(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
工程間搬送をカセット搬送によって、工程内搬送を枚葉搬送によって、それぞれ搬送を行うようにした半導体又は液晶の製造ラインの搬送システムにおいて、工程内搬送路の走行路を、平面視して重畳するように、上下方向に複数段にそれぞれ独立して構成し、各走行路に、基板を載置する載置台を備えた枚葉搬送車を配置するとともに、同一位置で、各枚葉搬送車との間で同時に基板の受け渡しを行うことができるロードポートを、工程内搬送路に沿って配設し、ロードポートに、各枚葉搬送車の載置台と工程内との間で基板の受け渡しを行う、中央部に空間を形成した枠体からなり、枚葉搬送車の載置台のアーム部を挿通できる切欠及び該切欠を有する一辺に接続される他の一辺に工程内に配設した移載装置のフォークを挿通できるようにした下方に窪ませた凹部を形成した受台を、旋回可能に、上下方向に複数段に配設し、基板の受け渡しを枚葉搬送車の載置台又はロードポートの受台の昇降動作による枚葉搬送車の載置台とロードポートの受台との交差により行うようにしたことを特徴とする搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工程間搬送をカセット搬送によって、工程内搬送を枚葉搬送によって、それぞれ搬送を行うようにした半導体又は液晶の製造ラインの搬送システムに関し、特に、工程内搬送における枚葉搬送を効率的に行うことができるようにした搬送システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体又は液晶の製造ラインにおいては、主として、複数枚の半導体又は液晶の基板（以下、本明細書において、単に「基板」という。）をカセットに収容した状態で、工程間及び工程内の搬送を行うカセット搬送方式が採用されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このカセット搬送方式は、基板をカセットに収容した状態で搬送するため、基板にゴミ等が付着せず、清浄な状態で搬送を行うことができるという利点があった。
【０００４】
しかしながら、近年の基板の大形化に伴い、カセットが大形化して重量が重くなり、カセットを搬送したり、収容するために用いる搬送台車やストッカ等の設備が大形化して、建屋を含む設備の構築コスト、維持コストが極端に上昇するという問題があった。
【０００５】
また、大形で重量のあるカセットを搬送する場合、搬送速度を高めることは安全面等で問題があるため、タクトタイムを短縮することが困難で、搬送を効率的に行うことができないという問題があった。
【０００６】
一方、基板の大形化に伴い、工程間搬送をカセット搬送によって、工程内搬送を枚葉搬送によって、それぞれ搬送を行うようにすることが、提案され、実用化されている。
この枚葉搬送は、基板を１枚ずつ搬送するため、搬送速度を高めることができ、これにより、カセット搬送に比べてタクトタイムを短縮できる利点はあるが、従来の搬送システムをそのまま用いて、工程内搬送だけをカセット搬送から枚葉搬送に変更すると、搬送能力が不足することとなる。
例えば、従来のカセット搬送で、２０枚のガラス基板が収容されたカセット１個を３分間隔で搬送していたとすれば、ガラス基板１枚当たりの搬送所要時間は、３分／２０枚＝１８０秒／２０枚＝９秒／１枚となる。
これを枚葉搬送にすると、ガラス基板を９秒間隔で搬送する必要がある。
しかしながら、枚葉搬送車が１車線の走行路上を走行する方式では、９秒間隔の高速で安定した搬送を行うことは困難であるため、搬送能力が不足することは明白である。
【０００７】
本発明は、従来の工程間搬送をカセット搬送によって、工程内搬送を枚葉搬送によって、それぞれ搬送を行うようにした半導体又は液晶の製造ラインの搬送システムの有する問題点に鑑み、工程内搬送における枚葉搬送を効率的に行うことができるようにした搬送システムを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の搬送システムは、工程間搬送をカセット搬送によって、工程内搬送を枚葉搬送によって、それぞれ搬送を行うようにした半導体又は液晶の製造ラインの搬送システムにおいて、工程内搬送路の走行路を、平面視して重畳するように、上下方向に複数段にそれぞれ独立して構成し、各走行路に、基板を載置する載置台を備えた枚葉搬送車を配置するとともに、同一位置で、各枚葉搬送車との間で同時に基板の受け渡しを行うことができるロードポートを、工程内搬送路に沿って配設し、ロードポートに、各枚葉搬送車の載置台と工程内との間で基板の受け渡しを行う、中央部に空間を形成した枠体からなり、枚葉搬送車の載置台のアーム部を挿通できる切欠及び該切欠を有する一辺に接続される他の一辺に工程内に配設した移載装置のフォークを挿通できるようにした下方に窪ませた凹部を形成した受台を、旋回可能に、上下方向に複数段に配設し、基板の受け渡しを枚葉搬送車の載置台又はロードポートの受台の昇降動作による枚葉搬送車の載置台とロードポートの受台との交差により行うようにしたことを特徴とする。
【０００９】
この搬送システムは、工程内搬送路の走行路を、平面視して重畳するように、上下方向に複数段にそれぞれ独立して構成し、各走行路に、基板を載置する載置台を備えた枚葉搬送車を配置するようにしているため、工程内搬送路の走行路のスペースを実質的に増大したり、枚葉搬送車の搬送速度を高めることなく、搬送能力を高めることができ、さらに、同一位置で、各枚葉搬送車との間で同時に基板の受け渡しを行うことができるロードポートを、工程内搬送路に沿って配設するようにしているため、基板の移載作業を含む工程内搬送における枚葉搬送を効率的に行うことができる。
【００１０】
そして、ロードポートに、各枚葉搬送車の載置台と工程内との間で基板の受け渡しを行う、中央部に空間を形成した枠体からなり、枚葉搬送車の載置台のアーム部を挿通できる切欠及び該切欠を有する一辺に接続される他の一辺に工程内に配設した移載装置のフォークを挿通できるようにした下方に窪ませた凹部を形成した受台を、旋回可能に、上下方向に複数段に配設し、基板の受け渡しを枚葉搬送車の載置台又はロードポートの受台の昇降動作による枚葉搬送車の載置台とロードポートの受台との交差により行うようにすることにより、簡易な機構により、同一位置で、各枚葉搬送車とロードポートとの間で同時に基板の受け渡しを行うことができるようにすることができるとともに、基板の受け渡しを、基板を水平状態に保持して、安定して行うことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の搬送システムの実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１２】
図１〜図３に、工程間搬送をカセット搬送によって、工程内搬送を枚葉搬送によって、それぞれ搬送を行うようにした半導体又は液晶の製造ラインの搬送システムの一例を示す。
【００１３】
この半導体又は液晶の製造ラインの搬送システムは、カセット搬送を行う工程間搬送路１を、製造ラインに沿ってカセット３を搭載した搬送車２が走行可能となるように敷設するとともに、この工程間搬送路１と交わる方向に枚葉搬送を行う工程内搬送路８を敷設する。
【００１４】
工程間搬送路１は、半導体又は液晶の製造ラインに応じて、１本又は複数本（本実施例においては２本）を敷設し、各工程間搬送路１には、それぞれ１台又は複数台の搬送車２を配置する。
この搬送車２は、複数枚の基板を収容したカセット３を、製造ラインの所定位置で受渡可能に構成されている。
【００１５】
枚葉搬送を行う工程内搬送路８には、枚葉搬送車７を配設し、さらに、工程間搬送路１と工程内搬送路８との交差位置にストッカ４を配置し、これにより、工程間搬送路１に沿って搬送されたカセット３に収容された基板を、工程内搬送路８側へ移載することができるようにする。
このため、ストッカ４には、カセット３に収容された基板６の出納を行う移載機５を配設するようにし、一方、工程内搬送路８に沿った所定位置には、ロードポート９を配設し、工程内搬送路８に沿って走行する枚葉搬送車７との間で基板６を１枚づつ受け渡しできるように構成する。
【００１６】
工程内搬送路８の走行路は、図２に示すように、上下方向に所定間隔をあけてそれぞれ独立した複数段（本実施例においては３段）の走行路８Ａ、８Ｂ、８Ｃで以て構成する。
この走行路８Ａ、８Ｂ、８Ｃより構成する工程内搬送路８は、平面的には、従来の工程内搬送路の占めるスペースと実質的に同じとなるように構成する。
そして、各走行路８Ａ、８Ｂ、８Ｃには、基板を１枚ずつ搬送するようにした枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃを、互いに干渉することなく独立走行可能に配置するようにする。
【００１７】
各枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃは、後述の互いに干渉することなく独立走行できるようにする構成を除くと、基本的には、同じ構成とすることができる。
【００１８】
そこで、ここでは、走行路８Ａに沿って走行する枚葉搬送車７Ａについて説明する。
枚葉搬送車７Ａは、走行路８Ａに沿って走行するように構成した台車本体７１と、この台車本体７１の側方に突設した支持台７２と、この支持台７２の上部に所定のストロークで昇降可能に設けた基板６を載置するための載置台７３と、この載置台７３上に載置した基板６にダウンフローが直接当たって基板６にゴミ等が付着することを防止し、基板６を清浄な状態で搬送を行うことができるようにする載置台７３の上方に設けたカバー７４とで以て構成する。
【００１９】
そして、各枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃが、互いに干渉することなく独立走行できるように、本実施例においては、各枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃに設ける載置台７３及びカバー７４並びにその支持台７２の配設位置を、高さ方向及び水平方向にそれぞれ異ならせて配置するようにする。
そして、より具体的には、枚葉搬送車７Ｃ、７Ｂ、７Ａの順に、載置台７３及びカバー７４の配設位置を高くするとともに、支持台７２を台車本体７１の側方に大きく突設するようにする。
【００２０】
また、工程内搬送路８に沿った所定位置に、ロードポート９を設置する。
このロードポート９は、図２〜図３に示すように、床面等の固定側に樹立した支柱９１と、この支柱９１に旋回装置（図示省略）により旋回可能に配設し、各枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃの昇降可能に設けた載置台７３との間で基板６の受け渡しを行う受台９２、９３、９４とで以て構成する。
この受台９２、９３、９４は、工程内搬送路８の各枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃの載置台７３に対応する位置（本実施例では３個）に、それぞれ配設するようにする。
【００２１】
各受台９２、９３、９４は、基本的には、同じ構成であるため、ここでは、最上段の受台９２について説明する。
受台９２は、その中央部に空間を形成した枠体からなり、その一辺に、載置台７３の細く形成されたアーム部７３ａを挿通できるようにした切欠９２ａを形成するとともに、この切欠９２ａを有する一辺に接続される他の一辺に、工程内（製造装置側）に配設した移載装置１０のフォーク１１を挿通できるようにした下方に窪ませた凹部９２ｂを形成する。
【００２２】
このロードポート９に隣接して配設する移載装置１０は、フォーク１１を昇降、出没、旋回の３動作を組み合わせて行えるように構成して、ロードポート９の各受台９２、９３、９４との間で基板６の受け渡しを行うことができるようにする。
【００２３】
以下、本発明の搬送システムの動作について説明する。
工程間搬送路１に沿って走行する搬送車２にて搬送されてきたカセット３を、ストッカ４に載置する。
ストッカ４に配設した移載機５によって、カセット３に収容されている基板６を１枚ずつ取り出し、これを工程内搬送路８の走行路８Ａ、８Ｂ、８Ｃを走行する枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃのうち、移載機５の最も近くを空で走行している枚葉搬送車の載置台７３に載置する。
【００２４】
この搬送システムは、このように、工程内搬送路８の走行路８Ａ、８Ｂ、８Ｃを、上下方向に複数段にそれぞれ独立して構成し、各走行路８Ａ、８Ｂ、８Ｃに、基板６を載置する載置台７３を備えた枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃを、互いに干渉することなく独立走行可能に配置するようにしているため、工程内搬送路８の走行路８Ａ、８Ｂ、８Ｃの平面スペースを実質的に増大したり、枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃの搬送速度を高めることなく、搬送能力を高めることができ、工程内搬送における枚葉搬送を効率的に行うことができるものとなる。
【００２５】
そして、載置台７３に基板６を載置した枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃは、工程搬送路８の所定の走行路８Ａ、８Ｂ、８Ｃに沿って走行するが、このとき、載置台７３の上方に設けたカバー７４によって、基板６にダウンフローが直接当たって基板６にゴミ等が付着することを防止し、これにより、基板６を清浄な状態に維持して搬送を行うことができる。
【００２６】
載置台７３に基板６を載置した枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃが、指定されたロードポート９の位置に到達すると、枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃが停止し、基板６を枚葉搬送車７Ａ、７Ｂ、７Ｃの載置台７３からロードポート９の受台９２、９３、９４に移載するようにする。
【００２７】
この移載動作を、図３を用いて説明する。
ここでは、枚葉搬送車７Ａについて説明するが、他の枚葉搬送車７Ｂ、７Ｃの場合も、基本的には、同じ動作となる。
【００２８】
載置台７３に基板６を載置した枚葉搬送車７Ａが、工程搬送路８の所定の走行路８Ａに沿って走行し（図３（Ａ））、指定されたロードポート９の位置に到達すると、枚葉搬送車７Ａが停止する（図３（Ｂ））。
このとき、ロードポート９の旋回装置（図示省略）を駆動することにより、対応する受台９２を、載置台７３の下方に位置するように旋回させておく。
なお、受台９２は、枚葉搬送車７Ａが停止した後、旋回させることもできる。
次に、載置台７３を降下させることにより、載置台７３を枠状の受台９２の枠内を通過させ（載置台７３と受台９２とを交差させ）、基板６を枚葉搬送車７Ａの載置台７３からロードポート９の受台９２へ移載する（図３（Ｃ）、（Ｄ））。
なお、本実施例においては、載置台７３を昇降動作するように構成したが、受台９２を昇降動作するように構成することもできる。
そして、載置台７３を降下させることにより、基板６の枚葉搬送車７Ａの受載置台７３からロードポート９の受台９２への移載が完了すると、他の基板６の搬送のため枚葉搬送車７Ａの走行を開始させるとともに、ロードポート９の旋回装置（図示省略）を駆動することにより、受台９２を旋回させることにより、基板６を移載装置１０に対向する位置に移動させるようにする（図３（Ｅ）、（Ｆ））。
なお、枚葉搬送車７Ａの走行の開始と、受台９２の旋回は、それぞれ独立して行うこともできる。
【００２９】
そして、移載装置１０を用いて、基板６をロードポート９の受台９２から工程内（製造装置側）に供給する。
この移載装置１０は、昇降、出没、旋回の３動作を組み合わせて行えるように構成したフォーク１１を備えており、フォーク１１を没した状態で、フォーク１１がロードポート９の受台９２に対向するように旋回するとともに、フォーク１１を昇降して、フォーク１１の高さ位置を受台９２の窪み９２ｂに挿入できる位置に合わせ、その後、フォーク１１を突出させて受台９２の窪み９２ｂに挿入する。そして、フォーク１１を上昇させると、基板６はロードポート９の受台９２からフォーク１１へ移載され、フォーク１１を反対方向へ旋回させて、基板６を工程内（製造装置側）に供給する。
【００３０】
基板６を工程内（製造装置側）から、移載装置１０、ロードポート９の受台９２を介して枚葉搬送車７Ａの載置台７３に移載する場合は、上記の動作と逆の動作を行うようにする。
【００３１】
これにより、枚葉搬送車７Ａが、ロードポート９の位置で基板６の移載作業を行っているときでも、他の枚葉搬送車７Ｂ、７Ｃは、移載作業を行っている枚葉搬送車７Ａを追い抜いて走行したり、さらには、他の枚葉搬送車７Ｂ、７Ｃが、同じ又は他のロードポート９の位置で基板６の移載作業を行うことができ、基板６の移載作業を含む工程内搬送における枚葉搬送を効率的に行うことができるものとなる。
【００３２】
【発明の効果】
本発明の搬送システムによれば、工程内搬送路の走行路を、平面視して重畳するように、上下方向に複数段にそれぞれ独立して構成し、各走行路に、基板を載置する載置台を備えた枚葉搬送車を配置するようにしているため、工程内搬送路の走行路のスペースを実質的に増大したり、枚葉搬送車の搬送速度を高めることなく、搬送能力を高めることができ、さらに、同一位置で、各枚葉搬送車との間で同時に基板の受け渡しを行うことができるロードポートを、工程内搬送路に沿って配設するようにしているため、基板の移載作業を含む工程内搬送における枚葉搬送を効率的に行うことができ、工程間搬送をカセット搬送によって、工程内搬送を枚葉搬送によって、それぞれ搬送を行うようにした半導体又は液晶の製造ラインの搬送システムを円滑に稼働させることができる。
【００３３】
そして、ロードポートに、各枚葉搬送車の載置台と工程内との間で基板の受け渡しを行う、中央部に空間を形成した枠体からなり、枚葉搬送車の載置台のアーム部を挿通できる切欠及び該切欠を有する一辺に接続される他の一辺に工程内に配設した移載装置のフォークを挿通できるようにした下方に窪ませた凹部を形成した受台を、旋回可能に、上下方向に複数段に配設し、基板の受け渡しを枚葉搬送車の載置台又はロードポートの受台の昇降動作による枚葉搬送車の載置台とロードポートの受台との交差により行うようにすることにより、簡易な機構により、同一位置で、各枚葉搬送車とロードポートとの間で同時に基板の受け渡しを行うことができるようにすることができるとともに、基板の受け渡しを、基板を水平状態に保持して、安定して行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  半導体又は液晶の製造ラインの搬送システムの一例を示す説明図である。
【図２】  同要部の説明図である。
【図３】  同動作説明図である。
【符号の説明】
１    工程間搬送路
２    搬送車
３    カセット
４    ストッカ
５    移載機
６    基板
７、７Ａ、７Ｂ、７Ｃ  枚葉搬送車
７１  台車本体
７２  支持台
７３  載置台
８    工程内搬送路
８Ａ、８Ｂ、８Ｃ  走行路
９    ロードポート
９１  支柱
９２、９３、９４  受台
１０  移載装置
【図１】
0004209572.tif 000002
【図２】
0004209572.tif 000003
【図３】
0004209572.tif 000004