(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）水、ないしアルコールの溶媒に不溶、不融の重合体の原料となる低分子量物質を含む液体材料、前記低分子量物質に対する重合開始剤の溶液、基材を準備する工程と、
（ｂ）前記低分子量物質を含む液体材料、および前記重合開始剤の溶液をそれぞれ独立に、前記基材の表面の同一領域上に輸送し、そこで混和、重合を生じさせて重合体を生成し、重合膜を形成する工程と
を含む重合膜の製造方法。
【請求項２】
前記重合体が主鎖にパイ共役構造を有する請求項１記載の重合膜の製造方法。
【請求項３】
前記工程（ｂ）が、前記低分子量物質を含む液体材料、および前記重合開始剤の溶液の少なくとも一方を印刷、スプレー、工具塗りの少なくとも１つにより前記基材の表面に輸送する請求項１または２に記載の重合膜の製造方法。
【請求項４】
前記工程（ｂ）が、前記低分子量物質を含む液体材料、および前記重合開始剤の溶液の少なくとも一方をインクジェットプリントにより前記基材の表面に輸送する請求項１または２に記載の重合膜の製造方法。
【請求項５】
前記低分子量物質がチオフェン、ピロール、アニリン、ベンゼン、ピリジン、これらの誘導体、およびこれらの混合物からなる群の少なくとも１つである請求項１〜４のいずれかに記載の重合膜の製造方法。
【請求項６】
前記重合開始剤が、塩化第２鉄、過塩素酸鉄、過硫酸アンモニウムからなる群から選ばれた少なくとも１つである請求項１〜５のいずれかに記載の重合膜の製造方法。
【請求項７】
前記工程（ａ）または（ｂ）において、前記低分子量物質を含む液体材料または重合開始剤の溶液が前記重合体に対するドーピング剤も含む請求項１〜６のいずれかに記載の重合膜の製造方法。
【請求項８】
さらに、（ｃ）前記工程（ｂ）の後、前記重合体に対するドーピング剤を前記重合膜上に輸送する工程を含む請求項１〜６のいずれかに記載の重合膜の製造方法。
【請求項９】
前記ドーピング剤が、ハロゲン元素、ルイス酸、プロトン酸、遷移金属化合物、アルカリ金属、アルカリ土類金属、電解質アニオン、電解質カチオンからなる群から選ばれた少なくとも１種類を含む請求項７または８のいずれかに記載の重合膜の製造方法。
【請求項１０】
前記工程（ｃ）が、液相または気相のドーピング剤を前記重合膜上に輸送する請求項８または９記載の重合膜の製造方法。
【請求項１１】
（ａ）水、ないしアルコールの溶媒に不溶、不融の重合体の原料となる低分子量物質を含む液体材料、前記低分子量物質に対する重合開始剤の溶液、ドーピング液を含む液体材料、基材を準備する工程と、
（ｂ）前記低分子量物質を含む液体材料、前記重合開始剤の溶液、およびドーピング剤を含む液体材料をそれぞれ独立に、前記基材の表面の同一領域上に輸送し、そこで混和、重合を生じさせて重合体を生成し、重合膜を形成する工程と
を含む重合膜の製造方法。
【請求項１２】
前記重合体がパイ共役構造を有する請求項１１記載の重合膜の製造方法。
【請求項１３】
前記工程（ｂ）が、前記低分子量物質を含む液体材料、前記重合開始剤の溶液および前記ドーピング剤を含む液体材料の少なくとも１つを印刷、スプレー、工具塗りの少なくとも１つにより前記基材の表面に輸送する請求項１１または１２に記載の重合膜の製造方法。
【請求項１４】
前記工程（ｂ）が、前記低分子量物質を含む液体材料、前記重合開始剤の溶液および前記ドーピング剤を含む液体材料の少なくとも１つをインクジェットプリントにより前記基材の表面に輸送する請求項１１または１２に記載の重合膜の製造方法。
【請求項１５】
前記低分子量物質がチオフェン、ピロール、アニリン、ベンゼン、ピリジン、これらの誘導体、およびこれらの混合物からなる群から選ばれた少なくとも１つである請求項１１〜１４のいずれかに記載の重合膜の製造方法。
【請求項１６】
前記重合開始剤が、塩化第２鉄、過塩素酸鉄、過硫酸アンモニウムからなる群から選ばれた少なくとも１つである請求項１１〜１５のいずれかに記載の重合膜の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜の形成方法に関し、特に高分子薄膜の形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
何らかの機能を有する機能性有機材料が、近年エレクトロニクスやオプトエレクトロニクスの分野において数多く利用され始めた。高分子材料中、パイ共役系を主鎖に持つ材料は、ドーピングを行なうことにより電気導電性を有し、機能性有機材料と呼ばれる物質の１種である。
【０００３】
現在、これらの高分子材料を導電性高分子と呼ぶ場合が多い。導電性高分子は、電気伝導性に加え、蓄電性やエレクトロクロミック性も併せて有している場合が多い。
【０００４】
パイ共役構造を持つ高分子は、パイ電子雲からの電子の引き抜きやパイ電子雲への電子の注入が起こり易い。このパイ電子雲の酸化、還元により、キャリアを発生し、導電性となり易い。別の観点から言えば、ドーピングを行った時に導電性が顕著になる。ドーピングを行うと、導電性が顕著になるので導電材料として注目され、ドーピングを行うと電子を放出／蓄積する能力が顕著になるので蓄電材料として注目され、ドーピングを行うと、分子構造を変化させ、色を変化させる能力が顕著になるので、エレクトロクロミック材料として期待されている。
【０００５】
導電性高分子は、電気的に興味深い特性を持つが、一般的に不溶、不融の性質を持つ。たとえば、アセチレン、ベンゼン、チオフェン等のパイ共役高分子を持つ重合体は、特別な置換基を導入しない限り、有機溶媒等に対してほとんど不溶の性質を持つ。このように、溶剤に溶けず、可塑性もあまりないので、産業上の利用において大きな制限を受ける。
【０００６】
導電性高分子に可溶性を付与する試みが種々行われた。たとえば、側鎖にアルキル基あるいはアルコキシ基などの親油基、スルホン酸基、カルボキシル基などの解離基を置換基として導入することが行われてきた。
【０００７】
今日では、ある種の溶媒に可溶な導電性高分子が合成され、キャスト、スピンコート等の方法で導電性高分子薄膜が得られるようになってきた。置換基導入により可溶性等が得られれば、加工成形の製造プロセス面の大きなメリットとなる。
【０００８】
しかし、可溶性を付与する置換基導入のための化学修飾過程に多くの生産工程を要すると、これらの工程のコスト分製造コストが上昇する。一方、置換基を導入することによりエレクトロニクス特性が劣化する場合もある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このように、不溶、不融の性質を持った高分子重合体は、その取扱い、産業上の利用に関して、加工、成型が困難であるという問題を有していた。化学合成によって溶剤に可溶な高分子重合体を作製する技術が開発されているが、生産工程の増加とコスト高につながり、置換基導入によって電気導電性等の劣化を引き起こす場合もあった。
【００１０】
さらに、環境面を考慮すると水や一価や多価のアルコール等の安全な溶媒を使用できることが望まれる。このような限られた溶媒に可溶な性質を与えることは容易でない。
【００１１】
本発明の目的は、不溶、不融の高分子重合体を容易に取り扱う技術を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の一観点によれば、（ａ）水、ないしアルコールの溶媒に不溶、不融の重合体の原料となる低分子量物質を含む液体材料、前記低分子量物質に対する重合開始剤の溶液、基材を準備する工程と、（ｂ）前記低分子量物質を含む液体材料、および前記重合開始剤の溶液をそれぞれ独立に、前記基材の表面の同一領域上に輸送し、そこで混和、重合を生じさせて重合体を生成し、重合膜を形成する工程とを含む重合膜の製造方法が提供される。
【００１３】
本発明の他の観点によれば、（ａ）水、ないしアルコールの溶媒に不溶、不融の重合体の原料となる低分子量物質を含む液体材料、前記低分子量物質に対する重合開始剤の溶液、ドーピング液を含む液体材料、基材を準備する工程と、（ｂ）前記低分子量物質を含む液体材料、前記重合開始剤の溶液、およびドーピング剤を含む液体材料をそれぞれ独立に、前記基材の表面の同一領域上に輸送し、そこで混和、重合を生じさせて重合体を生成し、重合膜を形成する工程とを含む重合膜の製造方法が提供される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、制限的な意味なく、重合体として主に導電性高分子を例にとって説明する。従来、導電性高分子を用いて薄膜やパターンを形成する場合、可溶性機能を付与するための特別な置換基を持つ可溶性重合体を初めに合成し、これをキャストやスピンコートあるいは印刷等により塗布していた。置換基を持たない導電性高分子は、不溶、不融の性質を持つためである。
【００１５】
しかし、導電性高分子の原料であるベンゼン、チオフェン、ピロール、アニリン、あるいはこれらの誘導体等は、室温で液体であり、溶媒にも溶ける。これらの低分子量原料が重合すると、不溶、不融の性質を有するようになる。重合反応は、物理的、化学的、あるいは電気化学的に行わせることができる。
【００１６】
本発明者らは、パイ共役重合体の原料となる低分子量物質は液相で取り扱えることに着目し、基材上で低分子物質のその場重合を行うことによりパイ共役重合体膜あるいは導電性高分子膜を形成することを考察した。
【００１７】
導電性高分子用の低分子量原料を用い、導電性高分子を生成するためには、低分子量材料の他重合開始剤、ドーピング剤等を用いる。重合開始剤は、一般的に常温で固体のものが多いが、溶媒に溶かして用いることができる。ドーピング剤は、種々のものを用いることができ、液相や気相で用いることができる。
【００１８】
３種類の材料が液体である場合、それぞれの液剤を基板表面で混合することにより、その場で重合反応を開始、進行させる。溶媒などの不要成分は蒸発、乾燥させる。このようにして基材表面に導電性高分子を定着させ、導電性高分子膜を得る。
【００１９】
３種類の材料のいずれか、又は全てに対して溶媒を用いる場合、溶媒としては水やアルコールの環境安全性の高い溶媒を用いる。環境安全性があまり良くないエーテルやハロゲンを含む溶媒は使用を避けることが好ましい。原料が扱い易い液体の場合は、溶媒を用いる必要もない。
【００２０】
図１に本発明の実施例による導電性高分子薄膜の形成方法を示す。
【００２１】
図１（Ａ）に示すように、第１液体材料１を基材４の上に供給し、液相の第１液層１１を形成する。
【００２２】
図１（Ｂ）に示すように、第１液層１１を形成した基材４の上に、第２液２を供給し、第２液層１２を形成する。なお、第１液１と第２液２を最初から混合し、混合液層１５を形成してもよい。
【００２３】
図１（Ｃ）に示すように、第３液３をさらに基材４の上に提供し、第３液層１３を形成する。第１液１、第２液２、第３液３を最初から混合し、基材４の上に供給し、混合液層１６を形成してもよい。
【００２４】
第１液、第２液、第３液は各々導電性高分子材料用の低分子量原料、重合開始剤、ドーピング剤のいずれかであり、基材上への供給の順序は特に制限されない。
【００２５】
基材上への原料の供給は、インクジェットプリント、スプレー、シルクスクリーン印刷、転写、刷毛／筆塗り等が可能であろう。
【００２６】
基材４としては、紙、プラスチック、金属、セラミック、繊維、革、木材、ガラス、半導体基板、透明電極基板、機能性有機薄膜、機能性無機薄膜等を用いることができよう。
【００２７】
図２は、本発明の他の実施例による導電性高分子薄膜の形成方法を示す。
【００２８】
図２（Ａ）に示すように、基材４の上に第１液１と第２液２を同時に供給し、混合液層２２を形成する。
【００２９】
次に、図２（Ｂ）に示すように、第３液３を混合液層２２の上に供給し、第３液層２３を形成する。なお、第１液１、第２液２、第３液３を当初から混合し、基材４の上に供給し、混合液層２６を形成してもよい。
【００３０】
図３は、本発明の他の実施例による導電性高分子薄膜の形成方法を示す。
【００３１】
図３（Ａ）に示すように、基材４の上に、第１液１を供給し、第１液層３１を形成する。
【００３２】
図３（Ｂ）に示すように、第１液層３１の上に第２液２と第３液３を同時に供給し、混合液層３２を形成する。なお、第１液１、第２液２、第３液３を当初から混合し、基材４の上に供給子、混合液層３６を形成してもよい。
【００３３】
図４は、本発明の他の実施例による導電性高分子薄膜の形成方法を示す。基材４の上に、第１液１、第２液２、第３液３を同時に供給し、混合液層３８を形成する。
【００３４】
上述の実施例において、３種類の原料液が混合した混合液層が形成されると、混合液層から溶媒は蒸発し、導電性高分子用低分子量原料の重合が進み、同時にドーピングが行われ、導電性高分子薄膜が形成される。
【００３５】
３液を用いてドーピングされた導電性高分子膜を形成する実施例を説明したが、低分子量原料と重合開始剤との２液を用いて導電性高分子膜を形成してもよい。この場合、２液は図１のように順次供給するか、図４のように同時に供給すればよい。導電性高分子膜を形成した後にドーピング剤で導電性高分子膜を処理すれば高い導電性を付与することができる。
【００３６】
なお、低分子原料と重合開始剤を予め混合した液を基板上に供給する場合、重合がなるべく進行しない短時間のうちに、基板上に供給することが望ましい。
【００３７】
導電性高分子用の低分子量原料としては、例えばチオフェン、ピロール、アニリンおよびそれらの誘導体等を１種もしくは複数含む液体を用いる。原料が固体である場合は、溶解することのできる水またはアルコール等の有機溶媒に溶かして用いることもできる。重合開始剤は、例えば塩化第２鉄、過塩素酸鉄、過硫酸アンモニウム等を用いる。原料が固体である場合は、溶解することのできる水又はアルコール等の有機溶媒に溶かして用いることができる。
【００３８】
ドーピング剤は、例えば塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲン類、５弗化燐、５弗化砒素、５弗化アンチモン、３弗化ほう素、３臭化ほう素、３酸化硫黄などのルイス酸類、弗化水素、塩化水素、硝酸、硫酸、過塩素酸、フロロスルフォン酸、クロロスルフォン酸、トリフルオロメタンスルフォン酸、トリフルオロ酢酸等のプロトン酸、塩化第２鉄、過塩素酸鉄、４塩化チタン、塩化ジルコニウム、５弗化ニオブ、５塩化ニオブ、５塩化タンタル、５弗化モリブデン、５塩化モリブデン、６弗化タングステン、６塩化タングステン等の遷移金属化合物、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム等のアルカリ金属や、カルシウム、バリウム、ストロンチウム等のアルカリ土類金属、電解質アニオンおよび電解質カチオン等を用いることができる。これらが固相の場合には、これを溶解することのできる水又はアルコール等の有機溶媒に溶かして用いることができる。また、気相のものは気相のまま又は液相にして用いることができる。
【００３９】
原料、重合開始剤、ドーピング剤に用いる溶媒は、基材表面への輸送、接着、溶液同士の混合、重合反応を阻害せず、適切に重合を進行させるような特性を備えていることが好ましい。インクジェットプリントを用いる場合は、溶媒がインクジェットプリントに適している材料であることが好ましい。水、アルコールはこの要件を満たす。
【００４０】
原料の溶解度を調整する、溶液の密度を調整する、溶液の粘度を調整する、溶液の表面張力を調整する、溶液の湿潤性を調整するなどの目的で、溶媒にトルエン、キシレン、ＤＭＦ、ＤＭＳＯ、Ｎ−メチルピロリドン、エーテル類などの有機溶媒を混合してもよい。さらに、界面活性剤等の添加物を混入してもよい。また、溶媒は分散液も含むものとする。高分散であれば、溶質が完全に溶解した溶液とほぼ同等に扱うことができる。
【００４１】
図５（Ａ）〜（Ｄ）は、インクジェットプリントを用いて導電性高分子薄膜を形成する方法の実施例を示す。
【００４２】
先ず、導電性高分子の原料である低分子量原料、重合開始剤、ドーピング剤をそれぞれ液相で別個に準備する。
【００４３】
図５（Ａ）に示すように、原料タンク５１に導電性高分子の低分子量原料を主収容し、重合剤タンク５２に重合開始剤を収容する。なお、各タンク５１、５２には送液ノズル６１、６２が接続され、インクジェットヘッド７１、７２に液体を供給することができる。供給された液体は、それぞれインクジェットヘッド７１、７２に設けられた噴射ノズル８１、８２から噴射する。
【００４４】
インクジェットヘッドは、連続噴射型あるいはドロップオンデマンド型液滴噴射機構を備えている。これらの液滴噴射機構としては、公知のものを用いることができる。制御コンピュータを備えた制御回路９０から印刷信号を供給し、インクジェットヘッドを駆動する。印刷信号が送られると、タンクに収容された液体は、送液ノズルを伝わってインクジェットヘッドに吸い上げられる。インクジェットヘッドでは、液体が押し出され、噴射ノズル先端より液体の液滴が交互あるいは同時に基材表面の同一点に向かって吹き付けられる。
【００４５】
図５（Ｂ）に示すように、インクジェットヘッドを基材４の近傍に配置し、噴射ノズル８１、８２からそれぞれ低分子量原料および重合開始剤を液滴状態で基材４上に供給する。供給された低分量原料および重合開始剤は、基材４の表面で混合し、混合液層２２を形成し、重合反応を開始する。
【００４６】
図５（Ｃ）に示すように、混合液層２２が重合反応を進行し、溶媒等を蒸発させると、重合体薄膜２２’となる。このようにして、基材４表面の所望領域に導電性高分子薄膜のパターンを形成することができる。
【００４７】
図５（Ｄ）に示すように、重合体薄膜２２’上に、ドーピング剤５３を供給する。このドーピング剤５３の供給は、同様にインクジェットプリントを用いて行うこともできるが、基材４表面全体に液層を形成したり、ドーピング剤が気相の時は、気相原料を供給することによって行うこともできる。ドーピング剤で処理された導電性高分子膜は、所望形状の導電性パターンを形成する。
【００４８】
ポリピロール膜のパターンを形成する場合を説明する。ポリピロールの原料であるピロール液を原料タンク５１に収容する。重合開始剤の塩化第２鉄を重合開始剤タンク５２に収容する。制御回路９０で任意の印刷パターンをデザインし、印刷信号を発生する。印刷信号がインクジェットプリンタに受信されると、インクジェットヘッドが駆動され、タンク５１、５２に収容された溶液が押し出され、噴射ノズル先端から液滴が交互あるいは同時に基材表面の１点に吹き付けられる。基材表面に吹き付けられた液滴の混合がおこると、ピロールと塩化第２鉄とが重合反応を生じさせ、ポリピロールを生成する。塩化第２鉄はドーパントとしての働きも有するため、ピロールと塩化第２鉄の反応のみでも導電性ポリピロールが得られる。
【００４９】
吹き付けられた液滴に含まれる溶媒が蒸発、乾燥することにより、導電性ポリピロールの薄膜が得られる。インクジェットヘッドによりこの工程が繰り返されることにより、任意のデザインで導電性のポリピロール薄膜のパターニングを行うことができる。
【００５０】
図５の例においては、低分子量原料と重合開始剤とをインクジェットプリントを用いて基材上に供給した。低分子量原料、重合開始剤と共に、ドーピング剤もインクジェットプリントにより供給することもできる。
【００５１】
図６は、低分子量原料、重合開始剤、ドーピング剤を全てインクジェットプリントで供給する実施例を示す。
【００５２】
図６（Ａ）に示すインクジェットプリンタは、インクジェットプリントヘッドに、原料タンク５１、重合剤タンク５２、ドーピング剤タンク５３の３つのタンクを有する。これら３つのタンクには、それぞれ送液ノズル６１、６２、６３が接続され、各液相原料をインクジェットヘッド７１、７２、７３に供給することができる。
【００５３】
インクジェットヘッド７１、７２、７３には、連続噴射型またはドロップオンデマンド型の液滴噴射機構が備えられており、噴射ノズル８１、８２、８３が設けられている。インクジェットヘッドは、供給された液相原料を液滴として噴射ノズルから噴射することができる。
【００５４】
なお、低分子量原料と重合開始剤とは混合すると重合反応が開始するため、反応が進行しない短時間のうちに供給しなければならないが、ドーピング剤は原料または重合開始剤と混合しても良い場合が多い。
【００５５】
図６（Ｂ）は、低分子量原料タンク５１、重合開始剤タンク５２の２つのタンクを有するインクジェットプリンタを用い、３種類の液相原料を同時に供給する場合を示す。低分子量原料タンク５１および重合開始剤タンク５２の一方または両方に、ドーピング剤を同時に収容する。即ち、インクジェットプリントのやり方としては、図５（Ａ），（Ｂ）に示した方法と同様の方法であるが、低分子量原料又は重合開始剤にドーピング剤が混合されている点が異なる。
【００５６】
なお、インクジェットヘッドの駆動は、図６（Ｃ）に示すように制御コンピュータを含む制御回路９０により、インクジェット装置９１を制御することにより行うことができる。インクジェット装置９１においては、インクジェットヘッド９２が、制御回路９０の制御のもとにＸ−Ｙ方向、またはＸ−Ｙ−Ｚ方向に移動する。
【００５７】
制御回路９０から印刷信号が送られると、インクジェット装置９１のインクジェット９２は、３種類または２種類の液体を押し出し、噴射ノズル先端からこれらの液滴を交互あるいは同時に基材表面の１点に吹きつける。図６（Ａ）に示すように、３種類の液体が供給される場合は、原料、重合開始剤、ドーピング剤がそれぞれ独立に基材表面に供給される。
【００５８】
図６（Ｂ）のように２種類の液体が供給される場合は、原料と重合開始剤とが交互あるいは同時に基材表面の１点に吹き付けされる。なお、原料、重合開始剤の一方または両方には、ドーピング剤が混合されている。
【００５９】
図６（Ｄ）は、図６（Ａ）、（Ｂ）に示したインクジェットヘッドを用い、基材４の上に混合液層３８を形成した状態を示す。混合液層３８は低分子量原料、重合開始剤、ドーピング剤の混合液で構成される。
【００６０】
液層３８は、低分子量原料と重合開始剤を含むため、低分子量原料の重合反応が開始する。さらに、ドーピング剤が含まれるため、ドーピング反応も生じる。このようにして、ドーピングされた導電性高分子が生成する。液層に含まれる溶媒を蒸発、乾燥することにより、基材表面にドーピングされた導電性高分子重合体膜を形成することができる。コンピュータを含む制御回路９０により印刷工程を繰り返すことにより、基材表面に任意パターンの導電性高分子重合体膜を形成することができる。
【００６１】
ポリピロール膜のパターニングを行う場合を説明する。低分子量原料のピロール液は原料タンク５１に収容される。重合開始剤の塩化第２鉄は、重合開始剤タンク５２に収容される。ドーピング剤のパラトルエンスルホン酸は水溶液として原料タンク５１または重合開始剤タンク５２または両方のタンクに収容される。
【００６２】
制御回路９０が任意の印刷パターンをデザインし、印刷信号を発生すると、インクジェット装置９１は印刷信号に応じて駆動される。３つのタンクまたは２つのタンクに収容された液体は、印刷信号に応じて交互あるいは同時に基材表面の１点に吹き付けられる。基材表面に吹き付けされた液滴の混合が生じると、ピロールと塩化第２鉄とが重合反応を生じさせ、ポリピロールを生成する。同時にパラトルエンスルホン酸によってポリピロールはドーピングされる。塩化第２鉄はドーパント剤としての働きも有するが、パラトルエンスルホン酸でドーピングすることにより、より安定な導電性を得ることができる。
【００６３】
なお、導電性高分子の低分子量原料としては、液相で取り扱うことのできるモノマー、ダイマー、トリマー、オリゴマー等を用いることができる。低分子量原料と重合開始剤は液層で基材上に供給するが、ドーピング剤は液相で供給しても気相で供給してもよい。
【００６４】
製造する導電性高分子膜は、導電パターニング基板、ボンディングワイヤ、導電性レジスト、コンデンサ、有機太陽電池、蓄電池、有機ＬＥＤ等各種発光素子、各種表示素子、各種センサ、電磁シールド膜、静電防止膜等に用いることができよう。
【００６５】
以上、導電性高分子膜を例にとって説明したが、重合膜は導電性高分子膜に限定されない。基体上でその場重合を行なわせることにより重合膜の形成の自由度が増す。特に、水、アルコールに溶けにくい又は不溶の重合体の膜を基体上に容易に形成することができる。
【００６６】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明これらに制限されるものではない。例えば種々の変更、改良、組み合わせが可能なことは当業者に自明であろう。
【００６７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、溶媒に溶けにくい、又は不溶の重合体の膜を容易に製造することができる。
【００６８】
不溶、不融の性質を有する導電性高分子膜を任意のパターンで形成することが容易になる。
【００６９】
インクジェットプリンタ等、公知のプリント装置を用い、任意パターンの重合膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例による導電性高分子膜の製造方法を説明するための概略断面図である。
【図２】本発明の実施例による導電性高分子膜の製造方法を説明するための概略断面図である。
【図３】本発明の実施例による導電性高分子膜の製造方法を説明するための概略断面図である。
【図４】本発明の実施例による導電性高分子膜の製造方法を説明するための概略断面図である。
【図５】本発明の実施例により、インクジェットプリンタを用いて導電性高分子膜を形成する方法を説明するための概略断面図である。
【図６】本発明の実施例により、インクジェットプリンタを用いて導電性高分子膜を形成する方法を説明するための概略断面図である。
【符号の説明】
１    第１液
２    第２液
３    第３液
４    基材
１１  第１液層
１２  第２液層
１３  第３液層
１５、１６    混合液層
２２、２６    混合液層
２３  第３液層
３１  第１液層
３２、３６、３８  混合液層
５１  低分子量原料タンク
５２  重合開始剤タンク
６１、６２  送液ノズル
７１、７２  インクジェットヘッド
８１、８２  噴射ノズル
９０  制御回路
９１  インクジェット装置
９２  インクジェットヘッド
【図１】
0004357023.tif 000002
【図２】
0004357023.tif 000003
【図３】
0004357023.tif 000004
【図４】
0004357023.tif 000005
【図５】
0004357023.tif 000006
【図６】
0004357023.tif 000007