(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク液滴を吐出する、一方向に隣接して設けられた複数のインク吐出用ノズルと、このインク吐出用ノズルの各々からインク液滴を吐出させる、前記インク吐出用ノズルに１対１に対応して前記インク吐出用ノズル近傍に設けられたインク吐出手段と、一端が前記インク吐出用ノズルに接続され、前記インク吐出用ノズルに１対１に対応した複数の個別インク通路、およびこの個別インク通路の他端と接続し、前記個別インク通路の各々にインク液を供給する共通インク通路を有するインク液路とを備えるインクジェットヘッドであって、前記インク液路に、流体制御手段が設けられており、
前記個別インク通路の各々は、前記インク吐出用ノズルに対応して前記共通インク通路に向けて延在する隔壁で仕切られ、
前記個別インク通路と前記共通インク通路との接続部分の前記隔壁末端面は粗面化処理が施された粗面化処理面とされ、
前記流体制御手段が、前記粗面化処理面に繋留され、インク液の圧力の変動に応じて伸縮する気泡であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とするインクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数のインク吐出用ノズルからインク液滴を吐出して記録を行うインクジェットプリンタに用いるインクジェットヘッドおよびインクジェットプリンタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
記録紙等の記録媒体にインク液滴を吐出して画像記録を行うインクジェットプリンタが広く普及している。
このインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドは、一方向に複数のインク吐出用ノズルを隣接して配列し、このインク吐出用ノズルの各々に個別インク通路を接続してインク液を常時供給する構成となっている。さらに、このインク吐出用ノズルの近傍の個別インク通路中に、インク液滴を吐出するインク吐出手段、例えば、加熱ヒータや圧電素子ＰＺＴのダイヤフラムが、インク吐出用ノズル各々に１対１に対応して形成される。そして、このインク吐出手段によって、インク液を部分的に加熱して発生した気泡を膨張させることによって、あるいは、機械的振動をインク液に加えることによって、インク液を加圧して、インク吐出用ノズルからインク液滴を吐出させる。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドは、インク液をインク吐出手段を用いて加圧してインク液滴を吐出させるため、インク液の加圧が隣接するインク吐出用ノズルからのインク液滴の吐出に対して影響を与える、いわゆるインク吐出用ノズルの相互干渉が発生することが知られている。
そのため、インク吐出用ノズル間のインク吐出の相互干渉を低減するために、インク液滴の吐出のためのインク吐出手段の駆動タイミングを制御したインク吐出手段の駆動制御方法が種々提案されている。
例えば、特開平１０−３１５４５１号公報では、隣接するインク吐出用ノズル毎にノズル対を設定し、このノズル対のインク吐出用ノズルから同じタイミングでインク液滴の吐出を行うと共に、他のノズル対のインク吐出用ノズルから異なるタイミングでインク液滴の吐出を行う方法を提案している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記公報等で提案されるように、インク吐出手段の駆動タイミングを制御する場合、制御回路やシーケンス回路を別途設けなければならず、インクジェットヘッドの駆動回路が複雑化、煩雑化するといった問題があった。
一方、インク吐出用ノズルを隣接するインク吐出用ノズルと隔壁によって仕切って作られる個別インク通路の長さを長くすることによって、インク吐出用ノズルの相互干渉を低減することができる。しかし、この場合、個別インク通路の長さを長くするため、個別インク通路の管路抵抗やインク液の慣性抵抗が増加し、インク吐出後のインク液の供給が遅くなり、迅速なインク液の供給が行えないといった問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、インクジェットヘッドの駆動回路を複雑化することなく、インク吐出用ノズルの相互干渉を低減してインク液の迅速な供給が行えるインクジェットヘッドおよびこれを用いたインクジェットプリンタを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、インク液滴を吐出する、一方向に隣接して設けられた複数のインク吐出用ノズルと、
このインク吐出用ノズルの各々からインク液滴を吐出させる、前記インク吐出用ノズルに１対１に対応して前記インク吐出用ノズル近傍に設けられたインク吐出手段と、
一端が前記インク吐出用ノズルに接続され、前記インク吐出用ノズルに１対１に対応した複数の個別インク通路、およびこの個別インク通路の他端と接続し、前記個別インク通路の各々にインク液を供給する共通インク通路を有するインク液路とを備えるインクジェットヘッドであって、
前記インク液路に、インク液の流れに対して容量性を有する流体制御手段を設けたことを特徴とするインクジェットヘッドを提供する。
【０００７】
ここで、前記個別インク通路の各々は、前記インク吐出用ノズルに対応して隔壁で仕切られ、前記流体制御手段が、隔壁内部に気体封止空間を設けることでインク液の圧力の変動に応じて変形する、隔壁表面に形成された可撓性弾性壁であるのがよい。
あるいは、前記個別インク通路の各々は、前記インク吐出用ノズルに対応して隔壁で仕切られ、前記流体制御手段が、前記個別インク通路の隔壁に形成された袋状凹部空間に気泡が繋留され、この気泡がインク液の圧力の変動に応じて伸縮する気泡溜まりであるのがよい。
あるいは、前記流体制御手段が、前記共通インク通路中の、前記個別インク通路端の開口部の両側に設けられ、内部に気体封止空間を設けることでインク液の圧力の変動に応じて径が伸縮する柱状弾性体であるのがよい。
あるいは、前記個別インク通路の各々は、前記インク吐出用ノズルに対応して前記共通インク通路に向けて延在する隔壁で仕切られ、前記個別インク通路と前記共通インク通路との接続部分の前記隔壁末端面は粗面化処理が施された粗面化処理面とされ、前記流体制御手段が、前記粗面化処理面に繋留され、インク液の圧力の変動に応じて伸縮する気泡であるのがよい。
あるいは、前記インク吐出用ノズルは、前記インク液路の壁面の一部を形成するプレートに穿孔され、このプレートの面に対して略直交あるいは一定の傾斜角度を付けてインク液滴を吐出するノズルであって、前記流体制御手段が、前記インク吐出用ノズルと別に前記インク吐出用ノズルの各々に１対１に対応して、前記プレートの、前記インク液路の壁面となっている部分に穿孔された外気と連通したノズルであるのがよい。
【０００８】
また、本発明は、上記インクジェットヘッドを搭載したことを特徴とするインクジェットプリンタを提供する。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のインクジェットヘッドおよびインクジェットプリンタについて、添付の図面に示される好適実施例を基に詳細に説明する。
【００１０】
図１（ａ）および（ｂ）に、本発明のインクジェットヘッドを搭載するインクジェットプリンタの一例であるプリンタ１０が示されている。
図１（ａ）はプリンタ１０の概略の構成図であり、図１（ｂ）は、概略斜視図である。
プリンタ１０は、インクジェットヘッド５０が、記録紙等の記録媒体Ｐの少なくとも１辺の長さを超えてインクを吐出する複数のインク吐出用ノズルが一方向に配列されたラインヘッドである。プリンタ１０は、記録部１２、供給部１４、プレヒート部１６および排出部１８を有して構成される。
【００１１】
供給部１４は、搬送ローラ対２０および２２と、ガイド２４および２６とを有し、記録媒体Ｐは、供給部１４によって横方向から上方に搬送されプレヒート部１６に供給される。
【００１２】
プレヒート部１６は、３本のローラおよびエンドレスベルトからなるコンベア２８と、コンベア２８の外方からエンドレスベルトに押圧される圧着ローラ３０と、コンベア２８の内方から圧着ローラ３０に押圧される加熱装置３２と、プレヒート部１６内を排気する排気ファン３４とを有する。
このようなプレヒート部１６は、インクジェットによる記録に先立ち記録媒体Ｐを加熱することで、記録媒体Ｐに吐出されたインクの乾燥を促進し、高速記録を実現するためのもので、供給部１４から搬送された記録媒体Ｐは、コンベア２８と圧着ローラ３０とによって挟持搬送されつつ、加熱装置３２によって記録面側から加熱され、記録部１２に搬送される。
【００１３】
記録部１２は、記録ヘッド部５０と記録媒体搬送部５８とを有して構成され、記録ヘッド部５０は、Ｓｉ基板からなるヘッドチップを有するインクジェットヘッド５２と、記録制御部５４と、インクタンク５６とを有し、インクジェットヘッド５２は、記録制御部５４に接続される。
インクジェットヘッド５２は、プリンタ１０の画像記録の対象とする最大幅サイズの記録媒体Ｐの少なくとも１辺を超える長さにわたって、インク液滴を吐出するインク吐出用ノズルが複数配列されたラインヘッドで、インク吐出用ノズルは、図１（ａ）中の紙面において垂直方向に配列される。
従って、記録ヘッド部５０は、駆動ローラ６２および搬送ローラ６０ａ、６０ｂに巻回されたベルト６４を有する記録媒体搬送部５８によって搬送される記録媒体Ｐ上に、図１（ａ）の紙面に垂直方向に走査することなく、記録幅全体に渡って、一度に記録される。
記録された記録媒体Ｐは、ローラ対７２、７４を有する排出部１８より排出される。
なお、プリンタ１０のインクジェットヘッド５２は、ラインヘッドに限られず、記録媒体Ｐの搬送方向と直交する方向にインクジェットヘッド１０が走査するシリアルタイプのインクジェットヘッドであってもよい。
【００１４】
このようなプリンタ１０のインクジェットヘッド５２には、記録媒体Ｐの幅方向に一列に並ぶインク吐出用ノズルの各々に対応して、図２に示すようなインクジェットヘッドのヘッドチップの断面構造が設けられている。
【００１５】
すなわち、Ｓｉ基板１００の上にスパッタリングによって設けられた発熱抵抗体１０２と、この発熱抵抗体１０２に通電するための導体電極１０４、１０６と、導体電極１０４にビアホール１０８を介して接続される駆動部１１０とを有する。なお、発熱抵抗体１０２と導体電極１０４、１０６とによってヒータが形成される。
【００１６】
また、発熱抵抗体１０２の一部分と、導体電極１０４と、ビアホール１０８と、駆動部１１０の略全体の上方を被うように、ポリイミド等の樹脂材料によって形成された隔壁層１１２が設けられる。この隔壁層１１２には、一方向に配列するヒータ（図２において紙面に対して垂直方向）に１対１に対応して個別インク通路１１４を形成するように隔壁１１２ａ（図３参照）が配置され、個別インク通路１１４は、共通インク通路１１５およびＳｉ基板１００に間歇的に穿孔されたインク供給孔１１９を介して、実装フレーム１２０に設けられインクタンク５６と接続されたインク供給路１２１に接続されるように構成される。個別インク通路１１４と共通インク通路１１５とによって本発明におけるインク液路が形成される。
【００１７】
インク吐出用ノズル１１６は、図２中において発熱抵抗体１０２の略垂直上方に位置する、個別インク通路１１４の壁面の一部を成すプレート１１８に穿孔され、インク液滴をプレート１１８の面に対して略直交にインク液滴を吐出するノズルである。インク吐出用ノズル１１６は、プレート１１８に対して一定の傾斜角度を付けてインク液滴を吐出するノズルであってもよい。
【００１８】
図３は、図２に示されるＡ−Ａ’断面で切断したインクジェットヘッド５２の断面図である。
隔壁層１１２は、発熱抵抗体１０２に１対１に対応する個別インク通路１１４が形成されるように、共通インク通路１１５に向かって延在する、一定の厚みを有する複数の隔壁１１２ａを有し、この隔壁１１２ａによって隣接する個別インク通路１１４と隔てられる。
隔壁１１２ａには、隔壁１１２ａの内部に空洞部１１２ｂが設けられ、空洞部１１２ｂには所定の圧力で空気が満たされ、気体封止空間となっている。そのため、この空洞部１１２ｂの設けられた隔壁１１２ａの表面部分は薄膜になっており、インク液の圧力の変動に追従するように薄膜が変位し、インク液に対する容量性の流体制御手段である可撓性弾性壁が形成される。容量性を有する流体制御手段とは流体の圧力に応じて貯留される流体の体積が変動する流体要素をいう。
【００１９】
この可撓性弾性壁は、空洞部１１２ｂに満たされた空気の弾性変形によって薄膜が変位するものである。そして、発熱抵抗対１０２の発熱によって発生した気泡の膨張力によって生じるインク吐出初期の圧力の変動に追従するように、空洞部１１２ｂの大きさが定まっており、空洞部１１２ｂの縦、横方向の長さが略３〜１０μｍとなっている。
本発明における可撓性弾性壁の設置位置は、特に限定されず、個別インク通路１１４の長さやインク液滴の吐出サイズに応じて適宜変えてもよい。
また、可撓性弾性壁の個別インク通路方向の長さは、空洞部１１２ｂの図４中の横方向の長さが略３〜１０μｍの範囲にあればいずれであってもよく、図４に示すように、個別インク通路１１４内の発熱抵抗体１０２の配置位置を除く隔壁１１２ａの長さ方向略全長に沿って可撓性弾性壁を設けてもよい。
なお、このような隔壁１１２ａの形状は、樹脂フィルムである隔壁１１２をフォトリソとドライエッチングを用いて加工して形成される。
【００２０】
上記例は、発熱抵抗体１０２をインク吐出手段とした例であるが、本発明では、圧電素子ＰＺＴ等やダイヤフラムを用いて、インク液に機械的振動を与えてインク液滴を吐出させるインク吐出手段であってもよい。
また、上記例は、インク液滴をプレート１１８に対して略垂直あるいは傾斜下方向に吐出する、いわゆるトップシューター方式であるが、本発明においては、個別インク通路の長さ方向にインク液滴を吐出させるサイドシューター方式であってもよい。
インクジェットヘッド５２は、以上のように構成される。
【００２１】
このようなインクジェットヘッド５２では、駆動回路１１０からパルス信号がヒータに印加され、発熱抵抗体１０２が発熱すると、発熱抵抗体１０２の上方に位置する、個別インク通路１１４内のインク液に気泡が発生して膨張する。この気泡の膨張力によってインク液がインク吐出用ノズル１１６方向に押し上げられて、インク液滴が、インク液から分離して吐出する。この膨張する気泡によって生じるインク液の初期圧力は、例えば、略１００気圧であり、この圧力の増加（加圧）は、個別インク通路１１４に沿ってインク液中を伝搬する。そして、この加圧によって、隔壁１１２ａに設けられた可撓性弾性壁は、図５に示す変形Ａのように隔壁１１２ａの内側に凹み、インク液の増加圧力の変動は緩和され、個別インク通路１１４の共通インク通路１１５側の開口部における加圧の変動は低下する。そのため、隣接する個別インク通路１１４に伝搬する加圧の影響は低下し、インク吐出によるノズル間の相互干渉を低下させることができる。
【００２２】
一方、気泡が一定の高さに膨張した後気泡は断熱収縮を行って最終的に消滅するが、個別インク通路１１４内のインク液は表面張力、圧力換算分で、例えば、２０００〜２００００Ｎ／ｍ2 の力の作用を受けてインク液が供給される。すなわち、個別インク通路１１４内のインク液が減圧状態となって、インク液が個別インク通路１１４側から発熱抵抗体１０２側の方向に流動を開始する。すなわち、インク液のリフィルが行われる。その際、個別インク通路１１４は、上記インク液の減圧によって可撓性弾性壁が図５中に示す変形Ｂを受ける。従って、図５中の変形Ａによって個別インク通路１１４中に余分に蓄えていたインク液が、図５中の変形Ｂによって放出され、インク液の発熱抵抗体１０２への迅速な供給が行われる。すなわち、インク液の加圧時および減圧時、インク液の流れに対して容量性を有する流体制御手段を形成する。
従来のインクジェットヘッドでは、個別インク通路の隔壁は剛体壁で形成されているので、発生した気泡の膨張、収縮および消滅に伴う個別インク通路内でのインク液の圧力の増減の変動に対して、隔壁が変形することはなく、インク液が加圧時に一時的に蓄えられ、減圧時に放出されることもない。従って、インク液に対して容量性の流体制御手段を形成することはない。すなわち、インク液の供給は、個別インク通路１１４の管路抵抗や個別インク通路中のインク液の慣性の影響を受けて、迅速な供給が行われない。
【００２３】
このようなインク液の吐出に伴うインク液の加圧および減圧は、数μ秒から数１００μ秒で発生するので、可撓性弾性壁の変形はインク液の加圧、減圧の変動に追随する必要がある。ここで、可撓性弾性壁の弾性率は略インク液と同等と考えられるので、可撓性弾性壁の変形は空洞部１１２ｂの気体封止空間内の空気の弾性特性に依存する。そのため、上記実施例の可撓性弾性壁を形成する空洞部１１２ｂの大きさは、空洞部１１２ｂの空気が弾性体として振動する周波数を規定する下記式（１）（Minneartの式）に基づき、図４中の横方向の長さが略３〜１０μｍの範囲に設定されている。
Ｆ  ＝  １／（２πｒ）・（３・Ｋ・Ｐ／ρ）(1/2)           （１）
ここで、Ｆは、空洞部１１２ｂの気体封止空間内の空気がインク液の加圧および減圧の時間変動に追従して伸縮するような弾性振動の周波数であり、例えば１０ｋＨｚ〜１ＭＨｚである。Ｐはインク液の加圧、減圧の圧力であり、例えば１００気圧である。Ｋは空気の比熱比であり、ρは空気の密度である。ｒは、弾性体である空気のサイズ（半径）である。
上記（１）式からｒが算出され、これより、空洞部１１２ｂの現実的な大きさ、例えば空洞部１１２ｂの図４中の横方向の長さが略３〜１０μｍと設定される。すなわち、インク液の減圧および加圧の変動に追従して気体封止空間内の空気が伸縮するように空洞部１１２ｂの大きさが設定される。
【００２４】
このように、上記実施例では隔壁の一部分を可撓性弾性壁で形成し、この可撓性弾性壁をインク液の圧力の増減によって変形させるので、可撓性弾性壁は容量性の流体制御手段となって、インク吐出時の加圧の変動が、隣接するインク吐出用ノズルのインク液滴の吐出に及ぼす影響は小さくなり、また、インク液のリフィルも迅速に行われる。
【００２５】
また、本発明の容量性の流体制御手段の他の例として、図６（ａ）〜（ｄ）の例が挙げられる。
図６（ａ）は、隔壁層１１２ａと発熱抵抗体１０２を示した、図２中のＡ−Ａ’断面図に対応するもので、共通インク通路１１５中の、個別インク通路１１４端の開口部の両側に共通インク通路１１５の空間を支持するように柱状弾性体１２２が設けられる。
柱状弾性体１２２は、共通インク通路１１５の底からインク吐出用ノズル１１６の形成されたプレート１１８に伸びて、共通インク通路１１５の空間内の柱を形成する。この柱内には、内部に気体封止空間を設けることでインク液の圧力の変動に応じて径が伸縮する空洞部１２２ａを有し、所定の圧力で空気が封入される。従って、柱状弾性体１２２は、空洞部１２２ａの弾性特性によって、径が伸縮する。このような柱状弾性体１２２の径は、上記式（１）によって、径が略３〜３００μｍに設定され、インク液の加圧および減圧の時間変動に追従して径が伸縮する。
【００２６】
柱状弾性体１２２は、図３に示す隔壁１１２ａの可撓性弾性壁と同様に、インク液が加圧の場合、柱状弾性体１２２の径は収縮し、インク液が減圧の場合、柱状弾性体１２２の径は膨張し変形するので、インク液に対して容量性の流体制御手段を形成する。従って、インク吐出時の加圧の変動が、隣接するインク吐出用ノズルのインク液滴の吐出に及ぼす影響は小さくなり、また、インク液のリフィルも迅速に行われる。
【００２７】
図６（ｂ）は、隔壁１１２ａに断面が袋状凹部空間となった気泡溜まり１１２ｃが形成された例を示している。
気泡溜まり１１２ｃには、隔壁１１２ａに袋状の凹部空間が柱状に形成されて、凹部空間内に略同一サイズの気泡が常時繋留される。この気泡はインク液の加圧、減圧の変動に追従して伸縮するように、気泡溜まり１１２ｃの大きさが略３〜１０μｍに設定されている。インク液が加圧の場合、気泡溜まり１１２ｃ内の気泡が収縮して気泡溜まり１１２ｃ内にインク液が進入し、インク液が負圧の場合、気泡溜まり１１２ｃ内の気泡が膨張して気泡溜まり１１２ｃ内に進入していたインク液が放出され発熱低抗体１０２の方にインク液が供給される。従って、気泡溜まり１１２ｃは、インク液の流れに対して容量性の流体制御手段を形成する。従って、インク吐出時の加圧の変動が、隣接するインク吐出用ノズルのインク液滴の吐出に及ぼす影響は小さくなり、また、インク液のリフィルも迅速に行われる。
【００２８】
このような気泡溜まり１１２ｃは、隔壁１１２ａの隣接する個別インク通路１１４の両側に設けられるものであるが、片側に設けられるものであってもよい。また、気泡溜まり１１２ｃの配置は、同じ隔壁１１２ａの両側の、個別インク通路１１４の長さ方向の所定の位置に互い違いに設けられるものに限定されず、個別インク通路１１４の長さ方向における同じ位置に気泡溜まり１１２ｃを設けてもよく、気泡溜まり１１２ｃの配置位置については特に限定されない。
このような気泡溜まり１１２ｃの形状は、樹脂フィルムである隔壁１１２をフォトレジストとドライエッチングを用いて加工して形成される。
【００２９】
図６（ｃ）は、個別インク通路１１４と共通インク通路１１５との接続部分の隔壁１１２ａの末端面１１２ｄに粗面化処理が施され、この末端面１１２ｄに気泡Ｂが繋留した例を示している。
気泡Ｂは、インク液に含まれている微小の空気が粗面化処理面の凹凸の表面に繋留されて気泡Ｂを形成したものである。
隔壁１１２ａの末端面１１２ｄには、隔壁１１２ａの厚さ分の粗面化処理面が形成されるので、気泡Ｂは隔壁１１２ａの厚さに相当する径の気泡が形成される。ここで、粗面化処理の施される末端面１１２ｄの幅は、略３〜１０μｍに設定されるので、形成される気泡Ｂの径も略３〜１０μｍとなる。従って、インク液が加圧の場合気泡Ｂが収縮し、インク液が負圧の場合気泡Ｂが膨張する。従って、粗面化処理面に固着した気泡Ｂは、インク液に対して容量性の流体制御手段を形成し、インク吐出時の加圧の変動が、隣接するインク吐出用ノズルのインク液滴の吐出に及ぼす影響は小さくなり、また、インク液のリフィルも迅速に行われる。
このような粗面化処理面の凹凸形状は、隔壁１１２ａをフォトレジストとドライエッチングを用いて形成する際のフォトリソグラフィの分解能より粗い凹凸形状であるので、隔壁１１２ａを形成する際のフォトリソグラフィにより同時に形成される。
【００３０】
図６（ｄ）は、インク吐出用ノズル１１６と別に、インク吐出用ノズル１１６の各々に１対１に対応して、プレート１１８の、個別インク通路１１４あるいは共通インク通路１１５の壁面となっている部分にダミーノズル１２４が穿孔された例を示している。すなわち、インク液路中にダミーノズル１２４が形成される例である。
ダミーノズル１２４は、インク吐出用ノズル１１６と同様に外気に連通するので、インク液が加圧された場合、インク液がダミーノズル１２４内に進入し、インク液が減圧された場合、ダミーノズル１２４内に進入したインク液が放出される。なお、ダミーノズル１２４は、このノズルからインク液が吐出しないようにノズルの径が設定され、さらに、インク液の加圧や減圧の変動に追従するように、上記式（１）によって、例えば、略３〜１０μｍに設定される。また、共通インク通路１１５の流れは複数の個別インク通路１１４の流れが関与し、個別インク通路１１４の流れよりも低周波の変動が多いことから、ダミーノズル１２４のノズルの径を略１０μｍ〜３００μｍに設定して低周波の流れの変動を制御してもよい。
このように、ダミーノズル１２４は、インク液の流れに対して容量性を有する流体制御手段を形成する。そのため、インク吐出時の加圧の変動が、隣接するインク吐出用ノズルのインク液滴の吐出に及ぼす影響は小さくなり、また、インク液のリフィルも迅速に行われる。
【００３１】
なお、ダミーノズル１２４は、間歇的にＳｉ基板１００に穿孔されたインク供給孔１１９の位置と発熱抵抗体１０２の位置との間の、プレート１１８上の位置に穿孔されてもよいし、インク供給孔１１９の上方のプレート１１８の位置に穿孔されてもよい。インク供給孔１１９の上方のプレート１１８の位置に穿孔された場合、インクタンク５６から伝搬するインク液の圧力変動を吸収緩和することもでき、共通インク通路１１５や個別インク通路１１４に伝搬させない効果も有する。
【００３２】
上記実施例の容量性の流体制御手段はいずれも、個別インク通路１１４の長さの長短に関わりなくインクジェットヘッドに設けることができるが、特に個別インク通路１１４の長さを長くしてインク吐出用ノズルの相互干渉を低減したインクジェットヘッドの場合に発生する、インク液の迅速な供給（リフィル）が実現できないといった問題を有効に解決することができる。
【００３３】
以上、本発明のインクジェットヘッドおよびインクジェットプリンタについて詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良および変更を行ってもよいのはもちろんである。
【００３４】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明は、インク液路中に、インク液の流れに対する容量性の流体制御手段を備えるので、インクジェットヘッドの駆動回路を複雑化することなく、インク吐出用ノズルの相互干渉を低減してインク液の迅速な供給を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  （ａ）は、本発明のインクジェットプリンタの一例の概略構成図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すインクジェットプリンタの概略斜視図である。
【図２】  本発明のインクジェットヘッドの断面構造の一例を示す概略断面図である。
【図３】  図２に示すＡ−Ａ’断面からみたインクジェットヘッドの断面図である。
【図４】  本発明のインクジェットヘッドの他の実施形態におけるＡ−Ａ’断面を示す断面図である。
【図５】  図３に示すインクジェットヘッドの作用を示す説明図である。
【図６】  （ａ）〜（ｄ）は、本発明のインクジェットヘッドの他の実施形態における図２に示すＡ−Ａ’断面を示す平面図である。
【符号の説明】
１０  プリンタ
１２  記録部
１４  供給部
１６  プレヒート部
１８  排出部
５０  記録ヘッド部
５２  インクジェットヘッド
５４  記録制御部
５６  インクタンク
５８  記録媒体搬送部
１００  Ｓｉ基板
１０２  発熱抵抗体
１０４，１０６  導体電極
１０８  ビアホール
１１０  駆動部
１１２  隔壁層
１１２ａ  隔壁
１１２ｂ  空洞部
１１２ｃ  気泡溜まり
１１２ｄ  末端面
１１４  個別インク通路
１１５  共通インク通路
１１６  インク吐出用ノズル
１１８  プレート
１２０  実装フレーム
１２１  インク供給路
１２２  柱状弾性体
１２４  ダミーノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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