(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を熱処理する処理室と、この処理室において前記基板を支持する支持具とを有し、前記支持具は前記基板と接触する支持板と、この支持板を支持する本体部とを有し、前記支持板の直径が前記基板の直径の６３〜７３％であるとともに、前記支持板の少なくとも前記基板と接触する部分の表面粗さＲａが、１μｍ〜１０００μｍに設定されていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の熱処理装置において、前記支持板の少なくとも前記基板と接触する部分の表面粗さＲａが、１．５μｍ〜１０００μｍに設定されていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項３】
請求項１に記載の熱処理装置において、前記支持板の少なくとも前記基板と接触する部分の表面粗さＲａが、２μｍ〜１０００μｍに設定されていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項４】
請求項１に記載の熱処理装置において、前記基板の直径が３００ｍｍであり、前記支持板の直径が、１９０ｍｍ〜２２０ｍｍであることを特徴とする熱処理装置。
【請求項５】
請求項１に記載の熱処理装置において、前記支持板の少なくとも前記基板と接触する部分の硬度は、前記基板の硬度と同等もしくはそれよりも大きいことを特徴とする熱処理装置。
【請求項６】
請求項１に記載の熱処理装置において、前記本体部は炭化シリコンによって形成されており、前記支持板はシリコンまたは炭化シリコンによって形成されていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項７】
請求項６に記載の熱処理装置において、前記支持板の表面には酸化シリコン、炭化シリコンまたは窒化シリコンからなる層が形成されていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項８】
請求項１に記載の熱処理装置において、前記熱処理とは１３００℃以上の温度で行われる処理であることを特徴とする熱処理装置。
【請求項９】
請求項１に記載の熱処理装置において、前記支持板には少なくとも一つの貫通孔が設けられていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項１０】
直径が基板の直径の６３〜７３％であるとともに、少なくとも前記基板と接触する部分の表面粗さＲａが１μｍ〜１０００μｍである支持板にて前記基板を支持するステップと、
前記支持板にて支持した前記基板を処理室内に搬入するステップと、
前記支持板にて支持された前記基板を前記処理室内で熱処理するステップと、
前記熱処理後の前記基板を前記処理室内から搬出するステップと、
を有することを特徴とする基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱処理装置に関し、特に、被処理基板の保持技術に係り、例えば、半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）の製造方法において、ＩＣが作り込まれる半導体ウエハ（以下、ウエハという。）に熱処理（thermal treatment ）を比較的に高い温度で施す熱処理工程に利用して有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣの製造方法においてウエハに酸化処理や拡散処理およびアニール処理のような熱処理を比較的に高い温度で施す熱処理工程には、バッチ式縦形ホットウオール形熱処理装置が、広く使用されている。
バッチ式縦形ホットウオール形熱処理装置（以下、熱処理装置という。）は、ウエハが搬入される処理室を形成し縦形に設置されたプロセスチューブと、プロセスチューブの外に敷設されて処理室を加熱するヒータユニットと、複数枚のウエハを複数段の保持溝によって保持して処理室に対して搬入搬出するボートと、処理室への搬入搬出に対してボートが待機する待機室とを備えている。
待機室において複数枚のウエハはボートに装填（ウエハチャージング）された後に、待機室から予熱された処理室に搬入（ボートローディング）される。そして、処理室が所定の熱処理温度にヒータユニットによって加熱されることにより、所望の熱処理がウエハに施される。【０００３】
従来のこの種の熱処理装置におけるボートは、上下で一対の端板と、両端板間に架設されて垂直に配設された例えば三本の保持部材と、この三本の保持部材に長手方向に等間隔に配されて互いに対向して開口するように刻設された多数の保持溝とを備えている。ウエハは三本の保持部材の保持溝間に挿入されることにより、複数枚のウエハは水平にかつ互いに中心を揃えた状態に整列させて保持される。
ところが、このような構成のボートにおいては、次のような問題点がある。ウエハの全重量は三箇所の保持溝だけで支えられることになるため、熱ストレスがウエハに急激に加わった際に、結晶欠陥（スリップ）がウエハと保持溝との接触面間の引張応力や自重応力の関係から発生したり、ウエハが反ったりする。【０００４】
この問題点を解決するための技術として、特許文献１には次のようなウエハホルダが開示されている。
このウエハホルダは炭化シリコン（ＳｉＣ）が使用されてウエハの周辺部を載置する円形リング形状に形成されている。このウエハホルダがウエハの全重量を全周にわたって分散して支持することにより、ウエハのウエハホルダとの支持点に作用する重力の負担を軽減してウエハのスリップや損傷および反りの発生を防止している。
【特許文献１】特開平７−４５６９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、ウエハと支持部との間に存在する突起との接触により、ウエハ自重による傷がウエハの裏面に形成され、その傷に起因する歪がスリップを発生させると、考えられている。そのため、ウエハを支持する支持部の表面を平滑に形成することによって突起を無くすことにより、ウエハと支持部との間に働く摩擦力を低減することが、従来からの「スリップ抑制」手段であった。
しかしながら、支持部の表面を平滑にし過ぎた場合には、突起による傷に起因するスリップではないスリップが確認されることがある。これは、支持部の表面を平滑にし過ぎたことにより、ウエハと支持部との界面の凝着力（２材料間の表面において、お互いの分子同士の分子力間力による結合力）によって、ウエハと支持部の表面とが貼り付き、それが剥がれるときにスリップが発生したと、考えられる（図１５参照）。【０００６】
本発明の目的は、従来から問題とされて来た突起による傷に起因するスリップの発生を防止するとともに、平滑にし過ぎるために発生する凝着力に起因するスリップの発生を防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願が開示する発明のうち代表的なものは、次の通りである。
（１）基板を熱処理する処理室と、この処理室において前記基板を支持する支持具とを有し、前記支持具は前記基板と接触する支持板と、この支持板を支持する本体部とを有し、前記支持板の直径が前記基板の直径の６３〜７３％であるとともに、前記支持板の少なくとも前記基板と接触する部分の表面粗さＲａが、１μｍ〜１０００μｍに設定されていることを特徴とする熱処理装置。
（２）前記（１）において、前記支持板の少なくとも前記基板と接触する部分の表面粗さＲａが、１．５μｍ〜１０００μｍに設定されていることを特徴とする熱処理装置。
（３）前記（１）において、前記支持板の少なくとも前記基板と接触する部分の表面粗さＲａが、２μｍ〜１０００μｍに設定されていることを特徴とする熱処理装置。
（４）前記（１）において、前記基板の直径が３００ｍｍであり、前記支持板の直径が、１９０ｍｍ〜２２０ｍｍであることを特徴とする熱処理装置。
（５）前記（１）において、前記支持板の少なくとも前記基板と接触する部分の硬度は、前記基板の硬度と同等もしくはそれよりも大きいことを特徴とする熱処理装置。
（６）前記（１）において、前記本体部は炭化シリコンによって形成されており、前記支持板はシリコンまたは炭化シリコンによって形成されていることを特徴とする熱処理装置。
（７）前記（６）において、前記支持板の表面には酸化シリコン、炭化シリコンまたは窒化シリコンからなる層が形成されていることを特徴とする熱処理装置。
（８）前記（１）において、前記熱処理とは１３００℃以上の温度で行われる処理であることを特徴とする熱処理装置。
（９）前記（１）において、前記支持板には少なくとも一つの貫通孔が設けられていることを特徴とする熱処理装置。
（１０）直径が基板の直径の６３〜７３％であるとともに、少なくとも前記基板と接触する部分の表面粗さＲａが１μｍ〜１０００μｍである支持板にて前記基板を支持するステップと、
前記支持板にて支持した前記基板を処理室内に搬入するステップと、
前記支持板にて支持された前記基板を前記処理室内で熱処理するステップと、
前記熱処理後の前記基板を前記処理室内から搬出するステップと、
を有することを特徴とする基板の製造方法。
【発明の効果】
【０００８】
前記（１）によれば、基板の変位量（撓み量）が最小になるように基板を支持することができ、また、そのように基板を支持した場合における支持板の表面の突起による傷に起因するスリップと、支持板の表面を平滑にし過ぎた場合に発生する凝着力に起因するスリップとの両方を防止することができる。
前記（２）によれば、基板の変位量が最小になるように基板を支持する場合において、両方のスリップを確実に防止することができる。
前記（３）によれば、基板の変位量が最小になるように基板を支持する場合において、両方のスリップをより一層確実に防止することができる。
前記（４）によれば、前記（１）と同様の効果を得ることができる。
前記（５）によれば、支持板の少なくとも基板と接触する部分の硬度が基板の硬度と同等もしくはそれよりも大きい場合であっても、前記（１）と同様の効果を得ることができる。
前記（６）によれば、本体部が炭化シリコンによって形成されており、支持板がシリコンまたは炭化シリコンによって形成されている場合であっても、前記（１）と同様の効果を得ることができる。
前記（７）によれば、支持板の表面に酸化シリコン、炭化シリコンまたは窒化シリコンからなる層が形成されている場合であっても、前記（１）と同様の効果を得ることができる。
前記（８）によれば、熱処理が１３００℃以上の温度で行われる処理である場合であっても、前記（１）と同様の効果を得ることができる。
前記（９）によれば、支持板に少なくとも一つの貫通孔が設けられている場合であっても、前記（１）と同様の効果を得ることができる。
前記（１０）によれば、前記（１）と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施の形態である酸化装置を示す一部省略正面断面図である。
【図２】主要部を示す正面断面図である。
【図３】ボートの保持溝の部分を示す斜視図である。
【図４】平面と半球状突起との接触モデルを示す模式図である。
【図５】複数の半球状突起の連続体の支持モデルを示す模式図であり、（ａ）は拡大した部分図、（ｂ）は全体図を示している。
【図６】垂直荷重および凝着力と摩擦係数との関係を示すグラフである。
【図７】摩擦係数μおよび支持点当たりの単位面積に働く垂直荷重と、曲率半径Ｒｐとの関係を示すグラフである。
【図８】本発明の他の実施の形態である酸化装置を示しており、（ａ）はボートの保持溝の部分を示す平面断面図、（ｂ）は一部省略正面図である。
【図９】ウエハホルダ支持モデルと４点支持モデルとによる支持位置とウエハの端、中心での変位量の関係に関する解析結果を示すグラフである。
【図１０】その解析に使用されたモデルを示す模式図であり、（ａ）はウエハホルダ支持モデルを示し、（ｂ）は４点支持モデルを示している。
【図１１】半径１００ｍｍの位置での４点支持モデルによる熱処理を実施した結果を示しており、（ａ）は表面検査装置によるウエハの全面観察写真、（ｂ）はウエハ裏面の光学顕微鏡観察写真である。
【図１２】直径１８０ｍｍのウエハホルダ支持モデルによる熱処理の結果を示しており、（ａ）は表面検査装置によるウエハの全面観察写真、（ｂ）はウエハ裏面の光学顕微鏡観察写真である。
【図１３】表面粗さＲａを求めるためのモデルを示す模式図である。
【図１４】表面粗さＲａと表面最大高さＲｙとの関係を示すグラフである。
【図１５】表面粗さＲａがスリップ発生領域にあるウエハでの処理結果を示しており、（ａ）は表面検査装置による観察写真、（ｂ）は傷を起点としたスリップの顕微鏡観察写真をそれぞれ示している。
【図１６】表面粗さＲａがスリップフリーの領域にあるウエハでの処理結果を示しており、（ａ）はＸ線トポグラフによる観察写真、（ｂ）はウエハ端の小傷の顕微鏡写真をそれぞれ示している。
【符号の説明】
【００１０】
１…ウエハ（被処理基板）、１０…酸化装置（バッチ式縦形ホットウォール形熱処理装置、熱処理装置）、１１…筐体、１２…プロセスチューブ、１３…処理室、１４…炉口、１５…流通孔、１６…ガス溜、１７…均熱チューブ、１８…ヒータユニット、１９…熱電対、２０…シールキャップ、２１…ボート、２２、２３…端板、２４…保持部材、２５…保持溝、２６…保持面、２７…Ｒ面取り部、３２…排気管、３３…排気ライン、３４…排気装置、３５…圧力調節器、３６…圧力センサ、３７…供給管、３８…処理ガス供給ライン、４０…酸素ガス源、４１…酸素ガス供給ライン、４２…窒素ガス源、４３…窒素ガス供給ライン、２９…ウエハホルダ（支持板）。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
本実施の形態においては、本発明に係る熱処理装置は図１および図２に示されているように、構造的には熱処理装置（バッチ式縦形ホットウオール形熱処理装置）として構成されており、機能的にはウエハに酸化膜を形成するための酸化膜形成装置の一例であるドライ酸化装置（以下、単に、酸化装置という。）として構成されている。【００１２】
酸化装置１０はプロセスチューブ（反応管）１２を備えており、プロセスチューブ１２は石英（ＳｉＯ2 ）または炭化シリコン（ＳｉＣ）が使用されて上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に一体成形されている。プロセスチューブ１２は中心線が垂直になるように縦に配されて、筐体１１の上部の設置室１１ａに支持されている。
プロセスチューブ１２の筒中空部は処理室１３を形成しており、処理室１３は複数枚のウエハ１を同心的に整列させた状態で保持したボート２１が搬入されるように構成されている。プロセスチューブ１２の下端開口はボート２１を搬入搬出するための炉口１４を構成している。
プロセスチューブ１２の上端の閉塞壁（以下、天井壁という。）には、複数個の流通孔１５がガスを処理室１３の全体に分散させるように配置されて厚さ方向に開設されており、プロセスチューブ１２の天井壁の上にはガス溜１６が流通孔１５群を覆うように形成されている。【００１３】
プロセスチューブ１２の外側には均熱チューブ（均熱管）１７が同心円に設置されており、均熱チューブ１７も筐体１１に支持されている。均熱チューブ１７は炭化シリコン（ＳｉＣ）が使用されて上端が閉塞し下端が開口した円筒形状に一体成形されている。
均熱チューブ１７の外側にはヒータユニット１８が均熱チューブ１７を包囲するように同心円に設置されており、ヒータユニット１８も筐体１１に支持されている。プロセスチューブ１２と均熱チューブ１７との間には、熱電対１９が上下方向に敷設されており、ヒータユニット１８は熱電対１９の温度検出に基づくコントローラ（図示せず）の制御により、処理室１３内を全体にわたって均一または所定の温度分布に加熱するように構成されている。【００１４】
プロセスチューブ１２の側壁の下部には排気管３２が、処理室１３に連通するように接続されており、排気管３２には排気ライン３３の一端が接続されている。排気ライン３３の他端には真空ポンプやブロア等によって構成された排気装置３４が接続されている。排気ライン３３の途中には圧力調節器３５が介設されており、圧力調節器３５は排気ライン３３の途中に接続された圧力センサ３６の検出結果に基づいてコントローラ（図示せず）によって制御されることにより、処理室１３の圧力を所定の圧力に制御するように構成されている。【００１５】
プロセスチューブ１２の外側には供給管３７が敷設されており、供給管３７はプロセスチューブ１２の一部に沿って上下方向に延在した状態になっているとともに、上端がガス溜１６に接続されている。供給管３７の下端には処理ガス供給ライン３８が接続されており、処理ガス供給ライン３８には酸素（Ｏ2 ）ガス源４０に接続された酸素ガス供給ライン４１と、窒素（Ｎ2 ）ガス源４２に接続された窒素ガス供給ライン４３とがそれぞれ接続されている。【００１６】
筐体１１の下部室である待機室１１ｂにおけるプロセスチューブ１２の真下には、プロセスチューブ１２の外径と略等しい円盤形状に形成されたシールキャップ２０が同心的に配置されており、シールキャップ２０は送りねじ機構によって構成されたボートエレベータ（図示せず）によって垂直方向に昇降されるようになっている。シールキャップ２０の上には基板を支持する支持具としてのボート２１が垂直に立脚されて支持されている。【００１７】
ボート２１は炭化シリコンが使用されて構成されており、上下で一対の端板２２、２３と、両端板２２、２３間に架設されて垂直に配設された複数本（図示例では三本）の保持部材２４とを備えている。各保持部材２４には多数段の保持溝２５が、長手方向に等間隔に配されて同一の段において互いに対向して開口するように刻設されている。
図３に示されているように、各保持溝２５の上向き面から構成された保持面２６の外周縁辺（エッジ）には、Ｒ面取り部２７が形成されている。Ｒ面取り部２７の曲率半径は、１ｍｍ以上に設定されている。
保持面２６のウエハ１と接触する部分の表面は、表面粗さ（Ｒａ）が１０-6ｍ（１μｍ）ないし１０-3ｍ（１０００μｍ）に設定されている。ウエハ１は三本の保持部材２４、２４、２４の同一の段の保持溝２５、２５、２５に外周部を挿入されて、その下面における周辺部の三箇所を表面粗さ（Ｒａ）が１０-6ｍないし１０-3ｍに設定された保持面２６によって受けられることによって保持される。各保持溝２５によってそれぞれ保持された状態において、複数枚のウエハ１はボート２１に水平にかつ互いに中心を揃えて整列された状態になる。【００１８】
次に、ウエハ１の下面に接触してウエハ１を支持する本発明の特徴である支持部における表面形状，粗さの設定方法について説明する。
一般に、ウエハの自重による傷がウエハと支持部に存在する突起との接触によってウエハに形成され、その傷に起因する歪がウエハにスリップを発生させると考えられている。したがって、スリップの発生を防止（以下、スリップフリーという場合がある。）するためには、ウエハの自重による傷の発生を抑制する必要がある。さらに、ウエハの自重による傷を抑制するためには、突起で発生する力を低減する必要がある。
一般的には、ウエハと支持部との間に働く摩擦力Ｆｆは、次式（１）の通り、ウエハの自重による垂直荷重Ｌに摩擦係数μを乗じた大きさで表される（クーロンの法則）。
Ｆｆ＝μ×Ｌ    ・・・（１）
そのため、スリップフリーを実現するための手段としては、ウエハを支持する部分の表面を可及的に平滑に形成することにより、ウエハと支持部との間の摩擦係数μを小さくする場合が多い。
ところが、摩擦係数μは原則的に一定であり、支持部の表面を平滑にすることは、実際には垂直荷重を微視的な支持点の増加で分割させることにより、各支持点に働く摩擦力を低減していることになる。【００１９】
ここで、ウエハと支持部との接触は、図４に示されているような平面（ウエハ）と半球状突起との接触であると、想定する。
図４において、Ｒは半球状突起の曲率半径、ａは半球状突起によって平面に形成される傷の半径、ｈは同じく傷の深さ、Ａは同じく傷の表面積、である。傷の表面積Ａは真実接触面積と呼ばれている。真実接触面積Ａは、二つの材料が垂直荷重Ｌで接触した場合に、軟らかい材料（降伏応力が小さい方の材料）が塑性変形し、接触面にかかる応力が当該降伏応力（σ）に等しくなるまで変形する面積であり、次式（２）で表される。そして、真実接触面積Ａの値は、接触する二つの材料に固有の値であり、表面状態に依存しない。
Ａ［ｍ2 ］＝Ｌ［Ｎ］／σ［Ｐａ］    ・・・（２）【００２０】
ここで、図５に示されているように、複数の半球状突起の連続体がウエハを支持しているものと仮定した場合について説明する。
複数の半球状突起のそれぞれには「ウエハの自重Ｌ／支持点数Ｐ」の垂直荷重がかかる。なお、以降に記載する記号で、添字に「ｐ」が付加されているものは、「支持点一箇所当たり」という意味とする。
表面粗さ（Ｒａ）が大きいということは、図５（ａ）に示されているように、半球状突起の曲率半径（Ｒｐ）が大きく、支持点数が少ない状態である。表面粗さ（Ｒａ）が小さいということは、図５（ｂ）に示されているように、半球状突起の曲率半径（Ｒｐ）が小さく、支持点数が多い状態である。
半球状突起の曲率半径が大きい場合には、各支持点に働く摩擦力が大きくなることにより、ウエハに形成される傷が深く、大きくなるために、その傷を起点としたスリップが発生し易くなる。逆に、半球状突起の曲率半径が小さい場合には、各支持点に働く垂直荷重が低減することにより、スリップの起点となる傷の形成が抑制されることになる。【００２１】
ところが、図６の垂直荷重および凝着力と摩擦係数との関係を示すグラフにおける実線曲線に示されているように、垂直荷重が非常に小さい条件下においては、摩擦係数μが非常に大きくなることがある。これは、摩擦力Ｆｆが実際には、次式（３）で表される通り、垂直荷重Ｌと「凝着力Ｆａ」の和に界面での一定値の見かけの摩擦係数（μ’）を乗じた大きさで表されるからである。なお、図６および考察の出典は、次の通りである。
安藤泰久，「マイクロマシーンとトライボロジー」，表面科学，１９９８年，第１９巻，第６号，ｐ．３８５−３９１
ここで、「凝着力Ｆａ」とは、二つの材料の間の表面において、お互いの分子同士の分子間力（ファンデルワールス力）による結合力のことである。
Ｆｆ＝μ’（Ｌ＋Ｆａ）    ・・・（３）
ここで、凝着力Ｆａは、図４に示された接触モデルを想定した場合には、ＪＫＲ理論から次式（４）で表される。
Ｆａ＝３／２×γπＲ      ・・・（４）
式（４）において、γは材料に固有の平面の表面エネルギーであり、Ｓｉ（１００）場合は、２．１３［Ｎ／ｍ］、である。式（４）からは、凝着力Ｆａが半球状突起の曲率半径Ｒに比例することが判る。
式（１）と式（３）とから、摩擦係数μは、次式（５）で表される。
μ＝μ’（Ｌ＋Ｆａ）／Ｌ    ・・・（５）
但し、Ｆａ＝ｐ×Ｆａｐ      ・・・（６）【００２２】
図７は、事前の評価として「１２００℃」の熱処理を実施した時に得られたシリコンの降伏応力値および既に公知のＳｉの降伏応力値から、「１３５０℃」の熱処理での真実接触面積Ａを近似計算し、式（５）に適用した場合の摩擦係数μおよび支持点当たりの単位面積に働く垂直荷重と、曲率半径Ｒｐとの関係を示している。このとき、見かけの摩擦係数μ’は一定値「１」としている。
半球状突起の曲率半径が小さい領域（平滑平面）において摩擦係数μは、凝着力Ｆａ項が支配的になるために、急激に増加し、ウエハと支持部との間に大きな摩擦力Ｆｆが働くことが判る。逆に、支持点当たりの単位面積に働く荷重は、曲率半径（Ｒｐ）と共に増加する。
スリップの発生を抑制するには、突起による傷の形成を抑制（突起一個当たりに働く荷重を小さく）すること、また、ウエハと支持部との間に働く摩擦力Ｆｆを小さくする必要がある。そのためには、図７において、次の二つの領域のバランスが取れた曲率半径Ｒｐとなる表面状態が必要になる。
1)  摩擦係数μが小さい領域
2)  支持部一点当たりの垂直荷重が小さい領域【００２３】
図７に示す例でいえば、曲率半径が１０-6ｍ以上の連続突起で支持した場合、摩擦係数（μ）は「１０」程度と大きいが、垂直荷重は１０-4［Ｎ／個／ｍ2 ］と小さく、突起による傷形成が原因となるスリップは発生し難いと、考えられる。
これ以上小さい連続突起での支持の場合、垂直荷重はさらに小さくなるが、凝着力に影響する摩擦係数（μ）が増加するため、突起とウエハとの接触部において凝着力により傷が形成され、それに起因するスリップが発生する。
また、逆に、曲率半径が１０-3ｍ以上の「大きな」連続突起で支持した場合には、摩擦係数は充分に小さいが、支持点当たりの垂直荷重が大きくなり、突起による傷形成が原因となるスリップが発生し易くなる。
つまり、最適なウエハ支持表面としては、曲率半径が１０-6ｍないし１０-3ｍ程度の連続突起で支持するとよい。このときの表面粗さ（Ｒａ）を計算すると、約１０-6ｍないし１０-3ｍになる。【００２４】
ここで、図４に示された半球状突起から、図７に示された摩擦係数μ、実評価に用いた表面粗さＲａを導出するまでを説明する。
まず、支持点当たりの各パラメータの計算を説明する。真実接触面積Ａは、曲率半径Ｒの半球状突起を半径ａ（傷の半径）で切り取った部分の表面積になる。切り取った部分の高さｈ（傷の深さ）で、角度をθとすると、次式の通りになる。
Ａ＝２πＲ2 （１−ｓｉｎθ）    ・・・（７）
ａ＝Ｒｃｏｓθ                  ・・・（８）
ｈ＝Ｒ（１−ｓｉｎθ）          ・・・（９）
ここで、傷の深さｈを傷の半径ａで除した食い込み度をＤｐとすると、
Ｄｐ＝ｈ／ａ                                            ・・・（１０）
ａ＝［Ａ／｛π×（１＋Ｄｐ2 ）｝］1/2                   ・・・（１１）
ｈ＝ａ×Ｄｐ＝Ｄｐ×［Ａ／｛π×（１＋Ｄｐ2 ）｝］1/2   ・・・（１２）
Ｒ＝｛Ａ×（１＋Ｄｐ2 ）／（４πＤｐ2 ）｝1/2           ・・・（１３）
が求まる。
Ｐ個の支持点数で支持する場合には、真実接触面積Ａおよび垂直荷重は、その支持点数Ｐで分割すればよく、
Ａｐ＝Ａ／Ｐ    ・・・（１４）
Ｌｐ＝Ｌ／Ｐ    ・・・（１５）
となる。これを式（３）、（４）、（１１）ないし（１３）に適用すると、
Ｆｆｐ＝μ’（Ｌｐ＋Ｆａｐ）                                ・・・（１６）
Ｆａｐ＝３／２×γπＲｐ                                    ・・・（１７）
ａｐ＝［Ａｐ／｛π×（１＋Ｄｐ2 ）｝］1/2                   ・・・（１８）
ｈｐ＝ａ×Ｄｐ＝Ｄｐ×［Ａｐ／｛π×（１＋Ｄｐ2 ）｝］1/2   ・・・（１９）
Ｒｐ＝｛Ａｐ×（１＋Ｄｐ2 ）／（４πＤｐ2 ）｝1/2           ・・・（２０）
がそれぞれ支持点一点当たりの値になる。【００２５】
次に、ＩＣの製造方法において、前記構成に係る酸化装置を用いてウエハに酸化膜を形成する工程を説明する。
図１に示されているように、酸化膜形成処理に際して、複数枚のウエハ１を整列保持したボート２１はシールキャップ２０の上にウエハ１群が並んだ方向が垂直になる状態で載置され、ボートエレベータによって差し上げられてプロセスチューブ１２の炉口１４から処理室１３に搬入（ボートローディング）されて行き、シールキャップ２０に支持されたままの状態で処理室１３に存置される。この状態で、シールキャップ２０はシールリングを挟んで密着することにより、処理室１３を気密に閉じた状態になる。【００２６】
処理室１３が気密に閉じられた状態で、処理室１３の内部が排気ライン３３によって排気され、ヒータユニット１８によって所定の温度に加熱され、ウエハの温度が処理温度（例えば、１０００〜１２００℃）に達して安定化すると、酸素ガスおよび窒素ガスがそれぞれ酸素ガス供給ライン４１および窒素ガス供給ライン４３によって処理ガス供給ライン３８へ所定の流量供給される。
処理ガス供給ライン３８に供給された酸素ガスおよび窒素ガスは、処理ガス供給ライン３８から供給管３７へ送り出され、供給管３７によりプロセスチューブ１２のガス溜１６に供給される。ガス溜１６に供給された処理ガスは流通孔１５によって処理室１３内の全体にわたって均等に分散される。
処理室１３に均一に分散された処理ガスはボート２１に保持された複数枚のウエハ１にそれぞれ均一に接触しながら処理室１３を流下し、排気管３２から排気ライン３３の排気力によって処理室１３の外部に排気される。処理ガスのウエハ１の表面への接触による処理ガスの酸化反応により、ウエハ１の表面には酸化膜が形成される。【００２７】
予め設定された処理時間が経過すると、処理室１３への酸素ガスおよび窒素ガスの供給が停止される。そして、処理室１３やガス溜１６等が窒素ガスによってパージされた後に、シールキャップ２０がボートエレベータによって下降され、ボート２１が処理室１３から待機室１１ｂに搬出（ボートアンローディング）される。
ボートアンローディングステップが終了すると、ボート２１から処理済みのウエハ１を取り出すためのウエハディスチャージステップが実行される。【００２８】
以降、前述した作用が繰り返されることにより、酸化装置によってウエハがバッチ処理されて行く。【００２９】
以上の酸化膜形成工程においては、一般に、ウエハと支持部間との間に存在する突起との接触により、ウエハ自重による傷がウエハの裏面に形成され、その傷に起因する歪がスリップを発生させると、考えられている。そのため、従来から、ウエハ支持の表面を平滑にし、突起を無くすことにより、ウエハと支持部との間に働く摩擦力を低減することが実施されている。
しかしながら、支持部の表面を平滑にし過ぎた場合には、突起による傷に起因するスリップではないスリップが確認されることがある。これは、支持部の表面を平滑にし過ぎたことにより、ウエハと支持部との界面の凝着力によって、ウエハと支持部表面とが貼り付き、それが剥がれるときにスリップが発生したと、考えられる。【００３０】
本実施の形態においては、支持部すなわちボート２１の保持溝２５の保持面２６の表面粗さ（Ｒａ）が１０-6ｍないし１０-3ｍに設定されていることにより、従来から問題とされて来た突起による傷に起因するスリップと、平滑にし過ぎるために発生する凝着力に起因するスリップとの両方を防止することができる。【００３１】
前記した実施の形態によれば、次の効果が得られる。【００３２】
1)  ウエハに接触して支持する支持部の表面粗さ（Ｒａ）を１０-6ｍないし１０-3ｍに設定することにより、酸化装置での酸化処理に際して、ウエハの支持部との接触部位にスリップが発生するのを防止することができるので、酸化装置ひいてはＩＣの製造方法全体としての製造歩留りを向上させることができる。【００３３】
2)  支持部を炭化シリコンによって形成することにより、支持部のシリコンウエハとの接触部位での凝着度を所定値に設定することができるので、食い込み度を所定値未満に設定して、支持部の表面粗さ（Ｒａ）を１０-6ｍないし１０-3ｍに設定することにより、酸化装置での酸化処理に際して、ウエハの支持部との接触部位にスリップが発生するのを防止することができる。【００３４】
図８は本発明の他の実施の形態である酸化装置を示しており、（ａ）はボートの保持溝の部分を示す平面断面図、（ｂ）は一部省略正面図である。【００３５】
本実施の形態が前記実施の形態と異なる点は、支持具がウエハと接触する支持板としてのウエハホルダ２９と、この支持板としてのウエハホルダ２９を支持する本体部とを有し、ウエハ１がウエハホルダ２９によって支持されるように構成されている点、である。
本実施の形態に係るウエハホルダ２９は、シリコンからなる円板形状のプレートの表面に、硬度がシリコンのそれよりも大きい炭化シリコン膜または窒化シリコン膜が形成されて構成されている。
なお、ウエハホルダ２９は、シリコンからなる円板形状のプレートの表面に硬度がシリコンのそれよりも小さい酸化シリコン膜を形成して、構成してもよい。
また、ウエハホルダ２９は炭化シリコンによって構成してもよい。
ウエハホルダ２９の直径Ｄ29は、ウエハ１の直径Ｄ1 の略２／３以上ないしウエハ１の直径Ｄ1 未満に設定され、好ましくは、ウエハ１の直径Ｄ1 の６３〜７３％に設定され、さらに好ましくは、ウエハ１の直径Ｄ1 の６５〜７５％に設定される。
例えば、ウエハの直径Ｄ1 が３００ｍｍである場合には、ウエハホルダ２９の直径Ｄ29は略２００ｍｍないし３００ｍｍに設定され、好ましくは１９０〜２２０ｍｍ、さらに好ましくは、１９５〜２１０ｍｍに設定される。
ウエハホルダ２９のウエハ１と接触する表面の表面粗さ（Ｒａ）は、１０-6ｍ（１μｍ）ないし１０-3ｍ（１０００μｍ）に設定され、好ましくは、１．５〜１０００μｍに設定され、さらに好ましくは、２〜１０００μｍに設定される。【００３６】
次に、本実施の形態に係る特徴であるウエハホルダ２９の直径の設定方法について説明する。
図９はウエハをウエハホルダで支持したモデル（以下、ウエハホルダ支持モデルという。）と、ウエハを４点で支持したモデル（以下、４点支持モデルという。）とによる支持位置とウエハの端、中心での変位量の関係に関する解析結果を示すグラフである。
図９において、実線曲線がウエハホルダ支持モデルの場合を示しており、破線曲線が４点支持モデルの場合を示している。
図１０はその解析に使用されたモデルを示す模式図であり、（ａ）はウエハホルダ支持モデルを示し、（ｂ）は４点支持モデルを示している。
図１０中、１はウエハ、２９はウエハホルダ、６１、６２、６３、６４は四つの支持点であり、ウエハホルダ２９の半径ｒと同一の半径ｒの上に互いに９０度の位相差をもってそれぞれ配置されている。７１ないし７５は各測定点である。第一測定点７１はウエハホルダ支持モデルの中心Ｏに位置し、第二測定点７２はウエハホルダ支持モデルのウエハ１の端に位置する。第三測定点７３は４点支持モデルの中心Ｏに位置し、第四測定点７４はウエハの中心Ｏから第四支持点６４の延長線上のウエハ１の端に位置し、第五測定点７５はウエハの中心Ｏから隣合う第一支持点６１と第四支持点６４との中点を結ぶ直線の延長線上のウエハ１の端に位置する。
図９によれば、ウエハホルダ支持モデルおよび４点支持モデルに関わらず、支持位置をウエハの中心から半径９５ｍｍ〜１１０ｍｍ、好ましくは９７．５ｍｍ〜１０５ｍｍ、さらに好ましくは略１００ｍｍの位置に設定することにより、最も変位量が小さくなることが判る。
しかしながら、４点支持モデルにおいては、ウエハの中心から支持点を通る延長線上に位置する第四測定点７４において変位量が０ｍｍになるが、隣合う支持点の中点に位置する第五測定点７５においては、下方向に僅かに垂れる（−０．０１６ｍｍ）という結果になっている。すなわち、４点支持モデルの場合には、支持点の位置（角度ないし位相差）によって、同心円状で変位量が異なるということになる。
つまり、図８に示されているように、半径が１５０ｍｍすなわち直径が３００ｍｍのウエハ１を半径が９５ｍｍ、好ましくは９７．５ｍｍ、さらに好ましくは１００ｍｍすなわち直径が１９０ｍｍ、好ましくは１９５ｍｍ、さらに好ましくは２００ｍｍ以上のウエハホルダ２９によって支持すれば、ウエハ１の自重による変位は問題とならない。
すなわち、ウエハホルダ２９の直径はウエハ１の直径の６３％以上、好ましくは６５％以上、さらに好ましくは「２／３」以上あればよい。
但し、本実施の形態においては、ウエハ１をウエハホルダ２９に対して授受するウエハ移載装置（wafer transfer equipment）のツィーザの挿入スペース等を考慮し、ウエハホルダ２９の直径はウエハ１の略「２／３」以上ウエハ１の直径未満、好ましくはウエハ１の直径の６０％以上７３％以下、好ましくは６３％以上７０％以下、に設定した。【００３７】
ウエハホルダ支持モデルと４点支持モデルとを巨視的支持形状として、微視的表面形状として表面粗さＲａについて、１３５０℃においての熱処理評価を実施した。
図１１は半径１００ｍｍの位置での４点支持モデルによる熱処理を実施した結果を示しており、（ａ）は表面検査装置によるウエハの全面観察写真、（ｂ）はウエハ裏面の光学顕微鏡観察写真である。
図１１中の一点鎖線が半径１００ｍｍの円であり、この円周上の対角線との交点においてウエハが支持されている。
表面検査装置の結果では、四箇所の支持点の全てでスリップ（図中の矢印が指示する十字）が確認される。
図１１（ｂ）のウエハ裏面顕微鏡写真が示すように、ウエハの自重および昇降温時の熱膨張による変形に起因した応力が、ウエハ支持点に集中して付加されたことにより傷が形成され、それを起点としてスリップが発生したと、考えられる。
図１２は直径１８０ｍｍのウエハホルダ支持モデルによる熱処理の結果を示しており、（ａ）は表面検査装置によるウエハの全面観察写真、（ｂ）はウエハ裏面の光学顕微鏡観察写真である。
図１２中の一点鎖線が直径１８０ｍｍ（半径９０ｍｍ）の円である。
図１２中の縦線および横線のそれぞれがスリップを示しており、その縦線および横線で示されるスリップが交差する点がスリップの起点である。
図１２（ａ）においては、ウエハホルダの端と思われる箇所からのスリップを大量に確認することができる。
図１２（ｂ）においては、ウエハホルダの形状に沿ったと思われる傷の列が見られ、その傷を起点としてスリップが確認される。この場合においても、４点支持モデルと同じく、ウエハの自重および昇降温時の熱膨張による変形に起因した応力が、ウエハ支持点に集中して付加されたことにより傷が形成され、それを起点としてスリップが発生したと、考えられる。【００３８】
以上の評価結果から、ウエハホルダの直径を１９０ｍｍ〜２２０ｍｍ、好ましくは１９５ｍｍ〜２１０ｍｍ、例えば２００ｍｍに設定し、表面粗さ（算術的平均粗さ）Ｒａを次の通り求め、その粗さを中心とした表面粗さ条件で熱処理評価を実施した。
表面粗さ（算術的平均粗さ）Ｒａは、その表面断面関数ｆ（ｘ）を積分し、その積分間隔で除することで求まる。図１３に示すモデルで簡単に導入方法を示す。
図１３において、円弧が連続した部分を支持表面とすると、その表面粗さＲａは以下の式で表される。
【数１】
0004317871.tif 000002
【００３９】
図１４は評価した直径２００ｍｍのウエハホルダの表面粗さＲａと表面最大高さＲｙとの関係を、スリップフリーとなったウエハ（図１４中の☆）、傷を起点とするスリップが確認されたウエハ（図１４中の×）で示すグラフである。
１３５０℃での熱処理において、直径３００ｍｍのウエハのスリップフリーが検証されている。但し、図１４中の左側領域においてはスリップが確認された（「スリップ発生」領域）。また、図１４中の中央領域においては、スリップが確認されたウエハもあった（「混在」領域）。複数枚のウエハで、安定してスリップフリーを達成することができたのは、右端部の領域である（「スリップフリー」領域）。
なお、スリップ発生領域の表面粗さＲａと混在領域の表面粗さＲａとの境界値は、１μｍ程度であり、混在領域の表面粗さＲａとスリップフリー領域の表面粗さＲａとの境界値は、１．５μｍ程度である。
また、ウエハホルダの表面粗さＲａの値を２．０μｍに設定することにより、確実にスリップフリーを達成することができるのを、確認することができた。
ここで、図４〜図７について説明したように、凝着力は摩擦力に置き換えて考えることができる。
そして、表面粗さＲａと相関する突起の曲率半径が小さくなると、摩擦係数は大きくなるために、凝着力は増加する。
逆に、突起の曲率半径が大きくなると、摩擦係数は小さくなるために、凝着力は低減する。
この摩擦係数から応力を計算すると、突起の曲率半径が１μｍ以下である場合は、トータル応力がウエハの降伏応力を超えるために、スリップが発生する。しかし、突起の曲率半径が１μｍ以上である場合は、スリップは発生しないことがわかる。
但し、突起の曲率半径が１μｍきっかりではマージンが少ないために、スリップが発生する可能性がある。そこで、突起の曲率半径を１．５μｍに設定すると、マージンもかなり発生するために、スリップの発生はかなりの確率で防止することができる。突起の曲率半径を２．０μｍに設定すると、確率はさらに高めることができる。
他方、ウエハホルダの表面粗さＲａの上限値である１０００μｍ超では、ウエハホルダの実際の表面加工において加工精度を維持することが困難になるために、スリップフリーを実現することが困難になる。
また、ウエハホルダの直径を１９０ｍｍ〜２２０ｍｍの間で変化させても、図１４に示されたような結果を同様に確認することができた。
なお、ウエハホルダの直径を１８０ｍｍ以下に設定した場合、および、ウエハホルダの直径を２３０ｍｍ以上に設定した場合には、図１４に示されたような結果は得られなかった。
これは、次の理由による。
まず、ウエハにおいてスリップが発生するか否かは、ウエハホルダのウエハと接触する部分の表面粗さＲａだけで定まるものではなく、ウエハホルダのウエハとの接触面積（ウエハホルダの直径）やウエハホルダによるウエハの支持箇所にも依存する。
例えば、所定の温度（例えば、１３５０℃）での熱処理において、直径３００ｍｍのウエハを所定の表面粗さＲａ（例えば、２．０μｍ）のウエハホルダによって支持した場合であっても、ウエハホルダの直径すなわちウエハホルダのウエハとの接触面積やウエハホルダによるウエハの支持箇所が変わると、ウエハにおいてスリップが発生する場合と、発生しない場合とが生じることになる。
つまり、ウエハホルダの直径を１９０ｍｍ〜２２０ｍｍとして、ウエハホルダによりウエハの変位量（撓み量）が最も小さくなるようにウエハを支持する場合には、ウエハホルダの表面粗さＲａを１μｍ〜１０００μｍ、好ましくは１．５μｍ〜１０００μｍ、さらに好ましくは、２μｍ〜１０００μｍとすれば、ウエハホルダの表面の突起による傷に起因するスリップおよびウエハホルダを平滑にし過ぎる場合に発生するスリップの両方の発生を防止することができる。しかしながら、ウエハホルダの直径を１８０ｍｍ以下とした場合、および、ウエハホルダの直径を２３０ｍｍ以上とした場合すなわちウエハの変位量（撓み量）が比較的大きい場合には、ウエハホルダの表面粗さＲａを１μｍ〜１０００μｍ、好ましくは１．５μｍ〜１０００μｍ、さらに好ましくは、２μｍ〜１０００μｍとしても、ウエハホルダの表面の突起による傷に起因するスリップまたはウエハホルダを平滑にし過ぎる場合に発生するスリップの少なくとも一方が発生してしまうという訳である。【００４０】
図１５は表面粗さＲａが「スリップ発生」領域にあるウエハホルダを用いた場合の処理結果を示しており、（ａ）は表面検査装置による観察写真、（ｂ）は傷を起点としたスリップの顕微鏡観察写真をそれぞれ示している。
ウエハの中央付近に集中したスリップを確認することができる。
この結果は以下のように考えられる。
表面粗さＲａが小さいため、ウエハと支持部（ウエハホルダ）との間には大きな凝着力Ｆａが発生し、ウエハの中心付近においてウエハと支持部とが凝着した状態で、熱処理が進行したために、スリップが発生した。その証拠として、図１５（ｂ）においては、ウエハの裏面に支持部すなわちウエハホルダ表面の一部がはぎ取られた痕跡があり、さらに、その衝撃でスリップも観察される。【００４１】
図１６は表面粗さＲａが「スリップフリー」の領域にあるウエハホルダを用いた場合の処理結果を示しており、（ａ）はＸ線トポグラフ（X-Ray Topograph)による観察写真、（ｂ）はウエハホルダ端の小傷の顕微鏡写真をそれぞれ示している。
ウエハにはスリップは一切確認することができない。但し、顕微鏡写真に示されているように、ウエハホルダ端の円周上に小さな傷が形成されている。小さな傷からは、表面検査装置、Ｘ線トポグラフおよび顕微鏡観察において、スリップの発生は確認することができない。また、この小さな傷はＸ線トポグラフにおいては確認することができないほど小さいながら、ウエハホルダとの接触部全面に存在している。顕微鏡においては確認することができる。これはウエハと支持部すなわちウエハホルダとの界面全域に存在する微少突起が、摩擦力Ｆｆをバランスよく分散させている証拠と考えられる。【００４２】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。【００４３】
例えば、ウエハホルダは、シリコン製のプレートの表面に炭化シリコン膜や窒化シリコン膜等のシリコンよりも硬い物質の膜を被着して構成するに限らず、シリコン製のプレートの表面に酸化シリコン膜等のシリコンよりも硬度の小さい物質からなる膜を被着して構成してもよく、また、炭化シリコン製のプレートや窒化シリコン製のプレートによって構成してもよい。
また、ウエハホルダには少なくとも一つの貫通孔を設けるようにしてもよい。このような構成とすることにより、ウエハホルダへのウエハ移載時に、ウエハとウエハホルダとの間の空気を貫通孔を通して外部に逃がすことができ、ウエハのウエハホルダに対する滑りを防止することができる。このような構成のウエハホルダであっても、ウエハホルダの表面の突起による傷に起因するスリップおよびウエハホルダを平滑にし過ぎ場合に発生するスリップの両方の発生を防止することができる。【００４４】
前記実施の形態においては、ＩＣの製造方法においてウエハに酸化膜を形成する工程について説明したが、本発明に係る熱処理装置はＩＣの製造方法の他の熱処理工程に適用することもできる。
特に、比較的に高い温度で実施される熱処理、例えば、ドライ酸化、ウエット酸化、水素燃焼酸化（パイロジェニック酸化）、塩酸（ＨＣｌ）酸化等の熱酸化工程や、硼素（Ｂ）、燐（Ｐ）、砒素（Ａｓ）、アンチモン（Ｓｂ）等の不純物（ドーパント）を半導体薄膜に拡散する熱拡散工程、アニール工程等に適用するのが好ましい。
このようなＩＣの製造方法の熱処理工程に本発明に係る熱処理装置を適用することにより、ウエハのスリップの発生を防止することができる。【００４５】
さらに、本発明に係る熱処理装置は、基板の製造方法に適用して優れた効果を発揮する。
例えば、ＳＯＩ（silicon on insulator) ウエハの一種であるＳＩＭＯＸ（separation by implanted oxygen) ウエハの製造方法の熱処理工程に、本発明に係る熱処理装置を適用する場合について説明する。
まず、酸素イオンが単結晶シリコンウエハの内部にイオン注入装置等によって注入される。その後に、酸素イオンが注入されたウエハが本発明に係る熱処理装置によって、例えば、アルゴン（Ａｒ）や酸素（Ｏ2 ）雰囲気の下で、１３００℃〜１４００℃程度（例えば、１３５０℃以上）の高温をもってアニール処理される。これらの処理によって、酸化シリコン（ＳｉＯ2 ）層がウエハの内部に形成された（酸化シリコン層が埋め込まれた）ＳＩＭＯＸウエハが製造される。【００４６】
また、水素アニールウエハの製造方法の熱処理工程にも、本発明に係る熱処理装置を適用することができる。この場合には、本発明に係る熱処理装置を使用して水素雰囲気中で、１２００℃程度以上の高温をもってウエハをアニール処理することになる。これによって、ＩＣが製造されるウエハの表面層の結晶欠陥を低減することができ、結晶の完全性を高めることができる。
この他には、エピタキシャルウエハの製造方法の熱処理工程にも、本発明に係る熱処理装置を適用することができる。
以上のような基板の製造方法の一工程である高温アニール処理を実施する場合であっても、本発明に係る熱処理装置を使用することにより、ウエハのスリップの発生を防止することができる。【００４７】
ドライ酸化装置に適用するに限らず、その他の酸化装置、拡散装置、アニール装置およびその他の熱処理装置等の熱処理装置全般に適用することができる。【００４８】
前記実施の形態ではシリコンウエハに処理が施される場合について説明したが、被処理基板はゲルマニウムウエハや化合物半導体ウエハ等であってもよく、さらには、ホトマスクやプリント配線基板、液晶パネル、コンパクトディスクおよび磁気ディスク等であってもよい。
【図１】
0004317871.tif 000003
【図２】
0004317871.tif 000004
【図３】
0004317871.tif 000005
【図４】
0004317871.tif 000006
【図５】
0004317871.tif 000007
【図６】
0004317871.tif 000008
【図７】
0004317871.tif 000009
【図８】
0004317871.tif 000010
【図９】
0004317871.tif 000011
【図１０】
0004317871.tif 000012
【図１１】
0004317871.tif 000013
【図１２】
0004317871.tif 000014
【図１３】
0004317871.tif 000015
【図１４】
0004317871.tif 000016
【図１５】
0004317871.tif 000017
【図１６】
0004317871.tif 000018