(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライドガラス上の検体を検査するための検査装置であって、定盤と、この定盤にＸ軸及びＹ軸方向（前後左右方向）に移動可能に取付けられ、保持手段により保持されたスライドガラスをＸ軸及びＹ軸方向に移動させるＸＹステージと、保持手段で保持されたスライドガラスを照明する光源と、照明されたスライドガラスを観察する光学系とを備え、前記光学系は定盤との取付け位置が定盤の上側になるように定盤に一体に取付けられ、前記ＸＹステージは定盤の下に一体に取付けられていることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記定盤はＸＹステージを支持する支持部を有し、前記ＸＹステージは定盤の支持部に係合する係合部を有し、係合部が支持部に係合することで、ＸＹステージが定盤に吊り下げ状に取付けられることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
スライドガラス上の検体を検査するための検査装置であって、定盤と、この定盤にＸ軸及びＹ軸方向（前後左右方向）に移動可能に取付けられ、保持手段により保持されたスライドガラスをＸ軸及びＹ軸方向に移動させるＸＹステージと、保持手段で保持されたスライドガラスを照明する光源と、照明されたスライドガラスを観察する光学系とを備え、前記保持手段は、スライドガラスの長手方向の両端部をそれぞれ上下から挟持するチャック手段であることを特徴とする検査装置。
【請求項４】
前記チャック手段はＸＹステージに着脱可能に取付けられていることを特徴とする請求項３記載の検査装置。
【請求項５】
スライドガラス上の検体を検査するための検査装置であって、定盤と、この定盤にＸ軸及びＹ軸方向（前後左右方向）に移動可能に取付けられ、保持手段により保持されたスライドガラスをＸ軸及びＹ軸方向に移動させるＸＹステージと、保持手段で保持されたスライドガラスを照明する光源と、照明されたスライドガラスを観察する光学系とを備え、前記光学系は定盤との取付け位置が定盤の上側になるよう定盤に一体に取付けられ、前記ＸＹステージは定盤の下に一体に取付けられ、前記保持手段は、スライドガラスの長手方向の両端部をそれぞれ上下から挟持するチャック手段であることを特徴とする検査装置。
【請求項６】
スライドガラス上の検体を油浸するためのオイルを収容したオイルタンクと、オイルタンクに収容されたオイルをスライドガラス上の検体に供給するためのノズルを備えることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記検体が血液であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スライドガラス上の検体（例えば血液）を検査する検査装置に関し、特にＸＹステージと光学系の取付構造、スライドガラスを移動させるＸＹステージ、並びにＸＹステージに設けられたスライドガラス保持用の保持手段に特徴がある検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の検査装置は一般に、図１８の（ａ）に模式図で示すような構成である。この検査装置は、定盤２００と、定盤２００上に取付けられ、保持手段〔図１８の（ｂ）参照〕で保持されたスライドガラスＧをＸ軸及びＹ軸方向（前後左右方向）に移動させるＸＹステージ２０１と、保持手段で保持されたスライドガラスＧを照明する光源２０２と、照明されたスライドガラスＧを観察する光学系２０３とを備える。光学系２０３は定盤２００に取付けられた支柱２０５でＸＹステージ２０１の上方に支持され、光源２０２は定盤２００において装置の後方（又は側方）に配置され、後方（又は側方）から前方を経て上方を照射するようになっている。
【０００３】
保持手段は、図１８の（ｂ）に示すように、位置決め板２１０ａ，２１０ｂを有し、この位置決め板２１０ａ，２１０ｂに対して２つのＹ軸押え２１２を有するホルダベース２１１がＹ軸方向に移動可能に設けられると共に、ホルダレバー２１３がＸ軸方向に揺動可能に設けられている。スライドガラスＧは、Ｙ軸押え２１２により位置決め板２１０ａに押付けられ、ホルダレバー２１３により位置決め板２１０ｂに押付けられることで、保持手段に保持される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような従来の検査装置では、次のような問題点▲１▼，▲２▼がある。
▲１▼ＸＹステージ２０１と光学系２０３が構造的に分離しているので〔図１８の（ａ）参照〕、光学系２０３に対してＸＹステージ２０１のスライドガラスＧを移動させた後に、ＸＹステージ２０１と光学系２０３との間に相対的な残留振動が発生し、この振動が収まるのを待つ必要がある。又、残留振動により、光学系２０３に対するスライドガラスＧの位置がずれることがある。
▲２▼スライドガラスＧがホルダレバー２１３によるＸ軸方向とＹ軸押え２１２によるＹ軸方向の二次元方向から押さえられるので〔図１８の（ｂ）参照〕、保持手段の調整を２つのＹ軸押え２１２とホルダレバー２１３の３点で行う必要があり、Ｙ軸押え２１２とホルダレバー２１３の調整に時間が掛かる。
【０００５】
本発明は、そのような問題点▲１▼，▲２▼に着目してなされたものであり、スライドガラスを移動させた後のＸＹステージと光学系との間の相対的な残留振動を無くし、また保持手段の調整を容易にする検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明の請求項１記載の検査装置は、定盤と、この定盤に取付けられ、保持手段により保持されたスライドガラスをＸ軸及びＹ軸方向（前後左右方向）に移動させるＸＹステージと、保持手段で保持されたスライドガラスを照明する光源と、照明されたスライドガラスを観察する光学系とを備えるものにおいて、前記光学系が定盤の上に一体に取付けられ、前記ＸＹステージが定盤の下に一体に取付けられていることを特徴とする。
【０００７】
この検査装置では、定盤の上下に光学系とＸＹステージがそれぞれ一体に取付けられているので、即ちＸＹステージと光学系は同一の振動系となるため、スライドガラスを移動させた後にＸＹステージと光学系との間に相対的な残留振動は生じない。
又、請求項３記載の検査装置は、定盤と、この定盤に取付けられ、保持手段により保持されたスライドガラスをＸ軸及びＹ軸方向（前後左右方向）に移動させるＸＹステージと、保持手段で保持されたスライドガラスを照明する光源と、照明されたスライドガラスを観察する光学系とを備えるものにおいて、前記保持手段がスライドガラスの長手方向の両端部をそれぞれ上下から挟持するチャック手段であることを特徴とする。
【０００８】
この検査装置では、スライドガラスの長手方向の両端部が保持手段としてのチャック手段により上下から挟持されるので、即ちハサミでスライドガラスを把持するような様態であるため、保持手段（チャック手段）の調整が容易である。
更に、請求項５記載の検査装置は、定盤と、この定盤に取付けられ、保持手段により保持されたスライドガラスをＸ軸及びＹ軸方向（前後左右方向）に移動させるＸＹステージと、保持手段で保持されたスライドガラスを照明する光源と、照明されたスライドガラスを観察する光学系とを備えるものにおいて、前記光学系が定盤の上に一体に取付けられ、前記ＸＹステージが定盤の下に一体に取付けられ、前記保持手段がスライドガラスの長手方向の両端部をそれぞれ上下から挟持するチャック手段であることを特徴とする。
【０００９】
この検査装置は、請求項１と請求項３の構成を併有するものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施の形態に基づいて説明する。
まず、本発明の検査装置の構成模式図を図１の（ａ）に示す。この検査装置は、定盤１８０と、この定盤１８０に取付けられ、保持手段〔図１の（ｂ）参照〕により保持されたスライドガラスＧをＸ軸及びＹ軸方向（前後左右方向）に移動させるＸＹステージ１８１と、保持手段で保持されたスライドガラスＧを照明する光源１８２と、照明されたスライドガラスＧを観察する光学系１８３とを備える。定盤１８０は装置の基盤（図示せず）に立設された支柱１８５により支持され、ＸＹステージ１８１は定盤１８０の下に一体に取付けられ、光学系１８３は定盤１８０の上に一体に取付けられている。光源１８２はＸＹステージ１８１の下方に配置され、装置の基盤に固定されている。
【００１１】
又、この検査装置では、定盤１８０はＸＹステージ１８１を支持する支持部１８０ａを有し、ＸＹステージ１８１は定盤１８０の支持部１８０ａに係合する係合部１８１ａを有し、係合部１８１ａが支持部１８０ａに係合することで、ＸＹステージ１８１が定盤１８０に吊り下げ状に取付けられる。
一方、保持手段としてのチャック手段は、図１の（ｂ）に示すように、２対のフォーク１９０，１９１でスライドガラスＧの長手方向の両端部をそれぞれ上下から挟持するものである。
【００１２】
次に、この検査装置の詳細な構造について具体的に説明する。実施形態に係る検査装置の部分正面図を図２に、同装置の上方側の部分正面図を図３に、同装置の右側の部分正面図を図４に、同装置の左側の部分正面図を図５に示す。
この検査装置は、基盤７に４本の支柱８が立設され、支柱８により定盤４が基盤７の上方に支持され、定盤４の下にチャック手段１５０を有するＸＹステージ９（図２〜図５では図示せず）が一体に取付けられ、定盤４の上に光学系（例えば顕微鏡）２が一体に取付けられている。チャック手段１５０で挟持されて検査位置Ｐに位置決めされたスライドガラスＧを下から照明する光源１は、基盤７に取付けられたミラー台１０の内側に配置され、その光は凸レンズ１１を介してスライドガラスＧを裏側から照明する。照明されたスライドガラスＧを観察する光学系２は、検査位置ＰのスライドガラスＧに対向する対物レンズ部２１と、更にその上方に接眼レンズ部２２を有する。
【００１３】
検査装置の正面右側には、検査位置ＰのスライドガラスＧ上の血液を油浸するオイルを貯留する光透過性のオイルタンク３が配置され、このオイルタンク３のオイルをスライドガラスＧの上方からスライドガラスＧ上に滴下するためのオイル流路（パイプ５０、チューブ５１，５２及びノズル５３で構成される）が配設されている。
【００１４】
オイルタンク３は、ここでは透明な円筒形であり、基盤７に立設された３本の支柱４０により支持され、上部開口にはキャップ３０が着脱可能に嵌着される。オイルタンク３の内部に設けられたパイプ５０は、オイルタンク３の上部からタンク３の外部に導出され、タンク３の貫通部分６０で例えばナットで固定されている。パイプ５０がオイルタンク３を貫通する部分６０は、タンク３内のオイルが満杯であるときのオイル液面Ｌよりも上方に位置し、貫通部分６０がオイルに浸漬しないようになっている。
【００１５】
一点鎖線で示すように、パイプ５０の端部には例えばチューブ５１が接続され、更にチューブ５１は当該チューブ５１を接続するためのチューブ継手６１ａに接続されている。チューブ継手６１ａはオイルの流路を切り替えるための電磁弁６２を介して、オイルポンプ６３に接続されている。又、電磁弁６２を介してオイルポンプ６３に接続された別のチューブ継手６１ｂにはチューブ５２が接続され、チューブ５２は検査位置Ｐ付近に設けられたノズル回転機構５に取付けられたＬ字状のノズル５３の一端（オイル流入側）に接続されている。ノズル５３の他端（オイル流出側）はスライドガラスＧの直上に僅少間隔で位置するように設定されている。ノズル回転機構５は、ノズル５３を回転可能に支持するもので、光学系２を支持する定盤４に固定され、中心を貫通する支持軸により回転可能になっている。このノズル回転機構５により、ノズル５３を回転させて検査位置Ｐから離すことができる。
【００１６】
オイルタンク３の下部周囲には、オイルタンク３のオイルの有無を検出する光電センサ７０が配置されている。光電センサ７０は、投光部７０ａ（図面には現れず）と受光部７０ｂからなり、投・受光部７０ａ，７０ｂがオイルタンク３の中心からずれた位置でオイルタンク３を挟んで対向するように、オイルタンク３の下部に嵌合・固定されたブラケット７５に取付けられている。なお、投・受光部７０ａ，７０ｂの配置が逆でもよいのは勿論である。
【００１７】
このオイル検出構造によると、オイルタンク３は透明（光透過性）であるから、投光部７０ａからの光はタンク３を屈折して透過し、内部のオイルに進入する。オイルと空気の屈折率は異なるため、タンク３内に投光レベル以上にオイルがある場合は、光はオイル中を進行し、受光部７０ｂに入射しない。これに対し、オイル残量が投光レベルよりも少ない場合は、光は空気とタンク３で屈折して進行し、受光部７０ｂに入射する。従って、受光部７０ｂでの受光量に基づいて、オイルタンク３内のオイルの有無を検出することができる。
【００１８】
検査装置の正面左側には、各種電子部品を搭載した回路基板１２が配置され、他の内部機器（例えばカセット搬送ユニット）に接続するためのコネクタ１３が前面側に設けられている。
ＸＹステージ９を裏側から見た前側の部分平面図を図６に、後側の部分平面図を図７に、前側の部分側面図を図８に、後側の部分側面図を図９に、図８及び図９の矢視Ａから見た平面図を図１０及び図１１に、ＸＹステージ９の背面図を図１２に、図１１の矢視Ｂから見た図を図１３に示す。
【００１９】
このＸＹステージ９は、ベース１００にスライドベース８０がＹ軸方向（前後方向）に移動可能に取付けられ、更にスライドベース８０にプレート９５を介してチャック手段１５０がＸ軸方向（左右方向）に移動可能に取付けられている。従って、スライドベース８０とプレート９５の各々の相対的移動により、チャック手段１５０がＸ軸及びＹ軸方向に移動し、チャック手段１５０で挟持されたスライドガラスＧが検査位置Ｐに正確に位置決めされる。
【００２０】
詳細には、スライドベース８０の一方側の側端部にブラケット８１が取付けられ、ブラケット８１にＸ軸方向用のモータ（ステッピングモータ）８２が固定されている。モータ８２の回転軸８２ａは軸継手８３によりポールネジ８４に連結されている。ポールネジ８４は、その一端部（モータ８２側の端部）が軸受８５により回転可能に支持され、他端部（反対側の端部）が軸受８６により回転可能に支持されている。又、モータ８２の後側において、回転軸８２ａにはタンバー８７が直結され、タンバー８７によりポールネジ８４を手動で回すことができるようになっている。更に、軸受８５はサポートユニット９０により支持され、軸受８６はベアリングホルダ９１により支持されている。モータ８２が回転すると、その回転は軸継手８３を介してポールネジ８４に伝わり、ポールネジ８４は軸受８５，８６により支持されつつ回転する（図１３参照）。
【００２１】
ポールネジ８４にはホルダナット９４が嵌挿され、ホルダナット９４にプレート９５が取付けられている。ホルダナット９４とプレート９５は、ポールネジ８４の回転に応じてＸ軸方向に一体に移動する。
このプレート９５（即ちチャック手段１５０）のＸ軸方向の位置は、ベース８０の後端部に取付けられたセンサホルダ９７に設けられた３つのフォトセンサ９８ａ，９８ｂ，９８ｃにより検出される。このうち、フォトセンサ９８ｂは他の２つのフォトセンサ９８ａ，９８ｃより上側に位置し（図９及び図１２参照）、主にプレート９５の中央位置を検知するのに使用され、両側のフォトセンサ９８ａ，９８ｃは主にプレート９５の左右の限界位置を検知するのに使用される。この検知は、プレート９５の後端部に取付けられた断面コ字状のドグ９９により行われる。即ちプレート９５の移動に伴うドグ９９の移動により、フォトセンサ９８（ａ〜ｃ）が遮光の有無を検知し、それに基づいてプレート９５の位置が正確に検出される。
【００２２】
一方、ベース１００の後端部にはブラケット１０１が取付けられ、ブラケット１０１にＹ軸方向用のモータ（ステッピングモータ）１０２が固定されている。モータ１０２の回転軸１０２ａは軸継手１０３によりポールネジ１０４に連結されている。ポールネジ１０４は、その一端部（モータ１０２側の端部）が軸受１０５により回転可能に支持され、他端部（反対側の端部）が軸受１０６により回転可能に支持されている。又、モータ１０２の後側において、回転軸１０２ａにはタンバー１０７が直結され、タンバー１０７によりポールネジ１０４を手動で回すことができるようになっている。更に、軸受１０５はサポートユニット１１０により支持され、軸受１０６はベアリングホルダ１１１により支持されている。モータ１０２が回転すると、その回転は軸継手１０３を介してポールネジ１０４に伝わり、ポールネジ１０４は軸受１０５，１０６により支持されつつ回転する（図１１参照）。
【００２３】
ポールネジ１０４にはホルダナット１１４が嵌挿され、ホルダナット１１４にプレート１１５が取付けられている。ホルダナット１１４とプレート１１５は、ポールネジ１０４の回転に応じてＹ軸方向に一体に移動する。更に、ベース１００の下側の左右両側には、それぞれＹ軸方向に延びるレール１２０が固定され、各レール１２０には、それぞれ２個のスライドユニット１２１がレール１２０に沿って移動可能に取付けられている。モータ１０２側の２個のスライドユニット１２１にはプレート１１５が固定されると共に、図面には現れていないが、４個のスライドユニット１２１にスライドベース８０が固定されている。従って、モータ１０２の作動によるプレート１１５の移動に伴って、４個のスライドユニット１２１が移動し、それによりスライドベース８０が前後方向に移動する。
【００２４】
このスライドユニット１２１、即ちスライドベース８０のＹ軸方向の位置は、ベース１００のモータ１０２側とは反対側の側端部に取付けられたセンサホルダ１２７ａ，１２７ｂにそれぞれ設けられたフォトセンサ１２８ａ，１２８ｂにより検出される。フォトセンサ１２８ａは前側に、フォトセンサ１２８ｂは後側に位置し、スライドベース８０の前後の限界位置を検知するのに使用される。この検知は、スライドベース８０の対応側端部に取付けられた２つのＬ字状のドグ１２９ａ，１２９ｂにより行われる（図７及び図１２参照）。ドグ１２９ａはフォトセンサ１２８ａに、ドグ１２９ｂはフォトセンサ１２８ｂに対応し、スライドベース８０の移動に伴うドグ１２９ａ，１２９ｂの移動により、フォトセンサ１２８ａ，１２８ｂが遮光の有無を検知し、それに基づいてスライドベース８０の位置が正確に検出される。
【００２５】
ところで、ＸＹステージ９は定盤４の下に一体に取付けられているが、この実施形態では、定盤４の下面にＹ軸方向に延びる２つのガイドホルダ６が設けられ（図２及び図３参照）、このガイドホルダ６に係合することができる４つのガイド１３０がベース１００の上面に突設されている（図８、図９及び図１２参照）。ＸＹステージ９は、ベース１００のガイド１３０を定盤４のガイドホルダ６に嵌合し、ガイドホルダ６に沿ってＸＹステージ９を所定位置まで動かしてから、ネジで締付けることで、定盤４に吊り下げ状に固定される。従って、ＸＹステージ９は定盤４に対し取付け・取り外しが可能であり、定盤４からＸＹステージ９を取り外せば、ＸＹステージ９のメンテナンス等を容易に行うことができる。
【００２６】
他方、チャック手段１５０は、前記の通り、スライドベース８０に対しＸ軸方向に移動可能なプレート９５に取付けられているが、この取付けはネジにより行われる。このため、チャック手段１５０もプレート９５、即ちＸＹステージ９に対して取付け・取り外しが可能であり、チャック手段１５０が破損した場合でも、プレート９５からチャック手段１５０を取り外すことで、チャック手段１５０だけを交換することができ、交換費用を削減できる。
【００２７】
そのチャック手段１５０は、図１４（表側の平面図）、図１５（右側面図）、図１６（背面図）及び図１７（図１４の線Ｃ−Ｃにおける断面図）に示すような構造である。チャック手段１５０は、スライドガラスＧの長手方向の両端部をそれぞれ上下から挟持する２対のフォーク１５１を有し、各フォーク１５１は長短２本のフォーク１５１ａ，１５１ｂからなる。このフォーク１５１はベースフォーク１５２の先端部に取付けられている。
【００２８】
ベースフォーク１５２の両側端部には、それぞれクランパ１５３が僅かに揺動可能に取付けられている。図１７に示すように、ベースフォーク１５２の側端部に止めネジ１６１が螺入され、更にブシュ１６０、平座金１６１、ワッシャ１６２及びスペーサ１６３を挟んでナット１６４が止めネジ１６１に螺合されることで、クランパ１５３がベースフォーク１５２に僅かに揺動可能に支持される。ここでは、フォーク１５１の長いフォーク１５１ａは不動に固定されているが、短いフォーク１５１ｂはスライドガラスＧを容易に挟持できる程度に僅かに変位可能にクランパ１５３に支持されている。
【００２９】
又、ベースフォーク１５２の表側からボルト１６５が貫通状に挿通され、ベースフォーク１５２の下側にてボルト１６５に、スペーサ１６６が嵌挿されると共に、ナット１６７が螺合されている。スペーサ１６６とナット１６７との間のボルト１６５部分にはコイルバネ１６８が嵌挿され、コイルバネ１６８はスペーサ１６６を介してクランパ１５３を上方に付勢する。
【００３０】
従って、フォーク１５１でスライドガラスＧを挟むときに、短いフォーク１５１ｂが下方に変位すれば、コイルバネ１６８の付勢力に抗してクランパ１５３の前側が下がり、後側が上がる。フォーク１５１からスライドガラスＧを取り外せば、コイルバネ１６８によりクランパ１５３の前側が上がり、後側が下がり、クランパ１５３は元の状態に戻る。
【００３１】
ベースフォーク１５２の後部には、ブラケット１７０がスタッド１７１とナット１７２により４箇所で取付けられている。ブラケット１７０の両側には、それぞれフォトセンサ１７３が取付けられ、このフォトセンサ１７３は、一方が投光部で他方が受光部であり、投光部からの光が受光部で受光されるように対向している。ここでは、フォーク１５１がスライドガラスＧを挟持してないときは、投光部からの光が受光部で受光され、フォーク１５１がスライドガラスＧを挟持すると、前記したようにクランパ１５３の後側が上がることで、クランパ１５３の後部で光路が遮断される。このフォトセンサ１７３間での遮光の有無に基づいて、チャック手段１５０がスライドガラスＧを挟持しているか否かが判断される。
【００３２】
このように構成した検査装置において、ＸＹステージ９によりスライドガラスＧを検査位置Ｐに位置決めするには、まずＸＹステージ９におけるチャック手段１５０のフォーク１５１でスライドガラスＧを挟持する。フォーク１５１にスライドガラスＧがセットされると、それがフォトセンサ１７３により検知される。その後、モータ１０２が作動し、スライドベース８０がＹ軸方向に移動すると共に、モータ８２が作動し、チャック手段１５０がＸ軸方向に移動する。スライドベース８０の位置は、フォトセンサ１２８ａ，１２８ｂで検出され、チャック手段１５０（即ちプレート９５）の位置は、フォトセンサ９８ａ，９８ｂ，９８ｃで検出されるので、チャック手段１５０で挟持されたスライドガラスＧは検査位置Ｐに精度良く位置決めされる。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１記載の検査装置によれば、定盤の上下に光学系とＸＹステージがそれぞれ一体に取付けられているので、即ちＸＹステージと光学系は同一の振動系となるため、スライドガラスを移動させた後にＸＹステージと光学系との間に相対的な残留振動は生じない。
【００３４】
更に請求項２の構成とすれば、ＸＹステージを反重力方向に取付ける困難さが解消され、ＸＹステージを定盤に容易に取付けることができる。しかも、定盤からＸＹステージを取り外すことで、ＸＹステージのメンテナンス等を容易に行うことができる。
請求項３記載の検査装置によれば、スライドガラスの長手方向の両端部が保持手段としてのチャック手段により上下から挟持されるので、即ちハサミでスライドガラスを把持するような様態であるため、保持手段（チャック手段）の調整が容易である。
【００３５】
更に請求項４の構成とすれば、ＸＹステージからチャック手段を外せるので、チャック手段が破損した場合などは、チャック手段だけを交換することで、交換費用を削減できる。
請求項５記載の検査装置によれば、請求項１と請求項３の両方の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の検査装置の構成模式図（ａ）、及び検査装置におけるチャック手段の構成模式図（ｂ）である。
【図２】実施形態に係る検査装置の部分正面図である。
【図３】同装置の上方側の部分正面図である。
【図４】同装置の右側の部分正面図である。
【図５】同装置の左側の部分正面図である。
【図６】同検査装置におけるＸＹステージを裏側から見た前側の部分平面図である。
【図７】同検査装置におけるＸＹステージを裏側から見た後側の部分平面図である。
【図８】同検査装置におけるＸＹステージの前側の部分側面図である。
【図９】同検査装置におけるＸＹステージの後側の部分側面図である。
【図１０】図８及び図９の矢視Ａから見た一方側の部分平面図である。
【図１１】図８及び図９の矢視Ａから見た他方側の部分平面図である。
【図１２】同ＸＹステージの背面図である。
【図１３】図１１の矢視Ｂから見た図である。
【図１４】同ＸＹステージにおけるチャック手段の表側の平面図である。
【図１５】同チャック手段の右側面図である。
【図１６】同チャック手段の背面図である。
【図１７】図１４の線Ｃ−Ｃにおける断面図である。
【図１８】従来例に係る検査装置の構成模式図（ａ）、及びその検査装置における保持手段の構成模式図（ｂ）である。
【符号の説明】
１              光源
２              顕微鏡（光学系）
４              定盤
６              ガイドホルダ（支持部）
８              支柱
９              ＸＹステージ
８０            スライドベース
８２，１０２    モータ
９５            プレート
１００          ベース
１３０          ガイド（係合部）
１５０          チャック手段
Ｇ              スライドガラス
【図１】
0004213262.tif 000002
【図２】
0004213262.tif 000003
【図３】
0004213262.tif 000004
【図４】
0004213262.tif 000005
【図５】
0004213262.tif 000006
【図６】
0004213262.tif 000007
【図７】
0004213262.tif 000008
【図８】
0004213262.tif 000009
【図９】
0004213262.tif 000010
【図１０】
0004213262.tif 000011
【図１１】
0004213262.tif 000012
【図１２】
0004213262.tif 000013
【図１３】
0004213262.tif 000014
【図１４】
0004213262.tif 000015
【図１５】
0004213262.tif 000016
【図１６】
0004213262.tif 000017
【図１７】
0004213262.tif 000018
【図１８】
0004213262.tif 000019