように近づけ、第１の密閉機構により、第１のドアと第２のドアの外側全周に渡り、コンテナとクリーンルーム間の隙間を密閉した状態で、且つ、第２の密閉機構により、第１のドアと第２のドアの内側において、第１のドアと第２のドアとの間を、密閉した状態で、第１のドアと、第２のドアとを一体化した状態で同時に開き、コンテナとクリーンルーム間で、ケースの受け渡しを行うものであり、第２のドアのクリーンルームとは反対側に、エアーシヤワールームを併設したもので、エアーシヤワールーム内において、コンテナ、クリーンルーム間でケースの受け渡しを行うものであることを特徴とするケース受け渡し装置。
【請求項２】
請求項１に記載のケース受け渡し装置であって、前記第２のドアは、第１のドアと同じサイズ、形状を有するもので、前記第２の密閉機構は、第１のドアと第２のドアの内側全周に渡り、第１のドアと第２のドアとの間を、密閉するものであることを特徴とするケース受け渡し装置。
【請求項３】
請求項２に記載のケース受け渡し装置であって、コンテナは、その断面が円弧状で、半円筒状の、上へ突出した屋根部を設けたものであることを特徴とするケース受け渡し装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のケース受け渡し装置であって、第１の密閉機構、第２の密閉機構は、それぞれ、パッキンをコンテナとクリーンルーム間の隙間に介在させ、第１のドアと第２のドアとの間に介在させ、密閉するものであることを特徴とするケース受け渡し装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載のケース受け渡し装置であって、密閉機構により密閉する際に、第１のドアと第２のドアとの間隔を、所定幅にするように、コンテナを移動させるスライド機構を備えていることを特徴とするケース受け渡し装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子を作製する際に用いられる、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を収納したケース、ないし収納するためのケースを搬送し、クリーンルーム内と前記ケースの受け渡しする、ケース受け渡し装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体素子（チップ）の高密度化は激しく、０．３５μｍ設計ルールの６４ＭＤＲＡＭの量産もすでに始められ、０．２５μｍ設計ルールの２５６ＭＤＲＡＭの時代へと移ろうとしている。
更に、最近では、コスト低減を目指したチップ縮小が著しく、６４ＭＤＲＡＭを０．２５設計ルールまで微細化して、あるいは、２５６ＭＤＲＡＭを０．１８設計ルールまで微細化してチップ縮小化を行っている。
仮に、６４ＭＤＲＡＭを０．２μｍ設計ルールとすると、約１６ＭＤＲＡＭと同じチップ寸法となり、ビットコストは１６Ｍの約１／４になる。
ウエハサイズの大サイズ化をせず、現装置でコスト低減が達成されることとなる。
０．１８μｍ設計ルールは開発完了し、２０００年には０．１５μｍ設計ルールが開発完了予定とされている。
このような中、ウエハへ直接縮小投影するためのレチクルについても、ますます高精度、高品質のものが求められるようになってきた。
【０００３】
このため、半導体素子を形成するためのレチクル、およびこれらを作製するためのマスク（以降、これらを総称してフォトマスク呼ぶ）や、これに用いられるマスクブランクス、ガラス基板については、その保管、搬送についても、品質的に悪影響がでない方法が求められるようになってきた。
一般に、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板は、所定のケース（ボックス）に収納された状態で保管、搬送されて、各工程で処理されるが、所定のコンテナにケースを入れた状態で搬送する場合がある。
【０００４】
従来、クリーンルームの外からクリーンルーム内へケースの受け渡しを行う場合、ケースをビニール袋で密封し搬送した後、エアーパスボックスを介して製品の受け渡しをしていた。
しかし、この方法では、外部に付着したゴミがエアーパスボックスの能力で落としきれず、クリーンルーム内へ侵入するため、多くのケースをクリーンルーム内に入れることにより、クリーンルームのクリーン度の低下を招くということもある。
近年の半導体素子の高い集積化に伴い、ケースのクリーンルーム内への搬入に起因するクリーン度の低下が、品質に及ぼす影響が無視出来なくなってきた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
このように、近年の半導体素子の高集積化に伴い、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板を、クリーンルームの外からクリーンルーム内へ搬入する際に起こるクリーン度の低下が、無視できなくなってきて、その対応が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を収納したケースないし収納するためのケースを搬送し、クリーンルーム内と前記ケースを受け渡しする際に、ゴミ発生が極めて少ない、もしくはほとんど無い、ケース受け渡し装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のケース受け渡し装置は、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハのいずれかの薄板状の製品を収納したケースないし収納するためのケースを、クリーンルーム内と外とで受け渡しする、ケース受け渡し装置であって、ケースを収納してクリーンルーム外を搬送移動するためのコンテナで、外雰囲気に影響されない密封性を有し、且つ、クリーンルーム内とケースの受け渡しを行うための第１のドアを設けたコンテナと、クリーンルーム内と前記コンテナとの間でケースの受け渡しを行うために、クリーンルームの外部との境部に設けられた第２のドアと、第１のドアを第２のドアに重なるように近づけた際に、第１のドアと第２のドアの外側全周に渡り、コンテナとクリーンルーム間の隙間を、密閉する第１の密閉機構と、第１のドアと第２のドアの内側において、第１のドアと第２のドアとの間を、密閉する第２の密閉機構とを備えており、ケースの受け渡しの際には、第１のドアを第２のドアに重なるように近づけ、第１の密閉機構により、第１のドアと第２のドアの外側全周に渡り、コンテナとクリーンルーム間の隙間を密閉した状態で、且つ、第２の密閉機構により、第１のドアと第２のドアの内側において、第１のドアと第２のドアとの間を、密閉した状態で、第１のドアと、第２のドアとを一体化した状態で同時に開き、コンテナとクリーンルーム間で、ケースの受け渡しを行うものであり、第２のドアのクリーンルームとは反対側に、エアーシヤワールームを併設したもので、エアーシヤワールーム内において、コンテナ、クリーンルーム間でケースの受け渡しを行うものであることを特徴とするものである。
そして、上記のケース受け渡し装置であって、前記第２のドアは、第１のドアと同じサイズ、形状を有するもので、前記第２の密閉機構は、第１のドアと第２のドアの内側全周に渡り、第１のドアと第２のドアとの間を、密閉するものであることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかのケース受け渡し装置であって、コンテナは、その断面が円弧状で、半円筒状の、上へ突出した屋根部を設けたものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのケース受け渡し装置であって、第１の密閉機構、第２の密閉機構は、それぞれ、パッキンをコンテナとクリーンルーム間の隙間に介在させ、第１のドアと第２のドアとの間に介在させ、密閉するものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのケース受け渡し装置であって、密閉機構により密閉する際に、第１のドアと第２のドアとの間隔を、所定幅にするように、コンテナを移動させるスライド機構を備えていることを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】
本発明のケース受け渡し装置は、このような構成にすることにより、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を収納したケースないし収納するためのケースを搬送し、クリーンルーム内と前記ケースを受け渡しする際に、ゴミの発生が極めて少ない、もしくはほとんど無い、ケース受け渡し装置の提供を可能とするものである。
これにより、近年の半導体素子の高集積化に対応できる品質を確保でき、量産にも対応できるものとしている。
具体的には、ケースを収納してクリーンルーム外を搬送移動するためのコンテナで、外雰囲気に影響されない密封性を有し、且つ、クリーンルーム内とケースの受け渡しを行うための第１のドアを設けたコンテナと、クリーンルーム内と前記コンテナとの間でケースの受け渡しを行うために、クリーンルームの外部との境部に設けられた第２のドアと、第１のドアを第２のドアに重なるように近づけた際に、第１のドアと第２のドアの外側全周に渡り、コンテナとクリーンルーム間の隙間を、密閉する第１の密閉機構と、第１のドアと第２のドアの内側において、第１のドアと第２のドアとの間を、密閉する第２の密閉機構とを備えており、ケースの受け渡しの際には、第１のドアを第２のドアに重なるように近づけ、第１の密閉機構により、第１のドアと第２のドアの外側全周に渡り、コンテナとクリーンルーム間の隙間を密閉した状態で、且つ、第２の密閉機構により、第１のドアと第２のドアの内側において、第１のドアと第２のドアとの間を、密閉した状態で、第１のドアと、第２のドアとを一体化した状態で同時に開き、コンテナとクリーンルーム間で、ケースの受け渡しを行うものであり、第２のドアのクリーンルームとは反対側に、エアーシヤワールームを併設したもので、エアーシヤワールーム内において、コンテナ、クリーンルーム間でケースの受け渡しを行うものであることにより、これを達成している。
【０００８】
詳しくは、第１の密閉機構と第２の密閉機構とを備えたもので、ケースの受け渡しの際には、第１のドアを第２のドアにほぼ重なるように近づけ、第１の密閉機構により、第１のドアと第２のドアの外側全周に渡り、コンテナとクリーンルーム間の隙間を密閉した状態で、且つ、第２の密閉機構により、第１のドアと第２のドアの内側において、第１のドアと第２のドアとの間を密閉した状態で、第１のドアと、第２のドアとを一体化した状態で同時に開き、コンテナとクリーンルーム間で、ケースの受け渡しを行うことにより、コンテナ内部とクリーンルームとが外部とは遮断された状態で、即ち、コンテナ内部とクリーンルームとが外部の影響を殆ど受けることが無く、ケースの受け渡しを行うことができる。
この場合、第１のドア、第２のドアを一体化して同時に開ける際に、外部にさらされていた一部の領域に、気流の流れを殆ど発生しないようにでき、これにより、この部分からのゴミ発生は殆ど無くできる。
【０００９】
エアーシヤワールーム内において、コンテナ、クリーンルーム間でケースの受け渡し行うものであることにより、密閉機構により密封される第１のドアと第２のドアの外側の、外部にさらされていた一部の領域、あるいは第１のドア、第２のドアの、外部にさらされていた一部の領域、あるいは密閉機構部に付いたゴミについては、取れるものは、受け渡しをする前に、エアーシヤワーにて、予め取り除かれるため、第１の密閉機構、第２の密閉機構により、各部の密閉を行い、第１のドア第２のドアを一体的にして開いて、ケースの受け渡しをする際には、それらの領域からのゴミ発生を殆ど無くできる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態の例を挙げて説明する。
図１（ａ）は本発明のケースの受け渡し装置の概略構成を示した断面図で、図１（ｂ）は密閉機構を説明するための断面図で、図１（ｃ）は図１（ｂ）のＡ２に示すドアのロック機構を説明するための拡大断面図で、図２（ａ）は図１（ａ）のＡ１側からみた上面図で、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ１−Ｂ２における密閉機構の断面図である。
尚、図１（ｂ）では、ロック機構の嵌合部は省略して示してある。
また、図２（ｂ）の点線は、ドアの外周位置を示すものである。
図１、図２中、１１０はクリールーム、１１１はクリーンルーム搬入搬出用ドア（第２のドアとも言う）、１１２は（クリーンルームの）壁部、１１５はロック部、１１５Ａは嵌合部、１２０はエアーシヤワールーム、１３０はコンテナ、１３１はコンテナの搬入搬出用ドア（第１のドアとも言う）、１３５は嵌合部、１３７は車部、１４０はシリンダー、１４５は移動部、１５０は第１の密閉機構、１５１、１５２はパッキン、１５５は第２の密閉機構、１５６、１５７はパッキンである。
【００１１】
本発明のケース受け渡し装置の実施の形態の第１の例を、以下、図１、図２に基づいて説明する。
本例は、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を収納したケースないし収納するためのケースを、クリーンルーム内とクリーンルーム外とで受け渡しする、ケース受け渡し装置であって、ケースを収納してクリーンルーム１１０外を搬送移動するためのコンテナで、外雰囲気に影響されない、高い密封性を有し、且つ、クリーンルーム１１０内とケースの受け渡しを行うためのコンテナの搬入搬出用ドア（第１のドアとも言う）１３１を設けたコンテナ１３０と、クリーンルーム１１０内とコンテナ１３０との間でケースの受け渡しを行うために、クリーンルーム１１０の外部との境部に設けられ、ほぼ第１のドア１３１と同じサイズ、形状を有する、クリーンルーム搬入搬出用ドア（第２のドアとも言う）１１１とを備え、且つ、第２のドア１１１のクリーンルーム１１０の外部側に、エアーシヤワールーム１２０を併設したもので、エアーシヤワールーム１２０内にコンテナ１３０を置いて、コンテナ１３０、クリーンルーム１１０間でケースの受け渡しを行うものである。
尚、第１のドア１３１はコンテナ１３０の外側に開くドアで、第２のドア１１１はクリーンルーム１１０の内側に開くドアである。
【００１２】
そして、本例では、第１のドア１３１と第２のドア１１１の外側全周に渡り、コンテナ１３０とクリーンルーム１１０間の隙間を、密閉する第１の密閉機構と、第１のドア１３１と第２のドア１１１の内側全周に渡り、第１のドア１３１と第２のドア１１１との間を、密閉する第２の密閉機構とを備えている。
図１（ｂ）に示すように、コンテナ１３０の第１のドア１３１と、クリーンルーム１１０の第２のドア１１１とが、重なるようにして、両者が近づくと、コンテナ側のパッキン１５１とクリーンルーム側のパッキン１５２とは互いに接触し、コンテナ側のパッキン１５６とクリーンルーム側のパッキン１５７とは互いに接触する。
パッキン１５１、１５２は図２（ｂ）に示すように、第１のドア１３１（第２のドア１１１）の周囲の外側全体に渡り設けられており、パッキン１５６、１５７は図２（ｂ）に示すように、第１のドア１３１（第２のドア１１１）の周囲の内側全体に渡り設けられているため、パッキン１５１と１５２の組、パッキン１５６と１５７の組が、それぞれが、１つの密閉機構として働く。
ここでは、パッキン１５１と１５２の組、パッキン１５６と１５７の組を、それぞれ、第１の密閉機構１５０、第２の密閉機構１５５と言っている。
パッキン１５１と１５２とが、図１（ｂ）に示すように、密着することにより、コンテナ１３０外の雰囲気（ここではエアーシヤワールーム１２０の雰囲気）を遮断できる。
また、パッキン１５６と１５７とが、図１（ｂ）に示すように、密着することにより、コンテナ１３０外の雰囲気に触れた、第１のドア１３１と第２のドア１１１の大部分の領域を、コンテナ１３０内、クリーンルーム１１０内と遮断できる。
【００１３】
また、本例では、図１（ａ）に示すように、エアーシヤワールーム１２０内には、コンテナ１３０をクリールーム１１０側に、移動させるための、シリンダー１４０、移動部１４５からなる移動機構が設けられている。
これにより、エアーシヤワールーム１２０内に、コンテナ１３０が搬入された後、コンテナ１３０の第１のドア１３１と、クリーンルーム１１０の第２のドア１１１とが、ほぼ重なるようにして、両者を近接させることができる。
コンテナ１３０の車部１３７が、所定位置で移動部１４５上に乗り、シリンダ１４０の駆動により、クリールーム１１０側に移動される。
尚、駆動機構であるシリンダに代え、電気モータ等の別の手段を使っても良い。
また、図１（ａ）における点線は、コンテナ１３０がクリールーム１１０側に移動された後の状態を示している。
【００１４】
また、本例では、図１（ｂ）に示すように、パッキン１５１と１５２とが、およびパッキン１５６と１５７とが、密着した状態で、第１のドア１３１と第２のドア１１１とを一体的に開閉できるように、両者を一体的に固定するロック機構を設けている。
図１（ｂ）に示すように、パッキン１５１と１５２とが、およびパッキン１５６と１５７とが、密着した状態で、図１（ｃ）に示すように、第１のドア１３１と第２のドア１１１とは、ロック部１１５により、クリーンルーム側から、ロックされる。
コンテナ１３０の第１のドア１３１に固定された嵌合部１３５と、クリーンルーム１１０側の第２のドア１１１に固定された嵌合部１１５Ａとが嵌合して、ロックされる。
尚、ここでは、嵌合部１３５は、第１のドア１３１と第２のドア１１１との間隔を、嵌合部１３５の幅以上に制御するものでもある。
【００１５】
次いで、本例装置の動作および本例装置を用いたケースの受け渡しの１例を、以下、図１、図２に基づき、簡単に説明しておく。
レジストを塗布した後のマスクブランクスをケースに詰め、コンテナ１３０に入れ、搬送し（図２（ａ）の▲１▼の位置に相当）、目的とするクリーンルーム１１０へ搬入する例である。
まず、▲１▼の位置から、エアーシヤワー１２０へ、コンテナ１３０を車部１３７で移動させ、▲２▼の位置にて止める。
車部１３７は、図１（ａ）に示す、所定位置の移動部１４５に載った状態となる。
この位置で、十分エアーシヤワーをコンテナ１３０にかけ、コンテナ表面に付着したゴミの中でとれ易いゴミを除去しておく。
特に、パッキン１５１、１５２、１５６、１５７、あるいはドア１３１、１１１の外周部に付着し、とれ易いゴミは十分エアーシャワーをかけ除去しておく。
【００１６】
次いで、シリンダー１４０を駆動することにより、移動部１４５をクリーンルーム１１０側に移動し、コンテナ１３０の第１のドア１３１が、クリンールーム１１０側の第２のドア１１１に重なるようにして、近接させ、図１（ｂ）に示すように、パッキン１５１と１５２とを、およびパッキン１５６と１５７とを、密着した状態とする。
これにより、第１のドア１３１と第２のドア１１１の外側で、コンテナ１３０とクリーンルーム１２０間の隙間を密閉し、且つ、第１のドア１３１と第２のドア１１１との間を、その周囲で密閉する。
【００１７】
次いで、ロック部１１５にて、第２のドア１１１に固定された嵌合部１１５Ａと、第１のドア１３１に固定された嵌合部１３５とを嵌合する。
これにより、第１のドア１３１と第２のドア１１１とを一体的にして、パッキン１５６，１５７との密閉状態を維持しながら、開くこと可能としている。
尚、ロックを行った後、必要に応じて、第１のドア１３１、第２のドア１１１が開けるように、ドアロックを解除しておく。
【００１８】
次いで、第１のドア１３１と第２のドア１１１とを、一体的にして、開き、コンテナ１３０内のケース（図示していない）を、クリーンルーム１１０内へ搬入する。
第１のドア１３１と第２のドア１１１とを、一体的にして、開いた状態で、コンテナ１３０内部とクリールーム１１０内とは、通じることとなるが、コンテナ１３０内部およびクリールーム１１０内は、パッキン１５１と１５２による密閉で、エアーシヤワー１２０とは遮断された状態となる。
また、両ドア間のパッキン１５６と１５７により密閉された領域も、コンテナ１３０内部とクリーンルーム１１０内とは、遮断されたこととなる。
【００１９】
ケースをコンテナ１３０からクリーンル−ム１１０内へ搬入し終えた後、第１のドア１３１と第２のドア１１１とを、一体的にして、閉じ、ロック部１１５により、第１のドア１３１に固定された嵌合部１３５と嵌合した、第２のドア１１１に固定された嵌合部１１５Ａを外し、コンテナ１３０をクリーンルルーム１１０側から離れる方向に移動できる状態とする。
尚、嵌合部１１５Ａを外した後、必要に応じて、第１のドア１３１、第２のドア１１１を閉じた状態で、それぞれ、ドアロックをしておく。
【００２０】
次いで、シリンダー１４０を、移動部１４５がクリーンルーム１１０から離れる方向に駆動して、コンテナ１３０を所定の位置まで、クリーンルーム１１０から離す。
この後、コンテナ１３０が所定の位置に来たらシリンダー１４０の駆動を止め、移動部１４５を止め、コンテナ１３０をエアーシヤワー１２０から取り出し、所望の位置へと、その車部１３７にて運ぶ。
【００２１】
以上のようにして、コンテナ１３０からクリーンルーム１１０へのケースの搬入は行われる
ケースの搬出も、搬入の場合と同様な装置動作で行われる。
ここではその説明は省略する。
【００２２】
本発明のケース受け渡し装置の実施の形態の第２の例を挙げる。
第２の例は、第１の例において、エアーシヤワールーム１２０を持たないものである。
本例は、クリーンルーム外側が比較的クリーン度が良い場合に適用でき、クリーンルーム１１０の、クリーン度の低下を招くことは、ほとんど無く、実用に耐えるものである。
【００２３】
実施の形態の第１の例や第２の例の変形例としては、密閉機構１５０、１５５やロック機構（１１５、１１５Ａ、１３５）に代え、別の形態で、同じ機能を持たせたものが、挙げられる。
また、シリンダー１４０を用いた移動の仕方に代え、別の移動形態を用いたものが挙げられる。
また、コンテナ内のクリーン度を維持するために、クリーンユニット（ファン＋フィルタ）を用いて、コンテナ内にクリーンエアを供給しても良い。
コンテナ重量によっては、自走式にしたものも挙げられる。
【００２４】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を収納したケースないし収納するためのケースを搬送し、クリーンルーム内と前記ケースの受け渡しする際に、ゴミ発生が極めて少ない、もしくはほとんど無い、ケース受け渡し装置の提供を可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（ａ）は本発明のケースの受け渡し装置の概略構成を示した断面図で、図１（ｂ）は密閉機構を説明するための断面図で、図１（ｃ）は図１（ｂ）のＡ２に示すドアのロック機構を説明するための拡大断面図である。
【図２】図２（ａ）は図１（ａ）のＡ１側からみた上面図で、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ１−Ｂ２における密閉機構の断面図である。
【符号の説明】
１１０            クリールーム
１１１            クリーンルーム搬入搬出用ドア（第２のドアとも言う）
１１２          （クリーンルームの）壁部
１１５            ロック部
１１５Ａ          嵌合部
１２０            エアーシヤワールーム
１３０            コンテナ
１３１            コンテナの搬入搬出用ドア（第１のドアとも言う）
１３５            嵌合部
１３７            車部
１４０            シリンダー
１４５            移動部
１５０            第１の密閉機構
１５１、１５２    パッキン
１５５            第２の密閉機構
１５６、１５７    パッキン
【図１】
0004357655.tif 000002
【図２】
0004357655.tif 000003